(57)【要約】      （修正有）【課題】  光ディスクの製造工程において、基板表面に付着するパーティクル等を効果的に除去するクリーニング装置を提供する。【解決手段】  略円盤形状を有する基板の表面と平行であって、該基板から所定距離離れた該基板中心と同一軸線上で一致する中心を有するスリットを、クリーニング気体の放出口としてブロアー本体部に設ける。クリーニングに対しては、スリットからの気体放出と同時に、該スリットを上記軸船中心で回転させることとする。【選択図】  図１Ａ
2006269001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の基板表面にクリーニング媒体を吹きつけて前記表面のクリーニングを行うクリーニング装置であって、
前記基板の裏面に当接して前記基板を支持する平坦な基板支持面を有するサセプターと、
内部に前記クリーニング媒体を供給する媒体供給経路を有すると共に、前記サセプターにおける前記基板支持面と対向して設けられて前記媒体を前記基板支持面に向けて放出する媒体放出口と、前記媒体供給経路とを連結する前記媒体の拡散経路を有するブロアーと、
前記サセプターと前記ブロアーとを各々前記基板に対して平行な面内で相対的に駆動させる駆動手段と、を有し、
前記媒体放出口は前記基板支持面と平行な直線上において連続的に形成されていることを特徴とするクリーニング装置。
【請求項２】
前記媒体放出口は、前記基板支持面と平行な直線上に形成されたスリットであることを特徴とする請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項３】
前記相対的な駆動は、前記基板の中心を通って基板に垂直な回転軸を中心とする回転運動であることを特徴とする請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項４】
前記媒体放出口は、前記回転軸を通る直線上に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のクリーニング装置。
【請求項５】
前記ブロアーは、前記回転軸と同じ回転軸において前記ブロアーと独立して回転可能となるように一端部が前記ブロアーに支持され、他端部が前記基板の略中央と当接可能な略棒状の基板押さえを有することを特徴とする請求項３に記載のクリーニング装置。
【請求項６】
平板状の基板表面にクリーニング媒体を吹きつけて前記表面のクリーニングを行うクリーニング方法であって、
前記基板の裏面に当接して前記基板を支持する平坦な基板支持面を有するサセプターにおける前記基板支持面上に前記基板を載置し、
内部に前記クリーニング媒体を供給する媒体供給経路を有すると共に、前記サセプターにおける前記基板支持面と対向して設けられて前記媒体を前記基板支持面に向けて放出する媒体放出口と、前記媒体供給経路とを連結する前記媒体の拡散経路を有するブロアーを前記基板の表面から所定距離となる位置に配置し、
前記媒体を前記媒体放出口から前記基板の表面に対して放出すると同時に、前記サセプターと前記ブロアーとを各々前記基板に対して平行な面内で相対的に駆動させる工程を有し、
前記媒体放出口は前記基板支持面と平行な直線上において連続的に形成されていることを特徴とするクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所謂DVD系のディスク或いはBlu-ray Discに代表される光ディスクの製造工程に好適なディスクのクリーニング装置及び方法に関する。より詳細には、片面に２層の記録層を有するタイプの光ディスクを製造する際により好適な光ディスク向けのクリーニング装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクと呼称される光学的記録媒体である例えばBlu-rayディスクは、グルーブ及びピットが表面上に形成されたポリカーボネート等からなる基板、グルーブ等の上面に形成された例えばスパッタリング法による反射層、記録層、等からなるスパッタ層、該スパッタ層の上面を覆う光透過層、及び基板表面を覆う保護層から構成されている。また、更に記録容量を高めるために、記録層を複数層有するディスクも提唱されており、該ディスクにおいては、スパッタ層の上面にスペーサー層が形成され、該スペーサー層の上面にグルーブ及びピットが形成されている。これらグルーブ等の上面に更に上述のスパッタ層等を順次形成することにより複数の記録層を得ることとし、更なる記録容量の増加が図られている。
【０００３】
通常以上に述べた各種の層を形成する工程は、所謂パーティクル、ダスト等が厳密に管理、低減された空間において為されている。しかし、個々の工程においては、動作を行う各種の構成要素が存在しており、パーティクル等は、これら構成要素の動作等に起因して必然的に発生する。微細なグルーブを有する記録媒体にとって、このようなパーティクル等が層形成前に基板表面に付着した場合、該付着部分はピンホール、突起等の欠陥となり、完成品である光ディスクを欠陥品としてしまう。
【０００４】
このため、通常は、パーティクル等の発生、付着の可能性の高い工程の後の層を形成する前に、基板表面に対してエアブロー等を行って付着しているかもしれないパーティクル等の除去を図っている。特許文献１には、基板を密閉空間に収容し、この状態で基板表面に強いエアブローを吹き付けると共に、該密閉空間に接続された排気ポートを介して吹き上げられたパーティクル等と共に過剰なエアを排気する構成が開示されている。当該構成によれば、エアブローによって基板上等に付着するパーティクル等を除去するのみならず、巻き上げられたパーティクル等の周囲への飛散も防止している。
【特許文献１】特開２００１−１９５７８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
記録媒体である光ディスクは、高記録密度化が求められており、該要望に応えるためにグルーブ幅は狭くなりグルーブ内に形成されるピットも小さくなっている。このため、従来では問題とならなかった微細なパーティクル等も厳密に管理することが必要となっている。しかし、微細パーティクル等が凹凸（グルーブ）の存在する面に付着した場合、静電気等の影響も相まって単なるエアブローのみでは確実にこれを除去することが困難となってきている。また、現状問題とならない大きさのパーティクル等に関しても、記録密度の向上に伴って将来的に問題となると考えられる。
【０００６】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、より微細なパーティクル等に関しても基板表面から効率よく除去可能なるクリーニング装置及びクリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るクリーニング装置は、平板状の基板表面にクリーニング媒体を吹きつけて基板表面のクリーニングを行うクリーニング装置であって、基板の裏面に当接して基板を支持する平坦な基板支持面を有するサセプターと、内部にクリーニング媒体を供給する媒体供給経路を有すると共に、サセプターにおける前記基板支持面と対向して設けられて媒体を基板支持面に向けて放出する媒体放出口と、媒体供給経路とを連結する媒体の拡散経路を有するブロアーと、サセプターとブロアーとを各々前記基板に対して平行な面内で相対的に駆動させる駆動手段と、を有し、媒体放出口は基板支持面と平行な直線上において連続的に形成されていることを特徴としている。
【０００８】
なお、上述したクリーニング装置において、媒体放出口は、基板支持面と平行な直線上に形成されたスリットであることが好ましい。また、相対的な駆動は、基板の中心を通って基板に垂直な回転軸を中心とする回転運動であることが好ましい。なお、この場合、媒体放出口は、回転軸を通る直線上に形成されていることがより好ましい。更には、ブロアーは、回転軸と同じ回転軸においてブロアーと独立して回転可能となるように一端部がブロアーに支持され、他端部が基板の略中央と当接可能な略棒状の基板押さえを有することがより好ましい。
【０００９】
また、上記課題を解決するために、本発明に係るクリーニング方法は、平板状の基板表面にクリーニング媒体を吹きつけて基板表面のクリーニングを行うクリーニング方法であって、基板の裏面に当接して基板を支持する平坦な基板支持面を有するサセプターにおける基板支持面上に基板を載置し、内部にクリーニング媒体を供給する媒体供給経路を有すると共に、サセプターにおける基板支持面と対向して設けられて媒体を基板支持面に向けて放出する媒体放出口と、媒体供給経路とを連結する媒体の拡散経路を有するブロアーを基板の表面から所定距離となる位置に配置し、媒体を前記媒体放出口から基板の表面に対して放出すると同時に、サセプターとブロアーとを各々基板に対して平行な面内で相対的に駆動させる工程を有し、媒体放出口は基板支持面と平行な直線上において連続的に形成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、基板表面の近傍から微小なスリット、穴等を介して高速で、基板表面に対して気体（クリーニング媒体）を吹きつけることとし、更にスリット等を基板に対して相対的に移動させ、気体の吹き付けを基板表面全域に及ぼすこととしている。これにより、微小かつ凹部に嵌り込むようにして基板表面に付着したパーティクル等であっても、強制的且つ効果的に吹き飛ばして除去することが可能となり、その効果を基板表面全域に容易に及ぼすことが可能となる。
【００１１】
また、スリット等を基板の径方向に延在させることし、これを基板面に対して平行な面内で回転させ、且つその回転中心と基板中心とを一致させることとしている。当該構成においては、スリット等が上方に存在しない場合には、基板の空間は大きく開けられている。従って、吹き飛ばされたパーティクル等が基板-スリット間から速やかにこの開いた空間に運ばれることが可能となる。即ち、一端吹き飛ばされたパーティクル等が基板-スリット間で滞留することがなくなり、パーティクル等の基板への再付着の可能性も低減できる。
【００１２】
更に、本発明においては、スリット等を基板上面にて複数回回転させることも可能である。これにより、気体の急激な吹き付けに伴う衝撃を基板表面に複数回与えることが可能となる。パーティクル等の中には単一の気体の噴き付けでは除去不可能な程度まで強固に基板に付着しているものも存在する。しかし、上述した衝撃を複数回繰り返して該パーティクルに及ぼすことにより、従来では除去不可能であった強固に付着したパーティクル等についても除去することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。図１Ａは本発明に係るクリーニング装置の一実施形態であって、その主要部と被クリーニング部材である基板とについて、該主要部の回転軸方向に沿った断面の概略を示している。また、図１Ｂは、図１Ａに示す装置主要部において線１Ｂ−１Ｂに沿って切断した場合の断面を示している。なお、本実施形態においては、中央部に貫通穴２ａが存在する一般的な円盤形状を有する樹脂製の基板２を用いることとしている。また、基板２は、略平板状５ａの上面を有するサセプター５の該略平板面上に載置される。略平板面５ａは水平方向に延在する面であり、中央部において基板の貫通穴２ａに挿貫可能な突起部５ｂを有している。基板２は、この突起部５ｂと貫通穴２ａとの相互作用により位置決めが為されている。
【００１４】
本発明に係るクリーニング装置はブロアーに多くの特徴を有している。ブロアー１０は、基板面と対抗して基板２の延在面と平行に延在する略棒状の本体部１１、及び本体部１１の中央から基板面とは逆側であって基盤面に垂直な方向に延在する軸部１３を有している。本体部１１の中央部であって、基板２に面する部分にはディスク押さえ２３が配置されている。
【００１５】
ディスク押さえ２３は軸部１３と同軸に延在する略棒状の部材からなり、基板面に向かう一端面に凹部２５が形成されている。凹部２５はサセプター５における突起部５ｂを収容可能な大きさを有し、凹部５ｂを形成する周囲の壁部分の先端は、基板２の上面であって、貫通穴２ａの周囲に当接可能な平面となっている。また、ディスク押さえ２３の他端部には弾性部材２７が配置されており、該弾性部材２７の作用によりディスク押さえ２３が過度の負荷を伴って基板２の表面接触することを防止している。ディスク押さえ２３は、ディスク押さえ用ベアリング２９を介して本体部１１に支持されており、本体部１１が軸周りに回転した場合であっても、該ディスク押さえ２３が停止し続けることを可能としている。
【００１６】
軸部１３は内部に軸側気体供給経路１５を有し、該軸側気体供給経路１５は一端部において軸部１３の外部に通ずる開口を有している。該開口１５ａを介して、軸側気体供給経路１５は不図示の圧縮気体源と接続される。軸側気体供給経路１５は、ブロアー本体部１１内部に形成された本体側気体供給経路１７を介して、ノズル部分の気体拡散経路１８に接続される。気体拡散経路１８は、ディスク押さえ２３が存在する領域を挟んで、本体部１１の延在方向に延在する一直線上に二本形成されており、各々はディスク押さえ２３の近傍から本体部１１の端部近傍まで延在している。
【００１７】
本体部１１における気体拡散経路１８から基板面方向に向かう領域には微小幅（本実施形態では0.15mm）のスリット１９が形成されている。該スリット１９は、気体放出口として作用する。スリット１９は、気体拡散経路１８の形成長さと同等あるいはそれ以上の長さであって、該スリットから供給される気体の吹き付け範囲が基板２の表面全域を覆う長さ（基板の径以上の長さ）を有するように形成されている。
【００１８】
実際のクリーニング操作においては、軸側気体供給経路１３、本体側気体供給経路１７、気体拡散経路１８及びスリット１９を介して、クリーニング用の気体が基板表面に供給される。その際、サセプター５とブロアー１１とを軸中心に相対回転させることにより。クリーニング用気体を基板２の上面全面に吹き付けることが可能となり、効率的なパーティクルの除去を行うことが可能となる。
【００１９】
なお、本実施の形態においては、気体を最終的に基板表面に導入する経路をスリットにより構成している。しかしながら、これを微小な径からなる複数の穴から構成することとしても良い。従って、これらスリット等はより広い概念として気体放出口として把握されるべきであり、該気体放出口は基板と平行な直線上に連続的に形成されているとして把握されることが望ましい。このように定義される放出口は、基板及び基板支持面と平行な直線上に並んで形成された複数の穴、スリット、単一のスリット、或いはこれらの複合系体を総称する。また、スリット或いは穴を一列にするのではなく、複数列設けることとしても良い。この場合各々の列のスリット等から基板に向かう際の気体の吹き付け角度を列ごとに異ならせることとしても良い。
【００２０】
また、本実施形態においては、スリット（気体放出口）が基板押さえを中心として一直線上に等配された形態としているが、例えば基板押さえを無くして一直線上に気体放出口が並ぶ形状としても良い。また、本発明は、基板と平行に設けられた気体放出口を有するブロアーが、基板面と平行な面内において基板に対して相対的に移動する構成として把握されることが好ましい。従って、より大きな概念として、ブロアー（気体放出口）が基板面に対して直線的、往復運動的等の移動を行う構成も含まれる。この場合、該動作は、リニアガイド、ボールねじ等からなる公知の構成から構築される駆動機構により実施可能である。
【００２１】
また、導入する気体としては、所謂ドライエア、窒素等の不活性ガス等を用いることが可能である。また、基板が樹脂製であることから静電気の発生の防止、或いは除電を目的としてイオン化した気体と導入することとしても良い。また、本装置を、例えば液体等の媒体からなる環境下で用いることも可能である。従って、該気体は、より大きな概念としてクリーニング媒体として把握されることが好ましい。
【００２２】
また、本実施形態においては、ディスク押さえ２３をブロアー側に設け、該ディスク押さえ２３によって基板２をサセプターに固定することとしている。しかしながら、例えばサセプター側に真空吸着等によって基板を保持可能な保持手段を配することとし、本体部の下方全域を気体の噴出し領域としても良い。また、本体部１１の形状は略棒状として表現している。しかし、より厳密には、基板から見た状態で延在方向全域において一定の幅を有し、正面から見た状態で中央部が軸部の延在方向に最も厚く且つ端部に至るほど厚さが薄くなる形状であることが好ましい。このように端部の質量を小さくし、中央部の質量を大きくすることにより軸中心の回転時に、回転ぶれ等を抑えることが可能となる。
【００２３】
しかし、本発明の実施形態は当該形状に限定されず、基板の固定方法、ブロアーの回転安定性、吹き付け後の気体の排除効率等を考慮して当該形状が適宜定められることが好ましい。例えば、図１Ｃに示しように、図１Ａに示した構成において基板押さえから一方の側のスリット形成部分を無くす構成としても良い。また、本体部の形状は棒状に限定されず、例えば十字型等、板状体等としてスリット等の気体放出口を放射状に形成可能な形状としても良い。
【００２４】
また、本実施形態においては、ブロアーの回転中心を基板の中心と一致させ且つ気体放出口と基板表面との距離の安定化を図るために基板押さえを用いることとしている。しかし、これら事項を満たし得るブロアー構成であれば、基板押さえを無くすことも可能である。また、本実施懈怠においては、基板押さえが先端部に凹部を有することとしているが、該凹部を無くしても良い。例えば基板押さえを単なる略棒状の部材とし、先端部が突起部と当接するのみの構成でも良い。また、基板形状も中央部に貫通穴を有する形状のみに限られず、本出願人が提唱する中央部に円筒状の突起を有するもの、単なる平板状のもの等種々の形状からなるものが使用可能である。この場合、基板押さえは、これら基板形状に対応して種々変形されることが好ましい。
【実施例】
【００２５】
次に、本発明に係るクリーニング装置を実際に構築した場合について、以下に図面を参照して説明する。なお、以下の実施例の説明においては、実施形態において述べた構成と同様の作用効果を呈する構成については、同じ参照符号を用いて説明し、且つ重複する説明についてはこれを省略することとする。図２は、各々本発明の一実施例に係るクリーニング装置のブロアー１０側の概略構成を示す図であって、部分断面図を含む図である。また、図３及び図４は、サセプターを当該装置の下方に所定位置に配置した状態及びブロアー１０側を降下させて実際にクリーニングを行う際の状態を各々示している。
【００２６】
本発明に係るクリーニング装置は、ブロアー１０を軸中心に回転可能に支持するブロアー側の構成と、基板２をブロアー１０の下方所定位置に搬送するサセプター側の構成とに大別される。ブロアー１０側の構成は、ブロアー１０、ブロアー回転モータ３３、ブロアー支持部材３５、カバーリング３７、排気ダクト３９、及びブロアー上下シリンダ４１を有する。ブロアー上下シリンダ４１は装置フレーム９に固定されており、シリンダ軸４３がサセプター５の略平板面５ａに垂直な方向に伸縮可能とされている。ブロアー支持部材３５は前述した略平板面５ａに対して略平行に延在する板状の部材からなり、シリンダ軸４３により支持されている。
【００２７】
ブロアー１０は、軸部１３がブロアー支持部材３５を貫通し、本体部１１がブロアー支持部材３５下面側（ブロアー上下シリンダ４１と同じ側）に位置するように、軸部用ベアリング４５を介して、ブロアー支持部材３５によって軸中心に回転可能に支持される。軸部１３はブロアー回転モータ３３の回転軸と同軸となるように接続されており、該モータ３３によって軸部中心の回転動作を行う。ブロアー支持部材３５は、ブロアー本体部１０と同じ側においてカバーリング３７も支持している。カバーリング３７は、軸方向に延在し且つブロアー本体部１１を収容可能な大きさの内径を有する円筒状の形状を有している。また、該円筒の中心軸とブロアー１０の回転軸とが略一致するようにして、円筒の一方の開口がブロアー支持部材の下面と接続されている。
【００２８】
カバーリング３７は他方の開口を形成する円筒端面が、後述するサセプター上Oリングと当接することで密閉空間を形成する。該円筒の長さは、この密閉空間を形成した際に基板２の表面とスリット１９の開口部との距離が所定距離となるように設定されている。また、ブロアー支持部材３５には、該密閉空間と連通する排気ダクト３９が接続されている。該ダクト３９は不図示の真空排気系と接続されており、この真空排気系の動作によって密閉空間内部の気体を排気することを可能としている。
【００２９】
次にサセプター側の構成について説明する。サセプター５は、サセプター平板面５ａと平行に延在する略円盤形状のインデックステーブル７上に固定されている。サセプター５は、インデックステーブル７上において該テーブルの回転中心を中心として等角度間隔で該中心から等距離となる位置に複数個配置されている。インデックステーブル１１は装置フレーム９に対して回転可能に支持されており、サセプター５を順次ブロアー１０の下方に移動させることで、複数の基板を連続的にクリーニングすることを可能としている。
【００３０】
サセプター５において、基板２が載置される平板面５ａの周囲を囲むようにサセプター上Oリング８が配置される。ブロアー支持部材３５がブロアー上下シリンダ４１の動作によって降下した際に、カバーリング３７の下方開口（上述した他方開口）を形成する円筒端面３７ａが該サセプター上Oリング８と当接する。これにより、基板２及びブロアー１０は、排気ダクト３９によってのみ排気可能な密閉空間に収容された状態となる。
【００３１】
次に、図３及び図４を参照して、実際のクリーニング操作について説明する。クリーニング操作に際して、まずインデックステーブル７が回転し、サセプター５及びサセプター５上に載置された基板２をブロアー１０下方の所定位置まで搬送する（図３）。続いて、ブロアー上下シリンダ４１によってブロアー支持部材３５が降下し、カバーリング３７の円筒端面３７ａがサセプター上Oリング８と当接して密閉空間が形成された状態で該降下を停止する（図４）。これにより、スリット１９の開口部分は基板２の表面から微小間隔あけて対抗した状態となる。
【００３２】
当該状態にて、スリット１９からのクリーニング用の気体の噴出しを開始し、同時に排気ダクト３９からの密閉室内の排気を開始する。この状態にてブロアー回転モータ３３を動作させ、ブロアー１０を軸中心に回転させる。これにより、基板２の表面全域に渡って気体を吹き付けることが可能となる。また、気体を高速で吹き付けかつ被吹き付け領域が移動することで、基板表面上に部分的な衝撃を与えることとなり、従来よりも効果的にパーティクル等を除去することが可能となる。また、ブロアー形状が略棒状であって、周囲に大きな空間が存在することから、吹き付けられた気体及び該気体に含まれたパーティクス等は速やかに基板表面近傍から離脱することが可能となる。
【００３３】
このパーティクル等を含んだ気体は、排気ダクト３９を介して密閉空間より排気される。従って、基板から除去されたパーティクル等が周辺環境を汚染することも防止できる。なお、密閉空間の排気は、パーティクル等の効果的除去を行うために、排気-スリットからの気体導入-加圧−排気のサイクルを複数回繰り返すことが好ましい。以上のパーティクル等の除去工程が終了後、ブロアー１０、カバーリング３７等を上昇させる。続いて、インデックステーブル７を回転させ、次の基板をブロアー１０直下の所定位置に移動させ、更なるクリーニング工程の実施が行われる。
【００３４】
なお、本実施例においては、ブロアー側の構成を軸方向に移動させ、ブロアー１０を回転させることとしている。しかしサセプター側を軸方向に移動させ、且つサセプター５を軸中心に回転させる構成としても良い。また、本実施例或いは実施形態においては、基板２を水平に保持することとしているが、本クリーニング装置における諸構成を90度傾けることとし、基板２を垂直に保持することとしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
以上の実施形態及び実施例において、本発明はBlu-rayディスク等の光ディスク向けの基板をクリーニングの対象物として述べた。しかし、本発明のクリーニング対象はこのような光ディスク向け基板に限定されず、半導体用ウエハ、ディスプレイ用基板等、高清浄な環境下での管理が要求される種々の基板とすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係るクリーニング装置におけるブロアーの軸方向断面を示す概略図である。
【図１Ｂ】図１Ａにおいて、線１Ｂ−１Ｂに沿ってブロアーを切断した際の断面形状を示す図である。
【図１Ｃ】図１Ａに示すクリーニング装置の変形例におけるブロアーの軸方向断面を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施例に係るクリーニング装置の側面図であって、部分的な断面図を含む図である。
【図３】本発明の一実施例に係るクリーニング装置の側面図であって、部分的な断面図を含む図である。
【図４】本発明の一実施例に係るクリーニング装置の側面図であって、部分的な断面図を含む図である。
【符号の説明】
【００３７】
２：基板、  ５：サセプター、  ７：インデックステーブル、８：サセプター上Oリング、  ９：装置フレーム、  １０：ブロアー、  １１：本体部、  １３：軸部、  １５：軸側気体供給経路、  １７：本体側気体供給経路、  １８：気体拡散経路、  １９：スリット、  ２３：ディスク押さえ、  ２５：凹部、  ２７：弾性部材、  ２９：ディスク押さえ用ベアリング、  ３３：ブロアー回転モータ、  ３５：ブロアー支持部材、  ３７：カバーリング、  ３９：排気ダクト、  ４１：ブロアー上下シリンダ、  ４３：シリンダ軸、  ４５：軸受用ベアリング
【図１Ａ】
2006269001.tif 000003
【図１Ｂ】
2006269001.tif 000004
【図１Ｃ】
2006269001.tif 000005
【図２】
2006269001.tif 000006
【図３】
2006269001.tif 000007
【図４】
2006269001.tif 000008