(57)【要約】【課題】対象物の表面が曲面を含んでいたり、表面に多数の凹凸が存在するために検出すべき表面欠陥と素地との濃淡の差が相対的に小さい場合でも、精度良く表面の欠陥を検出することが可能な表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置を提供する。【解決手段】対象物たるデフキャリア２の表面をラインセンサ１２により撮像して生成した第一撮像画像と、デフキャリアの表面をエリアセンサ１４により撮像して生成した第二撮像画像と、に基づいて対象物の表面の欠陥を検出する。【選択図】図１
2006017668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準となる対象物であるリファレンスの表面をラインセンサにより撮像して生成した第一リファレンス画像の濃淡の平均値に基づいて生成された第一平均画像と、対象物の表面をラインセンサにより撮像して生成した第一撮像画像と、の濃淡の差に基づいて生成される第一差画像と、
該リファレンスの表面をエリアセンサにより撮像して生成した第二リファレンス画像の濃淡の平均値に基づいて生成された第二平均画像と、対象物の表面をエリアセンサにより撮像して生成した第二撮像画像と、の濃淡の差に基づいて生成される第二差画像と、
に基づいて対象物の表面の欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検出方法。
【請求項２】
前記第一リファレンス画像の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第一標準偏差画像に基づいて定めた第一閾値により前記第一差画像を二値化処理して生成した第一二値化画像と、
前記第二リファレンス画像の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第二標準偏差画像に基づいて定めた第二閾値により前記第二差画像を二値化処理して生成した第二二値化画像と、に基づいて対象物の表面の欠陥の凹凸を判定することを特徴とする請求項１に記載の表面欠陥検出方法。
【請求項３】
前記対象物が、略円筒形状または略円錐形状の胴体部と、該胴体部の一端に形成されたフランジ部とからなる鋳物であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の表面欠陥検出方法。
【請求項４】
前記ラインセンサは鋳物の胴体部を撮像し、前記エリアセンサは鋳物のフランジ部を撮像することを特徴とする請求項３に記載の表面欠陥検出方法。
【請求項５】
対象物の表面を撮像するラインセンサおよびエリアセンサと、
基準となる対象物であるリファレンスの表面をラインセンサにより撮像して生成した第一リファレンス画像の濃淡の平均値に基づいて生成された第一平均画像と、対象物の表面をラインセンサにより撮像して生成した第一撮像画像と、の濃淡の差に基づいて生成される第一差画像と、該リファレンスの表面をエリアセンサにより撮像して生成した第二リファレンス画像の濃淡の平均値に基づいて生成された第二平均画像と、対象物の表面をエリアセンサにより撮像して生成した第二撮像画像と、の濃淡の差に基づいて生成される第二差画像と、に基づいて対象物の表面の欠陥を検出する制御部と、
を具備することを特徴とする表面欠陥検出装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記第一リファレンス画像の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第一標準偏差画像に基づいて定めた第一閾値により前記第一差画像を二値化処理して生成した第一二値化画像と、
前記第二リファレンス画像の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第二標準偏差画像に基づいて定めた第二閾値により前記第二差画像を二値化処理して生成した第二二値化画像と、
に基づいて対象物の表面の欠陥の凹凸を判定することを特徴とする請求項５に記載の表面欠陥検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の表面の欠陥を検出する方法および当該方法に係る装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、対象物の表面欠陥（キズ、異物、凹凸、変色等）を検出する方法としては作業者の目視によるものが一般的であるが、対象物が重量物である場合には作業者への負担が大きいこと、表面欠陥の判断基準が作業者毎にばらつく場合があること、作業効率（生産性）を向上させることが困難であること、等の理由により、表面欠陥の検出を機械化（自動化）することが広く検討されている。
【０００３】
このような機械化された表面欠陥検出方法の一例としては、対象物を撮像手段で撮像し、撮像により得られた対象物の画像に基づいて表面の欠陥を検出する方法（画像処理による表面欠陥検出方法）が挙げられる。例えば、特許文献１から特許文献３までに記載の如くである。
【特許文献１】特開２０００−２０６０５２号公報
【特許文献２】特開２００１−１８４５１０号公報
【特許文献３】特開２００２−２６７４１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、画像処理による表面欠陥検出方法は、一般的に、素地（対象物の表面において欠陥が存在しない部位）の濃淡の差（ばらつき）が大きい場合には、該素地と欠陥とを精度良く欠陥を検出することが困難である。
ここで、素地（対象物の表面において欠陥が存在しない部位）の濃淡の差（ばらつき）が大きい場合としては、（１）対象物の表面が曲面で構成されている場合、（２）対象物の表面に多数の凹凸が形成されている場合、が挙げられる。
【０００５】
（１）の一例としては、対象物が円筒形状または円錐形状の場合が挙げられる。
このような形状の対象物をエリアセンサで撮像すると、曲面において撮像方向と略直交する部分と、曲面において撮像方向に対して傾斜している部分とでは濃淡の差が大きくなり、素地と欠陥とを精度良く欠陥を検出することが困難である。
【０００６】
（２）の一例としては、対象物が鋳物であって、その表面に鋳造後の「バリ」を除去する目的でサンドブラスト等のブラスト処理が施された場合、が挙げられる。
鋳物の表面にブラスト処理を施すと、鋳物の表面には細かな凹凸が多数形成されて素地の濃淡の変化（ばらつき）が大きくなる。そして、画像処理をした場合における該素地に形成された凹凸と、鋳物の表面欠陥の一つである鋳巣（鋳物内部におけるガスの発生、鋳湯凝固時の収縮等の原因により鋳物内部または表面に生じる空洞）と、の濃淡の差が相対的に小さくなる。従って、該素地に形成された凹凸と鋳巣とを精度良く判別する（表面の欠陥を検出する）ことが困難である。
【０００７】
本発明は上記の如き状況に鑑み、対象物の表面が曲面を含んでいたり、表面に多数の凹凸が存在するために検出すべき表面欠陥と素地との濃淡の差が相対的に小さい場合でも、精度良く表面の欠陥を検出することが可能な表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００９】
即ち、請求項１においては、基準となる対象物であるリファレンスの表面をラインセンサにより撮像して生成した第一リファレンス画像の濃淡の平均値に基づいて生成された第一平均画像と、対象物の表面をラインセンサにより撮像して生成した第一撮像画像と、の濃淡の差に基づいて生成される第一差画像と、
該リファレンスの表面をエリアセンサにより撮像して生成した第二リファレンス画像の濃淡の平均値に基づいて生成された第二平均画像と、対象物の表面をエリアセンサにより撮像して生成した第二撮像画像と、の濃淡の差に基づいて生成される第二差画像と、
に基づいて対象物の表面の欠陥を検出するものである。
【００１０】
請求項２においては、前記第一リファレンス画像の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第一標準偏差画像に基づいて定めた第一閾値により前記第一差画像を二値化処理して生成した第一二値化画像と、
前記第二リファレンス画像の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第二標準偏差画像に基づいて定めた第二閾値により前記第二差画像を二値化処理して生成した第二二値化画像と、
に基づいて対象物の表面の欠陥の凹凸を判定するものである。
【００１１】
請求項３においては、前記対象物が、略円筒形状または略円錐形状の胴体部と、該胴体部の一端に形成されたフランジ部とからなる鋳物であるものである。
【００１２】
請求項４においては、前記ラインセンサは鋳物の胴体部を撮像し、前記エリアセンサは鋳物のフランジ部を撮像するものである。
【００１３】
請求項５においては、対象物の表面を撮像するラインセンサおよびエリアセンサと、
基準となる対象物であるリファレンスの表面をラインセンサにより撮像して生成した第一リファレンス画像の濃淡の平均値に基づいて生成された第一平均画像と、対象物の表面をラインセンサにより撮像して生成した第一撮像画像と、の濃淡の差に基づいて生成される第一差画像と、該リファレンスの表面をエリアセンサにより撮像して生成した第二リファレンス画像の濃淡の平均値に基づいて生成された第二平均画像と、対象物の表面をエリアセンサにより撮像して生成した第二撮像画像と、の濃淡の差に基づいて生成される第二差画像と、に基づいて対象物の表面の欠陥を検出する制御部と、
を具備するものである。
【００１４】
請求項６においては、前記制御部は、
前記第一リファレンス画像の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第一標準偏差画像に基づいて定めた第一閾値により前記第一差画像を二値化処理して生成した第一二値化画像と、
前記第二リファレンス画像の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第二標準偏差画像に基づいて定めた第二閾値により前記第二差画像を二値化処理して生成した第二二値化画像と、
に基づいて対象物の表面の欠陥の凹凸を判定するものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１６】
請求項１においては、撮像した画像の素地（対象物の表面において表面欠陥が無い部分）の濃淡の差（ばらつき）を極力小さくするとともに、表面欠陥と素地との濃淡の差を強調することが可能であり、表面欠陥を精度良く検出することが可能であるとともに、撮像に要する時間を極力短くすることが可能である。
【００１７】
請求項２においては、表面欠陥と素地とを異なる色で表示し、表面欠陥を精度良く検出することが可能であるとともに、欠陥の種類の把握をおこなうことが可能である。
【００１８】
請求項３においては、撮像した画像の素地（対象物の表面において表面欠陥が無い部分）の濃淡の差（ばらつき）を極力小さくし、表面欠陥を精度良く検出することが可能であるとともに、撮像に要する時間を極力短くすることが可能である。
【００１９】
請求項４においては、撮像した画像の素地（対象物の表面において表面欠陥が無い部分）の濃淡の差（ばらつき）を極力小さくし、表面欠陥を精度良く検出することが可能であるとともに、撮像に要する時間を極力短くすることが可能である。
【００２０】
請求項５においては、撮像した画像の素地（対象物の表面において表面欠陥が無い部分）の濃淡の差（ばらつき）を極力小さくするとともに、表面欠陥と素地との濃淡の差を強調することが可能であり、表面欠陥を精度良く検出することが可能であるとともに、撮像に要する時間を極力短くすることが可能である。
【００２１】
請求項６においては、表面欠陥と素地とを異なる色で表示し、表面欠陥を精度良く検出することが可能であるとともに、欠陥の種類の把握をおこなうことが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下では、図１を用いて本出願における表面欠陥検出装置の実施の一形態である表面欠陥検出装置１の全体構成について説明する。
表面欠陥検出装置１は、「対象物」の実施の一形態であるデフキャリア２の表面の「欠陥」を検出する装置である。
ここで、本出願における「対象物」は、表面に欠陥が存在し得るものを広く含むものとし、本実施例のデフキャリア２には限定されない。
また、本出願における「欠陥」とは、対象物の表面を撮像した画像において、該表面の他の部位（素地）に対する濃淡の差（ここで、「濃淡の差」とは、モノクロ画像における明度または輝度の差（画素値の差）に限定されず、カラー画像における色彩の差、あるいは加法混合法の原色であるＲＧＢそれぞれの輝度の差、を含むものとする）により検出し得るものであって、対象物の品質（強度、耐久性、美観等）に影響を及ぼし得るものをいう。
「欠陥」の具体例としては、キズ、凹凸（鋳巣を含む）、異物、介在物、表面の付着物等が挙げられる。
【００２３】
デフキャリア２は鋳鉄（またはアルミニウム合金）を鋳造することにより得られる鋳物の実施の一形態である。
デフキャリア２は、自動車等のデファレンシャルギアを構成する他の部材を収容する部材である。該デファレンシャルギアを構成する他の部材の具体例としては、一対のデファレンシャルピニオンギア、該一対のデファレンシャルピニオンギアを回転可能に軸支するピニオンシャフト、左右の駆動輪に駆動力を伝達する一対のシャフトの先端部に設けられて一対のデファレンシャルピニオンギアと噛合する一対のサイドギヤ、左右の駆動輪に駆動力を伝達する一対のシャフトおよび該ピニオンシャフトを軸支するリングギヤ、駆動源からの駆動力を伝達する駆動シャフトの先端部に設けられて該リングギヤと噛合するドライブピニオンギヤ等が挙げられる。
デフキャリア２は胴体部２ａと、該胴体部２ａの一端に設けられたフランジ部２ｂからなる。
胴体部２ａは略円錐形状の部材である。胴体部２ａには開口部を有する内部空間が形成され、該内部空間には前記デファレンシャルギアを構成する他の部材が収容される。
また、胴体部２ａの表面には補強用リブ等の突起が形成され、駆動力伝達用のシャフトを貫装するための孔が穿設される。
フランジ部２ｂは胴体部２ａの開口部に沿って設けられる。当該フランジ部２ｂの複数箇所には孔が穿設され、ボルト締結により胴体部２ａの開口部を閉塞する蓋（図示せず）が取り付けられる。
デフキャリア２の表面は「ブラスト処理」される。これは、鋳造により形成された鋳物表面の「バリ」等を除去するためである。
ここで、「ブラスト処理」とは、対象物の表面に鉄、砂、ガラス等の粒子を吹き付けることにより、対象物の表面を研削または研磨する（あるいは表面を粗くする）処理を指す。なお、本出願におけるブラスト処理は、乾式（ドライ）ブラスト処理と湿式（ウェット）ブラスト処理の両方が含まれる。
【００２４】
本実施例の表面欠陥検出装置１は主に、筐体１０、支持部１１、ラインセンサ１２、ラインセンサ用ライト１３、エリアセンサ１４、エリアセンサ用ライト１５、制御部１６、表示部１７、操作部１８等で構成される。
【００２５】
筐体１０は、主に内部に対象物（デフキャリア２）を収容する構造部材と、外部の光を遮蔽する遮蔽部材と、からなる。
本実施例における構造部材は略直方体形状に形成されたフレームである。
本実施例における遮蔽部材は前記構造部材に取り付けられる板材や扉等で構成され、対象物表面の欠陥の検出作業中に筐体１０の内部に外部からの光が入らないように遮蔽する。
なお、表面欠陥検出装置１を設置する部屋全体を暗室とすることが可能であれば、筐体を構造部材のみとし、遮蔽部材を省略することが可能である。
【００２６】
支持部１１は、本実施例における対象物であるデフキャリア２を所望の姿勢に支持する（より厳密には、支持するとともに、姿勢を変更可能とする）部材である。
本実施例における支持部１１は主に回転テーブル２０、位置調整エアシリンダ２１、モータ２２、駆動力伝達部２３、エンコーダ２４、モータ制御部２５、エアユニット２６等で構成される。
【００２７】
回転テーブル２０はデフキャリア２が載置される略円盤形状の部材である。
位置調整エアシリンダ２１は空圧式のアクチュエータであり、回転テーブル２０に設けられる。該位置調整エアシリンダ２１を作動させることにより、回転テーブル２０上に載置されたデフキャリア２の位置を変更することが可能である。
なお、回転テーブル２０に載置されたときのデフキャリア２の姿勢は、フランジ部２ｂが下、胴体部２ａが上となる（すなわち、デフキャリア２の開口部が下向きとなる）姿勢である。
モータ２２は回転テーブル２０を回転（旋回）させるための駆動源である。モータ２２は後述するモータ制御部２５と接続されており、該モータ制御部２５から電力の供給を受けるとともに、該モータ制御部２５からの信号に基づいて、所定量（所定角度）および所定速度（所定角速度）の回転を行う。
駆動力伝達部２３はモータ２２が回転テーブル２０を回転させるための駆動力を回転テーブル２０に伝達するものである。駆動力伝達部２３は具体的には駆動シャフト、ベベルギヤ等で構成される。
エンコーダ２４は駆動力伝達部２３の中途部（またはモータ２２）に設けられ、回転テーブル２０の回転量（回転角度）を検出する。エンコーダ２４は制御部１６に接続され、回転テーブル２０の回転量に係る信号を制御部１６に送信する。
モータ制御部２５は、モータ２２に電力を供給するための電源装置やモータ２２に係る動作を制御するための制御基板等で構成される。モータ制御部２５は制御部１６に接続され、制御部１６との間でモータ２２の回転量や回転速度に係る信号の送受信を行う。
エアユニット２６は、エアポンプや該エアポンプに電力を供給するための電源装置等で構成される。エアユニット２６はエア配管により位置調整エアシリンダ２１および後述するラインセンサ移動用エアシリンダ２７に接続され、圧縮空気を供給する。エアユニット２６は制御部１６に接続され、該制御部１６との間でエアユニットの動作に係る信号の送受信を行う。
【００２８】
ラインセンサ１２は受光した光の濃淡または色彩（ＲＧＢの強度）を検知する複数の感光部が一列に並べられた検出手段である。
ラインセンサ１２はラインセンサ移動用エアシリンダ２７に取り付けられ、該ラインセンサ移動用エアシリンダ２７は筐体１０の上下中途部に設けられる。ラインセンサ１２はデフキャリア２の胴体部２ａをその略側方から撮像する。ラインセンサ１２は制御部１６に接続され、デフキャリア２の胴体部２ａに係る画像データを制御部１６に送信する。
このとき、ラインセンサ１２は、ラインセンサ１２の複数の感光部が並んでいる方向（図１中のＸ方向）と、デフキャリア２の胴体部２ａの傾斜方向（図１中のＹ方向）とが略平行となるように配置される。
ラインセンサ移動用エアシリンダ２７は、エアユニット２６から供給される圧縮空気により伸張収縮し、ラインセンサ１２の取り付け位置を上下に変更することにより、回転テーブル２０上に載置されたデフキャリア２とラインセンサ１２との相対的な位置関係（すなわち、ラインセンサ１２が撮像するデフキャリア２の部位）を変更する。
【００２９】
ラインセンサ用ライト１３は、デフキャリア２においてラインセンサ１２が撮像する部位、すなわち胴体部２ａに光を照射するライトである。
なお、ラインセンサ用ライト１３がデフキャリア２に照射する光は可視光、赤外線あるいは紫外線等、対象物に応じて適宜選択することが好ましい。
【００３０】
エリアセンサ１４は受光した光の濃淡または色彩（ＲＧＢの強度）を検知する複数の感光部が二次元的に並べられた検出手段であり、具体例としてはＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ等が挙げられる。エリアセンサ１４は筐体１０の上部に設けられ、デフキャリア２のフランジ部２ｂをその略上方から撮像する。エリアセンサ１４は制御部１６に接続され、デフキャリア２のフランジ部２ｂに係る画像データを制御部１６に送信する。
る。
【００３１】
エリアセンサ用ライト１５は、デフキャリア２においてエリアセンサ１４が撮像する部位、すなわちフランジ部２ｂに光を照射するライトである。
なお、エリアセンサ用ライト１５がデフキャリア２に照射する光は可視光、赤外線あるいは紫外線等、対象物に応じて適宜選択することが好ましい。
【００３２】
なお、本実施例における支持部１１は、対象物たるデフキャリア２を支持するとともに旋回する（すなわち、デフキャリア２の姿勢を変更する）ことが可能な構成であるが、対象物の種類や形状によっては対象物の姿勢を変更せずに固定した状態で撮像してもよい場合がある。このような場合には、支持部１１における対象物の姿勢変更に係る構成部材（例えば、モータ２２や駆動力伝達部２３等）を省略することが可能である。
【００３３】
制御部１６は、ラインセンサ１２が撮像したデフキャリア２の胴体部２ａの表面に係るデータ、および、エリアセンサ１４が撮像したデフキャリア２のフランジ部２ｂの表面に係るデータ、に基づいて種々の処理が施された画像を生成し、該画像に基づいてデフキャリア２の表面の欠陥を検出するものである。制御部１６の具体的な実施形態としては、ＣＰＵやＲＯＭ等を具備する制御基板等が挙げられるが、市販品のパソコン本体を用いて制御部１６を構成することも可能である。
デフキャリア２の表面の欠陥を制御部１６が検出する具体的な方法については後述する。
【００３４】
表示部１７は、制御部１６に接続され、表面欠陥検出装置１の作動状況やデフキャリア２の表面の欠陥の検出結果等を表示するものである。
表示部１７の具体的な実施形態としては市販品の液晶ディスプレイやＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）モニター等が挙げられる。
【００３５】
操作部１８は、制御部１６に接続され、表面欠陥検出装置１の設定を変更したり、対象物たるデフキャリア２に関するデータを制御部１６に入力したりするために作業者が操作するものである。
操作部１８の具体的な実施形態としては市販品のキーボードやマウス等が挙げられる。
【００３６】
なお、本実施例は制御部１６、表示部１７および操作部１８がそれぞれ別体となっているが、例えば、タッチパネルのように表示部１７と操作部１８とが一体となったものを用いても同様の効果を奏する。また、制御部１６、表示部１７、操作部１８の三つが一体となったものを用いても同様の効果を奏する。
また、本出願における「接続（する）」は、電力または圧縮空気を供給することを目的とせず、信号またはデータの送受信を目的とする場合には、有線によるものでも無線によるものでも良い。
【００３７】
以下では、図１、図２および図３を用いて、表面欠陥検出装置１による表面欠陥検出方法の具体例について説明する。
【００３８】
まず、作業者は回転テーブル２０の所定の位置に所定の姿勢でデフキャリア２を載置する。場合によっては、デフキャリア２が回転テーブル２０に対して動かないように係止する。
次に、作業者は筐体１０の遮蔽部材の一つである扉を閉じ、筐体１０の内部に外部から光が入らないようにする。
続いて、作業者は操作部１８を操作して、表面欠陥検出作業を開始する。
表面欠陥検出作業は制御部１６に格納された「表面欠陥検出プログラム」に基づいて行われる。
表面欠陥検出作業は、「撮像作業」、「画像処理作業」、「判定作業」、の三つの作業に大別される。なお、本実施例で取り扱う画像は、説明の便宜上モノクロの８ビットとするが、カラー画像にて行っても良い。
【００３９】
以下では、「撮像作業」の詳細説明を行う。
制御部１６は、まず、デフキャリア２の胴体部２ａの撮像作業を行う。
制御部１６は、ラインセンサ用ライト１３を点灯し、デフキャリア２の胴体部２ａに光を照射する。制御部１６は、回転テーブル２０を所定の回転数（回転速度）で回転させた状態で、ラインセンサ１２に胴体部２ａを撮像させる。こうして、ラインセンサ１２は、該胴体部２ａに係る画像データ（以後、「胴体部画像データ」という。）を取得する（Ｓ１１０）。該胴体部画像データは制御部１６に送信される。
【００４０】
このとき、平面視におけるラインセンサ１２とデフキャリア２との位置関係は、図２の如く、ラインセンサ１２の撮像方向（点線で示す）と、デフキャリア２の回転中心２ｃ（本実施例の場合、デフキャリア２の回転中心２ｃと、回転テーブル２０の回転中心とが略一致している）と、が一直線ではなく、右又は左側方にオフセットした状態である。
これは、デフキャリア２の胴体部２ａには補強用のリブ２ｄ・２ｄ・・・等の凹凸があり、ラインセンサ１２の撮像方向とデフキャリア２の中心線とが一直線となる位置からのみ撮像した場合には、該補強用のリブ２ｄ・２ｄ・・・の側面を撮像することが困難であることによる。
【００４１】
本実施例の場合、ラインセンサ１２は、図２に示す「左撮像位置」（ラインセンサ１２が実線で示される位置）で胴体部２ａを一周させつつ撮像して胴体部２ａの全周分の画像データ（以後、「左側胴体部画像データ」という。）を取得し、続いて図２に示す「右撮像位置」（ラインセンサ１２が二点鎖線で示される位置）で胴体部２ａを一周させつつ撮像して胴体部２ａの全周分の（以後、「右側胴体部画像データ」という。）を取得する。
なお、本実施例ではラインセンサ１２により胴体部２ａを撮像するときに回転テーブル２０を所定の回転数で回転させる構成としたが、（１）回転テーブル２０を所定の回転角だけ回転させ、（２）回転テーブル２０を一時停止し、（３）ラインセンサ１２により胴体部２ａを撮像する、という（１）から（３）までのサイクルを繰り返しても良い。
【００４２】
制御部１６は、胴体部画像データ（本実施例においては、「左側胴体部画像データ」および「右側胴体部画像データ」を合わせたもの）の取得が完了すると、ラインセンサ用ライト１３を消灯する。
【００４３】
続いて、制御部１６は、デフキャリア２のフランジ部２ｂの撮像作業を行う。
制御部１６はエリアセンサ用ライト１５を点灯し、デフキャリア２のフランジ部２ｂに光を照射する。制御部１６は、（１）エリアセンサ１４にフランジ部２ｂを撮像させ、（２）回転テーブル２０を９０度回転後一時停止させる、という（１）から（２）までのサイクルを四回繰り返す。こうして、エリアセンサ１４は、フランジ部２ｂに係る画像データ（以後、「フランジ部画像データ」という。）を取得する（Ｓ１２０）。該フランジ部画像データは、制御部１６に送信される。
制御部１６は、フランジ部画像データの取得が完了すると、エリアセンサ用ライト１５を消灯する。
【００４４】
このとき、図２に示す如く、エリアセンサ１４が撮像可能な領域１４ａは、フランジ部２ｂにおいて、デフキャリア２の回転中心を中心とする略９０度の領域を含んでいる。従って、前記の如く回転テーブル２０を９０度ずつ回転させて撮像することにより、フランジ部２ｂの表面の全領域を画像データとして取得することが可能である。
なお、フランジ部２ｂの表面の全領域を画像データとして取得することが可能であれば、回転テーブル２０の一回の回転角度を他の回転角度（例えば、６０度）としても良い。
【００４５】
本実施例においては先にデフキャリア２の胴体部２ａの撮像を行い、次にデフキャリア２のフランジ部２ｂの撮像を行ったが、この順序は逆にしても良い。また、場合によっては、胴体部２ａの撮像とフランジ部２ｂの撮像とを並行して行うことも可能である。
【００４６】
以下では、「画像処理作業」の詳細説明を行う。
なお、以下の説明では、便宜上、左側胴体部画像データについての画像処理作業と、右側胴体部画像データについての画像処理作業と、を区別せずに、単に「胴体部画像データ」についての画像処理作業として説明する。
これは、左側胴体部画像データについての画像処理作業と、右側胴体部画像データについての画像処理作業とが全く同じ作業であることによる。
【００４７】
制御部１６は、基準となる対象物である「リファレンス」（本実施例では、作業者の目視により表面に欠陥が無いことが確認されているデフキャリア）について、前記の撮像作業と略同様の作業を行い、該作業により取得した「リファレンス」についての胴体部撮像画像（以下、「胴体部リファレンス画像」という。）、および、フランジ部撮像画像（以下、「フランジ部リファレンス画像」という。）を生成する。
制御部１６は、「胴体部リファレンス画像」の各画素の画素値Ｌｒ１（濃淡を数値で表したものであり、８ビットの場合、０（黒）から２５５（白）の整数で表される）の平均値Ａｒ１、および、画素値の標準偏差σｒ１、を算出する。
そして、制御部１６は、
（Ａ）胴体部リファレンス画像と同じ大きさ（画素数）の画像であって、全ての画素の画素値が前記Ａｒ１である画像（以後、「胴体部平均画像」という。）、
（Ｂ）胴体部リファレンス画像と同じ大きさ（画素数）の画像であって、全ての画素の画素値が｛Ａｒ１＋ｎ×σｒ１｝である画像（以後、「胴体部上部標準偏差画像」という。）、
（Ｃ）胴体部リファレンス画像と同じ大きさ（画素数）の画像であって、全ての画素の画素値が｛Ａｒ１−ｎ×σｒ１｝である画像（以後、「胴体部下部標準偏差画像」という。）、
の計三つの画像を生成する。
ここで、ｎは一般的には０＜ｎ≦３の値である。なお、ｎの値は、デフキャリア２を目視により表面欠陥の検出を行った場合と、表面欠陥検出装置１により表面欠陥の検出を行った場合とで検出結果を比較し、目視による結果との整合性が高い範囲に定めることが望ましい。
【００４８】
なお、以後の説明では、「胴体部標準偏差画像」とは、「胴体部上部標準偏差画像」および「胴体部下部標準偏差画像」を含むものとする。
【００４９】
同様に、制御部１６は、「フランジ部リファレンス画像」の各画素の画素値Ｌｒ２（濃淡を数値で表したものであり、８ビットの場合、０（黒）から２５５（白）の整数で表される）の平均値Ａｒ２、および、画素値の標準偏差σｒ２、を算出する。
そして、制御部１６は、
（ａ）胴体部リファレンス画像と同じ大きさ（画素数）の画像であって、全ての画素の画素値が前記Ａｒ２である画像（以後、「フランジ部平均画像」という。）、
（ｂ）胴体部リファレンス画像と同じ大きさ（画素数）の画像であって、全ての画素の画素値が｛Ａｒ２＋ｎ×σｒ２｝である画像（以後、「フランジ部上部標準偏差画像」という。）、
（ｃ）胴体部リファレンス画像と同じ大きさ（画素数）の画像であって、全ての画素の画素値が｛Ａｒ２−ｎ×σｒ２｝である画像（以後、「フランジ部下部標準偏差画像」という。）、
の計三つの画像を生成する。
ここで、ｎは一般的には０＜ｎ≦３の値である。なお、ｎの値は、デフキャリア２を目視により表面欠陥の検出を行った場合と、表面欠陥検出装置１により表面欠陥の検出を行った場合とで検出結果を比較し、目視による結果との整合性が高い範囲に定めることが望ましい。
【００５０】
なお、以後の説明では、「フランジ部標準偏差画像」とは、「フランジ部上部標準偏差画像」および「フランジ部下部標準偏差画像」を含むものとする。
【００５１】
制御部１６は、（１）表面欠陥検出作業前、（２）定期メンテナンス時、（３）ラインセンサ用ライト１３またはエリアセンサ用ライト１５の発光体を交換した時、のいずれかの場合に、上記「胴体部リファレンス画像」、「胴体部平均画像」、「胴体部上部標準偏差画像」、「胴体部下部標準偏差画像」、および、「フランジ部リファレンス画像」、「フランジ部平均画像」、「フランジ部上部標準偏差画像」、「フランジ部下部標準偏差画像」、の生成を行い、これらを記憶する。
【００５２】
以下では、デフキャリア２の胴体部２ａに係る「画像処理作業」について説明する。
【００５３】
制御部１６は、ラインセンサ１２から取得した胴体部画像データに基づいて、「胴体部撮像画像」を生成する（Ｓ２１０）。
なお、「胴体部撮像画像」は、「胴体部リファレンス画像」と同じ大きさ（画素数）とする。
【００５４】
次に、前記「胴体部平均画像」と「胴体部撮像画像」との濃淡の差（画素値の差）に基づいて、「胴体部差画像」を生成する（Ｓ３１０）。
本実施例の場合、制御部１６は、前記「胴体部リファレンス画像」の各画素の画素値（濃淡を数値で表したもの）の平均値Ａｒ１と、「胴体部撮像画像」の各画素の画素値Ｌ１との差（＝Ｌ１−Ａｒ１）を算出する。
また、制御部１６は、「胴体部撮像画像」の各画素の画素値Ｌ１の平均値Ａ１を算出する。
そして、制御部１６は、「胴体部撮像画像」と同じ大きさ（画素数）であって、各画素の画素値が、｛Ａ１＋（Ｌ１−Ａｒ１）｝である画像（「胴体部差画像」）を生成する。
【００５５】
なお、「胴体部差画像」の生成方法は、上記実施例に限定されず、「胴体部平均画像」と「胴体部撮像画像」との濃淡の差に基づいて生成する他の方法でも良い。
「胴体部差画像」の生成方法の別実施例としては、各画素の画素値が、「胴体部撮像画像」の各画素の画素値Ｌ１と平均値Ａ１との差（Ｌ１−Ａ１）と、「胴体部リファレンス画像」の各画素の画素値（濃淡を数値で表したもの）の平均値Ａｒ１との和｛Ａｒ１＋（Ｌ１−Ａ１）｝で表されるものが考えられる。
【００５６】
続いて、制御部１６は「胴体部差画像」を二値化処理する。
ここで、「二値化処理」とは、ある画像の各画素の画素値と、所定の閾値と、を比較し、該閾値に基づいて該画像の画素を二つのグループに分け、該一方のグループに属する画素の画素値と、該他方のグループに属する画素の画素値を、それぞれ異なる所定の画素値に変換する画像処理をいう。
制御部１６は当該二値化処理により「胴体部二値化画像」を生成する（Ｓ４１０）。
【００５７】
本実施例の場合、制御部１６は、「胴体部差画像」を白黒の二色に二値化する。すなわち、制御部１６は、一方のグループに属する画素（表面欠陥に対応する画素）の画素値を全て０（黒）、他方のグループに属する画素（素地に対応する画素）の画素値を全て２５５（白）に変換して「胴体部二値化画像」を生成する。
このとき、「胴体部差画像」を二値化処理するための閾値（第一閾値）として、前記「胴体部上部標準偏差画像」および「胴体部下部標準偏差画像」を用いる。
【００５８】
より具体的には、制御部１６は、「胴体部差画像」と「胴体部上部標準偏差画像」とを比較し、「胴体部差画像」の画素の画素値が、対応する「胴体部上部標準偏差画像」の画素の画素値以上の時（淡い色の時）には、当該画素の画素値を０（黒）に変換する。また、制御部１６は、「胴体部差画像」の画素の画素値が、対応する「胴体部上部標準偏差画像」の画素の画素値よりも小さい時（濃い色の時）には、当該画素の画素値を２５５（白）に変換する。このようにして、制御部１６は、各画素の画素値を「０」および「２５５」の二つの値の何れかに変換して「胴体部上部二値化画像」を生成する。
「胴体部上部二値化画像」を生成することにより、素地よりも淡い色の部分、すなわち、素地から突出した欠陥（凸欠陥）と素地とを判別容易な状態とする。
【００５９】
同様にして、制御部１６は、「胴体部差画像」と「胴体部下部標準偏差画像」とを比較し、「胴体部差画像」の画素の画素値が、対応する「胴体部上部標準偏差画像」の画素の画素値よりも小さい時（濃い色の時）には、当該画素の画素値を０（黒）に変換する。また、制御部１６は、「胴体部差画像」の画素の画素値が、対応する「胴体部下部標準偏差画像」の画素の画素値以上の時（淡い色の時）には、当該画素の画素値を２５５（白）に変換する。このようにして、制御部１６は、各画素の画素値を「０」および「２５５」の二つの値の何れかに変換して「胴体部下部二値化画像」を生成する。
「胴体部下部二値化画像」を生成することにより、素地よりも濃い色の部分、すなわち、素地から窪んだ欠陥（凹欠陥）と素地とを判別容易な状態とする。
【００６０】
なお、本実施例においては、「胴体部二値化画像」として「胴体部下部二値化画像」および「胴体部下部二値化画像」の二つの画像を生成し、胴体部２ａの表面における凸欠陥と凹欠陥とを区別して判別可能としたが、これに限定されない。
例えば、胴体部２ａの表面における凸欠陥と凹欠陥とを区別する必要が無い場合には、「胴体部差画像」を構成する画素の画素値が、「胴体部上部二値化画像」の画素値以上または「胴体部下部二値化画像」の画素値未満の場合には当該画素の画素値を０（黒）に変換し、「胴体部上部二値化画像」の画素値未満または「胴体部下部二値化画像」の画素値以上の場合には当該画素の画素値を２５５（白）に変換することにより生成される画像を「胴体部二値化画像」として用いることが可能である。
【００６１】
以下では、デフキャリア２のフランジ部２ｂに係る「画像処理作業」について説明する。
【００６２】
制御部１６は、エリアセンサ１４から取得したフランジ部画像データに基づいて、「フランジ部撮像画像」を生成する（Ｓ２２０）。
なお、「フランジ部撮像画像」は、「フランジ部リファレンス画像」と同じ大きさ（画素数）とする。
【００６３】
次に、前記「フランジ部平均画像」と「フランジ部撮像画像」との濃淡の差（画素値の差）に基づいて、「フランジ部差画像」を生成する（Ｓ３２０）。
本実施例の場合、制御部１６は、前記「フランジ部リファレンス画像」の各画素の画素値の平均値Ａｒ２と、「フランジ部撮像画像」の各画素の画素値Ｌ２との差（＝Ｌ２−Ａｒ２）を算出する。
また、制御部１６は、「フランジ部撮像画像」の各画素の画素値Ｌ２の平均値Ａ２を算出する。
そして、制御部１６は、「フランジ部撮像画像」と同じ大きさ（画素数）であって、各画素の画素値が、｛Ａ２＋（Ｌ２−Ａｒ２）｝である画像（「フランジ部差画像」）を生成する。
【００６４】
なお、「フランジ部差画像」の生成方法は、上記実施例に限定されず、「フランジ部平均画像」と「フランジ部撮像画像」との濃淡の差に基づいて生成する他の方法でも良い。
「フランジ部差画像」の生成方法の別実施例としては、各画素の画素値が、「フランジ部撮像画像」の各画素の画素値Ｌ２と平均値Ａ２との差（Ｌ２−Ａ２）と、「フランジ部リファレンス画像」の各画素の画素値（濃淡を数値で表したもの）の平均値Ａｒ２との和｛Ａｒ２＋（Ｌ２−Ａ２）｝で表されるものが考えられる。
【００６５】
続いて、制御部１６は「フランジ部差画像」を二値化処理する。
制御部１６は当該二値化処理により「フランジ部二値化画像」を生成する（Ｓ４２０）。
【００６６】
本実施例の場合、制御部１６は、「フランジ部差画像」を白黒の二色に二値化する。すなわち、制御部１６は、一方のグループに属する画素（表面欠陥に対応する画素）の画素値を０（黒）、他方のグループに属する画素（素地に対応する画素）の画素値を２５５（白）に変換して「フランジ部二値化画像」を生成する。
このとき、「フランジ部差画像」を二値化処理するための閾値（第二閾値）として、前記「フランジ部上部標準偏差画像」および「フランジ部下部標準偏差画像」を用いる。
【００６７】
より具体的には、制御部１６は、「フランジ部差画像」と「フランジ部上部標準偏差画像」とを比較し、「フランジ部差画像」の画素の画素値が、対応する「フランジ部上部標準偏差画像」の画素の画素値以上の時（淡い色の時）には、当該画素の画素値を０（黒）に変換する。また、制御部１６は、「フランジ部差画像」の画素の画素値が、対応する「フランジ部上部標準偏差画像」の画素の画素値よりも小さい時（濃い色の時）には、当該画素の画素値を２５５（白）に変換する。このようにして、制御部１６は、「フランジ部上部二値化画像」を生成する。
「フランジ部上部二値化画像」を生成することにより、素地よりも淡い色の部分、すなわち、素地から突出した欠陥（凸欠陥）と素地とを判別容易な状態とする。
【００６８】
同様にして、制御部１６は、「フランジ部差画像」と「フランジ部下部標準偏差画像」とを比較し、「フランジ部差画像」の画素の画素値が、対応する「フランジ部上部標準偏差画像」の画素の画素値よりも小さい時（濃い色の時）には、当該画素の画素値を０（黒）に変換する。また、制御部１６は、「フランジ部差画像」の画素の画素値が、対応する「フランジ部下部標準偏差画像」の画素の画素値以上の時（淡い色の時）には、当該画素の画素値を２５５（白）に変換する。このようにして、制御部１６は、「フランジ部下部二値化画像」を生成する。
「フランジ部下部二値化画像」を生成することにより、素地よりも濃い色の部分、すなわち、素地から窪んだ欠陥（凹欠陥）と素地とを判別容易な状態とする。
【００６９】
なお、本実施例においては、「フランジ部二値化画像」として「フランジ部下部二値化画像」および「フランジ部下部二値化画像」の二つの画像を生成し、フランジ部２ｂの表面における凸欠陥と凹欠陥とを区別して判別可能としたが、これに限定されない。
例えば、フランジ部２ｂの表面における凸欠陥と凹欠陥とを区別する必要が無い場合には、「フランジ部差画像」を構成する画素の画素値が、「フランジ部上部二値化画像」の画素値以上または「フランジ部下部二値化画像」の画素値未満の場合には当該画素の画素値を０（黒）に変換し、「フランジ部上部二値化画像」の画素値未満または「フランジ部下部二値化画像」の画素値以上の場合には当該画素の画素値を２５５（白）に変換することにより生成される画像を「フランジ部二値化画像」として用いることが可能である。
【００７０】
以下では、デフキャリア２の「判定作業」について説明する。
本実施例では、「胴体部二値化画像」と、「フランジ部二値化画像」と、に基づいて、デフキャリア２の表面欠陥の有無を判定する（Ｓ５００）。
より具体的には、「胴体部二値化画像」および「フランジ部二値化画像」において画素値が２５５（黒）となっている画素が所定数（面積）以上密集している部分を表面欠陥と判定し、その個数や分布等から総合的に判断する。例えば、「胴体部二値化画像」および「フランジ部二値化画像」に基づいて検出したデフキャリア２の表面欠陥が所定の個数以上である場合には、当該デフキャリア２を不良品と判定する。
【００７１】
なお、本実施例においては、制御部１６が生成する「胴体部撮像画像」および「フランジ部撮像画像」には「マスク処理」が施されている。本実施例における「マスク処理」とは、画像領域において対象物以外の部分に対応する画素の画素値を予め所定の画素値（例えば、８ビットの場合０（黒）等）に変換することを指す。したがって、該「胴体部撮像画像」および「フランジ部撮像画像」に基づいて生成される他の画像は「マスク処理」が予め施されていることになる。
また、本実施例においては、「マスク処理」によって画素値が変換された画素については平均値（Ａ１、Ａｒ１、Ａ２、Ａｒ２）や標準偏差（σｒ１、σｒ２）等の算出の対象から除外されている。
このように構成することにより、胴体部撮像画像およびフランジ部撮像画像に対象物以外のものが撮像されていても、該平均値や標準偏差の算出には影響を及ぼすことがない。従って、表面欠陥を精度良く検出することが可能である。
【００７２】
以上の如く、本実施例の表面欠陥検出装置１は、
対象物たるデフキャリア２の胴体部２ａの表面を撮像するラインセンサ１２と、
フランジ部２ｂの表面を撮像するエリアセンサ１４と、
胴体部２ａの表面を該ラインセンサ１２により撮像して生成した第一撮像画像（胴体部撮像画像）と、フランジ部２ｂの表面を該エリアセンサ１４により撮像して生成した第二撮像画像（フランジ部撮像画像）と、に基づいて対象物の表面の欠陥を検出する制御部１６と、を具備する。
【００７３】
このように構成することは、以下の如き効果を奏する。
通常、同じ面積の対象物の表面を撮像する場合には、ラインセンサを用いるよりもエリアセンサを用いた方が撮像に要する時間は短いが、本実施例に係る対象物であるデフキャリア２の如く、表面欠陥検出の対象となる表面が平面（フランジ部２ｂ）だけでなく曲面（胴体部２ａ）を含む場合、当該曲面をエリアセンサにより撮像すると、撮像領域内における素地の濃淡の差（ばらつき）が部位により大きく変化する。そのため、表面欠陥と素地との濃淡の差が相対的に小さくなり、素地と欠陥（例えば鋳巣）とを精度良く判別する（表面の欠陥を検出する）ことが困難である。
本実施例の表面欠陥検出装置１は、デフキャリア２の表面のうち、略平面形状のフランジ部２ｂについてはエリアセンサ１４にて撮像し、略円錐形状の胴体部２ａについてはラインセンサ１２にて撮像することにより、撮像した画像の素地の濃淡の差（ばらつき）を極力小さくし、表面欠陥を精度良く検出することが可能であるとともに、撮像に要する時間を極力短くすることが可能である。
【００７４】
なお、図４（ａ）に示す如く、対象物１００が略円筒形状の場合、ラインセンサ１２の感光部の並んでいる方向と、対象物１００の中心軸１００ａと、が略並行となるように配置することにより、撮像した画像の素地の濃淡の差（ばらつき）を極力小さくすることが可能である。
また、図４（ｂ）に示す如く、対象物２００が略円錐形状の場合、ラインセンサ１２の感光部の並んでいる方向と、対象物２００の頂部２００ａと底面の周縁部２００ｂとを結ぶ線２００ｃと、が略並行となるように配置することにより、撮像した画像の素地の濃淡の差（ばらつき）を極力小さくすることが可能である。
【００７５】
特に、本実施例の表面欠陥検知装置１は、略円錐形状の胴体部２ａと、該胴体部２ａの一端に形成された略平面形状のフランジ部２ｂとからなり、かつ、表面がブラスト処理されているデフキャリア２を対象物とする場合に、表面欠陥を精度良く検出することが可能であるとともに、撮像に要する時間を極力短くする効果が高い。
また、デフキャリア２は重量物であるため、表面欠陥検出装置１を用いることにより作業者の負担軽減（省力化）に寄与する。
【００７６】
また、本実施例の表面欠陥検出装置１の制御部１６は、基準となる対象物であるリファレンス（本実施例では、作業者の目視により表面に欠陥が無いことが確認されているデフキャリア）の表面をラインセンサ１２により撮像して第一リファレンス画像（胴体部リファレンス画像）を生成するとともに、該リファレンスの表面をエリアセンサ１４により撮像して第二リファレンス画像（フランジ部リファレンス画像）を生成し、
該第一リファレンス画像（胴体部リファレンス画像）の濃淡の平均値に基づいて生成された第一平均画像（胴体部平均画像）と、前記第一平均画像（胴体部平均画像）と、の濃淡の差に基づいて生成される第一差画像（胴体部差画像）と、
該第二リファレンス画像（フランジ部リファレンス画像）の濃淡の平均値に基づいて生成された第二平均画像（フランジ部平均画像）と、前記第二撮像画像（フランジ部撮像画像）と、の濃淡の差に基づいて生成される第二差画像（フランジ部差画像）と、に基づいてデフキャリア２の表面の欠陥を検出する。
このように構成することにより、表面欠陥と素地との濃淡の差を強調することが可能であり、表面欠陥を精度良く検出することが可能である。
【００７７】
また、本実施例の表面欠陥検出装置１の制御部１６は、第一差画像（胴体部差画像）および前記第二差画像（フランジ部差画像）を二値化処理する。
このように構成することにより、表面欠陥と素地とを異なる色で表示し、表面欠陥を精度良く検出することが可能である。
【００７８】
また、本実施例の表面欠陥検出装置１の制御部１６は、第一差画像（胴体部差画像）を二値化処理するための第一閾値を、前記第一リファレンス画像（胴体部リファレンス画像）の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第一標準偏差画像（胴体部標準偏差画像）に基づいて定め、
前記第二差画像（フランジ部差画像）を二値化処理するための第二閾値を、前記第二リファレンス画像（フランジ部リファレンス画像）の濃淡の平均値および濃淡の標準偏差に基づいて生成された第二標準偏差画像（フランジ部標準偏差画像）に基づいて定める。
このように構成することにより、表面欠陥を精度良く検出することが可能である。
【００７９】
また、本実施例の表面欠陥検出装置１の制御部１６は、前記第一差画像（胴体部差画像）を二値化処理して生成した第一二値化画像（胴体部二値化画像）と、前記第二差画像（フランジ部差画像）を二値化処理して生成した第二二値化画像（フランジ部二値化画像）と、に基づいて対象物の表面の欠陥の凹凸を判定する。
このように構成することにより、欠陥の検出、および欠陥の種類の把握をおこなうことが可能である。
【００８０】
また、本実施例の表面欠陥検出装置１の制御部１６は、前記第一撮像画像（胴体部撮像画像）および前記第二撮像画像（フランジ部撮像画像）にマスク処理を施す。
このように構成することにより、第一撮像画像（胴体部撮像画像）および前記第二撮像画像（フランジ部撮像画像）に対象物以外のものが含まれていても表面欠陥を精度良く検出することが可能である。
【００８１】
また、表面欠陥検出装置１は、対象物たるデフキャリア２を所望の姿勢に支持する（より厳密には、支持するとともに、姿勢を変更可能とする）支持部１１を具備する。本実施例の場合、支持部１１はデフキャリア２が載置される回転テーブル２０を具備し、該回転テーブル２０はモータ２２により回転する。また、位置調整エアシリンダ２１が回転テーブル２０に設けられ、回転テーブル２０上に載置されたデフキャリア２の位置を変更することが可能である。
このように構成することにより、対象物の姿勢を容易に変更して表面欠陥の検出を行うことが可能であり、省力化が可能であるとともに作業性に優れる。
【００８２】
また、本実施例の表面欠陥検出装置１は、ラインセンサ１２またはエリアセンサ１４の少なくとも一方が撮像するデフキャリア２の表面に光を照射する少なくとも一つの照明（本実施例の場合、ラインセンサ用ライト１３およびエリアセンサ用ライト１５がこれに相当する）を具備する。
このように構成することにより、表面欠陥を精度良く検出することが可能である。
【００８３】
また、表面欠陥検出装置１は、ラインセンサ１２およびエリアセンサ１４の少なくとも一つは、デフキャリア２に対して相対移動可能、または、撮像方向を変更可能である（本実施例の場合、ラインセンサ１２がラインセンサ移動用エアシリンダ２７によりデフキャリア２に対して相対移動し、撮像位置を変更可能である）。
このように構成することにより、対象物（デフキャリア２）の形状に応じて適切な（素地の濃淡のばらつきを極力抑えることが可能な）位置または姿勢で対象物表面の撮像を行うことが可能であり、表面欠陥を精度良く検出することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】表面欠陥検出装置の全体構成を示す模式図。
【図２】対象物、ラインセンサ、およびエリアセンサの位置関係を示す模式図。
【図３】表面欠陥検出作業のフローを示す図。
【図４】対象物の形状とラインセンサの姿勢との関係を示す模式図。
【符号の説明】
【００８５】
１    表面欠陥検出装置
２    デフキャリア（対象物）
１２  ラインセンサ
１４  エリアセンサ
【図１】
2006017668.tif 000003
【図２】
2006017668.tif 000004
【図３】
2006017668.tif 000005
【図４】
2006017668.tif 000006