(57)【要約】【課題】金属製，樹脂製いずれのスタンパでも使用できる実用性に優れた光ディスクの製造装置を提供する。【解決手段】テーブルＴ7に吸着固定保持されてＵＶ硬化樹脂36を塗布したスタンパ18に対し、センターピン11を下降し基板29をスタンパ18に貼り合わせ、ＵＶ照射により樹脂36を硬化させて、基板29表面にスタンパ18の情報記録面を転写した記録樹脂層を形成する転写工程と、センターピン11の上昇と空気放出孔24からの空気放出で、記録樹脂層一体化基板29をスタンパ18から剥離する剥離工程とを備えた光ディスクの製造装置で、テーブルＴのスタンパ載置面をセラミックス製の吸着プレート174で構成し、テーブルＴ内の吸着プレート下面側に負圧室176を画成した。テーブルＴ(吸着プレート174)上面に発生する負圧吸引力がスタンパ載置面全体に均一化され、薄厚の樹脂スタンパであっても吸着保持により情報記録面が変形せず、スタンパ18の情報記録面を樹脂層41に正確に転写できる。【選択図】  図２
2006244636.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センターピンで支持された光透過性基板と、上記センターピンを中心にして設定されるスタンパとの間に、このスタンパの記録面が転写された記録樹脂層が設定されるようにした光情報記録媒体を製造する装置において、
上記センターピンを中心軸部として設定され、その上面にスタンパの内径部に当てられるガイドリングを設定し、その表面に発生する負圧吸引力でスタンパを保持するように構成したテーブルと、
上記テーブルのスタンパ載置面に設けられた複数の負圧吸引孔と、
上記テーブルの中心部で、上記センターピンの外周部に近接する位置に形成された空気放出孔と、
上記センターピンを昇降動作させる手段とを具備し、
テーブルに吸着固定保持されて紫外線硬化性樹脂が塗布されたスタンパに対し、センターピンを下降して光透過性基板をスタンパに貼り合わせるとともに、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させることで、光透過性基板の表面にスタンパの情報記録面を転写した記録樹脂層を形成する転写工程と、
センターピンを微少量上昇させるとともに、上記空気放出孔から空気を放出することで、光透過性基板に一体の記録樹脂層とテーブルに吸着されたスタンパとの間に空気層を形成して、記録樹脂層を一体化した光透過性基板をスタンパから剥離する剥離工程とを備えた光情報記録媒体の製造装置であって、
上記テーブルのスタンパ載置面が、上記スタンパに略対応した円板状で通気性多孔質材からなる吸着プレートで構成されるとともに、上記テーブル内の吸着プレート下面側に円板状の負圧室が画成されたことを特徴とする光情報記録媒体の製造装置。
【請求項２】
前記テーブルの下方には、負圧発生手段に連通する円環状の負圧室が設けられて前記センターピンを中心にしてテーブル下面に摺接する円環状のバキュームプレートが配置され、該テーブル底面壁の周方向略等分複数個所にバキュームプレート側の負圧室と前記テーブル側の負圧室とを連通させる連通孔が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばオーディオ用、ビデオ用、さらには情報機器用のデータ記録用等に用いられる光情報記録媒体の製造装置に係り、特に特許第２５０９９７８号、特許第２５０９９７９号の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の光情報記録媒体の一種である光ディスクは、例えば下記特許文献に示されるように、データが記録されたマスターとなるスタンパをテーブル上に載置固定し、紫外線によって硬化される性質を有する樹脂（以下、紫外線硬化性樹脂という）を塗布したスタンパにディスク基板を貼り合わせ、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させることで、ディスク基板に一体化された樹脂層の表面にスタンパの情報記録面（記録データ）を転写した後、記録樹脂層を一体化したディスク基板をスタンパから剥離することで、製造される。
【０００３】
【特許文献１】特許第２５０９９７８号、特許第２５０９９７９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記特許文献に示す装置では、磁石を含み構成したテーブルに磁性体材料で構成したスタンパを磁気吸引力で固定保持するように構成されており、磁性体材料で構成したスタンパしか使用できないという問題がある。即ち、スタンパには、金属（磁性体材料）で構成したもの以外に、樹脂で構成したものも存在するが、上記特許文献に示す装置では、磁性体材料で構成したスタンパしか使用できず（樹脂で構成したスタンパを使用できず）、それだけ汎用性に欠けるという問題がある。
【０００５】
また、樹脂で構成したスタンパを使用したい場合は、スタンパを接着剤でテーブルに接着固定することも考えられるが、消耗品であるスタンパを交換する作業が非常に面倒で、実用性に欠ける。
【０００６】
そこで、発明者は、テーブル上面に設けた複数の吸引ポートを介して負圧を発生させてスタンパをテーブルに吸着保持すれば、スタンパの素材（金属、樹脂）に拘わらずスタンパをテーブルに固定保持できると考えた。しかし、テーブル上面における吸引ポート付近とそれ以外の位置での負圧吸引力に格差がある（吸引ポート付近の負圧吸引力が大きい）ため、吸着保持した薄厚の樹脂製スタンパ（の情報記録面）が変形して、樹脂層に情報記録面を正確に転写できなかった。
【０００７】
そこで発明者は、スタンパに負圧を作用させるテーブルの表面をセラミックスやカーボンといった通気性多孔質材プレートで構成し、通気性多孔質材プレートを介して負圧を発生させれば、スタンパ載置面における負圧の格差がなくなると考えて試作したところ、薄厚の樹脂製スタンパであっても、吸着保持の際に前記したような情報記録面の変形が起こらず、樹脂層に情報記録面を正確に転写できることが確認されたので、本発明を提案するに至ったものである。
【０００８】
この発明は上記のような問題点および発明者の知見に基づいてなされたもので、金属製、樹脂製のいずれのスタンパでも使用できる実用性に優れた光情報記録媒体の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明に係る光情報記録媒体の製造装置においては、センターピンで支持された光透過性基板と、上記センターピンを中心にして設定されるスタンパとの間に、このスタンパの記録面が転写された記録樹脂層が設定されるようにした光情報記録媒体を製造する装置において、
上記センターピンを中心軸部として設定され、その上面にスタンパの内径部に当てられるガイドリングを設定し、その表面に発生する負圧吸引力でスタンパを保持するように構成したテーブルと、
上記テーブルのスタンパ載置面に設けられた複数の負圧吸引孔と、
上記テーブルの中心部で、上記センターピンの外周部に近接する位置に形成された空気放出孔と、
上記センターピンを昇降動作させる手段とを具備し、
テーブルに吸着固定保持されて紫外線硬化性樹脂が塗布されたスタンパに対し、センターピンを下降して光透過性基板をスタンパに貼り合わせるとともに、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させることで、光透過性基板の表面にスタンパの情報記録面を転写した記録樹脂層を形成する転写工程と、
センターピンを微少量上昇させるとともに、上記空気放出孔から空気を放出することで、光透過性基板に一体の記録樹脂層とテーブルに吸着されたスタンパとの間に空気層を形成して、記録樹脂層を一体化した光透過性基板をスタンパから剥離する剥離工程とを備えた光情報記録媒体の製造装置であって、
上記テーブルのスタンパ載置面を、上記スタンパに略対応した円板状で通気性多孔質材からなる吸着プレートで構成するとともに、上記テーブル内の吸着プレート下面側に円板状の負圧室を画成するように構成した。
【００１０】
（作用）テーブルに吸着固定保持されて紫外線硬化性樹脂が塗布されたスタンパに対し、センターピンを下降して光透過性基板をスタンパに貼り合わせるとともに、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させる転写工程により、光透過性基板の表面にスタンパの情報記録面を転写した記録樹脂層が形成される。
【００１１】
特に、スタンパを吸着保持する吸着プレートが通気性多孔質材で構成されているため、テーブル（の吸着プレート）上面に発生する負圧吸引力がスタンパ載置面全体に均一化されて（スタンパ載置面に発生する負圧吸引力の格差がなくなって）、薄厚の樹脂製スタンパであっても吸着保持により情報記録面が変形せず、スタンパの情報記録面を樹脂層に正確に転写できる。
【００１２】
そして、光透過性基板とスタンパとの間に硬化された記録樹脂層が形成された状態で、センターピンを微小量上昇させて光透過性基板の中央部がスタンパ面から微小量離れ間隙を形成し、テーブル中央部からその間隙部に空気が送り込まれ、中央部から樹脂層を順次剥離するようになる。したがって、樹脂層に剥離する力を作用させることなく基板と一体にした樹脂層がスタンパから剥離され、信頼性の高い状態で光ディスクが製造されるようになる。この場合、簡単なセンターピンの上下動作およびセンター部からの空気放出制御で上記剥離動作が実行されるものであり、容易に自動化が行える。
【００１３】
また、スタンパは負圧吸引力によってテーブルに保持され、ガイドリングによってその位置が設定され固定されるようになるものであり、装置稼動時のスタンパは強固にテーブルに保持設定されているが、テーブル内の負圧室における負圧を解除すれば、テーブルのスタンパ載置面（吸着プレート）表面における負圧吸引力がなくなるので、スタンパを簡単に取り外すことができる、即ち、スタンパを簡単に交換することができる。
【００１４】
また、請求項２においては、請求項１に記載の光情報記録媒体の製造装置において、前記テーブルの下方に、負圧発生手段に連通する円環状の負圧室が設けられて前記センターピンを中心にしてテーブル下面に摺接する円環状のバキュームプレートを配置し、該テーブル底面壁の周方向略等分複数個所にバキュームプレート側の負圧室と前記テーブル側の負圧室とを連通させる連通孔を設けるように構成した。
【００１５】
（作用）テーブルをバキュームプレートに対し回転することで、紫外線硬化性樹脂がスタンパ上にリング状に塗布されるが、バキュームプレート側の負圧室とテーブル側の負圧室との連通がテーブル底面壁の連通孔を介し確保されて、スタンパの吸着固定保持状態が維持される。
【００１６】
また、テーブル底面壁に設けたバキュームプレート側の負圧室とテーブル側の負圧室とを連通させる連通孔は、周方向略等分複数個所に設けられて、吸着プレートが臨む負圧室に発生する負圧の周方向の格差が平滑化されて、通気性多孔質材で構成した吸着プレートの表面に発生する負圧吸引力がスタンパ載置面全体に一層均一化されて、薄厚の樹脂製スタンパであっても吸着保持により情報記録面がより変形せず、スタンパの情報記録面を樹脂層により正確に転写できる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のようにこの発明に係る光情報記録媒体の製造装置によれば、テーブルに吸着固定保持され紫外線硬化性樹脂が塗布されたスタンパに対し、センターピンで支持した基板をセンターピンとともに下降させてスタンパに貼り合わせ、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させることで、基板の表面にスタンパの記録データを転写した樹脂層を形成する転写工程の際に、たとえ薄厚の樹脂製スタンパであっても情報記録面が変形せず、スタンパの情報記録面を樹脂層に正確に転写できるし、スタンパの交換も簡単にできるので、金属製，樹脂製のいずれのスタンパでも使用できる実用性に優れた光情報記録媒体の製造装置が提供される。
【００１８】
請求項２によれば、テーブルに吸着固定保持され紫外線硬化性樹脂が塗布されたスタンパに対し、センターピンで支持した基板をセンターピンとともに下降させてスタンパに貼り合わせ、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させることで、基板の表面にスタンパの記録データを転写した樹脂層を形成する転写工程の際に、たとえ薄厚の樹脂製スタンパであっても情報記録面がより変形せず、スタンパの情報記録面を樹脂層により正確に転写できるし、スタンパの交換も簡単にできるので、金属製，樹脂製のいずれのスタンパでも使用できる実用性に一層優れた光情報記録媒体の製造装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する
【００２０】
図１〜１１は、本発明の一実施例に係る光情報記録媒体の製造装置を示すもので、図１は光ディスク製造装置の断面構成図、図２は同装置のテーブル周辺を拡大して示す断面図、図２（ａ）はスタンパに形成されたグルーブの最外周見切線を撮影するＣＣＤカメラとその映像を映し出すディスプレイ装置のモニタ画面の概要全体を示す図、図３は同装置の特にセンターピンを制御する制御回路における処理の流れを説明する図、図４はディスク基板搬入工程の説明図、図５は基板貼り合わせ工程のセンターピン下降開始時の説明図、図６は基板貼り合わせ工程の基板・紫外線硬化性樹脂接触時の説明図、図７は基板貼り合わせ工程の基板押圧開始時の説明図、図８は基板貼り合わせ工程の基板押圧終了時の説明図、図９は基板貼り合わせ工程の紫外線照射時の説明図、図１０は光ディスク剥離工程説明図、図１１は光ディスク搬送工程説明図である。
【００２１】
図１,２において、この製造装置にあっては、動作の中心となるセンターピン11を備える。このセンターピン11は、円筒状に構成され垂直の状態で設定される回転テーブルＴの軸部である支持部材13の中空部内に軸方向移動自在に設定されるもので、回転テーブルＴの軸部である支持部材13は、ベアリング機構14により基台10に垂直状態にして回転自在に支持されるようになる。符号13aは、回転テーブルＴの軸部である支持部材13とセンターピン11間に介装されたＯリングである。
【００２２】
上記支持部材13は、一体的に歯車131を備えて選択的に回転制御されるもので、支持部材13の上方には平面に広がるようにして受け台16が形成される。この受け台16には、円板状のテーブル本体17が載置設定されるもので、このテーブル本体17上に金属製または樹脂製のスタンパ18を負圧吸引力によって吸着固定保持できるようになっている。
【００２３】
円板状のテーブル本体17は、上面側にプレート収容凹部172が開口する円板状のプレートケース170と、プレートケース170のプレート収容凹部172に収容されて接着剤で固定された円板状の吸着プレート174で構成されている。符号172a,172bは、プレート収容凹部172の内外周側に形成された、吸着プレート174の担持面として機能する円環状の段差部で、プレート収容凹部172における段差部172a,172bで囲まれた領域と吸着プレート174とによって、吸着プレート174に対応する円板状の負圧室176が画成されている。
【００２４】
スタンパ載置面を構成する吸着プレート174は、通気性のある多孔質のセラミックスで構成されるとともに、吸着プレート174下面が負圧室176に臨むことから、多孔質のセラミックスで構成された吸着プレート174の上面全体に均一な負圧力が発生し、吸着プレート174に載置されたスタンパ18が吸着プレート174上面に発生する負圧吸引力によって吸着固定保持される。
【００２５】
なお、スタンパ18には、中心部に丸いガイド用の孔が形成されるもので、その上面にはグループや情報ビット等を記録する凹凸が形成されている。そして、テーブル本体17（プレートケース170）と一体的に形成されるガイドリング19によって、スタンパ18のテーブル本体17上の位置が固定設定される。即ち、ガイドリング19は、プレートケース170内径側にねじ固定されて、センターピン11の中心軸と同軸に配置されており、ガイドリング19の外周にスタンパ18の内径部（ガイド用の孔）が係合することで、スタンパ18のグルーブがセンターピン11の中心軸に対し位置決めされている。
【００２６】
また、円筒型の軸受けケース15の外側には、その上面側に円環状に開口する負圧室182が設けられた円環状のバキュームプレート180が軸方向移動可能に組み付けられるとともに、バキュームプレート180と軸受けケース15下端フランジ部間の周方向等分複数箇所に介装された圧縮コイルスプリング184によって、バキュームプレート180の上面側が受け台16の底面に摺接するように配置されている。バキュームプレート180の負圧室182には、バキュームプレート180に設けた電磁弁186を介して負圧発生手段である真空源（真空ポンプ）Ｐの負圧が作用するように構成されており、プレートケース170および受け台16には、軸方向に延びる通路187(円孔187a,187b)が周方向等分複数箇所に設けられて、相対摺動するテーブル側の負圧室176とバキュームプレート180側の負圧室182間における連通が確保されている。符号188は、通路187を構成する円孔187a,187b間の機密性を確保するためのＯリングである。
【００２７】
テーブル本体17（プレートケース170）の外形は、受け台16のテーブル収容部の内形よりも僅かに小さく形成されて、テーブル本体17を受け台16のテーブル収容部内で水平方向および垂直方向に僅かに移動できるように構成されているが、受け台16の上面外周縁には、ねじ177aにより受け台16に固定された環状のプレートケース押さえ177が設けられて、受け台16からのプレートケース押さえ177の脱落が防止されるとともに、受け台16とプレートケース押さえ177間にＯリング178が介装されて、プレートケース170が受け台16に対し軸方向および周方向にがたつくことなく弾性的に支持されている。
【００２８】
また、受け台16の外周等分３箇所には、テーブル本体17の上面をセンターピン11の中心軸に直交する水平面となるように調整するレバー式平面度調整機構190が設けられている。即ち、受け台16の外周下面側には、放射状に延在してピン191回りに揺動するレバー192が設けられ、レバー192の一端部は、受け台16の底面壁に設けられた孔193を貫通してプレートケース170の底面を担持するロッド194の下端部を担持するとともに、レバー192の他端部は、受け台16の外周に設けられた軸方向に延びる調整ねじ195の下端部に当接するように構成されている。そして、各レバー式平面度調整機構190における調整ねじ195を回動することで、受け台16に対しプレートケース170（吸着プレート174）の表面（スタンパ載置面）を傾動させて、センターピン11の中心軸に直交する水平面として設定できる。
【００２９】
具体的には、ディスク基板29は、センターピン11先端部の弁部材12によって水平に担持された形態でセンターピン11と一体に下降して下方のスタンパ18に貼り合わせられるが、このディスク基板29とスタンパ18とを平行状態を保持して貼り合わせができるように、装置の連続運転開始前に、スタンパ18をプレートケース170（吸着プレート174）に載置固定後、平面度調整機構190（の調整ねじ195）を使って、プレートケース170（吸着プレート174）の表面（スタンパ載置面）の傾斜を調整(下降するディスク基板29に対しスタンパ18が平行状態で接触するように調整)するようになっている。
【００３０】
また、レバー式平面度調整機構190と干渉しない受け台16の外周等分３箇所には、受け台16の外周壁を放射状に貫通する貫通孔202が設けられ、それぞれの貫通孔202には、マイクロメータヘッド200と、マイクロメータヘッド200の摘み201の回動に連係して進退する摺動ロッド204とが組み付けられており、マイクロメータヘッド200（の摘み201の回動）により、受け台16に対しプレートケース170の周方向位置を調整できる。即ち、吸着プレート174に載置固定されたスタンパ18におけるグルーブの中心とセンターピン11の中心（回転テーブルＴの回転中心）とが正確に一致していない場合が多いので、スタンパ18を吸着プレート174に載置固定した後、基板の自動貼り合わせ工程の運転開始前に、マイクロメータヘッド200（の摘み201の回動）により、吸着プレート170に載置固定されたスタンパ18におけるグルーブの中心とセンターピン11の中心（回転テーブルＴの回転中心）とが一致するように、受け台16内においてプレートケース170の周方向位置を調整する。
【００３１】
具体的には、図２（ａ）に示すように、回転テーブルＴの上方には、吸着プレート174に載置固定されたスタンパ18の外周縁の一部を撮像するＣＣＤカメラ40が配置され、このＣＣＤカメラ40は、後述するチャンバ32や基板搬送機構40等の動作の邪魔にならない所定位置まで移動可能に構成されている。回転テーブルＴの上方所定位置に配置されたＣＣＤカメラ40が撮像した映像（スタンパ18の表面に形成されているグルーブの最外周見切線18aの映像）は、ディスプレイ装置42における直交座標と目盛線が設けられたモニタ画面44に映し出される。図２（ａ）に図示されているモニタ画面44上には、斜線で示されるグルーブ形成領域の最外周見切線18aが直交座標のゼロ点近傍に映し出されている。そして、吸着プレート174に載置固定されたスタンパ18におけるグルーブの中心とセンターピン11の中心（回転テーブルＴの回転中心）とがずれていると、回転テーブルＴを回転させたときに、モニタ画面44に表示されるグルーブの最外周見切線18a位置が一定しない（矢印Ｃ方向にふらつく形態となり）、一方、両中心が一致している場合は、モニタ画面44に表示されるグルーブの最外周見切線18a位置がふらつかない形態となる。そこで、作業者は、回転テーブルＴを例えば１２０度毎に間欠的に回転させつつモニタ画面44を見て、画面44に表示されるグルーブの最外周見切線18a位置のふらつきがなくなるように、マイクロメータヘッド200（の摘み201の回動）により、受け台16に対するテーブル本体17（プレートケース170）の水平位置を調整する、即ち、スタンパ18におけるグルーブの中心とセンターピン11の中心（回転テーブルＴの回転中心）とを一致させる。
【００３２】
ガイドリング19の内周面側には、センターピン11の先端部外周に固定された環状の弁部材12が設けられて、ガイドリング19と弁部材12間にリング状の負圧発生用または加圧空気噴出用の通路210が設けられている。この通路210は、センターピン11を取り囲むように受け台16中央部寄りに設けられた円環状の負圧室212に連通し、負圧室212は、回転テーブルＴの軸部（支持部材）13に設けられた通路214、軸受けケース15に設けられた通路215および電磁弁216を介して負圧発生手段である真空源（真空ポンプ）Ｐに接続されており、ガイドリング19と弁部材12間の通路210に発生する負圧によって、余剰レジンを吸引回収できる。
【００３３】
また、センターピン11には、その軸線部に空気通路22が形成されているもので、この通路22は、弁部材12の外側の通路210に開口するように形成した通路23に連通し、図示しない加圧空気供給源から空気通路22を介して通路23に送り込まれた空気が、通路210を介してテーブル17の中心部に配置された基板29の内周側底部に向けて放出されるように構成されている。
【００３４】
このセンターピン11は、駆動機構25によって図１矢印Ａで示すように上下方向に移動制御されるようになっている。上記駆動機構25は、サーボモータ251によって回転される螺軸252を備え、この螺軸252に螺合される移動体253によってセンターピン11を支持するようにしているもので、サーボモータ251の回転角によって、センターピン11がμｍ単位で上下方向に精密に移動制御されるようにしている。そして、上記サーボモータ251は、マイクロコンピュータ等によって構成されるようになる制御回路26によりその回転角が制御される。
【００３５】
センターピン11の上方に設けられている弁部材12は、ディスク基板29の載置部としても機能するもので、この弁部材12の上方に円錐台形状のガイドピン27が突設されている。そして、ガイドピン27で中心位置が設定されるようにして上記弁部材12にディスク基板29が載置設定されるようになる。符号28は圧縮コイルスプリングで、ディスク基板29の内径部をガイドピン27に係合させるようにしてディスク基板29を弁部材12に載置する際に、ディスク基板29の内径部とガイドピン28とが厳密に一致しない形態であっても、ディスク基板29を介して作用する押圧力で圧縮コイルスプリング28が圧縮されてガイドピン27が下降することで、自動的にディスク基板29の内径部にガイドピン27が係合する形態となる。
【００３６】
このディスク基板29は、例えばエポキシ、エポキシビニルエステル、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネイト等の熱可塑性樹脂、あるいはガラスによって構成される。
【００３７】
上記弁部材12は、センターピン11が下降したときに、回転テーブルＴのガイドリング19の上端面と面一に設定されるようになるものである。
【００３８】
上記センターピン11によって支持されるようになるディスク基板29上には、移動台30によってガラス等の透明体によって構成された円板状の重り31が載置設定される。上記移動台30は適宜チャンバ32内において所定量上下移動自在に設定される。このチャンバ32は、図１矢印Ｃで示すように上下移動されるようになっているもので、図の状態のように下方向に移動設定された状態で、上記基台15の上面部に回転テーブルＴの周囲に対応して密封されるチャンバ室33を形成するようになる。
【００３９】
上記チャンバ室33内には、図では示していないが、重り31の上方には紫外線源が設定されているもので、透明な重り31を透過して内部に紫外線が照射されるようにしている。
【００４０】
尚、上記スタンパ18の面上には、光ディスクの記録層を形成するための材料であるレジン36が載置設定される。このレジン36は紫外線を照射することによって硬化する2P樹脂材料でなるもので、末端にアクリル基および／またはメタアクリル基を有する液状樹脂、例えばエポキシ樹脂のアクリル酸および／またはメタクリル酸エステル、アクリル基／またはメタクリル基を末端に有するウレタン樹脂、またこの液状樹脂をアクリル基およびまたはメタクリル基を有する反応性モノマーで希釈したもの等よりなる。
【００４１】
そして、このレジン36は、回転テーブルＴを回転させながら、ノズル等によって定量スタンパ18上にリング状にして載置されるようにする。図３は、上記のように構成される装置により光ディスクの記録樹脂層を製造する工程の、特にセンターピン11の動きを制御する制御回路26における処理の流れを示している。まずステップ101ではセンターピン11が図４で示すように上昇位置に設定される。この状態においては、スタンパ18の面上には、センターピン11を中心とするリング状にレジン36が設定されている。そして、このセンターピン11が上昇設定された状態で、基板搬送機構40によってディスク基板29がセンターピン11上に搬送され、このセンターピン11に形成した弁部材12上に基板29が設定される。尚、この状態では、チャンバ32は図１の状態から上昇設定され、搬送機構40の動きの障害とならないようにされている。
【００４２】
センターピン11にディスク基板29が設定されたならば、図５で示すように、センターピン11を所定量下降させるとともに、図１で示すようにチャンバ32が下降設定されて基板29上に重り31が載置設定される。
【００４３】
このようにしてディスク基板29が設定され、さらにこの基板29上に重り31が設定されたならば、次のステップ102でセンターピン11を、スタンパ18と基板29との間隔が第１の位置とされるまで下降する。すなわち、図６で示すようになるもので、この状態ではディスク基板29の下面がリング状にされたレジン36に接触する直前の状態とされる。
【００４４】
このようにセンターピン11が下降設定されたならば、次にステップ103のようにセンターピン11をミクロン単位で１〜数秒毎に下降させるように制御する。すなわち、ディスク基板29はミクロン単位で間欠的に下降されるもので、この下降の過程においてレジン36のリングの一部が基板29の面に接し、この接触部が徐々に拡大されてレジン36のリングの全周が基板29と接触されるようになる。ステップ104でスタンパ18と基板29との間隔が第２の位置となったか否かを判定しているもので、この間隔が第２の位置となった状態でセンターピン11の下降が停止され、ステップ105に進む。ここで、上記第２の位置は基板29にレジン36のリングの全周が接触されるようになる、経験的に求められた値である。
【００４５】
ステップ105では、センターピン11を下降させ、このセンターピン11の弁部材12における基板支持面が、スタンパ18の面から所定の高さとされる位置、具体的にはスタンパ18の面から製造される光ディスクの樹脂による記録層の厚さに相当する高さ位置に設定されるようにする。
【００４６】
このとき、電磁弁216がガイドリング19と弁部材12との間の通路210を吸気通路に切り替える。すなわち、この状態では、スタンパ18とディスク基板29との間に、図６〜７に示すように、リング状のレジン36により囲まれた部屋が形成され、この部屋が真空源（真空ポンプ）Ｐによって吸気されるようになるものであり、さらにレジン36に対しては、重り31の荷重が作用し、図７に示すように、レジン36を徐々に押し潰すようになる。
【００４７】
このようにディスク基板29がリング状にされたレジン36に接触する際に、このレジン36中に気泡が混入することがある。しかし、上記のように例えば１秒間にミクロン単位で間欠的に基板29を下降させ、基板29とレジン36とがまず１か所で接触した後、この接触点が左右にリングに沿って延長され、リング状に接触部が形成されるようにすると、レジン36中に気泡が入り込むことが効果的に抑制されるようになる。
【００４８】
このようにしてディスク基板29とレジン36とが接触されて、さらにレジン36に気泡が混入しているような場合でも、リング状のレジン36の全周が基板29に接触された状態で、その中心部から微量の真空でレジン36を吸い込むような動作がされる。このようにレジン36が内側に吸い込み移動されることによって、レジン36の内部の気泡は外周方向に押し出されるようになるものであり、このような現象は繰返し実験により確認された。
【００４９】
ステップ106では上記の状態を所定時間、例えば50秒間待機するもので、この間に重り31の荷重によってリング状のレジン36が押し広げられ、デイスク基板29がレジン36の高さの低下と共に下降する。そして、レジン36がスタンパ18と基板29との間に広がり終わった状態で、ディスク基板29が上記下降位置設定されたセンターピン11の弁部材12に当って停止し、図8に示すような状態となる。この場合スタンパ18と基板29との間の隙間は、センターピン11の下降設定位置により数値的に正確に設定されるようになり、スタンパ18のデータ記録面のレジン36の厚さの制御が、容易且つ正確に行われる。
【００５０】
ここで、ガイドリング19によってスタンパ18の取付け位置が正確に設定されると共に、スタンパ18の剥離防止が効果的に行われるものであるが、このガイドリング19の内側であるスタンパ18の内周縁の下側に、真空源（真空ポンプ）Ｐに連通された通路210が開口されている。したがって、上記のようにスタンパ18の面上にレジン36を広げた場合、その内周縁からスタンパ18の裏面にレジンが回り込むことがあっても、この回り込みレジンは真空吸引によって確実に回収除去されるようになる。
【００５１】
上記のようにスタンパ18と基板29との間にレジン36による層が形成されたならば、図9で示すように、テーブル17とともに基板29、重り31等を回転させ状態で、紫外線を透明な重り31を介して上記広げられたレジン36面に均一に照射し、このレジンを硬化させて記録樹脂層41が形成されるようにする。この記録樹脂層41のスタンパ18に対向する面には、このスタンパ18に形成された凹凸による記録が転写され、この樹脂層41によって、光デイスクの記録面が形成されるようになる。
【００５２】
このようにしてディスク基板29と一体化されるようにして、記録面の形成された樹脂層41が形成され、光ディスクの基本構造が完成されるものであるが、この後は基板29と樹脂層41を一体にして、スタンパ18の面から剥離する必要がある。
【００５３】
そして、上記記録樹脂層41をスタンバ18から剥離しようとする場合には、樹脂層41をスタンパ18から引き離す方向に上昇させると、スタンパ18も樹脂と一体的に回転テーブルＴから離れてしまうおそれがあるが、この装置にあっては、記録樹脂層41をスタンパ18から、スタンパ18を浮き上がらせることなしに容易に剥離させるようにしているもので、以下にその剥離工程を説明する。
【００５４】
まず、ステップ107で示し図10で示すように、センターピン11を微小量上昇させる。この場合チャンバ32は上昇されているものであり、また弁部材12は下方の位置に設定し、電磁弁216を閉じてガイドリング19と弁部材12間の通路210の真空源（真空ポンプ）Ｐとの連通を遮断しておく。そして、センターピン11の中心軸部に形成される空気通路22から弁部材12に形成した通路23に空気を送り込み、通路210から上方に放出させる。この空気は通路210からディスク基板29の中央部の下面、さらに記録樹脂層41とスタンパ18の間に送り込まれるようになり、樹脂層41をスタンパ18の面から剥離させる。そして、重り31も取外し上昇させる。
【００５５】
そして、この状態でステップ108のようにセンターピン11をさらに上昇させると、図11で示されるように樹脂層41はスタンパ18の面から円滑に剥離され、ディスク基板29と一体になって、搬送位置まで上昇される。このように搬送位置まで上昇されたならば、搬送機構40によって樹脂層41の形成されたディスク基板29を吸着し、所定の格納位置に搬送する。このように記録樹脂層41の形成されたディスク基板29は、図では示されていないが、反射層、記録膜の形成工程、あるいは保護膜形成工程を経て光ディスクが完成されるものである。
【００５６】
また、スタンパ18は、既に説明したように、テーブル本体17表面に作用する負圧吸引力によって吸着保持されているが、スタンパ18をテーブル本体17から取外して新たなものに交換したい場合は、電磁弁186を閉じてテーブル本体17の表面に作用する負圧吸引力（負圧室176に作用する負圧）を解除することで、スタンパ18をテーブル17から取外すことも、新たなものに取り替えることも簡単にできる。
【００５７】
なお、前記した実施例では、スタンパ載置面を構成する吸着プレート174が通気性のある多孔質のセラミックスで構成されていたが、吸着プレート174の素材はセラミックスに限定されるものではなく、カーボンその他の通気性のある多孔質材で構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施例に係る光情報記録媒体の製造装置を説明する断面構成図である。
【図２】上記装置のテーブル周辺を拡大して示す断面図である。
【図２（ａ）】スタンパに形成されたグルーブの最外周見切線を撮影するＣＣＤカメラとその映像を映し出すディスプレイ装置のモニタ画面の概要全体を示す図である。
【図３】上記装置の特にセンターピンを制御する制御回路における処理の流れを説明する図である。
【図４】ディスク基板搬入工程の説明図である。
【図５】基板貼り合わせ工程のセンターピン下降開始時の説明図である。
【図６】基板貼り合わせ工程の基板・紫外線硬化性樹脂接触時の説明図である。
【図７】基板貼り合わせ工程の基板押圧開始時の説明図である。
【図８】基板貼り合わせ工程の基板押圧終了時の説明図である。
【図９】基板貼り合わせ工程の紫外線照射時の説明図である。
【図１０】光ディスク剥離工程説明図である。
【図１１】光ディスク搬送工程説明図である。
【符号の説明】
【００５９】
10  基台
11  センターピン
12  ディスク基板載置部である弁部材
Ｔ  回転テーブル
13  回転テーブルの軸部である支持部材
16  受け台
17  テーブル本体
18  スタンパ
19  ガイドリング
22  加圧空気通路
23  加圧空気通路
25  駆動機構
26  制御回路
29  ディスク基板
31  重り（ガラス）
32  チャンバ
36  レジン
170  プレートケース
174  吸着プレート
負圧室
Ｐ  負圧発生手段である真空源（真空ポンプ）
180  バキュームプレート
187（187a,187b）  通路
吸気用通路または加圧空気噴射用通路（空気放出孔）
【図１】
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【図２】
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【図２（ａ）】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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