(57)【要約】   【課題】  表面に均一なゾルゲル膜が形成された酸素センサー用部品および該部品を用いた高性能な酸素センサーを提供する。  【解決手段】  基材上に、疎水性官能基と親水性官能基を有するシランカップリング剤を含む第１層と、脂溶性の機能性物質を含有する乾燥ゲル膜からなる第２層とを、この順番で備える。前記第１層のシランカップリング剤はアミノ基を有し、前記第２層の脂溶性の機能性物質はポルフィリン化合物であり、乾燥ゲル膜はゾルゲル法により形成することを特徴とする酸素センサー用部品および該部品を用いた酸素センサー。有機溶媒中に溶解させた脂溶性機能性物質と水系ゾルゲル溶液とを混合して、基材上に塗布しても、相分離を起こさずに、均一な膜を得ることができる。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に、疎水性官能基と親水性官能基を有するシランカップリング剤を含む第１層と、脂溶性の機能性物質を含有する乾燥ゲル膜からなる第２層とを、この順番で備えることを特徴とする酸素センサー用部品。
【請求項２】
前記第２層は、前記脂溶性の機能性物質とゾルゲル溶液とを混合した後基材上に塗布する、ゾルゲル法により作製したことを特徴とする請求項１に記載の酸素センサー用部品。
【請求項３】
前記脂溶性の機能性物質に含まれる化合物が有する官能基と、前記ゾルゲル溶液に含まれる化合物が有する官能基とが同じであることを特徴とする請求項２に記載の酸素センサー用部品。
【請求項４】
前記基材はガラスであり、前記第１層のシランカップリング剤はアミノ基を有し、前記第２層の脂溶性の機能性物質はポルフィリン化合物であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の酸素センサー用部品。
【請求項５】
前記ゲル膜に励起光を照射したときに、前記脂溶性の機能性物質から発光される蛍光強度の面内ばらつきが３％以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の酸素センサー用部品。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の酸素センサー用部品を備えることを特徴とする酸素センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生体関連分野で使用される酸素センサー用部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
ゾルゲル法により、脂溶性の機能性物質をガラス基板表面に乾燥ゲル膜として固定することにより、さまざまな機能性素子を実現することができる。例えば、機能性物質として脂溶性蛍光色素を導入することにより、蛍光センサー、酸素センサーなどの機能性素子が実現できる。また、生体物質を導入することにより、固定化触媒、バイオチップ等が作製できる。更に、金属、貴金属触媒、金属錯体化合物を固定することにより、高性能触媒等が実現できる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１６８７８３号公報
【０００４】
【非特許文献１】「Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ  Ｂａｒｏｍｅｔｒｙ  ｉｎ  Ｗｉｎｄ  Ｔｕｎｎｅｌｓ」著者Ｋａｖａｎｄｉ，Ｊ．他（Ｒｅｖ．Ｓｃｉ．Ｉｎｓｔｒｕｍ．、第６１巻、１１号、３３４０頁から３３４７頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
機能性物質が脂溶性である場合に、ゾルゲル法を用いて、ガラス基板上に前記脂溶性機能性物質を固定するためには、有機溶媒中に溶解させた脂溶性物質と加水分解された水系のゾルゲル溶液を混合する。したがって、２種類の溶液を混合するときに、溶液の分散性や相溶性に問題が生じたり、また、ガラス基板上に乾燥ゲルを形成するときに、ガラス基板上で相分離を起こしたりして、均一な膜が得られないという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであって、ゾルゲル法を用いて、脂溶性の機能性物質を乾燥ゲルとしてガラス基板上に均一に固定するための方法および、該方法を用いて作製した酸素センサーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の酸素センサー用部品は、基材上に、疎水性官能基と親水性官能基を有するシランカップリング剤を含む第１層と、脂溶性の機能性物質を含有する乾燥ゲル膜からなる第２層とを、この順番で備える。前記前記第２層は、前記脂溶性の機能性物質とゾルゲル溶液とを混合した後基材上に塗布する、ゾルゲル法により作製される。また、前記脂溶性の機能性物質に含まれる化合物が有する官能基と、前記ゾルゲル溶液に含まれる化合物が有する官能基とが同じである。更に、前記基材はガラスであり、前記第１層のシランカップリング剤はアミノ基を有し、前記第２層の脂溶性の機能性物質はポルフィリン化合物である。本発明の酸素センサー用部品は、前記乾燥ゲル膜に励起光を照射したときに、前記脂溶性の機能性物質から発光される蛍光強度の面内ばらつきが３％より小さいことを特徴とする。また、本発明は、前記酸素センサー用部品を備えることを特徴とする酸素センサーである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の酸素センサー用部品は、基材表面が、疎水性官能基と親水性官能基を併せ持つシランカップリング剤で被覆されているため、疎水性溶液と水系溶液の混合液を均一に塗布することができる。即ち、脂溶性の機能性物質を溶解した疎水性溶液と、加水分解した水系ゾルゲル溶液の混合液からなるコーティング液を基材上に塗布して、機能性物質を含有する乾燥ゲル膜を基板表面上に形成する際に、相分離などが起こらず、均一性に優れた膜を形成することができる。また、乾燥ゲル膜からなる第２層の下地として、シランカップリング剤を含む第１層を有する２層構造となっているため、本発明の酸素センサー用部品を繰り返し使用しても、膜の剥離が起こりにくい。
また、本発明のゾルゲル溶液の原料は、脂溶性機能性物質の有する官能基と同じ官能基を有することを特徴とするため、脂溶性機能性物質が、ゾルゲル溶液中に単分子レベルで均一に分散した乾燥ゲル膜を形成することができる。そのため、酸素センサー部品のゲル膜部分に励起光を照射したときに、機能性物質から発光される蛍光強度の面内ばらつきを３％以下とすることができる。蛍光強度検出装置の性能にも依るが、蛍光強度の面内ばらつきが３％以下であれば、酸素センサーとして正確な測定を行うことができるため、本発明によれば高性能な酸素センサーを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の具体的な実施形態について説明する。
【００１０】
本発明の基材に用いる材料としては、ガラス、セラミックス、半導体、金属、樹脂等をあげることができる。利用できるガラスの種類としては、石英ガラス（線膨張係数α＝０．５ｐｐｍ／Ｋ）、無アルカリガラス（ＮＡ３５、ＮＡ３２）、テンパックス（Ｓｃｈｏｔｔ社）、ソーダライムガラスなどを例示できる。さらに、ゼロデュア（Ｓｃｈｏｔｔ社、α＝−２ｐｐｍ／Ｋ）、ネオセラム（日本電気硝子社、α＝０．１５ｐｐｍ／Ｋ）などのような低膨張結晶化ガラスや、パイレックス（登録商標）（コーニング社、α＝３．２５ｐｐｍ／Ｋ）、ＢＫ７（Ｓｃｈｏｔｔ社、α＝７．１ｐｐｍ／Ｋ）などが挙げられる。
用いるガラス基材の種類は、酸素センサーの筐体の膨張係数、ゾルゲル膜の線膨張係数、ゾルゲルコーティングの焼成温度等に応じて適宜選択することが好ましい。適切な線膨張係数のガラス基材を選択することにより、センサー部品の位置ずれ、ゾルゲルコーティングのクラック等を防ぐことができる。
またウェハ形態で提供されているシリコン、ＩｎＰ、ＧａＡｓなどの半導体材料を使用することも可能である。樹脂材料については、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素系樹脂などを挙げることができる。これらの材料の中でも、耐熱性、透明性、化学的安定性に優れたガラスを用いることが最も好ましい。
また、機能性物質を固定するための基材としては、平板状の基板、局面状基板、ファイバーなどを用いることができる。
【００１１】
親水基と疎水基を併せ持つシランカップリング剤としては、以下に示すようなアミノアルキルシランを例示できる。
【００１２】
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）４Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）５Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）６Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）７Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）８Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）９Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１０Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１１Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１２Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１３Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１４Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＨ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１６Ｓｉ（ＯＨ）３、
【００１３】
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）４Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）５Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）６Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）７Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）８Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）９Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１０Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１１Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１４Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１６Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
【００１４】
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）４Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）５Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）６Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）７Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）８Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）９Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１０Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１１Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１２Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１４Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）１６Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
【００１５】
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・Ｈ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２・ＣＨ３）３、
【００１６】
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）６ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・Ｈ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）６ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）６ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
【００１７】
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２ＮＨ（ＣＨ２）１１Ｓｉ（Ｏ・Ｈ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２ＮＨ（ＣＨ２）１１Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２ＮＨ（ＣＨ２）１１Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
【００１８】
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２ＣＨＣＨ３・Ｏ）２ＣＨ２ＣＨＣＨ３ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・Ｈ）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２ＣＨＣＨ３・Ｏ）２ＣＨ２ＣＨＣＨ３ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｈ２Ｎ（ＣＨ２ＣＨＣＨ３・Ｏ）２ＣＨ２ＣＨＣＨ３ＮＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
【００１９】
これらのシランカップリング剤を、そのまま又は水やアルコール等の溶媒で、希釈して基板上に塗布することができる。
【００２０】
本発明の脂溶性の機能性物質としては、脂溶性ポルフィリン化合物を例示できる。オクタエチルポルフィリン、テトラペンタフルオロフェニルポルフィリンおよび、これらの金属錯体を例示できる。金属の例としては、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｚｎ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｏ、Ｎｉ等をあげられる。
これらの脂溶性ポルフィリンあるいは脂溶性ポルフィリン錯体を、疎水性溶媒に溶解して、ゾルゲル溶液と混合して、コーティング溶液として用いることができる。ゾルゲル溶液の混合の際には、疎水性シランカップリング剤、脂溶性ポルフィリン、疎水性溶媒とゾルゲル溶液を同時に混合して、超音波処理等を行い分散させてもよい。あるいは、疎水性シランカップリング剤に、脂溶性ポルフィリンを溶解した後、水、アルコール溶媒を加えて、酸、アルカリ等の触媒で加水分解反応を行ってもよい。
【００２１】
ゾルゲル溶液としては、脂溶性のフェニル基を有するシラン化合物を用いることが好ましい。これらの化合物の例として下記の化合物が例示できる。
【００２２】
ＰｈＳｉ（Ｃｌ）３、
ＰｈＣＨ２Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）２Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）４Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）５Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）６Ｓｉ（Ｃｌ）３、
【００２３】
ＰｈＳｉ（ＯＣＨ３）３、
ＰｈＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）４Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）５Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）６Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
【００２４】
ＰｈＳｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
ＰｈＣＨ２Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）２Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）４Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）５Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｐｈ（ＣＨ２）６Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
【００２５】
Ｆ２ＰｈＳｉ（Ｃｌ）３、
Ｆ２ＰｈＣＨ２Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）２Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）４Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）５Ｓｉ（Ｃｌ）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）６Ｓｉ（Ｃｌ）３、
【００２６】
Ｆ２ＰｈＳｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｆ２ＰｈＣＨ２Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）２Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）４Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）５Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）６Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３、
【００２７】
Ｆ２ＰｈＳｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｆ２ＰｈＣＨ２Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）２Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）４Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）５Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
Ｆ２Ｐｈ（ＣＨ２）６Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ２ＣＨ３）３、
【００２８】
これらのシラン化合物をアルコール系の溶媒、水、酸あるいはアルカリ触媒と混合し、ゾルゲル溶液とする。
【００２９】
前記シランカップリング剤を含む溶液および前記脂溶性機能性物質を含有するゾルゲル溶液を基板に被覆する方法としては、湿式法と乾式法（真空法）を例示できる。湿式法については、スピンコート法、ディップコート法、スプレーコート法、フローコート法、メニスカスコート法、グラビア印刷法、フレキソ印刷法などを例示できる。
乾式法（真空法）については、蒸着法、スパッタ法、イオンビーム法、ＣＶＤ法、ＭＯＣＶＤ法などがあげられる。
【００３０】
上記方法で得られた基板を用いて酸素センサーを作製する。本発明の酸素センサーは、発光分子（前記ポルフィリン等の機能性分子）が、紫外または可視光の励起光を吸収した際の発光（蛍光または燐光）が酸素分子によって消光する現象を利用するものである。本発明の脂溶性ポルフィリン錯体のゾルゲルコーティング液を本発明のアミノコートガラス基板に塗布し、これを蛍光評価光学系（例えば、蛍光分光光度計等）を用いて、酸素濃度に応じて変化する蛍光強度を測定する。例えば、９６穴タイプのマイクロプレートにアミノコートを被覆し、更に脂溶性ポルフィリン錯体のゾルゲルコーティング液をコートして、蛍光測定マイクロプレートリーダで測定してもよい。あるいは、光ファイバーの先端をアミノコート、ゾルゲルコーティングで被覆し、光ファイバー中を導波する励起光によって発光させ、発光した光を光ファイバー中を逆方向に導波させて検出光学系で測定する方法などでもよい。
【００３１】
以下、実施例によりさらに具体的に説明する。
【実施例１】
【００３２】
（アミノコーティング液の調製）
３−アミノプロピルトリエトキシシランの３ｗｔ％水溶液を作製した（以下この液を液Ａ１という）。
【００３３】
（コーティング）
エタノール３ｇ、純水１．１ｇをサンプル瓶に注入し、室温で５分間攪拌した。これに、フェニルトリエトキシシラン３ｇを加え、磁気攪拌子を用いて１５分間攪拌した。これに、０．１Ｍ塩酸０．１ｇを加えた後、更に７０℃で２時間攪拌した（以下この液を液Ｂという）。
【００３４】
ソーダライムガラス基板（厚み：１．１ｍｍ、サイズ：２５ｍｍ×７５ｍｍ）を１ＭのＫＯＨ水溶液で１０分間超音波洗浄し、更に超純水で５分間超音波洗浄した後、ディップコートにより液Ａ１をコーティングした。基板表面の水に対する接触角を測定したところ、コーティング前は、＜５°であったが、コーティング後は、７５°であった。また、ＥＳＣＡ法（Ｘ線光電子分光法）によりＣ−Ｎ結合が存在していることを確認した。
【００３５】
Ｐｔ（ＩＩ）Ｏｃｔａｅｔｈｙｌｐｏｒｐｈｉｎｅ（以下、ＰｔＯＥＰと略称する）１０ｍｇをトルエン５ｍｌに溶解したものを、１ｍｌの液Ｂと混合した（１０−４Ｍ  ＰｔＯＥＰ）。得られた溶液をアミノコートガラス基板上にキャスティング法により２００μｍの厚さに塗布した。
【００３６】
上記方法で得られた基板を用いて蛍光測定を行った。蛍光測定マイクロプレートリーダ（ＢＭＧ社、ＦＬＵＯｓｔａｒ  Ｏｐｔｉｍａ）の試料室に基板を設置し、光源からの励起光をファイバーを用いて導き、バンドパスフィルタ（５４０ｎｍ±１０ｎｍ）を通して基板に照射した。基板からの発光強度を検出用バンドパスフィルタ（６４０ｎｍ±１０ｎｍ）により検出した。なお光源としてキセノンランプを使用した。
表１に示すように、発光強度が大きく、面内の発光ばらつきが小さい酸素センサー部品を作製することができた。この基板を用いることにより、精度が高く、高性能な酸素センサーを作製することができた。
【実施例２】
【００３７】
アミノコーティング液としてＮ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン［（Ｈ２Ｎ（ＣＨ２）２ＨＮ（ＣＨ２）３Ｓｉ（Ｏ・ＣＨ３）３）の３ｗｔ％水溶液（以下この液を液Ａ２という）を用いた以外は実施例１と同様に測定を行った。表１に示すように、発光強度が大きく、面内の発光ばらつきが小さい酸素センサー部品を作製することができた。
【実施例３】
【００３８】
ＰｔＯＥＰのかわりに、Ｐｔ（ＩＩ）Ｍｅｓｏ−ｔｅｔｒａ（ｐｅｎｔａｆｌｕｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）ｐｏｒｐｈｉｎｅ（以下、ＰｔＴＰＦＰＰと略称する）を用いた以外は実施例１と同様に測定を行った。測定結果を表１に示した。
表１に示すように、発光強度が大きく、面内の発光ばらつきが小さい酸素センサー部品を作製することができた。
【００３９】
（比較例）
アミノコート処理をしていない基板を用いた以外は実施例１と同様に測定を行った。測定結果を表１に示した。表１に示すように、発光強度が小さく、また、膜の剥離が生じたため、蛍光強度の面内バラツキが極めて大きくなった。得られた基板を酸素センサーの部品として用いたところ、測定誤差が大きく、正確な測定ができなかった。
【００４０】
（表１）
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
アミノコート    ポルフィリン  センシング感度      蛍光強度の
相対発光強度                                                    面内バラツキ
（６４５ｎｍ）
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
実施例１        Ａ１        ＰｔＯＥＰ        １２０            ≦３％
実施例２        Ａ２        ＰｔＯＥＰ        １１０            ≦３％
実施例３        Ａ１        ＰｔＴＰＦＰＰ    １１０            ≦３％
比較例          なし        ＰｔＯＥＰ          １０            剥離面あり
＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明の酸素センサー部品は、主に生体関連分野の検査等に用いられる酸素センサーに利用することができる。