(57)【要約】【課題】構造簡略化と軽量化部を図った部分放電検出センサとそれを備えたガス絶縁電気機器を提供すること。【解決手段】絶縁性基板と、該絶縁性基板に一体化して結合または接着した導電性薄膜と、該導電性薄膜に電気的に接続された端子と、該端子と上記導電性薄膜を電気的に接続する導体と、上記絶縁性基板を支持するフランジにより構成されたことを特徴とする部分放電検出センサ、ならびに絶縁ガスを封入した金属容器内に絶縁支持体によって支持された高電圧導体と該金属容器内に設置された窪みを有するハンドホール部を具備するガス絶縁母線と、上記センサを有することを特徴とするガス絶縁電気機器。【選択図】図１
2006047285.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性基板と、該絶縁性基板に結合または接着して一体化された導電性薄膜と、該導電性薄膜に電気的に接続された端子と、該端子と上記導電性薄膜を電気的に接続する導体と、上記絶縁性基板を支持する支持部材により構成されたことを特徴とする部分放電検出センサ。
【請求項２】
前記絶縁性基板の表面に二つの導電性薄膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載の部分放電検出センサ。
【請求項３】
二つの前記導電性薄膜のうち一方は前記絶縁性基板の表面に形成され、他方は前記絶縁性基板の裏面に形成されていることを特徴とする請求項２記載の部分放電検出センサ。
【請求項４】
絶縁性基板と、その表面に結合または接着して一体化された導電性薄膜と、前記絶縁性基板を支持する支持手段と、前記支持手段を結合したフランジと、導電性薄膜によって受信された電気信号を伝送する端子と、前記端子と信号を伝送する同軸ケーブルと、同軸ケーブルと前記端子とを接続するコネクタとを具備したことを特徴とする部分放電検出装置。
【請求項５】
更に、前記同軸ケーブルにより伝送された電気信号を測定する測定器を具備したことを特徴と請求項４記載の部分放電検出装置。
【請求項６】
前記絶縁性基板の表面に二つの導電性薄膜が形成され、一方の導電性薄膜が前記同軸ケーブルの芯線に接続され、他方の導電性薄膜が前記同軸ケーブルの外皮線に接続されていることを特徴とする請求項４記載の部分放電検出装置。
【請求項７】
二つの前記導電性薄膜のうち一方は前記絶縁性基板の表面に形成され、他方は前記絶縁性基板の裏面に形成され、一方の導電性薄膜が前記同軸ケーブルの芯線に接続され、他方の導電性薄膜が前記同軸ケーブルの外皮線に接続されていることを特徴とする請求項６記載の部分放電検出装置。
【請求項８】
絶縁ガスを封入した金属容器内に絶縁性支持体によって支持された高電圧導体と該金属容器内に設置され、窪みを有するハンドホール部を具備するガス絶縁母線と、
該母線に電気的に連通したガス絶縁電気装置と、
前記窪みに設置され高調電磁波を検出するセンサとを備え、
該センサは絶縁性基板の片面または両面に結合または接着して一体化された導電性薄膜と、
該導電性薄膜と電気的に接続した端子と、
該絶縁性基板をハンドホール部のフランジに固定する手段と、
を有することを特徴とするガス絶縁電気機器。
【請求項９】
前記センサの導電性薄膜は、５〜５００μｍの厚さを有することを特徴とする請求項８記載のガス絶縁電気機器。
【請求項１０】
前記導電性薄膜は、真空蒸着金属薄膜であることを特徴とする請求項８記載のガス絶縁電気機器。
【請求項１１】
前記導電性薄膜は、導電性塗料を塗布した薄膜であることを特徴とする請求項８記載のガス絶縁電気機器。
【請求項１２】
前記導電性薄膜は、金属箔であることを特徴とする請求項８記載のガス絶縁電気機器。
【請求項１３】
前記導電性薄膜が保護層で覆われていることを特徴とする請求項８記載のガス絶縁電気機器。
【請求項１４】
前記端子と同軸ケーブルとを電気的に接続するコネクタを有することを特徴とする請求項８記載のガス絶縁電気機器。
【請求項１５】
前記絶縁性基板の片面に二つの導電性薄膜が形成されていることを特徴とする請求項８記載のガス絶縁電気機器。
【請求項１６】
一方の導電性薄膜は同軸ケーブルの芯線に接続され、他方の導電性薄膜は前記同軸ケーブルの外皮線に接続されていることを特徴とする請求項８記載のガス絶縁電気機器。
【請求項１７】
前記絶縁性基板の表裏面にそれぞれ導電性薄膜が形成され、一方の導電性薄膜は同軸ケーブルの芯線に接続され、他方の導電性薄膜は前記同軸ケーブルの外皮線に接続されていることを特徴とする請求項８記載のガス絶縁電気機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、六弗化硫黄（ＳＦ６）ガス等の絶縁ガスを金属容器内に封入して使用するガス絶縁電気機器の部分放電を検出するセンサ、部分放電検出装置およびガス絶縁電気機器に係り、特に絶縁異常による部分放電検出機能を備えたガス絶縁電気機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガス絶縁開閉装置、ガス絶縁変圧器などと、ガス絶縁母線は、ＳＦ６等の絶縁ガスが封入された金属容器内に固定・可動接点、コイル、高電圧導体等が絶縁支持された構造を有する。
【０００３】
これらのガス絶縁電気機器は、金属容器内への異物の混入、高電圧導体上に存在する突起、或いは絶縁支持体内に生じたボイドなどの内部異常によって、高電界印加時に部分放電が発生し、絶縁特性が低下して、最終的に絶縁破壊事故に至ることがある。ガス絶縁電気機器の絶縁破壊事故を未然に防ぐには、絶縁破壊の前駆現象と言える部分放電を精度よく検出することが必要となる。
【０００４】
部分放電を精度よく検出する方法の一つとして、部分放電に起因して発生する電磁波を検出する方法がある。よく知られた電磁波の検出方法は、金属容器内部のハンドホールに金属製の検出電極を設置し、この検出電極により電磁波を検出する方法である（たとえば特許文献１、２参照）。
【０００５】
この種の電磁波検出方法では、例えば検出センサにより検出された信号を、スペクトラムアナライザにより数百ＭＨｚから数ＧＨｚの周波数帯域において周波数解析を行い、周波数‐信号強度特性を測定して、数百ＭＨｚから数ＧＨｚの周波数帯域に部分放電信号が存在するかどうかが確認される。また、別の方法としては、検出センサにより検出された信号を数百ＭＨｚから数ＧＨｚのバンドパスフィルタを通した後に包絡線検波を実施して検波信号を検出し、電圧位相‐信号強度特性から部分放電が発生しているかどうかが確認される。
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２７１５７４号公報（要約）
【特許文献２】特許第３２９９５４７号公報（請求項１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
電磁波検出方法においては、動作時に大きな振動が発生するガス絶縁母線あるいはガス絶縁遮断器のようにＳＦ６の分解による分解生成物が発生する機器に検出電極が設置されることが多い。このような場合、特許文献１に記載されたように、従来の検出電極は一般にステンレス鋼もしくはアルミニウム等の金属板で形成されているため、振動に耐える機械的強度を確保しようと板厚を厚くしているが、板厚が厚くなると重量が大きくなり、これを支持するための支持構造物も大型化して、結果としてセンサが大型化する。また、検出電極を固定するための部品点数も必然的に多くなり、寸法公差などにより性能のばらつきが生じる可能性がある。
【０００８】
本発明の目的は、センサを構成するための部品点数を少なくし、部分放電検出センサ、部分放電検出装置およびガス絶縁電気機器の小型軽量化を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は絶縁性基板と、該絶縁性基板に結合または接着して一体化された導電性薄膜と、該導電性薄膜に電気的に接続された端子と、該端子と上記導電性薄膜を電気的に接続する導体と、上記絶縁性基板を支持する支持部材とを備えていることを特徴とする部分放電検出センサを提供するものである。
【００１０】
また、本発明は、絶縁性基板と、その表面に結合または接着して一体化された導電性薄膜と、前記絶縁性基板を支持する支持手段と、前記支持手段を結合したフランジと、導電性薄膜によって受信された電気信号を伝送する端子と、前記端子と信号を伝送する同軸ケーブルと、同軸ケーブルと前記端子とを接続するコネクタとを具備するか、更に前記同軸ケーブルにより伝送された電気信号を測定する測定器を具備したことを特徴とする部分放電検出装置を提供するものである。
【００１１】
更に、本発明は、絶縁ガスを封入した金属容器内に絶縁性支持体によって支持された高電圧導体と該金属容器内に設置された窪みを有するハンドホール部を具備するガス絶縁母線と、該母線に電気的に連通したガス絶縁電気装置と、前記窪みに設置され高調電磁波を検出するセンサとを備え、該センサは絶縁性基板の片面または両面に結合または接着して一体化された導電性薄膜と、該導電性薄膜と電気的に接続した端子と、該絶縁性基板をハンドホール部のフランジに固定する手段と、を有することを特徴とするガス絶縁電気機器を提供するものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、従来の金属板電極に較べて検出電極を軽量化でき、センサ電極を取り付ける部品点数を少なくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明において、ガス絶縁電気機器とは、１以上のガス絶縁母線と１以上のガス絶縁電気装置例えば、ガス遮断器、ガス絶縁断路器、ガス絶縁トランスなどを有するもので、例えばこれらが複数集合したＧＩＳ（ガス絶縁開閉装置など）が含まれる。なお、本発明のガス絶縁電気機器は、ガス絶縁電気装置と、上記ガス絶縁母線のハンドホール部の窪み内に部分放電検出センサを設けたものを指す。また、前記部分放電検出センサは、常時同軸ケーブルに接続されていても良いし、必要なときのみコネクタを介して接続しても良い。同軸ケーブルは、導電性薄膜で検出された電磁波によって誘起された電圧をアンプを介して測定器に伝送する。
【００１４】
本発明において、部分放電検出装置は、絶縁性基板と、該基板に結合または接着して一体化された導電性薄膜と、該導電性薄膜に電気的に結合された端子と、上記絶縁性基板を支持するフランジとを有する部分放電検出センサと、前記端子にコネクタを介して接続された同軸ケーブルとを有するものである。
【００１５】
また、本発明において、部分放電検出センサとは、上記のように、絶縁性基板と、該基板に結合または接着して一体化された導電性薄膜と、前記導電性薄膜に電気的に結合された端子と、上記絶縁性基板を支持する支持部材とを有するものである。
【００１６】
前記センサの導電性薄膜は５〜５００μｍ、特に１０〜５０μｍの厚さを有することが好ましい。前記導電性薄膜は、真空蒸着金属薄膜、導電性塗料を塗布した薄膜、金属箔のいずれかが好ましく、特に製造上の容易さ、コスト、寸法精度などの点から、金属箔を接着基板に接着したものが好ましい。なお、前記導電性薄膜が保護層で覆われて、ガスの分解性生物や水分による腐蝕から薄膜を保護することが望ましい。
【００１７】
前記端子と同軸ケーブルとを電気的に接続するコネクタを有することができる。同軸ケーブルと、電磁波によって誘起された電圧を測定する測定装置は常時接続しても良いし、部分放電の有無を測定するときにのみ接続しても良い。
【００１８】
前記絶縁性基板の片面に二つの導電性薄膜を形成しても良いし、絶縁性基板の両面に夫々１つの導電性薄膜を形成しても良い。２つの導電性薄膜を形成したときは、一方の導電性薄膜は前記同軸ケーブルの芯線に接続され、他方の導電性薄膜は前記同軸ケーブルの外皮線に接続される。
【００１９】
前記絶縁性板の表裏面にそれぞれ導電性薄膜が形成され、一方の導電性薄膜は前記同軸ケーブルの芯線に接続され、他方の導電性薄膜は前記同軸ケーブルの外皮線に接続される。
【００２０】
前記絶縁性基板の表面に二つの導電性薄膜が形成され、一方の導電性薄膜が前記同軸ケーブルの芯線に接続され、他方の導電性薄膜が前記同軸ケーブルの外皮線に接続されている。
【００２１】
二つの前記導電性薄膜のうち一方は前記絶縁性基板の表面に形成され、他方は前記絶縁性基板の裏面に形成され、一方の導電性薄膜が前記同軸ケーブルの芯線に接続され、他方の導電性薄膜が前記同軸ケーブルの外皮線に接続される。部分放電検出センサにおいても、上記構成が採用できる。二つの前記導電性薄膜のうち一方は前記絶縁性基板の表面に形成され、他方は前記絶縁性基板の裏面に形成される。
【００２２】
絶縁性基板の材料としては、絶縁性で普通程度の機械的強度とＳＦ６ガスの分解生成物に対する耐食性があれば、任意に選択できる。例えば、ポリオレフィン、ポリカーボネートなどの熱可塑性樹脂、エポキシ樹脂や不飽和ポリエステル樹脂などの熱硬化性樹脂、繊維強化プラスチックス、積層板などがある。また、アルミナやジルコニアなどのセラミックスも使用できるが、セラミックスは多孔質であるために、焼成後でも空気などを含んでおり、ガス絶縁雰囲気内で空気を放出することがあるので、セラミックスよりも樹脂系の絶縁性基板が好ましい。樹脂積層板の片面あるいは両面に銅箔などの金属箔を接着剤で加圧積層した物をエッチング技術で所定の形状の金属パターンを形成することができる。真空蒸着技術であれ、導電性塗料の塗布法であれ、上記エッチング技術とともに、寸法精度の高い電極パターンを容易に製造することができる。絶縁性基板の厚さは特に制限されないが、導電性薄膜を平滑に支持できれば良い。例えば、１〜１０ｍｍ程度の厚さでよい。
【００２３】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
【００２４】
図９は特許文献２の図２の具体的構成を示すもので、金属電極板２０が絶縁性支持体２７にボルト２１（実際には４本以上で固定される）により、固定される。また絶縁性支持体２７はフランジ２４にボルト２２（これも実際には４本以上必要である）により固定される。なお、金属板電極板２０の端部は、放電を防ぐために角部２５にＲを付ける。このように、電極角部の加工や、金属電極板２０の機械加工を考慮した場合、数ｍｍの厚さが必要になる。従って、金属電極板２０は図に示すように多数のボルトなどにより固定せざるを得ない。
【００２５】
また、特許文献１においても、部分放電検出装置の導電性円板は厚さが数ｍｍ例えば、２ｍｍであり、従って、特許文献１には記載されていないが、特許文献２と同様に、実際には円板を複数のボルトなどで導電性支持体に固定する必要があると考えられる。
【００２６】
本発明によるセンサの電極は薄膜であるために、例えば蒸着、金属箔のラミネートあるいは導電性塗料を塗布するなどして、絶縁性基板に一体化して結合、接合または接着することで一体化できるので、ボルトなどの固定手段は不要となり、部品点数の削減、重量の削減構造の小型化など、著しい実用的効果を奏する。
【００２７】
なお、プリント基板の製造技術を利用して、絶縁性基板の片面または両面に銅箔などを接着剤により張り合わせ、この金属薄膜をエッチング技術により所定の形状にパターン化することにより、安価で寸法精度の良い電極膜を形成することができる。
【００２８】
図１は、金属容器の内部に絶縁異常を検出するための検出電極を設置したガス絶縁母線Ａとガス絶縁遮器などのガス絶縁電気装置２８とからなるガス絶縁電気機器の一部断面概略図である。図３は、図１のガス絶縁電気機器を側面からみた断面図である。なお、図１では測定器は省略してあるが、図３では測定器２０を図示した。測定器２０は、アンプ２９を内蔵しても良い。
【００２９】
図２は部分放電検出センサを拡大して示したものである。絶縁性基板１２上に、蒸着、塗布またはエッチングにより２つの金属薄膜１１を絶縁性基板１２に結合または接着して一体化し、ねじ１３により、導体７にねじ込んで絶縁性基板１２を固定する。導体７は端子６に電気的に接続され、端子部はハンドホール部のフランジ（蓋）５に固定される。必要ならば１または複数の支持体１４を設けて絶縁性基板１２の支持構造を補強しても良い。なお、支持体１４は導体でも良く、この場合、金属薄膜１１と電気的に接続される。そして、後で述べる同軸ケーブルの芯線または外皮線と接続されてもよい。本発明において、部分放電検出装置という場合、図２に示したセンサに加えて、同軸ケーブルと、同軸ケーブルと端子とを接続するコネクタを備えたものを意味する。
【００３０】
図１及び図３の実施例は、ガス絶縁電気機器であるガス絶縁母線の一相分に絶縁異常検出装置を適用した場合を示している。本実施例における金属容器１は管状であり、接地電位になっている。金属容器１の内部にはＳＦ６のような絶縁ガスが封入されており、この金属容器内に高電圧導体２がエポキシ樹脂などの絶縁材料で形成された絶縁性支持体３によって絶縁支持されている。
【００３１】
金属容器１には、ハンドホール４が設けられ、そこに絶縁異常検出装置における検出電極１０を含む検出センサが配備されている。検出センサは、検出電極１０と、この検出電極１０によって受信された信号を伝送する導体７と、ハンドホール４の蓋板（フランジ）５を貫通する密封端子６によって構成されている。
【００３２】
検出電極１０は、図２に示すように絶縁性基板１２の表面に２つの金属薄膜１１を電極パターン形状に形成したもので構成されている。この検出電極１０は、例えばプリント基板をエッチングして電極パターンを形成することにより作ることができる。このほかに、金属薄膜１１を絶縁性基板１２上に蒸着することによっても作ることができ、また、絶縁性基板１２に電極パターン形状に導電性塗料を塗布することによっても作ることもできる。プリント基板を用いた場合には、電極パターンを精度良く形成することが可能となる。また、電極パターンを蒸着によって形成した場合には、センサ個々の検出感度のばらつきがほとんどなくなるため、部品製作時の品質管理を簡素化することが可能となる。
【００３３】
金属薄膜１１の材料は、電気伝導性のよい銅又はアルミニウムが好適であり、その膜厚は５〜５００μｍ、特に２０〜３０μｍが好ましく、厚くても１０００μｍを超えないことが望ましい。従来の金属電極板の場合には、その厚さは通常２〜３ｍｍであったから、本発明により著しく薄くなり、軽量化されたことになる。
【００３４】
本実施例のように絶縁性基板１２上に電極パターンを形成して検出電極１０とした場合には、重量が大幅に低減されるため、電極の支持構造を著しく簡素化することが可能である。例えば図２に示すように、絶縁性基板１２を導体７にねじ１３によって導体７に固定するだけで充分である。検出１０電極をより安定に支持したければ、絶縁材料でできた筒状の電極支持体１４を設ければよい。ねじを使わずに半田付けによって検出電極１０を導体７に固定してもよい。
【００３５】
従来のように厚さ数ｍｍの金属電極板を用いた場合には、板状の電極を支持するために大きな支持本体を用いるか、或いは大型のアンテナ支持台を用いていたが、本発明により支持構造が著しく簡素化されることになる。本発明によれば、従来の電極構造と比較して部品点数を大幅に低減できる。また、従来は金属板の製作公差や電極の取付けによる寸法誤差に起因していたセンサ個々の検出感度のばらつきも、本発明によれば低減できる。上記の効果に加えて、検出センサの小型化、軽量化も達成でき、結果として安価に検出センサを製作することが可能となる。
【００３６】
前述したように、検出電極１０はハンドホール４の蓋板（フランジ）５を貫通する密封端子６に接続された導体７と電気的に接続される。また、密封端子６は更にコネクタ８に接続され、コネクタ８は同軸ケーブル９に電気的に接続され、同軸ケーブル９は測定器２０に接続される。検出電極１０は、金属容器１と電気的に絶縁される。検出センサとコネクタ８と同軸ケーブル９および測定器２０によって本発明の絶縁異常検出装置が構成される。
【００３７】
本発明の検出センサは、本実施例のように、ガス絶縁電気機器内部のハンドホール４に配備して使用する場合に限らず、ガス絶縁電気機器内のハンドホール以外の場所あるいは機器の外部に配備して使用することができる。
【００３８】
検出電極１０の形状は、図４に示すように、円形の絶縁性基板に金属薄膜１１ａ，１１ｂを蒸着するか、もしくは導電性の膜を形成して円盤状にしたものでも良いし、或いは図５に示すように矩形の絶縁性基板１２に円形の金属薄膜１１ａ，１１ｂを形成したものでも良い。
【００３９】
本発明による検出センサを、遮断器や断路器などの開閉器に使用する場合には、ＳＦ６等の絶縁ガスが分解して発生した分解ガスにより検出電極１０が腐食され性能が低下する恐れがある。そのような場合には、図６に示すように金属薄膜１１の表面に保護層１５を設けるようにするとよい。この保護層１５は絶縁材料をコーティングするか、或いは絶縁材でできた薄い板を設けることによって形成できる。
【００４０】
金属容器１内で部分放電が発生すると、数ＧＨｚにおよぶ高周波の電流パルスが発生し、電磁波が金属容器１内を伝播する。この伝播した電磁波がアンテナ受信部である金属薄膜１１によって受信されると、金属薄膜１１に電圧が誘起される。誘起された電圧は、導体７および密封端子６を通して金属容器１の外部に取り出され、同軸ケーブル９を通して測定器２０に伝送される。アンテナ受信部から同軸構造で信号を伝送することにより、受信した１０００ＭＨｚ以上の信号を減衰させることなく測定器２０まで伝送することができる。
【００４１】
検出電極１０として、図７及び図８に示すように、電気的につながっていない複数の金属薄膜１１ａ、１１ｂを有するものを使用することにより、アンテナ特性をさらに向上させることができる。この場合には、一方の電極パターンを形成した金属薄膜１１ａは同軸ケーブル９の芯線１６に電気的に接続し、もう一方の金属薄膜１１ｂは同軸ケーブル９の外皮線１７に電気的に接続した構成となる。図８に示すように電極パターンを形成した金属薄膜を絶縁性基板１２の両面に形成すれば、電極間の絶縁性能や検出感度の更なる向上を図ることができる。また、両面を電気的に接続した電極とすることも可能である。なお、同軸ケーブルにおいて、芯線及び外皮線は絶縁材料によって周囲を覆われている。
【００４２】
本発明によれば、検出電極の寸法精度を高めることが可能であり、これにより、電磁波による部分放電測定に加え、ガス絶縁電気機器の絶縁性能低下を検知するのにも使用できるようになる。ガス絶縁電気機器では、絶縁ガスの水分量或いは絶縁ガスの分解生成物などに起因して絶縁性能が低下する。従来の金属電極板の場合は、検出電極間の電気的特性、例えば絶縁抵抗などがセンサ個々にばらつく場合があり、精度よく測定することは困難であり、このため、絶縁性能低下の測定に用いることができなかった。したがって、従来は、ガス絶縁電気機器内に封入されている絶縁ガスを少量取り出して特定の成分を化学的に測定するか、或いはガス中の水分量を水分測定器或いは露点計により測定していた。本発明によれば寸法精度の高い検出電極が容易に製作できるので、絶縁性能低下の測定にも用いることが可能となる。本発明による絶縁性能低下の測定は、例えば図７において２つの検出電極に直流電圧を印加して、検出電極間を流れる漏れ電流を測定することにより実施される。
【００４３】
このように、本発明によれば、電磁波測定による部分放電の測定と絶縁ガス中の水分量等に起因する絶縁性能低下という２つの絶縁異常監視を１つのセンサにより行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】部分放電検出装置を含むガス絶縁電気機器の正面図。
【図２】図１における検出センサの断面図。
【図３】図１に示すガス絶縁電気機器を側面から見た図。
【図４】本発明の一実施例による検出電極の形状を示す斜視図。
【図５】本発明の他の実施例による検出電極の形状を示す斜視図。
【図６】検出電極の他の実施例を示す断面図。
【図７】複数の金属薄膜を有する検出電極を備えた場合の構成例を示す断面図。
【図８】絶縁性基板の両面に金属薄膜を有する検出電極を備えた場合の構成例を示す断面図。
【図９】特許文献２記載のセンサの具体的構造を説明するための断面図。
【符号の説明】
【００４５】
１…金属容器、２…高電圧導体、３…絶縁支持体、４…ハンドホール、５…蓋板、６…密封端子、７…導体、８…コネクタ、９…同軸ケーブル、１０…検出電極、１１…金属薄膜、１２…絶縁性基板、１３…ねじ、１４…電極支持サポート、１５…保護層、１６…芯線、１７…外皮線、２０…測定器。
【図１】
2006047285.tif 000003
【図２】
2006047285.tif 000004
【図３】
2006047285.tif 000005
【図４】
2006047285.tif 000006
【図５】
2006047285.tif 000007
【図６】
2006047285.tif 000008
【図７】
2006047285.tif 000009
【図８】
2006047285.tif 000010
【図９】
2006047285.tif 000011