(57)【要約】  【課題】ノズルへの接着剤の流入による印字精度の低下や、ノズルと、このノズルに連通する流路形成孔との位置ずれを生じさせることなく、インクジェットヘッドを製造する。  【解決手段】インクジェットヘッド１０１は、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とを積層して真空条件下で高温状態にして加圧することにより接合し、ノズルプレート９にノズル１０を形成し、ノズルプレート９のインク吐出面に撥水膜９２を形成した後、マニホールドプレート７に金属プレート３、４及び６を積層させて接合し、さらに、キャビティプレート３の表面にアクチュエータユニット２を接合することにより製造する。  【選択図】図６
2006181796.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに連通するインク流路を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インク流路の一部をなす流路形成孔が形成された金属製の第１プレートに、別の金属製の第２プレートを所定温度で加熱しながら加圧して接合する接合工程と、
前記第２プレートに、前記第１プレートの前記流路形成孔に連通する前記ノズルを形成するノズル形成工程と、
を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記ノズル形成工程において、前記流路形成孔を通して前記第２プレートにパンチを打ち込むことで、前記第２プレートにその表面側に貫通しない凸部を形成した後、前記凸部を除去して前記第２プレートの表面側を平坦化するとともにノズルを形成することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記ノズル形成工程の後に、前記第２プレートの前記第１プレートと反対側のインク吐出面に撥水膜を形成する撥水膜形成工程を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記撥水膜形成工程において、前記所定温度よりも耐熱温度の低い材料で前記撥水膜を形成することを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドとして、複数のノズルが形成された金属製のノズルプレートが、これらのノズルに連通するインク流路が形成されたプレートに接合されているものがある。例えば、特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、ノズルに連通するインク流路が形成された第１基板、第２基板及び第３基板と、ノズルが形成されたノズルプレート（ノズル板）とが積層状態で接着剤により接合されている。
【０００３】
しかし、ノズルプレートを他のプレートに接着剤で接合したときに、その接合面からノズル内に接着剤が流入してしまう虞があり、ノズルの径が変化して印字品質が低下したり、さらには、ノズルが接着剤で塞がれてしまう場合もある。そこで、特許文献２のインクジェットヘッドでは、ノズル（オリフィス）が形成されたノズルプレート（オリフィスプレート）とノズルに連通するインク流路が形成されたプレート（チャンバープレート）とが、真空路の中で高圧、高温状態で接合する拡散接合により接合されている。この場合には接合面からノズル内に接着剤が流入するという前述の問題が発生しない。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０５６１０（図７）
【特許文献２】特開平１１−１７９９００（図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前述の特許文献２のように金属製のプレートにノズルを形成してからこのノズルプレートをノズルに連通する流路形成孔が設けられた別の金属製のプレートと拡散接合により接合する場合には、ノズルと流路形成孔との位置ずれが生じないように２枚のプレートを正確に位置合わせして積層する必要があった。
【０００６】
本発明の目的は、ノズル内に流入する虞のある接着剤を使用せずに、ノズルプレートの接合を行うとともに、ノズルとこのノズルに連通する流路形成孔との位置ずれを極力防止することが可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００７】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、ノズルに連通するインク流路を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、インク流路の一部をなす流路形成孔が形成された金属製の第１プレートに、別の金属製の第２プレートを所定温度で加熱しながら加圧して接合する接合工程と、第２プレートに、第１プレートの流路形成孔に連通する連通するノズルを形成するノズル形成工程とを備えている。
【０００８】
これによると、流路形成孔が形成された第１プレートと別の第２プレートとを加熱しながら加圧して接合してから、第２プレートにノズルを形成するため、金属プレートにノズルを形成してからこのプレートと別の流路形成孔が形成されたプレートとを接着剤で接合する場合と異なり、ノズル内に接着剤が侵入することがない。また、ノズル形成工程において、流路形成孔の位置を確認しつつノズルを形成することができるため、ノズルと流路形成孔との位置ずれを防止できる。
【０００９】
また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、ノズル形成工程において、流路形成孔を通して第２プレートにパンチを打ち込むことで、第２プレートにその表面側に貫通しない凸部を形成した後、凸部を除去して、第２プレートの表面側を平坦化することでノズルを形成してもよい。このようにパンチを用いたプレス加工でノズルを形成することにより、内面が円滑になり、所定の直径のノズルを精度よく形成することができる。
【００１０】
また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、ノズル形成工程の後に、第２プレートの第１プレートと反対側のインク吐出面に撥水膜を形成する撥水膜形成工程を備えていてもよい。撥水膜の形成に熱処理が必要な場合に、接着剤で流路形成孔が形成されたプレートとノズルが形成されたプレートとを接着した後に撥水膜の形成を行う際、撥水膜の熱処理温度よりも接着剤の耐熱温度が低いと、熱処理の際に、接着剤が劣化する虞がある。しかし、本発明では、第１プレートと第２プレートとを真空条件で、高温状態して加圧することにより接合しているので、撥水膜の熱処理の際に接着剤が破壊されるという問題が生じない。また、第１プレートと第２プレートとを接合した後に、第２プレートに撥水膜を形成するため、第１プレートと第２プレートとの接合の際の高温状態により撥水膜が破壊されることがない。
【００１１】
このとき、撥水膜形成工程において、所定温度よりも耐熱温度の低い材料で撥水膜を形成してもよい。この場合でも、第１プレートと第２プレートとを接合してから第２プレートに撥水膜を形成するため、第１プレートと第２プレートとの接合工程における加熱の際に撥水膜が破壊されることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施の形態は、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。
【００１３】
図１は本実施の形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。尚、図中の２点鎖線で示された領域は、アクチュエータユニット２が配置される領域である。インクジェットヘッド１０１は、被印刷媒体上にインクを吐出して画像を形成するインクジェットプリンタに適用されるものである。図１に示すように、インクジェットヘッド１０１は、流路ユニット１とアクチュエータユニット２とを積層した積層構造を有している。そして、アクチュエータユニット２の流路ユニット１との接合面（下面）と反対側の面（上面）に、インクジェットプリンタが備える制御装置と電気的に接続するためのフレキシブルフラットケーブル４０が接合される。
【００１４】
次に流路ユニット１について図２〜図４及び図６を参照しつつ説明する。図２は、流路ユニット１の分解斜視図である。図３は、図２の部分拡大図である。図４は、ノズルプレート４のインク吐出面の部分平面図である。図６は、図１に示すVI−VI線におけるインクジェットヘッド１０１の断面図である。流路ユニット１は、後で詳述するように、その内部に図示しないインクタンクからインクが供給されるマニホールド１８と、マニホールド１８からインクを吐出する各ノズル１０に至る複数のインク流路１９とを備えている（図６参照）。図２及び図３に示すように、流路ユニット１はキャビティプレート３、ベースプレート４、マニホールドプレート６、７、及びノズルプレート９を備えるとともに、これらを積層した積層構造を有している。各プレート３、４、６、７、９は厚さ５０μｍ〜１５０μｍの略矩形状を有している。尚、本実施の形態では、各プレート３，４，６，７には４２％ニッケル合金鋼板を用い、ノズルプレート９にはＳＵＳ４３０を用いて流路ユニット１を形成している。
【００１５】
キャビティプレート３の短手方向の中央には、長手方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の圧力室１１を形成する孔１１ａが形成されている。孔１１ａは略矩形状を有しており、その長手方向がキャビティプレート３の長手方向に対して垂直方向になるように配置されている。孔１１ａの長手方向におけるキャビティプレート３の外側の端部には、キャビティプレート３の下面側の空間にのみ連通するアパーチャ１１ｂが形成されている。また、キャビティプレート３の長手方向の一端部には、楕円形状を有する凹部１７が形成されている。凹部１７の底部には、凹部１７のキャビティプレート３の短手方向に沿って孔１５ａ、１５ｂが形成されている。凹部１７にはインクタンクから供給されるインクを濾過するための図示しないフィルタが配置される。
【００１６】
ベースプレート４の短手方向の中央には、長手方向に沿って２列の千鳥状に配列された孔１２ａが形成されている。また、ベースプレート４の短手方向の両側には、長手方向に
沿って１列に配列された孔１３が形成されている。さらに、ベースプレート４の長手方向の一端部には、その短手方向に沿って孔１６ａ、１６ｂが形成されている。孔１６ａはキャビティプレート３の孔１５ａに対応する位置に配置されているとともに、孔１６ｂはキャビティプレート３の孔１５ｂに対応する位置に配置されている。
【００１７】
マニホールドプレート６の短手方向の両側には孔６ａ、６ｂが長手方向に沿って延在するように形成されている。マニホールドプレート７の短手方向の両側には凹部７ａ、７ｂが長手方向に沿って延在するように形成されている。孔６ａ及び凹部７ａの一端部はベースプレート４の孔１６ａに対応する位置に配置されているとともに、孔６ｂ及び凹部７ｂの一端部はベースプレート４の孔１６ｂに対応する位置に配置されている。また、孔６ａ、６ｂ及び凹部７ａ、７ｂはベースプレート４の孔１３の各列に対応する位置に配置されている。図６に示すように、マニホールドプレート６、７が接合されることにより、孔６ａ、６ｂ及び凹部７ａ、７ｂがマニホールド１８を構成する。また、マニホールドプレート６、７の短手方向の中央には、長手方向に沿ってベースプレート４の孔１２ａに対応するように複数の孔１２ｂ、１２ｃがそれぞれ形成されている。
【００１８】
ノズルプレート９の短手方向の中央には、長手方向に沿ってマニホールドプレート７の孔１２ｃに対応するように配列された複数のノズル１０が先細りの略テーパ状に形成されている。また、図４及び図６に示すように、ノズルプレート９のインク吐出面には、ポリテトラフルオロチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素系高分子材料を含有したニッケルメッキ等の撥水膜９２が施されている。これにより、ノズル１０から吐出したインクがインク吐出面のノズル１０の周りにインクが付着して滞留し、次に吐出されたインクと干渉してインクの着弾特性を悪化させるのを防止している。
【００１９】
このような構成により、流路ユニット１内には、図６に示すような、孔６ａ及び凹部７ａ（孔６ｂ及び凹部７ｂ）により形成されたマニホールド１８から、孔１３、アパーチャ１１ｂ、圧力室１１、孔１２ａ、１２ｂ、１２ｃからなる流路１２を経てノズル１０に至るインク流路１９が複数形成されている。
【００２０】
次にアクチュエータユニット２について図５、図６を参照しつつ説明する。図５は、アクチュエータユニット２の分解部分斜視図である。図６に示すように、アクチュエータユニット２は、２枚の圧電シート２１と、２枚の圧電シート２２と、トップシート２３とを備えており、２枚の圧電シート２１、２枚の圧電シート２２が１枚ずつ交互に積層された後にトップシート２３が積層された積層構造を有している。尚、図５においては、下側に積層された圧電シート２１、２２を省略している。
【００２１】
トップシート２３は、絶縁材料からなる矩形状を有するシート部材であり、フレキシブルフラットケーブル４０が備えている信号電極に接続される複数の接続端子２６と、フレキシブルフラットケーブル４０が備えているグランド電極に接続されている複数の接続端子２７とを備えている。接続端子２６は、トップシート２３上の短手方向両側端部に長手方向に沿って配列されている。接続端子２７は、接続端子２６の配列と一体となって配列の両端に配置されている。また、トップシート２３の接続端子２６と直交する側面に、厚さ方向に延在した凹溝３０ａが形成されており、トップシート２３の接続端子２７と直交する側面に、厚さ方向に延在した凹溝３１ａが形成されている。そして、接続端子２６、２７の端部が、凹溝３０ａ、３１ａに露出するように配置されている。
【００２２】
圧電シート２２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる矩形状を有するシート部材であり、接続端子２６と電気的に接続される複数のダミー電極２９と、接続端子２７と電気的に接続される共通電極２５とを備えている。ダミー電極２９は、トップシート２３の接続端子２６に対応するように、圧電シート２２上の短手方向両側端部に長手方向に沿って配列されている。共通電極２５は、圧電シート２２上の中央部に広がって配置されているとともに、トップシート２３の接続端子２７に対応するようにダミー電極２９の配列と一体となって配列の両端に配置されている端部電極２５ａを備えている。また、圧電シート２２のダミー電極２９と直交する側面に厚さ方向に延在した凹溝３０ｂが形成されており、圧電シート２２の端部電極２５ａと直交する側面に厚さ方向に延在した凹溝３１ｂが形成されている。そして、ダミー電極２９及び端部電極２５ａの端部が、凹溝３０ｂ、３１ｂに露出するように配置されている。
【００２３】
圧電シート２１は、ＰＺＴからなる矩形状を有するシート部材であり、接続端子２６と電気的に接続される複数の個別電極２４と、接続端子２７と電気的に接続されるダミー電極２８とを備えている。個別電極２４は、トップシート２３の接続端子２６に対応するように、圧電シート２１上の短手方向両側端部に長手方向に沿って配列されている。また、個別電極２４は、流路ユニット１の圧力室１１に対応するように、圧電シート２１の中央付近まで延在している（図６参照）。ダミー電極２８は、トップシート２３の接続端子２７に対応するように、個別電極２４の配列と一体となって配列の両端に配置されている。また、個別電極２４と直交する圧電シート２１の側面に、厚さ方向に延在した凹溝３０ｃが形成されており、ダミー電極２８と直交する圧電シート２１の側面に、厚さ方向に延在した凹溝３１ｃが形成されている。そして、個別電極２４及びダミー電極２８の端部が、凹溝３０ｃ、３１ｃに露出するように配置されている。
【００２４】
２枚の圧電シート２１、２枚の圧電シート２２及びトップシート２３が積層されることにより、凹溝３０ａ〜３０ｃ及び凹溝３１ａ〜３１ｃがそれぞれ一体となりアクチュエータユニット２の側面を厚さ方向に延在する凹溝３０、３１を形成する。そして、凹溝３０、３１には導電ペーストが塗布されている。
【００２５】
ここで、アクチュエータユニット２の作用を説明する。本実施の形態によるインクジェットヘッド１０１において、圧電シート２１、２２はその厚み方向に分極されている。したがって、個別電極２４を共通電極２５と異なる電位にして圧電シート２１、２２に対してその分極方向に電界を印加すると、その電界が印加された部分が活性層として働き、その厚み方向すなわち積層方向に伸長又は収縮しようとする。本実施の形態では、活性層として働く電圧シート２１、２２が３層積層されており、各層の厚み方向の変位が重ね合わされることとなる。
【００２６】
ここで、例えば、トップシート２３の接続端子２６が接続されているフレキシブルフラットケーブル４０の信号電極の電位を、電界の方向と分極方向とが同方向となるような正又は負の所定電位とすると、複数の圧電シート２１、２２は厚み方向に伸張するように変形しようとする。このとき、図６に示すように、最下層の圧電シート２１の下面は圧力室１１を区画するキャビティプレート３の上面に固定されているので、圧電シート２１、２２は圧力室１１側へ突出するように変形する。このため、圧力室１１の容積が低下して圧力室１１内のインクの圧力が上昇し、圧力室１１に連通するノズル１０からインクが吐出される。その後、個別電極２４を共通電極２５と同じ電位に戻すと、圧電シート２１、２２は元の形状になって圧力室１１の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド１８側から吸い込む。
【００２７】
次に、図７の工程図、及び、図８、図９を参照しつつ、インクジェットヘッド１０１の製造方法について説明する。図７のＳ１ｉ（ｉ＝０、１、・・・、５）は各工程を表している。図８は、ノズルプレート９にノズル１０を形成する工程を表す図であり、図９は、ノズル１０が形成されたノズルプレート９のインク吐出面に撥水膜９２を形成する工程を表す図である。
【００２８】
まず、キャビティプレート３、ベースプレート４及びマニホールドプレート６、７の４枚の金属プレートに対してエッチング加工やパンチング加工等を施すことにより、図２に示すような孔６ａ、１２ａ及び凹部７ａ、１７等を夫々形成する（Ｓ１０）。但し、このとき、ノズルプレート９にはノズル１０を形成しない。ノズル１０は、後述するように、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とを接合した後に形成する。
【００２９】
次に、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とを接合するが、接着剤によりノズルプレート９とマニホールドプレート７とを接着する方法では、ノズル１０を形成してから両者を接着した場合には、接合面から接着剤がノズル１０内に流入することによりノズル１０の径が変化し、印字精度が低下する虞がある。
【００３０】
従って、図８（ａ）に示すように、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とを積層させ、真空条件下で、３０〜６０分間、９００〜１０５０℃程度の高温状態にしてこれらの金属プレート７及び９を積層方向に加圧する。すると、接合面において金属原子が互いに拡散し、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とが接合される（Ｓ１１）。このように、金属プレートを真空条件下で、高温状態にして加圧することにより接合すれば、撥水膜の処理温度に耐えることができる。さらに、ノズル１０を形成してから接着剤で両者を接合したときのように、接合面から接着剤がはみ出してノズル１０内に流入することによりノズルの径が変化し、印字精度を低下させてしまう問題は発生しない。
【００３１】
次に、カメラ等によりマニホールドプレート７の孔１２ｃ（流路形成孔）を撮影し、撮影された画像に基づいてパンチ４５を所定の位置にセットすることにより、パンチ４５の中心とマニホールドプレート７の孔１２ｃ（流路形成孔）の中心とを位置合わせする。パンチ４５は、図８（ｂ）に示すように、先端部付近において、先細り形状になっており、この先細り形状の最も細い部分から円柱状に突出した先端部を有している。そして、パンチ４５の先端が少なくともノズルプレート９のインク吐出面（図８の上面）の位置まで来ており、且つ、パンチ４５がノズルプレート９を貫通しない程度にパンチ４５をマニホールドプレート７側からノズルプレート９に打ち込む。
【００３２】
次に、パンチ４５を外し、電解研磨、流体研磨、ラップ盤による研削、磁気研磨、低周波超音波による洗浄等、公知の方法により凸部９ａを除去することにより、図８（ｃ）に示すように、インク吐出面を平坦化するとともにノズル１０を形成する（Ｓ１２）。このとき、マニホールドプレート７の孔１２ｃの中心ととパンチ４５の中心とを位置合わせしてパンチ４５を打ち込んでいるので、形成されたノズル１０とマニホールドプレート７の孔１２ｃとの位置ずれが生じない。また、パンチ４５によるプレス加工によりノズル１０を形成しているので、内面の状態が円滑になり、所定の直径のノズルをを精度よく形成することができる。
【００３３】
次に、インク吐出面に撥水膜９２を形成する工程について説明する。まず、図９（ａ）に示すように、レジストとしてフィルム状の光硬化性樹脂５０を加熱しながらローラなどにより圧着して、加熱温度、圧力及びローラ速度等を調整して、ノズル１０の先端部に所定量の光硬化性樹脂５０を充填する。
【００３４】
次に、図９（ｂ）に示すように、マニホールドプレート７側からノズル１０を通してインク吐出面側の光硬化性樹脂５０に対して紫外線レーザ光等を照射して、ノズル１０内の光硬化性樹脂５０を硬化させる。ここで、光の露光量を調整することにより、ノズル１０内を通る光により光硬化性樹脂５０をノズル１０が延びる方向にのみ硬化させることで、光硬化性樹脂５０に、ノズルプレート９のインク吐出面側から部分的に突出し、且つ、ノズル１０の吐出口の内径と等しい径の柱状硬化部５１を形成する。
【００３５】
次に、図９（ｃ）に示すように、ノズルプレート９の表面の光硬化性樹脂５０のうち、柱状硬化部５１以外の部分を、現像液、例えば、１％Ｎａ2ＣＯ3等（アルカリ剥離液）により溶解させて除去し、柱状硬化部５１によりノズル１０の吐出口をマスキングし且つ柱状硬化部５１がノズルプレート９の表面から突出した状態で残す。
【００３６】
この状態で、図９（ｄ）に示すように、ノズルプレート９の表面にポリテトラフルオロチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素系高分子材料を含有したニッケルメッキ等の１〜５μｍの厚みを有する撥水膜９２を形成する。そして、図９（ｅ）に示すように、撥水膜９２の形成後に柱状硬化部５１を、剥離液、例えば、３％ＮａＯＨ等により溶解させて除去する。
【００３７】
その後、撥水膜９２を安定させるために、例えば、３２０〜３９０℃で１５〜４０分程度、熱処理を行う。このとき、例えば、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とをエポキシ系接着剤で接着した場合には、接着剤の耐熱温度が撥水膜９２の熱処理温度よりも低い１３０〜１５０℃程度であるので、接着後にこのような撥水膜９２の熱処理を行うと接着剤が破壊されてしまう。しかし、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とを真空条件下で、高温状態にして加圧することにより接合しているので、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とを接合した後に撥水膜９２を形成し熱処理を行うことができる。また、撥水膜９２の形成は、ノズルプレート９とマニホールドプレート７との接合の後に行っていることから、撥水膜９２の耐熱温度はノズルプレート９とマニホールドプレート７との接合の際の温度（９５０℃程度）よりも低い３２０〜３９０℃程度であるが、接合の際の加熱により撥水膜９２が破壊されることもない。このようにして、ノズルプレート９のインク吐出面に撥水膜９２を形成する（Ｓ１３）。
【００３８】
この後、キャビティプレート３の孔１５ａ及び１５ｂと、ベースプレート４の孔１６ａ及び１６ｂと、マニホールドプレート６の孔６ａ及び６ｂの一端と、マニホールドプレート７の凹部７ａ及び７ｂの一端とが夫々対応するとともに、キャビティプレート３の孔１１ａと、ベースプレート４の孔１２ａとマニホールドプレート６の孔１２ｂとマニホールドプレート７の孔１２ｃとが夫々対応するように金属プレート３、４及び６とマニホールドプレート７とを互いに位置合わせしてエポキシ系の熱硬化性接着剤等を介して積層させる。そして、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しながら加圧し、金属プレート３、４、６及び７を互いに接合させる（Ｓ１４）。
【００３９】
次に、流路ユニット１とアクチュエータユニット２とを、アクチュエータユニット２の個別電極２４と共通電極２５との重なり部分が、流路ユニット１の圧力室１１に対応する位置になるように位置合わせしつつ、熱硬化性接着剤等を介して積層させる。その後、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しながら加圧し流路ユニット１とアクチュエータユニット２とを接合させる（Ｓ１５）。このようにして、インクジェットヘッド１０１を完成させる。
【００４０】
以上に説明したインクジェットヘッドの製造方法によれば、次のような効果が得られる。ノズルプレート９とマニホールドプレート７とを真空条件下で、高温状態にして加圧することにより接合しているので、撥水膜の処理温度に耐えることができる。さらに、ノズル１０を形成してから両者を接着剤で接着した場合のように、接合面から接着剤がはみ出してノズル１０内に流入し、この接着剤によりノズル１０の径が変化して印字精度が低下することはない。また、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とを接合した後にノズル１０を形成しているので、マニホールドプレート７の孔１２ｃの位置を確認しながらノズル１０を形成することができ、ノズル１０と孔１２ｃとの位置ずれを防止することができる。また、パンチ４５によりノズル１０を形成しているので、内面の状態が滑らかになり、所定の直径のノズル１０を精度よく形成することができる。
【００４１】
さらに、ノズルプレート９とマニホールドプレート７とを接合した後にノズルプレート９のインク吐出面に撥水膜９２を形成しているので、接合の際の高温状態で撥水膜９２が破壊されることはない。
【００４２】
次に、本実施の形態に種々の変更形態を加えた変更形態について説明する。
【００４３】
ノズル１０は、ノズルプレート９にエッチングを施すことにより形成したり、ノズルプレート９にレーザ光を照射して形成してもよい。
【００４４】
ノズルプレート９のインク吐出面の撥水膜は、インク吐出面にフッ素系あるいはシリコン系の樹脂の溶液を塗布することにより形成してもよい。この場合も、撥水膜の安定化のために、インク吐出面にこれらの樹脂を塗布した後、本実施の形態と同様の熱処理を行う。また、インク吐出面に電子ビームあるいはレーザービームを照射してインク吐出面をアモルファス状態にし、急激に冷却することによりこのアモルファス状態を保ちつつ凝固させることによりインク吐出面にアモルファス層の撥水膜を形成してもよい。このように、電子ビームあるいはレーザービームの照射により撥水膜を形成する場合には、ノズルプレート９とマニホールドプレート７との接合の際の高温状態（９５０℃程度）でこの撥水膜は破壊されないのでノズルプレート９とマニホールドプレート７との接合前にノズルプレートのインク吐出面に撥水膜を形成してもよい。
【００４５】
また、前記実施形態では、金属プレート３、４及び６を接着剤で接着しているが、これら金属プレート３、４及び６の一部又は全てを真空条件下で、高温状態にして加圧することにより接合してもよい。また、前記実施形態では、ノズルプレート９とマニホールドプレート７の２枚のみを一度に接合しているが、その他の金属プレート３、４及び６の一部又は全てをノズルプレート９とマニホールドプレート７と同時に接合してからノズルプレート９にノズル１０を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本実施の形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１に示す流路ユニットの分解斜視図である。
【図３】図２に示す流路ユニットの部分拡大図である。
【図４】図２に示すノズルプレートのインク吐出面の部分平面図である。
【図５】図１に示すアクチュエータユニットの分解斜視図である。
【図６】図１に示すVI−VI線におけるインクジェットヘッドの断面図である。
【図７】図６のインクジェットヘッドの製造工程を表す工程図である。
【図８】図２のノズルプレートにノズルを形成する工程を示す図である。
【図９】図８のノズルプレートのインク吐出面に撥水膜を形成する工程を表す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  流路ユニット
２  アクチュエータユニット
７  マニホールドプレート
９  ノズルプレート
９ａ  凸部
１０  ノズル
４５  パンチ
９２  撥水膜
１０１  インクジェットヘッド
【図１】
2006181796.tif 000003
【図２】
2006181796.tif 000004
【図３】
2006181796.tif 000005
【図４】
2006181796.tif 000006
【図５】
2006181796.tif 000007
【図６】
2006181796.tif 000008
【図７】
2006181796.tif 000009
【図８】
2006181796.tif 000010
【図９】
2006181796.tif 000011