(57)【要約】【課題】  リン等の有機化合物の捕集効率の低下を無くし、リントラップの交換周期を長くすることができる有機化合物捕集装置を提供することにある。【解決手段】  回収槽１０内に、導入したガス中の有機化合物を冷却凝固させる冷却板１３を設けた有機化合物捕集装置において、冷却板１３に、冷却板１３に付着堆積した凝固物を除去するスクレイパー１８を設けたものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回収槽内に、導入したガス中の有機化合物を冷却凝固させる冷却板を設けた有機化合物捕集装置において、冷却板に、冷却板に付着堆積した凝固物を除去するスクレイパーを設けたことを特徴とする有機化合物捕集装置。
【請求項２】
冷却板は薄型の箱状に形成され、その冷却板内に冷却液が供給・排出される請求項１記載の有機化合物捕集装置。
【請求項３】
スクレイパーは、冷却板を挟むように上下多段に配置されると共に、その両側がハンドルスティックに連結され、そのハンドルスティックが、回収槽の上方に延出され、ハンドルスティックの上下動で各段のスクレイパーが、冷却板に沿って上下動される請求項１又は２記載の有機化合物捕集装置。
【請求項４】
回収槽内に導入されるガスは、ホスフィンなどのリン化合物が熱分解されたガスであり、冷却板でそのガス中のリンを捕獲し、スクレイパーで、冷却板に堆積したリンをそぎ落とす請求項１〜３いずれかに記載の有機化合物捕集装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置から排出されたリンなどの有機化合物捕集装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置では、５族原料にホスフィン等のリン化合物のガスをエピタキシャル成長の原料として使用しているが、リン化合物が熱分解して生成されるリンが自然発火性をもち、かつ有害であるため製造装置から排気されたガスを回収する必要がある。また、リンが排気配管や排気用ポンプ内に付着・堆積することにより配管及びポンプ内部が閉塞すると生産が停止してしまうため、排気系の一部にリントラップを配置し、生成されたリンを捕獲する必要がある。
【０００３】
従来技術の捕獲方法の一つとしてリンの融点が約４４℃であることを利用したコールドトラップがある。リン化合物が熱分解されて生成されるリンは高温の気体であるが、この気体をリンの融点以下に冷却したリントラップ内にてリンを固体化させて捕獲する必要がある。
【０００４】
このリントラップは、図４、図５に示すように、リンを含むガスを導入する回収槽３０内に複数枚の冷却板３１を設け、その冷却板３１内に冷却液通路３２を形成し、冷却液通路３２内に冷却液３３を流し、回収槽３０のガス導入口３４からリンを含むガスを導入して冷却板３１で冷却することで、リンが冷却板３１に凝固付着され、ガス中からリンを除去して排気口３５から排出するものである。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２４９６３１号公報
【特許文献２】特開２００１−２９７９８８号公報
【特許文献３】特開２００３−３４７２１３号公報
【特許文献４】特開２００３−１３５９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述の従来技術では、リンの捕獲効率が下がることと、リントラップを定期的に交換する必要があるという二つの問題がある。
【０００７】
すなわち、第一の問題は、リントラップのガスを冷却する冷却板３１の部分は金属製であるが、リンの熱伝導率は金属に比べて小さいため、冷却板３１の部分にリンが厚く堆積してしまうと、冷却水との熱交換効率が悪化し、リンの捕獲効率が悪化するという問題である。リンの捕獲効率が悪化するとリントラップより先までリンが流出し、配管及びポンプ内部が閉塞するおそれがある。
【０００８】
第二の問題は、リントラップの内部にリンが多量に堆積するとリントラップ内で閉塞箇所が生まれるため、リントラップを定期的に交換する必要があるという問題である。
【０００９】
本発明の目的は、リン等の有機化合物の捕集効率の低下を無くし、リントラップの交換周期を長くすることができる有機化合物捕集装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明は、回収槽内に、導入したガス中の有機化合物を冷却凝固させる冷却板を設けた有機化合物捕集装置において、冷却板に、冷却板に付着堆積した凝固物を除去するスクレイパーを設けた有機化合物捕集装置である。
【００１１】
請求項２の発明は、冷却板は薄型の箱状に形成され、その冷却板内に冷却液が供給・排出される請求項１記載の有機化合物捕集装置である。
【００１２】
請求項３の発明は、スクレイパーは、冷却板を挟むように上下多段に配置されると共に、その両側がハンドルスティックに連結され、そのハンドルスティックが、回収槽の上方に延出され、ハンドルスティックの上下動で各段のスクレイパーが、冷却板に沿って上下動される請求項１又は２記載の有機化合物捕集装置である。
【００１３】
請求項４の発明は、回収槽内に導入されるガスは、ホスフィンなどのリン化合物が熱分解されたガスであり、冷却板でそのガス中のリンを捕獲し、スクレイパーで、冷却板に堆積したリンをそぎ落とす請求項１〜３いずれかに記載の有機化合物捕集装置である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、冷却板にスクレイパーを設けることで、冷却板に堆積した凝固物をそぎ落とすことで、冷却板の冷却効率の悪化を防ぐことが可能となり、凝固物の堆積で回収槽内が閉塞した後でも、スクレイパーでそぎ落とすことができるため、回収槽の交換周期を２倍以上に増やすことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下本発明の実施形態を添付図面により説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施の形態を示す正面断面図で、図２は図１の平断面図を示している。
【００１７】
図１，図２において、１０は、回収槽で、上部に半導体製造装置などから排気された処理ガスを導入する導入口１１が形成され、下部にその処理ガスの排出口１２が形成される。
【００１８】
回収槽１０内には、薄型箱状に形成された冷却板１３が複数枚垂直に並べられて設けられ、回収槽１０の上部には、各冷却板１３内の冷却通路１４内に冷却液１５を供給する冷却液導入配管１６と冷却液排出管１７とが設けられる。
【００１９】
この冷却板１３の表裏には上下多段にスクレイパー１８が設けられ、そのスクレイパー１８の両側にハンドルスティック１９が取り付けられ、スクレイパー１８が冷却板１３を挟むように、かつ冷却板１３に沿って移動自在になるよう設けられる。ハンドルスティック１９は、回収槽１０の上方に延出するように設けられ、その上端に握り部２０が設けられ、握り部２０にてハンドルスティック１９が上下動できるようになっている。
【００２０】
スクレイパー１８は、図３に示すように断面台形状に形成され、その上下の刃部１８ａ、１８ｂで冷却板１３に堆積する固形物をそぎ落とすことができるようになっている。
【００２１】
次に本発明の作用を説明する。
【００２２】
半導体製造装置から排出されたリン化合物を含む処理ガスは、そのまま或いはリン化合物が熱分解されて導入口１１から回収槽１０内に導入される。
【００２３】
一方、冷却板１３の冷却通路１４内には、冷却液導入配管１６から冷却液１５が導入され、冷却液排出管１７から排出される。
【００２４】
回収槽１０内に導入された処理ガスは、冷却板１３により冷却され、ガス中のリンなどが融点以下の温度となり凝固して冷却板１３に付着して捕集された後、排出口１２から排気される。
【００２５】
このリン等の捕集運転を続けると冷却板１３の面に凝固物が堆積し、冷却効率が悪化するため、ハンドルスティック１９の握り部２０を手動にて上下させることで、スクレイパー１８が冷却板１３の面に沿って上下移動し、凝固物をそぎ落とすことができる。
【００２６】
このようにスクレイパー１８で冷却板１３に付着したリン等をそぎ落とすことで、冷却効率の悪化を防ぐことが可能となる。また、回収槽１０の内部が閉塞したとしても、閉塞部分のリン等をスクレイパー１８でそぎ落とすことができるため、回収槽１０の交換周期を２倍以上に増やすことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施の形態を示す正面断面図である。
【図２】図１の平断面図である。
【図３】図１，図２におけるスクレイパーの詳細斜視図である。
【図４】従来例を示す正面断面図である。
【図５】図４の平断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０  回収槽
１３  冷却板
１８  スクレイパー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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