(57)【要約】【課題】  プロファイル形状の熱感度がより小さいサスペンション搭載スライダおよびその製造方法を提供する。【解決手段】  スライダ３１０のエアベアリング面７５だけでなく背面７７にも凸状プロファイルを形成する。両面が同じプロファイルになっていることは、スライダ３１０の両面にバランスのとれた応力を生じさせる上で好都合である。スライダの背面７７のプロファイルが変化すると、スライダ構造全体の応力分布が再編されるため、スライダ３１０のエアベアリング面７５が所望の状態に変位する。僅かな製造プロセス変更によって、ウェハやサスペンションについて追加的な設計変更を行うことなく、スライダ３１０の熱感度を低減させることができる。さらに、室温下でも低温下でも、スライダ表面プロファイルの分布を正確にコントロールすることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高精度に制御された形状分布と小さい熱感度（温度による変形感度）とを有するエアベアリング面をもったサスペンション搭載スライダを製造する方法であって、
複数のスライダが列状に作り込まれたスライダ列バーを用意する工程と、
前記スライダ列バーに、頂部を有する中高の(crowned convex)エアベアリング面形状を形成する工程と、
前記スライダ列バーに、滑らかな中高の(convex)背面形状を形成する工程と、
前記スライダ列バーを個々のスライダにスライスして、各スライダが、前記スライダ列バーに形成された前記滑らかな中高の背面形状をもつようにする工程と、
前記スライダをサスペンションに取り付けて、それに電気的接続部を形成する工程と
を含むことを特徴とするサスペンション搭載スライダの製造方法。
【請求項２】
等高曲面研磨盤(contoured lapping plate)を用いて、前記スライダ列バーを微細なダイヤモンドスラリー中で研磨することにより、前記滑らかな中高の背面形状を形成する
ことを特徴とする請求項１に記載のサスペンション搭載スライダの製造方法。
【請求項３】
前記滑らかな中高の背面形状が、頂部(crown)を有する形状であって、前記エアベアリング面形状と実質的に同様である
ことを特徴とする請求項１に記載のサスペンション搭載スライダの製造方法。
【請求項４】
粘弾性接着剤を用いて前記スライダを前記サスペンションに取り付ける
ことを特徴とする請求項１に記載のサスペンション搭載スライダの製造方法。
【請求項５】
金のボールを用いて前記スライダに対する電気的接続部を形成する
ことを特徴とする請求項１に記載のサスペンション搭載スライダの製造方法。
【請求項６】
高精度に制御された形状分布と小さい熱感度（温度による変形感度）とを有するエアベアリング面をもったサスペンション搭載スライダであって、
サスペンションと、
前記サスペンションに取り付けられた、滑らかな中高の背面形状を有するスライダと、
前記スライダとコンタクトをとるように形成された電気的接続部と
を備えたことを特徴とするサスペンション搭載スライダ。
【請求項７】
前記エアベアリング面の形状および前記滑らかな中高の背面形状が、頂部を有する中高の形状を有しており、互いに実質的に同様である
ことを特徴とする請求項６に記載のサスペンション搭載スライダ。
【請求項８】
粘弾性接着剤を用いて前記スライダが前記サスペンションに取り付けられている
ことを特徴とする請求項６に記載のサスペンション搭載スライダ。
【請求項９】
金ボールを用いて前記電気的接続部が形成されている
ことを特徴とする請求項６に記載のサスペンション搭載スライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）に用いられるサスペンション搭載スライダおよびその製造方法に係わり、特に、製造工程においてエアベアリング面形状のプロファイル制御を改善することでスライダ浮上量を制御可能にするサスペンション搭載スライダおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
広範なカスタマーアプリケーションにおけるハードディスクドライブの導入に伴い、その形状因子(form factor) が確実に縮小しつつある。このサイズ縮小という要素は、最終的に、ドライブのすべての部品に影響してくる。特に、記録再生ヘッドおよびそのスライダアッセンブリもまた、数桁オーダでのサイズ縮小がなされている。このことは、スライダ／ドライブメーカに重大な影響を及ぼすこととなる信頼性上の問題を顕在化させる。ドライブサイズの縮小と共に、情報記憶能力もまた増大してきた。
【０００３】
従来、高密度情報記録の実現を図るための方策は、スライダとディスクとの間の磁気スペースを縮小するという方向に向けて採られていた。図５は、室温動作温度下のディスクドライブ動作中において磁気ディスク上方に置かれたサスペンション搭載スライダ（ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）と呼ばれている）を模式的に表すものである。サスペンション１０は、スピンドルに取り付けられた磁気ディスク４０の表面の上方に、ある角度でスライダ２０を保持し、スライダエッジとディスクとの間に磁気スペース５０を形成している。この図５は、Satohらによる米国特許出願（特許文献１）の図１とほぼ同様である。この文献は、弾性変形可能な舌状体を有する可撓部材によってサスペンションに固定されたスライダを開示している。その目的は、ヘッドとそれに付随する電気アセンブリとの間の電気伝導性を向上させ、静電放電の問題を回避することである。
【０００４】
ディスク表面への情報記録における現在の水準では、ナノメータオーダーの磁気スペースが必要である。これは、スライダ表面（ディスクに対向する面）の形状プロファイルのみならずスライダフライハイト（ディスク回転中のスライダ浮上量）の超高精度コントロールを保つという点において、製造者にとって初めての経験である。フライハイトもスライダ形状も、ともに、最終製造工程にとって影響の大きいパラメータであり、ＨＤＤの十分な性能を保証するには極めて厳重にコントロールされる必要がある。
【０００５】
ＨＤＤの性能における重要な信頼性要素のひとつとして、低温条件下（約１０℃以下）で良好に動作すること、というＨＤＤ能力があげられる。そのような条件下では、熱応力によってスライダプロファイルが著しく変化する。例えば、スライダ表面のクラウン (crown）と呼ばれる凸曲面カーブがきつくなる。その結果、スライダ上に形成されているヘッドがディスク表面から遠ざかってしまい、ディスクへの書込性能が低下する。この現象は‘cold over write’（ＣＯＷ）と呼ばれる。図６は、ＨＤＤ動作環境が図５に示した通常室温下ではなく低温下である点を除き、実質的に図５と同じである。回転するディスク上空をスライダが滑空する際の磁気スペース５０の拡大は、クラウンのカーブがよりきつくなったことによるものである。
【０００６】
エアベアリング面（ＡＢＳ）にカーブを形成し、そのカーブをコントロールすることの必要性については従来より認識されていた。例えば、Tam らによる特許文献２には、撓んだスライダ表面にパルスレーザビームを照射することにより、極めてきついクラウンカーブやキャンバー（camber；反り）カーブをスライダに形成し、スライダ表面に既知の応力変化を生じさせるようにした方法および装置が開示されている。この方法は、同様のプロセスで発生しがちな応力クラックを伴わずに、そのような応力撓曲(stress flexure)を形成することを意図したものである。
【０００７】
Khlif らによる特許文献３においても、光ビームにより生ずる応力を利用してスライダＡＢＳ面のカーブを調整する方法が開示されている。そこには、表面応力を生じさせる光ビームで表面を走査することでカーブ量をコントロールする装置も含まれる。
【０００８】
【特許文献１】米国特許公開公報ＵＳ２００３／００５３２５６号
【特許文献２】米国特許第６８３１２４９号
【特許文献３】米国特許第６６２７９０９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記した問題点（すなわち、低温下でクラウンカーブがきつくなることによる磁気スペースの増大）を軽減または取り除き得る方法として、すべての動作温度にわたってスライダプロファイルの変化をコントロールすることが考えられる。ここで留意すべきことは、高温（約５０℃）でのデータ書込みに関しては、さほど重要な問題は起きないということである。スライダプロファイルは、高温ではあまり変化しないからである。
【００１０】
スライダプロファイルの変化を説明し得る理由として、スライダとサスペンションの熱膨張係数（ＣＴＥ）の差が考えられる。例えば、スライダの熱膨張係数ＣＴＥが７．５ｐｐｍ程度であるのに対し、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）中のサスペンションの熱膨張係数ＣＴＥは１７．５ｐｐｍ程度である。この係数の差は、温度変化中にＨＧＡに発生してスライダ本体に伝達される応力を引き起す原因となり得る。一旦、スライダにこの応力が現れると、ＡＢＳのプロファイルが図７に示したように変化する。
【００１１】
図７は、粘弾性接着剤１５でサスペンション１０に取り付けられ電気接続部７０によりコンタクトがとられたスライダ２０に低温下で現れる応力（矢印で図示）を模式的に表すものである。スライダ材料とサスペンション材料との間の熱膨張係数の差に起因してスライダ２０に圧縮応力（内側向きの矢印）が生じるが、スライダ２０は、上記のように粘弾性接着剤２５によってサスペンション１０に固着されると共に電気接続部７０によってコンタクトがとられているので、ＡＢＳ面６０におけるクラウン（最頭頂カーブ領域）は、通常の室温の場合（破線６５で図示）に比べて、よりきつくカーブする。その結果、そのきつくなったカーブは、スライダとディスクとの間の磁気スペースを増大させ、上記のＣＯＷ状態に至ることになる。
【００１２】
スライダプロファイルの温度依存変化感度を低減させる対策をとることは、ウェハ段階（各スライダに分割する前の段階）でも可能である。この場合には、スライダを設計し直して、より温度感度の低いウェハ材料を開発することになる。しかしながら、この方法は、問題解決方法としては高コストである。他の解決方法として、（おそらく同様のコストと時間がかかると考えられるが）、熱応力を考慮してサスペンションや接着剤を設計し直す方法もある。これらの方法は、それなりに実現可能性はあるものの、多くの労力とコストとを必要とするものである。
【００１３】
本発明はかかる問題に鑑みてなされたもので、その目的は、本発明者による現行のスライダ製造工程を僅かに修正することにより、エアベアリング面プロファイルについて所望の安定性を確保することを可能とするサスペンション搭載スライダおよびその製造方法を提供することにある。
【００１４】
具体的には、本発明の第１の目的は、エアベアリング面をもったスライダのプロファイル形状を熱応力に対してより低感度なものにすることにより、ヘッド−ディスク間の磁気スペースの変化によって磁気ヘッドの記録再生性能が悪影響を受けるようなことのないサスペンション搭載スライダおよびその製造方法を提供することにある。
【００１５】
本発明の第２の目的は、広い動作温度にわたってスライダ表面プロファイルのより精確な(tight) コントロール、すなわち、クラウン高さの分布をきちんと揃ったものにすること（クラウンシグマ（クラウン高さ分布の標準偏差）の精確なコントロール）が可能なサスペンション搭載スライダおよびその製造方法を提供することにある。
【００１６】
本発明の第３の目的は、サスペンションタイプ、スライダ−サスペンション間の接着剤、スライダへの電気的接続のやり方とは関わりなく良好な結果が得られるサスペンション搭載スライダおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明のサスペンション搭載スライダの製造方法は、高精度に制御された形状分布と小さい熱感度とを有するエアベアリング面をもったサスペンション搭載スライダを製造する方法であって、複数のスライダが列状に作り込まれたスライダ列バーを用意する工程と、スライダ列バーに、頂部を有する中高のエアベアリング面形状を形成する工程と、スライダ列バーに、滑らかな中高の背面形状を形成する工程と、スライダ列バーを個々のスライダにスライスして、各スライダが、スライダ列バーに形成された滑らかな中高の背面形状を有するようにする工程と、スライダをサスペンションに取り付けて、それに電気的接続部を形成する工程とを含むものである。
【００１８】
本発明のサスペンション搭載スライダは、高精度に制御された形状分布と小さい熱感度とを有するエアベアリング面をもったサスペンション搭載スライダを製造する方法であって、サスペンションと、サスペンションに取り付けられた、滑らかな中高の背面形状を有するスライダと、スライダとコンタクトをとるように形成された電気的接続部とを備えたものである。
【００１９】
本発明の目的は、現行プロセスの最小限の修正によって達成される。ここにいう現行プロセスとは、クラウン（頂部）をもったエアベアリング面形状を有するスライダ列バーの背面を研削する工程と、この後、スライダ列バーの背面を絶対平面にできるだけ近い形に研磨する工程とを含むものである。このようにスライダの背面に２段階の平面化プロセスを施すのは、前段のスライス工程での残留応力や歪みを除去する等のいくつかの理由からであり、これにより、スライダ厚が一定化され、エアベアリング面のねじれが最小化される。
【００２０】
これに対し、本発明において導入された修正は、スライダの背面に対し、研削に続いて、曲面盤（カーブ形状をもった研磨盤）による研磨プロセスを行うことである。この背面加工工程は、エアベアリング面の形成後に行う。このようにして、エアベアリング面だけでなく背面にも凸状プロファイルをもったスライダ列バーが出来上がる。これらの両面のプロファイルは、事実上、互いにほぼ同じとすることが好ましい。このように両面の形状を同様にすることは、スライダの両面にバランスのとれた応力を生じさせる上で都合のよい条件である。スライダ列バーはその後、個々のスライダにスライスされる。各スライダは、スライダ列バーの状態で既に形成されている所望のエアベアリング面プロファイルと背面プロファイルとを有することになる。エアベアリング面の変化を低減するための手段として背面形状には言及していない上記の従来技術（Tam and Khlif)とは異なり、レーザ照射は不要であるし、レーザ光量やその分布を調整するための光学的手法も不要である。
【００２１】
スライダ背面のプロファイルが変化すると、スライダ構造全体の応力分布が再編されるため、スライダのエアベアリング面が所望の状態に変位する。このような僅かなプロセス変更によって、ウェハやサスペンションについて追加的な設計変更を行うことなく、スライダの熱感度（温度による変形の程度）を低減させることができる。さらに、室温下でも低温下でも、スライダ表面プロファイルの分布を正確にコントロールすることができる。
【００２２】
本発明のサスペンション搭載スライダまたはその製造方法では、制御された研磨盤を用いて、スライダ列バーを微細なダイヤモンドスラリー中で研磨することにより、滑らかな中高の背面形状を形成することが可能である。スライダの滑らかな中高の背面形状は、クラウンを有し、エアベアリング面形状とほぼ同様の形状であることが好ましい。スライダをサスペンションに固定するには、粘弾性接着剤を用いるのが好ましい。なお、粘弾性とは、緩和現象の結果として、弾性変形と粘性流動が重なって現われる性質である。スライダに対する電気的接続部を形成するには、金のボールを用いることが好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のサスペンション搭載スライダおよびその製造方法によれば、スライダのエアベアリング面だけでなく背面にも同様の凸状プロファイルを形成するようにしたので、スライダの両面にバランスのとれた応力を生じさせることができ、スライダのエアベアリング面プロファイル形状を熱応力に対してより低感度にすることができる。この結果、ヘッド−ディスク間の磁気スペースが変化しにくくなり、磁気ヘッドの記録再生性能が温度変化に従って劣化するのを回避することができる。また、広い動作温度にわたってスライダ表面プロファイル分布(クラウン高さの分布)をきちんと揃えることが可能となる。このスライダ表面プロファイル分布は、サスペンションタイプ、スライダ−サスペンション間の接着剤、およびスライダへの電気的接続のやり方等の他の要因によっては、殆ど左右されることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための最良の形態（以下、単に実施の形態という。）について、図面を参照して詳細に説明する。この説明により、本発明の目的、特徴および利点が理解されるであろう。
【００２５】
以下、本実施の形態に係るサスペンション搭載スライダについて、その製造方法の各ステップおよび検証結果と共に説明する。
【００２６】
図１は、本実施の形態のサスペンション搭載スライダの斜視構造を表すものである。このスライダは、ディスク面に対向することとなるエアベアリング面７５と、その反対側の面である背面７７とを有する。エアベアリング面７５には、凸状または凹状のＡＢＳパターン９０，９５が形成されると共に、記録再生ヘッド９７の端面が露出している。記録再生ヘッド９７は、互いに接近した間隔をもって配置された薄膜構造を有する記録ヘッドおよび再生ヘッド（図ではそれぞれ単なる線として描いている）からなり、エアベアリング面７５と交差してそこに露出している。エアベアリング面７５および背面７７と交差する側面には、図示しない外部回路と記録再生ヘッド９７とを接続するための接続用タブ１００が複数形成されている。
【００２７】
エアベアリング面７５は、その中央部が周囲よりも出っ張った（高い）カーブ面となっており、その頂部がクラウン６０である。背面７７もまた、エアベアリング面７５とほぼ同様の形状、すなわち、中央部が周囲よりも突出した凸形状（クラウン形状）を有する。このスライダは、図７に示したものと同様に、サスペンション上に搭載されて接着剤によってサスペンションに固定されると共に電気接続部によってサスペンションに接続されるようになっている。
【００２８】
図２に示したように、スライダ列バー３００またはスライダ３１０の背面７７のクラウン形状は、例えば、曲面研磨盤２００を用いた研磨工程によって形成可能である。この研磨工程では、例えば微細なダイアモンドスラリーを用いることにより、極めて滑らかなカーブ面を得ることができる。
【００２９】
図３は、スライダ列バー３００と、このスライダ列バー３００から切り出されたスライダ３１０（図１に示したものと同じ）とを表すものである。スライダ列バー３００は複数のスライダ３１０を含んでいる。図中の破線円３２０で囲んだ部分には、３個のスライダ３１０が描かれている。各スライダ３１０はエアベアリング面７５および背面７７を有し、スライス工程によって個々に分離されて作製されたものである。本実施の形態では、極めて微細なスラリー（例えばダイアモンドスラリー）を用いた研磨によって、スライダ列バー３００の背面全体が滑らかな凸形状（等高曲面形状）に加工されている。
【００３０】
図４は、本実施の形態に対する比較例のスライダ（図７で図示したスライダ２０）の斜視構造を表すものである。このスライダ２０は、本実施の形態のスライダ３１０とは異なり、平坦（平面）形状の背面８０を有する。この背面８０の形状は、平面盤を用いた研削および研磨を経て形成されたものである。
【００３１】
本実施の形態の方法によれば、スライダのエアベアリング面プロファイルの変化量が最小化されると共に温度変化に対して正確にコントロールされ、これにより、スライダの記録再生ヘッドと磁気ディスク表面との間の磁気スペースが温度変化によって変化する現象を回避または軽減することが可能である。この方法は、簡易なものであり、そのようなサスペンション搭載スライダの製造に用いられている標準的なプロセスに最小限の変更を加えるだけで実現される。具体的には、スライダ（またはスライス前のスライダ列バー）の背面を、従来のような平坦（平面）形状ではなく、等高曲面（contoured surface ）となるように研磨することで実現可能である。
【実施例】
【００３２】
次に、実施例について以下に説明する。
【００３３】
本実施の形態の効果を確認するため、いくつかの製造方法を用いた実験的試験を行い、評価を行った。
【００３４】
例えば、スライダをサスペンションに上に固定するための接着剤およびその塗布パターンが初期段階および動作状態でのクラウンプロファイル形状の変化に寄与することは知られている。温度によってクラウン形状分布が著しく変化することは、スライダ全体の性能（いわゆるＣＯＷ信頼性）にとって有害である。さらに、接着剤タイプ、体積、サスペンションタイプおよびスライダへの電気的接続の形成、等のヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）パラメータは、スライダの熱感度に大きく影響する。したがって、スライダの背面プロファイルの効果を観察するに当たっては、様々な温度の下、色々なＨＧＡパラメータについて検証する必要がある。
【００３５】
ここでは、２つの構成を設定した。構成Ａは、スライダとサスペンションとの間に故意にギャップを作るために、ポリイミド膜で覆われたサスペンション上に（本実施の形態の）カーブ付き背面をもつスライダを取り付けたものである。スライダとサスペンションとの間の電気的接続には金ボールを用いた。スライダ背面に滑らかなカーブ（等高曲面）を形成するために、極めて微細なダイアモンドスラリーを使用した。
【００３６】
構成Ｂは、ポリイミド膜で覆われていないサスペンション上に（本実施の形態の）カーブ付き背面をもつスライダを取り付けたものである。スライダとサスペンションとの間の電気的接続は行わなかった。
【００３７】
これらの２つの構成のアセンブリから、他のＨＧＡ特性やパラメータとは関わりなく、背面クラウンプロファイルの効果を判断し得るほどに十分異なる結果が得られた。
【００３８】
さらに、対照実験用として、上記の２つの実施例Ａ，Ｂのそれぞれに対応して、従来の平坦背面をもつスライダを用いたバージョンα，β（２つの比較例サンプル）を作った。
【００３９】
実験サンプルの構成は、実施例Ａ，Ｂおよび比較例α，βについて同様とした。実験サンプルはＨＧＡアセンブリ（ＡまたはＢ、およびαまたはβ）からなり、ＨＧＡ温度を変化させるために、ばねクランプによってペルチェ素子に取り付けた。低温下での結露防止のために、サンプル全体を窒素充填容器中に封入した。実験テストサンプルの詳細については、好適な実施の形態を作る材料にはならないので、ここでは言及しない。試験の手順はおおよそ次の通りである。
【００４０】
１．ＨＧＡをペルチェ素子に載せて、しっかりと固定する。
２．室温２２℃で、光学干渉計を用いて、クラウン／キャンバー（camber）測定を行う。
３．ＨＧＡを毎秒０．１４℃の速さで５℃まで冷却し、５分間放置する。
４．ステップ２と同様にしてクラウン／キャンバー測定を行う。
５．ＨＧＡを毎秒０．１４℃の速さで５５℃まで加熱し、５分間放置する。
６．ＨＧＡを室温まで戻し、ダメージがないことを保証するために複数回測定を行う。
【００４１】
これらの実験の結果、室温でのＡＢＳクラウンハイト（クラウンの高さ，カーブの強さ）に関して、比較例のスライダ（底部（背面）が平坦なスライダ；flat bottom sliders)は、実施例のスライダ（カーブ付き背面を有するスライダ）よりも大きな初期分布をもっていることが分かった。このことは、サンプル対（Ａ，α）についても、サンプル対（Ｂ，β）についても観察された。したがって、ＡＢＳおよび背面の両方をクラウン形状にすることは、サスペンション、接着剤および接続方法等のＨＧＡ構成パラメータとは関わりなく、有益なことであることが判った。これは、正確なフライハイト分布とドライブの信頼性の向上とをもたらすことから、重要な利点である。
【００４２】
スライダをサスペンションに固定するのに用いる接着剤の塗布パターンは、スライダの熱感度に関して支配的な役割を果たす。実験結果が、接着剤パターンとは無関係であることを保証するために、互いに異なる２つの接着パターン（図示せず）について、繰り返し実験を行った。いずれのケースにおいても、室温および５℃の双方でのクラウンハイト分布（幅）の改善が認められた。結局、接着剤パターンとは無関係に、背面形状に手を加えることが大きな利益をもたらすという結果が得られた。
【００４３】
スライダのクラウンハイトの分布が改善しただけではなく、低温（例えば５℃）におけるクラウンハイト分布がより精確(tight)に揃ったものとなった。すなわち、クラウンシグマを小さくコントロール（ばらつきを小さく）できた。言い換えると、低温下での信頼性がより高いディスクドライブシステムが得られた。
【００４４】
以上の所見から、スライダ列バーまたは各スライダの背面を中高のクラウン形状となるように研磨することにはいくつかの利点があることが明らかになった。
１．室温下における、より精確に(tighter)揃ったＨＧＡクラウンハイト分布
２．低温下で熱感度の改善
３．低温下における、より精確に(tighter)揃ったＨＧＡクラウンハイト分布
【００４５】
以上、実施の形態および実施例を挙げて本発明を説明したが、本発明はこれらに限定されず、種々の変形が可能である。すなわち、当業者であれば理解できるように、上記実施の形態および実施例は本発明の一具体例であり、本発明は上記の内容に限定されるものではない。本発明の特許請求の範囲に合致する限り、製造方法、材料、構造および寸法等についての修正および変更がなされてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明のサスペンション搭載スライダの製造方法によって作製された、カーブ付きエアベアリング面およびカーブ付き背面をもったスライダの斜視図である。
【図２】本発明のスライダに対して曲面研磨盤（コンター盤；contour plate）によって背面研磨を行う際の側面図である。
【図３】複数のスライダを含んで構成されたスライダ列バーであって、その全体が本実施の形態の方法に従って形成されると共に個々のスライダへと分割が可能なスライダ列バーの斜視図である。
【図４】本発明を含まない方法（比較例）によって形成された、カーブ付きエアベアリング面および平坦な背面をもったスライダの斜視図である。
【図５】通常の動作温度下における、スライダ−ディスク表面間の磁気スペースを説明するためのサスペンション搭載スライダの側面図である。
【図６】低い動作温度下において、スライダ−ディスク表面間の磁気スペースが増大した状態を説明するためのサスペンション搭載スライダの側面図である。
【図７】スライダとサスペンションとの間の熱膨張係数の差によってスライダ内部に生じる応力と、それにより生ずる、低い動作温度および通常動作温度でのエアベアリング面プロファイルの変化とを説明するためのサスペンション搭載スライダの側面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０…サスペンション、１５…接着剤、４０…磁気ディスク、５０…磁気スペース、７０…電気接続部、７５…エアベアリング面、７７…背面、３００…スライダ列バー、３１０…スライダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2006269059.tif 000006
【図５】
2006269059.tif 000007
【図６】
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【図７】
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