(57)【要約】【課題】  磁気媒体のヘッドを用いたグライドハイト試験において、表面突起走査時間を短縮すること及び磁気媒体の良否判定を的確にすること。【解決手段】  １次ヘッドであるＧＨヘッドＡにより磁気媒体１のGHT欠陥が検出された場合は、磁気媒体１の半径方向上のＧＨＴ欠陥５の位置に2次ヘッドであるGHヘッドBを移動させ、このGHヘッドBを用いてGHT欠陥５の位置近傍のリング領域６のみのGHT欠陥走査を行う。このGHT欠陥走査で従来の再GHTを補完するので、再GHTはなくなり、しかも、リング領域のサイズは微小になる。従って、処理時間が大幅に短縮される。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気媒体に対してヘッドを用いたグライドハイト試験を行う磁気媒体の突起検査方法であって、
1次ヘッドにより前記磁気媒体を走査して欠陥を検出した場合は、2次ヘッドを前記磁気媒体の前記欠陥の検出位置に移動させ、当該２次ヘッドを用いて前記欠陥の検出位置近傍のみの突起検査を行わせることを特徴とする磁気媒体の突起検査方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記2次ヘッドの突起検出レベルを参照して、前記1次ヘッドの感度を補正することを特徴とする磁気媒体の突起検査方法。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記磁気媒体の検査領域を分割し、各検査領域に対して２以上の１次ヘッドの各々を用いて走査を実行し、いずれかの1次ヘッドが欠陥を検出した場合は、当該欠陥検出位置に対する前記２次ヘッドによる突起検査を実行することを特徴とする磁気媒体の突起検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
磁気ディスク装置に装着される磁気媒体である磁気ディスク（特にハードディスク）におけるヘッドを用いた表面突起検査(グライドハイトテスト)の改良に特徴を有する磁気媒体の突起検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気媒体は出荷前の試験として、表面突起検査であるグライドハイト試験(以後GHT)を行う。このGHTは、磁気ディスク装置に装着後にヘッドクラッシュと言われる現象を引き起こす可能性のある磁気媒体の表面突起を検査する試験である。磁気ディスク装置においてデータのリード・ライトを行う時、磁気ディスクの表面突起と磁気ヘッドが繰り返し接触すると、その突起部損傷が磁気ディスク上の周辺へ拡散し、損傷ダストが磁気ヘッドに吸着して、磁気ヘッドの安定浮上を損ない、リード・ライトエラーが発生する。この現象がヘッドクラッシュである。ヘッドを用いたGHT(以後ヘッドGHT)では、1つのGHヘッドを回転する磁気媒体上に浮上させて、スパイラルに磁気媒体の表面を全面走査し、媒体表面突起に接触した時の衝撃を振動感知センサで検知する。この時のGHヘッドの浮上量は、GHヘッドのばらつきを考慮して確実に表面突起を検出するために磁気ディスクのリード・ライトヘッドの浮上量の半分程度に低くしてあり、振動感知センサの出力電圧を閾値判定してGHT欠陥を選別している。図1に示すように、GHTにおいて磁気媒体の表面突起は、（１）GHヘッドが接触してその振動感知センサの出力電圧が閾値以上となる突起(この突起をType-Aと称す)、（２）GHヘッドが接触してその振動感知センサの出力電圧が閾値未満となる突起(この突起をType-Bと称す)、（３）GHヘッドが接触しない突起(この突起をType-Cと称す)の3つに分類され、Type-Aの突起がGHT欠陥で1つでも存在する磁気媒体はGHTで不良とされる。また、Type-Bの個数はType-Aより数十倍多く媒体表面に存在する。この個数についての知見は、振動感知センサの出力電圧の所定閾値でのGHT欠陥L個(=Type-A個数)、振動感知センサの出力電圧の閾値を0にした時のGHT欠陥M個(=Type-Ａ個数+Type-B個数)から、(M-L)/Lで判明している。このため、GHTの良否によらずGHヘッドは磁気媒体表面のType-B突起との接触は存在し、これらの接触の蓄積によるGHヘッド損傷や磁気媒体の保護膜又は潤滑剤のGHヘッドヘの付着等でGHヘッドの低浮上化が発生し、この低浮上化に伴いGHヘッドと接触が無かったType-CがType-Bに変化して、いっそうGHヘッドの低浮上化が進行し、終にはGHヘッドは磁気媒体上を浮上しない状態に陥る(この時がGHヘッドの寿命である)。このGＨヘッドの低浮上化状態の進行に伴いGHTは表面突起をより過剰に検出してしまうので、GHTで不良品となった磁気媒体は一旦集められ再度GHT(再GHT)が実施され、この再GHTで過検出によって不良とされた本来の良品を救済している。ただし、再GHTにおいても、ヘッドの低浮上化の進行は免れないので、本来は良品である磁気媒体が再GHTで不良として廃棄される場合がある。
【０００３】
さらに、特許文献１に記載されるように、上下両ヘッドの浮上量の違いに着目し、欠陥を検出した場合は、ディスクの周速を低下して、同一ヘッドでリトライ検査を行うことによって、リトライ検査時間を短縮する方法が知られている。また、特許文献２に記載されるように、ディスクの検査領域を半径方向に分割し、各分割領域を別々のヘッドで走査することによって欠陥検査時間を短縮する方法も知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−６３６５号公報
【特許文献２】特開平９−６３０５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
まず、上述のように、GHヘッドは磁気媒体表面のType-B突起との接触により、GHヘッドの低浮上化状態が進行すると、磁気媒体の良否判定の適正が損なわれるという解決すべき課題があり、その課題は再GHTでも同様である。また、この課題は、ヘッドとType-Ｂ突起との接触の蓄積について何等考慮されていない特許文献1および2においても解決することはできない。
【０００６】
次に、GHT処理時間に関する課題について述べる。ヘッドGHT装置の概略を図2に示す。図2の（ａ）は磁気媒体１とＧＨヘッド２の平面図であり、ＧＨヘッド２は、キャリッジ２ａに支持アーム２ｂが取り付けられ、支持アーム２ｂの先端部のスライダー２ｃに振動感知センサ２ｄが取り付けられた構成となっている。図２−（ｂ）〜（ｄ）はＧＨＴ実施時のスピンドル３にローディングする磁気媒体１とＧＨヘッド２との位置関係を示す。３ａはスピンドルモータである。GHTでは、（１）磁気媒体のローディング−磁気媒体の未装着状態(図2−(ｂ））を磁気媒体装着状態(図2−(ｃ）)にする、（２）GHヘッドのローディング−GHヘッドを試験の開始位置に移動し、ローディング機構（図示せず）によりローディングする、（３）GHヘッドでの磁気媒体の表面突起検査−スピンドルモータを回転させて磁気媒体上のGHヘッドを浮上させ、GHヘッドをキャリッジ機構で磁気媒体の半径方向に移動させて、スパイラル状に磁気媒体の表面突起をGHヘッドにより走査する(図2−（ｄ））、（４）GHヘッドのアンローディング−GHヘッドを磁気媒体上から退避させる、（５）磁気媒体のアンローディング−試験した磁気媒体を取り除いて、磁気媒体の未装着状態にする過程からなるが、（３）の表面突起検査に要する時間は、（１），（２），（４），（５）をあわせた所要時間より圧倒的に長いため、GHTの所要時間は（３）の表面突起検査に多くは依存する。一方、ヘッドGHTは磁気媒体1枚づつの試験であるため試験時間は磁気媒体のコストを左右し、試験時問短縮はGHT装置の設備投資を抑えることができる。従って、上記表面突起査に要する時間短縮はヘッドGHTにおける恒常の解決すべき課題である。また、再GHTも総計のヘッドGHT時間を延ばしてしまうと言う課題がある。
【０００７】
そこで本発明の目的は、以上のような課題を解決した磁気媒体の突起検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、磁気媒体に対してヘッドを用いたグライドハイト試験を行う磁気媒体の突起検査方法であって、1次ヘッドにより前記磁気媒体を走査して欠陥を検出した場合は、2次ヘッドを前記磁気媒体の前記欠陥の検出位置に移動させ、当該２次ヘッドを用いて前記欠陥の検出位置近傍のみの突起検査を行わせることを特徴とする。
【０００９】
ここで、前記2次ヘッドの突起検出レベルを参照して、前記1次ヘッドの感度を補正することができる。
【００１０】
さらに、前記磁気媒体の検査領域を分割し、各検査領域に対して２以上の１次ヘッドの各々を用いて走査を実行し、いずれかの1次ヘッドが欠陥を検出した場合は、当該欠陥検出位置に対する前記２次ヘッドによる突起検査を実行することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、磁気媒体のヘッドを用いたグライドハイト試験において、表面突起走査時間を短縮することができる。また、磁気媒体の良否判定が的確になる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（実施例1）
磁気媒体のヘッドGHTおいて、磁気媒体の直径方向に対向した2つのGHヘッドを具備したヘッドGHT装置を図3に示す。磁気媒体で内外周のGHTを行わない領域は、磁気媒体を磁気ディスク装置に装着した時、浮上保証をしていない領域である。
【００１３】
図３−（ａ）は磁気媒体１と２つのＧＨヘッドとの関係を示す図である。本実施例では、ローディングした磁気媒体１に対して、GHTを行う１次ヘッドとしてのＧＨヘッドＡと、２次ヘッドとしてのＧＨヘッドＢとを磁気媒体１の直径方向に対向して配置してある。磁気媒体１には、ＧＨＴ欠陥５を例示してある。２つのＧＨヘッドＡ，Ｂと、スピンドルモータ３ａとは、コントローラ４に接続されており、このコントローラ４によって以下のように制御される。
【００１４】
コントローラ４は、２つのＧＨヘッドＡ，Ｂの各振動感知センサ２ｄからの検出出力電圧と所定のＧＨＴ閾値とを比較してＴｙｐｅ−Ａ突起を検出する突起検出回路と、２つのＧＨヘッドＡ，Ｂの各キャリッジ２ａの駆動を制御するキャリッジ制御回路と、スピンドルモータ３ａの駆動を制御するモータ制御回路と、これらの回路と接続され、突起検出回路の検出信号を参照し、キャリッジ制御回路とモータ制御回路とに制御信号を供給するＣＰＵと、このＣＰＵの実行する制御手順を格納したＲＯＭと、ＣＰＵの作業領域を提供するＲＡＭとを有する。コントローラ４内のＣＰＵは、ＲＯＭ内の制御手順に従って以下に述べるようなＧＨＴを実行する（この構成は実施例２，３においても同様である）。
【００１５】
1次ヘッドのGHTは、コントローラ４の制御下で、磁気媒体のローディング→GHヘッドAのローデイング、磁気媒体の表面突起走査、アンローデイング→磁気媒体のアンローディグを実行する（図３−（ｂ））。ここまでは、従来の1つGHヘッドによるGHTと全く変わりない。従来技術では、このGHTでGHT欠陥が検出された磁気媒体は不良媒体として集められ、再GHTにまわされる。ところが、本実施例では、GHT欠陥が検出された場合は、GHヘッドＡの走査中において、コントローラ４内の突起検出回路からの検出信号とキャリッジ制御回路への制御信号とに基づいて、ＣＰＵによって磁気媒体１の半径方向上のＧＨＴ欠陥位置が特定できるので、さらに、コントローラ４の制御下で、2次ヘッドであるGHヘッドBをＧＨＴ欠陥５の位置に移動させ、このGHヘッドBを用いてGHT欠陥５の位置近傍のリング領域(図3−（ｃ）に６で示す）のみのGHT欠陥走査を行う。このGHT欠陥走査で従来の再GHTを補完し、このGHT欠陥走査でType-A突起が検出されなかった磁気媒体は良品とされ、Type-A突起が検出された磁気媒体は不良媒体として廃棄される。従って、本実施例では再GHTはなくなり、しかも、上記GHT欠陥走査のリング領域のサイズはGHT欠陥の欠陥長に依存するが、昨今のGHT欠陥の欠陥長は数ミクロン以下が殆どであることから、磁気媒体のGHT領域に比べてリング領域は微小になる。従って、処理時間が大幅に短縮される。さらに、GHヘッドBのType-B突起との接触頻度はGHヘッドAに比べて極めて低くなるので、GHヘッドBの低浮上化は殆ど発生しない。従来の再GHTでは、再GHT中にもヘッドの低浮上化が進行するが、本実施例ではこの問題も回避される。
【００１６】
また、GHヘッドAが磁気媒体上を浮上しない状態に陥って(GHヘッドの寿命がつき)新しいヘッドに交換されるときは、全面GHTをGHヘッドB、GHT欠陥走査を新しいGHヘッドAに切り替える。結果、低浮上化は殆ど発生していないGHヘッドで常にGHT欠陥走査を行うことが可能になる。
【００１７】
次に、2次ヘッドの突起検出レベルからの、1次ヘッドの感度の補正(GHT閾値電圧の補正)例について述べる。GHTに装着される新GHヘッドは、高さ・形状の判明した基準の突起(バンプ)と接触した場合の振動感知センサの出力電圧が一定範囲内におさまることを確認後、ヘッドメーカーにより出荷されたものである。従って、振動感知センサのGHT閾値電圧Ｖｅはヘッドに依らず一定である。1次ヘッドによるGHT欠陥の振動感知センサの出力電圧をV1、2次ヘッドによる同一GHT欠陥の振動感知センサの出力電圧をV2とすると、感度補正係数kはk=V1/V2となる。以後の1次ヘッドのGHTにおいて、突起検出回路における1次ヘッドのGHT閾値電圧をk×Ｖｅに切り替える(1次ヘッドの感度の補正)と、1次ヘッドの低浮上化状態でも磁気媒体の良否判定を適正に行える。2次ヘッドが1次ヘッドが検出したGHT欠陥を検出しない場合は、V2=0でk=∞になることを考慮すれば、感度補正係数の上限値k・maxを設けて、GHヘッドの寿命が完了する前に、k>k・maxでコントローラ４から交換警告等を出力（または警告表示）を行うことによって、ヘッド交換も行うことができる。
【００１８】
（実施例2）
図4−（ａ）に示すように、磁気媒体１のGHT領域を外周側のGHT領域Ｉと内周側のGHT領域IIに2分して、GHT領域Ｉ，IIの表面突起走査を各々GHヘッドA、Bに分担させる（図4−（ｂ））。この時、各々の領域の半径方向の長さは等しく(図4−（ａ）でL1=L2）、当然のことではあるが、GHヘッドA、Bのキャリッジの半径方向の移動速度も等しいので、GHT領域Ｉ，IIの表面突起走査時間はともに従来GHTの1/2時間で、本実施例を適用すれば、GHTの表面突起走査時間を従来GHTの半分に短縮することが可能になる。
【００１９】
（実施例3）
ヘッドGHTおいて、3つのGHヘッドを具備したヘッドGHT装置の例を図5に示す。まず、GHヘッドA、Bを用いて、実施例2(2分割領域のGHT）を適用する。次に、実施例１を適用して、この領域2分割GHTでGHT欠陥が検出された場合は、GHヘッドCでGHT欠陥走査を行わせる。本実施例により、
（１）再GHTを無くす
（２）磁気媒体の良否判定を的確に行う
（３）GＨTの表面突起走査時間を従来GHTの半分に短縮する
ことが実現され、実施例1,2の効果が同時に得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】突起のタイプ別の説明と振動感知センサの出力電圧との関係を示す図である。
【図２】（ａ）は磁気媒体１とＧＨヘッド２の平面図であり、（ｂ），（ｃ）および（ｄ）はＧＨＴ実施時のスピンドル３にローディングする磁気媒体１とＧＨヘッド２との位置関係を示す図である。
【図３】（ａ）は磁気媒体１と２つのＧＨヘッドとの関係を示す図であり、（ｂ），（ｃ）は磁気媒体１と２つのＧＨヘッドとの関係を示す図である。
【図４】（ａ）は磁気媒体１と２つのＧＨヘッドとの他の関係を示す図であり、（ｂ），（ｃ）は磁気媒体１と２つのＧＨヘッドとの他の関係を示す図である。
【図５】磁気媒体１と３つのＧＨヘッドとの他の関係を示す図である。
【符号の説明】
【００２１】
１    磁気媒体
３    スピンドル
４    コントローラ
５    ＧＨＴ欠陥
Ａ，Ｂ    ＧＨＴヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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