(57)【要約】【課題】色むら、混色、白抜け等を防止して品質を向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置等を提供する。【解決手段】カラーフィルタ製造装置１００は、第１回目のインク吐出を行い、第１着色層１１を形成し、着色部５の表面形状２７及び／又は色濃度分布３７を測定し、表面形状２７及び／又は色濃度分布３７に基づいて第２回目のインクの再吐出領域１７等を算出し、当該再吐出領域１７において第１着色層１１上に再度インク吐出を行い、第２着色層１３を形成する。【選択図】図１
2006146096.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に隔壁部と着色部とを有するカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置であって、
前記隔壁部間を移動しつつインクを吐出し、前記着色部を構成する着色層を形成する吐出手段と、
前記着色部の表面形状または色濃度分布の少なくともいずれかを測定する測定手段と、
前記表面形状または前記色濃度分布の少なくともいずれかに基づいて、前記インクの再吐出領域を算出する再吐出領域算出手段と、
前記再吐出領域に基づいて、前記着色層上に再度、前記インクの吐出を行い、既成の着色層上に新たな着色層を形成する再吐出手段と、
を具備することを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項２】
前記測定手段は、前記インクの塗布方向に沿って、前記着色層の塗布厚または色濃度の少なくともいずれかを測定し、
前記再吐出領域算出手段は、前記塗布厚の最大値との塗布厚差が所定の許容値に達する位置または前記色濃度の最大値との色濃度差が所定の許容値に達する位置の少なくともいずれかを、前記インクの吐出起点あるいは吐出終点として算出することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項３】
塗布厚と色濃度とを対応付ける塗布厚−色濃度テーブルを保持する保持手段と、
前記測定した色濃度分布に基づいて、塗布位置毎に、所要の前記色濃度の増加分を算出する色濃度増加分算出手段と、
前記塗布厚−色濃度テーブルを参照して、前記塗布位置毎に、前記色濃度の増加分から前記塗布厚の増加分を算出し、前記インクの再吐出量を算出する再吐出量算出手段と、
を具備することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項４】
前記再吐出領域算出手段は、１枚の基板に複数のカラーフィルタを形成する場合、１つのカラーフィルタについて算出した前記再吐出領域を他のカラーフィルタにおける再吐出領域とすることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項５】
前記吐出手段あるいは前記再吐出手段は、互いに異なるインク成分の着色層について、それぞれ、異なるインク吐出部からインク吐出を行うことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項６】
前記測定手段における測定結果が所定の許容範囲内に収まるまで、前記再吐出領域算出手段及び前記再吐出手段における処理を繰り返すことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項７】
基板上に隔壁部と着色部とを有するカラーフィルタの製造方法であって、
前記隔壁部間を移動しつつインクを吐出し、前記着色部を構成する着色層を形成する吐出ステップと、
前記着色部の表面形状または色濃度分布の少なくともいずれかを測定する測定ステップと、
前記表面形状または前記色濃度分布の少なくともいずれかに基づいて、前記インクの再吐出領域を算出する再吐出領域算出ステップと、
前記再吐出領域に基づいて、前記着色層上に再度、前記インクの吐出を行い、既成の着色層上に新たな着色層を形成する再吐出ステップと、
を具備することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項８】
前記測定ステップは、前記インクの塗布方向に沿って、前記着色層の塗布厚または色濃度の少なくともいずれかを測定し、
前記再吐出領域算出ステップは、前記塗布厚の最大値との塗布厚差が所定の許容値に達する位置または前記色濃度の最大値との色濃度差が所定の許容値に達する位置の少なくともいずれかを、前記インクの吐出起点あるいは吐出終点として算出することを特徴とする請求項７に記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項９】
塗布厚と色濃度とを対応付ける塗布厚−色濃度テーブルを保持するステップと、
前記測定した色濃度分布に基づいて、塗布位置毎に、所要の前記色濃度の増加分を算出する色濃度増加分算出ステップと、
前記塗布厚−色濃度テーブルを参照して、前記塗布位置毎に、前記色濃度の増加分から前記塗布厚の増加分を算出し、前記インクの再吐出量を算出する再吐出量算出ステップと、
を具備することを特徴とする請求項７に記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項１０】
前記再吐出領域算出ステップは、１枚の基板に複数のカラーフィルタを形成する場合、１つのカラーフィルタについて算出した前記再吐出領域を他のカラーフィルタにおける再吐出領域とすることを特徴とする請求項７に記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項１１】
前記吐出ステップあるいは前記再吐出ステップは、互いに異なるインク成分の着色層について、それぞれ、異なるインク吐出部からインク吐出を行うことを特徴とする請求項７に記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項１２】
前記測定ステップにおける測定結果が所定の許容範囲内に収まるまで、前記再吐出領域算出ステップ及び前記再吐出ステップにおける処理を繰り返すことを特徴とする請求項７に記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項１３】
請求項１から請求項６までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置、あるいは、請求項７から請求項１２までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法により製造されたカラーフィルタ。
【請求項１４】
基板上の隔壁部間にインクを塗布することにより着色部が形成されたカラーフィルタであって、
前記着色部の塗布方向の垂直断面は、表面に複数のＶ溝を有する形状であることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項１５】
基板上の隔壁部間にインクを塗布することにより着色部が形成されたカラーフィルタであって、
前記着色部の塗布方向の垂直断面は、両側の前記隔壁部の近傍の表面にそれぞれ少なくとも１つのＶ溝を有する形状であることを特徴とするカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置におけるカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置等に関する。より詳細には、インクジェット方式によりカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板上に液晶ディスプレイ、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）、有機ＥＬ（ｏｒｇａｎｉｃ  ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）等に用いるカラーフィルタのパターンを形成する方法として、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等の各種方法がある。
【０００３】
また、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のインクをインクジェット方式により基板上に吐出して着色層を形成するカラーフィルタ製造装置が提案されている。
このインクジェット方式によれば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の着色層の形成を一度の工程により行い、製造工程を簡素化することができるので、コストの低減、歩留まりの向上等を図ることができる。
【０００４】
また、インクジェット方式では、隔壁部（ブラックマトリクス（ＢＭ））間に吐出したインクの表面が凸状あるいは凹状となって画素の表面形状が不均一となる平坦性不良が発生する。この場合、色むら、混色、白抜け等が発生し、カラーフィルタの品質が劣化する。
そこで、この平坦性不良を改善すべく、隔壁部の表面粗さを制御するカラーフィルタ製造方法（例えば、［特許文献１］参照。）、溶剤の蒸発による体積減少を利用して、隔壁部間の開口部に複数回インクを吐出するカラーフィルタ製造方法（例えば、［特許文献２］、［特許文献３］参照。）が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１４８４２９号公報
【特許文献２】特開２００２−１９６１２６号公報
【特許文献３】特開２００２−２０７１１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のカラーフィルタ製造方法では、着色部内の位置によってインクの溶剤成分を放出する度合が異なり、最終的にインクの膜厚が不均一となり、色むら、混色、白抜け等が発生し、カラーフィルタの品質劣化を引き起こすという問題点がある。
【０００７】
また、［特許文献１］が示すカラーフィルタ製造方法では、隔壁部の材質及び表面粗さを緻密に調整する必要があり、労力的負担、費用的負担等が増大するという問題点がある。
また、［特許文献２］、［特許文献３］が示すカラーフィルタ製造方法では、先のインク塗布状況に関わらず、同一の着色部に一律に複数回のインク吐出を行うので、着色部内全体に渡ってインクの膜厚を均一にすることが困難であるという問題点がある。また、インク吐出回数、インク吐出量、インク吐出時間間隔等を、予め、詳細に定めておく必要があるという問題点がある。
【０００８】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、色むら、混色、白抜け等を防止して品質を向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前述した目的を達成するために第１の発明は、基板上に隔壁部と着色部とを有するカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置であって、前記隔壁部間を移動しつつインクを吐出し、前記着色部を構成する着色層を形成する吐出手段と、前記着色部の表面形状または色濃度分布の少なくともいずれかを測定する測定手段と、前記表面形状または前記色濃度分布の少なくともいずれかに基づいて、前記インクの再吐出領域を算出する再吐出領域算出手段と、前記再吐出領域に基づいて、前記着色層上に再度、前記インクの吐出を行い、既成の着色層上に新たな着色層を形成する再吐出手段と、を具備することを特徴とするカラーフィルタ製造装置である。
【００１０】
第１の発明では、カラーフィルタ製造装置は、隔壁部間を移動しつつインクを吐出して着色層を形成し、着色部の表面形状、色濃度分布を測定し、測定した表面形状、色濃度分布に基づいて、インクの再吐出領域を算出し、当該再吐出領域に基づいて、再度インクの吐出を行い、既成の着色層上に新たな着色層を形成する。
【００１１】
着色部の表面形状あるいは色濃度分布の測定は、それぞれ、インクの塗布方向に沿って、塗布位置毎に塗布厚あるいは色濃度を測定することにより行われる。
再吐出領域は、新たな着色層を形成するためにインクの吐出を行う領域である。
【００１２】
カラーフィルタ製造装置は、測定した着色部の表面形状あるいは色濃度分布に基づいて再吐出領域を算出するが、例えば、塗布厚の最大値との塗布厚差が所定の許容値に達する位置、色濃度の最大値との色濃度差が所定の許容値に達する位置等を、新たな着色層のためのインクの吐出起点、吐出終点等として算出するようにしてもよい。
また、カラーフィルタ製造装置は、着色部の表面形状、色濃度分布の測定結果が所定の許容範囲内に収まるまで、再吐出領域の算出処理及びインクの再吐出処理を繰り返すようにしてもよい。
【００１３】
第１の発明のカラーフィルタ製造装置は、先のインク塗布状況に応じて後のインク吐出を行うので、最終的にインクの膜厚が均一となり、色むら、混色、白抜け等の品質劣化を防止することができる。
また、カラーフィルタ製造装置は、先のインク塗布状況に応じて後のインク吐出を繰り返すか否かを判定するので、最終的にインクの膜厚が均一となり、色むら、混色、白抜け等の品質劣化を防止することができる。
【００１４】
また、カラーフィルタ製造装置は、塗布位置毎に、測定した色濃度分布に基づいて所要の色濃度の増加分を算出し、塗布厚と色濃度とを対応付ける塗布厚−色濃度テーブルを参照して色濃度の増加分から塗布厚の増加分を算出し、インクの再吐出量を算出するようにしてもよい。
【００１５】
また、カラーフィルタ製造装置は、１枚の基板に複数枚のカラーフィルタを面付けする場合、１つのカラーフィルタについて算出した再吐出領域を他のカラーフィルタにおける再吐出領域とするようにしてもよい。この場合、迅速な処理を図ることができる。
【００１６】
また、カラーフィルタ製造装置は、互いに異なるインク成分の着色層について、それぞれ、異なるインク吐出部（インクジェットヘッドユニット等）を設けるようにしてもよい。この場合、インク交換の労力的負担等を軽減することができる。
【００１７】
第２の発明は、基板上に隔壁部と着色部とを有するカラーフィルタの製造方法であって、前記隔壁部間を移動しつつインクを吐出し、前記着色部を構成する着色層を形成する吐出ステップと、前記着色部の表面形状または色濃度分布の少なくともいずれかを測定する測定ステップと、前記表面形状または前記色濃度分布の少なくともいずれかに基づいて、前記インクの再吐出領域を算出する再吐出領域算出ステップと、前記再吐出領域に基づいて、前記着色層上に再度、前記インクの吐出を行い、既成の着色層上に新たな着色層を形成する再吐出ステップと、を具備することを特徴とするカラーフィルタ製造方法である。
【００１８】
第２の発明は、第１の発明のカラーフィルタ製造装置におけるカラーフィルタ製造方法に関する発明である。
【００１９】
第３の発明は、基板上の隔壁部間にインクを塗布することにより着色部が形成されたカラーフィルタであって、前記着色部の塗布方向の垂直断面は、表面に複数のＶ溝を有する形状であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００２０】
第４の発明は、基板上の隔壁部間にインクを塗布することにより着色部が形成されたカラーフィルタであって、前記着色部の塗布方向の垂直断面は、両側の前記隔壁部の近傍の表面にそれぞれ少なくとも１つのＶ溝を有する形状であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００２１】
第３の発明及び第４の発明のカラーフィルタは、第１の発明のカラーフィルタ製造装置あるいは第２の発明のカラーフィルタ製造方法により製造されたカラーフィルタに関する発明である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、色むら、混色、白抜け等を防止して品質を向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置等を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照しながら、本発明に係るカラーフィルタ製造装置等の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、略同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略することにする。
【００２４】
最初に、図１を参照しながら、本発明の第１の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１００の構成について説明する。
図１は、カラーフィルタ製造装置１００の概略構成図である。
【００２５】
図１に示すカラーフィルタ製造装置１００は、制御部１０１、位置決め部１０２、インク吐出部１０３、測定部１０４等から構成される。
【００２６】
カラーフィルタ製造装置１００は、カラーフィルタ等を製造する装置であり、ガラス基板等の基板１０５上に、インクジェット方式によりインクを吐出して着色部等のパターン形成を行う。
制御部１０１は、カラーフィルタ製造装置１００を構成する各装置の動作制御、演算処理等を行う装置であり、例えば、電子計算機、コンピュータ等を用いることができる。制御部１０１は、ＣＰＵ１１１、メモリ１１２、記憶装置１１３等を備える。
【００２７】
ＣＰＵ１１１は、記憶装置１１３、ＲＯＭ（図示しない。）、記録媒体（図示しない。）等に格納されるプログラムをメモリ１１２に呼び出して実行し、演算処理、動作制御等を行う。
メモリ１１２は、ＲＯＭ（図示しない。）、ＲＡＭ（図示しない。）等であり、恒久的あるいは一時的に各種情報を保持する。
記憶装置１１３は、ハードディスク等の記憶装置であり、色濃度と塗布厚を対応付けるテーブル、吐出量と印加電圧とを対応付けるテーブル、許容色濃度差、許容塗布厚差等を保持する。
【００２８】
位置決め部１０２は、基板１０５及びインクジェットヘッド１０６を所定の位置に配置する装置である。位置決め部１０２は、基板１０５及びインクジェットヘッド１０６を、それぞれ、回転移動、各軸方向に移動等させることにより、相対的位置関係を調整する。
インク吐出部１０３は、インクを吐出する装置であり、インクジェットヘッド１０６等を備える。
測定部１０４は、基板１０５におけるインク塗布状況を測定する装置である。測定部１０４は、表面形状を測定するマイクロマップ等の表面形状測定装置１０７、色濃度を測定する色濃度測定装置１０８等を備える。
【００２９】
次に、図２〜図４を参照しながら、本発明の第１の実施の形態に係るカラーフィルタ１の概略構成、カラーフィルタ製造装置１００の動作の概略について説明する。
図２は、カラーフィルタ１の一態様を示す平面図である。
図３は、図２のＡ−Ａ’方向断面図である（第１着色層１１形成後）。
図４は、図２のＡ−Ａ’方向断面図である（第２着色層１３形成後）。
【００３０】
カラーフィルタ１は、ガラス基板等の基板１０５上に、隔壁部３、着色部５等が設けられる。
隔壁部３は、遮光性を有するブラックマトリクス（ＢＭ）等により構成される。
着色部５は、Ｒｅｄ、Ｇｒｅｅｎ、Ｂｌｕｅ等のインクを塗布することにより形成される着色層等により構成される。
【００３１】
カラーフィルタ製造装置１００は、塗布方向７にインクジェットヘッド１０６を基板１０５に対して相対的に移動させながら、隔壁部３間の着色部５の基板１０５上にインクを吐出し、乾燥処理を行い、第１着色層１１を形成する。
尚、図３に示すように、第１着色層１１形成後の着色部５の断面形状は、表面張力、表面からのインク溶剤成分の蒸発等の影響により、両端の隔壁部３近傍では塗布厚が大きくなり、中央部では塗布厚が小さくなる形状である。
【００３２】
次に、カラーフィルタ製造装置１００は、次回分のインクを吐出する領域である再吐出領域１７を算出し、当該再吐出領域１７において再度インク吐出を行い、第１着色層１１上に新たに第２着色層１３を形成する。
尚、図４に示すように、塗布方向７における、第２着色層１３形成後の着色部５の断面形状は、両端の隔壁部３近傍の表面においてそれぞれＶ溝１４−１、Ｖ溝１４−２を有する形状である。
【００３３】
塗布厚差１９、塗布厚差２１は、それぞれ、着色部５の最厚部と最薄部における塗布厚の差を示す。尚、塗布厚差１９は、第１着色層１１の形成後の塗布厚差、塗布厚差２１は、第２着色層１３の形成後の塗布厚差である。
図３及び図４に示すように、（塗布厚差２１）＜（塗布厚差１９）、であり、着色部５全体における塗布厚差が小さくなるに伴い色濃度の差も小さくなるので、第１着色層１１上に新たに第２着色層１３を形成することにより、色むら、混色、白抜け等を防止し、カラーフィルタ１の品質を向上させることができる。
【００３４】
次に、図５〜図９を参照しながら、本発明の第１の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１００の動作について説明する。
【００３５】
図５は、カラーフィルタ製造装置１００の動作を示すフローチャートである。
尚、カラーフィルタ製造装置１００の制御装置１０１は、ＣＰＵ１１１の制御の下、記憶装置１１３等に格納するプログラム（実行プログラム、ＯＳのプログラム等）、プログラム実行に必要な各種データ等をメモリ１１２上にロードして、以下の各ステップを実行する。
【００３６】
カラーフィルタ製造装置１００は、インク吐出部１０３により、隔壁部３間の開口部において、基板１０５上に、第１回目のインク吐出を行い、乾燥処理を経てインクの溶剤成分を除去し、第１着色層１１を形成する（ステップ１００１）。
【００３７】
カラーフィルタ製造装置１００は、測定部１０４により、着色部５の表面形状２７及び／又は色濃度分布３７を測定し、測定結果を記憶装置１１３に保持する（ステップ１００２）。
カラーフィルタ製造装置１００は、制御部１０１により、第２回目のインクの再吐出領域１７、再吐出量等を算出する（ステップ１００３）。
カラーフィルタ製造装置１００は、インク吐出部１０３により、当該再吐出領域１７において第１着色層１１上に再度インク吐出を行い、乾燥処理を経てインクの溶剤成分を除去し、第２着色層１３を形成する（ステップ１００４）。
【００３８】
尚、ステップ１００２の処理において、表面形状２７の測定装置（表面形状測定装置１０７）としては、着色部５の表面形状を測定するものであれば特に限定されず、例えば、干渉縞を計測する非接触式表面形状計測システム、マイクロマップ等を用いることができる。
また、ステップ１００２の処理において、色濃度分布３７の測定装置（色濃度測定装置１０８）としては、着色部５の色濃度を測定するものであれば特に限定されない。
【００３９】
図６は、第１着色層１１形成後の着色部５の表面形状２７の測定結果を示す図である。
縦軸の塗布厚２３は、着色部５における塗布厚を示し、横軸の塗布位置２５は、塗布方向７における位置を示す。
ステップ１００３の処理において、カラーフィルタ製造装置１００の制御部１０１は、表面形状２７に基づいて再吐出領域１７を算出する場合、例えば、図６に示すように、塗布厚２３の最大値との塗布厚差が許容塗布厚差３３（例えば、０．０５μｍ）に達する位置を吐出開始位置２９あるいは吐出終了位置３１（例えば、両端の隔壁部３からそれぞれ１〜２μｍの位置）として再吐出領域１７を算出する。
【００４０】
図７は、第１着色層１１形成後の着色部５の色濃度分布３７の測定結果を示す図である。
縦軸の色濃度３５は、着色部５における色濃度を示し、横軸の塗布位置２５は、塗布方向７における位置を示す。
【００４１】
ステップ１００３の処理において、カラーフィルタ製造装置１００の制御部１０１は、色濃度分布３７に基づいて再吐出領域１７を算出する場合、例えば、図７に示すように、色濃度３５の最大値との色濃度差が許容色濃度差３９（例えば、０．００５）に達する位置を吐出開始位置２９あるいは吐出終了位置３１（例えば、両端の隔壁部３からそれぞれ１〜２μｍの位置）として再吐出領域１７を算出する。
【００４２】
図８は、塗布厚２３と色濃度３５との対応図である。
図９は、電圧４７とインクの吐出量４５との対応図である。
縦軸の吐出量４５は、カラーフィルタ製造装置１００のインクジェットヘッド１０６から吐出するインクの吐出量を示し、横軸の電圧４７は、カラーフィルタ製造装置１００のインクジェットヘッド１０６に印加する電圧を示す。
【００４３】
ステップ１００３の処理において、カラーフィルタ製造装置１００の制御部１０１は、再吐出量を算出する場合、図７に示す色濃度分布３７等を参照して、塗布位置毎に、所要の色濃度増加分４１を算出する。
カラーフィルタ製造装置１００の制御部１０１は、図８に示す色濃度−塗布厚関係に基づいて、塗布位置毎に、色濃度増加分４１に対する塗布厚増加分４３からインクの吐出量を算出し、図９に示す吐出量−電圧関係に基づいて、印加電圧を算出し、インクを再吐出する際にインクジェットヘッド１０６に制御電圧を印加する。
【００４４】
尚、カラーフィルタ製造装置１００の制御部１０１は、予め、図８及び図９に示す対応図に相当するテーブルを磁気記憶装置等の記憶装置１１３等に保持し、図５等に示す処理を行う際、記憶装置１１３から必要な情報を読み出し、当該情報を用いて演算し、結果を再び記憶装置１１３に保持することができる。
【００４５】
以上の過程を経て、カラーフィルタ製造装置１００は、第１回目のインク吐出を行い、第１着色層１１を形成し、着色部５の表面形状２７及び／又は色濃度分布３７を測定し、第２回目のインクの再吐出領域１７等を算出し、当該再吐出領域１７において第１着色層１１上に再度インク吐出を行い、第２着色層１３を形成する。
【００４６】
このように、第１の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置では、第１着色層形成後、着色部の表面形状あるいは色濃度分布を測定して塗布厚が不足している部分にインクを再吐出し、第１着色層上に第２着色層を形成することにより、着色部内（セル内）において塗布厚及び色濃度を均一化して、色むら、混色、白抜け等を防止してカラーフィルタの品質を向上させることができる。
すなわち、第１の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置は、先のインク塗布状況に応じて後のインク吐出を行うので、最終的にインクの膜厚が均一となり、色むら、混色、白抜け等の品質劣化を防止することができる。
【００４７】
次に、図１０〜図１３を参照しながら、本発明の第２の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１００ａの動作について説明する。
先述の第１の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１００は、第１着色層１１及び第２着色層１３により着色部５を形成するものとして説明したが、着色部５を構成する着色層は、２層に限られず、３層以上であってもよい。
尚、第２の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１００ａの構成は、第１の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１００と同様であるので説明を省略する。
【００４８】
図１０は、カラーフィルタ製造装置１００ａの動作を示すフローチャートである。
尚、カラーフィルタ製造装置１００ａの制御装置１０１は、ＣＰＵ１１１の制御の下、記憶装置１１３等に格納するプログラム（実行プログラム、ＯＳのプログラム等）、プログラム実行に必要な各種データ等をメモリ１１２上にロードして、以下の各ステップを実行する。
【００４９】
カラーフィルタ製造装置１００ａは、インク吐出部１０３により、隔壁部３間の開口部において、基板１０５上に、第１回目のインク吐出を行い、乾燥処理を経てインクの溶剤成分を除去し、第１着色層１１を形成する（ステップ２００１）。
【００５０】
カラーフィルタ製造装置１００ａは、測定部１０４により、着色部５の表面形状２７及び／又は色濃度分布３７を測定し、測定結果を記憶装置１１３に保持する（ステップ２００２）。
カラーフィルタ製造装置１００ａは、制御部１０１により、表面形状２７及び／又は色濃度分布３７が許容範囲内であるか否かを判定する（ステップ２００３）。
【００５１】
表面形状２７及び／又は色濃度分布３７が許容範囲内でない場合（ステップ２００３のＹｅｓ）、カラーフィルタ製造装置１００ａは、制御部１０１により、次回分のインクの再吐出領域１７、再吐出量等を算出する（ステップ２００４）。
カラーフィルタ製造装置１００ａは、インク吐出部１０３により、当該再吐出領域１７において既成の着色層上に再度インク吐出を行い、乾燥処理を経てインクの溶剤成分を除去し、新たな着色層を形成する（ステップ２００５）。
カラーフィルタ製造装置１００ａは、表面形状２７及び／又は色濃度分布３７が許容範囲内となるまで（ステップ２００３のＹｅｓ）、ステップ２００３〜ステップ２００５の処理を繰り返す。
【００５２】
図１１は、第２着色層１３形成後の着色部５の表面形状２７−２の測定結果を示す図である。
図１２は、第２着色層１３形成後の着色部５の色濃度分布３７−２の測定結果を示す図である。
図１３は、図２のＡ−Ａ’方向断面図である（第３着色層１５形成後）。
【００５３】
ステップ２００４の処理において、カラーフィルタ製造装置１００ａの制御部１０１は、表面形状２７−２に基づいて再吐出領域１７−２を算出する場合、例えば、図１１に示すように、塗布厚２３の最大値との塗布厚差が許容塗布厚差３３に達する位置を吐出開始位置２９−２あるいは吐出終了位置３１−２として再吐出領域１７−２を算出する。
ステップ２００４の処理において、カラーフィルタ製造装置１００ａの制御部１０１は、色濃度分布３７−２に基づいて再吐出領域１７−２を算出する場合、例えば、図１２に示すように、色濃度３５の最大値との色濃度差が許容色濃度差３９に達する位置を吐出開始位置２９−２あるいは吐出終了位置３１−２として再吐出領域１７−２を算出する。
【００５４】
ステップ２００５の処理において、カラーフィルタ製造装置１００ａは、インク吐出部１０３により、再吐出領域１７−２において第２着色層１３上に再度インク吐出を行い、乾燥処理を経てインクの溶剤成分を除去し、図１３に示すように、新たに第３着色層１５を形成する。
尚、図１３に示すように、塗布方向における、第３着色層１５形成後の着色部５の断面形状は、両端の隔壁部３近傍の表面においてそれぞれ複数のＶ溝１６−１及びＶ溝１６−２、Ｖ溝１６−３及びＶ溝１６−４を有する形状である。
また、第３着色層１５形成後以降、第４着色層、第５着色層、…が形成されるに伴い、新たにＶ溝が形成される。
【００５５】
以上の過程を経て、カラーフィルタ製造装置１００ａは、着色部５の表面形状２７及び／又は色濃度分布３７を測定し、表面形状２７及び／又は色濃度分布３７が許容範囲内となるまで、算出した再吐出領域においてインク吐出を行い、既成の着色層上に新たな着色層の形成を繰り返す。
【００５６】
このように、第２の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置では、着色部の表面形状あるいは色濃度を測定して塗布厚が不足している部分にインクを再吐出し、既成の着色層上に新たに着色層を形成することを繰り返すことにより、着色部内（セル内）において塗布厚及び色濃度を均一化して、色むら、混色、白抜け等を防止してカラーフィルタの品質を向上させることができる。
すなわち、第２の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置は、先のインク塗布状況に応じて後のインク吐出を繰り返すか否かを判定するので、最終的にインクの膜厚が均一となり、色むら、混色、白抜け等の品質劣化を防止することができる。
【００５７】
尚、１つのインクジェットヘッドユニットを用いてインク吐出を行う場合、インク交換の労力的負担等を軽減すべく、各回の着色層の形成には、同一成分のインクを用いることが望ましい。
また、各回の着色層毎に、異なるインク成分のインクを用いる場合（例えば、レベリング剤の含有率が異なる場合）、インクの種類毎に、複数のインクジェットヘッドユニットを設けるようにすることが望ましい。この場合、異なるインク成分の着色層であっても、それぞれ専用のインクジェットヘッドユニットによりインク吐出を行うことができるので、インク交換の労力的負担等を軽減することができる。
【００５８】
図１４は、基板１０５におけるカラーフィルタ１の面付けを示す図である。
図１４に示すように、１枚の基板１０５に複数枚のカラーフィルタ１を面付けする場合、そのうち１つのカラーフィルタ１（例えば、カラーフィルタ１−１）において算出した再吐出領域を他のカラーフィルタ１（例えば、カラーフィルタ１−２〜カラーフィルタ１−４）における再吐出領域とするようにしてもよい。
この場合、カラーフィルタ製造装置における、測定処理、再吐出領域算出処理等に係る負担を軽減し、迅速な処理を図ることができる。
【００５９】
また、図５、図１０等に示す各種処理・制御等に必要なプログラム等をＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に保持させて流通させてもよいし、このプログラムを通信回線を介して送受することもできる。
【００６０】
以上、添付図面を参照しながら、本発明に係るカラーフィルタ製造装置等の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】カラーフィルタ製造装置１００の概略構成図
【図２】カラーフィルタ１の一態様を示す平面図
【図３】図２のＡ−Ａ’方向断面図（第１着色層１１形成後）
【図４】図２のＡ−Ａ’方向断面図（第２着色層１３形成後）
【図５】カラーフィルタ製造装置１００の動作を示すフローチャート
【図６】第１着色層１１形成後の着色部５の表面形状２７の測定結果を示す図
【図７】第１着色層１１形成後の着色部５の色濃度分布３７の測定結果を示す図
【図８】塗布厚２３と色濃度３５との対応図
【図９】電圧４７とインクの吐出量４５との対応図
【図１０】カラーフィルタ製造装置１００ａの動作を示すフローチャート
【図１１】第２着色層１３形成後の着色部５の表面形状２７−２の測定結果を示す図
【図１２】第２着色層１３形成後の着色部５の色濃度分布３７−２の測定結果を示す図
【図１３】図２のＡ−Ａ’方向断面図（第３着色層１５形成後）
【図１４】基板１０５におけるカラーフィルタ１の面付けを示す図
【符号の説明】
【００６２】
１………カラーフィルタ
３………隔壁部（ＢＭ）
５………着色部
１１………第１着色層
１３………第２着色層
１５………第３着色層
１７、１７−２………再吐出領域
２７、２７−２………表面形状
２９、２９−２………吐出開始位置
３１、３１−２………吐出終了位置
３３………許容塗布厚差
３７、３７−２………色濃度分布
３９………許容色濃度差
１０１、１０１ａ………カラーフィルタ製造装置
１０２………位置決め部
１０３………インク吐出部
１０４………測定部
１０５………基板
１０６………インクジェットヘッド
１０７………表面形状測定装置
１０８………色濃度測定装置
１１１………ＣＰＵ
１１２………メモリ
１１３………記憶装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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