(57)【要約】【課題】  バルブの有効利用範囲における光透過率の低下を抑制し、照度維持率を高く維持することができる、使用寿命が長いショートアーク型放電ランプを提供すること。【解決手段】  本発明に係るショートアーク型放電ランプは、発光管部１１とその両端の封止管部１２よりなるバルブ１０と、発光管部１１の内部に対向配置された陽極１３及び陰極１４と、各電極の後端に連設された電極棒１５とを、具備し、前記陽極１３は、略円柱状の胴部１３ｂとこの胴部１３ｂに連設された先端に向かって先細りする先端部１３aとを有し、陽極１３には、胴部１３ｂの周囲または後端部１３ｃに、後方に向かうにしたがって外周が半径方向に拡開する突起３０が設けられていることを特徴とする。また、陽極１３の後端面に、電極棒１５の周りに環状の溝が設けられていることを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光管部およびこの発光管部の両端から外方に伸びるよう設けられた封止管部よりなるバルブと、このバルブの発光管部の内部に対向配置された陽極及び陰極と、各電極の後端に連設された電極棒とを、具備してなるショートアーク型放電ランプであって、
前記陽極は、略円柱状の胴部とこの胴部に連設された先端に向かって先細りする先端部とを有し、
前記陽極には、胴部の周囲または後端部に、後方に向かうにしたがって外周が半径方向に拡開する突起が設けられていることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。
【請求項２】
発光管部およびこの発光管部の両端から外方に伸びるよう設けられた封止管部よりなるバルブと、このバルブの発光管部の内部に対向配置された陽極及び陰極と、各電極の後端に連設された電極棒とを、具備してなるショートアーク型放電ランプであって、
前記陽極は、略円柱状の胴部とこの胴部に連設された先端に向かって先細りする先端部とを有し、
前記陽極の後端面には、前記電極棒の周りに環状の溝が設けられていることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子、液晶素子或いはプリント基板素子などの露光に使用されるショートアーク型放電ランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
上記技術分野で使用されるショートアーク型放電ランプは例えば、特開２００１−１５０７０号等に記載されている。
図７は、係るショートアーク型放電ランプの断面図である。
放電ランプにおけるバルブ５０は、発光管部５１の両端に外方に伸びる封止管部５２が連設されている。発光管部５１の内部には、一対の電極６１，６２が、各々電極棒７１，７２に固定され所定の間隔を隔てて互いに対向するよう配置されている。
一対の電極６１，６２はタングステンよりなり、例えば、全体が略円柱状であって先端部および後端部に各々外方に向かって先細りするよう曲面ないしは斜面が形成された陽極６１と、先端が尖塔状に成形された陰極６２と、から構成されている。
このようなショートアーク型放電ランプは、上記用途においては通常、陽極６１が上、陰極６２が下という、垂直姿勢に保持されて、適宜の光学系と共に使用される。
【０００３】
ところで、上記ランプは、電流値の増加に伴う陽極６１の過熱等に起因し、電極材の蒸発物がバルブ５０の内壁に付着して発光管部５１の光透過率が低下する、いわゆる黒化が生じることが知られている。黒化物はランプ点灯中のアークおよびアークの流れによる対流Ｒ（アークの周りには全周に亘ってＲと同様の対流が生じているが、同図においては不図示である。）にのって運ばれるため、同図中Ｐで示す発光管部５１上部近傍の環状の部分に付着し易く、当該箇所において顕著に発生する。
而して、一般的な光学系においてはアークの中心から上下４５°程度の角度範囲から放射する光を利用することが多い。（以下「有効利用範囲」という。）。従って、上記黒化物がこの範囲内に付着しない間は光放射の低下に関して影響を生じるものではない。
【０００４】
ここで、従来技術に係るバルブ内の対流を、図８を参照して詳述する。
まず、対流はアークと共に発光管部５１の中心部近傍において陰極６２から陽極６１に向かって、矢印Ｘ１のように下方から上方に向かって流れる。そして、陽極６１の中央部で、電極棒７１に沿って垂直下向きに流れる比較的低温の気流Ｙ１と衝突した後、矢印Ｘ’で示すように発光管５１に向かって広がって、発光管部５１の内壁にあたって折り返され、矢印Ｘ２のように内壁に沿って下方に向かって流れる。
このように発光管部５１上部の環状部分Ｐは、アークの傍を通過した対流が最初に発光管部５１の内壁と衝突する箇所であり、アークから離れていて比較的低温であるため、蒸発物の付着が顕著に生じる。また、点灯時間に伴って、黒化物の堆積が進むとともにその範囲も対流の流れ矢印Ｘ２に沿うよう下方に広がる。
【特許文献１】特開２００１−１５０７０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
その結果、上述のショートアーク型放電ランプは、ランプの点灯時間の経過につれて、バルブの有効利用範囲における内壁に電極蒸発物が付着し、光透過率が低下してランプの光強度が低下し、早期に使用不能となる、という問題がある。
【０００６】
そこで、本発明が解決すべき課題は、バルブの有効利用範囲における光透過率の低下を抑制し、照度維持率を高く維持することができる、使用寿命が長いショートアーク型放電ランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明に係るショートアーク型放電ランプは、発光管部およびこの発光管部の両端から外方に伸びるよう設けられた封止管部よりなるバルブと、このバルブの発光管部の内部に対向配置された陽極及び陰極と、各電極の後端に連設された電極棒とを、具備してなるショートアーク型放電ランプであって、前記陽極は、略円柱状の胴部とこの胴部に連設された先端に向かって先細りする先端部とを有し、前記陽極には、胴部の周囲または後端部に、後方に向かうにしたがって外周が半径方向に拡開する突起が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
また、あるいは、発光管部およびこの発光管部の両端から外方に伸びるよう設けられた封止管部よりなるバルブと、このバルブの発光管部の内部に対向配置された陽極及び陰極と、各電極の後端に連設された電極棒とを、具備してなるショートアーク型放電ランプであって、前記陽極は、略円柱状の胴部とこの胴部に連設された先端に向かって先細りする先端部とを有し、前記陽極の後端面には、前記電極棒の周りに環状の溝が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、突起部あるいは環状の溝に沿う流れが誘起されて、陽極よりも後方の領域において複雑な流れが形成され易く、複雑な渦が生成されると、アークよりの上昇気流の一部を巻き込んで、電極材の蒸発物を捕捉してバルブの管壁、電極棒、突起部あるいは環状の溝などに衝突を繰り返して循環する。このとき、環状の溝、電極棒、バルブ管壁に蒸発物が付着するため、ランプ中央領域のランプ内壁面に向かう流れは、蒸発物の濃度が低くなり、有効利用範囲における蒸発物の付着量が著しく減少する。
また、突起あるいは環状の溝に沿う流れ方向が規制されるので、蒸発物の付着場所がバルブ上方にずれた状態で安定するようになり、黒化が生じる領域をランプの有効利用範囲よりも上側の位置に確実に規制することができるようになる。
その結果、有効利用範囲内において黒化の発生を抑制することができ、照度維持率を高く維持できて、使用寿命が長いショートアーク型放電ランプを提供することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は本願第一の発明の実施形態を説明するショートアーク型放電ランプの断面図である。
この放電ランプにおいて、バルブ１０は、石英ガラスにより形成され、発光空間Ｓを囲繞する楕円球形の発光管部１１と、この発光管部１１の両端から外方に伸びるよう連設された筒状の封止管部１２とにより構成されており、それぞれ当該発光管部１１に続く封止管部１２の発光管部１１に接近した個所に、封止管部１２の一部が縮径された状態の絞り込み部１２ａが形成されている。
【００１１】
バルブ１０の発光管部１１内には、一対の電極すなわち、陽極１３および陰極１４が互いに対向するよう配置されており、その各々は、封止管部１２から発光管部１１に管軸に沿って伸びる例えばタングステンよりなる円柱状の電極棒１５の先端に固定されて支持されている。バルブ１０の発光管部１１内には、キセノン、アルゴン、クリプトン等の希ガス若しくはこれらの混合物よりなる封入ガスおよび水銀などの発光物質が封入されている。
このショートアーク型放電ランプにおいては、アークの中心から概略上下４５°程度の角度範囲（有効利用範囲）から放射する光が利用されることになる。
【００１２】
バルブ１０の封止管部１２内においては、発光管部１１に接近した位置に、電極棒１５の外径に適合する内径の筒孔を有する石英ガラスよりなる電極棒保持用筒体１６が、当該電極棒１５が挿通された状態で配置され、この電極棒保持用筒体１６の外周面は、封止管部１２の一部である絞り込み部１２ａの内面に気密に溶着され、当該電極棒保持用筒体１６の一端面１６ａが発光空間Ｓに露出している。封止管部１２内における電極棒保持用筒体１６の外端側には、封止用ガラス部材１７が配置されている。この封止用ガラス部材１７においては、その発光空間Ｓ側の内端部１７ａが外端に向かうに従って大径となる円錐台状に形成され、この内端部１７ａに続いて、封止管部１２の内径に適合する外径の円柱状の胴部１７ｂが形成されている。また、この封止用ガラス部材１７には、その外端面から軸方向に沿って伸びる有底孔１７ｃが形成されており、この有底孔１７ｃには、その内径に適合する外径の外部リード棒１８が挿入されている。
【００１３】
封止用ガラス部材１７の外周面には、モリブデンよりなる複数の帯状の金属箔２０が、当該封止用ガラス部材１７の周方向に互いに離間して配置されており、金属箔２０の各々の内端部は、封止用ガラス部材１７の内端面に沿って伸びて電極棒１５に接続され、金属箔２０の各々の外端部は、封止用ガラス部材１７の外端面に沿って伸びて外部リード棒１８に接続され、当該封止用ガラス部材１７の内端から外端に向かって伸びている。また、封止用ガラス部材１７の外周面は、金属箔２０を介して封止管部１２の内面に気密に溶着されている。
【００１４】
封止用ガラス部材１７の外端側には、外部リード棒１８の外径に適合する筒孔を有する石英ガラスよりなるリード棒保持用筒体１９が、当該電極棒１５が挿通された状態で配置されており、このリード棒保持用筒体１９の外周面は、封止管部１２の内面に気密に溶着されている。
【００１５】
陽極１３は、例えばタングステンよりなり、同図に示すように、先端に向かって先細りするよう曲面ないしはテーパが形成された先端部１３ａを有しており、この先端部１３ａのうしろに略円柱状の胴部１３ｂが連設している。
この陽極１３には、後端部１３ｃに、突起３０が陽極１３の全周に亘り設けられている。突起３０は、例えば、その前端が陽極１３の後方の周縁部に続いて形成されており、外周が後方に向かうに従って半径方向に拡開するようスカート状に形成されている。このようなスカート状の突起３０は、例えば陽極１３を作製する段階で、陽極１３の材料であるタングステンの円柱体を削り込むことにより設けることができる。
ここに、突起３０は、例えば同図において、突起３０側面に平行な仮想線ｍと胴部１３ｂ側面に平行な仮想線ｎとのなす角をθとしたとき、０°より大きく９０°より小さい角度となるよう拡開している。なす角θは、好ましくは対流の光学的観察結果などを参考にして求めるのが良く、従来型ランプにおいて安定した対流が陽極後端部１３ｃ近傍から剥離する際の流れに近い角度を設定する。また、突起３０の配設位置、および長さは流れＢ2が突起３０を越えてＡ２側に回りこむことのないようにすればよい。これによって剥離後の流れは、突起に沿うように形成される。突起３０がない場合に剥離後の流れが直線的でなくとも、突起３０の配設によりこれに沿う流れが形成されればよい。角度は、具体的には、５〜８５°であるのが好ましく、さらに望ましくは２０〜７０°である。
【００１６】
図２は、本実施形態に係るランプの点灯中の対流を説明する図である。
本実施形態において、対流は、先ず、矢印Ａ１のように、発光管部１１の中心部近傍においてアークと共に陰極１４から陽極１３に向かって下方から上方に向かって流れ、次いで陽極１３の後端部近傍で突起３０によって向きが規制され、矢印Ａ２のように突起３０側面に沿って発光管部１１上部Ｑに向かって流れる。一方、同図中の矢印Ｂ１で示した比較的低温の気流は、電極棒保持用筒体の一端面１６ａ近傍から電極棒１５に沿って下方に流れ、陽極１３の後端面１３ｄにあたると、半径方向外方に向かい、矢印Ｂ２のように突起３０の内周面に沿って発光管部１１上部Ｑに向かって流れる。
このように、アーク近傍から上方に向かう矢印Ａ２の流れと電極棒保持用筒体の一端面１６ａ近傍から下方に向かう矢印Ｂ２の流れはいずれも、発光管部１１の上部Ｑに向かうように規制されているので、発光管部１１の上部Ｑに向かう流れが安定して形成される。したがって、電極材の蒸発物のほとんどが、安定した対流にのって運ばれて、バルブ１０の有効利用範囲よりも上側の、発光管部１１の上部Ｑ近傍において管壁に衝突し、付着するようになるので、また、Ａ２の流れによって運ばれる電極蒸発物の一部は突起３０に沿って流れる間に、突起３０の表面で捕捉され、さらに突起３０を通過後は、Ｂ２との合流によってＢ２側に取り込まれて陽極後方のＢ３の流れによって運ばれるので、Ａ２の流れによってＱに向かって運ばれる蒸発物は減少する。したがって、Ｑより下方においては対流Ａ３中に含まれる蒸発物濃度が格段に低下する。
この結果、発光管部１１の中央部近傍において蒸発物が付着する確率が格段に低くなり、有効利用範囲における光透過率の低下を効果的に抑制することができるようになる。
【００１７】
以上のように、対向するＡ２とＢ２の合流後の対流の方向を安定化することによりバルブの有効利用範囲における光透過率の低下を抑制できるので、照度維持率を高く維持することができ、使用寿命が長いショートアーク型放電ランプを提供することができる。
以上では、陽極後端部１３Ｃ近傍から剥離する場合について示したが、突起３０の配設位置はランプによって異なる剥離位置に応じて決定すべきであることは、上述により容易に理解されることである。
【００１８】
また、図３（ａ），（ｂ）は、請求項２記載の発明に係る実施形態を説明するランプ要部の説明用断面図である。図３（ａ）を参照して、本願第二の発明の実施形態を説明する。なお、図３（ａ），（ｂ）においては先に図１、図２で説明した構成と同じ構成について同じ符号で示し、その説明を省略する。
この実施形態は、陽極１３の後端面１３ｄにおいて、電極棒１５の周りに環状の溝３１が設けられている例である。
同図の実施形態においては、図中の矢印Ａ１で示す、発光管部１１の中心部近傍において下方から上方に向かって流れる気流は、陽極１３の後端部１３ｃ近傍においても当該陽極１３の側面に沿って矢印Ａ２のように上昇する。一方、電極棒保持用筒体１６の一端面１６ａ近傍から下方に流れる矢印Ｂ１で示す比較的低温の気流は、陽極１３の後端面１３ｄに形成された溝３１に浸入して、該溝３１の壁面に沿って折り返し、下方に向かう勢力が低下した状態で、前述の、発光管部の中心部近傍より上昇した気流（矢印Ａ２）と合流するようになる。よって、発光管部１１の上部に向かう流れを安定的に形成することができ、上述と同様の効果を得ることができる。
このような環状の溝３１に係る陽極後端部の断面形状は、図３（ａ）のような形状に限られるものではなく、図３（ｂ）のような形状であっても同様の効果が得られる。
【００１９】
図４（ａ），（ｂ）はそれぞれ第三、第四の実施形態を説明する図であり、何れの発明も第一の実施形態で説明した突起を具備するものである。以下、その構成において、先に図１〜図３で説明した構成と同じ構成については、同じ符号で示し、その説明を省略する。
図４（ａ）に示すように、突起３０は、胴部１３ｂの外周面上に設けられていても構わない。ただし、この場合、発光管部１１上部Ｑへの流れを促すため、突起２０は、その前端が胴部１３ｂの中腹よりも後方に位置するように取り付けられるのが望ましい。
この実施形態によれば、同図に示すように、矢印Ａ１で示すアーク近傍から上に向かう流れと、矢印Ｂ１の封止管部１２近傍から下に向うの流れとは、それぞれ突起によって矢印Ａ２，Ｂ２の方向に流れが規制されているので、これらが合流したときに発光管部１１の上部Ｑに向かう流れが安定的に形成される。したがって、電極材の蒸発物を多量に含む気流は、それが運ぶ蒸発物の一部が突起表面に捕捉され、さらにはＢ２側の流れに取り込まれＢ３の流れによって運び去られることによって減少した後、ランプの有効利用範囲よりも上側において管壁に衝突し、そこに蒸発物が付着するので、その他領域においては蒸発物の濃度が低下する。
その結果、バルブの有効利用範囲において電極材蒸発物の付着が低減され、照度維持率の低下を効果的に抑制することができ、使用寿命が長いショートアーク型放電ランプを提供することができる。
【００２０】
図４（ｂ）の第四の実施形態では、陽極胴部（１３ｂ）の側面を電極棒（１５）に向かって半径方向外方に突出するよう成形し、円錐台状の突起（３０）が設けられた例である。
この実施形態においては、矢印Ａ１で示す、発光管部１１の中心部近傍から上方に向かって流れる気流は、突起３０の側面によってやや半径方向外方へ広がりながら矢印Ａ２の方向に上昇する。一方、矢印Ｂ１で示す電極棒保持用筒体１６の一端面１６ａ近傍からの気流は、陽極１３の後端面１３ｄと突起の底面に沿って矢印Ｂ２のように半径方向外方に広がる。このとき、気流Ｂ２は下に向かう勢力が弱まり、発光管部１１の中心部近傍から上昇する気流Ａ２は妨げられることなく発光管部１１上部に向かうため、矢印のように流れる。
この実施形態においても、発光管部１１の上部Ｑに向かう流れを安定的に形成することができ、上述と同様の効果を得ることができる。
【００２１】
図５（ａ）〜（ｃ）は、図１，２で説明した第一の発明の変形例であり、第五〜第７の実施形態を説明する図で、いずれも陽極および電極棒を取り出して示す、説明用断面図である。
図５（ａ）は第五の実施形態に係る陽極を示す図であり、陽極本体とは別部材の突起用の部材を作製して取り付け、突起を形成した例である。
突起用の部材は、例えば厚さが０．５ｍｍのモリブデン等の薄板よりなり、スカート状の突起部３０ａとその開口に連設された溶接部３０ｂとを有している。溶接部３０ｂを陽極１３の後端面１３ｄに溶接することにより、突起３０が取り付けられる。
この実施形態によれば、発光管部の中心部近傍より上昇した気流は、突起部３０ａの前面によって案内されて発光管部上部に向かって流れるようになる。そして、封止管部近傍より下降する気流は、陽極の後端面１３ｄにあたった後、突起部３０ｂの後端面によって偏向され、発光管部の中心部近傍よりの上昇気流と合流して、バルブ上部に向かう。このように、発光管部の中心部近傍よりの気流と封止管部近傍より下降する気流のいずれもがバルブ上部に向かうので、安定した対流を形成することができる。
【００２２】
図５（ｂ）は第六の実施形態を説明する図である。本実施形態においては、突起用の部材として、例えば直径が１ｍｍのタングステン等の素線からなる渦巻型らせん状のスプリングを製作し、これを陽極後端部１３ｃに嵌合して、突起３０を設けた例である。この突起３０は、スプリングの外周が陽極１３後端より次第に半径方向に広がる状態で、その内端が陽極後端部１３ｃに溶着されることにより取り付けられる。このようならせん状スプリングを用いると、比較的簡単に突起を設けることができて好適である。
【００２３】
図５（ｃ）は第七の実施形態を説明する図である。本実施形態においては、陽極１３には胴部１３ｂの中腹よりも後方において、当該胴部１３ｂの外径が局所的に小径となるようなくびれ部１３ｅを形成し、該くびれ部１３ｅよりも後方に、突起３０が形成された例である。このように、胴部１３ｂの形状が完全な円柱状でなくても構わない。本実施形態のように胴部１３ｂのうしろに突起３０が連設していれば上昇する気流を規制して安定した対流を形成することができる。
【００２４】
以上の、第五〜第七の実施形態においても、先の実施形態と同様の作用、効果を奏することはいうまでもない。
さらに、図４（a）の形態においても、図５（a）、（b）のように陽極とは別の部材からなる突起物を取り付けて形成しても同様の効果を得ることができるのはいうまでもない。
なお、何れの実施形態も仕様などは一例で、適宜変更が可能であることはいうまでもない。
【実施例１】
【００２５】
図５（ａ）で示した第五の実施形態に係るショートアーク型放電ランプを、下記仕様に従って作製し、実施例１のランプとした。
定格消費電力：３．５ｋＷ、
発光管部寸法：直径７０ｍｍ、発光管部長さ１００ｍｍ
封入ガス：アルゴン４０ｋＰａ（２５℃）
封入水銀：５．５ｇ
陽極：直径２０ｍｍ、長さ３０ｍｍ
突起部材：厚さ０．５ｍｍ、材質モリブデン、軸方向長さ６ｍｍ、陽極側面に対する開き角度３０°
【実施例２】
【００２６】
また、同じく、図３（ａ）で示した第二の実施形態に係るショートアーク型放電ランプを、下記仕様に従って作製し、実施例２のランプとした。
定格消費電力：５ｋＷ
発光管部寸法：直径８０ｍｍ、発光管部長さ１１０ｍｍ
封入ガス：アルゴン６５ｋＰａ（２５℃）
封入水銀：８．５ｇ
陽極：直径２５ｍｍ、長さ３５ｍｍ
溝深さ：１０ｍｍ、溝の幅４ｍｍ
【００２７】
上記実施例１，２に係るランプとは、突起或いは溝が形成されていないことを除いて同様の仕様となるよう、従来技術に係るランプをそれぞれ製作し、比較例１，２とした。以上の実施例１，２および比較例１，２に係る各ランプを点灯して照度維持率を測定した。これらの結果を図６（ａ），（ｂ）に示す。同図において縦軸は、点灯初期の照度を１００とした照度維持率（相対値）を示し、横軸は点灯時間（ｈ）である。
【００２８】
図６（ａ）は、実施例１に係るランプと、その従来技術に係る比較例１に係るランプの照度維持率を測定した結果である。この結果から、照度維持率が大幅に改善されたことが分かる。例えば実施例１のランプ（３．５ｋＷのランプ）では、点灯時間７５０ｈにおいて、比較例１（従来）のランプでは７５であったのが本実施例に係るランプでは８６．８になり、約１１．８％の改善効果が得られた。
【００２９】
また、図６（ｂ）は、実施例２に係るランプと、その従来技術に係る比較例２に係るランプの照度維持率を測定した結果である。実施例２のランプでは照度維持率が改善され、点灯時間７５０ｈにおいて、比較例２（従来）のランプでは７３．５であったのが本実施例に係るランプでは８２になり、約８．５％の改善効果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第一の実施形態を説明する断面図である。
【図２】ランプの点灯中の対流を説明する図である。
【図３】請求項２記載の発明に係る実施形態を説明するランプ要部の説明用断面図であり、それぞれ（ａ）本願の第二の実施形態，（ｂ）その他の実施形態を説明する図である。
【図４】それぞれ（ａ）第三の実施形態、（ｂ）第四の実施形態を説明する図である。
【図５】それぞれ（ａ）第五の実施形態、（ｂ）第六の実施形態、（ｃ）第七の実施形態を説明する陽極および電極棒を取り出して示す説明用断面図である。
【図６】それぞれ（ａ）実施例１と比較例１、（ｂ）実施例２と比較例２の照度維持率を示す図である。
【図７】従来のショートアーク型放電ランプの要部を拡大して示す断面図である。
【図８】従来のショートアーク型放電ランプの対流を説明する図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０    バルブ
１１    発光管部
１２    封止管部
１３    陽極
１４    陰極
１５    電極棒
１６    電極棒保持用筒体
１７    封止用ガラス部材
１８    外部リード棒
１９    リード棒保持用筒体
２０    金属箔
３０    突起
３１    溝
Ｓ      発光空間
【図１】
2006012672.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006012672.tif 000005
【図４】
2006012672.tif 000006
【図５】
2006012672.tif 000007
【図６】
2006012672.tif 000008
【図７】
2006012672.tif 000009
【図８】
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