(57)【要約】【課題】ダイ突き上げ部材を用いてもダイを破損させることがなく、ダイを確実にピックアップさせることができる。【解決手段】吸着ステージ１０内には、ピックアップ用のダイ突き上げ部材２１よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材２２が上下動可能に設けられ、ダイ突き上げ部材２２が下降した状態で、ピックアップされるダイ１Ａの送り方向側のダイ端部をダイ突き上げ部材２２の上方に位置させた後、ダイ突き上げ部材２２を上昇させてダイ１Ａの送り方向側のダイ端部をウェーハシート２より剥がし、その後、ダイ突き上げ部材２２は上昇したままダイ１Ａをピックアップセンター５に送ってコレット４とダイ突き上げ部材２１によりピックアップさせる。【選択図】      図１
2006004956.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内に配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージ内には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材が上下動可能に設けられ、このダイ剥離用のダイ突き上げ部材が下降した状態で、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材は上昇したままダイを送って、ダイを部分的或いは全面的に剥離させた後、ピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項２】
ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内に配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージ内には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材が上下動可能に設けられ、このダイ剥離用のダイ突き上げ部材が下降した状態で、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を下降させた後にダイを送って、ダイを部分的或いは全面的に剥離させた後、ピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項３】
ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内のピックアップセンターに配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージの上面には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材が下降した状態でピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部をウェーハシートより剥がし、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材は上昇したままでダイを該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を乗り越えて移動させた後、前記ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項４】
ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内のピックアップセンターに配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージの上面には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材が下降した状態でピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部をウェーハシートより剥がし、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材を下降させると共に、ダイの送り方向側のダイ端部を前記吸引穴の上方に位置させた後、前記ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項５】
ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内のピックアップセンターに配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージの上面には、ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記吸引穴の上方に位置させた後、前記吸着ステージを真空吸引させて前記ダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項６】
前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材は、複数本よりなることを特徴とする請求項１乃至５いずれか記載のダイピックアップ装置。
【請求項７】
前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材は３本以上よりなり、中央のダイ突き上げ部材は、両側のダイ突き上げ部材より高く形成されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれか記載のダイピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハシートに貼り付けられたダイをコレットで前記ウェーハシートから剥離してピックアップするダイピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハシートに貼り付けられたダイのピックアップ装置として、特許文献１に示す突き上げ部材方式が一般的に行われている。しかし、この装置は、ダイの厚みが約１００μｍ以下と薄い場合には、ダイが破損するという問題があった。
【０００３】
この改善策として、突き上げ部材を用いないでダイをウェーハシートよりピックアップする方法として、例えば特許文献２が挙げられる。この装置は、ダイをコレットで保持した状態で、ダイが貼り付けられたウェーハシート（粘着シート）を吸着ステージで吸引しながら吸着ステージを水平面上で移動した後、前記コレットは前記ウェーハシートから前記ダイをピックアップする。
【０００４】
【特許文献１】特開平３−２２９４４１号公報
【特許文献２】特開２００１−１１８８６２号公報（特許第３２０９７３６号公報）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１は、ダイを破損させるという問題はあるが、ダイのピックアップミスが殆ど生じないという利点を有する。特許文献２は、ダイの破損は生じない。しかし、貼り付けられたウェーハシートとダイをそれぞれ吸着ステージとコレットの真空吸着によって保持し、吸着ステージを水平移動させてることにより両者を剥がすので、吸引力を強くする必要があり、ダイに悪影響を与えるという問題があった。
【０００６】
本発明の課題は、ダイ突き上げ部材を用いてもダイを破損させることがなく、ダイを確実にピックアップさせることができるダイピックアップ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内に配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージ内には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材が上下動可能に設けられ、このダイ剥離用のダイ突き上げ部材が下降した状態で、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材は上昇したままダイを送って、ダイを部分的或いは全面的に剥離させた後、ピックアップさせることを特徴とする。
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内に配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージ内には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材が上下動可能に設けられ、このダイ剥離用のダイ突き上げ部材が下降した状態で、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を下降させた後にダイを送って、ダイを部分的或いは全面的に剥離させた後、ピックアップさせることを特徴とする。
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内のピックアップセンターに配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージの上面には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材が下降した状態でピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部をウェーハシートより剥がし、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材は上昇したままでダイを該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を乗り越えて移動させた後、前記ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とする。
【００１０】
上記課題を解決するための本発明の請求項４は、ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内のピックアップセンターに配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージの上面には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材が下降した状態でピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部をウェーハシートより剥がし、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材を下降させると共に、ダイの送り方向側のダイ端部を前記吸引穴の上方に位置させた後、前記ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とする。
【００１１】
上記課題を解決するための本発明の請求項５は、ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内のピックアップセンターに配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージの上面には、ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記吸引穴の上方に位置させた後、前記吸着ステージを真空吸引させて前記ダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
ピックアップセンターに送られたダイとウェーハシートの粘着力は低下しているので、ダイ突き上げ部材で薄型のダイを突き上げても、該ダイが破損することがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のダイピックアップ装置の第１の実施の形態を図１及び図２により説明する。図１に示すように、ダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・が貼り付けられたウェーハシート２の外周は、図示しないウェーハリングに固定されている。ウェーハリングは、平面方向のＸＹ軸方向に駆動される図示しないウェーハ支持枠に固定される。ダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・は、吸着穴３が形成されたコレット４によって真空吸着されてピックアップされる。ピックアップセンター５の下方には、ウェーハシート２を真空吸着する吸着ステージ１０が配設されている。以上は周知の技術である。
【００１４】
吸着ステージ１０内のピックアップセンター５部には、ピックアップ用のダイ突き上げ部材２１が上下動可能に設けられ、このダイ突き上げ部材２１の両側には、ダイ剥離用のダイ突き上げ部材２２、２３上下動可能に設けられており、これらのダイ突き上げ部材２１、２２、２３は、平板形状よりなり、それぞれ単独に図示しない上下駆動手段で上下駆動させられるようになっている。図２に示すように、ダイ突き上げ部材２１、２２、２３は、ウェーハシート送り方向Ａに直角な方向の長さがダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃの隅部より内側になるように、即ちダイ１Ａ、１Ｂ、１Ｃの辺の長さより若干短く形成されている。吸着ステージ１０には、ダイ突き上げ部材２１、２２、２３の貫通穴及びウェーハシート２の吸引穴を兼ねた吸引穴１１、１２、１３が形成されている。
【００１５】
次にダイピックアップ方法について説明する。図１（ａ）に示すように、吸着ステージ１０の真空をオンにし、ピックアップするダイ１Ａの送り方向側のダイ端部がダイ突き上げ部材２２の上方に位置するように、ウェーハシート２が固定された図示しないウェーハリングを移動させる。次に図１（ｂ）に示すように、ダイ突き上げ部材２２を上昇させ、ウェーハシート２を介してダイ１Ａの送り方向側のダイ端部を突き上げる。これにより、ダイ１Ａの送り方向側のダイ端部はウェーハシート２から剥がされる。
【００１６】
次に図１（ｃ）に示すように、ダイ突き上げ部材２２は上昇したままダイ１Ａがピックアップセンター５に位置するようにウェーハシート２を移動させる。ダイ１Ａは、ダイ突き上げ部材２２の上方を通過する時、ダイ突き上げ部材２２で押し上げられた山部を乗り越えて送られるので、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力が低下する。次に図１（ｄ）に示すように、ダイ突き上げ部材２２は下降してウェーハシート２から離れ、またコレット４はダイ１Ａを吸着する位置まで下降する。続いて図１（ｅ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１が上昇してダイ１Ａを突き上げ、コレット４はダイ１Ａを真空吸着する。この場合、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下しているので、ダイ突き上げ部材２１の上昇によりダイ１Ａは破損されることなく容易にウェーハシート２より剥がされる。
【００１７】
ダイ１Ａを真空吸着してピックアップしたコレット４は、図示しない移送手段により上昇及びＸＹ軸方向に移動させられ、次工程、例えばダイボンディング、ダイ詰め等の工程を行う。ダイ１Ａがピックアップされると、図１（ｆ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１が下降し、また次にピックアップされるダイ１Ｂの送り方向側のダイ端部が前記したようにダイ突き上げ部材２２の上方に位置するようにウェーハシート２が移動させられる。
【００１８】
このように、ピックアップセンター５に送られたダイ１Ａとウェーハシート２の粘着力は低下しているので、ダイ突き上げ部材２１で薄型のダイ１Ａを突き上げても、該ダイ１Ａが破損することがない。
【００１９】
なお、上記実施の形態では、ダイ突き上げ部材２３は何ら作用していない。これは、ダイを左側からピックアップセンター５に送った場合について説明したためである。ダイを右側からピックアップセンター５に送る場合には、ダイ突き上げ部材２３が前記説明したダイ突き上げ部材２２と同様に作用し、ダイ突き上げ部材２２は何ら作用しない。
【００２０】
本発明のダイピックアップ装置の第２の実施の形態を図３により説明する。本実施の形態は、前記第１の実施の形態の変形例であり、図１（ｃ）（ｄ）の工程を図３（ａ）（ｂ）に変えたものである。その他は図１の工程と同じであるので、異なる工程について説明する。
【００２１】
図１（ａ）の工程後、図１（ｂ）に示すように、ダイ突き上げ部材２２でダイ１Ａの送り方向側のダイ端部を突き上げ、ダイ１Ａの送り方向側のダイ端部をウェーハシート２から剥がした後、図３（ａ）に示すように、ダイ突き上げ部材２２が下降する。その後、図３（ｂ）に示すように、ダイ１Ａがピックアップセンター５に位置するようにウェーハシート２を移動させる。前記したように、ダイ１Ａの送り方向側のダイ端部はウェーハシート２より剥がされているので、図３（ａ）から図３（ｂ）のようにダイ１Ａが移動させられる時、吸引穴１２の真空吸引力によりダイ１Ａはウェーハシート２より剥がされ、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下する。その後は、図１（ｅ）（ｆ）の工程が行われる。
【００２２】
本実施の形態も前記実施の形態と同様に、ピックアップセンター５に送られたダイ１Ａとウェーハシート２の粘着力は低下しているので、ダイ突き上げ部材２１で薄型のダイ１Ａを突き上げても、該ダイ１Ａが破損することがない。
【００２３】
本発明のダイピックアップ装置の第３の実施の形態を図４により説明する。以下、図１乃至図３と同じ又は相当部材には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。本実施の形態は、ピックアップセンター５にダイ突き上げ部材２１があり、このダイ突き上げ部材２１の吸引穴１１の両側には、吸引穴１２、１３のみがあり、吸引穴１２、１３にはダイ突き上げ部材２２、２３は配設されていない。
【００２４】
次にダイピックアップ方法について説明する。図４（ａ）に示すように、吸着ステージ１０の真空をオンにし、ピックアップするダイ１Ａの送り方向側のダイ端部がダイ突き上げ部材２１の上方に位置するように、ウェーハシート２を移動させる。次に図４（ｂ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１を上昇させ、ウェーハシート２を介してダイ１Ａの送り方向側のダイ端部を突き上げる。これにより、ダイ１Ａの送り方向側のダイ端部はウェーハシート２から剥がされる。
【００２５】
次に図４（ｃ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１は上昇したままダイ１Ａがダイ突き上げ部材２１乗り越えるようにウェーハシート２を移動させる。ダイ１Ａは、ダイ突き上げ部材２１の上方を通過する時、ダイ突き上げ部材２１で押し上げられた山部を乗り越えて送られるので、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力が低下する。その後、図４（ｄ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１が下降した後、ダイ１Ａがピックアップセンター５に位置するようにウェーハシート２を移動させる。続いて図４（ｅ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１が上昇してダイ１Ａを突き上げ、コレット４はダイ１Ａを真空吸着する。この場合、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下しているので、ダイ突き上げ部材２１の上昇によりダイ１Ａは破損されることなく容易にウェーハシート２より剥がされる。
【００２６】
ダイ１Ａを真空吸着してピックアップしたコレット４は、図示しない移送手段により上昇及びＸＹ軸方向に移動させられ、次工程、例えばダイボンディング、ダイ詰め等の工程を行う。ダイ１Ａがピックアップされると、図４（ｆ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１が下降し、また次にピックアップされるダイ１Ｂの送り方向側のダイ端部が前記したようにダイ突き上げ部材２１の上方に位置するように（図４（ａ）参照）ウェーハシート２が移動させられる。
【００２７】
このように、ピックアップセンター５に送られたダイ１Ａとウェーハシート２の粘着力は低下しているので、ダイ突き上げ部材２１で薄型のダイ１Ａを突き上げても、該ダイ１Ａが破損することがない。
【００２８】
本発明のダイピックアップ装置の第４の実施の形態を図５により説明する。本実施の形態は、前記第３の実施の形態の変形例であり、図４（ｃ）（ｄ）の工程を図５（ａ）（ｂ）に変えたものである。その他は図４の工程と同じであるので、異なる工程について説明する。
【００２９】
図４（ａ）の工程後、図４（ｂ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１でダイ１Ａの送り方向側のダイ端部を突き上げ、ダイ１Ａの送り方向側のダイ端部をウェーハシート２から剥がした後、図５（ａ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１が下降すると共に、ダイ１Ａが送り方向に送られ該ダイ１Ａの全面又は一部が吸引穴１１の負圧によりウェーハシート２から剥がされる。その後、図５（ｂ）に示すように、ダイ１Ａが送り方向Ａと反対側方向のピックアップセンター５に位置するようにウェーハシート２を移動させる。前記したように、ダイ１Ａの送り方向側のダイ端部はウェーハシート２より剥がされているので、図５（ａ）から図５（ｂ）のようにダイ１Ａが移動させられる時、吸引穴１２の真空吸引力によりダイ１Ａはウェーハシート２より剥がされ、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下する。その後は、図４（ｅ）（ｆ）の工程が行われる。
【００３０】
本実施の形態も前記各実施の形態と同様に、ピックアップセンター５に送られたダイ１Ａとウェーハシート２の粘着力は低下しているので、ダイ突き上げ部材２１で薄型のダイ１Ａを突き上げても、該ダイ１Ａが破損することがない。
【００３１】
本発明のダイピックアップ装置の第５の実施の形態を図６により説明する。本実施の形態は、前記第３及び第４の実施の形態と同様に、ピックアップセンター５にはダイ突き上げ部材２１があり、このダイ突き上げ部材２１の吸引穴１１の両側には、吸引穴１２、１３のみがあり、吸引穴１２、１３にはダイ突き上げ部材２２、２３は配設されていない。しかし、ダイ突き上げ部材２１の作用が前記第３及び第４の実施の形態と異なる。
【００３２】
次にダイピックアップ方法について説明する。図６（ａ）に示すように、ピックアップするダイ１Ａの送り方向側のダイ端部が吸引穴１２の上方に位置するように、ウェーハシート２を移動させ、吸着ステージ１０の真空をオンにする。これにより、図６（ｂ）に示すように、吸着ステージ１０の真空吸引によってダイ１Ａの送り方向側のダイ端部のウェーハシート２は下方に引かれ、ダイ１Ａの送り方向側のダイ端部はウェーハシート２から剥がされる。
【００３３】
次に図６（ｃ）に示すように、ダイ１Ａがピックアップセンター５に位置するようにウェーハシート２を移動させる。前記したように、ダイ１Ａの送り方向側のダイ端部はウェーハシート２より剥がされているので、図６（ｂ）から図６（ｃ）のようにダイ１Ａが移動させられる時、吸引穴１２の真空吸引力によりダイ１Ａはウェーハシート２より剥がされ、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下する。その後は、図６（ｄ）（ｅ）の工程が行われる。この工程は図４（ｅ）（ｆ）の工程と同じであるので、その説明は省略する。
【００３４】
本実施の形態も前記各実施の形態と同様に、ピックアップセンター５に送られたダイ１Ａとウェーハシート２の粘着力は低下しているので、ダイ突き上げ部材２１で薄型のダイ１Ａを突き上げても、該ダイ１Ａが破損することがない。
【００３５】
前記各実施の形態は、ピックアップ用のダイ突き上げ部材２１は１個であった。図７、図８及び図９に示す第６、第７及び第８の実施の形態は、３個のピックアップ用のダイ突き上げ部材２４、２５、２６を用いた場合を示す。図７は図１の第１の実施の形態に適用した例、図８は図４の第３の実施の形態に適用した例、図９は図６の第５の実施の形態に適用した例をそれぞれ示す。ダイ突き上げ部材２４、２５、２６は、図示しない上下駆動手段で上下駆動されるホルダ３０に固定されており、中央のダイ突き上げ部材２４は両側のダイ突き上げ部材２５、２６より高さｈ（約１００〜１５０μｍ）高く形成されている。吸着ステージ１０には、ダイ突き上げ部材２４、２５、２６に対応して吸引穴１４、１５、１６が形成されている。その他の構成は前記適用した図と同じであるので、同じ又は相当部材には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３６】
本発明のダイピックアップ装置の第６の実施の形態を図７により説明する。本実施の形態は、図１の第１の実施の形態に適用したものであり、作用は図１と殆ど同じであるので、同じ作用の詳細な説明は省略する。即ち、図７（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は、図１（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）に対応し、ダイ突き上げ部材２２のみが上下動し、またダイ１Ａが図１で説明したように送られ、図７（ｄ）の状態では、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下している。
【００３７】
次に図７（ｅ）に示すように、ホルダ３０が上昇してダイ突き上げ部材２４、２５、２６でダイ１Ａを突き上げ、コレット４はダイ１Ａを真空吸着する。この場合、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下しているので、図１の場合と同様に、ダイ突き上げ部材２４、２５、２６の上昇によりダイ１Ａは破損されることなく容易にウェーハシート２より剥がされる。また本実施の形態は、３個のダイ突き上げ部材２４、２５、２６でダイ１Ａを突き上げるので、ダイ１Ａに無理な力が加わらなく、また中央のダイ突き上げ部材２４で突き上げられてダイ１Ａが傾いても、一方のダイ突き上げ部材２５又は２６で支持され、コレット４の吸着穴３による真空吸引によってコレット４に吸着保持される。
【００３８】
その後は図７（ｆ）に示すように、ホルダ３０の下降によってダイ突き上げ部材２４、２５、２６が下降し、ダイ１Ａを吸着保持したコレット４は従来と同様の動作を行い、また図１の場合と同様に次にピックアップされるダイ１Ｂの送り方向側のダイ端部が前記したようにダイ突き上げ部材２２の上方に位置するようにウェーハシート２が移動させられる。
【００３９】
本発明のダイピックアップ装置の第７の実施の形態を図８により説明する。本実施の形態は、図４の第３の実施の形態に適用したものである。図８（ａ）に示すように、吸着ステージ１０の真空をオンにし、ピックアップするダイ１Ａの送り方向側のダイ端部が中央のダイ突き上げ部材２４の上方に位置するように、ウェーハシート２を移動させる。次に図８（ｂ）に示すように、ホルダ３０を上昇させると、ダイ突き上げ部材２４はウェーハシート２を介してダイ１Ａの送り方向側のダイ端部を突き上げる。これにより、ダイ１Ａの送り方向側のダイ端部はウェーハシート２から剥がされる。
【００４０】
次に図８（ｃ）に示すように、ホルダ３０、即ちダイ突き上げ部材２４は上昇したままダイ１Ａがダイ突き上げ部材２４乗り越えるようにウェーハシート２を移動させる。ダイ１Ａは、ダイ突き上げ部材２４の上方を通過する時、ダイ突き上げ部材２４で押し上げられた山部を乗り越えて送られるので、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力が低下する。その後、図８（ｄ）に示すように、ホルダ３０が下降した後、ダイ１Ａがピックアップセンター５に位置するようにウェーハシート２を移動させる。続いて図８（ｅ）に示すように、ホルダ３０が上昇してダイ突き上げ部材２４、２５、２６でダイ１Ａを突き上げ、コレット４はダイ１Ａを真空吸着する。この場合、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下しているので、図４の場合と同様に、ダイ突き上げ部材２４、２５、２６の上昇によりダイ１Ａは破損されることなく容易にウェーハシート２より剥がされる。また本実施の形態は、３個のダイ突き上げ部材２４、２５、２６でダイ１Ａを突き上げるので、ダイ１Ａに無理な力が加わらなく、また中央のダイ突き上げ部材２４で突き上げられてダイ１Ａが傾いても、一方のダイ突き上げ部材２５又は２６で支持され、コレット４の吸着穴３による真空吸引によってコレット４に吸着保持される。
【００４１】
その後は図８（ｆ）に示すように、ホルダ３０の下降によってダイ突き上げ部材２４、２５、２６が下降し、ダイ１Ａを吸着保持したコレット４は従来と同様の動作を行い、また図１の場合と同様に次にピックアップされるダイ１Ｂの送り方向側のダイ端部が前記したようにダイ突き上げ部材２２の上方に位置するようにウェーハシート２が移動させられる。
【００４２】
本発明のダイピックアップ装置の第８の実施の形態を図９により説明する。本実施の形態は、図６の第５の実施の形態に適用したものであり、作用は図６と殆ど同じであるので、同じ作用の詳細な説明は省略する。即ち、図９（ａ）（ｂ）（ｃ）は、図６（ａ）（ｂ）（ｃ）に対応し、図９（ｃ）の状態では、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下している。次に図９（ｄ）に示すように、ホルダ３０が上昇してダイ突き上げ部材２４、２５、２６でダイ１Ａを突き上げ、コレット４はダイ１Ａを真空吸着する。この場合、ウェーハシート２とダイ１Ａの粘着力は低下しているので、図６の場合と同様に、ダイ突き上げ部材２４、２５、２６の上昇によりダイ１Ａは破損されることなく容易にウェーハシート２より剥がされる。また本実施の形態は、３個のダイ突き上げ部材２４、２５、２６でダイ１Ａを突き上げるので、ダイ１Ａに無理な力が加わらなく、また中央のダイ突き上げ部材２４で突き上げられてダイ１Ａが傾いても、一方のダイ突き上げ部材２５又は２６で支持され、コレット４の吸着穴３による真空吸引によってコレット４に吸着保持される。
【００４３】
その後は図９（ｅ）に示すように、ホルダ３０の下降によってダイ突き上げ部材２４、２５、２６が下降し、ダイ１Ａを吸着保持したコレット４は従来と同様の動作を行い、また図６の場合と同様に次にピックアップされるダイ１Ｂの送り方向側のダイ端部が吸引穴１２の上方に位置するように、ウェーハシート２を移動させる。
【００４４】
上記図１及び図７に示す第１及び第６の実施の形態において、図１（ｂ）及び（ｃ）、図７（ｂ）及び（ｃ）に示すように、ダイ突き上げ部材２２を上昇させた状態でダイ１Ａの全面を剥離させると、ウェーハシート２からダイ１Ａが外れてしまうことがある。これを防止するには、ダイ１Ａの後端部がウェーハシート２から剥離される前にダイ突き上げ部材２２を下降させるようにする。これは図４に示す第３の実施の形態においても同様である。即ち、図４（ｂ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１を上昇させた状態でウェーハシート２、即ちダイ１Ａを移動させて該ダイ１Ａが完全に剥離される前にダイ突き上げ部材２１を下降させる。
【００４５】
また図１（ｂ）、図７（ｂ）に示すように、ダイ突き上げ部材２２でダイ１Ａの送り方向側のダイ端部を突き上げた後、ウェーハシート２の移動を１００〜２００ｍｓｅｃ停止させると、ウェーハシート２からのダイ１Ａの剥離が良くなる。
【００４６】
また図１（ｂ）、図７（ｂ）に示すように、ダイ突き上げ部材２２でダイ１Ａの送り方向側のダイ端部を突き上げる場合、ダイ突き上げ部材２２の吸着ステージ１０の上面からの突き出し量を大きくした方がダイ１Ａの送り方向側のダイ端部は剥離し易い。例えば前記突き出し量を２５０μｍとする。しかし、このように大きな突き出し量でウェーハシート２、即ちダイ１Ａを移動させると該ダイ１Ａにダメージを与える虞がある。これを避けるには、図１（ｂ）、図７（ｂ）の後にダイ突き上げ部材２２を少し下げるとよい。例えば吸着ステージ１０の上面からの突き出し量を１００μｍとする。これは、図４の場合も同様である。即ち、図４（ｂ）に示すように、ダイ突き上げ部材２１の吸着ステージ１０の上面からの突き出し量を大きくし、その後にダイ突き上げ部材２１を少し下げる。
【００４７】
なお、図７及び図９の実施の形態におけるピックアップ用のダイ突き上げ部材２４、２５、２６は、既にウェーハシート２に対して粘着力が低下しているダイ１Ａを突き上げてコレット４に吸着させる作用のみであるので、ダイ突き上げ部材２４、２５、２６は全て同じ高さでもよい。しかし、図８の実施の形態の場合には、中央のダイ突き上げ部材２４はウェーハシート２に対して粘着力を低下させる作用を行うので、本実施の形態の場合には、ダイ突き上げ部材２４は少なくともダイ突き上げ部材２５より高く形成する必要がある。
【００４８】
また図７乃至図９の実施の形態においては、３個のピックアップ用用のダイ突き上げ部材２４、２５、２６について説明したが、ピックアップ用のダイ突き上げ部材は２個又は４個以上でもよい。また図示しないが、図７の実施の形態は図３の実施の形態にも適用でき、図８の実施の形態は図５の実施の形態にも適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明のダイピックアップ装置の第１の実施の形態を示す正面断面図である。
【図２】図１の吸着ステージの平面図である。
【図３】本発明のダイピックアップ装置の第２の実施の形態を示す正面断面図である。
【図４】本発明のダイピックアップ装置の第３の実施の形態を示す正面断面図である。
【図５】本発明のダイピックアップ装置の第４の実施の形態を示す正面断面図である。
【図６】本発明のダイピックアップ装置の第５の実施の形態を示す正面断面図である。
【図７】本発明のダイピックアップ装置の第６の実施の形態を示す正面断面図である。
【図８】本発明のダイピックアップ装置の第７の実施の形態を示す正面断面図である。
【図９】本発明のダイピックアップ装置の第８の実施の形態を示す正面断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・    ダイ
２    ウェーハシート
３    吸着穴
４    コレット
５    ピックアップセンター
１０    吸着ステージ
１１、１２、１３、１４、１５、１６    吸引穴
２１、２２、２３、２４、２５、２６    ダイ突き上げ部材
３０    ホルダ
【図１】
2006004956.tif 000003
【図２】
2006004956.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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