(57)【要約】【課題】  光記録媒体（光ディスク）に色素をスピンコーティングするに際し、色素塗布液を確実に基板に塗り着くことのできる高塗りつき性の塗布方法およびその装置を提供する。【解決手段】  吐出ノズルから被塗布円盤状基板上に色素塗布液を吐出し、スピンコートで前記色素塗布液を前記基板上に拡げて色素記録層を形成する塗布工程を有する光記録媒体の製造方法において、前記基板１枚あたり３ｃｃ以下の前記色素塗布液を所定圧力の下で前記吐出ノズル内径Φ０．１２〜１．００ｍｍのノズルを用いて塗布するようにした。【選択図】  図１
2006286142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出ノズルから被塗布円盤状基板上に色素塗布液を吐出し、スピンコートで前記色素塗布液を前記基板上に拡げて色素記録層を形成する塗布工程を有する光記録媒体の製造方法において、前記基板１枚あたり３ｃｃ以下の前記色素塗布液を所定圧力の下で前記吐出ノズル内径Φ０．１２〜１．００ｍｍのノズルを用いて塗布することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記色素塗布液の吐出速度が５００ｍｍ／ｓｅｃ〜１０，０００ｍｍ／ｓｅｃであることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項３】
円盤状基板を保持する保持手段と、前記保持手段を前記円盤状基板と共に回転させる回転手段と、色素塗布液を前記円盤状基板の表面に付与するための吐出ノズルとを備えたスピンコート装置において、前記吐出ノズルが、前記基板１枚あたり３ｃｃ以下の前記色素塗布液をノズル内径がΦ０．１２〜１．００ｍｍを用いて、前記色素塗布液の吐出速度５００ｍｍ／ｓｅｃ〜１０，０００ｍｍ／ｓｅｃで吐出させる能力のノズルであることを特徴とする光記録媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピン塗布による光記録媒体（光ディスク）の製造に関し、特にその吐出ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、レーザー光により情報の記録が可能な光記録媒体（光ディスク）が知られている。この光ディスクの１つに追記型ＣＤ（所謂ＣＤ−Ｒ）があり、その代表的な構造は、透明な円盤状基板上に有機色素からなる色素記録層、金等の金属からなる反射層、さらに樹脂製の保護層（カバー層）がこの順に積層したものである。
【０００３】
そしてこのＣＤ−Ｒへの情報の記録は、近赤外域のレーザー光（通常は７８０ｎｍ付近の波長のレーザー光）をＣＤ−Ｒに照射することにより行われ、色素記録層の照射部分がその光を吸収して局所的に温度上昇し、物理的あるいは化学的変化（例えば、ピットの生成）によりその部分の光学的特性が変化することにより情報が記録される。
【０００４】
一方、情報の読み取り（再生）もまた記録用のレーザー光と同じ波長のレーザー光をＣＤ−Ｒに照射することにより行われ、色素記録層の光学的特性が変化した部位（記録部分）と変化していない部位（未記録部分）との反射率の違いを検出することにより行われている。
【０００５】
近年、記録密度のより高い光記録媒体が求められている。このような要望に対して、追記型デジタル・ヴァーサタイル・ディスク（所謂ＤＶＤ−Ｒ）と称される光ディスクが提案されている。このＤＶＤ−Ｒは、照射されるレーザー光のトラッキングのための案内溝（プレグルーブ）がＣＤ−Ｒの半分以下（０．７４〜０．８μｍ）という狭い溝幅で形成された透明な円盤状基板上に、通常、有機色素を含有する色素記録層、反射層、および保護層をこの順に積層したディスク２枚を色素記録層を内側にして貼り合わせた構造、あるいはこのディスクと同じ形状の円盤状保護基板とを色素記録層を内側にして貼り合わせた構造を有している。そして、このＤＶＤ−Ｒへの情報の記録および再生は、可視レーザー光（通常は、６３０ｎｍ〜６８０ｎｍの範囲の波長のレーザー光）を照射することにより行われており、ＣＤ−Ｒより高密度の記録が可能である。
【０００６】
光ディスクへの色素記録層は、従来から知られているように、スピンコート法で行われている。（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２１７１９３号公報
【０００７】
これは回転している基板の内周側に塗布液を滴下し、遠心力により該塗布液を外周側に流延させて塗膜を形成させると共に、その余分の塗布液を基板の外周縁部から振り切り、その周囲に放出させ、次いで、塗膜から溶媒を乾燥除去することからなる薄膜形成法である。
【０００８】
図３は従来のスピンコート装置の断面模式図を示すものである。
図において、１００は従来のスピンコート装置で、このスピンコート装置１００は、色素塗布液付与装置１１、スピナーヘッド装置１３、飛散防止壁１５、そして排気装置１８から構成されている。
色素塗布液付与装置１１は図示していない加圧タンクと吐出量調整用バルブから送液されるノズル１２’を備え、色素塗布液はこのノズル１２’を通してその所定量がディスク状基板１の表面上に滴下される。
スピナーヘッド装置１３は、ノズル１２’の下方に配置されており、着脱可能な固定具１４により、ディスク状基板１が水平に保持されると共に、駆動モータにより軸回転が可能とされている。スピナーヘッド装置１３により水平に保持された状態で回転している基板１上に、ノズル１２’から滴下した色素塗布液は、基板１の表面上を外周側に流延する。そして余分の塗布液は基板の外周縁部で振り切られ、その外側に放出され、次いで塗膜が乾燥されることにより、基板表面上に塗膜が形成される。
飛散防止壁１５は、基板１の外周縁部から外側に放出された余分の塗布液が周辺に飛散するのを防止するために設けられており、上部に開口１６が形成されるようにスピナーヘッド装置１３の周囲に配置されている。なお、飛散防止壁を介して集められた余分の塗布液はドレイン１７を通して回収されるようになっている。
排気装置１８は上記飛散防止壁の上方に形成された開口１６から取り入れた空気を基板表面上に流通させた後、スピナーヘッド装置１３の下方から排気できるようにされており、排気量調節弁及び排気ファン１９を含み、排気量の調整によって塗膜の乾燥条件を変更することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このようなスピンコート装置１００においてスピンコートしたところ、色素塗布液の膜層が均一にならず放射状にムラが生じることが起きた。
そこで、本出願人はその原因を追求するため実験を繰り返したところ、液滴が基板に着地する際の液滴の塗りつきが悪いことに起因していることが判明した。
本発明は以上の従来の問題点に鑑みてなされたものであり、色素塗布液を確実に基板に塗り着かせることのできる高塗りつき性の塗布方法およびその装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するため、請求項１記載の発明は光記録媒体の製造方法に係り、吐出ノズルから被塗布円盤状基板上に色素塗布液を吐出し、スピンコートで前記色素塗布液を前記基板上に拡げて色素記録層を形成する塗布工程を有する光記録媒体の製造方法において、前記基板１枚あたり３ｃｃ以下の前記色素塗布液を所定圧力の下で前記吐出ノズル内径Φ０．１２〜１．００ｍｍのノズルを用いて塗布することを特徴としている。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の光記録媒体の製造方法において、前記色素塗布液の吐出速度が５００ｍｍ／ｓｅｃ〜１０，０００ｍｍ／ｓｅｃであることを特徴としている。
【００１２】
請求項３記載の発明は、光記録媒体の製造装置に係り、円盤状基板を保持する保持手段と、前記保持手段を前記円盤状基板と共に回転させる回転手段と、色素塗布液を前記円盤状基板の表面に付与するための吐出ノズルとを備えたスピンコート装置において、前記吐出ノズルが、前記基板１枚あたり３ｃｃ以下の前記色素塗布液をノズル内径がΦ０．１２〜１．００ｍｍを用いて、前記色素塗布液の吐出速度５００ｍｍ／ｓｅｃ〜１０，０００ｍｍ／ｓｅｃで吐出させる能力のノズルであることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
以上のような構成により、吐出ノズルから吐出された液滴の基板への塗りつき性が改善され、塗布ムラが抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は本発明に係るスピンコート装置の断面模式図を示すものである。
図において、１０は本発明のスピンコート装置で、このスピンコート装置１０は、従来装置と同じく、色素塗布液付与装置１１、スピナーヘッド装置１３、飛散防止壁１５、そして排気装置１８から構成される。  色素塗布液付与装置１１、スピナーヘッド装置１３、飛散防止壁１５、そして排気装置１８については、従来装置で説明したので重複説明は省略する。
本発明によるスピンコート装置が従来装置と異なるのは、本発明では吐出ノズル１２の内径と吐出速度を実験に基づき明確に規定している点であり、従来装置の吐出ノズル１２’は所望の量の色素塗布液を所定の位置に正確に吐出するものであればよく、特に吐出速度までは意識していなかったものと思われる。すなわち、従来装置の吐出ノズル１２’は主に内径Φ１．２ｍｍ以上のものを用いて、吐出速度４５０ｍｍ／ｓｅｃ以下で塗りつけていたのであるが、本発明の吐出ノズル１２はその内径がΦ０．１２〜１．００ｍｍであり、１枚あたり３ｃｃ以下の色素塗布液を吐出速度５００ｍｍ／ｓｅｃ〜１０，０００ｍｍ／ｓｅｃで吐出する能力のものである。
【００１５】
本発明で使用する色素塗布液およびこれを含む光情報記録媒体の製造については、公知技術を用いることができる。例えば、本出願人に係る特開平１１−３５３７１０号公報には、ＤＶＤ−Ｒ型の光情報記録媒体について開示されている。
すなわち、光情報記録媒体は、基板上に、色素塗布記録層、及び反射層、そして所望により保護層を順に形成した積層体を、この積層体の基板と略同じ寸法の円盤状保護基板と接着剤により接合することにより製造するものである。
【００１６】
基板材料としては、例えば、ガラス；ポリカーボネート；ポリメチルメタクリレート等のアクリル樹脂；ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体等の塩化ビニル系樹脂；エポキシ樹脂；アモルファスポリオレフィンおよびポリエステル等を挙げることができ、所望によりそれらを併用してもよい。なお、これらの材料はフィルム状としてまたは剛性のある基板として使うことができる。
基板は、その直径が１２０±３ｍｍで厚みが０．６±０．１ｍｍ、あるいはその直径が８０±３ｍｍで厚みが０．６±０．１ｍｍのものが一般に用いられる。
【００１７】
基板上には、トラッキング用溝またはアドレス信号等の情報を表す凹凸（プレグルーブ）が形成されている。このプレグルーブは、ポリカーボネートなどの樹脂材料を射出成形あるいは押出成形する際に直接基板上に前記のトラックピッチで、深さ８０〜３００ｎｍの範囲（更に好ましくは、１００〜２５０ｎｍ）にあることが好ましい。
【００１８】
基板上のプレグルーブが形成されているその表面上には、上述の本発明に係るスピンコーティングにより色素塗布液が確実に着弾される。
【００１９】
色素塗布液は、特定の光学特性を有するもの、例えばシアニン色素が用いられる。
色素塗布液による色素塗布記録層の形成は、例えば、シアニン色素 、所望により退色防止剤及び結合剤などを溶剤に溶解して塗布液を調製し、次いでこの塗布液を基板のプレグルーブが形成されているその表面に塗布して塗膜を形成したのち乾燥することにより行うことができる。
色素塗布記録層形成用の塗布液の溶剤としては、酢酸ブチル、セロソルブアセテートなどのエステル；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトンなどのケトン；ジクロルメタン、１，２−ジクロルエタン、クロロホルムなどの塩素化炭化水素；ジメチルホルムアミドなどのアミド；シクロヘキサンなどの炭化水素；テトラヒドロフラン、エチルエーテル、ジオキサンなどのエーテル；エタノ−ル、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール；２，２，３，３−テトラフロロプロパノールなどのフッ素系溶剤；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのグリコールエーテル類などを挙げることができる。上記溶剤は使用する化合物の溶解性を考慮して単独または二種以上を組み合わせて用いることができる。
塗布液中には更に、酸化防止剤、ＵＶ吸収剤、可塑剤、及び潤滑剤などの各種の添加剤を目的に応じて添加してもよい。
【００２０】
退色防止剤の代表的な例としては、ニトロソ化合物、金属錯体、ジオンモニウム塩、及びアミニウム塩などを挙げることができる。これらの例は、例えば、特開平２−３００２８８号、同３−２２４７９３号、あるいは同４−１４６１８９号等の各公報に記載されている。退色防止剤を使用する場合には、その使用量は、色素の量に対して、通常０．１〜５０重量％の範囲であり、好ましくは、０．５〜４５重量％の範囲、更に好ましくは、３〜４０重量％の範囲、特に５〜２５重量％の範囲である。
【００２１】
結合剤の例としては、例えばゼラチン、セルロース誘導体、デキストラン、ロジン、ゴムなどの天然有機高分子物質；およびポリウレタン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイソブチレン等の炭化水素系樹脂；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル・ポリ酢酸ビニル共重合体等のビニル系樹脂；ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチルなどのアクリル樹脂；ポリビニルアルコール、塩素化ポリエチレン、エポキシ樹脂、ブチラール樹脂、ゴム誘導体、フェノール・ホルムアルデヒド樹脂等の熱硬化性樹脂の初期縮合物などの合成有機高分子を挙げることができる。記録層の材料として結合剤を併用する場合に、結合剤の使用量は、色素１００重量部に対して０．２〜２０重量部、好ましくは０．５〜１０重量部、更に好ましくは１〜５重量部である。このようにして調製される塗布液中の色素の濃度は一般に０．０１〜１０重量％の範囲にあり、好ましくは０．１〜５重量％の範囲にある。
色素塗布記録層は単層でも重層でもよい。色素塗布記録層の層厚は一般に２０〜５００ｎｍの範囲にあり、好ましくは５０〜３００ｎｍの範囲にあることが好ましい。
【００２２】
上記記録層の上に、特に情報の再生時における反射率の向上の目的で、反射層が設けられる。反射層の材料である光反射性物質はレーザ光に対する反射率が高い物質であり、その例としては、Ｍｇ、Ｓｅ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｒｅ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｐｏ、Ｓｎ、Ｂｉなどの金属及び半金属あるいはステンレス鋼を挙げることができる。これらの物質は単独で用いてもよいし、あるいは二種以上の組み合わせで、または合金として用いてもよい。反射層は、例えば上記反射性物質を蒸着、スパッタリングまたはイオンプレーティングすることにより記録層の上に形成することができる。反射層の層厚は一般には１０〜８００ｎｍの範囲にあり、好ましくは２０〜５００ｎｍの範囲、更に好ましくは５０〜３００ｎｍの範囲である。
【００２３】
反射層の上には、記録層などを物理的および化学的に保護する目的で保護層が設けられていてもよい。この保護層は、基盤の記録層が設けられていない側にも耐傷性、耐湿性を高める目的で設けられてもよい。保護層に用いられる材料としては、例えば、ＳｉＯ、ＳｉＯ2 、ＭｇＦ2 、ＳｎＯ2 、Ｓｉ3 Ｎ4 などの無機物質、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、ＵＶ硬化性樹脂等の有機物質を挙げることができる。保護層は、たとえばプラスチックの押出加工で得られたフィルムを接着層を反射層上及び／または基板上にラミネートすることにより形成することができる。保護層の層厚は一般には０．１〜１００μｍの範囲にある。
【００２４】
以上の工程により、基板上に記録層、及び反射層、そして所望により保護層を設けた積層体を作製することができる。そして得られた二枚の積層体を各々の記録層が内側となるように接着剤等で貼り合わせることにより、二つの記録層を持つＤＶＤ−Ｒ型の光情報記録媒体を製造することができる。また得られた積層体と、該積層体の基板と略同じ寸法の円盤状保護基板とを、その記録層が内側となるように接着剤等で貼り合わせることにより、片側のみに記録層を持つＤＶＤ −Ｒ型の光情報記録媒体を製造することができる。接着には、保護層の形成に用いたＵＶ硬化性樹脂を用いてもよいし、あるいは合成接着剤を用いもよい。あるいはまた両面テープなどを用いて行ってもよい。いずれの態様のＤＶＤ −Ｒ型の光情報記録媒体においてもその全体の厚みは、１．２±０．２ｍｍとなるように調製することが好ましい。
【００２５】
以下に本発明の実施例及び比較例を記載する。
実施例１〜４、比較例１〜４は次のように行った。
【００２６】
〈実施例１〜実施例３〉
実施例１は、吐出ノズル内径０．６ｍｍのノズルで、吐出流速１０６１．１ｍｍ／ｓｅｃの下で、吐出時間２．０秒で、塗布液量０．６ｃｃを基板の中心から半径方向２６ｍｍの位置に塗布し、これを基板回転速度４６０ｒｐｍ（したがって塗布点の周速１２５２．４ｍｍ／ｓｅｃ）でスピンコーティングした。
実施例２は、実施例１よりも吐出ノズル内径を少し大きくした０．８ｍｍのノズルで、吐出流速５９６．８ｍｍ／ｓｅｃの下で、実施例１と同じ条件の下、すなわち、吐出時間２．０秒として、塗布液量０．６ｃｃを基板の中心から半径方向２６ｍｍの位置に塗布し、これを基板回転速度４６０ｒｐｍ（塗布点の周速１２５２．４ｍｍ／ｓｅｃ）の下でスピンコーティングした。
実施例３は、実施例２よりもさらに吐出ノズル内径を少し大きくした１．０ｍｍのノズルで、吐出流速５０９．３ｍｍ／ｓｅｃの下で、吐出時間２．０秒として、塗布液量０．８ｃｃを基板の中心から半径方向２６ｍｍの位置に塗布し、これを基板回転速度４６０ｒｐｍ（塗布点の周速１２５２．４ｍｍ／ｓｅｃ）の下でスピンコーティングした。
【００２７】
〈比較例１〜比較例２〉
比較例１は、実施例３よりもさらに吐出ノズル内径を大きくした１．２ｍｍのノズルで、吐出流速２３５．８ｍｍ／ｓｅｃの下で、吐出時間３．０秒として、塗布液量０．８ｃｃを基板の中心から半径方向２６ｍｍの位置に塗布し、これを基板回転速度が実施例１〜３より少し高速の５００ｒｐｍ（塗布点の周速１３６１．４ｍｍ／ｓｅｃ）の下でスピンコーティングした。
比較例２は、比較例１よりもさらに吐出ノズル内径を大きくした１．５ｍｍのノズルで、吐出流速２８２．９ｍｍ／ｓｅｃの下で、吐出時間２．０秒として、塗布液量１．０ｃｃを基板の中心から半径方向２６ｍｍの位置に塗布し、これを基板回転速度が実施例１〜３と同じ高速の４６０ｒｐｍ（塗布点の周速１２５２．４ｍｍ／ｓｅｃ）の下でスピンコーティングした。
【００２８】
〈実施例４〉
実施例４は、実施例３と同じ吐出ノズル内径の１．０ｍｍのノズルで、吐出流速８４８．８ｍｍ／ｓｅｃの下で、吐出時間３．０秒として、塗布液量２．０ｃｃを基板の中心から半径方向２６ｍｍの位置に塗布し、これを基板回転速度５００ｒｐｍ（塗布点の周速１３６１．４ｍｍ／ｓｅｃ）の下でスピンコーティングした。
【００２９】
〈比較例３〜比較例５〉
比較例３は、吐出ノズル内径が実施例４よりも大きい１．５ｍｍのノズルで、吐出流速３７７．３ｍｍ／ｓｅｃの下で、吐出時間３．０秒として、塗布液量２．０ｃｃを基板の中心から半径方向２６ｍｍの位置に塗布し、これを基板回転速度が実施例４と同じ高速の５００ｒｐｍ（塗布点の周速１３６１．４ｍｍ／ｓｅｃ）の下でスピンコーティングした。
比較例４は、吐出ノズル内径が比較例３よりも大きい２．０ｍｍのノズルで、吐出流速３１８．３ｍｍ／ｓｅｃの下で、吐出時間２．０秒として、塗布液量２．０ｃｃを基板の中心から半径方向２６ｍｍの位置に塗布し、これを基板回転速度が実施例４と同じ高速の５００ｒｐｍ（塗布点の周速１３６１．４ｍｍ／ｓｅｃ）の下でスピンコーティングした。
比較例５は、吐出ノズル内径が比較例１と同じ１．２ｍｍのノズルで、吐出流速４２７．７ｍｍ／ｓｅｃの下で、吐出時間１０．０秒として、塗布液量５．０ｃｃを基板の中心に近い半径方向２０ｍｍの位置に塗布し、これを基板回転速度が低速の２５０ｒｐｍ（塗布点の周速５２３．６ｍｍ／ｓｅｃ）の下でスピンコーティングした。
【００３０】
実験結果は表１のようになった。
【表１】
2006286142.tif 000003
【００３１】
［実験結果］
〈実施例１〜実施例３〉
実施例１〜３では、いずれも塗りつきが良好であり、ムラのない塗布が可能であった。
〈比較例１〜比較例２〉
一方、比較例１および２は、いずれも塗りつきが悪く、放射状にムラができた。
【００３２】
図２はスピンコート結果のディスク表面を表す模式図で、（ａ）は本発明に係る方法によるもの、（ｂ）は従来方法によるものである。
従来方法によるディスク２１は、図２（ｂ）に示すように、塗りつきが悪く、放射状にムラＭができた。図２（ｂ）は、（イ）と（ロ）の２形態の塗布不良を示している。（イ）は、基板上に色素塗布液Ｔが塗り付かずに、水玉のようにコロコロと基板上を転がって基板の外周へ弾きだされることにより、大きな未塗布部分Ｍ１ができた例を示し、（ロ）は、基板上に色素塗布液Ｔが塗りつきが悪くて、放射状にムラＭ２ができた例をそれぞれ示している。
これに対して、本発明方法によるディスク２０は、図２（ａ）に示すように、色素塗布液Ｔの塗りつきが良好であり、ムラのない塗布となった。
【００３３】
〈実施例４〉
実施例４は、塗りつきが良好であり、ムラのない塗布が可能であった。
〈比較例３〜比較例５〉
比較例３は塗りつきが悪く、放射状にムラができた。
比較例４は塗りつきが悪く、基板面を液滴が転がってしまった。
比較例５は塗りつくまで時間遅れがあり、したがって初期の液が無駄になってしまった。
【００３４】
〈実験結果から判ったこと〉
上記実験結果から判ったことは、従来のスピン塗布装置を用いて、しかし吐出ノズルだけがノズル内径がΦ０．１２〜１．００ｍｍのノズルを用いて１枚あたり３ｃｃ以下の色素塗布液を吐出塗布すると、良好に塗布がなされるということである（実施例３〜４）。また、ノズル内径がΦ０．６０ｍｍ〜０．８０ｍｍのノズルを用いるとさらに良好に塗布がなされるということである（実施例１〜２）。これを、色素塗布液の吐出速度で規定すると、色素塗布液の吐出速度が５００ｍｍ／ｓｅｃ〜１０，０００ｍｍ／ｓｅｃであると良好に塗布がなされるということである（実施例１〜４）。
実施例４と比較例４は同じ量の色素塗布液の吐出しているが、吐出流速が倍以上異なるため、塗りつきに大差がでることが判る。
また、比較例５は多量の色素塗布液を吐出しても、基板の回転速度が遅いと液に無駄がでることが判る。
【００３５】
以上、本発明によれば、ノズル内径をΦ０．１２〜１．００ｍｍのノズル、好ましくは０．６０ｍｍ〜０．８０ｍｍのノズルを用いることで、色素塗布液の吐出速度が５００ｍｍ／ｓｅｃ〜１０，０００ｍｍ／ｓｅｃとなり、色素塗布液が確実に基板に塗り着くことのできる高塗りつき性の塗布方法およびその装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に係るスピンコート装置の断面模式図を示すものである。
【図２】本発明に係る方法（ａ）と従来方法（ｂ）による各スピンコート結果のディスクの表面図である。
【図３】従来のスピンコート装置の断面模式図を示すものである。
【符号の説明】
【００３７】
１  基板
１０  本発明のスピンコート装置
１１  色素塗布液付与装置
１２  吐出ノズル
１３  スピナーヘッド装置
１４  固定具
１５  飛散防止壁
１６  上部開口
１７  ドレイン
１８  排気装置
２０  本発明方法によるディスク
【図１】
2006286142.tif 000004
【図２】
2006286142.tif 000005
【図３】
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