(57)【要約】      （修正有）【課題】各製造装置の配置が変更配列される場合でも、この配列配置に常に最適に対応するようにして、ローダ／アンローダ用カセットポートを簡易に変更することができるようにしたストッカーの棚フレーム構造を提供する。【解決手段】建屋梁５よりカセット保管棚フレーム４を吊垂支持し、このカセット保管棚フレーム４の下方位置に配置するローダ／アンローダ用カセットポートＰを、カセット保管棚フレーム４を支持するための柱或いは支材を配設しない自由空間として構成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
建屋梁よりカセット保管棚フレームを吊垂支持し、このカセット保管棚フレームの下方位置に配置するローダ／アンローダ用カセットポートを、前記カセット保管棚フレームを支持するための柱或いは支材を配設しない自由空間として構成するようにしたことを特徴とするストッカーの棚フレーム構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ストッカーの棚フレーム構造に関し、特に、ストッカー内を走行するスタッカークレーンにて保管棚或いはローダ／アンローダ用カセットポートへ選択的にカセットを供給するようにしたストッカーにおいて、製造ラインの変更に対応して各製造装置が配設される場合、この変更製造装置の配設に対応してカセットポートの配置を簡易に変更できるようにしたストッカーの棚フレーム構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品の製造工場においては、例えば、図１及び図４〜図７に示すように、多数のカセット保管棚を備えたストッカーＳ内に、その中央長手方向に配設した搬送ラインＲに沿って走行可能とし、かつカセットＫを搬送し、移載機により移載するようにしたスタッカークレーンＣを配設するとともに、この搬送ラインＲの片側或いは両側に、液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品用基板（以下、「基板」という。）を複数枚重積して収納するようにしたカセットを一時的に保管するためのカセット保管棚列Ｓ１，Ｓ２を配置している。そして、このカセット保管棚列Ｓ１，Ｓ２の走行スタッカークレーンと反対側面に隣接対向するようにして、基板が素材から複数工程を経て加工され液晶等の製品となるようにするための各工程の製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，．．．ＥＱｎが配置される。
また、この保管棚列の下部位置には、搬送ラインＲの外側に配置される製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，．．．ＥＱｎに対応してローダ／アンローダ用カセットポートが配置され、複数枚の基板を重積収納している実カセットをスタッカークレーンから直接、或いは保管棚から、該ローダ／アンローダ用カセットポートＰに供給し、ローダ／アンローダ用カセットポートＰの実カセットより基板を１枚ずつ製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，．．．ＥＱｎに供給するようにしてローダ／アンローダロボット７を配置している。
【０００３】
ところで、従来によるストッカーＳ内には、図４〜図７に示すように、ストッカーＳ内底面に複数本の柱Ｈを樹立し、この柱Ｈにて梁を支持するようにしてカセットポートフレームＦを構成し、このカセットポートフレームＦ内に複数の実カセットを配設するようにし、さらにこのカセットポートフレームＦ上に複数本の柱Ｈ２，Ｈ２を樹立してこの柱Ｈ２，Ｈ２により、カセットを一時的に保管するようにした保管棚Ｓａを支持するようにして配設している。
カセット保管棚列Ｓ１，Ｓ２の外側に沿って配設配置される各製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎに対して、少なくとも１台のローダ／アンローダロボットが配置され、かつ各製造装置に対応した所定数の実カセットが、該ローダ／アンローダ用カセットポートが配置されるようにしている。
【０００４】
ところが、この製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎの配置は、しばしば製造する基板の種別、その工程数等に応じて変更配列される。このように変更配列される場合、各製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎに対して配置されるローダ／アンローダ用カセットポートの大きさ、すなわち、カセットポート内に配置される実カセット数、配置形態なども異なるようになるが、従来のローダ／アンローダ用カセットポートＰでは、図４〜図７に示すように、床面から柱Ｈを定間隔或いは任意の間隔で樹立してカセットポートフレームＦを構成しているので、変更された製造装置に対応するカセットポートＰ内に、時には柱が存在するようになることがある。このような場合でも、このカセットポートフレームを構成する柱を撤去することができず、このため、このカセットポート内に柱を含めるようにしてカセットポート内配置を定めたようにしているので、製造装置を隣接して自由にカセットポートを配置することができず、１つのストッカーＳ内に配置する製造装置数及びその配置形態が限定されるという問題があった。
また、図５に示すように、必要な大きさのカセットポートを確保するため、カセットポートフレームを構成する柱の一部を撤去すると、柱間距離Ｌが長くなるとともに、近年の如くカセット内に収納する基板の大きさが大きくなり、かつ収納枚数も増すようになるとカセット総重量も大となって、柱間のフレームがその上の保管棚の重量に耐えきれずにフレームが撓むという問題があり、さらにこのフレームの撓みを防ぐためにフレームを頑丈に製作するようになると、カセットポートフレームが必要以上に大きくなるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来のストッカーの棚フレーム構造の有する問題点に鑑み、各製造装置の配置が変更配列される場合でも、この配列配置に常に最適に対応するようにして、ローダ／アンローダ用カセットポートを簡易に変更することができるようにしたストッカーの棚フレーム構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のストッカーの棚フレーム構造は、建屋梁よりカセット保管棚フレームを吊垂支持し、このカセット保管棚フレームの下方位置に配置するローダ／アンローダ用カセットポートを、前記カセット保管棚フレームを支持するための柱或いは支材を配設しない自由空間として構成するようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のストッカーの棚フレーム構造によれば、建屋梁よりカセット保管棚フレームを吊垂支持し、このカセット保管棚フレームの下方位置に配置するローダ／アンローダ用カセットポートを、前記カセット保管棚フレームを支持するための柱或いは支材を配設しない自由空間として構成するようにしたことから、例えば、製造装置の配置変更に対応して、カセットポート内における実カセット配置を自由に設定できることから、製造する基板等に応じて各製造装置の配置が変更配列される場合でも、この配列配置に常に最適に対応して、ローダ／アンローダ用カセットポートを簡易に変更することができ、かつローダ／アンローダ用カセットポート及びストッカー内製造エリアのスペースの無駄をなくすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明のストッカーの棚フレーム構造の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１〜図３に、本発明のストッカーの棚フレーム構造の一実施例を示す。
液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品の製造工場においては、例えば、図１及び図７に示すように、所要の大きさを備えた基板の複数枚をカセット内に重積するようにして収納し、このカセットをスタッカークレーンＣにて搬送し、少なくともいずれかの一端側にカセットの入出庫口ＩＯを備えたストッカー内の所定のカセット保管棚に、或いは直接ローダ／アンローダ用カセットポートＰに、スタッカークレーンＣに搭載した移載機により移載するようにしている。
【００１０】
このスタッカークレーンＣは、特に限定されるものではないが、例えば、図７に示すように、下部に複数の走行車輪Ｗとガイド車輪Ｗ１，Ｗ２を備えた搬送台車１の上部に樹立したメインマスト２に、昇降可能に移載機３を配設し、かつ該移載機３にカセットＫを移載するための伸縮可能なテレスコピックアームＡを備えて構成し、これにより、所定の保管棚位置で移載機３を昇降させ、かつテレスコピックアームＡを伸縮してカセットＫの出し入れを行ってカセット保管棚Ｓａ、或いは直接ローダ／アンローダ用カセットポートＰに移載するようにしている。
【００１１】
また、このスタッカークレーンＣは、ストッカーＳ内の中央長手方向に配設した搬送ラインＲに沿って走行可能とし、この搬送ラインＲの両側（或いは片側）に、基板の複数枚を重積収納したカセットＫを一時的に保管するための複数段のカセット保管棚Ｓａを有するカセット保管棚列Ｓ１，Ｓ２を配置している。そして、このカセット保管棚列Ｓ１，Ｓ２のスタッカークレーン走行側と反対側には、ガラス基板が素材から複数工程を経て加工され液晶としての製品となるようにする各工程の製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎが自由に、或いは配列変更可能にして配置される。
【００１２】
この搬送ラインＲを挟んで左右に対向するカセット保管棚列Ｓ１，Ｓ２は、左右とも同じようにして構成するが、これは複数枚の基板を重積収納したカセットＫを、少なくとも１段以上にして一時的に保管するためのもので、両カセット保管棚列Ｓ１，Ｓ２ともにカセット保管棚フレーム４，４にて構成し、これをストッカーＳ等の建物の建屋梁５より吊垂支持するようにする。
このカセット保管棚フレーム４は、特に限定されるものではないが、例えば、図２及び図３に示すように、建屋梁５よりほぼ垂直に吊垂支持した複数本の縦フレーム４１，４１と、水平に配設し、かつ縦フレーム４１と連結して一体とする水平フレーム４２と、縦フレーム４１、水平フレーム４２間に掛け渡してカセットＫを横方向に隣接し、かつ縦方向にも重ねるようにして複数の実カセットを移載できるようにしたカセット移載フレーム４３とより構成し、これにより複数の実カセットＫを移載保管したカセット保管棚フレーム４の全体を建屋梁５より吊垂支持するようにする。
【００１３】
また、建屋梁５より吊垂支持したカセット保管棚フレーム４の下方位置には、特に限定されるものではないが、例えば、図２及び図３に示すように、ストッカーＳ内底面に直接又はカセット台６を介して複数枚の基板を重積収納した少なくとも１つ以上の実カセットＫａと、不良品などを収納するようにしたＮＧカセットＫｂとを載置するためのローダ／アンローダ用カセットポートＰを形成する。
このローダ／アンローダ用カセットポートＰには、ストッカーＳの内底面上にカセット保管棚フレーム４を支持するための柱或いは支材を配設することなく、カセット台６等を介して実カセットＫａ及びＮＧカセットＫｂを所定の高さ位置に載置できるようにする。
この場合、ストッカーＳ内底面上の任意の位置にて、かつその位置を自由に、かつ簡易に変更可能なようにしてカセット台６等を介して実カセットＫａ及びＮＧカセットＫｂを載置する。
【００１４】
また、このローダ／アンローダ用カセットポートＰは、搬送ラインＲの外側に配置されるそれぞれの製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎに対応して配置、特に限定されるものではないが、例えば、ある製造装置ＥＱ１に対応するローダ／アンローダ用カセットポートＰには２つのカセットを配列載置可能に、他の製造装置ＥＱ２には３つ或いは４つ以上のカセットを配列載置可能とするもので、これは自由に変更可能とする。
なお、この各製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎは、基板の加工及び加工順序等に応じたものとなるようにして適宜配置される。
【００１５】
ローダ／アンローダ用カセットポートＰと製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎを配設した製造エリアとの間には、少なくとも１台のローダ／アンローダロボット７を配置する。このローダ／アンローダロボット７により、ローダ／アンローダ用カセットポートＰに設置される実カセットＫａから基板を１枚ずつ取り出し、製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎのいずれかに供給し、さらには加工後の基板を製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎから受け取り、前記実カセットＫａへ再び収納したり、さらには不良基板をＮＧカセットＫｂへ収納するようにしたりするようにする。
【００１６】
次に、本発明のストッカーの棚フレーム構造の作用について説明する。
実カセットＫａを搭載して搬送してきたスタッカークレーンＣが、ストッカーＳの所定保管棚Ｓａ位置で停止すると、次に所定の保管棚Ｓａの高さまで移載機３を昇降させ、保管棚Ｓａと対向する所定位置で停止させる。その後、縮小状態にあったテレスコピックアームを所定の保管棚列側に向かって突出伸張させる。これは、テレスコピックアームの駆動装置を駆動することで行われる。
このテレスコピックアームの伸張と昇降動作との組み合わせにより実カセットをスタッカークレーンＣ側から保管棚Ｓａへ移載する。この動作を繰り返して保管棚列の各保管棚Ｓａに実カセットを保管する。
【００１７】
また、各製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎに対応するローダ／アンローダ用カセットポートの実カセットからは、ローダ／アンローダロボット７にて基板を１枚ずつ取り出し、該ローダ／アンローダロボット７を経て各製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎに基板が供給され、所定の加工が行われた後、再びローダ／アンローダロボット７にてカセット内に収納される。このようにして実カセット内のすべての基板が加工されたなら、該加工済みのカセットをスタッカークレーンＣにてストッカーＳのカセットの入出庫口ＩＯまで運び、ストッカー外へ搬出するようにするとともに、カセットが空或いは１つのカセットがなくなった前記ローダ／アンローダ用カセットポートＰへカセット保管棚から次の実カセットを供給するようにする。
【００１８】
また、基板の加工工程などを変更する場合、この加工工程などに応じて製造装置ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎの配置換え、或いは一部他の製造装置と入れ替えたりする必要が生じる。このような場合、この新たな製造装置の配列配置に応じてローダ／アンローダ用カセットポートを変更する。この場合、ローダ／アンローダ用カセットポート内には支柱などがないので、ローダ／アンローダ用カセットポートの配置換えが、無駄なスペースを生じさせることなく自由に、簡易に行うことができる。
【００１９】
以上、本発明のストッカーの棚フレーム構造について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明のストッカーの棚フレーム構造は、建屋梁よりカセット保管棚フレームを吊垂支持し、このカセット保管棚フレームの下方位置に配置するローダ／アンローダ用カセットポートには支柱など一切配設していないので、製造装置の配置変更に対応してカセットポート内における実カセット配置を自由に設定できることから、ストッカーの棚フレーム構造の用途に好適に用いることができるほか、例えば、受渡機構を備えた製造装置の用途にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のストッカーの棚フレーム構造の一実施例を示す平面図である。
【図２】正面縦断面図である。
【図３】側面縦断面図である。
【図４】従来のストッカー内の棚フレーム構造を示す正面縦断面図である。
【図５】従来のストッカー内のローダ／アンローダ用カセットポートの支柱間を広くした実施例の正面縦断面図である。
【図６】従来の側面縦断面図である。
【図７】ストッカー内におけるスタッカークレーンの説明図である。
【符号の説明】
【００２２】
Ａ    テレスコピックアーム
Ｃ    スタッカークレーン
Ｋ    カセット
Ｋａ  実カセット
Ｋｂ  ＮＧカセット
Ｐ    ローダ／アンローダ用カセットポート
Ｒ    搬送ライン
Ｓ    ストッカー
Ｓａ  保管棚
ＥＱ１，ＥＱ２，・・・，ＥＱｎ  製造装置
１    搬送台車
２    メインマスト
３    移載機
４    カセット保管棚フレーム
４１  縦フレーム
４２  水平フレーム
４３  カセット移載フレーム
５    建屋梁
６    カセット台
７    ローダ／アンローダロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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