(57)【要約】      （修正有）【課題】弾性表面波の定在波によるリップルの発生を改善した弾性表面波デバイスを提供する。【解決手段】圧電基板１上に、入力側ＩＤＴ電極５ａ、出力側ＩＤＴ電極５ｂが配置され、各ＩＤＴの入出力端子に接続される第１のバスバー２ａ、２ｂと、接地に接続される第２のバスバー３ａ、３ｂのそれぞれに櫛歯状に電極指４ａとダミー電極指４ｂが隣接して配置され、一方の側の電極指と他方の側のダミー電極指が対向するように所定の間隔で形成されている。ここで各電極指４ａ若しくは前記ダミー電極指４ｂと第1のバスバー２ａ、２ｂと第2のブスバー３ａ、３ｂとの間の境界線部９が、上記ＩＤＴ電極から励振される弾性表面波の伝播方向と非平行となっている。【選択図】  図１
2006352764.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に、入力又は出力端子と接続される第１のバスバーと接地に接続される第２のバスバーのそれぞれに櫛歯状に電極指とダミー電極指が隣接して配置され、一方の側の電極指と他方の側のダミー電極指が対向するように所定の間隔で形成された少なくとも１組のＩＤＴ電極を設け、前記電極指若しくは前記ダミー電極指と前記バスバーとの間の境界線部が、前記ＩＤＴ電極から励振される弾性表面波の伝播方向と非平行であることを特徴とする弾性表面波デバイス。
【請求項２】
前記境界線部の形状が、前記ＩＤＴ電極の前記弾性表面波の伝播方向の幅に対し前記電極指側若しくは前記ダミー電極指側に向けて少なくとも１以上の凸部を形成していることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波デバイス。
【請求項３】
前記凸部はダミー電極指長以下であることを特徴とする請求項２記載の弾性表面波デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通信機器等に用いられる弾性表面波デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
弾性表面波デバイスは、圧電基板上に配置されたバスバーとバスバーから伸びる櫛歯状の電極指によって構成されるインターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ：Inter Digital Transducer）電極によって、電気信号と弾性表面波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）との相互変換を行う素子である。この弾性表面波素子の中でもＩＤＴ電極と反射器電極とからなるＳＡＷ共振器を複数組み合わせてなる弾性表面波デバイスは小型、軽量、無調整といった長所があり通信機器等に広く使用されている。
【０００３】
この弾性表面波デバイスは、ＩＤＴ電極及び反射器電極の対向するバスバーの間隔が使用周波数の波長λの整数倍である場合に、従来から横モードの弾性表面波による定在波がたつことにより横モードのスプリアスが発生し、図３の○印の箇所に示すような弾性表面波デバイスの通過帯域にリップルが発生することが知られている。
【０００４】
このようなリップルが発生する問題に対して、横モードのスプリアスを抑制する手段として、図４（ａ）並びに図４（ｂ）に示すようにＩＤＴ電極の導波路部４１に対する電極指交差部４２の比率を変えることで横モードのスプリアスを抑制したＳＡＷ共振器及びフィルタが知られている。
【０００５】
例えばＩＤＴ電極４５は、バスバー４０ａとバスバー４０ｂのそれぞれに櫛歯状電極指４４とダミー電極指４３が隣接して配置され、また櫛歯状電極指４４とダミー電極指４３とは互いに対向するように所定の間隔で配置されている。このＩＤＴ電極４５の導波路部４１の導波路部長をＷ0、電極交差部４２の電極交差部長をＷとしたとき、０．６５≦Ｗ／Ｗ0≦０．７５の比率にすることで２次モードのスプリアスを抑制したＳＡＷ共振子が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
また、トランスデューサ（ＩＤＴ電極）４５の対向するバスバー４０ａ、４０ｂ及び反射器４７の対向するバスバー４０ｃ、４０ｄの間隔を、使用周波数の波長λの整数倍にしないことによって、トランスデューサ４５及び反射器４７の対向するそれぞれのバスバーの間に横モードの弾性表面波の定在波がたつことを防止できることが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特公平６−８５４９２号公報
【特許文献２】特開平８−３２４０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記のような従来の技術には、次のような解決すべき課題があった。
【０００８】
従来、上記の弾性表面波デバイスはＩＤＴ電極の導波路部に対する電極交差部の比率を変えたり、ＩＤＴ電極・反射器電極に対向するバスバーの間隔を使用される周波数の波長λの整数倍にしないことによって、横モードのスプリアスが発生することを防止していた。
【０００９】
しかし、従来の方法では横モードのスプリアスによる弾性表面波デバイスの通過帯域内におけるリップルの発生を完全に防止することができず、近年の通信機器に使用される弾性表面波デバイスにおいて低損失で通過帯域内でのリップルが小さなフィルタ特性として要求される挿入損失５ｄＢ以下、リップル０．１ｄＢ以下の仕様を満たすことができないという問題があった。
【００１０】
本発明は、スプリアスによるリップルが０．１ｄＢ以下となるようにリップルの発生を抑えた弾性表面波デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため本発明の弾性表面波デバイスは、圧電基板上に、入力又は出力端子と接続される第１のバスバーと接地に接続される第２のバスバーのそれぞれに櫛歯状に電極指とダミー電極指が隣接して配置され、一方の側の電極指と他方の側のダミー電極指が対向するように所定の間隔で形成された少なくとも１組のＩＤＴ電極を設け、上記電極指若しくは上記ダミー電極指と上記バスバーとの間の境界線部が、上記ＩＤＴ電極から励振される弾性表面波の伝播方向と非平行であることを第１の特徴としている。
【００１２】
そして、上記境界線部の形状が、上記ＩＤＴ電極の上記弾性表面波の伝播方向の幅に対し上記電極指側若しくはダミー電極指側に向けて少なくとも１以上の凸部を形成していることを第２の特徴としている。
【００１３】
さらに、前記凸部はダミー電極指長以下であることを第３の特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、電極指若しくはダミー電極指との間の境界線部が、上記ＩＤＴ電極から励振される弾性表面波の伝播方向と非平行とすることでスプリアスによる弾性表面波デバイスの通過帯域内におけるリップルの発生を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を具体例を用いて説明する。
【００１６】
まず、本発明の弾性表面波デバイスの実施の形態を図１（ａ）、図１（ｂ）に基づいて説明する。ここで、図１（ａ）は本発明の弾性表面波デバイスの平面図を示し。図１（ｂ）はＩＤＴ電極の部分拡大図を示す図である。
【００１７】
図１（ａ）並びに図１（ｂ）に示すように弾性表面波デバイス１０は、圧電基板１上に入力側ＩＤＴ電極５ａ、出力側ＩＤＴ電極５ｂとその両側に反射器電極６を配置してなる。
【００１８】
ここで、入力側ＩＤＴ電極５ａは圧電基板１上に金属薄膜にて形成された入力端子と接続される第１のバスバー２ａと接地に接続される第２のバスバー３ａのそれぞれに櫛歯状に電極指４ａとダミー電極指４ｂが隣接して配置されている。ここで電極指４ａとダミー電極指４ｂとは相互に対向するように所定の間隔で配置され、１組のＩＤＴ５ａ電極が形成されている。
【００１９】
また、出力側ＩＤＴ電極５ｂも同じく金属薄膜からなる出力端子と接続される第１のバスバー２ｂと接地に接続される第２のバスバー３ｂのそれぞれに櫛歯状に電極指４ａとダミー電極指４ｂとが互いに対向するように所定の間隔で配置され、１組のＩＤＴ電極５ｂが形成されている。そして入力又は出力用の各ＩＤＴ電極５ａ、５ｂは弾性表面波の伝播方向に配列されている。
【００２０】
この入力側ＩＤＴ電極５ａに交流電圧を印加すると、電圧による圧電作用により圧電基板１上の表面にＩＤＴ電極５ａと垂直な方向に伝播する弾性表面波が励振される。また、その逆に出力側ＩＤＴ電極５ｂに弾性表面波が入射すると、その弾性表面波の振幅に比例した電圧が出力側ＩＤＴ電極５ｂに発生する。この入力側若しくは出力側ＩＤＴ電極５ａ、５ｂの両側に設けられた反射器電極６はこうして励振された弾性表面波が外部に漏れない様に、内側に反射させて弾性表面波のエネルギーを閉じ込める役割を担うものである。
【００２１】
このように入力側若しくはＩＤＴ電極５ａ、５ｂから励振される弾性表面波の伝播方向２０に対し、本発明では電極指４ａ若しくはダミー電極指４ｂと第１のバスバー２ａ、２ｂと第２のバスバー３ａ、３ｂとの間の境界線部９は非平行となっている。
【００２２】
また、この境界線部９は、ＩＤＴ電極５ａ、５ｂの弾性表面波の伝播方向２０の幅Ｈに対し電極指側若しくはダミー電極指側に向けて一つの凸部形成し、その凸部はダミー電極指４の長さであるダミー電極指長Ｗ１以下とされている。
【００２３】
ここで圧電基板１は水晶体基板などの圧電体であればよく、また金属薄膜としてはアルミニウム合金とＳｉＯ２等の酸化皮膜との積層構造の薄膜であれば良い。
【００２４】
次に、図２を用いて本発明の効果について説明する。
【００２５】
図２には本発明の弾性表面波デバイスのリップル特性を示したものである。比較として前述した図３の○印の箇所に示した約１．０ｄＢのリップルは、入力又は出力端子に接続されるバスバーと接地側のバスバーの間に横モードの弾性表面波による定在波がたつことにより横モードのスプリアスが発生した結果であるが、図２に示すように本発明の実施により、横モードのスプリアスによるリップルが改善し０．１ｄＢ以下のリップルとなっていることがわかる。
【００２６】
本発明により、前記電極指４ａ若しくはダミー電極指４ｂとを備える前記第１のバスバー２ａ、２ｂおよび第２のバスバー３ａ、３ｂとの間の各境界線部９は、前記ＩＤＴ電極から励振される弾性表面波の伝播方向２０と非平行にすることにより、対向するそれぞれの一対のバスバー間に横モードの弾性表面波の定在波がたつことを防止できるため、スプリアスによるリップルの発生を防ぐことができ弾性表面波デバイスの特性を向上させることができる。
【００２７】
特に、ＩＤＴ電極の境界線部の弾性表面波の伝播方向における幅Ｈに対し１以上の凸部を設けることで弾性表面波デバイスの特性をさらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明に係る弾性表面波デバイスの実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図を示し、（ｂ）はＩＤＴ電極部を示す部分拡大図である。
【図２】図２は、本発明に係る弾性表面波デバイスのリップル特性を示すグラフである
【図３】図３は、従来の一般的な弾性表面波デバイスのリップル特性を示すグラフである。
【図４】図４は、従来の一般的な弾性表面波デバイスの実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図を示し、（ｂ）はＩＤＴ電極部を示す部分拡大図である。
【符号の説明】
【００２９】
１      圧電基板
２ａ、２ｂ    第１のバスバー
３ａ、３ｂ    第２のバスバー
４ａ    電極指
４ｂ    ダミー電極指
５ａ    入力側ＩＤＴ電極
５ｂ    出力側ＩＤＴ電極
６      反射器
７      反射器バスバー
９      境界線部
１０    弾性表面波デバイス
２０    弾性表面波の伝播方向を示す矢印
【図１】
2006352764.tif 000003
【図４】
2006352764.tif 000004
【図２】
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【図３】
2006352764.tif 000006