(57)【要約】【課題】従来の加工方法では実現し得なかった小径のソリッドイマージョンレンズを形成することができ、また十分な保持を可能とするソリッドイマージョンレンズとその形成方法を提案し、ニアフィールド光記録再生用に用いて好適なソリッドイマージョンレンズを提供する。【解決手段】ソリッドイマージョンレンズ１１において、その少なくとも一部、例えば球状部１の一部を、支持部５１と一体に形成して構成する。【選択図】図６
2006012379.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部が、支持部と一体に形成されて成る
ことを特徴とするソリッドイマージョンレンズ。
【請求項２】
上記支持部は、上記ソリッドイマージョンレンズの球状部と対向する側面が、上記ソリッドイマージョンレンズに入射される入射光に略沿う傾斜面とされた
ことを特徴とする請求項１記載のソリッドイマージョンレンズ。
【請求項３】
上記ソリッドイマージョンレンズの対物側に、凸状部が設けられて成る
ことを特徴とする請求項１記載のソリッドイマージョンレンズ。
【請求項４】
上記ソリッドイマージョンレンズの対物側に、凸状部が設けられて成る
ことを特徴とする請求項２記載のソリッドイマージョンレンズ。
【請求項５】
ソリッドイマージョンレンズと、該ソリッドイマージョンレンズと光軸を合致させ、対物側とは反対側に配置された光学レンズとより構成された集光レンズにおいて、
上記ソリッドイマージョンレンズは、その少なくとも一部が、支持部と一体に形成されて成る
ことを特徴とする集光レンズ。
【請求項６】
ソリッドイマージョンレンズと、該ソリッドイマージョンレンズと光軸を合致させて対物側とは反対側に配置された光学レンズと、光源とが少なくとも設けられ、上記ソリッドイマージョンレンズ及び光学レンズから成る集光レンズによって上記光源からの出射光を収束させて光スポットを形成する光学ピックアップ装置において、
上記ソリッドイマージョンレンズは、その少なくとも一部が、支持部と一体に形成されて成る
ことを特徴とする光学ピックアップ装置。
【請求項７】
ソリッドイマージョンレンズと、該ソリッドイマージョンレンズと光軸を合致させて対物側とは反対側に配置された光学レンズと、光源とが少なくとも設けられ、上記ソリッドイマージョンレンズ及び光学レンズから成る集光レンズによって上記光源からの出射光を収束させて光スポットを形成する光学ピックアップ装置を有し、上記集光レンズを光記録媒体のフォーカシング方向及び／又はトラッキング方向に制御駆動する制御駆動手段が設けられて成る光記録再生装置において、
上記ソリッドイマージョンレンズは、その少なくとも一部が、支持部と一体に形成されて成る
ことを特徴とする光記録再生装置。
【請求項８】
ソリッドイマージョンレンズの形成方法において、
レンズ材料体を薄くスライスして薄板を形成する工程と、
上記薄板に凹部を形成する工程と、
上記凹部に上記ソリッドイマージョンレンズの球状部を形成する工程とを少なくとも有する
ことを特徴とするソリッドイマージョンレンズの形成方法。
【請求項９】
上記凹部の上記ソリッドイマージョンレンズの球状部と対向する側面を、上記ソリッドイマージョンレンズに入射される入射光に略沿う傾斜面として形成する
ことを特徴とする請求項８記載のソリッドイマージョンレンズの形成方法。
【請求項１０】
上記ソリッドイマージョンレンズの周囲の凹部をフォーカスイオンビーム加工方法により加工する
ことを特徴とする請求項８記載のソリッドイマージョンレンズの形成方法。
【請求項１１】
上記ソリッドイマージョンレンズの周囲の凹部をフォーカスイオンビーム加工方法により加工する
ことを特徴とする請求項９記載のソリッドイマージョンレンズの形成方法。
【請求項１２】
上記ソリッドイマージョンレンズの対物側に、凸状部を形成する工程を有する
ことを特徴とする請求項８記載のソリッドイマージョンレンズの形成方法。
【請求項１３】
上記ソリッドイマージョンレンズの対物側に、凸状部を形成する工程を有する
ことを特徴とする請求項９記載のソリッドイマージョンレンズの形成方法。
【請求項１４】
上記ソリッドイマージョンレンズの対物側に、凸状部を形成する工程を有する
ことを特徴とする請求項１０記載のソリッドイマージョンレンズの形成方法。
【請求項１５】
上記ソリッドイマージョンレンズの対物側に、凸状部を形成する工程を有する
ことを特徴とする請求項１１記載のソリッドイマージョンレンズの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ソリッドイマージョンレンズ（Solid Immersion Lens：固浸レンズ）と、これを用いた集光レンズ、光学ピックアップ装置及び光（もしくは光磁気）記録再生装置、またソリッドイマージョンレンズの形成方法に関し、さらに詳しくは、光学レンズの屈折率が大なる材料を用いて集光レンズの開口数を大にして光（もしくは光磁気）記録媒体に記録再生を行ういわゆるニアフィールド光記録再生方式に好適なソリッドイマージョンレンズ、集光レンズ、光学ピックアップ装置、光記録再生装置及びソリッドイマージョンレンズの形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ（Compact Disc）、ＭＤ（Mini Disc）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）に代表される光記録媒体（光磁気記録媒体を含む）は、音楽情報、映像情報、データ、プログラム等の格納媒体として広く利用されている。しかしながら、更なる音楽情報、映像情報、データ、プログラム等の高音質化、高画質化、長時間化、大容量化のために、さらに大容量の光記録媒体及びこれを記録再生する光記録再生装置（光磁気記録再生装置を含む）が望まれている。
そこで、これらに対応するため、光記録再生装置では、その光源の例えば半導体レーザの短波長化や、集光レンズの開口数の増大化が図られ、集光レンズを介して収束する光スポットの小径化が図られている。
【０００３】
例えば、半導体レーザに関しては、発振波長が従来の赤色レーザの６３５ｎｍから４００ｎｍ帯に短波長化されたＧａＮ半導体レーザが実用化され、これにより光スポットの小径化が図られつつある。また、例えばそれ以上の短波長化については、２６６ｎｍの単一波長の光を連続発振するソニー株式会社製の遠紫外固体レーザＵＷ−１０１０などが発売されており、更なる光スポットの小径化も図られつつある。また、これ以外にもＮｄ：ＹＡＧレーザの２倍波レーザ（２６６ｎｍ帯）、ダイヤモンドレーザ（２３５ｎｍ帯）、ＧａＮレーザの２倍波レーザ（２０２ｎｍ帯）などの研究、開発が進められている。
【０００４】
また、ソリッドイマ―ジョンレンズ（ＳＩＬ）に代表される開口数の大なる光学レンズを使って、例えば開口数１以上の集光レンズを実現するとともに、この集光レンズの対物面を光記録媒体と、その光源波長の１０分の１程度まで近接させることにより記録再生を行ういわゆるニアフィールド光記録再生方式が検討されている（例えば特許文献１参照。）。
【０００５】
このニアフィールド光記録再生方式では、光記録媒体と集光レンズとの距離を精度良く光学的なコンタクト状態に維持することが重要である。また、光源から出射されて集光レンズに入射する光束径が小になるとともに、光記録媒体と集光レンズとの距離も数十ｎｍ以下程度と非常に小さくなるため、光記録媒体と集光レンズとの傾きマージン、いわゆるチルトマージンが非常に小さくなり、集光レンズは形状的に大きく制約されることになる。
【０００６】
図２２に、ソリッドイマージョンレンズの一例の概略構成図を示す。ソリッドイマージョンレンズ１１と光学レンズ１２とを、光記録媒体３０などの対物側から順に配置して、ニアフィールド集光レンズを構成することができる。図２２に示すように、ソリッドイマージョンレンズ１１は、半球状又は超半球状（図示の例においては超半球状）に形成され、光軸に沿う厚さが例えば超半球状の場合はｒ（１＋１／ｎ）、半球状の場合はｒとして構成される。
【０００７】
このような構成の集光レンズを例えば光記録再生装置に適用する場合は、２軸アクチュエータを有する光学ピックアップ装置に装着され、光記録媒体と集光レンズとの距離を光学的なコンタクト状態に維持する。光磁気記録に用いられる場合は、光学ピックアップ装置に、磁気記録再生に使用される磁気ヘッド装置が組み込まれ、同様に光記録媒体と集光レンズとの距離を光学的なコンタクト状態に維持する構成とされる。
【０００８】
また、ソリッドイマージョンレンズの形状としては、上述の図２２に示すように、対物面９を平面状とするほか、対物面を円錐状に加工した形状や、対物面の中心部分を残して磁気コイルをその周囲に設ける形状などが提案されている(例えば特許文献２参照。)。
【０００９】
【特許文献１】特開平５−１８９７９６号公開公報
【特許文献２】特開２００３−１６１８０１号公開公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述のニアフィールド光記録再生方式では、光記録媒体に対するフォーカシング方向及びトラッキング方向に制御駆動される集光レンズの安定制御を図るとともに、フォーカシングサーボやトラッキングサーボやシーク時間等のサーボ特性の向上を図るために、集光レンズ、特にソリッドイマージョンレンズの小型・軽量化が必要である。
【００１１】
しかしながら、従来の加工方法による場合、すなわち、立方体形状の高屈折率材料をまずボール形状のレンズを加工し、これを更に超半球に加工したソリッドイマージョンレンズでは、小型・軽量化が難しい。これは、直径が０．５ｍｍ程度以下のボール形状のレンズを機械的な研磨手段によって加工し、またニアフィールド光記録再生に適用できる程度に精度良く角度制御して固定して、安定に保持することは非常に難しいことによる。
【００１２】
上述の問題に鑑みて、本発明は、従来の加工方法では実現し得なかった小径のソリッドイマージョンレンズを形成することができ、また保持が容易で十分精度の良い組み立てが可能となるソリッドイマージョンレンズとその形成方法を提案し、ニアフィールド光記録再生用に用いて好適なソリッドイマージョンレンズとこれを用いた集光レンズ、光学ピックアップ装置、光記録再生装置及びソリッドイマージョンレンズの形成方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明によるソリッドイマージョンレンズは、その少なくとも一部が、支持部と一体に形成されて構成とすることを特徴とする。
また、本発明は、上述のソリッドイマージョンレンズにおいて、上記支持部は、上記ソリッドイマージョンレンズの球状部と対向する側面が、ソリッドイマージョンレンズに入射される入射光に略沿う傾斜面として構成されることを特徴とする。
また本発明によるソリッドイマージョンレンズは、その対物側に、凸状部を設ける構成とすることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明による集光レンズは、上述の本発明構成によるソリッドイマージョンレンズと、このソリッドイマージョンレンズと光軸を合致させ、対物側とは反対側に配置された光学レンズとより構成することを特徴とする。
更に、本発明による光学ピックアップ装置は、上述の本発明構成によるソリッドイマージョンレンズと、このソリッドイマージョンレンズと光軸を合致させて対物側とは反対側に配置された光学レンズと、光源とが少なくとも設けられ、ソリッドイマージョンレンズ及び光学レンズから成る集光レンズによって光源からの出射光を収束させて光スポットを形成する構成とすることを特徴とする。
また、本発明による光記録再生装置は、上述の本発明構成によるソリッドイマージョンレンズを用いた集光レンズを具備する光学ピックアップ装置を有し、集光レンズを光記録媒体のフォーカシング方向及び／又はトラッキング方向に制御駆動する制御駆動手段を設ける構成とすることを特徴とする。
【００１５】
更に、本発明によるソリッドイマージョンレンズの形成方法は、レンズ材料体を薄くスライスして薄板を形成する工程と、この薄板に凹部を形成する工程と、凹部に上記ソリッドイマージョンレンズの球状部を形成する工程とを少なくとも有することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明によるソリッドイマージョンレンズの形成方法は、上述の工程に加えて、上記凹部のソリッドイマージョンレンズの球状部と対向する側面を、ソリッドイマージョンレンズに入射される入射光に略沿う傾斜面として形成することを特徴とする。
更に、本発明によるソリッドイマージョンレンズの形成方法は、ソリッドイマージョンレンズの周囲の凹部をフォーカスイオンビーム加工方法により加工する。
また、本発明によるソリッドイマージョンレンズの形成方法は、ソリッドイマージョンレンズの対物側に、凸状部を形成する工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
上述した本発明のソリッドイマージョンレンズによれば、その少なくとも一部において、支持部と一体に形成して構成することから、球状部の半径が従来に比して小径化されても、この一体に形成された支持部において、安定かつ制御性良く保持することが可能となり、ソリッドイマージョンレンズをその光軸角度などを精度良く調整して光学ピックアップ装置、光記録再生装置に組み立てることができる。
【００１８】
また、上述のソリッドイマージョンレンズにおいて、特に支持部の球状部と対向する側面を、ソリッドイマージョンレンズに入射される入射光に略沿う傾斜面として形成することによって、入射光を遮ることなく球状部の周囲の加工体積を低減化することができる。したがって、この場合加工時間が最短となり、かつ、開口数が大なる集光レンズを容易に形成することが可能となる。
【００１９】
また、本発明によるソリッドイマージョンレンズにおいて、対物側に凸状部を設けることによって、光記録媒体等の対象物との対向面積を低減化することができ、これにより傾きマージンを大とすることができる。
【００２０】
そして、上述のソリッドイマージョンレンズと光学レンズとより成る集光レンズを用いて構成される光学ピックアップ装置及び光記録再生装置では、ソリッドイマージョンレンズの小径化を図ることができること、また安定保持を可能とすることによって、光記録媒体のフォーカシング方向及び／又はトラッキング方向に制御駆動される集光レンズの安定制御を図ることができるとともに、フォーカシングサーボやトラッキングサーボやシーク時間等のサーボ特性の向上を図ることが可能となる。
【００２１】
また、本発明のソリッドイマージョンレンズの形成方法によれば、レンズ材料体をスライスして薄板を形成する工程と、この薄板に凹部を形成する工程と、凹部にソリッドイマージョンレンズの球状部を形成する工程とを少なくとも有することによって、球状部の少なくとも一部を支持部と一体化して成るソリッドイマージョンレンズを容易に形成することができる。
【００２２】
また、本発明によるソリッドイマージョンレンズの形成方法において、上述の工程に加えて、凹部のソリッドイマージョンレンズの球状部と対向する側面を、ソリッドイマージョンレンズに入射される入射光に略沿う傾斜面として形成することにより、加工体積を低減化し、最短時間での加工形成を可能とし、上述の本発明構成のソリッドイマージョンレンズの生産性の向上を図ることができる。
【００２３】
更に、上述のソリッドイマージョンレンズの形成方法において、ソリッドイマージョンレンズの周囲の凹部をフォーカスイオンビーム加工方法により加工することによって、確実に精度良くソリッドイマージョンレンズの球状部を加工形成することができる。
また、本発明によるソリッドイマージョンレンズの形成方法において、ソリッドイマージョンレンズの対物側に、凸状部を形成することによって、光記録媒体等の対象物との傾きマージンを大としたソリッドイマージョンレンズを容易に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下本発明を実施するための最良の形態の例を、図面を参照して説明する。
本発明は、ソリッドイマージョンレンズ及びその形成方法と、このソリッドイマージョンレンズと光軸を合致させ、対物側とは反対側に配置された光学レンズとで構成された集光レンズ、更にこの集光レンズを有し、いわゆるニアフィールド光記録再生方式を採用する光学ピックアップ装置と、この光学ピックアップ装置を有する光記録再生装置に適用することができる。
【００２５】
まず、本発明によるソリッドイマージョンレンズ及びその形成方法の説明に先立って、これら集光レンズ、光学ピックアップ装置、光記録再生装置に適用した実施の形態の例について図１〜図５を参照して説明する。なお、図１〜図５において、ソリッドイマージョンレンズの形状は、その配置構成を容易に説明するために、本発明構成による一例を簡略化して示すものであるが、後述する図６以後の例を含む各種の本発明構成の形状を採り得るものであることはいうまでもない。
【００２６】
図１は、本発明によるソリッドイマージョンレンズを用いた集光レンズの一例を示す概略構成図である。レンズの対象物の例えば光記録媒体３０に対し、本発明構成によるソリッドイマージョンレンズ１１、光学レンズ１２をこの順に光軸を合致させて配置して構成する。ソリッドイマージョンレンズ１１は、曲率半径ｒの半球状又は超半球状、図示の例では超半球状とされ、その光軸に沿う厚さは、半球状の場合はｒ、図１に示すように超半球状とする場合は、ｒ（１＋１／ｎ）とされる。このような構成とすることによって、光学レンズ１２の開口数ＮＡを超える高開口数の集光レンズ１３を提供することができる。
なお、実際にはソリッドイマージョンレンズ１１と光記録媒体３０とは互いに接触してはいないが、これらソリッドイマージョンレンズ１１及び光記録媒体３０の間隔はソリッドイマージョンレンズ１１の厚さと比較して十分に小さいため図１〜図５においてはその間隔を省略して示す。
【００２７】
図２は、図１に示すソリッドイマージョンレンズ及び集光レンズを用いた光学ピックアップ装置の光学系の構成の一形態を示す概略構成図である。図示しない光源及びフォトディテクタと、ソリッドイマージョンレンズ１１及び光学レンズ１２より成る集光レンズ１３との間に、例えば第１及び第２のビームスプリッタ１４及び１５が配置される。光記録媒体３０は、例えばディスク状であれば、図示を省略するスピンドルモータに装着され、所定の回転数で回転される。
【００２８】
また、図１及び図２に示す光学ピックアップ装置には、集光レンズ１３をトラッキング方向及びフォーカシング方向に制御駆動する手段が設けられる。
この手段としては、例えば一般的な光学ピックアップに用いられる２軸アクチュエータや、磁気ヘッド装置等に用いられるスライダ等が挙げられる。
これら集光レンズ１３の制御駆動手段の形態を次に示す。
【００２９】
図３は、制御駆動手段として２軸アクチュエータを用いた光学ピックアップ装置の一例の概略構成図である。図３に示すように、集光レンズ１３は、そのソリッドイマージョンレンズ１１及び光学レンズ１２の光軸を合致させてソリッドイマージョンレンズ１１の保持部と光学レンズ１２とが保持部１９に固定されて構成され、この集光レンズ１３がフォーカシング方向及び／又はトラッキング方向に制御駆動される２軸アクチュエータ１６に固着されている。
図３に示すように、２軸アクチュエータ１６は、集光レンズ１３をトラッキング方向に制御駆動させるトラッキング用コイル１７と、フォーカシング方向に制御駆動させるフォーカシング用コイル１８とより構成される。
【００３０】
そしてこの２軸アクチュエータ１６により、光記録媒体３０とソリッドイマージョンレンズ１１との距離を、例えば戻り光量をモニタし、その距離情報をフィードバックすることにより制御可能とし、ソリッドイマージョンレンズ１１と光記録媒体３０との距離をほぼ一定に保つようになされ、かつこのソリッドイマージョンレンズ１１と光記録媒体３０との衝突を避けるように制御される。
また、この２軸アクチュエータ１６において、トラッキング方向に戻り光量をモニタし、その位置情報をフィードバックすることにより、集光スポットを所望の記録トラックに移動させることが可能である。
【００３１】
次に、図１及び図２に示した集光レンズ１３の制御駆動手段として、スライダを採用した場合の概略構成図を図４に示す。
図４に示すように、集光レンズ１３（図示の例においてはソリッドイマージョンレンズ１１）を、トラッキング方向に制御駆動されるスライダ２１に固着して構成することもできる。このスライダ２１は、例えば光記録媒体３０の面触れ方向にのみ弾性を有するジンバル２２等の弾性体、または図示を省略する他の弾性体を介し、トラッキング方向に移動する可動光学部（図示せず）に支持される。そしてこの可動光学部を、リニアモータ等で構成された制御駆動手段によりトラッキング方向に制御駆動することによって、所定のトラック上に集光レンズ１３を対向させることができる。
そして、光記録媒体３０の回転に伴い発生する気体流が光記録媒体３０とスライダ２１との間に流れ込むとともに、弾性体の光記録媒体３０側への押圧力と釣り合う気体薄膜が形成され、スライダ２１が光記録媒体３０に対して一定の距離、例えば５０ｎｍの距離を保ちつつ浮上するように構成される。すなわち、光記録媒体３０を所定の回転数で回転させて光記録媒体３０からの情報の再生時あるいは、光記録媒体３０への情報の記録時において、集光レンズ１３を構成するソリッドイマージョンレンズ１１と光記録媒体３０との距離を、スライダ３２によりほぼ一定距離に保たれた状態とすることができる。
【００３２】
以下、光学ピックアップ装置の概略構成について、再び図２を参照して説明する。光源、例えば半導体レーザから出射された往路光はコリメータレンズ（図示せず）により平行光に変換され（Ｌ１）、第１のビームスプリッタ１４を透過し（Ｌ）、集光レンズ１３を介して光記録媒体３０の情報記録面に集光される。情報記録面で反射された復路光は集光レンズ１３を透過し、第１のビームスプリッタ１４で反射され（Ｌ２）、第２のビームスプリッタ１５に入射する。そしてこの第２のビームスプリッタ１５により分離された復路光(Ｌ３及びＬ４)は、フォーカシング用光検出器及び信号用光検出器（図示せず）に集光され、フォーカスシングエラー信号および再生ピット信号等が検出される。
【００３３】
また、第２のビームスプリッタで反射された復路光は、トラッキング用光検出器にも集光され、トラッキングエラー信号が検出される。なお、必要に応じてこの光学ピックアップ装置には、光記録媒体３０の面振れに対して、集光レンズ１３を固着する２軸アクチュエータ、もしくはスライダが追従した残りのフォーカスエラー成分および集光レンズの組み立て工程時に発生した誤差成分を、２枚のレンズの間隔を変えることで補正することができるリレーレンズを、第１のビームスプリッタ１４と光学レンズ１２との間に挿入し構成してもよい。
【００３４】
スライダ２１にソリッドイマージョンレンズ１１及び光学レンズ１２が固着されている場合は、スライダ２１が追従した残りのフォーカスエラー成分および集光レンズの組み立て工程時に発生した誤差成分を補正する手段として、集光レンズ１３を構成するソリッドイマージョンレンズ１１をスライダ２１に固定し、光学レンズ１２を例えば圧電素子等により光軸方向に可動するように構成してもよい。
【００３５】
また、スピンドルモータが複数の光記録媒体を装着する手段を有する光記録再生装置の場合は、図５の概略構成図に示すように、光軸をほぼ９０度曲げるミラー２３をスライダ２１に設ける構成が好適である。このような構成の光記録再生装置は、光記録媒体間の間隔を小とすることができるので、結果的に装置の小型化、薄型化を図ることができる。
【００３６】
なお、上記した光学ピックアップ装置は、再生のみを行う再生専用、記録のみを行う記録専用、記録と再生の両方を行うことができる記録再生用を含むものである。また、上述した各光学ピックアップ装置は、光磁気記録方式と、ニアフィールド光再生方式を組み合わせることにより、その光ピックアップ装置の一部に磁気コイル等を組み込んだものを含む構成とすることもできる。また、光記録再生装置は、再生のみを行う再生専用装置、記録のみを行う記録専用装置、記録と再生の両方を行うことができる記録再生用装置を含むものである。
【００３７】
次に、本発明構成のソリッドイマージョンレンズの形状について説明する。
上述したように、本発明によるソリッドイマージョンレンズは、図６にその一例を光学レンズと組み合わせた概略構成図を示すように、ソリッドイマージョンレンズ１１において、その少なくとも一部、図示の例では球状部１の一部が支持部５１と一体に形成され、すなわち同じレンズ材料体から一体に形成される構成とする。図示の例においては、球状部１は、その曲率半径がｒ、屈折率がｎ、光軸ｃに沿う方向の厚さがｒ（１＋１／ｎ）とされ、光軸ｃと略直交する断面の半径がrである位置、すなわち図中破線Ｒで示す位置から対物側に向かう部分が支持部５１と一体に形成された例を示す。
なお、光軸ｃに沿う方向の厚さはｒでもよい。この場合は、ソリッドイマージョンレンズ１１を半球状とし、その一部を支持部と一体に形成する例となる。
【００３８】
このような構成のソリッドイマージョンレンズは、例えば図７Ａ〜Ｃにその工程図を示す本発明ソリッドイマージョンレンズの形成方法の一例により容易に形成することができる。
すなわち、図７Ａに示すように、バルクのレンズ材料体６０を薄くスライスして薄板を形成する工程と、図７Ｂに示すように、スライスした薄板６１のこの場合第１の面６１Ａに凹部を形成する工程と、この凹部にソリッドイマージョンレンズの球状部を形成する工程とを少なくとも行うことによって、形成し得る。
なお、図示の例においては、薄板６１の第１の面６１Ａの中央部に比較的広い第１の凹部６２を形成し、この第１の凹部６２内の例えば略中央部に第２の凹部６３を設け、この第２の凹部６２内に目的とするソリッドイマージョンレンズ１１の球状部に対応するレンズ部５０を設ける例を示す。
【００３９】
このように、２段階の凹部を設けることによって、比較的広い領域の第１の凹部６２を半導体プロセスなどで通常用いられるリソグラフィの技術を適用して容易かつ短時間に加工することができ、その後、ソリッドイマージョンレンズ１１の周囲の比較的狭い第２の凹部６３を、更に精度良くエッチング深さを制御し得る例えばフォーカスイオンビーム（ＦＩＢ）法により加工形成することによって、加工時間の大幅な増加による生産性の低下を回避しつつ、支持部５１と一体化されたソリッドイマージョンレンズ１１を形成することができる。
【００４０】
特に微細な球状部、また先端部の加工については、例えば日立製作所（株）製の集束イオンビーム加工観察装置ＦＢ−２１００などを利用したＦＩＢ加工装置を利用するのが好適である。
このように、球状部等の微細形状部分をＦＩＢ法により形成することによって、直径数十ｎｍ程度の微小なスポットのイオンビームによって、容易かつ確実に球状部を精度良く形成し、かつその半径をミクロンオーダー程度に微小化することができ、これにより従来に比して小径の小型ソリッドイマージョンレンズを精度良く容易に形成することができる。
【００４１】
なお、図６に示すように、この支持部５１には例えばソリッドイマージョンレンズ１１と離間する位置において固着面を設けることにより、２軸アクチュエータ、もしくはスライダ等の支持体２０と堅牢かつ安定に固着することができる。
この場合、支持体２０との固着面は、ソリッドイマージョンレンズ１１の球状部の半径を０．５ｍｍ程度以下に微小化しても、十分角度及び位置制御を行い易い広さを確保することができるので、制御性良く、すなわち精度良く光軸に対する角度調整を行って組み立てることが容易となる。
【００４２】
また、光磁気記録媒体に対するニアフィールド光記録再生方式においては、記録時及び／又は再生時に磁界が必要になることから、図示しないがソリッドイマージョンレンズの対物面の一部に磁気コイル等を取り付けて構成してもよい。
【００４３】
このソリッドイマージョンレンズ１１の材料としては、例えば用いられる光記録再生装置の装備するレーザ光源など、入射光の波長に対して屈折率が大きく、また透過率が大きくかつ光吸収が小さい材料が好適である。例えば、高屈折率ガラスであるオハラ株式会社製のＳ−ＬＡＨ７９や、高屈折率セラミックス、高屈折率単結晶材料であるＢｉ４Ｇｅ３Ｏ１２、ＳｒＴｉＯ３、ＺｒＯ２、ＨｆＯ２、ＳｉＣ、ダイヤモンドなどが好適である。
特に、ダイヤモンド等の比較的硬度の高い材料を用いる場合において、直径０．５ｍｍ程度以下の小径のボール形状に加工しにくい場合は、本発明を適用することによって、割れ、欠けなどの損傷を抑制して、生産性良くソリッドイマージョンレンズを形成することができる。
【００４４】
また、これらのレンズ材料は、アモルファス構造、もしくは単結晶の場合には立方晶構造であることが望ましい。光学レンズ材料がアモルファス構造、もしくは立方晶構造である場合、その方位を精度良く合わせる必要がなく、光学レンズ作製のためのエッチングプロセスやポリッシングプロセスを容易に適用できるという利点がある。
【００４５】
図６においては、ソリッドイマージョンレンズ１１の球状部と対向する凹部の側面、すなわち支持部５１の球状部と対向する側面５１Ｓは、光軸ｃと略平行な垂直面として形成した場合を示す。この場合、その側面５１Ｓは、ソリッドイマージョンレンズ１１の球状部１に入射される入射光Ｌｉを妨げないように、球状部１の周縁部すなわち破線Ｒで示す位置から離間して形成する。
【００４６】
これに対し、例えば図８にソリッドイマージョンレンズ１１の他の実施の形態例を示すように、ソリッドイマージョンレンズ１１の球状部１と対向する支持部５１の側面５１Ｓを、ソリッドイマージョンレンズ１１に入射される入射光に略沿う傾斜面として構成としてもよい。図８において、図６と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
【００４７】
このような構成とすることによって、ソリッドイマージョンレンズ１１に入射されるレーザ光等の入射光を遮ることのない形状としつつ、側面５１Ｓを球状部１１の周縁部に近接させることができ、この球状部１１の周囲の加工体積を低減化することができて、加工時間を短縮して生産性を向上させることが可能となる。
【００４８】
これら図６に示す例と図８に示す例における球状部１１の周囲の加工体積を比較するために、図９及び図１０において、球状部１１の周囲の加工部の一断面を、それぞれ斜線を付して示す。図９及び図１０において、図６及び図８と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
先ず、図９に示すように、球状部１１と対向する側面５１Ｓを光軸ｃと略平行な垂直面として形成する場合は、ソリッドイマージョンレンズ１１に入射角度θｉをもって入射される光Ｌｉを妨げないように、側面５１Ｓを球状部１の周縁部、すなわち破線Ｒと交差する位置からやや離間させて形成する。
【００４９】
ここで、光学レンズ１２の開口数をＮＡとしたとき、この光学レンズ１２から入射される入射光の入射角度θｉは、
θｉ＝ｓｉｎ−１（ＮＡ）
と表される。
例えば、光学レンズ１２の開口数ＮＡ１が０．３７７であるとすると、入射光の入射角度θｉは２２．１４°となる。
【００５０】
この光学レンズ１２からの入射光を遮らない形状として側面５１Ｓを形成するために、ソリッドイマージョンレンズ１１の球状部１の破線Ｒと交差する周縁部から、側面５１Ｓまでの間隔を７μｍ、球状部１の半径ｒを１０μｍ、ソリッドイマージョンレンズ１１の厚さｒ（１＋１／ｎ）を１４μｍとしたとき、斜線を付して示す加工部５２の体積は、６９８２μｍ3 程度となる。
【００５１】
一方、図１０に示すように、側面５１Ｓを入射光に略沿う傾斜面とし、その傾斜角度θｓを、上述の入射光の入射角度θｉ（２２．１４°）と等しくするか、それよりも若干大きく、例えば加工マージンを５度として、θｓを約２８°とすることができる。
この場合、加工体積を最小とし、かつ、入射光の光路を遮ることのない形状とできるので、所定の開口数を有するソリッドイマージョンレンズを得ることができる。
【００５２】
上述したように、例えば側面５１Ｓの傾斜角度を２８°とした場合は、球状部１の半径ｒ及びソリッドイマージョンレンズ１１の厚さを上述の例と同様とすると、加工部５２の体積は３６００μｍ3 であり、図９において示す加工部の加工体積と比較して略半分程度に低減化することができることがわかる。
【００５３】
特に、集光レンズの小型、軽量化のためにソリッドイマージョンレンズの小径化を図る場合は、微小な球状部１の周囲を精度良く加工するために、上述したＦＩＢ法によりエッチングすることが望ましい。しかしながら、このＦＩＢによる加工においては、その加工ビーム径が、数ｎｍから数十ｎｍであるために、球状部１周囲の加工部の体積が大であると、エッチングに非常に時間がかかってしまい、実用的でないという問題がある。
【００５４】
しかしながら、上述したように、球状部１と対向する側面５１Ｓを、この球状部１に入射する入射光に略沿う角度の傾斜面とすることによって、図９に示す例と図１０に示す例において斜線を付して示す領域の面積の比から容易に予想されるように、加工体積を格段に低減化することができ、ＦＩＢを用いることによる加工時間の増加を抑えることができる。
これにより、従来に比して非常に微小な球状部を有するソリッドイマージョンレンズを実現できる。例えば、球状部の直径を数μｍから数百μｍ程度までのソリッドイマージョンレンズが形成可能で、従って、非常に小型で軽量なソリッドイマージョンレンズ及びこれと光学レンズと組み合わせた開口数の大なる集光レンズを提供することができ、更には、小型・軽量な光ピックアップ装置が実現できる。
【００５５】
また、図８〜図１０に示す例においては、ソリッドイマージョンレンズ１１の対物側の先端部５に、凸状部２を設けた場合を示す。
このように対物側に凸状部２を設ける構成とすることによって、ソリッドイマージョンレンズ１１を光学ピックアップ装置に適用して光記録媒体に対向して高速で相対移動させる際に、媒体に対するいわゆる傾斜マージンを大とすることができる。
【００５６】
すなわち、図１０に示す例において、凸状部２を例えば略円筒形状として、その直径ｅ及び高さｈを適切に選定することによって、ソリッドイマージョンレンズ１１に入射される入射光を遮らない構成とすることができ、且つ光学ピックアップ装置に適用する場合において、レンズと光記録媒体との傾きマージンは、図６に示すように凸状部２を設けない場合と比較して格段に大とすることができる。図１０において、レンズの支持部５１の最も厚い部分の厚さ、すなわちレンズ加工前の薄板の厚さをｔとし、レンズ１１の厚さをｔＬ（＝ｒ＋ｒ／ｎ）として示す。
【００５７】
なお、ソリッドイマージョンレンズ１１への入射光の入射角θｉは、
０°＜θｉ＜９０°
の範囲である。
これについて説明すると、ソリッドイマージョンレンズを利用した集光レンズの開口数は、図１１にその一例の概略構成図を示すように、ソリッドイマージョンレンズ１１の対物面とは反対側に配置する光学レンズ１２からソリッドイマージョンレンズ１１への入射光の光軸からの入射角をθｉ０、ソリッドイマージョンレンズ１１内の入射角をθｉとし、光学レンズ１２の開口数をＮＡ、ソリッドイマージョンレンズ１１の屈折率をｎとすると、
ｓｉｎθｉ０＝ＮＡ
ｎｓｉｎθｉ０＝ｓｉｎθｉ
となるので、ソリッドイマージョンレンズ１１による集光レンズの実効的な開口数ＮＡ(SIL)は、
ＮＡ(SIL) ＝ｎ２ｓｉｎθｉ０
＝ｎｓｉｎθｉ
と表され、θｉが略９０°のときソリッドイマージョンレンズ１１による集光レンズの実効的な開口数ＮＡ(SIL) ＝ｎで最大となる。
【００５８】
つまり、図１２Ａ〜Ｄにおいて入射角度θｉが変化する場合の概略構成図をそれぞれ示すように、入射角θｉが大きくなるほど、ソリッドイマージョンレンズによる集光レンズの実効的な開口数ＮＡ(SIL) は大となり、９０°に近づくにつれ最大値ｎに近づく。図１１及び図１２において、図６と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
すなわち、入射角度θｉを大とするほうが高い開口数を得るためには望ましいが、図１２Ｃ及びＤに示す例では、ソリッドイマージョンレンズを保持する部分の確保が難しく、また入射角度θｉを大とするほど製造マージンは小さくなり、歩留まりを高めにくいという問題が生じる。
このため、製造マージンをある程度確保するためには、破線Ｒで示す位置近傍から入射させる構成が望ましく、すなわち実用的には入射角θｉをｔａｎ−１（ｎ）近傍とすることが望ましい。
また、入射角θｉがｔａｎ−１（ｎ）を超える場合は、入射角θｉまでを超半球状として、その対物側を支持部５１と一体に設ける構成とすればよく、すなわち入射光が通過しないいわば入射の無効領域において、支持部５１と一体とする構成とすればよい。
【００５９】
上述の例において、ソリッドイマージョンレンズの半径ｒを例えば１０μｍ、ソリッドイマージョンレンズの厚さを１４μｍ、屈折率を２．４５８、レンズと媒体の間隔を２５ｎｍ、円筒部分の直径ｅを１３μｍ（すなわち半径は６．５μｍ）、高さｈを２μｍにした場合を考える。
このとき、入射光の入射角度θｉが光軸からｔａｎ−１（ｎ）であるとすると、約６８°となる。
一方、集光位置から凸状部２の縁部までの傾斜角度は、ｔａｎ−１（２／６．５）〜１７．１°、すなわち光軸からの角度は約７３°であり、十分入射光光路を遮ることのない形状とすることができる。
【００６０】
またレンズと媒体の傾きを考えると、ｔａｎ−１（０．０２５／６．５）〜０．２２°であることから、この場合、レンズの媒体に対する傾斜マージンは、＋／−０．２°とすることができる。このとき、球状部１の周囲の加工体積は上述したように３６００μｍ３程度であり、傾斜面としない場合と比較して格段に加工時間を低減化でき、また開口数２．２８と高い開口数のソリッドイマージョンレンズを実現できる。
【００６１】
図１３Ａ及びＢに、このようにして形成したソリッドイマージョンレンズの概略斜視図及び側面図を示す。薄板を略正方形として、その一辺の長さＬ１を例えば１ｍｍ程度とし、薄板の厚さｔを例えばレンズ材料としてダイヤモンドを用いる場合、製造及び取り扱いの容易な厚さ、すなわち生産性上問題のない厚さとして数μｍ〜数ｍｍ程度の例えば５００μｍとし得る。
そして、その略中央部に、例えば加工体積を考慮して全体面積の数分の１程度の面積となるように一辺の長さＬ２を選定した凹部を形成して、更にその中央部に球状部１、すなわちソリッドイマージョンレンズのレンズ部５０を設ける構成とすることができる。このような構成とすることによって、支持部５１の周縁部において、アクチュエータ等に堅牢に固着させることができ、また厚さが十分であるため保持し易く、かつ従来に比して非常に微小な小径のソリッドイマージョンレンズを提供することができる。
【００６２】
なお、このソリッドイマージョンレンズの先端部５の凸状部２の形状としては、上述した円筒形状の他、種々の形状を採ることが可能である。
例えば、図１４にその一例の要部の断面図及び対物側からみた平面図を並置して示すように、先端側の例えば円筒状、角柱状、断面楕円型柱状などの凸状部２の周囲に光軸ｃと略直交する例えばリング形の平面部３を設け、この平面部３に向かって円錐状、角錐状などの傾斜部２を設ける構成とすることもできる。この場合においても、凸状部２の幅及び高さを適切に選定することによって、ソリッドイマージョンレンズに入射される入射光Ｌｉを遮ることのない形状とすることができる。
【００６３】
または、図１５に同様に先端部の一例の要部の断面図及び対物側からみた平面図を並置して示すように、先端部５を光軸ｃと略直交する平面状として、その周囲に傾斜部４を設ける構成としてもよい。平面部の平面形状としては、円形、四角形、又は楕円形など種々の形状を採り得る。
【００６４】
更に、図１６〜図２０に示すように、凸状部２の集光位置近傍を、例えば半径が略ｒ／ｎとされた球（破線ｂで示す）に略外接する形状とすることもできる。この場合、この外接する領域の幅を光軸ｃからの半径ｆとして示すと、この半径ｆの領域において、レンズと入射光の光軸がずれた場合においても、ソリッドイマージョンレンズを通過する入射光の距離をｒ（１＋１／ｎ）から殆ど変化させることなく、良好に対物側の集光位置に集光させることができる。
なお、光軸に沿う方向の厚さをｒとする場合は、この部分において直径が略ｒの球に外接する形状とすることによって、同様の効果を得ることができる。
【００６５】
図１６に示す例においては、光軸ｃから半径ｆの範囲を破線ｂで示す半径略ｒ／ｎの球に略外接する形状とし、その周囲を円筒形状、又は例えば断面楕円形の柱状、または角柱状の凸状部２とし、その周囲に平面部及び傾斜部を設ける形状とした場合を示す。
光学ピックアップ装置に適用した場合において、対向する光記録媒体３０との間隔ｄに対して、凸状部２の幅及び高さを適切に選定することによって、上述の図１０において説明した例と同様に、適切な傾斜マージンが得られることは同様である。
図１６において、図１０と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
【００６６】
また、図１７に示すように、先端部５の一部において破線ｂで示す半径略ｒ／ｎの球に略外接する形状とし、その周囲に円錐状、角錐状等の傾斜部４とするとか、図１８に示すように、更に傾斜部４の周囲を平面部６とすることもできる。
更に、図１９に示すように、半径ｙの領域において破線ｂで示す半径略ｒ／ｎの球に略外接する形状とし、その周囲に平面部３を設けるとか、また図２０に示すように、半径ｆの領域において破線ｂで示す半径略ｒ／ｎの球に略外接する形状とし、光軸ｃから幅ｙの範囲において円柱状、角柱状、断面楕円型の柱状などの凸状部２を設けてその周囲を平面部３とするなど、種々の形状を採ることができることはいうまでもない。
図１７〜図２０において、図１０と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。これらの場合において、光軸方向の厚さをｒとする場合は、直径ｒの球に略外接する形状とすることによって、同様の効果を得ることができる。
以上の各例において、先端部５の一部において、半径が僅かにｒ／ｎからずれるとか、また半径ｒ／ｎの球に僅かにずれて外接する場合においても、ソリッドイマージョンレンズの入射側の光学系においてこれを補正することができれば、同様の効果が得られることはいうまでもない。ソリッドイマージョンレンズの光軸に沿う厚さをｒとし、直径が略ｒの球に略外接する形状とする場合も同様である。
なお、図１９及び図２０において示すように、凸状部２の縁部までの集光位置からの角度θｔを適切に選定して、入射光Ｌｉを遮らない形状とすることは同様である。
【００６７】
また、上述の各例においては、ソリッドイマージョンレンズ１１において、球状部１と支持部５１とを一体に形成する位置を、球状部１の光軸と直交する断面が略半径ｒとなる位置から対物側としたが、この位置は球状部１の一部であればよい。
すなわち、以上説明した例においては、図２１Ａに示すように、球状部１の光軸と直交する断面の半径がｒとなる位置から対物側が支持部５１と一体に形成されている。このように支持部５１と一体に形成する位置としては、図２１Ｂに示すように、対物側とは反対側にずれてもよく、また図２１Ｃに示すように、対物側にずれてもよい。
図２１Ｂに示す例においては、支持部５１の厚さが上述の各例よりも大となるため、より強度を保持することができ、また球状部１の加工面積が上述の各例に比して小さくなることから、製造マージンを高め、また加工時間も短縮化することが可能となる。
一方、図２１Ｃに示す例においては、支持部５１の厚さが小となるが、図２１Ａ〜Ｃにおいて矢印Ｌｉで示す光学レンズ１２からの入射光を示すように、図２１Ｃに示す構成とする場合はソリッドイマージョンレンズ１１への入射光の入射位置がより対物側に近づき、すなわち入射角度が大となって、より大なる開口数を実現することができるという利点を有する。
【００６８】
以上説明したように、本発明によるソリッドイマージョンレンズを用いれば、薄板状の支持部を一体に設ける構成とすることから、０．５ｍｍ程度以下、μｍオーダーのサイズにレンズの小径化を図る場合、また非常に硬度の高い材料よりソリッドイマージョンレンズを構成する場合においても、製造が比較的容易であり、また堅牢かつ安定な保持を可能とし、また所定の開口数を得ることができて、開口数が大なるニアフィールド光記録再生に適したソリッドイマージョンレンズ及びこれを用いた集光レンズを提供することができる。
したがって、レンズの小径化による光学系の小型化、軽量化によって、フォーカスサーボ、トラッキングサーボやシーク時間等のサーボ特性の向上を図ることができ、光記録媒体に対する記録再生の安定性を高めることが可能となり、また光学ピックアップ装置および光記録再生装置の小型化薄型化を図ることができる。
【００６９】
また、球状部と対向する側面を傾斜面とすることによって、球状部の周囲の加工体積を低減化することができ、加工時間を大幅に低減化することが可能となり、生産性の向上を図ることができる。
更に、対物側の先端部に凸状部を設ける構成とすることによって、ソリッドイマージョンレンズと光記録媒体との傾斜マージンを大とすることができて、保持部との一体化による取り扱いの簡易化と相俟って、組み立て工程における制度を保持しつつ作業性を向上させ、生産性を高めることも可能である。
【００７０】
なお、本発明によるソリッドイマージョンレンズ及びこれを用いた集光レンズ、光学ピックアップ装置、光記録再生装置においては、上述の実施の形態例に限定されることなく、その他本発明構成を逸脱しない範囲において、種々の変形、変更が可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明によるソリッドイマージョンレンズ及び集光レンズの一例の概略構成図である。
【図２】本発明による集光レンズの一例の概略構成図である。
【図３】本発明による光学ピックアップ装置の一例の概略構成図である。
【図４】本発明による光学ピックアップ装置の一例の概略構成図である。
【図５】本発明による光学ピックアップ装置の一例の概略構成図である。
【図６】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の概略構成図である。
【図７】Ａは本発明のソリッドイマージョンレンズの形成方法の一例の一工程図である。Ｂは本発明のソリッドイマージョンレンズの形成方法の一例の一工程図である。Ｃは本発明のソリッドイマージョンレンズの形成方法の一例の一工程図である。
【図８】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図９】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図１０】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の概略構成図である。
【図１１】ソリッドイマージョンレンズの開口数の説明に供する概略構成図である。
【図１２】Ａはソリッドイマージョンレンズの一例の概略構成図である。Ｂはソリッドイマージョンレンズの一例の概略構成図である。Ｃはソリッドイマージョンレンズの一例の概略構成図である。Ｄはソリッドイマージョンレンズの一例の概略構成図である。
【図１３】Ａは本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の概略斜視構成図である。Ｂは本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の概略側面構成図である。
【図１４】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図１５】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図１６】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図１７】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図１８】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図１９】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図２０】本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図２１】Ａは本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。Ｂは本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。Ｃは本発明によるソリッドイマージョンレンズの一例の要部の概略構成図である。
【図２２】従来のソリッドイマージョンレンズの一例の概略構成図である。
【符号の説明】
【００７２】
１・・・球状部、２・・・凸状部、３・・・平面部、４・・・傾斜部、５・・・先端部、９・・・対物面、１１ソリッドイマージョンレンズ、１２・・・光学レンズ、１３・・・集光レンズ、１４・・・第１のビームスプリッタ、１５・・・第２のビームスプリッタ、１６・・・２軸アクチュエータ、１７・・・トラッキング用コイル、１８・・・フォーカシング用コイル、１９・・・保持部、２０・・・保持体、２１・・・スライダ、２２・・・ジンバル、２３・・・ミラー、３０・・・光記録媒体、５０・・・レンズ部、５１・・・支持部、５２・・・加工部、６０・・・レンズ材料体、６１・・・薄板、６１Ａ・・・第１の面、６１Ｂ・・・第２の面、６２・・・第１の凹部、６３・・・第２の凹部
【図１】
2006012379.tif 000003
【図２】
2006012379.tif 000004
【図３】
2006012379.tif 000005
【図４】
2006012379.tif 000006
【図５】
2006012379.tif 000007
【図６】
2006012379.tif 000008
【図７】
2006012379.tif 000009
【図８】
2006012379.tif 000010
【図９】
2006012379.tif 000011
【図１０】
2006012379.tif 000012
【図１１】
2006012379.tif 000013
【図１２】
2006012379.tif 000014
【図１３】
2006012379.tif 000015
【図１４】
2006012379.tif 000016
【図１５】
2006012379.tif 000017
【図１６】
2006012379.tif 000018
【図１７】
2006012379.tif 000019
【図１８】
2006012379.tif 000020
【図１９】
2006012379.tif 000021
【図２０】
2006012379.tif 000022
【図２１】
2006012379.tif 000023
【図２２】
2006012379.tif 000024