(57)【要約】    【課題】  光学結晶を一体化した固体レーザ発振装置に於いて、個々の光学結晶からの放熱を促進し、光学結晶の温度上昇を抑制する。    【解決手段】  光学結晶であるレーザ結晶８、２次高調波用波長変換結晶９を具備し、入射された励起光１７が前記レーザ結晶により基本波１８に発振され、該基本波が前記２次高調波用波長変換結晶により２次高調波１９に変換される固体レーザ発振装置に於いて、前記光学結晶の接合部に該接合部周囲に張出す周辺部を形成し、前記接合部の熱が前記周辺部に拡散し、該周辺部より放熱される様構成した。    【選択図】          図１
2006286735.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学結晶であるレーザ結晶、２次高調波用波長変換結晶を具備し、入射された励起光が前記レーザ結晶により基本波に発振され、該基本波が前記２次高調波用波長変換結晶により２次高調波に変換される固体レーザ発振装置に於いて、前記光学結晶の接合部に該接合部周囲に張出す周辺部を形成し、前記接合部の熱が前記周辺部に拡散し、該周辺部より放熱される様構成したことを特徴とする固体レーザ発振装置。
【請求項２】
光学結晶である３次高調波用波長変換結晶が更に一体化され、３次高調波が射出される請求項１の固体レーザ発振装置。
【請求項３】
前記光学結晶間に熱拡散板が挾設され、該熱拡散板が前記光学結晶より周囲に張出す周辺部を有する請求項１又は請求項２の固体レーザ発振装置。
【請求項４】
接合する光学結晶の一方が他方の光学結晶の周囲に張出す周辺部を有し、所要の結晶間に光学作用のある光学部材を設けた請求項１又は請求項２の固体レーザ発振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体レーザを励起源とした固体レーザ発振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１２はレーザ発振装置１の一例である、１波長発振のＬＤ励起固体レーザを示している。
【０００３】
図１２中、２は発光部、３は光共振部である。前記発光部２はＬＤ発光器４、集光レンズ５を具備し、更に前記光共振部３は第１の誘電体反射膜７が形成された第１光学結晶（レーザ結晶８）、第２光学結晶（非線形光学結晶（ＮＬＯ）（２次高調波用波長変換結晶９））、第２の誘電体反射膜１１が形成された凹面鏡１２であり、前記光共振部３に於いてレーザ光線をポンピングし、共振、増幅して出力している。尚、前記レーザ結晶８としては、Ｎｄ：ＹＶＯ4 、前記２次高調波用波長変換結晶９としてはＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4   リン酸チタニルカリウム）等が用いられる。
【０００４】
前記レーザ発振装置１は、例えば波長８０９ｎｍのレーザ光線を射出する為のものであり、半導体レーザである前記ＬＤ発光器４が使用されている。又、該ＬＤ発光器４が励起光１７を発生させるポンプ光発生装置としての機能を有する。尚、前記レーザ発振装置１は半導体レーザに限ることなく、レーザ光線を生じさせることができれば、何れの光源手段をも採用することができる。
【０００５】
前記レーザ結晶８は光の増幅を行う為のものである。該レーザ結晶８には、発振線が１０６４ｎｍのＮｄ：ＹＶＯ4 が使用される。その他、Ｎｄ3+イオンをドープしたＹＡＧ（イットリウム  アルミニウム  ガーネット）等が採用され、ＹＡＧは、９４６ｎｍ、１０６４ｎｍ、１３１９ｎｍ等の発振線を有している。又、発振線が７００〜９００ｎｍのＴｉ（Ｓａｐｐｈｉｒｅ）等を使用することができる。
【０００６】
前記レーザ結晶８の前記ＬＤ発光器４側には、前記第１の誘電体反射膜７が形成されている。該第１の誘電体反射膜７は、前記ＬＤ発光器４からのレーザ光線に対して高透過であり、且つ前記レーザ結晶８の発振波長に対して高反射であると共に、２次高調波（ＳＨＧ：ＳＥＣＯＮＤ  ＨＡＲＭＯＮＩＣ  ＧＥＮＥＲＡＴＩＯＮ）１９に対しても高反射となっている。
【０００７】
前記凹面鏡１２は、前記レーザ結晶８に対向する様に構成されており、前記凹面鏡１２の前記レーザ結晶８側は、適宜の半径を有する凹面球面鏡の形状に加工されており、前記第２の誘電体反射膜１１が形成されている。該第２の誘電体反射膜１１は、前記レーザ結晶８の発振波長（基本波１８）に対して高反射であり、２次高調波１９に対して高透過となっている。
【０００８】
以上の様に、前記レーザ結晶８の第１の誘電体反射膜７と、前記凹面鏡１２の第２の誘電体反射膜１１とを組合わせ、前記ＬＤ発光器４からのレーザ光線を前記集光レンズ５を介して前記レーザ結晶８にポンピングさせると、該レーザ結晶８の第１の誘電体反射膜７と、前記第２の誘電体反射膜１１との間で光（基本波１８）が往復し、光を長時間閉込めることができるので、光を共振させて増幅させることができる。
【０００９】
前記レーザ結晶８の第１の誘電体反射膜７と、前記凹面鏡１２とから構成された前記光共振部３内に前記２次高調波用波長変換結晶９が挿入されている。該２次高調波用波長変換結晶９にレーザ光線の様に強力なコヒーレント光が入射すると、光周波数を２倍にする前記２次高調波１９が発生する。該２次高調波１９の発生は、ＳＥＣＯＮＤ  ＨＡＲＭＯＮＩＣ  ＧＥＮＥＲＡＴＩＯＮと呼ばれている。従って、前記レーザ発振装置１からは波長５３２ｎｍのレーザ光線（グリーンレーザ光線）が射出される。
【００１０】
尚、前記２次高調波１９を発生する固体レーザ装置としては特許文献１に示されるものがある。
【００１１】
又、近年の半導体レーザでは、前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９を接着等により一体化し、チップ化している。チップ化することで、安価で取扱い性の容易な固体レーザ発振装置が提供される様になっている。
【００１２】
図１３はＵＶ硬化型接着剤により、レーザ結晶８と２次高調波用波長変換結晶９とを接着した光共振部３を示している。
【００１３】
該光共振部３に於いて、前記レーザ結晶８の入射端面には第１の誘電体反射膜７が形成され、前記２次高調波用波長変換結晶９の射出端面には第２の誘電体反射膜１１が形成されている。前記発光部２より射出された励起光１７により基本波１８が発振し、該基本波１８が前記第１の誘電体反射膜７と前記第２の誘電体反射膜１１間でポンピングされ、前記２次高調波用波長変換結晶９により２次高調波１９に波長変換され、該２次高調波１９は前記第２の誘電体反射膜１１を透って射出される。
【００１４】
更に、３次高調波が要求される場合は、図１３で示された光共振部３に、更に３次高調波用波長変換結晶が接着され一体チップ化され、或はパルスレーザ光線が要求される場合は、前記レーザ結晶８と２次高調波用波長変換結晶９間にＱswが接着により挾設される等してチップ化される。
【００１５】
又、近年ではより出力の大きいレーザ光線が要求され、前記光共振部３には益々高強度の励起光１７が入射される様になっている。レーザ光線の出力の増大に伴い、前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９での発熱量も増大しており、又前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９は温度が上昇することで特性が劣化し、又大きな温度勾配が生ずると、結晶に亀裂が生じる等不具合を生じるので、固体レーザ発振装置の冷却が必要となっている。
【００１６】
従来、固体レーザ発振装置に於けるレーザ結晶８、２次高調波用波長変換結晶９等の光学結晶の冷却は固体レーザ発振装置を金属板等に固定し、該金属板を介してペルチェ素子等の冷却手段で冷却をしている。
【００１７】
ところが、上記した様にレーザ結晶８、２次高調波用波長変換結晶９等の光学結晶を一体化すると、各光学結晶個々からの放熱が充分に行われず、例えば光共振部３内部に熱が蓄積され、不具合を生じるという問題があった。
【００１８】
【特許文献１】特開平５−１４５１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明は斯かる実情に鑑み、光学結晶を一体化した固体レーザ発振装置に於いて、個々の光学結晶からの放熱を促進し、光学結晶の温度上昇を抑制するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、光学結晶であるレーザ結晶、２次高調波用波長変換結晶を具備し、入射された励起光が前記レーザ結晶により基本波に発振され、該基本波が前記２次高調波用波長変換結晶により２次高調波に変換される固体レーザ発振装置に於いて、前記光学結晶の接合部に該接合部周囲に張出す周辺部を形成し、前記接合部の熱が前記周辺部に拡散し、該周辺部より放熱される様構成した固体レーザ発振装置に係り、又光学結晶である３次高調波用波長変換結晶が更に一体化され、３次高調波が射出される固体レーザ発振装置に係り、又前記光学結晶間に熱拡散板が挾設され、該熱拡散板が前記光学結晶より周囲に張出す周辺部を有する固体レーザ発振装置に係り、更に又接合する光学結晶の一方が他方の光学結晶の周囲に張出す周辺部を有し、所要の結晶間に光学作用のある光学部材を設けた固体レーザ発振装置に係るものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、光学結晶であるレーザ結晶、２次高調波用波長変換結晶を具備し、入射された励起光が前記レーザ結晶により基本波に発振され、該基本波が前記２次高調波用波長変換結晶により２次高調波に変換される固体レーザ発振装置に於いて、前記光学結晶の接合部に該接合部周囲に張出す周辺部を形成し、前記接合部の熱が前記周辺部に拡散し、該周辺部より放熱される様構成したので、光学結晶接合部の熱が周辺部に拡散し、該周辺部より放熱され、前記接合部での温度上昇を抑制する等の優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。
【００２３】
図１、図２により第１の実施の形態について説明する。図中、図１３中で示したものと同等のものには同符号を付してある。
【００２４】
レーザ結晶８と２次高調波用波長変換結晶９との間に熱拡散板１３を設ける。該熱拡散板１３は前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９より断面積が大きく、周囲に張出しており、張出し部分１３ａには放熱板２０が固着される。該放熱板２０は高熱伝導材料、例えば銅板が用いられ、更に該放熱板２０はペルチェ素子等の冷却手段によって冷却される。
【００２５】
前記熱拡散板１３は、光学特性を有さないもの、即ち透過するレーザ光線に変化を与えない材料、例えば透明なガラス板が用いられ、好ましくは前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９と同一又は略同一の熱膨張率を有している。
【００２６】
次に、前記レーザ結晶８の入射端面Ａ、射出端面Ｂ、及び前記２次高調波用波長変換結晶９の入射端面Ａ、射出端面Ｂそれぞれの端面に形成される膜について図３を参照して説明する。
【００２７】
前記レーザ結晶８の入射端面Ａには入射側から励起光１７用のＡＲ膜２１（反射防止膜）、基本波１８用のＨＲ膜２２（高反射膜）が形成され、前記レーザ結晶８のＢ面には前記基本波１８用のＡＲ膜２３が形成される。前記２次高調波用波長変換結晶９のＡ面には入射側から前記基本波１８用のＡＲ膜２４、及び前記２次高調波１９に対して高反射のＨＲ膜２５が形成され、前記２次高調波用波長変換結晶９のＢ面には入射側から前記基本波１８、２次高調波１９用のＡＲ膜２６、又前記基本波１８に対して高反射で前記２次高調波１９に対して高透過のＨＲ膜２７が形成されている。各ＡＲ膜の透過率、ＨＲ膜の反射率については、図３にその例を示す。
【００２８】
図１に於いて、前記レーザ結晶８に前記励起光１７が入射すると、前記レーザ結晶８により前記基本波１８が発振される。前記ＨＲ膜２５は前記基本波１８に対しては高透過であるので、該基本波１８は前記ＨＲ膜２２と前記ＨＲ膜２７間でポンピング、増幅される。又、前記基本波１８は前記２次高調波用波長変換結晶９によって前記２次高調波１９に変換される。
【００２９】
ここで、前記レーザ結晶８（Ｎｄ：ＹＶＯ4 ）は、１軸性であるので波長板としての性質を持ち、該レーザ結晶８内部を２次高調波１９が通過する場合は、結晶方向の相違で速度差がある。この為、位相差を生じ、偏光特性が変化してしまう。従って、前記２次高調波１９が前記レーザ結晶８を通過した場合、射出される２次高調波１９は楕円偏光のレーザ光線となる。
【００３０】
レーザ発振装置には、直線偏光のレーザ光線が要求されるものがあり、例えば光波測距装置では、参照光と反射光の位相差に基づき距離を求めており、射出されるレーザ光線が楕円偏光であると、正確な測距ができないという問題を生じる。
【００３１】
上記した光共振部３では、前記ＨＲ膜２５は前記２次高調波１９に対しては高反射であり、前記ＨＲ膜２７は前記２次高調波１９に対して高透過であるので、該２次高調波１９は前記レーザ結晶８内を透過することなく、前記ＨＲ膜２７から射出される。
【００３２】
前記２次高調波１９が前記レーザ結晶８内を透過しないので、偏光特性は変化することなく、前記励起光１７が直線偏光で入射した場合、直線偏光の２次高調波１９が射出される。
【００３３】
前記励起光１７が前記レーザ結晶８により前記基本波１８に発振され、又該基本波１８が前記２次高調波用波長変換結晶９により前記２次高調波１９に変換されることで、前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９それぞれが発熱する。前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９の熱は前記熱拡散板１３に熱伝達し、更に前記張出し部分１３ａに拡散する。該張出し部分１３ａへ伝達された熱は、前記放熱板２０より放熱される。前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９は接合部分から前記熱拡散板１３を介して冷却される。
【００３４】
従って、前記レーザ結晶８と前記２次高調波用波長変換結晶９との接合により内部に熱が蓄積されることが防止される。
【００３５】
尚、前記熱拡散板１３の表面に、熱伝導性の高い材質をコーティング、例えばダイアモンドコーティグ等をしてもよい。
【００３６】
更に、３次高調波を射出する光共振部３では、レーザ結晶８、２次高調波用波長変換結晶９に、更に３次高調波用波長変換結晶が接着され一体チップ化されるが、熱拡散板１３は前記レーザ結晶８と２次高調波用波長変換結晶９との間、或は該２次高調波用波長変換結晶９と３次高調波用波長変換結晶のいずれかの間、或はそれぞれの間に設けられてもよい。又、パルスレーザ光線を射出する様Ｑswが光学結晶の間に設けられた光共振部３に於いても、同様に各光学結晶間、或は各光学結晶とＱswとの間に前記熱拡散板１３が設けられてもよい。
【００３７】
尚、光学結晶の接合部に熱が蓄積されることを防止する為、接合部の熱を拡散し、更に放熱する面が設けられればよく、例えば図４に示される第２の実施の形態の様に、２次高調波用波長変換結晶９自体を熱拡散板１３として機能させてもよい。
【００３８】
前記２次高調波用波長変換結晶９の形状をレーザ結晶８に対して大きくし、前記２次高調波用波長変換結晶９の周辺部が前記レーザ結晶８から張出す様にし、接合部の熱を前記２次高調波用波長変換結晶９の周辺部９ａに拡散させ、該周辺部９ａから放熱板等を介して熱を放熱する様にしてもよい。
【００３９】
尚、前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９の端面に形成する膜については図２に示したものと基本的に同等であるので説明を省略する。又、前記レーザ結晶８を大きく、前記２次高調波用波長変換結晶９を小さくし、前記レーザ結晶８が熱拡散板の機能を果す様にしてもよい。
【００４０】
図５は第３の実施の形態を示しており、レーザ結晶８と２次高調波用波長変換結晶９との間に熱拡散板１３を挾設し、前記レーザ結晶８、前記熱拡散板１３、前記２次高調波用波長変換結晶９の形状を段階的に大きくし、前記熱拡散板１３の張出し部分１３ａ部分で放熱を行い、前記２次高調波用波長変換結晶９の周辺部９ａ部分でも放熱が行える様にしたものである。
【００４１】
又、図６、図７は第４の実施の形態を示しており、３次高調波３０を射出する光共振部３について実施した場合を示している。
【００４２】
前記３次高調波３０を射出する光共振部３は、２次高調波１９を前記３次高調波３０に変換する３次高調波用波長変換結晶２９を接着剤により接着して一体化し、前記３次高調波３０が射出される様にしたものである。又、該第４の実施の形態に於いて、前記熱拡散板１３はレーザ結晶８と２次高調波用波長変換結晶９との間に設けられている。
【００４３】
又、レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９、前記３次高調波用波長変換結晶２９のＡ，Ｂ面にはそれぞれ図８に示される特性を有する膜を形成する。
【００４４】
前記レーザ結晶８の入射面（Ａ面）に入射側から励起光１７用のＡＲ膜３１、基本波１８を高反射するＨＲ膜３２を形成し、前記レーザ結晶８のＢ面には前記基本波１８用のＡＲ膜３３が形成され、更に熱拡散板１３が介設される。前記２次高調波用波長変換結晶９のＡ面には入射側より、２次高調波１９に対して高反射で前記基本波１８に対して高透過のＨＲ膜３４が形成され、前記基本波１８及び２次高調波１９用のＡＲ膜３５が形成され、前記２次高調波用波長変換結晶９のＢ面には前記基本波１８及び２次高調波１９用のＡＲ膜３６が形成され、前記３次高調波用波長変換結晶２９のＡ面には入射側より前記基本波１８及び２次高調波１９用のＡＲ膜３７、又前記３次高調波３０に対して高反射で、前記基本波１８及び２次高調波１９に対して高透過のＨＲ膜３８が形成され、前記３次高調波用波長変換結晶２９のＢ面には入射側より前記基本波１８及び２次高調波１９用のＡＲ膜３９、又前記基本波１８及び２次高調波１９に対して高反射、前記３次高調波３０に対して高透過のＨＲ膜４０を形成する。
【００４５】
各ＡＲ膜の透過率、ＨＲ膜の反射率については、図８にその例を示す。
【００４６】
図６に於いて、前記レーザ結晶８に前記励起光１７が入射すると、前記基本波１８が発振され、該基本波１８は前記ＨＲ膜３２と前記ＨＲ膜４０との間でポンピングされ、又前記２次高調波用波長変換結晶９により前記２次高調波１９に変換される。
【００４７】
更に、該２次高調波１９は前記ＨＲ膜３４と前記ＨＲ膜４０間でポンピングされ、又前記３次高調波用波長変換結晶２９により前記３次高調波３０に変換される。該３次高調波３０は前記ＨＲ膜３８で反射され、前記ＨＲ膜４０を透過して射出される。
【００４８】
該第４の実施の形態に於いて、前記２次高調波１９は前記レーザ結晶８内部を透過しないので、又前記３次高調波３０は前記２次高調波用波長変換結晶９、レーザ結晶８の内部を透過しないので、偏光状態が変化することなく、前記励起光１７が直線偏光で入射されると、前記３次高調波３０は直線偏光で射出される。
【００４９】
又、前記熱拡散板１３は前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９間の接合部での発熱を張出し部分１３ａに拡散し、該張出し部分１３ａから放熱して前記光共振部３内部に蓄熱されることを防止し、温度上昇を抑制する。尚、前記熱拡散板１３は前記第２次高調波用波長変換結晶９と３次高調波用波長変換結晶２９との間に設けられてもよい。
【００５０】
図９は上記第４の実施の形態の変形を示す第５の実施の形態である。
【００５１】
該第５の実施の形態では、２次高調波用波長変換結晶９をレーザ結晶８より大きくし、前記２次高調波用波長変換結晶９の周辺部が前記レーザ結晶８から張出す様にし、又熱拡散板１３を前記２次高調波用波長変換結晶９と前記３次高調波用波長変換結晶２９との間に設け、３次高調波用波長変換結晶２９について２次高調波用波長変換結晶９と略同等の大きさとしたものである。
【００５２】
前記２次高調波用波長変換結晶９と前記３次高調波用波長変換結晶２９との接合部での発熱は熱拡散板１３を介して放熱される。又、前記２次高調波用波長変換結晶９の周辺部９ａを前記レーザ結晶８から張出すことで、前記２次高調波用波長変換結晶９が熱拡散板としての機能を持ち、前記レーザ結晶８と２次高調波用波長変換結晶９間の接合部での発熱は該２次高調波用波長変換結晶９の周辺部９ａから放熱され、前記レーザ結晶８、２次高調波用波長変換結晶９の接合部での温度上昇を抑制する。
【００５３】
尚、特に図示しないが、第４の実施の形態に於いて、更に３次高調波用波長変換結晶２９を４次高調波用波長変換結晶に変更することで、４次高調波の発振が行われ、各光学結晶のＡ，Ｂ面に所定のＡＲ膜、ＨＲ膜を形成することで、４次高調波レーザ光線の射出を行い得る。
【００５４】
又、光学結晶間に適宜Ｑswを挾設して、パルスレーザ光線を射出する光共振部３についても同様に実施可能である。
【００５５】
又、図１０、図１１は第６の実施の形態を示し、２次高調波１９を射出する固体レーザ発振装置を示している。尚、図中、図１、図２中で示したものと同等のものには同符号を付してある。
【００５６】
又レーザ結晶８のＡ面、Ｂ面にはそれぞれＡＲ膜２１、ＨＲ膜２２、ＡＲ膜２３が形成され、２次高調波用波長変換結晶９のＡ面、Ｂ面にはそれぞれＡＲ膜２４、ＨＲ膜２５、ＡＲ膜２６、ＨＲ膜２７が形成されている（図２参照）。
【００５７】
前記レーザ結晶８のＡ面、Ｂ面には放熱コーティング４２，４３が形成され、前記２次高調波用波長変換結晶９のＡ面、Ｂ面には放熱コーティング４５，４６が形成されている。前記放熱コーティング４２，４３、前記放熱コーティング４５，４６はそれぞれ図１１に示される様に、光路部分に窓４７が形成されている。又、前記放熱コーティング４２，４３、放熱コーティング４５，４６は伝熱性、放熱性に優れた金属、例えばアルミニウム、銅等の金属が蒸着されたものであり、或は熱伝導性の高いダイアモンドコーティグ等である。
【００５８】
前記レーザ結晶８と前記２次高調波用波長変換結晶９との間に熱拡散板４４が介設され、該熱拡散板４４の光路部分は光路孔４８が穿設されている。前記熱拡散板４４は伝熱性、放熱性に優れた金属、例えばアルミニウム、銅等が用いられ、前記熱拡散板４４の張出し部分４４ａにはペルチェ素子（ＴＥＣ）４９が取付けられ、更に該ペルチェ素子４９の冷却効率を上げる為に該ペルチェ素子４９にはヒートシンク５０が取付けられている。
【００５９】
励起光１７が前記レーザ結晶８に入射すると、前記励起光１７が前記レーザ結晶８により前記基本波１８に発振され、又該基本波１８が前記２次高調波用波長変換結晶９により前記２次高調波１９に変換される。前記基本波１８が前記２次高調波１９に変換されることで、前記レーザ結晶８、前記２次高調波用波長変換結晶９それぞれが発熱する。熱は前記放熱コーティング４３、放熱コーティング４５を介して前記熱拡散板４４に熱伝達し、更に前記張出し部分４４ａに拡散する。該張出し部分４４ａは前記ペルチェ素子４９により冷却され、更にペルチェ素子４９が吸収した熱は前記ヒートシンク５０により放出される。
【００６０】
而して、前記レーザ結晶８のＢ面、２次高調波用波長変換結晶９のＡ面が冷却される。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す概略図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に於ける膜成形の説明図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に於ける膜仕様の説明図である。
【図４】（Ａ）（Ｂ）は本発明の第２の実施の形態を示す説明図である。
【図５】（Ａ）（Ｂ）は本発明の第３の実施の形態を示す説明図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態を示す概略図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態に於ける膜成形の説明図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態に於ける膜仕様の説明図である。
【図９】（Ａ）（Ｂ）は本発明の第５の実施の形態を示す説明図である。
【図１０】本発明の第６の実施の形態を示す断面図である。
【図１１】同前本発明の第６の実施の形態を示す説明図である。
【図１２】従来例を示す概略図である。
【図１３】他の従来例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００６２】
１              レーザ発振装置
２              発光部
３              光共振部
７              第１の誘電体反射膜
８              レーザ結晶
９              ２次高調波用波長変換結晶
９ａ            周辺部
１１            第２の誘電体反射膜
１３            熱拡散板
１３ａ          張出し部分
１４            第１の誘電体反射膜
１７            励起光
１８            基本波
１９            ２次高調波
２０            放熱板
２９            ３次高調波用波長変換結晶
３０            ３次高調波
４４            熱拡散板
４４ａ          周辺部
５０            ヒートシンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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