(57)【要約】【課題】  圧電体層の変位を液体に伝達する場合の特性劣化を抑止することができる圧電素子及び圧電装置を提供する。【解決手段】  圧電装置１は、圧電素子２と、圧電素子２の底面に接合され、液体を収容するための液室３１を有する液体流通部３とを備えている。圧電素子２は、活性領域層５と、活性領域層５の下側に配置された変位伝達層６とからなっている。活性領域層５は、圧電体層７と、圧電体層７を挟んで対向するように配置され、圧電体層７を変位させるための複数の内部個別電極８及び内部コモン電極９とを複数層にわたって有している。活性領域層５の最下側に位置する内部電極は、内部コモン電極９である。変位伝達層６は、液室３１内の液体に圧電体７の変位を伝える層である。変位伝達層６の液体流通部３側の端面６ａには、液室３１内の液体に負電界を印加するための導電膜１２が形成されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層と、
前記圧電体層を挟んで対向するように配置され、前記圧電体層を変位動作させるための個別電極及びコモン電極と、
前記圧電体層に対して前記個別電極または前記コモン電極を介して積層され、前記圧電体層の変位を液体に伝える変位伝達層とを備え、
前記変位伝達層における前記圧電体層とは反対側の端面には、導電性を有する膜が形成されていることを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
前記導電性を有する膜は、前記コモン電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載の圧電素子。
【請求項３】
前記変位伝達層は、前記圧電体層と同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の圧電素子。
【請求項４】
圧電体層と、
前記圧電体層を挟んで対向するように配置され、前記圧電体層を変位動作させるための個別電極及びコモン電極と、
前記圧電体層に対して前記個別電極または前記コモン電極を介して積層され、前記圧電体層の変位を液体に伝える変位伝達層と、
前記変位伝達層に対して前記圧電体層の反対側に配置され、前記液体を収容するための液室を有する液体流通部とを備え、
前記変位伝達層の前記液体流通部側の端面における少なくとも前記液室に対応する部位には、導電性を有する膜が形成されていることを特徴とする圧電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電体層と電極とを備えた圧電素子及び圧電装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧電素子としては、例えば特許文献１に記載されているような圧電アクチュエータが知られている。この文献に記載の圧電アクチュエータは、複数の駆動電極を有する圧電シートと、コモン電極を有する圧電シートと、各駆動電極に対する表面電極及びコモン電極に対する表面電極を有する絶縁シートとを積層して形成されている。このような圧電アクチュエータは、液体噴出用ノズル及び圧力室を有するキャビティープレートに対して積層される。
【特許文献１】特開２００１−２６０３４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来技術においては、以下の問題点が存在する。即ち、キャビティープレート内の液体は、圧電アクチュエータにおける表面電極とは反対側の端面（変位伝達面）に直接触れることになる。このため、使用中に液体が変位伝達面から圧電アクチュエータ内に含浸し、絶縁不良等といった圧電アクチュエータの特性劣化を引き起こすことがある。
【０００４】
本発明の目的は、圧電体層の変位を液体に伝達する場合の特性劣化を抑止することができる圧電素子及び圧電装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者等は、鋭意検討を重ねた結果、液体が圧電素子内に含浸する原因の一つとして、液体が静電気等によって帯電されることで、素子内部の電極の方向へ液体が引き寄せられる、いわゆる電気浸透現象があることを見出した。そして、この液体の電気浸透現象について更に解析したところ、液体の帯電は必ずプラスになるため、液体がマイナスの電極の方向へと引き寄せられて圧電素子内に含浸することが分かった。そこで、本発明者等は、液体がプラスに帯電されることを防止すれば、液体の電気浸透現象を起こすことは無いと考え、更なる検討を行った。本発明は、そのような知見に基づいて為されたものである。
【０００６】
即ち、本発明の圧電素子は、圧電体層と、圧電体層を挟んで対向するように配置され、圧電体層を変位動作させるための個別電極及びコモン電極と、圧電体層に対して個別電極またはコモン電極を介して積層され、圧電体層の変位を液体に伝える変位伝達層とを備え、変位伝達層における圧電体層とは反対側の端面には、導電性を有する膜が形成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
このような圧電素子を用いて液体の制御を行う場合は、例えば液体を収容するための液室を有する液体流通部を、変位伝達層に対して圧電体層の反対側に配置し、液体流通部の液室に液体を満たす。その状態で、個別電極とコモン電極との間に電圧が印加されると、圧電体層における個別電極とコモン電極とに挟まれた部分（圧電活性部）に電界が発生し、当該圧電活性部が伸縮（変位）し、その変位が変位伝達層を介して液体に伝達される。このとき、変位伝達層における圧電体層とは反対側の端面に形成された導電性を有する膜に、コモン電極と同じ電圧（接地電圧）を印加することにより、導電性を有する膜に接する液体にはマイナスの電界がかかるようになる。この場合には、液体がプラスに帯電されなくなるため、帯電した液体がコモン電極へ引き寄せられて圧電素子内に含浸するという電気浸透現象の発生が防止される。これにより、圧電素子の絶縁不良等を抑止することができる。
【０００８】
好ましくは、導電性を有する膜は、コモン電極と電気的に接続されている。この場合には、導電性を有する膜にリード線等を取り付けることなく、導電性を有する膜にコモン電極と同じ電圧を印加することができる。
【０００９】
また、好ましくは、変位伝達層は、圧電体層と同じ材料で形成されている。この場合には、変位伝達層の材料を圧電体層の材料とは別に用意することなく、変位伝達層を圧電体層と同じようにして形成することができる。このため、圧電素子の製造を容易に行うことができる。
【００１０】
本発明の圧電装置は、圧電体層と、圧電体層を挟んで対向するように配置され、圧電体層を変位動作させるための個別電極及びコモン電極と、圧電体層に対して個別電極またはコモン電極を介して積層され、圧電体層の変位を液体に伝える変位伝達層と、変位伝達層に対して圧電体層の反対側に配置され、液体を収容するための液室を有する液体流通部とを備え、変位伝達層の液体流通部側の端面における少なくとも液室に対応する部位には、導電性を有する膜が形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
このような圧電装置においては、液体流通部の液室に液体が満たされた状態で、個別電極とコモン電極との間に電圧が印加されると、圧電体層における個別電極とコモン電極とに挟まれた部分（圧電活性部）に電界が発生し、当該圧電活性部が伸縮（変位）し、その変位が変位伝達層を介して液体に伝達される。このとき、変位伝達層の液体流通部側の端面に形成された導電性を有する膜に、コモン電極と同じ電圧（接地電圧）を印加することにより、導電性を有する膜に接する液体にはマイナスの電界がかかるようになる。この場合には、液体がプラスに帯電されなくなるため、帯電した液体がコモン電極へ引き寄せられて圧電体層内に含浸するという電気浸透現象の発生が防止される。これにより、圧電装置の絶縁不良等を抑止することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、圧電体層の変位を液体に伝達する場合の特性劣化を抑止することができる。これにより、変位伝達層と液体との間に別体の保護層となる隔壁等を特に設けなくても、圧電素子や圧電装置の信頼性を高めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係わる圧電素子及び圧電装置の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係わる圧電素子を備えた圧電装置の一実施形態を示す斜視図であり、図２は、その圧電装置の一部側断面図である。各図において、本実施形態の圧電装置１は、例えばマイクロポンプユニットに用いられる液体制御用の圧電装置である。
【００１５】
圧電装置１は、積層型の圧電素子２と、この圧電素子２の底面に接合された液体流通部３とを備えている。圧電素子２は直方体状の積層体４を有し、積層体４は、活性領域層５と、この活性領域層５の液体流通部３側に配置された変位伝達層６とからなっている。
【００１６】
活性領域層５は、圧電体層７と、この圧電体層７を挟んで対向するように配置され、圧電体層７を伸縮（変位）動作させるための複数の内部個別電極８及び内部コモン電極９とを複数層にわたって有している。各内部個別電極層８及び内部コモン電極９は、圧電体層７を介して交互に積層されている。活性領域層５の最も下側に位置する内部電極は、内部コモン電極９となっている。圧電体層７において、各内部個別電極８と内部コモン電極９とに挟まれた複数の部位は、各内部個別電極８と内部コモン電極９との間に電圧が印加された時に実際に伸縮する圧電活性部７ａを構成している。
【００１７】
積層体４の上面には、各層の複数の内部個別電極８とそれぞれ電気的に接続された複数の個別端子電極１０と、各層の内部コモン電極９と電気的に接続されたコモン端子電極１１とが設けられている。
【００１８】
圧電体層７は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を主成分とした圧電セラミック材料で形成されている。内部個別電極８及び内部コモン電極９は、例えばＡｇ及びＰｄで形成され、個別端子電極１０及びコモン端子電極１１は、例えばＡｇ、Ａｕ、Ｃｕのいずれかで形成されている。圧電体層７の厚みは、例えば２０〜５０μｍ程度である。内部個別電極８及び内部コモン電極９の厚みは、例えば０．２〜５．０μｍ程度である。
【００１９】
このような活性領域層５に対して下側に積層された変位伝達層６は、液体流通部３内を流通する液体に圧電体７の圧電活性部７ａの変位を伝える層であり、活性領域層５の最下側の内部コモン電極９を保護する機能を有している。変位伝達層６は、好ましくは圧電体層７と同じセラミック材料で形成されている。これにより、後述するように変位伝達層６を圧電体層７と同じ工程で作ることができるため、積層体４の製作が容易に行える。変位伝達層６の厚みは、例えば２０〜４０μｍ程度である。このとき、変位伝達層６を圧電体層７よりも薄くすると、圧電体層７の変位が伝わりやすくなり効果的である。
【００２０】
変位伝達層６は、活性領域層５と異なり、分極処理（後述）がなされていない層である。素子に対して分極処理を施すと、素子が歪んで粒界に隙間が形成されることがあるが、変位伝達層６を未分極層とすることで、そのような隙間が変位伝達層６に形成されることは無いため、変位伝達層６は液体が染み込みにくい構造となる。また、変位伝達層６の液体流通部３側の端面（変位伝達面）６ａは、焼成（後述）後に、研磨等の機械的表面加工が施されていない状態の焼成面（自然面）であるのが望ましい。この場合には、機械的表面加工に起因した微細欠陥が変位伝達面６ａに存在することは無いため、上記と同様に変位伝達層６に液体が浸透しにくくなる。
【００２１】
変位伝達層６の変位伝達面６ａには、液体流通部３内を流通する液体に負の電界を印加するための導電性を有する膜（以下、単に導電膜という）１２が形成されている。導電膜１２は、変位伝達層６の変位伝達面６ａの略全体を覆っている（図８参照）。導電膜１２は、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の金属や、導電性を有する高分子有機物（カーボン分散有機物等）で形成されている。導電膜１２の厚みは、液体の浸透防止と活性領域層５の変位を阻害しないという観点から、例えば０．１〜２．０μｍ程度であるのが望ましい。
【００２２】
圧電素子２は、具体的には、図３に示すように、複数種類（ここでは５種類）のシート状の電極付きセラミック層１３〜１７を所定の枚数（ここでは１０枚）だけ積み重ねた構造を有している。圧電素子２における各層の内部個別電極８は、長方形状の圧電体層７の上面に２次元的に配列されている。このとき、圧電体層７の短手方向に隣り合う内部個別電極８同士は、圧電体層７の長手方向にずれるように配列されている。これにより、圧電素子２の小型化及び高集積化に対処すべく、多数の内部個別電極８を高密度に配置した場合でも、圧電体層７の各圧電活性部７ａの面積を確保することができる。
【００２３】
電極付きセラミック層１３は、図４に示すように、圧電体層７の上面に、上記の内部個別電極８に相当する複数の個別電極パターン１８とコモン電極中継パターン１９とを有している。コモン電極中継パターン１９は、圧電体層７の上面の一端部に形成されている。また、電極付きセラミック層１３には、各内部個別電極８と電気的に接続された複数のスルーホール２０と、コモン電極中継パターン１９と電気的に接続されたスルーホール２１とが設けられている。スルーホール２０，２１内には、例えばＡｇ及びＰｄからなる導電材料が充填されている。
【００２４】
電極付きセラミック層１４は、図５に示すように、上記の電極付きセラミック層１３と同様に、圧電体層７の上面に、複数の個別電極パターン１８とコモン電極中継パターン１９とを有している。電極付きセラミック層１４には、電極付きセラミック層１３と同じスルーホール２１が設けられているが、スルーホール２０は設けられていない。
【００２５】
電極付きセラミック層１５は、図６に示すように、圧電体層７の上面に、上記の内部コモン電極９に相当するコモン電極パターン２２と複数の個別電極中継パターン２３とを有している。コモン電極パターン２２は、各個別電極パターン１８に対応する位置に形成された複数の電極パターン部２２ａと、コモン電極中継パターン１９に対応する位置に形成された電極パターン部２２ｂとを含んでいる。個別電極中継パターン２３は、個別電極パターン１８に対応する位置において電極パターン部２２ａと隣接するように形成されている。また、電極付きセラミック層１５には、各個別電極中継パターン２３と電気的に接続された複数のスルーホール２４と、コモン電極パターン２２と電気的に接続されたスルーホール２５とが設けられている。スルーホール２４，２５内には、導電材料が充填されている。
【００２６】
電極付きセラミック層１６は、図７に示すように、変位伝達層６の上面に、上記の内部コモン電極９に相当するコモン電極パターン２６を有している。コモン電極パターン２６は、上記の電極付きセラミック層１５と同じ電極パターン部２２ａ，２２ｂに加え、接続用電極パターン部２６ａを含んでいる。接続用電極パターン部２６ａは、変位伝達層６の上面における電極パターン部２２ｂと同じ側の角部に形成されている。なお、接続用電極パターン部２６ａの形成位置としては、変位伝達層６の上面における電極パターン部２２ｂの反対側であっても良い。また、電極付きセラミック層１６には、コモン電極パターン２６と電気的に接続されたスルーホール２７が形成されている。スルーホール２７は、変位伝達層６における接続用電極パターン部２６ａに対応する領域内に形成されている。スルーホール２７内には、導電材料が充填されている。
【００２７】
電極付きセラミック層１６の下面には、図８に示すように、上記の導電膜１２が変位伝達層６の略全面を覆うように形成されている。導電膜１２は、スルーホール２７を介してコモン電極パターン２６と電気的に接続されている。
【００２８】
電極付きセラミック層１７は、図９に示すように、圧電体層７の上面に、上記の複数の個別端子電極１０とコモン端子電極１１とを有している。個別端子電極１０は、上記の電極付きセラミック層１５の個別電極中継パターン２３に対応する位置に形成されている。コモン端子電極１１は、上記の電極付きセラミック層１３のコモン電極中継パターン１９に対応する位置に形成されている。また、電極付きセラミック層１７には、各個別端子電極１０と電気的に接続された複数のスルーホール２８と、コモン端子電極１１と電気的に接続されたスルーホール２９とが設けられている。スルーホール２８，２９内には、導電材料が充填されている。
【００２９】
なお、電極付きセラミック層１５のコモン電極パターン２２としては、図６に示すように複数の電極パターン部２２ａと電極パターン部２２ｂとに分離せずに、ベタ状構造としても良い。電極付きセラミック層１６のコモン電極パターン２６についても同様である。
【００３０】
圧電素子２は、図３に示すように、上から順にセラミック層１７、セラミック層１５、セラミック層１３、セラミック層１５…セラミック層１３、セラミック層１５、セラミック層１４及びセラミック層１６を重ねた構造をなしている。そして、個別端子電極１０は、セラミック層１７のスルーホール２８、セラミック層１５の個別電極中継パターン２３及びスルーホール２４、セラミック層１３の個別電極パターン１８及びスルーホール２０を介して、下から２層目のセラミック層１４の個別電極パターン１８と電気的に接続されている。また、コモン端子電極パターン１１は、セラミック層１７のスルーホール２９、セラミック層１５のコモン電極パターン２２及びスルーホール２５、セラミック層１３のコモン電極中継パターン１９及びスルーホール２１、セラミック層１４のコモン電極中継パターン１９及びスルーホール２１を介して、最下層のセラミック層１６のコモン電極パターン２６と電気的に接続されている。
【００３１】
図１及び図２に戻り、各個別端子電極１０及びコモン端子電極１１には、電圧印加用のリード線３０が半田等により接合されている。このリード線３０は、例えばフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）で構成されている。
【００３２】
このような圧電素子２の裏面側つまり変位伝達面６ａ側に位置する液体流通部３は、圧電体層７の変位が伝達される液体を収容するための複数の液室３１を有している。各液室３１は、各内部個別電極１０に対応する位置に形成されている。液体流通部３の一端側には、各液室３１に液体を導入するための液体流入口３２が設けられている。また、液体流通部３の底部には、圧電体層７の変位が液体に伝わった時に液室３１から液体を流出させる複数の液体流出口３３が設けられている。液体流通部３は、ニッケル合金鋼やクロム合金鋼等の金属系材料、樹脂、セラミック等で形成されている。
【００３３】
次に、上述した圧電装置１を製造する手順について説明する。まず、圧電素子２を以下のように作製する。
【００３４】
即ち、例えばＰＺＴを主成分とした圧電セラミックを用意し、これに有機バインダ・有機溶剤等を混合したペーストを作製する。そして、ＰＥＴフィルムをキャリアフィルムとしてペーストをシート成形することで、上記の圧電体層７及び変位伝達層６となるセラミックグリーンシートを形成する。
【００３５】
続いて、例えばＹＡＧの３次高調波レーザ光をグリーンシートの所定位置に対して照射して穴開けを行うことで、グリーンシートにスルーホールを形成する。このとき、スルーホールを、後述する焼成後に穴径が例えば４０〜５０μｍとなるように加工する。そして、例えばＡｇ：Ｐｄ＝７：３の比率で構成された導電材料と有機バインダ・有機溶剤等とを混合した導電ペーストを作製し、例えばスクリーン印刷法によりスルーホール内に導電ペーストを充填する。
【００３６】
続いて、例えば同様の導電ペーストを用いて、例えばスクリーン印刷法によりグリーンシートの一面に内部電極パターンを形成する。続いて、内部電極パターンが印刷されたグリーンシートを所定の枚数だけ所定の順序で積層する。そして、そのグリーン積層体に対し、例えば６０℃程度の熱を加えながら１００ＭＰａ程度の圧力でプレス加工を行い、各層のグリーンシートを圧着させる。その後、グリーン積層体を所定の寸法に切断する。
【００３７】
続いて、グリーン積層体をセッターに載せ、グリーン積層体の脱脂（脱バインダ）を例えば４００℃前後の温度で１０時間程度行う。その後、グリーン積層体が載置されたセッターを密閉匣鉢内に入れ、グリーン積層体の焼成を例えば１１００℃程度の温度で２時間程度行い、焼結体として上記の積層体４を得る。
【００３８】
続いて、焼成後の積層体４の上面に、例えばＡｇからなる個別端子電極１０及びコモン端子電極１１を形成する。端子電極１０，１１の形成手法としては、焼付、スパッタリング、無電解メッキ法などが用いられる。続いて、積層体４の下面（変位伝達面）６ａに、例えばＡｕからなる導電膜１２を形成する。導電膜１２の形成手法としては、スパッタリング、焼付、蒸着、無電解メッキ法などが用いられる。
【００３９】
続いて、はんだ等により各端子電極１０，１１にリード線３０を接続する。そして、例えば温度１２０℃の環境下で、圧電体層７の厚みに対する電界強度が３ｋＶ／ｍｍとなるように所定の電圧を例えば３分間印加することにより、分極処理を行う。これにより、圧電セラミックアクチュエータとしての圧電素子２が完成する。
【００４０】
その後、別に作製した液体流通部３を接着剤により圧電素子２の底面（変位伝達面）６ａに貼り付けることにより、圧電装置１が得られる。
【００４１】
以上のような圧電装置１において、液体流通部３の各液室３１には予め液体が入っており、液体が圧電素子２の底面６ａに接触している。その状態で、コモン端子電極１１がＧＮＤ電位となるように何れかの個別端子電極１０とコモン端子電極１１との間にリード線３０を介して所定の電圧を印加すると、選択された個別端子電極１０に対応する内部個別電極８と内部コモン電極９との間に電圧が印加されることとなる。これにより、各層の圧電体層７における当該内部個別電極８と内部コモン電極９との間の部位（圧電活性部７ａ）に電界が生じ、この圧電活性部７ａが積層体４の積層方向に変位するようになる。そして、その圧電活性部７ａの変位が、変位伝達層６を介して対応する液室３１内の液体に伝えられる。これにより、当該液室３１の容積が減少し、その容積減少分に相当する量の液体が液体流出口３３から吐出される。
【００４２】
このとき、圧電素子２の底面６ａに設けられた導電膜１２は、スルーホール２７を介して内部コモン電極９と電気的に接続されているので、導電膜１２には、内部コモン電極９と同じＧＮＤ電圧が印加されることになる。このため、導電膜１２には負の電界がかかり、これに伴って導電膜１２に接触している液体にも負の電界がかかるようになる。これにより、液室３１内の液体が静電気等により正に帯電することが防止されるため、帯電した液体が電気浸透現象により内部コモン電極９に引き寄せられて圧電素子２内に浸透することが防止される。従って、液体の浸透による圧電素子２の絶縁抵抗の低下が抑えられるため、圧電素子２の特性劣化を引き起こすことを抑止できる。その結果、圧電素子２の信頼性を向上させることが可能となる。
【００４３】
したがって、圧電素子２の絶縁不良等を避けるために、圧電素子２と液体流通部３との間に所定の厚さをもった隔壁を設ける必要が無くなる。このため、液体に対する圧電体層７の変位伝達が隔壁によって阻害されることは無いため、隔壁による伝達変位量のロス分を補うべく積層体４の層数を必要以上に増大させなくて済む。これにより、圧電素子２ひいては圧電装置１の小型化が図れると共に、これらの製造コストの上昇を抑えることができる。
【００４４】
なお、本発明に係わる圧電素子及び圧電装置は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態の圧電素子２では、導電膜１２と内部コモン電極９とを電気的につなぐためのスルーホール２７を変位伝達層６に設けたが、図１０に示すように、そのようなスルーホール２７は必ずしも設けなくても良い。この場合には、導電膜１２にリード線等を設け、内部コモン電極９及び導電膜１２に同じ電圧を印加すれば良い。
【００４５】
また、上記実施形態では、変位伝達層６の変位伝達面６ａの略全面に導電膜１２を形成したが、導電膜１２は、変位伝達面６ａにおける少なくとも液体流通部３の液室３１に対応する部位に形成すれば良い。
【００４６】
また、上記実施形態では、圧電体層７を複数積層した構造としたが、特に大きな変位量を必要としないのであれば、圧電体層７は単層であっても良い。また、各層の内部個別電極８の数や配列構成等については、特に上記実施形態のものには限られない。また、活性領域層５の最も下側に位置する内部電極としては、上記実施形態のような内部コモン電極９に限られず、内部個別電極８としても良い。
【００４７】
さらに、上記実施形態では、変位伝達層６を圧電体層７と同じセラミック材料で形成したが、変位伝達層６を圧電体層７と異なるセラミック材料または樹脂等で形成しても構わない。
【００４８】
また、各層の内部個別電極８同士及び各層の内部コモン電極９同士の電気的接続手段としては、上記実施形態のようなスルーホールに限られず、例えば積層体４の側面に形成された外部電極としても良い。
【実施例】
【００４９】
（１）実施例
まず、本発明に係わる圧電素子を３０個用意し、これらに液体流通部を貼り合わせて圧電装置を形成した。そして、各圧電素子にリード線を取り付けて、端子電極に電圧を印加できる状態にした。続いて、圧電装置の液体流通部内に液体を充填し封印した。液体としては、純水を主成分とし、グリセリンとノンイオン系の界面活性剤を混合したものを用いた。続いて、圧電体層の厚み当たり１ｋＶ／ｍｍのＤＣ電圧を全ての個別端子電極に同時に印加した。そして、圧電装置に対して定期的に静電気を印加した。
【００５０】
こうして圧電装置を５００時間連続的に駆動し、圧電素子の駆動前と駆動後の状態を確認した。具体的には、圧電装置の駆動開始から５００時間経過後に、液体流通部から液体を排出し、圧電素子の絶縁抵抗を調べたところ、絶縁抵抗値が低下している圧電素子は無かった。
【００５１】
（２）比較例
比較例の圧電素子として、底面（変位伝達面）に導電膜が形成されていないものを３０個用意し、圧電装置を形成した。そして、上記の実施例と同じようにして、圧電装置を５００時間連続的に駆動した。その結果、１７個の圧電素子に２〜３桁の絶縁抵抗値の低下が見られた。これによって、本発明の効果が得られたものと判断した。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係わる圧電素子を備えた圧電装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示した圧電装置の一部側断面図である。
【図３】図２に示した圧電素子の分解斜視図である。
【図４】図３に示した電極付きセラミック層の一つを示す平面図である。
【図５】図３に示した電極付きセラミック層の他の一つを示す平面図である。
【図６】図３に示した電極付きセラミック層の更に他の一つを示す平面図である。
【図７】図３に示した電極付きセラミック層の更に他の一つを示す平面図である。
【図８】図７に示した電極付きセラミック層の底面図である。
【図９】図３に示した電極付きセラミック層の更に他の一つを示す平面図である。
【図１０】図７に示した電極付きセラミック層の変形例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…圧電装置、２…圧電素子、３…液体流通部、６…変位伝達層、６ａ…変位伝達面（端面）、７…圧電体層、８…内部個別電極、９…内部コモン電極、１２…導電膜（導電性を有する膜）、２７…スルーホール、３１…液室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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