(57)【要約】【課題】基板との格子不整合を補償出来かつ紫外線放射の吸収を減少するような改良された特性を現わす、結晶ＧａＮベース材料を成長する方法を提供すること。【解決手段】結晶ＧａＮベース材料を形成する方法において、第１の核生成層が、第１の温度で基板上に形成され、それに続いて、第１の温度とは異なる第２の温度で第２の核生成層を形成する。第１と第２の核生成層は、ＡｌxＩｎyＧａ(1-x-y)Ｎよりなる。引き続いて、結晶ＧａＮベース化合物の層が、第２の核生成層上にエピタキシ成長される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＧａＮベース層を形成する方法であって、
第１の処理温度で基板上に第１の核生成層を形成することと、
第１の処理温度よりも低い第２の処理温度で第１の核生成層上に第２の核生成層を形成することと、
第２の核生成層上にエピタキシャルＧａＮベース層を形成することと、を有する方法。
【請求項２】
第１又は第２の核生成層の少なくとも一方は、ＡｌxＩｎyＧａ(1-x-y)Ｎを含み、ｘ、ｙ、及び（１−ｘ−ｙ）は、０乃至１の範囲内である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
第１の処理温度は、約１０００℃と１２００℃の間である、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
第１の核生成層は、約１０Åと１００Åの間の厚みで形成される、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
第２の処理温度は、約４００℃と１０００℃の間である、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
第２の核生成層は、約３００Åと２０００Åの間の厚みに形成される、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
第１の核生成層及び第２の核生成層を形成することは、気相エピタキシ成長プロセスを実行すること含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
ＧａＮベース層を形成する方法であって、
基板に複数の核生成層を形成することであって、核生成層は、異なる温度で形成される少なくとも二つの核生成層を含み、
核生成層の頂部にエピタキシャルＧａＮベース層を形成することを含む、方法。
【請求項９】
核生成層は、ＡｌxＩｎyＧａ(1-x-y)Ｎよりなる少なくとも一つの核生成層を含み、ｘ、ｙ、及び（１−ｘ−ｙ）は、０乃至１の範囲内である、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
一つ又はそれより多くの核生成層が、気相エピタキシ蒸着によって形成される、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
複数の核生成層を形成することは、約１０００℃と１２００℃の間の温度で第１の核生成層を形成することを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
第１の核生成層は、約１０Åと１００Åの間の厚みを有する、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
基板に複数の核生成層を形成することは、約４００℃と１０００℃の間の温度で第２の核生成層を形成することを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１４】
第２の核生成層は、約３００Åと２０００Åの間の厚みを有する、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
ＧａＮベースの半導体デバイスであって、
基板と、
結晶ＧａＮベース層と、
基板とＧａＮベース層との間に介在される少なくとも二つの核生成層と、を備えるＧａＮベースの半導体デバイス。
【請求項１６】
基板は、サファイア基板を含む、請求項１５に記載のＧａＮベースの半導体デバイス。
【請求項１７】
核生成層の少なくとも一つは、ＡｌxＩｎyＧａ(1-x-y)Ｎを含み、ｘ、ｙ、及び（１−ｘ−ｙ）は、０乃至１の範囲内である、請求項１５に記載のＧａＮベースの半導体デバイス。
【請求項１８】
前記少なくとも二つの核生成層は、異なる温度で形成される、請求項１５に記載のＧａＮベースの半導体デバイス。
【請求項１９】
前記少なくとも二つの核生成層は、約１０００℃と１２００℃の間の温度で形成される第１の核生成層を含む、請求項１８に記載のＧａＮベースの半導体デバイス。
【請求項２０】
前記少なくとも二つの核生成層は、約４００℃と１０００℃の間の温度で形成される第２の核生成層を含む、請求項１８に記載のＧａＮベースの半導体デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に、結晶窒化ガリウム（ＧａＮ）ベース半導体デバイスの製造に関し、より具体的には、結晶ＧａＮベース化合物を形成する方法及び同ＧａＮベース化合物を含む半導体デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＧａＮ半導体化合物ベースの発光デバイスやトランジスタデバイスのような電子デバイスは、電子工業の分野で集中的な研究及び開発を受けている。ＧａＮベーストランジスタデバイスに対して、ＧａＮベース半導体化合物の有利な特徴は、高電子移動度及び飽和速度（約２．５×１０7ｃｍ／ｓ）、並びに高破壊電界（約５×１０6Ｖ／ｃｍ）を含み、これらは、特に高電力及び高温用途においてＧａＮトランジスタデバイスを有利にする。
【０００３】
発光デバイスにおいて、多層構造は、通常、ＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＧａＩｎＮ等のＧａＮベース化合物に基づく材料から形成される。形成された多層構造は、ｎタイプクラッド層とｐタイプクラッド層とに挟まれた発光層を含む。
【０００４】
それが、トランジスタでの実施であろうと発光デバイスでの実施であろうと、ＧａＮベース化合物は、通常、基板上にエピタキシャル層の形態で蒸着される。この蒸着プロセスでは、エピタキシャルＧａＮベース層の結晶品質は、半導体デバイスの性能に対する決定的ファクタである。これに関して、多くのアプローチが、現在、従来の技術で知られている。
【０００５】
従来、気相エピタキシ成長方法が、基板上にＧａＮベース層を形成するために実施されている。しかしながら、従来使用されている基板材料は、ＧａＮベース層の結晶構造と整合しない格子構造を有するか、或いは高密度の転位を有する。この問題を解決するために、従来の公知技術は、サファイア等よりなる基板上に９００℃以下の低温でＡｌＮやＡｌＧａＮからなるバッファ層を蒸着し、次にこのバッファ層上にＧａＮベース層が成長することよりなる。この技術は、例えば、特開昭６３−１８８９３８号に記述されており、この公報の開示内容は、参照によってここに組み込まれる。介在バッファ層は、基板とＧａＮベース化合物との間の格子不整合に起因する転位を減少するのに寄与出来、それによって、ＧａＮベース化合物の結晶化度と形態を改良する。
【０００６】
従来公知の他の技術は、基板上の第１のＧａＮベース層及び酸化ケイ素や窒化ケイ素のような保護フィルムを退行して選択的にＧａＮベース層の領域を被覆する。次に、第２のＧａＮベース層が、保護フィルムによって被覆されていない領域の第１のＧａＮベース層上に成長させる。保護フィルムは、基板のインターフェースに垂直な方向へのスルー転位の伝播を防止する。この技術は、例えば、特開平１０−３１２９７１号に記述されており、この公報の開示内容は、参照によってここに組み込まれる。
【０００７】
前述の技術は、幾つかの態様において満足な結果を提供出来ない。特に、ＧａＮベース層と基板との間に形成されたバッファ層は、発光デバイスの実施において紫外線波長を過剰に吸収する可能性がある。更に、窒化ケイ素や酸化ケイ素の介在は、半導体デバイスの電気的特性に影響を及ぼす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、基板との格子不整合を補償出来かつ紫外線放射の吸収を減少するような改良された特性を現わす、結晶ＧａＮベース材料を成長する方法が、現在、必要である。
【０００９】
本出願は、結晶ＧａＮベース化合物を形成する方法及びＧａＮベース化合物を含む半導体デバイスを記述する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
一実施の形態において、結晶ＧａＮベース化合物を形成する方法は、第１の処理温度で基板上に第１の核生成層を形成することと、第１の処理温度とは異なる第２の処理温度で第１の核生成層上に第２の核生成層を形成することと、第２の核生成層上にエピタキシャルＧａＮベース層を形成することと、を備える。
【００１１】
一実施の形態において、第１の処理温度は、約１０００℃と１２００℃との間である。他の実施の形態において、第２の処理温度は、約４００℃と１０００℃との間である。幾つかの実施の形態において、第１の核生成層は、約１０Åと１００Åの間の厚みで形成される。他の実施の形態において、第２の核生成層は、約３００Åと２０００Åの間の厚みで形成される。
【００１２】
一実施の形態において、ＧａＮベース半導体デバイスは、基板と、基板上に形成された結晶ＧａＮベース層と、基板と結晶ＧａＮベース層との間に介在される少なくとも二つの核生成層と、を備える。幾つかの実施の形態において、二つの核生成層は、異なる温度で形成される。幾つかの他の変更例では、二つの核生成層の一方は、約３００Åと２０００Åの間の厚みを有し、他方の核生成層は、約１０Åと１００Åの間の厚みを有する。幾つかの変更実施の形態では、二つの核生成層の少なくとも一方は、ＡｌxＩｎyＧａ(1-x-y)Ｎを含み、ｘ、ｙ、及び（１−ｘ−ｙ）は、０乃至１の範囲内である。
【００１３】
前述は、概要であり、特許請求の範囲を制限するように解釈されるべきではない。ここで開示される動作及び構造は、多くの方法で実施されることが出来、且つこのような変更や修正は、本発明から逸脱することなく且つより広い態様で行われ得る。本発明の他の態様、発明の特徴、及び利点は、請求項によって単独で定義されるように、以下で述べられる、非制限的詳細な説明において述べられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この出願は、少なくとも３つの蒸着ステップを含む、結晶ＧａＮベース化合物の成長プロセスを記述する。第１の核生成層が第１の温度でベースとなる基板上に形成され、それに、第１の温度とは異なる第２の温度での第２の核生成層の形成が続く。第１と第２の核生成層は、化学式ＡｌxＩｎyＧａ(1-x-y)Ｎで表される化合物を含む。引き続いて、結晶ＧａＮベース化合物の層は、第２の核生成層上にエピタキシ成長される。
【００１５】
“ＧａＮベース化合物や層”は、ＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＩｎＧａＮ、及びＮ元素を有するＡｌ、Ｉｎ、及びＧａとの任意の組合せを含むことを意味する。第１と第２の核生成層及びＧａＮベース化合物を形成するための適切な方法は、金属−有機物気相エピタキシ（ＭＯＶＰＥ）成長蒸着、分子ビームエピタキシ（ＭＢＥ）成長蒸着、水素化物気相エピタキシ（ＨＶＰＥ）成長蒸着等の種々の気相成長プロセスを含む。
【００１６】
図１は、本発明の実施の形態に従う結晶ＧａＮベース化合物を形成する方法で実施されるＭＯＶＰＥ反応器の概略図である。反応器１００は、反応室１０２を含み、その中で、基板１０４は、蒸着プロセスを受けるために、サセプタ１０６上に配される。加熱デバイス１０８は、基板１０４を加熱するためにサセプタ１０６に取り付けられる。ガス状化学物質が、容器１１２に夫々接続する入口チューブ１１０を介して反応室１０２に導入される。機械ポンプ１１４は、反応室１０２から出口チューブ１１６を介してガスを排出するために動作可能である。更に、制御及び調節機構１１８が、機械ポンプ１１４に接続しており反応室１０２内の圧力を調節する。
【００１７】
図２Ａ乃至２Ｄは、本発明の実施の形態に従う結晶ＧａＮベース化合物を形成するプロセスの概略図である。一実施の形態において、結晶ＧａＮベース化合物は、サファイアベース基板上に形成されるＧａＮ層であるが、当業者には、ＧａＮ層は、シリコン基板、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）基板等の異なる材料から造られるベース基板上に又は先に形成された異なる材料の層を含む基板上に形成されてもよいことが、容易に理解される。
【００１８】
図２Ａは、本発明の実施の形態に従う基板に適用される初期熱洗浄プロセスを示す概略図である。主面のようなＣ面を有するサファイア基板２０２は、最初に熱洗浄プロセスを受ける。一実施の形態に従って、熱洗浄プロセスは、基板２０２を１０００℃よりも上の温度に加熱し、約１０００ミリバールに保たれる加圧環境に約５ｓｌｍ（標準リットル／分）でＨ2及び／又はＮ2を導入することを含む。
【００１９】
図２Ｂは、本発明の実施の形態に従う基板２０２上でのＡｌxＩｎyＧａ(1-x-y)Ｎよりなる第１の核生成層２０４のＭＯＶＰＥ成長を示す概略図であり、ここでｘ、ｙ、及び（１−ｘ−ｙ）は、０乃至１の範囲内である。この実施の形態は、例示として、ＡｌＧａＮ、（即ち、ｘ＝１及びｙ＝０である）よりなる核生成層２０４を実行する。しかしながら、当業者は、核生成層の組成が、ｘとｙの値を介して適切に調節され得ることを理解している。洗浄された基板２０２は、約１０００℃と１２００℃との間の温度にされる。次に、アンモニアガス（ＮＨ3）が、約５０００ｓｃｃｍの流量で送られると共に、トリメチルガリウム（ＴＭＧａ）とトリメチルアルミニウム（ＴＭＡｌ）が、約１１０ミリバールの圧力に保たれた反応室に約２．５ｓｃｃｍ及び７．５ｓｃｃｍの夫々の流量で導入される。それによって、ＡｌＧａＮから形成される第１の核生成層２０４がサファイア基板２０２上で成長する。第１の核生成層２０４は、約１０Åと１００Åの間の厚みで形成される。当業者は、ＧａとＡｌの適切なソースは、ＴＭＧａ及びＴＭＡｌ以外の、トリエチルガリウム（ＴＥＧａ）及びトリエチルアルミニウム（ＴＥＡｌ）等のアルキル金属化合物を含むことができることを容易に理解する。
【００２０】
図２Ｃは、本発明の実施の形態に従う第１の核生成層２０４上でのＡｌxＩｎyＧａ(1-x-y)Ｎよりなる第２の核生成層２０６のＭＯＶＰＥ成長を示す概略図である。この実施の形態において、第２の核生成層２０６もまた、ＡｌＧａＮであってもよい。ＮＨ3の供給が５０００ｓｃｃｍに維持されながら、基板２０２の温度が、約４００℃と１０００℃との間に設定される。それによって、ＴＭＧａとＴＭＡｌが、約２００ミリバールの圧力に維持された反応室に約０．５ｓｃｃｍと３７．５ｓｃｃｍの夫々の流量で送られる。次に、ＡｌＧａＮで造られる第２の核生成層２０６が、第１の核生成層２０４上で成長する。第２の核生成層２０６は、約３００Åと２０００Åとの間の厚みで形成され、Ａｌ化合物の範囲は、約０と１との間である。
【００２１】
図２Ｄは、本発明の実施の形態に従う第２の核生成層２０６上への結晶ＧａＮベース化合物層２０８のエピタキシ成長を示す概略図である。ＧａＮベース化合物層２０８は、Ｎ元素を有するＡｌ、Ｉｎ及びＧａとの任意の組合せよりなることが出来、このエピタキシ成長条件は、形成されるべきデバイスの特定の特徴条件に依存する。
【００２２】
発光デバイスやＧａＮトランジスタの実施において、ＧａＮベース層２０８は、例示として、基板上に成長させたドープＧａＮ層であってもよい。発光デバイスにおいて、ＧａＮ層は、第１のクラッド層として構成されることが出来、この層の上に、多量子構造層と第２のクラッド層が夫々スタックされる。ＧａＮトランジスタの実施において、ＧａＮ層は、活性領域として構成されることが出来、そこでは、電子と正孔のチャネリングがトランジスタ半導体デバイスの動作で発生する。
【００２３】
異なる温度で形成される核生成層は、経済的コストで成長されられることが出来、基板とエピタキシャルＧａＮベース化合物との間の格子不整合に起因する転位を減少するのに有利である。更に、発光デバイスの実施における観察では、成長プロセスが、紫外線波長の不都合な吸収を防止でき、それが、発光デバイスの光の輝度を増加するのに有利である層構造を形成することを示している。格子不整合と紫外線吸収の減少は、核生成層の組成を介して有利に調節されることが出来る（すなわち、値ｘとｙを調節すること）。
【００２４】
従って、本発明に従った実現が、特定の実施の形態を通して記述された。これらの実施の形態は、例示であり、制限しないことを意味している。多くの、バリエーション、修正、追加、及び改良が可能である。従って、単一の例としてここに記述されたコンポーネントに対して、複数の例が提供され得る。例示の構成で離散的コンポーネントとして提示された構造と機能性は、組合せ構造やコンポーネントとして実施されてもよい。これら及び他のバリエーション、修正、追加、及び改良は、続く請求項に定義された発明の範囲内に入り得る。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態に従う基板上に結晶ＧａＮベース化合物を形成する方法で実施されるＭＯＶＰＥ反応器の概略図である。
【図２Ａ】本発明の実施の形態に従う基板に適用される初期熱洗浄プロセスを概略的に示す図である。
【図２Ｂ】本発明の実施の形態に従う基板上への第１の核生成層の形成を例示する概略図である。
【図２Ｃ】本発明の実施の形態に従う第１の核生成層上への第２の核生成層の形成を例示する概略図である。
【図２Ｄ】本発明の実施の形態に従う第２の核生成層上へのＧａＮベース層の形成を例示する概略図である。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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