(57)【要約】【課題】  デフォーカスにともなう光ピックアップの非点隔差を正確に判定できる光ピックアップ検査装置及び光ピックアップの検査方法を提供する。【解決手段】  光ピックアップから射出される光のスポット特性を検査する光ピックアップ検査装置であって、光Ｓが集光されるとともに光軸に垂直な集光面を有する集光部と、集光面に集光された光Ｓのスポット径Ｄｘ、Ｄｙを直交する２軸方向Ｘ、Ｙについてそれぞれ求める測定手段と、光軸方向にデフォーカスさせる移動手段と、を備える。そして、移動手段によって複数箇所デフォーカスさせたときの測定手段の測定結果Ｄｘ、Ｄｙに基いてスポット特性を検査する。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ピックアップから射出される光のスポット特性を検査する光ピックアップ検査装置であって、
前記光が集光されるとともに光軸に垂直な集光面を有する集光部と、
前記集光面に集光された前記光のスポット径を直交する２軸方向についてそれぞれ求める測定手段と、
光軸方向にデフォーカスさせる移動手段と、を備え、
前記移動手段によって複数箇所デフォーカスさせたときの前記測定手段の測定結果に基いてスポット特性を検査することを特徴とする光ピックアップ検査装置。
【請求項２】
前記移動手段によって複数箇所デフォーカスさせたときの前記測定手段の測定結果に基いて前記光のスポット径とデフォーカス量との関係を求めて前記光の非点隔差を検査することを特徴とする請求項１に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項３】
前記測定手段の測定結果は、前記移動手段によって５箇所以上デフォーカスさせた前記集光面におけるものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項４】
前記測定手段の測定結果は、フォーカスの中立位置における測定結果を含むことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項５】
前記中立位置は、前記光ピックアップから射出された光を前記集光面上で反射させてその反射光をフォーカスエラー信号に変換して求めたものであることを特徴とする請求項４に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項６】
前記測定手段の測定結果において前記スポット径が最小となるデフォーカス量を前記２軸方向についてそれぞれ求めて、それらのデフォーカス量の差から光ピックアップの良否を判別することを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項７】
前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させたことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項８】
タンジェンシャル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別することを特徴とする請求項７に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項９】
ラジアル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別することを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１０】
前記測定手段の測定結果は、前記光ピックアップの発光パワーを複数段階変化させたものであることを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれかに記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１１】
前記発光パワーをリード時のものとライト時のものとに変化させたことを特徴とする請求項１０に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１２】
前記直交する２軸方向を前記集光面上で相対的に回転させる回転手段を備え、
前記測定手段による測定結果は、前記回転手段によって回転させたときのものを含むことを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれかに記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１３】
前記回転手段は、前記光ピックアップが載置されるステージを回転させる手段であることを特徴とする請求項１２に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１４】
前記移動手段は、前記集光部を光軸方向に移動させる手段であることを特徴とする請求項１〜請求項１３のいずれかに記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１５】
前記測定手段は、前記集光面に集光された前記光を撮像する撮像手段と、該撮像手段における光点分布を可視化・数値化して演算する演算手段と、を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項１４のいずれかに記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１６】
前記演算手段は、多次の近似曲線を用いてスポット径とデフォーカス量との関係を演算する手段であることを特徴とする請求項１５に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１７】
前記移動手段によって複数箇所デフォーカスさせたときの前記測定手段の測定結果に基いてデフォーカス量に対するスポット径の変動量を求めて、当該変動量に基いて光ピックアップの良否を判別することを特徴とする請求項１〜請求項１６のいずれかに記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１８】
前記光ピックアップから射出される前記光は、１つのメインビームと２つのサブビームとであることを特徴とする請求項１〜請求項１７のいずれかに記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項１９】
前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させ、
前記２つのサブビームについてラジアル方向におけるスポット径が最小となるそれぞれのデフォーカス量を求めて、当該デフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別することを特徴とする請求項１８に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項２０】
前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させ、
前記メインビームについてタンジェンシャル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量を求めて、当該デフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別することを特徴とする請求項１８又は請求項１９に記載の光ピックアップ検査装置。
【請求項２１】
光ピックアップから射出される光のスポット特性を検査する光ピックアップの検査方法であって、
光軸に垂直な集光面に前記光を集光する集光工程と、
前記集光面に集光された前記光のスポット径を直交する２軸方向についてそれぞれ求める測定工程と、
光軸方向にデフォーカスさせる移動工程と、
前記移動工程によって複数箇所デフォーカスさせたときの前記測定工程の測定結果に基いてスポット特性を検査する検査工程と、
を備えたことを特徴とする光ピックアップの検査方法。
【請求項２２】
前記検査工程は、前記光のスポット径とデフォーカス量との関係を求めて前記光の非点隔差を検査する工程であることを特徴とする請求項２１に記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項２３】
前記測定工程は、前記移動手段によって５箇所以上デフォーカスさせた前記集光面においておこなわれることを特徴とする請求項２１又は請求項２２に記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項２４】
前記測定工程は、フォーカスの中立位置における測定工程を含むことを特徴とする請求項２１〜請求項２３のいずれかに記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項２５】
前記中立位置は、前記光ピックアップから射出された光を前記集光面上で反射させてその反射光をフォーカスエラー信号に変換して求めたものであることを特徴とする請求項２４に記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項２６】
前記検査工程は、前記測定結果において前記スポット径が最小となるデフォーカス量を前記２軸方向についてそれぞれ求めてそれらのデフォーカス量の差から光ピックアップの良否を判別する工程を備えたことを特徴とする請求項２１〜請求項２５のいずれかに記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項２７】
前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させたことを特徴とする請求項２１〜請求項２６のいずれかに記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項２８】
前記検査工程は、タンジェンシャル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程を備えたことを特徴とする請求項２７に記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項２９】
前記検査工程は、ラジアル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程を備えたことを特徴とする請求項２７又は請求項２８に記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３０】
前記測定工程は、前記光ピックアップの発光パワーを複数段階変化させておこなわれることを特徴とする請求項２１〜請求項２９のいずれかに記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３１】
前記発光パワーをリード時のものとライト時のものとに変化させることを特徴とする請求項３０に記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３２】
前記直交する２軸方向を前記集光面上で相対的に回転させる回転工程を備え、
前記測定工程は、前記回転工程後にもおこなわれることを特徴とする請求項２１〜請求項３１のいずれかに記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３３】
前記回転工程は、前記光ピックアップが載置されるステージを回転させる工程であることを特徴とする請求項３２に記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３４】
前記移動工程は、前記集光面を有する集光部を光軸方向に移動させる工程であることを特徴とする請求項２１〜請求項３３のいずれかに記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３５】
前記測定工程は、前記集光面に集光された前記光を撮像する撮像工程と、該撮像工程にて撮像された光点分布を可視化・数値化して演算する演算工程と、を備えたことを特徴とする請求項２１〜請求項３４のいずれかに記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３６】
前記演算工程は、多次の近似曲線を用いてスポット径とデフォーカス量との関係を演算する工程であることを特徴とする請求項３５に記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３７】
前記検査工程は、デフォーカス量に対するスポット径の変動量を求めて当該変動量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程であることを特徴とする請求項２１〜請求項３６のいずれかに記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３８】
前記光ピックアップから射出される前記光は、１つのメインビームと２つのサブビームとであることを特徴とする請求項２１〜請求項３７のいずれかに記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項３９】
前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させ、
前記検査工程は、前記２つのサブビームについてラジアル方向におけるスポット径が最小となるそれぞれのデフォーカス量を求めて当該デフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程を備えたことを特徴とする請求項３８に記載の光ピックアップの検査方法。
【請求項４０】
前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させ、
前記検査工程は、前記メインビームについてタンジェンシャル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量を求めて当該デフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程を備えたことを特徴とする請求項３８又は請求項３９に記載の光ピックアップの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光ディスクに対して情報書込や情報再生等をおこなう光ピックアップの検査・評価をおこなうための光ピックアップ検査装置及び光ピックアップの検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、光ディスクドライブの製造工程等において、光ピックアップをドライブに搭載する前に、光ピックアップにおけるスポット特性の検査がおこなわれている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
光ピックアップは、ＬＤ光源、ハーフミラー、対物レンズ、等で構成される。光ピックアップから射出された光（ＬＤ光源から対物レンズを通過して射出されたレーザビームである。）は、被照射面（集光面）に集光される。ここで、光ピックアップから射出された光は、理想的には１点に均質に集まるはずであるが、実際には収差によって非点隔差（縦横の集光位置のずれである。）が生じてしまう。
【０００４】
非点隔差が大きな光ピックアップは、集光面との距離を光軸方向にプラス・マイナス（デフォーカス）させると、そのビーム形状が変形（楕円形化）されてしまう。そして、このような光ピックアップが光ディスクドライブ（ドライブ）に搭載された場合には、光ディスク上のピット情報を正確に読み書きできなくなる可能性がある。したがって、製造工程において、光ピックアップのスポット特性を検査・評価することが重要視されている。
【０００５】
従来の光ピックアップの検査方法は、作業者による目視チェックによるものが多かった。詳しくは、ビームスポットの形状を目視でチェックして、その形状に応じて光ピックアップの良否を感覚的に判断していた。
【０００６】
これに対して、特許文献２等には、光ピックアップの非点隔差を定量的に認識することを目的とした技術が開示されている。詳しくは、まず、集光面におけるビームスポットを４象限に分割する。そして、第１象限と第３象限との強度分布の和と、第２象限と第４象限との強度分布の和と、を比較して、光ピックアップの非点隔差を判定する。
【０００７】
【特許文献１】特開平６−６８５１９号公報
【特許文献２】特許第２７２０７４９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した従来の技術は、デフォーカスにともなう光ピックアップの非点隔差を正確に検査・評価することができなかった。
【０００９】
従来の目視によるスポット特性の検査では、ドライブで決定されるデフォーカス量と非点隔差との関係が不明確となっていた。すなわち、検査工程において光ピックアップの非点隔差が所定範囲内であるものと目視で判断されても、その光ピックアップがドライブに搭載されてデフォーカス調整された場合に、そのデフォーカス量に対する非点隔差がどの程度になるかが不明であった。このように、ドライブ側の性能に対応させて、光ピックアップの良否が判断されていなかった。
【００１０】
一方、特許文献２等の技術は、第１象限と第３象限との強度分布の和と、第２象限と第４象限との強度分布の和と、を比較して、光ピックアップの非点隔差を定量的に判定するものである。しかし、４象限にほぼ均質に分布するような傾きの少ない楕円形状のビームスポットに対しては、第１象限と第３象限との強度分布の和と、第２象限と第４象限との強度分布の和と、が等しくなってしまう。したがって、この技術によれば、非点隔差があるにもかかわらず、非点隔差がないものとして判定される可能性がある。
【００１１】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、デフォーカスにともなう光ピックアップの非点隔差を正確に判定できる光ピックアップ検査装置及び光ピックアップの検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明の請求項１記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、光ピックアップから射出される光のスポット特性を検査する光ピックアップ検査装置であって、前記光が集光されるとともに光軸に垂直な集光面を有する集光部と、前記集光面に集光された前記光のスポット径を直交する２軸方向についてそれぞれ求める測定手段と、光軸方向にデフォーカスさせる移動手段と、を備え、前記移動手段によって複数箇所デフォーカスさせたときの前記測定手段の測定結果に基いてスポット特性を検査するものである。
【００１３】
また、請求項２記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１記載の発明において、前記移動手段によって複数箇所デフォーカスさせたときの前記測定手段の測定結果に基いて前記光のスポット径とデフォーカス量との関係を求めて前記光の非点隔差を検査するものである。
【００１４】
また、請求項３記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記測定手段の測定結果は、前記移動手段によって５箇所以上デフォーカスさせた前記集光面におけるものとしたものである。
【００１５】
また、請求項４記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１〜請求項３のいずれかに記載の発明において、前記測定手段の測定結果は、フォーカスの中立位置における測定結果を含むものである。
【００１６】
また、請求項５記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項４に記載の発明において、前記中立位置は、前記光ピックアップから射出された光を前記集光面上で反射させてその反射光をフォーカスエラー信号に変換して求めたものである。
【００１７】
また、請求項６記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１〜請求項５のいずれかに記載の発明において、前記測定手段の測定結果において前記スポット径が最小となるデフォーカス量を前記２軸方向についてそれぞれ求めて、それらのデフォーカス量の差から光ピックアップの良否を判別するものである。
【００１８】
また、請求項７記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１〜請求項６のいずれかに記載の発明において、前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させたものである。
【００１９】
また、請求項８記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項７に記載の発明において、タンジェンシャル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別するものである。
【００２０】
また、請求項９記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項７又は請求項８に記載の発明において、ラジアル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別するものである。
【００２１】
また、請求項１０記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１〜請求項９のいずれかに記載の発明において、前記測定手段の測定結果は、前記光ピックアップの発光パワーを複数段階変化させたものである。
【００２２】
また、請求項１１記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１０に記載の発明において、前記発光パワーをリード時のものとライト時のものとに変化させたものである。
【００２３】
また、請求項１２記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１〜請求項１１のいずれかに記載の発明において、前記直交する２軸方向を前記集光面上で相対的に回転させる回転手段を備え、前記測定手段による測定結果は、前記回転手段によって回転させたときのものを含むものである。
【００２４】
また、請求項１３記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１２に記載の発明において、前記回転手段を、前記光ピックアップが載置されるステージを回転させる手段としたものである。
【００２５】
また、請求項１４記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１〜請求項１３のいずれかに記載の発明において、前記移動手段を、前記集光部を光軸方向に移動させる手段としたものである。
【００２６】
また、請求項１５記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１〜請求項１４のいずれかに記載の発明において、前記測定手段は、前記集光面に集光された前記光を撮像する撮像手段と、該撮像手段における光点分布を可視化・数値化して演算する演算手段と、を備えたものである。
【００２７】
また、請求項１６記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１５に記載の発明において、前記演算手段を、多次の近似曲線を用いてスポット径とデフォーカス量との関係を演算する手段としたものである。
【００２８】
また、請求項１７記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１〜請求項１６のいずれかに記載の発明において、前記移動手段によって複数箇所デフォーカスさせたときの前記測定手段の測定結果に基いてデフォーカス量に対するスポット径の変動量を求めて、当該変動量に基いて光ピックアップの良否を判別するものである。
【００２９】
また、請求項１８記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１〜請求項１７のいずれかに記載の発明において、前記光ピックアップから射出される前記光を、１つのメインビームと２つのサブビームとしたものである。
【００３０】
また、請求項１９記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１８に記載の発明において、前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させ、前記２つのサブビームについてラジアル方向におけるスポット径が最小となるそれぞれのデフォーカス量を求めて、当該デフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別するものである。
【００３１】
また、請求項２０記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項１８又は請求項１９に記載の発明において、前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させ、前記メインビームについてタンジェンシャル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量を求めて、当該デフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別するものである。
【００３２】
また、この発明の請求項２１記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、光ピックアップから射出される光のスポット特性を検査する光ピックアップの検査方法であって、光軸に垂直な集光面に前記光を集光する集光工程と、前記集光面に集光された前記光のスポット径を直交する２軸方向についてそれぞれ求める測定工程と、光軸方向にデフォーカスさせる移動工程と、前記移動工程によって複数箇所デフォーカスさせたときの前記測定工程の測定結果に基いてスポット特性を検査する検査工程と、を備えたものである。
【００３３】
また、請求項２２記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１記載の発明において、前記検査工程を、前記光のスポット径とデフォーカス量との関係を求めて前記光の非点隔差を検査する工程としたものである。
【００３４】
また、請求項２３記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１又は請求項２２に記載の発明において、前記測定工程は、前記移動手段によって５箇所以上デフォーカスさせた前記集光面においておこなわれるものである。
【００３５】
また、請求項２４記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１〜請求項２３のいずれかに記載の発明において、前記測定工程は、フォーカスの中立位置における測定工程を含むものである。
【００３６】
また、請求項２５記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２４に記載の発明において、前記中立位置は、前記光ピックアップから射出された光を前記集光面上で反射させてその反射光をフォーカスエラー信号に変換して求めたものである。
【００３７】
また、請求項２６記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１〜請求項２５のいずれかに記載の発明において、前記検査工程は、前記測定結果において前記スポット径が最小となるデフォーカス量を前記２軸方向についてそれぞれ求めてそれらのデフォーカス量の差から光ピックアップの良否を判別する工程を備えたものである。
【００３８】
また、請求項２７記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１〜請求項２６のいずれかに記載の発明において、前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させたものである。
【００３９】
また、請求項２８記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２７に記載の発明において、前記検査工程は、タンジェンシャル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程を備えたものである。
【００４０】
また、請求項２９記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２７又は請求項２８に記載の発明において、前記検査工程は、ラジアル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程を備えたものである。
【００４１】
また、請求項３０記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１〜請求項２９のいずれかに記載の発明において、前記測定工程は、前記光ピックアップの発光パワーを複数段階変化させておこなわれるものである。
【００４２】
また、請求項３１記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項３０に記載の発明において、前記発光パワーをリード時のものとライト時のものとに変化させるものである。
【００４３】
また、請求項３２記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１〜請求項３１のいずれかに記載の発明において、前記直交する２軸方向を前記集光面上で回転させる回転工程を備え、前記測定工程は、前記回転工程後にもおこなわれるものである。
【００４４】
また、請求項３３記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項３２に記載の発明において、前記回転工程を、前記光ピックアップが載置されるステージを回転させる工程としたものである。
【００４５】
また、請求項３４記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１〜請求項３３のいずれかに記載の発明において、前記移動工程を、前記集光面を有する集光部を光軸方向に移動させる工程としたものである。
【００４６】
また、請求項３５記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１〜請求項３４のいずれかに記載の発明において、前記測定工程は、前記集光面に集光された前記光を撮像する撮像工程と、該撮像工程にて撮像された光点分布を可視化・数値化して演算する演算工程と、を備えたものである。
【００４７】
また、請求項３６記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項３５に記載の発明において、前記演算工程を、多次の近似曲線を用いてスポット径とデフォーカス量との関係を演算する工程としたものである。
【００４８】
また、請求項３７記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項２１〜請求項３６のいずれかに記載の発明において、前記検査工程を、デフォーカス量に対するスポット径の変動量を求めて当該変動量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程としたものである。
【００４９】
また、請求項３８記載の発明にかかる光ピックアップ検査装置は、上記請求項２１〜請求項３７のいずれかに記載の発明において、前記光ピックアップから射出される前記光を、１つのメインビームと２つのサブビームとしたものである。
【００５０】
また、請求項３９記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項３８に記載の発明において、前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させ、前記検査工程は、前記２つのサブビームについてラジアル方向におけるスポット径が最小となるそれぞれのデフォーカス量を求めて当該デフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程を備えたものである。
【００５１】
また、請求項４０記載の発明にかかる光ピックアップの検査方法は、上記請求項３８又は請求項３９に記載の発明において、前記２軸方向をそれぞれ前記光ピックアップのラジアル方向とタンジェンシャル方向とに一致させ、前記検査工程は、前記メインビームについてタンジェンシャル方向におけるスポット径が最小となるデフォーカス量を求めて当該デフォーカス量に基いて光ピックアップの良否を判別する工程を備えたものである。
【発明の効果】
【００５２】
本発明は、光ピックアップから射出される光のスポット径を集光面における直交する２軸方向についてそれぞれ求める測定を、複数箇所デフォーカスさせながらおこなって、光ピックアップのスポット特性を検査している。これにより、デフォーカスにともなう光ピックアップの非点隔差を正確に判定できる光ピックアップ検査装置及び光ピックアップの検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５３】
以下、この発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図中、同一又は相当する部分には同一の符号を付しており、その重複説明は適宜に簡略化ないし省略する。
【００５４】
実施の形態１．
図１〜図６にて、この発明の実施の形態１について詳細に説明する。
図１は、光ピックアップ検査装置１００を示す全体構成図である。
図１において、１は検査対象としての光ピックアップ、２は光ピックアップ１に搭載されているアクチュエータ、３は光ピックアップ１の対物レンズを示す。
【００５５】
また、図１において、４は光ピックアップ１をラジアル方向やタンジェンシャル方向に傾けるとともに光軸に垂直な面内での位置を調節するための複合ステージ、５は複合ステージ４を固定する装置台を示す。６は光ピックアップ１から射出されるレーザビーム（光）とアクチュエータ２の動作とを制御する第１の制御部、７は複合ステージ４の変位を制御する第２の制御部を示す。８は対物レンズ３を通過したレーザビームを透過・反射するハーフミラーの機能をもつカバーガラス（集光部）、９はレーザビームの光軸方向に可動するように配設された鏡筒を示す。ここで、鏡筒９は、カバーガラス８に集光されたレーザビームのレーザスポットをとらえる働きをしている。すなわち、光ピックアップ１から射出されたレーザビームが集光される集光部として機能するカバーレンズ８上のレーザスポットが、鏡筒９を介して表示部１１、１２に表示される。
【００５６】
また、図１において、１０は鏡筒９を動作させる鏡筒制御部、１１は鏡筒９を介してレーザスポットを高倍率視野像として表示する第１の表示部、１２はレーザスポットを低倍率視野像として表示する第２の表示部を示す。ここで、第２の表示部１２は、主として、レーザスポットのＸＹ位置を調節するために用いられる。
また、１３はスポット画像解析によってレーザスポットを数値化する画像処理部、１４はコンピュータ１５から送信される指令信号に基いて制御部６、７、鏡筒制御部１０、画像処理部１３をそれぞれ動作させるためのメイン制御部を示す。
【００５７】
このように構成された光ピックアップ検査装置１００によって、光ピックアップ１から射出されるレーザビームのスポット特性が検査される。
まず、コンピュータ１５にて各制御部６、７、１０、１３、１４の初期化をおこなって、光ピックアップ１が載置される複合ステージ４と鏡筒９との位置関係を最適化する。その後、検査対象となる光ピックアップ１を複合ステージ４上に載置して、コンピュータ１５を操作してアクチュエータ２によって光軸方向（図１のＺ方向である。）に所定の振り幅で揺動させながら、光ピックアップ１をレーザ発光させる。
【００５８】
このとき、鏡筒９を光軸方向に上下させると、カバーガラス８（疑似ディスク）で反射する反射光（戻り光）によって、光ピックアップ１のフォーカスエラー信号が生成される。そして、このように反射光から変換されたフォーカスエラー信号が適切な間隔で表示されるように、鏡筒９の高さを調節する。こうして、スポット測定をおこなうための中立位置が求められる。なお、光軸方向に垂直な面内（ＸＹ面内である。）においてビームスポットの位置がずれた場合には、２つの表示部１１、１２のスポット位置を確認しながら、複合ステージ４を制御して低倍率から高倍率でのスポット位置調節をおこなう。
【００５９】
このようにして求められた中立位置は、光軸方向の合焦点となる位置である。そして、この中立位置を０点として、光軸方向（Ｚ方向）に沿って対物レンズ３がカバーガラス８に近づく方向をマイナスとし、遠ざかる方向をプラスとしてデフォーカス方向を定義する。
【００６０】
図２（Ａ）は、光ピックアップ１から射出されたレーザビームＬがカバーガラス８の集光面上に集光している状態を示す図である。図２（Ｂ）は、レーザビームＬに非点隔差が生じている状態を示す概略図である。
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）の破線に示すように、理想状態のレーザビームＬの集光位置は、光軸方向に沿って１点に集まる。しかし、実際には収差により縦、横の集光位置が異なるものが存在する。この縦、横の集光位置のずれＨを非点隔差と呼んでいる。
【００６１】
図３（Ａ）は、集光面における理想状態のビームスポットＳを示す。このように非点隔差のない理想状態のビームスポットＳは、光軸方向にデフォーカスさせてもスポット形状が変化しない（矢印双方向の変化である。）。
これに対して、図３（Ｂ）に示すように、非点隔差がある場合には、ビームスポットＳが変形して楕円形状になる。そして、光軸方向にデフォーカスさせると、そのスポット形状が変化する（矢印双方向の変化である。）。これは、非点隔差がある場合には、縦、横でスポットが絞れる（スポット径が最小となる）デフォーカス位置が異なるためである。なお、スポット形状の変化は、縦横の変化の場合（図３（Ｂ）の左の図である。）もあれば、斜め方向の変化の場合（図３（Ｂ）の右の図である。）もある。
【００６２】
本実施の形態１では、図４を参照して、集光面上のビームスポットＳのスポット径（スポット幅）を、直交する２軸方向（Ｘ軸方向とＹ軸方向とである。）についてそれぞれ測定するものである。すなわち、Ｘ軸方向のスポット径（スポット幅）Ｄｘと、Ｙ軸方向のスポット径（スポット幅）Ｄｙと、を測定する。
【００６３】
具体的には、カバーレンズ８上に集光されたビームスポットＳが、鏡筒９を介して不図示の撮像素子（撮像手段）上に撮像される。撮像素子上のビームスポットは、その光点分布が表示部１１にて可視化されて、さらに光点分布が画像処理部１３で数値化される。そして、その可視化・数値化された情報に基づいて、メイン制御部１４（演算手段）にて演算処理がおこなわれる。
【００６４】
このＸ軸方向及びＹ軸方向のスポット径の測定は、光ピックアップ１とカバーガラス８との距離を光軸方向に変動させておこなわれる。詳しくは、光ピックアップ１のアクチュエータ２（移動手段）を駆動して、±１μｍ程度の範囲で光軸方向に複数箇所デフォーカスさせる。
【００６５】
図５は、上述した測定手段によって測定された両軸方向のスポット径を示すグラフである。
図５において、横軸はデフォーカス量を示し、縦軸はビームスポットＳのスポット径Ｄｘ、Ｄｙを示す。破線Ｒｘはデフォーカス量とＸ軸方向のスポット径Ｄｘとの関係を示し、実線Ｒｙはデフォーカス量とＹ軸方向のスポット径Ｄｙとの関係を示す。
なお、本実施の形態１では、デフォーカス量はアクチュエータ２の感度から求められている。破線で示すデフォーカス量「０」は、上述したフォーカスの中立位置を示す。
【００６６】
また、本実施の形態１では、可変するデフォーカス量を、中立位置を含む９点とした。なお、可変するデフォーカス位置は、中立位置を含む５点以上とすることもできる。このように、直交する２軸Ｘ、Ｙ方向のスポット径Ｄｘ、Ｄｙを、５箇所以上のデフォーカス位置にて測定することで、最適な絞り込み位置、すなわち、Ｘ方向、Ｙ方向のスポット径が最小となるデフォーカス位置、を高精度に特定できることができる。
【００６７】
図６は、光ピックアップを搭載したドライブにおける、ジッター特性を示すグラフである。
図６において、横軸はドライブにおけるデフォーカス量を示し、縦軸はドライブにおける読み取り性能を評価するためのジッター値を示す。図６に示すように、ドライブにおけるデフォーカス位置が最適な場合（図６では−０．５μｍの位置である。）にジッター値が最小となり、デフォーカス位置が最適位置からずれるとジッター値が悪化する。ドライブにおける最適デフォーカス位置は、ドライブ独自の判定基準に基づくものであって、光ピックアップ１のスポット形状を測定して決定しているわけではない。そのため、一見するとジッター値が良好なデフォーカス位置が求められていても、ビームスポットＳの非点隔差が大きくて、ドライブのシステムとしての余裕度が小さくなってしまう場合もある。
【００６８】
したがって、ドライブにおける最適デフォーカス位置が固定値である場合や、変動値であってもその変動をある程度予測できる場合には、上述した光ピックアップ検査装置１００を用いて光ピックアップ１をスクリーニングすることで、システム余裕度の高いドライブを提供することができる。
【００６９】
図５において、デフォーカス量が−０．５μｍの位置で、Ｘ軸方向スポット径Ｄｘが０．９６μｍで、Ｙ軸方向スポット径Ｄｙが０．８８μｍであることを考慮すると、光ピックアップ１のスクリーニングの判定基準としては、次のようなものを設定できる。
（１）Ｄｘ、Ｄｙがともに１μｍ以下となる光ピックアップ１を良品とする。
（２）Ｄｘ、Ｄｙのいずれか値の小さい方が０．９μｍ以下となる光ピックアップ１を良品とする。
（３）｜Ｄｘ−Ｄｙ｜が０．１μｍ以下となる光ピックアップ１を良品とする。
このような判定基準に基づいて選別された光ピックアップ１をドライブに組み込むことで、動作の安定したドライブを供給することができる。
【００７０】
このように、複数箇所のデフォーカス位置にて、直交する２軸Ｘ、Ｙ方向についてそれぞれスポット径Ｄｘ、Ｄｙを測定する光ピックアップ検査装置１００は、ドライブに不具合が発生したときであっても、搭載した光ピックアップ１のスポット特性に問題がないか、ドライブにおける最適デフォーカス量に対してスポットが適正なものであるかを判定することができる。また、予め所定の判定基準を設定しておくことで、ドライブ製造工程において特性不良の光ピックアップ１が流出しないようにすることができる。
【００７１】
以上説明したように、本実施の形態１の構成によれば、光ピックアップ１から射出される光Ｌのスポット径Ｄｘ、Ｄｙを集光面における直交する２軸Ｘ、Ｙ方向についてそれぞれ求める。この測定は、光軸方向Ｚに複数箇所デフォーカスさせたそれぞれの位置でおこなわれる。そして、それらの測定結果に基づいて光ピックアップのスポット特性を検査している。これにより、デフォーカスにともなう光ピックアップ１の非点隔差を正確に判定することができる。
【００７２】
なお、本実施の形態１において、スポット径Ｄｘ、Ｄｙが最小となるデフォーカス量を２軸Ｘ、Ｙ方向についてそれぞれ求めて、それらのデフォーカス量の差（Ｄｘ−Ｄｙ）に基づいて光ピックアップ１の良否を判別することもできる。
具体的には、図５において、Ｘ軸方向のスポット径Ｄｘが最小となるデフォーカス量は０μｍであって、Ｙ軸方向のスポット径Ｄｙが最小となるデフォーカス量は−０．５μｍである。したがって、デフォーカス量の差（Ｄｘ−Ｄｙ）は０．５μｍとなって、これを簡易的に非点隔差の程度を示す値とする。これにより、作業者は、表示部１１を見ながらの目視による検査ではなくて、定量化された判定値に基づく検査をおこなうことができる。
【００７３】
また、本実施の形態１において、直交する２軸Ｘ、Ｙをそれぞれ、光ピックアップ１におけるラジアル方向、タンジェンシャル方向に一致させるように、複合ステージ４を設定することが好ましい。
ここで、ドライブにおけるジッター特性やブレア特性は、トラックに沿ったピットを正確に読みとれるかどうかに関係しており、タンジェンシャル方向のスポット径が大きく関与する。また、ドライブにおけるトラッキングサーボ特性は、アクチュエータ２がラジアル方向に動作することから、ラジアル方向のスポット径が大きく関与する。そのため、直交する２軸Ｘ、Ｙをラジアル方向、タンジェンシャル方向に一致させることで、光ピックアップ１のスポット特性とドライブ特性とをさらに関連づけることができる。
【００７４】
なお、本実施の形態１では、光ピックアップ１のアクチュエータ２を駆動して、光軸方向のデフォーカスをおこなった。これに対して、カバーガラス８を光軸方向に移動させるピエゾ素子等の移動手段を用いて、デフォーカスをおこなうこともできる。
アクチュエータ２を揺動させてデフォーカスをおこなう場合には、デフォーカス量をアクチュエータ感度から求めなければならないために、予めアクチュエータ感度の測定をおこなう必要がある。これに対して、カバーガラス８自体をピエゾ素子により変位させる構成によれば、微細で正確な変位が可能になるとともに、アクチュエータ感度によらないデフォーカスをおこなうことができる。
【００７５】
実施の形態２．
図７にて、この発明の実施の形態２について詳細に説明する。
図７は、光ピックアップ検査装置１００にて可変する発光パワーの領域を示すグラフである。本実施の形態２の検査方法は、光ピックアップ検査装置１００における測定時に光ピックアップ１の発光パワーを可変している点が、前記実施の形態１のものとは相違する。
【００７６】
図７において、横軸は光ピックアップ１のＬＤ光源に入力される電流値（又はＬＤ設定値）を示し、縦軸は光ピックアップ１のＬＤ光源の発光パワー（出力）を示す。図７において、領域Ａはドライブにおけるリード時（再生時）の発光パワー領域を示し、領域Ｂはドライブにおけるライト時（書込時）の発光パワー領域を示す。
【００７７】
本実施の形態２では、前記実施の形態１で説明した光ピックアップ１の検査をおこなうときに、光ピックアップ１の発光パワーをリード時のものとライト時のものとに変化させてそれぞれの非点隔差を測定する。
ここで、鏡筒９内部には、領域Ａ、領域Ｂの発光パワーに対応する２種類のフィルタがセットされている。そして、それぞれの発光パワーで非点隔差を測定するときに、対応するフィルタを介して、画像処理を実施する。これにより、発光パワーを低下させた状態でスポット特性の良否を検査するのではなく、ドライブのリード時及びライト時と同様の条件でスポット特性の良否を検査することができる。すなわち、リード時とライト時との２段階以上の発光パワーにてスポット特性を評価しているため、ドライブの不具合解析時等にリード時、ライト時のどちらでスポット異常が発生したかを容易に判定することができる。
【００７８】
以上説明したように、本実施の形態２においても、前記実施の形態１と同様に、デフォーカスにともなう光ピックアップ１の非点隔差を正確に判定することができる。
【００７９】
実施の形態３．
図８にて、この発明の実施の形態３について詳細に説明する。
図８は、光ピックアップ検査装置１００において集光面上の直交２軸ＸＹを回転させた状態を示す概略図である。本実施の形態３の検査方法は、光ピックアップ検査装置１００における測定時に集光面上の直交２軸ＸＹを少なくとも１度回転させている点が、前記実施の形態１のものとは相違する。
【００８０】
本実施の形態３では、前記実施の形態１で説明した光ピックアップ１の検査に加えて、集光面上に設定される直交２軸ＸＹを所定角度だけ相対的に回転させて同様の検査をおこなう。
具体的には、前記実施の形態１で説明した光ピックアップ１の検査が終了した後に、複合ステージ４（回転手段）を操作して、光ピックアップ１をＸＹ平面内にて１５度ほど回転させる。
【００８１】
これにより、図８を参照して、集光面上に設定されたＸ軸及びＹ軸は、見かけ上、１５度回転することになる（Ｘ´軸及びＹ´軸への回転である。）。そして、回転されたＸ´軸方向及びＹ´軸方向について、それぞれ、ビームスポットＳのスポット径を測定する。
【００８２】
このように、直交２軸を回転方向に回転させて２軸方向のスポット径を測定することで、図８に示すように集光面上のビームスポットＳが傾いた状態であっても、その非点隔差を正確に測定することができる。具体的には、回転角度を変位させて測定した２軸のスポット径の差（Ｄｘ−Ｄｙ）のうち、最もその差が大きくなったものをその光ピックアップの非点隔差とすることができる。
なお、直交２軸Ｘ、Ｙの回転中心はビームスポットＳの回転と合わせるために、理想的な光軸の位置に一致させることが好ましい。
【００８３】
以上説明したように、本実施の形態３においても、前各記実施の形態と同様に、デフォーカスにともなう光ピックアップ１の非点隔差を正確に判定することができる。
【００８４】
実施の形態４．
図９及び図１０にて、この発明の実施の形態４について詳細に説明する。
図９は、光ピックアップ検査装置１００において集光面上のビームスポットＳにおけるタンジェンシャル方向のスポット径の変化を示すグラフである。本実施の形態４の検査方法は、タンジェンシャル方向のスポット径の変化に基づいて光ピックアップ１の良否を判別している点が、前記実施の形態１のものとは相違する。
【００８５】
本実施の形態４では、前記実施の形態１で説明した光ピックアップ１の検査において、まず、集光面上の直交２軸Ｘ、Ｙをそれぞれラジアル方向、タンジェンシャル方向に一致させる。そして、図９を参照して、タンジェンシャル方向（Ｙ軸方向）のスポット径の変化に基づいて、光ピックアップ１の良否を判別する。
なお、図９において、横軸はデフォーカス量を示し、縦軸はビームスポットＳのタンジェンシャル方向のスポット径Ｄｙを示す。また、破線で示すデフォーカス量「０」は、中立位置を示す。
【００８６】
ここで、図１０は、光ディスク上に形成されたピット２０に集光されたビームスポットＳを示す概略図である。図１０に示すように、ドライブにおけるジッター特性は、タンジェンシャル方向のスポット径Ｄｙの伸びが関係していて、ラジアル方向のスポット径Ｄｘは関係していない。
【００８７】
したがって、ドライブにおけるジッター特性のみを評価する場合には、タンジェンシャル方向のスポット径Ｄｙが最小となるデフォーカス量のみを評価すればよいことになる。
具体的には、図９において、中立位置からのデフォーカス量（両矢印で示す大きさである。）が所定値以内である場合に、その光ピックアップ１が良品であるものとして判別する。
これにより、ドライブにおけるジッター特性のみを評価する場合に、検査工程数を減じて効率よく光ピックアップ１の検査をおこなうことができる。
【００８８】
以上説明したように、本実施の形態４においても、前各記実施の形態と同様に、デフォーカスにともなう光ピックアップ１の非点隔差を正確に判定することができる。
【００８９】
実施の形態５．
図１１及び図１２にて、この発明の実施の形態５について詳細に説明する。
図１１は、光ピックアップ検査装置１００において集光面上のビームスポットＳにおけるラジアル方向のスポット径の変化を示すグラフである。本実施の形態５の検査方法は、ラジアル方向のスポット径の変化に基づいて光ピックアップ１の良否を判別している点が、前記実施の形態４のものとは相違する。
【００９０】
本実施の形態５では、前記実施の形態１で説明した光ピックアップ１の検査において、まず、集光面上の直交２軸Ｘ、Ｙをそれぞれラジアル方向、タンジェンシャル方向に一致させる。そして、図１１を参照して、ラジアル方向（Ｘ軸方向）のスポット径の変化に基づいて、光ピックアップ１の良否を判別する。
なお、図１１において、横軸はデフォーカス量を示し、縦軸はビームスポットＳのラジアル方向のスポット径Ｄｘを示す。また、破線で示すデフォーカス量「０」は、中立位置を示す。
【００９１】
ここで、図１２は、光ディスク上に形成されたピット２０に集光されたビームスポットＳを示す概略図である。図１２に示すように、ドライブにおけるトラックサーボ特性は、ラジアル方向のスポット径Ｄｘの伸びが関係していて、タンジェンシャル方向のスポット径Ｄｙは関係していない。
【００９２】
したがって、ドライブにおけるトラックサーボ特性のみを評価する場合には、タンジェンシャル方向のスポット径Ｄｙが最小となるデフォーカス量のみを評価すればよいことになる。
具体的には、図１２において、中立位置からのデフォーカス量（両矢印で示す大きさである。）が所定値以内である場合に、その光ピックアップ１が良品であるものとして判別する。
これにより、ドライブにおけるトラックサーボ特性のみを評価する場合に、検査工程数を減じて効率よく光ピックアップ１の検査をおこなうことができる。
【００９３】
以上説明したように、本実施の形態５においても、前各記実施の形態と同様に、デフォーカスにともなう光ピックアップ１の非点隔差を正確に判定することができる。
【００９４】
実施の形態６．
図１３及び図１４にて、この発明の実施の形態６について詳細に説明する。
図１３及び図１４は、光ピックアップ検査装置１００においておこなう測定工程において、スポット径の変動を多次近似した結果を示すグラフである。本実施の形態６の検査方法は、複数箇所のデフォーカス位置において測定されたスポット径のデータを多次近似している点が、前記実施の形態１のものとは相違する。
【００９５】
本実施の形態６では、前記実施の形態１で説明した光ピックアップ１の検査において、複数箇所のデフォーカス位置において測定された直交２軸Ｘ、Ｙについての各スポット径Ｄｘ、Ｄｙのデータ（プロット）を、多次の近似曲線を用いて演算処理する。
【００９６】
図１３中の破線で示す曲線Ｒ２は、スポット径のデータを２次の近似曲線を用いて演算処理した結果である。このとき、Ｐ２の位置が、スポット径が最小となるデフォーカス位置となる。
図１３中の実線で示す曲線Ｒ３は、スポット径のデータを３次の近似曲線を用いて演算処理した結果である。このとき、Ｐ３の位置が、スポット径が最小となるデフォーカス位置となる。
このように、各スポット径Ｄｘ、Ｄｙのデータを、高次（３次以上が好ましい。）の近似曲線を用いて演算処理することで、より正確な非点隔差を求めることができる。
【００９７】
図１４は、各スポット径Ｄｘ、Ｄｙのデータを、３次の近似曲線を用いて演算した結果である。こうして演算された曲線を用いて、所定のデフォーカス位置α（デフォーカス量）において、タンジェンシャル方向のスポット径Ｄｙとラジアル方向のスポット径Ｄｘとの差Ｗを評価する。これにより、スポット形状が真円からどの程度ゆがんでいるかを判定することができる。すなわち、ドライブで決定されるデフォーカス位置におけるスポット特性を把握することができる。
【００９８】
以上説明したように、本実施の形態６においても、前各記実施の形態と同様に、デフォーカスにともなう光ピックアップ１の非点隔差を正確に判定することができる。
【００９９】
実施の形態７．
図１５にて、この発明の実施の形態７について詳細に説明する。
図１５は、光ピックアップ検査装置１００においておこなう測定工程において、所定のデフォーカス量に対するスポット径変動を求めた状態を示すグラフである。本実施の形態７の検査方法は、所定のデフォーカス量に対するスポット径変動の割合を求めている点が、前記実施の形態６のものとは相違する。
【０１００】
本実施の形態７では、前記実施の形態６で説明した多次近似曲線を用いた演算処理をおこなった後に、所定のデフォーカス量Δに対するスポット径の変動量（スポット感度）をタンジェンシャル方向及びラジアル方向について求めている。
図１５において、タンジェンシャル方向のスポット感度Ｍｙ、ラジアル方向のスポット感度Ｍｘは、それぞれ、次式で求めることができる。
Ｍｘ＝Ｗｘ／Δ
Ｍｙ＝Ｗｙ／Δ
上式を用いることで、デフォーカス時のスポットの安定性を評価することができる。さらに、ドライブに光ピックアップ１を搭載したときに、ドライブのシステムとしてデフォーカス方向にマージンがあるかを判別することができる。デフォーカス変動に対してマージンのあるドライブを製造するためには、上述のスポット感度Ｍｘ、Ｍｙの値が小さい光ピックアップ１をスクリーニングすることになる。
【０１０１】
以上説明したように、本実施の形態７においても、前各記実施の形態と同様に、デフォーカスにともなう光ピックアップ１の非点隔差を正確に判定することができる。
【０１０２】
実施の形態８．
図１６及び図１７にて、この発明の実施の形態８について詳細に説明する。
図１６は、光ピックアップ検査装置１００において集光面上に形成されるメインビーム及びサブビームのビームスポットＳｍ、Ｓｓを示す概略図である。本実施の形態８の光ピックアップ検査装置１００には、メインビームとサブビームとを射出する光ピックアップ１が載置される点が、前記各実施の形態のものとは相違する。
【０１０３】
ドライブに搭載される光ピックアップ１には、１つのメインビームと、２つのサブビームと、を射出するものがある。図１６に示すように、メインビームのビームスポットＳｍは、サブビームのビームスポットＳｓに比べて、大きな楕円形状になっている。
【０１０４】
本実施の形態８では、こうした光ピックアップ１のメインビーム及びサブビームについてスポット特性を検査・評価して、光ピックアップ１の良否を判別する。
具体的には、まず、メインビームのビームスポットＳｍについて評価をする。次に、複合ステージ４をＸＹ平面内にて平行移動した後に、サブビームのビームスポットＳｓについて評価をする。それぞれのビームスポットＳｍ、Ｓｓの検査については、上記各実施の形態と同様の手順でおこなうことができる。
【０１０５】
例えば、前記実施の形態１における図５と同様の測定結果が得られた場合に、光ピックアップ１のスクリーニングの判定基準として、次のようなものを設定できる。
（１）メインビームについてスポット径Ｄｘ、Ｄｙがともに１μｍ以下となる光ピックアップ１を良品とする。
（２）サブビームについてスポット径Ｄｘ、Ｄｙが最小となるデフォーカス量が±０．５μｍ以下となる光ピックアップ１を良品とする。
【０１０６】
このように、光ピックアップ１のメインビーム及びサブビームについて、デフォーカスにともなう非点隔差を検査することで、ドライブに不具合が発生したときであっても、搭載した光ピックアップ１のスポット特性に問題がないか、ドライブにおける最適デフォーカス量に対してスポットが適正なものであるかを判定することができる。また、予め所定の判定基準を設定しておくことで、ドライブ製造工程において特性不良の光ピックアップ１が流出しないようにすることができる。
【０１０７】
また、本実施の形態８において、メインビーム及びサブビームのビーム径を検査するときに、それぞれのビームスポットＳｍ、Ｓｓが形成される集光面において直交２軸Ｘ、Ｙをそれぞれラジアル方向、タンジェンシャル方向に一致させることが好ましい。
その場合、メインビームのタンジェンシャル方向のスポット径変化と、サブビームのラジアル方向のスポット径変化と、に基づいて、光ピックアップ１の良否を判断することができる。
【０１０８】
図１７は、メインビームのタンジェンシャル方向のスポット径変化（実線Ｒｍである。）と、２つのサブビームのラジアル方向のスポット径変化（実線Ｒｓ１及び実線Ｒｓ２である。）と、を示すグラフである。
【０１０９】
デフォーカス時にラジアル方向のサブビームのスポット径が広がってビームスポットがゆがんだ状態になると、トラックエラー信号のばらつきが大きくなったり、トラッキングサーボ特性が不安定になったりしてしまう。
したがって、サブビームの非点隔差を、サブビームのラジアル方向のスポット径が最小となるデフォーカス量に基づいて判定したり、ラジアル方向の各サブビームスポット径が最小となるデフォーカス量の差に基づいて判定したりすることで、トラックサーボ特性が安定した光ピックアップ１を選別することができる。
【０１１０】
また、メインビームのタンジェンシャル方向のスポット径が最小となるデフォーカス位置は、基本的にジッター特性が良好となる位置である。しかし、サブビームのビームスポットがラジアル方向に広がってビームスポットがゆがんだ状態になると、ジッター特性が良好であっても、サブビームを用いたトラッキングサーボ特性が不安定となってしまう。このような場合には、やがてサーボはずれ等の不具合が発生することとなる。
したがって、メインビームのタンジェンシャル方向のスポット径が最小となるデフォーカス位置を求めて、その位置におけるサブビームのスポット特性を確認することで、ジッター特性やブレア特性が良好になるとともに、トラックサーボ特性も安定した光ピックアップ１を選別することができる。
【０１１１】
以上説明したように、本実施の形態８においても、前各記実施の形態と同様に、デフォーカスにともなう光ピックアップ１の非点隔差を正確に判定することができる。
【０１１２】
なお、本発明が上記各実施の形態に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、上記各実施の形態の中で示唆した以外にも、上記各実施の形態は適宜変更され得ることは明らかである。また、上記構成部材の数、位置、形状等は上記各実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】この発明の実施の形態１における光ピックアップ検査装置を示す構成図である。
【図２】光ピックアップから射出されたレーザビームを示す概略図である。
【図３】集光面におけるレーザビームのビームスポットを示す概略図である。
【図４】集光面における直交する２軸とビームスポットとの関係を示す図である。
【図５】直交２軸におけるスポット径とデフォーカス量との関係を示すグラフである。
【図６】光ピックアップを搭載したドライブにおけるジッター特性を示すグラフである。
【図７】この発明の実施の形態２における光ピックアップ検査装置において可変する発光パワーの領域を示すグラフである。
【図８】この発明の実施の形態３における光ピックアップ検査装置において集光面上の直交２軸を回転させた状態を示す概略図である。
【図９】この発明の実施の形態４における光ピックアップ検査装置においてタンジェンシャル方向のスポット径の変化を示すグラフである。
【図１０】光ディスクのピットに照射されたビームスポットを示す概略図である。
【図１１】この発明の実施の形態５における光ピックアップ検査装置においてラジアル方向のスポット径の変化を示すグラフである。
【図１２】光ディスクのピットに照射されたビームスポットを示す概略図である。
【図１３】この発明の実施の形態６における光ピックアップ検査装置においてスポット径変動を多次近似した結果を示すグラフである。
【図１４】直交２軸におけるスポット径とデフォーカス量との関係を３次近似した結果を示すグラフである。
【図１５】この発明の実施の形態７における光ピックアップ検査装置においてデフォーカス量に対するスポット径変動量を求めた状態を示すグラフである。
【図１６】この発明の実施の形態８における光ピックアップ検査装置においてメインビーム及びサブビームのビームスポットを示す概略図である。
【図１７】メインビームのタンジェンシャル方向のスポット径変化と、サブビームのラジアル方向のスポット径変化と、を示すグラフである。
【符号の説明】
【０１１４】
１  光ピックアップ、  ２  アクチュエータ、  ３  対物レンズ、
４  複合ステージ（回転手段）、  ５  装置台、  ６、７  制御部、
８  カバーガラス（集光部）、  ９  鏡筒、  １０  鏡筒制御部、
１１、１２  表示部、  １３  画像処理部、  １４  メイン制御部、
１５  コンピュータ、  ２０  ピット、  １００  光ピックアップ検査装置、
Ｓ  ビームスポット、  Ｌ  レーザビーム（光）、
Ｄｘ、Ｄｙ  スポット径（スポット幅）。
【図１】
2006012315.tif 000003
【図２】
2006012315.tif 000004
【図３】
2006012315.tif 000005
【図４】
2006012315.tif 000006
【図５】
2006012315.tif 000007
【図６】
2006012315.tif 000008
【図７】
2006012315.tif 000009
【図８】
2006012315.tif 000010
【図９】
2006012315.tif 000011
【図１０】
2006012315.tif 000012
【図１１】
2006012315.tif 000013
【図１２】
2006012315.tif 000014
【図１３】
2006012315.tif 000015
【図１４】
2006012315.tif 000016
【図１５】
2006012315.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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