(57)【要約】  【課題】複数の光源を用いる光源モジュール、および、これを用いる光源装置において、光源モジュールの特性等の登録を間違いなく行うことができ、装置の組み立てやメンテナンスを容易にできる光源モジュールおよび光源装置を提供する。  【解決手段】光源モジュールに記憶素子を一体的に設け、この記憶素子に光源モジュールの情報を記憶しておくことにより、前記課題を解決する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの光源を有する光源モジュールであって、記憶素子が一体的に設けられ、この記憶素子に光源モジュールに関する情報が記憶されていることを特徴とする光源モジュール。
【請求項２】
複数の光源を有し、さらに、前記複数の光源が射出した光を合波して射出する合波手段と、前記光源が射出した光を前記合波手段に入射する光学系とを有する請求項１に記載の光源モジュール。
【請求項３】
前記記憶素子は、情報の書き換えが可能な記憶素子である請求項１または２に記載の光源モジュール。
【請求項４】
前記情報が、前記光源モジュールの光源の個々の特性の情報、光源モジュールの特性の情報、および、履歴情報の少なくとも１つである請求項１〜３のいずれかに記載の光源モジュール。
【請求項５】
前記光源が、半導体レーザである請求項１〜４のいずれかに記載の光源モジュール。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の光源モジュールと、前記光源モジュールを駆動する駆動制御手段とを有し、
かつ、前記駆動制御手段は、前記記憶素子が記憶する情報を読み出し、この情報に応じて、前記光源モジュールの駆動を制御することを特徴とする光源装置。
【請求項７】
前記光源モジュールが所定位置に装填されると、前記駆動制御手段と前記記憶素子とが自動的に接続される請求項６に記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光源の光を合波して出射する光源モジュール、および、この光源モジュールを用いる光源装置に関し、詳しくは、個々の光源モジュールの特性に応じた適正な駆動を的確に行うことができ、かつ、メンテナンスも容易かつ的確に行うことができる光源モジュールおよび光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
記録する画像に応じて変調した記録光を感光材料に照射して、感光材料を像様に露光する露光装置が知られている。
例えば、特許文献１には、光源装置（照明ユニット）から出射したレーザ光を、ＤＭＤ(Digital Micromirror Device)等の二次元空間変調素子に入射して記録画像に応じて変調し、変調したレーザビームを感光材料に結像して、像様に露光する露光装置（露光ヘッド）が開示されている。
【０００３】
このような露光装置の光源として、ＬＤ（レーザダイオード（半導体レーザ））が利用されている。
ここで、露光に高い光量を要求される用途では、ＬＤの出力（光量）は、１つでは充分では無い場合も多い。そのため、このような高出力を要求される用途では、複数のＬＤを用いて、高出力なレーザ光を得ることが行われている。
【０００４】
前記特許文献１に開示される露光装置でも、複数（７つ）のＬＤから出射したレーザ光を集光して光ファイバに入射して合波し、１つのレーザ光として出射するＬＤモジュール（レーザモジュール）を用い、さらに、複数のＬＤモジュールの光ファイバを束ねてレーザ出射部として、複数のＬＤモジュールが出射したレーザ光をまとめて光学系に入射する光源装置が用いられている。
【０００５】
このようなＬＤモジュール（光源モジュール）を利用する露光装置において、高精度な露光を行うためには、ＬＤモジュールから適正なレーザ光を出射する必要がある。
ところが、ＬＤモジュールを構成するＬＤには、光量、初期電流値、立ち上がり時間等に個体差が有り、それぞれの特性が異なる。また、ＬＤモジュールも、ＬＤに起因する個体差に加え、光学的な個体差等が有り、やはり、それぞれの特性は異なる。
そのため、各ＬＤモジュールを同一条件で駆動していたのでは、出力等が所定のレーザ光を出射することができず、すなわち、高精度な露光を行うことができない。
【特許文献１】特開２００４−６２１５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような不都合を回避するために、露光装置では、個々のＬＤモジュールの特性を登録し、登録した特性に応じて各ＬＤモジュールの駆動を制御することが行われている。
【０００７】
ここで、各ＬＤモジュールの特性は、通常、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）等で一括管理され、ＬＤモジュールを装置に装着する際に、装置に入力／登録している。
具体的には、露光装置に装着する可能性を有するＬＤモジュールの特性データをＰＣに入力しておく。その上で、装置への組み込みや故障等による交換のために露光装置にＬＤモジュールを装着する際に、対応する特性データをＰＣからフロッピーディスクやＳＤカード等の記憶媒体に記録する。さらに、この記憶媒体から露光装置に特性データを入力して対応する駆動制御手段に登録することで、例えば露光装置のＬＤモジュールの駆動制御パラメータを登録した特性データに応じて入力あるいは書き換えして、前記ＬＤモジュールの駆動を制御する。
【０００８】
ところが、この方法では、ＰＣから記憶媒体に特性データを記録する際に、違うＬＤモジュールの特性データを記録媒体に記録してしまう可能性がある。また、記録媒体から露光装置に特性データを登録する際にも、異なる駆動制御手段に特性データを登録してしまう可能性もある。
このような間違いがあれば、当然、ＬＤモジュールを適正に駆動することはできず、すなわち、高精度な露光を行うことができない。また、このような不都合を回避するためには、間違えを起こさないように、慎重に確認をしながら作業を行う必要があり、すなわち、露光装置の組み立て作業やＬＤモジュールの交換などのメンテナンス作業が、煩雑で手間のかかる作業となってしまっている。
【０００９】
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決することにあり、複数のＬＤなど、複数の光源を有する光源モジュールにおいて、簡易かつ容易な操作で、対応する光源モジュールの特性を正確に露光装置の光源ユニット等に入力／登録することができ、装置の組み立て作業や光源モジュールの交換などのメンテナンス作業等を簡略化することができ、さらに、経時等による特性変動等にも好適に対応することができる光源モジュール、および、この光源モジュールを利用する光源装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明の光源モジュールは、少なくとも１つの光源を有する光源モジュールであって、記憶素子が一体的に設けられ、この記憶素子に光源モジュールに関する情報が記憶されていることを特徴とする光源モジュールを提供する。
【００１１】
このような本発明の光源モジュールにおいて、複数の光源を有し、さらに、前記複数の光源が射出した光を合波して射出する合波手段と、前記光源が射出した光を前記合波手段に入射する光学系とを有するのが好ましく、また、前記情報が、前記光源モジュールの光源の個々の特性の情報、光源モジュールの特性の情報、および、履歴情報の少なくとも１つであるのが好ましく、さらに、前記光源が、半導体レーザであるのが好ましい。
【００１２】
また、本発明の光源装置は、前記本発明の光源モジュールと、前記光源モジュールを駆動する駆動制御手段とを有し、かつ、前記駆動制御手段は、前記記憶素子が記憶する情報を読み出し、この情報に応じて、前記光源モジュールの駆動を制御することを特徴とする光源装置を提供する。
【００１３】
このような本発明の光源装置において、前記光源モジュールが所定位置に装填されると、前記駆動制御手段と前記記憶素子とが自動的に接続されるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
上記構成を有する本発明によれば、ＬＤモジュールなどの光源モジュールに記憶媒体を一体化させて、この記憶媒体に光源モジュールの特性等の情報を記録しておくので、例えば、露光装置の光源装置等に装着することで、装着する光源モジュールに対応する正確な情報を装置に入力して、間違えることなく対応する駆動制御手段等に登録することができる。そのため、本発明によれば、特性データを入力する際の確認作業等を不要にして、装置の組み立て作業や、故障による光源モジュールの交換などのメンテナンス作業を簡易かつ容易なものにすることができる。
また、記憶媒体としてＥＥＰＲＯＭなどの書き換え可能な記憶媒体を用いれば、経時による変動や、使用による一部の光源の故障など、経時による特性や状態の変動も情報として記録し、また特性等の書き換えが可能であるので、光源モジュールの経時による変動等にも、好適に対応して、高精度な露光を安定して行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の光源モジュールおよび光源装置について、添付の図面に示される好適実施例を基に詳細に説明する。
【００１６】
図１に本発明を利用する露光装置の一例の概略図を示す。
図１に示す露光装置１０は、本発明の光源装置４８から出射したレーザ光（記録光）を、例えばＲＩＰ(Raster Image Processor)から供給された画像データ（描画パターン）に応じて変調して、プリント配線基板や液晶表示素子等を製造する基板を像様に露光する装置である。
【００１７】
図１に示すように、露光装置１０は、４本の脚部１２に支持された矩形厚板状の設置台１４を備えている。
設置台１４の上面には、長手方向に沿って２本のガイド１６が延設されており、これら２本のガイド１６上には、矩形平盤状のステージ１８が設けられている。ステージ１８は、長手方向がガイド１６の延設方向を向くよう配置され、ガイド１６により設置台１４上を長手方向に往復移動可能に支持されており、図示しない駆動装置によってガイド１６に案内されて、設置台１４の長手方向（走査方向（図１の矢印Ｙ方向））に往復移動する。
【００１８】
ステージ１８の上面には、被記録媒体である基板２０が、図示しない搬送手段もしくはオペレータにより所定位置に位置決めされて載置される。基板２０（感光材料）は、後述するスキャナ２６（露光ヘッド４０）から出射される、画像データに応じて変調されたレーザ光で像様に露光され、描画パターンを記録される。
このステージ１８の上面（基板載置面）には、図示しない複数の溝部が形成されており、それらの溝部内が負圧供給源によって負圧とされることにより、基板２０はステージ１８の上面に吸着されて保持される。
【００１９】
また、基板２０には、露光位置（描画位置）の基準となるアライメントマーク２２が形成されている。
図示例において、アライメントマーク２２は基板２０の角部近傍の４個所に形成されているが、本発明が対応する基板２０において、アライメントマーク２２の位置は、これに限定はされず、また、数も４つ未満でも５つ以上でもよい。
【００２０】
なお、本発明の光源装置を用いる露光装置が対応する基板２０には、特に限定はなく、各種の感光材料が利用可能である。好適な一例として、プリント配線基板や液晶表示素子等のパターンを形成（画像露光）する材料としての基板やガラスプレート等の表面に、感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布、または、ドライフィルムの場合はラミネートした物などが例示される。
【００２１】
設置台１４の中央部には、ステージ１８の移動経路（矢印Ｙ方向）と直交する矢印Ｘ方向に跨ぐようにコ字状のゲート２４が設けられている。
ゲート２４は、両下端部がそれぞれ設置台１４の両短手側面に固定されており、ゲート２４の矢印Ｙ方向の一方の側（計測方向下流側）に、基板２０を露光するスキャナ２６が設けられる。
また、スキャナ２６の矢印Ｙ方向の計測方向下流側の面には、アライメント（基板２０上における画像露光位置（描画位置）の設定を行うために、基板２０に設けられたアライメントマーク２２を撮影するアライメントユニット３０が設けられている。アライメントユニット３０には、複数（例えば４台）のＣＣＤカメラがアライメントカメラとして備えられている。ＣＣＤカメラは、Ｘ方向に配列されて配置され、かつ、予想されるアライメントマークの位置に応じて、Ｘ方向の位置を移動可能にされている。
【００２２】
ステージ１８の駆動装置、スキャナ２６、アライメントユニット３０、および後述する光源装置（照明装置）４８は、これらを制御するコントローラ３８に接続されている。
このコントローラ３８により、後述する露光装置１０の露光動作時には、ステージ１８は所定の速度で移動するように制御され、ＣＣＤカメラはアライメントマーク２２の理論位置において、所定のタイミングで基板２０のアライメントマーク２２を撮影するよう制御され、スキャナ２６は所定のタイミングで基板２０を露光するよう制御される。また、ＣＣＤカメラ２８が撮影した画像（画像データ）は、コントローラ３８に出力され、基板２０上におけるアライメントマークの位置が検出される。
【００２３】
図２に示すように、スキャナ２６の内部にはｍ行ｎ列（例えば、２行４列）の略マトリックス状に配列された複数（例えば８個）の露光ヘッド４０が設置されている。
露光ヘッド４０による露光エリア４２は、例えば走査方向を短辺とする矩形上である。従って、図２に示すように、基板２０には、その走査露光の移動動作に伴って露光ヘッド４０毎に帯状の露光済み領域４４が形成される。
また、図２に示すように、帯状の露光済み領域４４が走査方向と直交する方向に隙間無く並ぶように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド４０の各々は、配列方向に所定間隔（露光エリアの長辺の自然倍数）ずらして配置されている。このため、例えば第１行目の露光エリア４２と第２行目の露光エリア４２との間の露光できない部分は、第２行面の露光エリア４２により露光することができる。
【００２４】
各露光ヘッド４０は、後述する光源装置４８から出射され、光ファイバ５０によって導光され所定の入射部に入射したレーザ光（記録光）を、画像データに応じて変調し、変調したレーザ光をステージ１８上に載置された基板２０に結像するものである。
図示例において、露光ヘッド４０は、一例として、ＤＭＤ(Digital Micromirror Device)を用いて、基板２０に向かう光路へのレーザ光の反射をｏｎ／ｏｆｆすることにより、入射したレーザ光を画像データに応じて変調する。
【００２５】
図１に示すように、露光装置１０は、光源装置４８および光ファイバ５０を有し、光源装置４８から出射され、光ファイバ５０で導光されたレーザ光が、基板２０を露光する記録光として露光ヘッド４０に入射される。
また、光源装置４８は、コントローラ３８からの指示に応じて、基板２０を露光するレーザ光を出射する。
【００２６】
ここで、光源装置４８は、本発明の光源モジュールを利用する本発明の光源装置あり、複数のＬＤ（レーザダイオード（半導体レーザ））から出射したレーザ光を光ファイバで導光／合波して、１本のレーザ光として出射するＬＤモジュールを用いるものである。
また、図示例においては、複数のＬＤモジュールを１つのユニットとして、各ＬＤモジュールが出射した光ビームを前記光ファイバ５０に入射して、１つの光ビームとして露光ヘッド４０に入射する。すなわち、図示例においては、光源装置４８には、前述の８つの露光ヘッド４０に対応して、複数のＬＤモジュールからなるユニットが８つ配置される。
このような構成を有することにより、個々の光量が不十分な光源を用いた場合でも、充分な光量のレーザ光で、効率のよい露光を行うことができる。
【００２７】
図３に、光源装置４８を構成するＬＤモジュール６０の概念図を示す。
このＬＤモジュール６０は、ヒートブロック６２と、ヒートブロック６２に配列するように固定された一例として７個のＬＤ（ＬＤａ、ＬＤｂ、ＬＤｃ、ＬＤｄ、ＬＤｅ、ＬＤｆ、およびＬＤｇ）と、各ＬＤに対応するコリメータレンズ６４（６４ａ、６４ｂ、６４ｃ、６４ｄ、６４ｅ、６４ｆ、および６４ｇ）と、集光レンズ６６と、光ファイバ６８とを有して構成される。
なお、本発明の光源モジュールにおいて、ＬＤ（光源）の数は７個に限定はされず、１個〜６個でも、８個以上でもよい。また、コリメータレンズ６４も個々に独立したものではなく、複数のレンズが一体化されてなるレンズアレイであってもよい。
【００２８】
また、図３では省略するが、ＬＤモジュール６０には、このＬＤモジュール６０に関する各種の情報を記憶する記憶素子７８が設けられる。
記憶素子７８の位置には、特に限定はなく、ＬＤモジュール６０と一体化されており、かつ、ＬＤモジュール６０を光源装置４８の所定位置に装着した際に、後述するＬＤ制御基板７４と接続可能に構成されていればよい。
【００２９】
ＬＤ（ＬＤチップ）は、一例として、チップ状の横マルチモードまたはシングルモードのＧａＮ系半導体レーザであり、発振波長が総て共通（例えば、４０５ｎｍ）であり、最大出力も総て共通（例えば、マルチモードレーザでは１００ｍＷ、シングルモードレーザでは３０ｍＷ）である。なお、ＬＤとしては、３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長範囲で、上記の４０５ｎｍ以外の発振波長を備えるレーザを用いてもよい。
なお、本発明において、光源はＬＤに限定はされず、基板２０（感光材料）の感光波長の光を出射できるものであれば、各種の光源が利用可能である。
【００３０】
各ＬＤが出射したレーザ光は、対応するコリメータレンズ６４によって平行光とされた後、集光レンズ６６で集光されて、光ファイバ６８のコア６８ａの入射端面に入射する。
光ファイバ６８は、例えばマルチモードの光ファイバであって、入射面６８ａから入射した７つのレーザ光を合波／導光して、１つのレーザ光として出射する。
【００３１】
前述のように、図示例の光源装置４８は、複数のＬＤモジュール６０を１つのユニットとして、各ＬＤモジュールが出射した光ビームを前記光ファイバ５０に入射する。
図４に、光源装置４８の制御系の概念図を示す。なお、図面を明瞭にするため、図４においても記憶素子７８は省略する。図示例の光源装置４８は、複数のＬＤモジュール６０を１つのユニットとして、各モジュール（その光ファイバ６８）から出射されたレーザ光を１本の光ファイバ５０に入射する。また、１つのユニットとされた複数のＬＤモジュール６０は、１つのＬＤ制御部７２によって駆動を制御される。
なお、１つのユニットとして扱うＬＤモジュール６０の数には、特に限定はなく、図示例のように複数であっても、１つであってもよい。また、複数のＬＤモジュール６０（光ファイバ６８）から出射されたレーザ光を１本の光ファイバ５０に入射する方法は、例えば、各光ファイバ６８を光出射部側の端部で束ねて、各光出射部から出射されたレーザ光を集光レンズで集光して光ファイバ５０のコアの入射端面に入射する方法等、公知の方法によればよい。
【００３２】
前述のように、スキャナ２６は８つの露光ヘッド４０を有するので、図示例においては、複数のＬＤモジュール６０からなるユニットを８つ有し、各ユニットに対応してＬＤ制御部７２が設けられる。
【００３３】
図５に、ＬＤ制御部７２の概念図を示す。
前述のように、図示例においては、複数のＬＤモジュール６０を１つのユニットとするので、ＬＤ制御部７２は、各ＬＤモジュール６０に対応して、ＬＤモジュール６０を駆動／制御するＬＤ制御基板７４を、ＬＤモジュール６０と同数、有する。
ここで、前述のように、ＬＤモジュール６０には、記憶素子７８が一体的に設けられている。また、光源装置４８およびＬＤモジュール６０は、好ましい態様として、ＬＤモジュール６０を光源装置４８の所定位置に装着（必要に応じたコネクタ等の接続も含む）した際に、個々のＬＤを駆動するための配線のＬＤ制御基板７４への接続に加え、記憶素子７８も自動的にＬＤ制御基板７４に接続されるように構成されている。この構成には、特に限定はなく、例えば、ＬＤの駆動配線の接続部と記憶素子７８の配線の接続部とを一体的にする構成などの公知の方法によればよい。
【００３４】
記憶素子７８は、自身が取り付けられたＬＤモジュール６０の情報を記憶している。
本発明において、記憶素子７８には特に限定はなく、不揮発性で、かつ、情報の記憶に充分な記憶容量を有するものであれば、各種のものが利用可能である。好ましくは、ＥＥＰＲＯＭのような情報の書き換えが可能な記憶素子を用いる。このような、情報の書き換えが可能な記憶素子を用いることにより、ＬＤモジュールの履歴に関する情報、故障が発生した場合の情報等を記憶素子７８に持たせることができ、また、ＬＤを交換した場合に、新しいＬＤの情報を入れ直すことができる。
【００３５】
記憶素子７８が記憶する情報には、特に限定はなく、ＬＤモジュール６０に関する各種の情報が利用可能である。
好ましい一例として、ＬＤモジュール６０に装着される各ＬＤ（ＬＤチップ）の情報が例示される。具体的には、初期電流値（レーザ発信の立ち上がり閾値）、ピーク波長、定格電流（所定の電流）を流した際の光量、立ち上がり時間などのＬＤの特性に関する情報、ＬＤの識別情報（製造番号など）等が例示される。
また、特開２００１−２６７６６９号公報等に示されるように、ＬＤは、立ち上げ時に駆動電流を段階的に高くしていくことにより、立ち上がりを安定し、かつ、出力安定化までの時間を短縮できる。ここで、段階的な駆動電流の好ましい掛け方は、個々のＬＤによって異なる。従って、ＬＤの立ち上げ時における各ＬＤ毎の段階的な駆動電流のデータを記憶素子７８に記録してもよい。
【００３６】
また、ＬＤモジュール６０自身の情報も、好適に例示される。
具体的には、ＬＤモジュール６０を１つの光源として見た際のピーク波長、全ＬＤに定格電流（所定の電流）を流した際の光量などのＬＤモジュールの特性に関する情報、ＬＤモジュールの識別情報等が例示される。
【００３７】
これ以外にも、情報の入力日、さらに、記憶素子７８が書き換え可能なものであれば、情報の更新日、ＬＤモジュール６０の稼働時間、個々のＬＤの稼働時間、故障しているＬＤの情報、交換したＬＤの情報などの履歴に関する情報も好適に例示される。
このような履歴に関する情報を記憶することにより、後述する駆動制御の適正化に加え、稼働時間に応じたＬＤモジュール６０やＬＤの寿命の管理、稼働時間に応じた駆動の制御、ＬＤの故障に対応する駆動の制御等を行うことも可能となり、より好適なＬＤモジュール６０の駆動制御や管理等を行うことができる。
【００３８】
このような情報は、ＬＤモジュール６０の光源装置４８への組み込みに先立ち、記憶素子７８に応じた公知の方法で記録すればよい。また、履歴に関する情報は、光源装置４８にＬＤモジュール６０を組み込んだ状態で書き換えられるように、光源装置４８およびＬＤモジュール６０を構成するのが好ましい。
各情報のパラメータは、例えば、ＬＤモジュールの識別情報をファイル名とするようなテキストファイルで管理すればよい。
【００３９】
図示例の光源装置４８においては、光源の装着や交換等はＬＤ単位で行うことはなく、基本的に、ＬＤモジュール６０を単位として行う。光源装置４８の組み立て、故障による交換などのメンテナンスのために、ＬＤモジュール６０が光源装置４８の所定位置に装着されると、前述のように、各ＬＤに駆動電流を供給するための配線がＬＤ制御基板７４と接続され、同時に、記憶素子７８もＬＤ制御基板７４に接続される。
次いで、ＬＤ制御基板７４は、記憶素子７８が記憶している情報を読み取って、情報を登録する。さらに、ＬＤ制御基板７４は、登録した情報に応じて、対応するＬＤモジュール６０が目的とする波長や光量のレーザ光を出射できるように、ＬＤモジュール６０に取り付けられている各ＬＤの駆動条件を設定する。例えば、各ＬＤを駆動するための制御パラメータを、登録した情報に応じて書き換える。なお、このような情報に応じたＬＤ等の駆動の制御は、従来の光源装置と同様に行えばよい。
【００４０】
以上の説明より明らかなように、本発明によれば、ＬＤモジュール６０（光源モジュール）に記憶素子７８を一体的に設け、此処にＬＤモジュール６０の情報を記憶させておくので、ＬＤモジュール６０を光源装置４８の所定位置に組み込むだけで、情報を光源装置４８に登録して、所定のレーザ光を出射するためのＬＤの駆動条件を設定できる。
従って、従来のようにＰＣ等でＬＤモジュールの特性を管理して、装着時に記憶媒体に移して装置に入力（インストール）／登録してる従来の方法のように、間違った情報を登録する可能性が極めて低く、光源装置に的確にＬＤモジュールの特性を登録でき、装置の組み立て、故障によるモジュールの交換などのメンテナンスを容易にできる。好ましくは、記憶素子７８としてＥＥＰＲＯＭのような書き換え可能な物を用いることにより、履歴や故障の情報を記憶素子７８に記憶させることができ、例えば、経時やＬＤの故障に応じた駆動制御やＬＤモジュールの寿命の管理など、より好適な光源装置の駆動制御や管理等を行うことが可能になる。
【００４１】
以下、露光装置１０の作用について、簡単に説明する。
露光装置１０の主電源が入れられると、コントローラ３８は光源装置４８に光源の点灯指示を出す。これに応じて、光源装置４８のＬＤ制御部７２では、各ＬＤ制御基板７４がＬＤモジュール６０に駆動電流を供給し、ＬＤを点灯する。この駆動電流は、前述のようにして記憶素子７８から読み取った情報に応じて条件を制御されたものである。
なお、露光を行わない状態では、露光ヘッド４０のＤＭＤは全てのミラーがｏｆｆの状態になっており、すなわち、基板２０に対してレーザ光は遮光されている。
【００４２】
基板２０をステージ１８上の所定位置に載置し（自動もしくは手動）、描画する画像が指示され、さらにアライメントマークの位置が指定されて、露光開始が指示されると、まず、アライメントユニット３０が基板２０上におけるアライメントマークの指定位置に応じてＣＣＤカメラをＸ方向に移動する。なお、これらの入力指示は、キーボード等を用いた公知の方法で行われ、情報がコントローラ３８に供給される。
初期状態では、ステージ１８は、計測方向の最上流に位置しており、ＣＣＤカメラの移動が終了すると、ステージ１８を計測方向に移動しつつ、アライメントマークの予測位置において、ＣＣＤカメラによる撮影を行って、アライメントマークの撮影を行う。
【００４３】
この撮影画像は、コントローラ３８に供給される。コントローラ３８は、撮影画像（画像データ）およびＣＣＤカメラのＸ方向の位置ならびに撮影タイミングから、基板上におけるアライメントマークの位置を検出する。さらに、コントローラ３８は、検出した基板上におけるアライメントマークの位置と、先に指定されたアライメントマークの位置とから、基板上における画像の露光位置（描画位置）を設定する。
以上で、いわゆるアライメントが終了して、基板２０の露光が開始される。
【００４４】
露光が開始されると、ステージ１８を計測方向とは逆の露光方向に移動する。他方、コントローラ３８は、画像データおよびアライメントで設定した露光位置に応じて、各露光ヘッド４０の駆動信号を生成して、ステージ１８の移動に同期してスキャナ２６の各露光ヘッド４０に供給する。
露光ヘッド４０は、この駆動信号に応じて、ＤＭＤの各ミラーをｏｎ／ｏｆｆし、画像データ（すなわち描画パターン）に応じてＤＭＤで変調されたレーザ光が基板２０に結像して、基板２０がＤＭＤの使用画素数と略同数の画素単位（露光エリア）で像様に露光される。
また、基板２０がステージ１８と共に一定速度で移動されることにより、基板２０がスキャナ２６によりステージ移動方向と反対の方向に走査され、露光ヘッド４０毎に帯状の露光済み領域４４が形成される。
【００４５】
基板２０の露光が完了すると、ステージ１８は駆動装置によりそのまま露光方向の下流側へ駆動されて露光方向の最下流側（計測方向の最上流）にある原点に復帰する。以上により、露光装置１０による基板２０に対する露光動作が終了する。
【００４６】
以上、本発明の光源モジュールおよび光源装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのは、もちろんである。
【００４７】
例えば、図示例のＬＤモジュール６０では、各ＬＤが出射したレーザ光をコリメータレンズ６４によって平行光として、集光レンズ６６で集光して光ファイバ６８のコア６８ａの入射端面に入射する。
しかしながら、本発明は、これに限定はされず、ＬＤモジュールは、記憶素子７８を有するものであれば、各種の構成が利用可能である。一例として、図６に示すＬＤモジュール８０のように、各ＬＤが出射したレーザ光を個々のＬＤに対応する光ファイバ８２（８２ａ，８２ｂ，…８２ｇ）で導光して光学系８４に入射し、光学系８４で集光して光ファイバ６８のコア６８ａの入射端面に入射する構成も、好適に例示される。
【００４８】
また、図示例の露光装置１０では、本発明を利用する露光装置の一例として、空間光変調素子としてＤＭＤを用いる露光ヘッドについて説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)タイプの空間変調素子（ＳＬＭ；Special Light Modulator)や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としてマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、ＧＬＶ(Grating Light Valve)を複数ならべて二次元上に構成したものを用いることもできる。
【００４９】
また、本発明が対応する露光装置１０は、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用できる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。
【００５０】
さらに、以上の実施例は、基板に画像を形成するものであるが、本発明は、これ以外にも、例えばプリント配線基板や液晶表示素子等となる各種の感光材料（ワーク）が利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明を利用する露光装置の一例の概略斜視図である。
【図２】図１に示す露光装置のスキャナの構成を示す概略斜視図である。
【図３】本発明のＬＤモジュールの一例の概念図である。
【図４】図１に示す露光装置の光源装置の電気系を示す概念図である。
【図５】図４に示す電気系の一部を示す概念図である。
【図６】本発明のＬＤモジュールの別の例の概念図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  露光装置
１２  脚部
１４  設置台
１６  ガイド
１８  ステージ
２０  基板
２２  アライメントマーク
２４  ゲート
２６  スキャナ
３０  アライメントユニット
３８  コントローラ
４０  露光ヘッド
４２  露光エリア
４４  露光済み領域
４８  光源装置
５０，６８，８２  光ファイバ
６０，８０  ＬＤモジュール
６２  ヒートブロック
６４  コリメータレンズ
６６  集光レンズ
７２  ＬＤ制御部
７４  ＬＤ制御基板
７８  記憶素子
８４  光学系
【図１】
2006237130.tif 000003
【図２】
2006237130.tif 000004
【図３】
2006237130.tif 000005
【図４】
2006237130.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006237130.tif 000008