(57)【要約】【課題】レイアウト内でのアシストフィーチャの配置位置を効率的に決定するシステムを提供する。【解決手段】システムは集積回路のレイアウトを受け取り、レイアウト内に評価点を選択し、アシストフィーチャを配置するためのレイアウト内に候補位置を選択する。次に、システムは、（ａ）候補位置近傍に代表的なアシストフィーチャを配置する摂動位置を選択することと、（ｂ）イメージ強度モデル、レイアウトを用い、および候補位置および摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって空間像を計算することと、（ｃ）空間像に基づいく評価点における像のグラジエントの大きさを計算することと、（ｄ）像のグラジエントの大きさに基づいてアシストフィーチャの候補位置を更新することとを反復的に行うことによって、最終的なアシストフィーチャの配置位置を決定する。【選択図】図６Ａ
2006189845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レイアウト内にアシストフィーチャを配置する方法であって、該方法は、
集積回路のレイアウトを受け取ることと、
該レイアウト内に評価点を選択することと、
該評価点における空間像のイメージ強度グラジエントの大きさを用いて増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該空間像は、イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、および該レイアウト内に１つ以上の代表的なアシストフィーチャを配置することによって、計算される、ことと、
該増加的干渉節点および該減殺的干渉節点の該位置に基づいて、該レイアウト内にアシストフィーチャを配置することと
を包含する、方法。
【請求項２】
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することが、
代表的なアシストフィーチャを配置するための、前記レイアウト内の候補位置を選択することと、
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該識別することが、
該候補位置近傍に代表的なアシストフィーチャを配置するための摂動位置を選択することと、
イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、ならびに該候補位置および該摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって、空間像を計算することと、
該空間像に基づいて、該評価点における像のグラジエントの大きさを計算することと、
前記像のグラジエントの大きさに基づいて、候補位置を更新することと
を反復的に行うことによる、ことと
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記レイアウト内の前記候補位置を選択することが、前記評価点に最も接近した前記空間像内の増加的干渉節点の位置を識別することを包含する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記候補位置を更新することが、代表的なアシストフィーチャを配置するための位置を、前記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算することを包含する、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記代表的なアシストフィーチャを配置するための前記位置を、前記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算することが、
該像のグラジエントの大きさを用いて補間多項式を構築することと、
該補間多項式を用いて該代表的なアシストフィーチャを配置するための該位置を計算することと
を包含する、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することが、代表的なアシストフィーチャの位置を、前記評価点におけるイメージ強度グラジエントの大きさが局所極値に達するように決定することを包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記代表的なアシストフィーチャの前記位置を決定することが、
前記レイアウト内に摂動位置を選択することと、
イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、および該摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって計算される空間像に基づいて、前記評価点におけるイメージ強度グラジエントの大きさを計算することと、
イメージ強度グラジエントの大きさを用いて補間多項式を構築することと、
該補間多項式を用いて該代表的なアシストフィーチャの該位置を計算することと
を包含する、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記アシストフィーチャが、サブ分解能アシストフィーチャまたは超分解能アシストフィーチャであり得る、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
コンピューターによって実行される際に、レイアウト内にアシストフィーチャを配置する方法を該コンピューターに実行させる命令を格納する、コンピュータ可読記憶媒体であって、該方法が、
集積回路のレイアウトを受け取ることと、
該レイアウト内に評価点を選択することと、
該評価点における空間像のイメージ強度グラジエントの大きさを用いて増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該空間像は、イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、および該レイアウト内に１つ以上の代表的なアシストフィーチャを配置することによって、計算される、ことと、
該増加的干渉節点および該減殺的干渉節点の該位置に基づいて、該レイアウト内にアシストフィーチャを配置することと
を包含する、コンピュータ可読記憶媒体。
【請求項１０】
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することが、
代表的なアシストフィーチャを配置するための、前記レイアウト内の候補位置を選択することと、
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該識別することが、
該候補位置近傍に代表的なアシストフィーチャを配置するための摂動位置を選択することと、
イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、ならびに該候補位置および該摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって、空間像を計算することと、
該空間像に基づいて、該評価点における像のグラジエントの大きさを計算することと、
前記像のグラジエントの大きさに基づいて、候補位置を更新することと
を反復的に行うことによる、ことと
を包含する、請求項９に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項１１】
前記レイアウト内の前記候補位置を選択することが、前記評価点に最も接近した前記空間像内の増加的干渉節点の位置を識別することを包含する、請求項１０に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項１２】
前記候補位置を更新することが、代表的なアシストフィーチャを配置するための位置を、前記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算することを包含する、請求項１０に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項１３】
前記代表的なアシストフィーチャを配置するための前記位置を、前記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算することが、
該像のグラジエントの大きさを用いて補間多項式を構築することと、
該補間多項式を用いて該代表的なアシストフィーチャを配置するための該位置を計算することと
を包含する、請求項１２に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項１４】
前記アシストフィーチャが、サブ分解能アシストフィーチャまたは超分解能アシストフィーチャであり得る、請求項９に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
【請求項１５】
レイアウト内にアシストフィーチャを配置するための装置であって、該装置は、
集積回路のレイアウトを受け取るように構成された受信メカニズムと、
該レイアウト内に評価点を選択するように構成された、選択するメカニズムと、
該評価点における空間像のイメージ強度グラジエントの大きさを用いて増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別する識別メカニズムであって、該空間像は、イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、および該レイアウト内に１つ以上の代表的なアシストフィーチャを配置することによって計算される、識別メカニズムと、
該増加的干渉節点および該減殺的干渉節点の該位置に基づいて、該レイアウト内にアシストフィーチャを配置するように構成された、配置メカニズムと
を備える、装置。
【請求項１６】
前記識別メカニズムが、
代表的なアシストフィーチャを配置するための、前記レイアウト内の候補位置を選択することと、
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該識別することが、
該候補位置近傍に代表的なアシストフィーチャを配置するための摂動位置を選択することと、
イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、ならびに該候補位置および該摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって、空間像を計算することと、
該空間像に基づいて、該評価点における像のグラジエントの大きさを計算することと、
前記像のグラジエントの大きさに基づいて、候補位置を更新することと
を反復的に行うことによる、ことと
を行うように構成される、請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記識別メカニズムが、前記評価点に最も接近した前記空間像内の増加的干渉節点の前記位置を識別するように構成される、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記識別メカニズムが、代表的なアシストフィーチャを配置するための位置を、前記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算するように構成される、請求項１６に記載の装置。
【請求項１９】
前記識別メカニズムが、
前記像のグラジエントの大きさを用いて補間多項式を構築することと、
該補間多項式を用いて該代表的なアシストフィーチャを配置するための該位置を計算することと
によって該位置を計算するように構成される、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記アシストフィーチャが、サブ分解能アシストフィーチャまたは超分解能アシストフィーチャであり得る、請求項１５に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は集積回路の製造に関する。より詳細には、本発明は、空間像強度モデルを使用してマスクレイアウト内にアシストフィーチャを配置するための方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体集積密度における劇的な改良は、その大部分が半導体製造技術における対応する改良を通じて達成されている。
【０００３】
１つのそのような半導体製造技術は、マスクレイアウト内にアシストフィーチャを配置することを含む。アシストフィーチャは印刷（例えば超分解能アシストフィーチャ）または非印刷（例えばサブ分解能アシストフィーチャ）であり得るという点に留意されたい。いずれの場合においても、これらのアシストフィーチャは、ウエハ上に印刷しようとするラインのリソグラフィ性能を向上させることを目的とする。
【０００４】
アシストフィーチャを配置するための本技術は、アシストフィーチャが、フィーチャ幅と間隔パラメータの組み合わせに基づいて配置される法則に基づいた方法論を用いている。
【０００５】
不都合にも、軸外照明を用いた光学作用は複雑であり、アシストフィーチャの統合法則の綿密な集合を必要とする。その結果、任意の構成に対し適切に機能することを保証される、配置法則の確固たる集合を作成し維持することは非常に困難である。さらに、生産環境において、法則を維持することは非常に費用がかかる。
【０００６】
したがって、マスクレイアウト内にアシストフィーチャを配置するための、上記問題のない方法および装置が必要である。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態は、アシストフィーチャを配置するためにレイアウト内の位置を決定するシステムを提供する。動作中、システムは集積回路のレイアウトを受け取る。次に、システムはレイアウト内に評価点を選択する。次いで、システムは、アシストフィーチャを配置するためのレイアウト内に候補位置を選択する。次に、システムは、（ａ）候補位置近傍に代表的なアシストフィーチャを配置するための摂動位置を選択することと、（ｂ）イメージ強度モデル、レイアウトを用いて、および候補位置および摂動（ｐｅｒｔｕｒｂａｔｉｏｎ）位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって空間像を計算することと、（ｃ）空間像に基づいて評価点における像のグラジエントの大きさを計算することと、（ｄ）像のグラジエントの大きさ（ｍａｇｎｉｔｕｄｅ）に基づいてアシストフィーチャの候補位置を更新することとを反復的に行うことによって、アシストフィーチャを配置するためのレイアウト内の最終位置を決定する。
【０００８】
この実施形態の変形において、システムは、評価点近傍の空間像内の増加的（ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｖｅ）干渉節点の場所を識別することによってレイアウト内の候補位置を選択する。
【０００９】
この実施形態の変形において、システムは、評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するようにアシストフィーチャの位置を計算することによって候補位置を更新する。
【００１０】
この実施形態のさらなる変形において、システムは、（ａ）像のグラジエントの大きさの集合を用いて補間多項式を構築し、（ｂ）補間多項式を用いてアシストフィーチャの位置を計算することによってアシストフィーチャの位置を計算する。
【００１１】
この実施形態の変形において、アシストフィーチャは、サブ解能アシストフィーチャまたは超分解能アシストフィーチャであり得る。
【００１２】
本発明の別の実施形態は、レイアウト内にアシストフィーチャを配置するシステムを提供する。動作中、システムは、集積回路のレイアウトを受け取る。次に、システムはレイアウト内の評価点を選択する。その後、システムは、評価点における空間像のイメージ強度のグラジエントの大きさを用いて増加的干渉節点および減殺的（ｄｅｓｔｒｕｃｔｉｖｅ）干渉節点の位置を識別し、ここで、空間像は、イメージ強度モデルやレイアウトを用い、レイアウト内の候補位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって計算される。最終的に、システムは、増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置に基づいて、レイアウト内にアシストフィーチャを配置する。
【００１３】
この実施形態の変形において、システムは、評価点におけるイメージ強度のグラジエントの大きさが局所極値に達するようなアシストフィーチャの位置を決定することによって、増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別する。
【００１４】
この実施形態のさらなる変形において、システムは、（ａ）レイアウト内の摂動場所を選択することと、（ｂ）イメージ強度モデルやレイアウトを用い、摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって計算される空間像に基づいて、評価点におけるイメージ強度のグラジエントの大きさを計算することと、（ｃ）評価点におけるイメージ強度のグラジエントの大きさを用いて補間多項式を構築することと、（ｄ）補間多項式を用いてアシストフィーチャの位置を計算することとによって、アシストフィーチャの位置を決定する。
【００１５】
本発明は、さらに以下の手段を提供する。
【００１６】
（項目１）  
レイアウト内にアシストフィーチャを配置する方法であって、該方法は、
集積回路のレイアウトを受け取ることと、
該レイアウト内に評価点を選択することと、
該評価点における空間像のイメージ強度グラジエント（ｉｍａｇｅ−ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ  ｇｒａｄｉｅｎｔ）の大きさを用いて増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該空間像は、イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、および該レイアウト内に１つ以上の代表的なアシストフィーチャを配置することによって、計算される、ことと、
該増加的干渉節点および該減殺的干渉節点の該位置に基づいて、該レイアウト内にアシストフィーチャを配置することと
を包含する、方法。
（項目２）
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することが、
代表的なアシストフィーチャを配置するための、上記レイアウト内の候補位置を選択することと、
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該識別することが、
該候補位置近傍に代表的なアシストフィーチャを配置するための摂動位置を選択することと、
イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、ならびに該候補位置および該摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって、空間像を計算することと、
該空間像に基づいて、該評価点における像のグラジエントの大きさを計算することと、
上記像のグラジエントの大きさに基づいて、候補位置を更新することと
を反復的に行うことによる、ことと
を包含する、項目１に記載の方法。
（項目３）
上記レイアウト内の上記候補位置を選択することが、上記評価点に最も接近した上記空間像内の増加的干渉節点の位置を識別することを包含する、項目２に記載の方法。
（項目４）
上記候補位置を更新することが、代表的なアシストフィーチャを配置するための位置を、上記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算することを包含する、項目２に記載の方法。
（項目５）
上記代表的なアシストフィーチャを配置するための上記位置を、上記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算することが、
該像のグラジエントの大きさを用いて補間多項式を構築することと、
該補間多項式を用いて該代表的なアシストフィーチャを配置するための該位置を計算することと
を包含する、項目４に記載の方法。
（項目６）
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することが、代表的なアシストフィーチャの位置を、上記評価点におけるイメージ強度グラジエントの大きさが局所極値に達するように決定することを包含する、項目１に記載の方法。
（項目７）
上記代表的なアシストフィーチャの上記位置を決定することが、
上記レイアウト内に摂動位置を選択することと、
イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、および該摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって計算される空間像に基づいて、上記評価点におけるイメージ強度グラジエントの大きさを計算することと、
イメージ強度グラジエントの大きさを用いて補間多項式を構築することと、
該補間多項式を用いて該代表的なアシストフィーチャの該位置を計算することと
を包含する、項目６に記載の方法。
（項目８）
上記アシストフィーチャが、サブ分解能アシストフィーチャまたは超分解能アシストフィーチャであり得る、項目１に記載の方法。
（項目９）
コンピューターによって実行される際に、レイアウト内にアシストフィーチャを配置する方法を該コンピューターに実行させる命令を格納する、コンピュータ可読記憶媒体であって、該方法が、
集積回路のレイアウトを受け取ることと、
該レイアウト内に評価点を選択することと、
該評価点における空間像のイメージ強度グラジエントの大きさを用いて増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該空間像は、イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、および該レイアウト内に１つ以上の代表的なアシストフィーチャを配置することによって計算される、ことと、
該増加的干渉節点および該減殺的干渉節点の該位置に基づいて、該レイアウト内にアシストフィーチャを配置することと
を包含する、コンピュータ可読記憶媒体。
（項目１０）
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することが、
代表的なアシストフィーチャを配置するための、上記レイアウト内の候補位置を選択することと、
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該識別することが、
該候補位置近傍に代表的なアシストフィーチャを配置するための摂動位置を選択することと、
イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、ならびに該候補位置および該摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって、空間像を計算することと、
該空間像に基づいて、該評価点における像のグラジエントの大きさを計算することと、
上記像のグラジエントの大きさに基づいて、候補位置を更新することと
を反復的に行うことによる、ことと
を包含する、項目９に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
（項目１１）
上記レイアウト内の上記候補位置を選択することが、上記評価点に最も接近した上記空間像内の増加的干渉節点の位置を識別することを包含する、項目１０に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
（項目１２）
上記候補位置を更新することが、代表的なアシストフィーチャを配置するための位置を、上記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算することを包含する、項目１０に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
（項目１３）
上記代表的なアシストフィーチャを配置するための上記位置を、上記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算することが、
該像のグラジエントの大きさを用いて補間多項式を構築することと、
該補間多項式を用いて該代表的なアシストフィーチャを配置するための該位置を計算することと
を包含する、項目１２に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
（項目１４）
上記アシストフィーチャが、サブ分解能アシストフィーチャまたは超分解能アシストフィーチャであり得る、項目９に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
（項目１５）
レイアウト内にアシストフィーチャを配置するための装置であって、該装置は、
集積回路のレイアウトを受け取るように構成された受信メカニズムと、
該レイアウト内に評価点を選択するように構成された、選択するメカニズムと、
該評価点における空間像のイメージ強度グラジエントの大きさを用いて増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別する識別メカニズムであって、該空間像は、イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、および該レイアウト内に１つ以上の代表的なアシストフィーチャを配置することによって計算される、識別メカニズムと、
該増加的干渉節点および該減殺的干渉節点の該位置に基づいて、該レイアウト内にアシストフィーチャを配置するように構成された、配置メカニズムと
を備える、装置。
（項目１６）
上記識別メカニズムが、
代表的なアシストフィーチャを配置するための、上記レイアウト内の候補位置を選択することと、
増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を識別することであって、該識別することが、
該候補位置近傍に代表的なアシストフィーチャを配置するための摂動位置を選択することと、
イメージ強度モデル、該レイアウトを用い、ならびに該候補位置および該摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって、空間像を計算することと、
該空間像に基づいて、該評価点における像のグラジエントの大きさを計算することと、
上記像のグラジエントの大きさに基づいて、候補位置を更新することと
を反復的に行うことによる、ことと
を行うように構成される、項目１５に記載の装置。
（項目１７）
上記識別メカニズムが、上記評価点に最も接近した上記空間像内の増加的干渉節点の上記位置を識別するように構成される、項目１６に記載の装置。
（項目１８）
上記識別メカニズムが、代表的なアシストフィーチャを配置するための位置を、上記評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算するように構成される、項目１６に記載の装置。
（項目１９）
上記識別メカニズムが、
上記像のグラジエントの大きさを用いて補間多項式を構築することと、
該補間多項式を用いて該代表的なアシストフィーチャを配置するための該位置を計算することと
によって該位置を計算するように構成される、項目１８に記載の装置。
（項目２０）
上記アシストフィーチャが、サブ分解能アシストフィーチャまたは超分解能アシストフィーチャであり得る、項目１５に記載の装置。
【００１７】
（摘要）
本発明の一実施形態は、アシストフィーチャを配置するための、レイアウト内の位置を決定するシステムを提供する。動作中、システムは集積回路のレイアウトを受け取る。次に、システムはレイアウト内に評価点を選択する。次いで、システムは、アシストフィーチャを配置するためのレイアウト内に候補位置を選択する。次に、システムは、（ａ）候補位置近傍に代表的なアシストフィーチャを配置するための摂動位置を選択することと、（ｂ）イメージ強度モデル、レイアウトを用いて、および候補位置および摂動位置に代表的なアシストフィーチャを配置することによって空間像を計算することと、（ｃ）空間像に基づいて評価点における像のグラジエントの大きさを計算することと、（ｄ）像のグラジエントの大きさに基づいてアシストフィーチャの候補位置を更新することとを反復的に行うことによって、アシストフィーチャを配置するためのレイアウト内の最終位置を決定する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（集積回路のデザインおよび製造）
図１は、本発明の実施形態に従う集積回路のデザインおよび製造においての、様々なステップを示す。処理は、製品アイデアから始まる（ステップ１００）。次に、製品アイデアは、電子デザインオートメーション（ＥＤＡ）ソフトウェアを用いてデザインされる集積回路を具体化する（ステップ１１０）。一度、電子回路デザインが仕上がると、それは記録される（ステップ１４０）。記録の後、処理は、製造（ステップ１５０）、パッケージングと組み立て（ステップ１６０）を介して進む。処理は、最終的に、チップの生産に完結する（ステップ１７０）。
【００１９】
順に、ＥＤＡソフトウェアデザインステップ１１０は、多数の分割ステップ、すなわち、システムデザイン（ステップ１１２）、ロジックデザインおよび機能確認（ステップ１１４）、テスト用シンセシスおよびデザイン（ステップ１１６）、デザイン計画（ステップ１１８）、ネットリスト確認（ステップ１２０）、物理的実施（ステップ１２２）、分析および摘出（ステップ１２４）、物理的確認（１２６）、分解能向上（ステップ１２８）、およびマスクデータ準備（ステップ１３０）を含む。
【００２０】
アシストフィーチャ配置は、分解能向上ステップ１２８の間に行うことが出来る。例えば、アシストフィーチャ配置は、シノプシス株式会社からの製品Ｐｒｏｔｅｕｓ（登録商標）において実施されることができる。
【００２１】
（アシストフィーチャ）
アシストフィーチャは、半導体製造中の処理性能、および孤立したフィーチャの共焦点（ｉｓｏｆｏｃａｌ）特性を改善するための、強力な分解能向上テクニック（ＲＥＴ）である。特に、サブ分解能アシストフィーチャ（ＳＲＡＦ）は、ゲート構造および他の一次元フィーチャに適用される場合、非常に効果的である。（明確にするために、本発明は、サブ分解能アシストフィーチャの内容において記載される。しかし、本発明は、超分解能アシスト機能のような他の種類のアシストフィーチャにも適用されることは、当業者には明らかである。即時の応用の注意として、「アシストフィーチャ」は、指定されない限り、サブ分解能アシストフィーチャを表す。）
図２は、本発明に実施形態に従う集積回路レイアウトの一部のアシストフィーチャ配置を示す。
【００２２】
ライン２０２および２０４は、集積回路レイアウトの一部である。ライン２０４は、複雑なフィーチャ２０６を含む。アシストフィーチャ配置は、レイアウトが複雑なフィーチャを含む場合、より困難になる。例えば、複雑なフィーチャ２０６が原因で、ただ１つのアシストフィーチャの代わりに、２つのアシストフィーチャ２０８と２１０をずらして配置する必要があり得る。多様なピッチを有する複数のラインを含むレイアウトは、複雑なレイアウトの他の実施例である。
【００２３】
アシストフィーチャ配置の本方法は、アシストフィーチャ配置がフィーチャの幅および間隔パラメータの組み合わせによって決まる、ルールに基く方法を用いる。
【００２４】
図３は、本発明の実施形態に従うルールに基く方法を用いるアシストフィーチャ配置を示す。
【００２５】
ライン３０２、３０４、３０６および３０８は、集積回路レイアウトの一部である。ルールに基くアプローチにおいて、アシストフィーチャ（ＡＦ）３１８配置は、ルールテーブルの型にて整理される多様な要素に依存する。例えば、ＡＦ距離３２０は、臨界寸法（ＣＤ）３１０、間隔３１２、長さ３１４、およびギャップ３１６のような多様な要素を含むルールテーブルに基いて決定されことができる。
【００２６】
不都合にも、大きく複雑なレイアウトでは、ルールテーブルが、非常に大きく、非効率的になる。さらに、アシストフィーチャ配置ルールの導出過程が、ウエハ上、およびテストレチクル上に多数の計測点を必要とする困難な処理になる。
【００２７】
好都合にも、光学近接効果補正（ＯＰＣ）モデルにおいての使用のために収集されるデータは、ＡＦの配置にも用いることができる。本発明の一実施形態において、ＯＰＣモデルは、焦点窓（ｆｏｃｕｓ  ｗｉｎｄｏｗ）および共焦点ライン幅の特性によって判断されることによって、アシストフィーチャの最適な場所決定の画質を高める。
【００２８】
（干渉節点）
近年の研究によると、最適なアシストフィーチャの配置は、暗視野コンタクトレチクルの場合、増加的干渉節点にある。反対に、明視野レチクルの場合の最適なＡＦの配置は、減殺的干渉節点にある。
【００２９】
図４Ａは、本発明の実施形態に従う空間像においての干渉節点を示す。
【００３０】
ライン４０２およびライン４０４は、集積回路レイアウトにおいての２つのラインの断面である。イメージ強度カーブ４０６は、空間像のイメージ強度の変化を示す。特に、カーブ４０６は、増加的干渉節点４１２、４１４、および減殺的干渉節点４１０を表す。イメージ閾値４０８は、ウエハ上に映し出すフィーチャを決定する。（暗視野レチクルにおいて、対応するイメージ強度がイメージ閾値以下である場合、フィーチャは、ウエハ上に映し出す。反対に、明視野レチクルにおいて、対応するイメージ強度がイメージ閾値以上である場合、フィーチャは、ウエハ上に映し出す。）
図４Ｂは、どのようにＡＦが、本発明の実施形態に従って、リソグラフィ性能を改善できるかを示す。
【００３１】
ＡＦ４１６は、減殺的干渉節点に配置され、それは減殺的干渉節点４２２を、イメージ閾値４０８に近づけさせる。これは、空間像の傾き４１８を急にさせ、従って、リソグラフィ性能を改善する（図２，３，４Ａ，および４Ｂの描写は図示目的だけのものであり、レイアウトにおいての実際のＡＦ配置には反映されないことを付記する。）
空間像は、空間像強度モデル、レイアウト、およびＡＦの場所を用いて計算される。さらに、本発明の一実施形態において、空間像グラジエントは、空間像強度モデル、レイアウト、およびＡＦの場所を用いて計算される。
【００３２】
さらに、干渉節点の検出は、ＡＦの最適の配置にとって重大である。残念なことに、現在、コンピュータでの迅速かつ正確な方法においての干渉節点の検出テクニックは知られていない。
【００３３】
本発明の一実施形態は、コンピュータでの迅速かつ正確な方法においての最適なＡＦ配置を位置するために、空間像強度モデルを使用する。これは、ＡＦ配置ルールのセットの作成、および維持を省く。実際は、強度モデルは、無限の空間のルールテーブルの実施として見られる。
【００３４】
付け加えて、複雑な配置の場合において、本発明のこの実施形態は、最適なＡＦ配置場所を直接に探すことができ、それによって、複雑な、および非効率的なルールテーブルの作成、ならびに、持続の必要性を省く。結果として、本発明は、補正レイアウトに基づいてＡＦを開発するのに必要な時間を相当短縮する。
【００３５】
（空間像のグラジエントの大きさ）
図５は、本発明の一実施形態に基づく、一次元のフィーチャの、ピッチに対する空間像グラジエントの大きさの図を示す。
【００３６】
空間像グラジエントは急速に干渉節点を見つけるために推進され得る。グラジエントは角度やの大きさとして表わすことができる。一次元の場合においてピッチを変化させると、空間像の角度が一定を保つのに対し、空間像の大きさは変化する。本発明は、ピッチに関する空間像内で最も強い干渉節点を識別するためにこの特性を利用する。
【００３７】
図５に示す図の局所極値が空間像内の干渉節点と一致するという点に留意されたい。
本発明の一実施形態において、増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置は、空間像のイメージ強度のグラジエントの大きさを用いて識別される。次に、ＡＦは、これらの増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置に基づいてレイアウト内に配置される。
【００３８】
（アシストフィーチャを配置するプロセス）
図６Ａは、本発明の一実施形態に基づく、アシストフィーチャを配置するプロセスを説明するフローチャートを示す。
【００３９】
プロセスは、集積回路（ステップ６０２）のレイアウトを受け取ることによって開始する。
【００４０】
次に、システムは、全ての反復が完結したかどうか（ステップ６０４）を決定する。（システムはアシストフィーチャを配置する位置を決定するために反復プロセスを用いているという点に留意されたい。）
反復が完結しているとシステムが決定する場合、システムはアシストフィーチャ（ステップ６０６）を配置する。（システムは、明視野レチクルに対しては減殺的干渉節点、また、暗視野レチクルに対しては増加的干渉節点に、アシストフィーチャを配置するということを想起されたい。）
他方で、反復が完結していないとシステムが決定する場合、システムは、全てのアシストフィーチャが完了したかを調べる（ステップ６０８）。
【００４１】
全てのアシストフィーチャの配置を完了したとシステムが決定する場合、システムは反復が全て完結したかを決定するためにステップ６０４へ戻る。
【００４２】
全てのアシストフィーチャの配置が完了していない場合、システムは、最初にグラジエントの大きさを計算することによって次のアシストフィーチャを配置する（ステップ６１０）。
【００４３】
図６Ｂは、本発明の一実施形態に基づく、グラジエントの大きさを用いて増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を反復的に発見するプロセスを示す。
【００４４】
ライン６５０は集積回路のレイアウトの一部である。システムは、レイアウト内の評価点６５２を最初に選択することによってグラジエントの大きさを計算する。次いで、システムは、代表的なアシストフィーチャ６５８を配置するための、レイアウト内の候補位置を選択する（「アシストフィーチャ」という用語はリソグラフィ性能を向上させるために用いられる任意のフィーチャを広義に指し得るという点に留意されたい）。たとえば、明視野レチクルにおいては、１片のクロムがアシストフィーチャとして機能できる。これに対し、暗視野レチクルにおいては、空白がアシストフィーチャとして機能できる。
【００４５】
次に、システムは、反復的に以下のステップを実行することによってアシストフィーチャ６５８を配置するための（最終的な）位置を決定する。
【００４６】
システムは、最初に候補位置近傍の位置のセットを選択する。本発明の一実施形態において、システムは２つの位置、すなわち「内」６６０と、「外」６６２とを選択する。
【００４７】
次いで、システムは、イメージ強度モデルと、レイアウトと、候補位置近傍に選択された位置のセットとを用いて空間像を計算する。本発明の一実施形態において、システムは３つの空間像を計算する。第１の空間像は、候補（あるいは「０」）位置６５８に位置する代表的なＡＦを用いて計算される。第２の空間像は、「内」の位置６６０に位置する代表的なＡＦを用いて計算される。第３の空間像は、「外」の位置６６２に位置する代表的なＡＦを用いて計算される。
【００４８】
次に、システムは、空間像のセットに基づいて評価点における像のグラジエントの大きさのセットを計算する。本発明の一実施形態において、システムは、法線６５４および接線６５６の方向に沿って、３つの空間像のそれぞれに対する方向のグラジエントを評価する。
次いで、システムは、、評価点６５２における３つの像のグラジエントの大きさを計算するために、これらの方向のグラジエントを用いる。
【００４９】
評価点におけるグラジエントの大きさを計算するためには多様な技術を用いることができるということは、当業者にとっては自明であろう。たとえば、本発明の一実施形態において、システムは、２段階の方法、すなわち、最初に空間像を計算し、グラジエントの大きさを計算するという方法を用いずに、直接、評価点におけるグラジエントの大きさを計算することができる。さらに、本発明の別の実施形態において、システムは、空間像全体を通してのイメージ強度を計算する代わりに、点のセットについてのみ空間像の強度を計算する。
【００５０】
さらに、「グラジエントの大きさ」という用語が、距離に対する強度の変化率を広義に指すことができるということも、当業者にとって自明であろう。したがって、グラジエントの大きさは多様な数式を用いて、イメージ強度から計算することができる。
【００５１】
次いで、システムは、像のグラジエントの大きさのセットに基づいて代表的なアシストフィーチャの候補位置を更新する。システムは、代表的なアシストフィーチャの位置を、評価点における像のグラジエントの大きさが局所極値に達するように計算することによって候補位置を更新するという点に留意されたい。
【００５２】
具体的には、本発明の一実施形態において、システムは最初に像のグラジエントの大きさのセットを用いて補間多項式を構築する。次に、システムは、補間多項式を用いて代表的なアシストフィーチャの位置を計算する。
【００５３】
さらに具体的には、システムは、二次多項式をあてはめることによって局所極値となる位置を計算する（ステップ６１２）。詳細には、それぞれの位置と共に測定された３つのグラジエント値は、以下の２つの方程式を用いて極小値または極大値を計算するために用いられる：
ａ．ＧｒａｄＭａｇ＝ａ＊Ｌｏｃ２＋ｂ＊Ｌｏｃ＋ｃ
ｂ．Ｌｏｃａｆ＝−ｂ／２ａ
ここで、ＧｒａｄＭａｇはグラジエントの大きさ、ＬｏｃはＡＦの位置であり、ａ、ｂ、ｃは未知の係数であり、また、Ｌｏｃａｆは局所極値となる位置である。システムは、最初に、未知の係数ａ、ｂ、ｃを解くために方程式（ａ）を用いる。次に、システムは、局所極値となる位置Ｌｏｃａｆを求めるために方程式（ｂ）を用いる（ステップ６１４）。
【００５４】
局所極値となる位置を発見するためには多数の技術が用いられ得るということは、当業者にとって自明であろう。たとえば、局所極値となる位置を見つけるために、ニュートンの探索法を用いることができる。ニュートンの探索法は、収束の特性を維持あるいは改善しつつ、探索速度を向上し得る。
【００５５】
方程式（ｂ）に示す二次方程式等の補間多項式に対する局所極値が一度発見されると、代表的なＡＦ６５８（たとえば代表的な１片のクロム）は、局所極値６６４の位置に移動される（ステップ６１６）。グラジエントの大きさの局所極値の探索は、反復する方法を用いて継続される。このように、極小か極大である干渉節点がパターン内で発見される。単純にパターンから離れてさらに探索を行うことによって、さらなる干渉節点を発見することができる。ステップの間隔は、第１の干渉節点の倍数として容易に決定することができ、反復したり、続く正確な干渉節点の単数または複数の位置を発見するために、二次の解法ルーチンを用いることができるという点に留意されたい。
【００５６】
図５に示す明視野の場合、増加的干渉節点は容易に位置を見つけることができる。しかしながら、第１の減殺的干渉節点すなわち第１のＡＦにとって最適の配置位置は、空間像グラジエントから容易に識別できない。したがって、第１のＡＦを配置するために、第１の増加的干渉節点の位置を見つけ、評価点から第１の増加的干渉節点までの距離の半分の位置にＡＦが配置される。
【００５７】
図７は、本発明の実施形態に基づく、時間を通じての配置の収束（ｐｌａｃｅｍｅｎｔ  ｃｏｎｖｅｒｇｅｎｃｅ）の図を示す。
【００５８】
図７に示すように、角のフィーチャからかなり離れた、ライン長さ（すなわち一次元）のＡＦは、４回以下の反復において配置の解法に収束する。他方で、角のフィーチャによって支配される、ライン端（あるいは二次元）のＡＦは、７回以下の反復において配置の解法に収束する。
【００５９】
本発明がＡＦを最適に配置することができ、それによって焦点深度を最大限にし、ＣＤの均一性を最小限にすることができるという点に留意されたい。さらに、本発明は限られた回数の反復において最終的な解法に収束する。さらに、収束率を改善するために、古典的な制御理論が用いられるということは、当業者にとって自明であろう。さらに、本発明は法則に基づいたアシスト配置技術よりも迅速に最適なＡＦ配置を決定することができるという点に留意されたい。
【００６０】
（結論）
本発明における実施形態の前述の記載は、図示および記載の目的のためだけに提示される。それらは、網羅的に意図されてはおらず、開示された形式に本発明を限定することを意図されてもいない。従って、多くの修正や変形は、当業者にとって明らかである。付け加えて、上記の開示は、本発明を限定することを意図されてはいない。本発明の範囲は、添付された請求項によって規定される。
【００６１】
例えば、本発明は、光学近接効果補正に一体化され得ることは、当業者にとって明らかである。特に、本発明の一実施形態において、ＯＰＣおよびアシストフィーチャ配置は、パターンが一つに収束するまで、反復して実行され得る。
【００６２】
さらに、本発明は、その位置に追加して、ＡＦのサイズを決定するまで延長され得ることもまた、当業者にとって明らかである。一般に、ＡＦ性能は、ＡＦサイズを増大させることによって改善され得るが、いったんＡＦが大き過ぎるようになると、ウエハ上でイメージングを始める（「大き過ぎる」の定義は、レイアウト内でのパターンに依存し得ることに注意したい）。
【００６３】
追加的に、本発明は、直接に、多角形（ｐｏｌｙｇｏｎ）に適合され得るか、または、弓形（ｓｅｇｍｅｎｔ）に適合され得ることは、当業者にとって明らかであり、それは、多角形の任意の一部として定義され得る。さらに、本発明の一部の実施形態において、本発明は、多角形上の多数の評価点を使用するＡＦに配置され得る。
【００６４】
さらに、この詳細な記載におけるデータ構造およびコードは、通常、コンピュータ可読媒体上に格納され、それは、コンピュータシステムによって使用されるコードおよび／またはデータを格納できる、任意のタイプまたはデバイスであり得る。これは、ディスクドライブ、磁気テープ、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＤＶＤ（ｄｉｇｉｔａｌ  ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  ｄｉｓｃまたはデジタルビデオディスク）などのような、磁気や光学の格納デバイス、ならびに、伝送媒体において具体化されるコンピュータの命令信号（信号が変調される搬送波を有し、または有さず）を含むが、それらに限定されるものではない。例えば、伝送媒体は、インターネットなどのような、通信ネットワークを含み得る。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一実施形態に従った、集積回路の設計および製造における様々なステップを図示する。
【図２】本発明の一実施形態に従った、集積回路レイアウトの一部のためのアシストフィーチャ配置を図示する。
【図３】本発明の一実施形態に従った、法則に基づく方法論を用いた、アシストフィーチャー配置を図示する。
【図４Ａ】本発明の一実施形態に従った、空間像における干渉節点を図示する。
【図４Ｂ】アシストフィーチャがリソグラフィ性能を改善することができる、本発明の一実施形態に従った仕方を図示する。
【図５】本発明の一実施形態に従った、一次元のフィーチャの、ピッチに対する空間像のグラジエントの大きさの図を示す。
【図６Ａ】本発明の一実施形態に従った、アシストフィーチャを配置するプロセスを図示するフローチャートを提示する。
【図６Ｂ】本発明の一実施形態に従った、グラジエントの大きさを用いた増加的干渉節点および減殺的干渉節点の位置を反復的に見分けるプロセスを図示する。
【図７】本発明の一実施形態に従った、時の経過とともに、配置収束の図を提示する。
【符号の説明】
【００６６】
２０８、２１０、３１８、４１６、６５８  アシストフィーチャ
４１０  減殺的干渉節点
４１２  増加的干渉節点
４１４  増加的干渉節点  
６５２  評価点
６５８  候補位置
６６４  局所極値
【図１】
2006189845.tif 000003
【図２】
2006189845.tif 000004
【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2006189845.tif 000007
【図５】
2006189845.tif 000008
【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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