(57)【要約】【課題】  搬送路内のワークの温度分布を均一にすることができるボンディング装置を提供する。【解決手段】  レール部１３のヒータ取付穴１５にヒータ１６を設け、ヒータ１６からの熱でリードフレーム２，３を加熱する。酸化防止ガス２２を供給する供給路２１をレール部１３に設け、供給路２１を、レール部１３の一側部側から他側部側へ向けて延在した後、一側部側へ折り返された折返し形状に形成する。レール部１３の貫通穴３３で、ヒータ１６に近接し該ヒータ１６に沿って延在するヒータ近接領域６１を形成し、戻り穴４３でレール部１３の他端側より一端側へ折り返す折返し領域６２を形成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送する搬送路が形成されたレール部に、前記ワークを加熱するヒータが当該レール部の幅方向に延設されるとともに、前記搬送路内に前記ワークの酸化を防止する酸化防止ガスが供給されるボンディング装置において、
前記レール部内に設けられた前記酸化防止ガスの供給路を、前記レール部の一側部側から他側部側へ向けて延在した後、前記一側部側へ折り返された折返し形状に設定し、当該供給路の前記一側部側から前記他側部側へ向けて延在した領域を、前記ヒータに近接して配置するとともに該ヒータに沿って延設したことを特徴とするボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを搬送する搬送路を備えたボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、リードフレームにチップをボンディングする際には、ボンディング装置が使用されていた。
【０００３】
このボンディング装置には、図２に示すように、リードフレーム７０１，７０１を搬送する搬送レール７０２が設けられており、該搬送レール７０２は、搬送路７０３を構成する溝７０４が形成されたレール部７０５と、前記溝７０４を覆うカバー部７０６とによって構成されている。前記レール部７０５には、幅方向にヒータ７０７が延設されており、搬送されるリードフレーム７０１，７０１を加熱できるように構成されている。
【０００４】
前記カバー部７０６には、搬送するリードフレーム７０１，７０１を覆う幅の多孔質金属焼結体７１１が設けられており、前記リードフレーム７０１，７０１の酸化を防止する酸化防止ガス７１２を前記多孔質金属焼結体７１１を介して前記搬送路７０３内に噴出するように構成されている。これにより、加熱されたリードフレーム７０１，７０１の酸化を防止できるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来のボンディング装置にあっては、酸化防止ガス７１２が０度以下の低温で保存されているため、搬送路７０３内には、低温の酸化防止ガス７１２が噴出されてしまう。
【０００６】
これにより、搬送路７０３内のリードフレーム７０１，７０１が部分的に冷やされてしまい、リードフレーム７０１，７０１の温度分布にバラツキが生じてしまう。これにより、ボンディング精度の低下懸念があった。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、搬送路内のワークの温度分布を均一にすることができるボンディング装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために本発明のボンディング装置にあっては、ワークを搬送する搬送路が形成されたレール部に、前記ワークを加熱するヒータが当該レール部の幅方向に延設されるとともに、前記搬送路内に前記ワークの酸化を防止する酸化防止ガスが供給されるボンディング装置において、前記レール部内に設けられた前記酸化防止ガスの供給路を、前記レール部の一側部側から他側部側へ向けて延在した後、前記一側部側へ折り返された折返し形状に設定し、当該供給路の前記一側部側から前記他側部側へ向けて延在した領域を、前記ヒータに近接して配置するとともに該ヒータに沿って延設した。
【０００９】
すなわち、搬送路内に供給される酸化防止ガスは、レール部の一側部側から他側部側へ向けて延在した後、前記一側部側へ折り返された折返し形状の供給路を介して前記搬送路内に供給される。
【００１０】
このとき、この供給路の前記一側部側から前記他側部側へ向けて延在した領域は、前記レール部に設けられたヒータに近接して配置されるとともに該ヒータに沿って延設されている。このため、前記酸化防止ガスは、この領域において、前記ヒータからの熱によって加熱される。また、この領域にて加熱された酸化防止ガスは、前記一側部側へ折り返された領域において、前記ヒータで加熱された当該レール部によってさらに加熱される。
【発明の効果】
【００１１】
以上説明したように本発明のボンディング装置にあっては、搬送路内に供給される酸化防止ガスを、レール部の一側部側から他側部側へ向けて延在した供給路の領域において、ヒータからの熱によって加熱することができる。また、この領域にて加熱された酸化防止ガスを、前記一側部側へ折り返された領域において、前記ヒータで加熱されたレール部によってさらに加熱することができる。
【００１２】
これにより、低温に維持された酸化防止ガスを、ヒータによるワークの加熱温度付近まで上昇してから搬送路内に供給することができる。このため、低温に維持された酸化防止ガスを、そのまま搬送路内に供給する構造上、この酸化防止ガスによって搬送路内のワークを部分的に冷やしてしまう従来と比較して、前記ヒータで加熱されたワークの温度分布を均一に保つことができる。
【００１３】
これにより、ワークの温度分布のバラツキによって生じ得るボンディング精度の低下を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるボンディング装置に設けられた搬送レール１の要部を示す図であり、このボンディング装置は、ワークとしての第１リードフレーム２と第２リードフレーム３とを前記搬送レール１に沿って移動するとともに、両リードフレーム２，３にチップをボンディングする装置である。
【００１５】
前記搬送レール１は、搬送路１１を構成する溝１２が形成されたレール部１３と、該レール部１３に取り付けられるカバー部１４とからなり、該カバー部１４によって前記レール部１３に形成された前記溝１２の上部開口部を閉鎖できるように構成されている。前記レール部１３には、幅方向に貫通したヒータ取付穴１５が複数箇所に穿孔されており、各ヒータ取付穴１５には、棒状のヒータ１６が収容された状態で固定されている。これにより、前記各ヒータ１６からの熱を、前記レール部１３を介して当該レール部１３上の前各リードフレーム２，３に伝達できるように構成されており、各リードフレーム２，３を所定の温度まで加熱できるように構成されている。
【００１６】
また、前記レール部１３には、供給路２１が形成されており、前記各リードフレーム２，３の酸化を防止する為の酸化防止ガス２２を前記搬送路１１内に供給できるように構成されている。前記酸化防止ガス２２は、水素と窒素とからなるミックスガスにって構成されており、通常時には、０度以下の低温で保存されている。
【００１７】
すなわち、前記レール部１３の前記ヒータ取付穴１５近傍には、当該レール部１３の一側面３１から他側面３２に貫通した貫通穴３３が前記ヒータ取付穴１５に沿って穿孔されている。前記一側面３１側に開口した前記貫通穴３３の一端部には、筒状の接続部３４が接続されており、該接続部３４には、前記酸化防止ガス２２を供給する図外のパイプが接続されるように構成されている。
【００１８】
前記貫通穴３３の他端は、前記他側面３２に形成された凹部４１の奥側面４２に開口しており、該奥側面４２には、前記貫通穴３３より上流側へ離間した部位に、前記一側面３１側へ向かって延在する戻り穴４３が穿孔されている。該戻り穴４３は、その先端が当該レール部１３の前記溝１２上に配置された前記各リードフレーム２，３間に達する長さに設定されており、この戻り穴４３の先端には、前記溝１２内に開口した噴出穴４４に接続されている。
【００１９】
また、前記凹部４１の前記奥側面４２には、前記貫通穴３３と前記戻り穴４３とを連通する連通溝５１が凹設されている。この凹部４１は、内嵌部材５２が内嵌された状態で閉鎖されるように構成されており、この閉鎖状態において、前記貫通穴３３と前記戻り穴４３とが前記連通溝５１によって連通されるように構成されている。
【００２０】
これにより、前記接続部３４と前記貫通穴３３と前記連通溝５１と前記戻り穴４３と前記噴出穴４４とによって、前記酸化防止ガス２２を前記搬送路１１内に供給する前記供給路２１が形成されており、当該供給路２１は、前記レール部１３の一側部側から他側部側へ向けて延在した後、前記一側部側へ折り返された折返し形状に形成されている。
【００２１】
また、前記貫通穴３３は、前記ヒータ１６に近接して配置されるとともに該ヒータ１６に沿って延在するヒータ近接領域６１を形成するとともに、前記戻り穴４３は、前記レール部１３の前記他端側より前記一端側へ折り返す折返し領域６２を形成するように構成されている。
【００２２】
以上の構成にかかる本実施の形態において、前記搬送路１１内に供給される酸化防止ガス２２は、前記レール部１３の一側部側から他側部側へ向けて延在した後、前記一側部側へ折り返された折返し形状の供給路２１を介して前記搬送路１１内に供給される。
【００２３】
このとき、この供給路２１の前記一側部側から前記他側部側へ向けて延在したヒータ近接領域６１は、前記レール部１３に設けられた前記ヒータ１６に近接して配置されるとともに、該ヒータ１６に沿って延設されている。このため、前記酸化防止ガス２２を、このヒータ近接領域６１において、前記ヒータ１６からの熱によって加熱することができる。また、このヒータ近接領域６１にて加熱された前記酸化防止ガス２２を、前記一側部側へ折り返された折返し領域６２において、前記ヒータ１６で加熱された当該レール部１３の熱よって、さらに加熱することができる。
【００２４】
これにより、低温に維持された前記酸化防止ガス２２を、前記ヒータ１６による各リードフレーム２，３の加熱温度付近まで上昇してから前記搬送路１１内に供給することができる。このため、低温に維持された酸化防止ガス２２を、そのまま搬送路１１内に供給する構造上、この酸化防止ガス２２によって前記搬送路１１内の前記リードフレーム２，３を部分的に冷やしてしまう従来と比較して、前記ヒータ１６で加熱されたリードフレーム２，３の温度分布を均一に保つことができる。
【００２５】
これにより、リードフレーム２，３の温度分布のバラツキによって生じ得るボンディング精度の低下を、確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態を示す図で、（ａ）は搬送レールの要部を示す平面図であり、（ｂ）は、搬送レールの断面を示す模式図である。
【図２】従来例を示す図で、（ａ）は搬送レールの要部を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１    搬送レール
２    第１リードフレーム
３    第２リードフレーム
１１    搬送路
１３    レール部
１６    ヒータ
２１    供給路
２２    酸化防止ガス
３１    一側面
３２    他側面
６１    ヒータ近接領域
６２    折返し領域
【図１】
2006344843.tif 000003
【図２】
2006344843.tif 000004