(57)【要約】【課題】  装置設置のための設置面積が少なくて済み、簡易で小型且つ安価な均一照明装置を提供する。【解決手段】  下方に長方形の孔１０を設けた出射筒９の両側に、それぞれ中実の硝子からなる均一光化部８を介して内側にＬＥＤを設けた楕円反射鏡から成る光源ユニット６，６を設けて照射ユニットＡを構成する。前記出射筒９の下方で、図示しない液晶基板との間に前記長方形の孔１０と対抗させて長方形の孔１１を設けたアパーチャ１２を配置する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源の出射光を均一光化部に入射させて光の強度を均一にし、その出射光を任意形状の出射孔を設けた出射部から前記均一光化部の入射光に対して直角方向に出射させることを特徴とする均一照明装置。
【請求項２】
光源を青又は紫外域の発光ダイオードとしたことを特徴とする請求項１記載の均一照明装置。
【請求項３】
出射孔と被照明部との間に前記出射孔と相似の孔を設けたアパーチャを配置したことを特徴とする請求項１記載の均一照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶用基板の露光装置やＵＶ接着装置あるいは均一照明を必要とする分野において用いられる設置スペースが少なくて済み安価に提供し得る均一照明装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１は、従来の液晶用基板のＵＶ露光装置を示す一部截断側面図で、１はＵＶ露光装置の本体、２は楕円反射鏡３を備えた超高圧水銀ランプから成る光源、４は光の強度を均一にする均一照明用ロッドレンズ、５はファン付ダクトであり、光源である超高圧水銀ランプ２から出射したＵＶ光は、楕円反射鏡３により楕円反射鏡３の第２焦点に集光され、均一照明用ロッドレンズ４を通過して均一光となり下方へ出射される。
【０００３】
そして、このようなＵＶ露光装置は、高熱を発する超高圧水銀ランプ２の熱に対して、本体１内の温度を下げるために、内部の熱を吐き出すためのファン付ダクト５と、高熱に対して変形しない耐熱硝子を使用した楕円反射鏡３と、高価な超高圧水銀ランプ２及び図示していないが照射するＵＶ光量を調整する機構等が必要であるため高価で大型のものになった。
【０００４】
ところが近年、液晶基板の大型化に伴い液晶基板の周辺部分のレジストを露光するため、ＵＶ露光装置を液晶基板に沿って移動させる量が増加し、前記のＵＶ露光装置自体が大きく重量があるものを液晶基板に沿って移動させる為には、大型のモータとＬＭガイド（登録商標）などの商品名で呼ばれる大型のリニアガイドが必要であるため、かかる露光装置を設置する場合、広い設置スペースが必要になった。
【特許文献１】特開２００３−３０９０６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで本発明は、装置設置のための設置面積が少なくて済み、簡易で小型且つ安価な均一照明装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、第１の発明は、光源の出射光を均一光化部に入射させて光の強度を均一にし、その出射光を任意形状の出射孔を設けた出射部から前記均一光化部の入射光に対して直角方向に出射させることを特徴とする均一照明装置。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明において光源を青又は紫外域の発光ダイオードとしたことを特徴とする均一照明装置である。
【０００８】
第３の発明は、第１の発明において出射孔と被照明部との間に前記出射孔と相似の孔を設けたアパーチャを配置したことを特徴とする均一照明装置である。
【発明の効果】
【０００９】
第１の発明によれば、小型で高さを従来装置より低くすることができ、その結果、設置スペースが少なくて済み、しかも巾の広い照明を行うことができる。
【００１０】
第２の発明によれば、従来の超高圧水銀ランプ等の発熱光源のように高熱を発しないので、高価で大きな楕円反射鏡を必要とせず、又、高価な均一照明用ロッドレンズの代わりに簡易な均一光化装置を用いることができるため、小型で安価な装置を構成することができる。
【００１１】
第３の発明によれば、照明部を適正に規制して、露光形状を綺麗にすることができる。
【実施例１】
【００１２】
図２は本発明の第１の実施例の縦断側面図で、６は複数のＬＥＤ７を内部に保持し、ＬＥＤの光を内部で反射する楕円反射鏡から成る光源ユニット、８はＬＥＤの光の強度を均一にするための均一光化部である。９は筒状の出射部（以下、出射筒という）で、前記均一光化部８により光の強度を均一にされた均一光を図の下方の孔１０より出射させる。
【００１３】
この実施例では、出射筒９の両側にそれぞれ均一光化部８を介して光源ユニット６を設けたもので、図示しなかったが、これら出射筒９と均一光化部８，８及び光源ユニット６とは、外側に設けた保持部材で一体に構成される。
【００１４】
尚、前記均一光化部８は、中空の透明硝子又は、内面を鏡面処理により内面反射する中空筒で構成され、入射光は光の強度が均一化されて出射する。
【００１５】
この均一光化部８は、光の強度を均一化するためにある長さを必要とし、一般に均一光化部８内の最大反射回数Ｒが３以上となる長さＬを必要とする。
【００１６】
ここで、均一光化部８を透明硝子で構成した場合、硝子の屈折率をＮ（中空筒の場合はＮ＝１となる）、均一光化部の長さをＬ、硝子の巾をＷ、光源から硝子又は中空筒からなる均一光化部８に入射する光束の入射角度をθとした時、空気中ではｓｉｎθで表される開口数と呼ばれるＮＡをＡとすると、最大反射回数Ｒは次式で表される。
【００１７】
【数１】
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【００１８】
光源ユニット６，６内のＬＥＤより発した光は、光源ユニット６，６の内面ミラー、即ち楕円反射鏡で反射し、その第２焦点ａ，ａで集束され，均一光化部８，８に入射すると光の強度が均一化されて出射筒９の下方孔１０より均一光化部８，８の入射光に対して直角方向に出射される。
【００１９】
この実施例では図３に示すように、出射筒９の下部に長方形の孔１０が形成され、孔の形に近似な長方形の形に光の強度が均一化された光が出射され、液晶基板を長方形に露光する。
【００２０】
この実施例１では、円柱状の照射ユニットＡとなっているが、四角柱状で下面に長方形の孔１０が開いているものでもよい。また、孔１０の形状は、長方形に露光するために長方形になっているが、丸でも正方形でも、露光したい形状にできることは言うまでもない。
【００２１】
また、この実施例１では、露光形状を綺麗に出すため、図３に示すように、均一照明装置である照射ユニットＡの下方で液晶基板（図示せず）との間に長方形の孔１１設けたアパーチャ１２を配置した。
【実施例２】
【００２２】
図４は、本発明の第２の実施例を示すもので、均一照明光を下方に照射するために反射ミラー１４を出射筒９の中に斜めに配置したものである。
【実施例３】
【００２３】
図５は、本発明の第３の実施例を示すもので、この場合は、出射筒９’の片側だけに光源ユニット６と均一光化部８を設けたものである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】従来の液晶基板のＵＶ露光装置の一部截断側面図。
【図２】実施例１の縦断側面図。
【図３】実施例１の斜め下方から見た斜視図。
【図４】実施例２の縦断側面図。
【図５】実施例３の縦断側面図。
【符号の説明】
【００２５】
Ａ          照射ユニット
１          本体
２          光源
３          楕円反射鏡
４          ロッドレンズ
５          ファン付ダクト
６          光源ユニット
７          ＬＥＤ
８          均一光化部
９          出射筒
１０，１１  孔
１２        アパーチャ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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