(57)【要約】  【課題】データベースの更新を信頼性高くまた効率よく行うことのできるデータベース更新方法を提供する  【解決手段】データを各々蓄積可能な複数の属性領域を含むレコードを複数記録したデータベースの更新方法であって、新規作成されて更新対象となった新規更新レコード毎に、当該新規更新レコードと、前記データベース内の当該新規更新レコードに対応するレコードとの間における所定の整合性を判定する第１工程と、前記第１工程の判定結果から、前記所定の整合性を満たすと判定されたレコードについては、前記新規更新レコードに基づいて前記データベース内の前記対応するレコードを更新する第２工程とを有する。  【選択図】  図１１
2006146470.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データを各々蓄積可能な複数の属性領域を含むレコードを複数記録したデータベースの更新方法であって、
新規作成されて更新対象となった新規更新レコード毎に、当該新規更新レコードと、前記データベース内の、当該新規更新レコードに対応するレコードとの間における所定の整合性を判定する第１工程と、
前記第１工程の判定結果から、前記所定の整合性を満たすと判定されたレコードについては、前記新規更新レコードに基づいて前記データベース内の前記対応するレコードを更新する第２工程と、を有することを特徴とするデータベース更新方法。
【請求項２】
前記第１工程では、前記新規更新レコードに含まれる前記複数の属性領域内のデータと、前記対応するレコードに含まれる前記複数の属性領域内のデータとのうち、所定の属性領域における両者間のデータが一致した時に、前記レコード間は前記所定の整合性を満たしている、と判定することを特徴とする請求項１に記載のデータベース更新方法。
【請求項３】
前記第１工程では、前記新規更新レコードに含まれる前記複数の属性領域内のデータと、前記対応するレコードに含まれる前記複数の属性領域内のデータとが全て一致した時、又は、該対応するレコードに含まれる前記複数の属性領域内の少なくとも一部の属性領域が所定状態である時に、前記レコード間は前記所定の整合性を満たすと判定することを特徴とする請求項２に記載のデータベース更新方法。
【請求項４】
前記所定状態とは、前記属性領域内がＮＵＬＬである状態を含むことを特徴とする請求項３に記載のデータベース更新方法。
【請求項５】
前記第１工程において、前記所定の整合性を満たさないと判定された前記新規更新レコードについては、当該新規更新レコードが前記データベースの対応するレコードの更新に適切であるか否かを判定する第３工程と、
前記第３工程において適切であると判定されたレコードについては、当該新規更新レコードに基づいて、強制的に前記データベース内の前記対応するレコードを更新する第４工程と、を更に有することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のデータベース更新方法。
【請求項６】
前記第３工程において適切でないと判定されたレコードについては、当該新規更新レコードの少なくとも一部の属性領域のデータを修正する第５工程を更に有し、
前記第５工程で修正されたレコードに対して、前記第１工程からの処理を繰り返し実行することを特徴とする請求項５に記載のデータベース更新方法。
【請求項７】
前記データベース内の前記レコードを、前記新規作成レコードに基づいて更新する前に、前記新規更新レコードの作成時期と、前記データベース内の前記対応するレコードの更新時期とを比較し、当該時期が実質的に等しいか又は当該作成時期の方が新しい場合に、当該新規更新レコードに基づいて前記更新を行うことを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載のデータベース更新方法。
【請求項８】
前記第１工程において前記所定の整合性を満たさないと判定された前記新規更新レコードについては、当該新規更新レコード及び前記データベースの前記対応するレコードの当該データを、少なくとも前記整合性が得られなかった属性領域のデータが明示される形態で出力することを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載のデータベース更新方法。
【請求項９】
データを各々蓄積可能な複数の属性領域を含むレコードを複数記録したデータベースの更新プログラムであって、
新規作成されて更新対象となった新規更新レコード毎に、当該新規更新レコードと、前記データベース内の、当該新規更新レコードに対応するレコードとの間における所定の整合性を判定する第１機能と、
前記第１機能での判定結果から、前記所定の整合性を満たすと判定されたレコードについては、前記新規更新レコードに基づいて前記データベース内の前記対応するレコードを更新する第２機能と、を有することを特徴とするデータベース更新プログラム。
【請求項１０】
複数のデータを有するレコードを複数記録したデータベースの更新プログラムであって、
新規作成されて更新対象となった新規更新レコード毎に、当該新規更新レコードと、当該レコードに対応する前記データベースのレコードとの整合性を検出する機能と、
前記整合性の検出の結果、整合性のあるレコードについて、前記新規更新レコードに基づいて前記データベースの前記対応するレコードを更新する機能と、
前記整合性の検出の結果、整合性の無いレコードについて、前記新規更新レコード及び前記データベースの前記対応するレコードの当該データを、少なくとも前記整合性の無いデータが明示される形態で出力する機能と
をコンピュータに実行させるためのデータベース更新プログラム。
【請求項１１】
複数のデータを有するレコードを複数記録したデータベースの更新プログラムであって、
新規作成されて更新対象となった新規更新レコード毎に、当該新規更新レコードの入力時期と前記データベースの前記対応するレコードの更新時期とを比較し、当該時期が実質的に等しいか前記新規更新レコードの前記入力時期の方が新しいという条件が満たされているか否かを検出する機能と、
前記条件が満たされているレコードについて、前記新規更新レコードに基づいて前記データベースの前記対応するレコードを更新する機能と、
前記条件が満たされていないレコードについて、前記条件の検出に係る情報を出力する機能と
をコンピュータに実行させるためのデータベース更新プログラム。
【請求項１２】
請求項９〜１１の何れか一項に記載のデータベース更新プログラムが、読み出し可能な形で記録されたプログラム記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体素子、液晶表示素子、ＣＣＤ等の撮像素子、プラズマディスプレイ素子、薄膜磁気ヘッド等の電子デバイス（以下、単に電子デバイスと言う）を製造する際のリソグラフィー工程において使用する露光装置等の機械製品の設計・製造に用いる部品に関する情報を管理するデータベースの更新方法、そのためのプログラム、及びそのプログラムの記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば露光装置等の機械製品の設計の際には、通常、使用する部品の発注や製造ラインにおける生産管理等の処理にリンクしたＣＡＤシステム等が使用される。そのようなＣＡＤシステム等においては、社内等で使用が推奨される、あるいは、使用が許される部品等、あるいは、既に使用した実績のある部品等の情報をデータベースに蓄積しておき、そのデータベースの部品情報を参照しながら、設計を行うようにしている。
【０００３】
そのようなデータベースシステムにおいては、蓄積しているデータの管理、メンテナンス等が非常に重要である。例えば、そのようなデータベースシステムには同時に複数の端末装置からアクセスされているため、データを更新するタイミングの設定が難しい。また、複数の作業者がメンテナンス等を行う場合には、そのデータ内容の信頼性を維持することが難しい場合もある。また、そのようなデータベースの更新や管理は、複雑で理解が難しいコマンド等に基づく場合があり、一部の専門的な作業者しか作業ができない場合があるという問題もある。
【０００４】
そこで、例えば対話形式の操作ツール等を備えることにより、データベースの十分な知識が無かったり、あるいはキーボード等による入力操作に不慣れな操作者であっても、容易にデータベースの入力、検索、更新、削除等の操作を行えるようにした効率的かつ信頼性の高いデータベース管理システム等が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−１４１２３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、そのようなデータベース管理システムにおいても、蓄積したデータの信頼性をどのように確保するか、信頼性が高い状態で蓄積しているデータをどのように更新するかという点については十分ではなく、その点において効率的かつ確実性の高い方法が求められている。
【０００６】
具体的には、例えばデータベースに蓄積されているデータの内容の信頼性をチェックする場合、数十個〜百個程度の少数ならば、オペレータ等が１つずつチェックをすることも可能かもしれないが、数千個以上の大量となると手間がかかる上に、正確性の点でも問題となる。また、データの中には、一見して有効／無効（誤り）が確認できないデータもある。すなわち、意味の無い無効な記号であろうとある操作者が推察しても、実は非常に重要で意味のあるデータが記載されている場合があり、個々のデータ毎にその内容を熟知している担当者に確認しながらチェックをする必要性が要求される場合がある。また、部品のデータを変更・更新する場合に、実績のあるデータとして製造に使用されているデータ等を間違ったデータに書き換えてしまうと実用上で大きな損害を生じる可能性があり、慎重の上にも慎重さが要求される。
【０００７】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、データベースの更新を信頼性高くまた効率よく行うことのできるデータベース更新方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、そのようなデータベース更新方法をコンピュータで実現するためのプログラム及びプログラム記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために、本発明に係るデータベース更新方法は、データを各々蓄積可能な複数の属性領域を含むレコードを複数記録したデータベースの更新方法であって、新規作成されて更新対象となった新規更新レコード毎に、当該新規更新レコードと、前記データベース内の、当該新規更新レコードに対応するレコードとの間における所定の整合性を判定する第１工程と、前記第１工程の判定結果から、前記所定の整合性を満たすと判定されたレコードについては、前記新規更新レコードに基づいて前記データベース内の前記対応するレコードを更新する第２工程とを有する。
【０００９】
また、本発明に係るデータベースの更新プログラムは、データを各々蓄積可能な複数の属性領域を含むレコードを複数記録したデータベースの更新プログラムであって、新規作成されて更新対象となった新規更新レコード毎に、当該新規更新レコードと、前記データベース内の、当該新規更新レコードに対応するレコードとの間における所定の整合性を判定する第１機能と、前記第１機能での判定結果から、前記所定の整合性を満たすと判定されたレコードについては、前記新規更新レコードに基づいて前記データベース内の前記対応するレコードを更新する第２機能とを有する。
【００１０】
また、本発明に係るデータベース更新プログラムを記録した記録媒体は、上述のデータベース更新プログラムが読み出し可能な形で記録されたプログラム記録媒体である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、データベースの更新を信頼性高くまた効率よく行うことのできるデータベース更新方法を提供することができる。
また、そのようなデータベース更新方法をコンピュータで実現するためのプログラム及びプログラム記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の一実施形態のデータベース更新システムについて、図１〜図１３を参照して説明する。
本実施形態においては、例えば露光装置等の製造機械を含む種々の機械製品や電気製品等に使用する部品の情報を蓄積した部品データベースに対して、その蓄積された情報を更新するシステムについて説明する。なお、この部品データベースは、それらの製品を設計する際に使用するＣＡＤシステムや、それらの製品を実際に製造する際に使用する生産管理システム等において利用される。
【００１３】
まず、そのデータベース更新システム及び部品データベースの概要を説明する。
図１は、本実施形態のデータベース更新システム１０の構成を示す図である。
データベース更新システム１０は、チェックシステム１１、流し込みシステム１２及び強制書き込みシステム１３という３段階のデータ更新に係る処理システム（処理工程）を有する。
【００１４】
データベース更新システム１０では、まず、チェックシステム１１において、入力ファイル３１に記録された更新対象のレコード（新規更新レコード）と、部品データベース（ＰＤＢ）２０に既に蓄積されている対応するレコード（ＰＤＢレコード）との整合性をチェックする。チェック結果は、オペレータが確認し易い状態でチェック結果ファイル３２として出力する。オペレータは、このチェック結果に基づいて、入力ファイル３１及び部品データベース２０の各レコードの確認や見直しを行い、必要に応じてその修正を行う。
【００１５】
次に、流し込みシステム１２において、実際に部品データベース２０を更新する。流し込みシステム１２は、見直しされた入力ファイル３３に記録されている新規更新レコードと部品データベース２０の対応するレコードとの整合性をチェックし、整合が取れた場合に、新規更新レコードで部品データベース２０の対応するレコードを更新する。また、整合が取れなかった場合には、その新規更新レコード、対応するＰＤＢレコード及びチェック結果を、出力ファイルとしての不整合レコードファイル３４に出力する。オペレータは、不整合レコードファイル３４に基づいて、再度、入力ファイル３３及び部品データベース２０の各レコードの確認や見直しを行う。
【００１６】
次に、強制書き込みシステム１３において、不整合レコードファイル３４に記録されている不整合とされたレコードについて、新規更新レコードとＰＤＢレコードのどちらが適切なレコードの可能性が高いかをチェックする。その結果、新規更新レコードの方が適切である可能性が高い場合には、その新規更新レコードに基づいて部品データベース２０の対応するレコードを更新する。また、新規更新レコードの方が適切である可能性が低い場合には、その新規更新レコード、対応するＰＤＢレコード及びチェック結果を、出力ファイルとしての強制書込結果ファイル３５に出力する。
これらの各処理工程（処理システム）における具体的な処理の流れ及び各入出力ファイル３１〜３５については、後に詳細に説明する。
【００１７】
部品データベース２０には、部品に関する種々のデータが部品毎に１つのレコードとして記録・蓄積される。各レコードは、例えば図番、型名、メーカーコード、更新日、コメント、定格、図面記載備考、分類ＤＩＲ，シンボル名、仮称、シートＤＩＲ，データシート、定格電圧等の属性、ライブラリ（シンボル及びＰＤＦ）及びライブラリコード（シンボル及びＰＤＦ）等のデータを有する（図４参照。図４は、部品データベース２０からリストアップしたＰＤＢレコードの一例を示す図であり、これについては後に説明する）。部品データベース２０は、これらのデータ項目のデータを記録する属性領域を有するレコードを部品毎に蓄積したデータベースである。
【００１８】
部品データベース２０において、各部品のレコードの全ての属性領域に対して、すなわち各部品のレコードの全てのデータ項目に対して必ず有効なデータが記録されているものではない。部品に応じて適宜必要な項目に有効なデータが記録される。この際、有効な項目についてはその有効なデータが、また有効でない項目についてはＮＵＬＬが記録される。
また、各レコードは、「図番」をキーとして検索されるように部品データベース２０に記録される。従って、各レコードにおいて図番のデータは必ず有効なデータとして記録される。
【００１９】
次に、データベース更新システム１０の各処理システム（処理工程）について詳細に説明する。
まず、チェックシステム１１について図２〜図９を参照して説明する。
図２は、チェックシステム１１に係るデータの流れを示す図である。
図２に示すように、チェックシステム１１は、入力ファイル３１に記録された新規更新レコードと部品データベース２０の対応するレコードとの整合性をチェックし、チェック結果をチェック結果ファイル３２として出力する。チェックシステム１１は、入力ファイル３１の新規更新レコードに基づいて部品データベース２０を検索し、対応するＰＤＢレコードをリストアップする。そして、新規更新レコード及びＰＤＢレコードの各データを比較することにより、これらのレコードの整合性を確認する。
【００２０】
入力ファイル３１の一例を図３に示す。
図３においては、１行の一連のデータが１つの部品のデータを示し、これが入力ファイル３１の１つのレコード（新規更新レコード）を構成する。図３に例示する入力ファイル３１には、図番「４Ｓ１１０−０４１」〜図番「４Ｓ１１０−０６６」の４つの部品に対応する４つの新規更新レコードが例示されている。なお、説明を容易にするために、図３に示すように、この４つのレコードにＮｏ．１１〜Ｎｏ．１４の番号を付し、以下の説明において参照する。
入力ファイル３１の各レコードのデータ項目は、前述した部品データベース２０（図４）のレコードのデータ項目とほぼ同じである。
なお、図３においては表形式で入力ファイル３１のレコードを示しているが、実際の入力ファイル３１は、１つのレコード（１つの部品のデータ）が１行毎に記載されたＣＳＶ形式のファイルである。
【００２１】
このような入力ファイル３１の新規更新レコードに対応して、チェックシステム１１により部品データベース２０からリストアップされるＰＤＢレコードを図４に示す。
図４においても、１行の一連のデータが１つの部品のデータを示し、これが部品データベース２０の１つのレコード（ＰＤＢレコード）に相当する。図４に例示するＰＤＢレコードは、図３に示した入力ファイル３１の新規更新レコードに対応した図番「４Ｓ１１０−０４１」〜図番「４Ｓ１１０−０６６」の４つの部品のレコードである。なお、説明を容易にするために、図４に示すように、この４つのレコードにＮｏ．２１〜Ｎｏ．２４の番号を付し、以下の説明において参照する。
【００２２】
入力ファイル３１のレコードは部品データベース２０のレコードに合わせて作成されているため、ＰＤＢレコードと新規更新レコードのデータ項目はほぼ同じである。但し、一部のデータのフォーマットについては相違がある。部品データベース２０のレコードにおいては、図４に示すように、定格電流等の属性を示すデータ項目において、そのデータが有効数字と指数部の数字（べき乗する数）とで表現されている。
【００２３】
次に、チェックシステム１１における処理について、図５〜図９参照してして詳細に説明する。
図５及び図６は、チェックシステム１１の具体的な処理の流れを示す図である。
チェックシステム１１においては、入力ファイル３１のファイル名が入力されたら（ステップＳ１１）、入力ファイル３１に記録されている新規更新対象のレコード（新規更新レコード）をレコード単位で読み込む（ステップＳ１２）。
図３に例示した入力ファイル３１からは、まずＮｏ．１１の新規更新レコードが読み込まれる。
【００２４】
入力ファイル３１から新規更新レコードを読み出したら（ステップＳ１２（図５））、その新規更新レコードに記載されている「図番」のデータをキーとして部品データベース２０を検索し、部品データベース２０から、その新規更新レコードに対応するレコードを読み出す（ステップＳ１４）。Ｎｏ．１１の新規更新レコード（図３）には、「図番」のデータとして「４Ｓ１１０−０４１」というデータが記録されているので、この図番をキーとして、同じ図番のレコードを部品データベース２０から読み出す。これにより読み出されたレコードが、図４に示すＮｏ．２１のＰＤＢレコードである。
【００２５】
部品データベース２０から対応するレコードを読み出したら、入力ファイル３１から読み出した新規更新レコード（図３に示すＮｏ．１１のレコード）と、これに対応するＰＤＢレコード（図４に示すＮｏ．２１のレコード）との間の整合性をチェックする（ステップＳ１５）。
【００２６】
レコード間の整合性のチェックは、レコードに含まれる各データ項目のデータの整合性をチェックし、不整合なデータが無い場合に、そのレコード間のデータが整合しているものと判別する。また、この整合性のチェックは、チェック対象のデータ項目を（１）基本データ、（２）定格他のデータ、（３）属性データ、（４）ライブラリデータ、及び（５）ライブラリコードデータという５種類のデータ項目に分類し、各データの種類毎に整合性を判別する。各種類毎の整合性の判別結果は、フラグの形態でチェック結果ファイル３２（図１又は図２参照）に出力される。
【００２７】
（１）基本データの比較では、図番、型名、メーカーコード、更新日及びコメントの各項目のデータを比較する。
（２）定格他のデータの比較では、定格及び図面記載備考の各項目のデータを比較する。
（３）属性データの比較では、定格電圧、定格電流、定格電力、抵抗値、極数等のその部品の機能や特性を示す属性の値（データ）を比較する。
（４）ライブラリデータの比較では、分類ＤＩＲ、シンボル名、シートＤＩＲ、データシートの各項目のデータを比較する。
また、（５）ライブラリコードデータの比較では、シンボル仮称、ライブラリ（シンボル、ＰＤＦ）及びライブラリコード（シンボル、ＰＤＦ）の各項目のデータを比較する。
【００２８】
また、新規更新レコードに含まれるデータ（新規更新データ）と部品データベース２０のレコードに含まれるデータ（ＰＤＢデータ）との整合性は、新規更新データとＰＤＢデータの内容が等しい場合、及び、ＰＤＢデータとして有効なデータが記録されていない場合（ＰＤＢデータがＮＵＬＬの場合）の何れかの場合に、新規更新データとＰＤＢデータは整合性があると判別する。すなわち、図７に示すように、新規更新データの内容が”Ａ”で対応するＰＤＢデータの内容も”Ａ”と一致している場合、新規更新データの内容が”Ｂ”で対応するＰＤＢデータの内容も”Ｂ”と一致している場合、及び、ＰＤＢデータの内容がＮＵＬＬである場合に、新規更新データとＰＤＢデータとは整合が取れているものとする。なお、この時、整合が取れていることを示すフラグ「０」が、判別結果としてセットされる。
【００２９】
また、ＰＤＢデータが有効なデータであり、これが新規更新データと異なる場合（新規更新データとＰＤＢデータの値が異なる場合及びＰＤＢデータがＮＵＬＬではないのに新規更新データがＮＵＬＬの場合）には、新規更新データとＰＤＢデータとは整合が取れていない（不整合である）と判別される。なお、この時は、整合が取れていないことを示すフラグ「１」が、判別結果としてセットされる。
【００３０】
このようなレコード間の整合性のチェック（ステップＳ１５（図５））の処理の流れを図６に示す。また、レコード間の整合性のチェックの処理の具体例を図８に示す。
以下、図６及び図８を参照して、レコード間の整合性のチェックの処理について説明する。
【００３１】
レコード間の整合性のチェックの処理においては、まず、整合性をチェックするデータの種類を設定する（ステップＳ２１）。本実施形態においては、（１）基本データから（５）ライブラリコードデータまでを順に設定するものとし、まず（１）基本データを設定する。
図３に示した入力ファイル３１及び図４に示した部品データベース２０のレコードの一部であって、データ項目が（１）基本データに分類されるレコード部分を、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に抜粋して示す。
【００３２】
次に、設定した種類に含まれ比較対象となるデータを、新規更新データ及び対応するＰＤＢデータから各々選択する（ステップＳ２２）。例えば、（１）基本データの中の最初のデータ項目である「図番」のデータが、新規更新レコード及びＰＤＢレコードの両方から選択される。図８（Ａ）に示すＮｏ．１１の新規更新レコードにおいては、「４Ｓ１１０−０４１」というデータが選択（抽出）され、図８（Ｂ）に示すＮｏ．２１のＰＤＢレコードにおいては、「４Ｓ１１０−０４１」というデータが選択（抽出）される。
【００３３】
そして、選択した新規更新データの図番のデータと、ＰＤＢデータの図番のデータとを比較し、これらのデータが等しいか否か、あるいは、ＰＤＢデータがＮＵＬＬであるか否かを検出する（ステップＳ２３）。その結果、新規更新データとＰＤＢデータとが等しいか、あるいはＰＤＢデータがＮＵＬＬの場合には、新規更新データとＰＤＢデータとは整合しているものとして、その旨を示す判別フラグ「０」をセットする（ステップＳ２４）。また、新規更新データとＰＤＢデータとが異なっていた場合、あるいは、ＰＤＢデータがＮＵＬＬではないのに新規更新データがＮＵＬＬの場合には、これらのデータは整合していないものとして、その旨を示すフラグ「１」をセットする（ステップＳ２５）。なお、この比較照合結果としての判別フラグは、例えばこの整合性チェックの処理を行う演算処理装置内のメモリ等に記憶（セット）しておく。
図８（Ａ）に示すＮｏ．１１の新規更新レコードと図８（Ｂ）に示すＮｏ．２１のＰＤＢレコードにおいては、ともにその「図番」データは「４Ｓ１１０−０４１」であって等しいので、これらは整合しているものと判別され（ステップＳ２３）、図８（Ｃ）の１１−２１のレコードに対する「図番」の欄に示すように、判別結果として判別フラグ「０」がセットされる。
【００３４】
（１）基本データの中の最初のデータ項目（「図番」）についてデータの整合性の判定が終了したら、ステップＳ２２（図６）に戻って（ステップＳ２６）、次のデータ項目のデータを選択する。（１）基本データの比較においては、次に「型名」のデータが、新規更新レコード及びＰＤＢレコードの両方から選択される。
そして、選択したデータに対して、前述したステップＳ２３の判定を行い、判定フラグを設定する（ステップＳ２４又はステップＳ２５）。
このようなステップＳ２２〜ステップＳ２５の処理を、前述したようにデータの種類が（１）基本データに分類される「図番」、「型名」、「メーカーコード」、「更新日」及び「コメント」の各データ項目について順に行う。
【００３５】
この際、例えば「メーカーコード」のデータは、図８（Ａ）に示すＮｏ．１１の新規更新レコードの「メーカーコード」のデータは「１２３」であり、図８（Ｂ）に示すＮｏ．２１のＰＤＢレコードの「メーカーコード」のデータは「１１４」であり、これらは相違する。従って、ステップＳ２３においてこの相違が検出され、図８（Ｃ）に示すように、これらのレコードの「メーカーコード」のデータが不整合である旨の判別フラグ「１」がセットされる（ステップＳ２５）。
【００３６】
比較対象としているデータの種類に含まれる全てのデータに対してステップＳ２２〜ステップＳ２５の整合性の判別の処理を終了したら（ステップＳ２６）、次に、その種類のデータ全体に対する新規更新レコードとＰＤＢレコードとの間の整合性を判別する（ステップＳ２７）。ここでは、そのデータの種類に含まれるデータの全てが整合性の取れたデータであった時に、そのデータの種類は全体として整合が取れているものとする。そのデータの種類の中に１つでも不整合なデータが存在した場合には、そのデータの種類については整合が取れていないと判別する。
【００３７】
具体的に説明すると、データ項目「更新日」までの整合性の判別の処理（ステップＳ２２〜ステップＳ２５の処理）を行い（１）基本データに分類されるデータの比較が全て終了したら（ステップＳ２６）、ステップＳ２７において（１）基本データに分類されるデータ全体に対する整合性の判別を行う。図８（Ｃ）に示すように、Ｎｏ．１１の新規更新レコードとＮｏ．２１のＰＤＢレコードとの間では、「図番」及び「型名」のデータは整合が取れている（判別フラグが「０」である）ものの、「メーカーコード」、「更新日」及び「コメント」のデータについては整合が取れていない（判別フラグが「１」である）。従って、（１）基本データに分類されるデータについて、Ｎｏ．１１の新規更新レコードとＮｏ．２１のＰＤＢレコードとの間でデータ内容は不整合であると判別され、図８（Ｄ）に示すように、その旨のフラグ「１」がセットされる。
【００３８】
このようにして、その種類のデータについて整合性を判別したら、さらに整合性チェック対象のデータの種類が存在するか否かをチェックし（ステップＳ２８）、存在していた場合にはステップＳ２１に戻って、次のデータの種類を、整合性検出対象のデータの種類として設定する。そして、ステップＳ２２〜ステップＳ２６の処理を繰り返して、そのデータの種類に含まれる全てのデータに対して整合性のチェックを行い（ステップＳ２２〜ステップＳ２６）、そのチェック結果に基づいて、そのデータの種類の全体としての整合性の判別を行う（ステップＳ２７）。
【００３９】
このような処理を繰り返すことにより、前述した（１）基本データ、（２）定格他のデータ、（３）属性データ、（４）ライブラリデータ及び（５）ライブラリコードという５種類全てのデータについて、データの種類毎の整合性の判定が行われる。
図３に示したＮｏ．１１の新規更新レコードと図４に示したＮｏ．２１のＰＤＢレコードとの間については、図８（Ｅ）に示すように、各データの種類毎の整合性の判別結果が検出される。
【００４０】
そして、各レコードに含まれる全てのデータの種類に対してステップＳ２１〜ステップＳ２７の整合性の判別の処理を終了したら（ステップＳ２８）、次に、新規更新レコードとＰＤＢレコードとの間の整合性を判別する（ステップＳ２９）。ここでは、データの種類毎に行った全ての整合性の判別において、それら各データの種類が整合性の取れたものであった時に、新規更新レコードとＰＤＢレコードとは全体として整合が取れているものとする。また、１つでも不整合なデータの種類が存在した場合には、新規更新レコードとＰＤＢレコードとの間で整合が取れていないと判別する。
【００４１】
図３に示したＮｏ．１１の新規更新レコードと図４に示したＮｏ．２１の新規更新レコードとの間では、図８（Ｅ）に示すように、（１）基本データ、（２）定格他のデータ、（３）属性データ及び（５）ライブラリコードデータの４種類のデータにおいて不整合という結果（判別フラグが「１」）になっており、（４）ライブラリデータのみ整合が取れていると判別されている。従って、これらのレコードの間は、整合が取れていないものと判別される。
以上のような処理により、レコード間の整合性をチェックする。
【００４２】
図５に戻って、チェックシステム１１は、このような処理によりレコード間の整合性をチェックしたら（ステップＳ１５）、この結果を、新規更新レコード及びＰＤＢレコードとともに、チェック結果ファイル３２に出力する。
【００４３】
チェック結果ファイル３２のフォーマットを図９に示す。
チェック結果ファイル３２においては、図９に示すように、１行の一連のデータが１つの部品に対する情報（結果レコード）となっている。従って、図９に例示するファイルは、４個のチェック結果のレコードを示す。説明を容易にするために、これらの結果レコードには図示のごとく各々Ｎｏ．３１〜Ｎｏ．３４の番号を付する。これらの４個の結果レコードは、図３に示したＮｏ．１１〜Ｎｏ．１４の４個の新規更新レコードと、図４に示したＮｏ．２１〜Ｎｏ．２４の４個のＰＤＢレコードとの整合性を各々チェックした結果のレコードである。
なお、図９においては表形式でチェック結果ファイル３２のレコードを示しているが、実際のファイルは、１つの結果レコードが、１行毎に記載されたＣＳＶ形式のファイルである。
【００４４】
図９に示すチェック結果ファイル３２の各結果レコードは、各々新規更新レコード、ＰＤＢレコード及びチェック結果を含む情報である。各結果レコードは、図３に示した入力ファイル３１のレコード及び図４に示した部品データベース２０のレコードと同じデータ項目を有し、各データ項目には、整合性をチェックした新規更新レコードの対応データ項目のデータとＰＤＢレコードの対応データ項目のデータとが並べて配置される。図９においては、データ項目の内容（例えば、「図番」、「型名」等）が明示してある欄の内容が新規更新レコードのデータであり、その紙面右隣のデータ項目が「ＤＢ」と記載されている欄の内容がＰＤＢレコードのデータである。
なお、図９には「実行日」のデータ項目が記載されているが、これは同じく図９を参照して後述する流し込みシステム１２の出力ファイルとしての結果ファイル（不整合レコードファイル３４）にのみ設けられる項目である。チェック結果ファイル３２には記載されないか、あるいはデータがＮＵＬＬで記載されるものである。
【００４５】
また、チェック結果ファイル３２においては、属性データ（図９において３段目に示すレコード部分）とライブラリ及びライブラリコードのデータ（図９において５段目（最下段）に示すレコード部分）との間（図９において４段目のレコード部分）に、図８（Ｅ）に示したチェック結果の整合性判別フラグが配置される。整合性判別フラグは、データ内容が識別子「＃」となるデータ項目の次から開始され、データの種類（（１）基本データ〜（５）ライブラリコードデータ）毎に検出された判別フラグが順に記載される。
【００４６】
このようなチェック結果ファイル３２に結果レコードを書き出したら（ステップＳ１６（図５））、ステップＳ１２に戻り、次の新規更新レコードを読み込み、新規更新レコードがある場合には、ステップＳ１４〜ステップＳ１６の処理を繰り返す。
例えば、図３に示した入力ファイル３１に対しては、ステップＳ１２において、Ｎｏ．１２〜Ｎｏ．１４の新規更新レコードを各々読み込み、ステップＳ１４において、これに対応する図４に示すＮｏ．２２〜Ｎｏ．２４のＰＤＢレコードを部品データベース２０から読み込む。そして、対応するレコード同士の整合性を、図６に示したような整合性チェックの処理を行うことにより各々検出し（ステップＳ１５（図５））、図９に示したように、Ｎｏ．３２〜Ｎｏ．３４の結果レコードを、順にチェック結果ファイル３２に出力する。
そして、入力ファイル３１から新たに読み込む新規更新レコードが無くなった時に（ステップＳ１３）、チェックシステム１１の処理を終了する（ステップＳ１７）。
【００４７】
このようなチェックシステム１１の処理により、例えば図３に例示した入力ファイル３１と、図４に例示した部品データベース２０の各レコードの整合性が検出され、図９に示すようなチェック結果ファイル３２が得られる。
【００４８】
このように、チェックシステム１１においては、新規更新対象のレコードが記録された入力ファイル３１に基づいて、部品ＤＢ２０の対応するレコードを検索し、データ項目のリストアップを行うとともに、それらのレコード間の整合性をチェックする。
従って、例えばオペレータは、チェック結果ファイル３２のレコードを参照して、その判別フラグの記載から判別フラグが「１」になっているデータの種類あるいはそのデータ項目を検出し、元になる新規更新レコード及びＰＤＢレコードのデータ（入力データ、ＰＤＢデータ）を見直し、何れのデータが不適切であるかを確認する。
そして、仮に入力ファイル３１が不適切である場合には、そのデータ内容を変更して新たな入力ファイル３３を作成する。
【００４９】
例えば、図９に示すチェック結果ファイル３２においては、Ｎｏ．３３の結果レコードの「定格他」の種類のデータに対する判別フラグが「１」（不整合）となっている。そこで、Ｎｏ．１３の新規更新レコード及びＮｏ．２３のＰＤＢレコードの「定格」及び「図面記載備考」のデータ内容を図９あるいは図３と図４とからチェックすると、「定格」においては、ＰＤＢレコードに「４７０Ω・・・」のデータが記載されているのに、新規更新レコードには何も記載されていない。また、「図面記載備考」欄は、ＰＤＢレコードに「ＤＩＰ」と記載されているにも関わらず、新規更新レコードには何も記載されておらず、不整合な状態が生じていることが検出できる。
このような方法により、オペレータ等は、何れの状態が適切かを検討し、必要に応じて対応する新規更新レコードあるいは部品データベース２０を修正する。
なお、このチェックシステム１１においては、部品データベース２０は更新しない。
【００５０】
次に、図１に示したデータベース更新システム１０の流し込みシステム１２に係る各処理について、図１０及び図１１を参照して説明する。
図１０に示すように、流し込みシステム１２は、チェックシステム１１により不適切なデータが修正された新たな入力ファイル３３と部品データベース２０との整合性を確認し、整合が取れた入力レコード（新規更新レコード）についてはこれに基づいて部品データベース２０を更新する。また、整合が取れなかったレコードについては、そのチェック結果を不整合レコードファイル３４として出力する。
【００５１】
流し込みシステム１２の処理の流れを図１１に示す。
流し込みシステム１２において、入力ファイル３３の新規更新レコードに基づいて部品データベース２０から対応するＰＤＢレコードを読み出してこれらの整合性のチェックを行うまでの処理は、前述したチェックシステム１１のステップＳ１１〜ステップＳ１５の処理（図５参照）と同じである。
すなわち、入力ファイル３３のファイル名が入力されたら（ステップＳ３１）、入力ファイル３３に記録されている新規更新対象のレコード（新規更新レコード）をレコード単位で読み込む（ステップＳ３２）。入力ファイル３３のファイル形式は、図３に示した入力ファイル３１と同じである。
入力ファイル３３から新規更新レコードを読み出したら（ステップＳ３２）、部品データベース２０から、その新規更新対象のレコードに対応するレコードを読み出す。
【００５２】
部品データベース２０から対応するレコードを読み出したら、入力ファイル３３から読み出した新規更新レコードと、これに対応する部品データベース２０から読み出したレコードとの間の整合性をチェックする（ステップＳ３５）。この整合性のチェックの処理は、図６〜図８を参照して前述した方法により行う。
ステップＳ３５の整合性チェックの結果、新規更新レコード（入力レコード）とＰＤＢレコードとの整合が取れた場合には（ステップＳ３６）、その新規更新レコード（入力レコード）の内容で、部品データベース２０の該当データを更新する（ステップＳ３７）。
【００５３】
また、新規更新レコードとＰＤＢレコードとの整合が取れなかった場合には（ステップＳ３６）、新規更新レコード、ＰＤＢレコード及びステップＳ３５で行われた整合性チェックの処理（図６に示した処理）の結果を、不整合レコードファイル３４に出力する（ステップＳ３８）。
不整合レコードファイル３４のフォーマットは、図９を参照して前述したチェック結果ファイル３２のフォーマットとほぼ同じである。但し、不整合レコードファイル３４においては、流し込みシステム１２を実行した日の情報、すなわち、不整合レコードファイル３４を作成した日の情報を、その各結果レコード中の「実行日」の項目に記憶しておく。この情報は、後述する強制書き込みシステム１３により参照される。
【００５４】
ステップＳ３２〜ステップＳ３８の処理の結果、入力ファイル３３に記載された新規更新レコードのうち、内容の適切なデータについては、これにより部品データベース２０の内容が更新され、内容が不適切なレコードについては、その情報が結果ファイル（不整合レコードファイル３４）にＣＶＳ形式で出力される。
また、ステップＳ３２において、入力ファイル３３から読み出す新規更新レコードが無くなった時に、流し込みシステム１２の一連の処理は終了する（ステップＳ３９）。
【００５５】
このように、流し込みシステム１２においては、新規更新対象のレコードが記録された入力ファイル３３に基づいて、部品データベース２０の対応するレコードを検索し、データ項目をリストアップするとともに、それらのレコード間の整合性をチェックする。そして、整合が取れているデータについては、これにより部品データベース２０を更新し、整合の取れていないデータについては、不整合レコードファイル３４に出力する。
【００５６】
オペレータは、このような流し込みシステム１２において、データ内容が不整合として不整合レコードファイル３４に出力されたレコードを確認し、データ内容が適切か否かをチェックする。そして、部品データベース２０の内容に反して適切と思われるレコードがあれば、次段の強制書き込みシステム１３の入力レコードとして選択する。そして、そのような選択したレコードを記録した不整合レコードファイル３４を、強制書き込みシステム１３に入力ファイルとして供する。
【００５７】
次に、図１に示したデータベース更新システム１０の強制書き込みシステム１３に係る各処理について、図１２及び図１３を参照して説明する。
図１２に示すように、強制書き込みシステム１３は、流し込みシステム１２により不適切なデータとされながらオペレータにより部品データベース２０の更新に適切と判定されたレコードについて、部品データベース２０の対応するレコードと、更新日の比較を行う。そして、不整合レコードファイル３４のレコードの方が新しい場合及びそれらの日付が同じ場合には、不整合レコードファイル３４のレコードが適切なレコードである可能性が高いものとして、そのレコードにより部品データベース２０の対応レコードを更新する。
また、不整合レコードファイル３４のレコードの方が古い場合には、不整合レコードファイル３４のレコードが適切である可能性が低いものとして、そのレコードによる部品データベース２０の更新は行わず、そのレコードを強制書込結果ファイル３５に出力する。
【００５８】
強制書き込みシステム１３の処理の流れを図１３に示す。
強制書き込みシステム１３においては、入力ファイルとして、図９にフォーマットを例示したような不整合レコードファイル３４を用いる。
強制書き込みシステム１３は、入力ファイルたる不整合レコードファイル３４のファイル名が入力されたら（ステップＳ５１）、不整合レコードファイル３４に記録されているレコードを順にレコード単位で読み込む（ステップＳ５２）。
【００５９】
不整合レコードファイル３４から強制更新対象のレコードが読み出せたら（ステップＳ５３）、部品データベース２０から、その新規更新対象のレコードに対応するレコードを読み出す（ステップＳ５４）。
【００６０】
次に、これら強制更新対象のレコードと、これに対応する部品データベース２０から読み出したレコード（ＰＤＢレコード）との間の更新日付を比較する（ステップＳ５５）。比較対象の日付は、強制更新対象のレコードについては、不整合レコードファイル３４の各レコードにデータ項目「実行日」として記載されている不整合レコードファイル３４を生成した時の日付（正確には、不整合レコードファイル３４を生成した流し込みシステム１２を実行した日付）である（図９参照）。また、ＰＤＢレコードについては、そのＰＤＢレコードにデータ項目「更新日」として記載されている（図４又は図９参照）情報である。
【００６１】
そして、ステップＳ５５の比較の結果、強制更新対象のレコードの更新日付の方が新しい場合には（ステップＳ５６）、判別フラグ「０」をセットし（ステップＳ５７）、その強制更新対象のレコード（入力レコードの中の新規更新レコード）で、部品データベース２０の該当レコードを更新する（ステップＳ５８）。
また、部品データベース２０の対応レコードの更新日付の方が新しい場合は（ステップＳ５６）、判別フラグ「１」をセットし（ステップＳ５９）、その強制更新対象のレコード、対応する部品データベース２０のレコード（ＰＤＢレコード）、及びチェック結果のフラグを強制書込結果ファイル３５（図１又は図１２参照）に出力する（ステップＳ６０）。
【００６２】
このステップＳ５２〜ステップＳ６０の結果、不整合レコードファイル３４に記載された強制更新対象のレコードのうち、部品データベース２０の対応レコードより更新日付が新しいか同じレコードについては、これにより部品データベース２０の内容が更新される。また、部品データベース２０の方が更新日付が新しいレコードについては、その情報が部品データベース２０のレコード内容とともに強制書込結果ファイル３５に出力される。
【００６３】
部品データベース２０の更新（ステップＳ５８）、あるいは、結果のファイル出力（ステップＳ５９）が終了したら、ステップＳ５２に戻って入力ファイルたる不整合レコードファイル３４に記録されている次の情報をレコード単位で読み込む。そして、次の新規更新対象のレコードが読み出せたら（ステップＳ５３）、その新規更新対象のレコードに対応するＰＤＢレコードを読み出し（ステップＳ５４）、ステップＳ５５〜ステップＳ６０の処理を繰り返す。ステップＳ５２において、読み出すレコードが無い時には（ステップＳ５３）には、この一連の強制書き込みシステム１３における処理を終了する（ステップＳ６１）。
【００６４】
このように、強制書き込みシステム１３においては、強制更新対象のレコードが記録された不整合レコードファイル３４に基づいて、部品データベース２０の対応するレコードを検索し、データ項目をリストアップするとともに、それらのレコード間で更新日付のチェックを行う。そして、入力ファイルのデータの方が更新日付が新しいレコードについては、これにより部品データベース２０を更新する。
【００６５】
従って、オペレータは強制書き込みシステム１３を使用することにより、部品データベース２０のデータ内容を修正することができる。すなわち、部品データベース２０のレコードの内容が間違っていたり、最新の情報に変更したい場合には、この強制書き込みシステム１３によりそのデータを修正することができる。
一方で、データベース更新システム１０において、この強制書き込みシステム１３による部品データベース２０のレコード（ＰＤＢレコード）の修正は、修正しようとする新規更新レコードと部品データベース２０のレコードとの不整合を、チェックシステム１１及び流し込みシステム１２により複数回確認した上で可能になる。従って、安易に部品データベース２０のレコードが変更されることは無い。
その結果、信頼性のある部品データベース２０を構築することができ、また、信頼性のある部品データベース２０の更新が可能になる。
【００６６】
なお、本実施の形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって本発明を何ら限定するものではない。本実施の形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含み、また任意好適な種々の改変が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】図１は、本発明の一実施形態のデータベース更新システムの構成を示す図である。
【図２】図２は、図１に示したデータベース更新システムのチェックシステムを説明するための図である。
【図３】図３は、図１に示したデータベース更新システムの入力ファイルのデータ形式を説明するための図である。
【図４】図４は、図１に示したデータベース更新システムの部品データベースに記録されているレコードを説明するための図である。
【図５】図５は、図２に示したチェックシステムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】図６は、レコード間の整合性チェックの処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】図７は、整合性のチェック結果を示すフラグを説明するための図である。
【図８】図８は、整合性チェックの処理の具体例を説明するための図である。
【図９】図９は、図１に示したデータベース更新システムのチェック結果ファイル等の出力ファイルのデータ形式を説明するための図である。
【図１０】図１０は、図１に示したデータベース更新システムの流し込みシステムを説明するための図である。
【図１１】図１１は、図１０に示した流し込みシステムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図１２】図１２は、図１に示したデータベース更新システムの強制書き込みシステムを説明するための図である。
【図１３】図１３は、図１２に示した強制書き込みシステムの処理の流れを示すフローチャートである。露光装置のアライメント系の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６８】
１０…データベース更新システム
１１…チェックシステム
１２…流し込みシステム
１３…強制書き込みシステム
２０…部品データベース
３１〜３５…入出力ファイル
【図１】
2006146470.tif 000003
【図２】
2006146470.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006146470.tif 000008
【図７】
2006146470.tif 000009
【図８】
2006146470.tif 000010
【図９】
2006146470.tif 000011
【図１０】
2006146470.tif 000012
【図１１】
2006146470.tif 000013
【図１２】
2006146470.tif 000014
【図１３】
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