(57)【要約】【課題】回路機能をオフした回路ブロックに電流測定の電源電圧を印加した直後の、回路ブロック内の素子に流入する寄生容量等への充電電流を速やかに低減、完了させ電流測定を精度よく短時間でする。【解決手段】共有の同一電源から常に電源電圧が供給される複数回路ブロックの回路にて、回路機能をオンした回路ブロック１と、オフした回路ブロック２の状態で回路ブロック１のみの電流測定時には電源電圧の印加で、回路ブロック１の電流は起動直後に安定し定常状態に到達する。回路ブロック２の電流は印加直後の内部回路が適切なオフ状態になる過渡期にて、電源端子の電流(カーブＣ)が、回路ブロック１のみの電流(カーブＡ)と同等になる位置(ｇ)まで時間を要する。印加後に回路ブロック２をオン(位置(ｉ))し電流が流れる状態とし一定時間後にオフ(位置(ｊ))させ、カーブＤに示す回路ブロック２の寄生充電電流等の電流がほぼなくなる位置(ｋ)まで短縮できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一電源を共有し、かつ前記同一電源からの電源供給で動作し、回路機能のオン／オフ制御を行える回路ブロックと、前記回路機能のオン／オフ制御を行えない回路ブロックを少なくとも各々１つずつを有する複数の回路ブロックからなる回路内において、ある特定の回路ブロック単体または特定の範囲で複数の回路ブロックの電流を測定する電流測定方法であって、
前記回路内の測定する回路ブロック以外の回路機能のオン／オフ制御を行える回路ブロックにおいて、少なくとも１回は回路機能をオンさせて回路ブロック内の素子に電流を供給し、その後、前記測定する回路ブロックの電流測定前にオフさせることで、回路ブロック内の隅々の容量成分に流れ込む充電電流を速やかに低減、または完了させてから前記回路ブロックの電流を測定することを特徴とする電流測定方法。
【請求項２】
同一電源を共有し、かつ前記同一電源からの電源供給で動作し、回路機能のオン／オフ制御を行える回路ブロックと、前記回路機能のオン／オフ制御を行えない回路ブロックを少なくとも各々１つずつを有する複数の回路ブロックからなる回路内において、ある特定の回路ブロック単体または特定の範囲で複数の回路ブロックの電流を測定する電流測定方法であって、
前記回路内の測定する回路ブロック以外の回路機能のオン／オフ制御を行える回路ブロックにおいて、回路機能をオフさせたままで電流測定前に、前記電流測定を行う電源電圧よりも高い電圧を印加して、回路ブロック内の隅々の容量成分に流れ込む充電電流を増大させて、その後、前記高い電圧をもとの電源電圧に戻すことで、測定前に前記充電電流による充電を加速し、前記充電電流を速やかに低減、または完了させてから前記回路ブロックの電流を測定することを特徴とする電流測定方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の回路の電流測定方法を併用して、回路内のある特定の回路ブロック単体または特定の範囲で複数の回路ブロックの電流を測定することを特徴とする電流測定方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の電流測定方法に基づいて測定器を作動させて、回路の電流を電子制御により自動的に測定する手段の動作手順が記述された電流測定プログラムであって、前記測定器に組み込まれ、または前記測定器を制御するために用いられる電子計算機に組み込まれて、前記動作手順に従い前記回路の電流を測定することを特徴とする電流測定プログラム。
【請求項５】
請求項４記載の電流測定プログラムが組み込まれて、前記電流測定プログラムを実行することで回路の電流を電子制御により自動的に測定することを特徴とする測定器。
【請求項６】
請求項４記載の電流測定プログラムが組み込まれて、前記電流測定プログラムを実行することで測定器を制御して回路の電流を電子制御により自動的に測定することを特徴とする電子計算機。
【請求項７】
請求項５記載の測定器または請求項６記載の電子計算機を構成の一部に使用して、製造する半導体集積回路または電子機器の回路に流れる電流を測定することを特徴とする製造装置。
【請求項８】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の電流測定方法に基づいて、電流の測定を行う測定手段を備え、前記測定手段を内部に直接組み込んで前記内部に構成された回路の一部または全体の電流を測定し自己確認する機能を有することを特徴とする半導体集積回路。
【請求項９】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の電流測定方法に基づいて、電流の測定を行う測定手段を備え、前記測定手段を内部に直接組み込んで前記内部に構成された回路の一部または全体の電流を測定し自己確認する機能を有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路を含めた電子回路等の電子機器の微弱電流を極めて短時間に測定する電流測定方法、電流測定プログラムとこれを実行する測定器および電子計算機とこれらを備えた製造装置、電流測定方法を実行する手段を備えた半導体集積回路および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来における回路の電流測定方法としては、回路に流れる電流が安定した状態をモニターして、安定したことを確認してから測定を行う回路電流の測定手法が用いられている。（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２０００−２２７４４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来技術における問題点について、図４，図５，図６を参照して説明する。
【０００４】
近年の電子機器や構成回路において、常時電源が供給された状態ではあるが必要とするとき以外の時間は回路を停止させ、また必要とする以外の回路を停止させて消費電力を減らし、待機電力の削減または待機電力の削減によるバッテリー駆動が可能な時間を延長する対策が取られることが多くなっている。
【０００５】
例えば、携帯電話のシステム等の携帯端末や大規模集積回路ではシステム内の機能ごとにオンとオフに分けて、あるいは大規模集積回路においてはグループ分けした回路ブロックを多様な条件でオンのブロックとオフのブロックに分けて消費電流を測定することが多く、これに伴い検査の回数も増加し、さらに、待機状態時にオンしている回路の消費電流が微小なため、測定電流が他のオフしている回路ブロックの寄生充電電流の総和との絶対値が近づくことで、オンしている回路の微弱電流の正確な測定が可能となるまでの時間が長くなるので、検査一回一回に要する時間が長くなり、総合的検査時間が大幅に長くなっている。
【０００６】
また、待機時のすべての回路が停止している状態において、電源電流や一部の回路が作動して他の回路は停止しているような微小な電流も性能判断指標として測定し開示することが多くなってきた。
【０００７】
例えば、図５に示すような個別に回路機能のオン／オフ制御が可能な回路ブロックが２つ存在するシステム（回路）において、回路ブロック１をオン，回路ブロック２をオフ状態の電源電流を測定する場合、制御信号により回路ブロック１の制御はオン、回路ブロック２の制御はオフの制御状態で電流測定の電源電圧を供給すると、図６に示すように、最初からオンの状態に制御されている回路ブロック１の電流はカーブＡのように電流測定の電源電圧の印加時に若干乱れることもあるが比較的スムーズに立ち上がり、設計値まで上昇して安定する。
【０００８】
しかし、最初からオフの状態に制御されている回路ブロック２の電源電流はカーブＢのように、電流測定の電源電圧の印加直後から、回路がオフ状態に定着するまでの間に多種のバイアス電流が流れる。この電流は、配線または回路素子の寄生容量への初期寄生充電電流がその割合を占めるため、充電が完了するまでしばらくの間は電流が流れる。このため、全体の正確な電源電流を測定する場合、カーブＡとカーブＢの合成電流であるカーブＣを測定することになり寄生充電電流がほぼなくなる位置、図６に示す位置（ｇ）までしばらく待つ必要がある。
【０００９】
次に、図４に示す電流測定対象の回路例を参照しながら電源電流について以下に説明する。図４において、ＭＯＳＦＥＴＱ１のゲートはバンドギャップ基準電流源からのバイアスが供給され、順次、ＭＯＳＦＥＴＱ３，Ｑ４が作用して、差動回路に電流が供給される。この回路をオフさせる場合は、ＭＯＳＦＥＴＱ１へのバンドギャップからのバイアスの供給経路を断つことと、ＭＯＳＦＥＴＱ２をオンさせてＭＯＳＦＥＴＱ３のミラー回路としての作用を停止させる。
【００１０】
しかし、回路がオフの状態で電流測定の電源電圧（ＶＣＣ）を供給した瞬間、ＭＯＳＦＥＴＱ１，Ｑ５，Ｑ６，Ｑ８のソースに供給され、最初はそれぞれのＭＯＳＦＥＴのソース領域の寄生容量の充電電流が発生する、さらに、少なくとも、ＭＯＳＦＥＴＱ５のＶgsが発生してドレイン電流が発生し、やがてＭＯＳＦＥＴＱ５のドレイン電流は電位Ａ点の上昇とともに減少するが、平行してＭＯＳＦＥＴＱ６のＶgsも発生しているので、電位Ｂが上昇し、ＭＯＳＦＥＴＱ８がオンし、ＭＯＳＦＥＴＱ８のソースに接続されている、負荷もすべてがオフしているとしても、若干の充電電流としてＭＯＳＦＥＴＱ８のドレイン電流が流れ、やがて減少する。
【００１１】
回路がオンの場合、回路電流はバンドギャップ基準電流でＭＯＳＦＥＴＱ３，Ｑ４，Ｑ７の各ドレイン電流が決定され、ＶＣＣ供給瞬間の、同様な寄生充電電流は存在するがその絶対値は回路オン時の駆動電流（ＭＯＳＦＥＴＱ３，Ｑ４，Ｑ７のドレイン電流）に比べ小さく、また回路が導通しているため、寄生容量への充電が速やかに完了するので、電流測定への時間的影響は極めて少ない。
【００１２】
このように、従来の測定方法では正確な電流測定値を得るために、寄生容量の充電電流がなくなるまで待つ必要があり、そのために測定に必要とする時間が長くなるという問題があった。
【００１３】
本発明は、前記従来技術の問題を解決することに指向するものであり、回路機能をオフしている回路ブロックに電流測定の電源電圧を印加した直後において、この回路機能をオフしている回路ブロック内の素子に流入する寄生容量等への充電電流を速やかに低減または完了させ、電流の測定を正確に短時間で行う電流測定方法、および電流測定プログラムとこれを実行する測定器または電子計算機とこれらを備えた製造装置、および電流測定方法を実行する測定手段を備えた半導体集積回路または電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記の目的を達成するために、本発明に係る電流測定方法は、同一電源を共有し、かつ同一電源からの電源供給で動作し、回路機能のオン／オフ制御を行える回路ブロックと、回路機能のオン／オフ制御を行えない回路ブロックを少なくとも各々１つずつを有する複数の回路ブロックからなる回路内において、ある特定の回路ブロック単体または特定の範囲で複数の回路ブロックの電流を測定する電流測定方法であって、第１の方法は、回路内の測定する回路ブロック以外の回路機能のオン／オフ制御を行える回路ブロックにおいて、少なくとも１回は回路機能をオンさせて回路ブロック内の素子に電流を供給し、その後、測定する回路ブロックの電流測定前にオフさせることで、回路ブロック内の隅々の容量成分に流れ込む充電電流を速やかに低減、または完了させてから前記回路ブロックの電流を測定することによって、測定する時間を短縮してより速やかに正確な電流を測定できる状態とすることができる。
【００１５】
また、第２の方法は、回路内の測定する回路ブロック以外の回路機能のオン／オフ制御を行える回路ブロックにおいて、回路機能をオフさせたままで電流測定前に、電流測定を行う電源電圧よりも高い電圧を印加して、回路ブロック内の隅々の容量成分に流れ込む充電電流を増大させて、その後、高い電圧をもとの電源電圧に戻すことで、測定前に充電電流による充電を加速し、充電電流を速やかに低減、または完了させてから前記回路ブロックの電流を測定することによって、測定する時間を短縮してより速やかに正確な電流を測定できる状態とすることができる。
【００１６】
また、第１，第２の方法を併用して、回路内のある特定の回路ブロック単体または特定の範囲で複数の回路ブロックの電流を測定することによって、測定する時間をさらに短縮してより速やかに正確な電流を測定できる状態とすることができる。
【００１７】
また、電流測定プログラムとこれを実行する測定器および電子計算機とこれらを備えた製造装置は、前記の電流測定方法に基づいて測定器を作動させて、回路の電流を電子制御により自動的に測定する手段の動作手順が記述された電流測定プログラムであって、この測定器に組み込まれ、または測定器を制御するために用いられる電子計算機に組み込まれて、動作手順に従い回路の電流を測定すること、さらに、測定器または電子計算機に電流測定プログラムが組み込まれて、電流測定プログラムを実行することで回路の電流を電子制御により自動的に測定すること、さらに、製造装置に測定器または電子計算機を構成の一部に使用して、製造する半導体集積回路または電子機器の回路に流れる電流を測定することによって、電子制御により自動的に回路の電流を測定して、総合検査時間を極めて短縮でき半導体集積回路または電子機器の製造コストを効率よく削減できる。
【００１８】
また、電流測定方法を実行する手段を備えた半導体集積回路および電子機器は、前記の電流測定方法に基づいて、電流の測定を行う測定手段を備え、測定手段を内部に直接組み込んで内部に構成された回路の一部または全体の電流を測定し自己確認する機能を有する構成によって、半導体集積回路または電子機器単体において電流の測定を短時間でより正確に行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、回路機能をオフしている回路ブロックに電流測定の電源電圧を印加した直後に、この回路ブロック内の素子に流入する寄生容量等への充電電流を速やかに低減または完了させ、目的の回路ブロックの電流を精度よく短時間で測定することができ、総合的検査時間を極めて短縮することができ、製造コストの効率よい削減ができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
【００２１】
図１は本発明の実施の形態１における電流測定方法を説明する電流特性図であり、図１と図５を参照しながら本実施の形態１を説明する。
【００２２】
前述の図５に示す同一電源を共有して、この同一電源から常に電源電圧が供給される複数の回路ブロックを有する回路において、回路ブロック１がオン、回路ブロック２がオフの状態で回路ブロック１のみの電源電流を測定する場合、回路ブロック１の制御信号をオン，回路ブロック２の制御信号をオフの状態で電流測定の電源電圧を印加すると、オンに制御されている回路ブロック１の電流は起動の直後に比較的安定して定常状態に到達し定電流となる。しかし、オフに制御されている回路ブロック２の電流は電流測定の電源電圧が印加された直後は内部回路の状態が適切なオフ状態になるまでの過渡期において、色々な過度応答による電流と回路素子、または素子，配線等の寄生容量への充電電流がしばらくの間流れ、電源端子に流れる電流（カーブＣ）が、オンに制御されている回路ブロック１のみの電流（カーブＡ）と同等になる位置（ｇ）までに時間を要してしまう（図１参照）。
【００２３】
しかし、電流測定の電源電圧の印加後にいったん回路ブロック２をオン（位置（ｉ））させて、回路ブロック２内の回路にバイアス電圧が発生してバイアス電流が流れる状態とし、ある程度の時間オン状態を続けた後にオフ（位置（ｊ））させる。これにより、カーブＤのように回路ブロック２の寄生充電電流等の電流がほぼなくなるまでの時間を、回路ブロック２をいったんオンさせない場合の寄生電流がほぼなくなる位置（ｇ）からいったんオンさせることでスムーズに寄生充電電流等の電流がほぼなくなる位置（ｋ）まで短縮させることができる。
【００２４】
このように、ある特定の回路ブロック単体または特定の範囲で複数回路ブロックの電流を測定する場合、回路内の測定する回路ブロック以外のオン／オフ制御を行える回路ブロックにおいては、少なくとも１回は回路機能をオンさせて、その後、目的の測定する回路ブロックの電流測定前にオフさせてから電流を測定することで、目的の回路ブロックの精密な電流の測定に要する時間を極めて短縮させることができる。
【００２５】
なお、本実施の形態１における電流測定方法は、すべての回路ブロックがオフ時の電流を測定する場合や単独回路ブロックのオフ時のスリープ電流を測定する場合にも適応することができ、さらに回路ブロックをオフすることが不可能な回路ブロックが含まれている場合にも適応することができる。
【００２６】
また、電流測定時にオフさせておく回路ブロックを電流測定前にオンさせる時期、期間は任意であり、電流測定の電源電圧の印加と同時にオンさせてもよい。そして、オン期間は最適化により決定、またはおおよそであってもよい。
【００２７】
また、複数存在する回路ブロックをあらかじめ幾つかのグループに分けて、順次、時間を変えてオンさせ、その回路ブロックをオフさせた後、外の回路ブロックのオン／オフ作業を行うようにしてもよく、幾つかのグループ分けした回路ブロックを順次オンさせておき、まとめてオフさせる、または同時にすべてをオンさせた後で、任意に各回路ブロックをオフさせてもよい。
【００２８】
図２は本発明の実施の形態２における電流測定方法を説明する電流特性図であり、図２と図５を参照しながら実施の形態２を説明する。
【００２９】
前述の図５に示す同一電源を共有して、この同一電源から常に電源電圧が供給される複数の回路ブロックを有する回路において、回路ブロック１がオン、回路ブロック２がオフの状態で回路ブロック１のみの電源電流を測定する場合、回路ブロック１の制御信号をオン，回路ブロック２の制御信号をオフの状態で電流測定の電源電圧を印加すると、オンに制御されている回路ブロック１の電流は起動の直後に比較的安定して定常状態に到達し定電流となる。しかし、オフに制御されている回路ブロック２の電流は電流測定の電源電圧が印加された直後は内部回路の状態が適切なオフ状態になるまでの過渡期において、色々な過度応答による電流と回路素子、または素子，配線等の寄生容量への充電電流がしばらくの間流れ、電源端子に流れる電流（カーブＣ）が、オンに制御されている回路ブロック１のみの電流（カーブＡ）と同等になる位置（ｇ）までに時間を要してしまう（図２参照）。
【００３０】
しかし、電流測定の電源電圧の印加後または印加時から、回路ブロック１をオンの制御、回路ブロック２をオフの制御のまま、電流測定を行うときに印加する電源電圧よりも高い電圧を加えて、オフに制御している回路ブロック２への電圧印加時の寄生電流等の充電電流を増大させて（図２中の位置（ｉ’）から位置（ｊ’）の増大期間）、ある程度の充電が行われた時点で、高い電圧を所定の測定時の電源電圧に戻す（位置（ｊ’））ことで、測定時においては電流測定の電源電圧により、回路ブロック２の寄生充電電流等の電流がほぼなくなるを待った場合の電流測定が可能になる時間（位置（ｇ））をカーブＤ’の位置（ｋ’）まで改善させることができる。
【００３１】
このように、複数回路ブロックからなる回路のある特定の回路ブロック単体または特定の範囲で複数回路ブロックをオン，外の回路ブロックはオフさせて、オンさせている回路ブロックの電流を測定する場合、電流を測定するまでの一定時間の間、測定するために印加する電源電圧を実際の電流測定時の電源電圧よりも高い電圧にし、オフさせている回路ブロックへの寄生充電電流を増大させることで、目的の回路ブロックの精密な電流測定が可能になるまでに要する時間を極めて短縮させることができる。
【００３２】
なお、本実施の形態２における電流測定方法はすべての回路ブロックがオフ時の電流を測定する場合や単独回路ブロックのオフ時のスリープ電流を測定する場合にも適応することができ、回路ブロックをオフすることが不可能な回路ブロックが含まれている場合にも適応することができる。
【００３３】
また、電流測定時に電源電圧を高くする時期、期間は任意であり、電流測定の電源電圧の印加時から電圧を高くしてもよい。
【００３４】
また、電流測定の電源電圧を高くしている期間は最適化により決定、またはおおよそであってもよい。さらに、そのときの高くする電圧も任意であり、構成上問題のない範囲の電圧、回路動作上に問題のない範囲で決定すればよい。
【００３５】
図３は本発明の実施の形態３における電流測定方法を説明する電流特性図であり、図３と図５を参照しながら実施の形態３を説明する。
【００３６】
前述の図５に示す同一電源を共有して、この同一電源から常に電源電圧が供給される複数の回路ブロックを有する回路において、回路ブロック１がオン、回路ブロック２がオフの状態で回路ブロック１のみの電流を測定する場合、回路ブロック１の制御信号をオン，回路ブロック２の制御信号をオフの状態で電流測定の電源電圧を印加すると、オンに制御されている回路ブロック１の電流は起動の直後に比較的安定して定常状態に到達し定電流となる。しかし、オフに制御されている回路ブロック２の電流は電流測定の電源電圧が印加された直後は内部回路の状態が適切なオフ状態になるまでの過渡期において、色々な過度応答による電流と回路素子、または素子，配線等の寄生容量への充電電流がしばらくの間流れ、電源端子に流れる電流（カーブＣ）が、オンに制御されている回路ブロック１のみの電流（カーブＡ）と同等になる位置（ｇ）までに時間を要してしまう。
【００３７】
前記実施の形態１に記載の電流測定方法を用いても、図１に示すカーブＤの位置（ｊ）−（ｋ）間に示すように少しだけ、充電電流が残る場合があり、このカーブＤの部分に要する時間をさらに短縮させるために、前記実施の形態２に記載の電流測定方法を用いて、図３に示すように、電流測定前において電流測定時にはオフさせておく回路ブロックをオンさせ、その後、オフさせる。これと同時にその前後で、電流測定の電源電圧を測定時の電圧よりも高い電圧にすることで、図３のカーブＥの位置（ｎ）に示すように、オフさせた後に残る寄生充電電流を電流測定の電源電圧より高い電圧を印加していったん増大させ、その後、電流測定前に高い電圧を測定時の電圧に戻すことにより、寄生充電電流がほぼなくなるまでの時間を図３の位置（ｋ）から位置（ｍ）まで改善させることができる。
【００３８】
このように、前記実施の形態１，２の測定方法を組み合わせて用いることで、さらに、目的の回路ブロックの精密な電流の測定に要する時間を極めて短縮させることができる。
【００３９】
なお、本実施の形態３における電流測定方法はすべての回路ブロックがオフ時の電流を測定する場合や単独回路ブロックのオフ時のスリープ電流を測定する場合にも適応することができ、回路ブロックをオフさせることが不可能な回路ブロックが含まれている場合にも適応することができる。
【００４０】
また、電流測定時にオフさせておく回路ブロックをいったんオンさせる時期、期間は前述した実施の形態１と同様に任意であり、さらに、オフ時の寄生充電電流の充電電流を増大させるために、電流測定時の電源電圧よりも印加電圧を高くする時期，期間も前記実施の形態２と同様に任意である。また、電流測定時にオフさせておく回路ブロックをオンし、その後、オフさせた後に電流測定の電源電圧を高くしてもよく、その間の間隔は任意でよく、これらはすべて、最適化等で決定すればよい。
【００４１】
また、本実施の形態１〜３において説明した電流測定方法に基づき、測定器を作動させて回路の電流を電子制御により自動的に測定する手段の動作手順を記述した電流測定プログラムとして、この電流測定プログラムを測定器やこの測定器を制御するために用いる電子計算機に組み込まれて、この動作手順に従って回路の電流を測定することにより、目的の回路ブロックの電流測定を電子制御により自動的に、かつ短時間で正確に行うことができ、また、この電流測定を実行できる測定器または電子計算機を得ることができる。
【００４２】
さらに、電流測定プログラムが組み込まれた測定器または電子計算機を、構成の一部に使用する製造装置を構成して、製造する半導体集積回路または電子機器の回路に流れる電流を測定することにより、電流を検査する処理時間を短縮して測定を正確に行うことができ、半導体集積回路または電子機器の製造コストを削減することができる。
【００４３】
また、半導体集積回路または電子機器に、前述の実施の形態１〜３の電流測定方法に基づいて、電流測定を行う測定手段を備え、この測定手段を内部に直接組み込み構成して、内部に構成した回路の一部または全体の電流を測定し自己確認する機能を有することで、半導体集積回路または電子機器単体においても電流の測定を短時間でより正確に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明に係る電流測定方法、電流測定プログラムとこれを実行する測定器および電子計算機とこれらを備えた製造装置、電流測定方法を実行する手段を備えた半導体集積回路および電子機器は、回路機能をオフしている回路ブロックに電流測定の電源電圧を印加した直後の、この回路ブロック内の素子に流入する寄生容量等への充電電流を速やかに低減または完了させ、目的の回路ブロックの電流を精度よく短時間で測定できるようになり、総合的検査時間を極めて短縮することができ、半導体集積回路を含めた電子回路等の電子機器の微弱電流を極めて短時間に測定でき検査効率の向上手段として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態１における電流測定方法を説明する電流特性図
【図２】本発明の実施の形態２における電流測定方法を説明する電流特性図
【図３】本発明の実施の形態３における電流測定方法を説明する電流特性図
【図４】従来の電流測定対象の回路例を説明するための図
【図５】複数の回路ブロックからなる回路構成を示すブロック図
【図６】従来の電流測定法を説明する電流特性図
【符号の説明】
【００４６】
１，２  回路ブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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