(57)【要約】【課題】本発明はディスクの製造方法および製造装置に係り、更に詳細には2枚のディスク基板を接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置および接着剤硬化方法の技術に係る。接着剤の硬化過程において、接着剤を塗布した2枚のディスク基板を貼り合わせた後、載置台上にディスクを載置して、これを一括して吸引することにより、または、吸引装置に加え、ディスク上に押さえ板を設けることにより、精度の高いディスクを製造するとともに、装置を簡素化・低価格化し、更にコンパクト化することができることに着目して本発明は完成された。【解決手段】  2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置において、ディスクを矯正するために吸引装置と押さえ板を併用する構成とし、あるいはディスクを載せる複数個の載置台と、複数個の載置台に載置したディスクを一括して引き寄せる吸引装置から構成される装置とした。【選択図】    図2
2006004467.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置であって、ディスクを載せる載置台と、当該載置台に載置したディスクを引き寄せる吸引装置と、当該ディスク上に載せる押さえ板からなることを特徴とする装置。
【請求項２】
2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置であって、ディスクを載せる複数個の載置台と、当該複数個の載置台に載置したディスクを一括して引き寄せる吸引装置と、からなることを特徴とする装置。
【請求項３】
請求項1または2のいずれかにに記載する接着剤硬化装置であって、前記載置台を搬送する搬送装置を更に備えることを特徴とする装置。
【請求項４】
請求項２または３のいずれかに記載する接着剤硬化装置であって、前記吸引装置が無限軌道状構造を有することを特徴とする装置。
【請求項５】
請求項２または３のいずれかに記載する接着剤硬化装置であって、前記吸引装置がトラック状構造を有することを特徴とする装置。
【請求項６】
請求項２乃至５のいずれかに記載する接着剤硬化装置であって、前記ディスクを加熱するための加熱装置と前記ディスクを載置した載置台の周辺の湿度を制御するための除湿装置のうちのいずれか一つまたは両方を更に備えることを特徴とする装置。
【請求項７】
請求項２乃至６に記載する接着剤硬化装置であって、前記ディスク上に載せる押さえ板を更に備えることを特徴とする装置。
【請求項８】
請求項７に記載する接着剤硬化装置であって、前記ディスクおよび前記押さえ板を前記載置台に載せる移載アームと、前記ディスクおよび前記押さえ板を前記載置台から取り外す移載アームとを更に備えることを特徴とする装置。
【請求項９】
2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化方法であって、ディスクを複数個の載置台に載せるステップと、当該複数個の載置台に載置したディスクを一括して吸引するステップと、からなることを特徴とする方法。
【請求項１０】
2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化方法であって、ディスクを複数個の載置台に載せるステップと、当該複数個の載置台を搬送しつつ当該複数個の載置台に載置したディスクを一括して吸引するステップと、からなることを特徴とする方法。
【請求項１１】
2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化方法であって、ディスクを複数個の載置台に載せるステップと、押さえ板を当該ディスク上へ載せるステップと、当該ディスクを加熱するステップと、当該ディスクを載置した載置台の周辺の湿度を制御するステップと、当該複数個の載置台を搬送しつつ当該複数個の載置台に載置したディスクを一括して吸引するステップと、当該押さえ板をディスク上から取り外すステップと、当該載置台からディスクを取り外すステップからなることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はディスクの製造方法および製造装置に係り、更に詳細には2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置および接着剤硬化方法の技術に係る。
【背景技術】
【０００２】
二つの物体に接着剤を使用して接合する場合、接着剤の硬化速度と被接合材の材質、温度分布、温度履歴、湿度環境そして初期ひずみの関係によっては接合後に大きな変形が生じることが経験的に知られている。
【０００３】
これは、接着剤の硬化過程において、被接合材の中に内部ひずみが蓄積されていくために生じる現象である。そして、一般的には接着剤の硬化速度を上げれば上げるほど、この内部ひずみは増大し、接着剤硬化後の変形は大きくなる。
【０００４】
例えば、DVD-RAM (デジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク  ランダム・アクセス・メモリ)やDVD-ROM (デジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク  リード・オンリ・メモリ)は、薄い2枚の光ディスクを接着接合して製造されている。
【０００５】
接着剤を硬化させた後に生じるディスクの変形は、製品品質上の観点から極めて小さい値に抑えることが求められている。
【０００６】
ディスク製品の変形を更に少なくするため、接着剤の硬化過程において、ディスクの平面を保持するためにディスクを吸着することができる吸着装置を使用することにより、平面精度の高いフラットな面にディスクを強制的に沿わせて接着剤の硬化反応を完了させる方法がとられている。
【０００７】
例えば、特開2003-231866号公報では、図10に示すような従来技術に係る吸着装置が開示されている。この吸着装置100は、底面および上面に開口を有する筐体102と、筐体の底面に固定された車輪107と、筐体の内部に配置された電動式のファン101とから成る。筐体の上面には第一の貫通孔105および第二の貫通孔103を有する平板状の保持部材104が取り付けられている。また、保持部材104の中央にはディスク1の中央に設けられた孔と嵌合する突起106が設けられている。
【０００８】
接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせた後、ディスク1はこの吸着装置の上面に載置され、筐体の内部に配置された電動式のファンが回転することによって第二の貫通孔を通じてディスク1を平板状の保持部材に吸着することができるようになっている。
【０００９】
この吸着装置はディスクに塗布された接着剤が完全に硬化するまで、ディスク1を保持しつつ、チェーンベルト等によって移動し、所定の時間経過後にこのディスク1は吸着装置から取り外される。
【特許文献１】特開2003-231866号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述した従来技術においては、接着剤を塗布した2枚のディスク基板を貼り合わせた後、ディスクをこの吸着装置の上面に載置し、個々の筐体の内部に配置された電動式のファンを回転させることによってディスクを平板状の保持部材に吸着するようになっていたため、個々のディスク毎に吸着装置の筐体や、吸引用のファンが必要になっていた。
【００１１】
その結果、装置が高価なものになり、また装置全体の寸法が大きくなりこのような装置を設置するためには大きな工場面積を必要としていた。
【００１２】
また、工場面積の増大を避けるため、ディスクを載置した吸着装置を循環させる搬送装置を複数段にしたものを採用するなど、更に装置の高価格化を招いていた。
【００１３】
更に、吸着装置のみによってディスクを平滑面に沿わせ、変形の発生を防止しようとしていたため、十分に変形を防止することができなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は係る課題を解決するためになされたものである。
【００１５】
すなわち、請求項1に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００１６】
2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置において、ディスクを載せる載置台と、載置台に載置したディスクを引き寄せる吸引装置と、ディスク上に載せる押さえ板から構成される装置とした。
【００１７】
また、請求項2に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００１８】
2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置において、ディスクを載せる複数個の載置台と、複数個の載置台に載置したディスクを一括して引き寄せる吸引装置から構成される装置とした。
【００１９】
また、請求項3に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００２０】
すなわち、請求項1または2に記載する接着剤硬化装置に、載置台を搬送する搬送装置を更に備える構成とした。
【００２１】
また、請求項4に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００２２】
すなわち、請求項2または3のいずれかに記載した接着剤硬化装置において、吸引装置が無限軌道状構造を有する構成とした。
【００２３】
また、請求項5に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００２４】
すなわち、請求項2または3のいずれかに記載した接着剤硬化装置において、吸引装置がトラック状構造を有する構成とした。
【００２５】
また、請求項6に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００２６】
すなわち、請求項2乃至5のいずれかに記載した接着剤硬化装置において、ディスクを加熱するための加熱装置とディスクを載置した載置台の周辺の湿度を制御するための除湿装置のうちのいずれか一つまたは両方を更に備える構成とした。
【００２７】
また、請求項7に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００２８】
すなわち、請求項2乃至5に記載する接着剤硬化装置において、ディスク上に載せる押さえ板を更に備える構成とした。
【００２９】
また、請求項8に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００３０】
すなわち、請求項7に記載する接着剤硬化装置において、ディスクおよび押さえ板を載置台に載せる移載アームと、ディスクおよび押さえ板を載置台から取り外す移載アームとを更に備える構成とした。
【００３１】
また、請求項9に記載した方法発明においては次のような構成とした。
【００３２】
すなわち、2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化方法において、ディスクを複数個の載置台に載せるステップと、複数個の載置台に載置したディスクを一括して吸引するステップと、からなる構成とした。
【００３３】
また、請求項10に記載した方法発明においては次のような構成とした。
【００３４】
すなわち、2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化方法において、ディスクを複数個の載置台に載せるステップと、複数個の載置台を搬送しつつ複数個の載置台に載置したディスクを一括して吸引するステップと、からなる構成とした。
【００３５】
また、請求項11に記載した方法発明においては次のような構成とした。
【００３６】
すなわち、2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化方法において、ディスクを複数個の載置台に載せるステップと、押さえ板をディスク上へ載せるステップと、ディスクを加熱するステップと、ディスクを載置した載置台の周辺の湿度を制御するステップと、複数個の載置台を搬送しつつ複数個の載置台に載置したディスクを一括して吸引するステップと、押さえ板をディスク上から取り外すステップと、載置台からディスクを取り外すステップからなる構成とした。
【発明の効果】
【００３７】
上述した構成とすることにより、請求項1に記載した発明では、吸着装置単独によるディスクの矯正効果と押さえ板単独によるディスクの矯正効果を加えたもの以上の、ディスクの矯正効果が得られ、精度の高いディスクを得ることができた。
【００３８】
また、請求項2以下に記載した発明では、ディスクの精度を高めるための吸着装置において、個々のディスク毎に吸着装置の筐体や、吸引用のファンが必要なくなるため装置が簡素になり、その結果装置の低価格化を実現した。また装置全体の寸法を小さくすることができるので、装置を設置するための工場スペースを小さくすることができるという効果を有する。
【００３９】
更に、接着剤硬化工程にディスクを加熱する工程および湿度をコントロールする工程を加えることによって、ディスクを貼り合わせた接着剤の硬化を早期に行わせることができるので、接着剤が硬化するまでの時間が短くなり、その結果1枚のディスクが完成するまでの生産時間が短くなり、生産性を向上させることができるという効果も有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。
【００４１】
図1は、本発明に係る装置、または方法を使用して接着したディスクを模式図として示したものである。ディスクとしては例えば、DVD-RAM (デジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク  ランダム・アクセス・メモリ)やDVD-ROM (デジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク  リード・オンリ・メモリ)などがあるが、これらに限定されるものではなく、レンズやフィルター等の光学素子やPDP, TFT等のパネルなど、2枚のディスク基板を接着接合して製造されものであれば、ここで説明する発明に基いた装置あるいは方法を利用して製造することができる。図中1は接着接合して製造されたディスクを示し、11および12は各々被接着材であるディスク基板を示す。更に、13は接着層を示す。
【００４２】
図2は、本発明に係る第一の実施例を示したものである。接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が載置台21上に配置され、この載置台21は吸引装置22の上に配置されている。各載置台21には、複数の通気孔26が設けられており、ディスク1を載置した面と反対側の面が負圧になった場合に、ディスク1を載置台21に吸引するようになっている。また、載置台21のディスク1を載置する面は、ディスク1の平面度を高めるために精度よく加工されている。吸引装置22の上面は開口されており、この開口部には載置台21が配置される。
【００４３】
図2に示す実施例においては、吸引装置22の内部空間27にファン28を直接設けた吸引装置22を使用しているが、このような構成とすることにより、吸引装置22内に負圧源を内臓することができ、吸引装置22の独立性を高めることができる。
【００４４】
また、吸引装置22の一端に負圧源に連通する配管を接続することにより、吸引装置22の内部空間27を負圧に維持するようにしてもよい。
【００４５】
ディスク1の上には、更に押さえ板30が載置されている。押さえ板30の重みによりディスク1は載置台21と押さえ板30の間にサンドイッチされ、精度よく仕上げられた載置台21および押さえ板30の表面に沿った状態を維持するため高い平面度を維持し続けることができ、接着剤硬化の間この押さえ板30をディスク1上に載置することにより、平面精度の高いディスクを形成することが可能となる。なお、この実施例においては、吸着装置22単独によるディスクの矯正効果と押さえ板30単独によるディスクの矯正効果を加えたもの以上の、ディスクの矯正効果が得られ、精度の高いディスクを得ることができることが確認されている。特に、押さえ板30を使用することにより、ディスク1中央部における接着層の厚みが厚くなる現象を抑えることができる。
【００４６】
押さえ板30はその重みで、ディスク1を載置台21に押し付ける機能を果たすものであるため、鋼板、アルミ板、銅板、ガラス板等、比重が大きい材料を使用することが望ましい。
【００４７】
図3は、本発明に係る第二の実施例を示したものである。接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が複数個の載置台21上に配置され、この複数個の載置台21は吸引装置22の上に連続して配置されている。各載置台21には、複数の通気孔26が設けられており、ディスク1を載置した面と反対側の面が負圧になった場合に、ディスク1を載置台21に吸引するようになっている。また、載置台21のディスク1を載置する面は、ディスク1の平面度を高めるために精度よく加工されている。吸引装置22の上面は開口されており、この開口部には載置台21が連続して配置される。吸引装置22の一端には負圧源(図示せず)に連通する配管25(図示せず)が接続されており、吸引装置22の内部空間27を負圧に維持することができるようになっている。吸引装置に接続される負圧源としては、真空ポンプやブロワーのような大気圧以下に減圧できる装置であればどのようなものであっても使用することができる。また、吸引装置22の内部空間27内を、例えば図1中矢印Aの方向へ高速の空気流を形成させることにより、エゼクタ効果によって通気孔26から空気を吸引し、内部空間27を負圧に維持する場合と同様な効果を得ることができる。このようにすることによって、負圧源として特別な装置を準備しなくとも、一般的に工場内に準備されている圧縮空気を利用することによって吸引装置22の機能を達成することができる。もちろん、負圧源へ接続することにより空気流を形成させ、エゼクタ効果を得ることもできる。
【００４８】
吸引装置22の上面に連続して配置される複数個の載置台21の端面には、隣り合う載置台21の間から吸引装置22の内部空間27内へ空気が漏れて吸着効果が低下するのを防止するために、互いに接触して空気のシーリングを行うことができるエラストマー部材71を設けることもできる。
【００４９】
次に、第二の実施例に基くディスク1の接着剤硬化プロセスについて説明する。
【００５０】
まず、接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が吸引装置22の上に配置された複数個の載置台21上に載置される。吸引装置22の内部空間27は負圧に維持されているため、複数の通気孔26によってディスク1は載置台21に吸着され、精度よく仕上げられた載置台21の表面に沿った状態を維持するため高い平面度を維持し続けながら接着剤の硬化反応を完了させることができる。このような接着剤の硬化方法をとれば、コンパクトで簡便な装置によって、ディスク1の平面度を高く維持しつつ、接着剤の硬化反応を進めることができるため、接着時に生じるソリ、ネジレ等の少ない高品質のディスクを生産することができ、生産性を高めることができる。
【００５１】
図4は、本発明に係る第三の実施例を示したものである。第三の実施例においては、第二の実施例における接着剤硬化装置に、ディスク1を載置した複数個の載置台21を搬送する搬送装置60を更に備える構成としたものである。本実施例における搬送装置は、吸引装置22の側方に設けられたチェーンベルト62と、載置台21の側方から突設させチェーンベルト62に固定された駆動用突起61とから構成される。チェーンベルト62は電動モータ(図示せず)により駆動されることにより複数個の載置台21を連続的に搬送する。吸引装置22の内壁に沿って載置台21が移動し、載置台21が吸引装置22から脱落しないように載置台21の吸引装置22側の面には突起72を設けても良い。搬送装置60は、吸引装置22の片側の側方だけに設けても良いし、両側に設けるようにしても良い。両側に設けることにより、より安定した搬送が実現できる。
【００５２】
ここでは、搬送装置としてチェーンベルト62を使用したものについて説明したが、これに限定されるものではなく、タイミングベルト、スチールベルト、あるいはワイヤー等搬送に使用される公知のデバイスは全て使用することが可能である。
【００５３】
以上説明した点以外については、第三の実施例は第二の実施例と同様な構成となっている。
【００５４】
第三の実施例に基くディスク1の接着剤硬化プロセスは、第二の実施例に基くディスク1の接着剤硬化プロセスと実質的に同一であるが、第三の実施例においては新たに搬送装置60が設けられているため、空になっている載置台21を、ディスク1を載置することができる位置に搬送し、またディスク1を載置した載置台21を、ディスク1を取り外すことができる位置に搬送することができる。
【００５５】
図5は、本発明に係る第四の実施例を示したものである。第四の実施例は、第三の実施例の接着剤硬化装置において、吸引装置22をキャタピラーの如く無限軌道状の構造を構成するようにしたものであり、複数個の載置台21は吸引装置22の外周に連続的に配置される。
【００５６】
接着剤が未硬化の状態である貼り合わせたディスク1が、無限軌道状に配置された複数個の載置台21上に配置される。吸引装置22の上面側には内部空間27が設けられており、この吸引装置22の内部空間27の上面には載置台21が連続して配置される。内部空間27の一端には負圧源(図示せず)に連通する配管25が接続されており、吸引装置22の内部空間27を負圧に維持することができるようになっている。以上説明した点以外については、第四の実施例は第二の実施例と同様な構成となっている。
【００５７】
また、本実施例における搬送装置60は、第三の実施例で説明した搬送装置60と実質的に同じであるが、一部異なる点は、チェーンベルト62についても無限軌道を構成するようになっていることである。
【００５８】
図6は、本発明に係る第五の実施例を示したものである。第五の実施例は、第三の実施例の接着剤硬化装置において、吸引装置22がトラック状の構造を形成するようにしたものであり、複数個の載置台21は吸引装置22に沿って連続的に配置される。
【００５９】
接着剤が未硬化の状態である貼り合わせたディスク1が、トラック状に配置された複数個の載置台21上に配置される。吸引装置22の上面側には内部空間27が設けられており、この内部空間は吸引装置22のトラック周長の一部において分断されている。
【００６０】
この吸引装置22のトラック全周にわたって載置台21が連続して配置される。
【００６１】
この実施例においては、吸引装置22の上面に連続して配置される複数個の載置台21の端面は、隣り合う載置台21の間から吸引装置22の内部空間27内へ空気が漏れて吸着効果が低下するのを防止するために、載置台21の形状を図7に示すように、一端を凸状円形端面形状73とし、他端を凹状円形端面形状74にすることにより、トラック状吸引装置22の円弧形状部分での気密性を向上させるようにしても良い。
【００６２】
内部空間27の一端には負圧源(図示せず)に連通する配管25が接続されており、吸引装置22の内部空間27を負圧に維持することができるようになっている。以上説明した点以外については、第五の実施例は第二の実施例と同様な構成となっている。
【００６３】
また、本実施例における搬送装置60は、第三の実施例で説明した搬送装置60と実質的に同じであるが、一部異なる点は、駆動用のベルトについてもトラック状の形状をした構成となるようになっていることである。
【００６４】
図8は、本発明に係る第六および第七の実施例を合わせて示したものである。第六の実施例は、第二乃至第五の実施例に更に加熱装置23を加え、また、ディスク1が載置された載置台21の周辺は除湿装置(図示せず)により一定湿度に保持することにより接着剤の硬化時間を短縮し、生産性の向上を図ったものである。ディスク1の上方に配置された加熱装置23は、送風装置(図示せず)から送られた空気を加熱し、熱風をディスク1に吹き付けることができるようになっている。この加熱装置23の加熱方法としては、ニクロム線ヒーターやセラミックヒーターを利用した加熱、あるいはハロゲンランプ等のランプによる加熱、温水を利用した加熱、誘導加熱による加熱等、一般に加熱源として利用されているものは全て利用することができる。また、この加熱装置は、ディスクの温度が均一になるようにディスクの片面全面を覆ったり、ディスクの大きさより十分大きい表面積を持つようにしたり、あるいは係る加熱装置をディスクの上面、下面、側面またはこれらを組み合わせた面に配置しても良い。
【００６５】
ディスク1が載置された載置台21の周辺の湿度を制御するために設けられる除湿装置は、通常種々の機械装置で使用される装置を利用することができる。
【００６６】
また、加熱装置と除湿装置は、それぞれセンサーとコントローラに接続することにより、所定の温度および湿度に制御できるようにしても良い。
【００６７】
第七の実施例は、第六の実施例に更にディスク1上に、押さえ板30を載置したものである。押さえ板30の重みによりディスク1は載置台21と押さえ板30の間にサンドイッチされ、精度よく仕上げられた載置台21および押さえ板30の表面に沿った状態を維持するため高い平面度を維持し続けることができ、接着剤硬化の間この押さえ板30をディスク1上に載置することにより、平面精度の高いディスクを形成することが可能となる。
【００６８】
押さえ板30はその重みで、ディスク1を載置台21に押し付ける機能を果たすとともにディスク1へ熱を伝える機能をも果たすものであるため、鋼板、アルミ板、銅板等、比重が大きく熱伝導の優れた金属を使用しても良いが、赤外線による加熱を行うような場合には、赤外線を透過させやすい材料、たとえばガラス板等を使用しても良い。
【００６９】
図9は、本発明に係る第八の実施例を示したものである。第八の実施例は、第七の実施例に更にディスク1および押さえ板30を載置台21に載せるための移載アーム40と、ディスク1および押さえ板30を載置台21から取り外すための移載アーム40を備えたものである。ディスク1および押さえ板30を載せるための移載アーム40と取り外すための移載アーム40はそれぞれ同じ移載アーム40を利用するようにしても良い。
【００７０】
移載アーム40は、ディスク1または押さえ板30を吸着する吸着板32と、吸着板32を支持するアーム部33と、アーム部33を回転させるモータ31とから構成されている。更に、吸着板32はアーム部33を介して負圧源(図示せず)に接続されており、途中電磁弁を介することにより、大気圧と負圧との切り替えができ、ディスク1または押さえ板30の保持または開放することができるようになっている。
【００７１】
次に、第八の実施例に基くディスク1の接着剤硬化プロセスについて説明する。
【００７２】
まず、接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が、移載アーム40によって吸引装置22の上に配置された複数個の載置台21上に載置される。次に、押さえ板30は、移載アーム40によってディスク1の上に載置される。
【００７３】
ディスク1の上方に配置された加熱装置23は、送風装置(図示せず)から送られた空気を加熱し、熱風をディスク1に吹き付けディスク1を加熱する。また、除湿装置によってディスク1が載置された載置台21の周辺の湿度を制御することができるため、接着剤の硬化に適した湿度に維持することができる。
【００７４】
吸引装置22の内部空間27は負圧に維持されているため、複数の通気孔26によってディスク1は載置台21に吸着され、精度よく仕上げられた載置台21の表面に沿った状態を維持するため高い平面度を維持し続けながら接着剤の硬化反応を完了させることができる。
【００７５】
更に、搬送装置60によって、ディスク1および押さえ板30を載せた載置台21は、吸引装置22の上を連続的に搬送される。所定時間経過後、ディスク1および押さえ板30を載せた載置台21は、押さえ板30を取り外すための移載アーム40の位置に到達し、移載アーム40によって押さえ板30が取り外される。次に、ディスク1を載せた載置台21は、ディスク1を取り外すための移載アーム40の位置に到達し、移載アーム40によってディスク1が取り外され、接着剤の硬化反応が終了した完成品のディスク1が、完成品収納コンテナ(図示せず)に収納される。空になった載置台21は更に、搬送装置60によってディスク1を載置する位置へ搬送され、接着剤が未硬化の状態にある新しいディスク1が載置され、上述した接着剤硬化プロセスが続けられる。
【００７６】
以上説明したような構成とすることにより、個々のディスク毎に吸着装置の筐体や、吸引用のファンが必要なくなるため接着剤硬化装置が簡素になり、その結果装置の低価格化を実現することができる。また装置全体の寸法を小さくすることができるので、装置を設置するための工場スペースを小さくすることができる。
【００７７】
更に、接着剤硬化工程にディスクを加熱する工程と、ディスク1が載置された載置台21の周辺は除湿装置(図示せず)により一定湿度に保持する工程を加えることによって、ディスクを貼り合わせた接着剤の環境をその硬化に適した条件に合わせることができるので、接着剤が硬化するまでの時間が短くなり、その結果1枚のディスクが完成するまでの生産時間が短くなり、生産性を向上させることもできる。
【００７８】
また、吸引装置22の内部空間27は負圧に維持されているため、複数の通気孔26によってディスク1は載置台21に吸着され、押さえ板30の効果と相まって、精度よく仕上げられた載置台21および押さえ板30の表面に沿った状態を維持するため高い平面度を維持し続けることができる。特に、押さえ板30を使用することにより、ディスク1中央部における接着層の厚みが厚くなる現象を抑えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
ここで開示した接着剤硬化装置または接着剤硬化方法は、2枚のディスク基板に接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用することができ、精度の高いディスクを製造することができると共に、装置を簡素化・低価格化し、更にコンパクト化することができると共に、ディスク製品の品質と生産性の向上に大きく寄与することができるものと期待されている。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】図1は、本発明に係る装置、または方法を使用して接着したディスクを模式図として示したものである。
【図２】図2は、本発明に係る第一の実施例を示したものである。
【図３】図３は、本発明に係る第二の実施例を示したものである。
【図４】図４は、本発明に係る第三の実施例を示したものである。
【図５】図５は、本発明に係る第四の実施例を示したものである。
【図６】図６は、本発明に係る第五の実施例を示したものである。
【図７】図７は、本発明に係る載置台の実施例を示したものである。
【図８】図８は、本発明に係る第六および第七の実施例を併せて示したものである。
【図９】図９は、本発明に係る第八の実施例を示したものである。
【図１０】図10は、従来技術にかかる吸着装置を示したものである。
【符号の説明】
【００８１】
1       ディスク
21      載置台
22      吸引装置
23      加熱装置
30      押さえ板
40      移載アーム
60      搬送装置
【図１】
2006004467.tif 000003
【図２】
2006004467.tif 000004
【図３】
2006004467.tif 000005
【図４】
2006004467.tif 000006
【図５】
2006004467.tif 000007
【図６】
2006004467.tif 000008
【図７】
2006004467.tif 000009
【図８】
2006004467.tif 000010
【図９】
2006004467.tif 000011
【図１０】
2006004467.tif 000012