(57)【要約】【課題】  製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シート（エッチング加工部材）から、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング方法で、トリミング品質の面で問題がなく、エッチング加工ラインにも組み込むことができる、トリミング方法を提供する。同時に、そのようなトリミング方法を実施できるトリミング装置を提供する。【解決手段】  非製品部の一箇所を、引っ張り、トリミング線部に沿い引き裂きを行うもので、トリミング線部の外側方向に、且つ、トリミング線部の引き裂き進行方向に対し、引っ張り点が、引き裂き点より後側にある位置関係を保持しながら、引っ張って、トリミング線部の引き裂きを行うことを特徴とするものである。【選択図】  図２
2006004726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シートから、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング方法であって、非製品部の一箇所を、引っ張り、トリミング線部に沿い引き裂きを行うもので、トリミング線部の外側方向に、且つ、トリミング線部の引き裂き進行方向に対し、引っ張り点が、引き裂き点より後側にある位置関係を保持しながら、引っ張って、トリミング線部の引き裂きを行うことを特徴とするトリミング方法。
【請求項２】
請求項１に記載のトリミング方法であって、トリミング線部の引き裂きを、引き裂き点において、トリミング線部の引き裂き進行方向に対して、所定の一定の角度で、引っ張って行うものであることを特徴とするトリミング方法。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１に記載のトリミング方法であって、枚葉の金属シートをコンベア上に載置し、製品部を固定した状態で引き裂きを行うことを特徴とするトリミング方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１に記載のトリミング方法であって、枚葉の金属シートは磁性体からなるもので、製品部を磁石で固定することを特徴とするトリミング方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１に記載のトリミング方法であって、枚葉の金属シートは磁性体からなるもので、引っ張りを行うための把持に際し、非製品部の持ち上げを磁石により行うことを特徴とするトリミング方法。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれか１に記載のトリミング方法であって、引っ張りを行うための把持に際し、非製品部の持ち上げを吸着により行うことを特徴とするトリミング方法。    
【請求項７】
製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シートから、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング装置であって、枚葉の金属シートを載置して、その製品部を固定することができるコンベア部と、非製品部を掴む把持部を有し、該把持部により非製品部を掴み、該把持部を金属シートに対し相対的に移動させ、非製品部を把持部にて引っ張ることにより、金属シートから、製品と非製品部とを引き裂くための引き裂き部と、把持部の把持に際し、把持ができるように非製品部の持ち上げを行う持ち上げ手段とを備え、前記金属シートの製品周囲を、把持部により、非製品部を、トリミング線部の外側方向に、且つ、トリミング線部の引き裂き進行方向に対して、引っ張り点が、引き裂き点より後側にある位置関係を保持しながら、引っ張って、トリミング線部の引き裂きを行うものであることを特徴とするトリミング装置。
【請求項８】
請求項７に記載のトリミング装置であって、トリミング線部の引き裂きを、引き裂き点において、トリミング線部の引き裂き進行方向に対して、所定の一定の角度で、引っ張って引き裂きを行うものであることを特徴とするトリミング装置。
【請求項９】
請求項７ないし８のいずれか１に記載のトリミング装置であって、枚葉の金属シートは磁性体からなるもので、製品部を固定するための磁石を備えていることを特徴とするトリミング装置。
【請求項１０】
請求項７ないし９のいずれか１に記載のトリミング装置であって、枚葉の金属シートは磁性体からなるもので、持ち上げ手段は、磁石により非製品部の持ち上げを行うものであることを特徴とするトリミング装置。
【請求項１１】
請求項７ないし９のいずれか１に記載のトリミング装置であって、持ち上げ手段は、吸引する吸着部により非製品部の持ち上げを行うものであることを特徴とするトリミング装置。
【請求項１２】
請求項７ないし１１のいずれか１に記載のトリミング装置であって、コンベアは、複数の金属シートをそれぞれ所定の位置に載置し、固定するもので、前記複数の金属シートに、それぞれ対応した複数の引き裂き部を備えていることを特徴とするトリミング装置。
【請求項１３】
請求項７ないし１２のいずれか１項に記載のトリミング装置を備えたことを特徴とするエッチング加工製品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工素材である金属板材からエッチング加工により作製されるエッチング加工製品に関し、特に、シャドウマスク製品、リードフレーム製品等の加工素材である金属板材からのトリミング線部により分離を容易にする方法、装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラーＴＶ（ブラウン管）用のシヤドウマスクは、使用量の拡大に伴い量産化が進み、且つ、その使用目的によっては、ファイン化、大型化等が求められている。
このようなシヤドウマスクは、一般には、帯状に連続する金属板材６００を素材（図５（ａ））として用い、一貫ラインで生産されており、簡単には、帯状に連続する金属板材６００を連続ないし間欠的に移動させながら、製版、エッチングして、各シヤドウマスクの製品部（これをシヤドウマスクと言う）６１１の外周部が金属板材６００に保持されるようにして、且つ、該金属板材６００にシヤドウマスク６１１を面付けした状態にして外形加工される。（図５（ｂ））
そして、この後、図５（ｃ）に示すように、一旦、金属板材６００を断裁し、断裁された金属シート６１０、６１０Ａから各シヤドウマスク６１１を分離する（図５（ｄ））トリミング方法（オフライン方式）が一般には採られている。
金属板材６００から断裁された金属シートは、図５（ｃ）（ロ）に示すように、シヤドウマスク１個（単面付け）の外側に不要の金属板部６１２を付けた状態のもの、あるいは、図５（ｃ）（イ）に示すように、図５（ｃ）（ロ）のものを複数個１つのシートにした状態のものである。
このトリミング方法としては、あらかじめ、エッチングにより、シヤドウマスクの外周に、ハーフエッチング部およびまたは貫通孔部を形成したシヤドウマスクの外周線（以下トリミング線とも言う）を設けておき、シヤドウマスクの外周線（トリミング線とも言う）に合った押さえ型により、シヤドウマスクの製品部を押さえ、人が不要の金属板部６１２を持ち上げて、これを製品部から分離する第１の方法や、人手ではなく、装置が、不要の金属板部６１２を上下に折り曲げて分離する第２の方法等が採られていた。
尚、第１の方法や第２の方法によるトリミングは、エッチング加工ラインに組みこまれたものではなく、オフライントリミング方法とも呼ばれ、また、第２の方法で用いられる装置は、エッチング加工ラインに組みこまれたものではなく、オフライントリミング装置あるいはオフラインむしり機とも言われている。
そしてまた、以下、エッチング加工ラインに組みこまれたトリミング方法をインライントリミング方法と言う。
しかし、これらの方法は、品種別の押さえ型が必要で、特に、装置による第２の方法においては、型のコストがかかり、段取り替えに時間がかかると言う問題があった。
また、トリミングには時間がかかり、効率的ではないと言う問題もある。
【０００３】
特開平８−２８７８２５号公報（特許文献１）に記載のような、前記第１の方法をアームロボットを用いて行わせる第３の方法も開発されているが、第３の方法においては、製品部、非製品部を切り離した製品部分に波状のうねり欠陥が発生し、品質が安定していなかった。
第３の方法をエッチング加工ラインに組んでも、安定したトリミング品質の確保には至っていない。
【特許文献１】特開平８−２８７８２５号公報
【０００４】
また、トリミング作業の生産性向上、コスト削減のためトリミング工程のインライン化を図るため、特開２００２−３７０１９７号公報（特許文献２）に記載の、トリミング線部に金属疲労を与えて弱らせることなく、外むしりにより、製品部と不要部とを分離する第４の方法が、本願出願人から提案されている。
第４の方法は、予め、金属シートの長手方向、金属シートの進行方向に直交する方向のトリミング線部を貫通孔として加工しておき、トリミングを行うもので、押さえコロにより製品部を受け台に押しつけ、長手方向（進行方向）のトリミング線部に対して、外むしりを行うものであるが、製品部を押さえコロにて押さえるため製品部に凹凸部が発生したり、また、第３の方法と同様、製品部、非製品部を切り離した製品部分に波状のうねり欠陥が発生し、品質が安定しなかった。
更に、この第４の方法のインライントリミング方法には、製品のサイズや面付け、品種が異なる場合等において、種々問題があり、エッチング加工ラインで未だ実用化されていない。
尚、ここで、「外むしり」とは、製品部外側の不要部を引っ張り破断する際、製品部から外側に向かい引っ張りながら破断する方法を言う。
【特許文献２】特開２００２−３７０１９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、シャドウマスク等の金属のエッチング加工においては、生産性の面、コスト面から、インライントリミング方法が求められているが、未だ、トリミング品質面で問題があり、インライントリミング方法が実用化されていないのが現実である。
本発明はこれに対応するもので、具体的には、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シート（エッチング加工部材）から、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング方法で、トリミング品質の面で問題がなく、エッチング加工ラインにも組み込むことができる、トリミング方法を提供しようとするものである。
同時に、そのようなトリミング方法を実施できるトリミング装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のトリミング方法は、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シートから、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング方法であって、非製品部の一箇所を、引っ張り、トリミング線部に沿い引き裂きを行うもので、トリミング線部の外側方向に、且つ、トリミング線部の引き裂き進行方向に対し、引っ張り点が、引き裂き点より後側にある位置関係を保持しながら、引っ張って、トリミング線部の引き裂きを行うことを特徴とするものである。
そして、上記のトリミング方法であって、トリミング線部の引き裂きを、引き裂き点において、トリミング線部の引き裂き進行方向に対して、所定の一定の角度で、引っ張って行うものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記のいずれかのトリミング方法であって、枚葉の金属シートをコンベア上に載置し、製品部を固定した状態で引き裂きを行うことを特徴とするものである。
また、上記のいずれかのトリミング方法であって、枚葉の金属シート（エッチング加工部材）は磁性体からなるもので、製品部を磁石で固定することを特徴とするものである。  また、上記のいずれかのトリミング方法であって、枚葉の金属シートは磁性体からなるもので、引っ張りを行うための把持に際し、非製品部の持ち上げを磁石により行うことを特徴とするものである。
また、上記のいずれかのトリミング方法であって、引っ張りを行うための把持に際し、非製品部の持ち上げを吸着により行うことを特徴とするものである。
尚、ここでは、トリミング線部の引き裂き進行方向に対し、引っ張り点が、引き裂き点より後側にある、とは、トリミング線部の引き裂き進行方向、引き裂き点を基準として引き裂き進行向き側を前とし、引っ張り点が、引き裂き点より後側にある、ことを意味する。
【０００７】
本発明のトリミング装置は、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シートから、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング装置であって、枚葉の金属シートを載置して、その製品部を固定することができるコンベア部と、非製品部を掴む把持部を有し、該把持部により非製品部を掴み、該把持部を金属シートに対し相対的に移動させ、非製品部を把持部にて引っ張ることにより、金属シートから、製品と非製品部とを引き裂くための引き裂き部と、把持部の把持に際し、把持ができるように非製品部の持ち上げを行う持ち上げ手段とを備え、前記金属シートの製品周囲を、把持部により、非製品部を、トリミング線部の外側方向に、且つ、トリミング線部の引き裂き進行方向に対して、引っ張り点が、引き裂き点より後側にある位置関係を保持しながら、引っ張って、トリミング線部の引き裂きを行うものであることを特徴とするものである。
そして、上記のトリミング装置であって、トリミング線部の引き裂きを、引き裂き点において、トリミング線部の引き裂き進行方向に対して、所定の一定の角度で、引っ張って引き裂きを行うものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記のいずれかのトリミング装置であって、枚葉の金属シートは磁性体からなるもので、製品部を固定するための磁石を備えていることを特徴とするものである。  上記のいずれかのトリミング装置であって、枚葉の金属シートは磁性体からなるもので、持ち上げ手段は、磁石により非製品部の持ち上げを行うものであることを特徴とするものである。
あるいは、上記のいずれかのトリミング装置であって、持ち上げ手段は、吸引する吸着部により非製品部の持ち上げを行うものであることを特徴とするものである。
また、上記のトリミング装置であって、コンベアは、複数の金属シートをそれぞれ所定の位置に載置し、固定するもので、前記複数の金属シートに、それぞれ対応した複数の引き裂き部を備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明のエッチング加工製品の製造装置は、請求項７ないし１２のいずれか１項に記載のトリミング装置を備えたことを特徴とするものである。
【０００９】
（作用）
本発明のトリミング方法は、このような構成にすることにより、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シートから、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング方法で、トリミング品質の面で問題がなく、エッチング加工ラインにも組み込むことができる、トリミング方法の提供を可能としている。
具体的には、非製品部の一箇所を、引っ張り、トリミング線部に沿い引き裂きを行うもので、トリミング線部の外側方向に、且つ、トリミング線部の引き裂き進行方向に対し、引っ張り点が、引き裂き点より後側にある位置関係を保持しながら、引っ張って、トリミング線部の引き裂きを行うことにより、これを達成している。
特に、トリミング線部の引き裂きを、引き裂き点において、トリミング線部の引き裂き進行方向に対して、所定の一定の角度で、引っ張って行うものである場合には、トリミング品質をより安定なものとできる。
そして、枚葉の金属シートをコンベア上に載置し、製品部を固定した状態で引き裂きを行うことにより、インラインでのトリミングを可能とするものである。
枚葉の金属シートは磁性体からなる場合には、製品部を磁石で固定する形態が挙げられる。
また、枚葉の金属シートは磁性体からなる場合には、引っ張りを行うための把持に際し、非製品部の持ち上げを磁石により行う形態が挙げられる。
あるいは、引っ張りを行うための把持に際し、非製品部の持ち上げを吸着により行う形態が挙げられる。
この形態の場合は、枚葉の金属シートが磁性体でなくても適用ができる。
【００１０】
本発明のトリミング装置は、このような構成にすることにより、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シートから、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング方法で、トリミング品質の面で問題がなく、エッチング加工ラインにも組み込むことができる、トリミング装置を提供を可能としている。
そして、特に、トリミング線部の引き裂きを、引き裂き点において、トリミング線部の引き裂き進行方向に対して、所定の一定の角度で、引っ張って引き裂きを行うものであることにより、トリミング品質面をより安定なものとできる。
処理対象の枚葉の金属シートが磁性体からなる場合には、製品部を固定する磁石を備えた形態が挙げられ、また、引っ張りを行うための把持に際して非製品部の持ち上げを行う持ち上げ手段としては、磁石を備えた形態が挙げられる。
あるいは、引っ張りを行うための把持に際して非製品部の持ち上げを行う持ち上げ手段としては、吸引する吸着部を備えた形態が挙げられる。
尚、この形態の場合は、枚葉の金属シートが磁性体でなくても適用ができる。
更にまた、コンベアは、複数の金属シートをそれぞれ所定の位置に載置し、固定するもので、前記複数の金属シートに、それぞれ対応した複数の引き裂き部を備えている場合には、生産性の良いものとできる。
【００１１】
本発明のエッチング加工製品の製造装置は、このような構成にすることにより、帯状のエッチング加工用の金属板素材から、エッチング加工製品を得るまでを、人手を入らない一貫ラインで行うことを可能としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、上記のように、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シートから、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング方法で、トリミング品質の面で問題がなく、エッチング加工ラインにも組み込むことができる、トリミング方法の提供を可能とした。
同時に、そのようなトリミング方法を実施できるトリミング装置の提供を可能とした。  更に、このようなトリミング装置を組込んだエッチング加工製品の製造装置の提供を可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明のトリミング装置の実施の形態の１例の概略構成斜視図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１−Ａ２における断面図で、図２（ａ）〜図２（ｄ）は、本発明のトリミング方法における引っ張りによる引き裂きを説明するための図で、図３は図１に示すトリミング装置をインライン化したエッチング加工製品の製造装置の１例を示した概略構成図で、図４は従来の引き裂きによるトリミング方法を説明するための図で、図４（ａ）はトリミング中の状態を示した図で、図４（ｂ）はトリミング後の欠陥部のある製品を示した図である。
尚、図２においては、太線矢印で引っ張り力を示しており、図２（ａ）は引き裂き開始直後の状態を示し、図２（ｂ）は図２（ａ）から引き裂きが進行した状態を示し、図２（ｃ）、図２（ｄ）は、それぞれ、図２（ｂ）において表される引っ張り力を所定の面内に投影して示した図である。
図１〜図４において、１１０はコンベア、１１１は回転ローラ、１１２はコンベアベルト、１１５は磁石、１２０は引き裂き部、１２１は把持部、１２２はアーム、１２３は支持部、１３０は持ち上げ手段、１８０は金属シート（エッチング加工部材とも言う）、１８０Ａは処理用基材、１８０Ｂは金属ワーク、１８１は製品（シャドウマスク製品あるいは製品部とも言う）、１８２は非製品部、１８３はトリミング線部、２１０は加工用素材供給部、２２０は前処理部、２３０は塗膜部、２４０、２４５はストレージ、２５０は露光部、２６０は現像処理部、２７０はエッチング処理部、２８０はレジスト剥離部、２９０は洗浄処理部、３００は切断部、３１０はコンベアベルト、３１１は回転ローラ、３２０はトリミング装置、３３０はコンベアベルト、３３１は回転ローラ、３４０はロール、４８１は製品（製品部とも言う）、４８２は非製品部（不要部とも言う）、４８３はトリミング線部、４９０は型（あて板）、４８５は欠陥部である。
また、Ｑ０、Ｑ１は引き裂き点、Ｈ１は引っ張り点で、Ｐ１〜Ｐ４はいずれもトリミング線部上の点である。
【００１４】
はじめに、本発明のトリミング装置の実施の形態の１例を図１に基づいて説明する。
本例のトリミング装置は、シャドウマスク製品として、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シートから、製品と非製品部とをトリミング線部にて分離するトリミング装置で、図１（ａ）に示すように、枚葉の金属シート１８０を水平にそのコンベアベルト１１２載置して、その製品部を固定するコンベア１１０と、非製品部１８２を掴む把持部１２１を有し、該把持部１２１により非製品部１８２を掴み、該把持部１２１を金属シート１８０に対し相対的に移動させ、非製品部１８２を把持部１２１にて引っ張ることにより、金属シート１８０から、製品１８１と非製品部１８２とを引き裂くための引き裂き部１２０と、把持部１２１の把持に際し、把持ができるように非製品部１８２の持ち上げを行う持ち上げ手段１３０とを備えている。
引き裂き部１２０は、金属シート１８０の非製品部１８２の表裏を挟むようにして掴み引っ張る把持部１２１、把持部１２１を移動可能に固定するアーム部１２２、アーム部１２２を保持する支持部１２３を有し、更に各部を制御操作して、把持部１２１の引っ張りを制御する操作部（制御手段とも言う、図示していない）とを備えている。
尚、図示していないが、勿論、引き裂き部には各部を動作させるための、電気あるいは空圧等による駆動部がある。
本例のトリミング装置は、前記図示していない操作部により引き裂き部の各部が、金属シート１８０の製品１８１周囲を、把持部１２１により、非製品部１８２を、トリミング線部１８３の外側方向に、且つ、トリミング線部１８３の引き裂き進行方向に対して、引っ張り点Ｈ１が、引き裂き点（図１（ａ）のＱ０、図１（ｂ）のＱ１）より後側にある位置関係を保持しながら、引っ張るように、制御操作されるものであり、引っ張りによる引き裂きを、コンベア１１０のコンベアベルト１１２を停止あるいは走行している状態にて行うものである。
把持部１２１は、その位置を制御され、トリミング線部１８３に沿い金属シート１８０に対し相対的に移動して、引っ張りによる引き裂きを行う。
本例では、把持部１２１による引っ張りの向きや大きさは、アーム部１２２の方向や引っ張り力をエアシリンダのエア圧等を制御して行うが、これに限定はされない。
【００１５】
本例においては、図１（ｂ）に示すように、コンベア１１０は、その上側のベルトの下側、製品搭載側とは反対側に、コンベアベルト１１２に沿い平板状に磁石１１５が設けられており、この磁石１１５により、コンベア１１０のコンベアベルト１１２への金属シート１８０への固定が行われる。
また、コンベア１１０のコンベアベルト１１２は、図示していない駆動部により回転される２つの回転ローラ１１１により回転走行されるもので、コンベア１１０のコンベアベルト１１２の走行により、金属シートの搭載や搬送や、非製品部が分離された後の製品の排出が行われる。
【００１６】
持ち上げ手段１３０は、トリミングに際し、把持部１２１が非製品部の表裏を挟むように掴むことができるように、非製品部１８２を製品面を含む面より浮かすもので、金属シート１８０が磁性体であれば磁石の磁力を利用して、これを行っても良い。
あるいは、吸引して吸着（真空吸着あるいは減圧吸着とも言う）しても良い。
【００１７】
次に、本例のトリミング装置による引き裂きについて、更に、図２を参照にしながら説明する。
尚、これを以って、本発明のトリミング方法の実施の形態の１例の説明に代える。
ここでは、金属シート１８０のトリミング線部１８３のコーナー部（図２（ａ）のＰ１点）には、エッチング加工の際にすでに貫通孔が形成されその部分では、把持部１２１による把持がし易いようになっているとする。
例えば、持ち上げ手段１３０により、この部分を吸着して持ち上げる。
ここでは、金属シート１８０には、エッチング加工により、すでに、貫通孔が形成されているとする。（図２（ａ）参照）
本例のトリミング装置を用いたトリミング方法の場合、引っ張り力の方向（図２の太線矢印）は、一定の方向に制御され、図２（ａ）の状態から図２（ｂ）のように、引き裂きが進行されるものである。
図２（ａ）おける引き裂きも、図２（ｂ）における引き裂きと同じで、ここでは、以下、図２（ｂ）における引き裂きについて説明する。
図２（ｃ）に示すように、引っ張り力の向きは、トリミング線部１８３の外側に向かうように制御され、且つ、図２（ｄ）に示すように、引き裂きは、金属シート１８０の製品１８１周囲を、把持部１２１により、非製品部１８２を、トリミング線部１８３の外側方向に、且つ、トリミング線部１８３の引き裂き進行方向に対して、引っ張り点Ｈ１が、引き裂き点（図２（ｂ）のＱ１）より後側にある位置関係を保持しながら、引っ張って、トリミング線部１８３の引き裂きを行うものである。
このような引き裂きをトリミング線部１８３全体にわたり行い、トリミングを完了する。
このようにすることにより、図４に示す、型（あて板）４９０を用い、外むしりではあるが、トリミング線部４８３の引き裂き進行方向に対して、引っ張り点が、引き裂き点より前側にある位置関係で、引っ張って、トリミング線部４８３の引き裂きを行う、従来の引き裂き方法において、発生していた製品４８１の辺部の波状のうねり欠陥（欠陥部４８５）をなくすことができた。
【００１８】
上記、本例のトリミング装置を用いたトリミング方法においては、把持部１２１により、非製品部１８２を、トリミング線部１８３の外側方向に、且つ、トリミング線部１８３の引き裂き進行方向に対して、引っ張り点Ｈ１が、引き裂き点（図２（ｂ）のＱ１）より後側にある位置関係を保持しながら、引っ張って、トリミング線部１８３の引き裂きを行うもので、図２（ｃ）に示すθ１の角度、図２（ｄ）に示すθ２の角度を、それぞれ、０＜θ１＜９０（単位［度］）、０＜θ２＜９０（単位［度］）に制御して行うが、θ２については、実施形態によっては、ー９０＜θ２＜９０（単位［度］）に制御して行うことができる。
ここで、θ１の範囲は、外むしりであるという要件から限定されるもので、θ２の範囲は、引き裂きによりトリミングを行う際に、引き裂き点（図２（ａ）のＱ０や図２（ｂ）のＱ１）において、引き裂かれた非製品部１８２側から製品１８１が前述の欠陥発生の原因となる応力を確実に全く受けなくなる条件から決められたものである。
図４（ａ）に示す、従来の引き裂きによるトリミングにおいては、９０＜θ２（あるいは、θ２＜−９０）（単位［度］）で、ー９０〜９０（単位［度］）の範囲ではなく、引き裂き部Ｑ４において、引き裂かれ折れ曲がった非製品部４８２側から製品が圧縮応力を受けることとなり、これが原因で、図４（ｂ）に示すような波状のうねり欠陥（欠陥部４８５）が発生する。
【００１９】
図１に示すトリミング装置は１例で、本発明のトリミングは、これに限定はされない。  例えば、上記図１に示すトリミング装置において、そのコンベア１１０、引き裂き部１２０に代え、複数の金属シートをそれぞれ所定の位置に載置し、固定するコンベアと、前記複数の金属シートに、それぞれ対応した複数の引き裂き部を備えている形態のものも、挙げられる。
この場合、各引き裂き部や、コンベアへの各金属シート固定の仕方は、基本的に図１に示すトリミング装置と同じくできる。
【００２０】
次に、本発明のエッチング加工製品の製造装置の実施の形態の１例を図３に示し、簡単に説明する。
本例のエッチング加工製品の製造装置は、図１に示すトリミング装置３２０をシャドウマスクの製造ラインにインライン接続したもので、帯状の金属薄板を加工素材（処理用基材１８０Ａ）として、フォトエッチング法により、帯状に連続する金属薄板をエッチング加工して、製品であるシャドウマスクと、製品の全周辺にハーフエッチング部と貫通孔部とからなり、ハーフエッチング部にて製品と非製品部（不要部）とを一体連結するトリミング線部とを設けている、帯状に連続する金属ワーク１８０Ｂを作製し、更に、連続して、トリミングを行い、製品と不要部とを分離するものである。
図３に示すように、順に、加工用素材供給部２１０、前処理部２２０、塗膜部２３０、ストレージ２４０、露光部２５０、ストレージ２４５、現像処理部２６０、エッチング処理部２７０、レジスト剥離部２８０、洗浄処理部２９０、切断部３００、トリミング装置３２０を配置し、加工用素材供給部２１０により、コイルに巻かれた金属薄板をコイル状態から帯状の加工用素材（加工用基材１８０Ａ）として供給し、シャドウマスク加工の各処理を行い、洗浄処理部２９０による洗浄処理を経て、製品部と非製品部（不要部）とを一体連結するトリミング線部とを設けている帯状の金属ワーク１８０Ｂにし、更にこの状態から、切断部３００により、切断して、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、シャドウマスク製品と非製品部とを一体的に連結している枚葉の金属シート１８０として、図１に示すトリミング装置３２０に投入し、引き裂きによるトリミングを行い、製品１８１と非製品部１８２とに分離する。
尚、本例における加工用素材供給部２１０から洗浄処理部２９０までの各部やその処理は一般的でここでは、説明を省く。
トリミング装置３２０については、上記図１に示す実施の形態例の説明に代える。
本例は、１例で、必要に応じた処理部を設けても良いことは言うまでもない。
また、本例は、トリミング装置３２０をシャドウマスク製造ラインに組み入れたものであるが、このような製造ラインに限定されるものではない。
例えば、金属ワーク１８０Ｂの段階で、トリミング線部の金属疲労を促進する処理部にて、トリミング線部の金属疲労を促進してから、切断部３００にて切断して金属シート１８０として、これを図１に示すトリミング装置３２０でトリミングする形態としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１（ａ）は本発明のトリミング装置の実施の形態の１例の概略構成斜視図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１−Ａ２における断面図である。
【図２】図２（ａ）〜図２（ｄ）は、本発明のトリミング方法における引っ張りによる引き裂きを説明するための図である。
【図３】図１に示すトリミング装置をインライン化したエッチング加工製品の製造装置の１例を示した概略構成図である。
【図４】図４（ａ）はトリミング中の状態を示した図で、図４（ｂ）はトリミング後の欠陥部のある製品を示した図である。
【図５】シャドウマスクの製造方法におけるトリミングを説明するための図である。
【符号の説明】
【００２２】
１１０            コンベア
１１１            回転ローラ
１１２            コンベアベルト
１１５            磁石
１２０            引き裂き部
１２１            把持部
１２２            アーム
１２３            支持部
１３０            持ち上げ手段
１８０            金属シート（エッチング加工部材とも言う）
１８０Ａ          処理用基材
１８０Ｂ          金属ワーク
１８１            製品（シャドウマスク製品あるいは製品部とも言う）
１８２            非製品部
１８３            トリミング線部
２１０            加工用素材供給部
２２０            前処理部
２３０            塗膜部
２４０、２４５    ストレージ
２５０            露光部
２６０            現像処理部
２７０            エッチング処理部
２８０            レジスト剥離部
２９０            洗浄処理部
３００            切断部
３１０            コンベアベルト
３１１            回転ローラ
３２０            トリミング装置
３３０            コンベアベルト
３３１            回転ローラ
３４０            ロール
４８１            製品（製品部とも言う）
４８２            非製品部（不要部とも言う）
４８３            トリミング線部
４９０            型（あて板）
４８５            欠陥部
６００            フープ状の金属板材
６１０、６１０Ａ  金属シート
６１１            シヤドウマスク（シヤドウマスクの製品部）
６１１Ａ          開孔形成領域
６１２            不要の金属板部
６１４            トリミング線部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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