(57)【要約】【課題】ノイズ除去機を利用して蒸着率測定過程で発生することができるノイズの影響を除去することで、蒸着率をより正確に制御することができる蒸着システム及びその制御方法を提供する【解決手段】蒸着装置と、前記蒸着装置の蒸着率を測定する蒸着率センサーと、前記測定された蒸着率のノイズ成分を除去するノイズ除去機と、前記ノイズ除去機の出力によって前記蒸着装置に供給される電力を調節する電力供給部を含む。【選択図】図２
2006188753.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着装置と、
前記蒸着装置の蒸着率を測定する蒸着率センサーと、
前記測定された蒸着率のノイズ成分を除去するノイズ除去機と、
前記ノイズ除去機の出力によって前記蒸着装置に供給される電力を調節する電力供給部とを含むことを特徴とする蒸着システム。
【請求項２】
前記蒸着装置は、
気相蒸着機及びスパッタからなるグループの中で選択されたひとつであることを特徴とする請求項１に記載の蒸着システム。
【請求項３】
前記ノイズ除去機は、
低帯域通過フィルターＬＰＦに具現されることを特徴とする請求項１に記載の蒸着システム。
【請求項４】
前記ＬＰＦは、
アナログＬＰＦ、デジタルＬＰＦ及びＬＰＦ演算を遂行するプログラムが搭載されたプロセッサからなるグループの中で選択されたひとつであることを特徴とする請求項１に記載の蒸着システム。
【請求項５】
前記ＬＰＦは、
時間の経過によって帯域幅を減少させることを特徴とする請求項３に記載の蒸着システム。
【請求項６】
前記ＬＰＦは、
前記測定率センサーで測定された蒸着率をクロック信号によって順次シフトする複数のレジスターと、
前記レジスターの出力を合算してＬＰＦの出力として出力する寄せ算器とを含むことを特徴とする請求項３に記載の蒸着システム。
【請求項７】
前記ＬＰＦは、
前記測定率センサーで測定された蒸着率及び第１係数を掛け算をする第１掛け算器と、
前記蒸着率及び前記第１掛け算器の出力を合算してＬＰＦ出力として出力する寄せ算器と、
前記寄せ算器の出力をクロック信号によって遅延して出力するレジスターと、
前記レジスターの出力及び第２係数を掛けて出力する第２掛け算器を含んで構成されることを特徴とする請求項３に記載の蒸着システム。
【請求項８】
前記電力供給部は、
前記ノイズ除去機の出力が目標蒸着率より大きい場合には、前記蒸着装置に供給される電力を減少させ、
前記ノイズ除去機の出力が目標蒸着率より小さな場合には、前記蒸着装置に供給される電力を増加させることを特徴とする請求項１に記載の蒸着システム。
【請求項９】
蒸着装置と、
前記蒸着装置に電力を供給する電力供給部と、
前記蒸着装置の蒸着率を測定する蒸着率センサーと、
前記蒸着率が測定期間の間または測定期間中所定の割合以上の期間の間同一範囲内にある場合には、
前記蒸着率が属した範囲によって前記蒸着装置に供給される電力が変更されるように前記電力供給部を制御するノイズ除去機とを含むことを特徴とする蒸着システム。
【請求項１０】
前記ノイズ除去機は、
蒸着率が測定期間中または測定期間中所定の割合以上の期間の間同一範囲内にない場合には、
前記蒸着装置に供給される電力が以前値を維持するように前記電力供給部を制御することを特徴とする請求項９に記載の蒸着システム。
【請求項１１】
前記ノイズ除去機は、
前記蒸着率に含まれる前記ノイズ部分を除去して補正した蒸着率情報を前記電力供給部に伝達して蒸着装置に供給される電力を制御することを特徴とする請求項９に記載の蒸着システム。
【請求項１２】
前記蒸着装置は、
気相蒸着機及びスパッタからなるグループの中で選択されたひとつことを特徴とする請求項９に記載のの蒸着システム。
【請求項１３】
前記ノイズ除去機は、
前記蒸着率の属した範囲が目標蒸着率より大きい場合にあたる範囲の場合、
前記蒸着装置に供給される電力が減少されるように前記電力供給部を制御し、目標蒸着率より小さな場合にあたる範囲の場合、
前記蒸着装置に供給される電力が増加されるように前記電力供給部を制御することを特徴とする請求項９に記載の蒸着システム。
【請求項１４】
前記測定期間は、
１秒以上であることを特徴とする請求項９に記載の蒸着システム。
【請求項１５】
前記ノイズ除去機は、
時間が経過するにつれて前記測定期間を増加させることを特徴とする請求項９に記載の蒸着システム。
【請求項１６】
前記ノイズ除去機は、
時間が経過するにつれて電力変更単位を減少させることを特徴とする請求項９に記載の蒸着システム。
【請求項１７】
ａ）蒸着装置の蒸着率を測定する段階と、
ｂ）前記測定された蒸着率が測定期間の間または測定期間中所定の割合以上の期間中同一範囲の値を持つかどうかを判断する段階と、
ｃ）測定された蒸着率が測定期間の間または測定期間中所定の割合以上の期間中同一範囲の値を持つ場合にはこれによって前記蒸着装置に供給される電力を変更する段階と、
ｄ）前記ａないしｃ段階を繰り返す段階とを含むことを特徴とする蒸着システムの制御方法。
【請求項１８】
前記ｃ段階において、
前記測定された蒸着率の属した範囲が測定された蒸着率が目標蒸着率より大きい場合にあたる範囲の場合、
前記蒸着装置に供給される電力を減少させて、前記測定された蒸着率の属した範囲が測定された蒸着率が目標蒸着率より小さな場合にあたる範囲の場合、
前記蒸着装置に供給される電力を増加させることを特徴とする請求項１７に記載の蒸着システムの制御方法。
【請求項１９】
前記ｄ段階において、
前記ａないしｃ段階を所定の回数繰り返した後、測定期間を増加させることを特徴とする請求項１７に記載の蒸着システムの制御方法。
【請求項２０】
前記ｄ段階において、
前記ａないしｃ段階を所定の回数繰り返した後、電力変更単位を減少させることを特徴とする請求項１７に記載の蒸着システムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は蒸着システム及びその制御方法に関し、特に、ノイズ除去機を利用して蒸着率測定過程において発生し得るノイズの影響を除去し、蒸着率をより正確に制御することができる蒸着システム及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図1は、従来の技術による蒸着システムを概略的に表現した図である。
【０００３】
図1を参照すれば、従来の技術による蒸着システムは、気相蒸着機(evaporator)及びスパッタ(sputter)などの蒸着装置10、蒸着率を測定する蒸着率センサー20及び蒸着率センサー20で測定された蒸着率によって蒸着装置10に供給される電力を調節する電力供給部30を含む。
【０００４】
蒸着率センサー20としては、一般的にクリスタルの周波数が質量に反比例する関係を利用して蒸着率を測定するクリスタルセンサーが使用される。
【０００５】
しかしながら、このような蒸着率センサー20で測定される蒸着率は、電波によるノイズ、電力線によるノイズ、冷却水の流量の搖れによるノイズ及び蒸着源の動きによるノイズなどを内包しているので、蒸着率センサー20で測定される蒸着率をそのまま電力供給部30に反映する場合、蒸着率がノイズによって変化して所望の幕の厚さを得ることができないという問題点がある。
【０００６】
一方、前記従来のノイズ除去機を利用した蒸着システム及びその制御方法に関する技術を記載した文献としては、下記特許文献１および2等がある。
【０００７】
【特許文献１】米国特開第6,914,016Ｂ2公報
【特許文献２】米国特開第6,695,954Ｂ2公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
したがって、本発明の目的はノイズ除去機を利用して蒸着率センサーで測定されるノイズことを抑制することで、蒸着率をより正確に制御して所望の幕の厚さを得ることができる蒸着システム及びその制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を果たすために、本発明の第1側面は、蒸着装置と、前記蒸着装置の蒸着率を測定する蒸着率センサーと、前記測定された蒸着率のノイズ成分を除去するノイズ除去機と、前記ノイズ除去機の出力によって前記蒸着装置に供給される電力を調節する電力供給部を含む蒸着システムを提供する。
【００１０】
本発明の第2側面は、蒸着装置と、前記蒸着装置に電力を供給する電力供給部と、前記蒸着装置の蒸着率を測定する蒸着率センサーと、前記蒸着率が測定期間の間または測定期間の中で所定の割合以上の期間の間同一範囲内にいる場合には前記蒸着率が属した範囲によって前記蒸着装置に供給される電力が変更されるように前記電力供給部を制御するノイズ除去機を含む蒸着システムを提供する。
【００１１】
本発明の第3側面は、a、蒸着装置の蒸着率を測定する段階と、b、前記測定された蒸着率が測定期間の間または測定期間中所定の割合以上の期間中同一範囲の値を持つかどうかを判断する段階と、c、測定された蒸着率が測定期間の間または測定期間中所定の割合以上の期間中同一範囲の値を持つ場合にはこれによって前記蒸着装置に供給される電力を変更する段階と、d、前記aないしc段階を繰り返す段階とを含む蒸着システムの制御方法を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
上述したように、本発明の実施形態による蒸着システム及びその制御方法は、ノイズ除去部を利用して蒸着率センサーで測定されるノイズことを抑制するので、蒸着率をより正確に制御して所望の幕の厚さを得ることができる。また、本発明の実施形態による蒸着システム及びその制御方法は、測定期間を徐徐に増加させたり、電力変更単位を徐徐に減少させることで収斂速度を増加させると同時にノイズによっる影響も減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の属する技術分野において通常の知識を有する者が本発明を容易に実施することができる望ましい実施例を添付された図2ないし図7を参照して詳しく説明する。
【００１４】
図2は、本発明の一実施形態による蒸着システムを現わす図面である。
【００１５】
図2を参照すれば、本発明の一実施形態による蒸着システムは、蒸着装置110、蒸着率センサー120、ノイズ除去機130及び電力供給部140を含む。
【００１６】
前記蒸着装置110としては、気相蒸着機及びスパッタなどの蒸着装置が使用され、本実施形態は、気相蒸着機が使用された一例である。 蒸着装置110は内部を真空に維持する真空チャンバ111及び電力供給部140から供給される電力によって蒸着率が制御される蒸着源112を含む。
【００１７】
蒸着源112は、高温で気化する蒸着材料113、前記蒸着材料113を盛っているボート114及び前記ボート114に熱を加えて電力供給部140と繋がれたコイル115を具備する。 蒸着装置110は基板116が配置されたり、基板116及びマスク117が配置された状態で動作して、基板116に所望の厚さの蒸着材料113を蒸着する。
【００１８】
また、前記蒸着率センサー120としてはクリスタルセンサーを使用することができる。ただし、これは一つの実施形態であり、本発明による蒸着率センサー120がこれに限定されるのではない。
【００１９】
前記クリスタルセンサーとしての蒸着率センサー120は、周波数が質量に反比例する関係を利用して蒸着率を測定するもので、蒸着によってクリスタルの質量が増加すれば周波数が減少する原理を利用して減少される周波数から質量の増加率、すなわち、蒸着率を測定することができる。
【００２０】
また、前記ノイズ除去機130は、前記蒸着率センサー120で出力される蒸着率のノイズ成分を除去して出力する機能を遂行する。
【００２１】
前記ノイズ除去機130としては、低帯域フィルター(Low Pass Filter、以下、LPF)を使用することができるが、これは前記蒸着率センサー120から出力される蒸着率のノイズ、すなわち、高周波成分を除去または減少させた後、これを電力供給部140に伝達する機能を遂行することができるからである。 ただし、これは一つの実施形態に過ぎず、本発明によるノイズ除去機130がこれに限定されるのではない。
【００２２】
以下、前記ノイズ除去機130がLPFに具現される場合を仮定して本発明の一実施形態による蒸着システムについて説明する。
【００２３】
前記LPF130は、アナログ回路またはデジタル回路に具現することもでき、LPFプログラムが遂行されるプロセッサによって具現されうる。
【００２４】
この時、アナログ回路としては、一例で抵抗とキャパシターを具備したRC回路を使用することができ、デジタル回路としては有限インパルス応答(finite impulse response、以下、FIRフィルター)または無限インパルス応答(infinite impulse response、以下、IIRフィルター)を使用することができる。
【００２５】
前記LPF130がプロセッサによって具現される場合には、プロセッサFIRフィルターと同じ演算を遂行するようにプログラムされることもでき、IIRフィルターと同じ演算を遂行するようにプログラムされることもできる。
【００２６】
図3は、図2の蒸着システムで採用されたノイズ除去機の一例を現わす図であり、ノイズ除去機がFIRフィルターである場合の一例を現わす図である。
【００２７】
図3を参照すれば、LPF130は複数のレジスター131、複数の掛け算器132及び寄せ算器133を含む。
【００２８】
複数のレジスター131は、蒸着率センサーから伝達される蒸着率INPUTをクロック信号CLKによって右側へ順次シフトする演算を遂行する。
【００２９】
複数の掛け算器132は、複数のレジスター131の出力とフィルター係数(filter coefficient)K1ないしKnを掛けて出力する機能を遂行する。各フィルター係数K1ないしKnは、所定の値を持つ。すべてのフィルター係数K1ないしKnが1を持つ場合もあり、この場合には、LPF130は掛け算器132を含まず、レジスター131の出力がそのまま寄せ算器133へ伝達される。
【００３０】
寄せ算器133は、複数の掛け算器132の出力を合算して出力する機能を遂行する。寄せ算器133に入力される蒸着率値の数が平均ウィンドウ(averaging window)及び帯域幅を決める。 
【００３１】
仮に、蒸着率値が入力される周期が0.1秒で、寄せ算器133に入力される蒸着率値の数が10個である場合、平均ウィンドウは周期と数の掛けである1秒になる。
【００３２】
そして、寄せ算器133に入力される蒸着率値の数が増加するほどLPF130の帯域幅は減少し、数が減少するほど帯域幅は増加する。また、寄せ算器は全加算器(full adder)の組合や、半加算器(half adder)の組合や、または全加算器と半加算器の組合で形成されうる。
【００３３】
図4は、図2の蒸着システムで採用されたノイズ除去機の一例を現わす図であり、ノイズ除去機が簡単なIIRフィルターである場合の一例を現わす図である。
【００３４】
図4を参照すれば、LPF130は寄せ算器136、レジスター137、第1及び2掛け算器138、139を含む。
【００３５】
寄せ算器136は、蒸着率センサーから伝達される蒸着率INPUTと軌環(feed  back)成分である第1掛け算器138の出力を合算する機能を遂行する。レジスター137はクロック信号CLKによって動作し、寄せ算器136の出力を遅延させて第1掛け算器138に伝達する機能を遂行する。
【００３６】
第1掛け算器137は、レジスター137の出力に第1係数K1を掛けて出力する機能を遂行する。
【００３７】
第1係数K1は、0と1間の値を持ち、第1係数K1が1に近いほどLPF130の帯域幅は減少し、0に近いほど帯域幅は増加する。
【００３８】
第2掛け算器138は、寄せ算器136の出力に第2係数K2を掛けて出力する機能を遂行する。第2係数K2は一例で(1 - 第1係数)であることがある。また、第2係数K2は1の値を持つことができ、この場合には第2掛け算器は省略されることも可能である。
【００３９】
前に説明した本発明による蒸着システムに具備されるLPF130は、初期には帯域幅(band  width)を大きく設定してから、以後に帯域幅を減少させる方式で動作することができる。
【００４０】
もし、前記帯域幅を初期から小さく設定すればノイズによっる影響を少なく受けるという長所があるが、収斂するまで時間がたくさん必要となるという問題点がある。
【００４１】
これに反対に、帯域幅を大きくすれば収斂するまで必要時間を減らすことができるという長所があるが、ノイズによっる影響をたくさん受けるという問題点がある。
【００４２】
これによって、本発明の実施形態では前記LPF130の帯域幅を初期には大きく設定し、以後に減少させることにより、ノイズによった影響も減少させながら、収斂するまで必要とされる時間も減少させることができる。
【００４３】
前記電力供給部140は、LPF130の出力によって蒸着装置110に供給される電力を調節する機能を遂行するが、たとえば、LPF130の出力、すなわち、ノイズが除去されて出力される測定蒸着率が目標蒸着率より高い場合、前記電力供給部140は蒸着装置110に供給される電力を減少させ、LPF130の出力、すなわち、ノイズが除去されて出力される測定蒸着率が目標蒸着率より低い場合、前記電力供給部140は蒸着装置110に供給される電力を増加させる。
【００４４】
図2の蒸着システムは、このような方式で動作することで、蒸着率センサー120で発生するノイズの影響を減少させてより正確な蒸着率の制御ができるようにする。また、LPF130の帯域幅を徐徐に減少させることで、収斂速度を増加させると同時にノイズによっる影響も減少させることができる。
【００４５】
図5は、図2の蒸着システムでノイズ除去機の出力時間による変化を現わす図であり、ノイズ除去機としてのLPFに対する帯域幅を徐徐に減少させる場合の図である。
【００４６】
図5において、横軸は時間を現わし、縦軸はLPFを通過した後の蒸着率を現わす。そして、図5は平均ウィンドウの値を初期には1秒で設定し、その後順次4秒及び10秒に変化させながら蒸着率を測定した値、すなわち、帯域幅を徐徐に減少させながら蒸着率を測定した値を現わす。
【００４７】
図から分かるように時間が経過しながら、ノイズによっる影響が減少することが分かる。また、本発明による蒸着システムに具備されたノイズ除去機130は、前記蒸着率センサー120から出力される蒸着率が所定の測定期間中持続的に同一範囲内にある場合には、前記蒸着率にノイズが含まれないと判断して前記蒸着率を前記電力供給部140に伝達して蒸着装置110に供給される電力を制御する。
【００４８】
しかし、そうではない場合、すなわち、前記蒸着率センサー120から出力された蒸着率が所定の測定期間中持続的に同一範囲内にない場合には、前記蒸着率にノイズが含まれたと判断して前記ノイズ部分は除去して補正した蒸着率情報を前記電力供給部140に伝達することにより、蒸着装置110に供給される電力を制御する方式で動作する。
【００４９】
または、前記蒸着率にノイズが含まれたと判断される場合には、前記蒸着率を無視して電力供給部140は以前状態の電力をそのまま維持することもできる。
【００５０】
一例で、前記蒸着率センサー120から出力された蒸着率が前記ノイズ除去機130による測定期間中続いて目標蒸着率より大きければ、前記蒸着率にはノイズが含まれないと判断し、これによって蒸着装置110に供給される電力を減少させる方向に電力供給部140を制御する。
【００５１】
また、前記蒸着率センサー120から出力された蒸着率が前記測定期間中で一部期間の間には目標蒸着率より大きく、残りの期間中には目標蒸着率より小さい場合には、前記蒸着率にノイズが含まれたと判断して前記ノイズ部分は除去して補正した蒸着率情報を前記電力供給部140に伝達することにより、蒸着装置110に供給される電力を制御する方式で動作する。
【００５２】
すなわち、前記補正される前の蒸着率センサー120から出力された蒸着率は無視するようになって前記蒸着率では前記電力供給部140を制御しない。
【００５３】
これによって、前記蒸着率にノイズが含まれたと判断される場合には、前記蒸着率を無視して電力供給部140は以前状態の電力をそのまま維持することもできる。
【００５４】
また、前記ノイズ除去機130は前記蒸着率センサー120から出力された蒸着率が測定期間中所定の割合の期間中同一範囲内にある場合には、蒸着率にノイズが含まれないと判断し、これによって電力供給部140を制御し、そうではない場合には前記出力された蒸着率にノイズが含まれたと判断し、前記ノイズ部分は除去して補正した蒸着率情報を前記電力供給部140に伝達することにより、蒸着装置110に供給される電力を制御する方式で動作する。
【００５５】
一例で、前記蒸着率センサー120から出力された蒸着率が前記ノイズ除去機130による測定期間中、70％以上の期間の間続いて目標蒸着率より大きければ、前記蒸着率にはノイズが含まれないと判断し、これによって蒸着装置110に供給される電力を減少させる方向に電力供給部140を制御する。
【００５６】
一方、前記蒸着率センサー120から出力された蒸着率が前記測定期間中、70％未満の期間の間には、目標蒸着率より大きいか小さく、残りの期間中にはその反対に目標蒸着率より小さいか大きい場合には、前記蒸着率にノイズが含まれたと判断して前記ノイズ部分は除去して補正した蒸着率情報を前記電力供給部140に伝達することにより、蒸着装置110に供給される電力を制御する方式で動作する。
【００５７】
すなわち、前記補正される前の蒸着率センサー120から出力された蒸着率は無視するようになって前記蒸着率では前記電力供給部140を制御しない。
【００５８】
これによって前記蒸着率にノイズが含まれたと判断される場合には、前記蒸着率を無視して電力供給部140は以前状態の電力をそのまま維持することもできる。
【００５９】
また、前記ノイズ除去機130での前記測定期間は、望ましく1秒以上である。これは実験で測定したノイズの長さが、一般的に1秒を超えないからであり、前記測定期間を1秒以下に設定する場合には、ノイズによって測定期間中一定範囲の値を持つことができるようになる。したがって、この場合にノイズによって電力供給部140が制御されるようになる結果をもたらすこともあり得る。
【００６０】
すなわち、これを防止するために測定期間はノイズの長さより長い1秒以上が適切である。
【００６１】
また、ノイズ除去機130で、初期には測定期間を短く設定して収斂速度を増加させることができ、以後に徐徐に測定期間を長く設定してノイズによっる影響をさらに減少させることができる。
【００６２】
これは前記ノイズ除去機130がLPFに具現される場合を通じて説明されたことがある。また、電力供給部140はノイズ除去機130の出力によって蒸着装置110に供給される電力を調節する機能を遂行する。
【００６３】
仮に、ノイズ除去機130の出力が意味するところが、蒸着率が目標蒸着率より高いという意味の場合には電力供給部140は蒸着装置110に供給される電力を減少させ、ノイズ除去機130の出力が意味するところが蒸着率が目標蒸着率より低いという意味の場合には電力供給部140は蒸着装置110に供給される電力を増加させる。
【００６４】
もし、ノイズ除去機130の出力の意味するところが測定された蒸着率を無視せよということである場合には、電力供給部140は以前状態の電力をそのまま維持することもできる。
【００６５】
また、電力供給部130は初期にはノイズ除去部の電力増減要請による供給電力の変更単位を大きく設定して収斂速度を増加させることができ、以後に徐徐に供給電力の変更単位を小さく設定してノイズによっる影響をさらに減少させることができる。
【００６６】
図2の蒸着システムはこのような方式で動作することで、蒸着率センサー120から発生するノイズの影響を減少させてより正確な蒸着率の制御ができるようにする。
【００６７】
また、ノイズ除去機130の測定期間を徐徐に増加させるたり電力変更単位を徐徐に減少させるたりすることで、収斂速度を増加させると同時にノイズによっる影響も減少させることができる。
【００６８】
図6は、本発明の一実施形態による蒸着システム制御方法を現わす図である。
【００６９】
図6を参照すれば、蒸着システムの制御方法は蒸着率を測定する段階S11、測定された蒸着率が測定期間中同一範囲の値であるかの可否を判断する段階S12、供給電力を変更する段階S13及び測定期間を増加させる段階S14を含む。
【００７０】
蒸着率を測定する段階S11で測定期間の間蒸着装置の蒸着率を測定する。
【００７１】
測定された蒸着率が測定期間中同一範囲の値であるかの可否を判断する段階S12で、測定された蒸着率が測定期間の間同一範囲の値を持つかの可否を判断するS12。もし、測定された蒸着率が測定期間の間同一範囲の値を持つ場合には、これによって供給電力を変更する段階S13を遂行し、 そうでない場合にはこれを無視して供給電力を以前値で維持する。
【００７２】
この段階S12で、測定された蒸着率が測定期間中所定の割合の期間の間同一範囲内にあるかの可否を判断することもできる。
【００７３】
この場合には、もし、測定された蒸着率が測定期間中所定の割合の期間中同一範囲内にある場合にはこれによって供給電力を変更する段階S13を遂行し、そうではない場合にはこれを無視して供給電力を以前値で維持する。
【００７４】
供給電力を変更する段階S13では、蒸着率が属した範囲にしたがって蒸着装置に供給される電力が変更される。
【００７５】
一例で、測定された蒸着率の範囲が2個の範囲、すなわち測定された蒸着率が目標蒸着率より大きい場合の第1範囲及び測定された蒸着率が目標蒸着率より小さい場合の第2範囲に分けられる場合を仮定して見よう。 
【００７６】
この場合、測定された蒸着率が測定期間中第1範囲に属すれば、蒸着装置に供給される電力が減少される。また、測定された蒸着率が測定期間中第2範囲に属すれば蒸着装置に供給される電力が増加される。
【００７７】
測定期間を増加させる段階S14では測定期間を増加させる。この段階S14は、ループごとに遂行されるのではなく、所定期間が経過した後、すなわち、ループを所定回数繰り返した後遂行される。
【００７８】
この段階S14は、1回のみ遂行されることもでき、所定期間が経過した後、もう一度遂行される方式で2回以上遂行されることもできる。測定期間を一定に維持する蒸着システムの制御方法の場合には、この段階S14を含まないこともあり得る。
【００７９】
図7は本発明の他の実施形態による蒸着システム制御方法を現わす図である。
【００８０】
図7に表現された蒸着システムの制御方法において、蒸着率を測定する段階S11、測定された蒸着率が測定期間中同一範囲の値であるかの可否を判断する段階S12及び供給電力を変更する段階S13は図6に表現された蒸着システムの制御方法と同様である。
【００８１】
電力変更単位を減少させる段階S15では電力変更単位を減少させる。この段階S15はループごとに遂行されるのではなく、所定期間が経過した後、すなわち、ループを所定回数繰り返した後遂行される。
【００８２】
この段階S15は、1回のみ遂行されることもでき、所定期間が経過した後、もう一度遂行される方式で2回以上遂行されることもできる。
【００８３】
電力変更単位を一定に維持する蒸着システムの制御方法の場合には、この段階S16を含まないこともあり得る。
【００８４】
本発明は添付された図面に図示された実施形態を参照して説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるということを理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】従来の技術による蒸着システムを概略的に表現した図である。
【図２】本発明の一実施形態による蒸着システムを現わす図である。
【図３】図2の蒸着システムに具備されたノイズ除去機の一例を現わす図であり、ノイズ除去機がFIRフィルターである場合の一例を現わす図である。
【図４】図2の蒸着システムで採用されたノイズ除去機の一例を現わす図であり、ノイズ除去機が簡単なIIR フィルターである場合の一例を現わす図である。
【図５】図2の蒸着システムにおいて、ノイズ除去機の出力時間による変化を現わす図であり、ノイズ除去機の帯域幅を徐徐に減少させる場合の図である。
【図６】本発明の実施形態による蒸着システム制御方法を現わす図である。
【図７】本発明の他の実施形態による蒸着システム制御方法を現わす図である。
【符号の説明】
【００８６】
10、110  蒸着装置
20、120  蒸着率センサー
30、130、140  電力供給部
111  真空チャンバ
112  蒸着源
113  蒸着材料
114  ボート
115  コイル
116  基板
117  マスク
130  ノイズ除去機
131、137  レジスター
132、138  掛け算器
133、136、139  寄せ算器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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