(57)【要約】【課題】スピナーミラー装置に設定された副走査方向の光ビーム分離幅を維持しながら解像度を切り替えて高速露光処理を可能とする、インナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法を提供する。【解決手段】インナードラム露光装置１０で解像度を変更した際に、各解像度に対応させてビームスポットの径を変倍し、スピナーミラー装置１６を副走査方向に移動する速度を各解像度に対応するように副走査移動手段で移動制御して露光処理すると共に、Ｘ軸方向に偏向する光偏向手段１１６とＹ軸方向に偏向する光偏向手段１１８との少なくとも一方を制御することにより微小偏向を加えて、第１ビームスポットと第２ビームスポットとの組と、第３ビームスポットと第４ビームスポットとの組との間で、相対的な位置をシフトさせて露光処理する動作をすることによって記録媒体１４上に走査露光を行う。【選択図】図２
2006189820.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光源から出射された第１のＰ偏光の光ビームと第２の光源から出射された第２のＳ偏光の光ビームとを偏光同軸合波して、同１の光路上を進む第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームとし、
第３の光源から出射された第３のＰ偏光に変換された光ビームと第４の光源から出射された第４のＳ偏光に変換された光ビームとを偏光同軸合波して、同１の光路上を進む第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとし、
前記第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームと前記第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとを、光路上を略平行に進む光ビームにし、この光ビームを前記記録媒体上に結像させるための結像光学系を通してスピナーミラー装置に出射し、
前記スピナーミラー装置へ入射する以前の光路上で、前記第１及び第２の組と、前記第３及び第４の組の各偏光同軸合波された光ビームを各々右回りの円偏光と左回りの円偏光とに変換し、この右円偏光の光ビームと左円偏光の光ビームとを前記スピナーミラー装置に設置された１軸性結晶および反射鏡面と一体的に回動するよう装着された１／４波長板によって互いに直交した直線偏光光に変換し、この後に設置された前記１軸性結晶によって、前記反射鏡面で反射した後の前記記録媒体上で、所定の解像度で露光するときに前記直交した直線偏光光を副走査方向に互いに１画素分シフトし、
前記第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームと、前記第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとのうちの少なくとも１方を、光の進行する方向と直交するＸ軸方向に偏向する光偏向手段とこれらと直交するＹ軸方向に偏向する光偏向手段との少なくとも１方によって微小偏向を加えることにより、前記記録媒体上に結像される第１のビームスポットと第２のビームスポットの組と、第３のビームスポットと第４のビームスポットの組とに、前記記録媒体上で２画素分シフトさせるようにして４本のビームが等間隔に並ぶ状態となって結像されて走査露光を行うようにしたインナードラム露光装置のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法であって、
所定の解像度の略２倍の解像度に切り替えて露光処理するときに、前記スピナーミラー装置に入射前の前記結像光学系で、略２倍に切り換えられた解像度に対応させて前記ビームスポットの径を変倍し、
前記スピナーミラー装置を副走査方向に移動する速度を略２倍に切り換えられた解像度に対応するように副走査移動手段で移動制御し、
前記光偏向手段によって微小偏向を加えることにより、前記記録媒体上に結像される前記第１のビームスポットと前記第２のビームスポットの組と、前記第３のビームスポットと前記第４のビームスポット組とに、前記記録媒体上で略２倍の解像度変換後の１画素分相当分を互いにシフトさせるようにして、
前記第１のビームスポットと前記第２のビームスポットとの間に、前記第３のビームスポットが入り、前記第２のビームスポットの横に前記第４のビームスポットがくるようにシフトさせる露光処理の動作をすることによって、前記記録媒体上に走査露光を行うことを特徴とするインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法。
【請求項２】
第１の光源から出射された第１のＰ偏光の光ビームと第２の光源から出射された第２のＳ偏光の光ビームとを偏光同軸合波して、同１の光路上を進む第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームとし、
第３の光源から出射された第３のＰ偏光に変換された光ビームと第４の光源から出射された第４のＳ偏光に変換された光ビームとを偏光同軸合波して、同１の光路上を進む第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとし、
前記第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームと前記第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとを、光路上を略平行に進む光ビームにし、この光ビームを前記記録媒体上に結像させるための結像光学系を通してスピナーミラー装置に出射し、
前記スピナーミラー装置へ入射する以前の光路上で、前記第１及び第２の組と、前記第３及び第４の組の各偏光同軸合波された光ビームを各々右回りの円偏光と左回りの円偏光とに変換し、この右円偏光の光ビームと左円偏光の光ビームとを前記スピナーミラー装置に設置された１軸性結晶および反射鏡面と一体的に回動するよう装着された１／４波長板によって互いに直交した直線偏光光に変換し、この後に設置された前記１軸性結晶によって、前記反射鏡面で反射した後の前記記録媒体上で、所定の解像度で露光するときに前記直交した直線偏光光を副走査方向に互いに１画素分シフトし、
前記第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームと、前記第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとのうちの少なくとも１方を、光の進行する方向と直交するＸ軸方向に偏向する光偏向手段とこれらと直交するＹ軸方向に偏向する光偏向手段との少なくとも１方によって微小偏向を加えることにより、前記記録媒体上に結像される前記第１のビームスポットと前記第２のビームスポットの組と、前記第３のビームスポットと前記第４のビームスポット組とに、前記記録媒体上で２画素分シフトさせるようにして４本のビームが等間隔に並ぶ状態となって結像されて走査露光を行うようにしたインナードラム露光装置のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法であって、
所定の解像度の略２倍の解像度に切り替えて露光処理するときに、前記スピナーミラー装置に入射前の前記結像光学系で、略２倍に切り換えられた解像度に対応させてビームスポットの径を変倍し、
前記スピナーミラー装置を副走査方向に移動する速度を略２倍に切り換えられた解像度に対応するように副走査移動手段で移動制御し、
前記光偏向手段よって微小偏向を加えることにより、前記記録媒体上に結像される前記第１のビームスポットと前記第２のビームスポットの組と、前記第３のビームスポットと前記第４のビームスポット組とに、前記記録媒体上で略２倍の解像度変換後の１画素分相当分を互いにシフトさせるようにして、
第１回目で露光する際に、前記第１のビームスポットと前記第２のビームスポットとの間に略２倍の解像度の１画素分の未露光部分を残し、前記第３のビームスポットと前記第４のビームスポットとの間に略２倍の解像度の１画素分の未露光部分を残すように露光すると共に、前記第２のビームスポットに隣接する位置に前記第３のビームスポットが露光されるようにし、
第１回目で露光した前記第３のビームスポットと前記第４のビームスポットとの間の未露光位置を第２回目で露光する前記第１のビームスポットで埋めると共に、第１回目で露光した前記第４のビームスポットと第２回目で露光した前記第３のビームスポットとの間の未露光位置を第２回目で露光する前記第２のビームスポットで埋めるようにして露光処理する動作を繰り返すことによって、前記記録媒体上に走査露光を行うことを特徴とするインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法。
【請求項３】
前記４本のマルチビーム露光系を備えた前記インナードラム露光装置で所定の解像度の略３倍の解像度に切り替えて露光処理するときに、前記スピナーミラー装置に対して前記光偏向手段よって微小偏向を加えることにより、前記記録媒体上に結像される前記第１のビームスポットと前記第２のビームスポットの組と、前記第３のビームスポットと前記第４のビームスポット組とに、前記記録媒体上で略３倍の解像度変換後の２画素分相当分を互いにシフトさせるようにし、
第１回目で露光する際に、前記第１のビームスポットと前記第２のビームスポットとの間における前記第２のビームスポットに隣接する位置に前記第３のビームスポットが露光されるようにし、
第１回目で露光した前記第２のビームスポットと、前記第４のビームスポットとの間の未露光位置を、第２回目で露光する前記第１のビームスポットで埋めるようにして露光処理する動作を繰り返すことによって、前記記録媒体上に走査露光を行うことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光ビームの走査光学系により円筒ドラム内面に配置した感光面を走査して露光処理するためのインナードラム式マルチビーム露光系における解像度を切り替え方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、円筒ドラムの内周面上に配置した記録媒体の感光面に、光偏向器でレーザ等の光ビームを導いて走査露光処理を行うインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）が広く用いられている。なお、画像が露光記録された記録媒体は、必要に応じて自動現像機にかけられて、記録媒体上に形成された潜像が顕像に変換される。このようなインナードラム露光装置では、高速露光処理を可能とするためマルチビーム化することが要望されている。
【０００３】
従来、インナードラム露光装置でマルチビーム化して露光処理する技術には、偏光を利用してマルチビーム化する方式がある。このような方式のインナードラム露光装置では、光ビーム出力部によって、互いに回転方向が逆回りの２本の円偏光とされた各光ビームを、互いの光軸を一致させるよう合成した合成光ビームとしてスピナー側へ出力する。このスピナーは、一軸性の結晶および反射板によって、合成光ビームの進行方向を、インナードラムの内面に向かう方向に変える。
【０００４】
また、１／４波長板および一軸性の結晶（ウォラストンプリズム）の働きによって、合成光ビームを、円偏光の回転方向に応じて角度を変え２本の光ビームに分離し、さらに、スピナーの主走査モータ等によって、これら光学素子である１／４波長板、一軸性の結晶および反射板を中心軸回りに一体回転させることによって、複数の光ビームにより、ドラム内面の感光記録媒紙を走査し、画像記録を行うものが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
このようなインナードラム露光装置におけるインナードラム式マルチビーム露光系では、記録媒体に記録される画像の解像度を切り替えられるようにすることが望まれている。そこで、このようなインナードラム式マルチビーム露光装置では、画像の解像度の切り替えを可能に構成するために、スピナーの回転軸装置に一体的に回転されるように装着された１／４波長板、一軸性の結晶（ウォラストンプリズム）を、スピナーの回転軸装置に対して光の入射方向を軸にして回転調整することにより解像度に対応させて副走査方向のビーム分離幅を可変するように構成することが考えられる。
【０００６】
しかし、このように構成する場合には、毎分数万回転という超高速で回転することが要求されるスピナーの回転軸装置上に解像度を切り替えるための機構を装着すると、スピナーの回転軸装置が大型化し重量が大きくなるので、スピナー回転軸装置の回転スピードを低く制限せねばならなくなり、ドラム内面の感光記録媒紙を走査露光して画像の記録を行うための書き込み速度が遅くなるという問題が生じる。
【特許文献１】特開平５−２７１８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上述した問題に鑑み、スピナーミラー装置において当初に設定された副走査方向の光ビーム分離幅を維持しながら、光源からスピナーミラー装置に至る光学系上で解像度を切り替えて高速露光処理を可能とする、インナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法を新たに提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１に記載のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法は、第１の光源から出射された第１のＰ偏光の光ビームと第２の光源から出射された第２のＳ偏光の光ビームとを偏光同軸合波して、同１の光路上を進む第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームとし、第３の光源から出射された第３のＰ偏光に変換された光ビームと第４の光源から出射された第４のＳ偏光に変換された光ビームとを偏光同軸合波して、同１の光路上を進む第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとし、第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームと第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとを、光路上を略平行に進む光ビームにし、この光ビームを記録媒体上に結像させるための結像光学系を通してスピナーミラー装置に出射し、スピナーミラー装置へ入射する以前の光路上で、第１及び第２の組と、第３及び第４の組の各偏光同軸合波された光ビームを各々右回りの円偏光と左回りの円偏光とに変換し、この右円偏光の光ビームと左円偏光の光ビームとをスピナーミラー装置に設置された１軸性結晶および反射鏡面と一体的に回動するよう装着された１／４波長板によって互いに直交した直線偏光光に変換し、この後に設置された１軸性結晶によって、反射鏡面で反射した後の記録媒体上で、所定の解像度で露光するときに直交した直線偏光光を副走査方向に互いに１画素分シフトし、第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームと、第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとのうちの少なくとも１方を、光の進行する方向と直交するＸ軸方向に偏向する光偏向手段とこれらと直交するＹ軸方向に偏向する光偏向手段との少なくとも１方によって微小偏向を加えることにより、記録媒体上に結像される第１のビームスポットと第２のビームスポットの組と、第３のビームスポットと第４のビームスポットの組とに、記録媒体上で２画素分シフトさせるようにして４本のビームが等間隔に並ぶ状態となって結像されて走査露光を行うようにしたインナードラム露光装置のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法であって、所定の解像度の略２倍の解像度に切り替えて露光処理するときに、スピナーミラー装置に入射前の結像光学系で、略２倍に切り換えられた解像度に対応させてビームスポットの径を変倍し、スピナーミラー装置を副走査方向に移動する速度を略２倍に切り換えられた解像度に対応するように副走査移動手段で移動制御し、光偏向手段によって微小偏向を加えることにより、記録媒体上に結像される第１のビームスポットと第２のビームスポットの組と、第３のビームスポットと第４のビームスポット組とに、記録媒体上で略２倍の解像度変換後の１画素分相当分を互いにシフトさせるようにして、第１のビームスポットと第２のビームスポットとの間に、第３のビームスポットが入り、第２のビームスポットの横に第４のビームスポットがくるようにシフトさせる露光処理の動作をすることによって、記録媒体上に走査露光を行うことを特徴とするインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法。
【０００９】
本発明の請求項２に記載のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法は、第１の光源から出射された第１のＰ偏光の光ビームと第２の光源から出射された第２のＳ偏光の光ビームとを偏光同軸合波して、同１の光路上を進む第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームとし、第３の光源から出射された第３のＰ偏光に変換された光ビームと第４の光源から出射された第４のＳ偏光に変換された光ビームとを偏光同軸合波して、同１の光路上を進む第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとし、第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームと第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとを、光路上を略平行に進む光ビームにし、この光ビームを記録媒体上に結像させるための結像光学系を通してスピナーミラー装置に出射し、スピナーミラー装置へ入射する以前の光路上で、第１及び第２の組と、第３及び第４の組の各偏光同軸合波された光ビームを各々右回りの円偏光と左回りの円偏光とに変換し、この右円偏光の光ビームと左円偏光の光ビームとをスピナーミラー装置に設置された１軸性結晶および反射鏡面と一体的に回動するよう装着された１／４波長板によって互いに直交した直線偏光光に変換し、この後に設置された１軸性結晶によって、反射鏡面で反射した後の記録媒体上で、所定の解像度で露光するときに直交した直線偏光光を副走査方向に互いに１画素分シフトし、第１及び第２の組の偏光同軸合波された光ビームと、第３及び第４の組の偏光同軸合波された光ビームとのうちの少なくとも１方を、光の進行する方向と直交するＸ軸方向に偏向する光偏向手段とこれらと直交するＹ軸方向に偏向する光偏向手段との少なくとも１方によって微小偏向を加えることにより、記録媒体上に結像される第１のビームスポットと第２のビームスポットの組と、第３のビームスポットと第４のビームスポット組とに、記録媒体上で２画素分シフトさせるようにして４本のビームが等間隔に並ぶ状態となって結像されて走査露光を行うようにしたインナードラム露光装置のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法であって、所定の解像度の略２倍の解像度に切り替えて露光処理するときに、スピナーミラー装置に入射前の結像光学系で、略２倍に切り換えられた解像度に対応させてビームスポットの径を変倍し、スピナーミラー装置を副走査方向に移動する速度を略２倍に切り換えられた解像度に対応するように副走査移動手段で移動制御し、光偏向手段よって微小偏向を加えることにより、記録媒体上に結像される第１のビームスポットと第２のビームスポットの組と、第３のビームスポットと第４のビームスポット組とに、記録媒体上で略２倍の解像度変換後の１画素分相当分を互いにシフトさせるようにして、第１回目で露光する際に、第１のビームスポットと第２のビームスポットとの間に略２倍の解像度の１画素分の未露光部分を残し、第３のビームスポットと第４のビームスポットとの間に略２倍の解像度の１画素分の未露光部分を残すように露光すると共に、第２のビームスポットに隣接する位置に第３のビームスポットが露光されるようにし、第１回目で露光した第３のビームスポットと第４のビームスポットとの間の未露光位置を第２回目で露光する第１のビームスポットで埋めると共に、第１回目で露光した第４のビームスポットと第２回目で露光した第３のビームスポットとの間の未露光位置を第２回目で露光する第２のビームスポットで埋めるようにして露光処理する動作を繰り返すことによって、記録媒体上に走査露光を行うことを特徴とするインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法において、４本のマルチビーム露光系を備えたインナードラム露光装置で所定の解像度の略３倍の解像度に切り替えて露光処理するときに、スピナーミラー装置に対して光偏向手段よって微小偏向を加えることにより、記録媒体上に結像される第１のビームスポットと第２のビームスポットの組と、第３のビームスポットと第４のビームスポット組とに、記録媒体上で略３倍の解像度変換後の２画素分相当分を互いにシフトさせるようにし、第１回目で露光する際に、第１のビームスポットと第２のビームスポットとの間における第２のビームスポットに隣接する位置に第３のビームスポットが露光されるようにし、第１回目で露光した第２のビームスポットと、第４のビームスポットとの間の未露光位置を、第２回目で露光する第１のビームスポットで埋めるようにして露光処理する動作を繰り返すことによって、記録媒体上に走査露光を行うことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法。
【００１１】
前述のインナードラム式マルチビーム露光方法によれば、インナードラム露光装置で解像度を変更した際に、各解像度に対応させてビームスポットの径を変倍し、スピナーミラー装置を副走査方向に移動する速度を各解像度に対応するように副走査移動手段で移動制御して露光処理すると共に、光の進行する方向と直交するＸ軸方向に偏向する光偏向手段と、これに直交するＹ軸方向に偏向する光偏向手段との少なくとも一方を制御することにより微小偏向を加えて、第１ビームスポットと第２ビームスポットとの組と、第３ビームスポットと第４ビームスポットとの組との間で、相対的な位置をシフトさせて露光処理する動作をすることによって、記録媒体上に走査露光を行う。よって、スピナーミラー装置の回転軸装置上に解像度を切り替えるための機構を装着しなくても解像度の切り替えが可能であるから、スピナーの回転軸装置が大型化し重量が大きくなりスピナー回転軸装置の回転スピードを低く制限せねばならなくなることを避けて、４本のマルチビームによる高速露光処理を可能とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法によれば、スピナーミラー装置の回転軸装置等に解像度を切り替えるための機構を装着することなく、スピナーミラー装置で当初に設定された副走査方向のビーム分離幅を維持しながら、光源からスピナーミラー装置に至る光学系上で解像度を切り替えて高速露光処理を可能とするという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
インナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法を実施可能なインナードラム露光装置に係わる第１実施の形態について図１を参照しながら説明する。図１の概略構成図に示すように、インナードラム露光装置１０は、円弧内周面形状（円筒内周面の一部を構成する形状）の支持体１２を母体として構成されており、この支持体１２の内周面に沿って記録媒体１４（フォトポリマー版若しくは通常のＰＳ版又は銀塩タイプの感光材料等）を支持するようになっている。
【００１４】
なお、このインナードラム露光装置１０では、図示しない記録媒体１４の供給排出装置によって、未記録の記録媒体１４を供給し支持体１２の内周面に確実に密着させて沿わせた状態に係着してから露光処理を行い、また露光処理済みの記録媒体１４を支持体１２から外部へ排出する操作を行う。
【００１５】
このインナードラム露光装置１０には、支持体１２の円弧中心位置に、走査手段（光偏向器）としてのスピナーミラー装置１６を配設する。このスピナーミラー装置１６は、円柱状の回転軸部材１８を、その中心軸を回転軸（支持体１２の円弧中心軸と一致する）として駆動源であるモータ２０によって回動可能に構成する。
【００１６】
この光偏向器であるスピナーミラー装置１６の回転軸部材１８の先端部には、回転軸線に対して４５°の角度をなす反射鏡面１８Ａを形成する。この走査手段としてのスピナーミラー装置１６は、図示しない副走査移動手段によって、支持体１２の円弧中心軸の軸線方向（図１の矢印Ｃ方向）に解像度に対応して移動制御される。このスピナーミラー装置１６は、中央制御装置２１で制御されるスピナードライバ２２によってモータ２０の回転制御がされる。
【００１７】
図１に示すように、このインナードラム露光装置１０では、マルチビーム方式によって記録媒体１４の記録面上を主走査するため、スピナーミラー装置１６側にマルチビーム（複数の光ビーム）を投射する光源側の光学系を設ける。
【００１８】
この光源側の光学系は、略直線偏光からなるレーザビームＬａ、Ｌｂを光量変調して出力する第１、第２の２つの半導体レーザ光源（ＬＤ）３０Ａ、３０Ｂ（光ビーム出力手段）と、第１、第２の半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂからそれぞれ出射されたレーザビームＬａ、Ｌｂを記録媒体１４の露光面上にそれぞれ集光する集光光学系とを備える。これら第１、第２の２つの半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂには、それぞれ中心光強度が高く、中心から離れるに従って光強度が徐々に低くなる強度分布からなる単一横モード半導体レーザを用いることができる。
【００１９】
また、このインナードラム露光装置１０では、ビーム分割を行って支持体１２の内周面上に配置した記録媒体１４の記録面上を主走査するよう構成する。
【００２０】
このため、スピナーミラー装置１６側には、回転軸部材１８に対して一体に回動するよう固着したホルダ２４に、光路の上流側から順に１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とを固定して配置する。これら１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とは、重ね合わせて光学素子用の透明な接着剤で一体に接着して構成しても良い。
【００２１】
なお、ここで一軸性結晶の光学素子２８とは、例えば、これに円偏光した光ビームを入射させたとき、図５に示すように、光ビームが常光線Ｐｏと異常光線Ｐｅとに等光量で光ビームを分離し、かつ常光線Ｐｏと異常光線Ｐｅとを互いに平行シフトさせるものである。
【００２２】
図１に示すように、ホルダ２４は、例えば円筒形に形成し、反射鏡面１８Ａで反射された光ビームを記録媒体１４側へ通過させるための開口を穿設して形成する。
【００２３】
なお、これら１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とは、スピナーミラー装置１６における反射鏡面１８Ａの前方の光路中に配置し、図示しない別途設けた支持手段によって反射鏡面１８Ａと一体的に回動するよう装着して構成しても良い。
【００２４】
この１／４波長板２６は、右円偏光と左円偏光との各光ビームを互いに直交した直線偏光の光ビームに変換可能に構成する。
【００２５】
一軸性結晶の光学素子２８は、例えば、二つの互いに直交した直線偏光ビームの一方の偏光ビームを副走査方向に平行シフトさせる（二つの直線偏光した光ビームを、各々異なる位置から平行に出射する）水晶板で構成する。図５に示すように、この水晶板である一軸性結晶の光学素子２８は、水晶の結晶光軸を、光の結晶入射面の法線に対して４５°傾けた構造となるように製作する。
【００２６】
ここで、分離間隔の精度を±０．１μｍにする場合には、厚み精度を±１８μｍ程度にすればよいので、この水晶板は、十分な精度を持つように加工することが容易であり、廉価に製造可能である。さらに、一軸性結晶の光学素子２８の材料として利用する水晶は、材料的に安定で低コストであるという利点を持つ。また、一軸性結晶の光学素子２８の材料として利用する水晶は、図３に示す結晶光軸の傾斜角度に対する分割幅の特性を有するので、この水晶の特性に則って所要の機能を持つ一軸性結晶の光学素子２８を構成することができる。
【００２７】
なお、この一軸性結晶の光学素子２８は、水晶以外の一軸性の結晶を材料として構成しても良い。
【００２８】
この一軸性結晶の光学素子２８は、例えば、方解石、リチウムナイオベイト等の一軸性の材料を用いて構成してもよい。ここで、方解石を用いた場合には厚みを薄くできるため、重量を抑えることができ、スピナーミラー装置１６の回転速度の制限を抑制できるという利点がある。この場合は、１／４波長板２６と方解石製の一軸性結晶の光学素子２８を、接着して使用しても良い。
【００２９】
本第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０は、使用者の使用目的に対応して、例えば、解像度を、２４００ｄｐｉから２４３８ｄｐｉ、さらに２５４０ｄｐｉ等へと、解像度を約１０％の範囲で小幅に切り換えて使用できるように構成し、インナードラム露光装置１０の商品価値を向上させることができるようにする。
【００３０】
このインナードラム露光装置１０は、２本のマルチビーム露光系において、当初に設定された副走査方向のビーム分離幅を維持しながら解像度を切り替えて高速露光処理を可能に構成する。このため、このインナードラム露光装置１０では、一軸性結晶の光学素子２８により分離して出射された２本のレーザビームＬａ、Ｌｂが光偏向器であるスピナーミラー装置１６で反射され記録媒体１４の走査面上に副走査方向の記録画素１画素分に対応する所定間隔離れた位置に、二つのレーザビームＬａ、Ｌｂが集光される。
【００３１】
また、この２本のマルチビーム露光系を備えたインナードラム露光装置１０では、解像度を切り替えても、記録媒体１４の走査面上に副走査方向の記録画素１画素分に対応する所定間隔離れた位置に二つのレーザビームＬａ、Ｌｂを集光させて露光処理された画像に表れる走査ムラが許容範囲内に収まるように構成する。
【００３２】
そこで、このインナードラム露光装置１０では、スピナーミラー装置１６に装着する一軸性結晶の光学素子２８によって走査面上で分離するレーザビームＬａ、Ｌｂによるスポットａ、ｂの間隔をムラの見えない間隔に設定して構成する。
【００３３】
このため、例えば、切り替えられる第１の解像度に対応した第１のビームスポットａ、ｂの間隔がＤ１であり、切り替えられる第２の解像度に対応した第２のビームスポットａ、ｂの間隔がＤ２であり、副走査方向の設計上の許容誤差がＤ４である場合に、一軸性結晶の光学素子２８がレーザビームＬａ、Ｌｂを分離して、走査面上で集光されるビームスポットａ、ｂの副走査方向の設定間隔Ｄ３を、式  Ｄ３＝（Ｄ１＋Ｄ２）／２±Ｄ４より求めて設定する。
【００３４】
このインナードラム露光装置１０では、例えば、解像度２４００ｄｐｉのときのビームスポットａ、ｂの間隔が１０．６μｍであり、切り替え後の解像度２５４０ｄｐｉのときのビームスポットａ、ｂの間隔が１０μｍである場合に、一軸性結晶の光学素子２８が分離して集光させるビームスポットａ、ｂの間隔を、これら各解像度におけるビームスポットａ、ｂの間隔の中心にあたる１０．３μｍ近傍に設定する。
【００３５】
すなわち、このインナードラム露光装置１０では、一軸性結晶の光学素子２８による走査面上でのビームの分離幅を１０．３μｍ±０．３μｍに設定することによって、使用者の使用目的に対応して解像度を、例えば、２４００ｄｐｉから２４３８ｄｐｉ、さらに２５４０ｄｐｉ等へと、解像度を約１０％の範囲で小幅に切り換えて使用できる。
【００３６】
このような２本のマルチビーム露光系を備えたインナードラム露光装置１０では、走査面上でのビームの分離幅に１μｍ程度までの間隔誤差があっても形成された画像の走査ムラが許容範囲に収まることが実験及び経験則で解っているので、一軸性結晶の光学素子２８による走査面上でのビームの分離幅の設計中心値を１０．３μｍに設定すれば分離幅の製作誤差、副走査方向の振動や送り速度変化等があっても最適に画像を形成する処理ができる。
【００３７】
また、この２本のマルチビーム露光系を備えたインナードラム露光装置１０では、例えば、解像度を最も頻繁に露光処理に利用する２４００ｄｐｉ（２Ｒ０ｄｐｉ）を標準に設定する。そして、例えば、このインナードラム露光装置１０で、解像度を２４００ｄｐｉ（２Ｒ０ｄｐｉ）から１２００ｄｐｉ（Ｒ０ｄｐｉ）に変更して記録する時には、２４００ｄｐｉ（２Ｒ０ｄｐｉ）の解像度で露光処理する状態において、一軸性結晶の光学素子２８で分離される２本のレーザビームＬａ、Ｌｂで同一の画像情報を露光すれば、対応できる。なお、解像度を４８００ｄｐｉ（２Ｒ０ｄｐｉ）を標準に設定し、解像度を４８００ｄｐｉ（２Ｒ０ｄｐｉ）から２４００ｄｐｉ（Ｒ０ｄｐｉ）に変更して記録するようにしても良い。
【００３８】
また、上述したインナードラム露光装置１０では、一軸性結晶の光学素子２８として２本のレーザビームＬａ、Ｌｂを平行に出射するよう分離するものについて説明したが、この一軸性結晶の光学素子２８を、図６に示すように、プリズム状の水晶板２５０を一枚用いて、２本のレーザビームＬａ、Ｌｂを異なる角度方向に出射して分離するように構成しても良い。
【００３９】
このプリズム状の水晶板２５０は、方解石に比べて屈折率異方性の小さいプリズム状に形成した水晶を一枚用い、プリズムの頂角を小さく抑えて形成することによって、二つの互いに直交した直線偏光のレーザビームＬａ、Ｌｂを透過させる際に、これらのレーザビームＬａ、Ｌｂを各々異なる所定の角度方向に出射して走査面上で集光されるビームスポットａ、ｂの間隔を所望の間隔にするよう構成する。
【００４０】
すなわち、このプリズム状の水晶板２５０は、一方の面内に位相速度の速い軸と遅い軸とを有し、他方の面を、一方の面における位相速度の速い軸と遅い軸とに対して傾斜するように構成する。
【００４１】
そして、このプリズム状の水晶板２５０を利用したインナードラム露光装置では、図示しないが、プリズム状の水晶板２５０から相互に離間するような所定の角度付けがされて出射した光ビームａ，ｂを光偏向器で反射し、走査面上に副走査方向の記録画素１画素分の所定間隔離れた位置に、二つのレーザビームＬａ、Ｌｂを集光して露光処理する。
【００４２】
図１に示すように、このインナードラム露光装置１０は、光ビームの分離を行って記録媒体１４の記録面上を主走査するため、光源側からスピナーミラー装置１６側に向けて光ビームを投射する光学系を設ける。
【００４３】
このインナードラム露光装置では、第１、第２の２つの半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂ（光ビーム出力手段）を用いるものである。すなわち第１、第２の半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂは、それぞれ直線偏光の光ビーム（レーザビーム）Ｌａ、Ｌｂを射出するから、これら両光ビームＬａ、Ｌｂをそれぞれコリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）３２、３４でそれぞれ平行ビームとする。
【００４４】
この第１半導体レーザ光源３０Ａから出射された第１のレーザビームＬａは、偏光ビームスプリッター３８の反射面に対してＰ偏光となるよう設定されており、平行平板３６を透過後、偏光ビームスプリッター３８を透過して進む。
【００４５】
また、第２のレーザビームＬｂは、二つの角度調整用のプリズム４０、４２を通過した後、１／２波長板４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されて、偏光ビームスプリッターの反射面に対してＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター３８へ入射する。そして、第２のレーザビームＬｂは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター３８の反射面で反射され、第１のレーザビームＬａと同軸合波され、スピナーミラー装置１６へ至る同一の光路上を進む。
【００４６】
このインナードラム露光装置１０の光源側の光学系では、組み立て調整時も含めてその後の経時でずれる分を高精度に補正する必要がある。これは、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの同軸合波を高精度に行わないと、光偏向器の回転角度に対応して走査面上でのビームスポットａ，ｂの位置間隔が変動するといった問題が生じるためである。
【００４７】
そこで、光源側の光学系では、偏光ビームスプリッター３８より下流側の光路上に、ＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６を設置する。このため、偏光ビームスプリッター３８より下流側の光路上の所定位置には、ビームスプリッター４８を設置し、これにより第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの一部の光を反射して集光レンズ５０によって走査面に対応する位置に設置されたＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６上へ集光し、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの走査面上での位置を検出可能に構成する。
【００４８】
ここで、走査面上でのビームスポット位置のずれは、画質ムラ抑制の観点から、０．１μｍ程度以下の分解能が要求されるため、ＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６の検出分解能を考慮するとＰＳＤ上でビームスポット位置変化が１０倍以上に拡大されるように構成することが望ましい。
【００４９】
このＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６でビーム位置の検出を行う場合には、記録媒体に露光記録をしていないときに、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを、それぞれ別々に所定光量で点灯させて個別に検出して求める。このＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６は、位置検出する際に、二つの第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの光量差によって位置情報にずれが生じないように、ＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６の回路基板内に全光量で除算する回路、あるいはデータ取得後に計算で補正する回路を設けている。
【００５０】
このインナードラム露光装置１０では、記録媒体に露光記録をしていないときに、ＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６で検出した位置情報をもとに、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの位置のずれが０または所定値離れた位置にくるように、第２のレーザビームＬｂの光路上に置かれた二つの角度調整用のプリズム４０、４２の角度を調整する。
【００５１】
なお、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの位置のずれ量である所定値は、あらかじめインナードラム露光装置１０の出荷前に記録媒体に露光して主走査方向に渡って二本のビーム間隔に変動が無いところを求めて設定する。
【００５２】
また、この所定値が０とならないことがあるのは、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとが若干でも平行シフトしていると、特に反射ミラーで反射する時に、その平面精度に応じて第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの反射角度が若干ずれることがあるからである。すなわち、このインナードラム露光装置１０では、第２のレーザビームＬｂが偏光ビームスプリッター３８で反射した時以降の光路と、第１のレーザビームＬａが透過する時以降の光路とにおいて、異なる角度ずれが生じることとなり、これを補正する必要があることによる。そこで、このインナードラム露光装置１０では、その組み立て調整時に、第１のレーザビームＬａの光路上に配置した平行平板３６によって、この傾き角度を調整することにより、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの平行シフト量を０に近づけるように調整する。
【００５３】
上述のようにして高精度に同軸合波された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、光路上に配置された図示しないシリンダーレンズ群によりビーム整形と非点隔差補正がなされ、さらにビームエキスパンダーで所望のビーム径に拡大された後、光路上に配置した１／４波長板５２を通過する。
【００５４】
この１／４波長板５２は、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの直線偏光の方向に対して光軸が４５°傾けられている。このため１／４波長板５２を通過する同軸合波された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、それぞれ右円偏光、左円偏光に変換されて、走査面上に焦点を結ぶための集光レンズ５４を通り、スピナーミラー装置１６の反射鏡面１８Ａの回転軸に対して略平行に進み、前述した走査光学系のスピナーミラー装置１６に導かれる。
【００５５】
そして、光源側の光学系から走査光学系のスピナーミラー装置１６へ入射された右円偏光と左円偏光をした第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、スピナーミラー装置１６の回転軸１８に設置されている、１／４波長板２６を透過することにより互いに直交した直線偏光ビームに変換されてから一軸性結晶の光学素子２８へ入射される。
【００５６】
このように互いに直交した直線偏光ビームに変換された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、走査光学系の一軸性結晶の光学素子２８を透過する際に、副走査方向に平行シフトされてから、光偏向器の反射鏡面１８Ａで反射され、記録媒体１４の走査面上に副走査方向の記録画素１画素分に対応した所定距離だけ離れた位置に集光される。
【００５７】
また、このインナードラム露光装置１０では、第１半導体レーザ光源３０Ａ用のレーザドライバ２３と、第２半導体レーザ光源３０Ｂ用のレーザドライバ２５とを設け、中央制御装置２１で別途生成した各画像信号をそれぞれのレーザドライバ２３、２５へ送信して、第１半導体レーザ光源３０Ａと第２半導体レーザ光源３０Ｂとをそれぞれ駆動制御し、各対応する画像信号に基づいて変調された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを出射し、光源側の光学系と走査光学系のスピナーミラー装置１６とによって記録媒体１４の走査面上に照射する。
【００５８】
また、これと同時に、中央制御装置２１は、前述したようにスピナードライバ２２に制御信号を送信しモータ２０の回転制御をして反射鏡面１８Ａを回転させ、光源側の光学系から走査光学系の反射鏡面１８Ａに入射した第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを反射して記録媒体１４に対して主走査方向への走査露光を行う。これと共に、中央制御装置２１は、スピナードライバ２２へ制御信号を送信する。この制御信号を受信したスピナードライバ２２は、副走査移動手段（図示せず）を制御し、スピナーミラー装置１６を支持体１２の円弧中心軸の軸線方向（図１に向かって左右方向となる矢印Ｃ方向）に等速度で移動走査する。これにより、スピナーミラー装置１６で主走査方向への走査露光を行いながら、スピナーミラー装置１６を副走査方向へ移動することによって、記録媒体１４の記録面全面に対して２次元の画像を記録する処理を行うように構成する。
【００５９】
次に、本第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置の作用及び動作について説明する。
【００６０】
このインナードラム露光装置１０では、中央制御装置及びレーザドライバにより制御された第１の半導体レーザ光源３０Ａより画像情報に応じて変調され出力された第１のレーザビームＬａを、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）３２で平行ビームとし平行平板３６を透過させた後、偏光ビームスプリッター３８に入射させる。このとき、第１のレーザビームＬａは、偏光ビームスプリッター３８の反射面に対してＰ偏光となっているから偏光ビームスプリッター３８を透過して進む。
【００６１】
また、第２の半導体レーザ光源３０Ｂより画像情報に応じて変調され出力された第２のレーザビームＬｂは、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）３４で平行ビームとされ、二つの角度調整用のプリズム４０、４２を通過した後、１／２波長板４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター３８へ入射する。
【００６２】
そして、第２のレーザビームＬｂは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター３８の反射面で反射され、第１のレーザビームＬａと同軸合波され、スピナーミラー装置１６へ至る同一の光路上を進む。
【００６３】
このように同軸合波された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、１／４波長板５２を通過して、それぞれ右円偏光、左円偏光に変換され走査面上に焦点を結ぶための集光レンズ５４を通り、１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とを具備する走査光学系のスピナーミラー装置１６に導かれる。
【００６４】
そして、右円偏光、左円偏光に変換された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、走査光学系の１／４波長板２６を通過する際に互いに直交した直線偏光の光ビームに変換されて一軸性結晶の光学素子２８へ入射し、二つの互いに直交した直線偏光ビームを副走査方向に平行シフトさせるように分離された後に、スピナーミラー装置１６の回転軸線に沿って導入され、反射鏡面１８Ａにより反射偏向されて記録媒体１４に導かれる。
【００６５】
また、本第１実施の形態に係わる２本のマルチビーム露光系を備えたインナードラム露光装置では、例えば、２４００ｄｐｉを標準の解像度に設定し、このインナードラム露光装置１０で、解像度を２４００ｄｐｉから１２００ｄｐｉに変更して記録する時に２本のレーザビームＬａ、Ｌｂで同一の画像情報を露光して対応する。さらに、解像度に対応させてスピナーミラー装置１６を副走査方向に移動する速度を、そのときの解像度に合わせるように変更調整する。
【００６６】
次に、本発明のインナードラム式マルチビーム露光系における解像度の切り替え方法を実施可能なインナードラム露光装置に係わる第２実施の形態について図２乃至図８を参照しながら説明する。本第２実施の形態では、インナードラム露光装置１０を、４本の光ビームで、支持体の内周面上に配置した記録媒体１４の記録面上を主走査するよう構成する。
【００６７】
このスピナーミラー装置１６には、回転軸部材１８に対して一体に回動するよう固着したホルダ２４に、光路の上流側から順に１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とを固定して配置する。
【００６８】
なお、これら１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とは、スピナーミラー装置１６における反射鏡面１８Ａの前方の光路中に配置し、図示しない別途設けた支持手段によって反射鏡面１８Ａと一体的に回動するよう装着して構成しても良い。
【００６９】
この１／４波長板２２６は、右円偏光と左円偏光とされた各光ビームを互いに直交した直線偏光の光ビームに変換可能に構成する。
【００７０】
一軸性結晶の光学素子２２８は、前述した図５に例示するものと同等で、二つの互いに直交した直線偏光ビームを副走査方向に平行シフトさせる水晶板で構成する。この水晶板は、水晶の結晶光軸を、光の結晶入射面の法線に対して４５°傾けた構造となるように製作する。
【００７１】
なお、この一軸性結晶の光学素子２２８は、前述した図６に示す、プリズム状の水晶板２５０を一枚用いて、各レーザビームを異なる角度方向に出射して分離するように構成しても良い。
【００７２】
本第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０では、４本のマルチビーム露光系において、当初に設定された副走査方向のビーム分離幅を維持しながら解像度を切り替えて高速露光処理を可能に構成する。このため、このインナードラム露光装置１０では、一軸性結晶の光学素子２８により分離して出射された２組、２本の合計４本となるレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄが光偏向器であるスピナーミラー装置１６で反射され記録媒体１４の走査面上に、相互に副走査方向の記録画素１画素分に対応する所定間隔離れた各位置に、４本のレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄが集光されて露光する。
【００７３】
また、この４本のマルチビーム露光系を備えたインナードラム露光装置１０では、解像度を切り替えても、記録媒体１４の走査面上に、相互に副走査方向の記録画素１画素分に対応する所定間隔離れた各位置に、４本のレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄを集光させて露光処理された画像に表れる走査ムラが許容範囲内に収まるように構成する。
【００７４】
そこで、このインナードラム露光装置１０では、スピナーミラー装置１６に装着する一軸性結晶の光学素子２８によって走査面上で分離する、レーザビームＬａ、Ｌｂによるスポットａ、ｂの間隔と、レーザビームＬｃ、Ｌｄによるスポットｃ、ｄの間隔とをムラの見えない間隔に設定して構成する。なお、レーザビームＬａによるスポットａと、レーザビームＬｃによるスポットｃとの間隔は、前述した音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを制御することによって、ムラの見えない所定の間隔に設定する。
【００７５】
このため、例えば、切り替えられる第１の解像度に対応した走査線の間隔がＤ１であり、切り替えられる第２の解像度に対応した走査線の間隔がＤ２であり、副走査方向の設計上の許容誤差がＤ４である場合に、一軸性結晶の光学素子２８がレーザビームＬａ、Ｌｂの組と、レーザビームＬｃ、Ｌｄとの組とを分離して、走査面上で集光されるビームスポットａ、ｂの組と、ビームスポットｃ、ｄの組との副走査方向の設定間隔Ｄ３を、式  Ｄ３＝（Ｄ１＋Ｄ２）／２±Ｄ４より求めて設定する。なお、設定間隔Ｄ３は、走査面上におけるビームスポットａ、ｂの組と、ビームスポットｃ、ｄの組とで走査したときの間隔が問題となるので、例えば、ビームスポットａ、ｂの組が走査面上で副走査方向に対して斜めに位置する場合でも、副走査方向の距離成分を設定間隔Ｄ３とする。
【００７６】
このインナードラム露光装置１０では、例えば、解像度１２００ｄｐｉのときの走査線の間隔が２１．２μｍであり、切り替え後の解像度１２７０ｄｐｉのときの走査線の間隔が２０．０μｍである場合に、一軸性結晶の光学素子２８が分離して集光させるビームスポットａとｂの間隔、またビームスポットｃとｄとの間隔を、２０．６μｍ近傍に設定する。すなわち、一軸性結晶の光学素子２８による走査面上でのビームの分離幅を２０．６μｍ±０．２μｍに設定する。
【００７７】
このような４本のマルチビーム露光系を備えたインナードラム露光装置１０では、走査面上でのビームの分離幅に１μｍ程度までの間隔誤差があっても形成された画像の走査ムラが許容範囲に収まることが実験及び経験則で解っているので、一軸性結晶の光学素子２８による走査面上でのビームの分離幅の設計中心値を２０．６μｍに設定すれば分離幅の製作誤差、副走査方向の振動や送り速度変化等があっても最適に画像を形成する処理ができる。
【００７８】
図２に示すように、このインナードラム露光装置１０は、合波された光ビームを分離して記録媒体１４の記録面上を主走査するため、スピナーミラー装置１６に入射させるための光ビームを投射する光源側の光学系を設ける。
【００７９】
このインナードラム露光装置１０では、第１、第２、第３、第４の４つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ、２３０Ｄ（光ビーム出力手段）を用いるものである。さらに、第１、第２の２つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂと、第３、第４の２つの半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄとを別々の組の光学系として構成する。
【００８０】
第１、第２の半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂの組は、それぞれ直線偏光の光ビーム（レーザビーム）Ｌａ、Ｌｂを射出する。これらの組の光学系では、両光ビームＬａ、Ｌｂをそれぞれコリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３２、２３４でそれぞれ平行ビームとする。
【００８１】
この第１半導体レーザ光源２３０Ａから出射された第１のレーザビームＬａは、偏光ビームスプリッター２３８の反射面に対してＰ偏光となるよう設定されており、平行平板２３６を透過後、偏光ビームスプリッター２３８を透過して光路上を進む。
【００８２】
また、第２のレーザビームＬｂは、１／２波長板２４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター２３８へ入射する。そして、第２のレーザビームＬｂは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター２３８の反射面で反射され、第１のレーザビームＬａと偏光同軸合波され、同一の光路上を進む。
【００８３】
このようにして偏光ビームスプリッター２３８から出射した、偏光同軸合波されている第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、第２集光レンズ１０２、部分的光学機能部材１０４、第３集光レンズ１０６、１／４波長板１０７及び第４集光レンズ１０８とを順に配列して構成した光学系の光路を通ってスピナーミラー装置１６へ入射する。
【００８４】
この部分的光学機能部材１０４は、第１、第２の２つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂから出射されて偏光同軸合波された光ビームと、後述する第３、第４の２つの半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄから出射されて偏光同軸合波された光ビームとにおける、一方のレーザ光源の組から出射され偏光同軸合波された光ビームを透過させることによりスピナーミラー装置１６へ導き、他方のレーザ光源の組から出射され偏光同軸合波された光ビームを反射させることによりスピナーミラー装置１６へ同一の光学系で導くように構成する。
【００８５】
すなわち、図２及び図３に示すように、部分的光学機能部材１０４は、第１、第２の２つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂから出射されて偏光同軸合波された光ビームを透過（通過）させることによりスピナーミラー装置１６へ導き、第３、第４の２つの半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄから出射されて偏光同軸合波された光ビームを反射させることによりスピナーミラー装置１６へ導くように構成する。
【００８６】
このため、部分的光学機能部材１０４は、その中央部に第１の半導体レーザ光源３０Ａから照射されたレーザビームＬａを通過させる透過部１１０として、所定角度に傾斜状態での正面視で円形の透明部分を形成する。これと共に、この部分的光学機能部材１０４には、透過部１１０を除く全面（透過部１１０の周囲の所定範囲でも良い）を反射部（反射面）１１１に構成する。なお、この図１乃至図３に示す部分的光学機能部材１０４は、全体を透明なガラス板で形成し、その中央の透過部１１０を残した全面を鏡面に加工して構成する等の種々の構成をとることができる。また、透過部１１０を開口に形成しても良い。
【００８７】
さらに、この部分的光学機能部材１０４は、その透過部１１０が第２集光レンズ１０２の結像位置となり、その反射部１１１が第２集光レンズ１２０結像位置となるように配置する。
【００８８】
なお、部分的光学機能部材１０４をハーフミラー等の一方の光ビームの少なくとも一部を反射し、他方の光ビームの少なくとも一部を透過させる光学部材である合成部材で構成しても良い。また、ハーフミラーを使用する場合には、部分的光学機能部材に集光するための集光レンズを用いなくても良い。
【００８９】
また、第３、第４の２つの半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄの組は、それぞれ直線偏光の光ビーム（レーザビーム）Ｌｃ、Ｌｄを射出する。これらの組の光学系では、両光ビームＬｃ、Ｌｄをそれぞれコリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３２、２３４でそれぞれ平行ビームとする。
【００９０】
この第３半導体レーザ光源２３０Ｃから出射された第３のレーザビームＬｃは、偏光ビームスプリッター２３８の反射面に対してＰ偏光となるよう設定されており、平行平板２３６を透過後、偏光ビームスプリッター２３８を透過して光路上を進む。
【００９１】
また、第４のレーザビームＬｄは、１／２波長板２４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター２３８へ入射する。そして、第４のレーザビームＬｄは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター２３８の反射面で反射され、第３のレーザビームＬｃと偏光同軸合波され、偏光ビームスプリッター２３８から出射して同一の光路上を進む。
【００９２】
このようにして偏光ビームスプリッター２３８から出射した、偏光同軸合波されている第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、反射鏡１１４、スピナーミラー装置に対してＸ軸方向に偏向する光偏向手段である音響光学素子１１６と、Ｙ軸方向に偏向する光偏向手段である音響光学素子１１８と、第２集光レンズ１２０と、共用する部分的光学機能部材１０４、第３集光レンズ１０６、１／４波長板１０７及び第４集光レンズ１０８とを順に配列して構成した光路を通ってスピナーミラー装置１６へ入射する。
【００９３】
これら光偏向手段である音響光学素子１１６と、音響光学素子１１８とは、それぞれ図８に示す回路で制御される。この制御手段としての回路は、スピナーミラー装置１６に設けられた図示しないエンコーダからの信号に基づき制御クロック信号を生成する制御回路１２２と、この制御クロック信号に従って余弦波電圧信号を生成する余弦波信号生成回路１２４と、この制御クロック信号に従って正弦波電圧信号を生成する正弦波信号生成回路１２６と、この余弦波電圧信号から周波数変調信号を生成する電圧制御発振器１２８と、この正弦波電圧信号から周波数変調信号を生成する電圧制御発振器１３０と、この電圧制御発振器１２８からの周波数変調信号を増幅して音響光学素子１１６に供給する増幅器１３２と、正弦波信号から周波数変調信号を生成する電圧制御発振器１３０からの周波数変調信号を増幅して音響光学素子１１８に供給する増幅器１３４とを備える。
【００９４】
なお、上述した本第２実施の形態では、光偏向手段である音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを別体に構成しているが、これらを一体に構成し、１つの音響光学素子によりＸ軸、Ｙ軸方向に対する偏向を実現するように光偏向手段を構成することも可能である。また、音響光学素子を用いる代わりに、電気光学素子等を用いてもよい。
【００９５】
このように構成された第３、第４の２つの半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄの組側の光学系では、第３、第４の半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄ側から偏光同軸合波されて出力された光ビームを、制御手段で制御された光偏向手段である音響光学素子１１６及び音響光学素子１１８とによって偏向し、光ビームを第２集光レンズ１２０で部分的光学機能部材１０４の反射部１１１に結像させて反射させ、さらに第３集光レンズ１０６で第１、第２の２つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂから出射されて偏光同軸合波された光ビームに対する平行光とし、第４集光レンズ１０８で集光してスピナーミラー装置１６の反射鏡面１８Ａに反射させ、記録媒体１４上に結像させて走査露光を行うように構成する。
【００９６】
この走査露光を行う際に、インナードラム露光装置１０では、図示しない制御手段としての回路が光偏向手段である音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを制御して偏向することにより、第３、第４の半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄ側から偏光同軸合波されて出力された光ビームを、スピナーミラー装置１６の動作に連動させることにより主走査方向に適切に走査露光を行う。
【００９７】
このため、制御手段としての図示しない制御回路は、スピナーミラー装置１６に設けられた図示しないエンコーダからの位置信号に基づき、制御クロック信号を図８に示す余弦波信号生成回路１２４に供給する。余弦波信号生成回路１２４から出力された余弦波電圧信号は、電圧制御発振器１２８によって周波数変調信号に変換された後、増幅器１３２を介して音響光学素子１１６に供給される。この場合、音響光学素子１１６は、この余弦波電圧信号に基づいて第３、第４の半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄ側から偏光同軸合波されて出力された光ビームをＸ軸方向（反射鏡面１８Ａの中心を通る傾斜方向）に偏向する。
【００９８】
また、制御手段としての制御回路は、制御クロック信号を正弦波信号生成回路１２６に供給する。正弦波信号生成回路１２６から出力された正弦波電圧信号は、電圧制御発振器１３０によって周波数変調信号に変換された後、増幅器１３４を介して音響光学素子１１８に供給される。この場合、音響光学素子１１８は、この正弦波電圧信号に基づいて音響光学素子１１６によってＸ軸方向に変調された第２のレーザビームＬｂを正弦波電圧信号に基づいてＹ軸方向（反射鏡面１８Ａの中心を通る傾斜方向に直交する方向）に偏向する。
【００９９】
この結果、スピナーミラー装置１６の反射鏡面１８Ａに導かれた第３、第４の半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄ側から偏光同軸合波されて出力された光ビームは、１／４波長板１０７、１／４波長板２２６及び一軸性結晶の光学素子２２８の作用で分離された状態でスピナーミラー装置１６の回転動作に同期して、図７に示すように、スピナーミラー装置１６の回転軸１８に直交する面Ｓ′上で略円軌跡を描くことになる。
【０１００】
次に、上述のように構成した本第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０の作用及び動作について説明する。
【０１０１】
本第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０では、図示しない中央制御装置及びレーザドライバにより制御された第１の半導体レーザ光源２３０Ａより画像情報に応じて光量変調され出力された第１のレーザビームＬａを、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３２で平行ビームとし平行平板２３６を透過させた後、偏光ビームスプリッター２３８に入射させる。このとき、第１のレーザビームＬａは、偏光ビームスプリッター２３８の反射面に対してＰ偏光となっているから偏光ビームスプリッター２３８を透過して進む。
【０１０２】
また、第２の半導体レーザ光源２３０Ｂより画像情報に応じて光量変調され出力された第２のレーザビームＬｂは、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３４で平行ビームとされ、１／２波長板２４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター２３８へ入射する。
【０１０３】
そして、第２のレーザビームＬｂは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター２３８の反射面で反射され、第１のレーザビームＬａと偏光同軸合波され、光路上を第２集光レンズ１０２、部分的光学機能部材１０４の透過部１１０、第３集光レンズ１０６を通って、１／４波長板１０７を通過する。この偏光同軸合波された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、１／４波長板１０７を通過する際、それぞれ右円偏光、左円偏光に変換され走査面上に焦点を結ぶための第４集光レンズ１０８を通り、１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とを具備する走査光学系のスピナーミラー装置１６に導かれる。
【０１０４】
そして、右円偏光、左円偏光に変換され第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、走査光学系の１／４波長板２２６を通過する際に互いに直交した直線偏光の光ビームに変換されて一軸性結晶の光学素子２２８へ入射し、二つの互いに直交した直線偏光ビームを副走査方向に平行シフトさせるように分離された後に、スピナーミラー装置１６の回転軸線に沿って導入され、反射鏡面１８Ａにより反射偏向されて記録媒体１４に導かれる。
【０１０５】
またこれと同時に、このインナードラム露光装置１０では、中央制御装置及びレーザドライバにより制御された第３の半導体レーザ光源２３０Ｃより画像情報に応じて変調され出力された第３のレーザビームＬｃを、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３２で平行ビームとし平行平板２３６を透過させた後、偏光ビームスプリッター２３８に入射させる。このとき、第３のレーザビームＬｃは、偏光ビームスプリッター２３８の反射面に対してＰ偏光となっているから偏光ビームスプリッター２３８を透過して進む。
【０１０６】
また、第４の半導体レーザ光源２３０Ｄより画像情報に応じて変調され出力された第４のレーザビームＬｄは、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３４で平行ビームとされ、１／２波長板２４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター２３８へ入射する。
【０１０７】
そして、第４のレーザビームＬｄは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター２３８の反射面で反射され、第３のレーザビームＬｃと偏光同軸合波されて光路上を進む。そして、偏光同軸合波された第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、光路上の反射鏡１１４で反射されて、光偏向手段である音響光学素子１１６によってＸ軸方向に偏向された後、光偏向手段である音響光学素子１１８によってＹ軸方向に偏向される。
【０１０８】
さらに、偏向され、同軸合波された第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、第２集光レンズ１２０で集光されてから部分的光学機能部材１０４の反射部１１１で反射され、光源側の光学系における第３集光レンズ１０６を通って、１／４波長板１０７を通過する。この偏向され、同軸合波された第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、１／４波長板１０７を通過する際、それぞれ右円偏光、左円偏光に変換され走査面上に焦点を結ぶための第４集光レンズ１０８を通り、１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とを具備する走査光学系のスピナーミラー装置１６に導かれる。
【０１０９】
そして、右円偏光、左円偏光に変換され第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、走査光学系の１／４波長板２２６を通過する際に互いに直交した直線偏光の光ビームに変換されて一軸性結晶の光学素子２２８へ入射し、二つの互いに直交した直線偏光ビームが副走査方向に平行シフトさせるように分離された後に、スピナーミラー装置１６の回転軸線と所定間隔を開けた直線に沿って導入され、反射鏡面１８Ａにより反射偏向されて記録媒体１４に導かれる。
【０１１０】
すなわち、このインナードラム露光装置１０によれば、第１、第２、第３、第４の４つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ、２３０Ｄからそれぞれ変調して出射された第１、第２、第３、第４のレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄが記録媒体１４上に照射されて同時に露光するので、効率良く迅速に露光処理を行うことができる。
【０１１１】
次に、４本のマルチビーム露光系を備えたインナードラム露光装置１０で、解像度を切り替えて合理的に露光処理するための方法について説明する。
【０１１２】
この４本のマルチビーム露光系を備えたインナードラム露光装置１０については、例えば、１２００ｄｐｉ〜１２７０ｄｐｉ、２４００ｄｐｉ〜２５４０ｄｐｉ，３６００ｄｐｉ〜３８１０ｄｐｉに解像度を切り替える場合について、図４により説明する。
【０１１３】
ここで、このインナードラム露光装置１０では、スピナーミラー装置１６に入射前の光学系で、各解像度に対応させてビームスポットａ、ｂ、ｃ、ｄの径を変倍する。また、これと共に、このインナードラム露光装置１０では、解像度に対応させてスピナーミラー装置１６を副走査方向に移動する速度を、そのときの解像度に合わせるように変更調整する。
【０１１４】
この４本ビームで露光するインナードラム露光装置１０で、解像度を１２００ｄｐｉ（１２００ｄｐｉ〜１２７０ｄｐｉ）で記録する時には、音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを制御することにより、微小偏向を加えて走査面上で副走査方向にシフトさせる量を２画素分（４２，３μｍ）にして、図４に示す１２００ｄｐｉの状態で露光する。
すなわち、４本のレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄによる４個のビームスポットａ、ｂ、ｃ、ｄ（第１、第２、第３、第４のビームスポット）を等間隔で一列に並べた状態で露光する。
【０１１５】
また、解像度を２４００ｄｐｉ（２４００ｄｐｉ〜２５４０）にして露光するときには、音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを制御することにより、微小偏向を加えて走査面上で副走査方向にシフトさせる量を３画素分（３１．７５μｍ）にして、図４の上から２段目に示す２４００ｄｐｉの状態で露光する。
【０１１６】
すなわち、この解像度を２４００ｄｐｉにして露光するときには、音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを制御することにより、隣接するビームスポットｂ、ｃの間隔を２４００ｄｐｉでの１画素分に設定する。これと共に、第１回目で露光する間隔が開いたビームスポットｃ、ｄの間を、第２回目で露光するビームスポットａで埋めるようにして露光する。
【０１１７】
さらに、第２回目露光時のビームスポットｃ、ｄの間にある未露光位置は、第３回目で露光するビームスポットａで埋めるようにして露光する。このようにして、記録媒体１４の全体を露光処理する。なお、各ビームスポットａ、ｂ、ｃ、ｄは、それぞれ所要の画像情報に対応して変調されたレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄで露光処理することは勿論である。
【０１１８】
また、解像度を２４００ｄｐｉ（２４００ｄｐｉ〜２５４０）にして露光するときには、図４に向かって上から３段目に示す２４００ｄｐｉにおける他の態様の状態で露光することができる。
【０１１９】
この解像度を２４００ｄｐｉの他の態様で露光するときには、音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを制御することにより、ビームスポットａとビームスポットｂとの間にビームスポットｃが入り、ビームスポットｂの横にビームスポットｄがくるように、所定のビームスポットをそれぞれ１画素分シフトさせて露光処理する。このように露光処理する場合には、各ビームスポットａ、ｂ、ｃ、ｄが繰り返し露光されるので、前述した図４に向かって上から２段目に示す２４００ｄｐｉで露光処理する場合のようにインタレース記録をする必要がない。
【０１２０】
また、解像度を３６００ｄｐｉ（３６００ｄｐｉ〜３８１０ｄｐｉ）にして露光するときには、音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを制御することにより、微小偏向を加えて走査面上で副走査方向にシフトさせる量を２画素分（１４．ｌμｍ）にして、図４に示す３６００ｄｐｉの状態で露光する。
【０１２１】
すなわち、この解像度を３６００ｄｐｉにして露光するときには、音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを制御することにより、隣接するビームスポットｂ、ｃの間隔を３６００ｄｐｉでの１画素分に設定する。これと共に、第１回目で露光する間隔が開いたビームスポットｃ、ｄの間を、第２回目で露光するビームスポットａで埋めるようにして露光する。
【０１２２】
また、第２回目露光時のビームスポットｃ、ｄの間にある未露光位置は、第３回目で露光するビームスポットａで埋めるようにして露光する。このようにして、記録媒体１４の全体を露光処理する。なお、各ビームスポットａ、ｂ、ｃ、ｄは、それぞれ所要の画像情報に対応して変調されたレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄで露光処理することは勿論である。
【０１２３】
次に、第１実施の形態と第２実施の形態とに係わるインナードラム露光装置１０において、ビーム分割を行って記録媒体１４の記録面上を主走査して露光処理するための他の構成例について、図９により説明する。この図９では、第２実施の形態とに係わるインナードラム露光装置１０に対応した構成を示す。なお、第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０では、図９に示す２本のレーザビームＬａ、Ｌｂについての構成と同様であるので、その説明を省略する。
【０１２４】
図９に示すように、このインナードラム露光装置１０では、スピナーミラー装置１６の回転軸部材１８に固着したホルダ２４に対して、１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とに続けて、偏光制御素子である１／２波長板２４６と、光ビームの分割素子としての一軸性結晶の光学素子２４８とを設置する。なお図示しないが、これら１／４波長板２２６、一軸性結晶の光学素子２２８、１／２波長板２４６及び一軸性結晶の光学素子２４８は、反射鏡面１８Ａと一体的に回動するように構成する。
【０１２５】
このように構成したインナードラム露光装置１０では、例えば、光源側の光学系から同軸合波されそれぞれ右円偏光、左円偏光に変換された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの組と、右円偏光、左円偏光に変換された第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとの組とが、走査光学系の１／４波長板２２６を透過する際にそれぞれ互いに直交した直線偏光の光ビームに変換され、さらに、一軸性結晶の光学素子２２８を透過する際にそれぞれ副走査方向に第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの組と、第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとの組とに分割される。
【０１２６】
さらに、副走査方向に分割された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの組と、第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとの組とは、偏光制御素子としての１／２波長板２４６を透過する際に光ビームの偏光方向が４５°回転され、さらに分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子２４８を透過する際に、第１のレーザビームＬａと第３のレーザビームＬｃとが副走査方向に略等光量で分割されると共に、第２のレーザビームＬｂと第４のレーザビームＬｄとが副走査方向に略等光量で分割される。
【０１２７】
なお、このインナードラム露光装置では、図示しないが、光路上に配置された、第１の１／４波長板と第１の一軸性結晶の光学素子とによって副走査方向に分割された第１のレーザビームと第２のレーザビームとを、第１の一軸性結晶の光学素子よりも光路下流側に配置された偏光制御素子である第２の１／４波長板によってそれぞれ円偏光にし、さらに光路下流側に配置された分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子で各々円偏光にされた光ビームを、それぞれ副走査方向に等光量で分割するように構成しても良い。
【０１２８】
このように構成したインナードラム露光装置１０では、各レーザビームの副走査方向に等光量で分割される前の光ビームの集光スポット径を、それぞれ記録画素よりも小さくし、分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子２４８の分割幅を略半画素程度にしておくことにより、副走査方向に対してより矩形形状に近い状態とできると共に、主走査方向に対しても絞られてシャープな状態のスポット形状とできる（ビームスポットのエッジ部が急峻な状態となる）。これにより、記録画素の品質を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】本発明の第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置の要部を示す概略構成図である。
【図２】本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路の構成の概略を示す説明図である。
【図３】本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路上に配置する部分的光学機能部材を取り出して示す拡大斜視図である。
【図４】本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置で、解像度を切り替えて合理的に露光処理するための方法を示す説明図である。
【図５】本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いるスピナーミラー装置に装着する光ビームの分離素子と分割素子との構成を示す説明図である。
【図６】本発明の第１又は第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いることができる光ビームを異なる角度方向に出射して分離する一軸性結晶の光学素子の特性を示す説明図である。
【図７】本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いるＸ軸方向とＹ軸方向とに偏向する光偏向手段により偏向されたレーザビームの、スピナーミラー装置の回転軸に直交する面Ｓ′上での軌跡を示す説明図である。
【図８】本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いるＸ軸方向とＹ軸方向とに偏向する光偏向手段用の制御回路の構成を示す説明図である。
【図９】本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いるスピナーミラー装置に装着する光ビームの分離素子と分割素子との構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１３０】
１０  インナードラム露光装置
１２  支持体
１４  記録媒体
１６  スピナーミラー装置
１８  回転軸部材
１８Ａ反射鏡面
２８  一軸性結晶の光学素子
３８  偏光ビームスプリッター
５２  １／４波長板
１０４部分的光学機能部材
１０７１／４波長板
１１６音響光学素子
１１８音響光学素子
２２６１／４波長板
２２８一軸性結晶の光学素子
２３８偏光ビームスプリッター
２４６１／２波長板
２４８一軸性結晶の光学素子
２５０水晶板
【図１】
2006189820.tif 000003
【図２】
2006189820.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006189820.tif 000009
【図８】
2006189820.tif 000010
【図９】
2006189820.tif 000011