(57)【要約】【課題】本発明は、真空容器及びその製造方法に関し、特にゲッター素子を含む真空容器に関する。【解決手段】本発明に係る真空容器は、陽極が配置された基板を含む。前記基板に少なくとも一つのゲッター素子を設置する。前記ゲッター素子は少なくとも一つの固持部で前記基板に固定される。本発明は真空容器の製造方法も提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極が配置された基板を含む真空容器において、
前記基板に少なくとも一つのゲッター素子を設置することを特徴とする真空容器。
【請求項２】
前記ゲッター素子は少なくとも一つの固持部で前記基板に固定されることを特徴とする、請求項１に記載の真空容器。
【請求項３】
前記基板が第一領域と第二領域とに分割される場合、前記第一領域に前記陽極を設置し、前記第二領域に前記ゲッター素子を設置することを特徴とする、請求項１に記載の真空容器。
【請求項４】
前記基板の中央の場所は前記第一領域、前記基板の両側の縁部は前記第二領域と定義され、
前記第一領域と前記第二領域とは隣接されることを特徴とする、請求項３に記載の真空容器。
【請求項５】
前記真空容器は二つの対向する側壁を含み、
前記固持部はそれぞれ前記二つの側壁に固定されることを特徴とする、請求項１に記載の真空容器。
【請求項６】
前記ゲッター素子はゲッターの担体であるゲッター基板を含むことを特徴とする、請求項１に記載の真空容器。
【請求項７】
ゲッター素子を製造する段階と、
陽極が配置された基板を準備して、前記ゲッター素子が前記陽極と同じ側に位置されるように前記基板を設置する段階と、
前記ゲッター素子が設置された側面を前記真空容器の内部に向けるように前記真空容器を封着する段階と、
を含むことを特徴とする真空容器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空容器及びその製造方法に関し、特にゲッター素子を含む真空容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術として、表示装置の使用寿命及び信頼性の方面から考え、高真空を保持するためにゲッターを設置するという提案がされている。ゲッターとして広く用いられるのは、蒸発ゲッター、非蒸発ゲッターがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、平面型表示装置に蒸発ゲッターを設置する場合、製造手段に欠点があるので、電極ラインの短絡（漏電）が起こり、電気素子に損害が生じる恐れがある。非蒸発ゲッターを設置する場合、一般に、表示装置の内部へ延伸する排気パイプ内に該ゲッターを設置するので、高真空度を保持することができない。また、平面型表示装置は、前面基板と背面基板との間が狭く、気体流量が少ない特性があり、且つ平面型表示装置の表面積と体積の比率が非常に大きいので、該平面型表示装置の中の気体（表面又は裏面の局部から放出気体）がゲッターによって速く吸着されず、高真空度の保持ができないという課題がある。
【０００４】
また、平面型表示装置にゲッターの専用位置を設ける従来技術は、平面型表示装置の構成が複雑で大型化し、気体吸着の手段を合理的に設置することができないという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するために、本発明は高真空度を保持できる真空容器及びその製造方法を提供する。
【０００６】
本発明に係る真空容器は、陽極が配置された基板を含む。前記基板に少なくとも一つのゲッター素子を設置する。
【０００７】
前記ゲッター素子は少なくとも一つの固持部で前記基板に固定される。
【０００８】
前記基板が第一領域と第二領域とに分割される場合、前記第一領域に前記陽極を設置し、前記第二領域に前記ゲッター素子を設置する。
【０００９】
前記基板の中央の場所は前記第一領域、前記基板の両側の縁部は前記第二領域と定義される。前記第一領域と前記第二領域とは隣接される。
【００１０】
前記真空容器は二つの対向する側壁を含む。前記固持部はそれぞれ前記二つの側壁に固定される。
【００１１】
前記ゲッター素子はゲッターの担体であるゲッター基板を含むことが好ましい。
【００１２】
本発明に係る真空容器の製造方法は、ゲッター素子を製造する段階と、陽極が配置された基板を準備して、前記ゲッター素子が前記陽極と同じ側に位置されるように前記基板に設置する段階と、前記ゲッター素子が設置された側面を前記真空容器の内部に向けるように前記真空容器を封着する段階と、を含む。
【発明の効果】
【００１３】
従来技術と比べて、本発明に係るゲッター素子がストライプ状になって真空容器の基板に設置され、大面積で真空容器の内部の気体と接触して吸着するので、気体吸着の効率を高め、真空容器の真空度を良好に保持することができる。
【００１４】
本発明において、複数のゲッター素子が真空容器の基板の両側に均一に配置され、真空容器内の各所の気体が吸着されるので、前記真空容器の内部の気圧が均一になり、真空容器の寿命を延長することができる。
【００１５】
また、本発明にゲッター素子の専用位置が必要なくなり、構成が簡単で、コストが低く、小型化の真空容器を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（実施形態１）
図面を参照して、本発明の実施形態について詳しく説明する。
【００１７】
図１を参照すると、本実施形態に係る真空ディスプレイ７は背面基板７０と、該背面基板７０に対向して設置される前面基板７９と、封着用のガラス基板である側壁７２（図１には二つの対向した側壁だけを図示する）と、を含む。本実施形態において、前記ディスプレイ７は電界放出ディスプレイである。
【００１８】
前記背面基板７０は半導体材料又はガラスからなり、前記ディスプレイ７の後部に設置される。前記背面基板７０には、前記前面基板７９に対向して平板形状の陰極７１を設置する。前記陰極７１には、複数の電子放出部７４を設置し、且つ前記複数の電子放出部７４をそれぞれ隔てる複数の絶縁層７３を形成する。前記電子放出部７４を制御するために、前記絶縁層７３に複数のグリッド７５を配置する。ここで、前記電子放出部７４の先端は、例えばタングステン、シリコン、モリブデン、ダイヤモンド、酸化亜鉛、炭素ナノチューブ、シリコンライン、モリブデンラインのうちの一種からなる。
【００１９】
図１及び図２を参照すると、前記前面基板７９は前記ディスプレイ７の前部に設置される。前記前面基板７９の表面７９２には、前記背面基板７０に対向して平板形状の陽極７８を設置する。前記陽極７８には、前記電子放出部７４に対応して蛍光層７７を形成する。ここで、前記陽極は、例えば、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）透明導電材料からなる。
【００２０】
低コスト化のために、前記表面７９２の縁部には前記陽極７８及び前記蛍光層７７が形成されておらず、前記表面７９２の前記陽極７８及び前記蛍光層７７が形成されていない領域に複数のゲッター素子８２を配置することができる。前記複数のゲッター素子８２はそれぞれ所定の距離を隔てて、固持部８４を介して、均一的に前記側壁７２に接着される。従って、前記ディスプレイ７の内（特に基板への接着場所）の気体を完全に吸着し、気体吸着の効率を高め、前記ディスプレイ７の気体強度の均一性を高め、前記ディスプレイ７の寿命を延長することができる。
【００２１】
図３は前記ゲッター素子８２及び前記固持部８４を示す図である。前記ゲッター素子８２は、非蒸発ゲッター８２２と、その非蒸発ゲッター８２２の担体であるゲッター基板８２０と、からなる。前記ゲッター基板８２０は金属からなる。前記非蒸発ゲッター８２２は例えば、チタニウム、ジルコニウム、ハフニウム、トリウム、ツリウム及びその合金などの非蒸発材料からなり、ストライプ状又は線形状に形成される。前記固持部８４は金属線であり、前記ゲッター素子８２を前記側壁７２に固定するために前記ゲッター基板８２０の一側に設置される。前記固持部８４の直径Ｄは０．１〜０．２ｍｍに設定される。前記固持部８４は他の形状に形成することができる。
【００２２】
本実施形態において、前記非蒸発ゲッター８２２が前記ゲッター基板８２０の中部に形成され、前記ゲッター基板８２０の両側に空白領域が形成され、この一方の空白領域に前記固持部８４が設置される。前記固持部８４を設置するために、前記ゲッター基板８２０の一側だけに空白領域を形成することができる。ディスプレイにゲッターの専用位置を設置する従来技術に比べて、本発明に係るゲッター素子８２は小型化し、構成が簡単であり、コストが低いという優れた点がある。また、本発明に係るディスプレイ７は良好に真空度を保持することができる。
【００２３】
前記ディスプレイ７の製造方法は、次の段階を含む。
【００２４】
まず、金属材料を利用して前記ゲッター基板８２０を製造し、粉末加圧成型又はシルク印刷などの方法により、前記ゲッター基板８２０の表面に非蒸発ゲッター８２２を形成して、前記ゲッター素子８２が得られる。はんだ付けなどの方法を利用して、前記ゲッター基板８２０の一側に前記固持部８４を固定させる。
【００２５】
次に、ガラス基板である前記前面基板７９を提供する。該前面基板７９の上に透明な導電材料を利用して前記陽極７８を形成してから、蛍光材料を利用して前記蛍光層７７を形成する。その後、前記前面基板７９の短辺の縁部において前記陽極７８及び前記蛍光層の部分を除去して、空白領域を形成する。また、前記空白領域は、前記前面基板７９に所定のパターンによって前記陽極７８及び前記蛍光層７７を形成することにより形成することができる。
【００２６】
次に、ガラス基板である前記二つの側壁７２を準備する。前記固持部８４を利用して前記複数のゲッター素子８２を前記二つの側壁７２に固定させる。前記複数のゲッター素子８２は前記前面基板７９の前記空白領域に均一に配置される。
【００２７】
最後に、前記陽極７８及び前記ゲッター素子８２を前記ディスプレイの内部に向けるように前記ディスプレイ７を封着する。
【００２８】
実際条件により、前記ディスプレイの製造方法の順序を変化させることができる。例えば、前記ディスプレイの封着と同時に、前記ゲッター素子８２を固定することができる。
【００２９】
前記実施形態は、単に例として本発明について説明するためのものであり、次の変形をすることができる。例えば、前記ゲッター素子８２は、前記ゲッター基板８２２を含まずに、非蒸発ゲッター材料からなるようにし、前記固持部８４を利用して直接前記側壁７２に固定させることができる。また、前記固持部８４を利用せず、前記ゲッター素子８４を直接前記前面基板７９の表面７９２に固定させることができる。また、前記ディスプレイの両側の側壁７２の他に、他の両側の側壁に前記ゲッター素子８４を設置することができる。また、前記ゲッター素子８２は、接着方法などの接続方法により前記側壁７２に固定することができる。また、前記固持部８４を利用する場合、前記固持部８４の数量に制限がない。
【００３０】
なお、前記ディスプレイ７に対して、例えば、前記陰極７１及び前記陽極７８をそれぞれストライプ状に形成し、前記前面基板７９と前記背面基板７０との間にスペーサを設置することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施形態によるディスプレイの断面図である。
【図２】図２のＩＩ−ＩＩに沿って切断した断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るゲッター素子及び固持部を示す図である。
【符号の説明】
【００３２】
７  ディスプレイ
７０  背面基板
７１  陰極
７２  側壁
７３  絶縁層
７４  電子放射部
７５  グリッド
７７  蛍光層
７８  陽極
７９  前面基板
７９２  表面
８２  ゲッター素子
８２０  ゲッター基板
８２２  ゲッター
８４  固持部
【図１】
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【図２】
2006344600.tif 000004
【図３】
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