(57)【要約】【課題】          本発明の目的は、作業効率が良く、信頼性の高い水晶振動子を提供することである。【解決手段】          上記の目的を達成するために、本発明は、一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子が形成された、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成ったＡＴカットの厚み滑り振動をする水晶振動子において、水晶振動子の表裏の主電極につながる引き回し電極パターンが、水晶振動子側面において、少なくとも引き回し電極パターン幅で形成されたスリットの部分を通して水晶振動子の一方の主面に延在することを特徴とし、また、スリットの短辺幅が、一枚のウェハー上に多数個形成された水晶振動子を個割りする際に用いられるダイシングブレード幅の１．８倍〜３倍の幅であることを特徴として課題を解決する。【選択図】  図１
2006311342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子が形成された、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成ったＡＴカットの厚み滑り振動をする水晶振動子において、
該水晶振動子の表裏の主電極につながる引き回し電極パターンが、該水晶振動子側面において、少なくとも該引き回し電極パターン幅で形成されたスリットの部分を通して該水晶振動子の一方の主面に延在することを特徴とする水晶振動子。
【請求項２】
請求項１に記載のスリットの短辺幅が、一枚のウェハー上に多数個形成された該水晶振動子を個割りする際に用いられるダイシングブレード幅の１．８倍〜３倍の幅であることを特徴とする水晶振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は水晶デバイスに属し、主として通信分野の伝送系装置に使用される水晶発振器に用いられるＡＴカットの厚み滑り振動をする水晶振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体と成った形状をしたＡＴカットの厚み滑り振動をする水晶振動子においては、不要なスプリアス振動の発生の回避の為に、電極面の大きさに対して振動面の大きさを出来得る限り大きくとる形状とすることが一般的であった。
【０００３】
一方、最近の傾向では通信分野の伝送系装置等を中核として、その搭載部品についての非常に急激な市場からの小型化や低背化、更に加えて軽量化や低価格化の要求があるのが実際であり、このような搭載部品のダウンサイジングの流れに伴い、水晶振動子片の寸法が１ｍｍ以下と成ることが予想される。
【０００４】
【特許文献１】特許３２２１６０９号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述の振動子の振動部の厚みは、例えば主振動周波数が１５０ＭＨｚの場合ではその振動部分の厚みが１０μｍ程度といったような非常に薄い薄板であり、その為に振動子の振動部の周囲部分の僅かな機械的な歪みの影響も受けやすく、その機械的な歪みは先述の振動部の薄板の厚みを変化させて、その結果、主振動以外の多数の不要なスプリアス振動の発生を招く結果となる。
【０００７】
こういった非常に外部の影響を受けやすい微細な加工を必要とされることを鑑みて、この様な形状の水晶振動子はエッチング加工によって形成され、上述したように水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とから成る形状をしている水晶振動子が、多数個一枚のウェハー上にパターンニングされていることが一般的である。
【０００８】
一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子がパターンニングされた各々の水晶振動子は、スクライバーなどの、実際にはダイシングブレードにより、それぞれの振動子に個割りされた後、水晶振動子容器に収容される。この水晶振動子の水晶振動子容器への収容は、従来は水晶振動子容器の内部絶縁基板上に載置された支持台の上に図３に示されるように導電性接着剤を用いて水晶振動子を片持ちの状態で支持するといった方法がとられていた。
【０００９】
しかしながら、ウェハー上にパターンニングされた多数個の水晶振動子をそれぞれの振動子に個割りする際、従来の引き回し電極パターンでは、個々の水晶振動子の表裏の主電極につなぐ引き回し電極をダイシングブレードで切断して、その電気的導通を確保出来なくなるおそれがあるといった問題があった。
【００１０】
また、先述の水晶振動子のダウンサイジングの流れに伴い、水晶振動子片の寸法が１ｍｍ以下と成り、水晶振動子の取り扱い方法も更に困難なものと成って行くものと予想され、現在の水晶振動子の引き回し電極のパターンでは、水晶振動子の加工中での破損や紛失の可能性が増大するおそれがあるといった問題があった。
【００１１】
本発明は、以上のような技術的背景のもとで成されたものであり、従がってその目的は、作業効率が良く、信頼性の高い水晶振動子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明は、一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子が形成された、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成ったＡＴカットの厚み滑り振動をする水晶振動子において、水晶振動子の表裏の主電極につながる引き回し電極パターンが、水晶振動子側面において、少なくとも引き回し電極パターン幅で形成されたスリットの部分を通して水晶振動子の一方の主面に延在することを特徴とする。
【００１３】
また、スリットの短辺幅が、一枚のウェハー上に多数個形成された水晶振動子を個割りする際に用いられるダイシングブレード幅の１．８倍〜３倍の幅であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の水晶振動子によれば、水晶振動子の表裏の電極パターンが確実に導通を確保して、個割りすること無く、一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子が形成された状態で、水晶振動子の下地電極蒸着工程を一括的多数同時に行うことが出来る為に、水晶振動子の外形加工の作業効率を著しく向上し、かつ、更に小型化した場合の水晶振動子の紛失の発生を抑制し、より信頼性の高い水晶振動子を製造することが出来る。
【００１５】
また、本発明の水晶振動子によれば、スリット幅がダイシングブレードの幅よりも十分大きい為に、それぞれの水晶振動子への個割りの際に、引き回し電極パターン材の切りくずである、微細な電極材料の粒子を発生することが無く、従って先述の微細な電極材料の粒子が水晶振動子の振動面に付着して、水晶振動子の信頼性を損なうといったおそれを著しく低減することが出来る。
【００１６】
また、本発明の水晶振動子によれば、一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子が形成された状態で、多数個同時に一括的に取り扱うことが出来るために、水晶振動子の小片を下地電極蒸着の為に、個々にひとつずつ枠入れする工程を無くすことが出来、その結果、水晶振動子の生産効率を著しく高めて、その製造コストを低減することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１８】
図１は本発明の水晶振動子２を上面からみた概略の上面模式図である。即ち、水晶振動子２の表裏の主電極５につながる引き回し電極パターン６が、水晶振動子側面７において、少なくとも引き回し電極パターン幅８で形成されたスリット９の部分を通して水晶振動子２の一方の主面へとつながっている。また、スリットの短辺幅１１が、一枚のウェハー１上に多数個形成された水晶振動子２を個割りする際に用いられるダイシングブレード幅の１．８倍〜３倍の幅と成っているために、この図１においてそれぞれのスリット９の孔内の部分は、実際には上面からは見えないが、それぞれのスリットの水晶振動子２の側面にわたり、水晶振動子２の表裏の主電極５から延びた引き回し電極パターン６が形成されている。このように本発明の水晶振動子２によれば、それぞれの水晶振動子２への個割りの際に、ダイシングブレードの幅に対して十分大きな幅のスリット９を設けているために、パターン材の切りくずである微細な電極材料の粒子を発生することが無く、従って先の微細な電極材料の粒子が水晶振動子２の振動面３に付着して水晶振動子２の信頼性を損なうおそれが無いという効果を奏する。なお、水晶振動子２上の表裏の主電極５や引き回し電極パターン６は、蒸着やスパッタリングにより形成されるものである。また、引き回し電極パターン６は、水晶振動子２の短辺側面を介して、水晶振動子２の一方の主面につながっていても構わず、この場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。
【００１９】
図２は本発明の水晶振動子２が一枚のウェハー１上に多数個形成された様子を示す、先述のウェハー１を上面方向からみた概略の上面模式図である。本発明の水晶振動子２によれば、一枚のウェハー１上に多数個形成された水晶振動子２が表裏の電極パターンが確実に導通を確保されて一方の主面に延びるために、個割りすること無く、水晶振動子２の下地電極蒸着工程を一括的、かつ多数同時に行うことが出来る為、水晶振動子２の外形加工の作業効率を著しく向上し、かつ、更に小型化した場合の水晶振動子２の紛失の発生を抑制し、より信頼性の高い水晶振動子２を製造することが出来る。また、一枚のウェハー１上に多数個の水晶振動子２が形成された状態でプロービングによるそれぞれの水晶振動子２の特性を作業効率良く測定することが出来るといった効果も奏する。
【００２０】
図３は従来の水晶振動子２を、導電性接着剤を用いて片持ちの状態で水晶振動子２容器内部の底部絶縁基板上に設けられた支持台のうえに載置する模様を示す、水晶振動子２の短辺方向からみた概略の上面斜視図である。すなわち、多数個の水晶振動子２が形成された一枚のウェハー１を個割りした後、水晶振動子２容器に収納される一形態を示すものである。
【００２１】
図４は従来の水晶振動子２が多数個一枚のウェハー１上に形成される様子を示す、ウェハー１を上面方向からみた概略の上面模式図である。従来は、ウェハー１を個割りして、それぞれ個々の水晶片とした後に、個々にマスクなどに装填して表裏の主電極５を蒸着により形成する必要があった。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の水晶振動子を上面方向からみた概略の上面模式図である。
【図２】本発明の水晶振動子が多数個一枚のウェハー上に形成される様子を示す、ウェハーを上面方向からみた概略の上面模式図である。
【図３】従来の水晶振動子を、導電性接着剤を用いて片持ちの状態で水晶振動子容器内部の底部絶縁基板上に設けられた支持台のうえに載置する模様を示す、水晶振動子の短辺方向からみた概略の上面斜視図である。
【図４】従来の水晶振動子が多数個一枚のウェハー上に形成される様子を示す、ウェハーを上面方向からみた概略の上面模式図である。
【符号の説明】
【００２３】
１    ウェハー
２    水晶振動子
３    水晶素板薄板の振動部
４    水晶素板厚板の補強部
５    表裏の主電極
６    引き回し電極パターン
７    水晶振動子側面
８    引き回し電極パターン幅
９    スリット
１０  水晶振動子の一方の主面
１１  スリットの短辺幅
【図１】
2006311342.tif 000003
【図２】
2006311342.tif 000004
【図３】
2006311342.tif 000005
【図４】
2006311342.tif 000006