(57)【要約】【課題】応力が調整された配線構造とその製造方法を提供する。【解決手段】  配線構造は、導電材料１０２を有する基板１００から構成される。少なくとも１つの応力調整層１０６が内部に介在された複合誘電体層１１０が、基板１００の上部に存在する。複合誘電体層１１０における導電機構Ｓが、少なくとも１つの応力調整層１０６を貫通し、導電部材１０２を電気的に接続する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上部に導電部材を提供し、
前記基板上に存在し、少なくとも１つの応力調整層が内部に介在される複合低ｋ誘電体層を形成し、
前記応力調整層を貫通し、前記導電部材の一部を露出させるように、前記複合低ｋ誘電体に開口部を形成し、
前記導電部材を電気的に接続する導電機構を形成するために、導電材料を前記開口部に充填することを特徴とする配線構造の形成方法。
【請求項２】
前記少なくとも１つの応力調整層が内部に介在される前記複合低ｋ誘電体層の形成が、
（ａ）前記基板上に第１の低ｋ誘電体層を形成し、
（ｂ）前記第１の低ｋ誘電体層上に応力調整層を形成し、
（ｃ）前記第１の応力調整層上に第２の低ｋ誘電体層を形成し、
以上の各ステップからなることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記（ａ）〜（ｃ）の各ステップを少なくとも１回繰り返して、複数の応力調整層が介在される複合低ｋ誘電体層を形成することを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の低誘電体層と前記第２の低誘電体層が引張り応力を有し、前記第１の応力調整層が圧縮応力を有することを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項５】
前記（ａ）〜（ｃ）の各ステップが、プラズマ化学気相堆積法により、その場で実行されることを特徴とする請求項２記載の前記方法。
【請求項６】
導電部材を有する基板と、
前記基板上に存在し、少なくとも１つの応力調整層が内部に介在される複合低ｋ誘電体層と、
前記複合低ｋ誘電体層に形成され、前記少なくとも１つの応力調整層を貫通して、前記導電部材を電気的に接続する導電機構と、
から構成されることを特徴とする配線構造。
【請求項７】
前記複合低誘電体層は、圧縮応力を有する少なくとも１つの応力調整層が挟まれ、引張り応力を有する複数の低ｋ誘電体部から構成されることを特徴とする請求項６記載の前記配線構造。
【請求項８】
前記導電機構の上部表面に選択的に形成される導電キャップを更に備えたことを特徴とする請求項７記載の前記配線構造。
【請求項９】
導電部材を有する基板と、
前記基板上に存在し、少なくとも１つの応力調整層が介在される複合低ｋ誘電体層と、
前記複合低ｋ誘電体層に形成され、前記少なくとも１つの応力調整層を貫通して、前記導電部材を電気的に接続し、その下部に存在する導電ビアと、前記導電ビアの上に積み重ねられて、その上部に存在する導電線とから構成される導電機構と、
から構成されることを特徴とするデュアルダマシン構造。
【請求項１０】
前記複合低誘電体層は、圧縮応力を有する少なくとも１つの応力調整層が挟まれ、引張り応力を有する複数の低ｋ誘電体部から構成されることを特徴とする請求項９記載のデュアルダマシン構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体機構に関するものであり、とりわけ、集積回路用の配線構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
集積回路機構の寸法が低減されることにより、金属線のような導電配線間における水平方向の間隔が低減されるだけでなく、導電配線の各水平面が、垂直方向に互いにより近接して配置される結果をもたらしている。その結果、こうした導電部間でキャパシタンスが増加し、ＲＣ（抵抗×コンダクタンス）による遅延時間や、クロストークの影響が生じている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この問題に対して提案される１つの対処法は、約4.0の誘電率（ｋ）を有する従来の酸化シリコン（ＳｉＯ２）誘電体を、他のより誘電率の低い絶縁材料に置き換えて、キャパシタンスを低減する方法である。しかし残念ながら、低ｋ誘電体材料は、既存の集積回路における構造やプロセスに一体化させることが困難であるという種々の問題を有している。半導体の製造時に用いられる従来の誘電体と比較して、大部分の低ｋ材料は、概ね高い引張り応力のような特性が存在する。このような高い引張り応力を、半導体構造に積み上げると、半導体構造に、そり或いは変形，亀裂，剥がれが生じ、或いは膜内に空洞が形成されて、膜を有する配線構造を損傷または破壊し、その結果、集積回路の信頼性に影響を与えることになる。従って、改良した応力調整を有する集積回路用の配線構造が必要とされる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、応力が調整された配線構造とその製造方法を提供するものである。配線構造の代表的な実施例は、導電部材を有する基板を備えている。少なくとも１つの応力調整層が内部に介在される複合低ｋ誘電体層が、基板上に存在する。この複合低ｋ誘電体層に形成される導電機構は、少なくとも１つの応力調整層を貫通して、導電部材を電気的に接続する。
【０００５】
デュアルダマシン構造の代表的な実施例は、導電部材を有する基板を備えている。少なくとも１つの応力調整層が介在される複合低ｋ誘電体層が、基板上に存在する。この複合低ｋ誘電体層に形成される導電機構は、少なくとも１つの応力調整層を貫通して、導電部材を電気的に接続し、この導電機構は、その下部に存在する導電ビアと、前記導電ビアの上に積み重ねられて、その上部に存在する導電線とから構成される。
【０００６】
応力が調整された配線構造の製造方法における代表的な実施例は、基板上に導電部材を提供することからなる。少なくとも１つの応力調整層が内部に介在される複合低ｋ誘電体層が、基板上に存在するように形成される。開口部は複合低ｋ誘電体層に形成され、応力調整層を貫通して、導電部材の一部を露出させる。この開口部は導電材料で充填され、導電部材と電気的に接続する導電機構を形成する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
添付の図面を参照して、以下の実施例を詳細に説明する。
【０００８】
ここでは、応力が調整された配線構造とその製造方法を、詳細に説明する。代表的な実施例を説明するように、本発明の幾つかの実施例は、応力が調整された誘電体層を有する配線構造を潜在的に提供することができる。ある実施例において、この配線構造は、配線構造の誘電体層間に、少なくとも１つの応力調整層を介在させることにより達成され、この応力調整層が、配線構造の近傍にある導電機構を取り囲んでいると共に、好ましくは応力調整層が、近傍にある導電機構の底面または上面に接しないようになっている。
【０００９】
本明細書において、「基板の上部に存在する」，「層の上方に」或いは「膜の上に」などの表現は、中間層の存在を無視して、基準となる層の表面に対しての相対的な位置関係を単に示している。従って、これらの表現は、各層の直接的な接触を示しているだけでなく、一乃至複数の積層の非接触な状態をも示している。ここで「低誘電率（low dielectric constant）」或いは「低ｋ（low-k）」という用語を使用しているが、これは従来の酸化シリコンの誘電率よりも低い誘電率（ｋ値）を意味する。低ｋの誘電率は、約4.0よりも小さいことが好ましい。
【００１０】
図１〜図４は、代表的な実施例に基づき、応力が調整された配線構造の製造中における基板の一部分を示す断面図である。
【００１１】
図１において、例えばシリコン基板である半導体基板１００が、半導体デバイスを有し、或いは、上部に存在する他の導電線を有して、最初に提供される。基板１００は、ここでは簡単な平坦状の基板として説明する。図１に示すように、半導体基板１００はさらに、下部に存在する半導体デバイスまたは導電線（双方とも図示せず）の１つに、電気的に接続する導電部材１０２が設けられている。
【００１２】
次に、第１種の応力を有する低ｋ誘電体層１０４，１０８と、第２種の応力を有する応力調整層１０６が、基板１００と導電部材１０２の全体を覆って交互に形成される。通常は、低ｋ誘電体層における第１種の応力は、引張り応力を示し、応力調整層１０６における第２種類の応力は、第１種の応力とは反対に圧縮応力を示す。低ｋ誘電体層１０４，１０８は、カーボンをドープされた二酸化シリコン材料，フッ化ケイ酸塩ガラス（ＦＳＧ），有機ケイ酸塩ガラス（ＯＳＧ），フッ素をドープした酸化シリコン，スピンオンガラス，シルセスキオキサン（silsesquioxane），ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）基ポリマー誘電体，および低ｋ誘電体を含有するあらゆるシリコンのような誘電体で構成してもよい。低ｋ誘電体層１０４，１０８は、約100〜3000Å（オングストローム＝1010ｍ）の厚さと、100〜5000Åの厚さで、各々形成される。応力調整層１０６は、約200〜1000Åの厚さで形成され、それにより約50〜550ＭＰａの圧縮応力を生じる結果、その上部と下部に存在する低ｋ誘電体層（低ｋ誘電体層１０４，１０８を参照）が提供する引張り応力を調整する。この結果、図１に示す複合膜１１０のそり或いは変形を防止し、更には、この複合膜１１０における亀裂，剥がれ，或いは空洞の形成を低減することができる。応力調整層１０６は、酸化物，オキシナイトライド，炭化シリコン，ナイトライド，酸素を含有する炭化シリコン（ＳｉａＣｂＯｃ），窒素を含有する炭化シリコン（ＳｉｘＣｙＮＺ）のような誘電体で構成してもよい。ここで、上記ａ，ｂ，ｃ，ｘ，ｙ，ｚは、約0.8〜1.2，0.8〜1.2，0〜0.8，0.8〜1.2，0.8〜1.2，0〜0.6の値で各々形成される。好ましくは、応力調整層１０６は、酸素を含有する炭化シリコン（ＳｉａＣｂＯｃ），窒素を含有する炭化シリコン（ＳｉｘＣｙＮＺ），およびナイトライド（窒化物）で構成される。応力調整層１０６は、例えばプラズマ化学気相堆積（ＰＥＣＶＤ：plasma-enhanced chemical vapor deposition）法により形成可能であり、低ｋ誘電体層１０４と１０８の一方または両方の形成中に、その場（in-situ）で形成されるか、または堆積の追加により外部（ex-situ）で形成される。
【００１３】
図２において、例えば、下部ビア部１１２ａと上部トレンチ部１１２ｂを有するデュアルダマシン開口部のような開口部１１２が、トレンチとビアのどちらかが先に形成される既知のデュアルダマシンプロセスを利用して、低ｋ誘電体層１０４，１０８と応力調整層１０６とを貫通して形成される。開口部１１２の下部ビア部１１２ａは、下部に存在する導電部材１０２の一部を露出させる。
【００１４】
開口部１１２は、連続フォトリソグラフィとエッチングの各ステップにより形成され、エッチング手段が適切なエッチング化学反応を利用する時間モードエッチングであることにより、従来は複合誘電体層１１０と基板１００との間にあって、複合誘電体層１１０の低ｋ誘電体層１０８に配置されるエッチング停止層（ＥＳＬ）の利用を削減する。従って、複合層１１０としての全体的な誘電率の上昇が、防止可能である。
【００１５】
図３において、拡散バリア層１１４は、開口部１１２に適合して、且つ低ｋ誘電体層１０８上を覆って、形成される。拡散バリア層１１４は、チタン（Ｔｉ），タンタル（Ｔａ），窒化チタン（ＴｉＮ），窒化タンタル（ＴａＮ），或いはこれらを組み合わせたものなどの導電材料で構成される。通常、拡散バリア層１１４は、約20〜200Åの厚さで形成される。次いで、銅または銅合金のような導電材料からなる導電層１１６が、開口部１１２内と低ｋ誘電体層１０８上を覆って形成される。この導電層１１６は、導電材料として銅または銅合金をその内部で利用する場合、既知の電気化学メッキ（ＥＣＰ）により形成可能である。
【００１６】
図４において、拡散バリア層１１４の一部分と開口部１１２上を覆う導電層１１６は、その後に例えば化学的機械研磨法（ＣＭＰ）によって、平坦面での配線が残るように除去される。次に、さらに追加の導電キャップ１１８が、導電層１１６上を覆って選択的に形成され、上部からの密封が行われる。この導電キャップ１１８は、例えば無電解メッキ法により選択的に形成され、コバルト・タングステン（ＣｏＷ），コバルト・リン（ＣｏＰ），或いはコバルト・タングステン・リン（ＣｏＷＰ）などの導電材料で構成される。導電キャップ１１８は、約20〜200Åの厚さで形成可能である。こうして導電機構Ｓが形成されることで、導電機構Ｓを構成する例えば銅または銅合金などの導電材料から、近傍にある低ｋ誘電体層への望ましくない中間層のイオン拡散を、除去或いは防止することができる。調整した応力を有する配線構造は、このようにして、形成される。
【００１７】
次に、低ｋ誘電体層などの誘電体層１２０が、低ｋ誘電体層１０８および導電機構Ｓ上を覆って形成される。誘電体層１２０上に、さらに継続してプロセスが行われ、集積回路の製造が完了する。
【００１８】
代表的な実施例において、導電プラグと導電線と有する導電機構Ｓを備えたデュアルダマシン構造として、ここでの配線構造を説明する。デュアルダマシン構造にて形成される応力調整層１０６は、主として低ｋ誘電体層により提供される配線構造内の引張り応力を調整することができる。
【００１９】
さらに、応力調整層１０６の数と位置は変更が可能である。例えば、応力調整層１０６は、図４に示す以外のどの場所に配置してもよい。この応力調整層１０６は、図５に示すように、上部トレンチ部１１２ａを囲む低誘電率体層１０８に形成可能である。さらに、２以上の応力調整層（応力調整層１０６ａ〜１０６ｃを参照）を、図６に示すように、導電機構Ｓを囲むようにして、複合層１１０の種々の場所に形成することができる。
【００２０】
このように、配線構造に対するエッチング停止層を追加する必要が無いので、製造を容易にするためには、応力調整層１０６を、配線構造Ｓの最上部面または最下部面から離れた位置に形成するのが好ましい。
【００２１】
さらに、エッチング停止層を所望する場合には、開口部１１２のビア部１１２ａとトレンチ部１１２ｂの接合部から離れた位置に、応力調整層１０６を形成してもよく、それにより、こうしたエッチング停止層の形成位置が与えられる。
【００２２】
上記の代表的な実施例では、デュアルダマシン構造として配線構造を示されている。本発明は、ここでは簡単のために検討しなかったシングルダマシン構造にもまた適用可能であることは、当業者により理解されることである。
【００２３】
図４に示すように、応力を調整した配線構造の実施例を説明する。この配線構造は、導電部材を有する基板を含んでいる。内部に少なくとも１つの応力調整層を介在した複合低ｋ誘電体層が、基板の上部に存在している。複合低ｋ誘電率層に形成される導電機構は、少なくとも１つの応力調整層を貫通し、導電部材を電気的に接続する。
【００２４】
上記の代表的な実施例においては、圧縮応力を有する少なくとも１つの応力調整層を形成することにより、配線構造を構成する低ｋ誘電層により生じる引張り応力は調整され、低ｋ誘電体を利用する場合、配線構造の信頼性を向上しつつ、ダマシン構造に発生するような問題を防止することができる。
【００２５】
さらに、配線構造における導電機構Ｓの上部表面は、導電キャップ層により密封することができ、これにより配線構造のエレクトロ−マイグレーション（ＥＭ）性能のような各要因から配線構造を守りながら、エッチング停止層を使用する必要性を削減することができる。こうして、エッチング停止層を有しない配線構造が、簡単な製造工程と低コストを得ることができる。
【００２６】
本発明は、例を挙げて好ましい実施例に関して説明したが、本発明は、これらの実施例に限定されないことを、理解すべきである。これに対して、本発明は、種々の変形と同様の装置の範囲に及ぶことが、（当業者にとっては明らかなように）意図される。従って、添付の請求項の範囲は、このような変形と同様の装置を全て包含するように、広範な解釈を与えられるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の代表的な実施例に基づき、応力が調整された配線構造の製造中における基板の一部分を示す断面図である。
【図２】本発明の代表的な実施例に基づき、応力が調整された配線構造の製造中における基板の一部分を示す断面図である。
【図３】本発明の代表的な実施例に基づき、応力が調整された配線構造の製造中における基板の一部分を示す断面図である。
【図４】本発明の代表的な実施例に基づき、応力が調整された配線構造の製造中における基板の一部分を示す断面図である。
【図５】本発明の代表的な種々の実施例に基づき、応力が調整された配線構造の断面図である。
【図６】本発明の代表的な種々の実施例に基づき、応力が調整された配線構造の断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１００  基板
１０２  導電部材
１０４  低ｋ誘電体層（第１の低ｋ誘電体層）
１０６，１０６ａ，１０６ｂ，１０６ｃ  応力調整層
１０８  低ｋ誘電体層（第２の低ｋ誘電体層）
１１０  複合誘電体層
１１２  開口部
１１２ａ  ビア部
１１２ｂ  トレンチ部
１１８  導電キャップ
Ｓ  導電機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【外国語明細書】
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