(57)【要約】【課題】半導体素子の電極パッド上の金属突起と配線基板の配線パターンとの熱共晶による合金形成接続法において、接続信頼性が高く、ボイド発生不良や接続不良が発生しない半導体装置の製造方法とそれ用の接着剤を提供する。【解決手段】電極パッド２上に金属突起３を有する半導体素子１と、電極パッドに相対する配線パターン５を有する配線基板４との間に、微細フィラーを含むエポキシ樹脂系の接着剤６を介在させ、半導体素子上の金属突起と配線基板上の配線パターンを位置合せした後、加熱加圧７し、金属突起と配線パターンを共晶合金形成により電気的接続を得るとともに、接着剤を硬化６′させて、半導体素子と配線基板とを固定する半導体装置の製造方法である。【選択図】図１
2006237653.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極パッド上に金属突起を有する半導体素子と、電極パッドに相対する配線パターンを有する配線基板との間に、シリカ粉を含み４１８℃における硬化時間が１〜１０秒であるエポキシ樹脂系の接着剤を介在させ、半導体素子上の金属突起と配線基板上の配線パターンを位置合せした後、４００〜４１８℃で加熱加圧し、金属突起と配線パターンを共晶合金形成により電気的接続を得るとともに、接着剤を光もしくは熱により硬化させて、半導体素子と配線基板とを固定することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
シリカ粉が、平均粒径０．１〜５．０μｍであって、接着剤中に０．１〜４０重量％含まれる請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の半導体装置の製造方法に適合して使用されるエポキシ樹脂系接着剤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子の電極パツドと配線基板とを簡便に接続する半導体装置の製造方法、およびそれに使用される接着剤に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体素子を多数個用いるデバイス、機器の開発が促進されてきている。例えば、メモリーカード、液晶やＥＬのディスプレイパネル等が有り、これらはいずれも多数個のＩＣ、ＬＳＩを一定の面積を有する基板に、高密度にしかも薄型に搭載しなければならない。ＩＣ、ＬＳＩの実装手段としては熱圧接接続によるフリップチップ方式が公知である（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
しかしながら、熱圧接接続法には以下のような問題がある。
【０００４】
前記熱圧接接続によるフリップチップ方式は、半導体素子の電極パッド上に金属突起を形成し、配線基板上の配線パターンと半導体素子の金属突起を位置合せをし加熱して、光もしくは熱により接着樹脂を硬化させて、圧接のみにより金属突起と配線パターンの電気的接続を得るものである。したがって、熱圧接接続によるフリップチップ方式は、電気的接続を圧接のみにより行うため電極突起と配線パターンが固定されておらず、外部からの熱や機械的歪により配線基板に膨張や反りが発生して、接続部や半導体素子自体の剥離が発生しやすかった。
【０００５】
熱圧接接続より接続信頼性の高い方法として、電極パッド上の金属突起と配線パターンとを熱共晶による合金形成を行う方法がある（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
しかしながら、この熱共晶による合金形成接続法では、２８０〜４１８℃の温度範囲で共晶合金が形成されて金属突起と配線パターンの電気的接続がなされるが、接着剤樹脂はその熱共晶温度領域である２８０〜４１８℃において硬化が速すぎることにより、接続不良やボイドが発生するという問題があった。
【特許文献１】特開昭６０−２６２４３０号公報
【特許文献２】特開２０００−１００８６２公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、このような従来の問題点を鑑み、半導体素子の電極パッド上の金属突起と配線基板の配線パターンとの熱共晶による合金形成接続法において、接続信頼性が高く、ボイド発生不良や樹脂硬化による接続不良が発生しない接続方法を可能にする半導体装置の製造方法とそれに使用する接着剤を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、半導体素子の電極パッド上の金属突起と配線基板の配線パターンとの熱共晶合金形成接続法において、接着剤に用いる樹脂組成物中に適量の微細フィラーを入れることによって上記問題を解決することを見いだした。また、さらに該樹脂組成物の硬化特性を最適化させることにより、ボイド発生不良などをなくすことができるということを見いだした。
【０００９】
即ち、本発明の半導体装置の製造方法は、
電極パッド上に金属突起を有する半導体素子と、電極パッドに相対する配線パターンを有する配線基板との間に、微細フィラーを含むエポキシ樹脂系の接着剤を介在させ、半導体素子上の金属突起と配線基板上の配線パターンを位置合せした後、加熱加圧し、金属突起と配線パターンを共晶合金形成により電気的接続を得るとともに、接着剤を光もしくは熱により硬化させて、半導体素子と配線基板とを固定することを特徴とし、また本発明の接着剤は上記半導体装置の製造方法に適合して使用されるエポキシ樹脂系の接着剤である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、半導体素子の金属突起と配線基板の配線パターンとの電気的接続は熱共晶合金接続、半導体素子と配線基板との固定が接着樹脂で行われる製造方法において、微細フィラー入り接着剤を用いることによって、接着樹脂中にボイドがなく、高い信頼性を有する電気的接続を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
まず接着剤について具体的に説明すると、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル株式会社製；エピコート８１８）９０ｇ、ジシアンジアミド１ｇ、ニッケル粉（福田金属製；平均粒径０．４μｍ）０．５ｇをロール混合し、接着剤組成物を得た。さらに、相当量のイミダゾール（四国化成社製；２ＭＺ）を加えて、４１８℃での硬化時間が０．５秒、２秒、１０秒、２０秒となるように接着剤をそれぞれ作製した。硬化時間は、測定温度のホットプレート上に接着剤組成物を０．２５ｇのせ、テフロン（登録商標）製ミニスパチュラでかきまぜ、糸引きがなくなった時間を測定する。
【００１２】
接着剤に使用するエポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤などの配合原料は、エポキシ樹脂接着剤一般に使用されるものが制限なく使用できる。
【００１３】
次に、電子部品の製造にかかる実施例を、図１と表１〜３を用いて説明する。図１において、１は半導体素子、４は配線基板である。半導体素子１の電極パッド２として、Ｃｒ−Ｃｕ、Ｔｉ−Ｐｄ等の多層金属膜を被着せしめ、該電極パッド２上に電解メッキ法により金属突起３を形成する。金属突起３は、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、半田等の材料で３〜３０μｍの厚さに構成される。
【００１４】
一方、配線基板４は、ガラス板、セラミック板、樹脂板、金属酸化物を表面に被覆した金属板等で構成され、その表面において、少なくとも半導体素子１の金属突起３と対応した位置に配線パターン５を形成してある。配線パターン５は、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、ＩＴＯ等を母体にし、酸化しやすい材質例えば、Ｃｕであれば、Ａｕメッキ、Ｓｎメッキ、半田メッキ等の処理を施してある。
【００１５】
上記配線基板４面上か若しくは半導体素子１の金属突起３を形成した面上に、前記配合で作成した接着剤７を塗布載置する（図１）。このとき、接着剤の代わりに接着シートを用いてもよい。なお樹脂組成物は、熱硬化でなく、光硬化によるものでもよい。
【００１６】
次に、半導体素子１上の金属突起３と配線基板４上の配線パターン５とを、図１のごとく位置合せし、両者を加圧７せしめ、熱共晶温度範囲で加熱する。この加圧７により、樹脂６は半導体素子１の金属突起３側の全面に押し拡げられ、かつ、前記金属突起３と配線パターン５とはその加熱により熱共晶合金を作り、電気的接続を得る。この工程で、押し拡げられた樹脂６は、熱共晶温度範囲の熱もしくは光が加えられて、硬化樹脂６′となり、硬化樹脂６′により半導体素子１と配線基板４とは金属突起３と配線パターン６との電気的導通を継続したまま固定されることになる。
【００１７】
即ち、半導体素子１の金属突起３と配線基板４上の配線パターン５との電気的接続は熱共晶合金で行われ、半導体素子１と配線基板４との固定は硬化した樹脂６′によってなされるものである。このとき、微細フィラーが樹脂６中に存在することにより、ボイドがなく信頼性の高い接続を得ることができる。更にニッケル粉を使用した場合には、ニッケル粉によって、硬化樹脂６′の電極パッド２へのアンカー効果が得られ、信頼性の高い半導体装置を得ることができるのである。なお、微細フィラーとしては、エポキシ樹脂組成物用一般のフィラーが使用でき、２種類以上の微細フィラーを配合することも差支えない。
【００１８】
シリカ粉の配合量は、０．１〜４０重量％が好ましい。０．１重量％未満ではボイド低減に十分な効果がなく、４０重量％を超えると電極突起と配線パターン間の接続が十分でなくなる。
【００１９】
ニッケル粉の配合量は、０．１〜３０重量％が好ましい。０．１重量％未満ではボイド低減に十分な効果がなく、３０重量％を超えると隣接電極間の絶縁性が十分でなくなる。
【００２０】
本発明は、半導体素子１上の金属突起３と配線基板４の配線パターン５との熱共晶合金による接続において、半導体素子１と配線基板４の間に介在せしめる接着剤樹脂組成物に微細フィラーを添加した接着剤を使用することにより、高い接続信頼性を得ることができ、また、ボイドの発生を抑制できるものである。接続信頼性結果およびボイド評価結果を表１、表２に示す。
【００２１】
【表１】
2006237653.tif 000003
○印…１００％接続、△印…８０％接続、×印…５０％以下接続。
【００２２】
Ａｕメバンブ付きＩＣチップをＳｎメッキ回路パターン上に上記温度にて接合した後、接合部分の導通確認を行った。
【００２３】
【表２】
2006237653.tif 000004
○印…ボイドなし、△印…小さなボイド発生、×印…大きなボイド発生。
【００２４】
Ａｕメバンブ付きＩＣチップをＳｎメッキ回路パターン上に上記温度にて接合した後、ボイドの目視確認を行った。
【００２５】
また、接着剤組成物の樹脂の硬化時間は、３００℃〜４１８℃における硬化時間が１〜１５秒であることが好ましい。共晶接続では、３００〜４１８℃の温度範囲が用いられている。各共晶接続温度において樹脂硬化時間が１秒未満と速い場合、半導体素子の電極と配線基板の配線パターンが触れる前に樹脂が硬化してしまうため接続不良となる。また、硬化時間が１５秒を超えて遅い場合、反応熱量が小さくなりすぎることとなり、樹脂が硬化しなくなり、半導体素子と配線基板の固定が不可能となる。この硬化時間範囲を反応熱量で示すと４０〜５００ｍＪ／ｍｇとなる。その結果を表３に示す。
【００２６】
【表３】
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○印…１００％接続、△印…８０％接続、×印…５０％以下接続。
【００２７】
Ａｕメバンブ付きＩＣチップをＳｎメッキ回路パターン上に上記温度にて接合した後に、熱共晶合金層の目視確認を行った。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施例における接着剤を使用した半導体装置の断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１ 半導体素子
２ 電極パッド
３ 金属突起
４ 配線基板
５ 配線パターン
６（６′） 接着剤（硬化接着剤）
７ 加圧
【図１】
2006237653.tif 000006