(57)【要約】      （修正有）【課題】ＦＯＵＰオープナ自体をミニエンから取り外さずに、ポートドア正面からポートドア内部にアクセスすることのできるポートドア構造を有するＦＯＵＰオープナを提供する。【解決手段】ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドアと、前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させ、前記ＦＯＵＰの開口を処理装置との中継空間に露出させるポートドア移動手段と、を備え、前記ポートドアは、前記着脱機構が配置されるメイン構造体２３１とこのメイン構造体２３１をカバーするための表面パネル２３３とを有し、この表面パネル２３３は前記ＦＯＵＰオープナ正面から着脱可能なようになっている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＦＯＵＰが載置され、このＦＯＵＰのＦＯＵＰドアを着脱し、ＦＯＵＰ内部にアクセスすることができるようにするためのＦＯＵＰオープナであって、
前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドアと、
前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させて開放するポートドア移動手段と、を備え、
前記ポートドアは、前記着脱機構が配置されるメイン構造体とこのメイン構造体をカバーするための表面パネルとを有し、この表面パネルは前記ＦＯＵＰオープナ正面から着脱可能となっていることを特徴とするＦＯＵＰオープナ。
【請求項２】
前記表面パネルには、前記着脱機構の一部を構成するラッチキーを通し、かつ、これに干渉しない程度の大きさのラッチキー孔が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項３】
前記メイン構造体には、前記ポートドア背面から前記着脱機構の一部を構成するラッチキーにアクセスしてラッチキーを解除するためのアクセス孔が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項４】
前記メイン構造体には、前記メイン構造体裏面を塞ぐように背面パネルが設置され、この背面パネルには前記アクセス孔と連通する位置に開口が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項５】
前記背面パネルに設けられた前記開口は、取り外し可能なシール部材によって塞がれることを特徴とする請求項４に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項６】
前記表面パネルには、前記着脱機構の一部を構成するＦＯＵＰドア吸着パッドを通し、かつ、これに干渉しない程度の大きさの吸着パッド孔が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項７】
前記ラッチキーは、前記表面パネルにおける前記ラッチキー孔を遮蔽するための蓋部材を備えることを特徴とする請求項２に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項８】
前記メイン構造体は、前記表面パネルにおける前記吸着パッド孔を遮蔽するためのシールフレーム構造を備えることを特徴とする請求項６に記載のＦＯＵＰオープナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、いわゆるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）オープナに関し、より詳しくは、ウエハハンドリングロボット等が収容され、半導体処理装置へＦＯＵＰ内のウエハを受渡しする中継空間であるミニエンバイロメント（ミニエン）からＦＯＵＰオープナ本体を取り外さずにメンテナンスやトラブルに対応できるようなポートドアの構造を有するＦＯＵＰオープナに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＦＯＵＰオープナ内部で発生したトラブルに対処したり、その部品を交換する等のメンテナンスをする場合には、ポートドア内部へアクセスしなければならない。
【０００３】
従来のＦＯＵＰオープナにおいては、オープナ内部にアクセスする場合には、構造上ＦＯＵＰオープナ自体をミニエンから取り外して行う、またはＦＯＵＰオープナを取り外さない場合はミニエン内に入るのが一般である（特許文献１）。
【０００４】
なお、特許文献１で開示されているようなＦＯＵＰオープナにおける従来のポートドア１００の構造は、図１に示されるように、プレス加工により作成されたポートドア正面部材１０１、裏面パネル１０２（板金パネル）で構成されている。そして、このポートドア正面部材１０１にはラッチキー（図示せず）が取り付けられ、キー部分が突出するラッチキー孔１０３が設けられている。
【特許文献１】特開平１１−２２０００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のポートドア１００においては、ポートドア１００内部にアクセスする場合、ポートドア正面からは不可能である。つまり、これは、ポートドア正面部材１０１を取り外そうとしても、ラッチキーがラッチキー孔１０３と、また、吸着パッド２４と吸着保持のための真空配管孔が干渉してしまうため、ポートドア正面部材１０１をＦＯＵＰオープナ１００から取り外すことができないからである。ただ、単純にラッチキー孔１０３、真空配管孔を大きくすればよいというわけではなく、孔を大きくした場合には、ポートドア内部からの塵が流出し、ミニエンに侵入するのを防ぐため、孔を裏側から塞ぐような構造を採らなければならない。特に、プレス加工ではそのような構造を作成するのは非常に困難であり、仮に可能であったとしても非常にコスト高につながってしまう。
【０００６】
そして、従来のポートドア１００内部の駆動機構等の不具合に対応したり、メンテナンスをする場合には、特許文献１のようにＦＯＵＰオープナ自体をミニエンから一端取り出して、裏面パネル１０２を取り出してから行わなければならない。この作業は非常に重労働であり、また、ＦＯＵＰオープナ自体をミニエンから取り出すと、ミニエンには大きな開口が生じてしまい、そのクリーンな内部環境が汚染に晒されてしまう。また、ＦＯＵＰオープナを取り外さない場合もミニエン内に人が入ることになり、同様にそのクリーンな内部環境が汚染してしまう。処理後再びＦＯＵＰオープナをミニエンに装着したとしても、ミニエン内をクリーンな環境に戻すためにはある程度の時間を要するものである。さらに、ＦＯＵＰオープナをミニエンに取り付けた後は、位置の再現を行う調整も必要となる。
【０００７】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、ＦＯＵＰオープナ自体をミニエンから取り外さずに、ポートドア正面からポートドア内部にアクセスすることのできるポートドア構造を有するＦＯＵＰオープナを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の問題を解決するために、本発明によるＦＯＵＰオープナは、ＦＯＵＰが載置され、このＦＯＵＰのＦＯＵＰドアを着脱し、ＦＯＵＰ内部にアクセスすることができるようにするためのＦＯＵＰオープナであって、前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドアと、前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させ、前記ＦＯＵＰの開口を処理装置との中継空間に露出させるポートドア移動手段と、を備え、前記ポートドアは、前記着脱機構が配置されるメイン構造体とこのメイン構造体をカバーするための表面パネルとを有し、この表面パネルは前記ＦＯＵＰオープナ正面から着脱可能なようになっていることを特徴とする。
【０００９】
前記表面パネルには、前記着脱機構の一部を構成するラッチキーを通し、かつ、これに干渉しない程度の大きさのラッチキー孔が設けられている。
【００１０】
また、前記メイン構造体には、前記ポートドア背面から前記着脱機構のラッチキーにアクセスしてラッチキーを解除するためのアクセス孔が設けられている。
【００１１】
また、前記着脱機構の一部を構成するラッチキーの部分は、前記アクセス孔を塞ぐように設置される。
【００１２】
さらに、前記ポートドアは前記メイン構造体を背面からカバーする背面パネルを備え、前記背面パネルには、前記メイン構造体に設けられた前記アクセス孔に対応する位置に背面から前記着脱機構のラッチキーにアクセスするためのアクセス孔が設けられている。
【００１３】
そして、前記メイン構造体の裏面に、前記ＦＯＵＰドアの保持機構にエアを供給するためのエア配管と各種電気配線を配置している。
【００１４】
また、前記メイン構造体の表面外縁には封止用の隆起部が設けられ、前記ポートドアが前記ＦＯＵＰドアを保持しているときには、前記メイン構造体と前記ＦＯＵＰドアとの間に空間が形成される。
【００１５】
さらなる本発明の特徴は、以下本発明を実施するための最良の形態および添付図面によって明らかになるものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のＦＯＵＰオープナによれば、ポートドアの構造として、着脱可能な表面パネルを設けたので、ＦＯＵＰオープナ自体をミニエンから取り外さずに、ポートドア正面からポートドア内部にアクセスすることのできるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
【００１８】
＜ＦＯＵＰオープナの全体構成＞
図２は、本実施形態に係るＦＯＵＰオープナ１の全体構成を示す図である。図２に示されるように、本実施形態におけるＦＯＵＰオープナ１は、内部に半導体ウェハ１４を所定の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯＵＰ１０と、該ＦＯＵＰ１０を載置して位置決めするドックプレート３１と、該ドックプレート３１をＦＯＵＰ１０のドア（ＦＯＵＰドア）１３が着脱される位置まで移動させるドック移動機構３０と、ＦＯＵＰドア１３を着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドア２３と、該ポートドア２３により閉塞される開口部２２を有するポートプレート２１と、ポートドア２３を水平に移動させるポートドア進退機構４０と、ＦＯＵＰ内収納ウェハ１４の有無や収納状態、収納位置等を検出するマッピングセンサ７０を上部に取り付けたセンサ取付部材６２を水平に移動させるセンサ進退機構６０と、ＦＯＵＰドア１３をフロントエンド（ミニエン２００ ）に格納するために、ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持した状態で、ポートドア２３とマッピングセンサ７０とを垂直に移動させるポートドア・センサ昇降機構５０とを備えている。
【００１９】
ＦＯＵＰ１０は、ＦＯＵＰ１０の本体をなすＦＯＵＰフレーム１１の前面開口部１２がＦＯＵＰドア１３により閉塞されることにより、密閉容器として構成されている。ポートプレート２１とポートドア２３とは、フロントエンドのＦＯＵＰ供給側壁体の一部をなしていて、クリーンルームとして構成されてウェハ転送空間をなすミニエン２００ と外部雰囲気とを隔絶する。センサ取付部材６２は、詳細には図示されないが、矩形状の枠体からなり、ポートドア２３をわずかの間隔を置いて囲んでいる。
【００２０】
ポートドア進退機構４０は、ポートドア２３の下方延設部４２の下端から直角に延設されたアーム部４４が、後述するポートドア・センサ昇降機構５０の昇降基部材５１の上面側にリニアガイド４１に沿って摺動自在に設けられており、その先端部がポートドア進退機構駆動用モータ４３の出力軸に結合されて、該モータ４３によって水平方向（図１において左右方向）に進退駆動される。このアーム部４４は、ポートプレート２１の開口部２２の下方部に設けられた細長い長孔状の案内溝５２に挿通されていて、この案内溝５２内を左右・上下に移動する。
【００２１】
センサ進退機構６０は、センサ取付部材６２の下端から直角に延設されたアーム部６４が、後述するポートドア・センサ昇降機構５０の昇降基部材５１の下面側にリニアガイド６１に沿って摺動自在に設けられており、その先端部がセンサ進退機構駆動用モータ６３に結合されて、該モータ６３によって水平方向に進退駆動される。このアーム部６４は、アーム部４４と同様に、案内溝５２に挿通されていて、アーム部４４よりも下方にあって、この案内溝５２内を左右・上下に移動する。
【００２２】
昇降基部材５１、アーム部４４、アーム部６４は、詳細には図示されないが、ポートプレート２１の左右（図２において紙面の向こう側と手前側）側縁寄りにそれぞれ左右一対設けられていて、左右の昇降基部材５１、５１は、左右に長い板状の連結部材５５により連結されて一体化されている。この連結部材５５の左右方向中央部には、ネジ軸５４と螺合し合うボールナットを収容したナット収容部が形成されている。したがって、いま、ネジ軸５４がサーボモータ５３により回転させられると、該ネジ軸５４と螺合し合うボールナットを収容したナット収容部を一体に有する連結部材５５が昇降動する。そして、この連結部材５５の昇降動により、左右一対の昇降基部材５１、５１、同アーム部４４、４４、同アーム部６４、６４を介して、ポートドア２３とセンサ取付部材６２とが一緒になって昇降動する。
【００２３】
ポートドア進退機構駆動用モータ４３は、右方の昇降基部材５１の上面に固設されており、センサ進退機構駆動用モータ６３は、左方の昇降基部材５１の下面に固設されている。このように、ポートドア進退機構駆動用モータ４３とセンサ進退機構駆動用モータ６３とを左右に振り分けて設置することにより、連結部材５５、左右一対の昇降基部材５１、５１、両モータ４３、６３からなる一体組立体の左右重量バランスが図られている。しかしながら、これら両モータ４３、６３は、左右いずれかの昇降基部材５１の上下面にそれぞれ固設されてもよい。
【００２４】
サーボモータ５３、ネジ軸５４、ナット収容部を一体に有する連結部材５５、昇降基部材５１、５１は、これらが全体としてポートドア・センサ昇降機構５０を構成している。このポートドア・センサ昇降機構５０は、図２に示されるように、ポートプレート２１を挟んで、ポートドア２３とセンサ取付部材６２とが配置されるクリーンルーム（第２制御空間２００ ）側とは反対の側に配置されており、同側に設けられた駆動部収容室８０内に収容されている。
【００２５】
ポートドア進退機構駆動用モータ４３とセンサ進退機構駆動用モータ６３とは、いずれも左右の昇降基部材５１、５１にそれぞれ固設されているので、これら両モータ４３、６３も、駆動部収容室８０内に収容されている。また、ポートドア進退機構４０のアーム部４４がリニアガイド４１に沿って摺動する部分、およびセンサ進退機構６０のアーム部６４がリニアガイド６１に沿って摺動する部分も、駆動部収容室８０内に収容されている。
【００２６】
したがって、ポートドア進退機構４０の駆動部（ポートドア進退機構駆動用モータ４３、リニアガイド４１からなる）、センサ進退機構６０の駆動部（センサ進退機構駆動用モータ６３、リニアガイド６１からなる）およびポートドア・センサ昇降機構の駆動部（サーボモータ５３、ネジ軸５４、ナット収容部を一体に有する連結部材５５、左右一対の昇降基部材５１、５１からなる）は、いずれもポートプレート２１を挟んで、ポートドア２３とセンサ取付部材６２とが配置されるミニエン（クリーンルーム）２００ 側とは反対の側に配置され、ミニエン（クリーンルーム）２００ から隔離されて、同側に設けられた駆動部収容室８０内に収容されていることになる。
【００２７】
駆動部収容室８０には、該駆動部収容室８０内の雰囲気を外部に排出するファン８１が設けられている。これにより、ポートドア進退機構４０の駆動部、センサ進退機構６０の駆動部およびポートドア・センサ昇降機構の駆動部から発生する塵埃は外部雰囲気３００ 中に排出されるので、ミニエン（クリーンルーム）２００ を汚染することがない。ファン８１は、駆動部収容室８０のできるだけ下方部の室壁に設置されるのがよい。
【００２８】
＜ＦＯＵＰドアの着脱動作＞
図３及び図４に示されるように、ポートドア２３に設けられるＦＯＵＰドア１３の着脱機構は、ＦＯＵＰドア１３をＦＯＵＰフレーム１１の前面開口部１２に着脱可能に装着するラッチ機構を作動させたり、解除したりするためのラッチキー２５をポートドア２３の正面視（図４参照）左右２個所に備えており、また、ポートドア２３に設けられるＦＯＵＰドア１３の保持機構は、真空源に連通する吸着パッド２４をポートドア２３の正面視（図４参照）左上と右下の２個所に備えている。ＦＯＵＰドア１３には、ラッチキー２５が挿入されるキー溝１５が形成されている。このキー溝１５は、ラッチ機構の操作端をなしている。
【００２９】
ポートドア２３に設けられるＦＯＵＰドア１３の保持機構について説明する。ポートドア２３が備えるＦＯＵＰドア保持機構は、真空源に連通する吸着パッド２４がＦＯＵＰドア１３の外壁面を吸着することにより、ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持することができるようにしたものである。ＦＯＵＰ内収納ウェハ１４を取り出して各種処理を施すためにＦＯＵＰ１０を開放するに際して、同じくポートドア２３に設けられるＦＯＵＰドア１３の着脱機構が作動して、ＦＯＵＰドア１３をＦＯＵＰフレーム１１の開口部１２に着脱可能に装着しているラッチ機構を解除すると、ＦＯＵＰドア１３がＦＯＵＰフレーム１１から離脱される。そうすると、次に、この保持機構が作動して、ＦＯＵＰドア１３がポートドア２３により保持される。
【００３０】
このようにしてＦＯＵＰドア１３がポートドア２３により保持されたとき、ＦＯＵＰドア１３の外壁面とポートドア２３のＦＯＵＰ装置側外表面との間に形成される空間９０は、ポートドア２３に設けられた封止手段２６により、ＦＯＵＰドア１３の外壁面の略全体の広がりにわたって封止される。
【００３１】
＜ポートドア２３の構造＞
図５及び図６はポートドア２３を分解した様子を示す図である。図５に示されるように、ポートドア２３は主として、メイン構造体２３１、及び背面パネル２３２及び表面パネル２３３で構成され、これらを貼り合わせた構造となっている。また、図６は、メイン構造体２３１の裏面と背面パネル２３２の関係を示している。
【００３２】
図５を参照して説明すると、メイン構造体２３１には、アクセス孔２３５ａが設けられている。また、図６に示されるように、背面パネル２３２にもアクセス孔（開口）２３５ｂが設けられている。アクセス孔２３５ｂは、アクセス孔２３５ｂよりも小さい開口である。それぞれのアクセス孔２３５ａ及び２３５ｂは、メイン構造体２３１と背面パネル２３２とが貼り合わされた場合、それぞれ同じ場所に位置するようになっている。そして、メイン構造体２３１と背面パネル２３２が貼り合わされた場合でも、両アクセス孔は貫通する孔となり、アクセス孔２３５ｂからラッチキー解除機構に所定のツールでアクセス可能なようになっている。
【００３３】
例えば、ＦＯＵＰドア１３を保持したままポートドア２３が何らかのトラブルで停止した場合は、まず、ＦＯＵＰドア１３の保持を強制的に解除する必要がある。前記メイン構造体２３１及び背面パネル２３２に設けられたアクセス孔２３５ａ及び２３５ｂはこのような事態に対応するためである。メイン構造体２３１に設けられたアクセス孔２３５ａはラッチキーを操作するウォームギア２４０に取り付けられたナットへ通じるように設けてある。もし、ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持したまま停止してしまった場合は、一旦、装置の電源を落とし、前記アクセス孔２３５ａ、２３５ｂを通じ、装置背面側つまりミニエン２００側から作業者が所定のツールで前記ナットを強制的に回転させる。ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持している間は、ラッチキーは相互に係合している状態なので、前記ナットを回転し強制的に解除させ、ＦＯＵＰドア１３の保持を解放する。その後、表面パネル２３２を装置正面側から取外し、対応する。尚、背面パネルに設けられたアクセス孔２３５ｂには通常、アクセス孔２３５ｂをカバーするシール２３９を設けておき、上記のトラブル時にそのシールを外して対応するようにしておく。こうすることによりミニエン２００内に塵が進入することを防止している。
【００３４】
また、メイン構造体２３１には、吸着パッド２４ａ及び２４ｂが設けられている。この吸着パッド２４ａ及び２４ｂは、メイン構造体２３１の裏面（背面パネル２３２で覆われる面）に設けれられたエアー溝２３８に配置されるエアー配管によるエアーの吸引動作によって、機能するものである。さらに、この吸着パッド２４ａ及び２４ｂを貫通する吸着パッド用孔２３６ａ及び２３６ｂ部分は周縁部が隆起しており、シール効果を発揮できるようにしている。このようにメイン構造体２３１の形状に凹凸をもたせ、表面パネル２３３の各孔に位置する部分周縁部を隆起させることによりシール部材が不要となるので、部品点数が増えることもない。
【００３５】
メイン構造体２３１に取り付けられる表面パネル２３３は、メイン構造体２３１に収容されるラッチ機構２３４等をカバーするものであるが、そこには吸着パッド２４ａ及び２４ｂを表面パネル２３３から露出させるための吸着パッド用孔２３６ａ及び２３６ｂ、ラッチキー２５ａ及び２５ｂを表面パネル２３３から露出させるためのラッチキー孔２３７ａ及び２３７ｂが設けられている。
【００３６】
ラッチキー孔については、図１に示される従来のポートドアにも設けられている（図１の１０３参照）が、本実施形態に係るポートドア２３のラッチキー用孔２３７ａ及び２３７ｂは、従来よりも径が大きい。つまり、従来のラッチキー孔１０３はそこからミニエン内に塵が入り込まないようになるべく小さく設定されるため、ポートドア正面部材１０１を取り外そうにも、ラッチキーとポートドア正面部材１０１が干渉して（ラッチキーがラッチキー孔１０３に引っ掛って）取り外すことができない（図１参照）。同様に吸着パッド２４ａ、２４ｂと吸引孔（番号無し）にしても同様の問題があった。一方、本実施形態では、ラッチキー孔２３７ａ及び２３７ｂはラッチキー２５ａ及び２５ｂと干渉せず、さらに２４ａ及び２４ｂは吸着パッド用孔２３６ａ及び２３６ｂと干渉しない程度に充分大きい径を有しているので、表面パネル２３３を容易にメイン構造体２３１から取り外すことができる。従って、ＦＯＵＰが載置されていない状態では、ＦＯＵＰオープナー１をミニエン２００から取り外すことなく、単に表面パネル２３３を取り外すだけで、トラブルの対応や掃除、部品交換等のメンテナンスに簡単に対処することができる。そのため、ポートドア正面（メイン構造体２３１）が外気に晒されるが、塵がミニエンに侵入することはほとんどない。
【００３７】
また、たとえ故障等が原因で（発生頻度としては少ないが）ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持したまま停止してしまった場合、ＦＯＵＰオープナ１をミニエン２００から取り外さずに、ポートドア２３の背面側のアクセス孔２３５からラッチキー２５ａ及び２５ｂの強制解除を行い、ＦＯＵＰドア１３の保持を解放することができる。この場合には作業者が一旦、ミニエン内に入り、上記の手順でＦＯＵＰドア解除を行うが、ＦＯＵＰドア１３の保持を解除するだけの操作が行われるだけなので、再度クリーン度を回復するまでにそれ程時間を必要とせず、また、ＦＯＵＰオープナ１再設置のための位置調整の手間を必要としないという利点がある。
【００３８】
上述のように表面パネル２３３に比較的大きな開口を設けてしまうと、そこから塵が侵入する危険性がある。そこで、本実施形態では、図５に示されるように、ラッチキー２５ａ及び２５ｂ先端部には、ラッチキー孔２３７ａ及び２３７ｂを遮蔽し、そこからの塵侵入を防ぐための蓋部材（スペーサ）２５１が設けられている。この蓋部材２５１は、縁部２５２を有している。
【００３９】
図８は、このような表面パネル２３３のラッチキー孔２３７ａ及び２３７ｂとラッチキーとの関係を説明するための断面図である。図８に示されるように、ラッチキー２５ａ（２５ｂ）はラッチキー孔２３７ａ（２３７ｂ）を干渉無く通過することができるようになっている。また、表面パネル２３３がメイン構造体２３１に取り付けられているときには、蓋部材２５１の縁部２５２がラッチキー孔２３７ａ（２３７ｂ）をしっかりとシールする。よって、表面パネル２３３に従来に比べて大きな孔を設けたとしても孔から塵等が侵入する危険性を非常に少なくすることができるようになっている。
【００４０】
また、メイン構造体２３１は、ＦＯＵＰドアを吸着するための吸着パッドを収容する部分の構造として、吸着パッド用孔２３６ａ及び２３６ｂを遮蔽し、そこからの塵侵入を防ぐためのフレーム構造２４１を備えている。このような構造にすることにより、たとえ表面パネル２３３に従来より大きな開口が設けられていたとしても、塵による影響をほとんど無くすことができる。
【００４１】
表面パネル２３３は、ＦＯＵＰドア１３の外周とほぼ同等の大きさであり、メイン構造体２３１に平ボルトを用いてその四隅が締結されている。締結用に平ボルトを用いているので、締結後表面パネルからボルトヘッドが突出することないので、ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持する際にも、ボルトヘッドがＦＯＵＰドア１３に衝突することもない。従って、衝突による塵を発生させることもほとんどなく、これが原因で故障が発生する危険性も最小限に抑えることができる。
【００４２】
なお、メイン構造体２３１は、表面パネル２３３を取り囲むメイン構造体２３１の外縁部を表面パネル２３３よりも僅かに高く隆起する構造（封止手段２６）を有している（図７参照）。そして、この封止手段２６を設けたことにより、ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持するために合致したときに表面パネル２３３とＦＯＵＰドア１３との間に隙間９０ができる。従って、ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持している際に、ドア同士の全面がぴったりとくっ付くことがなく、保持開始時の衝突面も最小面積に抑えることができるので、衝突による塵発生も最小限に抑えることができると共に、たとえ衝突による塵が発生しても空間９０が密封されているので、その塵がミニエン２００に入り、ミニエンのクリーンな環境が害されることもない。
【００４３】
また、メイン構造体２３１の裏面には、エア配管が配置されるエア溝２３８が設けられ、背面パネル２３２がエア配管からのエア漏れを防止するするためのシール材としての機能を有し、エア溝２３８を覆うようになっている。また、メイン構造体２３１と背面パネル２３２との間の空間には、図示しない配線等が収容されている。
【００４４】
以上のような構造を有するポートドア２３の構造体は、従来のプレス加工によるものよりも複雑である。しかし、例えばダイキャスト加工によりこれらの構造体を作製することにより、複雑な構造にも容易にかつ比較的安価に対応することができる。したがって、表面パネル２３３に設けられた大きな開口を裏側から防ぐような構造も容易に形成可能である。
【００４５】
＜実施形態の効果＞
以上のような構成を有する実施形態に記載のＦＯＵＰオープナ１によれば、ポートドア２３の構造体の１つとして着脱可能な表面パネル２３３を用いているので、ラッチキー２５等のグリース補填、ＦＯＵＰドア１３の吸着保持のための吸引機構等の部品交換といったメンテナンスの他、故障や不具合にも、ＦＯＵＰオープナ１自体をミニエン２００から取り出すことなく、表面パネル２３３を取り外すだけで対処することができる。なお、故障や不具合の多くは、メイン構造体２３１表面の何れかの個所やそれに支持されている部品等で発生するため、表面パネル２３３を着脱可能にしたことは有効であり、作業者の手間を大幅に軽減することができるのである。
【００４６】
また、ＦＯＵＰ１１を保持したまま故障等で動作停止したとしても、ポートドア２３に背面側からのアクセス孔を設けているので、ポートドア２３の背面側からアクセスしてＦＯＵＰドア１３の保持を容易に解除することができる。この解除するための時間は非常に短くて済むので、ＦＯＵＰオープナ１を取り外すことなく作業者がミニエン２００内へ入る時間も短くて済む。よって、ミニエン２００内の環境汚染を最小限に抑えつつ、トラブルに適切に対処することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】従来のポートドアを分解した構造を示す図である。
【図２】本実施形態に係る、ＦＯＵＰが取り付けられたＦＯＵＰオープナの外観構成を示す図である。
【図３】ＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドアを開放した直後の概略部分縦断図である。
【図４】ＦＯＵＰオープナを構成するポートドアの正面を示す図である。
【図５】本実施形態に係るポートドアを分解した構造を示す図である。
【図６】本実施形態に係るポートドアのメイン構造体の構成を示す図である。
【図７】ポートドアがＦＯＵＰドアを保持したときの様子を示す図である。
【図８】表面パネルとラッチキーとの関係を示す断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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