(57)【要約】【課題】直線性に優れ、精度良く配置された直線状貫通孔を有するフッ素樹脂シートの製造方法及びフッ素樹脂シートを提供することを課題とする。【解決手段】１ｍｍ未満の内径で、且つ、１ｍｍ以上の外径を有する肉厚のＰＴＦＥ樹脂チューブ３を、ＰＴＦＥ樹脂シート２に予め設けられた、チューブの外径より大きい直径の孔２ａに挿入した後、ＰＴＦＥ樹脂の融点以上の温度で焼成し、前記チューブ３と前記シート２を一体化することを特徴とする直線状貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シート６の製造方法。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１ｍｍ未満の内径で、且つ、１ｍｍ以上の外径を有する肉厚のＰＴＦＥ樹脂チューブを、ＰＴＦＥ樹脂シートに予め設けられた、チューブの外径より大きい直径の孔に挿入した後、ＰＴＦＥ樹脂の融点以上の温度で焼成し、前記チューブと前記シートを一体化することを特徴とする直線状貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シートの製造方法。
【請求項２】
前記ＰＴＦＥ樹脂チューブ及び前記ＰＴＦＥ樹脂シートの少なくともいずれか一方が、変性ＰＴＦＥ樹脂であることを特徴とする請求項１記載の直線状貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シートの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２いずれか記載の方法により製造された、直径１ｍｍ未満の径を有する直線状貫通孔が複数個形成されたＰＴＦＥ樹脂シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直線状貫通孔を有するフッ素樹脂シートの製造方法及びフッ素樹脂シートに関する。本発明のフッ素樹脂シートは、具体的には、高温の強酸、強アルカリ等の薬液中、あるいは、雰囲気中などの非常に過酷な環境で使用されるシャワー・ノズル、もしくは、気体噴射部品、並びに、クリーンな環境で使用される真空チャック盤面、もしくは、気体搬送装置部品などに、気体、あるいは液体の吹き出し口として使用される。
【背景技術】
【０００２】
従来、耐薬品性を必要とする半導体等の洗浄冶具用部品の一つとして、気体、あるいは液体の吹き出し口として耐薬品性に優れる直線状の貫通孔を備えたＰＴＦＥ樹脂シートが使用されている。また、揮発性物質を含有していないことから、クリーンな環境で使用される真空チャック盤面、気体搬送装置部品としても、主に気体を吸入、あるいは吹き出だすことで機能する素材として直線状の貫通孔を備えたＰＴＦＥ樹脂シートが使用されている。その場合、直線状の貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シートを得る方法として、従来、主として、以下の２つの方法が用いられている。即ち、
方法（１）：ＰＴＦＥ樹脂粉末を金型に充填して加圧成形した後、融点以上の温度で焼成してＰＴＦＥ樹脂シートを製作し、そのシートにドリル等による機械加工で貫通孔を形成する方法。  
方法（２）：上記ＰＴＦＥ樹脂シートを成形する際ＰＴＦＥ樹脂粉末を金型に充填する過程において、ＰＴＦＥ樹脂チューブをその成形粉末中に埋設した後に加圧成形し、融点以上の温度で焼成して貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シートを得る方法(特許文献１)。
【特許文献１】特開２００３−３３９７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、気体、あるいは、液体の吹き出し口、もしくは吸入口として使用される直線状の貫通孔の直径としては、通常、１ｍｍ未満であることが必要であり、前記方法（１）のドリル等による機械加工で貫通孔を開ける方法で、下記１）〜３）の問題点を有する。
【０００４】
１）ドリルの強度不足に起因して加工可能な孔の深さに限界があり、例えば、直径１ｍｍの孔を得ようとする場合、その深さは、５０ｍｍ程度が限界である。  
２）また、同じく、ドリルの強度不足に起因して、孔を開ける際にドリルの先端が踊り、孔径寸法や孔の直線性などが損なわれる結果を生じる。  
３）更に、直径１ｍｍ以下の細物ドリルは、特注品となり、ドリルの価格が高くなる。
【０００５】
一方、前記方法（２）のＰＴＦＥ樹脂チューブをＰＴＦＥ樹脂成形粉末中に埋設する方法では、下記１）〜６）の問題点を有する。  
１）ＰＴＦＥ樹脂粉末を金型に充填しながら細い孔を有するＰＴＦＥチューブを埋設するため、専用の金型が必要である。  
２）ＰＴＦＥ樹脂粉末にＰＴＦＥ樹脂チューブを埋設した状態で加圧成形するため、加圧時にＰＴＦＥ樹脂粉末の沈み込みが生じ、それに伴ってＰＴＦＥ樹脂チューブも移動する結果となり、孔の位置精度が低下する。
【０００６】
３）ＰＴＦＥ樹脂粉末とＰＴＦＥ樹脂チューブを金型に埋設した状態で加圧成形する際、チューブの潰れを回避するために通常のＰＴＦＥ樹脂シート成形時の成形庄よりも低い１０ＭＰａ程度の成形圧を採用しなければならない。従って、得られるＰＴＦＥ樹脂シートの圧縮強度は、通常のＰＴＦＥ樹脂シートに比較して小さいものとなる。  
４）多数のＰＴＦＥ樹脂チューブを埋設する場合、ＰＴＦＥ脂チューブの入れ忘れ等の不注意に起因するミスも起こり易い。このミスは、後工程では修正できないため、場合によっては、作り直しも必要となる。
【０００７】
５）多数のＰＴＦＥ樹脂チューブを埋設する場合、ＰＴＦＥ樹脂粉末の充填とその上にＰＴＦＥ樹脂チューブを並べて配置する作業を手作業で繰り返し行わなければならず、効率が悪く製造コストが高くなってしまう。また、この工程を自動化することは可能であるが、多大の設備費用を必要とする。加えて、この作業工程が手作業であることから、異物が混入する可能性が高い。
【０００８】
６）上記方法（２）では、ＰＴＦＥ樹脂粉末を金型に充填しながらＰＴＦＥ樹脂チューブを埋設した後で加圧圧縮している。従って、ＰＴＦＥ樹脂チューブの埋設方向が圧縮方向と平行の場合は、圧縮成形時にＰＴＦＥ樹脂チューブが座屈し、チューブの孔が塞がる可能性があるので、埋設方向を圧縮方向に対して９０゜の方向にしなければならない。
【０００９】
本発明はこうした事情を考慮してなされたもので、直線性に優れ、精度良く配置された直線状貫通孔を有するフッ素樹脂シートの製造方法及びフッ素樹脂シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る直線状貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シートの製造方法は、１ｍｍ未満の内径で、且つ、１ｍｍ以上の外径を有する肉厚のＰＴＦＥ樹脂チューブを、ＰＴＦＥ樹脂シートに予め設けられた、チューブの外径より大きい直径の孔に挿入した後、ＰＴＦＥ樹脂の融点以上の温度で焼成し、前記チューブと前記シートを一体化することを特徴とする。
【００１１】
本発明による製造方法は、具体的には次のように行う。  
（１）まず、通常の成形方法で、孔の無いＰＴＦＥ樹脂シートと外径１ｍｍ以上で細い内径を有する厚肉のＰＴＦＥ樹脂チューブを製作する。つづいて、前記ＰＴＦＥ樹脂シートの所定の位置、方向に外径１ｍｍ以上のドリル等の機械的方法で前記ＰＴＦＥ樹脂チューブの外径より多少大きい直径の孔を開ける。その後、前記ＰＴＦＥ樹脂チューブを開けられた孔中に挿入する。
【００１２】
（２）次に、製作したＰＴＦＥ樹脂チューブを挿入したＰＴＦＥ樹脂シート集合体を、焼成炉中でＰＴＦＥ樹脂の融点以上の温度、例えば、通常３８０℃の温度に所定時間置く。これにより、ＰＴＦＥ樹脂チューブの外径の膨張力とＰＴＦＥ樹脂シートに開けられた孔の径方向の収縮力とにより、ＰＴＦＥ樹脂チューブとＰＴＦＥ樹脂シートが一体化し、所定の位置に直線状の貫通孔が配設されたＰＴＦＥ樹脂シートが得られることになる。
【００１３】
（３）なお、上記（１）では、ＰＴＦＥ樹脂シートに後で挿入するＰＴＦＥ樹脂チューブ外径よりも多少大きい直径の孔を開けると述べた。しかし、ＰＴＦＥ樹脂チューブの外径と同等あるいは小さい直径の孔を開け、挿入するＰＴＦＥ樹脂チューブを開けた孔よりも小さい外径に延伸した状態で挿入し、ＰＴＦＥを一体化させることも可能である。
【００１４】
本発明によれば、以下の理由で前記方法（１）及び方法（２）の問題点を解決できる。  
まず、方法（１）の問題点に対しては、次のような理由になる。  
ＰＴＦＥ樹脂の通常の成形方法によれば、ＰＴＦＥ樹脂チューブの内径にかかわらず、外径は任意に設定可能である。例えば、内径が１００μｍのチューブの場合でも外径１ｍｍ以上のチューブに成形可能であるから、その場合チューブを挿入することになるＰＴＦＥ樹脂シートの孔は、直径１ｍｍ以上のドリルで加工できる。従って、ドリルの強度不足による影響を少なく抑えることが可能となる。その結果として、直線状の貫通孔となるチューブ内径の大きさにかかわらず、寸法精度、即ち、孔の直線性並びに孔を開けるセンターの位置精度を高め、且つ、深い孔を開けることが可能となる。つまり、チューブ内径が１００μｍの場合においても、直線性の良好な位置精度の高い１００μｍの貫通孔を形成することが可能となる。また、特注品で、高価な直径１ｍｍ未満の細物ドリルを使用する必要もなくなる。
【００１５】
方法（２）の問題点に対しては、次のような理由になる。  
１）本発明によれば、ＰＴＦＥ樹脂粉末の充填とそれにＰＴＦＥ樹脂チューブを埋設する工程が無くなるので、当然の結果として、前記方法（２）において必要であったＰＴＦＥ樹脂の充填並びにＰＴＦＥ樹脂チューブを埋設するための専用の金型も不要となる。  
２）また、ＰＴＦＥ樹脂粉末にＰＴＦＥ樹脂チューブを埋設した状態で加圧成形する必要もないので、加圧時にＰＴＦＥ樹脂粉末の沈み込みが生じ、それに伴ってＰＴＦＥ樹脂チューブも移動する現象も無く、それによって孔の位置精度が低下することもない。
【００１６】
３）同じ理由により、前記方法（２）おいて採用していたチューブの潰れを回避するための通常のＰＴＦＥ樹脂シート成形時の成形圧よりも低い成形圧を採用する必要もなく、本発明品は、通常の孔の無いＰＴＦＥ樹脂シートと遜色のない圧縮強度を有する結果となる。  
４）また、本発明の場合、ＰＴＦＥ樹脂の融点以上でＰＴＦＥ樹脂シートとＰＴＦＥ樹脂チューブとを一体化させた後においても、孔を追加してチューブを再度挿入して再度一体化、修正可能である。従って、孔の開け忘れ等が生じてもそれに伴う加工歩留まりの低下が無い。
【００１７】
５）更に、前記方法（２）においては、多数の貫通孔を得るために専用の金型を用いてＰＴＦＥ樹脂粉末の充填とその上にＰＴＦＥ樹脂チューブを並べて配置する作業を手作業で繰り返し行わなければならない。これに対し、本発明では、ＰＴＦＥ樹脂シートに孔を開ける加工は、一般的な切削機械であるフライス盤、ボール盤、もしくは旋盤等で容易に行うことができる。従って、多数の孔を得る場合であっても自動化されたこれら切削機械を用いることで実施できる。  
６）加えて、前記方法（２）においては、貫通孔の方向が、圧縮成形時にＰＴＦＥ樹脂チューブが座屈し、チューブの孔が塞がる可能性を回避するために、原則として、圧縮方法に対して９０゜の方向にのみ限定される。これに対し、本発明によれば、多数の貫通孔を配設する場合であっても、貫通孔が直線状で、孔同士が接することがなければ、自由に設計可能である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、高温の強酸、強アルカリ等の薬液中、あるいは、雰囲気中などの非常に過酷な環境で使用さ拠るシャワー、ノズル、もしくは、気体噴射部心品、並びに、クリーンな環境で使用される真空チャック盤面、もしくは、気体搬送装置部品などに、気体あるいは、液体の吹き出し口として使用される直線状貫通孔を有するフッ素樹脂シートの製造方法、並びにフッ素樹脂シートを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明について更に詳しく説明する。  
（製造方法１）
本発明品の製造方法の一例について、図１（Ａ）〜（Ｄ）を参照して説明する。  
（１）まず、ＰＴＦＥ樹脂の成形粉末を金型中で、常温において通常、２０ＭＰａ程度の圧力で圧縮することによって予備成形品を製作する。つづいて、その予備成型品を融点以上、通常３６０℃以上の炉中で焼成するというＰＴＦＥ樹脂特有の粉末冶金に類似した圧縮成形で、孔の無いＰＴＦＥ樹脂シート１を作製する（図１（Ａ）参照）。この際、使用されるＰＴＦＥ樹脂としては、いわゆる、懸濁重合で作製されたＰＴＦＥ樹脂モールディングパウダー、もしくは、それを１質量％以下の他のフッ素樹脂で変性したＰＴＦＥ樹脂モールディングパウダー（以降、変性ＰＴＦＥ樹脂と呼ぶ。ＪＩＳ−Ｋ６９３６−１参照）のいずれも使用可能である。
【００２０】
（２）次に、上記（１）で作製した孔の無いＰＴＦＥ樹脂シート１にフライス盤、ポール盤、もしくは旋盤等を使用して直径１ｍｍ以上で、且つ、次の工程で挿入することになるＰＴＦＥ樹脂チューブの外径より多少大きい直径の孔２ａを開け、孔２ａを有するＰＴＦＥ樹脂シート２を作製する（図１（Ｂ）参照）。この場台、自動化された加工機械を使用することで容易に多数の孔を開けることが可能である。また、直径１ｍｍ以上のドリルを使用するので、深い、直線性に優れた孔を開けることが可能である。更に、１ｍｍ未満の特注の高価なドリルを使用する必要がなく、コストダウンを図ることが可能となる。
【００２１】
（３）上記（１）、（２）の工程に並行して、ＰＴＦＥ樹脂特有のペースト押出法を使用して、上記（２）の工程で開けた孔より多少小さい外径を有し、内径１ｍｍ未満のチューブを作製する。即ち、まず、乳化重合で製作されたＰＴＦＥ樹脂ファインパウダーにナフサ等の石油系の押出助剤を混合した材料を金型に充填し、常温で、圧力を付加して円筒形状の予備成形品を得る。つづいて、その予備成型品を押出機にセットし、チューブ状に押し出す。更に、押出機に備えられた炉中で押出助剤を乾燥、除去した後、焼成する。  
次に、この得られたチューブを前記（１）で製作したＰＴＦＥ樹脂シートの厚さより多少長く切断する。なお、このペースト押出法に代えて、前述のＰＴＦＥ樹脂モールディングパウダーを使用し、これもＰＴＦＥ樹脂特有の加工方法である、いわゆる、ラム押出法で必要なＰＴＦＥ樹脂チューブを得ることも可能である。
【００２２】
（４）次に、上記（３）で製作した、ＰＴＦＥ樹脂シートの厚さに等しい長さに切断したチューブ３を、上記（２）で製作したＰＴＦＥ樹脂シート２の孔２ａに挿入し、ＰＴＦＥ樹脂シート２にチューブ３を挿入した集合体４を製作する（図１（Ｃ）参照）。  
更に、この集合体４をＰＴＦＥ樹脂の融点以上の温度、通常３８０℃の炉中に保持する。これにより、孔２ａを有するＰＴＦＥ樹脂シート２とチューブ３を挿入した集合体４が一体化し、１ｍｍ未満の直径を有する直線状貫通孔５を多数有したＰＴＦＥ樹脂シート６を得ることができる（図１（Ｄ）参照）。
【００２３】
（製造方法２）  
また、本発明に係るＰＴＦＥ樹脂シートは次のように製造してもよい。これについて図２（Ａ）〜（Ｄ）を参照して説明する。但し、図１と同部材は同符番を付して説明を省略する。  
（１）まず、上記製造方法１と同様にして、孔の無いＰＴＦＥ樹脂シート１を作製した（図２（Ａ）参照）後、孔２ａを有するＰＴＦＥ樹脂シート２を作製する（図２（Ｂ）参照）。
【００２４】
（２）次に、上記（１）の工程に並行して、ＰＴＦＥ樹脂特有のペースト押出法を使用して、上記（１）の工程で開けた孔より多少小さい外径を有する、樹脂被覆金属線１１を作製する。この樹脂被覆金属線１１の作り方は上述した製造方法１と同様である。  
（３）次に、この得られた樹脂被覆金属線１１を前記（１）で製作したＰＴＦＥ樹脂シートの厚さより多少長く切断する。更に、上記（２）で製作した、樹脂被覆金属線１１を、上記（１）で製作したＰＴＦＥ樹脂シート２の孔２ａに挿入し、ＰＴＦＥ樹脂シート２に樹脂被覆金属線１１を挿入した集合体１２を製作する（図２（Ｃ）参照）。ここで、前記樹脂被覆金属線１１の金属線１３の材質としては、例えば鉄、ステンレス鋼、銅、銅合金、亜鉛、亜鉛合金、アルミニウム、アルミニウム合金が挙げられる。
【００２５】
（５）次に、この集合体１２をＰＴＦＥ樹脂の融点以上の温度、通常３８０℃の炉中に保持する。これにより、孔２ａを有するＰＴＦＥ樹脂シート２と樹脂被覆金属線１１の樹脂部分が一体化する。更に、集合体１２の樹脂被覆金属線１１の金属線１３を溶質させ、１ｍｍ未満の直径を有する直線状貫通孔５を多数有したＰＴＦＥ樹脂シート６を得ることができる（図２（Ｄ）参照）。ここで、金属線１３を溶出させる薬液としては、例えば王水（濃塩酸に濃硝酸を混合した溶液を、体積比で濃塩酸：濃硝酸＝３：１と混合した溶液）、濃塩酸、濃硝酸、濃硫酸が挙げられる。なお、金属線を溶質させる代わりに、金属線を引き抜いてもよい。
【００２６】
次に、本発明の具体的な実施例について説明する。  
（実施例１）  
図１（Ａ）〜（Ｄ）を参照する。  
まず、原料樹脂として変性ＰＴＦＥ樹脂モールディングパウダー（ダイキン工業社製の商品名：Ｍ１１２）を使用し、圧縮成型で長さ８０ｍｍ×幅８０ｍｍ×厚さ２０ｍｍの変性ＰＴＦＥ樹脂シートを製作した（図１（Ａ）参照）。また、原料樹脂としてＰＴＦＥファインパウダー（ダィキン工業社製の商品名：Ｐ３０２）を使用し、ペースト押出法で外径２．０ｍｍ×内径０．１ｍｍのＰＴＦＥ樹脂チューブを製作した。
【００２７】
次に、ボール盤で前記変性ＰＴＦＥ樹脂シ一トに、図１（Ｂ）に図示すように、２．１ｍｍ直径の孔を５ｍｍピッチで２２５個開けた。次いで、前記ＰＴＦＥ樹脂チューブを長さ２０ｍｍに切断したものを，前記変性ＰＴＦＥ樹脂シートに開けた孔に挿入した。これにより、図１（Ｃ）のような構成の集合体が得られた。
【００２８】
次に、前記変性ＰＴＦＥ樹脂シートにＰＴＦＥ樹脂チューブを挿入した集合体を、変形防止用のためにステンレススチール板（幅８５ｍｍ×長さ８５ｍｍ×厚さ３０ｍｍのＳＵＳ３０４製板）を上に載せた状態で炉中に静置し、温度を３９０℃まで上昇させた。ひきつづき、この状態で２時間保持して、変性ＰＴＦＥ樹脂シートとＰＴＦＥ樹脂チューブを一体化し、その後室温まで徐冷し、図１（Ｄ）のように、５ｍｍピッチで直径０．１ｍｍの貫通孔を２２５個有する変性ＰＴＦＥ樹脂シートを得た。
【００２９】
（実施例２）  
図２（Ａ）〜（Ｄ）を参照する。
【００３０】
まず、原料樹脂として変性ＰＴＦＥ樹脂モールディングパウダー（ダイキン工業社製の商品名：Ｍ１１２）を使用し、圧縮成型で長さ８０ｍｍ×幅８０ｍｍ×厚さ２０ｍｍの変性ＰＴＦＥ樹脂シートを製作した（図２（Ａ）参照）。また、原料樹脂としてＰＴＦＥファインパウダー（ダィキン工業社製の商品名：Ｐ３０２）を使用し、ペースト押出法で外径２．０ｍｍ×内径０．１ｍｍのＰＴＦＥ樹脂被覆金属線を製作した。ここで、樹脂被覆金属線としては、外径０．１ｍｍの銅線を使用した。
【００３１】
次に、ボール盤で前記変性ＰＴＦＥ樹脂シ一トに、図２（Ｂ）に図示すように、２．１ｍｍ直径の孔を５ｍｍピッチで２２５個開けた。次いで、前記ＰＴＦＥ樹脂被覆金属線を長さ２０ｍｍに切断したものを，前記変性ＰＴＦＥ樹脂シートに開けた孔に挿入した。これにより、図２（Ｃ）のような構成の集合体が得られた。
【００３２】
次に、前記変性ＰＴＦＥ樹脂シートにＰＴＦＥ樹脂被覆金属線を挿入した集合体を、変形防止用のためにステンレススチール板（幅８５ｍｍ×長さ８５ｍｍ×厚さ３０ｍｍのＳＵＳ３０４製板）を上に載せた状態で炉中に静置し、温度を３９０℃まで上昇させた。ひきつづき、この状態で２時間保持して、変性ＰＴＦＥ樹脂シートとＰＴＦＥ樹脂被覆金属線の樹脂部分を一体化し、その後室温まで徐冷した。更に、ＰＴＦＥ樹脂被覆金属線の銅線部分を王水を用いて溶質し、図２（Ｄ）のように、５ｍｍピッチで直径０．１ｍｍの貫通孔を２２５個有する変性ＰＴＦＥ樹脂シートを得た。
【００３３】
（比較例）  
比較例では、ＰＴＦＥ樹脂シートを成形する際、ＰＴＦＥ樹脂粉末を金型に充填する過程において、ＰＴＦＥ樹脂チューブをその成形粉末中に埋設した後で加圧成形し、融点以上の温度で焼成して貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シートの得る方法（前記特許文献１）の方法を用いて実施例１（又は実施例２）と同じ材質、同寸法、同じ孔構成（５ｍｍピッチ、２２５個の０．１ｍｍ直径）を有する長さ８０ｍｍ×幅８０ｍｍ×厚さ２０ｍｍの貫通孔を有する変性ＰＴＦＥ樹脂シートを製作した。
【００３４】
前記実施例及び比較例の貫通孔を有する変性ＰＴＦＥ樹脂シートの孔径及び孔ピッチのバラツキを２２５個の孔から無作為に５０個選択し、マイクロスコープ（ＫＥＹＥＮＣＥ社製の型式VH-6300）を使用して比較測定した。その結果を夫々図２及び図３に示す。図２及び図３より、本発明に係る貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シートの方が、比較例に比べて、孔径のバラツキが著しく小さく、また、孔のピッチのバラツキも小さいことが明らかである。このことにより、本発明の方法によれば、位置精度並びに孔径の揃った貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シートを実現できることが明らかである。
【００３５】
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は本発明に係るフッ素樹脂シートの製造方法を工程順に示す説明図。
【図２】図２は本発明に係る他のフッ素樹脂シートの製造方法を工程順に示す説明図。
【図３】本発明に係る実施例と比較例に係るＰＴＦＥ樹脂シートに設けられた孔径のバラツキを示すグラフ。
【図４】本発明に係る実施例と比較例に係るＰＴＦＥ脂シートに設けられた孔ピッチのバラツキを示すグラフ。
【符号の説明】
【００３７】
１…貫通孔を有しないＰＴＦＥ樹脂シート、２…孔を有するＰＴＦＥ樹脂シート、２ａ…孔、３…ＰＴＦＥ樹脂チューブ、４…集合体、５…直線状貫通孔、６…直線状貫通孔を有するＰＴＦＥ樹脂シート、１１…樹脂被覆金属線、１２…金属線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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