(57)【要約】【課題】      被検査基板を高速度で変位させても、被検査基板がその慣性力で検査ステージから外れることを防止することにある。【解決手段】  検査装置のための基板押さえは、検査ステージに配置された支持ベースと、該支持ベースに揺動可能に支持されたアーム部材と、該アーム部材に支持され、被検査基板を検査ステージに押圧する押圧位置および被検査基板の押圧を解除する押圧解除位置間で変位可能な押え部材と、該押え部材を押圧位置と押圧解除位置間で変位させる駆動手段とを備えることから、構造が簡単になり、またサイズも小さくなる。その結果、基板押え全体の慣性力が小さくなり、その分、検査ステージの変位時間を短縮することができる。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を受ける第１の位置と被検査基板を検査する第２の位置であって前記第１の位置と異なる第２の位置とに選択的に変位可能の検査ステージに受けられた被検査基板を前記検査ステージに解除可能に押圧すべく前記検査ステージに配置される基板押えであって、前記検査ステージに配置された支持ベースと、該支持ベースに揺動可能に支持されたアーム部材と、該アーム部材に支持され、前記被検査基板を前記検査ステージに押圧する押圧位置および前記被検査基板の押圧を解除する押圧解除位置間で変位可能な押え部材と、該押え部材を前記押圧位置と押圧解除位置間で変位させる駆動手段とを含む、検査装置のための基板押さえ。
【請求項２】
前記検査ステージは矩形の前記被検査板を受けるべく平面視で四角形の形状を有し、前記アームは前記被検査板の辺に対応して配置され対応する辺に平行な枢軸を有する請求項１に記載の基板押さえ。
【請求項３】
前記基板押さえは前記被検査板の複数の偶角部を個々に押圧するように、複数設けられている、請求項２に記載の基板押さえ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルや有機ＥＬ等の被検査基板の通電試験をする検査装置のための基板押さえに関する。
【背景技術】
【０００２】
四角形の辺を有する液晶表示パネルや有機ＥＬ等の表示用基板は、一般に、仕様書通りに製造されたか否かの通電試験を目視点灯検査又は自動点灯検査によりされる。
【０００３】
点灯検査装置には、被検査基板としての表示用基板を水平に維持した状態で行うものと、被検査基板を傾斜させた状態で行うものとがある。特に、目視点灯検査においては、良否の確認を容易にすることから、被検査基板を傾斜させた状態で検査する装置が好まれている。
【０００４】
本発明者らは、上記点に鑑み、また検査ステージに対する被検査基板の着脱の容易性の面から、被検査基板を検査ステージに水平の状態で着脱し、検査ステージを傾斜させて被検査基板を傾斜状態にして検査する発明をした（特許文献１参照）。
【０００５】
この検査装置においては、被検査基板を検査ステージに水平の状態に載せ、その被検査基板を検査ステージに設けられた吸着溝に吸着して被検査基板を検査ステージに維持させ、検査ステージを傾斜させて被検査基板を斜めの状態に載置する。この種の検査装置においては、生産性を高めるために、検査の高速化が望まれており、そのためには、検査ステージを水平状態と傾斜状態とに高速度で変位させることが不可欠となる。
【０００６】
【特許文献１】特願２００２−９６５９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記の検査装置では、検査ステージを水平状態から傾斜状態に高速度で変位させると、吸着溝による被検査基板の吸着力が小さいことから、検査ステージ上における被検査基板の高速変位に起因して被検査基板自体に生じる慣性力により、被検査基板が検査ステージから外れてしまうことがあり、検査時間全体の短縮化が難しい。
【０００８】
本発明の目的は、被検査基板を高速度で変位させても、被検査基板がその慣性力で検査ステージから外れることを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る検査装置の基板押さえは、被検査基板を受ける第１の位置と被検査基板を検査する第２の位置であって前記第１の位置と異なる第２の位置とに選択的に変位可能の検査ステージに受けられた被検査基板を前記検査ステージに解除可能に押圧すべく前記検査ステージに配置される基板押えであって、前記検査ステージに配置された支持ベースと、該支持ベースに揺動可能に支持されたアーム部材と、該アーム部材に支持され、前記被検査基板を前記検査ステージに押圧する押圧位置および前記被検査基板の押圧を解除する押圧解除位置間で変位可能な押え部材と、該押え部材を前記押圧位置と押圧解除位置間で変位させる駆動手段とを備える。
【００１０】
検査ステージは、第１の位置において被検査基板を受け、ついて第２の位置に変位され、第２の位置において被検査基板の検査が行われた後、再び第１の位置に変位される。
【００１１】
検査ステージが第１の位置から第２の位置に変位する間および第２の位置から第１の位置に変位する間、検査ステージに配置された被検査基板は、前記押え部材により検査ステージに押圧されて、移動不能とされている。これにより、検査ステージが第１の位置と第２の位置との間で高速度で変位しても、その変位中及びその直後に、被検査基板は検査ステージから外れるおそれがない。その結果、検査ステージの変位速度を速くして、１つの被検査体の検査に要する時間を短縮することができる。
【００１２】
また、本発明に係る押さえは、前記検査ステージに配置された支持ベースと、該支持ベースに揺動可能に支持されたアーム部材と、該アーム部材に支持され、前記被検査基板を前記検査ステージに押圧する押圧位置および前記被検査基板の押圧を解除する押圧解除位置間で変位可能な押え部材と、該押え部材を前記押圧位置と押圧解除位置間で変位させる駆動手段とを備えることから、構造が簡単になり、またサイズも小さくなる。その結果、基板押え全体の慣性力が小さくなり、その分、検査ステージの変位時間を短縮することができる。
【００１３】
前記検査ステージが矩形の前記被検査板を受けるべく平面視で四角形の形状を有するとき、前記アームは前記被検査板の辺に対応して配置され、該各アームには対応する辺に平行な枢軸が与えられる。
【００１４】
前記検査ステージは、前記第１の位置において水平とされて、前記第２の位置において傾斜されるようにしてもよい。そのようにすれば、検査ステージが水平のときに被検査基板を検査ステージに対し着脱し、検査ステージが傾斜しているときに被検査基板を検査することとすることができるから、被検査基板の着脱が容易になるにもかかわらず、検査しやすい状態で目視検査をすることができ、検査効率が向上する。
【００１５】
前記検査ステージは矩形の前記被検査基板を受けるべく平面視で四角形の形状を有し、前記基板押えは、前記被検査基板の複数の隅角部を個々に押圧するように、複数設けられていてもよい。そのようにすれば、被検査基板を検査ステージに確実に押圧することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１を参照するに、検査装置１０は、長方形の液晶表示パネルを被検査基板１２とする目視点灯検査装置として用いられる。図１において、紙面に垂直の方向が検査装置の左右方向（Ｘ方向）、右方側が検査装置の前方側、左方側が検査装置の後方側、左右方向が検査装置の前後方向（Ｙ方向）、上下方向が検査装置の上下方向（Ｚ方向）となる。
【００１７】
検査装置１０は、図示しないフレームに水平に設置される板状の支持体１４と、その支持体１４から上方へ伸びる支柱１６と、左右方向へ水平に伸びる支持軸１８により支柱１６に角度的に回転可能に支持された検査ステージ２０と、検査ステージ２０を支持軸１８の軸線の周りに揺動させる駆動機構２２とを含む。
【００１８】
検査ステージ２０は、駆動機構２２により支持軸１８の軸線の周りに角度的に回転されて、被検査基板１２を水平の状態で検査ステージ２０に対し着脱する水平の第１の位置と、受けた被検査基板１２を傾斜した状態で検査する傾斜した第２の位置とに選択的に変位される。
【００１９】
駆動機構２２は、支持軸１８を中心とするほぼ四半の円板に形成された扇形の従動歯車２４と、従動歯車２４に噛み合う駆動歯車２６と、駆動歯車２６を往復回転させる駆動装置２８とを備えている。
【００２０】
従動歯車２４は、支持軸１８に支持されている。駆動歯車２６は支持体１４上に組み付けられたブラケット３０に左右方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に支持されている。駆動装置２８は、支持体１４に設置されており、また電動機、回転式ソレノイド等の駆動源を含む。
【００２１】
検査ステージ２０は、従動歯車２４に組み付けられた板状のベース３２と、ベース３２の上に組み付けられた支持ステージ３４と、支持ステージ３４の上に取り付けられかつバックライトユニットを収容しているチャックトップ３６とを備えている。
【００２２】
支持ステージ３４は、チャックトップ３６を左右方向及び前後方向に移動させると共に、上下方向（受けた基板に垂直の方向）へ伸びるθ軸線の周りに角度的に回転させる、Ｘ，Ｙ，θステージに構成されている。
【００２３】
図２及び図３に示すように、チャックトップ３６は、バックライトユニットを収容しているケース（図示せず）に上蓋３８を取り付け、上蓋３８の上に被検査基板１２を受ける矩形のフレーム４０を取り外し可能に取り付けている。
【００２４】
上蓋３８は、被検査基板１２より大きい長方形の形状を有しており、また、受けた被検査基板１２よりやや小さい長方形の領域をバックライトユニットからの光の通過を許す表示領域４２とし、その外側を吸着領域４４としている。
【００２５】
上蓋３８は、また、バックライトユニットを収容しているケース（図示せず）に取り付けるボルト用の貫通穴４６を各隅角部に、位置決め穴４８を対向する長手方向の各辺の中央近傍にそれぞれ有している。
【００２６】
上蓋３８は、図示しないケースから上方へ伸びる位置決めピン（図示せず）を位置決め穴４８に受け入れた状態で、貫通穴４６に通されるボルト（図示せず）によりケースに組み付けられている。
【００２７】
フレーム４０は、被検査基板１２の吸着領域４４を真空的に吸着する１以上の吸着溝５０（図４（Ｂ）参照）を長方形の４つの辺に対応する各縁部に有している。フレーム４０は、図示しない複数のねじ部材により上蓋３８に取り外し可能に取り付けられている。
【００２８】
検査ステージ２０は、フレーム４０に対する被検査基板１２の着脱時には図１（Ａ）に示す第１の位置に変位されて維持され、受けた被検査基板１２の検査時には図１（Ｂ）に示す第２の位置に変位されて維持される。
【００２９】
図２及び図３を参照するに、上蓋３８の上面には、被検査基板１２の隣り合う縁部を受ける２組のストッパ５２と、被検査基板１２をストッパ５２の組に押圧する複数のプッシャー５４と、４つの基板押え５６とが配置されている。
【００３０】
図示の例では、長方形の隣り合う１組の長辺及び短辺に対応する各箇所に２つのストッパ５２が長辺及び短辺の方向に間隔をおいて設けられている。また、他の長辺に対応する箇所に２つのプッシャー５４が他の長辺の方向に間隔をおいて設けられており、他の短辺に対応する箇所に１つのプッシャー５４が他の短辺の中央付近に設けられている。
【００３１】
各組のストッパ５２は、被検査基板１２の対応する縁部が当接するように、対応する縁部の方向に間隔をおいている。
【００３２】
各プッシャー５４は、エアーシリンダやソレノイドのような駆動機構５８のロッドのような可動子に押圧部材６０を取り付けており、駆動機構５８の伸張により押圧部材６０を前進させて被検査基板１２を押圧部材６０でストッパ５２に押し、駆動機構５８の収縮により押圧部材６０を後退させるように、駆動機構５８において上蓋３８に取り付けられている。
【００３３】
フレーム４０は、被検査基板１２の吸着領域４４を残して外側に開放する複数の切欠部を、ストッパ５２及び押圧部材６０の配置位置に有している。
【００３４】
図４及び図５に示すように、各基板押え５６は、上蓋３８に取り付けられた一対の支持ベース６２と、支持ベース６２に前後方向又は左右方向に間隔をおいて揺動可能に支持された２組のリンクアーム６４と、２組のリンクアーム６４に左右方向又は前後方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能（揺動可能）に支持された板状の押え部材６６と、リンクアーム６４を揺動させる駆動機構６８とを含む。
【００３５】
ストッパ５２及び押圧部材６０の上端は、検査ステージ２０に受けられた被検査基板１２の下面より高く、その被検査基板１２の上面の高さ位置未満とされている。
【００３６】
両支持ベース６２は、左右方向に間隔をおいている。各組のリンクアーム６４は、前後方向に間隔をおいて上下方向へ伸びており、また左右方向へ伸びる軸線、すなわち被検査基板１２の対応する辺に沿って平行に配置された枢軸の周りに角度的に回転可能に下端部において両支持ベース６２に取り付けられている。
【００３７】
押え部材６６は、受けられた被検査基板１２と平行の状態（水平の状態）で揺動（変位）可能にリンクアーム６４に組み付けられている。押え部材６６は、例えば、ゴム板のような弾性板を金属板のような板部材に装着した押えパッドを用いており、また弾性板が被検査基板１２に当接するように、リンクアーム６４に取り付けられている。
【００３８】
駆動機構６８は、図示の例では、前後方向に伸縮するエアーシリンダを用いており、ピストンロッドの先端部においてリンクアーム６４に枢軸的に連結されており、シリンダにおいて支柱７０に枢軸的に連結されている。駆動機構６８として、エアーシリンダの代わりに、ソレノイドやリニアモータのような他の伸縮機構、回転源とラックとピニオンとを用いた機構等、他の機構を用いてもよい。
【００３９】
各基板押え５６は、被検査基板１２の隅角部を押え部材６６で押圧するように、上蓋３８に設置されている。４つの基板押え５６を用いる代わりに、被検査基板１２のうち、検査ステージ２０の揺動中心から遠い縁部側を押えるように１又は２つ用いてもよい。
【００４０】
各組のリンクアーム６４は、押え部材６６を被検査基板１２と平行の状態で揺動可能に支持する平行リンク機構を支持ベース６２及び押え部材６６と共同して形成している。押さえ部材６６を揺動可能に支持するアーム部材たるリンクアーム６４は、押え部材６６を被検査基板１２と平行の状態で揺動可能に支持することができるならば、４つに限定されない。
【００４１】
各基板押え５６は、これを平面的に見たとき、駆動機構６８の伸縮にともなって、検査ステージ２０に受けられた被検査基板１２の配置領域の外となる図５（Ａ）に示す待避位置と、その被検査基板１２の隅角部を検査ステージ２０に押圧する図５（Ｂ）に示す押圧位置とに変位される。
【００４２】
検査装置１０は、以下の手順で被検査基板１２を測定する。
【００４３】
図１（Ａ）に示すように、検査装置１０は、検査ステージ２０を駆動機構２２により水平に制御する。このとき、図５（Ａ）に示すように、各基板押え５６は、押え部材６６を待避位置に待避させている。また、プッシャー５４は、押圧部材６０を後退させている。
【００４４】
この状態で、被検査基板１２が受け渡しロボットにより検査ステージ２０に搬送され、検査ステージ２０に載置される。このとき、被検査基板１２は、ストッパ５２に乗り上げないようにフレーム４０に載せられる。
【００４５】
次いで、各プッシャー５４の駆動機構５８が押圧部材６０を前進させる。これにより、被検査基板１２は、隣り合う縁部をストッパ５２に当接されて、検査ステージ２０に対し位置決められる。
【００４６】
次いで、吸着溝５０が真空引きされて、被検査基板１２が検査ステージ２０に吸着される。
【００４７】
次いで、図５（Ｂ）に示すように、各基板押え５６の押え部材６６が駆動機構６８により押え位置に変位されて、被検査基板１２の上面（目視される面）の隅部を破損しない程度に押圧する。これにより、被検査基板１２は、吸着溝５０による吸着力と基板押え５６とによる押圧力とが重畳的に作用するから、検査ステージ２０に確実に保持される。
【００４８】
次いで、図１（Ｂ）に示すように、検査ステージ２０が第２の位置に変位されて、傾斜される。これにより、被検査基板１２も傾斜される。このとき、被検査基板１２が慣性力により図１において右方（検査装置の前面側）に変位しようとする。しかし、この変位は、被検査基板１２が基板押え５６により検査ステージ２０に押圧されていることにより、阻止される。
【００４９】
次いで、被検査基板１２とプローブユニット（図示せず）との位置合わせが行われる。この位置合わせは、検査ステージ２０を支持ステージ３４によりＸ，Ｙ方向に二次元的に変位されると共に、θ軸線の周りに角度的に回転させることにより、行うことができる。プローブユニットは、図１（Ｂ）において、被検査基板１２の斜め右上に配置されている。
【００５０】
次いで、基板押え５６の押え部材６６が図５（Ａ）に示す待機位置に戻される。しかし、被検査基板１２は、吸着溝５０に吸着されていることと、ストッパ５２及び押圧部材６０により挟持されていることとから、検査ステージ２０に対して変位しない。
【００５１】
その後、プローブユニットが被検査基板１２の側に左下りの斜めに移動されて、プローブユニットのプローブが被検査基板１２の電極に押圧される。この際、押え部材６６が待機位置に待避しているから、プローブユニットのプローブは被検査基板１２の電極に確実に押圧され、基板押え５６はプローブユニットの移動を妨げない。
【００５２】
上記状態で、バックライトユニットが点灯されると共に、被検査基板１２に通電されて、被検査基板１２の点灯状態を目視して、被検査基板１２の良否を判定する目視点灯検査が行われる。
【００５３】
目視点灯検査は、被検査基板１２が図１（Ｂ）に示すように斜めとされた状態で行われる。このため、被検査基板１２の良否の確認が、被検査基板が水平の状態で目視点灯検査をする装置に比べ、容易になる。
【００５４】
検査が終了すると、プローブユニットが被検査基板１２に対し斜め上方に移動されて被検査基板１２から離され、検査ステージ２０が図１（Ａ）に示すように、元の第１の位置に戻される。検査ステージ２０を第１の位置に戻す間、被検査基板１２を基板押え５６の押え部材６６により検査ステージ２０に押圧していてもよい。
【００５５】
その後、検査済みの被検査基板１２は、吸着溝への吸着と、ストッパ５２及び押圧部材６０による挟持とを解除され、受け渡しロボットにより検査ステージ２０から取り去られる。
【００５６】
検査装置１０においては、検査ステージ２０が第１の位置から第２の位置に変位される間、検査ステージ２０上の被検査基板１２が押え部材６６により検査ステージ２０に押圧されて、移動不能に維持されるから、検査ステージ２０が第１の位置から第２の位置に高速度で変位しても、その変位中及びその直後において、被検査基板１２が検査ステージ２０から外れるおそれがない。その結果、検査ステージ２０の変位速度を速くして、１つの被検査体の検査に要する時間を短縮することができる。
【００５７】
プッシャー５４による被検査基板１２の押圧は、被検査基板１２を吸着溝５０に吸着した後、押え部材６６により被検査基板１２を押圧した後、被検査基板１２が待機位置に戻された後等、適宜な時期に解除してもよい。
【００５８】
被検査基板１２としては、液晶表示パネルの代わりに、有機ＥＬ等の他の被検査基板としてもよい。また、検査ステージ２０に対する被検査基板１２の受け渡しを受け渡しロボットで行う代わりに、人手により行ってもよい。さらに、検査ステージを第１及び第２の位置に選択的に変位させる機構として、図示の例の代わりに、回転源、リードスクリュー、リードナット、リンク等を用いた機構や、シリンダ機構、リニアモータ等の直線運動機構等、他の機構を用いてもよい。
【００５９】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る被検査基板の検査装置の側面図であって、（Ａ）は検査ステージを水平位置にした状態を示す図、（Ｂ）は検査ステージを傾斜位置にした状態を示す図である。
【図２】図１に示す検査装置の検査ステージの外観斜視図である。
【図３】図２に示す検査ステージの平面図である。
【図４】図２に示す基板押えの拡大図であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
【図５】図４に示す基板押えの拡大斜視図であって、（Ａ）は基板押えが待機位置に待避されている状態を示す図、（Ｂ）は基板押えが押え位置に変位されている状態を示す図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０  検査装置
１２  被検査基板
２０  検査ステージ
２２  検査ステージ用の駆動機構
３２  ベース
３４  支持ステージ
３６  チャックトップ
６２  支持ベース
６４  （リンクアーム）アーム部材
６６  押え部材
６８  駆動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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