(57)【要約】【課題】  インクジェット法を用いてマトリクス状の微小領域を描画するにあたって、周期的な膜厚のバラツキを抑制することのできる描画方法を実現する。【解決手段】  表面撥水性のブラックマトリクス１１が形成されたガラス基板１０上に、インクジェット装置を用いて絵素の描画を行う。ノズルヘッド２０は、ガラス基板１０に対して横方向（主走査方向）からインクの吐出を行って絵素を描画し、さらに、ブラックマトリクス１１上に掛かるノズルを用いてのインクの吐出により、縦方向（副走査方向）に隣接する絵素間をランダムに接続する。【選択図】  図１
2006189550.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に表面撥水性のバンク部を形成することにより、周囲が該バンク部によって囲まれた微小領域をマトリクス状に形成する第１の工程と、
上記微小領域内に流体材料を吐出する第２の工程と、
上記流体材料を乾燥させて膜とする第３の工程とを含み、
上記第２の工程では、上記バンク部上にも流体材料の吐出を行って、副走査方向に隣接する微小領域内をランダムに接続し、接続された微小領域における膜厚を平均化することを特徴とするインクジェット法を用いたマトリクス状の微小領域の描画方法。
【請求項２】
上記微小領域は略長方形形状をしており、
上記第２の工程では、上記流体材料を吐出するノズルヘッドの主走査方向を上記微小領域の長手方向と直交する方向に一致させることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット法を用いたマトリクス状の微小領域の描画方法。
【請求項３】
基板上に表面撥水性のバンク部となるブラックマトリクスを形成することにより、周囲が該ブラックマトリクスによって囲まれた微小領域をマトリクス状に形成する第１の工程と、
上記微小領域内にインクを吐出する第２の工程と、
上記インクを乾燥させて膜とする第３の工程とを含み、
上記微小領域は略長方形形状をしており、
上記第２の工程では、上記インクを吐出するノズルヘッドの主走査方向を上記微小領域の長手方向と直交する方向に一致させると共に、上記ブラックマトリクス上にもインクの吐出を行って、副走査方向に隣接する微小領域内をランダムに接続し、接続された微小領域における膜厚を平均化することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット法を用いたマトリクス状の微小領域の描画方法に関し、特に、液晶表示素子等に使用されるカラーフィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子等で使用されているカラーフィルタは、一般的には、フォトリソグラフィ法を用いて製造される。フォトリソグラフィ法を用いたカラーフィルタの製造方法では、顔料を分散させたレジスト材料を、フォトリソグラフィ法を用いてパターン形成することにより、各カラーの絵素パターンを形成している。
【０００３】
フォトリソグラフィ法を用いたカラーフィルタの製造方法では、レジスト材料の塗布、露光、現像といった複雑なプロセスを、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色の絵素パターンを形成するために３回繰り返す必要があり、その製造工程が多くなる。さらには、レジスト材料の利用効率が悪いといった問題もある。このため、フォトリソグラフィ法を用いたカラーフィルタの製造方法では、コスト的に高くなる問題がある。
【０００４】
また、カラーフィルタを製造するための他の方法としては、インクジェット法を利用した方法が検討されている。インクジェット法を利用したカラーフィルタの製造方法では、フィルタ基板の必要な場所に必要な量だけのインクを滴下してカラーフィルタを製造できるため、カラーフィルタを低コストに製造できる。
【０００５】
しかしながら、インクジェット法では、ノズル毎にインク吐出量のバラツキがあるため、インクジェット法を利用してカラーフィルタを製造した場合、ノズルの吐出バラツキは絵素における膜厚のバラツキを生じさせる。また、インクジェット法の吐出メカニズム上、これらの膜厚バラツキは周期的に存在するため、形成されたカラーフィルタにおいて、このような周期的な膜厚のバラツキがムラとして認識されてしまう。このことを図７を参照して説明すると以下のとおりである。
【０００６】
インクジェット法を用いてカラーフィルタを製造する場合、複数のノズルを有するノズルヘッド１０１を描画方向（主走査方向）へ走査しながらインク吐出させることで、絵素が形成される。また、副走査方向には、上記ノズルヘッド１０１をフィルタ基板に対して該ノズルヘッドの幅の分だけ相対的に移動させて再度描画方向への走査を行い、このような走査を繰り返し行うことによって、カラーフィルタの絵素の描画が行われる。
【０００７】
このような方法でカラーフィルタの絵素の描画を行う場合、主走査方向における同一列に属する絵素は、同一ノズルから吐出されるインクによって描画される。このため、ノズルにおけるインク吐出量のバラツキによって、各列の絵素に膜厚のバラツキが生じる。この膜厚のばらつきは、副走査方向において周期的に発生することとなる。尚、図７において、各絵素のハッチングの種類の違いは、膜厚の相違を表している。
【０００８】
これらの膜厚バラツキを補正するために、特許文献１には、１つの絵素内を複数のノズルを用いて描画することによって、ノズル間の吐出バラツキを平均化する方法が示されている。また、特許文献２には、１つの絵素内を複数のノズルを用いて描画する際に、ノズル毎の吐出量を測定し、絵素毎の吐出量を最適化する方法が示されている。
【０００９】
さらに、特許文献３には、絵素の横方向から１つの絵素に対して、複数のノズルを用いて描画する事で膜厚のバラツキを抑える方法が示されている。
【特許文献１】特開平１０−１５１７５５号公報（公開日平成１０年（１９９８）６月９日）
【特許文献２】特開平１０−１５１７７３号公報（公開日平成１０年（１９９８）６月９日）
【特許文献３】特開平９−１０１４１２号公報（公開日平成９年（１９９７）４月１５日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記特許文献１および２に示される方法では、同一の絵素を複数回描画する必要があるため、通常の描画と比較して、描画回数が増えてしまい生産性が十分得られない問題がある。また、上記特許文献２に示される方法では、ノズル毎の微妙な液適量の違いを正確に測定する事は難しく、また測定に非常に手間がかかるため、効率的に膜厚バラツキを十分に補正できるわけではない。
【００１１】
さらに、上記特許文献３に示される方法でも、横方向は同じノズル群で描画されている事になるため、ライン毎に膜厚バラツキが生じてしまいムラとして認識されてしまう。尚、上記特許文献３に示される方法において、ノズル間のバラツキを完全に打ち消すためには、図８に示すように、各絵素領域を分離するブラックマトリクスをストライプ状に形成し、カラーフィルタの各絵素を描画するためのノズル群をすべて同じにする方法も考えられる。
【００１２】
このような方法では、理論上、膜厚バラツキは発生しない。しかしながら、インクジェット法での特異的な隣接絵素間のインクの混合が発生した場合、ストライプ上に混合した絵素同士を修正することが非常に難しい。すなわち、図９に示すように、隣接する絵素ライン間でインクの混合が発生した場合、インク混合による混色はライン全体に広がることとなり、ライン全体での修正が必要となる。したがって、この方法は、ムラ対策では有効な手段とはなるが、隣接する絵素ライン間でインクの混合が発生した場合の修正が難しく、歩留まりの面で非常に不利である。
【００１３】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、インクジェット法を用いてマトリクス状の微小領域を描画するにあたって、周期的な膜厚のバラツキを抑制することのできる描画方法を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係るインクジェット法を用いたマトリクス状の微小領域の描画方法は、上記課題を解決するために、基板上に表面撥水性のバンク部を形成することにより、周囲が該バンク部によって囲まれた微小領域をマトリクス状に形成する第１の工程と、上記微小領域内に流体材料を吐出する第２の工程と、上記流体材料を乾燥させて膜とする第３の工程とを含み、上記第２の工程では、上記バンク部上にも流体材料の吐出を行って、副走査方向に隣接する微小領域内をランダムに接続し、接続された微小領域における膜厚を平均化することを特徴としている。
【００１５】
インクジェット法を用いてマトリクス状の微小領域を描画するときには、ノズルヘッドの主走査方向に配列される微小領域は同じノズル（もしくはノズル群）で描画されることになるため、ライン毎に膜厚バラツキが生じてしまう（周期的な膜厚バラツキが生じる）。インクジェット法を用いた場合の膜厚バラツキは、そのバラツキ量自体は微小であるが、該バラツキが周期性を持つことが問題となる。例えば、インクジェット法を用いてカラーフィルタを作成した場合には、絵素の周期的な膜厚バラツキは色ムラとして認識されやすい。
【００１６】
これに対し、上記の構成によれば、上記バンク部上にも流体材料の吐出を行って、副走査方向に隣接する微小領域内をランダムに接続するため、接続された微小領域間で膜厚が平均化されることにより、膜厚バラツキの周期性が乱され、ムラを認識できないようにすることができる。尚、バンク部上に吐出された流体材料は、該バンク部が表面撥水性を有するため、乾燥時に該バンク部表面からはじかれる。
【００１７】
また、上記描画方法では、上記微小領域は略長方形形状をしており、上記第２の工程では、上記流体材料を吐出するノズルヘッドの主走査方向を上記微小領域の長手方向と直交する方向に一致させることを特徴としている。
【００１８】
上記の構成によれば、各微小領域は、複数のノズルからなるノズル群によって描画されるため、元々の膜厚バラツキ（バンク部上への流体材料の吐出による微小領域の接続を行わない場合の膜厚バラツキ）を低減化することができ、さらに上述の手法（バンク部上への流体材料の吐出によって微小領域の接続を行う手法）を用いることによって、より膜厚バラツキによるムラの発生を低減することができる。
【００１９】
また、本発明に係るカラーフィルタの製造方法は、上記課題を解決するために、基板上に表面撥水性のバンク部となるブラックマトリクスを形成することにより、周囲が該ブラックマトリクスによって囲まれた微小領域をマトリクス状に形成する第１の工程と、上記微小領域内にインクを吐出する第２の工程と、上記インクを乾燥させて膜とする第３の工程とを含み、上記微小領域は略長方形形状をしており、上記第２の工程では、上記インクを吐出するノズルヘッドの主走査方向を上記微小領域の長手方向と直交する方向に一致させると共に、上記ブラックマトリクス上にもインクの吐出を行って、副走査方向に隣接する微小領域内をランダムに接続し、接続された微小領域における膜厚を平均化することを特徴としている。
【００２０】
上記の構成によれば、絵素の周期的な膜厚バラツキによる色ムラを防止することができる。尚、上記カラーフィルタの製造方法においては、上記第１ないし第３の工程は、カラーフィルタ上に形成される絵素の各色毎に実行される。
【００２１】
また、カラーフィルタの製造においては、上記ノズルヘッドの主走査方向を上記微小領域の長手方向と直交する方向に一致させることにより、微小領域の接続を行う際、同色絵素同士の接続を行うことができる。また、微小領域の接続をランダムに行うことは、インクの混色が生じた場合に、その混色領域を最小のものとすることができ、混色絵素の修正を容易にすることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るインクジェット法を用いたマトリクス状の微小領域の描画方法は、以上のように、基板上に表面撥水性のバンク部を形成することにより、周囲が該バンク部によって囲まれた微小領域をマトリクス状に形成する第１の工程と、上記微小領域内に流体材料を吐出する第２の工程と、上記流体材料を乾燥させて膜とする第３の工程とを含み、上記第２の工程では、上記バンク部上にも流体材料の吐出を行って、副走査方向に隣接する微小領域内をランダムに接続し、接続された微小領域における膜厚を平均化する構成である。
【００２３】
それゆえ、副走査方向に隣接する微小領域内をランダムに接続し、接続された微小領域間の膜厚を平均化することにより、膜厚バラツキの周期性を乱すことができ、ムラを認識できないようにすることができるといった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の一実施形態について図１ないし図６に基づいて説明すると以下の通りである。
【００２５】
インクジェット法を利用してカラーフィルタの製造を行う場合、その大略的な製造手順を説明すれば以下のとおりである。まず、フィルタ基板となるガラス基板上に所定パターンのブラックマトリクスを形成する。次いで、このブラックマトリクスのパターンによって区画される絵素領域（微小領域）にカラーインク（流体材料）を吐出していき、絵素の描画を行っていく。そして、ガラス基板上に吐出されたカラーインクを乾燥させることによってカラーフィルタが完成する。
【００２６】
ブラックマトリクスの形成手順をより具体的に説明すれば以下の通りである。まず、ガラス基板上に黒色顔料を含有する感光性樹脂材料であるブラックマトリクス材料を塗布し、これに対し露光および現像を行うことで所定のドットマトリクスパターンを形成する。
【００２７】
次に、ブラックマトリクス上を撥インク化処理する。そのために、ブラックマトリクスパターンに対し、Ｆ原子を含むガスをプラズマ化させたもので表面処理を行い、その表面を撥インク化処理する。ガラス基板上ではＦ原子が置換されないため、ガラス基板上は親インク化、ブラックマトリクス上は撥インク化される。
【００２８】
ガラス基板上にブラックマトリクスが形成されると、次に、このブラックマトリクスのパターンによって区画される絵素領域に、インクジェット装置を用いてのカラーインクの吐出を行い、絵素の描画を行う。また、ここで使用されるカラーインクは、カラー顔料を分散させたカラー分散液であるとする。本発明は、インクジェット法を利用しての絵素描画工程に特徴を有するものであり、この絵素描画工程を以下に詳細に説明する。
【００２９】
本実施の形態に係るカラーフィルタの製造方法では、インクジェット装置は、ドットマトリクスに対して横方向（カラーフィルタが使用される表示素子において、表示画面内で想定される横方向を意味する：水平方向ともいう）から絵素の描画を行う。ここで、横方向から絵素を描画することについて、図２を参照して説明する。
【００３０】
絵素描画を行う前のガラス基板１０上には、ブラックマトリクス１１によるパターンが形成されている。また、本方法によって製造されるカラーフィルタでは、縦方向（カラーフィルタが使用される表示素子において、表示画面内で想定される縦方向を意味する：垂直方向ともいう）に同色の絵素が配列されるようにインクの吐出が行われる。インクジェット装置におけるノズルヘッド２０は、複数のノズル２１を備えており、ノズルヘッド２０の長手方向、すなわちノズル２１の配列方向が縦方向に合わせられ、ノズルヘッド２０による描画方向、すなわち主走査方向が横方向に合わせられる。
【００３１】
カラーフィルタにおいて、上記絵素領域は縦方向を長手方向とする略長方形形状をしており、ノズルヘッド２０の主走査方向を横方向に合わせることは、言い換えれば、ノズルヘッド２０の主走査方向を上記絵素領域の長手方向と直交する方向に一致させることを意味する。これは、上記絵素領域を、複数のノズル２１からなるノズル群によって描画することで、元々の膜厚バラツキを低減化する目的もあるが、カラーフィルタ製造の場合には、隣接する絵素領域の接続（詳細は後述する）を行う際に、同色絵素同士での接続を行えるようにするための構成でもある。
【００３２】
この方法では、一つのノズルヘッド２０は、１色分の絵素の描画に用いられるため、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の絵素の描画を行うためには、インクジェット装置においてノズルヘッド２０Ａ〜２０Ｃの３つのノズルヘッドが備えられる。また、ガラス基板１０における縦方向の長さがノズルヘッドの長手方向の幅よりも大きい場合には、ノズルヘッド２０をガラス基板１０に対して該ノズルヘッド２０の幅の分だけ相対的に移動させ、主走査方向への描画を複数回行うことでカラーフィルタの絵素の描画を行えばよい。
【００３３】
上述のように、ドットマトリクスに対して横方向から絵素の描画を行うだけでは、各絵素に対して使用されるノズル群が決まってしまうため、周期的な膜厚バラツキに起因するムラが発生してしまう。これは、上述した従来方法（特許文献３）において存在する問題であるが、まずは、この問題の発生理由を図３を参照して説明する。
【００３４】
図３に示すノズルヘッド２０では、縦方向に延びるある絵素ラインにおいて、ノズル群２１１，２１２，２１３，２１４のそれぞれによって１つの絵素へのインク吐出が行われる。また、従来方法では、ブラックマトリクス１１上に掛かるノズルは、インク吐出を行わない（すなわち、描画に使用されない）。
【００３５】
ここで、ノズル群２１２は他のノズル群よりもそのインク吐出量が多く、また、ノズル群２１４は他のノズル群よりもそのインク吐出量が少ないとする。そのような場合、ノズル群２１２によって描画される絵素では膜厚が大きくなり、ノズル群２１４によって描画される絵素では膜厚が小さくなる。このような膜厚のバラツキは、インクの乾燥後も維持される。ノズルヘッド２０は横方向に主走査されながら絵素の描画を行うため、横方向に延びる濃淡のラインが形成される。そして、ノズルヘッド２０一定幅で副走査方向に移動させながら、上記描画動作を複数回行うと、上記濃淡ラインが副走査方向に周期を持って発生することとなる。
【００３６】
次に、本実施の形態に係る描画方法を、図１を参照して説明する。
【００３７】
図１に示すノズルヘッド２０においても、縦方向に延びるある絵素ラインに対しては、ノズル群２１１，２１２，２１３，２１４のそれぞれによって１つの絵素へのインク吐出が行われる。但し、本実施の形態に係る方法では、ブラックマトリクス１１上に掛かるノズルも、隣接する絵素間を接続するためにインク吐出を行う場合があり、この点で本実施の形態の方法は従来方法とは異なっている。
【００３８】
ブラックマトリクス１１上に掛かるノズル２１ａによってインク吐出を行い、隣接する絵素間を接続した場合、接続された２つの絵素では吐出インクの混合が生じて、その膜厚が平均化される。また、この時に混合するインクは同色のインクであるため、インクの混色は生じない。
【００３９】
ブラックマトリクス１１上は強い撥インク性を有するため、インクが乾燥するに従って、ブラックマトリクス１１上からインクが弾かれていき、最終的にはブラックマトリクス１１上に吐出されたインクも絵素内に収まって乾燥する。
【００４０】
本実施の形態において、隣接する絵素間の接続はランダムに行われる。すなわち、図１において、ブラックマトリクス１１上に掛かるノズル２１ａは、縦方向に延びる絵素ラインの全てのラインに対してインクを吐出するものではなく、ラインが変われば、隣接する絵素間を接続するために使用されるノズルも変更される。
【００４１】
このように、本実施の形態に係る方法では、隣接する絵素間をランダムに混合させることによって、混合させた絵素のインク量、すなわち絵素の膜厚を平均化し、膜厚バラツキを周期的なバラツキからランダムなバラツキに変えている。
【００４２】
図１の例では、隣接する絵素間の接続をブラックマトリクス１１上へのインク吐出で行っているため、これによって接続される２つの絵素は、２つの絵素間での膜厚は平均化されるものの、それ以外の絵素に対しては膜厚が大きくなっている。しかしながら、隣接する絵素間の接続はランダムに行われているため、ブラックマトリクス１１上へのインク吐出による接続絵素での膜厚の増加もランダムに発生し、周期性を持たないため、ムラとして認識されにくい。
【００４３】
つまり、従来のカラーフィルタにおける色ムラの問題は、絵素の膜厚のバラツキそのものに起因しているのではなく、膜厚のバラツキが周期性を持つことに起因している。インクジェットのノズル間のバラツキによるカラーフィルタ膜厚のバラツキは非常に小さく、そのバラツキの均一性は、通常のフォトリソグラフィ法と同等以上である。但し、フォトリソグラフィ法では、膜厚のバラツキがグラデーションに近いため、ムラとして認識されにくい。一方、インクジェット法では、膜厚バラツキの量は微小であっても、それが周期的に存在してしまうために、ムラとして認識されやすくなる。つまり、この膜厚バラツキの周期を乱すことができれば、ムラとして認識されない。
【００４４】
本発明では、隣接する絵素同士をランダムに混合させ、混合させた絵素間の液滴を平均化する事で、膜厚のバラツキをランダムにする。膜厚のバラツキは完全には補正されるわけではないが、膜厚のバラツキが周期的な配置から、ランダムな配置に変わる事で膜厚のバラツキが存在しても、ムラとして認識されなくなる事を特徴とする。
【００４５】
尚、隣接される絵素では、ブラックマトリクス１１上に吐出するインクの量だけ、絵素内に吐出するインクの量を減らせば、周辺の絵素と比較しても吐出されるインク量は変化せず、ブラックマトリクス１１上へのインク吐出による接続絵素での膜厚増加も容易に解消できる。
【００４６】
また、本実施の形態に係る方法では、全ての隣接する同色絵素（縦方向に隣接する絵素）を接続するのではなく、一部の隣接絵素をランダムに接続しているのみである。無論、全ての同色絵素を接続して、同色ラインでの全体の膜厚を平均化すれば、ムラの解消といった観点からはより理想的である。しかしながら、そのような場合には、図９において説明した例と同様に、隣り合うライン間（異なる色のライン間）でインクの混合が生じた時に、その修正が困難になるといった問題がある。
【００４７】
これに対し、一部の隣接絵素をランダムに接続する方法では、横方向に隣接する絵素間でインクの混合が生じたとしても、このインク混合による絵素の混色はライン全体には広がらず、その修正も容易となる。すなわち、図４に示すように、横方向に隣接する絵素間でインクが混合しても、その混色領域は絵素単位に発生するため、最低限に抑えられる。
【００４８】
一般に、インク混色が生じた絵素の修正は、その混色絵素のインクをレーザ照射によって除去し、除去された領域に再度インクを吐出することで行われる。このため、混色領域が小さいほど、その修正は容易となる。
【００４９】
また、本実施の形態に係る方法において、インクの混色絵素が発生した場合の修正を考慮すれば、同色絵素の接続も、最大２つの接続とすることが好ましい。また、縦方向に隣接される絵素同士は、横方向に並ぶライン間で隣り合わないようにすることが好ましい。すなわち、図５（ａ）〜（ｃ）では、膜厚を平均化するために縦方向に接続された絵素を斜線ハッチングにて示しているが、図５（ａ）に示す形態では、図中×印の箇所でインクの混合が生じた場合に３つ分の絵素領域でインクの混色が生じる。一方、図５（ｂ）は、同色絵素の接続を３つの絵素で行っている例であるが、この場合、図中×印の箇所でインクの混合が生じた場合に４つ分の絵素領域でインクの混色が生じる。また、図５（ｃ）は、縦方向に隣接された絵素同士が横方向にも隣りあっている例であるが、この場合も、図中×印の箇所でインクの混合が生じた場合に４つ分の絵素領域でインクの混色が生じる。
【００５０】
尚、一般的にインクジェット装置のノズルは特定のピッチで形成されており、ノズルピッチと表示素子のピッチが一致することはほとんどない。そのため、図６に示すように、ノズルヘッド２０を回転させることで、ノズルピッチと表示素子のピッチを一致させるような手法が考案されている。また、この手法により、ブラックマトリクス１１上にインクを吐出することのできるノズルを、縦方向に並ぶ絵素の全ての接続箇所において存在させることができる。
【００５１】
本発明では、このようにブラックマトリクス上に掛かるノズルを使用することで、隣接する絵素同士を容易に混合させることが可能である。また、ノズルの吐出有無で混合させる位置を制御できるため、膜厚がランダムになるような吐出パターンを任意に設定できる。
【００５２】
このような吐出パターンを用いて、カラーフィルタを形成し、液晶表示素子を形成したところ、ムラが目立たない良好な表示素子が形成された。
【００５３】
尚、本発明におけるインクジェットを用いて微小領域の描画を行う方法は、上述したようなカラーフィルタの製造に限定されるものではない。本発明の他の応用例としては、有機ＥＬ素子の製造方法や、液晶表示素子での透明電極の製造方法等が挙げられる。
【００５４】
自発光表示素子である有機ＥＬ素子においても、インクジェット法による正孔輸送層や発光層等の形成が検討されている。有機ＥＬ素子における正孔輸送層や発光層もマトリクス状の微小領域として形成されるが、形成されるこれらの層の膜厚のバラツキは、輝度のバラツキとなって表れる。したがって膜厚のバラツキが周期的に存在すると、輝度のバラツキが周期的に存在し、ムラとして認識されてしまう。
【００５５】
このため、有機ＥＬ素子の形成においても、本発明を用いて正孔輸送層や発光層を形成すれば、これらの層の膜厚バラツキをランダムにすることで、輝度のバラツキが表示面内でランダムになり、全体としてムラが目立たなくなることが確認された。
【００５６】
また、液晶表示素子等では、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）が透明電極として広く用いられている。透明電極は、一般的にスパッタリング法でＩＴＯを形成し、フォトリソグラフィ、エッチングを用いて、透明電極のパターン形成を行っている。
【００５７】
近年、微粒子分散型のＩＴＯをインクジェット装置で塗布することで、効率的に透明電極パターンを形成する方法が検討されている。この場合でも、インクジェット装置によって形成された周期的な膜厚バラツキがムラとして認識されてしまう。このため、本発明を用いて透明電極を形成すれば、インクジェット法で微粒子分散型のＩＴＯを吐出する際、膜厚バラツキの発生をランダムに分散した表示素子が形成され、良好な表示素子が得られた。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
インクジェット法を利用してマトリクス状の微小領域を描画するにあたって、周期的な膜厚のバラツキを抑制できるため、周期性を持つことで認識されやすくなるムラを低減でき、カラーフィルタの絵素形成、有機ＥＬ素子の形成、透明電極の形成等の用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施形態を示すものであり、カラーフィルタ製造時における絵素の描画方法を示す図である。
【図２】カラーフィルタ製造において、横方向からの絵素の描画を説明する図である。
【図３】本発明の比較例を示すものであり、カラーフィルタ製造時における絵素の描画方法を示す図である。
【図４】本発明の方法によって絵素を描画されるカラーフィルタにおいて、インクの混色が生じた場合の状態を示す図である。
【図５】図５（ａ）〜（ｃ）は、インクの混色が生じた場合に、修正が必要となる絵素を示す平面図である。
【図６】ノズルヘッドを回転させて絵素の描画を行う状態を示す図である。
【図７】従来技術を示すものであり、カラーフィルタ製造において、縦方向からの絵素の描画を説明する図である。
【図８】従来技術を示すものであり、カラーフィルタ製造において、横方向からのストライプ状の絵素の描画を説明する図である。
【図９】図８に示す方法によって絵素を描画されるカラーフィルタにおいて、インクの混色が生じた場合の状態を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０    ガラス基板（基板）
１１    ブラックマトリクス（バンク部）
２０    ノズルヘッド
２１    ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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