(57)【要約】【課題】比較的大型のワークにも対応する広いワーク取付面を確保すると同時に、装置全体の寸法の小型化を図る移動装置を提供する。【解決手段】基台の両側に設けられた直動案内機構と、直動案内機構の相互間に渡って架設され且つ当該直動案内機構により所定方向に移動する可動体８と、各直動案内装置に接続された各種ケーブルをまとめて配線し且つ可動体の移動に追従して変形するケーブル案内Ｇ１とを備えた移動装置であって、ケーブル案内は、基台６から突出する幅を制限して位置決め配置されている。具体的には、ケーブル案内は、基台の下方であって且つ当該基台の内側に入り込んで配置されている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台の両側に設けられた直動案内機構と、直動案内機構の相互間に渡って架設され且つ当該直動案内機構により所定方向に移動する可動体と、各直動案内装置に接続された各種ケーブルをまとめて配線し且つ可動体の移動に追従して変形するケーブル案内とを備えた移動装置であって、
ケーブル案内は、基台から突出する幅を制限して位置決め配置されていることを特徴とする移動装置。
【請求項２】
ケーブル案内は、基台の下方であって且つ当該基台の内側に入り込んで配置されていることを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶や半導体などの各種基板(ワーク)に沿って検査用ツールや製造用器具などを移動させる移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば液晶や半導体などの各種基板(ワーク)の検査や製造に際し、例えば検査用ツールや製造用器具などを各種基板(ワーク)に沿って移動させる移動装置が知られている。このような移動装置には、例えば図３に示すように、各種基板(ワーク)２を取付可能なワーク取付面４が構成された基台６と、ワーク取付面４の両側にそれぞれ設けられた直動案内機構と、ワーク取付面４を横断するように直動案内機構の相互間に渡って架設された可動体８とが設けられている。
【０００３】
基台６は、除振機構１０を介して架台１２に支持されており、架台１２は、ベース１４に固定(又は、載置)されている。また、直動案内機構は、可動体８をワーク取付面４に沿って案内する直動案内１６と、直動案内１６に沿って可動体８を移動させる駆動機構１８とを備えている。なお、直動案内１６及び駆動機構１８は、連結体２０を介して可動体８に連結されている。
【０００４】
可動体８には、当該可動体８に沿って移動可能なスライダ２２が設けられており、例えば検査用ツールや製造用器具などはスライダ２２に取り付けられるようになっている。なお、可動体８には、スライダ２２を可動体８に沿って案内するガイド２４と、ガイド２４に沿ってスライダ２２を移動させる移動機構２６とが設けられている。
【０００５】
このような移動装置によれば、駆動機構１８により可動体８を直動案内１６に沿って移動させると共に、移動機構２６によりスライダ２２をガイド２４に沿って移動させることで、ワーク取付面４に取り付けられた各種基板(ワーク)２の全領域に沿って、例えば検査用ツールや製造用器具などを縦横に移動させることができる。
【０００６】
また、移動装置には、駆動機構１８や移動機構２６に対して制御用の電力を供給するための電力ケーブル(図示しない)や、例えば検査用ツールや製造用器具などに対して各種信号(例えば、検査結果や製造状況をあらわす信号)を送受信するための信号ケーブル(図示しない)が配線されている。この場合、電力ケーブルや信号ケーブルは、ケーブル案内G1〜G3にまとめられて配線される。なお、ケーブル案内G1〜G3は、それぞれ、互いに制限された角度内で回動自在に連結された複数の節部から成り、全体として可撓性を有し、長手方向の任意の位置でＵ字状に折れ曲がり自在なものである。また、まとめられた各ケーブルは、ケーブル案内G1〜G3の変形に倣って変形するように、対応するケーブル案内に拘束されている。
【０００７】
例えば、各駆動機構１８の電力ケーブルは、基台６の幅方向両外側にそれぞれ配設された主ケーブル案内Ｇ１にまとめられている(特許文献１参照)。主ケーブル案内Ｇ１は、一端が連結体２０に固定され且つ他端が基台６に接続されており、可動体８を直動案内１６に沿って移動させる際に、これに追従して可動体８の移動方向に沿ってキャタピラ(登録商標)のように折れ曲がり位置が順次移行するように変形する(以下「変形する」という)。また、スライダ２２には、２つの従ケーブル案内G2,G3の一端が固定され、これら従ケーブル案内G2,G3の他端は可動体８に固定されており、スライダ２２をガイド２４に沿って移動させる際に、これに追従してスライダ２２の移動方向に沿って変形する。この場合、移動機構２６の各ケーブルを２群に分け、それぞれが従ケーブル案内Ｇ２及び従ケーブル案内Ｇ３にまとめられている。
【０００８】
ところで、上述したような移動装置には、比較的大型の基板(ワーク)２にも対応できるようにワーク取付面４を広く確保すると同時に、装置全体は可能な限り小型化させるといった要望がある。この場合、ワーク取付面４を広く確保するには、基台６の寸法(例えば、幅や長さなどの寸法)を大きく設定すれば良い。しかしながら、基台６の幅方向両外側には主ケーブル案内Ｇ１が設けられているため、特にワーク取付面４の幅方向領域Ｆを広く確保するために基台６の幅寸法を大きくすると、それに応じて装置全体の幅寸法Ｗが拡大してしまう。
【０００９】
具体的には、主ケーブル案内Ｇ１には、従ケーブル案内G2,G3にまとめられた電力ケーブルや信号ケーブルも介在させるため、主ケーブル案内Ｇ１の幅寸法は比較的大きく設定されている。従って、上述したようにワーク取付面４の幅方向領域Ｆを広く確保するために基台６の幅寸法を大きくすると、その幅寸法に加えて更に主ケーブル案内Ｇ１の幅寸法が加わった分だけ装置全体の幅寸法Ｗが拡大してしまう。
【００１０】
このように幅寸法Ｗが拡大すると、当該移動装置を配置するためのスペースを広く確保しなければならないが、そのスペースにおいて主ケーブル案内Ｇ１のための占有領域は、無駄な空間となる。また、このような移動装置を搬送する場合、例えば搬送用車両の搭載幅を超えていれば、一旦移動装置を分解したり、或いは、主ケーブル案内Ｇ１を取り外すといった作業がかかるだけで無く、搬送先で再度組み立てなければならない。
【特許文献１】特開２００３−１２１５７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、このような問題を解決するためになされており、その目的は、比較的大型のワークにも対応する広いワーク取付面を確保すると同時に、装置全体の寸法の小型化を図る移動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この目的を達成するために、本発明は、基台の両側に設けられた直動案内機構と、直動案内機構の相互間に渡って架設され且つ当該直動案内機構により所定方向に移動する可動体と、各直動案内装置に接続された各種ケーブルをまとめて配線し且つ可動体の移動に追従して変形するケーブル案内とを備えた移動装置であって、ケーブル案内は、基台から突出する幅を制限して位置決め配置されている。具体的には、ケーブル案内は、基台の下方であって且つ当該基台の内側に入り込んで配置されている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ケーブル案内を基台から突出する幅を制限して位置決め配置したことにより、比較的大型のワークにも対応する広いワーク取付面を確保すると同時に、装置全体の寸法の小型化を図る移動装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態に係る移動装置について図１を参照して説明する。
本実施の形態は主ケーブル案内Ｇ１についての配置構成の改良であり、他の構成は、上述した従来の移動装置(図３)と同一の構成である。このため、同一の構成には図面上で同一符号を付して、その説明は省略する。
【００１５】
図１(ａ),(ｂ)に示すように、本実施の形態において、ケーブル案内Ｇ１は、基台６から突出する範囲が最小限となるように位置決め配置されている。具体的には、ケーブル案内Ｇ１は、基台６の下方であって且つ当該基台６の内側に入り込んで配置され、突出量は連結部材３０の略厚さ分程度に制限されている。また、ケーブル案内Ｇ１は、一端が支持部材２８に固定され且つ他端が連結部材３０に固定されている。この場合、支持部材２８は、ケーブル案内Ｇ１の一端が固定される固定部２８ａと、基台６の下面に取り付けられる取付部２８ｂとを備えており、一方、連結部材３０は、その一端が連結体２０に固定され、その他端にケーブル案内Ｇ１の他端が固定されている。
なお、連結部材３０と基台６などの移動しない部分との間には、接触しない程度の隙間を設けることが好ましい。
【００１６】
この場合、ケーブル案内Ｇ１にまとめられた各種ケーブル(例えば、電力ケーブル、信号ケーブル)は、連結部材３０を通って配線され、その一部が各駆動機構１８に接続されると共に、残りが従ケーブル案内G2,G3にそれぞれ配線される。なお、ケーブル案内Ｇ１を支持部材２８及び連結部材３０に固定する方法、連結部材３０を連結体２０に固定する方法、支持部材２８の固定部２８ａを基台６の下面に取り付ける方法としては、例えば、ねじ止め、接着、嵌合など各種の方法を適用することができる。
【００１７】
このような構成において、直動案内機構により可動体８を移動させると、連結体２０と共に連結部材３０が移動することにより、当該連結部材３０に固定されたケーブル案内Ｇ１は、可動体８(連結体２０、連結部材３０)の移動に追従して、図中矢印Ｒ方向に変形することになる。
【００１８】
以上、本実施の形態によれば、ケーブル案内Ｇ１を基台６から突出する範囲が最小限となるように位置決め配置したことにより、装置全体の幅寸法Ｗ１を従来の幅寸法Ｗ(図３)に比べて小さくすることができる。具体的に説明すると、従来の移動装置では、基台６の幅方向両外側に主ケーブル案内Ｇ１が配設されているため、特にワーク取付面４の幅方向領域Ｆを広く確保するために基台６の幅寸法を大きくすると、その幅寸法に加えて更に主ケーブル案内Ｇ１の幅寸法が加わった分だけ装置全体の幅寸法Ｗが拡大してしまう。
【００１９】
しかしながら、本実施の形態の移動装置では、ケーブル案内Ｇ１を基台６の下方であって且つ当該基台６の内側に入り込んで配置したことにより、比較的大型の基板(ワーク)２にも対応できるようにワーク取付面４を広く確保しても、従来のように基台６の幅方向両外側に主ケーブル案内Ｇ１のための占有領域が拡がることは無い。この結果、装置全体の幅寸法Ｗ１を従来の幅寸法Ｗ(図３)に比べて小さくすることができる。
【００２０】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されることは無く、以下のように変更することが可能である。
上述した実施の形態において、ケーブル案内Ｇ１を基台６の下方に起てて配置しているが、これに代えて、例えば図２に示すように、ケーブル案内Ｇ１を基台６の下方に寝かせて配置しても良い。こうすると基台６の下方の高さ領域において、ケーブル案内Ｇ１のためのスペースが小さくて済むため、その高さを小さくした分だけ移動装置の高さ寸法Ｈを低く設定することができる。即ち、移動装置の高さ方向のコンパクト化を図ることができる。また、ケーブル案内Ｇ１を基台６の下方に寝かせて配置することにより、基台６の下方に任意の目的で使用可能なスペースを確保することができる。
【００２１】
また、上述した実施の形態では、直動案内機構について特に説明しなかったが、直動案内１６としては、例えば、可動体８の移動方向に沿って延出したガイドレールと、ガイドレールに沿って移動可能なスライダとを適用し、当該スライダを連結体２０に固定すれば良い。また、駆動機構１８としては、例えば既存のリニアモータ、ボールねじ、駆動ベルトなどを適用すれば良い。
【００２２】
一例としてリニアモータを適用した場合には、例えば、ステータを可動体８の移動方向に沿って延出させ、ここに永久磁石を磁極(Ｎ極、Ｓ極)が交互に並ぶように所定間隔で配列すると共に、永久磁石と対向するように例えば３相コイルを取り付けたスライダを連結体２０に固定すれば良い。そして、３相のコイルに順次電流を流して、各コイルの磁極をＳ極またはＮ極に変えると、その際の磁極と永久磁石の磁束とが相互作用することにより、フレミングの左手の法則に従ってスライダ(連結体２０)と共に可動体２を直動案内１６に沿って移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】(ａ)は、本発明の一実施の形態に係る移動装置の構成を示す斜視図、(ｂ)は、同図(ａ)のＸ−Ｘ線に沿う断面図。
【図２】本発明の変形例に係る移動装置の構成を示す断面図。
【図３】従来の移動装置の構成を概略的に示す側面図。
【符号の説明】
【００２４】
２  各種基板(ワーク)
４  ワーク取付面
６  基台
８  可動体
２８  支持部材
３０  連結部材
Ｇ１  ケーブル案内
【図１】
2006286994.tif 000003
【図２】
2006286994.tif 000004
【図３】
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