(57)【要約】【課題】  異なる駆動方法で駆動される有機ＥＬ素子の劣化を抑制し、且つこのような素子を簡便に形成する。【解決手段】  素子基板１ｂは反転された状態で蒸着装置内に収納し、真空蒸着法を用いてモノカラー表示領域１１０Ｍに低分子の有機ＥＬ材料を蒸着する。この際、蒸着源８ａ及び素子基板１ｂ間には、フルカラー表示領域１１０Ｃに新たな蒸着層が形成されないように蒸着マスク１１ａが配置される。これにより、モノカラー表示領域１１０Ｍ全体に順次正孔輸送層、発光層、及び電子注入／輸送層からなる有機ＥＬ層を形成する。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の基板面における一の領域に、互いに異なる色に発光する複数の第１発光部を塗布法を用いて形成する第１工程と、
前記基板面における他の領域に、互いに独立して同一色に発光する複数の第２発光部を蒸着法を用いて形成する第２工程と
備えたことを特徴とする発光装置の製造方法。
【請求項２】
前記基板は、前記第１発光部及び前記第２発光部の少なくとも一方を駆動するように前記第１工程に先立って形成された駆動素子を備えること
を特徴とする請求項１に記載の発光装置の製造方法。
【請求項３】
前記第１工程において、インクジェット法を用いて前記第１発光部を形成すること
を特徴とする請求項１又は２に記載の発光装置の製造方法。
【請求項４】
前記第２工程において、前記一の領域を被うように配置されたマスクを用いて前記他の領域に選択的に前記第２発光部を形成すること
を特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
【請求項５】
前記他の領域には、前記複数の第２発光部を互いに隔てる隔壁部が設けられており、該隔壁部は、前記基板の上側に向かって幅広とされる逆テーパ形状を有すること
を特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
【請求項６】
前記一の領域は、前記基板面において互いに離間されるように分割された分割領域であり、前記他の領域は、前記分割領域間に設けられていること
を特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
【請求項７】
前記一の領域は、前記他の領域を囲むように前記基板面に設けられていること
を特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
【請求項８】
前記一の領域に前記第１発光部の電極材料を蒸着させる第３工程を更に備え、
前記第２工程を行った蒸着装置を用いて前記第３工程を前記第２工程から続けて行うこと
を特徴とする請求項１から７の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
【請求項９】
基板の基板面における一の領域に塗布法を用いて形成されており、互いに異なる色に発光する複数の第１発光部と、
前記基板面における他の領域に蒸着法を用いて形成されており、互いに独立して同一色に発光する複数の第２発光部と
備えたことを特徴とする発光装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の発光装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、有機ＥＬ装置等の発光装置及びその製造方法、並びに有機ＥＬ装置等の発光装置を備えた電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の発光装置では、有機ＥＬ形成方法の観点からから、赤、又は緑に発光する有機発光層をインクジェット方式により画素毎にパターニングし、これら画素と隣接する領域に真空蒸着法を用いて青色の有機発光層を形成する技術が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。また、ウェットパターニングを用いて低分子発光層を高精細に形成する技術も開示されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１５３９６７号公報
【特許文献２】特開２００１−２９１５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の発光装置では、フルカラー表示可能な表示パネルを用いてフルカラー表示及びモノカラー表示の両方を行っていた。フルカラー表示とは、複数色に夫々発光する発光部を動的に駆動し、これら画素部から出射される光の組み合わせによって画像を多色表示することを意味する。また、モノカラー表示とは、文字通り一色に発光する複数の発光部を発光させて画像或いは文字を単色で表示することを意味する。
【０００５】
しかしながら、モノカラー表示を長時間行う場合、特定の色に発光する発光部の劣化が進み、同じ発光部を用いてフルカラー表示を行うとこの発光部が焼き付いてしまう問題点がある。モノカラー表示を行う場合は、セグメント表示に代表されるような静的駆動によって発光部が駆動されるため、同じ発光部が長時間発光し続ける場合がある。このような静的駆動によって駆動される発光部を構成する材料には、長時間発光させても劣化の少ない特性が要求されるが、フルカラー表示の場合には動的駆動を用いて各発光部が発光されるため、任意の発光部が長時間発光され続けることは少ない。したがって、発光部の駆動方法に応じて発光部を構成する材料及びこれら発光部を形成するプロセスを選択する必要が生じ、生産コスト又はタクトタイムによるロスが多くなる製造プロセス上の問題点がある。より具体的には、例えばインクジェット法により発光材料が塗布された基板と蒸着法によって発光材料が蒸着された基板とを組み合わせて使用する場合、生産コスト又はタクトタイムによるロスが発生する場合がある。逆に言えば、発光部を構成する材料或いは製造プロセスに応じてこれら発光部を駆動する仕様を便宜選択する必要が生じる技術的問題点もある。
【０００６】
上述した各問題点を踏まえて特許文献１及び２に記載された技術を検討すると、特許文献１には、所定の色に発光する有機ＥＬ層を蒸着法を用いて形成する技術が記載されているに過ぎず、画素部の駆動方法及び各画素部の形成方法の関係に言及した記載は見られない。特許文献２では、オフセット印刷等のウェットパターニング法により有機発光層を形成する技術が記載されているが、特許文献１と同様に画素部の駆動方法及び各画素部の形成方法の関係に言及した記載は見られない。
【０００７】
よって、本発明は上記問題点等に鑑みてなされたものであり、例えば異なる駆動方法で駆動される有機ＥＬ素子の劣化を抑制し、且つこのような素子が簡便に形成された有機ＥＬ装置等の発光装置及びその製造方法、並びに電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る発光装置の製造方法は上記課題を解決するために、基板の基板面における一の領域に、互いに異なる色に発光する複数の第１発光部を塗布法を用いて形成する第１工程と、前記基板面における他の領域に、互いに独立して同一色に発光する複数の第２発光部を蒸着法を用いて形成する第２工程とを備える。
【０００９】
本発明に係る発光装置の製造方法において、一の領域とは、例えばフルカラー表示可能な領域を意味し、一の領域に形成される複数の第１発光部は、塗布法を用いて形成されている。ここで、複数の第１発光部は、互いに異なる色に発光すればよく、例えば、赤、緑及び青の３色に夫々発光する複数の発光部であってもよいし、４色以上に夫々発光する複数の発光部であってもよい。したがって、先ず第１工程で塗布法を用いて例えばフルカラー表示可能な複数の第１発光部が形成される。尚、塗布される材料は、例えば高分子有機ＥＬ材料に限定されるものではなく、発光材料として第１発光部を形成可能な材料であれば如何なるものでもよい。より具体的には、第１発光部を構成する発光材料は、低分子有機ＥＬ材料、或いは燐光材料であってもよい。
【００１０】
次に、第２工程で、蒸着法を用いて他の領域に複数の第２発光部を形成する。ここで、基板面には一の領域及び他の領域の２つの領域が設定されているため、複数の第２発光部を構成する蒸着材料が一の領域に蒸着されないように他の領域にのみ蒸着される。したがって、塗布法では成膜することが困難であった材料を蒸着法を用いて他の領域に蒸着でき、第２発光部の駆動方法に応じて第２発光部を構成する材料を選択できる。また、複数の第２発光部は互いに独立して発光可能なように形成されるため、例えば複数の第２発光部を用いて単色の文字或いは画像を表示することが可能である。より具体的には、第２発光部を用いてセグメント表示することによって文字や簡易な画像情報を表示できる。加えて、第２発光部を構成する材料の選択枝も塗布法を用いる場合に比べて増えるため、例えばフルカラー表示領域に比べて画像或いは文字の切り替えが少なく特定の第２発光部が長時間点灯された場合でも、第２発光部の焼き付きを低減することが可能である。
【００１１】
したがって、本発明に係る発光装置の製造方法によれば、他の領域には互いに独立して同一色に発光する第２発光部が形成されているため、例えばこれら第２発光部を用いてモノカラー表示を行った場合、長時間発光させても焼き付きが起こらないような材料を選択することができる。即ち、駆動方法に応じて一の領域及び他の領域における各発光部の形成方法を変えることにより、例えばモノカラー表示領域で長時間駆動される第２発光部の特性劣化が小さくなるように材料を選択することが可能である。
【００１２】
本発明に係る発光装置の製造方法の一の態様においては、前記基板は、前記第１発光部及び前記第２発光部の少なくとも一方を駆動するように前記第１工程に先立って形成された駆動素子を備えていてもよい。
【００１３】
この態様においては、基板は、第１発光部及び第２発光部を駆動する、例えば薄膜トランジスタ等の素子を備えた素子基板であってもよい。また、「素子基板」とは、単に薄膜トランジスタ等の素子を含んでいる場合に限定されるものではなく、例えばデータ線駆動回路及びデータ線駆動回路等の回路を含んでいてもよい。
【００１４】
本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様においては、前記第１工程において、インクジェット法を用いて前記第１発光部を形成してもよい。
【００１５】
この態様によれば、例えば、発光色に応じて個別に第１発光部を塗り分けて形成することが可能である。より具体的には、例えば一の領域に赤、緑及び青色の夫々の色に発光する複数の第１発光部を形成する場合、各色を発光する発光材料を各第１発光部が形成されるべき領域に夫々個別に塗り分けることが可能である。
【００１６】
本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様においては、前記第２工程において、前記一の領域を被うように配置されたマスクを用いて前記他の領域に選択的に前記第２発光部を形成してもよい。
【００１７】
この態様によれば、マスクを精度良く位置合わせしなくても他の領域に選択的に複数の第２発光部を形成できる。より具体的には、例えば一の領域を被うようにマスクを配置することによって他の領域にのみ複数の第２発光部を構成する発光材料を一括で蒸着させることができる。この際、マスクは、一の領域を被うことができる程度の位置決め精度で配置されていればよいため、簡便に複数の第２発光部を形成できる。
【００１８】
本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様においては、前記他の領域には、前記複数の第２発光部を互いに隔てる隔壁部が設けられており、該隔壁部は、前記基板の上側に向かって幅広とされる逆テーパ形状を有していてもよい。
【００１９】
この態様によれば、他の領域に第２発光部を構成する材料を蒸着させた場合に、隔壁部によって互いに第２発光部が隔てられるように形成される。これにより、他の領域に蒸着法を用いて複数の第２発光部を形成した場合でも、これら第２発光部が独立して駆動されるように、例えば複数の第２発光部を互いに電気的に分離した状態で形成できる。したがって、複数の第２発光部のみによって文字或いは画像をモノカラー表示できる。
【００２０】
本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様においては、前記一の領域は、前記基板面において互いに離間されるように分割された分割領域であり、前記他の領域は、前記分割領域間に設けられていてもよい。
【００２１】
この態様によれば、分割領域間に設定領域にのみ複数の第２発光部を形成できる。より具体的には、例えば、基板面をモノカラー表示可能な領域及びフルカラー表示可能な領域の２つの領域に分けることができ、夫々の領域に設けられた第１発光部及び第２発光部を適切な駆動方法で夫々駆動することが可能である。したがって、例えば基板面をモノカラー表示可能な領域及びフルカラー表示可能な領域に自在に分割し、夫々の領域で所要の駆動方法で文字或いは画像を表示できる。
【００２２】
本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様においては、前記一の領域は、前記他の領域を囲むように前記基板面に設けられていてもよい。
【００２３】
この態様によれば、例えば、モノカラー表示領域の周囲にフルカラー表示領域を設定し、これら２つの領域で所要の駆動方法を用いて文字或いは画像を表示することが可能である。
【００２４】
本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様においては、前記一の領域に前記第１発光部の電極材料を蒸着させる第３工程を更に備え、前記第２工程を行った蒸着装置を用いて前記第３工程を前記第２工程から続けて行ってもよい。
【００２５】
この態様によれば、第２工程及び第３工程を連続して行うことが可能であり、生産コスト及びタクトタイムを向上させることが可能である。より具体的には、例えば塗布法を用いて第１発光部及び第２発光部を形成した場合でも、第２発光部の電極を形成する場合には蒸着法を用いることが多いため、第２発光部を蒸着法で形成し、そのまま連続して蒸着装置内で電極を形成することによって第２発光部を蒸着装置で形成することによる生産コスト及びタクトタイムの増大分を減少させることが可能である。したがって、発光装置の寿命及び表示特性の向上を可能としつつ、発光装置の製造プロセス全体における生産コスト及びタクトタイムの増大分を抑制できる。
【００２６】
本発明に係る発光装置は上記課題を解決するために、基板の基板面における一の領域に塗布法を用いて形成されており、互いに異なる色に発光する複数の第１発光部と、前記基板面における他の領域に蒸着法を用いて形成されており、互いに独立して同一色に発光する複数の第２発光部とを備えている。
【００２７】
本発明に係る発光装置によれば、上述の本発明の発光装置の製造方法と同様に、特性劣化が低減され、表示性能に優れた発光装置を提供することができる。したがって、本発明に係る発光装置は、高品質の表示を長期間行うことができる。
【００２８】
本発明に係る電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の発光装置を具備してなる。
【００２９】
本発明に係る電子機器によれば、上述した本発明に係る発光装置を具備してなるので、高品位の表示が可能な、投射型表示装置、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。より具体的には、例えば、携帯電話の表示画面において、静止画像を表示する領域及び動画像を表示する領域で発光部の製造プロセスを変えることにより、信頼性の高い発光部が各領域に形成されることになる。また、輸送機器用ディスプレイ装置において、スピード表示或いは各種インジケータのように表示情報が余り変化しない領域と、短い時間間隔で表示情報が変わる動画像を表示する表示部とを別々のプロセスで製造することも可能である。このような輸送機器用ディスプレイは、自動車、鉄道、航空機、或いは船舶等に用いられる表示手段に応用可能である。本発明の電子機器のほかの応用例としては、テレビジョン用ディスプレイ或いはパソコン用ディスプレイのうち本体のメインディスプレイはフルカラー表示とし、バッテリー残量表示或いは各種インジケータについては単色の固定表示をする表示部があげられる。また、本発明に係る電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置等も実現することが可能である。
【００３０】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下図面を参照しながら、本発明の発光装置及びその製造方法、並びに電子機器の実施形態を説明する。本実施形態では、発光装置として有機ＥＬ装置を例に挙げる。
【００３２】
（有機ＥＬ装置の構成）
図１は、本実施形態の有機ＥＬ装置の電気的な接続構成を示すブロック図である。図１において、有機ＥＬ装置１０は、駆動回路内蔵型のアクティブマトリクス駆動方式で駆動される表示装置であり、有機ＥＬ装置１０が有する各画素部７０は有機ＥＬ素子７２を備えている。
【００３３】
有機ＥＬ装置１０の画像表示領域１１０には、縦横に配線されたデータ線１１４及び走査線１１２が設けられており、それらの交点に対応するように各サブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ、及び７０Ｂがマトリクス状に配列され、これら３つのサブ画素部を一組として一つの画素部７０が構成されている。
【００３４】
ここで、図２（ａ）及び（ｂ）示すように、画像表示領域１１０は、本発明の「一の領域」の一例であるフルカラー表示領域１１０Ｃ及び本発明の「他の領域」の一例であるモノカラー表示領域１１０Ｍに分けることができる。モノカラー表示領域１１０Ｍとは、一色に発光する画素部が設けられた領域であり、フルカラー表示領域１１０Ｃとは、複数色に夫々発光するサブ画素部或いは複数色による画像表示が可能な画素部が設けられている領域を意味する。モノカラー表示領域１１０Ｍ及びフルカラー表示領域１１０Ｃは、画像表示領域１１０内で区分けされていればよく、図２（ａ）に示すように、画像表示領域１１０において互いに分割された分割領域である複数のフルカラー表示領域１１０Ｃ間にモノカラー表示領域１１０Ｍが設けられていてもよいし、図２（ｂ）に示すようにモノカラー表示領域１１０Ｍがフルカラー表示領域１１０Ｃに囲まれるように設けられていてもよい。尚、図１に示す画素部７０は、フルカラー表示領域１１０Ｃに含まれており、図１に示す画像表示領域１１０の一部の領域には、本発明の「第２発光部」の一例であって、単色に発光する複数の画素部１７０を含むモノカラー表示領域１１０Ｍが設定されている。
【００３５】
再び図１において、サブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ及び７０Ｂは、赤色に発光する有機ＥＬ素子７２Ｒ、緑色に発光する有機ＥＬ素子７２Ｇ及び青色に発光する有機ＥＬ素子７２Ｂを夫々有している。更に、画像表示領域１１０には各データ線１１４に対して配列されたサブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ及び７０Ｂに対応する電源供給線１１７が設けられている。
【００３６】
画像表示領域１１０の周辺に位置する周辺領域には、走査線駆動回路１３０及びデータ線駆動回路１５０が設けられている。走査線駆動回路１３０は複数の走査線１１２に走査信号を順次供給する。データ線駆動回路１５０は、画像表示領域１１０に配線されたデータ線１１４に画像信号を供給する。尚、走査線駆動回路１３０の動作とデータ線駆動回路１５０の動作とは、同期信号線１６０を介して相互に同期が図られる。電源供給線１１７には、外部回路から画素部を駆動するための画素駆動用電源が供給される。図１中、一つの画素部７０に着目すれば、画素部７０には、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂが設けられると共に、例えばＴＦＴを用いて構成されるスイッチング用トランジスタ７６及び駆動用トランジスタ７４、並びに保持容量７８がサブ画素部毎に設けられている。スイッチング用トランジスタ７６のゲート電極には走査線１１２が電気的に接続されており、スイッチング用トランジスタ７６のソース電極にはデータ線１１４が電気的に接続され、スイッチング用トランジスタ７６のドレイン電極には駆動用トランジスタ７４のゲート電極が電気的に接続されている。駆動用トランジスタ７４のドレイン電極には、電源供給線１１７が電気的に接続されており、駆動用トランジスタ７４のソース電極には有機ＥＬ素子７２の陽極が電気的に接続されている。尚、図１に例示した画素回路の構成の他にも、電流プログラム方式の画素回路、電圧プログラム方式の画素回路、電圧比較方式の画素回路、サブフレーム方式の画素回路等の各種方式の画素回路を採用することが可能である。
【００３７】
次に、図３及び図４を参照しながら、有機ＥＬ装置１０の具体的な構成を説明する。図３は、フルカラー表示領域１１０Ｃにおける有機ＥＬ装置１０の平面図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ´線断面図である。
【００３８】
図３において、有機ＥＬ装置１０は、画素部７０、及びバンク部４７を備えている。
【００３９】
画素部７０は、フルカラー表示領域１１０Ｃにマトリクス状に配設されている。画素部７０は、図中横方向に沿って配列された３つのサブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ及び７０Ｂを一組として構成されており、画像表示領域１１０のうちカラー表示領域１１０Ｃの図中縦方向及び横方向の夫々に沿って配列されている。
【００４０】
バンク部４７は、第１バンク部４７ａ及び第２バンク部４７ｂから構成されており、有機ＥＬ素子７２が形成される凹部６２を規定し、フルカラー表示領域１１０Ｃ全体に延在している。サブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ及び７０Ｂの夫々に設けられた有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々は、本発明の「第１発光部」の一例であり、凹部６２の底部から基板１の上側、即ち図中手前側に臨む。
【００４１】
図４において、有機ＥＬ装置１０は、基板１、基板１上に形成された有機ＥＬ素子７２、駆動用トランジスタ７４、バンク部４７及び封止部２０を備えている。尚、有機ＥＬ素子７２は、図中下側に光を出射するボトムエミッション型の有機ＥＬ素子であるが、図中上側に光を出射するトップエミッション型の有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ装置でも本発明の発光装置は適用可能であることは言うまでもない。
【００４２】
基板１は、例えば、ガラス基板等で構成されており、有機ＥＬ素子７２が図中下側に出射する光を透過させる。したがって、図１に示す駆動用トランジスタ７４及びスイッチング用トランジスタ７６は、基板１における有機ＥＬ素子７２の下側の領域を避けるように形成されている。基板１は、基板１上に有機ＥＬ素子７２が形成されているだけでなく、図１に示す走査線駆動回路１３０及びデータ線駆動回路１５０の各種回路を備えている。このような回路は、基板１における画像表示領域１１０の周辺領域に設けられる。
【００４３】
有機ＥＬ素子７２は、有機ＥＬ層５０、陰極４９、及び陽極３４を備えて構成されている。尚、サブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ及び７０Ｂの夫々が備える有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂは、各色に発光する有機ＥＬ層５０の構成材料が異なるのみであるため、一つの有機ＥＬ素子７２の構成について説明し、他の有機ＥＬ素子の説明は省略する。
【００４４】
有機ＥＬ層５０は、後述するように発光層を含む複数の有機層を備えており、これら有機層は、複数の有機ＥＬ層５０を互いに隔てるための素子分離部として機能するバンク部４７に囲まれた凹部６２に有機材料を塗布することによって形成されている。より具体的には、有機ＥＬ層５０は、例えば塗布法の一例であるインクジェット法を用いて陽極３４上に順次形成された正孔注入／輸送層、発光層及び電子注入／輸送層を備え、その上に蒸着法を用いて形成された陰極４９が形成されている。有機ＥＬ層５０に含まれる正孔注入／輸送層は、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いて形成されている。有機ＥＬ層５０に含まれる発光層は、有機ＥＬ材料を用いて構成されている。このような有機ＥＬ材料としては、例えば（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、またはこれらの高分子材料にルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等をドープした材料を用いることができる。有機ＥＬ層５０に含まれる電子注入／輸送層は、カルシウム（Ｃａ）、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化ストロンチウム（ＳｒＦ２）、マグネシウム（Ｍｇ）、バリウム（Ｂａ）等の仕事関数の低い材料を用いて形成されている。このような電子注入／輸送層によれば、電流駆動型の発光層に電子を効率良く注入でき、発光層の発光効率を高めることが可能である。後述するモノカラー表示領域１１０Ｍに形成された有機ＥＬ素子は、有機ＥＬ素子１７２の発光層を構成する発光材料として、長時間点灯しても劣化の小さい発光材料が選択される。
【００４５】
有機ＥＬ層５０の端部、即ち後述するバンク部４７と接する部分は有機ＥＬ層５０の中央付近の膜厚より若干厚めに形成されている。したがって、有機ＥＬ層５０は、その端部において陰極４９及び陽極３４間がショートすることを抑制できる。加えて、有機ＥＬ層５０の中央付近は平坦であるため、有機ＥＬ層５０の中央付近で均一な輝度で発光することが可能である。
【００４６】
バンク部４７は、第１バンク部４７ａ及び第２バンク部４７ｂから構成されており、有機ＥＬ層５０が形成される凹部６２を規定する。第１バンク部４７ａは、ＳｉＯ、ＳｉＯ２又はＴｉＯ２等の無機材料で構成される無機材料層であり、例えば、保護層４５上にＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition；化学蒸着）法、コート法、スパッタ法等の膜形成法を用いて形成されている。第２バンク部４７ｂは、アクリル樹脂、又はポリイミド樹脂等の有機材料で構成される有機材料層であり、図中上側に向かって先細りとなるテーパ形状を有している。第２バンク部４７ｂは、第１バンク部４７ａ上に有機材料層を形成した後、この有機材料層をフォトリソグラフィ技術等を用いてパターニングすることによって形成されている。第２バンク部４７ｂは、その底部が図中横方向に沿って第１バンク部４７ａより小さめとなるように形成されている。尚、後述するように、モノカラー表示領域１１０Ｍに設けられたバンク部は、基板１の上側に向かって幅広の逆テーパ形状を有しており、蒸着法を用いてモノカラー表示領域１１０Ｍに有機ＥＬ材料を成膜した場合でも、画素部毎に独立した有機ＥＬ層を形成できることに留意されたい。
【００４７】
陰極４９は、第２バンク部４７ｂの表面及び有機ＥＬ層５０の表面を被うように形成されている。陰極４９は、基板１上に形成された各有機ＥＬ素子７２で共通とされる共通電極であり、例えば蒸着法を用いて形成されたＡｌ等の金属薄膜である。陰極４９は、基板１上で平面的に見てフルカラー表示領域１１０Ｃ及びモノカラー表示領域１１０Ｍに渡って物理的に接続された電極、或いは一枚の連続した電極として延在している。
【００４８】
陽極３４は、基板１上に順次形成されたゲート絶縁層２、層間絶縁膜４１、保護層４５、及び第１バンク部４７ａのうち第１バンク部４７ａに埋め込まれるように形成されている。陽極３４は、例えば、有機ＥＬ層５０から出射された光を図中下側に透過するようにＩＴＯ等の透明材料で形成された透明電極である。
【００４９】
駆動用トランジスタ７４のソース電極７４ｓは、図１に示す電源供給線１１７に電気的に接続されており、ドレイン電極７４ｄは陽極３４に電気的に接続されている。駆動用トランジスタ７４は、図１に示すデータ線１１４を介してゲート電極３ａに供給されるデータ信号に応じてオンオフされ、駆動電流を有機ＥＬ素子７２に供給する。このような素子を含む回路は、有機ＥＬ素子５０から基板１側に出射される光を遮らないように、有機ＥＬ素子５０の下側を避けるように設けられている。また、駆動用トランジスタ７４と同様に図１に示すスイッチング用トランジスタ７６も基板１上に形成されている。
【００５０】
半導体層３は、例えば低温ポリシリコン技術を用いて形成された多結晶シリコン層或いはアモルファスシリコン層である。半導体層３上には、半導体層３を埋め込んで、スイッチング用トランジスタ７６及び駆動用トランジスタ７４のゲート絶縁層２が形成されている。駆動用トランジスタ７４のゲート電極３ａ及び図１に示す走査線１１２は、ゲート絶縁層２上に形成されている。走査線１１２の一部は、スイッチング用トランジスタ７６のゲート電極として形成されている。
【００５１】
走査線１１２や駆動用トランジスタ７４のゲート電極３ａを埋め込んで、ゲート絶縁層２上には図３に示す層間絶縁層４１が形成されている。層間絶縁層４１及びゲート絶縁層２は例えばシリコン酸化膜から構成されている。層間絶縁層４１上には、例えばアルミニウム（Ａｌ）又はＩＴＯ（Indium Tin Oxide）を含む導電材料から夫々構成される、データ線１１４及び電源供給線１１７、更には駆動用トランジスタ７４のソース電極７４ｓが形成されている。層間絶縁層４１には、層間絶縁層４１の表面から層間絶縁層４１及びゲート絶縁層２を貫通して、駆動用トランジスタ７４の半導体層３に至るコンタクトホール５０１及び５０２が形成されている。電源供給線１１７及びドレイン電極７４ｄを構成する導電膜は、コンタクトホール５０１及び５０２の各々の内壁に沿って半導体層３の表面に至るように連続的に形成されている。層間絶縁層４１上には、電源供給線１１７及びドレイン電極７４ｄを埋め込んで、保護層４５として例えばシリコン窒化膜（ＳｉＮｘ）ないしシリコン酸化膜（ＳｉＯｘ）が形成されている。保護層４５上には、例えばシリコン酸化膜よりなる第１バンク部４７ａが形成され、更に第１バンク部４７ａ上に第２バンク部４７ｂが形成されている。第１バンク部４７ａ及び第２バンク部４７ｂによって、画素部における有機ＥＬ層５０の形成領域が規定されている。
【００５２】
封止板２０は、水分が有機ＥＬ装置１０の外部から有機ＥＬ層５０に浸入することを防止する。より具体的には、封止板２０は、基板１上に接着剤によって接着されており、有機ＥＬ装置１０の外気が有機ＥＬ素子７２に触れないように有機ＥＬ素子７２を封止する。基板１上に封止板２０を接着する接着剤は、熱硬化樹脂或いは紫外線硬化樹脂を含んでおり、例えば、熱硬化樹脂の一例であるエポキシ樹脂が封止板２０の周縁部にディスペンサ等の塗布手段を用いて塗布される。
【００５３】
封止板２０における陰極４９に臨む側の面において、封止板２０の周縁部は中央部に対して凸状となっており、有機ＥＬ素子７２が封止板２０によって封止された状態で、封止板２０の中央部及び有機ＥＬ素子７２の間に一定の空間が介在する。封止板２０及び有機ＥＬ素子７２間の空間には、不活性ガス、樹脂或いはオイル等の充填材が充填され、この充填材により装置外部から侵入する水分を低減する。封止板２０及び有機ＥＬ素子７２間の空間は、封止板２０及び基板１で封止された真空であってもよい。尚、封止板２０としてガラス基板を用いた場合には、ガラス基板である基板１及び封止板２０の熱膨張率が同等であることから、熱膨張率の違いに起因するこれら板間のひずみを低減することができ、装置全体の信頼性を高めることが可能である。
【００５４】
このように、本実施形態の有機ＥＬ装置１０によれば、フルカラー表示領域１１０Ｃに形成される有機ＥＬ素子及びモノカラー表示領域１１０Ｍに形成される有機ＥＬ素子に関して形成方法及び材料を変えることによって、モノカラー表示領域で長時間駆動される第有機ＥＬ素子の特性劣化を小さくすることが可能である。
【００５５】
（有機ＥＬ装置の製造方法）
次に、図５乃至図９を参照しながら本実施形態の有機ＥＬ装置の製造方法を説明する。
【００５６】
図５及び図６は有機ＥＬ装置の製造方法の工程断面図であり、図７及び図８は図５及び図６に対応する工程平面図である。図９は、モノカラー表示領域に有機ＥＬ層を形成する工程の一部を詳細に示した工程断面図である。
【００５７】
先ず、図５（ａ）及び図７（ａ）において、有機ＥＬ層５０、陰極４９及び封止板２０が形成されていない素子基板１ａを洗浄する。素子基板１ａは、基板１上に駆動トランジスタ７４等の素子、下地絶縁膜２、層間絶縁膜４１、保護膜４５、陽極３４及びバンク部４７までが形成された板状の構造体である。
【００５８】
素子基板１ａ４の表面には、プラズマ処理によって表面処理を施す。より具体的には、陽極３４に酸素ガスを用いたＯ２プラズマ処理し、陽極３４表面を親液化処理する。これに伴い、Ｏ２プラズマ処理によって陽極３４表面の洗浄及び仕事関数の調整も行うことが可能である。次に、バンク部４７は、例えばテトラフルオロメタンを用いたＣＦ４プラズマ処理によって表面処理される。これにより、バンク部４７の上面及び凹部を規定する内壁表面が撥水化処理され、最終的に形成される有機ＥＬ層の膜質を高め、且つ形状を所要の形状にすることが可能である。
【００５９】
次に、図５（ｂ）及び図７（ｂ）において、フルカラー表示領域１１０Ｃ内のバンク部４７で規定された凹部６２にインクジェット装置７を用いて正孔注入／輸送材料を塗布する。尚、フルカラー表示領域１１０Ｃは、有機ＥＬ素子７２が形成される領域を規定する凹部６２毎にインクジェット装置７から正孔注入／輸送材料を含むインク９ａが供給されるが、図５乃至図８では各表示領域における凹部６２の図示を省略している。この工程では、モノカラー表示領域１１０Ｍには、有機ＥＬ層が形成されていない。
【００６０】
次に、図５（ｃ）及び図７（ｃ）において、発光材料を含むインク９ｂをインクジェット装置７を用いてカラー表示領域１１０Ｃ内の各凹部６２に塗布する。これにより、カラー表示領域１１０Ｃ内の各凹部６２に正孔注入／輸送層及び発光層からなる有機ＥＬ層５０が形成され、有機ＥＬ層５０までが形成された素子基板１ｂが形成される。尚、図５（ｂ）及び（ｃ）、並びに図７（ｂ）及び（ｃ）において、インク９ａ及び９ｂの夫々が順次乾燥されることによって、正孔注入／輸送層及び発光層が形成される。
【００６１】
次に、図６（ａ）及び図８（ａ）において、素子基板１ｂは反転された状態で蒸着装置内に収納し、真空蒸着法を用いてモノカラー表示領域１１０Ｍに低分子の有機ＥＬ材料を蒸着する。この際、蒸着源８ａ及び素子基板１ｂ間には、フルカラー表示領域１１０Ｃに新たな蒸着層が形成されないように蒸着マスク１１ａが配置される。これにより、モノカラー表示領域１１０Ｍ全体に順次正孔輸送層、発光層、及び電子注入／輸送層からなる有機ＥＬ層を形成する。蒸着マスク１１ａは、フルカラー表示領域１１０Ｃに蒸着層が形成されない程度に位置決めされていればよい。モノカラー表示領域１１０Ｍに蒸着される有機ＥＬ材料は、有機ＥＬ層５０を構成する材料に比べて分子量が小さい低分子材料である。ここで、図９（ａ）に詳細に示すように、モノカラー表示領域１１０Ｍに設けられたバンク部４７´は、カラー表示領域１１０Ｃに設けられたバンク部４７とは逆方向、即ち、素子基板１１ｂの上側に向かって幅広とされる逆テーパ形状を有している。バンク部４７´によれば、モノカラー表示領域１１０Ｍに一括にて有機ＥＬ層５０´の各層を構成する材料を蒸着させた場合でも、各凹部６２´毎に有機ＥＬ層５０´が形成される。したがって、モノカラー表示領域１１０Ｍに複数の画素部を形成する場合でも、これら画素部を独立して駆動できるように各有機ＥＬ素子１７２を互いに電気的に分離した状態で形成できる。尚、有機ＥＬ層５０´に含まれる発光層は、ホスト層或いはドープ層を含んでいてもよい。有機ＥＬ層５０´を形成した後、Ａｌ等の金属材料を蒸着させることによってモノカラー表示領域１１０Ｍに陰極４９´を形成し、図９（ｂ）に示すように、モノカラー表示領域１１０Ｍに本発明の「第２発光部」の一例である有機ＥＬ素子１７２が形成される。有機ＥＬ素子１７２が備える発光層は、蒸着法を用いてモノカラー表示領域１１０Ｍに低分子有機ＥＬ材料を蒸着させることによって形成されている。有機ＥＬ素子１７２は、有機ＥＬ素子７２に比べて長い時間点灯される場合が多いため、有機ＥＬ素子１７２の発光層を構成する発光材料としては、長時間点灯して劣化が少ない発光材料が選択される。即ち、モノカラー表示領域１１０Ｍにおける有機ＥＬ素子１７２の駆動方法に合わせて有機ＥＬ層５０を構成する材料とは異なる発光材料を選択することが可能である。
【００６２】
再び図６（ｂ）及び図８（ｂ）において、有機ＥＬ素子１７２までが形成された素子基板１ｃのフルカラー表示領域１１０Ｃに金属薄膜を蒸着し、陰極４９を形成する。この際、素子基板１ｃ及び蒸着源８ｂ間に蒸着マスク１１ｂが配置される。蒸着マスク１１ｂは、蒸着源８ｂから供給される陰極材料がモノカラー表示領域１１０Ｍに蒸着しないように位置決めされている。
【００６３】
次に、図６（ｃ）及び図８（ｃ）に示すように、素子基板１ｃに封止板２０を接着することによって有機ＥＬ装置１０を形成する。
【００６４】
以上説明したように、本実施形態の有機ＥＬ装置の製造方法によれば、互いに独立して同一色に発光する有機ＥＬ素子１７２がモノカラー表示領域１１０Ｍに形成されているため、有機ＥＬ素子１７２を用いてモノカラー表示を行った場合、長時間発光させても焼き付きが起こらないような材料を選択することができる。即ち、駆動方法に応じて有機ＥＬ素子７２及び１７２の夫々を構成する材料を選択することが可能である。加えて、有機ＥＬ素子７２及び１７２を形成した際に、連続して蒸着装置内で電極を形成することによって生産コスト及びタクトタイムの増大分を減少させることが可能である。したがって、発光装置の寿命及び表示特性の向上を可能としつつ、発光装置の製造プロセス全体における生産コスト及びタクトタイムの増大分を抑制できる。
（電子機器）
次に、上述した有機ＥＬ装置を備えた各種電子機器について説明する。
【００６５】
＜Ａ：モバイル型コンピュータ＞
図１０を参照しながらモバイル型のコンピュータに上述した有機ＥＬ装置を適用した例について説明する。図１０は、コンピュータ１２００の構成を示す斜視図である。
【００６６】
図１０において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、図示しない有機ＥＬ装置を用いて構成された表示部１００５を有する表示ユニット１２０６とを備えている。上述した有機ＥＬ装置を含んだ表示部１００５は、フルカラー表示領域及びモノカラー表示領域を構成する材料及び形成方法が分けられているため、表示特性に優れた高い信頼性を有している。表示部１００５が備える複数の有機ＥＬディスプレイ基板に赤、緑、青の光の三原色の光を発光する有機ＥＬ素子を形成しておくことによって、該表示部１００５はフルカラー表示で画像表示を行うことができる。
【００６７】
＜Ｂ：携帯型電話機＞
更に、上述した有機ＥＬ装置を携帯型電話機に適用した例について、図１１を参照して説明する。図１１は、携帯型電話機１３００の構成を示す斜視図である。
【００６８】
図１１において、携帯型電話機１３００は、複数の操作ボタン１３０２と共に、本発明の一実施形態である有機ＥＬ装置を有する表示部１３０５を備えるものである。
【００６９】
表示部１３０５は、上述の表示部１００５と同様に高品質の画像を表示することができると共に信頼性が高められている。これにより、携帯型電話機１３００の耐久性も高められている。また、表示部１３０５が備える複数の有機ＥＬ素子が夫々赤、緑、青の光の三原色の光を発光することによって、該表示部１３０５はフルカラー表示で画像表示を行うこともできる。
【００７０】
尚、本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う発光装置及びその製造方法、並びに電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本実施形態の有機ＥＬ装置の電気的な接続構成を示すブロック図である。
【図２】フルカラー表示領域及びモノカラー表示領域のレイアウトを模式的に示した図である。
【図３】フルカラー表示領域１１０Ｃにおける有機ＥＬ装置１０の平面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ´線断面図である。
【図５】本実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法の工程断面図（その１）である。
【図６】本実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法の工程断面図（その２）である。
【図７】本実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法の工程平面図（その１）である。
【図８】本実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法の工程平面図（その２）である。
【図９】モノカラー表示領域における製造工程の一部を詳細に示した工程断面図である。
【図１０】本発明に係る電子機器の一例を示す斜視図である。
【図１１】本発明に係る電子機器の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７２】
１０・・・有機ＥＬ装置、２０・・・封止板、７０・・・画素部、７２・・・有機ＥＬ装置
【図１】
2006269161.tif 000003
【図２】
2006269161.tif 000004
【図３】
2006269161.tif 000005
【図４】
2006269161.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2006269161.tif 000009
【図８】
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【図９】
2006269161.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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