(57)【要約】【課題】  過剰な力により破損するのを防止でき、かつシール性の高い端子構造、及び該端子構造を適用した真空ポンプを提供する。【解決手段】  制御装置４００がターボ分子ポンプ本体３００に向けて移行すると、雌コネクタ６００の円筒壁６０３が雄コネクタ５００の空洞５０４内に嵌合される。雄ピン５１１の一端頭部５１１ａは接続状態が深まるに連れ、ピン挿入用長孔６２３に挿入されるようになる。その後、制御装置４００の円筒壁６０３の先端が雄コネクタ５００の底部５０１に当接すると、剛性の弱い制御装置４００側の雌コネクタ６００が波型座金６１３の弾性力に抗して押し戻される。このことにより、雌コネクタ６００や雄コネクタ５００に過剰な力がかかったような場合であっても波型座金６１３の変形で力を緩和できるのでコネクタが破損するということはなくなる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のコネクタと、
該第１のコネクタを有する第１の部材と、
前記第１のコネクタに対し嵌合されることで電気接続される第２のコネクタと、該第２のコネクタを有する第２の部材と、
前記第１のコネクタを前記第１の部材に対して弾性的に保持、及び／又は前記第２のコネクタを前記第２の部材に対して弾性的に保持する弾性保持手段とを備えたことを特徴とする端子構造。
【請求項２】
前記嵌合される距離が所定長以上行かないように規制する移動規制手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の端子構造。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の端子構造を備えた真空ポンプであって、前記第１の部材が真空ポンプ本体に適用され、かつ前記第２の部材が制御装置に適用されたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項４】
導線が途中で露出された少なくとも一本のケーブルと、
該ケーブルの少なくとも露出された導線部分を含めて固化成型された成型部材と、
該成型部材が取り付け若しくは一体化された外筒とを備えたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項５】
少なくとも一本の導電性を有するピンと、
該ピンの両端に配設されケーブルの導線を固定可能なケーブル導線固定手段と、前記ピンが固化成型された成型部材と、
該成型部材が取り付け若しくは一体化された外筒とを備えたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項６】
前記外筒には制御装置が連設され、
該外筒内部のケーブルと前記制御装置内部のケーブルとは前記成型部材を介して電気的に連絡され、
該成型部材の固化成型された部分、及び該成型部材の前記外筒への取り付け部分若しくは該成型部材の前記外筒との一体化された部分はシール化されていることを特徴とする請求項４又は請求項５記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は端子構造及び真空ポンプに係わり、特に過剰な力により破損するのを防止でき、かつシール性の高い端子構造、及び該端子構造を適用した真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。
これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。
【０００３】
そして、これらの作業は空気中の塵等による影響を避けるため高真空状態のチャンバ内で行われる必要がある。このチャンバの排気には、一般に真空ポンプが用いられているが、特に残留ガスが少なく、保守が容易等の点から真空ポンプの中の一つであるターボ分子ポンプが多用されている。
【０００４】
また、半導体の製造工程では、様々なプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。
【０００５】
更に、ターボ分子ポンプは、電子顕微鏡等の設備において、粉塵等の存在による電子ビームの屈折等を防止するため、電子顕微鏡等のチャンバ内の環境を高度の真空状態にするのにも用いられている。
【０００６】
そして、このようなターボ分子ポンプは、半導体製造装置や電子顕微鏡等のチャンバからガスを吸引排気するためのターボ分子ポンプ本体と、このターボ分子ポンプ本体を制御する制御装置とから構成されている。
【０００７】
このターボ分子ポンプ本体の縦断面図を図５に示す。
図５において、ターボ分子ポンプ本体１００は、円筒状の外筒１２７の上端に吸気口１０１が形成されている。外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３を備える。
【０００８】
この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例えば、いわゆる５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石がＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４に近接かつ対応されて４個の上側径方向センサ１０７が備えられている。この上側径方向センサ１０７は回転体１０３の径方向変位を検出し、その信号を制御装置２００に送るように構成されている。
【０００９】
制御装置２００においては、上側径方向センサ１０７が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節機能を有する磁気軸受制御回路を介したアンプの出力により、上側径方向電磁石１０４の励磁を制御し、ロータ軸１１３の上側の径方向位置を調整する。ここで、磁気軸受制御回路は、上側径方向センサ１０７が検出したロータ軸１１３の変位のアナログセンサ信号をＡ／Ｄコンバータでデジタル信号に変換し、その信号を処理し、上側径方向電磁石１０４に流す電流を調整し、ロータ軸１１３を浮上させている。
【００１０】
また、上側径方向電磁石１０４に流す電流を微調整するため、上側径方向電磁石１０４に流した電流を測定し、磁気軸受制御回路にフィードバックしている。
ロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄など）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。
【００１１】
また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３の下側の径方向位置が、上側の径方向位置と同様に、制御装置２００において調整されている。
【００１２】
更に、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ１０９が備えられ、その軸方向変位信号が制御装置２００に送られるように構成されている。
【００１３】
そして、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂは、この軸方向変位信号に基づき制御装置２００のＰＩＤ調節機能を有する磁気軸受制御回路を介したアンプの出力により、励磁制御されるようになっている。軸方向電磁石１０６Ａは、磁力により金属ディスク１１１を上方に吸引し、軸方向電磁石１０６Ｂは、金属ディスク１１１を下方に吸引する。
【００１４】
このように、制御装置２００では、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持する。
【００１５】
モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。これら各磁極は、制御装置２００のＰＷＭ制御機能を有するモータ制御回路を介した駆動回路から出力された動力信号により、モータ１２１を回転駆動するよう制御されている。
また、モータ１２１には、図示しない回転数センサ及びモータ温度センサが取り付けられており、これらの回転数センサ及びモータ温度センサの検出信号を受けて、制御装置２００においてロータ軸１１３の回転が制御されている。
【００１６】
回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・が配設されている。回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。
【００１７】
また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。
そして、固定翼１２３の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
【００１８】
固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。
固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設され、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間にはネジ付きスペーサ１３１が配設されている。そして、ベース部１２９中のネジ付きスペーサ１３１の下部には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。
【００１９】
ネジ付きスペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝１３１ａが複数条刻設されている。
ネジ溝１３１ａの螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。
【００２０】
回転体１０３の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・に続く最下部には回転翼１０２ｄが垂下されている。この回転翼１０２ｄの外周面は、円筒状で、かつネジ付きスペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付きスペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。
【００２１】
ベース部１２９は、ターボ分子ポンプ本体１００の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。
ベース部１２９はターボ分子ポンプ本体１００を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。
【００２２】
また、ベース部１２９には、コネクタ１６０が配設されており、このコネクタ１６０は、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置２００との間の信号線の出口になっている。そして、このコネクタ１６０はターボ分子ポンプ本体１００側が雄端子、一方、制御装置２００側が雌端子で着脱自在であると共にシール構造を有しており、ターボ分子ポンプ本体１００内部が真空状態を維持できるようになっている。
【００２３】
かかる構成において、回転翼１０２がモータ１２１により駆動されてロータ軸１１３と共に回転すると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。
吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。そして、ベース部１２９に移送されてきた排気ガスは、ネジ付きスペーサ１３１のネジ溝１３１ａに案内されつつ排気口１３３へと送られる。
【００２４】
なお、上記では、ネジ付きスペーサ１３１は回転翼１０２ｄの外周に配設し、ネジ付きスペーサ１３１の内周面にネジ溝１３１ａが刻設されているとして説明した。しかしながら、これとは逆に回転翼１０２ｄの外周面にネジ溝が刻設され、その周囲に円筒状の内周面を有するスペーサが配置される場合もある。
【００２５】
また、吸気口１０１から吸引されたガスがモータ１２１、下側径方向電磁石１０５、下側径方向センサ１０８、上側径方向電磁石１０４、上側径方向センサ１０７などで構成される電装部側に侵入することのないよう、パージガスにて所定圧に保たれている。
【００２６】
このため、ベース部１２９には図示しない配管が配設され、この配管を通じてパージガスが導入される。導入されたパージガスは、保護ベアリング１２０とロータ軸１１３間、モータ１２１のロータとステータ間、ステータコラム１２２と回転翼１０２間の隙間を通じて排気口１３３へ送出される。
【００２７】
ここに、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置２００とは、通常別体にて構成されることが多いが、省スペースのため特許文献１及び特許文献２に示すように一体化されることもある。
【特許文献１】特開平１０−１０３２８８号公報
【特許文献２】特開平１１−１７３２９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２８】
図６に、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置２００とが互いに分離されておらず、一体化された配設例を示す。このとき、ターボ分子ポンプ本体１００側のコネクタ１６０に取り付けられたケーブル１６１の反対側端部にはコネクタ２６０が配設され、制御装置２００と着脱自在なようになっている。コネクタ１６０及びコネクタ２６０は、それぞれターボ分子ポンプ本体１００の側部及び制御装置２００に突設され、そのコネクタ間に束となったケーブルが渡されるようになっている。
【００２９】
５軸制御の磁気軸受では、このケーブルの本数が３０本以上となるため、コネクタとしては、大型の真空コネクタが必要となる。このケーブルは太く、曲げ半径も大きいが、ある程度の可撓性を有するため、組み立て時の無理な力による破損等は起きにくいもののスペース上の問題が生ずる。
【００３０】
一方、ターボ分子ポンプ本体と制御装置とを一体化する別例として、図６で示したようにケーブルをターボ分子ポンプ本体１００と制御装置２００の外部に露出させるのではなく、図７のようにターボ分子ポンプ本体１１０側に突設された雄コネクタ１６５と制御装置２１０側に突設された雌コネクタ２６５とを直接接続することも可能である。
【００３１】
この際、雄コネクタ１６５は真空コネクタであり、ターボ分子ポンプ本体１１０に対しボルト１６７で締結されている。同様に雌コネクタ２６５は制御装置２１０に対しボルト１６９で締結されている。また、ターボ分子ポンプ本体１１０と制御装置２１０間には複数のスペーサ１７１が介在されている。スペーサ１７１は中空円筒形であり、ボルト１７３によりこのスペーサ１７１を介してターボ分子ポンプ本体１１０と制御装置２１０間が貫通固定されている。
【００３２】
このように、雄コネクタ１６５がターボ分子ポンプ本体１１０に、雌コネクタ２６５が制御装置２１０にボルト止めされているため、制御装置２１０をターボ分子ポンプ本体１１０に取り付ける際に斜めに挿入したような場合には、雄コネクタ１６５と雌コネクタ２６５間に過剰な力がかかり破損するおそれがあった。
【００３３】
本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、過剰な力により破損するのを防止でき、かつシール性の高い端子構造、及び該端子構造を適用した真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３４】
このため本発明（請求項１）は、第１のコネクタと、該第１のコネクタを有する第１の部材と、前記第１のコネクタに対し嵌合されることで電気接続される第２のコネクタと、該第２のコネクタを有する第２の部材と、前記第１のコネクタを前記第１の部材に対して弾性的に保持、及び／又は前記第２のコネクタを前記第２の部材に対して弾性的に保持する弾性保持手段とを備えて構成した。
【００３５】
第１のコネクタが第２のコネクタに対し多少斜めに挿入され、コネクタ間に過剰な力がかかったような場合であっても、弾性保持手段の弾性力で力を緩和できる。このため、コネクタが破損するということはなくなる。また、電気的にショートしたり漏電する等のおそれが少なくなる。
【００３６】
また、本発明（請求項２）は、前記嵌合の深さが所定長以上行かないように規制する移動規制手段を備えた構成した。
【００３７】
この規制により、弾性保持手段による弾性力の緊張が適度に維持される。従って、嵌合された際に適度の剛性を得ることができ、ピン同士の結合を確実に維持できる。
【００３８】
更に、本発明（請求項３）は、請求項１又は請求項２記載の端子構造を備えた真空ポンプであって、前記第１の部材が真空ポンプ本体に適用され、かつ前記第２の部材が制御装置に適用されたことを特徴とする。
【００３９】
真空ポンプ本体と制御装置とは一体化して構成されるのが望ましい。制御装置が真空ポンプ本体に対し多少斜めに挿入されたような場合で、コネクタ同士の間に過剰な力がかかったような場合であっても、弾性保持手段で力を緩和できるのでコネクタが破損するということはなくなる。従って、真空ポンプ本体からガスリークを生じ、ポンプが加熱したり、電気的にショートしたり漏電する等のおそれが少なくなり、ポンプの信頼性が向上する。
【００４０】
更に、本発明（請求項４）の真空ポンプは、導線が途中で露出された少なくとも一本のケーブルと、該ケーブルの少なくとも露出された導線部分を含めて固化成型された成型部材と、該成型部材が取り付け若しくは一体化された外筒とを備えて構成した。
【００４１】
真空ポンプ本体と制御装置とは一体化して構成されるのが望ましい。ケーブルは導線が露出された上で樹脂等により成型しているため、導線とケーブル被覆との隙間からのガスリークを防ぐことができる。従って、大型の真空コネクタを使わなくても真空シールを行うことができる。そして、省スペースかつコスト低減を実現できる。また、ポンプと制御回路の間は、ケーブルで繋がれているため、過剰な力がかかってもケーブルがたわむだけで、コネクタが破損することはない。従って、真空ポンプ本体からガスリークを生じ、ポンプが加熱したり、電気的にショートしたり漏電する等のおそれが少なくなり、ポンプの信頼性が向上する。
【００４２】
更に、本発明（請求項５）の真空ポンプは、少なくとも一本の導電性を有するピンと、該ピンの両端に配設されケーブルの導線を固定可能なケーブル導線固定手段と、前記ピンが固化成型された成型部材と、該成型部材が取り付け若しくは一体化された外筒とを備えて構成した。
【００４３】
真空ポンプ本体と制御装置とは一体化して構成されるのが望ましい。樹脂等の成型部材によりピンを固化成型する。従って、成型部材とピンの間に隙間はなく真空シールが維持される。なお、成型部材を外筒に対し取り付けるように構成した場合には、成型部材と外筒の間にＯリング等のシール部材を配設することが望ましい。このことにより、大型の真空コネクタを使わなくても真空シールを行うことができる。そして、省スペースかつコスト低減を実現できる。
【００４４】
また、ケーブル導線固定手段は、ピンの両端部に長孔を形成し、ケーブルの芯を通した後、ハンダ付けされてもよいし、圧着等されてもよい。このため、作業は簡単である。ポンプと制御回路の間は、ケーブルで繋がれているため、過剰な力がかかってもケーブルがたわむだけで、コネクタが破損することはない。従って、電気的にショートしたり漏電する等のおそれが少なくなり、ポンプの信頼性が向上する。制御装置内に入ったケーブルの端部はミニ端子に接続されたり、直接基板に接続する等が可能であり、省スペースで取り付けも簡単に行える。
【００４５】
更に、本発明（請求項６）の真空ポンプは、前記外筒には制御装置が連設され、該外筒内部のケーブルと前記制御装置内部のケーブルとは前記成型部材を介して電気的に連絡され、該成型部材の固化成型された部分、及び該成型部材の前記外筒への取り付け部分若しくは該成型部材の前記外筒との一体化された部分はシール化されていることを特徴とする。
【００４６】
外筒と制御装置とが連設されることで、装置全体がコンパクトになる。
【発明の効果】
【００４７】
以上説明したように本発明によれば、コネクタとこのコネクタを保持する部材との間が弾性的に保持されるように構成したので、コネクタが多少斜めに挿入され雄コネクタと雌コネクタの間に過剰な力がかかったような場合であっても、弾性的な保持により力を緩和できるのでコネクタが破損するということはなくなる。従って、電気的にショートしたり漏電する等のおそれが少なくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の第１実施形態である端子構造の構成図を図１に示す。図１において、ターボ分子ポンプ本体３００側と制御装置４００側にはそれぞれ雄コネクタ５００と雌コネクタ６００とが配設されている。
【００４９】
雄コネクタ５００は厚底の底部５０１の外周縁より円筒状に制御装置４００側に向けて突設された円筒壁５０３を有し、雄コネクタ５００の内側にはこの円筒壁５０３と底部５０１とで囲まれた円柱状の空洞５０４が形成されている。また、この底部５０１の胴回りには円板状の鍔部５０５が配設されている。そして、この鍔部５０５には複数の貫通孔５０７が設けられ、この貫通孔５０７にボルト５０９が通され、ターボ分子ポンプ本体３００の外筒１２７に対し貫通固定されている。
【００５０】
底部５０１には４１本の雄ピン５１１が均等に配置されつつ貫通固定されている。雄ピン５１１の一端頭部５１１ａは半球状に形成されており、他端部５１１ｂは図示しないケーブルの芯が通された後ハンダ付け可能なように長孔５１３が形成されている。なお、底部５０１は樹脂で形成され、雄ピン５１１との間に十分なシール性が確保されている。
【００５１】
一方、制御装置４００側に配設された雌コネクタ６００には、厚底の底部６０１の外周縁より円筒状にターボ分子ポンプ本体３００側に向けて突設された円筒壁６０３を有し、雌コネクタ６００の内側にはこの円筒壁６０３と底部６０１とで囲まれた円柱状の空洞６０４が形成されている。また、この底部６０１の胴回りには円板状の鍔部６０５が配設されている。そして、この鍔部６０５には複数の貫通孔６０７が設けられている。
【００５２】
更に、鍔部６０５に対峙するように平板６０９が配設されている。この平板６０９には鍔部６０５の貫通孔６０７に対峙する位置に貫通孔６１１が設けられている。この貫通孔６１１の内側には雌ねじが刻設されている。また、平板６０９の中央には底部６０１が内側を通過可能な円形穴６１７が形成されている。鍔部６０５と平板６０９の間の貫通孔６０７及び貫通孔６１１回りには弾性を有し中空の波型座金６１３が配設されている。そして、貫通孔６０７、貫通孔６１１及び波型座金６１３にはボルト６１５が通され、制御装置４００の筐体壁に対し締結されている。
【００５３】
底部６０１には４１本の雌ピン６２１が雄コネクタ５００の雄ピン５１１と同様に均等に配置されつつ貫通固定されている。雌ピン６２１の一端頭部６２１ａ側は半球状に形成された雄ピン５１１の一端頭部５１１ａが挿入されるようにピン挿入用長孔６２３が形成されている。一方、他端部６２１ｂには、図示しないケーブルの芯が通された後ハンダ付け可能なように長孔６２３が形成されている。なお、空洞６０４と雌ピン６２１の間には、樹脂が充填されている。
【００５４】
かかる構成において、図１の制御装置４００を移動し、ターボ分子ポンプ本体３００に配設された雄コネクタ５００に対し制御装置４００の雌コネクタ６００を接続する。図１にはコネクタ同士の接続前の状態を示し、一方図２はコネクタ同士の接続後の状態を示す。図１から図２のように制御装置４００が移行すると、雌コネクタ６００の円筒壁６０３が雄コネクタ５００の空洞５０４内に嵌合されると共に、雄ピン５１１の一端頭部５１１ａが接続状態が深まるに連れ、ピン挿入用長孔６２３に挿入されるようになる。
【００５５】
その後、制御装置４００の円筒壁６０３の先端が雄コネクタ５００の底部５０１に当接すると、剛性の弱い制御装置４００側の雌コネクタ６００が波型座金６１３の弾性力に抗して押し戻される。このとき、雌コネクタ６００の鍔部６０５と制御装置４００の筐体壁との間には１ｍｍ程度の隙間が生じている。このため、波型座金６１３による弾性力の緊張が生じ嵌合に際しての適度の剛性を得ることができ、ピン同士の結合を確実に維持できる。
【００５６】
このことにより、制御装置４００がターボ分子ポンプ本体３００に対し多少斜めに挿入されたような場合で、雌コネクタ６００や雄コネクタ５００に過剰な力がかかったような場合であっても波型座金６１３の変形で力を緩和できるのでコネクタが破損するということはなくなる。従って、ターボ分子ポンプ本体３００からガスリークを生じ、ポンプが加熱したり、電気的にショートしたり漏電する等のおそれが少なくなり、ポンプの信頼性が向上する。
【００５７】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。従来のポンプ側のコネクタ構造が真空シール機能と導線の着脱の機能の両方を担っていたのに対し、本発明の第２実施形態では、真空シール機能と導線の着脱の機能とを分離したものである。図３に本発明の第２実施形態の断面構成図を示す。図３に示すように、ターボ分子ポンプ本体７００の外筒１２７には開口７０１が設けられている。制御装置８００は、この開口７０１を介してターボ分子ポンプ本体７００と一体化構成されている。この開口７０１には複数本のケーブル７０３が通されている。
【００５８】
ケーブル７０３の開口７０１内に位置する箇所ではケーブルの被覆が一部剥がされ導線７０５がむき出しになっている。この状態でケーブル７０３は樹脂で固められ、更にこの樹脂で固めて成型された成型部材７０４が開口７０１に固定若しくは一体化されたようになっている。制御装置８００内に入ったケーブル７０３の端部は図示しないミニ端子に接続されたり、直接基板に接続される等している。制御装置８００内に入ったケーブル７０３は束ねて配線されてもよいし、１〜数本程度毎に分割されて端子に接続されてもよい。ミニ端子は現在パソコン等に配設されているように小型であって、基板に対し取り付けられるような構造のものであってもよい。
【００５９】
かかる構成において、ケーブル７０３は導線７０５をむき出しにした上で樹脂成型しているため、導線とケーブル被覆間の隙間から生ずるガスリークを防ぐことができる。このことにより、大型の真空コネクタを使わなくても真空シールを行うことができる。このため、省スペースかつコスト低減を実現できる。また、ポンプと制御回路の間は、ケーブル７０３で繋がれているため、過剰な力がかかってもケーブルがたわむだけで、コネクタが破損することはない。従って、ターボ分子ポンプ本体３００からガスリークを生じ、ポンプが加熱したり、電気的にショートしたり漏電する等のおそれが少なくなり、ポンプの信頼性が向上する。
【００６０】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。本発明の第３実施形態は第２実施形態の別例である。そして、本発明の第３実施形態でも、真空シール機能と導線の着脱の機能とが分離されたものである。図４に本発明の第３実施形態の断面構成図を示す。図４に示すように、ターボ分子ポンプ本体７００の外筒１２７には開口７０１が設けられている。制御装置８００は、この開口７０１を介してターボ分子ポンプ本体７００と一体化構成されている。この開口７０１には複数本のピン７０７が通されている。
【００６１】
ピン７０７の両端部にはケーブル７１３及びケーブル７１５の芯７１９及び芯７２１がそれぞれ通された後ハンダ付け可能なように長孔７２３及び長孔７２５が形成されている。ピン７０７は樹脂で固化成型されている。この固化成型された被覆体７２９は、開口７０１に嵌合される凸部７２９ａとターボ分子ポンプ本体７００の外筒１２７を覆う底部７２９ｂとからなっている。また、この被覆体７２９の底部７２９ｂの複数箇所には貫通孔７３１が設けられ、この貫通孔７３１を通るボルト７３３により、被覆体７２９はターボ分子ポンプ本体７００の外筒１２７に対し締結されている。ターボ分子ポンプ本体７００の外筒１２７の開口７０１縁部には周状に切欠７３５が設けられ、この切欠７３５にはＯリング７３７が埋め込まれている。
【００６２】
かかる構成において、被覆体７２９とピン７０７の間に隙間はなく、かつＯリング７３７の配設により真空シールが維持される。このことにより、大型の真空コネクタを使わなくても真空シールを行うことができる。このため、省スペースかつコスト低減を実現できる。
【００６３】
また、ピン７０７の両端部の長孔７２３及び長孔７２５に対しケーブル７１３及びケーブル７１５の芯７１９及び芯７２１をそれぞれ通した後、ハンダ付けすればよいので作業は簡単である。ポンプと制御回路の間は、ケーブル７１３及びケーブル７１５で繋がれているため、過剰な力がかかってもケーブルがたわむだけで、コネクタが破損することはない。このため、電気的にショートしたり漏電する等のおそれが少なくなり、ポンプの信頼性が向上する。
【００６４】
制御装置８００内に入ったケーブル７１５の端部は図示しないミニ端子に接続されたり、直接基板に接続される等している。制御装置８００内に入ったケーブル７１５は束ねて配線されてもよいし、１〜数本程度毎に分割されて端子に接続されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１実施形態である端子構造の構成図
【図２】コネクタ同士の接続後の状態
【図３】本発明の第２実施形態の断面構成図
【図４】本発明の第３実施形態の断面構成図
【図５】ターボ分子ポンプ本体の縦断面図
【図６】ターボ分子ポンプ本体と制御装置とが一体化された配設例
【図７】上記別例
【符号の説明】
【００６６】
３００、７００  ターボ分子ポンプ本体
１０３  回転体
１０４  上側径方向電磁石
１０５  下側径方向電磁石
１０６Ａ、１０６Ｂ  軸方向電磁石
１０７  上側径方向センサ
１０８  下側径方向センサ
１０９  軸方向センサ
１１１  金属ディスク
１１３  ロータ軸
１２１  モータ
１２７  外筒
１２９  ベース部
１３３  排気口
７０３、７１３、７１５  ケーブル
５００  雄コネクタ
５０９、６１５、７３３  ボルト
４００、８００  制御装置
６００  雌コネクタ
５０１、６０１、７２９ｂ  底部
５０３、６０３  円筒壁
５０４、６０４  空洞
５０５、６０５  鍔部
５０７、６０７、６１１、７３１  貫通孔
５１１  雄ピン
５１３、６２３、７２３、７２５  長孔
６０９  平板
６１３  波型座金
６１７  円形穴
６２１  雌ピン
６２３  ピン挿入用長孔
７０１  開口
７０４  成型部材
７０５  導線
７０７  ピン
７１９、７２１  芯
７２９  被覆体
７３５  切欠
７３７  Ｏリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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