(57)【要約】      （修正有）【課題】パターン形成面と収納カセットの内側との擦れを防止し、収納したカラーフイルタ基板に傷が付かず、収納カセット内に異物が発生しない基板用収納カセットを提供する。【解決手段】基板２０上の一方面に形成したマーク等を含むパターン形成面４０と対向する側面に、収納カセット１０内側の頂上部から側壁２２側の底部２３へ山型の裾野状の傾斜面５１を付ける形状に形成した山型溝部品１１を設け、該山型溝部品１１上にカラーフイルタ基板２０を載置する。【選択図】図１
2006237044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフイルタ等のガラス基板を収納するカセットの底部上に固着した左右の側壁の各々内壁面に前記底部上面より等間隔に複数段の長方形状の溝部品を固着し、前記溝部品とその真上の溝部品との間に、一方面にマーク等を含むパターンが形成されたカラーフイルタ基板のパターン形成面を上面にして、水平方向に投入し載置するカラーフイルタ基板用収納カセットにおいて、前記溝部品が、基板上の一方面に形成したマーク等を含むパターン形成面と対向する側面に、収納カセット内側の頂上部から側壁側の底部へ山型の裾野状の傾斜面を付ける形状に形成した山型溝部品であることを特徴とするカラーフイルタ基板用収納カセット。
【請求項２】
前記山型溝部品が、ガラス基板上の、一方面、又は他方面と対向する側面に、頂上部から底部へ山型の裾野状の傾斜面を付ける形状に形成したことを特徴とする請求項１記載のカラーフイルタ基板用収納カセット。
【請求項３】
前記山型溝部品が、ガラス基板上の一方面のパターン形成面側と対向する側面に、収納カセット内側の頂上部が傾斜面からなり、側壁側の底部が水平面からなる形状であり、その傾斜面と水平面の形成領域の境界部が、対向するガラス基板上のパターン形成領域の、少なくともマーク等を含むパターン形成領域の最側端部より外側のパターン形成禁止領域と接触する位置に形成されたことを特徴とする請求項１、又は２記載のカラーフイルタ基板用収納カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型のフォトマスク、カラーフイルタ、ＰＤＰパネル、有機ＥＬ用パネル、ＣＯＧの半導体等を含むガラス基板の製造工程で使用されるガラス基板を収納する、特にカラーフイルタ基板用収納カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の一つであるフォトマスク、カラーフイルタ、ＰＤＰパネル等の板状の精密部品用ガラス基板は、塵の付着に対して非常に厳しく制限され管理されている。塵の付着では、その性能に重大な影響を与えるので、その扱いには十分な注意が払われなくてはならない。このため、この製造工程では、プラスチック製の収納カセットに入れられ、製造工程の搬送、又は一時滞留の処置をしている。その各工程の加工処理時には、収納カセットよりガラス基板を取出し、加工装置へ搬入され、当該加工処理終了後、直ちに、元の収納カセットへ投入される。すなわち、ガラス基板は、収納カセット内からの取出及び投入が繰り返され、複数工程の加工装置へ工程搬送されている。この時、ガラス基板と収納カセットの内部、例えば接触部では、擦れ等により、ガラス基板の表裏面の傷、例えば形成したパターンの傷等、又は擦れ部分からの発塵する浮遊塵のガラス基板への再付着等が増加し問題となる。また、製造工程が増加する傾向にあり、益々問題化されてきた。
【０００３】
従来のカラーフイルタ等を含むガラス基板（以下カラーフイルタ基板２０と記す）は、図４に示すような基板用収納カセット１０に投入し載置され、製造工程での搬送に用いられている。
【０００４】
カラーフイルタ基板用収納カセットについて説明する。カラーフイルタ基板用収納カセット１０は、箱形の、前側は全開された形状でであり、その部材はプラスチック樹脂の金型を用いる加熱成形品、接着剤を用いた加工品等で製作する。また、その材料は熱硬化プラスチク樹脂例えば、発泡性スチロール樹脂、ウレタン、シリコーン、ナイロン等である。熱可塑性プラスチク樹脂は、ポリエチレン等である。
【０００５】
図４（ａ）〜（ｃ）は、従来のカラーフイルタ基板用収納カセットの一例の説明図である。従来のカラーフイルタ基板用収納カセット１０の内部は、左右の側壁２２にカラーフイルタ基板２０を支える溝部品１が左右同じ高さの位置に、且つ底部２３より順番に一定間隔、例えば６ｍｍ間隔で固着されている。カラーフイルタ基板用収納カセット１０では、前側は全開され、該開口部よりカラーフイルタ基板２０を収納する。すなわち、カラーフイルタ基板用収納カセット１０は、前記溝部品１上にカラーフイルタ基板２０を図面手前から水平に投入し載置する。通常では、前記基板用収納カセット１０は、１０シート〜２５シートのカラーフイルタ基板２０を収納する。
【０００６】
次に、詳細に説明する。図４（ａ）は、基板用収納カセットの側断面図であり、側壁２２の左右同じ高さに溝部品１が固着されている。前記溝部品１上には、カラーフイルタ基板２０を投入し載置した状態を示している。なお、図面は一部分の部分拡大図である。
【０００７】
図４（ｂ）は、基板用収納カセット１０の上面図である。両側の側壁２２に固着した溝部品１があり、図下側に全開部２４があり、全開部側より、両側の溝部品１上にカラーフイルタ基板２０を投入し、載置した状態を示している。前記溝部品１とカラーフイルタ基板２０との接する状態は、カラーフイルタ基板２０裏面が前記溝部品１上の表面に密着した状態で載置されている。
【０００８】
図４（ｃ）は、図４（ａ）の破線の部分拡大図であり、両側の溝部品１上にカラーフイルタ基板２０を投入した側断面図である。なお、図面は、左右対称であり、片側は省略した。側壁２２の内部に溝部品１が配置され、当該溝部品１の直上にも上の溝部品１が配置され、その当該溝部品１と上の溝部品１との空間に、１枚のカラーフイルタ基板２０が収納される基板用収納カセットである。カラーフイルタ基板用収納カセットに収納されたカラーフイルタ基板２０は、図中のＬ―Ｌ｀の高さ位置で載置する。
【０００９】
次に、カラーフイルタ基板用収納カセットにカラーフイルタ基板２０を収納する動作手順を説明する。製造工程の投入取出位置に載置されたカラーフイルタ基板２０を専用の自動移載機アームの真空パッド又は接触爪等の把持冶具（以下爪と記す）を用いて掬うように載せた後、カセット内の載置する当該溝部品１とその上の溝部品１との空間まで移動した後、例えば、前記爪の上面の高さが、当該溝部品１とその上の溝部品１との空間のＨ−Ｈ｀と同じ高さ位置まで微調整後、当該溝部品１と平行に図面手前側より図面奥側へ水平移動し、所定の位置に一時停止後、自動アームの爪を下方へ降ろしながら、Ｌ−Ｌ｀の高さ位置で、カラーフイルタ基板２０の両端部を左右の当該溝部品１の上面に載せて、さらに当該溝部品１の下面近傍の高さ位置まで自動アームの爪を降下させ、一時停止後、図面図面奥側より手前側へ水平移動し、収納カセット位置から前記投入取出位置まで移動し、１枚のカラーフイルタ基板２０が収納される。
【００１０】
上述の図４中では、カラーフイルタ基板２０の上表面から真上の溝部品１の下部面までの間隙があり、空間ができる。前記空間域は、カラーフイルタ基板２０を投入時、最低限必要な空間である。例えば、当該溝部品１とその上の溝部品１の上下の間隔が６ｍｍで、カラーフイルタ基板２０の厚さ０．７ｍｍを投入した時、前記空間は５．３ｍｍとなり、Ｌ−Ｌ｀と、Ｈ−Ｈ｀の高さの差は、３ｍｍとなる。基板の撓み、自動アームの位置制御精度等のばらつき等により、基板収納時では、カラーフイルタ基板２０と上の溝部品１の裏面とが接触し、カラーフイルタ基板のパターンが擦れる場合がある。なお、カラーフイルタ基板２０を上方向から固定する工夫は施されていない。
【００１１】
カラーフイルタ基板２０について説明する。前記カラーフイルタ基板２０の厚さは、０．７ｍｍ、〜０．５ｍｍ、最近では０．４ｍｍとだんだん薄くなって、基板自身重量が軽量化している。
【００１２】
前記カラーフイルタ基板２０の寸法サイズは、標準化により統一化が進んでいる。通常、寸法サイズ毎に基板用収納カセット１０は一品種の形状寸法に限定されている。特に左右の側壁の内側寸法は、前記カラーフイルタ基板２０の寸法サイズ（幅方向の）と厳密に規定されている。また近年、前記カラーフイルタ基板２０の寸法サイズは大型化される傾向が加速され、厚さの薄板化、寸法サイズの大型化が進んでいる。前記薄板化及び大型化により基板の撓み等による問題が発生している。前記重量が軽量化のため自重による安定化も期待出来ない。
【００１３】
通常、基板用収納カセット１０に投入時点では、カラーフイルタ基板２０はパターン面を上側に向けた状態にして投入されて、基板裏面は前記溝部品１上表面に密着した状態で投入されている。すなわち、カラーフイルタ基板は、パターン面を上側にして基板用収納カセットに投入し載置される。
【００１４】
カラーフイルタ基板用パターンについて説明する。カラーフイルタ基板２０は、透明なガラス基板上の片側にカラーフイルタ基板用パターンを形成したものである。前記パターンの形成領域は、基板の端部周辺の近傍を除いた中央部全面である。前記パターンの表面は柔らかく、傷付き易いものである。近年、カラーフイルタ基板２０は、基板の大型化等により、面付け数が増加し、パターンの形成領域が拡大し、基板の端部の直近までパター
ンを形成する場合が増加している。
【００１５】
通常、カラーフイルタ基板用パターンには、多面付けのカラーフイルタのパターンを形成し、その周辺部にカラーフイルタ基板の製造工程上に必要な位置合わせマーク等を付加し形成する。ガラス基板上の片側では、カラーフイルタパターンと、その周辺部のマーク等の形成領域と、パターン形成禁止領域とにより形成されている。そのため、近年では、マーク等を含むパターン形成領域が拡張され、パターン形成禁止領域が狭くなる傾向が増加している。カラーフイルタ基板２０の端部周辺、例えば基板面露出部が狭くなり、パターン形成領域の周辺部に配置したマーク等は、カラーフイルタ基板２０の側端部に近接され、カラーフイルタ基板用収納カセット内へカラーフイルタ基板を投入する際、上下の溝部品の表裏面とマーク等とが擦れる問題がある。その擦れにより、柔らかく、傷付き易いパターンの表面は、傷の発生、発塵源となる問題がある。
【００１６】
溝部品とマーク等のパターンとが擦れる場合では、特にマーク等のパターンの表面とその直上の溝部品の裏面とが擦れる危険性があり、その対策が重要な問題である（特許文献１参照）。
【００１７】
カラーフイルタ基板２０は、基板の表裏若しくは端部も含めて異物の付着が厳しく制限され、カラーフイルタ基板用収納カセット１０に投入する前に洗浄する。又、カラーフイルタ基板用収納カセット１０も必ず使用直前にボックス内を洗浄する。カラーフイルタ基板用収納カセット内では、ボックス内で発塵しない、清浄度が高い状態でカラーフイルタ基板を維持し保管することが重要である。
【００１８】
上述のように近年、カラーフイルタ基板２０のサイズの大型化、板厚の薄板化により、カラーフイルタ基板製造工程内、又は一時保管等のための搬送時、カラーフイルタ基板用収納カセット１０内のカラーフイルタ基板２０は、溝部品上に固定されずに、細かい移動を繰り返してカラーフイルタ基板２０とボックス１０内壁面や、特に溝部品１との接触や擦れ等により、端部の欠けや破損等の不良品となる。前記接触や擦れ等、又は端部の欠けや破損等に起因する発塵が問題となっている。
【００１９】
さらに、カラーフイルタ基板２０の寸法サイズは大型化される傾向が加速され、厚さの薄板化、寸法サイズの大型化により、カラーフイルタ基板製造工程中、カラーフイルタ基板２０は左右の溝部品１の間に固定されないため、又は基板の撓み等による振動が生じることにより、パターン部の傷や基板欠け若しくは破損、又は異物の付着等の品質劣化が発生することがある。
【００２０】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】特開平７―３００１７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明の課題は、上述した欠点を除くためになされたものであり、カラーフイルタ基板のパターン形成面と収納カセットの内側との擦れを防止する基板用収納カセットを提供することにより、収納したカラーフイルタ基板に傷が付かない、収納カセット内に異物が発生しない基板用収納カセットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明の請求項１に係る発明は、カラーフイルタ等のガラス基板を収納するカセットの底部上に固着した左右の側壁の各々内壁面に前記底部上面より等間隔に複数段の長方形状
の溝部品を固着し、前記溝部品とその真上の溝部品との間に、一方面にマーク等を含むパターンが形成されたカラーフイルタ基板のパターン形成面を上面にして、水平方向に投入し載置するカラーフイルタ基板用収納カセットにおいて、前記溝部品が、基板上の一方面に形成したマーク等を含むパターン形成面と対向する側面に、収納カセット内側の頂上部から側壁側の底部へ山型の裾野状の傾斜面を付ける形状に形成した山型溝部品であることを特徴とするカラーフイルタ基板用収納カセットである。
【００２３】
本発明の請求項２に係る発明は、前記山型溝部品が、ガラス基板上の、一方面、又は他方面と対向する側面に、頂上部から底部へ山型の裾野状の傾斜面を付ける形状に形成したことを特徴とする請求項１記載のカラーフイルタ基板用収納カセットである。
【００２４】
本発明の請求項３に係る発明は、前記山型溝部品が、ガラス基板上の一方面のパターン形成面側と対向する側面に、収納カセット内側の頂上部が傾斜面からなり、側壁側の底部が水平面からなる形状であり、その傾斜面と水平面の形成領域の境界部が、対向するガラス基板上のパターン形成領域の、少なくともマーク等を含むパターン形成領域の最側端部より外側のパターン形成禁止領域と接触する位置に形成されたことを特徴とする請求項１、又は２記載のカラーフイルタ基板用収納カセットである。
【００２５】
本発明の山型溝部品を固着した基板用収納カセットを用いたカラーフイルタ基板の製造工程の搬送を用いれば、前記山型溝部品上にカラーフイルタ基板を投入し載置したことにより、カラーフイルタ基板のパターン表面が上下の山型溝部品と直接に接触しないため、カラーフイルタ基板のパターン表面が、上下の山型溝部品と擦れ等の接触が大幅に減少し、パターン面に傷が付かない、異物が発生しない。
【発明の効果】
【００２６】
基板用収納カセット内に本発明の山型溝部品を固着して、前記山型溝部品上にカラーフイルタ基板を投入し載置したことにより、カラーフイルタ基板が上下の山型溝部品により、製造工程の搬送中にガタ付きがより少ない、又はパターン面と上下の山型溝部品との接触面が大幅に減少し、擦れ等を防止するカラーフイルタ基板用収納カセットを提供し、本発明の基板用収納カセットを用いた製造工程の搬送時、パターン面に傷が付かない、基板の欠けや破損が発生しないカラーフイルタ基板が提供できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施例のカラーフイルタ基板用収納カセットの一実施例を説明図である。
【００２８】
図１は、請求項１に係る事例のカラーフイルタ基板用収納カセットである。溝部品が、基板上の一方面に形成したマーク等を含むパターン形成面と対向する側面に、傾斜面５１を付ける形状であり、基板上の他方面との対向する面側に平行面５２を付ける形状の山型溝部品１１である。
【００２９】
図１（ａ）は、基板用収納カセット１０の底部２３上に固着した左右の側壁２２の各々内壁面に前記底部上面より等間隔に複数段の山型溝部品１１が固着されている。前記山型溝部品１１は、上部表面は水平であり、その裏面は傾斜面で、該傾斜が頂上より底部へ山型状に拡がりを持つ形状である。本発明の基板用収納カセット１０は、山型溝部品１１と真上の山型溝部品１１の間にカラーフイルタ基板２０が水平に投入されている。カラーフイルタ基板２０は、パターン形成面側４０を上面にして、基板両端部の裏面を山型溝部品１１上部表面の水平面５２に接触し、載置され、基板の表面はパターン形成面側であり、該パターン形成面側４０の両端部の表面と対向するように、山型溝部品１１の裏面の傾斜面５１が配置されている。
【００３０】
図に示すように、カラーフイルタ基板２０は、山型溝部品１１の裏面の傾斜面５１により、山型溝部品１１との空間部は広くなり、基板用収納カセット１０に投入若しくは取出し時でも擦れの発生が大幅に改善される。
【００３１】
図１（ｂ）は、本発明の一実施例のカラーフイルタ基板用収納カセットの上面図である。
【００３２】
両側の側壁２２に固着した山型溝部品１１があり、両側の山型溝部品１上にカラーフイルタ基板２０を投入し、載置した状態を示している。前記山型溝部品１とカラーフイルタ基板２０との接する状態は、カラーフイルタ基板２０裏面端部が前記溝部品１上に接触した状態で載置されている。なお、図下には全開部２４であり、該開口部よりカラーフイルタ基板２０を投入と取出を行う。
【００３３】
図１（ｃ）は、図１（ａ）中の破線域の部分拡大図である。
【００３４】
図１（ｃ）は、本発明の山型溝部品１１の水平面５２上にカラーフイルタ基板２０を載置した状態の側断面であり、カラーフイルタ基板２０のパターン形成面側４０の両端部は、本発明の山型溝部品１１の傾斜面５１と対向する状態である。本発明の山型溝部品１１は、従来の溝部品１の形状と異なり、その裏面は傾斜面５１を形成した形状であり、底部の形状寸法は従来と同一距離であり、頂上部の形状寸法は傾斜角度に応じて狭くした片側山型の形状である。従って、溝部品１と山型溝部品１１の配置ピッチとは同一距離となる。本事例は、山型溝部品１１の配置ピッチは、溝部品１と同じ距離とした場合では、水平面５２では変化がないが、傾斜面５１では、大きな変化がある。その変化を説明すると、カラーフイルタ基板２０が山型溝部品１１の裏面と接触した場合は、該裏面の傾斜面５１と最初に接触位置は、基板の両端部であり、パターン形成面４０のマーク等３２は直接接触しない。
【００３５】
図２（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施例のカラーフイルタ基板用収納カセットの一実施例を説明図である。
【００３６】
図２は、請求項２に係る事例のカラーフイルタ基板用収納カセットである。山型溝部品１１が、パターン形成面４０と対向する面側に傾斜面５１を付ける形状であり、一方面との対向する面側にも、傾斜面５１を付ける形状の山型溝部品１１である。
【００３７】
図２（ａ）は、基板用収納カセット１０の底部２３上に固着した左右の側壁２２の各々内壁面に前記底部上面より等間隔に複数段の山型溝部品１１が固着されている。前記山型溝部品１１は、上部表面は傾斜面５１を持ち、その裏面も傾斜面５１で、該傾斜が頂上より底部へ山型状に拡がりを持つ形状である。本発明の基板用収納カセット１０は、山型溝部品１１と真上の山型溝部品１１の間にカラーフイルタ基板２０が水平に投入されている。カラーフイルタ基板２０は、パターン形成面側４０を上面にして、基板両端部の裏面を山型溝部品１１上部表面の傾斜面５１に接触し、載置され、基板の表面はパターン形成面側４０であり、該パターン形成面側４０の両端部の表面と対向するように、山型溝部品１１の裏面の傾斜面５１が配置されている。
【００３８】
図に示すように、カラーフイルタ基板２０は、山型溝部品１１の表裏両面の傾斜面５１により、山型溝部品１１との空間部は広くなり、基板用収納カセット１０に投入若しくは取出し時でも擦れの発生が大幅に改善される。
【００３９】
図に示すように、カラーフイルタ基板２０は、上下の山型溝部品１１との間隙が底部で
は従来と同一か、若しくは狭くすることが可能となり、製造工程の搬送時、カラーフイルタ基板のガタ付きが大幅に押さえることができ、上下の山型溝部品１１との間隙が頂上部では大幅に広くなり、基板用収納カセット１０に投入若しくは取出し時でも擦れの発生が大幅に改善される。
【００４０】
図２（ｂ）は、本発明の一実施例のカラーフイルタ基板用収納カセットの上面図である。
【００４１】
両側の側壁２２に固着した山型溝部品１１があり、両側の山型溝部品１上にカラーフイルタ基板２０を投入し、載置した状態を示している。前記山型溝部品１とカラーフイルタ基板２０との接する状態は、カラーフイルタ基板２０裏面端部が傾斜面５１上に接触した状態で載置されている。なお、図下には全開部２４であり、該開口部よりカラーフイルタ基板２０を投入と取出を行う。
【００４２】
図２（ｃ）は、図２（ａ）中の破線域の部分拡大図である。
【００４３】
図２（ｃ）は、本発明の山型溝部品１１の傾斜面５１上にカラーフイルタ基板２０を載置した状態の側断面であり、カラーフイルタ基板２０のパターン形成面側４０の両端部は、本発明の山型溝部品１１の傾斜面５１と対向する状態である。本発明の山型溝部品１１は、従来の溝部品１の形状と異なり、その表裏両面は傾斜面５１を形成した形状であり、底部の形状寸法は従来と同等で、頂上部の形状寸法は傾斜角度に応じて狭くした両側山型の形状である。従って、溝部品１と山型溝部品１１の配置ピッチとは同一となる。本事例は、山型溝部品１１の配置ピッチは、溝部品１と同じ距離とした場合では、傾斜面５１では、大きな変化がある。その変化を説明すると、カラーフイルタ基板２０が山型溝部品１１の表裏両面と接触した場合は、該表裏両面の傾斜面５１と接触する最初の位置は、基板の両端部であり、接触面は最小限となり、パターン形成面４０のマーク等３２は直接接触しない。
【００４４】
図３は、請求項３に係る事例のカラーフイルタ基板用収納カセットであり、実施例１で詳細に説明する。請求項３に係る山型溝部品１１が、ガラス基板上のパターン形成面４０と対向する面側に傾斜面５１を付ける形状であり、前記形状は頂上部に傾斜面５１と、その底部には平行面５２を付ける形状であり、その境界が、パターン形成の、少なくともマーク等を含むパターン形成領域の最側端部より外側のパターン禁止領域に接する位置に配置する形状であり、基板上の他方面との対向する面側に平行面５２を付ける形状の山型溝部品１１である（図３参照）。
【００４５】
なお、本発明の山型溝部品１１は、従来の溝部品１の配置ピッチと同一であるが、より短い配置ピッチの可能であり、最適化することが重要である。本事例は、山型溝部品１１の裏面は、傾斜面５１と制限し、その表面は水平面５２、又は傾斜面５１とし、表裏両面の形状は同一、又は不同一でも良い。さらに、山型溝部品１１の表裏両面では、頂上部を傾斜面５１で、その途中より底部までを水平面５２に形成することも可能であり、適宜最適化することが重要である。なお、傾斜面５１と水平面５２の組み合わせの実施例は後述する。
【００４６】
なお、基板用収納カセット１０は、プラスチック樹脂の金型を用いる加熱成形品、接着剤を用いた加工品等で製作する。また、その材料はエンジニアリング樹脂等、例えば、熱硬化性プラスチク樹脂は、ポリイミド、不飽和ポリエステル、エポキシ、ウレタン、シリコーン、ナイロン等である。
【００４７】
熱可塑性プラスチク樹脂は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレ
ート等である。
【００４８】
本発明のカラーフイルタ基板用収納カセットの実施例を説明する。
【実施例１】
【００４９】
図３（ａ）〜（ｂ）は、実施例１を説明する説明図であり、（ａ）は、カラーフイルタ基板用収納カセットの実施例の部分拡大の側断面であり、（ｂ）は、カラーフイルタ基板の部分拡大の側断面及び参考図の部分拡大平面である。
【００５０】
図３（ａ）は、本発明のカラーフイルタ基板用収納カセットの一例の部分拡大した側断面図である。基板用収納カセット１０は、底部上の左側の側壁２２があり、側壁２２に前記底部上より順番に６ｍｍの間隔で本発明の山型溝部品１１が固着した。前記山型溝部品の形状は、９ｍｍの長さの形状である。表面では、全面が水平面５２で形成した。裏面では、図左側の底部より４ｍｍまでが水平面５２で形成し、該４ｍｍから頂上部までが傾斜面５１で形成し、頂上部では２ｍｍを確保した形状に形成した。なお、底部幅は、６ｍｍとし、頂上幅は２ｍｍである。山型溝部品１１の配置ピッチは、１２ｍｍとした。すなわち、山型溝部品１１の底部が６ｍｍ、山型溝部品１１間の空間が底部で６ｍｍである。例えば、山型溝部品１１は底辺（ＡＣ）６ｍｍとし、山型溝部品１１の上下の間隔が６ｍｍで固着し、その空間に厚さ０．５ｍｍのカラーフイルタ基板２０を投入した時、前記空間は５．５ｍｍとなる。一般的に、自動脱着装置を用いて投入取出し時は、基板を上下する垂直移動の距離を３ｍｍとした。図３（ａ）のＨ―Ｈ｀とＬ―Ｌ｀の距離を３ｍｍとした。本実施例１の山型溝部品１１は、ペルフリオロアルコキシ（ＰＦＡ）樹脂と、ポリプロピレン樹脂を用いた。
【００５１】
次に、図３（ａ）に示す傾斜形状の領域５０と、カラーフイルタ基板のマーク等を含むパターン形成領域３０の関連を説明する。
【００５２】
最初に、カラーフイルタ基板のマーク等を含むパターン形成領域３０について説明する。
【００５３】
図３（ｂ）のカラーフイルタ基板では、基板中央部にマーク等を含むパターン形成領域３０と、その外周部の基板両端部にパターン形成禁止領域６０があり、各々の形成領域にパターンが形成されている。基板両端部にパターン形成禁止領域に近接して、マーク等３２が配置されている。すなわち、本実施例に用いるカラーフイルタ基板のパターン形成禁止領域６０は、基板側端部から４ｍｍである。
【００５４】
本発明の山型溝部品１１の形状では、基板側端部から４ｍｍより内側が、傾斜形状の領域５０とした。すなわち、本実施例１では、カラーフイルタ基板２０のパターン形成禁止領域６０の内側の境界線と、山型溝部品１１の裏面の傾斜形状の領域の外側の境界線とを合致する用に山型溝部品１１の形状寸法を決めた。
【００５５】
上述したカラーフイルタ基板用収納カセットとカラーフイルタ基板２０枚とを用いて、
カラーフイルタ基板２０の投入及び取出の収納作業を実施し、その作業が終了後にカラーフイルタ基板の傷、擦れの発生状況を観察した。収納作業は、２０枚収納で、１０回繰り返し行った。なお、カラーフイルタ基板用収納カセット及びカラーフイルタ基板は、製造工程の標準規定により洗浄した後、作業を実施した。
【００５６】
投入作業は、自動移載機のアームを用いて、該アーム上に１枚目のカラーフイルタ基板を掬い、カラーフイルタ基板用収納カセット１０の最上段（２０段目）の空間中央の高さまで移動後、アームを水平方向に移動させ、２０段目の位置の一時停止後、下へ３ｍｍ降
下させ、２０段目の山型溝部品１１上に載置した後、さらに３ｍｍ降下させ一時停止後、アームをカラーフイルタ基板用収納カセット１０の外へ水平移動し、次に、再びアーム上に２枚目のカラーフイルタ基板を掬い、カラーフイルタ基板用収納カセット１０の次の段（１９段目）の空間中央の高さまで移動後、アームを水平方向に移動させ、１９段目の位置の一時停止後、下へ３ｍｍ降させ下、１９段目の山型溝部品１１上に載置した後、さらに３ｍｍ降下させ一時停止後、アームをカラーフイルタ基板用収納カセット１０の外へ水平移動と、以下同じ作業動作を繰り返し実施し、２０枚目のカラーフイルタ基板まで投入した。
【００５７】
次に、取出作業は、前記投入作業の逆手順により、カラーフイルタ基板用収納カセット１０内の最下段（１段目）の下の山型溝部品１１の中央の高さまで移動後、アームをカラーフイルタ基板用収納カセット１０の内へ水平移動し、さらに３ｍｍ上昇させ１段目の山型溝部品１１上に載置した２０枚目のカラーフイルタ基板をアームで掬い一時停止後、上へ３ｍｍ上昇させ、１段目の空間中央の位置に一時停止後、アームを水平方向に移動させ、アーム上の２０枚目のカラーフイルタ基板をカラーフイルタ基板用収納カセットの外へ取出し、所定の位置まで移動し、２０枚目のカラーフイルタ基板をアーム上より保管場所へ載置する。以下同じ作業動作を繰り返し実施し、１枚目のカラーフイルタ基板まで取出した。上記の作業を１サイクルとし、１０サイクルまで繰り返した。
【００５８】
収納作業の終了した後、２０枚のカラーフイルタ基板は、パターン面の傷、基板の欠けや破損の発生を観察した。観察方法は、実体顕微鏡のよる視認で、その判断基準は、製造工程の標準規定により実施した。また、カラーフイルタ基板用収納カセットの内部の発塵は冶具による視認と、カラーフイルタ基板の表面異物を異物検査機で検査した。
【００５９】
その結果は、カラーフイルタ基板では、パターン面の傷、基板の欠けや破損の発生が確認することができない。カラーフイルタ基板の表面異物も増加は認められなかった。また、カラーフイルタ基板用収納カセットの内部の発塵は視認できなかった。以上のように、実施例１では、良好な結果が確認された。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明のカラーフイルタ基板用収納カセットの一実施例の側断面図で、（ａ）は、全体図であり、（ｂ）は、上面図で、（ｃ）は、山型溝部品の部分拡大図である。
【図２】本発明のカラーフイルタ基板用収納カセットの一実施例の側断面図で、（ａ）は、全体図であり、（ｂ）は、上面図で、（ｃ）は、山型溝部品の部分拡大図である。
【図３】本発明のカラーフイルタ基板用収納カセットの実施例１を説明する図面で、（ａ）は、山型溝部品の部分拡大側断面図であり、（ｂ）は、カラーフイルタ基板の部分拡大側断面図である。
【図４】従来のカラーフイルタ基板用収納カセットの側断面図で、（ａ）は全体図であり、（ｂ）上面図で、（ｃ）溝部品の部分拡大図である。
【符号の説明】
【００６１】
１…溝部品
１０…基板用収納カセット
１１…山型溝部品
２０…カラーフイルタ基板
２２…側壁
２３…底部
２４…全開部
３０…マーク等を含むパターン形成領域
３１…（カラーフイルタ）パターン
３２…マーク等
４０…パターン形成面側
５０…傾斜形状の領域
５１…傾斜面
５２…水平面
６０…パターン形成禁止領域
【図１】
2006237044.tif 000003
【図２】
2006237044.tif 000004
【図３】
2006237044.tif 000005
【図４】
2006237044.tif 000006