(57)【要約】【課題】  剛性が高く軽量で且つ製造コストの低いデバイス移載装置及びこのデバイス移載装置を備えたデバイス検査装置を提供する。【解決手段】  互いに交差する複数の梁２０と、該梁２０に沿って移動自在に取り付けられた複数のデバイス把持部２１と、該デバイス把持部２１を梁２０に沿って移動させる把持部移動手段と、複数の梁２０の交差位置を中心として複数の梁２０の間の角度を変化させる梁角度変更手段とを備えたものである。また把持部移動手段が、複数のデバイス把持部２１の、梁２０の交差位置からの距離が等距離になるようにデバイス把持部２１を梁２０に沿って移動させるものである。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに交差する複数の梁と、
該梁に沿って移動自在に取り付けられた複数のデバイス把持部と、
該デバイス把持部を前記梁に沿って移動させる把持部移動手段と、
前記複数の梁の交差位置を中心として前記複数の梁の間の角度を変化させる梁角度変更手段と
を備えたことを特徴とするデバイス移載装置。
【請求項２】
前記梁を２本備え、前記デバイス把持部を４個備えたことを特徴とする請求項１記載のデバイス移載装置。
【請求項３】
前記把持部移動手段は、前記４個のデバイス把持部の前記交差位置からの距離が等距離になるように前記デバイス把持部を梁に沿って移動させることを特徴とする請求項２記載のデバイス移載装置。
【請求項４】
前記把持部移動手段は、前記４個のデバイス把持部を同時に移動させることを特徴とする請求項３記載のデバイス移載装置。
【請求項５】
前記把持部移動手段は、前記デバイス把持部に取り付けられ且つ前記梁に平行に配置されたラックと、該ラックに係合してラックを移動させるピニオンギアとを構成要素とすることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載のデバイス移載装置。
【請求項６】
前記梁角度変更手段は、前記２本の梁に取り付けられたリンク機構と、該リンク機構を駆動する駆動手段から構成されることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載のデバイス移載装置。
【請求項７】
デバイス検査装置に設けられ、未検査のデバイスを一時的に収納するデバイス供給トレイから、前記デバイス検査装置のデバイス検査を行うテストサイトに未検査のデバイスを供給するためのシャトルへデバイスを移載することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のデバイス移載装置。
【請求項８】
前記未検査のデバイスを、前記デバイス供給トレイから前記シャトルへ移載している途中で、前記デバイス把持部に把持された複数のデバイス同士の相対位置を、前記把持部移動手段及び／又は前記梁角度変更手段によって変化させることを特徴とする請求項７記載のデバイス移載装置。
【請求項９】
デバイス検査装置のデバイス検査を行うテストサイトから検査済みのデバイスを排出するためのシャトルから、前記デバイス検査装置に設けられ、検査済みのデバイスを一時的に収納するデバイス回収トレイへデバイスを移載することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のデバイス移載装置。
【請求項１０】
前記検査済みのデバイスを、前記シャトルから前記デバイス回収トレイへ移載している途中で、前記デバイス把持部に把持された複数のデバイス同士の相対位置を、前記把持部移動手段及び／又は前記梁角度変更手段によって変化させることを特徴とする請求項９記載のデバイス移載装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載のデバイス移載装置を備えたことを特徴とするデバイス検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイス移載装置及びデバイス検査装置に関し、特に複数のデバイス同士の配置を変更可能なデバイス移載装置及びこのデバイス移載装置を備えたデバイス検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のＩＣハンドラでは、ＩＣヘッドに設けられた２個の吸着パットの間隔を、ボールねじやプーリーを用いて変化させることにより、収納部の配置の異なる供給トレイからローダシャトル等へＩＣを移載するようにしていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また従来のハンドラの半導体素子移送装置では、ピックアップ部材の設けられた１つの固定子及び３つの移動子の相対位置をリニアモータにより変化させて、収納部の配置の異なるトレイからローディングシャトル等に半導体素子を移送していた（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平６−１９４４１１号公報（図１〜図３）
【特許文献２】特開２００３−２１５２００号公報（図２、図４ａ）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし従来のＩＣハンドラでは（例えば、特許文献１参照）、ＩＣを吸着する吸着パットが２個しかないため、供給トレイとローダシャトル等の往復回数が多くなり、結果的にＩＣの移載効率が低くなるという問題点があった。
【０００５】
また従来のハンドラの半導体素子移送装置では（例えば、特許文献２参照）、フレームと２本の案内部材で四角形を形成し、その頂点の位置に固定子及び移動子を配置して、フレームと２本の案内部材で形成される四角形の形状を変化させることにより、ピックアップされた４つの半導体素子同士の相対位置を変化させていた。このため、移送装置が大きくなり、重量が重くなってしまうという問題点があった。また、２本の案内部材の長さが長いため、移送装置の剛性が不足するという問題点があった。さらに、リニアモータを用いているため、装置の製造コストが高くなってしまうという問題点もあった。
【０００６】
本発明は、剛性が高く軽量で且つ製造コストの低いデバイス移載装置及びこのデバイス移載装置を備えたデバイス検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るデバイス移載装置は、互いに交差する複数の梁と、該梁に沿って移動自在に取り付けられた複数のデバイス把持部と、該デバイス把持部を梁に沿って移動させる把持部移動手段と、複数の梁の交差位置を中心として複数の梁の間の角度を変化させる梁角度変更手段とを備えたものである。
本発明に係るデバイス移載装置では、互いに交差する複数の梁の角度を梁角度変更手段によって変化させ、把持部移動手段によってデバイス把持部を梁に沿って移動させるようにしている。このように、回転座標系による構造でデバイス把持部に把持された複数のデバイス同士の相対位置を変化させるため、従来の直交座標による構造のデバイス移載装置に比べて、梁（特許文献２の案内部材等に対応する）の長さが短くなり、装置の剛性が高くなり、また装置の軽量化が可能となる。またデバイス把持部の移動量も少なくなるため、高速でデバイス同士の相対位置を変化させることができる。さらに高価なリニアモータ等を使用する必要がなく、製造コストを抑制することもできる。
【０００８】
また本発明に係るデバイス移載装置は、上記の梁を２本備え、デバイス把持部を４個備えたものである。
梁を２本備え、デバイス把持部を４個備えることにより、本発明に係るデバイス移載装置を最も典型的な形で実現することができる。
【０００９】
また本発明に係るデバイス移載装置は、把持部移動手段が、４個のデバイス把持部の、梁の交差位置からの距離が等距離になるようにデバイス把持部を梁に沿って移動させるものである。
一般的にデバイス検査装置のデバイスを収納するトレイ等では、縦横に整列された状態でデバイスを収納している。このため、４個のデバイス把持部を梁の交差位置から等距離になるように移動させれば、４個のデバイス把持部が矩形の頂点に位置するため、このようなトレイからデバイスをピックアップ（吸着等）するとき等に役立つ。
【００１０】
また本発明に係るデバイス移載装置は、把持部移動手段が、４個のデバイス把持部を同時に移動させるものである。
上記のように４個のデバイス把持部を梁の交差位置から等距離になるように移動させる場合に、４個のデバイス把持部を同時に移動させるようにすれば、高速でデバイス把持部に把持されたデバイス同士の相対位置を変えることができ、またデバイス移載装置の構造を単純化することができる。
【００１１】
また本発明に係るデバイス移載装置は、把持部移動手段が、デバイス把持部に取り付けられ且つ梁に平行に配置されたラックと、該ラックに係合してラックを移動させるピニオンギアとを構成要素とするものである。
ラックとピニオンギアでデバイス把持部を移動させることにより、同時に４個のデバイス把持部を梁の交差位置から等距離になるように移動させることが容易となる。
【００１２】
また本発明に係るデバイス移載装置は、梁角度変更手段が、２本の梁に取り付けられたリンク機構と、該リンク機構を駆動する駆動手段から構成されるものである。
２本の梁の間の角度を、リンク機構と駆動手段で変化させるため、デバイス移載装置の構造が単純となり、また装置の軽量化を図ることができる。
【００１３】
また本発明に係るデバイス移載装置は、デバイス検査装置に設けられ、未検査のデバイスを一時的に収納するデバイス供給トレイから、デバイス検査装置のデバイス検査を行うテストサイトに未検査のデバイスを供給するためのシャトルへデバイスを移載するものである。
本発明に係るデバイス移載装置を、デバイス検査装置のデバイス供給トレイからシャトルへデバイスを移載するのに使用すれば、高速且つ安定したデバイスの移載を行うことができる。
【００１４】
また本発明に係るデバイス移載装置は、未検査のデバイスを、デバイス供給トレイからシャトルへ移載している途中で、デバイス把持部に把持された複数のデバイス同士の相対位置を、把持部移動手段及び／又は梁角度変更手段によって変化させるものである。
未検査のデバイスを、デバイス供給トレイからシャトルへ移載している途中で、デバイス把持部に把持された複数のデバイス同士の相対位置を、把持部移動手段及び／又は梁角度変更手段によって変化させることにより、デバイスの移載時間を短縮することができる。
【００１５】
また本発明に係るデバイス移載装置は、デバイス検査装置のデバイス検査を行うテストサイトから検査済みのデバイスを排出するためのシャトルから、デバイス検査装置に設けられ、検査済みのデバイスを一時的に収納するデバイス回収トレイへデバイスを移載するものである。
本発明に係るデバイス移載装置を、デバイス検査装置のシャトルからデバイス回収トレイへデバイスを移載するのに使用すれば、高速且つ安定したデバイスの移載を行うことができる。
【００１６】
また本発明に係るデバイス移載装置は、検査済みのデバイスを、シャトルからデバイス回収トレイへ移載している途中で、デバイス把持部に把持された複数のデバイス同士の相対位置を、把持部移動手段及び／又は梁角度変更手段によって変化させるものである。
検査済みのデバイスを、シャトルからデバイス回収トレイへ移載している途中で、デバイス把持部に把持された複数のデバイス同士の相対位置を、把持部移動手段及び／又は梁角度変更手段によって変化させることにより、デバイスの移載時間を短縮することができる。
【００１７】
本発明に係るデバイス検査装置は、上記のいずれかのデバイス移載装置を備えたものである。
上記のデバイス移載装置を備えているため、高速且つ安定したデバイスの移載が可能であり、検査処理能力の高いデバイス検査装置である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
実施形態１．
図６は、本発明の実施形態１に係るデバイス検査装置の全体構成を示す上面模式図である。なお図６では、本実施形態１に係るデバイス検査装置１の全体構成について説明するが、本実施形態１に係るデバイス検査装置１はデバイス移載装置７、８の部分に特徴があり、デバイス移載装置７、８の部分については後に詳述する。
【００１９】
図６に示すデバイス検査装置１は、テストサイト２においてＩＣデバイス等のデバイスの電気的特性を検査するものである。テストサイト２には、デバイスの外部端子が嵌め込まれて検査が行われる検査ソケット３、検査ソケット３に未検査のデバイスを供給し、また検査ソケット３から検査済みのデバイスを排出するための２つのシャトル４が備えられている。なお図６に示すように本実施形態１では、２つのシャトル４が検査ソケット３の両側に設けられている。またそれぞれのシャトル４には例えばレールに沿って、図６の紙面左右方向に移動可能な給材ステージと徐材ステージが設けられている。
さらに本実施形態１では、テストサイト２にシャトル４と検査ソケット３の間を移動可能で、デバイスを吸着及び押圧することのできる吸着兼押圧機構（図６において図示せず）が設けられた測定ハンド５が２つ備えられている。
【００２０】
デバイス検査装置１のテストサイト２以外の部分には、供給側のデバイス移載装置７、回収側のデバイス移載装置８、供給装置Ｙ軸９、回収装置Ｙ軸１０、移載装置Ｘ軸１１が設けられている。またデバイス検査装置１には、テストサイト２に未検査のデバイスを供給するためのデバイス供給トレイ１３、テストサイト２から検査済みのデバイスを回収するためのデバイス回収トレイ１４、デバイス供給トレイ１３の空トレイを排出するための空トレイアンローダ１５、デバイスの温度テストに使用され、デバイスを加熱するためのホットプレート１６、補助的に使用される固定トレイ１７が設けられている。
【００２１】
ここで本実施形態１に係るデバイス検査装置１の動作について簡単に説明する。なおデバイス移載装置７は、供給装置Ｙ軸９に沿って移動可能となっており、供給装置Ｙ軸９は移載装置Ｘ軸１１に沿って移動可能となっている。このためデバイス移載装置７は図６の紙面上下左右方向に移動が可能となっている。また供給側のデバイス移載装置７と同様に、回収側のデバイス移載装置８は回収装置Ｙ軸１０に沿って移動可能となっており、回収装置Ｙ軸１０は移載装置Ｘ軸１１に沿って移動可能となっている。
【００２２】
デバイス供給トレイ１３は、未検査のデバイスが入れられたトレイをセットすると図６の矢印の方向（図６の紙面上方向）に移動するようになっている。供給側のデバイス移載装置７はデバイス供給トレイ１３のトレイ内のデバイスをピックアップして、２つのシャトル４の給材ステージにデバイスを移送する。なお２つのシャトル４の給材ステージは、シャトル４の紙面左側に描かれた四角形である。またデバイスの温度テストを行うときは、ホットプレート１６でデバイスを加熱してから、シャトル４の給材ステージにデバイスを移送する。
【００２３】
デバイスがシャトル４の給材ステージに移送されて給材ステージ内に入れられた後、シャトル４の給材ステージ及び徐材ステージが例えばレールに沿って移動し、給材ステージがいずれか一方の測定ハンド５の直下に来るようにする。
２つの測定ハンド５は、例えば、それぞれが一方のシャトル４と検査ソケット３の間を移動可能であり、図６の紙面上下方向に移動する。一方の測定ハンド５は、一方のシャトル４の給材ステージからデバイスを吸着兼押圧機構でピックアップして、検査ソケット３にデバイスを供給し、デバイスを検査ソケット３に押圧してデバイスの検査を行う。その後、一方の測定ハンド５は検査済みのデバイスを一方のシャトル４の徐材ステージに移送し、他方の測定ハンド５は、他方のシャトル４の給材ステージからデバイスを吸着兼押圧機構でピックアップして検査ソケット３にデバイスを供給した後、デバイスを検査ソケット３に押圧して検査を行う。テストサイト２では、このような手順を繰り返すことによりデバイスの検査が行われる。なお２つのシャトル４の徐材ステージは、シャトル４の紙面右側に描かれた四角形である。
【００２４】
次に、２つのシャトル４の給材ステージ及び徐材ステージは例えばレールに沿って図６の紙面右側に移動して、回収側のデバイス移載装置８がシャトル４の徐材ステージから検査済みのデバイスをピックアップする。デバイス移載装置８は、検査済みのデバイスを品質別にデバイス回収トレイ１４に収容し、デバイス回収トレイ１４は図６の矢印の方向（図６の紙面下側）に移動して検査済みデバイス回収場所（図６において図示せず）に検査済みデバイスを積み上げる。なお固定トレイ１７は、比較的数の少ない不良品のデバイス等を回収するのに用いられる。また空トレイアンローダ１５は、デバイス供給トレイ１３の空になったトレイを空トレイ移送装置（図６において図示せず）によって移送されて、図６の矢印の方向（図６の紙面下側）に空トレイを排出する。
ここでは、デバイス検査装置１でのデバイス検査の流れを大まかに説明したが、デバイス移載装置７、８の構造を以下に詳述する。
【００２５】
図１は、本発明の実施形態１に係るデバイス移載装置を示す斜視図、図２はこのデバイス移載装置の正面図、ｂ−ｂ断面図及び下面図である。以下、図１及び図２を使用して、図６のデバイス移載装置７について説明する。なお図２（ａ）は、デバイス移載装置７の正面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示すｂ−ｂ断面図、図２（ｃ）は、デバイス移載装置７の下面図である。またデバイス移載装置８は、本実施形態１ではデバイス移載装置７と同じ構造のものである。
本実施形態１に係るデバイス移載装置７は、互いに交差する２本の梁２０と、この梁２０に取り付けられた４個のデバイス把持部２１を備え、デバイス把持部２１は梁２０に沿って移動可能となっている。ここで４個のデバイス把持部２１は、２本の梁２０の交差位置から伸びる梁２０の４つの先端部側にそれぞれ１つずつ取り付けられている。なお２本の梁２０の交差位置とは、図１に示すように２本の梁２０が接触している場合にはその位置を指すが、梁２０が互いに接触していない場合には２本の梁２０の最も接近している部分をいうものとする。
【００２６】
デバイス把持部２１の下面側には、棒状の伸縮部２２が設けられており、デバイス把持部２１の内部のシリンダ（図１及び図２において図示せず）に沿って上下方向に移動して、デバイス把持部２１から露出した部分が伸縮するようになっている。なお図１及び図２では、それぞれの伸縮部２２が２本の棒で構成されているものを示している。伸縮部２２の先端には、例えば真空チャックからなるチャック２３が設けられており、例えばトレイに収納されたＩＣ等のデバイスを吸着することができるようになっている。なおチャック２３の代わりに、機械的にデバイスを把持する機構を設けてもよい。
【００２７】
また２本の梁２０は、その交差位置を中心として２本の梁２０の間の角度を変えられるようになっている。本実施形態１に係るデバイス移載装置７は、梁２０の梁の角度を変更する手段として、２つのリンクバー２４、送りネジ２５、ナット部２６、ピン２７、モータ２８（図２参照）を備えており、リンクバー２４、送りネジ２５、ナット部２６及びピン２７でリンク機構を構成し、このリンク機構を駆動手段であるモータ２８で駆動することにより２本の梁２０の間の角度を変化させる。リンクバー２４は、図１に示すように、それぞれ一端がワッシャ等を介して梁２０に取り付けられており、他端がピン２７でナット部２６に取り付けられている。
【００２８】
ナット部２６には、ネジ穴（図１及び図２において図示せず）が設けられており、このネジ穴と送りネジ２５は係合している。モータ２８は、送りネジ２５を両方向に回転させることができるようになっており、送りネジ２５の回転方向に応じてナット部２６が前後方向に動くようになっている。
ナット部２６が前後方向に動くと、２つのリンクバー２４が移動し、またそれらのなす角が変化する。これに伴ってリンクバー２４に取り付けられた２本の梁２０の間の角度が変化するようになっている。なお図１及び図２では、ナット部２６が直方体状となっているが、これ以外の形状でもよい。また本実施形態１では、リンク機構によって２本の梁２０の角度を変化させているが、例えば歯車を使用して梁２０の角度を変化させるようにしてもよい。
【００２９】
次に、４個のデバイス把持部２１を梁２０に沿って移動させる手段について説明する。本実施形態１に係るデバイス移載装置７は、４本のラック３０、ピニオンギア３１、モータプレート３２、カムフォロア３３、モータ３４を備えており、これらがデバイス把持部２１を梁２０に沿って移動させる把持部移動手段を構成している。
４本のラック３０は、１本の梁２０に対して２本ずつ平行に配置されており、ラック３０はそれぞれ１個のデバイス把持部２１に取り付けられている。なおデバイス把持部２１と離れているため直接取り付けられない２本のラック３０は、取付部３５を介して取り付けられている。また４本のラック３０は、１本の梁２０に対して平行な２本を１組として、上下２段に配置されている。
【００３０】
２本の梁２０の交差位置付近には歯車状のピニオンギア３１が設けられており、このピニオンギア３１と４本のラック３０に備えられた鋸状の歯が係合するようになっている。モータプレート３２は、４本のラック３０の上側と２本の梁２０の下側に各１枚づつ設けられており、モータプレート３２には４本のラック３０とピニオンギア３１の係合が外れないようにするための円筒状のカムフォロワ３３が設けられている。なおこのカムフォロワ３３は、ラック３０が移動したとき等に回転できるようになっている。ピニオンギア３１はモータ３４によって回転するようになっており、ピニオンギア３１が回転すると、ピニオンギア３１と係合した４本のラック３０が移動し、これにより４本のラック３０に取り付けられた４個のデバイス把持部２１が梁２０に沿って移動するようになっている。
なお本実施形態１では、２本の梁２０にレール（図１において図示せず）が設けられており、このレールに４個のデバイス把持部２１が取り付けられている。４個のデバイス把持部２１はレールに沿って移動ができるようになっており、これによって４個のデバイス把持部２１は安定した状態で移動することができるようになっている。
【００３１】
本実施形態１では、４個のデバイス把持部２１の、２本の梁２０の交差位置からの距離がすべて等距離になるように、デバイス把持部２１が移動するようになっている。また上記のように１つのピニオンギア３１で４本のラック３０を移動させるため、４個のデバイス把持部２１は同時に移動するようになっている。
４個のデバイス把持部２１の、２本の梁２０の交差位置からの距離がすべて等距離になるようになっているため、４個のチャック２３は常に長方形又は正方形の頂点に位置するようになっている（図１及び図２（ｃ）参照）。またこの長方形又は正方形の形状は、２本の梁２０の間の角度を変化させ、また４個のデバイス把持部２１を移動させることにより様々な形に変化させることができる。
なお本実施形態１では、４個のデバイス把持部２１をラック３０やピニオンギア３１によって移動させているが、例えばワイヤを巻き取る方法や送りネジを用いることにより移動させるようにしてもよい。またデバイス把持部２１を移動する手段を複数設けて、デバイス把持部２１を個別に移動させるようにしてもよい。この場合、デバイス把持部２１の梁２０の交差位置からの距離はそれぞれ任意にすることができる。
【００３２】
図３及び図４は、本実施形態１に係るデバイス移載装置の動作を説明するための図である。なお図３（ａ）は、デバイス移載装置７の下面図、図３（ｂ）はデバイス供給トレイ１３の上面図である（図６参照）。また図４（ａ）はデバイス移載装置７の下面図、図４（ｂ）はシャトル４の給材ステージの上面図である。
図３（ｂ）に示すように、デバイス供給トレイ１３には縦横に整列された状態でデバイス収納部４０が設けられており、デバイス収納部４０には未検査のデバイスが収納されている。デバイス移載装置７は２本の梁２０の間の角度を変化させ、またデバイス把持部２１を梁２０に沿って移動させることにより、４個のチャック２３がデバイス供給トレイ１３の４個のデバイス収納部４０（例えば、図３（ｂ）の斜線部）に合うようする。このときデバイス移載装置７は、供給装置Ｙ軸９及び移載装置Ｘ軸によってデバイス供給トレイ１３の上空に移動している（図６参照）。そしてデバイス移載装置７は、伸縮部２２を伸ばし４個のチャック２３によって４個のデバイスを吸着する。
【００３３】
それからデバイス移載装置７は、供給装置Ｙ軸９及び移載装置Ｘ軸によってデバイス供給トレイ１３からシャトル４の給材ステージに移動して、デバイスをシャトル４の給材ステージに移載する。デバイス移載装置７は、デバイス供給トレイ１３からシャトル４の給材ステージにデバイスを移載している途中で、梁２０の角度を変化させたりデバイス把持部２１を梁２０に沿って移動させることにより、チャック２３に吸着されたデバイス同士の相対位置を変化させる。
そして図４（ｂ）に示すように、図３（ｂ）とは配列の異なったデバイス収納部４１が設けられた給材ステージのデバイス収納部４１に、デバイスの吸着されたチャック２３の位置を合わせて（図４（ａ）参照）、給材ステージにデバイスを移載する。
【００３４】
ここでは、供給側のデバイス移載装置７の動作について説明したが、回収側のデバイス移載装置８の動作もほぼ同様である。即ち回収側のデバイス移載装置８は、シャトル４の徐材ステージからデバイス回収トレイ１４に検査済みのデバイスを移載する。この途中に、供給側のデバイス移載装置７と同様、梁２０の角度を変化させたりデバイス把持部２１を梁２０に沿って移動させることにより、チャック２３に吸着されたデバイス同士の相対位置を変化させる。
なおデバイス移載装置７、８は、例えば供給装置Ｙ軸９又は回収装置Ｙ軸１０に沿って移動する移動装置（図６において図示せず）とモータプレート３２の部分を介して取り付けられているものとする。
【００３５】
本実施形態１では、互いに交差する２本の梁２０の角度を梁角度変更手段（モータ２８等）によって変化させ、把持部移動手段（モータ３４等）によって４個のデバイス把持部２１を梁２０に沿って移動させるようにしている。このように、回転座標系による構造でデバイス把持部２１に把持された複数のデバイス同士の相対位置を変化させるため、従来の直交座標による構造のデバイス移載装置に比べて、梁の長さが短くなり、装置の剛性が高くなり、また装置の軽量化が可能となる。またデバイス把持部２１の移動量も少なくなるため、高速でデバイス同士の相対位置を変化させることができる。さらに高価なリニアモータ等を使用する必要がなく、製造コストを抑制することもできる。
【００３６】
実施形態２．
図５は、本発明の実施形態２に係るデバイス移載装置を示した下面模式図である。なお図５では、モータ、リンク機構及びラック等の把持部移動手段及び梁角度変更手段は図示を省略しているが、実施形態１に説明したものと同様のものを使用することができる。また本実施形態２に示すデバイス移載装置５０は、以下に示す点を除き実施形態１に示すデバイス移載装置７とほぼ同様の構造である。
本実施形態２に係るデバイス移載装置５０は、２本の直交する梁２０ａとこれらと交差する２本の梁２０ｂを備えている。また２本の梁２０ａと２本の梁２０ｂの交差位置の先端部側にはそれぞれチャック２３が備えられたデバイス把持部２１が設けられている。
【００３７】
本実施形態２に係るデバイス移載装置５０では、２本の梁２０ａはその間の角度が変化せず固定された状態となっている。一方２本の梁２０ｂは、梁角度変更手段によりその間の角度が変更でき、また２本の梁２０ａとなす角度も変更できるようになっている。
４本の梁２０ａ、２０ｂに取り付けられたデバイス把持部２１は、それぞれ取り付けられた梁に沿って移動できるようになっている。
このように構成されたデバイス移載装置５０は、図３（ｂ）に示すようなデバイス収納部４０が設けられたデバイス供給トレイ１３から同時に８個のデバイスを吸着することができる。なお４本の梁２０ａ、２０ｂの交差位置にチャック２３を備えたデバイス把持部２１を設けて同時に９個のデバイスを吸着するようにしてもよい。
その他の効果については、実施形態１に係るデバイス移載装置７と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明の実施形態１及び実施形態２に係るデバイス移載装置は、一般的な部品や製品の移載装置として利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施形態１に係るデバイス移載装置を示す斜視図。
【図２】実施形態１に係るデバイス移載装置の正面図、ｂ−ｂ断面図及び下面図。
【図３】実施形態１に係るデバイス移載装置の動作を説明するための図。
【図４】実施形態１に係るデバイス移載装置の動作を説明するための図。
【図５】本発明の実施形態２に係るデバイス移載装置を示した下面模式図。
【図６】本発明の実施形態１に係るデバイス検査装置の全体構成を示す上面模式図。
【符号の説明】
【００４０】
１  デバイス検査装置、２  テストサイト、３  検査ソケット、４  シャトル、５  測定ハンド、７  デバイス移載装置（供給）、８  デバイス移載装置（回収）、９  供給装置Ｙ軸、１０  回収装置Ｙ軸、１１  移載装置Ｘ軸、１３  デバイス供給トレイ、１４  デバイス回収トレイ、１５  空トレイアンローダ、１６  ホットプレート、１７  固定トレイ、２０  梁、２１  デバイス把持部、２２  伸縮部、２３  チャック、２４  リンクバー、２５  送りネジ、２６  ナット部、２７  ピン、２８  モータ、３０  ラック、３１  ピニオンギア、３２  モータプレート、３３  カムフォロア、３４  モータ、３５  取付部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006017575.tif 000007
【図６】
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