(57)【要約】【課題】  第１の領域と第２の領域とに効率良く液状体を吐出することのできる液滴吐出ヘッド、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置を提供する。【解決手段】  液滴吐出ヘッド４０の中央に、素子基板上に形成される画素電極の横ピッチａ1及び縦ピッチｂ1と等しい横及び縦ピッチで配置された３個のノズル４１を備えた第１のノズルプレート４２〜４４を配置した。また、第１のノズルプレート４２〜４４の各ノズル４１の左右両側に、素子基板上に形成される凹状領域Ｕの横ピッチａ1及び縦ピッチｂ1と等しい横及び縦ピッチで配置された１０個のノズル４５を備えた第２のノズルプレート４６，４７を配置した。そして、各ノズル４１からは、正孔輸送層を構成する正孔輸送層材料を溶媒に溶解または分散させて液状化したインクを吐出するようにした。また、各ノズル４５からは、溶媒のみを吐出するようにした。【選択図】    図５
2006269325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成された第１の領域に第１の液状体を吐出するための第１のノズル群と、
前記基板に形成され、前記第１の領域とは異なった領域に設けられた第２の領域に前記第１の液状体とは異なった第２液状体を吐出するための第２のノズル群と
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記第１のノズル群は、前記液滴吐出ヘッドの中央に配置され、
前記第２のノズル群は、前記第１のノズル群の周囲の少なくとも一部に配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記基板は、マトリクス状に形成された複数の画素の各々に電気光学素子を備える電気光学装置を構成する電気光学用基板であり、
前記第１の領域は、前記基板の中央に配置された画素が形成される有効光学領域であり、
前記第２の領域は、前記基板の周囲に配置された画素が形成される非有効光学領域であり、
前記第１のノズル群は、前記電気光学素子の機能層を構成する機能材料が溶媒中に分散または溶解された液状体を前記有効光学領域の画素に吐出し、
前記第２のノズル群は、前記溶媒のみを前記非有効光学領域の画素に吐出するようにしたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記第１のノズル群は、前記マトリクス状に配置された複数の画素のうち縦または横方向に沿って配置された画素列に対して前記有効光学領域内の各画素に前記第１の液状体が塗布されるように斜めに配置形成され、
前記第２のノズル群は、前記マトリクス状に配置された複数の画素のうち前記縦または横方向に沿って配置された画素列に対して平行に配置形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
基板上に発光可能な画素が形成される有効光学領域と前記有効光学領域の周囲に発光不可能な領域が形成される非有効光学領域とが設けられ、液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を前記基板上に吐出する電気光学装置の製造方法において、
前記有効光学領域に第１の液状体を吐出する第１の工程と、
前記非有効光学領域に前記第１の液状体とは異なった第２の液状体を吐出する第２の工程と、
前記有効光学領域に前記第１の液状体を吐出するともに前記非有効光学領域に前記第２の液状体を吐出する第３の工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第３の工程は、
周囲に隣接する前記有効光学領域の画素と前記非有効光学領域の画素とに同じ走査時に吐出するようにしたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
請求項５に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記有効光学領域にある前記画素には、複数回塗布されるようにしたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項５乃至７のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法によって製造された電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイに替わるフラットパネルディスプレイとして有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（以下、有機ＥＬディスプレイ）が注目されている。有機ＥＬディスプレイは、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子）を発光素子として使用した自発発光型ディスプレイであるので、液晶ディスプレイのようにバックライトを使用しない。このため低消費電力化が図れる等の利点が挙げられる。
【０００３】
この種の有機ＥＬディスプレイにおける発光材料（以下、「有機ＥＬ材料」という）としては、一般に高分子系有機材料と低分子系有機材料とに分類されており、その中でも高分子系材料については、所定の溶媒に溶解または分散させて液状化し、それを液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して基板上に塗布させる液滴吐出法がある。この方法では、基板上に液滴を塗布した後、真空乾燥処理を施すことで液滴中の溶媒を蒸発させて前記有機材料から成る機能層（発光層や正孔輸送層等）を成膜化するようにしている。この液滴吐出法によると、液滴の直径をμｍオーダーにまでにすることができるので、機能層の高精細パターニングが可能となる。
【０００４】
しかし、前記液滴吐出法では、基板上に塗布された微小液体の蒸発は極めて速い。そして、基板上の塗布領域における端（上端、下端、右端、左端）では、基板中央の領域に塗布された微小液体から蒸発した溶媒分子分圧が低いため、一般的に速く乾きはじめる。また、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子によるアクティブ駆動を行う場合、ＴＦＴ素子領域や、配線等の形状、配置の関係上、画素配置がＸ，Ｙ方向ともに等間隔ではない場合があり、各画素上に塗布された液滴の周囲で局所的な蒸発溶媒分子分圧に差が生じる。このような画素上に塗布された有機材料液体の乾燥時間の差は、画素内、画素間での機能層の膜厚ムラを引き起こす。このような膜厚ムラは、輝度ムラ、発光色ムラ等の表示ムラの原因となってしまう。
【０００５】
そこで、表示に関係する表示画素が形成された、所謂有効光学領域の周囲に表示画素と同じ形状、同ピッチの表示に関係しない画素が形成された、所謂ダミー光学領域を設けることで塗布領域を広げ、有効光学領域の周辺にも有機材料液体を塗布することで、有効光学領域内の溶媒分子分圧を均一にすることが提案されている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００２−２２２６９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前記基板を有するディスプレイを形成する場合、その有効光学領域とダミー光学領域とで異なった種類の液滴を吐出するのが有効な場合がある。例えば、ダミー光学領域には、溶媒のみを塗布するようにすることで、１枚のディスプレイの製造に使用する発光材料の使用量を削減することで低コスト化を図るようにしたものがある。このようにした場合、基板上の各領域で異なった種類の液滴が吐出される必要があり、その異なった種類の液滴を吐出するヘッド及びその吐出方法によって生産性大きく異なることが考えられる。
【０００７】
そこで、本発明の目的とするところは、第１の領域と第２の領域とに効率良く液状体を
吐出することのできる液滴吐出ヘッド、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液滴吐出ヘッドは、基板に形成された第１の領域に第１の液状体を吐出するための第１のノズル群と、前記基板に形成され、前記第１の領域とは異なった領域に設けられた第２の領域に前記第１の液状体とは異なった第２液状体を吐出するための第２のノズル群と
を備えている。
【０００９】
これによれば、液滴吐出ヘッドを走査して複数のノズルのうちの第１のノズル群を第１の領域に対向する位置に配置したときに、第２のノズル群を第２の領域に対向する位置に配置する。そして、第１のノズル群から第１液状体を吐出するとともに、第２のノズル群から第２液状体を吐出するようにする。すると、第１の領域と第２の領域には、それぞれ同時に互いに異なった第１の液状体と第２の液状体とが塗布される。従って、第１の領域に対向するように液滴吐出ヘッドを走査して該第１の領域に第１の液状体を吐出した後に第２の領域に対向するように液滴吐出ヘッドを走査して該第２の領域に第２の液状体を吐出する、または、第２の領域に対向するように液滴吐出ヘッドを走査して該第２の領域に第２の液状体を吐出した後に第１の領域に対向するように液滴吐出ヘッドを走査して該第１の領域に第１の液状体を吐出する場合に比べて短時間で液状体が基板上に塗布される。この結果、液状体を効率良く塗布することができる。
【００１０】
この液滴吐出ヘッドにおいて、前記第１のノズル群は、前記液滴吐出ヘッドの中央に配置され、前記第２のノズル群は、前記第１のノズル群の周囲の少なくても一部に配置されていてもよい。
【００１１】
これによれば、中央に第１の領域が形成され、例えば、その第１の領域を囲むように第２の領域が形成される基板に液状体を吐出する場合、第１のノズル群を第１の領域における端（上端、下端、右端、左端）に対向するように配置すると、第２のノズル群が第２の領域に対向するように配置される。従って、その状態で、第１のノズル群から第１の液状体を吐出すると同時に第２のノズル群から第２の液状体を吐出することで、第１の領域及び第２の領域に同時にそれぞれ対応する第１液状体及び第２の液状態が塗布される。この結果、短時間で各液状体を基板上に塗布することができる。
【００１２】
この液滴吐出ヘッドにおいて、前記基板は、マトリクス状に形成された複数の画素の各々に電気光学素子を備える電気光学装置を構成する電気光学用基板であり、前記第１の領域は、前記基板の中央に配置された画素が形成される有効光学領域であり、前記第２の領域は、前記基板の周囲に配置された画素が形成される非有効光学領域であり、前記第１のノズル群は、前記電気光学素子の機能層を構成する機能材料が溶媒中に分散または溶解された液状体を前記有効光学領域の画素に吐出し、前記第２のノズル群は、前記溶媒のみを前記非有効光学領域の画素に吐出するようにしてもよい。
【００１３】
これによれば、第１の領域を有効光学領域として表示に関係する表示画素を形成し、その周囲の第２の領域をダミー光学領域として表示に関係しない画素を形成することで液状体の塗布領域を広げて、有効光学領域の周辺にも液状体を塗布することで、有効光学領域内の溶媒分子分圧を均一にした電気光学装置の基板に、液状体を効率良く吐出することができる。
【００１４】
この液滴吐出ヘッドにおいて、前記第１のノズル群は、前記マトリクス状に配置された複数の画素のうち縦または横方向に沿って配置された画素列に対して前記有効光学領域内
の各画素に前記第１の液状体が塗布されるように斜めに配置形成され、前記第２のノズル群は、前記マトリクス状に配置された複数の画素のうち前記縦または横方向に沿って配置された画素列に対して平行に配置形成されていてもよい。
【００１５】
これによれば、第１の領域に形成される各画素をさらに複数の領域に小分けし、その各小分けされた領域にそれぞれ第１の液状体を吐出させて各画素内に第１の液状体を均一に塗布させることができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、基板上に発光可能な画素が形成される有効光学領域と前記有効光学領域の周囲に発光不可能な領域が形成される非有効光学領域とが設けられ、液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を前記基板上に吐出する電気光学装置の製造方法において、前記有効光学領域に第１の液状体を吐出する第１の工程と、前記非有効光学領域に前記第１の液状体とは異なった第２の液状体を吐出する第２の工程と、前記有効光学領域に前記第１の液状体を吐出するともに前記非有効光学領域に前記第２の液状体を吐出する第３の工程とを含んでいる。
【００１７】
これによれば、液滴吐出ヘッドを走査して複数のノズルのうちの第１のノズル群を第１の領域に対向する位置に配置したときに、第２のノズル群を第２の領域に対向する位置に配置する。そして、第１のノズル群及び第２のノズル群からそれぞれ液状体を吐出するようにする。すると、第１の領域と第２の領域には、それぞれ同時に液状体が塗布される。従って、第１の領域に対向するように液滴吐出ヘッドを走査して該第１の領域に液状体を吐出した後に第２の領域に対向するように液滴吐出ヘッドを走査して該第２の領域に液状体を吐出する、または、第２の領域に対向するように液滴吐出ヘッドを走査して該第２の領域に液状体を吐出した後に第１の領域に対向するように液滴吐出ヘッドを走査して該第１の領域に液状体を吐出する場合に比べて短時間で液状体が基板上に塗布される。この結果、液状体を効率良く塗布することができる。
【００１８】
この電気光学装置の製造方法において、前記第３の工程は、周囲に隣接する前記有効光学領域の画素と前記非有効光学領域の画素とに同じ走査時に吐出するようにしてもよい。
これによれば、中央に第１の領域が形成され、例えば、その第１の領域を囲むように第２の領域が形成される基板に液状体を吐出する場合、第１のノズル群を第１の領域における端（上端、下端、右端、左端）に対向するように配置すると、第２のノズル群が第２の領域に対向するように配置される。従って、その状態で、第１のノズル群から第１の液状体を吐出するのと同じ走査時に第２のノズル群から第２の液状体を吐出することで、第１の領域及び第２の領域に同じ走査時にそれぞれ対応する第１液状体及び第２の液状態が塗布される。この結果、短時間で各液状体を基板上に塗布することができる。
【００１９】
この電気光学装置の製造方法において、前記第１の領域にある前記画素には、複数回塗布されるようにしてもよい。
これによれば、第１の領域に形成される各画素をさらに複数の領域に小分け、その各小分けされた領域にそれぞれ第１の液状体を吐出させて各画素内に第１の液状体を均一に塗布させることができる。
【００２０】
本発明の電気光学装置は、上記記載の電気光学装置の製造方法によって製造されている。
これによれば、短時間で液状体を基板上に塗布されることで、液状体を効率良く塗布されて製造された電気光学装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態を図面に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出ヘッド及び電気光学装置の製造方法を使用して製造された電気光学装置の一例としての有機ＥＬディスプレイについて各図に従って説明する。
【００２２】
図１は、有機ＥＬディスプレイを説明する正面図であり、図２は、有機ＥＬディスプレイの図１中Ａ−Ａ線での断面図であり、図３は、同ディスプレイの図１中Ｂ−Ｂ線での断面図である。
【００２３】
図１に示すように、有機ＥＬディスプレイ１は、ディスプレイ部２と、該ディスプレイ部２の下側部（図１中Ｙ矢印方向）に接続されたフレキシブル回路基板３とから構成されている。
【００２４】
ディスプレイ部２は、基板Ｓを備えている。基板Ｓは、本実施形態では、光透過性を有するガラスで構成されている。基板Ｓは、図１に示すように、その中央に略四角形状の塗布領域４を備えている。この塗布領域４の中央には、第１の領域としての有効光学領域４Ａが形成され、また、該領域４Ａを囲むようにして第２の領域としての非有効光学領域４Ｂが形成されている。基板Ｓ上であって、塗布領域４以外の領域（以下、非塗布領域という）６には、一対の走査線駆動回路７が形成されている。
【００２５】
塗布領域４には、行方向（Ｘ矢印方向）にｍ個の画素５が、また列方向（Ｙ矢印方向）にｎ個の画素５が、それぞれ行方向及び列方向に等ピッチで形成されている。つまり、塗布領域４には、ｍ×ｎ個の画素５がマトリクス状に形成されている。
【００２６】
ｍ×ｎ個の画素５のうち、有効光学領域４Ａの画素５（以下、「表示画素５Ａ」という）には、赤色用有機ＥＬ素子９Ｒ、緑色用有機ＥＬ素子９Ｇまたは青色用有機ＥＬ素子９Ｂのいずれかが形成されている（図２参照）。図１に示すように、Ｘ矢印方向に沿っては、赤色用有機ＥＬ素子９Ｒ、緑色用有機ＥＬ素子９Ｇ、青色用有機ＥＬ素子９Ｂ、赤色用有機ＥＬ素子９Ｒ、緑色用有機ＥＬ素子９Ｇ、…の順に繰り返して配置されている。また、Ｙ矢印方向（列方向）に沿っては、同色の有機ＥＬ素子９Ｒ，９Ｇ，９Ｂが配置されている。そして、この有効光学領域４Ａに形成された画素５（表示画素５Ａ）が表示に寄与する画素５である。
【００２７】
一方、非有効光学領域４Ｂ内の画素５（以下、「ダミー画素５Ｂ」という）には、有機ＥＬ素子は形成されていない（図３参照）。従って、非有効光学領域４Ｂに形成された画素５（ダミー画素５Ｂ）は、表示に寄与しない画素５である。尚、本実施形態においては、説明の便宜上、図１に示すように、有効光学領域４Ａにおける上下端側にある非有効光学領域４Ｂには、それぞれＸ矢印方向に沿って１行分のｍ個の画素５（ダミー画素５Ｂ）が形成され、左右端側にある非有効光学領域４Ｂ内には、それぞれＹ矢印方向に沿って１列分のｎ個の画素５（ダミー画素５Ｂ）が形成されている。
【００２８】
図２は、有機ＥＬディスプレイ１の図１中Ａ−Ａ線での断面図であって、左右端側にある非有効光学領域４Ｂの各ダミー画素５Ｂ及び該各ダミー画素５Ｂによって囲まれるようにして配置された有効光学領域４Ａの各表示画素５Ａを含んでいる。図３は、有機ＥＬディスプレイ１の図１中Ｂ−Ｂ線での断面図であって、有効光学領域４Ａの上端側にある非有効光学領域４Ｂ内の各ダミー画素５Ｂを含んでいる。
【００２９】
図２に示すように、各色用有機ＥＬ素子９Ｒ，９Ｇ，９Ｂは、基板Ｓ上に形成された回路形成層Ｓａ上に形成されている。この回路形成層Ｓａは、各色用有機ＥＬ素子９Ｒ，９Ｇ，９Ｂに駆動電力を供給する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）１０といった各種回路素子や前記走査線駆動回路７を構成する回路素子の一部または全部が形成された層である。
【００３０】
図２及び図３に示すように、回路形成層Ｓａ上の塗布領域４に対応した領域には、各画素５をマトリクス状に区画するバンク１１が形成されている。
バンク１１は、その表面が撥液性を有している。このバンク１１は、元来撥液性を備えた材料、例えば、フッ素系樹脂で構成されたものであってもよい。また、撥液性を備えていないものであっても、通常用いられるアクリル樹脂やポリイミド樹脂等の有機樹脂をパターン形成し、ＣＦ4プラズマ処理等により表面を撥液化されたものであってもよい。
【００３１】
そして、図２に示すように、有効光学領域４Ａ内の回路形成層Ｓａ上における、バンク１１によって区画された凹状領域Ｕの各底部には、画素電極１２が形成されている。各画素電極１２上には、本実施形態においては、正孔輸送層１４、発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの順に積層されてなる機能層１６が形成されている。各画素電極１２は、対応する薄膜トランジスタ１０とコンタクトホール１３を介して電気的に接続されている。また、各画素電極１２上には、正孔輸送層１４、発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの順に積層されてなる機能層１６が形成されている。各発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂは、それぞれ有機発光材料で構成されている。発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂのうち、発光層１５Ｒは、赤色の光を出射する発光層であり、発光層１５Ｇは、緑色の光を出射する発光層であり、発光層１２Ｂは、青色の光を出射する発光層である。
【００３２】
一方、図２及び図３に示すように、非有効光学領域４Ｂ内の回路形成層Ｓａ上における、バンク１１によって区画された凹状領域Ｕの各底部には、画素電極及びその画素電極に対応する薄膜トランジスタが設けられている。そして、各バンク１１及び凹状領域状を覆う様に陰極１７が形成されている。また、陰極１７の一部は、前記非塗布領域６上を覆うように形成されている。また、回路形成層Ｓｂの外周縁部には陰極１７全面を覆うように封止部材１９が形成されている。そして、前記した画素電極１２、正孔輸送層１４、赤色用有機ＥＬ素子９Ｒ及び陰極１７が積層されて図１に示した赤色用有機ＥＬ素子９Ｒが構成される。また、画素電極１２、正孔輸送層１４、緑色用有機ＥＬ素子９Ｇ及び陰極１７が積層されて緑色用有機ＥＬ素子９Ｇが構成される。同様に、画素電極１２、正孔輸送層１４、青色用有機ＥＬ素子９Ｂ及び陰極１７が積層されて青色用有機ＥＬ素子９Ｂが構成される。
【００３３】
そして、図２に示すように、表示画素５Ａの各正孔輸送層１４は、対応する画素電極１２上全面に密着して形成されている。これは、図示しない他の表示画素５Ａにおいても同様であり、対応する各画素電極１２上に密着して形成されている。また、各正孔輸送層１４上に形成される発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂについても、対応する正孔輸送層１４上全面に密着して形成されている。これは、図示しない他の表示画素５Ａにおいても同様であり、対応する各正孔輸送層１４上に密着して形成されている。
【００３４】
さらに、各正孔輸送層１４及び発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの膜厚は、有効光学領域４Ａに渡ってその各凹状領域Ｕ内において均一である。また、これは、図示しない他の表示画素５Ａにおいても同様である。つまり、全表示画素５Ａの各凹状領域Ｕ内に形成される各正孔輸送層１４及び発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの膜厚は、均一である。
【００３５】
尚、説明の便宜上、基板Ｓ上に回路形成層Ｓａ、凹状領域Ｕ及び画素電極１２が形成されたものを素子基板ＳＳという。
また、図１に示すように、非塗布領域６には塗布領域４を挟むようにして一対の走査線駆動回路７が配置されている。各走査線駆動回路７は、前記したマトリクス状に配置された表示画素５Ａのうちの所望の１行の表示画素５Ａ群を選択する走査信号を出力する。
【００３６】
一方、フレキシブル回路基板３上にはデータ線駆動回路２０と制御回路２１とが形成されている。データ線駆動回路２０は、前記走査線駆動回路７が出力した走査信号によって
選択された行の表示画素５Ａ群に対して、その各色用有機ＥＬ素子９Ｒ，９Ｇ，９Ｂの発光輝度を決定するデータ信号を出力する。
【００３７】
制御回路２１は、各走査線駆動回路７及びデータ線駆動回路２０の駆動を制御するための各種制御信号を生成し、その生成した制御信号を各駆動回路７，２０にそれぞれ出力する。
【００３８】
次に、前記のような構成を有する有機ＥＬディスプレイ１の機能層１６を形成するのに用いられる液滴吐出装置の一例について図４及び図５に従って説明する。尚、図４及び図５に示す液滴吐出装置３０は、前記した機能層１６を構成する正孔輸送層１４を形成するための装置であって、他の発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂを形成する他の液滴吐出装置と同様な構成をしている。従って、以下の説明では、正孔輸送層１４を形成する液滴吐出装置３０のみを説明し、他の液滴吐出装置については、その説明を省略する。
【００３９】
図４（ａ）は、液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。図４（ａ）に示すように、液滴吐出装置３０には、直方体形状に形成される基台３１が備えられている。本実施形態では、この基台３１の長手方向を図１中Ｙ矢印方向に合わせ、同Ｙ矢印方向と直交する同基台３１の短手方向を図１中Ｘ矢印方向に合わせてある。
【００４０】
基台３１の上面３１aには、Ｙ矢印方向に延びる一対の案内凹溝３２が同Ｙ矢印方向全
幅に渡って形成されている。その基台３１の上側には、案内凹溝３２に対応する図示しない直動機構を備えたステージ３３が取付けられている。ステージ３３の直動機構は、公知の直動機構であって、例えば案内凹溝３２に沿ってＹ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構である。そして、そのネジ軸がステップモータよりなるＹ軸モータに連結され、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ３３が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ矢印方向に沿って所定の速度で往動又は復動する（Ｙ矢印方向に移動する）ようになっている。尚、本実施形態では、ステージ３３が案内凹溝３２（基台３１）の最も手前側に配置する位置（図１における実線位置）を往動位置として、同案内凹溝３２（基台３１）の最も奥側に配置する位置（図５における２点鎖線位置）を復動位置とする。
【００４１】
そのステージ３３の上面には、載置面３４が形成されその載置面３４には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面３４に基板Ｓを載置すると、前記基板チャックによって、基板Ｓが載置面３４の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００４２】
基台３１のＸ矢印方向両側には、一対の支持台３５a，３５bが立設され、その支持台３５a，３５bには、Ｘ矢印方向に延びる案内部材３６が架設されている。案内部材３６は、その長手方向の幅がステージ３３のＸ矢印方向よりも長く形成され、その一端が支持台３５a側に張り出すように配置されている。
【００４３】
案内部材３６の上側には、前記した正孔輸送層１４を構成するための第１の液状体としてのインクＰを収容する第１収容タンク３７ａと、第２の液状体としての溶媒Ｑのみを収容する第２収容タンク３７ｂとからなる収容タンク３７が配設されている。インクＰは、正孔輸送層１４を構成する機能材料としての正孔輸送層材料を溶媒Ｑに溶解または分散させて液状化したものである。
【００４４】
一方、その案内部材３６の下側には、Ｘ矢印方向に延びる上下一対の案内レール３８がＸ矢印方向全幅にわたり設けられている。案内レール３８には、キャリッジ３９がＸ矢印
方向に沿って移動可能となるように取付けられている。つまり、Ｘ矢印方向はキャリッジ３９の走査方向に一致する。尚、このキャリッジ３９の直動機構は、公知の直動機構であって、例えば案内レール３８に沿ってＸ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、そのネジ軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータに連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ３９が同ステップ数に相当する分だけＸ矢印方向に沿って往動又は復動する。
【００４５】
また、キャリッジ３９には、液滴吐出ヘッド４０が一体に設けられている。
図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッド４０の下面（ステージ３３側の面）を下側から見た場合の斜視図である。液滴吐出ヘッド４０は、その下面４０ａに、第１のノズル群としての６個のノズル４１を構成する３枚の第１のノズルプレート４２，４３，４４と、第２のノズル群としての１０個のノズル４５を構成する２枚の第２のノズルプレート４６，４７とを備えている。
【００４６】
図５（ａ）は、液滴吐出ヘッド４０を下側（ステージ３３側）から見た場合の平面図であり、図５（ｂ）は、同ヘッド４０に対向して配置される素子基板ＳＳの上面図である。
図５（ｂ）に示すように、各凹状領域Ｕの長手方向（Ｙ矢印方向）は距離Ｄであり、短手方向（Ｘ矢印方向）は距離Ｇである。また、各凹状領域Ｕは、Ｘ矢印方向（行方向）に沿った距離（これを、「画素の横ピッチ」という）ａ2だけ離間して配置されている。ま
た、各凹状領域Ｕは、Ｙ矢印方向（列方向）に沿った距離（これを、「画素の縦ピッチ」という）ｂ2だけ離間して配置されている。つまり、Ｙ矢印方向に隣接した画素５は、互
いに縦ピッチｂ2だけ離間して形成され、Ｘ矢印方向に隣接した画素５は、互いに横ピッ
チａ2だけ離間して形成されている。そして、横ピッチａ2は、素子基板ＳＳ上に形成される凹状領域Ｕ（画素電極１２）の横ピッチａ1に等しい。また、縦ピッチｂ2は、素子基板ＳＳ上に形成される凹状領域Ｕ（画素電極１２）の縦ピッチｂ1に等しい。
【００４７】
そして、図５（ａ）に示すように、各第１のノズルプレート４２〜４４の３個のノズル４１は、互いにＸ矢印方向、即ち、液滴吐出ヘッド４０の走査方向に沿って配置された画素列にして斜めに配置形成されている。
【００４８】
詳しくは、各第１のノズルプレート４２〜４４の３個のノズル４１は、その隣接するノズル４１間のＸ矢印方向成分の距離が距離Ｌxで等ピッチになるように配置されている。
また、各第１のノズルプレート４２〜４４の３個のノズル４１は、その隣接するノズル４１間のＹ矢印方向成分の距離が距離Ｌyで等ピッチになるように配置されている。そして
、距離Ｌxは、横ピッチａ2と等しくなるように設計されている。さらに、前記距離Ｌyは
、縦ピッチb2よりも小さくなるように設計されている。この結果、３個のノズル４１のうちの１個のノズル４１が所定の凹状領域Ｕ上に対向する位置に配置されると、隣接する他の２個のノズル４１が前記凹状領域Ｕに隣接する他の２個の凹状領域Ｕ上と対向するように配置される。また、このとき、１個の凹状領域ＵをＹ矢印方向に沿って上部、中部、下部の３つの領域に区分した場合、各ノズル４１は、それぞれ、対向する凹状領域Ｕの上部、中部、下部のうちのいずれかに対向する位置に配置される。従って、液滴吐出ヘッド４０がＸ矢印方向に沿って、横ピッチａ2だけずれて走査される毎に、各３個のノズル４１
が所定の１個の凹状領域Ｕ内の上部→中部→下部の順に対向する位置に至るように配置される。
【００４９】
また、全ノズル４１は、図示しないチューブを介して第１収容タンク３７ａに連結されている。また、各ノズル４１には、図示しないノズル駆動信号を受けて駆動制御される圧電素子が設けられている。そして、この圧電素子がノズル駆動信号に応じて伸縮すること
で、対応するノズル４５からその伸縮量に応じた量のインクＰが第１収容タンク３７ａから吐出される。
【００５０】
各第２のノズルプレート４６，４７に形成された１０個のノズル４５は、Ｘ矢印方向、即ち、液滴吐出ヘッド４０の走査方向に沿って配置された画素列にして平行となるように配置形成されている。
【００５１】
詳しくは、各第２のノズルプレート４６，４７に形成された１０個のノズル４５は、その隣接するノズル４５間のＸ矢印方向成分の距離が距離ａ1で等ピッチになるように配置
されている。また、各第２のノズルプレート４６，４７に形成された１０個のノズル４５は、その隣接するノズル４５間のＹ矢印方向成分の距離が距離ｂ1で等ピッチになるよう
に配置されている。そして、距離ｂ1は、縦ピッチｂ2と等しくなるように設計されている。この結果、１０個のノズル４５のうちの１個のノズル４５が所定の凹状領域Ｕ上に対向する位置に配置されると、他の９個のノズル４１が前記凹状領域Ｕ以外の隣接する他の９個の凹状領域Ｕ上と対向するように配置される。従って、液滴吐出ヘッド４０がＸ矢印方向に沿って、横ピッチａ2だけずれて走査される毎に、各１０個のノズル４５が他の隣接
した凹状領域Ｕに対向する位置に至るように配置される。
【００５２】
また、全ノズル４５は、図示しないチューブを介して第２収容タンク３７ｂに連結されている。また、各ノズル４５には、図示しないノズル駆動信号を受けて駆動制御される圧電素子が設けられている。そして、この圧電素子がノズル駆動信号に応じて伸縮することで、対応するノズル４５からその伸縮量に応じた量の溶媒Ｑが第２収容タンク３７ｂから吐出される。
【００５３】
以後、説明の便宜上、第１のノズルプレート４２，４３，４４に形成された６個のノズル４１のうち図５（ａ）中右端に形成された３個のノズル４１を「第１ノズルＫ１」とし、その図５（ａ）中左側に隣接して形成された３個のノズル４１を「第２ノズルＫ２」とし、図５（ａ）中左端に形成されたノズル４１を「第３ノズルＫ３」とする。また、各第２のノズルプレート４６，４７のうちの図５（ａ）中右側に形成された第２のノズルプレート４７内の１０個のノズル４５のうち、右端に形成された５個のノズル４５を「第４ノズルＫ４」とし、その左側に隣接して形成された５個のノズル４５を「第５ノズルＫ５」とする。また、同様に、第２のノズルプレート４６内の１０個のノズル４５のうち、右端に形成された５個のノズル４５を「第６ノズルＫ６」とし、その左側に隣接して形成された５個のノズル４５を「第７ノズルＫ７」とする。
【００５４】
尚、発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂをそれぞれ形成する液滴吐出装置も同様であって、それぞれ、各色の機能材料としての有機発光材料を溶媒に溶解または分散させて液状化した第１の液状体としてのインクを収納する第１収容タンクと、第２の液状体としての溶媒のみを収容する第２収容タンクとからなる収容タンクを備えている。たとえば、赤用発光層１５Ｒを形成する液滴吐出装置は、赤色の光を出射する有機発光材料を溶媒に溶解または分散させて液状化した液状体を収容する第１収容タンクと、溶媒のみを収納する第２収容タンクとからなる収容タンクを備えている。
【００５５】
次に、前記のような構成を有する有機ＥＬディスプレイ１の製造方法の一例について図６〜図２６に従って説明する。
図６は、前記した液滴吐出ヘッド４０によって１枚の素子基板（即ち、基板Ｓ上に回路形成層Ｓａ、凹状領域Ｕ及び画素電極１２が形成された基板）ＳＳ上にインクＰ及び溶媒Ｑを吐出する順序を説明するための図である。
【００５６】
図６に示すように、素子基板ＳＳを載置面３４に固定した後、ステージ３３をＹ矢印方
向に移動させ塗布領域４の上端部と対向する位置に合わせる。また、キャリッジ３９を案内部材３６に沿ってＸ矢印方向に移動させ塗布領域４の左端部と対向する位置に合わせる。
【００５７】
詳しくは、図７に示すように、３個の第１ノズルＫ１が有効光学領域４Ａの左上端に形成された各凹状領域Ｕの上部と対向するように載置面３４及びキャリッジ３９を移動させる。この位置を液滴吐出ヘッド４０のホームポジションとする。そして、載置面３４の位置を固定し、この状態で、先ず、第１ノズルＫ１からインクＰを各凹状領域Ｕに吐出する。このとき、他のノズルＫ２〜Ｋ７からはインクＰまたは溶媒Ｑを吐出しないようにする（第１の工程）。
【００５８】
このときの素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の様子を図８に示す。図８（ａ）は、有効光学領域４Ａを含む素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の図であって、図７中Ｃ−Ｃ線での断面図である。また、図８（ｂ）は、非有効光学領域４Ｂの素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の図であって、図７中Ｄ−Ｄ線での断面図である。
【００５９】
すると、図８（ａ）に示すように、有効光学領域４Ａにおける左端から列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各上部にインクＰが塗布される。また、このとき、図８（ｂ）に示すように、有効光学領域４Ａの上端側に形成された非有効光学領域４Ｂの凹状領域には溶媒Ｑは塗布されない。
【００６０】
続いて、ホームポジションから図６中Ｘ矢印方向に液滴吐出ヘッド４０を横ピッチａ2
だけずれるように走査する。すると、図９に示すように、各第１ノズルＫ１が有効光学領域４Ａにおける左端から２列目の各凹状領域Ｕに対向する位置に配置される。すると、第２ノズルＫ２が有効光学領域４Ａにおける左端から１列目の各凹状領域Ｕに対向する位置に配置される。そして、第１及び第２ノズルＫ１，Ｋ２からそれぞれインクＰを吐出する。このとき、他のノズルＫ３〜Ｋ７からはインクＰまたは溶媒Ｑを吐出しないようにする（第１の工程）。
【００６１】
このときの素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の様子を図１０に示す。図１０は、有効光学領域４Ａを含む素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の図であって、図９中Ｃ−Ｃ線での断面図である。
【００６２】
すると、図１０に示すように、有効光学領域４Ａにおける左端から数えて２列目の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各上部にインクＰが塗布されるとともに、先にインクＰを塗布した左端の凹状領域Ｕ内の各画素電極１２上の中部にインクＰが塗布される。また、このとき、図８（ｂ）と同様に、有効光学領域４Ａの上端側に形成された非有効光学領域４Ｂの凹状領域には溶媒Ｑは塗布されない。
【００６３】
続いて、図６中Ｘ矢印方向に液滴吐出ヘッド４０を横ピッチａ2だけずれるように走査
する。すると、図１１に示すように、各第１ノズルＫ１が有効光学領域４Ａにおける左端から３列目の各凹状領域Ｕに対向する位置に配置される。すると、第２ノズルＫ２が有効光学領域４Ａにおける左端から数えて２列目の各凹状領域Ｕに対向する位置に配置され、第３ノズルＫ３が有効光学領域４Ａにおける左端の各凹状領域Ｕに対向する位置に配置される。
【００６４】
また、このとき、各ノズル４１〜４５（Ｋ１〜Ｋ７）の横ピッチａ2は素子基板ＳＳ上
に形成される画素電極１２の横ピッチａ1に等しい。また、各ノズル４１〜４５（Ｋ１〜
Ｋ７）の縦ピッチｂ2は、素子基板ＳＳ上に形成される画素電極１２の縦ピッチｂ1に等しい。従って、第２のノズルプレート４６の５個の第６ノズルＫ６が非有効光学領域におけ
る左端に形成された凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【００６５】
そして、第１、第２及び第３ノズルＫ１〜Ｋ３からそれぞれインクＰを吐出するとともに、同時に第６ノズルＫ６から溶媒Ｑを吐出する。また、他の第４、第５、第７ノズルＫ４，Ｋ５，Ｋ７からは溶媒Ｑを吐出しないようにする（第３の工程）。
【００６６】
このときの素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の様子を図１２に示す。図１２（ａ）は、有効光学領域４Ａを含む素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の図であって、図１１中Ｃ−Ｃ線での断面図である。また、図１２（ｂ）は、非有効光学領域４Ｂの素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の図であって、図１１中Ｄ−Ｄ線での断面図である。
【００６７】
すると、図１２（ａ）に示すように、有効光学領域４Ａにおける左端から数えて３列目の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各上部にインクＰが塗布されるとともに、先にインクＰを塗布した左端から数えて２列目の凹状領域Ｕ内の各画素電極１２上の中部にインクＰが塗布される。また、左端の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各下部にインクＰが塗布される。また、このとき、図１２（ａ），（ｂ）に示すように、非有効光学領域４Ｂにおける左端及び上端に形成される凹状領域Ｕ内に溶媒Ｑが塗布される。
【００６８】
続いて、図６中Ｘ矢印方向に液滴吐出ヘッド４０を横ピッチａ2だけずれるように走査
する。すると、図１３に示すように、各第１ノズルＫ１が有効光学領域４Ａの左端から数えて４列目の各凹状領域Ｕに対向する位置に配置される。すると、第２ノズルＫ２が有効光学領域４Ａの左端から数えて３列目の各凹状領域Ｕに対向する位置に配置される。また、このとき、第３ノズルＫ３が有効光学領域４Ａの左端から数えて２列目の各凹状領域Ｕに対向する位置に配置される。
【００６９】
また、このとき、各ノズル４１〜４５（Ｋ１〜Ｋ７）の横ピッチａ2は素子基板ＳＳ上
に形成される画素電極１２の横ピッチａ1に等しい。また、各ノズル４１〜４５（Ｋ１〜
Ｋ７）の縦ピッチｂ2は、素子基板ＳＳ上に形成される画素電極１２の縦ピッチｂ1に等しい。従って、第２のノズルプレート４６の各第６ノズルＫ６は非有効光学領域４Ｂにおける左端から数えて２列目の凹状領域Ｕと対向する位置に配置され、第７ノズルＫ７は非有効光学領域における左端の凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【００７０】
そして、第１、第２及び第３ノズルＫ１〜Ｋ３からそれぞれインクＰを吐出するとともに、同時に第６及び第７ノズルＫ６，Ｋ７からそれぞれ溶媒Ｑを吐出する。また、他の第４及び第５ノズルＫ４，Ｋ５からは溶媒Ｑを吐出しないようにする（第３の工程）。
【００７１】
このときの素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の様子を図１４に示す。図１４（ａ）は、有効光学領域４Ａを含む素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の図であって、図１３中Ｃ−Ｃ線での断面図である。また、図１４（ｂ）は、非有効光学領域４Ｂの素子基板ＳＳ及び液滴吐出ヘッド４０の図であって、図１３中Ｄ−Ｄ線での断面図である。
【００７２】
すると、図１４（ａ）に示すように、有効光学領域４Ａにおける左端から数えて４列目の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各上部にインクＰが塗布されるとともに、先にインクＰを塗布した左端から数えて３列目の凹状領域Ｕ内の各画素電極１２上の中部にインクＰが塗布される。また、左端から数えて２列目の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各下部にインクＰが塗布される。また、このとき、図１４（ａ），（ｂ）に示すように、非有効光学領域４Ｂにおける左端及び左端から数えて２列目の上端の凹状領域Ｕに溶媒Ｑが塗布される。
【００７３】
以降、同様にして、Ｘ矢印方向に沿って移動しながら、各第１〜第３ノズルＫ１〜Ｋ３からインクＰを吐出するとともに、第６及び第７ノズルＫ６，Ｋ７のうち非有効光学領域４Ｂにおける上端に形成された凹状領域に対向するノズルＫ６，Ｋ７から溶媒Ｑを吐出する。
【００７４】
そして、図１５に示すように、各第１ノズルＫ１が有効光学領域４Ａにおける右端から数えて２列目の凹状領域と対向する位置すると、第２のノズルプレート４７の５個の第４ノズルＫ４が非有効光学領域４Ｂにおける右端に形成された５個の凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【００７５】
この状態で、第１、第２及び第３ノズルＫ１〜Ｋ３からそれぞれインクＰを吐出するとともに、同時に第４ノズルＫ４から溶媒Ｑを吐出する。また、同時に、列方向に沿って形成された５個の第５ノズルＫ５のうち最上部にある１個の第５ノズルＫ５から溶媒Ｑを吐出する。さらに、第６及び第７ノズルＫ６，Ｋ７からのうち非有効光学領域４Ｂにおける上端に形成された凹状領域Ｕに対向するノズルＫ６，Ｋ７から溶媒Ｑを吐出する（第３の工程）。
【００７６】
この結果、有効光学領域４Ａにおける右端から数えて２列目の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の各画素電極１２上の各上部、右端から数えて３列目の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の各画素電極１２上の各中部、また、右端から数えて４列目の列方向に沿った３個の各凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各下部に、それぞれインクＰが塗布される。
【００７７】
また、このとき、非有効光学領域４Ｂにおける右端の凹状領域Ｕ及び右端から数えて２列目の上端の凹状領域Ｕに溶媒Ｑがそれぞれ塗布される。さらに、非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて６列目及び７列目の上端に形成された凹状領域に溶媒Ｑが塗布される。
【００７８】
続いて、図１６に示すように、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけず
れるように走査させて、各第１ノズルＫ１が有効光学領域４Ａにおける右端の凹状領域Ｕと対向する位置すると、第２のノズルプレート４７の５個の第５ノズルＫ５が、それぞれ非有効光学領域４Ｂにおける右端の各凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【００７９】
この状態で、第１、第２及び第３ノズルＫ１〜Ｋ３からインクＰを吐出するとともに、同時に第５ノズルＫ５から溶媒Ｑを吐出する。さらに、第６及び第７ノズルＫ６，Ｋ７のうち非有効光学領域４Ｂにおける上端に形成された凹状領域Ｕに対向するノズルＫ６，Ｋ７から溶媒Ｑを吐出する（第３の工程）。
【００８０】
この結果、有効光学領域４Ａにおける右端の列方向に沿った３個の画素電極１２上の各上部にインクＰが塗布されるとともに、右端から数えて２列目の列方向に沿った３個の画素電極１２上の各中部にインクＰが、また、右端から数えて３列目の列方向に沿った３個の画素電極１２上の各下部にインクＰが、それぞれ塗布される。
【００８１】
また、このとき、非有効光学領域４Ｂにおける右端の各凹状領域Ｕに溶媒Ｑが塗布される。さらに、非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて５列目及び６列目の上端に形成された凹状領域Ｕに溶媒Ｑが塗布される。
【００８２】
続いて、図１７に示すように、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけず
れるように走査させて、各第２ノズルＫ２が有効光学領域４Ａにおける右端の凹状領域Ｕと対向する位置すると、５個の第６ノズルＫ６がそれぞれ非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて４列目の上端に形成された凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。このと
き、第７ノズルＫ７が、それぞれ非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて５列目の上端に形成された凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【００８３】
この状態で、第２及び第３ノズルＫ２，Ｋ３からそれぞれインクＰを吐出するとともに、同時に、列方向に沿って形成された５個の第６ノズルＫ６のうち最上部にある１個のノズルＫ５から溶媒Ｑを、また、列方向に沿って形成された５個の第７ノズルＫ７のうち最上部にある１個のノズルＫ７から溶媒Ｑを、それぞれ吐出する（第３の工程）。
【００８４】
この結果、有効光学領域４Ａにおける右端の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各中部にインクＰが塗布されるとともに、右端から数えて２列目の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各下部にインクＰが、それぞれ塗布される。
【００８５】
また、このとき、非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて４列目及び５列目の上端の凹状領域Ｕ内にそれぞれ溶媒Ｑが塗布される。
続いて、図１８に示すように、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけず
れるように走査させて、各第３ノズルＫ３が有効光学領域４Ａにおける右端の凹状領域Ｕと対向する位置する。すると、第２のノズルプレート４６の５個の第６ノズルＫ６が、それぞれ非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて３列目の上端に形成された凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。このとき、第７ノズルＫ７が、それぞれ非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて４列目の上端に形成された凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【００８６】
この状態で、第３ノズルＫ３からインクＰを吐出するとともに、同時に、列方向に沿って形成された５個の第６ノズルＫ６のうち最上部にある１個のノズルＫ５から溶媒Ｑを、また、列方向に沿って形成された５個の第７ノズルＫ７のうち最上部にある１個のノズルＫ７から溶媒Ｑを、それぞれ吐出する（第３の工程）。
【００８７】
この結果、有効光学領域４Ａにおける右端の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の各画素電極１２上の各下部にインクＰが塗布される。また、このとき、非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて４列目及び５列目の上端の凹状領域Ｕ内にそれぞれ溶媒Ｑが塗布される。
【００８８】
続いて、図１９に示すように、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけず
れるように走査させる。すると、第２のノズルプレート４６の５個の第６ノズルＫ６が、それぞれ非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて２列目の上端に形成された凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。このとき、第７ノズルＫ７が、それぞれ非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて３列目の上端に形成された凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【００８９】
この状態で、列方向に沿って形成された５個の第６ノズルＫ６のうち最上部にある１個のノズルＫ６から溶媒Ｑを、また、列方向に沿って形成された５個の第７ノズルＫ７のうち最上部にある１個のノズルＫ７から溶媒Ｑを、それぞれ吐出する（第２の工程）。
【００９０】
この結果、非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて２列目及び３列目の上端の凹状領域Ｕにそれぞれ溶媒Ｑが塗布される。
以上のようにすることで、有効光学領域４Ａの上端及び該有効光学領域４Ａから数えて２行目及び３行目の画素電極１２上にインクＰが、また、有効光学領域４Ａの上端側に配置された非有効光学領域４Ｂの各凹状領域上に溶媒Ｑがそれぞれ塗布される。
【００９１】
続いて、図６に示すように、液滴吐出ヘッド４０を、再びホームポジションに移動させ、さらに、ステージ３３をＹ矢印方向に移動させる。そして、図２０に示すように、３個の第１ノズルＫ１が有効光学領域４Ａの左端であって上端から数えて４行目、５行目及び６行目側に形成された各凹状領域Ｕ内の画素電極１２と対向するように載置面３４を移動させる。そして、この状態で各第１ノズルＫ１からインクＰを吐出する。このとき、他の第２〜第７ノズルＫ２〜Ｋ７からはインクＰ及び溶媒Ｑを吐出しないようにする（第１の工程）。
【００９２】
この結果、有効光学領域４Ａにおける左端の列方向に沿った３個の画素電極１２上の各下部にインクＰが塗布される。
以降、前記と同様に、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけずれるよう
に走査させ、その走査毎に、対向する凹状領域Ｕ内の画素電極１２上にインクＰを吐出するようにする。また、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に走査させて、非有効光学領域４Ｂ上の各凹状領域Ｕに対向する位置に第４〜第７ノズルＫ４〜Ｋ７が至る毎に、同ノズルＫ４〜Ｋ７から溶媒Ｑを吐出するようにする。このようにすることで、有効光学領域４Ａの上端から数えて４行目、５行目及び６行目の各画素電極１２上にインクＰが、また、有効光学領域４Ａの左端側及び右端側にそれぞれ配置された非有効光学領域４Ｂの各凹状領域Ｕ上に溶媒Ｑが塗布される。
【００９３】
続いて、液滴吐出ヘッド４０を、再び左側（反Ｘ矢印方向側）に移動させ、さらに、ステージ３３をＹ矢印方向に移動させる。そして、前記と同様にして、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけずれるように走査させ、その走査毎に、対向する凹状領
域Ｕ内の画素電極１２上にインクＰを吐出するようにする。また、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に走査させて、非有効光学領域４Ｂ上の各凹状領域Ｕに対向する位置に第４〜第７ノズルＫ４〜Ｋ７が至る毎に、同ノズルＫ４〜Ｋ７から溶媒Ｑを吐出するようにする（第３の工程）。
【００９４】
その後、図２１に示すように、第１のノズルプレート４２〜４４に形成された３個の第３ノズルＫ３が有効光学領域４Ａの左下端にそれぞれ形成された凹状領域Ｕ内の画素電極１２に対向する位置に移動される。すると、第２のノズルプレート４６の５個の第６ノズルＫ６が、それぞれ非有効光学領域４Ｂにおける左端に形成された下端から５個の凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【００９５】
そして、第１、第２及び第３ノズルＫ１〜Ｋ３からそれぞれインクＰを吐出するとともに、同時に第６ノズルＫ６から溶媒Ｑを吐出する。また、他の第４、第５、第７ノズルＫ４，Ｋ５，Ｋ７からは溶媒Ｑを吐出しないようにする（第３の工程）。
【００９６】
この結果、有効光学領域４Ａにおける左端、該左端から２列目及び３列目の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上にインクＰが塗布される。また、このとき、非有効光学領域４Ｂにおける左端の凹状領域Ｕに溶媒Ｑが塗布される。
【００９７】
続いて、図２２に示すように、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけず
れるように走査させ、各第３ノズルＫ３が有効光学領域４Ａの左端から数えて２列目であって、且つ下端にそれぞれ形成された凹状領域Ｕ内の画素電極１２に対向する位置に移動させる。すると、第２のノズルプレート４６の５個の第７ノズルＫ７が非有効光学領域４Ｂにおける左端に形成された凹状領域Ｕ、及び、第７ノズルＫ７が非有効光学領域４Ｂにおける左端から数えて２列目の下端に形成された凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【００９８】
この状態で、第１、第２及び第３ノズルＫ１〜Ｋ３からそれぞれインクＰを吐出すると
ともに、同時に第７ノズルＫ７から溶媒Ｑを吐出する。また、同時に、列方向に沿って形成された５個の第６ノズルＫ６のうち最下部にある１個のノズルＫ６から溶媒Ｑを吐出する。さらに、他のノズルＫ４，Ｋ５からは溶媒Ｑを吐出しないようにする（第３の工程）。
【００９９】
すると、有効光学領域４Ａにおける左端及び該左端から数えて２列目及び３列目の列方向に沿った各３個の画素電極１２上にインクＰが塗布される。また、このとき、非有効光学領域４Ｂにおける左端の凹状領域Ｕ及び該左端から数えて２列目の下端に形成された凹状領域Ｕ上に溶媒Ｑが塗布される。
【０１００】
以降、同様にして、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に沿って移動しながら、各第１〜第３ノズルＫ１〜Ｋ３からインクＰを吐出するとともに、第６及び第７ノズルＫ６，Ｋ７のうち非有効光学領域４Ｂにおける下端に形成された凹状領域Ｕに対向するノズルＫ６，Ｋ７から溶媒Ｑを吐出する。
【０１０１】
その後、図６に示すように、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけずれ
るように走査させて、図２３に示すように、各第１ノズルＫ１が有効光学領域４Ａにおける右端から数えて２列目の凹状領域と対向する位置する。すると、第２のノズルプレート４７の５個の第４ノズルＫ４が、それぞれ非有効光学領域４Ｂにおける右下端に形成された５個の凹状領域と対向する位置に配置される。
【０１０２】
この状態で、第１、第２及び第３ノズルＫ１〜Ｋ３からそれぞれインクＰを吐出するとともに、同時に第４ノズルＫ４から溶媒Ｑを吐出する。また、同時に、列方向に沿って形成された５個の第５ノズルＫ５のうち最下部にある１個の第５ノズルＫ５から溶媒Ｑを吐出する。さらに、第６及び第７ノズルＫ６，Ｋ７のうち非有効光学領域４Ｂにおける下端に形成された凹状領域に対向するノズルＫ６，Ｋ７から溶媒Ｑを吐出する（第３の工程）。
【０１０３】
この結果、有効光学領域４Ａにおける右端から数えて２列目の列方向に沿った３個の画素電極１２上の各上部にインクＰが塗布されるとともに、右端から数えて３列目の列方向に沿った３個の画素電極１２上の各中部にインクＰが、また、右端から数えて４列目の列方向に沿った３個の画素電極１２上の各下部にインクＰが、それぞれ塗布される。
【０１０４】
また、このとき、非有効光学領域４Ｂにおける右端の凹状領域Ｕ及び右端から数えて２列目の下端の凹状領域Ｕに溶媒Ｑがそれぞれ塗布される。さらに、非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて６列目及び７列目の下端に形成された凹状領域Ｕに溶媒Ｑが塗布される。
【０１０５】
続いて、図２４に示すように、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけず
れるように走査させて、各第１ノズルＫ１が有効光学領域４Ａにおける右端の凹状領域Ｕと対向する位置すると、第２のノズルプレート４７の５個の第５ノズルＫ５が、それぞれ非有効光学領域４Ｂにおける右端の各凹状領域Ｕと対向する位置に配置される。
【０１０６】
この状態で、第１、第２及び第３ノズルＫ１〜Ｋ３からそれぞれインクＰを吐出するとともに、同時に第５ノズルＫ５から溶媒Ｑを吐出する。さらに、第６及び第７ノズルＫ６，Ｋ７のうち非有効光学領域４Ｂにおける下端に形成された凹状領域Ｕに対向するノズルＫ６，Ｋ７から溶媒Ｑを吐出する（第３の工程）。
【０１０７】
この結果、有効光学領域４Ａにおける右端の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各上部にインクＰが塗布される。また、このとき、右端から数えて２列目の
列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各中部にインクＰが、また、右端から数えて３列目の列方向に沿った３個の凹状領域Ｕ内の画素電極１２上の各下部にインクＰが、それぞれ塗布される。
【０１０８】
また、このとき、非有効光学領域４Ｂにおける右端の各凹状領域Ｕに溶媒Ｑが塗布される。さらに、非有効光学領域４Ｂにおける右端から数えて５列目及び６列目の下端に形成された凹状領域Ｕに溶媒Ｑが塗布される。
【０１０９】
そして、以降、液滴吐出ヘッド４０をＸ矢印方向に横ピッチａ2だけずれるように走査
させて、第２ノズルＫ２及び第３ノズルＫ３が有効光学領域４Ａの凹状領域Ｕ内の画素電極１２上に対向する位置に至る毎に、同ノズルＫ２，Ｋ３からインクＰを吐出する。また、このとき、同時に第６ノズルＫ６及び第７ノズルＫ７が非有効光学領域４Ｂの凹状領域Ｕ上に対向する位置に至る毎に、同ノズルＫ６，Ｋ７から溶媒Ｑを吐出する。
【０１１０】
以上のようにすることで、有効光学領域４Ａの全画素電極１２上にインクＰが、また非有効光学領域４Ｂの全凹状領域Ｕ上に溶媒Ｑがそれぞれ塗布される。
その後、インクＰ及び溶媒Ｑが塗布された素子基板ＳＳを図示しない乾燥炉に配置して塗布したインクＰ及び溶媒Ｑから溶媒Ｑを除去する。この結果、図２５に示すように、有効光学領域４Ａ内の全凹状領域Ｕ内の画素電極１２上には正孔輸送層１４が形成され、非有効光学領域４Ｂ内の全凹状領域Ｕ状には塗布された溶媒Ｑが蒸発して消失する。このとき、非有効光学領域４Ｂは有効光学領域４Ａを取り囲むようにして配置されており、その凹状領域内に溶媒Ｑが塗布されていたので、塗布領域４における端（上端、下端、右端、左端）と、塗布領域４の中央とでは、溶媒分子分圧が等しくなるため、有効光学領域４Ａ内の溶媒分子分圧が均一になる。このため各画素電極１２上に塗布されたインクＰの乾燥時間の差が無くなる。この結果、図２５に示すように、各画素内及び画素間での膜厚ムラが無い、均一な正孔輸送層１４が形成される。
【０１１１】
続いて、図示しない赤用発光層１５Ｒを形成するための他の液滴吐出装置を使用して先に形成した画素電極１２のうち、走査方向（Ｘ矢印方向）に沿って３個おきに、赤用発光材料を溶媒Ｑに溶解または分散させて液状化したインクを塗布する。また、このとき、前記と同様にして、非有効光学領域４Ｂ内の凹状領域Ｕ内に溶媒Ｑを塗布する。そして、その後、前記インク及び溶媒Ｑが塗布された素子基板ＳＳを図示しない乾燥炉に配置して塗布したインク及び溶媒Ｑから溶媒Ｑを除去して、赤用発光層１５Ｒを形成する。
【０１１２】
続いて、図示しない緑用発光層１５Ｇを形成するための他の液滴吐出装置を使用して先に形成した画素電極１２のうち、走査方向（Ｘ矢印方向）に沿って３個おきに、緑用発光材料を溶媒Ｑに溶解または分散させて液状化したインクを塗布する。また、このとき、前記と同様にして、非有効光学領域４Ｂ内の凹状領域Ｕ内に溶媒Ｑを塗布する。そして、その後、前記インク及び溶媒Ｑが塗布された素子基板ＳＳを図示しない乾燥炉に配置して塗布したインク及び溶媒Ｑから溶媒Ｑを除去して、緑用発光層１５Ｇを形成する。
【０１１３】
続いて、図示しない青用発光層１５Ｂを形成するための他の液滴吐出装置を使用して先に形成した画素電極１２のうち、走査方向（Ｘ矢印方向）に沿って３個おきに、青用発光材料を溶媒Ｑに溶解または分散させて液状化したインクを塗布する。また、このとき、前記と同様にして、非有効光学領域４Ｂ内の凹状領域Ｕ内に溶媒Ｑを塗布する。そして、その後、前記インク及び溶媒Ｑが塗布された素子基板ＳＳを図示しない乾燥炉に配置して塗布したインク及び溶媒Ｑから溶媒Ｑを除去して、青用発光層１５Ｇを形成する。
【０１１４】
この結果、有効光学領域４Ａ内の対応する所定の正孔輸送層１４上には、赤、緑及び青用発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂが形成され、非有効光学領域４Ｂ内の全凹状領域Ｕ状に
は塗布された溶媒Ｑが蒸発して消失する。このとき、非有効光学領域４Ｂは有効光学領域４Ａを取り囲むようにして配置されており、その凹状領域内に溶媒Ｑが塗布されていたので、塗布領域４における端（上端、下端、右端、左端）と、塗布領域４の中央とでは、溶媒分子分圧が等しくなるため、有効光学領域４Ａ内の溶媒分子分圧が均一になる。このため各画素電極１２上に塗布された各インクの乾燥時間の差が無くなる。この結果、図２６に示すように、各画素内及び画素間での膜厚ムラが無い、均一な発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂが形成される。
【０１１５】
その後、バンク１１と各発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂとの上に、ＬｉＦ層、Ｃａ層、Ａｌ層等を蒸着方法等により積層し、陰極１７を形成する。その後、封止部材１９によりディスプレイ部２を封止する。さらに、ディスプレイ部２と、別途製造されたフレキシブル回路基板３とを接続する。
【０１１６】
上記したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）本実施形態によれば、液滴吐出ヘッド４０の中央に、素子基板ＳＳ上に形成される画素電極１２の横ピッチａ1及び縦ピッチｂ1と等しい横及び縦ピッチで配置された３個のノズル４１を備えた第１のノズルプレート４２〜４４を配置した。また、第１のノズルプレート４２〜４４の各ノズル４１の左右両側に、素子基板ＳＳ上に形成される凹状領域Ｕの横ピッチａ1及び縦ピッチｂ1と等しい横及び縦ピッチで配置された１０個のノズル４５を備えた第２のノズルプレート４６，４７を配置した。そして、各ノズル４１からは、正孔輸送層１４を構成する正孔輸送層材料を溶媒Ｑに溶解または分散させて液状化したインクＰを吐出するようにした。また、各ノズル４５からは、溶媒Ｑのみを吐出するようにした。また、溶媒Ｑが塗布される凹状領域Ｕが形成される非有効光学領域４Ｂは、インクＰが塗布される凹状領域Ｕが形成される有効光学領域４Ａの周囲に形成されている。
【０１１７】
従って、液滴吐出ヘッド４０のノズル４１を有効光学領域４Ａにおける端（上端、下端、右端、左端）に対向するように配置すると、ノズル４５が非有効光学領域４Ｂに対向する位置に配置される。そして、液滴吐出ヘッド４０を、そのノズル４１が素子基板ＳＳ上の有効光学領域４Ａ内の凹状領域Ｕと対向する位置に至り、且つ、ノズル４５が素子基板ＳＳ上の非有効光学領域４Ｂ内の凹状領域Ｕと対向する位置に至った場合、ノズル４１からインクＰを、また、ノズル４５から溶媒Ｑを吐出するようにした。この結果、有効光学領域４Ａ内の凹状領域Ｕに対向するように液滴吐出ヘッドを走査してインクＰを吐出した後に、非有効光学領域４Ｂ内の凹状領域Ｕに対向するように液滴吐出ヘッドを走査して溶媒Ｑを吐出するようにした場合に比べて短時間でインクＰ及び溶媒Ｑを素子基板ＳＳ上に塗布することができる。
（２）しかも、本実施形態によれば、前記したように、溶媒Ｑが塗布される非有効光学領域４Ｂは、インクＰが塗布される有効光学領域４Ａの周囲に形成されている。従って、有効光学領域４Ａ内のインクＰの溶媒分子分圧を均一にできる。この結果、より画素５間において、膜厚ムラの無い正孔輸送層１４を形成することができる。この結果、膜厚が薄い部分への電流集中による早期劣化及び短絡が防止できるため、高信頼性を有する有機ディスプレイを製造することができる。また、正孔輸送層１４においては、キャリア（正孔）が各色発光素子にエネルギー減衰を最小限に抑えて効率よく供給され、各発光層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂは均質な発光体となるため、画素５内、及び各画素５毎の輝度ムラや表示ムラのない、表示品質の優れた有機ディスプレイを製造することができる。
（３）本実施形態によれば、各第１のノズルプレート４２〜４４の３個のノズル４１は、互いにＸ矢印方向、即ち、液滴吐出ヘッド４０の走査方向に対して斜めに配置形成した。そして、各第１のノズルプレート４２〜４４の３個のノズル４１は、その隣接するノズル４１間のＸ矢印方向成分の距離が画素の横ピッチａ1になるように配置した。Ｙ矢印方向
成分の距離が画素の縦ピッチb2よりも小さくなるように配置した。この結果、液滴吐出ヘッド４０がＸ矢印方向に沿って、横ピッチａ2だけずれて走査される毎に、各３個のノズ
ル４１が所定の１個の凹状領域Ｕ内の上部→中部→下部の順に対向する位置に至るように配置される。このため、液滴吐出ヘッド４０がＸ矢印方向に横ピッチａ2だけずれて走査
される毎に、インクＰを吐出するようにすることで、１個の凹状領域Ｕ内には、インクＰを上部、中部及び下部に小分けして３回塗布吐出される。従って、各凹状領域Ｕ内にインクＰを均一に塗布させることができる。この結果、画素５内において、均一な膜厚を有する正孔輸送層１４を形成することができる。
【０１１８】
尚、発明の実施形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
○上記実施形態では、溶媒Ｑのみを吐出するノズル４５を、インクＰを吐出するノズル４１の左右両側にのみに配置形成したが、これに限定されるものではなく、例えば、ノズル４５を、ノズル４１の周囲を取り囲むようにして配置するようにしてもよい。また、ノズル４５を、ノズル４１の上下側のみに配置するようにしてもよい。
【０１１９】
○上記実施形態では、電気光学装置として、フラットパネルディスプレイである有機ＥＬディスプレイ１に適応したが、これ限定されるものではなく、他の電気光学装置を構成する導電性部材の形成に使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２０】
【図１】本発明の液滴吐出ヘッドを用いて製造された有機ＥＬディスプレイの正面図。
【図２】有効光学領域を含む有機ＥＬディスプレイの断面図。
【図３】非有効光学領域を含む有機ＥＬディスプレイの断面図。
【図４】（ａ）は、液滴吐出装置の全体斜視図であり、（ｂ）は、液滴吐出装置に取付けられる液滴吐出ヘッドの全体斜視図。
【図５】液滴吐出ヘッドの各ノズルと素子基板の各凹状領域との配置関係を説明すための図であって、（ａ）は、液滴吐出ヘッドの正面図であり、（ｂ）は、素子基板の上面図。
【図６】有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図７】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図８】同じく、（ａ），（ｂ）は、それぞれ、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図９】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１０】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１１】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１２】同じく、（ａ），（ｂ）は、それぞれ、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１３】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１４】同じく、（ａ），（ｂ）は、それぞれ、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１５】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１６】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１７】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１８】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１９】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図２０】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図２１】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図２２】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図２３】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図２４】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図２５】素子基板上に正孔輸送層が形成されたときの有機ＥＬディスプレイの断面図。
【図２６】素子基板上に各発光層が形成されたときの有機ＥＬディスプレイの断面図。
【符号の説明】
【０１２１】
Ｐ…第１の液状体としてのインク、Ｑ…第２の液状体としての溶媒、Ｓ…基板及び電気光学用基板、１…電気光学装置としての有機ＥＬディスプレイ、４Ａ…第１の領域としての有効光学領域、４Ｂ…第２の領域としての非有効光学領域、５…画素、９Ｂ…電気光学素子としての青用有機ＥＬ素子、９Ｇ…電気光学素子としての緑用有機ＥＬ素子、９Ｒ…電気光学素子としての赤用有機ＥＬ素子、１６…機能層、４０…液滴吐出ヘッド、４１…第１のノズル群及びノズル、４５…第２のノズル群及びノズル。
【図１】
2006269325.tif 000003
【図２】
2006269325.tif 000004
【図３】
2006269325.tif 000005
【図４】
2006269325.tif 000006
【図５】
2006269325.tif 000007
【図６】
2006269325.tif 000008
【図７】
2006269325.tif 000009
【図８】
2006269325.tif 000010
【図９】
2006269325.tif 000011
【図１０】
2006269325.tif 000012
【図１１】
2006269325.tif 000013
【図１２】
2006269325.tif 000014
【図１３】
2006269325.tif 000015
【図１４】
2006269325.tif 000016
【図１５】
2006269325.tif 000017
【図１６】
2006269325.tif 000018
【図１７】
2006269325.tif 000019
【図１８】
2006269325.tif 000020
【図１９】
2006269325.tif 000021
【図２０】
2006269325.tif 000022
【図２１】
2006269325.tif 000023
【図２２】
2006269325.tif 000024
【図２３】
2006269325.tif 000025
【図２４】
2006269325.tif 000026
【図２５】
2006269325.tif 000027
【図２６】
2006269325.tif 000028