(57)【要約】  【課題】被処理物を固定する回転台を囲うカップの内面に付着するレジストの除去を行なうに当たり、作業員によるレジスト除去作業の負担が解消されると共に、レジストの除去が必要十分な溶剤によって確実に、しかも簡単な装置の付加だけて行なえるカップ内面のレジスト除去装置とレジスト除去用治具とレジスト除去方法を提供する。  【解決手段】回転台３に脱着自在にレジスト除去用治具３１を固定する。上方より治具３１にレジストを溶解させる溶剤をノズル１２から供給する。治具３１は、ノズル１２からの溶剤を受ける筒状の受部３１ｂと、回転台３に固定する固定部３１ｃと、回転台３の回転により受部３１ｂに溜まる溶剤を遠心力により２２カップの内面に噴出させる噴出部３１ｄを有する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状被処理物を回転台に固定し、前記被処理物を上面開口のカップにより囲み、前記回転台を回転させながら、前記被処理物にレジストまたはその溶剤を導入してレジストの塗布または除去する装置に用いられ、前記カップの内面に付着するレジストを除去する装置であって、
前記回転台に脱着自在に固定される治具と、
上方より前記治具にレジストを溶解させる溶剤を供給するノズルを有する溶剤供給装置とを備え、
前記治具は、前記回転台に脱着自在に固定される固定部と、前記溶剤供給装置からの溶剤を受ける筒状の受部と、前記回転台の回転により前記受部に溜まる溶剤を遠心力により前記カップの内面に噴出させる噴出部とを有する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去装置。
【請求項２】
請求項１に記載のカップ内面のレジスト除去装置において、
前記治具の前記噴出部は前記筒状の受部に設けられた管からなり、この管の先端が前記回転台の下部に設けられた回転台駆動モータを覆うカバーの上面の周辺部より外側に位置する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去装置。
【請求項３】
板状被処理物を回転台に固定し、前記被処理物を上面開口のカップにより囲み、前記回転台を回転させながら、前記被処理物にレジストまたはその溶剤を導入してレジストの塗布または除去する装置に用いられ、前記カップの内面に付着するレジストを除去する治具であって、
前記回転台に脱着自在に固定される固定部と、
上方より供給されるレジスト溶解用溶剤を受ける筒状の受部と、
前記回転台の回転により前記受部に溜まる溶剤を遠心力により前記カップの内面に噴出させる噴出部とを有する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去用治具。
【請求項４】
板状被処理物を回転台に固定し、前記被処理物を上面開口のカップにより囲み、前記回転台を回転させながら、前記被処理物にレジストまたはその溶剤を導入してレジストの塗布または除去する装置に用いられ、前記カップの内面に付着するレジストを除去する方法であって、
前記回転台に溶剤の受部と噴出部とを有するレジスト除去用治具を固定し、
前記治具にレジストを溶解させる溶剤を供給しながら、前記回転台の回転により前記受部に溜まる溶剤を遠心力により前記カップの内面に前記噴出部から噴出させることにより、カップ内面のレジストを除去する
ことを特徴とするカップ内面のレジスト除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子部品用の基板やＩＣ用ウエハ等の板状被処理物からレジストを除去する装置やレジストを塗布する装置において、被処理物を固定する回転台を覆うカップの内面に付着するレジストを除去する装置とその治具とその除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品用基板やＩＣ用ウエハ等の板状被処理物にレジストを塗布し、露光後に露光箇所または非露光箇所のレジストを溶剤により溶解させて除去（剥離）する場合、下記のような工程が採用される。すなわち、回転台上に被処理物を固定し、この被処理物の上方より例えばアセトン等のレジスト溶解用溶剤を供給する。そして回転台と共に被処理物を回転させて溶剤と共に前記露光箇所または非露光箇所のレジストを溶解流出させ、半径方向に飛散させる。このとき、回転台の周囲には、レジストと溶剤がレジスト除去装置の周囲に飛散することを防止するため、上部の径がテーパー状に小さくなったカップが設置される。
【０００３】
前記カップは、上下伸縮式に、すなわち上端の高さが前記回転台より高い位置と低い位置が取れるように構成される（例えば特許文献１参照。）。その理由は、被処理物を前記回転台にセットするときにはカップが邪魔にならないようにするためにカップの位置を低くする一方、溶剤によりレジストを除去する際には、溶剤に溶解したレジストがレジスト除去装置の周囲に飛散を防止するために、カップの位置を高くする必要があるからである。
【０００４】
このようなレジスト除去装置において、カップ内面にレジストの微粒子が粘性のある流体として残ると、伸縮式カップの縮小が円滑に行なわれなくなる事態が発生する。このようにカップの縮小が不完全になると、前記回転台に対する被処理物のセットが困難となる。このため、前記特許文献１にも記載されているように、伸縮自在に嵌合される内外のカップの接触部に上方からレジストを溶解する溶剤を流下させてレジストを溶剤と共に流下させることが行なわれる。この作業は、作業員が手作業により溶剤を入れた容器（洗瓶）を開けて溶剤を流下させることにより行なっている。
【０００５】
例えば特許文献２、３に示されるようなレジスト塗布装置においても、レジストの周囲への飛散を防止するために回転台の周囲を覆うカップが設けられる。このレジスト塗布装置に用いられるカップが非伸縮式であっても、カップ内面に付着し残留するレジストを溶剤により溶解し除去する作業が作業員の手作業により行なわれる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１１０５０３号公報
【特許文献２】特開平６−２５２０３８号公報
【特許文献３】特開平８−３１７２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記のように、従来は、カップの内面に付着、残留するレジストを溶剤により除去する作業を作業員が人手により行なっていたため、作業員により溶剤の使用量や仕上がりにばらつきがあり、レジストが十分に除去されなかったり、溶剤を不必要に大量に使用することがあるという問題点がある。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑み、被処理物を固定する回転台を囲うカップの内面に付着するレジストの除去を行なうに当たり、作業員によるレジスト除去作業の負担が解消されると共に、レジストの除去が必要十分な溶剤によって確実に、しかも簡単な装置の付加だけて行なえるカップ内面のレジスト除去装置とレジスト除去用治具とレジスト除去方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１のカップ内面のレジスト除去装置は、板状被処理物を回転台に固定し、前記被処理物を上面開口のカップにより囲み、前記回転台を回転させながら、前記被処理物にレジストまたはその溶剤を導入してレジストの塗布または除去する装置に用いられ、前記カップの内面に付着するレジストを除去する装置であって、
前記回転台に脱着自在に固定される治具と、
上方より前記治具にレジストを溶解させる溶剤を供給するノズルを有する溶剤供給装置とを備え、
前記治具は、前記回転台に脱着自在に固定される固定部と、前記溶剤供給装置からの溶剤を受ける筒状の受部と、前記回転台の回転により前記受部に溜まる溶剤を遠心力により前記カップの内面に噴出させる噴出部とを有する
ことを特徴とする。
【００１０】
請求項２のカップ内面のレジスト除去装置は、請求項１において、
前記治具の前記噴出部は前記筒状の受部に設けられた管からなり、この管の先端が前記回転台の下部に設けられた回転台駆動モータを覆うカバーの上面の周辺部より外側に位置する
ことを特徴とする。
【００１１】
請求項３のカップ内面のレジスト除去用治具は、板状被処理物を回転台に固定し、前記被処理物を上面開口のカップにより囲み、前記回転台を回転させながら、前記被処理物にレジストまたはその溶剤を導入してレジストの塗布または除去する装置に用いられ、前記カップの内面に付着するレジストを除去する治具であって、
前記回転台に脱着自在に固定される固定部と、
上方より供給されるレジスト溶解用溶剤を受ける筒状の受部と、
前記回転台の回転により前記受部に溜まる溶剤を遠心力により前記カップの内面に噴出させる噴出部とを有する
ことを特徴とする。
【００１２】
請求項４のカップ内面のレジスト除去方法は、板状被処理物を回転台に固定し、前記被処理物を上面開口のカップにより囲み、前記回転台を回転させながら、前記被処理物にレジストまたはその溶剤を導入してレジストの塗布または除去する装置に用いられ、前記カップの内面に付着するレジストを除去する方法であって、
前記回転台に溶剤の受部と噴出部とを有するレジスト除去用治具を固定し、
前記治具にレジストを溶解させる溶剤を供給しながら、前記回転台の回転により前記受部に溜まる溶剤を遠心力により前記カップの内面に前記噴出部から噴出させることにより、カップ内面のレジストを除去する
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１の発明は、回転台に固定したレジスト除去用治具に溶剤供給装置から溶剤を供給し、回転台の回転を利用してカップ内面に飛散させてカップ内面のレジスト除去を行なうものである。このため、人の手作業によりレジスト除去作業を行なう場合のような溶剤使用量のばらつきや仕上がりのばらつきが無くなり、カップ内面のレジストを過不足のない一定の溶剤量で確実に除去することができる。また、作業員は治具をセットするだけでよいので、人的作業を軽減できる。また、溶剤の量を減らせるので、作業環境にもよい。
【００１４】
また、請求項１のカップ内面のレジスト除去装置に含まれるレジスト除去用治具は、装置に元々備わっている回転台を利用して取付けられるものであるから、脱着が容易で構造も簡単なものである。また、レジスト除去用治具に溶剤を供給する溶剤供給装置は、レジスト除去装置においては元々備わっているものであるから、このカップ内面のレジスト除去装置を実現するにはレジスト除去用治具を付加するだけで容易かつ安価に実現できる。また、レジスト塗布装置に適用するにしても、レジスト塗布装置に元々備わっている被処理物の裏面への溶剤供給装置に分流機構を設ける等して実現できるので、いずれの装置においても比較的容易かつ安価に実現できる。
【００１５】
請求項２の発明においては、レジスト除去用治具の溶剤の噴出口が回転台駆動モータのカバーの外側に位置するので、モータに溶剤が浸入してモータに悪影響を与えることが防止できる。
【００１６】
請求項３の発明においては、レジスト除去用治具が回転台に取付け可能であって、溶剤供給装置からの溶剤の受部と、回転台の回転に伴う遠心力による溶剤の噴出が可能であるから、これを溶剤供給装置のあるレジスト塗布装置またはレジスト除去装置に適用することにより、カップ内面のレジストの除去が可能となる。従って、人の手作業によりレジスト除去作業を行なう場合のような溶剤使用量のばらつきや仕上がりのばらつきが無くなり、カップ内面のレジストを過不足のない一定の溶剤量で確実に除去することができる。また、作業員は治具をセットするだけでよいので、人的作業を軽減できる。また、溶剤の量を減らせるので、作業環境にもよい。
【００１７】
また、回転台を利用して溶剤の飛散を行なわせるものであるため、レジスト除去用治具は簡単な構造であり、安価に提供できる。
【００１８】
請求項４のカップ内面のレジスト除去方法は、回転台に取付けるレジスト除去用治具を用い、この回転台に溶剤を供給しながら、回転台の回転を利用してカップ内面への溶剤の飛散を行なわせるものであり、溶剤の供給は、既存の装置あるいは新たに設けた装置により行なうことができる。従って、人の手作業によりレジスト除去作業を行なう場合のような溶剤使用量のばらつきや仕上がりのばらつきが無くなり、カップ内面のレジストを過不足のない一定の溶剤量で確実に除去することができる。また、作業員は治具をセットするだけでよいので、人的作業を軽減できる。また、溶剤の量を減らせるので、作業環境にもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は本発明のカップ内面のレジスト除去方法を適用するレジスト除去装置の一例を示す側面断面図である。１は溶剤の受板であり、この受板１は、図２に示すように、レジスト除去装置のフレーム２の上部に固定されたものである。この受板１は中央部に開口部１ａを有し、この開口部１ａに回転台３の駆動モータ４が、下記の構造で取付けられる。
【００２０】
すなわち、開口部１ａには、回転台駆動モータ４の取付けフレーム５が固定され、その上部に、モータ４のハウジング４ａの上端が固定され、回転軸４ｂの下部は、前記フレーム２に取付けられた軸受６により回転自在に支持される。
【００２１】
前記取付けフレーム５の上部には、モータ４のカバー７が設けられる。このカバー７には被処理物１１の裏面のレジストを含む溶剤を除去するための溶剤供給用ノズル（図示せず）が取付けられる。モータ４の回転軸４ｂは、前記カバー７の中心穴７ａに挿通し、上端に円盤状の回転台３の中心部が取付けられる。
【００２２】
前記回転台３および回転軸４ｂの中心には吸気孔９が設けられ、前記軸受６の下部には、不図示の真空吸引装置の吸引用配管に接続される接続具１０が設けられている。従って、回転台３に板状の基板やウエハ等の被処理物１１を、不図示の装置によりセットし、モータ４を駆動して回転軸４ｂを回転駆動すると同時に、真空吸引装置を作動させて吸気孔９の気圧を低下させることにより、被処理物１１を回転台３に固定した状態で回転駆動することができる。
【００２３】
１２は前記被処理物１１の中心部に溶剤を供給する溶剤供給装置のノズルである。このノズル１２には、不図示の溶剤タンクから不図示のポンプにより溶剤配管１３を介して溶剤が供給され、被処理物１１に流下させる。
【００２４】
図３は前記ノズル１２の位置を水平方向、上下方向に変更する装置を説明する側面図である。１４は前記フレーム２に取付けられた昇降シリンダであり、前記ノズル１２を支持したノズル取付けアーム１５を昇降させるものである。この昇降シリンダ１４には空気圧シリンダまた液圧シリンダが用いられる。この昇降シリンダ１４のピストンロッドには、フレーム２に固定されたガイド１６に沿って昇降自在な昇降フレーム１７が結合される。
【００２５】
昇降フレーム１７にはノズル１２を支持するアーム１５の向きを変更するためのモータ１９が取付けられ、その回転軸１９ａは前記アーム１５を上端に連結したロッド２０が結合される。このロッド２０は、前記受板１に固定した筒状の軸受２１に回転自在にかつ昇降自在に支持される。従って、前記昇降シリンダ１４の伸縮によりノズル１２の高さが変更可能であり、また、モータ１９の作動によりノズル１２の位置を被処理物１１の上と、カップ２２の外に位置させることができる。また、このモータ１９による回動を規制してノズル１２の位置を被処理物１１の真上と、カップ２２の外側の退避位置に正確に位置決めするための位置検出機構が設けられるが、詳細を省略する。
【００２６】
本実施の形態のカップ２２は、前記受板１に下端が固定された外カップ２２ａと、その内側に昇降自在に嵌合された中カップ２２ｂと、その内側に昇降自在に
嵌合された内カップ２２ｃとからなる。図４に示すように、中カップ２２ｂの上端と、内カップ２２ｃの下端には、それぞれ内向き、外向きの係止部２２ｄ、２２ｅが形成され、カップ２２を引き上げるときに、内カップ２２ｃの係止部２２ｅが中カップ２２ｂの係止部２２ｄに当接すると、中カップ２２ｃの引き上げに伴い、中カップ２２ｂも引き上げられる。
【００２７】
次に図２と、図５の平面図とにより、カップ２２を伸縮させる装置について説明する。前記フレーム２の下部にはカップ２２を伸縮させるための伸縮シリンダ２３が取付けられる。２４は伸縮シリンダ２３の伸縮により昇降する昇降フレーム、であり、伸縮シリンダ２３は昇降フレーム２４の中心に結合される。２５は昇降フレーム２４を傾きなく昇降自在にガイドするガイド装置である。２６は昇降フレーム２４に９０度ずつ隔てて設けた支柱である。各支柱２６には、前記受板１に設けた筒状軸受２７に昇降自在に嵌合したロット２９が取付けられている。各ロッド２９は、前記内カップ２２ｃに結合される。従って、伸縮シリンダ２３伸長させると、図１、図２に実線で示すようにカップ２２の頂部が回転台３より高くなり、伸縮シリンダ２３を縮小すると、カップ２２は縮小され、カップ２２の頂部は回転台３より低い位置になる。
【００２８】
３０はカップ２２の内面に衝突して流下するレジストを溶解させた溶剤を排出させる排出口である。
【００２９】
このレジスト除去装置は、通常のレジスト除去作業では、まず、図２に二点鎖線で示すように、カップ２２を縮小しておく。そして、回転台３に板状の基板やウエハ等の被処理物１１をセットする。次に伸縮シリンダ２３の伸長により、図１に示すようにカップ２２を持ち上げる。そしてモータ４により回転軸４ｂを回転駆動すると同時に、真空吸引装置を作動させて吸気孔９の気圧を低下させることにより、被処理物１１を回転台３に固定した状態で例えば２０００〜３０００ｒｐｍで回転駆動する。そして、被処理物１１の真上に位置設定したノズル１２から溶剤３３を被処理物１１の中心部に供給する。すると、溶剤は被処理物１１上を遠心力により被処理物１１の外周側へと流れながら可溶解状態になっている部分のレジストを溶解させ、溶解させたレジストと共にさらに被処理物１１の外周からカップ２２の内面へと飛散させる。そしてレジストを含む溶剤はカップ２２の内面を経て受板１に至り、排出口３０から排出される。また同時に、被処理物１１の裏面に周り込むレジストを含む溶剤を除去するため、カバー７に取付けられたノズルより被処理物１１の裏面に溶剤を噴射して供給する。
【００３０】
図６の平面図および図７は本発明によるカップ内面のレジスト除去用治具３１の一実施の形態を示す。この治具３１は、例えばポリプロピレン樹脂やポリテトラフルオロエチレン樹脂等の樹脂、あるいはステンレス鋼などにより作製される。この治具３１は、底部３１ａを有する筒状をなす溶剤の受部３１ｂと、その下部に設けられ、回転台３に嵌合される構造の回転台３への固定部３１ｃと、受部３１ｂに放射状に設けられる管により構成される溶剤の噴出部３１ｄとを有する。筒状をなす受部３１ｂの上部は、受部３１ｂに供給される溶剤の漏れを防止するため、上部ほど小径となるようなテーパー部３１ｅとして形成している。前記底部３１ａの下面は、真空吸引において強固に治具３１が固定されるように、平滑面に形成する。
【００３１】
図８は前記治具を回転台３に固定してカップ２２の内面に付着するレジストを除去している状況を示す図である。治具３１は、筒状の固定部３１ｃを回転台３に嵌合し、真空吸引装置により吸気孔９の空気を吸気することにより、被処理物１１の代わりにこの治具３１を固定することができる。この治具３１を回転台３に固定し、前記昇降シリンダ１４やモータ１９の作動により、ノズル１２の位置を、治具３１の中心に溶剤が供給できる位置にセットし、前記伸縮シリンダ２３を伸長させてカップ２２を持ち上げた状態にする。そして、モータ４を駆動して治具３１を回転させる。そしてノズル１２よりアセトン等の溶剤３３を供給して受部３１ｂに供給する。受部３１ｂに入った溶剤３３は、遠心力により噴出部３１ｄより出て飛散し、カップ２２の内面に至る。カップ２２の内面に至った溶剤は、カップ内面に付着した粘性の高いレジストを溶かしながら流下する。従って、カップ２２の内面の溶剤を除去することができる。
【００３２】
このように、本発明は、回転台３にレジスト除去用治具３１を固定し、この治具３１に溶剤供給装置のノズル１２から溶剤を供給し、回転台３の回転を利用してカップ２２の内面に飛散させてカップ２２の内面のレジスト除去を行なうものである。このため、回転台３にレジスト除去用治具３１をセットした後は、作業員は装置から離れた位置でカップ２２の内面のレジスト除去作業を行なうことができる。従って、人の手作業によりレジスト除去作業を行なう場合のような溶剤使用量のばらつきや仕上がりのばらつきが無くなり、カップ内面のレジストを過不足のない一定の溶剤量で確実に除去することができる。また、作業員は治具３１をセットするだけでよいので、人的作業を軽減できる。また、溶剤の量を減らせるので、作業環境にもよい。
【００３３】
また、レジスト除去用治具３１は、レジスト除去装置に元々備わっている回転台３を利用して取付けられるものであるから、脱着が容易で構造も簡単なものである。また、レジスト除去用治具３１に溶剤を供給するノズル１２等の溶剤供給装置は、レジスト除去装置においては元々備わっているものであるから、このカップ内面のレジスト除去装置を実現するにはレジスト除去用治具３１を付加するだけで容易かつ安価に実現できる。
【００３４】
また、本発明をレジスト塗布装置に適用するにしても、レジスト塗布装置に元々備わっている被処理物の裏面への溶剤供給装置に分流機構を設ける等して実現できるので、いずれの装置においても比較的容易かつ安価に実現できる。
【００３５】
この実施の形態において、噴出部３１ｄによる溶剤３３の飛散先は、中カップ２２ｂの係止部２２ｄと内カップ２２ｃの係止部２２ｅとが重なった部分３２とすることが、この部分にレジストの残留しやすい意味において好ましい。このカップ内面のレジスト除去を行なう場合の回転台３の回転数は、図７に示す噴出角θが４０度で、噴出部の先端からカップ２２までの距離が約３０ｃｍの場合、３００ｒｐｍとした。この回転数は前記噴出角θや、噴出部の先端からカップ２２までの距離により変更される。また、噴出部３１ｄの数は、ノズル１２からの溶剤の供給量や回転台３の回転数に応じて増減すべきであり、一概には決められないが、一般的には１本ないし４本程度することが好ましい。
【００３６】
また、噴出部３１ｄは筒状の受部３１ｂの側面に設けた孔により構成してもよいが、この実施の形態で示したように、噴出部３１ｄを管により構成することが、溶剤を目標とする高さに飛散させやすい上、治具３１の小型化の面で好ましい。
【００３７】
またこの実施の形態のように噴出部３１ｄの先端を、回転台駆動モータ４のカバー７の外側に位置させることにより、モータ４に溶剤が浸入してモータに悪影響を与えることを防止できる。
【００３８】
本発明は、カップ２２が非伸縮式である場合にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明を適用するレジスト除去装置の一例を示す側面断面図である。
【図２】図１のレジスト除去装置のカップの伸縮装置を示す側面図である。
【図３】図１の装置の溶剤供給装置の構成を示す側面図である。
【図４】図１の装置のカップの係止部を示す側面断面図である。
【図５】図２に示した昇降フレームに対するカップ伸縮装置を示す平面図である。
【図６】本発明によるカップ内面のジスト除去用治具の一実施の形態を示す平面図である。
【図７】図６のレジスト除去用治具の部分断面側面図である。
【図８】本発明のカップ内面のレジスト除去方法を実施する装置の一実施の形態を示す側面断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１：受板、２：フレーム、３：回転台、４：回転台駆動モータ、４ａ：ハウジング、４ｂ：回転軸、５：取付けフレーム、６：軸受、７：カバー、９：吸気孔、１０：接続具、１１：被処理物、１２：溶剤供給用ノズル、１３：溶剤配管、１４：昇降シリンダ、１５：アーム、１６：ガイド、１７：昇降フレーム、１９：モータ、２０：ロッド、２１：軸受、２２：カップ、２３：昇降シリンダ、２４：昇降フレーム、２５：ガイド装置、２６：支柱、２７：軸受、２９：ロッド、３０：溶剤排出管、３１：レジスト除去用治具、３１ａ：底部、３１ｂ：受部、３１ｃ：固定部、３１ｄ：噴出部、３１ｅテーパー部、３２：係止部の重なり部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006237468.tif 000008
【図７】
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【図８】
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