(57)【要約】【課題】  基板の反りを低減して印刷品質を向上すると共に信頼性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】  液滴を吐出するノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０と、このノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の前記圧力発生室１２に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室１２内に液滴吐出のための圧力を付与する圧電素子３００とを具備し、前記ノズルプレート２０が前記流路形成基板１０よりも線膨張係数の大きな材料からなると共に、当該ノズルプレート２０以外の少なくとも前記流路形成基板１０を含むヘッド基板には、前記圧力発生室１２の並設方向に亘って前記流路形成基板１０よりも線膨張係数の小さな低膨張率部材２００が前記ノズルプレート２０に接合されることなく設けられている。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズル開口が設けられたノズルプレートと、このノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内に液滴吐出のための圧力を付与する圧電素子とを具備し、
前記ノズルプレートが前記流路形成基板よりも線膨張係数の大きな材料からなると共に、当該ノズルプレート以外の少なくとも前記流路形成基板を含むヘッド基板には、前記圧力発生室の並設方向に亘って前記流路形成基板よりも線膨張係数の小さな低膨張率部材が前記ノズルプレートに接合されることなく設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記流路形成基板には、前記圧力発生室の並設方向に亘って空間部が設けられていると共に、前記低膨張率部材が前記空間部に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項２において、前記空間部が前記流路形成基板の前記ノズルプレートが接合される面側に開口する溝形状を有すると共に、前記低膨張率部材と前記ノズルプレートとの間には、間隙が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項２又は３において、前記空間部が前記圧力発生室の並設された列と列との間に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかにおいて、前記ヘッド基板が前記流路形成基板と、前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合された当該流路形成基板と線膨張係数が同一材料で形成された保護基板とで構成されていると共に、前記低膨張率部材が前記保護基板に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特にノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドが実用化されている。例えば、このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、振動板の表面全体に亘って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものがある。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、シリコン単結晶基板からなる流路形成基板にノズル開口が穿設されたステンレス鋼などのノズルプレートを接着剤を介して接着することで形成されている。しかしながら、シリコン単結晶基板からなる流路形成基板の線膨張係数とステンレス鋼からなるノズルプレートとの線膨張係数の違いから、温度変化によって流路形成基板とノズルプレートとが反るように変形してしまい、ノズル開口から噴射される液滴の着弾位置がずれてしまったり、振動板等が破壊されてしまうという問題がある。
【０００４】
このため、流路形成基板のノズルプレートとの接合面側に、ノズルプレートと接合されないスリット状の非接合部を設けることにより、両者の熱膨張率の違いによる反りを低減したインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、特許文献１のインクジェット式記録ヘッドでは、非接合部によって流路形成基板とノズルプレートとの接合界面の応力を吸収緩和させることができるものの、長尺の流路形成基板では、依然、温度変化による反りが生じてしまうという問題がある。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１３８５２８号公報（特許請求の範囲等、第６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、基板の反りを低減して印刷品質を向上すると共に信頼性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液滴を吐出するノズル開口が設けられたノズルプレートと、このノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内に液滴吐出のための圧力を付与する圧電素子とを具備し、前記ノズルプレートが前記流路形成基板よりも線膨張係数の大きな材料からなると共に、当該ノズルプレート以外の少なくとも前記流路形成基板を含むヘッド基板には、前記圧力発生室の並設方向に亘って前記流路形成基板よりも線膨張係数の小さな低膨張率部材が前記ノズルプレートに接合されることなく設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、流路形成基板とノズルプレートとの線膨張係数が違っていても、熱膨張率の低い低膨張率部材を設けることによって温度変化による流路形成基板の反りによる変形を低減することができる。これにより、振動板等の破壊を防止することができると共に、ノズル開口から噴射される液滴の着弾位置がずれるのを防止して液滴を高精度に噴射させることができ、印刷品質を向上して、信頼性を向上することができる。
【０００９】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記流路形成基板には、前記圧力発生室の並設方向に亘って空間部が設けられていると共に、前記低膨張率部材が前記空間部に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、流路形成基板に低膨張率部材を設けることによって、温度変化による反りによる変形を低減することができる。
【００１０】
本発明の第３の態様は、第２の態様において、前記空間部が前記流路形成基板の前記ノズルプレートが接合される面側に開口する溝形状を有すると共に、前記低膨張率部材と前記ノズルプレートとの間には、間隙が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、間隙を設けることによって、低膨張率部材とノズルプレートとが接着されるのを確実に防止することができ、ノズルプレートと低膨張率部材との線膨張係数の違いにより反りによる変形が生じるのを低減することができる。
【００１１】
本発明の第４の態様は、請求項２又は３の態様において、前記空間部が前記圧力発生室の並設された列と列との間に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、低膨張率部材を圧力発生室の列の間に設けることによってヘッドを小型化することができる。
【００１２】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記ヘッド基板が前記流路形成基板と、前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合された当該流路形成基板と線膨張係数が同一材料で形成された保護基板とで構成されていると共に、前記低膨張率部材が前記保護基板に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、低膨張率部材を保護基板に設けることによって、温度変化による流路形成基板の反りによる変形を低減することができる。これにより、振動板等の破壊を防止することができると共に、ノズル開口から噴射される液滴の着弾位置がずれるのを防止して液滴を高精度に噴射させることができ、印刷品質を向上して、信頼性を向上することができる。
【００１３】
本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第６の態様では、信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及び断面図である。
【００１５】
図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。本実施形態の流路形成基板１０を形成するシリコン単結晶基板の線膨張係数は、２．６［×１０−６／℃］である。
【００１６】
この流路形成基板１０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が幅方向に２列並設され、その長手方向外側には、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００の一部を構成する連通部１３が形成され、各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれインク供給路１４を介して連通されている。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００１７】
また、流路形成基板１０の開口面側には、圧力発生室１２を形成する際のマスクとして用いられた保護膜５１を介して、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が常温下で接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．０１〜１ｍｍで、線膨張係数が１６［×１０-6／℃］であるステンレス鋼（ＳＵＳ３１６）からなる。ノズルプレート２０は、一方の面で流路形成基板１０の一面を全面的に覆い、シリコン単結晶基板を衝撃や外力から保護する補強板の役目も果たす。
【００１８】
さらに、流路形成基板１０の圧力発生室１２の列の間には、圧力発生室１２の並設方向に亘って空間部１５が設けられている。この空間部１５は、流路形成基板１０のノズルプレート２０が接合される面側に開口し、流路形成基板１０をほぼ貫通して弾性膜５０に達するまで溝状に設けられている。このような空間部１５は、本実施形態では、圧力発生室１２と同様に流路形成基板１０を異方性エッチングすることで形成することができる。
【００１９】
また、空間部１５内の弾性膜５０側には、低膨張率部材２００が接着剤２０１によって接合されている。低膨張率部材２００は、四角柱形状を有し、空間部１５の深さよりも薄い厚さを有する。このように、低膨張率部材２００を空間部１５の深さよりも薄い厚さとすることで、低膨張率部材２００とノズルプレート２０との間に間隙２０２が画成されている。この間隙２０２によって、低膨張率部材２００はノズルプレート２０と接着剤２０１によって接合されないようになっている。なお、低膨張率部材２００とノズルプレート２０とが、接着剤２０１やノズルプレート２０を流路形成基板１０に接着する際の接着剤などによって接着されないようにすれば、低膨張率部材２００を空間部１５の深さと同じ厚さで形成するようにしてもよい。
【００２０】
このような低膨張率部材２００としては、流路形成基板１０の線膨張係数よりも小さな部材であればよく、例えば、線膨張係数が１．０［×１０−６／℃］の線膨張係数の極めて低いニッケル合金であるインバー（ニッケル３６％及びマンガン０．３５％等を含む鉄）や、線膨張係数が０．５４［×１０−６／℃］の二酸化シリコン（ＳｉＯ２）などを用いることができる。
【００２１】
このように、流路形成基板１０に、流路形成基板１０よりも線膨張係数の小さな低膨張率部材２００を設けることによって、流路形成基板１０と線膨張係数の異なるノズルプレート２０を接合したとしても、温度変化による低膨張率部材２００の熱膨張が小さいため、流路形成基板１０が反りを確実に低減することができる。また、低膨張率部材２００とノズルプレート２０とを接着しないようにすることで、低膨張率部材２００とノズルプレート２０との線膨張係数の違いによる反りを確実に低減することができる。これにより、ノズル開口２１から吐出されるインク滴の記録用紙等の被記録媒体への着弾位置が温度変化によるノズルプレート２０の反りによってずれることが少なくなり、インク滴を高精度に吐出させて印刷品質を向上することができる。また、流路形成基板１０の反りを確実に低減することによって、弾性膜５０などで構成される振動板等が破壊されることがなく信頼性を向上することができる。
【００２２】
なお、本実施形態では、空間部１５を流路形成基板１０をほぼ貫通するように溝状に形成したが、特にこれに限定されず、例えば、空間部１５をノズルプレート２０側に開口する凹状に形成してもよい。
【００２３】
一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、二酸化シリコンからなり厚さが例えば、約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、酸化ジルコニウム等からなり厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、白金及びイリジウム等からなり厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなり厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、イリジウム等からなり厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室１２毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び下電極膜６０が振動板として作用する。
【００２４】
ここで、圧電素子３００の個別電極である各上電極膜８０には、図２（ａ）に示すように、インク供給路１４とは反対側の端部近傍から引き出され、圧力発生室１２の列間に対向する領域の弾性膜５０上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００２５】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、下電極膜６０、弾性膜５０及びリード電極９０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有する保護基板３０が接合されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００２６】
また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。
【００２７】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２８】
また、保護基板３０の略中央部、すなわち、圧力発生室１２の列間に対向する領域には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００２９】
また、保護基板３０上の貫通孔３３の両側、すなわち、圧力発生室１２の各列に対応する領域のそれぞれには、並設された２列の圧電素子３００のそれぞれを駆動するための駆動回路１１０が固定されている。この駆動回路１１０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１１０とリード電極９０とはボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線１２０を介して電気的に接続されている。
【００３０】
また、このような保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００３１】
また、このリザーバ１００の長手方向略中央部外側のコンプライアンス基板４０上には、リザーバ１００にインクを供給するための図示しないインク導入口が形成されている。さらに、保護基板３０には、図示しないインク導入口とリザーバ１００の側壁とを連通する図示しないインク導入路が設けられている。
【００３２】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続した図示しないインク導入口からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００３３】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、流路形成基板１０に圧力発生室１２の並設された列を２列設けるようにしたが、勿論、流路形成基板１０に圧力発生室１２を１列のみ設けるようにしてもよい。
【００３４】
また、例えば、上述した実施形態１では、流路形成基板１０にノズルプレート２０が接合される面に開口する空間部１５を形成し、この空間部１５に接着剤２０１を介して低膨張率部材２００を接着するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、流路形成基板１０にノズルプレート２０が接合された面に開口しない空間部を形成し、この空間部内に低膨張率部材を接着するようにしてもよい。このような例を図３に示す。なお、図３は、本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図及びそのＢ−Ｂ′断面図である。
【００３５】
図３に示すように、流路形成基板１０Ａの圧力発生室１２の列間には、空間部１５Ａが設けられている。この空間部１５Ａは、流路形成基板１０Ａのノズルプレート２０が接合された面及び圧電素子３００が設けられた面に開口しないように設けられている。また、空間部１５Ａは、流路形成基板１０Ａの側面に開口するように設けられており、流路形成基板１０Ａの側面の開口から低膨張率部材２００が挿入されるようになっている。
【００３６】
このような構成のインクジェット式記録ヘッドとしても、流路形成基板１０Ａの反りを確実に低減して、印刷品質を向上することができると共に、信頼性を向上することができる。
【００３７】
さらに、上述した実施形態１及び図３では、流路形成基板１０、１０Ａの圧力発生室１２の列の間に低膨張率部材２００を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、保護基板３０に低膨張率部材２００を設けるようにしてもよい。すなわち、上述した実施形態１及び図３では、ノズルプレート２０以外の流路形成基板１０、１０Ａを含むヘッド基板が流路形成基板１０、１０Ａのみで構成され、この流路形成基板１０、１０Ａであるヘッド基板に低膨張率部材２００を設けるようにしたが、ヘッド基板を流路形成基板１０、１０Ａと保護基板３０とで構成し、保護基板３０に低膨張率部材を設けるようにしてもよい。このような例を図４に示す。なお、図４は、本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００３８】
図４に示すように、保護基板３０Ａの圧電素子保持部３２に相対向する領域には、凹形状の空間部１５Ｂがそれぞれ設けられている。そして、各空間部１５Ｂ内に接着剤２０１を介して低膨張率部材２００が接合されている。このような構成のインクジェット式記録ヘッドとしても、流路形成基板１０の反りを確実に低減して、印刷品質を向上することができると共に、信頼性を向上することができる。
【００３９】
なお、図４では、保護基板３０Ａにのみ低膨張率部材２００を設けるようにしたが、保護基板３０Ａと共に流路形成基板１０にも低膨張率部材２００を設けるようにしてもよい。これにより、さらに確実にベース基板の反りを低減することができる。
【００４０】
また、上述した実施形態１では、成膜及びリソグラフィ法を応用して製造される薄膜型の圧電素子を用いたインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子を用いたインクジェット式記録ヘッドにも本発明を採用することができる。
【００４１】
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４２】
図５に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４３】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００４４】
なお、上述した実施形態１では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０、１０Ａ  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １５、１５Ａ、１５Ｂ  空間部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０、３０Ａ  保護基板、  ３１  リザーバ部、  ３２  圧電素子保持部、  ４０  コンプライアンス基板、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １００  リザーバ、  １１０  駆動回路、  １２０  接続配線、  ２００  低膨張率部材、  ２０１  接着剤、  ２０２  間隙、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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