(57)【要約】【課題】ペーストのスクリーン版の通過特性を正確に測定し、ペーストの製造ロット間ばらつき等による印刷状態のばらつきを抑制し、精度のよいスクリーン印刷方法を提供する。【解決手段】一方側開口部がスクリーン版２と同じメッシュ２６を用いて塞がれた容器２３内に被測定ペーストＰを任意の量供給するステップと、上記容器内の被測定ペーストに対し、一定圧力で被測定ペーストを押圧するステップと、上記一方側開口部から上記メッシュを通過して排出される被測定ペーストの排出流量またはこれに相関する値を計測するステップと、上記計測した流量またはこれに相関する値から被測定ペーストのスクリーン版通過特性を推定するステップと、を備える。推定されたスクリーン版通過特性から、所望の印刷状態となるように印刷条件を設定し、スクリーン印刷装置に供給された上記ペーストを、設定された印刷条件に基づきスクリーン印刷する【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方側開口部がスクリーン印刷で用いられるスクリーン版と同じメッシュを用いて塞がれた容器内に被測定ペーストを任意の量供給するステップと、
上記容器内の被測定ペーストに対し、一定圧力で被測定ペーストを押圧するステップと、
上記一方側開口部から上記メッシュを通過して排出される被測定ペーストの排出流量またはこれに相関する値を計測するステップと、
上記計測した流量またはこれに相関する値から被測定ペーストのスクリーン版通過特性を推定するステップと、を備えるペーストのスクリーン版通過特性測定方法。
【請求項２】
一方側開口部がスクリーン印刷で用いられるスクリーン版と同じメッシュを用いて塞がれた筒形容器内に被測定ペーストを任意の量供給するステップと、
上記筒形容器内の被測定ペーストに対し、筒形容器の他方側開口部からピストンを一定速度で押し込むことにより被測定ペーストを押圧するステップと、
上記一方側開口部から上記メッシュを通過して被測定ペーストを排出する際にピストンにかかった最大推力を計測するステップと、
計測した最大推力から被測定ペーストのスクリーン版通過特性を推定するステップと、を備えるペーストのスクリーン版通過特性測定方法。
【請求項３】
スクリーン印刷装置に供給されるペーストのスクリーン版通過特性を、請求項１または２に記載の方法により測定するステップと、
測定されたスクリーン版通過特性から、所望の印刷状態となるように印刷条件を設定するステップと、
スクリーン印刷装置に供給された上記ペーストを、設定された印刷条件に基づきスクリーン印刷するステップと、を備えるスクリーン印刷方法。
【請求項４】
上記設定された印刷条件は、スキージの傾斜角度およびスキージの移動速度の少なくとも一方であることを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項５】
被印刷物を載置する印刷テーブルと、
所定の開口パターンが形成されたスクリーン版と、
上記スクリーン版上にペーストを供給するペースト供給部と、
上記スクリーン版を被印刷物に対して押圧しながら一軸方向に移動して、スクリーン版上のペーストを被印刷物に印刷するスキージと、
上記スキージを一軸方向に駆動するスキージ駆動手段と、
上記ペーストを収容する容器と、この容器の一方側開口部を塞ぐように取り付けられたスクリーン版と同じメッシュと、容器内のペーストを一定圧力で押圧するペースト押圧手段と、ペースト押圧手段による押圧によりメッシュを通過して排出されるペーストの排出流量またはそれに相関する値を測定する測定手段とを有するスクリーン版通過特性測定部と、
上記測定手段によって計測した流量またはこれに相関する値に基づき、所望の印刷状態となるような印刷条件を設定する印刷条件設定部と、を備えたスクリーン印刷装置。
【請求項６】
被印刷物を載置する印刷テーブルと、
所定の開口パターンが形成されたスクリーン版と、
上記スクリーン版上にペーストを供給するペースト供給部と、
上記スクリーン版を被印刷物に対して押圧しながら一軸方向に移動して、スクリーン版上のペーストを被印刷物に印刷するスキージと、
上記スキージを一軸方向に駆動するスキージ駆動手段と、
上記ペーストを収容する筒形容器と、この筒形容器の一方側開口部を塞ぐように取り付けられたスクリーン版と同じメッシュと、筒形容器内のペーストを他方側開口部から押圧するピストンと、ピストンを一定速度で駆動するピストン駆動手段と、上記一方側開口部から上記メッシュを通過して被測定ペーストを排出する間にピストンにかかった最大推力を計測する計測手段とを有するスクリーン版通過特性測定部と、
上記計測手段による最大推力に基づき、所望の印刷状態となるような印刷条件を設定する印刷条件設定部と、を備えたスクリーン印刷装置。
【請求項７】
上記設定された印刷条件は、スキージの傾斜角度およびスキージの移動速度の少なくとも一方であることを特徴とする請求項５または６に記載のスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクリーン印刷に用いられるペーストがスクリーン版を通過する特性を測定する方法、この方法を用いたスクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、セラミック多層配線基板や積層セラミックコンデンサなどの積層型セラミック電子部品は、セラミックグリーンシートに所定のパターンを導電ペーストによりスクリーン印刷し、これを積層することにより製造している。特に、電子部品の小型化、セラミックグリーンシートの薄層化に伴い、導電ペーストの塗布厚や形状の要求精度も高くなり、印刷状態の僅かな違いでも電気特性に影響を及ぼす。
【０００３】
スクリーン印刷装置として、特許文献１に示されているように、被印刷物であるセラミックグリーンシート上に設置されたスクリーン版と、このスクリーン版上に供給された導電ペーストをスクリーン版上に広げるためのスクレーパと、スクリーン版をセラミックグリーンシート上に押圧し、スクリーン版を介して導電ペーストをセラミックグリーンシートに印刷するスキージなどを備えたものが知られている。そして、スクリーン版に導電ペーストを供給するペースト供給部には、ペーストを収容した容器が取り付けられ、ここから新しいペーストが供給される。
【０００４】
スクリーン印刷は導電ペーストを所定パターンのスクリーン版を通して印刷するため、導電ペーストの性状によって、スクリーン版の通過特性が変化し、印刷状態に影響する。導電ペーストは密閉容器内に収容された形で供給されるが、同じ組成のペーストであっても、含まれている導電性粉末の粒度などがペーストの製造ロットによって僅かにばらつくことがある。したがって、スクリーン印刷装置のペースト供給部に取り付けられるペースト容器を交換したときなど、印刷状態が変化するという問題がある。
【０００５】
このようなスクリーン印刷における印刷状態に影響を与えるペーストのパラメータとして、粘度がある。従来では、印刷前に印刷されるペーストの粘度を粘度計により測定している。粘度計としては、特許文献２に示されるように、回転式粘度測定器が用いられる。この粘度計は、剪断速度とトルクの関係から粘度を求めるものであり、得られた粘度に対してペーストの使用可否判断やペーストの粘度調整要否、印刷条件の設定などを行っている。
【０００６】
また、粘度を求める別の方法として、特許文献３にあるように、容器内のペーストを一定速度で押すときの内部圧力を求め、ハーゲン・ポアゾイユの式から粘度を算出する方法もある。
【０００７】
しかしながら、従来の回転式粘度計を用いた方法においては、剪断粘度を測定しており、ペーストの指標を測定する一つの方法ではあるが、粘度計内でペーストに生じている現象と、実際のスクリーン印刷でペーストがスクリーンのメッシュを通過している際の挙動とは大きく異なるため、そこで得られた粘度と印刷性の関係は一対一ではなく、同じ粘度として測定されるペーストであっても、印刷性（カスレやニジミ）が異なる場合が多々ある。逆に、異なる粘度で表示されるペーストであっても、印刷性は同様である場合もある。
また、ハーゲン・ポアゾイユの式から求める粘度測定方法であっても、ペーストがパターンのメッシュを通過する際の挙動と異なる。
つまり、これら粘度計で求められる粘度は印刷性を表す一つの要因でしかなく、それだけでは印刷性は予測不可能である。
このため、ペーストの粘度を監視しても、ペーストのニジミ・カスレ不良を防止できなかった。また、不良発生を抑えるために、製品を印刷加工する前に予め製品ではないダミーの印刷物に印刷を行って、その図形寸法を測定し、それから印刷条件を調整する必要があり、材料・印刷の労務、測定の労務が余分にかかっていた。
【特許文献１】特開２００２−５９５３４号公報
【特許文献２】特許第３５４３０６９号公報
【特許文献３】特開平９−３０４２６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明の目的は、ペーストのスクリーン版の通過特性を正確に測定できるペーストのスクリーン版通過特性測定方法を提供することにある。
また、他の目的は、ペーストの製造ロット間ばらつき等による印刷状態のばらつきを抑制でき、精度のよい印刷を実施できるスクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、一方側開口部がスクリーン印刷で用いられるスクリーン版と同じメッシュを用いて塞がれた容器内に被測定ペーストを任意の量供給するステップと、上記容器内の被測定ペーストに対し、一定圧力で被測定ペーストを押圧するステップと、上記一方側開口部から上記メッシュを通過して排出される被測定ペーストの排出流量またはこれに相関する値を計測するステップと、上記計測した流量またはこれに相関する値から被測定ペーストのスクリーン版通過特性を推定するステップと、を備えるペーストのスクリーン版通過特性測定方法を提供する。
【００１０】
請求項２に係る発明は、一方側開口部がスクリーン印刷で用いられるスクリーン版と同じメッシュを用いて塞がれた筒形容器内に被測定ペーストを任意の量供給するステップと、上記筒形容器内の被測定ペーストに対し、筒形容器の他方側開口部からピストンを一定速度で押し込むことにより被測定ペーストを押圧するステップと、上記一方側開口部から上記メッシュを通過して被測定ペーストを排出する際にピストンにかかった最大推力を計測するステップと、計測した最大推力から被測定ペーストのスクリーン版通過特性を推定するステップと、を備えるペーストのスクリーン版通過特性測定方法を提供する。
【００１１】
請求項３に係る発明は、スクリーン印刷装置に供給されるペーストのスクリーン版通過特性を、請求項１または２に記載の方法により測定するステップと、測定されたスクリーン版通過特性から、所望の印刷状態となるように印刷条件を設定するステップと、スクリーン印刷装置に供給された上記ペーストを、設定された印刷条件に基づきスクリーン印刷するステップと、を備えるスクリーン印刷方法を提供する。
なお、上記設定された印刷条件は、スキージの傾斜角度およびスキージの移動速度の少なくとも一方とするのがよい。
【００１２】
請求項５に係る発明は、被印刷物を載置する印刷テーブルと、所定の開口パターンが形成されたスクリーン版と、上記スクリーン版上にペーストを供給するペースト供給部と、上記スクリーン版を被印刷物に対して押圧しながら一軸方向に移動して、スクリーン版上のペーストを被印刷物に印刷するスキージと、上記スキージを一軸方向に駆動するスキージ駆動手段と、上記ペーストを収容する容器と、この容器の一方側開口部を塞ぐように取り付けられたスクリーン版と同じメッシュと、容器内のペーストを一定圧力で押圧するペースト押圧手段と、ペースト押圧手段による押圧によりメッシュを通過して排出されるペーストの排出流量またはそれに相関する値を測定する測定手段とを有するスクリーン版通過特性測定部と、上記測定手段によって計測した流量またはこれに相関する値に基づき、所望の印刷状態となるような印刷条件を設定する印刷条件設定部と、を備えたスクリーン印刷装置を提供する。
【００１３】
請求項６に係る発明は、被印刷物を載置する印刷テーブルと、所定の開口パターンが形成されたスクリーン版と、上記スクリーン版上にペーストを供給するペースト供給部と、上記スクリーン版を被印刷物に対して押圧しながら一軸方向に移動して、スクリーン版上のペーストを被印刷物に印刷するスキージと、上記スキージを一軸方向に駆動するスキージ駆動手段と、上記ペーストを収容する筒形容器と、この筒形容器の一方側開口部を塞ぐように取り付けられたスクリーン版と同じメッシュと、筒形容器内のペーストを他方側開口部から押圧するピストンと、ピストンを一定速度で駆動するピストン駆動手段と、上記一方側開口部から上記メッシュを通過して被測定ペーストを排出する間にピストンにかかった最大推力を計測する計測手段とを有するスクリーン版通過特性測定部と、上記計測手段による最大推力に基づき、所望の印刷状態となるような印刷条件を設定する印刷条件設定部と、を備えたスクリーン印刷装置を提供する。
【００１４】
本発明にかかるペーストのスクリーン版通過特性測定方法では、従来の回転式粘度測定やハーゲン・ポアゾイユの式から求める粘度測定方法のようにペーストの粘度を測定するのではなく、ペーストがスクリーン版と同じメッシュを通過している際の挙動を測定し、その挙動から印刷性を推定している。上記挙動と実際の印刷性との関係は一対一に対応しているので、同じ挙動であれば印刷性（カスレやニジミ）も同じになる。したがって、実際の印刷性を正確に推定でき、ペーストのニジミ・カスレ不良を防止できる。
また、不良発生を抑えるために、製品を印刷加工する前に予めダミーの印刷物に印刷を行う必要がなく、最適条件を求めるための手間を省くことができる。
本発明で使用されるメッシュとは、スクリーン版と同じ材質で、かつスクリーン版のパターン開口部と同じ番目のメッシュのことである。
【００１５】
ペーストがスクリーン版と同じメッシュを通過している際の挙動を測定する方法として、請求項１または２の方法がある。
請求項１では被測定ペーストを一定圧力で押圧し、容器の一方側開口部からメッシュを通過して排出される被測定ペーストの排出流量またはこれに相関する値を計測し、その値から被測定ペーストのスクリーン版通過特性を推定している。排出流量とは、単位時間当たりのペーストのメッシュ通過流量のことであり、これに相関する値とは、例えば一定時間内における排出量や排出重量、あるいは一定量排出されるまでの時間などがある。排出流量が多い程、ペーストのメッシュ通過性がよい。
請求項２では、ピストンを一定速度で移動させて被測定ペーストを押圧し、筒形容器の一方側開口部から被測定ペーストがメッシュを通過して排出する際のピストンにかかった最大推力を計測し、その最大推力から被測定ペーストのスクリーン版通過特性を推定している。この場合は、ピストンによってペーストを強制的に押圧し、そのピストン反力である最大推力によってスクリーン版通過特性を推定している。最大推力が大きいほど、ペーストのメッシュ通過性が悪いことを意味する。
【００１６】
請求項３では、請求項１または２の方法によりスクリーン印刷装置に供給されるペーストのスクリーン版通過特性を測定し、測定されたスクリーン版通過特性から印刷条件を設定し、スクリーン印刷装置に供給されたペーストを設定された印刷条件に基づきスクリーン印刷している。つまり、ペーストがメッシュパターンを通過する際の通過性を直接測定しているため、ペーストの印刷性を実際の印刷を行わずに予測可能になり、ペーストに合った印刷条件を設定でき、安定した印刷図形を得ることが可能になる。
【００１７】
請求項４のように、設定された印刷条件としては、スキージの傾斜角度およびスキージの移動速度の少なくとも一方とするのがよい。例えば、メッシュ通過性が悪いペーストの場合、カスレ傾向になるため、印刷条件はスキージ傾斜角度を小さくし、スキージ速度を上げるのがよい。また、通過性のよいペーストの場合には、反対にスキージ傾斜角度を大きくし、スキージ速度を下げるとよい。
なお、スキージの傾斜角度およびスキージの移動速度の双方を調整できるようにした方が、より細かい条件設定が可能になる。
【００１８】
請求項５は、請求項１に対応するスクリーン印刷装置であり、請求項３と同様に、ペーストがメッシュパターンを通過する際の通過性を直接測定しているため、ペーストの印刷性を実際の印刷を行わずに予測可能になり、ペーストに合った印刷条件を設定できる。そのため、実際の印刷性を正確に推定でき、ペーストのニジミ・カスレ不良を防止できる。
【００１９】
請求項６は、請求項２に対応するスクリーン印刷装置であり、請求項３と同様に、ペーストの印刷性を実際の印刷を行わずに正確に推定でき、ペーストのニジミ・カスレ不良を防止できる。
【００２０】
請求項７のように、設定された印刷条件としては、スキージの傾斜角度およびスキージの移動速度の少なくとも一方とするのがよい。スキージの傾斜角度，移動速度は、印刷条件設定部からの出力で自動的に調整してもよいし、印刷条件設定部に設定条件を表示させ、それに基づいてオペレータが手動で入力してもよい。具体的には、傾斜角度については、数パターンの傾斜角度に固定された複数のスキージを選んで装着してもよく、移動速度については、スクリーン印刷装置のコントロールパネルにて手動で入力することができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、従来の回転式粘度測定やハーゲン・ポアゾイユの式から求める粘度測定方法のようにペーストの粘度を測定するのではなく、ペーストがスクリーン版と同じメッシュを通過するときの通過しやすさを直接測定しているため、ペーストの印刷性を実際の印刷を行わずに正確に予測できる。そのため、ペーストのニジミ・カスレ不良を防止できる印刷条件を簡単に設定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明の実施の形態を、実施例を参照して説明する。
【実施例１】
【００２３】
図１は本発明にかかるペーストのスクリーン版通過特性測定方法を用いたスクリーン印刷装置の第１実施例を示す。
このスクリーン印刷装置は、スクリーン版２と、被印刷物６を載置した印刷テーブル１１と、印刷ペーストＰをスクリーン版２上に供給するペースト供給部１０と、印刷ペーストＰのスクリーン版通過特性を測定する通過特性測定部２０と、少なくともスクリーン版２の印刷部分を含む領域上を移動することにより、スクリーン版２上に供給された印刷ペーストＰをスクリーン版２の印刷部分に広げるスクレーパ１と、スクリーン版２に押圧された状態で印刷部分上を移動することにより、印刷ペーストＰを被印刷物６に印刷するスキージ５と、スクレーパ１およびスキージ５を保持し、被印刷物６と平行に一軸移動させる移動ヘッド７と、スクレーパ１、スキージ５、移動ヘッド７、ペースト供給部１０などを制御する制御手段１２とを備えている。スクレーパ１とスキージ５は独立して昇降できるように移動ヘッド７に取り付けられている。また、スキージ５は、その傾斜角度（アタック角度）を調整できるように移動ヘッド７に取り付けられている。
【００２４】
制御手段１２は、予め設定されたデータおよびスクリーン版通過特性測定部２０からの測定信号に基づき、印刷条件、すなわち図２に示すスキージ５の傾斜角度やスキージ５の移動速度などを設定できるように構成されている。すなわち、制御手段１２の制御信号によりスキージ５の傾斜角度やスキージ５の移動速度を自在に制御可能である。
【００２５】
通過特性測定部２０は、図３に示すように、圧空供給部２１と、この圧空供給部２１に配管２２を介して接続された筒形容器２３とを備えており、配管２２の途中には、圧空供給部２１からの供給エアーをチェックする圧力計２４と、一定時間のみ開かれるタイマー付き開閉バルブ２５とが設けられている。圧空供給部２１としては、一定圧の供給エアーを供給できるように自動調圧機能を持つものがよく、圧空源２１ａとこの供給エアーを所定圧に調圧するレギュレータ２１ｂとで構成してもよい。圧空供給部２１の供給エアー圧は、後述するメッシュ２６の開口率および強度に合わせて０．１ＭＰａ〜０．５ＭＰａ程度とするのが好ましい。筒形容器２３の下側開口（一方側開口）は、スクリーン版２と同一のメッシュ２６で塞がれており、上側開口（他方側開口）は着脱可能な蓋部材２７で閉じられている。筒形容器２３内には、ペースト供給部１０に溜められているペーストＰと同じペーストＰがサンプルとして所定量供給されており、ペーストＰと蓋部材２７との間の空間に上記配管２２が接続されている。筒形容器２３の下方にはペースト受け２８が配置され、このペースト受け２８は電子天秤２９によって計量される。すなわち、メッシュ２６を通過して排出されるペーストＰの重量を電子天秤２９で測定し、予め測定しておいたペーストＰの比重から、単位時間当たりのペーストＰのメッシュ通過量（流量）を求めることができる。
なお、上記のように一定時間排出した時の排出量から排出流量を求める方法の他に、一定量排出されるまでの時間を計測し、その時間から排出流量を求めてもよいし、さらに排出流量を直接流量計で測定してもよい。
【００２６】
図４は、ある銅ペーストを０．３ＭＰａの圧力で、一分間吐出したときのペーストの通過量と一定の印刷条件で印刷された図形のカスレ、ニジミ量の関係を求めたものである。ペーストの通過量が多くなるに従い、ニジミが大きくなる傾向が現れている。
【００２７】
図５，図６は、同一のペーストを使用して印刷条件を変更した際の印刷性について示す。図５は、スキージアタック角度（スキージ傾斜角度）と印刷性の関係を示し、スキージの角度を大きくするとカスレ傾向になり、小さくするに従ってニジミが大きくなる。これは、スキージ角度を小さくすると、スキージが通過する際にペーストに発生する圧力が高くなり、ペーストがスクリーン版のメッシュを通過しやすくなるためである。同様に、図６はスキージ速度と印刷性の関係を示しており、スキージ速度が高くなるに従ってニジミが大きくなっている。
つまり、通過特性測定部２０でペーストのメッシュ通過性を測定し、通過性の悪いペーストの場合、カスレ傾向になるため、印刷条件はスキージアタック角度を小さくするか、スキージ速度を上げるとよい。また、両方同時に調整してもよい。一方、通過性のよいペーストの時には、反対にスキージアタック角度を大きくし、スキージ速度を下げるとよい。
【００２８】
表１は、ペースト通過量とスキージ角度とスキージ速度との関係を示す印刷条件表である。
表１のように、ペーストの通過量に合わせて印刷条件を変更することにより、ペーストのロットばらつきによる印刷性のばらつきを抑えることができる。
【表１】
2006181811.tif 000003
【実施例２】
【００２９】
図７は、通過特性測定部２０の第２実施例を示す。
この実施例では、筒形容器２３の下端開口をメッシュ２６で塞ぐとともに、上端開口からピストン３０を挿入し、メッシュ２６とピストン３０との間にペーストＰを充填してある。ピストン３０は推力を測定するロードセル３１を介して駆動装置３２と連結されている。駆動装置３２は、ピストン３０を一定速度（０．５ｍｍ／Ｓ〜１０ｍｍ／Ｓが望ましい）で下降させるものであり、サーボモータや、ボールネジとラック・ピニオンなどで構成することができる。なお、筒形容器２３の下方にはペースト受け２８が配置されているが、このペースト受け２８の重量を測定する必要はない。
【００３０】
この実施例では、ピストン３０を一定速度で押し込み、その必要推力をロードセル３１により測定する。ロードセル３１の測定値がペーストＰのメッシュ通過特性の指標となる。
表２は、ロードセル表示値とスキージ角度とスキージ速度との関係を示す印刷条件表である。
この条件表に従って、印刷条件（スキージ角度，スキージ速度）を決定することで、ペーストのロットばらつきによる印刷性のばらつきを抑えることができる。
【表２】
2006181811.tif 000004
【００３１】
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
被印刷ペーストとしては、導電ペーストに限らず、半田クリームや半田レジストインクなど如何なるペーストを用いることもできる。
第１実施例では、エアー圧を用いて筒形容器内のペーストに圧力を加えたが、エアーに代えて第２実施例と同様なピストンを用いてもよいことは勿論である。
第１実施例では、筒形容器を用いたが、筒形に限らず、一方側開口をメッシュで塞いだ容器であれば、任意の形状のものを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係るスクリーン印刷装置の第１実施例の構成図である。
【図２】スキージで印刷する動作を示す拡大図である。
【図３】図１に示す通過特性測定部の一例の構造図である。
【図４】ペーストの通過特性とスクリーン印刷性との関係を示す図である。
【図５】スキージ傾斜角度と印刷性との関係を示す図である。
【図６】スキージ移動速度と印刷性との関係を示す図である。
【図７】通過特性測定部の第２実施例の構造図である。
【符号の説明】
【００３３】
Ｐ            ペースト
２            スクリーン版
５            スキージ
６            被印刷物
７            移動ヘッド
１０          ペースト供給部
１１          印刷テーブル
１２          制御手段（印刷条件設定部）
２０          通過特性測定部
２１          圧空供給部
２３          容器
２６          メッシュ
２９          電子天秤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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