(57)【要約】【課題】主にパーティクルの発生を防止できる部品搬送装置及びその収納方法を提供する。【解決手段】第１のモータ４８の回転軸が回転すると第１のモータ側マグネット部材４６が回転軸と共に回転し磁力の相互作用により軸部材側マグネット部材１８、リンクアーム組２０の一方側リンクアーム２０Ａが回転する。一方側リンクアーム２０Ａが回転すると各リンクアーム側マグネット部材２６、３０の磁力の相互作用により同じリンクアーム組２０の他方側リンクアーム２０Ｂも回転する。また同様にしてリンクアーム組２０と連結する他のリンクアーム組２８、３４も回転する。これらの回転により各リンクアーム組２０、２８、３４が伸縮可能となる。このように第１モータ４８の駆動力を非接触で各リンクアーム組２０、２８、３４まで伝達させることができ各構成部材の摩擦等によるパーティクルが発生することがない。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を搬送する部品搬送装置であって、
一対のリンクアームからなるリンクアーム組を相互に回転可能となるように複数組連結させて構成され各リンクアーム組の回転により伸縮可能となる伸縮部材と、
前記各リンクアーム組の連結部に相互に離間するようにそれぞれ設けられ、磁力により前記各リンクアーム組を非接触で回転させるリンクアーム側マグネット部材と、
複数組の前記リンクアーム組の一方の端部側に位置する前記リンクアーム組の一方側の前記リンクアームに取り付けられた軸部材と、
複数組の前記リンクアーム組の他方の端部側に位置する前記リンクアーム組に設けられた載置部材と、
前記軸部材に取り付けられた軸部材側マグネット部材と、
第１のモータの回転軸に前記軸部材側マグネット部材と離間して設けられ磁力により前記軸部材側マグネット部材を回転させる第１のモータ側マグネット部材と、
を有することを特徴とする部品搬送装置。
【請求項２】
複数組の前記リンクアーム組は、鋼球を周方向に位置決めする位置決め部材を内部に備えたボールベアリングを介してそれぞれ連結されていることを特徴とする請求項１に記載の部品搬送装置。
【請求項３】
前記軸部材が取り付けられた前記リンクアーム組であって前記軸部材が取り付けられていない他方側の前記リンクアームに取り付けられたベース部材と、
前記ベース部材に接続され前記ベース部材と共に回転するベース部材側マグネット部材と、
第２のモータの回転軸に前記ベース部材側マグネット部材と離間して設けられ回転により前記ベース部材側マグネット部材を回転させる第２のモータ側マグネット部材と、
を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の部品搬送装置。
【請求項４】
前記第１のモータの回転軸と前記第２のモータの回転軸とを同期させて回転させる制御手段を設けたことを特徴とする請求項３に記載の部品搬送装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか1項に記載の部品搬送装置を部品搬送装置収納チャンバに収納させる部品搬送装置の収納方法であって、
前記第１のモータと、前記第１のモータ側マグネット部材と、前記第２のモータと、前記第２のモータ側マグネット部材と、をそれぞれ前記部品搬送装置収納チャンバの外部に配置させ、
前記第１のモータ側マグネット部材と前記軸部材側マグネット部材との間又は前記第２のモータ側マグネット部材と前記ベース部材側マグネット部材との間の少なくとも一方を、部品搬送装置収納チャンバと一体に設けられた非磁性体の遮蔽部で区画させたことを特徴とする部品搬送装置の収納方法。
【請求項６】
前記遮蔽部の厚みは、０．１ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項５に記載の部品搬送装置の収納方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば真空装置の内部に用いられ半導体ウエーハなどの精密部品を搬送するための部品搬送装置及び部品搬送装置の収納方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から半導体製造装置などでは、半導体ウエーハなどの部品を搬送するための部品搬送ロボットが用いられている。この部品搬送ロボットは、真空中又は大気中に配置されており、半導体ウエーハを所定のチャンバに搬送するための装置である。この部品搬送ロボットにはロープ、ベルト、プーリ、ギヤ、チェーンなどの各種部材を適宜組み合わせてモータの駆動を伝達させるアームが設けられており、このアームの回転駆動により部品が所定の位置に搬送されている。
【０００３】
なお、上記従来技術は公用の技術であり、本発明は公用の技術をもとに開発したものである。このため、出願人は、特許出願の時において本発明に関連する文献公知発明の存在を知らず、文献公知発明の名称その他の文献公知発明に関する情報の所在の記載を省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記部品搬送ロボットでは、モータの駆動を伝達させアームの回転駆動を実現させるために各種部材を用いているが、駆動の各種部材を用いるとパーティクルが発生してしまい、搬送する部品の品質維持の観点から真空中で部品搬送ロボットを使用することができなくなる問題がある。そのため、従来のロボットでは、複雑な筐体状のアーム内部に駆動部材を閉じ込めたり、さらに旋回部においては、例えば磁性流体を用いたシール部材を使用するなどの手段を講じたりして、パーティクルを抑える必要があった。また、上記駆動方式は接触駆動が主流であるため、磨耗や劣化による部品交換やメンテナンスが必要となるため、ランニングコストや装置稼働率の低下は不可避となっている。
【０００５】
そこで、本発明は上記事情を考慮し、シンプル且つメンテナンスフリーで、パーティクルの発生を防止することができる部品搬送装置及び部品搬送装置の収納方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、部品を搬送する部品搬送装置であって、一対のリンクアームからなるリンクアーム組を相互に回転可能となるように複数組連結させて構成され各リンクアーム組の回転により伸縮可能となる伸縮部材と、前記各リンクアーム組の連結部に相互に離間するようにそれぞれ設けられ、磁力により前記各リンクアーム組を非接触で回転させるリンクアーム側マグネット部材と、複数組の前記リンクアーム組の一方の端部側に位置する前記リンクアーム組の一方側の前記リンクアームに取り付けられた軸部材と、複数組の前記リンクアーム組の他方の端部側に位置する前記リンクアーム組に設けられた載置部材と、前記軸部材に取り付けられた軸部材側マグネット部材と、第１のモータの回転軸に前記軸部材側マグネット部材と離間して設けられ磁力により前記軸部材側マグネット部材を回転させる第１のモータ側マグネット部材と、を有することを特徴とする。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、第１のモータの回転軸が回転すると、第１のモータ側マグネット部材が回転軸と共に回転する。これにより、軸部材に取り付けられた軸部材側マグネット部材が回転する。この軸部材側マグネット部材が回転すると、軸部材に取り付けられたリンクアーム組の一方側のリンクアームが回転する。一方側のリンクアームが回転すると、各リンクアーム側マグネット部材の磁力の作用により、同じリンクアーム組を構成する他方側のリンクアームも回転する。そして、このリンクアーム組と連結する他のリンクアーム組が、各リンクアーム側マグネット部材の磁力の作用により回転する。このとき、全てのマグネット部材は相互に離間している。これにより、伸縮部材が伸縮可能となり、載置部材に載置された部品を所定の場所に搬送することができる。このように、第１モータの駆動力を非接触で伸縮部材まで伝達させることができるため、各構成部材の摩擦等によりパーティクルが発生することがない。この結果、搬送する部品にパーティクルが付着することがなく、部品の品質低下を防止できる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の部品搬送装置において、複数組の前記リンクアーム組は、鋼球を周方向に位置決めする位置決め部材を内部に備えたボールベアリングを介してそれぞれ連結されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、複数組のリンクアーム組は、鋼球を周方向に位置決めする位置決め部材を内部に備えたボールベアリングを介してそれぞれ連結されているため、鋼球の周方向への移動に伴うパーティクルが発生することを防止できる。これにより、搬送する部品にパーティクルが付着することがなく、部品の品質低下を防止できる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の部品搬送装置において、前記軸部材が取り付けられた前記リンクアーム組であって前記軸部材が取り付けられていない他方側の前記リンクアームに取り付けられたベース部材と、前記ベース部材に接続され前記ベース部材と共に回転するベース部材側マグネット部材と、第２のモータの回転軸に前記ベース部材側マグネット部材と離間して設けられ回転により前記ベース部材側マグネット部材を回転させる第２のモータ側マグネット部材と、を有することを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、第２のモータの回転軸が回転すると、第２のモータ側マグネット部材が回転軸と共に回転する。これにより、ベース部材に取り付けられたベース部材側マグネット部材が回転する。このベース部材側マグネット部材が回転すると、ベース部材に取り付けられたリンクアーム組の他方側のリンクアームが回転する。ここで、軸部材がベース部材に取り付けられている場合には、軸部材に取りけられている一方側のリンクアームもベース部材と共に回転する。このように、他方側のリンクアームと一方側のリンクアームとがベース部材と共に回転するため、伸縮部材を旋回させることができる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の部品搬送装置において、前記第１のモータの回転軸と前記第２のモータの回転軸とを同期させて回転させる制御手段を設けたことを特徴とする。
【００１３】
請求項４に記載の発明によれば、軸部材がベース部材に取り付けられていない場合には、ベース部材を回転させても軸部材に取り付けられている一方側のリンクアームは回転しない。ここで、制御手段により第１のモータの回転軸と第２のモータの回転軸とを同期させて回転させることにより、軸部材がベース部材に取り付けられていない場合でも、軸部材に取りけられている一方側のリンクアームを他方側のリンクアームと同じ回転角度で回転させることができる。この結果、ベース部材を回転させて伸縮部材を旋回させる際に、伸縮部材が勝手に伸縮してしまうことがない。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか1項に記載の部品搬送装置を部品搬送装置収納チャンバに収納させる部品搬送装置の収納方法であって、前記第１のモータと、前記第１のモータ側マグネット部材と、前記第２のモータと、前記第２のモータ側マグネット部材と、をそれぞれ前記部品搬送装置収納チャンバの外部に配置させ、前記第１のモータ側マグネット部材と前記軸部材側マグネット部材との間又は前記第２のモータ側マグネット部材と前記ベース部材側マグネット部材との間の少なくとも一方を、部品搬送装置収納チャンバと一体に設けられた非磁性体の遮蔽部で区画させたことを特徴とする。
【００１５】
請求項５に記載の発明によれば、第１のモータと、第１のモータ側マグネット部材と、第２のモータと、第２のモータ側マグネット部材と、が部品搬送装置収納チャンバの外部にそれぞれ配置されているため、第１のモータ及び第１のモータ側マグネット部材と、第２のモータ及び第２のモータ側マグネット部材との回転駆動により発生するパーティクルが部品搬送装置収納チャンバの内部に入り込むことを防止できる。これにより、搬送する部品にパーティクルが付着することを防止でき、部品の品質が低下することを防止できる。また、第１のモータ側マグネット部材と軸部材側マグネット部材との間又は第２のモータ側マグネット部材とベース部材側マグネット部材との間の少なくとも一方が、部品搬送装置収納チャンバと一体に設けられた非磁性体の遮蔽部で区画させられているため、第１のモータ側マグネット部材と軸部材側マグネット部材との間の磁力と、第２のモータ側マグネット部材とベース部材側マグネット部材との間の磁力と、が遮蔽部によりそれぞれ干渉されることがない。この結果、第１のモータ及び第２のモータの駆動力を確実に伝達させることができる。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の部品搬送装置の収納方法において、前記遮蔽部の厚みは、０．１ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であることを特徴とする。
【００１７】
請求項６に記載の発明によれば、遮蔽部の厚みが０．１ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であるため、第１のモータ側マグネット部材と軸部材側マグネット部材との間の磁力と、第２のモータ側マグネット部材とベース部材側マグネット部材との間の磁力と、が遮蔽部の介在によりそれぞれ大幅に低下してしまうことを防止できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の部品搬送装置によれば、第１モータの駆動力を非接触で伸縮部材まで伝達させることができるため、各構成部材の摩擦等によりパーティクルが発生することがない。この結果、搬送する部品にパーティクルが付着することがなく、部品の品質低下を防止できる。
【００１９】
本発明の部品搬送装置の収納方法によれば、第１のモータと、第１のモータ側マグネット部材と、第２のモータと、第２のモータ側マグネット部材と、が部品搬送装置収納チャンバの外部にそれぞれ配置されているため、第１のモータ及び第１のモータ側マグネット部材と、第２のモータ及び第２のモータ側マグネット部材との回転駆動により発生するパーティクルが部品搬送装置収納チャンバの内部に入り込むことを防止できる。この結果、搬送する部品にパーティクルが付着することを防止でき、部品の品質が低下することを防止できる。
また、第１のモータ側マグネット部材と軸部材側マグネット部材との間又は第２のモータ側マグネット部材とベース部材側マグネット部材との間の少なくとも一方が、部品搬送装置収納チャンバと一体に設けられた非磁性体の遮蔽部で区画させられているため、第１のモータ側マグネット部材と軸部材側マグネット部材との間の磁力と、第２のモータ側マグネット部材とベース部材側マグネット部材との間の磁力と、が遮蔽部によりそれぞれ干渉されることがない。この結果、第１のモータ及び第２のモータの駆動力を確実に伝達させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明の一実施形態に係る部品搬送装置及び部品搬送装置の収納方法について、図面を参照して説明する。
【００２１】
図１に示すように、部品搬送装置１０は、円盤状のベース部材１２を備えている。このベース部材１２の略中央には、貫通孔１４が形成されている。ベース部材１２に形成された貫通孔１４には、棒状の軸部材１６がベース部材１２とは独立して回転可能となるように挿通されている。また、この軸部材１６の下部には、特殊マグネットである円筒状の軸部材側マグネット部材１８が取り付けられている。この軸部材側マグネット部材１８は、複数の極が回転軸方向に平行、または４５度傾斜して着磁されている。
【００２２】
また、ベース部材１２の下部には、軸部材側マグネット部材１８の直径よりも大径（または同径）である円筒状のベース部材側マグネット部材１９が接続されている。このベース部材側マグネット部材１９は、複数の極が回転軸方向に平行、または４５度傾斜して着磁されている。
【００２３】
また、ベース部材１２の貫通孔１４を挿通した軸部材１６の上部には、第１リンクアーム組（伸縮部材）２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａの一方の端部が取り付けられている。また、ベース部材１２の上部には、真空用ベアリング（低発塵ベアリング）２２を介して、第１リンクアーム組２０を構成する他方側リンクアーム２０Ｂの一方の端部がピン２４により回転可能に取り付けられている。この真空用ベアリング２２は、内輪と外輪との間に配置された複数の鋼球が回転可能に配置されており、各鋼球の間に各鋼球を周方向に位置決めする自己潤滑性複合材料（低発塵ベアリング）設けたものである。なお、以下に説明する各真空用ベアリングも、全て同様の構成である。
【００２４】
また、第１リンクアーム組２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａ及び他方側リンクアーム２０Ｂの他方の端部の下面には、真空用ベアリング２２を介して、リンク部２５がピン２４によりそれぞれ取り付けられている。これにより、第１リンクアーム組２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａ及び他方側リンクアーム２０Ｂの他方の端部は、リンク部２５に対して回転可能となっている。
【００２５】
また、第１リンクアーム組２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａの他方の端部の上面には、真空用ベアリング２２及びリンクアーム側マグネット部材２６を介して第２リンクアーム組（伸縮部材）２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａの一方の端部がピン２４により連結されている。すなわち、第２リンクアーム組２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａの一方の端部には円筒状のリンクアーム側マグネット部材２６が取り付けられており、第２リンクアーム組２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａの一方の端部と第１リンクアーム組２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａの他方の端部との間にはリンクアーム側マグネット部材２６と真空用ベアリング２２が位置した構成となっている。これにより、第２リンクアーム組２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａは、第１リンクアーム組２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａに対して回転可能となっている。なお、このリンクアーム側マグネット部材２６は、複数の極が回転軸方向に平行に着磁されている。なお、以下に説明する各リンクアーム側マグネット部材も、全て同様の構成である。
【００２６】
また、第１リンクアーム組２０を構成する他方側リンクアーム２０Ｂの他方の端部の上面には、円筒状のリンクアーム側マグネット部材３０が取り付けられている。このリンクアーム側マグネット部材３０の上部には真空用ベアリング２２が位置しており、これらに第２リンクアーム組２８を構成する他方側リンクアーム２８Ｂの一方の端部がピン２４により取り付けられている。これにより、第２リンクアーム組２８を構成する他方側リンクアーム２８Ｂは、第１リンクアーム組２０を構成する他方側リンクアーム２０Ｂに対して回転可能となっている。
【００２７】
また、第２リンクアーム組２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａ及び他方側リンクアーム２８Ｂの他方の端部の下面には、真空用ベアリング２２を介して、リンク部２７がピン２４によりそれぞれ取り付けられている。これにより、第２リンクアーム組２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａ及び他方側リンクアーム２８Ｂの他方の端部は、リンク部２７に対して回転可能となっている。
【００２８】
また、第２リンクアーム組２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａの他方の端部の上面には、真空用ベアリング２２及びリンクアーム側マグネット部材３２を介して第３リンクアーム組（伸縮部材）２４を構成する一方側リンクアーム２４Ａの一方の端部がピン２４により連結されている。すなわち、第３リンクアーム組３４を構成する一方側リンクアーム３４Ａの一方の端部には円筒状のリンクアーム側マグネット部材３２が取り付けられており、第３リンクアーム組３４を構成する一方側リンクアーム３４Ａの一方の端部と第２リンクアーム組２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａの他方の端部との間にはリンクアーム側マグネット部材３２と真空用ベアリング２２が位置した構成となっている。これにより、第３リンクアーム組３４を構成する一方側リンクアーム３４Ａは、第２リンクアーム組２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａに対して回転可能となっている。
【００２９】
また、第２リンクアーム組２８を構成する他方側リンクアーム２８Ｂの他方の端部の上面には、円筒状のリンクアーム側マグネット部材３６が取り付けられている。このリンクアーム側マグネット部材３６の上部には真空用ベアリング２２が位置しており、これらに第３リンクアーム組３４を構成する他方側リンクアーム３４Ｂの一方の端部がピン２４により取り付けられている。これにより、第３リンクアーム組３４を構成する他方側リンクアーム３４Ｂは、第２リンクアーム組２８を構成する他方側リンクアーム２８Ｂに対して回転可能となっている。
【００３０】
また、第３リンクアーム組３４を構成する一方側リンクアーム３４Ａ及び他方側リンクアーム３４Ｂの他方の端部の上面には、真空用ベアリング２２を介して、取付プレート３８がピン２４によりそれぞれ取り付けられている。これにより、第３リンクアーム組３４を構成する一方側リンクアーム３４Ａ及び他方側リンクアーム３４Ｂの他方の端部は、取付プレート３８に対して回転可能となっている。
【００３１】
また、この取付プレート３４には、半導体ウエーハなどの部品を載置させるウエーハピック（載置部材）４０が一方のピン２４により取り付けられている。
【００３２】
ここで、本実施形態の部品搬送装置１０は、略箱状の部品搬送装置収納チャンバ４２の内部に収納されている。この部品搬送装置収納チャンバ４２の下部には、空間部を構成する遮蔽部４４が設けられている。この遮蔽部４４は、部品搬送装置収納チャンバ４２を構成する各壁部と一体的に形成されている。
【００３３】
この遮蔽部４４には部品搬送装置収納チャンバ４２と接続する開口部が形成されており、上記ベース部材１２がその開口部を閉塞するように配置されている。また、遮蔽部４４の内部には、上述した軸部材１６の他に、軸部材側マグネット部材１８及びベース部材側マグネット部材１９が回転可能となるように配置されている。また、この遮蔽部４４の厚みは、０．１ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の範囲で適宜設定されている。
【００３４】
また、遮蔽部４４の外側であって軸部材側マグネット部材１８と対向する位置に第１のモータ側マグネット部材４６が配置されている。この第１のモータ側マグネット部材４６は、第１のモータ４８の回転軸（図示省略）に取り付けられており回転軸と共に回転するように構成されている。なお、第１のモータ４８は、遮蔽部４４の外側であってその回転軸が軸部材１６に対して平行となるように配置されている。この第１のモータ側マグネット部材４６が回転することにより、軸部材側マグネット部材１８が第１のモータ側マグネット部材４６と連動して反対方向に回転できるようになっている。なお、この第１のモータ側マグネット部材４６は、複数の極が回転軸方向に平行、または４５度傾斜して着磁されている。なお、以下に説明する第２のモータ側マグネット部材も、同様の構成である。
【００３５】
また、遮蔽部４４の外側であってベース部材側マグネット部材１９と対向（または直交）する位置に第２のモータ側マグネット部材５０が配置されている。この第２のモータ側マグネット部材５０は、第２のモータ５２の回転軸（図示省略）に取り付けられており回転軸と共に回転するように構成されている。なお、第２のモータ５２は、遮蔽部４４の外側であってその回転軸が軸部材１６に対して平行（または直交）となるように配置されている。この第２のモータ側マグネット部材５０が回転することにより、ベース部材側マグネット部材１９が第２のモータ側マグネット部材５０と連動して反対方向に回転できるようになっている。
【００３６】
また、図２に示すように、第１のモータ４８及び第２のモータ５２には制御部（制御手段）５４がそれぞれ電気的に接続されており、制御部５４からの制御信号により第１のモータ４８及び第２のモータ５２の回転駆動がそれぞれ制御されるようになっている。
【００３７】
次に、本実施形態の部品搬送装置１０の作用について説明する。
なお、部品搬送装置１０の作用は、図３（Ａ）に示すように、各リンクアーム組２０、２８、３４が重なり合った状態を初期状態として説明する。
【００３８】
図１、図３及び図４に示すように、各リンクアーム組２０、２８、３４を伸ばす場合には、第１のモータ２８のみを回転駆動させる。第１のモータ４８を回転駆動させると、第１のモータ側マグネット部材４６が回転軸と共に所定の方向に回転する。第１のモータ側マグネット部材４６が回転すると、これと対向する位置に配置された軸部材側マグネット部材１８が第１のモータ側マグネット部材４６の回転方向と反対方向に回転する。軸部材側マグネット部材１８が回転すると、軸部材１６も回転する。
【００３９】
図３（Ｂ）に示すように軸部材１６が回転（図３（Ｂ）中矢印Ａ方向）すると、図３（Ｃ）に示すように第１リンクアーム組２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａが回転（図３（Ｃ）中矢印Ｂ方向）する。第１リンクアーム組２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａが回転（図３（Ｃ）中矢印Ｂ方向）すると、各リンクアーム側マグネット部材２６、３０の磁力により、第１リンクアーム組２０を構成する他方側リンクアーム２０Ｂが、一方側リンクアーム２０Ａと連動するように、一方側リンクアーム２０Ａの回転角度と略同じ回転角度だけ反対方向（図３（Ｃ）中矢印Ｃ方向）に回転する。これにより、第２リンクアーム組２８を構成する一方側リンクアーム２８Ａ及び他方側リンクアーム２８Ｂが第１リンクアーム組２０から開くように回転する。
【００４０】
また、このとき、図３（Ｃ）に示すように、各リンクアーム側マグネット部材３２、３６の磁力により、第３リンクアーム組３４を構成する一方側リンクアーム３４Ａが所定の方向（図３（Ｃ）中矢印Ｄ方向）に回転するとともに、他方側リンクアーム３４Ｂも同じ回転角度だけ反対方向（図３（Ｃ）中矢印Ｅ方向）に回転する。これにより、第３リンクアーム組３４を構成する一方側リンクアーム３４Ａ及び他方側リンクアーム３４Ｂが第１リンクアーム組２８から開くように回転する。
【００４１】
上記各工程を経て、図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）と変化していき、最終的に各リンクアーム組２０、２８、３４が略一直線状に伸びきった状態になる（図４（Ｃ）参照）。これにより、ウエーハピック４０上の半導体ウエーハが所定の場所に移動させられる。
【００４２】
なお、各リンクアーム組２０、２８、３４を縮める場合には、第１のモータ４８のみを回転駆動させ、回転軸を逆方向に回転させる。これにより、第１のモータ側マグネット部材４６が回転軸と共に逆方向に回転し、伸びきった各リンクアーム組２０、２８、３４が順次縮められ、最終的には図３（Ａ）の状態に戻る。
【００４３】
一方、各リンクアーム組２０、２８、３４を旋回させる場合には、各回転軸が同じ方向に回転するように、第１のモータ４８と第２のモータ５２とを同期させて駆動させる。第２のモータ５２を回転駆動させることにより、第２のモータ側マグネット部材５０が回転軸と共に所定の方向に回転する。第２のモータ側マグネット部材５０が所定の方向に回転すると、ベース部材側マグネット部材１９が所定の方向に回転し、ベース部材１２が所定の方向に回転する。ベース部材１２が所定の方向に回転すると、第１リンクアーム組２０を構成する他方側リンクアーム２０Ｂが所定の方向に回転する。ここで、ベース部材１２は軸部材１６とは独立して回転することになるが、第２のモータ５２を第１のモータ４８と同期させて回転駆動させることにより、軸部材１６もベース部材１２と同じ方向に回転する。軸部材１６を所定の方向に回転させることにより、第１リンクアーム組２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａも所定の方向に回転する。これにより、第１リンクアーム組２０を構成する一方側リンクアーム２０Ａ及び他方側リンクアーム２０Ｂがそれぞれ同じ回転角度だけ同じ方向に回転する。この結果、各リンクアーム組２０、２８、３４の旋回時に、各リンクアーム組２０、２８、３４が伸びてしまうことがない。
【００４４】
以上のように、本実施形態の部品搬送装置１０によれば、各リンクアーム組２０、２８、３４の旋回手段及び伸縮手段として各マグネット部材１８、２０、２６、３０、３２、３６、４６、５０を用いたことにより、各モータ４８、５２から各構成部材への駆動力を非接触で伝達させることができる。これにより、各リンクアーム組２０、２８、３４を含めた各構成部材が接触し摩擦等によりパーティクルが発生することがない。この結果、部品搬送装置１０を真空部屋で用いた場合でも、搬送する半導体ウエーハ等の精密部品にパーティクルが付着することがないため、部品の品質が低下することを防止できる。また、各マグネット部材１８、２０、２６、３０、３２、３６、４６、５０を駆動伝達手段として用いているため、経年劣化することがなく、またメンテナンスの必要性もない。さらに、部品搬送装置１０には、真空用ベアリング２２を適所に用いているため、鋼球の回転移動に伴うパーティクルの発生を防止することができる。
【００４５】
また、部品搬送装置収納チャンバ４２によれば、第１のモータ４８と、第１のモータ側マグネット部材４６と、第２のモータ５２と、第２のモータ側マグネット部材５０と、が部品搬送装置収納チャンバ４２の外部にそれぞれ配置されているため、第１のモータ４８及び第１のモータ側マグネット部材と、第２のモータ及び第２のモータ側マグネット部材との回転駆動により発生するパーティクルが、部品搬送装置収納チャンバ４２の内部に入り込むことを防止できる。この結果、部品搬送装置収納チャンバ４２に配置された部品搬送装置１０で半導体ウエーハなどの精密部品を搬送する場合でも、部品の品質が低下することを防止できる。
【００４６】
特に、遮蔽部４４の厚みが０．１ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の範囲で適宜設定されているため、第１のモータ側マグネット部材４６と軸部材側マグネット部材２０との間の磁力と、第２のモータ側マグネット部材５０とベース部材側マグネット部材１９との間の磁力と、が遮蔽部４４の介在によりそれぞれ大幅に低下してしまうことを防止できる。また、遮蔽部４４が非磁性体で構成されているため、第１のモータ側マグネット部材４６と軸部材側マグネット部材１８との間の磁力と、第２のモータ側マグネット部材５０とベース部材側マグネット部材１９との間の磁力と、が遮蔽部４４によりそれぞれ干渉されることがない。この結果、第１のモータ４８及び第２のモータ５２の駆動力を確実に伝達させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に係る部品搬送装置の組立分解図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る部品搬送装置を構成する制御システムのブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る部品搬送装置を構成する伸縮部材が初期状態から中間状態に至る概念図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る部品搬送装置を構成する伸縮部材が中間状態から最終状態に至る概念図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０      部品搬送装置
１２      ベース部材
１６      軸部材
１８      軸部材側マグネット部材
１９      ベース部材側マグネット部材
２０      第１リンクアーム組（伸縮部材）
２０Ａ    一方側リンクアーム（リンクアーム）
２０Ｂ    他方側リンクアーム（リンクアーム）
２２      真空用ベアリング（ボールベアリング）
２６      リンクアーム側マグネット部材
２８      第２リンクアーム組（伸縮部材）
２８Ａ    一方側リンクアーム（リンクアーム）
２８Ｂ    他方側リンクアーム（リンクアーム）
３０      リンクアーム側マグネット部材
３２      リンクアーム側マグネット部材
３４      第３リンクアーム組（伸縮部材）
３４Ａ    一方側リンクアーム（リンクアーム）
３４Ｂ    他方側リンクアーム（リンクアーム）
３６      リンクアーム側マグネット部材
４０      ウエーハピック（載置部材）
４２      部品搬送装置収納チャンバ
４４      遮蔽部
４６      第１のモータ側マグネット部材
４８      第１のモータ
５０      第２のモータ側マグネット部材
５２      第２のモータ
５４      制御部（制御手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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