(57)【要約】【課題】  近年の、半導体素子の微細化に伴い、ＮＢＴＩ寿命が劣化することを防止することを目的とする。【解決手段】  少なくともライナー膜または第２の側壁絶縁膜として、Ｓｉ−Ｈ結合が１×１０21ｃｍ-3以下のシリコン窒化膜を用いることでｐ型ＭＯＳＦＥＴのＮＢＴＩ寿命を１×１０9秒に改善でき、半導体集積回路装置の寿命を確保できる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に配置されたＭＯＳ型電界効果トランジスタを含む半導体集積回路装置であって、
前記ＭＯＳ型電界効果トランジスタのゲート電極に接するか、または、薄膜を介して配置された複数の絶縁膜の少なくとも一方の絶縁膜に含有されるＳｉ−Ｈ結合量が、１×１０21ｃｍ-3以下であることを特徴とする半導体集積回路装置。
【請求項２】
前記薄膜を介して配置される絶縁膜が、前記ゲート電極の側面に形成されたシリコン窒化膜であるか、または、前記ゲート電極に接する絶縁膜が、前記ゲート電極、ソースおよびドレインを覆うシリコン窒化膜であり、少なくとも一方のシリコン窒化膜中に含まれるＳｉ−Ｈ結合量が、１×１０21ｃｍ-3以下の絶縁膜であることを特徴とする請求項１に記載の半導体集積回路装置。
【請求項３】
半導体基板上形成された素子分離領域により区分された領域にＭＯＳ型電界効果トランジスタを形成する半導体集積回路装置の製造方法であって、
前記素子分離領域により区分された領域にゲート絶縁膜を形成する工程と、
ゲート電極を形成する工程と、
ゲート電極の側面に側壁シリコン窒化膜を形成する工程と、
ソース・ドレイン領域を形成する工程と、
その後、シリコン窒化膜を形成する工程とを少なくとも有し、
前記側壁シリコン窒化膜、または、前記シリコン窒化膜の、少なくとも一方のＳｉ−Ｈ結合濃度が１×１０21ｃｍ-3以下になるように形成することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項４】
前記側壁シリコン窒化膜、または、前記ゲート電極、ソースおよびドレインを覆うシリコン窒化膜の、少なくとも一方は、触媒によって原料ガスを分解することで膜構成粒子を前記半導体基板上に形成されることを特徴とする請求項３に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項５】
前記触媒の温度が１８００℃を越える温度であることを特徴とする請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記半導体基板の温度が４５０℃以下であることを特徴とする請求項４に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項７】
前記側壁シリコン窒化膜、または、前記前記ゲート電極、ソースおよびドレインを覆うシリコン窒化膜の成膜後、その成膜温度以上の熱処理温度で熱処理する工程を備えることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記熱処理温度が、４５０〜８００℃であることを特徴とする請求項７に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項９】
前記ゲート電極を形成する工程が、
少なくとも金属膜を形成する工程と、
シリコン窒化膜を形成する工程と、
前記シリコン窒化膜層を所望の形状にパターン形成し、前記パターンをマスクとしてエッチングによりゲート電極を形成する工程とからなり、
前記窒化シリコン膜が、触媒によって原料ガスを分解することで膜構成粒子を前記半導体基板上に化学気相成長法により形成されることを特徴とする請求項３に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
【請求項１０】
前記ゲート電極を形成する工程が、
少なくとも金属膜を形成する工程と、
シリコン窒化膜を形成する工程と、
前記シリコン窒化膜層を所望の形状にパターン形成し、前記パターンをマスクとしてエッチングによりゲート電極を形成する工程とからなり、
前記窒化膜の形成が、熱ＣＶＤ法であって、前記成膜温度以上の熱処理温度で熱処理する工程を備えることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記熱処理が、前記シリコン膜を形成後、前記ゲート電極の形成前あるいは前記ゲート電極形成後に行われることを特徴とする請求項１０に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置およびその製造方法に関し、特に、半導体装置に含まれるｐチャネルＭＯＳＦＥＴの信頼性向上に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路装置は、特性の向上および収率の向上のために配線の微細化が行なわれている。配線の微細化に伴い、ゲート、ソースおよびドレイン電極の面積が狭くなっている。ゲート、ソースおよびドレイン電極は、層間絶縁膜を上に形成される配線とコンタクトホールを介して接続されるが、コンタクトホールはフォトリソグラフィー法を用い、フォトレジストに開口を形成し、この開口を介して、異方性ドライエッチング法を用いて形成される。
【０００３】
フォトリソグラフィー法を用いてフォトレジストに開口を形成する際に、露光用のマスクを、層間絶縁膜の下地に形成されている電極と位置合わせを行なっているが、この位置合わせの際に若干の位置合わせずれが生じてしまう。配線の微細化により位置合わせずれによって、例えば、ドレイン電極と配線とを接合するためのコンタクトホールを形成する際に、隣接するゲート電極と接触してしまいドレイン−ゲート間の短絡が生じる場合があった。
【０００４】
このような問題を改善するために、現在の半導体集積回路装置に用いるＭＯＳＦＥＴは、図８（ｃ）に示されるような構造をしている。
【０００５】
図８（ｃ）のトランジスタは、トランジスタを形成後、層間絶縁膜を形成する前に、層間絶縁膜とエッチング選択比のあるエッチングストッパーとなるライナー層１１０と呼ばれる層を形成することが主流となっている。
【０００６】
層間絶縁膜は、シリコン酸化膜が使われることが多く、ライナー層としては、シリコン酸化膜とエッチング選択比が取れるシリコン窒化膜が用いられている。
【０００７】
従来、シリコン窒化膜は、減圧、常圧あるいはプラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（化学気相成長））法を用いて形成されていた。配線の微細化に伴い、ゲート、ソースおよびドレイン電極の面積が狭くなり、電極の抵抗が高くなり、抵抗を下げるためにシリサイドが用いられている。
【０００８】
ゲート電極およびドレイン・ソース領域をシリサイド化する際に、マスクによる位置合わせが不要なため、自己整合的にシリサイド化するセルフアラインシリサイデーション（Ｓｅｌｆ―Ａｌｉｇｎｅｄ  Ｓｉｌｉｃｉｄａｔｉｏｎ：ＳＡＬＩＣＩＤＥ、以下サリサイドと称する。）が用いられる場合が多い。
【０００９】
サリサイドを用いる場合、ゲート電極とソース・ドレイン電極間のショートを防止するために、ゲート電極の側壁に異方性エッチング法により形成される側壁絶縁膜が配置される。側壁絶縁膜は、シリコン酸化膜でもよいが、素子設計寸法の微細化に伴い絶縁膜をエッチングするコンタクト孔形成工程でのマージン確保のために、シリコン酸化膜に対してエッチング選択比がとれるシリコン窒化膜が用いられることが多い（以下、側壁シリコン窒化膜と称す）。
【００１０】
シリサイドの種類としては、ＴｉＳｉ2、ＣｏＳｉ2、ＮｉＳｉ等があるが、配線の微細化によるゲート電極の細線化にともない、ＴｉＳｉ2、ＣｏＳｉ2は、凝集起因の抵抗上昇により抵抗値が高くなるという問題が発生する場合があり、この点を改善するものとしてＮｉＳｉの適用が検討されている。
【００１１】
しかしながら、ＮｉＳｉのサリサイドを適用した場合、５００℃以上の熱によりシリサイドの凝集・相転移が生じシート抵抗が上昇する等の不具合が発生する場合があった。このため、ＮｉＳｉをサリサイドに適用する場合、ライナー層のシリコン窒化膜は５００℃以下で成膜する必要がある。
【００１２】
従って、成膜温度（基板温度）が高い、減圧または常圧ＣＶＤ法のような熱ＣＶＤ法は、使用できず、低温で成膜可能なプラズマＣＶＤ法によりシリコン窒化膜を成長する方法が用いられる。しかし、プラズマＣＶＤ法によりシリコン窒化膜を形成する場合、ゲートにプラズマダメージが生じる場合があった。
【００１３】
このような問題を改善するものとして、特開２０００−２１７１９３号公報に、触媒−ＣＶＤ（Ｃａｔａｌｙｔｉｃ−ＣＶＤ、以下Ｃａｔ−ＣＶＤと略す）法によりシリコン窒化膜を形成する例が開示されている。以下、図面を用いて、特開２０００−２１７１９３号公報（特許文献１および非特許文献２等）に開示されている技術をもとにサリサイドで製造されたｐ型ＭＯＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  ＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＦｉｅｌｄ  Ｅｆｆｅｃｔ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）の構造と製造方法とを図面を用いて説明する。
【００１４】
Ｐ型シリコン基板１００上に、素子分離領域１０１を形成し、素子分離領域１０１で囲まれた領域に通常のイオン注入法によりｎ型の不純物をイオン注入してｎ型の不純物領域であるｎ型ウェル１０２を形成する（図６（ａ））。その後、基板上にゲート絶縁膜１０３となる絶縁膜を形成する。
【００１５】
ゲート絶縁膜１０３は、シリコン酸化膜が用いられてきたが、ゲートポリシリコン電極に導入するボロンのチャネルへの拡散（突き抜け）を防止する等の理由で、近年では、酸窒化シリコン膜を使う場合もある。酸化膜の場合、熱酸化法で形成されることが多く、酸窒化シリコン膜の場合は、熱酸化法を用いて酸化膜を形成し、その後、窒化雰囲気中で熱処理することで酸窒化シリコン膜とする方法が広く用いられている。
【００１６】
その後、多結晶シリコン膜を形成し、通常のフォトリソグラフィー法とドライエッチング法を用いてゲート電極１０４を形成する（図６（ｂ））。
【００１７】
その後、第１の側壁絶縁膜１０５となるシリコン酸化膜を、ゲート電極側面を覆うように形成した後、ボロンまたはインジウムイオンなどを注入することで、ソース・ドレイン拡張領域１０６を形成する（図６（ｃ））。
【００１８】
次に、シリコン窒化膜を熱ＣＶＤ法により成膜し、ドライエッチングによりゲート電極１０４の側壁部にのみ第１の絶縁膜と第２の絶縁膜を残し、第２の側壁絶縁膜１０７を形成する。その後、ボロン、または、フッ化ボロンイオンを注入熱処理することでソース・ドレイン領域１０８を形成する（図７（ａ））。
【００１９】
その後、基板の表面に高融点金属を形成し、熱処理を行い、シリコン膜が露出した面に高融点金属シリサイド１０９を形成し、未反応の高融点金属を除去し、更に、熱処理を行い低抵抗化する、サリサイドでゲート・ソースおよびドレイン電極となる高融点金属シリサイドを形成する（図７（ｂ））。高融点金属としては、チタン、コバルトが良く用いられている。非特許文献２では、コバルトを適用し、コバルトシリサイド膜をゲート電極およびソース・ドレイン領域表面に形成している。
【００２０】
その後、ストッパー膜となる第１の層間絶縁膜（ライナー膜）１１０をシリコン窒化膜で（図７（ｃ））、第２の層間絶縁膜１１１を形成する（図８（ａ））。
【００２１】
その後、層間絶縁膜にフォトレジスト膜（不図示）を形成し、通常のフォトリソグラフィー法を用いてコンタクトホールの開孔を形成するための開口をフォトレジストに形成し、該開口から通常のドライエッチング法を用いてコンタクトホールを形成し、コンタクトホールにメタルを埋め込み、コンタクトプラグを形成する（図８（ｂ））。
【００２２】
コンタクトプラグはコンタクトホールに接するように窒化チタン膜１１２を形成した後、例えば、タングステン１１３等の金属を埋め込むことが多い。
【００２３】
その後、コンタクトプラグ上に配線１１４を形成する（図８（ｃ））。
【００２４】
特許文献１では、ゲート電極となるポリシリコン側壁に形成する第２の側壁絶縁膜１０７および第１の層間絶縁膜１１１の成膜をＣａｔ−ＣＶＤ法で成膜している。
【００２５】
次に、Ｃａｔ−ＣＶＤ法について説明する。
【００２６】
Ｃａｔ−ＣＶＤ法は、図１０に示すように、反応炉に形成された、原料ガス導入口８０１より、原料ガスを導入し、通電加熱されたフィラメント８０２と原料ガスとの触媒反応を利用して、基板８０３に膜を形成する方法で、基板温度を下げて成膜することが可能となる成膜方法である。
【００２７】
シリコン窒化膜を成膜する場合、原料ガスとしてモノシラン（ＳｉＨ4）や、ジシラン（Ｓｉ2Ｈ6）等を、また窒素の原料ガスとしては窒素ガス（Ｎ2）やアンモニア（ＮＨ3）を用いることができ、触媒体として、例えば、タングステン（Ｗ）を用いることができる。
【００２８】
図１１は、原料ガスとして、モノシランとアンモニアを用い、触媒作用を有するタングステンタングステンフィラメント部に電流を流して加熱することで、タングステンフィラメント部を通過するモノシランおよびアンモニウムが分解し、基板上にシリコン窒化膜（ＳｉＮ膜）が成膜される状態を模式的に示したものである。
【００２９】
特許文献１では、ＳｉＨ4の流量を１ｓｃｃｍ、ＮＨ3の流量を４０ｓｃｃｍとし、基板温度は３００℃、触媒体の温度は１７００℃の条件でシリコン窒化膜を成膜している。
【００３０】
この結果、基板温度を３００℃まで下げることが可能となり、窒化シリコン膜の被膜特性の改善、成膜温度の低温化がはかられ、プラズマダメージがなく、ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲート電極を構成するポリシリコン中の不純物ボロンが、ゲート絶縁膜を突き抜けることによるしきい値電圧変動や、シリサイド凝集によるコンタクト抵抗の上昇などの問題を回避することが可能となった。
【特許文献１】特開２００２−２１７１９３号公報
【特許文献２】特開２００２−３４３９６２号公報
【非特許文献１】Ｄ．Ｋ．Ｓｈｒｏｄｅｒ  ａｎｄ  Ｊ．Ａ．Ｂａｂｃｏｃｋ，“Ｎｅｇａｔｉｖｅ  ｂｉａｓ  ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  ｉｎｓｔａｂｉｌｉｔｙ  ：  Ｒｏａｄ  ｔｏ  ｃｒｏｓｓ  ｉｎ  ｓｕｂｍｉｃｒｏｎ  ｓｉｌｉｃｏｎ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ．”，Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｖｏｌ．９４，ｎｕｍｂｅｒ  １，ｐ．１−１８（２００３）
【非特許文献２】Ｋ．Ｉｃｈｉｎｏｓｅ，  ｅｔ  ａｌ，  “Ａ  Ｈｉｇｈ  Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ  ０．１２  μｍ  ＣＭＯＳ  ｗｉｔｈ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ０．１８μｍ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．”，２００１  Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ  ｏｎ  ＶＬＳＩ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｄｉｇｅｓｔ  ｏｆ  Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ  Ｐａｐｅｒｓ，ｐ．１０３−１０４，（２００１）
【非特許文献３】Ｈ．Ｍａｔｓｕｍｕｒａ，“Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｎｉｔｒｉｄｅ  ｐｒｏｄｕｃｅｄ  ｂｙ  ｃａｔａｌｙｔｉｃ  ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｍｅｔｈｏｄ．”  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｖｏｌ．６６，ｎｕｍｂｅｒ  ８，ｐ．３６１２−３６１７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３１】
特許文献１では、Ｃａｔ−ＣＶＤ法でシリコン窒化膜を形成することで、成膜時の基板温度を下げることで、シリサイドの凝集による抵抗の上昇と、ゲートの電極として用いるポリシリコン中のボロンが、シリコン窒化膜の成膜時の熱によりゲート絶縁膜を通過して、基板の表面濃度を変化させ、しきい値電圧を上昇させるボロンの突き抜けを抑制する効果があった。
【００３２】
一方、半導体集積回路装置の微細化が進み、ゲート絶縁膜が薄膜化されている。このために、ゲート絶縁膜に印加される電界が高くなってきている。特に、ｐＭＯＳＦＥＴに高温下で負バイアス（ｐＭＯＳＦＥＴでは、ゲート負バイアスが順バイアスとなる）が印加されると閾値電圧が上昇し、飽和ドレイン電流およびキャリア移動度が低下する、ＮＢＴＩ（Ｎｅｇａｔｉｖｅ  Ｂｉａｓ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｉｎｓｔａｂｉｌｉｔｙ）と呼ばれる現象が発生（非特許文献１参照）する。ゲート絶縁膜が薄膜化するとＮＢＴＩ寿命が素子の寿命を律速することが知られている。
【００３３】
図９は、ＮＢＴＩが発生する原因を説明する図である。ゲートの側壁に形成された窒化シリコンからなる第２の側壁絶縁膜１０７およびライナー膜１１０は、膜中に大量のＳｉ−Ｈ結合を含有し、このＳｉ−Ｈ結合から解離したＨ（水素）がゲート絶縁膜に到達する。ゲート絶縁膜のＳｉＯ2またはその窒化膜と基板との界面には、Ｓｉの未結合手が存在し、キャリア捕獲準位を形成している。その量を低減するために水素雰囲気による４００〜４５０℃程度の熱処理をし、Ｓｉの未結合手を水素で終端することが良く行われている。Ｓｉ−Ｈ結合から解離した、遊離水素が、ゲート絶縁膜に到達し、Ｓｉ未結合手を終端していた水素と反応し、Ｓｉから水素を奪うことで、Ｓｉ未結合手が再度生成する。すなわち、界面準位密度が増加するものと推測されている。
【００３４】
今後の配線の微細化に伴い、ゲート絶縁膜が更に薄膜化することが予想され更なる改善が望まれている。
【００３５】
この原因は、まだ完全に解明されていないが、実験的には、上記、ライナー膜中のＳｉ−Ｈ結合量が多いと、促進されることが知られている（参考文献２）。
【００３６】
更に、ゲート電極と接するシリコン窒化膜中の水素含有量を低減することでＮＢＴＩ寿命を改善できることが特開２００２−３４３９６２号公報に示されている。
【課題を解決するための手段】
【００３７】
本発明は、半導体基板上に配置されたＭＯＳ型電界効果トランジスタを含む半導体集積回路装置であって、ＭＯＳ型電界効果トランジスタのゲート電極に接するか、または、薄膜を介して配置された複数の絶縁膜の少なくとも一方の絶縁膜に含有されるＳｉ−Ｈ結合量が、１×１０21ｃｍ-3以下であることを特徴とする半導体集積回路装置である。更に、薄膜を介して配置される絶縁膜が、ゲート電極の側面に形成されたシリコン窒化膜であるか、または、ゲート電極に接する絶縁膜が、ゲート電極、ソースおよびドレインを覆うシリコン窒化膜であり、少なくとも一方のシリコン窒化膜中に含まれるＳｉ−Ｈ結合量が、１×１０21ｃｍ-3以下の絶縁膜であることを特徴とするものである。
【００３８】
本発明は、半導体基板上形成された素子分離領域により区分された領域に電界効果トランジスタを形成する半導体集積回路装置の製造方法であって、素子分離領域により区分された領域にゲート絶縁膜を形成する工程と、ゲート電極を形成する工程と、ゲート電極の側面に側壁シリコン窒化膜を形成する工程と、ソース・ドレイン領域を形成する工程と、その後、シリコン窒化膜を形成する工程とを少なくとも有し、側壁シリコン窒化膜、または、シリコン窒化膜の、少なくとも一方のシリコン窒化膜のＳｉ−Ｈ結合濃度が１×１０21ｃｍ-3以下になるように形成することを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法である。
【００３９】
側壁シリコン窒化膜、または、ゲート電極に接してソース・ドレインを覆うシリコン窒化膜成膜後、成膜温度以上の熱処理温度で熱処理する工程を有していることが好ましい。
【００４０】
更に、本発明は、ゲート電極を形成する工程が、少なくとも金属膜を形成する工程と、シリコン窒化膜を形成する工程と、シリコン窒化膜層を所望の形状にパターン形成し、パターンをマスクとしてエッチングによりゲート電極を形成する工程とからなり、窒化シリコン膜が、触媒によって原料ガスを分解することで膜構成粒子を前記半導体基板上に化学気相成長法により形成される、あるいは、窒化膜の形成が、熱ＣＶＤ法であって、成膜温度以上の熱処理温度で熱処理する工程を備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００４１】
少なくともライナー膜または第２の側壁絶縁膜として、Ｓｉ−Ｈ結合が１×１０21ｃｍ-3以下のシリコン窒化膜を用いることでｐ型ＭＯＳＦＥＴのＮＢＴＩ寿命を１０年以上に改善でき、半導体集積回路装置の寿命を確保できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
基本的な製造方法および構造は従来技術で説明したものと同様である。本実施の形態で従来技術と異なる点について下記に列記する。尚、該当する従来技術の図面番号を付記しているが、本発明を制限するものではなく、理解の補助の為のものであることは言うまでもない。
【００４３】
本実施の形態では、ゲート絶縁膜として、シリコン酸窒化膜をシリコン酸化膜の膜厚に換算して1.５ｎｍの厚さに形成した。
【００４４】
ゲート電極となる多結晶シリコン膜として、膜厚１３０ｎｍの多結晶シリコン膜を通常のＣＶＤ法で形成した（図６（ｂ））。
【００４５】
第１の側壁絶縁膜として膜厚１０ｎｍのシリコン酸化膜を、第２の側壁絶縁膜として膜厚８０ｎｍのシリコン窒化膜を形成した。
【００４６】
第１の側壁形成後、ボロンをイオン注入し、ソース・ドレインの延長部分を形成した（図６（ｃ））。ここでは、浅いＰＮ接合を形成するために、イオン注入エネルギーを０．４ＫｅＶとした。ここで、基板の法線から傾けた方向から、基板半導体と同一導電型を形成しうる不純物（Ａｓ、Ｐなど）をイオン注入することで、ソース・ドレイン延長部分の周囲にＨａｌｏ領域などと呼ばれる選択的に基板不純物濃度の高い領域を形成するとよい。これにより、いわゆる短チャネル効果の抑制が得られ、素子の微細化に有利である。
【００４７】
第２の側壁形成後（図７（ａ）））、ソース・ドレイン領域形成のため、フッ化ボロンをイオン注入し、高温短時間の熱処理で活性化する。
【００４８】
高融点金属を成膜・熱処理してゲート電極表面およびソース・ドレイン領域表面に選択的にシリサイド膜を形成し、未反応の金属を選択的に除去する（図７（ｂ））。
【００４９】
シリサイドの種類には、ＴｉＳｉ2、ＣｏＳｉ2、ＮｉＳｉが適用可能である。しかし、ＮｉＳｉは、前記のように耐熱性ＴｉＳｉ2、ＣｏＳｉ2より低いため、シリサイド形成以降の工程温度を５００℃以下に抑制することが必要である。
【００５０】
また、サリサイドプロセスでは、遷移金属を成膜後、引き続き、シリサイド化を目的とした熱処理前に窒化チタニウム膜を適当な膜厚で成膜することもよい。この窒化チタニウムは、熱処理後に選択的に除去する。
【００５１】
次に、第１の層間絶縁膜（ライナー膜あるいはエッチングストッパー膜）として膜厚４０ｎｍのシリコン窒化膜を形成（図７（ｃ））後、第２の層間絶縁膜として膜厚５００ｎｍのシリコン酸化膜を形成した（図８（ａ））。
【００５２】
コンタクトホールは、膜厚１０ｎｍの窒化チタン膜をコンタクトホールに形成した後、タングステンを通常のＣＶＤ法で埋め込んで形成した（図８（ｂ））後、アルミ配線を形成した（図８（ｃ））。
【００５３】
第２の側壁絶縁膜および第１の層間絶縁膜としてシリコン窒化膜を用いるが、本実施例では、シリコン窒化膜の成膜は、Ｃａｔ−ＣＶＤ法あるいは、熱ＣＶＤ法で成膜したシリコン窒化膜を用いた。
【００５４】
第２の側壁絶縁膜の形成には、シラン、ジシランをＳｉ原料とする熱ＣＶＤ法を適用することが可能であり、成膜温度を６００℃程度で形成する。また、第２の側壁絶縁膜の形成に、Ｈｅｘａ−ｃｈｌｏｒｉｄｅ−ｄｉｓｉｌａｎｅ（ＨＣＤ）をシリコン原料ガスとして適用した場合、５００℃以下の温度で原料を分解・成膜することが可能となる。
【００５５】
第２の側壁絶縁膜の形成工程での基板温度を７００℃以下に抑制することで、ポリシリコンで形成したゲート電極に既に導入されている不純物が、基板シリコンに拡散することを抑制可能となる。つまり、ゲート電極に既に導入されている不純物が、ボロンなどのゲート絶縁膜中を通過し基板シリコンに拡散して、閾値電圧の変動や界面準位増加を抑制すること可能となる。
【００５６】
また、第１の層間絶縁膜の工程は、その下層に配置される材料の耐熱性を考慮しなければならない。まず、サリサイドとしてＴｉＳｉ2やＣｏＳｉ2を採用した場合には、シランまたは、ジシランをＳｉ原料とする熱ＣＶＤ法により、成膜時の基板温度を７００℃以下でシリコン窒化膜を成膜するのがよい。また、サリサイドとしてＮｉＳｉを適用した場合、Ｃａｔ−ＣＶＤ法または、ＨＣＤをＳｉ原料とした熱ＣＶＤ法により４５０℃以下の基板温度にてシリコン窒化膜を成膜するのがよい。
【００５７】
第１の層間絶縁膜としては、段差被覆性が許す限り、プラズマＣＶＤ法により４５０℃以下の基板温度にてシリコン窒化膜を適用しても良い。
【００５８】
尚、上述の製造方法および構造は、一般的な製造方法および構造を模式的に説明したもので、本発明の主旨の範囲以内で種々の変形が行われても良いことは言うまでもない。
【実施例】
【００５９】
（実施例１）
本実施例では、側壁絶縁膜を熱ＣＶＤ法で成膜し、ライナー膜をＣａｔ−ＣＶＤ法にて成膜した。本実施例では、サリサイドにＮｉＳｉを適用した。
【００６０】
まず、前記実施の形態で述べた方法により第２の側壁絶縁膜の形成前まで工程をすすめる。
【００６１】
第２の側壁絶縁膜は、前述のようにＨＣＤをＳｉ原料とする熱ＣＶＤ法により、基板温度４５０℃で、膜厚８０ｎｍにて成膜した後、異方性ドライエッチングにより第２の側壁絶縁膜を形成した。
【００６２】
Ｎｉをスパッタ法にて、８ｎｍ成膜した後、４５０℃、３０秒の熱処理によりＮｉＳｉをゲート電極およびソース・ドレイン領域表面に自己整合的に形成した。次に、Ｃａｔ−ＣＶＤ法にて、ライナー膜を４０ｎｍ成膜した。Ｃａｔ−ＣＶＤの成膜条件は、一度、１×１０-6Ｐａ程度の圧力まで成膜炉内を排気した後、触媒（タングステンフィラメント）に電流を流して加熱した。原料ガスとしては、モノシラン１２ｓｃｃｍとアンモニア３００ｓｃｃｍとし、成長炉の圧力は５Ｐａとし、基板温度を１００〜２００℃、タングステンフィラメントの温度（触媒温度）を１７００〜２１００℃に変えて成膜した。
【００６３】
本実施例では、ライナー膜に含有されるＳｉ−ＨおよびＮ−Ｈ結合量の含有率とＳｉ−Ｈ結合量とｐ型ＭＯＳＦＥＴのＮＢＴＩ寿命との関係を調べた。
【００６４】
Ｓｉ−Ｈ結合量およびＮ−Ｈ結合量の測定には、ＮＢＴＩ寿命を測定する素子を作製する条件と同一条件で、別途、Ｓｉ基板上にシリコン窒化膜を成膜し測定した。シリコン窒化膜中のＳｉ−Ｈ結合濃度およびＮ−Ｈ結合濃度は、フーリエ変換赤外分光法（ＦＴ−ＩＲ：Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ  Ｉｎｆｒａｒｅｄ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）で得た赤外分光分析スペクトルのＳｉ−Ｈ起因のピーク面積から算出した。尚、赤外分光分析スペクトルは、膜の組成を特徴付ける上で重要な化学結合（Ｓｉ−Ｈ、Ｓｉ−Ｏ、Ｓｉ−Ｎ、Ｓｉ−Ｆ、Ｓｉ−ＯＨおよびＮ−Ｈなど）が、特定の波長の赤外線に対して強い吸収を持ち、Ｓｉ基板は赤外線に対してほぼ透明であるので、これを利用して、膜質の評価する方法であり、分子に外部からその固有振動数に相当する振動数をもつ赤外線を照射すると、試料はその赤外線を吸収して、振動エネルギー準位の基底準位から励起準位へと遷移する。この赤外線の吸収スペクトルを測定し、吸収スペクトルのピーク面積から結合の量を測定するものである。
【００６５】
以下の実施例の結合量の測定は全て、上述のフーリエ変換赤外分光法を用いて測定を行なった。
【００６６】
図１は、Ｓｉ−ＨおよびＮ−Ｈ結合量とＣａｔ−ＣＶＤの成膜条件との関係を示す図である。図２は、Ｓｉ−Ｈ結合量とｐ型ＭＯＳＦＥＴのゲート電圧−１．１ＶにおけるＮＢＴＩ寿命との関係を示す図である。
【００６７】
寿命の判定基準は、１２５℃における閾値電圧の変動が３０ｍＶを判定基準として測定を行なった。
【００６８】
尚、以下の実施例で、ＮＢＴＩ寿命は全て上記の条件で行なったものである。
【００６９】
図１により、シリコン窒化膜中のＳｉ−Ｈ結合量およびＮ−Ｈ結合量は、この基板温度の範囲では、基板温度に依存せず、触媒温度（Ｃａｔａｌｙｓｔ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）に依存することがみてとれる。
【００７０】
図２より、シリコン窒化膜中のＳｉ−Ｈ結合量が、１×１０21ｃｍ-3以下の条件下で１０年のＮＢＴＩ寿命が確保されている。図１によれば、触媒温度が１９００℃であればよいことがわかる。
【００７１】
本実施例では、触媒としてタングステンを用いているが、モリブデン等の他の高融点金属、及び高融点金属とＰｔ族のような貴金属との合金などを用いてもよいことはいうまでも無い。
【００７２】
（実施例２）
本実施例は、第２の側壁絶縁膜と第１の層間絶縁膜をＣａｔ−ＣＶＤ法で成膜した例である。Ｃａｔ−ＣＶＤの条件は、Ｓｉ−Ｈ結合量が、１×１０21ｃｍ-3以下となる、基板温度２００℃、触媒温度１９００℃の条件とした。膜厚は、８０ｎｍとした。サリサイドには、ＮｉＳｉを適用した。
【００７３】
図３に、ＮＢＴＩ寿命を評価した結果を示す。第２の側壁絶縁膜を熱ＣＶＤで形成し、第１の層間絶縁膜をＣａｔ−ＣＶＤ法で成膜した実施例１の場合と比較すると、第２の側壁絶縁膜をＣａｔ−ＣＶＤ法で成膜することによって、ＮＢＴＩ寿命を延ばすことができる。
【００７４】
また、第２の側壁絶縁膜をＣａｔ−ＣＶＤ法で形成し、第１の層間絶縁膜として、シリコン窒化膜を、ＨＣＤをシリコンの原料とした熱ＣＶＤ法で４０ｎｍ成膜した場合のＮＢＴＩ寿命は、図３に示されるように、第２の層間絶縁膜と第１の層間絶縁膜とをともにＣａｔ−ＣＶＤ法で形成した例と一致した。
【００７５】
これにより、第２の側壁絶縁膜にＳｉ−Ｈ結合量が少ないシリコン窒化膜を適用することは、第１の層間絶縁膜にＳｉ−Ｈ結合量が少ないシリコン窒化膜を適用するより効果が高いことが分る。
【００７６】
（実施例３）
本実施例は、前記本発明の実施形態の内、第１の層間絶縁膜を成膜した後、熱処理を加えることを特徴とする。
【００７７】
本実施例を説明するにあたり、シリコン窒化膜を各種の温度で熱処理した場合の膜中に残留するＳｉ−Ｈ結合量およびＮ−Ｈ結合量を調べた。
【００７８】
シリコン窒化膜は、Ｃａｔ−ＣＶＤ法でシリコン基板上に直接成膜した。
【００７９】
Ｃａｔ−ＣＶＤの条件は、基板温度を１００℃、タングステンの触媒温度を２０００℃とした。
【００８０】
成膜後の熱処理条件は次のようである。
【００８１】
熱処理時間を３０秒とし、熱処理温度を４００〜８００℃に変えた。熱処理前後のＳｉ−Ｈ結合量およびＮ−Ｈ結合量を測定し、初期量に対する熱処理後の量を、熱処理温度に対してプロットした結果を図４に示す。Ｓｉ−Ｈ結合量は、４５０℃の熱処理後も９０％残留しているのに対して、５００℃以上の熱処理によって、６０％以下の残留量になった。また、Ｎ−Ｈ結合量に着目すると、その残留量が６０％程度になるのは、８００℃の熱処理後であった。
【００８２】
上記結果を踏まえて、サリサイドにＣｏＳｉ2を適用し、第１の層間絶縁膜としてＣａｔ−ＣＶＤで成膜したシリコン窒化膜成膜した後、熱処理した実施例について説明する。
【００８３】
第２の側壁絶縁膜形成までは、実施の形態で述べた方法で形成した。第２の側壁絶縁膜のシリコン窒化膜は、ＨＣＤをシリコン原料とし、成膜温度４５０℃で、熱ＣＶＤ法を用いて８０ｎｍ成膜した。
【００８４】
Ｃｏを９ｎｍとそれに引き続き窒化チタニウムを１５ｎｍ成膜して、５００℃で３０秒熱処理した。ＣｏＳｉ２の低抵抗化を目的として、窒化チタニウムと未反応のＣｏを選択的に除去した後、８００℃で１０秒熱処理した。
【００８５】
その後、Ｃａｔ−ＣＶＤ法で、シリコン窒化膜からなる第１の層間絶縁膜を４０ｎｍ成膜した。成膜条件は、基板温度を１００℃、触媒温度を１８００℃を用いた。
【００８６】
熱処理を８００℃で行い、実施の形態に述べた方法で配線をおこなった。
【００８７】
ＮＢＴＩ寿命を評価したところ１０年以上の寿命を得た。
【００８８】
また、第１の層間絶縁膜であるシリコン窒化膜のＣａｔ−ＣＶＤ成膜時の触媒温度を２０００℃で行った場合、および、成膜後の熱処理を５００℃で行った場合も実施し、そのＮＢＴＩ寿命を評価した結果もあわせて図５に示した。側壁絶縁膜およびライナー膜のシリコン窒化膜を、減圧ＣＶＤ法を用いて成膜した例（熱処理なし）を比較例として用いた。
【００８９】
触媒温度１８００℃および２０００℃で成膜した後、５００℃で熱処理すると、Ｓｉ−Ｈ結合量は、ともに初期量の５０〜６０％になっている。このことと、図１の結果を考慮すると、１８００℃より高い温度で成膜した後、５００℃以上で熱処理することで、シリコン窒化膜中のＳｉ−Ｈ結合量を１×１０21ｃｍ-3程度にすることが可能であることがわかる。その上、Ｓｉ−Ｈ結合量が、１×１０21ｃｍ-3程度の膜中残量であれば、Ｎ−Ｈ結合量が、１×１０22ｃｍ-3程度残留していても１０年の寿命を確保できることが分る。
【００９０】
また、触媒温度を１８００℃より高く設定し、残留Ｓｉ−Ｈ結合量を１×１０21ｃｍ-3程度にすることのみでも１０年の寿命を確保することができることも分る。
【００９１】
尚、水素濃度が高いプラズマＣＶＤ法を用いてＳｉ−Ｈ結合が、２×１０22／ｃｍ3以上のシリコン窒化膜を成膜し、その後、不活性ガス雰囲気中で、８００℃、３０秒の熱処理を行なった後で、Ｓｉ−Ｈ結合の量を測定すると、Ｓｉ−Ｈ結合は、１×１０21ｃｍ-3以下になることがわかった。
【００９２】
Ｓｉ−Ｈ結合量が１×１０21ｃｍ-3以上含まれたシリコン窒化膜であっても、成膜温度以上の温度で熱処理を行なうことで、ＮＢＴＩ寿命に関係するＳｉ−Ｈ結合量を下げることができることがわかる。熱処理時間は、成膜直後のＳｉ−Ｈ結合量で変えることができることは言うまでもない。
【００９３】
尚、成膜温度とは、シリコン窒化膜を成膜する際の基板の温度を成膜温度と称している。
【００９４】
（実施例４）
本実施例は、実施の形態で説明したゲート電極の材質および構造を変えた例である。
配線の微細化が更に進むと、上述のポリシリコンゲート電極のポリシリコン・シリサイド構造ではゲート電極の抵抗が高くなることが予想され、ポリシリコン・金属構造（図１２（ａ））が検討されている。また、ゲート電極をポリシリコンとしてゲート電極に順バイアス電圧を印加した場合にゲート電極内に空乏層が形成されて、電流駆動能力の劣化させているのを改善するために、ゲート絶縁膜に接するゲート電極を金属とし、その上にポリシリコンを積層した金属・ポリシリコン構造（図１２（ｂ））および金属構造（図１２（ｃ））のゲート電極も検討されている（図１２（ｃ））。
【００９５】
図１２（ａ）のポリシリコン・金属構造のゲート電極は、半導体基板９００上にゲート絶縁膜９０１が形成され、ゲート絶縁膜９０１上にポリシリコン層９０４、金属層９０５およびシリコン窒化膜の層９０６がこの順に形成され、ゲート電極の側面にシリコン酸化膜からなる第１の側壁絶縁膜９０２と第１の側壁絶縁膜上にシリコン窒化膜からなる第２の側壁絶縁膜が形成された構造である。図１２（ｂ）は、ポリシリコン層９０４と金属層９０５の順序が逆になり、ゲート絶縁膜９０１上に、金属層９０５とポリシリコン層９０４がこの順に形成されている。金属構造のゲート電極は、図１２（ｃ）に示す構造で、ポリシリコン・金属構造のゲート電極構造との違いは、ゲート電極が絶縁膜上に、金属層９０５とシリコン窒化膜の層９０６がこの順で形成されている点だけである。
【００９６】
金属・ポリシリコン構造のゲート電極は、図１２（ａ）および図１２（ｂ）に示す構造で、ポリシリコン層および金属層の膜厚は、製造工程の都合にあわせて決めるのが好ましい。
【００９７】
ゲート電極に金属を用いる場合、ドライエッチングのマスクにフォトレジスト膜を用いることが困難になり、この場合、窒化シリコン膜をマスクに用いるため、金属上にシリコン窒化膜の層が残存する。
【００９８】
金属上にシリコン窒化膜を成膜する場合、成膜温度を高温で行なうことが困難な場合が多く、ハードマスクとなるシリコン窒化膜は、Ｃａｔ−ＣＶＤ法を用いて形成するか、低温度で熱ＣＶＤ法を用いて成膜し、４００〜４５０℃の温度で熱処理を行なってシリコン窒化膜中のＳｉ−Ｈ濃度を下げることが好ましい。
【００９９】
熱処理は、シリコン窒化膜を形成後行っても、ゲート電極を形成後におこなっても良いことはいうまでもない。
【０１００】
（実施例５）
現在、ゲート絶縁膜にシリコン酸化膜・シリコン酸窒化膜より誘電率が高い金属酸化物（以下、酸化物膜、以下、高誘電率膜と称す。）を適用する技術が報告されている。その材料としては、Ａｌ2Ｏ3、ＨｆＯ2およびそれにＡｌやＳｉを混合させたもの、ＺｒＯ2、ＬａおよびＬａ系元素（ランタノイド）の酸化物がある。また、上記金属酸化物をアンモニア雰囲気または、アンモニアプラズマにより窒化した高誘電率膜も知られている。本発明では、この高誘電率膜をゲート絶縁膜に適用しても、その効果を得ることができる。なぜなら、ＮＢＴＩ劣化は、基板界面のＳｉ未結合手の発生によるものであり、高誘電率膜のゲート絶縁膜は、シリコン基板との界面にシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜が存在する構造で用いられるため、これまで、説明してきた方法によりＮＢＴＩ劣化を抑制できるためである。
【０１０１】
上記高誘電率膜をゲート絶縁膜に適用した場合、ゲート絶縁膜とシリコン基板との界面には、シリコン酸化膜が形成されることが多い。すなわち、ゲート絶縁膜は、高誘電率膜とシリコン酸化膜を界面に配置した積層構造となる。よって、製造工程であらかじめシリコン基板表面に、界面膜として、１ｎｍ程度以下のシリコン酸化膜、または、シリコン酸窒化膜を形成し、次に、高誘電率膜を形成することで、膜構造を制御できることが知られている。界面膜の膜厚は、１ｎｍ以下が好ましいが、積層する高誘電率膜の誘電率を考慮して設定するのが良い。
【０１０２】
高誘電率膜として、ＨｆＯ2にＳｉを混合させかつ窒化したＨｆＳｉＯＮを用いた例について説明する。電界効果トランジスタを構成する他の部分の製造方法は、既に述べた方法を適宜採用するので、ここでは、ゲート絶縁膜の製造方法に限って説明する。
【０１０３】
シリコン基板上に０．７ｎｍのシリコン酸化膜を、シリコン基板表面を熱酸化して形成する。次に、ＣＶＤ法で、ＨｆＳｉＯ膜を２．３ｎｍ成膜する。ここで、ＨｆとＳiとの組成比は、１：１とした。引き続き、アンモニア雰囲気で熱処理することで、ＨｆＳｉＯ膜をＨｆＳｉＯＮ膜にする。
【０１０４】
高誘電率膜成膜後の工程で、成膜温度以上の温度で熱処理することも、膜質改善に好ましい。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】Ｓｉ−ＨおよびＮ−Ｈ結合量とＣａｔ−ＣＶＤの成膜条件との関係を示す図。
【図２】Ｓｉ−Ｈ結合量とｐ型ＭＯＳＦＥＴのＮＢＴＩ寿命との関係を示す図。
【図３】構成の違いとＮＢＴＩ寿命との関係を示す図。
【図４】熱処理温度を変えた際の膜中のＳｉ−ＨおよびＮ−Ｈ結合の変動量を示す図。
【図５】熱処理時間とＮＢＴＩ寿命との関係を示す図。
【図６】ＭＯＳＦＥＴの製造方法を示す模式的工程断面図。
【図７】ＭＯＳＦＥＴの製造方法を示す模式的工程断面図。
【図８】ＭＯＳＦＥＴの製造方法を示す模式的工程断面図。
【図９】ＮＢＴＩ寿命を説明する図。
【図１０】Ｃａｔ−ＣＶＤを説明する図。
【図１１】Ｃａｔ−ＣＶＤ法でシリコン窒化膜が成膜される状態を説明する模式図。
【図１２】本発明のＭＯＳＦＥＴの変形例を示す図。
【符号の説明】
【０１０６】
１００    Ｐ型シリコン基板
１０１    素子分離領域
１０２    ｎ型ウェル
１０３    ゲート絶縁膜
１０４    ゲート電極
１０５    第１の側壁絶縁膜
１０６    ソース・ドレイン拡張領域
１０７    第２の側壁絶縁膜
１０８    ソース・ドレイン領域
１０９    高融点金属シリサイド
１１０    第１の層間絶縁膜（ライナー膜）
１１１    第２の層間絶縁膜
１１２    窒化チタン膜
１１３    タングステン
１１４    配線
８０１    原料ガス導入口
８０２    フィラメント
８０３    基板
９００    半導体基板
９０１    ゲート絶縁膜
９０２    第１の側壁絶縁膜
９０３    第２の側壁絶縁膜
９０４    ポリシリコン層
９０５    金属層
９０６    シリコン窒化膜の層
【図１】
2006269673.tif 000003
【図２】
2006269673.tif 000004
【図３】
2006269673.tif 000005
【図４】
2006269673.tif 000006
【図５】
2006269673.tif 000007
【図６】
2006269673.tif 000008
【図７】
2006269673.tif 000009
【図８】
2006269673.tif 000010
【図９】
2006269673.tif 000011
【図１０】
2006269673.tif 000012
【図１１】
2006269673.tif 000013
【図１２】
2006269673.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月23日(2006.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2006269673.tif 000015