(57)【要約】【課題】直動形アクチュエータと揺動形アクチュエータを連結した複合動作形アクチュエータにおいて、２ポートの給排制御だけで各種動作が得られ、安価で汎用性の高いアクチュエータを提供する。【解決手段】  直動形アクチュエータ部１０の前方シリンダ室１７と揺動形アクチュエータ部の前方シリンダ室３７とがチェック弁付きシーケンス弁４０を介して接続され、また直動形アクチュエータ部１０の後方シリンダ室１８と揺動形アクチュエータ部３０の後方シリンダ室とが止め弁５０を介して接続されている。シリンダ室３７とシーケンス弁４０の接続流路、及びシリンダ室１８と止め弁５０の接続流路にそれぞれポート６１，６２をとって給排制御を行う。前記の各弁４０，５０の設定条件に基づいて、ピストン・ロッド１１に通常の往復のみの動作や回動と直進の組合せ動作を行わせることが可能である。【選択図】図１
2006017132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直動形アクチュエータ部とシリンダ構造の揺動形アクチュエータ部とからなり、前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドと揺動形アクチュエータ部の揺動軸とが同軸上に配置されるように前記直動形アクチュエータ部のヘッドカバー側に前記揺動形アクチュエータ部が連結せしめられており、前記揺動軸が前記ヘッドカバーを貫通して前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの背面側から軸方向へ形成された中空孔に内嵌していると共に、前記揺動軸と前記中空孔とが軸方向に関するすべり対偶だけの限定対偶条件で組み合わされていることにより、前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの往復動作と揺動動作を可能にした複合動作形アクチュエータにおいて、
前記直動形アクチュエータ部のロッドカバー側シリンダ室と前記揺動形アクチュエータ部の一方のシリンダ室（以下、「第１シリンダ室」という）との間がチェック弁付きシーケンス弁を介して接続されており、
また、前記直動形アクチュエータ部のヘッドカバー側シリンダ室と前記揺動形アクチュエータ部の他方のシリンダ室（以下、「第２シリンダ室」という）との間が止め弁又は絞り弁を介して接続されており、
前記揺動形アクチュエータ部の第１シリンダ室と前記チェック弁付きシーケンス弁と間の接続流路、及び前記直動形アクチュエータ部の前記ヘッドカバー側シリンダ室と前記の止め弁又は絞り弁との間の接続流路に対してそれぞれ給排ポートを設け、
前記チェック弁付きシーケンス弁のパイロット圧の設定条件と前記の止め弁又は絞り弁の開状態又は閉状態の設定条件により前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの動作を可変設定できるようにしたことを特徴とする複合動作形アクチュエータ。
【請求項２】
直動形アクチュエータ部とシリンダ構造の揺動形アクチュエータ部とからなり、前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドと揺動形アクチュエータ部の揺動軸とが同軸上に配置されるように前記直動形アクチュエータ部のヘッドカバー側に前記揺動形アクチュエータ部が連結せしめられており、前記揺動軸が前記ヘッドカバーを貫通して前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの背面側から軸方向へ形成された中空孔に内嵌していると共に、前記揺動軸と前記中空孔とが軸方向に関するすべり対偶だけの限定対偶条件で組み合わされていることにより、前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの往復動作と揺動動作を可能にした複合動作形アクチュエータにおいて、
前記直動形アクチュエータ部のロッドカバー側シリンダ室と前記揺動形アクチュエータ部の第１シリンダ室との間が止め弁又は絞り弁を介して接続されており、
また、前記直動形アクチュエータ部のヘッドカバー側シリンダ室と前記揺動形アクチュエータ部の第２シリンダ室との間がチェック弁付きシーケンス弁を介して接続されており、
前記直動形アクチュエータ部の第１シリンダ室と前記の止め弁又は絞り弁との間の接続流路、及び前記揺動形アクチュエータ部の第２シリンダ室と前記チェック弁付きシーケンス弁と間の接続流路に対してそれぞれ給排ポートを設け、
前記チェック弁付きシーケンス弁のパイロット圧の設定条件と前記の止め弁又は絞り弁の開状態又は閉状態の設定条件により前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの動作を可変設定できるようにしたことを特徴とする複合動作形アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体圧アクチュエータの分野に属し、ロッドに往復動と揺動の組合せた動作を行わせる複合動作形アクチュエータについての改良技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ダイカスト用金型の中子ピン（コアピン）のセットと引き抜きには流体圧アクチュエータが用いられている。
その場合、中子ピンの引き抜きは溶湯がキャビティ内で冷えて固化又は半固化した状態で行われるが、溶湯は冷却収縮して固化するために中子ピンと製品との間でかじりや焼き付きが生じやすい。
従って、一般的には中子ピンに抜け勾配を施しておき、中子ピンの離脱を容易にすることにより不良品が発生することを防止している。
しかし、抜け勾配のある中子ピンで形成される穴がそのまま利用されることは殆んどなく、成形後にストレートな穴に修正するための追加加工が施されるために製品のコスト高を招く要因になっている。
【０００３】
一方、古くからピストン・ロッドに揺動と往復動の組合せ動作をさせる流体圧アクチュエータが多く提案されており、その種のアクチュエータを利用すれば、中子ピンを回転させながら引き抜くことや回転させた後に引き抜くことが可能になる。
即ち、中子ピンを軸方向へ引き抜くだけではかじりや焼き付きによって製品に欠損が生じやすくなるが、回転を伴った引き抜きを行うようにすれば比較的無理なく引き抜くことができ、特に、一定条件下の溶湯の半固化状態においては中子ピンに抜け勾配を施しておかなくても非常に高精度な穴の成形が可能になる場合もある。
【０００４】
そして、揺動と往復動の組合せ動作を実現したアクチュエータとしては、例えば下記の特許文献１〜４に開示されたものがある。
その内、特許文献１〜３には、往復動用の直動形アクチュエータのロッドに対してすべり対偶だけの限定対偶条件でピニオンを直接取り付けるか、又はピストン・ロッドの背面側から軸方向へ形成された中空孔に対してすべり対偶だけの限定対偶条件で内嵌せしめられた軸棒にピニオンを固定しておき、前記ピニオンに歯合するラックを別の揺動用の直動形アクチュエータで移動させる方式の複合動作形アクチュエータが提案されている。
【０００５】
一方、下記特許文献４には、図１８（Ａ）に示す複合動作形アクチュエータが開示されている。
このアクチュエータは直動形アクチュエータ部１００とシリンダ構造の揺動形アクチュエータ部１２０とからなり、直動形アクチュエータ部１００のピストン・ロッド１０１と揺動形アクチュエータ部１２０の揺動軸１２１とが同軸上に配置されるように直動形アクチュエータ部１００のヘッドカバー１０２側に揺動形アクチュエータ部１２０が直列に連結せしめられている。
【０００６】
直動形アクチュエータ部１００は片ロッド形の複動式シリンダの構造をなしているが、そのピストン・ロッド１０１には背面側から軸方向へ中空孔１０３が形成されている。
揺動形アクチュエータ部１２０もシリンダ構造であるが、揺動軸１２１を前後のカバー１２２，１２３に設けたラジアルベアリング１２４，１２５で回動自在に軸支している。
ここで、揺動軸１２１にはシリンダチューブ１２６内の区間でボールネジ１２７が形成されており、また、ピストン１２８には揺動軸１２１を貫通させる孔が形成されているが、その孔はネジ孔１２９になっており、揺動軸１２１側のボールネジ１２７とピストン１２８側のネジ孔１２９の間にはボール（図示せず）が介装されている。
更に、ピストン１２８の外周側には突起１３０が形成されており、その突起１３０がシリンダチューブ１２６に形成した軸方向のガイド孔１３１に遊嵌せしめられている。
【０００７】
揺動軸１２１の前方区間は直動形アクチュエータ部１００のヘッドカバー１０２を貫通してピストン・ロッド１０１の中空孔１０３に内挿せしめられている。
そして、揺動軸１２１の内挿区間においては外周面の対向位置にある部分１２１aが平面状に形成されており、図１８（Ｂ）に示すように、ピストン・ロッド１０１の中空孔１０３の後端部に固定されたブッシュ１０４が揺動軸１２１の前記内挿区間をすべり対偶だけの限定対偶条件で内嵌させている。
尚、ピストン・ロッド１０１の中空孔１０３における揺動軸１２１の先端より前方にある部分は直動形アクチュエータ部１００のヘッドカバー側シリンダ室と連通していなければならない筈であるが、特許文献４にはその構成についての説明がなされていない。
【０００８】
図１８（Ａ）に示すように、この複合動作形アクチュエータの直動形アクチュエータ部１００と揺動形アクチュエータ部１２０はそれぞれが４ポート３位置切換え弁１４１，１４２によって個別に制御される。
即ち、この複合動作形アクチュエータによれば、４ポート３位置切換え弁１４１で給排ポート１０５，１０６に対する作動流体の給排を制御することによりピストン・ロッド１０１を往復動させ、また、４ポート３位置切換え弁１４２で給排ポート１３２，１３３に対する作動流体の給排を制御することによりピストン１２８を前後に作動させて揺動軸１２１を回動させることができ、それらは独立して任意のタイミングで実行させることができるために、ピストン・ロッド１０１の往復動と揺動の組合せ動作を自由に行わせることができる。
【０００９】
尚、本願出願人は、下記特許文献５において、中子ピンのセットと引き抜きに好適なシリンダ装置として、突き出し工程の最終の一定区間及び引き込み工程の初期の一定区間だけロッドに回転を与え、他の区間ではロッドに回転を与えない動作を実現したものを提案している。
【００１０】
【特許文献１】特公昭４６−３３４５７号公報
【特許文献２】実公昭６３−２９９２１号公報
【特許文献３】実開平０１−１１８２０３号公報
【特許文献４】実開平２−１４８０３号公報
【特許文献５】特許第２８７５２２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献４の複合動作形アクチュエータによれば、前記のようにピストン・ロッド１０１の往復動と揺動を組み合わせた動作を任意のタイミングで実行させることができる。
しかし、直動形アクチュエータ部１００と揺動形アクチュエータ部１２０を個別に制御するために２つの４ポート３位置切換え弁１４１，１４２が必要であり、周辺の流体回路やシーケンス制御系を含めたシステム全体のコストはかなり高いものとなる。
また、前記の複合動作形アクチュエータでは４本の配管が必要になり、ダイカスト用金型において中子ピン作動用のアクチュエータとして多数個組み込まれる場合には金型への配管数が非常に多くなり、管の引き回しが複雑になると共に、設置スペースが十分に確保できないようなときには金型の設計が困難になる。
一方、中子ピン作動用のアクチュエータのような場合には、ロッドを前進限から回転させながら後退させる動作や回転させた後に後退させる動作が実現できればよく、複雑なシーケンスで往復動と揺動の組み合せ動作が要求されるわけではない。
【００１２】
そこで、本発明は、特許文献４のように直動形アクチュエータ部と揺動形アクチュエータ部を有した従来の複合動作形アクチュエータについて、簡単な改良を施すだけで中子ピン作動用のアクチュエータに必要とされるロッドの動作を２ポートに対する給排制御で実行させることを可能にし、もって前記の各問題点を解消することを目的として創作された。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
第１の発明は、直動形アクチュエータ部とシリンダ構造の揺動形アクチュエータ部とからなり、前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドと揺動形アクチュエータ部の揺動軸とが同軸上に配置されるように前記直動形アクチュエータ部のヘッドカバー側に前記揺動形アクチュエータ部が連結せしめられており、前記揺動軸が前記ヘッドカバーを貫通して前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの背面側から軸方向へ形成された中空孔に内嵌していると共に、前記揺動軸と前記中空孔とが軸方向に関するすべり対偶だけの限定対偶条件で組み合わされていることにより、前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの往復動作と揺動動作を可能にした複合動作形アクチュエータにおいて、前記直動形アクチュエータ部のロッドカバー側シリンダ室と前記揺動形アクチュエータ部の一方のシリンダ室（以下、「第１シリンダ室」という）との間がチェック弁付きシーケンス弁を介して接続されており、また、前記直動形アクチュエータ部のヘッドカバー側シリンダ室と前記揺動形アクチュエータ部の他方のシリンダ室（以下、「第２シリンダ室」という）との間が止め弁又は絞り弁を介して接続されており、前記揺動形アクチュエータ部の第１シリンダ室と前記チェック弁付きシーケンス弁と間の接続流路、及び前記直動形アクチュエータ部の前記ヘッドカバー側シリンダ室と前記の止め弁又は絞り弁との間の接続流路に対してそれぞれ給排ポートを設け（この発明においては、前者の接続流路に対する給排ポートを「第１ポート」、後者の接続流路に対する給排ポートを「第２ポート」という）、前記チェック弁付きシーケンス弁のパイロット圧の設定条件と前記の止め弁又は絞り弁の開状態又は閉状態の設定条件により前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの動作を可変設定できるようにしたことを特徴とする複合動作形アクチュエータに係る。
【００１４】
この発明の複合動作形アクチュエータは、チェック弁付きシーケンス弁と止め弁又は絞り弁との設定状態に対応して次の３つの動作モードをとる。
（１）  チェック弁付きシーケンス弁が開放状態で止め弁又は絞り弁が閉鎖状態の場合には、止め弁又は絞り弁が閉鎖されているために揺動形アクチュエータ部が作動せず、チェック弁付きシーケンス弁が開放状態であるために直動形アクチュエータ部は通常の複動シリンダとして動作することになる。
（２）  チェック弁付きシーケンス弁と止め弁又は絞り弁の双方がいずれも開放状態の場合には、直動形アクチュエータ部のロッドカバー側シリンダ室と揺動形アクチュエータ部の第１シリンダ室との間、及び直動形アクチュエータ部のヘッドカバー側シリンダ室と揺動形アクチュエータ部の第２シリンダ室との間が常に連通した状態となる。従って、直動形アクチュエータ部と揺動形アクチュエータ部の双方が一方の可動限状態にあり、一方の給排ポートから作動流体を供給し、他方の給排ポートをドレン状態にして作動を開始させると、最初の期間は双方のアクチュエータ部が共に動作し、途中で一方のアクチュエータの動作が可動限まで達して停止すると、他方のアクチュエータだけがその可動限まで継続的に動作することになる。例えば、揺動形アクチュエータ部の動作が先に完結して停止する場合には、直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドは初期の一定期間において直進しながら回転し、その期間が終了すると直進動作のみとなって可動限まで移動する。
（３）  チェック弁付きシーケンス弁における閉鎖状態から開放状態へ切り換る圧力が所定圧力に調整されており、止め弁又は絞り弁の双方が開放状態の場合には、ピストン・ロッドの前進工程と後退工程とで動作が異なる。先ず、直動形アクチュエータ部と揺動形アクチュエータ部の双方が後退限の状態にあり、第２ポートから作動流体を供給し、第１ポートをドレン状態にして作動を開始させると、前記（１）の場合の動作と同様になる。尚、この場合には、直動形アクチュエータ部の第１シリンダ室の作動流体はチェック弁付きシーケンス弁のチェック弁を通じて第１ポートから排出されることになる。
一方、直動形アクチュエータ部と揺動形アクチュエータ部の双方が前進限の状態にあり、第１ポートから作動流体を供給し、第２ポートをドレン状態にして作動を開始させると、揺動形アクチュエータ部は直ちに動作するが、チェック弁付きシーケンス弁は圧力が設定されているためにその設定圧力になるまで閉鎖状態を保つ。従って、直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドは揺動形アクチュエータの動作が完結するまで回転動作のみを行い、揺動形アクチュエータの動作が完結すると第１ポートの圧力が上昇して前記所定圧力以上になるため、チェック弁付きシーケンス弁が閉状態から開状態へ切り換ることにより、それ以降、後退動作を開始することになる。
【００１５】
第２の発明は、直動形アクチュエータ部とシリンダ構造の揺動形アクチュエータ部とからなり、前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドと揺動形アクチュエータ部の揺動軸とが同軸上に配置されるように前記直動形アクチュエータ部のヘッドカバー側に前記揺動形アクチュエータ部が連結せしめられており、前記揺動軸が前記ヘッドカバーを貫通して前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの背面側から軸方向へ形成された中空孔に内嵌していると共に、前記揺動軸と前記中空孔とが軸方向に関するすべり対偶だけの限定対偶条件で組み合わされていることにより、前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの往復動作と揺動動作を可能にした複合動作形アクチュエータにおいて、前記直動形アクチュエータ部のロッドカバー側シリンダ室と前記揺動形アクチュエータ部の第１シリンダ室との間が止め弁又は絞り弁を介して接続されており、また、前記直動形アクチュエータ部のヘッドカバー側シリンダ室と前記揺動形アクチュエータ部の第２シリンダ室との間がチェック弁付きシーケンス弁を介して接続されており、前記直動形アクチュエータ部の第１シリンダ室と前記の止め弁又は絞り弁との間の接続流路、及び前記揺動形アクチュエータ部の第２シリンダ室と前記チェック弁付きシーケンス弁と間の接続流路に対してそれぞれ給排ポートを設け（この発明においては、前者の接続流路に対する給排ポートを「第１ポート」、後者の接続流路に対する給排ポートを「第２ポート」という）、前記チェック弁付きシーケンス弁のパイロット圧の設定条件と前記の止め弁又は絞り弁の開状態又は閉状態の設定条件により前記直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドの動作を可変設定できるようにしたことを特徴とする複合動作形アクチュエータに係る。
【００１６】
この発明は、第１の発明の構成と比較すると、直動形アクチュエータ部と揺動形アクチュエータ部の構造については同様であるが、チェック弁付きシーケンスと止め弁又は絞り弁の取り付け位置が第１の発明の場合と逆になっており、また各弁と各シリンダ室との接続流路に対して第１ポートと第２ポートをとる位置が異なっている。
この発明の複合動作形アクチュエータにおいても、第１の発明の場合と同様にチェック弁付きシーケンス弁と止め弁又は絞り弁との設定状態に対応して３つの動作モードをとるが、前記の（１）及び（２）における各弁の設定状態とアクチュエータの動作に関しては、流体回路の構成が結果的に同等になるために同一となる。
この発明において第１の発明と異なっている点は、前記の（３）と同様にチェック弁付きシーケンス弁における閉鎖状態から開放状態へ切り換る圧力が所定圧力に調整されており、止め弁又は絞り弁の双方が開放状態の場合であって、直動形アクチュエータ部と揺動形アクチュエータ部の双方が後退限の状態で、第２ポートを作動流体の供給状態とし、第１ポートをドレン状態とした場合の動作にある。
その場合、揺動形アクチュエータ部は直ちに作動するが、チェック弁付きシーケンス弁は圧力が設定されているために所定圧力になるまで閉鎖状態を保つ。従って、直動形アクチュエータ部のピストン・ロッドは揺動形アクチュエータの動作が完結するまで回転動作のみを行い、揺動形アクチュエータの動作が完結すると第１ポートの圧力が上昇して前記所定圧力以上になるため、チェック弁付きシーケンス弁が閉状態から開状態へ切り換ることにより、それ以降、前進動作を開始することになる。
即ち、第１の発明ではピストン・ロッドが前進限から後退する際に回転動作と直進動作が独立したシーケンスが実行されたが、第２の発明では後退限から前進する際に実行される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、直動形アクチュエータ部と揺動形アクチュエータ部とからなり、ピストン・ロッドに往復動と揺動とを組み合わせた動作を行わせる複合動作形アクチュエータにおいて、各アクチュエータ部のシリンダ室を接続する流路中にチェック弁付きシーケンス弁と止め弁又は絞り弁を介在させた簡単な構成により２ポートに対する給排の切換え制御だけで前記動作を合理的に実行させ、周辺の流体回路やシーケンス制御系を簡素化してシステム全体のコストの低減化を実現する。
また、本発明の複合動作形アクチュエータに対する配管は２本だけであるため、金型に中子ピン作動用アクチュエータとして多数組み込むような場合にも配管が複雑化せず、設置スペースが十分に確保できないような場合にも有効である。
更に、本発明の複合動作形アクチュエータは、止め弁又は絞り弁を閉鎖状態に設定し、チェック弁付きシーケンス弁を開状態に設定すれば通常の複動シリンダとして利用でき、汎用性の高いアクチュエータとして広範な用途に活用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の複合動作形アクチュエータの実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
［実施形態１］
この実施形態に係る複合動作形アクチュエータの断面図と付属流体回路の構成は図１（Ａ）に示される。
同図において、１０は直動形アクチュエータ部、３０は揺動形アクチュエータ部であり、揺動形アクチュエータ部３０はその揺動軸３１が直動形アクチュエータ部１０のピストン・ロッド１１と同軸上に配置されるように直動形アクチュエータ部１０のヘッドカバー１２側に連結されている。
【００１９】
また、直動形アクチュエータ部１０と揺動形アクチュエータ部３０はそれぞれ片ロッド形の複動式シリンダの構造をなしている。
直動形アクチュエータ部１０側のピストン・ロッド１１はその後端面側から軸方向へ中空孔１３が形成されており、その中空孔１３に揺動形アクチュエータ部３０側の揺動軸３１の前方区間が内挿されるようになっている。
揺動形アクチュエータ部３０は複動式シリンダであるが、そのロッドカバーとシリンダチューブは直動形アクチュエータ部１０側のヘッドカバー１２と一体的に形成されており、揺動軸３１はそのヘッドカバー１２を貫通して、前記のように直動形アクチュエータ部１０側のピストン・ロッド１１の中空孔１３に内挿されている。
【００２０】
この揺動形アクチュエータ部３０はヘリカルスプラインによる揺動駆動方式を採用している。
先ず、ピストン・ロッド３２には後端面側から軸方向へ中空孔３３が形成されていると共に、その後端面にはヘリカルスプラインによる雌ネジを形成した螺合板３４がネジ形成部を中空孔３３に対応させるようにして取り付けられている。
一方、ヘリカルスプラインによる雄ネジを形成した螺合棒３５がヘッドカバー３６における軸に対応した位置に立設固定されており、その螺合棒３５の雄ネジが螺合板３４の雌ネジに歯合させてある。
従って、ピストン・ロッド３２は前進／後退すると前記歯合関係によって回動することになり、ピストン・ロッド３２と同軸一体である前記揺動軸３１が回動する。
その場合、中空孔３３内の螺合棒３５より前方にある部分の容積が拡縮することになるが、ヘリカルスプラインによる螺合板３４と螺合棒３５の歯合状態では十分な隙間が確保でき、その隙間を通じて作動流体が流通するために前記の容積の拡縮によってピストン・ロッド３２の移動が妨げられることはない。
尚、前記のヘリカルスプラインによるネジのリード角θは４５°〜８７°の範囲内で設定されるが、従来技術のようにボールネジを適用した場合にはリード角θを４５°以下の小さい範囲で設定することも可能である。
【００２１】
揺動形アクチュエータ部３０側の揺動軸３１と直動形アクチュエータ部１０側のピストン・ロッド１１との関係は、揺動軸３１とピストン・ロッド１１の中空孔１３とが軸方向に関するすべり対偶だけの限定対偶になっており、揺動軸３１の回動力はピストン・ロッド１１に伝達されるが、軸方向への相対的な動きに関しては相互に力を及ぼさないようになっている。
具体的には、図１（Ｂ）も参照しながら説明すると、揺動軸３１の外周面には軸方向に沿って溝３１aが形成されており、また直動形アクチュエータ部１０側のピストン・ロッド１１に形成されている中空孔１３の後端区間にはキー溝１１aが形成されており、前記の溝３１aとキー溝１１aの間にすべりキー１４を装填した状態で、ピストン・ロッド１１の後端面に止め環１５を取り付けてすべりキー１４が後方へ外れないようにしてある。
従って、揺動軸３１とピストン・ロッド１１とは回動方向に関してすべりキー１４を介した係合関係を有し、相互の軸方向への相対的移動についてはすべりキー１４が溝３１a内を移動するだけであり、すべり対偶だけの限定対偶条件が成立している。
尚、揺動軸３１とピストン・ロッド１１とが相対的に移動した場合に、中空孔１３内の揺動軸３１より前方にある部分の容積が拡縮することになるが、図１（Ｂ）に示すように、中空孔１３の内周面と揺動軸３１の外周面の間には隙間が構成されており、その隙間を通じて作動流体が流通するために、前記の容積の拡縮によって揺動軸３１とピストン・ロッド１１との相対的移動が妨げられることはない。
【００２２】
次に、図１（Ａ）に示すように、この実施形態における複合動作形アクチュエータにはチェック弁付きシーケンス弁４０と止め弁５０が付加されている。但し、図１（Ａ）では、実際の弁の形状を二点鎖線で示し、その中に記号による弁の表現がなされており、以下の図（図３から図１１、及び図１３から図１７）においても同様の表現を行うこととする。
各弁４０，５０とシリンダチューブ等に構成される流路との関係、及び給排ポートの配置について説明する。
先ず、直動形アクチュエータ部１０にはチェック弁付きシーケンス弁４０が取り付けられているが、直動形アクチュエータ部１０のロッドカバー１６側のシリンダ室１７と揺動形アクチュエータ部３０のロッドカバー（直動形アクチュエータ部１０のヘッドカバー１２に相当）側のシリンダ室３７との間がチェック弁付きシーケンス弁４０を介して接続されており、シリンダ室３７とチェック弁付きシーケンス弁４０との接続流路に対して一方の給排ポート６１が設けられている。
但し、チェック弁付きシーケンス弁４０はシリンダ室３７との接続側が一次側になっている。
また、揺動形アクチュエータ部３０には止め弁５０が取り付けられているが、直動形アクチュエータ部１０のヘッドカバー側のシリンダ室１８と揺動形アクチュエータ部３０のヘッドカバー３６側のシリンダ室３８との間が止め弁５０を介して接続されており、シリンダ室１８と止め弁５０との接続流路に対して他方の給排ポート６２が設けられている。
そして、給排ポート６１，６２に対して４ポート２位置切換え弁７０を介してポンプ側回路とドレン側回路が接続されている。
尚、以上の説明の中では触れていないが、ピストンの外周やシリンダの構成部材の間等のシールが必要とされる部分には適宜シール部材が適用されている。
【００２３】
以上の構成に基づいて、この実施形態の複合動作形アクチュエータは、チェック弁付きシーケンス弁４０と止め弁５０の設定状態によって、図２に示すような３つの動作モード（Ａ１，Ｂ１，Ｃ１）をとることができる。
但し、ここでは複合動作形アクチュエータをダイカスト用金型の中子ピンの引き抜き用に使用する場合を想定しており、作動流体の供給圧力に基づいた直動形アクチュエータ部１０によるピストン・ロッド１１の直進駆動力は中子ピンの最大引き抜き力よりも十分に大きく、また揺動形アクチュエータ部３０による揺動軸３１の回動トルク（ピストン・ロッド１１の回動トルクでもある）も中子ピンを回転させる際に要する最大トルクよりも十分に大きいものとする。
【００２４】
＜＜Ａ１モード＞＞
チェック弁付きシーケンス弁４０が開放状態に、止め弁５０が閉鎖状態に設定されている場合にこの動作モードとなる。
ここに、チェック弁付きシーケンス弁４０の開放状態とは、閉から開に切り換る際のパイロット圧の設定値を０又は極めて低い圧力に設定した場合であり、その場合には、作動流体は一次側から二次側へ自由に流れ、逆方向へもチェック弁を通じて自由に流れるために、双方向の流れについて開放された状態になっている。
そして、この場合には止め弁５０が閉鎖状態に設定されているために揺動形アクチュエータ部３０は全く作動せず、直動形アクチュエータ部１０だけが通常の複動シリンダとして作動することになる。
【００２５】
即ち、図３に示すように、４ポート２位置切換え弁７０により給排ポート６２にポンプ側回路を接続して作動流体を供給し、給排ポート６１をドレン側回路に接続すると、作動流体がシリンダ室１８へ流入してピストン・ロッド１１を前進させ、シリンダ室１７の作動流体がチェック弁付きシーケンス弁４０から給排ポート６１を通じてドレン側回路へ排出される。
逆に、図４に示すように、給排ポート６１にポンプ側回路を接続して作動流体を供給し、給排ポート６２をドレン側回路に接続にすると、作動流体はチェック弁付きシーケンス弁４０を通じてシリンダ室１７へ流入することによりピストン・ロッド１１を後退させ、シリンダ室１８の作動流体は給排ポート６２を通じてドレン側回路へ排出される。
【００２６】
＜＜Ｂ１モード＞＞
チェック弁付きシーケンス弁４０と止め弁５０とが共に開放状態の場合にこの動作モードとなる。
このモードでは、図５のように、４ポート２位置切換え弁７０により給排ポート６２にポンプ側回路を接続して作動流体を供給し、給排ポート６１をドレン側回路に接続にすると、作動流体はシリンダ室１８へ流入してピストン・ロッド１１を前進させると共に、開放状態の止め弁５０を通じてシリンダ室３８にも流入して螺合板３４とピストン・ロッド３２を前進させる。
尚、シリンダ室１７の作動流体はチェック弁付きシーケンス弁４０から給排ポート６１を通じて、またシリンダ室３７の作動流体も給排ポート６１を通じてドレン側回路へ排出される。
そして、このピストン・ロッド１１の前進工程は中子のセット段階に相当し、ピストン・ロッド１１とピストン・ロッド３２（螺合板３４と一体）の前進が並行して行われることになるが、螺合棒３５とピストン・ロッド３２の螺合板３４との歯合関係によってピストン・ロッド３２が回転せしめられ、その回転力が揺動軸３１からすべりキー１４を介してピストン・ロッド１１へ伝達されるために、ピストン・ロッド１１は回転しながら前進することになる。
【００２７】
ところで、前記の動作が継続すると、図６に示すように、ピストン・ロッド３２のピストンがロッドカバー（直動形アクチュエータ部１０のヘッドカバー１２）に当接した前進限の状態になり、シリンダ室３８への作動流体の供給が停止してシリンダ室１８だけへの供給状態となる。
従って、ピストン・ロッド１１の回転は停止し、前進だけの動作状態が継続的に行われる。
そして、更にピストン・ロッド１１の前進が継続すると、図７に示すように、ピストン・ロッド１１が前進限まで突き出された状態となり、この段階で中子がセットされたことになる。
もっとも、４ポート２位置切換え弁７０ではなく、クローズドセンタを設けた４ポート３位置切換え弁を用い、前進工程の途中でクローズドセンタに切り換えるようにすれば、前進限の手前の任意の位置で停止させることができる。
【００２８】
中子がセットされた後、金型側で一連のダイカスト鋳造工程が行われて中子の引き抜き段階になると、図７に示すように、４ポート２位置切換え弁７０が切り換えられる。
その切換え後の状態は図８に示され、４ポート２位置切換え弁７０により給排ポート６１にポンプ側回路を接続して作動流体を供給し、給排ポート６２をドレン側回路に接続にすると、作動流体は、開放状態のチェック弁付きシーケンス弁４０を通じてシリンダ室１７へ流入してピストン・ロッド１１を後退させると共に、給排ポート６１からシリンダ室３７にも流入してピストン・ロッド３２と螺合板３４を後退させる。
尚、シリンダ室１８の作動流体は給排ポート６２を通じて、またシリンダ室３８の作動流体は開放状態の止め弁５０から給排ポート６２を通じてドレン側回路へ排出される。
そして、このピストン・ロッド１１の後退工程は中子の引き抜き段階に相当し、ピストン・ロッド１１には一定の軸方向負荷とトルク負荷がかかることになるが、前記のように直動形アクチュエータ部１０や揺動形アクチュエータ部３０によるピストン・ロッド１１の直進駆動力や回動トルクはそれらの負荷よりも十分に大きな値が得られるように設計されているため、ピストン・ロッド１１とピストン・ロッド３２（螺合板３４と一体）の後退は並行して実行される。
従って、ピストン・ロッド３２が前記の前進工程の場合とは逆方向に回転せしめられ、その回転力が揺動軸３１からすべりキーを介してピストン・ロッド１１へ伝達され、ピストン・ロッド１１は回転しながら後退することになる。
即ち、溶湯が固化又は半固化した状態で中子を回転させながら引き抜くことができる。また、このような中子の作動条件を利用すれば、予め中子にヘリカルスプライン状の雄ネジを形成しておくことにより、製品に対してヘリカルスプライン状の雌ネジを形成することも可能になる。
【００２９】
そして、図８の状態から更にピストン・ロッド１１とピストン・ロッド３２の後退が継続すると、図９に示すように、螺合板３４側が先にヘッドカバー３６に当接してピストン・ロッド３２は後退限に達する。
従って、それ以降、ピストン・ロッド１１は回転することなく後退し、後退限に達することにより図１の初期状態に戻る。
【００３０】
＜＜Ｃ１モード＞＞
チェック弁付きシーケンス弁４０における閉から開に切り換る際のパイロット圧の設定値が一定の大きさに設定されており、止め弁５０が開放状態に設定されている場合にこの動作モードとなる。
この場合において、４ポート２位置切換え弁７０により給排ポート６２にポンプ側回路を接続して作動流体を供給し、給排ポート６１をドレン側回路に接続した状態（前記Ｂ１モードにおける図５及び図６の状態）では、チェック弁付きシーケンス弁４０はピストン・ロッド１１の前進によりシリンダ室１７から排出される作動流体をチェック弁を通じて給排ポート６１へ流通させる。
また、止め弁５０が開放状態であるため、４ポート２位置切換え弁７０の前記設定状態における直動形アクチュエータ部１０と揺動形アクチュエータ部３０の作動状態は前記Ｂ１モードと同様である。
従って、ピストン・ロッド１１は初期の一定期間だけ回転しながら前進し、残りの期間では回転せずに前進だけを行うことになる。
【００３１】
ところで、ピストン・ロッド１１が前進限に達した後、図７に示したように４ポート２位置切換え弁７０を切り換えて、給排ポート６１にポンプ側回路を接続して作動流体を供給し、給排ポート６２をドレン側回路に接続した状態にすると次のような作動状態となる。
先ず、揺動形アクチュエータ部３０については、前記Ｂ１モードにおける図８の段階と同様に、ピストン・ロッド３２が後退して前進工程の場合とは逆方向に回転せしめられ、その回転力が揺動軸３１からすべりキーを介してピストン・ロッド１１へ伝達されてピストン・ロッド１１が回転することになる。
しかし、直動形アクチュエータ部１０については、給排ポート６１からチェック弁付きシーケンス弁４０の一次側に作動流体が供給されてもチェック弁付きシーケンス弁４０はパイロット圧が設定値以上にならなければ閉のままであり、ピストン・ロッド１１は後退することなくそのままの位置を保つ。
従って、図１０に示すように、ピストン・ロッド１１は前進限の位置で回転だけを行い、ピストン・ロッド３２がその回転トルクを付与しながら後退してゆくことになる。
【００３２】
そして、ピストン・ロッド３２が後退限に達すると、シリンダ室３７への作動流体の流入がなくなるためにチェック弁付きシーケンス弁４０の一次側が昇圧し、その流体圧が前記の設定パイロット圧以上になるとチェック弁付きシーケンス弁４０は閉から開に切り換り、作動流体がチェック弁付きシーケンス弁４０を通じてシリンダ室１７へ流入するためにピストン・ロッド１１が後退を開始する。
【００３３】
即ち、図２で比較すると明らかなように、Ｂ１モードではピストン・ロッド１１を回転させながら後退させているのに対して、Ｃ１モードでは最初に回転だけを与えておき、その後に後退させるようにしている点に特徴がある。
そして、中子の引き抜きに際しては、溶湯の種類や温度条件等によってはＣ１モードのように先に回転だけを与えた方が有効である場合も少なくない。
【００３４】
［実施形態２］
この実施形態に係る複合動作形アクチュエータの断面図と付属流体回路の構成は図１１に示される。
先ず、同図と図１とを比較すれば明らかなように、直動形アクチュエータ部１０と揺動形アクチュエータ部３０の機構に関しては実施形態１の複合動作形アクチュエータと全く同一であり、ここではそれらアクチュエータ部１０，３０についての説明は省略する。
【００３５】
この実施形態の複合動作形アクチュエータにおける実施形態１との相違点は、チェック弁付きシーケンス弁４０と止め弁５０の取り付け位置が逆になっており、また２つの給排ポート６６，６７の位置が異なっている点にある。
即ち、直動形アクチュエータ部１０のロッドカバー１６側のシリンダ室１７と揺動形アクチュエータ部３０のロッドカバー（直動形アクチュエータ部１０のヘッドカバー１２に相当）側のシリンダ室３７との間が止め弁５０を介して接続されており、シリンダ室１７と止め弁５０との接続流路に対して一方の給排ポート６６が接続されている。
また、直動形アクチュエータ部１０のヘッドカバー側のシリンダ室１８と揺動形アクチュエータ部３０のヘッドカバー３６側のシリンダ室３８との間がチェック弁付きシーケンス弁４０を介して接続されており、シリンダ室３８とチェック弁付きシーケンス弁４０との接続流路に対して他方の給排ポート６７が接続されている。
尚、チェック弁付きシーケンス弁４０はシリンダ室３８との接続側が一次側になっている。
【００３６】
そして、この実施形態の複合動作形アクチュエータにおいても、チェック弁付きシーケンス弁４０と止め弁５０の設定状態によって、図１２に示すような３つの動作モード（Ａ２，Ｂ２，Ｃ２）をとることができる。
この内、Ａ２モードでは、チェック弁付きシーケンス弁４０が開放状態に、止め弁５０が閉鎖状態に設定されているため、揺動形アクチュエータ部３０が機能しない状態で、直動形アクチュエータ部１０を通常の複動シリンダとして利用できる流体回路が構成されており、実施形態１におけるＡ１モードと同様である。
また、Ｂ２モードでは、チェック弁付きシーケンス弁４０と止め弁５０が共に開放状態に設定されており、給排ポート６６，６７の位置が実施形態１の場合と異なっていても、流体回路の構成は実施形態１のＢ１モードの場合と全く同一となる。従って、Ｂ１モードで説明したように、ピストン・ロッド１１を（回転を伴った前進）→（前進）→（回転を伴った後退）→（後退）の順に動作させることができる。
【００３７】
この実施形態において、ピストン・ロッド１１の動作が実施形態１の場合と異なるのはＣ２モードだけである。即ち、チェック弁付きシーケンス弁４０における閉から開に切り換る際のパイロット圧の設定値が一定の大きさに設定し、止め弁５０が開放状態に設定した場合であるだけである。
また、ピストン・ロッド１１の動作の観点からみると、実施形態１のＣ１モードではピストン・ロッド１１が後退限にある状態（ピストン・ロッド３２も後退限）を初期状態として（回転を伴った前進）→（前進）→（回転）→（回転を伴った後退）の順に動作して初期状態に戻ったが、この実施形態のＣ２モードでは前記初期状態から（回転）→（前進）→回転を伴った後退）→（後退）の順に動作して初期状態に戻るようになっており、ピストン・ロッド１１が回転のみの動作となる工程が、前進限から作動させた場合か、後退限（初期状態）から作動させた場合かで異なっているだけである。
【００３８】
今、ピストン・ロッド１１とピストン・ロッド３２が図１１のように後退限にあり、４ポート２位置切換え弁７０により給排ポート６７にポンプ側回路を接続して作動流体を供給し、給排ポート６６をドレン側回路に接続した状態にすると、図１３に示すように、シリンダ室３８に作動流体が流入してピストン・ロッド３２（螺合板３４と一体）が前進せしめられ、螺合板３４と螺合棒３５の歯合関係に基づいてピストン・ロッド３２が回転し、揺動軸３１が回転することによりピストン・ロッド１１が回転する。尚、シリンダ室３７の作動流体は開放状態の止め弁５０から給排ポート６６を通じてドレン側回路へ排出される。
一方、給排ポート６７はチェック弁付きシーケンス弁４０の一次側に連通しているが、チェック弁付きシーケンス弁４０はパイロット圧が設定値以上にならなければ閉のままであり、この段階ではシリンダ室１８に作動流体が流入することはないため、ピストン・ロッド１１は軸方向へ移動しない。
従って、図１３に示すように、ピストン・ロッド１１は回転のみを行うことになり、その回転はピストン・ロッド３２が前進限に達するまで継続する。
次に、図１４に示すように、ピストン・ロッド３２が前進限に達すると、シリンダ室３８への作動流体の流入が停止してチェック弁付きシーケンス弁４０の一次側が昇圧し、その流体圧が前記の設定パイロット圧以上になるとチェック弁付きシーケンス弁４０は閉から開に切り換る。
従って、作動流体がチェック弁付きシーケンス弁４０を通じてシリンダ室１８へ流入し、その段階でピストン・ロッド１１が前進を開始する。
即ち、Ｃ２モードでは、後退限（初期状態）から作動させた際に、ピストン・ロッド１１は回転動作を行った後に前進動作を行うことになる。
【００３９】
一方、図１５に示すように、ピストン・ロッド１１とピストン・ロッド３２が前進限にあり、４ポート２位置切換え弁７０により給排ポート６６にポンプ側回路を接続して作動流体を供給し、給排ポート６７をドレン側回路に接続した状態にすると、給排ポート６６に供給される作動流体は、シリンダ室１７へ直接流入すると共に開放状態にある止め弁５０を通じてシリンダ室３７へも流入し、ピストン・ロッド１１とピストン・ロッド３７を後退させる。尚、その場合に、シリンダ室１８の作動流体はチェック弁付きシーケンス弁４０のチェック弁から給排ポート６７を通じて、またシリンダ室３８の作動流体は給排ポート６７から直接にドレン側回路に排出される。
従って、実施形態１のＢ１モードやこの実施形態のＢ２モードと同様に、ピストン・ロッド１１が回転しながら後退することになる。
一般的に、中子の引き抜きについてはこのようなピストン・ロッド１１の動作が必要とされることはないが、作業ロボットのアーム等の動作において必要になる場合もあり、そのような用途への適用が考えられる。
【００４０】
［実施形態３］
この実施形態の複合動作形アクチュエータは、実施形態１及び２における揺動形アクチュエータ部に従来技術（図１８）で採用していた駆動方式を適用した場合に関し、図１６及び図１７にその断面図と付属流体回路の構成を示す。
図１６及び図１７において、直動形アクチュエータ部１０、チェック弁付きシーケンス弁４０及び止め弁５０については実施形態１及び２の場合と同様の構造を備えており、図１及び図１１における符号と同一符号で示されている各機素は同一のものである。
【００４１】
揺動形アクチュエータ部８０，９０はシリンダ構造であり、揺動軸８１，９１を直動形アクチュエータ部１０側のヘッドカバー１２と後端カバー８２，９２に設けたラジアルベアリング８３，８４，９３，９４で回動自在に軸支している。
そして、揺動軸８１，９１には揺動形アクチュエータ部８０，９０の区間内においてヘリカルスプラインによる雄ネジ８５，９５が形成されており、その雄ネジ８５，９５に対して螺合するヘリカルスプラインによる雌ネジ８６，９６を形成したピストン８７，９７が内装されている。
尚、雄ネジ８５，９５と雌ネジ８６，９６のリード角は４５°〜８７°の範囲内で設定されるが、従来技術と同様にボールネジを適用した場合には更に小さいリード角にすることができる。
また、そのピストン８７，９７には前記の雌ネジ８６，９６の孔からずれた位置に軸方向へ貫通孔が形成されており、ヘッドカバー１２と後端カバー８２，９２の間に横架固定した棒８８，９８がその貫通孔に挿通されていることによりピストン８７，９７の回り止め機構が構成されている。
【００４２】
そして、揺動軸８１，９１の前方区間は、実施形態１及び２における揺動軸３１と同様に直動形アクチュエータ部１０側のピストン・ロッド１１の中空孔１３に内挿されており、中空孔１３との関係で軸方向に関するすべり対偶だけの限定対偶を構成している。
即ち、揺動軸８１，９１の外周面には軸方向に沿って溝８１a，９１aが形成されており、その溝８１a，９１aとピストン・ロッド１１の中空孔１３の後端区間に形成されたキー溝１１aとの間にすべりキー１４を装填した構成になっており、
揺動軸３１の回動力はピストン・ロッド１１に伝達されるが、ピストン・ロッド１１は軸方向へ自由に移動できるようになっている。
【００４３】
従って、揺動形アクチュエータ部８０では給排ポート８９，６２からの作動流体の給排制御により、また揺動形アクチュエータ部９０では給排ポート６６，９９からの作動流体の給排制御により、実施形態１及び２の場合と同様に揺動軸８１，９１を回動させることができ、図１６及び図１７の複合動作形アクチュエータによっても、各弁４０，５０の設定条件に基づいて、それぞれ図２及び図１２の表に示したピストン・ロッド１１の動作を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の複合動作形アクチュエータは、ダイカスト用金型の中子ピンのセットと引き抜きや、作業ロボットのアーム駆動等に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】（Ａ）は実施形態１の複合動作形アクチュエータの断面図と付属流体回路の構成図であり、（Ｂ）は（Ａ）におけるＸ-Ｘ矢視断面図である。
【図２】実施形態１の複合動作形アクチュエータにおけるチェック弁付きシーケンス弁と止め弁の設定状態とピストン・ロッドの動作との関係を示す動作モード表である。
【図３】実施形態１の複合動作形アクチュエータにおけるＡ１モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図４】実施形態１の複合動作形アクチュエータにおけるＡ１モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図５】実施形態１の複合動作形アクチュエータにおけるＢ１モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図６】実施形態１の複合動作形アクチュエータにおけるＢ１モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図７】実施形態１の複合動作形アクチュエータにおけるＢ１モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図８】実施形態１の複合動作形アクチュエータにおけるＢ１モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図９】実施形態１の複合動作形アクチュエータにおけるＢ１モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図１０】実施形態１の複合動作形アクチュエータにおけるＣ１モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図１１】実施形態２の複合動作形アクチュエータの断面図と付属流体回路の構成図である。
【図１２】実施形態２の複合動作形アクチュエータにおけるチェック弁付きシーケンス弁と止め弁の設定状態とピストン・ロッドの動作との関係を示す動作モード表である。
【図１３】実施形態２の複合動作形アクチュエータにおけるＣ２モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図１４】実施形態２の複合動作形アクチュエータにおけるＣ２モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図１５】実施形態２の複合動作形アクチュエータにおけるＣ２モードでの動作過程を示す断面図と付属流体回路の構成図である。
【図１６】実施形態３に係る一方の複合動作形アクチュエータの断面図と付属流体回路の構成図である。
【図１７】実施形態３に係る他方の複合動作形アクチュエータの断面図と付属流体回路の構成図である。
【図１８】従来技術（実開平２−１４８０３号）に係る複合動作形アクチュエータの断面図と付属流体回路の構成図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０…直動形アクチュエータ部、１１…ピストン・ロッド、１１a…キー溝、１２…ヘッドカバー、１３…中空孔、１４…すべりキー、１５…給排ポート、１６…ロッドカバー、１７…シリンダ室、１８…シリンダ室、３０…揺動形アクチュエータ部、３１…揺動軸、３１a…溝、３２…ピストン・ロッド、３３…中空孔、３４…螺合板、３５…螺合棒、３６…ヘッドカバー、３７…シリンダ室、３８…シリンダ室、４０…チェック弁付きシーケンス弁、５０…止め弁、６１…給排ポート、６２…給排ポート、７０…４ポート２位置切換え弁、６６…給排ポート、６７…給排ポート、８０…揺動形アクチュエータ部、８１…揺動軸、８１a…溝、８２…後端カバー、８３…ラジアルベアリング、８４…ラジアルベアリング、８５…雄ネジ、８６…雌ネジ、８７…ピストン、８８…棒、８９…給排ポート、９０…揺動形アクチュエータ部、９１…揺動軸、９１a…溝、９２…後端カバー、９３…ラジアルベアリング、９４…ラジアルベアリング、９５…雄ネジ、９６…雌ネジ、９７…ピストン、９８…棒、９９…給排ポート、１００…直動形アクチュエータ部、１０１…ピストン・ロッド、１０２…ヘッドカバー、１０３…中空孔、１０４…ブッシュ、１０５…給排ポート、１０６…給排ポート、１２０…揺動形アクチュエータ部、１２１…揺動軸、１２１a…外周面の対向位置にある部分、１２２…前端カバー、１２３…後端カバー、１２４…ラジアルベアリング、１２５…ラジアルベアリング、１２６…シリンダチューブ、１２７…ボールネジ、１２８…ピストン、１２９…ネジ孔、１３０…突起、１３１…ガイド孔、１３２…給排ポート、１３３…給排ポート、１４１…４ポート３位置切換え弁、１４２…４ポート３位置切換え弁。
【図１】
2006017132.tif 000003
【図２】
2006017132.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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