(57)【要約】【課題】  片面一括封止を用いて、アウターリードが側面から突出した樹脂封止型半導体パッケージを製造する。【解決手段】  複数の同一パターンが碁盤目状に形成されたリードフレームの各パターンのダイパッドに半導体素子をダイボンドする工程と、半導体素子の電極パッドとリードフレームのインナーリードをワイヤによりワイヤボンドする工程と、リードフレームの隣接するパッケージ間のアウターリード上に溶剤可溶性樹脂を設ける工程と、リードフレーム上に実装された複数の半導体素子を封止樹脂で片面一括封止する封止工程と、封止工程の後にリードフレームを溶剤に浸漬することで溶剤可溶性樹脂を溶解除去する工程と、各々のパッケージに分離個片化する工程とを有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の同一パターンが碁盤目状に形成されたリードフレームの各パターンのダイパッドに半導体素子をダイボンドする工程と、
前記半導体素子の電極パッドと前記リードフレームのインナーリードをワイヤによりワイヤボンドする工程と、
前記リードフレームの隣接するパッケージ間のアウターリード上に溶剤可溶性樹脂を設ける工程と、
前記リードフレーム上に実装された複数の前記半導体素子を封止樹脂で片面一括封止する封止工程と、
前記封止工程の後に前記リードフレームを溶剤に浸漬することで前記溶剤可溶性樹脂を溶解除去する工程と、
各々のパッケージに分離個片化する工程とを有することを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
【請求項２】
前記溶剤可溶性樹脂を溶解除去した後に前記アウターリードに外装めっきをする工程を更に有することを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項３】
前記リードフレームに半導体素子をダイボンドする前に、前記リードフレームの少なくともアウターリードとなる領域に外装めっきをする工程を更に有することを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項４】
前記溶剤可溶性樹脂の高さを前記ワイヤの高さよりも高くし、前記片面一括封止にシート状樹脂を用いることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の半導体パッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、片面一括封止を用いて、アウターリードが側面から突出した樹脂封止型半導体パッケージを製造することができる方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体パッケージは、リードフレーム上に半導体素子を接着し、半導体素子とリードフレームをワイヤで接合した後、リードフレームのアウターリードを除く全体を封止樹脂で封止したものである。このようなパッケージとして、QFP(Quad Flat Package)などがある。しかし、このパッケージは、小面積化、薄型化の点では未だ改善の余地があり、また各半導体素子を個別に封止するため生産性が低いという問題があった。
【０００３】
この問題を解決するために提案された半導体パッケージの製造方法について説明する（例えば、特許文献１又は２参照）。まず、リードフレーム上の複数の半導体素子を封止樹脂で片面一括封止する。次に、個々に分離個片化する。この方法により製造されるパッケージとして、例えばQFN(Quad Flat Non-leaded package)やSON(Small Outline Non-leaded package)などがある。このパッケージでは、リードフレームが封止樹脂から突出していないので、小面積化及び薄型化を図ることができる。また、リードフレーム上の複数の半導体素子を樹脂で片面一括封止するため生産性が高い。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１２７７３号公報
【特許文献２】特開２００３−８６６１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の製造方法により得た半導体パッケージでは、パッケージ裏面の封止樹脂から露出したリードフレームを外部接続用電極としている。このため、マザー基板への実装において半田の接合面積が小さいため半田接合強度が低いという問題があった。また、基板に曲げが加わった際にその応力を緩衝する場がなく、実装後の信頼性が低いという問題もあった。
【０００６】
一方、アウターリードが側面から突出した半導体パッケージは、マザー基板への実装においてアウターリードの周囲全体に半田が濡れるため半田接合強度が高く、基板曲げ耐性も強い。しかし、この構造の半導体パッケージは、従来の製造方法では製造するのが困難であった。それは、アウターリードも含めて樹脂で片面一括封止されるため、個片化時にパッケージの側面から突出した清浄なアウターリードを露出させることができないからである。
【０００７】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、片面一括封止を用いて、アウターリードが側面から突出した樹脂封止型半導体パッケージを製造することができる方法を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る樹脂封止型半導体パッケージの製造方法は、複数の同一パターンが碁盤目状に形成されたリードフレームの各パターンのダイパッドに半導体素子をダイボンドする工程と、半導体素子の電極パッドとリードフレームのインナーリードをワイヤによりワイヤボンドする工程と、リードフレームの隣接するパッケージ間のアウターリード上に溶剤可溶性樹脂を設ける工程と、リードフレーム上に実装された複数の半導体素子を封止樹脂で片面一括封止する封止工程と、封止工程の後にリードフレームを溶剤に浸漬することで溶剤可溶性樹脂を溶解除去する工程と、各々のパッケージに分離個片化する工程とを有する。本発明のその他の特徴は以下に明らかにする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により、片面一括封止を用いた場合でも、アウターリードが側面から突出した樹脂封止型半導体パッケージを製造することができる。これにより、小面積化及び薄型化を図ることができ、生産性が高く、半田接合強度が高く、基板曲げ耐性も強い樹脂封止型半導体パッケージを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１．
以下、本発明の実施の形態１に係る樹脂封止型半導体パッケージの製造方法について図１及び図２を用いて説明する。図１は、各工程における横断面図、図２は各工程におけるアウターリード切断位置における別方向から見た断面図である。
【００１１】
まず、図１（ａ），図２（ａ）に示すように、リードフレーム１１の各パターンのダイパッドに半導体素子１２をダイボンドする。リードフレーム１１は４２アロイや銅からなる板状のもので、エッチングやパンチングにより複数の同一パターンが碁盤目状に形成されている。また、リードフレーム１１のインナーリードには、後のワイヤボンドでワイヤ１３と金属接合が得られるように、銀などのめっきが施されている。
【００１２】
そして、半導体素子１２の電極パッドとリードフレーム１１のインナーリードをワイヤ１３によりワイヤボンドする。ワイヤ１３の材料は、主に金が使用される。また、接合に使用される材料は、半田や銀ペースト等の接着剤である。
【００１３】
さらに、リードフレーム１１の隣接するパッケージ間のアウターリード上に溶剤可溶性樹脂１４を幅０．３ｍｍ以上で設ける。この溶剤可溶性樹脂１４がリードフレーム１１の下面に垂れないように、リードフレーム１１の下面に密着するようにフィルムを載置するのが好ましい。フィルム材料としては、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、シリコーン、またはＦＥＰ（四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体）などのフッ素系樹脂が挙げられる。溶剤可溶性樹脂はスチレンブタジエンゴム、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、エチルセルロースなどを重量分率３０〜５０％程度含み、トルエン、キシレン、メチルエチルケトンなどの有機溶剤に溶かし込んで希釈したものを用いる。更に、充填剤として、シリカなどの無機粉末を含んでも良い。溶剤可溶性樹脂の塗布は、印刷、ディスペンス、インクジェットなどの方法で行われる。溶剤可溶性樹脂１４の塗布後、含まれる溶剤を揮発させることで、溶剤可溶性樹脂１４を固化させる。その後、フィルムを除去する。
【００１４】
次に、図１（ｂ），図２（ｂ）に示すように、リードフレーム１１上に実装された複数の半導体素子１２を封止樹脂１５で片面一括封止する。この際、リードフレーム１１のアウターリード領域に設けた溶剤可溶性樹脂１４も同時に封止樹脂１５で片面一括封止される。ここでは、封止材としてシート状樹脂を用い、装置は真空ラミネータまたは真空プレスを用いる。また、トランスファーモールド法を用いても良いが、この場合、封止時にリードフレーム１１の裏面への封止樹脂１５の周り込みを防ぐため、封止シートを用いるのが望ましい。この封止シートは、予め半導体素子１２搭載前のリードフレーム１１に設けても良い。真空ラミネータおよび真空プレスでは、一般的に搬送用にＰＥＴなどのフィルムを用いるため、封止樹脂１５の成形加圧時に、リードフレーム１１下面とフィルムが密着し、リードフレーム１１下面への封止樹脂１５の回り込みを抑えることができる。勿論、トランスファーモールド法と同様に、封止シートを用いて、真空ラミネータや真空プレスで成形することも可能である。
【００１５】
次に、図１（ｃ），図２（ｃ）に示すように、封止樹脂１５で片面一括封止されたリードフレーム１１を溶剤に浸漬することで溶剤可溶性樹脂１４を溶解除去する。封止時に封止シートを用いた場合は、一括封止後、封止シートをリードフレーム１１から剥離しておく。浸漬する溶剤は、溶剤可溶性樹脂１４を希釈していた溶剤を使用すれば良い。そうすることで、元々溶剤可溶性樹脂１４が存在した箇所、つまりアウターリード部は空洞１６となる。
【００１６】
次に、図１（ｄ），図２（ｄ）に示すように、溶剤可溶性樹脂１４を溶解除去した後にアウターリードに外装めっきをする。めっきは半田浴で電気めっきによる。外装めっきにより、露出しているリードフレーム１１面全体にめっき皮膜１７が付着する。元々溶剤可溶性樹脂１４が存在した箇所が空洞であるため、アウターリードの表面（半導体素子１２搭載面側）や側面にもめっき皮膜１７が付着する。
【００１７】
次に、図１（ｅ），図２（ｅ）に示すように、各々のパッケージに分離個片化する。個片化は、ダイシング法を用いて２段階で行う。ダイシング法はダイヤモンド粉を円盤の外周に焼結した回転刃を回転させながら、ウエハなどを切断する方式である。まず、封止樹脂１５で片面一括封止されたリードフレーム１１の半導体素子１２搭載面側から、アウターリード領域の空洞上に残った封止樹脂１５を除去する。除去する封止樹脂１５の幅が０．３ｍｍ程度の場合は、厚いダイシングの刃を用いて、不要な樹脂部を１回の走査で削り落とせばよい。ダイシングの深さは、リードフレーム１１表面から上へ、０〜１００μｍの位置とする。次に、半導体素子１２の搭載面側から、２段階目のダイシングを行い、アウターリードを切断する。用いる回転刃は１段階目に用いた回転刃より薄いものを用いる。以上で、各々個片化された半導体パッケージが完成する。なお、溶剤可溶性樹脂１４の幅を０．３ｍｍ以上とすることで、半導体パッケージ側面からのアウターリードの突出を０．２ｍｍ以上とすることができる。また、２段階目のダイシングの代わりに、金型によるリードカットで個片化しても良い。また、これまでの説明では、ダイシング前に外装めっきを行ったが、１段階目のダイシングと２段階目のダイシングの間に外装めっき工程を挿入しても、同じ完成品が得られる。
【００１８】
以上説明した製造方法により、片面一括封止を用いて、アウターリード１８が側面から突出した樹脂封止型半導体パッケージを製造することができる。これにより、小面積化及び薄型化を図ることができ、生産性が高く、半田接合強度が高く、基板曲げ耐性も強い樹脂封止型半導体パッケージを得ることができる。
【００１９】
また、アウターリード１８の表面には、除去が困難な封止樹脂１５ではなく、溶剤可溶性樹脂１４が接しているため、溶剤浸漬により容易にアウターリード表面を清浄化することができる。これにより、リード切断面を除いたアウターリード全面に外装めっきが付着した半導体パッケージを得ることができる。従って、本実施の形態に係る半導体パッケージを外部基板へ実装する際には、接合力の大きい良好な半田接合が形成され、実装信頼性が向上する。
【００２０】
実施の形態２．
以下、本発明の実施の形態２に係る樹脂封止型半導体パッケージの製造方法について図３及び図４を用いて説明する。図３は、各工程における横断面図、図４は各工程におけるアウターリード切断位置における別方向から見た断面図である。図１又は図２と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
【００２１】
実施の形態２では、図３（ａ），図４（ａ）に示すように、リードフレーム１１に半導体素子１２をダイボンドする前に、リードフレーム１１の少なくともアウターリードとなる領域に外装めっきをする。図では、リードフレーム１１全面にめっき皮膜１７ａを形成した場合について示す。リードフレーム１１に予め施されるめっきはプリプレーティングと呼ばれる。また、めっき皮膜１７ａの構成は、ニッケル−パラジウム−金を想定している。そして、めっき皮膜１７ａを形成した後、リードフレーム１１の隣接するパッケージ間のアウターリード上に溶剤可溶性樹脂１４を実施の形態１と同様にして設ける。
【００２２】
次に、図３（ｂ），図４（ｂ）に示すように、リードフレーム１１上に実装された複数の半導体素子１２を封止樹脂１５で片面一括封止する。
【００２３】
次に、図３（ｃ），図４（ｃ）に示すように、封止樹脂１５で片面一括封止されたリードフレーム１１を溶剤に浸漬することで溶剤可溶性樹脂１４を溶解除去する。これにより、元々溶剤可溶性樹脂１４が存在した箇所、つまりアウターリード部は空洞１６となり、アウターリード表面に予め施されたプリプレーティング面が露出する。
【００２４】
次に、図３（ｄ），図４（ｄ）に示すように、各々のパッケージに分離個片化する。実施の形態１では分離個片化の前に外装めっきを行ったが、本実施の形態２では、予めリードフレーム１１にプリプレーティングが施されているため、この時点で外装めっきを行う必要はない。
【００２５】
以上説明した製造方法により、片面一括封止を用いて、アウターリード１８が側面から突出した樹脂封止型半導体パッケージを製造することができる。これにより、小面積化及び薄型化を図ることができ、生産性が高く、半田接合強度が高く、基板曲げ耐性も強い樹脂封止型半導体パッケージを得ることができる。
【００２６】
また、封止時にアウターリード１８部分のめっき皮膜１７ａに接しているのは、除去が困難な封止樹脂１５ではなく、溶剤可溶性樹脂１４であるため、封止後の溶剤浸漬により、容易にアウターリード表面を全面に渡って清浄化し、予めリードフレーム１１に施されたプリプレーティング面が露出再生できる。これにより、リード切断面を除いたアウターリード全面に外装めっきが付着した半導体パッケージを得ることができる。従って、本実施の形態に係る半導体パッケージを外部基板へ実装する際には、接合力の大きい良好な半田接合が形成され、実装信頼性が向上する。
【００２７】
実施の形態３．
図５は、本発明の実施の形態３に係る半導体パッケージの製造方法における封止工程を示す横断面図である。図示のように、片面一括封止に用いるシート状樹脂１５ａをリードフレーム１１上に載置している。封止装置として真空ラミネータまたは真空プレスを用いる。
【００２８】
ここで、実施の形態３では、溶剤可溶性樹脂１４の高さを、リードフレーム１１のインナーリードと半導体素子１２をワイヤボンドしているワイヤ１３の高さより高くしている。その他の工程は実施の形態１又は２と同様である。これにより、シート状樹脂１５ａを封止前のリードフレーム１１上に載置しても、ワイヤ１３を変形することがない。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態１に係る樹脂封止型半導体パッケージの製造方法の各工程における横断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る樹脂封止型半導体パッケージの製造方法の各工程におけるアウターリード切断位置における別方向から見た断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る樹脂封止型半導体パッケージの製造方法の各工程における横断面図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る樹脂封止型半導体パッケージの製造方法の各工程におけるアウターリード切断位置における別方向から見た断面図である。
【図５】本発明の実施の形態３に係る半導体パッケージの製造方法における封止工程を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１１  リードフレーム
１２  半導体素子
１３  ワイヤ
１４  溶剤可溶性樹脂
１５  封止樹脂
１５ａ  シート状樹脂
１７，１７ａ  めっき皮膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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