(57)【要約】【課題】  特にスペーサを介して高さ方向にて相対向する弾性接点の固定部どうしの対向面積を従来よりも広くできるとともに、前記弾性接点の実装密度も向上させることが可能な接点部材及びその製造方法を提供。【解決手段】  複数の接触子をシート部材２６にラインＣ（対称軸）に対し線対称に配置し、さらに前記接触子の固定部を全て略逆Ｌ字状で形成する。これにより領域Ｄに現われる前記固定部と、領域Ｅに現われる固定部は、前記ラインＣに対し実質的に線対称形状で形成され、図１に示す同じ接点シートを二枚用意し、一枚を前記ラインＣを回転軸として反転させた状態の接点シートと、反転させなかった接点シートを、スペーサの上下に接合すると、高さ方向で対向する接触子の固定部の対向面積は従来よりも大きくなる。本発明では前記接触子の実装密度を高めることが出来るとともに、電気的信頼性に優れた接点部材を製造できる。【選択図】図１
2006269149.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スペーサと、前記スペーサ上に設けられた上側弾性接点と、前記スペーサ下に設けられた下側弾性接点と、を有し、
前記上側弾性接点及び下側弾性接点は、前記スペーサに固定される固定部と、前記固定部から延出する弾性変形部とを有し、前記固定部は前記弾性変形部の外側の周囲の一部にのみ設けられており、
前記スペーサの高さ方向にて対向する上側弾性接点の固定部と、前記下側弾性接点の固定部とが、前記高さ方向にて実質的に対向していることを特徴とする接点部材。
【請求項２】
前記固定部と前記スペーサ間が導電性接着剤を介して接着固定されている請求項１記載の接点部材。
【請求項３】
複数の弾性接点とシート部材とを有してなる同じ接点シートが二枚形成され、一枚が上側接点シートとして前記スペーサ上に接合され、もう一枚が下側接点シートとして前記スペーサ下に接合されており、前記上側接点シート及び下側接点シートのどちらか一方が、シート上に任意に設定された対称軸を回転軸にして、反転させられた状態で、前記スペーサに接合されている請求項１または２に記載の接点部材。
【請求項４】
複数の前記弾性接点が、前記対称軸に対し線対称に配置されるとともに、前記対称軸により二分された接点シートの一方の領域に現われる前記弾性接点の固定部と、他方の領域に現われる前記固定部とが前記対称軸に対して、実質的に線対称形状にて形成される請求項３記載の接点部材。
【請求項５】
前記固定部は、前記対称軸あるいは前記対称軸と平行な方向の平行線の両側に実質的に線対称形状にて形成されている請求項４記載の接点部材。
【請求項６】
前記シート部材上面の一方向を幅方向、前記幅方向に直交する方向を長さ方向と仮定したとき、前記固定部は、前記幅方向及び長さ方向の二辺に延出して形成されており、前記対称軸は、前記幅方向及び長さ方向からそれぞれ４５度の位置に設定される請求項５記載の接点部材。
【請求項７】
複数の弾性接点がシート部材に保持された接点シートを、
（ａ）  前記弾性接点を、固定部と、前記固定部から延出する弾性変形部とを有して形成し、このとき、前記シート上に任意に設定した対称軸に対して複数の前記弾性接点を線対称の位置に配置するとともに、前記対称軸により二分される一方の領域に現われる前記弾性接点の固定部と、他方の領域に現われる前記固定部とを前記対称軸に対して、実質的に線対称形状にて形成する工程、
（ｂ）  複数の前記弾性接点を、前記シート部材に保持する工程、
を有して形成し、
さらに
（ｃ）  前記（ａ）（ｂ）工程で形成された同じ接点シートを二枚用意し、そのうち一枚の前記接点シートを、前記対称軸を回転軸として反転させる工程、
（ｄ）  スペーサの上側あるいは下側に前記反転させられた接点シートを反転状態のまま前記スペーサに接合し、反転されていないもう一枚の接点シートを、非反転状態のまま前記スペーサのもう一方の面に接合する工程、
を有し、これにより、前記スペーサの高さ方向にて対向する弾性接点の固定部どうしを前記高さ方向にて実質的に対向させることを特徴とする接点部材の製造方法。
【請求項８】
前記接点シートを前記スペーサに接合するとき、前記固定部と前記スペーサ間に導電性接着剤を塗布し、弾性変形部には非接触な加圧治具を用い、スペーサを介して上下にて対向する前記固定部を前記加圧治具によりスペーサ方向に加圧して、前記固定部を前記スペーサに接着固定する請求項７記載の接点部材の製造方法。
【請求項９】
前記シート部材には、前記対称軸に対し線対称形状の位置決め孔を形成し、前記位置決め孔を二枚の接点シートに対し同じ位置に形成し、これにより、（ｃ）工程にて、一枚の前記接点シートを前記対称軸を回転軸として反転させたとき、非反転状態の前記接点シートに現われる位置決め孔と、反転状態の前記接点シートに現われる位置決め孔とが高さ方向にて対向する位置関係になり、
前記（ｄ）工程時、前記スペーサの上側及び下側に接合する接点シートに共通の位置決め部材を用いて、各接点シートを前記スペーサに対し位置決めする請求項７あるいは８に記載の接点部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スペーサの上下に設けられた弾性接点を有してなる接点部材に係り、特に、上側弾性接点と下側弾性接点とを適切に前記スペーサに接合でき、電気的信頼性を向上させることが可能な接点部材及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
超微細化する電子部品の電気的試験を良好に行なうために、弾性接点としてスパイラル接触子を有する接続基板が開発されている。また前記接続基板は電子部品と基板間などのコネクタ等としても使用できる。
【０００３】
前記接続基板は、下記の特許文献１では、スペーサ（プリント基板）の上に導電接着剤を介してスパイラル接触子を多数有するシート部材（レジストフィルム）が貼り付けられた構造である。
【０００４】
例えば特許文献１の図８等には前記スパイラル接触子の平面形状が開示されている。前記スパイラル接触子は、弾性変形可能なスパイラル状の弾性変形部と、前記弾性変形部の外周を囲むリング形状の固定部とで構成されている。
前記固定部が前記スペーサに前記導電性接着剤を介して接着固定される。
【特許文献１】特開２００２−１７５８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の図４等に示すようにスパイラル接触子を多数設けるとき、スペーサに対する単位面積当たりの実装密度を高めるためには、前記スパイラル接触子の固定部がリング形状ではないほうがよい。またスパイラル接触子の弾性変形部に大きなばね定数を与えるには前記弾性変形部の幅寸法を大きくしたいが、特許文献１のようにリング形状の固定部の内側にスパイラル形状の弾性変形部を設ける構造では、前記弾性変形部の幅寸法を広くするにも限界があり、また前記幅寸法を広くすれば、リング形状の固定部をさらに大きく形成しなければならず前記スパイラル接触子の実装密度の向上を高めることが出来ない。よって特許文献１のスパイラル接触子の構造では、前記スパイラル接触子の実装密度の向上とばね定数の向上の双方を同時に得ることが出来ない。
【０００６】
そこで例えば図１２に示すように、スパイラル接触子１のスパイラル形状に形成された弾性変形部２の巻き始端２ａからＹ１−Ｙ２方向にのみ略直線状に延びる固定部３を形成し、前記弾性変形部２の外側の周囲全てを特許文献１のように前記固定部３にて囲まない形状が考えられた。図１２に示す幅方向（図示Ｘ１−Ｘ２方向）を行と、長さ方向（Ｙ１−Ｙ２方向）を列としたとき、特に図１２に示すように同じ行に並ぶスパイラル接触子１を同じ形状にて形成するとともに、列方向にて隣接する一方の行に並ぶスパイラル接触子１の弾性変形部２と固定部３との配置関係に対し（例えば図１２に示す図示上側の行に並ぶスパイラル接触子１は、弾性変形部２に対し右側に固定部３が配置される）、もう一方の行に並ぶスパイラル接触子１では、前記配置関係を逆にすることで（図１２に示す図示下側の行に並ぶスパイラル接触子１は、弾性変形部２に対し左側に固定部３が配置される）、前記スパイラル接触子の実装密度を向上させることが可能になり、特許出願人は、かかる発明を既に、特願２００４−７９７４５号として出願している。
【０００７】
図１２に示す複数のスパイラル接触子１は、樹脂性のシート部材４に保持され、前記シート部材４とスパイラル接触子１とからなる接点シート５は、スペーサ上に導電性接着剤を用いて接着固定される。
【０００８】
ところで、前記スペーサの上下面に前記スパイラル接触子１を設けたいとき、前記接点シート５を、前記スペーサの上面に接合する接点シート（以下、上側接点シートと言う）と、前記スペーサの下面に接合する接点シート（以下、下側接点シートと言う）を同じ接点シートで形成することが製造費の削減等を実現できて好ましい。
【０００９】
図１２に示すように、前記接点シート５には前記スペーサに対する位置決め孔６，７，８が形成されている。図１２に示す同じ接点シート５を２枚用意し、幅方向（図示Ｘ方向）及び長さ方向（図示Ｙ方向）からそれぞれ４５度の位置にあるラインＡを回転軸として、一枚の接点シートを反転させる。すると反転させられた前記接点シートの平面形状は図１３に示す形態として現われる。
【００１０】
前記位置決め孔のうち図示左上にある符号６の円形状の位置決め孔はラインＡ上に設けられているため、ラインＡを回転軸として反転させられた図１３に示す接点シート５の位置決め孔６は図１２の位置決め孔６と同じ位置にあり、図１２に示す接点シートと、図１３に示す接点シートとをスペーサの上下に設置したとき、前記位置決め孔６が前記スペーサの高さ方向にて対向する状態となる。一方、図１２に示す図示左下及び図示右上にある符号７，８の位置決め孔は、前記ラインＡを対称軸とした線対称関係にあるため、前記ラインＡを回転軸として反転させると、図１２に示す位置決め孔７は図１３に示す位置決め孔８と同じ場所に位置し、図１２に示す位置決め孔８は図１３に示す位置決め孔７と同じ場所に位置し、図１２に示す接点シートと、図１３に示す接点シートとをスペーサの上下に設置したとき、前記位置決め孔７，８が前記スペーサの高さ方向にて対向する状態となる。このため図１２に示す接点シート５を例えば上側接点シートとし、図１３に示す接点シートを下側接点シートとしてスペーサの上下面に接着固定するとき、共通の位置決め部材を用いて、前記上側接点シート部材と下側接点シートとを前記スペーサに対し位置合わせでき、このように前記上側接点シートと、下側接点シートとを別個に位置合わせする必要がないため製造工程を簡略化できる。
【００１１】
しかし、図１２に示す上側接点シートと、図１３に示す下側接点シートとをスペーサの上下面に接着固定したとき、図１４に示すように、上側接点シートに設けられたスパイラル接触子の固定部３と、下側接点シートに設けられたスパイラル接触子の固定部３の前記スペーサを介して相対向する面積Ｂが非常に小さくなってしまうため、スペーサの上下に加圧部材を配置し、前記上側接点シート及び下側接点シートに前記加圧部材から加圧力を与えたとき、最も強く加圧される部位は前記面積Ｂの部分だけになり、それ以外の固定部３の部分には強い加圧力が作用しない。
【００１２】
このため、前記上側接点シートと、前記下側接点シートを適切に導電性接着剤を介して接着固定できないという問題があった。
【００１３】
前記スペーサの高さ方向にて相対向するスパイラル接触子の固定部どうしは、前記スペーサを貫通する貫通孔内に設けられた導通層を介して導通接続されるが、従来では、前記スパイラル接触子の固定部を前記スペーサに広い面積にて強く接着固定できないために、前記スパイラル接触子と前記導通層との導通接続が良好でなく、最悪の場合、前記接点シートが前記スペーサから剥がれたりする等、電気的信頼性を阻害する要因となっていた。
【００１４】
そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特にスペーサを介して高さ方向にて相対向する弾性接点の固定部どうしの対向面積を従来よりも広くできるとともに、前記弾性接点の実装密度も向上させることが可能な接点部材及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明における接点部材は、
スペーサと、前記スペーサ上に設けられた上側弾性接点と、前記スペーサ下に設けられた下側弾性接点と、を有し、
前記上側弾性接点及び下側弾性接点は、前記スペーサに固定される固定部と、前記固定部から延出する弾性変形部とを有し、前記固定部は前記弾性変形部の外側の周囲の一部にのみ設けられており、
前記スペーサの高さ方向にて対向する上側弾性接点の固定部と、前記下側弾性接点の固定部とが、前記高さ方向にて実質的に対向していることを特徴とするものである。
【００１６】
これにより前記上側弾性接点の固定部と、前記下側弾性接点の固定部との高さ方向における対向面積（スペーサを介した重なり面積）を従来よりも広げることが出来る。加えて、前記弾性接点の実装密度も向上させることが出来る。また、弾性変形部の幅を広くできばね定数を大きく出来る。
【００１７】
本発明では、前記固定部と前記スペーサ間が導電性接着剤を介して接着固定されていることが好ましく、前記対向面積を従来よりも大きくできることで、前記固定部を導電性接着剤を介してスペーサに強固に接着固定でき、電気的信頼性に優れた接点部材を提供できる。
【００１８】
また本発明では、複数の弾性接点とシート部材とを有してなる同じ接点シートが二枚形成され、一枚が上側接点シートとして前記スペーサ上に接合され、もう一枚が下側接点シートとして前記スペーサ下に接合されており、前記上側接点シート及び下側接点シートのどちらか一方が、シート上に任意に設定された対称軸を回転軸にして、反転させられた状態で、前記スペーサに接合されると、前記上側接点シートと下側接点シートとを異なる接点シートとして別個に形成する必要がなく、簡単に前記接点部材を形成できる。
【００１９】
また本発明では、複数の前記弾性接点が、前記対称軸に対し線対称に配置されるとともに、前記対称軸により二分された接点シートの一方の領域に現われる前記弾性接点の固定部と、他方の領域に現われる前記固定部とが前記対称軸に対して、実質的に線対称形状にて形成されることが好ましい。これにより、二枚ある同じ接点シートのうち、一枚の接点シートを反転させたとき、非反転状態の接点シートに現われる固定部と、反転状態の接点シートに現われる固定部とが前記スペーサを介して高さ方向にて実質的に対向し、前記固定部どうしの対向面積を大きく出来る。
【００２０】
また、前記固定部は、前記対称軸あるいは前記対称軸と平行な方向の平行線の両側に実質的に線対称形状にて形成されていることがより好ましい。これにより前記接点シートに形成される複数の弾性接点を全て同じ向きに形成でき、前記スパイラル接触子の形成を容易化できる。
【００２１】
例えば、前記シート部材上面の一方向を幅方向、前記幅方向に直交する方向を長さ方向と仮定したとき、前記固定部は、前記幅方向及び長さ方向の二辺に延出して形成されており、前記対称軸は、前記幅方向及び長さ方向からそれぞれ４５度の位置に設定される。
【００２２】
本発明における接点部材の製造方法は、
複数の弾性接点がシート部材に保持された接点シートを、
（ａ）  前記弾性接点を、固定部と、前記固定部から延出する弾性変形部とを有して形成し、このとき、前記シート上に任意に設定した対称軸に対して複数の前記弾性接点を線対称の位置に配置するとともに、前記対称軸により二分される一方の領域に現われる前記弾性接点の固定部と、他方の領域に現われる前記固定部とを前記対称軸に対して、実質的に線対称形状にて形成する工程、
（ｂ）  複数の前記弾性接点を、前記シート部材に保持する工程、
を有して形成し、
さらに
（ｃ）  前記（ａ）（ｂ）工程で形成された同じ接点シートを二枚用意し、そのうち一枚の前記接点シートを、前記対称軸を軸として反転させる工程、
（ｄ）  スペーサの上側あるいは下側に前記反転させられた接点シートを反転状態のまま前記スペーサに接合し、反転されていないもう一枚の接点シートを、非反転状態のまま前記スペーサのもう一方の面に接合する工程、
を有し、これにより、前記スペーサの高さ方向にて対向する各弾性接点の固定部どうしを前記高さ方向にて実質的に対向させることを特徴とするものである。
【００２３】
上記した接点シートの構成により、特にスペーサの上側に接合される上側接点シートと前記スペーサの下側に接合される下側接点シートを同じ接点シートで形成しても、スペーサを挟んで高さ方向にて相対向する前記上側弾性接点の固定部と、前記下側弾性接点の固定部とを実質的に対向させることができ、前記上側弾性接点の固定部と、前記下側弾性接点の固定部との対向面積を従来に比べて大きく出来る。また、上側接点シートと下側接点シートを同じ接点シートで形成できるから、製造工程を簡略化でき、さらに製造費の低減を図ることが出来る。
【００２４】
また本発明では、前記接点シートを前記スペーサに接合するとき、前記固定部と前記スペーサ間に導電性接着剤を塗布し、弾性変形部には非接触な加圧治具を用い、スペーサを介して上下にて対向する前記固定部を前記加圧治具によりスペーサ方向に加圧して、前記固定部を前記スペーサに接着固定することが好ましい。
【００２５】
また本発明では、前記シート部材には、前記対称軸に対し線対称形状の位置決め孔を形成し、前記位置決め孔を二枚の接点シートに対し同じ位置に形成し、これにより、（ｃ）工程にて、一枚の前記接点シートを前記対称軸を軸として反転させたとき、非反転状態の前記接点シートに現われる位置決め孔と、反転状態の前記接点シートに現われる位置決め孔とが高さ方向にて対向する位置関係になり、
前記（ｄ）工程時、前記スペーサの上側及び下側に接合する接点シートに共通の位置決め部材を用いて、各接点シートを前記スペーサに対し位置決めすることが好ましい。共通の位置決め部材で、前記下側接点シートと上側接点シートの双方を位置決めできるので、位置決め部材にかかる費用を低減できる。また共通の位置決め部材で位置決めできるので位置決め精度を向上させることが出来る。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、スペーサと、前記スペーサ上に設けられた上側弾性接点と、前記スペーサ下に設けられた下側弾性接点と、を有し、前記上側弾性接点及び下側弾性接点は、前記スペーサに固定される固定部と、前記固定部から延出する弾性変形部とを有し、前記固定部は前記弾性変形部の外側の周囲の一部にのみ設けられており、前記スペーサの高さ方向にて対向する上側弾性接点の固定部と、前記下側弾性接点の固定部とが、前記高さ方向にて実質的に対向していることを特徴とするものである。
【００２７】
これにより前記上側弾性接点の固定部と、前記下側弾性接点の固定部との高さ方向における対向面積（スペーサを介した重なり面積）を従来よりも広げることが出来る。従って従来よりも電気的信頼性に優れた接点部材を提供できる。加えて前記弾性接点の実装密度も向上させることが出来る。また、弾性変形部の幅を広くできばね定数を大きく出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
図１は第１実施形態における上側接点シートの平面図、図２は第１実施形態における下側接点シートの平面図、図３は図１に示す上側接点シートと、図２に示す下側接点シートと、前記上側接点シートと下側接点シートとの間に挟まれるスペーサとを有してなる接点部材の分解斜視図、図４は、図３に示すスペーサに上側接点シートと、下側接点シートを接合した状態での接点部材の部分断面図であり、特に図１に示すラインＣから高さ方向（Ｚ方向）にて切断したときの部分断面図、図５は、図４に示す接点部材を真上からみたときに、特に上側接点シートに設けられた弾性接点の固定部と、下側接点シートに設けられた弾性接点の固定部との重なり状態を示す説明図、図６は、図１及び図２に示す弾性接点と構造が異なる第２実施形態の弾性接点の平面図、図７は、図１及び図２に示す弾性接点と構造が異なる第３実施形態の弾性接点の平面図、図８は、スパイラル接触子の構造を説明するための部分側面図、図９は、図４に示す接点部材が搭載された接続装置の斜視図、図８は、スパイラル接触子の構造を説明するための部分側面図、図１０は本発明における接続部材の製造方法を示す一工程図（部分断面図）、図１１は図１０の次に行なわれる工程を示し、特に図１０よりも拡大して示した部分拡大断面図、である。
【００２９】
各図においてＺ１−Ｚ２方向（簡略してＺ方向と表現する場合もある）を高さ方向、Ｘ１−Ｘ２方向（簡略してＸ方向と表現する場合もある）を幅方向、Ｙ１−Ｙ２方向（簡略してＹ方向と表現する場合もある）を長さ方向として示し、各方向は、他の２つの方向に対し直交する関係をもつ。
【００３０】
図３に示すように接点部材２０は、スペーサ２１と、上側接点シート２２と、下側接点シート２３とを有して構成される。
【００３１】
まずスペーサ２１について説明する。前記スペーサ２１には図４に示すように複数の貫通孔２１ａが形成されている。前記貫通孔２１ａの平面形状は例えば円形状であるがそのような形状に限定されない。図４に示すように、前記貫通孔２１ａの内周面には導電性材料で形成された導通部２４が例えばスパッタ法等にて形成されている。前記導通部２４は、前記スペーサ２１の上面２１ｂ及び下面２１ｃにも一部延出して形成されている。図４に示すように、各貫通孔２１ａ内に形成された導通部２４どうしは接触しておらず、従って隣り合う貫通孔２１ａ内に形成された導通部２４どうしは導通状態にない。
【００３２】
次に、上側接点シート２２について説明する。前記上側接点シート２２は、複数のスパイラル接触子（弾性接点）２５，４０，４１，４２と、シート部材２６とを有して構成される。
【００３３】
図１に示すように前記スパイラル接触子２５，４０，４１，４２は、固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａと前記固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａからスパイラル形状に延出形成された弾性変形部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂとを有して構成される。
【００３４】
図１に示す左上に形成されたスパイラル接触子２５を中心に説明する。前記スパイラル接触子２５の前記固定部２５ａは図１に示すように図示Ｘ方向及び図示Ｙ方向に延びる略逆Ｌ字状で形成されている。前記固定部２５ａの図示Ｘ方向に延びる固定部を第１固定部２７と、図示Ｙ方向に延びる固定部を第２固定部２８として説明する。前記第１固定部２７の前記弾性変形部２５ｂと対向する対向側部（内側側部）２７ａは、前記弾性変形部２５ｂの外観形状に沿った湾曲形状となっている。一方、前記第１固定部２７の前記対向側部２７ａとは逆側の側部（外側側部）２７ｂは、幅方向（図示Ｘ方向）に直線状に延びる形態となっている。前記第２固定部２８の前記弾性変形部２５ｂと対向する対向側部（内側側部）２８ａには前記弾性変形部２５ｂの巻き始端２５ｂ１が接続されている。また前記巻き始端２５ｂ１との接続部以外の箇所での前記対向側部（内側側部）２８ａは、前記弾性変形部２５ｂの外観形状に沿った湾曲形状となっている。また、前記対向側部２８ａとは逆側の側部（外側側部）２８ｂは長さ方向（図示Ｙ方向）に直線状に延びる形態となっている。図１に示すように前記シート部材２６に設けられた複数のスパイラル接触子２５，４０，４１，４２は全て同じ形状で形成されている。
【００３５】
例えば前記シート部材２６は正方形で形成されている。よって、前記シート部材２６の一方の対角線上を通るラインＣは、前記幅方向（図示Ｘ方向）及び長さ方向（図示Ｙ方向）からそれぞれ４５度の位置にある。各スパイラル接触子２５，４０，４１，４２は前記ラインＣを対称軸として線対称に配置されている。前記ラインＣを境界として前記シート部材２６は二分され、前記ラインＣを境界として一方の領域Ｄにあるスパイラル接触子２５，４１，４２の固定部２５ａ，４１ａ，４２ａと、もう一方の領域Ｅにあるスパイラル接触子２５，４０，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４２ａとは、前記ラインＣを対称軸として実質的に線対称形状で形成されている。具体的に説明すると、図１に示す左上のスパイラル接触子２５の固定部２５ａの領域Ｄにある第１固定部２７と、領域Ｅにある第２固定部２８は、前記ラインＣを対称軸として実質的に線対称形状で形成されている。上記したように、前記第１固定部２７は、幅方向（図示Ｘ方向）に延びており、また、前記第１固定部２７の内側側部２７ａは湾曲形状で形成され、外側側部２７ｂは幅方向に延びる直線形状である。一方、第２固定部２８は、長さ方向（図示Ｙ方向）に延びており、また、前記第２固定部２８の内側側部２８ａは湾曲形状で形成され、外側側部２８ｂは幅方向に延びる直線形状である。前記ライン（対称軸）Ｃは、幅方向及び長さ方向のそれぞれから４５度の位置にあるため、図１に示す左上のスパイラル接触子２５の固定部２５ａのうち領域Ｄにある第１固定部２７と領域Ｅにある第２固定部２８は前記ラインＣを対称軸として実質的に線対称形状で形成されている。図１に示す左下のスパイラル接触子４１は領域Ｄにあり、図１に示す右上のスパイラル接触子４０は領域Ｅにある。左下のスパイラル接触子４１も、右上のスパイラル接触子４０も共に固定部４０ａ，４１ａは、左上のスパイラル接触子２５で説明したように第１固定部２７と第２固定部２８とで構成される略逆Ｌ字形状であり、前記ラインＣを対称軸として実質的に線対称形状となっている。また右下にあるスパイラル接触子４２は、左上のスパイラル接触子２５と同じように、固定部２５ａが前記ラインＣ上を跨いでおり、第１固定部２７と第２固定部２８とが前記ラインＣを対称軸として実質的に線対称形状で形成されている。
【００３６】
図１に示すように、前記シート部材２６には、各スパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂと高さ方向（図示Ｚ方向）にて対向する位置に貫通孔２６ａが形成されている。前記貫通孔２６ａは例えば図１に示すような円形状であり、前記貫通孔２６ａは前記ラインＣを対称軸として線対称形状で形成されている。
【００３７】
前記スパイラル接触子２５の弾性変形部２５ｂは巻き始端２５ｂ１から巻き終端２５ｂ２にかけてスパイラル形状に形成されている。前記弾性変形部２５ｂはあとで後述するように例えば電子部品の電極等が当接する部分で、押圧力を受けて弾性変形できる部分である。他のスパイラル接触子４０，４１，４２の弾性変形部４０ｂ，４１ｂ，４２ｂも同様の形状で形成されている。
【００３８】
前記スパイラル接触子２５，４０，４１，４２は電鋳形成、あるいは箔体表面にメッキ層が形成された構造であり、例えば、スパイラル接触子形状の銅箔の周囲にＮｉ層やＮｉＰ層が無電解メッキ法でメッキ形成等された構造である。
【００３９】
図８に示すように前記スパイラル接触子２５の固定部２５ａは前記シート部材２６の下面に接着剤等により固定保持されており、前記シート部材２６に形成された前記貫通孔２６ａから、前記スパイラル接触子２５の弾性変形部２５ｂが上方（図示Ｚ１方向）に向けて立体成形されている。他のスパイラル接触子４０，４１，４２も同様に立体形成されている。
【００４０】
図１に示すように、前記シート部材２６には、複数の位置決め孔３０，３１，３２が形成されている。これら位置決め孔３０，３１，３２は前記ラインＣを対称軸として線対称形状で形成されている。
【００４１】
図１に示すシート部材２６とスパイラル接触子２５，４０，４１，４２とを有してなる同じ接点シート２２，３５が二枚用意され、一枚の前記接点シート２３が前記ライン（対称軸）Ｃを回転軸として反転させられる。反転させられた状態の接点シート２３が図２（平面図）である。図２に示す左上のスパイラル接触子２５は図１に示す左上のスパイラル接触子２５を前記ライン（対称軸）Ｃを回転軸として反転させたものであり、図２に示す左下のスパイラル接触子４０は図１に示す右上のスパイラル接触子４０を前記ライン（対称軸）Ｃを回転軸として反転させたのであり、図２に示す右上のスパイラル接触子４１は図１に示す左下のスパイラル接触子４１を前記ライン（対称軸）Ｃを回転軸として反転させたのであり、図２に示す右下のスパイラル接触子４２は図１に示す右下のスパイラル接触子４２を前記ライン（対称軸）Ｃを回転軸として反転させたものに該当する。
【００４２】
図２に示す接点シート２３では、各スパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａがシート部材２６の上面に位置し、従って前記固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａはシート部材２６の上面から露出した状態にあり、また、各スパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂは図示下方向に向けてスパイラル形状に突出した状態となっている。
【００４３】
図２に示す接点シート２３では、図１に示す接点シート２２を前記ラインＣを回転軸として反転させたものであるため、図１に示す接点シート２２のラインＣの紙面下側にあった領域Ｄは図２では前記ラインＣの紙面上側の領域に位置し、図１に示す接点シート２２のラインＣの紙面上側にあった領域Ｅは図２では前記ラインＣの紙面下側の領域に位置する。そして、上記で説明したように、図１の領域Ｄに形成されたスパイラル接触子２５，４２の第１固定部２７及びスパイラル接触子４１の固定部４１ａは、領域Ｅに形成されたスパイラル接触子２５，４２の第２固定部２８及び、スパイラル接触子４０の固定部４０ａと前記ラインＣを対称軸として実質的に線対称形状であるため、ラインＣを回転軸として反転させた図２の接点シート２３と図１の接点シート２２に設けられた複数のスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の形成位置（配置）は互いに一致するとともに、各スパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａが、接点シート２２，３５の双方において全て略逆Ｌ字状で現われ、さらにシート部材２６に形成された貫通孔２６ａの形成位置も接点シート２２，３５の双方において一致する。
【００４４】
また、図１に示すシート部材２６に形成された位置決め孔３０，３１，３２はラインＣを対称軸として線対称形状で形成されているため、反転させた図２の接点シート２３に現われる位置決め孔３０，３１，３２の形成位置は、図１の接点シート２２に形成された位置決め孔３０，３１，３２の形成位置と一致している。
【００４５】
図１に示す接点シート２２をスペーサ２１の上面２１ｂに接合される上側接点シート２２とし、図２に示す接点シート２３をスペーサ２１の下面２１ｃに接合される下側接点シート２３とし、図４に示すように、前記上側接点シート２２が前記スペーサ２１の上面２１ｂに導電性接着剤５０を介して接着固定され、前記下側接点シート２３が前記スペーサ２１の下面２１ｃに導電性接着剤５０を介して接着固定される。
【００４６】
図５は、スペーサ２１を介して、上側接点シート２２に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａ（図５では点線で示されている）と、下側接点シート２３に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａ（図５では実線で示されている）との対向状態（スペーサ２１を介した重なり状態）を示すものである。なお図５では、図面を見やすくするために各スパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂを図示していない。
【００４７】
図５に示すように、スペーサ２１を介して高さ方向（図示Ｚ方向）にて対向する上側接点シート２２に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａと、下側接点シート２３に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａは実質的に対向した状態（スペーサ２１を介して重なった状態）になっている。ここで「実質的に対向した状態」とは、個々のスパイラル接触子の固定部の面積をＳ、各固定部の面積Ｓ内に占める、スペーサ２１を介して高さ方向に対向する固定部の対向面積をＳ１としたとき、（Ｓ１／Ｓ）×１００（％）が、５０％〜１００％の範囲内にあることを意味する。
【００４８】
このように第１実施形態では、前記上側接点シート２２に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａと、下側接点シート２３に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａとの対向面積Ｓ１を従来に比べて大きく出来るため、前記上側接点シート２２及び下側接点シート２３をスペーサ２１に確実に接着固定でき、前記固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａと、スペーサ２１に設けられた導通層２４との導通接続性が良好になり電気的信頼性に優れた接点部材を提供することが可能になる。
【００４９】
また図１，図２に示すように接点シート２２，３５に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａは略逆Ｌ字形状で形成され、弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂの外側周囲を完全に囲んでいないので、各スパイラル接触子２５，４０，４１，４２のピッチ間隔を小さくしやすく、前記スパイラル接触子２５，４０，４１，４２の単位面積あたりの実装密度を向上させることが出来る。また、弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂの幅を広くできばね定数を向上させることが出来る。
【００５０】
また図１に示すように、各スパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａの形状は図１に示す略逆Ｌ字状に限らないが、シート部材に設けられた複数のスパイラル接触子には、ラインＣあるいは前記ラインＣと平行な方向に延びる平行線の両側に２本の固定部が延びており、前記２本の固定部がともに前記ラインＣあるいは平行線を対称軸として線対称形状で形成されていると、全てのスパイラル接触子において、同じ向きに前記固定部を形成できる。従ってスパイラル接触子の製造が容易化する。図１を用いて具体的に説明すると、図１では、全てのスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａが、第１固定部２７と第２固定部２８とで構成され、前記第１固定部２７及び第２固定部２８はともに、ラインＣあるいはラインＣと平行な方向に延びる平行線に対し４５度の角度をもって延びている。このように固定部を形成することで、全てのスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａを全て同じ向きに向く略逆Ｌ字形状で形成することができ、従って、全てのスパイラル接触子２５，４０，４１，４２を全て同じ向きで形成できるため、スパイラル接触子の製造が非常に容易になる。
【００５１】
例えば図７に示すように、ラインＣの両側に２本の曲状の固定部７０，７１が延びており、前記固定部７０，７１は、ラインＣを対称軸として線対称形状で形成されているので、図１のように複数のスパイラル接触子をシート部材上に形成するとき、全てのスパイラル接触子の固定部を、図７に示す固定部７０，７１で構成される湾曲状の固定部にて、しかも同じ向きに形成することが出来る。すなわち全てのスパイラル接触子を図７に示すスパイラル接触子と同じ形状で、しかも同じ向きで形成できるので、前記スパイラル接触子の製造を容易化出来る。
【００５２】
また図６のようにスパイラル接触子を形成してもよい。図６の場合、複数あるスパイラル接触子の形状は全て同じ形状であるが、形成向きがそれぞれ異なっている。図６では、符号６０のスパイラル接触子の固定部６０ａは、前記ラインＣ上を跨いで形成され、ラインＣの一方側にある固定部６０ａの一部６０ａ１と、他方側にある固定部６０ａの一部６０ａ２とは前記ラインＣを対称軸として実質的に線対称形状で形成されている。符号６３のスパイラル接触子も同じように、ラインＣの一方側にある固定部６３ａの一部６３ａ１と、他方側にある固定部６３ａの一部６３ａ２とは前記ラインＣを対称軸として実質的に線対称形状で形成されている。また、符号６１と符号６２のスパイラル接触子の固定部６１ａ，６２ａは前記ラインＣを対称軸として、実質的に線対称形状で形成されている。図６に示すスパイラル接触子６０，６１，６２，６３の固定部６０ａ，６１ａ，６２ａ，６３ａはいずれも弾性変形部部６０ｂ，６１ｂ，６２ｂ，６３ｂから離れる方向に向けて形成されている。図６に示すようにスパイラル接触子を形成してもラインＣに対して固定部の線対称状態を維持でき、図６に示す複数のスパイラル接触子が設けられた接点シートを二枚用意し、そのうち一枚を前記ライン（対称軸）Ｃを回転軸として反転させ、例えば非反転状態の接点シートをスペーサ２１の上面へ、反転状態の接点シートをスペーサ２１を下面に導電性接着剤を介して接合したとき、スペーサ２１を介して高さ方向にて対向するスパイラル接触子の固定部が前記高さ方向にて実質的に対向した状態になり、従来に比べて前記固定部の対向面積を大きくすることが出来る。
【００５３】
図４に示す接点部材２０は、例えば図９に示す検査装置８０に搭載される。図４に示すように、検査装置８０は基台８１と、この基台８１の一方の縁部に設けられたひんじ部８３を介して回動自在に支持された蓋体８２とで構成されている。前記基台８１および蓋体８２は絶縁性の樹脂材料などで形成されており、前記基台８１の中心部には図示Ｚ２方向に凹となる装填領域８１Ａが形成されている。そして、前記装填領域８１Ａ内に半導体などの電子部品９０が装着できるようになっている。また基台８１の他方の縁部には、被ロック部８４が形成されている。
【００５４】
検査装置８０の蓋体８２の内面の中央の位置には、電子部品９０を図示下方に押し付ける凸形状の押圧部８２ａが前記装填領域８１Ａに対向して設けられている。また前記ひんじ部８３と逆側となる位置にはロック部８５が形成されている。
【００５５】
前記接点部材２０は前記基台８１の前記装填領域８１Ａ上に設置され、蓋体８２のロック部８５が基台８１の被ロック部８４にロックされると、電子部品９０が前記押圧部８２ａによって図示下方に押し付けられるため、前記電子部品９０の下面に設けられた図示しない電極が、前記接点部材２０に設けられた各スパイラル接触子の弾性変形部を図示下方に押し下げ、前記スパイラル接触子と前記電極との導通接続が図られる。なおスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂはスパイラル形状に限らないが、スパイラルで形状であると、電子部品の電極等との接触により、前記弾性変形部の外形は、前記巻き終端から巻き始端方向（渦巻きの中心から外方向）に押し広げられるように変形し、前記電極の外表面を抱き込むように巻き付くので、前記スパイラル接触子と前記電子部品間の導通接続を確実なものにできて好ましい。
【００５６】
前記接点部材２０は図９に示すバーンイン検査等の検査装置以外にも電子機器内に搭載されるコネクタ等としても使用できる。
【００５７】
次に前記接点部材２０の製造方法について説明する。まず図１に示すスパイラル接触子２５，４０，４１，４２を形成する。前記スパイラル接触子２５，４０，４１，４２を固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａと弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂとで構成する。例えば銅箔をスパイラル接触子形状に形成した後、前記銅箔の周囲に無電解メッキ法でＮｉ層やＮｉＰ層等をメッキ形成して前記スパイラル接触子２５，４０，４１，４２を形成する。
【００５８】
図１に示すように前記スパイラル接触子２５，４０，４１，４２をラインＣ（幅方向（図示Ｘ方向）及び長さ方向（図示Ｙ方向）のそれぞれから４５度の位置にあるライン）に対し線対称となる位置に配置するとともに、各スパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａを、全て幅方向（図示Ｘ方向）及び長さ方向（図示Ｙ方向）に延びる略逆Ｌ字状で形成する。
【００５９】
そして、貫通孔２６ａを有する前記シート部材２６を前記スパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａ上に例えば導電性接着剤等を用いて接合し、全てのスパイラル接触子２５，４０，４１，４２を前記シート部材２６に固定保持する。図１に示す同じ接点シート２２を二枚用意し、二枚の接点シートに設けられた全てのスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂを上方に向けて立体フォーミングする。
【００６０】
二枚の同じ接点シートのうち、一枚の接点シートを前記ラインＣを回転軸として反転させる。非反転状態の前記接点シート２２（図１に示すもの）をスペーサ２１の上面２１ｂに接合される上側接点シート２２とし、反転状態の前記接点シート２３（図２に示すもの）を、スペーサ２１の下面２１ｃに接合される下側接点シート２３とする。
【００６１】
図１０に示すように設置台１００の上に、受け側治具（下側加圧治具）１０１を設け、前記受け側治具１０１上に前記下側接点シート２３を設置する。図１１に示すように受け側治具１０１の上面１０１ａには、前記下側接点シート２３に形成されたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂと対向する位置に凹部１０１ｂが形成されており、前記弾性変形部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂが前記受け側治具１０１に非接触な状態となっている。一方、前記弾性変形部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂが形成されていない箇所の前記下側接点シート２３と前記受け側治具１０１とは当接した状態にある。前記設置台１００には上方（図示Ｚ１方向）に向けて突出する位置決め部材１０２が設けられている。前記位置決め部材１０２を前記下側接点シート２３に設けられた位置決め孔３０、３１、３２に通し、これにより前記下側接点シート２３を位置決めする。
【００６２】
図１０，図１１に示すように前記下側接点シート２３上にスペーサ２１を設置する。前記スペーサ２１の上面２１ｂ及び下面２１ｃには導電性接着剤５０が塗布されている。また図１０に示すように前記スペーサ２１にも図２に示す下側接点シート２３に形成された位置決め孔３０，３１，３２と高さ方向にて対向する同じ位置に位置決め孔１０３が設けられており、前記スペーサ２１に設けられた前記位置決め孔１０３に前記位置決め部材１０２を通して、前記スペーサ２１を前記下側接点シート２３上に設置する。これにより前記スペーサ２１と前記下側接点シート２３とが互いに位置決めされた状態になる。
【００６３】
次に、図１０，図１１に示すように、前記スペーサ２１上に図１に示す上側接点シート２２を設置する。前記上側接点シート２２に形成された位置決め孔３０，３１，３２は、図２に示す下側接点シート２３と同じ位置にあるため、共通の位置決め部材１０２を用いて、前記上側接点シート２２を前記スペーサ２１上に位置決めできる。前記上側接点シート２２に設けられた位置決め孔３０，３１，３２に前記位置決め部材１０２を通すことで、前記上側接点シート２２と前記スペーサ２１とが互いに位置決めされる。
【００６４】
図１０，図１１に示すように加圧治具（上側加圧治具）１０４を前記上側接点シート２２の上側から前記スペーサ２１方向（図示下方向）に向けて移動させ、前記下側接点シート２３、スペーサ２１及び上側接点シート２２を前記受け側治具１０１方向に向けて加圧する。図１１に示すように加圧治具１０４の下面１０４ａには、前記上側接点シート２２に形成されたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂと対向する位置に凹部１０４ｂが形成されており、前記弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂが前記加圧治具１０４に非接触な状態となっている。一方、前記弾性変形部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂが形成されていない箇所の前記上側接点シート２２と前記加圧治具１０４とは当接した状態にある。よって前記下側接点シート２３及び上側接点シート２２に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂは前記加圧の影響を受けず、立体の成形状態を保っている。
【００６５】
前記治具１０１，１０４間に設けられた前記下側接点シート２３、スペーサ２１及び上側接点シート２２を加圧しながら熱処理を施すことで、前記スペーサ２１と下側接点シート２３間、及びスペーサ２１と上側接点シート２２間が導電性接着剤３５を介して強固に接着固定される。このとき、図５に示すように、前記下側接点シート２３に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａと、前記上側接点シート２２に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａとが高さ方向（図示Ｚ方向）にて実質的に対向した状態となっており、従来よりも固定部の対向面積Ｓ１（スペーサを介した重なり面積）が大きくなるため、スペーサ２１を介した上下の前記固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａ間に前記加圧力が強く作用し、前記固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａが前記スペーサ２１の上面２１ｂ及び下面２１ｃのそれぞれに適切に接着固定される。この結果、前記スペーサ２１の貫通孔２１ａ内に設けられた導通層２４と、前記固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａとが適切に導通接続された状態になり、従って、前記上側接点シート２２に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂと、前記下側接点シート２３に設けられたスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の弾性変形部部２５ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂとが前記導通層２４を介して適切に導通した状態になり電気的信頼性に優れた接点部材２０を製造することが可能になる。
【００６６】
上記した接点部材２０の製造方法の利点は、高さ方向にて対向するスパイラル接触子２５，４０，４１，４２の固定部２５ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａどうしの対向面積Ｓ１を大きく出来るのみならず、同じ接点シートを二枚用意し、一枚の接点シートをライン（対向軸）Ｃを回転軸として反転させた状態にして、非反転状態の接点シートと、反転状態の接点シートをそれぞれスペーサ２１の上下に接合するので、上側接点シート２２用としての接点シートと、下側接点シート２３用としての接点シートをそれぞれ個別に形成する必要がなく、前記接点シートの形成が非常に容易化する。しかも、接点シート２２，３５に設けられた位置決め孔も非反転状態の接点シート２２と、反転状態の接点シート２３とで同じ位置に現われるので、共通の位置決め部材１０２を用いて、前記接点シート２２，３５を一緒に位置決めすることが出来、非常に簡単に且つ精度良く前記接点シート２２，３５を位置決めできるとともに、共通の位置決め部材１０２を使用できることで、位置決め部材１０２にかかる費用も安く出来る。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】第１実施形態における上側接点シートの平面図、
【図２】第１実施形態における下側接点シートの平面図、
【図３】図１に示す上側接点シートと、図２に示す下側接点シートと、前記上側接点シートと下側接点シートとの間に挟まれるスペーサとを有してなる接点部材の分解斜視図、
【図４】図３に示すスペーサに上側接点シートと、下側接点シートを接合した状態での接点部材の部分断面図であり、特に図１に示すラインＣから高さ方向（Ｚ方向）にて切断したときの部分断面図、
【図５】図４に示す接点部材を真上からみたときに、特に上側接点シートに設けられた弾性接点の固定部と、下側接点シートに設けられた弾性接点の固定部との重なり状態を示す説明図、
【図６】図１及び図２に示す弾性接点と構造が異なる第２実施形態の弾性接点の平面図、
【図７】図１及び図２に示す弾性接点と構造が異なる第３実施形態の弾性接点の平面図、
【図８】スパイラル接触子の構造を説明するための部分側面図、
【図９】図４に示す接点部材が搭載された接続装置の斜視図、
【図１０】接続部材の製造方法を示す一工程図（部分断面図）、
【図１１】図１０の次に行なわれる工程を示し、特に図１０よりも拡大して示した部分拡大断面図、
【図１２】従来のスパイラル接触子を備えた接点シートの平面図、
【図１３】図１２に示す接点シートを図１２に示すラインＣを回転軸として反転させたときの前記接点シートの平面図、
【図１４】図１２に示す接点シートと図１３に示す接点シートを重ねたときに上下にて対向するスパイラル接触子の固定部の重なり状態を説明するための接点シートの部分平面図、
【符号の説明】
【００６８】
２０  接点部材
２１  スペーサ
２２  上側接点シート
２３  下側接点シート
２５、４０、４１、４２、６０、６１、６２、６３  スパイラル接触子
２５ａ、４０ａ、４１ａ、４２ａ、６０ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、７０、７１  固定部
２５ｂ、４０ｂ、４１ｂ、４２ｂ、６０ｂ、６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ  弾性変形部部
２６  シート部材
２７  第１固定部
２８  第２固定部
３０、３１、３２  位置決め孔
５０  導電性接着剤
８０  検査装置
９０  電子部品
１００  設置台
１０１  受け側治具（下側加圧治具）
１０２  位置決め部材
１０４  加圧治具（上側加圧治具）
Ｃ  ライン（対称軸）
Ｄ、Ｅ  領域
【図１】
2006269149.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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