(57)【要約】【課題】  レチクル１２を、安全に且つ確実に支持する。【解決手段】  レクチル１２を収納するポッド１３と、このポッド１３を塞いで気密にシールする扉１４およびシール１５とを備えたレチクル搬送容器１１である。ポッド１３及び扉１４の各内側面に一対のレチクルリテーナー２５，４５を有し、各レチクルリテーナー２５，４５が、レチクル１２の周縁の上側角部１２Ａ又は下側角部１２Ｂに当接して弾性的に支持する傾斜面部２８を備えた。傾斜面部２８の内側には、レチクル１２の周縁の上側角部１２Ａ又は下側角部１２Ｂが当接したときに上記傾斜面部２８の撓みを許容して弾性的に支持する緩衝機能を持たせる凹部３１，５２を備えた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に開口を有しレクチルを収納する内部を有し、前記開口を覆って塞ぐ扉と、前記扉で前記ポッドを塞いだときに内部を気密にシールするシール材とを備えたレチクル搬送容器であって、
上記ポッド及び扉の各内側面に一対のリテーナーを有し、
当該各リテーナーが、上記レチクルの周縁の上側角部又は下側角部に当接して弾性的に支持する傾斜面部を備えたことを特徴とするレチクル搬送容器。
【請求項２】
一端に開口を有しレクチルを収納する内部を有し、前記開口を覆って塞ぐ扉と、前記扉で前記ポッドを塞いだときに内部を気密にシールするシール材とを備えたレチクル搬送容器であって、
上記ポッド及び扉の各内側面に一対のリテーナーを有し、
当該各リテーナーが、弾性部材で成形されると共に、上記レチクルの周縁の上側角部又は下側角部に当接する傾斜面部と、当該傾斜面部の内側に設けられ上記レチクルの周縁の上側角部又は下側角部が当接したときに上記傾斜面部の撓みを許容して弾性的に支持する緩衝機能を持たせる凹部とを備えたことを特徴とするレチクル搬送容器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のレチクル搬送容器において、
上記ポッド又は扉の少なくとも１カ所にメンブレンフィルター取り付け部が形成され、当該メンブレンフィルター取り付け部にメンブレンフィルターが取り付けられていることを特徴とするレチクル搬送容器。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のレチクル搬送容器において、
上記扉又はポッドの外側表面の少なくとも１カ所に無線タグが取り付けられていることを特徴とするレチクル搬送容器。
【請求項５】
請求項４に記載のレチクル搬送容器において、
上記無線タグが、上記扉又はポッドの外側表面に、密封収納されたことを特徴とするレチクル搬送容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、設定パターンを基板に転写する露光装置等で使用されるレチクルを搬送するためのレチクル搬送容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子や液晶表示素子等の製造は、フォトリソグラフィ工程で行われる。この工程では、レチクル（フォトマスクを含む）に形成されたパターンの像を、露光装置で半導体ウエハーやガラスプレート等の基板上に投影・転写する。このとき、基板上には感光剤が塗布されており、転写されたパターンが感光剤と反応して、その後の処理を経て回路が形成される。
【０００３】
この工程において、レチクルは、塵埃等による汚染や接触等による損傷等を防ぐため、専用のレチクル搬送容器に収納して取り扱われる。
【０００４】
このとき、形成する回路が複雑な場合は、基板上に多数の回路パターンを作り込む必要があるため、それに合わせて多数のレチクルが用意され、基板上に多数のパターンが重ね合わせて形成される。
【０００５】
このフォトリソグラフィ工程で使用される装置の一例を図２に示す。図中の１は基板上に回路パターンを投影・転写する露光装置である。２は多数のレチクルが収納されて保管されたレチクルストッカーである。３はレチクルが収納されたレチクル搬送容器である。４は露光装置１とレチクルストッカー２との間に設けられて、これらの間でレチクルをレチクル搬送容器３に収納した状態で搬送するための搬送レールである。５は搬送レール４に設けられてレチクル搬送容器３を直接把持して持ち運ぶための搬送機構部である。
【０００６】
これらは、制御装置(図示せず)で制御されている。これにより、回路パターンに必要なレチクルが、レチクル搬送容器３に収納された状態で搬送レール４の搬送機構部５によって、レチクルストッカー２から露光装置１へ搬送される。露光装置１で不要になったレチクルは、搬送レール４の搬送機構部５によってレチクルストッカー２に戻される。
【０００７】
以上の工程において使用されるレチクルは精密部品であり、塵埃等によって汚染されたり、接触等によって損傷したりすると正確な回路パターンができないため、レチクルを安全にかつ確実に支持するためのレチクル搬送容器３が種々提案されている。
【０００８】
その一例として特許文献１がある。特許文献１におけるレチクルの支持手段はピンである。レチクルを下側から支持するための手段として、レチクルの四隅の位置にレチクル支持ピンが設けられている。レチクルを周囲から水平方向にずれないように支持する手段として、水平移動を抑えるストッパピンが設けられている。さらに、レチクルを上側から支持する手段として、レチクル押さえが設けられている。これにより、レチクルはそのＸＹＺ方向が支持され、固定される。
【０００９】
また、レチクルにはペリクルが取り付けられている場合があるが、この場合は、ペリクル搬送容器を用いることがある。このペリクル搬送容器の場合も同様に、ペリクルを安全にかつ確実に支持するためのペリクル搬送容器が種々提案されている。
【００１０】
その一例として特許文献２がある。特許文献２におけるペリクルの支持手段は突条と弾性変形部材である。ペリクルを下側から支持する手段として、ペリクルの周縁に対応する位置に突条と弾性変形部材が設けられている。レチクルを周囲から水平方向にずれないよう支持する手段として、水平移動を抑える係止片部が設けられている。さらに、ペリクルを上側から支持する手段として、蓋の一部がテーパ状の押さえ部として設けられている。これにより、ペリクルはそのＸＹＺ方向が支持され、固定される。
【特許文献１】特開平１０−１６３０９４号公報
【特許文献２】特開平１０−１７０５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところが、上述した従来のレチクル搬送容器では、レチクルの下側面及び上側面に、剛性の高いピンを直接当接して支持する構造になっているため、レチクル搬送容器に加わる振動等が直接的にレチクルに伝わってしまい、精密部品の取り扱いとしては望ましくない。
【００１２】
また、レチクルの下側面を支持する部材が平坦面状であるため、外部からの振動等によってレチクルが水平方向にずれることがある。レチクルの周縁には、ストッパとの間に隙間があるため、この隙間の範囲でレチクルが水平方向にずれることがある。
【００１３】
回路の高集積化、複雑化に伴って、レチクルも精密度が増すため、その取り扱いをより慎重にすることが望まれる。
【００１４】
ペリクルにおいても同様で、レチクルに悪影響を及ぼさないように慎重に取り扱うことが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明のレチクル搬送容器は、レチクル及びペリクルをより慎重に取り扱うことができるように改良したものである。具体的には、一端に開口を有しレクチルを収納する内部を有し、前記開口を覆って塞ぐ扉と、前記扉で前記ポッドを塞いだときに内部を気密にシールするシール材とを備えたレチクル搬送容器であって、上記ポッド及び扉の各内側面に一対のリテーナーを有し、当該各リテーナーが、上記レチクルの周縁の上側角部又は下側角部に当接して弾性的に支持する傾斜面部を備えたことを特徴とする。
【００１６】
この構成により、各リテーナーが、上記レチクルの周縁の上側角部又は下側角部に当接することで上記レチクルを弾性的に支持する。さらに、上記レチクルを傾斜面部で支持するため、当該レチクルをずれることなく支持する。
【００１７】
上記各リテーナーは、上記傾斜面部と共に、当該傾斜面部の内側に設けられ上記レチクルの周縁の上側角部又は下側角部が当接したときに上記傾斜面部の撓みを許容して弾性的に支持する緩衝機能を持たせる凹部を備えてもよい。
【００１８】
この構成により、弾性部材で成形された各リテーナーが、上記レチクルの周縁の上側角部又は下側角部に当接することで上記レチクルを弾性的に支持すると共に、凹部によって間隙が形成されて上記傾斜面部の撓みが許容されるため、緩衝機能が増して、より弾性的に支持することができる。
【発明の効果】
【００１９】
上記各リテーナーが上記レチクルを弾性的に支持すると共に、上記傾斜面部で上記レチクルをずれることなく支持するため、レチクルを弾性的にかつ確実に支持することができるようになる。
【００２０】
また、上記凹部で上記傾斜面部の撓みを許容して緩衝機能を増したため、より弾性的にかつ確実に支持することができるようになる。
【００２１】
さらに、支持部がレクチル表面に形成されたマスクパターンに接触することなくレクチルを支持することができるために、レクチル表面のパターンの損傷や磨耗をなくすることができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を、添付図面を参照しながら説明する。なお、フォトリソグラフィ工程等で使用される装置は、上記背景技術で説明した従来の装置と同様であるため、ここではレチクル搬送容器についてのみ説明する。図１は本実施形態に係るレチクル搬送容器の要部を示す断面図、図３は本実施形態に係るレチクル搬送容器をそのポッドと扉とを互いに分離した状態で示す斜視図、図４は本実施形態に係るレチクル搬送容器を示す側面断面図、図５は扉をその底面側から見た斜視図、図６はメンブレンフィルターを示す要部断面図、図７は無線タグを示す要部断面図である。
【００２３】
レチクル搬送容器１１は図３及び図４に示すように主に、レチクル１２を収納するポッド１３と、このポッド１３を塞ぐ扉１４と、ポッド１３と扉１４との間に設けられて内部を気密にシールするシール材１５とから構成されている。
【００２４】
ポッド１３は、レチクル１２を内部に収納する本体部１７と、当該本体部１７の外周に一体的に形成されて扉１４に嵌合する周縁嵌合部１８とから構成されている。
【００２５】
本体部１７は、皿状に形成され、レチクル１２を内部に完全に収納できる深さに設定されている。本体部１７の中央部には、搬送用のセンターハンドリングフランジ２０が設けられている。本体部１７の周縁部には、水平に延びた板状のサイドハンドリングフランジ２１が設けられている。センターハンドリングフランジ２０が、搬送装置の腕部(図示せず)と結合して、レチクル搬送容器１１やポッド１３が持ち上げられる。また、サイドハンドリングフランジ２１は、露光装置内で扉１４をポッド１３から機械的に分離するときに補助支持手段として用いられる。さらに、本体部１７の周縁部には、後述するキネマティックピングルーブ６１の受け部２２が１辺に３カ所ずつ、対向する２辺に合計６カ所に設けられている。各受け部２２は平面形状が半円形の板材で形成されている。平面半円形の各受け部２２は、外側へ開口するように配設されている。平面半円形の各受け部２２は、その先端側が基端側よりも互いに近づくように内側へ僅かに傾けて形成されている。これにより、下側のレチクル搬送容器１１の受け部２２に上側のレチクル搬送容器１１のキネマティックピングルーブ６１が容易に嵌合して、正確に位置決めされるため、複数のレチクル搬送容器１１を簡単にかつ安定して積層することができるようになっている。
【００２６】
本体部１７の内側の四隅近傍にはレチクルリテーナー２５が設けられている。このレチクルリテーナー２５は、後述する扉１４側のレチクルリテーナー４５と対をなしてレチクル１２を支持するための部材である。このレチクルリテーナー２５は、図１及び図４に示すように、リテーナー受け部２６と、リテーナー板部２７とから構成されている。リテーナー受け部２６は、リテーナー板部２７を支持するための部材である。リテーナー受け部２６は、本体部１７の内側の四隅近傍に、本体部１７と共に一体的に形成されている。具体的には、本体部１７の隅部に形成された五角形の板材によって形成され、その１つの辺がレチクル１２の上側角部１２Ａに当接して弾性的に支持する傾斜面部２８を形成する辺となっている。リテーナー受け部２６のうち傾斜面部２８を形成する辺の一端には、リテーナー板部２７の一端部が嵌合する一端側嵌合用切り欠き２９が設けられている。リテーナー受け部２６のうち傾斜面部２８を形成する辺の他端には、リテーナー板部２７の他端部が嵌合する他端側嵌合用切り欠き３０が設けられている。さらに、傾斜面部２８を形成する辺には凹部３１が設けられている。この凹部３１は、傾斜面部２８の内側に設けられてレチクル１２の上側角部１２Ａが当接したときに傾斜面部２８の撓みを許容するための部位である。この凹部３１により、リテーナー板部２７に緩衝機能が持たされている。即ち、リテーナー板部２７自身の持つ弾性と共に、凹部３１によってリテーナー板部２７が弾性的に撓むことで、外部から伝わる振動等を吸収して、レチクル１２を弾性的に支持する緩衝機能が持たされている。凹部３１の隙間は１ｍｍ程度あれば良い。
【００２７】
リテーナー板部２７は、レチクル１２の上側角部１２Ａに当接して弾性的に支持する傾斜面部２８を形成する部材である。リテーナー板部２７は、弾性高分子材料で成形されている。具体的には、PEE(ポリエステルエラストマー)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)、PP(ポリプロピレン)などの、発塵のない弾性材料を用いる。リテーナー板部２７は、当接面板３３と、一端嵌合部３４と、他端嵌合部３５とからなり、その側面形状を変則的なコ字状に形成されている。当接面板３３は、リテーナー板部２７をリテーナー受け部２６に嵌合した状態で、傾斜面部２８を構成するための部材である。当接面板３３は、弾性を有する合成樹脂で成形されているため、それ自身が弾性的に変形すると共に、上記凹部３１によって弾性的に撓んで、レチクル１２の上側角部１２Ａに斜めから当接して弾性的に支持するようになっている。
【００２８】
一端嵌合部３４は、リテーナー受け部２６の一端側嵌合用切り欠き２９に嵌合して、リテーナー板部２７をリテーナー受け部２６に取り付けるための部分である。他端嵌合部３５は、リテーナー受け部２６の他端側嵌合用切り欠き３０に嵌合して、リテーナー板部２７をリテーナー受け部２６に取り付けるための部分である。これにより、一端嵌合部３４及び他端嵌合部３５が一端側嵌合用切り欠き２９及び他端側嵌合用切り欠き３０に嵌合することで、リテーナー板部２７がリテーナー受け部２６に固定されている。
【００２９】
本体部１７の内側の四隅近傍には、上記レチクルリテーナー２５と共にペリクルリテーナー３７も設けられている。レチクル１２には、ペリクルが設けられない場合と、下側面にペリクル４６が設けられる場合と、上下両側面にペリクル４６が設けられる場合がある。ペリクルリテーナー３７は、レチクル１２の上側面にペリクルが設けられる場合に機能する部材である。ペリクルリテーナー３７は、レチクルリテーナー２５と同じ構成を有している。即ち、ペリクルリテーナー３７は、レチクルリテーナー２５のリテーナー受け部２６と同じ構成のリテーナー受け部３８と、レチクルリテーナー２５のリテーナー板部２７と同じ構成のリテーナー板部３９とから構成されている。リテーナー板部３９の内側にはレチクルリテーナー２５の凹部３１と同じ構成の凹部(図示せず)が設けられている。
【００３０】
ポッド１３の周縁嵌合部１８は、図３及び図４に示すように、本体部１７の周縁から周囲に張り出すように皿状に形成されている。この皿状の周縁嵌合部１８は、扉１４の周囲を完全に収納できる深さに設定されている。周縁嵌合部１８の対向する辺には、扉１４を固定するための留め具４１が設けられている。
【００３１】
扉１４は、ポッド１３の周縁嵌合部１８に嵌合することで、ポッド１３を塞いで、シール材１５を介して内部を気密にシールするための部材である。この扉１４は、図１、図３及び図４に示すように、ほぼ平坦状に形成され、その周縁にシール溝４３が設けられている。シール材１５は、このシール溝４３に装着されて、ポッド１３と扉１４との間を気密にシールする。扉１４の上側面には、その四隅の位置に扉側支持部材４４が設けられている。この扉側支持部材４４は、上記ポッド１３側のレチクルリテーナー２５と相まってレチクルを上下両側から支持するレチクルリテーナー４５と、レチクル１２の下側面に取り付けられたペリクル４６を支持するペリクルリテーナー４７と、これらを一体的に支持するベース板部４８とから構成されている。
【００３２】
レチクルリテーナー４５の構成は、リテーナー受け部５０が上述したポッド１３側のレチクルリテーナー２５のリテーナー受け部２７と、図１の紙面に垂直な方向にずれた状態で、ミラー対象の構成になっている。即ち、レチクルリテーナー４５は、リテーナー受け部５０と、リテーナー板部５１とから構成され、これらが上記レチクルリテーナー２５のリテーナー受け部２６及びリテーナー板部２７と、鏡に映したときのように対象的な構成になっている。リテーナー板部５１の内側の凹部５２も、レチクルリテーナー２５の凹部３１と同様の機能を備えている。即ち、リテーナー板部５１が凹部５２によって弾性的に撓んで、レチクル１２の下側角部１２Ｂに斜めから当接して弾性的に支持するようになっている。
【００３３】
上記構成のレチクルリテーナー４５とレチクルリテーナー２５とは互いにずれた位置に設けられ、互いに干渉しないで、レチクル１２を支持するようになっている。このレチクルリテーナー２５，４５でレチクル１２を挟み持って、規定位置で支持するようになっている。ポッド１３を取り外した後も、レチクル１２は、扉１４のレチクルリテーナー４５によって扉１４から規定の距離だけ隔てた状態で支持されるようになっている。
【００３４】
ペリクルリテーナー４７のペリクル受け部５６も、ポッド１３側のペリクルリテーナー３７のリテーナー受け部３９と、図１の紙面内横方向にずれた状態で、ミラー対象の構成になっている。即ち、ペリクルリテーナー４７は、ポッド１３側のペリクルリテーナー３７のリテーナー受け部３８とミラー対象のリテーナー受け部５５と、リテーナー板部３９とミラー対象のリテーナー板部５６とから構成されている。リテーナー板部５６の内側にはペリクルリテーナー３７の凹部と同じ構成の凹部(図示せず)が設けられている。
【００３５】
扉１４の裏面には、図５に示すように、２組のキネマティックピングルーブ６１が設けられている。このキネマティックピングルーブ６１は、露光装置に位置決めして取り付けるための部材である。キネマティックピングルーブ６１は、ほぼ二等辺三角形の頂点の位置に設けられた３つを一組として、１８０°向きを変えた状態で二組（６１Ａ，６１Ｂ）、合計６本設けられている。これは、レチクル搬送容器１１を装置内に装着するときに、作業者がレチクル搬送容器１１の向きを１８０°間違えて装着した場合でも、そのまま装着できるようにするためである。
【００３６】
ポッド１３には、図６にしめすように、メンブレンフィルター取り付け部６２が形成されている。このメンブレンフィルター取り付け部６２は、メンブレンフィルター６３を確実に取り付けると共に、容易に着脱できるようにするための部分である。このメンブレンフィルター取り付け部６２は、管ガイド６５と、フィルター嵌合筒部６６と、ストッパ６７とから構成されている。
【００３７】
管ガイド６５は、メンブレンフィルター６３を内部に収納して固定するための筒部である。この管ガイド６５は、ポッド１３の本体部１７に一体的に設けられている。管ガイド６５の外側は開口しており、メンブレンフィルター６３が着脱できるようになっている。さらに、管ガイド６５は、レチクル搬送容器１１内の気体を置換するためのガス供給管(図示せず)と接続するための管ともなっている。管ガイド６５の内側は、塞がれてフィルター嵌合筒部６６が設けられている。このフィルター嵌合筒部６６は、メンブレンフィルター６３の嵌合筒部７１が嵌合するための筒部である。フィルター嵌合筒部６６は、管ガイド６５内において、その内側底部から外側へ向けて延びた小径の筒部として構成されている。管ガイド６５の内側面の中間位置には、ストッパ６７が設けられている。このストッパ６７は、管ガイド６５内に装着されたメンブレンフィルター６３を抜け落ちないように固定するための部材である。
【００３８】
メンブレンフィルター６３は、レチクル搬送容器１１の内外で気体の出入りを許容するためのフィルターである。このメンブレンフィルター６３は、塵埃等の通過を防止して気体のみのレチクル搬送容器１１の内外側間での出入りを許容する。メンブレンフィルター６３は、フィルター本体部７０と、嵌合筒部７１と、開口筒部７２とから構成されている。
【００３９】
フィルター本体部７０は、肉厚円盤状に形成され、内部にフィルターが収納されている。フィルター本体部７０の直径は上記ストッパ６７に係止する大きさに設定されている。嵌合筒部７１は、フィルター本体部７０内とレチクル搬送容器１１内とを連通するための部材である。嵌合筒部７１は、メンブレンフィルター６３が管ガイド６５内に装着された状態で、フィルター嵌合筒部６６に嵌合してフィルター本体部７０内とレチクル搬送容器１１内とを連通する。開口筒部７２は、フィルターを介してレチクル搬送容器１１内と外部とを連通するための筒部である。なお、フィルターとしては、0.1〜0.5μｍのメッシュが充填されており、不活性ガスや乾燥空気中のダスト成分を除去する。
【００４０】
扉１４の外側表面には、図７に示すように、無線タグ７４が設けられている。この無線タグ７４は、覆い板７５に覆われた状態で、扉１４の外側表面に取り付けられている。覆い板７５は無線タグ７４を完全に覆った状態でその全周を溶着されて内部が密封されている。覆い板７５には、無線タグ７４を収納する凹部７５Ａが形成されている。無線タグ７４はこの覆い板７５の凹部７５Ａに収納された状態で、覆い板７５が扉１４の外側表面にその全周を溶着される。これにより、無線タグ７４は覆い板７５内に密封収納されている。これは、レチクル搬送容器１１の搬送中等において、無線タグ７４の脱落や機械的損傷を防止するためである。さらに、無線タグ自身による装置の汚染を防ぐためである。この無線タグ７４は、外部からの電磁波の変化によって、非接触状態で情報を書き込んだり読み出したりできる素子である。この無線タグ７４に、処理、保管等の際に必要な種々の管理情報を格納する。
【００４１】
以上のように構成されたレチクル搬送容器１１は、次のようにして使用される。なお、ここでは、レチクル搬送容器１１を、半導体ウエハー上に回路パターンを焼き付けるときの処理に使用される場合を例に説明する。
【００４２】
まず、レチクル１２がレチクル搬送容器１１内に収納される。このとき、レチクル１２は、扉１４のレチクルリテーナー４５に載置され、ポッド１３が取り付けられて留め具４１で固定される。これにより、レチクル１２が扉１４側のレチクルリテーナー４５とポッド１３側のレチクルリテーナー２５とで挟まれて支持される。具体的には、レチクルリテーナー４５のリテーナー板部５１にレチクル１２の下側角部１２Ｂが、レチクルリテーナー２５のリテーナー板部２７にレチクル１２の上側角部１２Ａが、それぞれ斜めから当接して支持される。このとき、リテーナー板部５１，２７の内側には凹部５２，３１があり、リテーナー板部５１，２７の撓みを許容しているため、レチクル１２は弾性的に支持される。これにより、レチクル１２は、その表面に傷をつけることなく、全ての自由度が抑えられてレチクル搬送容器１１内に固定される。
【００４３】
レチクル１２にペリクル４６が設けられている場合は、このペリクル４６が、上記レチクル１２と同様の作用により、ペリクルリテーナー４７によって固定される。
【００４４】
このようにして、レチクル１２がレチクル搬送容器１１内に1枚ずつ収納され、作業者によってレチクルストッカー２内に必要な数量だけ上積みして装着される。その後のレチクル搬送容器１１の搬送等はすべて機械的に行われる。即ち、レチクルストッカー２からレチクル搬送容器１１を取り出して収納し、搬送クレーンで搬送レール上を移動し、露光装置１にレチクル搬送容器１１内のレチクル１２をセットするまでの操作が全て機械的に行われる(SMIF：Standard Mechanical Interface)。
【００４５】
搬送レール４の搬送機構部５は、レチクルストッカー２内のレチクル搬送容器１１とそのセンターハンドリングフランジ２０で互いに結合されて持ち上げられる。そして、搬送レール４で露光装置１まで移動され、必要に応じて適宜回転される。
【００４６】
レチクル搬送容器１１が露光装置１まで搬送されると、レチクル搬送容器１１は露光装置１内の所定位置に位置決めされた後、露光装置１のキネマティックピン(図示せず)がキネマティックピングルーブ６１に連結される。次いで、レチクル搬送容器１１の留め具４１が機械的に外れてサイドハンドリングフランジ２１が開閉装置の腕部(図示せず)で掴まれてポッド１３が扉１４から分離される。次いで、扉１４が下降させられてレチクル１２が露光装置１内部に導入される。その後、レチクル１２は露光装置１の自動露光ステージ(図示せず)に移され、すでに装着されている半導体ウエハー上に正確に位置決めされた状態で設置され、露光作業が自動的に行われる。
【００４７】
露光が終了すると、再びレチクル１２はレチクル搬送容器１１の扉１４に戻され、この扉１４を上昇させてポッド１３と合わせられ、留め具４１で固定される。このとき、レチクル１２は、その上側角部１２Ａ及び下側角部１２Ｂが、レチクルリテーナー２５，４５で挟まれて、上述のように、その表面に傷をつけることなく、全ての自由度が抑えられてレチクル搬送容器１１内に固定される。次いで、キネマティックピンとキネマティックピングルーブ６１を分離し、再び搬送機構部５で搬送レール４を移動してレチクルストッカー２に戻される。
【００４８】
以上の処理工程においては、無線タグ７４に記録された情報に基づいて工程制御される。レチクル搬送容器１１の扉１４の無線タグ７４には、レチクル１２の種類や作業履歴等の種々の情報が記録されており、露光装置１内に装着された読み取り装置(図示せず)が無線タグ７４の情報を非接触で読み取って、露光装置１内での制御等をその情報に基づいて行う。露光作業の終了後は、必要に応じて書き込み装置(図示せず)で無線タグ７４に、レチクル１２やレチクル搬送容器１１の履歴、作業履歴等を書き込む。これにより、露光作業や管理等をスムーズに行う。
【００４９】
このとき、無線タグ７４は覆い板７５によって密閉収納されているため、無線タグ７４の脱落や機械的損傷をなくすことができる上に、無線タグ７４自身による装置の汚染も防ぐことができる。
【００５０】
また、レチクル搬送容器１１を圧力の変動する環境に置いた場合、例えば飛行機による輸送等のように、上空の比較的気圧の低い環境と、地上の比較的気圧の高い環境に置いた場合、レチクル搬送容器１１の内圧が外圧よりも低くなることがある。この場合、ポッド１３と扉１４とを分離するのが難しくなるが、メンブレンフィルター６３がレチクル搬送容器１１の内外で気体の出入りを許容するため、レチクル搬送容器１１の内圧が外圧よりも低くなるのを防止する。これにより、ポッド１３と扉１４とを分離するのが容易になる。
【００５１】
また、レチクル搬送容器１１内の気体を置換する場合は、メンブレンフィルター取り付け部６２の管ガイド６５にガス供給管を差し込んで接続して、管ガイド６５に不活性ガスや乾燥空気などを送る。
【００５２】
以上のように、レチクル１２等の上側及び下側の角部がレチクルリテーナー２５の傾斜面部２８等に接触して、レクチル１２の表面に形成されたマスクパターン等に接触することなく、レクチル１２等を支持するため、レクチル表面のパターン等の損傷や磨耗をなくすることができる。この結果、レクチル１２等を安全に且つ確実に支持して、より慎重に取り扱うことができるようになる。
【００５３】
また、無線タグ７４に種々の情報を記録して管理するため、その情報に基づいて作業効率を向上させることができる。このとき、無線タグ７４は覆い板７５によって密閉収納されているため、無線タグ７４の脱落や機械的損傷をなくすことができる上に、無線タグ７４自身による装置の汚染も防ぐことができる。
【００５４】
さらに、メンブレンフィルター６３によってレチクル搬送容器１１の内外での気体の出入りを許容するため、レチクル搬送容器１１の内圧が外圧よりも低くなるのを防止して、ポッド１３と扉１４とを容易に分離することができるようになる。また、レチクル搬送容器１１内の気体の置換を容易にすることができる。
【００５５】
なお、上記実施形態では、メンブレンフィルター６３をポッド１３側に１つ設けたが、扉１４側に設けてもよい。メンブレンフィルター６３の設置個数も、１つに限らず、２以上でもよい。ポッド１３又は扉１４のいずれか一方又は両方に、１又は複数のメンブレンフィルター６３を設けることができる。この場合、他の邪魔にならない位置に設ける。
【００５６】
また、上記実施形態では、無線タグ７４を扉１４の外側表面の１カ所に設けたが、必要に応じて２以上設けてもよい。設ける場所も、扉１４に限らずポッド１３でもよい。両方でもよい。要求される機能、読み取り装置及び書き込み装置との関係で、ポッド１３側に設けたりすることもある。また、無線タグ７４に記録する情報としても、作業履歴等に限らず、種々の情報を記録することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施形態に係るレチクル搬送容器の要部を示す断面図である。
【図２】フォトリソグラフィ工程で使用される装置の一例を示す概略構成図である。
【図３】本発明の実施形態に係るレチクル搬送容器をそのポッドと扉とを互いに分離した状態で示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係るレチクル搬送容器を示す側面断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る扉をその底面側から見た斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係るメンブレンフィルターを示す要部断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る無線タグを示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１１：レチクル搬送容器、１２：レチクル、１２Ａ：上側角部、１２Ｂ：下側角部、１３：ポッド、１４：扉１５：シール材、１７：本体部、１８：周縁嵌合部、２０：センターハンドリングフランジ、２１：サイドハンドリングフランジ、２２：受け部、２５：レチクルリテーナー、２６：リテーナー受け部、２７：リテーナー板部、２８：傾斜面部、２９：一端側嵌合用切り欠き、３０：他端側嵌合用切り欠き、３１：凹部、３３：当接面板、３４：一端嵌合板、３５：他端嵌合板、３７：ペリクルリテーナー、３８：リテーナー受け部、３９：リテーナー板部、４６：ペリクル、４１：留め具、４３：シール溝、４４：扉側支持部材、４５：レチクルリテーナー、４７：ペリクルリテーナー、４８：ベース板部、５０：リテーナー受け部、５１：リテーナー板部、５２：凹部、５５：リテーナー受け部、５６：リテーナー板部、６１：キネマティックピングルーブ、６２：メンブレンフィルター取り付け部、６３：メンブレンフィルター、６５：管ガイド、６６：フィルター嵌合筒部、６７：ストッパ、７０：フィルター本体部、７１：嵌合筒部、７２：開口筒部、７４：無線タグ、７５：覆い板、７５Ａ：凹部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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