(57)【要約】【課題】静電吸着板を取り付けるだけで配線接続することなく必要自動的に電気接続する。【解決手段】静電吸着板３を固着手段６で上方保持板１及び下方保持板２の取り付け面５に取り付けることにより、静電吸着板３の裏面に露出した入力端子３ｄと、その取り付け面５に配設された装置側の出力端子７ａとが電気的に接触して、電源から装置側の出力端子７ａを経て静電吸着板３の入力端子３ｄに給電される。【選択図】      図１
2006344613.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下一対の保持板（１，２）に取り付けられた静電吸着板（３）で上下基板（Ａ，Ｂ）の両方又は一方を着脱自在に保持し、これら両基板（Ａ，Ｂ）を真空中で重ね合わせて接着する基板貼り合わせ装置において、
前記静電吸着板（３）の裏面に入力端子（３ｄ）を露出させて配設し、この静電吸着板（３）を固着手段（６）で上方保持板（１）及び下方保持板（２）に夫々着脱自在に取り付け、これら上下保持板（１，２）の取り付け面（５）には、該静電吸着板（３）の入力端子（３ｄ）と対向して、電源に通じる装置側の出力端子（７ａ）を配設し、上記固着手段（６）にて静電吸着板（３）が上下保持板（１，２）の取り付け面（５）に取り付けられた状態で、これら静電吸着板（３）の入力端子（３ｄ）と装置側の出力端子（７ａ）とを電気的に接触させたことを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記静電吸着板（３）の入力端子（３ｄ）及び装置側の出力端子（７ａ）のどちらか一方又は両方を、静電吸着板（３）の取り付け方向へ往復動自在に支持して弾性的に突出させ、静電吸着板（３）の取り付け状態で、静電吸着板（３）の入力端子（３ｄ）と装置側の出力端子（７ａ）とを圧接させた請求項１記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記静電吸着板（３）の入力端子（３ｄ）と装置側の出力端子（７ａ）との電気接続部分を囲むように環状シール材（８）を配設して、これら電気接続部分と両基板（Ａ，Ｂ）が貼り合わせられる雰囲気（Ｓ）とを遮断した請求項１または２記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項４】
前記静電吸着板（３）の材質として例えばポリイミドなどのクッション性のある素材を用い、複数枚の静電吸着板（３）を大型の基板（Ａ，Ｂ）と対向して互いに接近させて並列状に配置した請求項１、２または３記載の基板貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレー（ＬＣＤ）やプラズマディスプレー（ＰＤＰ）などのフラットパネルディスプレーの製造過程において、それに用いられる基板を静電気により吸着しながら位置合わせ（アライメント）して貼り合わせるフラットパネル用基板の貼り合わせ装置に関する。
詳しくは、上下一対の保持板に取り付けられた静電吸着板で上下基板の両方又は一方を着脱自在に保持し、これら両基板を真空中で重ね合わせて接着する基板貼り合わせ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板貼り合わせ装置として、上方の加圧板の下面に静電吸着板を取り付けると共に該静電吸着板に複数の吸引孔を設け、上基板が大気中で吸引吸着力により保持され、真空チャンバ内の減圧に伴い吸引吸着力が小さくなって静電吸着板の吸引孔から上基板が落下した際に、これを受け止め手段により該静電吸着板の僅か下の位置に受け止め、この上基板に静電吸着力を作用させて再度、静電吸着板に上基板を保持することにより、真空中で貼り合わせが行われると共に、ＸＹθステージを微動させて基板同士の位置合わせを行うものがある（例えば、特許文献１参照）。
また、上方保持板（上側基板保持具）に取り付けられた保持ヘッドにより、上側基板を大気中では真空吸着し且つ真空中では静電吸着して保持し、下方保持板（下側基板保持具）に取り付けられた静電吸着板（静電吸着プレート）により、下側基板を静電吸着し、これら一対の基板を真空中で平行に重ね合わせてギャップ出しが行われると共に、相対的にＸＹθ方向へ調整移動して両基板同士の位置合わせが行われるものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２８４２９５号公報（第３−５頁、図１−３）
【特許文献２】
特開２００２−２２９４７１号公報（第７−８頁、図３）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし乍ら、このような基板貼り合わせ装置では、上下保持板の間に二枚の基板が搬入される度に、これらを静電吸着板で静電吸着して処理するが、クリーンルーム内で基板の搬入及び静電吸着を行ったとしても、静電吸着板へ搬入される基板の表面に付着した例えば微細なゴミなどの異物を完全に除去することはできず、このような異物が付着した基板の表面を静電吸着板で直接吸着すると、これら両者間に異物を噛み込んでしまい、そのために静電吸着面が傷付いて破損する。
このような破損による交換だけでなく、静電吸着板自体の寿命によっても定期的な交換が必要となるが、従来は静電吸着板の入力端子に電源へ通じる配線コードを直接接続するのが一般的な給電方法であったため、交換時には古い静電吸着板の入力端子から配線コードを取り外した後に、新しい静電吸着板の入力端子に配線コードを接続し直さなければならず、その交換作業が面倒で手間がかかるという問題がある。
更に、このような基板貼り合わせ装置では、大気中から所定の真空度まで静電吸着板で基板を連続して静電吸着し続けることが望ましいが、従来の静電吸着板の配線接続構造では、その入力端子と配線コードとの電気接続部分が基板を貼り合わせる雰囲気に露出しているものが一般的であるため、このような配線接続構造で例えば 500Ｖ以上の高電圧を印加すると、パッシェンの法則（気体中においた２枚の平行平板電極間の火花電圧はその気体密度と電極間距離との積の関数になる）によって、パッシェン曲線でも示されるように数Ｐａ程度の中真空領域で放電してしまう。
その結果、大気圧から高真空領域まで連続して静電吸着板を機能させることは難しく、そのために高真空領域に入るまで静電吸着板の作動を停止しておき、高真空領域に入ってから作動させる方法もあるが、中真空領域では真空吸着も静電吸着もできない状態のため、機械的に保持を必要とするという問題がある。
また、近年、ＴＦＴガラスやＣＦガラスなどの基板は年々大型化され、現在では一辺が1000mmを超えるものまで製造され始めており、このような大型の基板を確実に静電吸着するには、それと対向して静電吸着面を大型化する必要があり、製造コストとメンテナンス性から考慮すれば、多数枚の静電吸着板を互いに接近させて並列状に配置することが好ましい。
しかし、このような場合には、多数枚の静電吸着板を交換する必要性があって、これらの交換作業が非常に面倒で全てを交換するには長時間を要するという問題がある。
【０００５】
本発明のうち請求項１記載の発明は、静電吸着板を取り付けるだけで配線接続することなく必要自動的に電気接続することを目的としたものである。
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明の目的に加えて、静電吸着板の取り付けに伴う寸法誤差に関係なく確実に電気接続することを目的としたものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の発明の目的に加えて、大気中から所定の真空度まで静電吸着板で基板を連続して静電吸着し続けることを目的としたものである。
請求項４記載の発明は、請求項１、２または３に記載の発明の目的に加えて、静電吸着板の交換によって部分的に厚さ寸法が若干不均一になっても厚さ調整を不要にすることを目的としたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、静電吸着板の裏面に入力端子を露出させて配設し、この静電吸着板を固着手段で上方保持板及び下方保持板に夫々着脱自在に取り付け、これら上下保持板の取り付け面には、該静電吸着板の入力端子と対向して、電源に通じる装置側の出力端子を配設し、上記固着手段にて静電吸着板が上下保持板の取り付け面に取り付けられた状態で、これら静電吸着板の入力端子と装置側の出力端子とを電気的に接触させたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の構成に、前記静電吸着板の入力端子及び装置側の出力端子のどちらか一方又は両方を、静電吸着板の取り付け方向へ往復動自在に支持して弾性的に突出させ、静電吸着板の取り付け状態で、静電吸着板の入力端子と装置側の出力端子とを圧接させた構成を加えたことを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明の構成に、前記静電吸着板の入力端子と装置側の出力端子との電気接続部分を囲むように環状シール材を配設して、これら電気接続部分と両基板が貼り合わせられる雰囲気とを遮断した構成を加えたことを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項１、２または３記載の発明の構成に、前記静電吸着板の材質として例えばポリイミドなどのクッション性のある素材を用い、複数枚の静電吸着板を大型の基板と対向して互いに接近させて並列状に配置した構成を加えたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】
請求項１の発明の作用は、静電吸着板を固着手段で上方保持板及び下方保持板の取り付け面に取り付けることにより、静電吸着板の裏面に露出した入力端子と、その取り付け面に配設された装置側の出力端子とが電気的に接触して、電源から装置側の出力端子を経て静電吸着板の入力端子に給電されるものである。
請求項２の発明の作用は、請求項１記載の発明の作用に加えて、静電吸着板の入力端子及び装置側の出力端子の一方又は両方を取り付け方向へ弾性的に突出させることにより、静電吸着板の取り付け状態で静電吸着板の入力端子と装置側の出力端子が突き当たって圧接する。
請求項３の発明の作用は、請求項１または２記載の発明の作用に加えて、静電吸着板の入力端子と装置側の出力端子との電気接続部分を環状シール材にて囲んで、これら電気接触部分と両基板が貼り合わせられる雰囲気と遮断することにより、電気接触部分への気体流動が遮断されて、基板貼り合わせの雰囲気が大気から所望の真空度に至るまでの放電が防止される。
請求項４の発明の作用は、請求項１、２または３記載の発明の作用に加えて、大型の基板と対向してクッション材からなる複数枚の静電吸着板を並列状に配置し、これら表面を予め面一状に厚さ管理することにより、交換した静電吸着板が部分的に若干突出しても基板の静電吸着時に圧縮変形して厚さ寸法の違いから発生する偏荷重が吸収される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
この実施例は、図１及び図２に示す如く、上方の保持板１がＺ（上下）方向及びＸＹθ（水平）方向へ移動自在に設けた上定盤であり、下方の保持板２が移動不能に固定した下定盤であり、これら上定盤１及び下定盤２に配設された静電吸着板３，３により二枚のガラス製基板Ａ，Ｂを保持して真空な閉空間Ｓ内で重ね合わせ、相対的にＸＹθ方向へ調整移動させることにより、上下両基板Ａ，Ｂのどちらか一方に塗布した環状接着剤Ｃが他方に接触しない状態で粗合わせが行われると共に、環状接着剤Ｃを介して両基板Ａ，Ｂが密接する状態で微合わせが行われる場合を示すものである。
【０００９】
上定盤１及び下定盤２は、例えば金属やカーボンなどの剛体で構成され、これら対向面には、両基板Ａ，Ｂを移動不能に保持する機構として静電吸着板３，３が夫々設けられると共に、大気中における吸着保持を補助するための吸引吸着手段４，４が追加して設けられ、これら吸引吸着手段４，４として開穿された複数の通気孔４ａ，４ａを例えば真空ポンプなどの吸引源（図示せず）に配管連絡させている。
【００１０】
上記静電吸着板３，３の電源（図示せず）と吸引吸着手段４，４の吸引源（図示せず）は、コントローラー（図示せず）で動作制御され、両基板Ａ，Ｂをセットする初期状態に静電吸着及び吸引吸着が開始され、両基板Ａ，Ｂの微合わせ後にどちらか一方、本実施例では上側基板Ａの静電吸着を解除し、後述する閉空間Ｓが大気に戻った後は下側基板Ｂの吸引吸着及び静電吸着を解除して初期状態に戻す。
【００１１】
本実施例の場合には、上記静電吸着板３，３が、両基板Ａ，Ｂより小さな平面矩形（図示例では略正方形）に形成された静電チャックであり、上定盤１及び下定盤２の対向面との間に該静電吸着板３，３の取り付け面５，５として例えばアルミニウムなどの金属からなる上下の台座を介装し、これら台座に夫々複数枚の静電チャックを互いに接近させて並列状に配置すると共に、夫々の表面を面一状に配置して加圧ムラが発生しないようにすることにより、一辺が例えば1000mm以上の大型な基板Ａ，Ｂの全面を夫々分割して吸着保持するようにしている。
【００１２】
各静電吸着板３は、基板Ａ，Ｂと接触する例えばポリイミドなどの弾性変形可能なクッション性のある絶縁性有機材料を用いて平滑な薄膜状に形成された誘電層３ａと、この誘電層３ａに電界を供給するために誘電層３ａの内部に埋め込まれた電極部３ｂと、この電極部３ｂの土台となるために例えばエンジニアリングプラスチック或いはセラミックスなどから選ばれる硬質な絶縁材料で板状に形成された基材層３ｃとを積層して貼り合わせている。
【００１３】
そして、各静電吸着板３の裏面には、上記電極部３ｂと連通する入力端子３ｄが露出するように配設され、この静電吸着板３を例えばボルトやネジなどの固着手段６…により上定盤１及び下定盤２の取り付け面５，５である上下の台座に夫々着脱自在に取り付け、これら上下の台座５，５には、該静電吸着板３の入力端子３ｄと対向して、電源に通じる装置側の出力端子７ａが配設される。
【００１４】
本実施例では、上下の台座５，５が各静電吸着板３と略同じ大きさの平面矩形に形成され、これらを互いに連結して並列状に配置しており、各静電吸着板３には、上記固着手段６…であるボルトのネジ部６ａ…が挿通する複数の通孔３ｅ…を等間隔毎に開穿させると共に、これら通孔３ｅ…と連通して上記ネジ部６ａと螺合するネジ孔５ａ…を台座５，５の表面側に開設している。
【００１５】
更に、上下の台座５，５には、各静電吸着板３の電源に通じる装置側の出力端子７ａとしてコネクタを、各静電吸着板３の入力端子３ｄと対向するように取り付け、上記固着手段６…のボルトにより各静電吸着板３が台座５，５に取り付けられた状態で、これら各静電吸着板３の入力端子３ｄと装置側の出力端子７ａとを電気的に接触させる。
【００１６】
また、各静電吸着板３の入力端子３ｄ及び装置側の出力端子７ａのどちらか一方又は両方を、静電吸着板３の取り付け方向へ往復動自在に支持して弾性的に突出させ、静電吸着板３の取り付け状態で、静電吸着板３の入力端子３ｄと装置側の出力端子７ａとを圧接させると共に、これら静電吸着板３の入力端子３ｄと装置側の出力端子７ａとの電気接続部分を囲むように環状シール材８を配設して、これら電気接続部分と両基板Ａ，Ｂが貼り合わせられる閉空間Ｓの雰囲気とを遮断している。
【００１７】
図示例では上記コネクタ７が、上下の台座５，５に開穿された段付きの貫通孔５ａ，５ａ内に回転不能に挿着された筒体７ｂと、この筒体７ｂ内に挿入された例えば電気伝導率に優れた金属で円柱状に形成された出力端子７ａと、この出力端子７ａの基端側に連設された例えばスプリングなどの弾性体７ｃと、この弾性体７ｃの基端側に連設される電源コード９のホルダ７ｄと、このホルダ７ｄの基端に形成された円錐部と係合するテーパー状の軸受け７ｅと、この軸受け７ｅの基端側に配置された電源コード９の密着する環状パッキン７ｆと、この環状パッキン７ｆの基端側に配置された上記筒体７ｂの内面に螺合するネジ筒７ｇとを備え、これら軸受け７ｅ、環状パッキン７ｆ、ネジ筒７ｇに挿通した電源コード９をホルダ７ｄに挟持させて、その電線９ａを出力端子７ａに電気接続した後に、ネジ筒７ｇの基端に一体成形された操作部７ｈを摘んで回転操作することにより、上下の台座５，５に取り付けられて各静電吸着板３の電源と出力端子７ａとが電通される。
【００１８】
上記コネクタ７の筒体７ｂの先端面には、出力端子７ａを囲むように環状の凹溝７ｉが凹設され、この凹溝７ｉに上記環状シール材８としてＯリングを嵌挿して、静電吸着板３の入力端子３ｄの周囲に形成された平坦面３ｆに密着させることにより、該Ｏリング８で囲まれた入力端子３ｄと出力端子７ａとの電気接続部分が密閉される。
【００１９】
更に図示例では、上定盤１及び下定盤２の対向面と上下の台座５，５との間に隙間を形成して、例えば皿バネなどの高さ調整治具５ｂ，５ｂを介装することにより、これら上下定盤１，２の対向面が完全な平行でない場合でも、各静電吸着板３の表面が平行となるように調整したが、これに限定されず、高さ調整治具５ｂ，５ｂを介装せずに上定盤１及び下定盤２の対向面と台座５，５とを直接的に固着しても良い。
【００２０】
次に、斯かる基板貼り合わせ装置の作用について説明する。
先ず、各静電吸着板３を固着手段６のボルトで上定盤１及び下定盤２の取り付け面５，５に取り付けると、各静電吸着板３の裏面に露出した入力端子３ｄと、その取り付け面５に配設された装置側の出力端子７ａとが電気的に接触して、電源から装置側の出力端子７ａを経て静電吸着板３の入力端子３ｄに給電され、各静電吸着板３内に埋設された電極部３ｂに電圧が印加される。
その結果、各静電吸着板３を取り付けるだけで配線接続することなく自動的に電気接続できる。
【００２１】
更に本実施例の場合には、各静電吸着板３の入力端子３ｄ及び装置側の出力端子７ａの一方又は両方を取り付け方向へ弾性的に突出させると、各静電吸着板３の取り付け状態でその入力端子３ｄと装置側の出力端子７ａが突き当たって圧接する。
その結果、各静電吸着板３の取り付けに伴う寸法誤差に関係なく確実に電気接続できる。
【００２２】
また、各静電吸着板３の入力端子３ｄと装置側の出力端子７ａとの電気接続部分を環状シール材８により囲んで、これら電気接触部分と両基板Ａ，Ｂが貼り合わせられる雰囲気Ｓと遮断すると、電気接触部分への気体流動が遮断されて、基板貼り合わせの雰囲気が大気から所望の真空度に至るまでの放電が防止される。その結果、大気中から所定の真空度まで静電吸着板３で基板Ａ，Ｂを連続して静電吸着し続けることができる。
【００２３】
また更に、大型の基板Ａ，Ｂと対向して、例えばポリイミドなどの弾性変形可能なクッション材からなる複数枚の静電吸着板３…を並列状に配置し、これら表面を予め面一状に厚さ管理すると、交換した静電吸着板３が部分的に若干突出しても基板Ａ，Ｂの静電吸着時に圧縮変形して厚さ寸法の違いから発生する偏荷重が吸収される。
その結果、静電吸着板３の交換によって部分的に厚さ寸法が若干不均一になっても厚さ調整を不要にできる。
【００２４】
一方、図示例の場合には図１に示す如く、前記上定盤１の背後に板状の上方取付体１１をＺ（上下）方向及びＸＹθ（水平）方向へ移動自在に設け、下定盤２の背後に板状の下方取付体１２を移動不能に固定し、これら上方取付体１１の周縁部１１ａと下方取付体１２の周縁部１２ａの間に、ＸＹθ方向へ移動自在な移動シール手段１３が両基板Ａ，Ｂを囲むように環状に設けられると共に、上方取付体１１に対して上定盤１をＺ方向へ平行移動させる例えばリニアアクチュエーターなどの基板間隔調整手段１４が、移動シール手段１３から上定盤１の周縁部１ａに亘って配設される。
【００２５】
そして、ジャッキからなる昇降手段１５の伸長作動により上方取付体１１及び上定盤１を上動した状態で、基板Ａ，Ｂがセットされ、その後、上記昇降手段１５の短縮作動で上下取付体１１，１２を接近移動させることにより、上定盤１及び下定盤２を囲むように閉空間Ｓが区画形成されると共に、上方取付体１１の周縁部１１ａと移動ブロック１２がＸＹθ方向へ一体的に係合する。
【００２６】
この状態で吸気手段１６の作動で閉空間Ｓから空気を抜いて所定の真空度に達し、更に基板間隔調整手段１４の伸長時において、モーターからなる駆動源１７ａの作動によりカム１７ｂを回動させると、移動シール手段１３と下方の保持体１２に亘って架設されたスプリングなどの弾性体１７ｃが伸縮し、それにより位置調整手段１８が変形して上定盤１及び移動シール手段１３が下定盤２上をＸＹθ方向へ調整移動し、下側基板Ｂ上の環状接着剤Ｃが上側基板Ａに接触しないままで両基板Ａ，Ｂ同士の粗合わせが行われる。
【００２７】
その後、基板間隔調整手段１４の短縮動により、上定盤１と下定盤２が更に接近して、本実施例では上側基板Ｂを環状接着剤Ｃの少なくとも周方向一部に接触させた状態で、上定盤１と下定盤２を相対的にＸＹθ方向へ調整移動させて両基板Ａ，Ｂ同士の微合わせが行われ、その終了後に上側基板Ａの吸着を解除すると共に、吸引吸着手段４，４の通気孔４ａ，４ａから例えば窒素ガスなどの気体を噴き出して、上側基板Ａが環状接着剤Ｃの全周に亘って瞬間的に圧着させ、それにより封止空間が確実に形成される。
【００２８】
その後は、吸気手段１６の作動により閉空間Ｓ内に空気を入れてその雰囲気を大気圧に戻すことにより、両基板Ａ，Ｂの内外に生じる気圧差で均等に押し潰され、液晶が封入された状態で所定のギャップが形成される。
【００２９】
尚、前示実施例では、静電吸着板３及びその取り付け面５である台座を両基板Ａ，Ｂより小さな平面矩形に形成し、これらを複数枚ずつ互いに接近させて並列状に配置したが、これに限定されず、静電吸着板３及び台座５を夫々一枚物で構成しても良い。
また両基板Ａ，Ｂを保持する上下の保持板１，２及びそれに設けた保持手段は、上述したものに限定されず、上下保持板１，２を上下定盤以外のもので構成したり、例えば低真空であれば、前記静電吸着板３，３に代えて真空差を利用した真空吸着手段を使用しても良い。
【００３０】
更に基板貼り合わせ装置の全体構造も図示のような上定盤１の背後に板状の上方取付体１１をＺ方向へ移動自在に設け、下定盤２の背後に板状の下方取付体１２を一体的に固定したものに限定されず、図示せぬが下定盤２の背後に下方取付体１２が間隔を開けて配設されることにより、大気圧により上下取付体１１，１２が変形しても上定盤１及び下定盤２に影響しないようにしても良い。
また真空雰囲気中で上下両基板Ａ，Ｂの粗合わせ及び微合わせ（アライメント）した場合を示したが、これに限定されず、特殊ガス雰囲気中で上下両基板Ａ，Ｂの粗合わせ及び微合わせする場合も同様である。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のうち請求項１記載の発明は、静電吸着板を固着手段で上方保持板及び下方保持板の取り付け面に取り付けることにより、静電吸着板の裏面に露出した入力端子と、その取り付け面に配設された装置側の出力端子とが電気的に接触して、電源から装置側の出力端子を経て静電吸着板の入力端子に給電されるので、静電吸着板を取り付けるだけで配線接続することなく必要自動的に電気接続できる。
従って、静電吸着板の交換作業が面倒で手間がかかる従来のものに比べ、配線接続する必要ことなく、静電吸着板の交換作業を短時間に行うことができ、特に大型の基板と対応して多数枚の静電吸着板を互いに接近させて並列状に配置した場合でも、全ての静電吸着板を簡単でしかも短時間で交換できる。
【００３２】
請求項２の発明は、請求項１の発明の効果に加えて、静電吸着板の入力端子及び装置側の出力端子の一方又は両方を取り付け方向へ弾性的に突出させることにより、静電吸着板の取り付け状態で静電吸着板の入力端子と装置側の出力端子が突き当たって圧接するので、静電吸着板の取り付けに伴う寸法誤差に関係なく確実に電気接続できる。
【００３３】
請求項３の発明は、請求項１または２の発明の効果に加えて、静電吸着板の入力端子と装置側の出力端子との電気接続部分を環状シール材にて囲んで、これら電気接触部分と両基板が貼り合わせられる雰囲気と遮断することにより、電気接触部分への気体流動が遮断されて、基板貼り合わせの雰囲気が大気から所望の真空度に至るまでの放電が防止されるので、大気中から所定の真空度まで静電吸着板で基板を連続して静電吸着し続けることができる。
従って、高真空領域に入るまで静電吸着板の作動を停止しておき、高真空領域に入ってから作動させる方法に比べ、中真空領域では真空吸着も静電吸着もできない状態のために機械的な保持を必要とならず、装置全体の構造を簡素化できてコストの低減化が図れる。
【００３４】
請求項４の発明は、請求項１、２または３の発明の効果に加えて、大型の基板と対向してクッション材からなる複数枚の静電吸着板を並列状に配置し、これら表面を予め面一状に厚さ管理することにより、交換した静電吸着板が部分的に若干突出しても基板の静電吸着時に圧縮変形して厚さ寸法の違いから発生する偏荷重が吸収されるので、静電吸着板の交換によって部分的に厚さ寸法が若干不均一になっても厚さ調整を不要にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例を示す基板貼り合わせ装置の縦断正面図で、要部を部分拡大して示している。
【図２】  静電吸着板の取り付け状態を示す部分的な分解斜視図である。
【符号の説明】
Ａ，Ｂ  基板                      Ｓ  雰囲気（閉空間）
１  上定盤                        ２  下定盤
３  静電吸着板                    ３ｄ  入力端子
３ｂ  電極部                        ５  取り付け面
６  固着手段                        ７ａ  装置側の出力端子
８  環状シール材
【図１】
2006344613.tif 000003
【図２】
2006344613.tif 000004