(57)【要約】【課題】  ドレッシングボードを取り替えることなく切削ブレードの外周修正と目立てを実施することができるドレッシングボードおよびドレッシング方法を提供する。【解決手段】  砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを整形するドレッシングボードであって切削ブレードの外形を修正する外形修正部と、切削ブレードの目立てをする目立て部とを具備している。【選択図】        図３
2006218571.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを整形するドレッシングボードにおいて、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と、切削ブレードの目立てをする目立て部と、を具備している、
ことを特徴とするドレッシングボード。
【請求項２】
該外形修正部と該目立て部は、同一平面上に隣接して形成されている、請求項１記載のドレッシングボード。
【請求項３】
該外形修正部と該目立て部は、互いに重合して形成されている、請求項１記載のドレッシングボード。
【請求項４】
該外形修正部はホワイトアランダム砥粒を樹脂で結合して形成され、該目立て部はグリーンカーボランダム砥粒を樹脂で結合して形成されている、請求項１から３のいずれかに記載のドレッシングボード。
【請求項５】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して並列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程を実施した後に、該切削ブレードを該ドレッシングボードの該目立て部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。
【請求項６】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して縦列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程に引き続き該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。
【請求項７】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが互いに重合して形成されたドレッシングボードを該外形修正部を上側にして該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを切削できる切込み深さに位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正するとともに、該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う整形工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を切削する切削ブレード、更に詳しくはダイヤモンド等からなる砥粒を結合部材で結合して円形に形成した切削ブレードをドレッシングするためのドレッシングボードおよびドレッシング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
生セラミックス基板の表面に複数のコンデンサー（デバイス）がマトリックス状に配設されたウエーハや、樹脂基板の表面に複数のLED（デバイス）がマトリックス状に配設されたウエーハや、シリコン基板の表面に複数のＩＣ、ＬＳＩ等の回路（デバイス）がマトリックス状に配設されたウエーハは、各デバイスを区画する格子状のストリートに沿って切断することにより個々のチップ（デバイス）に分割され、携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。
【０００３】
上述したウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードおよび回転スピンドルを回転駆動する駆動機構を備えたスピンドルユニットを含んでいる。このような切削装置に用いられる切削ブレードとしては、アルミニウム等によって形成された基台の側面に、ダイヤモンド等からなる砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレード、ダイヤモンド等からなる砥粒をレジンボンドで結合して円形に形成したレジノイドブレード、ダイヤモンド等からなる砥粒を金属ボンドで焼き固めたメタルブレード等があり、厚さが３０〜３００μmに形成されている。このように、上記各種の結合部材で結合して形成された切削ブレードは、被加工物の種類に対応して適宜選択して使用されている。
【０００４】
しかるに、回転スピンドルの軸心と該回転スピンドルに装着された切削ブレードの回転中心が僅かに偏心していると、切削ブレードを装着した回転スピンドルを高速回転した際に、切削ブレードが回転軸芯と直交する方向（切り込み方向）に振動する。このように、切削ブレードが振動した状態でウエーハのストリートに沿って切削すると、ストリートにダメージを与えてチップの切削面にチッピングが発生する。このため、切削ブレードを交換した際には、切削ブレードの外周を修正する真円出しドレッシングを実施している。また、切削ブレードは切削を継続すると外周が先細りとなり、この状態で切削を続行するとチップの側面の形状精度を悪化させるという問題がある。このため、定期的に切削ブレードの外周を修正する外形修正ドレッシングを実施している。また、切削ブレードは切削を継続すると目つぶれが生じ切削能力が低下するため、定期的に目立てドレッシングを実施している。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開平２０００−４９１２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、切削ブレードの外周を修正する外形修正用のドレッシングボードと目立て用のドレッシングボードは使用する砥粒が異なるため、従来はそれぞれのドレッシングに適したドレッシングボードを用意し、切削ブレードの外周修正と目立てとをそれぞれ別々に行わなければならず、効率的でないという問題がある。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、ドレッシングボードを取り替えることなく切削ブレードの外周修正と目立てを実施することができるドレッシングボードおよびドレッシング方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを整形するドレッシングボードにおいて、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と、切削ブレードの目立てをする目立て部と、を具備している、
ことを特徴とするドレッシングボードが提供される。
【０００８】
上記外形修正部と上記目立て部は、同一平面上に隣接して形成されている。また、上記外形修正部と上記目立て部は、互いに重合して形成されている。上記外形修正部はホワイトアランダム砥粒を樹脂で結合して形成され、上記目立て部はグリーンカーボランダム砥粒を樹脂で結合して形成されている。
【０００９】
また、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して並列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程を実施した後に、該切削ブレードを該ドレッシングボードの該目立て部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法が提供される。
【００１０】
更に、発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが同一平面状に隣接して形成されたドレッシングボードを該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを該切削送り方向に対して縦列になるように位置付けるアライメント工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部に位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正する外形修正工程と、
該外形修正工程に引き続き該切削ブレードが該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う目立て工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法が提供される。
【００１１】
また、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための砥粒を結合材で結合して円形に形成した切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルを相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段と該チャックテーブルを該切削送り方向と直交する方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置における該切削ブレードを整形するドレッシング方法であって、
切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とが互いに重合して形成されたドレッシングボードを該外形修正部を上側にして該チャックテーブルに保持するドレッシングボード保持工程と、
該切削ブレードを該ドレッシングボードの該外形修正部と該目立て部とを切削できる切込み深さに位置付け、該切削ブレードを回転させるとともに該チャックテーブルと該切削手段とを該切削送り方向に相対移動し、該切削ブレードが該外形修正部を切削することにより該切削ブレードの外形を修正するとともに、該目立て部を切削することにより該切削ブレードの目立てを行う整形工程と、を含む、
ことを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によるドレッシングボードは切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部とを具備しているので、ドレッシングボードを取り替えることなく切削ブレードの外周修正と目立てを実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に従って構成されたドレッシングボードおよびドレッシング方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１４】
図１には、本発明に従って構成されたドレッシングボードを用いてドレッシングされる切削ブレードを装備した切削装置の斜視図が示されている。図示の実施形態における切削装置は、略直方体状の装置ハウジング２を具備している。この装置ハウジング２内には、被加工物を保持するチャックテーブル３が切削送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル３は、吸着チャック支持台３１と、該吸着チャック支持台３１上に配設された吸着チャック３２を具備しており、該吸着チャック３２の上面である保持面上に被加工物を図示しない吸引手段を作動することによって吸引保持するようになっている。また、チャックテーブル３は、図示しない回転機構によって回転可能に構成されている。なお、チャックテーブル３１には、被加工物として後述する半導体ウエーハを保護テープを介して支持する支持フレームを固定するためのクランプ３３が配設されている。このように構成されたチャックテーブル３は、図示しない切削送り手段によって、矢印Ｘで示す切削送り方向に移動せしめられるようになっている。
【００１５】
図示の実施形態における切削装置は、切削手段としてのスピンドルユニット４を具備している。スピンドルユニット４は、図示しない移動基台に装着され割り出し方向である矢印Ｙで示す方向および切り込み方向である矢印Ｚで示す方向に移動調整されるスピンドルハウジング４１と、該スピンドルハウジング４１に回転自在に支持された回転スピンドル４２と、該回転スピンドル４２の前端部に装着された切削ブレード４３とを具備している。この切削ブレード４３およびその取付け構造について、図２を参照して説明する。図２に示す切削ブレード４３は、ダイヤモンド等からなる砥粒を結合剤で結合して円形に形成した切削ブレードからなっている。この切削ブレードとしては、砥粒をレジンボンド材に混錬し環状に成型して焼成したレジノイドブレードや、砥粒を金属ボンド材に混錬し環状に成型して焼成したメタルブレードや、アルミニウム等によって形成された基台の側面に砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレード等が用いられる。
【００１６】
上述したように構成された切削ブレード４３は、切削装置のスピンドルハウジング４１に回転自在に支持された回転スピンドル４２に取付けられているマウンター４４に装着される。即ち、マウンター４４の円筒状の装着部４４１に環状の切削ブレード４３を嵌合するとともに挟持部材４５を嵌合した後、締め付けリング４６をマウンター４４に形成された雄ネジ部に螺合することにより、切削ブレード４３をマウンター４４に装着する。
【００１７】
以上のように構成された切削手段としてのスピンドルユニット４は、図示しない割り出し送り手段によって図１において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられるとともに、図示しない切り込み送り手段によって図１において矢印Ｚで示す切り込み送り方向に移動せしめられるようになっている。
【００１８】
図１に戻って説明を続けると、図示の実施形態における切削装置は、上記チャックテーブル３上に保持された被加工物の表面を撮像し、上記切削ブレード４３によって切削すべき領域を検出するためのアライメント手段６を具備している。このアライメント手段６は、顕微鏡やＣＣＤカメラ等の光学手段からなる撮像手段を具備している。また、切削装置は、アライメント手段６によって撮像された画像を表示する表示手段７を具備している。
【００１９】
上記装置ハウジング２におけるカセット載置領域８aには、被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置テーブル８が配設されている。このカセット載置テーブル８は、図示しない昇降手段によって上下方向に移動可能に構成されている。カセット載置テーブル８上には、被加工物１０を収容するカセット９が載置される。カセット９に収容される被加工物１０は、ウエーハの表面に格子状のストリートが形成されており、この格子状のストリートによって区画された複数の矩形領域にコンデンサーやLEDや回路等のデバイスが形成されている。このように形成された被加工物１０は、環状の支持フレーム１１に装着された保護テープ１２の表面に裏面が貼着された状態でカセット９に収容される。
【００２０】
また、図示の実施形態における切削装置は、カセット載置テーブル８上に載置されたカセット９に収容されている被加工物１０（環状のフレーム１１に保護テープ１２を介して支持されている状態）を仮置きテーブル１４に搬出する搬出手段１５と、仮置きテーブル１４に搬出された被加工物１０を上記チャックテーブル３上に搬送する搬送手段１６と、チャックテーブル３上で切削加工された被加工物１０を洗浄する洗浄手段１７と、チャックテーブル３上で切削加工された被加工物１０を洗浄手段１７へ搬送する洗浄搬送手段１８を具備している。
【００２１】
以上のように構成された切削装置の作動について、簡単に説明する。
カセット載置テーブル８上に載置されたカセット９の所定位置に収容されている被加工物１０は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル８が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出手段１５が進退作動して搬出位置に位置付けられた被加工物１０を仮置きテーブル１４上に搬出する。仮置きテーブル１４に搬出された被加工物１０は、搬送手段１６の旋回動作によって上記チャックテーブル３上に搬送される。チャックテーブル３上に被加工物１０が載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して被加工物１０をチャックテーブル３上に吸引保持する。また、被加工物１０を保護テープ１２を介して支持する支持フレーム１１は、上記クランプ３３によって固定される。このようにして被加工物１０を保持したチャックテーブル３は、アライメント手段６の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル３がアライメント手段６の直下に位置付けられると、アライメント手段６によって被加工物１０に形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット４を割り出し方向である矢印Ｙ方向に移動調節してストリートと切削ブレード４３との精密位置合わせ作業が行われる。
【００２２】
その後、切削ブレード４３を矢印Ｚで示す方向に所定量切り込み送りし所定の方向に回転させつつ、被加工物１０を吸引保持したチャックテーブル３を切削送り方向である矢印Ｘで示す方向（切削ブレード４３の回転軸と直交する方向）に所定の切削送り速度で移動することにより、チャックテーブル３上に保持された半導体ウエーハ１０は切削ブレード４３により所定のストリートに沿って切断される。被加工物１０を所定のストリートに沿って切断したら、チャックテーブル３を矢印Ｙで示す方向にストリートの間隔だけ割り出し送りし、上記切断作業を実施する。そして、被加工物１０の所定方向に延在するストリートの全てに沿って切断作業を実施したならば、チャックテーブル３を９０度回転させて、被加工物１０の所定方向と直交する方向に延在するストリートに沿って切削作業を実行することにより、被加工物１０に格子状に形成された全てのストリートが切削されて個々のチップに分割される。なお、分割されたチップは、保護テープ１２の作用によってバラバラにはならず、フレーム１１に支持されたウエーハの状態が維持されている。
【００２３】
上述したように被加工物１０のストリートに沿って切断作業が終了したら、被加工物１０を保持したチャックテーブル３は最初に被加工物１０を吸引保持した位置に戻される。そして、被加工物１０の吸引保持を解除する。次に、被加工物１０は洗浄搬送手段１８によって洗浄手段１７に搬送される。洗浄手段１７に搬送された被加工物１０は、ここで洗浄および乾燥される。このようにして洗浄および乾燥された被加工物１０は、搬送手段１６によって仮置きテーブル１４に搬出される。そして、被加工物１０は、搬出手段１４によってカセット９の所定位置に収納される。従って、搬出手段１４は、加工後の被加工物１０をカセット９に搬入する搬入手段としての機能も備えている。
【００２４】
上述したように切削作業を継続すると、切削ブレード４３は外周が先細りとなり、この状態で切削を続行するとチップの側面の形状精度を悪化させるという問題がある。このため、定期的に切削ブレードの外周を修正するドレッシングを実施する必要がある。また、切削ブレード４３は切削を継続すると目つぶれが生じ切削能力が低下するため、定期的に目立てドレッシングを実施する必要がある。更に、切削ブレード４３を交換した際には、上述したように切削ブレードの外周を修正する真円出しドレッシングを実施する必要がある。
【００２５】
ここで、切削ブレードの外周を修正するドレッシングと目立てドレッシングを実施することができるドレッシングボードについて、図３および図４を参照して説明する。
図３に示す第１に実施形態におけるドレッシングボード１００は、切削ブレード４３の外形を修正する外形修正部１０１と、切削ブレード４３の目立てをする目立て部１０２とが同一平面上に隣接して形成されている。外形修正部１０１は、酸化アルミ（Al2O3）からなるホワイトアランダム（ＷＡ）砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが１mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。このようにホワイトアランダム（ＷＡ）砥粒によって形成された外形修正部１０１は、比較的硬度が高いので切削ブレードの外形修正に適する。一方、目立て部１０２は、炭化珪素（SiC）からなるグリーンカーボランダム（ＧＣ）砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが１mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。このようにグリーンカーボランダム（ＧＣ）砥粒によって形成された目立て部１０２は、比較的硬度が低いので切削ブレードの目立てに適する。なお、図示の実施形態においては、外形修正よりも目立ての頻度が高い（例えば、外形修正１：目立て５）ことから、目立て部１０２は外形修正部１０１より大きい面積を有しているが、両方とも同じ面積でもよい。このように形成された外形修正部１０１と目立て部１０２は、図３に示すように同一平面上で接着剤等によって互いに接合される。
【００２６】
図４に示す第２に実施形態におけるドレッシングボード１１０は、切削ブレード４３の外形を修正する外形修正部１１１と、切削ブレード４３の目立てをする目立て部１１２とが互いに積層して形成されている。外形修正部１１１は上記図３に示すドレッシングボード１００の外形修正部１０１と同様に、酸化アルミ（Al2O3）からなるホワイトアランダム（ＷＡ）砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが０．１mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。また、目立て部１１２も上記図３に示すドレッシングボード１００の目立て部１０２と同様に、炭化珪素（SiC）からなるグリーンカーボランダム（ＧＣ）砥粒をレジンボンドに混錬して厚さが１mm程度の矩形板状に成型した後に、焼成して形成する。なお、外形修正部１１１と目立て部１１２は、同一の面積に形成される。このように形成された外形修正部１１１と目立て部１１２は、図４に示すように互いに重合し接着剤等によって接合される。
【００２７】
次に、上述したドレッシングボード１００および１１０を用いて、切削ブレード４３の外形修正および目立てをするためのドレッシング方法について説明する。
先ず、上記図３に示すドレッシングボード１００を用いたドレッシング方法の一実施形態について、図５および図６を参照して説明する。
上記切削装置における図１に示す待機位置に位置付けられているチャックテーブル３を構成する吸着チャック３２上にドレッシングボード１００を載置し、図示しない吸引手段の吸引作用によって吸着チャック３２上にドレッシングボード１００を吸引保持する。このとき、図５および図６に示すようにドレッシングボード１００は、ガラス基板１２０の表面にワックス等の接着剤によって装着し、ガラス基板１２０を介して吸着チャック３２上に吸引保持される（ドレッシングボード保持工程）。このようにドレッシングボード１００を吸引保持したチャックテーブル３は、撮像機構６の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル３が撮像機構６の直下に位置付けられると、撮像機構６によってドレッシングボード１００の縁辺が検出され、外形修正部１０１と目立て部１０２が矢印Xで示す切削送り方向に対して並列になるように位置合わせ作業が行われる（アライメント工程）。
【００２８】
次に、切削ブレード４３を矢印Yで示す割り出し送り方向に移動してドレッシングボード１００を構成する外形修正部１０１の所定位置に位置付けるとともに、矢印Ｚで示す切り込み送り方向に移動して所定の切り込み深さ位置に位置付ける。そして、図５に示すように切削ブレード４３を矢印で示す方向に例えば２０，０００ｒｐｍで回転させつつ、ドレッシングボード１００を吸引保持したチャックテーブル３を矢印Ｘ１で示す切削送り方向に例えば１ｍｍ／秒の送り速度で移動し、ドレッシングボード１００を構成する外形修正部１０１の一端から他端に渡って切削することにより、切削ブレード４３をドレッシングする（外形修正工程）。この結果、切削ブレード４３は、その外形が修正されて真円出しおよび外形が整形される。なお、切削ブレード４３は外周が先細りまたは偏心が大きく、１回のドレッシングでは外形修正が十分でない場合には、切削ブレード４３を矢印Yで示す割り出し送り方向に所定量移動して上記外形修正工程を複数回実施する。
【００２９】
上述したように外形修正工程を実施したならば、切削ブレード４３を矢印Yで示す割り出し送り方向に移動してドレッシングボード１００を構成する目立て部１０２の所定位置に位置付けるとともに、矢印Ｚで示す切り込み送り方向に移動して所定の切り込み深さ位置に位置付ける。そして、図６に示すように切削ブレード４３を矢印で示す方向に例えば２０，０００ｒｐｍで回転させつつ、ドレッシングボード１００を吸引保持したチャックテーブル３を矢印Ｘ１で示す切削送り方向に例えば１ｍｍ／秒の送り速度で移動し、ドレッシングボード１００を構成する目立て部１０２の一端から他端に渡って切削することにより、切削ブレード４３をドレッシングする（目立て工程）。この結果、切削ブレード４３は、外周面および両側面が目立てされる。なお、１回のドレッシングでは目立てが十分でない場合には、切削ブレード４３を矢印Yで示す割り出し送り方向に所定量移動して上記目立て工程を複数回実施する。
【００３０】
次に、上記図３に示すドレッシングボード１００を用いたドレッシング方法の他の実施形態について、図７および図８を参照して説明する。
この実施形態においては、上述したアライメント工程において、図７および図８に示すようにドレッシングボード１００の外形修正部１０１と目立て部１０２が矢印Xで示す切削送り方向に対して縦列するように位置付けられる。
【００３１】
上記アライメント工程を実施したならば、切削ブレード４３を矢印Yで示す割り出し送り方向に移動してドレッシングボード１００を構成する外形修正部１０１の所定位置に位置付けるとともに、矢印Ｚで示す切り込み送り方向に移動して所定の切り込み深さ位置に位置付ける。そして、図７に示すように切削ブレード４３を矢印で示す方向に例えば２０，０００ｒｐｍで回転させつつ、ドレッシングボード１００を吸引保持したチャックテーブル３を矢印Ｘ１で示す切削送り方向に例えば１ｍｍ／秒の送り速度で移動する。この結果、切削ブレード４３は外形修正部１０１を切削する間に外形が修正される（外形修正工程）。このようにして外形修正部１０１を切削したならば、引き続き切削ブレード４３は目立て部１０２を切削することにより、外周面および両側面が目立てされる（目立て工程）。この実施形態によれば、１回のドレッシング工程において外形修正工程と目立て工程を実施することができる。なお、１回のドレッシングでは外形修正および目立てが十分でない場合には、切削ブレード４３を矢印Yで示す割り出し送り方向に所定量移動して上記ドレッシングを複数回実施する。
【００３２】
次に、上記図４に示すドレッシングボード１１０を用いたドレッシング方法について、図９および図１０を参照して説明する。
この実施形態においては、ドレッシングボード保持工程においてドレッシングボード１１０は、図９および図１０に示すように目立て部１１２側をガラス基板１２０に装着する。従って、ドレッシングボード１１０は外形修正部１１１が上側となる。このようにしてドレッシングボード保持工程を実施したならば、ドレッシングボード１１０を吸引保持したチャックテーブル３は、撮像機構６の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル３が撮像機構６の直下に位置付けられると、撮像機構６によってドレッシングボード１１０の縁辺が検出され、該縁辺と矢印Ｘで示す切削送り方向とが平行になるように位置合わせ作業が行われる（アライメント工程）。
【００３３】
上記アライメント工程を実施したならば、切削ブレード４３を矢印Yで示す割り出し送り方向に移動してドレッシングボード１１０の所定位置に位置付けるとともに、矢印Ｚで示す切り込み送り方向に移動して目立て部１１２を切り込むことができる所定の切り込み深さ位置に位置付ける。そして、図９に示すように切削ブレード４３を矢印で示す方向に例えば２０，０００ｒｐｍで回転させつつ、ドレッシングボード１１０を吸引保持したチャックテーブル３を矢印Ｘ１で示す切削送り方向に例えば１ｍｍ／秒の送り速度で移動し、ドレッシングボード１１０の一端から他端に渡って切削することにより、切削ブレード４３をドレッシングする（整形工程）。このドレッシング工程においては、図１０に示すように切削ブレード４３は上側の外形修正部１１１を通過する際には外形が修正され、下側の目立て部１１２を通過する際には外周面および両側面が目立てされる。この実施形態によれば、１回のドレッシング工程において切削ブレード４３の外形修正と目立てを同時に実施することができる。なお、１回のドレッシングでは外形修正および目立てが十分でない場合には、切削ブレード４３を矢印Yで示す割り出し送り方向に所定量移動して上記整形工程を複数回実施する。
【００３４】
以上のように、本発明によって構成されたドレッシングボード１００および１１０は、切削ブレードの外形を修正する外形修正部と切削ブレードの目立てをする目立て部を具備しているので、ドレッシングボードを取り替えることなく、切削ブレードの外形修正と切削ブレードの目立てを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明によるドレッシング方法を実施する切削ブレードを装備した切削装置の斜視図。
【図２】図１に示す切削装置に装備されるスピンドルユニットの分解斜視図。
【図３】本発明に従って構成されたドレッシングボードの一実施形態を示す斜視図。
【図４】本発明に従って構成されたドレッシングボードの他の実施形態を示す斜視図。
【図５】図３に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の一実施形態における外形修正工程の説明図。
【図６】図３に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の一実施形態における目立て工程の説明図。
【図７】図３に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の他の実施形態における外形修正工程の説明図。
【図８】図３に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の他の実施形態における目立て工程の説明図。
【図９】図４に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法の説明図。
【図１０】図４に示すドレッシングボードを用いたドレッシング方法を示す断面図。
【符号の説明】
【００３６】
２：装置ハウジング
３：チャックテーブ
４：スピンドルユニット
６：アライメント手段
７：表示手段
８：カセット載置テーブル
９：カセット
１０：被加工物 
１１：環状の支持フレーム
１２：保護テープ
１４：仮置きテーブル
１５：搬出手段
１６：搬送手段
１７：洗浄手段
１８：洗浄搬送手段
４３：切削ブレード
１００、１１０： ドレッシングボード
１０１、１１１：ドレッシングボードの外形修正部
１０２、１１２：ドレッシングボードの目立て部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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