(57)【要約】【課題】印刷精度を高くすることを目的とする。また、従来の加工パターンに比較し、スクリーン版を小さく製作でき、スクリーン版のコストを抑えることを目的とする。また、スクリーン版の寿命を長くすることを目的とする。【解決手段】スクリーン製版を用いてスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機であって、上記スクリーン製版に対向して配置するテーブルと、上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部とを備えたことを特徴とする。【選択図】図２
2006137201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン製版とスキージとを用いてスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機であって、
上記スクリーン製版に対向して配置するテーブルと、
上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の略密封された空間に対し、スクリーン製版のスキージ印刷面側の雰囲気の圧力よりも高い圧力の気体を供給する気体供給手段と
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
上記気体供給手段は、上記スクリーン製版に向かって気体を供給し、上記テーブルに配置されるワークの外側であって上記スキージの印刷進行方向に対し前方と後方との内少なくとも一方のテーブル面に形成され、上記スキージの印刷進行方向に対し略直角方向に長い長穴状の開口部を有することを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
上記スクリーン密封部は、上記スクリーン製版に対して配置されたスクリーン受け部と、
上記テーブルに対して配置された密封補助部と
を有することを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
上記スクリーン印刷機は、さらに、弾性体を備え、
上記密封補助部は、上記テーブルと摺動自在に配置され、上記テーブルにより上記弾性体を介して上記スクリーン受け部に押圧されることを特徴とする請求項３記載のスクリーン印刷機。
【請求項５】
上記スクリーン密封部は、さらに、パッキン材を有し、
上記スクリーン受け部は、環状に形成された凸部を有し、上記凸部が上記パッキン材を介して上記密封補助部に押圧されることを特徴とする請求項３記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板への電気配線の印刷やエッチングにおけるレジストの印刷等に使用されるスクリーン印刷機に係り、より詳細にはスクリーンメッシュとワークとの間のガス圧をスクリーンメッシュのスキージ印刷面側のガス圧と比較し、高くすることを特徴とするスクリーン印刷方法に使用するスクリーン印刷機に関する。
【背景技術】
【０００２】
図９は、従来技術を示した図である。
図９において、１は、スクリーン版、３は、スキージ、５は、スクリーン枠、６は、ワーク、８は、インク、１０は、テーブルである。
従来のスクリーン印刷では、図９のように、スクリーン版１と印刷するワーク６との間に通常２〜６ミリの隙間をあけ、スクリーン版１にインク８を供給後、スキージ３にてスクリーン版１を下方向に押さえスクリーン版１を伸ばしながら、加工基板であるワーク６とスクリーン版１を密着させるようにして、スキージを手前に移動させ、スクリーン版１の張力により加工基板であるワーク６からスクリーン版１を離すようにして、加工基板であるワーク６に印刷を行っていた。
【０００３】
従来のスクリーン版１とワーク６との間に２〜６ミリの隙間をあけて印刷する方法では、スクリーン版１を伸ばして印刷するため、印刷精度が悪い問題と、スクリーン版１を伸ばして印刷するため、スクリーン版１を大きく作る必要があり、スクリーン版１のコストが上がる問題と、スクリーン版１を伸ばして印刷するためスクリーン版１の寿命が短くなる問題があった。
【特許文献１】特開２００３−８９１９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、印刷精度を高くすることを目的とする。
また、従来の加工パターンに比較し、スクリーン版を小さく製作でき、スクリーン版のコストを抑えることを目的とする。
また、スクリーン版の寿命を長くすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明に係るスクリーン印刷機は、スクリーン製版とスキージとを用いてスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機であって、
上記スクリーン製版に対向して配置するテーブルと、
上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の略密封された空間に対し、スクリーン製版のスキージ印刷面側の雰囲気の圧力よりも高い圧力の気体を供給する気体供給手段と
を備えたことを特徴とする。
【０００６】
上記気体供給手段は、上記スクリーン製版に向かって気体を供給し、上記テーブルに配置されるワークの外側であって上記スキージの印刷進行方向に対し前方と後方との内少なくとも一方のテーブル面に形成され、上記スキージの印刷進行方向に対し略直角方向に長い長穴状の開口部を有することを特徴とする。
【０００７】
上記スクリーン密封部は、上記スクリーン製版に対して配置されたスクリーン受け部と、
上記テーブルに対して配置された密封補助部と
を有することを特徴とする。
【０００８】
上記スクリーン印刷機は、さらに、弾性体を備え、
上記密封補助部は、上記テーブルと摺動自在に配置され、上記テーブルにより上記弾性体を介して上記スクリーン受け部に押圧されることを特徴とする。
【０００９】
上記スクリーン密封部は、さらに、パッキン材を有し、
上記スクリーン受け部は、環状に形成された凸部を有し、上記凸部が上記パッキン材を介して上記密封補助部に押圧されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
スクリーン印刷において、スクリーン版１とワーク６との間のガス圧をスクリーン版１のスキージ印刷面側のガス圧と比較し高くすることにより、スクリーン版１を用いてスキージによりワーク６に印刷時にガス圧の差圧によりワーク６からスクリーン版１を離していくことにより、スクリーンメッシュと基板との隙間を従来より少なくして印刷することが可能となり、スクリーンの版の寿命が向上し、印刷精度が向上した。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１のスクリーン印刷機テーブル部の上面図である。
図１において、１０は、テーブル、１２１は、供給孔の一例である開口部、１２３は、吸引口である。開口部１２１は、テーブル１０のテーブル面に、印刷進行方向に対し略直角方向に長い長穴状に形成されている。吸引口１２３は、被印刷物を吸引することによりテーブルに配置し固定する。開口部１２１は、吸引口１２３が被印刷物を吸引することによりテーブルに固定した際に、被印刷物に接しない位置に形成される。長穴状に形成されている開口部１２１は、ワーク６の上面４辺のうち印刷進行方向に対し手前側の辺の長さと同等またはそれより長い開口部に形成される。すなわち、開口部１２１は、印刷進行方向に向かって、上記テーブルに配置されるワークの幅以上の幅を少なくとも有する。後述するように、開口部１２１は、スクリーン製版１００に向かって気体を供給する。
【００１２】
図２は、実施の形態１のスクリーン印刷機テーブル部の断面図である。
図２において、１は、スクリーン版、５は、スクリーン枠、１１は、ばねサポート、１００は、スクリーン製版、１３１は、スクリーン受け部、１３２は、密封補助部、１３３は、凸部、１４１は、第１のパッキン材の一例であるスポンジ、１４２は、第２のパッキン材の一例であるスポンジ、１５０は、弾性体の一例であるばね材である。スクリーン製版１００は、スクリーン版１とスクリーン枠５とを備えている。また、スクリーン密封部は、スクリーン受け部１３１と密封補助部１３２とを備えている。スクリーン受け部１３１は、凸部１３３を備えている。テーブル１０は、図１と同様である。
図２において、テーブル１０は、スクリーン製版１００に対向して配置される。テーブル１０は、略四角柱の形状をしており、テーブル１０の側面には、密封補助部１３２がすきまばめに保持されている。すなわち、密封補助部１３２は、テーブル１０と摺動自在に配置される。密封補助部１３２は、テーブル１０に合わせ略四角の枠状に形成され、密封補助部１３２は、下面をテーブル１０に数本のボルトで固定されたばねサポート１１により複数のばね材１５０を介してテーブル１０の側面に保持されている。密封補助部１３２は、上面を密封補助部１３２の上面の形状に合わせて略四角の枠状に形成されたスポンジ１４２を介してスクリーン受け部１３１により押圧され、保持されている。スクリーン受け部１３１は、印刷機体に固定されている。スクリーン受け部１３１の一部である凸部１３３は、密封補助部１３２の枠から内側にも外側にもはみ出さないように、略四角の枠状に形成されている。凸部１３３は、環状に形成され、スポンジ１４２を押圧するように下向きに凸に形成されている。下向きに凸に形成することにより広い平面でスポンジ１４２を押圧するよりも押圧面積を小さくし、広い平面でスポンジ１４２を押圧するよりもある一定の押す力に対する圧力を高めている。密封補助部１３２は、ばね材１５０の反発力により、ばねサポート１１とスポンジ１４２を介した凸部１３３とに狭持され、凸部１３３を押圧している。すなわち、密封補助部１３２は、テーブル１０により弾性体を介して上記スクリーン受け部１３１に押圧される。また、反対に、上記凸部がスポンジ１４２を介して上記密封補助部１３２に押圧される。テーブル１０は、被印刷物の寸法に合わせて上下に位置調整のため移動するが、テーブル１０が移動しても密封補助部１３２が凸部１３３を押圧するように、テーブル１０の移動量より大きい伸縮量を有するばね材１５０を用いる。
したがって、凸部１３３と密封補助部１３２との間は、テーブル１０が移動しても密封（シール）されている。
スクリーン受け部１３１の上面は、スポンジ１４１を挟んでスポンジ１４１を押圧するようにスクリーン製版１００のスクリーン枠５に固定されている。スポンジ１４１は、スクリーン受け部１３１とスクリーン枠５とが接触する形状に合わせて略四角の枠状に形成されている。
したがって、スクリーン受け部１３１とスクリーン枠５と間は、密封（シール）されている。
したがって、スクリーン密封部は、スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間を略密封する。
【００１３】
図３は、実施の形態１のスクリーン印刷機テーブル部の断面図である。
図３において、１２２は、供給孔の一例である圧縮空気供給部である。図３は、図２に図示されていない図２においても有する圧縮空気供給部１２２を示している。テーブル１０は、図１，２と同様である。スクリーン製版１００は、図２と同様である。圧縮空気供給部１２２は、テーブル１０下部に設けられ、図１におけるテーブル１０上面の開口部１２１に通じていて、スクリーン製版１００に向かって気体を供給する。
【００１４】
図４は、スクリーン密封部を省略した実施の形態１の印刷時の状態を表した図である。
図４において、３は、スキージ、８は、インク、６は、ワークである。開口部１２１は、図１と同様である。スクリーン版１、スクリーン版５、スクリーン製版１００は、図２と同様である。圧縮空気供給部１２２は、図３と同様である。テーブル１０は、図１、図２及び図３と同様である。
図４において、スキージ３がワーク６を押圧しながらインク８をワーク６に押出すように移動することによりワーク６は印刷される。すなわち、上記スキージ３の印刷進行方向は、図１の説明における印刷進行方向と同じである。
図４において、図１の説明でも述べたように、開口部１２１は、吸引口１２３が被印刷物であるワーク６を吸引することによりテーブルに固定した際に、ワーク６に接しない位置すなわちテーブル１０に配置されるワーク６の外側であって上記スキージ３の印刷進行方向に対し後方に形成される。開口部１２１は、圧縮空気供給部１２２により供給された気体をスクリーン製版１００に向かって供給する。供給された気体によりスクリーン版１下部の雰囲気圧力がスクリーン版１上部の雰囲気圧力よりも高くなれば、すなわち、スクリーン製版１００に対し、対向して配置されたテーブルとは反対側に有する雰囲気の圧力よりも高い圧力であれば、スクリーン版１とワーク６との隙間が少なくてもスキージ３にて印刷時にスクリーン版１とワーク６が容易に離れながら印刷することが可能となる。
ここで、供給する気体は、空気と窒素とのいずれかであることが望ましい。空気は、ワーク６を汚染しないためにもクリーンエアであるとなおよい。ワーク６を汚染しないためにも不活性ガスである窒素と同様に、アルゴン等でもよい。
【００１５】
図５は、圧縮気体の配管系統図である。
図５において、２００は、レギュレータ、２１０は、開放弁の一例であるバルブ、２２０は、圧縮気体生成供給部である。圧縮空気供給部１２２は、図３、図４と同様である。圧縮気体生成供給部２２０は、レギュレータ２００とバルブ２１０とを備えている。
図５において、レギュレータ２００は、供給された気体の圧力を調整する。バルブ２１０は、印刷後、上記略密封された上記スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間に供給された上記気体により上昇した圧力を開放する。
圧縮気体生成供給部２２０は、上記スクリーン製版１００に対し、対向して配置されたテーブル１０とは反対側に有する雰囲気の圧力よりも高い圧力の気体を圧縮空気供給部１２２に供給する。
【００１６】
以上のように、本実施の形態１におけるスクリーン印刷機は、スクリーン製版を用いてスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機であって、
上記スクリーン製版１００に対向して配置するテーブル１０と、
上記スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間を略密封するスクリーン密封部と
を備えたスクリーン印刷機である。
【００１７】
また、本実施の形態１におけるスクリーン印刷機は、
上記スクリーン密封部は、第１と第２のパッキン材を有し、さらに、上記スクリーン密封部は、
上記スクリーン製版１００に対し上記第１のパッキン材を介して配置されたスクリーン受け部１３１と
上記スクリーン受け部１３１に対し上記第２のパッキン材を介して配置された密封補助部１３２と
を有するスクリーン印刷機である。
【００１８】
また、本実施の形態１におけるスクリーン印刷機は、さらに、弾性体を備え、
上記密封補助部１３２は、上記テーブル１０と摺動自在に配置され、上記テーブル１０により上記弾性体を介して上記スクリーン受け部１３１に押圧されるスクリーン印刷機である。
【００１９】
また、本実施の形態１における上記スクリーン受け部１３１は、環状に形成された凸部１３３を有し、上記凸部１３３が第２のパッキン材を介して上記密封補助部１３２に押圧される。
【００２０】
また、本実施の形態１における上記弾性体は、ばね材である。
【００２１】
また、本実施の形態１における上記テーブル１０は、上記スクリーン製版１００に向かって気体を供給する供給孔を有する。
【００２２】
また、本実施の形態１における上記スクリーン印刷機は、スキージ３を用いてワーク６を印刷するスクリーン印刷機であって、
上記供給孔は、上記テーブル１０に配置されるワーク６の外側であって上記スキージ３の印刷進行方向に対し前方と後方との少なくとも一方に形成されたスクリーン印刷機である。
【００２３】
また、本実施の形態１における上記供給孔は、上記テーブル１０のテーブル１０面に、上記スキージ３の印刷進行方向に対し略直角方向に長い長穴状の開口部３２０を有する。
【００２４】
また、本実施の形態１における上記開口部３２０は、上記スキージ３の印刷進行方向に向かって、上記テーブル１０に配置されるワーク６の幅以上の幅を有する開口部３２０である。
【００２５】
また、本実施の形態１における上記気体は、空気と窒素とのいずれかである。
【００２６】
また、本実施の形態１における上記スクリーン印刷機は、さらに、圧縮気体生成供給部を備え、
上記圧縮気体生成供給部は、上記スクリーン製版１００に対し、対向して配置されたテーブル１０とは反対側に有する雰囲気の圧力よりも高い圧力の気体を供給するスクリーン印刷機である。
【００２７】
また、本実施の形態１における上記圧縮気体生成供給部は、上記気体の圧力を調整するレギュレータ２００と、
上記略密封された上記スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間に供給された上記気体により上昇した圧力を開放する開放弁と
を有する。
【００２８】
実施の形態２．
図６は、スクリーン版下部を大気圧に対して高いガス圧で印刷を行う説明図である。
図６において、１は、スクリーン版、３は、スキージ、５は、スクリーン枠、６は、ワーク、１０は、テーブル、１２は、圧力保持枠、１３，１５は、高圧ガス供給管である。図６におけるスクリーン印刷方法は、スクリーン版１とワーク６の間に大気圧よりガス圧の高い高圧ガスを導入することによりスクリーン版１とワーク６との間のガス圧をスクリーン版１のスキージ３側のガス圧と比較し高くして印刷するスクリーン印刷方法であって、スクリーン版１のスクリーン枠５とテーブル１０との間に圧力保持枠１２を設け、圧力保持枠１２によりスクリーン版１とテーブル１０との間をスクリーン版１の開口部以外を密閉し、高圧ガス供給管１５から大気圧より圧力が高い高圧ガスを導入して、スクリーン版１とワーク６との間が大気圧と比較し、高圧になるようにするスクリーン印刷方法である。
【００２９】
ワーク６とスクリーン版１を、望ましくは２ミリ以下で０．０１ミリ以上に設定する。
【００３０】
スクリーン版１にインク８を供給し、スキージ３を使用してワーク６上に印刷を行う。
【００３１】
スクリーン版１は、大気圧との差圧により印刷時に常にワーク６と反対側にふくらもうとする力が働いており、スクリーン版１とワーク６との隙間が少なくてもスキージ３にて印刷時にスクリーン版１とワーク６が容易に離れながら印刷することが可能となる。
【００３２】
実施の形態３．
図７は、スクリーン版上部を大気圧に対して低いガス圧で印刷を行う説明図である。
図７において、スクリーン版１のスキージ３側のガス圧を大気と比較し負圧にすることによりスクリーン版１とワーク６との間のガス圧をスクリーン版１のスキージ３側のガス圧と比較し高くして印刷する方法であり、スクリーン版１のワーク６と反対側に大気圧と比較し、ガス圧を低く保持するための圧力保持ケース２０を設置する。
【００３３】
圧力保持ケース２０内は、プロアー又は真空ポンプ等により吸引管１６より吸引され、大気圧と比較しガス圧を低く設定する。
【００３４】
ワーク６とスクリーン版１を、望ましくは２ミリ以下で０．０１ミリ以上に設定する。
【００３５】
スクリーン版１にインク８を供給し、スキージ３を使用してワーク６上に印刷を行う。
【００３６】
スクリーン版１は、大気圧との差圧により印刷時に常にワーク６と反対側にふくらもうとする力が働いており、スクリーン版１とワーク６との隙間が少なくても、スキージ３にて印刷時にスクリーン版１とワーク６が容易に離れながら印刷することが可能となる。
【００３７】
実施の形態４．
図８は、スクリーン版１とワーク６との間の隙間にスキージの進行方向又はスクリーン版１に沿ってスキージの進行方向に高圧ガスを吹き付けることにより、印刷時にスクリーン版１とワーク６を離す方法である。
【００３８】
スクリーン版１の下部にスクリーン版１とワーク６との間の隙間にスキージの進行方向又はスクリーン版１に沿ってスキージの進行方向に高圧ガスが流れるようにガス噴射ノズルを設置する。
【００３９】
ワーク６とスクリーン版１を、望ましくは２ミリ以下で０．０１ミリ以上に設定する。
【００４０】
スクリーン版１にインク８を供給し、スキージ３を使用してワーク６上に印刷を行う。
【００４１】
印刷時にスクリーン版１に向け大気圧よりガス圧の高い高圧ガスをガス噴射ノズルから吹き付けることによりワーク６からスクリーン版１を離していくことにより、スクリーン版１とワーク６との隙間が少なくても、スキージ３にて印刷時にスクリーン版１とワーク６が容易に離れながら印刷することが可能となる。
【００４２】
実施の形態５．
図１０は、実施の形態５のスクリーン印刷機テーブル部の上面図である。
図１０において、３００は、孔（供給孔の一例である。）、３０１は、スリットである。
図１１は、図１０の断面Ａ−Ａを表した図である。
その他の構成は、実施の形態１と同様である。
図１０，１１において、テーブル１０は、図１における開口部１２１に加えて、さらに、上記テーブル１０に配置されるワーク６の外側であって上記スキージ３の印刷進行方向に対し前方に、上記スキージ３の印刷進行方向に対し略直角方向に長い長穴状の開口部１２１（供給孔の一例である。）を有している。
上記スキージ３の印刷進行方向に対し前方と後方との２つの開口部１２１は、ワーク６側に傾けた角度で上記スクリーン製版１００のスクリーン版１に向かって気体を供給する様に形成されている。すなわち、スクリーン版１とテーブル１０との隙間に流し込むように斜めに気体を吹き出す様に形成されている。開口部１２１には、流量調整を可能にし、また、ワーク６側に傾けた角度で上記スクリーン製版１００のスクリーン版１に向かって気体を供給するために開口部１２１上部の一部を塞ぐスリット３０１が設けられている。
また、孔３００は、上記テーブル１０に配置されるワーク６の外側であって上記スキージ３の印刷進行方向に対し両側に形成され、上記スクリーン製版１００のスクリーン版１に向かって気体を供給する。
孔３００は、両側に所定の間隔で複数設けられているが、片側だけであっても構わない。また、孔３００は、スクリーン版１に向かって気体を上方向に供給する。
ここで、圧縮空気供給部１２２は、図３のように、一箇所であってもよいし、複数の供給孔ごとにあってもよい。
【００４３】
以上のように、実施の形態５においては、さまざまな方向から気体を供給するため気体の供給孔を複数設けたことを特徴としている。
また、実施の形態１においては、開口部１２１がスクリーン版１に向かって気体を上方向に供給しているが、本実施の形態５における開口部１２１のようにスクリーン版１とテーブル１０との隙間に流し込むように斜めに気体を吹き出す様に形成するとなおよい。
【００４４】
以上のように、実施の形態５における上記スクリーン印刷機は、スキージ３を用いてワーク６を印刷するスクリーン印刷機であって、
上記供給孔は、上記テーブル１０に配置されるワーク６の外側であって上記スキージ３の印刷進行方向に対し前方と後方との少なくとも一方に形成されたスクリーン印刷機である。
【００４５】
また、実施の形態５におけるスクリーン印刷機は、スキージ３を用いてワーク６を印刷するスクリーン印刷機であって、
上記テーブル１０は、上記テーブル１０に配置されるワーク６の外側であって上記スキージ３の印刷進行方向に対し前方と後方との内少なくとも一方に形成され、ワーク６側に傾けた角度で上記スクリーン製版１００に向かって気体を供給する供給孔を有するスクリーン印刷機である。
【００４６】
また、実施の形態５における上記供給孔は、さらに、上記テーブル１０に配置されるワーク６の外側であって上記スキージ３の印刷進行方向に対し両側の内少なくとも一方に形成され、上記スクリーン製版１００に向かって気体を供給する。
【００４７】
実施の形態６．
図１２は、実施の形態６のスクリーン印刷機テーブル部の上面図である。
図１３は、図１２の断面Ｂ−Ｂを表した図である。
図１３において、３２０は、開口部である。
図１２，１３において、実施の形態５における前方と後方との開口部１２１がそれぞれ２つに分割されている。テーブル１０の取付けボルトの間に開口部１２１を設けている。また、実施の形態５における孔３００の代わりに、テーブル１０は、上記スキージ３の印刷進行方向に対し両側の上記テーブル１０の側面に形成され、上記スクリーン製版１００とテーブル１０とスクリーン受け部１３１とスポンジ１４２とで囲まれた空間に向かって気体を供給する開口部３２０を有している。すなわち、開口部３２０は、側面吹き出しをしている。
その他は、実施の形態５と同様である。
以上により、所定のテーブル１０に対して、印刷面積を大きくとることができる。
【００４８】
実施の形態７．
図１４は、圧縮気体の循環フロー図である。
図１４において、４０１は、フィルタ、４０２は、圧縮ガス発生源（圧縮気体生成部の一例である。）、４０３は、印刷部である。
実施の形態７は、上記略密封された上記スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間に供給された上記気体をフィルタ４０１に送り、異物の除去、すなわち、ろ過し、フィルタ４０１によりろ過された上記気体を圧縮ガス発生源４０２に送り、気体の圧力を高め、圧力を高められた上記気体を印刷部４０３にある圧縮空気供給部１２２に供給する循環システムである。
実施の形態１においては、圧縮気体を外部からドライエアまたは窒素を供給し、装置の略密封された空間に供給した圧縮気体をバルブ２１０により外部に開放し、使い捨てにすることを想定していた。
しかしながら、外部から導入した空気や新しい窒素を常に使用しているとインク８に含まれる揮発性の溶剤等の蒸発量が圧縮気体を用いないで印刷する場合と比較し多くなるおそれがある。
そこで、図１４のように、供給する気体を装置内部で循環するように、循環システムを構成してもよい。
【００４９】
図１５は、実施の形態７の配管系統図である。
図１５において、５０１は、ポンプ（圧縮気体生成部の一例である。）、５０２は、バルブ、５０３は、バルブである。４０１は、図１４と同様フィルタである。その他の構成は、図５と同様である。
本実施の形態７では、ポンプ５０１を用いているがブロアでもよい。
当初、バルブ５０３は開放され、バルブ５０２は閉じている。レギュレータ２００は、圧縮空気供給部１２２に供給される気体の圧力を調整する。一旦気体が供給されると、バルブ５０３は閉じ、バルブ５０２が開放する。バルブ２１０は、印刷後、上記略密封された上記スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間に供給された上記気体により上昇した圧力を開放する。
開放された気体は、フィルタ４０１でろ過された後、ポンプ５０１で圧縮され、バルブ５０２を経由してレギュレータ２００に戻ることにより、一度使用された気体が循環し、再利用される。
【００５０】
本実施の形態７では、インク８に含まれる揮発性の溶剤等の蒸発量を抑えるために、循環方式を用いているが、循環方式以外でも、もともとインク８に使用している溶剤を含んだ気体を使用してもよい。
【００５１】
以上のように、本実施の形態７におけるスクリーン印刷機は、圧縮気体生成供給部２２０を備え、
上記圧縮気体生成供給部２２０は、
上記略密封された上記スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間に供給された上記気体をろ過するフィルタ４０１と、
上記フィルタ４０１によりろ過された上記気体の圧力を高め、圧力を高められた上記気体を上記供給口に供給する圧縮気体生成部と、
を有するスクリーン印刷機である。
【００５２】
また、本実施の形態７における上記スクリーン印刷機は、溶剤を含んだインクを用いてスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機であって、
上記気体は、上記溶剤を含んだ気体であるスクリーン印刷機である。
【００５３】
以上の実施の形態１〜７で述べたスクリーン印刷機を要約すると以下の通りである。
本発明の実施の形態のスクリーン印刷機は、
スクリーン製版を用いてスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機であって、
上記スクリーン製版に対向して配置するテーブルと、
上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と
を備え、
上記スクリーン密封部は、上記スクリーン製版に対して配置されたスクリーン受け部と
上記テーブルに対して配置された密封補助部と
を有することを特徴とする。
【００５４】
また、上記スクリーン印刷機は、さらに、弾性体を備え、
上記密封補助部は、上記テーブルと摺動自在に配置され、上記テーブルにより上記弾性体を介して上記スクリーン受け部に押圧されることを特徴とする。
【００５５】
また、上記スクリーン密封部は、さらに、パッキン材を有し、
上記スクリーン受け部は、環状に形成された凸部を有し、上記凸部が上記パッキン材を介して上記密封補助部に押圧されることを特徴とする。
【００５６】
本発明の実施の形態のスクリーン印刷機は、
スクリーン製版とスキージとを用いてテーブルに配置されたワークを印刷し、上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の空間に対し、対向して配置されたテーブルとは反対側に有する雰囲気の圧力よりも高い圧力の気体を供給するスクリーン印刷機であって、
上記テーブルに配置され、上記スクリーン製版に向かって気体を供給し、上記テーブルに配置されるワークの外側であって上記スキージの印刷進行方向に対し前方と後方との内少なくとも一方に形成され、上記テーブルのテーブル面に、上記スキージの印刷進行方向に対し略直角方向に長い長穴状の開口部を有することを特徴とする。
【００５７】
また、上記スクリーン印刷機は、さらに、上記気体の圧力を調整するレギュレータと、
上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の空間に供給された上記気体により上昇した圧力を開放する開放弁と
を有することを特徴とする。
【００５８】
また、上記スクリーン印刷機は、スキージを用いてワークを印刷するスクリーン印刷機であって、
上記テーブルは、上記テーブルに配置されるワークの外側であって上記スキージの印刷進行方向に対し前方と後方との内少なくとも一方に形成され、ワーク側に傾けた角度で上記スクリーン製版に向かって気体を供給する供給孔を有することを特徴とする。
【００５９】
また、上記供給孔は、さらに、上記テーブルに配置されるワークの外側であって上記スキージの印刷進行方向に対し両側の内少なくとも一方に形成され、上記スクリーン製版に向かって気体を供給することを特徴とする。
【００６０】
また、上記スクリーン印刷機は、さらに、
上記略密封された上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の空間に供給された上記気体をろ過するフィルタと、
上記フィルタによりろ過された上記気体の圧力を高め、圧力を高められた上記気体を上記供給口に供給する圧縮気体生成部と、
を備えたことを特徴とする。
【００６１】
また、上記スクリーン印刷機は、溶剤を含んだインクを用いてスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機であって、
上記気体は、上記溶剤を含んだ気体であることを特徴とする。
【００６２】
また、上記スクリーン印刷機は、さらに、上記スクリーン製版と上記テーブルと上記スクリーン密封部とにより略密封された空間に気体を供給する供給孔を備えたことを特徴とする。
【００６３】
実施例．
２０インチのプラズマディスプレイ背面板に銀ペーストを使用し、アドレス電極形成を行う。
【００６４】
スクリーン版１とガラス基板との隙間は０．５ミリで設定し、スクリーン枠と基板を吸着するテーブルとの隙間に圧力保持枠を設け、スクリーン枠の下部に高圧ガス供給管より０．１ＭＰａの圧力の高圧エアーを導入する。
【００６５】
スクリーン版１のサイズは、印刷パターンサイズより約８０ミリ大きく設定した。
【００６６】
ナミックス（株）製の銀ペースを使用し、ステンレス３２０メッシュにて印刷を行う。
【００６７】
従来３〜５ミリの隙間をあけて印刷していたが０．５ミリの隙間でも問題なく、ガラス基板とスクリーン版１を離しながら印刷することができた。
【００６８】
以上のように、スクリーン版１とワーク６との間のガス圧をスクリーン版１のスキージ印刷面側のガス圧と比較し、高くすることによりスクリーンメッシュがワーク６と反対方向にふくらもうとする力が働き、スクリーン版１を用いてスキージによりワーク６に印刷時にガス圧の差圧によりワーク６からスクリーン版１を離していくことにより、スクリーンメッシュと基板との隙間を従来より少なくして印刷することが可能となる。
【００６９】
スクリーン版１とワーク６との間のガス圧をスクリーン版１のスキージ印刷面側のガス圧と比較し高くする方法としては、スクリーン版１とワーク６の間をスクリーン版１の開口部以外を外部と密閉し、スクリーン版１とワーク６の間に大気圧よりガス圧の高い高圧ガスを導入することにより、スクリーン版１とワーク６の間を大気と比較し高くするか、スキージの移動部及びスキージ印刷面側のスクリーン版１の開口部以外を外部と密閉し、プロアー又は真空ポンプ等によりスクリーン版１のスキージ印刷面側のガス圧を大気と比較し負圧にすることにより行う。
【００７０】
また、高圧ガスにてスクリーン印刷時にワーク６からスクリーン版１を離していく方法として、スクリーン版１とワーク６との間の隙間にスキージの進行方向又はスクリーン版１に沿ってスキージの進行方向に高圧ガスが流れるようにスクリーン版１に向け大気圧よりガス圧の高い高圧ガスを吹き付けてもよい。
【００７１】
スクリーン版１とワーク６との隙間は２ミリ以下で、０．０１ミリ以上に設定するのが好ましい。
【００７２】
以上のように、各実施の形態においては、印刷の前から気体を供給するか、または、スクリーン版１のスキージ３接触側の圧力に対してスクリーン版１とワーク６との間の圧力を負圧にすることにより、印刷前と印刷時と印刷後との一連の動作の中で、スキージ３により押圧されている一定部分以外のスクリーン版１とワーク６との間を小さい隙間で維持しながら印刷することができる。
【００７３】
また、上記各実施の形態においては、テーブル１０又はスクリーン枠５から気体を供給する例が示されているがこれに限るものではない。スクリーン版１とワーク６との間の略密閉空間に気体を供給するものであればどこから気体を供給しても構わない。例えば、スクリーン受け部１３１、密封補助部１３２、スポンジ１４１，１４２からであってもよい。
【００７４】
以上のように、各実施の形態におけるスクリーン印刷機は、上記スクリーン製版１００と上記テーブル１０と上記スクリーン密封部とにより略密封された空間に気体を供給する供給孔を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】実施の形態１のスクリーン印刷機テーブル部の上面図である。
【図２】実施の形態１のスクリーン印刷機テーブル部の断面図である。
【図３】実施の形態１のスクリーン印刷機テーブル部の断面図である。
【図４】スクリーン密封部を省略した実施の形態１の印刷時の状態を表した図である。
【図５】圧縮気体の配管系統図である。
【図６】スクリーン版下部を大気圧に対して高いガス圧で印刷を行う説明図。
【図７】スクリーン版上部を大気圧に対して低いガス圧で印刷を行う説明図。
【図８】スクリーン版にエアーを吹き付け印刷を行う説明図。
【図９】従来のスクリーン印刷の説明図。
【図１０】実施の形態５のスクリーン印刷機テーブル部の上面図である。
【図１１】図１０の断面Ａ−Ａを表した図である。
【図１２】実施の形態６のスクリーン印刷機テーブル部の上面図である。
【図１３】図１２の断面Ｂ−Ｂを表した図である。
【図１４】圧縮気体の循環フロー図である。
【図１５】実施の形態７の配管系統図である。
【符号の説明】
【００７６】
１  スクリーン版、３  スキージ、５  スクリーン枠、６  ワーク、８  インク、１０  テーブル、１１  ばねサポート、１２  圧力保持枠、１００  スクリーン製版、１２１  開口部、１２２  圧縮空気供給部、１２３  吸引口、１３１  スクリーン受け部、１３２  密封補助部、１３３  凸部、１４１，１４２  スポンジ、１５０  ばね材、２００  レギュレータ、２１０  バルブ、２２０  圧縮気体生成供給部、３００  孔、３０１  スリット、３２０  開口部、４０１  フィルタ、４０２  圧縮ガス発生源、４０３  印刷部、５０１  ポンプ、５０２  バルブ、５０３  バルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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