(57)【要約】      （修正有）【課題】部品を複数の供給位置で供給し得る部品供給装置を提供する。【解決手段】少なくともウエハホルダ２と、少なくとも第１および第２の部品ピックアップ装置６、７を備えられた部品供給装置１であって、部品ピックアップ装置６、７は、夫々第１及び第２のガイド４、５に沿って可動であり、ガイド４、５は、互いに対して斜めに配置される。第１の部品ピックアップ装置６は、ウエハホルダ２の近くに位置決めされたピックアップ位置１０と第１の供給位置１１との間で可動であり、第２の部品ピックアップ装置７は、ピックアップ位置１０と第２の供給位置１２との間で可動である。【選択図】図１
2006344953.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともウエハホルダと、ガイドに沿って可動である少なくとも１つの部品ピックアップ装置を備えられた部品供給装置であって、
前記部品ピックアップ装置は、前記ウエハホルダの近くに位置決めされた少なくとも１つのピックアップ位置と、そこから何らかの距離をあけられた供給位置との間で可動であり、
前記部品供給装置は、夫々第１及び第２のガイドに沿って可動である第１及び第２の部品ピックアップ装置を備えられ、前記ガイドは、互いに対して斜めに配置され、前記第１の部品ピックアップ装置は、前記ピックアップ位置と第１の供給位置との間で可動であり、前記第２の部品ピックアップ装置は、前記ピックアップ位置と第２の供給位置との間で可動である、ことを特徴とする、
部品供給装置。
【請求項２】
前記ウエハホルダは、略水平に延びる、ことを特徴とする、
請求項１記載の部品供給装置。
【請求項３】
作動中、前記第２の部品ピックアップ装置が前記ピックアップ位置の近くに位置決めされる場合、前記第１の部品ピックアップ装置は、前記供給位置の近くに位置決めされること及びその逆、を特徴とする、
請求項１記載の部品供給装置。
【請求項４】
前記ウエハホルダは、前記ピックアップ位置に対して可動である、ことを特徴とする、
請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の部品供給装置。
【請求項５】
ウエハホルダによって支持され、且つ部品を備えられたウエハをピックアップする方法であって、
前記方法に従ってピックアップ位置にある部品は部品ピックアップ装置を用いてピックアップされ、その後前記部品を支持する前記部品ピックアップ装置は、ガイドに沿って供給位置に動かされ、
部品は、少なくとも第１及び第２の部品ピックアップ装置を用いて交互に前記ピックアップ位置からピックアップされ、前記部品ピックアップ装置は、互いに対して斜めに配置された第１及び第２のガイドに沿って、夫々第１及び第２の供給位置に可動である、ことを特徴とする、
方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくともウエハホルダ、及びガイドに沿って可動である少なくとも部品ピックアップ装置を備えられた部品供給装置に係る。該部品ピックアップ装置は、ウエハホルダの近くに位置決めされた少なくともピックアップ位置と、そこから何らかの距離をあけられた供給位置との間で可動である。
本発明はまた、先行する請求項のうちいずれか一項記載の部品供給装置に係る。
【背景技術】
【０００２】
米国特許第５，６７１，５３０号明細書（特許文献１）より既知であるかかる部品供給装置において、ウエハホルダは、部品を備えられたウエハを支持する。該ウエハはフィルムに対して取り付けられ、該フィルムはウエハホルダにおいて引き延ばされる。その結果、ウエハの部品は、何らかの距離をおいて離され、より容易にフィルムからピックアップされ得る。部品は、ガイドに沿って前後に動かされ得る部品ピックアップ装置を用いてウエのピックアップ位置からピックアップされ、その後前出の部品は、部品ピックアップ装置を用いて供給位置に動かされる。供給位置から、部品は、既知である部品ピックアップ及び配列装置を用いて基板上の所望の位置に置かれる。
【０００３】
既知の部品供給装置の不利点は、ウエハに支持される部品が、単一の供給位置でのみ供給され得ることである。
【特許文献１】米国特許第５，６７１，５３０号明細書
【特許文献２】米国特許第２００４／２４４９１５Ａ１号明細書
【特許文献３】国際公開第２００５／０２２６０７Ａ号パンフレット
【特許文献４】米国特許第２００３／１３３７７８Ａ１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、部品供給装置を与えることを目的とし、該装置を用いることによって、部品は複数の供給位置で供給され得る。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的は、本発明に従った部品供給装置を有して達成され、該部品供給装置は、少なくとも第１及び第２の部品ピックアップ装置を備えられる。該部品ピックアップ装置は、夫々第１及び第２のガイドに沿って可動であり、該ガイドは、互いに対して斜めに配置される。第１の部品ピックアップ装置は、ピックアップ位置と第１の供給位置との間で可動であり、第２の部品ピックアップ装置は、ピックアップ位置と第２の供給位置との間で可動である。
【０００６】
互いに対して斜めに配置されたガイドは、第１及び第２の部品ピックアップ装置を交互に有してピックアップ部品を同一のピックアップ位置からピックアップすることを可能とし、その後部品は、異なる供給位置で供給され得る。結果として、ウエハから導かれる部品が供給される頻度は、比較的高い。更には、このようにして、１つ以上の供給位置をウエハホルダによってとられる空間において与えることが可能であり、使用可能な空間の最適な活用を確実なものとする。角度は、０°より大きい。互いに対して斜めに配置されたガイドのため、部品ピックアップ装置は、略同一であるよう又は類似するよう設計され得る。
【０００７】
本発明に従った部品供給装置の一実施例は、ウエハホルダが略水平に延びる、ことを特徴とする。
【０００８】
ウエハホルダ及びウエハホルダによって支持されるウエハが水平に延びるため、ウエハによって支持される部品は、重力によってウエハホルダ上に保持され、ウエハから望ましくなく落下し得ない。この実施例では、ガイドはまた、ウエハホルダの上方で水平に延び得、供給位置は、水平の線に沿って互いに対して隣接して置かれ得る。
【０００９】
部品は、異なる部品ピックアップ及び配列装置を用いて多種の供給位置から続いてピックアップされ得、例えば基板上の所望の位置に置かれ得る。
【００１０】
本発明に従った部品供給装置の更に他の実施例は、作動中、第２の部品ピックアップ装置がピックアップ位置の近くに位置付けられる場合、第１の部品ピックアップ装置が供給位置の近くに位置決めされること、及びその逆、を特徴とする。
【００１１】
部品ピックアップ装置は、供給位置及びピックアップ位置の近くに交互に位置決めされるため、部品ピックアップ装置は、互いに対して干渉しない。
【００１２】
本発明に従った部品供給装置の更に他の実施例は、ウエハホルダがピックアップ位置に対して可動である、ことを特徴とする。
【００１３】
これは、ピックアップ位置を供給位置に対して固定された位置に維持することを可能にし、部品は毎回、ウエハホルダ及び前出のホルダによって支持されたウエハを動かすことによってピックアップ位置で供給され得る。
【００１４】
本発明はまた、部品が少なくとも第１及び第２の部品ピックアップ装置を用いて交互にピックアップ位置からピックアップされることを特徴とする方法に係る。部品ピックアップ装置は、互いに対して斜めに配置された第１及び第２のガイドに沿って、夫々第１及び第２の供給位置に可動である。
【００１５】
これは、ウエハから比較的迅速に部品を取り除き、異なる供給位置に交互に部品を供給することを可能にする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明は更に、本発明に従った部品供給装置を図示する図１を参照して明らかにされる。
【００１７】
図１は、ウエハホルダ２を支持する枠３を備えられた本発明に従った部品供給装置１を示す。ウエハホルダ２は、水平平面において延び、矢印Ｘ及びＹによって示された方向及び対向する方向において枠３に対して既知の手段によって可動であり、矢印ψによって示された方向及び対向する方向において回転可能である。
【００１８】
枠３は、２つのガイド４，５を支持し、該ガイドは、ガイド４，５に沿って可動である部品ピックアップ装置６，７を各々備えられる。ガイド４は、Ｙ軸に対して角度αで延び、ガイド５は、Ｙ軸に対して角度βで延びる。個々に図示される本発明に従った部品供給装置１の場合、α＝−βである。部品ピックアップ装置６，７は、各々ノズル８，９を備えられる。部品ピックアップ装置６は、矢印Ｐ１によって示される方向及び対向する方向において動かされ得、ノズル８は、ウエハホルダ２の中心に近く位置決めされたピックアップ位置１０から、ピックアップ位置１０より何らかの距離をあけられた供給位置１１に動かされる。部品ピックアップ装置７のノズル９は、ピックアップ位置１０とそこから何らかの距離をあけられた供給位置１２との間で、矢印Ｐ２によって示された方向および対向する方向において動かされ得る。互いに対して何らかの距離をあけられる供給位置１１，１２は、望ましくは、Ｘ軸に対して平行に延びる線に沿って置かれる。供給位置１１，１２は、既知の部品ピックアップ及び配列装置の部分１３の近くに位置決めされる。
【００１９】
本発明に従った部品供給装置１は、以下の通りに動作する。ウエハホルダ２によって支持され、部品１４を備えられたウエハ１５は、既知の手段によってＸ，Ｙ及びψの方向及び対向する方向において、ピックアップされる部品１４がピックアップ位置１０にあるまで動かされる。続いて、部品ピックアップ装置６，７のうち一方は、ピックアップ位置１０に動かされ、部品１４は、ノズル８，９を用いてピックアップされ得る。ピックアップ部品は、続いて、ガイド４，５に沿って供給位置１１，１２まで動かされる。部品１４が部品ピックアップ装置６，７のうち一方によってピックアップ位置１０からピックアップされる一方、部品１４は、部品ピックアップ装置６，７のうち他方によって供給位置１１，１２で供給される。部品１４は、部品ピックアップ及び配列装置によって供給位置１１，１２からピックアップされ、続いて例えば基板上の所望の位置に置かれる。
【００２０】
部品供給装置１は通常、部品ピックアップ装置６，７からみて外方を向くウエハホルダ２の側部上に、上方向にピックアップされる部品１４を押し付けるピンを備えられる。本発明に従った部品供給装置１におけるピックアップ位置１０が部品ピックアップ装置６，７のいずれに対しても同一であるため、かかるピンは、１つのみ備えられる必要がある。
【００２１】
部品ピックアップ及び配列装置において、２つの供給位置１１，１２の間の距離は望ましくは可能な限り小さく、可能な限り多い供給位置が、部品ピックアップ及び配列装置において与えられ得る。ウエハ１５は、前出の特許文献１において示されるものに相当する手法で、垂直方向に延び得、比較的大きいウエハから部品を供給位置で供給することを可能にする。
【００２２】
本発明に従った部品供給装置１においては、しかしながら、ウエハ１５もまた、ウエハ１５によって取られる空間において与えられた複数の供給位置１１，１２を有して水平方向に延び得る。供給位置１１，１２は、交互に部品を与えられるため、部品１４が使用可能である頻度は非常に高い。
【００２３】
角度α及びβはまた、互いに対して異なり得る。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に従った部品供給装置を図示する。
【符号の説明】
【００２５】
１  部品供給装置
２  ウエハホルダ
３  枠
４  ガイド
５  ガイド
６  部品ピックアップ装置
７  部品ピックアップ装置
８  ノズル
９  ノズル
１０  ピックアップ位置
１１  供給位置
１２  供給位置
１３  部品ピックアップ及び配列装置の部分１３
１４  ピックアップされる部品
１５  ウエハ
α  角度
β  角度
Ｐ１  方向Ｐ１
Ｐ２  方向Ｐ２
Ｘ  方向Ｘ
Ｙ  方向Ｙ
ψ  方向ψ
【図１】
2006344953.tif 000003