(57)【要約】【課題】  コイルのインダクタンスを大きくしても一対のコイルへの通電周期を早めることができて大きな推力発生が可能でかつ、省電力化できる電気機器の駆動回路を提供する。【解決手段】  第１コイルL1の−端子は抵抗R1とダイオードD1を介して、第２コンデンサC2と第２コイルL2の＋端子に接続し、この接続点はダイオードD4を介して12Ｖの電源12に接続し、第２コイルL2 の−端子は抵抗R2とダイオードD2を介して、第１コンデンサC1と第１コイルL1の＋端子に接続し、この接続点はダイオードD3を介して12Ｖ電源に接続されている。第１コイルL1の第１コイル電流ｋによる磁気エネルギは抵抗R1とダイオードD1を介して第２コンデンサC2に静電エネルギ（電圧）として蓄積され、これにより第１コイル電流ｋの立下りが早くなり、同時に第２コイルL2を流れる第２コイル電流ｕの立上がりを早くできる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のコイルを備え、該一対のコイルに交互に電流を流すことにより、電磁力の作用により可動部が往復動する電気機器の駆動回路であって、
前記一対のコイルのうちいずれか一方のコイルに蓄えられる電気エネルギを、他方のコイルへの通電に利用することを特徴とする電気機器の駆動回路。
【請求項２】
前記電気エネルギの他方のコイルへの通電に先だって、前記一方のコイルからの電気エネルギを蓄えるコンデンサを有することを特徴とする請求項１記載の電気機器の駆動回路。
【請求項３】
前記コンデンサは、蓄える電気エネルギの増加に伴って端子電圧が所定の基準値に達した場合、前記コンデンサの電気エネルギを前記他方のコイルへの通電に用いることを特徴とする請求項２記載の電気機器の駆動回路。
【請求項４】
複数個のコイルを備え、該複数個のコイルに順次、電流を流すことにより、電磁力の作用により可動部が変位する電気機器の駆動回路であって、
前記複数個のコイルのうち一のコイルに蓄えられる電気エネルギを、複数個のコイルのうち前記一のコイル以外のコイルへの通電に利用することを特徴とする電気機器の駆動回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のコイルにより可動部を変位させる電気機器用の駆動回路に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数のコイルにより可動部を変位させる電気機器として、電動の往復動真空ポンプがある。この真空ポンプは自動車の制動装置の一部品である気圧式倍力装置に用いられることがある。気圧式倍力装置は、エンジンの吸気装置、真空ポンプ等の負圧源によって発生した負圧を定圧室（負圧室）に導入し、この負圧と大気圧との差圧によってパワーピストンに推力を発生させて、制動装置の操作力を補助する。
【０００３】
気圧式倍力装置の負圧源として使用される真空ポンプとしては、一般的に、構造が簡単で、堅牢かつ安価であることから、例えば特許文献１に記載されているようなソレノイド駆動の往復動真空ポンプ（電気機器）が使用されている。
特許文献１の往復動真空ポンプは、コアを挟むように配置され、励磁されることによりピストンを一方向に移動させる２個のコイルと、２個のコイルが発生しる電磁力に抗するように配置されたスプリングと、２個のコイルに対する励磁制御を行う駆動回路〔往復動真空ポンプの駆動回路（電気機器の駆動回路）〕と、を備えている。そして、駆動回路が、２個のコイルヘの通電、通電停止を行うことによりピストンを往復動させ、ピストンの往動時に流体を流入し、ピストンの復動時に流体を排出し、この繰り返しにより真空吸引を行うようにしている。
【０００４】
上述したように特許文献１の駆動回路では、コイルに対する通電、通電停止が２個のコイルについて同時に行われる。なお、これに代えて、２個のコイルに交互に通電を行うようにした駆動回路（往復動真空ポンプの駆動回路）が考えられている。このような駆動回路の一例として図５に示すものがある。
【０００５】
図５において、駆動回路１は、第１、第２コイルL1，L2を有する往復動真空ポンプ（図示省略）に用いられるようになっている。そして、この往復動真空ポンプは、第１、第２コイルL1，L2に対する通電を交互に行うことにより、往復動真空ポンプに対する空気の流入、排出を交互に行い、この作動を繰り返すことにより真空吸引を行うようにしている。
【０００６】
駆動回路１は、発振回路4、停止回路5、分周/交互回路6、及びコイル/ドライバ回路7から大略構成されている。
駆動回路１では、図４（Ａ）及び図５に示すように、発振回路4は、駆動周波数Fの4倍のクロック信号ａを作り、これを分周/交互回路6の第１フリップフロップFF1に出力する。そして、第１フリップフロップFF1が、クロック信号ａを1/2に分周したデューティ比50%の分周矩形信号ｃを作り、これを分周/交互回路6に備えられた第２フリップフロップFF2及び第３フリップフロップFF3に出力する。
【０００７】
第２フリップフロップFF2及び第３フリップフロップFF3は、周波数Fで交互にON/OFF（オン／オフ）する第１駆動信号ｄ及び第２駆動信号ｅをコイル/ドライバ回路7に備えられNチャンネルMOS型とされた第１電解効果トランジスタFET1、第２電解効果トランジスタFET2にそれぞれ出力し、各ゲートＧを制御する。停止回路5は電源投入時や停止SW10が押されたときに停止回路信号ｂを出力し、第１、第２コイルL1，L2ヘの通電電流を遮断する。
【０００８】
第１電解効果トランジスタFET1、第２電解効果トランジスタFET2は、第１電解効果トランジスタFET1のゲートＧが第１フリップフロップFF1の出力に応じて5Ｖになると第１コイルL1の−端子の電圧（以下、便宜上、第１コイル負端子電圧ｆという。）はOVになり、第１コイルL1の＋端子は12Ｖの電源12に接続されている。第１コイルL1には電流は流れるがインダクタンスが大きいため、その電流（以下、第１コイル電流ｇという。）は、図４の当該第１コイル電流ｇの波形が示すように、ゆっくり立上る。例えば第１コイルL1がコイルインダクタンス100mH、抵抗1Ωである場合、第１コイル電流ｇは時定数τ＝L/R=0.1sで定常電流12Aに向かって立上るので、第１コイルL1に４Ａの第１コイル電流ｇが流れるには約50msの時間を要する。
【０００９】
さらに、第１コイル電流ｇ がオフ（OFF）する際には、第１コイルL1に蓄えられた磁気エネルギW=(1/2)LI2により、第１電解効果トランジスタFET1の出力にフライバック電圧を生じる。なお、後述する抵抗R1等を接統しないと、第１電解効果トランジスタFET1のフライバック電圧は、第１電解効果トランジスタFET1のブレークダウン電圧(例えば60V)まで上昇するので、電流の立下りは早いが、第１電解効果トランジスタFET1が過熱焼損してしまう。第１電解効果トランジスタFET1のフライバック電圧を単純にダイオードD1のみを介して12Ｖの電源12に接続して、第１コイルL1に蓄えられた磁気エネルギを回生するようにした場合、ダイオードD1のON電圧しか逆電圧が生じない（ダイオード順電圧）ので、電流をOFFできず、第１コイルL1側の磁気エネルギの利用に制限がある。
【００１０】
上記対策として、この従来技術では、ダイオードD1に抵抗R1(例えば3Ωなど)を直列して設け、これを第１コイルL1に並列接続している。この場合、抵抗R1(例えば3Ωなど)で逆電圧を抑え、かつ電流遮断速度を改善できる。
以上、第１コイルL1の第１コイル電流ｇについて説明したが、第２コイルL2の電流（第２コイル電流h）もこれと位相が180度ずれた第１コイル電流ｇと同様の波形になり、第２コイルL2の磁気エネルギを抵抗R2で消費する。
【特許文献１】実開平４−９５６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上述した図４（Ａ）及び図５に示す従来技術の駆動回路１では、第１コイルL1（第２コイルL2）の磁気エネルギの大半を抵抗R1（抵抗R2）で熱にして捨てることになり、省エネルギの観点から改善を図ることが望まれている。
また、上記従来技術の駆動回路１では、第１コイル電流ｇ及び第２コイル電流hが図４（Ａ）に示すように、三角波の電流波形になってしまうため、矩形波にくらべると1/2程度の平均電流しか流すことができず、ピストンの往復動を高速で行うには力不足になりやすく改善が求められている。
【００１２】
なお、コイルのインダクタンスは巻数の2乗に比例するので、巻数を半分にすればインダクタンスを1/4にして、電流立ち上がり速度を4倍にすることができる。しかし、推力は電流×巻数に比例するので、同等の大きさの推力を得るには、2倍の電流が必要になり、推力の立上がり速度は2倍で、消費電力が2倍になる。このことも、上述した省エネルギの観点から改善が望まれている。
【００１３】
上述した駆動回路の改善点について、駆動回路が往復動真空ポンプに用いられる場合を例にして説明したが、このことは、往復動真空ポンプに用いられる駆動回路に限らず、一対のコイルを備え、一対のコイルに交互に通電を行ったり、複数のコイルを備え、複数のコイルに順次に通電を行うタイプの他の電気機器例えば、液圧ポンプや圧縮機等に用いられる駆動回路に対しても同様に言えることである。
【００１４】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、コイルのインダクタンスを大きくしても一対のコイルへの通電周期を早めることができて、大きな推力発生が可能でかつ、省電力化できる電気機器の駆動回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１記載の発明は、一対のコイルを備え、該一対のコイルに交互に電流を流すことにより、電磁力の作用により可動部が往復動する電気機器の駆動回路であって、前記一対のコイルのうちいずれか一方のコイルに蓄えられる電気エネルギを、他方のコイルへの通電に利用することを特徴とする。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の電気機器の駆動回路において、前記電気エネルギの他方のコイルへの通電に先だって、前記一方のコイルからの電気エネルギを蓄えるコンデンサを有することを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項２記載の電気機器の駆動回路において、前記コンデンサは、蓄える電気エネルギの増加に伴って端子電圧が所定の基準値に達した場合、前記コンデンサの電気エネルギを前記他方のコイルへの通電に用いることを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載の発明は、複数個のコイルを備え、該複数個のコイルに順次、電流を流すことにより、電磁力の作用により可動部が変位する電気機器の駆動回路であって、前記複数個のコイルのうち一のコイルに蓄えられる電気エネルギを、複数個のコイルのうち前記一のコイル以外のコイルへの通電に利用することを特徴とする。
【００１７】
請求項１から３記載の発明によれば、コイルのインダクタンスを大きくしても一対のコイルへの通電周期を早めることができて、往復動推力を大きくでき、かつ省電力化できる。
請求項４記載の発明によれば、コイルのインダクタンスを大きくしても一対のコイルへの通電周期を早めることができて、推力を大きくでき、かつ省電力化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の第１実施の形態に係る電気機器の駆動回路を図１、図２及び図４（Ｂ）に基づいて説明する。なお、図４（Ａ）及び図５に示す部材、部分と同等の部材、部分については同等の符号で示し、その説明は、適宜省略する。
図１に示す第１実施の形態の駆動回路１Aは、図２に示す往復動真空ポンプ20（電気機器）に用いられるようになっている。
【００１９】
図２において、往復動真空ポンプ20は、気圧式倍力装置に負圧を供給するために使用することができるようになっており、中央部に配置されたポンプ部21と、その両側に取付けられたソレノイド部22、23と、これらの中心に挿通されたガイドロッド24とを備えている。ソレノイド部22には第１コイルL1が設けられ、ソレノイド部23には第２コイルL2が設けられている。
【００２０】
ポンプ部21は、両端にフランジ25A、25Bが形成されたシリンダ26と、フランジ25A、25Bにそれぞれ嵌合された環状のヨーク27a、27bと、シリンダ26に挿通されたガイドロッド24とヨーク27a、27bとの間にそれぞれ嵌合された環状のスペーサ28、29とを含み、これらが互いに気密的に結合されて、シリンダ26の内部が密閉されている。シリンダ26内のガイドロッド24の外周部には、環状のプランジャ30が摺動可能かつ気密的に案内されている。プランジャ30の外周部には、環状のピストン31が取付けられており、このピストン31がシリンダ26内に摺動可能に嵌装されて、シリンダ26の内部が２つのシリンダ室32、33に画成されている。
【００２１】
シリンダ26、ピストン31、スペーサ28及び29は、非磁性体で、ガイドロッド24、ヨーク27a、27b及びプランジャ30は、強磁性体で構成されている。
シリンダ26のフランジ25A、25Bの外周部に、吸気口34及び排気口35が設けられている。シリンダ26の両端部に取付けられたヨーク27a、27bには、吸込弁36、37（逆止弁）が設けられ、シリンダ26の側壁部には、吐出弁38（逆止弁）が設けられている。
環状のプランジャ30は第１コイルL1に通電すると、ガイドロッド24とヨーク27aとの間の隙間に吸引され、第２コイルL2に通電すると、ガイドロッド24とヨーク27bとの間の隙間に吸引されるので、第１コイルL1及び第２コイルL2に交互に通電することによりプランジャ30が往復動し、吸気口34から吸入した空気を、排気口35から排出する。
【００２２】
往復動真空ポンプ20の吸気速度はシリンダ面積×ストローク×往復周波数で定まるので、第１コイルL1及び第２コイルL2に交互通電する周波数が高いほど、小形のポンプで高い吸気速度が得られるが、省電力の観点から小さい電流とした状態で高周波数で往復動させようとするとコイルのインダクタンスが問題になる。すなわち、インダクタンスが大きいと、電流の立上がり、立下りが遅れ、これに伴い高周波数化が阻害されることになる。この第１実施の形態の駆動回路１Aは、この問題を改善するようにしている。
【００２３】
図１に示す駆動回路１A（第１実施の形態）は、従来技術の駆動回路１（図４（Ａ）及び図５）に比して、コイル/ドライバ回路7に代わるコイル/ドライバ回路7Aを有していることが主に異なっている。
第１コイルL1及び第２コイルL2は、上述した第１電解効果トランジスタFET1及び 第２電解効果トランジスタFET2の各ゲートＧに対し所定周期で交互に5Ｖの電圧印加及びその印加停止が行われ、これにより所定周期で交互にオン、オフ（通電及びその停止）作動することは、上述した従来技術と同様である。
【００２４】
そして、この第１実施の形態のコイル/ドライバ回路7Aは、第１コイルL1のオフ（OFF）作動（第１駆動信号ｄのＬレベル（ローレベル））時に、これに蓄積される磁気エネルギ（電気エネルギ）を一時、静電エネルギ（電気エネルギ）として蓄積する第２コンデンサC2を設け、第２コンデンサC2に蓄積されたエネルギが第２コイルL2のオン作動〔第２駆動信号ｅ：Ｈレベル（第１駆動信号ｄ：Ｌレベル）時〕のために用いられるようにしている。
また、第２コンデンサC2の場合と同様に第２コイルL2のオフ作動時に第２コイルL2の磁気エネルギを蓄積するように第１コンデンサC1を設け、第１コンデンサC1に蓄積されたエネルギが第１コイルL1のオン作動〔第１駆動信号ｄのＨレベル時〕のために用いられるようにしている。
【００２５】
この第１実施の形態の駆動回路１Aでは、図１に示すように、第１コイルL1の−端子は抵抗R1とダイオードD1を介して、第２コンデンサC2と第２コイルL2の＋端子に接続し、この接続点はダイオードD4を介して12Ｖの電源12に接続している。同様に、第２コイルL2 の−端子は抵抗R2とダイオードD2を介して、第１コンデンサC1と第１コイルL1の正端子に接続し、この接続点はダイオードD3を介して12Ｖ電源に接続されている。
【００２６】
このように接続することに伴い、第１コイルL1の電流（以下、第１コイル電流ｋという。）による磁気エネルギは抵抗R1とダイオードD1を介して第２コンデンサC2に静電エネルギ（電圧）として蓄積され、これにより第１コイル電流ｋの立下りが早くなり、同時に第２コイルL2を流れる電流（以下、第２コイル電流ｕという。）の立上がりを早くすることができる。
同様にして、第２コイル電流ｕによる磁気エネルギは抵抗R2とダイオードD2を介して第１コンデンサC1に静電エネルギ（電圧）として蓄積され、第２コイル電流ｕの立下りが早くなり、同時に第１コイル電流ｋの立上がりを早くすることができる。
【００２７】
上述したように構成した駆動回路１A（第１実施の形態）の作用を、図４（Ｂ）に示すタイムチャートに沿って、説明する。
第１コイルL1の1回目のON（オン）（第１コイルL1ヘの通電時）〔第１駆動信号ｄ：Ｈレベル〕時には、第２コイル電流ｕのOFF（オフ）に伴って生じる電気エネルギ（回生電力）の供給がないため、第１コイル電流ｋは図５の従来技術の第１コイル電流ｇ（図４（Ａ））と同様に立上る。
第１コイルL1 のOFF時（第１コイルL1ヘの通電停止時）〔第１駆動信号ｄ：Ｌレベル〕には回生電力〔第１コイルL1 のOFF作動で生じる電力〕が第２コンデンサC2に供給され、第２コンデンサC2の電圧（以下、第２コンデンサ電圧jという。）が上昇し、静電エネルギーとして、一時、蓄積される。そして、上述したように電気エネルギが第１コイルL1からから第２コンデンサC2に移行されることに伴い、第１コイル電流ｋの立下りが促進されると共に、第２コンデンサC2に一時蓄積される電気エネルギが第２コイルL2 の通電に用いられ、これにより第２コイル電流ｕの立上りが加速される。
【００２８】
第１コイルL1の2回目のON時には、増加した第２コイル電流ｕのOFFによって生じる回生電力の供給により第１コンデンサC1の電圧が上昇するため、第１コイル電流ｋは、その立上がりが第２コイル電流ｕの立上りより更に加速される。このような立上がりの加速が、繰返し所定回行われることにより定常状態に達し、第１コイル電流ｋび第２コイル電流ｕの波形が三角波から矩形波に近づき、波形が三角波である場合に比して、平均電流が大きくなる。
さらに、この第１実施の形態によれば、インダクタンスが大きくても（すなわちコイルの巻き数を多くしても）、第１電解効果トランジスタFET1、第２電解効果トランジスタFET2、第１コンデンサC1及び第２コンデンサC2をそれぞれ耐圧の高いFET及びコンデンサにして、電流ON/OFFの高速化（ひいては吸気速度の増大化及びこれに伴う往復動真空ポンプの高効率化）が可能となる。
【００２９】
次に、本発明の第２実施の形態に係る往復動真空ポンプ20の駆動回路１Aを図３及び図４（Ｃ）に基づいて説明する。
この第３実施形態の駆動回路１Ｂは、図５の従来技術に比して、次の事項が異なっている。以下、便宜上、図５の分周/交互回路6に対応する構成を分周/交互/高電圧タイミング回路6Bとし、コイル/ドライバ回路7に対応する構成をコイル/ドライバ回路7Bという。
【００３０】
（１）第１コイルL1の正端子及び第２コイルL2の正端子にそれぞれ、PチヤンネルMOS型とされた第４電解効果トランジスタFET4及び第６電解効果トランジスタFET6（高電圧ドライバ）を接続し、第４電解効果トランジスタFET4、第６電解効果トランジスタFET6の駆動用にNチャンネルMOS型とされた第３電解効果トランジスタFET3及び第５電解効果トランジスタFET5（反転回路）を追加した。
（２）ダイオードD1及びD2を介して回生電力を蓄える第３コンデンサC3を備え、第３コンデンサC3を、電源12と第４電解効果トランジスタFET4のドレインＤとを接続する線路におけるドレインＤ側部分に接続した。第３コンデンサC3は、その容量が図１の第１実施形態の第１コンデンサC1、第２コンデンサC2の約10倍とされている。
【００３１】
（３）ダイオードD1〜D4に並列に値の大きい抵抗R1〜R4を接続し、第１コイルL1の電流（以下、第１コイル電流ｐという。）のOFF時、第２コイルL2の電流（以下、第２コイル電流ｑという。）のOFF時に微小な逆バイアス電流を流して、磁路部品の残留磁束を消磁する。
（４）高電圧検知回路25を設け、高電圧検知回路25により、第３コンデンサC3の端子電圧（以下、第３コンデンサ電圧ｍという。）が予め設定した電圧HVよりも高いこと、つまり第１コイルL1（又は第２コイルL2）からの電気エネルギ（回生電力）が供給されていることを検知し、その際、高電圧検知信号rを後述するANDゲートAG１及びANDゲートAG2に出力する。
（５）分周/交互/高電圧タイミング回路6Bに第３電解効果トランジスタFET3用のANDゲートAG１及び第５電解効果トランジスタFET5用のANDゲートAG2を追加して、回生電力が供給されている間のみ、第４電解効果トランジスタFET4、第６電解効果トランジスタFET6をONする。
【００３２】
上述したように構成した駆動回路１Ｂ（第２実施の形態）の作用を、図４（Ｃ）に示すタイムチャートに沿って、説明する。
【００３３】
第１駆動信号ｄ及び第２駆動信号ｅが出力される初期段階における第１コイルL1及び第２コイルL2に対する数回の通電に際しては、第３コンデンサ電圧mが設定電圧HVに達していないので、高電圧ドライバ(第４電解効果トランジスタFET4、第６電解効果トランジスタFET6)はONしない。この初期段階では、第１コイル電流ｐ、第２コイル電流ｑとも立上りについては図５の従来技術の第１コイル電流ｇ、第２コイル電流ｈ（図４（Ａ）)と同様の波形となる一方、立下りについては、第３コンデンサ電圧ｍの電圧値の上昇とともに早くなる。
【００３４】
上記初期段階では、第１コイルL1の＋端子の電圧（以下、第１コイル正端子電圧ｎという。）は１２Ｖとなっている。図示しないが第２コイルL2の＋端子の電圧も同様である。また、第１コイルL1の−端子の電圧（以下、第１コイル負端子電圧ｏという。）は第２駆動信号ｅの第２電解効果トランジスタFET2ヘの出力毎に電圧値が大きくなる。図示しないが第２コイルL2の−端子の電圧も同様に変化する。
【００３５】
以後、第１コイルL1及び第２コイルL2が周期的にオン、オフされて、上述と同様の波形が繰り返され、第１コイルL1の回生電力が供給されている間は、第２コイルL2の正端子に高電圧HVが供給され、第２コイルL2の回生電力が供給されている間は、第１コイルL1の正端子に高電圧HVが供給される。
この第２実施の形態によれば、電流オフ（OFF）時の遮断特性が大幅に改善され、第１コイル電流ｋ及び第２コイル電流ｕの波形が第１実施の形態（図１）の場合（第１コイル電流ｊ及び第２コイル電流ｋ）に比して、より矩形に近づくので、この分、大きな駆動力を発生することができる。
【００３６】
第１実施の形態では、コイルからの電気エネルギ（磁気エネルギ）をコンデンサに蓄える上で、直列接続されたダイオード及び抵抗を介して行なうようにしているが、この第２実施の形態によれば、並列接続されたダイオード及び抵抗を介して行なうので、抵抗によるエネルギー損失が少なくなるので、その分、省電力化できる。
第３コンデンサC3は容量が大きくなるが、リップル電圧は小さいのでこれに対応して小形化・低廉化を図ることができる。また、第２実施の形態によれば、第１実施の形態に比してインダクタンスが大きくても、高速で電流をON/OFFできるので、コイルの巻数を増やして効率を向上できる。
【００３７】
上記各実施の形態では、駆動回路について、往復動真空ポンプ20に用いられる場合を例にしたが、これに限らず、複数個のコイルを含み複数個のコイルに対して順次、通電するように構成される電気機器、例えばSRモータ（スイッチトリラクタンスモータ）、復動エア/油圧シリンダ用電磁弁などに、本発明の駆動回路を用いるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第１実施の形態に係る駆動回路を示す回路図である。
【図２】図１の駆動回路が用いられる往復動真空ポンプを示す断面図である。
【図３】本発明の第２実施の形態に係る駆動回路を示す回路図である。
【図４】第１、第２実施の形態及び駆動回路の従来の一例における信号波形を示すタイミングチャートである。
【図５】駆動回路の従来の一例を示す回路図である。
【符号の説明】
【００３９】
1A，1B…駆動回路、L1…第１コイル、L2…第２コイル、C1…第１コンデンサ、C2…第２コンデンサ、FET1…第１電解効果トランジスタ、FET2… 第２電解効果トランジスタ、20…往復動真空ポンプ（電気機器）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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