(57)【要約】    【課題】  本発明の目的は、ユーザインターフェースの改善によって、解析時間の短縮および解析精度を向上することにある。    【解決手段】  本発明は、上記目的を達成するために、ワークにおける複数個の画像を撮影する撮像装置と、該撮像装置が撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有し、該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成した解析ユニットを備えたものである。    【選択図】  図１
2006189462.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークにおける複数個の画像を撮影する撮像装置と、
該撮像装置が撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有し、該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成した解析ユニットを備えたこと特徴とする検査システム。
【請求項２】
複数個の撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有し、該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成したことを特徴とする解析ユニット。
【請求項３】
電子デバイスとなるワークを処理する製造装置と、該製造装置の処理したワークを検査する検査装置と、該ワークの画像を撮影できる撮像装置と、該撮像装置の撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と該記憶手段が記憶した撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有しかつ該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成した解析ユニットとを用い、該解析ユニットから得られた情報を用いて該製造装置の配置された製造ラインを管理してワークを処理することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスなどの製造ラインに適用される解析ユニットや検査システムやその検査システムを用いた製造方法に係り、特に検査した結果の画像を効率よく分類することで、不良解析時間の短縮し、製造効率向上や早期の歩留まりの向上を可能とする解析ユニットや検査システムやその検査システムを用いた製造方法に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
半導体を代表とする電子デバイスは、基板となるウエハに対して露光、現像、エッチング等の複数の処理工程を繰り返すことにより形成されている。一方、この複数の処理工程の内、ある処理工程において処理されたウエハは、必要に応じて異物検査装置や外観検査装置やＳＥＭなどの検査装置により、ウエハに付着した異物や外観不良の位置、大きさ、個数、種類、等（これを総称して以下、欠陥とする。）の情報や、ワークの加工寸法等の情報が収集されている。全ての検査データは通常検査装置からネットワークを介した解析システムに送られ、管理・解析されることが、月刊Semiconductor World 1996.8 の 88、99、102ページに記載されている。
【０００３】
また、複数の処理工程では欠陥の発生原因を特定するために電子顕微鏡等を使用して欠陥の画像を取得し、実際の欠陥の形、大きさの分類作業を行っている。この分類作業はパソコンなどの画面上で目視により行われており、欠陥の大きさ・形等に基づいて撮像した欠陥の画像を類似の欠陥群に分類している。なお、撮像される欠陥は、前工程の欠陥の分布や欠陥のウェーハマップを参照して数点／ウェーハを人手により決められたり、欠陥画像の自動取得機能(ADR : Automatic Defect Review)により１時間当りに数１００欠陥の画像を自動で取得されたりしているが、いずれにせよ取り扱う撮像画像数は増加する傾向にある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、分類作業におけるユーザインターフェース(画面表示)は十分には検討されていない。このため、多数の撮像画像を効率良く分類することが困難であり、分類作業時間に膨大な時間が必要であるばかりか、解析精度も低下する傾向にあった。今後、さらに撮像する画像数が増加することが予想され、分類作業の使い勝手を向上させて分類作業時間を短縮することは本分野における重要な課題であった。また、分類作業の長期化は、フィードバック作業の遅滞を招き、製造ラインの歩留り向上の大きな妨げとなる可能性があった。
本発明の目的は、ユーザインターフェースの改善によって、解析時間の短縮および解析精度を向上することにある。また、これによって製造ラインの歩留まりを向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記目的を達成するために、ワークにおける複数個の画像を撮影する撮像装置と、該撮像装置が撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有し、該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成した解析ユニットを備えたものである。
【０００６】
また、複数個の撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有し、該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成したものである。
【０００７】
また、電子デバイスとなるワークを処理する製造装置と、該製造装置の処理したワークを検査する検査装置と、該ワークの画像を撮影できる撮像装置と、該撮像装置の撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と該記憶手段が記憶した撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有しかつ該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成した解析ユニットとを用い、該解析ユニットから得られた情報を用いて該製造装置の配置された製造ラインを管理してワークを処理するものである。
【０００８】
この場合において、画像の分類は、必ずしも画像の実体を伴う必要はなく、分類情報として保持することで、解析に必要なデータをより効率よく加工、準備することもできる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ユーザインタフェースの改善により、分類作業の効率化が実現し、解析時間の短縮および解析精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面により詳細に説明する。
【００１１】
図１は、解析ユニットの有するＰＣ(パーソナルコンピュータ)の中で、撮像した欠陥画像の表示／分類機能を示した図である。
【００１２】
図において、１０１はＰＣの表示画面を示している。１５１は撮像した欠陥画像の内、分類作業を行っていない画像を表示するための未分類画像表示エリアを示している。１０２は未分類画像表示エリア１５１において撮像した欠陥画像の１つ１つである。１５２から１５５は欠陥画像を分類するための分類エリアである。１０３から１０６は分類エリア１５２から１５５の特徴量をもつ欠陥画像である。例えば１０３は白くて丸い特徴をもつ欠陥の画像、１０４は黒くて丸い欠陥の画像、１０５は長細い欠陥の画像、１０６は大きな欠陥の画像を示している。１０７は所定の処理を実行させるための処理用ボタンである。図1からも分かるように本実施の形態に於いては、欠陥画像を分類するための分類エリアを画面上に設けるとともに、その代表的な画像や分類済みの画像を画面上に表示させるように構成されているので、撮像した欠陥画像を分類させる場合に多数の複雑な形状の欠陥画像が表示されていたとしたも、ユーザは類似の形状を示す最適な分類エリアに欠陥画像を移動させるだけで良いので、容易にかつ迅速に分類作業をすることができる。特に画面上においてマウスなどを用いたドラッグアンドドロップにより分類作業ができるので、表示画面において全ての欠陥画像を眺めながら分類作業ができ、全ての欠陥画像を相対的に比較しながら分類作業が行え、その操作性は極めて良い。この詳細動作については後述する。
【００１３】
図２は、本発明を実現するシステム構成図の一形態である。
【００１４】
図において、２０１は検査／撮像装置、２０２は記憶装置、２０３、２０４は表示／解析装置、２０５は統括コンピュータ、２１０は工場内ＬＡＮ等のネットワークである。記憶装置２０２は、検査／撮像装置に接続されていても良いし、ネットワーク上の別の機器、例えば検査／撮像装置２０１に接続されていても良い。なお、図１に示すような表示／解析機能は検査／撮像装置２０１に搭載したり、検査／撮像装置２０１と接続するコンピュータに搭載したり、物理的に場所の離れた事務所等の表示／解析装置２０４に搭載することもできるが、本実施例では表示／解析装置２０３にその機能を搭載する。また、図示していないが、検査／撮像装置２０１は複数台設置されていても良く、この場合統括コンピュータ２０５は、設定および調整した特徴量を各検査／撮像装置２０１に配布することが可能である。これにより各検査／撮像装置２０１において分類の際の特徴量の標準化を図ることができる。特徴量の設定および調整については後述する。
【００１５】
図３に図２に示す検査システムにおける分類作業フローを示す。
【００１６】
まず、検査／撮像装置２０１が1枚のウエハにおいて１００〜３００個の欠陥の画像を撮像する(ステップ１００)。撮像した欠陥画像は、ウエハ上における欠陥の座標とその欠陥画像とを対応づけて一時的に検査／撮像装置２０１の有するメモリに記憶される(ステップ１０１)。
【００１７】
次に検査／撮像装置２０１はメモリに記憶された撮像画像の特徴量を算出する(ステップ１０２)。例えば、撮像画像の大きさ、色、形状などがどのくらいの数値であるかを算出する。
【００１８】
撮像画像の特徴量が算出されると、図４のようなデータフォーマットを作成し、記憶装置２０２へ送信する(ステップ１０３)。図４に示すデータフォーマットでは、欠陥の座標、作業日時、対応する撮像画像名、特徴量の他、その撮像画像が分類された場合の情報を示す分類カテゴリが記述できるように構成されている。この場合、まだ撮像画像の分類作業は行われていないので分類カテゴリには未分類を示す情報が記述されている。なお、撮像画像などの検査結果を直接、記憶装置２０２へ送信し、記憶装置２０２において前述の特徴量の算出やデータフォーマットの生成を行うように構成してもよい。また、検査／撮像装置２０１において撮像画像の特徴量の算出までを行うように構成してもよい。
【００１９】
このようにして記憶装置２０２では、各ウエハ毎にまとめられた撮像結果が順次記憶されていく。
【００２０】
さて、ユーザが撮像結果の分類作業を行う場合、まず表示／解析装置２０３は記憶装置２０２から前述の図４に示す撮像結果を取得する(ステップ１０４)。例えば、表示／解析装置２０３に分類作業を行いたいウエハ番号などの識別情報を入力し、該当する撮像結果を記憶装置２０２から取得するように構成する。
【００２１】
撮像結果を取得した表示／解析装置２０３では、未分類画像表示エリア１５１に撮像した欠陥画像を表示する(ステップ１０５)。図５はその表示例であり、様々な形状、大きさ、色の２０個の欠陥画像が表示されている。
【００２２】
次に、図６(ａ)に示すような欠陥画像を分類させるための分類エリア１５２を作成する(ステップ１０６)。この場合、その表示画面上に表示される分類エリアとそのエリアの属性(カテゴリ)とを図６(ｂ)に示すように関係付けて作成する。すなわち、表示画面における各エリアに特徴づけを行い、そのエリアに分類された欠陥画像に図６(ｂ)のように関係づけられたカテゴリ(特徴量)を付与するように構成する。図６(ｂ)では、分類エリア１５２のエリア座標(０００１６０、００００２０)(０００２２０、０００１００)に位置した欠陥画像に対してカテゴリが白であることを付与させるように構成されている。但し、図６(ｂ)では、表示画面上において欠陥画像は未分類画像表示エリア１５１から分類エリア１５２に移動していないので、分類エリア１５２に該当する欄には所属画像名は記述されていない。また、未分類画像表示エリア１５１のエリア座標(００００１０、００００２０)(０００１５０、０００４００)に位置した欠陥画像に対してカテゴリが未分類であることを付与させるように構成されている。従って、図６においては全ての欠陥画像が未分類として記述されている。なお、図６(ｂ)に示すエ
リア属性情報は、表示／解析装置２０３内部に記憶された情報である。また、図６(ｂ)に示す所属画像の情報は必ずしも必要ではなく、分類エリアとそのエリアの属性(カテゴリ)とが少なくも分かるような構成であればよい。
【００２３】
次に、図７(ａ)に示すような代表欠陥表示エリア４０２に分類エリア１５２の特徴を示した代表的な欠陥画像を未分類画像表示エリア１５１から移動させる(ステップ１０７)。例えば、未分類画像表示エリア１５１にある該当する欠陥画像をマウスによりクリックし、ドラッグアンドドロップにより代表欠陥表示エリア４０２に移動させる。この場合、図７(ｂ)に示すエリア属性情報において、エリア座標(０００１６０、００００２０)(０００２２０、０００１００)、カテゴリ「白」の欄に移動した欠陥画像ＩＭＧ００１が記述される。なお、当然、未分類画像表示エリア１５１から実際の欠陥画像を移動させるのではなく、模式的なイメージ画像を表示するように構成しても問題はない。この場合、あらかじめ複数の所望の模式的なイメージ画像を生成しておき、その生成されたイメージ画像を代表欠陥表示エリア４０２に取り込むように構成する。また、代表欠陥表示エリア４０２に代表的な欠陥画像やイメージ画像を表示するのではなく、その特徴量を表示した文字情報を表示するように構成してもよい。
【００２４】
次に、代表欠陥表示エリア４０２に表示された代表的な欠陥画像を参照しながら、類似する未分類欠陥画像を未分類画像表示エリア１５１から分類エリア１５２へ分類する(ステップ１０８)。例えば、未分類画像表示エリア１５１にある該当する欠陥画像をマウスによりクリックし、ドラッグアンドドロップにより該当する分類エリア１５２に移動させる。図８では、欠陥画像ＩＭＧ００５、ＩＭＧ０１０が分類されている。同様に、図９に示すように分類エリア１５３から１５４を定義し、それぞれの代表的な欠陥画像に類似する未分類欠陥画像を未分類画像表示エリア１５１から分類エリア１５２へ分類していくことで、全ての欠陥画像に対する分類作業を実施する。図１０はその分類結果を示す表示画面である。この場合、４種類の分類エリアを設けて分類作業を行ったが、必要に応じてその種類の内容、数は変更する。分類結果から得られる解析精度や、表示画面上での操作性を考慮すると２０種類ぐらいが好ましい。
【００２５】
次に、図１０に示す分類結果から図１１に示すデータフォーマットを生成し(図4に示すデータフォーマットを更新し)、表示／解析装置２０３から記憶装置２０２へ送信する(ステップ１０９)。例えば分類作業を終了後もしくは分類作業中の所定のタイミングにより、図６(ｂ)などに示すエリア属性情報に基づいて、欠陥画像が配置された表示画面上の位置から対応するカテゴリ情報を取得し、図１１に示す分類カテゴリを更新するように構成する。この場合もウエハ単位に分類結果を送信する。
【００２６】
以上のように、欠陥画像を分類するための分類エリアを画面上に設けるとともに、その代表的な画像を画面上に表示させるように構成されているので、撮像した欠陥画像を分類させる場合に多数の複雑な形状の欠陥画像が表示されていたとしたも、ユーザは類似の形状を示す最適な分類エリアに欠陥画像を移動させるだけで良いので、容易にかつ迅速に分類作業をすることができる。特に画面上においてマウスなどを用いたドラッグアンドドロップにより分類作業ができるので、表示画面において全ての欠陥画像を眺めながら分類作業ができ、全ての欠陥画像
を相対的に比較しながら分類作業が行え、その操作性は極めて良い。
【００２７】
次に、未分類欠陥画像を自動分類し、その分類結果を修正して欠陥画像を分類する例について説明する。自動分類と修正機能とを組み合わて、自動分類により大まかに欠陥画像を分類し、その後修正を加えるように構成することで、分類作業の作業時間の短縮と分類精度の向上を図ることができる。図１２はその処理フローである。
【００２８】
まず、自動分類させるために複数の分類エリアをあらかじめ設定しておく。例えば、図１３に示すように分類エリア１５２から１５５を前述の例と同様の手法により作成しおく。この場合も、その表示画面上に表示される分類エリアとそのエリアの属性(カテゴリ)とが関係付けられている。このエリア属性情報は表示／解析装置２０３内に記憶されている。
【００２９】
また、自動分類するための関数が表示／解析装置２０３内に記憶しておく。この関数は、欠陥画像の有する特徴量がいずれのカテゴリに属するかを算出するものである。図１４はこの関数を模式的に表わしたものである。これは欠陥画像の面積とその明暗との関数を表わしており、欠陥画像の特徴量が図においてどの領域に位置するかを算出するように構成されている。例えば、(ｔA、ｕA)を中心とした所定の範囲に特徴量が位置すればその欠陥画像はカテゴリＡであると算出するように構成されている。図１４では面積と明暗の２次の関数であるが、その他のパラメータを用いたり、３次、４次などの多次の関数を用いたりしても良い。
【００３０】
次に、表示／解析装置２０３は記憶装置２０２から図４に示す撮像結果を取得し、未分類画像表示エリア１５１に撮像した欠陥画像を表示する(ステップ２０１)。なお、表示／解析装置２０３が未分類画像表示エリア１５１に撮像した欠陥画像を表示するまでの処理は前述の例と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
【００３１】
次に、未分類画像表示エリア１５１に表示した欠陥画像について自動分類を開始する(ステップ２０２)。すなわち、検査／撮像装置２０１に記憶された関数に基づいて各欠陥画像の有する特徴量がどのカテゴリに該当するかを算出する(ステップ２０３)。
【００３２】
カテゴリが算出されると、その欠陥画像は、前述のエリア属性情報に基づいて表示画面上の該当する分類エリアに移動する(ステップ２０４)。図１５にその移動後の表示画面を示す。なお、撮像条件によって画像処理を行うことができず特徴量を求められない欠陥画像や、いずれのカテゴリにも該当しない欠陥画像に関しては、人手によりマウスやキーボード等を使用して未分類エリアから特定の分類エリアに欠陥画像を移動することで分類作業を行う。
【００３３】
このようにして全画像の分類が完了した場合(ステップ２０５)、その分類結果を確認し(ステップ２１１)、その分類結果を修正するか否かを画面上で判断する(ステップ２１２)。分類結果を修正する場合を図１５に示す。図１５において、欠陥画像Ａを分類エリア１５５から分類エリア１５３へカテゴリの修正を行う場合、例えば分類エリア１５５にある欠陥画像Ａをマウスによりクリックし(ステップ２０６)、ドラッグアンドドロップにより該当する分類エリア１５２に移動させることで容易に分類結果の修正を行うことができる(ステップ２０９)。なお、該当するカテゴリが無い場合は、新規にカテゴリを追加するようにしても良い(ステップ２０８)。
【００３４】
以上の処理を全ての欠陥画像に対して行うことで分類作業は完了する(ステップ２１０)。図１０はその修正結果を示した表示画面である。分類作業が完了すると、各欠陥画像に対するカテゴリ情報を更新し(ステップ２１３)、その更新した結果を記憶装置２０２へ送信する。なお、全ての欠陥画像に対して自動分類が完了しない場合、すなわち自動分類できない欠陥画像がある場合(ステップ205)は、ステップ２０６から２１２に示した手分類による分類作業へ移行するように構成する。
【００３５】
この実施例に於いても、あらかじめ記憶したエリア属性情報に基づいて、欠陥画像が配置された表示画面上の位置から対応するカテゴリ情報を取得するように構成しているので、欠陥画像に対する分類カテゴリの修正を容易に行うことが可能となる。言い換えるならば、欠陥画像が配置された表示画面上の位置から対応するカテゴリ情報を取得するように構成しているので、修正などが生じた場合であってもユーザは単に表示画面上で欠陥画像を移動させるだけで良く、修正などを含めた分類作業を極めて容易に実現することができ、使い勝手が向上する。
【００３６】
最後に、この分類結果を利用した解析例を説明する。
【００３７】
分類結果を解析する場合は、表示／解析装置２０３において記憶装置２０２から該当する分類結果を取得する。図１６はその解析画面の一例である。１６０１は図１１に示す分類結果から撮像した欠陥画像の位置を示したものであり、ウェハ上の欠陥分布を示したものである。１６０２、１６０３はウエハ上にある欠陥画像や撮像条件等を表示するものである。１６０４は分類結果表示エリアであり、該当する欠陥画像に対する分類結果をその場で集計し、その結果を表示したものである。例えば、図１１に示す分類結果からカテゴリ別の発生数や発生率を算出して表示したものである。
【００３８】
また、図示はしていないが、特定のカテゴリを選択することで、そのカテゴリが付いたウェーハ上の欠陥をウエハ１６０１上で別色でわかりやすく示すように構成する。これは図１１に示す分類結果を用いて該当するカテゴリの欠陥を抽出し、かつその欠陥のウエハ上の位置を抽出することで、その位置を所望の色で表示することが可能となる。
【００３９】
また、図示はしていないが、分類結果をカテゴリ別の円グラフや折れ線グラフ、棒グラフ等で表示するように構成してもよい。これらの表示は、別のウィンドウに出力しても良いし、一ウィンドウ上に同時に表示しても良い。また、これらを報告書等の目的でプリントアウトしたり、データをファイル等に出力しても良い。
【００４０】
このように分類した結果を用いて欠陥の発生した原因を究明し、早急に製造ラインを対策することで、製造ラインの歩留まり低下を防ぐことが可能となる。従って、分類作業の時間も含めて、製造ラインへの解析結果のフィードバック時間を短縮することで製造ラインの歩留まり低下を防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施の形態を示した欠陥画像表示／分類機能
【図２】本発明の一実施の形態を示したシステム構成図
【図３】本発明の一実施の形態を示した分類作業処理フロー
【図４】本発明の一実施の形態における分類前のデータ例
【図５】本発明の一実施の形態における分類前の表示画面例
【図６】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図７】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図８】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図９】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図１０】本発明の一実施の形態における分類後の表示画面例
【図１１】本発明の一実施の形態における分類後のデータ例
【図１２】本発明の一実施の形態を示した分類作業処理フロー
【図１３】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図１４】本発明の一実施の形態における自動分類に用いる関数を表わした図
【図１５】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図１６】本発明の一実施の形態における欠陥分類結果解析機能
【符号の説明】
【００４２】
１０１・・・表示画面、１０２、５０１・・・未分類画像、１０３〜１０６・・・代表欠陥表示エリア、１０７・・・処理用ボタン、１５１・・・未分類画像表示エリア、１５２〜１５５・・・分類画像表示エリア、２０１・・・検査／撮像装置、２０２・・・記憶装置、２０３・・・表示／解析装置、２０５・・・統括コンピュータ、２１０・・・ネットワーク、５０１・・・欠陥画像、１６０１・・・ウェハマップ、１６０２、１６０３・・・欠陥画像、撮像条件等表示エリア、１６０４・・・分類結果表示エリア。
【図１】
2006189462.tif 000003
【図２】
2006189462.tif 000004
【図３】
2006189462.tif 000005
【図４】
2006189462.tif 000006
【図５】
2006189462.tif 000007
【図６】
2006189462.tif 000008
【図７】
2006189462.tif 000009
【図８】
2006189462.tif 000010
【図９】
2006189462.tif 000011
【図１０】
2006189462.tif 000012
【図１１】
2006189462.tif 000013
【図１２】
2006189462.tif 000014
【図１３】
2006189462.tif 000015
【図１４】
2006189462.tif 000016
【図１５】
2006189462.tif 000017
【図１６】
2006189462.tif 000018
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月17日(2006.4.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料上の欠陥を撮像して得た画像から該欠陥の画像の特徴量を算出し、
該算出した特徴量の情報を用いて前記欠陥の画像を複数の分類カテゴリのうちの何れかのカテゴリに分類し、
該何れかのカテゴリに分類した欠陥の画像を表示画面上で該分類したカテゴリに対応する領域に表示し、
該分類したカテゴリに対応する領域に表示された欠陥の画像に該分類したカテゴリの情報を付与し、
該分類したカテゴリの情報を付与した欠陥の画像を前記複数の分類カテゴリのうちの他の分類カテゴリに対応する領域に移動させ、
該他の分類カテゴリに対応する領域に移動させた欠陥の画像に付与した前記分類したカテゴリの情報を前記移動させた先の前記他の分類カテゴリ分類カテゴリの情報に変更する
ことを特徴とする欠陥分類方法。
【請求項２】
前記画面がＰＣの画面であり、前記欠陥の画像を移動させることを前記ＰＣのマウスで行うことを特徴とする請求項２記載の欠陥分類方法。
【請求項３】
前記画像と関連付けて記憶する前記欠陥の特徴量の情報が、前記欠陥画像の大きさ、色及び形状の情報を含むことを特徴とする請求項１記載の欠陥分類方法。
【請求項４】
試料上の欠陥を撮像して得た該欠陥の画像を該欠陥の画像の特徴量に基づいて複数の分類カテゴリのうちの何れかのカテゴリに分類する方法であって、画面上で第１のカテゴリ領域に表示されて該第１のカテゴリ情報を付与された第１の欠陥画像を前記画面上で第２のカテゴリ領域に表示させることにより、前記付与した第１のカテゴリ情報を前記第２のカテゴリ領域に対応する第２のカテゴリ情報に置き換えることを特徴とする欠陥分類方法。
【請求項５】
前記画面がＰＣの画面であり、前記画面上で第１のカテゴリ領域に表示された第１の欠陥画像を前記画面上で第２のカテゴリ領域に表示することを、前記ＰＣのマウスで前記欠陥の画像を移動させることにより行うことを特徴とする請求項４記載の欠陥分類方法。
【請求項６】
前記画面上で第１のカテゴリ領域に表示された第１の欠陥画像には前記第１のカテゴリ情報が付与されると共に前記第１の欠陥画像の特徴量の情報が関連付けて記憶されており、前記第１の欠陥画像を前記画面上で第２のカテゴリ領域に表示させることにより、前記付与した第１のカテゴリ情報を前記第２のカテゴリ領域に対応する第２のカテゴリ情報に置き換えて前記第１の欠陥画像の特徴量の情報とともに記憶することを特徴とする請求項４記載の欠陥分類方法。
【請求項７】
前記第１の欠陥画像と関連付けて記憶する前記第１の欠陥画像の特徴量の情報が、前記第１の欠陥画像の大きさ、色及び形状の情報を含むことを特徴とする請求項４記載の欠陥分類方法。
【請求項８】
試料上の欠陥を撮像して得た該欠陥の画像の特徴量を算出する特徴量算出手段と、
該特徴量算出手段で算出した前記欠陥の画像の特徴量の情報と前記欠陥の画像とを関連
付けて記憶する記憶手段と、
該記憶手段に記憶した前記欠陥の特徴量の情報を用いて前記欠陥の画像を複数の分類カテゴリのうちの何れかのカテゴリに分類して該分類した画像に該カテゴリの情報を付与する欠陥分類手段と、
該欠陥分類手段で前記何れかのカテゴリに分類されて該分類されたカテゴリの情報が付与された前記欠陥の画像を前記複数の分類カテゴリのうちの他の分類カテゴリ領域に移動させて表示させる画像移動手段と、
該画像移動手段で前記他の分類カテゴリ領域に移動させた前記欠陥の画像の分類カテゴリの情報を前記他の分類カテゴリ領域の情報に変更する分類カテゴリ情報変更手段と
を備えたことを特徴とする欠陥分類装置。
【請求項９】
前記表示手段がＰＣの画面であり、前記画像移動手段が前記ＰＣのマウスであることを特徴とする請求項８記載の欠陥分類装置。
【請求項１０】
前記記憶手段に前記欠陥の画像と関連付けて記憶する前記欠陥の特長量の情報が、前記欠陥画像の大きさ、色及び形状の情報を含むことを特徴とする請求項８記載の欠陥分類装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスなどの製造ラインに適用される解析ユニットや検査システムやその検査システムを用いた製造方法に係り、特に検査した結果の画像を効率よく分類する欠陥画像の分類方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体を代表とする電子デバイスは、基板となるウエハに対して露光、現像、エッチン
グ等の複数の処理工程を繰り返すことにより形成されている。一方、この複数の処理工程
の内、ある処理工程において処理されたウエハは、必要に応じて異物検査装置や外観検査
装置やＳＥＭなどの検査装置により、ウエハに付着した異物や外観不良の位置、大きさ、
個数、種類、等（これを総称して以下、欠陥とする。）の情報や、ワークの加工寸法等の
情報が収集されている。全ての検査データは通常検査装置からネットワークを介した解析
システムに送られ、管理・解析されることが、月刊Semiconductor World 1996.8 の 88、
99、102ページに記載されている。
【０００３】
また、複数の処理工程では欠陥の発生原因を特定するために電子顕微鏡等を使用して欠
陥の画像を取得し、実際の欠陥の形、大きさの分類作業を行っている。この分類作業はパ
ソコンなどの画面上で目視により行われており、欠陥の大きさ・形等に基づいて撮像した
欠陥の画像を類似の欠陥群に分類している。なお、撮像される欠陥は、前工程の欠陥の分
布や欠陥のウェーハマップを参照して数点／ウェーハを人手により決められたり、欠陥画
像の自動取得機能(ADR : Automatic Defect Review)により１時間当りに数１００欠陥の
画像を自動で取得されたりしているが、いずれにせよ取り扱う撮像画像数は増加する傾向
にある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、分類作業におけるユーザインターフェース(画面表示)は十分には検討されてい
ない。このため、多数の撮像画像を効率良く分類することが困難であり、分類作業時間に
膨大な時間が必要であるばかりか、解析精度も低下する傾向にあった。今後、さらに撮像
する画像数が増加することが予想され、分類作業の使い勝手を向上させて分類作業時間を
短縮することは本分野における重要な課題であった。また、分類作業の長期化は、フィー
ドバック作業の遅滞を招き、製造ラインの歩留り向上の大きな妨げとなる可能性があった
。
本発明の目的は、ユーザインターフェースの改善によって、解析時間の短縮および解析
精度を向上することにある。また、これによって製造ラインの歩留まりを向上させること
にある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明では、上記目的を達成するために、試料上の欠陥を撮像して得た画像から該欠陥の画像の特徴量を算出し、この算出した特徴量の情報を用いて欠陥の画像を複数の分類カテゴリのうちの何れかのカテゴリに分類し、この何れかのカテゴリに分類した欠陥の画像を表示画面上で分類したカテゴリに対応する領域に表示し、この分類したカテゴリに対応する領域に表示された欠陥の画像に分類したカテゴリの情報を付与し、この分類したカテゴリの情報を付与した欠陥の画像を複数の分類カテゴリのうちの他の分類カテゴリに対応する領域に移動させ、他の分類カテゴリに対応する領域に移動させた欠陥の画像に付与した分類したカテゴリの情報を移動させた先の他の分類カテゴリ分類カテゴリの情報に変更する欠陥分類方法とした。
【０００６】
また、本発明では、試料上の欠陥を撮像して得た欠陥の画像をこの欠陥の画像の特徴量に基づいて複数の分類カテゴリのうちの何れかのカテゴリに分類する方法において、画面上で第１のカテゴリ領域に表示されてこの第１のカテゴリ情報を付与された第１の欠陥画像を画面上で第２のカテゴリ領域に表示させることにより、付与した第１のカテゴリ情報を第２のカテゴリ領域に対応する第２のカテゴリ情報に置き換えるようにした。
【０００７】
また、本発明では、欠陥分類装置を、試料上の欠陥を撮像して得た欠陥の画像の特徴量を算出する特徴量算出手段と、この特徴量算出手段で算出した欠陥の画像の特徴量の情報と欠陥の画像とを関連付けて記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶した欠陥の特徴量の情報を用いて欠陥の画像を複数の分類カテゴリのうちの何れかのカテゴリに分類してこの分類した画像にカテゴリの情報を付与する欠陥分類手段と、欠陥分類手段で何れかのカテゴリに分類されてこの分類されたカテゴリの情報が付与された欠陥の画像を複数の分類カテゴリのうちの他の分類カテゴリ領域に移動させて表示させる画像移動手段と、この画像移動手段で他の分類カテゴリ領域に移動させた欠陥の画像の分類カテゴリの情報を他の分類カテゴリ領域の情報に変更する分類カテゴリ情報変更手段とを備えて構成した。
【０００８】
この場合において、画像の分類は、必ずしも画像の実体を伴う必要はなく、分類情報と
して保持することで、解析に必要なデータをより効率よく加工、準備することもできる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ユーザインタフェースの改善により、分類作業の効率化が実現し、解
析時間の短縮および解析精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面により詳細に説明する。
【００１１】
図１は、解析ユニットの有するＰＣ(パーソナルコンピュータ)の中で、撮像した欠陥画
像の表示／分類機能を示した図である。
【００１２】
図において、１０１はＰＣの表示画面を示している。１５１は撮像した欠陥画像の内、
分類作業を行っていない画像を表示するための未分類画像表示エリアを示している。１０
２は未分類画像表示エリア１５１において撮像した欠陥画像の１つ１つである。１５２か
ら１５５は欠陥画像を分類するための分類エリアである。１０３から１０６は分類エリア
１５２から１５５の特徴量をもつ欠陥画像である。例えば１０３は白くて丸い特徴をもつ
欠陥の画像、１０４は黒くて丸い欠陥の画像、１０５は長細い欠陥の画像、１０６は大き
な欠陥の画像を示している。１０７は所定の処理を実行させるための処理用ボタンである
。図1からも分かるように本実施の形態に於いては、欠陥画像を分類するための分類エリ
アを画面上に設けるとともに、その代表的な画像や分類済みの画像を画面上に表示させる
ように構成されているので、撮像した欠陥画像を分類させる場合に多数の複雑な形状の欠
陥画像が表示されていたとしたも、ユーザは類似の形状を示す最適な分類エリアに欠陥画
像を移動させるだけで良いので、容易にかつ迅速に分類作業をすることができる。特に画
面上においてマウスなどを用いたドラッグアンドドロップにより分類作業ができるので、
表示画面において全ての欠陥画像を眺めながら分類作業ができ、全ての欠陥画像を相対的
に比較しながら分類作業が行え、その操作性は極めて良い。この詳細動作については後述
する。
【００１３】
図２は、本発明を実現するシステム構成図の一形態である。
【００１４】
図において、２０１は検査／撮像装置、２０２は記憶装置、２０３、２０４は表示／解
析装置、２０５は統括コンピュータ、２１０は工場内ＬＡＮ等のネットワークである。記
憶装置２０２は、検査／撮像装置に接続されていても良いし、ネットワーク上の別の機器
、例えば検査／撮像装置２０１に接続されていても良い。なお、図１に示すような表示／
解析機能は検査／撮像装置２０１に搭載したり、検査／撮像装置２０１と接続するコンピ
ュータに搭載したり、物理的に場所の離れた事務所等の表示／解析装置２０４に搭載する
こともできるが、本実施例では表示／解析装置２０３にその機能を搭載する。また、図示
していないが、検査／撮像装置２０１は複数台設置されていても良く、この場合統括コン
ピュータ２０５は、設定および調整した特徴量を各検査／撮像装置２０１に配布すること
が可能である。これにより各検査／撮像装置２０１において分類の際の特徴量の標準化を
図ることができる。特徴量の設定および調整については後述する。
【００１５】
図３に図２に示す検査システムにおける分類作業フローを示す。
【００１６】
まず、検査／撮像装置２０１が1枚のウエハにおいて１００〜３００個の欠陥の画像を
撮像する(ステップ１００)。撮像した欠陥画像は、ウエハ上における欠陥の座標とその欠
陥画像とを対応づけて一時的に検査／撮像装置２０１の有するメモリに記憶される(ステ
ップ１０１)。
【００１７】
次に検査／撮像装置２０１はメモリに記憶された撮像画像の特徴量を算出する(ステッ
プ１０２)。例えば、撮像画像の大きさ、色、形状などがどのくらいの数値であるかを算
出する。
【００１８】
撮像画像の特徴量が算出されると、図４のようなデータフォーマットを作成し、記憶装
置２０２へ送信する(ステップ１０３)。図４に示すデータフォーマットでは、欠陥の座標
、作業日時、対応する撮像画像名、特徴量の他、その撮像画像が分類された場合の情報を
示す分類カテゴリが記述できるように構成されている。この場合、まだ撮像画像の分類作
業は行われていないので分類カテゴリには未分類を示す情報が記述されている。なお、撮
像画像などの検査結果を直接、記憶装置２０２へ送信し、記憶装置２０２において前述の
特徴量の算出やデータフォーマットの生成を行うように構成してもよい。また、検査／撮
像装置２０１において撮像画像の特徴量の算出までを行うように構成してもよい。
【００１９】
このようにして記憶装置２０２では、各ウエハ毎にまとめられた撮像結果が順次記憶さ
れていく。
【００２０】
さて、ユーザが撮像結果の分類作業を行う場合、まず表示／解析装置２０３は記憶装置
２０２から前述の図４に示す撮像結果を取得する(ステップ１０４)。例えば、表示／解析
装置２０３に分類作業を行いたいウエハ番号などの識別情報を入力し、該当する撮像結果
を記憶装置２０２から取得するように構成する。
【００２１】
撮像結果を取得した表示／解析装置２０３では、未分類画像表示エリア１５１に撮像し
た欠陥画像を表示する(ステップ１０５)。図５はその表示例であり、様々な形状、大きさ
、色の２０個の欠陥画像が表示されている。
【００２２】
次に、図６(ａ)に示すような欠陥画像を分類させるための分類エリア１５２を作成する
(ステップ１０６)。この場合、その表示画面上に表示される分類エリアとそのエリアの属
性(カテゴリ)とを図６(ｂ)に示すように関係付けて作成する。すなわち、表示画面におけ
る各エリアに特徴づけを行い、そのエリアに分類された欠陥画像に図６(ｂ)のように関係
づけられたカテゴリ(特徴量)を付与するように構成する。図６(ｂ)では、分類エリア１５
２のエリア座標(０００１６０、００００２０)(０００２２０、０００１００)に位置した
欠陥画像に対してカテゴリが白であることを付与させるように構成されている。但し、図
６(ｂ)では、表示画面上において欠陥画像は未分類画像表示エリア１５１から分類エリア
１５２に移動していないので、分類エリア１５２に該当する欄には所属画像名は記述され
ていない。また、未分類画像表示エリア１５１のエリア座標(００００１０、００００２
０)(０００１５０、０００４００)に位置した欠陥画像に対してカテゴリが未分類である
ことを付与させるように構成されている。従って、図６においては全ての欠陥画像が未分
類として記述されている。なお、図６(ｂ)に示すエ
リア属性情報は、表示／解析装置２０３内部に記憶された情報である。また、図６(ｂ)に
示す所属画像の情報は必ずしも必要ではなく、分類エリアとそのエリアの属性(カテゴリ)
とが少なくも分かるような構成であればよい。
【００２３】
次に、図７(ａ)に示すような代表欠陥表示エリア４０２に分類エリア１５２の特徴を示
した代表的な欠陥画像を未分類画像表示エリア１５１から移動させる(ステップ１０７)。
例えば、未分類画像表示エリア１５１にある該当する欠陥画像をマウスによりクリックし
、ドラッグアンドドロップにより代表欠陥表示エリア４０２に移動させる。この場合、図
７(ｂ)に示すエリア属性情報において、エリア座標(０００１６０、００００２０)(００
０２２０、０００１００)、カテゴリ「白」の欄に移動した欠陥画像ＩＭＧ００１が記述
される。なお、当然、未分類画像表示エリア１５１から実際の欠陥画像を移動させるので
はなく、模式的なイメージ画像を表示するように構成しても問題はない。この場合、あら
かじめ複数の所望の模式的なイメージ画像を生成しておき、その生成されたイメージ画像
を代表欠陥表示エリア４０２に取り込むように構成する。また、代表欠陥表示エリア４０
２に代表的な欠陥画像やイメージ画像を表示するのではなく、その特徴量を表示した文字
情報を表示するように構成してもよい。
【００２４】
次に、代表欠陥表示エリア４０２に表示された代表的な欠陥画像を参照しながら、類似
する未分類欠陥画像を未分類画像表示エリア１５１から分類エリア１５２へ分類する(ス
テップ１０８)。例えば、未分類画像表示エリア１５１にある該当する欠陥画像をマウス
によりクリックし、ドラッグアンドドロップにより該当する分類エリア１５２に移動させ
る。図８では、欠陥画像ＩＭＧ００５、ＩＭＧ０１０が分類されている。同様に、図９に
示すように分類エリア１５３から１５４を定義し、それぞれの代表的な欠陥画像に類似す
る未分類欠陥画像を未分類画像表示エリア１５１から分類エリア１５２へ分類していくこ
とで、全ての欠陥画像に対する分類作業を実施する。図１０はその分類結果を示す表示画
面である。この場合、４種類の分類エリアを設けて分類作業を行ったが、必要に応じてそ
の種類の内容、数は変更する。分類結果から得られる解析精度や、表示画面上での操作性
を考慮すると２０種類ぐらいが好ましい。
【００２５】
次に、図１０に示す分類結果から図１１に示すデータフォーマットを生成し(図4に示す
データフォーマットを更新し)、表示／解析装置２０３から記憶装置２０２へ送信する(ス
テップ１０９)。例えば分類作業を終了後もしくは分類作業中の所定のタイミングにより
、図６(ｂ)などに示すエリア属性情報に基づいて、欠陥画像が配置された表示画面上の位
置から対応するカテゴリ情報を取得し、図１１に示す分類カテゴリを更新するように構成
する。この場合もウエハ単位に分類結果を送信する。
【００２６】
以上のように、欠陥画像を分類するための分類エリアを画面上に設けるとともに、その
代表的な画像を画面上に表示させるように構成されているので、撮像した欠陥画像を分類
させる場合に多数の複雑な形状の欠陥画像が表示されていたとしたも、ユーザは類似の形
状を示す最適な分類エリアに欠陥画像を移動させるだけで良いので、容易にかつ迅速に分
類作業をすることができる。特に画面上においてマウスなどを用いたドラッグアンドドロ
ップにより分類作業ができるので、表示画面において全ての欠陥画像を眺めながら分類作
業ができ、全ての欠陥画像
を相対的に比較しながら分類作業が行え、その操作性は極めて良い。
【００２７】
次に、未分類欠陥画像を自動分類し、その分類結果を修正して欠陥画像を分類する例に
ついて説明する。自動分類と修正機能とを組み合わて、自動分類により大まかに欠陥画像
を分類し、その後修正を加えるように構成することで、分類作業の作業時間の短縮と分類
精度の向上を図ることができる。図１２はその処理フローである。
【００２８】
まず、自動分類させるために複数の分類エリアをあらかじめ設定しておく。例えば、図
１３に示すように分類エリア１５２から１５５を前述の例と同様の手法により作成しおく
。この場合も、その表示画面上に表示される分類エリアとそのエリアの属性(カテゴリ)と
が関係付けられている。このエリア属性情報は表示／解析装置２０３内に記憶されている
。
【００２９】
また、自動分類するための関数が表示／解析装置２０３内に記憶しておく。この関数は
、欠陥画像の有する特徴量がいずれのカテゴリに属するかを算出するものである。図１４
はこの関数を模式的に表わしたものである。これは欠陥画像の面積とその明暗との関数を
表わしており、欠陥画像の特徴量が図においてどの領域に位置するかを算出するように構
成されている。例えば、(ｔA、ｕA)を中心とした所定の範囲に特徴量が位置すればその欠
陥画像はカテゴリＡであると算出するように構成されている。図１４では面積と明暗の２
次の関数であるが、その他のパラメータを用いたり、３次、４次などの多次の関数を用い
たりしても良い。
【００３０】
次に、表示／解析装置２０３は記憶装置２０２から図４に示す撮像結果を取得し、未分
類画像表示エリア１５１に撮像した欠陥画像を表示する(ステップ２０１)。なお、表示／
解析装置２０３が未分類画像表示エリア１５１に撮像した欠陥画像を表示するまでの処理
は前述の例と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
【００３１】
次に、未分類画像表示エリア１５１に表示した欠陥画像について自動分類を開始する(
ステップ２０２)。すなわち、検査／撮像装置２０１に記憶された関数に基づいて各欠陥
画像の有する特徴量がどのカテゴリに該当するかを算出する(ステップ２０３)。
【００３２】
カテゴリが算出されると、その欠陥画像は、前述のエリア属性情報に基づいて表示画面
上の該当する分類エリアに移動する(ステップ２０４)。図１５にその移動後の表示画面を
示す。なお、撮像条件によって画像処理を行うことができず特徴量を求められない欠陥画
像や、いずれのカテゴリにも該当しない欠陥画像に関しては、人手によりマウスやキーボ
ード等を使用して未分類エリアから特定の分類エリアに欠陥画像を移動することで分類作
業を行う。
【００３３】
このようにして全画像の分類が完了した場合(ステップ２０５)、その分類結果を確認し
(ステップ２１１)、その分類結果を修正するか否かを画面上で判断する(ステップ２１２)
。分類結果を修正する場合を図１５に示す。図１５において、欠陥画像Ａを分類エリア１
５５から分類エリア１５３へカテゴリの修正を行う場合、例えば分類エリア１５５にある
欠陥画像Ａをマウスによりクリックし(ステップ２０６)、ドラッグアンドドロップにより
該当する分類エリア１５２に移動させることで容易に分類結果の修正を行うことができる
(ステップ２０９)。なお、該当するカテゴリが無い場合は、新規にカテゴリを追加するよ
うにしても良い(ステップ２０８)。
【００３４】
以上の処理を全ての欠陥画像に対して行うことで分類作業は完了する(ステップ２１０)
。図１０はその修正結果を示した表示画面である。分類作業が完了すると、各欠陥画像に
対するカテゴリ情報を更新し(ステップ２１３)、その更新した結果を記憶装置２０２へ送
信する。なお、全ての欠陥画像に対して自動分類が完了しない場合、すなわち自動分類で
きない欠陥画像がある場合(ステップ205)は、ステップ２０６から２１２に示した手分類
による分類作業へ移行するように構成する。
【００３５】
この実施例に於いても、あらかじめ記憶したエリア属性情報に基づいて、欠陥画像が配
置された表示画面上の位置から対応するカテゴリ情報を取得するように構成しているので
、欠陥画像に対する分類カテゴリの修正を容易に行うことが可能となる。言い換えるなら
ば、欠陥画像が配置された表示画面上の位置から対応するカテゴリ情報を取得するように
構成しているので、修正などが生じた場合であってもユーザは単に表示画面上で欠陥画像
を移動させるだけで良く、修正などを含めた分類作業を極めて容易に実現することができ
、使い勝手が向上する。
【００３６】
最後に、この分類結果を利用した解析例を説明する。
【００３７】
分類結果を解析する場合は、表示／解析装置２０３において記憶装置２０２から該当す
る分類結果を取得する。図１６はその解析画面の一例である。１６０１は図１１に示す分
類結果から撮像した欠陥画像の位置を示したものであり、ウェハ上の欠陥分布を示したも
のである。１６０２、１６０３はウエハ上にある欠陥画像や撮像条件等を表示するもので
ある。１６０４は分類結果表示エリアであり、該当する欠陥画像に対する分類結果をその
場で集計し、その結果を表示したものである。例えば、図１１に示す分類結果からカテゴ
リ別の発生数や発生率を算出して表示したものである。
【００３８】
また、図示はしていないが、特定のカテゴリを選択することで、そのカテゴリが付いた
ウェーハ上の欠陥をウエハ１６０１上で別色でわかりやすく示すように構成する。これは
図１１に示す分類結果を用いて該当するカテゴリの欠陥を抽出し、かつその欠陥のウエハ
上の位置を抽出することで、その位置を所望の色で表示することが可能となる。
【００３９】
また、図示はしていないが、分類結果をカテゴリ別の円グラフや折れ線グラフ、棒グラ
フ等で表示するように構成してもよい。これらの表示は、別のウィンドウに出力しても良
いし、一ウィンドウ上に同時に表示しても良い。また、これらを報告書等の目的でプリン
トアウトしたり、データをファイル等に出力しても良い。
【００４０】
このように分類した結果を用いて欠陥の発生した原因を究明し、早急に製造ラインを対
策することで、製造ラインの歩留まり低下を防ぐことが可能となる。従って、分類作業の
時間も含めて、製造ラインへの解析結果のフィードバック時間を短縮することで製造ライ
ンの歩留まり低下を防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施の形態を示した欠陥画像表示／分類機能
【図２】本発明の一実施の形態を示したシステム構成図
【図３】本発明の一実施の形態を示した分類作業処理フロー
【図４】本発明の一実施の形態における分類前のデータ例
【図５】本発明の一実施の形態における分類前の表示画面例
【図６】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図７】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図８】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図９】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図１０】本発明の一実施の形態における分類後の表示画面例
【図１１】本発明の一実施の形態における分類後のデータ例
【図１２】本発明の一実施の形態を示した分類作業処理フロー
【図１３】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図１４】本発明の一実施の形態における自動分類に用いる関数を表わした図
【図１５】本発明の一実施の形態における分類中の表示画面例
【図１６】本発明の一実施の形態における欠陥分類結果解析機能
【符号の説明】
【００４２】
１０１・・・表示画面、１０２、５０１・・・未分類画像、１０３〜１０６・・・代表
欠陥表示エリア、１０７・・・処理用ボタン、１５１・・・未分類画像表示エリア、１５
２〜１５５・・・分類画像表示エリア、２０１・・・検査／撮像装置、２０２・・・記憶
装置、２０３・・・表示／解析装置、２０５・・・統括コンピュータ、２１０・・・ネッ
トワーク、５０１・・・欠陥画像、１６０１・・・ウェハマップ、１６０２、１６０３・
・・欠陥画像、撮像条件等表示エリア、１６０４・・・分類結果表示エリア。