(57)【要約】【課題】  ウィンドウの汚染が、より生じにくいレーザ発振器を提供することである。【解決手段】  レーザ媒質ガスを収容するベッセルに、フロントウィンドウホルダ及びリアウィンドウホルダが取り付けられている。フロント及びリアウィンドウホルダの先端の開口部を、フロント及びリアウィンドウが塞ぐ。一対の反射鏡を有する光共振器の、フロントウィンドウ側の反射鏡が部分透過鏡とされ、リアウィンドウ側の反射鏡が全反射鏡とされている。ベッセル内からレーザ媒質ガスを取り出し、フロントウィンドウホルダ内の空間及び前記リアウィンドウホルダ内の空間に戻すガス循環流路が取り付けられている。清浄化装置が、ガス循環流路内を流れるレーザ媒質ガス中の不純物を除去する。フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量が、リアウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量よりも大きくなるように、流量比調整器が流量比を調整する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にレーザ媒質ガスを収容するベッセルであって、該ベッセルの壁の、相互に対向する位置に一対の開口部が形成されたベッセルと、
前記開口部の一方を塞ぎ、前記ベッセルの壁面から外側に向かって延びる筒状のフロントウィンドウホルダと、
前記フロントウィンドウホルダの先端を塞ぎ、前記ベッセル内で発生したレーザ光を透過させるフロントウィンドウと、
前記開口部の他方を塞ぎ、前記ベッセルの壁面から外側に向かって延びる筒状のリアウィンドウホルダと、
前記リアウィンドウホルダの先端を塞ぎ、前記ベッセル内で発生したレーザ光を透過させるリアウィンドウと、
前記フロントウィンドウと交差し、前記ベッセル内を通過して、前記リアウィンドウと交差する往復経路を画定する一対の反射鏡を含む光共振器であって、前記フロントウィンドウ側の反射鏡が部分透過鏡とされ、前記リアウィンドウ側の反射鏡が全反射鏡とされている光共振器と、
前記ベッセル内からレーザ媒質ガスを取り出し、前記フロントウィンドウホルダ内の空間及び前記リアウィンドウホルダ内の空間に戻すガス循環流路と、
前記ガス循環流路内を流れるレーザ媒質ガス中の不純物を除去する清浄化装置と、
前記フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量が、前記リアウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量よりも大きくなるように、前記ガス循環流路を流れるレーザ媒質ガスの流量比を調整する流量比調整器と
を有するレーザ発振器。
【請求項２】
前記ガス循環流路は、前記フロントウィンドウ及びリアウィンドウに、内側からレーザ媒質ガスを吹き付けるように、前記フロントウィンドウホルダ及びリアウィンドウホルダ内の空間にレーザ媒質ガスを導入する請求項１に記載のレーザ発振器。
【請求項３】
前記ガス循環流路は、前記ベッセルの壁面に開口し、該ベッセル内のレーザ媒質ガスを取り出すベッセル側ガス流路と、該ベッセル側ガス流路を流れたレーザ媒質ガスの一部を前記フロントウィンドウホルダ内の空間まで導くフロント側ガス流路と、該ベッセル側ガス流路を流れたレーザ媒質ガスの一部を前記リアウィンドウホルダ内の空間まで導くリア側ガス流路とを含み、前記清浄化装置が前記ベッセル側ガス流路に取り付けられており、該ベッセル側ガス流路を流れるレーザ媒質ガスを清浄化し、清浄化されたレーザ媒質ガスが前記フロント側ガス流路及びリア側ガス流路に流入する請求項１または２に記載のレーザ発振器。
【請求項４】
前記流量比調整器が、前記リア側ガス流路内に配置された流体抵抗器を含む請求項３に記載のレーザ発振器。
【請求項５】
さらに、前記フロントウィンドウの温度を測定する温度計と、
前記温度計による温度の測定結果に基づいて、前記フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量と前記リアウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量との比を変化させる制御装置と
を有する請求項１〜４のいずれかに記載のレーザ発振器。
【請求項６】
内部にレーザ媒質ガスを収容するベッセルであって、該ベッセルの壁の、相互に対向する位置に一対の開口部が形成されたベッセルと、
前記開口部の一方を塞ぎ、前記ベッセルの壁面から外側に向かって延びる筒状のフロントウィンドウホルダと、
前記フロントウィンドウホルダの先端を塞ぎ、前記ベッセル内で発生したレーザ光を透過させるフロントウィンドウと、
前記開口部の他方を塞ぎ、前記ベッセルの壁面から外側に向かって延びる筒状のリアウィンドウホルダと、
前記リアウィンドウホルダの先端を塞ぎ、前記ベッセル内で発生したレーザ光を透過させるリアウィンドウと、
前記フロントウィンドウと交差し、前記ベッセル内を通過して、前記リアウィンドウと交差する往復経路を画定する一対の反射鏡を含む光共振器であって、前記フロントウィンドウ側の反射鏡が部分透過鏡とされ、前記リアウィンドウ側の反射鏡が全反射鏡とされている光共振器と、
前記ベッセル内からレーザ媒質ガスを取り出し、前記フロントウィンドウホルダ内の空間及び前記リアウィンドウホルダ内の空間に戻すガス循環流路と、
前記ガス循環流路内を流れるレーザ媒質ガス中の不純物を除去する清浄化装置と、
前記フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量が、前記リアウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量よりも大きくなるように、前記ガス循環流路を流れるレーザ媒質ガスの流量比を調整する流量比調整器と
を有するレーザ発振器の運転方法であって、
前記フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量を、前記リアウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量で除した値が７／３以上になるように、前記ガス循環流路にレーザ媒質ガスを流しながらレーザ発振を行うレーザ発振器の運転方法。
【請求項７】
前記フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量を５０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）以上にする請求項６に記載のレーザ発振器の運転方法。
【請求項８】
さらに、前記フロントウィンドウの温度を測定する工程と、
測定された前記フロントウィンドウの温度に基づいて、前記フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量と、前記リアウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量との比を変化させる工程と
を有する請求項６または７に記載のレーザ発振器の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ発振器及びその運転方法に関し、特にレーザ媒質ガスを循環させてガスの清浄化を行うレーザ発振器及びその運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エキシマレーザは、その性質上、連続運転中に、レーザ媒質ガスの劣化及びウィンドウの汚染によって光出力が低下する。出力の低下を抑制するために、通常数十時間おきにレーザ媒質ガスの交換とウィンドウの清掃を行う必要がある。
【０００３】
下記の特許文献１に、レーザ媒質ガスの劣化とウィンドウの汚染を抑制することができるレーザ発振器が開示されている。
図６に、特許文献１に開示されたレーザ発振器の概略図を示す。ベッセル１００内にレーザ媒質ガスが充填されている。ベッセル１００の相互に対向する壁に、それぞれ筒状のウィンドウホルダ１０１が取り付けられている。ウィンドウホルダ１０１内の空間はベッセル１００内の空間に連通しており、ウィンドウホルダ１０１内の空間にもレーザ媒質ガスが充填される。ウィンドウホルダ１０１の各々の先端が、ウィンドウ１０２で気密に塞がれている。
【０００４】
ウィンドウホルダ１０１の各々の先端に、ミラーホルダ１０３が取り付けられている。ミラーホルダ１０３の各々は、反射鏡１０４を支持している。一対の反射鏡１０４が光共振器を構成する。
【０００５】
ベッセル１００内の空間が、配管１０５を介して、循環ポンプを内蔵するガスプロセッサ１０６の吸気口に接続されている。ガスプロセッサ１０６の排気口が、配管１０７を経由してフィルタ１０８に接続されている。フィルタ１０８は、配管１０９を経由して、一対のウィンドウホルダ１０１内の空間に、分岐されて接続される。
【０００６】
ベッセル１００内のレーザ媒質ガスが配管１０５を経由してガスプロセッサ１０６に吸引される。ガスプロセッサ１０６は、レーザ媒質ガス中のガス状不純物を取り除く。ガスプロセッサ１０６を経たレーザ媒質ガスは、配管１０７を経由してフィルタ１０８に導入される。フィルタ１０８は、レーザ媒質ガス中の粒子状の不純物を取り除く。浄化されたレーザ媒質ガスが、配管１０９を経由して、ウィンドウホルダ１０１内の空間に戻される。
【０００７】
ウィンドウホルダ１０１内に導入されたレーザ媒質ガスは、層流になってウィンドウ１０２の内側の表面に沿って流れる。ウィンドウ１０２の内側の表面近傍に、常に浄化されたレーザ媒質ガスが供給されるため、ウィンドウ１０２の汚染を抑制することができる。このため、ウィンドウ１０２を洗浄する周期を長くすることができる。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−３４０８６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ウィンドウの洗浄の周期をより長くする技術が望まれている。本発明の目的は、ウィンドウの汚染が、より生じにくいレーザ発振器及びその運転方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一観点によれば、内部にレーザ媒質ガスを収容するベッセルであって、該ベッセルの壁の、相互に対向する位置に一対の開口部が形成されたベッセルと、前記開口部の一方を塞ぎ、前記ベッセルの壁面から外側に向かって延びる筒状のフロントウィンドウホルダと、前記フロントウィンドウホルダの先端を塞ぎ、前記ベッセル内で発生したレーザ光を透過させるフロントウィンドウと、前記開口部の他方を塞ぎ、前記ベッセルの壁面から外側に向かって延びる筒状のリアウィンドウホルダと、前記リアウィンドウホルダの先端を塞ぎ、前記ベッセル内で発生したレーザ光を透過させるリアウィンドウと、前記フロントウィンドウと交差し、前記ベッセル内を通過して、前記リアウィンドウと交差する往復経路を画定する一対の反射鏡を含む光共振器であって、前記フロントウィンドウ側の反射鏡が部分透過鏡とされ、前記リアウィンドウ側の反射鏡が全反射鏡とされている光共振器と、前記ベッセル内からレーザ媒質ガスを取り出し、前記フロントウィンドウホルダ内の空間及び前記リアウィンドウホルダ内の空間に戻すガス循環流路と、前記ガス循環流路内を流れるレーザ媒質ガス中の不純物を除去する清浄化装置と、前記フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量が、前記リアウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量よりも大きくなるように、前記ガス循環流路を流れるレーザ媒質ガスの流量比を調整する流量比調整器とを有するレーザ発振器が提供される。
【００１１】
本発明の他の観点によると、上記レーザ発振器の運転方法であって、前記フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量を、前記リアウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量で除した値が７／３以上になるように、前記ガス循環流路にレーザ媒質ガスを流しながらレーザ発振を行うレーザ発振器の運転方法が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
フロントウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量を、リアウィンドウホルダ内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量よりも大きくすることにより、ウィンドウの洗浄を行う周期を長くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１に、第１の実施例によるエキシマレーザ発振器の概略図を示す。ベッセル１内にレーザ媒質ガスが充填されている。ベッセル１の壁の相互に対向する位置に、一対の開口１Ａ及び１Ｂが形成されている。筒状のフロントウィンドウホルダ２が、一方の開口１Ａを塞ぎ、ベッセル１の壁面から外側に向かって延びる。筒状のリアウィンドウホルダ３が、他方の開口１Ｂを塞ぎ、ベッセル１の壁面から外側に向かって延びる。フロントウィンドウホルダ２及びリアウィンドウホルダ３内の空間は、開口１Ａ及び１Ｂを介してベッセル１内の空間に連通する。
【００１４】
フロントウィンドウ４が、フロントウィンドウホルダ２の先端の開口部を気密に塞ぎ、リアウィンドウ５が、リアウィンドウホルダ３の先端の開口部を気密に塞ぐ。フロントウィンドウ４及びリアウィンドウ５は、ベッセル１内で発生したレーザ光を透過させる材料で形成されている。
【００１５】
フロントウィンドウホルダ２の先端に、フロントミラーホルダ６が取り付けられ、リアウィンドウホルダ３の先端に、リアミラーホルダ７が取り付けられている。フロントミラーホルダ６及びリアミラーホルダ７が、それぞれフロントミラー８及びリアミラー９を支持している。フロントミラー８及びリアミラー９は、光共振器を構成する。この光共振器により、フロントウィンドウ４と交差し、ベッセル１内を通過して、リアウィンドウ５と交差する光の往復経路が形成される。
【００１６】
フロントミラー８は、レーザ光の一部を透過させる部分透過鏡であり、その反射率は、例えば３０％である。リアミラー９は、レーザ光を反射する全反射鏡である。ベッセル１内に、一対の放電電極１０が収容されている。一対の放電電極１０は、光共振器内の往復経路を挟んで相互に対向するように配置されている。光共振器内で発生したレーザ光が、フロントミラー８を透過して外部に取り出される。
【００１７】
ベッセル側ガス流路１５の一端が、ベッセル１の壁面に接続されている。ベッセル側ガス流路１５の他端に、フロント側ガス流路１６の一端、及びリア側ガス流路１７の一端が接続されている。フロント側ガス流路１６の他端は、フロントウィンドウホルダ２の壁面に接続され、リア側ガス流路１７の他端は、リアウィンドウホルダ３の壁面に接続されている。ベッセル側ガス流路１５及びフロント側ガス流路１６により、ベッセル１内のレーザ媒質ガスを取り出し、フロントウィンドウホルダ２内の空間に戻すガス循環流路が構成され、ベッセル側ガス流路１５及びリア側ガス流路１７により、ベッセル１内のレーザ媒質ガスを取り出し、リアウィンドウホルダ３内の空間に戻すガス循環流路が構成される。
【００１８】
ベッセル側ガス流路１５に、循環ポンプ２０及び清浄化装置２１が挿入されている。清浄化装置２１は、例えばコールドトラップ及びフィルタを含む。コールドトラップは、レーザ媒質ガス中の不純物ガスを除去し、フィルタは、粒子状の異物を除去する。フロント側ガス流路１６に、流量調整バルブ２２及び流量計２３が挿入され、リア側ガス流路１７に、流量調整バルブ２４及び流量計２５が挿入されている。
【００１９】
制御装置３０が、循環ポンプ２０、流量調整バルブ２２及び２４を制御する。温度計３１がフロントウィンドウ４の温度を測定し、他の温度計３２がリアウィンドウ５の温度を測定する。温度計３１及び３２の測定結果が、制御装置３０に入力される。制御装置３０は、フロントウィンドウホルダ２内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量が、リアウィンドウホルダ３内の空間に流入するレーザ媒質ガスの流量よりも大きくなるように、流量調整バルブ２２及び２４を制御する。
【００２０】
図２に、フロントウィンドウホルダ２及びその取り付け部分の詳細な断面図を示す。リアウィンドウホルダ３及びその取り付け部分も、同様の構造を有する。
ベッセル１の壁面の、開口１Ａが形成された部分に、ゲートバルブ１１を介して、フロントウィンドウホルダ２が気密に取り付けられている。ゲートバルブ１１を閉じることにより、ベッセル１内の気密性を維持したまま、フロントウィンドウホルダ２を取り外すことができる。
【００２１】
フロントウィンドウホルダ２の側面にフロント側ガス流路１７が接続されている。フロント側ガス流路１７は、フロントウィンドウホルダ２の壁面を貫通するガス流路２Ａを介して、フロントウィンドウホルダ２内の空間に連通している。フロントウィンドウ４が、フレーム４Ａに支持されている。フレーム４Ａが、フロントウィンドウホルダ２の先端の開口部に取り付けられている。フロントウィンドウ４及びフレーム４Ａが、フロントウィンドウホルダ２の開口部を気密に塞いでいる。
【００２２】
ガス流路２Ａは、フロント側ガス流路１７からフロントウィンドウホルダ２内の空間に流入するレーザ媒質ガスが、フロントウィンドウ２の内側の表面に吹き付けられるような構成とされている。
【００２３】
図３に、図１に示したレーザ発振器を、実施例及び比較例による運転方法で運転した場合の、運転時間と、ウィンドウ汚染に起因する累積故障率との関係を示す。ウィンドウ汚染に起因して、ガス交換やウィンドウ洗浄が必要になる。図３では、ガス交換やウィンドウ洗浄が必要になった状態を、広い意味で「故障」と表現している。図３の横軸は運転時間を対数目盛で表し、縦軸は累積故障率を表す。図３のグラフ中の実線ａ及びｂは、それぞれ実施例による運転方法及び比較例による運転方法で運転した場合の累積故障率を示す。
【００２４】
実施例による運転方法においては、フロントウィンドウホルダ２内へ流入するレーザ媒質ガスの流量（以下、単に「フロント側の流量」と呼ぶ。）を５０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）とし、リアウィンドウホルダ３内へ流入するレーザ媒質ガスの流量（以下、単に「リア側の流量」と呼ぶ。）を２０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）とした。比較例においては、フロント側の流量及びリア側の流量を、共に３５Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）とした。
【００２５】
図３に示すように、実施例による運転方法で運転すると、ウィンドウ清掃が必要になるまでの時間が長くなることがわかる。より具体的には、実施例の運転方法を採用することにより、比較例の運転方法に比べて、ウィンドウ清掃が必要になるまでの時間を約２倍にすることができた。
【００２６】
レーザ媒質ガスの総流量が等しいとき、実施例のように、フロント側の流量を、リア側の流量よりも多くすることにより、ウィンドウ清掃までの寿命を長くすることができる。以下、その理由について考察する。
【００２７】
ベッセル１内の不純物が、光共振器に閉じ込められているレーザ光によって光化学反応を生じ、ウィンドウが汚染されると考えられる。光共振器に閉じ込められているレーザ光の強度は、フロント側の方がリア側よりも強い。このため、フロントウィンドウの近傍で光化学反応が生じやすくなり、フロントウィンドウの方が汚染されやすいと考えられる。汚染されやすいフロントウィンドウの方に、清浄化されたレーザ媒質ガスを多く流すことにより、フロントウィンドウの汚染を抑制し、寿命を延ばすことが可能になる。
【００２８】
すなわち、フロント側の流量が、寿命に大きく影響していると考えられる。フロント側の流量を、実施例の場合と同じ５０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）とし、リア側の流量も同じく５０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）としても、実施例の運転方法と同程度の寿命が得られるであろう。ところが、この場合には、ガスの総流量が１００Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）になってしまう。これに対し、実施例による運転方法の場合には、ガスの総流量が７０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）である。フロント側とリア側との流量を共に５０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）にするためには、実施例による運転方法に比べて、より大容量の循環ポンプを使用しなければならない。逆に、上記実施例による運転方法を採用することにより、最大流量７０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）程度の小型の循環ポンプを用いても、最大流量１００Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）程度の大型の循環ポンプを用いる場合と同程度の効果を得ることができる。
【００２９】
発明者らの評価実験によると、フロント側の流量を５０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）以上にすることが好ましい。また、リア側の流量は、少なくとも１０Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）とすることが好ましい。また、フロント側の流量をリア側の流量よりも多くすることの有意な効果を得るためには、フロント側の流量を、リア側の流量で除した値が７／３以上になるように、流量比を調整することが好ましい。
【００３０】
レーザ発振器の運転初期段階においては、レーザ媒質ガス中の不純物が少ないため、ウィンドウの汚染が緩やかに進む。レーザ媒質ガス中の不純物が多くなると、ウィンドウの汚染速度が速くなる。ウィンドウが汚染されると、レーザ光の吸収量が多くなって、ウィンドウの温度が上昇する。このため、ウィンドウの温度上昇の傾向を観測することにより、ウィンドウの汚染の程度を知ることができる。
【００３１】
ウィンドウの温度の上昇の度合いを観測し、その度合いに応じて、フロント側の流量、リア側の流量、及び総流量を変化させてもよい。例えば、レーザ媒質ガス中の不純物が少ない運転初期段階においては、ガスの総流量を少なくしてもよい。総流量を少なくすることにより、循環ポンプの電力消費量を抑制することができる。また、フロントウィンドウとリアウィンドウとの温度上昇の度合いを比較し、温度上昇の急激な方のウィンドウホルダ内の空間へ流入するガス流量を相対的に多くしてもよい。
【００３２】
図４に、第２の実施例によるレーザ発振器の概略図を示す。以下、第１の実施例によるレーザ発振器との相違点に着目して説明する。第１の実施例によるレーザ発振器の流量調整バルブ２２及び２４の代わりに、リア側ガス流路１７に、流体抵抗器４０が挿入されている。流体抵抗器４０は、例えばオリフィス、局所的に流路断面を縮小した部分、または曲率半径の極小さな湾曲部分等により構成される。
【００３３】
リア側ガス流路１７に流体抵抗器４０を挿入することにより、フロント側の流量をリア側の流量よりも多くすることができる。なお、種々の流体抵抗を持つ複数の流体抵抗器４０を準備しておけば、複数の流体抵抗器４０の中から、フロント側とリア側との流量比が最適になる流体抵抗を持つものを選択することが可能になる。最適な流体抵抗を持つ流体抵抗器４０を選択した後は、流量計２３及び２５を取り外してもよい。
【００３４】
図５に、第３の実施例によるレーザ発振器の概略図を示す。以下、第１の実施例によるレーザ発振器との相違点に着目して説明する。第１の実施例では、ベッセル側ガス流路１５が、フロント側のガス循環流路とリア側のガス循環流路とで共有されていた。第３の実施例では、フロント側のガス循環流路４５とリア側のガス循環流路４６とが独立している。
【００３５】
フロント側のガス循環流路４５に、循環ポンプ４７、清浄化装置４９、及び流量計２３が挿入されている。リア側のガス循環流路４６に、循環ポンプ４８、清浄化装置５０、及び流量計２５が挿入されている。循環ポンプ４７及び４８の流量を制御することにより、フロント側とリア側の流量比を調節することができる。リア側の流量は、フロント側の流量よりも少なくてよいため、リア側の循環ポンプ４８は、フロント側の循環ポンプ４７よりも小容量のものを使用することができる。
【００３６】
フロント側とリア側との流量比調整器として、上記第１の実施例では、２つの流量調節バルブ２２、２４を用い、第２の実施例では、流体抵抗器４０を用い、第３の実施例では、２台の循環ポンプ４７、４８を用いた。これらの流量比調整器に代えて、２本のガス流路を流れるガスの流量比を調節することができるその他の流量比調整器を用いてもよい。
【００３７】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】第１の実施例によるレーザ発振器の概略図である。
【図２】ウィンドウホルダ及びその取り付け部分の断面図である。
【図３】実施例によるレーザ発振器の運転方法で運転した場合の累積故障確率を、比較例による運転方法で運転した場合の累積故障確率と対比して示すグラフです。
【図４】第２の実施例によるレーザ発振器の概略図である。
【図５】第３の実施例によるレーザ発振器の概略図である。
【図６】従来のレーザ発振器の概略図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  ベッセル
２  フロントウィンドウホルダ
３  リアウィンドウホルダ
４  フロントウィンドウ
５  リアウィンドウ
６  フロントミラーホルダ
７  リアミラーホルダ
８  フロントミラー
９  リアミラー
１０  放電電極
１１  ゲートバルブ
１５  ベッセル側ガス流路
１６  フロント側ガス流路
１７  リア側ガス流路
２０、４７、４８  循環ポンプ
２１、４９、５０  清浄化装置
２２、２４  流量調節バルブ
２３、２５  流量計
３０  制御装置
３１、３２  温度計
４０  流体抵抗器
４５  フロント側ガス循環流路
４６  リア側ガス循環流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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