(57)【要約】【課題】  探傷コイルのリフトオフばらつきを小さくして感度バラツキの増大を抑え、検査精度を向上することができる渦流探傷マルチコイル式プローブ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】  導線を巻回してなる複数の探傷コイル８と、検査対象面Ｔ１への対向面１０ａを有してこの対向面１０ａへ探傷コイル８の端面を向けた状態で探傷コイル８をそれぞれ支持するコイルホルダ１０と検査対象面Ｔ１と接するコーティング層１１とを有する保持部１２と、保持部１２を支持するハウジング１３とを備えている。コイルホルダ１０は、熱可塑性樹脂、例えば、ポリカーボネイトからなるベース樹脂に、例えば、ガラスファイバーといった無機フィラー（ガラス状部材）を２０％充填したものからなる。ガラスファイバーが２０％充填されたポリカーボネイトの熱膨張係数は、ハウジング１３の材質であるアルミニウムの熱膨張係数と略同一の値とされている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導線を巻回してなる複数の探傷コイルと、
検査対象面への対向面を有して該対向面へ前記探傷コイルの端面を向けた状態で前記探傷コイルをそれぞれ支持するコイルホルダを有する保持部と、
該保持部を支持するハウジングとを備え、
前記コイルホルダの熱膨張係数と、前記ハウジングの熱膨張係数とが、略同一とされていることを特徴とする渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項２】
前記コイルホルダが、無機フィラーを有する樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項３】
前記樹脂が熱可塑性樹脂とされ、前記無機フィラーがガラス状部材とされていることを特徴とする請求項２に記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項４】
前記樹脂が、前記無機フィラーの充填量によって熱膨張係数を変化可能なエポキシ系樹脂とされていることを特徴とする請求項２に記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項５】
前記保持部が、前記探傷コイルのそれぞれと電気的に接続されるコイル基板を備え、
前記複数の探傷コイルが、前記コイル基板を介して前記コイルホルダに支持され、
前記コイル基板の熱膨張係数と前記コイルホルダの熱膨張係数とが、略同一とされていることを特徴とする請求項１に記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項６】
前記コイルホルダが枠状に形成されて少なくとも一部に弾性を有する充填材が充填され、
前記複数の探傷コイルが、前記充填材を介して前記コイルホルダに支持されていることを特徴とする請求項１に記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項７】
前記充填材が発泡樹脂であることを特徴とする請求項６に記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項８】
前記保持部が、前記検査対象面と接するコーティング層を備え、
該コーティング層の熱膨張係数と前記コイルホルダの熱膨張係数とが略同一とされていることを特徴とする請求項１から７の何れか一つに記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項９】
前記コーティング層が、弾性を有していることを特徴とする請求項１から７の何れか一つに記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項１０】
前記ハウジングが、互いに略Ｌ字状に形成された第一ハウジングと第二ハウジングとを有し、前記保持部を前記検査対象面側に配して略矩形枠状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項１１】
前記保持部に、前記探傷コイルの配設位置を示す指標部が配されていることを特徴とする請求項１に記載の渦流探傷マルチコイル式プローブ。
【請求項１２】
導線を巻回してなる複数の探傷コイルを支持する収容孔と、検査対象面と接触するコーティング層が充填される凹部とを備えるコイルホルダの成形工程と、
前記複数の探傷コイル内にそれぞれ挿通可能な軸部が立設された第一ベース部上に、前記軸部が貫通可能な貫通孔が配された第二ベース部を前記貫通孔に前記軸部を挿通しながら接続して前記コイルホルダを前記第二ベース部上に載置する工程と、
前記軸部に前記複数の探傷コイルを挿通する工程と、
前記探傷コイルを前記コイルホルダに固定する工程と、
前記コイルホルダを前記第二ベース部から取り外して前記凹部に前記コーティング層を充填する工程と、
前記コイルホルダと略同一の熱膨張係数を有するハウジング部に前記コイルホルダを取り付ける工程とを備えていることを特徴とする渦流探傷マルチコイル式プローブの製造方法。
【請求項１３】
導線を巻回してなる複数の探傷コイル内にそれぞれ挿通可能な軸部が立設された第一ベース部上に、前記軸部が貫通可能な貫通孔が配された第二ベース部を前記貫通孔に前記軸部を挿通しながら接続し、前記第二ベース上に前記探傷コイルを支持する収容孔を備えるホルダ基板を載置する工程と、
前記軸部に前記複数の探傷コイルを挿通する工程と、
前記探傷コイルを前記コイル基板に固定する工程と、
検査対象面と接触するコーティング層が充填される凹部を形成させて前記コイル基板を該コイル基板と略同一の熱膨張係数を有するコイルホルダに固定する工程と、
前記コイルホルダを前記第二ベース部から取り外して前記凹部に前記コーティング層を充填する工程と、
前記コイルホルダと略同一の熱膨張係数を有するハウジング部に前記コイルホルダを取り付ける工程とを備えていることを特徴とする渦流探傷マルチコイル式プローブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鉄鋼、非鉄材料の製造時における検査及び熱交換器の細管などの各種プラントにおける保守検査、航空機の保守検査等の非破壊検査に用いる渦流探傷プローブ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
渦流探傷プローブによる試験体の探傷の基本原理は、励磁コイルにより検査対象面となる試験体表面に渦電流を発生させて、この渦電流の影響による検出コイルのインビーダンス変化を監視することにより傷を検出するものである。つまり、試験体表面に傷があるとこの傷が試験体表面に発生した渦電流に高影響を及ぼす。この渦電流の変化は、探傷コイルに生じるインピーダンスにも影響を及ぼし、従って探傷コイルのインピーダンスの変化を監視することで、試験体の傷を検出できる。
【０００３】
このような渦流探傷プローブにて効率よく探傷を行うために、上述の探傷コイルを、例えば、試験体の幅方向に、複数、列状に並べて構成される渦流探傷マルチコイル式プローブが提案されている。この渦流探傷マルチコイル式プローブによれば、幅広な平板状の試験体表面であっても、一度に比較的広い範囲で探傷を行うことができる。
【０００４】
一般的な渦流探傷マルチコイル式プローブの構成について図２０から図２４、及び、表１から表３を用いて説明する。
通常、渦流探傷マルチコイル式プローブ１００は、図２０及び図２１に示すように、ハウジング１０１、複数の探傷コイル１０２、複数の探傷コイル１０２が埋め込まれたコイルホルダ１０３を有する保持部１０５、マルチプレクサ基板１０６、ケーブル１０７とを備えており、ハウジング１０１と保持部１０５との間の４点を図示しないビスにより締め付けて両者を固定している。
このような渦流探傷マルチコイル式プローブ１００を使用する場所は、機械の運転などのために温度変化が発生する場合が多く、プローブの温度が変化する。またプローブ自体に内蔵されているマルチプレクサ基板１０６や探傷コイル１０２の発熱によりプローブの温度が変化する。
【０００５】
この際、ハウジング１０１と保持部１０５を構成するコイルホルダ１０３の熱膨張係数が異なる場合には、図２２（ａ）に示すように、ハウジング１０１と保持部１０５（コイルホルダ１０３）との熱による伸び量が異なる。従って、保持部１０５（コイルホルダ１０３）がハウジング１０１に固定されているため、保持部１０５（コイルホルダ１０３）の伸びがハウジング１０１により規制をされて圧縮荷重をうける。この荷重により保持部１０５（コイルホルダ１０３）が、図２２（ｂ）に示すように撓んでしまう。
【０００６】
保持部１０５（コイルホルダ１０３）が撓んでしまうと、図２３に示すように、検査対象面Ｔ１と対向する保持部１０５（コイルホルダ１０３）の対向面１０３ａの両端部と検査対象面Ｔ１との距離が広くなり、結果として図中に示すＸ方向両端部に近いほど、探傷コイル１０２と検査対象面Ｔ１との距離（以降リフトオフと呼ぶ）が広くなる。
ここで、探傷コイル１０２のリフトオフと探傷感度低下のシミュレーション結果を図２４に示す（計算に使用したパラメータ・条件は表１参照。）。このように探傷コイル１０２のリフトオフが大きくなるほど探傷感度が低下する。
【０００７】
【表１】
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【０００８】
このように、プローブ温度が上昇すると保持部１０５（コイルホルダ１０３）が撓み、探傷感度が渦流探傷マルチコイル式プローブ１００の両端に近いほど低下する。言い換えれば、表３に示すように、温度が上昇するほど渦流探傷マルチコイル式プローブ１００のチャンネル間の探傷感度ばらつきが大きくなってしまい（計算条件は表２参照）、傷の検出を正確に行えない。
なお上記の説明では、ハウジング材質をアルミニウムとして、感度バラツキの算出を行っている。
【０００９】
【表２】
2006189364.tif 000004
【表３】
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【００１０】
このような感度バラツキを抑えるために、可撓性を有するフィルム基板の表面に複数の探傷コイルパターンを印刷配線により形成した渦流探傷マルチコイル式プローブが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
このプローブは、表面に探傷コイルパターンが形成されたプリント基板が、プローブ本体に装着されている。この構成の場合、温度変化があったとしてもフレキシブルコイルがプローブの熱変形に追従するため、撓みは発生せず、撓みによる探傷感度ばらつきの増大を抑えることができる。
【００１１】
また、距離センサからの距離信号に基づいて探傷コイルの探傷信号の補正を行いリフトオフの影響をなくすよう構成されている渦流探傷マルチコイル式プローブが提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
このプローブによれば、距離が変動しても信号を補正することによって、撓みによる探傷感度ばらつきの増大を抑えることができる。
【００１２】
しかしながら、上記特許文献１に記載の技術の場合、プリント基板の表面に探傷コイルパターンを形成するため、導線を巻回するタイプの探傷コイルと比較して、検査対象の表面形状や材質に応じた設計変更が困難である。そして、プリント基板に探傷コイルパターンをエッチングなどにより形成するためには、探傷コイルの設計変更を行う毎に上記パターン用の型を作成する必要があるため、渦流探傷マルチコイル式プローブの製造コストが増加するという問題がある。
【００１３】
また、プリント基板に探傷コイルのパターンを形成する場合には、コイル形状やコイルの巻数の自由度が小さいために、分解能が高く、高い感度を有する探傷コイルを形成することが困難である。さらに、プリント基板を利用した構成の場合には、相互に隣り合う探傷コイルパターンの影響によってノイズが発生する可能性がある。
【００１４】
また、特許文献２に記載の技術の場合、距離センサーを備えているため、渦流探傷マルチコイル式プローブを構成する部材点数が多くなり、その製造コストが高くなるという問題がある。
【特許文献１】特開平９−３３４８８号公報
【特許文献２】特開２００１−５６３１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、探傷コイルのリフトオフばらつきを小さくして感度バラツキの増大を抑え、検査精度を向上することができる渦流探傷マルチコイル式プローブ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するため、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、導線を巻回してなる複数の探傷コイルと、検査対象面への対向面を有して該対向面へ前記探傷コイルの端面を向けた状態で前記探傷コイルをそれぞれ支持するコイルホルダを有する保持部と、該保持部を支持するハウジングとを備え、前記コイルホルダの熱膨張係数と、前記ハウジングの熱膨張係数とが、略同一とされていることを特徴とする。
【００１７】
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、環境温度が上昇またはプローブ自体の発熱によりプローブ温度が上昇した場合であっても、コイルホルダとハウジングとが略同一の温度変化をするため、コイルホルダの撓みを抑えることができる。
【００１８】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記コイルホルダが、無機フィラーを有する樹脂からなることを特徴とする。
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、ベースとなる樹脂の種類とその樹脂に添加する無機フィラーの種類及び充填量に応じて、ハウジングと略同一の熱膨張係数を有するコイルホルダを得ることができる。
【００１９】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記樹脂が熱可塑性樹脂とされ、前記無機フィラーがガラス状部材とされていることを特徴とする。
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、好適な熱膨張係数をより容易に得ることができる。
【００２０】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記樹脂が、前記無機フィラーの充填量によって熱膨張係数を変化可能なエポキシ系樹脂とされていることを特徴とする。
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、ベースとなる樹脂に添加する無機フィラーの充填量に応じて、ハウジングと略同一の熱膨張係数を有するコイルホルダを得ることができる。
【００２１】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記保持部が、前記探傷コイルのそれぞれと電気的に接続されるコイル基板を備え、前記複数の探傷コイルが、前記コイル基板を介して前記コイルホルダに支持され、前記コイル基板の熱膨張係数と前記コイルホルダの熱膨張係数とが、略同一とされていることを特徴とする。
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、コイル基板に探傷コイルを支持することによって、作業性をより向上することができる。
【００２２】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記コイルホルダが枠状に形成されて少なくとも一部に弾性を有する充填材が充填され、前記複数の探傷コイルが、前記充填材を介して前記コイルホルダに支持されていることを特徴とする。
【００２３】
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、環境温度が上昇またはプローブ自体の発熱によりプローブ温度が上昇した場合、コイルホルダとハウジングとの間で熱変形量の差が生じたとしても、充填材が弾性変形することによって上記変形量を吸収することができる。また、探傷コイルの配置や形状が異なる他のタイプの渦流探傷マルチコイル式プローブを製造する場合にコイルホルダを流用でき製造原価を下げることができる。
【００２４】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記充填材が発泡樹脂であることを特徴とする。
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、熱変形量をより好適に吸収することができる。
【００２５】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記保持部が、前記検査対象面と接するコーティング層を備え、該コーティング層の熱膨張係数と前記コイルホルダの熱膨張係数とが略同一とされていることを特徴とする。
【００２６】
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、環境温度が上昇またはプローブ自体の発熱によりプローブ温度が上昇した場合であっても、ハウジングに対するコーティング層又はコイルホルダの撓みを好適に抑えることができる。
【００２７】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記コーティング層が、弾性を有していることを特徴とする。
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、コイルホルダとハウジングとの間で熱変形量の差が生じたとしても、コーティング層が弾性変形することによって上記変形量を吸収することができる。また、探傷コイルの配置や形状が異なる他のタイプの渦流探傷マルチコイル式プローブを製造する場合にコイルホルダを流用でき製造原価を下げることができる。
【００２８】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記ハウジングが、互いに略Ｌ字状に形成された第一ハウジングと第二ハウジングとを有し、前記保持部を前記検査対象面側に配して略矩形枠状に形成されていることを特徴とする。
【００２９】
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、保持部を挟んだ状態で第一ハウジングと第二ハウジングとを接続することによって、ハウジングに対してコイルホルダの位置決めを容易に行うことができる。
【００３０】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブは、前記渦流探傷マルチコイル式プローブであって、前記保持部に、前記探傷コイルの配設位置を示す指標部が配されていることを特徴とする。
この渦流探傷マルチコイル式プローブは、リフトオフの少ない状態で、さらに探傷コイルによる探傷可能範囲内に正確に検査対象面を配することができ、探傷精度をより向上することができる。
【００３１】
本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの製造方法は、導線を巻回してなる複数の探傷コイルを支持する収容孔と、検査対象面と接触するコーティング層が充填される凹部とを備えるコイルホルダの成形工程と、前記複数の探傷コイル内にそれぞれ挿通可能な軸部が立設された第一ベース部上に、前記軸部が貫通可能な貫通孔が配された第二ベース部を前記貫通孔に前記軸部を挿通しながら接続して前記コイルホルダを前記第二ベース部上に載置する工程と、前記軸部に前記複数の探傷コイルを挿通する工程と、前記探傷コイルを前記コイルホルダに固定する工程と、前記コイルホルダを前記第二ベース部から取り外して前記凹部に前記コーティング層を充填する工程と、前記コイルホルダと略同一の熱膨張係数を有するハウジング部に前記コイルホルダを取り付ける工程とを備えていることを特徴とする。
【００３２】
この渦流探傷マルチコイル式プローブの製造方法は、コイルホルダと略同一の熱膨張係数を有するハウジング部にコイルホルダを取り付けるので、環境温度が上昇またはプローブ自体の発熱によりプローブ温度が上昇した場合であっても、コイルホルダとハウジングとの間で略同一の長さ変化を生じさせることができ、コイルホルダの撓みを抑えることができる。
【００３３】
また、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの製造方法は、導線を巻回してなる複数の探傷コイル内にそれぞれ挿通可能な軸部が立設された第一ベース部上に、前記軸部が貫通可能な貫通孔が配された第二ベース部を前記貫通孔に前記軸部を挿通しながら接続し、前記第二ベース上に前記探傷コイルを支持する収容孔を備えるホルダ基板を載置する工程と、前記軸部に前記複数の探傷コイルを挿通する工程と、前記探傷コイルを前記コイル基板に固定する工程と、検査対象面と接触するコーティング層が充填される凹部を形成させて前記コイル基板を該コイル基板と略同一の熱膨張係数を有するコイルホルダに固定する工程と、前記コイルホルダを前記第二ベース部から取り外して前記凹部に前記コーティング層を充填する工程と、前記コイルホルダと略同一の熱膨張係数を有するハウジング部に前記コイルホルダを取り付ける工程とを備えていることを特徴とする。
【００３４】
この渦流探傷マルチコイル式プローブの製造方法は、コイルホルダと略同一の熱膨係数を有するコイル基板に探傷コイルを装着して、コイルホルダ及びコイル基板と略同一の熱膨張係数を有するハウジングにさらに装着するので、環境温度が上昇またはプローブ自体の発熱によりプローブ温度が上昇した場合であっても、コイルホルダとハウジングとの間で略同一の長さ変化を生じさせることができ、コイルホルダの撓みを抑えることができる。
また、コイルホルダのない状態で探傷コイルの装着を行うことができ、広い作業ペースを確保して作業性を向上することができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、探傷コイルのリフトオフばらつきを小さくして感度バラツキの増大を抑え、検査精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
本発明に係る第１の実施形態について、図１から図５を参照して説明する。
本実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブ１は、図１に示すように、図示しない電源回路及び制御部を内蔵する探傷装置本体２とケーブル３を介して接続されて、検査対象面Ｔ１を探傷する渦流探傷装置５を構成している。探傷装置本体２には、電源スイッチなどの各種操作スイッチ６が設けられるとともに、表示装置である液晶モニター７が配されている。
【００３７】
渦流探傷マルチコイル式プローブ１は、図２及び図３に示すように、導線を巻回してなる複数の探傷コイル８と、検査対象面Ｔ１への対向面１０ａを有してこの対向面１０ａへ探傷コイル８の端面８ａを向けた状態で探傷コイル８をそれぞれ支持するコイルホルダ１０と検査対象面Ｔ１と接するコーティング層１１とを有する保持部１２と、保持部１２を支持するハウジング１３と、探傷コイル８のチャンネル切替を行うマルチプレクサ基板１５とを備えている。
【００３８】
各探傷コイル８は、ドーナツ型の空芯コイルとされており、例えばスピンドル型自動巻き線機によって導線が巻回されている。
マルチプレクサ基板１５には、二つのコネクタ１５ａ、１５ｂとが配されている。
探傷コイル８とマルチプレクサ基板１５とは、フレキシブルケーブル１６によって接続されている。フレキシブルケーブル１６の一端はコイル端子を接続するパターン１６ａとされており、他端はマルチプレクサ基板１５とコネクタ１５ａを介して接続されている。
マルチプレクサ基板１５の他端とケーブル３とがコネクタ１５ｂを介して接続されることによって、探傷コイル８は、フレキシブルケーブル１６とマルチプレクサ基板１５とを介してケーブル３と電気的に接続される。
【００３９】
コイルホルダ１０は、熱可塑性樹脂、例えば、ポリカーボネイトからなるベース樹脂に、例えば、ガラスファイバーといった無機フィラー（ガラス状部材）を２０％充填したものからなる。ガラスファイバーが２０％充填されたポリカーボネイトの熱膨張係数は、ハウジング１３の材質であるアルミニウムの熱膨張係数と略同一の値とされている。ここで、コイルホルダ１０の形状は樹脂を加工して作成してもよいし、射出成形などにより成形してもよい。
【００４０】
コイルホルダ１０には、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する略円筒状の収容孔１７が複数形成されており、これら収容孔１７に各々探傷コイル８が収容されている。これら収容孔１７はコイルホルダ１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って、例えば２列に、かつ、各列の収容孔１７がオフセットされて配置されている。なお、各探傷コイル８は、その周縁部を収容孔１７の内周側に接着剤Ｇで固定することによりコイルホルダ１０に対して固定されている。
【００４１】
また、コイルホルダ１０は、対向面１０ａ側からＺ方向上方に向かって幅方向（Ｙ方向）の寸法が漸次大きくなるように形成されている。すなわち、コイルホルダ１０の幅方向の端部には、テーパ状に形成されたテーパ部１８が設けられている。このテーパ部１８は、直線状に形成されるだけでなく、例えば、コイルホルダ１０の側面１０ｂと対向面１０ａとを滑らかに結ぶ略凸状の曲面形状に形成されていてもよい。
コイルホルダ１０には、製造の際に使用する後述の第一ベース部２８に配された位置出しピン３２を貫通可能な位置出し孔１０ｃと長孔１０ｄ（図４（ａ）に図示）と、対向面１０ａ側に形成された断面視略矩形状の凹部１０ｅとが配されている。
【００４２】
コーティング層１１はコイルホルダ１０と略同一の熱膨張係数とされて弾性を有するエポキシ樹脂からなり、コイルホルダ１０の凹部１０ｅに充填されて形成されている。このコーティング層１１の表面１１ａはコイルホルダ１０の対向面１０ａと同一高さとされて共に検査対象面Ｔ１に対向して配されている。なお、コーティング層１１に無機フィラーを混ぜて、より同一の熱膨張係数を有するようにしても構わない。
コイルホルダ１０の両側面部には、複数の探傷コイル８のＸ方向中心部と最外部とが位置する個所に、溝形状のスミ入れ等によるマーキング（指標部）２０が配されている。
【００４３】
ハウジング１３は、例えば、アルミニウムからなる第一ハウジング２１、第二ハウジング２２、ハウジング蓋２３とを備えている。第一ハウジング２１はＬ字状に形成されており、側面には、ケーブル３を挿通するためのＵ字形の切り欠き２１ａと、マルチプレクサ基板１５をとりつける台座２１ｂとが配されている。第一ハウジング２１の切り欠き２１ａには、ケーブル３を固定してカバーするケーブルグランドカバー２５が配されている。
【００４４】
ケーブルグランドカバー２５にはケーブルグランド２６が取り付けられている。ケーブル３の組立てにおいては、ケーブル３がケーブルグランドカバー２５、ケーブルグランド２６に挿入された状態で行うのが好ましい。
第二ハウジング２２は、第一ハウジング２１と略対称のＬ字状に構成されている。
即ち、ハウジング１３は、第一ハウジング２１、第二ハウジング２２を組み合わせることによって、保持部１２を検査対象面Ｔ１側に配して矩形枠状に形成されている。
第一ハウジング２１、第二ハウジング２２、ハウジング蓋２３、保持部１２の各合わせ目には、図示しないＯリングなど防水シーリングを配置して防滴構造とするのが好ましい。
【００４５】
次に、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブ１の製造方法について、図４及び図５を用いて説明する。
この製造方法は、コイルホルダ１０の成形工程（Ｓ０１）と、複数の探傷コイル８内に挿通可能な複数の位置決めピン（軸部）２７が立設された第一ベース部２８上に、位置決めピン２７が貫通可能な貫通孔３０ａと位置決めピン２７とを係合させながら第二ベース部３０を接続してコイルホルダ１０を第二ベース部３０上に載置する工程（Ｓ０２）と、位置決めピン２７に複数の探傷コイル８を挿通する工程（Ｓ０３）と、探傷コイル８をコイルホルダ１０に固定する工程（Ｓ０４）と、コイルホルダ１０を第二ベース部３０から取り外して凹部１０ｅにコーティング層１１を充填する工程（Ｓ０５）と、ハウジング１３にコイルホルダ１０を取り付ける工程（Ｓ０６）とを備えている。
【００４６】
まず、ポリカーボネートに全体重量に対して２０％のガラスファイバーを添加してコイルホルダを作成する。この際、樹脂の機械加工によって、又は、射出成形によって行う。
【００４７】
次に、探傷コイル８を装着する工程（Ｓ０２）に移行する。
ここで、第一ベース部２８と第二ベース部３０とは、組立用の治具として使用されるものとされている。第一ベース部２８はさらに、第二ベース部３０を載置する第一平坦面２８ａと、第二ベース部３０を位置決めするピン３１と、コイルホルダ１０を第一ベース部２８上に固定するためのコイルホルダ１０の位置出しピン３２とを備えている。
【００４８】
位置決めピン２７は、第二ベース部３０の板厚よりも高く、かつ、探傷コイル８を後述する第二平坦面３０ｂに載置したときの高さよりも低くなるように第一平坦面２８ａから突出して図中のＸ方向に二列に並んで配されている。位置決めピン２７の外径は、探傷コイル８の内径より微妙に小さく形成されている。すなわち、例えば、探傷コイル８の内径が１．０８ｍｍの場合には、位置決めピン２７の外径は１．０６ｍｍとされている。
また、位置決めピン２７は、上述したコイルホルダ１０の収容孔１７と同様に、長手方向（Ｘ万向）に沿って２列に、かつ、各列の位置決めピン２７がオフセットする位置に配されている。
【００４９】
第二ベース部３０は、コイルホルダ１０を載置する第二平坦面３０ｂと、貫通孔３０ａと位置出しピン３２を挿通可能な開口部３３ａとが配されて第二平坦面３０ｂから突出する段部３３と、第一ベース部２８よりもＹ方向に突出する把持部３５とを備えている。
貫通孔３０ａは、位置決めピン２７の直経よりも広い幅を有して、位置決めピン２７のＸ方向の各列の長さよりも長く延びて二列に形成されている。
開口部３３ａは、位置出しピン３２の直径よりも広い径を有して配されている。段部３３には探傷コイル８を搭載するための搭載面３３ｂが配されている。
【００５０】
上述のような第一ベース部２８上に、位置決めピン２７を貫通孔３０ａに挿通させ、かつ、位置出しピン３２を開口部３３ａに挿通させながら、ピン３１の間に第二ベース部３０を載置して接着治具３６とする。
【００５１】
上述した接着治具３６に対して本工程では、コイルホルダ１０の対向面１０ａが第二ベース部３０の第二平坦面３０ｂと接触するように、コイルホルダ１０を接着治具３６上に載置する。このとき、接着治具３６の２本の位置出しピン３２に、コイルホルダ１０の位置出し孔１０ｃと長孔１０ｄとをはめ込むことにより、コイルホルダ１０のＸとＹ方向の位置決めを行い、凹部１０ｅと段部３３とを嵌合させる。
【００５２】
次に、探傷コイル８を挿通する工程（Ｓ０３）に移行する。
まず、複数の位置決めピン２７にそれぞれ探傷コイル８を取り付ける。この際、位置決めピン２７が互いにオフセットされて配されているので、各探傷コイル８をそれぞれの位置決めピン２７に取り付けることにより、隣り合う探傷コイル８を等間隔に保持している。
探傷コイル８を搭載するときには、探傷コイル８の端面８ａは、段部３３の搭載面３３ｂに接触するように搭載する。これによって探傷コイル８のＺ方向位置をそろえることになる。このとき、段部３３の高さが凹部１０ｅの深さよりも小さいので、探傷コイル８の端面８ａが凹部１０ｅ内に突出する位置に配される。
この状態において探傷コイル８及びコイルホルダ１０が共に接着治具３６に固定されるため、探傷コイル８とコイルホルダ１０との相対的な位置が決定される。
【００５３】
そして、探傷コイル８をコイルホルダ１０に固定する工程（Ｓ０４）に移行する。
ここでは、接着剤Ｇによって固定する。
ここで使用する接着剤Ｇとしては、例えば、ＵＶ接着剤（ワールドロック８４６３（協立）、ワールドロック８４０３（協立）、ワールドロック８１３０（協立）ワールドロック８８４０（協立）、８３６ＴＮＳ（協立）、３２６ＵＶＢＬＵＥ（ロックタイト））、瞬間接着剤（アロンα（セメダイン））エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコン系接着剤などが挙げられる。
【００５４】
接着の際には各探傷コイル８を搭載面３３ｂに押し付けながら、かつ、コイルホルダ１０を第二平坦面３０ｂに押し付けながら行うのが好ましい。これにより、Ｚ方向に関して複数ある探傷コイル８の端面８ａの位置を確実に揃えることができる。
なお、この製造の際には、探傷コイル８を位置決めピン２７に取り付けた後に、コイルホルダ１０を接着治具３６に載置しても構わない。
【００５５】
次に、コーティング層１１を充填する工程（Ｓ０５）に移行する。
ここでは、まず、第二ベース部３０とコイルホルダ１０とを取り付けた状態で、第二ベース部３０の把持部３５を把持して、第二ベース部３０をピン３１に沿って上方向（Ｚ方向）に引き抜く。この際、第一ベース部２８に対して第二ベース部３０が傾いて引き抜かれることがないため、探傷コイル８に位置決めピン２７からの負荷を与えることがなく、探傷コイル８にダメージを与えずに、かつ、探傷コイル８の脱落を抑えてスムーズに引き抜くことができる。
その後コイルホルダ１０を第二ベース部３０から取外してコイル接着を完了する。
【００５６】
そして、図５（ａ）、図５（ｂ）に示すように、探傷コイル８を固定したコイルホルダ１０の対向面１０ａがコーティング層治具３７の表面３７ａに接触するようにコイルホルダ１０を載置する。そしてコイルホルダ１０の位置出し孔１０ｃ、長孔１０ｄ、収容孔１７、探傷コイル８のそれぞれからコーティング層１１の材料となるエポキシ樹脂を凹部１０ｅに充填するように塗布する。
ここで位置出し孔１０ｃ、長孔１０ｄは探傷コイル８を接着する際にコイルホルダ１０の位置決めのために使用したものを流用する。
これにより探傷コイル８とコイルホルダ１０との固定をコーティング層１１を介して接着固定することになり、両者の固定を確実に行うことができる。
こうして、コーティング層１１の硬化を行ってコーティング層１１の作成を完了し、保持部１２が完成する。
【００５７】
なお、エポキシ樹脂を収容孔１７に充填してもよい。この場合、探傷コイル８をさらに強固に固定することができる。
コーティング層の材料としては、シリコン樹脂やウレタン樹脂、テフロン（登録商標）樹脂など、コイルホルダ１０よりも剛性が低く弾性のある材質を用いてもよく、コイルホルダ１０の温度変化に対する変形にコーティング層１１を追従させることで、温度変化によるコイルホルダ１０の撓みを解消できる。
【００５８】
ここで、コーティング層１１は、傷の検出を行う際に検査対象面Ｔ１と直接擦れるため、耐磨耗性に優れる材料から形成されることがより好ましい。
また、接着・硬化の際にはコイルホルダ１０をコーティング層治具３７の表面３７ａに押し付けながら行うのが好ましい。これにより、Ｚ方向に関してコーティング層１１の表面１１ａをコイルホルダ１０の対向面１０ａと同一高さにあわせて滑らかな表面として作成することができる。
この際、コーティング層治具３７の表面３７ａに離型剤を塗っておくことによって、コーティング層治具３７とコーティング層１１が配された保持部１２との剥がれを容易とすることができ、コーティング層１１の表面を滑らかにすることができる。
さらに、コーティング層１１の硬化時に脱泡（真空脱泡）を行うことによって、気泡のないコーティング層１１とすることができる。
【００５９】
そして、ハウジング１３にコイルホルダ１０を取り付ける工程（Ｓ０６）を行う。
ここでは、保持部１２をコーティング層治具３７から取り外した後、フレキシブルケーブル１６と探傷コイル８の図示しないコイル端末とをはんだなどにより接続する。同時にフレキシブルケーブル１６を保持部１２に接着などにより固定する。
次に、マルチプレクサ基板１５にケーブル３を取り付け、フレキシブルケーブル１６の端部をマルチプレクサ基板１５のコネクタ１５ａに取り付ける。
【００６０】
こうして、マルチプレクサ基板１５を第一ハウジング２１に取り付け、第二ハウジング２２を第一ハウジング２１に取り付け、保持部１２を第一ハウジング２１及び第二ハウジング２２の底部に組み付けてビス締めなどにより固定する。最後にケーブルグランドカバー２５とハウジング蓋２３とを取り付けて組立てを完了する。
【００６１】
この渦流探傷マルチコイル式プローブ１により、検査対象面Ｔ１の傷検出を行う際には、図３（ｂ）に示すように、検査対象面Ｔ１にコイルホルダ１０の対向面１０ａを接触した状態で、コイルホルダ１０の幅方向（Ｙ方向）に渦流探傷マルチコイル式プローブ１を移動する。
この際、コイルの搭載位置を示すマーキング２０の範囲内を探傷可能領域として移動する。
【００６２】
このとき、環境温度に対して発生するコイルホルダ１０の撓みによるリフトオフの差とそのときのコイルホルダ１０の中央部分と両端部分との間の感度差との関係を表５に示す。この際のコイルホルダ１０の仕様も併せて表４に示す。ここで、表中の長さはコイルホルダ１０のＸ方向の長さを、幅はＹ方向の長さを、高さはＺ方向の長さをそれぞれ指す。
環境温度が変化しても、温度変化量に比べてリフトオフ量や感度差の変化が著しく小さいことがわかる。
【００６３】
【表４】
2006189364.tif 000006
【表５】
2006189364.tif 000007
【００６４】
この渦流探傷マルチコイル式プローブ１によれば、環境温度が上昇またはプローブ自体の発熱によりプローブ温度が上昇した場合であっても、コイルホルダ１０とハウジング１３とが略同一の温度変化をするため、コイルホルダ１０の撓みを抑えることができる。
従って、探傷コイル８のリフトオフばらつきを小さくして感度バラツキの増大を抑え、検査精度を向上することができる。
【００６５】
特に、コイルホルダ１０が、グラスファイバーからなる無機フィラーを有するポリカーボネイトからなるので、コイルホルダ１０の熱膨張係数をよりハウジングと略同一の熱膨張係数に近づけることができる。
また、テーパ部１８が配されているので、移動の際、渦流探傷マルチコイル式プローブ１の移動方向の前方に検査対象面Ｔ１から突出する突起等の障害物が存在していても、テーパ部１８によってコイルホルダ１０の対向面１０ａまで滑らかに案内されて、障害物の有無にかかわらず保持部１２を検査対象面Ｔ１に対して滑らかに移動することができる。
【００６６】
さらに、コーティング層１１を検査対象面Ｔ１に接触させた状態で保持部１２を移動するため、傷の検出の際に探傷コイル８の端面８ａが検査対象面Ｔ１に直接接触しないので、探傷コイル８の保護を図ることができる。また、コーティング層１１の材料としてシリコン樹脂やウレタン樹脂、テフロン（登録商標）樹脂等、弾性を有するものを使用することによって、図示しない探傷コイル８の端子部にもこれを充填することによって、組立作業時や、探傷時に渦流探傷マルチコイル式プローブ１に何らかの衝撃力が負荷されても、図示しない探傷コイル端子部への負荷を軽減して断線の発生を抑えることができる。
【００６７】
また、保持部１２を挟んだ状態で第一ハウジング２１と第二ハウジング２２とを接続することによって、ハウジング１３に対してコイルホルダ１０の位置決めを容易に行うことができる。
また、マーキング２０が配されているので、リフトオフの少ない状態で、さらに探傷コイルによる探傷可能範囲内に正確に検査対象面Ｔ１を配することができ、探傷精度をより向上することができる。
【００６８】
次に、第２の実施形態について図６から図１０を参照しながら説明する。
なお、上述した第１の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第２の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、本実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブ４０の保持部４１が、図６に示すように、探傷コイル８のそれぞれと電気的に接続されるコイル基板４２を備え、探傷コイル８が、コイル基板４２を介してコイルホルダ４３に支持されているとした点である。
【００６９】
コイル基板４２はガラスエポキシなどの材料により作成されており、コイル基板４２の熱膨張係数とコイルホルダ４３の熱膨張係数とが略同一とされている。
コイル基板４２には、図７及び図８に示すように、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する略円筒状の収容孔１７が複数形成されており、これら収容孔１７に各々探傷コイル８が収容されている。これら収容孔１７の内径は探傷コイル８の外径よりも大きく形成されている。収容孔１７は、コイル基板４２の長手方向に、例えば、Ｘ方向に沿って２列とされ、かつ、各列の収容孔１７がオフセットされて配置されている。なお、各探傷コイル８は、その周縁部を収容孔１７の内周側に接着剤Ｇで固定することによりコイル基板４２に対して固定されている。
【００７０】
また、コイル基板４２には、フレキシブルケーブル４５の一端が接続されるコネクタ４６と、探傷コイル８の図示しないコイル端子を半田等で接続するパターン４７と、位置出し孔４２ａと長孔４２ｂとが配されている。
なお、フレキシブルケーブル４５の他端は、マルチプレクサ基板１５のコネクタ１５ａに接続されており、これによりマルチプレクサ基板１５と探傷コイル８とが電気的に接続されている。
【００７１】
コイルホルダ４３は、外表面の形状は第１の実施形態に係るコイルホルダ４３と同一形状とされているが、内表面には、内部にコイル基板４２をＺ方向下方から挿入した際にコイル基板４２の表面４２Ａが係止される高さで内側に向かって突出するフランジ部４８が配されている。
保持部４１には、コイルホルダ４３とコイル基板４２の裏面４２Ｂとによって凹部４２ｅが形成されており、凹部４２ｅにコーティング層１１が配されている。
【００７２】
次に、本発明に係る渦流探傷マルチコイル式プローブ４０の製造方法について説明する。
この製造方法は、第一ベース部２８上に接続された第二ベース部３０にホルダ基板を載置する工程（Ｓ１１）と、位置決めピン２７に複数の探傷コイル８を挿通する工程（Ｓ１２）と、探傷コイル８をコイル基板４２に固定する工程（Ｓ１３）と、検査対象面と接触するコーティング層１１が充填される凹部４２ｅを形成させてコイル基板４２をコイルホルダ４３に固定する工程（Ｓ１４）と、コイルホルダ４３を第二ベース部３０から取り外してコーティング層を凹部４２ｅに充填する工程（Ｓ１５）と、ハウジング１３にコイルホルダ４３を取り付ける工程（Ｓ１６）とを備えている。
【００７３】
ホルダ基板４２を載置する工程（Ｓ１１）では、図８に示すように、接着治具３６の位置出しピン３２をコイル基板４２の位置出し孔４２ａと長孔４２ｂとに挿入して合わせることにより、コイル基板４２のＸ、Ｙ方向の位置決めを行う。またコイル基板４２の裏面４２Ｂを段部３３の搭載面３３ｂに載置することによりＺ方向の位置出しをする。
【００７４】
探傷コイル８を挿通する工程（Ｓ１２）では、第１の実施形態における探傷コイル８を挿通する工程（Ｓ０３）と同様の作業を行う。
ここでは、探傷コイル８の端面８ａを段部３３の搭載面３３ｂに合わせることによって、探傷コイル８の端面８ａとコイル基板４２の裏面４２Ｂとが一致して、コイル基板４２に対する位置出しがなされる。
【００７５】
そして、探傷コイル８をコイル基板４２に固定する工程（Ｓ１３）では、第１の実施形態に係る探傷コイル８をコイルホルダ４３に固定する工程（Ｓ０４）と同様の作業をコイルホルダ４３の代わりにコイル基板４２に対して行い、図９に示す状態とする。  
【００７６】
コイル基板４２をコイルホルダ４３に固定する工程（Ｓ１４）では、図１０に示すように、コイルホルダ４３の対向面４３ａが第二ベース部３０の第二平坦面３０ｂに接触するように、かつ、コイルホルダ４３のフランジ部４８の底面４８ａと、第二ベース部３０の搭載面３３ｂに載置されたコイル基板４２の表面４２Ａとが接触するようにコイルホルダ４３を接着治具３６に載置する。
即ち、コイルホルダ４３の対向面４３ａからコイルホルダ４３のフランジ部４８の底面４８ａまでの距離は、第二ベース部３０の段部３３とコイル基板４２の板厚とをあわせた距離と略同一とされている。
【００７７】
このとき、接着治具３６の２つの位置出しピン３２をコイルホルダ４３の位置出し孔４３ｃと長孔４３ｄとに合わせて挿通することにより、コイルホルダ４３のＸ、Ｙ方向の位置決めを行う。
この状態で、図示しない接着剤などでコイル基板４２とコイルホルダ４３とを固定する。
接着の際には探傷コイル８を搭載面３３ｂに押し付けながら、かつ、コイルホルダ４３を第二平坦面３０ｂに押し付けながら行うのが好ましい。これにより、Ｚ方向に関して複数の探傷コイル８の端面８ａの位置を催実に揃えることができる。
【００７８】
探傷コイル８の端末を、コイル基板４２のパターン４７にそれぞれはんだなどで電気的に接続した後、第１の実施形態と同様に、コイルホルダ４３を第二ベース部３０から取り外してコーティング層を凹部４２ｅに充填する工程（Ｓ１５）と、ハウジング１３にコイルホルダ４３を取り付ける工程（Ｓ１６）とを実施して組立てを完了する。
なお、探傷コイル８の端末をコイル基板４２のパターン４７のそれぞれに電気的に接続するのは、探傷コイル８をコイル基板４２に固定する工程（Ｓ１４）の前でもよい。
【００７９】
この渦流探傷マルチコイル式プローブ４０によれば、上記第１の実施形態と同様の作用・効果を奏することができる。
特に、コイルホルダ４３のない状態で探傷コイル８の装着をコイル基板４２に対して行うことができ、広い作業ペースを確保して作業性を向上することができる。
【００８０】
次に、第３の実施形態について図１１を参照しながら説明する。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第３の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、本実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブ５０の保持部５１が、ハウジング１３に嵌合可能な略ロの字の枠状に形成されたコイルホルダ５２と、コイルホルダ５２の底部位置に配されたコーティング層１１と、コイルホルダ５２の中のコーティング層５３上に充填される発砲樹脂からなる充填材５５とを備えているとした点である。
発泡樹脂とすることによって、コイルホルダ５２より剛性が低くなり、コイルホルダ５２の温度変化に伴う変形に充填材５５を追従させることができる。
【００８１】
コーティング層５３の材質は、コイルホルダ５２の熱膨張係数と略同一の熱膨張係数を有する樹脂シートや、無機フィラーを混ぜたものとしてもよい。この場合、さらに熱膨張係数がコイルホルダ５２の熱膨張係数と同一のものとなって、コイルホルダ５２とコーティング層５３とを含めた保持部５１の熱膨張係数を均一にすることができる。
【００８２】
またコーティング層５３の材質は、シリコン樹脂やウレタン樹脂、テフロン（登録商標）樹脂など、コイルホルダ５２よりも剛性が低く弾性のある材質を用いてもよく、コイルホルダ５２の温度変化に対する変形にコーティング層５３を追従させることで、温度変化によるコイルホルダ５２の撓みをさらに抑えてもよい。
但し、コーティング層５３は、傷の検出を行う際に検査対象面Ｔ１に対して直接接触して擦れるため、耐磨耗性に優れる材料から形成されることが好ましい。
また、充填材５５は、発泡樹脂に限らず、ゴムのような剛性が低い弾性をもち、コイルホルダ５２の枠内に充填して探傷コイル８を固定できる材料であればよい。
【００８３】
この渦流探傷マルチコイル式プローブ５０の保持部５１の製造方法について説明する。
まず、予めシート状で厚みが均一に作られたコーティング層５３に、探傷コイル８の端面８ａをコーティング層５３の上面５３ａに接するように載置して接着剤などで固定する。このとき探傷コイル８のＸ，Ｙ方向位置の位置決めは図示しない治具を用いて行う。
次に探傷コイル８が固定されたコーティング層５３をコイルホルダ５２の枠内に挿入した状態で、充填材５５をコイルホルダ５２の枠内に充填する。
こうして保持部５１が形成される。
【００８４】
なお、上記第２の実施形態と同様に、探傷コイル８を図示しないコイル基板に固定した状態でコイルホルダ５２に入れ、充填材５５を充填し、予め作成しておいたシート状のコーティング層５３を貼り付けたり、第１の実施形態で説明した接着治具３６を用いてコーティング層５３を成形してもよい。
【００８５】
この渦流探傷マルチコイル式プローブ５０によれば、プローブ温度変化したときでも、ハウジング１３とコイルホルダ５２との熱膨張係数が略同一であるので、両者の変形量が略同一となってコイルホルダ５２の撓みを抑えることができる。
そして、充填材５５の剛性が低いので、コイルホルダ５２の温度変化に追従させて変形させることができ、充填材５５に固定されている探傷コイル８と検査対象面Ｔ１との相対距離を変えずにリフトオフの発生を抑えることができる。
【００８６】
また、コイルホルダ５２の材質をハウジング１３と同じ材質のアルミニウムなどの金属とすることができ、プローブ自体の剛性を高めることができる。
また、コイルホルダ５２は枠状に形成されているので、探傷コイル８の配置や形状が異なる他タイプの渦流探傷マルチコイル式プローブを製造する場合に部品を流用でき、製造コストを下げることができる。
即ち、渦流探傷においては、渦流探傷マルチコイル式プローブの形状を測定対象物に応じた形状とする必要がある（探傷コイル（形状、特性）や探傷コイル数、探傷コイルの間隔が様々となる）ために、部品の共有化ができるというのは製造コストを下げることは大きな意味をもつといえる。
【００８７】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、マーキング２０はスミ入れ等による溝形状としているが、これに限らず、図１２に示すように、コイルホルダ６０の側面６０ｂに設けた凹形部６１内に充填したマーキング６２としてもよいし、図１３に示すように、コイルホルダ６３の側面６３ｂに丸形スミ入れとしたマーキング６５としてもよく、または印刷（シルクスクリーン、タンポ印刷、ホットスタンプ）などでもよく、検査をする際にセンサ一位置（コイル位置）がわかるようなマーキングがされていればよい。
【００８８】
また上記第１の実施形態では、ケーブル３が渦流探傷マルチコイル式プローブ１に固定されたものとしているが、図１４に示すように、ハウジング６６の第一ハウジング６７にコネクタ６７ａを取り付け、ケーブル６８にコネクタ６８ａを取り付けて、渦流探傷マルチコイル式プローブ７０とケーブル６８とを着脱可能としても構わない。この場合、用途に応じた長さや硬さのケーブルに交換することができ、操作性を向上することができる。
また渦流探傷においては、測定対象物に応じた特性をもつ渦流探傷マルチコイル式プローブをそれぞれ準備しなければならないが、プローブ毎にケーブルを準備する必要が無いためプローブのコストを安くすることができる。
【００８９】
さらに、上記第１の実施形態では、コイルホルダ１０の材質のベース樹脂をポリカーボネイトとしているが、これ以外の熱可塑性樹脂としてもよいし、熱硬化性樹脂としてもよい。
他の熱可塑性樹脂としては、例えば、ＰＡ（ナイロン）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタラート）、ＰＥＳ（ボリエーテルサルホン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などや、複数のベース樹脂を組みあわせたポリマーアロイでもよい。また熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂や不飽和ポリエステル等でもよい。
【００９０】
また無機フィラーをガラスファイバーとしているが、球形またはテトラポット状としても良い。無機フィラーは、カーボン、チタン酸カリウム、グラファイト、二硫化モリブデン、シリカ、ガラス、アルミナ、タルク（登録商標）、クレー、マイカ、鉄粉、水酸化アルミニウム等でもよい。
即ち、ベースとなる樹脂と無機フィラーとの組み合わせにより熱膨張係数がハウジングの熱膨張係数と略同一にすることができればよい。例として表６に示すような樹脂があげられる。表３に、ベース樹脂・フィラー充填量（ＧＦはグラスファイバーの略）・熱膨張係数を示す。
【００９１】
【表６】
2006189364.tif 000008
【００９２】
また、コイルホルダを構成する樹脂が、無機フィラーの充填量によって熱膨張率を変化可能なエポキシ系樹脂としてもよい。
例えば、ベース樹脂に対して無機フィラーとしてシリカ(ＳｉＯ２)を充填した樹脂材料の、フィラーの充填量−熱膨張係数の関係を表７に示す。
【００９３】
【表７】
2006189364.tif 000009
【００９４】
表８に示すコイルホルダの仕様に対して、熱膨張係数と感度ばらつきとの関係を表９に示す。
無機フィラーの充填量を調整することにより、熱膨張係数を調整することができ、高温時の感度バラツキを変えることができることがわかる。つまり製品仕様により決定される高温時の感度バラツキにあわせた渦流探傷マルチコイル式プローブを作成することができる。
【００９５】
【表８】
2006189364.tif 000010
【表９】
2006189364.tif 000011
【００９６】
また、ハウジング１３の材質をアルミニウムとしているが、ハウジングとしてコイルホルダを支持可能な材料であればよく、ＥＭＣやＥＭＩの観点から金属や、表面に金属箔或いは導電塗装を施したもの又は導電性フィラーを混ぜた樹脂材料を用いるなどした電磁波をシールド可能な樹脂モールド等であることが望ましい。
例えばチタン製のハウジングを使う場合、コイルホルダの構成材料は、無機フィラーが充填された材料で熱膨張係数がハウジングの熱膨張係数と略同一となる値のものを選定することにより、感度バラツキの増大を防ぐことができる。
【００９７】
また、上記第１の実施形態では、マルチプレクサ基板１５とフレキシブルケーブル１６とを別体とし、マルチプレクサ基板１５のコネクタ１５ａを介して両者を接続しているが、フレキシブルケーブル側にコネクタ（図示しない）を配置し、マルチプレクサ基板側に接続ピン（図示しない）を配する構成としてもよい。
またマルチプレクサ基板とフレキシブルケーブルを一体化したリジッドフレキ（図示しない）構成としてもよい。こうすることでコネクタレストなり部品点数を減らすことができる。
さらに、マルチプレクサ基板をフレキシブルケーブルに実装する構成（図示しない）としてもよい。こうすることで渦流探傷マルチコイル式プローブの小型化をはかることができる。
【００９８】
また、上記第２の実施形態では、コイル基板４２の裏面４２Ｂと探傷コイル８の端面８ａとが同一高さとしているが、図１５（ａ）に示すように、コイル基板４２の裏面４２Ｂよりも探傷コイル８の端面８ａを突出させた保持部７０としても良い。
この場合、コイルホルダ７２と、探傷コイル８が取り付けられたコイル基板４２との組立てにおいては、図１５（ｂ）に示すように、コイルホルダ７２の対向面７２ａからフランジ部４８の底面４８ａまでの距離が、第二ベース部３０の段部３３とスペーサ７３の厚みとコイル基板４２の厚みとをあわせた距離とが略同一となるスペーサ７３を使用する。
【００９９】
即ち、コイル基板４２の裏面４２Ｂと第二ベース部３０の段部３３の搭載面３３ｂとの間に、スペーサ７３を挿入した状態でコイル基板４２を載置する。
そして、コイルホルダ７２の対向面７２ａを第二ベース部３０の第二平坦面３０ｂに接触するように、探傷コイル８の端面８ａが、第二ベース部３０の段部３３の搭載面３３ｂに接触するように、かつ、コイルホルダ７２のフランジ部４８の底面４８ａがコイル基板４２の表面４２Ａに接触するようにコイルホルダ７２を接着治具３６に載置する。
このとき、探傷コイル８の端面８ａが段部３３の搭載面３３ｂとが一致し、コイル基板４２の裏面４２Ｂと探傷コイル８の端面８ａとの間にすき間が生じる。
この状態で固定をする。この際、探傷コイル８を搭載面３３ｂに押付けながら、かつ、コイルホルダ７２を第二平坦面３０ｂに押付けながら行うことが好ましい。
【０１００】
この場合、探傷コイル８とコイルホルダ７２とのＺ方向が接着治具３６で位置出しされているので、探傷コイル８の端面８ａがコイル基板４２の裏面４２Ｂから突出されていてもよい。従って、コイル基板４２の平面度の精度をゆるくすることができる。
【０１０１】
また、図１６に示すように、コイル基板４２の裏面４２Ｂから探傷コイル８の端面８ａが突出し、かつ、コイルホルダ７５のフランジ部７６の底面７６ａとコイル基板４２の表面４２Ａとの間にすき間を設けた保持部７７としても良い。
この場合、コイルホルダ７５と、探傷コイル８が取り付けられたコイル基板４２との組立てにおいては、コイルホルダ７５の対向面７５ａからフランジ部７６の底面７６ａまでの距離が、第二ベース部３０の段部３３と図示しないスペーサの厚みとコイル基板４２の厚みをあわせた距離と略同一となるスペーサを使用する。
【０１０２】
即ち、コイルホルダ７５とコイル基板４２との固定の際には、コイル基板４２の裏面４２Ｂと第二ベース部３０の段部３３の搭載面３３ｂとの間に、スペーサを挿入した状態でコイル基板４２を、探傷コイル８の端面８ａが搭載面３３ｂに接触するように載置する。そして、コイルホルダ７５の対向面７５ａが第二ベース部３０の第二平坦面３０ｂに接触するように、コイルホルダ７５を接着治具３６に載置する。
このとき、コイルホルダ７５のフランジ部７６の底面７６ａとコイル基板４２の表面４２Ａとの間にすき間ができるが、この部分に接着剤がまわるように、またはフランジ部７６とコイル基板４２との間でブリッジするように接着固定する。この際、探傷コイル８を搭載面３３ｂに押付けながら、かつ、コイルホルダ７５を第二平坦面３０ｂに押付けながら行うことが好ましい。
【０１０３】
この場合、コイルホルダ７５の対向面７５ａが第二ベース部３０の第二平坦面３０ｂと一致し、探傷コイル８の端面８ａが段部３３の搭載面３３ｂと一致する。
このように、探傷コイル８とコイルホルダ７５とのＺ方向が接着治具３６で位置出しされているので、コイル基板４２の裏面４２Ｂから探傷コイル８の端面８ａが突出され、コイル基板４２の表面４２Ａとコイルホルダ７５のフランジ部７６の底面７６ａとの間にすき間が配されていてもよく、コイルホルダ７５のフランジ部７６の底面７６ａの平面度・公差や、コイル基板４２の厚み公差を緩めることができる。
【０１０４】
また、図１７に示すように、コイル基板４２に実装されるコネクタ４６は、長手方向（Ｘ方向）の端部に配されていても良い。フレキシブルケーブル４５に対するコイル基板４２の位置によっては、コネクタ４６への接続を容易に行うことができる。
【０１０５】
また、図１８に示すように、コイル基板４２をコイルホルダ７８内にフランジ部８０の上方から挿入するものとしてもよい。
この場合、コイルホルダ７８の対向面７８ａと探傷コイル８の端面８ａとの位置出しは、組立ての際に使用するスペーサ７３の厚さを調整して行う。
また、コイル基板４２と探傷コイル８との固定や、端子の接続を別工程にて予め行っておいてもよい。この場合、予め探傷コイル８の位置決めとコイル端子の接続とが完了したコイル基板４２をコイルホルダ７８の上方から挿入してフランジ部８０上に載置・固定する。
【０１０６】
また、図１９に示すように、コイル基板８１とフレキシブルケーブル８２とを一体化したリジットフレキコイル基板８３としてもよい。
この場合、フレキシブルケーブル８２とマルチプレクサ基板１５のコネクク１５ａとを接続することによって、上記第２の実施形態と同様の作用・効果を奏することができることに加え、部品点数を減らすことができる。
なお、コイル基板８１に配されるケーブルは、フレキシブルケーブルでなくリード線や同軸ケーブルでもよい。
【０１０７】
また、逆にマルチプレクサ基板とフレキシブルケーブルとを一体化した図示しないリジットフレキマルチプレクサ基板としてもよい。この場合もマルチプレクサ基板からリード線又は同軸ケーブルが出ているものとしてもよい。
この場合も上述と同様の効果を得ることができる。
【０１０８】
さらに、マルチブレクサ基板とコイル基板とフレキシブルケーブルとを一体としたものや、マルチプレクサ基板とコイル基板とを、リード線や同軸ケーブルで直接接続したものとしてもよい。
【０１０９】
また、マルチプレクサ基板をフレキシブル基板上に実装してもよい。
この場合、上述と同様の効果に加えて、渦流探傷マルチコイル式プローブの小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブを備える渦流探傷装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの構成を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの（ａ）構成を示す分解斜視図、（ｂ）保持部の断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの（ａ）製造方法を示す説明図、（ｂ）保持部の組立途中を示す断面図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの（ａ）製造方法を示す説明図、（ｂ）保持部の組立途中を示す断面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの構成を示す分解斜視図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの保持部を示す（ａ）斜視図、（ｂ）断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの製造方法を示す説明図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの（ａ）保持部の組立途中を示す断面図、（ｂ）探傷コイルが装着されたコイル基板を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの（ａ）保持部の組立途中を示す断面図、（ｂ）保持部を示す斜視図、（ｃ）保持部を示す断面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの（ａ）製造方法を示す説明図、（ｂ）保持部を示す断面図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの変形例を示す要部斜視図である。
【図１３】本発明の第１の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの変形例を示す要部斜視図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの変形例を示す斜視図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブ変形例としての（ａ）保持部を示す断面図、（ｂ）保持部の組立途中を示す断面図である。
【図１６】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの変形例としての保持部を示す断面図である。
【図１７】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの変形例としてのコイル基板を示す斜視図である。
【図１８】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの変形例としての保持部を示す分解構成図である。
【図１９】本発明の第２の実施形態に係る渦流探傷マルチコイル式プローブの変形例としてのコイル基板を示す斜視図である。
【図２０】従来の渦流探傷マルチコイル式プローブの構成を示す分解斜視図である。
【図２１】従来の渦流探傷マルチコイル式プローブを示す断面図である。
【図２２】従来の渦流探傷マルチコイル式プローブの（ａ）分解構成図、（ｂ）撓み状態を示す説明図である。
【図２３】本発明及び従来の渦流探傷マルチコイル式プローブの撓み状態を示す説明図である。
【図２４】リフトオフと感度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【０１１１】
１、４０、５０  渦流探傷マルチコイル式プローブ
８  探傷コイル
８ａ  端面
１０、４３、５２、６０、６３、７２、７５、７８  コイルホルダ
１０ａ、７２ａ  対向面
１１、５３  コーティング層
１２、４１、５１、７０、７７  保持部
１３、６６  ハウジング
２０、６２、６５  マーキング（指標部）
２１、６７  第一ハウジング
２２  第二ハウジング
４２、８１  コイル基板
５５  充填材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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