(57)【要約】【課題】  従来の排ガス処理方法及び装置では、排ガス中に含まれる有害物質を除去することはできても、排ガス配管内に付着した排ガスに含まれる有害物質を除去することはできないという欠点があった。【解決手段】  本発明の排ガス配管内に付着した被処理物質除去装置は、排ガス配管内に挿入されるカートリッジタイプのフレキシブルヒータと、上記排ガス配管の下流側に設けた排ガス燃焼装置とよりなる。上記フレキシブルヒータは、加熱エレメントと、この加熱エレメントの外周に被せた屈曲自在な金属管とよりなる。本発明の排ガス配管内に付着した被処理物質除去方法は、排ガス配管内に挿入したカートリッジタイプのフレキシブルヒータで、上記配管内に付着した被処理物質をガス化する工程と、上記ガスを排ガス処理用の燃焼装置に導き、上記ガスを燃焼する工程とよりなる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガス配管内に挿入されるカートリッジタイプのフレキシブルヒータと、上記排ガス配管の下流側に設けた排ガス燃焼装置とよりなることを特徴とする排ガス配管内に付着した被処理物質除去装置。
【請求項２】
上記カートリッジタイプのフレキシブルヒータが加熱エレメントと、この加熱エレメントの外周にかぶせた屈曲自在な金属管とよりなることを特徴とする請求項１記載の排ガス配管内に付着した被処理物質除去装置。
【請求項３】
排ガス配管内に挿入したカートリッジタイプのフレキシブルヒータで、上記配管内に付着した被処理物質をガス化する工程と、
上記ガスを排ガス処理用の燃焼装置に導き、上記ガスを燃焼する工程と
よりなることを特徴とする排ガス配管内に付着した被処理物質除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は排ガス配管内に付着した被処理物質除去方法及び装置、特にカートリッジタイプのフレキシブルヒータを用いた被処理物質除去方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、セラミックス電子部品などの製造工程において、セラミック原料を成形したセラミック素体などを焼成する際には、セラミック中に含まれるバインダーなどの有機系分解ガスやそれが不完全に燃焼した燃焼ガスなど（被処理物質）を含む排ガスが発生する。この排ガス中に含まれる有害物質である被処理物質を除去する方法及び装置としては従来例えば特許文献１に示すものがある。
【特許文献１】特開平９−１５２１１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
然しながら、上記従来の方法及び装置では、排ガス中に含まれる有害物質を除去することはできても、排ガス配管内に付着した排ガスに含まれる有害物質を除去することはできないという欠点があった。
【０００４】
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の排ガス配管内に付着した被処理物質除去装置は、排ガス配管内に挿入されるカートリッジタイプのフレキシブルヒータと、上記排ガス配管の下流側に設けた排ガス燃焼装置とよりなることを特徴とする。
【０００６】
上記排ガス配管には、必要に応じて加熱ガス導入孔を設け、この孔から上記配管内に加熱ガスを充填し、カートリッジヒータと組合せて使用すると効果が大きい。
【０００７】
上記カートリッジタイプのフレキシブルヒータは、加熱エレメントと、この加熱エレメントの外周にかぶせた屈曲自在な金属管とよりなることを特徴とする。
【０００８】
本発明の排ガス配管内に付着した被処理物質除去方法は、排ガス配管内に挿入したカートリッジタイプのフレキシブルヒータで、上記配管内に付着した被処理物質をガス化する工程と、上記ガスを排ガス処理用の燃焼装置に導き、上記ガスを燃焼する工程とよりなることを特徴とする。
【０００９】
また、必要に応じて上記排ガス配管内に加熱ガスを導入する工程を設け、カートリッジヒータと組合せて加熱すればその効果が大きい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、配管内に挿入されたヒータ温度を適正に制御することで配管内に付着した有害物質を気化し、必要に応じて加熱した加熱ガスをキャリアガスとして配管内に送り込むことによって極めて簡単、確実に効率良く有害物質を除去できるようになる。
【００１１】
また、金属管の形状を適正に調整することが可能であるので、曲がり部が多い複雑な形状の配管であっても、配管内に沿って確実にヒータを挿入できる。
【００１２】
また、温調器を用いれば、ヒータ温度を適正に制御できる。
【００１３】
また、フレキシブルヒータはカートリッジタイプであるため交換が容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１５】
本発明においては、図１に示すように、ＣＶＤ装置やエッチング装置１等からの排ガスの配管２の下流側に外部燃焼装置３を接続し、上流側に開口部４を形成し、この開口部４から上記配管２内にカートリッジタイプのフレキシブルヒータ５を挿入せしめ、上記フレキシブルヒータ５で上記配管２内に付着した排ガスに含まれる有害物質を１５０℃〜２５０℃に加熱せしめ、必要に応じて上記開口部４より加熱した窒素ガスをキャリアガスとして上記配管２内に導入せしめて、上記付着した有害物質を気化、ガス化し、上記配管２の下流側に設けた、外部燃焼装置３に導き、上記ガスを分解した後、無害化して開口６から外部に放出せしめる。
【００１６】
上記配管２が細管の場合には従来既知の金属シースヒータを上記フレキシブルヒータ５として用いても良いが、太管の場合には図２及び図３に示すように、スパイラル状に延びた加熱エレメント７と、この加熱エレメント７の外周にかぶせたシームレスの蛇腹、インターロック、コルゲートまたはフレキシチューブ等の屈曲自在な金属管８とによってフレキシブルヒータ５を形成せしめる。
【００１７】
上記金属管８の基部には上記金属管８と上記開口部４を塞ぐ鍔部９と、上記配管２内にキャリアガスを導入するための、上記鍔部９の外周部分に貫通して設けたキャリアガス導入口１０とを設ける。
【００１８】
また、上記配管２内には、バイメタルまたは熱電対（図示せず）を設けリード線１１を介して上記加熱エレメント７の温度調整用の温調器（図示せず）に接続せしめる。
【００１９】
なお、上記加熱エレメント７は図４に示すように、線状のものでも良い。また、テフロン被覆ヒータ、シリコンゴムヒータを線状またはスパイラル状として用いても良い。
【００２０】
本発明の被処理物質除去方法及び装置は上記のような構成であるから、ヒータ温度を適正に制御することで上記配管２内に付着した有害物質を気化し、必要に応じて加熱した加熱ガスを配管２内に送り込むことによって極めて簡単、確実に効率良く有害物質を除去できるようになる。
【００２１】
また、金属管８の形状を適正に調整することが可能であるので、曲がり部が多い複雑な形状の配管であっても、配管内に沿って確実にヒータを挿入できる。
【００２２】
また、温調器を用いれば、ヒータ温度を適正に制御できる。
【００２３】
また、フレキシブルヒータはカートリッジタイプであるため交換が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の被処理物質除去方法及び装置の説明図である。
【図２】本発明の被処理物質除去方法及び装置に用いるフレキシブルヒータの縦断側面図である。
【図３】本発明の被処理物質除去方法及び装置に用いるフレキシブルヒータの側面図である。
【図４】本発明の他の実施例におけるフレキシブルヒータの縦断側面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  エッチング装置
２  配管
３  外部燃焼装置
４  開口部
５  フレキシブルヒータ
６  開口
７  加熱エレメント
８  金属管
９  鍔部
１０  キャリアガス導入口
１１  リード線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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