(57)【要約】      （修正有）【課題】接着シートが繰出方向と直交する方向に位置ずれが生じても、そのずれ量を補正して板状部材と接着シートの外形を略一致させて貼付することができる貼付装置を提供する。【解決手段】半導体ウエハＷを支持する貼付用テーブル２１と、接着シートＳ１を剥離シートＰＳから剥離して半導体ウエハＷに貼付する貼付ユニット２４とを備える。貼付ユニット２４は検出手段６０を含み、当該検出手段６０は、原反Ｌの繰出経路上に配置されて接着シートＳ１の繰出方向と直交する横方向のずれ量Ｓを検出する。ずれ量Ｓが検出されたときは、ずれ量補正装置が作動して貼付用テーブル２１がそのずれ量Ｓに対応した分だけ移動し、これにより、半導体ウエハＷの外形に一致させて接着シートＳ１の貼付を行うことができる。接着シートＳ１は、貼付ロール６１が剥離シートＰＳに接して押圧力を付与することで貼付される。【選択図】図４
2006352054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を支持する貼付用テーブルと、板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で前記接着シートを剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを備えた貼付装置において、
前記原反の繰出経路上に配置されるとともに、前記接着シートの繰出方向と直交する横方向のずれ量を検出する検出手段と、前記接着シートの位置ずれが検出手段で検出されたたときに、当該位置ずれを補正するずれ量補正装置とを備え、
前記検出手段は、前記原反の繰出動作を停止することなくずれ量を検出することを特徴とする貼付装置。
【請求項２】
半導体ウエハを支持する貼付用テーブルと、板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で当該接着シートを剥離して前記半導体ウエハに貼付する貼付ユニットとを備えた貼付装置において、
前記原反の繰出経路上に配置されるとともに、前記接着シートの繰出方向と直交する横方向のずれ量を検出する検出手段と、前記接着シートの位置ずれが検出手段で検出されたたときに、当該位置ずれに対応して前記貼付用テーブルの位置を調整するずれ量補正装置とを備え、
前記検出手段は、前記原反の繰出動作を停止することなくずれ量を検出することを特徴とする貼付装置。
【請求項３】
板状部材を支持する貼付用テーブルと、板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で当該接着シートを剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを備えた貼付装置において、
前記貼付ユニットは、前記接着シートの繰り出しと、接着シートの押圧と、接着シートの剥離シートからの剥離とを同時に行いながら前記板状部材に貼付することを特徴とする貼付装置。
【請求項４】
板状部材を支持する貼付用テーブルと、板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で当該接着シートを剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを備えた貼付装置において、
前記貼付ユニットは、前記接着シートを板状部材の上面に臨んだ位置まで繰り出した状態から、接着シートの巻き取りと、接着シートの押圧と、接着シートの剥離シートからの剥離とを同時に行いながら前記板状部材に貼付することを特徴とする貼付装置。
【請求項５】
前記原反の繰出経路上に配置されるとともに、前記接着シートの繰出方向と直交する横方向のずれ量を検出する検出手段と、前記接着シートの位置ずれが検出手段で検出されたたときに、当該位置ずれを補正するずれ量補正装置を更に含み、
前記検出手段は、前記原反の繰出動作を停止することなくずれ量を検出することを特徴とする請求項３又は４記載の貼付装置。
【請求項６】
前記接着シートは略円形をなし、前記検出手段は、前記繰出方向に沿う接着シートの弦長さを検出して前記ずれ量を特定することを特徴とする請求項１，２又は５記載の貼付装置。
【請求項７】
前記検出手段は、前記繰出方向に沿う基準中心線に対して横方向両側に等間隔で配置されていることを特徴とする請求項１，２，５又は６記載の貼付装置。
【請求項８】
前記接着シートはダイボンディング用感熱接着性接着シートであることを特徴とする請求項１ないし７の何れかに記載の貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は貼付装置に係り、更に詳しくは、半導体ウエハ等の板状部材に接着シートを貼付する際に、板状部材の所定の位置に精度よく接着シートを貼付することのできる貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回路面が形成された半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）をチップに個片化した後、各チップをピックアップしてリードフレームに接着（ダイボンディング）することが行われている。このダイボンディングは、ウエハ処理工程において、ダイボンディング用感熱接着性の接着シートを予め貼付することにより行うことができる。
【０００３】
前述した接着シートの貼付形態としては、帯状の剥離シートに帯状の接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから剥離される接着シートをウエハに貼付した後にウエハ外周に沿ってカットする場合（特許文献１参照）と、予めウエハ外形に対応する平面形状に設けられたシートを剥離シートから剥離してウエハに貼付する場合（特許文献２参照）とがある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【特許文献２】特開平７−１９５５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の構成にあっては、接着シート貼付後の外周カットは、外周カット装置が貼付装置に必須の装置となり、装置構造を複雑化する他、外周カット装置とウエハを支持する貼付用テーブルとの位置的な誤差等により、ウエハの外周を損傷させる等の不都合を招来する。
【０００６】
この一方、予めウエハ形状に対応して形成されたシートをウエハに貼付する場合には、原反を繰り出す際の位置的なずれにより、ウエハの所定の位置に接着シートを貼り付けることができず、横方向に位置ずれした状態で貼付されてしまう問題を生ずる。この点、特許文献２は、原反の繰出時において、シートの位置的なずれが発生した場合であっても、当該ずれを補正してウエハの所定位置に接着シートを貼付する構成が提案されている。
【０００７】
しかしながら、特許文献２に開示された装置にあっては、接着シートのずれを検出する際に、原反の繰り出しを一旦停止して撮像手段で撮像する方式を採用するものであり、連続処理を行うことができず処理能力が大幅に低下する、という不都合を招来する。しかも、撮像のためのカメラ等の使用が前提となり、それらを制御する装置構造も高価となってコスト的な不利益も大きいという不都合がある。
【０００８】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、原反の繰り出しにおいて接着シートが繰出方向と直交する方向に位置ずれが生じても、当該ずれ量を補正することで板状部材の所定の位置に接着シートを貼付することのできる貼付装置を提供することにある。
【０００９】
また、本発明の他の目的は、予めウエハ外形に対応する平面形状に切断された接着シートを貼付する方式とし、外周カット装置を不要とすることのできる貼付装置を提供することにある。
【００１０】
本発明の更に他の目的は、接着シートの表面に傷を付けることがないように貼付することのできる貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するため、本発明は、板状部材を支持する貼付用テーブルと、板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で当該接着シートを剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを備えた貼付装置において、
前記原反の繰出経路上に配置されるとともに、前記接着シートの繰出方向と直交する横方向のずれ量を検出する検出手段と、前記接着シートの位置ずれが検出手段で検出されたたときに、当該位置ずれを補正するずれ量補正装置とを備え、
前記検出手段は、前記原反の繰出動作を停止することなくずれ量を検出する、という構成を採っている。
【００１２】
また、本発明は、半導体ウエハを支持する貼付用テーブルと、板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で当該接着シートを剥離して前記半導体ウエハに貼付する貼付ユニットとを備えた貼付装置において、
前記原反の繰出経路上に配置されるとともに、前記接着シートの繰出方向と直交する横方向のずれ量を検出する検出手段と、前記接着シートの位置ずれが検出手段で検出されたたときに、当該位置ずれに対応して前記貼付用テーブルの位置を調整するずれ量補正装置とを備え、
前記検出手段は、前記原反の繰出動作を停止することなくずれ量を検出する、という構成を採っている。
【００１３】
更に、本発明は、板状部材を支持する貼付用テーブルと、板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で当該接着シートを剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを備えた貼付装置において、
前記貼付ユニットは、前記接着シートの繰り出しと、接着シートの押圧と、接着シートの剥離シートからの剥離とを同時に行いながら板状部材に貼付する、という構成を採っている。
【００１４】
また、本発明は、板状部材を支持する貼付用テーブルと、板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で当該接着シートを剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを備えた貼付装置において、
前記貼付ユニットは、前記接着シートを板状部材の上面に臨んだ位置まで繰り出した状態から、接着シートの巻き取りと、接着シートの押圧と、接着シートの剥離シートからの剥離とを同時に行いながら前記板状部材に貼付する、という構成を採ることもできる。
【００１５】
前記接着シートの繰り出し若しくは巻き取りと、接着シートの押圧とを同時に行うことのできる貼付装置は、前記原反の繰出経路上に配置されるとともに、前記接着シートの繰出方向と直交する横方向のずれ量を検出する検出手段と、前記接着シートの位置ずれが検出手段で検出されたたときに、当該位置ずれを補正するずれ量補正装置を更に含み、
前記検出手段は、前記原反の繰出動作を停止することなくずれ量を検出する、という構成も採用することができる。
【００１６】
本発明において、前記接着シートは略円形をなし、前記検出手段は、前記繰出方向に沿う接着シートの弦長さを検出して前記ずれ量を特定する、という構成を採っている。
【００１７】
更に、本発明における検出手段は、前記基準中心線に対して横方向両側に等間隔で配置されている。
【００１８】
また、前記接着シートはダイボンディング用感熱接着性接着シートを対象とすることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、板状部材に対応した形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を用いるものであるため、板状部材の外周に沿ってカットする装置を不要とすることができる。
【００２０】
また、繰り出される接着シートの位置ずれを検出する際に、原反の繰出動作を停止することがないため、間欠送りを行った場合に比べて、接着シートの貼付処理効率を大幅に向上させることができる。
【００２１】
また、位置ずれが検出された際の補正は、板状部材を支持するテーブルの位置を調整する構成であるため、換言すれば、原反の繰出経路における誤差に基づいてテーブル側をずれ量に対応した分だけ横方向にシフトすれば足りるため、位置ずれを補正する機構を極めて簡単に構成することが可能となる。
【００２２】
更に、前記貼付ユニットが、接着シートの繰り出し若しくは巻き取りと、接着シートの押圧と、接着シートの剥離シートからの剥離とを同時に行うように設けられた構成であるため、接着シートへの押圧力は、剥離シートを介して付与されるようになり、接着シートの表面を傷付けることなく当該接着シートを板状部材に貼付することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１には、本実施形態に係るウエハ処理装置の平面図が示されている。この図において、ウエハ処理装置１０は、板状部材としてのウエハＷの回路面の反対面（以下「ウエハＷの裏面」という）にダイボンディング用感熱接着性の接着シートＳ１（以下「接着シートＳ１」という）を貼付した後に、その接着シートＳ１側にダイシングテープを介してリングフレームＲＦにウエハＷをマウントする一連の工程を処理する装置として構成されている。
【００２５】
前記ウエハ処理装置１０は、ウエハＷを収容するカセット１１と、このカセット１１から取り出されたウエハＷを吸着搬送するロボット１２と、前記ウエハＷの回路面側に貼付された図示しない保護テープに紫外線照射を行う紫外線照射ユニット１３と、ウエハＷの位置決めを行うアライメント装置１４と、アライメント処理されたウエハＷの裏面に前記接着シートＳ１を貼付する貼付装置１５と、接着シートＳ１が貼付された後のウエハＷにダイシングテープを介してウエハＷをリングフレームＲＦにマウントするテープ貼付ユニット１６及び保護テープを剥離するテープ剥離ユニット１７を含むマウント装置１８と、保護テープが剥離されたウエハＷを収納するストッカ１９とを備えて構成されている。
【００２６】
前記貼付装置１５を除く構成若しくは装置、すなわち、前記カセット１１、ロボット１２、紫外線照射ユニット１３、アライメント装置１４、マウント装置１８及びストッカ１９は、本出願人によって既に出願された特願２００４−１３３０６９号と実質的に同一である。従って、以下では、前記貼付装置１５について説明するものとする。
【００２７】
前記貼付装置１５は、図２及び図３にも示されるように、紫外線照射後のウエハＷを受け取って当該ウエハＷを支持する移載用テーブル２０と、この移載用テーブル２０上のウエハＷが移載される貼付用テーブル２１と、移載用テーブル２０上のウエハＷを吸着して貼付用テーブル２１に移載する移載装置２２と、貼付用テーブル２１に移載されたウエハＷの裏面側（上面側）に接着シートＳ１を貼付する貼付ユニット２４と、当該貼付ユニット２４を介して貼付された接着シートＳ１を加熱してウエハＷに完全に接着するための接着用テーブル２６とを備えて構成されている。
【００２８】
移載用テーブル２０は昇降可能に設けられているとともに、移動装置３０を介して前工程におけるウエハＷを受け取り可能な位置と、貼付用テーブル２１の上方との間を往復移動可能に設けられている。この移動装置３０は、一対のレール３１，３１と、これらレール３１に案内されて当該レール３１上を移動するスライドプレート３２と、当該スライドプレート３２上に配置された昇降装置３３（図２参照）と、スライドプレート３２に固定されたナット３４に螺合する状態で貫通するボールねじ軸３５と、当該ボールねじ軸３５を回転駆動するモータＭ１（図１参照）とを備えて構成されている。ボールねじ軸３５において、モータＭ１の反対側は軸受３６に回転可能に支持され、これにより、モータＭ１が正逆回転駆動したときに、移載用テーブル２０がレール３１，３１に沿ってＸ方向に往復移動することとなる。
【００２９】
前記貼付用テーブル２１は、上面が吸着面として形成されており、図示しない保護テープを介してウエハＷの回路面側を吸着した状態で、前記貼付ユニット２４によって、その裏面（上面）に接着シートＳ１を貼付するためのテーブルであり、ウエハＷを一定温度に加熱するためのヒータを内蔵して構成されている。この貼付用テーブル２１は、側面視略Ｌ字状の昇降ブラケット４０に支持されたベーステーブル２１Ａと、当該ベーステーブル２１Ａ上において、Ｙ方向に沿って移動可能に支持された吸着テーブル２１Ｂとにより構成されている。
【００３０】
前記貼付用テーブル２１は、昇降装置４２を介して昇降可能に設けられている。この昇降装置４２は、昇降ブラケット４０の背面側に取り付けられたナット４３と、昇降ブラケット４０の両側に連結された一対の昇降側板４５と、これら昇降側板４５を上下方向にガイドする一対の起立レール４６と、前記ナット４３を上下方向に貫通して延びるボールねじ軸４７と、このボールねじ軸４７の下端と、起立レール４６の下端近傍に配置されたモータＭ２の出力軸にそれぞれ固定されたプーリ４８，４９と、これらプーリ４８，４９に掛け回されたベルト５０とにより構成されている。貼付用テーブル２１は、前記モータＭ２の駆動に伴うボールねじ軸４７の回転により、図３に示される退避位置と、図４に示される貼付位置との間で昇降可能となっている。
【００３１】
貼付用テーブル２１を構成するベーステーブル２１Ａ及び吸着テーブル２１Ｂ間には、図２に概略的に示されるように、ずれ量補正装置５１が配置されている。このずれ量補正装置５１は、吸着プレート２１ＢをＹ方向に移動可能とする単軸ロボットにより構成されている。
【００３２】
前記貼付ユニット２４は、板状のフレームＦ内に支持されたシート繰出部５４と、これに併設された貼付ロール移動装置５２により構成されている。すなわち、貼付ユニット２４は、帯状の剥離シートＰＳに帯状の接着シート材ＬＳが仮着されたロール状の原反Ｌを繰出可能に支持する支持ロール５５と、図示しないモータを介して回転し、ウエハＷの外形に対応した外形となるように接着シート材ＬＳに切り込みを形成して貼付用の接着シートＳ１を形成するカッター刃５６Ａを備えたダイカットロール５６と、接着シートＳ１を形成した後の外周側を不要接着シートＳ２として巻取回収する回収ロール５７と、この回収ロール５７に併設されてバッファ領域を確保するダンサロール５８と、当該ダンサロール５８位置を通過した後の原反繰出経路上に配置されて接着シートＳ１の位置を検出する検出手段６０と、接着シートＳ１をウエハＷに対して押圧しながら貼り付ける貼付ロール６１と、図示しないモータを介して回転し、接着シートＳ１が貼付された後の剥離シートＰＳを所定の張力で巻き取る巻取ロール６３とを含む。
【００３３】
支持ロール５５とダイカットロール５６との間には、図示しないトルクモータで駆動する駆動ロール６５とニップロール６５Ｎ、及びガイドロール６６が配置され、ダイカットロール５６の外周には、当該ダイカットロール５６に追従駆動するプラテンロール６８が対峙するように配置されている。プラテンロール６８と回収ロール５７との間には、ガイドロール６９、図示しないトルクモータで駆動する駆動ロール７０とニップロール７０Ｎ、及び図示しないモータを介して回転する駆動ロール７１が配置されている。駆動ロール７１にはピンチロール７２が配置されて原反Ｌに繰出力を付与するようになっているとともに、このピンチロール７２に回収ロール５７が常に当接するように設けられて当該回収ロール５７を摩擦力で回転させつつ不要接着シートＳ２を巻取回収できるように設けられている。また、駆動ロール６５、７０は、接着シート材ＬＳに切り込みを形成する際、接着シートＳ１が伸びたり撓んだりしないように、二つのロールを同時に制御することによる二軸張力制御を行いながら繰出すように設定されている。
【００３４】
また、ダンサロール５８と貼付ロール６１との間には、図示しないトルクモータで駆動する駆動ロール７４とニップロール７４Ｎ、ガイドロール７５，７６及びテンションロール７７が配置され、更に、貼付ロール６１と巻取ロール６３との間には、ガイドロール７９及び図示しないトルクモータで駆動する駆動ロール８０とニップロール８０Ｎが配置されている。なお、駆動ロール７４、８０は、接着シートＳ１をウエハＷに貼り付ける際、接着シートＳ１が伸びたり撓んだりしないように、前述と同様の二軸張力制御を行いながら繰出すように設定されている。
【００３５】
前記検出手段６０は、フレームＦの面から突出する棒状の支持部材８２と、この支持部材８２の長手方向二箇所に取り付けられた一対のセンサ８３Ａ，８３Ｂとにより構成されている。センサ８３Ａ，８３Ｂは、図５に示されるように、繰出方向に沿う基準中心線ＣＬに対して左右等間隔位置に配置され、前記基準中心線ＣＬに沿う接着シートＳ１の弦長さａ、ｂを検出するように構成されている。ここで、「基準中心線」とは、貼付用テーブル２１上のウエハＷの中心との対応関係において、剥離シートＰＳに仮着されている接着シートＳ１の中心Ｃが通過しなければならない設計上の中心線を意味する。従って、中心Ｃが基準中心線ＣＬ上になく通過する場合には、横方向（図５中左右方向）の何れか一方にずれて接着シートＳ１が通過していることになる。そのため、図５に示されるように、中心Ｃが基準中心線ＣＬよりも左側に位置して繰り出されると仮定したときは、接着シートＳ１は、左側にＳ分ずれた状態となる。このずれの検出方法として、本実施形態では、二通りの方法を採用することができる。これを更に詳述すると、例えば、センサ８３Ａが検出した弦長さａの１／２と、予め決定している接着シートＳ１の半径ｒに基づいて三平方の定理により残り一辺の長さを求め、当該長さを設定長さＡ（センサ検出位置と基準中心線との距離）と比較することでずれ量Ｓを特定することができる。また、他の方法として、センサ８３Ｂが検出した弦長ｂの１／２と、半径ｒに基づいて上記同様に左側の残り一辺の長さを求め、上記で求めた右側の残り一辺との差を取り、その半分をずれ量Ｓと特定することもできる。尚、これらずれ量Ｓは、図示しない制御装置のプログラムにより自動的に算出し、同制御装置がずれ量Ｓを記憶しておき、該当する接着シートＳ１がウエハＷに貼り付けられる前に上記ずれ量補正装置５１の単軸ロボットに指令し、吸着プレート２１ＢをＹ方向にそのずれ量Ｓ分移動させる構成となっている。
【００３６】
前記貼付ロール移動装置５２は、前記移載用テーブル２０のレール３１と平行すなわちＸ方向に延びる単軸ロボット８５と、この単軸ロボット８５に支持されてＹ方向に延びる移動アーム８６と、この移動アーム８６の反単軸ロボット８５端側を支持するようにＸ方向に延びるレール８８と、前記移動アーム８６の上面二箇所に設けられた一対の上下動シリンダ８９，８９と、移動アーム８６の下面側に配置されて上下動シリンダ８９のピストンロッド９１（図４参照）の進退により昇降可能に設けられた門型フレーム９０と、当該門型フレーム９０に回転可能に支持された貼付ロール６１により構成され、前記単軸ロボット８５が作動して移動アーム８６がＸ方向に移動することで、貼付ロール６１の外周を回行する接着シートＳ１がウエハＷに押圧されながら貼付される。
【００３７】
前記門型フレーム９０の両側には、略鉛直面内に向けられた板状をなすブラケット９２，９２が固定されており、当該ブラケット９２の図２中右側の上下に前述したガイドレール７６，７９が支持されている。また、ガイドレール７６の回転中心軸回りには、略Ｌ型の揺動リンク９４が揺動可能に装着されており、その一端側に前記テンションロール７７が支持されている一方、他端側には、前記移動アーム８６の上面に固定されたエアシリンダ９６のピストンロッド９７が連結されている。従って、ピストンロッド９７が進退することにより、テンションロール７７は、ガイドロール７６の回転中心軸を回転中心として回転可能に設けられ、これにより、ガイドロール７６及び貼付ロール６１間における原反Ｌに一定の張力を付与するようになっている。
【００３８】
前記移載装置２２は、ウエハＷを下面側に吸着する板状の吸着プレート１００と、この吸着プレート１００の上面側に設けられた温度調整ユニット１０１と、吸着プレート１００を支持するアーム１０２と、吸着プレート１００を昇降させるＺ軸シリンダ１０３と、Ｚ軸シリンダ１０３をＹ方向に移動させる単軸ロボット１０５とを含んで構成されている。吸着プレート１００は、移載用テーブル２０上のウエハＷを吸着したときに、仮着を行うための温度にウエハＷを加熱しつつ貼付用テーブル２１にウエハＷを移載し、当該ウエハＷに接着シートＳ１を貼付した後に、ウエハＷを接着用テーブル２６に移載し、当該接着用テーブル２６で接着シートＳ１が完全接着されたウエハをマウント装置１８に移載する作用をなすものである。この際、移載装置２２は、温度調整ユニット１０１により、移載用テーブル２０から貼付用テーブル２１にウエハＷを移載する間、貼付用テーブル２１から接着用テーブル２６に移載する間、接着用テーブル２６からマウント装置１８に移載する何れの工程においても、ウエハＷの温度調整を行い、ウエハを移載してからの温度調整時間を不要としたり、或いは短縮化を図ることができるようになっている。
【００３９】
前記接着用テーブル２６は、図示しないフレームを介して貼付用テーブル２１の側方上部に配置されている。この接着用テーブル２６は、上面が吸着面として構成されており、前記移載装置２２を介して貼付用テーブル２１からウエハＷが移載され、接着シートＳ１が仮着されているウエハＷを加熱して当該接着シートＳ１をウエハＷに完全に接着するようになっている。
【００４０】
前記接着用テーブル２６で接着シートＳ１が完全に接着されたウエハＷは、再び前記移載装置２２を介してマウント装置１８側に移載される。当該マウント装置１８において、ウエハＷが図示しないダイシングテープを介してリングフレームＲＦにマウントされ、当該マウントを行った後のウエハＷの回路面から保護シートが剥離されてストッカ１９に収納される。
【００４１】
次に、本実施形態における接着シートＳ１の貼付動作について説明する。
【００４２】
紫外線照射処理及びアライメント処理が行われたウエハＷが移載用テーブル２０を介して貼付用テーブル２１の上方位置まで搬送されると、移載装置２２の吸着プレート１００にウエハＷが吸着される。この後、移載用テーブル２０は図２中実線位置に戻る一方、貼付用テーブル２１が図４中実線で示される位置まで上昇してウエハＷが貼付用テーブル２１上に移載される。
【００４３】
この一方、貼付ユニット２４側では、原反Ｌの繰り出しが行われ、駆動ロール６５、７０により張力制御が行われながら、順次ダイカットロール５６を介して平面視略円形の接着シートＳ１の輪郭を形成するように接着シート材ＬＳに切り込みが形成される。この切り込みによって生ずる不要接着シートＳ２は、回収ロール５７によって順次巻き取り回収され、駆動ロール７１より繰出方向下流側は剥離シートＰＳに接着シートＳ１が仮着された状態の原反が順次繰り出されることとなる。ここで、前述したように、検出手段６０が接着シートＳ１の基準中心線ＣＬに対する横方向の位置ずれを検出し、そのずれ量Ｓを確定し、図示しない制御装置に記憶しておく。
【００４４】
ずれ量Ｓが確定されたウエハＷが貼付体制に入ると、図示しない制御装置が記憶しておいた該当する接着シートのずれ量Ｓに基づき、ずれ量補正装置５１の単軸ロボットにそのずれ量に対応した分だけ吸着テーブル２１Ｂを基準中心線ＣＬに対してＹ方向に移動させる。そして接着シートＳ１は、貼付ロール６１の回転と押圧力を受けながら、貼付用テーブル２１上のウエハＷとの相対位置関係に基づいて制御され、同時に駆動ロール７４、８０により張力制御が行われつつ繰出方向端から順次ウエハＷの裏面に貼付される。これにより、位置ずれを補正した状態で接着シートＳ１がウエハＷの裏面に貼付されることとなる。なお、移動した吸着テーブル２１Ｂは、初期位置つまり基準中心線ＣＬにウエハＷの中心が一致する位置に復帰した後、吸着プレート１００にウエハＷを受け渡すようになっている。
【００４５】
移載装置２２の吸着プレート１００に吸着されたウエハＷは、接着用プレート２６に移載されて完全接着され、更に、マウント装置１８において、リングフレームＲＦへのマウントが行われた後、回路面に貼り付けられていた図示しない保護テープが剥離されることとなる。
【００４６】
次に、貼付ロール６１によって接着シートＳ１がウエハＷに貼付される具体的作用について、図６及び図７をも参照しながら説明する。
本発明においては、図６及び図７に示されるように、二つの貼付態様を採用することが可能であり、図６に示される態様は、いわゆる繰出同時貼付態様を示し、図７は巻取同時貼付態様を示している。
【００４７】
図６（Ａ）〜（Ｄ）に示される貼付態様においては、接着シートＳ１のリード端ＳＥがウエハＷの図中右端に一致する位置まで繰り出される（図６（Ａ）参照）。そして、この状態で、貼付ロール６１が上下動シリンダ８９を介して下降してリード端ＳＥをウエハＷの右端に当接させる（図６（Ｂ）参照）。次いで、貼付ロール移動装置５２がウエハＷの径方向反対側に向かって移動することで接着シートＳ１を繰り出しながら、貼付ロール６１が接着シートＳ１をウエハＷに押圧して貼付することとなる（図６（Ｄ）参照）。
【００４８】
また、図７（Ａ）〜（Ｄ）に示される貼付態様においては、貼付ロール移動装置５２を作動させて貼付ロール６１の中心をウエハＷの図中左端の真上に位置させるととともに、接着シートＳ１の反リード端ＳＥ１がウエハＷの図中左端に一致する状態すなわちウエハＷに相対する位置まで原反の繰り出しを行い（図７（Ａ）参照）、この状態で、貼付ロール６１を下降させて接着シートＳ１の反リード端ＳＥ１をウエハＷの左端に当接させる（図７（Ｂ）参照）。次いで、貼付ロール移動装置５２がウエハＷの径方向反対側に向かって移動することで、接着シートＳ１を巻き取りながら貼付ロール６１が接着シートＳ１をウエハＷに押圧して貼付することができる（図７（Ｃ）、（Ｄ）参照）。
【００４９】
従って、このような実施形態によれば、検出手段６０が繰出動作中の接着シートＳ１の位置ずれを検出できるので、当該位置ずれを生じたときに、貼付用テーブル２１の位置を補正することで対応することができ、処理効率の低下をきたすことなく接着シートＳ１をウエハＷに連続的に貼付することが可能となる。
【００５０】
また、接着シートＳ１は、剥離シートＰＳを介して押圧力を受けて貼付されるので、貼付ロール６１が直接接触することに起因した傷つき等を防止することができる。
【００５１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００５２】
例えば、前記実施形態における貼付装置１６は、感熱接着性を有するダイボンディング用の接着シートＳ１をウエハＷに貼付する装置として図示、説明したが、他のシート、例えば、感圧接着性を有する接着シートであってもよい。また、ドライレジストフィルムや、保護膜形成用のシート等をウエハＷに貼付する場合にも適用することができる。
【００５３】
また、前記実施形態では、ウエハＷに接着シートＳ１を貼付する構成について説明したが、ウエハＷ以外の板状部材にシート、フィルムを貼付する構成にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本実施形態に係るウエハ処理装置の全体構成を示す概略平面図。
【図２】貼付装置を含む図１の一部正面図。
【図３】貼付装置の概略斜視図。
【図４】貼付ロール移動装置が接着シートを貼り付ける途中段階を示す概略斜視図。
【図５】検出手段による位置ずれ検出原理を示す説明図。
【図６】繰出同時貼付動作を示す作用説明図。
【図７】巻取同時貼付動作を示す作用説明図。
【符号の説明】
【００５５】
１０  ウエハ処理装置
１５  貼付装置
２１  貼付用テーブル
２４  貼付ユニット
５１  ずれ量補正装置
６０  検出手段
Ｌ  原反
Ｓ１  接着シート（感熱接着性の接着シート）
ＰＳ  剥離シート
ＬＳ  接着シート材
Ｗ  半導体ウエハ（板状部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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