(57)【要約】【課題】  吸着具の流路内を流れる流量に基づいて、ワークの吸着および離脱を確実に検出し得る吸着検出方法および吸着検出装置を提供する。【解決手段】  吸着具内に形成され負圧源に接続される流路内の流量Ｌが、吸着具にワークが接触していない空吸い状態のもとで吸着レンジの上限値ＬＯＮ以上となった後に、吸着具の流路内を流れる負圧空気の流量が上限値ＬＯＮ以下となったとき（Ｆ点）には、ワークが吸着具に吸着されたと判定し、吸着具を移動してワークをある位置から他の位置に移動する。ワークが所定の位置まで搬送されたら吸着具に対する負圧空気の供給を停止（Ｈ点）し、停止した状態のもとで吸着具内に流入する空気の流量が下限値ＬＯＦＦ以下となったときにワークが吸着具から離脱したと判定する。【選択図】    図３
2006218579.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着具にワークが吸着されているか否かを検出する吸着検出方法であって、
前記吸着具に脱着路を介して負圧源からの負圧空気を、前記吸着具にワークが接触していない空吸い状態のもとで、供給したときにおける前記脱着路内の負圧空気流量が所定の上限値を越えた後、前記負圧空気流量が前記上限値以下となったときに前記吸着具に対するワークの吸着を判定することを特徴とする吸着検出方法。
【請求項２】
請求項１記載の吸着検出方法において、前記吸着具に対する負圧空気の供給を停止した状態または正圧空気を供給した状態のもとで負圧空気流量が所定の下限値以下となったときにワークの前記吸着具からの離脱を判定することを特徴とする吸着検出方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の吸着検出方法において、前記空吸い状態における前記脱着路における空吸い流量値から所定の吸着判定値を差し引いて前記上限値を補正することを特徴とする吸着検出方法。
【請求項４】
請求項３記載の吸着検出方法において、ワークの離脱を検出した後には、補正されるまでの前記上限値を到達不可値に設定することを特徴とする吸着検出方法。
【請求項５】
吸着具にワークが吸着されているか否かを検出する吸着検出装置であって、
前記吸着具と負圧源とを連通させる脱着路内を流れる負圧空気の流量を検出する流量センサと、
前記吸着具に前記脱着路を介して前記負圧源からの負圧空気を、前記吸着具にワークが接触していない空吸い状態のもとで、供給したときにおける前記脱着路内の負圧空気流量が所定の上限値を越えた後、前記上限値以下となったときに前記吸着具に対するワークの吸着を判定する吸着検出手段とを有することを特徴とする吸着検出装置。
【請求項６】
請求項５記載の吸着検出装置において、前記吸着検出手段は、負圧空気流量が所定の下限値以下となったときにワークの前記吸着具からの離脱を判定することを特徴とする吸着検出装置。
【請求項７】
請求項５または６記載の吸着検出装置において、前記吸着検出手段は、前記空吸い状態における前記脱着路における空吸い流量値から所定の吸着判定値を差し引いて前記上限値を補正することを特徴とする吸着検出装置。
【請求項８】
請求項７記載の吸着検出装置において、前記吸着検出手段は、ワークの離脱を検出した後には、補正されるまでの前記上限値を到達不可値に設定することを特徴とする吸着検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スポンジ、多孔質材など吸着前後で圧力差の少ないワークや、ＩＣやＬＳＩなどワークとしての電子部品を真空吸着して搬送する吸着搬送装置に用いられて、これらのワークの吸着および離脱を検出する吸着検出方法および吸着検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路が形成されたＩＣやＬＳＩなどの電子部品は、搬送装置を用いることによって検査ボードや実装基板上の所定の位置に搭載される。このような搬送装置としては、水平方向に移動自在の搬送ヘッドに上下動自在に吸着具を設け、搬送ヘッドを部品供給ステージと検査ボードとの間で移動させ、部品供給ステージと検査ボードの所定の位置において吸着具を上下動させるようにしたものが知られている。吸着具には、負圧源に接続されるとともにワークに接触する接触面において開口する着脱路が形成されており、部品供給ステージにおいては着脱路に負圧を供給するとともに吸着具をワークに接触させてワークを吸着するようにしている。
【０００３】
このような吸着搬送装置では、搬送中のワークの脱落を防止するために、ワークが吸着具に確実に吸着されたことを確認した後に搬送動作を行うようにしている。そのため、特許文献１に開示される吸着搬送装置では、着脱路内の圧力を検出する圧力センサを設け、吸着動作における着脱路内の負圧が吸着確認圧力以上増加したときにワークが吸着されたことを検出するようにしている。この従来技術においては吸着確認圧力を一定に設定しているのに対し、特許文献２に開示される吸着搬送装置では、負圧供給時に新たな吸着確認圧力が設定されるようにして吸着判定の検出精度を高めている。
【特許文献１】特開２００１−５４８８６号公報
【特許文献２】特開２００４−２０２６７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧力センサを用いて吸着具に対するワークの吸着とワークの離脱とを検出する場合には、微小なワークを吸着搬送するために着脱路の内径が非常に小さい吸着具を用いると、ワークの吸着前後での差圧が小さくなるので吸着確認圧力も小さく設定する必要があるので、供給圧力が僅かに変動しただけでも吸着確認圧力を越えてしまう可能性があり、ワークの吸着検出精度を低下させてしまう。このため、圧力センサを用いて吸着具に対するワークの吸着と離脱とを検出する場合には、上記特許文献に記載されるように圧力変化の検出精度を高めるようにして対応することになる。
【０００５】
一方、吸着具に対してワークが吸着されたときにも吸着具には負圧空気がワークと吸着具の先端面との間から漏入することになり、吸着時と未吸着時とにおける負圧空気の流量には差が発生する。この流量差を流量センサにより検出すると、着脱路の内径が非常に小さい吸着具を用いる場合であっても、圧力差よりも流量差が大きく表れるので、ワークの吸着と離脱の検出を行うことが可能であることが判明した。しかしながら、流量センサを用いて吸着具を流れる負圧空気の流量に基づいてワークの吸着と離脱との検出を行う場合には、流量に閾値を設けて流量が所定値となったときに流量センサからのオン信号によりワークの吸着を検出するようにすると、吸着具への負圧空気の供給を開始した段階でワークを未吸着であるにもかかわらず、流量が閾値を越えるので流量センサはオン信号を出力することになる。したがって、そのオン信号をキャンセルして次に流量センサがオン信号を出力したときにワークの吸着を判定する必要がある。
【０００６】
このため、流量センサは微細な流量変化を検出することができるという特性があっても、吸着具に対するワークの吸着と離脱とを検出するために流量センサを使用することは困難であった。
【０００７】
本発明の目的は、吸着具の流路内を流れる流量に基づいて、ワークの吸着および離脱を確実に検出し得るようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の吸着検出方法は、吸着具にワークが吸着されているか否かを検出する吸着検出方法であって、前記吸着具に脱着路を介して負圧源からの負圧空気を、前記吸着具にワークが接触していない空吸い状態のもとで、供給したときにおける前記脱着路内の負圧空気流量が所定の上限値を越えた後、前記負圧空気流量が前記上限値以下となったときに前記吸着具に対するワークの吸着を判定することを特徴とする。
【０００９】
本発明の吸着検出方法は、前記吸着具に対する負圧空気の供給を停止した状態または正圧空気を供給した状態のもとで負圧空気流量が所定の下限値以下となったときにワークの前記吸着具からの離脱を判定することを特徴とする。
【００１０】
本発明の吸着検出方法は、前記空吸い状態における前記脱着路における空吸い流量値から所定の吸着判定値を差し引いて前記上限値を補正することを特徴とする。
【００１１】
本発明の吸着検出方法は、ワークの離脱を検出した後には、補正されるまでの前記上限値を到達不可値に設定することを特徴とする。
【００１２】
本発明の吸着検出装置は、吸着具にワークが吸着されているか否かを検出する吸着検出装置であって、前記吸着具と負圧源とを連通させる脱着路内を流れる負圧空気の流量を検出する流量センサと、前記吸着具に前記脱着路を介して前記負圧源からの負圧空気を、前記吸着具にワークが接触していない空吸い状態のもとで、供給したときにおける前記脱着路内の負圧空気流量が所定の上限値を越えた後、前記上限値以下となったときに前記吸着具に対するワークの吸着を判定する吸着検出手段とを有することを特徴とする。
【００１３】
本発明の吸着検出装置は、前記吸着検出手段が、負圧空気流量が所定の下限値以下となったときにワークの前記吸着具からの離脱を判定することを特徴とする。
【００１４】
本発明の吸着検出装置は、前記吸着検出手段が、前記空吸い状態における前記脱着路における空吸い流量値から所定の吸着判定値を差し引いて前記上限値を補正することを特徴とする。
【００１５】
本発明の吸着検出装置は、前記吸着検出手段が、ワークの離脱を検出した後には、補正されるまでの前記上限値を到達不可値に設定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、吸着具に負圧空気を供給した状態のもとで吸着具にワークが吸着したときにワークと吸着具の先端面との間から漏入する空気の流量の上限値を予め設定しておき、吸着具にワークが接触していない空吸い状態のもとで吸着具に負圧空気を供給したときに負圧空気の流量が上記上限値を越えたことを流量センサが検出した後に、負圧空気の流量が上記上限値以下となったときに吸着具にワークが吸着したと判定するようにしたので、流量センサを用いて吸着具に対するワークの吸着を確実に検出することができる。
【００１７】
本発明によれば、吸着具に対して負圧空気を供給していた状態から供給を停止した状態に切り換えたときに吸着具内に流入する空気の流量の下限値を予め設定しておき、吸着具に対する負圧空気の供給を停止した状態のもとで負圧空気の流量が前記下限値以下となったことを流量センサが検出したときにワークの吸着具からの離脱を判定するようにしたので、流量センサを用いて搬送終了後の吸着具からのワークの離脱を確実に検出することができる。
【００１８】
本発明によれば、ワークの搬送途中でワークが吸着具から脱落したときには、負圧空気の供給時に負圧空気の流量が上限値を越えたことを流量センサによって検出することができるので、搬送中における意図しないワークＷの脱落を検出することができる。
【００１９】
本発明によれば、空吸い状態における空吸い流量値から所定の吸着判定値を差し引いて上限値を補正するようにしたので、共通の負圧源から複数の分岐流路を介して複数の吸着具に負圧空気を供給するようにし、いずれかの吸着具におけるワークの吸着または離脱によって他の吸着具における流量が影響を受ける場合のように、吸着具に対する流量変化が発生する場合でも、ワークＷの吸着を確実に検出することができる。
【００２０】
本発明によれば、１つのワークＷの搬送を終了した後に次のワークを搬送するまでの上限値を到達不可値に設定するようにしたので、次のワークの吸着を確実に検出することができるとともに、ワークＷの搬送後に内径の異なる他の吸着具に交換した場合でも、ワークＷの吸着を確実に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
図１（Ａ）〜（Ｅ）は、本発明の一実施の形態である吸着検出装置を有する吸着搬送装置によりワークを吸着搬送する搬送手順を示す説明図であり、図２は図１に示す吸着搬送装置の概略を示すブロック図である。吸着搬送装置１１は部品供給ステージ１２の上に配置されたＩＣなどの電子部品をワークＷとして、これを吸着具１３により吸着して実装基板１４に搬送するために用いられる。
【００２３】
吸着搬送装置１１は水平方向に移動自在の搬送ヘッド１５を有しており、搬送ヘッド１５は電動モータを駆動することにより部品供給ステージ１２と実装基板１４との間を水平移動するようになっている。搬送ヘッド１５には空気圧シリンダ１６が固定されており、この空気圧シリンダ１６には上下方向に往復動自在にピストンロッド１７が装着されている。空気圧シリンダ１６には電磁弁１８を介して正圧源１９が接続されており、電磁弁１８に通電がなされると正圧源１９から供給される圧縮空気によりピストンロッド１７は図中下方側に前進し、電磁弁１８への通電が絶たれるとピストンロッド１７は後退限位置に保持されるようになっている。
【００２４】
ピストンロッド１７の先端には内部に空気流路２０が形成された吸着具１３が取り付けられている。この空気流路２０は吸着具１３の先端に設けられたワークＷとの接触面２１に開口しており、その開口部は真空吸引口２２となっている。また、空気流路２０には真空供給弁２３を介して負圧源２４に接続されるとともに真空破壊弁２５を介して正圧源２６に接続された連通流路２７が接続されており、空気流路２０と連通流路２７とにより着脱路２８が構成されている。
【００２５】
真空供給弁２３はソレノイド２３ａにより流路を開閉する開閉弁であり、ソレノイド２３ａに通電がなされると着脱路２８を負圧源２４に連通させる開位置に作動し、ソレノイド２３ａへの通電が絶たれると着脱路２８を閉じる閉位置に作動するようになっている。同様に、真空破壊弁２５はソレノイド２５ａにより流路を開閉する開閉弁であり、ソレノイド２５ａに通電がなされると着脱路２８を正圧源２６に連通させる開位置に作動し、ソレノイド２５ａへの通電が絶たれると着脱路２８を閉じる閉位置に作動するようになっている。真空破壊弁２５には圧縮空気の流量を調整するための可変しぼり２９が設けられている。
【００２６】
この吸着搬送装置１１には、制御プログラム、演算式およびマップデータなどが格納されるＲＯＭや一時的にデータを格納するＲＡＭなどのメモリと各種制御信号を演算する図示しないマイクロプロセッサとを有する装置コントローラ３０が設けられている。装置コントローラ３０には、電磁弁１８や各弁２３，２５のソレノイド２３ａ，２５ａおよび搬送ヘッド１５を駆動する電動モータが接続されており、これらの部材の動作は装置コントローラ３０により制御されている。
【００２７】
着脱路２８には、外部から着脱路２８内に流れ込む単位時間当たりの空気の流量Ｌ（l／min）を検出するための流量センサ３１が接続されている。この流量センサ３１は通信ケーブル３２を介してセンサコントローラ３３に電気的に接続され、流量センサ３１により検出された流量Ｌに対応する電圧値がセンサコントローラ３３に検出信号として伝達されるようになっており、センサコントローラ３３は吸着検出手段を構成している。
【００２８】
図３は吸着具１３にワークが吸着されて搬送される際に流量センサ３１により検出される着脱路内の流量変化の一例を示すタイムチャートである。ワークを吸着する際には、まず真空供給弁２３を作動させて脱着路２８に負圧源２４からの負圧空気を供給すると、吸着具１３の真空吸引口２２から空気流路２０内に流入する負圧空気の流量は図３においてＡ点からＢ点、Ｃ点を経てＤ点にまで流量が上昇する。Ｄ点は吸着具１３にワークが吸着されていない空吸い状態のもとで吸着具１３内を流れる空吸い流量値Ｌｐを示す。Ｇ点はワークが吸着具１３に吸着された状態のもとでワークと吸着具１３の接触面２１との間から吸着具１３内に流入する所定の空気流量であって、Ｆ点は吸着具１３にワークが吸着された状態を判定するための上限値ＬＯＮを示す。Ｃ点は上限値ＬＯＮ対して所定のヒステリシス幅Ｈを加えた値であり、センサコントローラ３３の内部のフラグを１にセットするための上限値ＬＯＮＨを示す。Ｂ点は後述する吸着レンジの下限値ＬＯＦＦを示す。Ｉ点は下限値ＬＯＦＦから所定のヒステリシス幅Ｈを差し引いた下限値ＬＯＦＦＨであり、ワークが吸着具１３に吸着された状態のもとで真空供給弁２３を閉じて吸着具１３に対する負圧供給を停止することにより吸着具１３内に流入する所定の空気流量であって、吸着具１３からワークが離脱した状態を判定するための下限値ＬＯＦＦＨを示す。なお、ヒステリシス幅Ｈをゼロにして、上限値ＬＯＮと上限値ＬＯＮＨとを同一の値とし、下限値ＬＯＦＦと下限値ＬＯＦＦＨとを同一の値としても良い。
【００２９】
センサコントローラ３３にはマイクロプロセッサとともにＲＯＭやＲＡＭなどのメモリが設けられており、これらのメモリには上限値ＬＯＮや上限値ＬＯＮＨおよび下限値ＬＯＦＦや下限値ＬＯＦＦＨが格納されており、流量センサ３１からの検出信号に基づいて吸着具１３に対するワークの吸着と離脱などを判定する。ただし、装置コントローラ３０のメモリ内に上限値ＬＯＮや上限値ＬＯＮＨおよび下限値ＬＯＦＦや下限値ＬＯＦＦＨのデータを格納するようにし、流量センサ３１からの信号を直接装置コントローラ３０に送るようにしても良く、その場合には装置コントローラ３０は吸着検出手段を構成することになる。
【００３０】
ワークを吸着搬送する際には、まず、空吸い状態のもとで吸着具１３に負圧空気を供給すると、図３においてＡ点から下限値ＬＯＦＦおよび上限値ＬＯＮＨを通過してＤ点まで負圧空気の流量が上昇する。上限値ＬＯＮＨを通過すると、センサコントローラ３３の内部のフラグが１にセットされることになるが、このフラグＦ＝１を前提として、吸着具１３をワークに接近させてワークが吸着具１３に接触することによりＦ点で示すように流量センサ３１により負圧流量が上限値ＬＯＮ以下となったときにワークが吸着具１３に吸着されたと判定する。吸着が判定された後に搬送ヘッド１５を移動させることによりワークは吸着具１３により吸着保持された状態で搬送位置まで搬送され、搬送過程では吸着具１３内に流入する負圧空気はＧ点とＨ点の間の流量となる。
【００３１】
搬送が終了して、真空供給弁２３により脱着路２８に対する負圧空気の供給を停止すると、図３においてＨ点からＪ点に向けて吸着具１３内に流入する負圧空気の流量は徐々に低下し、流量センサ３１からの検出信号が下限値ＬＯＦＦＨまで低下したときにワークの離脱が判定される。
【００３２】
次に、図１を参照して吸着搬送装置１１により部品供給ステージ１２上のワークＷを実装基板１４上に搬送するための手順について説明する。まず、図１（Ａ）に示すように、ピストンロッド１７が後退移動した状態で搬送ヘッド１５が部品供給ステージ１２上まで移動する。次いで、空気圧シリンダ１６に圧縮空気を供給して、図１（Ｂ）に示すようにピストンロッド１７を降下させるとともに、真空供給弁２３を開いて着脱路２８に負圧を供給し、接触面２１がワークＷに接触したときにワークＷが負圧により吸着具１３に吸着されるようにする。
【００３３】
ワークＷ吸着後、図１（Ｃ）に示すように、空気圧シリンダ１６のピストンロッド１７が後退移動した後に、搬送ヘッド１５が実装基板１４に向けて水平移動する。図１（Ｄ）に示すように、搬送ヘッド１５が実装基板１４上のワーク搭載位置まで移動すると、ピストンロッド１７が前進移動してワークＷが実装基板１４上に配置される。ワークＷを実装基板１４上に配置する際には、真空吸引口２２に対する負圧の供給を停止するとともに真空破壊弁２５を開いて正圧空気を供給すると、負圧状態が急速に破壊されワークＷを確実かつ迅速に離脱させることができる。ワークＷの離脱が完了した後、図１（Ｅ）に示すように、ピストンロッド１７を上昇移動させたところで一連のワークＷの搬送手順が終了し、搬送ヘッド１５は次のワークＷを搬送すべく再び部品供給ステージ１２に向けて移動する。
【００３４】
図１（Ａ）に示すように、搬送ヘッド１５を部品供給ステージ１２上まで移動させている間は、真空供給弁２３と真空破壊弁２５は共に閉じられており、流量ＬはＪ点からＡ点に示されるようにほぼゼロとなっている。次いで、図１（Ｂ）に示すように、ピストンロッド１７を降下させるとともに真空供給弁２３を開いて着脱路２８に負圧を供給すると、着脱路２８内には次第に外気が取り込まれて流量Ｌが空吸い流量値ＬＰまで増加する（Ａ点〜Ｄ点間）。
【００３５】
空吸い流量値ＬＰを維持した状態（Ｄ点〜Ｅ点間）で接触面２１がワークＷに接触すると負圧によりワークＷが吸着具１３に吸着され、真空吸引口２２が塞がれることによって着脱路２８内に取り込まれる流量Ｌが急激に減少するが（Ｅ点〜Ｇ点間）、ワークＷと真空吸引口２２との間に形成される隙間から外気が流入するので漏れ分を考慮した流量に相当するＧ点に達するとそのまま平衡状態に移行する。搬送ヘッド１５の移動中（図１（Ｃ）参照）においては、流量Ｌはほぼ一定となっており（Ｇ点〜Ｈ点間）、搬送ヘッド１５が実装基板１４の定位置に移動した後（図１（Ｄ）参照）、真空供給弁２３を閉じることによって、流量Ｌが減少するとともに（Ｈ点〜Ｊ点間）、ワークＷが吸着具１３から離脱する。
【００３６】
真空破壊弁２５を開いて圧縮空気を供給すると着脱路２８内の空気が逆流するので外部から着脱路２８内に流れ込む流量Ｌが急速に減少する（Ｈ点〜Ｊ点間）。図１（Ｅ）に示すように、ワークＷの離脱が完了した後、搬送ヘッド１５を再び部品供給ステージ１２に移動させる間は、真空供給弁２３と真空破壊弁２５は共に閉じられており、流量Ｌはほぼゼロとなっている（Ｊ点〜Ａ点間）。
【００３７】
図３において上限値ＬＯＮと下限値ＬＯＦＦの間の流量値は、吸着具１３にワークが吸着されている状態の吸着レンジであり、吸着レンジの上限値ＬＯＮとしてはワークＷを吸着しているときの流量Ｇ〜Ｈより大きな値が設定され、最小値ＬＯＦＦとしては流量Ｇ〜Ｈより小さな値が設定されるが、これらの値は予め実験などに基づいて決定される。
【００３８】
センサコントローラ３３は、装置コントローラ３０からの指令を受けてワークWの吸着および離脱判定を行い、ワークＷの吸着を判定したときには吸着検出信号を出力つまりＯＮ状態とし、ワークＷの離脱を判定したときには吸着検出信号の出力を停止つまりＯＦＦ状態とするようになっている。
【００３９】
図４はワークの吸着および離脱検出のアルゴリズムを示すフローチャートである。図４に示すルーティンはセンサコントローラ３３により所定の間隔で繰り返し実行される。
【００４０】
次に、図４に示すルーティンを図３に示すタイムチャートに関連付けて説明すると、まず、ステップＳ１において、流量センサ３１を用いて現在の流量Ｌを検出するとともに、ステップＳ２において、吸着検出信号を読み取る。吸着検出信号はセンサコントローラ３３から装置コントローラ３０へ出力されるとともに、センサコントローラ３３の内部信号（フラグ）として用いられる。続く、ステップＳ３において、吸着検出信号がＯＦＦ状態と判定されるとステップＳ４に進み、ＯＮ状態と判定されるとステップＳ１０に進む。たとえば、ワークＷの搬送を終えた搬送ヘッド１５が実装基板１４から部品供給ステージ１２に移動する間（Ｊ点〜Ａ点間）や負圧の供給開始から吸着直後（Ａ点〜Ｆ点間）では吸着検出信号がＯＦＦ状態となっており、ステップＳ４に進むことになる。他方、後述する方法によりワークＷの吸着が判定されている間（Ｆ点〜Ｉ点間）では吸着検出信号がＯＮ状態となっており、ステップＳ１０に進むことになる。
【００４１】
ステップＳ４では、現在の流量Ｌと上限値ＬＯＮＨとの比較が行われ、流量Ｌが上限値ＬＯＮＨ以上と判定されるとステップＳ５に進んでフラグＦが設定される（Ｆ＝１）。一方、流量Ｌが上限値ＬＯＮＨ未満と判定されるとともに続くステップＳ６において下限値ＬＯＦＦＨ以上と判定されたとき、即ち流量Ｌが吸着レンジの範囲内に含まれているものと判定されたときにはステップＳ７に進む。ステップＳ７ではフラグ設定信号に基づいてフラグＦが設定されている（Ｆ＝１）か否かの判定が行われ、フラグＦが設定されている（Ｆ＝１）と判定された場合にのみ吸着検出信号が出力されるようになっている（ステップＳ８）。その他、ステップＳ６において流量Ｌが下限値ＬＯＦＦＨ未満であると判定されたときには、フラグＦの設定は解除状態（Ｆ＝０）のまま保持されることになる（ステップＳ９）。
【００４２】
例えば、空吸い流量値ＬＰに到達しているときなど流量Ｌが上限値ＬＯＮＨ以上となっているとき（Ｃ点〜Ｆ点間）には、ステップＳ５に進んでフラグＦが設定される（Ｆ＝１）ことになる。他方、流量ＬがＬＯＦＦＨ以上ＬＯＮ未満であるとき（ＢＨ点〜ＣＨ点間およびＦ点〜Ｉ点間）には、ステップＳ７に進み、フラグＦが設定されているとき（Ｆ点〜Ｉ点間）のみ吸着検出信号が出力されるようになっている（ステップＳ８）。その他、搬送ヘッド１５が部品供給ステージ１２に引き返す間（Ｉ点〜Ａ点間）や負圧供給直後（Ａ点〜Ｂ点間）においては、流量Ｌが下限値ＬＯＦＦ未満であることから、フラグＦの設定は解除状態（Ｆ＝０）のまま保持されることになる（ステップＳ９）。
【００４３】
このように、流量ＬがＬＯＦＦＨ以上ＬＯＮ未満の場合であってもフラグＦの設定が解除されている場合（Ｆ＝０）には吸着検出信号は出力されないので、例えば、流量Ｌが空吸い流量値ＬＰに至るまでの間（Ａ点〜Ｄ点間）に吸着レンジ内を通過する（Ｂ点〜Ｃ点間）ことがあっても、ワークＷの吸着が誤って検出されることがない。一方、流量Ｌが一旦上限値ＬＯＮＨ以上（Ｃ点〜Ｆ点間）となってフラグＦが設定された後、吸着具１３にワークＷが吸着されることにより流量Ｌが下がり、流量ＬがＬＯＦＦＨ以上ＬＯＮ未満となった場合（Ｆ点〜Ｉ点間）には、ステップＳ８に進み吸着検出信号が出力されることになる。
【００４４】
ステップＳ１０では現在の流量Ｌと上限値ＬＯＮとの比較が行われ、流量Ｌが上限値ＬＯＮ未満と判定されるとともに続くステップＳ１１において流量Ｌが下限値ＬＯＦＦＨ以下と判定されたときにはステップＳ１２に進んで吸着検出信号の出力が停止されるとともに、ステップＳ１３においてフラグＦの設定が解除される（Ｆ＝０）。一方、ステップＳ１０において流量Ｌが上限値ＬＯＮ未満と判定されステップＳ１１において下限値ＬＯＦＦＨ以上と判定されたときには、吸着検出信号をＯＮ状態のままフラグＦを設定状態のまま維持し終了することになる。
【００４５】
例えば、ワークＷの吸着搬送中（Ｇ点〜Ｈ点間）ではステップＳ１１からルーティンを抜けることにより吸着検出信号はＯＮ状態のまま維持されるが、ワークＷが実装基板１４上の定位置に搬送され負圧の供給が停止されると流量Ｌが下限値ＬＯＦＦＨ以下となるので、ステップＳ１１からステップＳ１２に進み、吸着検出信号がＯＦＦ状態つまり吸着検出信号の出力が停止されるとともに、フラグＦの設定が解除される（ステップＳ１３）。これにより、ワークＷの離脱を確実に検出することができるとともに、次のワークＷを搬送するために搬送ヘッド１５が部品供給ステージ１２に移動し負圧の供給を開始して流量Ｌが上限値ＬＯＮＨ以上となるまでの間（Ｊ点〜Ｃ点間）で、ワークＷの吸着が誤って検出されることがない。なお、ステップＳ１４において吸着検出信号の出力が停止された後のフラグＦは設定された状態（Ｆ＝１）で保持される（ステップＳ１５）。
【００４６】
他方、ステップＳ１０において、流量Ｌが上限値ＬＯＮ以上と判定されるとステップＳ１４に進んで吸着検出信号の出力を停止する。たとえば、ワークＷの搬送中にワークＷが吸着具１３から脱落した場合には吸着具１３が空吸い状態となって流量Ｌが吸着レンジの上限値ＬＯＮを越えてしまうことになるが、この場合にはステップ１４に進んで吸着検出信号の出力が停止される。このように、搬送ヘッド１５が定位置に到達し負圧の供給が停止される前に、吸着検出信号の出力が停止された場合にはワークＷが意図しない位置で脱落したものと判定するようにしているので、定位置におけるワークＷの離脱と搬送中におけるワークＷの脱落とを判別して検出することができる。
【００４７】
図４に示すルーティンはセンサコントローラ３３により所定の間隔で繰り返し実行され、図中Ａで示すように、エンドに至ると再びスタートから実行される。
【００４８】
図５は本発明の他の実施の形態である吸着検出装置が装着された吸着搬送装置を示す説明図である。この吸着搬送装置３５は、複数の吸着具１３が共通の負圧源２４に接続されており、一度の搬送移動で複数のワークＷを吸着搬送することができる。なお、図５において、図２に示される部材と共通する部材には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００４９】
搬送ヘッド１５には、共通の負圧源２４に接続される連通流路２７ａと、その連通流路２７ａから分岐する４つの空気流路２０とが形成された吸着ユニット３６が固定されており、空気流路２０と連通流路２７ａとにより着脱路２８ａが構成されている。この吸着ユニット３６には、空気流路２０のそれぞれの開口部に対応させて吸着具１３が接続されており、更にそれぞれの空気流路２０には外部から空気流路２０内に流れ込む流量Ｌを検出する流量センサ３１が取り付けられている。また、空気流路２０のそれぞれには装置コントローラ３０からの制御信号を受信して流路を開閉する開閉弁３７が取り付けられており、開閉弁３７が開かれた空気流路２０内には外気が取り込まれ流量Ｌが発生するようになっている。このように共通の負圧源２４から複数の空気流路２０を介して複数の吸着具１３に負圧空気を供給するようにすると、いずれかの吸着具１３におけるワークの吸着または離脱によって他の吸着具１３における流量が影響を受けて吸着具に対する流量変化が発生することがある。そこで、上限値ＬＯＮを空吸い流量値ＬＰから所定の吸着判定値ΔＬを差し引いて上限値ＬＯＮを補正するようにしている。
【００５０】
吸着判定値ΔＬとしてはワークＷの吸着前後での変化量よりも小さい値が設定されるが、この値も予め実験などに基づいて決定される。吸着搬送装置３５の作動時には、吸着判定値ΔＬは装置コントローラ３０からセンサコントローラ３３に送られる信号により自動的に設定するようにしても良く、センサコントローラ３３に設けられた図示しないキーやダイヤルを操作することにより設定および変更することもできる。
【００５１】
図６は図１に示す搬送手順に従って図５に示す吸着搬送装置によりワークを搬送したときに流量センサにより検出される空気流路内の流量変化を示すタイムチャートの一例である。
【００５２】
図５に示す吸着搬送装置３５にあっては、搬送移動させたいワークＷの数に対応させて開閉弁３７を開閉し空気流路２０内に負圧を供給する必要があるが、一部の開閉弁３７の開閉操作によって外部に連通する流路面積が変化してしまうので、空気流路２０のそれぞれに流れ込む流量Ｌが変化してしまう。例えば、いずれか１つの開閉弁３７しか開いていない場合には、図中一点鎖線で示すように、その開閉弁３７が開かれている空気流路２０内を流れる流量Ｌは多くなる。これに対し、複数の開閉弁３７が開いていると複数の吸着具１３を介して着脱路２８ａ内に外気が流入してしまうため、空吸い流量値ＬＰは図中実線で示すＤ点やＥ点に相当する流量までしか上昇しない。この場合、ワークＷを吸着させることができる流量Ｌは、一点鎖線で示したように流量が多い場合における上限値ＬＯＮ＊以上に到達しないので、吸着準備を行うことができない。つまり図４に示すフローチャートにおいてはフラグＦを設定することができず、ワークＷの吸着を検出することができない。
【００５３】
このような場合には、装置コントローラ３０からセンサコントローラ３３に補正信号つまり基準流量検出信号を送信することによって、新たな上限値ＬＯＮおよび上限値ＬＯＮＨを設定するようにしている。すなわち、センサコントローラ３３が基準流量検出信号を受信すると（Ｘ点）、受信時の流量Ｌを基準流量ＬＳとして検出するとともに、新たな上限値ＬＯＮとして基準流量ＬＳから吸着判定値ΔＬを差し引いた値を設定するようになっており、上限値ＬＯＮにヒステリシス幅Ｈを加えて上限値ＬＯＮＨが設定され、更に、基準流量検出信号を受信した時点（Ｘ点）でフラグＦが設定される（Ｆ＝１）ようになっている。基準流量検出信号は、ワークＷに対して吸着具１３が接近したとき、即ちワークＷの吸着直前に出力される。
【００５４】
このように基準流量検出信号をセンサコントローラ３３が受信して新たな吸着レンジの上限値ＬＯＮ、上限値ＬＯＮＨおよびフラグＦを設定した後は、フラグＦが設定された状態のもとで流量Ｌが上限値ＬＯＮ以下となったときにワークＷの吸着を判定するようになっている。例えば、負圧の供給直後からワークＷの吸着直前までの間（Ａ点〜Ｘ点間）においては、フラグＦの設定が解除されている（Ｆ＝０）ので、吸着検出信号がＯＮ状態となることはない。そして、基準流量検出信号受信後（Ｘ点）ではフラグＦが設定される（Ｆ＝１）ことから、流量Ｌが基準流量Ｌｓから吸着判定値ΔＬを引いた値より下がると吸着検出信号が出力される。
【００５５】
次いで、フラグＦが設定された状態（Ｆ＝１）で流量Ｌが下限値ＬＯＦＦＨ以下となったときにワークＷの離脱が判定されるとともにフラグＦの設定が解除され、更に、フラグＦの設定が解除されたとき（Ｆ＝０）には上限値ＬＯＮＨが到達不可値ＬＵに設定されるようになっている。このように、基準流量検出信号を受信するまでは上限値ＬＯＮＨを到達不可値ＬＵに維持することにより、ワークＷの搬送終了後に内径の異なる他の吸着具１３に交換した場合や他の開閉弁３７を開閉操作して流量Ｌが増加することがあった場合に、ワークＷの吸着を誤って検出することがない。また、ワークＷの吸着直前に基準流量ＬＳを読み込み、上限値ＬＯＮを設定するようにしているので、他の開閉弁３７の開閉操作の影響を最小にして吸着検出を行うことができる。
【００５６】
この到達不可値ＬＵとしては吸着具１３の交換により着脱路２８の流路面積が変わるなど種々の条件が変化した場合でも着脱路２８内の流量Ｌが到達できない程度の高い値が設定される。
【００５７】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。たとえば、前記実施の形態においては、部品供給ステージ１２から実装基板１４へワークＷを搬送する場合に適用されているが、実装基板１４に換えて検査ボードにワークＷを搬送する場合など他の用途に適用してもよい。実装基板１４上のワークＷ搭載位置において、ワークＷをその自重により自然落下させるようにしても良く、この場合には正圧源２６、真空破壊弁２５、および可変しぼり２９の接続を省略することができる。また、空気圧シリンダ１６は電動シリンダでも良い。更に、ワークＷは電子部品に限らず、スポンジや多孔質材の場合にも好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】（Ａ）〜（Ｅ）は、本発明の一実施の形態である吸着検出装置が装着された吸着搬送装置によりワークを吸着搬送する搬送手順を示す説明図ある。
【図２】図１に示す吸着搬送装置の概略を示すブロック図である。
【図３】図１に示す搬送手順を実行したときに流量センサにより検出される着脱路内の流量変化を示すタイムチャートである。
【図４】ワークの吸着検出方法を示すフローチャートである。
【図５】本発明の他の実施の形態である吸着検出装置が装着された吸着搬送装置を示す説明図である。
【図６】図１に示す搬送手順に従って図５に示す吸着搬送装置によりワークを搬送したときに流量センサにより検出される空気流路内の流量変化を示すタイムチャートの一例である。
【符号の説明】
【００５９】
１１  吸着搬送装置
１２  部品供給ステージ
１３  吸着具
１４  実装基板
１５  搬送ヘッド
１６  空気圧シリンダ
１７  ピストンロッド
１８  電磁弁
１９  正圧源
２０  空気流路
２１  接触面
２２  真空吸引口
２３  真空供給弁
２３ａ  ソレノイド
２４  負圧源
２５  真空破壊弁
２５ａ  ソレノイド
２６  正圧源
２７  連通流路
２７ａ  連通流路
２８  着脱路
２８ａ  着脱路
２９  可変しぼり
３０  装置コントローラ
３１  流量センサ
３２  通信ケーブル
３３  センサコントローラ
３４  通信ケーブル
３５  吸着搬送装置
３６  吸着ユニット
３７  開閉弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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