(57)【要約】【課題】テープ表面の粘着剤等が対象物に残らず、１動作でごみ取り操作を完了するごみ取り用テープカートリッジを提供すること。【解決手段】テープ基材Ｔａに塗膜Ｔｂを塗布したテープＴを巻回した繰出しリール１２とテープ表面を対象物に接触させるヘッドとヘッド通過後のテープを巻き取る巻取りリールと両リールを連動させる手段１６とを有するテープカートリッジ１０において、塗膜Ｔｂが、対象物に密着するがテープ基材Ｔａから容易に剥離しない性質を有することによって、テープ表面の粘着剤等が対象物に残ることなく、対象物上のごみを付着させて除去できるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材に塗膜を塗布したテープを巻回した繰出しリールと、前記テープの表面を対象物に接触させるヘッドと、前記ヘッド通過後のテープを巻取る巻取りリールと、前記両リールを連動させる手段とを有するテープカートリッジにおいて、
前記塗膜が前記対象物に密着するが前記基材から剥離しないことによって、前記対象物上のごみを付着させて除去することを特徴とする、
ごみ取り用テープカートリッジ。
【請求項２】
前記ヘッド先端がローラ構造である、請求項１のごみ取り用テープカートリッジ。
【請求項３】
前記テープが前記対象物に対して面接触するようにした、請求項１又は２のごみ取り用テープカートリッジ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ基材の表面にコーティングされた塗膜により、クリーンルーム内の製品等の表面やルーム床・壁面等の対象物上に存在するごみ等の異物を除去する為の、ごみ取り用テープカートリッジ（カセット）の技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体製造用クリーンルーム等で使用されるごみ等異物除去用品としては、一般的には、粘着テープをごみ取りカートリッジに搭載したもの、また、テープに不織布を搭載したもの、さらに、スティックローラでごみを取り、専用転写シートであるスティッククリーナにごみを転写する方式のもの等がある。
しかし、粘着テープを用いたものは、対象物にテープを押し付けた際に粘着剤の一部が対象物に残ったり、折角取ったごみが粘着剤と共に残ってしまうという問題がある。また、テープに不織布を搭載したものは、ヘッド通過後の不織布の自動巻取りが出来ず、テープを手動で巻取る方式であるから、取扱が不便であるという問題がある。そして、スティックローラでごみを取り、専用転写シートにごみを転写する方式のものは、ごみを取り、次に、転写シートにごみを移す、という２つの動作（手間）が必要であるという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上記の問題を解決解消することができる技術的手段、すなわち、テープ表面の粘着剤等が対象物に残らず、且つ、１動作でごみ取り操作を完了することができる、ごみ取り用テープカートリッジを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、基材に塗膜を塗布したテープを巻回した繰出しリールと、前記テープの表面を対象物に接触させるヘッドと、前記ヘッド通過後のテープを巻取る巻取りリールと、前記両リールを連動させる手段とを有するテープカートリッジにおいて、前記塗膜が前記対象物に密着するが前記基材から剥離しないことによって、前記対象物上のごみを付着させて除去することを特徴とするごみ取り用テープカートリッジにより、前記課題を解決した。
【発明の効果】
【０００５】
本発明のごみ取り用テープカートリッジは、用いるテープに特徴があり、テープ基材上に密着機能を有する密着層からなる塗膜が設けられており、この密着層の厚さを比較的厚くすることにより、対象物にあるごみ等の異物の凹凸によく食込んでごみ等の異物を密着層に確実に付着させることができる。
また、このテープは対象物に対する剥離力を非常に低くすることにより、塗膜がテープ基材から容易に剥離しないようにすることができるので、ヘッド通過後の塗膜が対象物に貼付く状態にならず、巻取りリール側に自動的に巻取りが可能となる。
その結果、ヘッド通過後のテープの表面には異物が付着しているが、巻取りリールにそのままの状態で順次巻取られてカートリッジに収納されるため、カートリッジの外部に異物が飛出すことがない。
なお、テープ表面を対象物に接触させるヘッドは、ヘッド先端がへら状構造でもローラ構造でもよく、要はテープ表面を対象物に接触させる構造であればよい。
【０００６】
好ましくは、ヘッド先端をへら状構造でなくローラ構造とすることで、対象物から離れるテープの折曲げの形状が円弧状となるので、異物とテープ表面との接触範囲がへら状構造よりも大きくなり、その結果、テープに付着した異物が剥がれ難くすることができる。さらに、ローラがゴムやエラストマ等の比較的柔らかい材質で形成することにより、対象物にヘッドを押付けると、ヘッドのローラ表面が対象物に押付けられてローラ表面が扁平に変形し、対象物との接触面積が増大し（面接触）、密着層に異物がより付着し易くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１は、本発明のごみ取り用テープカートリッジ（以下、単に「カートリッジ」という。）１０の縦断面図である。
このカートリッジ１０に搭載されるテープＴの構成は、後で詳述する。
繰出しリール１２は、駆動ベルト（実際にはＯリング）１６によって巻取りリール１４に連動して動くようになっているので、一方が回転すると他方も回転する。駆動ベルト方式ではなく、複数の歯車の噛合いによって連動させてもよい。
【０００８】
なお、テープＴが巻取りリール１４に巻取られる構造は、「修正テープ装置」や、「テープ式のり」等に用いられているものと同様で、それ自体周知であるので、詳細な説明は省略する。
【０００９】
図２は、このカートリッジ１０を使用する際の側面図を示す。
このカートリッジ１０の外容器に相当するカセット２０を手で把持し、押圧してローラＲを異物のある対象物４０に圧着させながら、矢印で示した作動方向へ移動させる。
すると、それに伴って、テープ繰出しリール１２及びテープ巻取りリール１４が回転し、繰出しリール１２からテープＴが引出されて対象物４０上の異物（図示せず。）を付着させて除去する。対象物４０との密着箇所を通過したテープＴは巻取りリール１４に巻取られる。
【００１０】
図３は、図２の要部を拡大した縦断面図である。
テープ基材Ｔａの表面に塗膜ＴｂがコーティングされてなるテープＴが、塗膜Ｔｂを外側にしてローラＲにより対象物４０に押付けられる。
図２の状態でカートリッジ１０を操作することにより、テープＴが対象物４０上の異物を付着させ、テープＴの走行方向であるカートリッジ１０の内部へ異物を除去する。
【００１１】
なお、ヘッド３０の先端構造を、修正テープ装置によく見られる「へら状構造」でなく「ローラ構造」とすることで、対象物４０から離れるテープＴの折曲げ形状が円弧状となるので、異物とテープ表面との接触範囲がへら状構造よりも大きくなり、その結果、テープＴに付着した異物が剥がれ難くなる。
さらに、ローラＲがゴムやエラストマ等の比較的柔らかい材質で形成されていると、対象物４０にヘッド３０を押付けた際、ローラＲの表面が対象物４０に押付けられて表面が扁平に変形するので、対象物４０との接触面積が増大し（面接触）、密着層に異物がより付着し易くなる。
【００１２】
なお、後に説明するように、テープＴの剪断力が比較的高い値であるにも拘らず、テープＴを被着体から剥がす時の剥離力が低いという特性により、テープ基材Ｔａの表面上に積層された塗膜Ｔｂは対象物に残らない。
【００１３】
本発明で用いるテープＴとしては、例えば、特開２００４―５９８００号公報に開示されているものが好適で、これは、テープ基材上に密着機能を有する密着層を設けたテープで、テープの密着層面を被着体に貼合わせたものを、貼合わせた面と平行にずらす力（以下、「剪断力」という。）が、比較的高い値であるにも拘らず（具体的には、１．０Ｎ／ｃｍ２ 以上の剪断力を持つ。）、被着体か ら剥がす時の力（以下、「剥離力」という。）は１０ｍＮ／１２．７ｍｍ未満で、殆ど０に近いものである。従って、一般に呼ばれる「粘着シート」のように、被着体に対して剪断力が高いと同時に剥離力もそこそこあるもの（具体的には、１００ｍＮ／１２．７ｍｍ以上の剥離力を持つ。）とは異なるものである。
【００１４】
前記特開２００４―５９８００号公報に開示されているテープは、テープ基材の片面に、両末端にのみビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンと、両末端及び側鎖にビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンとから選ばれる少なくとも１種のシリコーンを架橋させてなる密着層を設け、もう一方の面に、受像層を設けたことを特徴とするものである。しかし、本発明では、その目的上、密着層だけあればよく、受像層は必要としない。
なお、前記密着層を構成する材料は、下記の一般式（化１）で表される化合物である。
【００１５】
【化１】
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（式中Ｒは特定の有機基や一部がビニル基である化合物、ｍは整数を表す。）
このビニル基以外のケイ素原子に結合した有機基（Ｒ）は異種でも同種でもよいが、具体例としてはメチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、又はこれらの基の炭素原子に結合した水素原子の一部又は全部をハロゲン原子、シアノ基等で置換した同種又は異種の非置換又は置換の脂肪族不飽和基を除く１価炭化水素基で好ましくはその少なくとも５０モル％がメチル基であるもの等が挙げられるが、この化合物は、単独でも２種以上の混合物であってもよい。
【００１６】
この密着層の厚みは、１．１〜１００μｍと比較的厚くされる。そうすることによって、密着層が対象物４０上にあるごみ等の異物の凹凸によく食込んでごみ等の異物を密着層に確実に付着させることができる。
【００１７】
なお、テープ基材Ｔａに使用される基材フィルムは、ポリエチレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂フィルムの単層体又はこれらの複層体からなる厚さが１０〜５００μｍのシート等が挙げられる。好ましくは、厚さが、５０〜２００μｍのポリエステルフィルムがよい。ポリエステルフィルムが好ましいのは、密着層との密着性が良いことと、適度なこしがあることにより、製造工程でのハンドリングがよいためである。
【００１８】
本発明では、前記のように、テープの密着層面を被着体に貼合わせたものを、貼合わせた面と平行にずらすための剪断力が比較的高い値であるにも拘らず、被着体から剥がす時の剥離力が殆ど０に近いという特徴を持つテープをごみ取り用テープカートリッジに収納したことにより、所期の、「テープ表面の粘着剤等が対象物に残らず、且つ、１動作でごみ取り操作を完了することができる、ごみ取り用テープカートリッジを提供する」という目的を達成することができた。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明のカートリッジの縦断面図。
【図２】本発明のカートリッジの使用状態図。
【図３】使用状態要部拡大図。
【符号の説明】
【００２０】
１０：ごみ取り用テープカートリッジ
１２：繰出しリール
１４：巻取りリール
１６：駆動ベルト
２０：カセット
３０：ヘッド
４０：対象物
Ｒ：ローラ
Ｔ：テープ
Ｔａ：テープ基材
Ｔｂ：塗膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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