(57)【要約】      （修正有）【課題】液滴の飛行曲がりを防止して印刷品質を著しく向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】複数のノズルが形成されたノズルプレート用ウェハと、ノズルに連通する圧力室が形成されたキャビティ基板用ウェハとを少なくとも積層したウェハ積層体を形成する積層工程と、ノズルが開口するノズル面に嫌気性の粘着剤からなる粘着層を有する封止テープを貼り付けてノズルを封止する封止工程と、ウェハ積層体を所定の大きさに分離する分離工程と、封止テープを剥離する剥離工程とを少なくとも具備し、且つ剥離工程の前に、圧力室内の空気を窒素と置換した状態で、少なくともノズルに対応する領域の粘着層を硬化させる硬化工程を具備するようにする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが形成されたノズルプレート用ウェハと、前記ノズルに連通する圧力室が形成されたキャビティ基板用ウェハとを少なくとも積層したウェハ積層体を形成する積層工程と、前記ノズルが開口するノズル面に嫌気性の粘着剤からなる粘着層を有する封止テープを貼り付けて当該ノズルを封止する封止工程と、前記ウェハ積層体を所定の大きさに分離する分離工程と、前記封止テープを剥離する剥離工程とを少なくとも具備し、且つ前記剥離工程の前に、前記圧力室内の空気を窒素と置換した状態で、少なくとも前記ノズルに対応する領域の前記粘着層を硬化させる硬化工程を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１において、前記封止テープの前記粘着層が紫外線硬化型の粘着剤からなり、前記硬化工程では、前記封止テープに紫外線を照射することで前記粘着層を硬化させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記硬化工程を前記分離工程の前に実施し且つ当該硬化工程では、前記ノズルに対応する領域のみの前記粘着層を硬化させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１又は２において、前記硬化工程が前記分離工程の後に実施し且つ当該硬化工程では、前記封止テープ全面の前記粘着層を硬化させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかにおいて、前記ノズルプレート用ウェハの少なくとも前記ノズル面に、蒸着法により撥水撥油性を有する材料からなる蒸着膜を形成する蒸着工程をさらに具備し、前記封止工程では前記封止テープを前記蒸着膜上に貼り付け、且つ前記剥離工程では、前記封止テープと共に前記蒸着層の一部を剥離することで撥水撥油膜を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項５において、前記封止工程の前に、前記蒸着膜に紫外線を照射する紫外線照射工程をさらに具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかの製造方法によって製造されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、プリンタ、ファクシミリ、複写装置等に用いられるインクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドでは、液滴を吐出させるためのメカニズムに応じて各種方式のものが知られている。例えば、発熱素子等によって液体を沸騰させ、そのときに生じる気泡圧で液滴を吐出させるものや、液滴が充填された圧力室の容積を、圧電素子の変位によって膨張又は収縮させることでノズルから液滴を吐出させるものがある。さらに、例えば、静電気力を利用して圧力室の容積を変化させることで、ノズルから液滴を吐出させるようにした静電駆動方式のものもある。
【０００３】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドの製造方法が、様々提案されているが、例えば、静電駆動方式のヘッドの製造方法としては、ノズルプレート、キャビティープレート及び電極基板がそれぞれ複数形成された３枚の基板を接合して複合基板を形成した後、この複合基板を切断ブレード等によって切断することにより、同時に複数個のヘッドを得るようにした方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、このような製造方法では、一般的に、複合基板の切断は、この複合基板の両面に粘着シートを貼り付けた状態で行われる。複合基板を切断する際に、切断ブレードの接触による衝撃等で基板に割れや欠けなどが発生するのを防止するためである。またこの粘着シートは、複合基板の表面に切り屑等の汚れが付着するのを防止する役割もある。
【０００５】
しかしながら、このように複合基板に貼り付けられた粘着シートは、複合基板を切断後に剥がされるが、その際、基板の表面に粘着シートの粘着剤が残ってしまう場合がある。そして、この粘着シートの粘着剤が、ノズル内やノズルの開口縁部等に付着していると、インク滴を吐出させる際に、インク滴の飛行曲がりが生じてしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題は、勿論、インクジェット式記録ヘッドだけでなく、他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２５４６８９（第１図、第２図、第５図、第５頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、液滴の飛行曲がりを防止して印刷品質を著しく向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、複数のノズルが形成されたノズルプレート用ウェハと、前記ノズルに連通する圧力室が形成されたキャビティ基板用ウェハとを少なくとも積層したウェハ積層体を形成する積層工程と、前記ノズルが開口するノズル面に嫌気性の粘着剤からなる粘着層を有する封止テープを貼り付けて当該ノズルを封止する封止工程と、前記ウェハ積層体を所定の大きさに分離する分離工程と、前記封止テープを剥離する剥離工程とを少なくとも具備し、且つ前記剥離工程の前に、前記圧力室内の空気を窒素と置換した状態で、少なくとも前記ノズルに対応する領域の前記粘着層を硬化させる硬化工程を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第１の態様では、封止テープを剥がす際にノズル近傍の粘着層が確実に硬化されているため、ノズルプレート表面から粘着層を完全に除去することができ、粘着層（粘着剤）残りに起因する液滴の飛行曲がりを防止することができる。
【００１０】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記封止テープの前記粘着層が紫外線硬化型の粘着剤からなり、前記硬化工程では、前記封止テープに紫外線を照射することで前記粘着層を硬化させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第２の態様では、粘着層を確実に硬化できると共に、粘着層を比較的容易に部分的に硬化させることができる。
【００１１】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記硬化工程を前記分離工程の前に実施し且つ当該硬化工程では、前記ノズルに対応する領域のみの前記粘着層を硬化させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第３の態様では、ウェハ積層体を分離する際に、封止テープが剥がれてノズルから切削水等が侵入するのを防止でき、且つ粘着剤残りも防止できる。
【００１２】
本発明の第４の態様は、第１又は２の態様において、前記硬化工程が前記分離工程の後に実施し且つ当該硬化工程では、前記封止テープ全面の前記粘着層を硬化させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第４の態様では、ウェハ積層体を分離する際に、封止テープが剥がれてノズルから切削水等が侵入するのを防止でき、且つ粘着剤残りも防止できる。
【００１３】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記ノズルプレート用ウェハの少なくとも前記ノズル面に、蒸着法により撥水撥油性を有する材料からなる蒸着膜を形成する蒸着工程をさらに具備し、前記封止工程では前記封止テープを前記蒸着膜上に貼り付け、且つ前記剥離工程では、前記封止テープと共に前記蒸着層の一部を剥離することで撥水撥油膜を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第５の態様では、緻密な膜からなる撥水撥油膜を比較的容易且つ良好に形成することができる。
【００１４】
本発明の第６の態様は、第５の態様において、前記封止工程の前に、前記蒸着膜に紫外線を照射する紫外線照射工程をさらに具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第６の態様では、蒸着膜内結合力が増加するため、強固な撥水撥油膜を比較的厚く且つ均一な厚さで形成することができる。
【００１５】
本発明の第７の態様は、第１〜６の何れかの態様の製造方法によって製造されたことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第７の態様では、良好な吐出特性が安定して得られる液体噴射ヘッドを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図であり、図２は、その断面図である。図示したインクジェット式記録ヘッドは、いわゆる静電駆動方式のヘッドであり、キャビティ基板１０と、このキャビティ基板１０の両面にそれぞれ接合されるノズルプレート２０及び電極基板３０とで構成されている。
【００１７】
キャビティ基板１０は、例えば、面方位（１００）又は（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方面側に開口する圧力室（キャビティ）１１がその幅方向に複数並設されている。また、本実施形態では、図２に示すように、キャビティ基板１０には、複数の圧力室１１が並設された列が２列形成されている。さらに、キャビティ基板１０には、各列の圧力室１１に共通するインク室となる共通インク室１２が形成されており、この共通インク室１２は、後述するインク供給路を介して各圧力室１１に連通されている。また、共通インク室１２の底壁には、共通インク室１２にインクを供給するためのインク供給孔１３が形成されている。また、キャビティ基板１０には、共通インク室１２の外側に、後述する個別電極に接続される個別端子部を露出させるための貫通孔１４が形成されている。
【００１８】
なお、各圧力室１１の底壁は、圧力室１１内に圧力変化を生じさせるための振動板１５として機能し、且つこの振動板１５を変位させる静電気力を発生させるための共通電極としての役割を兼ねている。そして、キャビティ基板１０の貫通孔１４近傍には、ノズルプレート２０の後述する露出孔内に露出されて図示しない駆動配線が接続される共通端子部１６が形成されている。
【００１９】
ノズルプレート２０は、キャビティ基板１０と同様に、面方位（１００）又は（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、各圧力室１１に連通する複数のノズル２１が形成されている。そして、このノズルプレート２０は、キャビティ基板１０の開口面側に接合され、圧力室１１及び共通インク室１２の一方の面を形成している。また、ノズルプレート２０のキャビティ基板１０とは反対側の面には、ノズル２１に対応する領域に亘って厚さ方向の一部を除去したノズル段差部２２が形成されている。
【００２０】
ここで、各ノズル２１は、インク滴が吐出される側に設けられてノズル段差部２２内に開口する略円形の小径部２１ａと、小径部２１ａよりも大きい径を有し小径部２１ａと圧力室１１とを連通する大径部２１ｂとからなる。そして、全てのノズル２１（小径部２１ａ）は、このノズル段差部２２内に開口しており、本実施形態では、このノズル段差部２２内のノズルプレート２０の表面がノズル面となる。
【００２１】
また、このノズルプレート２０のキャビティ基板１０との接合面には、圧力室１１と共通インク室１２との境界に対応する領域に、これら各圧力室１１と共通インク室１２とを連通するインク供給路２３が形成されている。また、ノズルプレート２０には、共通インク室１２の外側に対応する位置に、キャビティ基板１０の貫通孔１４に連通し、後述する個別端子部と共に共通端子部１６を露出させる露出孔２４が形成されている。
【００２２】
このノズルプレート２０の表面、本実施形態では、ノズル段差部２２内には、例えば、フッ素含有シランカップリング化合物等からなる撥水撥油性材料からなる撥水撥油膜２５が形成されている。これにより、ノズルプレート２０の表面（ノズル面）へのインク滴の付着を抑えている。
【００２３】
一方、電極基板３０は、シリコン単結晶基板に近い熱膨張率を有する、例えば、ホウ珪酸ガラス等のガラス基板からなり、キャビティ基板１０の振動板１５側の面に接合されている。この電極基板３０の振動板１５に対向する領域には、各圧力室１１に対応して凹部３１が形成されている。また、電極基板３０には、キャビティ基板１０のインク供給孔１３に対応する位置には、このインク供給孔１３に連通するインク導入孔３２が形成されている。そして、図示しないインクタンクからこのインク導入孔３２及びインク供給孔１３を介して共通インク室１２にインクが充填されるようになっている。
【００２４】
また、各凹部３１には、振動板１５を変位させる静電気力を発生させるための個別電極３３が、振動板１５との間に所定の間隔を確保した状態でそれぞれ配置されている。また、凹部３１内には、キャビティ基板１０の貫通孔１４に対向する領域に、図示しない駆動配線が接続される個別端子部３４が形成されており、この個別端子部３４と各個別電極３３とはリード電極３５によって接続されている。なお、図示しないが、これら各個別電極３３及びリード電極３５は絶縁膜によって封止され、また個別端子部３４と共通端子部１６との間には、接続配線を介して駆動電圧パルスを印加するための発振回路が接続されている。
【００２５】
そして、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、発振回路によって個別電極３３と振動板１５（キャビティ基板１０）との間に駆動電圧を印加すると、これら個別電極３３と振動板１５との隙間に発生する静電気力によって振動板１５が個別電極３３側に撓み変形して、圧力室１１の容積が拡大し、駆動電圧の印加を解除すると、振動板１５が元の状態に復帰し、圧力室１１の容積が収縮する。そして、このとき発生する圧力室１１内の圧力変化によって、圧力室１１内のインクの一部が、ノズル２１からインク滴として吐出される。
【００２６】
以下、このようなインクジェット式記録ヘッドの製造方法を、図３〜図７を参照して説明する。まず、図３（ａ）に示すように、上述した複数のノズルプレート２０が一体的に形成されたノズルプレート用ウェハ２００と、複数のキャビティ基板１０が一体的に形成されたキャビティ基板用ウェハ１００と、複数の電極基板３０が一体的に形成された電極基板用ウェハ３００とをそれぞれ用意し、キャビティ基板用ウェハ１００の両面に、ノズルプレート用ウェハ２００と電極基板用ウェハ３００とをそれぞれ接合してウェハ積層体４００を形成する。
【００２７】
次に、図３（ｂ）に示すように、ノズルプレート用ウェハ２００のノズル面、本実施形態では、ノズル段差部２２内に撥水撥油膜２５となる蒸着膜２０５を形成する。例えば、本実施形態では、撥水撥油材料として、フッ素含有シランカップリング化合物を真空蒸着することによって蒸着膜２０５を形成している。なお、このような蒸着膜２０５を形成する前に、ノズルプレート用ウェハ２００の表面をＵＶ洗浄するようにしてもよい。
【００２８】
次に、本実施形態では、このように形成した蒸着膜２０５に紫外線を照射する工程を実施している。これにより、蒸着膜２０５の緻密な膜の厚さを増加させることができる。すなわち、ノズルプレート用ウェハ２００上に、真空蒸着法によって形成した蒸着膜２０５は、その下層部はノズルプレート用ウェハ（シリコンウェハ）２００と共有結合して緻密な膜となっているが、上層部は分子間結合力による結合力で保持された疎な膜となっている。そして、このような蒸着膜２０５に紫外線を照射すると、膜内結合力が高まり実質的に緻密な膜の厚さが増加し、且つ緻密な膜の厚さが下層部から上層部までの全体に亘って略均一化される。これにより、詳しくは後述するが、ノズルプレート２０の表面に撥水撥油膜２５を良好に形成することができる。
【００２９】
次に、図４（ａ）に示すように、ノズル段差部２２の幅となるように、所定の粘着剤からなる粘着層５１を有する封止テープ５０を切り出して用意し、この封止テープ５０をノズル段差部２２内の蒸着膜２０５上に貼り付けてノズル２１を封止する。ここで、蒸着膜２０５を単に真空蒸着のみによって形成した場合には、封止テープ５０の上から、ウェハ積層体４００に直接触れる接触式の押圧工具を用いてある程度力を入れて擦りつけ、蒸着膜２０５が封止テープ５０の粘着層５１内に入りこむように、また完全に密着するようにする必要がある。後述する封止テープ５０を剥離する工程で、蒸着膜２０５の疎な膜を確実に剥離させるためである。そして、このように封止テープ５０を擦りつけようとすると、このときの負荷によりウェハ積層体４００、特にノズルプレート用ウェハ２００やキャビティ基板用ウェハ１００に割れが発生してしまう。しかしながら、本実施形態では、上述したように、蒸着膜２０５に紫外線を照射する工程を実施しているため、このような封止テープ５０を擦りつける必要はない。したがって、ウェハ積層体４００の割れを防止することができ、歩留まりが著しく向上する。
【００３０】
なお、本実施形態では、封止テープ５０として、嫌気性の粘着剤、例えば、紫外線硬化型の粘着剤からなる粘着層５１を有するダイシングテープ、すなわち、一般的に使用されている紫外線剥離型のダイシングテープを採用している。この紫外線剥離型のダイシングテープは、基材の厚さが約１００μｍであり、粘着層の厚さが約２５μｍとなっている。
【００３１】
次に、図５に示すように、圧力室１１内の空気を窒素（Ｎ２）と置換した状態で、ノズル２１に対応する領域に紫外線を照射して、少なくともノズル２１に対応する領域の粘着層５１ａ、本実施形態では、ノズル２１に対応する領域の粘着層５１ａのみを硬化させる。具体的には、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等で形成されたマスク材６０をウェハ積層体４００（ノズルプレート用ウェハ２００）上に固定し、ノズルプレート用ウェハ２００の各ノズル２１に対応する領域のみを露出させる。一方、電極基板用ウェハ３００の各インク導入孔３２から圧力室１１内を真空吸引した後、窒素（Ｎ２）を送り込み、圧力室１１内を酸素（Ｏ２）が存在しない状態に保持する。そして、この状態で、封止テープ５０に紫外線を所定時間、本実施形態では、数秒間照射する。これにより、ノズル２１に対応する領域の粘着層５１ａのみが完全に硬化される。すなわち、封止テープ５０の粘着層５１は、上述したように嫌気性の粘着剤からなるため、紫外線を照射する際に、圧力室１１内に窒素を充填し、ノズル２１に対応する領域の粘着層５１ａが酸素に触れない状態とすることで、この粘着層５１ａは確実に硬化される。なお、圧力室１１内に空気（酸素）が存在する状態で封止テープ５０に紫外線を照射しても、粘着層５１ａは完全には硬化されない。
【００３２】
また、封止テープ５０への紫外線の照射時間は、粘着剤の種類、粘着層５１の厚さ等を考慮して適宜決定されればよいが、あまり長い時間照射すると、マスク材６０で覆われている領域の粘着層５１も硬化されてしまう。このため、紫外線の照射時間はできるだけ短くするのが望ましい。
【００３３】
次に、図４（ｂ）に示すように、ノズルプレート用ウェハ２００の大きさとなるように切り出した粘着層７１を有するダイシングテープ７０を用意し、このダイシングテープ７０をウェハ積層体４００の両面に貼り付ける。すなわち、封止テープ５０の上からウェハ積層体４００の表面（ノズルプレート用ウェハ２００の表面）にダイシングテープ７０を貼り付け、また同様に、ウェハ積層体４００の裏面（電極基板用ウェハ３００の表面）にもダイシングテープ７０を貼り付ける。なお、ここで使用されるダイシングテープ７０としては、封止テープ５０と同様に、一般的に使用されている紫外線剥離型のダイシングテープを採用している。
【００３４】
そして、このように封止テープ５０及びダイシングテープ７０を貼り付けた状態でウェハ積層体４００を、例えば、図６に一点鎖線で示す切断ラインに沿って切断することにより、個々のインクジェット式記録ヘッドを切り出す（図１等参照）。なお、切り出されたインクジェット式記録ヘッドは、ノズル段差部２２に封止テープ５０が貼り付けられると共に、表面にはダイシングテープ７０が貼り付けられた状態である。
【００３５】
ここで、上述したように、この分離工程の前に、本実施形態では、封止テープ５０の粘着層５１を硬化させるようにしているが、粘着層５１の全てを硬化させるのではなく、ノズル２１に対応する領域の粘着層５１ａのみを硬化させている。したがって、ウェハ積層体４００を分離する際に、切断部分の封止テープ５０が剥がれて、ノズル２１内に切削水等が侵入することはない。すなわち、切断部分の封止テープ５０の粘着層５１は硬化されることなく所定の粘着力が保持されているため、ウェハ積層体４００の切断時に封止テープ５０が剥がれることはない。
【００３６】
その後、切り出されたインクジェット式記録ヘッドの表面に貼り付けられているダイシングテープ７０に、紫外線を照射してダイシングテープ７０の粘着力を低下させる。その後、インクジェット式記録ヘッドから、このダイシングテープ７０及び封止テープ５０を剥離する。このとき、上述したように、封止テープ５０の少なくともノズル２１に対応する領域の粘着層５１ａは完全に硬化されているため、粘着層５１（粘着剤）はノズルプレート２０上に残ることなく剥離される。少なくともノズル２１の内部や、開口縁部等に粘着層５１（粘着剤）が残ることがない。よって、このような粘着剤残りに起因するインク滴の飛行曲がりを防止することができ、印刷品質を向上することができる。また、製品の品質が安定し、歩留まりが著しく向上するため、製造コストが大幅に低減される。そして、ノズルを高密度に配列している場合には、微小なインク滴の飛行曲がりが印刷品質に大きく影響するため、このような製造方法は特に効果的である。
【００３７】
また、このように封止テープ５０を剥離する際には、図７に示すように、封止テープ５０と共に蒸着膜２０５の一部が剥離され、これにより所定厚さの撥水撥油膜２５が形成される。すなわち、封止テープ５０をノズルプレート２０から剥離すると、このノズルプレート２０に約５０ｎｍの厚さで形成されていた蒸着膜２０５は、ノズルプレート２０の表面に密着性の高い緻密な膜を残しながら、疎な膜が分離されて封止テープ５０と共に剥離される。この結果、ノズルプレート２０の表面に、緻密な膜である撥水撥油膜２５が形成される。そして、本実施形態では、上述したように蒸着膜２０５に紫外線を照射することで、蒸着膜内結合力が増加及び均一化されるため、撥水撥油膜２５を比較的厚く且つ均一な厚さで良好に形成することができる。
【００３８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、勿論、本発明は、このような実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態では、封止テープ５０の粘着層５１を硬化させる硬化工程を、封止テープ５０を貼り付けた直後に実施するようにしたが、これに限定されず、封止テープを剥離する前であれば、何れのタイミングで行うようにしてもよい。例えば、ウェハ積層体４００を分離後、インクジェット式記録ヘッドの裏面側、すなわち、電極基板３０表面のダイシングテープ７０を剥離した後に実施するようにしてもよい。何れのタイミングで行ったとしても、ノズルプレート２０上に封止テープ５０の粘着層５１（粘着剤）を残すことなく、封止テープ５０を確実に剥離させることができる。なお、このようにウェハ積層体４００を分離後に、封止テープ５０の粘着層５１を硬化させる硬化工程を実施する場合には、ノズル２１に対応する領域の粘着層５１ａのみを硬化させる必要はなく、封止テープ５０全体の粘着層５１を硬化させればよい。
【００３９】
さらに、本実施形態では、静電駆動方式のインクジェット式記録ヘッドを一例として本発明を説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、圧電素子の変位によってインク滴を吐出させる方式、あるいは、発熱素子等によってインクを加熱することでインク滴を吐出させる方式等、あらゆる方式のインクジェット式記録ヘッドに採用することができる。また、勿論、本発明は、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、他のあらゆる液滴を吐出する液体噴射ヘッドにも採用することができる。他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】一実施形態に係る記録ヘッドの概略斜視図である。
【図２】一実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】一実施形態に係る記録ヘッドの製造工程を示す概略斜視図である。
【図４】一実施形態に係る記録ヘッドの製造工程を示す概略斜視図である。
【図５】一実施形態に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図６】一実施形態に係る記録ヘッドの製造工程を示す平面図である。
【図７】一実施形態に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  キャビティ基板、  １１  圧力室、  １２  共通インク室、  １３  インク供給孔、  １４  貫通孔、  １５  振動板、  １６  共通端子部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル、  ２２  ノズル段差部、  ２３  インク供給路、  ２４  露出孔、  ２５  撥水撥油膜、  ３０  電極基板、  ３１  凹部、  ３２  インク導入孔、  ３３  個別電極、  ３４  個別端子部、  ３５  リード電極、  ５０  封止テープ、  ５１  粘着層、  ６０  マスク材、  ７０  ダイシングテープ、  １００  キャビティ基板用ウェハ、  ２００  ノズルプレート用ウェハ、  ２０５  蒸着膜、  ３００  電極基板用ウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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