(57)【要約】【課題】  被加工物を的確に保持することが可能なワークパレットを提供すること。【解決手段】  このワークパレット１は、互いに沿うように配置され、その間に被加工物である圧電アクチュエータ用素子２を保持するベース部材１０及びマスク部材３０と、ベース部材１０とマスク部材３０との間に配置され、ベース部材１０に対する被加工物の位置を定めるスペーサ部材２０と、を備え、ベース部材１０から突出するように永久磁石１１が配置されており、スペーサ部材２０は、ベース部材１０からマスク部材３０に向かう方向において、被加工物よりも突出しないように配置され、マスク部材３０は、磁性体材料によって形成されると共に、スペーサ部材２０に対して予め定められた位置に配置されて永久磁石１１と接触する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに沿うように配置され、その間に被加工物を保持するベース部材及びマスク部材と、前記ベース部材と前記マスク部材との間に配置され、前記ベース部材に対する前記被加工物の位置を定めるスペーサ部材と、を備えるパレットであって、
前記ベース部材には穴が形成されると共に、当該形成された穴にはその開口部から突出するように永久磁石が配置されており、
前記スペーサ部材は、前記ベース部材から前記マスク部材に向かう方向において、前記被加工物よりも突出しないように配置され、
前記マスク部材は、磁性体材料によって形成されると共に、前記スペーサ部材に対して予め定められた位置に配置されて前記永久磁石と接触する、パレット。
【請求項２】
前記永久磁石は、前記マスク部材に向かう方向において前記スペーサ部材よりも突出しないように配置されている、請求項１に記載のパレット。
【請求項３】
前記マスク部材を前記スペーサ部材との間に挟んで押さえるように配置される補強部材を備える、請求項１または２に記載のパレット。
【請求項４】
前記穴は、前記開口部が形成されている面から、当該面に対向する面にかけて前記ベース部材を貫通するように形成されている、請求項１、２または３項のいずれか１項に記載のパレット。
【請求項５】
前記ベース部材は、磁性体材料によって形成されており、
前記ベース部材と前記永久磁石との間には非磁性体材料によって形成されている断磁部材が配置されている、請求項１、２、３または４項のいずれか１項に記載のパレット。
【請求項６】
前記ベース部材の前記被加工物が配置される領域に更に永久磁石が配置されている、請求項１、２、３、４または５項のいずれか１項に記載のパレット。
【請求項７】
前記マスク部材の前記被加工物に向かう面の前記被加工物の角部に対応する位置には凹部が形成されている、請求項１、２、３、４、５または６項のいずれか１項に記載のパレット。
【請求項８】
前記請求項１、２、３、４、５、６、または７項のいずれか１項に記載のパレットを用いた被加工物の保持方法であって、
前記スペーサ部材を配置してなる前記ベース部材上に前記被加工物を配置すると共に、前記マスク部材を前記被加工物上に配置する準備ステップと、
前記永久磁石を着磁させて、前記マスク部材を固定する保持ステップと、
前記永久磁石を消磁させて、前記マスク部材を解放する解放ステップと、
を備える被加工物の保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を搭載するためのパレット、及び被加工物の保持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
被加工物としての基板を加工のために保持する方法の一例として下記特許文献１に記載の方法が提案されている。下記特許文献１に記載の方法は、基板にスパッタ装置又は蒸着装置によって成膜加工を施す際の基板の保持方法であって、成膜室内部に基板及び基板ホルダーを搬送するためのパレットを具備し、そのパレットのベース部分と基板ホルダーとの固定に、パレットのベース部分内に埋め込まれた磁石を使用し、かつ基板ホルダーと基板を固定するマスクとの固定にもその埋め込まれた磁石を使用するものである。
【特許文献１】特開平７−１４５４８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１に記載の保持方法では、パレットのベース部分内に埋め込まれた磁石を使用しているため、マスクを保持する力が十分でない場合があり、そのため被加工物としての基板を的確に保持できない場合がある。特に、被加工物の小型化が進むと、被加工物を的確に保持する必要性が高まる。
【０００４】
そこで本発明では、被加工物を的確に保持することが可能なパレット、及び被加工物の保持方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のパレットは、互いに沿うように配置され、その間に被加工物を保持するベース部材及びマスク部材と、ベース部材とマスク部材との間に配置され、ベース部材に対する被加工物の位置を定めるスペーサ部材と、を備えるパレットであって、ベース部材には穴が形成されると共に、当該形成された穴にはその開口部から突出するように永久磁石が配置されており、スペーサ部材は、ベース部材からマスク部材に向かう方向において、被加工物よりも突出しないように配置され、マスク部材は、磁性体材料によって形成されると共に、スペーサ部材に対して予め定められた位置に配置されて永久磁石と接触する。
【０００６】
本発明のパレットによれば、ベース部材から突出する永久磁石がマスク部材に接触するので、マスク部材は永久磁石によって効果的に引き付けられる。また、ベース部材とマスク部材との間にはスペーサ部材が配置されているので、ベース部材に対する被加工物の位置を定めて配置することができる。従って、スペーサ部材は被加工物よりも突出しないように配置されていることから、永久磁石にマスク部材が接触した場合にマスク部材と被加工物とが接触し、マスク部材とベース部材との間で被加工物が的確に保持される。
【０００７】
また本発明のパレットでは、永久磁石は、マスク部材に向かう方向においてスペーサ部材よりも突出しないように配置されていることも好ましい。永久磁石はスペーサ部材よりも突出しないように配置されており、スペーサ部材は被加工物よりも突出しないように配置されているので、永久磁石は被加工物よりも突出しないように配置される。従って、永久磁石にマスク部材が接触した場合に、マスク部材と被加工物とが接触し、マスク部材とベース部材との間で被加工物がより的確に保持される。
【０００８】
また本発明のパレットでは、マスク部材をスペーサ部材との間に挟んで押さえるように配置される補強部材を備えることも好ましい。補強部材でマスク部材を押さえているので、例えば、マスク部材が熱膨張によって変形することを抑制できる。
【０００９】
また本発明のパレットでは、穴は、開口部が形成されている面から、当該面に対向する面にかけてベース部材を貫通するように形成されていることも好ましい。例えば、永久磁石を着磁したり消磁したりすることでマスク部材の着脱を行う場合に、その着磁・消磁を容易に行うことができる。
【００１０】
また本発明のパレットでは、ベース部材は、磁性体材料によって形成されており、ベース部材と永久磁石との間には非磁性体材料によって形成されている断磁部材が配置されていることも好ましい。ベース部材が磁性体材料で形成されている場合に、例えば、永久磁石を着磁したり消磁したりする際には永久磁石に磁力線が集中しないことが想定されるけれども、断磁部材を永久磁石の周囲に配置することでベース部材に対して磁気的に絶縁状態とすることができ、磁力線を永久磁石に集中させることができる。
【００１１】
また本発明のパレットでは、ベース部材の被加工物が配置される領域に更に永久磁石が配置されていることも好ましい。被加工物が配置されているベース部材の領域に永久磁石を配置すると、被加工物の部分においてもマスク部材を吸引することができる。
【００１２】
また本発明のパレットでは、マスク部材の被加工物に向かう面の被加工物の角部に対応する位置には凹部が形成されていることも好ましい。マスク部材を吸引して被加工物に密着させた場合に、被加工物の角部に凹部が対応するので、マスク部材をより的確に密着させることができる。
【００１３】
本発明の保持方法は、上述のパレットを用いた被加工物の保持方法であって、スペーサ部材を配置してなるベース部材上に被加工物を配置すると共に、マスク部材を被加工物上に配置する準備ステップと、永久磁石を着磁させて、マスク部材を固定する保持ステップと、永久磁石を消磁させて、マスク部材を解放する解放ステップと、を備える。
【００１４】
本発明の保持方法によれば、パレットの永久磁石を着磁させてマスク部材を固定するので、被加工物に対してマスク部材をより密着させ、被加工物をより的確に保持できる。また、パレットの永久磁石を消磁させてマスク部材を解放するので、マスク部材及び被加工物を取り出すことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、永久磁石に接するマスク部材が被加工物に接触するので、マスク部材とベース部材との間で被加工物が的確に保持される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の知見は、例示のみのために示された添付図面を参照して以下の詳細な記述を考慮することによって容易に理解することができる。引き続いて、添付図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。可能な場合には、同一の部分には同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
【００１７】
本実施形態のワークパレット（パレット）の構成について図１を参照しながら説明する。図１は、ワークパレット１の分解斜視図である。ワークパレット１は、ベース部材１０と、スペーサ部材２０と、マスク部材３０とを備えている。このワークパレット１は、被加工物としての圧電アクチュエータ用素子２を保持し、端部電極や外部パターンの成膜加工中もその保持した状態を維持し、成膜加工後にその圧電アクチュエータ用素子２を解放するものである。引き続いて、ワークパレット１の各構成要素について説明する。
【００１８】
ベース部材１０は、非磁性体材料としてのＳＵＳ３０４で形成されている。ベース部材１０は平板矩形状であって、その外形が縦２８０ｍｍ、横２００ｍｍとなるように形成されている。ベース部材１０の四隅近傍にはそれぞれ永久磁石１１が配置されている。永久磁石は、ベース部材１０の対角線交点位置及び各辺の中点位置近傍にも配置されている。本実施形態の場合、永久磁石１１はサマリウムコバルト系希土類磁石で形成されている。ベース部材１０には、二本の位置決めピン１０１が配置されている。それぞれの位置決めピン１０１は、ベース部材１０の互いに対向する辺の近傍にそれぞれ配置されている。
【００１９】
スペーサ部材２０は、非磁性体材料としてのＳＵＳ３０４で形成されており、ベース部材１０と同様の平板矩形状の部材である。スペーサ部材２０の四隅近傍にはそれぞれ穴２０２が形成されている。穴２０２は、スペーサ部材２０の対角線交点位置及び各辺の中点近傍にも形成されている。穴２０２の直径は永久磁石１１が挿入可能なように設定されている。従って、スペーサ部材２０をベース部材１０に重ね合わせると、ベース部材１０の各永久磁石１１が、スペーサ部材２０の各穴２０２に挿入される。
【００２０】
スペーサ部材２０の各穴２０２にベース部材１０の各永久磁石１１が挿入されるようにスペーサ部材２０とベース部材１０とを重ね合わせた場合に、ベース部材１０に設けられている位置決めピン１０が挿入される位置に位置決め穴２０１が形成されている。ベース部材１０の位置決めピン１０１は永久磁石１１よりも突出するように形成されているので、ベース部材１０とスペーサ部材２０とは位置決めピン１０１と位置決め穴２０１とによって相互の相対的な位置関係が定められる。
【００２１】
スペーサ部材２０には更にワーク配置領域２０３が４箇所に形成されている。各ワーク配置領域２０３は、位置決め穴２０１及び穴２０２に沿うようにスペーサ部材２０を貫通して形成されており、その開口は矩形形状をなしている。また、各ワーク配置領域２０３の四隅近傍に穴２０２が配置されるように、各ワーク配置領域２０３は形成されている。
【００２２】
ワーク配置領域２０３を郭定する２組の対向する側面の内、１組の対向する側面には位置決め突起２０３ａがそれぞれ２箇所形成されている。それぞれの突起２０３ａは、ワーク配置領域２０３の側面を長手方向に等分するように配置されている。ワーク配置領域２０３は、位置決め突起が形成されていない側面と、互いに対向して形成されている２組の位置決め突起２０３ａとで、細長い３つの領域に区切られている。この区切られた３つの領域にそれぞれに被加工物としての圧電アクチュエータ用素子２が配置される。
【００２３】
マスク部材３０は、磁性体材料としてのＳＵＳ４３０で形成されており、ベース部材１０及びスペーサ部材２０と同様の平板矩形状の部材である。マスク部材３０を、スペーサ部材２０及びベース部材１０と重ね合わせた場合に、スペーサ部材２０の各位置決め穴２０１から突出するベース部材１０の各位置決めピン１０１に相当する位置に、マスク部材３０の位置決め穴３０１がそれぞれ形成されている。
【００２４】
マスク部材３０には、位置決めピン１０１及び位置決め穴３０１で定められる位置でスペーサ部材２０及びベース部材１０と重ね合わせた場合に、スペーサ部材２０の各ワーク配置領域２０３に対応する位置にスリット３０２が形成されている。スペーサ部材２０の各ワーク配置領域２０３には既に説明したように３個の圧電アクチュエータ用素子２が配置されるので、マスク部材３０に形成されるスリット３０２は各圧電アクチュエータ用素子２の所定の位置（本実施形態の場合には圧電アクチュエータ用素子２の角部）に対応するように形成されている。
【００２５】
続いて、ワークパレット１及び圧電アクチュエータ用素子２の配置関係を説明する。図２は、その配置関係を説明するためにワークパレット１及び圧電アクチュエータ用素子２の断面構成を示した概略図である。図１においては、スペーサ２０の各ワーク配置領域２０３には３個づつの圧電アクチュエータ用素子２が配置されるものについて説明したけれども、図２においては簡略化のために一つのワーク配置領域２０３に対して１個の圧電アクチュエータ用素子２が配置される例を示している。
【００２６】
図１を参照しながら説明したように、ワークパレット１は、ベース部材１０と、スペーサ部材２０と、マスク部材３０とが、圧電アクチュエータ用素子２を挟み込むように重ね合わせられて構成されている。
【００２７】
図２に戻り、ベース部材１０の各永久磁石１１を配置する位置にはそれぞれ穴１０２が形成されている。穴１０２は永久磁石１１の直径よりも大きい内径となるように形成されている。永久磁石１１は穴１０２の開口部から突出するように配置され、永久磁石１１と穴１０２との隙間に充填される接着剤１２によって固定されている。永久磁石１１は、ベース部材１０から突出し、スペーサ部材２０に形成されている穴２０２を貫通してマスク部材３０と接触している。
【００２８】
永久磁石１１が配置されている穴１０２はベース部材１０を貫通している。ワークパレット１に圧電アクチュエータ用素子２を挟み込んで所定の加工を行う際には、後述するようにワークパレット１を挟み込むようにして磁界を発生させて永久磁石１１に着磁させる。従って、永久磁石１１がベース部材１０を貫通しているので、磁力線が永久磁石１１により集中しやすくなり、着磁や消磁をより効果的に行うことができる。
【００２９】
ベース部材１０とスペーサ部材２０との間には敷板１０ａが配置されている。敷板１０ａはスペーサ部材２０とほぼ同様の平面形状をなしている。敷板１０ａの上にはスペーサ部材２０が配置されている。スペーサ部材２０に設けられたワーク配置領域２０３には、加工対象物として圧電アクチュエータ用素子２が配置されている。
【００３０】
敷板１０ａの上に配置されたスペーサ部材２０の上には、マスク部材３０が配置されている。マスク部材３０に形成されているスリット３０２は、ワーク配置領域２０３に配置されている圧電アクチュエータ用素子２に対応するように設けられている。
【００３１】
マスク部材３０の上には、補強部材４０が配置されている。補強部材４０の形状はマスク部材３０と同様であって、マスク部材３０のスリット３０２に対応する位置にスリット４０１が形成されている。補強部材４０はＳＵＳ４３０で形成されており、マスク部材３０と同様に永久磁石１１で吸引される。本実施形態の場合、補強部材４０はマスク部材３０と同様の形状としているが、マスク部材３０の外周又は外周及び内部の主要部分を押さえるような枠形状としてもよい。補強部材４０は、マスク部材３０の熱膨張による変形を抑制する機能を果たす。
【００３２】
図２に示すように、スペーサ部材２０は、ベース部材１０からマスク部材３０に向かう方向（図中下方から上方）において、圧電アクチュエータ用素子２よりも突出しないように配置されている。スペーサ部材２０と圧電アクチュエータ用素子２とは共に敷板１０ａ上に配置されているので、スペーサ部材２０の厚みを圧電アクチュエータ用素子２の厚みよりも厚くならないように調整することでこのように配置することができる。
【００３３】
マスク部材３０は永久磁石１１によって吸引され、永久磁石１１はスペーサ部材２０よりも突出しないように配置されており、更にスペーサ部材２０は圧電アクチュエータ用素子２よりも突出しないように配置されているので、圧電アクチュエータ用素子２はマスク部材３０によって効果的に押さえつけられる。
【００３４】
図２に示すように圧電アクチュエータ用素子２に対応する位置にスリット３０２が形成されない場合には、マスク部材３０を図３に示すように形成することが好ましい。すなわち、マスク部材３０が圧電アクチュエータ用素子２に当接する部分に凹部３０３を形成することが好ましい。マスク部材３０が永久磁石１１によって吸引されると圧電アクチュエータ用素子２に当接する場合、特に圧電アクチュエータ用素子２の角部において当接する場合にマスク部材３０が圧電アクチュエータ用素子２に密着しない場合があるので、この部分に凹部３０３を設けてマスク部材３０の圧電アクチュエータ用素子２への密着性を高めるものである。
【００３５】
本実施形態のワークパレットの変形例について説明する。図４に第１の変形例であるワークパレット１ａの断面構成を示す。ワークパレット１ａでは、ベース部材１０ｂの圧電アクチュエータ用素子２が配置される領域に更に永久磁石１３が配置されている。より具体的には、ベース部材１０ｂの圧電アクチュエータ用素子２に対応する位置に穴１０２ｂが形成されている。この穴１０２ｂの内径は永久磁石１３の外形よりも大きくなるように形成されている。永久磁石１３は穴１０２ｂ内に収められ、穴１０２ｂとの隙間に接着剤１２が充填されることで固定されている。永久磁石１３はベース部材１０ｂから外部に突出しないように配置されている。従って、各永久磁石１１で吸引される部分の間の部分において、永久磁石１３がマスク部材３０を吸引することになり、より効果的にマスク部材３０を圧電アクチュエータ用素子２に密着させることができる。
【００３６】
続いて、第２の変形例について説明する。図５に第２の変形例であるワークパレット１ｂの断面構成を示す。ワークパレット１ｂでは、永久磁石１１が配置される穴が図２に示した穴１０２よりも大径の穴１０２ｂとして形成されている。穴１０２ｂの内壁面に沿って非磁性体材料で形成されている断磁部材１４が配置されている。断磁部材１４には穴１４ａが形成されており、この穴１４ａの内径は永久磁石１１の外径よりも大きくなるように形成されている。永久磁石１１と穴１４ａとの隙間には接着剤１２が充填されている。このように永久磁石１１の周囲に非磁性体材料からなる断磁部材１４を配置することで、ベース部材１０ｃとの間が磁気的に絶縁状態となる。このように絶縁状態とすることで、ベース部材１０ｃは磁性体材料であるＳＵＳ４３０等によって形成することができる。磁力線が永久磁石１１により集中しやすくなり、着磁や消磁をより効果的に行うことができるためである。ベース部材１０ｃをＳＵＳ４３０で形成すれば、マスク部材３０と熱膨張係数を合わせることができる。
【００３７】
引き続いて、本実施形態のワークパレット１を用いて被加工物としての圧電アクチュエータ用素子２を保持し、所定の加工を行う方法について図６を参照しながら説明する。図６は本実施形態のワークパレット１を用いた保持方法を説明するための図である。
【００３８】
図６の（Ａ）に示すように、ベース部材１０と、スペーサ部材２０と、マスク部材３０と、圧電アクチュエータ用素子２とを準備する。ベース部材１０にスペーサ２０を載せ、スペーサ２０のワーク配置領域２０３に圧電アクチュエータ用素子２を配置する。その後、スペーサ２０にマスク部材３０を載せて、ワークパレット１を組み立てる（準備ステップ）。
【００３９】
続いて、図６の（Ｂ）に示すように、着磁ユニット６０の直下にワークパレット１を配置する。着磁ユニット６０から１５〜６００ｅの磁力を発生させ、ワークパレット１の永久磁石１１に着磁させる。ベース部材１０に配置された永久磁石１１によってマスク部材３０が吸引されて圧電アクチュエータ用素子２を押さえつける（保持ステップ）。
【００４０】
続いて、図６の（Ｃ）に示すように、成膜室６１にワークパレット２を入れてスパッタリング等の成膜加工を行い、圧電アクチュエータ用素子２に成膜する。
【００４１】
続いて、図６の（Ｄ）に示すように、消磁ユニット６２の直下にワークパレット１を配置する。消磁ユニット６２を利用し、静磁場減衰法によってワークパレット１の永久磁石１１を消磁する。この消磁により、永久磁石１１によるマスク部材３０の吸引が弱まり解放されるので、ワークパレット１を分解して、加工後の圧電アクチュエータ用素子２を取り出すことができる（解放ステップ）。
【００４２】
本実施形態の作用効果について説明する。ワークパレット１では、ベース部材１０から突出する永久磁石１１がマスク部材３０に直接接触するので、マスク部材３０は永久磁石１１によって効果的に引き付けられる。また、ベース部材１０とマスク部材３０との間にはスペーサ部材２０が配置されており、スペーサ部材２０にはワーク配置領域２０３が形成されているので、ベース部材１０に対する圧電アクチュエータ用素子２の位置を定めて配置することができる。スペーサ部材２０は圧電アクチュエータ用素子２よりも突出しないように配置されていることから、永久磁石１１にマスク部材３０が接触した場合にマスク部材３０と圧電アクチュエータ用素子２とが確実に接触し、マスク部材３０とベース部材１０との間で圧電アクチュエータ用素子２が的確に保持される。
【００４３】
また、永久磁石１１はスペーサ部材２０よりもマスク部材３０側に突出しないように配置されており、スペーサ部材２０は圧電アクチュエータ用素子２よりもマスク部材３０側に突出しないように配置されているので、永久磁石１１は圧電アクチュエータ用素子２よりも突出しないように配置されている。従って、永久磁石１１にマスク部材３０が引き付けられて接触した場合に、マスク部材３０と圧電アクチュエータ用素子２とが的確に接触し、マスク部材３０とベース部材１０との間で圧電アクチュエータ用素子２がより的確に保持される。
【００４４】
また、ベース部材１０の穴１０２は、スペーサ部材２０に向かう面（永久磁石１１が突出している面）から、当該面に対向する面にかけてベース部材１０を貫通するように形成されているので、図６を参照しながら説明したように永久磁石１１を着磁したり消磁したりすることでマスク部材３０の着脱を行う場合に、その着磁・消磁を容易に行うことができる。
【００４５】
また、ベース部材１０ｂの圧電アクチュエータ用素子２が配置される領域に更に永久磁石１３が配置されているような態様（第１の変形例）を採用することもできる。圧電アクチュエータ用素子２が配置されているベース部材１０ｂの領域に永久磁石１３を配置すると、圧電アクチュエータ用素子２の部分においてもマスク部材３０を吸引することができる。
【００４６】
また、ベース部材１０が、磁性体材料であるＳＵＳ４３０によって形成されており、ベース部材１０ｃと永久磁石１１との間には非磁性体材料によって形成されている断磁部材１４が配置されているような態様（第２の変形例）を採用することもできる。ベース部材１０ｃが磁性体材料で形成されている場合に、図６を参照しながら説明したように永久磁石１１を着磁したり消磁したりする際には永久磁石１１に磁力線が集中しないことが想定されるけれども、断磁部材１４を永久磁石１１の周囲に配置することでベース部材１０ｃに対して磁気的に絶縁状態とすることができ、磁力線を永久磁石１１に集中させることができる。
【００４７】
尚、本実施形態ではマスク部材３０を形成する磁性体材料としてＳＵＳ４３０を用いたが、磁性体材料としてはこれに限られるものではない。本発明のマスク部材を構成するための磁性体材料は磁石に吸引される性質を有していれば足りるので、この性質を有する材料が適宜選択可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施形態であるワークパレットを示す分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態であるワークパレットの断面構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態であるワークパレットの断面構成を示す図である。
【図４】本発明の実施形態であるワークパレットの断面構成を示す図である。
【図５】本発明の実施形態であるワークパレットの断面構成を示す図である。
【図６】本発明の実勢形態であるワークパレットを用いた保持方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００４９】
１…ワークパレット、１０…ベース部材、２０…スペーサ部材、３０…マスク部材、２…圧電アクチュエータ用素子、１１…永久磁石、１０１…位置決めピン、２０１…位置決め穴、２０２…穴、２０３…ワーク配置領域、２０３ａ…位置決め突起、３０１…位置決め穴、３０２…スリット。
【図１】
2006138000.tif 000003
【図２】
2006138000.tif 000004
【図３】
2006138000.tif 000005
【図４】
2006138000.tif 000006
【図５】
2006138000.tif 000007
【図６】
2006138000.tif 000008