(57)【要約】【課題】  簡単な構成で被調整物どうしの相対的な位置精度の向上を図り、調整移動時のバックラッシュがなく、調整が迅速な位置調整装置、位置調整方法及び光学ユニットの製造方法を得る。【解決手段】  位置固定された光学素子１３１ｂに対して光学素子１３１ａを水平面上で移動させて位置調整するための装置及び方法。Ｘ，Ｙ方向に移動可能な位置調整用ステージ１５０に弾性ヒンジ部材１０を取り付け、該弾性ヒンジ部材１０の傾斜面１０ａにて光学素子１３１ａの周縁角部を加圧・保持し、ステージ１５０の移動に伴って光学素子１３１ａを移動させる。移動方向、距離は光学素子１３１ａ，１３１ｂのそれぞれに形成した位置基準マークを顕微鏡１９０を用いてＣＣＤ撮像素子で撮像し、マーク像から算出する。【選択図】  図１
2006146044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の被調整物上に第２の被調整物を位置決めして固定するための位置調整装置であって、
第２の被調整物の位置検出手段及び位置調整手段とを備え、
前記位置調整手段は第２の被調整物を弾性的に加圧・保持する加圧・保持部材を備えていること、
を特徴とする位置調整装置。
【請求項２】
前記加圧・保持部材は板ばねであることを特徴とする請求項１に記載の位置調整装置。
【請求項３】
前記板ばねは、前記位置調整手段に固定する部分とばね部とが一体的に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の位置調整装置。
【請求項４】
前記加圧・保持部材はコイルスプリングであることを特徴とする請求項１に記載の位置調整装置。
【請求項５】
前記加圧・保持部材はゴム材からなるものであることを特徴とする請求項１に記載の位置調整装置。
【請求項６】
前記加圧・保持部材は低反発弾性材からなるものであることを特徴とする請求項１に記載の位置調整装置。
【請求項７】
前記加圧・保持部材は圧縮空気を内蔵した部材によって第２の被調整物を弾性的に加圧・保持するものであることを特徴とする請求項１に記載の位置調整装置。
【請求項８】
前記加圧・保持部材は該部材の自重にて第２の被調整物を加圧・保持するものであることを特徴とする請求項１に記載の位置調整装置。
【請求項９】
前記加圧・保持部材は弾性ヒンジを有するものであることを特徴とする請求項１に記載の位置調整装置。
【請求項１０】
前記弾性ヒンジの薄肉部と第２の被調整物に対する加圧・保持位置が調整基準軸と垂直な面内にあることを特徴とする請求項９に記載の位置調整装置。
【請求項１１】
前記加圧・保持部材は円周上の３点で第２の被調整物を加圧・保持することを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載の位置調整装置。
【請求項１２】
前記加圧・保持部材は第２の被調整物の調整方向に対する加圧方向の角度θが０°＜θ≦９０°であることを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれかに記載の位置調整装置。
【請求項１３】
位置調整した後に第２の被調整物を第１の被調整物に対して固定するための固定手段を備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項１２のいずれかに記載の位置調整装置。
【請求項１４】
前記固定手段は紫外線硬化樹脂の供給硬化手段であることを特徴とする請求項１３に記載の位置調整装置。
【請求項１５】
前記供給硬化手段は紫外線硬化樹脂を第２の被調整物の周上に分割塗布することを特徴とする請求項１４に記載の位置調整装置。
【請求項１６】
第１の被調整物を位置決め固定するための位置決め固定手段を備え、該位置決め固定手段は少なくとも内側面を封止したほぼドーナツ形状をなす多孔質部材からなり、第１の被調整物を吸着保持することを特徴とする請求項１ないし請求項１５のいずれかに記載の位置調整装置。
【請求項１７】
前記多孔質部材の内側面は樹脂材で封止されていることを特徴とする請求項１６に記載の位置調整装置。
【請求項１８】
前記多孔質部材の内側面は機械加工により封止されていることを特徴とする請求項１６に記載の位置調整装置。
【請求項１９】
第１及び第２の被調整物の少なくとも一つが回折格子であって、該回折格子の位置基準マークとして輪帯を利用することを特徴とする請求項１ないし請求項１８のいずれかに記載の位置調整装置。
【請求項２０】
第１及び第２の被調整物の少なくとも一つが回折格子であって、該回折格子には位置基準マークが形成されており、該位置基準マークは最も内側の輪帯よりも小さいことを特徴とする請求項１ないし請求項１９のいずれかに記載の位置調整装置。
【請求項２１】
第１の被調整物上に第２の被調整物を位置決めして固定する位置調整方法であって、
第２の被調整物を弾性的に加圧・保持しつつ一平面上で移動させて第１の被調整物上で位置決めすること、
を特徴とする位置調整方法。
【請求項２２】
第２の被調整物を板ばねによって加圧・保持することを特徴とする請求項２１に記載の位置調整方法。
【請求項２３】
第２の被調整物をコイルスプリングによって加圧・保持することを特徴とする請求項２１に記載の位置調整方法。
【請求項２４】
第２の被調整物をゴム材によって加圧・保持することを特徴とする請求項２１に記載の位置調整方法。
【請求項２５】
第２の被調整物を低反発弾性材によって加圧・保持することを特徴とする請求項２１に記載の位置調整方法。
【請求項２６】
第２の被調整物を圧縮空気を内蔵した部材によって加圧・保持することを特徴とする請求項２１に記載の位置調整方法。
【請求項２７】
第２の被調整物を加圧・保持部材の自重にて加圧・保持することを特徴とする請求項２１に記載の位置調整方法。
【請求項２８】
第２の被調整物を弾性ヒンジを有する部材によって加圧・保持することを特徴とする請求項２１に記載の位置調整方法。
【請求項２９】
前記弾性ヒンジの薄肉部と第２の被調整物に対する加圧・保持位置が調整基準軸と垂直な面内にあることを特徴とする請求項２８に記載の位置調整方法。
【請求項３０】
円周上の３点で第２の被調整物を加圧・保持することを特徴とする請求項２１ないし請求項２９のいずれかに記載の位置調整方法。
【請求項３１】
第２の被調整物の調整方向に対する加圧方向の角度θが０°＜θ≦９０°であることを特徴とする請求項２１ないし請求項３０のいずれかに記載の位置調整方法。
【請求項３２】
位置調整した後に第２の被調整物を第１の被調整物に対して固定することを特徴とする請求項２１ないし請求項３１のいずれかに記載の位置調整方法。
【請求項３３】
第１及び第２の被調整物に紫外線硬化樹脂を供給硬化することによって固定することを特徴とする請求項３２に記載の位置調整方法。
【請求項３４】
紫外線硬化樹脂を第２の被調整物の周上に分割塗布することを特徴とする請求項３３に記載の位置調整方法。
【請求項３５】
第１の被調整物を少なくとも内側面を封止したほぼドーナツ形状をなす多孔質部材にて吸着保持することを特徴とする請求項２１ないし請求項３４のいずれかに記載の位置調整方法。
【請求項３６】
前記多孔質部材の内側面は樹脂材で封止されていることを特徴とする請求項３５に記載の位置調整方法。
【請求項３７】
前記多孔質部材の内側面は機械加工により封止されていることを特徴とする請求項３５に記載の位置調整方法。
【請求項３８】
第１及び第２の被調整物の少なくとも一つが回折格子であって、該回折格子の位置基準マークとして輪帯を利用することを特徴とする請求項２１ないし請求項３７のいずれかに記載の位置調整方法。
【請求項３９】
第１及び第２の被調整物の少なくとも一つが回折格子であって、該回折格子には位置基準マークが形成されており、該位置基準マークは最も内側の輪帯よりも小さいことを特徴とする請求項２１ないし請求項３７のいずれかに記載の位置調整方法。
【請求項４０】
第１及び第２の被調整物が光学素子であり、請求項２１ないし請求項３９のいずれかに記載の位置調整方法を経て製造されることを特徴とする光学ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置調整装置、位置調整方法及び光学ユニットの製造方法、特に、レンズや回折格子などの少なくとも二つの光学素子を備えた光学ユニットにおける光学素子の位置調整装置、位置調整方法及び光学ユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタル機器の普及に伴ってデジタルカメラや携帯電話用カメラといった撮像機器が小型化・高画素化し、それらに組み込まれる光学部品に要求される性能が次第に厳しくなっている。
【０００３】
従来、光学素子の調芯技術として、例えば特許文献１に記載の位置調整方法が知られている。この位置調整方法は、レンズの鏡枠をリング状の内枠、中枠、外枠にて構成し、これらの枠体をばね部材を介して結合し、調整ねじの進退によって内枠に保持されたレンズをＸ，Ｙ方向に移動させ、レンズの光軸位置の微調整（芯出し）を行う。
【０００４】
しかしながら、前記位置調整方法はレンズなどの光学素子とは別に鏡枠が必要であり、さらに、鏡枠に調整ねじを設置する必要があり、鏡枠自体に移動時のバックラッシュ防止用のばね部が必要となるため、構成が大型化、複雑化するという問題点を有していた。また、位置調整は調整ねじの進退によって行うため、高精度な位置決めは困難であった。さらに、光軸に対して垂直な方向にしか力が作用しないため、被調整物どうしの間隔が変化するおそれも有していた。
【特許文献１】特開２０００−１９３８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の目的は、簡単な構成で被調整物どうしの相対的な位置精度の向上を図り、調整移動時のバックラッシュがなく、調整が迅速な位置調整装置、位置調整方法及び光学ユニットの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以上の目的を達成するため、本発明に係る位置調整装置は、第１の被調整物上に第２の被調整物を位置決めして固定するための位置調整装置であって、第２の被調整物の位置検出手段及び位置調整手段とを備え、該位置調整手段は第２の被調整物を弾性的に加圧・保持する加圧・保持部材を備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る位置調整方法は、第１の被調整物上に第２の被調整物を位置決めして固定する位置調整方法であって、第２の被調整物を弾性的に加圧・保持しつつ一平面上で移動させて第１の被調整物上で位置決めすることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る光学ユニットの製造方法は、第１及び第２の被調整物が光学素子であり、前記位置調整方法を経て製造されることを特徴とする。
【０００９】
本発明においては、加圧・保持部材は、例えば、板ばね、コイルスプリング、ゴム材、低反発弾性材、圧縮空気を内蔵した部材、自重にて加圧する部材、弾性ヒンジを有する部材にて第２の被調整物を加圧・保持するという簡単な構成により、第２の被調整物を第１の被調整物上に密着させ、第２の被調整物と加圧・保持部材との隙間をなくすことで、バックラッシュを解消して第２の被調整物を移動させることができる。
【００１０】
前記板ばねを位置調整手段に固定する部分とばね部とが一体的に形成すれば、保持部分の位置調整を行う必要がなく、製作も容易である。また、前記弾性ヒンジの薄肉部と第２の被調整物に対する加圧・保持位置を調整基準軸と垂直な面内に設定すれば、位置調整の際に加圧・保持部材の回転を防止することができる。
【００１１】
あるいは、加圧・保持部材にて円周上の３点で第２の被調整物を加圧・保持すれば、保持安定性が向上する。しかも、保持位置が分割されていることから、第１及び第２の被調整物を接着などする際の接着剤供給スペースが生まれ、作業性が向上する。
【００１２】
また、加圧・保持部材による第２の被調整物の調整方向に対する加圧方向の角度θは０°＜θ≦９０°であることが好ましい。角度θが０°であると第２の被調整物の第１の被調整物に対する接触圧が生じにくく、両者の間に隙間が生じる可能性があり、角度θを０°＜θ≦９０°の範囲に設定することで、第２の被調整物の保持と両者の密着を同時に行うことができる。
【００１３】
また、本発明においては、位置調整した後に第２の被調整物を第１の被調整物に対して固定するための固定手段を備えていてもよく、この固定手段は紫外線硬化樹脂の供給硬化手段であることが好ましい。紫外線はエネルギーが高いために硬化が早く、また、紫外線硬化樹脂は環境光により硬化しにくいため、取扱いが容易である。そして、紫外線硬化樹脂を第２の被調整物の周上に分割塗布すれば、第１及び第２の被調整物の間で通気性を確保できる。通気性が確保されることで、被調整物の間の空気が圧縮されることがなく、必要以上に加圧する必要がないため、位置調整精度が保たれ、被調整物に傷などが付きにくい利点を有する。
【００１４】
また、本発明においては、第１の被調整物を位置決め固定するための位置決め固定手段を備えていてもよく、この位置決め固定手段は少なくとも内側面を封止したほぼドーナツ形状をなす多孔質部材からなり、第１の被調整物を吸着保持することが好ましい。第１の被調整物の保持領域が小さい場合であっても、確実に保持することができ、第１の被調整物の外周部分のみを吸着することができるため、保持による歪みが小さくなる。
【００１５】
そして、前記多孔質部材の内側面を樹脂材で封止することで、位置決め固定手段を低コストで容易に製作することができる。また、多孔質部材の内側面を機械加工により目詰まりさせることで封止すれば、ドーナツ形状の加工と同時に封止を行うことができ、製作コストが低下する。
【００１６】
また、本発明において、第１及び第２の被調整物にはそれぞれ位置基準マークが形成されており、前記位置基準マークを光学的手法を用いて観察する観察手段を備えていてもよい。
【００１７】
さらに、本発明において、第１及び第２の被調整物の少なくとも一つが回折格子であって、該回折格子の位置基準マークとして輪帯を利用してもよい。輪帯を位置基準マークとして利用すれば、別途位置基準マークを形成する必要がなく、また、位置基準マークによる不要な散乱光などのノイズ成分が発生することもない。
【００１８】
回折格子に位置基準マークを形成する場合、該マークは最も内側の輪帯よりも小さいことが好ましい。回折性能に影響を与えることがなく、顕微鏡などを使用してマークを撮像し、画像処理を行う場合に、輪帯の像によるノイズ成分が発生しない利点を有している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る位置調整装置、位置調整方法及び光学ユニットの製造方法の実施例について、添付図面を参照して説明する。
【００２０】
（実施例１、図１〜図５参照）
図１に実施例１である位置調整装置の主要構成を示し、図２に拡大した加圧・保持部分を示す。図１において、１８０は落射照明光源、１８１は透過照明光源、１８２はハーフミラー、１９０は顕微鏡（光学的観察装置）、１５０は位置調整用ステージ、２００はステージ１５０をＸ，Ｙ方向に移動させるピエゾ素子による駆動装置、２５０はベースステージである。
【００２１】
被調整物１３０は調整移動の対象となるレンズ１３１ａと回折格子１３１ｂである。ベースステージ２５０上には回折格子１３１ｂを位置決めして固定するための位置決め固定部材１６０が取り付けられており、この固定部材１６０上に回折格子１３１ｂが以下に説明するように載置／固定されている。
【００２２】
実施例１において、加圧・保持部材として弾性ヒンジ部材１０が用いられている。この弾性ヒンジ部材１０は位置調整用ステージ１５０の裏面にねじ１１によって固定されている。図２に示すように、弾性ヒンジ部材１０はスリット１０ｄを形成することにより弾性を有する薄肉部１０ｂを上面部分に設けたもので、先端部分にレンズ１３１ａの周縁角部に角度４５°で接触する傾斜面１０ａが形成されている。そして、傾斜面１０ａによる水平方向（調整移動方向）に対する加圧方向の角度θが４５°とされている。この角度θは０°＜θ≦９０°であることが好ましく、３０°〜６０°であることがより好ましい。
【００２３】
さらに、図３に示すように、弾性ヒンジ部材１０は、位置調整用ステージ１５０の穴１５１の周囲にレンズ１３１ａを円周上の３点で加圧・保持するように配置されている。二つの弾性ヒンジ部材１０が調整方向Ｘ，Ｙにそれぞれレンズ１３１ａを加圧し、その加圧方向に対向するように他の一つの弾性ヒンジ部材１０がレンズ１３１ａを加圧する。
【００２４】
回折格子１３１ｂを位置決め固定するための位置決め固定部材１６０は、穴１６４を有する基板１６３とドーナツ形状をなす多孔質部材１６０ａと吸引部材１６５とで構成されている。多孔質部材１６０ａの内側面は樹脂材１６０ｂで封止されている。回折格子１３１ｂは多孔質部材１６０ａの上端面に載置され、吸引部材１６５の吸引孔１６６から空気を吸引することにより、多孔質部材１６０ａにて吸着固定される。
【００２５】
レンズ１３１ａと回折格子１３１ｂには、図４に示すように、それぞれ位置基準マーク１４１ａ，１４１ｂが形成されている。位置基準マーク１４１ａ，１４１ｂはそれぞれの光学面の頂点に凸部として形成されており、回折格子１３１ｂのマーク１４１ｂは最も内側の輪帯１３１ｃよりも小さい。
【００２６】
落射照明光源１８０及び／又は透過照明光源１８１にて、位置基準マーク１４１ａ，１４１ｂの観察状態に応じて、被調整物１３０を照明し、マーク１４１ａ，１４１ｂを５〜１００倍の対物レンズ（図示せず）を用いた顕微鏡１９０によって拡大してＣＣＤ撮像素子などで撮像した後、目視又は画像処理によって回折格子１３１ｂに対するレンズ１３１ａの位置を算出する。
【００２７】
そして、位置の算出結果に基づいて、レンズ１３１ａをＸ−Ｙ平面で移動させて位置を調整する。この位置調整は、前記弾性ヒンジ部材１０にてレンズ１３１ａを３点で加圧・保持しつつ、ステージ１５０を駆動装置２００によってＸ−Ｙ平面上で移動させて行い、マーク１４１ａ，１４１ｂを合致させる、あるいは近接させる。
【００２８】
なお、駆動装置２００の駆動源は、ピエゾ素子以外に、ねじと高分解能なモータとの組み合わせ、超音波モータ、リニアモータとサブミクロンオーダーの分解能を持つエンコーダとの組み合わせを用いてもよい。
【００２９】
また、本実施例１では、位置基準マーク１４１ａ，１４１ｂをレンズ１３１ａ及び回折格子１３１ｂのそれぞれの光学面の頂点に一つずつ形成しているが、頂点以外の部分に形成してもよいし、複数箇所に形成してもよい。図５に、例えば、レンズ１３１ａにマーク１４１ａを３点配置した例を示す。また、回折格子１３ｂにあっては、輪帯を位置基準マークとして利用してもよい。輪帯を位置基準マークとして利用すれば、別途位置基準マークを形成する必要がなく、また、位置基準マークによる不要な散乱光などのノイズ成分が発生することもない。
【００３０】
前述の如く、回折格子１３１ｂに対するレンズ１３１ａの位置を調整（調芯）した後、紫外線硬化樹脂をレンズ１３１ａと回折格子１３１ｂの接合部分に塗布し、紫外線を照射して樹脂を硬化させ、両者を固定する。弾性ヒンジ部材１０が３箇所に分割されているため、それらの間のスペースから３本のニードルをそれぞれ挿入して樹脂を供給でき、また、紫外線を照射することができる。樹脂による固定は３箇所に限定するものではないが、全周に塗布する必要はない。
【００３１】
以上説明した実施例１では、加圧・保持部材として弾性ヒンジ部材１０を用いてレンズ１３１ａを加圧・保持するという簡単な構成により、レンズ１３１ａを回折格子１３１ｂ上に密着させ、弾性ヒンジ部材１０とレンズ１３１ａとの隙間をなくすことで、バックラッシュを解消してレンズ１３１ａを移動させることができる。また、弾性ヒンジ部材１０にて円周上の３点でレンズ１３１ａを加圧・保持したため、保持安定性が向上する。しかも、保持位置が分割されていることから、紫外線硬化樹脂の供給スペースが生まれ、作業性が向上する。
【００３２】
また、被調整物１３０の固定に用いる紫外線硬化樹脂は、紫外線のエネルギーが高いために硬化が早く、また、環境光により硬化しにくいため、取扱いが容易である。そして、紫外線硬化樹脂をレンズ１３１ａの周上に分割塗布するため、被調整物１３０の間で通気性を確保できる。通気性が確保されることで、被調整物１３０の間の空気が圧縮されることがなく、必要以上に加圧する必要がないため、位置調整精度が保たれ、被調整物１３０に傷などが付きにくい。
【００３３】
また、回折格子１３１ｂの位置決め固定部材１６０をドーナツ形状をなす多孔質部材１６０ａにて構成したため、回折格子１３１ｂの保持領域が小さくても確実に保持することができ、回折格子１３１ｂの外周部分のみを吸着することができるため、保持による歪みが小さくなる。さらに、多孔質部材１６０ａの内側面を樹脂材１６０ｂにて封止することで、位置決め固定部材１６０を低コストで容易に製作できる。
【００３４】
（実施例１の変形例、図６及び図７参照）
実施例１で用いた弾性ヒンジ部材１０とは他の形態を有する弾性ヒンジ部材１０Ａを図６に示す。弾性ヒンジ部材１０Ａは、薄肉部１０ｂを２本のスリット１０ｄを形成することによって中段部分に設けたもので、他の形状は前記弾性ヒンジ部材１０と同じである。
【００３５】
この弾性ヒンジ部材１０Ａにおいては、レンズ１３１ａに対する加圧・保持位置１０ｃに近い位置に薄肉部１０ｂが設けられているため、位置調整時に弾性ヒンジ部材１０Ａ自体の回転量が少なく、作用力のロスが少ない利点を有している。
【００３６】
図７にさらに他の形態を有する弾性ヒンジ部材１０Ｂを示す。弾性ヒンジ部材１０Ｂは、薄肉部１０ｂを下面部分に設けたもので、他の形状は前記弾性ヒンジ部材１０と同じである。
【００３７】
この弾性ヒンジ部材１０Ｂにおいては、薄肉部１０ｂとレンズ１３１ａに対する加圧・保持位置１０ｃが調整基準軸Ｐ（図１参照）と垂直な面内にあるため、即ち、薄肉部１０ｂ（支点位置）が保持位置１０ｃと同じ高さにあり、位置調整時に弾性ヒンジ部材１０Ｂが回転することがなく、作用力のロスがより少なくなる。
【００３８】
（実施例２、図８〜図１２参照）
図８に実施例２である位置調整装置の主要構成を示し、図９に拡大した加圧・保持部分を示す。この実施例２は基本的には前記実施例１と同様の構成を備えている。特徴的な点は、加圧・保持部材として板ばね２０を用いたことにある。従って、図８及び図９において図１及び図２と同じ部材、部分には同じ符号を付し、重複した説明は省略する。
【００３９】
また、実施例２において、被調整物１３０は、調整移動の対象となる回折格子１３２ａと位置決め固定部材１６１に載置／固定された回折格子１３２ｂである。
【００４０】
板ばね２０はねじ２１による固定部分２０ａとばね部２０ｂとが一体的に形成されている。ばね部２０ｂの先端部分２０ｃは上方に反った形状とされ、この先端部分２０ｃが回折格子１３２ａの周縁角部に接触して回折格子１３２ａをＸ−Ｙ平面上で移動させる。
【００４１】
板ばね２０は、図１０に示すように、固定部分２０ａがリング状をなし、該固定部分２０ａから３本のばね部２０ｂが等間隔で内方に延在されている。なお、図１１に示すように、ばね部２０ｂの先端部分をリング状部材２０ｄで連結したものであってもよい。
【００４２】
図１２に示すように、回折格子１３２ｂには最も内側の輪帯１３２ｃのさらに内側に凸状の位置基準マーク１４２ｂが形成されている。また、回折格子１３２ａは最も内側の輪帯１４２ａを位置基準マークとして利用する。マーク１４２ｂと輪帯１４２ａとの間隔は２００μｍであり、顕微鏡１９０にてそれぞれの回折格子面をフォーカス移動し、マーク１４２ｂと輪帯１４２ａを観察し、撮像する。なお、回折格子１３２ａに関しては、複数の輪帯を位置基準マークとして利用すれば、位置検出精度が高くなる。
【００４３】
撮像した後、目視又は画像処理によって回折格子１３２ｂに対する回折格子１３２ａの位置を算出し、回折格子１３２ａを調整移動させることは前記実施例１と同様である。
【００４４】
位置決め固定部材１６１は実施例１で示した固定部材１６０と基本的に同じ構成であるが、ドーナツ形状をなす多孔質部材１６１ａの内側面は無数の孔を機械加工によって目詰まりさせた封止面１６１ｂとされている。
【００４５】
また、位置調整用ステージ１５０をＸ、Ｙ方向に移動させる駆動装置２０１として、リニアモータとサブミクロンオーダーの分解能を持つエンコーダとを組み合わせたものを使用している。勿論、他の種類の駆動装置であってもよい。
【００４６】
（実施例３、図１３及び図１４参照）
図１３に実施例３である位置調整装置の主要構成を示し、図１４に拡大した加圧・保持部分を示す。この実施例３は基本的には前記実施例１と同様の構成を備えている。特徴的な点は、加圧・保持部材としてコイルスプリング３０を用いたことにある。従って、図１３及び図１４において図１及び図２と同じ部材、部分には同じ符号を付し、重複した説明は省略する。また、実施例３において、被調整物１３０は実施例１と同様に、レンズ１３１ａと回折格子１３１ｂである。
【００４７】
コイルスプリング３０は両端部にそれぞれ固定部材３１ａと保持部材３１ｂとが固着されている。固定部材３１ａはねじ３２によって調整用ステージ１５０の裏面に固定されている。保持部材３１ｂの先端部分にレンズ１３１ａの周縁角部に接触する角度４５°の傾斜面３１ｃが形成されている。この傾斜面３１ｃは、前記実施例１で説明したように、３０°〜６０°であることが好ましい。
【００４８】
被調整物１３０の位置基準マークの検出、ずれの算出、ステージ１５０を移動させて行う回折格子１３１ｂに対するレンズ１３１ａの位置調整は実施例１と同様である。
【００４９】
位置決め固定部材１６２は実施例１で示した固定部材１６０と基本的に同じ構成であるが、多孔質部材１６０ａ，１６１ａに代えて、ドーナツ形状をなす吸着固定部材１７０をガラス板１７１で密閉したものを用いている。吸着固定部材１７０に形成した吸引孔１７０ａから空気を吸引することにより、回折格子１３１ｂを吸着固定する。
【００５０】
（実施例４、図１５参照）
この実施例４は、加圧・保持部材として、コイルスプリング３５と吸着方式による保持部材３６を用いている。他の構成は図示しないが、前記実施例１と同様である。
【００５１】
コイルスプリング３５はその上端が位置調整用ステージ１５０の裏面に穴１５１と同軸に取り付けられ、下端に保持部材３６が固着されている。保持部材３６は穴３６ａを有するとともに吸引孔３６ｂを有し、吸引孔３６ｂから空気を吸引することによりレンズ１３１ａを吸着保持する。
【００５２】
本実施例４における被調整物１３０の位置基準マークの検出、ずれの算出、ステージ１５０を移動させて行う回折格子１３１ｂに対するレンズ１３１ａの位置調整は実施例１と同様である。
【００５３】
（実施例５、図１６及び図１７参照）
図１６に実施例５である位置調整装置の主要構成を示し、図１７に拡大した加圧・保持部分を示す。この実施例５は基本的には前記実施例１と同様の構成を備えている。特徴的な点は、加圧・保持部材としてゴム材４０を用いたことにある。従って、図１６及び図１７において図１及び図２と同じ部材、部分には同じ符号を付し、重複した説明は省略する。なお、実施例５において、被調整物１３０は実施例２で示した回折格子１３２ａ，１３２ｂである。
【００５４】
ゴム材４０はその上面にて位置調整用ステージ１５０の裏面に同心円上の３箇所に貼着されており、下面には保持部材４５がねじ４２によって固定されている。保持部材４５の先端部分に回折格子１３２ａの周縁角部に接触する角度４５°の傾斜面４５ａが形成されている。この傾斜面４５ａは、前記実施例１で説明したように、３０°〜６０°であることが好ましい。
【００５５】
被調整物１３０の位置基準マークの検出、ずれの算出、ステージ１５０を移動させて行う回折格子１３２ｂに対する回折格子１３２ａの位置調整は実施例１と同様である。
【００５６】
（実施例５の変形例、図１８参照）
実施例５で用いたゴム材４０とは別のゴム材４１を加圧・保持部材として用いた例を図１８に示す。このゴム材４１は、位置調整用ステージ１５０へねじ４２で固定される固定部分４１ａと回折格子１３２ａを加圧・保持する傾斜面４１ｂまで全てを一体的に形成したものである。
【００５７】
（実施例６、図１９及び図２０参照）
図１９に実施例６である位置調整装置の主要構成を示す。この実施例６は基本的には前記実施例１と同様の構成を備えている。特徴的な点は、加圧・保持部材として低反発弾性材５０を用いたことにある。従って、図１９において図１及び図２と同じ部材、部分には同じ符号を付し、重複した説明は省略する。
【００５８】
低反発弾性材５０は、図２０に示すように、３分割されて調整用ステージ１５０の裏面に同心円上に貼着されており、角部５０ａにてレンズ１３１ａの周縁角部を加圧・保持する。この低反発弾性材５０は反発弾性率が３０％以下のものを使用可能であり、反発弾性率２５％程度が好適である。
【００５９】
被調整物１３０の位置基準マークの検出、ずれの算出、ステージ１５０を移動させて行う回折格子１３１ｂに対するレンズ１３１ａの位置調整は実施例１と同様である。
【００６０】
（実施例７、図２１参照）
この実施例７は、加圧・保持部材として、エアシリンダ６０と吸着方式による保持部材３６を用いたものである。他の構成は図示しないが、前記実施例１と同様である。
【００６１】
保持部材３６は前記実施例４で示したもの（図１５参照）と同様の構成を有し、回折格子１３２ａを吸着保持する。回折格子１３２ａに対する弾性的加圧力はエアシリンダ６０内の圧縮空気にて得ている。
【００６２】
（実施例８、図２２参照）
この実施例８は、加圧・保持部材として、前記吸着方式による保持部材３６を用いたもので、加圧力は保持部材３６の自重にて得ている。即ち、保持部材３６をその周部にて位置調整用ステージ１５０の裏面側に軸７０を介して上下動自在に吊り下げ、保持部材３６の自重によってレンズ１３１ａに加圧力を付与する。なお、保持部材３６におけるレンズ１３１ａを吸着するための構成は前記実施例４で説明したとおりである。
【００６３】
（他の実施例）
なお、本発明に係る位置調整装置、位置調整方法及び光学ユニットの製造方法は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
【００６４】
特に、位置調整用ステージやその駆動装置、被調整物の一方を位置決め固定する手段は種々の構成を採用することができる。また、被調整物はレンズや回折格子に限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明に係る位置調整装置の実施例１を示す主要構成図である。
【図２】実施例１における弾性ヒンジ部材及び位置決め固定部材を示す拡大断面図である。
【図３】前記弾性ヒンジ部材の配置を示す平面図である。
【図４】実施例１における被調整物を示し、（Ａ）はレンズと回折格子の近接状態を示す説明図、（Ｂ）は回折格子の平面図である。
【図５】前記レンズに形成した位置基準マークの他の例を示す平面図である。
【図６】弾性ヒンジ部材の変形例を示す拡大断面図である。
【図７】弾性ヒンジ部材の他の変形例及び位置決め固定部材を示す拡大断面図である。
【図８】本発明に係る位置調整装置の実施例２を示す主要構成図である。
【図９】実施例２における板ばね及び位置決め固定部材を示す拡大断面図である。
【図１０】前記板ばねを示す平面図である。
【図１１】板ばねの変形例を示す平面図である。
【図１２】実施例２における被調整物を示し、（Ａ）は二つの回折格子の近接状態を示す説明図、（Ｂ）は回折格子の平面図である。
【図１３】本発明に係る位置調整装置の実施例３を示す主要構成図である。
【図１４】実施例３におけるコイルスプリング及び位置決め固定部材を示す拡大断面図である。
【図１５】本発明に係る位置調整装置の実施例４の要部を示す断面図である。
【図１６】本発明に係る位置調整装置の実施例５を示す主要構成図である。
【図１７】実施例５におけるゴム材を示す拡大立面図である。
【図１８】ゴム材の変形例を示す拡大立面図である。
【図１９】本発明に係る位置調整装置の実施例６を示す主要構成図である。
【図２０】実施例６における低反発弾性材の配置を示す平面図である。
【図２１】本発明に係る位置調整装置の実施例７の要部を示す断面図である。
【図２２】本発明に係る位置調整装置の実施例８の要部を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０…弾性ヒンジ部材
２０…板ばね
３０，３５…コイルスプリング
３６…保持部材
４０，４１…ゴム材
４５…保持部材
５０…低反発弾性材
６０…エアシリンダ
７０…連結軸
１３０…被調整物
１３１ａ…レンズ
１３１ｂ，１３２ａ，１３２ｂ…回折格子
１４１ａ，１４１ｂ，１４２ｂ…位置基準マーク
１４２ａ…輪帯
１５０…調整用ステージ
１６０…位置決め固定部材
１６０ａ，１６１ａ…多孔質部材
１９０…顕微鏡
２００，２０１…Ｘ，Ｙ方向駆動装置
【図１】
2006146044.tif 000003
【図２】
2006146044.tif 000004
【図３】
2006146044.tif 000005
【図４】
2006146044.tif 000006
【図５】
2006146044.tif 000007
【図６】
2006146044.tif 000008
【図７】
2006146044.tif 000009
【図８】
2006146044.tif 000010
【図９】
2006146044.tif 000011
【図１０】
2006146044.tif 000012
【図１１】
2006146044.tif 000013
【図１２】
2006146044.tif 000014
【図１３】
2006146044.tif 000015
【図１４】
2006146044.tif 000016
【図１５】
2006146044.tif 000017
【図１６】
2006146044.tif 000018
【図１７】
2006146044.tif 000019
【図１８】
2006146044.tif 000020
【図１９】
2006146044.tif 000021
【図２０】
2006146044.tif 000022
【図２１】
2006146044.tif 000023
【図２２】
2006146044.tif 000024