(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドに使用する圧電性セラミックスに金属素子又は樹脂材料からなる構成部材を接着するには、エポキシ系接着剤とイミダゾールからなる硬化剤を使用しても１５０℃以上の高温状態で２０時間以上放置しなければインクにたいして満足する耐久性が得られない。【解決手段】インクジェットヘッドの接着工程において不活性ガスを使用することにより、エポキシ樹脂とイミダゾール硬化剤を使用し、低温（１０℃〜５０℃）で硬化してかつ表面のべとつきのない接着を行うことができるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【選択図】図１
2006188047.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方のインクジェットヘッド構成部材と他方のインクジェットヘッド構成部材とを接着するインクジェットヘッドの製造方法において、
一方のインクジェットヘッド構成部材の接着部の少なくとも一部に、エポキシ樹脂とイミダゾール硬化剤からなる接着剤組成物を使用して、一方のインクジェットヘッド構成部材を他方のインクジェットヘッド構成部材に接着する工程と、
不活性ガス雰囲気中にて接着剤組成物を硬化させる工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記不活性ガス雰囲気中に含有される炭酸ガス量が２００ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記不活性ガス雰囲気中に含有される水分量が相対湿度で２０％以下であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記不活性ガス雰囲気中に含有される炭酸ガス量が２００ｐｐｍ以下であり、かつ水分量が相対湿度で２０％以下であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記不活性ガス雰囲気の温度は１０℃以上５０℃以下であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記インクジェットヘッド構成部材の少なくとも一方が、圧電性セラミックスであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
不活性ガスは窒素ガスを含むことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関する。詳しくは、接着剤を使用してインクジェットヘッドの構成部材の接着部を接着するインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタ用のインクジェットヘッドは、インク貯蔵部から供給されてきたインクを記録媒体へ吐出するまでの構成部分であり、インクジェットプリンタ本体からその部分のみ取り外しが可能な部材の総称である。
【０００３】
インクジェットヘッドの構成部材としては、インクの液溜めとしてのマニホールド、マニホールド内に設けられインクの不純物を濾過するためのフィルタ、インクをマニホールドから吐出口まで分岐流出させるための複数のインクチャンバ、各インクチャンバからインク滴を吐出するための吐出口を形成するノズルプレート、インクジェットヘッドの駆動回路部材としてのＦＰＣ（フレキシブルプリントサーキット）、インクジェットヘッドを保護するための外形部材としてのカバー等から成る。
【０００４】
このようなインクジェットヘッドの製造は、各構成部材を接着剤を使用して互いに接着する接着工程を含む。この接着工程における接着剤としては、従来、シリコーン系、酢酸ビニル系、アクリル系、シアノアクリレート系、エステル系、ゴム系のものが使用されている。
【０００５】
しかしこれらの接着剤は、インク吐出時にインクを吸収して膨潤してしまうため、出射速度の低下、出射角度の曲がりや出射欠といった不具合が発生し、インクジェットヘッドの接着には不向きであることがわかった。
【０００６】
さらにエポキシ樹脂は、上記接着剤に比べると耐薬品性が高いことが知られているが、通常のエポキシ樹脂は硬化剤としてポリアミンを使用する。ポリアミンはエポキシ基の重合体中に取り込まれる。一方エポキシ基は開環してヒドロキシル基（ＯＨ基）を生成する。そのため極性を有する溶媒に膨潤しやすくなる。
【０００７】
そこでエポキシ系接着剤と１−置換イミダゾール化合物と２−エチル−４−メチルイミダゾール（ここでは単にイミダゾールという）からなる硬化剤を使った接着剤組成物を使用することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第２５９７１２２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、インクジェットヘッドに使用する圧電性セラミックスに金属素子又は樹脂材料からなる構成部材を接着するには、特許文献１の接着剤組成物を使用しても、１５０℃以上の高温状態で２０時間以上放置しなければインクに対する十分な耐久性が得られない。すなわち、一般に硬化剤として使用するアミノ基は酸と反応して塩を形成する。アミンは空気中の炭酸ガスと反応して炭酸アミン塩を形成して、接着剤の表面が硬化しなくなるという現象がある。しかしイミダゾール類が炭酸ガスと反応して上記のように表面が硬化しなくなるということは知られていなかった。
【０００９】
しかし高温（１５０℃）状態で圧電性セラミックスと金属素子又は樹脂材料とを接着すると、それぞれの材料の熱膨張率の違いにより、接着後に常温に冷却されると上記の構成部材に応力が発生し、構成部材の破断が生じたり、接着部分の剥離が生じたり、インクジェットヘッドのインク出射性能の低下をきたす場合があった。
【００１０】
また、インクの流路の構成部材の破断が生じたり剥離が生じるとインクのリークが発生する。
【００１１】
さらに、圧電性セラミックスは圧電性を喪失してしまうキュリー点を有しており、キュリー点を超える温度以上で接着剤の硬化を行うことができない。
【００１２】
高温で接着することは上記のような問題が発生するので、低温（１０℃〜５０℃）で接着することが望ましいが、接着剤層の内部は硬化するが空気と触れる表面は硬化せずにべとつきが残り、インクと接触する部分では硬化していない接着剤がインクに溶け込んで、インクジェットヘッドのインク出射性能に影響を与える場合があった。
【００１３】
本発明は、インクに対する耐久性が高く、表面のべとつきがなく、良好なインク出射性能を有するインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的は下記構成により達成することができる。
１．一方のインクジェットヘッド構成部材と他方のインクジェットヘッド構成部材とを接着するインクジェットヘッドの製造方法において、
一方のインクジェットヘッド構成部材の接着部の少なくとも一部に、エポキシ樹脂とイミダゾール硬化剤からなる接着剤組成物を使用して、一方のインクジェットヘッド構成部材を他方のインクジェットヘッド構成部材に接着する工程と、
不活性ガス雰囲気中にて接着剤組成物を硬化させる工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
２．前記不活性ガス雰囲気中に含有される炭酸ガス量が２００ｐｐｍ以下であることを特徴とする１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
３．前記不活性ガス雰囲気中に含有される水分量が相対湿度で２０％以下であることを特徴とする１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
４．前記不活性ガス雰囲気中に含有される炭酸ガス量が２００ｐｐｍ以下であり、かつ水分量が相対湿度で２０％以下であることを特徴とする１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
５．前記不活性ガス雰囲気の温度は１０℃以上５０℃以下であることを特徴とする１乃至４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
６．前記インクジェットヘッド構成部材の少なくとも一方が、圧電性セラミックスであることを特徴とする１乃至５の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
７．不活性ガスは窒素ガスを含むことを特徴とする１乃至６の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、インクジェットヘッドの接着工程において、不活性ガス雰囲気中でエポキシ系接着剤とイミダゾール硬化剤とからなる接着剤組成物を硬化するので、高温状態にすることなく接着剤組成物を硬化しても表面のべとつきが発生せず、インクに対する耐久性の高いインクジェットヘッドを製造することができる。
【００１６】
また、高温状態での接着剤硬化を行わないので、接着されるインクジェットヘッド構成部材相互の熱膨張率の差により、構成部材に応力が発生し、破断が生じたり、インクジェットヘッドのインク出射性能が低下しない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
本発明に係るインクジェットヘッドについて、図１を用いて説明する。図１は本発明に係るインクジェットヘッドの構成を概念的に示す図である。
【００１９】
図中、１はインクの流路の三方の壁となる溝が切られた圧電性セラミックス基体、２は圧電性セラミックス基体１と接着されインク流路の一方の壁となる蓋部材、５は圧電性セラミックス基体１と蓋部材２とで形成されるインク流路である。以上がインクジェットヘッドのインクチャンバである。
【００２０】
また、１０はインクジェットヘッドの全体を覆うカバー、２０はマニホールド、２５はフィルタ、３０はマニホールド２０に接着され図示しないインク貯蔵部からインクを供給するためのインクチューブ、４０は図２で後述する電極膜３に通電するためのＦＰＣ（フレキシブルプリントサーキット）、４５はＦＰＣ４０に接着された駆動ＩＣ、５０はインクチャンバの前面に接着されインク滴を吐出させる吐出口を有するノズルプレートであり、これらはいずれもインクジェットヘッド構成部材である。なお、図中の矢印はインクの流れを示し、Ｐは射出したインク滴である。
【００２１】
図示しないインク貯蔵部からインクがインクチューブ３０を伝ってマニホールド２０を満たしている。マニホールド２０内には、金網等のフィルタ２５が配設され、インク中の異物を取り除くようになっている。フィルタ２５で濾過されたインクは、インク流路５に流入している。一方、図示しないインクジェットプリンタ本体の制御手段から画像信号がＦＰＣ４０を伝って送られてくると、駆動ＩＣ４５は、対応するインクチャンバをせん断変形させるための電圧を発生させ、後述する電極膜３に通電する。すると、せん断変形したインクチャンバは、ノズルプレート５０の吐出口から、インク滴を射出することになる。
【００２２】
図１においてＡ〜Ｉの斜線で示す部分は、インクジェットヘッドの構成部材の接着部である。Ａは圧電性セラミックス基体１と蓋部材２との接着部、Ｂはインクチャンバとノズルプレート５０との接着部、ＣはＦＰＣ４０と圧電性セラミックス基体１上に付設された電極膜３（後述）との接着部、ＤはＦＰＣ４０と駆動ＩＣ４５との接着部、Ｅはマニホールド２０と圧電性セラミックス基体１との接着部、Ｆはマニホールド２０と蓋部材２との接着部、Ｇはマニホールド２０内においてフィルタ２５との接着部、Ｈはマニホールド２０とインクチューブ３０との接着部、ＩはＦＰＣ４０が圧電性セラミックス基体１から剥離しないように補強接着するための接着部である。
【００２３】
接着部ＡおよびＢは、可能な限り薄く、不必要な部分にはみ出さない事が必要である。最も接着精度が要求される部分である。
【００２４】
接着部ＣはＦＰＣ４０が剥がれないように、伸び縮みの小さい接着剤を用いることが好ましい。
【００２５】
接着部Ｄは駆動ＩＣとの接点周囲であるので、ストレスに強い接着剤を用いることが好ましい。
【００２６】
接着部Ｈは、フィルタの目を詰まらせない様に接着剤の量を少量とすることが好ましい。
【００２７】
上記全ての接着部において、圧電性セラミックス基体１の圧電性が消失しない低温・短時間で接着工程が行われること、硬化途中に接着部以外に流れ出さないことが必要である。
【００２８】
蓋部材２は、例えばガラス、セラミックス、金属或いは樹脂材料製の平板で構成されており、図示しない溝が形成された圧電性セラミックス基体１の溝部を覆うように接合することでインク流路を形成する。
【００２９】
図１で示した圧電性セラミックス基体１について、図２を用いて説明する。図２（ａ）は、図１のインクジェットヘッドを図１中の矢印Ｙ方向から見た断面図であり、図２（ｂ）は、インク流路を溝状に形成した圧電性セラミックス基体１の斜視図である。なお、図１と同じ構成要素には同符号を付し、説明を省略する。図２中、３は電極膜、４は保護膜を示す。
【００３０】
圧電性セラミックス基体１を構成する圧電性セラミックスとしては、従来公知の任意のものを採用できるが、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ等のセラミックスで、主にＰｂＯｘ、ＺｒＯｘ、ＴｉＯｘの混合微結晶体に、ソフト化剤又はハード化剤として知られる微量の金属酸化物、例えばＮｂ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｌａ、Ｃｒ等の酸化物を含むものが好ましい。
【００３１】
ＰＺＴは、チタン酸ジルコン酸鉛であり、充填密度が大きく、圧電性定数が大きく、加工性が良いので好ましい。ＰＺＴは、焼成後、温度を下げると、急に結晶構造が変化して、原子がズレ、片側がプラス、反対側がマイナスという双極子の形の、細かい結晶の集まりになる。こうした自発分極は方向がランダムで、極性を互いに打ち消しあっているので、更に分極処理が必要となる。
【００３２】
分極処理は、ＰＺＴの薄板を電極で挟み、シリコン油中に漬けて、１０〜３５ｋＶ／ｃｍ程度の高電界を掛けて、分極する。分極したＰＺＴに分極方向に直角に電圧を掛けると、側壁が圧電滑り効果により、斜め方向に、くの字形に、せん断変形してインク室の容積が膨張する。この分極処理による圧電性は、ＰＺＴにおいては、２００℃をキュリー点として、これ以上の温度を与えると消失してしまう。
【００３３】
圧電性セラミックス基体１の密度〔ｇ／ｃｍ2〕は、８．２であり、蓋部材２の密度〔ｇ／ｃｍ2〕は、３以下としているが、蓋部材２の密度〔ｇ／ｃｍ2〕は、より小さく例えば半分以下が好ましく、インクジェットヘッド全体が軽くなり、コンパクトなインクジェットヘッドができる。
【００３４】
圧電性セラミックス基体１のヤング率又は弾性係数〔ＧＰａ〕は、６５であり、蓋部材２のヤング率〔ＧＰａ〕は、１９０〜３９０としているが、２００以上が好ましく、圧電性セラミックス基体１の隔壁の変位を強固に支えることができ、かつ自身の変形が少ないために、効率的な駆動ができ、低電圧化が可能である。
【００３５】
圧電性セラミックス基体１の熱膨張係数〔ｐｐｍ／ｄｅｇ〕は、２であり、蓋部材２の熱膨張係数〔ｐｐｍ／ｄｅｇ〕は、０．６〜７としているが、両者の差が５以下、より好ましくは３以下であり、駆動時の発熱や、環境温度の変化に伴い、基板間の膨張によるそりやストレスでの破壊を防止できる。
【００３６】
圧電性セラミックス基体１の熱伝導率〔Ｗ／ｃｍ・ｄｅｇ〕は、０．０１であり、蓋部材２の熱伝導率〔Ｗ／ｃｍ・ｄｅｇ〕は、０．０３〜０．３としているが、蓋部材２の熱伝導率〔Ｗ／ｃｍ・ｄｅｇ〕は、大きいほど好ましく、圧電性セラミックス基体１の駆動時に発生する熱を蓋部材２を通して外部へ逃がすことができる。
【００３７】
圧電性セラミックス基体１の誘電率は、３，０００であり、蓋部材２の誘電率は、４．０〜５０としているが、蓋部材２の誘電率は、小さいほど好ましく、好ましくは１０以下であり、圧電性セラミックス基体１を駆動するための電極パターンを蓋部材２上に設置することにより、圧電性セラミックス基体１自身の容量に加えて付加的な容量を発生させるので、インク室の容量を増大させ、発熱量を増大させ、駆動効率を低下させる。従って、蓋部材２の誘電率が小さい程付加容量を小さくできる。
【００３８】
圧電性セラミックス基体１の硬度〔Ｈｖ〕は、５００であり、蓋部材２の誘電率は、１，０００以上としているが、蓋部材２の誘電率は、より大きく、好ましくは１倍以上、より好ましくは１．５倍以上であり、製造工程での欠け等で歩溜り劣化を防止できる。
【００３９】
圧電性セラミックス基体１の曲げ強さ〔ＭＰａ〕は、１００であり、蓋部材２の曲げ強さ〔ＭＰａ〕は、３００〜９００としているが、好ましくは２倍以上であり、蓋部材２のそりや曲げに強い程、長尺のインクジェットヘッドを安定して作製できる。
【００４０】
圧電性セラミックス基体１の体積抵抗率〔Ω・ｃｍ〕は、１であり、蓋部材２の体積抵抗率〔Ω・ｃｍ〕は、７〜１０としているが、より大きいことが好ましく、電子デバイスとしてのリーク電流を減らすために大きい程良い。
【００４１】
また、蓋部材２と圧電性セラミックス基体１との間の接着面の表面粗さＲａは、圧電性セラミックスの駆動、感度の観点から１．０μｍ以下が好ましく、より好ましくは０．３μｍ以下、更に好ましくは０．１μｍが好ましい。
【００４２】
また、蓋部材２と圧電性セラミックス基体１との間の接着面は、プラズマ処理またはＵＶ処理される。プラズマ処理は、真空チャンバー中に蓋部材２や圧電性セラミックス基体１を置き、Ａｒ、Ｎ2、Ｏ2の１つまたは混合ガスを注入し、外部からの電磁界で、プラズマ状態にする処理であり、表面のエッチング性を高めるために、ＣＦ4等のフッ素系炭化水素ガスを用いても良い。また、ＵＶ処理は紫外線発光ランプを直接蓋部材２や圧電性セラミックス基体１に照射する処理であり、オゾンでのクリーニング効果を出すために、Ｏ2雰囲気下でも良い。このように接着面をプラズマ処理及びＵＶ処理をすることにより、有機物汚染を洗浄除去でき、接着面全体への接着剤のぬれ性を向上させ、微小な泡残り等の接着不良を排除でき、それにより、圧電性セラミックス基体１の駆動不良をなくし、安定なインクジェットヘッドを製造できる。
【００４３】
圧電性セラミックス基体１は、例えば、厚さ１ｍｍの基体１の一面に微少な溝部（Ｌ：３０ｍｍ、Ｈ：３６０μｍ、Ｂ：７０μｍ）が加工されている。この基体１の加工面に蓋部材２を接合（接着）することにより、インク流路となるインクチャンバ（Ｌ：３０ｍｍ、Ｈ：３６０μｍ、Ｂ：７０μｍ）が溝部に構成される。インクチャンバの一端はフィルタユニットを含むマニホールドを介してインク貯蔵部に連結され、他端はインク吐出口（ノズルプレート）と連結される。
【００４４】
本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の一実施形態として、図１及び図２に示した蓋部材２の圧電性セラミックス基体１への接着を例にして説明する。
【００４５】
本実施の形態においては、図２に示した電極膜３の形成後、保護膜４の形成工程前に蓋部材２を圧電性セラミックス基体１に接着する。該接着工程では、接着剤を塗布する前に、圧電性セラミックス基体１の溝部が設けられた加工面及び前記溝部を覆う蓋部材２の接合面はその状態に応じて洗浄、研磨等の前処理が行われ、接着面がそれぞれ形成される。
【００４６】
圧電性セラミックス基体１の接着面と蓋部材２の接着面とが接着剤で接着されて、圧電性セラミックス基体１と蓋部材２は一体に組み立てられる。
【００４７】
本発明においては、エポキシ系接着剤としてエポキシ樹脂とイミダゾール硬化剤からなる接着剤組成物が用いられる。
【００４８】
本発明に用いられるエポキシ樹脂としては、１分子に２個以上のエポキシ基を有する硬化可能なエポキシ樹脂であれば特に制限されるものではなく、このようなものとしては例えばビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、多官能グリシジルアミン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、含複素環エポキシ樹脂、水添型ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、芳香族、脂肪族もしくは脂環式のカルボン酸とエピクロルヒドリンとの反応によって得られるエポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂等が挙げられる。
【００４９】
上記エポキシ樹脂は、単独または２種以上混合して用いることができる。本発明においては、上記エポキシ樹脂の中でもビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂およびビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂から選択される少なくとも１種のエポキシ樹脂を用いることがその特性上好ましい。
【００５０】
本発明に用いられるイミダゾール硬化剤としては、例えば２−メチルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール、２−フェニル−４、５−ジヒドロキシイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシルメチルイミダゾール、２−フェニル−４−ベンジル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール、４−ジアミノ−６−［２−メチルイミダゾリル−（１）］−エチル−ｓ−トリアジン、および２−エチル−４−メチルイミダゾール等が挙げられ、これらイミダゾール系化合物は単独または２種以上混合して用いることができる。
【００５１】
接着剤組成物には、上記のエポキシ系接着剤及びイミダゾール硬化剤の他に、本発明の目的に反しない範囲において粘度を調整するための溶剤、カップリング剤、消泡剤、顔料、染料、無機充填剤その他の成分を配合することができる。
【００５２】
溶剤としては、例えばメタノール、エタノール、イソプロパノール等が挙げられ、これらは単独又は２種以上混合して使用することができる。
【００５３】
カップリング剤としては、例えばγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランやγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができる。
【００５４】
また、本発明の接着剤組成物では、無機粒子を配合してもよい。無機粒子としては、例えば金、銀、銅、アルミニウムあるいはニッケル等からなる金属粉末または高分子粒子に金やニッケル等をコートした粒子等を用いることができる。
【００５５】
接着剤組成物では、エポキシ樹脂１００質量部に対して、イミダゾール硬化剤を１〜３０質量部とすることが好ましく、より好ましくは６〜２０質量部である。
【００５６】
本発明に係るエポキシ樹脂として好ましく用いられるものは、ジャパンエポキシレジン社製エピコート８２８、同社製エピコート１５２等が挙げられる。
【００５７】
本発明に係る接着剤組成物をインクジェットヘッドの構成部材に塗布する方法としては、周知の方法を用いることができるが、膜厚を精度良くコントロールするには、ディスペンサ法、スクリーン法あるいはロール転写法が好ましい。
【００５８】
圧電性セラミックス基体１の接着面と蓋部材２の接着面とが接着剤組成物で接着されて一体に組み立てられた後、接着剤組成物は不活性ガス雰囲気中にて硬化する。接着剤組成物の硬化は、上述のエポキシ系接着剤とイミダゾール硬化剤とが架橋することによって硬化するものである。なお、本発明の不活性ガス雰囲気は人間が作業している空間の空気より、酸素、水分または炭酸ガスが除去または減少された雰囲気である。
【００５９】
中でも好ましい不活性ガスとしては、ヘリウム、ネオン、アルゴン等の希ガスおよび窒素ガスが挙げられる。
【００６０】
不活性ガス雰囲気は、接着剤組成物のインクに対する耐久性、圧着性セラミックス基体１及び蓋部材２の熱膨張等に鑑みて、炭酸ガス量が２００ｐｐｍ以下であり、水分量が相対湿度で２０％以下であることが好ましく、温度は１０℃以上５０℃以下に維持されていることが好ましい。
【００６１】
本発明に係る不活性ガス雰囲気は、例えば図３に示した硬化槽８０内で維持することができる。硬化槽８０は、扉８５を閉じることによって密閉状態になるようになっており、窒素ガス８２が硬化槽８０内にホース８６によって接続配管され、硬化槽８０内の活性ガス及び水分を排出する排出口８３と、硬化槽８０内の温度および炭酸ガス量と水分量を検知するセンサ（不図示）からその量を表示する表示部８１が設けられている。
【００６２】
接着されて一体に組み立てられた圧電性セラミックス１と蓋部材２からなるワーク部８９は、台板８４上に置かれ、その台板８４は硬化槽８０内に挿入できるようになっている。
【００６３】
ワーク部８９を硬化槽８０に挿入し、扉８５を閉め密閉にした状態で、窒素ガスを硬化槽８０内に導入し、所定時間放置することで接着剤組成物が硬化する。
【００６４】
なお、窒素ガスにより硬化槽８０にある炭酸ガスと水分が排出口８３から排出されるようになっており、その炭酸ガス量と水分量は表示部８１によってモニターできる。モニターには槽内の炭酸ガス量と水分量を一定の値に維持できる設定つまみ８７、８８が設けられている。硬化槽８０内には吸水を促進するためシリカゲルを主成分とした乾燥剤を１立方メートル当たり１ｋｇの割合で設置されている。また炭酸ガスを取り除く促進剤として水酸化カリウムを１立方メートル当たり５００ｇの割合で設置している。
【００６５】
圧電性セラミックス基体１と蓋部材２の組立後、一体化された圧電性セラミックス基体１と蓋部材２間にインク流路５となるインクチャンバが構成される。
【００６６】
接着工程終了後一体化された圧電性セラミックス基体１と蓋部材２に対し、ＣＶＤ法等にて樹脂層である保護膜４が形成され、インク流路が完成する。
【実施例】
【００６７】
以下、実施例により本発明を説明するが、本発明はこれらに限定されない。
【００６８】
図１に示したインクジェットヘッドにおいて、図２に示した圧電性セラミックス基体１と蓋部材２とからなるワーク部を、概略を下記した本発明の製造方法で作製した。
【００６９】
（インクジェットヘッド構成部材）
圧電性セラミックス基体１：一面に溝部（Ｌ：３０ｍｍ、Ｈ：３６０μｍ、Ｂ：７０μｍ）を形成した厚さ１ｍｍ縦４０ｍｍ横２０ｍｍの分極処理済みＰＺＴ基体
蓋部材２：厚さ１ｍｍ縦４０ｍｍ横５ｍｍの非分極のＰＺＴ製平板を接着した。
【００７０】
（接着剤組成物）
エポキシ系接着剤（ジャパンエポキシレジン社製エピコート８２８）１００質量部
イミダゾール硬化剤（和光純薬社製２−エチル−４−メチルイミダゾール）１０質量部
２５℃雰囲気中で上記接着剤組成物を圧電性セラミックス基体１と蓋部材２の接着面にそれぞれ１０μｍの厚さで塗布し、２分間放置した後、接着面どうしを接合した。
引き続きノズルプレート、マニホールド、インクチューブ、ＦＰＣおよびカバーを上記接着剤組成物で接着した。
【００７１】
（実験）
図３に示した硬化槽８０を使用し、表１に示す条件で表面粘着性、インク出射性、リーク性を評価した。表において○印は良、×印は不良、△印はその中間を示す。
【００７２】
【表１】
2006188047.tif 000003
【００７３】
なお各調整方法は下記のとおりである。
炭酸ガス濃度調整方法：ＫＯＨを硬化槽内に放置し、炭酸ガスをＫＯＨに反応させ                            て除去する。
酸素濃度調整方法：エージレスＺＰ（三菱ガス化学製）を硬化槽内に放置し、酸素                        を吸収する。
相対湿度調整方法：硬化槽が冷凍機を備えることにより調湿可能にする。
測定：炭酸ガス濃度計、酸素濃度計および湿度計を使用。
不活性ガス導入により炭酸ガス濃度、酸素濃度および湿度を調整する場合は不活性ガスの導入量を調整する。
接着強度測定：ヘッドの流路内にコニカミノルタ社製インクジェットプリンタ
ナッセンジャＶ用インクを満たして６０℃で３０日間放置後、イン                    ク流路内を減圧して、減圧が保持されていることを測定し、空気の                    リークが発生しているかどうかで判定した。
インク出射性：コニカミノルタ社製インクジェットプリンタナッセンジャＶを使用                    し、溶剤インクとして
プトキシエチルアセテート  ９０質量％
２−ピロリジノン          １０質量％
を有するインク混合物を用い、出射サンプル画像を目視にて判定した。
【００７４】
（評価）
表より実施例６、７、８は表面粘着性、インク出射性、リーク性において問題は発生しなかった。
【００７５】
以上から、本実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法は、不活性ガス雰囲気中で炭酸ガス量は２００ｐｐｍ以下、相対湿度２０％以下、酸素濃度１０％以下の条件のもとで、作業温度が１０℃〜５０℃で行うことができるので、従来からの問題点であった圧電性セラミックスと金属素子又は樹脂材料からなる構成部材との熱膨張差による収縮量の違いから構成部材に応力が発生し、破断が生じたり、圧電性セラミックス出射性能の低下をきたすことが無く、インクに溶出した接着剤成分によりノズルを詰まらせることがないきわめて有効なインクジェットヘッド製造方法であることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の実施の形態におけるインクジェットヘッドの断面模式図である。
【図２】図２（ａ）は、図１のインクジェットヘッドを図１中の矢印Ｙ方向から見た断面図であり、図２（ｂ）は、インク流路を溝状に形成した圧電性セラミックス基体の斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る硬化槽の概略斜視図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  圧電セラミックス基体
２  蓋部材
５  インク流路
１０  カバー
２０  マニホールド
２５  フィルタ
３０  インクチューブ
４０  ＦＰＣ
５０  ノズルプレート
８０  槽
８１  表示部
８２  窒素ガス
【図１】
2006188047.tif 000004
【図２】
2006188047.tif 000005
【図３】
2006188047.tif 000006