(57)【要約】【課題】  傾斜の適度な検知ができ、表面実装が容易で生産性に優れ、導電体が封入された容器の気密性が良好で、長期にわたって誤作動することなく傾きを検知することが可能な傾斜センサー装置を提供すること。【解決手段】  傾斜センサー９は、上面の中央部に底面が部分球面状の凹部１ａが形成されている絶縁基板１と、凹部１ａの底面に形成された互いに電気的に独立している複数の電極パッド３と、絶縁基板１の凹部１ａの内側から外側にかけて形成されて電極パッド３を絶縁基板１の側面および下面の少なくとも一方に導出させる配線導体４と、絶縁基板１の上面の外周部に凹部１ａを塞ぐように取着された蓋体６と、絶縁基板１と蓋体６とで形成される空間内において凹部１ａの底面上を自由に移動できるようにして収納された導電体５とを具備している。【選択図】  図１
2006012692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面の中央部に底面が部分球面状の凹部が形成されている絶縁基板と、前記凹部の底面に形成された互いに電気的に独立している複数の電極パッドと、前記絶縁基板の前記凹部の内側から外側にかけて形成されて前記電極パッドを前記絶縁基板の側面および下面の少なくとも一方に導出させる配線導体と、前記絶縁基板の上面の外周部に前記凹部を塞ぐように取着された蓋体と、前記絶縁基板と前記蓋体とで形成される空間内において前記凹部の底面上を自由に移動できるようにして収納された導電体とを具備していることを特徴とする傾斜センサー装置。
【請求項２】
前記絶縁基板は、その上面の外周部に絶縁枠体が取着されており、該絶縁枠体を介して前記蓋体が前記絶縁基板に取着されていることを特徴とする請求項１記載の傾斜センサー装置。
【請求項３】
前記絶縁基板は、その下面に複数の接続パッドが形成されており、前記各接続パッドは前記配線導体を介して前記電極パッドに電気的に接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の傾斜センサー装置。
【請求項４】
前記導電体は、前記電極パッドの複数個に常に接触している導電性流体であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の傾斜センサー装置。
【請求項５】
前記電極パッドは、前記凹部の底面の中央部に形成されているものが他のものよりも小さいことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の傾斜センサー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電体の変位に基づいて傾斜の方向を検知する傾斜センサー装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、傾斜を検知するための傾斜センサー装置は、一般に、樹脂等の電気的な絶縁体から成る筐体と、線状の金属材料等から成り、筐体の内側から外側に貫通するようにして配設され、互いに電気的に独立した複数の導電ピンと、筐体の内部に封入された導電性の球体とを具備した構造である。筐体は、通常、下板と上板とから構成され、導電ピンは、上板と下板との間に挟みこまれるようにして、または上板や下板を厚み方向に貫通するようにして取着される。また、上板と下板とを接合するときに、その間に球体を入れておくことにより、上板と下板とから成る筐体内に球体が封入される（特許文献１，２参照）。
【０００３】
このような傾斜センサー装置は、導電ピンのうち筐体の外側に露出している部分が外部電気回路基板の電気回路に半田等を介して電気的に接続されている。導電ピンが接続される外部の電気回路は、電流計等の検知器やブザー等を含む検知器等と電気的に接続されている。
【０００４】
そして、傾斜センサー装置の傾きに応じて筐体内で球体が転がって移動し、隣り合う２本の導電ピンの間が導電性の球体で電気的に接続され、この電気的な接続を導電ピンに接続されて外部に配置された電流計等の検知器で検知することにより、導電性の球体が移動した方向、つまり傾きの方向を検知することができる。
【０００５】
この傾斜センサー装置を、携帯電話やデジタルカメラ等の電子機器や、トラクター等の不整地での作業用の車両の転倒防止装置、自動車の盗難防止装置等の機器を構成する外部電気回路基板に部品として搭載することにより、この傾斜センサー装置が搭載された各種機器の傾きの方向を検知することができる。
【０００６】
例えば、デジタルカメラやカメラ付き携帯電話に部品として実装して用いると、カメラの向き（いわゆる縦位置や横位置）に応じて画像の写しこまれる向きを変え、常に撮影時の上方向を保存されている画像の上方向と一致させるようにして撮像、保存することができる。
【０００７】
また、デジタルカメラや携帯電話、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）等で画像を見るときも、デジタルカメラや携帯電話等の画像表示機の方向がどうであれ、常に写真の上側が地球の重力の反対側に表示されるように、つまり画像表示機を見ている利用者が写真等の画像を見やすいようにして表示することができる。
【特許文献１】特開平１１−１６２３０６号公報
【特許文献２】特開２００４−５５３１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の傾斜センサー装置においては、導電ピンを筐体の内側から外側に貫通するようにして配設し、この導電ピンを検知装置等に電気的に接続されるようにして外部電気回路基板に実装する必要があるため、表面実装が可能な形態とすることが難しく、また薄型化や小型化が難しいという問題があった。
【０００９】
また、球体と導電ピンとの接触の有無により傾斜を検知する機構であるため、傾斜の方向は検知できるものの、傾斜の程度等を検知することは難しいという問題があった。
【００１０】
また、例えば、筐体を構成する上板と下板、導電ピンおよび導電性の球体を準備し、上板と下板とを、導電ピンが貫通するようにしかつ球体が封入されるようにして接合する必要があるため、部品の個数が多くなり、製作工程も煩雑で生産性が低いという問題があった。
【００１１】
また、筐体内部に外気の湿気等が侵入すると誤動作する危険性があるので筐体内の気密性を高くする必要があるが、導電ピンが筐体を貫通する部分で気密性が劣化する危険性があり、長期信頼性が低いという問題があった。
【００１２】
また、激しい振動が生じるような環境で使用した場合、球体が導電ピンに当たって導電ピンを変形させたり、隣り合う２本の導電ピンの間に球体が挟みこまれたりして、正常に傾きを検知することができなくなるという問題もあった。
【００１３】
また、筐体内の球体が移動する面は、通常下板の上面であり平面状である。この場合、球体が転がり易いので、傾斜センサー装置のわずかな傾きでも球体が移動してしまう。そのため、自動車の盗難防止用センサー等、わずかな傾きでも検知する必要があるような用途には有効であるものの、例えば、カメラ付き携帯電話のように手持ちで使用するような機器の場合、検知したい機器の傾きの方向以外のわずかなぶれ等に起因する傾きも検知してしまい、その機器を正常に作動させることが難しくなるという問題点があった。例えば、撮像時の機器（携帯電話）の重力方向に対する向き、いわゆる縦位置での撮像か横位置での撮像かを検知したいときに、それ以外のぶれ等を誤って機器の傾きとして検知してしまい、撮像した画像の向きが上下左右ばらばらになってしまう。
【００１４】
このような問題に対しては、筐体内の球体が転がる面の中央部に凹部を設けておき、その中に球体を収めて転がり難くするという手段が提案されている。しかしながら、従来のセンサー装置では、凹部の縁からの距離が同じになるよう各導電ピンを取り付ける必要があるためセンサー装置の製作がより煩雑になり、生産性が低下するという問題が誘発されるおそれがある。
【００１５】
従って、本発明はかかる上述の問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、傾斜の適度な検知ができ、表面実装が容易で生産性に優れ、容器の気密性が良好で、長期にわたって誤作動することなく傾きを検知することが可能な傾斜センサー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の傾斜センサーは、上面の中央部に底面が部分球面状の凹部が形成されている絶縁基板と、前記凹部の底面に形成された互いに電気的に独立している複数の電極パッドと、前記絶縁基板の前記凹部の内側から外側にかけて形成されて前記電極パッドを前記絶縁基板の側面および下面の少なくとも一方に導出させる配線導体と、前記絶縁基板の上面の外周部に前記凹部を塞ぐように取着された蓋体と、前記絶縁基板と前記蓋体とで形成される空間内において前記凹部の底面上を自由に移動できるようにして収納された導電体とを具備していることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の傾斜センサーは好ましくは、前記絶縁基板は、その上面の外周部に絶縁枠体が取着されており、該絶縁枠体を介して前記蓋体が前記絶縁基板に取着されていることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の傾斜センサーは好ましくは、前記絶縁基板は、その下面に複数の接続パッドが形成されており、前記各接続パッドは前記配線導体を介して前記電極パッドに電気的に接続されていることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の傾斜センサーは好ましくは、前記導電体は、前記電極パッドの複数個に常に接触している導電性流体であることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の傾斜センサーは好ましくは、前記電極パッドは、前記凹部の底面の中央部に形成されているものが他のものよりも小さいことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の傾斜センサー装置によれば、上面の中央部に底面が部分球面状の凹部が形成されている絶縁基板と、凹部の底面に形成された互いに電気的に独立している複数の電極パッドと、絶縁基板の凹部の内側から外側にかけて形成されて電極パッドを絶縁基板の側面および下面の少なくとも一方に導出させる配線導体と、絶縁基板の上面の外周部に凹部を塞ぐように取着された蓋体と、絶縁基板と前記蓋体とで形成される空間内において凹部の底面上を自由に移動できるようにして収納された導電体とを具備していることから、導電体が移動した方向で隣り合う複数の電極パッドの間が導電体を介して電気的に接続され、この電気的な接続を検知することにより、導電体が移動した方向、つまり絶縁基板の傾きの方向を検知することができる。
【００２２】
この場合、導電体は複数の電極が形成された部分球面状の凹部の底面に沿って移動するので、絶縁基板の傾きの程度に応じた凹部の底面内の１箇所に留まり、そこに形成されている複数の電極パッドの間を電気的に接続することにより、傾きの方向に加えて傾きの程度を確実に検知することができる。
【００２３】
これにより、例えば、家庭で使用する石油ストーブ等に取り付けた場合、通常の生活でおきるような微細な傾斜（振動）には反応しにくく、転倒近くの傾斜になると転倒を予知し、石油ストーブが倒れる前に消火したり、燃料タンクの元栓を締めたりすることができる。また、例えば、自動車に取り付けて駐車する際に作動させておくと、何者かが自動車のドアを開けたり、あるいは自動車の中に乗り込んだりした時の自動車の傾斜を感知し、警報を鳴らしたりヘッドライトを点滅させたり、エンジンがかからないようにしたりすることが可能となり、自動車の盗難防止に使用することができる。
【００２４】
また、導電ピン等を配設する必要がないので、薄型化、小型化が容易である。また、凹部に導電体を収容し、蓋体等で凹部を塞ぐだけで傾斜センサー装置を構成することができ、製作工程が簡単であるため、生産性を良好として傾斜センサー装置を作製することができる。
【００２５】
さらに、絶縁基板と配線導体とを、例えば一体焼成された焼結体（セラミックス）とメタライズ層とから成るものとして一体的に形成することができるとともに、導電ピン等が貫通する部分がないので、蓋体で凹部を塞ぐことにより導電体を気密性に優れた状態で封入することができ、長期信頼性を優れたものとすることができる。
【００２６】
また、導電体が接触するのが、絶縁基板の上面の中央部の部分球面状の凹部と、この凹部の底面に形成された複数の電極パッドとであるため、絶縁基板に激しい振動が加わり、導電体が繰り返し当たったとしても電極パッドに変形等が生じたり、隣り合う電極パッドの間に導電体が挟まったりするようなことは効果的に抑制され、長期にわたって正常に傾きを検知することが可能な傾斜センサー装置を構成することができる。
【００２７】
また、本発明の傾斜センサー装置は好ましくは、絶縁基板は、その上面の外周部に絶縁枠体が取着されており、絶縁枠体を介して蓋体が絶縁基板に取着されていることから、導電体の移動を絶縁枠体で遮ることができるため、どのような状態でも導電体が凹部から飛び出すことは無く、繰り返し激しい振動が加わるような環境でも導電体が凹部内に留まって確実に傾斜を検知することができ、どのような機器にでも取り付けが可能である。
【００２８】
また、凹部の外周部で凹部の底面と蓋体の下面との間に、絶縁枠体の高さの分だけ確実にスペースを確保することができ、導電体の移動が蓋体で阻害されることを効果的に防止し、傾斜の検知をより確実に行なわせることが可能な傾斜センサー装置とすることができる。
【００２９】
また、本発明の傾斜センサー装置は好ましくは、絶縁基板は、その下面に複数の接続パッドが形成されており、各接続パッドは配線導体を介して電極パッドに電気的に接続されていることから、傾斜センサー装置を外部電気回路基板の所定位置に位置決め載置することにより、下面に形成されている接続パッドを介して、傾斜センサー装置を外部電気回路基板の対応する電気回路に容易かつ確実に表面実装の形態で電気的に接続することができ、より一層表面実装が容易で、かつ外部の電気回路に対する電気的接続の信頼性に優れた傾斜センサー装置とすることができる。
【００３０】
また、多数の接続パッドを形成できるとともに接続パッドに接続された電極パッドも多数形成でき、少しの傾斜の違いでも導電体に接触する接続パッドが変わり、精度の高い傾斜センサーを提供できる。また、本発明の傾斜センサー装置は、外部電気回路基板に表面実装が可能で、薄型化、小型化が容易である。
【００３１】
また、本発明の傾斜センサー装置は好ましくは、導電体は、電極パッドの複数個に常に接触している導電性流体であることから、常に複数の電極パッド同士が電気的に接続されており、死角無しにどの角度に傾斜センサーが傾いているか感知できる。また、導電体が導電性流体であるため、傾斜センサーが激しく振動しても、電極パッドや絶縁基板、蓋体に傷をつけること無く、長期にわたり安定して作動する傾斜センサー装置を提供できる。
【００３２】
また、本発明の傾斜センサー装置は好ましくは、電極パッドは、凹部の底面の中央部に形成されているものが他のものよりも小さいことから、水平な状態では凹部の中央部に位置する導電体がわずかに移動し始めただけでも、すぐに導電体で接続されている電極パッドが異なる部位のものに変わるので、その移動に要した時間を詳しく検知することで傾斜のスピードをより素早く、傾斜しようとする方向も含めて正確に検知することができる。これにより、凹部の底面の中央部に形成されている電極パッドが導電体によって電気的に接続されなくなった時間から、導電体が移動して隣の電極パッド間に接触するまでの時間を感知し、その傾斜が地震等による急激なものかを判断することができる。従って、例えば、地震等で石油ストーブ等が転倒する前に安全装置を働かすことができ、極めて有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本発明の傾斜センサー装置を添付の図面に基づいて詳細に説明する。図１（ａ）は、本発明の傾斜センサー装置の実施の形態の一例を示す平面図であり、図１（ｂ）はその断面図である。図１において、１は絶縁基板、２は絶縁枠体、３は電極パッド、４は配線導体、５は導電体、６は蓋体、７は接続パッドである。
【００３４】
絶縁基板１は、上面の中央部に底面が部分球面状である凹部１ａが形成され、この凹部１ａに導電体５が収容される。この絶縁基板１は、酸化アルミニウム質焼結体（酸化アルミニウムセラミックス）や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，炭化珪素質焼結体，窒化珪素質焼結体，ガラスセラミックス等の電気絶縁材料から成る。絶縁基板１は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合、酸化アルミニウムや酸化珪素，酸化マグネシウム，酸化カルシウム等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダ，溶剤，可塑剤および分散剤を添加混合して泥漿状となし、これを従来周知のドクターブレード法等によりシート状に成形することで複数枚のセラミックグリーンシート（以下、グリーンシートともいう）を得、しかる後、これらのグリーンシートを絶縁基板１の厚さ等が得られるように必要に応じて複数積層して、約１６００℃の温度で焼成することにより製作される。
【００３５】
なお、凹部１ａは、グリーンシートまたはその積層体に球状の物体を押し付けたものを、焼成することにより形成することができる。
【００３６】
絶縁基板１は、上述の凹部１ａ内に導電体５を収容するための容器の基体であり、その導電体の移動した方向により絶縁基板１の傾きの方向を精度良く検知するために、凹部１ａは平面視で円形に形成されるのがよい。この場合、凹部１ａの平面視形状が例えば四角形状等の多角形であると、多角形の角部に導電体５があると、傾斜が角部の内角より大きくならないと、導電体５が移動することが難しくなり、精度良く、また瞬時に傾きを感知できない。
【００３７】
なお、絶縁基体１および絶縁枠体２の外形は、凹部１ａを覆うように蓋体６が載置されるため、凹部１ａに蓋体６が搭載される部分が確保された大きさで構わないが、取り扱い性等を考慮すると、四角形が好ましくは。この場合、完全な四角形でなくてもよく、角部分を円弧状に面取りした四角形状でもよい。
【００３８】
導電体５が収容される凹部１ａは底面が部分球面状であり、この底面に互いに電気的に独立している複数の電極パッド３が形成されている。また、電極パッド３は、絶縁基板１の凹部１ａの内側から外側にかけて形成された配線導体４にそれぞれ電気的に接続され、配線導体４を介して凹部１ａの外側に電気的に導出されている。
【００３９】
そして、絶縁基板１の上面の凹部１ａに導電体５を自由に移動できることができる状態で収容するとともに、凹部１ａを塞ぐようにして蓋体６を絶縁基板１の上面の外周部に取着することにより、傾斜センサー装置９が構成される。
【００４０】
傾斜センサー装置９は、配線導体４のうち凹部１ａの外側に露出している部位を外部電気回路基板（図示せず）の電気回路の所定位置に半田等の導電性接続材（図示せず）を介して電気的に接続されて使用される。
【００４１】
なお、導電体５は、部分球面状の凹部１ａの底面に沿って自由に移動でき、かつ複数の電極パッド３の間にまたがって両者を電気的に接続できるようなものである。導電体５は、例えば、常温で液状であるとともに表面張力によって液滴状、粒状、塊状となる水，水銀等から成る導電性流体、凹部１ａの底面に接する部位の曲率半径が凹部１ａの曲率半径と同程度以下の楕円球状の金属体、最も間隔の広い電極パッド３間を接続可能な球状の金属体、銀等の金属の粉末やカーボン粉末等の導電性フィラー粉末をポリプロピレン等の樹脂に添加して成る導電性の樹脂複合材料等から成る。
【００４２】
傾斜センサー装置９が傾いたとき、凹部１ａに収容されている導電体５は、凹部１ａの底面に沿って、絶縁基板１の傾きにともなう重力に従い転がりや滑り等の移動形態で自由に移動する。
【００４３】
そして、導電体５が移動した方向で隣り合う電極パッド３の間が導電体５を介して電気的に接続され、この電気的な接続を検知することにより導電体４が転がった方向、つまり傾斜センサー装置９の傾きの方向を検知することができる。この場合、導電体５は、複数の電極３が形成された凹部１ａの底面に沿って移動するので、絶縁基板１の傾きの程度に応じた凹部１ａの底面内の１箇所に留まり、そこに形成されている電極パッド３の間を電気的に接続することにより、傾きの方向に加えて傾きの程度を確実に検知することができる。これにより、例えば、家庭で使用する石油ストーブ等に取り付けた場合、通常の生活でおきるような微細な傾斜（振動）には反応せず、転倒近くの傾斜になると転倒を予知し、石油ストーブが倒れる前に消火したり、燃料タンクの元栓を締めたりすることができる
また、配線導体４のうち絶縁基板１の下面に導出された部位を外部電気回路基板の電気回路に電気的に接続するだけで実装できるので、傾斜センサー装置９の外部電気回路基板に対する表面実装を容易に行なうことができる。この場合、絶縁基板１はその下面に複数の接続パッド７が形成されており、各接続パッド７は配線導体４を介して電極パッド３に電気的に接続されていることから、傾斜センサー装置９を外部電気回路基板の電気回路の所定位置に位置決め載置することにより、接続パッド７を介して傾斜センサー装置９を外部電気回路基板の対応する電気回路に容易かつ確実に表面実装の形態で電気的に接続することができる。その結果、より一層表面実装が容易でかつ外部の電気回路に対する電気的接続の信頼性に優れた傾斜センサー装置９とすることができる。
【００４４】
また、従来のように導電ピン等を配設する必要がないので、薄型化、小型化が容易である。
【００４５】
また、絶縁基板１の上面の中央部の凹部１ａに導電体５を収容することにより傾斜センサー装置９を形成することができるため、製作工程が簡単であり、傾斜センサー装置９の生産性を良好とすることができる。
【００４６】
また、絶縁基板１がセラミックス、配線導体４がメタライズ層から成る場合、絶縁基板１と配線導体４とを一体的に形成することができるとともに導電ピン等の貫通する部分がないので、導電体５が収容されている凹部１ａを蓋体６で塞ぐことにより、導電体５を気密性に優れた状態で封入することができ、長期信頼性を優れたものとすることができる。
【００４７】
また、導電体５が接触するのが平面状の電極パッド３であるため、導電体５が繰り返し当たったとしても電極パッド３に変形等が生じることは効果的に抑制され、長期にわたって正常に傾きを検知することが可能なセンサー装置９を作製することができる。
【００４８】
なお、電極パッド３、配線導体４および接続パッド７は、タングステンやモリブデン，マンガン，銅，銀，パラジウム，白金，金等の金属粉末のメタライズ層から成り、例えば、タングステンの粉末に適当な有機バインダ，溶剤，可塑剤および分散剤等を添加混合して得たメタライズペーストを、従来周知のスクリーン印刷法により絶縁基板１および絶縁枠体２用のグリーンシートに所定のパターンで印刷塗布し、これをグリーンシートの積層体とともに焼成することによって形成される。
【００４９】
また、電極パッド３および接続パッド７の露出表面には、酸化腐食するのを防止するとともに電極パッド３と導電体５とが接触したときの電気的接続の感度を向上させるために、厚みが１〜１０μｍ程度のニッケルめっき層と厚みが０．１〜５μｍ程度の金めっき層とが順次被着されていることが好ましい。
【００５０】
また、導電体５が繰り返し電極パッド３に接触したときのめっき層の磨耗を効果的に防止するために、白金やパラジウム等の耐食性が良好で金よりも磨耗し難い金属層を最表層のめっき層として被着させてもよい。また、ニッケルめっき層にホウ素等を混入させてニッケルめっき層の硬度を高くするようにしてもよい。また、クロム等の硬質めっき層を被着させてもよい。
【００５１】
蓋体６は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，炭化珪素質焼結体，窒化珪素質焼結体，ガラスセラミックス等のセラミック材料、または鉄−ニッケル−コバルト合金や鉄−ニッケル合金等の金属材料で形成される。
【００５２】
本発明において、絶縁基板１は、その上面の外周部に絶縁枠体２が取着されており、絶縁枠体２を介して蓋体６が絶縁基板１に取着されていることが好ましい。これにより、導電体５の移動を絶縁枠体２で遮ることができるため、どのような状態でも導電体５が凹部１ａから飛び出すことは無く、繰り返し激しい振動が加わるような環境でも導電体５が凹部１ａ内に留まって確実に傾斜を検知することができ、従ってどのような機器にでも取り付けが可能である。また、凹部１ａの外周部で凹部１ａの底面と蓋体６の下面との間に、絶縁枠体２の高さの分だけ確実にスペースを確保することができ、導電体５の移動が蓋体６で阻害されることを効果的に防止し、傾斜の検知をより確実に行なわせることが可能な傾斜センサー装置９とすることができる。
【００５３】
絶縁枠体２は、絶縁基板１と同様の材料、具体的には酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，炭化珪素質焼結体，窒化珪素質焼結体，ガラスセラミックス等の電気絶縁材料により形成することができる。例えば、絶縁基板１となるグリーンシートと同様にして作製したグリーンシートに打抜き加工を施して枠状に成形し、これを焼成することにより形成される。
【００５４】
絶縁枠体２は、生産性や絶縁基板１に対する接合の強さ等を考慮すると、絶縁基板１と同じセラミック材料から成り、一体焼成することにより絶縁基板１に対して取着されたものであることが好ましい。この場合、絶縁基板１と絶縁枠体２との外形形状を同じにしておくと、絶縁基板１となるグリーンシートの上面の外周部に、絶縁枠体２となる枠状のグリーンシートを容易に位置合わせして積層し、焼成して一体化させることができる。
【００５５】
なお、蓋体６は、絶縁基板１や絶縁枠体２の上面に取着して収納部を封止することができるものであれば、特に形状、寸法等に制約はないが、例えば、取り扱いや絶縁枠体２の上面に取着する作業を容易とすること等を考慮して、絶縁基板１や絶縁枠体２と外形形状が同形状の板状に形成される。
【００５６】
この蓋体６は、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合、絶縁基板１や絶縁枠体２と同様にしてグリーンシートを作製し、これを所定の寸法に切断加工して焼成することにより製作することができる。
【００５７】
蓋体６の絶縁基板１、絶縁枠体２に対する取着は、ガラスやろう材、樹脂接着剤等の接合材を介して接合すること等の方法により行なうことができる。この場合、導電体５の上面と蓋体６の下面との間の距離は５０μm以上が好ましい。これにより、導電体５が蓋体６の下面に頻繁に接触することを効果的に防止し、導電体５の移動をより滑らかにして傾きの検知の精度をより確実に高く確保することができる。また、導電体５と蓋体６との間の距離が広くなりすぎることを防ぎ、導電体５を自由に移動できるものとするとともに、導電体５が蓋体６に強く衝突することを効果的に防止し、気密封止の信頼性をより優れたものとすること等のために、５０乃至３００μｍとすることがより好ましい。
【００５８】
また、本発明の傾斜センサー装置９は、導電体５は、電極パッド３の複数個に常に接触している導電性流体であることが好ましく、これにより、常に複数の電極パッド３同士が電気的に接続されており、死角無しにどの角度に傾斜センサー装置９が傾いているか感知できる。また、傾斜センサー装置９が激しく振動しても、導電性流体は電極パッド３、絶縁基板１や蓋体６に傷をつけること無く、長期にわたり安定して作動する傾斜センサー装置９を提供できる。
【００５９】
導電性流体としては、水や水銀等を用いることができる。特に水が人体に影響が無く好ましい。導電体性流体として水を用いる場合、有機酸塩類や炭酸塩類等の電解質を含ませて電気伝導度を高くし、隣り合う電極パッド３の間の導電体５を介した電気的接続の感度を高めるようにしてもよい。この場合、電極パッド３の水による腐食を抑えるため、添加する電解質は金属に対する腐食性の弱いものが好ましい。
【００６０】
また、水が表面張力によって塊状になり易いようにするために、絶縁基体１の上面にフッ素系樹脂等のコーティング処理を施してもよい。この場合、凹部１ａの底面の電極パッド３が形成されていない部位や、絶縁枠体２の内側面、蓋体６の下面等を、フッ素系樹脂等の流体で濡れにくい材料で覆うようにする。また、水にデンプン等を添加して導電性流体の粘度を高くし、まとまって塊状となって移動し易いようにして、不規則に散った導電性流体により傾斜が誤って検知されることを抑制するようにしてもよい。
【００６１】
本発明の傾斜センサー装置９は、電極パッド３は、凹部１ａの底面の中央部に形成されているものが他のものよりも小さいことが好ましい。これにより、水平な状態では凹部１ａの中央部に位置する導電体５がわずかに移動し始めただけでも、すぐに導電体５で接続されている電極パッド３が異なる部位のものに変わるので、その移動に要した時間つまり傾斜のスピードをより素早く傾斜しようとする方向も含めて正確に検知することができる。その結果、凹部１ａの底面の中央部に形成されている電極パッド３が導電体５と電気的に接続されなくなった時間から、導電体５が移動して隣の電極パッド３間に接触するまでの時間を感知し、その傾斜が地震等による急激なものかを判断することができる。従って、例えば、地震等で石油ストーブ等が転倒する前に安全装置を働かすことができ、極めて有効である。
【００６２】
なお、本発明は上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更は可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】（ａ）は本発明の傾斜センサー装置の平面図、（ｂ）はその断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１・・・絶縁基板
１ａ・・・凹部
２・・・絶縁枠体
３・・・電極パッド
４・・・配線導体
５・・・導電体
６・・・蓋体
７・・・接続パッド
９・・・傾斜センサー装置
【図１】
2006012692.tif 000003