(57)【要約】【課題】光記録媒体の基板の凹凸形状を高精度で測定できる光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法及び測定装置を提供する。【解決手段】光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置は、片面にグルーブ及び／又はピットとランド（情報伝達のための凹凸）が形成された基板１２及び該基板１２における前記凹凸が形成された面の上に形成された情報層１４を有してなる光記録媒体１６の基板１２を、該基板１２及び情報層１４のうち該基板１２を選択的に溶解可能である溶剤１８を用いて少なくとも一部の領域において溶解させて厚さ方向に完全に除去するための基板除去器２０と、情報層１４における基板１２側の露出した面の凹凸形状を測定するための測定器と、該測定器で測定される情報層１４の凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転してなる凹凸形状のデータを作成するためのデータ処理器と、を備える。【選択図】図２
2006286071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報伝達のための凹凸が形成された基板及び該基板における前記凹凸が形成された面の上に形成された情報層を有してなる光記録媒体の前記基板を、該基板及び前記情報層のうち該基板を選択的に溶解可能である溶剤を用いて少なくとも一部の領域において溶解させて厚さ方向に完全に除去する基板除去工程と、前記情報層における前記基板側の露出した面の凹凸形状を測定する測定工程と、該測定された情報層の凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転してなる凹凸形状のデータを作成するデータ処理工程と、を含むことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記光記録媒体として前記情報層における前記基板と反対側にダミー基板が備えられた光記録媒体を測定対象とし、前記基板除去工程の前に前記溶剤を案内するためのガイドをその一部が前記ダミー基板における前記基板と反対側の面の外周近傍に密着し、且つ、他の一部が前記外周から外側に突出するように前記光記録媒体に取付けるガイド取付け工程が設けられ、前記基板除去工程において前記基板が上方を臨み、且つ、前記ガイドが下端近傍に位置するように前記光記録媒体を傾斜させて配置し、前記溶剤を上方から前記基板に滴下し、使用済みの溶剤を前記ガイドで案内して前記光記録媒体から離間させるようにしたことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【請求項３】
請求項１において、
前記基板除去工程の前に、前記光記録媒体における前記基板と反対側に測定用基板を設置する測定用基板設置工程と、前記溶剤を案内するためのガイドをその一部が前記測定用基板における前記基板と反対側の面の外周近傍に密着し、且つ、他の一部が前記外周から外側に突出するように前記光記録媒体に取付けるガイド取付け工程と、が設けられ、前記基板除去工程において前記基板が上方を臨み、且つ、前記ガイドが下端近傍に位置するように前記光記録媒体を傾斜させて配置し、前記溶剤を上方から前記基板に滴下し、使用済みの溶剤を前記ガイドで案内して前記光記録媒体から離間させるようにしたことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【請求項４】
請求項２又は３において、
前記ガイドとして粘着テープを用いることを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【請求項５】
請求項２乃至４のいずれかにおいて、
前記基板除去工程において、前記光記録媒体をその表面が水平方向に対して６０°以上、９０°未満の範囲で傾斜させて配置するようにしたことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【請求項６】
情報伝達のための凹凸が形成された基板及び該基板における前記凹凸が形成された面の上に形成された情報層を有してなる光記録媒体の前記基板を、該基板及び前記情報層のうち該基板を選択的に溶解可能である溶剤を用いて少なくとも一部の領域において溶解させて厚さ方向に完全に除去するための基板除去器と、前記情報層における前記基板側の露出した面の凹凸形状を測定するための測定器と、該測定器で測定される前記情報層の凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転してなる凹凸形状のデータを作成するためのデータ処理器と、を含むことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記基板除去器は、前記光記録媒体を傾斜させて保持するための保持器と、前記溶剤を上方から前記基板に滴下するための滴下器と、を備えることを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記保持器は、前記光記録媒体をその表面が水平方向に対して６０°以上、９０°未満の範囲で傾斜する姿勢で保持可能であることを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録媒体の基板に形成されたグルーブやピットとランド等の凹凸形状の測定方法及び測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報記録媒体としてＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）等の光記録媒体が広く利用されている。更に近年、Ｂｌｕ−ｒａｙ、ＨＤ  ＤＶＤと称される、照射光として波長が４０５ｎｍの青色レーザを用いる光記録媒体が普及しつつある。
【０００３】
このような光記録媒体の製造方法についてＤＶＤを例として簡単に説明する。まず、射出成形により基板が作製される。この際、型内に設置されるスタンパにより基板の片面にグルーブ及び／又はピットとランドの凹凸（情報伝達のための凹凸）が形成される。次に、基板における凹凸が形成された面の上に情報層が成膜される。Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）、ＲＷ（Ｒｅｗｒｉｔａｂｌｅ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）タイプの場合、情報層は、記録層の両側又は片側に誘電体層が成膜され、更に記録層における光入射側と反対側に反射層、保護層がこの順で成膜された構成であることが多い。又、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）タイプの場合は、情報層は反射層及び保護層で構成されることが多い。情報層の上にはダミー基板が貼り合わされ、ＤＶＤが完成する。
【０００４】
グルーブやピット等の基板の凹凸はトラッキング等に利用され、記録／再生特性に影響するので、品質管理等のために基板の凹凸形状の測定が必要とされる場合がある。情報層等を成膜する前に基板の凹凸形状を測定することは容易であるが、より確実な品質管理等のため、完成した光記録媒体の基板の凹凸形状の測定が必要とされる場合がある。
【０００５】
完成した光記録媒体の基板の凹凸形状を測定する手法としては、光記録媒体に光を照射し、基板の凹凸からの反射光を利用して基板の凹凸形状を測定する手法が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。これらの手法によれば光記録媒体を破壊することなく、基板の凹凸形状を測定することが可能である。
【０００６】
又、完成した光記録媒体から情報層等を除去し、基板を露出させて、基板の凹凸形状を測定することも可能である。例えばＤＶＤの場合、まず、基板からダミー基板を分離し、基板上に成膜された情報層の各層を粘着テープに付着させて剥離したり、ウェットエッチング又はドライエッチングで除去する。これにより基板における凹凸が形成された面が露出するので、基板の凹凸形状を測定することができる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４―２５９３８８号公報
【特許文献２】特開２００３―２２５７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、光記録媒体を破壊することなく、反射光を利用して基板の凹凸形状を測定する手法は、露出した基板の凹凸形状を直接測定する場合に対して得られる情報が少なく、基板の詳細な凹凸形状を正確に知ることは困難であった。
【０００９】
一方、情報層等を除去して基板の凹凸形状を測定する手法も、実際には基板から情報層を完全に除去することが困難であり、誘電体層等が基板の上に残存した状態で基板の凹凸形状を測定することとなるため測定精度が低いという問題があった。
【００１０】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、光記録媒体の基板の凹凸形状を高精度で測定できる光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、基板を溶剤で溶解させて除去し、情報層における基板側の露出した面の凹凸形状を測定し、測定された情報層の凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転してなる凹凸形状のデータを作成することにより上記目的を達成するものである。
【００１２】
本発明に想到する過程で発明者は、情報層の凹凸形状は基板の凹凸形状を高精度で反映していることを見出した。更に、発明者は、光記録媒体の基板の材料は主として樹脂であるのに対し、情報層は誘電体層等を含み、情報層を溶解することなく基板だけを選択的に溶解可能な溶剤が存在することに着目し、実際にこのような溶剤を用いて基板を溶解させたところ、情報層を溶解することなく、基板だけを確実に除去できることを見出した。このように基板だけを除去し、露出した情報層の凹凸形状を測定し、この凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転させた凹凸形状のデータを作成することで、高精度な基板の凹凸形状のデータが得られる。
【００１３】
更に発明者は、本発明を完成する過程で様々な測定手法を試みたところ、溶剤を用いて基板を溶解させると、溶剤が光記録媒体における基板と反対側にも回り込み、外周近傍において基板だけでなく光記録媒体における基板と反対側の部分も溶解させてしまうことがあった。例えば、ＤＶＤの場合、ダミー基板を溶解させてしまうことがあった。情報層は数ｎｍ〜数百ｎｍの極めて薄い層であるので、その両側の部材が溶解すると、本来の形状を保持することが困難であり、情報層が変形したり損壊してしまうことがあった。従って、基板の外周近傍の凹凸形状を正確に測定できないことがあった。
【００１４】
これに対し、溶剤を案内するためのガイドをその一部が光記録媒体における基板と反対側の面に密着し、且つ、他の一部が外周から外側に突出するように光記録媒体に取付け、光記録媒体を基板が上方を臨み、且つ、ガイドが下端近傍に位置するように傾斜させて配置し、溶剤を上方から基板に滴下し、使用済みの溶剤をガイドで案内して光記録媒体から離間させることにより、ダミー基板等の溶解を防止又は情報層の凹凸形状を測定できる程度に充分に抑制でき、外周近傍においても基板の凹凸形状の高精度なデータが確実に得られる。
【００１５】
即ち、以下の発明により上記目的を達成することができる。
【００１６】
（１）情報伝達のための凹凸が形成された基板及び該基板における前記凹凸が形成された面の上に形成された情報層を有してなる光記録媒体の前記基板を、該基板及び前記情報層のうち該基板を選択的に溶解可能である溶剤を用いて少なくとも一部の領域において溶解させて厚さ方向に完全に除去する基板除去工程と、前記情報層における前記基板側の露出した面の凹凸形状を測定する測定工程と、該測定された情報層の凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転してなる凹凸形状のデータを作成するデータ処理工程と、を含むことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【００１７】
（２）  （１）において、前記光記録媒体として前記情報層における前記基板と反対側にダミー基板が備えられた光記録媒体を測定対象とし、前記基板除去工程の前に前記溶剤を案内するためのガイドをその一部が前記ダミー基板における前記基板と反対側の面の外周近傍に密着し、且つ、他の一部が前記外周から外側に突出するように前記光記録媒体に取付けるガイド取付け工程が設けられ、前記基板除去工程において前記基板が上方を臨み、且つ、前記ガイドが下端近傍に位置するように前記光記録媒体を傾斜させて配置し、前記溶剤を上方から前記基板に滴下し、使用済みの溶剤を前記ガイドで案内して前記光記録媒体から離間させるようにしたことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【００１８】
（３）  （１）において、前記基板除去工程の前に、前記光記録媒体における前記基板と反対側に測定用基板を設置する測定用基板設置工程と、前記溶剤を案内するためのガイドをその一部が前記測定用基板における前記基板と反対側の面の外周近傍に密着し、且つ、他の一部が前記外周から外側に突出するように前記光記録媒体に取付けるガイド取付け工程と、が設けられ、前記基板除去工程において前記基板が上方を臨み、且つ、前記ガイドが下端近傍に位置するように前記光記録媒体を傾斜させて配置し、前記溶剤を上方から前記基板に滴下し、使用済みの溶剤を前記ガイドで案内して前記光記録媒体から離間させるようにしたことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【００１９】
（４）  （２）又は（３）において、前記ガイドとして粘着テープを用いることを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【００２０】
（５）  （２）乃至（４）のいずれかにおいて、前記基板除去工程において、前記光記録媒体をその表面が水平方向に対して６０°以上、９０°未満の範囲で傾斜させて配置するようにしたことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法。
【００２１】
（６）情報伝達のための凹凸が形成された基板及び該基板における前記凹凸が形成された面の上に形成された情報層を有してなる光記録媒体の前記基板を、該基板及び前記情報層のうち該基板を選択的に溶解可能である溶剤を用いて少なくとも一部の領域において溶解させて厚さ方向に完全に除去するための基板除去器と、前記情報層における前記基板側の露出した面の凹凸形状を測定するための測定器と、該測定器で測定される前記情報層の凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転してなる凹凸形状のデータを作成するためのデータ処理器と、を含むことを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置。
【００２２】
（７）  （６）において、前記基板除去器は、前記光記録媒体を傾斜させて保持するための保持器と、前記溶剤を上方から前記基板に滴下するための滴下器と、を備えることを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置。
【００２３】
（８）  （７）において、前記保持器は、前記光記録媒体をその表面が水平方向に対して６０°以上、９０°未満の範囲で傾斜する姿勢で保持可能であることを特徴とする光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、光記録媒体の基板の凹凸形状を高精度で測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を実施するための好ましい形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２６】
図１及び図２に示されるように、本発明の第１実施形態に係る光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置１０は、片面にグルーブ及び／又はピットとランド（情報伝達のための凹凸）が形成された基板１２及び該基板１２における前記凹凸が形成された面の上に形成された情報層１４を有してなる光記録媒体１６の基板１２を、該基板１２及び情報層１４のうち該基板１２を選択的に溶解可能である溶剤１８を用いて少なくとも一部の領域において溶解させて厚さ方向に完全に除去するための基板除去器２０と、情報層１４における基板１２側の露出した面の凹凸形状を測定するための測定器２２と、該測定器２２で測定される情報層１４の凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転してなる凹凸形状のデータを作成するためのデータ処理器２４と、を備えている。
【００２７】
本第１実施形態の測定対象である光記録媒体１６は、ＤＶＤ又はＨＤ  ＤＶＤタイプの光ディスクであり、基板１２と、情報層１４と、ダミー基板２６と、接着層２８と、を備えている。
【００２８】
基板１２及びダミー基板２６は、外径が約１２０ｍｍ、厚さが約０．６ｍｍであり、材料はポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系樹脂、ＡＢＳ樹脂、ウレタン樹脂等である。尚、基板１２は内側の面にグルーブ及び／又はピットとランドが形成され、外側の面が平坦であるが、ダミー基板２６は両面が平坦である。
【００２９】
情報層１４は、基板１２のグルーブ及び／又はピットとランドの凹凸形状に倣って形成されている。Ｒ、ＲＷ、ＲＡＭタイプの場合、情報層１４は、少なくとも記録層を含み、必要に応じて記録層の両側又は片側に誘電体層が成膜され、更に必要に応じて記録層における光入射側と反対側に反射層、保護層がこの順で成膜された構成である。又、ＲＯＭタイプの場合、情報層１４は、少なくとも反射層を含み必要に応じて反射層における光入射側と反対側に保護層が成膜された構成である。記録層の材料は、Ｒタイプの場合は、光が照射されることにより反射率等の光学特性が変化する有機色素や無機材料であり、ＲＷ、ＲＡＭタイプの場合は、光が照射されることによりアモルファス状態及び結晶状態に可逆的に変化可能な、例えば、ＧｅＳｂＴｅ等の相変化材料である。誘電体層の材料は、例えば、ＳｉＯ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＣｅＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５等の酸化物、ＳｉＮ、ＡｌＮ、ＧｅＮ、ＧｅＣｒＮ、等の窒化物、ＺｎＳ等の硫化物、又はこれらを組合わせた材料を主成分とする材料である。反射層の材料は、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｍｇ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｇｅ、Ａｇ、Ｐｔ等を主成分とするものである。
【００３０】
溶剤１８としては、具体的には、クロロホルム、ジクロロメタン、ＴＨＦ、アセトン及びメチルエチルケトン等を用いることができる。
【００３１】
基板除去器２０は、光記録媒体１６を傾斜させて保持するための保持器３０と、溶剤１８を上方から基板１２に滴下するための滴下器３２と、使用済みの溶剤１８を回収するための回収器３４と、を備えている。
【００３２】
保持器３０は、上面が傾斜し、光記録媒体１６を傾斜した姿勢で載置可能である基台３０Ａと、基台３０Ａの上面から上方に突出し、光記録媒体１６の中心孔１６Ａに挿通されて光記録媒体１６を係止するための係止部３０Ｂと、を備えている。保持器３０は、光記録媒体１６をその表面が水平方向に対して６０°以上、９０°未満の範囲で傾斜させて配置可能であることが好ましい。又、保持器３０は、光記録媒体１６の傾斜角を調整可能であることが好ましい。例えば、上面の傾斜角が異なる複数の基台３０Ａを備えることにより、光記録媒体１６の傾斜角を調整することができる。又、単一の基台にその上面の角度を調整する機構を備えてもよい。
【００３３】
滴下器３２は、溶剤１８を貯留するための貯留部３２Ａと、貯留部３２Ａから下方に突出するノズル部３２Ｂと、ノズル部３２Ｂに設置された絞り弁３２Ｃと、を備えている。
【００３４】
回収器３４は、光記録媒体１６から落下する使用済みの溶剤１８を受け止めるためのトレイ状の部材を備えている。
【００３５】
測定器２２は、具体的には、原子間力顕微鏡、走査型電子顕微鏡、レーザー顕微鏡、透過型電子顕微鏡、光学顕微鏡等の顕微鏡である。
【００３６】
データ処理器２４は、具体的には、コンピュータの一部又はマイクロコンピュータ等であり、測定器２２で測定される情報層１４の凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転してなる凹凸形状のデータを作成するためのコンピュータプログラムを備えている。
【００３７】
尚、光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置１０は、光記録媒体１６を保持器３０と共に、又は保持器３０から分離して測定器２２に搬送するための図示しない搬送器を備える構成としてもよく、人手により光記録媒体１６を保持器３０と共に、又は保持器３０から分離して測定器２２に搬送する構成としてもよい。
【００３８】
又、図１及び図２に示される符号３６は、溶剤１８を案内するためのガイドである。ガイド３６は、具体的にはフィルム状の粘着テープである。ガイド３６の材料は溶剤１８で溶解しにくい材料であることが好ましい。ガイド３６の好ましい材料としては、例えば透明硬質塩化ビニール表面にアクリル樹脂系粘着剤が塗布されているもの等を挙げることができる。
【００３９】
次に、図３に示されるフローチャートに沿って、光記録媒体１６の基板１２の凹凸形状測定方法を説明する。
【００４０】
まず、ガイド３６を光記録媒体１６に取り付ける（Ｓ１０２）。具体的には、ガイド３６をその一部がダミー基板２６における基板１２と反対側の面の外周近傍に密着し、且つ、他の一部が前記外周から外側に突出するようにダミー基板２６に貼り付ける。
【００４１】
次に、光記録媒体１６の一部の領域において溶剤１８を用いて基板１２を溶解して除去する（Ｓ１０４）。具体的には、光記録媒体１６を基板１２が上方を臨み、且つ、ガイド３６が下端近傍に位置するように傾斜させて保持器３０に設置し、上方の滴下器３２から溶剤１８を基板１２の下端の外周近傍に滴下する。使用済みの溶剤１８は、ガイド３６に案内されて光記録媒体１６から離間し、回収器３４に回収される。
【００４２】
これにより、図４に示されるように、基板１２における外周近傍の部分が溶解して除去され、情報層１４の一部が露出する。又、使用済みの溶剤１８は、ガイド３６に案内されて光記録媒体１６から確実に離間するので、ダミー基板２６の溶解が防止又は充分に抑制される。従って、情報層１４における露出した部分はダミー基板２６により確実に支持され本来の形状が保持される。尚、ダミー基板２６の溶解を確実に防止又は充分に抑制するためには、光記録媒体１６をその表面が水平方向に対して６０°以上、９０°未満の範囲で傾斜するように配置することが好ましい。
【００４３】
次に、情報層１４における基板１２側の露出した面の凹凸形状を測定する（Ｓ１０６）。具体的には、図示しない搬送器又は人手により、光記録媒体１６を測定器２２に搬送し、凹凸の幅、段差等を測定する。このように、基板１２を除去して情報層１４の露出した部分の凹凸形状を測定することにより、情報層１４の凹凸形状を高精度で測定できる。更に、ガイド３６により、ダミー基板２６の溶解が防止又は抑制され、基板１２を除去しても情報層１４における露出した部分は本来の形状が保持されるので、この点でも、情報層１４の凹凸形状の測定精度が高められている。
【００４４】
次に、測定された情報層１４の凹凸形状のデータに基いてこれを反転してなる凹凸形状のデータを作成する（Ｓ１０８）。具体的には、データ処理器２４が、測定器２２で測定された情報層１４の凹凸形状のデータに基いて、この凹凸形状を反転させた凹凸形状のデータを算出する。この凹凸形状のデータは、基板１２の凹凸形状のデータに相当する。
【００４５】
このように、基板１２及び情報層１４のうち基板１２を選択的に溶解可能である溶剤１８を用いて情報層１４を溶解することなく、基板１２だけを溶解させて確実に除去し、露出した情報層１４の凹凸形状を高精度で測定し、測定した情報層１４の凹凸形状のデータに基いてこの凹凸形状を反転させた凹凸形状のデータを作成することで、基板１２の凹凸形状の高精度なデータが得られる。
【００４６】
又、溶剤１８を案内するためのガイド３６をその一部がダミー基板２６における基板１２と反対側の面に密着し、且つ、他の一部が外周から外側に突出するように光記録媒体１６に取付け、光記録媒体１６を基板１２が上方を臨み、且つ、ガイド３６が下端近傍に位置するように傾斜させて配置し、溶剤１８を上方から基板１２に滴下し、使用済みの溶剤１８をガイド３６で案内して光記録媒体１６から離間させることにより、外周近傍におけるダミー基板２６の溶解を防止又は充分に抑制できるので、外周近傍においても基板１２の凹凸形状の高精度なデータが得られる。
【００４７】
尚、本第１実施形態において、測定対象の光記録媒体１６は、ＤＶＤ又はＨＤ  ＤＶＤタイプの光ディスクであるが、図５に示される本発明の第２実施形態のように、Ｂｌｕ−ｒａｙタイプの光ディスクである光記録媒体４０に対しても本発明は適用可能である。
【００４８】
光記録媒体４０は、厚さが約１．１ｍｍの基板４２と、情報層４４と、厚さが約０．１ｍｍのカバー層４６と、を備える構成である。尚、接着層は備えられていない。
【００４９】
又、図５において、符号４８は測定用基板である。測定用基板４８としては、例えば前記ダミー基板２６と同様の円板状の部材を用いることができる。
【００５０】
光記録媒体４０の基板４２の凹凸形状測定方法を説明する。光記録媒体４０の基板４２の凹凸形状測定方法は、図６のフローチャートに示されるように、前記第１実施形態に係る光記録媒体１６の基板の凹凸形状測定方法に対し、ガイド取付け工程（Ｓ１０２）の前に、カバー層４６（光記録媒体４０における基板４２と反対側）に測定用基板４８を設置する測定用基板設置工程（Ｓ１００）が設けられ、ガイド取付け工程（Ｓ１０２）において、溶剤１８を案内するためのガイド３６をその一部が測定用基板４８における基板４２と反対側の面の外周近傍に密着し、且つ、他の一部が前記外周から外側に突出するように光記録媒体４０に取付けるようにしたことを特徴としている。他の工程については、前記第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００５１】
カバー層４６は、厚さが０．１ｍｍの薄い層であるが、このようにカバー層４６に測定用基板４８を設置することにより、基板４２を除去した後の情報層４４における露出した部分の変形や損壊を防止でき、情報層４４の凹凸形状を高精度で測定できる。
【００５２】
尚、前記第１及び第２実施形態において、ガイド３６はフィルム状の粘着テープであるが、光記録媒体１６、４０から離間するように使用済みの溶剤１８を確実に案内できれば、ガイド３６の形状はとくに限定されない。例えば、板状又は棒状のガイドを用いてもよい。尚、ガイド３６の材料は、溶剤１８で溶解しにくい材料であることが好ましい。
【００５３】
又、前記第１及び第２実施形態において、光記録媒体１６、４０にガイド３６を取り付けて使用済みの溶剤１８を光記録媒体１６、４０から離間するように案内しているが、ガイド３６を取り付けなくても使用済みの溶剤１８を光記録媒体１６、４０から確実に離間させることができれば、ガイドは省略してもよい。尚、前記第２実施形態において、溶剤１８で溶解しにくい測定用基板を用いれば、ガイドを省略することで測定用基板４８に溶剤１８が回り込んでしまっても、測定用基板４８の溶解を防止又は情報層１４が本来の形状を保持する程度に充分に抑制でき、情報層１４の凹凸形状を高精度で測定することが可能である。
【００５４】
又、前記第１及び第２実施形態において、コンピュータの一部又はマイクロコンピュータであるデータ処理器２４を用いて、測定器２２で測定される情報層１４の凹凸形状を反転してなる凹凸形状を算出しているが、例えば人手等により、測定器２２で測定される情報層１４の凹凸形状のデータを反転してなる凹凸形状のデータを算出してもよい。
【００５５】
又、前記第１及び第２実施形態において、基板除去器２０、測定器２２、データ処理器２４を備える光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置１０を用いて基板１２、４２の凹凸形状を測定しているが、基板除去器、測定器、データ処理器の一部又は全部が独立した構成の測定設備を用いた場合も、本発明に係る光記録媒体の基板の凹凸形状の測定方法を適用すれば、基板の凹凸形状の高精度なデータが得られる。
【００５６】
又、前記第１及び第２実施形態において、光記録媒体１６、４０の外周近傍の領域において基板１２、４２を溶解させて除去し、これらの凹凸形状のデータを得ているが、測定対象領域は特に限定されず、例えば、光記録媒体における中心近傍の領域や中心及び外周の中間近傍の領域においても、本発明を適用すれば、基板の凹凸形状の高精度まデータが得られる。又、光記録媒体の全領域において基板を溶解させて除去し、基板全体の凹凸形状のデータを得ることも可能である。
【００５７】
又、前記第１実施形態において、光記録媒体１６はＤＶＤ又はＨＤ  ＤＶＤタイプの光ディスクであり、前記第２実施形態において、光記録媒体４０はＢｌｕ−ｒａｙタイプの光ディスクであるが、本発明は、例えばＣＤ等の他の種類の光記録媒体の基板の凹凸形状の測定にも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、光記録媒体の基板の凹凸形状の測定に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置の概略構造を模式的に示す側面図
【図２】同光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置の基板除去器の構造を拡大して模式的に示す側面図
【図３】同光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法の概要を示すフローチャート
【図４】同第１実施形態の測定対象の光記録媒体の外周近傍を拡大して示す側断面図
【図５】本発明の第２実施形態の測定対象の光記録媒体の外周近傍を拡大して示す側断面図
【図６】同光記録媒体の基板の凹凸形状測定方法の概要を示すフローチャート
【符号の説明】
【００６０】
１０…光記録媒体の基板の凹凸形状測定装置
１２、４２…基板
１４、４４…情報層
１６、４０…光記録媒体
１８…溶剤
２０…基板除去器
２２…測定器
２４…データ処理器
２６…ダミー基板
２８…接着層
３０…保持器
３２…滴下器
３４…回収器
３６…ガイド
４６…カバー層
４８…測定用基板
Ｓ１００…測定用基板設置工程
Ｓ１０２…ガイド取付け工程
Ｓ１０４…基板除去工程
Ｓ１０６…測定工程
Ｓ１０８…データ処理工程
【図１】
2006286071.tif 000003
【図２】
2006286071.tif 000004
【図３】
2006286071.tif 000005
【図４】
2006286071.tif 000006
【図５】
2006286071.tif 000007
【図６】
2006286071.tif 000008