(57)【要約】【課題】  標本の表面上の合焦点位置を示す指標を照明するための新たな光源を追加することなく、また、顕微鏡が備える既存の光学系を何ら変更することなく、標本の表面上の合焦点位置を簡単な構成で視認することができる自動焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】  ターゲット４２ａを形成した透光性を有するターゲット板４２と、該ターゲット板４２を照明光の透過が可能なように保持する略円錐台形のターゲット保持部材４３と、該ターゲット保持部材４３を付勢ばね４４により移動可能に保持するとともに、ターゲット板４２への前記照明光の透過が可能なケース体４１と、該ケース体４１内に貫通し、ターゲット保持部材４３のテーパー面に当接して移動させる左右一対の調整ねじ４５，４６とを有するターゲット部材４０を、照明光学系の照明光路上に配設した構成としてある。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察のための照明光を標本に照射する照明光学系と、標本の表面上の合焦点位置を検出するための不可視レーザー光を照射するオートフォーカス光学系とを有する自動焦点顕微鏡において、前記照明光学系の照明光路上に配置され、該照明光を受けて標本の表面上にターゲット像を投影するターゲットを備え、前記フォーカス光学系による合焦点位置と前記ターゲットによるターゲット像とを一致させることを特徴とする自動焦点顕微鏡。
【請求項２】
形状、大きさ、色彩の少なくともいずれか一つが異なる数種のターゲットを選択可能としたことを特徴とする請求項１記載の自動焦点顕微鏡。
【請求項３】
前記標本と共役な位置に配置した前記ターゲットを移動可能とし、前記標本の表面上の合焦点位置に前記ターゲット像を移動可能とした請求項１又は２記載の自動焦点顕微鏡。
【請求項４】
一又は複数の前記ターゲットを形成した透光性を有するターゲット板と、該ターゲット板を前記照明光の透過が可能なように保持するターゲット保持部材と、該ターゲット保持部材を弾性部材により移動可能に保持するとともに、前記ターゲット板への照明光の透過が可能なケース体と、該ケース体内に貫通し、前記ターゲット保持部材のテーパー面に当接して移動させる左右一対の調整ねじとを有するターゲット部材を備えたことを特徴とする請求項１〜３いずれか記載の自動焦点顕微鏡。
【請求項５】
前記ターゲットを、液晶板の表示により形成したことを特徴とする請求項１〜３いずれか記載の記載の自動焦点顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、標本に対して光学的に焦点を合わせることができる自動焦点顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図９は従来の自動焦点顕微鏡（特許文献１参照）を示す説明図である。同図において、従来の自動焦点顕微鏡１００は、標本１７に照明光を照射してその反射光を観察するための照明光学系Ｐ１と、標本１７に不可視レーザー光（例えば、赤外レーザー光）を照射して該標本１７に対する合焦点位置の検出を行うオートフォーカス光学系Ｐ２といった２種類の光学系を備えていた。
【０００３】
標本１７の表面上の合焦点位置の検出には、標本１７に対して不可視レーザー光を発生させるＡＦ用光源２１が用いられている。該ＡＦ用光源２１から発せられた前記不可視レーザー光は、コリメートレンズ２２、ストッパ２３を介して偏光ビームスプリッタ２４に照射される。そして、該偏光ビームスプリッタ２４で反射された前記不可視レーザー光は、集光レンズ２５、色収差補正レンズ群２６、λ／４板２７を通過した後、ダイクロックミラー２８を介して対物レンズ１６に入射され、標本１７の表面上に集光される。
【０００４】
標本１７の表面上に反射された前記不可視レーザー光は、再び対物レンズ１６、ダイクロックミラー２８を介してλ／４板２７を通過する。該λ／４板２７を通過するときに９０°偏光方向がずれるので、前記不可視レーザー光は、偏光ビームスプリッタ２４、集光レンズ２９を通過した後、光電変換器であるフォトダイオード３０に結像される。
【０００５】
フォトダイオード３０は、フォトダイオードＡとフォトダイオードＢからの結像された前記不可視レーザー光の集光スポットにおける光強度に応じた電気信号を出力するもので、その電気信号Ａ，Ｂを信号処理系３１に入力する。信号処理系３１は、入力された電気信号Ａ，Ｂに対して所定の演算を行い、標本１７の表面の変位に対応した変位信号を出力する。この場合、図１０Ａに示すような特性を有する電気信号Ａ，Ｂが入力されたとすると、信号処理系３１により、図１０Ｂに示すような特性を有する変位信号を出力する。この変位信号によって標本１７の表面の変位が測定されたことになり、該標本１７の表面上の合焦位置の検出が行われたことになる。
【特許文献１】特開平１１−２４９０２７号公報
【特許文献２】特開２００３−１３１１１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上述した従来の自動焦点顕微鏡では、焦点検出の際に標本１７の表面で反射された不可視レーザー光の集光スポットは、ダイクロックミラー２８によって反射され、該集光スポットの観察光学系Ｐ３への入射が阻止されるので、標本１７を観察している観察者は、不可視レーザー光の集光スポット位置を知ることができず、標本１７の表面上のどの部分に合焦点位置があるのか把握することができない。
【０００７】
そこで、特開２００３-１３１１１６号（特許文献２参照）では、標本の表面で反射された不可視レーザー光の集光スポットを受光手段で受光し、該受光手段からの出力によって前記標本の表面上の合焦位置を検出する構成の焦点検出装置が提案されている。
【０００８】
該焦点検出装置は、標本の表面上の合焦点位置を把握することができ、優れた作業性が得られ、しかも微少な領域の焦点検出も確実に行うことができる。しかし、前記不可視レーザー光の集光スポットの投影像と光学的に共役の位置に配置されたピンホール（指標）と、該ピンホールを照明するための可視光域の光源とが必要になるので、部品点数が増えてしまう。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、標本の表面上の合焦点位置を示す指標を照明するための新たな光源を追加することなく、また、顕微鏡が備える既存の光学系を何ら変更することなく、標本の表面上の合焦点位置を簡単な構成で視認することができる自動焦点顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の自動焦点顕微鏡は、観察のための照明光を標本に照射する照明光学系と、標本の表面上の合焦点位置を検出するための不可視レーザー光を照射するオートフォーカス光学系とを有する自動焦点顕微鏡において、前記照明光学系の照明光路上に配置され、該照明光を受けて標本の表面上にターゲット像を投影するターゲットを備え、前記オートフォーカス光学系による合焦点位置と前記ターゲットによるターゲット像とを一致させる構成としてある。
【００１１】
好ましくは、形状、大きさ、色彩の少なくともいずれか一つが異なる数種のターゲットを選択可能とした構成とし、又は前記標本と共役な位置に配置した前記ターゲットを移動可能とし、前記標本の表面上の合焦点位置に前記ターゲット像を移動可能とした構成とする。
【００１２】
より好ましくは、一又は複数の前記ターゲットを形成した透光性を有するターゲット板と、該ターゲット板を前記照明光の透過が可能なように保持するターゲット保持部材と、該ターゲット保持部材を弾性部材により移動可能に保持するとともに、前記ターゲット板への照明光の透過が可能なケース体と、該ケース体内に貫通し、前記ターゲット保持部材のテーパー面に当接して移動させる左右一対の調整ねじとを有するターゲット部材を備えた構成、又は前記ターゲットを、液晶板の表示により形成した構成とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の自動焦点顕微鏡によれば、不可視レーザー光の集光スポット像と、ターゲットによる可視のターゲット像とを標本の表面上で一致させることにより、該標本の表面上のどの部分に合焦点位置があるのか、観察者が目視で把握することが可能となる。
【００１４】
また、標本の表面上の合焦点位置を示すターゲットを照明するための新たな光源を追加することなく、さらに、顕微鏡が備える既存の光学系を何ら変更することなく、標本の表面上の合焦点位置を簡単な構成で視認することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
まず、本発明の第１実施形態に係る自動焦点顕微鏡について、図１、図２Ａ、図２Ｂ、図３Ａ、図３Ｂを参照しつつ説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る自動焦点顕微鏡を示す説明図である。図２Ａは上記自動焦点顕微鏡のターゲット部材の斜視図であり、図２Ｂは図２ＡのＡ−Ａ断面斜視図である。図３Ａは上記ターゲット部材の平面図であり、図３Ｂは図３ＡのＢ−Ｂ断面図である。
【００１６】
なお、本実施形態の自動焦点顕微鏡は、図９に示す従来の自動焦点顕微鏡にターゲット部材を追加した点に特徴があり、図１における従来と同一箇所については、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００１７】
図１において、本実施形態に係る自動焦点顕微鏡１は、従来とほぼ同様の照明光学系Ｐ１とオートフォーカス光学系Ｐ２とを備えている。照明光学系Ｐ１は、ハロゲンランプ等の照明光源１０と、コレクタレンズ１１と、開口絞り１２と、ターゲット部材４０とを配置した構成となっている。
【００１８】
図２Ａ、図２Ｂ、図３Ａ、図３Ｂに示すように、ターゲット部材４０は、中央に貫通孔４１ａ，４１ｂを開設した矩形のケース体４１内に、ターゲット板４２を保持する略円錐台形のターゲット保持部材４３を収納した構成としてある。ターゲット板４２は、透明のプレートの中心に円形指標（以下、ターゲットという）４２ａを形成したものであり、該ターゲット４２ａは、例えば、直径２μｍの円形状の点とし、１００倍の対物レンズでの実視野に対して１％の大きさとなっている。
【００１９】
ターゲット保持部材４３は、付勢ばね（弾性部材）４４を介してケース体４１内に移動可能に保持してあり、該ケース体４１とのクリアランスの範囲内で移動可能となっている。ケース体４１内に貫通させた２本の右調整ねじ４５、左調整ねじ４６を進退させることによって、該ターゲット保持部材４３のテーパー面を押し出してこれを移動させ、観察者がターゲット４２ａを任意の位置に調整することが可能となっている。これによって、前記照明光学系Ｐ１の標本１７と共役な位置にターゲット４２ａを配置することができる。
【００２０】
該ターゲット部材４０の先には、リレーレンズ１４、ハーフミラー部１５が配設してある。ハーフミラー部１５には、明視野照明用ハーフミラーと暗視野照明用ミラーがあり観察法に応じて切り替えられるようになっている。さらに、複数の対物レンズ１６、該対物レンズ１６を回転できるレボルバ１８がある。レボルバ１８は、任意の対物レンズ１６を光路中に挿入させるために電動で回転させても手動で回転させてもよい。
【００２１】
一方、オートフォーカス光学系Ｐ２は、赤外光等の可視外光波長領域のＡＦ用光源２１がある。ＡＦ用光源２１は、光源の強弱をコントロールするＡＦ光源駆動部２０により制御できる。また、その先には、コリメートレンズ２２、ストッパ２３を介して偏光ビームスプリッタ２４に照射される。偏光ビームスプリッタ２４に反射された光は、集光レンズ２５、色収差補正レンズ群２６、λ／４板２７を通過してダイクロックミラー２８を介して対物レンズ１６に入射し、標本１７の表面に集光される。
【００２２】
そして、該標本１７の表面に反射された赤外レーザー光は、再び対物レンズ１６、ダイクロックミラー２８、λ／４板２７を通過し、色収差補正レンズ群２６、集光レンズ２５を介して偏光ビームスプリッタ２４を透過する。その後、集光レンズ２９を通過して光電変換器であるフォトダイオード３０に結像される。
【００２３】
フォトダイオード３０は、フォトダイオードＡとフォトダイオードＢからの結像された前記赤外レーザー光の集光スポットにおける光強度に応じた電流信号が出力する。その電流信号Ａ、Ｂは、信号処理系３１に入力される。信号処理系３１は、入力された電気信号Ａ、Ｂに対して所定の演算を行い、標本１７の表面の変位に対応した変位信号を出力する。この場合、上述した図１０Ａに示すような特性を有する電気信号Ａ、Ｂが入力されたとすると、信号処理系３１により、図１０Ｂに示すような特性を有する変位信号が出力される。この変位信号によって標本１７の変位が測定されたことになり、該標本１７の合焦位置の検出が行われたことになる。
【００２４】
次に、該ターゲット部材４０の作用について説明する。まず、照明光学系Ｐ１の照明光源１０から照明光がターゲット部材４０に照射されると、該照明光により照明されたターゲット板４２に形成したターゲット４２ａのターゲット像が、リレーレンズ１４、ハーフミラー１５、対物レンズ１６を介して標本１７に投影される。
【００２５】
一方で、オートフォーカス光学系Ｐ２のＡＦ用光源２１から赤外レーザー光が照射されると、コリメートレンズ２２、ストッパ２３、偏光ビームスプリッタ２４、集光レンズ２５、色補正レンズ２６、λ／４板２７、ダイクロックミラー２８、対物レンズ１６を介して、該赤外レーザー光の集光スポット像が標本１７に投影される。
【００２６】
標本１７から反射された前記ターゲット４２ａのターゲット像は、対物レンズ１６を介して、ハーフミラー１５とダイクロックミラー２８を順に透過し、観察光学系Ｐ３内で集光され、図示しない接眼レンズやＣＣＤ、デジタルカメラにより観察される標本１７の観察像と重ねて表示される。
【００２７】
しかし、このときのターゲット４２ａのターゲット像と赤外レーザー光の集光スポット像とは、照明光学系Ｐ１とオートフォーカス用光学系Ｐ２との光軸が異なるので、標本１７に対して共役の位置にあるターゲット４２ａのターゲット像と、標本１７に対して合焦点検出するために照射された赤外レーザー光の集光スポット像との位置は、必ず同じ位置にあるとは限らない。
【００２８】
そこで、ターゲット４２ａのターゲット像と赤外レーザー光の集光スポット像との像位置を一致させる必要がある。調整方法としては、例えば、標本１７を配置するステージ上部にＩＲカードを置き、該ＩＲカード表面に赤外レーザー光の集光スポット像を視認可能に投影させる。次いで、ターゲット部材４０の右調整ねじ４５と左調整ねじ４６とを動かして、ターゲット４２ａのターゲット像を、前記ＩＲカードに投影されている赤外レーザー光の集光スポット像と一致するように調整する。これにより、標本１７の表面上で、ターゲット４２ａのターゲット像を赤外レーザー光の集光スポット像と一致させることができる。
【００２９】
また、前記ターゲット像と赤外レーザー光の集光スポット像を一致させる方法としては、例えば、ダイクロックミラー２８の角度を可変にし、標本１７上に照射される前記赤外レーザー光の集光スポット像の位置を変えることで、前記ターゲット像に対して集光スポット像を一致させる方法も考えられる。
【００３０】
以上のように、本実施形態に係る自動焦点顕微鏡によれば、不可視な赤外レーザー光の集光スポット像とターゲット４２ａによる可視のターゲット像とを標本１７の表面上で一致させることができるので、凹凸のある標本１７の表面上であっても、通常であれば見えない赤外レーザー光の合焦点位置がどの部分にあるかを、観察者はターゲット像をもとに目視で把握することができ、さらには、合焦点位置が目視できれば標本１７上の観察者の観察したい位置を合焦点位置に一致させるのも容易になる。
【００３１】
また、照明光学系Ｐ１の視野絞り部材１３（図９参照）を、ターゲット部材４０と交換するだけで、自動焦点顕微鏡１が備える既存の光学系を何ら変更することなく、標本１７の表面上の合焦点位置を極めて簡単な構成で視認することができ、標本１７の表面上の合焦点位置を示す指標を照明するための新たな光源を追加することもない。
【００３２】
次に、本発明の第２実施形態に係る自動焦点顕微鏡について、図４、図５Ａ、図５Ｂ及び図６を参照しつつ説明する。図４は本発明の第２実施形態に係る自動焦点顕微鏡を示す説明図である。図５Ａは上記自動焦点顕微鏡のターゲット部材の平面図であり、図５Ｂは図５ＡのＣ−Ｃ断面図である。図６は図５ＡのＤ−Ｄ断面斜視図である。
【００３３】
なお、本実施形態の自動焦点顕微鏡はターゲット部材に特徴があり、図４における第１実施形態と同一箇所については、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
図４において、本実施形態の自動焦点顕微鏡２は、上述した第１実施形態と同様の照明光学系Ｐ１とオートフォーカス光学系Ｐ２とを有し、照明光学系Ｐ１には、ターゲット部材５０が配置してある。
【００３４】
図５Ａ、図５Ｂ及び図６に示すように、ターゲット部材５０は、中央に貫通孔５１ａ，５１ｂを開設した矩形のケース体５１内に、略円錐台形のターゲット保持部材５３を収納し、該ターゲット保持部材５３の上部に、ターゲット板５２を一方向にスライド可能に保持する一対のガイド保持部５３ａ，５３ａを一体的に設けた構成としてある。
【００３５】
ターゲット板５２には、形状、大きさ又は色彩等の異なる３種のターゲット５２ａ，５２ｂ，５２ｃが形成してある。なお、ターゲット５２ａ〜５２ｃは、図面のものに限らず、例えば、十字状、ライン状又は黒色以外のもの等が考えられる。
【００３６】
各ガイド保持部５３ａの貫通孔５３ｂ近傍には、互いに対向する位置にクリック機構の凸部５３ｃ，５３ｃがそれぞれ設けてあり、一方、ターゲット板５２には、前記凸部５３ｃ，５３ｃにそれぞれ対応する凹部５２ｄ，５２ｄが設けてある。これにより、該ターゲット板５２をガイド保持部５３ａ，５３ａに挿入すると、凸部５３ｃ，５３ｃと凹部５２ｄ，５２ｄが互いに係合し、選択したターゲット５２ａ，５２ｂ又は５２ｃのいずれかが貫通孔５３ｂに位置決めされる。これにより、ガイド保持部５３ａ，５３ａに沿ってターゲット板５２をスライドさせることにより、観察者が３種のターゲット５２ａ，５２ｂ，５２ｃうちの任意のものを選択可能となっている。
【００３７】
第１実施形態と同様に、ターゲット保持部材５３は、図示しない付勢ばね（弾性部材）を介してケース体５１内に取り付けてあり、該ケース体５１とのクリアランスの範囲内で移動可能となっている。ケース体５１内に貫通させた２本の右調整ねじ５５、左調整ねじ５６を進退させることによって、該ターゲット保持部材５３のテーパー面を押し出してこれを移動させ、観察者が選択したターゲット５２ａ，５２ｂ又は５２ｃを任意の位置に調整することが可能となっている。これによって、前記照明光学系Ｐ１の標本１７と共役な位置にターゲット５２ａ，５２ｂ，５２ｃを配置することができる。
【００３８】
このような本実施形態の自動焦点顕微鏡２によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、３種のターゲット５２ａ，５２ｂ，５２ｃうちの任意のものを選択可能となっているので、対物レンズ１６の倍率や標本１７の大きさ等の諸条件に応じて最適なターゲット５２ａ，５２ｂ，５２ｃに切り替えることができ、赤外レーザー光の集光スポット像にターゲット像を投影させて確認することができる。
【００３９】
例えば、各倍率の対物レンズ１６で見る標本１７に対して最適なターゲット像の形状や大きさを変更することが可能であり、また、黒色の標本１７を観察する際に、ターゲット像を黒色以外のものに変更することが可能であり、標本１７の色彩に左右されることなく集光スポット像を確認することができる。
【００４０】
さらに、低倍率の対物レンズ１６をつけて観察する場合、焦点深度が深いものを観察する場合には、３種のターゲット５２ａ，５２ｂ，５２ｃのうちの最適なものを選択し、これをＣＣＤカメラやデジタルカメラのピント合わせの的として利用することができる。これに加え、マルチスポットによる自動焦点装置を組み込んだ場合の赤外レーザー光の集光スポット像に最適なターゲット５２ａ，５２ｂ，５２ｃに切り替えることも可能である。
【００４１】
次に、本発明の第３実施形態に係る自動焦点顕微鏡について、図７、図８Ａ及び図８Ｂを参照しつつ説明する。図７は本発明の第３実施形態に係る自動焦点顕微鏡を示す説明図である。図８Ａは上記自動焦点顕微鏡のターゲット部材の正面図であり、図８Ｂは上記ターゲット部材の構成図である。
【００４２】
なお、本実施形態の自動焦点顕微鏡はターゲット部材に特徴があり、図７における第１及び第２実施形態と同一箇所については、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
図７において、本実施形態の自動焦点顕微鏡３は、上述した第１及び第２実施形態と同様の照明光学系Ｐ１とオートフォーカス光学系Ｐ２とを有し、照明光学系Ｐ１には、液晶板からなるターゲット部材６０が配置してある。
【００４３】
図８Ａ及び図８Ｂに示すように、ターゲット部材６０は、透明電極基板６１，６２の間に偏光光子６３と検光子６４とを挟むとともに、これら偏光光子６３と検光子６４との間に、ねじれネマティック液晶６５をはさみ込んだ多数の液晶セル６６からなっている。これら液晶セル６６を行列配置し、透明電極基板６１，６２に接続した外部制御装置７０によって電圧制御することで、それそれの液晶セル６６の透過と遮光を行っている。また、このような外部制御装置７０として、例えば、パーソナルコンピュータ等を用い、キーボート等の操作によってターゲット６７を表示したり消したりすることができる。
【００４４】
また、液晶板であるターゲット部材６０上のターゲット６７の表示位置を任意に変化させ、又はターゲット６７の形状や大きさ、色彩を変えることが可能である。さらに、液晶セル６６の表示によって擬似的な視野絞りを形成することも可能であり、これを標本１７と共役位置に配置することで、照明光の光量を調節することができる。
【００４５】
このような本実施形態の自動焦点顕微鏡によれば、キーボート等の操作によって簡単にターゲット６７の移動及び位置合わせを行うことができるので、上述した第１及び第２実施形態における２本の右調整ねじ４５，５５、左調整ねじ４６，５６の機械的な操作が不要となる。
【００４６】
また、対物レンズ１６の倍率に応じてターゲット６７の大きさを変更したり、標本１７の色彩に応じてターゲット６７の色彩を変更したりすることも、キーボート等の操作によって簡単に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る自動焦点顕微鏡を示す説明図である。
【図２Ａ】上記自動焦点顕微鏡のターゲット部材の斜視図である。
【図２Ｂ】図２ＡのＡ−Ａ断面斜視図である。
【図３Ａ】上記ターゲット部材の平面図である。
【図３Ｂ】図３ＡのＢ−Ｂ断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る自動焦点顕微鏡を示す説明図である。
【図５Ａ】上記自動焦点顕微鏡のターゲット部材の平面図である。
【図５Ｂ】図５ＡのＣ−Ｃ断面図である。
【図６】図５ＡのＤ−Ｄ断面斜視図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る自動焦点顕微鏡を示す説明図である。
【図８Ａ】上記自動焦点顕微鏡のターゲット部材の正面図である。
【図８Ｂ】上記ターゲット部材の構成図である。
【図９】従来の自動焦点顕微鏡を示す説明図である。
【図１０Ａ】上記自動焦点顕微鏡のフォトダイオードの出力信号を表すグラフである。
【図１０Ｂ】上記自動焦点顕微鏡の信号処理系の出力する変位信号を表すグラフである。
【符号の説明】
【００４８】
Ｐ１  照明光学系
Ｐ２  オートフォーカス光学系
１，２，３  自動焦点顕微鏡
４０，５０  ターゲット部材
４１，５１  ケース体
４１ａ，５１ａ  貫通孔
４２，５２  ターゲット板
４２ａ，５２ａ，５２ｂ，５２ｃ  ターゲット
４３，５３  ターゲット保持部材
４３ａ，５３ｂ  貫通孔
４４，５４  付勢ばね（弾性部材）
４５，５５  右調整ねじ
４６，５６  左調整ねじ
６０  ターゲット部材（液晶板）
６１，６２  透明電極基板
６３  偏光光子
６４  検光子
６５  ネマティック液晶
６６  液晶セル
６７  ターゲット
７０外部制御装置
【図１】
2006189585.tif 000003
【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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