(57)【要約】【課題】  急激なトルクの変化を抑え、イナーシャ比のオーバーシュートを抑制し、サーボの発振を抑制することができるモータ制御装置を提供する。【解決手段】  モータ制御装置において、１ステップ過去の総合イナーシャ値を現在の総合イナーシャ値で除算する手段と、除算の結果と比例積分制御の１ステップ過去の積分器出力値を乗算する手段と、乗算結果と、速度指令からモータ速度を減算した速度偏差をサンプリング時間で乗算し比例積分制御の積分時間で除算した結果とを加算する手段とを備えるようにした。【選択図】図１
2006166591.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
速度指令Ｖｒｅｆを発生する指令発生部と、前記速度指令Ｖｒｅｆと実際のモータ速度Ｖｆｂによりトルク指令Ｔｒｅｆを決定し、モータ速度を制御する速度制御部と、モデルにより前記速度制御部をシミュレートして推定トルク指令Ｔｒｅｆ’を出力する推定部とを備え、前記トルク指令の時間積分値と前記推定トルク指令の時間積分値との比から総合イナーシャ値を同定し、前記速度制御部は、比例積分制御からなり、前記速度比例ゲインは前記総合イナーシャ値を使って調整するモータ制御装置において、
１ステップ過去の前記総合イナーシャ値を現在の前記総合イナーシャ値で除算する手段と、
前記除算の結果と前記比例積分制御の１ステップ過去の積分器出力値を乗算する手段と、
前記乗算結果と、前記速度指令から前記モータ速度を減算した速度偏差をサンプリング時間で乗算し前記比例積分制御の積分時間で除算した結果とを加算する手段とを備えたことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項２】
前記トルク指令と前記モータ速度を用いて、外乱を推定する外乱オブザーバと、
前記外乱オブザーバのパラメータを、前記総合イナーシャ値を用いて変更する手段と、
前記外乱オブザーバの出力である推定外乱を前記トルク指令に加える加算手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載のモータ制御装置。
【請求項３】
前記速度比例積分制御の積分器出力値を（１）式を用いて決定する手段を備え、前記総合イナーシャ値の同定に利用するサンプリング時間と前記比例積分制御の積分出力値を決定する手段のサンプリング時間が同値であることを特徴とする請求項１記載のモータ制御装置。
【数１】
2006166591.tif 000007
ｖ：積分器出力値、ｕ［ｉ］：積分器入力値、Ｊａｌｌ［ｉ］：総合イナーシャ、Ｔｓ：速度制御のサンプリング時間、Ｔｉ：積分時間
【請求項４】
前記比例積分制御の積分器出力値を（２）式を用いて決定する手段を備え、前記総合イナーシャの同定に利用するサンプリング時間と前記比例積分制御の積分出力値を決定する手段のサンプリング時間が異なることを特徴とする請求項１記載のモータ制御装置。
【数２】
2006166591.tif 000008
ｖ：積分器出力値、ｕ［ｉ］：積分器入力値、Ｊａｌｌ［ｍ］：総合イナーシャ、Ｔｓ：速度制御のサンプリング時間、Ｔｉ：積分時間、ｍ：イナーシャ同定のサンプリング時間
【請求項５】
速度指令Ｖｒｅｆを発生する指令発生部と、前記速度指令Ｖｒｅｆと実際のモータ速度Ｖｆｂによりトルク指令Ｔｒｅｆを決定し、モータ速度を制御する速度制御部と、モデルにより前記速度制御部をシミュレートして推定トルク指令Ｔｒｅｆ’を出力する推定部とを備え、前記トルク指令の時間積分値と前記推定トルク指令の時間積分値との比から総合イナーシャ値を同定し、前記速度制御部は、比例積分制御からなり、前記速度比例ゲインは前記総合イナーシャ値を使って調整するモータ制御装置の制御方法において、
１ステップ過去の前記総合イナーシャ値を現在の前記総合イナーシャ値で除算し、
前記除算結果と前記比例積分制御の１サンプリング前の積分器の積分値を乗算して第１の値を算出し、
前記速度指令から前記モータ速度を減算して速度偏差を算出し、
前記速度偏差にサンプリング時間を乗算し前記積分器の積分時間で除算して第２の値を算出し、
前記第１の値と前記第２の値を加算するという手順を備えたことを特徴とするモータ制御装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボットや工作機械などの制御装置、特に、イナーシャ等の制御定数を同定するモータ制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の制御定数を同定する装置は、モータ速度を制御する速度制御部とモデルにより速度制御をシミュレートするモデル速度制御部を備え、実速度制御部のトルク指令を時間積分した値ＳＴｒｅｆとモデル速度制御部のトルク指令を時間積分したＳＴｒｅｆ’との比によりイナーシャ同定している（例えば、特許文献１参照）。また、モータ速度を制御する速度制御部とモデルにより速度制御をシミュレートするモデル速度制御部を備え、モータ速度制御部のトルク指令Ｔｒｅｆに所定のフィルタを通した値を所定の区間［ａ，ｂ］で時間積分した値であるトルク指令時間積分値ＳＴｒｅｆとモデル速度制御部のトルク指令Ｔｒｅｆ’を同じ区間で時間積分した値であるモデルトルク指令時間積分値ＳＴｒｅｆ’との比によりイナーシャＪを同定する同定部と、同定されたイナーシャＪに基づいてモータ速度制御部の速度ループゲインＫｖの調整を行うものもある。（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特ＷＯ９６／３７０３９（９頁、ＦＩＧ．１）
【特許文献２】特開平１０−１７８７９３（９頁、ＦＩＧ．１）
【非特許文献１】堀洋一他、「低精度エンコーダを用いるサーボモータの高性能制御−瞬時速度オブザーバと慣性モーメントの同定−」、電学論Ｄ、１１４巻４号、平成６年、ｐ４２８〜ｐ４２９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の制御定数を同定するモータ制御装置は、逐次同定される総合イナーシャ値に従って、速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の速度比例ゲインのみを変更すると急激にトルクが大きくなるという問題がある。通常、電機品はトルクにリミッタを設定しているため、過負荷アラームにより電機品の損傷は防げるが、サーボオフにより機械が惰走し、機械を損傷することが予想される。また、トルクが大きく変化することにより、イナーシャ比もオーバーシュートするので、結果として速度ゲインが非常に大きくなり、サーボ制御系が一時的に発振するという問題もあった。本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、重力外乱などの一定外乱がモータにかかる場合においても、急激なトルクの変化を抑えることにより、イナーシャ比のオーバーシュートを抑制し、サーボ制御系の発振を抑制することができ、かつ、同定の収束速度を上げることができ、イナーシャ同定に利用するサンプリング時間を速度制御のサンプリング時間と同値にできない場合でも、同定結果を劣化させることがないモータ制御装置とその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
請求項１記載の本発明は、速度指令Ｖｒｅｆを発生する指令発生部と、前記速度指令Ｖｒｅｆと実際のモータ速度Ｖｆｂによりトルク指令Ｔｒｅｆを決定し、モータ速度を制御する速度制御部と、モデルにより速度制御部をシミュレートして推定トルク指令Ｔｒｅｆ’を出力する推定部とを備え、トルク指令の時間積分値と推定トルク指令の時間積分値との比から総合イナーシャ値を同定し、前記速度制御部は、比例積分制御からなり、速度比例ゲインは前記総合イナーシャ値を使って調整するモータ制御装置において、１ステップ過去の総合イナーシャ値を現在の総合イナーシャ値で除算する手段と、除算の結果と比例積分制御の１ステップ過去の積分器出力値を乗算する手段と、乗算結果と、速度指令からモータ速度を減算した速度偏差をサンプリング時間で乗算し比例積分制御の積分時間で除算した結果とを加算する手段とを備えるようにしたのである。
請求項２記載の本発明は、請求項１記載のモータ制御装置において、トルク指令とモータ速度を用いて、外乱を推定する外乱オブザーバを備え、外乱オブザーバのパラメータは、総合イナーシャ値を用いて変更する手段を備え、外乱オブザーバの出力である推定外乱をトルク指令に加えるようにしたのである。
請求項３記載の本発明は、請求項１記載のモータ制御装置において、比例積分制御の積分器出力値を（１）式を用いて決定する手段を備え、総合イナーシャ値の同定に利用するサンプリング時間と比例積分制御の積分出力値を決定する手段のサンプリング時間が同値であるようにしたのである。
【０００５】
【数１】
2006166591.tif 000003
【０００６】
ｖ：積分器出力値、ｕ［ｉ］：積分器入力値、Ｊａｌｌ［ｉ］：総合イナーシャ、Ｔｓ：速度制御のサンプリング時間、Ｔｉ：積分時間
請求項４記載の本発明は、請求項１記載のモータ制御装置において、比例積分（制御の積分器出力値を（２）式を用いて決定する手段を備え、総合イナーシャの同定に利用するサンプリング時間と比例積分制御の積分出力値を決定する手段のサンプリング時間が異なるようにしたのである。
【０００７】
【数２】
2006166591.tif 000004
【０００８】
ｖ：積分器出力値、ｕ［ｉ］：積分器入力値、Ｊａｌｌ［ｍ］：総合イナーシャ、Ｔｓ：速度制御のサンプリング時間、Ｔｉ：積分時間、ｍ：イナーシャ同定のサンプリング時間
請求項５記載の本発明は、速度指令Ｖｒｅｆを発生する指令発生部と、速度指令Ｖｒｅｆと実際のモータ速度Ｖｆｂによりトルク指令Ｔｒｅｆを決定し、モータ速度を制御する速度制御部と、モデルにより速度制御部をシミュレートして推定トルク指令Ｔｒｅｆ’を出力する推定部とを備え、トルク指令の時間積分値と推定トルク指令の時間積分値との比から総合イナーシャ値を同定し、速度制御部は、比例積分制御からなり、速度比例ゲインは総合イナーシャ値を使って調整するモータ制御装置の制御方法において、１サンプリング過去の総合イナーシャ値を現在の総合イナーシャ値で除算し、除算結果と比例積分制御の１サンプリング前の積分器の積分値を乗算して第１の値を算出し、速度指令から前記モータ速度を減算して速度偏差を算出し、速度偏差にサンプリング時間を乗算し積分器の積分時間で除算して第２の値を算出し、第１の値と前記第２の値を加算するという手順を備えるようにしたものである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の本発明によると、急激なトルク変化を抑制することができ、イナーシャ同定値のオーバーシュートを抑制できるので、制御系の発振を抑制することができる。
請求項２記載の本発明によると、重力外乱などの一定外乱がモータにかかる場合においても、上記と同様の効果が得られる。
請求項３記載の本発明によると、イナーシャ同定に利用するサンプリング時間と速度制御のサンプリング時間が同じ設定であるので、同定の収束速度を上げることができる。
請求項４記載の本発明によると、製品のＣＰＵの性能により、イナーシャ同定に利用するサンプリング時間を速度制御のサンプリング時間と同値にできない場合でも、同定結果を劣化させることがないという効果が得られる。
請求項５記載の本発明によると、急激なトルク変化を抑制することができ、イナーシャ同定値のオーバーシュートを抑制でき、制御系の発振を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１は、本発明のモータ制御装置の全体構成図であり、本実施例では速度比例制御を速度ＰＩ制御に限定して説明する。速度Ｉ−Ｐ制御においても、同様の方法で実現できる。図において、１は速度指令、２は実速度制御系、３はモデル速度制御系、４、５は速度比例積分制御であり、６は実制御対象のトルク指令、７はモデルのトルク指令、８は実制御対象、９はモータモデル、１０は実速度フィードバック、１１はモデルの速度フィードバックであり、１２は実速度偏差、１３はモデル速度偏差、１４は実速度比例積分制御の積分器、１５はモデル速度比例積分制御の積分器、１６、１７は積分器、１８は除算器、１９はモータイナーシャ値、２０は総合イナーシャ値、２１は総合イナーシャ値を実速度比例積分（速度ＰＩ）制御の比例ゲインに掛けるための経路であり、２２は総合イナーシャ値を実速度比例積分（速度ＰＩ）制御の積分器に入力する経路である。１２の速度偏差を１４の実速度比例積分（速度ＰＩ）制御の積分器に入力し、出力される積分出力値と速度偏差の和を速度比例ゲイン倍し、６のトルク指令を作成する。このトルク指令によりモータが要求された速度指令通りに駆動される。
本発明が特許文献１と異なる部分は、２２の総合イナーシャ値を実速度比例積分（速度ＰＩ）制御の積分器に入力する経路と総合イナーシャ値により、積分出力値を変更する積分器１４を備えた部分である。これは、請求項１に記載した部分である。積分出力値を変更する手段は、請求項３記載の（１）式で表せる。
【００１２】
【数１】
2006166591.tif 000005
【００１３】
ｖ：積分器出力値、ｕ［ｉ］：積分器入力値、Ｊａｌｌ［ｉ］：総合イナーシャ、Ｔｓ：速度制御のサンプリング時間、Ｔｉ：積分時間
（１）式を実現する図面が、図２である。図２は、実速度偏差ｕ［ｉ］と２２から総合イナーシャ値を入力し、ｖ［ｉ］を出力とする１４の速度比例積分（速度ＰＩ）制御の積分器を表したものである。本発明の積分器では、実速度偏差ｕ［ｉ］に、速度制御系のサンプリング時間を速度比例積分（速度ＰＩ）制御の積分時間で割った値で乗算した結果が１００の乗算結果となる。次に、加算器１０１には、１０２の１ステップ過去に得られた総合イナーシャ値を現在の総合イナーシャ値で除算した結果と前回の速度比例制御の積分器出力値との乗算値と１００の乗算結果とを入力することにより、現在の積分器出力値を得る。本発明は、上記説明のように速度比例積分制御の積分出力値を変更するものであるため、速度ＰＩ制御と速度Ｉ−Ｐ制御のいずれかに関わらず利用できるものである。
【００１４】
次に、本発明装置の効果をシミュレーションにより確認する。シミュレーションに用いた制御対象は、モータイナーシャ比４９倍の負荷をモータに直結させた剛体負荷モデルとした。この制御対象に図１に示す本発明の制御装置を適用した場合と図１０に示す従来装置を適用した場合の比較を行った。図３は、イナーシャ同定過程の総合イナーシャ値の推移を表している。本シミュレーションでは、総合イナーシャが５０の値になれば、同定が正しく行われていることを表しており、本発明の装置ではオーバーシュートすることなく真値に到達しているのに対して、従来装置では、オーバーシュートが出ていることが確認できる。また、図４は、イナーシャ同定過程のトルク指令を表しており、本発明では、トルクのピークが下がっているのに対して、従来装置では、０．１５ｓ時点でトルク３００％に到達していることが確認できる。
【実施例２】
【００１５】
図５は、本発明の請求項２記載のモータ制御装置を表す図面である。図において、１は速度指令、２は実速度制御系、３はモデル速度制御系、４、５は速度ＰＩ制御であり、６は実制御対象のトルク指令、７はモデルのトルク指令、８は実制御対象、９はモータモデル、１０は実速度フィードバック、１１はモデルの速度フィードバックであり、１６、１７は積分器、１８は除算器、１９は総合イナーシャ値、２０は総合イナーシャ値を速度比例積分（速度ＰＩ）制御の比例ゲインに掛けるための経路であり、２１は総合イナーシャ値を１４の速度比例積分（速度ＰＩ）制御の積分器に入力する経路である。２００は、２０２の総合イナーシャゲインを変更するための経路であり、２０１は、補償後トルクであり、補償後トルクを総合イナーシャゲインで割った値を２０３の外乱オブザーバに入力する。外乱オブザーバの出力である２０５は推定された外乱トルクであり、２０４の減算器により、トルク指令から外乱トルク分を除去する構成になっている。
【００１６】
次に、請求項２記載の発明装置の効果をシミュレーションにより確認する。シミュレーションに用いた制御対象は、モータをボールネジ駆動テーブルに結合し、テーブルには、重力一定外乱が入るようなモデルとした。この制御対象に図５に示す本発明の制御装置を適用した場合と図１０に示す従来装置を適用した場合の比較を行った。図６は、イナーシャ同定過程の総合イナーシャ値の推移を表している。本シミュレーションでは、総合イナーシャ値が８になれば、同定が正しく行われていることを表しており、本発明の装置では、従来装置に比べてオーバーシュートが小さくなっており、真値への収束も速いという結果になった。
【００１７】
請求項３記載の発明装置を使用し、総合イナーシャ値を使って速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分出力値が得られるプロセスを表した図が図７である。図中、Ｔｓはサンプリング時間を表しており、総合イナーシャ同定のサンプリング時間をＴｓとし、速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御のサンプリング時間もＴｓとし、サンプリング時間が同値であることを表している。図７では、ｉ番目で得られた総合イナーシャ値３００と１ステップ過去のｉ−１番目で得られた総合イナーシャとｉ−１番目の速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分出力値を使って、３０２のタイミングで速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分出力値を修正し、ｉ＋１番目で得られた総合イナーシャ値３０１とｉ番目で得られた総合イナーシャ値を使って、ｉ番目の速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分出力値を使って、３０３のタイミングで速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分出力値を修正することを表している。
【００１８】
請求項４記載の発明装置を使用し、総合イナーシャ値を使って速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分出力値が得られるプロセスを表した図が図８である。図中の、Ｔｓはサンプリング時間を表しており、また総合イナーシャ同定のサンプリング時間を２＊Ｔｓとし、速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御のサンプリング時間をＴｓと表し、サンプリング時間が異なることを表している。図８では、ｍ番目で得られた総合イナーシャ値４００とｍ−１番目で得られた総合イナーシャ値とｉ番目の速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分出力値を使って、４０２のタイミングで速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分出力値を修正し、ｍ＋１番目で得られた総合イナーシャ値４０１とｍ番目で得られた総合イナーシャ値とｉ＋２番目の速度比例制御の積分出力値を使って、４０３のタイミングで速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分出力値を修正することを表している。このことを請求項４記載の（２）式で表している。
【００１９】
【数２】
2006166591.tif 000006
【００２０】
ｖ：積分器出力値、ｕ［ｉ］：積分器入力値、Ｊａｌｌ［ｍ］：総合イナーシャ、Ｔｓ：速度制御のサンプリング時間、Ｔｉ：積分時間、ｍ：イナーシャ同定のサンプリング時間
速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御のサンプリング時間とイナーシャ同定のサンプリング時間の違いを表すために、ｍとｉで表記した。
【実施例３】
【００２１】
請求項３と請求項４記載の発明の効果をシミュレーションにより確認する。シミュレーションでは実施例１のモデルを用い、シミュレーション実施結果を図９に表す。請求項３に対応するシミュレーションでは、速度制御のサンプリング時間とイナーシャ同定計算のサンプリング時間を１２５μｓとし、請求項４に対するシミュレーションではイナーシャ同定計算のサンプリング時間を４ｍｓとした。請求項３に対応するシミュレーション結果は、イナーシャ同定値が真値に早く到達するのに対して、請求項４に対応するシミュレーション結果は、真値に近づく速度が遅いことが図９よりわかる。収束の速度には違いが現れるが、サンプリング時間の違いに関わらず、オーバーシュートが抑えられていることと同定結果が同じであることが確認できる。本装置はサーボアンプ内部のＣＰＵに組み込んで実現する。このサーボアンプのＣＰＵの能力により、イナーシャ同定計算と速度制御のサンプリング時間を同値にできない場合でも、請求項４記載の発明装置は、オーバーシュート抑制という効果が得られていることが分かる。
【００２２】
請求項５記載のモータ制御装置の制御方法のフローチャートを図１１に示す。ステップＳＴ１では前回の総合イナーシャを今回の総合の総合イナーシャで除算してステップＳＴ２に移る。ステップＳＴ２ではステップＳＴ１の除算結果に前回の速度制御の積分値を乗算して第１の値を算出する。次にステップＳＴ３では速度偏差にサンプリング時間を乗算し、さらに積分時間で除算して第２の値を算出する。次にステップＳＴ４では第１の値と第２の値を加算して今回の積分値とする。
【００２３】
このように、実速度比例積分（速度ＰＩおよび速度Ｉ−Ｐ）制御の積分器からの出力を総合イナーシャ同定結果に基づいて逐次変更するような構成をしているので、急激なトルク変化を抑制し、総合イナーシャ値のオーバーシュートを抑制できるので、イナーシャ同定中のサーボ系の発振を抑制することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明の請求項では、実制御対象のトルク積算値とモデルのトルク積算値の比から求められた総合イナーシャ値を利用して、積分値出力値を補正していた。総合イナーシャ同定方法は多くあり、例えば非特許文献に表すようなモータトルク指令とモータ速度フィードバック信号から、総合イナーシャを同定する手法もある。このように逐次イナーシャ同定結果がわかる場合においても、総合イナーシャ値を利用して積分出力値を補正することができ、トルク飽和で問題となる場面で利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施例を表すモータ制御装置
【図２】本発明の速度比例積分（速度ＰＩおよびＩ−Ｐ）の積分器を表す詳細説明図
【図３】実施例１のイナーシャ同定過程のシミュレーション比較
【図４】実施例１のトルク指令のシミュレーション比較
【図５】本発明の第２実施例を表すモータ制御装置
【図６】実施例２のシミュレーション結果
【図７】請求項３記載の装置を用いた時の積分出力値と同定結果の関係
【図８】請求項４記載の装置を用いた時の積分出力値と同定結果の関係
【図９】実施例３のシミュレーション結果
【図１０】従来のモータ制御装置
【図１１】本発明の制御方法を示すフローチャート
【符号の説明】
【００２６】
１  速度指令
２  実速度制御系
３  モデル速度制御系
４  実速度比例積分（速度ＰＩ）制御器
５  モデル速度比例積分（速度ＰＩ）制御器
６  実トルク指令
７  モデルトルク指令
８  モータ
９  モータモデル
１０  実速度フィードバック
１１  モデル速度フィードバック
１２  実速度偏差
１３  モデル速度偏差
１４  実速度積分器
１５  モデル速度積分器
１６、１７  積分器
１８  除算器
１９  モータイナーシャ値
２０  総合イナーシャ値
２１  速度比例ゲインへの総合イナーシャ入力経路
２２  速度積分器への総合イナーシャ入力経路
１００  乗算結果
１０１  加算器
１０２  １ステップ過去の総合イナーシャ値と現在の総合イナーシャ値の比
２００  外乱オブザーバイナーシャゲインへの総合イナーシャ入力経路
２０１  補償後トルク指令
２０２  総合イナーシャゲイン
２０３  外乱オブザーバ
２０４  減算器
２０５  推定外乱トルク
３００  ｉ番目の総合イナーシャ値
３０１  ｉ＋１番目の総合イナーシャ値
３０２  ｉ番目の総合イナーシャ値を用いた積分出力値
３０３  ｉ＋１番目の総合イナーシャ値を用いた積分出力値
４００  ｍ番目の総合イナーシャ値
４０１  ｍ＋１番目の総合イナーシャ値
４０２  ｍ番目の総合イナーシャ値を用いた積分出力値
４０３  ｍ＋１番目の総合イナーシャ値を用いた積分出力値
５００  速度指令発生部
５０１  速度制御部
５０２  推定部
５０３  同定部
５０４  調整部
【図１】
2006166591.tif 000009
【図２】
2006166591.tif 000010
【図３】
2006166591.tif 000011
【図４】
2006166591.tif 000012
【図５】
2006166591.tif 000013
【図６】
2006166591.tif 000014
【図７】
2006166591.tif 000015
【図８】
2006166591.tif 000016
【図９】
2006166591.tif 000017
【図１０】
2006166591.tif 000018
【図１１】
2006166591.tif 000019