(57)【要約】【課題】  本発明はディスクの製造方法および製造装置に係り、更に詳細には2枚のディスク基板を接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置および接着剤硬化方法の技術に係る。接着剤の硬化過程において、接着剤層の温度を高め、またはディスク周辺の湿度を制御することによって接着剤の硬化反応を早め、被接合材であるディスクの温度分布が均一になるようにすることにより、接着剤硬化後の変形の小さいディスクを製造できることに着目し、本発明は完成された。【解決手段】  2枚のディスク基板を接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置において、ディスクを載せる載置台を含み、ディスクを加熱するための加熱装置とディスク周辺の湿度を制御するための除湿装置のいずれか一つまたは両者を備えた構成とした。【選択図】    図2
2006004468.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
2枚のディスク基板を接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置であって、ディスクを載せる載置台を含み、更に当該ディスクを加熱するための加熱装置と当該ディスクの周辺環境の湿度を制御するための除湿装置のいずれか一つまたは両方を備えることを特徴とする装置。
【請求項２】
請求項1に記載する接着剤硬化装置であって、更に前記ディスクを載置台側へ引き寄せる吸引装置を含むことを特徴とする装置。
【請求項３】
請求項1または2のいずれかに記載する接着剤硬化装置であって、更に前記ディスク上に載せる押さえ板を含むことを特徴とする装置。
【請求項４】
請求項1から2までのいずれかに記載する接着剤硬化装置であって、前記ディスクを前記載置台に載せる移載アームと、前記ディスクを前記載置台から取り外す移載アームとを備えることを特徴とする装置。
【請求項５】
請求項3に記載する接着剤硬化装置であって、前記ディスクおよび前記押さえ板を前記載置台に載せる移載アームと、前記ディスクおよび前記押さえ板を前期載置台から取り外す移載アームとを備えることを特徴とする装置。
【請求項６】
請求項1乃至5のいずれかに記載する接着剤硬化装置であって、前記載置台又は載置台を載せた前記吸引装置を移動させる搬送装置を更に備えることを特徴とする装置。
【請求項７】
請求項1乃至6のいずれかに記載する接着剤硬化装置であって、前記ディスクを載せる載置台の周辺環境の温度を20℃から70℃の範囲にしたことを特徴とする装置。
【請求項８】
2枚のディスク基板を接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化方法であって、ディスクを載置台に載せるステップを含み、更に当該ディスクを加熱するステップと当該ディスクの周辺環境の湿度を制御するステップのいずれか一つまたは両方を備えることを特徴とする方法。
【請求項９】
請求項8に記載する接着剤硬化方法であって、更に前記ディスクを載置台側へ引き寄せるステップを更に備えることを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項8または9のいずれかに記載する接着剤硬化方法であって、前記ディスク上に押さえ板を載せるステップを更に備えることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はディスクの製造方法および製造装置に係り、更に詳細には2枚のディスク基板を接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置および接着剤硬化方法の技術に係る。
【背景技術】
【０００２】
二つの物体を接着剤を使用して接合する場合、接着剤の硬化速度と被接合材の材質、温度分布、温度履歴、そして初期ひずみの関係によっては接合後に大きな変形が生じることが経験的に知られている。
【０００３】
これは、接着剤の硬化過程において、被接合材の中に内部ひずみが蓄積されていくために生じる現象である。そして、一般的には接着剤の硬化速度を上げれば上げるほど、この内部ひずみは増大し、接着剤硬化後の変形は大きくなる。
【０００４】
例えば、DVD-RAM (デジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク  ランダム・アクセス・メモリ)やDVD-ROM (デジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク  リード・オンリ・メモリ)は、薄い2枚の光ディスクを接着接合して製造されているが、これらの製品の接合面に存在する気泡は、この製品の光学的性能を著しく低下させる。従って、この気泡を排除するために種々の工夫がなされ、気泡の無い接着接合を実現できる段階に到達しつつある。
【０００５】
また、接着剤を硬化させた後に生じるディスクの変形についても、製品品質上の観点から極めて小さい値に抑えることが求められている。
【０００６】
ディスク製品の変形を少なくするためには接着剤の硬化速度が低い方が望ましいということが経験的に知られており、そのため硬化速度の低い接着剤を使用して、時間をかけてディスクを製造するという方法がとられている。
【０００７】
また、ディスク製品の変形を更に少なくするため、接着剤の硬化過程において、ディスクを吸着することができるディスク平面保持装置を使用することにより、平面精度の高いフラットな面にディスクを強制的に沿わせて接着剤の硬化反応を完了させる方法もとられている。
【特許文献１】特開2003-231866号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した従来技術においては、接着剤を硬化させた後に生じるディスクの変形を最小に抑えるために、硬化速度の低い接着剤を使用して2枚のディスクを接合していたため、接着剤が硬化するまでの時間が長く、その結果1枚のディスクが完成するまでの生産時間が長くなり、生産性向上のための障害となっていた。
【０００９】
また、ディスク製品の変形を更に少なくするため、接着剤の硬化過程において、ディスクを吸着することにより平面精度の高いフラットな面にディスクを強制的に沿わせて接着剤の硬化反応を完了させるような工程をとっている場合には、接着剤硬化に要する時間が長いことから、多数のディスク平面保持装置を準備する必要が生じ、生産設備が高価になると共に、生産設備が全体として大きくなってしまうという問題が生じていた。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は係る課題を解決するためになされたものである。すなわち、接着剤の硬化過程において、接着剤層の温度を高めることによって接着剤の硬化反応を早め、被接合材であるディスクの温度分布が均一になるようにすることにより、接着剤硬化後の変形の小さいディスクを製造できることに着目し、上記課題を解決した。
【００１１】
また、接着剤の塗布されたディスクが置かれる周辺の湿度を制御することにより更に接着剤の硬化反応を早めることができるため、湿度を制御するための除湿を行うことにより、更に上記課題を解決した。
【００１２】
すなわち、請求項1に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００１３】
2枚のディスク基板を接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化装置において、ディスクを載せる載置台を含み、更にディスクを加熱するための加熱装置とディスクの周辺環境の湿度を制御するための装置のいずれか一つまたは両方を備える構成とした。
【００１４】
また、請求項2に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００１５】
すなわち、請求項1に記載する接着剤硬化装置において、更にディスクを載置台側へ引き寄せる吸引装置を含む構成とした。
【００１６】
また、請求項3に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００１７】
すなわち、請求項1または2のいずれかに記載する接着剤硬化装置において、更にディスク上に載せる押さえ板を含む構成とした。
【００１８】
また、請求項4に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００１９】
すなわち、請求項1から2までのいずれかに記載する接着剤硬化装置において、ディスクを載置台に載せる移載アームと、ディスクを載置台から取り外す移載アームと更に備える構成とした。
【００２０】
また、請求項5に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００２１】
すなわち、請求項3に記載する接着剤硬化装置において、ディスクおよび押さえ板を載置台に載せる移載アームと、ディスクおよび押さえ板を載置台から取り外す移載アームとを備える構成とした。
【００２２】
また、請求項6に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００２３】
すなわち、請求項1乃至5のいずれかに記載する接着剤硬化装置において、載置台又は載置台を載せた吸引装置を移動させる搬送装置を更に備える構成とした。
【００２４】
また、請求項7に記載した装置発明においては次のような構成とした。
【００２５】
すなわち、請求項1乃至6のいずれかに記載する接着剤硬化装置であって、ディスクを載せる載置台の周辺環境の温度を20℃から70℃の設定する構成とした。
【００２６】
また、請求項8に記載した方法発明においては次のような構成とした。
【００２７】
すなわち、2枚のディスク基板を接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用する接着剤硬化方法において、ディスクを載置台に載せるステップを含み、更にディスクを加熱するステップとディスクの周辺環境の湿度を制御するステップのいずれか一つまたは両方を備える構成とした。
【００２８】
また、請求項9に記載した方法発明においては次のような構成とした。
【００２９】
すなわち、請求項8に記載する接着剤硬化方法において、更にディスクを載置台側へ引き寄せるステップを更に備える構成とした。
【００３０】
また、請求項10に記載した方法発明においては次のような構成とした。
【００３１】
すなわち、請求項8または9のいずれかに記載する接着剤硬化方法において、ディスク上に押さえ板を載せるステップを更に備える構成とした。
【発明の効果】
【００３２】
上述した構成とすることにより、接着剤の温度を上昇させると共に、接着剤硬化に適した湿度とすることができるので、接着剤が硬化するまでの時間が短くなり、その結果1枚のディスクが完成するまでの生産時間が短くなり、生産性を向上させることができる。
【００３３】
また、ディスク製品の変形を更に少なくするため、接着剤の硬化過程において、ディスクを吸着し、または押さえ板をディスク上に載せることにより平面精度の高いフラットな面にディスクを強制的に沿わせて接着剤の硬化反応を完了させるような工程をとっている場合には、接着剤硬化に要する時間を短くすることができることから、多数のディスク平面保持装置や押さえ板を準備する必要がなくなり、生産設備を低廉にすることができると共に、生産設備全体を小さくすることができるという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。
【００３５】
図1は、本発明に係る装置、または方法を使用して接着したディスクを模式図として示したものである。ディスクとしては例えば、DVD-RAM (デジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク  ランダム・アクセス・メモリ)やDVD-ROM (デジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク  リード・オンリ・メモリ)などがあるが、これらに限定されるものではなく、レンズやフィルター等の光学素子やPDP, TFT等のパネルなど、2枚のディスク基板を接着接合して製造されものであれば、ここで説明する発明に基いた装置あるいは方法を利用して製造することができる。図中1は接着接合して製造されたディスクを示し、11および12は各々被接着材であるディスク基板を示す。更に、13は接着層を示す。
【００３６】
図2は、本発明に係る第一の実施例を示したものであり、図中の左側の図が正面断面図、右側の図が側面断面図を表す。接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が載置台21上に配置されている。更にディスク1の上方には加熱装置23が配置されている。また、ディスク1が載置された載置台21の周辺は除湿装置(図示せず)により一定湿度に保持されている。また、載置台21のディスク1を載置する面は、ディスク1の平面度を高めるために精度よく加工されている。ディスク1の上方に配置された加熱装置23は、送風装置(図示せず)から送られた空気を加熱し、熱風をディスク1に吹き付けることができるようになっている。この加熱装置の加熱方法としては、ニクロム線ヒーターやセラミックヒーターを利用した加熱、あるいはハロゲンランプ等のランプによる加熱、温水を利用した加熱、誘導加熱による加熱等、一般に加熱源として利用されているものは全て利用することができる。また、この加熱装置は、ディスクの温度が均一になるようにディスクの片面全面を覆ったり、ディスクの大きさより十分大きい表面積を持つようにしたり、あるいは係る加熱装置をディスクの上面、下面、側面またはこれらを組み合わせた面に配置しても良い。
【００３７】
なお、加熱装置により、ディスク1を載せる載置台21周辺の温度を20℃から70℃の間に設定することが好ましく、30℃から50℃の間に設定すれば更に好ましい。
【００３８】
ディスク1が載置された載置台21の周辺の湿度を制御するために設けられる除湿装置は、通常種々の機械装置で使用される装置を利用することができる。
【００３９】
また、加熱装置と除湿装置は、それぞれセンサーとコントローラに接続することにより、所定の温度および湿度に制御できるようにしても良い。このような制御システムは公知の技術をそのまま利用することができるため、詳細な説明は省略する。
【００４０】
ただし、実際の温度設定についてここで説明しておく。温度は、20℃から70℃の間にコントロールすることが望ましい。その理由は、光ディスクに用いられる素材の代表であるポリカーボネイトのガラス転移温度は140℃前後であるが、70℃以上では光ディスクの素材であるポリカーボネイトの上の記録面の構造が変形してしまう恐れがあるためである。
【００４１】
温度コントロールとしては、例えば40℃一定に保つこともできる。特に、40℃程度では接着剤の硬化が早く、また記録面の変形の恐れも少ない。また搬送の入口では60℃とし、搬送の出口では30℃とすることもできる。このようにすることによって、搬送後に平面度が多少悪い所へ置いても変形の恐れは無くなる。装置によっては、紫外線照射により温度が上がる場合もあるので、次第に温度を下げることは、熱応力による変形を避ける点でも自然な温度コントロールである。逆に、最初温度を低くし、次第に温度を上げていくこともできる。急速な温度上昇はディスクが歪む恐れがあるためである。
【００４２】
次に、第一の実施例に基くディスク1の接着剤硬化プロセスについて説明する。
【００４３】
まず、接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が載置台21上に載置される。ディスク1は載置台21上に置かれ、精度よく仕上げられた載置台21の表面に沿った状態に置かれるため高い平面度を維持し続けることができる。一方加熱装置23により加熱された空気または、加熱装置23により放射される赤外線は、ディスク基板の貼り合わせ面に存在する接着剤を加熱する。この加熱によって接着剤の温度が上昇すると接着剤の硬化反応が促進され、接着剤の硬化に要する時間は短縮される。また、除湿装置によってディスク1が載置された載置台21の周辺の湿度を制御することができるため、接着剤の硬化に適した湿度に維持することができる。このような接着剤の硬化方法をとれば、ディスク1の平面度を高く維持しつつ、接着剤の硬化反応を短時間で進めることができるため、接着時に生じるソリ、ネジレ等の少ない高品質のディスクを短時間で生産することができ、生産性を高めることができる。
【００４４】
図3は、本発明に係る第二の実施例を示したものであり、左側は断面図、右側は外観図である。接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が載置台21上に配置され、載置台21は吸引装置22の上に配置されている。更にディスク1の上方には加熱装置23が配置されている。載置台21には、複数の通気孔26が設けられており、ディスク1を載置した面と反対側の面が負圧になった場合に、ディスク1を載置台21に吸引するようになっている。また、ディスク1が載置された載置台21の周辺は除湿装置(図示せず)により一定湿度に保持されている。また、載置台21のディスク1を載置する面は、ディスク1の平面度を高めるために精度よく加工されている。吸引装置22の上面は開口されており、この開口部には載置台21が配置される。吸引装置22には負圧源(図示せず)に連通する配管25が接続されており、吸引装置22の内部空間27を負圧に維持することができるようになっている。また、吸引装置22には吸気窓24が設けられており、後で詳述する加熱装置23から出た熱風を吸引装置22の内部空間27へ導入できるようになっている。吸引装置が接続される負圧源としては、真空ポンプやブロワーのような大気圧以下に減圧できる装置であればどのようなものであっても使用することができる。ディスク1の上方に配置された加熱装置23は、送風装置(図示せず)から送られた空気を加熱し、熱風をディスク1に吹き付けることができるようになっていると共に、この熱風は、上述した吸引装置22の吸気窓24を通って、吸引装置22の内部空間27へも送り込むことができるようになっている。この加熱装置の加熱方法としては、ニクロム線ヒーターやセラミックヒーターを利用した加熱、あるいはハロゲンランプ等のランプによる加熱、温水を利用した加熱、誘導加熱による加熱等、一般に加熱源として利用されているものは全て利用することができる。また、この加熱装置は、第一の実施例で述べたのと同様に、ディスクの温度が均一になるようにディスクの片面全面を覆ったり、ディスクの大きさより十分大きい表面積を持つようにしたり、あるいは係る加熱装置をディスクの上面、下面、側面またはこれらを組み合わせた面に配置しても良い。(図9参照)
ディスク1が載置された載置台21の周辺の湿度を制御するために設けられる除湿装置は、通常種々の機械装置で使用される装置を利用することができる。
【００４５】
また、加熱装置と除湿装置は、それぞれセンサーとコントローラに接続することにより、所定の温度および湿度に制御できるようにしても良い。
【００４６】
次に、第二の実施例に基くディスク1の接着剤硬化プロセスについて説明する。
【００４７】
まず、接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が吸引装置22の上に配置された載置台21上に載置される。吸引装置22の内部空間27は負圧に維持されているため、複数の通気孔26によってディスク1は載置台21に吸着され、精度よく仕上げられた載置台21の表面に沿った状態を維持するため高い平面度を維持し続けることができる。一方加熱装置23により加熱された空気または、加熱装置23により放射される赤外線は、ディスク基板の貼り合わせ面に存在する接着剤を加熱する。この加熱によって接着剤の温度が上昇すると接着剤の硬化反応が促進され、接着剤の硬化に要する時間は短縮される。また、除湿装置によってディスク1が載置された載置台21の周辺の湿度を制御することができるため、接着剤の硬化に適した湿度に維持することができる。このような接着剤の硬化方法をとれば、ディスク1の平面度を高く維持しつつ、接着剤の硬化反応を短時間で進めることができるため、接着時に生じるソリ、ネジレ等の少ない高品質のディスクを短時間で生産することができ、生産性を高めることができる。
【００４８】
図4は、本発明に係る第三の実施例を示したものである。第三の実施例においては、第二の実施例における吸着装置に替えて、吸引装置22の内部空間27にファンを直接設けた吸引装置22を使用したものである。このような構成とすることにより、吸引装置22内に負圧源をも内臓することができ、吸引装置22の独立性を高めることができる。
【００４９】
また、第三の実施例を示す図4には、加熱装置23としてハロゲンランプ等のランプ29を使用したものを示してある。このような加熱装置23の場合、熱風を送るための送風を行っても、行わなくても良いが、接着剤の加熱効率を高めるためには、第二の実施例と同様、送風することが望ましい。以上説明した点以外については、第三の実施例は第二の実施例と同様な構成となっている。
【００５０】
第三の実施例に基くディスク1の接着剤硬化プロセスは、第二の実施例における接着剤硬化プロセスと実質的に同様である。
【００５１】
図5は、本発明に係る第四の実施例を示したものである。第四の実施例は、第一の実施例から第三の実施例に、更に押さえ板30を備えるようにしたものであり、押さえ板30に関係する部分以外は、第一の実施例から第三の実施例と同様である。接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が載置台21上に配置される。また、ディスク1の上には押さえ板30が載置され、更に押さえ板30の上方には加熱装置23が配置されている。載置台21のディスク1を載置する面、および押さえ板30のディスク1上に載置する面は、ディスク1の平面度を高めるために精度よく加工されている。押さえ板30は、後述するようにその重みで、ディスク1を載置台21に押し付ける機能を果たすとともにディスク1へ熱を伝える機能をも果たすものであるため、鋼板、アルミ板、銅板等、比重が大きく熱伝導の優れた金属を使用しても良いが、赤外線による加熱を行うような場合には、赤外線を透過させやすい材料、たとえばガラス板等を使用しても良い。また、カーボンや有機素材でできた押さえ板とすることもできる。特にカーボンは、近年銅以上の熱伝導性を持つものも現れ、押さえ板として使用するのに好適である。また、有機素材などを押さえ板30とディスク1との間に入れても良い。
【００５２】
次に、第四の実施例に基くディスク1の接着剤硬化プロセスについて説明する。
【００５３】
まず、接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が載置台21上に載置される。次にディスク1の上に、押さえ板30が載置され、押さえ板30の重みによりディスク1は載置台21と押さえ板30の間にサンドイッチされ、精度よく仕上げられた載置台21および押さえ板30の表面に沿った状態を維持するため高い平面度を維持し続けることができる。一方加熱装置23により加熱された空気または、加熱装置23により放射される赤外線は、押さえ板30および載置台21を介してディスク基板の貼り合わせ面に存在する接着剤を加熱する。また、除湿装置によってディスク1が載置された載置台21の周辺の湿度を制御することができるため、接着剤の硬化に適した湿度に維持することができる。このような接着剤の硬化方法をとれば、ディスク1の平面度を高く維持しつつ、接着剤の硬化反応を短時間で進めることができるため、接着時に生じるソリ、ネジレ等の少ない高品質のディスクを短時間で生産することができ、生産性を高めることができる。
【００５４】
図6は、本発明に係る第五の実施例を示したものである。第五の実施例は、第二の実施例に対して、ディスク1の上に更に押さえ板30を載置する構成としたものであり、押さえ板30以外は、第二の実施例の構成と同じである。また押さえ板30は、第四の実施例と同様その重みで、ディスク1を載置台21に押し付ける機能を果たすとともにディスク1へ熱を伝える機能をも果たすものであるため、鋼板、アルミ板、銅板等、比重が大きく熱伝導の優れた金属を使用することが望ましい。カーボンや有機素材を押さえ板30に使用することもできる。また赤外線による加熱を行うような場合には、赤外線を透過させやすい材料、たとえばガラス板等を使用することが望ましい。押さえ板30以外の構成は第一の実施例と同様である。
【００５５】
次に、第五の実施例に基くディスク1の接着剤硬化プロセスについて説明する。
【００５６】
まず、接着剤を塗布し2枚のディスク基板を貼り合わせ、接着剤が未硬化の状態にあるディスク1が吸引装置22の上に配置された載置台21上に載置される。次にディスク1の上に、押さえ板30が載置され、押さえ板30の重みによりディスク1は載置台21と押さえ板30の間にサンドイッチされる。また、吸引装置22の内部空間27は負圧に維持されているため、複数の通気孔26によってディスク1は載置台21に吸着され、押さえ板30の効果と相まって、精度よく仕上げられた載置台21および押さえ板30の表面に沿った状態を維持するため高い平面度を維持し続けることができる。特に、押さえ板30を使用することにより、ディスク1中央部における接着層の厚みが厚くなる現象を抑えることができる。一方加熱装置23により加熱された空気または、加熱装置23により放射される赤外線は、押さえ板30および載置台21を介してディスク基板の貼り合わせ面に存在する接着剤を加熱する。この加熱によって接着剤の温度が上昇すると接着剤の硬化反応が促進され、接着剤の硬化に要する時間は短縮される。また、図示されない除湿装置によってディスク1が載置された載置台21の周辺の湿度を制御することができるため、接着剤の硬化に適した湿度に維持することができる。このような接着剤の硬化方法をとれば、ディスク1の平面度をより高く維持しつつ、接着剤の硬化反応を短時間で進めることができるため、接着時に生じるソリ、ネジレ等の少ない高品質のディスクを短時間で生産することができ、生産性を高めることができる。
【００５７】
図7は、本発明に係る移載アーム40の実施例を示したものである。移載アーム40はディスク1または押さえ板30を載置台に載せる際、または載置台から取り外す際に使用する装置である。移載アーム40は、ディスク1または押さえ板30を吸着する吸着板32と、吸着板32を支持するアーム部33と、アーム部33を回転させるモータ31とから構成されている。更に、吸着板32はアーム部33を介して負圧源(図示せず)に接続されている。負圧源としては、真空ポンプやブロワーのような大気圧以下に減圧できる装置であればどのようなものであっても使用することができ、途中電磁弁を介することにより、大気圧と負圧との切り替えができ、ディスク1または押さえ板30の保持または開放することができるようになっている。
【００５８】
図8は、本発明に係る接着剤硬化装置に使用する搬送装置50の実施例を示したものである。搬送装置50は、載置台21又は載置台を載せた吸引装置22を公知のベルトコンベア、又はチェーンベルトにより水平面内のトラック内を搬送するものである。搬送装置50により、載置台21又は載置台を載せた吸引装置22を移動することにより、所定の時間間隔で、ディスク1または押さえ板30を載置台に載せ又は取り外す移載アーム40の位置に運ぶことができるようになっている。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
ここで開示した接着剤硬化装置または接着剤硬化方法は、2枚のディスク基板を接着剤を用いて接合し、1枚のディスクを製造する際に使用することができ、これらの製品の品質と生産性の向上に大きく寄与することができるものと期待されている。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】図1は、本発明に係る装置、または方法を使用して接着したディスクを模式図として示したものである。
【図２】図2は、本発明に係る第一の実施例を示したものである。
【図３】図3は、本発明に係る第二の実施例を示したものである。
【図４】図4は、本発明に係る第三の実施例を示したものである。
【図５】図5は、本発明に係る第四の実施例を示したものである。
【図６】図6は、本発明に係る第五の実施例を示したものである。
【図７】図7は、本発明に係る移載アームの実施例を示したものである。
【図８】図8は、本発明に係る接着剤硬化装置に使用する搬送装置の実施例を示したものである。
【図９】図9は、本発明に係る接着剤硬化装置に使用する加熱装置の実施例を示したものである。
【符号の説明】
【００６１】
1     ディスク
21    載置台
22    吸引装置
23    加熱装置
30    押さえ板
40    移載アーム
50    搬送装置
【図１】
2006004468.tif 000003
【図２】
2006004468.tif 000004
【図３】
2006004468.tif 000005
【図４】
2006004468.tif 000006
【図５】
2006004468.tif 000007
【図６】
2006004468.tif 000008
【図７】
2006004468.tif 000009
【図８】
2006004468.tif 000010
【図９】
2006004468.tif 000011