(57)【要約】【課題】  フルラインタイプの長尺ヘッドであっても温度上昇と温度ムラがなく、かつフルラインの記録ヘッドへの安定したインク供給を可能とし、印字不良の生じることのない液体噴射記録装置の提供。【解決手段】  吐出口と素子基板とベース基板と共通液室とヘッド液室を有するヘッドにおいて、液貯蔵タンクからポンプを経由してベース基板に設けられた液体流入口へつながる第一液体供給経路と、ベース基板の液体流出口からサブタンクへつながる第二液体供給経路と，サブタンクからヘッド液室の液体流入口へつながる第三液体供給経路と，ヘッド液室の液体流出口から液貯蔵タンクまたはサブタンクへつながる第四液体供給経路と，サブタンクから液体貯蔵タンクへ液体を戻す、第五インク供給経路を有する液体噴射記録装置。【選択図】  図１
2006181949.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための吐出口と、液体に運動エネルギーを印加するためのエネルギー発生素子が複数個設けられた素子基板と、前記素子基板を支持するためのベース基板と、前記ベース基板の前記各素子基板に対応して設けられた各共通液室と、前記ベース基板を挟んで前記素子基板と逆側に設けられ、前記各共通液室に吐出用の液体を供給するヘッド液室を有する液体噴射ヘッドにおいて、
前記ベース基板は、前記各共通液室と連通しないように設けられ、液体流入口と液体流出口を備えた基板内液体経路を備えており、
前記ヘッド液室は、少なくとも２箇所に設けた吐出用の液体流入口と液体流出口を有しており、
前記液体噴射ヘッドへ供給する液体を貯蔵する液体貯蔵タンクとサブタンクを有し、
前記液貯蔵タンクからポンプを経由して前記ベース基板に設けられた液体流入口へつながる第一の液体供給経路と、前記ベース基板に設けられた液体流出口から前記サブタンクへつながる第二の液体供給経路と、前記サブタンクから前記液体噴射ヘッドの前記ヘッド液室に設けられた液体流入口へつながる第三の液体供給経路と、前記液体噴射ヘッドの前記ヘッド液室に設けられた液体流出口から前記液貯蔵タンクまたは前記サブタンクへつながる第四の液体供給経路と、前記液体貯蔵タンクから前記サブタンクへ前記ポンプにより一定量以上の液体が供給された場合に、前記サブタンクから前記液体貯蔵タンクへ液体を戻すことが可能な前記サブタンクから前記液体貯蔵タンクへつながる第五のインク供給経路を有する
ことを特徴とする液体噴射記録装置。
【請求項２】
請求項１記載の液体噴射記録装置であって、前記サブタンクに貯蔵された液体を前記ヘッド液室の液体流入口から液体流出口に連続的に流すことが可能な液体循環装置とを有し、前記液体循環装置は前記液体噴射ヘッドが液体噴射動作中であってもヘッド液室内で液体を連続的に循環可能であることを特徴とする液体噴射記録装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の液体噴射記録装置であって、
前記液体噴射ヘッドが液体吐出動作中は、前記液体貯蔵タンクから前記サブタンクに液体をくみ上げる前記ポンプを常に動作させることを特徴とする液体噴射記録装置。
【請求項４】
前記液体循環装置による液体循環量は、５ｍｌ／ｍｉｎ以上、望ましくは、１０ｍｌ／ｍｉｎ以上、さらに望ましくは、１５ｍｌ／ｍｉｎ以上であることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の液体噴射記録装置。
【請求項５】
前記第一のインク供給経路内、または、前記第二のインク供給経路内に、脱気装置を有することを特徴とする請求項１〜４に記載の液体噴射記録装置。
【請求項６】
前記第二のインク供給経路内、または、前記第三のインク供給経路内に、液体冷却装置を有することを特徴とする請求項１〜５に記載の液体噴射記録装置。
【請求項７】
前記複数の素子基板が、ベース基板上で千鳥状に配列されていることを特徴とする請求項１〜６に記載の液体噴射記録装置。
【請求項８】
前記液体噴射ヘッドの吐出口列長さが、被記録媒体の幅とほぼ同等の長さであることを特徴とする請求項１〜７に記載の液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出記録装置に関し、より詳しくは記録ヘッドの吐出口列の長さが、記録媒体の幅とほぼ等しい長さを有し、記録ヘッドを記録媒体に対して１回のみ相対走査することによって、記録媒体ほぼ全面に画像記録を行なうフルラインタイプのヘッドを用い、このヘッドに液貯蔵タンクとは異なった第２のタンクからインクを供給している液体吐出記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来ヒーター等の熱エネルギーを利用してインク滴の吐出を行なう液体噴射ヘッドにおいて、ヒーターの熱エネルギーの一部はインク滴の吐出によってヘッド外部へ排出されるが、残ったエネルギーは液体噴射ヘッドに蓄熱して液体噴射ヘッドの温度が上昇することがあった。これによってヘッド内のインクはより一層温められることになる。一方インクの物性から、ヘッドの温度上昇につれてインクの粘度が下がる傾向にあり、従って粘度の下がったインクは同じエネルギーでも、より多くのインクが吐出してしまい、印字枚数の増加につれて画像濃度が増大していく問題があった。それだけでなく、液体噴射ヘッドの温度が上昇していくと、液体噴射ヘッドに供給されるインク中に溶解している空気が析出し、それが蓄積することによって吐出口まで充分にインクが供給されなくなり、吐出動作不安定や最悪の場合不吐出現象を生じたりする。
【０００３】
この温度上昇による影響の程度は、多数のノズルが高密度に分布している長尺の液体噴射ヘッドを用い、液体噴射ヘッドと記録媒体の１回の相対移動のみにより記録媒体ほぼ全面に画像記録を行うフルラインタイプのヘッドを用いた液体噴射記録装置において一層顕著に表われる。
【０００４】
フルラインタイプのヘッドを冷却することによって、ヘッドの温度上昇を防ぎ良好な画像を得ていた。
【特許文献１】特開２０００−２５５０４８号公報
【特許文献２】特開平０２−０００５２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、液体噴射記録装置は、高精細化と高速化の傾向がますます強くなり、解像度では、１２００ｄｐｉ→２４００ｄｐｉ→４８００ｄｐｉと、年を追うごとに高解像度の製品が世の中に出されている。高解像度化に伴い、一回に吐出されるインク滴の大きさも、どんどん小さくなり、現在では２ｐｌというような非常に小さなインク滴を吐出可能な製品もある。高解像度になると、その分、吐出の周波数も上げる必要が生じ、それにより、液体噴射ヘッドの温度上昇はさらに大きなものになる。特に、印字媒体と記録ヘッドの一回のみの相対移動（１パス）で、印字を行うフルラインタイプの液体噴射ヘッドを用いる液体噴射記録装置の場合は、液体噴射ヘッドの往復動によって画像を形成していくシリアルタイプの液体噴射記録装置のように、複数パスに分散して画像形成を行うことで、同時に使用するインク吐出ノズルの数を最大でも複数分の一に少なくすることが不可能であり、常に１パスでヘッド全体を使用する必要があるため、連続印字によるヘッド温度上昇がさらに激しく生じることとなる。実際には、Ａ４ヨコ送りで毎分６０枚というような高速化を実現するために、１２００ｄｐｉでは吐出周波数が１６ｋＨｚが必要で、解像度が倍の２４００ｄｐｉになると、３２ｋＨｚの吐出周波数が必要になるといったように、解像度が上がりインク滴が小さくなると、単位面積当たりのインク吐出数を増加させる必要が生じるとともに、高速印字を実現するために、インクの吐出周波数を大幅に増大させる必要が生じ、これにともない、インジェットヘッドの温度上昇がより激しいものになっていた。
【０００６】
特にフルラインタイプの液体噴射ヘッドを用いる液体噴射記録装置の場合は、液体噴射ヘッド自体が長いため、液体噴射ヘッド内に温度分布が生じやすい。特に吐出されたインクを補充するためインクが流入してくるインク供給口近傍では、低温のインクが流れ込んでくるため比較的温度が低く、インク供給口から遠い部分には、液体噴射ヘッド内である程度暖められたインクが供給されるため温度が高くなる。これにより、同じヘッド内であっても温度分布が生じ濃度ムラが発生するという課題があった。
【０００７】
特許文献１のインクジェット記録装置では、ヘッドへのインク供給経路が、一端がインクカートリッジに接続され、他端がサブタンクに接続されているものである。ヘッド内のパイプ状回路内にインクが満たされており、印字途中にインク消費量が一定量に達した場合、自動的にインクカートリッジからヘッドへインクが供給され、ヘッド内のパイプ状回路内を経由してサブタンクへ戻っている。しかしながらヘッド内へインクが供給されるタイミングが決まっているため、フルマルチヘッドであっても、解像度の高いヘッドにおいて、連続して印字を行なうような場合、温度上昇をうちけすだけのインク供給が追いつかず、充分な冷却が行なえないという課題があった。
【０００８】
また、インクカートリッジから記録ヘッド内へ直接インクを供給しているため、インクカートリッジの液面が変化することによる、インク吐出部との水頭差の変化を直接受けやすいと言う課題があった。
【０００９】
特許文献２のインクジェット記録装置では、インク供給系とインク循環系のいずれかに切り換え可能な切り換え手段を備えた液体噴射記録装置が開示されている。図１８、図１９に示すように、素子基板上に発熱素子３５と共通液室３３、記録液供給口３６Ａ、液循環時の第２送球口３６Ｂがあり、液路に対向して基板に設けられた冷却室３９、温度センサ３８、冷却室へのインク供給口３１０Ａ、戻し口３１０Ｂが設けられたヘッドの構成になっている。ヘッド内温度の上昇を温度センサ３８で検知し、ある一定温度を越えていた場合インク供給経路の切り換え手段を切り換え、図２０破線で示すように記録液貯蔵タンクと記録ヘッドの間でインクを循環させヘッドを冷却する構成をとっている。しかしながら、引用文献２の構成では、ヘッドの冷却を行なう際、インクの供給経路を切り換え手段で切り換える必要があり、高解像度化と、高速化したフルラインタイプの液体噴射ヘッドを用いた液体噴射記録装置で、連続印字を行うときには、冷却能力として不十分であるという課題があった。
【００１０】
上述の従来技術における各課題を解決するために、本発明の目的は、フルライン型のインクジェットヘッドを使用し、高解像や高速の印字を連続して行なった場合であっても、液体噴射ヘッドの温度上昇とヘッド内の温度分布を抑制し、かつフルラインの記録ヘッドへの安定したインク供給を可能とし、印字不良の生じることのない液体噴射記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の液体吐出記録装置は、液体を吐出するための吐出口と、液体に運動エネルギーを印加するためのエネルギー発生素子が複数個設けられた素子基板と、前記素子基板を支持するためのベース基板と、前記ベース基板の前記各素子基板に対応して設けられた各共通液室と、前記ベース基板を挟んで前記素子基板と逆側に設けられ、前記各共通液室に吐出用の液体を供給するヘッド液室を有する液体噴射ヘッドにおいて、
前記ベース基板は、前記各共通液室と連通しないように設けられ、液体流入口と液体流出口を備えた基板内液体経路を備えており、
前記ヘッド液室は、少なくとも２箇所に設けた吐出用の液体流入口と液体流出口を有しており、
前記液体噴射ヘッドへ供給する液体を貯蔵する液体貯蔵タンクとサブタンクを有し、
前記液貯蔵タンクからポンプを経由して前記ベース基板に設けられた液体流入口へつながる第一の液体供給経路と、前記ベース基板に設けられた液体流出口から前記サブタンクへつながる第二の液体供給経路と、前記サブタンクから前記液体噴射ヘッドの前記ヘッド液室に設けられた液体流入口へつながる第三の液体供給経路と、前記液体噴射ヘッドの前記ヘッド液室に設けられた液体流出口から前記液貯蔵タンクまたは前記サブタンクへつながる第四の液体供給経路と、前記液体貯蔵タンクから前記サブタンクへ前記ポンプにより一定量以上の液体が供給された場合に、前記サブタンクから前記液体貯蔵タンクへ液体を戻すことが可能な前記サブタンクから前記液体貯蔵タンクへつながる第五のインク供給経路を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、液体噴射ヘッドが液体噴射動作中であっても、ヘッドのベース基板にある基板内液体経路に対して液貯蔵タンクからインクが流入可能な構成となっているため、フルラインタイプの長尺なヘッドで連続印字を行なった場合でも、ヘッドの温度上昇とヘッド内の温度分布を抑制可能なインクジェット記録装置を提供可能である。また、印字用のインク供給経路として、ヘッド液室部材内にあるヘッド液室にサブタンクからインクが流入可能な構成となっているため、インク吐出部と水頭差が大きいメインタンクの液面変化による吐出口への影響を少なくすることが可能となり、ヘッドへの安置したインク供給による良好な画像の印字を可能とした液体吐出記録装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
（実施例１）
まず、本発明の液体吐出記録装置のヘッド構成について図２から図７を用いて説明する。
【００１５】
図２、図３はインクジェットヘッドを液体吐出側から見た斜視図。図４、図５はヘッド１０３のベース基板の構造詳細説明図。図６、図７はヘッドの詳細図である。
【００１６】
本実施例の液体噴射ヘッド１０３は、図２〜７に示すように、有効吐出幅が約１インチの長さを持つ８枚の素子基板１０１が、支持部材である下ベース基板１１８に千鳥状に接着され、その両端部にある電極部でフレキシブル配線基板１０６とワイヤボンディングにより電気的に接続されている。液体噴射ヘッド１０３は、有効吐出幅が約８インチの長さを有し、Ａ４の記録紙の短辺方向の長さとほぼ一致した長さで、Ａ４の記録用紙縦送りで、１パスにより連続印字が可能な長さの液体噴射ヘッドである。各色ごとに同じ液体噴射ヘッドを有し、フルカラー印刷が可能な液体噴射記録装置を構成している。
【００１７】
実際の記録動作は、素子基板１０１の中央付近の表面側に液体を吐出するための吐出口１０２が複数開口しており、各吐出口１０２から吐出される液体の液滴によって記録を行う。素子基板１０１上には、各々の吐出口１０２に対応して吐出エネルギー発生素子として不図示の発熱素子（電気熱変換素子または加熱ヒーター）が形成されている。発熱素子は通電加熱して液体を発泡させ、その運動エネルギーで液体を吐出口１０２から吐出させる。素子基板１０１の電極部とフレキシブル配線基板１０６とを接続しているワイヤボンディング部は、吐出口１０２から飛散した液滴や媒体上から跳ね返った液滴が電極部などに付着することによって、電極やその下地金属を腐食させるため、封止性およびイオン遮断性に優れたシリコン系樹脂等の封止剤１０７により被覆、封止し、液体による接続信頼性の低下がないようにしてある。
【００１８】
また、素子基板１０１の背面側には、図６（ｄ）および図７に示すように、フィルタ支持部材１５０を介してフィルタ部材１５１が取り付けられている。フィルタ部材１５１は、吐出口１０２を通過できず、ふさいでしまうような大きさの粒径を持った異物を通過させないよう、ステンレスの極細線を編みこんだものである。本実施例では、直径１０μｍ以上の異物が通過しないような目をもったフィルタ部材を用いている。この、フィルタ支持部材１５０とフィルタ部材１５１はすべての素子基板１０１に対して同じ物が取り付けられている。フィルタ部材１５１は、ひとつの素子基板１０１で、全吐出ノズルが液吐出動作を行うような場合の最大の液体流量に対し、大きな圧力損失を生じないような十分の面積を有している。フィルタ部材１５１の面積が小さく、最大液体流量のときにフィルタ部材１５１での圧力損失が大きくなる場合には、吐出口１０２に十分な量の液体が供給されないこととなり、一回の吐出での液体と吐出量が減少し、印刷時の濃度低下や不吐出が生じる。
【００１９】
図６（ｄ）および図７に示すように、ベース基板１１１にスリット状開口部が設けられ、１つの素子基板１０１に対して１対１に対応し、液体を保持するための共通液室１１０が形成され、ベース基板１１１には、共通液室１１０と連通しないように共通液室の近傍に、基板内液体経路１１９が設けられている。
【００２０】
共通液室１１０は、吐出口列の長さと略等しい長さで開口し、素子基板１０１にはその背面側の共通液室１１０内の液体を表面側に供給するためのテーパ状のスリット１０４がある。共通液室１１０に隣接して、ベース基板１１１に対して素子基板１０１と反対側にフィルタ支持部材１５０とフィルタ部材１５１が存在し、ベース基板１１１とともに共通液室１１０を形成している。
【００２１】
ベース基板１１１のフィルタ接着側には、各素子基板に対応して接着されたフィルタ部材１５１すべてを覆い、ヘッド液室１０９を形成するヘッド液室部材１１２が接着されている。
【００２２】
図６（ａ）、（ｂ）、（ｄ）で示すように、ヘッド液室部材１１２のほぼ両端には、ヘッド液室１０９と連通するように設けられた液流出口１１３、１１４と、その略中央部に液流入口１１５が設けられ、図１で示すようにチューブと接続され、インク供給系と液体噴射ヘッド１０３との間で、印字用液体の流入流出が可能なように構成されている。ヘッド液室部材１１２の両端部には、図２で示すように固定用穴１０８が設けられており、装置本体に固定可能になっている。
【００２３】
ヘッド液室１０９内で、液流入口１１５から液流出口１１３、１１４の間フィルタが設けられていないため、液流入口１１５から流入した印字用の液体は、圧力損失なく液流出口１１３、１１４へと流れることが可能である。液体を吐出することによって消費される液体は、ヘッド液室１０９から、各素子基板１０１に対応したフィルタ部材１５１を通過して、各共通液室１１０、スリット１０４を経由して、各吐出口１０２へと供給される。
【００２４】
次に、図４、図５によって、液体噴射ヘッド１０３のベース基板に設けられている前述した基板内液体経路１１９とその流出入口について説明する。基板内液体経路１１９には、ヘッド冷却用の液体が流れる。液体噴射ヘッド１０３のベース基板は、図４あるいは図６（ｂ）、（ｄ）、図７で示すように、ベース基板上１１１とベース基板下１１８の２つの部材を張り合わせて構成されている。それぞれのベース基板には、共通液室１１０を構成する切り欠きが、素子基板１０１の位置に対応して設けられている。下ベース基板１１８には、共通液室のすぐそばで、共通液室全体を囲うように基板内液体経路１１９を構成する溝が２本設けられている。図７で示すように上ベース基板１１１を張り合わせることによって、共通液室１１０と連通しない形で基板内液体経路が構成される。２本ある基板内液体経路１１９の両端には、それぞれ図３、図４、図５で示すようにＳＵＳパイプが配置され、冷却液流入口１２０、冷却液流出口１２１がヘッド液室部材１１２の外側に出るような形で設けられている。
【００２５】
図１では、冷却液流入口１２０、冷却液流出口１２１がそれぞれ一箇所しか記入されていないが、構成をわかりやすくするためにそれぞれ一箇所しか示していないだけである。本実施例では図３〜６に示すようにそれぞれ２ヶ所あるものとする。また、図１で示すように、冷却液流入口１２０はチューブ１６５ｃと連結され、冷却液流出口１２１はチューブ１６９ａと連結されている。
【００２６】
以上のように、液体噴射ヘッド１０３内に、印字に使用されるインクの経路であるヘッド液室１０９や共通液室１１０のようなインクの経路とまったく独立して、冷却用の液体経路である基板内液体経路１１９を設けることで、ヘッド１０３を冷却するための液体を、印字の吐出動作に影響を与えることなくヘッド内で循環させることが可能となる。
【００２７】
次に、インク供給系の全体構成について、図１、図８、図９を用いて説明する。
【００２８】
図１は、本発明の第一の実施例における液体噴射記録装置のインク供給系を示すものである。サブタンクくみ上げポンプ２００によって、液貯蔵タンク１６１から、チューブ１６５ａ、脱気装置１３０、チューブ１６５ｂ、基板内液体経路１１９、チューブ１６９ａ、インク冷却装置１３３、チューブ１６９ｂを介してサブタンク２０１へ液体をくみ上げることが可能であり、サブタンク２０１の側面には、ドレイン２０６が設けられ、液貯蔵タンク１６１からくみ上げられた液体が、一定量以上になると自動的にドレイン２０６から流れ出し、チューブ２０７によって液貯蔵タンク１６１へ戻るように構成されている。
【００２９】
サブタンクくみ上げポンプ２００を常に運転することによって、サブタンク内の液面高さを常に一定に保つようにしても良いし、液体が吐出されることによってサブタンク２０１の液面高さが下がったとしても、ドレイン２０６から液体が流れ出す高さから１０ｍｍ程度下がったことを検知可能な液面検知センサを設け、液面検知センサが、液面が下がったことを検知したときのある一定時間だけサブタンクくみ上げポンプ２００を運転するようにしてもよい。本実施例においては、液体噴射ヘッド１０３が吐出動作を行うときには、常にサブタンクくみ上げポンプ２００を動作させるようにする。このときサブタンクくみ上げポンプ２００による液体流量は、２００ｍｌ／ｍｉｎであり、サブタンクくみ上げポンプ２００としては、チューブポンプを用いる。チューブポンプは、チューブ内の液体をチューブの外側からローラによってしごくことによって搬送するポンプであり、一般的に大きな脈動を発生するポンプである。サブタンク２０１内の液体がドレイン２０６から流れ出すときの液面高さは、液体噴射ヘッド１０３の吐出口１０２の高さより、２５ｍｍ低い位置になるように、液体噴射ヘッドとサブタンク２０１に設けられたドレイン２０６の高さが決定されている。
【００３０】
次に、液貯蔵タンク１６１と液体噴射ヘッド１０３の間に配置されている脱気装置１３０の構成について、図８で示すように、脱気装置１３０の内部を拡大部２１４を用いて説明する。脱気装置１３０は、中空糸状の気体透過膜２１７が束状になっており、その中をインク２１２が流れるようになっている。中空糸状の気体透過膜２１７の周りは、真空チューブ１３２を介して真空ポンプ１３２により吸引されることにより真空状態になっている。中空糸内を流れるインク２１２から気体透過膜２１７を通して溶存気体２１６が除去される。本実施例中で用いられている脱気装置は、特開平５−１７７１２で開示されている脱気装置であり、何ら特殊なものではない。サブタンクくみ上げポンプ２００により、液供給タンク１６１からくみ上げられ、脱気装置１３０を通過した液体は、脱気された状態でチューブ１６５ｃへ流れていく。ここで、脱気装置から下流側で、脱気された液体を搬送するチューブは、すべて、気体透過性が低く、かつ、インクに対する耐性の高い材質であるＰＶＤＦチューブが用いられている。これにより、脱気装置を通過した後であっても、液体の脱気レベルはある程度維持することができる。
ヘッド冷却装置について説明する。
【００３１】
印字動作中に基板内液体経路１１９を通過した液体は、液体噴射ヘッド１０３の吐出動作により発生した熱を奪って昇温した状態で、冷却液流出出口からチューブ１６９ａを介して、液体冷却装置１３３に入る。液体冷却装置１３３は図９に示すような構成で、液体流入口１４４から入った液体が、インクに対し耐性の高いステンレス板でできた冷却プレート１４０の中に形成された冷却流路１４１を通過し、液体流出口１４５から出て行くような構成になっている。図９（ａ）に示すように、冷却プレート１４０には、フィン１４２が密着して貼り付けられ、フィン１４２の上部にはファン１４３が配置されている。液体噴射ヘッド１０３で吐出動作が行われ、サブタンクくみ上げポンプ２００が稼動しているときには、このファン１４３を動作させ、液体噴射ヘッド１０３を通過して昇温した液体が液体冷却装置１３３を通過する間に、液体の温度を低下させる。
【００３２】
ここで、液体噴射ヘッド１０３内にあるヘッド冷却用の基板内液体経路１１９と、液体冷却装置１３３内の冷却流路１４１を流れる液体は、いずれも脱気装置１３０によって脱気された液体であり。脱気された液体が通過することによって、基板内液体経路１１９および冷却流路１４１内は、完全に空気が除去された状態になる。前記２つの経路内に空気が存在する場合には、空気が断熱層の役割を果たし、いずれの場合も、効率よく熱を伝えることができないが、本実施例においては、脱気された液体を流すことで、液体経路内に空気が存在した場合であっても、時間とともに空気は液体に溶け込んで消えてしまう。したがって、基板内液体経路１１９および冷却流路１４１内で、より効率的な熱交換が行われ、液体噴射ヘッド１０３の昇温はよりおさえることができ、また、液体冷却装置１３３を通過した液体は、より温度が下がった状態とすることができる。
【００３３】
次に、サブタンク２０１について説明する。サブタンク２０１には、加圧モータ２０２とその軸２０３の反対側の端部に羽根車２０５が取り付けられ、軸２０３は軸受け２０４によって、支持されている。本発明は、サブタンクを経由して記録ヘッドに印字用のインクが流れることを特徴としている。インクカートリッジから記録ヘッド内へ直接インクを供給しない構成であるため、フルラインヘッドで高速の印字を行なった場合など大量のインク供給が必要になった時でも、メインタンク内のインク液面変動による、水頭差変化が原因のインク吐出部メニスカス変動が発生しにくいため、良好な画像を得ることが可能である。加圧モータ２０２はＤＣモータであり。電圧を印加することによって回転し、軸２０３によって羽根車２０５に回転駆動量が伝達され、サブタンク２０１内の液体をチューブ１６６へ送り出す圧力が発生するような加圧ポンプを形成している。また、加圧モータ２０２が停止しているときであっても、羽根車２０５で構成された遠心渦巻きポンプであるので、羽根車２０５の羽の間には液体が流れる充分な隙間があるため、内部で自由に液体を流すことができる。
【００３４】
羽根車２０５の高速回転によって、液体が圧送されるという動作原理から、同程度の流量を流すことが可能なダイヤフラムと逆止弁の組み合わせからなるダイヤフラムポンプや、チューブをローラでしごくことによって液を圧送するチューブポンプに比較して、液体圧送時の脈流がほとんどないという特性も有している。
【００３５】
サブタンク２０１に接続されたチューブ１６６は、他端で液体噴射ヘッド１０３のほぼ中央部に設けられた印字用の液流入口１１５に液体が供給可能なように接続される。一方、液体噴射ヘッド１０３のほぼ両端に設けられた液流出口１１３、１１４からは、チューブ１６７ａ、１６７ｂと、その合流点１６７ｃを経由し、チューブ１６７ｄ、電磁弁からなる二方弁２０８、チューブ１６８と接続され、チューブ１６８の二方弁２０８と反対側の端は、サブタンク２０１からあふれた液体が液貯蔵タンク１６１へ戻るときに流れるチューブ２０７に、サブタンク２０１の液面高さからδ（デルタ）下がった位置に達するところまでその先端が差し込まれている。ここで、二方弁２０８は電圧を印加したときに開き、印加されていないときには閉じた状態であるような電磁弁からなる二方弁である。
【００３６】
チューブ１６８の先端が、サブタンク液面高さよりδだけ低い位置にあるので、二方弁２０８に電圧を印加して開くと、記録ヘッドとサブタンクとの水頭差によって、サブタンク内の液体は、液体噴射ヘッド１０３を通過して循環する。サブタンク液面は、液体噴射ヘッド１０３の吐出口１０２の高さより２５ｍｍ低い位置になるようにドレイン２０６の高さが決められており、チューブ１６８の先端はサブタンク液面高さよりさらに低い位置になるように配置されているので、液体噴射ヘッド１０３にかかる負圧は大きなものになってしまう。そうならないために、加圧モータ２０２に電圧を若干印加して、羽根車２０５をゆるやかに回転させることにより、液体噴射ヘッド１０３に対しわずかに加圧し、液体噴射ヘッド１０３にかかる圧力を適正になるように調整する。液体噴射ヘッド１０３内のヘッド液室１０９内の圧力が、大気圧に対しー２５〜−５０ｍｍＨ２Ｏ程度になるように、加圧モータ２０２の回転数を決定する。このとき、加圧モータ２０２が動作を開始すると、加圧モータ２０２を動作させていないときに比較して、若干液体の循環量は増加することになるが、前記液体循環経路内では、フィルタなどの大きな圧力損失を発生させるものは何もなく、水頭差と加圧モータ２０２の動作によって、ヘッド液室内１０９の圧力が適正に保たれているため、液体を循環させることで、吐出口１０２からインクが漏れ出したり、逆に、空気を吸い込んだりすることはない。このときの、δの値は、２５０ｍｍ程度で、また、インクジェットヘッド１０３内を循環する流量は、１５ｍｌ／ｍｉｎ程度である。また、二方弁２０８を閉じて、加圧モータ２０２に電圧が印加されていない時には、液体噴射ヘッド１０３に、サブタンク２０１の液面高さが液体噴射ヘッド１０３の吐出口面より２５ｍｍ程度低い分だけ負圧がかかることになる。したがって、二方弁を閉じたときであっても、吐出口１０２からインクが漏れ出したり、逆に、空気を吸い込んだりすることはない。また、液体噴射ヘッド１０３が吐出動作を行わない時で、液体噴射ヘッド内を液体が循環する必要のないときには、二方弁２０８を閉じることによって循環が停止される。循環を開始したいときには、二方弁２０８を開く動作と、加圧モータ２０２を回転させる動作を同時に行う。
【００３７】
以上のように構成される液体噴射記録装置のインク供給系によって、液体の吐出を行うときの動作について説明する。
【００３８】
本発明による液体噴射記録装置が電源を入れられると、サブタンクくみ上げポンプ２００と加圧モータ２０２は同時に回転を開始し、また、二方弁２０８にも電圧が印加され流路が開かれた状態になる。また、真空ポンプ１３１も同時に運転を開始し、脱気装置１３２を通過する液体の脱気を行う。液貯蔵タンク１６１から液体は、チューブ１６５ａ、サブタンクくみ上げポンプ２００、チューブ１６５ｂ、脱気装置１３０、チューブ１６５ｃ、冷却液流入口１２０、基板内液体経路１１９、液流出口１２１、チューブ１６９ａ、液体冷却装置１３３、チューブ１６９ｂを通過して、サブタンク２０１へ流れ込む。電源を投入されたのみであり、印字開始信号を受け取っておらず、まだ吐出動作は行わないので、液体噴射ヘッド１０３の温度はまだ上昇しない。したがって、液体冷却装置値１３３に取り付けられたファン１４３の運転はまだ行わない。サブタンク２０１に流れ込んだ液体は、一部、サブタンク液面高さと、チューブ１６８の先端高さの差δ分の水頭差と、加圧モータ２０２の緩やかな回転によって、チューブ１６６、液体噴射ヘッド１０３のヘッド液室１０９、チューブ１６７、１６８を循環し、液貯蔵タンク１６１へ戻るが、多くの液体は、サブタンク２０１の側面に取り付けられたドレイン２０６から溢れ出し、チューブ２０７を通って液貯蔵タンク１６１へ戻される。このとき、ヘッド液室を循環する液体の流量は、１５ｍｌ／ｍｉｎ程度になるように、水頭差δと加圧モータ２０２に印加される電圧が調整され、基板内液体経路１１９を循環する液体の流量は、サブタンクくみ上げポンプ２００により、２００ｍｌ／ｍｉｎに設定されている。したがって、サブタンク２０１からドレイン２０６へあふれ出る液体の流量は、１８５ｍｌ／ｍｉｎとなる。真空ポンプ１３１は動作を開始しているので、サブタンク２０１内は脱気された液体で満たされ、これにより、液体噴射ヘッド１０３のヘッド液室１０９内も、脱気された液体で満たされることになる。それだけでなく、脱気装置１３０の下流側のすべての液体経路は、脱気された液体が循環しているので、もし空気が存在していた場合であっても、脱気された液体に溶解するので、インク供給経路ほぼ全体が液体のみで満たされることになり、空気は存在しない。また、前述したように、液体噴射ヘッド１０３内のヘッド液室１０９内の圧力が、大気圧に対しー２５〜−５０ｍｍＨ２Ｏ程度になるようにも、水頭差δと加圧モータの印加電圧がポンプの回転数を決定されているのと、羽根車２０５の回転と水頭差δによる循環であるので、脈動はない。さらに、循環経路内では、フィルタなどの大きな圧力損失を発生させるものは何もなく、ヘッド液室内１０９の圧力が適正に保たれているため、液体を循環させることで、吐出口１０２からインクが漏れ出したり、逆に、空気を吸い込んだりすることはない。
【００３９】
次に、印字のための信号が本発明による液体噴射記録装置に伝えられると、各ポンプやバルブの動作はそのままで、液体冷却装置値１３３に取り付けられたファン１４３の運転が開始される。そして、印字のための画像データが液体噴射ヘッド１０３へ伝えられると、素子基板１０１内に設けられた発熱素子に電圧が印加され、発熱素子に接する液体が膜沸騰圧力により吐出口１０２より吐出される。吐出された分の液体は、サブタンク２０１から液体噴射ヘッド１０３へ循環していく液体でヘッド液室１０９を通過中のものの中から、各素子基板ごとに対応するフィルタ部材１５１を通過して、共通液室１１０、スリット１０４を通って、吐出口１０２へと供給される。ひとつの素子基板１０１内で、全吐出口１０２から液体を連続して吐出するような画像データが来た場合に、フィルタ部１５１を通過する液体の量が最大になる。本実施例の場合、各吐出口１０２から吐出される一発の液滴の大きさが４ｐｌで、吐出口が、１２００ｄｐｉの解像度で配列され、ひとつの素子基板１０１に対する有効印字幅が約１インチであることから、ひとつの素子基板１０１内で吐出口１０２の総数は１２００個となる。また、各吐出口の液滴吐出周波数が１６ｋＨｚとなるように駆動するので、ひとつの素子基板１０１での最大の液滴吐出量は、５．１８４ｍｌ／ｍｉｎとなる。ここで、各素子基板１０１に対応するフィルタ部１５１の有効面積は、幅３．５ｍｍ×長さ３０ｍｍ＝１０５ｍｍ２であり、本実施例で用いているフィルタ部１５１では、流量５．１８４ｍｌ／ｍｉｎのときの実験で求めた圧力損失がほぼ１２．５ｍｍＨ２Ｏ（０．１２３ｋＰａ）であり、液滴の吐出に対し影響があるとされている２００ｍｍＨ２Ｏ（１．９６ｋＰａ）に対し、十分小さな値であるためほとんど問題ないレベルである．これは、液体噴射ヘッド１０３内にあるすべての素子基板１０１に対して、同様である。
【００４０】
また、液体噴射ヘッド１０３内の全素子基板１０１の全吐出口１０２で、液滴吐出を行った時では、全体の液体吐出量は８倍になり、４１．４７２ｍｌ／ｍｉｎとなる。実際に印字動作を行う場合には、記録媒体の切れ目があるので、その間は吐出動作を停止することになる。停止期間も含めた平均の液体吐出量は、ほぼ６０％程度になり、約２５ｍｌ／ｍｉｎとなる。印字動作を行っていないときの循環流量が１５ｍｌ／ｍｉｎであるが、吐出に使用される平均流量が２５ｍｌ／ｍｉｎであるので、その半分が、サブタンク２０１側チューブ１６８側から供給され、サブタンク２０１側から液体噴射ヘッド１０３側へ流れる平均の流量は、２７．５ｍｌ／ｍｉｎとなり、一方、チューブ１６８側へ流れる平均流量は２．５ｍｌ／ｍｉｎとなる．チューブ１６８側でも平均流量がマイナスになっていないので、吐出により、チューブ１６８側の液体がすべて消費されることはなく、吐出動作が終了すれば、再び１５ｍｌ／ｍｉｎの流量でヘッド液室１０９内を液体が循環することとなる。
【００４１】
一方、サブタンクくみ上げポンプ２００は、吐出動作中であっても２００ｍｌ／ｍｉｎの流量で動作を行っているので、サブタンク２０１から流れ出る吐出時のる最大平均流量の２７．５ｍｌ／ｍｉｎより充分大きな値であり、サブタンクの液面が下がってしまうことはない。また、サブタンク２０１へ供給される液体は、基板内液体通路を通過し、吐出動作による熱を奪った後液体冷却装置１３３で放熱しサブタンク２０１へ供給されることになるので、サブタンク２０１内の液体温度は、液体貯蔵タンク１６１の液体温度と大差ない。また、ヘッド液室１０９を通過して、吐出動作による熱を奪った後チューブ１６８から液貯蔵タンク１６１へ戻される液体温度は、上昇してしまうが、印字動作中は、液貯蔵タンク１６１内の液体は、液体冷却装置１３３を通過して、サブタンク２０１から戻ってきたものの流量が最小でも、１７２．５ｍｌ／ｍｉｎであり、一方チューブ１６８から液貯蔵タンク１６１へ戻る液体流量は最大でも１５ｍｌ／ｍｉｎであり、１０倍以上の差があることから、液貯蔵タンク内の液体温度はさほど上昇しない。
【００４２】
このように、印字動作を行うときには必ず、基板内液体経路１１９を液体を通過させるだけでなく、ヘッド液室１０９内でも液体を循環させることによって、特に、多くの吐出口１０２で吐出動作を行うようにした場合であっても、液体噴射ヘッド１０３の温度上昇を防止することが可能になる。
【００４３】
また、液体噴射ヘッド１０３をインク供給系と接続した直後や、吐出動作をしばらく行わなかったときには、印字動作を開始する前に加圧モータ２０２により加圧回復動作を行う。加圧モータ２０２を吐出動作を行うときの回転数よりはるかに大きな回転数で動作させ、ヘッド液室内の圧力が０．０４ＭＰａ程度以上になるまで加圧する。このとき、二方弁２０８は閉じた状態とし、液体は流れない状態となっているので、加圧された液体は、吐出口１０２から液体噴射ヘッド１０３内に残留する空気などといっしょに排出され、液体噴射ヘッド１０３内全体が液体で満たされた状態になる。
【００４４】
吐出動作によって、サブタンク２０１内の液体が消費された場合でも、サブタンクくみ上げポンプ２００が常時運転されて吐出で消費される液体より多い量の液体が液貯蔵タンク１６１より供給されているため、サブタンク２０１内の液面高さは常に一定となっている。また、サブタンク２０１には脱気装置１３０と液体冷却装置１３３を通過した液体が常時供給されるため、液体噴射ヘッド１０３へは脱気され、かつ冷却された状態のインクが液体噴射ヘッド１０３へ供給されることになる。
【００４５】
一般的に、液体噴射ヘッドへ脱気されたインクを供給すると、吐出が安定することが知られている。本実施例のように、液体噴射ヘッド１０３が吐出動作を行うときには、脱気されかつ冷却されたインクを液体噴射ヘッド１０３のヘッド液室１０９内を常時循環するように供給することによって、脱気インクを供給ることによる吐出安定作用だけでなく、ベース基板内の基板内液体経路１１９をインクが常時循環することと、ヘッド液室内１０９をインクが常時循環することが重なって、液体噴射ヘッド１０３が連続的に吐出動作を行う場合であっても、液体噴射ヘッド１０３の昇温は抑えることが可能で、昇温による吐出量の増大を生じることもなく非常に、安定した吐出を実現可能な液体噴射記録装置を提供することが可能である。また、ヘッド液室内のインクの循環を、水頭差と、加圧モータ２０２のゆるやかな回転によって実現することによって、脈動もなく、可動部分が少ないことによる高耐久、高信頼の装置を提供することが可能になる。
【００４６】
（実施例２）
本発明の液体噴射記録装置の第２の実施例について、図１０、図１１を用いて説明する。図１０は本発明の第二の実施例である液体噴射記録装置のインク供給系の構成を示す図で、図１１は本実施例中で液吸引ポンプ１６３として使用するギヤポンプの構成を示す図である。第１の実施例と概ね同様の構成であるが一部異なっているので、その部分についてのみ説明する。
【００４７】
図１０のインク供給系の構成において第１の実施例と異なる部分は、インク冷却装置１３３がサブタンク２０１と液体噴射ヘッド１０３をつなぐ経路の途中にある点と、チューブ１６７ｄとチューブ１６８の間には、第１の実施例の二方弁２０８の代わりに、液吸引ポンプ１６３を配置し、チューブ１６８のもう一方の端部を、サブタンク２０１に導くようにした点である。それ以外の部分は、すべて第一の実施例と同じである。
【００４８】
次に、図１１によって、液吸引ポンプ１６３の構成を説明する。液吸引ポンプは２つのかみ合うギヤの回転によって液体を圧送するギヤポンプであり、図１１（ａ）に液吸引ポンプ１６２の外観図、図１１（ｂ）に、液吸引ポンプ１６３の動作原理を説明する図を示す。１８２は、ギヤを駆動するためのＤＣモータで、マグネット回転伝達部１８３を介して、ポンプヘッド１８１内の駆動ギヤ１８６へ駆動力を伝達する。ポンプヘッド１８１の中では、図１１（ｂ）に示すように、ケーシング１９０の中で、駆動ギヤ１８６と従動ギヤ１８７がかみ合った状態で配置され、ギヤの噛み合い部の左右の液流入口１８８と液流出口１８９の部分を除くとほぼギヤの歯先円とほとんど隙間のない形状に作られたポンプ液室１９１がある。液流入口１８８は、ポンプヘッド１８１の側面に設けられた液流入口１８４と連通しており、一方、液流出口１８９は、ポンプヘッド１８１の液流入口１８４と反対側に開けられている液流出口に連通している。ＤＣモータ１８２に通電され、回転駆動力がマグネット回転伝達部１８３を介して駆動ギヤ１８６に伝達されると、従動ギヤ１８７といっしょに図６（ｂ）中の矢印方向に回転を始める。それぞれのギヤの歯先とケーシング１９０内のポンプ液室１９１の内壁はほとんど隙間がないため、それぞれのギヤの歯の間に入った液体は、ポンプ液室内壁との間に保持されて矢印方向に搬送される。ギヤの噛み合い部では、お互いの歯の間に噛み合う歯が存在するため、液体はわずかな量は搬送されるのみで、ケーシング１９０ギヤの間で搬送される液体のほうがはるかに多くの量の液体が搬送される。したがって、ポンプ液室１９１内で、液流入口１８８側が負圧、液流出口１８９側が正圧となり、液体が圧送されることになる。
【００４９】
このギヤポンプの特性として、ケーシング１９０とそれぞれのギヤの歯の間にはさまれた一定容積の液体を搬送することから、ポンプ前後がある一定値以下の圧力差でギヤの回転数が一定であれば、ポンプの前後の圧力差によらず、ほぼ一定の流量を流すことができる。また、ギヤの歯の間とケーシング１９０とで形成される空間は非常に小さな空間であるため、加圧モータ２０２と羽根車２０５による加圧ポンプと同様に、同程度の流量のダイヤフラムポンプやチューブポンプに比較して、液体搬送時の脈流はほとんど無視できるくらいに小さなものである。
【００５０】
装置の電源投入時には、第一の実施例と同様に、サブタンクくみ上げポンプ２００と加圧モータ２０２、および、液吸引ポンプ１６３は同時に運転を開始する。また、真空ポンプ１３１も同時に運転を開始し、脱気装置１３２を通過する液体の脱気を行う。液貯蔵タンク１６１から液体は、チューブ１６５ａ、サブタンクくみ上げポンプ２００、チューブ１６５ｂ、脱気装置１３０、チューブ１６５ｃ、冷却液流入口１２０、基板内液体経路１１９、液流出口１２１、チューブ１６９を通過して、サブタンク２０１へ流れ込む。サブタンク２０１に流れ込んだ液体は、一部、液吸引ポンプ１６３と、加圧モータ２０２の緩やかな回転によって、チューブ１６６ａ、液体冷却装置値１３３、チューブ１６６ｂ、液体噴射ヘッド１０３のヘッド液室１０９、チューブ１６７、１６８を循環し、サブタンク２０１へ戻るが、多くの液体は、サブタンク２０１の側面に取り付けられたドレイン２０６から溢れ出し、チューブ２０７を通って液貯蔵タンク１６１へ戻される。電源を投入されたのみであり、印字開始信号を受け取っておらず、まだ吐出動作は行わないので、液体噴射ヘッド１０３の温度はまだ上昇しない。したがって、液体冷却装置値１３３に取り付けられたファン１４３の運転はまだ行わない。
【００５１】
このとき、液吸引ポンプ１６３の流量は、１５ｍｌ／ｍｉｎになるように、液吸引ポンプ１６３のＤＣモータ１８２へ電圧がかけられる。液吸引ポンプ１６３のみによって送液動作が行われるときには、第一の実施例と同様に液体噴射ヘッド１０３は、液吸引ポンプ１６３の吸引力と、液貯蔵タンク１６１から液流入口１１５までのインク供給経路内の配管抵抗とによって、負圧が大きくかかってしまう。インジェットヘッド１０３にかかる腑圧が大きくなりすぎると、吐出口１０２に形成されたメニスカスが液体噴射ヘッド１０３内の負圧によって、液体噴射ヘッド１０３内に引き込むように破壊され、それに伴って、吐出口１０２から空気を吸い込んでしまい、液体噴射ヘッド１０３は吐出不能な状態になってしまう。このように、液体噴射ヘッド１０３内の負圧が強くなりすぎないようにするために、液吸引ポンプ１６３の動作と同時に、加圧モータ２０２も動作を開始させ、液体噴射ヘッド１０３内の負圧を適正に保つように、その回転条件を決定している。液体噴射ヘッド１０３内のヘッド液室１０９内の圧力が、大気圧に対しー２５〜−５０ｍｍＨ２Ｏ程度になるように、加圧モータ２０２の回転数を決定する。このとき、加圧モータ２０２が動作を開始しても、液体の流量は液吸引ポンプ１６３の回転数によって決定され、前記液体循環経路内で、液体は１５ｍｌ／ｍｉｎの流量で循環する。このとき、液体循環経路内では、フィルタなどの大きな圧力損失を発生させるものは何もなく、液吸引ポンプ１６３と加圧モータ２０２の動作によって、ヘッド液室内１０９の圧力が適正に保たれているため、液体を循環させることで、吐出口１０２からインクが漏れ出したり、逆に、空気を吸い込んだりすることはない。
【００５２】
また、基板内液体経路１１９を循環する液体の流量は、サブタンクくみ上げポンプ２００により、２００ｍｌ／ｍｉｎに設定されている。したがって、サブタンク２０１からドレイン２０６へあふれ出る液体の流量は、１８５ｍｌ／ｍｉｎとなる。真空ポンプ１３１は動作を開始しているので、サブタンク２０１内は脱気された液体で満たされ、これにより、液体噴射ヘッド１０３のヘッド液室１０９内も、脱気された液体で満たされることになる。それだけでなく、脱気装置１３０の下流側のすべての液体経路は、脱気された液体が循環しているので、もし空気が存在していた場合であっても、脱気された液体に溶解するので、インク供給経路ほぼ全体が液体のみで満たされることになり、空気は存在しない。また、前述したように、液体噴射ヘッド１０３内のヘッド液室１０９内の圧力が、大気圧に対しー２５〜−５０ｍｍＨ２Ｏ程度になるようにも、液吸引ポンプ１６３と加圧モータの印加電圧が決定されているのと、羽根車２０５の回転とギヤポンプによる循環であるので、このときの流れに脈動はない。さらに、循環経路内では、フィルタなどの大きな圧力損失を発生させるものは何もなく、ヘッド液室内１０９の圧力が適正に保たれているため、液体を循環させることで、吐出口１０２からインクが漏れ出したり、逆に、空気を吸い込んだりすることはない。
【００５３】
また、第一の実施例と同様に、液体噴射ヘッド１０３をインク供給系と接続した直後や、吐出動作をしばらく行わなかったときには、印字動作を開始する前に加圧モータ２０２により加圧回復動作を行う。加圧モータ２０２を吐出動作を行うときの回転数よりはるかに大きな回転数で動作させ、ヘッド液室内の圧力が０．０４ＭＰａ程度以上になるまで加圧する。このとき、液吸引ポンプ１６３は動作を停止しており、液体をほとんど流さない状態となっているので、加圧された液体は、吐出口１０２から液体噴射ヘッド１０３内に残留する空気などといっしょに排出され、液体噴射ヘッド１０３内全体が液体で満たされた状態になる。
【００５４】
吐出動作によって、サブタンク２０１内の液体が消費された場合でも、サブタンクくみ上げポンプ２００が常時運転されて吐出で消費される液体より多い量の液体が液貯蔵タンク１６１より供給されているため、サブタンク２０１内の液面高さは常に一定となっている。また、液貯蔵タンク１６１内の液体を常時基板内液体経路１１９を循環することに加えて、液体冷却装置１３３によって、冷却されしかも脱気された液体が液体噴射ヘッド１０３に循環しながら供給されることになるため、より効果的に液体噴射ヘッド１０３の冷却が行われ、さらに、安定した吐出動作を行うことが可能となる。
【００５５】
また、本実施例では、サブタンク２０１の液面高さが液体噴射ヘッド１０３の吐出口１０２の高さより、２５ｍｍ下がった位置に設定されているので、液体噴射ヘッドが吐出動作を行わない時で、液体の循環動作も行わないときには、液体噴射ヘッド１０３の吐出口１０２には、−２５ｍｍＨ２Ｏという、液体噴射ヘッド１０３には適正な負圧のみがかかるように構成されていおり、吐出動作を行わないときであっても、吐出口１０２から空気を吸い込んでしまったり、吐出口１０２から液体をたらしてしまうことはない。
【００５６】
（実施例３）
本発明の液体噴射記録装置の第３の実施例について図１２を用いて説明する。
【００５７】
本実施例は、第二の実施例とは、脱気装置１３０の配置をサブタンク２０１の下流側にしたことと、チューブ１６８の先端を液貯蔵タンク１６１に接続したことのみ異なり、他はすべて同一である。脱気装置を、液体噴射ヘッドのすぐそばに配置することで、第一、第二の実施例と同じレベルに脱気された液体を液体噴射ヘッドに供給しようとした場合、本実施例のほうが脱気装置１３０自体と真空ポンプ１３１も含めての能力をより低くすることが可能であり、より小型で低価格の液体噴射記録装置に適した構成である。
【００５８】
また、本実施例では、液体冷却装置１３３をサブタンクと、液体噴射ヘッド１０３の間に配置したが、図１３で示すように液貯蔵タンク１６１と液体噴射ヘッド１０３の間に配置しても良い。基板内液体経路１１９を通過する前に、液体の温度を下げることで、より効率的に、液体噴射ヘッド１０３の昇温を抑えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明のインクジェット記録装置のインク供給系
【図２】本発明のインクジェット記録装置のヘッド斜視図
【図３】本発明のインクジェット記録装置のヘッド斜視図
【図４】本発明のインクジェット記録装置のヘッド斜視図
【図５】本発明のインクジェット記録装置のヘッド斜視図
【図６】インクジェットヘッド詳細図
【図７】ヘッド断面図
【図８】脱気装置の説明図
【図９】液体冷却装置の構成図
【図１０】第３の液体供給経路に液体冷却装置を使用した例
【図１１】本発明に用いる液供給ポンプ（遠心ポンプ）と液体吸引ポンプ（ギアポンプ）
【図１２】第３の液体供給経路に脱気装置を使用した例
【図１３】第１の液体供給経路に液体冷却装置を使用した例
【図１４】特許文献１記載の従来例
【図１５】特許文献１記載の従来例
【図１６】特許文献１記載の従来例
【図１７】特許文献１記載の従来例
【図１８】特許文献２記載の従来例
【図１９】特許文献２記載の従来例
【図２０】特許文献２記載の従来例
【符号の説明】
【００６０】
１０１  素子基板
１０２  吐出口
１０３  液体噴射ヘッド
１０６  フレキシブル配線基板
１０９  ヘッド液室
１１０  共通液室
１１１  ベース基板上
１１２  ヘッド液室部材
１１３  液流出口
１１４  液流出口
１１５  液流入口
１１８  ベ−ス基板下
１１９  基板内液体経路
１２０  冷却液流入口
１２１  冷却液流出口
１３０  脱気装置
１３３  液体冷却装置
１４０  冷却プレート
１４１  冷却流路
１４４  液体流入口
１４５  液体流出口
１６１  液貯蔵タンク
１６３  液吸引ポンプ
２００  サブタンクくみ上げポンプ
２０１  サブタンク
２０６  ドレイン
２１６  溶存気体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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