(57)【要約】【課題】半導体チップからマザーボードまでの電流経路のインダクタンスを極力小さくする。【解決手段】半導体チップ１０１と、半導体チップを実装するインターポーザ基板４０６とを具備し、インターポーザ基板は、半導体チップの周囲に配置され、櫛歯構造の複数の突起状の第１の配線部４０３ａであって半導体チップのグラウンドパッドと接続される第１の配線部を有するグラウンド用周回配線４０３と、半導体チップの周囲に配置され、櫛歯構造で且つグラウンド用周回配線の突起状の第１の配線部と交互に形成された複数の突起状の第２の配線部４０４ａであって半導体チップの電源パッドと接続される第２の配線部を有する電源用周回配線４０４と、第１の配線部に配置され、第１の配線部をグラウンドと接続するためのグラウンド用ビア４０５ｂと、第２の配線部に配置され、第２の配線部を電源と接続するための電源用ビア４０５ａとを備える。【選択図】      図１
2006344740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップと、
該半導体チップを実装するインターポーザ基板とを具備し、
前記インターポーザ基板は、
該半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップのグラウンドパッドと接続される、櫛歯構造をなす複数の突起状の第１の配線部を有するグラウンド用周回配線と、
前記半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップの電源パッドと接続され、且つ前記グラウンド用周回配線の突起状の第１の配線部と交互に形成された櫛歯構造をなす複数の突起状の第２の配線部を有する電源用周回配線と、
前記第１の配線部に配置され、該第１の配線部をグラウンドと接続するためのグラウンド用ビアと、
前記第２の配線部に配置され、該第２の配線部を電源と接続するための電源用ビアとを備えることを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項２】
前記第１及び第２の配線部の幅が０．３ｍｍ以上であり、且つ交互に配置された前記第１及び第２の配線部の噛み合う長さが０．３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージ。
【請求項３】
前記第１及び第２の配線部の先端が円弧形状であることを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージ。
【請求項４】
前記第１及び第２の配線部の先端の円弧形状の直径が０．３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項３に記載の半導体パッケージ。
【請求項５】
前記第１及び第２の配線部の先端が波型形状であることを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージ。
【請求項６】
前記グラウンド用周回配線と前記電源用周回配線とが弧状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体パッケージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体パッケージは、半導体チップとマザーボード基板を電気的に接続するという役割を持っている。具体的には、半導体チップにマザーボードから安定した電源を供給する役割と、半導体チップ内部回路で生成した信号をマザーボード基板上配線に伝達する、また逆にマザーボード基板上配線の信号を半導体チップに伝達する役割の２つがある。しかし、近年の電子回路の高速化、高集積化により電源／グラウンドバウンスノイズが発生し、半導体チップへの電源供給品質が低下する傾向にある。その結果、電源／グラウンドバウンスノイズが出力回路に伝搬して、そのノイズがマザーボード上に拡がっていくことで放射ノイズの増大を招いている。
【０００３】
電源／グラウンドバウンスの変動は、配線のパターンによって増減するインダクタンス成分に高周波電流が流れることが原因で発生する。そのインダクタンス成分は配線の長さに比例して大きくなるため、半導体チップからマザーボードまでの電気経路を如何に短くするかが重要であり、半導体およびそれを搭載したプリント回路板の性能を決めるパラメータの一つとなっている。
【０００４】
図９に示すように、従来は、半導体チップ１１０１全体に安定した電源を供給するために、半導体チップ内部でも電源用周回配線およびグラウンド用周回配線を設けている。さらに半導体チップ近傍のインターポーザ基板上にも電源用周回配線１１０２およびグラウンド用周回配線１１０３を配置している。通常、デバイスの動作上、グラウンド側のマージンが厳しいため、少しでも配線が短くなるようにグラウンド用周回配線を内側、すなわち半導体チップ近傍側に配置する。その外側に電源用周回配線を配置する。半導体チップ上のパッドと電源用周回配線およびグラウンド用周回配線を電気的に接続するためにワイヤボンディング配線１１０４ａ，１１０４ｂが使用される。このような場合、グラウンド用ワイヤボンディング配線１１０４ｂは短くなるが、電源用ワイヤボンディング配線１１０４ａは電源用周回配線１１０２が外側にある限り、グラウンド用より長くなる。
【０００５】
そこで、両者共に短くするために、特開平１１−１２５７６７号公報（特許文献１）には、ワイヤボンディングパッドを入れ子構造に配置して、そのパッドを周回配線と電気的に接続することが開示されている。また、同様な従来例として、特開２０００−２６０８０９号公報（特許文献２）には、図１０に示すように、半導体チップ１１０１の周囲のグラウンド用周回配線１１０５及び電源用周回配線１１０６を櫛歯状にした構造のパッケージが提案されている。
【特許文献１】特開平１１−１２５７６７号公報
【特許文献２】特開２０００−２６０８０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来例では半導体チップから電源／グラウンド用周回配線までのインダクタンス成分は小さくできるが、マザーボードまでの電流経路を最短にできない欠点があった。
【０００７】
その理由を、図１１および図１２を用いて説明する。図１１は半導体チップ２０１からマザーボードまでのグラウンド配線経路を示す図であり、図１２は半導体チップ２０１からマザーボードまでの電源配線経路を示す図である。
【０００８】
半導体チップ２０１上の電源／グラウンドパッドからマザーボード上の電源／グラウンドパッドまでの電流経路２１１，３１１としては、半導体チップ２０１上のパッド、ワイヤボンディング配線２０２，３０２、インターポーザ基板上ボンディングパッド及び電源／グラウンド用周回配線２０３，２０４、ビア２０５，３０５、インターポーザ基板２０６が多層の場合はグラウンドプレーン２０７及び電源プレーン２０８、ビア２１５，３１５、ボール２１０，３１０、マザーボード上パッドが挙げられる。この場合、ワイヤボンディングパッド２０３，２０４を入れ子構造とする、もしくは電源／グラウンド用周回配線２０３，２０４を櫛歯状とするだけでは、図１１、図１２に２０２ａ，３０２ａで示すような無駄な配線長が生じてしまい、ワイヤボンディング配線２０２，３０２がパッドもしくは周回配線と接続した点からビア２０５，３０５で電源／グラウンドプレーン２０７，２０８もしくは裏層２０９に繋がる経路が最短ではなくなるという問題がある。
【０００９】
したがって、本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、半導体チップからマザーボードまでの電流経路のインダクタンスを極力小さくすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わる半導体パッケージは、半導体チップと、該半導体チップを実装するインターポーザ基板とを具備し、前記インターポーザ基板は、該半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップのグラウンドパッドと接続される、櫛歯構造をなす複数の突起状の第１の配線部を有するグラウンド用周回配線と、前記半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップの電源パッドと接続され、且つ前記グラウンド用周回配線の突起状の第１の配線部と交互に形成された櫛歯構造をなす複数の突起状の第２の配線部を有する電源用周回配線と、前記第１の配線部に配置され、該第１の配線部をグラウンドと接続するためのグラウンド用ビアと、前記第２の配線部に配置され、該第２の配線部を電源と接続するための電源用ビアとを備えることを特徴とする。
【００１１】
また、この発明に係わる半導体パッケージにおいて、前記第１及び第２の配線部の幅が０．３ｍｍ以上であり、且つ交互に配置された前記第１及び第２の配線部の噛み合う長さが０．３ｍｍ以上であることを特徴とする。
【００１２】
また、この発明に係わる半導体パッケージにおいて、前記第１及び第２の配線部の先端が円弧形状であることを特徴とする。
【００１３】
また、この発明に係わる半導体パッケージにおいて、前記第１及び第２の配線部の先端の円弧形状の直径が０．３ｍｍ以上であることを特徴とする。
【００１４】
また、この発明に係わる半導体パッケージにおいて、前記第１及び第２の配線部の先端が波型形状であることを特徴とする。
【００１５】
また、この発明に係わる半導体パッケージにおいて、前記グラウンド用周回配線と前記電源用周回配線とが弧状に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、半導体チップからマザーボードまでの電流経路のインダクタンスを極力小さくすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本発明の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【００１９】
半導体チップ１０１に安定な電源供給を行うために、インターポーザ基板４０６上の電源用周回配線４０４とグラウンド用周回配線４０３間を櫛歯状の構造とする。その櫛歯状（突起）部分４０４ａ，４０３ａにワイヤボンディング配線１０２ａ，１０２ｂを接続すると同時に、電源用ビア４０５ａ及びグラウンド用ビア４０５ｂを櫛歯状部分の近傍に設けた構造とする。このとき、電源用ワイヤボンディング配線１０２ａとグラウンド用ワイヤボンディング配線１０２ｂをほぼ等長とし、電源用ビア４０５ａとグラウンド用ビア４０５ｂをほぼ一直線上に並ぶように配置する。
【００２０】
以下、各実施形態について具体的に説明する。
【００２１】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る半導体パッケージと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線との接続状態を示す平面図である。図２及び図３は、第１の実施形態の半導体パッケージの側断面図である。
【００２２】
図１乃至図３において、半導体パッケージは、半導体チップ１０１と、ワイヤボンディング配線１０２ａ，１０２ｂと、電源用周回配線４０４とグラウンド用周回配線４０３とビア４０５ａ，４０５ｂ，４１５ａ，４１５ｂとを有するインターポーザ基板４０６とを備えている。
【００２３】
電源用周回配線４０４とグラウンド用周回配線４０３間には、櫛歯状構造が形成されている。すなわち、電源用周回配線４０４及びグラウンド用周回配線４０３には、交互に延びる突起配線４０４ａ，４０３ａが形成されている。そして、電源用周回配線４０４から延びる突起配線４０４ａには、半導体チップ１０１の電源用接続パッドがワイヤボンディング配線１０２ａにより接続されている。また、グラウンド用周回配線部４０３から延びる突起配線４０３ａには、半導体チップ１０１のグラウンド用接続パッドがワイヤボンディング配線１０２ｂにより接続されている。
【００２４】
この突起配線４０４ａ上には、図１、図３に示すように、多層構造のインターポーザ基板４０６の内部電源プレーン４０８と電気的に接続される電源ビア４０５ａが配置されている。また、突起配線４０３ａ上には、図１、図２に示すように、多層構造のインターポーザ基板４０６の内部グラウンドプレーン４０７と電気的に接続されるグラウンドビア４０５ｂが配置されている。なお、複数の電源ビア４０５ａとグラウンドビア４０５ｂは、図１において一直線上に並ぶように、突起配線４０４ａ及び突起配線４０３ａのそれぞれの中間部に配置されるのが好ましい。
【００２５】
また、櫛歯状の電源配線部（突起配線４０４ａ）とグラウンド配線部（突起配線４０３ａ）の幅は０．３ｍｍ以上、櫛歯状電源配線部とグラウンド配線部の噛み合う長さは０．３ｍｍ以上とする。これにより、電源供給を安定に確保できる。また、高周波電流による電圧変動はインダクタンス成分が支配的なので、櫛歯状の電源配線部とグラウンド配線部に配置されるビア径は０．３ｍｍ以上とする。これにより、インダクタンス成分を小さくできる。
【００２６】
内部電源プレーン４０８は、さらに電源ビア４１５ａにより、はんだボール５１０を介して、マザーボード基板２００１の電源用パッド２００２に接続されている。また、内部グラウンドプレーン４０７は、さらにグラウンドビア４１５ｂにより、はんだボール４１０を介して、マザーボード基板２００１のグラウンド用パッド２００３に接続されている。
【００２７】
なお、インターポーザ基板４０６が多層構造でない場合には、突起配線４０４ａが、電源ビア４０５ａとはんだボールを介して、直接マザーボード基板２００１の電源用パッドに接続される。また、同様に、突起配線４０３ａが、グラウンドビア４０５ｂを介して、直接マザーボード基板２００１のグラウンド用パッドに接続される。
【００２８】
上記のように、本実施形態では、電源用周回配線４０４とグラウンド用周回配線４０３間に櫛歯状構造を形成しているので、電源用ワイヤボンディング配線１０２ａとグラウンド用ワイヤボンディング配線１０２ｂをほぼ等長とすることができる。これにより、インダクタンスを小さくするとともに、等長にして隣接して配置するために、相互インダクタンスが働き、実効インダクタンスを低減させることができる。
【００２９】
また、電源ビア４０５ａが突起配線４０４ａ部に配置され、グラウンドビア４０５ｂが突起配線４０３ａ部に配置されていることにより、図１１、図１２に２０２ａ，３０２ａで示したような無駄な配線長が無くなり、半導体チップ１０１からマザーボード基板２００１のはんだボール５１０，４１０までの電流経路を最短にすることができる。さらに、電源ビア４０５ａとグラウンドビア４０５ｂを近傍に配置できるため、ワイヤボンディング配線同様、実効インダクタンスを低減させることができる。
【００３０】
（第２の実施形態）
図４は、第２の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【００３１】
第２の実施形態は、半導体チップ１０１の電源用パッドの間に複数のグラウンド用パッドが存在する例である。
【００３２】
図４に示すように、半導体チップ１０１の電源用パッド１０１ｃの間に複数のグラウンド用パッド１０１ｄ，１０１ｅが存在する場合には、電源用パッド１０１ｃに対応する突起配線４０４ａの間の突起配線４０３ａをグラウンド用パッド１０１ｄ，１０１ｅの数分だけ連続した形状とする。そして、隣に電源用パッドが存在しないグラウンドパッド１０１ｅに対応するワイヤボンディング配線１０２ｃは、両隣のワイヤボンディング配線１０２ｂと同一長さとせず、図４に示すようにグラウンド用ビア４０５ｂに対して電流経路が最短の長さとなるように設定する。
【００３３】
このようにすることで、半導体チップ１０１の電源用パッドの間に複数のグラウンド用パッドが存在する場合でも、半導体チップ１０１からマザーボード基板２００１のはんだボール４１０までの電流経路を最短にすることができる。
【００３４】
（第３の実施形態）
図５は、第３の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【００３５】
この第３の実施形態では、半導体チップ１０１の電源用パッドの間に複数のグラウンド用パッドが存在する場合でも、第２の実施形態のように電源用パッド１０１ｃに対応する突起配線４０４ａの間の突起配線４０３ａをグラウンド用パッド１０１ｄ，１０１ｅの数分だけ連続した形状とはせず、電源側の突起配線４０４ｂを１つ追加する。
【００３６】
これにより、電源／グラウンド間の容量が増えることで、電源系インピーダンスを低く、安定に保つ効果が得られる。
【００３７】
（第４の実施形態）
図６は、第４の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【００３８】
この第４の実施形態では、第１の実施形態における突起配線４０４ａ，４０３ａの先端部分をビア４０５ａ，４０５ｂの形状に準じた円形である構造とする。こうすることで、より櫛歯状配線部分（突起配線４０４ａ，４０３ａ）を短くすることができるため、インダクタンスも低減できる効果がある。
【００３９】
なお、櫛歯状の電源配線部とグラウンド配線部の先端（突起配線４０４ａ，４０３ａの先端）の円形の直径は０．３ｍｍ以上とする。これにより、電源供給を安定に確保できる。
【００４０】
（第５の実施形態）
図７は、第５の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【００４１】
この第５の実施形態では、第１の実施形態における櫛歯状配線（電源用周回配線４０４、突起配線４０４ａ、グラウンド用周回配線４０３、突起配線４０３ａ）を波型の構造とする。
【００４２】
波型の形状とすることで、櫛歯状（突起）構造とするよりも平面（ベタ）に近い形となるので、安定した電源の供給が可能となる。
【００４３】
（第６の実施形態）
図８は、第６の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【００４４】
この第６の実施形態では、第１の実施形態の構造において、チップサイズとパッケージサイズの関係から発生するワイヤボンディングの長さの違いを相殺するために、電源用周回配線４０４とグラウンド用周回配線４０３間で櫛歯状構造を作りつつ、電源用周回配線４０４とグラウンド用周回配線４０３を円弧状とする。こうすることで、チップ４角におけるワイヤボンディングの長さの違いをなくし、インダクタンスも最小限に抑える効果が得られる。
【００４５】
以上説明したように、上記の実施形態によれば、電源用周回配線とグラウンド用周回配線間で櫛歯状構造とすることで、電源用ワイヤボンディングとグラウンド用ワイヤボンディングを短くかつ等長にすることができる。短くすることで、ワイヤボンディング部のインダクタンス成分を低くできる。また、等長にすることで相互インダクタンス作用により、実効インダクタンスを低減させることができるため、高周波電流が流れた際の電圧変動を抑制することができる。さらに、櫛歯状配線部に電源／グラウンドプレーンまたは電源／グラウンドパターンと電気接続するビアを設けることで、ボンディングされた地点からビアを経由して、マザーボードまでの電流経路を最短にすることができる。また、電源とグラウンド電流経路を常に近傍で平行させた構成にできるため、マザーボードに配置させるバイパスコンデンサまでの距離を短くでき、高周波電流による電圧変動を抑制することが可能となる。
【００４６】
また、櫛歯状の電源配線部とグラウンド配線部の幅を０．３ｍｍ以上、櫛歯状電源配線部とグラウンド配線部の噛み合う長さを０．３ｍｍ以上とすることで、電源供給を安定に確保できる。高周波電流による電圧変動はインダクタンス成分が支配的なので、櫛歯状の電源配線部とグラウンド配線部に配置されるビア径を０．３ｍｍ以上とすることでインダクタンス成分を小さくできる。
【００４７】
また、櫛歯状の電源配線部とグラウンド配線部の先端が円形であることで、ビアを配置したときに無駄な配線部を最小限に抑えた櫛歯を構成することができる。従って、インダクタンス成分も最小に抑えることができる。
【００４８】
また、櫛歯状の電源配線部とグラウンド配線部の先端の円形の直径を０．３ｍｍ以上とすることで、電源供給を安定に確保できる。
【００４９】
また、櫛歯状の電源配線部とグラウンド配線部を波形とすることで、櫛歯状構造のような突起を設けるよりも平面（ベタ）に近い形とし、電源とグラウンド間の容量を増やした構造とすることでより安定した電源を供給できる。
【００５０】
また、櫛歯状の電源配線とグラウンド配線を弧状構造とすることで、チップサイズとパッケージサイズの関係から発生するワイヤボンディングの長さの違いによるインダクタンス成分を等しくかつ小さくすることができる。チップ４角に配置される電源用およびグラウンド用ワイヤボンディング長はチップの辺の中央に配置されるワイヤボンディング長より長くなってしまう。その長くなった分を櫛歯状の電源配線とグラウンド配線を弧状構造とすることで相殺させる。そして、半導体チップ全体に安定した電源を供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る半導体パッケージと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線との接続状態を示す平面図である。
【図２】第１の実施形態におけるグラウンド側の電流経路を説明する図である。
【図３】第１の実施形態における電源側の電流経路を説明する図である。
【図４】第２の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【図５】第３の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【図６】第４の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【図７】第５の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【図８】第６の実施形態における、半導体チップと電源用周回配線及びグラウンド用周回配線の接続状態を示す平面図である。
【図９】従来例を示す図である。
【図１０】従来例を示す図である。
【図１１】従来例におけるグラウンド側の電流経路を説明する図である。
【図１２】従来例における電源側の電流経路を説明する図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０１  半導体チップ
１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ  ワイヤボンディング配線
４０３  グラウンド用周回配線
４０４  電源用周回配線
４０５ａ  電源ビア
４０５ｂ  グラウンドビア
４０６  インターポーザ基板
４０７  グラウンドプレーン
４０８  電源プレーン
４０９  インターポーザ基板の裏層
４１０，５１０  はんだボール
４１１  グラウンド側電流経路
５１１  電源側電流経路
【図１】
2006344740.tif 000003
【図２】
2006344740.tif 000004
【図３】
2006344740.tif 000005
【図４】
2006344740.tif 000006
【図５】
2006344740.tif 000007
【図６】
2006344740.tif 000008
【図７】
2006344740.tif 000009
【図８】
2006344740.tif 000010
【図９】
2006344740.tif 000011
【図１０】
2006344740.tif 000012
【図１１】
2006344740.tif 000013
【図１２】
2006344740.tif 000014