(57)【要約】    【課題】  拡がり振動による影響を受け難い良好な共振特性を得ることができ、しかも電極構造が簡便であり、部品点数を低減することが可能である輪郭滑り振動モードを利用した圧電共振素子を提供する。    【解決手段】  正方形板状の圧電板２の第１の主面２ａ上に、中心を通り、対向し合う一組の辺の中点を結ぶ第１の仮想線と、第１の仮想線に直交し、対向し合う他の組の辺の中点を結ぶ第２の仮想線により隔てられている第１〜第４の電極３３〜３６が形成されており、第２の主面２ｂに、第１〜第４の電極３３〜３６と圧電板２を介して対向するように共通電極３７が形成されており、第１の主面の中心を介して斜め方向に対向するように配置されている第１，第３の電極３３，３５と、中心を介して斜め方向に対向するように配置されている第２，第４の電極３４，３６とに、異なる電位が印加されて、輪郭滑りモードが利用され得るように構成されている、圧電共振素子１。【選択図】      図１
2006311443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向し合う第１，第２の主面を有し、厚み方向に分極されており、第１，第２の主面の平面形状が正方形である圧電板と、
前記圧電板の第１の主面において、中心を通り、対向し合う一組の辺の中点を結ぶ第１の仮想線と、第１の仮想線に直交し、対向し合う他の組の辺の中点を結ぶ第２の仮想線により隔てられた第１〜第４の電極と、
前記第１〜第４の電極と圧電板を介して対向するように圧電板の第２の主面に形成された共通電極とを備え、
前記第１〜第４の電極のうち、第１の主面の中心を介して斜め方向に対向している前記第１，第３の電極と、前記第２，第４の電極とがそれぞれ電気的に接続されて、第１，第３の電極と、第２，第４の電極とに異なる電位が印加されるように構成されており、それによって輪郭滑り振動モードが励振されるように構成されている、圧電共振素子。
【請求項２】
前記共通電極がグラウンド電位に接続される端子として用いられ、それによって３端子型のフィルタが構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電共振素子。
【請求項３】
上面に、前記第１〜第４の電極に電気的にそれぞれ接続される第１〜第４の電極ランドが形成されており、かつ第１〜第４の電極ランドを外部と電気的に接続するための第１〜第４の端子電極が第１〜第４の電極ランドに電気的に接続されるように形成されているケース基板と、
前記ケース基板の上面に、前記第２の主面側を上にして搭載された請求項１または２に記載の圧電共振素子と、
前記圧電共振素子の前記圧電板の第２の主面上に載置されており、かつ前記第２の主面上の共通電極に弾性接触されるばね端子部を有する端子板と、
下方に開いた開口を有し、該開口側に前記圧電共振素子及び前記端子板を収納するように前記ケース基板に固定されたケース部材とを備え、
前記ケース部材をケース基板に固定することにより、前記ばね端子部が前記共通電極に弾性接触されている、圧電共振部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、共振子や帯域フィルタとして用いられる圧電共振素子及び圧電共振部品に関し、より詳細には、正方形板の輪郭滑り振動を用いた圧電共振素子及び圧電共振部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ｋＨｚ帯の共振子として、正方形板の輪郭振動を用いた圧電共振子が知られている。
【０００３】
例えば、下記の特許文献１には、図１０に示す輪郭振動共振子が開示されている。この輪郭振動共振子１０１では、正方形板状の圧電基板１０２を有する。圧電基板１０２の上面には、４分割された円弧状の簾状電極１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃ，１０３ｄが設けられている。輪郭振動共振子１０１では、簾状電極１０３ａ〜１０３ｄに直流電圧を印加することにより、圧電基板１０２が分極処理されている。そして、上記分極により、簾状電極１０３ａ〜１０３ｄが形成されている部分が、それぞれ、トランスデューサＴ1〜Ｔ4として機能するとされている。使用に際しては、トランスデューサＴ1，Ｔ3を正接続し、トランスデューサＴ2及びＴ4を逆接続することにより、トランスデューサＴ1，Ｔ3の変位が伸びもしくは縮み状態とされた際に、トランスデューサＴ2，Ｔ4が縮みまたは伸びの状態とされる。そして、交流電圧を印加することにより、上記変位の変動に基づいて、正方形板の輪郭振動に基づく共振特性が得られるとされている。
【０００４】
他方、下記の特許文献２には、図１１に模式的に示す圧電共振子が開示されている。圧電共振子１２１では、円環状の圧電板１２２上に、第１〜第４の共振電極１２３ａ〜１２３ｄが形成されている。共振電極１２３ａ〜１２３ｄは、リング状の圧電板１２２の一方面の全面に電極を形成した後、４分割することにより形成されている。従って、電極１２３ａ〜１２３ｄは、短絡しないように隔てられている。他方、圧電基板１２２の下面にも、同様に共振電極１２３ａ〜１２３ｄと対向するように共振電極１２４ａ〜１２４ｄが形成されている。そして、図１１に示すように、中心を介して対向している共振電極１２３ａ，１２３ｃが共通接続されて一方の端子に、共振電極１２３ｂ，１２３ｄが共通接続されて他方の端子に接続されている。これらの端子に交流電圧を印加することにより、円環状の圧電体１２２の輪郭振動に基づく共振特性が得られる。
【特許文献１】特開昭６４−６１１１２号公報
【特許文献２】特開平６−６１７７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１，２に記載の輪郭振動共振子１０１や圧電共振子１２１では、輪郭振動を用いることにより、正方形板の拡がり振動を用いた場合よりも高い周波数域における共振特性を利用することができる。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の輪郭振動共振子１０１では、上記のように、複雑な形状の簾状電極１２３ａ〜１２３ｄを形成しなければならなかった。また、特許文献２に記載の圧電共振子１２１では、円環状の圧電体１２２を成形した後に、さらに該円環状の圧電体１２２の両面にそれぞれ４個の共振電極１２３ａ〜１２３ｄ，１２４ａ〜１２４ｄを正確に対向させるように形成しなければならなかった。
【０００７】
すなわち、輪郭振動共振子１０１や圧電共振子１２１では、電極構造が複雑とならざるを得ず、電極形成工程が煩雑であり、コストが高くつくという問題があった。また、励振に際して電圧を印加するための回路構成も複雑にならざるを得なかった。すなわち、共振電極と電圧を印加するための回路との接点の数が比較的多くなり、部品点数も多くならざるを得なかった。そのため、信頼性の点においても十分ではなかった。
【０００８】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、共振電極の構造を簡略化することができ、部品点数の低減及び信頼性の向上を果たすことができ、しかも安価な輪郭振動を用いた圧電共振子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の広い局面によれば、対向し合う第１，第２の主面を有し、厚み方向に分極されており、第１，第２の主面の平面形状が正方形である圧電板と、前記圧電板の第１の主面において、中心を通り、対向し合う一組の辺の中点を結ぶ第１の仮想線と、第１の仮想線に直交し、対向し合う他の組の辺の中点を結ぶ第２の仮想線により隔てられた第１〜第４の電極と、前記第１〜第４の電極と圧電板を介して対向するように圧電板の第２の主面に形成された共通電極とを備え、前記第１〜第４の電極のうち、第１の主面の中心を介して斜め方向に対向している前記第１，第３の電極と、前記第２，第４の電極とがそれぞれ電気的に接続されて、第１，第３の電極と、第２，第４の電極とに異なる電位が印加されるように構成されており、それによって輪郭滑り振動モードが励振されるように構成されている、圧電共振素子が提供される。
【００１０】
本発明に係る圧電共振子のある特定の局面では、前記共通電極がグラウンド電位に接続される端子として用いられ、それによって３端子型のフィルタが構成されている。
【００１１】
本発明に係る圧電共振部品は、上面に、前記第１〜第４の電極に電気的にそれぞれ接続される第１〜第４の電極ランドが形成されており、かつ第１〜第４の電極ランドを外部と電気的に接続するための第１〜第４の端子電極が第１〜第４の電極ランドに電気的に接続されるように形成されているケース基板と、前記ケース基板の上面に、前記第２の主面側を上にして搭載された本発明に従って構成された圧電共振素子と、前記圧電共振素子の前記圧電板の第２の主面上に載置されており、かつ前記第２の主面上の共通電極に弾性接触されるばね端子部を有する端子板と、下方に開いた開口を有し、該開口側に前記圧電共振素子及び前記端子板を収納するように前記ケース基板に固定されたケース部材とを備え、前記ケース部材をケース基板に固定することにより、前記ばね端子部が前記共通電極に弾性接触されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る圧電共振素子では、正方形板状の圧電板の第１の主面に、上記第１〜第４の電極が形成されており、第２の主面に共通電極が形成されている比較的単純な構成において、第１，第３の電極と、第２，第４の電極とに異なる電位を印加することにより、輪郭滑り振動モードを強く励振することができる。従って、後述するように、拡がり振動による影響を受け難い、輪郭滑りモード振動を利用した圧電共振素子であって、安価であり、かつ部品点数が少ない共振子や帯域フィルタを容易に提供することが可能となる。
【００１３】
また、本発明において、共通電極がグラウンド電位に接続される端子として用いられ、それによって３端子型のフィルタが構成されている場合には、本発明により、構造が比較的簡単であり、かつ拡がり振動による影響が生じ難い、フィルタ特性に優れた圧電フィルタを提供することが可能となる。
【００１４】
ケース基板上に圧電共振素子が第１の主面側から搭載されており、該圧電共振素子を囲繞するように、下方に開いた開口を有するケース部材が上記ケース基板に固定されている圧電共振部品では、本発明の圧電共振素子が内部に収納されているため、安価であり、拡がり振動の影響を受け難い、輪郭滑り振動モードを利用した圧電共振部品を提供することができる。
【００１５】
特に、上記圧電共振素子が比較的簡単な構造を有するため、第１〜第４の電極ランドを上面に有するケース基板と、上記圧電共振素子の共通電極に弾性接触されるばね端子部を有する端子板とを用いて、圧電共振素子の両主面の電極を電気的に接続する構造を容易に構成することができる。すなわち、圧電共振素子の振動を妨げないように、かつ比較的簡単な構造で、圧電共振素子が収納された圧電共振部品を提供することが可能となる。よって、輪郭滑り振動モードを利用した圧電共振部品の部品点数及びコストの低減を果たすことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る圧電共振素子を示す斜視図及び正面断面図である。
【００１７】
圧電共振素子１は、正方形板状の圧電基板２を有する。圧電基板２は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックスにより構成されており、厚み方向に分極処理されている。
【００１８】
圧電基板２は、対向し合う第１の主面２ａと、第２の主面２ｂとを有する。主面２ａ，２ｂの平面形状は正方形である。
【００１９】
圧電基板２の第１の主面２ａ上には、第１〜第４の電極３〜６が形成されている。電極３〜６は、第１の主面２ａの対向し合う一組の辺の中点を結ぶ第１の仮想線Ｘと、対向し合う残りの組の辺の中点を結ぶ第２の仮想線Ｙとにより隔てられている。すなわち、第１〜第４の電極３〜６は、互いに接触しないように第１の主面２ａ上に形成されている。第１〜第４の電極３〜６は同じ形状を有する。製造に際しては、第１の主面２ａの全面に電極膜を形成した後、該電極膜を上記のように４分割することにより第１〜第４の電極３〜６を形成することができる。
【００２０】
もっとも、第１〜第４の電極３〜６は、最初から個別に形成されていてもよい。
【００２１】
第１の電極３と、第３の電極５とは、第１の主面の中心、すなわち仮想線Ｘ，Ｙの交点を介して点対称に配置されている。同様に、第２の電極４と第４の電極６も、第１の主面の中心を介して点対称に配置されている。
【００２２】
第１の電極３と第３の電極５とは、上記のように、第１の主面の中心を介して点対称に配置されていることが好ましいが、第１の主面の中心を介して斜め方向に対向されておればよく、必ずしも正確に点対称に配置されている必要はない。第２の電極４と第４の電極６についても、第１の主面を中心として斜め方向に対向されておればよく、好ましくは上記のように第１の主面の中心を介して点対称に配置される。
【００２３】
また、圧電基板２の第２の主面２ｂ上には、共通電極７が形成されている。共通電極７は、第１〜第４の電極３〜６と圧電板を介して対向されている。
【００２４】
上記第１〜第４の電極３〜６及び共通電極７は、適宜の導電性材料により構成される。このような導電性材料としては、Ｃｕ、Ａｌもしくはこれらの合金が挙げられる。また、第１〜第４の電極３〜６及び共通電極７の形成方法についても特に限定されず、めっき、蒸着もしくはスパッタリングなどの適宜の方法により形成され得る。
【００２５】
なお、第１〜第４の電極３〜６は、第１の主面２ａの外周縁に至るように形成されているが、第１〜第４の電極３〜６は、第１の主面２ａの外周縁に至らなくともよい。共通電極７についても、主面２ｂの外周縁に至るように形成される必要は必ずしもない。
【００２６】
本実施形態の圧電共振素子１では、図１（ａ）に示すように、第１，第３の電極３，５が共通接続され、第１の端子８に接続される。また、第２，第４の電極４，６が共通接続され、第２の端子９に接続される。共通電極７は、第３の端子１０に接続される。
【００２７】
そして、第１，第２の端子８，９から交流電界を印加し、第３の端子１０を開放するようにして用いることにより、輪郭滑り振動モードを利用した共振特性を得ることができる。これを、図２及び図３を参照して説明する。
【００２８】
いま、第１の端子８から負の電位が、第２の端子９から正の電位が印加された瞬間を考える。その場合、図２に略図的平面図で示すように圧電板２の主面２ａ上に電荷が分布することとなる。図２において、＋及び−を円で囲んだ記号は、それぞれ、正または負の電荷が分布している部分を示す。図２から明らかなように、第１，第３の電極３，５から正の電位を印加することにより、第１，第３の電極３，５が形成されている圧電板部分が負の電荷を帯び、第２，第４の電極４，６が形成されている圧電部分が正の電荷を帯びることとなる。そして、第１の端子８及び第２の端子９から印加される電位が逆転されると、電荷分布も逆転することになる。そのため、圧電板２は、図２の一点鎖線Ａで示す振動姿態と、その逆の振動姿態との間で振動することとなる。すなわち、輪郭滑り振動モードが強く励振されることになる。
【００２９】
上記圧電共振素子１の共振特性の一例を図３に示す。ここでは、圧電板２として、４．８３×４．８３×厚み０．４ｍｍのＰＺＴ系セラミックスからなる圧電板を用意した。また、第１〜第４の電極３〜６の面積は、それぞれ、５．５４６ｍｍ2とし、共通電極７は圧電板２の第２の主面２ｂの全面に形成した。また、第１〜第４の電極３〜６及び共通電極７は、モネル合金（Ｎｉ７０％＋Ｃｕ３０％）をスパッタすることにより形成し、その厚みは０．２μｍとした。このようにして得られた上記実施形態の圧電共振素子１の共振特性を図３に示す。
【００３０】
図３から明らかなように、６４０ｋＨｚ付近に、輪郭滑り振動による大きな応答Ｐが得られることがわかる。他方、４３０ｋＨｚ付近には、拡がり振動によると思われる応答Ｅが存在する。図３から明らかなように、拡がり振動による応答は、輪郭滑り振動による応答に対して十分小さいことがわかる。従って、本実施形態によれば、拡がり振動の影響を受け難く、比較的簡単な電極構造を形成するだけで輪郭滑り振動モードを利用した圧電共振素子を容易に提供することができる。
【００３１】
すなわち、図１０及び図１１に示した従来の輪郭滑りモードを利用した圧電共振子では、電極構造が複雑化したり、駆動に際しての電気的接続が煩雑であったのに対し、本実施形態の圧電共振素子では、上記のように、比較的簡単な構造の複数の電極３〜７を形成するだけで、拡がり振動の影響を受け難い良好な共振特性を有する、輪郭滑り振動モードを利用した圧電共振素子を提供することができる。
【００３２】
なお、単に正方形の圧電板の両面に励振電極を全面に形成した従来の拡がり振動モードを利用した圧電共振素子と同一の構造では、輪郭滑り振動を利用して良好な共振特性は得られないことを指摘しておく。すなわち、図１２は、上記実施形態の圧電共振素子と同じ圧電セラミックス及び同じ寸法の圧電板を用い、両面に全面に０．２μｍの厚みの電極を形成して、交流電界を印加した場合の共振特性を示す。図１２から明らかなように、４３５ｋＨｚ付近において、拡がり振動に基づく大きな応答が得られている。他方、６４０ｋＨｚ付近には、輪郭滑り振動の応答が観測されているが、拡がり振動に比べて応答が小さいことがわかる。従って、単に正方形板状の圧電板の両面に電極を形成した従来の拡がり振動モードを利用した圧電共振子では、輪郭滑りモードによる良好な共振特性は得られない。
【００３３】
これに対して、上記実施形態では、正方形板状の圧電板２を用い、上記第１〜第４の電極３〜６及び共通電極７を形成し、上記のように電気的に接続するだけで、輪郭滑り振動モードに基づく良好な共振特性が得られる。
【００３４】
図４は、本発明の第２の実施形態としての圧電フィルタの斜視図であり、図５はそのフィルタ特性を示す図である。
【００３５】
圧電フィルタ２１は、第１の実施形態と同様の圧電板２、第１〜第４の電極３〜６及び共通電極７を有する。そして、駆動に際し、第１〜第４の電極３〜６は、第１の実施形態の圧電共振素子１と同様にして電気的に接続される。異なるところは、共振電極７に接続された第３の端子１０が、アース電位に接続されて、フィルタとしての特性が得られることにある。従って、第２の実施形態の圧電フィルタ２１の構造のうち、第１の圧電フィルタ１と同一部分については、同一の参照番号を付することにより第１の実施形態の説明を援用することにより省略することとする。
【００３６】
上記のように、本実施形態の圧電フィルタ２１では、共通電極７がアース電位に接続されることになり、３端子型のフィルタとして用いられる。
【００３７】
図３に示した共振特性を得た第１の実施形態の圧電共振素子において、第３の端子をアース電位に接続し、第２の実施形態の圧電フィルタ２１を作製した。このようにして作製された圧電フィルタのフィルタ特性を図５に示す。
【００３８】
図５から明らかなように、６４０ｋＨｚ付近において、輪郭滑りモードに基づく良好なフィルタ特性が得られていることがわかる。また、拡がり振動モードに基づく応答が、４３５ｋＨｚ付近に現れているが、輪郭滑りモードによる応答に比べて十分に小さく、従って拡がり振動モードに基づく応答の影響を受け難い良好なフィルタ特性の得られることがわかる。
【００３９】
図４及び図５から明らかなように、本発明においては、第３の端子１０をアース電位に接続することにより、比較的簡単な構造で、輪郭滑り振動モードを利用した良好なフィルタ特性を得ることができることがわかる。
【００４０】
次に、第１，第２の実施形態をケース内に収納してなる圧電共振部品についての実施形態を説明する。
【００４１】
図６及び図７は、第１の実施形態の圧電共振素子を収納してなる圧電共振部品の分解斜視図及び正面断面図である。
【００４２】
圧電共振部品３１は、矩形板状のケース基板３２を有する。ケース基板３２は、アルミナや合成樹脂などの適宜の絶縁性材料により構成される。
【００４３】
ケース基板３２の上面には、第１〜第４の電極ランド３３〜３６が中央に形成されている。電極ランド３３〜３６は、それぞれ、上方に向かって隆起した凸部３３ａ〜３６ａを有する。第１〜第４の電極ランド３３〜３６は、それぞれ、ケース基板３２の側面に設けられた第１〜第４の端子電極３７ａ〜３７ｄに電気的に接続されている。
【００４４】
なお、端子電極３７ａ〜３７ｄは、ケース基板３２の側面から下面に至っていてもよく、下面にのみ形成されており、上面側の第１〜第４の電極ランド３３〜３６と電気的に接続されていてもよい。
【００４５】
また、上記電極ランド３３〜３６と端子電極３７ａ〜３７ｄとは、接続導電部３８ａ〜３８ｄにより接続されているが、スルーホール導体などの他の導電路により電極ランド３３〜３６と接続されてもよい。
【００４６】
他方、上記圧電共振素子１は、圧電板２の第２の主面２ｂ側を上にしてケース基板３２上に搭載される。この場合、電極ランド３３〜３６の凸部３３ａ〜３６ａが、それぞれ、第１〜第４の電極３〜６に接触するように、凸部３３ａ〜３６ａが配置されている。
【００４７】
従って、圧電共振素子１を、第２の主面２ｂ側を上にしてケース基板３２上に搭載するだけで、第１〜第４の電極３〜６が、それぞれ、第１〜第４の端子電極３７ａ〜３７ｄに電気的に接続されることになる。
【００４８】
他方、圧電共振素子１の上方には、端子板３９が配置される。端子板３９は、下方に突出したばね端子部３９ａを有する。ばね端子部３９ａの下端が、共通電極７に接触される。そして、ケースを構成するケース基材４０は、下方に開いた開口４０ａ内に、上記端子板３９及び圧電共振子１を囲繞するようにして、ケース基板３２の上面に接合される。接合は圧電性接着剤などの適宜の接合剤を用いて行われる。
【００４９】
この場合、端子板３９のばね端子部３９ａが共通電極７に弾性接触されるように、ケース材４０の開口４０ａから開口部の天面４０ｂまでの距離が選ばれる。すなわち、上記圧電共振素子１とばね端子部３９ａを有する端子板３９とを収納し、ケース基板３２にケース材４０を固定した状態で、ばね端子部３９ａが外力を受けて共通電極７に弾性接触するように、上記距離が、端子板３９の厚みと圧電共振素子２の厚みの合計よりも若干小さくされている。
【００５０】
従って、上記ケース基板３２に、ケース材４０を接合し、組み立てた場合、圧電共振素子１は、内部空間Ｚ内において、上記第１〜第４の電極ランド３３〜３６の凸部３３ａ〜３６ａ及び端子板３９のばね端子３９ａで点接触的にそれぞれ支持されるため、輪郭滑りモードの振動は支持構造により影響を受け難い。すなわち、支持構造による共振特性の影響を抑制することができ、良好な共振特性を有する、しかも部品点数が少ない輪郭滑りモードを利用した圧電共振部品を提供することが可能となる。
【００５１】
図８及び図９は、第２の実施形態に係る圧電フィルタを用いた圧電共振部品の分解斜視図及び正面断面図である。ここでは、図６に示した分解斜視図における端子板３９に代えて、端子板５１が用いられている。端子板５１は、矩形板状の平板部５１ａと、ばね端子部５１ｂと、接続片５１ｃ，５１ｄとを有する。接続片５１ｃ，５１ｄは、平板部５１ａの対向する一対の辺から下方に延ばされている。ばね端子部５１ｂは、ばね端子部３９ａと同様に構成されている。
【００５２】
他方、ケース基板５２においては、端子電極５３ａ，５３ｂが設けられていることを除いては、ケース基板５２は、図６のケース基板３２と同様に形成されている。端子電極５３ａ，５３ｂは、ケース基板５２の対向し合う一対の側面略中央から上面に至るように形成されている。この端子電極５３ａ，５３ｂはアース電位に接続される端子電極であり、上述したばね端子板５１の接続片５１ｃ，５１ｄに電気的に接続される。
【００５３】
圧電共振部品５４のその他の構成は、圧電共振部品３１と同様であるため、同一部分については、同一の参照番号を付することにより、その説明を省略する。
【００５４】
本実施形態においても、ケース基板５２上に圧電共振素子１を圧電板２の第２の主面２ｂ側を上にして搭載し、ばね端子板５１及びケース材４０を上方から取り付け、ケース材４０をケース基板５２の上面に接着剤等の接合剤を用いて接合することにより容易に組み立てられる。この場合、端子板５１の接続片５１ｃ，５１ｄが上記端子電極５３ａ，５３ｂに接合される。従って、第３の端子としての端子電極５３ａ，５３ｂをアース電位に接続することにより、第２の実施形態の圧電フィルタを内蔵した圧電共振部品として動作させることができる。
【００５５】
従って、本発明に係る圧電共振素子では、輪郭滑りモードを利用して、上記のような単純な電極構造を有するだけであるため、ケース基板及びケース材を用いて構成されたケースに収納された圧電共振部品の部品点数及びコストの低減も果たすことが容易である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に圧電共振素子の斜視図及び正面断面図。
【図２】図１に示した圧電共振素子における振動姿態及び振動に際しての電荷分布の一例を説明するための模式的平面図。
【図３】図１に示した実施形態の圧電共振素子のインピーダンス−周波数特性を示す図。
【図４】本発明の第２の実施形態の圧電共振素子としての圧電フィルタを説明するための斜視図。
【図５】図４に示した圧電フィルタのフィルタ特性を示す図。
【図６】本発明の第３の実施形態としての圧電共振部品の分解斜視図。
【図７】図６に示した圧電共振部品の正面断面図。
【図８】本発明の第４の実施形態としての圧電共振部品の分解斜視図。
【図９】図８に示した圧電共振部品の組み立て後の正面断面図。
【図１０】従来の輪郭振動共振子の一例を示す斜視図。
【図１１】従来の輪郭振動モードを利用した圧電共振子の他の例を示す模式的平面図。
【図１２】従来の拡がり振動モードを利用した正方形板状の圧電素子のインピーダンス特性の一例を示す図。
【符号の説明】
【００５７】
１…圧電共振素子
２…圧電板
２ａ…第１の主面
２ｂ…第２の主面
３〜６…第１〜第４の電極
７…共通電極
８〜１０…第１〜第３の端子
２１…圧電フィルタ
３１…圧電共振部品
３２…圧電基板
３３〜３６…電極ランド
３３ａ〜３６ａ…凸部
３７ａ〜３７ｄ…端子電極
３８ａ〜３８ｄ…接続導電部
３９…端子板
３９ａ…ばね端子部
４０…ケース材
４０ａ…開口
５１…端子板
５１ａ…平面部
５１ｂ…ばね端子部
５１ｃ，５１ｄ…接続片
５２…ケース基板
５３ａ，５３ｂ…端子電極
５４…圧電共振部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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