(57)【要約】【課題】  超音波モータの速度制御を精度良く行うことのできる超音波モータの駆動装置及びその方法並びに超音波モータシステムを提供することを目的とする。【解決手段】  超音波モータ１が備える複数の超音波振動子１０ａ、１０ｂ、１０ｃの各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を個別に供給することにより、超音波モータ１を駆動する超音波モータの駆動装置において、各超音波振動子１０ａ、１０ｂ、１０ｃに供給する２相の交番電圧の位相差を個別に制御することにより、超音波モータの速度を制御する。【選択図】    図１
2006352989.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波モータが備える複数の超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を個別に供給することにより、前記超音波モータを駆動する超音波モータの駆動装置において、
各前記超音波振動子に供給する前記２相の交番電圧の位相差を個別に制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータの駆動装置。
【請求項２】
超音波モータが備える複数の超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を供給することにより、前記超音波モータを駆動する超音波モータの駆動装置において、
複数の前記超音波振動子の各々に、同一の前記２相の交番電圧を供給するとともに、この交番電圧の位相差を制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータの駆動装置。
【請求項３】
超音波モータが備える複数の超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を個別に供給することにより、前記超音波モータを駆動する超音波モータの駆動方法において、
各前記超音波振動子に供給する前記２相の交番電圧の位相差を個別に制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータの駆動方法。
【請求項４】
超音波モータが備える複数の超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を供給することにより、前記超音波モータを駆動する超音波モータの駆動方法において、
複数の前記超音波振動子の各々に、同一の前記２相の交番電圧を供給するとともに、この交番電圧の位相差を制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータの駆動方法。
【請求項５】
複数の超音波振動子を備える超音波モータと、
前記超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を個別に供給することにより、前記超音波モータを駆動する駆動装置と
を備え、
前記駆動装置は、各前記超音波振動子に供給する前記２相の交番電圧の位相差を個別に制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータシステム。
【請求項６】
複数の超音波振動子を備える超音波モータと、
前記超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を供給することにより、前記超音波モータを駆動する駆動装置と
を備え、
前記駆動装置は、複数の前記超音波振動子の各々に、同一の前記２相の交番電圧を供給するとともに、この交番電圧の位相差を制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、超音波モータの駆動装置及びその方法並びにシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして超音波モータが注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータに比べ以下のような利点を有している。
（１）ギヤなしで高トルクが得られる。
（２）電気ＯＦＦ時に保持力がある。
（３）高分解能である。
（４）静粛性に富んでいる。
【０００３】
このような超音波モータの駆動方法としては、例えば、特開平１１−２３５０６２号公報（特許文献１）に開示されるものがある。この特許文献１には、３つの超音波振動子（振動アクチュエータ）を備えた超音波モータにおいて、各超音波振動子に対応して個別に駆動回路を設け、各駆動回路が対応する超音波振動子に対して、位相差９０°の２相の交番電圧を供給することにより、全ての超音波振動子に同一方向の駆動力を発生させ、駆動力を得る技術が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−２３５０６２号公報（第４頁、第５図及び第９図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような従来の超音波モータにおいて、一般的に、その速度制御は交番電圧の振幅、つまり、電圧値を変化させることにより行われる。しかしながら、交番信号の電圧と、超音波モータの速度（回転数）との間には、例えば、図１３に示すように、領域（電圧がＶ０からＶ１の間の領域）において、電圧変化に対して速度が急激に変化するという関係がある。このため、少しの電圧変位に対して速度が大きく変動してしまい、速度制御を精度良く行うことができないという問題があった。
【０００５】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、各超音波振動子に供給する交番電圧の位相差を制御することにより、超音波モータの速度制御を精度良く行うことのできる超音波モータの駆動装置及びその方法並びに超音波モータシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、超音波モータが備える複数の超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を個別に供給することにより、前記超音波モータを駆動する超音波モータの駆動装置において、各前記超音波振動子に供給する前記２相の交番電圧の位相差を個別に制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータの駆動装置を提供する。
【０００７】
本発明によれば、超音波モータが備える各超音波振動子に供給する２相の交番電圧の位相差を個別に制御することにより、各超音波振動子の出力端に生ずる振動モードを変化させて、超音波モータの速度を制御する。この場合において、交番電圧の位相差と速度（回転数）との関係は、図１０にその一例を示すように、緩やかな勾配特性を有するため、位相の微小な変位に対して速度が急激に変化するという問題を解消することができ、高い精度での速度制御を実現させることが可能となるとともに、安定した速度制御を実現させることができる。更に、各超音波振動子を個別に制御することにより、その位相差の組み合わせによって、より細やかな速度制御を行うことが可能となる。
【０００８】
本発明は、超音波モータが備える複数の超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を供給することにより、前記超音波モータを駆動する超音波モータの駆動装置において、複数の前記超音波振動子の各々に、同一の前記２相の交番電圧を供給するとともに、この交番電圧の位相差を制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータの駆動装置を提供する。
【０００９】
本発明によれば、超音波モータが備える各超音波振動子には、同一の２相の交番信号が供給され、この２相の交番電圧の位相差が制御されることにより、各超音波振動子の出力端に生ずる振動モードが変化し、超音波モータの速度が制御される。この場合において、交番電圧の位相差と速度（回転数）との関係は、図１０にその一例を示すように、緩やかな勾配特性を有するため、位相の微小な変位に対して速度が急激に変化するという問題を解消することができ、高い精度での速度制御を実現させることが可能となるとともに、安定した速度制御を実現させることができる。更に、各超音波振動子に対して同一の信号を供給するので、駆動装置の構成を簡素化することが可能となるとともに、制御を簡便化することができる。
【００１０】
本発明は、超音波モータが備える複数の超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を個別に供給することにより、前記超音波モータを駆動する超音波モータの駆動方法において、各前記超音波振動子に供給する前記２相の交番電圧の位相差を個別に制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータの駆動方法を提供する。
【００１１】
本発明は、超音波モータが備える複数の超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を供給することにより、前記超音波モータを駆動する超音波モータの駆動方法において、複数の前記超音波振動子の各々に、同一の前記２相の交番電圧を供給するとともに、この交番電圧の位相差を制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータの駆動方法を提供する。
【００１２】
本発明は、複数の超音波振動子を備える超音波モータと、前記超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を個別に供給することにより、前記超音波モータを駆動する駆動装置とを備え、前記駆動装置は、各前記超音波振動子に供給する前記２相の交番電圧の位相差を個別に制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータシステムを提供する。
【００１３】
本発明は、複数の超音波振動子を備える超音波モータと、前記超音波振動子の各々に対して、所定の駆動周波数の２相の交番電圧を供給することにより、前記超音波モータを駆動する駆動装置とを備え、前記駆動装置は、複数の前記超音波振動子の各々に、同一の前記２相の交番電圧を供給するとともに、この交番電圧の位相差を制御することにより、前記超音波モータの速度を制御する超音波モータシステムを提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、超音波モータの速度制御を精度良く行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態に係る超音波モータの駆動装置及び駆動方法並びに超音波モータシステムについて、図を参照して以下に説明する。
本発明に係る超音波モータは、図１に示されるように、３つの超音波振動子１０ａ乃至１０ｃと、３つの超音波振動子１０ａ乃至１０ｃにより駆動される１つの被駆動体５０とを備えて構成されている。また、本実施形態に係る超音波モータシステムは、上記超音波モータと、超音波モータを駆動する駆動装置（図７参照）とから構成されている。
【００１６】
上記超音波振動子１０ａは、例えば、図２乃至図４に示されるように、矩形板状の圧電セラミックスシート７の片側面にシート状の内部電極８を設けたものを複数枚積層してなる直方体状の圧電積層体９と、該圧電積層体９の幅方向の一側面に形成される２つの出力端に接着された２つの摩擦接触子１２とを備えている。
【００１７】
図に示される圧電セラミックスシート７は、そのほぼ全面に内部電極８を備えている。内部電極８は、圧電セラミックスシート７の長さ方向に所定の絶縁距離を開けて２つ配列されている。各内部電極８は、圧電セラミックスシート７の周縁から所定の隙間を空けて配置されるとともに、その一部が圧電セラミックスシート７の周縁まで延びている。
【００１８】
図３に示される圧電セラミックスシート７は、その幅方向の略半分に内部電極８を備えている。内部電極８は、圧電セラミックスシート７の長さ方向に所定の絶縁距離を開けて２つ配列されている。各内部電極８は、圧電セラミックスシート７の周縁から所定の隙間を空けて配置されるとともに、その一部が圧電セラミックスシート７の周縁まで延びている。
【００１９】
これら内部電極８を備えた圧電セラミックスシート７は、図３に示される内部電極８の大きいものと、図４に示される内部電極８の小さいものとが交互に複数枚積層されることにより、直方体状の圧電積層体９を構成している。
【００２０】
圧電積層体９の長さ方向の両端面には２個ずつ、合計４個の外部電極１１が設けられている。各外部電極１１には、同種の圧電セラミックスシート７の同一位置に配される全ての内部電極８が接続されている。これにより、同種の圧電セラミックスシート７の同一位置に配される内部電極８は、同一の電位とされるようになっている。なお、外部電極１１には図示しない配線が接続されている。配線は、リード線、フレキシブル基板等、可撓性を有する配線であれば任意のものでよい。
【００２１】
次に、圧電積層体９の動作について説明する。
圧電積層体９の長さ方向の一端に形成された２つの外部電極１１をＡ相（Ａ＋，Ａ−）、他端に形成された２つの外部電極１１をＢ相（Ｂ＋，Ｂ−）とする。Ａ相およびＢ相に同位相で共振周波数に対応する交番電圧を加えると、図５に示されるような１次の縦振動が励起されるようになっている。また、Ａ相とＢ相とに逆位相で共振周波数に対応する交番電圧を加えると、図６に示されるような２次の屈曲振動が励起されるようになっている。図５および図６は、有限要素法によるコンピュータ解析結果を示す図である。
【００２２】
圧電積層体９に１次の縦振動が発生したときには、摩擦振動子１０が圧電積層体９の長さ方向（図５に示されるＸ方向）に変位させられるようになっている。一方、圧電積層体９に２次の屈曲振動が生じたときには、摩擦接触子１２が、圧電積層体９の幅方向（図６に示されるＺ方向）に変位させられるようになっている。
【００２３】
したがって、超音波振動子のＡ相とＢ相とに、位相が９０°ずれた共振周波数に対応する交番電圧を加えることにより、１次の縦振動と２次の屈曲振動とが同時に発生して、図２に矢印Ｃで示されるように、摩擦接触子１２の位置において時計回りまたは反時計回りの略楕円振動が発生するようになっている。
そして、図１に示した超音波振動子１０ｂ、１０ｃについても、上述の超音波振動子１０ａと同様の交番電圧が印加されることにより、それぞれが備える摩擦接触子１２の位置において所定の略楕円振動が発生することとなる。
【００２４】
そして、各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃがそれぞれ備える摩擦接触子１２と被駆動体５０の上面とは、密着状態に押し付けされているので、摩擦接触子１２が略楕円運動させられると、両者間に生ずる摩擦力によって被駆動体５０の上面が摩擦接触子により略楕円運動の接線方向に押圧されることとなる。そして、各超音波振動子１０ａ，１０ｂ、１０ｃにおいて、２つの摩擦接触子１２によって交互に、摩擦による押圧動作が繰り返えされることにより、各摩擦接触子１２と被駆動体５０の上面との密着及び離間が断続的に繰り返されながら、超音波振動子１０ａ乃至１０ｃに対して被駆動体５０が相対的に移動させられることになる。
【００２５】
上述のように、本実施形態に係る超音波モータは、各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃの摩擦接触子１２の位置に生ずる振動により、被駆動体５０を相対的に移動させるものである。従って、これら超音波振動子１０ａ乃至１０ｃが備える各摩擦接触子１２の振動状態を変化させれば、摩擦接触子１２と被駆動体の上面との摩擦による押圧動作が変化し、被駆動体の移動速度、本実施形態では、回転速度を変化させることが可能となる。
このように、後述する本実施形態の駆動装置は、各超音波振動子１０ａ、１０ｂ、１０ｃに供給する交番電圧の位相差を個別に制御することにより、被駆動体の回転速度を制御するものである。
【００２６】
以下、上述したような超音波モータ１を駆動する超音波モータの駆動装置について、図を参照して説明する。図７は、本実施形態に係る超音波モータの駆動装置の概略構成を示すブロック図である。
図７に示されるように、超音波モータの駆動装置は、各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃに対応してそれぞれ設けられた駆動部２０ａ乃至２０ｃ、各駆動部２０ａ乃至２０ｃに対応して設けられた発信部２１ａ乃至２１ｃ、発信部２１ａ乃至２１ｃを制御する制御部２２を備えて構成されている。
【００２７】
上記制御部２２は、超音波モータ１を所望の速度（回転数）で駆動させるために、その速度（回転数）に応じた位相差を持つ交番電圧が各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃに印加されるように、各発信部２１ａ乃至２１ｃを制御する。
上記駆動部２０ａ乃至２０ｃは、制御部２２の制御に基づいた位相差の所定周波数の源信号を生成し、この源信号を対応する駆動部２０ａ乃至２０ｃへ出力する。ここで、所定の周波数とは、例えば、超音波振動子１０ａ、１０ｂ、１０ｃの共振周波数に設定されている。駆動部２０ａ乃至２０ｃは、発振部２１ａ乃至２１ｃから供給された源信号を、超音波振動子１０ａ乃至１０ｃを駆動可能な最適電圧に昇降圧して、超音波振動子１０ａ、１０ｂ、１０ｃに印加する。
【００２８】
このように、制御部２２により各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃに印加される交番電圧の位相差が個別に制御されるので、各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃがそれぞれ備える摩擦接触子１２に、その交番電圧の位相差に応じた振動をそれぞれ発生させることが可能となる。これにより、摩擦接触子１２と被駆動体５０の上面との摩擦状況が変化するので、これに応じて超音波モータ１を所望の速度で駆動させることができる。更に、各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃを個別に制御することにより、各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃに同一の交番信号を印加する場合に比べて、超音波モータ１の速度制御をより細やかに行うことが可能となる。
【００２９】
次に、上述の交番電圧の位相差と、超音波モータの速度との関係について詳しく説明する。
まず、本実施形態では、超音波振動子１０ａ乃至１０ｃに印加する交番電圧の位相差の組合せとして、図８に示すようなモードＡ乃至Ｈを想定している。
例えば、モードＡは、全ての超音波振動子１０ａ乃至１０ｃに対して、位相差９０°の交番電圧を印加するモードである。また、例えば、モードＢ乃至Ｆは、超音波振動子１０ｂ及び１０ｃに対しては、位相差９０°の交番電圧を印加し、超音波振動子１０ａには、９０°以外の位相差の交番電圧を印加するモードである。例えば、モードＢでは、０°、モードＣでは１８０°、モードＤでは１０°乃至８０°のいずれかの位相差、モードＥでは、１００°乃至１７０°のいずれかの位相差の交番信号を印加する。また、モードＦでは交番電圧を印加しないＯＦＦ状態とする。
また、モードＧ乃至Ｋは、超音波振動子１０ｃに、位相差９０°の交番電圧を印加し、超音波振動子１０ｂをＯＦＦ状態とし、超音波振動子１０ａに、上述のモードＢ乃至Ｆに対応する位相差の交番信号を印加するモードである。そして、モードＬは、全ての超音波振動子１０ａ乃至１０ｃをＯＦＦ状態とすることで、超音波モータ１の駆動を停止するモードである。
【００３０】
次に、上述したような各モードにより超音波振動子１０ａ乃至１０ｃを駆動した場合の超音波モータの速度について一例を挙げて説明する。
例えば、図９に示すように、上述のモードＡにより駆動したときの回転数（速度）が５４．５ｒｐｍであった場合、モードＣでは、回転数が３７．５ｒｐｍ、モードＢでは回転数が１０．２ｒｐｍとなった。また、図８には記載されていないが、例えば、超音波振動子１０ｃに位相差９０°の交番電圧を印加し、超音波振動子１０ａ及び１０ｃに位相差１８０°の交番電圧を印加した場合（以下、このモードを「モードＭ」という。）には、回転数が６．８ｒｐｍとなった。
【００３１】
また、図８のモードＤ及びＥにおいて、超音波振動子１０ａの交番電圧の位相差を０°乃至１８０°まで変化させた場合、例えば、図１０に示すような超音波モータの速度特性が得られた。図１０に示すように、位相差０°から約８０°にかけて緩やかな弧を描いて回転数が上昇し、また、位相差約８０°から約１４０°までは回転数が一定となり、位相差約１４０°から１８０°にかけて除々に回転数が低下するという特性を有している。
【００３２】
このように、超音波振動子１０ａ乃至１０ｃの各々に印加する交番電圧の位相差を変化させることにより、超音波モータ１の速度（回転数）を所望の値に制御することが可能となる。
【００３３】
以上、説明してきたように、本実施形態に係る超音波モータの駆動装置及び駆動方法並びに超音波モータシステムによれば、超音波モータ１が備える複数の超音波振動子１０ａ、１０ｂ、１０ｃに対して供給される２相の交番信号の位相差を個別に制御することにより、各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃが備える摩擦接触子１２に生ずる振動モードを変化させて、超音波モータ１の速度を変化させるので、超音波モータ１の安定した速度制御が可能となるとともに、高い精度での速度制御を実現させることができる。また、３つの超音波振動子１０ａ乃至１０ｃの交番信号を個別に制御することにより、より細やかに速度制御を行うことができる。
【００３４】
なお、図１１に上記超音波モータ１の各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃに、それぞれモードＡ、モードＢ、モードＣ、モードＭの交番信号を印加した場合の超音波モータ１の速度の立ち上がり特性を示す。また、図１２に上記超音波モータ１の各超音波振動子１０ａ乃至１０ｃに、それぞれモードＡ、モードＢ、モードＣ、モードＭの交番信号を印加した場合の超音波モータの速度の立ち下がり特性を示す。
これら図１１及び図１２に示すように、各モードに応じて、速度の立ち上がり及び立ち下がり特性が異なることがわかる。従って、駆動開始時又は駆動終了時において、除々に駆動モードを変化させることにより、所望の立ち上がり特性並びに立ち下がり特性を有する超音波モータ１の駆動を実現させることが可能となる。
【００３５】
なお、上述の実施形態においては、制御部２２は、ハードウェアにより構成されていても良く、また、ソフトウェアによる処理にて上記制御を実現させるようにしても良い。この場合、制御部２２は、例えば、ＣＰＵ（中央演算装置）、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備えて構成されている。上記の各種機能を実現するための一連の処理の過程は、プログラムの形式でＲＯＭ等に記録されており、このプログラムをＣＰＵがＲＡＭ等に読み出して、情報の加工・演算処理を実行することにより、上述の機能を実現するものとする。
【００３６】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
第１に、図８に示した駆動モードは一例であって、その他の駆動モードにより超音波振動子を駆動するようにしても良い。
第２に、上記実施形態では、超音波振動子を３つ備える超音波モータについて説明したが、超音波振動子の設置数については、特に限定されない。超音波振動子の設置数が増減したとしても、その数に応じた駆動モードを想定し（図８参照）、想定した各駆動モードで超音波振動子に交番電圧を印加したときの超音波モードの速度特性を求め、この速度特性に基づいて、各超音波振動子に印加する交番信号の位相差を制御すれば良い。
第３に、上述の実施形態においては、複数の超音波振動子の各々を個別に駆動する場合を例に挙げて説明したが、各超音波振動子に同一の交番信号を印加するようにしても良い。このようにすることで、図７に示した発信部２１ａ乃至２１ｃ、並びに駆動部２０ａ乃至２０ｃを１つにすることが可能となる。これにより、駆動装置の構成を簡素化することができるとともに、制御を簡便化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る超音波モータの全体構成を示す図である。
【図２】図１の超音波モータの超音波振動子を示す斜視図である。
【図３】図２の圧電積層体を構成する圧電セラミックスシートを示す斜視図である。
【図４】図２の圧電積層体を構成する圧電セラミックスシートを示す斜視図である。
【図５】図２の圧電積層体が１次の縦振動モードで振動する様子をコンピュータ解析により示す図である。
【図６】図２の圧電積層体が２次の屈曲振動モードで振動する様子をコンピュータ解析により示す図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る超音波モータの駆動装置の概略構成を示すブロック図である。
【図８】超音波振動子に印加する交番電圧の駆動モードの一例を示す図である。
【図９】モードＡ、モードＣ、モードＢ及びモードＭにより超音波振動子を駆動した場合の超音波モータの回転数（速度）の一例を示した図である。
【図１０】２つの超音波振動子に位相差９０°の交番電圧を供給し、他の１つの超音波振動子に供給する交番電圧の位相差を０°から１８０°まで変化させた場合の超音波モータの回転数（速度）の一例を示した図である。
【図１１】モードＡ、モードＣ、モードＢ、モードＭにより超音波振動子を駆動した場合の超音波モータの速度の立ち上がり特性を示す図である。
【図１２】モードＡ、モードＣ、モードＢ、モードＭにより超音波振動子を駆動した場合の超音波モータの速度の立ち下がり特性を示す図である。
【図１３】交番電圧の電圧値と超音波モータの速度との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０ａ乃至１０ｃ  超音波振動子
１２  摩擦接触子
５０  被駆動体
２０ａ乃至２０ｃ  駆動部
２１ａ乃至２１ｃ  発信部
２２  制御部
【図１】
2006352989.tif 000003
【図２】
2006352989.tif 000004
【図３】
2006352989.tif 000005
【図４】
2006352989.tif 000006
【図５】
2006352989.tif 000007
【図６】
2006352989.tif 000008
【図７】
2006352989.tif 000009
【図８】
2006352989.tif 000010
【図９】
2006352989.tif 000011
【図１０】
2006352989.tif 000012
【図１１】
2006352989.tif 000013
【図１２】
2006352989.tif 000014
【図１３】
2006352989.tif 000015