(57)【要約】【課題】  読み出し電圧の抑制を可能にする固体撮像素子の駆動方法及び固体撮像装置を提供する。【解決手段】  受光部１及び電荷転送部２を有し、電荷転送部２の少なくとも信号電荷を読み出すための読み出し電極を兼ねる転送電極１１，１４において、信号電荷の転送に寄与する実効的領域の信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなっている固体撮像素子に対して、電荷転送部２の電荷転送方向に隣接する２つの受光部１に対応する６枚の転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６に６相の転送パルスを印加して、６相駆動による信号電荷の転送を行う。また、前記固体撮像素子と、転送電極に電圧を印加する電圧印加手段とを備え、電圧印加手段から６枚の転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６に６相の転送パルスが印加されて６相駆動による信号電荷の転送が行われる固体撮像装置を構成する。【選択図】        図１
2006012909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光部及び前記受光部から読み出された信号電荷が転送される電荷転送部を有し、
前記電荷転送部が前記受光部当たり３枚の転送電極により構成され、
前記３枚の転送電極のうち、少なくとも前記信号電荷を読み出すための読み出し電圧が印加される転送電極において、信号電荷の転送に寄与する実効的領域は、前記信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなっている固体撮像素子に対して、
前記電荷転送部の電荷転送方向に隣接する２つの前記受光部に対応する６枚の転送電極に６相の転送パルスを印加して、６相駆動による信号電荷の転送を行う
ことを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
【請求項２】
前記固体撮像素子は、前記電荷転送部の前記転送電極が、同一層の電極層のみから成る構成であることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子の駆動方法。
【請求項３】
受光部及び前記受光部から読み出された信号電荷が転送される電荷転送部を有し、前記電荷転送部が前記受光部当たり３枚の転送電極により構成され、前記３枚の転送電極のうち、少なくとも前記信号電荷を読み出すための読み出し電圧が印加される転送電極において、信号電荷の転送に寄与する実効的領域は、前記信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなっている固体撮像素子と、
前記電荷転送部の前記転送電極に電圧を印加する電圧印加手段とを備え、
前記電荷転送部の電荷転送方向に隣接する２つの前記受光部に対応する６枚の転送電極に対して、前記電圧印加手段により６相の転送パルスが印加されて、６相駆動による信号電荷の転送が行われる
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項４】
前記固体撮像素子は、前記電荷転送部の前記転送電極が、同一層の電極層のみから成る構成であることを特徴とする請求項３に記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号電荷の転送を行う電荷転送部を有する固体撮像素子の駆動方法及び固体撮像素子を備えた固体撮像装置に係わる。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＣＤ固体撮像素子において、小型化や多画素化への要求が強くなり、ユニットセルの微細化が進んでいる。
【０００３】
そして、ユニットセルを微細化し、かつ飽和信号量を確保するためには、フォトダイオード部分の開口面積比を大きくする必要がある。
しかし、このようにフォトダイオード部分の開口面積比を大きくすると、垂直転送レジスタの面積比が小さくなることから、結果として垂直転送レジスタの取り扱い電荷量が減少してしまっていた。
【０００４】
通常のＣＣＤ固体撮像素子では、垂直転送レジスタを４相駆動させて信号電荷を転送している（例えば特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平５−２５２４４７号公報（段落番号［０００３］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、垂直転送レジスタの取り扱い電荷量を確保するための方法として、１つの受光部に対して３枚の転送電極を配置し、２つの受光部に対応する６枚の転送電極で６相駆動を行うことが考えられる。
【０００６】
この６相駆動を行う場合のＣＣＤ固体撮像素子の概略構成図（要部の平面図）を図５に示す。
図５に示すように、このＣＣＤ固体撮像素子は、マトリクス状に配置された受光部５１と、各受光部５１列に対応してその一側に設けられたＣＣＤ構造の垂直転送レジスタ５２とから撮像領域が構成されている。
垂直転送レジスタ５２は、各受光部５１に対応して３枚ずつの転送電極を有している。即ち、図中上の受光部５１に対して３枚の転送電極６６，６１，６２が対応し、図中下の受光部５１に対して３枚の転送電極６３，６４，６５が対応している。
これら転送電極６１，６２，６３，６４，６５，６６は、同一層の電極層（例えば、多結晶シリコン層）のみにより形成されており、単層電極構造となっている。
転送電極６１，６２，６３，６４，６５，６６の下には、ＣＣＤ構造の垂直転送チャネル５４が形成され、垂直転送チャネル５４と右の受光部５１との間は読み出しゲート部５３となっており、左の受光部５１との間はチャネルストップ領域５５となっている。
【０００７】
そして、図中上下方向（垂直転送方向）に隣接する２つの受光部５１に対応する、垂直転送レジスタ５２の６枚の転送電極６１，６２，６３，６４，６５，６６に、それぞれ第１相〜第６相の垂直転送パルスφＶ１，φＶ２，φＶ３，φＶ４，φＶ５，φＶ６が印加され、これにより６相駆動による信号電荷の転送が行われる構成となっている。
【０００８】
このように６相駆動とすることにより、電荷転送時には、６枚の電極のうち４枚〜５枚を用いて転送を行うことになるため、垂直転送レジスタの取り扱い電荷量は、６枚中４枚の電極の面積に対応する。
これにより、通常の４相駆動の場合（取り扱い電荷量が４枚中２枚の電極の面積に対応する）と比較して、垂直転送レジスタの電荷転送時の有効面積を増やすことができるため、垂直転送レジスタの取り扱い電荷量を増加させることができる。
【０００９】
このとき、垂直転送レジスタの取り扱い電荷量を最大にするためには、各電極の垂直転送方向の長さを均等とするのが望ましい。
【００１０】
しかしながら、６相駆動とした場合も、読み出し電極は各受光部に対して１枚ずつ設けられるため、各転送電極の長さを均等にすると、読み出し電極の有効長が短くなり、結果として読み出し電圧が高くなってしまう。
【００１１】
一方、読み出し電圧が高くなることを防ぐために、読み出し電極の垂直転送方向の長さを単純に長くすると、その分読み出し電極以外の垂直転送電極の面積が減少するため、垂直転送レジスタの取り扱い電荷量が減少してしまう。また、転送電極が長い部分では、垂直転送の劣化を引き起こしてしまう。
【００１２】
上述した問題の解決のために、本発明においては、読み出し電圧の抑制を可能にする固体撮像素子の駆動方法及び固体撮像装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の固体撮像素子の駆動方法は、受光部及び受光部から読み出された信号電荷が転送される電荷転送部を有し、電荷転送部が受光部当たり３枚の転送電極により構成され、３枚の転送電極のうち、少なくとも信号電荷を読み出すための読み出し電圧が印加される転送電極において、信号電荷の転送に寄与する実効的領域は、信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなっている固体撮像素子に対して、電荷転送部の電荷転送方向に隣接する２つの受光部に対応する６枚の転送電極に６相の転送パルスを印加して、６相駆動による信号電荷の転送を行うものである。
【００１４】
本発明の固体撮像装置は、受光部及び受光部から読み出された信号電荷が転送される電荷転送部を有し、電荷転送部が受光部当たり３枚の転送電極により構成され、３枚の転送電極のうち、少なくとも信号電荷を読み出すための読み出し電圧が印加される転送電極において、信号電荷の転送に寄与する実効的領域は、信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなっている固体撮像素子と、電荷転送部の転送電極に電圧を印加する電圧印加手段とを備え、電荷転送部の電荷転送方向に隣接する２つの受光部に対応する６枚の転送電極に対して、電圧印加手段により６相の転送パルスが印加されて、６相駆動による信号電荷の転送が行われるものである。
【００１５】
上述の本発明の固体撮像素子の駆動方法によれば、固体撮像素子が、信号電荷を読み出すための読み出し電圧が印加される転送電極（読み出し電極）において、信号電荷の転送に寄与する実効的領域は、信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなっている構成であるため、信号電荷が読み出される領域の開口幅を広く確保することができる。これにより信号電荷の読み出しが容易になるため、読み出し電圧を低減しても信号電荷を充分に読み出すことが可能になる。
そして、転送電極の信号電荷の転送に寄与する実効的領域の面積をあまり増やさなくても開口幅を広く確保することができるため、他の転送電極の実効的領域の面積を縮小する必要がない。
また、読み出し電極の実効的領域は、信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなっているため、読み出し電極及び隣接する転送電極の実効的領域の境界のうち少なくとも一方の境界の長さが、信号電荷の転送方向に垂直な方向の実効的領域の幅よりも長くなるため、信号電荷の転送の間口が広くなっており、同じ電界のもとで電荷転送部における信号電荷の転送効率を向上することが可能になる。
さらに、この固体撮像素子に対して、電荷転送部の電荷転送方向に隣接する２つの受光部に対応する６枚の転送電極に６相の転送パルスを印加して、６相駆動による信号電荷の転送を行うことにより、通常の４相駆動と比較して電荷転送部の取り扱い電荷量を多くすることが可能になる。
【００１６】
上述の本発明の固体撮像装置の構成によれば、固体撮像素子が、信号電荷を読み出すための読み出し電圧が印加される転送電極（読み出し電極）において、信号電荷の転送に寄与する実効的領域は、信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなっている構成であるため、信号電荷が読み出される領域の開口幅を広く確保することができる。これにより信号電荷の読み出しが容易になるため、読み出し電圧を低減しても信号電荷を充分に読み出すことが可能になる。
そして、転送電極の信号電荷の転送に寄与する実効的領域の面積をあまり増やさなくても開口幅を広く確保することができるため、他の転送電極の実効的領域の面積を縮小する必要がない。
また、読み出し電極の実効的領域は、信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなっているため、読み出し電極及び隣接する転送電極の実効的領域の境界のうち少なくとも一方の境界の長さが、信号電荷の転送方向に垂直な方向の実効的領域の幅よりも長くなるため、信号電荷の転送の間口が広くなっており、同じ電界のもとで電荷転送部における信号電荷の転送効率を向上することが可能になる。
さらに、この固体撮像素子と、電荷転送部の転送電極に電圧を印加する電圧印加手段とを備え、電荷転送部の電荷転送方向に隣接する２つの受光部に対応する６枚の転送電極に対して、電圧印加手段により６相の転送パルスが印加されて、６相駆動による信号電荷の転送が行われることにより、通常の４相駆動と比較して電荷転送部の取り扱い電荷量を多くすることが可能になる。
【００１７】
また、上記本発明の固体撮像素子の駆動方法及び上記本発明の固体撮像装置において、固体撮像素子が、電荷転送部の転送電極が同一層の電極層のみから成る構成とすることも可能である。
このような構成としたときには、転送電極が同一層の電極層のみから成ることにより、いわゆる単層電極構造となっており、転送電極の上面の高さや転送電極の上方に形成される遮光膜の高さを低くすることができる。これにより、受光部に広い範囲の光を入射させることができ、感度の向上を図ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
上述の本発明によれば、通常の４相駆動よりも電荷転送部の取り扱い電荷量を増やすことができ、また読み出し電圧の低減と電荷転送部の転送効率の改善を図ることが可能になる。
これにより、飽和信号量の更なる増加と感度向上を実現することができる。
そして、読み出し電圧を低減することができるため、消費電力を低減することができる。
【００１９】
従って、本発明によれば、固体撮像素子のユニットセルの微細化を図った場合にも、読み出し電圧や信号電荷の転送効率等の特性を充分に確保することが可能になり、画素を微細化して固体撮像素子の多画素化や小型化を容易に実現することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の一実施の形態として、固体撮像素子の概略構成図（要部の拡大平面図）を示す。本実施の形態は、本発明をＣＣＤ固体撮像素子に適用したものである。
この固体撮像素子は、マトリクス状に配置された光電変換が行われる受光部１と、各受光部１列に対応してその一側に形成されたＣＣＤ構造の垂直転送レジスタ２とから撮像領域が構成されている。また、図示しないが、垂直転送レジスタ２から転送された信号電荷を出力部に転送するためのＣＣＤ構造の水平転送レジスタが設けられている。
【００２１】
垂直転送レジスタ２は、各受光部１に対応して３枚ずつの転送電極を有している。即ち、図中上の受光部１に対して３枚の転送電極１６,１１，１２が対応し、図中下の受光部１に対して３枚の転送電極１３，１４，１５が対応している。
これら転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６は、同一層の電極層（例えば、多結晶シリコン層）のみにより形成されており、単層電極構造となっている。
転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６の下には、ＣＣＤ構造の垂直転送チャネル４が形成され、垂直転送チャネル４と右の受光部１との間は読み出しゲート部３となっており、左の受光部１との間はチャネルストップ領域５となっている。
【００２２】
そして、図中上下方向（垂直転送方向）に隣接する２つの受光部１に対応する、垂直転送レジスタ２の６枚の転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６に、それぞれ第１相〜第６相の垂直転送パルスφＶ１，φＶ２，φＶ３，φＶ４，φＶ５，φＶ６が印加され、前述した６相駆動による信号電荷の転送が行われる構成となっている。
【００２３】
６枚の転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６のうち、第１転送電極１１及び第４転送電極１４は、その垂直転送パルスφＶ１，φＶ４に読出しパルス電圧が印加されて、信号電荷を読み出すための読み出し電極としても作用する。
また、これら第１転送電極１１及び第４転送電極１４は、垂直転送レジスタ２に島状に形成された電極部のみの構成であり、電極部に配線が接続されて、この配線を通じて垂直転送パルスφＶ１，φＶ４が供給される。
その他の転送電極１２，１３，１５，１６は、垂直転送レジスタ２に沿って延びる電極部と、垂直転送方向に隣接する受光部１間を図中左右方向（水平方向）に延びる配線部とを有し、配線部を通じて垂直転送パルスφＶ２，φＶ３，φＶ５，φＶ６が供給される。
【００２４】
本実施の形態においては、特に、読み出し電極、即ち読み出しパルス電圧が印加される第１転送電極１１及び第４転送電極１４の形状が、信号電荷の読み出される右の受光部１側の幅が広く、反対側の幅が狭い台形形状となっている。
具体的には、第１転送電極１１及び第４転送電極１４の図１中上端の端縁が右上がりに形成され、第１転送電極及び第４転送電極の図１中下端の端縁が右下がりに形成され、これらがいずれも図中上下方向（垂直転送方向）に対して斜めになっている。
【００２５】
また、垂直転送レジスタ２において、第１転送電極１１及び第４転送電極１４と隣接する他の転送電極（第２転送電極１２、第３転送電極１３、第５転送電極１５、第６転送電極１６）も、信号電荷の読み出される右の受光部１側と反対側とが非対称になっている。
これら他の転送電極１２，１３，１５，１６は、読み出し電極１１，１４側の端縁が図中上下方向（垂直転送方向）に対して斜めになっている。
【００２６】
これにより、図５に示したＣＣＤ固体撮像素子と比較して、信号電荷が読み出される領域の開口幅（実効的なゲート長）を広くすることができるため、読み出し電圧を低減することができる。
【００２７】
また、各転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６の面積が、ほぼ同等となっているため、取り扱い電荷量は、図５に示したＣＣＤ固体撮像素子と比較しても同等量を確保することができる。
これに対して、例えば、垂直転送レジスタの転送電極を矩形状としたままで、信号電荷が読み出される側の幅を広げてしまうと、その分他の転送電極の幅が狭くなり面積も小さくなることから、垂直転送レジスタの取り扱い電荷量が低下する。
【００２８】
ここで、本実施の形態における垂直転送レジスタ２の信号電荷の転送のタイミングチャートを図２に示す。また、図２のタイミングチャートによる信号電荷の転送の様子を図３に示す。図２のタイミングチャートでは、転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６にそれぞれ印加される第１相〜第６相の垂直転送パルスφＶ１，φＶ２，φＶ３，φＶ４，φＶ５，φＶ６を示している。図３では、縦の破線が１つの受光部１に対応しており、信号電荷を斜線で付して示している。
【００２９】
図２のタイミングチャートにおいて、ｔ１時は信号電荷を受光部１から垂直転送レジスタ２に読み出した直後を示している。そのため、図２では読み出し電圧パルスは表示していない。
さらに、ｔ２〜ｔ１３の過程を経て、図３に示すように、信号電荷が右から左へ、転送電極６枚分（２つの受光部１分）だけ転送される。
このようにして、６相駆動による信号電荷の転送が行われる。
【００３０】
また、図３からわかるように、信号電荷の転送過程では、常に４枚又は５枚の連続する転送電極に信号電荷があり、垂直転送レジスタ２の取り扱い電荷量は、６枚の転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６のうち（３分の２に当たる）４枚分である。
従って、従来の４相駆動の場合（４枚中半分の２枚）と比較して、垂直転送レジスタ２の取り扱い電荷量を増やすことができる。
【００３１】
また、上述した６相駆動を行うためには、垂直転送レジスタ２のそれぞれの転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６に電圧を印加する電圧印加手段（例えば、配線、電圧制御回路、電源部等）を、各転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６にそれぞれ第１相〜第６相の垂直転送パルスφＶ１，φＶ２，φＶ３，φＶ４，φＶ５，φＶ６が印加されるように構成すればよい。
そして、固体撮像素子と、このような電圧印加手段とを備えて、固体撮像装置を構成する。
【００３２】
上述の本実施の形態によれば、信号電荷が読み出される読み出し電極を兼ねる第１転送電極１１及び第４転送電極１４が、信号電荷の読出し側の幅がその反対側の幅よりも広い台形形状であることにより、信号電荷の読み出しの開口幅を広く確保することができ、信号電荷の読み出しが容易になるため、読み出し電圧を低減しても充分に受光部１から信号電荷を読み出すことが可能になる。
そして、第１転送電極１１及び第４転送電極１４は、その面積が図５に示した構成とほぼ同等であり、面積を増やさなくても開口幅を広く確保することができる。これにより、開口幅を広く確保する目的で、読み出し電極以外の転送電極の面積を縮小する必要がない。
【００３３】
このように、読み出し電圧を低減することができるため、消費電力も低減することができる。
そして、画素の微細化が進むことによる読み出し電圧の増大を抑制することが可能になる。
【００３４】
また、本実施の形態によれば、６枚の転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６に第１相〜第６相の垂直転送パルスφＶ１，φＶ２，φＶ３，φＶ４，φＶ５，φＶ６が印加されて６相駆動が行われる構成となっているため、垂直転送レジスタ２において６枚中４枚の転送電極に相当する取り扱い電荷量が得られる。これにより、通常の４相駆動の場合と比較して、垂直転送レジスタ２の取り扱い電荷量を多くすることができる。
【００３５】
また、本実施の形態によれば、転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６が同一の電極層のみで形成され、単層電極構造となっているため、転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６の上面を低くすることができ、また転送電極１１，１２，１３，１４，１５，１６の上方に形成される遮光膜の上面も低くすることができる。
これにより、受光部１に広い範囲の光を入射させることができ、感度の向上を図ることができる。
【００３６】
また、本実施の形態において、固体撮像素子の構造は、図５に示したＣＣＤ固体撮像素子の転送電極のパターンを部分的に（垂直転送レジスタの部分）変更するだけで、その他は同じ製造工程で製造することができる。
従って、構造を変更したことによる製造コストの増加はほとんどない。
【００３７】
さらに、本実施の形態によれば、読み出し電極である第１転送電極１１及び第４転送電極１４と、隣接する転送電極との互いに対向する端縁が、垂直転送方向に対して斜めになって（斜交して）いる。これにより、端縁が垂直転送方向に対して略垂直になっている場合と比較して、信号電荷の転送がなされる間口が広がることになる。転送電界即ち転送電極の電位差が同じである場合で比較すると、間口が広がることにより、転送電界が加わる実効的な距離が長く、より信号電荷の転送が容易になり、転送効率の改善を図ることが可能になる。
【００３８】
従って、本実施の形態によれば、垂直レジスタ２の取り扱い電荷量の減少を抑えつつ、読み出し電圧の低減と垂直転送効率の改善を図ることが可能である。これにより、飽和信号量の更なる増加と感度向上とを実現することができる。
【００３９】
次に、本発明の他の実施の形態として、固体撮像素子の概略構成図（要部の拡大図）を図４に示す。
本実施の形態では、読み出し電極を兼ねる第１転送電極１１及び第４転送電極１４の形状を、信号電荷を読み出す右の受光部１側が底辺となる三角形状としている。
また、読み出し電極１１，１４以外の他の転送電極１２，１３，１５，１６の読み出し電極１１，１４側の端縁も、読み出し電極１１，１４の端縁と平行であり、垂直転送方向に対して斜めに形成されている。
【００４０】
その他の構成は、図１に示した先の実施の形態と同様であるので、同一符号を付して重複説明を省略する。
また、本実施の形態でも、図２に示したタイミングチャートを採用することができる。
【００４１】
上述の本実施の形態によれば、読み出し電極を兼ねる第１転送電極１１及び第４転送電極が、信号電荷の読出し側の幅が広い三角形状であることにより、先の実施の形態と同様に、信号電荷の読み出しの開口幅を広く確保することができ、読み出し電圧を低減しても充分に受光部１から信号電荷を読み出すことが可能になる。
読み出し電圧を低減することができるため、消費電力も低減することができ、また画素の微細化が進むことによる読み出し電圧の増大を抑制することが可能になる。
また、読み出し電極である第１転送電極１１及び第４転送電極１４と、隣接する転送電極との互いに対向する端縁が、垂直転送方向に対して斜めになって（斜交して）いるので、信号電荷の転送が容易になり、転送効率の改善を図ることが可能になる。
さらに、６相駆動により垂直転送レジスタ２の取り扱い電荷量を増やすことができると共に、単層電極構造により広い範囲の光を受光部１に入射させて感度の向上を図ることが可能になる。
【００４２】
従って、本実施の形態によれば、垂直レジスタ２の取り扱い電荷量の減少を抑えつつ、読み出し電圧の低減と垂直転送効率の改善を図ることが可能であり、飽和信号量の更なる増加と感度向上とを実現することができる。
【００４３】
なお、上述の各実施の形態では、第２転送電極１２−第３転送電極１３及び第５転送電極１５−第６転送電極１６は、転送電極の端縁が垂直転送方向に垂直に形成されているが、これらの端縁を垂直転送方向に対して斜めに形成しても構わない。
その場合、転送電極の電極部と配線部のパターンが複雑にはなるが、この部分でも転送効率を向上することができる。
【００４４】
また、読み出し電極を兼ねる第１転送電極１１及び第４転送電極１４の形状は、上述した各実施の形態の形状（台形形状、三角形状）に限らず、本発明ではその他の形状も可能である。
信号電荷を読み出す側の長さが、その反対側の長さよりも広くなっていれば、本発明の読み出し電圧を低減する効果が得られる。
【００４５】
上述の各実施の形態では、各転送電極が同一層の電極層のみで形成された単層電極構造である場合を説明したが、本発明は、転送電極が２層以上の電極層により形成され、隣接する転送電極がオーバーラップした構成にも同様に適用することができる。
この場合には、読み出し電極を兼ねる転送電極において、信号電荷の転送に寄与する実効的領域の形状を、信号電荷を読み出す側の幅が、その反対側の幅よりも広くなるように構成すればよい。
【００４６】
さらに、本発明は、ＣＣＤ構造以外の電荷転送部を有する固体撮像素子にも適用することができる。
【００４７】
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施の形態の固体撮像素子の概略構成図（要部の平面図）である。
【図２】図１の垂直転送レジスタの駆動のタイミングチャートである。
【図３】図１の垂直転送レジスタにおける信号電荷の転送の様子を示す図である。
【図４】本発明の他の実施の形態の固体撮像素子の概略構成図（要部の平面図）である。
【図５】６相駆動のＣＣＤ固体撮像素子の概略構成図（要部の平面図）である。
【符号の説明】
【００４９】
１  受光部、２  垂直転送レジスタ、３  読み出しゲート部、４  垂直転送チャネル、５  チャネルストップ領域、１１，１２，１３，１４，１５，１６  転送電極
【図１】
2006012909.tif 000003
【図２】
2006012909.tif 000004
【図３】
2006012909.tif 000005
【図４】
2006012909.tif 000006
【図５】
2006012909.tif 000007