(57)【要約】【課題】移動方向判別が可能で、位置計測の分解能が高い静電エンコーダを提供する。【解決手段】スケール１０と、該スケールに対向しそれと相対的に所定方向に移動可能なセンサヘッド２０と、上記スケールに形成され上記所定方向に延在する一対の基部１２Ａ，１３Ａと、上記センサヘッドに上記一対の基部に対向して設けられた給電電極２２，２３と、上記スケールに上記一対の基部の各々から上記所定方向に直交する方向に所定のピッチで設けられた指部１２Ｂ，１３Ｂと、上記センサヘッドに上記スケールの指部に対向して設けられたＡ相交差指状電極２４，２５及びＢ相交差指状電極２６，２７と、上記給電電極に交流電圧を印加する交流電圧源３１と、上記Ａ相及びＢ相交差指状電極の各々の電位差を検知するＡ相電圧計３２及びＢ相電圧計３３とを備え、上記Ａ相及びＢ相交差指状電極のピッチは等しく、上記所定方向に所定のズレをもって配置されている。【選択図】      図１
2006047135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スケールと、
上記スケールに対向し、上記スケールに対して相対的に所定方向に移動可能なセンサヘッドと、
上記スケールに形成され、上記所定方向に延在する、一対の受信カップリング電極と、
上記センサヘッドにおいて、上記一対の受信カップリング電極に対向して設けられた送信カップリング電極と、
上記スケールにおいて、上記一対の受信カップリング電極の各々から上記所定方向に直交する方向に所定のピッチで設けられた指状電極と、
上記センサヘッドにおいて、上記スケールの指状電極に対向して設けられた二対の交差指状電極と、
上記送信カップリング電極に交流電圧を印加する電圧印加手段と、
上記センサヘッドの二対の交差指状電極の各々の電位差を検知する電位差検知手段と、
を具備し、
上記センサヘッドの二対の交差指状電極のピッチは等しく、上記所定方向に所定のズレをもって配置されている、
ことを特徴とする静電エンコーダ。
【請求項２】
スケールと、
上記スケールに対向し、上記スケールに対して相対的に所定方向に移動可能なセンサヘッドと、
上記スケールに形成され、上記所定方向に延在する、一対の受信カップリング電極と、
上記センサヘッドにおいて、上記一対の受信カップリング電極に対向して設けられた一対の送信カップリング電極と、
上記スケールにおいて、上記一対の受信カップリング電極の各々から上記所定方向に直交して所定のピッチで設けられ、互いに交差指状をなす指状電極と、
上記センサヘッドにおいて、上記スケールの指状電極に対向して設けられた二対の交差指状電極と、
上記送信カップリング電極に交流電圧を印加する電圧印加手段と、
上記センサヘッドの二対の交差指状電極の各々の電位差を検知する電位差検知手段と、
を具備し、
上記センサヘッドの二対の交差指状電極のピッチは等しく、上記所定方向に所定のズレをもって配置されている、
ことを特徴とする静電エンコーダ。
【請求項３】
上記受信カップリング電極が上記所定方向に複数の領域に分割されていることを特徴とする請求項１または２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
上記センサヘッドにおいて、上記送信カップリング電極と上記交差指状電極との間に、上記所定方向に延在するサブ電極を設けたことを特徴とする請求項１または２に記載の静電エンコーダ。
【請求項５】
上記サブ電極が接地されていることを特徴とする請求項４に記載の静電エンコーダ。
【請求項６】
上記サブ電極には、上記送信カップリング電極に印加される交流電圧が上記交差指状電極の電位に及ぼす影響を相殺する交流電圧が印加されることを特徴とする請求項４に記載の静電アクチュエータ。
【請求項７】
上記二対の交差指状電極の対同士が互いに入り組んだ状態で配置されていることを特徴とする請求項１に記載の静電エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータの制御などに用いるエンコーダは各種の方式が提案されており、その中で、静電エンコーダは薄型化が可能であることと、センサ自体は比較的低コストである点で優れている。このような静電エンコーダとしては、例えば、特許文献１に開示されている方法が知られている。この静電エンコーダについて、図４乃至図６を用いて簡単に説明する。
【０００３】
即ち、図４は、この静電エンコーダの全体図を示しており、スケール１０２に対向してセンサヘッド１００が配置され、該センサヘッド１００は、図示矢印の方向に、上記スケール１０２に対して相対変位する。
【０００４】
図５は、上記センサヘッドの詳細図で、スケールとセンサヘッドの相対変位の方向（図５の左右方向）に延在する帯状電極２１４，２１５に電圧源２３０より余弦交流電圧が印加され、帯状電極２１０，２１１には電圧源２２８より正弦交流電圧が印加される。また、センサヘッドの中央部分には指部２０４，２０５及び基部２０６，２０７より構成される交差指状電極が形成され、電圧計２３２によって基部２０６，２０７間の電圧が測定される。
【０００５】
図６は、上記スケールの詳細図で、基部２２６と指部２２２よりなる第１交差指状電極と、基部２２４と指部２２０よりなる第２交差指状電極とが、周期的に配置されている。ここで、上記センサヘッドの帯状電極２１４，２１５には第１交差指状電極の基部２２６が対向し、上記センサヘッドの帯状電極２１０，２１１には第２交差指状電極の基部２２４が対向するので、第１交差指状電極の指部２２２には余弦電圧が、第２交差指状電極の指部２２０には正弦電圧が誘起される。
【０００６】
このような構成において、スケールが所定の速度でセンサヘッドに対して変位すると、第１交差指状電極の指部２２２及び第２交差指状電極の指部２２０によって、これらに対向するセンサヘッドの交差指状電極の指部２０４に誘起される電圧が周期的に変化するので、これをカウントすることでスケールの変位を検知することができる。ここで、スケールの交差指状電極に正弦交流電圧と余弦交流電圧が誘起される構成となっているのは、スケールとセンサヘッドの相対変位とは別にスケールの交差指状電極の指部に誘起される交流電圧の周期的な変化の影響を相殺するためのもので、電圧計２３２で検出される電圧に位相検波を適用すれば、余弦交流電圧源２３０と正弦交流電圧源２２８のいずれか一方を省略することもできる。
【０００７】
このように、上記特許文献１に開示された方法に依れば、センサヘッドとスケールを単純な配線板で構成することができるので、非常に薄いエンコーダを比較的低コストで製作することができる。
【特許文献１】米国特許第３,９６１,３１８号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記の方法では、変位量に比例した数の出力電圧の周期的な変化が得られるが、その方向を判別することはできない。また、その分解能は実質的に交差指状電極の指部のパターンピッチに制限されてしまい、製作技術上の制限から高分解能の位置センシングは困難である。
【０００９】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、移動方向の判別が可能で、位置計測の分解能が高い静電エンコーダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の静電エンコーダの一態様は、スケールと、上記スケールに対向し、上記スケールに対して相対的に所定方向に移動可能なセンサヘッドと、上記スケールに形成され、上記所定方向に延在する、一対の受信カップリング電極と、上記センサヘッドにおいて、上記一対の受信カップリング電極に対向して設けられた送信カップリング電極と、上記スケールにおいて、上記一対の受信カップリング電極の各々から上記所定方向に直交する方向に所定のピッチで設けられた指状電極と、上記センサヘッドにおいて、上記スケールの指状電極に対向して設けられた二対の交差指状電極と、上記送信カップリング電極に交流電圧を印加する電圧印加手段と、上記センサヘッドの二対の交差指状電極の各々の電位差を検知する電位差検知手段とを具備し、上記センサヘッドの二対の交差指状電極のピッチは等しく、上記所定方向に所定のズレをもって配置されていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の静電エンコーダの別の態様は、スケールと、上記スケールに対向し、上記スケールに対して相対的に所定方向に移動可能なセンサヘッドと、上記スケールに形成され、上記所定方向に延在する、一対の受信カップリング電極と、上記センサヘッドにおいて、上記一対の受信カップリング電極に対向して設けられた一対の送信カップリング電極と、上記スケールにおいて、上記一対の受信カップリング電極の各々から上記所定方向に直交して所定のピッチで設けられ、互いに交差指状をなす指状電極と、上記センサヘッドにおいて、上記スケールの指状電極に対向して設けられた二対の交差指状電極と、上記送信カップリング電極に交流電圧を印加する電圧印加手段と、上記センサヘッドの二対の交差指状電極の各々の電位差を検知する電位差検知手段とを具備し、上記センサヘッドの二対の交差指状電極のピッチは等しく、上記所定方向に所定のズレをもって配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、移動方向の判別が可能で、位置計測の分解能が高い静電エンコーダを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【００１４】
［第１実施形態］
本発明の第１実施形態に係る静電エンコーダついて、図１（Ａ）及び（Ｂ）を用いて説明する。
【００１５】
図１（Ａ）は、本実施形態に係る静電エンコーダのスケール１０を示す図である。このスケール１０は、ガラス基板１１上に、基部１２Ａ及び指部１２Ｂより成る第１電極１２と基部１３Ａ及び指部１３Ｂより成る第２電極１３とで構成される交差指状電極１４が形成されている。上記指部１２Ｂ，１３Ｂは、一定のピッチλで配置される。ここで、交差指状電極１４の基部１２Ａ，１３Ａは、スケール１０の全域に渡って一体ではなく、適当な間隔で設けられたスリット１５によって、センサヘッド２０（後述）とスケール１０の相対変位の方向（図中の矢印で示した方向）に分断されている。また、特に図示はしないが、交差指状電極１４の表面には、薄い絶縁層が形成されているものとする。
【００１６】
図１（Ｂ）は、本実施形態に係る静電エンコーダのセンサヘッド２０を示す図である。このセンサヘッド２０は、樹脂基板２１上に、一対の給電電極２２，２３、Ａ相交差指状電極２４，２５、Ｂ相交差指状電極２６，２７、サブ電極２８，２９がそれぞれ形成されている。
【００１７】
この場合、並列して配置されたＡ相交差指状電極２４，２５及びＢ相交差指状電極２６，２７の指部のピッチは同じであるが、センサヘッド２０とスケール１０の相対変位の方向（図中の矢印で示した方向）に１／４ピッチ分ずれているものとする。また、それら交差指状電極２４，２５，２６，２７の指部のピッチは、スケール１０の交差指状電極１４の指部１２Ｂ，１３Ｂのピッチλの１／２倍である。
【００１８】
ここで、実際の使用時には、これらのセンサヘッド２０上の電極とスケール１０の交差指状電極１４とは互いに対向し、給電電極２２と交差指状電極１４の基部１２Ａ、給電電極２３と交差指状電極１４の基部１３Ａがそれぞれ互いに対向する。
【００１９】
また、結線図として併せて図示したように、給電電極２２，２３は交流電圧源３１に、Ａ相交差指状電極２４，２５はＡ相電圧計３２に、Ｂ相交差指状電極２６，２７はＢ相電圧計３３に、サブ電極２８，２９は補償信号源３４に、それぞれ接続されている。
【００２０】
次に、本実施形態に係るエンコーダの動作について説明する。
【００２１】
センサヘッド２０の給電電極２２，２３には交流電圧源３１から交流電圧が印加されるので、これらに対向するスケール１０の交差指状電極１４の基部１２Ａ，１３Ａとの静電誘導によって、これらに電気的に接続された交差指状電極１４の指部１２Ｂ，１３Ｂに交流電場が生じる。この交差指状電極１４の指部１２Ｂ，１３Ｂに対向する部位には、センサヘッド２０のＡ相交差指状電極２４，２５及びＢ相交差指状電極２６，２７が存在するので、センサヘッド２０とスケール１０の相対的な変位に伴い、変位量に応じた周期的な電位の変化が検出される。もちろん、これらの電位変化は交流電圧源３１の周波数に応じた成分も含まれているが、位相検波によってこれを除去すると、センサヘッド２０とスケール１０の相対的な変位に起因した電位変化を計測することが可能となる。
【００２２】
ここで、センサヘッド２０がスケール１０に対して、図１（Ｂ）に記載した矢印の方向に変位した場合の、Ａ相電圧計３２及びＢ相電圧計３３の位相検波後の出力を、図２に模式的に示す。
【００２３】
Ａ相交差指状電極２４，２５は、Ｂ相交差指状電極２６，２７に対して１／４ピッチ（位相で９０°）ずれているので、Ｂ相電圧計３３の出力は、Ａ相電圧計３２の出力に対して位相にして９０°遅れている。逆に、センサヘッド２０が図１（Ｂ）の矢印とは逆の方向に変位した場合には、Ｂ相電圧計３３の出力は、Ａ相電圧計３２の出力に対して位相にして９０°進むことになる。このように、Ａ相電圧計３２の出力とＢ相電圧計３３の出力との両方を計測することによって、変位の方向を判別することが可能になる。また、Ａ相電圧計３２の出力とＢ相電圧計３３の出力とからリサージュ波形をとって、その位相角を求める分周回路を設けることによって、スケール１０の交差指状電極１４のピッチよりも細かな分解能で変位を求めることも可能となる。
【００２４】
このように、本実施形態の方法にあっては、方向判別が可能で、分解能の高い静電エンコーダを得ることができる。
【００２５】
なお、本実施形態にあっては、給電電極２２，２３で互いに逆相となる交流電圧を印加しているが、いずれか一方を接地しても静電エンコーダとして機能する。
【００２６】
しかしながら、このような構成の静電エンコーダは、給電電極２２，２３に印加された交流電圧がスケール１０の交差指状電極１４に誘起され、これがノイズ源となって周囲に設置された他の電子機器に悪影響を及ぼす可能性がある。このような現象は、交流電圧が誘起された交差指状電極１４の面積が大きいほど顕著となる。また、スケール１０の交差指状電極１４の面積が大きいと、周囲に設置された他の電子機器が発生するノイズの影響を受け易くなるといった問題もある。このような問題は、変位方向の長さがセンサヘッド２０よりもスケール１０の方が大幅に長い場合に特に重要である。
【００２７】
ここで、本実施形態におけるスケール１０においては、交差指状電極１４の基部１２Ａ，１３Ａは、スリット１５によって適当な周期で分断されている。このため、センサヘッド２０の給電電極２２，２３が対向している部位のみでスケール１０の交差指状電極１４の指部１２Ｂ，１３Ｂの交流電場が発生し、センサヘッド２０と重なっていない不要な領域では給電電極２２，２３を介しての電圧印加は生じない。従って、この静電エンコーダが周囲の悪影響を及ぼす影響を低減することができる。また、スケール１０の交差指状電極１４でセンサヘッド２０と重なっていない領域においてはスリット１５によって電気的に分離されているので、周囲に設置された外部機器が発生するノイズの影響を小さくして、より高精度の変位計測が可能となる。
【００２８】
また、センサヘッド２０の給電電極２２，２３とＡ相交差指状電極２４，２５及びＢ相交差指状電極２６，２７とが近接している場合には、給電電極２２，２３に印加される交流電圧がＡ相交差指状電極２４，２５及びＢ相交差指状電極２６，２７に直接影響して、図２で模式的に示したＡ相電圧計３２及びＢ相電圧計３３の位相検波後の出力のオフセットとなり、これもまた計測精度低下の原因となる。センサヘッド２０の、給電電極２２，２３とＡ相交差指状電極２４，２５、Ｂ相交差指状電極２６，２７との間に配置されたサブ電極２８，２９は、その影響を緩和するためのものである。例えば、サブ電極２８，２９を接地することで、給電電極２２，２３の電圧がＡ相交差指状電極２４，２５、Ｂ相交差指状電極２６，２７に影響を与える度合いを緩和したり、給電電極２２と逆相の電圧をサブ電極１１５に印加し、給電電極２３と逆相の電圧をサブ電極１１６に印加して、給電電極２２，２３の電圧がＡ相交差指状電極２４，２５、Ｂ相交差指状電極２６，２７に及ぼす影響を相殺することができる。その場合の印加電圧については、スケール１０を除去した状態でＡ相電圧計３２とＢ相電圧計３３の位相検波後の出力が０となるように調整することが特に望ましい。このように、サブ電極２８，２９を配置して適正な電位制御を行なうことで、図２で模式的に示したＡ相電圧計３２とＢ相電圧計３３の位相検波後の出力のオフセットを低減して、計測精度の低下を抑制することができる。
【００２９】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る静電エンコーダを説明する。本実施形態においては、スケール１０は図１（Ａ）に示したものと同じであって、センサヘッド２０のみが異なる。
【００３０】
このセンサヘッド２０の構成を図３に示す。給電電極２２，２３とサブ電極２８，２９の構成は図１（Ｂ）と同じであり、Ａ相交差指状電極及びＢ相交差指状電極の構成が異なる。即ち、図１（Ｂ）においてはＡ相交差指状電極及びＢ相交差指状電極は独立した交差指状を成して並べて配置されていたが、本実施形態においては、４相のピッチλ／２の帯状電極４１，４２，４３，４４となっている。また、各相の配線電極４５，４６，４７，４８は基板裏面に形成され、帯状電極４１，４２，４３，４４と配線電極４５，４６，４７，４８とは、コンタクト孔４９によって、必要な部位で接続されている。そして、一定のピッチで並べられた帯状電極４１，４２，４３，４４は順番にコンタクト孔４９を介して、図中の上側から順番に４本周期で配線電極４５，４６，４７，４８に接続される。ただし、図が煩雑になるのを避けるために、帯状電極４１，４２，４３，４４に対する付番は図中の上側の４本のみとしている。つまり、配線電極４５，４６，４７，４８は位相にして０°，９０°，１８０°，２７０°に対応し、位相０°と１８０°（配線電極４５，４６に対応）がＡ相電圧計３２に接続され、位相９０°と２７０°（配線電極４７，４８に対応）がＢ相電圧計３３に接続される。
【００３１】
このように接続することで、Ａ相電圧計３２とＢ相電圧計３３は位相差９０°の信号が出力されるので、第１実施形態と同様に変位計測が可能である。本実施形態は、第１実施形態と異なり、センサヘッド２０の配線を２層構成とすることが必須となるため、低コスト化の面ではやや不利であるが、Ａ相の交差指状電極とＢ相の交差指状電極とが互いに入り組んだ状態で配置されているため、センサヘッド２０とスケール１０とが平行な状態から若干ずれた場合にあっても安定した変位計側ができるメリットがある。
【００３２】
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
【００３３】
例えば、上記実施形態にあっては、スケール１０に関して交差指状の電極を構成しており、この構成が、出力信号が大きく、信号のＳ／Ｎ比の点で優れているが、交差指状の電極の一方、例えば図１（Ａ）における基部１３Ａ及び指部１３Ｂ、を省略しても静電エンコーダとして機能する。この場合は、センサヘッド２０の給電電極２３も省略できるので、センサの幅を縮小することができる。性能面では上記実施形態より劣るが、小型化を重視する用途にあっては好適である。
【００３４】
（付記）
前記の具体的実施形態から、以下のような構成の発明を抽出することができる。
【００３５】
（１）  スケールと、
上記スケールに対向し、上記スケールに対して相対的に所定方向に移動可能なセンサヘッドと、
上記スケールに形成され、上記所定方向に延在する、一対の受信カップリング電極と、
上記センサヘッドにおいて、上記一対の受信カップリング電極に対向して設けられた送信カップリング電極と、
上記スケールにおいて、上記一対の受信カップリング電極の各々から上記所定方向に直交する方向に所定のピッチで設けられた指状電極と、
上記センサヘッドにおいて、上記スケールの指状電極に対向して設けられた二対の交差指状電極と、
上記送信カップリング電極に交流電圧を印加する電圧印加手段と、
上記センサヘッドの二対の交差指状電極の各々の電位差を検知する電位差検知手段と、
を具備し、
上記センサヘッドの二対の交差指状電極のピッチは等しく、上記所定方向に所定のズレをもって配置されている、
ことを特徴とする静電エンコーダ。
【００３６】
（対応する実施形態）
この（１）に記載の静電エンコーダに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。それらの実施形態において、例えば、上記スケールはスケール１０が対応し、上記センサヘッドはセンサヘッド２０が対応し、上記一対の受信カップリング電極は交差指状電極１４の基部１２Ａ，１３Ａが対応し、上記送信カップリング電極は給電電極２２，２３が対応し、上記指状電極は交差指状電極１４の指部１２Ｂ，１３Ｂが対応し、上記二対の交差指状電極はＡ相交差指状電極２４，２５、Ｂ相交差指状電極２６，２７が対応し、上記電圧印加手段は交流電圧源３１が対応し、上記電位差検知手段はＡ相電圧計３２及びＢ相電圧計３３が対応する。
【００３７】
（作用効果）
この（１）に記載の静電エンコーダによれば、移動方向の判別が可能で、位置計測の分解能が高い静電エンコーダを提供することができる。
【００３８】
（２）  スケールと、
上記スケールに対向し、上記スケールに対して相対的に所定方向に移動可能なセンサヘッドと、
上記スケールに形成され、上記所定方向に延在する、一対の受信カップリング電極と、
上記センサヘッドにおいて、上記一対の受信カップリング電極に対向して設けられた一対の送信カップリング電極と、
上記スケールにおいて、上記一対の受信カップリング電極の各々から上記所定方向に直交して所定のピッチで設けられ、互いに交差指状をなす指状電極と、
上記センサヘッドにおいて、上記スケールの指状電極に対向して設けられた二対の交差指状電極と、
上記送信カップリング電極に交流電圧を印加する電圧印加手段と、
上記センサヘッドの二対の交差指状電極の各々の電位差を検知する電位差検知手段と、
を具備し、
上記センサヘッドの二対の交差指状電極のピッチは等しく、上記所定方向に所定のズレをもって配置されている、
ことを特徴とする静電エンコーダ。
【００３９】
（対応する実施形態）
この（２）に記載の静電エンコーダに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。それらの実施形態において、例えば、上記スケールはスケール１０が対応し、上記センサヘッドはセンサヘッド２０が対応し、上記一対の受信カップリング電極は交差指状電極１４の基部１２Ａ，１３Ａが対応し、上記送信カップリング電極は給電電極２２，２３が対応し、上記指状電極は交差指状電極１４の指部１２Ｂ，１３Ｂが対応し、上記二対の交差指状電極はＡ相交差指状電極２４，２５、Ｂ相交差指状電極２６，２７が対応し、上記電圧印加手段は交流電圧源３１が対応し、上記電位差検知手段はＡ相電圧計３２及びＢ相電圧計３３が対応する。
【００４０】
（作用効果）
この（２）に記載の静電エンコーダによれば、移動方向の判別が可能で、位置計測の分解能が高い静電エンコーダを提供することができる。
【００４１】
（３）  上記受信カップリング電極が上記所定方向に複数の領域に分割されていることを特徴とする（１）または（２）に記載の静電アクチュエータ。
【００４２】
（対応する実施形態）
この（３）に記載の静電エンコーダに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００４３】
（作用効果）
この（３）に記載の静電エンコーダによれば、スケールの必要以外の領域で交流電場が発生することを防ぐことができる。
【００４４】
（４）  上記センサヘッドにおいて、上記送信カップリング電極と上記交差指状電極との間に、上記所定方向に延在するサブ電極を設けたことを特徴とする（１）または（２）に記載の静電エンコーダ。
【００４５】
（対応する実施形態）
この（４）に記載の静電エンコーダに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００４６】
（作用効果）
この（４）に記載の静電エンコーダによれば、送信カップリング電極の交流電圧がセンシングのための交差指状電極に影響を与えるのを防ぐことができる。
【００４７】
（５）  上記サブ電極が接地されていることを特徴とする（４）に記載の静電エンコーダ。
【００４８】
（対応する実施形態）
この（５）に記載の静電エンコーダに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００４９】
（作用効果）
この（５）に記載の静電エンコーダによれば、送信カップリング電極の交流電圧がセンシングのための交差指状電極に影響を与えるのを防ぐことができる。
【００５０】
（６）  上記サブ電極には、上記送信カップリング電極に印加される交流電圧が上記交差指状電極の電位に及ぼす影響を相殺する交流電圧が印加されることを特徴とする（４）に記載の静電アクチュエータ。
【００５１】
（対応する実施形態）
この（６）に記載の静電エンコーダに関する実施形態は、第１及び第２実施形態が対応する。
【００５２】
（作用効果）
この（６）に記載の静電エンコーダによれば、送信カップリング電極の交流電圧がセンシングのための交差指状電極に影響を与えるのを防ぐことができる。
【００５３】
（７）  上記二対の交差指状電極の対同士が互いに入り組んだ状態で配置されていることを特徴とする（１）に記載の静電エンコーダ。
【００５４】
（対応する実施形態）
この（７）に記載の静電エンコーダに関する実施形態は、第２実施形態が対応する。
【００５５】
（作用効果）
この（７）に記載の静電エンコーダによれば、センシング用の二対の交差指状電極を入れ子状に形成することで、センサヘッドがスケールに対して傾いた場合の影響を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る静電エンコーダのスケールの構成を示す図であり、（Ｂ）は同じくセンサヘッドの構成を示す図である。
【図２】Ａ相電圧計及びＢ相電圧計の位相検波後の出力を模式的に示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る静電エンコーダのセンサヘッドの構成を示す図である。
【図４】従来の静電エンコーダの全体構成を示す図である。
【図５】従来の静電エンコーダのセンサヘッドの詳細を示す図である。
【図６】従来の静電エンコーダのスケールの詳細を示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０…スケール、  １１…ガラス基板、  １２…電極、  １２Ａ，１３Ａ…基部、  １２Ｂ，１３Ｂ…指部、  １３…電極、  １４…交差指状電極、  １５…スリット、  ２０…センサヘッド、  ２１…樹脂基板、  ２２，２３…給電電極、  ２４，２５…Ａ交差指状電極、  ２６，２７…Ｂ相交差指状電極、  ２８，２９…サブ電極、  ３１…交流電圧源、  ３２…Ａ相電圧計、  ３３…Ｂ相電圧計、  ３４…補償信号源、  ４１，４２，４３，４４…帯状電極、  ４５，４６，４７，４８…配線電極、  ４９…コンタクト孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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