(57)【要約】【課題】  生産性を向上させることができる電気光学装置用基板ユニット、電気光学装置、電気光学装置用基板ユニットの製造方法、電気光学装置の製造方法及び液晶装置の製造方法を提供すること。【解決手段】  マザー基板２とマザー基板３とを貼り合わせたときに、保持部材４と保持部材５とが当接するようになっており、対向する基板に直接的に当接するようにはなっていないため、保持部材４または保持部材５が熱変化により膨張・収縮した場合であっても、対向する基板を圧迫することが無く、マザー基板２とマザー基板３との相対位置をずらしてしまうことが無い。【選択図】  図１２
2006215223.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置された第１基板と第２基板とからなる電気光学装置用基板ユニットであって、
前記第１基板の表面には、対向して配置された前記第２基板との相対位置を保持する第
１保持部材が設けられており、
前記第２基板の表面には、対向して配置された前記第１基板の前記第１保持部材に当接
して前記第１基板との相対位置を保持する第２保持部材が設けられており、
前記第１保持部材のうち前記第２保持部材に当接する部分には、凹部が設けられており
、
前記第２保持部材のうち前記第１保持部材に当接する部分には、前記凹部に嵌合する凸
部が設けられている
ことを特徴とする電気光学装置用基板ユニット。
【請求項２】
前記凹部が、段状に設けられており、
前記凸部が、前記凹部の形状に対応するように段状に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置用基板ユニット。
【請求項３】
前記第１保持部材の前記凹部の底部には、凹部が更に設けられており、
前記第２保持部材の前記凸部の頭頂部には、前記底部に設けられた凹部に嵌合する凸部
が更に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電気光学装置用基
板ユニット。
【請求項４】
前記底部に設けられた凹部及び前記頭頂部に設けられた凸部の平面形状が矩形であるこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちいずれか一項に記載の電気光学装置用基板ユ
ニット。
【請求項５】
前記第１保持部材及び前記第２保持部材の平面形状が矩形であることを特徴とする請求
項１乃至請求項４のうちいずれか一項に記載の電気光学装置用基板ユニット。
【請求項６】
対向配置された第１基板と第２基板とを有する電気光学装置であって、
前記第１基板の表面には、対向して配置された前記第２基板との相対位置を保持する第
１保持部材が設けられており、
前記第２基板の表面には、対向して配置された前記第１基板の前記第１保持部材に当接
して前記第１基板との相対位置を保持する第２保持部材が設けられており、
前記第１保持部材のうち前記第２保持部材に当接する部分には、凹部が設けられており
、
前記第２保持部材のうち前記第１保持部材に当接する部分には、前記凹部に嵌合する凸
部が設けられている
ことを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
第１基板と、当該第１基板と対向して配置された第２基板とを具備する電気光学装置用
基板ユニットの製造方法であって、
対向して配置される前記第１基板と前記第２基板との相対位置を保持する凹部を有した
第１保持部材を前記第１基板の表面に形成する工程と、
前記第１保持部材の前記凹部に嵌合して対向して配置される前記第１基板と前記第２基
板との相対位置を保持する凸部を有した第２保持部材を前記第２基板の表面に形成する工
程と
を具備することを特徴とする電気光学装置用基板ユニットの製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項５のうちいずれか一項に記載の電気光学装置用基板ユニットから電
気光学装置を製造する方法であって、
前記第１基板と前記第２基板との位置を合わせた状態で、前記第１保持部材と前記第２
保持部材とが当接するように、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせる工程と、
前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせた状態で、前記第１基板及び前記第２基板
を切断する工程と
を具備することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至請求項５のうちいずれか一項に記載の電気光学装置用基板ユニットのうち
、前記第１基板と前記第２基板との位置を合わせた状態で、前記第１保持部材と前記第２
保持部材とが当接するように、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせる工程と、
前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせた状態で、前記第１基板及び前記第２基板
を切断する工程と、
前記第１基板と前記第２基板との間に液晶を挟持させる工程と
を具備することを特徴とする液晶装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置用基板ユニット、電気光学装置、電気光学装置用基板ユニット
の製造方法、電気光学装置の製造方法及び液晶装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置等の電気光学装置においては、２枚の基板を貼り合わせることで形成されてい
るものが多い。２枚の基板を貼り合わせる際には、例えば画像処理を使用した自動アライ
メント装置を用い、両基板に形成しておいたアライメントマーク同士の位置を合わせる、
いわゆる位置合わせが行われている。
【０００３】
位置合わせの工程では、例えばアライメント装置の精度等に由来する位置ずれが生じる
。また、位置合わせの後、例えば２枚の基板を貼り合わせて切断する工程においては、貼
り合わされた基板に位置ずれが生じることがある。このように位置ずれが生じると、その
分液晶パネルの開口率が低下するため、位置ずれが所定の範囲（マージン）を超える液晶
パネルは、製品として出荷されずに廃棄されてしまう。したがって、位置ずれを抑えるこ
とは、液晶装置の生産性を向上させる観点で重要な課題である。
【０００４】
これに対して、２枚の基板のうち一方には凹部を設け、他方には凸部を設けて、基板を
貼り合わせるときに凸部と凹部とを嵌合させることによって位置ずれを抑える方法が開示
されている（例えば、特許文献１参照。）。  
【特許文献１】特開２００２−１６２９１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の記載によれば、凹部及び凸部が対向する基板に直接的に当
接するように形成されているため、凸部または凹部が熱変化により膨張・収縮した場合、
十分な位置合わせができずに基板の相対位置をずらしてしまう可能性がある。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、生産性を向上させることができる電気光学
装置用基板ユニット、電気光学装置、電気光学装置用基板ユニットの製造方法、電気光学
装置の製造方法及び液晶装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る電気光学装置用基板ユニットは、対向配置され
た第１基板と第２基板とからなる電気光学装置用基板ユニットであって、前記第１基板の
表面には、対向して配置された前記第２基板との相対位置を保持する第１保持部材が設け
られており、前記第２基板の表面には、対向して配置された前記第１基板の前記第１保持
部材に当接して前記第１基板との相対位置を保持する第２保持部材が設けられており、前
記第１保持部材のうち前記第２保持部材に当接する部分には、凹部が設けられており、前
記第２保持部材のうち前記第１保持部材に当接する部分には、前記凹部に嵌合する凸部が
設けられていることを特徴とする。
【０００８】
本願発明において、電気光学装置とは、電界により物質の屈折率が変化して光の透過率
を変化させる電気光学効果を有するものの他、電気エネルギーを光学エネルギーに変換す
るもの等も含んで総称している。具体的には、電気光学物質として液晶を用いる液晶表示
装置、有機ＥＬ(Electro-Luminescence)を用いる有機ＥＬ装置、無機ＥＬを用いる無機Ｅ
Ｌ装置、電気光学物質としてプラズマ用ガスを用いるプラズマディスプレイ装置等がある
。さらには、電気泳動ディスプレイ装置（ＥＰＤ：Electrophoretic Display）、フィー
ルドエミッションディスプレイ装置（ＦＥＤ：電界放出表示装置：Field Emission Displ
ay）等がある。
【０００９】
ここで、「ユニット」とは、第１基板と第２基板との組をいうものであり、第１基板と
第２基板とが貼り合わされている形態、貼り合わされていない形態の両方を含む概念であ
る。また、「相対位置」とは、第１基板と第２基板との平面的な位置や、第１基板と第２
基板との間隔等を含む意味である。
【００１０】
本発明によれば、第１基板と第２基板とを貼り合わせたときに、第１保持部材と第２保
持部材とが当接するようになっており、対向する基板に直接的に当接するようにはなって
いないため、第１保持部材または第２保持部材が熱変化により膨張・収縮した場合であっ
ても、第１保持部材と第２保持部材との当接部で吸収される。これにより、熱変化による
膨張・収縮の影響が第１基板及び第２基板に及ぶことが無く、基板の相対位置をずらして
しまうことは無い。
【００１１】
また、当該第１保持部材と第２保持部材との当接部分に生じる摩擦力によって第１基板
と第２基板とがずれるのを抑えることができる。加えて、第１保持部材と第２保持部材と
が当接する部分では、第１保持部材に設けられた凹部に第２保持部材に設けられた凸部が
嵌合するようになっているので、より確実にずれを抑えることができる。これにより、当
該電気光学装置用基板ユニットから形成される液晶装置の生産性を高めることができる。
【００１２】
加えて、本発明では、第１保持部材と第２保持部材とによって第１基板と第２基板とを
貼り合わせたときに形成されるセルギャップを保持することも可能となる。特に本発明で
は、第１保持部材及び第２保持部材の寸法を一定の寸法に固定したまま、凹部及び凸部の
寸法のみを所望の寸法に設計することで、嵌合機能とギャップ保持機能とを独立して調節
することができる。
【００１３】
例えば第１基板及び第２基板の寸法が大きい場合には、基板の自重で第１保持部材又は
第２保持部材が圧迫される可能性があるため、凹部を深く、凸部を短くして凸部の頭頂部
が凹部の底を圧迫しないように設計することができる。また、例えば第１基板及び第２基
板の寸法が小さい場合には、自重で第１保持部材又は第２保持部材が圧迫される可能性は
低いが、わずかな外力で位置がずれる可能性があるため、凹部を深く、凸部を長くしてし
っかり固定できるように設計することができる。このように、状況に合わせて最適な寸法
に設定できるという利点がある。
【００１４】
また、前記凹部が、段状に設けられており、前記凸部が、前記凹部の形状に対応するよ
うに段状に設けられていることが好ましい。  
本発明では、第１基板と第２基板とを貼り合わせたときに、いずれかの基板に外力が加
えられた場合であっても、凹部の段差の部分と凸部の段差の部分とが引っかかるようにな
っているため、第１基板と第２基板との相対位置がずれるのを抑えることができる。第１
保持部材の当接面と凹部の底との段差は１段であっても良いし、複数段であっても良い。
これに対応するように、第２保持部材の当接面と凸部の頭頂部との段差も１段であっても
複数段であっても良い。
【００１５】
段状に設けられた凹部及び凸部は、例えばレジスト等の感光性樹脂を材料として形成す
ることができる。具体的には、第１基板上にレジストを形成し、光透過率が場所によって
段階的に変化している露光マスクを用いてそのレジストを露光する。レジストがポジ型レ
ジストの場合、例えばレジストのうち第１保持部材の形成されない部分には光源からの露
光光がほぼ１００％照射されるように、凹部に相当する部分には光源からの露光光がほぼ
５０％照射されるように、第２保持部材との当接部分には露光光が照射されないように、
露光マスクの光透過率をそれぞれの領域ごとに調節して露光光を照射することができる。
【００１６】
光源からの露光光がほぼ１００％照射された部分のレジストは、表面から底まで感光し
、光源からの露光光がほぼ５０％照射された部分のレジストは、表面から略半分の高さの
部分まで感光する。このように露光光が照射されたレジストを例えば現像液で現像すると
、露光光に感光した部分が当該現像液に溶解し、凹部を有する第１保持部材が形成される
。
【００１７】
第２保持部材を形成する場合は、例えばレジストのうち第２保持部材の形成されない部
分には光源からの露光光がほぼ１００％照射されるように、第１保持部材と当接する部分
には光源からの露光光がほぼ５０％照射されるように、凸部には露光光が照射されないよ
うに、露光マスクの光透過率をそれぞれの領域ごとに調節して露光光を照射することがで
きる。
【００１８】
なお、レジストがネガ型レジストの場合には、現像液に溶解させない部分に露光光を照
射するため、露光マスクの光透過率をポジ型レジストを用いる場合とは異なるように調節
する必要がある。
【００１９】
また、前記第１保持部材の前記凹部の底部には、凹部が更に設けられており、前記第２
保持部材の前記凸部の頭頂部には、前記底部に設けられた凹部に嵌合する凸部が更に設け
られていることが好ましい。  
「凹部−凸部」及び「底部に設けられた凹部−頭頂部に設けられた凸部」による二重の
嵌合により、第１基板及び第２基板の相対位置がしっかり保持され、より確実にズレを防
ぐことができる。
【００２０】
また、前記底部に設けられた凹部及び前記頭頂部に設けられた凸部の平面形状が矩形で
あることが好ましい。  
本発明では、底部に設けられた凹部及び頭頂部に設けられた凸部が矩形となっているの
で、当該底部に設けられた凹部の角と当該頭頂部に設けられた凸部の角とが引っかかり、
回転方向へのズレを防ぐことができる。また、矩形であれば、容易に設計・製造すること
が可能となる。
【００２１】
また、前記第１保持部材及び前記第２保持部材の平面形状が矩形であることが好ましい
。  
第１保持部材及び第２保持部材を矩形することにより、当該第１保持部材及び第２保持
部材の設計や、パターニングが容易となる。特に、凹部及び凸部を平面的に見た形状が矩
形である場合、第１保持部材及び第２保持部材の平面的な形状を、凹部及び凸部の平面的
な形状と合わせることができるため、設計・製造が一層容易になる。
【００２２】
本発明の別の観点に係る電気光学装置は、対向配置された第１基板と第２基板とを有す
る電気光学装置であって、前記第１基板の表面には、対向して配置された前記第２基板と
の相対位置を保持する第１保持部材が設けられており、前記第２基板の表面には、対向し
て配置された前記第１基板の前記第１保持部材に当接して前記第１基板との相対位置を保
持する第２保持部材が設けられており、前記第１保持部材のうち前記第２保持部材に当接
する部分には、凹部が設けられており、前記第２保持部材のうち前記第１保持部材に当接
する部分には、前記凹部に嵌合する凸部が設けられていることを特徴とする。
【００２３】
本発明によれば、液晶装置を構成する第１基板及び第２基板についても、第１保持部材
と第２保持部材とが当接し凹部に凸部が嵌合した状態になるので、第１基板と第２基板と
の相対位置を確実に保持することができる。加えて、例えば液晶装置を駆動したときの発
熱などによって第１保持部材や第２保持部材が膨張・収縮することがあっても、当該膨張
・収縮の影響が基板に直接及ぶことが無いため、基板がずれる心配は無い。
【００２４】
本発明の別の観点に係る電気光学装置用基板ユニットの製造方法は、第１基板と、当該
第１基板と対向して配置された第２基板とを具備する電気光学装置用基板ユニットの製造
方法であって、対向して配置される前記第１基板と前記第２基板との相対位置を保持する
凹部を有した第１保持部材を前記第１基板の表面に形成する工程と、前記第１保持部材の
前記凹部に嵌合して対向して配置される前記第１基板と前記第２基板との相対位置を保持
する凸部を有した第２保持部材を前記第２基板の表面に形成する工程とを具備することを
特徴とする。
【００２５】
本発明によれば、第１保持部材と第２保持部材とが直接的に当接するように形成するた
め、第１基板と第２基板とを貼り合わせたときに、第１保持部材又は第２保持部材が対向
する基板に直接的に当接することが無い。したがって、第１保持部材または第２保持部材
が熱変化により膨張・収縮した場合であっても、対向する基板を圧迫することが無く、基
板の相対位置をずらしてしまうことは無い。
【００２６】
本発明の別の観点に係る電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置用基板ユニッ
トのうち、前記第１基板と前記第２基板との位置を合わせた状態で、前記第１保持部材と
前記第２保持部材とが平面的に当接するように、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合
わせる工程と、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせた状態で、前記第１基板及び
前記第２基板を切断する工程とを具備することを特徴とする。
【００２７】
本発明によれば、凸部が凹部に嵌まった状態で第１基板と第２基板との相対位置を保持
しながら切断することができるので、当該第１基板と第２基板との相対位置がずれるのを
抑えることが可能となる。
【００２８】
第１基板と第２基板とを対向させて貼り合わせる液晶装置の製造方法であって、上記の
電気光学装置用基板ユニットのうち、前記第１基板と前記第２基板との位置を合わせる工
程と、前記第１基板と前記第２基板との位置を合わせた状態で、前記第１保持部材と前記
第２保持部材とが平面的に当接するように、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせ
る工程と、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせた状態で、前記第１基板及び前記
第２基板を切断する工程と、前記第１基板と前記第２基板との間に液晶を挟持させる工程
とを具備することを特徴とする。
【００２９】
本発明によれば、凸部が凹部に嵌まった状態で第１基板と第２基板との相対位置を保持
しながら切断することができるので、当該第１基板と第２基板との相対位置がずれるのを
抑えることが可能となる。特に、半透過・半反射型の液晶装置においては、位置ずれによ
る開口率の減少が著しいため、当該位置ずれを抑える意義は大きい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。本実施形態では、一組のマザー基
板から複数の液晶パネルを製造する、いわゆる多数個取りを行う場合を例に挙げて説明す
る。
【００３１】
図１は、本実施形態に係る基板ユニット１の構成を示す斜視図である。  
基板ユニット１は、マザー基板（第１基板）２と、マザー基板（第２基板）３とを主体
として構成されている。基板ユニット１は、例えば液晶装置やＥＬ装置等の電気光学装置
を構成する基板についてのマザー基板のユニットである。本実施形態では、当該基板ユニ
ット１がＴＦＴアクティブマトリクス型液晶装置用のマザー基板のユニットであるものと
して説明する。
【００３２】
マザー基板２は、例えばガラスや石英、プラスチック等の透明な材料からなる矩形の基
板である。当該マザー基板２は、液晶パネルを構成する基板のうちカラーフィルタが形成
される基板となるパネル領域Ｐと、当該パネル領域Ｐの周りに設けられ切り落とされて液
晶パネルにならない周縁領域Ｑとに区画されている。
【００３３】
パネル領域Ｐには、面積が等しい複数の矩形の領域Ｐ１〜Ｐｎがマトリクス状に区画さ
れている。領域Ｐ１〜Ｐｎのそれぞれには画素領域が設けられており、画素毎にそれぞれ
赤色、緑色及び青色の３色のカラーフィルタ（図示せず）がそれぞれ１つずつ形成されて
いる。
【００３４】
周縁領域Ｑのうちマザー基板３と対向させる表面２ａには、保持部材（第１保持部材）
４が設けられている。保持部材４は、マザー基板２とマザー基板３とを対向させて貼り付
けたときに両者の相対位置がずれないように保持するための部材である。当該保持部材４
は、例えばＮＮ８０３（商品名・ＪＳＲ製）等の感光性樹脂から構成されており、マザー
基板２の対向する角部に１個ずつ、計２個形成されている。
【００３５】
マザー基板３は、マザー基板２と同様、例えばガラスや石英、プラスチック等の透明な
材料からなる矩形の基板である。当該マザー基板３は、マザー基板２に区画されるパネル
領域Ｐとともに液晶パネルを構成する基板であってスイッチング素子が形成される基板と
なるパネル領域Ｒと、当該パネル領域Ｑの周りに設けられ切り落とされてパネルにはなら
ない周縁領域Ｓとに区画されている。
【００３６】
パネル領域Ｒは、パネル領域Ｐと同様、面積が等しい複数の矩形の領域Ｒａ〜Ｒｄに区
画されている。各領域Ｒ１〜Ｒｎは、領域Ｐ１〜Ｐｎに平面的に重なるようにマトリクス
状に区画された画素領域を有している。画素領域には、画素ごとにスイッチング素子が１
つずつ形成されており、画素間にはスイッチング素子に信号を伝達するデータ線や走査線
等が形成されている。
【００３７】
周縁領域Ｓのうちマザー基板２と対向させる表面３ａには、保持部材（第２保持部材）
５が設けられている。保持部材５は、マザー基板２とマザー基板３とを対向させて貼り付
けたときに両者の相対位置がずれないように、保持部材４と共に保持するための部材であ
る。当該保持部材５は、例えば保持部材４と同様の感光性樹脂から構成されており、マザ
ー基板３の対向する角部に保持部材４と平面的に重なるように１個ずつ、計２個設けられ
ている。
【００３８】
図２は、保持部材４の構成を示す斜視図である。  
同図に示すように、保持部材４は、平面視して矩形となるように形成されている。また
、保持部材４の表面のうちマザー基板３と対向する面４ａには、矩形状に窪んだ部分（凹
部）４ｂが設けられている。凹部４ｂは、面４ａのほぼ中央部に設けられており、面４ａ
から凹部４ｂの底部４ｃにかけて段差ができるように形成されている。図２においてはこ
の段差が１段であるが、段差が複数段であっても構わない。
【００３９】
図３は、保持部材５の構成を示した斜視図である。  
同図に示すように、保持部材５の表面のうちマザー基板２と対向する面５ａには、マザ
ー基板３とは反対の方向に突出した凸部５ｂが形成されている。凸部５ｂは、保持部材５
のほぼ中央部に設けられており、凹部４ｂの形状に対応するように、平面視して矩形の、
頭頂部５ｃから面５ａにかけて段差を有する柱状に形成されている。当該凸部５は、保持
部材４に設けられた凹部４ｂに嵌合することが可能となっている。
【００４０】
図４は、保持部材４の凹部４ｂに保持部材５の凸部５ｂを嵌合させた状態を示す図であ
る。  
凹部４ｂに凸部５ｂを嵌合した状態では、マザー基板２とマザー基板３のとセルギャッ
プは保持部材４の高さ（マザー基板２の表面から保持部材４の面４ａまでの高さ）ａと保
持部材５の高さ（マザー基板３の表面から保持部材５の面５ａまでの高さ）ｂとを加えた
値となる（ａ＋ｂ）。
【００４１】
一方、凹部４ｂの深さｃが凸部５ｂの高さｄよりも大きい値（ｃ＞ｄ）であれば、保持
部材４の高さａ及び保持部材５の高さｂの大きさにかかわらず、凹部４ｂに凸部５ｂが嵌
合する。例えば保持部材４の高さａ及び保持部材５の高さｂを固定させたまま、凹部４ｂ
の深さｃ及び凸部５ｂの高さｄを適宜変えることができるようになっている。このように
、セルギャップ保持機能と嵌合機能とを独立して調節することができるようになっている
。
【００４２】
例えばマザー基板２及びマザー基板３の寸法が大きい場合には、当該マザー基板２及び
マザー基板３の自重で保持部材４又は保持部材５が圧迫される可能性があるため、凹部４
ｂの深さｃを深く、凸部５ｂの高さｄを低くすることにより、凸部５ｂの頭頂部５ｃが凹
部４ｂの底部４ｃを圧迫しないように構成することができる。
【００４３】
また、例えばマザー基板２及びマザー基板３の寸法が小さい場合には、保持部材４又は
保持部材５が自重により圧迫される可能性は低いが、わずかな外力で相対位置が変化する
可能性があるため、凹部４ｂを深く、凸部５ｂを長くしてしっかり固定できるように構成
することができる。このように、凹部４ｂの深さｃ及び凸部５ｂの高さｄは、状況に合わ
せて最適な寸法に設定できるようになっている。
【００４４】
次に、上記のように構成された基板ユニット１から液晶装置を製造する工程を説明する
。図５は、液晶装置の製造工程を示すフローチャートである。  
まず、マザー基板２の形成工程（ＳＴ１〜ＳＴ６）について説明する。
【００４５】
ガラスやプラスチック等の透光性材料からなる基材の画素領域に液晶装置複数分のカラ
ーフィルタを形成し、当該カラーフィルタの上に平坦化膜を形成する（ＳＴ１）。平坦化
膜を形成したら、当該平坦化膜の表面に、ギャップ制御用のスペーサを形成する（ＳＴ２
）。
【００４６】
スペーサを形成したら、配線やカラーフィルタを覆うように配向膜を形成し（ＳＴ３）
、当該配向膜に対してラビング処理を行う（ＳＴ４）。配向膜は、例えばポリイミドを塗
布又は印刷することによって形成することができる。配向膜にラビング処理がなされたら
、シール材を形成する（ＳＴ５）。パネル領域Ｐの各領域Ｐ１〜Ｐｎの画素領域を囲むよ
うにエポキシ樹脂等からなるシール材を矩形枠状に形成する。シール材の一部に、液晶注
入口が形成されるようにする。
【００４７】
シール材を形成したら、マザー基板２の周縁領域Ｑに保持部材４を形成する（ＳＴ６）
。まず、図６に示すように、マザー基板２の周縁領域Ｑに、ポジ型レジストであるＰＣ４
０５Ｇからなる感光性樹脂３０を形成する。液状のＰＣ４０５Ｇを塗布し、約８０℃〜１
００℃の温度で約１２０秒間、当該ＰＣ４０５Ｇを加熱して硬化させる。感光性樹脂３０
を形成したら、当該感光性樹脂３０を露光する。
【００４８】
図７は、感光性樹脂３０を露光する際に用いる露光マスクの平面構成を示したものであ
る。  
同図に示すように、露光マスク４０は、露光光をほぼ１００％透過させる領域４０ａと
、露光光を透過させない領域４０ｂと、露光光をほぼ５０％透過させる領域４０ｃとを有
している。
【００４９】
図８に示すように、感光性樹脂３０上にこの露光マスク４０を配置して露光光を照射す
ると、露光マスク４０の領域４０ａに到達した露光光は、当該領域４０ａをほぼ１００％
透過する。当該露光光により、感光性樹脂３０の領域Ａ及び領域Ｅでは、表面から底まで
感光する。露光マスク４０の領域４０ｂに到達した露光光は、領域４０ｂを透過すること
はないため、感光性樹脂３０の領域Ｂ及び領域Ｄでは感光しない。露光マスク４０の領域
４０ｃに到達した露光光は、そのうちのほぼ５０％が領域４０ｃを透過する。当該露光光
により、感光性樹脂３０の領域Ｃでは、表面から略半分の高さの部分まで感光する。
【００５０】
このように露光された感光性樹脂３０を、アルカリ濃度が約０．２％〜０．４％の現像
液で約５０秒〜８０秒間現像し、現像後約２２０℃で約４０分〜５０分間焼成すると、図
９に示すように、面４ａ及び凹部４ｂを有する保持部材４が形成される。
【００５１】
以上、ＳＴ１〜ＳＴ６の工程によって、カラーフィルタが設けられたマザー基板２が形
成される。なお、ＳＴ１５の工程については、マザー基板２とマザー基板３とを貼り合わ
せる工程の直前に行うことが好ましい。
【００５２】
次に、配線側マザー基板の形成工程（ＳＴ１１〜ＳＴ１５）について簡単に説明する。
ガラスやプラスチック等の透光性材料からなる大判の基材の画素領域に走査線や、デー
タ線、スイッチング素子等を形成し（ＳＴ１１）、その上に平坦化層を形成する（ＳＴ１
２）。走査線やデータ線については、例えば基材の表面全体にＩＴＯ等の透光性導電膜を
スパッタし、これをエッチングすることによって一括的に形成することができる。平坦化
層を形成したら、各画素領域内にポリイミド等からなる配向膜を形成し（ＳＴ１３）、こ
の配向膜に対してラビング処理を実行する（ＳＴ１４）。
【００５３】
配向膜にラビング処理を施したら、マザー基板３の周縁領域Ｓに保持部材５を形成する
（ＳＴ１５）。まず、マザー基板３の周縁領域Ｓに、保持部材４を形成したときと同様、
ポジ型レジストであるＰＣ４０５Ｇからなる感光性樹脂５０（図１１参照）を形成する。
液状のＮＮ８０３を塗布し、約８０℃〜１００℃の温度で約１２０秒間、当該ＮＮ８０３
を加熱して硬化させる。感光性樹脂５０を形成したら、当該感光性樹脂５０を露光する。
【００５４】
図１０は、感光性樹脂５０を露光する際に用いる露光マスクの平面構成を示したもので
ある。  
同図に示すように、露光マスク６０は、露光光をほぼ１００％透過させる領域６０ａと
、露光光をほぼ５０％透過させる領域６０ｂと、露光光を透過させない領域６０ｃとを有
している。
【００５５】
図１１に示すように、感光性樹脂５０にこの露光マスク６０を配置して露光光を照射す
ると、露光マスク６０の領域６０ａに到達した露光光は、当該領域６０ａをほぼ１００％
透過する。当該露光光により、感光性樹脂５０の領域Ａ及び領域Ｅでは、表面から底まで
感光する。露光マスク６０の領域６０ｂに到達した露光光は、そのうちのほぼ５０％が領
域６０ｂを透過する。当該露光光により、感光性樹脂５０の領域Ｂ及び領域Ｄでは、表面
から半分の高さの部分まで感光する。露光マスク６０の領域６０ｃに到達した露光光が領
域６０ｃを透過することはないため、感光性樹脂５０の領域Ｃでは感光しない。
【００５６】
このように露光された感光性樹脂５０を、アルカリ濃度が約０．２％〜０．４％の現像
液で約５０秒〜８０秒間現像し、現像後約２２０℃で約４０分〜５０分間焼成すると、図
１２に示すように、面５ａ及び凸部５ｂを有する保持部材５が形成される。
【００５７】
以上、ＳＴ１１〜ＳＴ１５の工程によって、配線やスイッチング素子等が設けられたマ
ザー基板３が形成される。なお、ＳＴ１５の工程については、マザー基板２とマザー基板
３とを貼り合わせる工程の直前に行うことが好ましい。
【００５８】
次に、マザー基板２とマザー基板３との位置合わせをする（ＳＴ２１）。例えば、画像
処理を使用した自動アライメント装置等を用い、マザー基板２及びマザー基板３に予め形
成しておいたアライメントマークの位置を合わせるようにすることができる。
【００５９】
位置合わせを行った後、マザー基板２とマザー基板３とを貼り合わせて液晶パネルを形
成する（ＳＴ２２）。位置を合わせた状態で、マザー基板３がマザー基板２上のシール材
に接着するように両基板を近接させる。この工程では、マザー基板２とマザー基板３とが
貼り合わされると同時に、図１３に示すように、保持部材４の面４ａと保持部材５の面５
ａとが当接し、保持部材４の凹部４ｂに保持部材５の凸部５ｂが嵌合する。
【００６０】
マザー基板２とマザー基板３とを貼り合わせたら、両マザー基板の列方向にスクライブ
溝を形成し、貼り合わせたままの状態でスクライブ溝に沿って両マザー基板を切断して、
短冊状のパネルを形成する（ＳＴ２３）。この短冊状のパネルは、液晶注入口がすべて一
方に露出した状態になっている。短冊状のパネルを形成したら、液晶注入口が露出した切
断片側から液晶を注入する（ＳＴ２４）。液晶注入後、各液晶注入口をエポキシ樹脂等の
封止材によって封止する（ＳＴ２５）。
【００６１】
液晶を注入し、液晶注入口を封止したら、短冊状のパネルの行方向にスクライブ溝を形
成し、当該スクライブ溝に沿って短冊状のパネルを切断し、個々のパネルに分離する（Ｓ
Ｔ２６）。短冊状のパネルを分離したら、分離した各パネルの洗浄を行い、各パネルの両
表面に偏光板を貼り付ける。偏光板を貼り付けたら、例えばＦＰＣ（Flexible Printed C
ircuit）等を介して液晶駆動用ＩＣを実装する（ＳＴ２７）。  
以上により、液晶装置が完成する。
【００６２】
本実施形態によれば、マザー基板２とマザー基板３とを貼り合わせたときに、保持部材
４と保持部材５とが当接するようになっており、対向する基板に直接的に当接するように
はなっていないため、保持部材４または保持部材５が熱変化により膨張・収縮した場合で
あっても、対向する基板を圧迫することが無く、マザー基板２とマザー基板３との相対位
置をずらしてしまうことが無い。
【００６３】
また、保持部材４と保持部材５との当接部分に生じる摩擦力によってマザー基板２とマ
ザー基板３との相対位置がずれるのを抑えることができる。加えて、保持部材４と保持部
材５とが当接する部分では、保持部材４に設けられた凹部４ｂに保持部材５に設けられた
凸部５ｂが嵌合するようになっているので、より確実にずれを抑えることができる。
【００６４】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しな
い範囲で適宜変更を加えることができる。  
例えば、保持部材４については、図１４（ａ）に示すように、当該保持部材４に設けら
れた凹部４ｂの底部４ｃに、凹部（底部に設けられた凹部）４ｄが更に設けられる構成に
することができる。また、保持部材５については、図１４（ｂ）に示すように、当該保持
部材５に設けられた凸部５ｂの頭頂部５ｃに、凹部４ｄに嵌合させる凸部（頭頂部に設け
られた凸部）５ｄが更に設けられる構成にすることができる。
【００６５】
このような構成によれば、マザー基板２とマザー基板３とを貼り合わせたときには、図
１４（ｃ）に示すように、凹部４ｂに凸部５ｂが嵌合し、凹部４ｄに凸部５ｄが嵌合する
。この二重の嵌合により、マザー基板２及びマザー基板３の相対位置がしっかり保持され
、より確実にズレを防ぐことができる。
【００６６】
また、図１５（ａ）及び図１５（ｂ）に示すように、保持部材４及び保持部材５が、平
面視して円形になるような構成であっても構わない。同様に、凹部４ｂ及び凸部５ｂが、
平面視して円形になるような構成であっても構わない。このほか、保持部材４及び保持部
材５の形状は平面視して矩形となるものに限られず、平面視して三角形や五角形等の多角
形になるもの、楕円形になるもの、十字型になるもの等、さまざまな形状とすることが可
能である。
【００６７】
さらに、第１保持部材が、当該第１保持部材と第２保持部材との当接部分と凹部とを共
通させるような形状であっても良い。例えば、図１６（ａ）に示すように、保持部材１０
４にテーパー状の凹部１０４ａを設けるようにし、凹部１０４ａが第２保持部材との当接
面となるように構成しても良い。
【００６８】
また、第２保持部材については、例えば図１６（ｂ）に示すように、保持部材１０５に
テーパー状の凸部１０５ａを設けるようにし、当該凸部１０５ａが凹部１０４ａに嵌合す
るとともに、凸部１０５ａの表面と凹部１０４ａの表面とが当接するような構成とするこ
とができる。
【００６９】
また、上記実施形態では、第１保持部材（保持部材４、保持部材１０４）をマザー基板
２の周縁領域Ｑに設けるようにし、第２保持部材（保持部材５、保持部材１０５）をマザ
ー基板３の周縁領域Ｓに設けるようにしたが、これに限られること無く、例えば、液晶パ
ネルとなる画素領域Ｐ及び画素領域Ｒにそれぞれ形成しても良い。
【００７０】
このようにすれば、マザー基板２及びマザー基板３を貼り付けて切断した後に形成され
る液晶装置の各基板上にも、凹部４ｂに凸部５ｂが嵌合した状態で保持部材４及び保持部
材５が形成されることになるので、当該液晶装置の各基板の相対位置を確実に保持するこ
とができる。
【００７１】
加えて、例えば液晶装置を駆動したときの発熱などによって保持部材４や保持部材５が
膨張・収縮することがあっても、保持部材４と保持部材５との当接部分で吸収されるので
、当該膨張・収縮の影響が液晶装置の各基板に直接及ぶことが無く、基板がずれる心配も
無い。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施形態に係る基板ユニットの構成を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係る保持部材の構成を示す図である。
【図３】本実施形態に係る保持部材の構成を示す図である。
【図４】本実施形態に係る保持部材同士を嵌合させた様子を示す図である。
【図５】本実施形態に係る液晶装置の製造工程を示すフローチャートである。
【図６】液晶装置の製造工程の一部の様子を示す図（その１）である。
【図７】液晶装置の製造工程で用いられる露光マスクの構成を示す図である。
【図８】液晶装置の製造工程の一部の様子を示す図（その２）である。
【図９】液晶装置の製造工程の一部の様子を示す図（その３）である。
【図１０】液晶装置の製造工程で用いられる露光マスクの構成を示す図である。
【図１１】液晶装置の製造工程の一部の様子を示す図（その４）である。
【図１２】液晶装置の製造工程の一部の様子を示す図（その５）である。
【図１３】液晶装置の製造工程の一部の様子を示す図（その６）である。
【図１４】本実施形態に係る保持部材の変形例を示す図（その１）である。
【図１５】本実施形態に係る保持部材の変形例を示す図（その２）である。
【図１６】本実施形態に係る保持部材の変形例を示す図（その３）である。
【符号の説明】
【００７３】
１…基板ユニット  ２、３…マザー基板  ４、５、１０４…保持部材  ４ａ、５ａ…面  
４ｂ、１０４ａ…凹部  ４ｃ…底  ４ｄ…凹部  ５ｂ、１０５ａ…凸部  ５ｃ…頭頂部  
５ｄ…凸部  ３０、５０…感光性樹脂  ４０、６０…露光マスク
【図１】
2006215223.tif 000003
【図２】
2006215223.tif 000004
【図３】
2006215223.tif 000005
【図４】
2006215223.tif 000006
【図５】
2006215223.tif 000007
【図６】
2006215223.tif 000008
【図７】
2006215223.tif 000009
【図８】
2006215223.tif 000010
【図９】
2006215223.tif 000011
【図１０】
2006215223.tif 000012
【図１１】
2006215223.tif 000013
【図１２】
2006215223.tif 000014
【図１３】
2006215223.tif 000015
【図１４】
2006215223.tif 000016
【図１５】
2006215223.tif 000017
【図１６】
2006215223.tif 000018