(57)【要約】【課題】複数枚のウェハーに連続めっき処理を行う際に、その歩留まりを向上させる。【解決手段】ウェハーは、ローダー部２から前処理部３へ搬送されて前処理された後、めっき槽部５Ａ〜５Ｄへ搬送されてめっき処理され、さらに、後処理部６へ搬送されて後処理される。ローダー部２でローダーオーバータイムが発生したとき、前処理が完了したウェハーが回収されてめっき槽部５Ａ〜５Ｄに搬送されるとともに、めっき処理が完了したウェハーが回収されて後処理部６に搬送される。これにより、ウェハーの連続めっき処理中にローダー部２でローダーオーバータイムが発生しても、既にめっき段階またはめっき準備段階に移行しているウェハーについては、通常の処理が続行されて完成品となる。【選択図】図１
2006028596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが、ローダー部からめっき槽部へ搬送されてめっき処理された後、後処理部へ搬送されて後処理されるめっき方法であって、
前記ローダー部におけるローダーオーバータイムの有無が判定されるローダーオーバータイム判定工程と、
前記ローダー部においてローダーオーバータイムが発生したとき、前記めっき槽部でめっき処理が完了したワークが回収されて前記後処理部に搬送されるワーク回収工程と
を有することを特徴とするめっき方法。
【請求項２】
ワークが、ローダー部から前処理部へ搬送されて前処理された後、めっき槽部へ搬送されてめっき処理され、さらに、後処理部へ搬送されて後処理されるめっき方法であって、
前記ローダー部におけるローダーオーバータイムの有無が判定されるローダーオーバータイム判定工程と、
前記ローダー部においてローダーオーバータイムが発生したとき、前記前処理部で前処理が完了したワークが回収されて前記めっき槽部に搬送されるとともに、前記めっき槽部でめっき処理が完了したワークが回収されて前記後処理部に搬送されるワーク回収工程と
を有することを特徴とするめっき方法。
【請求項３】
前記めっき槽部は、複数であることを特徴とする請求項１又は２に記載のめっき方法。
【請求項４】
前記ワークは、ウェハーであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のめっき方法。
【請求項５】
少なくともローダー部、めっき槽部および後処理部が設けられ、
これらローダー部、めっき槽部および後処理部の間でワークを搬送するワーク搬送手段が設けられためっき装置であって、
前記ローダー部におけるローダーオーバータイムの有無を判定するローダーオーバータイム判定手段が設けられ、
前記ローダー部においてローダーオーバータイムが発生したとき、前記ワーク搬送手段に対して、前記めっき槽部でめっき処理が完了したワークを回収して前記後処理部に搬送するよう指令するワーク回収指令手段が設けられていることを特徴とするめっき装置。
【請求項６】
少なくともローダー部、前処理部、めっき槽部および後処理部が設けられ、
これらローダー部、前処理部、めっき槽部および後処理部の間でワークを搬送するワーク搬送手段が設けられためっき装置であって、
前記ローダー部におけるローダーオーバータイムの有無を判定するローダーオーバータイム判定手段が設けられ、
前記ローダー部においてローダーオーバータイムが発生したとき、前記ワーク搬送手段に対して、前記前処理部で前処理が完了したワークを回収して前記めっき槽部に搬送するとともに、前記めっき槽部でめっき処理が完了したワークを回収して前記後処理部に搬送するよう指令するワーク回収指令手段が設けられていることを特徴とするめっき装置。
【請求項７】
前記めっき槽部は、複数であることを特徴とする請求項５又は６に記載のめっき装置。
【請求項８】
前記ワークは、ウェハーであることを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚のウェハーなどのワークに連続めっき処理を行う際に適用するに好適な、めっき方法およびめっき装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の連続めっき処理を行う際には、ワークが、ローダー部から前処理部へ搬送されて前処理された後、めっき槽部へ搬送されてめっき処理され、さらに、後処理部へ搬送されて後処理されていた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−１８０９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、これでは、ローダー部でローダーオーバータイムが発生した場合、ウェハーの連続めっき処理時の歩留まりが低下するという不都合があった。
【０００４】
すなわち、ローダー部において、ローダーキャリアからオリフラ合わせ機にワークを運搬するのに失敗したり、オリフラ合わせ機でオリフラ合わせ作業がうまくできなかったりすると、ローダーオーバータイムが発生する。この場合、ローダー部のみならずめっき装置全体の機能が一時停止する。その結果、めっき槽部でめっき中のウェハーが途中でめっき処理を停止されたり、前処理部で前処理中のウェハーが途中で前処理を停止されたりして、いずれのウェハーも品質異常の不良品となる危険性が高い。したがって、ウェハーの連続めっき処理時の歩留まりが低下する。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑み、ウェハーの連続めっき処理時の歩留まりを向上させることが可能な、めっき方法およびめっき装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
まず、請求項１に係る発明は、ワークが、ローダー部からめっき槽部へ搬送されてめっき処理された後、後処理部へ搬送されて後処理されるめっき方法であって、前記ローダー部におけるローダーオーバータイムの有無が判定されるローダーオーバータイム判定工程と、前記ローダー部においてローダーオーバータイムが発生したとき、前記めっき槽部でめっき処理が完了したワークが回収されて前記後処理部に搬送されるワーク回収工程とを有することを特徴とする。
また、請求項２に係る発明は、ワークが、ローダー部から前処理部へ搬送されて前処理された後、めっき槽部へ搬送されてめっき処理され、さらに、後処理部へ搬送されて後処理されるめっき方法であって、前記ローダー部におけるローダーオーバータイムの有無が判定されるローダーオーバータイム判定工程と、前記ローダー部においてローダーオーバータイムが発生したとき、前記前処理部で前処理が完了したワークが回収されて前記めっき槽部に搬送されるとともに、前記めっき槽部でめっき処理が完了したワークが回収されて前記後処理部に搬送されるワーク回収工程とを有することを特徴とする。
また、請求項３に係る発明は、前記めっき槽部は、複数であることを特徴とする。
また、請求項４に係る発明は、前記ワークは、ウェハーであることを特徴とする。
また、請求項５に係る発明は、少なくともローダー部、めっき槽部および後処理部が設けられ、これらローダー部、めっき槽部および後処理部の間でワークを搬送するワーク搬送手段が設けられためっき装置であって、前記ローダー部におけるローダーオーバータイムの有無を判定するローダーオーバータイム判定手段が設けられ、前記ローダー部においてローダーオーバータイムが発生したとき、前記ワーク搬送手段に対して、前記めっき槽部でめっき処理が完了したワークを回収して前記後処理部に搬送するよう指令するワーク回収指令手段が設けられていることを特徴とする。
また、請求項６に係る発明は、少なくともローダー部、前処理部、めっき槽部および後処理部が設けられ、これらローダー部、前処理部、めっき槽部および後処理部の間でワークを搬送するワーク搬送手段が設けられためっき装置であって、前記ローダー部におけるローダーオーバータイムの有無を判定するローダーオーバータイム判定手段が設けられ、前記ローダー部においてローダーオーバータイムが発生したとき、前記ワーク搬送手段に対して、前記前処理部で前処理が完了したワークを回収して前記めっき槽部に搬送するとともに、前記めっき槽部でめっき処理が完了したワークを回収して前記後処理部に搬送するよう指令するワーク回収指令手段が設けられていることを特徴とする。
また、請求項７に係る発明は、前記めっき槽部は、複数であることを特徴とする。
また、請求項８に係る発明は、前記ワークは、ウェハーであることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ウェハーの連続めっき処理中にローダー部でローダーオーバータイムが発生しても、既にめっき段階またはめっき準備段階に移行しているウェハーについては、通常の処理が続行されて完成品となる。そのため、ウェハーの連続めっき処理時の歩留まりを向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【０００９】
めっき装置１では、図１に示すように、ローダー部２、前処理部３、４つのめっき槽部５（第１めっき槽部５Ａ、第２めっき槽部５Ｂ、第３めっき槽部５Ｃ、第４めっき槽部５Ｄ）、後処理部６およびアンローダー部７が順に並んで設置されており、これらの近傍には搬送ロボット９が、ローダー部２、前処理部３、めっき槽部５、後処理部６およびアンローダー部７の間でウェハーを搬送しうるように付設されている。ローダー部２内には、ローダーキャリア２ａ、オリフラ合わせ機２ｂおよび運搬ロボット２ｃが設置されている。アンローダー部７内には、アンローダーキャリア７ａが設置されている。
【００１０】
また、めっき装置１は、図１に示すように、ＣＰＵ（中央演算処理装置）１０を有している。ＣＰＵ１０には、ローダー部２、前処理部３、４つのめっき槽部５、後処理部６、アンローダー部７および搬送ロボット９が接続されているほか、ローダーオーバータイム判定手段８、めっき電源制御手段１１、警報装置１５、キーボードなどの入力装置１４および磁気ディスクなどの記憶装置１８が接続されている。なお、記憶装置１８には、図２に示すめっき処理プログラムＰＲ１が格納されている。
【００１１】
めっき装置１は以上のような構成を有するので、このめっき装置１を用いて複数枚のウェハーに連続めっき処理を行う際には、作業者は、入力装置１４を操作して連続めっき処理を指令する。これを受けてＣＰＵ１０は、めっき処理プログラムＰＲ１を記憶装置１８から読み出し、このめっき処理プログラムＰＲ１に基づき、次の手順に従って各ウェハーに対する処理を順次実行する。なお、ここでは、１枚のウェハーに対する処理について説明するが、実際には、４つのめっき槽部５を活用しつつ、所定の時間をおいて各ウェハーのめっき処理が次々と行われていく。
【００１２】
まず、ＣＰＵ１０は、ローダー部２に対して、ウェハーのローディングを指令する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１）。すると、ローダー部２は、運搬ロボット２ｃを駆動して、１枚のウェハーをローダーキャリア２ａから引き抜いてオリフラ合わせ機２ｂに載置する。
【００１３】
このローディング指令と同時に、ＣＰＵ１０は、ローダーオーバータイム判定手段８に対して、ローダー部２におけるローダーオーバータイムの有無の判定を指令する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ２）。すると、ローダーオーバータイム判定手段８は、ウェハーがローダーキャリア２ａから引き抜かれた時点からの時間経過をシーケンスタイマーで監視し、所定の時間（例えば、３０秒間）が経過した時点でウェハーがオリフラ合わせ機２ｂに載置されているか否かを光電センサーで判断する。その結果、所定の時間が経過した時点でウェハーがオリフラ合わせ機２ｂに載置されていれば、ローダーオーバータイムが発生しなかったと判定し、その旨の信号をＣＰＵ１０に出力する。一方、所定の時間が経過した時点でウェハーがオリフラ合わせ機２ｂに載置されていなければ、ローダーキャリア２ａからオリフラ合わせ機２ｂにウェハーを運搬するのに失敗したか、ウェハーの運搬には成功してもオリフラ合わせ機２ｂでオリフラ合わせ作業がうまくできなかったため、ローダーオーバータイムが発生したと判定し、その旨の信号をＣＰＵ１０に出力する。
【００１４】
そして、ローダーオーバータイムが発生しなかった場合は、通常の作業を遂行すべく、ＣＰＵ１０は、搬送ロボット９に対して、ウェハーをローダー部２から前処理部３へ搬送するよう指令する。すると、搬送ロボット９は、ローダー部２に載置されたウェハーを把持し、前処理部３まで運搬した後、前処理部３に載置する。
【００１５】
こうしてウェハーが前処理部３に搬送されたところで、ＣＰＵ１０は、前処理部３に対して、ウェハーの前処理を行うよう指令する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ３）。すると、前処理部３は、ウェハーをめっきされやすくするため、ウェハーの表面に薬剤を塗布する。
【００１６】
こうしてウェハーの前処理が行われたところで、ＣＰＵ１０は、４つのめっき槽部５のうち非稼働中のめっき槽部５の一つ（第１めっき槽部５Ａ、第２めっき槽部５Ｂ、第３めっき槽部５Ｃまたは第４めっき槽部５Ｄ）を選定し、このめっき槽部５へウェハーを搬送するよう搬送ロボット９に指令する。すると、搬送ロボット９は、ウェハーを前処理部３から当該めっき槽部５へ搬送する。
【００１７】
次いで、ＣＰＵ１０は、めっき槽部５、めっき電源制御手段１１に対して、ウェハーのめっき処理を行うよう指令する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ４）。すると、めっき槽部５は、めっき液の給排液などの動作を行い、めっき電源制御手段１１は、アノード電極への通電などの動作を行う。その結果、ウェハーの表面にめっき処理が施される。
【００１８】
さらに、ＣＰＵ１０は、ウェハーを後処理部６へ搬送するよう搬送ロボット９に指令する。すると、搬送ロボット９は、ウェハーをめっき槽部５から後処理部６へ搬送する。
【００１９】
こうしてウェハーが後処理部６に搬送されたところで、ＣＰＵ１０は、後処理部６に対して、ウェハーの後処理を行うよう指令する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ５）。すると、後処理部６は、ウェハーの表面（被めっき面）を水洗した後、乾燥する。
【００２０】
こうしてウェハーの後処理が行われたところで、ＣＰＵ１０は、搬送ロボット９に対して、ウェハーのアンローディングを指令する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ６）。すると、搬送ロボット９は、ウェハーを後処理部６からアンローダー部７へ搬送し、アンローダーキャリア７ａに格納する。
【００２１】
最後に、ＣＰＵ１０は、ローダー部２内にウェハーがあるか否かを判定する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ７）。そして、ローダー部２内にウェハーがある限り、ローディング（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１）からアンローディング（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ６）までの一連の作業を繰り返し、最後のウェハーに対する一連の作業が終了したところで、めっき装置１による複数枚のウェハーの連続めっき処理が終了する。
【００２２】
他方、ローダー部２においてローダーオーバータイムが発生した場合、ＣＰＵ１０は、警報装置１５を駆動して異常発生を周囲に知らせるとともに（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ８）、ローダーオーバータイムが発生したウェハーに先行する各ウェハー、つまりローダー部２より下流工程側にある各ウェハーについては、既にめっき段階またはめっき準備段階に移行しているので、通常の処理が続行されるように制御する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ９）。したがって、ウェハーの連続めっき処理中にローダー部２においてローダーオーバータイムが発生しても、既にめっき段階またはめっき準備段階に移行しているウェハーについては、通常の処理が続行されて完成品（良品）となるので、ウェハーの連続めっき処理時の歩留まりが向上する。
【００２３】
なお、上述の実施形態においては、４つのめっき槽部５を備えためっき装置１について説明したが、めっき槽部５の個数は、１個以上であれば何個でも構わない。
【００２４】
なお、上述の実施形態においては、ウェハーにめっき処理を行う場合について説明したが、ウェハー以外のワークにめっき処理を行う場合に本発明を適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係るめっき装置の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】本発明に係るめっき方法の手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００２６】
１……めっき装置
２……ローダー部
３……前処理部
５……めっき槽部
６……後処理部
７……アンローダー部
８……ローダーオーバータイム判定手段
９……搬送ロボット（ワーク搬送手段）
１０……ＣＰＵ（ワーク回収指令手段）
【図１】
2006028596.tif 000003
【図２】
2006028596.tif 000004