(57)【要約】【課題】  小型、低消費電力であり、かつ周波数温度特性が良好な水晶発振器を提供すること。【解決手段】  水晶振動子及び発振回路からなる発振部として第１の発振部１Ａと第２の発振部１Ｂとの２つを用い、これら発振部１Ａ、１Ｂからの発振周波数の差を取り出しその周波数差の周波数信号を出力する例えばヘテロダイン検波器２を設ける。第１の発振部１Ａの共振周波数は、第２の発振部１Ｂの共振周波数とは異なり、かつその周波数温度特性は、第２の発振部１Ｂの周波数温度特性と揃っている。【選択図】  図１
2006033195.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の水晶振動子とこの第１の水晶振動子を発振させるための第１の発振回路とを含む第１の発振部と、
第２の水晶振動子とこの第２の水晶振動子を発振させるための第２の発振回路とを含む第２の発振部と、
前記第１の発振部からの発振周波数と第２の発振部からの発振周波数との差を取り出しその周波数差の周波数信号を出力する手段と、を備え、
前記第１の発振部の発振周波数が前記第２の発振部の発振周波数と異なり、かつ水晶振動子の温度変化に対する第１の発振部の周波数温度特性と第２の発振部の周波数温度特性とが揃っていることを特徴とする水晶発振器。
【請求項２】
縦軸及び横軸に夫々発振出力電圧及び周波数をとったときの共振曲線において、第１の発振部に係る最大出力電圧の１／２１／２以上の値が得られる周波数帯域と第２の発振部に係る最大出力電圧の１／２１／２以上の値が得られる周波数帯域とが互いに重ならないことを特徴とする請求項１記載の水晶発振器。
【請求項３】
水晶片に弾性的な境界層を設けることにより、水晶片を互いに独立して振動する第１の振動領域と第２の振動領域とに分割し、これら第１の振動領域及び第２の振動領域に各々電極を設けて、第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子を構成したことを特徴とする請求項１または２記載の水晶発振器。
【請求項４】
前記弾性的な境界層は、水晶片の表面部に形成された溝または導電層であることを特徴とする請求項３記載の水晶発振器。
【請求項５】
感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成された水晶振動子を含む水晶発振器と、この水晶発振器の発振周波数の変化分を測定する手段と、この手段により測定した発振周波数の変化分に基づいて感知対象物を感知する手段と、を備えた感知装置において、
前記水晶発振器として請求項１ないし４のいずれか一に記載の水晶発振器を用い、第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子の一方に前記吸着層が形成されていることを特徴とする感知装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶発振器、及びこの水晶発振器を用いて感知対象物を感知する感知装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶発振器の温度に対する周波数安定性を得るための代表的な構成としては、ＯＣＸＯ（恒温槽付水晶発振器：Oven  Controlled  Crystal  Oscillator）とＴＣＸＯ（温度補償水晶発振器：Temperature  Compensated  Crystal  Oscillator）とが知られている（非特許文献１）。ＯＣＸＯは恒温槽によって水晶振動子の周囲温度を一定に保っているため、１０−８  〜１０−１０の高い周波数安定度が得られるが、大型で消費電力が大きいことから、基地局の通信装置などには適しているが、携帯機器に対して適用できないなど、適用範囲が制限されている。またＭＣＸＯ（高精度基準発生器：Microcomputer  Controlled  Crystal  Oscillator）と呼ばれる水晶発振器も知られており、これは予め調べた水晶振動子の温度特性に基づいてその温度特性がキャンセルされるように出力をコンピュータにより制御するものであって、１０−７  〜１０−８  の高い周波数安定性が得られるが、ＯＣＸＯよりも周波数安定度が劣るので適用しがたい。
【０００３】
一方ＴＣＸＯは感温素子を用いた温度補償回路を内蔵することにより広い範囲に亘って良好な周波数温度特性を得るようにしたものであり、消費電力が少なく、小型軽量であり、適用範囲が広い利点がある。しかしながらＴＣＸＯは、ＯＣＸＯほどの高い周波数安定性が得られないので、高い周波数安定性が要求される場合には、適用しがたいという課題がある。
【０００４】
例えば最近において、溶液中や気体中の微量物質を検出する装置として水晶振動子を用いることが検討されている。これは水晶振動子に微量物質が吸着すると、その発振周波数（共振周波数）が変わることを検出原理としており、特許文献１には、ガスを吸着してそのガス濃度を検出することが記載されている。また特許文献２には、水晶振動子を用いて疫病マーカータンパク質を検出する装置が記載されている。本発明者は、このような測定装置に着目しており、今後種々の分野、例えばダイオキシンなどのｐｐｂ〜ｐｐｔレベルの極位濃度を分析対象とする環境汚染物質などについても高感度で検出できるものと期待している。
【０００５】
しかし微量物質の検出感度を高めようとすると、周波数の変化分の測定値に温度変化による周波数の変化分が乗ってくるので、検出誤差になってしまう。このため検出精度を高めるためには、水晶発振器の周波数温度特性を向上させることが要求される。こうしたことからＴＣＸＯの長所をいかしながら周波数安定性が高い水晶発振器の作製が望まれている。
【０００６】
【非特許文献１】水晶デバイスの解説と応用：２００２年３月  日本水晶デバイス工業会発行（第１８頁から２０頁）
【特許文献１】特開平６−２４１９７２号
【特許文献２】特開２００１−８３１５４（段落０００７、０００９及び図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、良好な周波数温度特性を備えた水晶発振器を提供することにある。更に他の目的は、この水晶発振器を利用することにより、感知対象物を高精度に検出することのできる感知装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の水晶発振器は、第１の水晶振動子とこの第１の水晶振動子を発振させるための第１の発振回路とを含む第１の発振部と、
第２の水晶振動子とこの第２の水晶振動子を発振させるための第２の発振回路とを含む第２の発振部と、
前記第１の発振部からの発振周波数と第２の発振部からの発振周波数との差を取り出しその周波数差の周波数信号を出力する手段と、を備え、
前記第１の発振部の発振周波数が前記第２の発振部の発振周波数と異なり、かつ水晶振動子の温度変化に対する第１の発振部の周波数温度特性と第２の発振部の周波数温度特性とが揃っていることを特徴とする。
【０００９】
第１の発振部及び第２の発振部の各発振周波数の差に関しては、縦軸及び横軸に夫々発振出力電圧及び周波数をとったときの共振曲線において、第１の発振部に係る最大出力電圧の１／２１／２以上の値が得られる周波数帯域と第２の発振部に係る最大出力電圧の１／２１／２以上の値が得られる周波数帯域とが互いに重ならないことが好ましいが、重ならないことが要件ではない。第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子は、共通の水晶片に形成してもよい。即ち、水晶片に弾性的な境界層を設けることにより、水晶片を互いに独立して振動する第１の振動領域と第２の振動領域とに分割し、これら第１の振動領域及び第２の振動領域に各々電極を設けて、第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子を構成する。この場合、前記弾性的な境界層は、水晶片の表面部に形成された溝または導電層である。  
他の発明は、感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成された水晶振動子を含む水晶発振器と、この水晶発振器の発振周波数の変化分を測定する手段と、この手段により測定した発振周波数の変化分に基づいて感知対象物を感知する手段と、を備えた感知装置において、
前記水晶発振器として本発明の水晶発振器を用い、第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子の一方に前記吸着層が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
この感知装置において、水晶発振器の発振周波数の変化分を測定する手段は、周波数をカウントして周波数の変化分を測定する場合、及び周波数の周期を測定して周波数の変化分を求める場合のいずれも該当する。発振周波数の変化分に基づいて感知対象物を感知する手段とは、発振周波数の変化分と感知対象物との濃度との関係式（検量線）を用いて感知対象物の濃度を求める手段などが相当する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、水晶振動子の雰囲気温度が変わったときに、第１の発振部及び第２の発振部の両方の発振周波数が同じように変わるので、これらの発振周波数の差を出力とすることにより、温度変化に対する周波数の変化分が小さくなり、良好な周波数温度特性が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明に係る水晶発振器の実施の形態を示す回路図である。水晶振動子及び発振回路からなる構成部分を発振部と呼ぶことにすると、この水晶発振器は、第１の発振部１Ａと、第２の発振部１Ｂと、これら発振部１Ａ、１Ｂからの発振周波数の差を取り出しその周波数差の周波数信号を出力する周波数差出力手段をなす混合器であるヘテロダイン検波器２と、を備えている。
【００１３】
第１の発振部１Ａの構成について述べると、３Ａは例えばＡＴカットの水晶振動子である。この水晶振動子３Ａには、例えばコルピッツ形の発振回路４Ａが直列に接続されている。この発振回路４Ａは、第１のインバータ（反転増幅器）４１及び第２のインバータ（反転増幅器）４２をコンデンサ４３を介して直列に接続して構成されている。１段目のインバータ４１の入力端及び出力端の間には、バイアスのための抵抗４４及びコンデンサ４５の並列回路が接続されている。また２段目のインバータ４２の入力端及び出力端の間には、帰還抵抗４６が接続されている。４７は電源部であり、１１Ａは第１の発振部１Ａの出力端である。
【００１４】
第２の発振部１Ｂの第２の発振回路４Ｂは、発振周波数を除いては第１の発振回路４Ａと同様の構成であり、その構成部分については、第１の発振回路４Ａと同じ符号を用いている。なお３Ｂは第２の水晶振動子であり、１１Ｂは第２の発振部１Ｂの出力端である。
【００１５】
第１の発振部１Ａの共振周波数は、第２の発振部１Ｂの共振周波数よりも小さく、かつその周波数温度特性は、第２の発振部１Ｂの周波数温度特性と揃っている。図２は縦軸及び横軸に夫々利得及び周波数をとり、各発振部１Ａ、１Ｂの共振曲線（便宜上共振曲線には、対応する発振部の符号を付してある。）を表したグラフである。ここでいう利得とは、発振出力電圧である。各発振部１Ａ、１Ｂの発振周波数の差つまり水晶振動子３Ａ、３Ｂの共振周波数の差は、本発明の水晶発振器が適用される機器に応じて決められるものであるが、両者の共振周波数をあまり接近させないことが好ましい。例えば図２では、両者の共振曲線は完全に分離されており、相互に干渉するおそれはないが、発振出力電圧が最大値（ピーク値）の１／２１／２以上になる（電力が半分になる）周波数帯域ＢＷ１、ＢＷ２が互いに重なり、その重なりが大きくなると、各発振部１Ａ、１Ｂの発振周波数の差をとってこの実施の形態の水晶発振器の出力としたときに、その発振動作が不安定になる場合がある。
【００１６】
この点について本発明者は実験により把握しているが、必ず不安定になるとは言い切れず、また前記周波数帯域ＢＷ１、ＢＷ２の重なりの程度が大きくなければ、必ずしも発振動作が不安定になるわけではない。従って周波数帯域ＢＷ１、ＢＷ２が互いに重ならないように各発振部１Ａ、１Ｂの発振周波数を決めることが好ましいといえるが、重なったからといって本発明が実施できなくなるものではない。
【００１７】
また図３は、発振部１Ａ、１Ｂの周波数温度特性の一例を示す図であり、両者の周波数温度特性は互いに揃っている。ここでいう「揃っている」とは、完全に両者の周波数温度特性のカーブが一致していることに限定するものではなく、両者の周波数温度特性の差をとったときに、各々単独の周波数温度特性よりも良好になっている場合を意味する。また周波数温度特性とは、水晶振動子３Ａ（３Ｂ）と発振回路４Ａ（４Ｂ）とが同じ環境に置かれている場合には、発振部１Ａ（１Ｂ）が置かれている環境の温度に対する周波数変化に相当するが、例えば後述の感知装置のように水晶振動子３Ａ（３Ｂ）と発振回路４Ａ（４Ｂ）とが異なる環境に置かれるときには、水晶振動子３Ａ（３Ｂ）が置かれている環境の温度に対する発振部１Ａ、（１Ｂ）の周波数変化に相当する。
【００１８】
水晶振動子３Ａ（３Ｂ）の構成例について図４に示しておく。図４（Ａ）の例は、例えばＡＴカットの角型の水晶片３１の一面及び他面における中央部に弾性的な境界層としての溝部３２を一縁から他縁に亘って設けることにより、互いに左右に分割された第１の振動領域３３及び第２の振動領域３４を形成し、これら第１の振動領域３３及び第２の振動領域３４の各々の両面に電極３５、３６（他面側の電極は図４では見えない）を設けて、第１の水晶振動子３Ａ及び第２の水晶振動子３Ｂを構成したものである。水晶片３１に弾性的な境界層を設けて第１の振動領域３３及び第２の振動領域３４を形成すれば、これら領域３３，３４は互いに独立して振動することになる。このように第１の水晶振動子３Ａ及び第２の水晶振動子３Ｂの水晶片を共通化すれば、両者の温度特性が実質同じになるため有効な構成である。
【００１９】
溝部３２としては、水晶片３１の両面に設けることに限らず、図４（Ｂ）に示すように水晶片３１の片面のみに設けるようにしてもよい。また弾性的な境界層としては、図４（Ｃ）に示すように水晶片３１の中央部において例えば導電層３７を全周に亘って形成したものであってもよい。導電層３７は必ずしも全周に亘って形成しなくとも、例えば水晶片３１の一方の面に形成してもよい。
【００２０】
第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂの発振周波数が異なるようにするためには、水晶振動子３Ａ及び水晶振動子３Ｂの構造が異なるもの例えば図４の水晶片３１における第１の振動領域３３及び第２の振動領域３４の各厚さが異なる構成であってもよいが、水晶振動子３Ａ及び水晶振動子３Ｂの構造は同じにしておいて、水晶振動子３Ａ及び水晶振動子３Ｂに夫々例えばコンデンサを直列に接続し、それらコンデンサの容量値を異ならせて共振周波数の値を異ならせるようにしてもよい。
【００２１】
次に上述の実施の形態の作用、効果について説明する。水晶振動子３Ａ（３Ｂ）から出力されたパルスは前段のインバータ４１により反転され、更にコンデンサ４３により反転され、後段のインバータ４２に入力される。後段のインバータ４２の出力は帰還抵抗４６を介してフィードバックされているので、結局コンデンサ４３を通過したパルスは、その位相のままインバータ４２から出力される。従って水晶振動子３Ａ（３Ｂ）から出力されたパルスは発振回路４Ａ（４Ｂ）を介して位相が元に戻るので、水晶振動子３Ａ（３Ｂ）に発振が起こり、第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂの発振出力例えば正弦波が夫々出力端１１Ａ、１１Ｂに現れる。
【００２２】
これら出力端１１Ａ、１１Ｂの発振出力はヘテロダイン検波器２に入力され、ここから両者の周波数差の周波数信号が出力される。
【００２３】
今、図３の周波数温度特性のグラフにおいて、例えば水晶振動子３Ａ（３Ｂ）が置かれている雰囲気温度が１５℃から４０℃に変わったとすると、第１の発振部１Ａの発振周波数（共振周波数）が低くなる。ところが第２の発振部１Ｂの発振周波数（共振周波数）も低くなるので、その周波数差は、１５℃のときとあまり変わらなくなる。つまり雰囲気温度が変わったときに、第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂの両方の発振周波数が同じように変わるので、一方の発振周波数が低くなれば他方の発振周波数も低くなり、一方の発振周波数が高くなれば他方の発振周波数も高くなる。
【００２４】
従って両者の周波数差を取ることにより、概略的に言えば、温度変化に対する一方の周波数の変化分から当該変化分とほぼ同じである他方の変化分を差し引くことになるので、両者の周波数温度特性が見えなくなる。即ちこの実施の形態の水晶発振器は、周波数温度特性が良好であり、第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂの周波数温度特性が一致していれば、温度変化に対する周波数の変化分はゼロになるし、一致していなくても、両者が揃っていることにより単独の周波数温度特性よりも良好になる。そしてこのように２つの発振部１Ａ、１Ｂの周波数差を取り出すようにして周波数温度特性を改善しているので、ＯＣＸＯなどのように装置が大掛かりなものではなく、小型であり、また消費電力も小さく、携帯機器をはじめ適用範囲が広い。
【００２５】
続いて本発明の水晶発振器を用いた感知装置について図５〜図７を参照しながら説明する。この例の水晶発振器の第１の水晶振動子３Ａ及び第２の水晶振動子３Ｂとしては、図４（Ａ）の構造を採用しており、共通の水晶片に形成されている。なお溝３２は図６に示すようにＶ字型に形成されている。第１の水晶振動子３Ａの両面の電極には信号線５Ａが各々接続され、信号線５Ａは第１の発振回路４Ａに接続されている。また第２の水晶振動子３Ｂの両面の電極には信号線５Ｂが各々接続され、信号線５Ｂは第２の発振回路４Ｂに接続されている。図６には図示の便宜上信号線５Ａ、５Ｂは記載していない。
【００２６】
また第１の水晶振動子３Ａ及び第２の水晶振動子３Ｂの片面（他面）は例えば樹脂からなる上面開口の容器６１により接着剤により封止されており、第１の水晶振動子３Ａ及び第２の水晶振動子３Ｂの一面は露出している。図６及び図７に示すように、第１の水晶振動子３Ａの一面には感知対象物質である例えばダイオキシンを吸着する吸着層６２が形成されている。この吸着層６２はダイオキシンと反応して捕獲する抗体を含むものである。一方第２の水晶振動子３Ｂの一面にも、前記吸着層６２と同じ厚さでかつ密度が同等のダミー層６３が形成されている。このダミー層６３は、ダイオキシンを吸着する能力はなく、吸着層６２にダイオキシンが捕獲されていないときには水晶振動子３Ａ、３Ｂの特性が同じになるように設けられたものである。即ちこの例では、水晶振動子３Ａ、３Ｂは環境が同じであればそれ自体は同じ周波数で振動するように構成されており、これらに接続されるコンデンサの容量を変えることにより共振周波数を異ならせている。
【００２７】
このような水晶振動子３Ａ、３Ｂはランジュバン型水晶振動子と呼ばれ、露出している面に測定雰囲気例えば溶液が接触することになる。図５の例では容器６４内の溶液に浸漬して用いられるが、溶液を水晶振動子３Ａ、３Ｂの一面に垂らすようにしてもよい。
【００２８】
図５に説明を戻すと、ヘテロダイン検波器２の後段には、ローパスフィルタ７１、アンプ７２及び周波数信号（パルス）をカウントするカウンタ７３が接続されており、カウンタ７３の後段にはデータ処理部７４が設けられている。
【００２９】
次いでこの感知装置の作用について説明する。第１の発振部１Ａ（第１の水晶振動子３Ａと第１の発振回路４Ａとからなる部位）の発振周波数は例えば３１．０７ＭＨｚとされ、第２の発振部１Ｂ（第２の水晶振動子３Ｂと第２の発振回路４Ｂとからなる部位）の発振周波数は３０ＭＨｚとされる。水晶振動子３Ａ、３Ｂを所定の溶液中例えば超純水に浸漬すると、溶液が水晶面に付着したことにより大気雰囲気よりもわずかに例えば５０００Ｈｚ程度発振周波数が低くなった状態で発振する。このとき第１の発振回路４Ａの発振周波数と第２の発振回路４Ｂの発振周波数との差に相当する周波数の周波数信号がヘテロダイン検波器２から取り出され、その周波数信号がローパスフィルタ７１を介してアンプ７２に入力され、ここで増幅されてカウンタ７３に入力される。カウンタ７３にて周波数信号がカウントされてデータ処理部７４にてその周波数が求められる。そしてこの周波数が安定したときにその値をブランク値としてデータ処理部７４のメモリに記憶しておく。
【００３０】
続いて容器６４内の溶液中に、感知対象物例えばダイオキシンが含まれている溶液を供給して攪拌すると、前記ダイオキシンが抗ダイオキシン抗体による選択的な分子捕捉により水晶振動子３Ａの表面の吸着層６２に捕獲され、その吸着量に応じて水晶振動子３Ａの共振周波数（固有振動数）がΔｆだけ変化する。このためカウンタ７３における周波数のカウント値がΔｆだけ変化するので、データ処理部７４においてこの状態で安定した周波数と先のメモリ内のブランク値に相当する周波数とを比較することにより、Δｆが周波数の変化分として求められ、予め求めておいた関係式（検量線）に基づいてダイオキシンの濃度が測定できる。この濃度は例えば図示しない表示部に表示される。なお検出した濃度と予め設定した濃度とを比較して、設定濃度よりも高ければ「有り」、設定濃度よりも低ければ「無し」として出力するようにしてもよい。
【００３１】
以上の実施の形態は、カウンタ７３とデータ処理手段７４におけるカウンタ値に基づいて周波数の変化分を求める手段とは、発振周波数の変化分を測定する手段に相当し、データ処理手段７４において前記変化分と検量線とに基づいて感知対象物の濃度を求める手段は、発振周波数の変化分に基づいて感知対象物を感知する手段に相当する。
【００３２】
そして測定中において容器６４内の温度が変化しても、水晶振動子３Ａ、３Ｂの共振周波数の差を取り出していることから既に詳述したように周波数の安定度が高いので、温度変化による周波数の変化分は小さい。従って測定感度を高めても、高い精度で感知対象物質を感知することができる。なお感知対象物としては、例えば疫病マーカー蛋白質、伝染病の細菌、ＰＣＢなどであってもよい。また液体中の物質を感知することに限られず気体中の物質、例えば毒性のガスを感知したり臭いを感知したりする場合にも適用できる。
【実施例】
【００３３】
第１の水晶振動子３Ａ及び第２の水晶振動子３Ｂとして基本波１４．４ＭＨｚのＡＴカット水晶振動子を用い、これらに夫々２０ｐＦ及び３０ｐＦのコンデンサを負荷容量として接続することにより、発振周波数が互いに異なる第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂを構成した。これら第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂを精密に温度を調整できる温度槽に入れて−１０℃から６０℃までの間の種々の温度について１時間放置後の周波数をカウンタによりカウントした。周波数については、第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂからの各発振周波数と、これらの差の周波数と、これらの和の周波数と、をカウントした。第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂからの各発振周波数の絶対値を図８に示し、これらの差の周波数の絶対値を図９に示す。また図８及び図９の周波数を２５℃の周波数の温度を基準にした相対値を図１０に示す。
【００３４】
この結果から分かるように、第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂからの各発振周波数における周波数温度特性に比較して、その差の周波数温度特性は大幅に改善されており、１次関数で表されることが分かる。なお
第１の発振部１Ａ及び第２の発振部１Ｂからの各発振周波数の和については図示していないが、３次曲線となり、周波数温度特性は悪化していた。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係る水晶発振器の実施の形態を示す回路図である。
【図２】上記の水晶発振器に用いられる２つの発振部の共振周波数を示す特性図である。
【図３】上記の水晶発振器に用いられる２つの発振部の周波数温度特性を示す特性図である。
【図４】上記の水晶発振器に用いられる２つの水晶振動子の構成例を示す斜視図である。
【図５】本発明に係る感知装置の実施の形態を示す構成図である。
【図６】上記の感知装置に用いられる水晶振動子の構成例を示す縦断側面図である。
【図７】上記の感知装置に用いられる水晶振動子の構成例を示す平面図である。
【図８】本発明の効果を検証するための実験に用いた水晶発振器に組み込まれている２つの発振部の周波数温度特性を示す特性図である。
【図９】前記実験に用いた水晶発振器の周波数温度特性を示す特性図である。
【図１０】図８及び図９に示される周波数を２５℃の温度の周波数を基準にして相対値で表した特性図である。
【符号の説明】
【００３６】
１Ａ、１Ｂ    発振部
２            ヘテロダイン検波器
３Ａ、３Ｂ    水晶振動子
３１          水晶片
３２          溝部
３７          導電層
４Ａ、４Ｂ    発振回路
４１、４２    インバータ
【図１】
2006033195.tif 000003
【図２】
2006033195.tif 000004
【図３】
2006033195.tif 000005
【図４】
2006033195.tif 000006
【図５】
2006033195.tif 000007
【図６】
2006033195.tif 000008
【図７】
2006033195.tif 000009
【図８】
2006033195.tif 000010
【図９】
2006033195.tif 000011
【図１０】
2006033195.tif 000012