(57)【要約】 【課題】  簡便かつ正確にメインスケールの補正パラメータを検出ヘッド部に入力できる変位検出装置を提供する。【解決手段】  メインスケール１１０には回折格子１１１が形成されているとともにシリアルナンバー１１２が付されている。ホストコンピュータ１５０に格納された補正パラメータ記憶テーブル１５１にはシリアルナンバー１１２と対応して補正パラメータが記録されている。検出ヘッド部１２０は、メインスケール１１０に対して相対移動する際に、回折格子１１１からの回折光を受光して得られる受光信号を補正パラメータで信号補正して出力する。メインスケールの交換時には、ＣＣＤカメラ１３０でメインスケール１１０のシリアルナンバー１１２を認識して、補正パラメータ記憶テーブル１５１から対応する補正パラメータを読み出して検出ヘッド部１２０に設定入力する。【選択図】 図１
2006170790.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
識別情報および測長方向に沿って配列された位置情報を有し代替可能な複数本が用意されているメインスケールと、
前記位置情報に応じて作成された補正パラメータを前記識別情報に対応させて記憶した補正パラメータ記憶テーブルと、
前記メインスケールに対して相対移動する際に前記位置情報を検出するとともにこの位置情報を検出して得られる検出信号を前記補正パラメータで信号補正して出力する検出ヘッド部と、
前記識別情報を認識して前記メインスケールを識別するメインスケール識別手段と、を備え、
前記検出ヘッド部は、前記メインスケール識別手段にて識別されたメインスケールに応じた補正パラメータを前記補正パラメータ記憶テーブルから読み出して設定記憶する補正パラメータ設定記憶部を有する
ことを特徴とする変位検出装置。
【請求項２】
測長方向に沿って配列された位置情報および前記位置情報に応じて作成された補正パラメータの情報を有し代替可能な複数本が用意されているメインスケールと、
前記メインスケールに対して相対移動する際に前記位置情報を検出するとともにこの位置情報を検出して得られる検出信号を前記補正パラメータで信号補正して出力する検出ヘッド部と、
前記補正パラメータの情報を読み取る補正パラメータ読取手段と、を備え、
前記検出ヘッド部は、前記補正パラメータ読取手段で読み取られた前記補正パラメータを設定記憶する補正パラメータ設定記憶部を有する
ことを特徴とする変位検出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の変位検出装置において、
前記補正パラメータの情報は、前記メインスケールに設けられた一次元または二次元の情報コードに記録され、
前記補正パラメータ読取手段は、前記情報コードの情報を読み取るコードリーダである
ことを特徴とする変位検出装置。
【請求項４】
請求項２に記載の変位検出装置において、
前記補正パラメータの情報は、前記メインスケールに設けられた無線ＩＣタグに記録され、
前記補正パラメータ読取手段は、前記無線ＩＣタグの情報を読み取るＩＣタグリーダである
ことを特徴とする変位検出装置。
【請求項５】
検出ヘッド部が相対移動する際に検出可能な位置情報が測長方向に沿って配列されたメインスケールであって、
前記位置情報に応じて作成された補正パラメータの情報が読出可能に記録されている
ことを特徴とするメインスケール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変位検出装置およびメインスケールに関し、例えば、メインスケールとこのメインスケールに対してスライド移動可能に設けられた検出ヘッド部とを備え、検出ヘッド部の変位量検出あるいは検出ヘッド部の絶対位置検出を行う変位検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、メインスケールとこのメインスケールに対してスライド移動可能に設けられた検出ヘッド部とを備え、検出ヘッド部の変位量検出あるいは検出ヘッド部の絶対位置検出を行う変位検出装置が知られている（例えば、特許文献１）。
例えば、図４に示す光電式の変位検出装置２００では、メインスケール２１０は、位置情報として測長方向に沿って形成された回折格子２１１を有している。
そして、検出ヘッド部２２０は、回折格子２１１に向けて光を発射する光源２２１と、回折格子２１１からの回折光を受光して受光信号を出力する受光部２２２と、受光部２２２からの受光信号を演算処理して検出ヘッド部２２０の変位量あるいは絶対位置を検出する演算処理部２２３と、を備える。
【０００３】
ここで、メインスケール２１０には製品個体差があり、線膨張係数、格子ピッチあるいは格子幅（細かったり太かったり）などがメインスケール２１０ごとに異なる。そこで、検出精度を高精度化するために、検出ヘッド部２２０には、組み合わされるメインスケール２１０に応じてメインスケール２１０の製品個体差を補正するための補正パラメータが設定記憶されている。
【０００４】
例えば、図５は、あるメインスケール２１０を用いた位置検出において、測定位置を横軸にとり、測定値が基準値に対して有する誤差を縦軸にとったグラフである。このようにメインスケール２１０ごとに基準値（真の値）と測定値との間に誤差が生じるので、このような誤差を補正する補正パラメータが検出ヘッド部２２０に設定記憶される。また、回折格子２１１のパターンの違いによって回折効率などが異なると、回折格子２１１からの回折光を受光して受光部２２２から出力される受光信号はメインスケール２１０ごとに異なってくるので、受光部２２２から出力される受光信号の振幅や中心電圧値を補正する補正パラメータが検出ヘッド部２２０に設定記憶される。
このように、組み合わされるメインスケール２１０に応じた補正パラメータが検出ヘッド部２２０に設定記憶されていると、メインスケール２１０の製品固体差が適切に補正され、高精度な検出ヘッド部２２０の変位量検出が可能となる。
【０００５】
一般に、メインスケール２１０と検出ヘッド部２２０とが組み合わされた製品がユーザーに納品されるので、変位検出装置２００の出荷段階では、組み合わされるメインスケール２１０の補正パラメータが検出ヘッド部２２０に設定記憶された状態でメインスケール２１０と検出ヘッド部２２０とが組み合わされて出荷される。
その一方、変位検出装置２００を使用している最中にメインスケール２１０あるいは検出ヘッド部２２０の一方が破損することが起こりうる。このとき、メインスケール２１０と検出ヘッド部２２０とをセットで取り替えるとコストが非常にかさむので破損したメインスケール２１０だけあるいは検出ヘッド部２２０だけを交換することが当然要求されるところ、メインスケール２１０および検出ヘッド部２２０の一方を交換するにあたっては、メインスケール２１０と検出ヘッド部２２０との組み合わせの変更に応じて補正パラメータを改めて検出ヘッド部２２０に設定入力することが必要となる。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−１４２１８９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、メインスケール２１０および検出ヘッド部２２０の一方を交換するにあたり、補正パラメータを改めて検出ヘッド部２２０に設定入力する作業に非常に時間がかかるという問題があった。
さらに、メインスケール２１０が複数本用意されており、それらに応じた補正パラメータが複数作成されている場合に、間違った組み合わせの補正パラメータを検出ヘッド部２２０に設定入力してしまう危険性がある。そして、仮に、間違った組み合わせの補正パラメータを検出ヘッド部２２０に入力してしまった場合でも、その誤りに気づくことは不可能であり、検出誤差が生じた状態で変位量検出を行ってしまうという問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、簡便かつ正確にメインスケールの補正パラメータを検出ヘッド部に入力できる変位検出装置、およびメインスケールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の変位検出装置は、識別情報および測長方向に沿って配列された位置情報を有し代替可能な複数本が用意されているメインスケールと、前記位置情報に応じて作成された補正パラメータを前記識別情報に対応させて記憶した補正パラメータ記憶テーブルと、前記メインスケールに対して相対移動する際に前記位置情報を検出するとともにこの位置情報を検出して得られる検出信号を前記補正パラメータで信号補正して出力する検出ヘッド部と、前記識別情報を認識して前記メインスケールを識別するメインスケール識別手段と、を備え、前記検出ヘッド部は、前記メインスケール識別手段にて識別されたメインスケールに応じた補正パラメータを前記補正パラメータ記憶テーブルから読み出して設定記憶する補正パラメータ設定記憶部を有することを特徴とする。
【００１０】
このような構成では、メインスケールに設けられた識別情報をメインスケール識別手段で認識してメインスケールが識別される。そして、識別されたメインスケールに応じた補正パラメータが補正パラメータ記憶テーブルから読み出されて補正パラメータ設定記憶部に設定記憶される。
【００１１】
この構成では、メインスケールに識別情報が設けられているので、この識別情報からメインスケールが自動識別される。そして、このように自動識別されたメインスケールに応じた補正パラメータが補正パラメータ記憶テーブルから自動的に読み出されて補正パラメータ設定記憶部に設定される。
従って、メインスケールと検出ヘッド部とのいずれか一方を交換する場合でも、メインスケールの識別情報をメインスケール識別手段で認識するだけで、メインスケールが自動識別されて補正パラメータが補正パラメータ設定記憶部に設定される。よって、ユーザーが手入力で補正パラメータを設定入力することに比べて作業が非常に簡便となる。また、識別情報に基づく自動識別で適切な補正パラメータが自動設定されるので、誤った補正パラメータによる補正ミスが防止されて、検出精度が向上される。
【００１２】
本発明では、前記識別情報は、前記メインスケールのシリアルナンバーであり、前記メインスケール識別手段は、前記シリアルナンバーを撮像する撮像手段であることが好ましい。
【００１３】
また、本発明では、前記識別情報は、前記メインスケールに設けられた情報コードであり、前記メインスケール識別手段は、前記情報コードを読み取るコードリーダであることが好ましい。ここで、情報コードとしては、一次元バーコードでも二次元コードでもよい。
【００１４】
また、本発明では、前記識別情報は、前記メインスケールに設けられた無線ＩＣタグに記録され、前記メインスケール識別手段は、前記無線ＩＣタグの情報を認識するＩＣタグリーダであることが好ましい。
【００１５】
このような構成によれば、シリアルナンバー、バーコード、無線ＩＣタグによってメインスケールを識別することができる。
【００１６】
また、識別情報をメインスケールに記録するにあたっては、例えば、光電式エンコーダであれば、検出ヘッド部の受光部で読取可能な明暗格子によって識別情報を記録することが好ましい。この構成によれば、メインスケール識別手段として受光部を共用できるからである。
そして、磁気式エンコーダでは、検出ヘッド部の磁気情報読取部で読取可能な情報で識別情報を記録することが好ましく、また、静電容量式エンコーダでは検出ヘッド部の電位情報読取部で読取可能な情報で識別情報を記録することが好ましい。
【００１７】
また、補正パラメータ記憶テーブルはＣＰＵ（中央処理装置）およびメモリを備えたホストコンピュータのメモリに記憶されていて、このホストコンピュータから検出ヘッド部の補正パラメータ設定記憶部に設定入力可能であってもよい。あるいは、補正パラメータ記憶テーブルは所定のサーバー内に保管され、インターネット回線を通じて補正パラメータを検出ヘッド部の補正パラメータ設定記憶部に提供可能であってもよい。
【００１８】
本発明の変位検出装置は、測長方向に沿って配列された位置情報および前記位置情報に応じて作成された補正パラメータの情報を有し代替可能な複数本が用意されているメインスケールと、前記メインスケールに対して相対移動する際に前記位置情報を検出するとともにこの位置情報を検出して得られる検出信号を前記補正パラメータで信号補正して出力する検出ヘッド部と、前記補正パラメータの情報を読み取る補正パラメータ読取手段と、を備え、前記検出ヘッド部は、前記補正パラメータ読取手段で読み取られた前記補正パラメータを設定記憶する補正パラメータ設定記憶部を有することを特徴とする。
【００１９】
この構成では、メインスケールに補正パラメータの情報が直接に設けられているので、補正パラメータ読取手段でメインスケールの補正パラメータ情報を読み取って検出ヘッド部の補正パラメータ設定記憶部に設定することができる。
メインスケールに補正パラメータ情報が直接に設けられているのでメインスケールと補正パラメータとの対応を間違えることはなく、適切な補正パラメータが自動設定される。
その結果、誤った補正パラメータによる補正ミスが防止されて、検出精度が向上される。
【００２０】
本発明では、前記補正パラメータの情報は、前記メインスケールに設けられた一次元または二次元の情報コードに記録され、前記補正パラメータ読取手段は、前記情報コードの情報を読み取るコードリーダであることが好ましい。ここで、このような補正パラメータの情報を記録する情報コードとしては、一次元のバーコードでもよく、または、ＱＲコード（登録商標）に代表される二次元コードでもよい。
【００２１】
本発明では、前記補正パラメータの情報は、前記メインスケールに設けられた無線ＩＣタグに記録され、前記補正パラメータ読取手段は、前記無線ＩＣタグの情報を読み取るＩＣタグリーダであることが好ましい。
【００２２】
このように、情報コードあるいは無線ＩＣタグに補正パラメータの情報を記録することにより補正パラメータの情報をメインスケールに直接設けることができる。
【００２３】
ここで、補正パラメータの情報をメインスケールに記録するにあたっては、例えば、光電式エンコーダであれば、検出ヘッド部の受光部で読取可能な明暗格子によって補正パラメータの情報を記録することが好ましい。この構成によれば、補正パラメータ読取手段として受光部を共用できるからである。
そして、磁気式エンコーダでは、検出ヘッド部の磁気情報読取部で読取可能な情報で補正パラメータの情報を記録することが好ましく、また、静電容量式エンコーダでは検出ヘッド部の電位情報読取部で読取可能な情報で補正パラメータの情報を記録することが好ましい。
【００２４】
本発明のメインスケールは、検出ヘッド部が相対移動する際に検出可能な位置情報が測長方向に沿って配列されたメインスケールであって、前記位置情報に応じて作成された補正パラメータの情報が読出可能に記録されていることを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができ、つまり、メインスケールに補正パラメータ情報が直接に書き込まれているので、メインスケールと補正パラメータとの対応を間違えることはなく、誤った補正パラメータによる補正ミスが防止されて、検出精度が向上される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の変位検出装置に係る第１実施形態について説明する。
図１は、第１実施形態の全体構成を示す図である。
この変位検出装置１００は、メインスケール１１０と、検出ヘッド部１２０と、メインスケール識別手段としてのＣＣＤカメラ（撮像手段）１３０と、補正パラメータ記憶テーブル１５１を有するホストコンピュータ１５０と、を備える。
メインスケール１１０には、測長方向に位置情報として回折格子１１１が設けられており、さらに、メインスケール１１０には、識別情報としてのシリアルナンバー１１２が付されている。なお、メインスケール１１０は、交換可能に複数本が用意されている。
【００２７】
検出ヘッド部１２０は、メインスケール１１０の測長方向にスライド移動可能に設けられており、検出ヘッド部１２０は、メインスケール１１０の回折格子１１１に向けて光を照射する光源（不図示）と、回折格子１１１からの回折光を受光して受光信号を出力する受光部（不図示）と、受光信号を演算処理して検出ヘッド部１２０の変位量を検出する演算処理部（不図示）と、を備える。
そして、演算処理部は、メインスケール１１０の製品個体差を補正する補正パラメータを設定記憶する補正パラメータ設定記憶部１２１を備えている。補正パラメータ設定記憶部１２１は書き換え可能なメモリで構成されている。
演算処理部は、受光部からの受光信号を補正パラメータで補正した後、所定の演算処理により検出ヘッド部１２０の変位量を検出する。
【００２８】
ＣＣＤカメラ１３０は、メインスケール１１０のシリアルナンバー１１２を撮像して、撮像データをホストコンピュータ１５０に出力する。
ホストコンピュータ１５０は、ＣＰＵ（中央処理装置）およびメモリ（記憶装置）を備えたコンピュータであり、メモリには補正パラメータ記憶テーブル１５１が格納されている。補正パラメータ記憶テーブル１５１には、複数のメインスケール１１０についての補正パラメータが記憶されており、これらの補正パラメータがシリアルナンバー１１２と対応したテーブルとして記録されている。ここで、補正パラメータは、メインスケール１１０の製品個体差を補正するためのパラメータであり、例えば、メインスケール１１０の線膨張を補正するパラメータ、回折格子１１１の格子ピッチ誤差や格子幅誤差を補正するパラメータなどが例として挙げられる。
【００２９】
このような構成を備える第１実施形態の動作について説明する。
なお、検出ヘッド部１２０がメインスケール１１０に対してスライド移動する際に回折格子１１１からの回折光を受光部で受光し、この受光部からの受光信号を補正パラメータによって補正するとともに所定演算処理により検出ヘッド部１２０の変位量を検出する点については従来と同様であるので、詳細は割愛する。
【００３０】
この変位検出装置１００の使用中にメインスケール１１０が破損するなどによりメインスケール１１０を交換する場合の動作について説明する。
まず、破損したメインスケール１１０を検出ヘッド部１２０から外して、新しいメインスケール１１０と検出ヘッド部１２０とを組み合わせる。
そして、ＣＣＤカメラ１３０でメインスケール１１０のシリアルナンバー１１２を撮像する。すると、ＣＣＤカメラ１３０の撮像データがホストコンピュータ１５０に入力される。
ホストコンピュータ１５０において、ＣＣＤカメラ１３０からの撮像データに基づいてメインスケール１１０のシリアルナンバー１１２が特定され、このシリアルナンバー１１２に対応する補正パラメータが補正パラメータ記憶テーブル１５１から読み出される。読み出された補正パラメータのデータは検出ヘッド部１２０の補正パラメータ設定記憶部１２１に出力され、補正パラメータ設定記憶部１２１に設定記憶される。
【００３１】
以後、新しく交換されたメインスケール１１０に対する検出ヘッド部１２０の相対変位量を検出するにあたっては、補正パラメータ設定記憶部１２１に新たに設定された補正パラメータによって信号補正が行われ、新しく交換されたメインスケール１１０に応じた補正により検出ヘッド部１２０の変位量が正確に検出される。
【００３２】
このような構成を備える変位検出装置によれば、次の効果を奏することができる。
（１）メインスケール１１０を交換する場合に、メインスケール１１０のシリアルナンバー１１２をＣＣＤカメラ１３０で撮像して、この撮像データをホストコンピュータ１５０に入力するだけで、メインスケール１１０が自動識別されて補正パラメータが補正パラメータ設定記憶部１２１に設定される。よって、ユーザーが手入力で補正パラメータを設定入力することに比べて作業が非常に簡便となる。
（２）メインスケール１１０のシリアルナンバー１１２に基づく自動識別により適切な補正パラメータが補正パラメータ設定記憶部１２１に自動設定されるので、誤った補正パラメータによる補正ミスが防止されて、検出精度が向上される。
【００３３】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図２を参照して説明する。
第２実施形態の基本的構成は、第１実施形態に同様であるが、補正パラメータ記憶テーブルがホストコンピュータ１５０ではなく、サーバー１７０内に保管されている点に特徴を有する。
サーバー１７０とホストコンピュータ１５０とはインターネット回線１８０によって接続されており、相互にデータ交換可能である。
また、第２実施形態では、メインスケール１１０には識別情報としてバーコード（情報コード）１１３が設けられており、このバーコード１１３を読み取る光学スキャナ（コードリーダ）１６０がメインスケール識別手段として設けられている。
【００３４】
このような構成において、メインスケール１１０を交換するにあたっては、新しく付け替えたメインスケール１１０のバーコード１１３を光学スキャナ１６０で読み取る。すると、バーコード１１３の識別情報が光学スキャナ１６０からホストコンピュータ１５０に出力され、さらに、ホストコンピュータ１５０から識別情報がインターネット回線１８０を通じてサーバー１７０に伝送される。サーバー１７０では補正パラメータ記憶テーブル１７１から識別情報に対応する補正パラメータが読み出されて、この読み出された補正パラメータがインターネット回線１８０を通じてホストコンピュータ１５０に伝送され、さらに、ホストコンピュータ１５０を介して検出ヘッド部１２０の補正パラメータ設定記憶部１２１に設定入力される。
【００３５】
以後、新しく交換されたメインスケール１１０に対する検出ヘッド部１２０の変位量を検出するにあたっては、補正パラメータ設定記憶部１２１に新たに設定された補正パラメータによって信号補正が行われ、新しく交換されたメインスケール１１０に応じた補正により検出ヘッド部１２０の変位量が正確に検出される。
【００３６】
このような構成を備える第２実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
さらに、補正パラメータ記憶テーブル１７１がサーバー１７０に保管されているので、製造者（製造メーカー）が常に補正パラメータを最新のデータにバージョンアップすることができる。よって、ユーザーはメインスケール１１０の交換時に必要な補正パラメータをダウンロードするのみならず、適宜最新の補正パラメータをダウンロードして使用することができる。その結果、常に最も適切な補正パラメータによって受光信号を補正できるので、補正の精度を高めることができ、検出精度を向上させることができる。
【００３７】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について図３を参照して説明する。
第３実施形態の基本的構成は、第１実施形態に同様であるが、補正パラメータの情報がメインスケール１１０に直接設けられている点に特徴を有する。
メインスケール１１０には、二次元コード１１４が設けられ、この二次元コード１１４に補正パラメータの情報が記録されている。そして、補正パラメータ読取手段として光学スキャナ（コードリーダ）１６０が設けられている。
【００３８】
このような構成において、メインスケール１１０を交換するにあたっては、新しく付け替えたメインスケール１１０の二次元コード１１４を光学スキャナ１６０で読み取る。すると、二次元コード１１４の補正パラメータ情報が光学スキャナ１６０で読み出されて、補正パラメータ設定記憶部１２１に設定入力される。以後、新しく交換されたメインスケール１１０に対する検出ヘッド部１２０の変位量を検出するにあたっては、補正パラメータ設定記憶部１２１に新たに設定された補正パラメータによって信号補正が行われ、新しく交換されたメインスケール１１０に応じた補正により検出ヘッド部１２０の変位量が正確に検出される。
【００３９】
このような構成を備える第３実施形態によれば、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。すなわち、メインスケール１１０を交換する場合に、メインスケール１１０に設けられた二次元コードを読み取るだけで補正パラメータが補正パラメータ設定記憶部１２１に設定される。よって、ユーザーが手入力で補正パラメータを設定入力することに比べて作業が非常に簡便となる。
【００４０】
さらに、メインスケール１１０に補正パラメータ情報が直接に書き込まれているのでメインスケール１１０と補正パラメータとの対応を間違えることはなく適切な補正パラメータが自動設定される。その結果、誤った補正パラメータによる補正ミスが防止されて、検出精度が向上される。
【００４１】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
上記第１実施形態において、識別情報はメインスケール１１０のシリアルナンバー１１２とし、メインスケール識別手段はシリアルナンバー１１２を撮像するＣＣＤカメラ（撮像手段）１３０である場合を例に説明し、第２実施形態において識別情報はバーコード１１３とし、メインスケール識別手段はバーコード１１３をスキャンする光学スキャナ１６０である場合を例に説明したが、識別情報をメインスケール１１０に設けられた無線ＩＣタグに記録し、メインスケール識別手段は無線ＩＣタグの情報を認識するＩＣタグリーダとしてもよい。また、第２実施形態において、情報コードは一次元バーコード１１３のみならず二次元コード１１４であってもよい。
【００４２】
また、第３実施形態において、補正パラメータの情報を二次元コード１１４に記録してメインスケール１１０に直接設ける場合を例に説明したが、その他、例えば、メインスケールに設けられた無線ＩＣタグに補正パラメータの情報を記録し、ＩＣタグリーダによって無線ＩＣタグの補正パラメータ情報を読み出してもよい。
【００４３】
上記実施形態において、変位検出装置としては回折格子１１１からの回折光を受光して光電変換により出力される受光信号に基づいて検出ヘッド部１２０の変位量を検出する光電式エンコーダを例に説明したが、光電式エンコーダに限らず、磁気式や静電容量式のエンコーダであってもよいことはもちろんである。
そして、第１実施形態および第２実施形態のごとく、識別情報をメインスケールに記録するにあたっては、例えば、光電式エンコーダであれば、検出ヘッド部１２０の受光部で読取可能な明暗格子によって識別情報を記録してもよい。この構成によれば、メインスケール識別手段として回折格子１１１からの回折光を受光する受光部を共用できるからである。そして、磁気式エンコーダでは、検出ヘッド部の磁気情報読取部で読取可能な情報で識別情報を記録してもよく、また、静電容量式エンコーダでは検出ヘッド部の電位情報読取部で読取可能な情報で識別情報を記録してもよい。
【００４４】
そして、同様に、第３実施形態のごとく、補正パラメータの情報をメインスケールに記録するにあたっては、例えば、光電式エンコーダであれば、検出ヘッド部１２０の受光部で読取可能な明暗格子によって補正パラメータの情報を記録してもよく、磁気式エンコーダでは、検出ヘッド部の磁気情報読取部で読取可能な情報で補正パラメータの情報を記録してもよく、また、静電容量式エンコーダでは検出ヘッド部の電位情報読取部で読取可能な情報で補正パラメータの情報を記録してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、光電式エンコーダ、磁気式エンコーダ、静電容量式エンコーダなどの変位検出装置に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の変位検出装置に係る第１実施形態の構成を示す図。
【図２】本発明の変位検出装置に係る第２実施形態の構成を示す図。
【図３】本発明の変位検出装置に係る第３実施形態の構成を示す図。
【図４】従来の変位検出装置の構成を示す図。
【図５】メインスケールを用いた位置検出において、基準値と測定値との間に生じる誤差の例を示す図。
【符号の説明】
【００４７】
１００…変位検出装置、１１０…メインスケール、１１１…回折格子、１１２…シリアルナンバー（識別情報）、１１３…一次元バーコード（識別情報）、１１４…二次元コード（補正パラメータの情報）、１２０…検出ヘッド部、１２１…補正パラメータ設定記憶部、１３０…ＣＣＤカメラ（メインスケール識別手段）、１５０…ホストコンピュータ、１５１…補正パラメータ記憶テーブル、１６０…光学スキャナ（コードリーダ、補正パラメータ読取手段）、１７０…サーバー、１７１…補正パラメータ記憶テーブル、１８０…インターネット回線、２００…変位検出装置、２１０…メインスケール、２１１…回折格子、２２０…検出ヘッド部、２２１…光源、２２２…受光部、２２３…演算処理部。
【図１】
2006170790.tif 000003
【図２】
2006170790.tif 000004
【図３】
2006170790.tif 000005
【図４】
2006170790.tif 000006
【図５】
2006170790.tif 000007