(57)【要約】【課題】バルブユニットと管路を容易に接離することができるとともに、バルブユニットからシリンジへのペースト供給を安定させることができる粘性流体塗布装置を提供する。【解決手段】バルブユニット５０と管路７１ｂを連結部９０により接続し、この連結部９０が、流路６５と連通して外周に外ねじ部９２が形成された内管９１と、管路７１ｂに連通して内周に外ねじ部９２に螺合する内ねじ部９６が形成された外管９５とから成り、この外管９５の内部に弾性筒３０を内挿し、外ねじ部９２と内ねじ部９６を螺着することにより、内管９１の端面ｂにより弾性筒３０の一端面ａを押圧して、弾性筒３０の他端面ｃを外管９５の受け部ｄに押接するようにした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性流体を供給する粘性流体供給部と、この粘性流体供給部より粘性流体を供給され被塗布体に粘性流体を塗布する塗布部と、この塗布部を水平方向に移動させる水平移動手段と、前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続する管路と、この管路に設けられたバルブユニットとを備え、
前記バルブユニットに形成された流路と前記塗布部側の前記管路を連結部により接続し、この連結部が、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とから成り、この外管の内部に弾性筒を内挿し、前記内管の外ねじ部と前記外管の内ねじ部を螺着することにより、前記内管の端面により前記弾性筒の一端面を押圧して、前記弾性筒の他端面を前記外管の受け面に押接するようにしたことを特徴とする粘性流体塗布装置。
【請求項２】
被塗布体を位置決めする位置決め部と、粘性流体を供給する粘性流体供給部と、この粘性流体供給部より粘性流体を供給され被塗布体に粘性流体を塗布する塗布部と、この塗布部を被塗布体と相対的に移動させる水平移動手段と、前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続する管路と、この管路に設けられたバルブユニットとを備え、
前記バルブユニットに形成された流路と前記塗布部側の前記管路を連結部により接続し、この連結部が、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とから成り、この外管の内部に弾性筒を内挿し、前記内管の外ねじ部と前記外管の内ねじ部を螺着することにより、前記内管の端面により前記弾性筒の一端面を押圧して、前記弾性筒の他端面を前記外管の受け面に押接するようにしたことを特徴とする粘性流体塗布装置。
【請求項３】
前記弾性筒の前記他端面がテーパ面であり、且つ前記外管の前記受け面がこのテーパ面が当接するテーパ面であり、このテーパ面同士を押接させることを特徴とする請求項１又は２記載の粘性流体塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームや基板等の被塗布体に接着用の粘性流体を塗布する粘性流体塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置製造のダイボンディング工程では、リードフレームや基板等の被塗布体に半導体チップを接着するためのペースト等の粘性流体を塗布する粘性流体塗布装置が広く使用されている。粘性流体塗布装置には、粘性流体を基板等に塗布する塗布部や、塗布部に粘性流体を供給する粘性流体貯溜容器等の粘性流体供給部が設けられており、主として空圧により粘性流体の供給が行われる。粘性流体供給部から塗布部への粘性流体の供給は、両者の間に介在させたバルブユニットにより流量等を制御して行われる（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−１１７１７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
バルブユニットは、粘性流体供給部と塗布部とを接続する管路を開閉することにより塗布部への粘性流体の供給を制御している。一般に、ペースト等の粘性流体は短時間で変質する性質を有しているので、バルブユニットの機能を維持するために適宜洗浄することが必要となる。また、粘性流体塗布装置において使用される粘性流体は多品種あり、粘性流体の品種を変更する場合も洗浄を行う必要がある。従って、洗浄の際にバルブユニットを粘性流体塗布装置に対し脱着し、分解・組立作業を頻繁に行う必要がある。そのため、バルブユニットと管路を容易に接離できるようにすることが求められる。
【０００４】
しかしながら、バルブユニットと管路との連結部においては、雄ねじと雌ねじを螺合させることにより両者の接続がなされ、雄ねじにはペースト等の漏れを防止するシールテープが巻回される。このシールテープは接続の度に新たなものに巻き直す必要があるため、接離作業上の大きな手間となっていた。
【０００５】
一方、バルブユニットから塗布部に至る管路において断面積が急激に変化すると、圧力損失が発生し、また断面積が増大した箇所に空気溜りが生じて粘性流体に混入し、塗布部への粘性流体供給の安定性が損なわれる。これにより、塗布部から基板等へのペーストの塗布量や塗布速度等が不安定となって塗布精度が悪化するという問題が発生する。
【０００６】
そこで本発明は、バルブユニットと管路を容易に接離することができるとともに、バルブユニットから塗布部への粘性流体供給を安定させることができる粘性流体塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明は、粘性流体を供給する粘性流体供給部と、この粘性流体供給部より粘性流体を供給され被塗布体に粘性流体を塗布する塗布部と、この塗布部を水平方向に移動させる水平移動手段と、前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続する管路と、この管路に設けられたバルブユニットとを備え、
前記バルブユニットに形成された流路と前記塗布部側の前記管路を連結部により接続し、この連結部が、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とから成り、この外管の内部に弾性筒を内挿し、前記内管の外ねじ部と前記外管の内ねじ部を螺着
することにより、前記内管の端面により前記弾性筒の一端面を押圧して、前記弾性筒の他端面を前記外管の受け面に押接するようにした。
【０００８】
請求項２記載の発明は、被塗布体を位置決めする位置決め部と、粘性流体を供給する粘性流体供給部と、この粘性流体供給部より粘性流体を供給され被塗布体に粘性流体を塗布する塗布部と、この塗布部を被塗布体と相対的に移動させる水平移動手段と、前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続する管路と、この管路に設けられたバルブユニットとを備え、
前記バルブユニットに形成された流路と前記塗布部側の前記管路を連結部により接続し、この連結部が、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とから成り、この外管の内部に弾性筒を内挿し、前記内管の外ねじ部と前記外管の内ねじ部を螺着することにより、前記内管の端面により前記弾性筒の一端面を押圧して、前記弾性筒の他端面を前記外管の受け面に押接するようにした。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記弾性筒の前記他端面がテーパ面であり、且つ前記外管の前記受け面がこのテーパ面が当接するテーパ面であり、このテーパ面同士を押接させる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、バルブユニットと塗布部側の管路との連結部を互いに螺合する内管と外管により構成しているので、バルブユニットと塗布部側の管路の接離が容易である。また、弾性筒を外管に内挿した状態で内管と外管を螺着するので、弾性筒が連結部のシーリングの役目を果たすとともに連結部内の段差をなくして連結部内を流れる粘性流体の供給量を安定させる。従って、バルブユニットから塗布部への粘性流体供給が安定し、塗布部から被塗布体への粘性流体塗布量が安定するので、塗布精度の悪化を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態における粘性流体塗布装置の側面図、図２は本発明の一実施の形態における粘性流体塗布装置の連結部の分離状態の側断面図、図３は本発明の一実施の形態における粘性流体塗布装置の連結部の連結状態の側断面図である。
【００１２】
まず、粘性流体塗布装置の全体構成について説明する。図１において、基台１上には位置決め部２が配設されている。位置決め部２は被塗布体としての基板Ｐの搬送機構を具備しており、基板Ｐを搬送して所定位置に位置決めする。なお本発明では、位置決め部２による基板Ｐの搬送方向をＸ方向とし、これに直交する方向をＹ方向とする。位置決め部２の上方には、粘性流体としてのペーストを基板Ｐに塗布する粘性流体塗布部１０が配設されている。
【００１３】
粘性流体塗布部１０の移動機構として、Ｘテーブル１１、Ｙテーブル１２が積層して設けられている。Ｘテーブル１１の下部にはＺテーブル１３が設けられている。Ｚテーブル１３にはブラケット１４を介して塗布部２０が装着され、Ｘテーブル１１には粘性流体供給部としてペースト供給体７０が装着されている。ペースト供給体７０と塗布部２０は管路７１により接続されており、ペースト供給体７０内に貯溜されたペーストは管路７１を経て塗布部２０に供給される。
【００１４】
Ｘテーブル１１、Ｙテーブル１２、Ｚテーブル１３には、それぞれの駆動部としてＸモータＭＸ、ＹモータＭＹ、ＺモータＭＺが備えられており、各モータＭＸ、ＭＹ、ＭＺの
駆動により、塗布部２０がＸ、Ｙ、Ｚの各方向に移動する。これにより、ペースト供給体７０から管路７１を経て塗布部２０に供給されるペーストを塗布部２０下端のノズル１９から吐出し、所定の描画パターンで基板Ｐに塗布する。Ｘテーブル１１、Ｙテーブル１２は、塗布部２０を基板Ｐに対して相対的に水平移動させる水平移動手段となっている。
【００１５】
Ｚテーブル１３の下端にはセンサ７２が装着されている。センサ７２は、ノズル１９の先端部と基板Ｐとの距離を検知するとともに、基板Ｐに設けられた認識マークＭを認識してノズル１９の水平方向の位置を検知する。
【００１６】
図１において、管路７１には、バルブユニット５０が連結部８０、９０により接続されている。バルブユニット５０は可動部６２を備えており、可動部６２の移動（矢印ａ）により管路７１と連通する流路６５を開閉し、ペースト供給体７０から塗布部２０へのペースト供給の制御を行う。
【００１７】
次に、連結部９０について説明する。図２及び図３において、連結部９０は内管９１と外管９５から構成されている。内管９１の一端部はバルブユニット５０に取り付けられており、流路６５と連通している。内管９１の外周は外ねじ部９２となっている。外管９５には、一方の端部の内周に外ねじ部９２と螺合する内ねじ部９６が設けられ、他方の端部に塗布部２０側の管路１２０ｂと接続する接続管９８が設けられている。外管９５の他方の端部には受け部９７が形成されており、その上面である受け面ｄは、外管９５の内部と接続管９８の内部をなだらかに連続させるテーパ面に形成されている。
【００１８】
図３は、内管９１の外ねじ部９２と外管９５の内ねじ部９６が螺着して内管９１と外管９５が接続された状態を示している。この状態において、図１に示すペースト供給体７０に貯留されたペーストは、管路７１ａから連結部８０を経てバルブユニット５０に流入し、流路６５の開動作により連結部９０へ流出し、管路７１ｂを経てシリンジなどの塗布部２０（図１参照）に供給される。
【００１９】
図３において、外管９５の内部には弾性筒３０が内挿されている。弾性筒３０は、外径が外管９５の内径と同一若しくは略同一であって内径が内管９１の内径と同一若しくは略同一に形成されている。弾性筒３０の一端面（図２、図３において上端面）ａは内管９１の端面（図２、図３において下端面）ｂと当接している。また、弾性筒３０の他端面（図２、図３において下端面）ｃはテーパ面となっており、外管９５のテーパ面である受け面ｄと当接している。これにより、内管９１と外管９５内に形成される流路には段差がなくなり、連結部９０内はその全体が略均一の内径となる。
【００２０】
内管９１と外管９５の接続は、外管９５内に弾性筒３０を内挿した状態で外ねじ部９２と内ねじ部９６を螺着して行う。外ねじ部９２と内ねじ部９６を螺着させると、内管９１は外管９５の内部に進入するため、弾性筒３０の端面ａは内管９１の端面ｂに押され、これにより弾性筒３０の端面ｃは受け部９７の受け面ｄにテーパ面同士で強く押接される。従って、弾性筒３０は端面ｂと受け面ｄの間で押圧された状態でしっかり挟持される。このように、弾性筒３０の一端面ａは端面ｂに密着し、他端面ｃは受け面ｄに密着して連結部９０内の水密性が確保される。この場合、他端面ｃと受け面ｄは互いにテーパ面で当接しているため、接触面積が大きくなって水密性がより向上する。
【００２１】
このように、バルブユニット５０と塗布部２０側の管路７１ｂの接離を内管９１と外管９５に設けられたねじ部９２、９６を螺着させることにより行うので、粘性流体塗布装置の洗浄等の際にバルブユニット５０と管路７１ｂとの接続及び離脱を容易に行うことができる。また、弾性筒３０を外管９５に内挿した状態で内管９１と外管９５を螺着することにより弾性筒３０が連結部９０のシーリングの役目を果たし、外ねじ部９２にシールテー
プを巻回する手間を省くことができる。また、連結部９０内の流路の段差をなくし略均一な内径にしているので、連結部９０内を流れるペーストの圧力損失を防止するとともに空気溜りの発生を防止し、連結部９０内を流れるペーストの供給量が安定する。これにより、塗布部２０から基板等へのペーストの塗布量や塗布速度等が安定して塗布精度の向上を期すことができる。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
本発明の粘性流体塗布装置は、バルブユニットと塗布部側の管路の接離が容易であり、外管に内挿した弾性筒が連結部のシーリングの役目を果たすとともに、連結部内の段差をなくし略均一な内径にして連結部内を流れる粘性流体の供給量を安定させることができるという利点を有し、リードフレームや基板等の被塗布体に半導体チップ等を接着等するための粘性流体を塗布する分野において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施の形態における粘性流体塗布装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態における粘性流体塗布装置の連結部の分離状態の側断面図
【図３】本発明の一実施の形態における粘性流体塗布装置の連結部の連結状態の側断面図
【符号の説明】
【００２４】
２  位置決め部
１０  粘性流体塗布部
１１  Ｘテーブル
１２  Ｙテーブル
１９  ノズル
２０  塗布部
３０  弾性筒
５０  バルブユニット
６５  流路
７０  ペースト供給体
７１  管路
９０  連結部
９１  内管
９２  外ねじ部
９５  外管
９６  内ねじ部
Ｐ  基板
ａ  一端面
ｂ  端面
ｃ  他端面
ｄ  受け面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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