(57)【要約】【課題】光ファイバと光学フィルタを用いて光を合波、又は分波する光合分波器において、簡単かつ精度よくコリメート光を投受光でき光結合効率を向上できる。【解決手段】光合分波器１は、光ファイバ２１ａ〜２１ｆと、光ファイバ２１ａ〜２１ｆから出射された光をコリメートするコリメート用レンズ２２ａ〜２２ｆと、光を合波、又は分波する波長選択フィルタ３１ａと、これら光ファイバ２１ａ〜２１ｆ、コリメート用レンズ２２ａ〜２２ｆ、及び波長選択フィルタ３１ａを保持するベンチ５とを備える。波長選択フィルタ３１ａを支持する支持部材３２に、光ファイバ２１ａ〜２１ｆとコリメート用レンズ２２ａ〜２２ｆとを位置合せするための位置合せ用ミラー３３を備える。光ファイバ２１ａ〜２１ｆ及びコリメート用レンズ２２ａ〜２２ｆがユニット基板２３に実装されて投受光ユニット２を構成し、この投受光ユニット２をベンチ５に実装する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を導光して出射する光ファイバと、前記光ファイバから出射された光をコリメートするコリメート用レンズと、前記コリメート用レンズによりコリメートされた光を合波、又は分波するフィルタと、これら光ファイバ、コリメート用レンズ、及びフィルタを保持するベンチとを備えた光合分波器において、
前記光ファイバ及びコリメート用レンズが基板に実装されて投受光ユニットを構成し、この投受光ユニットを前記ベンチに実装したことを特徴とする光合分波器。
【請求項２】
前記フィルタを支持する支持部材に、前記光ファイバと前記コリメート用レンズとを位置合せするための位置合せ用ミラーを備えたことを特徴とする請求項１に記載の光合分波器。
【請求項３】
前記光ファイバ及びコリメート用レンズに代えて、コリメート用レンズ付き光ファイバを用いたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光合分波器。
【請求項４】
前記投受光ユニットと前記フィルタとの間に、前記コリメート用レンズによりコリメートされた光を屈曲させる光路曲げ用プリズムを備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光合分波器。
【請求項５】
前記投受光ユニットと前記フィルタとの間に、前記コリメート用レンズによりコリメートされた光を屈曲させる光路曲げ用レンズを備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光合分波器。
【請求項６】
前記基板は、シリコン基板、又はシリコン基板の代りに精密成型された基板であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の光合分波器。
【請求項７】
前記光ファイバとして、波長多重された光を導光する複数の光ファイバを備え、波長多重された光を一括して分波できることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の光合分波器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバと光学フィルタを用いて光を合波、又は分波する光合分波器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、光合分波器は、図４に示す構成のものが知られている（例えば特許文献１参照）。この光合分波器６０は、複数の光ファイバ６１ａ〜６１ｆを一定ピッチで並べて先端にコネクタ６２を取付けた光ファイバアレイ６３、複数のマイクロレンズ６４ａ〜６４ｆから成るマイクロレンズアレイ６５、透明なカバー部材６６、複数のフィルタ６７ａ〜６７ｄから成るフィルタ層６８、導光ブロック６９、及びミラー層７０等により構成されている。
【０００３】
この光合分波器６０では、波長λ１〜λ４の光を波長多重した光が光ファイバ６１ａから出射されると、その光は、マイクロレンズ６４ａで屈曲されると共にコリメートされた後、カバー部材６６及びフィルタ層６８を透過して、導光ブロック６９に入射する。そして、その光は、ミラー層７０での反射、及びフィルタ６７ａ〜６７ｄでの波長に依存した透過、反射により波長λ１〜λ４の光に分波（波長分離）される。そして、分波された波長λ１〜λ４の光は、各々、カバー部材６６を透過した後、マイクロレンズ６４ｃ〜６４ｆで屈曲されると共に集光されて、光ファイバ６１ｃ〜６４ｆに入射する。光合分波器６０では、このようにして、波長多重された光が分波される。
【特許文献１】特開２００４−２０６０５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の光合分波器６０においては、光ファイバアレイ６３、マイクロレンズアレイ６５、及びフィルタ層６８を相互に光軸調整する必要がある。例えば、光ファイバアレイ６３とマイクロレンズアレイ６５とを光軸調整する場合、３軸（Ｘ方向の位置、Ｙ軸方向の位置、θｚ軸回りの回転角度）の調整が必要である。しかも、マイクロレンズアレイ６５は、光軸の向きを変える機能も有しているため、カバー部材６６、フィルタ層６８、導光ブロック６９などの各部材の厚みや屈折率に誤差があった場合には、ミラー層７０から反射して戻ってくる光の位置が所定の位置から大きくずれてしまうことになり、その大きくずれた光によって光ファイバアレイ６３とマイクロレンズアレイ６５とを光軸調整しなければならず、調整時間や歩留まりが悪化する要因となり、また、精度よくコリメート光を投受光することができない。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、簡単かつ精度よくコリメート光を投受光でき光結合効率の優れた光合分波器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、光を導光して出射する光ファイバと、光ファイバから出射された光をコリメートするコリメート用レンズと、コリメート用レンズによりコリメートされた光を合波、又は分波するフィルタと、これら光ファイバ、コリメート用レンズ、及びフィルタを保持するベンチとを備えた光合分波器において、光ファイバ及びコリメート用レンズが基板に実装されて投受光ユニットを構成し、この投受光ユニットをベンチに実装したものである。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１に記載の光合分波器において、フィルタを支持する支持部材に、光ファイバとコリメート用レンズとを位置合せするための位置合せ用ミラーを備えたものである。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の光合分波器において、光ファイバ及びコリメート用レンズに代えて、コリメート用レンズ付き光ファイバを用いたものである。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光合分波器において、投受光ユニットとフィルタとの間に、コリメート用レンズによりコリメートされた光を屈曲させる光路曲げ用プリズムを備えたものである。
【００１０】
請求項５の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光合分波器において、投受光ユニットとフィルタとの間に、コリメート用レンズによりコリメートされた光を屈曲させる光路曲げ用レンズを備えたものである。
【００１１】
請求項６の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の光合分波器において、基板は、シリコン基板、又はシリコン基板の代りに精密成型された基板であるものである。
【００１２】
請求項７の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の光合分波器において、光ファイバとして、波長多重された光を導光する複数の光ファイバを備え、波長多重された光を一括して分波できるものである。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１の発明によれば、光ファイバ及びコリメート用レンズが実装される基板に、光ファイバを実装するためのＶ溝やコリメート用レンズを実装するための孔を予め形成しておくことにより、光ファイバとコリメート用レンズとをコリメート光を投受光できるように簡単かつ精度よく位置合せすることができ、これにより、光結合効率の優れた光合分波器を得ることができる。しかも、光ファイバ及びコリメート用レンズが基板に実装された投受光ユニットをベンチに実装する構成であるため、投受光ユニットの作り置きや、投受光ユニットをフィルタの実装などの他の製造工程と並行して作製することができる。また、投受光ユニットをベンチ上とは別の広いオープンスペースで作製することができるため、投受光ユニットを作製する際にフィルタなどの他の光学部品との物理的干渉が生じず、さらに、光ファイバとコリメート用レンズとの光軸調整のための治具構造に制約を受けない。投受光ユニットのポート数（光ファイバの本数）が多くなると、これらの効果は大きくなる。
【００１４】
請求項２の発明によれば、位置合せ用ミラーはフィルタを支持する支持部材と共にベンチに実装されるため、このようにベンチに実装される位置合せ用ミラーを用いて光ファイバとコリメート用レンズとを位置合せすることにより、個体間のばらつきを織り込んだ光軸調整ができる。
【００１５】
請求項３の発明によれば、光ファイバとコリメート用レンズとの位置合せが不要であり、作業性が向上する。
【００１６】
請求項４の発明によれば、光ファイバから出射された光を１箇所に集めることができ、これにより、フィルタの面積を小さくできてコストを削減できると共に、光合分波器全体のサイズも小さくできる。
【００１７】
請求項５の発明によれば、請求項４と同様の作用、効果が得られる。
【００１８】
請求項６の発明によれば、シリコン成型技術は、高い位置決め精度、作製精度を持ちながら低コストであり、また、ＬＩＧＡ（Lithographie Galvanoformung Abformung）技術に代表される精密成型技術は、半導体加工技術と同様、高い位置決め精度、作製精度を持ちながら低コストの材料を使えるため、光ファイバ及びコリメート用レンズが実装される基板にシリコン基板や精密成型された基板を用いることで、生産性を含む低コストの製造を実現できる。
【００１９】
請求項７の発明によれば、光ファイバの数が多くても、それら複数の光ファイバとコリメート用レンズとを一度に位置合せすることができるため、製造工数がほとんど変らず、製造工程への影響を最小限に抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を具体化した実施形態による光合分波器ついて図面を参照して説明する。図１、図２は、光合分波器の構成を示す。光合分波器１は、光を投受光する投受光ユニット２と、投受光ユニット２により投受光する光を合波、又は分波するフィルタユニット３と、投受光ユニット２により投受光する光の光路を屈曲させる光路曲げ用プリズム４と、これらを保持するベンチ５とを備える。
【００２１】
投受光ユニット２は、光を導光する光ファイバ２１ａ〜２１ｆと、光ファイバ２１ａ〜２１ｆから出射される光をコリメートし、又は、光ファイバ２１ａ〜２１ｆに入射する光を集光する投受光レンズ２２ａ〜２２ｆと、光ファイバ２１ａ〜２１ｆ及び投受光レンズ２２ａ〜２２ｆが実装されるユニット基板２３とを有する。
【００２２】
この投受光ユニット２は、光ファイバ２１ａ〜２１ｆ及び投受光レンズ２２ａ〜２２ｆがユニット基板２３に実装されてユニット化されている。ユニット基板２３は、シリコンを加工、成型して作製されたものであり、光ファイバ２１ａ〜２１ｆは、ユニット基板２３に形成された光ファイバ実装用のＶ溝２４に実装され、投受光レンズ２２ａ〜２２ｆは、ユニット基板２３に形成されたレンズ実装用の孔２５に実装されている。投受光ユニット２は、このようにユニット化されたものがベンチ５に実装されている。
【００２３】
フィルタユニット３は、波長選択フィルタ３１ａと、無反射フィルタ３１ｂ、３１ｃと、波長選択フィルタ３１ａ及び無反射フィルタ３１ｂ、３１ｃを支持する支持体３２とを有する。波長選択フィルタ３１ａは、波長λ１の光を透過し、波長λ２の光を反射する光学フィルタである。無反射フィルタ３１ｂ、３１ｃは、光の反射を防止して光の透過率を向上させる光学フィルタである。支持体３２は、光を多重反射させることが可能な透光性を有する部材により構成されている。このフィルタユニット３は、波長選択フィルタ３１ａによる光の反射と透過、及び支持体３２内での光の多重反射を利用して、波長の異なる複数の光を合波（波長多重）し、又は、波長多重された光を波長の異なる複数の光に分波する。また、フィルタユニット３の支持体３２には、光ファイバ２１ａ〜２１ｆと投受光レンズ２２ａ〜２２ｆとを位置合せする際に用いられる位置合せ用ミラー３３が設けられている。
【００２４】
光路曲げ用プリズム４は、投受光ユニット２とフィルタユニット３との間に配置されており、投受光ユニット２から投光された光を途中で屈曲させてフィルタユニット３に導き、また、フィルタユニット３により合波、又は分波された光を途中で屈曲させて投受光ユニット２に導く。ベンチ５は、シリコンを加工、成型して作製されたものである。
【００２５】
このような構成の光合分波器１は、投受光ユニット２の光ファイバ２１ａから波長λ１の光と波長λ２の光を波長多重した光を出射させた場合、光ファイバ２１ａから出射された光は、投受光レンズ２２ａによりコリメートされた後、光路曲げ用プリズム４で屈曲されて、フィルタユニット３の無反射フィルタ３１ｂを透過して支持体３２内に入射する。そして、その光は、支持体３２内で反射された後、波長λ１の光が波長選択フィルタ３１ａを透過し、波長λ２の光が波長選択フィルタ３１ａで反射することにより、分波（波長分離）される。
【００２６】
その後、分波された波長λ１の光は、そのまま支持体３２から出射され、波長λ２の光は、支持体３２内で再度反射された後に無反射フィルタ３１ｃを透過して支持体３２から出射される。そして、波長λ１の光は、光路曲げ用プリズム４で屈曲された後、投受光レンズ２２ｃにより集光されて、光ファイバ２１ｃに入射し、波長λ２の光は、光路曲げ用プリズム４で屈曲された後、投受光レンズ２２ｅにより集光されて、光ファイバ２１ｅに入射する。
【００２７】
このように、投受光ユニット２の光ファイバ２１ａから波長λ１の光と波長λ２の光を波長多重した光を出射させた場合、その光は、投受光レンズ２２ａによりコリメートされた後、フィルタユニット３により分波され、そして、分波された光は、各々、投受光レンズ２２ｃ、２２ｅにより集光されて、光ファイバ２１ｃ、２１ｅに入射する。従って、この場合、光ファイバ２１ａが投光用光ファイバとなり、光ファイバ２１ｃ、２１ｅが受光用光ファイバとなる。また、この場合、投受光レンズ２２ａがコリメート用レンズとなり、投受光レンズ２２ｃ、２２ｅが集光用レンズとなる。
【００２８】
また、光合分波器１は、光ファイバ２１ｂから波長λ１の光と波長λ２の光を波長多重した光を出射させた場合、光ファイバ２１ｂから出射された光は、投受光レンズ２２ｂによりコリメートされた後、上記の場合と同様に、フィルタユニット３により分波される。そして、分波された光は、各々、光路曲げ用プリズム４で屈曲された後、投受光レンズ２２ｄ、２２ｆにより集光されて、光ファイバ２１ｄ、２１ｆに入射する。従って、この場合、光ファイバ２１ｂが投光用光ファイバとなり、光ファイバ２１ｄ、２１ｆが受光用光ファイバとなる。また、この場合、投受光レンズ２２ｂがコリメート用レンズとなり、投受光レンズ２２ｄ、２２ｆが集光用レンズとなる。
【００２９】
さらに、光合分波器１は、光ファイバ２１ｃから波長λ１の光を出射させると共に、光ファイバ２２ｅから波長λ２の光を出射させた場合、光ファイバ２１ｃ、２１ｅから出射された光は、各々、投受光レンズ２２ｃ、２２ｅによりコリメートされた後、光路曲げ用プリズム４で屈曲される。そして、光ファイバ２１ｃから出射された波長λ１の光は、波長選択フィルタ３１ａを透過して、支持体３２内に入射する。一方、光ファイバ２１ｅから出射された波長λ２の光は、（波長選択フィルタ３１ａを介さずに）無反射フィルタ３１ｃを透過して支持体３２内に入射し、支持体３２内で反射された後、波長選択フィルタ３１ａで反射する。これにより、光ファイバ２１ｃから出射された波長λ１の光と光ファイバ２１ｅから出射された波長λ２の光が合波（波長多重）される。
【００３０】
その後、合波された光は、支持体３２内で再度反射された後に無反射フィルタ３１ｂを透過して支持体３２から出射される。そして、支持体３２から出射された合波された光は、光路曲げ用プリズム４で屈曲された後、投受光レンズ２２ａにより集光されて、光ファイバ２１ａに入射する。
【００３１】
このように、光ファイバ２１ｃから波長λ１の光を出射させると共に、光ファイバ２２ｅから波長λ２の光を出射させた場合、それらの光は、各々、投受光レンズ２２ｃ、２２ｅによりコリメートされた後、フィルタユニット３により合波され、そして、合波された光は、投受光レンズ２２ａにより集光されて、光ファイバ２１ａに入射する。従って、この場合、光ファイバ２１ｃ、２１ｅが投光用光ファイバとなり、光ファイバ２１ａが受光用光ファイバとなる。また、この場合、投受光レンズ２２ｃ、２２ｅがコリメート用レンズとなり、投受光レンズ２２ａが集光用レンズとなる。
【００３２】
また、光合分波器１は、光ファイバ２１ｄから波長λ１の光を出射させると共に、光ファイバ２２ｆから波長λ２の光を出射させた場合、光ファイバ２１ｄ、２１ｆから出射された光は、各々、投受光レンズ２２ｄ、２２ｆによりコリメートされた後、上記の場合と同様に、フィルタユニット３により合波される。そして、合波された光は、光路曲げ用プリズム４で屈曲された後、投受光レンズ２２ｂにより集光されて、光ファイバ２１ｂに入射する。従って、この場合、光ファイバ２１ｄ、２１ｆが投光用光ファイバとなり、光ファイバ２１ｂが受光用光ファイバとなる。また、この場合、投受光レンズ２２ｄ、２２ｆがコリメート用レンズとなり、投受光レンズ２２ｂが集光用レンズとなる。
【００３３】
図３は、上記光合分波器１の製造方法を示す。光合分波器１は、以下のようにして製造される。まず、ユニット基板２３を用意する。ユニット基板２３は、シリコンを加工、成型することにより作製され、ユニット基板２３には、光ファイバ２１ａ〜２１ｆを実装するためのＶ溝２４、及び投受光レンズ２２ａ〜２２ｆを実装するための孔２５を予め形成しておく。Ｖ溝２４と孔２５は、光ファイバ２１ａ〜２１ｆをＶ溝２４に実装すると共に投受光レンズ２２ａ〜２２ｆを孔２５に実装したときに、光ファイバ２１ａ〜２１ｆと投受光レンズ２２ａ〜２２ｆの光軸が合うように形成しておく。
【００３４】
また、ベンチ５を用意する。ベンチ５は、シリコンを加工、成型することにより作製され、ベンチ５には、ユニット基板２３を実装するためのユニット基板実装用凹部、フィルタユニット３を実装するためのフィルタユニット実装用凹部、及び光路曲げ用プリズム４を実装するためのプリズム実装用凹部を予め形成しておく。
【００３５】
そして、投受光レンズ２２ａ〜２２ｆをユニット基板２３の孔２５に実装し、このように投受光レンズ２２ａ〜２２ｆを実装したユニット基板２３をベンチ５上の調整用位置に配置すると共に、フィルタユニット３をベンチ５のフィルタユニット実装用凹部に実装する（図３（ａ））。なお、調整用位置は、フィルタユニット３の位置合せ用ミラー３３からの反射光が光合分波器１を完成させた状態での光路長と略同じ距離を伝送するように、ベンチ５に予め作り込んでおく。
【００３６】
続いて、光ファイバ２１ａ〜２１ｆをユニット基板２３のＶ溝２４に配置し、位置合せ用ミラー３３からの反射光をモニタしながら、光ファイバ２１ａ〜２１ｆの位置をＶ溝２４に沿って調整し、光ファイバ２１ａ〜２１ｆと投受光レンズ２２ａ〜２２ｆとの距離が最適となる（コリメート光が投受光される）位置で、光ファイバ２１ａ〜２１ｆを実装する（図３（ｂ））。これにより、光ファイバ２１ａ〜２１ｆ及び投受光レンズ２２ａ〜２２ｆがユニット基板２３に実装された投受光ユニット２が作製される。なお、ポート数（光ファイバの本数）が多く、周囲に十分なスペースがない場合、少し離れた場所で、光ファイバ２１ａ〜２１ｆと投受光レンズ２２ａ〜２２ｆとの位置合せや光ファイバファイバ２１ａ〜２１ｆ及び投受光レンズ２２ａ〜２２ｆのユニット基板２３への実装を行ってもよい。
【００３７】
その後、投受光ユニット２を移動させてベンチ５のユニット基板実装用凹部に実装すると共に、光路曲げ用プリズム４をベンチ５のプリズム実装用凹部に実装する（図３（ｃ））。これにより、光合分波器１が完成する。
【００３８】
このような光合分波器１によれば、ユニット基板２３に、光ファイバ２１ａ〜２１ｆを実装するためのＶ溝２４や投受光レンズ２２ａ〜２２ｆを実装するための孔２５を予め形成しておくことにより、光ファイバ２１ａ〜２１ｆと投受光レンズ２２ａ〜２２ｆとをコリメート光を投受光できるように簡単かつ精度よく位置合せすることができ、これにより、光結合効率を向上することができる。
【００３９】
しかも、光ファイバ２１ａ〜２１ｆ及び投受光レンズ２２ａ〜２２ｆがユニット基板２３に実装された投受光ユニット２をベンチ５に実装する構成であるため、投受光ユニット２の作り置きや、投受光ユニット２をフィルタユニット３の実装などの他の製造工程と並行して作製することができる。また、投受光ユニット２をベンチ５上とは別の広いオープンスペースで作製することができるため、投受光ユニット２を作製する際にフィルタユニット３などの他の光学部品との物理的干渉が生じず、さらに、光ファイバ２１ａ〜２１ｆと投受光レンズ２２ａ〜２２ｆとの光軸調整のための治具構造に制約を受けない。
【００４０】
また、光ファイバ２１ａ〜２１ｆと投受光レンズ２２ａ〜２２ｆとを一度に位置合せすることができるため、投受光ユニット２のポート数（光ファイバの本数）が多くても、製造工数がほとんど変らず、製造工程への影響を最小限に抑えることができる。また、ポート数が多く、周囲に十分なスペースがない場合、少し離れた場所で光ファイバ２１ａ〜２１ｆと投受光レンズ２２ａ〜２２ｆとの位置合せや光ファイバファイバ２１ａ〜２１ｆ及び投受光レンズ２２ａ〜２２ｆのユニット基板２３への実装ができるので、作業性が向上する。ポート数が多くなると、これらの効果は大きくなる。
【００４１】
また、位置合せ用ミラー３３は波長選択フィルタ３１ａ及び無反射フィルタ３１ｂ、３１ｃを支持する支持部材３２と共にベンチ５に実装されるため、このようにベンチ５に実装される位置合せ用ミラー３３を用いて光ファイバ２１ａ〜２１ｆと投受光レンズ２２ａ〜２２ｆとを位置合せすることにより、個体間のばらつきを織り込んだ光軸調整ができる。また、光路曲げ用プリズム４の存在により、光ファイバ２１ａ〜２１ｆから出射された光を１箇所に集められるため、波長選択フィルタ３１ａの面積を小さくできてコストを削減できると共に、光合分波器１全体のサイズも小さくできる。さらに、ユニット基板２３及びベンチ５はシリコンを加工、成型して作製したものであり、シリコン成型技術は高い位置決め精度、作製精度を持ちながら低コストであるため、生産性を含む低コストの製造を実現できる。
【００４２】
なお、本発明は、上記実施形態の構成に限られず、種々の変形が可能である。例えば、光ファイバ２１ａ〜２１ｆ及び投受光レンズ２２ａ〜２２ｆに代えて、投受光レンズ（コリメート用レンズ）付き光ファイバを用いてもよい。このような構成によれば、光ファイバと投受光レンズとの位置合せが不要であり、作業性が向上する。また、光路曲げ用プリズム４に代えて、光路曲げ用レンズを用いてもよい。このような構成によっても、光路曲げ用プリズム４を用いた構成と同様に光ファイバ２１ａ〜２１ｆから出射された光を１箇所に集めることができるため、光路曲げ用プリズム４を用いた構成と同様に、波長選択フィルタ３１aの面積を小さくできてコストを削減できると共に、光合分波器１全体のサイズも小さくできる。
【００４３】
また、ユニット基板２３及びベンチ５は、シリコンを加工、成型して作製したものに限られず、例えば、ＬＩＧＡ（Lithographie Galvanoformung Abformung）技術に代表される精密成型技術により精密成型された基板を用いてもよい。このような構成によれば、ＬＩＧＡ技術に代表される精密成型技術は半導体加工技術と同様に高い位置決め精度、作製精度を持ちながら低コストの材料を使えるため、ユニット基板２及びベンチ５をシリコンを加工、成型して作製した構成と同様に、生産性を含む低コストの製造を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施形態に係る光合分波器の構成を示す平面図。
【図２】同光合分波器の構成を示す断面図。
【図３】（ａ）（ｂ）（ｃ）は同光合分波器の製造方法を説明する平面図。
【図４】従来の光合分波器の構成を示す平面図。
【符号の説明】
【００４５】
１    光合分波器
２    投受光ユニット
３    フィルタユニット
４    光路曲げ用プリズム
５    ベンチ
２１ａ〜２１ｆ    光ファイバ
２２ａ〜２２ｆ    投受光レンズ
２３    ユニット基板
２４    Ｖ溝
２５    孔
３１ａ    波長選択フィルタ
３１ｂ、３１ｃ    無反射フィルタ
３２    支持体
３３    位置合せ用ミラー
【図１】
2006267720.tif 000003
【図２】
2006267720.tif 000004
【図３】
2006267720.tif 000005
【図４】
2006267720.tif 000006