(57)【要約】【課題】  上面に圧電振動子を収容する凹部を有する絶縁基板の凹部の底面の端部に形成された支持台に位置精度良く圧電振動子を搭載し、圧電振動子を確実に正常に発振させることが可能な圧電振動子収納用パッケージを提供すること。【解決手段】  上面に圧電振動子３を収容する凹部２を有する絶縁基板１と、凹部２を取り囲むように絶縁基板１の上面に形成された封止用メタライズ層７と、凹部２の底面の端部に形成され、圧電振動子３の端部が接続される支持台５と、凹部２の底面と凹部２の内側面との間に、上面が凹部２の上端から支持台５の上面の外周部にかけて傾斜するように形成された絶縁層４とを具備している。【選択図】  図１
2006033361.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に圧電振動子を収容する凹部を有する絶縁基板と、前記凹部を取り囲むように前記絶縁基板の上面に形成された封止用メタライズ層と、前記凹部の底面の端部に形成され、前記圧電振動子の端部が接続される支持台と、前記凹部の底面と前記凹部の内側面との間に、上面が前記凹部の上端から前記支持台の上面の外周部にかけて傾斜するように形成された絶縁層とを具備していることを特徴とする圧電振動子収納用パッケージ。
【請求項２】
前記凹部は長方形状であり、前記支持台は前記凹部の底面の一方の短辺側の端部に形成されており、前記絶縁層は、前記支持台と前記凹部の前記一方の短辺側の内側面との間、および前記支持台と前記凹部の両長辺側の内側面との間に形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電振動子収納用パッケージ。
【請求項３】
前記絶縁層は、前記支持台と前記凹部の両長辺側の内側面との間に形成されている部位が、前記支持台よりも前記凹部の中央部側に延出していることを特徴とする請求項２記載の圧電振動子収納用パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部に圧電振動子を収容するための圧電振動子収納用パッケージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、内部に水晶振動子等の圧電振動子を収容するための圧電振動子収納用パッケージは、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，ガラスセラミックス等のセラミックス材料から成り、その上面中央部に圧電振動子を収納するための長方形状等の四角形状の凹部を有する絶縁基板と、凹部の底面に形成され、圧電振動子の一辺側の端部が接続され、支持固定される支持台と、支持台から絶縁基板の側面または下面にかけて形成された配線導体とを具備した構造である。
【０００３】
この圧電振動子収納用パッケージの凹部内に圧電振動子を収納するとともに、圧電振動子の電極（接続用電極）が形成されている一辺側の端部を凹部の底面に形成された支持台に導電性接着剤等を介して電気的，機械的に接続し、その後、絶縁基板の上面に蓋体を取着すること等の手段で凹部を塞ぐことにより、凹部内に圧電振動子が気密封止されて圧電装置となる。そして、絶縁基板の側面や下面等の外表面に導出された配線導体を外部の電気回路に接続することにより圧電振動子が外部の電気回路と接続され、圧電振動子から外部の電気回路に時間や周波数の基準信号等が出力される。
【０００４】
なお、支持台は、圧電振動子と凹部の底面との間に一定の距離を確保する機能をなす。一定の距離を確保することにより、圧電振動子と凹部との間の干渉を抑え、圧電振動子を正常に発振させることができる。また、圧電装置の外部電気回路への接続や搬送等の取り扱いの際に誤って圧電装置に衝撃が加わったときなどに圧電振動子が凹部の底面と接触することを防止し、圧電振動子が正常に発振できなくなったり、カケ等の機械的な破壊が生じたりすることを防止することができる。
【０００５】
上記のような従来の圧電振動子収納用パッケージの一例を図２に示す。図２（ａ）は、従来の圧電振動子収納用パッケージの一例を示す平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ’線における断面図、図２（ｃ）はＤ−Ｄ’線における断面図である。
【０００６】
同図において、３１は絶縁基板、３２は圧電振動子が収容される凹部、３３は圧電振動子、３５は支持台、３６は導電性接着剤、３９は蓋体である。また、３７は蓋体３９の取着を容易かつ強固とするための封止用メタライズ層、４０は封止用メタライズ層３７にろう付け等の手段で接合されている金属枠体である。
【０００７】
絶縁基板３１の凹部３２に圧電振動子３３を収容し、圧電振動子３３の端部を支持台３５に導電性接着剤３６で電気的，機械的に接続した後、蓋体３９を金属枠体４０の上面に接合して凹部３２を塞ぐことにより、凹部３２内に圧電振動子３３が気密封止されて圧電装置となる。
【０００８】
なお、支持台３５は、上面の少なくとも一部に金属層等の導電層（図示せず）が露出して形成されているとともに、この導電層から絶縁基板３１の側面や下面等の外表面にかけて配線導体３８が導出されている。支持台３５に接続された圧電振動子３３の端部に形成されている電極は、配線導体３８を介して圧電装置の外部に導出されることになる。
【０００９】
このように蓋体３９を金属枠体４０を介して封止用メタライズ層３７に接合する形態の圧電振動子収納用パッケージは、例えば、金属枠体４０および蓋体３９のそれぞれの表面にニッケルめっき層および金めっき層（図示せず）を順次被着させ、さらに、蓋体３９の裏面の金めっき層上に、予めろう材（図示せず）を被着させておき、これらの金属枠体４０と蓋体３９とを周知のシーム溶接等により溶融させることにより、めっき層およびろう材を介して蓋体３９の下面の外周部と金属枠体４０の上面とを強固に接合させて、圧電振動子３３を絶縁基板３１の凹部３２内に気密性良く封止することができる。
【００１０】
一方、近年このような圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置は、低背化のために、絶縁基板３１の上面の凹部３２の周囲に形成された封止用メタライズ層３７に金属枠体４０を接合せずに、直接蓋体３９を封止用メタライズ層３７に接合する形態のものが考案されている。
【００１１】
この形態の圧電振動子収納用パッケージの一例を図３に示す。図３（ａ）はその平面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−Ｃ’’線における断面図、図３（ｃ）はＤ−Ｄ’’における断面図である。図３において図２と同じ部位には同じ符号を付している。
【００１２】
断面図である図２と図３との比較でわかるように、この図３の形態の圧電振動子収納用パッケージでは、金属枠体４０の分、低背化されている。
【００１３】
この場合、例えば封止用メタライズ層３７に予めニッケルめっきおよび金めっきを順次被着させておくとともに、蓋体３９の下面の金めっき上にろう材を被着させておき、蓋体３９の下面の外周部を封止用メタライズ層３７にシーム溶接等の手段で接合させることにより、圧電振動子３３を絶縁基板３１の凹部３２内に気密性良く封止することができる。
【００１４】
なお、図２（ａ）および図３（ａ）に示したように、圧電振動子３３は、例えば水晶振動子等の四角板状のものが一般的であるため、凹部３２も、一般に、平面視で長方形状等の四角形状に形成される。また、支持台３５は、凹部３２が四角形状である場合、凹部３２の底面のうち短辺側等の一辺側の端部に形成される。
【特許文献１】特開２００２−１６４４５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、近年の圧電装置の小型化（例えば絶縁基板３１が、短辺の長さ３．０ｍｍ以下の長方形状等）により、凹部３２の底面の端部に形成された支持台３５と凹部３２の内側面との間の距離が非常に狭くなってきているため、支持台３５に圧電振動子３３の端部を接続する際の、圧電振動子３３の搭載位置のずれの影響が大きくなってきている。すなわち、圧電振動子３３の位置ずれがわずかなものであったとしても、圧電振動子３３の端部と凹部３２の内側面との間の距離が、場合によっては互いに直接接するぐらいに非常に近くなり、封止用メタライズ層３７に蓋体３９を接合する際に、ろう材が飛散することにより圧電振動子３３の電極と封止用メタライズ層３７との間で電気的短結が発生して、圧電振動子３３の発振特性が得られないという問題点があった。
【００１６】
また、圧電振動子３３を凹部３２内に収容する際に、誤って圧電振動子３３を絶縁基板３１の上面に接触させて圧電振動子３３を破損させてしまうという問題点があった。
【００１７】
また、通常は封止用メタライズ層３７、および支持台３５は、酸化腐食の防止や、ろう材を介した蓋体３９の接合強度の向上等のために、その表面がニッケルめっき層、金めっき層等のめっき層により被覆されており、絶縁基板３１の上面から画像処理装置等により圧電振動子３３を搭載する支持台３５の位置を確認する際に、封止用メタライズ層３７と支持台３５との境界は同一の色調として認識されるため、圧電振動子３３を搭載する支持台３５の位置を確認するための画像認識の設定が難しいという問題点があった。
【００１８】
特に、近年の圧電装置の小型化により絶縁基板３１の厚みが薄く、圧電振動子３３を収容する凹部３２の深さが浅い絶縁基板３１では、このような現象が顕著であり、ますます圧電振動子３３を搭載する支持台３５の位置を確認するための画像認識の設定が非常に行い難いという問題点があった。
【００１９】
本発明は、かかる問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、絶縁基板の凹部の底面に形成された支持台に圧電振動子の端部を位置精度良く接続することができるとともに、ろう材が飛散することによる圧電振動子の電極と封止用メタライズ層との間の電気的短結の発生を防止でき、圧電振動子を確実に正常に発振させることが可能な圧電振動子収納用パッケージを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の圧電振動子収納用パッケージは、上面に圧電振動子を収容する凹部を有する絶縁基板と、前記凹部を取り囲むように前記絶縁基板の上面に形成された封止用メタライズ層と、前記凹部の底面の端部に形成され、前記圧電振動子の端部が接続される支持台と、前記凹部の底面と前記凹部の内側面との間に、上面が前記凹部の上端から前記支持台の上面の外周部にかけて傾斜するように形成された絶縁層とを具備していることを特徴とするものである。
【００２１】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、前記凹部は長方形状であり、前記支持台は前記凹部の底面の一方の短辺側の端部に形成されており、前記絶縁層は、前記支持台と前記凹部の前記一方の短辺側の内側面との間、および前記支持台と前記凹部の両長辺側の内側面との間に形成されていることを特徴とするものである。
【００２２】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、前記絶縁層は、前記支持台と前記凹部の両長辺側の内側面との間に形成されている部位が、前記支持台よりも前記凹部の中央部側に延出していることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の圧電振動子収納用パッケージは、上面に圧電振動子を収容する凹部を有する絶縁基板と、凹部を取り囲むように絶縁基板の上面に形成された封止用メタライズ層と、凹部の底面の端部に形成され、圧電振動子の端部が接続される支持台と、凹部の底面と凹部の内側面との間に、上面が凹部の上端から支持台の上面の外周部にかけて傾斜するように形成された絶縁層とを具備していることから、絶縁基板の凹部の底面に形成された支持台に圧電振動子の端部を接続する際に、圧電振動子と封止用メタライズ層との間が絶縁層に遮られるため圧電振動子がずれて凹部の内側面に近付きすぎることは効果的に防止され、圧電振動子の端部と凹部の内側面との間に、少なくとも絶縁層の分、横方向の距離を確保することができるとともに、この距離に応じて封止用メタライズ層と圧電振動子との間を離間させておくことができる。その結果、蓋体を封止用メタライズ層にシーム溶接等の手段で接合する際にろう材が飛散して圧電振動子に接触し、圧電振動子の端部の電極と封止用メタライ層とが電気的短絡するのを有効に防止することができる。
【００２４】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいて、好ましくは、凹部は長方形状であり、支持台は凹部の底面の一方の短辺側の端部に形成されており、絶縁層は、支持台と凹部の一方の短辺側の内側面との間、および支持台と凹部の両長辺側の内側面との間に形成されていることから、小型の絶縁基板の凹部の底面の端部に形成された支持台に、長方形状の圧電振動子を体積効率良く収容することができる。
【００２５】
また、長方形状の圧電振動子において、電極は短辺側の端部に形成されているため、その電極を支持台に容易に、かつ確実に接続することができる。
【００２６】
さらに、絶縁層は、支持台と凹部の一方の短辺側の内側面との間、および支持台と凹部の両長辺側の内側面との間に形成されていることから、圧電振動子の端部（電極）を支持台に位置合わせして接続する際に、圧電振動子を接続するための導電性接着剤が流動して圧電振動子の位置がずれようとした場合でも、上面が傾斜した絶縁層により、圧電振動子を位置ずれなく支持台に接続することができるとともに、絶縁層が邪魔になることはなく、圧電振動子の接続の作業性を良好に確保することができる。
【００２７】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいて、好ましくは、絶縁層は、支持台と凹部の両長辺側の内側面との間に形成されている部位が、支持台よりも凹部の中央部側に延出していることから、凹部の中央部側においても封止用メタライズ層と圧電振動子との間に絶縁層を介在させることができ、圧電振動子のずれをより有効に防止して圧電振動子が封止用メタライズに接近するのをより有効に防止できる。その結果、蓋体を封止用メタライズ層にシーム溶接等の手段で接合する際にろう材が飛散して圧電振動子に接触し、圧電振動子の電極と封止用メタライズ層との間で電気的短結が発生することを防止できる。
【００２８】
また、支持台の凹部の両長辺に沿った側面、および凹部の支持台の短辺に沿った側面を連続して絶縁層で覆うことができることから、長期間の温度サイクルや圧電振動子の機械的振動による衝撃等の外力により、支持台が凹部の底面から剥離するようなことをより効果的に防止することができる。その結果、より一層長期信頼性に優れた圧電振動子収納用パッケージとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
次に、本発明の圧電振動子収納用パッケージを添付の図面を基に説明する。図１（ａ）は本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の一例を示す平面図であり、同図（ｂ）はそのＡ−Ａ’線における断面図、同図（ｃ）はそのＢ−Ｂ’線における断面図である。同図において１は絶縁基板、２は凹部、３は圧電振動子、４は絶縁層、５は支持台、７は封止用メタライズ層、８は支持台５から絶縁基板１の側面や下面にかけて導出する配線導体である。
【００３０】
そして、主として、絶縁基板１、絶縁層４、支持台５で圧電振動子収納用パッケージが構成されている。また、圧電振動子３を圧電振動子収納用パッケージに収容し、蓋体９で封止することにより圧電装置が主に構成される。
【００３１】
絶縁基板１は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，ガラスセラミックス等のセラミックス材料から成るセラミック絶縁層を積層して成り、例えば一辺の長さが２〜２０ｍｍ程度で厚みが０．５〜３ｍｍ程度の四角形状である。そして、その上面中央部に圧電振動子３を収容するための長方形状等の四角形状の凹部２が設けられている。
【００３２】
絶縁基板１は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成るセラミック絶縁層を積層して成る場合であれば、酸化アルミニウムやガラス等の原料粉末を有機溶剤，バインダーとともに従来周知のドクターブレード法等によりシート状に成形して複数のセラミックグリーンシート（以下、単にグリーンシートという）を形成し、これを積層した後、約１５００℃〜１６００℃の温度で焼成することにより作製される。
【００３３】
この場合、最上層または最上層から下側に数層のグリーンシートに打抜き加工を施して中央部に四角形状の開口部を形成しておくことにより、凹部２を有する絶縁基板１とすることができる。
【００３４】
また、凹部２の底面の端部には、圧電振動子３の端部が支持固定される支持台５が形成され、支持台５から絶縁基板１の側面または下面にかけて配線導体８が形成されている。そして、凹部２に収容された圧電振動子３は、接続用の電極（図示せず）が形成されている端部が支持台５の上面に支持固定される。
【００３５】
支持台５は、圧電振動子３と凹部２の底面との間に一定の距離を確保するためのものであり、タングステンやモリブデン，銅，銀等の金属材料、または絶縁基板１と同様のセラミック材料等により形成される。
【００３６】
また、支持台５は、圧電振動子３の端部に形成されている電極を電気的に接続させるための電極用パッドとしても機能し、そのためには、上述のように金属材料で形成されるか、または、絶縁基板１と同様のセラミック材料等の絶縁体で形成され、その上面に金属材料等の導体層が形成される。
【００３７】
支持台５は、例えば、タングステンからなる場合であれば、タングステンの金属ペーストを絶縁基板１となるグリーンシートのうち凹部２の底面となる部位に印刷しておくことにより形成される。
【００３８】
この支持台５は、例えば、支持台５から絶縁基板１の側面や内部、または凹部２の底面等を経由して絶縁基板１の下面や側面に導出されている配線導体８を介して凹部２の外側に導出される。この配線導体８の導出部分を外部の電気回路（図示せず）に接続することにより、圧電振動子３の電極が外部の電気回路と電気的に接続される。
【００３９】
配線導体８は、タングステンやモリブデン，マンガン,銅，銀,パラジウム,金,白金等の金属材料から成り、例えば、タングステンからなる場合であれば、タングステンの金属ペーストを絶縁基板１を形成するグリーンシートに印刷しておくことにより形成される。
【００４０】
なお、圧電振動子３は、例えば高周波用の基準信号を発振する寸法の小さな長方形板状の水晶振動子等であり、その一辺側の端部に接続用の電極（図示せず）が形成されている。この電極が凹部２の底面の支持台５に電気的，機械的に接続され、圧電振動子３が支持台５に支持固定される。
【００４１】
上記のように、圧電振動子３として収容されるものは長方形状のものが多いため、凹部２は、長方形状に形成することが好ましい。
【００４２】
圧電振動子３の一辺側等の端部に形成された電極と、支持台５との接続は、導電性接着剤６等の導電性の接続材を介して行なわれる。例えば、圧電振動子３の電極を支持台５の上に位置決めして載せ、この部分にディスペンサー（図示せず）から導電性接着剤６を排出，供給することにより圧電振動子３の端部に形成された電極と支持台５とが電気的，機械的に接続される。
【００４３】
そして、凹部２内に圧電振動子３を収容し、支持台５に圧電振動子３の一辺側の端部を導電性接着剤６等を介して電気的、機械的に接続した後、例えば、蓋体９を絶縁基板１の上面に取着して凹部２を塞ぐこと等の手段で凹部２内に圧電振動子３を気密封止することにより圧電装置が形成される。
【００４４】
絶縁基板１の上面には、凹部２を取り囲むようにして封止用メタライズ層７が形成されており、蓋体９の下面の外周部を封止用メタライズ層７にダイレクトシーム法や電子ビーム法等の溶接法で接合すること等により、蓋体９の絶縁基板１に対する取着が行なわれる。
【００４５】
封止用メタライズ層７は、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属材料から成り、配線導体８と同様の手段（金属ペーストをグリーンシートに印刷塗布すること）で形成することができる。
【００４６】
蓋体９は、鉄−ニッケル−コバルト合金や鉄−ニッケル合金等の金属材料、酸化アルミニウム質焼結体等のセラミック材料、エポキシ樹脂等の有機樹脂材料等により形成され、例えば、長方形状の凹部２を塞ぐのに適した長方形の板状に形成される。
【００４７】
また、凹部２の底面と凹部２の内側面との間に、上面が凹部２の上端から支持台５の上面の外周部にかけて傾斜するように絶縁層４が形成されている。
【００４８】
この構成により、絶縁基板１の凹部２の底面に形成された支持台５に圧電振動子３の端部を接続する際に、圧電振動子３と封止用メタライズ層７との間が絶縁層４に遮られるため圧電振動子３がずれて凹部２の内側面に近付きすぎることは効果的に防止され、圧電振動子３の端部と凹部２の内側面との間に、少なくとも絶縁層４の分、横方向の距離を確保することができるとともに、この距離に応じて封止用メタライズ層７と圧電振動子３との間を離間させておくことができる。その結果、蓋体９を封止用メタライズ層７にシーム溶接等の手段で接合する際にろう材が飛散して圧電振動子３に接触し、圧電振動子３の端部の電極と封止用メタライズ層７とが電気的短絡するのを有効に防止することができる。
【００４９】
絶縁層４は、例えば絶縁基板１を構成する上層のグリーンシートを打ち抜き、凹部２となる孔を形成する際、凹部２のうち支持台５が形成される側の打ち抜き用の下金型の孔を、上金型よりも広くしておくことにより、凹部２のうち支持台５が形成される側の側面が下側に行くほど外側に広がるように形成することができ、その上層のグリーンシートを上下反転して支持台５が形成される下層のグリーンシートに積層して圧着し、積層体とすることにより、上層のグリーンシートと一体的に形成することができる。
【００５０】
また、絶縁層４は、例えば絶縁基板１を構成する上層のグリーンシートに凹部２を形成するための孔を打ち抜き、凹部２のうち支持台５が形成される側に、表面から裏面にかけて傾斜するようにセラミックペーストを塗布することによっても形成することができる。
【００５１】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいて、凹部２は上述のように長方形状であることが好ましく、支持台５は凹部２の底面の一方の短辺側の端部に形成されており、絶縁層４は、支持台５と凹部２の一方の短辺側の内側面との間、および支持台５と凹部２の両長辺側の内側面との間に形成されていることが好ましい。
【００５２】
これにより、小型の絶縁基板１の凹部２の底面の端部に形成された支持台５に、長方形状の圧電振動子３を体積効率良く収容することができる。
【００５３】
また、長方形状の圧電振動子３において、電極は短辺側の端部に形成されているため、その電極を支持台５に容易に、かつ確実に接続することができる。
【００５４】
さらに、絶縁層４は、支持台５と凹部２の一方の短辺側の内側面との間、および支持台５と凹部２の両長辺側の内側面との間に形成されていることから、圧電振動子３の端部（電極）を支持台５に位置合わせして接続する際に、圧電振動子３を接続するための導電性接着剤６が流動して圧電振動子３の位置がずれようとした場合でも、上面が傾斜した絶縁層４により、圧電振動子３を位置ずれなく支持台５に接続することができるとともに、絶縁層４が邪魔になることはなく、圧電振動子３の接続の作業性を良好に確保することができる。
【００５５】
絶縁基板１を構成するグリーンシートのうち凹部２の側壁を構成するものの厚み（凹部２の深さ）は、例えば、０．２〜０．８ｍｍ程度であり、この場合、封止用メタライズ層７と支持台５との上下方向の距離が０．２〜０．８ｍｍ程度と非常に小さくなるが、凹部２の底面と凹部２の内側面との間に、上面が凹部２の上端から支持台５の上面の外周部にかけて傾斜するように、この絶縁層４を形成することにより、圧電振動子３のずれを抑制して封止用メタライズ層７と圧電振動子３との距離を離間させることができる。
【００５６】
例えば、凹部２の深さを０．４ｍｍとし、絶縁層４の上面の傾斜角度（絶縁層４の上面と凹部２の底面との間の角度）を６０度で形成したとすると、封止用メタライズ層７と圧電振動子３の電極との距離は約０．４６ｍｍとなり、蓋体９を封止用メタライズ層７にシーム溶接する際にろう材が飛散することにより圧電振動子３の電極と封止用メタライズ層７との間に電気的短結が発生する危険性を回避することができる。
【００５７】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいて、絶縁層４は、支持台５と凹部２の両長辺側の内側面との間に形成されている部位が、支持台５よりも凹部２の中央部側に延出していることが好ましい。
【００５８】
これにより、凹部２の中央部側においても封止用メタライズ層７と圧電振動子３との間に絶縁層４を介在させることができ、圧電振動子３のずれをより有効に防止して圧電振動子３が封止用メタライズ層７に接近するのをより有効に防止できる。その結果、蓋体９を封止用メタライズ層７にシーム溶接等の手段で接合する際にろう材が飛散して圧電振動子３に接触し、圧電振動子３の電極と封止用メタライズ層７との間で電気的短結が発生することを防止できる。
【００５９】
また、支持台５の凹部２の両長辺に沿った側面、および凹部２の支持台５の短辺に沿った側面を連続して絶縁層４で覆うことができることから、長期間の温度サイクルや圧電振動子３の機械的振動による衝撃等の外力により、支持台５が凹部２の底面から剥離するようなことをより効果的に防止することができる。その結果、より一層長期信頼性に優れた圧電振動子収納用パッケージとすることができる。
【００６０】
ここで、導電性接着剤６の塗布範囲は、圧電振動子３の端部が接続される支持台５に、絶縁層４と接触しないようにすることが望ましい。これは、絶縁層４の表面を導電性接着剤６が広がって、圧電振動子３の電極を封止用メタライズ層７と電気的に短絡させたり、導電性接着剤６のうち圧電振動子３の接着に有効な分量が不足し圧電振動子３の電気的接続の信頼性が不足したりするようなことをより確実に防止するためである。
【００６１】
なお、支持台５のうち金属材料で形成されている部位や、配線導体８の露出表面には、酸化腐食を防止するとともに支持台５と圧電振動子３の電極との接続や、配線導体８の導出部分と外部電気回路基板との接続を強固なものとすること等のために、例えば、１０〜２０μｍ程度の厚みのニッケルめっき層と０．１〜３μｍ程度の厚みの金めっき層とを順次被着させておくことが好ましい。これらのめっき層は、従来周知の電解法や無電解法等のめっき法により形成することができる。
【００６２】
また、蓋体９が鉄−ニッケル合金や鉄−ニッケル−コバルト等の金属から成る場合ならば、このような蓋体９は、鉄−ニッケル合金板や鉄−ニッケル−コバルト合金板等の下面に銀−銅ろう等のろう材箔を重ねて圧延することによって鉄−ニッケル合金板や鉄−ニッケル−コバルト合金板等の下面に厚みが２０〜５０μｍのろう材層が圧着された複合金属板を得るとともに、この複合金属板を打ち抜き金型により打ち抜くことによって下面の全面に厚みが２０〜５０μｍのろう材層が被着された所定の形状に製作される。
【００６３】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えても何ら差し支えない。
【００６４】
例えば、絶縁層４は凹部２の底面と凹部２の内側面との間に、上面が凹部２の上端から支持台５の上面の外周部にかけて傾斜するように形成したが、この傾斜は凹部２の底から段々傾斜角度が大きくなるように曲面状に形成しても良いことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】（ａ）は本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の一例を示す平面図、（ｂ）は（ａ）の圧電振動子収納用パッケージのＡ−Ａ’線における断面図、（ｃ）は（ａ）の圧電振動子収納用パッケージのＢ−Ｂ’線における断面図である。
【図２】（ａ）は従来の圧電振動子収納用パッケージの平面図、（ｂ）は（ａ）の圧電振動子収納用パッケージのＣ−Ｃ’線における断面図、（ｃ）は（ａ）の圧電振動子収納用パッケージのＤ−Ｄ’線における断面図である。
【図３】（ａ）は従来の圧電振動子収納用パッケージの平面図、（ｂ）は（ａ）の圧電振動子収納用パッケージのＣ−Ｃ’’線における断面図、（ｃ）は（ａ）の圧電振動子収納用パッケージのＤ−Ｄ’’線における断面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１・・・・・絶縁基板
２・・・・・凹部
３・・・・・圧電振動子
４・・・・・絶縁層
５・・・・・支持台
７・・・・・封止用メタライズ層
９・・・・・蓋体
【図１】
2006033361.tif 000003
【図２】
2006033361.tif 000004
【図３】
2006033361.tif 000005