(57)【要約】【課題】  ピン間の出力差を精度よく測定できるテストシステムを実現することを目的にする。【解決手段】  本発明は、複数の出力ピンを有し、多階調電流を出力する被試験対象を試験するテストシステムに改良を加えたものである。本装置は、被試験対象におけるピン間の出力差を求める出力ピンの切り換え、出力を行う切換部と、この切換部の出力を電圧に変換するＩ／Ｖ変換器とを備え、Ｉ／Ｖ変換器の出力によりピン間の出力差を求めることを特徴とする装置である。【選択図】      図１
2006267040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の出力ピンを有し、多階調電流を出力する被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
前記被試験対象におけるピン間の出力差を求める出力ピンの切り換え、出力を行う切換部と、
この切換部の出力を電圧に変換するＩ／Ｖ変換器と
を備え、前記Ｉ／Ｖ変換器の出力によりピン間の出力差を求めることを特徴とするテストシステム。
【請求項２】
前記Ｉ／Ｖ変換器の出力をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器と、
このＡ／Ｄ変換器の出力によりピン間の出力差を求めるデータ処理部と
を有することを特徴とする請求項１記載のテストシステム。
【請求項３】
前記Ｉ／Ｖ変換器の出力を入力し、ピン間の出力差を求めるＩＣテスタを設けたことを特徴とする請求項１記載のテストシステム。
【請求項４】
前記切換部は、
前記被試験対象における赤、緑、青の表示に対応する多階調電流を出力する出力ピンから一つを選択する第１の選択部と、
この第１の選択部で選択される出力ピンの隣に配置され、赤、緑、青の表示に対応する多階調電流を出力する出力ピンから一つを選択する第２の選択部と、
前記第１、第２の選択部のどちらかを選択し、前記Ｉ／Ｖ変換部に接続する第３の選択部と
を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のテストシステム。
【請求項５】
所望の電圧を発生する直流電圧発生部と、
前記被試験対象の試験が行われない出力ピンを選択し、前記直流電圧発生部に接続する第３の選択部と
を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のテストシステム。
【請求項６】
前記被試験対象は、有機ＥＬドライバであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のテストシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の出力ピンを有し、多階調電流を出力する被試験対象、例えば有機ＥＬドライバを試験するテストシステムに関し、ピン間の出力差を精度よく測定できるテストシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機ＥＬ（Electro Luminescence）を発光素子として用いたディスプレイが提案されている。この有機ＥＬは、ダイオード機能を有し、電流を与えられることで発光する。このため、従来の液晶駆動ドライバで用いられた電圧出力と異なり、有機ＥＬドライバは電流出力が用いられるようになった。このような有機ＥＬドライバを試験するＩＣテスタは例えば下記特許文献１等に記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２９４０９３号公報
【０００４】
このような装置を図２に示し説明する。図２において、被試験対象（以下ＤＵＴ）は、例えば有機ＥＬドライバで、複数の出力ピンを有し、多階調電流を出力する。パフォーマンスボード２はプリント基板で、ＤＵＴ１に電気的に接続し、Ｉ／Ｖ変換器２１〜２３等が設けられる。Ｉ／Ｖ変換器２１〜２３は、ＤＵＴ１の出力を入力し、電圧に変換する。ＩＣテスタ３は、テストヘッド（図示せず）にパフォーマンスボード２を電気的に接続し、バッファ３１〜３３、デジタイザ３４、データ処理部３５等を有する。バッファ３１〜３３は、それぞれＩ／Ｖ変換器２１〜２３の出力を入力する。デジタイザ３４はＡ／Ｄ変換器で、バッファ３１〜３３の出力を入力し、デジタルデータに変換する。データ処理部３５は、デジタイザ３の出力を入力し、演算を行う。
【０００５】
このような装置の動作を以下に説明する。ＤＵＴ１が多階調電流を出力し、Ｉ／Ｖ変換器２１〜２３で電圧に変換する。この電圧を、バッファ３１〜３３を介して、デジタイザ３４がデジタルデータに変換し、データ処理部３５がデータ処理、例えば、多階調電流が所定範囲内かの判定やピン間の出力差を求め、所定範囲内かの判定を行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＩＣテスタ３は、通常、電圧で試験するように構成されている。このため、有機ＥＬドライバ（ＤＵＴ１）を試験するためには、Ｉ／Ｖ変換器２１〜２３により、電圧に変換しなければならない。一方、有機ＥＬドライバは、ＲＧＢ(赤、緑、青)ごと、つまり、２ピンおきのピン間の出力差を求め、出力差が所定範囲に入っているかの検査を行っている。
【０００７】
しかし、ＤＵＴ１の出力は、それぞれ異なるＩ／Ｖ変換器２１〜２３、バッファ３１〜３３等の経路を通っているので、ピン間の出力差を求めても、誤差が生じ、良否が不良品と判定され、正確な試験を行うことができなかった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、ピン間の出力差を精度よく測定できるテストシステムを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
複数の出力ピンを有し、多階調電流を出力する被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
前記被試験対象におけるピン間の出力差を求める出力ピンの切り換え、出力を行う切換部と、
この切換部の出力を電圧に変換するＩ／Ｖ変換器と
を備え、前記Ｉ／Ｖ変換器の出力によりピン間の出力差を求めることを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明であって、
前記Ｉ／Ｖ変換器の出力をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器と、
このＡ／Ｄ変換器の出力によりピン間の出力差を求めるデータ処理部と
を有することを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明であって、
前記Ｉ／Ｖ変換器の出力を入力し、ピン間の出力差を求めるＩＣテスタを設けたことを特徴とするものである。
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明であって、
前記切換部は、
前記被試験対象における赤、緑、青の表示に対応する多階調電流を出力する出力ピンから一つを選択する第１の選択部と、
この第１の選択部で選択される出力ピンの隣に配置され、赤、緑、青の表示に対応する多階調電流を出力する出力ピンから一つを選択する第２の選択部と、
前記第１、第２の選択部のどちらかを選択し、前記Ｉ／Ｖ変換部に接続する第３の選択部と
を設けたことを特徴とするものである。
請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明であって、
所望の電圧を発生する直流電圧発生部と、
前記被試験対象の試験が行われない出力ピンを選択し、前記直流電圧発生部に接続する第３の選択部と
を有することを特徴とするものである。
請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の発明であって、
前記被試験対象は、有機ＥＬドライバであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、切換部が、被試験対象の出力ピンからピン間の出力差を求めるピンを切り換え、Ｉ／Ｖ変換器に接続するので、同一経路でピン間の出力を求めることができ、精度よくピン間差を求めることができる。
【００１１】
請求項５によれば、第３の選択部が、試験が行われない被試験対象の出力ピンに、直流電圧発生部を接続するので、被試験対象を使用状態と同じ環境で試験を行うことができ、正確な試験が行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、ＤＵＴ１の出力ピンは簡略化のため、９ピンの場合を示すが、通常、多数ピンであり、これに伴い、各構成の数が異なる。また、図２と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００１３】
図１において、パフォーマンスボード４はプリント基板で、パフォーマンスボード３の代わりに設けられ、ＤＵＴ１、ＩＣテスタ３（テストヘッド）に電気的に接続し、選択部４１〜４４、Ｉ／Ｖ変換器４５〜４７、切替リレーＲＬＡ〜ＲＬＣを有する。選択部４１〜４４は切換部を構成する。
【００１４】
選択部４１は、ＤＵＴ１における赤、緑、青の表示に対応する多階調電流を出力する出力ピンＲ１，Ｇ１，Ｂ１から一つを選択し、リレーＲＲ１，ＲＲ２，ＲＧ１，ＲＧ２，ＲＢ１，ＲＢ２からなる。リレーＲＲ１，ＲＲ２は、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１に一端を接続する。リレーＲＧ１，ＲＧ２は、ＤＵＴ１の出力ピンＧ１に一端を接続する。リレーＲＢ１，ＲＢ２は、ＤＵＴ１の出力ピンＢ１に一端を接続する。
【００１５】
選択部４２は、選択部４１で選択される出力ピンＲ１，Ｇ１，Ｂ１の隣に配置され、赤、緑、青の表示に対応する多階調電流を出力する出力ピンＲ２，Ｇ２，Ｂ２から一つを選択し、リレーＲＲ３，ＲＲ４，ＲＧ３，ＲＧ４，ＲＢ３，ＲＢ４からなる。リレーＲＲ３，ＲＲ４は、ＤＵＴ１の出力ピンＲ２に一端を接続する。リレーＲＧ３，ＲＧ４は、ＤＵＴ１の出力ピンＧ２に一端を接続する。リレーＲＢ３，ＲＢ４は、ＤＵＴ１の出力ピンＢ２に一端を接続する。
【００１６】
選択部４３は、選択部４２で選択される出力ピンＲ２，Ｇ２，Ｂ２の隣に配置され、赤、緑、青の表示に対応する多階調電流を出力する出力ピンＲ３，Ｇ３，Ｂ３から一つを選択し、リレーＲＲ５，ＲＲ６，ＲＧ５，ＲＧ６，ＲＢ５，ＲＢ６からなる。リレーＲＲ５，ＲＲ６は、ＤＵＴ１の出力ピンＲ３に一端を接続する。リレーＲＧ５，ＲＧ６は、ＤＵＴ１の出力ピンＧ３に一端を接続する。リレーＲＢ５，ＲＢ６は、ＤＵＴ１の出力ピンＢ３に一端を接続する。
【００１７】
選択部４４は、選択部４１，４２のどちらかを選択し、Ｉ／Ｖ変換器４５に接続し、選択部４２，４３のどちらかを選択し、Ｉ／Ｖ変換器４６に接続し、選択部４３を選択し、Ｉ／Ｖ変換器４７に接続する。そして、選択部４４は、切替リレーＲＬ１〜ＲＬ３からなる。切替リレーＲＬ１は、リレーＲＲ１，ＲＧ１，ＲＢ１の他端に可動接点ａを接続し、２つの固定接点ｂ，ｃを切り替える。切替リレーＲＬ２は、リレーＲＲ３，ＲＧ３，ＲＢ３の他端に可動接点ａを接続し、３つの固定接点ｂ〜ｄを切り替える。切替リレーＲＬ３は、リレーＲＲ５，ＲＧ５，ＲＢ５の他端に可動接点ａを接続し、３つの固定接点ｂ〜ｄを切り替える。
【００１８】
Ｉ／Ｖ変換器４５〜４７は、選択部４４の出力を電圧に変換する。切替リレーＲＬＡは、切替リレーＲＬ１の固定接点ｂに固定接点ｅを接続し、Ｉ／Ｖ変換器４５に固定接点ｆを接続し、バッファ３１の入力端に可動接点ｇを接続する。切替リレーＲＬＢは、切替リレーＲＬ２の固定接点ｃに固定接点ｅを接続し、Ｉ／Ｖ変換器４６に固定接点ｆを接続し、バッファ３２の入力端に可動接点ｇを接続する。切替リレーＲＬＣは、切替リレーＲＬ３の固定接点ｃに固定接点ｅを接続し、Ｉ／Ｖ変換器４７に固定接点ｆを接続し、バッファ３３の入力端に可動接点ｇを接続する。
【００１９】
直流電圧発生部３６は、ＩＣテスタ３に設けられ、リレーＲＲ２，ＲＧ２，ＲＢ２，ＲＲ４，ＲＧ４，ＲＢ４，ＲＲ６，ＲＧ６，ＲＢ６の他端に接続する。直流測定部３７〜３９は、ＩＣテスタ３に設けられ、それぞれ、リレーＲＬＡ〜ＲＬＣの可動接点ｇに接続される。
【００２０】
このような装置の動作を以下に説明する。直流特性試験を行う場合、切替リレーＲＬ１は可動接点ａが固定接点ｂに接続され、切替リレーＲＬ２は可動接点ａが固定接点ｃに接続され、切替リレーＲＬ３は可動接点ａが固定接点ｃに接続される。また、切替リレーＲＬＡ〜ＲＬＣは可動接点ｇが固定接点ｅに接続される。
【００２１】
そして、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３における直流特性の試験を行う場合、リレーＲＲ１，ＲＲ３，ＲＲ５はオン、リレーＲＲ２，ＲＲ４，ＲＲ６はオフにする。リレーＲＧ１，ＲＧ３，ＲＧ５はオフ、リレーＲＧ２，ＲＧ４，ＲＧ６はオンにする。リレーＲＢ１，ＲＢ３，ＲＢ５はオフ、リレーＲＢ２，ＲＢ４，ＲＢ６はオンにする。そして、直流測定部３７〜３９は、それぞれＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３の直流測定を行う。このとき、直流電圧発生部３６は、一定（所望）の電圧を発生し、ＤＵＴ１の出力ピンＧ１〜Ｇ３，Ｂ１〜Ｂ３に与えている。
【００２２】
次に、ＤＵＴ１の出力ピンＧ１〜Ｇ３における直流特性の試験を行う場合、リレーＲＲ１，ＲＲ３，ＲＲ５はオフ、リレーＲＲ２，ＲＲ４，ＲＲ６はオンにする。リレーＲＧ１，ＲＧ３，ＲＧ５はオン、リレーＲＧ２，ＲＧ４，ＲＧ６はオフにする。リレーＲＢ１，ＲＢ３，ＲＢ５はオフ、リレーＲＢ２，ＲＢ４，ＲＢ６はオンにする。そして、直流測定部３７〜３９は、それぞれＤＵＴ１の出力ピンＧ１〜Ｇ３の直流測定を行う。このとき、直流電圧発生部３６は、一定の電圧を発生し、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３，Ｂ１〜Ｂ３に与えている。
【００２３】
また、ＤＵＴ１の出力ピンＢ１〜Ｂ３における直流特性の試験を行う場合、リレーＲＲ１，ＲＲ３，ＲＲ５はオフ、リレーＲＲ２，ＲＲ４，ＲＲ６はオンにする。リレーＲＧ１，ＲＧ３，ＲＧ５はオフ、リレーＲＧ２，ＲＧ４，ＲＧ６はオンにする。リレーＲＢ１，ＲＢ３，ＲＢ５はオン、リレーＲＢ２，ＲＢ４，ＲＢ６はオフにする。そして、直流測定部３７〜３９は、それぞれＤＵＴ１の出力ピンＢ１〜Ｂ３の直流測定を行う。このとき、直流電圧発生部３６は、一定の電圧を発生し、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３，Ｇ１〜Ｇ３に与えている。
【００２４】
次に、ピン間の出力差を試験する場合、切替リレーＲＬＡ〜ＲＬＣは、可動接点ｇが固定接点ｆに接続される。
【００２５】
そして、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３におけるピン間の出力差を試験する場合、リレーＲＲ１，ＲＲ３，ＲＲ５はオン、リレーＲＲ２，ＲＲ４，ＲＲ６はオフにする。リレーＲＧ１，ＲＧ３，ＲＧ５はオフ、リレーＲＧ２，ＲＧ４，ＲＧ６はオンにする。リレーＲＢ１，ＲＢ３，ＲＢ５はオフ、リレーＲＢ２，ＲＢ４，ＲＢ６はオンにする。
【００２６】
切替リレーＲＬ１は可動接点ａが固定接点ｃに接続され、切替リレーＲＬ２は可動接点ａが固定接点ｄに接続され、切替リレーＲＬ３は可動接点ａが固定接点ｄに接続される。そして、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１が多階調電流を出力し、リレーＲＲ１、切替リレーＲＬ１を介して、Ｉ／Ｖ変換器４５に入力され、Ｉ／Ｖ変換器４５が電圧に変換し、切替リレーＲＬＡ、バッファ３１を介して、デジタイザ３４に入力される。デジタイザ３４は、Ｉ／Ｖ変換器４５の出力をデジタルデータに変換し、データＤＲ１として保持する。
【００２７】
また、ＤＵＴ１の出力ピンＲ２が多階調電流を出力し、リレーＲＲ３、切替リレーＲＬ２を介して、Ｉ／Ｖ変換器４６に入力され、Ｉ／Ｖ変換器４６が電圧に変換し、切替リレーＲＬＢ、バッファ３２を介して、デジタイザ３４に入力される。デジタイザ３４は、Ｉ／Ｖ変換器４６の出力をデジタルデータに変換し、データＤＲ２として保持する。
【００２８】
同様に、ＤＵＴ１の出力ピンＲ３が多階調電流を出力し、リレーＲＲ５、切替リレーＲＬ３を介して、Ｉ／Ｖ変換器４７に入力され、Ｉ／Ｖ変換器４７が電圧に変換し、切替リレーＲＬＣ、バッファ３３を介して、デジタイザ３４に入力される。デジタイザ３４は、Ｉ／Ｖ変換器４７の出力をデジタルデータに変換し、データＤＲ３として保持する。このとき、直流電圧発生部３６は、一定（所望）の電圧を発生し、ＤＵＴ１の出力ピンＧ１〜Ｇ３，Ｂ１〜Ｂ３に与えている。
【００２９】
そして、データ処理部３４は、デジタイザ３５のデータＤＲ１〜ＤＲ３が所望の範囲に入っているか判定を行う。
【００３０】
次に、リレーＲＲ１をオフ、リレーＲＲ２をオンにする。切替リレーＲＬ２は可動接点ａが固定接点ｂに接続され、切替リレーＲＬ３は可動接点ａが固定接点ｂに接続される。そして、ＤＵＴ１の出力ピンＲ２が多階調電流を出力し、リレーＲＲ３、切替リレーＲＬ２を介して、Ｉ／Ｖ変換器４５に入力され、Ｉ／Ｖ変換器４５が電圧に変換し、切替リレーＲＬＡ、バッファ３１を介して、デジタイザ３４に入力される。デジタイザ３４は、Ｉ／Ｖ変換器４５の出力をデジタルデータに変換し、データＤＲ４として保持する。
【００３１】
同様に、ＤＵＴ１の出力ピンＲ３が多階調電流を出力し、リレーＲＲ５、切替リレーＲＬ３を介して、Ｉ／Ｖ変換器４６に入力され、Ｉ／Ｖ変換器４６が電圧に変換し、切替リレーＲＬＢ、バッファ３２を介して、デジタイザ３４に入力される。デジタイザ３４は、Ｉ／Ｖ変換器４６の出力をデジタルデータに変換し、データＤＲ５として保持する。このとき、直流電圧発生部３６は、一定の電圧を発生し、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１，Ｇ１〜Ｇ３，Ｂ１〜Ｂ３に与えている。
【００３２】
そして、データ処理部３５は、デジタイザ３４のデータにより、ピン間の出力差、つまり、（ＤＲ１−ＤＲ４）、（ＤＲ２−ＤＲ５）を演算し、所望の範囲内に入っているか判定を行う。
【００３３】
次に、ＤＵＴ１の出力ピンＧ１〜Ｇ３におけるピン間の出力差を試験する場合、リレーＲＲ１，ＲＲ３，ＲＲ５はオフ、リレーＲＲ２，ＲＲ４，ＲＲ６はオンにする。リレーＲＧ１，ＲＧ３，ＲＧ５はオン、リレーＲＧ２，ＲＧ４，ＲＧ６はオフにする。リレーＲＢ１，ＲＢ３，ＲＢ５はオフ、リレーＲＢ２，ＲＢ４，ＲＢ６はオンにする。
【００３４】
切替リレーＲＬ１は可動接点ａが固定接点ｃに接続され、切替リレーＲＬ２は可動接点ａが固定接点ｄに接続され、切替リレーＲＬ３は可動接点ａが固定接点ｄに接続される。そして、ＤＵＴ１の出力ピンＧ１〜Ｇ３が多階調電流を出力し、それぞれ、Ｉ／Ｖ変換器４５〜４７に入力され、Ｉ／Ｖ変換器４５〜４７が電圧に変換し、デジタイザ３４に入力される。デジタイザ３４は、Ｉ／Ｖ変換器４５〜４７の出力をデジタルデータに変換し、データＤＧ１〜ＤＧ３として保持する。このとき、直流電圧発生部３６は、一定の電圧を発生し、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３，Ｂ１〜Ｂ３に与えている。そして、データ処理部３４は、デジタイザ３５のデータＤＧ１〜ＤＧ３が所望の範囲に入っているか判定を行う。
【００３５】
次に、リレーＲＧ１をオフ、リレーＲＧ２をオンにする。切替リレーＲＬ２は可動接点ａが固定接点ｂに接続され、切替リレーＲＬ３は可動接点ａが固定接点ｂに接続される。そして、ＤＵＴ１の出力ピンＧ２，Ｇ３が多階調電流を出力し、それぞれ、Ｉ／Ｖ変換器４５，４６に入力され、Ｉ／Ｖ変換器４５，４６が電圧に変換し、デジタイザ３４に入力される。デジタイザ３４は、Ｉ／Ｖ変換器４５，４６の出力をデジタルデータに変換し、データＤＧ４，ＤＧ５として保持する。このとき、直流電圧発生部３６は、一定の電圧を発生し、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３，Ｇ１，Ｂ１〜Ｂ３に与えている。そして、データ処理部３５は、デジタイザ３４のデータにより、ピン間の出力差、つまり、（ＤＧ１−ＤＧ４）、（ＤＧ２−ＤＧ５）を演算し、所望の範囲内に入っているか判定を行う。
【００３６】
同様に、ＤＵＴ１の出力ピンＢ１〜Ｂ３におけるピン間の出力差を試験する場合、リレーＲＲ１，ＲＲ３，ＲＲ５はオフ、リレーＲＲ２，ＲＲ４，ＲＲ６はオンにする。リレーＲＧ１，ＲＧ３，ＲＧ５はオフ、リレーＲＧ２，ＲＧ４，ＲＧ６はオンにする。リレーＲＢ１，ＲＢ３，ＲＢ５はオン、リレーＲＢ２，ＲＢ４，ＲＢ６はオフにする。
【００３７】
切替リレーＲＬ１は可動接点ａが固定接点ｃに接続され、切替リレーＲＬ２は可動接点ａが固定接点ｄに接続され、切替リレーＲＬ３は可動接点ａが固定接点ｄに接続される。そして、ＤＵＴ１の出力ピンＢ１〜Ｂ３が多階調電流を出力し、それぞれ、Ｉ／Ｖ変換器４５〜４７に入力され、Ｉ／Ｖ変換器４５〜４７が電圧に変換し、デジタイザ３４に入力される。デジタイザ３４は、Ｉ／Ｖ変換器４５〜４７の出力をデジタルデータに変換し、データＤＢ１〜ＤＢ３として保持する。このとき、直流電圧発生部３６は、一定の電圧を発生し、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３，Ｇ１〜Ｇ３に与えている。そして、データ処理部３４は、デジタイザ３５のデータＤＢ１〜ＤＢ３が所望の範囲に入っているか判定を行う。
【００３８】
次に、リレーＲＢ１をオフ、リレーＲＢ２をオンにする。切替リレーＲＬ２は可動接点ａが固定接点ｂに接続され、切替リレーＲＬ３は可動接点ａが固定接点ｂに接続される。そして、ＤＵＴ１の出力ピンＢ２，Ｂ３が多階調電流を出力し、それぞれ、Ｉ／Ｖ変換器４５，４６に入力され、Ｉ／Ｖ変換器４５，４６が電圧に変換し、デジタイザ３４に入力される。デジタイザ３４は、Ｉ／Ｖ変換器４５，４６の出力をデジタルデータに変換し、データＤＢ４，ＤＢ５として保持する。このとき、直流電圧発生部３６は、一定の電圧を発生し、ＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３，Ｇ１〜Ｇ３，Ｂ１に与えている。そして、データ処理部３５は、デジタイザ３４のデータにより、ピン間の出力差、つまり、（ＤＢ１−ＤＢ４）、（ＤＢ２−ＤＢ５）を演算し、所望の範囲内に入っているか判定を行う。
【００３９】
このように、選択部４１〜４３が、それぞれＤＵＴ１の出力ピンＲ１〜Ｒ３，Ｇ１〜Ｇ３，Ｂ１〜Ｂ３から一つを選択し、選択部４４が、ピン間の出力差を求めるピンに対応して選択部４１〜４３を選択し、Ｉ／Ｖ変換器４５，４６に接続するので、同一経路でピン間の出力を求めることができ、精度よくピン間の出力差を求めることができる。また、Ｉ／Ｖ変換器を減らすことができ、パフォーマンスボード４の面積、消費電流を抑えることができ、ＩＣテスタ３の試験部（バッファ、直流測定部）の数を抑制できる。
【００４０】
また、選択部４１〜４３が、試験が行われないＤＵＴ１の出力ピンに、直流電圧発生部３６を接続するので、ＤＵＴ１を使用状態と同じ環境で試験を行うことができ、正確な試験が行える。
【００４１】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、試験時に、直流電圧発生部３６が一定の電圧を試験が行われないＤＵＴ１の出力ピンに与える構成を示したが、試験が行われないＤＵＴ１の出力ピンに対応するリレーＲＲ２，ＲＧ２，ＲＢ２，ＲＲ４，ＲＧ４，ＲＢ４，ＲＲ６，ＲＧ６，ＲＢ６をオフとし、オープン状態にしてもよい。
【００４２】
また、バッファ３１〜３３が別に設けられた構成を示したが、デジタイザ（Ａ／Ｄ変換器）３４内部に設けた構成でもよい。
【００４３】
また、デジタイザ３４が、データを保持する構成を示したが、データ処理部３５が保持する構成でもよい。
【００４４】
また、選択部４１〜４３は、リレーを用いた例を示したが、切替リレーやスイッチ等を用いる構成でもよい。同様に、選択部４４は切替リレーを用いた例を示したがリレーやスイッチ等を用いる構成でもよい。
【００４５】
また、パフォーマンスボード４上に、選択部４１〜４４、Ｉ／Ｖ変換器４５〜４７、切替リレーＲＬＡ〜ＲＬＣを設けた構成を示したが、ＤＵＴ１がパッケージの場合、ソケットが設けられるＤＵＴボード、ＤＵＴ１がウェハの場合、ウェハに電気的に接続するプローブを設けるプローブカード等のプリント基板に設ける構成でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】従来のＩＣテスタの構成を示した図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  ＤＵＴ
３４  デジタイザ
３５  データ処理部
３６  直流電圧発生部
４１〜４４  選択部
４５〜４７  Ｉ／Ｖ変換器
【図１】
2006267040.tif 000003
【図２】
2006267040.tif 000004