(57)【要約】【課題】  発熱センサ素子に付着する汚れを防止し信頼性の高いガス流量計を提供する。【解決手段】  発熱センサ素子が、セラミックボビンに発熱抵抗体を形成し表面を保護コートしてなる発熱素子部と、発熱素子部の両側に電気接続するリード部と、リード部をガス流路内に固定するとともに外部回路と電気接続する為の固定部より構成され、  リード部は、発熱素子との接合部近傍においてガス流れの下流側にほぼガス流と平行若しくは更に発熱素子側に折り曲げられて前記固定部に接続固定されたガスの質量流量を検出するガス流量計。【選択図】図１
2006170803.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ガスの流れの中に配設した発熱センサ素子に流れる電流値に基づいてガスの質量流量を検出するガス流量計において、
前記発熱センサ素子が、ボビンに発熱抵抗体を形成し表面を保護コートしてなる発熱素子部と、該発熱素子部の両側に電気接続するリード部と、該リード部をガス流路内に固定するとともに外部回路と電気接続する為の固定部より構成され、
前記リード部は、発熱素子との接合部近傍においてガス流れの下流側にほぼガス流と平行若しくは更に発熱素子側に折り曲げられて前記固定部に接続固定されていることを特徴とするガス流量計。
【請求項２】
請求項１に記載のガス流量計において、前記被測定ガスが内燃機関における吸入空気および排気ガスであることを特徴とするガス流量計。
【請求項３】
請求項１ないし２に記載のガス流量計において、前記発熱抵抗体は白金線を巻線したものであり、前記保護コートはガラス材料からなることを特徴とするガス流量計。
【請求項４】
請求項１ないし３に記載のガス流量計において、前記発熱素子部はカーボン等が堆積しないように発熱素子部の平均温度が４００℃以上に保持したことを特徴とするガス流量計。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４に記載のガス流量計において、被測定ガスの流れの中にガスの温度を検出するガス温度センサ素子を更に配設し、前記発熱センサ素子の温度を該ガス温度センサ素子の温度から一定温度高く制御して、前記発熱センサ素子に流れる電流値に基づいてガスの質量流量を検出する様に構成したことを特徴とするガス流量計。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４に記載のガス流量計において、被測定ガスの流れの中にガスの温度を検出するガス温度センサ素子を更に配設し、前記発熱センサ素子の温度を一定温度に制御するとともに、前記発熱センサ素子に流れる電流値に基づいてガスの質量流量を検出するとともに前記ガス温度センサ素子により検出されるガス温度によりガスの質量流量を補正することを特徴とするガス流量計。
【請求項７】
被測定ガスの流れの中に配設した発熱センサ素子に流れる電流値に基づいてガスの質量流量を検出するガス流量計において、
前記発熱センサ素子が、発熱素子部と、該発熱素子部の両側に接合するリード部と、該リード部をガス流路内に固定するとともに外部回路と電気接続する為の固定部より構成され、
前記リード部は、発熱素子部との接合部近傍においてガス流れの下流側に折り曲げられて前記固定部に接続固定されていることを特徴とするガス流量計。
【請求項８】
請求項１において、更に、前記リード部は固定部側に曲げられて前記固定部に接続固定されたことを特徴とするガス流量計。
【請求項９】
請求項７または８において、前記被測定ガスには内燃機関における排気ガスが含まれることを特徴とするガス流量計。
【請求項１０】
被測定ガスの流れの中に配設した発熱センサ素子に流れる電流値に基づいてガスの質量流量を検出するガス流量計において、
前記発熱センサ素子が、発熱素子部と、該発熱素子部の両側に接合するリード部と、該リード部をガス流路内に固定するとともに外部回路と電気接続する為の固定部より構成され、
前記発熱素子部が前記固定部より上流側に配置されたことを特徴とするガス流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジンの吸入空気および排気ガス等のガスの質量流量を計測するガス流量計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近来にあっては、排気の一部を吸気系に戻すことでＮＯｘ低減を図る排気還流(ＥＧＲ)が広く使用されるようになってきている。その還流量（ＥＧＲ量）は、燃焼の安定度などと両立するように精度よく制御する必要があり、特にディーゼルエンジンに適用する場合は、ＥＧＲ過多になるとスモークの発生が大となるため、エンジンの運転状況に応じた高精度なＥＧＲ制御が必要である。
【０００３】
ところで従来のＥＧＲ制御としては、特許文献１がある。この従来例では、吸気通路内に吸入される新気吸入空気量を計測するガス流量計と排気還流路に設けられたＥＧＲガス量を計測するガス流量計から構成されており、夫々のガス流量計により計測された新気吸入空気量とＥＧＲガス量から、ＥＧＲ率(＝ＥＧＲガス量／(新気吸入量＋ＥＧＲガス量))に基づいて制御を行うようになっている。ＥＧＲ率を高精度に制御する為には、新気吸入空気量およびＥＧＲガス量を正確に検出するガス流量計が必要となる。
【０００４】
ガス流量計は、一定の高温状態に加熱した発熱センサ素子を吸入空気または排気ガスの流れの中に配置し、吸入空気または排気ガスにより冷却される発熱センサ素子を常に一定温度に保つために流れる電流値を測定することにより、吸入空気または排気ガスの質量流量を算出する。従って、発熱センサ素子は、常に吸入空気または排気ガスの流れにさらされている。
【０００５】
吸入空気では、エアクリーナを通過させた後で発熱センサ素子を通過するのであるが、塵埃や排気ガス等を含んでいるため、発熱センサ素子等に汚れが付着する。一方、排気ガスでは、更に排気ガス中のオイルやカーボン等が多量に付着する問題があった。発熱センサ素子に汚れが付着すると、発熱センサ素子が直接吸入空気または排気ガスに触れないため、質量流量の計測に誤差が発生する問題があった。
【０００６】
その問題を解決するため、従来例では、発熱センサ素子に汚れが付着しないようにする工夫がなされている。例えば、特開昭５９−２０６７１４号公報においては、発熱センサ素子の温度を高くすることにより、発熱センサ素子に付着した油分等を揮発させる方法が記載されている。
【０００７】
上記従来例の発熱センサ素子１では、図１４および図１５に示す様に、セラミックボビン７に発熱抵抗体として白金線７が巻かれて保護ガラス９により表面を保護コートしてなる発熱素子部２と、該発熱素子部２の両側に電気接続するリード部３ａ，３ｂが接着ガラス８により上記セラミックボビン７の中に接続され、リード部３ａ，３ｂは外部回路と電気接続する為の固定部４ａ，４ｂによりガス流路内に固定されている。
【０００８】
この様に構成された従来の発熱センサ素子１では、吸入空気または排気ガス５に晒されると図１６に示す様に、発熱センサ素子１を構成するうち、発熱素子部２は、十分発熱するため効果があるが、発熱素子部２の両側に接続するリード部３ａ，３ｂおよび固定部
４ａ，４ｂは発熱が少ないため、カーボン等の汚れ１０が多量に付着し、ガスの質量流量の計測に誤差を発生させる問題が残っている。
【０００９】
つまり、発熱素子部２は吸入空気または排気ガス５の温度より一定温度（１７０から
３００℃）高く制御されるため、発熱素子部２に付着する油分等は揮発するため、発熱素子部２の汚れは問題とならない。しかし、リード部３ａ，３ｂおよび固定部４ａ，４ｂは油分が揮発するほど加熱されないため、リード部３ａ，３ｂおよび固定部４ａ，４ｂには油分等が付着し、更にカーボン等の汚れ１０が時間の経過とともに付着堆積する。
【００１０】
特に、リード部３ａ，３ｂのＡ部にカーボン等の汚れ１０が付着すると、高流量領域では、汚れ１０がリード部と吸入空気または排気ガス５間の熱絶縁効果を示し放熱が減少し、発熱センサ素子１の温度を一定に保つために必要とする電流値が減少し質量流量にマイナス誤差が生ずる。一方、低流量領域では、汚れ１０が発熱素子部２と固定部４ａ，４ｂ間の熱抵抗を減少させ、発熱素子部２から固定部４ａ，４ｂへの熱伝導（熱の漏れ）が増大することから電流値が増大し、質量流量にプラスの誤差が発生する。
【００１１】
汚れ１０の付着を防止する別の従来例の特開平６−９４４９９号公報では、リード部
３ａ，３ｂの一方を長くして固定部４から発熱素子部２の上流側に折り返して汚れ１０に対して遮蔽効果をもたせる提案がされている。
【００１２】
しかしながら、この様に発熱素子部２の上流側に遮蔽部を設けたことにより、吸入空気または排気ガス５の流れに乱流が発生し発熱素子部２に影響を与える為に、質量流量の計測に誤差を発生する問題がある。
【００１３】
更に、汚れ１０の付着を防止する従来例として、特開平７−１２０２８８号公報がある。この従来例では、図１７に示す様に、発熱センサ素子が、セラミックボビン６に白金線７を巻き表面をガラスコートしてなる発熱素子部２と、発熱素子部２の両側に接続するリード部３ａ，３ｂより構成されると共に、リード部３ａ，３ｂの表面に断熱部材１１が形成されている。
【００１４】
この様に構成することにより、リード部３ａ，３ｂの外周に断熱部材１１が形成されているので、リード部から放熱がほとんどなく、リード部に汚れ１０が付着している場合と、付着していない場合とで発熱センサ素子の受ける影響は殆ど変わらないとしている。
【００１５】
しかしながら、この様に構成された従来例では、リード部に付着する汚れ１０を低減する効果が無く、汚れ１０が多量に付着した場合には質量流量の計測に誤差を発生する。また、リード部３ａ，３ｂの外周に断熱部材１１を形成したことにより、リード部の有効断面積が増加し発熱素子部２と固定部４ａ，４ｂ間の熱抵抗を減少させ、発熱素子部２から固定部４ａ，４ｂへの熱伝導（熱の漏れ）が増大することから消費電力が増大する問題がある。
【００１６】
【特許文献１】特表２００３−５１６４９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、発熱センサ素子に付着する汚れによりガスの質量流量の計測に誤差が発生することを防止できるガス流量計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
（請求項１を解決するための手段）
上記の目的は，被測定ガスの流れの中に配設した発熱センサ素子に流れる電流値に基づいてガスの質量流量を検出するガス流量計において、
前記発熱センサ素子が、セラミックボビンに発熱抵抗体を形成し表面を保護コートしてなる発熱素子部と、該発熱素子部の両側に電気接続するリード部と、該リード部をガス流路内に固定するとともに外部回路と電気接続する為の固定部より構成され、
前記リード部は、発熱素子との接合部近傍においてガス流れの下流側にほぼガス流と平行若しくは更に発熱素子側に折り曲げられて前記固定部に接続固定されることにより、
該リード部は発熱素子の下流に隠れることからガス流の直撃が避けられ、且つ、発熱素子により暖められたガス流により加熱されることから、リード部に付着するカーボン等の汚れを防止することができ質量流量の計測に誤差が発生することを防止できるガス流量計を実現することが出来る。
【００１９】
（請求項２を解決するための手段）
前記被測定ガスが内燃機関における吸入空気および排気ガスである場合に、更に効果的にリード部に付着する汚れを防止することができ質量流量の計測に誤差が発生することを防止できるガス流量計を実現することが出来る。
【００２０】
（請求項３を解決するための手段）
前記発熱抵抗体は白金線を巻線したものであり、前記保護コートはガラス材料からなることにより、高精度のガス流量計を実現することが出来る。
【００２１】
（請求項４を解決するための手段）
前記発熱素子部はカーボン等が堆積しないように発熱素子部の平均温度が４００℃以上に保持することにより、更に、リード部に付着するカーボン等の汚れを防止することができ質量流量の計測に誤差が発生することを防止できるガス流量計を実現することが出来る。
【００２２】
（請求項５を解決するための手段）
被測定ガスの流れの中にガスの温度を検出するガス温度センサ素子を更に配設し、前記発熱センサ素子の温度を該ガス温度センサ素子の温度から一定温度高く制御して、前記発熱センサ素子に流れる電流値に基づいてガスの質量流量を検出する様に構成したことにより、高精度のガス流量計を実現することが出来る。
【００２３】
（請求項６を解決するための手段）
被測定ガスの流れの中にガスの温度を検出するガス温度センサ素子を更に配設し、前記発熱センサ素子の温度を一定温度に制御するとともに、前記発熱センサ素子に流れる電流値に基づいてガスの質量流量を検出するとともに前記ガス温度センサ素子により検出されるガス温度によりガスの質量流量を補正することにより、更に、リード部に付着するカーボン等の汚れを防止することができ質量流量の計測に誤差が発生することを防止できるガス流量計を実現することが出来る。
【発明の効果】
【００２４】
以上の本発明によれば、発熱センサ素子に付着する汚れによりガスの質量流量の計測に誤差を防止できるガス流量計が提供できるので、内燃機関の信頼性の高いＥＧＲ制御ができ、スモークおよびＮＯｘ低減が達成されるという優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施例について、図面を参照して説明する。
【００２６】
図２は、本発明を適用した実施例であるガス流量計を用いたＥＧＲ制御装置であり、以下構成を説明する。
【００２７】
このＥＧＲ制御装置は、内燃機関エンジン１２と、これに吸入空気１３を供給する為にエアクリーナ１４とスロットル弁１５が設置された吸気通路１６と、排気ガス２０をクリーン化するための排気ガス触媒１９を通して排出する排気管１８と、排気を還流(再循環)させるための排気還流路２４に設けられたＥＧＲ弁２３と、排気ガスを冷却しシリンダ吸入効率を高める為のＥＧＲクーラ２２と、吸気通路１６に設けられその吸入空気量を計測するガス流量計１７と、排気還流路２４に設けられた再循環排気ガス量を計測するガス流量計２５と、運転状況に応じてＥＧＲ弁２３，スロットル弁１５および燃料噴射インジェクター２６を動作させるコントロールユニット２１とにより主として構成されている。
【００２８】
排気還流路２４は、排気通路１８及び吸気通路１６にこれらを短絡するように接続されている。ＥＧＲ弁２３とスロットル弁１５は、コントロールユニット２１に結線され、その開度に応じて排気通路１８を流れる排気ガスの一部を吸気通路１６に合流させて、エンジン１２に還流させるようになっている。
【００２９】
本発明を適用した実施例であるガス流量計１７，２５は、吸気通路１６および排気還流路２４に夫々配置され、吸入空気量および再循環排気ガス量を計測してＥＧＲ率（＝EGRガス量／（新気吸入量＋ＥＧＲガス量））としてエンジンの運転状況に応じた高精度な
ＥＧＲ制御を実現する。
【００３０】
図３が、本発明を適用した第一の実施例であるガス流量計１７，２５の構成を示したもので、図１が、ガス流量計１７，２５を構成する発熱センサ素子１を示したものである。
【００３１】
まずは、図３にて、ガス流量計１７，２５の動作原理について説明する。図３の１６，２４が吸気通路および排気還流路で、通路１６，２４に発熱センサ素子１およびガス温度センサ素子２７が配置される。３０は電源、２８は発熱センサ素子１に加熱電流を流すためのトランジスタ、３２ａ，３２ｂは抵抗、２９が差動増幅器、２１はコントロールユニットである。
【００３２】
ここで、発熱センサ素子１，ガス温度センサ素子２７，抵抗３２ａ，３２ｂよりなるブリッジ回路の端子３１ａ，３１ｂの電圧が差動増幅器２９に入力され、発熱センサ素子１の温度（Ｔｈ）がガス温度に対応するガス温度センサ素子２７の温度（Ｔｅ）よりある一定温度（ΔＴｈ＝Ｔｈ−Ｔｅ）高くなり、且つガス中のオイルやカーボンが付着しない
４００℃以上になるように各抵抗値３２ａ，３２ｂが設定され差動増幅器２９によりフィードバック制御される。
【００３３】
吸入空気量および再循環排気ガス量の計測には、発熱センサ素子１に流す加熱電流に対応する抵抗３１ａの端子電圧がコントロールユニット２１に入力されて計測する。つまり、吸入空気量および再循環排気ガス量が増大すると発熱センサ素子１がガスの熱伝達効果により冷却され、発熱センサ素子１を一定温度（ΔＴｈ＝Ｔｈ−Ｔｅ）高くなるようフィードバック制御されていることから発熱センサ素子１に流れる加熱電流（＝２２ｂの端子電圧）が増大し質量流量として検出できる。
【００３４】
発熱センサ素子１の放熱電力Ｐｈと被測定ガスの質量流量Ｑｅの関係は、下式のキングの式で表される。
【００３５】
Ｐｈ＝（ａ＋ｂ√(Ｑｅ)）ΔＴｈ                                    …（１）
ここで、（１）式の第一項（ａ）は熱伝導効果による寄与分で第二項（ｂ）は被測定ガスによる熱伝達効果による寄与分である。
【００３６】
図１の発熱センサ素子１は、セラミックボビンに発熱抵抗体を形成し表面を保護コートしてなる発熱素子部２と、発熱素子部２の両側に電気接続するリード部３ａ，３ｂと、リード部をガス流路１６，２４内に固定するとともに外部回路と電気接続する為の固定部
４ａ，４ｂより構成され、前記リード部３ａ，３ｂは、発熱素子２との接合部近傍において排気ガス５の下流側にほぼ排気ガス５と平行に折り曲げられて前記固定部４ａ，４ｂに接続固定されている。
【００３７】
固定部４ａ，４ｂとリード部３ａ，３ｂの一端は、夫々溶接により固定されている。リード部３ａ，３ｂの他端は、図１５の従来例と同様にセラミックボビン６と接着ガラス８を介して固定されている。固定部４ａ，４ｂは、例えばステンレス等の導電性金属により構成されている。また、リード部３ａ，３ｂは、直径１５０μの例えば白金系の合金等の導電性線材により構成されている。白金線７に対しては、固定部４ａ，４ｂおよびリード部３ａ，３ｂを介して電流が流される。
【００３８】
また、リード部３ａのセラミックボビン６近傍表面に白金線７の一端が溶接されている。一端が溶接された白金線７は、セラミックボビン６の外周に一定間隔で巻き付けられて、発熱素子部２を形成している。白金線７の他端は別のリード部３ｂに２，３周巻かれた後、リード部３ｂの表面に溶接されている。本実施例の白金線７の直径は、２０μである。
【００３９】
また、白金線７の表面に保護ガラス膜９が形成されている。本実施例では、保護ガラス膜９は数μｍから数十μｍ厚さの放熱性のガラスコーティングにより構成されている。ガラスコーティングは、リード部３ａ，３ｂの白金線７が巻かれている部分まで形成されている。ガラスコーティングの目的は、白金線７をセラミックボビン６に固定させ、白金線７に緩みが発生するのを防止すること、および白金線７を保護することである。
【００４０】
以上の様に構成した本発明の第一の実施例であるガス流量計ではリード部３ａ，３ｂは発熱素子部２の下流に隠れることから排気ガス５の直撃が避けられ、且つ発熱素子部２により暖められた排気ガス５により加熱されることから、リード部３ａ，３ｂに付着するオイルやカーボン等の汚れを防止することができ正確な質量流量の計測が可能となる。
【００４１】
以下、本発明の第一の実施例であるガス流量計の効果を図によって説明する。
【００４２】
図４が、本発明の第一の実施例であるガス流量計を構成する発熱センサ素子１の温度分布を示したもので、一方、図５は、従来例の発熱センサ素子１の温度分布を示したものである。発熱センサ素子１を構成する発熱素子部２は、中心部が一番温度が高く両端に行くに従い若干温度が低くなるが、平均温度（Ｔｈ）としてはオイルやカーボン等の汚れを防止するために４００℃以上に加熱される。排気ガス５が流れると、発熱素子部２付近の排気ガス５が加熱されて図に示した様に下流側のガスの温度分布が高くなる。図における温度Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３は、Ｔ１＞Ｔ２＞Ｔ３とＴ１が最も温度が高くなり４００℃以上の値である。
【００４３】
図４および図５のいずれにおいても、発熱素子部２の温度分布をほぼ同じであるが、図５に示した従来例の発熱センサ素子１では、リード部３ａ，３ｂの発熱素子部２付近のＡ部ではリード部３ａ，３ｂが排気ガス５に直接晒されて冷却されることから急激に温度が低下する。一方、図４の第一の実施例である発熱センサ素子１では、リード部３ａ，３ｂが発熱素子部２との接合部近傍において下流側にほぼ排気ガス５と平行に折り曲げられていることから、リード部３ａ，３ｂのＡ部においてＴ３の高い温度に排気ガス５により加熱保持される。
【００４４】
図６に、上記の従来例と第一の実施例である発熱センサ素子１の温度分布の比較を示す。図にて、３３が従来例の発熱センサ素子１の温度分布で、３４が第一の実施例である発熱センサ素子１の温度分布である。発熱素子部２の中心では同じ温度であるが、リード部３ａ，３ｂの温度で差異がある。第一の実施例である発熱センサ素子１では３４に示されるように、リード部３ａ，３ｂ全ての領域にて温度が高くなっており、特にＡ部では大きな温度差となる。
【００４５】
図７は、本発明である第一の実施例の発熱センサ素子１を、内燃機関エンジンの吸気通路１６または排気還流路２４に配置して長時間運転した後のオイルやカーボン等の汚れ
１０の付着状況を示したものである。図１６に示した従来例の発熱センサ素子１では、リード部３ａ，３ｂ全ての領域にオイルやカーボン等の汚れ１０が付着していたのに対して、図７の第一の実施例では、リード部３ａ，３ｂの全ての領域にて汚れ１０の付着が低減し特にＡ部では殆ど付着しない。
【００４６】
つまり、本発明の発熱センサ素子１では、リード部３ａ，３ｂ全ての領域（特にＡ部）にて温度が高くなることから、オイル等が付着した場合でもオイル揮発温度以上に過熱されオイルが排除される。また、カーボン等の塵埃が排気ガス５とともに発熱センサ素子１に到達した場合でも、リード部３ａ，３ｂのＡ部が発熱素子部２の下流側に隠れる構造
（発熱素子部２が遮蔽する）で且つ排気ガス５に対しての投影面積が最小化していることからカーボン等の塵埃の直撃が避けられる。
【００４７】
図８は、内燃機関エンジンの吸気通路１６または排気還流路２４に配置して長時間運転した後、排気ガス５の質量流量の計測誤差を示したものである。図で、３５が従来例で、
３６が本発明の発熱センサ素子１の測定結果である。３５の従来例では、低流量領域でプラス、高流量領域ではマイナスの大きな誤差を示すが、本発明の発熱センサ素子１では殆ど変化が無い。
【００４８】
質量流量の計測に関して、出力は先の（１）式のキングの式で表され、特にΔＴｈ＝
（Ｔｈ−Ｔｅ）に比例する。従って、発熱センサ素子１においては、特に発熱素子部２やリード部３ａ，３ｂのＡ部の高温部が出力に大きく影響する。温度の低い固定部４ａ，
４ｂとその近傍のリード部は、あまり出力に影響しない。本発明の発熱センサ素子１では、発熱素子部２およびリード部３ａ，３ｂのＡ部にオイルやカーボン等の汚れ１０が付着しないことから、殆ど出力変化が無く安定した出力となる。
【００４９】
図９は、本発明である第二の実施例の発熱センサ素子１を示したものである。第二の実施例と第一の実施例の違いは、リード部３ａ，３ｂの構造である。第二の実施例では、リード部３ａ，３ｂは、発熱素子部２との接合部近傍Ａ部において排気ガス５の下流側にほぼ排気ガス５と平行若しくは更に発熱素子部２側に折り曲げられて固定部４ａ，４ｂに接続固定されている。
【００５０】
この様に構成したことにより、第一の実施例に比較して折り曲げられたリード部３ａ，３ｂがより高い温度領域Ｔ２に至り、且つ、発熱素子部２の下流側に確実に隠れるのでオイルやカーボン等の汚れ１０の付着をより低減できる。図１０には、本発明である第二の実施例の発熱センサ素子１を、内燃機関エンジンの吸気通路１６または排気還流路２４に配置して長時間運転した後のオイルやカーボン等の汚れ１０の付着状況を示したものであり、大幅な改善効果が見られる。
【００５１】
図１１は、本発明である第三の実施例の発熱センサ素子１を示したものである。第三の実施例と第一の実施例の違いは、リード部３ａ，３ｂの構造である。第三の実施例では、リード部３ａ，３ｂは、発熱素子部２との接合部近傍Ａ部において排気ガス５の下流側にほぼ直線状に排気ガス５と平行に折り曲げられて固定部４ａ，４ｂに接続固定されている。
【００５２】
この様に構成したことにより、第一の実施例に比較してリード部３ａ，３ｂがより簡単な構成となり、且つ、オイルやカーボン等の汚れ１０の付着に関しても、排気ガス５に対してリード部３ａ，３ｂの投影面積が最小化する効果がある。図１２には、本発明である第三の実施例の発熱センサ素子１を、内燃機関エンジンの吸気通路１６または排気還流路
２４に配置して長時間運転した後のオイルやカーボン等の汚れ１０の付着状況を示したものであり、大幅な改善効果が見られる。
【００５３】
図１３が、本発明を適用した第四の実施例であるガス流量計１７，２５の構成を示したものである。ここで用いられる発熱センサ素子１は、第一，第二、および第三の実施例のいずれの構成のものでかまわない。この実施例では、発熱センサ素子１の温度制御が上記の第一の実施例と異なっている。
【００５４】
図の吸気通路１６，２４内には、発熱センサ素子１とガス温度センサ素子２７が配置される。図３の第一の実施例では、発熱センサ素子１がガス温度センサ素子２７とブリッジ回路を構成していたが、本実施例では、ガス温度センサ素子２７が抵抗３２ｃと置き換わっている。この為、第一の実施例では、発熱センサ素子１の温度（Ｔｈ）がガス温度に対応するガス温度センサ素子２７の温度（Ｔｅ）よりある一定温度（ΔＴｈ＝Ｔｈ−Ｔｅ）高くなるようフィードバック制御されていたが、本実施例では、ガス温度（Ｔｅ）に関係無く一定のヒータ温度（Ｔｈ）に制御される。
【００５５】
この様に一定の発熱センサ素子１の温度（Ｔｈ）に制御することにより、ガス温度
（Ｔｅ）の温度変化が大きく変化した場合でも温度（Ｔｈ）が一定となることから過温度に発熱センサ素子１が加熱されることが無く不具合の発生が防止できる。また、発熱センサ素子１の温度（Ｔｈ）をガス温度（Ｔｅ）によらず常に４００℃以上の一定値に制御することによりカーボン等の浮遊物の付着を防止でき信頼性の高い構成が実現できる。
【００５６】
一方、一定の温度（Ｔｈ）に制御した場合には、質量流量の出力はガス温度（Ｔｅ）に強く依存する。このため、吸気通路１６，２４内にガス温度センサ素子２７を配置して、ガス温度（Ｔｅ）出力を端子３１ｃからコントロールユニット２１に取り込み発熱センサ素子１に流れる加熱電流（＝３１ｂの端子電圧）の出力補正を行う。
【００５７】
以上、いくつかの実施例について本発明を説明したが、本発明は上記実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形改良が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第一の実施例である発熱センサ素子である。
【図２】ＥＧＲ制御装置の説明図である。
【図３】第一の実施例であるガス流量計の構成説明図である。
【図４】第一の実施例である発熱センサ素子の温度分布である。
【図５】従来例の発熱センサ素子の温度分布である。
【図６】発熱センサ素子の温度分布の説明図である。
【図７】第一の実施例である発熱センサ素子の説明図である。
【図８】出力特性の説明図である。
【図９】第二の実施例である発熱センサ素子である。
【図１０】第二の実施例である発熱センサ素子の説明図である。
【図１１】第三の実施例である発熱センサ素子である。
【図１２】第三の実施例である発熱センサ素子の説明図である。
【図１３】第四の実施例であるガス流量計の構成説明図である。
【図１４】従来例である発熱センサ素子である。
【図１５】従来例である発熱センサ素子の断面図である。
【図１６】従来例である発熱センサ素子の説明図である。
【図１７】従来例である発熱センサ素子の説明図である。
【符号の説明】
【００５９】
１…発熱センサ素子、２…発熱素子部、３ａ，３ｂ…リード部、４ａ，４ｂ…固定部、５…排気ガス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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