(57)【要約】【課題】  遠心力により発生する非点収差等を打ち消すように、偏向部材を変形させることで非点収差を適正に補正して、高速、高画質な画像形成を可能とする光ビーム偏向器を提供する。【解決手段】  外形が略立方体状に形成され内部に対角線に沿った反射面３８を備えたプリズム状に構成した偏向部材４１の材料の線膨張係数と異なる線膨張係数を持つ材料で形成された、締結部材３９の各支持板４３を、偏向部材４１の両端面部にそれぞれ貼着して保持し、偏向部材４１の両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着したときの製作温度と異なる温度に設定することにより線膨張係数の相違で生じる変形量の差によって偏向部材４１の光ビームの入射面４１Ａと出射面４１Ｂとに歪を生じさせて、補正のための所要状態とした非点収差を作り、この補正用の非点収差によって、その他の要因によって偏向部材４１に生じた非点収差を打ち消す。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外形が略立方体状に形成され内部に対角線に沿った反射面を備えたプリズム状に構成した偏向部材と、
前記偏向部材の材料の線膨張係数と異なる線膨張係数を持つ材料で形成され、前記偏向部材の両端面部にそれぞれ支持板を貼着して保持する締結部材と、
前記締結部材を回転軸の先端に一体的に設置したモーターと、を有する光ビーム偏向器において、
前記偏向部材の両端面部に、それぞれ前記支持板を貼着したときの製作温度と異なる温度に設定し、前記偏向部材と前記各支持板との線膨張係数が異なることによる変形量の差によって前記偏向部材の光ビームの入射面と出射面とに生じた歪により、補正のための所要状態とした非点収差を生じさせ、当該補正用の非点収差によって、その他の要因によって偏向部材に生じた非点収差を打ち消すように構成したことを特徴とする光ビーム偏向器。
【請求項２】
前記回転軸の一部を加熱することにより、前記偏向部材の両端面部にそれぞれ前記支持板を貼着したものを、所要温度に加熱保持する温度制御手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載の光ビーム偏向器。
【請求項３】
前記偏向部材の両端面部にそれぞれ前記支持板を貼着したものを、前記製作温度より高温の所要の一定温度に加熱することにより、前記偏向部材の光ビームの前記入射面と前記出射面とをそれぞれシリンドリカル状の凹面に弾性変形させるように構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光ビーム偏向器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、レーザビームの走査光学系により円筒ドラム内面に配置した感光面を走査して露光処理するインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）等に用いて好適な、非点収差を補正可能とした光ビーム偏向器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、オフセット印刷には、感光性平版印刷版（いわゆるＰＳ版）が利用されている。また、この平版印刷の分野では、コンピュータ等のデジタルデータに基づいてレーザ露光処理をし、自動現像機で感光性平版印刷版上に形成された潜像を顕像に変換する現像処理をして直接印刷版を製版するＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｔｏ  Ｐｌａｔｅ）システムが実用化されている。
【０００３】
このようなＣＴＰシステムでは、円筒ドラムの内周面上に配置した記録媒体である感光性平版印刷版の感光面にレーザ等の光ビームを導いて走査露光処理を行うインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）が広く用いられている。
【０００４】
このインナードラム露光装置は、光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）としてのスピナーミラー装置を備える。このスピナーミラー装置は、高速で回転駆動されるスピナーミラーに、光源側の光学系からの集光ビームを反射させて、記録媒体の感光面上に対して主走査方向に偏向走査を行うと共に、副走査移動手段によってスピナーミラー部分を、インナードラム支持体の円弧中心軸の軸線方向に等速度で移動して副走査することにより、記録媒体の感光面の全面に露光処理を行う。
【０００５】
従来の光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）には、傾斜鏡（スピナーミラー）が高速で回転されるときの変形を補正するための波面収差補正手段を具備したスピンモ−タモジユ−ルが提案されている。この光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）では、光路に沿って開口を設けた円筒筐体の内部に、傾斜鏡を配置する。この傾斜鏡は、円筒筐体の中心線に対して角度４５度傾斜している。
【０００６】
この光ビーム偏向器では、入射光ビ−ムを円筒筐体の開口部から入光させ、傾斜鏡にて反射させる。反射光ビ−ムは、円筒筐体の側面に穿設された側開口部から出光し、記録媒体上に集光される。
【０００７】
この円筒筐体は、光ビ−ムを走査するために高速回転（１０，０００ｒｐｍ以上）されるので、傾斜鏡が遠心力で変形して光ビ−ム内に収差が発生する。
【０００８】
そこで、従来の光ビーム偏向器の波面収差補正手段では、高速回転される支持固定用のマウント部材である円筒筐体の内部に偏向部材（ミラー等）としての傾斜鏡を設置し、プリズム状の波面収差補正部材としての光平面ガラス板を円筒筐体の開口部に角度調整可能に装着し、この光平面ガラス板の傾斜鏡との相対的な角度を調整することによって、収差を解消する波面収差補正を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００９】
また、光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）には、偏向部材としてボールプリズム（内面反射プリズム）を利用したものがある。このようなボールプリズムを用いた光ビーム偏向器においては、ボールプリズムを高速回転するときの遠心力で、その反射面及び入出射面に歪を生じ、偏向方向とこれに垂直な方向での焦点位置が異なってしまう問題（非点収差）が発生し、露光面上でビームスポットを小さく維持する事が困難となり、画質が劣化するという問題があった。
【００１０】
この問題を回避する手段としては、前述した従来の光ビーム偏向器の波面収差補正手段を利用してボールプリズムに遠心力で発生する非点収差を打ち消すために光平面ガラス板を角度調整可能なようにボールプリズムの入射面側と出射面側とに装着する手段が考えられる。
【００１１】
しかし、この手段を利用する場合には、高精度に加工製造された光平面ガラス板や、光平面ガラス板をボールプリズムの入射面側と出射面側とに精密に角度調整可能に装着するための複雑で高価な構造が必要になる。また、従来の光ビーム偏向器の波面収差補正手段では、非点収差の発生量に応じて非点収差量を調整することが困難であった。
【特許文献１】米国特許番号５，７６８，００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上述の問題に鑑み、遠心力により発生する非点収差や内部に反射面を備えたプリズム状に構成した偏向部材の製造時にできた非点収差等を打ち消すように、偏向部材を変形させることで非点収差を適正に補正して、高速、高画質な画像形成を可能とする光ビーム偏向器を新たに提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の請求項１に記載の光ビーム偏向器は、外形が略立方体状に形成され内部に対角線に沿った反射面を備えたプリズム状に構成した偏向部材と、偏向部材の材料の線膨張係数と異なる線膨張係数を持つ材料で形成され、偏向部材の両端面部にそれぞれ支持板を貼着して保持する締結部材と、締結部材を回転軸の先端に一体的に設置したモーターと、を有する光ビーム偏向器において、偏向部材の両端面部に、それぞれ支持板を貼着したときの製作温度と異なる温度に設定し、偏向部材と各支持板との線膨張係数が異なることによる変形量の差によって偏向部材の光ビームの入射面と出射面とに生じた歪により、補正のための所要状態とした非点収差を生じさせ、当該補正用の非点収差によって、その他の要因によって偏向部材に生じた非点収差を打ち消すように構成したことを特徴とする。
【００１４】
上述のように構成することにより、光ビーム偏向器で走査露光処理を行う際に、偏向部材とこれを保持する締結部材との部分の温度を所定温度に制御することにより、偏向部材の線膨張係数と、締結部材の線膨張係数との相違により生じる偏向部材の弾性歪により発生する補正用の非点収差によって、例えば、モーターで偏向部材を回動したときの遠心力で発生する偏向部材の変形で生じる非点収差、又は偏向部材の加工製造時のひずみや製作誤差によって反射面に生じる非点収差等を、打ち消すようにして補正することができる。よって、簡素な構成で廉価に製造でき、しかも非点収差を補正して、高速、高画質な画像形成を可能とする光ビーム偏向器を提供できる。
【００１５】
請求項２に記載の発明は請求項１に記載の光ビーム偏向器において、回転軸の一部を加熱することにより、偏向部材の両端面部にそれぞれ支持板を貼着したものを、所要温度に加熱保持する温度制御手段を設けたことを特徴とする。
【００１６】
上述のように構成することにより、前述した請求項１に記載の発明の作用、効果に加えて、締結部材の近くに温度制御手段を配置して、適切な温度制御が可能となる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の光ビーム偏向器において、偏向部材の両端面部にそれぞれ支持板を貼着したものを、製作温度より高温の所要の一定温度に加熱することにより、偏向部材の光ビームの入射面と出射面とをそれぞれシリンドリカル状の凹面に弾性変形させるように構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の光ビーム偏向器によれば、遠心力により発生する非点収差や内部に反射面を備えたプリズム状に構成した偏向部材の製造時にできた非点収差等を打ち消すように、偏向部材を変形させることで非点収差を適正に補正して、高速、高画質な画像を形成可能とした光ビーム偏向器を容易かつ廉価に製造できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の光ビーム偏向器に関する実施の形態について、図１乃至図１０により説明する。本実施の形態に係わる光ビーム偏向器は、オフセット印刷用の感光性平版印刷版（いわゆるＰＳ版）を記録媒体とし、コンピュータ等のデジタルデータに基づいてレーザ露光処理をし、自動現像機で感光性平版印刷版上に形成された潜像を顕像に変換する現像処理をして直接印刷版を製版するＣＴＰシステムに用いて好適なものである。
【００２０】
図１及び図２には、本実施の形態に係る、光ビーム偏向器としての内面ドラム型画像形成装置（インナードラム露光装置）を備えたＣＴＰシステムの概略構成が示されている。
【００２１】
このＣＴＰシステムは、印刷版供給カセット２０の自動送給装置１０と、印刷版供給カセット内の感光性平版印刷版であるＰＳ版（記録媒体）２２を１枚づつ分離して供給する枚葉供給装置１２と、インナードラム露光装置１４と、バッファ装置１６と、現像処理装置１８とを備える。
【００２２】
このＣＴＰシステムでは、露光処理の対象とする記録媒体として、例えば薄いアルミニウム板である支持体上に感光材料を含有する画像記録層を形成したＰＳ版若しくはフォトポリマー版又は銀塩タイプの感光材料等を用いることができる。
【００２３】
このＣＴＰシステムにおける自動送給装置１０は、外部から作業員が搬入した複数の印刷版供給カセット２０をそれぞれ保管棚２４上に保管し、所要の印刷版供給カセット２０を枚葉供給装置１２へ供給する。
【００２４】
この枚葉供給装置１２は、供給された印刷版供給カセット２０の蓋を開放し、内部に収納されているＰＳ版２２の束を引き上げ機構２６で引き上げながら、分離ローラ２８で１枚づつ分離してインナードラム露光装置１４へ供給する。なお、この枚葉供給装置１２には、重ねられたＰＳ版２２の間に感光面保護のため挟み込まれた合紙３０を分離してストックする合紙除去部３２を備える。
【００２５】
図２及び図３に示すように、ＣＴＰシステムにおける光ビーム偏向器としてのインナードラム露光装置１４は、円弧内周面形状（円筒内周面の一部を構成する形状）の内面ドラム３４を母体として構成されており、この内面ドラム３４の内周面に沿ってＰＳ版２２を支持するようになっている。
【００２６】
このインナードラム露光装置１４では、図示しない真空吸着手段によって、未記録の記録媒体であるＰＳ版２２を内面ドラム３４の内周面に確実に密着させて沿わせた状態に保持してから露光処理を行う。
【００２７】
このインナードラム露光装置１４では、内面ドラム３４の円弧中心位置に、光ビーム偏向器としてのスピナーミラー装置３６を配設する。
【００２８】
図３及び図４に示すように、このスピナーミラー装置３６では、回転軸４０の先端に、ホルダ（マウント部材）である締結部材３９を一体的に設置し、この締結部材３９に偏向部材４１を取り付ける。
【００２９】
この偏向部材４１は、いわゆる内面反射プリズム、キュービックプリズムと称される、外形が略立方体状に形成され内部に対角線に沿った反射面３８を備えたプリズムとして構成するもので、例えば一般に市販されているいわゆるボールプリズムを用いることができる。
【００３０】
このインナードラム露光装置１４では、締結部材３９を略Ｕ字状に形成し、この締結部材３９における二股に分かれて立設された支持板４３を、相互に平行な矩形平板状に形成する。
【００３１】
この締結部材３９には、一対の支持板４３の間に、偏向部材４１を挟み込む状態で、偏向部材４１における反射面３８の端辺が対角線として横切っている相対向する側面を、それぞれ対応する支持板４３の内面に貼着して一体化する。
【００３２】
このインナードラム露光装置１４では、偏向部材４１を支持板４３に貼着するのに用いる接着剤として、エポキシ樹脂又は紫外線硬貨樹脂等を利用できる。
【００３３】
このスピナーミラー装置３６では、反射面３８を有する偏向部材４１をホルダ（マウント部材）である締結部材３９によって一体化した回転軸４０を、制御装置で制御される駆動源としてのモーター４５によって高速回転（例えば１０，０００ｒｐｍ以上）可能に構成する。このスピナーミラー装置３６では、回転軸４０の回転中心軸を内面ドラム３４の円弧中心軸と一致するように配置する。
【００３４】
このスピナーミラー装置３６では、光源側の光学系から投射された光ビームを、回動する偏向部材４１の反射面３８に反射させてＰＳ版２２の感光面に対して主走査方向への走査露光を行う。
【００３５】
このスピナーミラー装置３６は、副走査移動手段によって、内面ドラム３４の円弧中心軸の軸線方向（図２の表面から裏面に貫通する方向）に等速度で移動制御されることにより副走査する。
【００３６】
このため、スピナーミラー装置３６は、図示しない制御装置のスピナードライバによってそのモーター４５の回転制御がされると共に、副走査移動手段により副走査方向に移動制御されるように構成されている。
【００３７】
この副走査移動手段は、例えば図３に示すように、スピナーミラー装置３６を内面ドラム３４の円弧中心軸の軸線方向（副走査方向）に移動させる副走査ガイド機構と、このスピナーミラー装置３６が移動中に、偏向部材４１の反射面３８の回転中心を内面ドラム３４の円弧中心軸に一致させるように移動調整の制御をする位置制御手段とを有する。
【００３８】
このスピナーミラー装置３６の副走査ガイド機構は、リニアガイド機構５０と、ボールねじ送り機構５２とを具備する。
【００３９】
このリニアガイド機構５０は、インナードラム露光装置１４の内面ドラム３４における断面半円弧の円弧中心軸に沿った長手方向両端部に、それぞれ平行となるように配置する。
【００４０】
これら平行に配置されたリニアガイド機構５０には、スピナーミラー装置３６を中間に配置した支持フレーム５４を、橋渡すように装着し、支持フレーム５４に配置したスピナーミラー装置３６が、内面ドラム３４の円弧中心軸に沿って移動自在となるように構成する。
【００４１】
また、スピナーミラー装置３６を配置した支持フレーム５４は、その一端部を一方のリニアガイド機構５０から延出して、ボールねじ送り機構５２に接続する。このボールねじ送り機構５２は、送りねじ棒部材５６に移動子５８を螺挿し、送りねじ棒部材５６を図示しない回動制御機構によって回動操作することにより、移動子５８を移動操作するよう構成する。
【００４２】
このように構成されたスピナーミラー装置３６は、光源側の光学系から投射され画像情報に応じて変調された光ビームを、回動する反射面３８に反射させて主走査方向への走査露光を行いながら、スピナーミラー装置３６を副走査方向へ移動することによって、ＰＳ版２２の記録面（感光面）全面に対して２次元の画像を記録する処理を行う。
【００４３】
このＣＴＰシステムに設けるバッファ装置１６は、インナードラム露光装置１４で露光処理されたＰＳ版２２を、搬送速度を調整することによって所要のタイミングで現像処理装置１８へ搬入する機能を有する。
【００４４】
現像処理装置１８は、搬入されて来た露光済のＰＳ版２２に対する現像処理を行って潜像を顕像化し、印刷版の製版を完了する。
【００４５】
次に、上述のように構成されたスピナーミラー装置３６に設ける非点収差の補正を行う手段について説明する。
【００４６】
この非点収差の補正を行う手段は、スピナーミラー装置３６で走査露光処理を行う際に、偏向部材４１とこれを保持する締結部材３９との部分の温度を所定温度に制御することにより、偏向部材４１の線膨張係数と、締結部材３９の線膨張係数との相違により生じる偏向部材４１の弾性歪により発生する補正用の非点収差によって、モーター４５で偏向部材４１を回動したときの遠心力で発生する偏向部材４１の変形で生じる非点収差、又は偏向部材４１の加工製造時のひずみや製作誤差によって反射面３８に生じる非点収差を、打ち消すようにして補正する。
【００４７】
さらに、必要に応じて、偏向部材４１を回動したときの遠心力で発生する非点収差と、偏向部材４１の加工製造時のひずみや製作誤差によって生じる非点収差との組み合わせで複合的に生じる非点収差を補正可能なように非点収差の補正を行う手段を構成しても良い。
【００４８】
この非点収差の補正を行う手段では、走査露光の際に偏向部材４１を回動したときの遠心力で発生する非点収差量と、必要に応じて、偏向部材４１の加工製造時のひずみや製作誤差によって生じる非点収差量とを、それぞれ光学的な測定又は動的なシミュレーション等の非点収差量検出手段によって予め求めておく。
【００４９】
この図３及び図４に示す非点収差を補正する手段では、偏向部材４１の材料の線膨張係数と、支持板４３の材料の線膨張係数とが、異なるように構成する。この偏向部材４１は、光学ガラスを材料として構成する。また、支持板４３は、鉄又はアルミニュウム等の金属又はその他の材料で構成することができる。
【００５０】
この非点収差を補正する手段では、例えば偏向部材４１を光学ガラスで構成し、支持板４３を鉄で構成した場合に、光学ガラスよりも鉄の方が線膨張係数が大きいので、偏向部材４１の両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着して製造したときの製作温度よりも高い温度に加熱すると、偏向部材４１の両端面部に貼着された各支持板４３が偏向部材４１よりも大きくなるように変形するため、図５に示すように偏向部材４１が変形する。
【００５１】
すなわち、図５に示す製作温度よりも高い温度に加熱したときの偏向部材４１の変形状態では、偏向部材４１の入射面４１Ａと、偏向部材４１の出射面４１Ｂとがそれぞれシリンドリカル状の凹面となりシリンドリカル状の凹レンズを構成するように弾性変形する。
【００５２】
また、この加熱したときのシリンドリカル状の凹面の曲率半径は、製作温度よりも高い温度になるに連れて、シリンドリカル状の凹面の曲率半径が小さくなるという特性を有する。
【００５３】
また、偏向部材４１の両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着したものを、偏向部材４１の両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着して製造したときの製作温度よりも低い温度にしたときには、偏向部材４１の両端面部に貼着された各支持板４３が偏向部材４１よりも小さくなるように変形するため、図８に示すように偏向部材４１が変形する。
【００５４】
すなわち、図８に示す製作温度よりも低い温度にしたときの偏向部材４１の変形状態では、偏向部材４１の入射面４１Ａと、偏向部材４１の出射面４１Ｂとがそれぞれシリンドリカル状の凸面となりシリンドリカル状の凸レンズを構成するように弾性変形する。
【００５５】
また、冷却する等の手段で製作温度よりも低い温度にしたときにおけるシリンドリカル状の凸面の曲率半径は、製作温度よりも低い温度になるに連れて、シリンドリカル状の凸面の曲率半径が小さくなるという特性を有する。
【００５６】
よって、この非点収差を補正する手段では、モーター４５で偏向部材４１を回動したときの遠心力で偏向部材４１の反射面３８が、下に凸となるよう変形する状態である図６に示すようなシリンドリカルな凹面鏡（円筒内曲面の凹面鏡）となる場合、又は偏向部材４１の加工製造時のひずみや製作誤差によって反射面３８が図６に示す下に凸となるようなシリンドリカルな凹面鏡（円筒内曲面の凹面鏡）となる場合に生じる非点収差を、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１を製作温度よりも高い所定温度に設定することにより偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとをそれぞれ所定曲率半径を持つシリンドリカル状の凹面に弾性変形させて打ち消すようにして補正する。
【００５７】
すなわち、偏向部材４１を回動したときの遠心力又は加工製造時のひずみ等で偏向部材４１の反射面３８が図６に示すようなシリンドリカルな凹面鏡（円筒内曲面の凹面鏡）となる場合には、反射面３８の副走査方向（入射ビームに対して反射面３８が傾斜する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム５１を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム５１は、平面鏡で反射されて、比較的遠くの位置Ｌに合焦する。
【００５８】
このとき、図６に示すように、反射面３８の主走査方向（入射ビームに対して反射面３８が直交する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム５３を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム５３は、凹面鏡で反射されて、比較的近くの位置Ｍに合焦する。
【００５９】
そこで、この場合には、図５及び図７に示すように、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１を製作温度よりも高い所定温度に設定することにより偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとをそれぞれ所定曲率半径を持つシリンドリカル状の凹面に弾性変形させる。
【００６０】
またこの場合には、前述したように予め測定しておいた反射面３８の歪み量に対応して、適切に補正できる曲率半径をもつ入射面４１Ａと出射面４１Ｂとが現れるように、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１を製作温度よりも高い所定温度に設定する制御を行う。
【００６１】
これにより図７に示す非点収差を補正する手段の条件の場合には、反射面３８の主走査方向（入射ビームに対して反射面３８が直交する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム５３の光路上に、シリンドリカル状の凹面レンズの機能を有する入射面４１Ａと、出射面４１Ｂとが現れて、反射面３８の主走査方向に入射する仮想光ビーム５３の焦点位置を比較的近くの合焦位置Ｍから比較的遠くの合焦位置Ｌへ遠ざけることにより、反射面３８の副走査方向に入射する仮想光ビーム５１の焦点位置に一致させ、適正な露光処理ができるようになる。
【００６２】
また、偏向部材４１を回動したときの遠心力又は加工製造時のひずみ等で偏向部材４１の反射面３８が図９に示すような上に凸となるシリンドリカルな凸面鏡（円柱曲面の凸面鏡）となる場合には、反射面３８の副走査方向（入射ビームに対して反射面３８が傾斜する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム５１を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム５１は、平面鏡で反射されて、比較的近くの位置Ｍに合焦する。
【００６３】
このとき、図９に示すように、反射面３８の主走査方向（入射ビームに対して反射面３８が直交する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム５３を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム５３は、凸面鏡で反射されて、比較的遠くの位置Ｌに合焦する。
【００６４】
そこで、この場合には、図８及び図１０に示すように、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１を製作温度よりも低い所定温度に設定することにより偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとをそれぞれ所定曲率半径を持つシリンドリカル状の凸面に弾性変形させる。
【００６５】
またこの場合には、前述したように予め測定しておいた反射面３８の歪み量に対応して、適切に補正できる曲率半径をもつ入射面４１Ａと出射面４１Ｂとが現れるように、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１を製作温度よりも低い所定温度に設定する制御を行う。
【００６６】
これにより図１０に示す非点収差を補正する手段の条件の場合には、反射面３８の主走査方向（入射ビームに対して反射面３８が直交する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム５３の光路上に、シリンドリカル状の凸面レンズの機能を有する入射面４１Ａと、出射面４１Ｂとが現れて、反射面３８の主走査方向に入射する仮想光ビーム５３の焦点位置を比較的遠くの合焦位置Ｌから比較的近くの合焦位置Ｍへ近づけることにより、反射面３８の副走査方向に入射する仮想光ビーム５１の焦点位置に一致させ、適正な露光処理ができるようになる。
【００６７】
次に、図示しないが、この非点収差を補正する手段では、加工製造時のひずみや製作誤差等によって、偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとが、主走査方向（入射ビームに対して反射面３８が直交する方向）に湾曲するシリンドリカル状の凸面となっている場合に、これを補正することができる。
【００６８】
この場合には、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１を製作温度よりも高い所定温度に設定することにより偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとをそれぞれシリンドリカル状の凹面となるような方向に弾性変形させることにより、偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとが平面を形成して補正されるようにする。
【００６９】
また、図示しないが、この非点収差を補正する手段では、加工製造時のひずみや製作誤差等によって、偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとが、主走査方向（入射ビームに対して反射面３８が直交する方向）に湾曲するシリンドリカル状の凹面となっている場合にも、これを補正することができる。
【００７０】
この場合には、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１を製作温度よりも低い所定温度に設定することにより偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとをそれぞれシリンドリカル状の凸面となるような方向に弾性変形させることにより、偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとが平面を形成して補正されるようにする。
【００７１】
前述のように非点収差を補正する手段を用いたスピナーミラー装置３６で露光処理する場合には、ＰＳ版２２の感光面上にビームスポットを細く絞って露光処理するため焦点深度が短い場合でも、略全ての光ビームをビームスポットに良好に合焦させて、非点隔差の悪影響を受ける事無く高精度で画像を露光し、精細な画像を形成して画像品質を向上できる。
【００７２】
また、このスピナーミラー装置３６では、非点収差を補正する手段で非点収差を補正する操作を容易にするため、図３及び図４に示すように、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分に対する、温度制御手段４７を設ける。
【００７３】
この温度制御手段４７は、回転軸４０の一部を加熱又は冷却することにより、回転軸４０と一体の支持板４３と、この支持板４３に貼着された偏向部材４１との温度を所要の任意の温度に変更調整する温度制御を行えるように構成する。
【００７４】
この温度制御手段４７は、ヒータ、冷却器又はペルチェ素子等のいわゆる熱電素子を利用して構成することができる。
【００７５】
また、このスピナーミラー装置３６は、走査露光を行っているときに発熱して、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分が使用時の温度状態となる。
【００７６】
そこで、このスピナーミラー装置３６では、非点収差を補正する手段を、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分が使用時の温度状態となったときに、遠心力等で発生する非点収差が適正に補正がされる状態に構成することが、温度制御を最小限にする上で望ましい。
【００７７】
そこで、図５乃至図７に示すように、非点収差を補正する手段を、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分が加熱されることを条件として構成する場合には、偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとを非点収差を適正に補正する量に対応した曲率半径を持つシリンドリカル状の凹面に弾性変形させるための加熱温度差分だけ、使用時の温度から差し引いた値を、偏向部材４１の両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着して製造したときの製作温度として設定する。
【００７８】
このように非点収差を補正する手段を構成した場合には、スピナーミラー装置３６を使用状態に回動させて両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分が使用時の温度状態となったときに、偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとが適量の曲率半径を持つシリンドリカル状の凹面に弾性変形して、遠心力等で発生する非点収差を適正に補正する。
【００７９】
さらに、この場合には、スピナーミラー装置３６が駆動を開始したとき又は待機のため回動速度を低下させたときのように、スピナーミラー装置３６の両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分が使用時の温度以下となる際に、温度制御手段４７を動作して両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分を使用時の温度状態に維持すれば、温度上昇までの待ち時間を削減して露光処理を迅速に行えるようにできる。
【００８０】
また、この場合には、スピナーミラー装置３６のモーター４５及びその回転軸４０の軸受部分での発熱や、温度制御手段４７での発熱によって、その周囲の空気が加熱されてから、偏向部材４１に入射し反射される光ビームの光路上に漂い、空気中にできる温度勾配によって光ビームに揺らぎを生じることを防止するため、スピナーミラー装置３６における偏向部材４１側からモーター４５側へ吹き抜けるように送風して、光路上に当たる空気中に温度勾配が生じることを防止することが望ましい。
【００８１】
また、図８乃至図１０に示すように、非点収差を補正する手段を、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分の温度を低下させることを条件として構成する場合には、偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとを非点収差を適正に補正する量に対応した曲率半径を持つシリンドリカル状の凸面に弾性変形させるため温度降下させる温度差分だけ、使用時の温度に上乗せした値を、偏向部材４１の両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着して製造したときの製作温度として設定する。
【００８２】
すなわち、温度降下させる所定の温度差分だけ加熱した高温状態で偏向部材４１の両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着して製造しておき、スピナーミラー装置３６を使用状態に回動させて両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分が、製造時の高温状態と比較して所定の低温となる、使用時の温度状態で使用する。
【００８３】
このように非点収差を補正する手段を構成した場合には、スピナーミラー装置３６を使用状態に回動させて両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分が使用時の温度状態となったときに、偏向部材４１の入射面４１Ａと出射面４１Ｂとが適量の曲率半径を持つシリンドリカル状の凸面に弾性変形して、遠心力等で発生する非点収差を適正に補正する。
【００８４】
上述した非点収差を補正する手段では、偏向部材４１の両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着して製造する際の製作温度より高温とするか、低温とするかで非点収差の発生方向を切り替えられ、かつ製作温度からの温度差により非点収差量を任意に調整できる。
【００８５】
よって、この非点収差を補正する手段では、製作温度と異なる温度に、両端面部にそれぞれ支持板４３を貼着した偏向部材４１部分の温度を調整する事で、偏向部材４１の持つ非点収差および遠心力により発生する非点収差を打ち消すように任意の量の非点収差を発生させる事が出来、スピナーミラー装置３６で生じる非点収差を補正して、高速で高画質な画像形成を可能とする。
【００８６】
すなわち、この非点収差を補正する手段を利用したスピナーミラー装置３６では、集光される一部の光ビームだけしかＰＳ版２２の露光面上に焦点が合わず、他部分の光ビームの焦点が合わないような非点隔差を生じる状態となり露光形成された画像がボケて画像品質が低下するのを防止し、高画質な画像形成ができる。
【００８７】
また、この非点収差の補正を行う手段によれば、簡素な構成で、偏向部材４１や締結部材３９に何ら部材を追加することなく非点収差量を調整できるので、スピナーミラー装置３６を廉価に製造できる。
【００８８】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、その他種々の構成を取り得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の実施の形態に係る光ビーム偏向器を備えたＣＴＰシステムの概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るＣＴＰシステム内部の構成を示す概略説明図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るインナードラム露光装置の要部を取り出して示す要部斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器であるスピナーミラー装置の要部を示す概略分解斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器における両端面部にそれぞれ支持板を貼着した偏向部材部分を製作温度より加熱した状態を示す要部の説明図である。
【図６】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器における偏向部材の反射面が下に凸の状態となったときの非点収差の状態を示す要部の説明図である。
【図７】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器における偏向部材の反射面が下に凸の状態となったときの非点収差を、非点収差を補正する手段で補正する状態を示す要部の説明図である。
【図８】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器における両端面部にそれぞれ支持板を貼着した偏向部材部分を製作温度より冷却した状態を示す要部の説明図である。
【図９】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器における偏向部材の反射面が上に凸の状態となったときの非点収差の状態を示す要部の説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器における偏向部材の反射面が上に凸の状態となったときの非点収差を、非点収差を補正する手段で補正する状態を示す要部の説明図である。
【符号の説明】
【００９０】
１０  自動送給装置
１４  インナードラム露光装置
１８  現像処理装置
２２  ＰＳ版
３４  内面ドラム
３６  スピナーミラー装置
３８  反射面
３９  締結部材
４０  回転軸
４１  偏向部材
４１Ａ      入射面
４１Ｂ      出射面
４３  支持板
４５  モーター
４７  温度制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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