(57)【要約】【課題】  試料の観察したい部位に対する対物レンズの光軸位置を簡易かつ精度よく確認することを可能として、準備段階における試料に対する対物レンズの位置合わせ作業を迅速に行う。【解決手段】  第１の光源２と、該第１の光源２からの光Ｌ１を試料Ａにおいて走査させる光走査部３と、該光走査部３において走査させられた光Ｌ１を試料Ａに結像させる対物レンズ６と、試料Ａから発せられた戻り光Ｌ２を検出する光検出部９と、可視光Ｌ３を出射する第２の光源１２と、光走査部３と対物レンズ６との間に配置され、第２の光源１２から出射された可視光Ｌ３を対物レンズ６の光軸Ｃに沿って対物レンズ６に入射させる偏向光学素子１６と、該偏向光学素子１６により、対物レンズ６を介して試料Ａの表面に照射される第２の光源１２からの可視光Ｌ３を、対物レンズ６の光軸Ｃを指示可能なパターンＰ１〜Ｐ３に形成するビーム整形部１４とを備える走査型観察装置１を提供する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光源と、
該第１の光源からの光を試料において走査させる光走査部と、
該光走査部において走査させられた光を試料に結像させる対物レンズと、
試料から発せられた戻り光を検出する光検出部と、
可視光を出射する第２の光源と、
前記光走査部と前記対物レンズとの間に配置され、第２の光源から出射された可視光を対物レンズの光軸に沿って対物レンズに入射させる偏向光学素子と、
該偏向光学素子により、対物レンズを介して試料の表面に照射される第２の光源からの可視光を、対物レンズの光軸を指示可能なパターンに形成するビーム整形部とを備える走査型観察装置。
【請求項２】
前記偏向光学素子がミラーからなり、光走査部と対物レンズとの間に挿脱可能に設けられている請求項１に記載の走査型観察装置。
【請求項３】
前記偏向光学素子がハーフミラーからなる請求項１に記載の走査型観察装置。
【請求項４】
前記ビーム整形部が、第２の光源からの可視光のパターンを択一的に切替可能である請求項１から請求項３のいずれかに記載の走査型観察装置。
【請求項５】
前記第２の光源が、波長切替可能である請求項１から請求項４のいずれかに記載の走査型観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、走査型観察装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、走査型観察装置として、例えば、走査型レーザ顕微鏡が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
この走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光源から発せられたレーザ光を、近接ガルバノミラーを介して対物レンズによって試料に結像させることで、試料において２次元的に走査させる一方、試料において発生し、対物レンズ、近接ガルバノミラーを介して戻る蛍光をレーザ光から分岐して検出するようになっている。
【特許文献１】特開２０００−２７５５２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような走査型観察装置においては、対物レンズの光軸位置を試料の観察したい部位に位置合わせすることが困難であるという欠点がある。
すなわち、走査型観察装置を用いて試料を観察する場合、その準備段階において、試料の観察したい位置に対物レンズの位置を大まかに一致させるとともに、作動距離を考慮した大まかな間隔をあけて、対物レンズを試料に対向配置させる。しかしながら、光を出射しない準備段階においては、作業者が、試料の形状と対物レンズの形状とを手がかりとして勘を頼りに位置合わせ作業を行う必要がある。
【０００４】
また、準備段階において光を出射させたとしても、光源から照射される光は、近接ガルバノミラーによって試料において２次元的に走査されるため、時々刻々変化する光スポットから、対物レンズの光軸を特定することは困難である。特に、特許文献１のように、光源からの光がレーザ光である場合、レーザ光の波長が可視域にない場合には、上記と同様照射範囲を確認できず、可視域に存在する場合であっても、レーザ光特有のギラつきによって位置合わせ作業は困難である。さらに、試料に照射されたレーザ光を作業者が直接観察することは好ましくない。
【０００５】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、試料の観察したい部位に対する対物レンズの光軸位置を簡易かつ精度よく確認することを可能として、準備段階における試料に対する対物レンズの位置合わせ作業を迅速に行うことができ、観察段階において所望の画像を迅速に得ることができる走査型観察装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明は、第１の光源と、該第１の光源からの光を試料において走査させる光走査部と、該光走査部において走査させられた光を試料に結像させる対物レンズと、試料から発せられた戻り光を検出する光検出部と、可視光を出射する第２の光源と、前記光走査部と前記対物レンズとの間に配置され、第２の光源から出射された可視光を対物レンズの光軸に沿って対物レンズに入射させる偏向光学素子と、該偏向光学素子により、対物レンズを介して試料の表面に照射される第２の光源からの可視光を、対物レンズの光軸を指示可能なパターンに形成するビーム整形部とを備える走査型観察装置を提供する。
【０００７】
本発明によれば、第１の光源から発せられた光が光走査部により走査され、対物レンズを介して試料に照射される。これにより、第１の光源からの光は試料において所定範囲にわたって逐次照射され、その照射範囲から戻る戻り光が、対物レンズ、光走査部を介して光検出部により検出されることで、試料の２次元的な画像を取得することができる。
【０００８】
この場合に、観察に先立つ準備段階において、第１の光源を作動させることなく第２の光源を作動させると、第２の光源から発せられた可視光が偏向光学素子により対物レンズに入射され、試料に照射される。第２の光源からの可視光はビーム整形部によって対物レンズの光軸を指示可能なパターンに形成されているので、作業者は、試料の表面に照射された可視光のパターンを見ることで、対物レンズの光軸位置を簡易に特定することができる。
【０００９】
そして、対物レンズに対する試料の相対位置を対物レンズの光軸に交差する方向に移動させ、試料表面上の可視光のパターンを試料の観察したい部位に一致させることで、対物レンズの光軸位置を適正に位置あわせすることができる。また、試料の表面上における可視光のパターンの鮮明さを修正するように対物レンズと試料との間隔を調節することで、試料に対して対物レンズを適正な作動距離に配置することが可能となる。
【００１０】
そして、このようにして、準備段階が終了した後には、第２の光源の作動を停止して第１の光源を作動させ、偏向光学素子を光走査部と対物レンズとの間から取り外し、あるいは、偏向光学素子を透過させて、第１の光源からの光を対物レンズを介して試料に照射させることにより、試料における観察したい部位を迅速に観察することができる。
【００１１】
上記発明においては、前記偏向光学素子がミラーからなり、光走査部と対物レンズとの間に挿脱可能に設けられていることが好ましい。
このようにすることで、第２の光源からの可視光を試料に入射させる準備段階においては、ミラーからなる偏向光学素子を光走査部と対物レンズとの間に挿入して、第２の光源からの走査されていない固定された光を試料に照射させて、対物レンズの位置合わせ作業を容易にすることができる。また、第１の光源からの光を試料に入射させる観察段階においては、偏向光学素子を光走査部と対物レンズとの間から抜き出すことにより、第１の光源からの走査された光を試料に入射させ、試料から戻る戻り光を偏向光学素子によって損失させることなく光検出部により検出することができる。
【００１２】
また、上記発明においては、前記偏向光学素子がハーフミラーからなることとしてもよい。
このようにすることで、偏向光学素子を光走査部と対物レンズとの間に挿入配置したままの状態で、第１の光源からの光および第２の光源からの光を試料に入射させることができる。この場合において、第２の光源からの光を試料に入射させる準備段階においては、第１の光源の作動を停止して光走査部を作動させることで、第２の光源からの光の試料表面における像を光検出部に検出させることができる。その結果、例えば、光検出部による検出信号に基づいて構築された画像を見ながら、光走査部による走査範囲の調節を行うことが可能となる。
【００１３】
また、上記発明においては、前記ビーム整形部が、第２の光源からの可視光のパターンを択一的に切替可能であることとしてもよい。
このようにすることで、試料表面の形態に適合するパターンに選択的に切り替えて、可視光を照射することができる。これにより、対物レンズと試料との位置合わせをより容易にして、より迅速に観察を開始することが可能となる。
【００１４】
さらに、上記発明においては、前記第２の光源が、波長切替可能であることとしてもよい。
このようにすることで、試料表面の色彩に適合する波長の可視光を照射することができる。種々の試料においてその表面の色彩が異なる場合に、同一の波長の可視光では、試料表面上における第２の光源の像の見易さが相違する。したがって、試料表面の色彩に合わせて、光源の像が際立つ波長の可視光を照射させることにより、対物レンズと試料との位置合わせをより容易にして、より迅速に観察を開始することが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、第２の光源からの光走査部を介しない固定された可視光を試料の表面に照射することにより、試料上に形成される第２の光源の像を手がかりとして対物レンズの光軸と試料の観察したい部位との位置合わせを簡易かつ正確に行うことができる。その結果、観察準備に要する時間を削減し、全体として、迅速に所望の観察画像を得ることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の第１の実施形態に係る走査型観察装置１について、図１〜図３を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る走査型観察装置１は、図１に示されるように、レーザ走査型蛍光顕微鏡装置であって、レーザ光Ｌ１を出射するレーザ光源（第１の光源）２と、レーザ光源２から発せられたレーザ光Ｌ１を２次元的に走査するスキャナ（光走査部）３と、スキャナ３により走査されたレーザ光Ｌ１を集光して中間像を結像させる瞳投影レンズ４と、中間像を結像したレーザ光Ｌ１を集光して略平行光に変換する結像レンズ５と、該結像レンズ５により集光されたレーザ光Ｌ１を試料Ａに再結像させる対物レンズ６とを備えている。
【００１７】
スキャナ３は、例えば、相互に直交する方向に配される２つの軸線回りにそれぞれ揺動可能に設けられたガルバノミラー３ａ，３ｂを対向配置してなる、いわゆる近接ガルバノミラーにより構成されている（図１では、ガルバノミラー３ａ，３ｂを模式的に示している。）。また、対物レンズ６は、例えば、低倍率の対物レンズ６であって、試料Ａとの間に比較的大きな作動距離を必要とするものである。
【００１８】
また、本実施形態に係る走査型観察装置１は、試料Ａに含有されている蛍光物質がレーザ光Ｌ１により励起されることで発生し、対物レンズ６、結像レンズ５、瞳投影レンズ４、スキャナ３を介して戻る蛍光Ｌ２をレーザ光Ｌ１から分岐するダイクロイックミラー７と、分岐された蛍光Ｌ２を集光する集光レンズ８と、集光された蛍光Ｌ２を検出する光検出器（光検出部）９と、光検出器９において光電変換されて発生した電気信号Ｓ１を処理して画像信号Ｓ２を構成する信号処理装置１０と、構成された画像信号Ｓ２を表示するモニタ１１とを備えている。
【００１９】
光検出器９は、例えば、０次元の光電子増倍管（ＰＭＴ：Photomultiplier Tube）である。したがって、光検出器９は、各瞬間に検出される蛍光Ｌ２の光量に比例した電気信号Ｓ１を出力する。信号処理装置１０は、光検出器９から出力される電気信号Ｓ１から蛍光Ｌ２の光量を特定し、スキャナ３から送られてくる各ガルバノミラー３ａ，３ｂの角度情報に基づいて、各瞬間における蛍光Ｌ２の試料Ａ上の位置を特定し、これらの情報を組み合わせることで、蛍光画像信号Ｓ２を構築するようになっている。
【００２０】
さらに、本実施形態に係る走査型観察装置１は、可視光Ｌ３を発生する可視光源１２と、発生した可視光Ｌ３をスリット１３に通過させることで所望のパターンの可視光ビームＬ４に整形するビーム整形手段１４と、整形された可視光ビームＬ４を平行光に変換するコリメートレンズ１５と、結像レンズ５と対物レンズ６との間の光軸Ｃ上に挿入された状態で、平行光からなる可視光ビームＬ４を偏向して、対物レンズ６の光軸Ｃに沿って対物レンズ６に入射させるミラー１６とを備えている。
【００２１】
ビーム整形手段１４は、例えば、図２（ａ）〜（ｃ）に示されるように複数のパターンＰ１〜Ｐ３のスリット１３を有する複数のスリット板１７を備えるターレット１８と、そのターレット１８を回転させるモータ１９とから構成されている。モータ１９の作動によりターレット１８を回転させてパターンＰ１〜Ｐ３を択一的に選択することによ、所望のパターンＰ１〜Ｐ３を有する可視光ビームＬ４を整形することができるようになっている。
【００２２】
例えば、図２（ａ）のパターンＰ１は、交差する２つの直線からなる十字状のパターンＰ１であり、交差点上に対物レンズ６の光軸Ｃが一致するように設定しておくことにより、準備作業を行う作業者は、試料Ａ上に結像された可視光ビームＬ４の像の交差点によって、対物レンズ６の光軸Ｃ位置を簡易かつ精度よく確認することができるようになっている。また、図２（ｂ）のパターンＰ２は、円形状のパターンＰ２であり、パターンＰ２の中心に対物レンズ６の光軸Ｃが一致するように設定しておくことにより、作業者は、試料Ａ上に結像された可視光ビームＬ４の像の中心位置に、対物レンズ６の光軸Ｃが配されていることを確認することができるようになっている。
【００２３】
また、図２（ｃ）のパターンＰ３は、矢印形状のパターンＰ３であり、矢印の先端に対物レンズ６の光軸Ｃが一致するように設定しておくことで、矢印形状のパターンＰ３によって対物レンズ６の光軸Ｃ位置を指示することができるようになっている。
したがって、作業者は、各パターンＰ１〜Ｐ３の可視光ビームＬ４によって指示された対物レンズ６の光軸Ｃ位置に観察したい部位が一致するように、対物レンズ６と試料Ａとの相対位置関係を調節することにより、簡易かつ精度よく、試料Ａに対する対物レンズ６の位置合わせを行うことができるようになっている。
【００２４】
ミラー１６は、図１に矢印で示されるように、結像レンズ５と対物レンズ６との間の光軸Ｃ上に挿脱可能に設けられている。可視光源１２を作動させて可視光ビームＬ４を試料Ａに入射させるときには、図１に実線で示されるように、結像レンズ５と対物レンズ６との間の光軸Ｃ上に挿入され、レーザ光源２を作動させてレーザ光Ｌ１を試料Ａに入射させるときには、鎖線で示されるように、結像レンズ５と対物レンズ６との間の光軸Ｃ上から取り外されるようになっている。
【００２５】
このように構成された本実施形態に係る走査型観察装置１の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係る走査型観察装置１を用いて試料Ａの観察を行うには、まず、準備段階において、対物レンズ６を試料Ａに対して位置合わせする。
【００２６】
この場合、レーザ光源２を停止した状態で、可視光源１２を作動させるとともに、ミラー１６を結像レンズ５と対物レンズ６との間の光軸Ｃ上に挿入する。また、モータ１９の作動により、ターレット１８を回転させて、所望のパターンＰ１〜Ｐ３のスリット１３を有するスリット板１７を選択する。これにより、可視光源１２から発せられた可視光Ｌ３は、スリット板１７を通過させられることによって、所望のパターンＰ１〜Ｐ３の可視光ビームＬ４に整形され、コリメートレンズ１５によって平行光とされて、ミラー１６に入射される。ミラー１６は結像レンズ５と対物レンズ６との間の光軸Ｃ上に挿入されているので、可視光ビームＬ４は、偏向されて対物レンズ６に入射され、対物レンズ６によって、試料Ａの表面上に結像される。
【００２７】
例えば、スリット板１７として、図２（ａ）に示される形態のスリット１３を有するものを選択した場合、図３に示されるように、試料Ａの表面上には、十字状の像Ｂが結像される。作業者は、試料Ａの表面上に結像した十字状の可視光ビームＬ４の像Ｂを見ながら、試料Ａに対して対物レンズ６を含む走査型観察装置１全体を移動させ、あるいは、試料Ａを搭載したステージを水平方向に移動させることで、実線で示される試料Ａ上の観察したい部位Ｄが、鎖線で示されるように可視光ビームＬ４の像Ｂに一致するように調節することができる。
【００２８】
可視光ビームＬ４の像Ｂにおける２本の直線の交差点には対物レンズ６の光軸Ｃが一致するように調節されているので、可視光ビームＬ４の像Ｂを観察したい部位Ｄに一致させることで、観察したい部位Ｄを観察範囲の中央に簡単に設置することができる。また、試料Ａの表面上における可視光ビームＬ４の像Ｂが不鮮明な場合には、対物レンズ６と試料Ａとの間隔が作動距離に一致していないので、試料Ａに対して対物レンズ６を光軸Ｃ方向に移動させ、可視光ビームＬ４の像Ｂが最も鮮明となる位置に設定することにより、対物レンズ６から出射される可視光ビームＬ４の結像位置を試料Ａの表面に一致させることができる。
これにより、試料Ａの観察したい部位Ｄに対物レンズ６の光軸Ｃを一致させ、かつ、対物レンズ６と試料Ａとの間隔を作動距離に一致させることができ、準備段階が終了する。
【００２９】
次に、試料Ａを観察するために、可視光源１２の作動を停止し、ミラー１６を結像レンズ５と対物レンズ６との間から取り外す。この状態で、レーザ光源２、スキャナ３および光検出器９を作動させ、レーザ光源２から発せられたレーザ光Ｌ１を試料Ａ上において走査させる。これにより、試料Ａにおいて蛍光物質が励起されて蛍光Ｌ２が発生し、発生した蛍光Ｌ２が光検出器９により検出され、信号処理装置１０において蛍光画像信号Ｓ２が形成されてモニタ１１に表示されることになる。
【００３０】
本実施形態に係る走査型観察装置２によれば、準備段階において、対物レンズ６の光軸Ｃが試料Ａの観察したい部位Ｄに正確に一致させられているので、観察段階においては、迅速に観察したい蛍光画像を取得することができる。したがって、準備段階から含めた全観察工程に要する時間を短縮することができる。また、走査型観察装置１が共焦点顕微鏡である場合には、準備段階終了時点で、対物レンズ６によるレーザ光Ｌ１の結像位置が試料Ａの表面に一致するように設定されるので、その位置を基準として、対物レンズ６を光軸Ｃ方向に移動させることにより、所望の深さ位置の蛍光画像を取得することが可能となる。
【００３１】
また、本実施形態に係る走査型観察装置１によれば、複数のパターンＰ１〜Ｐ３のスリット板１７がターレット１８に取り付けられているので、準備段階において、試料Ａの表面に結像される可視光ビームＬ４の像Ｂがその試料Ａに対して適合していない場合には、モータ１９の作動によりターレット１８を回転させて、最も適したパターンＰ１〜Ｐ３を選択することができる。例えば、図２（ａ）に示される十字状のパターンＰ１のように、交差点によって直接的に対物レンズ６の光軸Ｃ位置を指示するパターンＰ１では、試料Ａの表面形状が、その交差点の位置において複雑な形状をしている場合には像Ｂが乱れてしまうため、図２（ｂ）に示されるように、観察位置を取り囲む円形のパターンＰ２によって、間接的に対物レンズ６の光軸Ｃ位置を指示する方がよい場合もある。
【００３２】
なお、本実施形態においては、可視光源１２からの可視光Ｌ３を整形するだけで、そのまま試料Ａに照射することとしたが、これに代えて、異なる波長の可視光Ｌ３を出射可能な複数の可視光源１２を切替可能に設けて、試料Ａの表面の色彩に合わせて、可視光源１２を切り替えることにしてもよい。このようにすることで、試料Ａの表面上に形成される可視光ビームＬ４の像Ｂを際立たせて、対物レンズ６の光軸Ｃの位置合わせ作業を容易にすることができる。例えば、試料Ａの表面が赤色の場合に、赤色の可視光ビームＬ４を照射したのでは、試料Ａの表面上に形成される可視光ビームＬ４の像Ｂを識別できないので、緑色等の際立つ波長の可視光を出射する可視光源１２に切り替えることが好ましい。
【００３３】
次に、本発明の第２の実施形態に係る走査型観察装置２０について、図４および図５を参照して以下に説明する。
なお、本実施形態の説明において、上述した第１の実施形態に係る走査型観察装置１と構成を共通とする箇所に同一符号を付して説明を省略する。
本実施形態に係る走査型観察装置２０は、偏向光学素子として、第１の実施形態に係る走査型観察装置１のミラー１６に代えて、図４に示されるように、ハーフミラー２１を結像レンズ５と対物レンズ６との間に固定配置した点において、第１の実施形態と相違している。
【００３４】
このように構成された本実施形態に係る走査型観察装置２０の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係る走査型観察装置２０によれば、準備段階において、レーザ光源２を停止し、可視光源１２を作動させて、所定のパターンＰ１〜Ｐ３に整形された可視光ビームＬ４を出射すると、ハーフミラー２１によって対物レンズ６の光軸Ｃ方向に偏向された可視光ビームＬ４が、対物レンズ６によって試料Ａの表面に結像される。作業者が試料Ａ上の可視光ビームＬ４の像Ｂを見ながら対物レンズ６の光軸Ｃを試料Ａの観察したい部位Ｄに一致させるように調節できることは第１の実施形態と同様である。
【００３５】
本実施形態に係る走査型観察装置２０によれば、準備段階において、スキャナ３、光検出器９、信号処理装置１０およびモニタ１１を作動させておくことにより、試料Ａの表面において結像された可視光ビームＬ４が反射して対物レンズ６に戻り、ハーフミラー２１を透過して、結像レンズ５、瞳投影レンズ４、スキャナ３、ダイクロイックミラー７および集光レンズ８を介して光検出器９により検出され、信号処理装置１０によって生成された可視光Ｌ３の画像がモニタ１１に表示されることになる。
【００３６】
すなわち、図５に実線で示されるように、モニタ１１上において、可視光ビームＬ４の試料Ａ表面上の像Ｂを拡大して観察することができる。このとき、試料Ａ表面上の像Ｂが、図５に実線で示されるように、モニタ１１上においてずれている場合には、スキャナ３による走査範囲に対して、対物レンズ６の光軸Ｃがずれていることになる。したがって、スキャナ３を構成する各ガルバノミラー３ａ，３ｂの揺動角度範囲を調節することにより、鎖線で示されるように、走査範囲のほぼ中心に対物レンズ６の光軸Ｃ位置を一致させることができる。これにより、準備段階が終了する。
【００３７】
この後に、可視光源１２を停止してレーザ光源２を作動させることにより、レーザ光Ｌ１を試料Ａ上で走査させて、蛍光画像を得ることができる。得られた蛍光画像は、対物レンズ６の光軸Ｃをほぼ中心とした走査範囲に対応する試料Ａ表面の蛍光画像であり、試料Ａの観察したい部位Ｄを中心に配置した所望の蛍光画像となる。
【００３８】
このように、本実施形態に係る走査型観察装置２０によれば、準備段階において、可視光ビームＬ４の像Ｂによって、試料Ａの観察したい部位Ｄに対物レンズ６の光軸Ｃ位置を一致させた上で、対物レンズ６の光軸Ｃ位置に対してスキャナ３による走査範囲を調節することができ、観察段階において観察したい部位Ｄを含む所望の画像を迅速に取得することができる。
【００３９】
なお、上記各実施形態においては、第１の光源としてレーザ光源２を採用したが、これに代えて、他の任意の光源を使用してもよい。すなわち、励起光を出射する励起光源でもよく、ハロゲンランプと励起光フィルタとの組み合わせからなる光源であってもよい。また、励起光を照射して蛍光を得る蛍光観察装置に限定されるものではない。
【００４０】
また、ビーム整形手段１４のスリット板１７として、図２に示すパターンＰ１〜Ｐ３のスリット１３を有するものを例示したが、これに代えて、他の任意のパターンのスリット１３を有するものを採用してもよい。この場合、対物レンズ６の光軸Ｃ位置を直接的または間接的に指示する形態のものであれば、どのような形態でもよい。また、スリット１３に限定されることなく、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）により、所定のパターンＰ１〜Ｐ３を有する可視光ビームＬ４を生成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る走査型観察装置を示す全体構成図である。
【図２】図１の走査型観察装置のビーム整形手段により生成される可視光ビームのパターン例を示す図である。
【図３】図１の走査型観察装置の対物レンズと試料および試料に結像された可視光ビームの像の一例を示す斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る走査型観察装置を示す全体構成図である。
【図５】図４の走査型観察装置のモニタに表示された可視光ビームの像を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
Ａ  試料
Ｃ  光軸
Ｌ１  レーザ光（光）
Ｌ２  蛍光（戻り光）
Ｌ３  可視光
Ｐ１〜Ｐ３  パターン
１，２０  走査型観察装置
２  レーザ光源（第１の光源）
３  スキャナ（光走査部）
６  対物レンズ
９  光検出器（光検出部）
１２  可視光源（第２の光源）
１４  ビーム整形手段（ビーム整形部）
１６  ミラー（偏向光学素子）
２１  ハーフミラー（偏向光学素子）
【図１】
2006267432.tif 000003
【図２】
2006267432.tif 000004
【図３】
2006267432.tif 000005
【図４】
2006267432.tif 000006
【図５】
2006267432.tif 000007