(57)【要約】      （修正有）【課題】保存時に窒素ガスの発生量が小さい着色感光性組成物に用いられる染料の提供。【解決手段】下記化学式に代表される特定構造を有する染料。2006008789.tif 000034［式中、Ｌは、水素原子または一価の陽イオンを表す。］【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
式（Ｉ）〜式（Ｖ）のいずれかで表される染料。
2006008789.tif 000031
［式（Ｉ）〜式（Ｖ）中、Ｍは、クロム、コバルト、ニッケル、銅および鉄からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を表す。
Ａは、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基またはナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基を表す。
Ｅは、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基、ナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基またはピラゾロン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のピラゾロン環残基を表す。
Ｘ、Ｘ’、ＺおよびＺ’は、それぞれ独立に、−Ｏ−基または−ＣＯＯ−基を表す。
Ｇは、炭素数１〜６のアルキレン基、炭素数１〜６のアルケニレン基、炭素数１〜６のアルキニレン基または芳香環上の水素原子が置換されていてもよい炭素数６〜１２の二価の芳香族残基を表す。
Ｒは、炭素数１〜４のアルキレン基、炭素数１〜６のアルケニレン基、炭素数１〜６のアルキニレン基または芳香環上の水素原子が置換されていてもよい炭素数６〜１２の二価の芳香族残基を表す。］
【請求項２】
ＺとＺ’との組合せが、−Ｏ−基と−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基と−ＣＯＯ−基、−Ｏ−基と−ＣＯＯ−基または−ＣＯＯ−基と−Ｏ−基である請求項１に記載の染料。
【請求項３】
ＸとＸ’との組合せが、−Ｏ−基と−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基と−ＣＯＯ−基、−Ｏ−基と−ＣＯＯ−基または−ＣＯＯ−基と−Ｏ−基である請求項１または２に記載の染料。
【請求項４】
式（ＩＩＩ）で表される染料が、式（１３）で表される染料である請求項１〜３のいずれかに記載の染料。
2006008789.tif 000032
［式（１３）中、Ｌは、水素原子または一価の陽イオンを表す。］
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の染料、ｏ−ナフトキノンジアジド化合物を含む感光剤、硬化剤および溶剤を含む着色感光性組成物。
【請求項６】
さらに式（ＶＩ）で表される染料を含む請求項５に記載の着色感光性組成物。
2006008789.tif 000033
［式（ＶＩ）中、Ｒ30は、炭素数２〜１０のアルキル基を表す。
Ｒ31、Ｒ32、Ｒ34は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、ヒドロキシル基またはシアノ基を表す。ただし、Ｒ31およびＲ34のどちらか一方は、ヒドロキシル基を表す。
Ｒ33は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。］
【請求項７】
さらにアルカリ可溶性樹脂を含む請求項５または６に記載の着色感光性組成物。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれかに記載の着色感光性組成物を用いて形成されたカラーフィルタ。
【請求項９】
請求項８に記載のカラーフィルタを具備するイメージセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、染料、該染料を含む着色感光性組成物、該着色感光性組成物を用いたカラーフィルタおよび該カラーフィルタを具備するイメージセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、各画素で各色の波長範囲の光のみを選択的に透過し、選択された波長範囲以外の可視光を確実に遮蔽する透過光の選択性能が要求される。そして、カラーフィルタでは各色画素パターンは、充分な色濃度が必要である。また、液晶表示素子やイメージセンサの使用時の耐久性として、熱や光による変褪色が小さいことが必要とされる。
これら熱や光による変褪色が小さい色素として、顔料、含金属フタロシアニン染料、含金アゾ染料、アントラキノン染料およびピラゾロンアゾ染料などが用いられてきた。
そして、このような色素を用いるカラーフィルタの製造には、感光性組成物に、顔料や染料などの色素を含有させた着色感光性組成物を用いてフォトリソグラフィー法により製造する方法が開発されてきた（例えば、特許文献１〜２など参照。）。これらのカラーフィルタの製造方法によれば、顔料や染料などの色素によって、光の三原色（赤色、緑色および青色）にそれぞれ着色した微細なパターン領域の集合体であるカラーフィルタが形成される。
しかし、顔料を用いて形成したカラーフィルタは、顔料の粒子のためにカラーフィルタの光の透過率が小さくなることや、パターン形成後の現像溶解部に顔料残渣が残って、その顔料残渣上に隣接して形成される色のパターンを形成するので、得られるパターンにおいて混色が生じて、目的とする透過光の選択性が得られないという問題点があった。
また、染料を用いて形成したカラーフィルタでは、熱や光による変褪色が大きいことが問題点であった。この問題点を解決するために、染料としてＣ．Ｉ．ソルベント・オレンジ５６などの含金アゾ染料を用いることが知られている。
【０００３】
【特許文献１】特開平２−１２７６０２号公報  １８頁左下欄６行目〜２１頁左下欄６行目
【特許文献２】特開２００２−１４２２０号公報  ２頁右欄２５行目〜３頁右欄２８行目
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、本願発明者らは、含金アゾ染料と感光剤としてｏ−ナフトキノンジアジド化合物を含む着色感光性樹脂組成物を長期にわたり保存していると、ｏ−ナフトキノンジアジド化合物が分解して、窒素ガスが発生することを見出し、これにより保存容器内の内圧が高くなる可能性のあることを見出した。
本発明の目的は、保存時に窒素ガスの発生量が小さい着色感光性組成物に用いられる染料を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、前記課題を解決するべく、鋭意検討の結果、特定の染料を用いることで、上記の課題を解決しうることを見出した。
すなわち本発明は、［１］式（Ｉ）〜式（Ｖ）のいずれかで表される染料を提供する。
【０００６】
2006008789.tif 000002
【０００７】
［式（Ｉ）〜式（Ｖ）中、Ｍは、クロム、コバルト、ニッケル、銅および鉄からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を表す。
Ａは、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基またはナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基を表す。
Ｅは、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基、ナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基またはピラゾロン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のピラゾロン環残基を表す。
Ｘ、Ｘ’、ＺおよびＺ’は、それぞれ独立に、−Ｏ−基または−ＣＯＯ−基を表す。
Ｇは、炭素数１〜６のアルキレン基または芳香環上の水素原子が置換されていてもよい炭素数６〜１２の二価の芳香族残基を表す。
Ｒは、炭素数１〜４のアルキレン基または芳香環上の水素原子が置換されていてもよい炭素数６〜１２の二価の芳香族残基を表す。］
【０００８】
また本発明は、［２］前記の染料、ｏ−ナフトキノンジアジド化合物を含む感光剤、硬化剤および溶剤を含む着色感光性組成物、［３］前記の着色感光性組成物を用いて形成されたカラーフィルタならびに［４］前記のカラーフィルタを具備するイメージセンサを提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の染料を用いて着色感光性組成物を調製すると、貯蔵安定性が良好となり、さらに、該染料を用いた着色感光性組成物によれば、これらの染料を用いることでカラーフィルタの光褪色が小さく、また、着色感光性組成物を室温で保存中に窒素ガスの発生を抑制することができ、そのカラーフィルタパターン形成における性能変化、特に現像工程前後のカラーフィルタ膜厚変化を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の染料は、式（Ｉ）〜式（Ｖ）のいずれかで表される染料である。
【００１１】
2006008789.tif 000003
【００１２】
［式（Ｉ）〜式（Ｖ）中、Ｍは、クロム、コバルト、ニッケル、銅および鉄からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属原子を表す。
Ａは、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基またはナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基を表す。
Ｅは、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基、ナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基またはピラゾロン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のピラゾロン環残基を表す。
Ｘ、Ｘ’、ＺおよびＺ’は、それぞれ独立に、−Ｏ−基または−ＣＯＯ−基を表す。
Ｇは、炭素数１〜６のアルキレン基または芳香環上の水素原子が置換されていてもよい炭素数６〜１２の二価の芳香族残基を表す。
Ｒは、炭素数１〜４のアルキレン基または芳香環上の水素原子が置換されていてもよい炭素数６〜１２の二価の芳香族残基を表す。］
【００１３】
Ｍのうち、好ましくは、クロム、ニッケル、銅が挙げられ、より好ましくはクロムが挙げられる。
【００１４】
式（Ｉ）〜式（Ｖ）中、Ａで表される、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基およびナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基としては、具体的には下式の構造が挙げられる。
【００１５】
ただし、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基またはナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基とＸ基およびアゾ結合の窒素原子への結合位置の関係を明確に表すため、以下ではベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基またはナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基のＸ基およびアゾ結合の窒素原子への結合位置の部分とを共に示す。
【００１６】
2006008789.tif 000004
【００１７】
［式中、Ｌは、水素原子または一価の陽イオンを表す。
Ｘは、前記と同じ意味を表す。］
【００１８】
式（Ｉ）〜式（Ｖ）中のＡで表される、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基およびナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基として、好ましくはベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよいベンゼン環残基であり、中でもより好ましくはＸが酸素原子を表す下式の構造が挙げられる。
ただし、下式の構造においては、Ｘ基である酸素原子とアゾ結合の窒素原子への結合位置の部分とを共に示す。
【００１９】
2006008789.tif 000005
【００２０】
［式中、Ｌは、前記と同じ意味を表す。］
【００２１】
式（Ｉ）〜式（Ｖ）中、Ｅで表される、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基、ナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよいナフタレン環残基およびピラゾロン環上の水素原子が置換されていてもよいピラゾロン環残基としては、具体的には下式の構造が挙げられる。
ただし、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基、ナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基またはピラゾロン環上の水素原子が置換されていてもよいピラゾロン環残基とＸ’基およびアゾ結合の窒素原子への結合位置の関係を明確に表すため、以下ではベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基、ナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のナフタレン環残基またはピラゾロン環上の水素原子が置換されていてもよいピラゾロン環残基のＸ’基およびアゾ結合の窒素原子への結合位置の部分とをともに示す。
【００２２】
2006008789.tif 000006
【００２３】
［式中、Ｌは、前記と同じ意味を表す。
Ｑは、塩素、臭素およびフッ素などのハロゲン原子を表す。］
【００２４】
式（Ｉ）〜式（Ｖ）中、Ｅで表される、ベンゼン環上の水素原子が置換されていてもよい二価のベンゼン環残基、ナフタレン環上の水素原子が置換されていてもよいナフタレン環残基およびピラゾロン環上の水素原子が置換されていてもよいピラゾロン環残基として、好ましくはピラゾロン環上の水素原子が置換されていてもよいピラゾロン環残基であり、より好ましくは下式の構造が挙げられる。
【００２５】
2006008789.tif 000007
【００２６】
［式中、Ｘは、前記と同じ意味を表す。］
【００２７】
式（Ｉ）〜式（Ｖ）中、Ｘ、Ｘ’、ＺおよびＺ’は、それぞれ独立に、−Ｏ−基または−ＣＯＯ−基を表す。
ＸとＸ’との組合せとしては、−Ｏ−基と−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基と−ＣＯＯ−基、−Ｏ−基と−ＣＯＯ−基および−ＣＯＯ−基と−Ｏ−基が挙げられ、好ましくは−Ｏ−基と−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基と−Ｏ−基が挙げられる。
また、ＺとＺ’との組合せとしては、−Ｏ−基と−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基と−ＣＯＯ−基、−Ｏ−基と−ＣＯＯ−基および−ＣＯＯ−基と−Ｏ−基が挙げられ、好ましくは−Ｏ−基と−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基と−ＣＯＯ−基および−Ｏ−基と−ＣＯＯ−基の組合せが挙げられる。
【００２８】
式（Ｉ）中、Ｇで表される炭素数１〜６のアルキレン基、炭素数１〜６のアルケニレン基としては、具体的には、下記の構造が挙げられる。
【００２９】
2006008789.tif 000008
【００３０】
また、式（Ｉ）中、Ｇで表される芳香環上の水素原子が置換されていてもよい炭素数６〜１２の二価の芳香族残基としては、具体的には、下記の構造が挙げられる。
【００３１】
2006008789.tif 000009
【００３２】
式（ＩＶ）中、Ｒは、炭素数１〜４のアルキレン基、または芳香環上の水素原子が置換されていてもよい炭素数６〜１２の芳香族残基を表し、具体的には下記の構造が例示される。
【００３３】
2006008789.tif 000010
【００３４】
式（Ｉ）の染料は、式（ＶＩＩ）と式（ＶＩＩＩ）を水溶液中で反応させて得ることができる。すなわち、式（ＶＩＩ）で表される染料を水に分散させて、この水分散液に式（ＶＩＩＩ）で表される化合物、すなわち遷移金属と２つ以上の共有結合を有することができる配位子、具体的には、サリチル酸やマロン酸、マレイン酸などのカルボキシル基を２個以上有する化合物を加えて、４０〜８０℃に加熱して得られる。
【００３５】
2006008789.tif 000011
【００３６】
［（ＶＩＩ）中、Ａ、Ｅ、Ｘ、Ｘ’およびＭは、前記と同じ意味を表す。
式（ＶＩＩＩ）中、Ｈは水素原子を表す。
Ｚ、Ｚ’およびＧは、前記と同じ意味を表す。］
【００３７】
このとき、式（ＶＩＩＩ）で表される化合物に代えて、Ｍと２座配位する基以外にも、ヒドロキシル基、カルボキシル基およびスルホン酸基を有する化合物を用いることができる。すなわち、式（ＶＩＩＩ）に代えて、−ＯＨ基および−ＣＯＯＬ基からなる群から選ばれる少なくとも１種類の基を２個有し、さらに、−ＯＨ基、−ＣＯＯＬ基および−ＳＯ３Ｌ基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を１個以上有する化合物を用いることができる（ここで、Ｌは、前記と同じ意味を表す）。
【００３８】
式（ＩＩ）で表される染料および式（ＩＩＩ）で表される染料は、式（ＶＩＩ）で表される染料を水に分散させて水分散液を得て、この水分散液に染料に対してモル比で、２倍モルの蓚酸を加えて、４０〜８０℃に加熱して反応させることで得られる。
【００３９】
式（ＶＩ）で表される染料および式（Ｖ）で表される染料は、式（ＶＩＩ）で表される染料を水に分散させて水分散液を得て、この水分散液に染料に対してモル比で、２倍モルの無水酢酸などの酸無水物を加えて、４０〜８０℃に加熱して反応させることで得られる。
【００４０】
式（Ｉ）で表される化合物のうち、好ましくは、式（ＩＸ）で表される染料が例示される。
【００４１】
2006008789.tif 000012
【００４２】
［式（ＩＸ）中、Ｍ、Ｘ、Ｘ’、ＺおよびＺ’は、それぞれ、前記と同じ意味を表す。
Ｒ２０〜Ｒ２３は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜４のアルキル基または−ＳＯ３Ｌを表す。（ここで、Ｌは、前記と同じ意味を表す。）］
【００４３】
さらに、式（ＩＸ）で表される化合物のうち、好ましくは式（Ｘ）または式（ＸＩ）で表される染料が挙げられる。
【００４４】
2006008789.tif 000013
【００４５】
［式（Ｘ）および式（ＸＩ）中、Ｍ、Ｚ、Ｚ’、ＧおよびＬは、前記と同じ意味を表す。］
【００４６】
式（Ｘ）で表される色素のうち、好ましい染料としては、式（１３）で表される化合物が挙げられる。
【００４７】
2006008789.tif 000014
【００４８】
式（１３）で表される化合物は、例えば、式（１４）で表される化合物を、３５〜８５℃の水に分散させ、式（１４）で表される化合物と等モル量の蓚酸を加えて攪拌し、ろ過した後、ケーキとして得られる。
【００４９】
2006008789.tif 000015
【００５０】
式（Ｉ）〜式（Ｖ）で表される染料は、着色感光性組成物の着色成分として用いられることができる。
【００５１】
着色感光性組成物の着色成分として、式（Ｉ）〜式（Ｖ）で表される染料以外のアゾ染料、キサンテン染料、アントラキノン染料およびフタロシアニン染料などを併用することができる。
【００５２】
これらの染料としては、Ｃ．Ｉ．ソルベント・イエロー４、同１４、同１５、同２４、同７６、同８１、同８２、同９４、同９８、同１６２；
Ｃ．Ｉ．ソルベント・レッド４５、同４９、同１２７；
Ｃ．Ｉ．ソルベント・オレンジ２、同７、同１１、同１５、同２６、同５６；
Ｃ．Ｉ．ソルベント・ブルー３５、同３７、同５９、同６７；
Ｃ．Ｉ．アシッド・イエロー１７、同２９、同４０、同７６；
Ｃ．Ｉ．アシッド・レッド９１、同９２、同９７、同１１４、同１３８、同１５１；
Ｃ．Ｉ．アシッド・オレンジ５１、同６３；
Ｃ．Ｉ．アシッド・ブルー８０、同８３、同９０；
Ｃ．Ｉ．アシッド・グリーン９、同１６、同２５、同２７
などのソルベント染料やアシッド染料が挙げられ、好ましくは、
Ｃ．Ｉ．ソルベント・イエロー７６、同８１、同８２、同１６２；
Ｃ．Ｉ．ソルベント・レッド４５、同４９、同１２７；
Ｃ．Ｉ．ソルベント・オレンジ５６；
Ｃ．Ｉ．ソルベント・ブルー６７；
Ｃ．Ｉ．アシッド・ブルー９０；
Ｃ．Ｉ．アシッド・グリーン９、同１６
が挙げられる。
【００５３】
これらの染料は、式（Ｉ）〜（Ｖ）で表される染料とともに、カラーフィルタの分光スペクトルに合わせて適宜組合せて使用することができる。
【００５４】
本発明の着色感光性組成物の着色成分に、式（Ｉ）〜（Ｖ）の染料と併用できるものとして、式（ｉ）〜（ｖｉｉ）で表される酸性染料のアミン塩、またはピリジン塩、および式（ｖｉｉｉ）〜（ｉｘ）で表される酸性染料のスルホンアミド化合物も使用できる。
【００５５】
Ｄ−（ＳＯ３-）ｍ（ＣｎＨ２ｎ＋１Ｎ＋Ｈ３）ｍ                            （ｉ）
Ｄ−（ＳＯ３-）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）２Ｎ＋Ｈ２｝ｍ                    （ｉｉ）
Ｄ−（ＳＯ３-）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）３Ｎ＋Ｈ｝ｍ                    （ｉｉｉ）
Ｄ−（ＳＯ３-）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）４Ｎ＋｝ｍ                        （ｉｖ）
Ｄ−（ＳＯ３-）ｍ（ＣｅＨ２ｅ＋１ＯＣｆＨ２ｆＮ＋Ｈ３）ｍ                （ｖ）
Ｄ−（ＳＯ３-）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）（ＰｈＣＨ２）２Ｎ＋Ｈ｝ｍ        （ｖｉ）
Ｄ−（ＳＯ３-）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）Ｐｙ＋｝ｍ                      （ｖｉｉ）
Ｄ−［｛ＳＯ2ＮＨ（ＣｎＨ２ｎ＋１）｝ｐ］［（ＳＯ３Ｌ）ｑ］        （ｖｉｉｉ）
Ｄ−［｛ＳＯ2ＮＨ（ＣｅＨ２ｅ＋１ＯＣｆＨ２ｆ）｝ｐ］［（ＳＯ３Ｌ）ｑ］（ｉｘ）
【００５６】
［式（ｉ）〜式（ｉｘ）中、Ｄは、色素母体を表す。
ｍは、１以上２０以下の整数を表す。
ｎは、１以上２０以下の整数を表す。
ｅおよびｆは、それぞれ独立に、１以上１０以下の整数を表す。
Ｐｈは、フェニル残基を表す。
Ｐｙは、窒素原子でＣｎＨ２ｎ＋１につながるピリジン環残基またはメチルピリジン環残基を表す。
ｐは、１以上８以下の整数を表す。
ｑは、０以上８以下の整数を表す。］
【００５７】
式（ｉ）〜式（ｉｘ）中、Ｄで表される色素母体としては、例えば、アゾ染料母体、キサンテン染料母体、アントラキノン染料母体、トリフェニルメタン染料母体および同フタロシアニン染料母体などが挙げられる。
【００５８】
また、式（Ｉ）〜（Ｖ）の染料と併用できるアゾ染料として、例えば、式（ＶＩ）で表される染料や、式（２１）〜（２３）で表される化合物などが挙げられる。
【００５９】
2006008789.tif 000016
【００６０】
［式（ＶＩ）中、Ｒ30は、炭素数２〜１０のアルキル基を表す。
Ｒ31、Ｒ32、Ｒ34は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、ヒドロキシル基またはシアノ基を示す。
Ｒ31およびＲ34のどちらか一方は、ヒドロキシル基を表す。
Ｒ33は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。］
【００６１】
また、式（ＶＩ）で表される染料のうち、好ましい染料として式（２４）で表される化合物が挙げられる。また、キサンテン染料としては、好ましい染料として、例えば、式（２５）で表される化合物が挙げられる。また、銅フタロシアニン染料としては、好ましい染料として、例えば式（２６）で表される化合物などが挙げられる。
【００６２】
2006008789.tif 000017
【００６３】
本発明の着色感光性組成物では、例えば、レッドのカラーフィルタでは、好ましくは式（１３）の染料、式（２４）の染料および式（２５）の染料の組合せが選択できる。
ブルーのカラーフィルタでは、例えば、好ましくは式（２５）の染料、Ｃ．Ｉ．アシッド・ブルー９０およびＣ．Ｉ．ソルベント・ブルー６７の組合せが選択できる。
グリーンのカラーフィルタでは、例えば、好ましくはＣ．Ｉ．ソルベント・ブルー６７、Ｃ．Ｉ．アシッド・グリーン９、Ｃ．Ｉ．アシッド・グリーン１６、Ｃ．Ｉ．ソルベント・イエロー８２およびＣ．Ｉ．ソルベント・イエロー１６２の組合せが選択できる。
レッド、グリーンおよびブルーの染料の組合せは上記の組合せに限られるものではなく、目的としたカラーフィルタの分光スペクトルに合わせて適宜で各染料を組合せる。
【００６４】
染料の含有量は、着色感光性組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは３０．０〜６５．０質量％であり、より好ましくは３２．０〜６０．０質量％である。染料の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタの色濃度が充分に高くなり、またパターン形成の現像工程でカラーフィルタの膜減りが小さくて好ましい。
【００６５】
本発明中の着色感光性組成物に含まれる感光剤としては、例えば、フェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物とのエステルなどを用いることができる。フェノール化合物としてはジ、トリ、テトラおよびペンタヒドロキシベンゾフェノンや、式（３１）〜（４２）で表される化合物などが挙げられる。
【００６６】
2006008789.tif 000018
【００６７】
ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物としては、ｏ−ナフトキシノンジアジド−５−スルホン酸、ｏ−ナフトキシノンジアジド−４−スルホン酸などが挙げられる。
本発明中の感光性組成物は、具体的には、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノンとｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３２）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３３）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３４）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３５）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３６）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３７）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３８）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３９）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４０）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノンとｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（３１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（３２）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（３３）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（３４）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（３５）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（３６）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（３７）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（３８）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（３９）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４０）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステルが挙げられ、好ましくは、式（３１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（３３）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４２）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノンとｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステルが挙げられる。また、本発明の着色感光性組成物に用いられる感光剤は、上記化合物に限られるものではなく、ｉ線フォトレジストに用いられる感光剤を用いることができる。
【００６８】
感光剤の含有量は、着色感光性組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは２０〜４５質量％であり、より好ましくは２０〜４０質量％であり、とりわけ好ましくは２５〜４０質量％である。感光剤の含有量が前記の範囲にあると、パターン作成時の現像で膜減りが小さくなり、またフォトリソグラフィー法でパターンを形成する際のパターン投影露光時間が短くなるため好ましい。
【００６９】
本発明中の着色感光性組成物に含まれる硬化剤としては、加熱されることにより硬化させる硬化剤が用いられる。硬化剤としては、式（５１）で表される化合物が挙げられる。
【００７０】
2006008789.tif 000019
【００７１】
［式（５１）中、６個のＲ２は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０の直鎖状アルキル基または炭素数１〜１０の分岐状アルキル基を表す。ただし、６個のＲ２のうち少なくとも２個は水素原子ではない。］
【００７２】
Ｒ２における炭素数１〜１０の直鎖状アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基およびデシル基が挙げられる。
Ｒ２における炭素数１〜１０の分岐状アルキル基としては以下のものが挙げられる。
【００７３】
2006008789.tif 000020
【００７４】
６個のＲ２は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０の直鎖状アルキル基または炭素数３〜１０の分岐状アルキル基を表し、好ましくは炭素数１〜６の直鎖状アルキル基または炭素数３〜６の分岐状アルキル基、より好ましくは炭素数１〜４の直鎖状アルキル基または炭素数３〜４の分岐状アルキル基、とりわけ好ましくはメチル基を表す。
【００７５】
硬化剤の含有量は、着色感光性組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは１０．０〜２５．０質量％であり、より好ましくは１５〜２０質量％である。硬化剤の含有量が前記の範囲にあると、形成したカラーフィルタパターンを加熱硬化したときの機械的強度が十分であり、また現像工程でカラーフィルタの膜減りが発生しなくて画像の色ムラが生じにくいため好ましい。
【００７６】
本発明の着色感光性組成物は溶剤を含む。溶剤は、着色感光性組成物中に含まれる色素、感光剤および硬化剤の溶解度、ならびに着色感光性組成物中に含まれてもよいアルカリ可溶性樹脂の溶解度、なかでも色素の溶解度に応じて適宜選択されて用いられる。
【００７７】
着色感光性組成物に用いる溶剤としては、例えば、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブアセテート、エチルセルソルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチルピルビン酸エチル、ピルビン酸エチル、乳酸エチル、乳酸ブチルなどが例表される。これらの溶剤はそれぞれ単独または２種以上を混合して用いられる。
溶剤の含有量は、着色感光性組成物に対して質量分率で、好ましくは７０〜８０質量％、より好ましくは７１〜７５質量％である。溶剤の含有量が前記の範囲にあると、イメージセンサを形成した（段差が約１μｍの凹凸のある）基板上に、感光性組成物を用いて薄膜を形成する際の塗布ムラが小さくできる傾向があり、好ましい。
【００７８】
また、本発明の着色感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有することができる。アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、ノボラック樹脂、ポリビニル樹脂等が挙げられる。
ノボラック樹脂としてはパラクレゾールノボラック樹脂、メタクレゾールノボラック樹脂、パラクレゾールとメタクレゾールとのノボラック樹脂、式（６１）で表される構造を有するノボラック樹脂などが挙げられる。
【００７９】
2006008789.tif 000021
【００８０】
ポリビニル樹脂としては、ポリｐ−ビニルフェノール、スチレンとｐ−ビニルフェノールの共重合体などが挙げられる。
【００８１】
アルカリ可溶性樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜１４，０００であり、より好ましくは５，５００〜１３，５００である。
【００８２】
アルカリ可溶性樹脂を含有する場合、その含有量は、着色感光性組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは１〜５０質量％であり、より好ましくは１〜４０質量％であり、とりわけ好ましくは５〜４０質量％である。アルカリ可溶性樹脂の含有量が前記の範囲にあると、現像液に対する溶解度が充分であって、また現像工程での膜減りを生じにくいため画像の色ムラが生じがたくなり、好ましい。
【００８３】
また、本発明の着色感光性組成物では、染料、感光剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂の配合量が、前記のそれぞれの範囲内で、カラーフィルタの色濃度調整や、パターン作成を可能にするため調整される。
【００８４】
本発明の着色感光性組成物は、例えば、ポアサイズ０．１μｍ程度のフィルタでろ過して基板等に塗布されることが好ましい。これにより、原料中の溶剤に不溶の成分が除去されて、着色感光性組成物が基板上に塗布される際に、均一に塗布されることができる。
【００８５】
本発明の着色感光性組成物を用いることにより、０．５〜２．０μｍの膜厚みで、縦および横の長さがそれぞれ独立に２〜２０μｍ程度の画素からなるカラーフィルタを得ることができる。
カラーフィルタを得るには、通常の感光性組成物と同様にフォトリソグラフィー法により操作すればよく、例えば、支持体上に本発明の感光性組成物からなる被膜を設け、前記の被膜を露光した後、現像して画素を形成すればよい。支持体としては、例えば、イメージセンサが形成されたシリコンウェハ、透明なガラス板、石英板などが挙げられる。
【００８６】
支持体上に被膜を設けるには、例えば、本発明の着色感光性組成物をスピンコート法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法、ディップ法、流延塗布法、ロール塗布法、スリット＆スピンコート法など、通常の塗布方法で支持体の上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を加熱などにより除去させればよい。このようにして、支持体の上に感光性組成物の固形分からなる被膜が形成される。塗布後、溶剤などの揮発成分を加熱して除去するときの温度としては、７０〜１２０℃が好ましい。
【００８７】
次いで、この被膜を露光する。露光には目的とするパターンに応じたパターンからなるマスクパターンが用いられ、前記のマスクパターンを介して光線を照射すればよい。露光に用いられる光線としては、例えば、ｇ線、ｉ線などを用いることができ、ｇ線ステッパー、ｉ線ステッパーなどの露光機を用いて露光すればよい。照射領域における光線の照射量は、感光剤の種類や含有量、硬化剤の種類や含有量、アルカリ可溶性樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量、単量体比、含有量、などによって適宜選択される。また、こうして露光された被膜は、加熱されてもよい。加熱することで、硬化剤が硬化して、被膜の機械的強度が向上する傾向があり、好ましい。加熱する場合の加熱温度は、好ましくは８０〜１５０℃である。
【００８８】
露光後、得られた被膜を現像する。現像は、通常の感光性組成物を用いた場合と同様に、被膜が設けられた支持体を現像液に接触させればよい。現像液としては、通常の感光性組成物を用いてパターンを形成する場合と同様の現像液を用いることができる。現像液を振り切り、次いで水洗して現像液を除去することにより、目的とする画素が形成されたカラーフィルタを得ることができる。また、現像液を振り切り、次いでリンス液でリンスをし、水洗する場合もある。このリンスにより、現像時に支持体上に残った着色感光性組成物に由来する残渣を取り除くことができる。
【００８９】
次いで、現像後の該被膜には、紫外線が照射されてもよい。紫外線が照射されることにより、被膜中に残存する感光剤が分解されて、感光剤による可視域の吸収がなくなる傾向があり、好ましい。さらに、水洗後、加熱により、形成された画素の機械的強度を向上することができる。加熱温度は、通常、１６０℃以上２２０℃以下である。加熱温度が前記の範囲にあると、硬化剤により硬化が十分に進み、一方、染料が分解することがなく、好ましい。
【００９０】
こうして、目的とする形状で画素が形成されるが、このカラーフィルタの画素形成工程を異なる色ごとに繰り返すことで、例えば、赤色の画素、緑色の画素および青色の画素といった３色の画素が同一の支持体上に形成される。なお、各色の画素の形成順序については、任意に変更することができる。
【００９１】
本発明の染料を用いて得られる着色感光性組成物は、この着色感光性組成物を２３℃で１ヵ月間保存の後に、現像処理後で被膜の膜厚変化率が９０％以上１００％以下を得られるので好ましい。
【００９２】
また、本発明の着色感光性組成物を密閉容器に保存したとき、窒素ガスの発生が抑制される傾向にあり好ましい。そして、本発明で得られるカラーフィルタ被膜を、膜厚が１．１μｍであるときに、１００万ルクス・時間の光を照射した後、波長４９０ｎｍの透過率が照射前で６％以下であったものが、照射後で２０％以下を得られるので好ましい。
【実施例】
【００９３】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
【００９４】
実施例１
式（１４）で表される化合物の２０質量部を水４００質量部に入れて攪拌し分散させ、この水溶液に蓚酸（一水和物）を２０質量部入れて、室温で１２時間攪拌した。攪拌後の水溶液から染料ケーキをろ過で取り出し、４０℃で６時間乾燥させて化合物（１３）を得た。
【００９５】
2006008789.tif 000022
【００９６】
得られた化合物（１３）を質量分析装置（ＨＰ１１００型ＬＣ−ＭＳＤ；Ａｇｉｌｅｎｔ社製）で質量数を分析した結果、質量数５５９のピークを観測した。これは化合物（１３）の質量数と一致する。
【００９７】
実施例２
式（１４）で表される化合物の２０質量部を、５％蓚酸水溶液の１９０質量部に混ぜて、６５℃で２時間攪拌した。この水溶液にメチル−ｉ−ブチルケトンを１８０質量部加えて、７５℃で０．５時間攪拌した。この溶液に１６０質量部の水を混合して、静置した後に、メチルイソブチルケトンの液層を分液させて取り出した。その後、メチルイソブチルケトンを、通常の方法により、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略す。）に置換して、式（１４）で表される化合物のＤＭＦ溶液を、その固形分が３０質量％になるように調節にした。
【００９８】
実施例３
式（１４）で表される化合物を、Ｃ．Ｉ．ソルベント・イエロー７６（アゾ染料とクロムの１対１錯体化合物）に変える以外は、実施例１と同様にして色素を得た。
【００９９】
実施例４
式（１４）で表される化合物を、Ｃ．Ｉ．ソルベント・イエロー８１（アゾ染料とクロムの１対１錯体化合物）に変える以外は、実施例１と同様にして色素を得た。
【０１００】
実施例５
式（１４）で表される化合物を、Ｃ．Ｉ．ソルベント・レッド１２７（アゾ染料とクロムの１対１錯体化合物）に変える以外は、実施例１と同様にして色素を得た。
【０１０１】
実施例６
式（１３）で表される化合物を２．０部、式（２５）で表される化合物を２．１部、式（２４）で表される化合物を１．８部、感光剤として式（３１）で表されるフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステルを２．２質量部、アルカリ可溶性樹脂（スチレンとヒドロキシスチレンの共重合樹脂であり、全スチレンユニットに対してヒドロキシル基を有するスチレンの割合が１５％であり、ポリスチレン換算重量平均分子量が９，０００である樹脂）を０．２質量部、硬化剤としてヘキサメトキシメチロールメラミンを１．６質量部、溶剤として乳酸エチル２０．０質量部およびＤＭＦ８．４質量部を混合した後、孔径０．１μｍのメンブランフィルターでろ過して着色感光性組成物を調製した。
【０１０２】
2006008789.tif 000023
【０１０３】
次に、シリコンウェハ上に、ポリグリシジルメタクリレート樹脂を主成分とした平坦化膜形成材（溶剤溶液）をスピンコートし、１００℃で１分間加熱して揮発成分を除去して、０．５μｍの膜厚の平坦化膜を形成した。次いで、このウェハを２３０℃で１５分間加熱して平坦化膜を硬化させ支持体を形成した。先に調製した着色感光性組成物を、この支持体（平坦化膜付きシリコンウェハ）上にスピンコート法で塗布し、１００℃で１分間加熱して揮発成分を除去して被膜を形成した。次いで露光機［Ｎｉｋｏｎ  ＮＳＲ  ｉ７Ａ；（株）ニコン製］を用いてマスクパターンを介してｉ線を照射して１，３００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光したのち、現像液（０．１５質量％のポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルを含んだ３質量％のＴＭＡＨ水溶液）に６０秒間浸漬して現像した。被膜は、現像後、水洗され、乾燥された後、紫外線が照射され、１８０℃に３分間加熱されて、線幅３．０μｍで厚み１．１μｍの帯状の画素が得られた。
【０１０４】
別途、マスクパターンを代える以外は上記と同様に操作して、線幅が３．０μｍで厚みが１．１μｍのモザイク状の画素を得た。
【０１０５】
別途、支持体として透明なガラス板［ＶＩＯＳＩＬ−４Ｗ５２５ＷＲ；信越化学工業（株）製］を用い、露光および現像を行わない以外は上記と同様に操作して、厚み１．１μｍで形成されたカラーフィルタを得た。
【０１０６】
（評価結果）
（着色感光性組成物の保存安定性）
上記の着色感光性組成物を作成直後に、シリコンウェハ上に塗布し、露光することなく現像処理して、現像処理前後での塗布膜厚を比較し、現像処理前の膜厚に対する現像処理後の膜厚の比率（以下、現像残膜率という）を求めた。その結果を表１に表す。
また、上記の着色感光性組成物を、２３℃で１ヶ月間保存した後に、着色感光性組成物の作成直後と同様に処理して、現像処理前後の塗布膜厚を比較した。その結果を表２に表す。
【０１０７】
（密閉容器中のガス発生量測定）
上記の着色感光性組成物１０ｍｌを、容積２７ｍｌの褐色バイアル瓶に入れてゴム栓を用いて密閉し、２３℃で２０日間保存後、該ゴム栓にマイクロシリンジを差し込み、発生したガス量を測定した。その結果を表３に表す。
【０１０８】
（耐光性）
上記の操作で得られた、透明なガラス板上に厚み１．１μｍで形成されたカラーフィルタの４５０ｎｍ、５４０ｎｍ、６５０ｎｍの波長における光線透過率を測定した。その結果を表４に表す。
【０１０９】
前記のカラーフィルタを形成したガラス基板の前方に、紫外線カットフィルタ（ＣＯＬＯＲＥＤ  ＯＰＴＩＣＡＬ  ＧＬＡＳＳ  Ｌ３８；ホヤ（株）製）を配置して１００万ルクス・時間の光を照射した。光源としては、サンテスタ−ＸＦ−１８０ＣＰＳ（島津製作所（株）製）を用いた。光照射後のカラーフィルタを形成したガラス基板の波長４５０ｎｍ、５４０ｎｍ、６５０ｎｍにおける光線透過率を求めた。その結果を表５に表す。
【０１１０】
実施例７
化合物（２４）を１．４質量部にして、化合物（２７）を０．４質量部加えること以外は、実施例６と同様にして着色感光性組成物を得て、シリコンウェハ上やガラスウェハ上にカラーフィルタを形成した。
【０１１１】
2006008789.tif 000024
【０１１２】
実施例６と同様に、着色感光性組成物の保存前後での現像残膜率と、この着色感光性組成物の密閉容器中でのガス発生量と、光照射前後の光線透過率とを測定し、結果を各表に記載した。
【０１１３】
実施例８
化学式（１３）に代えて、実施例３で作成した色素を用いる以外は、実施例６と同様にして着色感光性組成物を得た。
実施例６と同様に、この着色感光性組成物の密閉容器中でのガス発生量を測定し、結果を表３に記載した。
【０１１４】
実施例９
化学式（１３）に代えて、実施例４で作成した色素を用いる以外は、実施例６と同様にして着色感光性組成物を得た。
実施例６と同様に、この着色感光性組成物の密閉容器中でのガス発生量を測定し、結果を表３に記載した。
【０１１５】
実施例１０
化学式（１３）に代えて、実施例５で作成した色素を用いる以外は、実施例６と同様にして着色感光性組成物を得た。
実施例６と同様に、この着色感光性組成物の密閉容器中でのガス発生量を測定し、結果を表３に記載した。
【０１１６】
比較例１
化学式（１３）で表される色素に代えて、化学式（１４）の色素を用いる以外は、実施例６と同様にして着色感光性組成物を得て、シリコンウェハ上やガラスウェハ上にカラーフィルタを形成した。
実施例６と同様に、着色感光性組成物の保存安定性と、この着色感光性組成物の密閉容器中でのガス発生量と、光照射前後の光線透過率とを測定し、結果を各表に記載した。
【０１１７】
比較例２
化学式（１３）に代えて、化学式（６２）で表される色素を２．５質量部で用いる以外は、実施例６と同様に操作して着色感光性組成物を得て、これを用いて、線幅１．０μｍで厚み１．５μｍの帯状パターンのカラーフィルタ、線幅２．０μｍで厚み１．５μｍのモザイク状パターンのカラーフィルタおよび全面に亙って厚み１．５μｍで形成されたカラーフィルタを得た。
【０１１８】
2006008789.tif 000025
【０１１９】
実施例６と同様に、着色感光性組成物の保存安定性と、この着色感光性組成物の密閉容器中でのガス発生量と、光照射前後の光線透過率とを測定し、結果を各表に記載した。
【０１２０】
（評価結果）
表１に、着色感光性組成物の調製直後に画素を形成する際の、現像処理前後での膜厚および現像残膜率を示す。
【０１２１】
【表１】
2006008789.tif 000026
【０１２２】
表２に、着色感光性組成物を２３℃で１ヶ月間保存後の、現像処理前後での膜厚および現像残膜率を示す。
【０１２３】
【表２】
2006008789.tif 000027
【０１２４】
表３に、着色感光性組成物を密封して保存したときの発生ガス量の測定結果を示す。
【０１２５】
【表３】
2006008789.tif 000028
【０１２６】
表４に、ガラス基板上に着色感光性組成物を用いて形成したカラーフィルタの、４５０ｎｍ、５４０ｎｍおよび６５０ｎｍにおける光線透過率を示す。
【０１２７】
【表４】
2006008789.tif 000029
【０１２８】
表５に、着色感光性組成物を用いて形成したカラーフィルタに、１００万ルクス・時間の光照射を行った後のカラーフィルタの、４５０ｎｍ、５４０ｎｍおよび６５０ｎｍにおける光線透過率を示す。
【０１２９】
【表５】
2006008789.tif 000030
【０１３０】
実施例１１
図１にイメージセンサの作成例を示す。まず、シリコンウェハ表面に光電変換素子が形成される（受光部５）。続いて、このシリコンウェハ表面に、光電変換素子で生成された電子が送電される転送路（転送路６）、電極（転送電極４）およびそれに入射する光を遮光する膜（遮光膜７）が形成される。更に、これらを形成した後に絶縁膜（絶縁膜８）が形成される。このようにして形成された固体撮像素子形成基板（シリコンウェハ表面に、受光部５、転送電極４、転送路６、遮光膜７および絶縁膜８が形成された基板）上にカラーフィルタが形成されるにあたり、基板表面を平坦化する目的で平坦化膜層（平坦化膜３）が形成される。次に、この基板上に、本願発明の着色感光性組成物のうち緑画素を形成するための着色感光性組成物が塗布（図ａ）され、マスクを介してパターンの投影露光が行われ（図ｂ）、引き続いて塗布された着色感光性組成物の露光により現像液に対して溶解するようにになった領域１１を現像液で溶解しパターンを形成。その後、加熱硬化が行われ、所望の緑色画素（図ｃ）が形成される。次いで、赤色画素および青色画素についてこの工程が繰り返され、３色の画素が固体撮像素子形成基板の同一平面上に形成される（図ｆ）。さらに、光電変換素子（受光部５）に入射する光を効率良く集光させるためのオンチップレンズ（オンチップレンズ９）が形成されて（図ｇ）、イメージセンサが形成される。
【産業上の利用可能性】
【０１３１】
本発明の染料は、カラーフィルタ形成用の着色感光性組成物の着色成分として好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３２】
【図１】図１はイメージセンサの製造方法についての説明図である。
【符号の説明】
【０１３３】
１  ；シリコンウェハ基板
２  ；平坦化膜
３  ；転送電極
４  ；受光部
５  ；転送路
６  ；遮光膜
７  ；絶縁膜
８  ；オンチップレンズ
９；カラーフィルタ  マスクパターン断面図
１０；照射露光
１１：露光部
Ｇ  ；緑色画素
Ｒ  ；赤色画素
Ｂ  ；青色画素
【図１】
2006008789.tif 000035