(57)【要約】      （修正有）【課題】移動子を走行駆動させる際の空気抵抗を減らすことができる静電駆動装置を提供すること。【解決手段】本発明の静電駆動装置における移動子４は、複数の穴４１が形成されている。この穴４１は、移動子４の走行駆動時に空気の通り道となるので、移動子４の走行駆動時の空気抵抗を減らすことができる。また穴４１を設けることにより、この分だけ移動子４の慣性質量を低下させることができる。穴の形状は適宜変形可能であり、移動子の中央に設けることも可能である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エレクトレット化され、走行方向に直角な方向に穴若しくは切り欠きを有する移動子と、
上記移動子を走行駆動させるための複数の電極が設けられた固定子と、
を具備することを特徴とする静電駆動装置。
【請求項２】
エレクトレット化され、走行方向に直角な方向に穴若しくは切り欠きを有する移動子と、
上記移動子を走行駆動させるための複数の電極が設けられた固定子と、
上記固定子と上記移動子とを空間的に外部から隔離する封止部材と、
を具備することを特徴とする静電駆動装置。
【請求項３】
上記移動子は、上記穴若しくは上記切り欠きを複数有することを特徴とする請求項１又は２に記載の静電駆動装置。
【請求項４】
上記穴は、上記移動子上の周辺部に複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載の静電駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電力を利用して移動子の駆動を行う静電駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、静電駆動装置についての提案は成されており、例えば特許文献１では、固定子に帯状に配列された電極の電圧により、薄膜で構成された移動子に電荷を誘起し、移動子に誘起させた電荷と電極の電荷との間の静電力を利用して移動子を走行駆動させる静電駆動装置が提案されている。
【０００３】
また、静電駆動装置の中には、特許文献２の提案のように、移動子の帯電部位をエレクトレット化部位で構成し、このエレクトレット化部位に保持された電荷を利用して移動子を駆動する静電駆動装置も提案されている。このようなエレクトレットフィルムを利用した駆動装置では、移動子の走行駆動時に電荷を誘起させる必要がなく、特許文献１の静電駆動装置と比較して低電圧の駆動が可能である。
【特許文献１】特開平８−２２０５９２号公報
【特許文献２】特開平４−１１２６８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような静電駆動装置の小型化と高速化とを考え、静電駆動装置全体を封止した状態で使用するような場合には、移動子は、移動子によって上下に分けられる空間に存在する空気の抵抗を受けて駆動速度が低下してしまう可能性がある。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、移動子を走行駆動させる際の空気抵抗を減らすことができる静電駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明の第１の態様による静電駆動装置は、エレクトレット化され、走行方向に直角な方向に穴若しくは切り欠きを有する移動子と、上記移動子を走行駆動させるための複数の電極が設けられた固定子とを具備することを特徴とする。
【０００７】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第１の態様による静電駆動装置は、エレクトレット化され、走行方向に直角な方向に穴若しくは切り欠きを有する移動子と、上記移動子を走行駆動させるための複数の電極が設けられた固定子と、上記固定子と上記移動子とを空間的に外部から隔離する封止部材とを具備することを特徴とする。
【０００８】
これら第１及び第２の態様によれば、移動子の走行時において、穴若しくは切り欠きが空気の通り道となるので移動子を走行駆動させる際の空気抵抗を減らすことができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、移動子を走行駆動させる際の空気抵抗を減らすことができる静電駆動装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。  
図１は、本発明の一実施形態に係る静電駆動装置の駆動原理について説明するための図である。即ち、図１の静電駆動装置は、所定の間隔をおいて配置された互いに平行な複数の駆動電極２が設けられた固定子１と、この固定子１の複数の駆動電極２と対向する面側に互いに平行な複数のエレクトレット化部位が形成されているフィルム状の移動子４と、駆動電極２に周波電圧を印加する駆動部３とから構成されている。ここでエレクトレット化部位とは、永久的に電気分極状態になっている誘電体部位のことである。即ち、このエレクトレット化部位では常に一定の電荷量が保持される。なお、実際の駆動電極やエレクトレット化部位の数や配置間隔は、装置の大きさ、エレクトレット化部位の極性、その配置形態、静電駆動装置として要求される駆動分解能やその駆動速度等の様々な要因によって適宜決定されるものである。
【００１１】
図１の静電駆動装置においては、駆動部３によって駆動電極２に周波電圧を印加して、駆動電極２とエレクトレット化部位との間に静電力を作用させて移動子４を移動させる。
【００１２】
ここで、図１の静電駆動装置は、図２のようにして移動子４を封止して使用することが好ましい。図２は、移動子４を保護部材５１と封止部材５２とで完全に封止したときの例を示す移動子方向に沿った静電駆動装置の断面図である。この図２のように移動子４を封止して外部から隔離しておけば、移動子４は温度、湿度、塵、及び埃等の影響を受けることがない。これにより、移動子４が持つエレクトレット化部位の電荷量が、温度、湿度、塵、及び埃等の影響を受けて減衰してしまうのを防止することができる。更に、図２の例では、駆動電極２も封止されているので、駆動電極２の性能劣化も防ぐことができる。
【００１３】
ここで、本一実施形態では、移動子の走行駆動時における空気抵抗を低減させるために、図３や図４のような形状の移動子を用いている。図３の移動子４は、移動子４の外側周辺部に複数の穴４１が設けられている。また、図４の移動子４は、移動子４の外側周辺部に複数の切り欠き４２が設けられている。
【００１４】
このように、移動子４に穴や切り欠きを設けることにより、図５のようにして移動子４を走行させているときに、切り欠き４２が空気の通り道となる。即ち、この部分は、移動子によって空間が上下に分けられないので、空気の抵抗を受けることがない。
【００１５】
また、穴や切り欠きを設けることにより、この分だけ移動子４の慣性質量を低下させることができるので、移動子走行時の駆動効率が増加するという副次的な効果もある。
【００１６】
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
【００１７】
例えば、図３や図４に示した穴や切り欠きの形状は一例であり、適宜変形可能である。また、穴は移動子の中央部に設けることもできるが、例えば本静電駆動装置をカメラのシャッタ装置などに応用する場合等では、図３のように移動子４の外側周辺部に穴を設けることが好ましい。
【００１８】
また、上記した一実施形態においては、封止される気体が空気であるとしているが、他の気体が封止されている場合でも、本一実施形態の技術により、上記したのと同様の効果が得られる。
【００１９】
さらに、上記した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の適当な組合せにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係る静電駆動装置の駆動原理について説明するための図である。
【図２】移動子と駆動電極とを封止する際の例を示す移動子方向に沿った静電駆動装置の断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る静電駆動装置を構成する移動子について示す図である。
【図４】移動子の別の構成例について示す図である。
【図５】移動子の上面方向から見たときの図ある。
【符号の説明】
【００２１】
１…固定子、２…駆動電極、３…駆動部、４…移動子、４１…穴、４２…切り欠き、５１…保護部材、５２…封止部材
【図１】
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【図２】
2006033933.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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