(57)【要約】【課題】  画像形成装置における待ち時間の短縮。【解決手段】  ステージと描画手段とを備え、前記ステージと前記描画手段との少なくとも一方は、運転時に発熱する負荷部品を有し、電源投入後、前記負荷部品を仮運転して前記ステージと前記描画手段とを予熱する画像形成装置、およびその起動方法。【選択図】        図１
2006267717.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが載置されるステージと、前記ステージに載置されたワーク上の基準マークを検出するマーク検出手段と、検出した基準マーク位置を基準として画像を形成する描画手段とを備え、
前記ステージと前記マーク検出手段と前記描画手段との少なくとも一つは、運転時に発熱する負荷部品を有してなるとともに、
電源投入後、前記負荷部品を仮運転して前記ステージと前記マーク検出手段と前記描画手段との少なくとも一つを予熱することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記負荷部品として、前記ステージを前記描画手段に対して所定の方向に沿って相対的に移動させるステージ走行モータを有し、
前記仮運転時において前記ステージ走行モータを運転して前記ステージを前記描画手段に対して前記方向に沿って相対的に往復動作させて前記ステージと描画手段との少なくとも１つを予熱する請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記ステージは、負荷部品として、ワークが載置されるワーク載置面を昇降させるステージ昇降モータを有し、
前記仮運転時において前記ステージ昇降モータを運転して昇降往復動作させることで前記ステージと前記描画手段とを予熱する請求項１または２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記マーク検出手段は、ステージに載置されたワーク上の基準マークの位置を検出するカメラユニットを備え、前記カメラユニットは、負荷部品として、前記ワーク上のマーク位置にカメラユニットを移動するカメラ移動手段駆動モータを有し、前記仮運転時において前記カメラ移動手段駆動モータを運転して前記マーク検出手段を予熱する請求項１〜３の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記カメラユニットは、前記ワーク上のマーク位置にカメラのピントを合わせるピント調整用モータを有し、前記仮運転時において前記ピント調整用モータを運転して前記マーク検出手段を予熱する請求項４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記描画手段は、前記負荷部品として、前記ワーク上にピントを合わせるピント合せ手段と前記ピント合せ手段を駆動するピント合せ手段駆動モータとを備えてなるとともに、
前記仮運転時において前記ピント合せ手段駆動モータを運転して前記ステージと前記描画手段とを予熱する請求項１〜５の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記描画手段は、複数の画素を明滅させて前記ワークを露光する露光ヘッドを複数備え、前記露光ヘッドは、前記ステージの移動方向に対して実質的に直交する方向に配設されてなる請求項１〜６の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記ステージと前記マーク検出手段と前記描画手段とを収容する筐体と、前記筐体の内部の温度を調節する温調ユニットとを有し、
運転開始時において、前記温調ユニットの設定温度を通常の運転時における設定温度よりも高くする請求項１〜７の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項９】
ワークに画像を形成する画像形成装置の起動方法であって、前記画像形成装置が備える動力源を仮運転して該動力源を発熱させることを特徴とする起動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像形成装置に係り、特に、電源を投入してから安定に運転できるようになるまでの時間を短縮できる画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、複数の画素を選択的にｏｎ−ｏｆｆさせて基板などのワークを露光する露光ヘッドがｘ方向に沿って複数配列された露光ユニットと、前記ワークが載置されるとともに、前記露光ユニットに対して前記ｘ方向に直交するｙ方向に沿って相対移動可能なステージとを備える画像形成装置を用いて基板を露光する所謂マスクレス露光の開発が進められている（特許文献１）。
【０００３】
前記画像形成装置においてステージを往復動させて露光を行なう場合には、ワークに付された基準マークの位置を往路で検出し、復路においては、往路で検出した基準マークの位置を基に画像データを補正しつつ、露光を行う。
【０００４】
しかしながら、前記画像形成装置を稼動させると、当然のことながら露光ヘッドなどの負荷部品から大量の熱が生じるから、画像形成装置内温度は装置設置環境温度よりも高くなる。
【特許文献１】特開２００４−１６３７９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
画像形成装置において電源を投入してから運転を開始するまでの間に待ち時間を設けてステージおよび露光ヘッドの寸法を安定させることも考えられる。
【０００６】
しかしながら、電源を投入してからの待ち時間があまり長いと、電源を投入してから運転を開始するまでに長時間を有し、生産性が低下すると言う問題がある。
【０００７】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたもので、ステージ上に載置されたワークに付された基準マークを基準に画像を形成する画像形成装置において、電源を投入してから短時間で運転を開始できる画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、ワークが載置されるステージと、前記ステージに載置されたワーク上の基準マークを検出するマーク検出手段と、検出した基準マーク位置を基準として画像を形成する描画手段とを備え、前記ステージと前記マーク検出手段と前記描画手段との少なくとも一つは、運転時に発熱する負荷部品を有してなるとともに、電源投入後、前記負荷部品を仮運転して前記ステージと前記マーク検出手段と前記描画手段との少なくとも一つを予熱することを特徴とする画像形成装置に関する。
【０００９】
前記画像形成装置においては、電源投入後、負荷部品を仮運転しているから、ステージやマーク検出手段、描画手段を予熱するための予熱手段を特別に設ける必要がない。また、電源投入後の立ち上がり時間を短縮できるから、生産性を向上させることができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の画像形成装置において、前記負荷部品として、前記ステージを前記描画手段に対して所定の方向に沿って相対的に移動させるステージ走行モータを有し、前記仮運転時において前記ステージ走行モータを運転して前記ステージを前記描画手段に対して前記方向に沿って相対的に往復動作させて前記ステージと描画手段との少なくとも１つを予熱するものに関する。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の画像形成装置において、前記ステージが、負荷部品として、ワークが載置されるワーク載置面を昇降させるステージ昇降モータを有し、前記仮運転時において前記ステージ昇降モータを運転して昇降往復動作させることで前記ステージと前記描画手段とを予熱するものに関する。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか１項に記載の画像形成装置において、前記マーク検出手段が、ステージに載置されたワーク上の基準マークの位置を検出するカメラユニットを備え、前記カメラユニットは、負荷部品として、前記ワーク上のマーク位置にカメラユニットを移動するカメラ移動手段駆動モータを有し、前記仮運転時において前記カメラ移動手段駆動モータを運転して前記マーク検出手段を予熱するものであり、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の画像形成装置において、前記カメラユニットが、前記ワーク上のマーク位置にカメラのピントを合わせるピント調整用モータを有し、前記仮運転時において前記ピント調整用モータを運転して前記マーク検出手段を予熱するものに関する。
【００１３】
前記画像形成装置においては、カメラユニットの付加部品を仮運転することにより、マーク検出手段を予熱できる。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の何れか１項に記載の画像形成装置において、前記描画手段が、前記負荷部品として、前記ワーク上にピントを合わせるピント合せ手段と前記ピント合せ手段を駆動するピント合せ手段駆動モータとを備えてなるとともに、前記仮運転時において前記ピント合せ手段駆動モータを運転して前記ステージと前記描画手段とを予熱するものに関する。
【００１５】
ステージ走行モータ、ステージ昇降モータ、ピント合せ手段駆動モータは、本発明における負荷部品の例である。これらのモータは何れも発熱量が大きいので、ステージや描画手段を効果的に予熱できる。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の何れか１項に記載の画像形成装置において、前記描画手段が、複数の画素を明滅させて前記ワークを露光する露光ヘッドを複数備え、前記露光ヘッドが、前記ステージの移動方向に対して実質的に直交する方向に配設されてなるものに関する。
【００１７】
前記画像形成装置においては、ステージにワークを載置して露光ユニットに対して相対的に移動させつつ、露光ヘッドにおいて画素を明滅させることにより、前記ワーク上に画像を形成できる。
【００１８】
露光ヘッドにおいて、画素を小さくすれば、より微細な画像を形成できる。また、露光ヘッドの数を多くすれば、大面積のワークにも対応できる。
【００１９】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜７の何れか１項に記載の画像形成装置において、前記ステージとマーク検出手段と前記描画手段とを収容する筐体と、前記筐体の内部の温度を調節する温調ユニットとを有し、運転開始時において、前記温調ユニットの設定温度を通常の運転時における設定温度よりも高くするものに関する。
【００２０】
前記画像形成装置においては、負荷部品の仮運転に加えて温調ユニットの設定温度を高めることによってもステージや描画手段の予熱を行なっているから、電源投入後の待ち時間を更に短縮できる。
【００２１】
請求項９に記載の発明は、ワークに画像を形成する画像形成装置の起動方法であって、前記画像形成装置が備える動力源を仮運転して該動力源を発熱させることを特徴とする起動方法である。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明によれば、電源を投入してから担持間で運転を開始できる画像形成装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
１．実施形態１
【００２４】
以下、本発明の画像形成装置の一例である露光装置について説明する。
【００２５】
実施形態１に係る露光装置１００は、本発明のワークの一例であるガラス基板２２を露光する露光装置であり、図１〜図３に示すように、ｙ方向に往復動するステージ１６と、ｘ方向に沿って配設され、ステージ１６の載置台１７に載置されたガラス基板２２を露光する露光ユニット２８と、露光ユニット２８に隣接して設けられ、ガラス基板２２の表面に付された基準位置マークを撮像して露光ユニット２８における露光位置を補正するカメラユニット３２と、露光装置１００全体を制御するとともに、露光ユニット２８に画像データを入力するコンピュータ１０とを有する。露光ユニット２８およびカメラユニット３２は、本発明における描画手段に相当する。図１において１０Ａは、コンピュータ１０のキーボードを、１０Ｂはディスプレーを、１０Ｃは演算記憶部を示す。
【００２６】
ステージ１６は、図１〜図３に示すように、石定盤１８上にｙ方向に沿って固定されたレール２０上を走行する。図４に示すように、ステージ１６の四隅には脚部１６Ａが設けられている。脚部１６Ａの下端には、レール２０上を摺動する衝動ベアリング１６Ｂが設けられ、これによってステージ１６は、殆ど摩擦抵抗無くレール２０上を走行する。
【００２７】
石定盤１８は、露光装置１００が設置される設置面に強固に固定された架台２４によって支持されされている。
【００２８】
ステージ１６は、リニアモータ２６によって駆動される。
【００２９】
ステージ１６の上面には、ガラス基板２２が載置される昇降可能な載置台１７が設けられている。
【００３０】
載置台１７の下方には、図４に示すように、載置台１７を昇降させる載置台昇降モータ２７が設けられている。載置台昇降モータ２７は、蛇腹１６Ｄで覆われている。リニアモータ２６および載置台昇降モータ２７は、本発明における負荷部品であってステージ走行モータおよびステージ昇降モータに相当する。
【００３１】
露光ユニット２８は、図８に示すように、画素をｏｎ／ｏｆｆして画像を形成する８本の露光ヘッド２８０と、露光ヘッド２８０を４本づつ２列に保持する桁状のユニットベース２８１とを有している。
【００３２】
図１および図３に示すように、石定盤１８上には、レール２０を両側から挟むように１対の支持柱３０が設けられ、露光ユニット２８は、ユニットベース２８１の両端において支持柱３０に掛け渡されるように固定され、支持柱３０とともにステージ１６が通過するゲートを形成する。
【００３３】
露光ヘッド２８０は、図６に示すように、レーザ光を導入するファイバアレイ光源２８２と、ファイバアレイ光源２８２から導入されたレーザ光を平行光にする入射光学系２８３と、ＤＭＤ２８４と、入射光学系２８３を通過したレーザ光をＤＭＤ２８４に向かって反射させる反射鏡２８５と、ＤＭＤ２８４で反射されたレーザ光をガラス基板２２上に結像させる結像光学系２８６と、結像光学系２８６におけるレーザ光が出射する側に設けられたピント合せ機構２７０とを有する。ピント合せ機構２７０は、本発明におけるピント合せ手段に相当する。
【００３４】
入射光学系２８３は、ファイバアレイ光源２８２から入射したレーザ光を平行光にする組み合わせレンズ２８３Ａと、組み合わせレンズ２８３Ａで並行光にされたレーザ光の光量分布を均一になるように補正する組み合わせレンズ２８３Ｂと、組み合わせレンズ２８３Ｂで補正されたレーザ光をＤＭＤ２８４上に集光する集光レンズ２８３Ｃとを有する。
【００３５】
また、結像光学系２８６は、結像レンズ系２８７および２８８を有している。
【００３６】
ＤＭＤ２８４は、図７に示すように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）２８４Ａ上に、微小ミラー（マイクロミラー）２８４Ｂが支柱により支持されて配置されたものであり、画素（ピクセル）を構成する多数の（例えば、ピッチ１３．６８μｍ、１０２４個×７６８個）の微小ミラーを格子状に配列して構成されたミラーデバイスである。各ピクセルには、最上部に支柱に支えられたマイクロミラー２８４Ｂが設けられており、マイクロミラー２８４Ｂの表面にはアルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。なお、マイクロミラー２８４Ｂの反射率は９０％以上である。また、マイクロミラー２８４Ｂの直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭセル２８４Ａが配置されており、全体はモノリシック（一体型）に構成されている。
【００３７】
ＤＭＤ２８４のＳＲＡＭセル２８４Ａに、マイクロミラー２８４Ｂの傾斜状態（変調状態）を示すデジタル信号が書き込まれ、さらにＳＲＡＭセル２８４Ａからマイクロミラー２８４Ｂにデジタル信号が出力されると、支柱に支えられたマイクロミラー２８４Ｂが、対角線を中心としてＤＭＤ２８４が配置された基板側に対して±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。
【００３８】
図８には、ＤＭＤ２８４の一部を拡大し、マイクロミラー２８４Ｂが＋α度又は−α度に制御されている状態の一例を示しており、（Ａ）は、マイクロミラー２８４Ｂがオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、（Ｂ）は、マイクロミラー２８４Ｂがオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。図８において（Ａ）および（Ｂ）に示すように、ＤＭＤ２８４の各ピクセルにおけるマイクロミラー２８４Ｂの傾きを画像信号に応じて制御することにより、ＤＭＤ２８４に入射された光ビームはそれぞれのマイクロミラー２８４Ｂの傾き方向へ反射される。なお、オフ状態のマイクロミラー２８４Ｂにより光ビームが反射される方向には、光吸収体（図示省略）が配置されている。そして、それぞれのマイクロミラー２８４Ｂのオンオフ制御は、コンピュータ１０からの指令を受けて、上述のデータ処理部及びミラー駆動制御部を含むスキャナ制御部により行われる。
【００３９】
ピント合せ機構２７０は、図９に示すように、一対のガラス部材２１０、２１２の各々を個別に保持するベースホルダ２１４及びスライドホルダ２１６を備えており、図９に示す向きでは下側に配置されたベースホルダ２１４に、上述したレーザ光の出射側に配置されたガラス部材２１２が保持されており、図９に示す向きでは上側に配置されたスライドホルダ２１６に、レーザ光の入射側に配置されたガラス部材２１０が保持されている。
【００４０】
ベースホルダ２１４は、ガラス部材２１２と略相似形のクサビ状で、上面（傾斜面）２１４Ａ及び下面２１４Ｂに矩形状の開口部２１８、２２０が形成され、内部にガラス部材２１２を収容するための空洞部（収容部）２２２が設けられた略枠状とされている。
【００４１】
空洞部２２２は、上面２１４Ａ側の開口部２１８の大きさで略垂直下方へ所定の深さ寸法だけ掘り込まれた凹状とされており、ガラス部材２１２を収容した際に、空洞部２２２を構成する底面及び内周面がガラス部材２１２の下面（光出射面２１２Ｂ）及び外周面に略隙間なく接触する大きさとされている。
【００４２】
下面２１４Ｂ側の開口部２２０は、上面２１４Ａ側の開口部２１８及び空洞部２２２の開口形状よりも少し小さくされて下面２１４Ｂの略中央に配置されている。また、この下面２１４Ｂの一側端部（図９では左側端部）には、ベースホルダ２１４を含むピント合せ機構２７０全体を露光ヘッド２８０のフレーム（図示省略）にネジ止め固定するための固定部２２４が突設されている。
【００４３】
一方、スライドホルダ２１６は、ガラス部材２１０と略相似形のクサビ状で、上面２１６Ａ及び下面（傾斜面）２１６Ｂに矩形状の開口部２２６、２２８が形成され、内部にガラス部材２１０を収容するための空洞部（収容部）２３０が設けられた略枠状とされている。
【００４４】
空洞部２３０は、上面２１４Ａ側の開口部２２６の大きさで略垂直下方へ掘り込まれ下面側の開口部２２８へ貫通された貫通孔状とされており、ガラス部材２１０を収容した際に、空洞部２３０を構成する内周面がガラス部材２１２の外周面に略隙間なく接触する大きさとされている。
【００４５】
このスライドホルダ２１６は、図９に示すように、下面２１６Ｂがベースホルダ２１４の上面２１４Ａに向かい合わせられると共に、下面２１６Ｂの傾斜方向がベースホルダ２１４の上面２１４Ａとは反対向きにされてベースホルダ２１４上に配置され、ベースホルダ２１４との間（ベースホルダ２１４の上面２１４Ａ及びスライドホルダ２１６の下面２１６Ｂにおける各前後端部）に設けられた一対のガイドレール２３２（図９では後側のガイドレールの図示を省略している）によって、ベースホルダ２１４に組み付けられユニット化されている。
【００４６】
また、ユニット化された状態では、スライドホルダ２１６の図９における左右方向の長さ寸法はベースホルダ２１４よりも少し短くされており、スライドホルダ２１６の図９における前後方向の長さ寸法はベースホルダ２１４とほぼ同じくされ、それぞれの前端面同士及び後端面同士が略同一面となるよう位置合わせされている。
【００４７】
そして、この一対のガイドレール２３２により、ベースホルダ２１４の上面２１４Ａとスライドホルダ２１６の下面２１６Ｂとは所定の間隔を置いて略平行に配置され、スライドホルダ２１６はベースホルダ２１４に対し、下面２１６Ｂ及び上面２１４Ａの傾斜方向に沿って略左右方向（図９の矢印Ｓ方向）に相対移動可能とされている。さらに、このスライドホルダ２１６の移動における所定の位置（ガラス部材２１０、２１２の組み付け位置）では、図９の平面視方向（矢印Ｌ方向）において、スライドホルダ２１６の空洞部２３０がベースホルダ２１４の空洞部２２２にほぼ重なるようになる。
【００４８】
スライドホルダ２１６の上面２１４Ａ側の開口部２２６には、矩形枠板状のガラス部材押さえ板２３４が嵌め込まれて取り付けられるようになっている。このガラス部材押さえ板２３４の外形は、開口部２２６にほぼ隙間なく嵌合する大きさとされている。また、ガラス部材押さえ板２３４の略中央に形成された矩形状の開口部２３６は、その大きさがベースホルダ２１４の下面２１４Ｂ側の開口部２２０とほぼ同じ大きさとされ、スライドホルダ２１６を上記の所定の位置に移動させた際に、図９の平面視方向において、開口部２２０にほぼ重なる位置に配置されている。
【００４９】
このユニット化されたベースホルダ２１４及びスライドホルダ２１６へのガラス部材２１０、２１２及びガラス部材押さえ板２３４の組み付けは、スライドホルダ２１６を上記の所定の位置に移動させ、スライドホルダ２１６の空洞部２３０をベースホルダ２１４の空洞部２２２に位置合わせして、各空洞部２２２、２３０にガラス部材２１２、ガラス部材２１０、ガラス部材押さえ板２３４の順に組み付けることにより行う。
【００５０】
最初に組み付けるガラス部材２１２は、スライドホルダ２１６を所定の位置に配置した後、傾斜している光入射面２１２Ａを上側とし所定の向きにしてスライドホルダ２１６の開口部２２６及び空洞部２３０を通し、ベースホルダ２１４の空洞部２２２に嵌め込む。ここで、ガラス部材２１２は、下側に向けられた光出射面２１２Ｂが空洞部２２２を構成する底面に面接すると共に、外周面が空洞部２２２を構成する内周面に面接して、ベースホルダ２１４の空洞部２２２にガタなく収容される。
【００５１】
続いてガラス部材２１０は、傾斜している光出射面２１０Ｂを下側とし所定の向きにして開口部２２６からスライドホルダ２１６の空洞部２３０に嵌め込む。ここで、ガラス部材２１０は、下側に向けられた光出射面２１０Ｂがガラス部材２１２の光入射面２１２Ａに僅かな隙間（０．１ｍｍ）をあけて相対すると共に、外周面が空洞部２３０を構成する内周面に面接して、スライドホルダ２１６の空洞部２３０にガタなく収容される。
【００５２】
最後に、スライドホルダ２１６の開口部２２６に、ガラス部材押さえ板２３４を所定の向きにして嵌め込み、ガラス部材押さえ板２３４の下面をガラス部材２１０の光入射面２１０Ａに面接させた状態で、図示しない固定部材によりスライドホルダ２１６にネジ止め固定する。
【００５３】
以上の組み付けにより、一対のガラス部材２１０、２１２は、図９に示し、図１０において（Ａ）に示すような隣接状態で、各々が個別にスライドホルダ２１６、ベースホルダ２１４に保持されている。またガラス部材２１０は、スライドホルダ２１６の移動に伴い、ガラス部材２１２の光入射面２１２Ａと相対する光出射面２１０Ｂの面方向に沿って矢印Ｓ方向へ移動する。また、ＤＭＤ２８４側からガラス部材２１０、２１２へ向けて出射されたレーザ光は、ガラス部材押さえ板２３４の開口部２３６を通ってガラス部材２１０の光入射面２１０Ａへ入射し、ガラス部材２１０、２１２を透過すると、ガラス部材２１２の光出射面２１２Ｂからベースホルダ２１４の下面２１４Ｂ側の開口部２２０を通って出射される。
【００５４】
なお、このベースホルダ２１４、スライドホルダ２１６によるガラス部材２１０、２１２の保持では、加工精度のバラツキや温度変化等により、空洞部２２２、２３０の内周面とガラス部材２１０、２１２の外周面との隙間（密着性）が許容範囲を超えてしまい、ガラス部材２１０、２１２にガタが生じる可能性もある。その場合には、例えば、空洞部２２２、２３０を構成する内周面の必要部位に板バネや圧縮コイルバネ等の弾性部材を備えるガタ取り機構を設け、この弾性部材の弾性力によりガラス部材２１０、２１２を付勢してガタ取りする、あるいは、ベースホルダ２１４、スライドホルダ２１６の外周面から空洞部２２２、２３０を構成する内周面へ貫通するネジ孔及びこのネジ孔に螺合する押しネジを備えるガタ取り機構を必要部位に設け、この押しネジによりガラス部材２１０、２１２を押圧してガタ取りするようにしてもよい。
【００５５】
図９に示すように、ベースホルダ２１４の右側面２１４Ｃにおける略中央位置には、モータ取付板２３８がネジ止め固定されている。ベースホルダ２１４の右側面２１４Ｃは、上面２１４Ａと略直角にされており、この右側面２１４Ｃに取り付けられているモータ取付板２３８は、ベースホルダ２１４の上面２１４Ａと略直角の向きで取付部（下部）から上方へ延出され、その上部側の外側面に、スライドホルダ２１６に移動動力を与える駆動源としてのピント合せ機構駆動モータ２４０が取り付けられている。ピント合せ機構駆動モータ２４０もまた、本発明における負荷部品に相当し、具体的にはピント合せ手段駆動モータに相当する。
【００５６】
ピント合せ機構駆動モータ２４０は、駆動軸２４２の延出方向及び移動方向（矢印Ｄ方向）がスライドホルダ２１６の移動方向（矢印Ｓ方向）に合わせられてモータ取付板２３８に取り付けられており、駆動軸２４２の先端部２４２Ａがスライドホルダ２１６の右側面２１６Ｃに連結されている。また、ピント合せ機構駆動モータ２４０はコンピュータ１０のピント合せ機構制御部に接続され、このピント合せ機構制御部により制御されて作動するようになっている。
【００５７】
スライドホルダ２１６の上面２１６Ａの右前角部には、切り欠き部２４４が形成されている。この切り欠き部２４４の底面とベースホルダ２１４の上面２１４Ａの右前角部とには、一対の支柱２４６、２４８が立設されており、一対の支柱２４６、２４８には、ピント合せ機構駆動モータ２４０の駆動軸２４２の駆動力よりもバネ力が小さく設定された引張コイルバネ２５０が架設されている。この引張コイルバネ２５０のバネ力によって、ガイドレール２３２及びピント合せ機構駆動モータ２４０を介して連結されているスライドホルダ２１６とベースホルダ２１４との間には予圧が掛けられている。
【００５８】
ここで、コンピュータ１０のピント合せ機構制御部により制御されてピント合せ機構駆動モータ２４０が作動し、駆動軸２４２を矢印Ｄ方向に駆動させると、スライドホルダ２１６及びガラス部材２１０は一対のガイドレール２３２にガイドされて矢印Ｓ方向へ移動する。また、スライドホルダ２１６及びガラス部材２１０は、ピント合せ機構駆動モータ２４０の駆動軸２４２やガイドレール２３２に若干の遊び（ガタ分）がある場合でも、引張コイルバネ２５０によって加えられている予圧により、静止状態ではガタつきなく保持され、また移動では円滑に動作するようになる。
【００５９】
ベースホルダ２１４の下面２１４Ｂにおける右前角部には、矩形状のセンサ取付板２５２がネジ止め固定されている。センサ取付板２５２は、ベースホルダ２１４の下面２１４Ｂへの取付部（左側部）から右方へ延出されて突出している右側部が、ベースホルダ２１４の上面２１４Ａと略平行になるよう取付部に対して屈曲されており、その右側部の上面に、ガラス部材２１０を保持したスライドホルダ２１６の基準位置（ホームポジション）を検出するための基準位置センサユニット２５４が取り付けられている。
【００６０】
基準位置センサユニット２５４は、直方体形状とされたユニット本体の上部に光センサ２５８が搭載され、ユニット本体の内部に光センサ２５８から出力される電気信号（検出信号）を増幅する回路基板（図示省略）が設けられている。光センサ２５８は、スリット部２５６の内壁面に投受光素子（図示省略）が設けられ、このスリット部２５６がスライドホルダ２１６の移動方向（矢印Ｓ方向）と略平行になる向きに配置されている。また、基準位置センサユニット２５４はコンピュータ１０のピント合せ機構制御部に接続され、このピント合せ機構制御部により制御されて作動するようになっている。
【００６１】
スライドホルダ２１６の右側面２１６Ｃにおける前端部には、基準位置センサユニット２５４に対応する基準位置検出板２６０がネジ止め固定されている。基準位置検出板２６０はＬ字形とされ、スライドホルダ２１６の右側面２１６Ｃへの取付部（左側部）から略直角に屈曲されて右方へ所定長さ寸法だけ延出された右側部が検出部（光センサ遮光部）とされており、この検出部がスライドホルダ２１６の移動に伴い光センサ２５８のスリット部２５６内を通過又はスリット部２５６内から離脱可能となる位置に配置されている。
【００６２】
ここで、スライドホルダ２１６の移動に伴い、基準位置検出板２６０の検出部先端が光センサ２５８のスリット部２５６内を通過する（スリット部２５６内に配置される）又はスリット部２５６内から離脱すると、光センサ２５８は投受光素子により遮光／非遮光の状態を検出して各状態に応じたＨｉｇｈ／Ｌｏｗの検出信号を出力する。そして、基準位置センサユニット２５４は、この検出信号を回路基板により増幅してコンピュータ１０のピント合せ機構制御部に出力する。
【００６３】
また、コンピュータ１０のピント合せ機構制御部は、ピント合せ機構駆動モータ２４０を駆動制御してスライドホルダ２１６を移動させた際に、基準位置センサユニット２５４から入力された検出信号の出力レベルのＨｉｇｈ／Ｌｏｗが切り替わる位置を、スライドホルダ２１６及びガラス部材２１０の基準位置と認識し、この基準位置の情報をメモリに記憶する。そして、ピント合せ機構駆動モータ２４０の駆動制御では、この基準位置の情報に基づいてピント合せ機構駆動モータ２４０を駆動制御する制御信号を生成し、また必要に応じて基準位置の情報に補正を加えて制御信号を生成し、ピント合せ機構駆動モータ２４０へ出力する。
【００６４】
ピント合せ機構２７０は上記のように構成されており、このピント合せ機構２７０によるレーザ光の焦点距離の調整では、コンピュータ１０のピント合せ機構制御部によりピント合せ機構駆動モータ２４０が駆動制御されると、スライドホルダ２１６に保持されたガラス部材２１０は、図１０に示すように、図中の二点鎖線で示した基準位置から、図１０において（Ａ）に示す矢印ＳＡ方向、又は、（Ｂ）に示す矢印ＳＢ方向へ移動する。
【００６５】
ここで、ガラス部材２１０が基準位置にある場合のガラス部材２１０の光入射面２１０Ａとガラス部材２１２の光出射面２１２Ｂとの距離、すなわち互いの間に設けられた僅かな隙間を含むガラス部材２１０、２１２のトータルの厚さ寸法をｔとすると、厚さ寸法：ｔは、ガラス部材２１０が基準位置から矢印ＳＡ方向へ所定距離だけ移動した場合にはΔｔだけ減少し（−Δｔ）、ガラス部材２１０が基準位置から矢印ＳＢ方向へ所定距離だけ移動した場合にはΔｔだけ増加する（＋Δｔ）。
【００６６】
このように、ガラス部材２１０、２１２の厚さ寸法：ｔが変化すると（±Δｔ）、レーザ光がガラス部材２１０、２１２を透過する透過距離が変化して、レーザ光の焦点距離：ＦＤが変化する（±ΔＦＤ）。なお、図１０に示したＰＳは結像面を表している。
【００６７】
カメラユニット３２は、図１〜図３に示すように、露光ユニット２８よりも往路ａの方向に沿って下流側に配設され、図１１に示すように、一対の梁部３４に固定されるベース部３６と、このベース部３６に対して石定盤１８の幅方向へ移動可能な複数（実施形態１では、４台）のカメラ部３８とで構成されている。カメラユニット３２は、梁部３４において支持柱３０に掛け渡されるように固定されている。
【００６８】
ベース部３６には、後述するボール螺子４４を駆動するボール螺子駆動モータ４５が固定されている。ボール螺子駆動モータ４５もまた、本発明のカメラ移動手段駆動モータに相当し、したがって負荷部品である。
【００６９】
カメラ部３８は、それぞれ独立して前記ベース部３６に沿って配設された互いに平行な一対のレール部４０にカメラベース４２を介してｘ方向に摺動可能に取付けられている。
【００７０】
カメラ部３８は、カメラ本体３８Ａの下面にレンズ部３８Ｂが設けられ、当該レンズ部３８Ｂの突出先端部には、リング状のストロボ光源３８Ｃが取付けられている。カメラ部３８は、また、レンズ部３８Ｂを伸縮させてピントを合わせるピント合せモータ３８Ｄを有している。ピント合せモータ３８Ｄは、本発明のピント調整用モータに相当するから、負荷部品である。
【００７１】
前記カメラベース４２は、それぞれ、ボールねじ機構部４４の駆動によって、石定盤１８の幅方向即ちｘ方向に沿って移動可能であり、前記ステージ１６の移動と、このボールねじ機構部４４の駆動力による石定盤１８の幅方向への移動とによって、ガラス基板２２の所望の位置にレンズ部３８Ｂの光軸を配置することが可能である。
【００７２】
図１、図２、図４、および図５に示すように、露光ユニット２８とカメラユニット３２とは下方が開放された箱状のチャンバ４６内に収容されている。チャンバ４６の上面にはダクト４８が接続されている。ダクト４８の他端は温調ユニット５０に接続されている。チャンバ４６の内部には温度センサ４７が設けられているとともに、温調ユニット５０によって所定の温度に調節されている。なお、内部の構成が明確に示されるように、図１においてはチャンバ４６を２点鎖線で示すとともに、図２においてはチャンバ４６の上面を省略すして側面の一部を二点鎖線で示す。
【００７３】
露光ユニット２８、カメラユニット３２、ステージ１６、および石定盤１８は、図１、図２、図４、および図５に示すように筐体１２内に収容されている。筐体１２は、骨組みにパネルを張った構造を有しているが、図２においてパネルは省略されている。
【００７４】
筐体１２は、露光ユニット２８およびカメラユニット３２を収容する露光ユニット部１２Ａと、ステージ１６を覆うステージ部１２Ｂとに別れている。ステージ部１２Ｂの内部には、載置台１７の表面温度を測定する温度センサ１９が設けられている。温度センサ１９および温度センサ４７における測定結果はコンピュータ１０に入力される。
【００７５】
チャンバ４６は露光ユニット部１２Ａの内部に設けられている。一方、ステージ部１２Ｂの上面には、開閉可能な開閉蓋１４が設けられている。ガラス基板２２の出し入れは、開閉蓋１４を開けて行なう。なお、筐体１２もまた、下方が開放されている。
【００７６】
以下、露光装置１００の作用について説明する。
【００７７】
図１２に示すように、露光装置１００の電源を投入すると、コンピュータ１０は、ステップＳ２において温度センサ１９および温度センサ４７から入力された機内温度である入力温度ＴPと、運転時の機内温度である運転温度ＴOとを比較する。
【００７８】
運転温度ＴOと入力温度ＴPとの差が所定値ＴAよりも小さなときは、ステップＳＳ１４において運転モードに移行する。
【００７９】
一方、運転温度ＴOと入力温度ＴPとの差が所定値ＴA以上のときは、ステップＳ４において立ち上げモードに移行し、ステップＳ６において、運転温度ＴOと入力温度ＴPとの差が所定値ＴB以上か否かを判定する。ここで、所定値ＴBは所定値ＴAよりも小さい。
【００８０】
ステップＳ６で運転温度ＴOと入力温度ＴPとの差が所定値ＴB以上であると判定されたときは、ステップＳ８において負荷部品であるリニアモータ２６、載置台昇降モータ２７、ピント合せ機構駆動モータ２４０、ピント合せモータ３８Ｄ、およびボール螺子駆動モータ４５を全て駆動し、ステージ１６をＹ方向に往復動させつつ、載置台１７を昇降させ、また、ピント合せ機構２７０を駆動させるとともに、カメラユニット３２においてカメラ部３８を往復動させつつ、レンズ部３８Ｂを伸縮させる。
【００８１】
そして、ステップＳ１０において、運転温度ＴOと入力温度ＴPとの差が所定値ＴC以上か否かを判定する。ここで、所定値ＴCは所定値ＴBよりも小さい。
【００８２】
ステップＳ１０で運転温度ＴOと入力温度ＴPとの差が所定値ＴCより小さいと判定されたときは、ステップＳ１４に進んで運転モードに移行する。
【００８３】
一方、ステップＳ１０で運転温度ＴOと入力温度ＴPとの差が所定値ＴC以上であると判定されたときは、リニアモータ２６および載置台昇降モータ２７の駆動のみを継続し、残りの負荷部品を停止させる。
【００８４】
露光装置１００においては、立ち上げモード時に、リニアモータ２６、載置台昇降モータ２７、ピント合せ機構駆動モータ２４０、ピント合せモータ３８Ｄ、およびボール螺子駆動モータ４５を駆動するから、これらのモータからの発熱によってステージ１６、露光ユニット２８、およびカメラユニット３２が予熱される。
【００８５】
したがって、立ち上げ時間が短縮される。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明は、画素をｏｎ／ｏｆｆして画像を形成する露光ヘッドを有する画像装置のほか、インクジェット型の画像形成装置にも適用できる。
【００８７】
また、本発明の画像形成装置で画像が形成あれるワークは、板状のものであれば特に制限はないが、具体的にはプリント基板、ディスプレー用基板などのガラス基板、およびディスプレー用フィルタなどが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】図１は、実施形態１に係る露光装置の概略を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態１の露光装置の概略略を示す側面図である。
【図３】図３は、実施形態１の露光装置の概略を示す平面図である。
【図４】図４は、前記露光装置の備えるステージの構成を示す斜視図である。
【図５】図５は、前記露光装置の備える露光ユニットの構成を示す斜視図である。
【図６】図６は、図５に示す露光ユニットの構成の詳細を示す説明図である。
【図７】図７は、図５に示す露光ユニットの備えるＤＭＤの構成を示す斜視図である。
【図８】図８は、前記ＤＭＤの動作を示す説明図である。
【図９】図９は、図５に示す露光ユニットの備えるピント合せ機構の構成を示す斜視図である。
【図１０】図１０は、前記ピント合せ機構の動作を示す説明図である。
【図１１】図１１は、前記露光装置の備えるカメラユニットの構成を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、実施形態１に係る露光装置における立ち上げモードの流れを示す流れ図である。
【符号の説明】
【００８９】
１０  コンピュータ
１１  特開平
１２  筐体
１４  開閉蓋
１６  ステージ
１６  前記ステージ
１７  載置台
１９  温度センサ
２２  ガラス基板
２６  リニアモータ
２７  載置台昇降モータ
２８  露光ユニット
３２  カメラユニット
３４  梁部
３６  ベース部
３６  前記ベース部
３８  カメラ部
３８Ａ      カメラ本体
３８Ｂ      レンズ部
３８Ｃ      ストロボ光源
３８Ｄ      ピント合せモータ
４４  ボール螺子
４４  機構部
４５  ボール螺子駆動モータ
４６  チャンバ
４７  温度センサ
４８  ダクト
５０  温調ユニット
１００      露光装置
２４０    ピント合せ機構駆動モータ
２８０    露光ヘッド
２７０    ピント合せ機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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