(57)【要約】【課題】  例えば、ラビングロールのクロス材に生じる毛乱れに起因する帯状の配向ムラが低減する。【解決手段】  開口部６３及び１０７の開口形状は、円形である。したがって、開口部６３及び１０７の夫々の縁６４及び１０８は、図中ラビング方向に沿って延在する部分、即ちラビング方向に平行、或いは実際上平行と見なせる程度に延在する部分が低減されている。より具体的には、例えばラビング方向に沿った縁を有する矩形状の開口部に比べて、縁６４及び１０８におけるラビング方向に沿った部分が低減されている。【選択図】  図６
2006215424.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
該基板上に形成された外部との接続用端子部と、
該接続用端子部上に形成された絶縁膜と、
前記接続用端子部の表面の一部が露出するように前記絶縁膜の一部を除去して形成されており、前記絶縁膜上に形成される配向膜をラビングする際のラビング方向に沿って延びる部分が曲線となされた縁を有する開口部と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記開口部の開口形状は、円形であること
を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記開口部の開口形状は、前記ラビング方向に沿った長軸を有する楕円形であること
を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記開口部の開口形状は、前記ラビング方向から傾いた角度に沿った長軸を有する楕円形であること
を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項５】
前記開口部は、前記ラビング方向に沿って互いに連結された複数の補助開口部から構成されていること
を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項６】
前記補助開口部の開口形状は、円形であること
を特徴とする請求項５に記載の電気光学装置。
【請求項７】
前記縁は、前記ラビング方向に沿って波状に延びる部分を含むこと
を特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載の電気光学装置。
【請求項８】
前記縁のうち前記ラビング方向に交わる方向に延びる部分の形状は、曲線であること
を特徴とする請求項１から７の何れか一項に記載の電気光学装置。
【請求項９】
前記縁は、前記ラビング方向に対して傾いた方向に夫々直線的に延在する部分を有し、前記開口部の開口形状は、前記直線的に延在する部分によって囲まれた形状であること
を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項１０】
基板上に外部との接続用端子部を形成する工程と、
該接続用端子部上に絶縁膜を形成する工程と、
前記接続用端子部の表面の一部が露出するように前記絶縁膜の一部を除去し、前記絶縁膜上に形成される配向膜をラビングする際のラビング方向に沿って延びる部分が曲線となされた縁を有する開口部を形成する工程と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
前記絶縁膜上に前記配向膜を形成する工程と、
前記縁が延びる方向に対して傾いた方向にラビングロールを進行させることによって前記配向膜をラビングする工程と
を更に備えたこと
を特徴とする請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
前記開口部を形成する工程において、前記開口部の開口形状が、円形、前記ラビング方向に沿った長軸を有する楕円形、前記ラビング方向から傾いた角度に沿った長軸を有する楕円形、波状の部分を含む形状、又は複数の円形を連結した形状となるように、前記開口部を形成すること
を特徴とする請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１から９の何れか一項に記載の電気光学装置を具備してなること
を特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、配向膜をラビングするラビング工程を経て製造される液晶装置等の電気光学装置及びその製造方法、並び、例えば液晶装置等を備えた電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置、ガラス基板、石英基板等からなる２枚の基板間に液晶を封入して構成されおり、一方の基板に、薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと称す。）等のスイッチング素子をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間の封止した液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることによって、画像表示を可能としている。
【０００３】
ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板及び対向電極が形成された対向基板は別々に形成され、液晶層と接する面に形成された配向膜にラビング処理が行われた後、高精度で貼り合わせられる。ＴＦＴ基板の上層に積層された外部端子電極、或いはＴＦＴ基板及び対向基板を電気的に接続するための電極等を外側に露出するために、ＴＦＴ基板の画像表示領域を除く領域に凹溝が形成されていることが一般的である。
【０００４】
また、この種の電気光学装置では、表示品質を向上させるための技術開発が各種行われており、例えば、上述した凹溝を利用して表示品質を向上させる技術が開示されている（例えば、特許文献１。）。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２３２３９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ＴＦＴ基板上における凹溝等の凹凸形状の存在により、配向膜に細かい配向ムラが形成されてしまい、この配向ムラの存在によって表示品質が低下する問題がある。このような問題を解消するために各種技術が検討されているが、未だ十分とはいえない状況である。例えば、ＴＦＴ基板の表面に形成された開口部の縁がラビング方向に平行に延びる部分を有している場合、この平行に延びる部分を境にしてラビングロールのクロス材に毛乱れが生じることが考えられる。より具体的には、この毛乱れが生じたラビングロールでラビング処理を行った場合、配向膜に帯状の配向ムラが生じる可能性がある。本願発明者は、ラビングロールのクロス材に生じる毛乱れによって配向ムラが生じ、この配向ムラが液晶装置等の表示品質を低下させる一因になると考えている。
【０００７】
よって、本発明は上記問題点等に鑑みてなされたものであり、例えば、ラビングロールのクロス材に生じる毛乱れに起因する帯状の配向ムラが低減され、高い表示品質を有する液晶装置等の電気光学装置及びその製造方法、並びにこの液晶装置等を備えた電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る電気光学装置は上記課題を解決するために、基板と、該基板上に形成された外部との接続用端子部と、該接続用端子部上に形成された絶縁膜と、前記接続用端子部の表面の一部が露出するように前記絶縁膜の一部を除去して形成されており、前記絶縁膜上に形成される配向膜をラビングする際のラビング方向に沿って延びる部分が曲線となされた縁を有する開口部とを備えている。
【０００９】
本発明に係る電気光学装置では、例えば、基板上にＴＦＴ等の素子、導電層及び層間絶縁膜を含む積層構造が形成されており、接続用端子部は、ＴＦＴ或いは導電層と直接或いは間接的に電気的に接続されている。接続用端子部の表面の一部は、接続用端子部上に形成された絶縁膜の一部が除去されることによって露出する。即ち、本発明に係る電気光学装置では、開口部は、基板上に接続用端子部が形成された後、例えば接続用端子部の上に形成された絶縁膜を接続用端子部の表面の一部が露出するようにエッチングすることによって形成される。絶縁膜は、例えば基板上に形成される積層構造の最上層であり、開口部を避けるように形成されていればよい。本発明に係る電気光学装置によれば、例えば、絶縁膜の上側からＴＦＴ基板に対向基板を貼り合わせた場合、対向基板に設けられた導電部及びＴＦＴ基板の接続用端子部の表面が当接し、ＴＦＴ基板及び対向基板を電気的に接続できる。
【００１０】
開口部は、絶縁膜上に形成される配向膜をラビングする際のラビング方向に沿って延びる部分が低減された縁を有しているため、ラビング方向に沿ってラビングロールのクロス材に毛乱れが生じることを低減できる。より具体的には、例えば、縁におけるラビング方向に沿って延びる部分を境にしてラビングローラのクロス材の毛乱れに極端な差が生じることを低減できる。ここで、「ラビング方向に沿って」とは、ラビング方向と平行、若しくは実際上平行とみなせる程度まで、縁の一部が延びる方向がラビング方向と揃っていることを意味する。即ち、クロス材の表面に毛乱れの程度の差が極端に変化しているのではなく、クロス材の表面におけるラビング方向に沿った境界の両側の領域で、クロス材の毛乱れの分布がクロス材の表面でなだらかに変化していることになる。したがって、ラビング方向に沿ってクロス材の毛乱れが極端に変化していることに起因して配向膜に帯状状の配向ムラが生じることを低減できる。本発明に係る電気光学装置によれば、例えば、画像を表示した際に画像表示面で視認されるスジ等の表示不良を低減でき、表示品質を向上させることが可能である。
【００１１】
本発明に係る電気光学装置の一の態様においては、前記開口部の開口形状は、円形であってもよい。
【００１２】
この態様によれば、ラビング方向が絶縁膜表面のどの方向であっても、縁におけるラビング方向に沿った部分は低減されており、ラビング方向に沿って延びる縁に起因して生じるクロス材の毛乱れを低減できる。したがって、配向膜に帯状の配向ムラが生じることを低減できるだけでなく、例えば、ラビング方向に縁が平行に延在しないように開口部を形成する場合に比べて、開口部を形成する際の絶縁膜を除去する工程におけるプロセス制御も簡便なものとなり、開口部を簡便に形成できる。ここで、「開口形状」とは、絶縁膜の表面と同一面内で縁によって囲まれた形状である。この態様によれば、例えば、端子部を介してＴＦＴ基板及び対向基板の電気的な接続を行いつつ、配向膜に生じる帯状の配向ムラを低減でき、表示品質を向上させることが可能である。
【００１３】
本発明に係る電気光学装置の他の態様においては、前記開口部の開口形状は、前記ラビング方向に沿った長軸を有する楕円形であってもよい。
【００１４】
この態様によれば、ラビング方向に沿ったクロス材の毛乱れの差が配向膜表面内の各領域で極端に大きくなることを低減できる。加えて、ラビング方向に交わる方向、即ち開口部の短軸方向に沿った狭いピッチで複数の開口部を形成する場合でも、クロス材の毛乱れがラビング方向に沿った境界で急激に変化することを低減できる。
【００１５】
本発明に係る電気光学装置の他の態様においては、前記開口部の開口形状は、前記ラビング方向から傾いた角度に沿った長軸を有する楕円形であってもよい。
【００１６】
この態様によれば、開口部の縁のうちラビング方向に沿った線分成分を少なくすることができ、クロス材の毛乱れの差が配向膜表面内の各領域で極端に大きくなることを効果的に低減できる。
【００１７】
本発明に係る電気光学装置の他の態様においては、前記開口部は、前記ラビング方向に沿って互いに連結された複数の補助開口部から構成されていてもよい。
【００１８】
この態様によれば、例えば、複数の補助開口部の夫々に導電部材で構成されたプローブを接触させることによって、容易に電気光学装置の電気特性を検査できる。より具体的には、前記ラビング方向に沿って互いに連結された複数の補助開口部は、ラビング方向に沿ってずれているため、ラビング方向に交わる方向に狭いピッチで開口部が形成されている場合でも、ラビング方向に沿ってプローブをずらした状態で電気光学装置の電気特性を検査できる。
【００１９】
この態様では、前記補助開口部の開口形状は、円形であってもよい。
【００２０】
この態様によれば、補助開口部に対してどの方向からラビングを行った場合でも、ラビング方向に沿ってラビングクロスに毛乱れが生じることがない。したがって、容易に電気特性を検査されることによって信頼性が確保されつつ、表示品質も高められた高性能の電気光学装置を提供できる。
【００２１】
本発明に係る他の態様においては、前記縁は、前記ラビング方向に沿って波状に延びる部分を含んでいてもよい。
【００２２】
この態様によれば、縁が波状に延びる部分を含んでいるため、ラビング方向に沿って生じるラビングクロスの毛乱れを低減でき、ラビングクロスの毛乱れによって生じる配向膜のムラを低減できる。
【００２３】
本発明に係る他の態様では、前記縁のうち前記ラビング方向に交わる方向に延びる部分の形状は、曲線であってもよい。
【００２４】
この態様によれば、例えばラビング方向に交わる方向に沿って延びる縁に起因して生じるラビングクロスの毛乱れも低減できる。したがって、ラビング方向及びラビング方向に交わる方向に沿って生じるラビングクロスの毛乱れを低減でき、ラビング方向に沿って生じるラビングクロスの毛乱れのみを低減する場合に比べて効果的に表示品質を高めることが可能である。
【００２５】
本発明に係る電気光学装置の他の態様においては、前記縁は、前記ラビング方向に対して傾いた方向に夫々直線的に延在する部分を有し、前記開口部の開口形状は、該直線的に延在する部分によって囲まれた形状であってもよい。
【００２６】
この態様によれば、前記ラビング方向に対して傾いた方向に夫々直線的に延在する部分を有する縁によって、例えば、開口部の開口形状を菱形等の四角形にすることができる。ここで、菱形等の四角形の各辺は、前記ラビング方向に対して傾いているのでラビングによって配向膜に生じるラビング方向に沿って生じるラビングクロスの乱れを低減できる。尚、縁の直線的に延在する部分に囲まれた形状は、四角形に限定されるものではなく、他の多角形であてもよいことは言うまでもない。
【００２７】
本発明に係る電気光学装置は上記課題を解決するために、基板上に外部との接続用端子部を形成する工程と、該接続用端子部上に絶縁膜を形成する工程と、前記接続用端子部の表面の一部が露出するように前記絶縁膜の一部を除去し、前記絶縁膜上に形成される配向膜をラビングする際のラビング方向に沿って延びる部分が曲線となされた縁を有する開口部を形成する工程とを備える。
【００２８】
この態様によれば、上述の本発明の電気光学装置と同様に、例えば、画像を表示した際に視認されるスジ等の表示不良を低減でき、電気光学装置の表示品質を向上させることが可能である。
【００２９】
本発明に係る電気光学装置の製造方法の一の態様においては、前記絶縁膜上に前記配向膜を形成する工程と、前記縁が延びる方向に対して傾いた方向にラビングロールを進行させることによって前記配向膜をラビングする工程とを更に備えていてもよい。
【００３０】
この態様によれば、縁の延びる方向を制御するだけでなく、ラビング方向を制御することによって相対的にラビング方向に沿って生じるラビングクロスの毛乱れを低減できる。したがって、縁が延在される方向及びラビング方向の両方を調整することによって、効果的にラビングクロスの毛乱れを低減でき、表示品質を向上させることが可能である。
【００３１】
本発明に係る電気光学装置の製造方法の他の態様においては、前記開口部を形成する工程において、前記開口部の開口形状が、円形、前記ラビング方向に沿った長軸を有する楕円形、前記ラビング方向から傾いた角度に沿った長軸を有する楕円形、波状の部分を含む形状、又は複数の円形を連結した形状となるように、前記開口部を形成してもよい。
【００３２】
この態様によれば、上述の本発明の電気光学装置と同様に効果的にクロス材の毛乱れを低減できる。
【００３３】
本発明に係る電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置を備えている。
【００３４】
本発明に係る電子機器によれば、上述した本発明に係る電気光学装置を具備してなるので、高品位の表示が可能な、投射型表示装置、液晶テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明に係る電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置の他に、電子放出素子を利用した表示装置（Field Emission Display及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display）、DLP（Digital  Light  Processing）等も実現することが可能である。
【００３５】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、図面を参照しながら本実施形態の電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器を説明する。尚、本実施形態では、本発明に係る電気光学装置として液晶装置を例に挙げる。
【００３７】
（液晶装置の全体構成）
先ず、図１及び図２を参照しながら、本実施形態の液晶装置８０の構成を説明する。図１は、液晶装置８０の平面図であり、液晶装置８０をＴＦＴアレイ基板１１０上に配置される対向基板１２０側から見た平面図である。図２は、図１のＨ−Ｈ'線断面図である。
【００３８】
図１及び図２において、液晶装置８０は、ＴＦＴアレイ基板１１０と、ＴＦＴ基板１１０に対向配置される対向基板１２０とを備えている。ＴＦＴアレイ基板１１０及び対向基板１２０の間には液晶層５０が封入されている。ＴＦＴアレイ基板１１０及び対向基板１２０は、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００３９】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させる。シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１１０と対向基板１２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。本実施形態の液晶装置８０は、例えばプロジェクタのライトバルブ用として小型で拡大表示を行う場合や、画像表示装置としてそのままそのまま用いられる場合、或いは各種電子機器の画像表示部として用いられるものとして適している。
【００４０】
対向基板１２０の４つのコーナー部には、ＴＦＴ基板１１０及び対向基板１２０間の上下導通端子として機能する上下導通材１０６が設けられている。対向基板１２０は、シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して設けられた額縁遮光膜５３を備えている。額縁遮光膜５３は、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
【００４１】
ＴＦＴ基板１１０は、本発明に係る「基板」の一例である平板状の基材１０上に形成された絶縁膜６１、絶縁膜６１の一部を除去して形成された開口部６３、表面の少なくとも一部が開口部６３から露出する上下導通端子６０及び絶縁膜６１上における画像表示領域１０ａに形成された配向膜９ａを備えている。上下導通端子６０は、本発明に係る「端子部」の夫々一例であり、例えばアルミニウム等の導電材料で形成されている。ＴＦＴ基板１１０及び対向基板１２０を貼り合わせた際に、上下導通材１０６が上下導通端子６０に接触することによって、ＴＦＴアレイ基板１１０及び対向基板１２０が電気的に接続されている。
【００４２】
ＴＦＴ基板１１０は、画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域に、データ線駆動回路１０１及び本発明に係る「端子部」の一例である外部回路接続端子１０２を備えている。データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２はＴＦＴアレイ基板１１０の一辺に沿って設けられている。外部回路接続端子１０２の表面の少なくとも一部は、絶縁膜６１の一部を除去して形成された開口部１０７に露出する。
【００４３】
図１において、ＴＦＴ基板１１０は、ＴＦＴ基板１１０における画像表示領域１０ａを挟むように図中上下方向に延在する領域で額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられた走査線駆動回路１０４を備えている。図中、画像表示領域１０ａの左側及び右側の夫々の領域に設けられた二つの走査線駆動回路１０４間をつなぐため、図中左右方向に延びるＴＦＴアレイ基板１１０の一辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして複数の配線１０５が設けられている。
【００４４】
図２において、配向膜９ａは、不図示の画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線を含む多層構造が基材１０上に設けられた後、この多層構造の上に形成された画素電極を覆うように形成されている。上下導通端子６０は、多層構造を構成する不図示の画素スイッチング用のＴＦＴ、走査線、或いはデータ線等の配線と電気的に接続されている。他方、対向基板１２０上には、対向電極２１の他、格子状又はストライプ状の遮光膜２３、更には液晶層５０と接する側の表面に配向膜９ｈが形成されている。液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、ＴＦＴ基板１１０及び対向基板１２０の夫々が備える配向膜９ａ及び９ｈ間で、所定の配向状態が維持される。
【００４５】
尚、図１及び図２に示した基材１０上には、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、液晶装置８０の電気特性等の品質、或いは欠陥等を製造途中や出荷時に検査するための検査回路等を形成してもよい。
【００４６】
（配向ムラの発生原因に関する考察）
次に、図３乃至図５を参照しながら、本願発明者が考察する配向ムラの発生原因を説明し、その後、液晶装置８０が有するＴＦＴ基板１１０の詳細な構成を説明する。図３は、ＴＦＴ基板２１０の表面における画像表示領域に形成された配向膜９０をラビング処理するラビング装置の要部の構成を示す斜視図である。図４及び図５は、配向ムラが発生する原因を説明するための図であり、図４は、ＴＦＴ基板２１０に設けられた開口部１６０と、ラビングローラ２との位置関係を図式的に示した斜視図であり、図５は、ＴＦＴ基板２１０の配向膜９０に生じた配向ムラ及びラビングローラ２の位置関係を図式的に示した斜視図である。尚、ＴＦＴ基板２１０は、後に詳細に説明するＴＦＴ基板１１０と開口部の形状が異なる以外は同様の構成を有する。
【００４７】
図３において、ラビング装置１は、基台４の上面（以下、基準平面と称す。）４ａに固定されたラビングローラ２と、ラビング処理の際にＴＦＴ基板２１０を搭載して基準平面４ａ上を移動するパレット５と、パレット５に載置したＴＦＴ基板２１０の配向膜９０がラビングローラ２の周面２ｂに当接するようにパレット５を基準平面４ａ上においてガイドするガイド６と、ラビングローラ２の回転軸２ｃに回転駆動力を供給するモータ７とをその主要部として備える。
【００４８】
ラビングローラ２は、布製のクロス材で形成されたローラ周面２ｂを有するローラ部２ａ、回転軸２ｃ、一対の軸受け２ｄにより基準平面に平行な平面上に回転自在に軸支されている。一対の軸受け２ｄは、基準平面４ａに対して不図示の高さ調整機構を有しており、ローラ２の高さを任意に調節できるようになっている。
【００４９】
ラビングローラ２は、軸受け２ｄで支持された回転軸２ｃを介してモータ７により回転力が供給され、ローラ部２ａの周面２ｂが一方向に、例えば３００ｒｐｍで回転しながらＴＦＴ基板２１０の表面に形成された配向膜９０に当接し、ＴＦＴ基板２１０の配向膜９０の表面に細かい溝を形成して配向膜９０を配向異方性の膜にする。
【００５０】
パレット５は、ラビング処理の際に、パレット５上にＴＦＴ基板２１０を載置して、基準平面４ａ上でガイド６により移動し、パレット５の載置したＴＦＴ基板２１０をラビングローラ２に夫々当接させるものである。尚、ガイド６は、不図示のパレット角調整機構を有し、パレット角調整機構はラビング処理時に、ラビングローラに対してＴＦＴ基板９の当接角度を可変、固定するものである。したがって、ラビング処理を行う際に、開口部の縁が延在する方向に対してラビング方向を傾いた方向に設定することが可能である。
【００５１】
図４において、ＴＦＴ基板２１０が備える絶縁膜６１の一部に開口する開口部１６０は、ラビング方向に沿って延びる線状部分１６４ａを有する縁６４を有している。尚、開口部１６４は、絶縁膜１６１上における画像表示領域に形成される形成される配向膜９０の周辺領域に設けられている。
【００５２】
配向膜９０をラビングする際に、ラビングローラ２を絶縁膜１６１の表面に当接させた状態で回転させた場合、ラビングローラ２のクロス材の表面３２１に生じる毛乱れの分布に極端な差が生じると考えられる。より具体的には、ラビングローラ２の表面３２１のうち線状部分１６４ａに沿った境界部３２２を境にして開口部１６０上を通る領域３２１ａ及び絶縁膜１６１の表面を通る領域３２１ｂでクロス材の毛乱れの程度に極端な差が生じると考えられる。領域３２１ａ及び３２１ｂで毛乱れに違いが生じる原因の一つとしては、ラビングローラ２が絶縁膜１６１から受ける応力の違いが考えられる。より具体的には、ラビングローラ２０を絶縁膜１６１に押し付けながら回転移動させた場合、領域３２１ｂ全体は絶縁膜１６１の表面から大きな応力を受ける。一方、領域３２１ａに加わる応力は、開口部１６０上を通過する分だけ領域３２１ｂに比べて小さい。したがって、絶縁膜１６１の表面から受ける応力差に応じて線状部分１６４ａに沿った境界部３２２の両側でラビングローラ２の表面３２１に毛乱れに極端な差が生じると推測される。
【００５３】
図５において、領域３２１ａ及び３２１ｂ間で毛乱れに極端な差が生じた状態で配向膜３０をラビングした場合、配向膜３０のうち領域３２１ａに当接する領域３０ａと、領域３２１ｂに当接する領域３０ｂで配向膜３０の配向性に極端な差が生じ、配向膜３０にラビング方向に沿った配向ムラが生じると考えられる。したがって、開口部１６０の縁１６４のうちラビング方向に沿って延びる部分である線状部分１６４ａを低減することが、配向膜の配向ムラを低減するためには重要になると推測される。
【００５４】
（ＴＦＴ基板の構成）
次に、上述した配向ムラの発生原因に関する考察を踏まえたうえで、図６乃至図１２を参照しながら、ＴＦＴ基板１１０に設けられた開口部６３及び１０７の開口形状を説明する。
【００５５】
図６は、ＴＦＴ基板１１０の構成を示す平面図である。図６において、ＴＦＴ基板１１０は、基材１０上に不図示のＴＦＴ等の素子、導電層及び層間絶縁膜を含み、最上層に形成された絶縁膜６１、絶縁膜６１の一部を除去して形成された開口部６３及び１０７を備える。開口部６３及び１０７の夫々の開口領域には、絶縁膜６１の下層側に形成された上下導通端子６０及び１０２が夫々露出する。上下導通端子６０及び１０２は、ＴＦＴ基板１１０が備えるＴＦＴ或いは導電層と直接或いは間接的に電気的に接続されている。開口部６３及び１０７は、基材１０上に上下導通端子６０及び１０２が形成された後、絶縁膜６１から上下導通端子６０及び１０２の表面の少なくとも一部が露出するように絶縁膜６１の一部を除去して形成されている。
【００５６】
開口部６３及び１０７から露出する上下導通端子６０及び１０２は、これら端子の表面の一部が開口部６３及び１０７から露出していれば如何なる平面形状であってもよい。本実施形態では、上下導通端子６０及び１０２の平面形状は矩形状であるが、その他の形状であってもよい。上下導通端子６０及び１０２の一部或いは全体が、基材１０表面内の所要の方向に延在されていてもよい。
【００５７】
開口部６３及び１０７の開口形状は、円形である。したがって、開口部６３及び１０７の夫々の縁６４及び１０８は、図中ラビング方向に沿って延在する部分、即ちラビング方向に平行、或いは実際上平行と見なせる程度に延在する部分が低減されている。より具体的には、例えばラビング方向に沿った縁を有する矩形状の開口部に比べて、縁６４及び１０８におけるラビング方向に沿った部分が低減されている。加えて、開口部６３及び１０７は開口形状が円形であるため、配向膜９ａの表面内のどの方向から配向膜９ａをラビング処理する場合であっても、縁６４及び１０８は、ラビング方向に対して傾いた方向に延びていることになる。
【００５８】
縁６４及び１０８によれば、配向膜９ａをラビング処理する際に、縁６４及び１０８の夫々に当接するラビングローラ２０２の表面において、縁６４及び１０８に当接する部分を境にしてその境の両側の領域で毛乱れの程度に極端に大きな差が生じることを効果的に低減できる。より具体的には、ラビングローラ２０２の表面のうち縁６４及び１０８の夫々に当接する部分を境にして、クロス材の毛乱れにクラデーションが生じる。したがって、ラビングローラ２０２の表面における毛乱れに極端な差が生じた領域が夫々配向膜９ａに当接することによって、配向膜９ａに帯状の配向ムラが生じることを低減できる。加えて、開口部６３の開口形状を円形にすることにより、ラビング方向に沿った部分を低減するように直線的な縁を有する開口部を形成する場合に比べて、開口部を形成する際の開口形状の制御も容易になる。即ち、ラビング方向に傾いた方向に延びるように直線的な縁の向きを調整しながら開口部を形成する必要が無くなる。よって、開口形状が円形の開口部６３及び１０７を形成することによって、上下導通端子６０及び１０２を介してＴＦＴ基板１１０及び対向基板１２０の電気的な接続を行いつつ、配向膜９ａに生じる帯状の配向ムラを低減でき、液晶装置８０の表示品質を向上させることが可能である。
【００５９】
図７は、図６のＡ−Ａ´線断面図である。図７において、基材１０の表面に形成された上下導通端子６０の表面の一部は、絶縁膜６１の一部を除去して形成された開口部６３から露出する。縁６４は、絶縁膜６１上に形成される配向膜９ａをラビング処理する際のラビング方向に沿って延びる部分が低減された縁６４を有しているため、クロス材におけるラビング方向に沿った境界部の両側の領域で毛乱れに極端な差が生じることを低減できる。
【００６０】
以上により、本実施形態の液晶装置８０によれば、配向膜９ａにおけるラビング方向に沿った配向ムラを低減できるため、画像を表示した際に視認されるスジ等の表示不良を低減でき、液晶装置８０の表示品質を向上させることが可能である。
【００６１】
次に、図８乃至図１１を参照しながら開口部の開口形状の変形例を説明する。尚、以下の各変形例に示す開口部は、上述した開口部と同様にＴＦＴ基板の最上層に設けられた絶縁膜の一部を除去して形成されたものであり、絶縁膜の下層に形成された上下導通端子の表面の一部が開口部から露出する。
【００６２】
（変形例１）
図８は開口部の一例を示す平面図である。
【００６３】
図８において、開口部１１１の開口形状は、ラビング方向に沿った長軸を有する楕円形である。開口部１１１は、開口部６３及び１０７と同様にラビング方向に沿って延在する部分が低減された縁１１４を有しているため、ラビングローラの表面のうち縁１１４に当接する部分を先にした両側の領域で毛乱れの程度に極端な差が生じることを低減できる。したがって、開口部６３及び１０７と同様に、画像を表示した際にラビング方向に沿ってスジ状の不具合が生じることを低減できる。
【００６４】
図９に示すように、開口部１１１は、ラビング方向に交わる方向、即ち、楕円形状を有する開口部１１１の短軸方向に沿って複数形成されている。開口部１１１によれば、開口部の開口形状を円形にする場合に比べて、開口部１１１のラビング方向に交わる方向に沿った幅が、開口部におけるラビング方向の沿った長さに比べて短いため、ラビング方向に沿って短いピッチで複数の開口部１１１を形成できる。したがって、本例の開口部１１１によれば、ラビング方向に交わる方向、即ち開口部１１１の短軸方向に沿った狭いピッチで開口部１１１を形成する場合でも、ラビングロールの毛乱れの程度に極端な差が生じることを低減できる。
【００６５】
（変形例２）
図９は開口部の他の一例を示す平面図である。
【００６６】
図９において、開口部１２１が有する縁１２４は、ラビング方向に沿って波状に延びる波状部１２４ａを含んでいる。
【００６７】
波状部１２４ａは、全体としてはラビング方向に沿って延在されているが、一端から他端までの間の各部を局所的にみれば、各部の形状はラビング方向に対して傾いた方向に延びるように曲線状であり、これら各部が連続して繋がっていることにより波状部１２４a全体で連続した縁１２４の一部を構成する。したがって、開口部１２１が有する縁１２４におけるラビング方向に沿った部分が低減されていることになる。開口部１２１によれば、ラビング方向に沿って生じるラビングクロスの毛乱れの程度に極端な差が生じることを低減でき、ラビング方向に沿った配向ムラを低減することが可能である。
【００６８】
尚、図９に示すように、開口部１２１の縁１２４におけるラビング方向に交わる方向に延びる線状部１２４ｂは、ラビング方向に交わる方向に対して傾いた形状を有しているほうが好ましく、例えば本例のように曲線形状であるほうが望ましい。線状部１２４ｂによれば、縁１２４のうちラビング方向に沿って延びる部分によって生じる配向だけでなく、ラビング方向に交わる方向に延在する部分によって生じる配向ムラも低減でき、配向膜の配向ムラを効果的に低減することが可能であり、液晶装置の表示品質を効果的に高めることが可能である。尚、本例の縁１２４は、図中点線で示すように線状部１２４ｂが直線状である場合を除外するものではない。
【００６９】
（変形例３）
図１０は、開口部１３１の他の一例を示す平面図である。
【００７０】
図１０において、開口部１３１は、ラビング方向に沿って互いに連結された２つの補助開口部１３２ａ及び１３２ｂから構成されている。
【００７１】
補助開口部１３２ａ及び１３２ｂの夫々の開口形状は、円形であるため、補助開口部１３２に対して絶縁膜表面内のどの方向からラビング処理を行った場合でも、ラビング方向に対して傾いた方向に補助開口部１３２ａ及び１３２ｂの夫々の縁１３４ａ及び１３４ｂが延びていることになる。したがって、既に説明した開口部の各例と同様にラビング方向に沿った帯状の配向ムラを低減できる。また、本例では、２つの補助開口部１３２ａ及び１３２ｂが連結されているが、３つ以上の補助開口部がラビング方向に沿って連結されていてもよい。
【００７２】
２つの補助開口部１３２ａ及び１３２ｂは、これら補助開口部１３２を備える液晶装置等の電気光学装置の電気特性を検査する際に有効である。より具体的には、ラビング方向に沿ってずれて設けられた補助開口部１３２ａ及び１３２ｂの夫々に露出する端子部に導電部材で構成されたプローブを接触させることによって、容易に電気光学装置の電気特性を検査できる。即ち、ラビング方向に交わる方向に狭いピッチで開口部１３１が形成されている場合でも、ラビング方向に沿ってプローブをずらした状態で電気光学装置の電気特性を検査でき、開口部１３１のピッチに合わせてプローブを近接させることなく、電気特性を検査できる。したがって、検査用のプローブを近接させることによって、これらプローブが接触することによる検査ミスを低減でき、信頼性が確保されつつ、表示品質も高められた高性能の電気光学装置を提供できる。
【００７３】
（変形例４）
図１１は開口部の他の一例を示す平面図である。
【００７４】
図１１において、開口部１４１の縁１４４は、ラビング方向に対して傾いた方向に夫々直線的に延在する線状部１４４ａ及び１４４ｂを有しており、開口部１４１の開口形状はこれら線状部１４４が互いに連結されることによって形成された形状を有する。本例では、開口部１４１の開口形状は菱形である。したがって、上述した鶴唳の開口部と同様にラビング方向に沿った帯状の配向ムラが生じることを低減できる。
【００７５】
また、菱形の各辺である線状部１４４ａ及び１４４ｂは、図中矢印Ｘ１及びＸ２の夫々で示す方向に沿ってラビング方向が設定されないように配向膜にラビング処理を行えば、縁１４４が直線部１４４ａ及び１４４ｂを有している場合であっても、ラビング方向に沿った配向ムラを低減できる。
【００７６】
（液晶装置の製造方法）
次に、図１２を参照しながら液晶装置８０の製造方法を説明する。
【００７７】
図１２（ａ）において、基材１０上に上下導通端子６０又は１０２を形成する。上下導通端子６０又は１０２は、基材１０表面の面内方向に沿って延在される。上下導通端子６０又は１０２は、一旦基材１０表面に導電膜を成膜した後、所要の平面形状になるように導電膜をエッチングして形成される。
【００７８】
次に図１２（ｂ）において、上下導通端子６０又は１０２上に絶縁膜６１を形成する。この際、絶縁膜６１の表面を平坦化しておいてもよい。
【００７９】
次に、図１２（ｃ）において、上下導通端子６０又は１０２の表面の少なくとも一部が露出するように絶縁膜６１の一部を除去し、開口部６３又は１０７を形成する。この際、絶縁膜６１を除去するエッチング条件を調整することによって、後の工程で絶縁膜６１上に形成される配向膜に対してラビング処理のラビング方向に沿った部分が低減された縁６４又は１０８を有するように開口部６４又は１０７を形成できる。
【００８０】
次に、開口部６３又は１０７を避けるように絶縁膜６１の表面に配向膜３０を形成する。続いて配向膜３０のラビング処理を行いＴＦＴ基板１１０が形成される。その後、対向基板１２０をＴＦＴ基板１１０に接着し、これら基板間に液晶を封入し、液晶装置８０を形成する。尚、配向膜３０にラビング処理する際に、開口部６３又は１０７の縁６４又は１０８がラビング方向に対して相対的に傾いた方向に延在するようにラビングローラの進行方向に対してＴＦＴ基板１１０の位置を調整することも可能である。
【００８１】
本実施形態の液晶装置の製造方法によれば、画像を表示した際に視認されるスジ等の表示不良を低減でき、液晶装置の表示品質を向上させることが可能である。
【００８２】
（電子機器）
次に、図１３及び図１４を参照しながら上述した液晶装置が搭載された各種電子機器について説明する。本実施形態の電子機器は上述した液晶装置を備えているため、優れた表示品質を備えている。また、上述の液晶装置を大画面の電子機器に適用することにより、例えば、大型サイズの画像表示面を備えたテレビ用モニタを構成することも可能である。さらに、大型サイズの画像表示面を備えた電子機器に限定されず、以下に示す各種電子機器においても、上述した電気光学基板を適用である。
【００８３】
＜Ａ：モバイル型コンピュータ＞
モバイル型のパーソナルコンピュータに、上述した液晶装置を適用した例について、図１３を参照しながら説明する。ここに、図１３は、コンピュータ１２００の構成を示す斜視図である。
【００８４】
図１３において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、図示しない液晶装置を用いて構成された表示部１００５を有する表示ユニット１２０６とを備えている。表示部１００５は、画像を表示する際のスジ状の不具合が低減された高品質の画像を表示可能である。また、表示部１００５を構成する液晶装置に光源で発生した光を赤、緑、青の光の三原色として画素部から出射するカラーフィルタを設けておくことにより、該表示部１００５はフルカラー表示で画像表示を行うことができる。
【００８５】
＜Ｂ：携帯型電話機＞
更に、上述した液晶装置を携帯型電話機に適用した例について、図１４を参照して説明する。ここに、図１４は、携帯型電話機１３００の構成を示す斜視図である。図１４において、携帯型電話機１３００は、複数の操作ボタン１３０２と共に、本発明の一実施形態である液晶装置を有する表示部１３０５を備えるものである。
【００８６】
表示部１３０５は、上述の表示部１３０５と同様に上述した液晶装置を備えている。この液晶装置は、配向ムラが低減されており、また、表示部１３０５が備える液晶装置は内部回路等の検査が確実に実施されているため、高い信頼性を有しており、高品質の画像を長期間に亘って表示できる。特に、携帯型電話機１３００では、長期間に亘って支障無く使用できるほど良いため、本例の携帯型電話機１３００に本発明の電気光学装置の一例である液晶装置を適用することは好ましい。また、上述のモバイル型コンピュータと同様に表示部１３０５が備える液晶装置が赤、緑、青の光を出射可能な画素部を有していることにより、表示部１３０５はフルカラー表示で画像表示を行うこともできる。このように、比較的小型の画像表示面を備える電子機器においても、本発明に係る電気光学装置を用いることができる。
【００８７】
尚、本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本実施形態の液晶装置８０の平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ´線断面図である。
【図３】ラビング装置の要部構成を示す斜視図である。
【図４】ＴＦＴ基板２１０に設けられた開口部１６０と、ラビングローラ２との位置関係を図式的に示した斜視図である。
【図５】ＴＦＴ基板２１０の配向膜９０に生じた配向ムラ及びラビングローラ２の位置関係を図式的に示した斜視図である。
【図６】ＴＦＴ基板１１０の構成を示す平面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ´線断面図である。
【図８】本実施形態の開口部の他の例（変形例１）を示す平面図である。
【図９】本実施形態の開口部の他の例（変形例２）を示す平面図である。
【図１０】本実施形態の開口部の他の例（変形例３）を示す平面図である。
【図１１】本実施形態の開口部の他の例（変形例４）を示す平面図である。
【図１２】本実施形態の液晶装置の製造工程を示す工程断面図である。
【図１３】本実施形態の電子機器の一例を示す斜視図である。
【図１４】本実施形態の電子機器の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８９】
１１０・・・ＴＦＴ基板、１２０・・・対向基板、６３，１０７，１１１，１２１，１３１，１４１・・・開口部、１３２・・・補助開口部、６４，１０８・・・縁
【図１】
2006215424.tif 000003
【図２】
2006215424.tif 000004
【図３】
2006215424.tif 000005
【図４】
2006215424.tif 000006
【図５】
2006215424.tif 000007
【図６】
2006215424.tif 000008
【図７】
2006215424.tif 000009
【図８】
2006215424.tif 000010
【図９】
2006215424.tif 000011
【図１０】
2006215424.tif 000012
【図１１】
2006215424.tif 000013
【図１２】
2006215424.tif 000014
【図１３】
2006215424.tif 000015
【図１４】
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