(57)【要約】【課題】  本発明は、機能液タンクの機能液残量を均一化することができる液滴吐出装置の描画制御方法を提供することを課題とする。【解決手段】  本発明の液滴吐出装置１の描画制御方法は、ワークＷのワーク幅に応じて実稼動に供するキャリッジユニット２３のユニット数を決定するユニット数決定工程と、キャリッジユニット２３毎に、搭載した機能液タンク３６の機能液量を管理する機能液量管理工程と、決定されたユニット数および各機能液タンク３６の機能液量に基づいて、複数の機能液タンク３６間でその機能液残量が平均化するように実稼動に供するキャリッジユニット２３を選定するユニット選定工程と、選定結果に基づいて、複数のキャリッジユニット２３を描画エリア４４および待機エリア４５間において、選択的に移動させるキャリッジ移動工程と、を備えている。【選択図】  図２
2006061849.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドおよび前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクを搭載したキャリッジを有し、描画エリアと待機エリアとの間で個々に移動自在に構成された複数のキャリッジユニットを備え、
ワークに対し、前記複数のキャリッジユニットを相対的に移動させながら、前記描画エリアにおいて前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置の描画制御方法であって、
前記ワークのワーク幅に応じて実稼動に供する前記キャリッジユニットのユニット数を決定するユニット数決定工程と、
前記キャリッジユニット毎に、搭載した前記機能液タンクの機能液量を管理する機能液量管理工程と、
決定された前記ユニット数および前記機能液量に基づいて、複数の前記機能液タンク間でその機能液残量が平均化するように実稼動に供する前記キャリッジユニットを選定するユニット選定工程と、
前記選定結果に基づいて、前記複数のキャリッジユニットを前記描画エリアおよび前記待機エリア間において、選択的に移動させるキャリッジ移動工程と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項２】
前記待機エリアは、前記描画エリアを挟んで両側に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項３】
前記キャリッジ移動工程により前記待機エリアに移動した前記各キャリッジユニットの前記機能液滴吐出ヘッドを、機能維持状態に保管する保管工程を、更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項４】
ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドおよび前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクをキャリッジに搭載した複数のキャリッジユニットをＸ軸方向に相対的に移動させながら、描画エリアにおいて前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置であって、
前記複数のキャリッジユニットを前記描画エリアと待機エリアとの間でＹ軸方向に個々に移動させるキャリッジ移動手段と、
前記ワークのワーク幅に応じて使用に供する前記キャリッジユニットのユニット数を決定するユニット数決定手段と、
前記キャリッジユニット毎に、搭載した前記機能液タンクの機能液量を管理する機能液量管理手段と、
決定された前記ユニット数および前記機能液量に基づいて、複数の前記機能液タンク間でその機能液残量が平均化するように、実稼動に供する前記キャリッジユニットを選定するユニット選定手段と、
前記キャリッジ移動手段を制御する移動制御手段と、を備え、
前記移動制御手段は、前記選定結果に基づいて、前記複数のキャリッジユニットを前記描画エリアおよび前記待機エリア間において、選択的に移動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
前記待機エリアは、前記描画エリアを挟んで両側に配設されていることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記各キャリッジユニットには、複数の機能液滴吐出ヘッドおよび複数の機能液タンクが搭載されており、
前記ユニット選定手段は、前記各キャリッジユニットにおいて前記機能液残量が最少となる前記機能液タンクの機能液量に基づいて、前記選定を行うことを特徴とする請求項４または５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記待機エリアには、前記機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管する保管ユニットが配設されており、
前記移動制御手段は、前記待機エリアに移動した前記キャリッジユニットを、前記保管ユニットに臨ませることを特徴とする請求項４ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記機能液量管理手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの累積ショット数および前記機能液タンクの機能液残量の測定値のいずれかで、前記機能液量を管理していることを特徴とする請求項４ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記移動制御手段は、前記ワークの交換時に前記選択的な移動を行うことを特徴とする請求項４ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記ワークを搭載すると共にこれをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを、更に備え、
前記複数のキャリッジユニットは、前記Ｘ軸テーブルに搭載可能な最大幅のワークを描画するために必要なユニット数で構成されていることを特徴とする請求項４ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項４ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項４ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１２に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対し、それぞれ機能液滴吐出ヘッドを搭載した複数のキャリッジユニットを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置の描画制御方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出装置として、カラーフィルタや有機ＥＬ装置の製造装置に適用したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この液滴吐出装置は、ワーク（基板）を搭載したＸ軸テーブルと、機能液滴吐出ヘッドおよびこれに機能液を供給する機能液タンクを搭載したＹ軸テーブルとを備え、ワークに対し、Ｘ軸テーブルを介して機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に相対移動（主走査）させると共に、Ｙ軸テーブルを介して機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に相対移動（副走査）させ、機能液滴吐出ヘッドによりワークの全域に機能液滴の吐出（描画）を行う。
上記の製造装置に適用した液滴吐出装置では、機能液の変質しやすい性質のため、所定期間内で使い切る量を機能液タンクに貯留するようにしている。
【特許文献１】特開２００３−２６６６７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の液滴吐出装置では、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動（主走査、副走査）させながら描画を行う必要があるため、ワーク処理のタクトタイムが長くなる問題がある。かかる場合に、いわゆるラインプリンタのように、１の描画ラインを形成する複数の機能液滴吐出ヘッドにより、１回の主走査で描画を完了するヘッドユニットを用いることが考えられる。
しかし、ワーク幅の異なる複数種のワークを処理する場合、特にセンター合わせでワークをセットする場合には、特定の機能液滴吐出ヘッドのみを高い頻度で使用する事態が生じる。このため、使用頻度の高い一部の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する一部の機能液タンクの機能液残量がなくなると、これを交換するために、ヘッドユニット全体を取り外すべく装置全体の稼動を停止しなければならず、生産効率が悪化する問題が発生する。
【０００４】
本発明は、ワーク幅に応じて機能液滴吐出ヘッドの使用数が異なっても、これらに機能液を供給する全機能液タンクの機能液残量を均一化することができる液滴吐出装置の描画制御方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液滴吐出装置の描画制御方法は、機能液滴吐出ヘッドおよび機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクを搭載したキャリッジを有し、描画エリアと待機エリアとの間で個々に移動自在に構成された複数のキャリッジユニットを備え、ワークに対し、複数のキャリッジユニットを相対的に移動させながら、描画エリアにおいてワーク上に機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置の描画制御方法であって、ワークのワーク幅に応じて実稼動に供するキャリッジユニットのユニット数を決定するユニット数決定工程と、キャリッジユニット毎に、搭載した機能液タンクの機能液量を管理する機能液量管理工程と、決定されたユニット数および機能液量に基づいて、複数の機能液タンク間でその機能液残量が平均化するように実稼動に供するキャリッジユニットを選定するユニット選定工程と、選定結果に基づいて、複数のキャリッジユニットを描画エリアおよび待機エリア間において、選択的に移動させるキャリッジ移動工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドおよび機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクをキャリッジに搭載した複数のキャリッジユニットをＸ軸方向に相対的に移動させながら、描画エリアにおいてワーク上に機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置であって、複数のキャリッジユニットを描画エリアと待機エリアとの間でＹ軸方向に個々に移動させるキャリッジ移動手段と、ワークのワーク幅に応じて使用に供するキャリッジユニットのユニット数を決定するユニット数決定手段と、キャリッジユニット毎に、搭載した機能液タンクの機能液量を管理する機能液量管理手段と、決定されたユニット数および機能液量に基づいて、複数の機能液タンク間でその機能液残量が平均化するように、実稼動に供するキャリッジユニットを選定するユニット選定手段と、キャリッジ移動手段を制御する移動制御手段と、を備え、移動制御手段は、選定結果に基づいて、複数のキャリッジユニットを描画エリアおよび待機エリア間において、選択的に移動させることを特徴とする。
【０００７】
これらの構成によれば、ユニット数決定手段（ユニット数決定工程において）は、ワークのワーク幅に基づいて、描画に必要なキャリッジユニットの数を決定し、また、このユニット数決定手段の決定に基づき、ユニット選定手段（ユニット選定工程において）は、描画に供するキャリッジユニットを選定する。この場合、ユニット選定手段による選定は、機能液量管理手段（機能液量管理工程）が管理する機能液量の情報に基づいて、各機能液タンクの機能液残量を均一化するように行われる。そして、キャリッジ移動手段（キャリッジ移動工程）により、上記のように選定された１以上のキャリッジユニットが描画エリアに、残ったキャリッジユニットが待機エリアに、それぞれ移動する。
これにより、搭載する各機能液タンクの機能液残量が少ないキャリッジユニットを優先して稼動させることになるため、描画によって特定の機能液タンクの機能液のみがなくなってしまうことがない。このため、キャリッジユニット単位で機能液タンクがほぼ同時に空になって、全キャリッジユニットを一括して交換することになり、液滴吐出装置の稼動停止時間を最小限にすることができる。なお、機能液量は、機能液使用量および機能液残量のいずれかで管理することが好ましい。
【０００８】
これらの場合、待機エリアは、描画エリアを挟んだ両側に配設されていることが、好ましい。
【０００９】
実稼動に供するキャリッジユニットの選択の自由度を高めることができ、各機能液滴吐出ヘッドの機能液残量をより一層均一化することができる。
【００１０】
この場合、キャリッジ移動工程により待機エリアに移動した各キャリッジユニットの機能液滴吐出ヘッドを、機能維持状態に保管する保管工程を、更に備えたことが、好ましい。
【００１１】
また、この場合、待機エリアには、機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管する保管ユニットが配設されており、移動制御手段は、待機エリアに移動したキャリッジユニットを、保管ユニットに臨ませることが、好ましい。
【００１２】
これらの構成によれば、待機エリアに移動した実稼動に供しないキャリッジユニット（機能液滴吐出ヘッド）を保管ユニットに臨ませておくことができ、各機能液滴吐出ヘッドの突出ノズルの乾燥等による機能低下を防止することができる。
【００１３】
この場合、各キャリッジユニットには、複数の機能液滴吐出ヘッドおよび複数の機能液タンクが搭載されており、ユニット選定手段は、各キャリッジユニットにおいて機能液残量が最少となる機能液タンクの機能液量に基づいて、選定を行うことが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、キャリッジユニット単位で交換を行うことを前提とした場合、キャリッジユニットの選定を適切に行うことができる。
【００１５】
この場合、機能液量管理手段は、機能液滴吐出ヘッドの累積ショット数および機能液タンクの機能液残量の測定値のいずれかで、機能液量を管理していることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの累積ショット数においては、機能液タンクの機能液残量に関するデータを制御部から簡単に取得することができ、また、機能液タンクの機能液残量の測定値においては、機能液の実残量を正確に把握でき、いずれの場合も機能液量を適切に評価管理することができる。
【００１７】
この場合、移動制御手段は、ワークの交換時に選択的な移動を行うことが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、ワーク交換時の空き時間内にキャリッジユニットを移動させることになるため、機能液滴吐出ヘッドによる描画作業を妨げることなく、キャリッジユニットを移動させることができる。このため、キャリッジユニットの移動のために液滴吐出装置の稼動を停止させる必要がない。
【００１９】
この場合、ワークを搭載すると共にこれをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを、更に備え、複数のキャリッジユニットは、Ｘ軸テーブルに搭載可能な最大幅のワークに、ラインプリント方式で描画可能なユニット数で構成されていることが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、予備的なキャリッジユニットを持たない分、待機エリアのスペースを最小限とすることができ、装置全体の大型化を抑制することができる。
【００２１】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２３】
これらの構成によれば、稼動停止を極力防いだ液滴吐出装置を用いるため、効率よく電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２４】
本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２５】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２７】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、後述する機能液滴吐出ヘッド３（図３参照）を組み込んだキャリッジユニット２３を有し、機台２の上側中央に配設された描画装置４と、機台２上に描画装置４を挟んで両側に設置され、キャリッジユニット２３の保守等に用いる各種の装置から成るメンテナンス装置５と、これらを覆うように機台２上に載せこんだチャンバ装置（図示省略）と、上記の各構成装置を統括的に制御する後述の制御装置５６（図６参照）と、を備えている。
【００２８】
描画装置４およびメンテナンス装置５は、チャンバ装置内にそれぞれ収容されており、ワークＷがチャンバ装置内に運び込まれると、ドライエアーや不活性ガスの雰囲気において、キャリッジユニット２３による機能液滴の吐出、すなわち描画が行われる。また、液滴吐出装置１の稼動開始時等にあってはキャリッジユニット２３の機能回復を図るべく、これをメンテナンス装置５に選択的に臨ませる。
【００２９】
描画装置４は、機台２上に設置したＸ・Ｙ移動機構７を有している。Ｘ・Ｙ移動機構７は、ワークＷに対して、キャリッジユニット２３をＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるものであり、ワークＷを搭載するとともにこれをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル８と、これを跨いで直交するように設置され、搭載する７個のキャリッジユニット２３をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル１１（キャリッジ移動手段）と、を備えている。また、描画装置４には、各機能液滴吐出ヘッド３の位置認識を行うヘッド認識カメラ（図示省略）や、ワークＷのアラインメントを計測するための一対のアラインメントカメラ９、９、等の各種の装置が備えられている。
【００３０】
Ｘ軸テーブル８は、ワークＷを吸着載置する吸着テーブル１２および吸着テーブル１２をＺ軸廻りに回転自在に支持するθテーブル１３からなるセットテーブル１４と、セットテーブル１４をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ１５と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸スライダ１５のスライドをガイドする一対のＸ軸ガイドレール１６、１６と、Ｘ軸ガイドレール１６、１６に併設され、Ｘ軸スライダ１５を駆動する一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、セットテーブル４１の位置を把握するためのＸ軸リニアスケール（図示省略）と、を有している。Ｘ軸リニアモータが駆動すると、Ｘ軸スライダ１５がＸ軸ガイドレール１６、１６に沿ってスライドし、吸着テーブル１２上に載置されたワークＷは、主走査方向であるＸ軸方向に往復移動する。なお、Ｘ軸テーブル８には、セットテーブル１４の後方に、定期フラッシングユニット１９ａおよびドット抜け検出ユニット１９ｂが配設され、またセットテーブル１４の前後には描画前フラッシングユニット１９ｃ、１９ｃが配設されている。
【００３１】
Ｙ軸テーブル１１（キャリッジ移動手段）は、Ｘ軸テーブル８を挟んで機台２に立設された左右複数組の支持スタンド２１と、複数組の支持スタンド２１に掛渡され、Ｙ軸方向に延在する前後一対のＹ軸フレーム２２、２２と、Ｙ軸フレーム２２、２２にスライド自在に支持される７個のＹ軸スライダ（図示省略）と、Ｙ軸フレーム２２、２２に併設されＹ軸スライダを駆動する一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸スライダを介して一対のＹ軸フレーム２２、２２間に掛け渡された７個のブリッジプレート２０と、各ブリッジプレート２０に吊設されそれぞれ機能液滴吐出ヘッド３を搭載する７個のキャリッジユニット２３と、各キャリッジユニットの位置を検出するＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を有している。
【００３２】
これら７個のキャリッジユニット２３には、左端の第１キャリッジユニット２３ａから右端の第７キャリッジユニット２３ｇまでが存在している。そして、Ｙ軸リニアモータが駆動すると、Ｙ軸スライダはブリッジプレート２０（およびこれに吊設されるキャリッジユニット２３）と共にＹ軸フレーム２２上を移動する。この場合、第１から第７キャリッジユニット２３ａ〜ｇは、Ｙ軸方向に個々に往復移動することができるようになっている。各キャリッジユニット２３の個々の移動制御については、後述する。
【００３３】
各キャリッジユニット２３は、ブリッジプレート２０に吊設した垂設フレーム２４と、垂設フレーム２４の下部に組み込んだθ軸回転機構２４ａと、θ軸回転機構２４ａの下端に設けられたキャリッジ本体２５と、ブリッジプレート２０に吊設した機能液供給ユニット２６（図３参照）と、を有している。また、ブリッジプレート２０上には、キャリッジユニット２３毎に設けられた機能液滴吐出ヘッド３を駆動する電装ユニット（図示省略）が、設けられている。
【００３４】
図３は、各キャリッジユニット２３に１個ずつ搭載される、計７個のキャリッジ本体２５および計７個の機能液供給ユニット２６を示したものである。同図に示すように、キャリッジ本体２５は、ステンレス等から成る上面視平行四辺形の板状のヘッドプレート２７と、ヘッド保持部材（図示省略）を介してヘッドプレート２７に搭載される１２個の機能液滴吐出ヘッド３と、を有している。各機能液滴吐出ヘッド３は、その下部をヘッドプレート２７の下方に突出させるようにして搭載されている。
【００３５】
各ヘッドプレート２７において、１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、これらの全ノズル列２８（図４参照）で１の描画ライン（部分描画ライン）を構成すべく、そのノズル列２８が連続するように（実際には、Ｙ軸方向において一部重複している）、平面視階段状にそれぞれ位置ずれして配設されている。また、隣接するヘッドプレート２７間においても、端部に位置する機能液滴吐出ヘッド３同士は、そのノズル列２８が連続し（この場合も、実際には、一部がＹ軸方向において重複している）、７個のキャリッジユニット２３全体としても１の描画ラインが形成されるようになっている。
【００３６】
図４に示すように、各機能液滴吐出ヘッド３は、機能液滴を吐出する多数（例えば１８０個）のノズル３１をそのノズル面３２に有しており、それら多数のノズル３１が２列のノズル列２８を形成している。更に、機能液滴吐出ヘッド３は、これらのノズル列２８に対応した一対のヘッド内流路３３と、ヘッド内流路３３に面して設けられたキャビティ（ピエゾ圧電素子）（図示省略）と、ヘッド内流路３３に連なる一対の機能液導入口３４と、を有している。初期充填工程において、ノズル吸引によりこれら各機能液導入口３４から機能液が流入し、ヘッド内流路３３は機能液によって満たされる。そしてキャビティがポンプ作用を発揮し吐出駆動すると、ノズル３１は、ヘッド内流路３３の機能液を吐出する（機能液滴の吐出）。この機能液の吐出により、機能液を消費した機能液滴吐出ヘッド３は、機能液供給ユニット２６からヘッド内流路３３に新たな機能液の供給を受ける。
【００３７】
再び図３を参照して、機能液供給ユニット２６について説明する。各機能液供給ユニット２６は、キャリッジ本体２５に近接し上下２段の収容部３５ａ（図４参照）を有するタンクキャリッジ３５と、タンクキャリッジ３５に収容され機能液を内部に貯留する１２個の機能液タンク３６と、各機能液タンク３６および各機能液滴吐出ヘッド３を接続する１２本の機能液供給チューブ４３（図５参照）と、１２本の機能液供給チューブ４３に介設され、上記したヘッドプレート２７に搭載した１２個の圧力調整弁３７と、を有している。タンクキャリッジ３５は、上下の各収容部３５ａに６個ずつ、計１２個の機能液タンク３６を並列に収容している（同図では上側の収容部のみ図示）。なお、請求項にいうキャリッジは、上記したキャリッジ本体２５とタンクキャリッジ３５とで構成される。
【００３８】
圧力調整弁３７は、機能液タンク３６−機能液滴吐出ヘッド３間の水頭圧の差を調整する減圧弁であり、機能液滴吐出ヘッド３の直前で圧力を調整すべく、ヘッドプレート２７側に搭載されている。本実施形態では、１２個の圧力調整弁３７が、１２個の機能液滴吐出ヘッド３の並びに倣って、ヘッドプレート２７上に平面視階段状に配設されている。
【００３９】
図５に示すように、機能液タンク３６は、カートリッジ形式のものであり、予め脱気した機能液を内部に貯留する機能液パック３８と、機能液パック３８を収容する略方形のカートリッジケース４１と、を有している。機能液パック３８は、方形の２枚のフィルムシートを重ね合わせて熱融着した袋状のものに、円筒形状の樹脂製の供給口を設けたものである。この機能液パック３８は機能液を気密状態で貯留できるとともに、機能液の減少に伴い変形し、機能液を最後まで使い切ることができるようになっている。また、各機能液タンク３６の下側には、機能液タンク３６の重量を検出する重量測定ユニット４２がそれぞれ設けられている。
【００４０】
そして、機能液タンク３６から供給される機能液は、機能液供給チューブ４３を介して機能液滴吐出ヘッド３にまで供給される。また、機能液供給チューブ４３に介設した圧力調整弁３７により、機能液滴吐出ヘッド３には、機能液タンク３６−機能液滴吐出ヘッド３間の水頭差が調整された機能液が供給され、機能液滴吐出ヘッド３からの液ダレが防止されている。
【００４１】
なお、図２に示すように、Ｘ軸テーブル８とＹ軸テーブル１１とが交差する位置は、ワークＷに描画を行う描画エリア４４となっており、描画の際には複数のキャリッジユニット２３が描画エリア４４に移動し、各機能液滴吐出ヘッド３により機能液滴を吐出し描画を行う。一方、描画エリア４４を挟んだ両側は、上記のメンテナンス装置５が設けられた待機エリア４５となっており、キャリッジユニット２３がメンテナンス装置５に臨み機能維持状態で待機できるようになっている。描画エリア４４および待機エリア４５間でキャリッジユニット２３を選択的に移動させる描画制御方法の詳細については後述する。
【００４２】
次に、図１および図２を参照して、メンテナンス装置５について説明する。本実施形態のメンテナンス装置５は、描画装置４の左側に配設された第１メンテナンス部５ａと、描画装置４の右側に配設された第２メンテナンス部５ｂと、で構成されている。第１メンテナンス部５ａは、液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３２を封止してノズル３１の乾燥を防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド３のノズル３１から増粘した機能液を吸引除去する第１保管・吸引ユニット４６ａ（保管ユニット）と、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３２に付着する汚れを払拭する第１ワイピングユニット４７ａとを、有している。同様に、第２メンテナンス部５ｂは、第２保管・吸引ユニット４６ｂ（保管ユニット）と、第２ワイピングユニット４７ｂとを有している。両メンテナンス部５ａ、５ｂにおいて、ワイピングユニット４７ａ、４７ｂは内側（描画装置４側）に、保管・吸引ユニット４６ａ、４６ｂは外側に配設されている。
【００４３】
第１保管・吸引ユニット４６ａ（保管ユニット）は、７個のキャリッジユニット２３に１対１で対応する７個のサブユニット４８を有している。一方、第２保管・吸引ユニット４６ｂ（保管ユニット）は、３個のサブユニット４８のみで構成されている。各サブユニット４８は、機能液滴吐出ヘッド３の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる封止キャップ（図示省略）と、機能液滴吐出ヘッド３の並びに倣って、この封止キャップを１２個階段状に配設したキャップベース５１と、キャップベース５１を昇降させるキャップ昇降機構５２と、各封止キャップに接続し機能液滴吐出ヘッド３を吸引する吸引ポンプやエジェクタ等の吸引機構（図示省略）と、吸引機構で吸引除去した廃液を回収する廃液タンク（図示省略）と、を有している。
【００４４】
描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド３（キャリッジユニット２３）がメンテナンス位置（待機エリア４５）に移動しており、封止キャップは、機能液滴吐出ヘッド３から僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド３のフラッシング（捨て吐出）を受ける。また、液滴吐出装置１の非稼働時には、キャップベース５１は完全に上昇し、各封止キャップが各機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３２に密着する（キャッピング）。これにより、各機能液滴吐出ヘッド３の全ノズル３１を封止して、各ノズル３１における機能液の乾燥を防止している。そして、この密着状態から再稼動する際には、必要に応じ吸引機構を駆動して、ノズル３１から増粘した機能液を吸引する。これにより機能液の増粘を抑制していわゆるノズル詰りを防止する。この吸引機構による吸引作業は機能液を初期充填する際にも用いられている。
【００４５】
同図に示すように、第１および第２ワイピングユニット４７ａ，４７ｂは、主要部が配設されたユニット本体５３と、ユニット本体５３をＸ軸方向にスライド自在に支持するスライド機構（図示省略）と、をそれぞれ備えている。ユニット本体５３は、繰出し自在且つ巻取り自在のワイピングシート（図示省略）を備えており、繰り出したワイピングシートを送りながら、且つスライド機構によりユニット本体５３をＸ軸方向に移動しつつ、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３２を拭き取り動作する。この拭き取り動作により、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３２に付着した機能液が取り除かれ、機能液滴吐出時の飛行曲がり等が防止される。
【００４６】
次に、図６を参照して、液滴吐出装置１の制御系について説明する。液滴吐出装置１は、キャリッジユニット２３、Ｘ軸テーブル８およびＹ軸テーブル１１を有する描画装置４と、第１メンテナンス部５ａおよび第２メンテナンス部５ｂを有するメンテナンス装置５と、各種検出および管理を行う検出部５５と、これらを統括制御する制御装置５６と、を備えている。
【００４７】
検出部５５は、各機能液タンク３６に接続した重量測定ユニット４２を有している。重量測定ユニット４２は、機能液タンク３６の重量を所定の期間毎に測定しており、この測定値を随時制御装置５６に送るようにしている。この測定値は、満液の状態の機能液タンク３６を測定した測定値を基準にしており、計測した重量から機能液タンク３６の重量を減算することで、タンク内部の機能液の重量（機能液残量）を測定している。
【００４８】
制御装置５６は、制御系の主要部となる制御部５７（移動制御手段）と、装置の各部を駆動する駆動部５８とを有している。駆動部５８は、機能液滴吐出ヘッド３を吐出駆動させるヘッドドライバ６１、Ｘ軸テーブル８を駆動するＸ軸テーブルドライバ６２、Ｙ軸テーブル１１を駆動するＹ軸テーブルドライバ６３、およびメンテナンス装置５を駆動するメンテンナンスドライバ６４を有し、上記各部を直接駆動している。
【００４９】
制御部５７は、ＣＰＵ６５、ＲＯＭ６６、ＲＡＭ６７、ハードディスク６８、およびインターフェース７１を備え、これらは内部バス７２により互いに接続されている。ＲＯＭ６６には、各機能液滴吐出ヘッド３の駆動周波数を制御する吐出制御プログラムの他、各種のプログラムが記憶されている。ハードディスク６８には、キャリッジユニット２３の必要数を決定するユニット数決定プログラム７３（ユニット数決定手段）と、機能液タンク３６の機能液量を管理する機能液量管理プログラム７４（機能液量管理手段）と、実稼動に供するキャリッジユニット２３を選定するユニット選定プログラム７５（ユニット選定手段）と、がインストールされている。
【００５０】
機能液量管理プログラム７４（機能液量管理手段）は、上記の各機能液滴吐出ヘッド３の駆動周波数により各機能液滴吐出ヘッド３の累積ショット数をカウントするショット数プログラムと、これらがカウントする各機能液滴吐出ヘッドの累積使用時間をカウントする使用時間プログラムと、各機能液滴吐出ヘッドの累積ショット数および累積使用時間のカウント値、および重量測定ユニットから送られる測定値を保持する管理データ領域と、を備えている。管理データ領域は、キャリッジユニット２３毎に区分されており、これらカウント値および測定値（管理データ）がキャリッジユニット２３毎に管理できるようになっている。各機能液タンク３６の測定値は、重量測定ユニット４２から送られる新たな測定値により常時更新される。
【００５１】
そして、ワークＷに描画を開始する際には、ＣＰＵ６５は、ユニット数決定プログラム７３を起動し、ワーク幅に基づいてキャリッジユニット２３の必要数を計算させる。ついでＣＰＵ６５は、ユニット選定プログラム７５を起動し、上記のユニット数決定プログラム７３の計算結果と機能液量管理プログラム７４の管理データとに照らして、描画に適したキャリッジユニット２３を選択する。
【００５２】
次に、本実施形態の液滴吐出装置の描画制御方法について、実際にワークＷに描画を行う手順に沿って説明する。この描画制御方法では、キャリッジユニット２３を描画エリア４４および待機エリア４５間において選択的に移動させることにより、機能液タンク３６の機能液残量を均一化して、それぞれの機能液タンク３６が同時に空になるように液滴吐出装置１を制御するものである。
【００５３】
この描画制御方法は、描画に供するキャリッジユニット２３のユニット数を決定するユニット数決定工程、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液量を管理する機能液量管理工程、ユニット数の決定結果および機能液タンク３６の機能液量に基づいてキャリッジユニット２３を選定するユニット選定工程、選定したキャリッジユニット２３を移動させるキャリッジ移動工程、待機エリア４５に移動したキャリッジユニット２３を保管する保管工程、の各工程からなっている。
【００５４】
液滴吐出装置１による描画の開始に先立ち、図示しない移載ロボットにより移載ロボットによって、ワークＷを液滴吐出装置１に導入する。作業者が制御部５７に対し描画の実行を指示すると、制御部５７では上記したユニット数決定プログラム７３（ユニット数決定手段）が起動する。そして、ユニット数決定プログラム７３は、描画に用いるキャリッジユニット２３の必要数を決定すべく、作業者に対してワークＷのＹ軸方向の長さ（ワーク幅）の入力を求める。作業者が制御部５７にワーク幅を入力すると、描画に必要なキャリッジユニット２３の数が決定される（ユニット数決定工程）。
【００５５】
キャリッジユニット２３の必要数は、具体的には以下のように決定される。セット状態のワーク（基板）６には、ワーク幅が５００ミリ、６８０ミリ、８８０ミリ、１１００ミリ、１５００ミリ、１８００ミリのものが存在しており、一方、各キャリッジユニット２３は、それぞれが２７１ミリ幅で主走査方向（Ｘ軸方向）に描画可能になっている。すなわち、本実施形態では、５００ミリのワークＷには２個のキャリッジユニット２３を描画に割り当て、６８０ミリのものには３個、８８０ミリのものには４個、１１００ミリのものには５個、１５００ミリのものには６個、１８００ミリのものには７個のキャリッジユニット２３を割り当てるようにしている。これにより、各ワーク幅のワークＷの全域に、１回のみの主走査（往動）、すなわちラインプリント方式で描画が可能となる。したがって、例えばワーク幅を１１００ミリと入力した場合、ユニット数決定プログラム７３は、５個のキャリッジユニット２３で描画を行うことを決定する。
【００５６】
また、制御部５７では、機能液タンク３６の機能液量が、リアルタイムで管理されている（機能液量管理工程）。すなわち、上記した機能液量管理プログラム７４は、液滴吐出装置１の稼動中に常時起動しており、ワークＷへの描画作業の進行に伴い、各機能液滴吐出ヘッド３の累積吐出回数等、種々の管理データを逐次更新している。また、メンテナンス装置５に臨むキャリッジユニット２３の各機能液滴吐出ヘッド３が、第１または第２保管・吸引ユニット４６ａ、４６ｂにフラッシング（捨て吐出）をした場合、または吸引機構によるノズル吸引を行った場合には、これらの処理がショット数に換算され、換算値を付加した累積ショット数のカウント値が、管理データ領域で保持される。
【００５７】
キャリッジユニット２３の数が決定すると、続いてユニット選定プログラム７５（ユニット選定手段）が制御部５７で起動する。ユニット選定プログラム７５は、ユニット数決定工程で決定されたユニット数に基づいて、実際に稼動するキャリッジユニット２３を選定する（ユニット選定工程）。また、この選定は、複数の機能液タンク３６間で機能液残量が平均化するように、機能液量管理プログラム７４の管理する各機能液滴吐出ヘッド３の累積ショット数のカウント値に基づいて行う。さらに上記選定は、すでに機能液残量がなくなった機能液タンク３６を含むキャリッジユニット２３を使用してしまうことを防止するため、各キャリッジユニット２３に搭載された複数の機能液タンク３６のうち、最少機能液残量の機能液タンク３６を基準に行う。なお、この選定による機能液タンク３６間の機能液残量の平均化の詳細については、後述する。
【００５８】
上記の選定が行われると、制御部５７（移動制御手段）は、Ｙ軸テーブル１１（キャリッジ移動手段）を介して、キャリッジユニット２３を選択的に移動する（キャリッジ移動工程）。このとき、同時に制御部５７（移動制御手段）は、描画に供するキャリッジユニット２３のみを描画エリア４４に臨ませるべく、描画に用いないキャリッジユニット２３を待機エリア４５に退避させる。例えば、上記例で第２から第６までの計５個のキャリッジユニット２３ｂ〜ｆにより描画を行う場合、第１キャリッジユニット２３ａは、描画エリア４４を越えた反対側の待機エリア４５に移動（退避）させ、第２から第６キャリッジユニット２３ｂ〜ｆを描画エリア４４に臨ませる。この場合、第７キャリッジユニット２３ｇは、待機エリア４５にそのまま待機している。
【００５９】
そして、Ｘ軸テーブル８により主走査するワークＷに対し、第２から第６キャリッジユニット２３ｂ〜ｆの各機能液滴吐出ヘッド３が描画を行う。描画は、上述のようにタクトタイムを短縮すべく、ラインプリント方式で行われる。なお、キャリッジユニット２３の移動は、ワークＷの交換時に行われるようになっており、装置の稼動（描画作業）が停止しないようにしている。
【００６０】
また、保管工程では、待機エリア４５に移動または待機しているキャリッジユニット２３は、上記の第１保管・吸引ユニット４６ａおよび第２保管・吸引ユニット４６ｂのサブユニット４８に臨んで種々のメンテナンスを受け、各機能液滴吐出ヘッド３が機能維持状態に保持される。上記の例では、第１および第７キャリッジユニット２３ａ，ｂが第１保管・吸引ユニット４６ａおよび第２保管・吸引ユニット４６ｂのサブユニット４８に臨み、両キャリッジユニット２３ａ，２３ｇの機能液滴吐出ヘッド３が乾燥等の機能低化から保護されている。なお、第１から第７のすべてのキャリッジユニット２３が描画に用いられる場合には、この保管工程は不要である。また、各キャリッジユニット２３を待機エリア４５から描画エリア４４に導入する場合には、封止キャップによるキャッピングを解いて、各サブユニット４８に対してフラッシングを行った後、第１または第２ワイピングユニット４７ａ，４７ｂで各機能液滴吐出ヘッド３のワイピングを行う。
【００６１】
次に、各機能液タンク３６の機能液残量の平均化について、詳細に説明する。図７ないし１０は、Ｙ軸テーブル１１の上面模式図である。各図中の符号２〜４は、各キャリッジユニット２３における最少機能液残量の機能液タンク３６を基準に、キャリッジユニット２３毎の機能液残量を０から１０段階の数字で示したものである。符号１０のものが未使用状態のキャリッジユニット２３を示しており、符号０のものがキャリッジユニット２３中の最少機能液残量の機能液タンク３６が空になった（機能液残量がない）ことを示している。また、ワークＷに対して１回の描画動作を行うと、機能液残量が１ずつ減少する。
【００６２】
同図（ａ）は、稼動中のＹ軸テーブル１１を表したものである。稼動中の第１キャリッジユニットから第７キャリッジユニット２３ａ〜ｇは、それぞれ概ね、４、３、２、２、２、３、４、程度の機能液残量であり、中央寄りの第３から第５キャリッジユニット２３ｃ〜ｅの機能液残量が少なくなるのが通常である。すなわち、第４キャリッジユニット２３ｄは、４個以上のキャリッジユニット２３を用いた描画（ワーク幅８８０ミリ以上）で必ず用いられるため、その機能液残量が少なくなっている。また、その周囲の第３キャリッジユニット２３ｃおよび第５キャリッジユニット２３ｅは、第４キャリッジユニット２３ｄの機能液残量が突出して少なくならないように、３個以下のキャリッジユニット２３での描画で優先使用され、これらの機能液残量も少なくなっている（例えば、第１から第３キャリッジユニット２３ａ〜ｃ、または第５から第７キャリッジユニット２３ｅ〜ｇの組合せで用いられる）。以下、この状態の液滴吐出装置１（Ｙ軸テーブル１１）に、５００ミリ、１１００ミリ、８８０ミリ、６８０ミリのワーク幅のワークＷを順に導入し、描画を行う場合を想定して説明する。
【００６３】
同図（ｂ）に示すように５００ミリのワーク幅のワークＷが導入されると、ユニット数決定プログラム７３がキャリッジユニット数の必要数を２と決定する。続いて、ユニット選定プログラム７５は、描画に用いられるキャリッジユニット２３を選定するが、機能液残量の加算値（実際には、累積ショット数から算出される機能液残量の加算値）が最も大きくなるキャリッジユニット２３の組み合わせを選定する。上記の場合、第１および第２キャリッジユニット２３ａ，ｂの組合せと、第６および第７キャリッジユニット２３ｆ，ｇの組合せとが候補となる。しかし、後者の組合せでは、第１から第５キャリッジユニット２３ａ〜ｅを反対側の待機エリア４５の第２保管・吸引ユニット４６ｂに臨ませる必要があるが、第２保管・吸引ユニット４６ｂは、３個のサブユニット４８しか持たず、第４および第５キャリッジユニット２３ｄ，ｅをキャッピングすることができない。このため、ユニット選定プログラム７５は、第１および第２キャリッジユニット２３ａ，ｂを選定する。
【００６４】
そして、第１および第２キャリッジユニット２３ａ，ｂが描画エリア４４に臨んで描画を行うと、同図（ｂ）、（ｃ）に示すように、これらの機能液残量は、４、３から３、２になる。続いて、図８（ａ）に示すように１１００ミリのＹ軸方向の長さを有するワークＷが導入されると、ユニット数決定プログラム７３はキャリッジユニット２３数の必要数を５と決定する。この場合、ユニット選定プログラム７３は、機能液残量の加算値が最も大きくなる第３から第７キャリッジユニット２３ｃ〜ｇの組合せを選定する。そして、第３から第７キャリッジユニット２３ｃ〜ｇが描画エリア４４に臨んで描画を行うと、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、これらの機能液残量は、２、２、２、３、４から１、１、２、２、３になる。
【００６５】
ついで、同図（ｃ）に示すように８８０ミリのワーク幅のワークＷが導入されると、ユニット数決定プログラム７３はキャリッジユニット２３の必要数を４と決定する。そして、ユニット選定プログラム７５は、機能液残量の加算値が最も大きくなる、第１から第４キャリッジユニット２３ａ〜ｄの組合せ、および第４から第７キャリッジユニットの組合せ２３ｄ〜ｇのいずれかを選定する。この場合、ユニット選定プログラム７５は、描画エリア４４から最も遠く、且つ機能液残量が多くなる第７キャリッジユニット２３ｇを優先して選択するため、後者の組合せを選定する。そして、第４から第７キャリッジユニット２３ｄ〜ｇが描画を行うと、図８（ｃ）、図９（ａ）に示すように、これらの機能液残量は、１、１、２、３から０、０、１、２になる。この描画により、第４および第５キャリッジユニット２３ｄ、ｅの搭載する機能液タンク３６のうち、最も機能液残量の少ないものは、機能液残量がゼロ（空）になる。
【００６６】
この状態において、キャリッジユニット２３が４個以上必要な８８０ミリ以上のワーク幅のワークＷには、キャリッジユニット２３を交換することなく、ラインプリント方式で描画を行うことできないが、６８０ミリ以下のワーク幅のワークＷには描画を続行することができる。すなわち、図９（ｂ）に示すように６８０ミリのワーク幅のワークＷが導入されると、ユニット数決定プログラム７３はキャリッジユニット２３の必要数を３と決定し、ユニット選定プログラム７５は、まだ描画が可能である第１から第３キャリッジユニット２３ａ〜ｃを選定する。そして、図９（ｂ）、図１０（ａ）に示すように第１から第３キャリッジユニット２３ａ〜ｃの機能液残量は、３、２、１から２、１、０になる。そして、描画終了後、図１０（ｂ）に示すように待機エリア４５に臨んだ全キャリッジユニット２３は、それぞれ、２、１、０、０、０、１、２の機能液残量となり、搭載する機能液タンク３６が略平均化して機能液残量がゼロとなり、各機能液タンク３６は一括交換に供される。
【００６７】
なお、上記した機能液タンク３６の機能液残量の判断は、カウント値が制御部内で容易に取得できる点から、主として各機能液滴吐出ヘッド３の累積ショット数のカウント値によることにしている。すなわち、累積ショット数から機能液使用量を算出し、満液状態の機能液量からこの機能液使用量を減算することにより、機能液残量を把握している。各機能液滴吐出ヘッド３の累積ショット数だけでなく、各機能液滴吐出ヘッド３の累積使用時間および各機能液タンク３６の液位の測定値（機能液残量）のいずれかのパラメータによって、機能液残量を判断してもよい。特に、各機能液タンク３６の測定値によれば、機能液残量を正確に把握することができる。
【００６８】
以上が本実施形態の液滴吐出装置である。本実施形態によれば、搭載する各機能液タンク３６の機能液残量が少ないキャリッジユニット２３を優先して稼動でき、キャリッジユニット２３単位で機能液タンク３６がほぼ同時に空になるようにすることができる。これにより、機能液タンク３６の機能液残量を見越して、全キャリッジユニット２３を一括して交換することができる。また、このように一括交換すれば、液滴吐出装置１の稼動停止時間を最小限にして、製品の生産性を向上させることができる。さらに、待機エリア４５が描画エリア４４を挟んだ両側に配設されているため、描画に供しないキャリッジユニット２３を反対側の待機エリア４５に退避させ、他のキャリッジユニット２３を描画エリア４４に臨ませ描画を行うことができる。これにより、描画に供するキャリッジユニット２３の選択の自由度を高めることができる。
【００６９】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【００７０】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７１】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７２】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００７３】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７４】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７５】
図１３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７６】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７７】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７８】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７９】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００８０】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。
【００８１】
図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８２】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８３】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８４】
図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８５】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８６】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８７】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８８】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８９】
次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００９０】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９１】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９２】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９３】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９４】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９５】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９６】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９７】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９８】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９９】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１００】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１０１】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０２】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０３】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０４】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１の吸着テーブル１２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１０５】
図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。
【０１０６】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０７】
そして次に、図２２に示すように、各色のうちの何れか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０８】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０９】
同様に、機能液滴吐出ヘッド３を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１０】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１１１】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２５に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１２】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１３】
次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１４】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１５】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１６】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１７】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１の吸着テーブル１２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１８】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１９】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１２０】
次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２１】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２２】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２３】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２４】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２５】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２６】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】液滴吐出装置の平面図である。
【図２】液滴吐出装置の上面斜視図である。
【図３】キャリッジユニットおよびタンクキャリッジの平面図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドの（ａ）上面斜視図、（ｂ）縦断面図である。
【図５】機能液供給ユニットの側面図である。
【図６】液滴吐出装置の制御系を表すブロック図である。
【図７】描画制御方法を説明する説明図である。
【図８】描画制御方法を説明する説明図である。
【図９】描画制御方法を説明する説明図である。
【図１０】描画制御方法を説明する説明図である。
【図１１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２６】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２７】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２８】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１２８】
Ｗ  ワーク                          １  液滴吐出装置
３  機能液滴吐出ヘッド              ８  Ｘ軸テーブル
１１  Ｙ軸テーブル                  ２３  キャリッジユニット
３６  機能液タンク                  ４４  描画エリア
４５  待機エリア                  ４６ａ  第１保管・吸引ユニット
４６ｂ  第２保管・吸引ユニット        ５７  制御部
７３  ユニット数決定プログラム      ７４  機能液量管理プログラム
７５  ユニット選定プログラム
【図１】
2006061849.tif 000003
【図２】
2006061849.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2006061849.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2006061849.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2006061849.tif 000017
【図１６】
2006061849.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
2006061849.tif 000020
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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