(57)【要約】【課題】  光学パネルと製品バックライトとを組み込んだ製品となる前に製品としての表示欠陥判定を簡便かつ安価に行う光学パネルの検査方法を提供する。【解決手段】  液晶パネルの輝度データを取得する光学パネル輝度データ取得工程（ＳＴ１０１〜ＳＴ１０４）と、製品用バックライトの輝度データを取得する製品用照明輝度データ取得工程ＳＴ１００と、液晶パネルの輝度データに製品用バックライトの輝度データを組み合わせて液晶パネルと製品用バックライトとが製品として組み合わされた際の製品輝度データを仮想的に算出する製品輝度データ算出工程ＳＴ１０８と、製品輝度データ算出工程ＳＴ１０８で作成された製品輝度データに基づいて液晶パネルの検査を行う第２欠陥判別工程ＳＴ１０９と、を備える。【選択図】図３
2006215211.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明手段からの照明光を画素ごとに調光して表示面上に画像を表示する光学パネルの表示欠陥の有無を検査する検査方法であって、
検査対象となる光学パネルの輝度データを取得する光学パネル輝度データ取得工程と、
製品として前記光学パネルに組み合わせられる製品用照明手段の輝度データを取得する製品用照明輝度データ取得工程と、
前記光学パネルの輝度データに前記製品用照明手段の輝度データを組み合わせて前記光学パネルと前記製品用照明手段とが製品として組み合わされた際の製品輝度データを仮想的に算出する製品輝度データ算出工程と、
前記製品輝度データ算出工程で作成された前記製品輝度データに基づいて前記光学パネルの検査を行う製品欠陥判別工程と、を備えた
ことを特徴とする光学パネルの検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光学パネルの検査方法において、
前記製品用照明輝度データ取得工程は、
検査対象となる光学パネルに製品として組み合わせられる規格の製品用照明手段について複数の輝度データを取得する基礎データ取得工程と、
前記基礎データ取得工程で得られた複数の輝度データについて平均の輝度データを求める平均輝度データ算出工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネルの検査方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の光学パネルの検査方法において、
前記光学パネル輝度データ取得工程は、
検査段階で使用される検査用照明手段の輝度データを取得する検査照明輝度データ取得工程と、
前記検査用照明手段にて検査対象となる光学パネルを照明してこの光学パネルの表示面に表示された画像データを取得する表示画像データ取得工程と、
前記表示画像データ取得工程にて取得した画像データの輝度分布から前記検査照明輝度データ取得工程で取得した検査用照明の輝度データを差分して前記光学パネルの輝度データを算出する差分工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネルの検査方法。
【請求項４】
照明手段への印加電圧を制御して照明制御を行う照明制御手段と、
前記照明手段からの照明光を画素ごとに調光して表示面上に画像を表示する光学パネルを駆動制御する光学パネル制御手段と、
所定の階調で画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて演算処理を行う演算処理手段と、を備え、前記光学パネルの表示欠陥の有無を検査する検査装置であって、
前記演算処理手段は、
検査対象となる光学パネルの輝度データを記憶する光学パネル輝度データ記憶手段と、
製品として前記光学パネルに組み合わせられる製品用照明手段の輝度データを記憶する製品用照明輝度データ記憶手段と、
前記光学パネルの輝度データに前記製品用照明手段の輝度データを組み合わせて前記光学パネルと前記製品用照明手段とが製品として組み合わされた際の製品輝度データを仮想的に算出する製品輝度データ算出手段と、
前記製品輝度データ算出手段で算出された前記製品輝度データに基づいて前記光学パネルの検査を行う製品欠陥判別手段と、を備えた
ことを特徴とする光学パネルの検査装置。
【請求項５】
照明手段への印加電圧を制御して照明制御を行う照明制御手段と、
前記照明手段からの照明光を画素ごとに調光して表示面上に画像を表示する光学パネルを駆動制御する光学パネル制御手段と、
所定の階調で画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて演算処理を行う演算処理手段と、を備え、前記光学パネルの表示欠陥の有無を検査する検査装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、
検査対象となる光学パネルの輝度データを記憶する光学パネル輝度データ記憶手段と、
製品として前記光学パネルに組み合わせられる製品用照明手段の輝度データを記憶する製品用照明輝度データ記憶手段と、
前記光学パネルの輝度データに前記製品用照明手段の輝度データを組み合わせて前記光学パネルと前記製品用照明手段とが製品として組み合わされた際の製品輝度データを仮想的に算出する製品輝度データ算出手段と、
前記製品輝度データ算出手段で算出された前記製品輝度データに基づいて前記光学パネルの検査を行う製品欠陥判別手段と、して機能させる
ことを特徴とする光学パネルの検査プログラム。
【請求項６】
請求項５に記載の検査プログラムをコンピュータ読取可能に記録した記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学パネルの検査方法、検査装置、検査プログラム、および記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、画像を表示する光学パネルとして、表示面上の各画素に配置された液晶セルを有し、この液晶セルに印加する電圧を制御することで表示画像を制御する液晶パネルが知られている。
このような液晶パネルにあっては、例えば、液晶セルの厚みのばらつきなどにより輝度ムラ等の表示欠陥が生じる。そこで、液晶パネルの製造過程において液晶パネルに表示欠陥が生じていないか等を検査する画像表示検査が行われる（例えば、特許文献１）。
このような画像表示検査としては、液晶パネルの画像をＣＣＤカメラ等の撮像手段で撮像し、この撮像データに基づいて画素ごとの輝度のばらつきが所定の閾値内に入っているかどうかが判定される。そして、画素ごとの輝度のばらつきが所定閾値よりも大きい場合にはその液晶パネルは表示欠陥を有する不良品と判断され、輝度のばらつきが所定閾値よりも小さい液晶パネルのみが良品と判断されて出荷される。
【０００３】
ここで、液晶パネルを点灯させるにはバックライトが必要であるところ、バックライトにも輝度ムラが生じる。
そこで、液晶パネルの画像を撮像する前にバックライトのみの照明画像を撮像して各部分の輝度を記憶しておき、液晶パネルの画像に対してバックライトの輝度ムラを補正するシェーディング補正が行われる（特許文献１の段落（００１１）等）。これにより、バックライトの輝度ムラに関わらず、液晶パネルに輝度ムラが生じているかどうかが適切に判断される。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２７７１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示される従来技術において、バックライトのシェーディング補正が行われることにより、液晶パネルについての輝度ムラの有無は適切に判断されてはいる。
しかしながら、適切に良品と判断された液晶パネルを実際に製品に組み込んでみると、液晶パネルの表示画像に輝度ムラが生じていることがある。
例えば、図８（Ａ）に示されるように液晶パネルの輝度ムラが良品範囲にあり、また、図８（Ｂ）に示されるように製品バックライトの輝度ムラも良品範囲にある場合でも、液晶パネルを製品バックライト組み合わせてみると、図８（Ｃ）に示されるように、液晶パネルが有する輝度のばらつきと製品バックライトが有する輝度のばらつきが重なりあって輝度ムラが所定閾値を超えて不良品となってしまう場合がある。
このように、製品として液晶パネルと製品バックライトとを組み込んだ後で表示欠陥が発見されると、その製品を分解して取り出した部品を再利用するか、分解が難しい場合には廃棄するしかない。
いずれにしても製造効率を著しく低減させることになるので、製造コストを大きく押し上げることにつながってしまう。
【０００６】
ここで、製品として液晶パネルと製品バックライトとを実際に組み込んでしまう前に製品バックライトによって液晶パネルを点灯させてその表示画像の欠陥検査を行えばよいとの考え方もある。しかし、製造される液晶パネルの数量を考えると、検査装置のバックライトを製品のバックライトに逐一付け替えたりしていては検査作業に膨大な手間と時間がかかり、さらに、実際に製品バックライトと液晶パネルとを組み合わせた表示画像を一つ一つ撮像して検査を行うことは不可能であり現実的ではない。
【０００７】
本発明の目的は、光学パネルと製品バックライトとを組み込んだ製品となる前に製品としての表示欠陥判定を簡便かつ安価に行う光学パネルの検査方法、検査装置、検査プログラム、および記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の光学パネルの検査方法は、照明手段からの照明光を画素ごとに調光して表示面上に画像を表示する光学パネルの表示欠陥の有無を検査する検査方法であって、検査対象となる光学パネルの輝度データを取得する光学パネル輝度データ取得工程と、製品として前記光学パネルに組み合わせられる製品用照明手段の輝度データを取得する製品用照明輝度データ取得工程と、前記光学パネルの輝度データに前記製品用照明手段の輝度データを組み合わせて前記光学パネルと前記製品用照明手段とが製品として組み合わされた際の製品輝度データを仮想的に算出する製品輝度データ算出工程と、前記製品輝度データ算出工程で作成された前記製品輝度データに基づいて前記光学パネルの検査を行う製品欠陥判別工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
このような構成において、光学パネル輝度データ取得工程では、光学パネルの輝度データを取得する。例えば、光学パネルの表示面をＣＣＤ等の撮像手段で撮像した画像データに基づいて画素ごとの輝度値を取得する。また、製品用照明輝度データ取得工程では、光学パネルを製品に組み込んだ際に光学パネルを照明する製品用照明手段（バックライト）の輝度データを取得する。
製品輝度データ算出工程では、光学パネル輝度データ取得工程にて取得された光学パネルの輝度データと、製品用照明輝度データ取得工程にて取得された製品用照明輝度データと、を組み合わせる。例えば、光学パネルと製品用照明手段とで対応する座標値のそれぞれの輝度データを加算する。すると、製品用照明手段で光学パネルが照明される状態で光学パネルと製品用照明手段とが製品に組み込まれた際の製品としての輝度データが仮想的に算出される。
そして、製品欠陥判別工程では、製品輝度データ算出工程で算出された製品輝度データに基づいて光学パネルの検査を行い、例えば、光学パネルが製品用照明との組み合わせで製品に組み込まれた際に生じる輝度のムラが良品範囲か否かを判断する。
【００１０】
光学パネルは、照明手段（例えばバックライト）によって照明されるところ、光学パネルの表示面には、光学パネルに起因する輝度ムラと照明手段に起因する輝度ムラとの合算による輝度ムラが生じるので、光学パネル単独の輝度ムラが良品範囲に入るとしても、照明手段の輝度ムラと組み合わさった際に良品範囲となるか否かは定かではなく、光学パネルと照明手段とで輝度ムラの大きいところが重なると不良の輝度ムラが生じる。従来は、光学パネル単独の検査は十分に行って光学パネルの品質は十分に確認していても、実際に製品として組み込んだ状態において製品用照明手段で照明した際に生じる輝度ムラが不良品と判断されることがあり、不良品と判断された場合には製品ごと光学パネルを廃棄するなどのムダが生じていた。
【００１１】
この点、本発明では、製品輝度データ算出工程において、仮想的に光学パネルの輝度データと製品用照明の輝度データとを組み合わせて製品となったときの製品輝度データを算出するので、実際に光学パネルを製品に組み込む前に製品となったときの良品判断（製品欠陥判別工程）を行うことができる。
したがって、製品として組みあがってから不良品として光学パネルを製品ごと廃棄するムダを防ぐことができるので、製造効率を格段に向上させて、結果として製造コストを削減することができる。
【００１２】
また、製品輝度データ算出工程は、光学パネルと製品用照明手段との輝度データを加算するというソフト的な処理（データ処理）であり、このような工程を行うことには特別に大掛かりな設備も必要なく、また時間もそれほどかかることがないので、製造コストの削減に大いに資する画期的効果を奏する。
また、製品欠陥判別工程において、予め仮想的に光学パネルと製品用照明との組合せを検査しているので、実際に製品として組み上げた後の検査が非常に簡便となり、検査効率を向上させて、ひいては製造効率の格段の向上を図ることができる。
【００１３】
なお、光学パネルは、自発発光するのではなく、照明手段（バックライト）からの光の透過率を調整して画像表示するところ、光学パネルの輝度データとは、例えば、輝度ムラのない理想的な照明を使用した場合にも光学パネル自体の性能によって表示画像に生じる輝度の分布等を表すデータをいう。
【００１４】
本発明では、前記製品用照明輝度データ取得工程は、検査対象となる光学パネルに製品として組み合わせられる規格の製品用照明手段について複数の輝度データを取得する基礎データ取得工程と、前記基礎データ取得工程で得られた複数の輝度データについて平均の輝度データを求める平均輝度データ算出工程と、を備えることが好ましい。
【００１５】
このような構成において、照明手段には種々の規格があり、規格によって生じてくる輝度ムラも異なるので、製品として光学パネルに組み合わせられる製品用照明手段の輝度データを基礎データ取得工程にて取得する。この際、製品用照明手段の輝度データは複数取得しておき、複数取得された製品用照明手段の輝度データの平均を平均輝度データ算出工程において算出する。
この構成によれば、検査対象である光学パネルと組み合わせられる製品用照明手段の輝度データを適切に得ることができるので、製品輝度データ算出工程において製品輝度データを適切に算出することができる。その結果、適切に算出された製品輝度データに基づいて製品欠陥判別工程による検査を正確に行うことができる。
【００１６】
本発明では、前記光学パネル輝度データ取得工程は、検査段階で使用される検査用照明手段の輝度データを取得する検査照明輝度データ取得工程と、前記検査用照明手段にて検査対象となる光学パネルを照明してこの光学パネルの表示面に表示された画像データを取得する表示画像データ取得工程と、前記表示画像データ取得工程にて取得した画像データの輝度分布から前記検査照明輝度データ取得工程で取得した検査用照明の輝度データを差分して前記光学パネルの輝度データを算出する差分工程と、を備えることが好ましい。
【００１７】
このような構成によれば、差分工程において、光学パネルの画像データから検査用照明の輝度データを差分するので、光学パネルに表示された画像における輝度ムラのうち検査用照明の寄与分が減算される。よって、光学パネル自体に起因する輝度ムラだけが得られる。
このように検査用照明の寄与分が減算されて光学パネル自体の輝度ムラが得られるので、この光学パネルの輝度ムラに製品用照明の輝度データを加算すると、製品として光学パネルと製品用照明とが組み合われたときの製品輝度データを正確に算出できる。
【００１８】
なお、輝度ムラがないとみなせるほど高精度な理想照明を検査用照明手段として使用する場合には、この検査用照明手段を使用した際に光学パネルに表示される表示画像を撮像し、その結果をそのまま光学パネルの輝度データとしてもよい。
【００１９】
本発明の光学パネルの検査装置は、照明手段への印加電圧を制御して照明制御を行う照明制御手段と、前記照明手段からの照明光を画素ごとに調光して表示面上に画像を表示する光学パネルを駆動制御する光学パネル制御手段と、所定の階調で画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて演算処理を行う演算処理手段と、を備え、前記光学パネルの表示欠陥の有無を検査する検査装置であって、前記演算処理手段は、検査対象となる光学パネルの輝度データを記憶する光学パネル輝度データ記憶手段と、製品として前記光学パネルに組み合わせられる製品用照明手段の輝度データを記憶する製品用照明輝度データ記憶手段と、前記光学パネルの輝度データに前記製品用照明手段の輝度データを組み合わせて前記光学パネルと前記製品用照明手段とが製品として組み合わされた際の製品輝度データを仮想的に算出する製品輝度データ算出手段と、前記製品輝度データ算出手段で算出された前記製品輝度データに基づいて前記光学パネルの検査を行う製品欠陥判別手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
このような構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができる。すなわち、製品輝度データ算出手段において、仮想的に光学パネルの輝度データと製品用照明の輝度データとを組み合わせて製品となったときの製品輝度データを算出するので、実際に光学パネルを製品に組み込む前に製品となったときの良品判断を製品欠陥判別手段にて行うことができる。
したがって、製品として組みあがってから不良品として光学パネルを製品ごと廃棄するムダを防ぐことができるので、製造効率を格段に向上させて、結果として製造コストを削減することができる。また、製品輝度データ算出手段は、光学パネルと製品用照明手段との輝度データを加算するというソフト的な処理を行うものであるので、このような手段を設けることには特別に大掛かりな設備も必要なく、製造コストの削減に大いに資する画期的効果を奏する。
【００２１】
本発明の光学パネルの検査プログラムは、照明手段への印加電圧を制御して照明制御を行う照明制御手段と、前記照明手段からの照明光を画素ごとに調光して表示面上に画像を表示する光学パネルを駆動制御する光学パネル制御手段と、所定の階調で画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて演算処理を行う演算処理手段と、を備え、前記光学パネルの表示欠陥の有無を検査する検査装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、検査対象となる光学パネルの輝度データを記憶する光学パネル輝度データ記憶手段と、製品として前記光学パネルに組み合わせられる製品用照明手段の輝度データを記憶する製品用照明輝度データ記憶手段と、前記光学パネルの輝度データに前記製品用照明手段の輝度データを組み合わせて前記光学パネルと前記製品用照明手段とが製品として組み合わされた際の製品輝度データを仮想的に算出する製品輝度データ算出手段と、前記製品輝度データ算出手段で算出された前記製品輝度データに基づいて前記光学パネルの検査を行う製品欠陥判別手段と、して機能させることを特徴とする。
【００２２】
本発明の記録媒体は、前記検査プログラムをコンピュータ読取可能に記録したことを特徴とする。
【００２３】
このような構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができる。さらに、ＣＰＵ（中央処理装置）やメモリ（記憶装置）を有するコンピュータを組み込んで、このコンピュータに各手段として機能させるようにプログラムを構成すれば、各手段における各種のパラメータ等を容易に変更することができる。そして、このプログラムを記録媒体に記録して、この記録媒体をコンピュータに直接差し込んでプログラムをコンピュータにインストールしてもよく、記録媒体の情報を読み取る読取装置をコンピュータに外付けし、この読取装置からコンピュータにプログラムをインストールしてもよい。
なお、プログラムは、インターネット、ＬＡＮケーブル、電話回線等の通信回線や無線によってコンピュータに供給されてインストールされてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の光学パネルの検査装置に係る第１実施形態について図１から図７を参照して説明する。
図１は、検査装置１００に検査対象としての液晶パネル（光学パネル）２００をセットした状態の全体構成を示す図である。
検査装置１００は、検査用のバックライト（照明手段）１１０と、検査用バックライト１１０への印加電圧を制御して照明制御を行う調光手段（照明制御手段）１２０と、検査用バックライト１１０からの照明光を画素ごとに調光して表示面上に画像を表示する液晶パネル２００を駆動制御する液晶パネル駆動部（光学パネル制御手段）１３０と、液晶パネル２００の画像を所定の階調で撮像するＣＣＤカメラ（撮像手段）１４０と、ＣＣＤカメラ１４０にて撮像された画像データに基づいて演算処理を行って液晶パネル２００の検査を行う画像処理部（演算処理手段）１５０と、調光手段１２０、液晶パネル駆動部１３０および画像処理部１５０の制御を行うホストコンピュータ１６０と、を備える。
【００２５】
全体の配置として、検査用バックライト１１０の発光面側に検査対象となる液晶パネル２００がセットされて、液晶パネル２００の背面から検査用バックライト１１０にて照明される。そして、液晶パネル２００の表示面側にＣＣＤカメラ１４０が配置され、液晶パネル２００の表示面２１０がＣＣＤカメラ１４０によって撮像される。
【００２６】
検査用バックライト１１０は、液晶パネル２００の検査にあたって検査対象となる液晶パネル２００を照明するために検査装置１００に固定的に取り付けられている照明であって、製品として組み合わせられた際に液晶パネル２００を照明する製品用照明とは異なる。
調光手段１２０は検査用バックライト１１０に向けて所定のタイミングで電流を印加し、検査用バックライト１１０を発光させる。
【００２７】
液晶パネル駆動部１３０は、検査対象としてセットされた液晶パネル２００に所定の駆動信号を印加して液晶パネル２００を駆動させる。ここで、検査対象としての液晶パネル２００は、信号線が配線された基板２２０と所定の信号によって駆動される液晶層２３０とが上側偏光板２４０と下側偏光板２５０とにて挟持された構成である。
液晶パネル駆動部１３０は、液晶パネル２００の基板２２０に接続される検査プローブ１３１を有し、検査プローブ１３１の先端に設けられたバンプ１３２を介して液晶パネル２００の基板２２０と検査プローブ１３１とが接続されている。液晶パネル駆動部１３０は、所定のタイミングで液晶パネル２００に検査用の駆動信号を印加して、液晶パネル２００の表示面２１０に検査用の画像を表示させる。
【００２８】
ＣＣＤカメラ１４０は、液晶パネル２００の表示面２１０に表示された画像を撮像し、撮像した画像データを画像処理部１５０に送る。ＣＣＤカメラ１４０は、少なくとも、検査対象となる液晶パネル２００の階調値よりも精度の高い階調値で画像を撮像する。
【００２９】
画像処理部１５０の構成を図２に示す。
画像処理部１５０は、ＣＰＵ（中央処理装置）１５９を有し、所定の検査プログラムを実行することで、検査用照明輝度データ取得部１５１と、表示画像データ取得部１５２と、シェーディング補正部１５３と、液晶パネル輝度データ記憶部（光学パネル輝度データ記憶手段）１５４と、第１欠陥判別手段１５５と、製品用照明輝度データ記憶部１５６と、製品輝度データ算出部１５７と、第２欠陥判別手段（製品欠陥判別手段）１５８と、しての機能を実現している。
なお、画像処理部１５０の動作についは、図３のフローチャートを参照して後述する。
【００３０】
図３のフローチャートを参照して液晶パネル２００の検査手順について説明する。
液晶パネル２００の検査手順としては、大きく分けて、液晶パネル自体の輝度ムラに基づいて液晶パネル２００の欠陥判断を行う液晶パネル検査工程（ＳＴ２００）と、液晶パネル２００に製品用バックライトを組み合わせた際の欠陥判断を行う製品検査工程（ＳＴ３００）と、を備えている。
以下、図３の手順に基づいて順に説明していく。
【００３１】
ＳＴ１００において、前処理工程を行う。
この工程において、予め製品用バックライトの輝度データを作成して製品用照明輝度データ記憶部１５６に記憶させておく（製品用照明輝度データ取得工程）。
ここで、製品用バックライトは、製品として組み合わせられた際に液晶パネル２００を照明する製品用照明であって、検査用のバックライト１１０とは異なる。
製品用バックライトの輝度データを作成するにあたっては、複数の製品用バックライトをピックアップしたうえで複数の製品用バックライトを撮像して複数枚の輝度データを取得する（基礎データ取得工程）。そして、得られた複数の輝度データについて平均の輝度データを求めて（平均輝度データ算出工程）、製品用照明輝度データとして製品用照明輝度データ記憶部１５６に記憶させる。
このようにして取得された製品用照明輝度データの一例を図４に示す。図４は、製品用照明輝度データＬ１のある断面を示す図である。
図４に示されるように、製品用バックライトでも、輝度が高い側（図４中の符号Ａ）と輝度が低い側（図４中の符号Ｂ）が存在している。
【００３２】
ＳＴ１０１からＳＴ１０５にかけては、液晶パネル２００自体に起因する輝度ムラに基づいて液晶パネル２００の欠陥判断を行う液晶パネル検査工程（ＳＴ２００）である。
ＳＴ１０１において、検査用バックライト１１０の輝度データをＣＣＤカメラ１４０で撮像して、検査照明輝度データとして検査用照明輝度データ取得部１５１に記憶する（検査照明輝度データ取得工程）。
これは、図５に示されるように、液晶パネル２００をセットする前に調光手段１２０から検査用バックライト１１０に電流を印加して検査用バックライト１１０を発光させる。この状態において、ＣＣＤカメラ１４０で検査用バックライト１１０を撮像して、検査用照明輝度データとする。図６（Ａ）に検査用バックライト１１０の輝度データＬ２の一例を示す。検査用バックライト１１０が例えばフラット照明であっても中央と両端とでは輝度の差が生じる。
【００３３】
ＳＴ１０２において、検査対象となる液晶パネル２００を検査装置１００にセットする。すなわち、図１に示されるように、液晶パネル２００の基板２２０に検査プローブ１３１を接続する。
そして、液晶パネル駆動装置にて液晶パネル２００に検査用の駆動信号を印加するとともに、調光手段１２０から検査用バックライト１１０に電流を印加して発光させる。すると、液晶パネル２００の表示部２１０に所定の検査用画像が表示される。
【００３４】
続いて、ＳＴ１０３において、液晶パネル２００の表示部２１０に表示される画像をＣＣＤカメラ１４０で撮像して表示画像データとして表示画像データ取得部１５２に記憶する（表示画像データ取得工程）。図６（Ｂ）に、表示画像データＬ３の一例を示す。
図６（Ｂ）に示されるように、液晶パネル２００の表示部２１０に生じされる画像には、検査用バックライト１１０の輝度ムラの他、液晶層２３０の層厚ムラに起因する輝度の偏りが生じる。
【００３５】
ＳＴ１０４において、表示画像データ取得部１５２に記憶された表示画像データの輝度分布（図６（Ｂ）参照）から検査照明輝度データ取得部に記憶した検査用バックライト１１０の輝度データ（図６（Ａ）参照）を差分するシェーディング補正（差分工程）を行う。このシェーディング補正の概念図を図６（Ｃ）に示す。
図６（Ｃ）に示されるように、検査用バックライト１１０の輝度データＬ２を反転したデータＬ４を予め算出しておいて、この反転データＬ４を表示画像データＬ３に加算する。すると、検査用バックライト１１０に起因する輝度ムラが表示画像データＬ３から減算されて、液晶パネル２００自体に起因する輝度ムラを反映した液晶パネル輝度データＬ５が得られる。この液晶パネル輝度データＬ５は、液晶パネル輝度データ記憶部１５４に記憶される。
【００３６】
なお、ＳＴ１０１からＳＴ１０４により、検査対象となる液晶パネル２００の輝度データを取得する光学パネル輝度データ取得工程が構成される。
【００３７】
ＳＴ１０５において、第１欠陥判別工程が第１欠陥判別手段１５５によって行われる。
これは、ＳＴ１０４において取得された液晶パネル輝度データに基づいて、第１次的に液晶パネル２００の欠陥判別を行う工程である。
すなわち、シェーディング補正（ＳＴ１０４）によって検査用バックライト１１０に起因する輝度ムラが差分されて液晶パネル自体に起因する輝度ムラが液晶パネル輝度データとして求められているところ、液晶パネル輝度データを所定閾値に対比して液晶パネル２００の良／不良の判断が行われる。
例えば、図６（Ｃ）に示されるように、液晶パネル輝度データの最高輝度値が所定閾値以下であれば、液晶パネル２００は良品であると判断されて（ＳＴ１０６：ＹＥＳ）、次の工程に移行する。
【００３８】
次に、ＳＴ１０７からＳＴ１０９にかけては、液晶パネル２００に製品用バックライトを組み合わせた際の欠陥判断を行う製品検査工程（ＳＴ３００）である。
ＳＴ１０７において、製品用照明輝度データ記憶部１５６に記憶された製品用照明輝度データＬ１を読み出し、続いて、ＳＴ１０８において、製品輝度データ算出部１５７にて製品輝度データを算出する（製品輝度データ算出工程）。
すなわち、ＳＴ１０４においてシェーディング補正により算出された液晶パネル輝度データＬ５とＳＴ１００において算出された製品用照明輝度データＬ１とを加算する。すると、製品用バックライトにて照明された際の液晶パネル２００の輝度データが製品輝度データＬ６として算出される。
ここで、図７は、液晶パネル輝度データＬ５と製品用照明輝度データＬ１とを加算して製品輝度データＬ６を算出する様子を表す概念図である。
【００３９】
ＳＴ１０９において、第２欠陥判別工程が第２欠陥判別手段１５８によって行われる（製品欠陥判別工程）。
この工程は、ＳＴ１０８において算出された製品輝度データＬ６に基づいて、液晶パネル２００と製品用バックライトを組み合わせた際の製品としての欠陥判別を行う工程である。
図７に示されるように、製品輝度データＬ６を所定の閾値と対比して製品としての輝度ムラが良品範囲にあるか否かが判断される。
例えば、図７に示されるように、液晶パネル２００の輝度ムラと製品用バックライトの輝度ムラとが同じ範囲に生じている場合がありうる。このような場合には、第１欠陥判別工程（ＳＴ１０５）において良品範囲であると判断された場合であっても、液晶パネル２００の輝度ムラと製品用バックライトの輝度ムラとが重なって、製品として所定閾値を超えてしまう場合には不良品と判断されることになる。
その一方、製品輝度データが所定閾値内でおさまっている場合には、第２欠陥判別手段１５８にて良品であると判断される（ＳＴ１１０：ＹＥＳ）ことになる。
【００４０】
液晶パネル２００が第２欠陥判別工程（ＳＴ１０９）においても良品である場合には、所定の終了条件を満たしていることを条件として検査は終了される（ＳＴ１１２：ＹＥＳ）。終了条件としては、例えば、検査対象である総ての液晶パネル２００の検査を終了したことなどが例として挙げられる。良品であった液晶パネル２００は、製品に組み込まれる。
【００４１】
なお、ＳＴ１０５の第１欠陥判別工程において、液晶パネル輝度データが所定閾値を超えていた場合には、液晶パネル２００は不良品であると判断されて（ＳＴ１０６：ＮＯ）、不良品として処理される（ＳＴ１１３）ＳＴ１０９における第２欠陥判別工程において、製品輝度データが所定閾値を超えていた場合には、液晶パネル２００は不良品であると判断されて（ＳＴ１１０：ＮＯ）、不良品として処理される。
また、ＳＴ１１２において終了条件を満たしていない場合には（ＳＴ１１２：ＮＯ）、ＳＴ１０１において検査用バックライト１１０の輝度データを取得したのち、新たに検査対象となる液晶パネル２００を検査装置１００にセットして（ＳＴ１０２）、検査を続行する。
【００４２】
このような構成を備える第１実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（１）製品輝度データ算出工程（ＳＴ１８０）において、仮想的に液晶パネル２００の輝度データと製品用バックライトの輝度データとを組み合わせて製品となったときの製品輝度データを算出するので、実際に液晶パネル２００を製品に組み込む前に製品となったときの良品判断（製品欠陥判別工程）を行うことができる。したがって、製品として組みあがってから不良品として液晶パネル２００を製品ごと廃棄するムダを防ぐことができるので、製造効率を格段に向上させて、結果として製造コストを削減することができる。
【００４３】
（２）製品輝度データ算出工程（ＳＴ１８０）は、液晶パネル２００と製品用照明手段との輝度データを加算するというソフト的な処理であり、このような工程を行うことには特別に大掛かりな設備も必要なく、また時間もそれほどかかることがないので、製造コストの削減に大いに資する画期的効果を奏する。
【００４４】
（３）第２欠陥判別工程（ＳＴ１０９）において、予め仮想的に液晶パネル２００と製品用バックライトとの組合せを検査しているので、実際に製品として組み上げた後の検査が非常に簡便となり、検査効率を向上させて、ひいては製造効率の格段の向上を図ることができる。
【００４５】
（４）検査対象である液晶パネル２００と組み合わせられる製品用バックライトの輝度データを適切に得ることができるので、製品輝度データ算出工程（ＳＴ１０８）において製品輝度データを適切に算出することができる。その結果、適切に算出された製品輝度データに基づいて第２欠陥判別工程（ＳＴ１０９）による検査を正確に行うことができる。
【００４６】
（５）シェーディング補正（ＳＴ１０４）において、液晶パネル２００の画像データから検査用バックライト１１０の輝度データを差分するので、液晶パネル２００に表示された画像における輝度ムラのうち検査用バックライト１１０の寄与分が減算される。よって、光学パネル自体に起因する輝度ムラだけが得られる。
このように検査用照明の寄与分が減算されて光学パネル自体の輝度ムラが得られるので、この光学パネルの輝度ムラに製品用照明の輝度データが加算されると、製品として光学パネルと製品用照明とが組み合われたときの製品輝度データが正確に算出される。
【００４７】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
例えば、製品用照明輝度データを取得するにあたっては、複数枚の製品用バックライトの画像を撮像して、これらの輝度データの平均を製品用照明輝度データとする例を説明したが、製品用バックライトの画像を一枚撮像して、この輝度データを製品用照明輝度データとしてもよく、あるいは、製品用バックライトの設計データがある場合にはこの設計データに基づいて製品用照明輝度データを作成してもよい。
上記実施形態において、第１欠陥判別工程ＳＴ１０５においても第２欠陥判別工程ＳＴ１０９においても、欠陥判断は、単に輝度が所定閾値以下であるか否かを判断するにとどまる場合を例にして説明したが、実際は、点欠陥、線欠陥、面欠陥、画素ムラ欠陥等、種々の表示欠陥を検出するための複数の判断を行ったうえで、良品か不良品かを判断することが好ましいのはいうまでもない。
表示画像データ取得工程（ＳＴ１０３）および検査照明輝度データ取得工程（ＳＴ１０１）において、ＣＣＤカメラで画像を撮像するにあたっては、ＣＣＤカメラの撮像領域に応じて撮像対象を複数領域に分割して、領域ごとに撮像した画像を張り合わせて一枚の撮像データとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、液晶パネルの検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の第１実施形態において、検査装置に液晶パネルをセットした状態の全体構成を示す図。
【図２】第１実施形態において、画像処理部の構成を示す図。
【図３】第１実施形態において、液晶パネルの検査手順を示すフローチャート。
【図４】第１実施形態において、製品用照明輝度データのある断面を示す図。
【図５】第１実施形態において、液晶パネルをセットする前に検査用バックライトを発光させて撮像する様子を示す図。
【図６】第１実施形態において、（Ａ）は検査用バックライトの輝度データの一例を示す図であり、（Ｂ）は液晶パネルの表示部に生じされる画像の輝度ムラの一例を示す図であり、（Ｃ）はシェーディング補正の概念図である。
【図７】第１実施形態において、液晶パネル輝度データと製品用照明輝度データとを加算して製品輝度データを算出する様子を表す概念図。
【図８】（Ａ）は液晶パネルの輝度ムラを示す図であり、（Ｂ）は製品バックライトの輝度ムラを示す図であり、（Ｃ）は液晶パネルを製品バックライト組み合わせた際の輝度ムラを示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１００…検査装置、１１０…検査用バックライト、１２０…調光手段、１３０…液晶パネル駆動部、１３１…検査プローブ、１３２…バンプ、１４０…ＣＣＤカメラ、１５０…画像処理部、１５１…検査用照明輝度データ取得部、１５２…表示画像データ取得部、１５３…シェーディング補正部、１５４…液晶パネル輝度データ記憶部、１５５…第１欠陥判別手段、１５６…製品用照明輝度データ記憶部、１５７…製品輝度データ算出部、１５８…第２欠陥判別手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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