(57)【要約】【課題】ウェハーにめっき処理を行う際に、めっき電流の不通によるウェハーの品質異常を防ぐ。【解決手段】ウェハー５４のめっき処理時に、主電源１９の電圧を検出する。主電源１９の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、ウェハー５４を回収する。これにより、めっき処理時において主電源１９に電圧異常が生じた場合にはウェハー５４が回収される。めっき処理開始時に、主電源１９のＯＮ時より遅らせて補助電源２０をＯＦＦすると、めっき液の給液が遅れても、一時的な無通電状態の発生が回避される。めっき処理終了時に、主電源１９のＯＦＦ時より早めて補助電源２０をＯＮすると、一時的な無通電状態の発生が回避される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理するめっき方法であって、
前記ワークのめっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、
前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と
を有することを特徴とするめっき方法。
【請求項２】
主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理するめっき方法であって、
前記ワークのめっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、
前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と
を有することを特徴とするめっき方法。
【請求項３】
補助電源をＯＮして補助電極からカソード電極へ通電することにより、ワークを補助めっき処理し、
その後、主電源をＯＮしてアノード電極から前記カソード電極へ通電することにより、前記ワークを本めっき処理するめっき方法であって、
前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、
前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と、
前記ワークの本めっき処理開始時に、前記主電源がＯＮされる時点より一定の遅延時間だけ遅れて前記補助電源がＯＮからＯＦＦへ切り替わる通電制御工程と
を有することを特徴とするめっき方法。
【請求項４】
補助電源をＯＮして補助電極からカソード電極へ通電することにより、ワークを補助めっき処理し、
その後、主電源をＯＮしてアノード電極から前記カソード電極へ通電することにより、前記ワークを本めっき処理するめっき方法であって、
前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、
前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と、
前記ワークの本めっき処理開始時に、前記主電源がＯＮされる時点より一定の遅延時間だけ遅れて前記補助電源がＯＮからＯＦＦへ切り替わる通電制御工程と
を有することを特徴とするめっき方法。
【請求項５】
主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、前記ワークを本めっき処理し、
その後、補助電源をＯＮして補助電極から前記カソード電極へ通電することにより、前記ワークを補助めっき処理するめっき方法であって、
前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、
前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と、
前記ワークの本めっき処理終了時に、前記主電源がＯＦＦされる時点より一定の先行時間だけ早まって前記補助電源がＯＦＦからＯＮへ切り替わる通電制御工程と
を有することを特徴とするめっき方法。
【請求項６】
主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、前記ワークを本めっき処理し、
その後、補助電源をＯＮして補助電極から前記カソード電極へ通電することにより、前記ワークを補助めっき処理するめっき方法であって、
前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、
前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と、
前記ワークの本めっき処理終了時に、前記主電源がＯＦＦされる時点より一定の先行時間だけ早まって前記補助電源がＯＦＦからＯＮへ切り替わる通電制御工程と
を有することを特徴とするめっき方法。
【請求項７】
前記補助電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、当該補助電源に電圧異常が発生した旨のアラームが表示されることを特徴とする請求項３乃至６のいずれかに記載のめっき方法。
【請求項８】
前記ワークは、ウェハーであることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のめっき方法。
【請求項９】
主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理するめっき装置であって、
前記ワークのめっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、
前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられていることを特徴とするめっき装置。
【請求項１０】
主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理するめっき装置であって、
前記ワークのめっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、
前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられていることを特徴とするめっき装置。
【請求項１１】
補助電極からカソード電極へ通電してワークを補助めっき処理する補助電源と、
前記補助めっき処理の後、アノード電極から前記カソード電極へ通電して前記ワークを本めっき処理する主電源とが設けられためっき装置であって、
前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、
前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられ、
前記ワークの本めっき処理開始時に、前記主電源をＯＮする時点より一定の遅延時間だけ遅らせて前記補助電源をＯＮからＯＦＦへ切り替える通電制御手段が設けられていることを特徴とするめっき装置。
【請求項１２】
補助電極からカソード電極へ通電してワークを補助めっき処理する補助電源と、
前記補助めっき処理の後、アノード電極から前記カソード電極へ通電して前記ワークを本めっき処理する主電源とが設けられためっき装置であって、
前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、
前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられ、
前記ワークの本めっき処理開始時に、前記主電源をＯＮする時点より一定の遅延時間だけ遅らせて前記補助電源をＯＮからＯＦＦへ切り替える通電制御手段が設けられていることを特徴とするめっき装置。
【請求項１３】
アノード電極からカソード電極へ通電してワークを本めっき処理する主電源と、
前記本めっき処理の後、補助電極から前記カソード電極へ通電して前記ワークを補助めっき処理する補助電源とが設けられためっき装置であって、
前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、
前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられ、
前記ワークの本めっき処理終了時に、前記主電源をＯＦＦする時点より一定の先行時間だけ早めて前記補助電源をＯＦＦからＯＮへ切り替える通電制御手段が設けられていることを特徴とするめっき装置。
【請求項１４】
アノード電極からカソード電極へ通電してワークを本めっき処理する主電源と、
前記本めっき処理の後、補助電極から前記カソード電極へ通電して前記ワークを補助めっき処理する補助電源とが設けられためっき装置であって、
前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、
前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられ、
前記ワークの本めっき処理終了時に、前記主電源をＯＦＦする時点より一定の先行時間だけ早めて前記補助電源をＯＦＦからＯＮへ切り替える通電制御手段が設けられていることを特徴とするめっき装置。
【請求項１５】
前記補助電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、当該補助電源に電圧異常が発生した旨のアラームを表示する表示手段が設けられていることを特徴とする請求項１１乃至１４のいずれかに記載のめっき装置。
【請求項１６】
前記ワークは、ウェハーであることを特徴とする請求項７乃至１５のいずれかに記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハーなどのワークにめっき処理を行う際に適用するに好適な、めっき方法およびめっき装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のめっき処理を行う際には、アノード電極が固着されたアノードボックスをめっき槽内に設置し、このめっき槽内にめっき液を給液する。そして、めっき液の給液開始から所定の給液時間が経過すれば、アノード電極がめっき液に浸漬されるので、主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理していた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−２６３２８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、これでは、めっき処理時（めっき処理開始時、めっき処理中）において、めっき電流の不通により、ワークが品質異常を惹起する危険性があった。
【０００４】
すなわち、めっき処理開始時には、アノードボックスのメッシュ部材の目詰まりに起因して、めっき液のアノードボックス内への給液が遅れる場合がある。しかも、めっき液は不透明であるため、アノードボックス内への給液状況を外部から視認しにくい。この場合、一時的にアノード電極がめっき液に浸漬されない状態が発生し、アノード電極に電圧をかけてもアノード電極からカソード電極へめっき電流が流れないので、ワークの表面がエッチングされて品質異常が生じてしまう。
【０００５】
また、めっき処理中においても、主電源からアノード電極に至る導線が断線する恐れがある。この場合、それまでアノード電極からカソード電極へ流れていためっき電流が断線によって停止するため、ワークの表面がエッチングされて品質異常が生じてしまう。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑み、めっき処理時においてワークが品質異常を惹起する事態を未然に防ぐことが可能な、めっき方法およびめっき装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
まず、請求項１に係る発明は、主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理するめっき方法であって、前記ワークのめっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程とを有することを特徴とする。
また、請求項２に係る発明は、主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理するめっき方法であって、前記ワークのめっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程とを有することを特徴とする。
また、請求項３に係る発明は、補助電源をＯＮして補助電極からカソード電極へ通電することにより、ワークを補助めっき処理し、その後、主電源をＯＮしてアノード電極から前記カソード電極へ通電することにより、前記ワークを本めっき処理するめっき方法であって、前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と、前記ワークの本めっき処理開始時に、前記主電源がＯＮされる時点より一定の遅延時間だけ遅れて前記補助電源がＯＮからＯＦＦへ切り替わる通電制御工程とを有することを特徴とする。
また、請求項４に係る発明は、補助電源をＯＮして補助電極からカソード電極へ通電することにより、ワークを補助めっき処理し、その後、主電源をＯＮしてアノード電極から前記カソード電極へ通電することにより、前記ワークを本めっき処理するめっき方法であって、前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と、前記ワークの本めっき処理開始時に、前記主電源がＯＮされる時点より一定の遅延時間だけ遅れて前記補助電源がＯＮからＯＦＦへ切り替わる通電制御工程とを有することを特徴とする。
また、請求項５に係る発明は、主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、前記ワークを本めっき処理し、その後、補助電源をＯＮして補助電極から前記カソード電極へ通電することにより、前記ワークを補助めっき処理するめっき方法であって、前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と、前記ワークの本めっき処理終了時に、前記主電源がＯＦＦされる時点より一定の先行時間だけ早まって前記補助電源がＯＦＦからＯＮへ切り替わる通電制御工程とを有することを特徴とする。
また、請求項６に係る発明は、主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、前記ワークを本めっき処理し、その後、補助電源をＯＮして補助電極から前記カソード電極へ通電することにより、前記ワークを補助めっき処理するめっき方法であって、前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程と、前記ワークの本めっき処理終了時に、前記主電源がＯＦＦされる時点より一定の先行時間だけ早まって前記補助電源がＯＦＦからＯＮへ切り替わる通電制御工程とを有することを特徴とする。
また、請求項７に係る発明は、前記補助電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、当該補助電源に電圧異常が発生した旨のアラームが表示されることを特徴とする。
また、請求項８に係る発明は、前記ワークは、ウェハーであることを特徴とする。
また、請求項９に係る発明は、主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理するめっき装置であって、前記ワークのめっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられていることを特徴とする。
また、請求項１０に係る発明は、主電源をＯＮしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理するめっき装置であって、前記ワークのめっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられていることを特徴とする。
また、請求項１１に係る発明は、補助電極からカソード電極へ通電してワークを補助めっき処理する補助電源と、前記補助めっき処理の後、アノード電極から前記カソード電極へ通電して前記ワークを本めっき処理する主電源とが設けられためっき装置であって、前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられ、前記ワークの本めっき処理開始時に、前記主電源をＯＮする時点より一定の遅延時間だけ遅らせて前記補助電源をＯＮからＯＦＦへ切り替える通電制御手段が設けられていることを特徴とする。
また、請求項１２に係る発明は、補助電極からカソード電極へ通電してワークを補助めっき処理する補助電源と、前記補助めっき処理の後、アノード電極から前記カソード電極へ通電して前記ワークを本めっき処理する主電源とが設けられためっき装置であって、前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられ、前記ワークの本めっき処理開始時に、前記主電源をＯＮする時点より一定の遅延時間だけ遅らせて前記補助電源をＯＮからＯＦＦへ切り替える通電制御手段が設けられていることを特徴とする。
また、請求項１３に係る発明は、アノード電極からカソード電極へ通電してワークを本めっき処理する主電源と、前記本めっき処理の後、補助電極から前記カソード電極へ通電して前記ワークを補助めっき処理する補助電源とが設けられためっき装置であって、前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられ、前記ワークの本めっき処理終了時に、前記主電源をＯＦＦする時点より一定の先行時間だけ早めて前記補助電源をＯＦＦからＯＮへ切り替える通電制御手段が設けられていることを特徴とする。
また、請求項１４に係る発明は、アノード電極からカソード電極へ通電してワークを本めっき処理する主電源と、前記本めっき処理の後、補助電極から前記カソード電極へ通電して前記ワークを補助めっき処理する補助電源とが設けられためっき装置であって、前記ワークの本めっき処理時に前記主電源の電圧を検出する電圧検出手段が設けられ、前記主電源の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、前記ワークを回収するワーク回収手段が設けられ、前記ワークの本めっき処理終了時に、前記主電源をＯＦＦする時点より一定の先行時間だけ早めて前記補助電源をＯＦＦからＯＮへ切り替える通電制御手段が設けられていることを特徴とする。
また、請求項１５に係る発明は、前記補助電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、当該補助電源に電圧異常が発生した旨のアラームを表示する表示手段が設けられていることを特徴とする。
また、請求項１６に係る発明は、前記ワークは、ウェハーであることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、めっき処理時において主電源に電圧異常が生じた場合にはワークが回収されることから、ワークが品質異常を惹起する事態を未然に防ぐことが可能となる。
【０００９】
また、ワークの本めっき処理開始時に、前記主電源をＯＮする時点より遅らせて補助電源をＯＮからＯＦＦへ切り替えると、めっき液の給液が遅れても、本めっき処理開始時の一時的な無通電状態の発生を回避することができる。
【００１０】
さらに、ワークの本めっき処理終了時に、主電源をＯＦＦする時点より早めて補助電源をＯＦＦからＯＮへ切り替えると、本めっき処理終了時の一時的な無通電状態の発生を回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
めっき装置１では、図１に示すように、ローダー部２、前処理部３、４つのめっき槽部５（第１めっき槽部５Ａ、第２めっき槽部５Ｂ、第３めっき槽部５Ｃ、第４めっき槽部５Ｄ）、後処理部６およびアンローダー部７が順に並んで設置されており、これらの近傍には搬送ロボット９が、ローダー部２、前処理部３、めっき槽部５、後処理部６およびアンローダー部７の間でウェハー５４を搬送しうるように付設されている。
【００１３】
また、めっき装置１はＣＰＵ（中央演算処理装置）１０を有している。ＣＰＵ１０には、ローダー部２、前処理部３、４つのめっき槽部５、後処理部６、アンローダー部７および搬送ロボット９が接続されているほか、めっき電源制御手段１１、めっき電圧設定手段１２、めっき液循環装置１３、警報装置１５、電圧検出器１６、キーボードなどの入力装置１４、液晶ディスプレイなどの表示装置１７および磁気ディスクなどの記憶装置１８が接続されている。さらに、めっき電源制御手段１１には、主電源１９および補助電源２０が接続されている。なお、記憶装置１８には、図３に示すめっき処理プログラムＰＲ１が格納されている。
【００１４】
また、各めっき槽部５は、図２に示すように、直方体状のめっき槽５１を有しており、めっき槽５１の上面は開放されている。めっき槽５１内には円筒状のアノードボックス５２が設置されており、アノードボックス５２の下部開放端には円盤状のメッシュ部材５０が取り付けられている。アノードボックス５２内には円盤状のアノード電極５３が固着されている。一方、めっき槽５１の底面には円形の開口部５１ａが形成されており、めっき槽５１の底面下側には円筒状のカソード電極５５が、開口部５１ａを包囲するように取り付けられている。カソード電極５５の下方には、ウェハー５４を搭載しうるウェハーホルダー５６が昇降駆動自在に付設されている。そして、このウェハーホルダー５６は、図２に実線で示すように、上昇した状態では、カソード電極５５の内側に嵌入して開口部５１ａを閉塞し、図２に一点鎖線で示すように、下降した状態では、カソード電極５５から下方に離れて開口部５１ａを開放する。また、アノード電極５３とカソード電極５５との間には主電源１９が接続されている。また、めっき槽５１内の四隅の底部近傍には、それぞれ補助電極５７が設置されており、これらの補助電極５７とカソード電極５５との間には補助電源２０が接続されている。
【００１５】
めっき装置１は以上のような構成を有するので、このめっき装置１を用いて複数枚のウェハー５４に連続めっき処理を行う際には、作業者は、入力装置１４を操作して各種データ（設定電圧、主電源電圧異常誤検出防止時間Ｔ１、補助電源電圧異常誤検出防止時間Ｔ２、補助電源投入時異常監視無効時間Ｔ３、遅延時間Ｔ４、先行時間Ｔ５、めっき電流安定待ち時間Ｔ６など）の入力を行う。
【００１６】
こうして各種データの入力が行われたところで、作業者は、入力装置１４を操作して連続めっき処理を指令する。これを受けてＣＰＵ１０は、めっき処理プログラムＰＲ１を記憶装置１８から読み出し、このめっき処理プログラムＰＲ１に基づき、次の手順に従って各ウェハー５４に対する処理を順次実行する。なお、ここでは、１枚のウェハー５４に対する処理について説明するが、実際には、４つのめっき槽部５を活用しつつ、所定の時間をおいて各ウェハー５４のめっき処理が次々と行われていく。
【００１７】
まず、ＣＰＵ１０は、搬送ロボット９に対して、ウェハー５４をローダー部２から前処理部３へ搬送するよう指令する。すると、搬送ロボット９は、ローダー部２に載置されたウェハー５４を把持し、前処理部３まで運搬した後、前処理部３に載置する。
【００１８】
こうしてウェハー５４が前処理部３に搬送されたところで、ＣＰＵ１０は、前処理部３に対して、ウェハー５４の前処理を行うよう指令する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１）。すると、前処理部３は、ウェハー５４をめっきされやすくするため、ウェハー５４の表面に薬剤を塗布する。
【００１９】
こうしてウェハー５４の前処理が行われたところで、ＣＰＵ１０は、搬送ロボット９に対して、ウェハー５４のめっき槽部５への搬送を行うよう指令する。すると、搬送ロボット９は、ウェハー５４を前処理部３からめっき槽部５へ搬送する。
【００２０】
こうしてウェハー５４がめっき槽部５に搬送されたところで、ＣＰＵ１０は、めっき槽部５に対して、ウェハー５４のめっき処理を行うよう指令する。すると、めっき槽部５は、図２に一点鎖線で示すように、ウェハーホルダー５６が下降した状態で、このウェハーホルダー５６上にウェハー５４を搭載し、この状態のままウェハーホルダー５６を上昇させる（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ２）。すると、ウェハーホルダー５６は、図２に実線で示すように、カソード電極５５の内側に嵌入して開口部５１ａを閉塞した状態となる。なお、ウェハー５４は真空ポンプ（図示せず）でウェハーホルダー５６に吸着されるので、ウェハーホルダー５６の上昇時にウェハー５４がずれる心配はない。
【００２１】
次に、ＣＰＵ１０は、めっき液循環装置１３に対して、めっき液の給液を指令する。すると、めっき液循環装置１３は、めっき槽５１内にめっき液を給液するとともに（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ３）、補助電源２０をＯＮする（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ４）。すると、めっき液がメッシュ部材５０を通過してアノードボックス５２内に浸入し、アノード電極５３がめっき液に浸漬される。また、補助電源２０がＯＮされることにより、補助電極５７からカソード電極５５へめっき電流が流れ、ウェハー５４の補助めっき処理が行われる。
【００２２】
そして、ＣＰＵ１０は、めっき槽５１内にめっき液を給液し始めてから所定の給液時間（アノード電極５３がめっき液に浸漬されるのに要する時間）が経過した時点で、主電源１９をＯＮする（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ５）。すると、アノード電極５３からカソード電極５５へめっき電流が流れ、ウェハー５４の本めっき処理が始まる。
【００２３】
次いで、ＣＰＵ１０は、めっき時間のカウントダウンを開始し（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ９）、補助電源２０をＯＦＦする（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１０）。このとき、図８に示すように、主電源１９をＯＮする時点より一定の遅延時間Ｔ４（例えば、１０秒）だけ遅らせて補助電源２０をＯＮからＯＦＦへ切り替える。そうすると、めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ３で、めっき液の給液が遅れたとしても、それが遅延時間Ｔ４以下である限り、本めっき処理開始時の一時的な無通電状態の発生を回避し、ウェハー５４の品質異常の発生を未然に防ぐことができる。
【００２４】
そして、ＣＰＵ１０は、めっき時間のカウントダウンを終了し（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１２）、補助電源２０をＯＮした後（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１５）、主電源１９をＯＦＦする（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１６）。すると、ウェハー５４の本めっき処理が終わる。このとき、図８に示すように、主電源１９をＯＦＦする時点より一定の先行時間Ｔ５（例えば、１０秒）だけ早めて補助電源２０をＯＦＦからＯＮへ切り替える。そうすると、本めっき処理終了時の一時的な無通電状態の発生を回避することができる。また、補助電源２０がＯＮされることにより、補助電極５７からカソード電極５５へめっき電流が流れ、ウェハー５４の補助めっき処理が行われる。
【００２５】
次いで、ＣＰＵ１０は、めっき液循環装置１３に対して、めっき液の回収を指令する。すると、めっき液循環装置１３は、めっき槽５１内のめっき液を回収する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１７）。このとき、めっき槽５１に多少めっき液が残るので、これを窒素ガスで吹き飛ばし、少しでも多く回収できるようにする。
【００２６】
その後、ＣＰＵ１０は、めっき槽部５に対して、ウェハー５４の回収を行うよう指令する。すると、めっき槽部５は、ウェハーホルダー５６を下降させ、ウェハー５４をウェハーホルダー５６から取り外して回収する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１８）。
【００２７】
こうしてウェハー５４のめっき処理が行われたところで、ＣＰＵ１０は、搬送ロボット９に対して、ウェハー５４の後処理部６への搬送を行うよう指令する。すると、搬送ロボット９は、ウェハー５４をめっき槽部５から後処理部６へ搬送する。
【００２８】
こうしてウェハー５４が後処理部６に搬送されたところで、ＣＰＵ１０は、後処理部６に対して、ウェハー５４の後処理を行うよう指令する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１９）。すると、後処理部６は、ウェハー５４の表面（被めっき面）を水洗した後、乾燥する。
【００２９】
こうしてウェハー５４の後処理が行われたところで、ＣＰＵ１０は、搬送ロボット９に対して、ウェハー５４のアンローディングを指令する。すると、搬送ロボット９は、ウェハー５４を後処理部６からアンローダー部７へ搬送する。
【００３０】
ここで、めっき装置１によるウェハー５４のめっき処理作業が終了する。
【００３１】
ところで、ウェハー５４の本めっき処理開始時には、アノードボックス５２のメッシュ部材５０の目詰まりに起因して、めっき液のアノードボックス５２内への給液が遅れる場合がある。この場合、一時的にアノード電極５３がめっき液に浸漬されない状態が発生し、主電源１９をＯＮしてアノード電極５３に電圧をかけてもカソード電極５５へめっき電流が流れないので、図４に示すように、主電源１９の電圧が上昇することになる。
【００３２】
そこで、めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ５で、主電源１９をＯＮすると同時に、主電源１９の電圧を電圧検出器１６で検出し、主電源１９の電圧が設定電圧を越えているか否かを判定する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ６）。
【００３３】
その結果、主電源１９の電圧が設定電圧以下である場合は、アノード電極５３が間違いなくめっき液に浸漬され、めっき液を通じてカソード電極５５にめっき電流が正常に流れていると考えられるので、めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ９に移行し、通常の本めっき処理を継続する。
【００３４】
一方、主電源１９の電圧が設定電圧を越えている場合は、何らかの原因（例えば、アノードボックス５２のメッシュ部材５０の目詰まり）により、アノード電極５３がめっき液にまだ浸漬されていない可能性が高いと考えられるので、ウェハー５４に対して通常の本めっき処理を行わない。ただし、主電源１９をＯＮした直後は、ノイズが発生しやすく、主電源１９の電圧が一時的に設定電圧を越えることも想定される。そこで、主電源１９の電圧が設定電圧を越えたときであっても、その状態が主電源電圧異常誤検出防止時間Ｔ１（例えば、１．５秒）経過前に解消された場合は、ノイズが発生したに過ぎず、アノード電極５３はめっき液に浸漬されていると判断し、めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ９に移行し、通常の本めっき処理を継続する。また、主電源１９の電圧が設定電圧を越え、その状態が所定の主電源電圧異常誤検出防止時間Ｔ１以上継続した場合は、めっき電流が安定しているか否かにより、その後の作業を適宜変更する。
【００３５】
すなわち、主電源１９をＯＮしてから暫くの間は、めっき電流が安定せず、主電源１９の電圧が一時的に設定電圧を越えることも想定される。そこで、主電源１９の電圧が設定電圧を越え、その状態が所定の主電源電圧異常誤検出防止時間Ｔ１以上継続したとき、めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ７に移行し、主電源１９をＯＮしてからの経過時間が所定のめっき電流安定待ち時間Ｔ６（例えば、２秒）以内である否かを判定する。その結果、主電源１９をＯＮしてからの経過時間がめっき電流安定待ち時間Ｔ６以内である場合は、めっき電流がまだ安定していないと考えられるので、その旨を表示装置１７に表示した後（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ８）、めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ９に移行し、本めっき処理を継続する。また、主電源１９をＯＮしてからの経過時間がめっき電流安定待ち時間Ｔ６を越えている場合は、めっき電流が既に安定していると考えられるので、主電源１９の電圧が異常である旨を表示装置１７に表示するとともに（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１３）、めっき時間のカウントダウンを途中で停止する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１４）。その後、補助電源２０をＯＮし（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１５）、主電源１９をＯＦＦする（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１６）。さらに、めっき槽５１内のめっき液を回収するとともに（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１７）、ウェハー５４を回収する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１８）。最後に、ウェハー５４の後処理を行う（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１９）。
【００３６】
したがって、ウェハー５４の本めっき処理開始時において、めっき液のアノードボックス５２内への給液が遅れても、ウェハー５４が品質異常を惹起する事態を未然に防ぐことができる。
【００３７】
また、ウェハー５４の本めっき処理中には、主電源１９からアノード電極５３に至る導線が断線する恐れがある。この場合、それまでアノード電極５３からカソード電極５５へ流れていためっき電流が断線によって停止するため、図５に示すように、主電源１９の電圧が上昇することになる。
【００３８】
そこで、めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１０で補助電源２０をＯＦＦしてから、めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１２でめっき時間のカウントダウンを終了するまでの間においても、主電源１９の電圧を監視する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１１）。そして、主電源１９の電圧が設定電圧を越え、その状態が所定の主電源電圧異常誤検出防止時間Ｔ１以上継続した場合は、主電源１９の電圧が異常である旨を表示装置１７に表示するとともに（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１３）、めっき時間のカウントダウンを途中で停止する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１４）。その後、補助電源２０をＯＮし（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１５）、主電源１９をＯＦＦする（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１６）。さらに、めっき槽５１内のめっき液を回収するとともに（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１７）、ウェハー５４を回収する（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１８）。最後に、ウェハー５４の後処理を行う（めっき処理プログラムＰＲ１のステップＳ１９）。
【００３９】
したがって、ウェハー５４の本めっき処理中に、主電源１９からアノード電極５３に至る導線が断線しても、ウェハー５４が品質異常を惹起する事態を未然に防ぐことができる。
【００４０】
なお、上述の実施形態においては、主電源１９に電圧異常が生じた場合について説明したが、補助電源２０に電圧異常が生じた場合も同様に対処することで、ウェハー５４の品質異常の発生を未然に防ぐことができる。
【００４１】
すなわち、めっき液の給液または回収の開始時には補助電源２０をＯＮするが、図６に示すように、補助電源２０が設定電圧を越えた場合には、補助電源２０に電圧異常が発生した旨のアラームが表示装置１７に表示される。この場合、ノイズによる誤検出を避けるため、補助電源投入時異常監視無効時間Ｔ３および補助電源電圧異常誤検出防止時間Ｔ２を経過している場合に限り、アラームが表示される。したがって、このアラームを見た作業者は、ウェハー５４を手動で回収することができるので、ウェハー５４の品質異常の発生を未然に防ぐことが可能となる。
【００４２】
また、めっき液の給液または回収の途中においても、図７に示すように、補助電源２０が設定電圧を越えた場合には、補助電源２０に電圧異常が発生した旨のアラームが表示装置１７に表示される。この場合、ノイズによる誤検出を避けるため、補助電源投入時異常監視無効時間Ｔ３および補助電源電圧異常誤検出防止時間Ｔ２を経過している場合に限り、アラームが表示される。したがって、このアラームを見た作業者は、ウェハー５４を手動で回収することができるので、ウェハー５４の品質異常の発生を未然に防ぐことが可能となる。
【００４３】
なお、上述の実施形態においては、４つのめっき槽部５を備えためっき装置１について説明したが、めっき槽部５の個数は、１個以上であれば何個でも構わない。
【００４４】
なお、上述の実施形態においては、ウェハー５４にめっき処理を行う場合について説明したが、ウェハー５４以外のワークにめっき処理を行う場合に本発明を適用することも可能である。
【００４５】
なお、上述の実施形態においては、キーボードなどの入力装置１４と、液晶ディスプレイなどの表示装置１７とを備えためっき装置１について説明したが、タッチ入力式の液晶表示パネル（図示せず）を採用することにより、入力装置１４と表示装置１７の両方の機能を１台で発揮させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係るめっき装置の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】図１に示すめっき装置の各めっき槽部を示す詳細図である。
【図３】本発明に係るめっき方法の手順を示すフローチャートである。
【図４】本めっき処理開始時に主電源電圧異常が生じた場合のタイムチャートである。
【図５】本めっき処理中に主電源電圧異常が生じた場合のタイムチャートである。
【図６】補助めっき処理開始時に補助電源電圧異常が生じた場合のタイムチャートである。
【図７】補助めっき処理中に補助電源電圧異常が生じた場合のタイムチャートである。
【図８】めっき開始・終了時における補助電源の遅延・先行を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
【００４７】
１……めっき装置
１０……ＣＰＵ（通電制御手段、ワーク回収手段）
１６……電圧検出器（電圧検出手段）
１７……表示装置（表示手段）
１９……主電源
２０……補助電源
５３……アノード電極
５４……ウェハー（ワーク）
５５……カソード電極
５７……補助電極
Ｔ１……主電源電圧異常誤検出防止時間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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