(57)【要約】【課題】  本発明は半導体リレー装置において、特性インピーダンスを改善することにより、その高周波特性を向上させることを目的とする。【解決手段】  発光素子１１と、発光素子からの光を受光する受光素子１２と、受光によって生成された信号を受けて外部回路を動作させるスイッチ回路であるＭＯＳ素子１３と、ＭＯＳ素子１３と外部回路とを接続する信号配線１７ａ及び１８ａを有する半導体リレー装置１０において、信号配線１７ａ及び１８ａの特性インピーダンスを制御するグランド板を２０信号配線１７ａ及び１８ａに近接して、前記信号配線１７ａ及び１８ａと直接接続することなく配置する。【選択図】  図１
2006049766.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子と、
前記発光素子からの光を受光する受光素子と、
前記受光によって生成された信号を受けて外部回路を動作させるスイッチ回路と、
前記スイッチ回路と前記外部回路とを接続する信号配線と、
前記信号配線に近接して配置され、前記信号配線の特性インピーダンスを前記信号配線と直接接続することなく制御するグランド板と
を有することを特徴とする半導体リレー装置。
【請求項２】
前記グランド板の一部が外部に露出して接地されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体リレー装置。
【請求項３】
前記グランド板がリード端子を介して外部と接地していることを特徴とする請求項１に記載の半導体リレー装置。
【請求項４】
前記グランド板と前記信号配線とを間隙を介して積層してなり、前記信号配線の特性インピーダンスは前記グランド板と前記信号配線との間隙量によって制御されてなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の半導体リレー装置。
【請求項５】
発光素子と、
前記発光素子からの光を受光する受光素子と、
前記受光によって生成された信号を受けて外部回路を動作させるスイッチ回路と、
スイッチ回路と前記外部回路とを接続する信号配線と、
前記信号配線に近接して配置され、前記信号配線の特性インピーダンスを前記信号配線と直接接続することなく制御するグランド板と
を有する半導体リレーを複数個内蔵していることを特徴とする半導体リレー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光結合を用いた半導体リレー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体リレー装置は、様々な機器に使用されている。中でも、最近、ＩＣテスターのメカニカルリレーの置き換えとして使用されることが多くなってきた。測定されるＩＣと測定系とを電気的に絶縁できること、無接点であることにより長寿命であることが主に使われる理由である。他の要求仕様として、高周波特性の向上が望まれている。
【０００３】
ＩＣ電子部品の動作速度が上がるにつれ、ＩＣテスターで使用する信号の伝送速度も数百ＭＨｚあるいはＧＨｚオーダレベルのものが要求されるようになった。これに対応して、半導体リレー装置に関しても、より高周波で伝送する必要がある。
【０００４】
半導体リレー装置は発光素子、受光素子及びスイッチング回路が主要な構成部品である。また、それらの内部部品及び内部部品と外部回路を接続する配線、端子等を有している。
【０００５】
上述の高速化の要求に対し、例えば、スイッチング素子に接続された入力信号配線及び出力信号配線と端子との間の曲げ回数を減少させる等の方法が示されている。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
しかし、従来の半導体リレー装置の入力信号配線及び出力信号配線の特性インピーダンスは数百Ω以上になっている。このとき、実装基板の配線は一般的に５０Ω程度の特性インピーダンスを有するため、特性インピーダンスの不連続部分で多重反射が発生する。高速動作になるほど、このような反射の影響によって、高周波特性としての波形の品質は劣化するという問題があった。
【特許文献１】特開２００３−８０５０号公報（第５ページ、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は半導体リレー装置において、特性インピーダンスを改善することにより、その高周波特性を向上させる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様は、半導体リレー装置として、発光素子と、前記発光素子からの光を受光する受光素子と、前記受光によって生成された信号を受けて外部回路を動作させるスイッチ回路と、スイッチ回路と前記外部回路とを接続する信号配線と、前記信号配線に近接して配置され、前記信号配線の特性インピーダンスを前記信号配線と直接接続することなく制御するグランド板とを有することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の第２の態様は、半導体リレー装置として、発光素子と、前記発光素子からの光を受光する受光素子と、前記受光によって生成された信号を受けて外部回路を動作させるスイッチ回路と、スイッチ回路と前記外部回路とを接続する信号配線と、前記信号配線に近接して配置され、前記信号配線の特性インピーダンスを前記信号配線と直接接続することなく制御するグランド板とを有する半導体リレーを複数個内蔵していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、グランド板を設けることにより、信号配線のインピーダンス特性を制御し、優れた高周波特性を有する半導体リレー装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１２】
先ず、本実施例の構造について説明する。図１は、本発明による半導体リレー装置の第１の実施例における外形を示す（ａ）外観図及び内部の部品配置を示す（ｂ）斜視図である。
【００１３】
図１（ａ）に示すように本実施例の半導体リレー装置１０は樹脂モールド１０ａによって内部の部品が覆われ、外部の回路等と接続する発光素子用リード端子１５乃至１６及び信号端子１７乃至１８が露出している。樹脂モールド１０ａは内部の各部品の固定、チップ等を外部環境から保護するために、耐湿性、耐熱性の良い材料で構成している。なお、発光素子用リード端子１５乃至１６及び信号端子１７乃至１８については後述する。
【００１４】
次に樹脂モールド１０ａの内部に配置された各部品について図１（ｂ）を用いて説明する。半導体リレー装置１０としての主要な部品は発光素子１１、受光素子の集積体である受光素子アレイ１２及びスイッチ回路である２個のＭＯＳ素子１３である。発光素子１１と受光素子アレイ１２との間の光学的な伝送路には、例えば、エポキシ等の透明樹脂１９が埋め込まれている。
【００１５】
また、これらを電気的に接続する信号配線１７ａ乃至１８ａ等の配線、これらの配線の先端にあり、外部回路等と接続する端子として、発光素子用リード端子１５乃至１６及び信号端子１７乃至１８が配置されている。
【００１６】
更に、本実施例のポイントとなるグランド板２０は信号配線１７ａ乃至１８ａと近接するように、底面に配置されている。グランド板２０は、例えば中央近傍に貼り合わせ接続或いはパンチング等で外部へ向けて凸部が形成されており、この部分の表面が外部に対して露出され、露出部２０ａとなっている。
【００１７】
図１（ａ）に示した本実施例の半導体リレー装置１０をＹ−Ｙ方向に向けて切断し、内部の各部品をＸ方向から眺めた場合の断面模式図を図２（ａ）に示す。発光素子１１と受光素子アレイ１２は透明樹脂１９を介して対向するように配置され、ＭＯＳ素子１３は信号配線１７ａと接続している。グランド板２０は信号配線１７ａに対して近接して配置され、その特性インピーダンスを制御するように距離等が定められる。また、グランド板２０は、露出部によって外部に接地される。
【００１８】
図２（ｂ）に本実施例の等価回路図を示す。先ず、発光素子１１がある一次側と受光素子アレイ１２及びそれと接続する電気回路が配置されている二次側は電気的に絶縁されている。一次側はアノード１１ａとカソード１１ｂを有する発光素子１１からなり、アノード１１ａ、カソード１１ｂは各々、リード端子１５乃至１６を介して外部と接続する。他方、二次側は、直列に多段接続した受光素子１２ａとＭＯＳＦＥＴのゲート放電回路１４を有した受光素子アレイ１２及び２個のＭＯＳ素子１３からなる。ここで、受光素子を多段に接続するのは、１個の受光素子１２ａが発生可能な電圧は比較的小さく、ＭＯＳＦＥＴの動作に必要なゲートに対するバイアス電圧まで大きくするためには、複数の受光素子が必要となるからである。
【００１９】
受光素子アレイ１２は２個のＭＯＳ素子１３のゲート１３ａと接続しており、また、ＭＯＳ素子のソース１３ｂは共にＭＯＳＦＥＴのゲート放電回路１４に、ドレイン１７はそれぞれ、信号配線１７ａ乃至１８ａを介して信号端子１７乃至１８に接続している。
【００２０】
信号配線１７ａ乃至１８ａは外部配線３２を介して外部出力電源３４及び負荷３３と接続し、外部回路へ信号を供給する。一般的に、外部配線３２の特性インピーダンスは、例えば５０Ωに設定されている。従って、高周波動作を安定して行うためには、信号配線１７ａ乃至１８ａの特性インピーダンスを同様の値（この場合は例えば５０Ω）に設定することが有効である。グランド板（図示せず）は、上記の各部品と直接の接続はないが、信号配線１７ａ乃至１８ａに近接して配置される。また、グランド板のパラメータは、信号配線１７ａ乃至１８ａの特性インピーダンスが、例えば５０Ωになるように調整される。
【００２１】
次に、本実施例に示した半導体リレー装置の動作について説明する。
【００２２】
先ず、リード端子１５乃至１６の間に電流を流さない場合、発光素子１１は発光しないので、受光素子アレイ１２の電圧発生もない。その結果、２個のＭＯＳ素子１３のゲート１３ａはバイアスされず、ＭＯＳ素子１３のソース１３ｂとドレイン１３ｃの間はオープン状態である。即ち、信号端子１７に電圧信号を印加しても、信号端子１８から電圧信号は出力されない。
【００２３】
一方、リード端子１５に電圧を印加し、アノード１１ａから発光素子１１へ電流を流した場合、発光素子１１が発光し、受光素子アレイ１２へ向けて光を放出する。この光を受けた受光素子アレイ１２では電圧が発生する。その結果、ＭＯＳ素子１３のソース１３ｂとドレイン１３ｃの間が導通状態になり、信号端子１７に入力した電圧信号は、ＭＯＳ素子１３を経由して信号端子１８から出力される。
【００２４】
次に、信号波形の品質について議論する。先に述べたように、外部配線３２の特性インピーダンスが５０Ωの場合、信号配線１７ａ乃至１８ａの特性インピーダンスを同様にして５０Ωに設定することが波形の劣化は少なく、有効である。本実施例では、グランド板２０により、信号配線１７ａ乃至１８ａの特性インピーダンスを約５０Ωに設定することがポイントである。
【００２５】
図３は、本実施例における信号配線の特性インピーダンスを説明する、（ａ）断面の模式図及び（ｂ）特性インピーダンスデータである。図３（ａ）は、本実施例における入力の信号線１７ａとグランド板２０との配置関係を示す断面図である。信号信配線１７の幅（Ｗ）、厚さ（ｔ）及びグランド板との距離（ｈ）、樹脂モールド１０の比誘電率により、特性インピーダンスが決定される。図３（ｂ）は、Ｗが０．４ｍｍ、ｔが０．１５ｍｍ、樹脂モールド１０の比誘電率が４〜５程度で、ｈを０．１〜５．０ｍｍまで変化させたときの特性インピーダンスの変化を表したものである。
【００２６】
従来の半導体リレー装置は、グランド板２０がなく、即ち、グランド板２０との距離が5mmより大きい場合に相当する。従って、特性インピーダンスは少なくとも１５０Ω以上である。
【００２７】
本実施例では、信号配線１７ａ乃至１８ａとグランド板２０との距離を０．２５ｍｍ程度に設定して特性インピーダンスをほぼ５０Ωに設計した。
【００２８】
以上のようにして、特性インピーダンス５０Ωの外部配線３２と信号配線１７ａ乃至１８ａの特性インピーダンスをマッチングさせることにより、その間の反射は従来に比べて大きく減少する。
【００２９】
図４は、従来の半導体リレー装置（グランド板なし）と本実施例の半導体リレー装置（グランド板有り）とを比較した電圧波形である。従来の半導体リレー装置の電圧波形と比較し、本実施例の半導体リレー装置の立ち上り時間が著しく短くなっており、半導体リレー装置の高周波特性が大きく改善されていることが明らかである。
【００３０】
また、従来の半導体リレー装置では、例えば、実装する基板に設けたグランドとの距離が装置によって異なる。これに対し、本発明ではグランド板２０を設けることで特性インピーダンスが殆ど変化せず、安定した特性が得られるようになる。また、グランドを設けたことにより、ノイズの影響も受け難くなる。
【００３１】
以上のように、グランド板を設けることにより、半導体リレー装置の高周波特性を向上させ、また、ノイズ耐力も大きく、更に、放熱も改善できる。
【実施例２】
【００３２】
本発明による半導体リレー装置の第２の実施例について、第１の実施例と異なる部分を中心に説明する。
【００３３】
本実施例の基本構造は第１の実施例と同様である。本実施例が第１の実施例と異なる点は以下である。第１の実施例のグランド板は全面に渡って均一な板である。一方、本実施例では、グランド板をメッシュ状に形成している。
【００３４】
本実施例の構造について説明する。本実施例の外形（図示せず）は図１（ａ）に示した第１の実施例の外観図と同様であり、樹脂モールドによって内部の部品を覆い、外部の回路等と接続する発光素子用リード端子及び信号端子が露出している。樹脂モールドは内部の各部品の固定、チップ等を外部環境から保護するために耐湿性、耐熱性の良い材料で構成している。なお、発光素子用リード端子及び信号端子については後述する。
【００３５】
次に樹脂モールドの内部に配置された各部品について図５を用いて説明する。図５は、本発明による半導体リレー装置の第２の実施例における内部の部品配置を示す斜視図である。
【００３６】
半導体リレー装置１０としての主要な部品は発光素子１１、受光素子の集積体である受光素子アレイ１２及びスイッチ回路である２個のＭＯＳ素子１３である。発光素子１１と受光素子アレイ１２との間の光学的な伝送路には例えば、エポキシ等の透明樹脂１９が埋め込まれている。
【００３７】
また、これらを電気的に接続する信号配線１７ａ乃至１８ａ等の配線、これらの配線の先端にあり、外部回路等と接続する端子として、発光素子用リード端子１５乃至１６及び信号端子１７乃至１８が配置されている。
【００３８】
更に、本実施例のポイントとなるグランド板２０は信号配線１７ａ乃至１８ａと近接するように、底面に配置されている。グランド板２０は、例えば中央近傍に貼り合わせ接続或いはパンチング等で外部へ向けて凸部が形成されており、この部分の表面が外部に対して露出され、露出部２０ａとなっている。更に、グランド板２０には、規則的にメッシュ２２が貫通して開口されている。
【００３９】
これにより、信号配線１７ａ乃至１８ａの特定インピーダンスを制御する効果の他に、樹脂モールドとグランド板２０との接続強度が大きくなり、例えば第１の実施例に比べ、温度変化或いは外部からの応力に対する影響が小さく、信頼性の高い半導体リレー装置が実現できる。
【００４０】
上述の効果は、開口部のパターンがメッシュ状に限ったものではなく、スリット或いは不規則な穴が形成されているものでも同様に得られる。従って、グランド板２０とモールド樹脂との接続強度が向上するような形状であれば良い。
【実施例３】
【００４１】
本発明による半導体リレー装置の第３の実施例について、第１の実施例と異なる部分を中心に説明する。
【００４２】
第３の実施例の基本構造は第１の実施例と同様である。本実施例が第１の実施例と異なる点は以下である。第１の実施例のグランド板は、例えば中央近傍にパンチング等で外部へ向けて凸部が形成されており、この部分の表面が外部に対して露出され、露出部となっている。一方、本実施例では、グランド板はリード端子２３によって外部に接地されている。
【００４３】
本実施例の構造について説明する。本実施例の外形（図示せず）は図１（ａ）に示した第１の実施例の外観図と同様であり、樹脂モールドによって内部の部品を覆い、外部の回路等と接続する発光素子用リード端子及び信号端子が露出している。樹脂モールドは内部の各部品の固定、チップ等を外部環境から保護するために、耐湿性、耐熱性の良い材料で構成している。なお、発光素子用リード端子及び信号端子については後述する。
【００４４】
次に樹脂モールドの内部に配置された各部品について図６を用いて説明する。図６は、本発明による半導体リレー装置の第３の実施例における内部の部品配置を示す斜視図である。半導体リレー装置１０としての主要な部品は発光素子１１、受光素子の集積体である受光素子アレイ１２及びスイッチ回路である２個のＭＯＳ素子１３である。発光素子１１と受光素子アレイ１２との間の光学的な伝送路は、例えば、エポキシ等の透明樹脂１９が埋め込まれている。
【００４５】
また、これらを電気的に接続する信号配線１７ａ乃至１８ａ等の配線、これらの配線の先端にあり、外部回路等と接続する端子として、発光素子用リード端子１５乃至１６及び信号端子１７乃至１８が配置されている。
【００４６】
更に、本実施例のポイントとなるグランド板２０は信号配線１７ａ乃至１８ａと近接するように、底面に配置されている。グランド板２０にはリード端子２３が接続されており、それにより外部に接地される。
【００４７】
これにより、信号配線１７ａ乃至１８ａの特定インピーダンスを制御する効果の他に次のような効果がある。
【００４８】
グランド板のグランド電位を、グランド板に接続したリード端子をパッケージ端子として設けているため、従来の半導体リレー装置と同様のパッケージ形状のまま、高周波特性を向上した半導体リレーを実現できる。
【実施例４】
【００４９】
本発明による半導体リレー装置の第４の実施例について、第３の実施例と異なる部分を中心に説明する。
【００５０】
本実施例の基本構成は第３の実施例と同様である。本実施例が第３の実施例と異なる点は以下である。即ち、本実施例の半導体リレー装置では、発光素子がパッケージ底面側、受光素子がパッケージ上部へ配置した構造をとっている。２次側に設けるグランド板はグランド板に接続するリード端子を介して、外部グランド電位と接続する。
【００５１】
本実施例の構造について説明する。本実施例の外形（図示せず）は図１（ａ）に示した第１の実施例の外観図と同様であり、樹脂モールドによって内部の部品を覆い、外部の回路等と接続する発光素子用リード端子及び信号端子が露出している。樹脂モールドは内部の各部品の固定、チップ等を外部環境から保護するための材料から構成されている。なお、発光素子用リード端子及び信号端子については後述する。
【００５２】
次に樹脂モールドの内部に配置された各部品について図７を用いて説明する。図７は、本発明による半導体リレー装置の第４の実施例における内部の部品配置を示す斜視図である。
【００５３】
半導体リレー装置１０としての主要な部品は発光素子１１、受光素子の集積体である受光素子アレイ１２及びスイッチ回路である２個のＭＯＳ素子１３である。発光素子１１と受光素子アレイ１２との間の光学的な伝送路は、例えば、エポキシ等の透明樹脂１９が埋め込まれている。
【００５４】
第３の実施例と異なり、本実施例では、発光素子１１が受光素子アレイ１２の下部にある。また、これらを電気的に接続する信号配線１７ａ乃至１８ａ等の配線、これらの配線の先端にあり、外部回路等と接続する端子として、発光素子用リード端子１５乃至１６及び信号端子１７乃至１８が配置されている。
【００５５】
更に、本実施例のポイントとなるグランド板２０は信号配線１７ａ乃至１８ａと近接するように、上面に配置されている。グランド板２０にはリード端子２３が接続されており、それにより外部に接地される。
【００５６】
これにより、信号配線１７ａ乃至１８ａの特定インピーダンスを制御する効果の他に次のような効果がある。
【００５７】
グランド板のグランド電位を、グランド板に接続したリード端子をパッケージ端子として設けているため、従来の半導体リレー装置と同様のパッケージ形状のまま、高周波特性を向上した半導体リレーを実現できる。
【００５８】
更に、この構造の場合、グランド電位がシールド効果を持ち、外部からのノイズの影響を受けにくい半導体リレー装置を実現できる。
【実施例５】
【００５９】
本実施例では、単一の半導体リレーを複数個集積した半導体リレー装置について説明する。
【００６０】
図８（ａ）は半導体リレーを２個、図８（ｂ）は４個それぞれ集積した半導体リレー装置の外形を示す外観図である。
【００６１】
半導体リレーとしては、例えば、図１に示したものと同様なものを用いる。従って、半導体リレー４０についての説明は省く。
【００６２】
以上のように、グランド板を設けた半導体リレーにより、高周波特性を向上させ、また、ノイズ耐力も大きく、更に、放熱も改善できる。
【００６３】
半導体リレー装置４０ａは半導体リレー４０を２個集積し、２チャンネルの切り替えに利用される。一方、半導体リレー装置５０ａは半導体リレー４０を４個集積し、更に多機能化され、４チャンネルの切り替えに利用される。
【００６４】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００６５】
グランド板の形状および寸法は図１に示した信号配線の近くにあれば良く、パッケージから露出する場所、形状、数を限定するものではない。例えば、グランド板を信号配線の近傍だけに配してグランド板の露出部分を多数配置しても大きな効果が得られることは言うまでも無い。
【００６６】
更に、グランド板の材料は銅、コバール、タングステン、種々の合金等、導電性の材料からなるものであればその他の材料でも良いことは言うまでもない。
【００６７】
また、信号配線の特性インピーダンスを５０Ωと設定したが、これは外部配線となる、例えば、実装基板の配線の特性インピーダンスが一般的に５０Ωであるため、それに合わせて設計したものである。例えば、実装基板の配線の特性インピーダンスが他の値であれば、それに合わせた特性インピーダンスを有する信号配線となるように設計すれば良いことは勿論である。
【００６８】
また、ＩＣテスター装置の実装基板上に多数の半導体リレーを搭載した場合、グランド板により放熱性が向上し、使用温度のマージンを広げられる。
【００６９】
また、本発明は、以下の付記に記載されるような構成が考えられる。
【００７０】
付記１として、前記グランド板がメッシュ状の穴を有することを特徴とする請求項１に記載の半導体リレー装置。
【００７１】
付記２として、半導体リレーを２個或いは４個有することを特徴とする請求項５に記載の半導体リレー装置。
【００７２】
付記３として、前記グランド板が上面側に設置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の半導体リレー装置。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明による半導体リレー装置の第１の実施例における外形を示す（ａ）外観図及び内部の部品配置を示す（ｂ）斜視図。
【図２】本発明による半導体リレー装置の第１の実施例における内部構造を示す（ａ）断面の模式図及び部品間の電気的接続を示す（ｂ）等価回路図。
【図３】本発明による半導体リレー装置の第１の実施例における信号配線の特性インピーダンスを説明する（ａ）断面の模式図及び（ｂ）データ。
【図４】本発明による半導体リレー装置の第１の実施例におけるグランド板の効果を示す電圧特性データ。
【図５】本発明による半導体リレー装置の第２の実施例における内部の部品配置を示す斜視図。
【図６】本発明による半導体リレー装置の第３の実施例における内部の部品配置を示す斜視図。
【図７】本発明による半導体リレー装置の第４の実施例における内部の部品配置を示す斜視図。
【図８】本発明による半導体リレー装置の第５の実施例における半導体リレーが複数個集積した外形を示す外観図。
【符号の説明】
【００７４】
１０、４０、５０  半導体リレー装置
１０ａ  樹脂モールド
１１  発光素子
１１ａ  アノード
１１ｂ  カソード
１２  受光素子アレイ
１３  ＭＯＳ素子
１３ａ  ゲート
１３ｂ  ソース
１３ｃ  ドレイン
１４  ＭＯＳゲート放電回路
１５、１６  発光素子用リード端子
１７、１８  信号端子
１７ａ、１８ａ  信号配線
１９  透明樹脂
２０  グランド板
２０ａ  露出部
２２  メッシュ
２３  リード端子
３２  外部配線
３３  負荷
３４  外部回路
４０ａ  半導体リレー
【図１】
2006049766.tif 000003
【図２】
2006049766.tif 000004
【図３】
2006049766.tif 000005
【図４】
2006049766.tif 000006
【図５】
2006049766.tif 000007
【図６】
2006049766.tif 000008
【図７】
2006049766.tif 000009
【図８】
2006049766.tif 000010