(57)【要約】【課題】スライダとなる部分が多数配列されたバーを、スライダのサイズや配列ピッチによらずに確実かつ効率的に、個々のスライダに分離し収納する。【解決手段】スライダの分離方法は、スライダ４２となる部分が長手方向に多数形成されたバー４１を、長手方向に延びる側面に沿って、切断用治具２１の固定面に接着する接着工程と、切断用治具２１に接着されたバー４１を、スライダ４２となる部分同士の間に設けられた切り代４３に沿って個々のスライダ４２に切断する切断工程と、切断された個々のスライダ４２と固定面との間の接着力を低下させる接着力低下工程と、接着力が低下したスライダ４２を、固定面と略平行でかつ長手方向と略直交する側面方向から、スライダ４２毎に押し出して、切断用治具２１から分離する分離工程とを有している。【選択図】  図６
2006147102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダとなる部分が長手方向に多数形成されたバーを切断して個々のスライダに分離する方法であって、
前記バーを、前記長手方向に延びる側面に沿って、切断用治具の固定面に接着する接着工程と、
前記切断用治具に接着された前記バーを、前記スライダとなる部分同士の間に設けられた切り代に沿って個々のスライダに切断する切断工程と、
切断された個々の前記スライダと前記固定面との間の接着力を低下させる接着力低下工程と、
接着力が低下した前記スライダを、前記固定面と略平行でかつ前記長手方向と略直交する側面方向から、スライダ毎に押し出して、前記切断用治具から分離する分離工程とを有する、スライダの分離方法。
【請求項２】
前記分離工程は、前記スライダを前記長手方向からみて該スライダと隣接するスライダと重ならない位置まで押し出した後に、該スライダを把持して、スライダ毎に区画されたポケットを有するスライダトレイに収納する工程を含む、請求項１に記載のスライダの分離方法。
【請求項３】
前記接着工程は、ホットメルト性の接着剤を用いる、請求項１または２に記載のスライダの分離方法。
【請求項４】
前記接着力低下工程は、前記接着剤を洗浄しまたは加熱する工程の少なくともいずれかを用いる、請求項３に記載のスライダの分離方法。
【請求項５】
前記接着工程は、前記接着剤としてグリコールフタレートを用い、
前記接着力低下工程は、前記接着剤を略３０８乃至３１８Ｋに加熱して半流動状態にする工程を含む、請求項３に記載のスライダの分離方法。
【請求項６】
前記切断用治具を前記側面方向に対して保持する保持工程をさらに有し、
少なくとも、前記分離工程は前記保持工程の後におこなわれる、請求項１から５のいずれか１項に記載のスライダの分離方法。
【請求項７】
前記接着工程に先立って、前記スライダとなる部分に該スライダ毎の識別番号を付する工程をさらに有し、
前記分離工程の前に、前記バーの前記スライダに付された識別番号を読み取り、該識別番号に対応した良品・不良品の情報と照合して、良品のスライダのみを前記切断用治具から分離する工程を含む、請求項１から６のいずれか１項に記載のスライダの分離方法。
【請求項８】
スライダとなる部分が長手方向に多数形成されたバーが、該長手方向に延びる側面に沿って接着される固定面を有する切断用治具と、
前記切断用治具を、前記固定面と略平行でかつ前記長手方向と略直交する側面方向に対して固定する固定用冶具と、
あらかじめ前記スライダとなる部分同士の間に設けられた切り代に沿って個々のスライダに切断された前記スライダを、前記側面方向からスライダ毎に押し出して前記切断用治具から分離するプッシャとを有する、スライダの分離装置。
【請求項９】
前記プッシャは、前記長手方向への移動機構を有する、請求項８に記載のスライダの分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッドを搭載したスライダの製造方法および製造装置に関し、特に、スライダが多数配列されたバーを個々のスライダに分離する方法および分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高速、大容量、高信頼性、低コストの記録媒体としてハードディスクドライブが、デジタル情報の記録に広く用いられており、長年の技術開発によりハードディスクドライブの記録密度は、１００ギガビット／平方インチを超えつつある。ハードディスクドライブは、記録媒体への情報の記録・再生をおこなう薄膜磁気ヘッドを搭載・支持する磁気ヘッドスライダ（以下、スライダという。）を有している。スライダが記録媒体と対向する面は媒体対向面（ＡＢＳ）と呼ばれる。
【０００３】
スライダの製造はたとえば、以下の手順でおこなわれる。まず、ウエハ上に所定の積層膜を形成する。次に、ウエハをＡＢＳが切断面に現れる向きに切断し、スライダとなる部分が１次元状に配列されたバーを形成する。次に、バーを研磨用治具に装着し、研磨装置の回転する研磨面に押さえつけながら、ＡＢＳとなる面を研磨する。次に、バーを研磨装置から取外し、必要に応じ複数のバーをまとめて、ＡＢＳにレールの加工をおこなう。ここでレールとは、スライダが記録再生時に、回転する記録媒体に対して所定のギャップで浮上するように、ＡＢＳに形成される凹凸面である。次にバーを切断用冶具に装着し、その状態でバーをスライダ毎に切断する。この際、スライダ同士は切り離されているが、各スライダは切断用治具に接着されているので、各スライダは全体としては集合体の状態を維持している。次に、スライダを一つ一つ切断用治具から分離し、スライダトレイに収納する。
【０００４】
以上の工程については他にも多くの変形例があるが、一般的には、スライダの研磨やレールの加工は、スライダが集合した状態で一括しておこなわれ、その後にスライダが分離される。これは、スライダは微小であるため、できるだけ多くの工程を集合状態でおこない、最後に分離する方が作業効率や製品管理上有利であるためである。
【０００５】
分離されスライダトレイに収められたスライダは、スライダ毎に分離する前にスライダ毎に測定された電気特性などに基づいて、不良品が選別され、良品のみを対象に、洗浄やヘッドジンバルアセンブリへの取り付けがおこなわれる。
【０００６】
ここで、スライダを切断用治具から分離する工程をより詳細に説明する。この工程は従来スライダをホットプレートで加熱し、接着剤を熱で溶解する方法が取られていたが、手作業が多く介在し、スライダの汚染を招くことから、最近では接着剤を溶剤で溶解する方法が用いられている（特許文献１，２参照。）。図８はこの分離工程の説明図である。同図（ａ）は分離したスライダを収めるスライダトレイの平面図を、同図（ｂ）、（ｃ）は同図（ａ）記載のｂ−ｂ線、ｃ−ｃ線に沿った断面図を、同図（ｄ）、（ｅ）は同図（ａ）記載のｄ−ｄ線、ｅ−ｅ線に沿った断面図を各々示す。同図（ａ）に示すように、スライダトレイ１３１には、バー上のスライダの形成ピッチと同一のピッチで、ポケット１３２が千鳥状に配列されている。ポケット１３２の底面には穴１３３が設けられている。千鳥状の列は第１列１３４と第２列１３５とからなり、これらによって構成される１つのポケット群１３６が、１つのバーの全てのスライダを収納する。スライダトレイ１３１には複数のポケット群１３６が並べられ、後述のように、複数のバーが同時に処理される。
【０００７】
スライダ４２が装着された切断用治具１２１は、同図（ｂ）〜（ｅ）に示すように、スライダ４２が第１列１３４のポケット１３２に対向するように下向きにセットされる。このときスライダトレイ１３１は、第１列１３４から第２列１３５に向けて下がる方向にわずかに傾斜される。この状態で、スライダトレイ１３１をＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）溶剤に浸すと、ＮＭＰ溶剤はポケット１３２の穴１３３からポケット１３２内に侵入し、スライダ４２と切断用治具１２１との間の接着剤を溶かし、スライダ４２は切断用治具１２１から離脱する。第１列１３４のスライダ４２はそのまま第１列１３４のポケット１３２に落下し、第２列１３４のスライダ４２は重力によってスライダトレイ１３１上を滑り、第２列１３５のポケット１３２に落下する。このようにしてバーは個々のスライダに分離され、個別にポケット１３２に収納される。ここで、ポケット１３２を千鳥状に配置したのは、もしポケットを一直線に配置すると、ポケット間の分離壁が薄くなり、十分な強度が確保できないためである。
【０００８】
次に、スライダに分離される前に測定した電気特性などを基に、スライダの良品、不良品の選別をおこなう。ところが、前述の通り、スライダは微小であるため、スライダをスライダトレイ１３１に移す際に、人的ミスや装置のトラブルにより、バー上に並んでいるスライダを順番どおりスライダトレイ１３１に収められず順番が入れ替わってしまうことがある。特に、スライダの更なる小型化により、スライダの重量は０．１ｇ以下となり、微小な振動や風により、スライダが移動してしまうため、この発生率は上昇する傾向にある。このようなことが発生すると、各スライダの積層面に付されたスライダの識別番号をスライダ毎に読み取る必要がある。識別番号は積層面に１文字当たり５×１０μｍ程度の小さい文字で書かれ、しかもスライダトレイ１３１に入れてしまうと、積層面は側面となって番号を確認することができない。そのため、スライダトレイ１３１からピンセット等の把持具でスライダを１つ１つ取り出し、側面の識別番号を顕微鏡等で確認していた。
【特許文献１】特開２００１−１０１６３５号明細書
【特許文献２】特開２００１−１２６２２５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来技術においては、スライダトレイのポケットの配列ピッチがスライダの配列ピッチに依存していたことに起因する以下の問題があった。
【００１０】
まず、スライダのピッチが変わるごとにスライダトレイを作りかえる必要があった。すなわち、スライダトレイのポケットの配列ピッチは、上述のようにバー上のスライダのピッチに合せて設定されている。したがって、バー当たりのスライダの製造個数を増やすためにバーのスライダピッチを小さくしていくと（すなわちウエハの集積度を上げていくと）、スライダピッチが変わるたびに、スライダトレイも新しく製作する必要があった。
【００１１】
上記の問題を許容しても、さらに以下の問題がある。まず、スライダの大きさを一定にして、スライダ間の切り代だけを縮小する場合には、ポケット間の分離壁を薄くする必要がある。しかし、分離壁の厚さの製作限界は１００μｍ程度であり、分離壁の薄いスライダトレイの製作は難しい。
【００１２】
また、近年では２０％スライダ（サイズ：約０．７×０．８×０．２３ｍｍ）等の小型のスライダが開発されているが、スライダが小型になると、これに合わせてポケット自体も小さくなる。しかしながら、上述の通り不良スライダの検出は手作業でおこなうため、ポケットが小さくなると、スライダの出し入れがしにくくなる。このため、不良スライダを検出する工程で、不良スライダが他のポケットに誤って混入され、そのまま後工程に流れていくという問題が生じる。さらに、多数のスライダを同時に移動すため、１回のエラーで、多数のスライダが同時に混ざってしまい、識別番号を追跡できなくなった多数のスライダの識別番号を再確認する必要が出てきていた。
【００１３】
また、従来技術においては、スライダの分離方法に起因する以下の問題があった。すなわち、従来技術では、スライダを分離する際に切断用治具をスライダトレイに対向させて押し当てるため、ポケット群間のピッチｘ（図７（ａ）参照）が切断用治具の厚さで制限されてしまう。このため、ポケット群同士の間にポケットを配置できない無駄スペースが生じてしまい、スライダの収納個数が制約される。これは主に以下の点において問題となる。すなわち、スライダにはそれまでの工程で多くのパーティクルが付着しており、さらにスライダトレイからも微量のパーティクルが発生する（スライダトレイの材料はパーティクルが発生しない材料を選択しているが、現実には微量のパーティクルが発生する。）。このためスライダの洗浄が必要となるが、洗浄においては、スライダのＡＢＳには微小なサイズのパーティクルも残ることは許されない。したがって、スライダの洗浄には非常に厳しい仕様が要求され、１回あたりの洗浄に要する費用や手間も大きい。このため、洗浄の回数はできるだけ減らすことが望ましい。洗浄はスライダトレイを１単位としておこなうので、洗浄回数を減らすためには、スライダトレイにできるだけ多くのスライダを収納することが望ましい。しかしながら、上述の理由で、スライダトレイへのスライダの収納個数が制約されることから、洗浄の効率化が図れない。
【００１４】
このように、従来技術は、スライダトレイのポケットの配列ピッチがスライダの配列ピッチに依存することから、ポケットの配列が密になりすぎ、スライダトレイの強度やスライダの取り扱いに支障をきたし、また、スライダの分離方法に起因して、スライダの収納個数が制約されるという問題を有していた。
【００１５】
また、接着剤を溶かすためにＮＭＰ等の溶剤につけると、ＡＢＳが溶剤で汚れるという問題も指摘されている。さらに、溶剤による剥離の場合は、ＡＢＳが下を向いてスライダトレイのポケットに収まるので、洗浄後にＡＢＳを上に向ける作業が必要であり、作業効率上問題であった。また、いったん全数のスライダをポケットに入れた後に不良品を選別（特に電気的不良の選別）し、不良スライダを抜き取るため、スライダが存在しないポケットがスライダトレイの中に多く生じる。この状態は洗浄工程の効率の悪化を招くので、空きのポケットに別の良品を入れる工程が必要となる。いったんスライダ単体になると洗浄が非常に難しくなるので、パーティクル等を付着させる工程はなるべく避けたいが、従来技術では、このような追加の工程が必要になっていた。
【００１６】
本発明は、かかる事情に鑑みて、スライダが多数配列されたバーを、スライダのサイズや配列ピッチによらずに確実かつ効率的に、個々のスライダに分離し収納することのできる、スライダの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明のスライダの分離方法は、スライダとなる部分が長手方向に多数形成されたバーを切断して個々のスライダに分離する方法である。本方法は、上記の問題を解決するため、バーを、長手方向に延びる側面に沿って、切断用治具の固定面に接着する接着工程と、切断用治具に接着されたバーを、スライダとなる部分同士の間に設けられた切り代に沿って個々のスライダに切断する切断工程と、切断された個々のスライダと固定面との間の接着力を低下させる接着力低下工程と、接着力が低下したスライダを、固定面と略平行でかつ長手方向と略直交する側面方向から、スライダ毎に押し出して、切断用治具から分離する分離工程とを有している。
【００１８】
このように構成されたスライダの分離方法においては、切断用治具から一つ一つのスライダに分離する際に、あらかじめスライダと固定面との間の接着力を低下させた後に、スライダを一つ一つ独立してバーの側面方向から押し出す。
【００１９】
分離工程は、スライダを長手方向からみてスライダと隣接するスライダと重ならない位置まで押し出した後に、スライダを把持して、スライダ毎に区画されたポケットを有するスライダトレイに収納する工程を含んでいてもよい。
【００２０】
接着工程は、ホットメルト性の接着剤を用いることができる。
【００２１】
接着力低下工程は、接着剤を洗浄しまたは加熱する工程の少なくともいずれかを用いてもよい。
【００２２】
接着工程は、接着剤としてグリコールフタレートを用い、接着力低下工程は、接着剤を略３０８乃至３１８Ｋに加熱して半流動状態にする工程を含むようにしてもよい。このような、半流動状態にすることで、スライダが外的振動や風によって移動してしまうことを防ぐことができる。
【００２３】
本発明のスライダの分離方法は、切断用治具を側面方向に対して保持する保持工程をさらに有し、少なくとも、分離工程は保持工程の後におこなわれるように構成してもよい。
【００２４】
接着工程に先立って、スライダとなる部分にスライダ毎の識別番号を付する工程をさらに有し、分離工程の前に、バーのスライダに付された識別番号を読み取り、識別番号に対応した良品・不良品の情報と照合して、良品のスライダのみを切断用治具から分離してもよい。このようにすることで、スライダの分離と同時に良品・不良品のスライダを分けることができ、製造方法が簡略化できる。
【００２５】
本発明のスライダの分離装置は、スライダとなる部分が長手方向に多数形成されたバーが、長手方向に延びる側面に沿って接着される固定面を有する切断用治具と、切断用治具を、固定面と略平行でかつ長手方向と略直交する側面方向に対して固定する固定用冶具と、あらかじめスライダとなる部分同士の間に設けられた切り代に沿って個々のスライダに切断されたスライダを、側面方向からスライダ毎に押し出して切断用治具から分離するプッシャとを有している。
【００２６】
プッシャは、長手方向への移動機構を有していてもよい。
【発明の効果】
【００２７】
以上説明したように、本発明のスライダの分離方法および分離装置によれば、スライダを一つ一つ目視で確認しながら、確実に分離することができ、スライダとなる部分が多数配列されたバーを、スライダのサイズや配列ピッチによらずに確実かつ効率的に、個々のスライダに分離し収納することのできるスライダの製造方法および製造装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図１には、本発明の実施形態に係る分離装置の概略構成を示す平面図を、図２には図１中の２−２線に沿った断面図を各々示す。分離装置１は、先端がスライダ４２の厚さ（高さ）と同程度の寸法に先細りされたプッシャ２と、プッシャ２を支持するプッシャ支持台３とを有している。プッシャ２は、スライダ４２のチッピングやクラック防止のため、多少柔らかめのプラスチックから構成され、またＥＳＤ（静電破壊）を発生させないために、静電防止材料を使用している。プッシャ支持台３は、ボールねじによって構成されたｘ方向移動軸４に連結されている。プッシャ支持台３は、ｘ方向移動軸４に連結されたｘ方向移動機構５がボールねじを回転させることによって、ｘ方向に移動できる。
【００２９】
プッシャ１は、ボールねじによって構成されたｙ方向移動軸６に連結されている。プッシャ１は、ｙ方向移動機構７がボールねじを回転させることによって、ｙ方向に移動できる。スライダ４２が分離し始める瞬間にプッシャ２が早く動くと、スライダ４２が飛んでしまうことがあるため、プッシャ２はスライダ４２をゆっくりと動かす必要がある。このため、ｙ方向移動機構７にはモーターを使用している。また、接着剤の量がスライダ４２毎に多少ばらつくため、後述する洗浄を行っても、スライダ４２を剥離するために必要なプッシャ２の押圧力がスライダ４２毎にばらつく場合がある。あまり強い力で押すと、スライダ４２にクラックやチッピングが発生するので、それを防ぐために、プッシャ２には押圧力センサー（図示せず）が設けられている。約３．９Ｎ（４００ｇｆ）以上の押圧力でもスライダ４２が動かない場合は、押圧力センサーが働いてプッシャ２の押圧動作は停止される。なお、本願発明者らは、約３．９Ｎ以下の押圧力であれば、チッピングの発生率が非常に少ないことを確認している。
【００３０】
分離装置１はまた、プッシャ２の近傍に内側治具固定部９と外側治具固定部１０とを有している。内側治具固定部９と外側治具固定部１０は、間に切断用治具２１を挟むことができ、少なくともプッシャ２が切断用治具２１の先端部に保持されたスライダ４２をｙ方向に分離する際に、切断用治具２１をｙ方向に固定することができる。図２に示すとおり、外側治具固定部１０の上面は、切断用治具２１の上面と同一面を形成している。
【００３１】
分離装置１によってスライダ４２を分離する際には、外側治具固定部１０の近傍にスライダトレイ３１を配置することが好ましい。スライダトレイ３１には、スライダ４２が一つずつ収納される複数のポケット３２が配列されている。各ポケット３２の底面には穴３３が設けられている。ポケット３２の形状、大きさ、配列ピッチには特に制約はなく、バー上のスライダのピッチやスライダの大きさとは無関係に、作業性を考慮して適宜に設定することができる。スライダトレイ３１はまた、ｘ方向に自動または手動で動くことができる。
【００３２】
図３には切断用治具の概略斜視図を示す。切断用治具２１はスライダ４２を一つずつ保持する複数のスライダ保持部２２と、スライダ保持部２２を支持する支持板２３とを有している。スライダ保持部２２の上面は、スライダ４２を保持する固定面２４を形成する。スライダ保持部２２同志の間にはギャップ２５が形成されている。スライダ保持部２２と支持板２３は全体としてＬ型の断面を有している。支持板２３は、内側治具固定部９と外側治具固定部１０との間に挟まれ、このときスライダ保持部２２は、内側治具固定部９の上面に載置される。
【００３３】
次に、上述した分離装置を用いたスライダの分離方法について、図４のフロー図と、図５、６のステップ図とを参照して説明する。なお、図６において、左側の各図は各工程の平面図を、右側の各図は対応する側面図を示す。
【００３４】
（ステップ５１）まず、ウエハ上にスライダを構成する所定の積層膜を形成する。積層膜は、読み出し用の磁気抵抗効果素子を有する再生ヘッドを構成する積層膜でもよく、書き込み用の誘導型電磁変換素子を有する記録ヘッドとを積層した構造の複合型薄膜磁気ヘッドを構成する積層膜でもよい。磁気抵抗効果素子としては、たとえば、異方性磁気抵抗効果を用いたＡＭＲ(Anisotropic magneto Resistive)素子や、巨大磁気抵抗効果を用いたＧＭＲ(Giant magneto Resistive)素子や、ＴＭＲ(Tunnnel Magneto-resistance)効果を用いたＴＭＲ素子などが用いられる。積層膜はスライダがウエハ７１上に２次元状に多数個形成されるように形成される（図５（ａ）参照）。またこのとき、積層面の上部には個々のスライダを識別するための識別番号４４が付される。識別番号４４は数字、記号等が適宜組み合わせて構成される。その後、積層膜が形成されたウエハ７１は、スライダ４２となる部分が長手方向に多数形成された長尺状のバー４１に切断される。バー４１はＡＢＳが切断面に現れる向きに切断される（図５（ｂ）参照）。なお、図５（ｂ）は図５（ａ）の状態で切断したバーを９０度横向きにした状態を示している。バー４１は、続いてラッピングされて、ＭＲ素子の所定のＭＲ高さ、書込み素子のスロートハイトが形成される。また、ＡＢＳにはスライダが記録媒体から適切なギャップで浮上するためのレール部が形成される。
【００３５】
（ステップ５２）次に、ディスペンサ（図示せず）によって、切断用治具２１の固定面２４に接着剤１８を塗布する（図６（ａ）参照）。接着剤１８は、加熱すると接着力が低下するホットメルト系溶剤を用いることが望ましい。このような接着剤１８として、たとえば、ポリイミドやグリコールフタレートが挙げられる。スライダの劣化や作業効率の観点から、軟化点３５〜４５℃の接着剤を用いることが好ましい。このような接着剤を用いることで、最小限の加熱で接着剤を溶融させるためのスライダの劣化を抑えることができるとともに、切断工程等の作業環境である常温において硬化する（接着状態となる）。この状態でバー４１を、バー４１の長手方向に延びる側面に沿って、溶けた状態の接着剤１８と接触させる。もしくは、あらかじめ固形状に塗布して、接触させてから溶かす。このとき、バー４１の位置は、スライダ４２となる部分がスライダ支持部２２の上に、スライダ４２となる部分同志の間にあらかじめ設けられた切り代４３がギャップ２５の上に来るように調整される。その後接着剤１８は冷却されて硬化し、バー４１は切断用治具２１の固定面２４に接着される（図６（ｂ）参照）。
【００３６】
（ステップ５３）次に、バー４１を切り代４３に沿って切断する。これによって、バー４１は個々のスライダ４２に分離される。切り代４３は切断用治具２１のギャップ２５の上にあるので、切断の際、カッターはギャップ２５を通り、切断用治具２１を損傷することはない。
【００３７】
（ステップ５４）次に、洗浄によって個々のスライダ４２と固定面２４との接着力を低下させる。接着剤１８は、スライダ４２を固定するために用いられるが、バー４１の切断時には大きな力がかかり、スライダ４２がバー４１から剥離する場合がある。スライダ４２が剥離すると、高価な切断砥石（ダイヤモンド砥石のため非常に高価）が損傷して、使えなくなる場合もある。これを防止するため、スライダ４２をプッシャ２で押す方向にも、十分な接着力が必要となる。接着力は、スライダ４２当たり約１０Ｎ（１ｋｇｆ程度）が必要である。しかし、スライダ４２を分離する際にはわずかな接着力で十分である。
【００３８】
NMPによって５分間程度洗浄することによって、接着力は、平均値で約２Ｎ（２００ｇｆ程度）まで低下する。この値は、ＮＭＰの溶剤に５分間浸漬して洗浄した場合と同程度である。なお、接着力については、定期的にテストすることが好ましい。
【００３９】
また、洗浄によって、余計な接着剤を剥離後の工程に持ち込むことを防止することもできる。浄浄前には、ボンディングパッド面や、リーディングエッジ面に接着剤が回りこんでおり、また、スライダ４２と固定面２４の間にも多くの接着剤が残っている。このような残留した接着剤を次の洗浄工程に持ち込むと、洗浄液を汚す原因となり洗浄に負荷がかかる。また、接着剤の表面には、スライダ４２の切断やブレンディング工程などによって多くの汚れやパーティクルなどが付着している。この汚れやパーティクルがスライダートレイ３１のポケット３２に入り込むと除去が困難となり、清浄なスライダ４２にこれらの汚れ等が付着するおそれがある。本ステップで洗浄することによって、これらの汚れやパーティクルを次の工程に持ち込むことを防ぐことができる。
【００４０】
（ステップ５５）次に、切断用治具２１を内側治具固定部９と外側治具固定部１０との間に挟んで固定する（図６（ｃ）参照）。このとき、切断用治具２１の固定面２４が外側治具固定部１０の上面とほぼ面一となるようにしておくことが望ましい。
【００４１】
（ステップ５６）次に、スライダ４２を加熱する。接着剤１８はホットメルト系溶剤を用いているので、加熱によって接着剤１８は緩みはじめ半流動状態となり、スライダ４２は固定面２４上を自然に動き始めない程度の弱い接着力で固定面２４に保持される。加熱温度は接着剤の特性にもよるが、接着剤としてグリコールフタレートを用いたち、加熱は、接着剤を溶かすというよりも緩ます目的で行われる。上述の通り、スライダ４２は加熱しなくても２Ｎ程度の力で剥離できるが、常温だと接着剤１８が固体で粘性がないため、スライダ４２は切断用治具２１から飛び出すようにして剥離され、そのまま逸散してしまうおそれがある。しかし、接着剤１８にある程度の粘性があれば、スライダ４２は剥離後、スムーズに切断用治具２１上を移動し、外側治具固定部１０上に移ることができる。そして、接着剤１８にある程度の粘性が生じ始め、ある程度の接着力を保持できる状態にするには、少なくとも３０８Ｋ（３５℃）、好ましくは３１３Ｋ（４０℃）程度以上の加熱が必要となる。
【００４２】
一方、接着剤としてグリコールフタレートを用いた場合、接着剤１８の溶解温度は約８０℃であるので、あまり温度を高くすると、接着剤１８が溶解しスライダ４２が剥離前に動き始めてしまう。この場合、真直ぐにスライダ４２を押すことができないばかりか、他のスライダ４２とぶつかってチッピングなどの問題を起こすおそれが生じる。また、高温のため、作業性が悪くなるほか、付着しているパーティクルなどがスライダ４２にこびりつくといった問題も引き起こす。また、加熱しすぎると接着剤の接着力や粘性がなくなり、スライダが外的要因により簡単に移動してしまうため、加熱温度は３１８K（４５℃）以下であることが好ましい。
【００４３】
（ステップ５７）次に、ｘ方向移動機構５によってプッシャ２を分離対象のスライダ４２の前面にセットする。続いて、ｙ方向移動機構７によってプッシャ２をｙ方向に動かし、分離対象のスライダ４２をｙ方向に押す。すなわち、スライダ４２は、固定面２４と略平行でかつ長手方向と略直交する側面方向から、個別に押される。スライダ４２と固定面２４との間の接着力はこれまでのステップで十分に弱められ、かつ接着剤１８はある程度の粘着力を有しているので、スライダ４２は軽い力で容易に固定面２４から分離され、そのまま固定面２４上を滑り動く。
【００４４】
（ステップ５８）スライダ４２が十分に押されると、スライダ４２の両サイドに十分なスペースができるので、スライダ４２を自動もしくは手動でつかむ。把持されたスライダ４２は、その状態で、または顕微鏡などが設けられた点検エリア（図示せず）にいったん載置され、識別番号４４に対応した良品・不良品のデータが照合され、良品のみがスライダトレイ３１のポケット３２に移載される。なお、良品・不良品のデータは、たとえば分離装置１の近傍に設置されたパーソナルコンピュータをみて確認することができる。また、スライダの識別番号は、バーに含まれる１個のスライダの識別番号４４を確認するだけでもよい。バーに含まれる１個のスライダの識別番号がわかれば、バー内のスライダは規則的に並んでいるため、バー内のスライダの配列位置から、バー内のすべてのスライダの識別番号４４を推定できる。さらにこのことを利用して、ステップ５７の前に、バー内のすべてのスライダと、あらかじめ測定された良品・不良品データとを照合しておき、不良品はプッシャ４２で押さず、良品のみを剥離させるようにしてもよい。これによって、選別作業が不要なだけでなく、以降の作業効率を飛躍的に上昇させることができる。
【００４５】
さらに、外側治具固定部１０の代わりに、図７に示すように、外側治具固定部１０ａの上に、溝１２が設けられた上部受板１１を設けてもよい。同図（ａ）は分離装置の平面図を、同図（ｂ）は同図（ａ）の断面図を示す。このような形状の分離装置を用いて、プッシャ４２で、上部受板１１の溝１２まで、スライダを押し出すことにより、スライダを把持せず、プッシャ４２でスライダを押し出すだけで、自動的にスライダトレイ３１のポケット３２に移動させてもよい。このとき、スライダトレイ３１は、左右、前後方向（図の上下方向）に動くことができるようにし、スライダ毎に溝１２とポケットの位置を合わせてから、スライダを移動させてもよい。なお、上部受板１１の溝１２は、図７に示したような形状だけでなく、スライダトレイ３１の形状に合わせ、奥行き方向の長さを変えたり、溝１２の代わりに上下を貫通する穴状であるなどさまざまな形状が可能であることは明らかである。
【００４６】
必要に応じてスライダトレイ３１をｘ方向に動かしながら、スライダの数だけステップ５７，５８を繰り返すと、バーに設けられたすべての良品のスライダ４２がスライダトレイ３１に収められる。この状態でスライダトレイ３１に蓋（図示せず）をして、スライダトレイ３１の穴３３から純水を流入させ、スライダトレイ３１に振動を与えながらスライダ４２を洗浄する。洗浄されたスライダはその後数ステップの洗浄や検査等を経て、ヘッドジンバルアセンブリに取り付けられる。
【００４７】
本発明の効果をまとめると以下のとおりである。まず、スライダは１個ずつスライダトレイに移載されるので、スライダトレイのサイズおよびポケットの位置に制限がなくなり、スライダのピッチによらず同一のスライダトレイを利用することができる。また、分離装置自体は、スライダーの大きさやピッチが変わっても共用できる。
【００４８】
また、スライダを切断用治具から１つ１つ分離するので、良品のみを確実に抽出してスライダトレイに移動させることができる。このため、不良品の混入率を大幅に低下させることができる。特に、スライダ自体を小型化したり、１枚のウエハからの取り出し個数を増やすためにスライダとなる部分を狭ピッチ化する際にも、ポケットの大きさやポケットの配列ピッチは十分な大きさとすることができるので、作業性が向上し、不良品の混入率の低下が可能となる。
【００４９】
また、スライダトレイ内に無駄なくポケットを設けることができるので、ポケットの大きさやポケットの配列ピッチを大きく取ってもスライダトレイの収納個数を増やすことができ、洗浄工程の合理化が可能となる。
【００５０】
さらに、接着剤を溶かすために溶剤につける工程が不要となるので、ＡＢＳが溶剤で汚れるおそれがなくなり、ＡＢＳの清浄度が改善される。また、スライダはポケット内でＡＢＳを上にして収められるので、スライダを反転させる必要がなく、作業効率が高まる。また、良品のスライダだけを順次スライダトレイに収めていくので、不良品を後から抜き出すことによって生じる空きのポケットが発生する余地はほとんどなく、空きのポケットに良品スライダを後から入れるといった追加工程を避けることができる。
【００５１】
以上、好ましい実施形態にしたがって本発明を説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されることはなく、様々な変形が可能である。たとえば、洗浄の時間や接着剤の種類によっては加熱する必要はなく、接着剤や加熱条件によっては洗浄を省略できる。また、本実施形態ではバーを切断してから分離装置に装着していたが、あらかじめ分離装置に装着した状態で切断してもよい。また、スライダの大きさに応じて先端部の大きさの異なる複数のプッシャを設けておき、スライダの大きさによって選択的に使用してもよい。さらに同一サイズのプッシャを複数個設けておき、互いに離れたスライダを同時に押出すようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の分離装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す分離装置の２−２線に沿った断面図である。
【図３】移動用冶具の概略斜視図である。
【図４】本発明のスライダの分離方法の手順を示すフロー図である。
【図５】バーの形成方法を示す説明図である。
【図６】本発明のスライダの分離方法の手順を示すステップ図である。
【図７】本発明の分離装置の他の実施形態を示す説明図である。
【図８】従来技術によるスライダの分離方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  分離装置
２  プッシャ
３  プッシャ支持台
４  ｘ方向移動軸
５  ｘ方向移動機構
６  ｙ方向移動軸
７  ｙ方向移動機構
９  内側治具固定部
１０，１０ａ  外側治具固定部
１１  上部受板
１２  溝
１８  接着剤
２１  切断用治具
２２  スライダ保持部
２３  支持板
２４  固定面
２５  ギャップ
３１  スライダトレイ
３２  ポケット
４１  バー
４２  スライダ
４３  切り代
４４  識別番号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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