(57)【要約】【課題】検査者による作業ミスを低減させることができる半導体素子の検査装置を提供すること。【解決手段】本発明の半導体素子の検査装置は、検査対象の半導体素子を載置する載置部９を備える顕微鏡５と、顕微鏡５に隣接して配置され、前記載置部９に載置された半導体素子の検査を行う検査者の手１５の位置を安定させるように構成された安定化部材１１とを備えることを特徴とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の半導体素子を載置する載置部を備える顕微鏡と、
顕微鏡に隣接して配置され、前記載置部に載置された半導体素子の検査を行う検査者の手の位置を安定させるように構成された安定化部材とを備えることを特徴とする半導体素子の検査装置。
【請求項２】
載置部は、複数の半導体素子を配列して載置することができるように構成されている請求項１に記載の装置。
【請求項３】
安定化部材は、台座と、台座に対して移動可能に構成された手を置くための台とを備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
台は、台座に対して前後左右に移動可能であることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
台は、台座に対してバネによって接続されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
検査者の手に対して上方向の引張力を加える弾性部材をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
半導体素子を吸引可能な吸気式シリンダーをさらに備える請求項１に記載の装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つに記載の検査装置を用いた半導体素子の検査方法であって、
検査対象の半導体素子を載置部に載置し、
安定化部材によって検査者の手を安定させた状態で、不良の半導体素子を除去する工程を備える半導体素子の検査方法。
【請求項９】
半導体素子は、発光ダイオードからなる請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の顕微鏡外観検査の際に外観に問題のある素子を手作業で除去する場合、素子を粘着シート上に載せ、顕微鏡で素子を検査しながら、その視野内でピンセットで素子を除去することが一般的である。このとき、検査者はピンセットを持った手が素子に触れないように空中に手を浮かして作業を行うが、検査者の目は顕微鏡の接眼レンズにあるため、検査者の手が素子までどれくらい離れているかを確認することができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このため、検査をしているうちに、疲労などにより手の制御に誤りが生じ、うっかり手がシート上の素子に触れてしまうことがある。素子に手が触れると、手に付着していた油分、汗などが素子に付着し、素子に悪影響を及ぼす場合がある。
【０００４】
本発明は係る事情に鑑みてなされたものであり、検査者による作業ミスを低減させることができる半導体素子の検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の半導体素子の検査装置は、検査対象の半導体素子を載置する載置部を備える顕微鏡と、顕微鏡に隣接して配置され、前記載置部に載置された半導体素子の検査を行う検査者の手の位置を安定させるように構成された安定化部材とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、半導体素子の検査を行う検査者の手の位置を安定させるように構成された安定化部材が顕微鏡に隣接して配置されているので、検査者は、この安定化部材の上に手を置いて作業を行うことができ、安定して作業を行うことができる。また、検査者の手の位置が安定するので、検査者がうっかりと素子に手を触れてしまうといった作業ミスを起こす頻度を低減させることができる。さらに、検査者の緊張を緩和するので、検査者の疲労を低減し、その結果、検査効率・精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
１．半導体素子の検査装置
本発明の半導体素子の検査装置は、検査対象の半導体素子を載置する載置部を備える顕微鏡と、顕微鏡に隣接して配置され、前記載置部に載置された半導体素子の検査を行う検査者の手の位置を安定させるように構成された安定化部材とを備えることを特徴とする。
【０００８】
１−１．顕微鏡
顕微鏡としては、半導体素子の検査に一般に用いられる種々の顕微鏡を用いることができる。顕微鏡は、検査対象の半導体素子を載置する載置部を備える。この載置部は、好ましくは、複数の半導体素子を配列して載置することができるように構成されている。この場合、一度に多くの素子の検査を行うことができるという利点がある。なお、「半導体素子」は、発光ダイオード、半導体レーザーなどからなる。
【０００９】
１−２．安定化部材
安定化部材は、顕微鏡に隣接して配置される。安定化部材は、顕微鏡と分離されていてもよく、顕微鏡に連結されていてもよい。安定化部材には、検査者の手の位置を安定させる機能を有する種々の部材が含まれる。
安定化部材の１つの実施形態は、台である。この台の表面は、検査者の手との摩擦が小さくなるように構成されていることが好ましい。この場合、検査者は、台の上に手を載せて、台の表面で手を滑らせながら半導体素子の検査を行うことができる。台は、板状であってもブロック状であってもよい。台は、下面に脚を供え、この脚によって、台の上面が顕微鏡の載置部と同程度の高さになるようにしてもよい。
【００１０】
安定化部材の別の実施形態は、台座と、台座に対して移動可能に構成された手を置くための台とを備える。この場合、手を置くための台が台座に対して移動可能であるので、台の上に手を載せた状態で手を自由に移動させることができる。台及び台座は、板状であってもブロック状であってもよい。台は、好ましくは、台座に対して前後左右に移動可能である。前後左右に移動可能であれば、台に載せた手を自由に移動させることができるからである。また、台は、好ましくは、台座に対してバネによって接続されている。この場合、検査者は、任意の方向に手を動かすことができるので、作業自由度が非常に高く、検査効率が向上する。
【００１１】
また、本発明の装置は、検査者の手に対して上方向の引張力を加える弾性部材をさらに備えることが好ましい。この場合、検査者の手は、安定化部材（台など）に載せつつ軽く吊り上げられた状態になっているので、非常に容易に移動させることができる。
【００１２】
また、本発明の装置は、半導体素子を吸引可能な吸気式シリンダーをさらに備えることが好ましい。検査者は、ピンセットなどを用いて不良半導体素子を取り除くこともできるが、１つずつ素子を顕微鏡視野外に移動させる必要があり、作業に時間がかかるが、本発明の装置の備え付けの吸気式シリンダーを用いると、連続的に不良半導体素子の除去を行うことができるため、作業効率がよい。
【００１３】
２．半導体素子の検査方法
本発明の半導体素子の検査方法は、上記記載の検査装置を用いた半導体素子の検査方法であって、検査対象の半導体素子を載置部に載置し、安定化部材によって検査者の手を安定させた状態で、不良の半導体素子を除去する工程を備える。
【００１４】
本発明の半導体素子についての上記説明は、その趣旨に反しない限り、その製造方法についても当てはまる。また、本発明の方法によれば、安定して半導体素子の検査を行い、不良半導体素子を除去することが可能になる。
【実施例１】
【００１５】
検査対象の半導体素子としては、、直径５０ｍｍ程度の発光ダイオード用ウエーハ（以下；ウエーハ）１を粘着シート３上で素子に分割後、シートを延伸することで素子間に距離を作り、チップエリアを初めの直径５０ｍｍから直径８０ｍｍの領域までに広げたものを用いる（図１参照）。使用する顕微鏡５は光学式であり、対物レンズ７を上下させて（すなわち、載せ台を上下させないで）焦点調節を行うものを用いる。素子を載せた粘着シート３を載せ台９上に置き、顕微鏡５の視野内に素子が入るように配置する（図２参照）。
【００１６】
以下、右利きの検査者の場合を例にとって説明する。
幅２００ｍｍ、奥行き１００ｍｍのサイズの板１１の右側を前後左右に直動するガイド１３に載せ、板１１の左側を顕微鏡５の載せ台９の上面近傍の空間に配置する（図３参照）。
【００１７】
右手１５で吸気式シリンダー１７を持ち、その手を板１１の左側に載せる。吸気式シリンダー１７は、図４に示す構成を有し、吸い込み口１９で吸引した素子は、フィルター２１に衝突し、素子溜り２３に収容される。また、素子吸引力は、一端２５に接続された真空ポンプによって与えられる。
【００１８】
シリンダー１７の吸い込み口１９の先端を顕微鏡５の視野内に持ってくる。この状態で除去を必要とする素子に吸い込み口１９を当ててシリンダー内に吸引する。また、視野内の他の素子にも吸い込み口を当てる必要がある場合は、右手を前後左右に動かすことによって板１１を直動させ、吸い込み口１９を所望の素子上に持ってきて、素子を吸引する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】半導体素子を粘着シート上に載せた状態を示す平面図である。
【図２】半導体素子を載せた粘着シートを顕微鏡の載せ台上に置いた状態を示す側面図である。
【図３】半導体素子の検査をしている状態を示す斜視図である。
【図４】吸気式シリンダーの構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１：ウエーハ  ３：粘着シート  ５：顕微鏡  ７：対物レンズ  ９：載せ台  １１：板  ガイド  １５：右手  １７：吸気式シリンダー  １９：吸い込み口  ２１：フィルター  ２３：素子溜り  ２５：一端
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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