(57)【要約】【目的】周波数調整膜による振動特性の変化を防止した水晶振動子を提供する。【構成】水晶片の両主面に対向する励振電極を形成して振動領域を形成し、前記振動領域上に蒸着によって周波数調整膜を設けてなる水晶振動子において、前記振動領域よりも大きい面積として前記水晶片及び前記励振電極と付着力の強い補強層を前記振動領域上に設け、前記補強層上に前記周波数調整膜を設けた構成とする。また、前記励振電極はＡu、Ａg又はＡLとし、前記補強層はＣr、Ｎi又はＴiであり、前記補強層は500Å以下の構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶片の両主面に対向する励振電極を形成して振動領域を形成し、前記振動領域上に蒸着によって周波数調整膜を設けてなる水晶振動子において、前記振動領域よりも大きい面積として前記水晶片及び前記励振電極と付着力の強い補強層を前記振動領域上に設け、前記補強層上に前記周波数調整膜を設けたことを特徴とする水晶振動子。
【請求項２】
前記励振電極はＡu、Ａg又はＡLとし、前記補強層はＣr、Ｎi又はＴiである請求項１の水晶振動子。
【請求項３】
前記補強層は500Å以下である請求項１の水晶振動子。
【請求項４】
前記振動領域は前記水晶片の両主面に設けられた一対の励振電極の平面外形領域である請求項１の水晶振動子。
【請求項５】
前記振動領域は前記水晶片の両主面に設けられた二対以上の対向する電極の平面外形領域であってフィルタ素子を構成する水晶振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は水晶振動子を技術分野とし、特に周波数調整を容易にして規格を維持した水晶振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
（発明の背景）水晶振動子は周波数制御素子として知られ、発振子や共振子（フィルタ素子）として使用される。近年では、各種電子機器の高性能化に伴い、水晶振動子の規格も厳しいものが要求される。このような要求を阻害する要因の一つに周波数調整時の調整膜の問題がある。
【０００３】
（従来技術の一例）第４図は一従来例を説明する水晶振動子（水晶片）の図で、同図（ａ）は同図（ｂ）のＡ−Ａ断面図、同図（ｂ）は平面図である。
【０００４】
水晶振動子は例えばＡＴカットとした水晶片１からなる。水晶片１の両主面には対向する一対の励振電極２（ａｂ）を有し、例えば両端部に引出電極３（ａｂ）を延出する。ここでは、一対の励振電極２（ａｂ）による平面外形領域を振動領域とする。引出電極３（ａｂ）の延出した両端部は図示しない導電性接着剤等によって容器底面に固着して密閉封入される。そして、主に、発振回路に発振子として組み込まれる。
【０００５】
励振電極２（ａｂ）及び引出電極３（ａｂ）は、例えば蒸着によって下地をＣr（クロム）としたＡu（金）からなる。なお、励振電極２（ａｂ）等としてのＡuは水晶片１との付着力が弱いために、両者との付着力が強いＣrが下地として設けられる。そして、蒸着によって、励振電極２（ａｂ）上に例えばＡg（銀）とした周波数調整膜４を設けて振動周波数を調整する。ＡＴカットでは水晶片１の厚みに反比例して振動周波数が高くなるので、周波数調整膜４を付加することによって振動周波数を下げる方向で調整する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の水晶振動子では、振動周波数を蒸着によって調整するに際して次の問題があった。すなわち、蒸着による周波数調整膜４は、第５図に示したようにメッキ枠（マスク）の精度等によって励振電極２（ａｂ）の外周にはみだして、水晶片１に付着することがある。
【０００７】
そして、例えばその後の熱処理によって、水晶片１に付着した調整膜の状態が変化し、振動特性の変化例えば振動周波数が変化する問題があった。要するに、水晶片１と調整膜であるＡgとの付着強度が小さいため、熱処理によって例えば凝縮して状態が変化する。これらは小型が進行して励振電極２（ａｂ）の直径が小さくなるほど、マスク精度が低下して問題が大きくなる。
【０００８】
（発明の目的）本発明は、周波数調整膜による振動特性の変化を防止した水晶振動子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、特許請求の範囲（請求項１）に示したように、水晶片の両主面に対向する励振電極を形成して振動領域を形成し、前記振動領域上に蒸着によって周波数調整膜を設けてなる水晶振動子において、前記振動領域よりも大きい面積として前記水晶片及び前記励振電極と付着力の強い補強層を前記振動領域上に設け、前記補強層上に前記周波数調整膜を設けた構成とする。
【発明の効果】
【００１０】
このような構成であれば、周波数調整時に励振電極からはみだした周波数調整膜は補強層に付着する。そして、補強層は周波数調整膜と付着力が強いので、その後の熱処理によっても状態に変化を生じない。したがって、振動特性例えば振動周波数を一定に維持する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の請求項２に示したように、請求項１の前記励振電極はＡu、Ａg又はＡLとし、前記補強層はＣr、Ｎi又はＴiとする。これにより、補強層は水晶片及び励振電極との付着力を強くする。
【００１２】
同請求項３では、請求項１の前記補強層は500Å以下とする。これにより、補強層は導通抵抗が大きくて言わば絶縁膜となり、電気的な影響を及ぼすことなく例えば電極間容量の変化を防止する。
【００１３】
同請求項４では、請求項１の前記振動領域は前記水晶片の両主面に設けられた一対の励振電極の平面外形とする。これにより、水晶振動子は特に発振子として利用される。
【００１４】
同請求項５では、前記振動領域は前記水晶片の両主面に設けられた二対の入出力電極の平面外形領域であってフィルタ素子を構成する。これにより、例えば二重モードを利用したＭＣＦ（Monolithic Crystal Filter）が得られる。
【実施例】
【００１５】
第１図は本発明の一実施例を説明する水晶振動子の断面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
【００１６】
水晶振動子は前述同様にＡＴカットとした水晶片１からなり、下地をＣrとしたＡuからなる一対の励振電極２（ａｂ）及び引出電極３（ａｂ）を両主面に有し、周波数調整膜４が設けられる。ここでも、励振電極２（ａｂ）の平面外形領域を振動領域とする。
【００１７】
ここでは下地と同様のＣrからなる補強層５を水晶片１の少なくとも一主面に形成された励振電極２ａ上に設ける。補強層５は励振電極２ａよりも大きな面積とし、励振電極２ａを周回する水晶片１の表面にまたがって設けられる。そして、厚みを概ね500Å以下とする。周波数調整膜４（Ａg）は一主面に設けられた励振電極２ａ上の補強層５に蒸着によって形成される。
【００１８】
このような構成であれば、第２図（平面図）に示したように、蒸着による周波数調整膜４（Ａg）がマスク精度によって励振電極２ａからはみだしても、周波数調整膜４は補強層５に付着する。そして、補強層５はＣrとして周波数調整膜４との付着力が強いので、その後の熱処理によっても状態に変化を生じない。したがって、振動特性例えば振動周波数を一定に維持する。
【００１９】
また、補強層５のＣrは500Å以下とするので、導通抵抗が大きくて言わば絶縁膜となり、電気的な影響を及ぼすことなく例えば励振電極２（ａｂ）間の電極間容量を一定に維持する。
【００２０】
（他の事項）上記実施例では励振電極２（ａｂ）はＡuとしたが、ＡgやＡL（アルミ）であってもよい。そして、補強層はＣrとしたが、Ｎi（ニッケル）、Ｔi（チタン）等であってもよく、水晶及び励振電極２（ａｂ）との付着力が強い材料であればよい。
【００２１】
また、水晶振動子は両主面間で対向する一対の励振電極２（ａｂ）を設けたものを対象としたが、例えば第３図（ａｂ）に示したように両主面間で対向する二対の励振電極２（ａｂ）を設けて一対を入力電極、他対を出力電極とした所謂ＭＣＦでも同様である。
【００２２】
この場合、二対の励振電極２（ａｂ）による外形面積領域を振動領域とし、振動領域を周回する水晶片１の表面にまたがって補強層５を形成する。そして、振動周波数（中心周波数）や帯域幅を調整する。なお、帯域幅は入出力電極間に調整膜を設けて調整される。
【００２３】
また、ＭＣＦは対向する励振電極が２対としたが、対向する電極が３対以上でも勿論適用できる。なお、実施例での一対の励振電極２（ａｂ）の場合でも、フィルタ素子として利用される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施例を説明する水晶振動子の断面図である。
【図２】本発明の一実施例の作用を説明する水晶振動子の平面図である。
【図３】本発明の他の実施例を説明する水晶振動子の図で、同図（ａ）は断面図、同図（ｂ）は平面図である。
【図４】従来例を説明する水晶振動子の図で、同図（ａ）は断面図、同図（ｂ）は平面図である。
【図５】従来例を説明する水晶振動子の平面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  水晶片、２  励振電極、３  引出電極、４  周波数調整膜、５  補強層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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