(57)【要約】【課題】  当て付け部材等を設けることなしに、基板を置く位置を容易に定めることが可能な露光装置を提供する。【解決手段】  基板１６において本来の位置にある第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2間の距離と、第１、第２ＣＣＤカメラ３２、３４の撮影範囲の中心点間の距離とが一致するように、第１、第２ＣＣＤカメラ３２、３４を矢印Ａの示すＹ軸方向に移動させる。そして、第１、第２ＣＣＤカメラ３２、３４が撮像する画像をスルー画像としてモニタに表示させながら、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の位置が、第１、第２ＣＣＤカメラ３２、３４の各撮影範囲の中心点と略一致するように、基板１６を描画テーブル１４上に載置する。【選択図】        図３
2006267191.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマークが表面に設けられた被描画体に描画する露光装置であって、
前記露光装置に置かれた前記被描画体を撮像するカメラと、
前記カメラの撮影範囲を調整する撮影範囲調整手段とを備え、
前記撮影範囲調整手段が、前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、前記被描画体が前記露光装置の所定の位置に置かれたときに前記複数のマークを撮像できるように前記カメラの撮影範囲を調整することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記カメラが撮像した前記被描画体のスルー画像を表示する表示手段をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記撮影範囲調整手段が、前記カメラを移動させるカメラ移動手段であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記マーク位置データから、前記本来の位置にある前記複数のマーク間の距離を示すデータであるマーク間距離データを算出するデータ算出手段をさらに有し、
前記カメラ移動手段が、前記マーク間距離データに基づいて前記カメラを移動させることを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記カメラ移動手段が、複数の前記カメラの撮像範囲の中心点間の距離が、前記本来の位置にある前記複数のマーク間の距離と一致するように、前記カメラを移動させることを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記被描画体を置くための描画テーブルと、
前記描画テーブルを移動させるテーブル移動手段とをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項７】
前記撮影範囲調整手段が、前記カメラを移動させるカメラ移動手段であり、
前記カメラ移動手段が、前記露光装置が有する走査光学系の主走査方向に沿って前記カメラを移動させ、前記テーブル移動手段が、前記露光装置の副走査方向に沿って描画テーブルを移動させることを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記被描画体を、前記露光装置の所定の位置に固定するための固定部材をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
【請求項９】
前記カメラが撮像した前記被描画体のスルー画像を表示する表示手段と、
前記マーク位置データが示す前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置と、前記スルー画像における前記複数のマークの実際の位置との差に基づいて、前記被描画体に描画すべきパターンを示す描画データを補正する描画データ補正手段とをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記カメラが、第１の倍率で前記複数のマークを拡大して撮像する位置決め用カメラと、前記第１の倍率よりも高い倍率である第２の倍率で前記被描画体を拡大して撮像するアライメント用カメラとを含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記カメラが、第１の倍率と、前記第１の倍率よりも高い第２の倍率とで、前記被描画体を拡大して撮像可能であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項１２】
複数のマークが表面に設けられた被描画体に描画する露光装置であって、
前記被描画体を置くための描画テーブルと、
前記描画テーブルに向けて位置決め光を照射する位置決め光照射部材と、
前記位置決め光の前記描画テーブル上の照射位置を調整する照射位置調整手段とを備え、
前記照射位置調整手段が、前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、前記被描画体が前記描画テーブルの所定の位置に置かれたときに前記複数のマークがある位置を前記照射位置とすることを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
前記照射位置調整手段が、前記位置決め光照射部材を移動させる照射部材移動手段であることを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記複数のマークを撮像するためのアライメント用カメラをさらに有することを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１５】
前記位置決め光照射部材が、前記アライメント用カメラの近傍に設けられていることを特徴とする請求項１４に記載の露光装置。
【請求項１６】
前記位置決め光照射部材が、前記被描画体を感光させない前記位置決め光を照射することを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１７】
複数のマークが表面に設けられた被描画体を、露光装置の所定の位置に置く載置方法であって、
前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、前記被描画体が前記所定の位置に置かれたときに前記複数のマークを撮像できるように、前記被描画体を撮像するカメラの撮影範囲を調整し、
前記複数のマークを前記カメラに撮像させ、
前記複数のマークのスルー画像を表示部材に表示させながら、前記複数のマークが前記スルー画像に含まれるように前記被描画体を前記所定の位置に置くことを特徴とする被描画体の載置方法。
【請求項１８】
複数のマークが表面に設けられた被描画体を、露光装置が有する描画テーブルの所定の位置に置く載置方法であって、
前記被描画体の表面における前記複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、前記被描画体が前記所定の位置に置かれたときに前記複数のマークがある位置を照射位置とするように前記描画テーブルに向けて位置決め光を照射し、
前記複数のマークの位置と前記照射位置とが一致するように、前記被描画体を前記所定に位置に置くことを特徴とする被描画体の載置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被描画体に所定のパターンを描画する露光装置に関し、特に所定の位置への被描画体の載置を可能にする露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の描画の代表例としては、フォトリゾグラフィの手法によるプリント回路基板への回路パターンの印刷が挙げられる。この場合、被描画体は、上面にフォトレジスト層を形成された基板であり、露光装置により、基板上のフォトレジスト層に所定の回路パターンが描画される。そして、回路パターンの描画の後に、必要な処理が施されることによりプリント回路基板が得られる。
【０００３】
回路パターンは、プリント基板上の予め定められた位置に描画される必要があるが、基板には、熱処理などにより微細な変形を生じる。そこで一般に、基板上の四隅といった所定の位置に予め位置決め穴等を設け、基板の変形による位置決め穴等の位置ずれをカメラで測定し、この位置ずれを補正することにより回路パターンの描画位置が調整されている。
【０００４】
このように、位置決め穴等に基づいて回路パターンの描画位置を調整するためには、露光装置の所定の位置に基板を配置する必要がある。このため、露光装置に設けられた描画テーブル上の基板の位置を検出するためのセンサーや、基板の側面に当て付けるための固定ピン等の当て付け部材を設けることが知られている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−８５６６４号公報（段落［００３８］〜［００４５］、図４〜６等参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
センサーもしくは当て付け部材を設けて基板を所定の位置に配置しても、基板の外形変化等によって、カメラの撮影範囲から位置決め穴が外れてしまう可能性がある。さらに、異なる大きさの基板を描画する場合には、当て付け部材の位置を調整することが必要となり、迅速な作業の妨げとなり得る。
【０００６】
そこで本発明は、当て付け部材等を設けることなしに、基板を配置する位置を容易に定めることが可能な露光装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の露光装置は、複数のマークが表面に設けられた被描画体を描画する露光装置であり、露光装置に置かれた被描画体を撮像するカメラと、カメラの撮影範囲を調整する撮影範囲調整手段とを備える。そして、撮影範囲調整手段が、被描画体の表面における複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、被描画体が露光装置の所定の位置に置かれたときに複数のマークを撮像できるようにカメラの撮影範囲を調整する。
【０００８】
露光装置は、カメラが撮像した被描画体のスルー画像を表示する表示手段をさらに有することが好ましい。また撮影範囲調整手段は、例えばカメラを移動させるカメラ移動手段である。この場合、露光装置は、マーク位置データから、本来の位置にある複数のマーク間の距離を示すデータであるマーク間距離データを算出するデータ算出手段をさらに有し、カメラ移動手段が、マーク間距離データに基づいてカメラを移動させることが好ましい。そしてカメラ移動手段が、複数のカメラの撮像範囲の中心点間の距離が、本来の位置にある複数のマーク間の距離と一致するように、カメラを移動させることがより好ましい。
【０００９】
第１の露光装置は、被描画体を置くための描画テーブルと、描画テーブルを移動させるテーブル移動手段とをさらに有することが望ましい。そして例えば、撮影範囲調整手段がカメラを移動させるカメラ移動手段であり、カメラ移動手段が、露光装置が有する走査光学系の主走査方向に沿ってカメラを移動させ、テーブル移動手段が、露光装置の副走査方向に沿って描画テーブルを移動させる。
【００１０】
第１の露光装置は、被描画体を所定の位置に固定するための固定部材をさらに有することが好ましい。また露光装置は、カメラが撮像した被描画体のスルー画像を表示する表示手段をさらに有し、マーク位置データが示す被描画体の表面における複数のマークの本来の位置と、スルー画像における複数のマークの実際の位置との差に基づいて、被描画体に描画すべきパターンを示す描画データを補正する描画データ補正手段をも有することが望ましい。
【００１１】
カメラは、第１の倍率で複数のマークを拡大して撮像する位置決め用カメラと、第１の倍率よりも高い倍率である第２の倍率で被描画体を拡大して撮像するアライメント用カメラとを含むことが好ましい。またカメラは、第１の倍率と、第１の倍率よりも高い第２の倍率とで、被描画体を拡大して撮像可能であることが好ましい。
【００１２】
本発明の第２の露光装置は、複数のマークが表面に設けられた被描画体を描画する露光装置であって、被描画体を置くための描画テーブルと、描画テーブルに向けて位置決め光を照射する位置決め光照射部材と、位置決め光の描画テーブル上の照射位置を調整する照射位置調整手段とを備える。そして、照射位置調整手段が、被描画体の表面における複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、被描画体が描画テーブルの所定の位置に置かれたときに複数のマークがある位置を照射位置とする。
【００１３】
照射位置調整手段は、例えば位置決め光照射部材を移動させる照射部材移動手段である。そして第２の露光装置は、複数のマークを撮像するためのアライメント用カメラをさらに有することが好ましい。さらにこの場合、位置決め光照射部材が、アライメント用カメラの近傍に設けられていることがより好ましい。また、位置決め光照射部材は、被描画体を感光させない位置決め光を照射することが望ましい。
【００１４】
本発明の第１の載置方法は、複数のマークが表面に設けられた被描画体を、露光装置の所定の位置に置く載置方法である。そして第１の載置方法は、被描画体の表面における複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、被描画体が所定の位置に置かれたときに複数のマークを撮像できるように、被描画体を撮像するカメラの撮影範囲を調整し、複数のマークをカメラに撮像させ、複数のマークのスルー画像を表示部材に表示させながら、複数のマークがスルー画像に含まれるように被描画体を所定の位置に置くことを特徴とする。
【００１５】
本発明の第２の載置方法は、複数のマークが表面に設けられた被描画体を、露光装置が有する描画テーブルの所定の位置に置く載置方法である。そして第２の載置方法は、被描画体の表面における複数のマークの本来の位置を示すマーク位置データに基づいて、被描画体が所定の位置に置かれたときに複数のマークがある位置を照射位置とするように描画テーブルに向けて位置決め光を照射し、複数のマークの位置と照射位置とが一致するように、被描画体を所定に位置に置くことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、当て付け部材等を設けることなしに、基板を配置する位置を容易に定めることが可能な露光装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。図１は、本実施形態における露光装置１０を概略的に示す図である。図２は、本実施形態における露光装置の外観を示す斜視図である。
【００１８】
露光装置１０は、感光性を有する被描画体である基板１６に、レーザビームによって回路パターンを直接描画するレーザ描画装置１１を含む。レーザ描画装置１１は、光学ユニット１２と、基板１６が水平に載置される描画テーブル１４とを有する。基板１６の四隅には、第１〜第４アライメント穴Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3およびＰ4が設けられている。第１〜第４アライメント穴Ｐ1〜Ｐ4は、描画テーブル１４上の基板１６が置かれる位置を定めるためと、基板１６に描画される回路パターンの位置を補正するために設けられている。光学ユニット１２は、レーザ光源と光学系（図示せず）とを備え、描画テーブル１４上の基板１６に向かってレーザビームを主走査方向に沿って照射する。なお以下では、光学ユニット１２の主走査方向をＹ軸方向、副走査方向をＸ軸方向とし、描画テーブル１４上の所定の位置を原点とする２次元の描画座標系を規定する。
【００１９】
露光装置１０は、レーザ描画装置１１等の動作全般を制御する制御装置５０を含む。制御装置５０は、ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリを備えたマイクロコンピュータであり、ＣＡＤシステム５２に接続されている。ＣＡＤシステム５２により作成された回路パターンのデータ（描画データ）が、制御装置５０に送られ、制御装置５０において所定の処理を施された後に光学ユニット１２に送られる。
【００２０】
描画テーブル１４は、基板１６を置くときの位置である準備位置（実線で示す）と、光学ユニット１２による描画のための描画位置（破線で示す）との間で、制御装置５０に制御されたモータ（図示せず）によってＸ軸方向に移動可能である。基板１６が、準備位置にある描画テーブル１４上の所定の位置に置かれると、描画テーブル１４は描画位置まで移動する。そして、基板１６は、描画テーブル１４上で描画位置から準備位置に向かってＸ軸の負の方向に微少量ずつ移動しながら、光学ユニット１２によって描画される。このとき基板１６に照射されるレーザビームは、Ｙ軸方向に走査されるように光学ユニット１２によって変調され、回路パターンが順次描画される。
【００２１】
露光装置１０には、光学ユニット１２を収容するハウジング１８が設けられている（図２参照）。ハウジング１８の側面１８ａには開口３０が形成され、この開口３０を通って描画テーブル１４がハウジング１８内を進退する。側面１８ａにはＹ軸に沿って延びる第１および第２レール３６、３８が設けられており、第１および第２レール３６、３８には、それぞれ第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４が取り付けられる。第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４は、制御装置５０の指示に基づいて駆動するリニアモータ（図示せず）によって第１および第２レール３６、３８上を移動させられ、基板１６の第１〜第４アライメント穴Ｐ1〜Ｐ4を撮影する。
【００２２】
図３は、基板１６の第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2を撮影する第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４を示す斜視図である。図４は露光装置に設けられたモニタの表示画面を示す図である。
【００２３】
コントローラ（図示せず）の操作によって、基板１６の描画に使用される描画データが選択されて描画を開始する指示が出されると、描画データとともに、第１〜第４アライメント穴Ｐ1〜Ｐ4の基板１６における本来の位置を示すデータ（マーク位置データ）が、ＣＡＤシステム５２から制御装置５０（図１参照）に送られる。制御装置５０は、これらのデータをメモリに格納するとともに、マーク位置データに基づいて、第１〜第４アライメント穴Ｐ1〜Ｐ4の本来の位置、すなわち基板１６に全く変形が生じなかった場合の第１〜第４アライメント穴Ｐ1〜Ｐ4の位置を示すマーク位置データから、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2間の距離Ｌ1と、第１、第３アライメント穴Ｐ1、Ｐ3間の距離Ｌ2を示すマーク間距離データを算出する。
【００２４】
そして、制御装置５０は、マーク間距離データに基づいて、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４の撮影範囲の中心点間の距離が、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2間の距離に一致するように、リニアモータを制御する。この結果、基板１６が描画テーブル１４上の所定の位置に置かれたときの第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の位置と、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４の撮影範囲の中心点とが一致するように、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４は、矢印Ａの示すようにＹ軸方向に移動する。
【００２５】
露光装置１０にはモニタ４０が設けられており、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４が撮像する画像は、スルー画像としてモニタ４０の表示部４２に表示される（図４参照）。表示部４２には、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４の撮影範囲にある被写体をそれぞれ表示する第１および第２表示領域４４、４６が設けられている。そして、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４の撮影範囲の中心点である第１および第２中心点４５、４７が、第１および第２表示領域４４、４６に映し出される破線の交点として表示される。
【００２６】
第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４は、各撮影範囲の中心点が描画テーブル１４上の所定位置に置かれた基板１６の第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の位置と一致するように移動されている。このため、基板１６に全く変形が生じていない場合、図４に示すように、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の中心点と、第１および第２中心点４５、４７とがそれぞれ完全に一致するように、基板１６を描画テーブル１４上の所定に位置に置くことが可能である。
【００２７】
一方、基板１６にわずかな変形が生じていた場合、基板１６は、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2が第１および第２表示領域４４、４６に含まれるように、なおかつ第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の中心が第１および第２中心点４５、４７付近に位置するように、描画テーブル１４に載置される。
【００２８】
以上のように、基板１６は、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2が確実に撮影される位置にあるように、描画テーブル１４の所定位置に置かれる。この載置作業は、モニタ４０の表示を確認しつつ作業するユーザによって行なわれるため、基板１６を迅速に適当な位置に置くことができる。さらに、ハウジング１８に設けられた基板固定スイッチ（図示せず）が押下されると、基板１６は、基板固定バー（固定部材・図示せず）によって、パターンが描画されない領域が押圧されるとともに、描画テーブル１４にバキューム吸着される。このため、基板１６にわずかに生じているそりによる描画に対する悪影響を抑えつつ、モニタ４０の表示に従って定められた位置から基板１６がずれることが防止される。
【００２９】
さらに、ハウジング１８に設けられた描画開始スイッチ（図示せず）が押下されると、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４によって得られた画像データから、描画座標系における第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の実際の位置を示す情報が取得され、制御装置５０に送られる。そして制御装置５０は、矢印Ｂが示すように、マーク間距離データが示す第１、第３アライメント穴Ｐ1、Ｐ3間の距離Ｌ2だけ、描画テーブル１４をＸ軸の正の方向に移動させるようにモータ（図示せず）を制御する。その結果、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４の撮影範囲に第３、および第４アライメント穴Ｐ3、Ｐ4が含まれ、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2と同様に、描画座標系における第３、第４アライメント穴Ｐ3、Ｐ4の実際の位置を示す情報が取得される。
【００３０】
第１〜第４アライメント穴Ｐ1〜Ｐ4の実際の位置と、マーク位置データが示す第１〜第４アライメント穴Ｐ1〜Ｐ4の基板１６における本来の位置との差に基づいて、描画するパターンの位置、もしくは形状を調整するために、制御回路５０はメモリに格納されていた描画データを補正する。そして、補正後の描画データに基づいて、基板１６にパターンが描画される。
【００３１】
図５は、第２の実施形態におけるカメラを示す斜視図である。本実施形態においては、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４に代わって、第１および第２複合カメラ５６、６０が設けられている点のみが、第１の実施形態と異なる。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００３２】
第１および第２複合カメラ５６、６０には、倍率の異なる２台ずつのＣＣＤカメラが含まれている。すなわち、第１複合カメラ５６には、第１低倍率カメラ５７と第１高倍率カメラ５８とが、第２複合カメラ６０には、第２低倍率カメラ６１と第２高倍率カメラ６２とが、それぞれ含まれている。
【００３３】
基板１６を載置する位置決めのために、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2をモニタ４０の第１および第２表示領域４４、４６に表示させる場合には、高い倍率が必要とされず、第１、第２表示領域４４、４６は比較的広い範囲であることが好ましいために、第１、第２低倍率カメラ５７、６１が使用される。一方、描画データの補正のために、第１〜第４アライメント穴Ｐ1〜Ｐ4の実際の位置を検出する際には、より正確な位置情報を入手すべく、第１、第２高倍率カメラ５８、６２が使用される。
【００３４】
このため、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の撮影により基板１６が所定の位置に置かれると、描画テーブル１４は、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2が第１、第２高倍率カメラ５８、６２の撮影範囲の中心にあるように、矢印Ｂの示すＸ軸の正の方向にわずかに移動する。その後、描画テーブル１４はＸ軸の正の方向にさらに移動し、第３、第４アライメント穴Ｐ3、Ｐ4が撮影される。
【００３５】
以上のように、本実施形態によれば、比較的広い範囲内に第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2が含まれるように基板１６を置けばよいため、基板１６の載置位置が速やかに定められるとともに、第１〜第４アライメント穴Ｐ1〜Ｐ4の実際の位置を検出するときには高い倍率でこれらを拡大、撮像することから、描画データのより正確な補正が可能になる。
【００３６】
また、第１低倍率カメラ５７と第１高倍率カメラ５８、第２低倍率カメラ６１と第２高倍率カメラ６２とが、それぞれ互いに近接して設けられているため、基板１６の位置決めから、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の撮影までの時間は短縮され、迅速な作業が可能である。
【００３７】
なお、本実施形態における、異なる倍率のカメラを２つずつ備えた第１および第２複合カメラ５６、６０に代わって、拡大倍率の変更が可能なカメラを２台用いても良い。
【００３８】
図６は、第３の実施形態における複合ユニットを示す斜視図である。本実施形態においては、第１および第２ＣＣＤカメラ３２、３４、もしくは第１および第２複合カメラ５６、６０に代わって、第１および第２複合ユニット６４、６８が設けられている点と、モニタ４０が設けられていない点が、第１、第２の実施形態と異なる。以下、これらの実施形態との相違点を中心に説明する。
【００３９】
第１および第２複合ユニット６４、６８には、レーザ光照射ユニットとカメラとが含まれている。すなわち、第１複合ユニット６４には、第１レーザ光照射ユニット６５と第１アライメント用カメラ６６とが、第２複合ユニット６８には、第２レーザ光照射ユニット６９と第２アライメント用カメラ７０とが、それぞれ互いに近接するように設けられている。
【００４０】
そして、第１、第２レーザ光照射ユニット６５、６９は、マーク間距離データに基づいて、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2間の距離Ｌ1に一致する間隔で平行な補助レーザ光（位置決め光）を照射する。このため、描画テーブル１４の所定の位置に基板１６を置いたときに第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2があるべき位置が、描画テーブル１４の上面における補助レーザ光の照射位置として示される。従って基板１６は、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の中心が補助レーザ光の照射位置と一致するように、描画テーブル１４上に載置される。
【００４１】
描画テーブル１４は、描画テーブル１４に載置された基板１６の第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2が、第１、第２アライメント用カメラ６６、７０の撮影範囲の中心にあるように、矢印Ｂの示すＸ軸の正の方向にわずかに移動し、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2が撮影される。さらに、描画テーブル１４がＸ軸の正の方向に移動して、第３、第４アライメント穴Ｐ3、Ｐ4が撮影される。
【００４２】
以上のように、本実施形態によれば、描画テーブル１４上の補助レーザ光の照射位置に第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2があるように基板１６を置けばよいことから、基板１６の載置位置は速やかに定められる。さらに、第１レーザ光照射ユニット６５と第１アライメント用カメラ６６、第２レーザ光照射ユニット６９と第２アライメント用カメラ７０とが、互いに近接して設けられているため、基板１６の位置決めから、第１、第２アライメント穴Ｐ1、Ｐ2の撮影までの時間が短縮され、迅速な作業が可能となる。
【００４３】
なお補助レーザ光は、描画のために光学ユニット１２が照射するレーザ光よりも波長が高く、基板１６を感光させないため、回路パターンの描画に悪影響を及ぼさない。
【００４４】
アライメント穴の数、およびカメラ、レーザ光照射ユニットの台数は、いずれの実施形態にも限定されない。例えば、アライメント穴は少なくとも２個あれば良く、カメラ、レーザ光照射ユニットをアライメント穴と同数設け、これらの移動時間をなくして迅速な測定作業を可能にしても良い。また、アライメント穴の代わりに、基板の描画面にマークが設けられても良い。
【００４５】
全ての実施形態において、第１、第２レール、３６、３８を設けて各カメラを移動させることにより撮影範囲を調整しているが、第１、第２レール、３６、３８を設けずに固定式のカメラを使用し、制御装置５０の制御に基づいて、カメラの首振り運動等により撮影範囲を調整しても良い。同様に、第３の実施形態においても、第１、第２レール、３６、３８を設けずに、制御装置５０が、第１、第２レーザ光照射ユニット６５、６９による補助レーザ光の照射角度を制御することにより、描画テーブル１４上の照射位置を調整しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】第１の実施形態における露光装置を概略的に示す図である。
【図２】第１の実施形態における露光装置の外観を示す斜視図である。
【図３】基板のアライメント穴を撮影するＣＣＤカメラを示す斜視図である。
【図４】露光装置に設けられたモニタの表示画面を示す図である。
【図５】第２の実施形態におけるカメラを示す斜視図である。
【図６】第３の実施形態における複合ユニットを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  露光装置
１４  描画テーブル
１６  基板（被描画体）
３２  第１ＣＣＤカメラ（カメラ）
３４  第２ＣＣＤカメラ（カメラ）
３６  第１レール（撮影範囲調整手段・カメラ移動手段・照射位置調整手段・照射部材移動手段）
３８  第２レール（撮影範囲調整手段・カメラ移動手段・照射位置調整手段・照射部材移動手段）
４０  モニタ
５０  制御装置（データ算出手段・描画データ補正手段）
５７  第１低倍率カメラ（位置決め用カメラ）
５８  第１高倍率カメラ（アライメント用カメラ）
６１  第２低倍率カメラ（位置決め用カメラ）
６２  第２高倍率カメラ（アライメント用カメラ）
６５  第１レーザ光照射ユニット（位置決め光照射部材）
６６  第１アライメント用カメラ（アライメント用カメラ）
６９  第２レーザ光照射ユニット（位置決め光照射部材）
７０  第２アライメント用カメラ（アライメント用カメラ）
Ｐ1〜Ｐ4  第１〜第４アライメント穴（マーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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