(57)【要約】【課題】金属箔と絶縁接着フィルムの組合せ材を、異物混入による不良が生じないようにして積み重ねることができる積層板製造用の金属箔と絶縁接着フィルムの積み重ね装置を提供する。【解決手段】長尺の金属箔１を巻いたロール３、長尺の絶縁接着フィルム２を巻いたロール４、並びに金属箔１及び絶縁接着フィルム２を各ロール３，４から繰り出すと共に重ね合わせて巻き取るための回転駆動自在な巻き取り具５を具備する装置本体６を備える。装置本体６の周囲を取り囲む仕切７を備える。前記仕切７内の換気を行うためのフィルター８ａ付き換気手段８を備える。前記仕切７の内側に浮遊する異物の量を検知する異物検出手段９を備える。前記異物検出手段９により検知された異物の量が所定量以上となった場合に作動する報知手段を備える。【選択図】図１
2006297871.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属箔と絶縁接着フィルムとを重ねた組合せ材を複数積み重ね、これを積層成形することによって、組合せ材の金属箔と絶縁接着フィルムを積層一体化した積層板を製造する際に、金属箔と絶縁接着フィルムを重ねると共に組合せ材を積み重ねるために用いられる装置であって、長尺の金属箔を巻いたロール、長尺の絶縁接着フィルムを巻いたロール、並びに金属箔及び絶縁接着フィルムを各ロールから繰り出すと共に重ね合わせて巻き取るための回転駆動自在な巻き取り具を具備する装置本体と、前記装置本体の周囲を取り囲む仕切と、前記仕切内の換気を行うためのフィルター付き換気手段と、前記仕切の内側に浮遊する異物の量を検知する異物検出手段と、前記異物検出手段により検知された異物の量が所定量以上となった場合に作動する報知手段とを備えることを特徴とする積層板製造用の金属箔と絶縁接着フィルムの積み重ね装置。
【請求項２】
上記異物検出手段は、少なくとも１箇所の任意の検出箇所に配置される異物取り込み部と、前記異物取り込み部にて取り込まれた異物が送られて異物量を検出する異物検出器とを備えるものであることを特徴とする請求項１に記載の積層板製造用の金属箔と絶縁接着フィルムの積み重ね装置。
【請求項３】
上記異物検出手段により検知された異物の量が所定量以上となった場合に巻き取り具を停止させ、その後、上記異物検出手段にて検知される異物の量が所定量を下回った場合に巻き取り具を再び回転駆動させる制御手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の積層板製造用の金属箔と絶縁接着フィルムの積み重ね装置。
【請求項４】
上記異物検出手段により検知された異物の量が所定量以上となった場合に巻き取り具を停止させる制御手段と、前記のように巻き取り具が停止した後、上記絶縁接着フィルムと金属箔とを上記ロールと巻き取り具との間で切断する切断手段とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の積層板製造用の金属箔と絶縁接着フィルムの積み重ね装置。
【請求項５】
上記異物検出手段により検知された異物の量が所定量以上となった場合に巻き取り具を停止させ、前記のように巻き取り具が停止した後、上記換気手段による換気量を増大させる制御手段を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の積層板製造用の金属箔と絶縁接着フィルムの積み重ね装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属箔と絶縁接着フィルムとを重ね合わせて成形することによって積層板を製造する際に使用する金属箔と絶縁接着フィルムとの積み重ね装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フレキシブルプリント配線板のような、薄いプリント配線板は、ポリイミドフィルムなど絶縁接着フィルム２の両側に、銅箔など金属箔１，１を重ね、これを加熱加圧成形することによって、両面金属箔張り積層板を作製し、この積層板の両面の金属箔をパターニングして回路形成をすることによって製造されている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３等参照）。ここで、絶縁接着フィルム２の両側に金属箔１，１を重ねて加熱加圧成形するにあたっては、図１２（ａ）に示すように、この絶縁接着フィルム２の両側に金属箔１，１を重ねたものを一組の組合せ材Ａとし、この多数組の組合せ材Ａをキャリア板５３の上に多段に積み重ねると共に最上段にプレート５５を重ね、これを上下の熱盤５４，５４の間にセットして、加熱加圧成形を行なうことによって、一度の成形で多数枚の、図１２（ｂ）のような両面金属箔張り積層板Ｂを製造するようにしている。
【０００３】
上記のように積層板を成形するに際して、絶縁接着フィルム２の両側に金属箔１，１を重ねた組合せ材Ａを多段に積み重ねる作業は、金属箔１、絶縁接着フィルム２、金属箔１の順の繰り返しで、所定の寸法にカットされた金属箔１と絶縁接着フィルム２をキャリア板５３の上に一枚ずつ重ねることによって行なわれているが、金属箔１と絶縁接着フィルム２の積み重ねの枚数は多数枚であり、しかも金属箔１や絶縁接着フィルム２は厚みが薄いために、所定の寸法にカットされた金属箔１や絶縁接着フィルム２を一枚ずつ取り扱うことは困難である。このために、この積み重ねの作業には非常な手間と時間を要するものであった。
【０００４】
そこで、本出願人は、金属箔と絶縁接着フィルムとを重ねた組合せ材を容易に且つ生産性高く積み重ねることができる積層板製造用の金属箔と絶縁接着フィルムの積み重ね装置を提供している（特願２００３−１８１８２１号）。
【０００５】
この積み重ね装置は、図１３に示すように、長尺の金属箔１を巻いたロール３と、長尺の絶縁接着フィルム２を巻いたロール４と、金属箔１と絶縁接着フィルム２とを各ロール３、４から繰り出すと共に重ね合わせて巻き取る回転駆動自在な巻き取り具５とを備えるものであって、金属箔１と絶縁接着フィルム２を重ねて一組の組合せ材Ａとし、この組合せ材Ａの先端を巻き取り具５の外面の一所に保持させた状態で、回転軸５６を中心にして巻き取り具５を一方向に回転駆動させることによって、金属箔１をロール３から、絶縁接着フィルム２をロール４からそれぞれ繰り出して、組合せ材Ａを巻き取り具５に巻き取るようにするものである。
【特許文献１】特開平５-６３３２２号公報
【特許文献２】特開平５−１１４７８４号公報
【特許文献３】特開２００２-１２８４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記のような積み重ね装置にて金属箔１と絶縁接着フィルム２の組み合わせ材Ａを作製する場合には、積み重ね装置を稼働させている際に空気中に浮遊している異物、例えば繊維などの微少な塵や埃などが金属箔１や絶縁接着フィルム２の間に入り込む場合がある。しかも、組み合わせ材Ａは一体の部材として形成されるために、異物が混入した不良部分のみを取り除くことはできず、このため異物混入による不良発生は深刻なものとなってしまう。
【０００７】
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、金属箔と絶縁接着フィルムの組合せ材を、異物混入による不良が生じないようにして積み重ねることができる積層板製造用の金属箔と絶縁接着フィルムの積み重ね装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る積層板製造用の金属箔と絶縁接着フィルムの積み重ね装置は、金属箔１と絶縁接着フィルム２とを重ねた組合せ材Ａを複数積み重ね、これを積層成形することによって、組合せ材Ａの金属箔１と絶縁接着フィルム２を積層一体化した積層板Ｂを製造する際に、金属箔１と絶縁接着フィルム２を重ねると共に組合せ材Ａを積み重ねるために用いられる装置であって、長尺の金属箔１を巻いたロール３、長尺の絶縁接着フィルム２を巻いたロール４、並びに金属箔１及び絶縁接着フィルム２を各ロール３，４から繰り出すと共に重ね合わせて巻き取るための回転駆動自在な巻き取り具５を具備する装置本体６と、前記装置本体６の周囲を取り囲む仕切７と、前記仕切７内の換気を行うためのフィルター８ａ付き換気手段８と、前記仕切７の内側に浮遊する異物の量を検知する異物検出手段９と、前記異物検出手段９により検知された異物の量が所定量以上となった場合に作動する報知手段１０とを備えることを特徴とするものである。このため、装置本体６の周囲の異物量が増大して雰囲気が悪化した場合に報知手段１０が作動し、作業者や管理者等に報知することができる。
【０００９】
上記異物検出手段９は、少なくとも１箇所の任意の検出箇所に配置される異物取り込み部９ａと、前記異物取り込み部９ａにて取り込まれた異物が送られて異物量を検出する異物検出器９ｂとを備えるものとすることができる。このようにすると、異物取り込み部９ａにて取り込まれた異物の量を異物検出器９ｂで検知することができ、また前記検出箇所を組合せ材Ａにおける金属箔１や絶縁接着フィルム２の間への異物の混入に影響する箇所に適宜設定して異物の混入による不良発生の危険性を確実に検知することができるようにすることができる。
【００１０】
また、上記異物検出手段９により検知された異物の量が所定量以上となった場合に巻き取り具５を停止させ、その後、上記異物検出手段９にて検知される異物の量が所定量を下回った場合に巻き取り具５を再び回転駆動させる制御手段１１を備えることもできる。このようにすると、周囲の雰囲気が悪い状態で金属箔１や絶縁接着フィルム２の巻き取りが行われることを防止して、異物が混入した状態で巻き取りが行われることを防ぐことができる。
【００１１】
また、上記異物検出手段９により検知された異物の量が所定量以上となった場合に巻き取り具５を停止させる制御手段１１と、前記のように巻き取り具５が停止した後、上記絶縁接着フィルム２と金属箔１とを上記ロール３，４と巻き取り具５との間で切断する切断手段１２とを備えるものであっても良い。このようにすると、周囲の雰囲気が悪い状態で金属箔１や絶縁接着フィルム２の巻き取りが行われることを防止して、異物が混入した状態で巻き取りが行われることを防いで、周囲の雰囲気が良好な状態で巻き取り具５にて巻き取られた絶縁接着フィルム２と金属箔１を組合せ材Ａとして取り出すことができ、また周囲の雰囲気が改善された場合には新たに絶縁接着フィルム２と金属箔１を巻き取って組合せ材Ａを作製することができる。
【００１２】
更に、上記異物検出手段９により検知された異物の量が所定量以上となった場合に巻き取り具５を停止させ、前記のように巻き取り具５が停止した後、上記換気手段８による換気量を増大させる制御手段１１を備えるようにしても良い。このようにすると、異物量が増大した際に換気手段８による換気量が増大して装置本体６の周囲の異物量を短時間で低減させることができるものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、報知手段が作動することで、作業者や管理者は組合せ材Ａ中において金属箔や絶縁接着フィルムの間に異物が混入して不良が発生する危険性を認識することができ、このような不良発生を回避するために装置本体６を操作して装置本体６の周囲の雰囲気が改善されるまで作業を停止したり、雰囲気改善のための処置を行ったり、作業状態を管理したりすることができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００１５】
図１は本発明の実施の形態の一例を概略的に示す。
【００１６】
装置本体６は、回転軸５６によって回転駆動される巻き取り具５と、銅箔などで形成される長尺の金属箔１を巻いた回転自在なロール３と、ポリイミドフィルムなどで形成される長尺の絶縁接着フィルム２を巻いた回転自在なロール４と、金属箔１と絶縁接着フィルム２とを予め位置決めして積層するための材料セット機３０とを備えている。
【００１７】
金属箔１を巻いたロール３は一対備えられており、この一対のロール３，３の間に絶縁接着フィルム２を巻いたロール４が配置されている。上記各ロール３，４の回転軸５７はブレーキ機構６２を設けた軸受け６０に回転自在に支持されている。ブレーキ機構６２はロール３，４の回転軸５７の回転を制動するものであり、例えば、エアーブレーキやパウダーブレーキで形成することができる。エアーブレーキはエアー圧の調整によって回転制動の強さを調整することができるものであり、パウダーブレーキは電圧の調整で回転制動の強さを調整することができるものである。これらのロール３，４は、軸受け６０を介して一つのロール支持フレーム１３に上下方向に並んで設置されて支持されている。
【００１８】
巻き取り具５としては特に限定されるものではないが、例えば、偏平な枠体あるいは板体で形成することができる。図２に示す巻き取り具５は、回転軸５６を中央に設けた一対の縦枠材５８，５８を平行に配置し、この縦枠材５８，５８の両端間にそれぞれ横枠材５９，５９を組み付けることによって、分解可能な偏平枠体に形成されるものであり、横枠材５９は縦枠材５８に対してネジ止めの手段やはめ合わせの手段などで脱着自在に結合されている。横枠材５９は後述の保持バー３１として使用されるものである。巻き取り具５の回転軸５６は軸受け６１に回転駆動自在に支持されている。また、巻き取り具５はこのような枠状に形成するほか、平板状等の形状に形成することができる。また、保持バー３１は巻き取り具５の一端のみに設けるほか、両端にそれぞれ設けるようにしても良い。更に巻き取り具５は伸縮可能に形成することで種々の寸法の組合せ材Ａを形成できるようにしても良い。
【００１９】
材料セット機３０は上記のロール３、４と巻き取り具５との間に配置されるものであって、図３に示すように、基台４０と基台４０に対して昇降駆動自在に形成された昇降体４１とを備えて形成されている。基台４０は箱状に形成されており、その巻き取り具５側の面は材料保持面４２として平面状に形成されている。また、基台４０には上下三つのクランプ具４３が設けられている。クランプ具４３は一対のクランプ部材４４、４４で構成されており、各クランプ部材４４は基台４０の左右の同じ高さ位置に対向配置されている。クランプ部材４４は挟持片４４ａと取付片４４ｂとで略Ｌ字状に形成されるものであって、挟持片４４ａを材料保持面４２と向き合う状態にして、取付片４４ｂが材料保持面４２と隣接する基台４０の側面４５に取り付けられている。取付片４４ｂにはエアシリンダなどの駆動機４６が接続されており、取付片４４ｂが側面４５の表面に沿って移動するように駆動機４６の動作によりクランプ部材４４が前後方向に駆動自在に形成されている。従って、このクランプ部材４４の駆動により挟持片４４ａが材料保持面４２と近接離間自在に形成されている。また、上記挟持片４４ａの材料保持面４２側の面には金属箔１や絶縁接着フィルム２を傷つけないために、ゴムやフェルトなどの保護材が貼り付けている。尚、ここではクランプ具４３として一対のクランプ部材４４、４４で構成されるものを例示したが、これに限らず、例えば、クランプ具４３を挟持片とその両側端に設けた取付片からなるコ字状の部材で形成しても良い。
【００２０】
昇降体４１は基台４０の内側にエアシリンダなどの駆動機で昇降駆動自在に配設されており、その上面の両側端にはバー支持部４７が突設されている。また、昇降体４１にはバー支持部４７に架け渡すようにして保持バー（通紙バー）３１が着脱自在に取り付けられている。保持バー３１は金属やプラスチックのパイプ等の円筒体で形成されるものであって、その長手方向がロール３、４の回転軸５７と巻き取り具５の回転軸５６に対して平行になるようにして昇降体４１に取り付けられている。また、保持バー３１には図４に示すように、その長手方向の略全長に亘ってスリット３３が設けられている。スリット３３は保持バー３１の周面に開口し、保持バー３１の内側空間にまで達するものであり、後述の吸引口３４としても使用されるものである。
【００２１】
昇降体４１は、図５（ａ）に示すように、下端位置Ｈ０から上昇させて２つの高さ位置Ｈ１、Ｈ２に調整することができるものである。一方の昇降体４１の高さ位置はロール入れ替え高さ位置Ｈ１であり、ロール３、４を新規なものに入れ替え時に初期の金属箔１と絶縁接着フィルム２とを保持バー３１に対して位置決めして積層する際に設定される高さ位置である。他方の昇降体４１の高さ位置は巻き取り具入れ替え高さ位置Ｈ２であり、金属箔１と絶縁接着フィルム２とを所定の長さ（回数）巻き取った巻き取り具５を他の巻き取り具５に入れ替え時に、重ね合せ途中の金属箔１と絶縁接着フィルム２とを保持バー３１に対して位置決めして積層する際に設定される高さ位置である。また、巻き取り具入れ替え高さ位置Ｈ２は複数の高さ位置に設定することができる。
【００２２】
このような材料セット機３０は、絶縁接着フィルム２と金属箔１とをロール３，４と巻き取り具５との間で切断する切断手段１２としての機能を果たす。
【００２３】
上記ロール３，４のロール支持フレーム１３と巻き取り具５の軸受け６１とは、車輪１４ａと上下昇降可能な支持脚１４ｂとを下面に備える土台１４から立設され、また材料セット機３０も前記土台１４上に配設されている。
【００２４】
一方、仕切７は、上記のような装置本体６を取り囲むように設けられ、この仕切７により仕切られた内側の空間に装置本体６が配設されるようにする。この仕切７の材質や構成は特に制限されず、例えば適宜の建具にて形成したり、フレームに透明な樹脂シートを張設して形成したりすることができる。この仕切７は装置本体６の周囲全体を囲むように設けて、仕切７の内側の空間を外部から遮断することが好ましい。また、仕切７には換気の際に仕切７内の空気を排出するために若干の隙間が存在していても良い。また仕切７の内外を人や機材が出入りするための開閉可能な出入り口を設けても良い。
【００２５】
また、図示の例では、装置本体６を第一の仕切７ａの内側に配置すると共に、前記第一の仕切７ａの外側に、更に第二の仕切７ｂを設けている。また、この第一の仕切７ａ及び第二の仕切７ｂにて取り囲まれた装置本体６が、クリーンルーム７ｃ内に設置されている。
【００２６】
上記仕切７には、仕切７の内側の空間を換気するためのフィルター８ａ付き換気手段８が設けられる。換気手段８は例えば仕切７の天井部にフィルター８ａを設けると共にこのフィルター８ａを設けた箇所において仕切７の内側に向けて気流を発生させるファン８ｂを設けて形成することができる。図示の例では第一の仕切７ａと第二の仕切７ｂとにそれぞれ換気手段８が設けられている。また、上記クリーンルーム７ｃの天井部には換気手段８としてクリーンルーム７ｃ内に気流を送り込む空調ダクト８ｃが接続されていると共にこの接続箇所にフィルター８ａが設けられている。このクリーンルーム７ｃも仕切７としての機能を果たす。
【００２７】
上記のような換気手段８が作動することにより、仕切７の内側にはフィルター８ａにより異物が除去された清浄な空気が供給されることとなり、これにより装置本体６の周囲の空間における異物の量が低減される。また上記のように仕切７を多重に設けると共に各仕切７に換気手段８を設けると、装置本体６へ供給される空気は他段階に清浄化され、装置本体６の周囲の空間の異物の量が更に低減されることとなる。
【００２８】
また、上記仕切７の内側には、装置本体６の周囲の空間に浮遊する異物、例えば繊維などの塵や埃などの量を検知する異物検出手段９が設けられている。異物検出手段９としては、装置本体６の周囲の空間における少なくとも一箇所の任意の検出箇所に異物取り込み部９ａを配設し、この異物取り込み部９ａから装置本体６の周囲の空気を吸引ポンプ等にて吸引して装置本体６の周囲の異物を取り込み、適宜の異物検出器９ｂに送ることで、異物の量を検知するものを設けることができる。異物取り込み部９ａは、例えばホース等の配管の端部の開口にて構成することができ、この配管の一端の開口を任意の位置に固定することで異物取り込み部９ａを金具や粘着テープ等にて任意の位置に設置することができる。この異物取り込み部９ａを設置する検出箇所は例えば装置本体６の周囲における巻き取り具５や金属箔１、絶縁接着フィルム２、ロール３，４の近傍等のように組合せ材Ａにおける金属箔１や絶縁接着フィルム２の間への異物の混入に影響する箇所に適宜設定することができ、図示の例では異物取り込み部９ａは軸受け６１における巻き取り具５の回転軸５６の近傍と、ロール支持フレーム１３における巻き取り具５側とに、それぞれ配置されているが、これ以外にも適宜の位置に適宜の個数配置することができる。また、前記配管の他端を異物検出器９ｂに接続することで異物取り込み部９ａから取り込んだ空気を異物検出器９ｂに送ることができる（図１１参照）。
【００２９】
上記異物検出器９ｂとしてはパーティクルカウンター等のように空気中の異物の体積あたりの粒子数を検出するものを設けることができる。またこの異物検出器９ｂとして吸引ポンプを備えるものを設ければこの吸引ポンプの働きにより異物取り込み部９ａから空気を吸引することができるが、吸引ポンプを別途に設けるようにしても良い。
【００３０】
また、上記のような異物検出手段９により検知された異物の量が所定量（例えば粒径０．５μｍ以上の異物が２．８×１０3個／ｍ3（８０個／ＣＦ））以上となった場合に作動する報知手段１０が設けられる。報知手段１０としては適宜のものが用いられるものであり、例えばブザーや電子音等の音声による報知を行うものや、ランプ、回転灯等のように視覚的に報知を行うもの、或いはこれらを複合したものなどが設けられる。これにより、作業者や管理者などに装置本体６の周囲の空間における異物の量が所定量以上となったことを報知することができる。
【００３１】
また、積み重ね装置には異物検出手段９による検知結果に基づいて報知手段１０、巻き取り具５、換気手段８、切断手段１２等の動作を制御する制御手段１１を設けることができる。制御手段１１としてはシーケンサー等の制御装置１１ａを設けることができる（図１１参照）。
【００３２】
また、巻き取り具５の近傍にはエリアセンサ１５を配設し、回転駆動中の巻き取り具５の近傍に人や物が近づいてエリアセンサ１５により検知された際に危険防止のために巻き取り具５を自動的に緊急停止させることができる。
【００３３】
そして、上記のような積み重ね装置を用いて、二枚の金属箔１、１と一枚の絶縁接着フィルム２とを重ねた組合せ材Ａを複数積み重ねるにあたっては、以下のようにして行なう。
【００３４】
まず、下側の金属箔１をロール３から引き出して材料セット機３０に保持してセットする。このとき作業スペースを確保するために巻き取り具５は鉛直状に配置しておくことが好ましい（図５（ａ）参照）。この時の金属箔１のセット方法は、図６（ａ）に示すように、材料セット機３０に取り付けた保持バー３１の上側を越えるようにしてロール３から引き出した金属箔１を配置し、図６（ｂ）に示すように、金属箔１の先端部を一番下のクランプ部材４４、４４の挟持片４４ａ、４４ａと材料保持面４２との間に配置し、この挟持片４４ａ、４４ａが材料保持面４２に近づくようにクランプ部材４４、４４を移動させることによって、図６（ｃ）に示すように、挟持片４４ａ、４４ａと材料保持面４２との間に金属箔１の両側端部を挟持（クランプ）する。ここで、材料セット機３０の昇降体４１の高さ位置はロール入れ替え高さ位置Ｈ１である。また、材料セット機３０にセットされた金属箔１は、保持バー３１の上面に接触して配置されると共に一番上及び真ん中のクランプ部材４４、４４の挟持片４４ａ、４４ａと材料保持面４２との間を通過するようにして配置される。
【００３５】
次に、上下の金属箔１、１の間に配置されたロール４から絶縁接着フィルム２を引き出して上記材料セット機３０に保持してセットする。この時の絶縁接着フィルム２のセット方法は、材料セット機３０にセットした上記金属箔１の上側を越えるようにしてロール４から引き出した絶縁接着フィルム２を配置し、絶縁接着フィルム２の先端部を真ん中のクランプ部材４４、４４の挟持片４４ａ、４４ａと材料保持面４２との間に配置し、この挟持片４４ａ、４４ａが材料保持面４２に近づくようにクランプ部材４４、４４を移動させることによって、図６（ｄ）に示すように、挟持片４４ａ、４４ａと材料保持面４２との間に絶縁接着フィルム２の両側端部と上記セットした金属箔１の両側端部とを挟持（クランプ）する。ここで、材料セット機３０の昇降体４１の高さ位置は上記と同様のロール入れ替え高さ位置Ｈ１である。また、この絶縁接着フィルム２は、材料セット機３０にセットされた金属箔１の上面に接触して配置されると共に一番上のクランプ部材４４、４４の挟持片４４ａ、４４ａと材料保持面４２との間を通過するようにして配置される。
【００３６】
次に、上側の金属箔１をロール３から引き出して材料セット機３０に保持してセットする。この時の金属箔１のセット方法は、材料セット機３０にセットした上記絶縁接着フィルム２の上側を越えるようにしてロール３から引き出した金属箔１を配置し、この金属箔１の先端部を一番上のクランプ部材４４、４４の挟持片４４ａ、４４ａと材料保持面４２との間に配置し、図６（ｅ）に示すように、この挟持片４４ａ、４４ａが材料保持面４２に近づくようにクランプ部材４４、４４を移動させることによって、この挟持片４４ａ、４４ａと材料保持面４２との間にこの金属箔１の両側端部と上記絶縁接着フィルム２の両側端部と上記セットした金属箔１の両側端部とを挟持（クランプ）する。ここで、材料セット機３０の昇降体４１の高さ位置は上記と同様のロール入れ替え高さ位置Ｈ１である。また、材料セット機３０にセットされたこの金属箔１は材料セット機３０にセットされた上記絶縁接着フィルム２の上面に接触して配置される。
【００３７】
上記の操作により、図７に示すように、二枚の金属箔１、１と一枚の絶縁接着フィルム２とを保持バー３１の上面に順次重ね合せて積層した後、固定カバー４８及びロック部材４９からなる押さえ具３５により上記金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを保持バー３１に固定してセットする。すなわち、図８（ａ）（ｂ）に示すように、金属板やプラスチックなどで断面略Ｃ字状に形成される固定カバー４８を最外の金属箔１の表面側から保持バー３１に弾性的に嵌め込むことにより、金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを幅方向の全長に亘って固定カバー４８と保持バー３１の間で挟持し、図８（ｃ）に示すように、固定カバー４８の両端部４８ａと保持バー３１とをクリップのようなロック部材４９で挟んで固定カバー４８を保持バー３１に固定するようにする。この時、保持バー３１のスリット３３は固定カバー４８の巻き取り具５側の端縁の直下に位置するようにする。
【００３８】
次に、保持バー３１に保持してセットした金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを切断する。この切断は図９に示すように、最外の金属箔１の表面からカッター（刃物）３２を差し込み、カッター３２の先端（刃先）をスリット３３に差し込んだ状態でカッター３２をスリット３３の長手方向に沿って移動させて行なう。また、この切断時には保持バー３１の端部開口にホース５１を接続し、ホース５１を通じて保持バー３１の内側空間に真空ポンプ５０等により空気の吸引を行なうようにしており、これにより、金属箔１や絶縁接着フィルム２の切断により生じる粉塵を吸引口３４であるスリット３３から吸引して除去することができ、上記粉塵が金属箔１や絶縁接着フィルム２に付着することがなくなって打痕などの成形不良が積層板Ｂに発生するのを防止することができる。尚、この例ではスリット３３と吸引口３４を兼用しているが、吸引口３４をスリット３３と別に保持バー３１に形成しても良い。そして、この切断により、保持バー３１よりも下側の下端位置Ｈ０に位置する金属箔１や絶縁接着フィルム２の一部が切除されると共に、切断後の金属箔１の先端部と切断後の絶縁接着フィルム２の先端部とを一致させた状態で金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを幅方向で互いに位置決めして保持バー３１の表面上で積層することができ、二枚の金属箔１，１の間に絶縁接着フィルム２を挟んだ状態で重ねて一組の組合せ材Ａを形成することができる。
【００３９】
この後、巻き取り具５を回転させて保持バー３１の着脱位置が材料セット機３０に向いて近接するように水平状に配置し（図５（ａ）参照）、金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを保持した状態で保持バー３１を材料セット機３０の昇降体４１から取り外し、この保持バー３１を軸受け６１に支持された巻き取り具５にまで運び、巻き取り具５の一方の横枠材５９として縦枠材５８、５８に結合する。このようにして組合せ材Ａの先端を巻き取り具５の外面の一所に保持させることができる。次に、巻き取り具５を一方向に回転駆動させることによって、金属箔１をロール３から、絶縁接着フィルム２をロール４からそれぞれ繰り出して、組合せ材Ａを巻き取り具５に巻き取ることができる。この二枚の金属箔１，１の間に絶縁接着フィルム２を重ねた組合せ材Ａは、巻き取り具５の外面に多数重に積み重ねた状態で巻き取られるものであり、巻き取り具５が偏平体で形成している場合には、巻き取り具５の両端（横枠体５９，５９の外側間）で折り返した状態で、巻き取り具５の両面にそれぞれ組合せ材Ａを積み重ねることができるものである。尚、巻き取り具５による組合せ材Ａの巻き取り時に金属箔１や絶縁接着フィルム２が材料セット機３０に当たらないように、昇降体４１はロール入れ替え高さ位置Ｈ１よりも下側の下端位置Ｈ０に位置するように移動させておく。
【００４０】
このように巻き取り具５を回転駆動してロール３，４から金属箔１や絶縁接着フィルム２を引き出すように繰り出して巻き取り具５に巻き取るにあたって、ロール３，４の回転にブレーキ機構６２で制動を与えるようにすると、巻き取り具５の回転に伴なって金属箔１や絶縁接着フィルム２が引き取られる速度よりも速くロール３，４が惰性で回転するようなことがなくなり、金属箔１や絶縁接着フィルム２に張力を与えた状態で巻き取り具５に巻き取ることができるものであり、皺が生じることなく金属箔１や絶縁接着フィルム２を巻き取り具５に巻き取ることができるものである。
【００４１】
上記のような動作は、換気手段８を作動させて装置本体６の内部の異物を低減して清浄化させた状態で行うことが好ましい。
【００４２】
このようにして金属箔１や絶縁接着フィルム２を巻き取り具５に巻き取り、異物検出手段９により検知される異物の量が所定量に達することなく巻き取りを終えたならば、組合せ材Ａを巻き取り具５から取り外す。この場合、図１０（ａ）のように組合せ材Ａは偏平な渦巻状に巻かれた状態になっており、二枚の金属箔１，１の間に絶縁接着フィルム２を重ねた組合せ材Ａは上下に多数積み重ねられた状態になっている。
【００４３】
ここで、渦巻状の組合せ材Ａから巻き取り具５を取り外すにあたっては、横枠体５９と縦枠体５８の結合を外して巻き取り具５を分解するようにして行うことができ、また、この時に横枠材５９である保持バー３１から押さえ具３５を取り外して保持バー３１への組合せ材Ａの保持を解除することができる。また、組合せ材Ａを巻き取り具５と共にキャリア板５３の上に載置し、横枠体５９と縦枠体５８の結合を外して分解することによって、渦巻状の組合せ材Ａから横枠体５９を抜いて外すこともできる。この場合は、渦巻状に巻いて組合せ材Ａを積み重ねたものから巻き取り具５を容易に外すことができる。
【００４４】
そして、上記のようにして積み重ねた組合せ材Ａを金属板で形成されるキャリア板５３とプレート５５の間に図１０（ｂ）のように挟み込み（必要に応じて、キャリア板５３とプレート５５の間に複数組の組合せ材Ａを重ねて挟み込んでもよい）、さらにこれを熱盤５４，５４間にセットすることによって、加熱加圧成形をすることができるものであり、絶縁接着フィルム２の両面に金属箔１，１を積層した両面金属箔張り積層板Ｂを成形することができるものである。このように成形して得られた積層板Ｂは偏平な渦巻き状になっているが、屈曲部を切断することによって（図１０（ｂ）に切断箇所を鎖線で示す）、平板状の両面金属箔張り積層板Ｂを得ることができるものである。
【００４５】
また、平板状の巻き取り具５を使用する場合には組合せ材Ａを加熱加圧成形する際の支障にならないため、巻き取り具５に組合せ材Ａを偏平渦巻き状に巻いた状態のまま、キャリア板５３とプレート５５の間に挟み込み（必要に応じて、キャリア板５３とプレート５５の間に複数組の組合せ材Ａを重ねて挟み込んでもよい）さらにこれを熱盤５４，５４間にセットして加熱加圧成形を行なうことによって、絶縁接着フィルム２の両面に金属箔１，１を積層した両面金属箔張り積層板Ｂを成形しても良い。
【００４６】
また、上記のように金属箔１や絶縁接着フィルム２の巻き取り具５への巻き取りを行っている間に、装置本体６の周囲の雰囲気が悪化して異物検出手段９により検知される異物の量が所定量に達した場合には、制御手段１１が報知手段１０を作動させ、これにより作業者や管理者等に対して装置本体６の周囲の雰囲気が悪化したことを報知することができる。このため、作業者や管理者は装置本体６を操作して装置本体６の周囲の雰囲気が改善されるまで作業を停止したり、雰囲気改善のための処置を行ったり、作業状態を管理したりすることができる。
【００４７】
また、上記のように異物検出手段９により検知される異物の量が所定量に達した場合に、制御手段１１による自動制御にて巻き取り具５の回転駆動を停止するようにしても良い。この場合、周囲の雰囲気が悪い状態で金属箔１や絶縁接着フィルム２の巻き取りが行われることを防止して、異物が混入した状態で巻き取りが行われることを防ぐことができる。
【００４８】
このように巻き取り具５を停止させる場合には、巻き取り具５と金属箔１や絶縁接着フィルム２との間に異物が侵入しにくい状態で停止させることが好ましく、すなわち、絶縁接着フィルム２と金属箔１の、ロール３，４と巻き取り具５との間に掛け渡されている部分の下方に、巻き取り具５が配置されていない状態となるようにすることが好ましい。このためには、巻き取り具５の上方を向いている面と、上側のロール３と巻き取り具５との間に配置されている絶縁接着フィルム２とが一直線状に並んだ状態と、巻き取り具５が鉛直状に配置されている状態との間で巻き取り具５を停止させることが望ましい（図５（ｂ）参照）。
【００４９】
また、このように巻き取り具５の回転を停止させた後、異物検出手段９により検知される異物の量が所定量を下回るようになったならば、制御手段１１による自動制御にて巻き取り具５を再び回転駆動させて金属箔１や絶縁接着フィルム２の巻き取りを再開させるようにしても良い。これにより、装置本体６の雰囲気が改善された状態で巻き取りを再開し、異物が混入しないようにして巻き取りを行うことができる。
【００５０】
また、異物検出手段９により検知される異物の量が所定量に達した場合に、制御手段１１により自動制御にて換気手段８による換気量を増大させるようにしても良い。例えば本実施形態のように換気手段８としてファン８ｂを備えるものを用いる場合、異物検出手段９により検知される異物の量が所定量に達しない状態では通常の回転数（例えば４０Ｈｚ）で回転させ、異物の量が所定量以上となったことが検知されると、ファン８ｂの回転数を増大（例えば６０Ｈｚ）させることで換気量を増大させ、装置本体６の周囲の異物量を急速に低減させるものである。このようにすると、装置本体６の周囲の異物量を短時間で低減させて作業を再開させることができ、作業効率が向上するものである。また換気量を増大させた後、異物検出手段９により検知される異物の量が所定を下回るようになったら、制御手段１１により自動制御にて換気手段８による換気量を低減して通常の状態に戻すようにしても良い。
【００５１】
また、異物検出手段９により検知される異物の量が所定量に達した場合に、制御手段１１による自動制御にて巻き取り具５の回転駆動を停止した後、切断手段１２により絶縁接着フィルム２と金属箔１とをロール３，４と巻き取り具５との間で切断しても良い。このようにすると、装置本体６の周囲の雰囲気が悪化した際に絶縁接着フィルム２と金属箔１の巻き取りを停止して、絶縁接着フィルム２と金属箔１を巻き取った巻き取り具５を他の巻き取り具５に入れ替え、そして装置本体６の周囲の雰囲気が改善されたら巻き取り具５を回転駆動させて新たに絶縁接着フィルム２と金属箔１の巻き取りを行うようにすることができる。
【００５２】
切断手段１２は適宜のものを用いることができるが、本実施形態では既述のように材料セット機３０を切断手段１２として用いる。この場合の動作を説明する。
【００５３】
まず、異物検出手段９により検知される異物の量が所定量に達した場合に、制御手段１１による自動制御にて巻き取り具５の回転駆動を停止する。このときの巻き取り具５の停止位置は上記のように巻き取り具５と金属箔１や絶縁接着フィルム２との間に異物が侵入しにくい状態となるようにすることが好ましいが、特に巻き取り具５を交換する際の作業性を考慮すると、巻き取り具５が水平方向に対して２０°〜２５°の範囲で傾斜した状態で停止させることが好ましい（図５（ａ）参照）。
【００５４】
このように巻き取り具５の回転が停止した後、保持バー３１を取り付けた昇降体４１を上昇させて、巻き取り具５とロール３、４との間に掛け渡っている金属箔１、１と絶縁接着フィルム２を保持バー３１で下側から少し押圧することによって、金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを保持バー３１の表面上で重ね合せる。この時、昇降体４１はロール入れ替え高さ位置Ｈ１よりも上方の巻き取り具入れ替え高さ位置Ｈ２まで上昇させるようにして、金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを接触させながら保持バー３１の表面上で重ね合せる。この材料セット機３０に昇降体４１の上昇動作は制御手段１１による自動制御にて行うようにすることができる（図５（ａ）参照）。
【００５５】
次に、上記と同様にして、固定カバー４８及びロック部材４９からなる押さえ具３５により上記金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを保持バー３１に固定してセットする。次に、上記と同様にして、吸引を行ないながら保持バー３１に保持してセットした金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを切断する。そして、この切断により、保持バー３１よりも巻き取り具５側の金属箔１や絶縁接着フィルム２と、保持バー３１よりもロール３、４側の金属箔１や絶縁接着フィルム２とが分離される。
【００５６】
次に、組合せ材Ａを巻き取った巻き取り具５を軸受け６１から取り外した後、新規な他の巻き取り具５を軸受け６１に取り付ける。次に、金属箔１、１と絶縁接着フィルム２とを保持した状態で保持バー３１を材料セット機３０の昇降体４１から取り外し、この保持バー３１を軸受け６１に支持された巻き取り具５にまで運び、巻き取り具５の一方の横枠材５９として縦枠材５８、５８に結合する。このようにして組合せ材Ａの先端を巻き取り具５の外面の一所に保持させた後、上記と同様にして巻き取り具５を一方向に回転駆動させることによって、金属箔１をロール３から、絶縁接着フィルム２をロール４からそれぞれ繰り出して、組合せ材Ａを巻き取り具５に巻き取るようにする。尚、巻き取り具５による組合せ材Ａの巻き取り時に金属箔１や絶縁接着フィルム２が材料セット機３０に当たらないように、昇降体４１をロール入れ替え高さ位置Ｈ１よりも下側の下端位置Ｈ０に位置するように移動させておくのは上記と同様である。
【００５７】
尚、上記では二枚の金属箔１、１と一枚の絶縁接着フィルム２との積層について説明したが、これに限らず、本発明は多数枚の金属箔１、１と絶縁接着フィルム２との積層についても適用可能である。例えば、金属箔１を巻いた一対のロール３の間に絶縁接着フィルム２を巻いた複数のロール４を配置することによって、二枚の金属箔１，１の間に複数枚の絶縁接着フィルム２を重ねた状態で挟むようにして、組合せ材Ａを形成することも可能である。また一対のロール３のうち一方は、金属箔１の代りにＰＰＳフィルムやフッ素樹脂フィルムなどの離型フィルムを巻いたものであってもよい。さらに、絶縁接着フィルム２が片面だけ接着面で他の片面が非接着面に形成されたものであるときには、金属箔１を巻いた一つのロール３と、この絶縁接着フィルム２を巻いた一つのロール４とを組合わせて用い、金属箔１に絶縁接着フィルム２を接着面で重ねた組合せ材Ａとして巻き取り具５に巻き取るようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示す概略図である。
【図２】同上の巻き取り具の一例を示す概略図である。
【図３】同上の材料セット機の一例を示す斜視図である。
【図４】同上の保持バーの一例を示す一部の斜視図である。
【図５】同上の巻き取り具、材料セット機及びロールの配置状態の一例を示し、（ａ）（ｂ）は一部の概略側面図である。
【図６】同上の材料セット機への金属箔と絶縁接着フィルムのセット方法を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）〜（ｅ）は一部の側面図である。
【図７】同上の保持バーで金属箔と絶縁接着フィルムが重なっている状態を示す断面図である。
【図８】同上の保持バーへの金属箔と絶縁接着フィルムの保持状態を示し、（ａ）（ｃ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【図９】同上の金属箔と絶縁接着フィルムの切断方法を示す断面図である。
【図１０】同上の（ａ）は積み重ねた組合せ材の一例を示す正面図、（ｂ）は組合せ材の加熱加圧成形を示す正面図である。
【図１１】本発明における制御機構の一例を示すブロック図である。
【図１２】（ａ）は従来例を示す概略図、（ｂ）は積層板を示す断面図である。
【図１３】他の従来例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  金属箔
２  絶縁接着フィルム
３  ロール
４  ロール
５  巻き取り具
６  装置本体
７  仕切
８  換気手段
８ａ  フィルター
９  異物検出手段
９ａ  異物取り込み部
９ｂ  異物検出器
１０  報知手段
１１  制御手段
１２  切断手段
Ａ  組合せ材
Ｂ  積層板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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