(57)【要約】【課題】本発明は、接着剤を用いずにスポンジブラシ部をホルダもしくはシャフトに取付け固定して、接着剤による影響を無くし、高純度で高精度の洗浄を可能としたスポンジブラシ洗浄具を提供する。【解決手段】フランジ部３にボス部４を一体に連設してなるホルダ１と、このホルダのフランジ部に取付けられるスポンジブラシ部２とを備えたディスクブラシ状のスポンジブラシ洗浄具Ｓａにおいて、上記ホルダを構成するフランジ部に、埋設部材５である複数本のハンドルバー８が溶接等の、接着を除く手段で取付け固定され、上記ハンドルバーはスポンジブラシ部内に埋設される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フランジ部にボス部を一体に連設してなるホルダと、このホルダの上記フランジ部に取付けられるスポンジブラシ部とを備えたディスクブラシ状のスポンジブラシ洗浄具において、
上記ホルダを構成するフランジ部に、埋設部材が溶接等の接着を除く手段で取付け固定され、
上記埋設部材は、上記スポンジブラシ部内に埋設されることを特徴とするスポンジブラシ洗浄具。
【請求項２】
シャフトと、このシャフトの周面に取付けられるスポンジブラシ部とを備えたロールブラシ状のスポンジブラシ洗浄具において、
上記シャフト周面に、埋設部材が溶接等の接着を除く手段で取付け固定され、
上記埋設部材は、上記スポンジブラシ部内に埋設されることを特徴とするスポンジブラシ洗浄具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば平面型表示装置（フラットパネルディスプレイ）を構成するガラス基板を洗浄するのに最適なスポンジブラシ洗浄具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ブラウン管（ＣＲＴ）に代って、たとえば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＥＬ）等の平面型表示装置（フラットパネルディスプレイ）が多用されている。また、電子放出素子を多数並べて蛍光面と対向配置させたフィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）や表面伝導型電子放出ディスプレイ（ＳＥＤ）の実用化が現実のものとなっている。  
液晶ディスプレイに限らず平面型表示装置を製造する過程で、種々の原因からガラス基板の表面に汚れが発生することは避けられない。一般に、数μｍ程度の大きさで、ガラス表面に固着している異物をパーティクルと呼んでいる。上記パーティクルがガラス基板に付着している状態で製造を進行させると、パターン欠陥や絶縁膜のピンホール欠陥の原因となる。
【０００３】
そこで、上記パーティクル完全除去のために、たとえば１０〜１００ｋＨｚの低周波を用いた超音波洗浄や、１ＭＨｚの高周波を用いたメガソニック洗浄あるいは、ブラシを回転させてガラス基板面を擦るスクラブ洗浄が、目的に適合する最適条件にもとづいて選択されている。  
特に、スクラブ洗浄を行う場合、ブラシの種類として、［特許文献１］にはホルダにブラシ毛を植毛したブラシ洗浄具が開示される。［特許文献２］には、ホルダにスポンジブラシ部を取付けたディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具が開示され、［特許文献３］には、シャフトにスポンジブラシ部（ウエブ）を巻装したロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具が開示されている。
【特許文献１】特開２００４−２７３６２３号公報
【特許文献２】特開２００４−１７４３８５号公報
【特許文献３】特開平８−３２８４２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のスポンジブラシ洗浄具において、ディスクブラシタイプのものは、ホルダに接着剤を介してディスク状のスポンジブラシ部を取付け固定してなり、ロールブラシタイプのものは、シャフトの外周面に接着剤を介してロール状のスポンジブラシ部を保持したホルダを巻着してなる。いずれのタイプのものもスポンジブラシ部を取付け固定するのに、コスト抑制の点から接着剤が用いられるのが現状である。  
高純度で高精度のガラス基板洗浄を行うにあたって、ガラス基板の搬送速度、スポンジブラシ洗浄具のガラス基板に対する配置、個数、接触圧、回転速度等の条件を最適に設定しなければならないが、それらに加えてスポンジブラシ部をホルダに取付け固定する接着剤が、極く微量な量であるが洗浄液中に溶出し、洗浄効果に悪影響を及ぼすことの対応も必要である。  
すなわち、スポンジブラシ部をホルダもしくはシャフトに確実に取付け固定するために、接着剤は充分な量が用いられ、完成した状態でスポンジブラシ部から接着剤がはみ出ることが多い。このはみ出た部分の接着剤に洗浄液が接触して、接着剤が洗浄液へ溶出してしまう。接着剤の溶出を防止するために、接着剤の量を少なくすると、今度はスポンジブラシ部の取付け強度に不安が残る。
【０００５】
本発明は上記事情に着目してなされたものであり、その目的とするところは、接着剤を用いずにスポンジブラシ部をホルダもしくはシャフトに取付け固定して、接着剤による影響を無くし、高純度で高精度の洗浄を可能としたスポンジブラシ洗浄具を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため本発明は、フランジ部にボス部を一体に連設してなるホルダと、このホルダのフランジ部に取付けられるスポンジブラシ部とを備えたディスクブラシ状のスポンジブラシ洗浄具において、ホルダを構成するスポンジフランジ部に埋設部材が溶接等の接着を除く手段で取付け固定され、この埋設部材はスポンジブラシ部内に埋設される。  
上記目的を達成するため本発明は、シャフトと、このシャフトの周面に取付けられるスポンジブラシ部とを備えたロールブラシ状のスポンジブラシ洗浄具において、シャフト周面に埋設部材が溶接等の接着を除く手段で取付け固定され、この埋設部材はスポンジブラシ部内に埋設される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、接着剤による影響を無くして、高純度で高精度の洗浄を可能としたスポンジブラシ洗浄具の効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。  
図１（Ａ）（Ｂ）は、本発明における第１の実施の形態での、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓａにおける製造過程を概略的に示す図である。すなわち、図１（Ａ）はスポンジブラシ洗浄具Ｓａを構成するホルダ１の斜視図であり、図１（Ｂ）は完成したスポンジブラシ洗浄具Ｓａの斜視図である。  
このスポンジブラシ洗浄具Ｓａは、ホルダ１と、このホルダ１に取付けられるスポンジブラシ部２とから構成される。上記ホルダ１は、フランジ部３と、このフランジ部３に一体に連設されるボス部４とからなる。そして、上記ホルダ１を構成するフランジ部３に埋設部材５Ａが取付け固定され、この埋設部材５Ａは上記スポンジブラシ部２内に埋設される。
【０００９】
つぎに、スポンジブラシ洗浄具Ｓａを構成する各構成部品について詳述する。  
従来は、接着剤を介してスポンジブラシ部２をホルダ１に取付け固定する構成であるので、上記ホルダ１は、接着剤を使用できる素材であるＰＶＣ（ポリビニールカーボン）、ＡＢＳ（アルキルベンゼンスルフォン）等の合成樹脂材、もしくはベークライト、もしくはステンレスやアルミニウムなどの金属材に限定されていた。  
しかしながら、本発明におけるスポンジブラシ洗浄具Ｓａのホルダ１素材は以上のものに限定されず、本来、接着剤が使用できない素材も選択することができる。たとえば、ＵＰＥ（超高分子ポリエチレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、もしくはＰＰ（ポリプロピレン）などである。従来のホルダ素材は再利用が難しく、ほとんどが使い捨てにされていたが、上述の素材を採用することで再利用が可能となり、資源の有効活用の点からも素材の選択幅の拡大が得られる。
【００１０】
上記ホルダ１は、円盤状に形成されるフランジ部３の一側面（図の下面）中央に、上記ボス部４が一体に設けられてなる。特に図示していないが、上記ボス部４の突出端面（下端面）から所定深さに亘って孔部が設けられていて、図示しない洗浄装置を構成する回転機構の回転軸に嵌合固着されるようになっている。  
上記フランジ部３の他側面（図の上面）には、複数の止めピン部６からなる上記埋設部材５Ａが取付け固定される。各止めピン部６は、フランジ部３およびボス部４をごく小型化したのと略同一の形態となっていて、円柱部６ａ上面に薄肉の円板部６ｂが一体に構成される。
【００１１】
なお、フランジ部３に埋設部材５Ａである止めピン部６を取付け固定するのに、ホルダ１および埋設部材５Ａが機械加工品である場合、たとえば止めピン部６の円柱部６ａ下端にねじ部を設け、フランジ部３上面にねじ孔を設けて、止めピン部６をフランジ部３にねじ止めする。あるいは、係合突部と係止孔の関係とし、係合状態にしてから溶接手段を用いて取付け固定してもよく、この他、種々の構造が考えられる。  
ホルダ１および埋設部材５Ａである止めピン部６が合成樹脂成形品である場合、止めピン部６をフランジ部３にたとえばビス止め固定する。いずれにしても、接着剤を用いての接着加工のみは除外しなければならない。
【００１２】
このようにしてホルダ１を製作し、このホルダ１にスポンジブラシ部２を取付け固定する。スポンジブラシ部２の素材として、ＰＶＡ（ポリビニールアミール）やＰＶＦ（ポリビニールフェミニン）などの高分子合成樹脂材もしくはポリウレタンを用いる。具体的には、完成したホルダ１を成形機（圧力釜）に投入し、スポンジブラシ部２素材を注入し所定時間放置し、成形する。  
スポンジブラシ部２はフランジ部３上に載り、かつ複数の止めピン部６からなる埋設部材５Ａがスポンジブラシ部２内に埋設される。換言すれば、それぞれの止めピン部６の全周囲に亘ってスポンジブラシ部２を成形する素材が隙間なく充填され、止めピン部６とスポンジブラシ部２との相対的な位置ずれがない。
【００１３】
スポンジブラシ部２をホルダ１に組込んで成形したあと、スポンジブラシ部２を切削研磨して設定された寸法精度に仕上げる。したがって、図１（Ｂ）に示すような完成したディスクブラシ状のスポンジブラシ洗浄具Ｓａが得られる。  
少なくとも、接着剤を用いてスポンジブラシ部２をホルダ１に固定していないから、スポンジブラシ部２の周部底面をフランジ部３上面から離間する方向に強制的に押上げれば、スポンジブラシ部２の一部は弾性変形して捲れ上る。しかしながら、スポンジブラシ部２に複数の止めピン部６からなる埋設部材５Ａが埋設されているので、負荷を加えてもスポンジブラシ部２は弾性変形するだけで、ホルダ１から分離することはない。
【００１４】
また、スポンジブラシ部２内に埋設される埋設部材５Ａである止めピン部６の形状構造から、完成したスポンジブラシ洗浄具Ｓａを図の状態から９０度もしくはそれ以上傾けても、もしくは上下逆の姿勢にしても、スポンジブラシ部２とホルダ１との相対的な移動がない。  
このようなスポンジブラシ洗浄具Ｓａを、図示しない洗浄装置の回転機構に取付けて回転駆動し、たとえば所定の搬送速度で搬送されるガラス基板に接触させるとともに、接触部位に対して洗浄液を注液する。ガラス基板に対するスポンジブラシ洗浄具Ｓａの位置、個数、接触圧と回転速度および、スポンジブラシ洗浄具Ｓａが移動する場合の移動速度は、ガラス基板の状態・工程に応じて適宜設定される。
【００１５】
上述したように、スポンジブラシ部２に複数の止めピン部６からなる埋設部材５Ａが埋設されているので、スポンジブラシ部２をガラス基板に所定圧をかけて接触し、洗浄工程を行っても、ホルダ１に対するスポンジブラシ部２の位置がずれることが無く、したがって常に一定の洗浄効果を保持する。ガラス基板に付着していたパーティクルを完全に除去でき、このあと行われるパーティクル検査を確実に満足する。  
しかも、本発明におけるディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓａは、スポンジブラシ部２をホルダ１に取付け固定するのにあたって接着剤を全く用いていないから、洗浄液に接着剤が溶出することがなく、洗浄液に対する汚染の弊害がない。
【００１６】
長期の使用に亘ると、スポンジブラシ部２に目詰まりが生じてパーティクルの除去精度が低下してしまう。そのため、所定期間経過後は使用していたスポンジブラシ部２をホルダから除去し、新品のスポンジブラシ部２と交換する。すなわち、使用していたスポンジブラシ部２を剥ぎ取ってから、上述のように成形する。ホルダ１の形態を損なわない限り、スポンジブラシ部２の交換は何度でも可能であって、資源の有効活用の一助にもなる。  
後述する図２〜図８は、スポンジブラシ洗浄具Ｓｂ〜Ｓｈにおける他の実施の形態を示しており、上述した第１の実施の形態とは構成的に相違しているが作用効果は全く同一である。したがって、構成の説明のみをなし、作用効果については説明を省略する。そして、説明の都合上、埋設部材５Ｂ〜５Ｈを実線で示し、内部透視図としている。
【００１７】
図２は、本発明における第２の実施の形態での、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｂの斜視図である。  
フランジ部３下面にボス部４が一体に連設されるホルダ１の構成は、ここでも変りがない。フランジ部３の上面には互いに並行して、細径な複数本のハンドルバー８からなる埋設部材５Ｂが取付け固定されている。  
上記埋設部材５Ｂを構成するハンドルバー８は、フランジ部３上面と所定間隔を存して平行な軸部ａと、この軸部ａの両側端に折曲される折曲部ｂを備えて、略コの字状に形成される。
【００１８】
ハンドルバー８をフランジ部３に取付け固定する手段として、ホルダ１および埋設部材５Ｂであるハンドルバー８が機械加工品である場合、たとえば両折曲部ｂの端部をフランジ部３上面に設けられる穴部に圧入固定し、もしくは折曲部ｂ端部を孔部に挿入したあと溶接などの手段でハンドルバー８をフランジ部３に連結固定する。  
ホルダ１およびンドルバー８が合成樹脂成型品である場合、ハンドルバー８をフランジ部３にビス止め固定する。いずれにしても、フランジ部３に埋設部材５Ｂを取付け固定するのに、接着剤を用いない。  
つぎの工程で、フランジ部３上面にスポンジブラシ部２を成形することにより、スポンジブラシ部２内に複数のハンドルバー８からなる埋設部材５Ｂが埋設される。換言すれば、それぞれのハンドルバー８の全周囲に亘ってスポンジブラシ部２を成形する素材が隙間なく充填され、ハンドルバー８とスポンジブラシ部２との相対的な位置ずれがない。
【００１９】
たとえばガラス基板に対する洗浄工程中に、スポンジブラシ洗浄具Ｓｂをどのような姿勢にしても、また、スポンジブラシ部２に負荷を加えても、スポンジブラシ部２がホルダ１から分離することはない。  
しかも、本発明におけるディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｂは、第１の実施の形態と同様、接着剤を全く用いていないから、接着剤の洗浄液への溶出を心配することなく、円滑に、かつ確実に行える。
【００２０】
図３は、本発明における第３の実施の形態での、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｃの斜視図である。  
周壁部分を除いて凹陥状に形成される、いわゆる椀型状をなすフランジ部３ａの下面にボス部４が一体に連設されてホルダ１が構成される。フランジ部３ａの周壁に複数の貫通孔１０がフランジ部３ａ周壁の上端から内底面との間の位置で、かつ径方向に対向して設けられる。  
上記埋設部材５Ｃは複数本の直状バー１１から構成されている。ホルダ１および直状バー１１が機械加工品である場合は、これら直状バー１１の両端部をフランジ部３ａの上記貫通孔１０に圧入して固定する。もしくは、貫通孔１０に直状バー１１端部を挿入し、挿入部分を溶接などの手段でフランジ部３ａに取付け固定する。
【００２１】
ホルダ１および直状バー１１が合成樹脂成型品である場合は、フランジ部３ａに直状バー１１をビス止め固定する。いずれにしても、フランジ部３ａに埋設部材５Ｃを取付け固定するのに、接着剤を用いない。  
つぎの工程で、フランジ部３ａ上にスポンジブラシ部２を成形することにより、スポンジブラシ部２内に複数の直状バー１１からなる埋設部材５Ｃが埋設される。換言すれば、それぞれの直状バー１１の全周囲に亘ってスポンジブラシ部２を成形する素材が隙間なく充填され、直状バー１１とスポンジブラシ部２との相対的な位置ずれがない。
【００２２】
たとえばガラス基板に対する洗浄工程中に、スポンジブラシ洗浄具Ｓｃをどのような姿勢にしても、また、スポンジブラシ部２に負荷を加えても、スポンジブラシ部２がホルダ１から分離することはない。  
しかも、本発明におけるディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｃは、第１の実施の形態と同様、接着剤を全く用いていないから、接着剤の洗浄液への溶出を心配することなく、円滑に、かつ確実に行える。
【００２３】
図４は、本発明における第４の実施の形態での、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｄの斜視図である。  
ここでは、矩形状のフランジ部３ｂの下面にボス部４が一体に連設されてホルダ１が構成される。フランジ部３ｂは、周壁部分を除いて凹陥状に形成され、いわゆる矩形皿型状をなす。  
フランジ部３ｂを製作したあと、周壁角部において周壁の上端から内底面との間に貫通孔１２を設ける。ただし、対向する角部相互の貫通孔１２の高さ位置は同一とし、隣接する貫通孔１２相互の高さ位置は埋設部材５Ｄを構成する直状バー１３の直径分以上は異ならせる。
【００２４】
上記埋設部材５Ｄは、２本の直状バー１３から構成されている。ホルダ１および直状バー１３が機械加工品である場合は、これら直状バー１３の両端部をフランジ部３ｂの上記貫通孔１２に圧入して固定する。もしくは、貫通孔１２に直状バー１３端部を挿入し、挿入部分を溶接などの手段でフランジ部３ｂに取付け固定する。  
ホルダ１および直状バー１３が合成樹脂成型品である場合は、フランジ部３ａに直状バー１３をビス止め固定する。いずれにしても、フランジ部３ａに埋設部材５Ｃである直状バー１３を取付け固定するのに、接着剤を用いない。  
つぎの工程で、フランジ部３ｂ上にスポンジブラシ部２を成形することにより、スポンジブラシ部２内に２本の直状バー１３からなる埋設部材５Ｄが埋設される。換言すれば、それぞれの直状バー１３の全周囲に亘ってスポンジブラシ部２ａを成形する素材が隙間なく充填され、直状バー１３とスポンジブラシ部２ａとの相対的な位置ずれがない。
【００２５】
たとえばガラス基板に対する洗浄工程中に、スポンジブラシ洗浄具Ｓｄをどのような姿勢にしても、また、スポンジブラシ部２ａに負荷を加えても、スポンジブラシ部２ａがホルダ１から分離することはない。  
しかも、本発明におけるディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｄは、第１の実施の形態と同様、接着剤を全く用いていないから、接着剤の洗浄液への溶出を心配することなく、円滑に、かつ確実に行える。  
なお、この実施の形態では、矩形（四角）状のフランジ部３ｂを備えたスポンジブラシ洗浄具Ｓｄを適用したが、これに限定されるものではなく、フランジ部とスポンジブラシ部が三角状であってもよく、五角状、もしくはそれ以上の多角形状であってもよい。埋設部材５Ｄを構成する直状バー１３の本数と取付け位置などは適宜設定される。
【００２６】
図５は、本発明における第５の実施の形態での、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｅの斜視図である。  
ホルダ１は、第３の実施の形態におけるホルダ１と同様、円形で椀型状をなすフランジ部３ａと、このフランジ部３ａの下面にボス部４が一体に設けられてなる。上記フランジ部３ａの上端開口面に、金網材１５からなる埋設部材５Ｅが取付け固定される。  
ホルダ１および金網材１５が機械加工品の場合は、フランジ部３ａを製作したあと、この上端開口面に円形状に切り取った金網材１５を置き、溶接などの手段でフランジ部３ａに取付け固定する。ホルダ１および金網材１５が合成樹脂成型品であれば、フランジ部３ａに金網材１５をビス止め固定する。いずれにしても、フランジ部３ａに埋設部材５Ｅを取付け固定するのに、接着剤を用いない。
【００２７】
つぎの工程で、フランジ部３ａ上にスポンジブラシ部２を成形することにより、スポンジブラシ部２内に金網材１５からなる埋設部材５Ｅが埋設される。換言すれば、金網材１５の全周囲に亘ってスポンジブラシ部２を成形する素材が隙間なく充填され、金網材１５とスポンジブラシ部２との相対的な位置ずれがない。  
たとえばガラス基板に対する洗浄工程中に、スポンジブラシ洗浄具Ｓｅをどのような姿勢にしても、また、スポンジブラシ部２に負荷を加えても、スポンジブラシ部２がホルダ１から分離することはない。  
しかも、本発明におけるロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｅは、第１の実施の形態と同様、接着剤を全く用いていないから、接着剤の洗浄液への溶出を心配することなく、円滑に、かつ確実に行える。
【００２８】
図６は、本発明における第６の実施の形態での、ロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｆの斜視図である。  
基本的には、シャフト２０の軸方向に沿って埋設部材５Ｆを構成するコア部材２２が取付け固定され、このコア部材２２を埋設した状態でシャフト２０にロール状のスポンジブラシ部２ｂが設けられて構成される。  
上記シャフト２０は、ステンレスパイプ等の金属材が用いられ、もしくはＰＶＣなどの合成樹脂材が用いられる。シャフト２０の両側端面から所定間隔を存した位置の相互間に、シャフト２０の軸方向に沿って上記コア部材２２が取付け固定される。
【００２９】
コア部材２２は、両側端および略中央部に配置される円板部２３と、略中央部の円板部２３を貫通し両側端の円板部２３に亘って設けられる複数本の直状バー２４とからなる。円板部２３は、ステンレス、アルミニウム等の金属材のほか、ＰＶＣ（硬質塩化ビニール）、ＡＢＳ（アルキルベンゼンスルフォン）等の合成樹脂材が用いられる。直状バー２４は、ステンレス材、ＰＶＣ他の合成樹脂材が用いられ、円板部２３の周方向に沿って所定間隔を存し、円板部２３と一体に組立てられる。  
シャフト２０とコア部材２２が機械加工品であれば、コア部材２２をシャフト２０の周面に嵌合するとともに、溶接などの手段でシャフト２０に固着する。シャフト２０とコア部材２２が合成樹脂成形品であれば、コア部材２２をシャフト２０にビス止め固定する。いずれにしても、シャフト２０に埋設部材５Ｆを取付け固定するのに、接着剤を用いない。
【００３０】
つぎの工程で、シャフト２０にスポンジブラシ部２ｂを成形することにより、スポンジブラシ部２ｂ内に埋設部材５Ｆであるコア部材２２が埋設される。換言すれば、コア部材２２の全周囲に亘ってスポンジブラシ部２ｂを成形する素材が隙間なく充填され、コア部材２２とスポンジブラシ部２ｂとの相対的な位置ずれがない。  
コア部材２２を介してスポンジブラシ部２ｂをシャフト２０に組込み成形したあと、スポンジブラシ部２ｂを切削研磨して設定された寸法精度に仕上げる。したがって、図６に示すような完成したロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｆが得られる。
【００３１】
スポンジブラシ部２ｂをシャフト２０に接着していないから、スポンジブラシ部２ｂの端面を押圧付勢すれば、スポンジブラシ部２ｂ端面はシャフト２０に対して弾性変形する。しかしながら、スポンジブラシ部２ｂにコア部材２２からなる埋設部材５Ｆが埋設されているので、スポンジブラシ部２ｂに負荷を加えてもシャフト２０から分離するようなことはない。  
このようなスポンジブラシ洗浄具Ｓｆのシャフト２０を、図示しない洗浄装置を構成する回転機構に取付けて回転駆動し、たとえば所定の搬送速度で搬送されるガラス基板に接触させるとともに、接触部位に対して洗浄液を注液してガラス基板を洗浄する。スポンジブラシ洗浄具Ｓｆをガラス基板に所定圧をかけても、シャフト２０に対してスポンジブラシ部２ｂの位置がずれることが無く、したがって洗浄効果が常に一定である。ガラス基板に付着していたパーティクルは完全に除去され、このあと行われるパーティクル検査を確実に満足する。
【００３２】
しかも、本発明におけるロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｆは、第１の実施の形態と同様、接着剤を全く用いていないから、接着剤の洗浄液への溶出を心配することなく、円滑に、かつ確実に行える。  
長期の使用に亘ると、スポンジブラシ部２ｂの表面に目詰まりが生じてパーティクルの除去精度が低下してしまう。そのため、所定期間経過後は使用していたスポンジブラシ部２ｂをシャフト２０から除去し、新品のスポンジブラシ部２ｂと交換する。具体的には、使用していたスポンジブラシ部２ｂを剥ぎ取ってから、上述のように成形する。コア部材２２の形態を損なわない限り、スポンジブラシ部２ｂの交換は何度でも可能であって、資源の有効活用の一助にもなる。
【００３３】
図７は、本発明における第７の実施の形態での、ロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｇの斜視図である。  
シャフト２０の軸方向に沿って埋設部材５Ｇであるコア２５部材が取付け固定され、このコア部材２５を埋設した状態でシャフト２０にロール状のスポンジブラシ部２ｂが設けられて構成される。シャフト２０およびスポンジブラシ部２ｂの素材は第６の実施の形態と同様のものが選択される。  
コア部材２５は、それぞれ複数枚の円板部２６と羽根部２７とからなる。上記円板部２６は、ステンレス、アルミニウム等の金属材のほか、ＰＶＣ、ＡＢＳなどの合成樹脂材が用いられる。上記羽根部２７は、ステンレス、ＰＶＣ他の合成樹脂材が用いられ、円板部２６の周方向に所定間隔を存して、円板部２６と一体成形される。
【００３４】
シャフト２０およびコア部材２５が機械加工品であれば、コア部材２５をシャフト２０の周面に嵌合し、溶接などの手段でシャフト２０に固着する。シャフト２０およびコア部材２５が合成樹脂成形品であれば、コア部材２５をシャフト２０にビス止め固定する。いずれにしても、シャフト２０に埋設部材５Ｇを取付け固定するのに、接着剤を用いない。  
スポンジブラシ部２ｂは、上記ディスクブラシタイプのスポンジブラシ部２と同一の素材から成形される。コア部材２５を介してスポンジブラシ部２ｂをシャフト２０に組込み成形したあと、スポンジブラシ部２ｂを切削研磨して設定された寸法精度に仕上げる。したがって、図７に示すような完成したロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｇが得られる。
【００３５】
スポンジブラシ部２ｂに埋設部材５Ｇであるコア部材２５が埋設されているので、たとえばガラス基板に対する洗浄工程中に、スポンジブラシ部２ｂに負荷を加えても弾性変形するだけでシャフト２０から分離するようなことはない。  
しかも、本発明におけるロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｇは、第１の実施の形態と同様、接着剤を全く用いていないから、接着剤の洗浄液への溶出を心配することなく、円滑に、かつ確実に行える。
【００３６】
図８は、本発明における第８の実施の形態での、ロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｈの斜視図である。  
シャフト２０の軸方向に沿って埋設部材５Ｈであるコア部材３０が取付け固定され、このコア部材３０を埋設した状態でシャフト２０にロール状のスポンジブラシ部２ｂが設けられる。シャフト２０とスポンジブラシ部２ｂの素材は第７の実施の形態と同様のものが選択される。  
上記埋設部材５Ｈを構成するコア部材３０は、両端部と中央部に設けられる複数のリング部３１と、このリング部３１の外周面に沿って一体に成形される金網部３２とからなる。上記リング部３１は、ステンレス、アルミニウム等の金属材のほか、ＰＶＣ、ＡＢＳなどの合成樹脂材が用いられる。上記金網部３２は、ステンレス、ＰＶＣ他の合成樹脂材が用いられる。
【００３７】
シャフト２０および埋設部材５Ｈであるコア部材３０が機械加工品であれば、シャフト２０の周面にコア部材３０を嵌合するとともに、溶接などの手段でシャフト２０に固着する。シャフト２０とコア部材３０が合成樹脂成形品であれば、コア部材３０をシャフト２０にビス止め固定する。いずれにしても、シャフト２０に埋設部材５Ｈを取付け固定するのに、接着剤を用いない。  
スポンジブラシ部２ｂは、上記ディスクブラシタイプのスポンジブラシ部２と同一の素材から成形される。コア部材３０を介してスポンジブラシ部２ｂをシャフト２０に組込み成形したあと、スポンジブラシ部２ｂを切削研磨して設定された寸法精度に仕上げる。したがって、図８に示すような完成したロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｈが得られる。
【００３８】
スポンジブラシ部２ｂにコア部材２５からなる埋設部材５Ｈが埋設されているので、たとえばガラス基板に対する洗浄工程中に、スポンジブラシ部２ｂに負荷を加えても弾性変形するだけでシャフト２０から分離するようなことはない。  
しかも、本発明におけるロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具Ｓｈは、第１の実施の形態と同様、接着剤を全く用いていないから、接着剤の洗浄液への溶出を心配することなく、円滑に、かつ確実に行える。
【００３９】
なお、上述の実施の形態では、コア部材３０をリング部３１と金網部３２とから構成したが、これに限定されるものではなく、リング部３１を不要として、金網部３２を直接シャフト２０に巻付けた埋設部材であってもよく、また、シャフト２０に針金をスパイラル状に巻付けた埋設部材であってよい。  
なお、上述した全ての実施の形態におけるスポンジブラシ洗浄具について、ガラス基板を洗浄するものとして説明したが、これに限定されるものではなく、たとえば半導体ウエハを洗浄してもよく、その他の被洗浄物を洗浄するようにしてもよい。  
この他、本発明は上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。そして、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明における実施の形態に係る、第１の実施の形態での、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具におけるホルダの斜視図と、完成したスポンジブラシ洗浄具の斜視図。
【図２】本発明における第２の実施の形態に係る、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具の内部透視をなした斜視図。
【図３】本発明における第３の実施の形態に係る、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具の内部透視をなした斜視図。
【図４】本発明における第４の実施の形態に係る、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具の内部透視をなした斜視図。
【図５】本発明における第５の実施の形態に係る、ディスクブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具の内部透視をなした斜視図。
【図６】本発明における第６の実施の形態に係る、ロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具の内部透視をなした斜視図。
【図７】本発明における第７の実施の形態に係る、ロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具の内部透視をなした斜視図。
【図８】本発明における第８の実施の形態に係る、ロールブラシタイプのスポンジブラシ洗浄具の内部透視をなした斜視図。
【符号の説明】
【００４１】
３…フランジ部、４…ボス部、１…ホルダ、２，２ａ…（ディスクブラシタイプの）スポンジブラシ部、５Ａ〜５Ｅ…埋設部材、２０…シャフト、２ｂ…（ロールブラシタイプの）スポンジブラシ部、５Ｆ〜５Ｈ…埋設部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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