(57)【要約】【課題】フォトマスク、フォトマスクブランクス及びガラス基板等の基板を安定した状態で保持し、複数枚入りの基板ケースからの基板の取り出しと１枚入りの基板ケースへの基板の収納が容易にできる基板把持用ハンドラーを提供することを目的とする。【解決手段】少なくともグリップ１１と、メインアーム１２と、サブアーム１３と、基板保持部１４と、レバー１５とからなる基板把持用ハンドラーであって、前記基板保持部１４がメインアーム１２の中心軸よりサブアーム１３にて所定の距離ずらした位置に設けられていることを特徴とする。【選択図】図１
2006008344.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともグリップ（１１）と、メインアーム（１２）と、サブアーム（１３）と、基板保持部（１４）と、レバー（１５）とからなる基板把持用ハンドラーであって、前記基板保持部（１４）がメインアーム（１２）の中心軸よりサブアーム（１３）にて所定の距離ずらした位置に設けられていることを特徴とする基板把持用ハンドラー。
【請求項２】
前記基板保持部（１４）の基板保持面（１４ａ）にＯリング（１７）を設けたことを特徴とする請求項１記載の基板把持用ハンドラー。
【請求項３】
Ｏリング（１７）の基板保持面（１４ａ）からの突出量をｄｔ、Ｏリング（１７）のリング径をｔとしたとき、Ｏリング（１７）の基板保持面（１４ａ）からの突出量ｄｔは、１／４ｔ≦ｄｔ≦３／４ｔなる関係が満たされていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板把持用ハンドラー。
【請求項４】
Ｏリング（１７）の直径をＯR、基板（２１）の厚みをＳTとしたとき、ＳT＞ＯRなる関係が満たされていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板把持用ハンドラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスク、フォトマスクブランクス及びガラス基板等の基板を安定した状態で保持し、複数枚入りの基板ケースからの取り出しと１枚入りのケースへの収納が容易にできる基板把持用ハンドラーに関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の半導体の高速化、高密度化により、半導体プロセスに用いられるフォトマスクに形成されるパターンも益々微細化し、低欠陥のフォトマスクが要求されている。
低欠陥のフォトマスクを作製する場合、一般に、石英等のガラス基板上にクロム及び酸化クロム等の遮光層を形成するフォトマスクブランクス作製工程と、フォトマスクブランクス上にフォトレジストを塗布して感光層を形成し、投影光学系もしくは電子ビーム露光にてパターン露光し、現像等の処理を行ってレジストパターンを形成し、レジストパターンをマスクにして遮光層をエッチングし、レジストパターンを剥離する等の一連のパターニング処理を行ってマスクパターンを形成するフォトマスク作製工程と、フォトマスク検査工程と、フォトマスク出荷工程とに分類される。
【０００３】
上記フォトマスク作製工程でのレジスト塗布フォトマスクブランクスのマスク描画工程では、マスク描画工程でのレジスト塗布フォトマスクブランクス上への異物付着を防止するために、複数枚（３〜５枚）入りのケースに収納されたレジスト塗布フォトマスクブランクスを一枚入りのケースに小分けすることが行われる。このフォトマスクブランクス及びフォトマスクを一枚入りのケースに移し替える時に基板把持用ハンドラーが使用される。
ここで言う基板とは、ガラス基板、フォトマスクブランクス、レジスト塗布フォトマスクブランクス及びフォトマスクを総称して用いている。
【０００４】
従来からガラス基板、フォトマスクブランクス及びフォトマスク等の基板を把持するハンドラーとして、レチクルハンドラー及びフォトマスク基板持ち運び治具が提案されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照。）。
特許文献１のレチクルハンドラーは、図１３に示すようなもので、低欠陥のフォトマスクの一環として、フォトマスク及びレチクルのパターン面上にゴミ等の付着を防ぐ目的でペリクルと呼ばれる薄膜をペリクルフレームに取り付けたペリクル付フォトマスク及びレチクルを搬送中にゴミがペリクルに付着するのを防止している。従来、ペリクル付フォトマスク５３及びレチクルにゴミ等が付着した場合純水等で洗浄が行えないため、図１２に示すようなレチクルハンドラー４０でペリクル付フォトマスク及びレチクル４４を把持し、Ｎ2ガス等の圧力ガスを吹き付け、付着したゴミを吹き飛ばす方法がとられている。これらのレチクルハンドラー４０及び５０は、あくまでもフォトマスク及びレチクル等の基板を把持及び搬送するためのものである。
【０００５】
特許文献２に示すフォトマスク基板持ち運び治具は、ガラス基板、フォトマスクブランクス及びフォトマスク等の基板を安定した状態で保持して持ち運びできるようにしたもので、図１４のフォトマスク基板持ち運び治具６０は、一本のアーム６２でガラス基板、フォトマスクブランクス及びフォトマスク等の基板２１を保持しているのに対し、図１５に示すフォトマスク基板持ち運び治具７０は、２本のアーム７２ａ及び７２ｂを設けて基板２１を把持するすることにより、基板２１が大きくなっても、安定した保持状態で基板２１を持ち運びできるようにしている。
【０００６】
上記に示す、レチクルハンドラー及びフォトマスク基板持ち運び治具は、ガラス基板、
フォトマスクブランクス及びフォトマスク等の基板を如何に安定した状態で保持するかに重点が置かれているため、保持機構等も複雑であり、基板の移し替え用としては不向きである。
【０００７】
以下、従来の基板把持用ハンドラーを用いて、複数枚入りの基板ケースに収納されたガラス基板、フォトマスクブランクス及びフォトマスク等の基板を一枚入りの基板ケースに移し替える方法について説明する。
まず、ガラス基板、フォトマスクブランクス及びフォトマスク等の基板２１が複数枚収納された基板ケース２２（図７（ｂ）参照）の上方から、グリップ３１、アーム３２、基板保持爪３３、ハンドル３４からなる従来の基板把持用ハンドラー３０（図７（ａ）参照）をセットし、基板２１の上部を基板保持爪３３にて把持し（図７（ｂ）参照）、複数枚入りの基板ケース２２から基板２１を取り出す。
【０００８】
次に、図８に示すように、別の基板把持用ハンドラー３０ａにて、基板２１の把持位置を９０度持ち替える動作を行う。
これは、基板ケース２２から基板２１を基板把持用ハンドラー３０で取り出した状態で１枚入りの基板ケース２３に基板２１を収納しようとすると、１枚入りの基板ケース２３の縁にグリップ３１、ハンドル３４等がぶつかり、移し替え動作ができないからである（図１０参照）。
【０００９】
次に、別の基板把持用ハンドラー３０ａにて、把持位置を９０度持ち替えた基板２１は、１枚入りの基板ケース２３の基板保持台２３ａ上に載置し（図９参照）、グリップ３１を持ち上げて基板保持爪３３を基板２１の端部からはずして、基板２１を１枚入りの基板ケース２３に収納する。
【００１０】
上記、従来の基板把持用ハンドラーを用いて、複数枚入りのケースに収納されたガラス基板、フォトマスクブランクス及びフォトマスク等の基板を一枚入りの基板ケースに移し替える方法について説明したが、いくつかの問題点を有している。
ひとつは、２本の基板把持用ハンドラーを用いて基板２１を持ち替える動作があるが、両手を使わなければならないので、作業が煩雑になり、余計な作業時間がかかったり、基板２１を持ち替える際基板２１を落下させたり、持ち替える作業中に基板２１に異物が付着する等の問題を有している。
【００１１】
さらに、別の基板把持用ハンドラーに持ち替えて、一枚入りの基板ケースに収納する場合でも、基板把持用ハンドラー３０の基板保持爪３３が基板２１の端縁に引っかかり、基板把持用ハンドラー３０ａを基板２１からはずせないという問題を有している。
【特許文献１】特開平１１−１０９６０６号公報
【特許文献２】実開平６−２６２６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上記問題点に鑑み鋭意検討した結果考案されたもので、フォトマスク、フォトマスクブランクス及びガラス基板等の基板を安定した状態で保持し、複数枚入りの基板ケースからの基板の取り出しと１枚入りの基板ケースへの基板の収納が容易にできる基板把持用ハンドラーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、少なくともグリ
ップ１１と、メインアーム１２と、サブアーム１３と、基板保持部１４と、レバー１５とからなる基板把持用ハンドラーであって、前記基板保持部１４がメインアーム１２の中心軸よりサブアーム１３にて所定の距離ずらした位置に設けられていることを特徴とする基板把持用ハンドラーとしたものである。
【００１４】
また、請求項２においては、前記基板保持部１４の基板保持面１４ａにＯリング１７を設けたことを特徴とする請求項１記載の基板把持用ハンドラーとしたものである。
【００１５】
また、請求項３においては、Ｏリング１７の基板保持面１４ａからの突出量をｄｔ、Ｏリング１７のリング径をｔとしたとき、Ｏリング１７の基板保持面１４ａからの突出量ｄｔは、１／４ｔ≦ｄｔ≦３／４ｔなる関係が満たされていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板把持用ハンドラーとしたものである。
【００１６】
さらにまた、請求項４においては、Ｏリング１７の直径をＯR、基板２１の厚みをＳTとしたとき、ＳT＞ＯRなる関係が満たされていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板把持用ハンドラーとしたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の基板把持用ハンドラーを用いることにより、別の基板把持用ハンドラーに持ち替えることなく、複数枚入りの基板ケースからの基板の取り出しと１枚入りの基板ケースへの基板の収納作業を容易に、かつ簡便に行うことができる。
また、別の基板把持用ハンドラーに持ち替える動作がないので、基板に異物が付着することによる欠陥を大幅に減少することができ、かつ基板の落下事故を大幅に減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図１に本発明の基板把持用ハンドラーの一実施例を示す基板把持用ハンドラー１０の模式斜視図を示す。
本発明の基板把持用ハンドラー１０は、少なくともグリップ１１と、メインアーム１２と、サブアーム１３と、基板保持部１４と、レバー１５とから構成されている（図１参照）。さらに、一方の基板保持部１４とサブアーム１３はレバー１５に接続され、レバー１５とグリップ１１の間にはスプリング１６が取り付けられており、レバー１５を開放している状態ではスプリング１６にて基板保持部１４を介して基板２１が一定圧で押圧されるように（図２（ａ）参照）、レバー１５をグリップ１１に引きつけることにより基板２１は基板保持部１４から開放されるようになっており（図２（ｂ）参照）、フォトマスク、フォトマスクブランクス及びガラス基板等の基板２１を保持する基板保持部１４が、メインアーム１２の中心軸よりサブアーム１３にて所定の距離ずらした位置に設けられているのが特徴である。
ここで、メインアーム１２の中心軸をｙとしたとき、メインアーム１２の中心軸ｙからΔｘ離れた位置に基板保持部１４を設けるようにしたもので、Δｘの量は、１枚入り基板ケースのケース深さ、基板サイズ等により適宜設定するが、通常は５０ｍｍ前後が好適である（図１参照）。
【００１９】
請求項２に係る発明は、図３（ａ）に示すように、基板保持部１４の基板保持面１４ａにＯリング１７を設けたもので、基板２１とＯリング１７との間で摩擦力を発生させ、基板保持部１４での基板２１の基板保持性を高めている。
Ｏリング１７は、市販のプラスチックＯリングが使用可能で、ゴム硬度等は基板サイズ、厚み等により適宜設定できる。
【００２０】
請求項３に係る発明は、図３（ｂ）に示すように、Ｏリング１７の基板保持面１４ａからの突出量をｄｔ、Ｏリング１７のリング径をｔとしたとき、Ｏリング１７の基板保持面１４ａからの突出量ｄｔは、１／４ｔ≦ｄｔ≦３／４ｔなる関係が満たされるようにしたものである。
Ｏリング１７の基板保持面１４ａからの突出量ｄｔは、使用するＯリング１７の材質、ゴム硬度等により設定されるが、通常は１／２ｔ前後が好適である。
【００２１】
請求項４に係る発明は、図３（ｃ）に示すように、Ｏリング１７の直径をＯR、フォトマスク、フォトマスクブランクス及びガラス基板等の基板２１の厚みをＳTとしたとき、ＳT＞ＯRなる関係が満たされるようにしたもので、基板保持部１４で基板２１を保持したとき、基板保持部１４の基板２１への押圧で基板２１と接するＯリング１７内の圧力が低下して真空状態となり、基板保持部１４での基板２１の基板保持性を高めることが出来るようにしたものである。
【００２２】
本発明の基板把持用ハンドラー１０を用いて複数枚入りの基板ケースからの基板の取り出しと１枚入りの基板ケースへの基板の収納を行う事例について説明する。
まず、図４に示すように、レバー１５をグリップ１１に引きつけた状態（図２（ｂ）参照）の基板把持用ハンドラー１０を、ガラス基板、フォトマスクブランクス及びフォトマスク等の基板２１が複数枚収納された基板ケース２２の上方からセットし、レバー１５を離し基板２１の上部を基板保持部１４にて保持し、複数枚入りの基板ケース２２からの基板２１の取り出しを行う。
ここで、レバー１５を離すと、レバー１５とグリップ１１の間に設けられたスプリング１６により、基板２１の端部はレバー１５と一体化されたサブアーム１３に取り付けられた基板保持部１４とアーム１２の先端部のサブアーム１３に取り付けられた基板保持部１４にて押圧され、基板保持部１４の基板保持面１４に設けられたＯリング１７により基板２１は安定した状態で保持される。
【００２３】
次に、基板保持部１４で保持された基板２１が下になるようにグリップ１１を９０度廻して、１枚入りの基板ケース２３の基板保持台２３ａ上に基板２１を載置する（図５参照）。
ここで、基板保持部１４はメインアーム１２の中心軸よりある距離離れた位置に設けられているので、１枚入りの基板ケース２３の基板保持台２３ａ上に基板２１を載置した状態でもグリップ１１が１枚入りのケース２３の縁にぶつかるようなことはない。
【００２４】
さらに、レバー１５をグリップ１１に引きつけ、基板保持部１４を基板２１の端部から開放し、基板２１の複数枚入りの基板ケース２２からの基板の取り出しと１枚入りの基板ケース２３への基板２１の収納が完了する。
このように、本発明の基板把持用ハンドラーを用いることにより、別の基板把持用ハンドラーに持ち替えることなく、複数枚入りの基板ケース２２からの基板２１の取り出しと１枚入りの基板ケース２３への基板の収納を容易に、かつ簡便に行うことができる。
また、別の基板把持用ハンドラーに持ち替える動作がないので、基板２１に異物が付着することによる欠陥を大幅に減少することができ、かつ、基板の落下事故を大幅に減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の基板把持用ハンドラーの一実施例を示す模式斜視図である。
【図２】（ａ）は、本発明の基板把持用ハンドラーを用いて基板を保持している状態を示す説明図である。（ｂ）は、本発明の基板把持用ハンドラーのレバー１５を引いて基板保持部１４を開放にした状態を示す説明図である。
【図３】（ａ）は、基板保持部の一実施例を示す模式斜視図である。（ｂ）は、（ａ）をＡ−Ａ’線で切断した基板保持部の模式構成断面図である。（ｃ）は、基板保持部のＯリングで基板を保持している状態を示す説明図である。
【図４】本発明の基板把持用ハンドラーを用いて複数枚入りの基板ケースからの基板の取り出しを行っている状態を示す説明図である。
【図５】本発明の基板把持用ハンドラーを用いて基板を保持した状態で、１枚入りのケースへ基板を載置している状態を示す説明図である。
【図６】本発明の基板把持用ハンドラーを用いて基板を保持した状態で１枚入りのケースへ基板を載置し、基板把持用ハンドラーの基板保持部を基板から解放している状態を示す説明図である。
【図７】（ａ）は、従来の基板把持用ハンドラーの一例を示す説明図である。（ｂ）は、従来の基板把持用ハンドラーを用いて複数枚入りの基板ケースからの基板の取り出しを行っている状態を示す説明図である。
【図８】基板を別の基板把持用ハンドラーに持ち替えている様子を示す説明図である。
【図９】従来の基板把持用ハンドラーを用いて基板を保持した状態で、１枚入りのケースへ基板を載置している状態を示す説明図である。
【図１０】従来の基板把持用ハンドラーを用いて基板を保持した状態で、１枚入りのケースへ基板を載置している状態を示す説明図である。
【図１１】従来の基板把持用ハンドラーを用いて基板を保持した状態で１枚入りのケースへ基板を載置し、基板把持用ハンドラーの基板保持爪を基板から解放している状態を示す説明図である。
【図１２】従来の基板把持用ハンドラーの一例を示す説明図である。
【図１３】従来の基板把持用ハンドラーの一例を示す説明図である。
【図１４】従来の基板把持用ハンドラーの一例を示す説明図である。
【図１５】従来の基板把持用ハンドラーの一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０、３０、３０ａ、４０、５０、６０、７０……基板把持用ハンドラー
１１、３１……グリップ
１２……メインアーム
１３……サブアーム
１４……基板保持部
１４ａ……基板保持面
１５……レバー
１６、１６ａ……スプリング
１７……Ｏリング
２１……基板
２２……複数枚入り基板ケース
２３……１枚入り基板ケース
２３ａ……基板保持台
３２……アーム
３３……基板保持爪
３４……ハンドル
ｄｔ……Ｏリングの基板保持面からの突出量
ｔ……Ｏリングのリング径
ＯR……Ｏリングの直径
ＳT……基板の厚み
４１、５１、６１、７１……ハンドル
４２、５２ａ、５２ｂ、６２、７２ａ、７２ｂ……アーム
４３……レチクル押さえ
４４……レチクル
５３……ペリクル付きレチクル
６３、７３……固定側係止部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2006008344.tif 000014
【図１３】
2006008344.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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