(57)【要約】【課題】  液体に変位を伝達する場合でも、積層型圧電素子の絶縁劣化を抑止することが可能な圧電装置を提供すること。【解決手段】  液室３１は、積層型圧電素子（積層体１）の一方の端面に隣接して配置されると共に、一方の端面である圧電体層９によりその一部が画成される。液室３１には、当該液室３１に蓄えられる液体に接するように電極３５が配置されている。電極３５は、外部電極１７，１８と同様に、リード線等を通して制御ユニットＣＵに接続される。電極３５には、制御ユニットＣＵにより外部電極１８に負の駆動電圧が印加される際に、外部電極１８と同じく負の駆動電圧が印加される。これにより、電極３５は、圧電体層９に隣接するコモン電極１９と極性が同じとされ、液室３１に蓄えられる液体の極性も圧電体層９に隣接するコモン電極１９の極性と同じとされる。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層と内部電極とが交互に配置された積層体を有し、前記積層体が当該積層体における積層方向に見て最端に位置する内部電極に隣接し且つ前記積層体における積層方向での一方の端面を構成する最外圧電体層を含んでいる積層型圧電素子と、
前記積層体の前記一方の端面に隣接して配置され、前記最外圧電体層によりその一部が画成される液室と、
前記液室に蓄えられた液体の極性を、前記最外圧電体層に隣接する前記内部電極の極性と同じになるように調整する極性調整手段と、を備えることを特徴とする圧電装置。
【請求項２】
前記極性調整手段は、前記液室に蓄えられた液体と接するように当該液室に配置されると共に、前記最外圧電体層に隣接する前記内部電極と極性が同じとされる電極を含むことを特徴とする請求項１に記載の圧電装置。
【請求項３】
前記液室に連通する別の液室を更に備えており、
前記極性調整手段は、前記別の液室に蓄えられた液体の極性を前記最外圧電体層に隣接する前記内部電極の極性と同じになるように調整することにより、前記液室に蓄えられた液体の極性を前記最外圧電体層に隣接する前記内部電極の極性と同じになるように調整することを特徴とする請求項１に記載の圧電装置。
【請求項４】
前記極性調整手段は、前記別の液室に蓄えられた液体と接するように当該別の液室に配置されると共に、前記最外圧電体層に隣接する前記内部電極と極性が同じとされる電極を含むことを特徴とする請求項３に記載の圧電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の圧電装置として、圧電体層と内部電極とが交互に配置された積層体を有する積層型圧電素子（例えば、特許文献１参照）と、積層体の一方の端面によりその一部が画成される液室と、を備えるものが知られている。
【特許文献１】特開２０００−２６１０５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来の圧電装置には、次のような問題があった。すなわち、積層型圧電素子の変位を液体に伝達させるために、積層体の端面、特に積層方向での一方の端面を動作面として液室に蓄えられた液体に直接触れさせた場合、素子の使用中に液体が動作面（積層体における積層方向での一方の端面）から積層体内に浸入し、素子が絶縁劣化してしまう。
【０００４】
本発明の目的は、液体に変位を伝達する場合でも、積層型圧電素子の絶縁劣化を抑止することが可能な圧電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者等の調査研究の結果、液体が積層体内に浸入する現象は以下の事象に因ることが判明した。
【０００６】
特許文献１に開示された積層型圧電素子では、積層体が、第１の内部電極及び第２の内部電極のうち積層体における積層方向に見て最端に位置する第２の内部電極に隣接し且つ動作面を構成する最外圧電体層を有している。最外圧電体層に隣接する第２の内部電極と隣り合う第１の内部電極は、最外圧電体層側から積層体における積層方向に見ると、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極に重なって隠れている第１の部分と、当該第２の内部電極に重なることなく隠れていない第２の部分とに分かれる。
【０００７】
第１の内部電極と第２の内部電極との間に電界を生じさせた場合、動作面における第２の内部電極に対応する領域には第２の内部電極と同じ電荷が生じ、動作面における第１の内部電極の上記第２の部分に対応する領域には第１の内部電極と同じ電荷、すなわち第２の内部電極と反対の電荷が生じる。このため、動作面における第２の内部電極に対応する領域近傍に位置する液体は、第２の内部電極と同じ電荷に帯電する。また、動作面における第１の内部電極の上記第２の部分に対応する領域近傍に位置する液体は、第２の内部電極と反対の電荷に帯電する。第２の内部電極と反対の電荷に帯電した液体は、第１の内部電極と第２の内部電極との間に生じる電界に引き寄せられ、積層体内に浸入することとなる。このとき、圧電体層（最外圧電体層も含む）がセラミックスからなる場合、第２の内部電極と反対の電荷に帯電した液体は、最外圧電体層の粒界を通って積層体内に浸入していくものと考えられる。
【０００８】
また、液室に蓄えられている液体が第２の内部電極と反対の電荷に帯電する理由として、上述した事象以外にも、圧電装置の周辺に配置される各種部品及び装置等から生じる電界の影響が考えられる。
【０００９】
かかる事象を踏まえ、本発明に係る圧電装置は、圧電体層と内部電極とが交互に配置された積層体を有し、積層体が当該積層体における積層方向に見て最端に位置する内部電極に隣接し且つ積層体における積層方向での一方の端面を構成する最外圧電体層を含んでいる積層型圧電素子と、積層体の一方の端面に隣接して配置され、最外圧電体層によりその一部が画成される液室と、液室に蓄えられた液体の極性を、最外圧電体層に隣接する内部電極の極性と同じになるように調整する極性調整手段と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る圧電装置では、極性調整手段により、液室に蓄えられた液体の極性が最外圧電体層に隣接する内部電極の極性と同じになるように調整されるので、最外圧電体層近傍に位置する液体は、内部電極間に生じる電界に引き寄せられず、積層体内に浸入することはない。この結果、積層型圧電素子の絶縁劣化を抑止することができる。
【００１１】
また、極性調整手段は、液室に蓄えられた液体と接するように当該液室に配置されると共に、最外圧電体層に隣接する内部電極と極性が同じとされる電極を含むことが好ましい。この場合、極性調整手段を簡易且つ低コストにて実現することができる。
【００１２】
また、液室に連通する別の液室を更に備えており、極性調整手段は、別の液室に蓄えられた液体の極性を最外圧電体層に隣接する内部電極の極性と同じになるように調整することにより、液室に蓄えられた液体の極性を最外圧電体層に隣接する内部電極の極性と同じになるように調整することが好ましい。
【００１３】
また、極性調整手段は、別の液室に蓄えられた液体と接するように当該別の液室に配置されると共に、最外圧電体層に隣接する内部電極と極性が同じとされる電極を含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、液体に変位を伝達する場合でも、積層型圧電素子の絶縁劣化を抑止することが可能な圧電装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る圧電装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。また、説明中、「上」及び「下」なる語を使用することがあるが、これは図１あるいは図７の上下方向に対応したものである。
【００１６】
まず、図１〜図７に基づいて、本実施形態に係る圧電装置の構成を説明する。図１は、本実施形態に係る圧電装置を示す分解斜視図である。図２は、圧電装置に含まれる積層型圧電素子を示す分解斜視図である。図３は、図２に示された積層型圧電素子における、個別電極が形成された圧電体層を示す模式図である。図４及び図５は、図２に示された積層型圧電素子における、コモン電極が形成された圧電体層を示す模式図である。図６は、図２に示された積層型圧電素子における、外部電極が形成された圧電体層を示す模式図である。図７は、圧電装置の構成を説明するための模式図である。
【００１７】
圧電装置ＰＤは、図１に示されるように、積層型圧電素子ＰＥと、液室ユニットＬＵとを備えている。積層型圧電素子ＰＥと液室ユニットＬＵとは、樹脂等により接着されている。
【００１８】
積層型圧電素子ＰＥは、直方体形状の積層体１を有している。積層体１は、図２に示されるように、圧電体層３と圧電体層５とを４枚ずつ交互に積層し、さらに、圧電体層７と圧電体層９（最外圧電体層）とで上下から挟み込むようにして構成されている。圧電体層３には、個別電極２（内部電極）が形成されている。圧電体層５には、コモン電極４（内部電極）が形成されている。圧電体層７には、外部電極１７，１８が形成されている。圧電体層９には、コモン電極１９（内部電極）が形成されている。圧電体層９は、積層体１における積層方向（以下、「積層体１における積層方向」を単に「積層方向」と称する）での一方の端面を構成する。圧電体層７は、積層方向での他方の端面を構成する。
【００１９】
各圧電体層３，５，７，９は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とし且つ粉体密度が８０００ｋｇ／ｍ３の圧電性セラミック材料からなり、「１０ｍｍ×３０ｍｍ，厚さ３０μｍ」の長方形薄板状に形成されている。個別電極２、コモン電極４，１９、及び外部電極１７，１８は、銀及びパラジウムを主成分とし、スクリーン印刷によりパターン形成されたものである。これは、以下に述べる各電極についても同様である。
【００２０】
最上層の圧電体層７から数えて３層目、５層目、７層目、９層目の各圧電体層３の上面には、図３に示されるように、複数の個別電極２がマトリックス状に配置されている。各個別電極２は、互いに所定の間隔を有して配置されることで、電気的な独立が達成され、且つ互いの振動による影響が防止されている。ここで、圧電体層３の長手方向を行方向、当該長手方向と直交する方向を列方向とすると、個別電極２は、例えば２行７５列というように配置されている（明瞭化のため図面では２行２０列とする）。
【００２１】
このように複数の個別電極２をマトリックス状に配置することで、複数の個別電極２を圧電体層３に効率の良く配置することができる。この結果、圧電体層３において振動に寄与する活性部（圧電体層において圧電効果により歪が生じる部分）の面積を維持しつつ、積層型圧電素子ＰＥの小型化或いは個別電極２の高集積化を図ることができる。
【００２２】
上述の個別電極２は、長方形状に形成され、その長手方向が圧電体層３の長手方向と直交するように配置されている。各個別電極２は、その外方側端部の直下において圧電体層３に形成されたスルーホール１３内の導電部材に接続されている（最も下側（９層目）の圧電体層３を除く）。
【００２３】
圧電体層３の上面における長手方向の縁部には、上下に位置する圧電体層５のコモン電極４，１９を電気的に接続するための中間電極６が形成されている。この中間電極６は、その直下において圧電体層３に形成されたスルーホール８内の導電部材に接続されている。
【００２４】
最上層の圧電体層７から数えて２層目、４層目、６層目、８層目の圧電体層５の上面には、図４に示されるように、長方形状のコモン電極４が形成されている。このコモン電極４は、圧電体層３，５の厚さ方向、すなわち積層方向から見て、圧電体層３における各個別電極２の外方側端部以外の部分と重なるように、ベタ状に形成されている。コモン電極４は、積層方向において圧電体層３の中間電極６に対向するよう圧電体層５に形成されたスルーホール８内の導電部材に接続されている。
【００２５】
各圧電体層５の上面には、積層方向において圧電体層３の各個別電極２の外方側端部に対向するように中間電極１６が形成されている。各中間電極１６は、その直下において圧電体層５に形成されたスルーホール１３内の導電部材に接続されている。
【００２６】
最上層の圧電体層７から数えて１０層目（最下層）の圧電体層９の上面には、図５に示されるように、長方形状のコモン電極１９が形成されている。これにより、コモン電極１９は、各電極２，４，１９のうち積層方向に見て最端に位置し、圧電体層９に隣接することとなる。コモン電極１９は、コモン電極４と同じく、圧電体層３，５の厚さ方向、すなわち積層方向から見て、圧電体層３における各個別電極２の外方側端部以外の部分と重なるように、ベタ状に形成されている。コモン電極１９は、積層方向において圧電体層３の中間電極６に対向するよう圧電体層５に形成されたスルーホール８内の導電部材に接続されている。
【００２７】
最上層の圧電体層７の上面には、図６に示されるように、積層方向において圧電体層５の各中間電極１６に対向するよう外部電極１７が形成されている。また、圧電体層７の上面には、積層方向において圧電体層３の中間電極６に対向するよう外部電極１８が形成されている。各外部電極１７は、その直下において圧電体層７に形成されたスルーホール１３内の導電部材に接続されている。外部電極１８は、その直下において圧電体層７に形成されたスルーホール８内の導電部材に接続されている。
【００２８】
最上層の各外部電極１７，１８は、駆動電源に電気的に接続するためのリード線を取り付けるべく銀の焼付電極が施され、積層型圧電素子ＰＥの端子電極として機能する。
【００２９】
以上のような電極パターンが形成された圧電体層３，５，７，９を積層することで、最上層の各外部電極１７に対しては、厚さ方向において４つの個別電極２が中間電極１６を介在させて整列し、整列した各電極２，１６，１７は、スルーホール１３内の導電部材により電気的に接続されることになる。より詳細には、図７に示されるように、厚さ方向において互いに隣り合う個別電極２，２は、中間電極１６を介在させてスルーホール１３内の導電部材１４により電気的に接続されることになる。
【００３０】
一方、最上層の外部電極１８に対しては、積層方向において４つのコモン電極４と最下層のコモン電極１９とが中間電極６を介在させて整列し、整列した各電極４，６，１８，１９は、スルーホール８内の導電部材１４により電気的に接続されることになる。
【００３１】
各外部電極１７及び外部電極１８は、リード線等を通して、制御ユニットＣＵに接続されている。制御ユニットＣＵは、正の駆動電圧を印加する所定の外部電極１７を決定し、当該所定の外部電極１７に正の駆動電圧を印加する。制御ユニットＣＵは、所定の外部電極１７に正の駆動電圧を印加する際に、外部電極１８に負の駆動電圧を印加する。制御ユニットＣＵは、所定の外部電極１７以外の外部電極１７をアースラインに接続し、０電圧を印加する。
【００３２】
制御ユニットＣＵが所定の外部電極１７に正の駆動電圧を印加すると共に外部電極１８に負の駆動電圧を印加すると、所定の外部電極１７下に整列する個別電極２とコモン電極４，１９との間に駆動電圧に対応する電圧が印加されることとなる。これにより、圧電体層３，５においては、図７に示されるように、個別電極２の外方側端部以外の部分とコモン電極４，１９とで挟まれる部分に電界が生じ、当該部分が活性部２１として変位することになる。したがって、正の駆動電圧を印加する外部電極１７を選択することで、マトリックス状に配置された個別電極２に対応する活性部２１のうち、選択した外部電極１７下に整列する活性部２１を厚さ方向に変位させることができる。
【００３３】
液室ユニットＬＵは、図１及び図７に示されるように、複数の穴部３０が形成されている。穴部３０は、個別電極２に対応して、すなわち活性部２１に対応してマトリックス状に配置されている。穴部３０は、例えば２行７５列というように配置されている（明瞭化のため図面では２行２０列とする）。
【００３４】
液室ユニットＬＵは、積層型圧電素子ＰＥ（積層体１）の一方の端面に接するように取り付けられている。これにより、積層体１の一方の端面である圧電体層９と各穴部３０とにより液室３１がそれぞれ画成される。圧電体層９の穴部３０に対応する領域は、液室３１に臨むこととなる。各液室３１は、積層体１の一方の端面に隣接して配置される。
【００３５】
各液室３１は、図示しない液体供給源に連通している。各液室３１には、液体供給源から導かれる液体が蓄えられる。液室ユニットＬＵには、液室３１毎に当該液室３１に連通する開口３３が形成されている。対応する活性部２１が上述したように変位することにより、液室３１の容積が減少し、液室３１の容積減少分に対応する量の液体が開口３３から吐出される。
【００３６】
液室３１には、当該液室３１に蓄えられる液体に接するように電極３５が配置されている。電極３５は、外部電極１７，１８と同様に、リード線等を通して制御ユニットＣＵに接続されている。電極３５には、制御ユニットＣＵにより外部電極１８に負の駆動電圧が印加される際に、外部電極１８と同じく負の駆動電圧が印加される。これにより、電極３５は、圧電体層９に隣接するコモン電極１９と極性が同じとされ、液室３１に蓄えられる液体の極性も圧電体層９に隣接するコモン電極１９の極性と同じとされる。電極３５は、制御ユニットＣＵから負の駆動電圧が印加されることにより、液室３１に蓄えられた液体の極性をコモン電極１９の極性と同じになるように調整する極性調整手段として機能する。
【００３７】
ここで、上述した積層型圧電素子ＰＥの作製手順について説明する。まず、チタン酸ジルコン酸鉛等のセラミックスを主成分とする圧電材料に有機バインダや有機溶剤等を混合して基体ペーストを作製する。次いで、作製した基体ペーストを用いて、各圧電体層３，５，７，９となる素材シート（グリーンシート）を成形する。また、所定比率の銀（Ａｇ）とパラジウム（Ｐｄ）とからなる金属材料（例えば、Ａｇ：Ｐｄ＝７：３）に有機バインダや有機溶剤等を混合することにより、電極パターン形成用の導電ペーストを作製する。
【００３８】
続いて、各圧電体層３，５，７，９となる素材シートの所定の位置にレーザ光を照射してスルーホール８，１３を形成する。このとき用いるレーザは、ＹＡＧの３次高波長レーザである。スルーホール８，１３の孔径は、４０〜５０μｍとする。次に、スルーホール８，１３内に導電部材を形成する。導電部材の形成は、上述した導電ペーストを用いた充填スクリーン印刷にて行う。
【００３９】
次に、圧電体層３となる素材シートに対して、個別電極２に対応する電極パターンを形成する。圧電体層５となる素材シートに対して、コモン電極４及び中間電極１６に対応する電極パターンを形成する。圧電体層９となる素材シートに対して、コモン電極１９に対応する電極パターンを形成する。圧電体層７となる素材シートに対して、外部電極１７，１８に対応する電極パターンを形成する。各電極パターンの形成は、上述した導電ペーストを用いたスクリーン印刷にて行う。
【００４０】
次に、各電極パターンが形成された素材シートを上述した順序となるように積層する。その後、積層された１０枚の素材シートを、６０℃の熱を加えながら、１００ＭＰａの圧力で積層方向にプレスして、積層体グリーンを製作する。作製した積層体グリーンを所定の大きさに切断する。切断した積層体グリーンを４００℃前後で脱脂する。その後、密閉されたさや（匣鉢）内において、１１００℃程度で２時間焼成して、１０ｍｍ×３０ｍｍの大きさの焼結体を得る。
【００４１】
次に、圧電体層７となる焼結シート上の外部電極１７，１８に対して、銀の焼付電極を施し、リード接続用の端子電極を形成する。その後、温度１２０℃で３分間に渡って、電界強度３ｋＶ／ｍｍになるように分極処理を行い、積層型圧電素子ＰＥを得る。なお、端子電極の材料として、上述した銀に替えて金や銅を用いてもよい。また、端子電極の形成方法としては、焼き付けに替えてスパッタリング法や無電解めっき法等を用いることができる。
【００４２】
以上のように、本実施形態によれば、制御ユニットＣＵにより電極３５に負の駆動電圧が印加されるので、液室３１に蓄えられた液体の極性が圧電体層９に隣接するコモン電極１９の極性と同じになるように調整されることとなる。したがって、圧電体層９近傍に位置する液体は、内部電極２，１９間に生じる電界に引き寄せられず、積層体１内に浸入することはない。この結果、積層型圧電素子ＰＥの絶縁劣化を抑止することができる。
【００４３】
ところで、液体が積層体１内に浸入するのを防ぐために、圧電体層９の下面に保護層を設ける構成が考えられる。しかしながら、保護層を設けた場合、当該保護層が活性部２１の変位を阻害する要因となり、変位が少なくなってしまう。保護層による変位の減少分を補う手法として、素子を大きくする、すなわち圧電体層の層数を増やすことが挙げられるが、素子が大型化すると共に、コストが嵩むこととなる。しかしながら、本実施形態に係る圧電装置ＰＤでは、上述したように、液体が積層体１内に浸入しないので、保護層を設ける必要はなく、素子の大型化や高コスト化といった問題は招かない。
【００４４】
本実施形態においては、圧電体層９の下面が動作面として液体に接するので、コモン電極１９は液体に直接触れない。これにより、圧電体層９が保護層としても機能し、コモン電極１９を液体から保護することができる。まだ、圧電体層９は他の圧電体層３，５と同じ圧電材料からなるため、活性部２１の変位を阻害することがない。
【００４５】
本実施形態においては、制御ユニットＣＵに接続される電極３５が、液室３１に蓄えられた液体と接するように当該液室３１に配置されている。これにより、液室３１に蓄えられた液体の極性を圧電体層９に隣接するコモン電極１９の極性と同じになるように調整し得る構成を簡易且つ低コストにて実現することができる。
【００４６】
本実施形態において、個別電極２はマトリックス状に複数配列されている。これにより、個別電極２毎に独立して電圧を印加することができるため、１つの素子内に複数の変位部位、すなわち活性部２１が含まれることとなる。
【００４７】
ここで、本実施形態によって、積層型圧電素子の絶縁劣化を抑止できることを、実施例１と比較例１とによって、具体的に示す。実施例１と比較例１とでは、液室に液体を封入した状態で、全ての個別電極に同時に直流電圧を印加して５００時間経過後の絶縁抵抗値を測定した。液体は、純水を主成分とし、グリセリンとノンイオン系の界面活性剤を混合したものとした。印加した直流電圧は、圧電層厚みあたり１ｋＶ／ｍｍとした。各例とも、圧電装置のサンプル数を３０個とした。
【００４８】
実施例１では、上述した実施形態に係る圧電装置ＰＤを用い、液室３１に配置された電極３５にコモン電極１９と同じ負の駆動電圧を印加した。比較例１では、上述した実施形態に係る圧電装置ＰＤを用い、液室３１に配置された電極３５には駆動電圧を印加しなかった。
【００４９】
実施例１では、絶縁抵抗値が低下するサンプルは存在しなかった。これに対して、比較例１では、絶縁抵抗値が３桁以上低下したサンプルが５個発生した。測定後に、各サンプルの圧電装置を積層型圧電素子と液室ユニットとに分解して積層型圧電素子の動作面（端子電極が形成された端面に積層方向で対向する端面）を観察した。観察の結果、実施例１では変化は見られなかったが、比較例１における絶縁抵抗値が低下したサンプルでは最外圧電体層の一部が当該最外圧電体層に隣接するコモン電極から剥離していた。
【００５０】
以上のことから、本実施形態の有効性が確認された。
【００５１】
ところで、圧電層厚みあたり１ｋＶ／ｍｍの直流電圧を印加した状態で、積層型圧電素子の動作面に滴下した液体の電荷を測定したところ液体が正の電荷に帯電していることが確認できた。したがって、絶縁抵抗値の低下の原因は、正の電荷に帯電した液体が、内部電極間に生じる電界に引き寄せられ、最外圧電体層における粒界を通って素子内に浸入する事象に因ると考えられる。具体的には、以下の事象に因ると考えられる。素子内に浸入した液体が第２の内部電極に接すると、液体に含まれる純水（Ｈ２Ｏ）が水素（Ｈ２）と酸素（１／２Ｏ２）とに電気分解される。発生した水素が第２の内部電極に含まれるパラジウムに触れるとパラジウムが膨張するために、内部電極と最外圧電体層とが剥離する。内部電極と最外圧電体層とが剥離すると、内部電極と最外圧電体層との間に液体が更に浸入し、絶縁不良や、内部電極間の短絡を招く。
【００５２】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、圧電体層９に隣接するコモン電極１９と極性が同じとされる電極３５は、必ずしも各液室３１に配置する必要はなく、図８に示されるように、各液室３１に連通する液体供給源が有する液室４１に配置してもよい。この場合、液室４１に蓄えられる液体が圧電体層９に隣接するコモン電極１９と極性と同じに調整される。そして、極性が調整された液体が液室４１から液室３１に導かれることとなり、液室３１に蓄えられた液体の極性が圧電体層９に隣接するコモン電極１９の極性と同じになるように調整されることとなる。
【００５３】
また、液室３１，４１に電極３５を必ずしも配置する必要はない。例えば、液室３１，４１を画成する部材（例えば、液室ユニットＬＵ自体）を導電性を有する部材で構成すると共に当該部材をコモン電極１９に電気的に接続することにより、液室３１に蓄えられた液体の極性をコモン電極１９の極性と同じになるように調整してもよい。
【００５４】
また、外部電極１８（コモン電極４，１９）及び電極３５に印加する駆動電圧は、負の駆動電圧に限られない。例えば、外部電極１８及び電極３５をアースラインに接続し、外部電極１８及び電極３５に０電圧を印加するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本実施形態に係る圧電装置を示す分解斜視図である。
【図２】本実施形態に係る圧電装置に含まれる積層型圧電素子を示す分解斜視図である。
【図３】図２に示された積層型圧電素子における、個別電極が形成された圧電体層を示す模式図である。
【図４】図２に示された積層型圧電素子における、コモン電極が形成された圧電体層を示す模式図である。
【図５】図２に示された積層型圧電素子における、コモン電極が形成された圧電体層を示す模式図である。
【図６】図２に示された積層型圧電素子における、外部電極が形成された圧電体層を示す模式図である。
【図７】本実施形態に係る圧電装置の構成を説明するための模式図である。
【図８】本実施形態に係る圧電装置の変形例の構成を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００５６】
１…積層体、２…個別電極（内部電極）、３，５，７…圧電体層、４，１９…コモン電極（内部電極）、６，１６…中間電極、８，１３…スルーホール、９…圧電体層（最外圧電体層）、１４…導電部材、１７，１８…外部電極、２１…活性部、３１…液室、３５…電極、４１…液室、ＣＵ…制御ユニット、ＬＵ…液室ユニット、ＰＤ…圧電装置、ＰＥ…積層型圧電素子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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