(57)【要約】  【課題】  製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供する。  【解決手段】  第１の部材２１Ａと第２の部材２１Ｃとが、フランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと対向する面を微小なスキマとする。即ち、本体２１の軸線寸法を変えることなく、差動排気シールのシール機構を向上させることができ、スキマの極小化も容易に図れる。【選択図】  図２
2006077835.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングに対して取り付けられ、前記ハウジングの開口を介して延在する回転軸を回転自在に支持すると共に、前記ハウジングに対して前記回転軸をシールするシール装置において、
前記ハウジングに取り付けられる本体と、
前記本体に対して前記回転軸を回転自在に支持する軸受と、
差動排気シール部と、を有し、
前記差動排気シール部において、前記回転軸から半径方向に延在するフランジ部と、前記本体における前記フランジ部の軸線方向を向いた両面に対向する面との間のスキマの気体を吸引してなり、
前記軸受は、前記フランジ部に対して軸線方向における異なる位置に配置されていることを特徴とするシール装置。
【請求項２】
前記本体は、前記フランジ部の半径方向外方に配置されたスキマ調整間座と、前記スキマ調整間座を挟持する一対の部材とからなることを特徴とする請求項１に記載のシール装置。
【請求項３】
前記回転軸は、前記フランジ部と、前記フランジ部を取り付ける軸部材とから組み立てられ、前記フランジ部の軸線方向に向いた面は、前記スキマ調整間座の軸線方向に向いた面と同時に研磨されることを特徴とする請求項２に記載のシール装置。
【請求項４】
前記軸受は、軸受ユニットに収容された転がり軸受であり、前記軸受ユニットは、前記本体に対して軸受間座を介して取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のシール装置。
【請求項５】
前記軸受は静圧軸受であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のシール装置。
【請求項６】
前記回転軸は、軸線方向に移動したときに、前記フランジ部の軸線方向を向いた少なくとも一方の面と、それに対向する前記本体の面に接触することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のシール装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シール装置に関し、たとえば外部環境から隔離されたハウジング内に対して回転力を伝達する回転軸をシールするシール装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などにおいては、真空や特殊ガス雰囲気に維持したプロセス室内で、ワークをステージに載置して移動させて加工処理することが行われている。ここで、プロセス室内のワークを加工するために、ワークもしくは工具を移動させる必要がある。
【０００３】
そこで、例えばプロセス室の外部に駆動源を設け、それに連結した回転軸をハウジングの開口を介してプロセス室内へと延在させ、かかる回転軸を介して駆動力をワークや工具に伝達することが考えられる。ここで、プロセス室内における大気とは異なる特殊な環境をどのように維持するかが問題となる。特許文献１には、静圧軸受と差動排気シールとを備えた駆動装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−３０３３２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、差動排気シールのシール機能を高めるためには、回転軸とハウジングとの間の微小スキマを形成する部分において、できるだけ排気抵抗を高める（コンダクタンスを小さくする）のが好ましい。ところが、特許文献１に記載の技術の場合、微小スキマを形成する部分において排気抵抗を高めるためには、差動排気シールを形成する領域を大きく、即ち回転軸を軸線方向に長くしなくてはならず、装置の大型化を招くという問題がある。なお、以下本明細書中において「スキマ」は断りなき場合、差動排気シールにおけるシール部の微小隙間を指すものとする。
【０００５】
そこで本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み、製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的を達成するために、本発明のシール装置は、ハウジングに対して取り付けられ、前記ハウジングの開口を介して延在する回転軸を回転自在に支持すると共に、前記ハウジングに対して前記回転軸をシールするシール装置において、
前記ハウジングに取り付けられる本体と、
前記本体に対して前記回転軸を回転自在に支持する軸受と、
差動排気シール部と、を有し、
前記差動排気シール部において、前記回転軸から半径方向に延在するフランジ部と、前記本体における前記フランジ部の軸線方向を向いた両面に対向する面との間のスキマの気体を吸引してなり、
前記軸受は、前記フランジ部に対して軸線方向における異なる位置に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のシール装置によれば、前記差動排気シール部において、前記回転軸から半径方向に延在するフランジ部と、前記本体における前記フランジ部の軸線方向を向いた両面に対向する面との間のスキマの気体を吸引してなり、それにより外部からの気体や異物の通過を阻止できるという差動排気シールの機能を発揮でき、しかも前記フランジ部の外径を大きくすれば、それに対向する前記本体の面との間でスキマを形成する部分が増え、前記回転軸の軸線方向長を増大することなく差動排気シールの機能を向上させることができる。ここで、スキマ部でのシール性能はシール方向（漏れ込み方向）のスキマの長さに比例し、シール方向と直交する方向の長さに反比例して良くなる傾向を示す。
【０００８】
本発明のシール装置において、前記本体を、前記フランジ部の半径方向外方に配置されたスキマ調整間座と、前記スキマ調整間座を挟持する一対の部材とからなるようにすると、前記スキマ調整間座を精度良く仕上げた上で、前記一対の部材に対して組み付けることができるので、高い部品精度を有しながらも低コストで製造できるので好ましい。
【０００９】
本発明のシール装置において、前記回転軸は、前記フランジ部と、前記フランジ部を取り付ける軸部材とから組み立てられ、前記フランジ部の軸線方向に向いた面は、前記スキマ調整間座の軸線方向に向いた面と同時に研磨されるようにすると、高い部品精度をさらに容易に達成でき、低コストで製造できるので好ましい。尚、その後、前記フランジ部の軸線方向に向いた面のみ研磨加工することで、前記スキマ間座との間に、所望の軸線方向長の差を設けることができる。
【００１０】
本発明のシール装置において、前記軸受は、軸受ユニットに収容された転がり軸受であり、前記軸受ユニットは、前記本体に対して軸受間座を介して取り付けられていると、前記回転軸から半径方向に延在するフランジ部と、前記本体における前記フランジ部の軸線方向を向いた両面との２つのスキマをバランス良く設定できるので好ましい。
【００１１】
本発明のシール装置において、前記軸受は静圧軸受であると、非常時などにおいて、インターロック機能のために、前記回転軸の軸線方向移動を許容できるので好ましい。
【００１２】
本発明のシール装置において、前記回転軸は、軸線方向に移動したときに、前記フランジ部の軸線方向を向いた少なくとも一方の面と、それに対向する前記本体の面に接触すると、非常時にかかる面同士を接触させることでインターロックを行うことができるので好ましい。
【００１３】
本明細書中で用いる差動排気シールとは、例えば対向する２面間の微小な間隙にある気体を前記２面間に設けられた差圧室を介して排気することにより、非接触の状態で、対向面を挟む両側の雰囲気（例えば大気圧と高真空）を一定の状態に保つように機能するものをいう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、比較例と、本発明の好適な実施の形態について説明する。図１は、比較例にかかるシール装置の断面図であり、図２は、第１の実施の形態にかかるシール装置の断面図であり、いずれもプロセス室を覆うハウジングに取り付けた状態で示している。
【００１５】
まず、比較例から説明する。図１において、内部が高真空状態に維持されるプロセス室Ｐを有するハウジング２の一面に設けられた開口２ａに、回転軸３が挿入されている。開口２ａを覆うようにして、ハウジング２の大気側の外壁にシール装置１０が取り付けられている。回転軸３は、シール装置１０に支持されている。
【００１６】
シール装置１０は、本体１１と、ベアリング１２ａ、１２ａを有する軸受ユニット１２とを有する。円筒状の本体１１は、ハウジング２に対してボルト止めされる鍔部１１ａを有している。本体１１は、回転軸３を挿通させた中央開口１１ｂを有しており、また差圧室となる周溝１１ｃを有している。尚、回転軸３の外周面と中央開口１１ｂとのスキマは、５〜１０μｍ程度に維持される。
【００１７】
本体１１には、周溝１１ｃから半径方向外方に延在する貫通路１１ｄが形成されている。貫通路１１ｄの外方端を覆うようにして、本体１１の外周面にコネクタ１４が、Ｏ−リング１５を介して気密状態で取り付けられている。コネクタ１４は、配管等を介して不図示の排気ポンプに接続されている。
【００１８】
軸受ユニット１２は、不図示のボルトを用いて本体１１の外方端に取り付けられ、アンギュラコンタクト玉軸受であるベアリング１２ａ、１２ａを介して、回転軸３を軸線方向移動不能且つ回転自在に支持している。より具体的には、ベアリングブロック１２ｂに収容されたベアリング１２ａ、１２ａの外輪が、外輪抑え１２ｃによりベアリングブロック１２ｂに固定され、一方、回転軸３に形成された大径部３ａに、ベアリング１２ａ、１２ａの内輪が当接した状態で、内輪抑え１２ｄを回転軸３のねじ部３ｂに螺合させることで、その内輪が回転軸３に固定されるようになっている。
【００１９】
尚、本体１１の端面と、ハウジング２の外壁との間にはＯ−リング１６が配置されているが、これは両者間を気密する機能を有している。ボルト止めされた本体１１とハウジング２との相対変位は生じない。
【００２０】
次に、比較例に係るシール装置の動作について説明する。回転軸３の図で左端部は、モータ等の駆動源（不図示）に接続されており、回転軸３を回転駆動するようになっている。このとき、回転軸３は、ベアリング１２ａ、１２ａにより回転自在に支持されているので、摩擦などの抵抗が少ない状態で、本体１１に対して回転可能となっている。
【００２１】
また、周溝１１ｃ内が、コネクタ１４を介して不図示の排気ポンプにより吸引されるので、差動排気シールのシール機能により、周溝１１ｃに隣接する回転軸３の外周面と中央開口１１ｂとの間隙を介して、外部から空気や異物がプロセス室Ｐ内に侵入することを防止できる。
【００２２】
しかるに、比較例のシール装置においては、差動排気シールの機能を向上させようとした場合、回転軸３と本体１１の開口１１ｂ間のスキマを形成する部位のの長さＬ１とＬ２を長くし、軸径ｄを細くすることで達成される。ここで回転軸の直径は、回転軸のねじれ剛性や先端に作用する荷重に対するラジアル剛性の確保という観点からはあまり細くしたくない。そこで、長さＬ１，Ｌ２の少なくとも一方を増大する必要が生じる（好ましくは両方であるが、いずれか一方の場合はＬ２を長くするのが好ましい）。そうすると、本体１１の軸線方向長が長くなって装置が大型化するという問題が生じる。また、スキマを形成するのが開口１１ｂの内周面と回転軸３の外周面との間であるということは、スキマをできるだけ小さくしたいという観点からは比較的困難を伴う。円筒面の形状を高精度に製作し、なおかつ同軸度も必要となるなどの精度上の理由による。以下に述べる本実施の形態によれば、かかる不具合を解消することができる。
【００２３】
図２において、内部が高真空状態に維持されるプロセス室Ｐを有するハウジング２の一面に設けられた開口２ａに、回転軸３０が挿入されている。開口２ａを覆うようにして、ハウジング２の大気側の外壁にシール装置２０が取り付けられている。回転軸３０は、環状のフランジ部３０Ａを有すると共に、シール装置２０に支持されている。
【００２４】
シール装置２０は、本体２１と、ベアリング１２ａ、１２ａを有する軸受ユニット１２とを有する。円筒状の本体２１は、ハウジング２に対してボルト止めされる鍔部２１ａを備えた第１の部材２１Ａと、軸受ユニット１２を取り付ける第２の部材２１Ｃとの間に、スキマ調整間座２１Ｂを、それぞれＯ−リング２８，２９を介在させて気密を図りながら結合してなる。第１の部材２１Ａの内径及び第２の部材の内径よりも、スキマ調整間座２１Ｂの内径は大きくなっており、又回転軸３０のフランジ部３０Ａの軸線方向長よりも、スキマ調整間座２１Ｂの軸線方向長は、わずかに長くなっている。
【００２５】
組み付けた状態では、回転軸３０のフランジ部３０Ａの半径方向外方に、スキマ調整間座２１Ｂが位置するように配置されている。図２において、フランジ部３０Ａの左端面３０ＡＬは、第２の部材２１Ｃの軸線方向右端面２１ＣＲに対向し、フランジ部３０Ａの右端面３０ＡＲは、第１の部材２１Ａの軸線方向右端面２１ＡＬに対向しており、それぞれ５〜１０μｍのスキマを介在させている。これらスキマ、及び差圧室であるフランジ部３０Ａの外周とスキマ調整間座２１Ｂの内周との間の空間Ｄが差動排気シールを構成する。
【００２６】
スキマ調整間座２１Ｂには、空間Ｄと外部とを連通するように半径方向に延在する貫通路２１ｄが形成されている。貫通路２１ｄの外方端を覆うようにして、スキマ調整間座２１Ｂの外周面にコネクタ１４が、Ｏ−リング１５を介して気密状態で取り付けられている。コネクタ１４は、配管等を介して不図示の排気ポンプに接続されている。
【００２７】
軸受ユニット１２は、不図示のボルトを用いて本体２１の外方端に、円盤状の軸受間座２３を介して取り付けられており、アンギュラコンタクト玉軸受であるベアリング１２ａ、１２ａを介して、回転軸３０を軸線方向移動不能且つ回転自在に支持している。より具体的には、ベアリングブロック１２ｂに収容されたベアリング１２ａ、１２ａの外輪が、外輪抑え１２ｃによりベアリングブロック１２ｂに固定され、一方、回転軸３０の軸部材３０ＢＫ（後述）に形成された大径部３０ａに、ベアリング１２ａ、１２ａの内輪が当接した状態で、内輪抑え１２ｄを回転軸３０のねじ部３０ｂに螺合させることで、その内輪が回転軸３０に固定されるようになっている。
【００２８】
尚、本体２１の端面と、ハウジング２の外壁との間にはＯ−リング１６が配置されているが、これは両者間を気密する機能を有している。ボルト止めされた本体２１とハウジング２との相対変位は生じない。
【００２９】
次に、本実施の形態に係るシール装置の動作について説明する。回転軸３０の図で左端部は、モータ等の駆動源（不図示）に接続されており、回転軸３０を回転駆動するようになっている。このとき、回転軸３０は、ベアリング１２ａ、１２ａにより回転自在に支持されているので、摩擦などの抵抗が少ない状態で、本体２１に対して回転可能となっている。
【００３０】
また、空間Ｄ内が、コネクタ１４を介して不図示の排気ポンプにより吸引されるので、差動排気シールのシール機能により、空間Ｄに隣接する回転軸３０のフランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと、本体２１の端面２１ＣＲ、２１ＡＬとのスキマを介して、外部から空気や異物がプロセス室Ｐ内に侵入することを防止できる。
【００３１】
又、差動排気シールの最適なシール機能を確保するためには、スキマの大きさを適切に設定する必要がある。ところが、図１に示す比較例の構成では、スキマの大きさは、本体１１の内径と回転軸３の外径とにより定まるが、偏心などの組み付け誤差があるので、干渉を避けるために本体１１の内径を比較的大きくせざるを得ない。従って、スキマを所定量以下に小さくすることは困難である。これに対し、本発明によれば、回転軸３０のフランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと、本体２１の端面２１ＣＲ、２１ＡＬとのスキマを任意の値に設定できる。
【００３２】
図３は、本実施の形態の回転軸のフランジ部周辺における拡大断面図である。図３に示すように、回転軸３０は、フランジ部３０Ａと、それぞれ雄ねじ部３０Ｂｓ、３０Ｃｓを有する２つの軸部材３０ＢＫ、３０ＣＫとからなる。フランジ部３０Ａの中央には、貫通雌ねじ孔３０Ａｓが形成されており、ここに図で左側から雄ねじ部３０Ｂｓを螺合させることによって軸部材３０ＢＫが取り付けられ、また図で右側から雄ねじ部３０Ｃｓを螺合させることによって軸部材３０ＣＫが取り付けられ、一体的に回転軸３０を形成するようになっている。尚、軸部材３０ＢＫとフランジ部３０Ａとの密着面にはＯ−リングを介在させ、フランジ部３０Ａと雄ねじ部３０Ｂｓ、３０Ｃｓの間を気体が通過しないように密封している。
【００３３】
加工の際には、フランジ部３０Ａを分解した状態で、スキマ調整間座２１Ｂの内側に配置し、両者の軸線方向両面を同時に研磨加工する。それによりフランジ部３０Ａとスキマ調整間座２１Ｂとは、軸線方向長が高精度に一致する。かかる状態から、フランジ部３０Ａのみ軸線方向長を追い込むように研磨加工すれば、スキマ調整間座２１Ｂとの軸線方向長の差を所望の値にすることができる。即ち、回転軸３０のフランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと、本体２１の端面２１ＣＲ、２１ＡＬとのスキマの和を、所望の値とすることができるのである。ここで、本体２１に対するフランジ部３０Ａの位置が定まらないと、２つのスキマのバランスが悪くなる。
【００３４】
これに対し、本実施の形態では、軸受ユニット１２が回転軸３０の軸線方向位置を規定しているので、軸受ユニット１２の軸線方向位置を調整することで、回転軸３０のフランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと、本体２１の端面２１ＣＲ、２１ＡＬとの各スキマを適正値にする。より具体的には、本体２１の第２の部材２１Ｃに軸受ユニット１２を取り付ける際に、ベアリングブロック１２ｂのフランジと第２の部材２１Ｃとの間に介在させる軸受間座２３の厚みを調整する。この厚み調整は、１つの軸受間座２３を組み付けて、回転軸３０と本体２１との軸線方向相対位置を測定し、許容範囲に入らない場合は、軸受間座２３を取り外して研磨加工することで軸線方向長を追い込んでも良いし、厚さの異なる軸受間座２３のいずれかを、回転軸３０と本体２１との軸線方向相対位置の差に応じて組み込むようにしても良い。
【００３５】
図４は、第２の実施の形態にかかるシール装置の断面図であり、図５は、本実施の形態における回転軸のフランジ部周辺を拡大して示す図である。第２の実施の形態が、図２，３に示す実施の形態と異なる点は、本体とフランジ部の形状である。同様の構成については、同じ符号を付すことで説明を省略し、異なる点のみ説明する。
【００３６】
図４において、本体２１’は、円盤状の鍔部材２１Ａ’と、スキマ調整間座２１Ｂ’とから構成されている。スキマ調整間座２１Ｂ’は、二重円筒形状を有し、二重円筒に対応して図４でその右端に、Ｏ−リング２６を介して気密的に鍔部材２１Ａ’に突き当たる大径右端面２１Ｂａ’と、回転軸３０’のフランジ部３０Ａ’に対向する小径右端面２１Ｂｂ’とを有している。尚、スキマ調整間座２１Ｂ’の左端面２１Ｂｃ’は、一つの平面となっている。従って、左端面２１Ｂｃ’から大径右端面２１Ｂａ’までの距離は、左端面２１Ｂｃ’から小径右端面２１Ｂｂ’までの距離より大きくなっている。
【００３７】
スキマ調整間座２１Ｂ’の二重円筒の間には、差圧室である円筒状の空間Ｄ’が形成されている。更に、スキマ調整間座２１Ｂ’には、空間Ｄ’と外部とを連通するように半径方向に延在する貫通路２１ｄ’が形成されている。貫通路２１ｄ’の外方端を覆うようにして、スキマ調整間座２１Ｂ’の外周面にコネクタ１４が、Ｏ−リング１５を介して気密状態で取り付けられている。コネクタ１４は、配管等を介して不図示の排気ポンプに接続されている。
【００３８】
図５に示すように、回転軸３０’は、大径部３０Ｂ’と、小径部３０Ｃ’と、その間に形成された雄ねじ部３０Ｄ’とから一体的に形成された軸部材と、薄い円盤状のフランジ部３０Ａ’とから形成されている。雄ねじ部３０Ｄ’の外径より大きい内径を有する円盤状のフランジ部３０Ａ’を、雄ねじ部３０Ｄ’の半径方向外方に配置し、且つナット２４を雄ねじ部３０Ｄ’に螺合することによって、フランジ部３０Ａ’は、軸部材と一体となり回転軸３０’を形成するようになっている。尚、大径部３０Ｂ’と、フランジ部３０Ａ’との密着面にはＯ−リング２５が配置されており、フランジ部３０Ａ’と雄ねじ部３０Ｄ’との間を気体が通過しないように密封している。
【００３９】
一方、図４に示すように、フランジ部３０Ａ’の外径は、スキマ調整間座２１Ｂ’の大径右端面２１Ｂａ’の内径より小さく、小径右端面２１Ｂｂ’の外径より大きくなっており、従ってフランジ部３０Ａ’の左端面３０ＡＬ’は、小径右端面２１Ｂｂ’に対向し、フランジ部３０Ａ’の右端面３０ＡＲ’は、鍔部材２１Ａ’の軸線方向左端面２１ＡＬ’に対向しており、それぞれ５〜１０μｍのスキマを介在させている。これらスキマと、空間Ｄ’とが差動排気シールを構成する。
【００４０】
加工の際には、フランジ部３０Ａ’を分解した状態で、その軸線方向両面３０ＡＬ’、３０ＡＲ’を加工し、更に左端面２１Ｂｃ’から大径右端面２１Ｂａ’までの距離が、左端面２１Ｂｃ’から小径右端面２１Ｂｂ’までの距離に対して所定の差を有するように、大径右端面２１Ｂａ’と、小径右端面２１Ｂｂ’とを独立して加工する。それにより、回転軸３０’のフランジ部３０Ａ’の左端面３０ＡＬ’と小径右端面２１Ｂｂ’とのスキマ、及びフランジ部３０Ａ’の右端面３０ＡＲ’と鍔部材２１Ａ’の軸線方向左端面２１ＡＬ’とのスキマの和を、所望の値とすることができる。又、回転軸３０’のフランジ部３０Ａ’の左端面３０ＡＬ’と小径右端面２１Ｂｂ’とのスキマと、フランジ部３０Ａ’の右端面３０ＡＲ’と鍔部材２１Ａ’の軸線方向左端面２１ＡＬ’とのスキマのバランスは、上述した実施の形態と同様に、軸受間座２３による軸受ユニット１２の軸線方向位置の調整によって行うことができる。
【００４１】
図６は、第３の実施の形態にかかるシール装置の断面図であり、図７は、図６の構成を矢印VII方向に見た図であり、図８は、図６の構成をVIII-VIII線で切断して矢印方向に見た図である。第３の実施の形態が、図２，３に示す実施の形態と主として異なる点は、静圧軸受を設けたこと、及びインターロック機能を設けたことである。同様の構成については、同じ符号を付すことで説明を省略し、異なる点のみ説明する。
【００４２】
インターロック機能とは、例えば停電など不測の事態が生じたときに、プロセス室Ｐの圧力が大気圧に近づくことを極力抑え、プロセス中の加工物のダメージを回避する機能である。より具体的に説明する。
【００４３】
図６において、回転軸３０は、フランジ部３０Ａと、拡径された支持部３０Ｂとを有する。支持部３０Ｂは、円板の両側面である一対の軸線方向静圧面３０ＢＸ、３０ＢＸと、それにそれぞれ隣接する半径方向静圧面３０ＢＹ、３０ＢＹとを有する。
【００４４】
一方、シール装置４０は、本体４１と、静圧軸受４２とを有する。円筒状の本体４１は、ハウジング２に対してボルト止めされる鍔部４１ａを備えた第１の部材４１Ａと、軸受部４２の一部を構成する第２の部材４１Ｃと、部材４１Ａ、４１Ｃの間に挟持配置されるスキマ調整間座４１Ｂとを軸線方向に結合してなる。更に、第２の部材４１Ｃには、軸受間座４１Ｄを挟んで、第３の部材４１Ｅがボルト止めされている。
【００４５】
第２の部材４１Ｃと、軸受間座４１Ｄと、第３の部材４１Ｅの半径方向内側は中空の空間となっており、ここにそれぞれ環状で、第２の部材４１Ｃに内嵌・固定される多孔質部材４６Ａ，及び第３の部材４１Ｅに内嵌・固定される多孔質部材４６Ｂを介して回転軸３０が配置されている。より具体的には、回転軸３０の図で左側の軸線方向静圧面３０ＢＸと、それに隣接する半径方向静圧面３０ＢＹとに、わずかなスキマを介して対向するようにして多孔質部材４６Ａが配置され、回転軸３０の図で右側の軸線方向静圧面３０ＢＸと、それに隣接する半径方向静圧面３０ＢＹとに、わずかなスキマを介して対向するようにして多孔質部材４６Ｂが配置されている。多孔質部材４６Ａ、４６Ｂが静圧軸受を構成する。
【００４６】
不図示のポンプより空気が圧送されて、多孔質部材４６Ａ、４６Ｂから、半径方向静圧面３０ＢＹ、３０ＢＹに供給されることにより、回転軸３０は本体４１に対して非接触的に保持されることとなる。一方、回転軸３０に付与されるスラスト力は、多孔質部材４６Ａ、４６Ｂから、軸線方向静圧面３０ＢＸ、３０ＢＸに供給される空気により支持されるようになっている。
【００４７】
インターロック機能について説明する。コネクタ１４に連結された排気ポンプＰ１が故障するなど、何らかの不具合が生じた場合、不図示の制御装置は、回転軸３０の回転を停止させる。エンコーダからの回転信号を監視することで、回転軸３０の回転速度が十分低くなったと判断したとき（或いは緊急度が高い場合には回転速度に関わりなく直ちに）、不図示の制御装置は、不図示のバルブを用いて多孔質部材４６Ａ、４６Ｂに供給する空気を遮断し、且つ排気ポンプＰ１に通じるバルブＶを遮断する。
【００４８】
それにより、回転軸３０はスラスト力の支持力を失い、高真空状態であるプロセス室Ｐの吸引力に応じて、図６において全体的に左方へと移動する。すると、回転軸３０のフランジ部３０Ａの端面３０ＡＬが、第１の部材４１Ａの右端面４１ＡＬに接触するので、外部からプロセス室Ｐへの空気の流入を抑制し、プロセス室Ｐ内の高真空状態を維持することができる。尚、例えば不測の停電などの場合にも、インターロック機能を作用させるためには、バッテリーなど無停電電源を用いてバルブの動作をさせることが考えられる。
【００４９】
ところで、回転軸３０のフランジ部３０Ａの端面３０ＡＬが、第１の部材４１Ａの右端面４１ＡＬに接触したとしても、完全な密封ではないため、少しずつ空気が漏れ出る恐れがある。すると、時間の経過に応じて、プロセス室Ｐ内の高真空状態が損なわれることとなる。以下の変形例によれば、かかる不具合を緩和できる。
【００５０】
図９は、変形例にかかる拡大断面図であり、図６の構成の矢印IX部に相当する。図６の構成では、回転軸３０が第２の部材４１Ｃと対向する部分の両者間の間隔は、差動排気シールのスキマと比較し、十分に大きなものとしている（例えば１ｍｍ以上）。これに対し、本変形例では、回転軸３０の外周面３０ｆと、第２の部材４１Ｃの内周面４１ｃとの間隔Δをラビリンスシールで使用可能なレベルの極力小さな値としている。本変形例によれば、回転軸３０のフランジ部３０Ａの端面３０ＡＬが、第１の部材４１Ａの右端面４１ＡＬに接触したことの上述の効果と、回転軸３０の外周面３０ｆと、第２の部材４１Ｃの内周面４１ｃとのスキマΔを極力小さくしたことの効果とが相まって、非常時に単位時間当たりのプロセス室Ｐ内への空気の流入量を減少させ、プロセス室Ｐ内の高真空状態が損なわれることを抑制できる。
【００５１】
図１０は、別な変形例にかかる拡大断面図で非常時のインターロック作動時を示す図であり、図６の構成の矢印IX部に相当する。本変形例では、上述した非常時に、回転軸３０が本体４１に対して軸線方向左方に相対移動すると、図１０に示すごとく、半径方向静圧面３０ＢＹが形成された支持部３０Ｂの左端面３０ＢＬが、第２の部材４１Ｃの内周面のうちの小径部の右端面４１ｒに略接触するようになっている。好ましくは、支持部３０Ｂの左端面３０ＢＬと、部材４１Ｃの内周面のうちの小径部の右端面４１ｒとの間隔を、フランジ部３０Ａの端面３０ＡＬと部材４１Ａの右端面４１ＡＬとのスキマと同一として、インターロック作動時に両方が接触し、密閉できるようになっていると好ましい。
【００５２】
かかる変形例によれば、回転軸３０のフランジ部３０Ａの端面３０ＡＬと、第１の部材４１Ａの右端面４１ＡＬに接触したことの上述の効果と、支持部３０Ｂの左端面３０ＢＬが、第２の部材４１Ｃの内周面のうちの小径部の右端面４１ｒに接触することの効果が相まって、非常時に単位時間当たりのプロセス室Ｐへの空気の流入量を減少させ、プロセス室Ｐ内の高真空状態が損なわれることを抑制できる。また、小径部の右端面４１ｒとフランジ部３０Ａの左端面３０ＢＬの接触時に、この接触部がシールとして機能することに加え、多孔質部材４６Ａ、静圧面３０ＢＹ及び第２の部材４１Ｃにより形成される環状空間が、いわばダンパとして機能し、プロセス室Ｐへの気体の漏れ込みによる圧力上昇に要する時間を遅延させる。なお、インターロック機能は、真空吸引力のほかに、たとえば磁気吸引力を与えることで行ってもよい。尚、図９の変形例と図１０の変形例とを組み合わせた構成としても良い。
【００５３】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、軸線方向の面間のスキマに加えて、半径方向の面間のスキマを用いて差動排気シールを構成してもよい。インターロック機能は、静圧軸受を設けた場合に限らず、転がり軸受を設けた場合であっても、転がり軸受と回転軸の軸線方向相対移動を許容する構成とすれば適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】比較例にかかるシール装置の断面図である。
【図２】第１の実施の形態にかかるシール装置の断面図である。
【図３】本実施の形態の回転軸のフランジ部周辺における拡大断面図である。
【図４】第２の実施の形態にかかるシール装置の断面図である。
【図５】本実施の形態における回転軸のフランジ部周辺を拡大して示す図である。
【図６】第３の実施の形態にかかるシール装置の断面図である。
【図７】図６の構成を矢印VII方向に見た図である。
【図８】図６の構成をVIII-VIII線で切断して矢印方向に見た図である。
【図９】変形例にかかるシール装置の一部断面図である。
【図１０】別な変形例にかかるシール装置の一部断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０ シール装置
１１ 本体
１１ａ フランジ部
１１ｂ 中央開口
１１ｂ 開口
１１ｃ 周溝
１１ｃ 差圧室
１１ｄ 貫通路
１２ 軸受ユニット
１２ａ ベアリング
１２ｂ ベアリングブロック
１２ｃ 外輪抑え
１２ｄ 内輪抑え
１４ コネクタ
１５ Ｏ−リング
１６ Ｏ−リング
２０ シール装置
２１ 本体
２１Ａ 第１の部材
２１Ａ’ 鍔部材
２１ａ 鍔部
２１ＡＬ 軸線方向左端面
２１ＡＲ 軸線方向右端面
２１Ｂ スキマ調整間座
２１Ｂａ 大径右端面
２１Ｂｂ 小径右端面
２１Ｂｃ 左端面
２１Ｃ 第２の部材
２１ＣＲ 軸線方向右端面
２１ｄ 貫通路
２３ 軸受間座
２４ ナット
２５ Ｏ−リング
２６ Ｏ−リング
３０ 回転軸
３０Ａ フランジ部
３０ＡＬ 左端面
３０ＡＲ 右端面
３０Ａｓ 雌ねじ孔
３０Ｂ’ 大径部
３０Ｂ 支持部
３０ＢＫ、３０ＣＫ 軸部材
３０ＢＬ 左端面
３０ＢＸ 軸線方向静圧面
３０ＢＹ 半径方向静圧面
３０Ｂｓ 雄ねじ部
３０Ｃ 小径部
３０Ｃｓ 雄ねじ部
３０ａ 大径部
３０ｂ ねじ部
３０ｆ 外周面
４０ シール装置
４１ 本体
４１Ａ 第１の部材
４１Ｂ スキマ調整間座
４１Ｃ 第２の部材
４１Ｄ 軸受間座
４１Ｅ 第３の部材
４１ａ 鍔部
４１ｃ 内周面
４１ｒ 右端面
４２ 軸受部
４６Ａ 多孔質部材
４６Ｂ 多孔質部材
Ｐ プロセス室
Ｐ１ 排気ポンプ
Ｖ バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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