(57)【要約】【課題】  広範囲において精度良く短時間で、分光法による分光分析を行うことのできる分光分析装置、分光分析方法、およびコンピュータ用のプログラムを提供する。【解決手段】  本発明にかかる分光分析装置１０００は、分光法により試料のスペクトルを測定する分光分析装置であって、試料のスペクトルを測定する測定部１００と、試料３００において、少なくとも、第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む第２の測定領域とを前記測定部に測定させる測定制御部１０と、少なくとも、前記第１の測定領域を測定した測定値と、前記第２の測定領域を測定した測定値とに基づいて、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の測定結果を算出する算出部１８と、を含む。【選択図】      図１
2006162348.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
分光法により試料のスペクトルを測定する分光分析装置であって、
試料のスペクトルを測定する測定部と、
試料において、少なくとも、第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む第２の測定領域とを前記測定部に測定させる測定制御部と、
少なくとも、前記第１の測定領域を測定した測定値と、前記第２の測定領域を測定した測定値とに基づいて、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の測定結果を算出する算出部と、
を含む、分光分析装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記測定部は、
前記第１の測定領域に含まれる第１の微小領域と、前記第１の微小領域の一部を含み、かつ前記第２の測定領域に含まれる第２の微小領域を測定する第１の検出器と、
前記第２の微小領域の一部を含み、かつ前記第１の測定領域に含まれる第３の微小領域を測定する第２の検出器と、
を有し、
前記算出部は、前記第１の微小領域を測定した測定値と、前記第２の微小領域を測定した測定値とに基づいて、前記第１の微小領域と前記第２の微小領域との共通領域の測定結果を算出し、
前記第２の微小領域を測定した測定値と、前記第３の微小領域を測定した測定値とに基づいて、前記第２の微小領域と前記第３の微小領域との共通領域の測定結果をさらに算出する、分光分析装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記算出部が算出した前記共通領域の測定結果を出力する出力部と、
前記出力部が出力した前記測定結果が所望の測定密度であったか否かを示す情報を取得する情報取得部と、
をさらに含み、
前記測定制御部は、前記情報取得部が前記所望の測定密度ではなかった旨を示す情報を取得した場合に、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の一部を含む第３の測定領域を前記測定部に測定させ、
前記算出部は、前記第１の測定領域の測定値と、前記第２の測定領域の測定値と、前記第３の測定領域の測定値とに基づいて、前記第１の測定領域と、前記２の測定領域と、前記第３の測定領域との共通領域の測定結果を算出する、分光分析装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記算出部は、前記第１の測定領域の測定値として得られた所定の波長における第１のスペクトル強度と、前記第２の測定領域の測定値として得られた前記所定の波長における第２のスペクトル強度との平均値を、前記共通領域の測定結果として算出する、分光分析装置。
【請求項５】
分光法により試料のスペクトルを測定する分光分析装置であって、
試料のスペクトルを測定する測定部と、
所望の測定密度を取得する測定密度取得部と、
前記所望の測定密度に基づいて、測定回数ｎを決定する測定回数決定部と、
前記第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む前記第２の測定領域と、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域である第１の共通領域の一部を含む第３の測定領域と、前記第１の共通領域と前記第３の測定領域との共通領域である第２の共通領域の一部を含む第４の測定領域と、・・・、第ｎ−３の共通領域と第ｎ−１の測定領域との共通領域である第ｎ−２の共通領域の一部を含む第ｎの測定領域と、を前記測定部に測定させる測定制御部と、
前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域の測定値に基づいて、前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域との共通領域の測定結果を算出する算出部と、
を含む、分光分析装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記測定密度取得部が取得した前記所望の測定密度に基づいて、前記第１の測定領域と、第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域とを決定する測定領域決定部を、さらに含み、
前記測定制御部は、前記測定領域決定部の決定に基づいて、前記測定部に、前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域とを測定させる、分光分析装置。
【請求項７】
分光法により試料のスペクトルを測定する分光分析方法であって、
（ａ）試料において、第１の測定領域を測定するステップと、
（ｂ）前記第１の測定領域の一部を含む第２の測定領域を測定するステップと、
（ｃ）前記第１の測定領域を測定した測定値と、前記第２の測定領域を測定した測定値とに基づいて、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の測定結果を算出するステップと、
を含む、分光分析方法。
【請求項８】
請求項７において、
前記ステップ（ａ）では、前記第１の測定領域に含まれる第１の微小領域および第３の微小領域を測定し、
前記ステップ（ｂ）では、前記第１の微小領域の一部を含み、かつ第３の微小領域の一部を含み、かつ前記第２の測定領域に含まれる第２の微小領域を測定し、
前記ステップ（ｃ）では、前記第１の微小領域を測定した測定値と、前記第２の微小領域を測定した測定値とに基づいて、前記第１の微小領域と前記第２の微小領域との共通領域の測定結果を算出し、
前記第２の微小領域を測定した測定値と、前記第３の微小領域を測定した測定値とに基づいて、前記第２の微小領域と前記第３の微小領域との共通領域の測定結果をさらに算出する、分光分析方法。
【請求項９】
請求項７において、
前記ステップ（ｃ）の後に、
算出した前記共通領域の測定結果を出力するステップと、
出力した前記測定結果が所望の測定密度で測定されたものであるか否かを示す情報を取得するステップと、
前記所望の密度ではなかった旨を示す情報を取得した場合に、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の一部を含む第３の測定領域を測定するステップと、
前記第１の測定領域の測定値と、前記第２の測定領域の測定値と、前記第３の測定領域の測定値とに基づいて、前記第１の測定領域と、前記２の測定領域と、前記第３の測定領域との共通領域の測定結果を算出するステップと、
をさらに含む、分光分析方法。
【請求項１０】
分光法により試料のスペクトルを測定する分光分析方法であって、
所望の測定密度を取得するステップと、
前記所望の測定密度に基づいて、測定回数ｎを決定するステップと、
前記第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む前記第２の測定領域と、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域の共通領域である第１の共通領域の一部を含む第３の測定領域と、前記第１の共通領域と前記第３の測定領域の共通領域である第２の共通領域の一部を含む第４の測定領域と、・・・、第ｎ−３の共通領域と第ｎ−１の測定領域との共通領域である第ｎ−２の共通領域の一部を含む第ｎの測定領域と、を測定するステップと、
前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域の測定結果に基づいて、前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域との共通領域の測定結果を算出するステップと、
を含む、分光分析方法。
【請求項１１】
赤外分光法により試料のスペクトルを測定する赤外分光分析装置であって、
試料のスペクトルを測定する測定部と、
試料において、少なくとも、第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む第２の測定領域とを前記測定部に測定させる測定制御部と、
少なくとも、前記第１の測定領域を測定した測定結果と、前記第２の測定領域を測定した測定結果とに基づいて、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の測定結果を算出する算出部と、
を含む、赤外分光分析装置。
【請求項１２】
分光法により試料のスペクトルを測定するコンピュータが実行可能なプログラムであって、
試料のスペクトルを測定する測定手段と、
試料において、少なくとも、第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む第２の測定領域とを測定させる測定制御手段と、
少なくとも、前記第１の測定領域を測定した測定結果と、前記第２の測定領域を測定した測定結果とに基づいて、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の測定結果を算出する算出手段と、
をコンピュータに実現させる、プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分光分析装置、分光分析方法、およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
分光分析装置は、測定結果をより有効に利用するため、ユーザにとって視覚的にわかりやすく測定結果を表示する機能を有することが望ましい。そこで、近年の分光分析装置は、測定した一連のスペクトルの中で、特に着目した成分や化学結合に帰属されるピークの強度を計算して、二次元または三次元表示させることができる。このような二次元または三次元表示は、着目成分等の分布状態をカラー画像として視覚的にわかりやすく表すことができるため、頻繁に用いられている。
【０００３】
このような分光分析装置は、たとえば、１つの検出器と、試料台を駆動する駆動部とを有する。分光分析装置は、検出器がある一の領域を測定した後、試料台を駆動部によって移動させ、その後に他の領域を測定するという動作を繰り返す。そして、分光分析装置は、複数の領域のスペクトルを測定し、測定したスペクトルの中の特定のピークの強度を、領域毎に表示させる。
【０００４】
しかし、このような手法では、広い領域を多数の微小な領域に分割してそれぞれの領域を測定する場合には、測定回数が非常に多くなり、測定に膨大な時間がかかってしまう。測定が長時間になると、温度や湿度等の測定環境や試料の性質が変化してしまい、測定結果の精度が悪くなることもある。
【０００５】
特許文献１は、まず測定領域を粗く分割して、それぞれの領域毎に測定を行い、その結果から目的の領域を絞り込み、その小さい領域については細かく分割して精密に測定するという測定手法を開示している。この手法によれば、すべての領域を細かく分割し、精密に測定する場合と比べて、目的の領域については短時間で効率よく測定することができるが、たとえば広範囲の成分分布等を分析する場合等、目的の領域が広範囲のときには、測定に膨大な時間がかかってしまうという問題がある。
【特許文献１】特開平１０−１８０７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
広範囲において精度良く短時間で、分光法による分光分析を行うことのできる分光分析装置、分光分析方法、およびコンピュータ用のプログラムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明にかかる分光分析装置は、分光法により試料のスペクトルを測定する分光分析装置であって、
試料のスペクトルを測定する測定部と、
試料において、少なくとも、第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む第２の測定領域とを前記測定部に測定させる測定制御部と、
少なくとも、前記第１の測定領域を測定した測定値と、前記第２の測定領域を測定した測定値とに基づいて、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の測定結果を算出する算出部と、を含む。
【０００８】
かかる形態によれば、測定部が第１の測定領域および第２の測定領域の２回の測定をすることにより、第１の測定領域と、第２の測定領域と、第１の測定領域と第２の測定領域との共通領域とを含む３箇所の領域の測定結果をだすことができる。したがって、かかる分光分析装置は、測定時間を短縮することができる。また、細かい領域ごとに測定結果をだすことができるため、より精度のよい測定結果を算出することができる。
【０００９】
（２）本発明にかかる分光分析装置において、
前記測定部は、前記第１の測定領域に含まれる第１の微小領域と、前記第１の微小領域の一部を含む第２の微小領域を測定する第１の検出器と、
前記第２の微小領域の一部を含む第３の微小領域を測定する第２の検出器と、
を有し、
前記算出部は、前記第１の微小領域を測定した測定値と、前記第２の微小領域を測定した測定値とに基づいて、前記第１の微小領域と前記第２の微小領域との共通領域の測定結果を算出し、
前記第２の微小領域を測定した測定値と、前記第３の微小領域を測定した測定値とに基づいて、前記第２の微小領域と前記第３の微小領域との共通領域の測定結果をさらに算出することができる。
【００１０】
かかる形態の分光分析装置は、複数の検出器を有し、各々の検出器が異なる領域を測定するため、測定時間を飛躍的に短縮することができる。また、かかる分光分析装置は、１回目の測定において、第１の検出器および第２の検出器を用いて、第１の微小領域と、第３の微小領域とを測定し、２回目の測定において、第１の検出器を用いて、第２の微小領域を測定する。すなわち、この２回の測定により、第１の微小領域と、第２の微小領域と、第３の微小領域と、第１の微小領域と第２の微小領域との共通領域と、第２の微小領域と第３の微小領域との共通領域とを含む５箇所の領域の測定結果をだすことができる。したがって、かかる分光分析装置は、測定時間をさらに短縮することができる。また、検出器の測定可能な領域より細かい領域ごとに測定結果をだすことができるため、より精度のよい測定結果を算出することができる。
【００１１】
（３）本発明にかかる分光分析装置において、
前記算出部が算出した前記共通領域の測定結果を出力する出力部と、
前記出力部が出力した前記測定結果が所望の測定密度であったか否かを示す情報を取得する情報取得部と、をさらに含み、
前記測定制御部は、前記情報取得部が前記所望の測定密度ではなかった旨を示す情報を取得した場合に、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の一部を含む第３の測定領域を前記測定部に測定させ、
前記算出部は、前記第１の測定領域の測定値と、前記第２の測定領域の測定値と、前記第３の測定領域の測定値とに基づいて、前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、前記第３の測定領域との共通領域の測定結果を算出することができる。
【００１２】
本発明において、分光分析装置は、試料を複数の領域に分割し、分割された領域ごとに測定結果を出力する。所望の測定密度とは、出力する測定結果に対応する領域の細かさをいう。具体的には、所望の測定密度は、出力する測定結果に対応する領域の面積、試料台または試料の領域を分割する回数等である。
【００１３】
かかる形態の分光分析装置は、たとえば、出力された測定結果をユーザが確認して、所望の測定密度で出力されたか否かを判断することができる。そして、所望の測定密度に達するまで測定を測定部に測定させることができる。
【００１４】
（４）本発明にかかる分光分析装置において、
前記算出部は、前記第１の測定領域の測定値として得られた所定の波長における第１のスペクトル強度と、前記第２の測定領域の測定値として得られた前記所定の波長における第２のスペクトル強度との平均値を前記共通領域の測定結果として算出することができる。
【００１５】
（５）本発明にかかる分光分析装置は、分光法により試料のスペクトルを測定する分光分析装置であって、
試料のスペクトルを測定する測定部と、
所望の測定密度を取得する測定密度取得部と、
前記所望の測定密度に基づいて、測定回数ｎを決定する測定回数決定部と、
前記第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む前記第２の測定領域と、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域である第１の共通領域の一部を含む第３の測定領域と、前記第１の共通領域と前記第３の測定領域との共通領域である第２の共通領域の一部を含む第４の測定領域と、・・・、第ｎ−３の共通領域と第ｎ−１の測定領域との共通領域である第ｎ−２の共通領域の一部を含む第ｎの測定領域と、を前記測定部に測定させる測定制御部と、
前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域の測定値に基づいて、前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域との共通領域の測定結果を算出する算出部と、を含む。
【００１６】
かかる形態の分光分析装置は、測定前に予めユーザ等によって入力されている所望の測定密度に基づいて、測定回数を決定することができる。これにより、ユーザの要望する測定密度で測定結果を算出し、出力することができる。
【００１７】
（６）本発明にかかる分光分析装置は、前記測定密度取得部が取得した前記所望の測定密度に基づいて、前記第１の測定領域と、第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域とを決定する測定領域決定部を、さらに含み、
前記測定制御部は、前記測定領域決定部の決定に基づいて、前記測定部に、前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域とを測定させることができる。
【００１８】
かかる形態の分光分析装置は、測定前に予めユーザ等によって入力されている所望の測定密度に基づいて、測定領域を決定することができる。これにより、ユーザの要望する測定密度で測定結果を算出し、出力することができる。
【００１９】
（７）本発明にかかる分光分析方法は、分光法により試料のスペクトルを測定する分光分析方法であって、
（ａ）試料において、第１の測定領域を測定するステップと、
（ｂ）前記第１の測定領域の一部を含む第２の測定領域を測定するステップと、
（ｃ）前記第１の測定領域を測定した測定値と、前記第２の測定領域を測定した測定値とに基づいて、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の測定結果を算出するステップと、
を含む。
【００２０】
本発明にかかる分光分析方法において、
前記ステップ（ａ）では、前記第１の測定領域に含まれる第１の微小領域および第３の微小領域を測定し、
前記ステップ（ｂ）では、前記第１の微小領域の一部を含み、かつ第３の微小領域の一部を含む第２の微小領域を測定し、
前記ステップ（ｃ）では、前記第１の微小領域を測定した測定値と、前記第２の微小領域を測定した測定値とに基づいて、前記第１の微小領域と前記第２の微小領域との共通領域の測定結果を算出し、
前記第２の微小領域を測定した測定値と、前記第３の微小領域を測定した測定値とに基づいて、前記第２の微小領域と前記第３の微小領域との共通領域の測定結果をさらに算出することができる。
【００２１】
本発明にかかる分光分析方法において、
前記ステップ（ｃ）の後に、
算出した前記共通領域の測定結果を出力するステップと、
出力した前記測定結果が所望の測定密度で測定されたものであるか否かを示す情報を取得するステップと、
前記所望の密度ではなかった旨を示す情報を取得した場合に、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の一部を含む第３の測定領域を測定するステップと、
前記第１の測定領域の測定値と、前記第２の測定領域の測定値と、前記第３の測定領域の測定値とに基づいて、前記第１の測定領域と、前記２の測定領域と、前記第３の測定領域との共通領域の測定結果を算出するステップと、
をさらに含むことができる。
【００２２】
（８）本発明にかかる分光分析方法は、分光法により試料のスペクトルを測定する分光分析方法であって、
所望の測定密度を取得するステップと、
前記所望の測定密度に基づいて、測定回数ｎを決定するステップと、
前記第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む前記第２の測定領域と、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域の共通領域である第１の共通領域の一部を含む第３の測定領域と、前記第１の共通領域と前記第３の測定領域の共通領域である第２の共通領域の一部を含む第４の測定領域と、・・・、第ｎ−３の共通領域と第ｎ−１の測定領域との共通領域である第ｎ−２の共通領域の一部を含む第ｎの測定領域と、を測定するステップと、
前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域の測定結果に基づいて、前記第１の測定領域と、前記第２の測定領域と、・・・第ｎの測定領域との共通領域の測定結果を算出するステップと、を含む。
【００２３】
（９）本発明にかかる赤外分光分析装置は、赤外分光法により試料のスペクトルを測定する赤外分光分析装置であって、
試料のスペクトルを測定する測定部と、
試料において、少なくとも、第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む第２の測定領域とを前記測定部に測定させる測定制御部と、
少なくとも、前記第１の測定領域を測定した測定結果と、前記第２の測定領域を測定した測定結果とに基づいて、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の測定結果を算出する算出部と、を含む。
【００２４】
（１０）本発明にかかるプログラムは、分光法により試料のスペクトルを測定するコンピュータが実行可能なプログラムであって、
試料のスペクトルを測定する測定手段と、
試料において、少なくとも、第１の測定領域と、前記第１の測定領域の一部を含む第２の測定領域とを測定させる測定制御手段と、
少なくとも、前記第１の測定領域を測定した測定結果と、前記第２の測定領域を測定した測定結果とに基づいて、前記第１の測定領域と前記第２の測定領域との共通領域の測定結果を算出する算出手段と、
をコンピュータに実現させる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
図１は、本実施の形態にかかる分光分析装置１０００の機能構成を示すブロック図である。分光分析装置１０００は、分光法により試料３００のスペクトルを分析する。分光分析装置１０００は、試料３００を複数の領域に分割し、分割した領域毎に測定結果を算出することができる。分光分析装置に適用される分光法としては、たとえば、赤外分光法、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）等の光電子分光法があげられ、これらが適用された分光分析装置の一例としては、ＦＴＩＲ（フーリエ変換赤外分光装置）、ＥＳＣＡ（Ｘ線光電子分光分析装置）等が挙げられる。
【００２７】
分光分析装置１０００は、測定制御部１０と、測定領域決定部１２と、測定回数決定部１４と、情報取得部１６と、算出部１８と、表示部２０と、駆動部２２と、光学系２４と、測定部１００と、試料台２００と、を含む。
【００２８】
測定部１００は、図１に示すように、２次元のアレイ状に配列された複数の検出器１０２を有する。複数の検出器１０２は、それぞれに対応した微小領域のスペクトルを測定することができる。具体的に測定部１００は、図１に示すように、試料３００の試料像を複数の検出器の受光面に結像させ、光学系２４によって空間的に結像される試料面の各微小領域を、焦平面に並べられた検出器の１つ１つに対応させて、すべての微小領域を同時に測定する。
【００２９】
このように、分光分析装置１０００は、試料面の複数の微小領域を、複数の検出器を用いて同時に測定することができるため、１つの検出器を用いて測定する試料走査型の分光分析装置に比べて、測定時間を大幅に短縮することができる。
【００３０】
情報取得部１６は、所望の測定密度を示す情報を取得し、測定回数決定部１４に送る。本実施の形態において、分光分析装置は、試料３００を複数の領域に分割し、分割された領域ごとに測定結果を出力する。所望の測定密度とは、出力する測定結果に対応する領域の細かさをいう。具体的には、所望の測定密度は、出力する測定結果に対応する領域の面積、試料台または試料の領域を分割する回数等でもよい。
【００３１】
測定回数決定部１４は、情報取得部１６から受け取った所望の測定密度を示す情報に基づいて、試料を測定する測定回数を決定し、所望の測定密度を示す情報とともに測定領域決定部１２に送る。
【００３２】
測定領域決定部１２は、測定回数決定部１４から受け取った所望の測定密度および測定回数に基づいて、測定領域を決定し、測定回数とともに測定制御部１０に送る。測定制御部１０は、測定領域決定部１２から受け取った測定回数および測定領域に基づいて、測定部１００および駆動部２２を制御する。
【００３３】
駆動部２２は、測定領域決定部１２の制御に従って、試料台２００を駆動する。駆動部２２が試料台２００を駆動することにより、測定部１００が測定する測定領域を移動させることができる。すなわち、測定部１００に含まれるそれぞれの検出器１０２が測定する微小領域を移動させることができる。
【００３４】
なお、駆動部２２は、試料台２００にかえて測定部１００を駆動してもよい。これによっても、測定部１００が測定する測定領域を移動させることができる。すなわち、測定部１００に含まれるそれぞれの検出器１０２が測定する微小領域を移動させることができる。
【００３５】
算出部１８は、測定部１００が測定した測定値に基づいて、所望の測定密度に対応した測定結果を算出し、表示部２０に送る。表示部２０は、算出部１８から受け取った算出結果をユーザが閲覧可能に表示する。表示部２０は、出力部の一例であり、表示部にかえて、印刷装置等の算出部１８から受け取った情報を出力することができるその他のものであってもよい。
【００３６】
図２は、分光分析装置１０００の動作を示すフローチャートである。次に、分光分析装置１０００の動作の詳細について説明する。
【００３７】
まず、ユーザは、試料３００を試料台２００に載置し、測定領域を指定する（Ｓ１００）。
【００３８】
次に、情報取得部１６は、所望の測定密度を示す情報を取得する。具体的には、情報取得部１６は、たとえば分割数「１２×１２」を所望の測定密度を示す情報として取得する（Ｓ１０２）。分割数「１２×１２」とは、試料台２００を基準として、縦および横にそれぞれ１２分割して１２行１２列の領域に分割することをいう。
【００３９】
ここで分光分析装置１０００は、所望の測定密度である分割数を取得することによって、ユーザが所望する測定密度で測定結果を出力することができる。
【００４０】
次に、測定回数決定部１４は、情報取得部１６が取得した所望の測定密度を示す情報に基づいて、試料を測定する測定回数を決定する（Ｓ１０４）。
【００４１】
たとえば、情報取得部１６が取得した所望の測定密度である分割数が１２行１２列計１４４分割であり、測定部１００が有する検出器の数が、６行６列の計３６個である場合に、測定回数は２回となる。即ち、測定回数決定部１４は、所望の測定密度の行数および列数を、それぞれ検出器の行数および列数で割ることにより、測定回数を決定することができる。
【００４２】
次に、測定領域決定部１２は、測定回数決定部１４が決定した測定回数に基づいて、測定領域を決定する（Ｓ１０６）。測定領域決定部１２は、たとえば測定回数が２回の場合に、１回目に測定する測定領域から、２分の１行および２分の１列の長さだけ、試料台２００を移動した領域を２回目の測定領域として決定する。
【００４３】
測定回数決定部１４が決定した測定回数がたとえば３回の場合には、測定領域決定部１２は、３分の１行および３分の１列の長さ試料台２００を移動する。
【００４４】
次に、測定部１００は、試料台２００に載置されている試料３００のスペクトルを測定する（Ｓ１０８）。
【００４５】
図３は、図２のＳ１０８において、試料３００を測定したスペクトルの中の特定のピークの強度を測定値として表した２次元表示画像の一例である。ここで測定部１００は、第１の測定領域の一例としての測定領域ａを測定する。測定領域ａは、予めユーザが定めた測定領域であってもよいし、測定領域決定部１２が決定した測定領域であってもよい。図３は、所定の波長に対応したピークの強度を微小領域毎に段階的に色の濃さで表している。たとえば、特定のピークに対応する物質である試料３００を測定した場合、それぞれの微小領域上にある試料３００の量に応じて、表示される微小領域の色の濃さがかわる。
【００４６】
次に、測定制御部１０は、測定回数決定部１４が決定した測定回数を測定したか否かを判断する（Ｓ１１０）。測定回数決定部１４が決定した測定回数を測定していないと測定制御部１０が判断した場合に、測定部１００は、測定領域決定部１２が決定した、第２の測定領域の一例としての測定領域ｂ（図４参照）を測定する（Ｓ１０８）。
【００４７】
一方、測定回数決定部１４が決定した測定回数を測定したと判断した場合に、算出部１８は、測定部１００が測定した測定値に基づいて、測定結果を算出する（Ｓ１１２）。具体的には、算出部１８は、測定領域ａに含まれる微小領域ａ１の測定値と、測定領域ｂに含まれる微小領域ｂ１の測定値との平均値を、微小領域ａ１と微小領域ｂ１との共通領域ｃ１の測定結果として算出する。微小領域ａ１の測定値をＡとし、微小領域ｂ１の測定値とし、共通領域の平均値をＸとすると、ＸとＡおよびＢとの関係は、
Ｘ＝（Ａ＋Ｂ）／２
で表すことができる。
【００４８】
また、算出部１８は、測定領域ａに含まれる微小領域ａ２の測定値と、測定領域ｂ１の測定値とに基づいて、微小領域ａ２と測定領域ｂ１との共通領域ｃ２の測定結果を算出することもできる。
【００４９】
このように、分光分析装置１０００は、１回目の測定において、測定領域ａに含まれるそれぞれの微小領域のスペクトルを測定し、２回目の測定において、測定領域ｂに含まれるそれぞれの微小領域を測定する。これにより、測定領域ａおよび測定領域ｂに含まれる微小領域の測定結果だけでなく、測定領域ａに含まれるそれぞれの微小領域と測定領域ｂに含まれるそれぞれの微小領域との共通領域についての測定結果を算出することができる。よって、図４に示すように、より精度のよい測定結果を算出することができる。
【００５０】
次に、表示部２０は、算出部１８が算出した測定結果を表示する（Ｓ１１４）。表示部２０は、図４に示すように、測定結果を表示する。
【００５１】
図３は、測定部１００が試料３００を１回測定した場合の表示例である。このように、１回だけの測定では、試料３００の形状をほとんど反映しない測定結果となってしまっていることがわかる。これに対し図４では、測定部１００が試料３００を２回測定しているため、１回測定して測定結果を表示する場合と比べて、より細かい領域毎に測定結果を表示することができる。このため、より精密な測定結果を表示することができる。
【００５２】
次に本実施の形態の変形例について説明する。変形例にかかる分光分析装置は、測定結果を表示した後に所望の測定密度であるか否かを判断する点で、予め所望の測定密度を取得する本実施の形態にかかる分光分析装置１０００と異なる。変形例にかかる分光分析装置の構成は、分光分析装置１０００と同様であるので説明を省略する。
【００５３】
図５は、変形例にかかる分光分析装置の動作を示すフローチャートである。
【００５４】
まず、ユーザは、試料３００を試料台２００に載置し、測定領域を指定する（Ｓ２００）。
【００５５】
次に、測定部１００は、試料台２００に載置されている試料３００のスペクトルを測定する（Ｓ２０２）。次に、算出部１８は、測定部１００が測定した測定値に基づいて、測定結果を算出する（Ｓ２０４）。
【００５６】
次に、表示部２０は、算出部１８が算出した測定結果を表示する（Ｓ２０６）。
【００５７】
次に、情報取得部１６は、表示部２０が表示した測定結果が所望の測定密度で測定されたものであるか否かを示す情報を取得する（Ｓ２０８）。表示された測定結果が所望の測定密度で測定されたものである旨を示す情報を、情報取得部１６が取得した場合に、分光分析装置１０００の動作は終了する。一方、表示された測定結果が所望の測定密度で測定されたものではなかった旨を示す情報を情報取得部１６が取得した場合に、分光分析装置１０００の動作は、Ｓ２０２に戻る。即ち、Ｓ２０８において、表示された測定結果が所望の測定密度で測定されたものである旨を情報取得部１６が取得するまで、分光分析装置１０００は、Ｓ２０２〜Ｓ２０８の動作を繰り返す。
【００５８】
このように、分光分析装置１０００は、所望の測定密度の測定結果になるまで測定を繰り返すことにより、試料ごとにユーザの要望に応じて、適宜測定結果を出力することができる。また分光分析装置１０００は、試料のスペクトルが測定される毎に測定結果を表示するため、ユーザは、試料のスペクトルが測定される毎に測定結果を確認することができ、確認の後に、所望の測定密度であったか否かを分光分析装置１０００に入力することができる。
【００５９】
以上、本発明の好適な実施の形態について述べたが、本発明はこれらに限定されず、各種の態様を取りうる。たとえば、本実施の形態にかかる分光分析装置１０００は、試料３００を２回測定しているが、これに限定されず、３回以上の測定を行ってもよい。
【００６０】
また、分光分析装置１０００は、測定領域をつなぎ合わせることにより、より広範囲のスペクトルを測定することもできる。分光分析装置１０００の測定部１００は、複数の検出器を有するため、単一の検出器によって広範囲を測定するのは膨大な時間がかかってしまう。そこで、分光分析装置１０００は、複数の検出器を有し、さらに試料台２００を駆動する駆動部２２を有するため、広範囲でも短時間で精密な測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本実施の形態にかかる分光分析装置の機能構成を示すブロック図である。
【図２】分光分析装置の動作を示すフローチャートである。
【図３】測定部が試料を１回測定したときの測定結果の一例を示す図である。
【図４】測定部が試料を２回測定したときの測定結果の一例を示す図である。
【図５】変形例にかかる分光分析装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６２】
１０  測定制御部、１２  測定領域決定部、１４  測定回数決定部、１６  情報取得部、１８  算出部、２０  表示部、２２  駆動部、２４  光学系、１００  測定部、１０２  検出器、２００  試料台、３００  試料、１０００  分光分析装置
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図３】
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【図４】
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