(57)【要約】【課題】スライダ側転動体軌道面の傾斜角を測定するときに熟練を要することなくスライダ側転動体軌道面の傾斜角を測定可能な直動案内装置を提供する。【解決手段】スライダ２の内側面に基準部１５ａ〜１５ｄをスライダ側転動体軌道面６に隣接して設けた直動案内装置において、基準部１５ａ〜１５ｄをスライダ側転動体軌道面６と、平面部１７と、軌道面６と平面部１７とを連結する連結面１６とから構成した。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内レールと、この案内レールに形成されたレール側転動体軌道面と、該軌道面と対向するスライダ側転動体軌道面を有するスライダと、このスライダの相対的直線運動に伴って前記レール側転動体軌道面および前記スライダ側転動体軌道面を転動する多数の円筒ころとを備え、前記円筒ころの両端面を案内する案内面が前記スライダ側転動体軌道面とは別体で構成されており、前記スライダの内側面に前記スライダ側転動体軌道面と一体に研削加工された基準部を前記スライダ側転動体軌道面に隣接して設けたことを特徴とする直動案内装置。
【請求項２】
前記基準部が略Ｖ字状の溝部であり、該溝部の底部には急激な角度変化を防ぐための連結部を設けたことを特徴とする請求項１記載の直動案内装置。
【請求項３】
前記基準部が略Ｖ字状の溝部であり、Ｖ字面の開き角が９０°よりも大きいことを特徴とする請求項１記載の直動案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直線運動する機械部品をその移動方向に案内する装置として半導体製造装置、精密加工機械、測定機器などで使用される直動案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
直線運動する機械部品をその移動方向に案内する直動案内装置として、下記の特許文献１に記載されたものが知られている。この直動案内装置は、図１２に示すように、案内レール１およびスライダ２を備えており、案内レール１の左右側面部には、レール側転動体軌道面５が案内レール１の上面部及び下面部に対して４５°の傾斜角度で二条ずつ形成されている。
レール側転動体軌道面５はスライダ２の内側面に二条ずつ形成されたスライダ側転動体軌道面６とそれぞれ対向しており、レール側転動体軌道面５とスライダ側転動体軌道面６との間には、転動体としての円筒ころ８が多数設けられている。
【０００３】
円筒ころ８はスライダ２が案内レール１の長手方向に相対移動するとレール側転動体軌道面５及びスライダ側転動体軌道面６を転動するようになっており、スライダ側転動体軌道面６を転動した円筒ころ８はエンドキャップ（図示せす）に形成された方向転換路で方向転換した後、スライダ２に形成された転動体戻し通路９を転動して元の位置に戻るようになっている。
このような直動案内装置は、転動体としてボールを用いたものに比べて剛性が高く、耐負荷荷重を大きくできるという利点を有しているが、軌道面６，７の傾斜角が許容範囲から外れていると円筒ころ８が片当りするため、軌道面６，７の傾斜角を測定して許容範囲内にあるか否かを検査する必要がある。
【０００４】
軌道面の傾きを測定する場合、従来においては、図１３に示すように、スライダ２の内側面間に紙片などからなる連結部材１０を掛け渡し、この状態で軌道面６の傾斜角を形状測定機１１で測定する方法が一般的に用いられるが、この方法は測定機台への固定などに手間がかかり、さらに測定機１１の操作に熟練を要するなどの問題がある。そこで、これに代わる方法として、図１４に示すように、スライダ側転動体軌道面６に隣接してスライダ２の内側面に設けられた鍔部１２に直径が既知の棒状部材１３を押し当て、鍔部１２に押し当てられた棒状部材１３間の寸法Ｗ１、Ｗ２およびｈをパッサメータなどで計測し、その測定値からスライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定する方法が提案されている。
【特許文献１】特開平５−２８０５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した方法では、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を精度良く測定するためには、直径の小さい棒状部材１３を使用しなければならないため、棒状部材１３の取扱いが困難となる。このため、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定するときに熟練を要するという問題がある。また、スライダ２の内側面に鍔部１２を設ける必要があるため、スライダ内側面の形状が複雑な形状となり、焼入れ時に鍔部１２が過熱して焼入れ硬度が不均一となるおそれがある。さらに、軌道面６の研削加工時に砥石の一部が脱落して正常に研削できないおそれがある。また、鍔部と軌道面との連結部はその隅Ｒ6をころ端面のＲ8よりも小さくしなければならないため、ころを研削する砥石は実質上、シャープエッジとなっている（図１２参照）。この部分が欠けやすくて加工効率を下げている。
本発明は上述した点に着目してなされたものであり、スライダ側転動体軌道面の傾斜角を測定するときに熟練を要することなく傾斜角を測定可能な直動案内装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明に係る直動案内装置は、案内レールと、この案内レールに形成されたレール側転動体軌道面と、該軌道面と対向するスライダ側転動体軌道面を有するスライダと、このスライダの相対的直線運動に伴って前記レール側転動体軌道面および前記スライダ側転動体軌道面を転動する多数の円筒ころとを備え、前記円筒ころの両端面を案内する案内面が前記スライダ側転動体軌道面とは別体で構成されており、前記スライダの内側面に前記スライダ側転動体軌道面と一体に研削加工された基準部を前記スライダ側転動体軌道面に隣接して設けたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１記載の直動案内装置において、前記基準部が略Ｖ字状の溝部であり、該溝部の底には急激な角度変化を防ぎための連結部を設けたことを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１記載の直動案内装置において、前記基準部が略Ｖ字状の溝部であり、Ｖ字面の開き角が９０°よりも大きいことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る直動案内装置では、スライダ側転動体軌道面の傾斜角を測定する際に直径の小さい棒状部材を使用する必要がないので、スライダ側転動体軌道面の傾斜角を測定するときに熟練を要することなく傾斜角を測定することができる。また、スライダの内側面に鍔部を設ける必要がないので、スライダ内側面の形状を比較的簡単な形状とすることができ、かつ砥石のシャープエッジを防ぐことができて加工コストの上昇を抑制することができる。また、基準部をスライダ側転動体軌道面と一体にスライダの内側面に形成することができるので、スライダ側転動体軌道面の傾斜角を精度良く測定することができ、円筒ころの片当り等を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
本発明の第１の実施形態に係る直動案内装置を図１〜図４に示す。図１において、符号１４は本発明の第１の実施形態に係る直動案内装置を示し、この直動案内装置１４は案内レール１、スライダ２およびエンドキャップ３，４を備えている。
案内レール１およびスライダ２は鋼等の金属材料から形成されており、案内レール１の左右側面部には、案内レール１の上面部及び下面部に対して４５°の傾斜角を有するレール側転動体軌道面５が二条ずつ形成されている。これらのレール側転動体軌道面５はスライダ２の内側面に二条ずつ形成されたスライダ側転動体軌道面６（図２及び図３参照）と対向しており、レール側転動体軌道面５とスライダ側転動体軌道面６との間には、転動体としての円筒ころ８（図２参照）が多数設けられている。なお、案内レール１の上面部には図示しないボルトにより案内レール１の下面部を機台等に固定するためのレール取付け孔７が複数設けられている。
【００１０】
円筒ころ８はスライダ２が案内レール１の長手方向に相対移動するとレール側転動体軌道面５及びスライダ側転動体軌道面６上を転動するようになっており、スライダ側転動体軌道面６を転動した円筒ころ８は例えばエンドキャップ３に形成された方向転換路で方向転換した後、スライダ２に形成された転動体戻し通路９（図２参照）を転動して元の位置に戻るようになっている。
【００１１】
スライダ２の内側面には、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定するときの補助となる基準部１５ａ〜１５ｄ（図３参照）がスライダ側転動体軌道面６に隣接して設けられている。これらの基準部１５ａ〜１５ｄは、図４に示すように、スライダ側転動体軌道面６と、平面部１７と、軌道面６と平面部１７に挟まれた連結面１６とからなり、連結面１６は平面状である。また、連結面１６と平面部１７は、図５に示す形状の総形砥石１８によりスライダ側転動体軌道面６と一体に研削加工されてスライダ２の内側面に形成されている。
【００１２】
このような構成において、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定する場合は、図６に示すように、スライダ２の内側面に設けられた基準部１５ａ〜１５ｄに円柱状の棒状部材１３を押し当て、基準部１５ａ〜１５ｄに押し当てられた棒状部材１３間の横寸法Ｗ１、Ｗ２をパッサメータ等で測定する。ここで、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角をθとすると、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角θは次式から求めることができる。
【００１３】
θ＝（Ｗ１−Ｗ２）／ｈ
ｈ：設計上、既知の棒状部材の中心間距離
【００１４】
上述のように、本発明の第１の実施形態では、基準部１５ａ〜１５ｄをスライダ側転動体軌道面６と、平面部１７と、軌道面６と平面部１７に挟まれた連結面１６とから構成したことで、前述した従来例のように、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定する際に直径の小さい棒状部材１３を使用する必要がないので、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定するときに熟練を要することなくスライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定することが可能となる。また、連結部１６を設けているので、砥石にシャープエッジがないため、研削が容易で加工効率を良好にできる。
【００１５】
また、スライダ２の内側面に鍔部を設ける必要がないので、スライダ内側面の形状を比較的簡単な形状とすることができ、加工コストの上昇を抑制することができる。さらに、スライダ側転動体軌道面６を研削加工するときに図７に示す形状の総形砥石１８を用いることにより、基準部１５ａ〜１５ｄをスライダ側転動体軌道面６と一体にスライダ２の内側面に形成することができるので、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を精度良く測定することができ、円筒ころ８の片当り等を防止できる。なお、図７において、符号１９は砥石１８を研摩加工するための研摩具（ダイヤモンドドレッサー）を示している。また、連結面１６は、図８に示すように、円弧形状としても、同様の効果を得ることができる。
【００１６】
次に、本発明の第２の実施形態を図９及び図１０を参照して説明する。
図９は本発明の第２の実施形態に係る直動案内装置のスライダ正面を示す図であり、同図に示すように、スライダ２の内側面には、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定するときの補助となる基準部２０ａ〜２０ｄがスライダ側転動体軌道面６に隣接して設けられている。これらの基準部２０ａ〜２０ｄは、図示しない砥石によりスライダ側転動体軌道面６と一体に研削加工されてスライダ２の内側面に形成されている。また、基準部２０ａ〜２０ｄは、図１０に示すように、軌道面６と平面部１７とからなり、軌道面６と平面部１７とは１３５°の角度θ4を有している。
【００１７】
このように構成される本発明の第２の実施形態では、スライダ側転動体軌道面６に対する基準部２０ａ〜２０ｄの開き角度θ4をθ4＝１３５°としたことで、前述した従来例のように、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定する際に直径の小さい棒状部材１３を使用する必要がないので、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定するときに熟練を要することなくスライダ側転動体軌道面６の傾斜角を測定することが可能となる。また、基準部２０ａ〜２０ｄの開き角度が比較的大きいので、砥石エッジ部を鈍角にでき、欠け難くできるため、加工効率が良い。
【００１８】
また、スライダ２の内側面に鍔部を設ける必要がないので、スライダ内側面の形状を比較的簡単な形状とすることができ、加工コストの上昇を抑制することができる。さらに、スライダ側転動体軌道面６を砥石で研削加工するときに基準部２０ａ〜２０ｄをスライダ側転動体軌道面６と一体にスライダ２の内側面に形成することができるので、スライダ側転動体軌道面６の傾斜角を精度良く測定することができ、円筒ころ８の片当り等を防止できる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。たとえば、図１１に示す第３の実施形態のように、基準部１５ａ，１５ｃと基準部２０ｂ，２０ｄとを適宜組合せてスライダ２の内側面に設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第1の実施形態に係る直動案内装置の斜視図である。
【図２】図１に示す直動案内装置の正面図である。
【図３】図２に示すスライダの正面図である。
【図４】図３に示すＡ部の拡大図である。
【図５】図３に示すスライダ側軌道面を研削加工するときに使用する砥石を示す図である。
【図６】図３に示すスライダ側軌道面の傾斜角を測定するときの方法を示す図である。
【図７】図５に示す砥石を製作するときに用いられる研摩具を示す図である。
【図８】図４に示す連結面の変形例を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る直動案内装置のスライダ正面を示す図である。
【図１０】図９に示すスライダの部分正面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る直動案内装置のスライダ正面を示す図である。
【図１２】転動体として円筒ころを用いた従来の直動案内装置の部分断面図である。
【図１３】スライダ側軌道面の傾斜角測定方法の一例を示す図である。
【図１４】スライダ側軌道面の傾斜角測定方法の他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  案内レール
２  スライダ
３，４  エンドキャップ
５  レール側転動体軌道面
６  スライダ側転動体軌道面
７  レール取付け孔
８  円筒ころ
９  転動体戻し通路
１０  連結部材
１１  形状測定機
１２  鍔部
１３  棒状部材
１５ａ〜１５ｄ  基準部
１６  連結面
１７  平面部
１８  砥石
１９  研摩具
２０ａ〜２０ｄ  基準部
【図１】
2006077853.tif 000003
【図２】
2006077853.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006077853.tif 000008
【図７】
2006077853.tif 000009
【図８】
2006077853.tif 000010
【図９】
2006077853.tif 000011
【図１０】
2006077853.tif 000012
【図１１】
2006077853.tif 000013
【図１２】
2006077853.tif 000014
【図１３】
2006077853.tif 000015
【図１４】
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