(57)【要約】【課題】  振動体の振動に起因する悪影響を抑制しつつ、駆動効率の高い駆動装置を提供することにある。【解決手段】  振動アクチュエータ１Ａ（駆動装置）は、高周波信号に基づいて振動する振動体１０と、振動体１０による振動に応じて駆動される被駆動体３０Ａとを備える。被駆動体３０Ａは、接触部材３１と制振部材３２とを有している。接触部材３１は、振動体１０の振動動作に応じて振動体１０との接触および振動体１０からの離反を繰り返しつつ振動体１０との間に生じる摩擦力によって駆動される。制振部材３２は、接触部材３１の振動を抑制する。また、制振部材３２は、接触部材３１における振動体３１との接触領域ＣＲと接触部材３１における接触領域の反対面側領域ＲＲとの両領域（ＣＲ，ＲＲ）を除外した部分で、接触部材３１に接続される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波信号に基づいて振動する振動体と、
前記振動体による振動に応じて駆動される被駆動体と、
を備え、
前記被駆動体は、前記振動体の振動動作に応じて前記振動体との接触および前記振動体からの離反を繰り返しつつ前記振動体との間に生じる摩擦力によって駆動される接触部材と、前記接触部材の振動を抑制する制振部材とを有し、
前記制振部材は、前記接触部材における前記振動体との接触領域と前記接触部材における前記接触領域の反対面側領域との両領域を除外した部分で、前記接触部材に接続されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置において、
前記制振部材は、前記接触部材における前記振動体との接触面の側方において、前記接触部材に対して接続されることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の駆動装置において、
前記被駆動体に対して前記振動体とは反対側に設けられ、前記振動体から付与される力を支持する支持部材、
をさらに備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の駆動装置において、
前記制振部材は、前記接触部材の長手方向における辺において、前記接触部材と接続されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の駆動装置において、
前記接触部材は、円筒形状を有しており、前記振動体との摩擦接触に応じて当該円筒形状の中心軸を中心に回転するように設けられ、
前記制振部材は、前記円筒形状の端面を形成するように設けられ、
前記振動体は、前記接触部材の円筒面で囲まれる位置に設けられていることを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の駆動装置において、
前記制振部材は、前記接触部材とは異なる種類の材料で形成されることを特徴とする駆動装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の駆動装置において、
前記制振部材は、前記振動体による駆動力を所定の別部材に伝達する伝達手段をさらに有していることを特徴とする駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体の振動を利用する駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子などに交流電圧を印加することによって振動体を振動させ、当該振動体との接触および離反を繰り返すことによって被駆動体を摩擦力で駆動する駆動装置が存在する。このような駆動装置に関する技術としては、例えば特許文献１に記載の技術が存在する。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２８９７８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の技術においては、超音波振動子（振動体）によって駆動される被駆動体が、摺動板と摺動板保持部材とが接合された状態で構成される。換言すれば、振動体によって駆動される摺動板の裏側に、制振材料として機能する摺動板保持部材が設けられている。このような構成によれば、摺動板保持部材が制振材料として機能し、一定の制振効果が発揮される。
【０００５】
しかしながら、上記の技術においては、摺動板の裏側において振動体に対応する位置に摺動板保持部材が存在し、振動体から摺動板へと加わる押圧力が摺動板保持部材（制振材料）の弾性力によって吸収されてしまうため、駆動力が低下してしまうなどの問題がある。
【０００６】
そこで、この発明の課題は、振動体の振動に起因する悪影響を抑制しつつ、駆動効率の高い駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決すべく、請求項１の発明は、駆動装置であって、高周波信号に基づいて振動する振動体と、前記振動体による振動に応じて駆動される被駆動体とを備え、前記被駆動体は、前記振動体の振動動作に応じて前記振動体との接触および前記振動体からの離反を繰り返しつつ前記振動体との間に生じる摩擦力によって駆動される接触部材と、前記接触部材の振動を抑制する制振部材とを有し、前記制振部材は、前記接触部材における前記振動体との接触領域と前記接触部材における前記接触領域の反対面側領域との両領域を除外した部分で、前記接触部材に接続されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明に係る駆動装置において、前記制振部材は、前記接触部材における前記振動体との接触面の側方において、前記接触部材に対して接続されることを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る駆動装置において、前記被駆動体に対して前記振動体とは反対側に設けられ、前記振動体から付与される力を支持する支持部材、をさらに備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記制振部材は、前記接触部材の長手方向における辺において、前記接触部材と接続されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記接触部材は、円筒形状を有しており、前記振動体との摩擦接触に応じて当該円筒形状の中心軸を中心に回転するように設けられ、前記制振部材は、前記円筒形状の端面を形成するように設けられ、前記振動体は、前記接触部材の円筒面で囲まれる位置に設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項１から請求項５のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記制振部材は、前記接触部材とは異なる種類の材料で形成されることを特徴とする。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項１から請求項６のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記制振部材は、前記振動体による駆動力を所定の別部材に伝達する伝達手段をさらに有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１から請求項７に記載の発明によれば、制振部材は、接触部材における振動体との接触領域とその反対面側領域との両領域を除外した部分で、接触部材に接続されているので、高い制振機能を実現することが可能であるとともに、高い駆動効率を実現することが可能である。
【００１５】
特に、請求項３に記載の発明によれば、振動体から付与される力が支持部材によって支持されるので、より大きな駆動力を得ることができる。
【００１６】
また、請求項４に記載の発明によれば、制振部材は、接触部材の長手方向における辺において、接触部材と接続されているので、より高い制振効果を得ることができる。
【００１７】
さらに、請求項５に記載の発明によれば、振動体は、接触部材の円筒面で囲まれる位置に設けられるので、小型化を図ることができる。
【００１８】
また、請求項７に記載の発明によれば、制振部材は、振動体による駆動力を所定の別部材に伝達する伝達手段をさらに有しているので、伝達手段を被駆動体とは別に設ける場合に比べて小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
＜１．第１実施形態＞
図１および図２は、本発明の第１実施形態に係る振動アクチュエータ１Ａ（駆動装置）を示す図である。図１は振動アクチュエータ１Ａの正面図であり、図２は振動アクチュエータ１Ａの側面図である。図３は、振動アクチュエータ１Ａに用いられる振動体１０を示す正面図である。また、図４は、振動アクチュエータ１Ａに用いられる被駆動体３０Ａを示す上面図であり、図５は、当該被駆動体３０Ａの（図４のＩ−Ｉ断面における）断面図である。なお、各図面においては、便宜上、共通の直交ＸＹＺ座標系を用いて方向を示すものとする。
【００２１】
図１および図２に示すように、振動アクチュエータ１Ａは、駆動源である振動体１０と、振動体１０により駆動される被駆動体３０Ａと、加圧部材４０と、振動体１０から被駆動体３０Ａへと付与される力（荷重）を支持する支持部材（荷重支持部材）５０と、台板６０とを備えている。振動体１０と被駆動体３０Ａと支持部材５０とは、図１のＺ方向においてこの順序で配置されている。
【００２２】
振動体１０は、２つの圧電素子を用いたトラス型の振動発生体として構成される。具体的には、振動体１０は、図３に示すように、２つの圧電素子１１，１２と、チップ部材１３と、ベース部材１４とを備えている。振動体１０は、高周波電圧（高周波信号）の印加に応じて振動する。
【００２３】
２本の圧電素子１１，１２は直角に交差して配置され、圧電素子１１，１２の交差側端部はチップ部材１３に接合されている。これら圧電素子１１，１２の他端は、ベース部材１４に接合されている。チップ部材１３は、安定して高い摩擦係数を得ることができるとともに高い耐摩耗性を得ることができる材料（例えば超硬合金などの金属材料）で形成されることが好ましい。ベース部材１４は、製造しやすく高い強度を有する材料（例えばステンレスなどの金属材料）で形成されることが好ましい。また、圧電素子１１，１２と各部材１３，１４とは、接着剤を用いて接合されている。接着剤としては、接着強度に優れたエポキシ系樹脂の接着剤を用いることが好ましい。
【００２４】
圧電素子１１は、積層型圧電素子であり、圧電特性を有する複数のセラミック薄板と電極とを交互に積層した構造を有している。圧電素子１１は、印加電圧の変更に応じて積層方向に伸縮する変位素子である。圧電素子１２も圧電素子１１と同様の構成を備えており、印加電圧の変更に応じて積層方向に伸縮する。具体的には、所定の符号の電圧を圧電素子１１に印加すると圧電素子１１は伸び、逆符号の電圧を圧電素子１１に印加すると圧電素子１１は縮む。そして、交流電圧を印加すれば、圧電素子１１は当該交流電圧の周期に応じて伸縮を繰り返すことになる。圧電素子１２についても同様である。このような交流電圧を印加することによって、振動体１０を振動させることができる。
【００２５】
図６は、振動体１０による駆動動作を示す図である。図６に示すように、振動体１０の圧電素子１１，１２を、位相差を有する交流電圧で駆動することによって、振動体１０のチップ部材１３を楕円運動させることができる。この楕円運動により発生する駆動力を用いて、被駆動体３０Ａが駆動される。また、位相差を様々な角度に変更することによって、楕円軌道の形状を制御することが可能である。たとえば、２つの圧電素子１１，１２に対して、位相差を９０度（deg）（図６（ｂ）参照）に設定して、同一周波数の高周波交流電圧を付与することによって、楕円軌道の形状を円にすることが可能であり、位相差を６０度（図６（ａ）参照）あるいは１２０度（図６（ｃ）参照）に変更することによって楕円軌道の形状を細長いものにすることが可能である。
【００２６】
振動体１０は、このような楕円軌道を含む面（振動面とも称する）における振動動作を用いて、被駆動体３０Ａを駆動する。
【００２７】
また、図４および図５に示すように、被駆動体３０Ａは、薄板状の楕円形状を有しており、所定の回転軸Ａｚを中心に揺動する揺動体として形成されている。具体的には、被駆動体３０Ａの中央には貫通孔Ｈが設けられており、振動アクチュエータ１Ａの本体側に固定された軸部材２９（図２）が当該貫通孔Ｈに貫通する。被駆動体３０Ａは、この軸部材２９を中心にして回動することが可能である。
【００２８】
被駆動体３０Ａは、接触部材３１と制振部材３２とを備えている。
【００２９】
接触部材３１は、振動体１０に接触する部材であり、振動体１０からの駆動力は接触部材３１に対して直接的に伝達される。具体的には、接触部材３１は、振動体１０の振動動作に応じて振動体１０との接触（衝突）および振動体１０からの離反を繰り返しつつ振動体１０との間に生じる摩擦力によって駆動される。換言すれば、振動体１０は、接触部材３１の表面において摩擦接触を伴う微小移動動作を繰り返すことによって、接触部材３１を駆動することになる。また、制振部材３２は、接触部材３１に対して接合されており、接触部材３１の振動を抑制する機能を有している。
【００３０】
接触部材３１は、たとえば、金属（ステンレスあるいはアルミニウム等）で形成される。また、チップ部材１３との接触による摩耗を防ぐため、接触部材３１の表面には表面硬化処理が施されることが好ましい。たとえば、接触部材３１としては、ステンレスなどの鉄系材料に対して焼き入れ処理ないし窒化処理等を施したものが用いられる。あるいは、アルミニウムにアルマイト処理を施したもの、ないし、金属表面にセラミックなどによる耐摩耗性のコーティング処理を施したものを接触部材３１として用いるようにしてもよい。また、接触部材３１は、金属以外の材料、たとえばセラミック（アルミナセラミックあるいはジルコニアセラミック等）で形成されてもよい。セラミックを用いれば、軽量化を図ることができるとともに、高い剛性および高い耐摩耗性を得ることができる。
【００３１】
制振部材３２は、接触部材３１とは異なる種類の材料で形成されることが好ましい。制振部材３２として、接触部材３１とはその振動伝搬速度が異なる材料を用いることによって、振動伝達を抑制でき、制振部材３２が接触部材３１と同調して振動することを防止できる。具体的には、制振部材３２としては、接触部材３１とは異なる種類の金属あるいはセラミック等が用いられる。あるいは、ＰＣ（ポリカーボネート）およびＡＢＳ（アクリロニトリル・ブタジエンスチレン樹脂）などの高分子材料を制振部材３２として用いても良い。また、材料自身に制振性を有する制振合金材料（たとえば、Ｍｎ−Ｃｕ（マンガン−銅）合金、Ｆｅ−Ｃｒ（鉄−クロム）合金、Ｚｎ−Ａｌ（亜鉛−アルミニウム）合金等）を制振部材３２として用いるようにしてもよい。
【００３２】
制振部材３２は、図２に示すように、接触部材３１における振動体１０との接触面の側方において、接触部材３１に対して接続されている。また、制振部材３２は、図４に示すように、接触部材３１の長手方向の辺を含む縁部（ただしここでは外周側の辺を除く部分）（図４の破線部分）において、接触部材３１に対して接触した状態で固定されている。接触部材３１のこの縁部を、制振部材３２と接触させて拘束することによって、接触部材３１の振動（特に共振）を抑制することが可能である。なお、接触部材３１の振動モード（１次モードであるか２次モードであるか等）が判っている場合には、当該振動モードにおける「腹」の部分のみで、接触部材３１を制振部材３２に固定することによっても、高い振動抑制効果を得ることができる。
【００３３】
ここでは、接触部材３１の材料は金属（具体的には、ステンレス）であり、制振部材３２の材料は樹脂（具体的には、ＰＣ（ポリカーボネート））であり、接触部材３１と制振部材３２とは一体成形部品として形成される場合を想定する。また、接触部材３１と制振部材３２との接合部において噛み合わせ部分（段差部分）ＢＰ（図５）を設けることによって、接触部材３１と制振部材３２とが分離しないように強固に固定されている。また、両者をより強固に固定するためには、図４に示すように、接触部材３１の接合部を、上面視において櫛歯状に入り組んだ形状とすることが好ましい。これによれば、接合部の全長を大きくし、制振部材３２によって接触部材３１をより強固に拘束することができ、高い制振効果を得ることが可能である。
【００３４】
接触部材３１は、被駆動体３０Ａの回転中心から離れた位置すなわち外周部に設けられている。接触部材３１は、その櫛歯状外縁部３１ａで制振部材３２に覆われて固定されているとともに、その露出部３１ｂでその表面が空間に露出している。接触部材３１の露出部３１ｂと振動体１０のチップ部材１３とが摩擦接触することによって、振動体１０からの駆動力が被駆動体３０Ａに伝達される。この露出部３１ｂの半径方向の幅Ｗｒは、チップ部材１３との接触幅Ｗｔ（図２）に若干量の幅ΔＷを加えた大きさを有しており（Ｗｒ＝Ｗｔ＋ΔＷ）、露出部３１ｂの周方向の長さＬｃは、揺動運動における所定の駆動範囲（角度）θに対応する弧の長さＬｔに若干量の長さΔＬを加えた大きさを有している（Ｌｃ＝Ｌｔ＋ΔＬ）。なお、図４は、駆動範囲（角度）θが約６０度の場合を例示している。
【００３５】
再び、図１および図２を参照する。これらの図に示されるように、振動体１０に対して被駆動体３０Ａとは反対側（−Ｚ側）に加圧部材４０が設けられている。加圧部材４０は、例えばコイルバネなどの弾性部材で構成されており、その一端は、振動体１０のベース部材１４に固定され、他端は台板６０に固定される。加圧部材４０による付勢力によって、振動体１０は被駆動体３０Ａに軽く押しつけられている。なお、加圧部材４０による付勢力は比較的小さな力であり、且つ、振動体１０の振動周期は加圧部材４０の伸縮動作が追従できない程に短い（すなわち非常に高い周波数である）ため、振動体１０のチップ部材１３は、加圧部材４０の付勢力に抗して、被駆動体３０Ａに対して接触と離反とを繰り返すことができる。したがって、後述するような駆動動作を行うことが可能である。
【００３６】
また、支持部材５０は、振動体１０のチップ部材１３との間で被駆動体３０Ａを挟むよように、被駆動体３０Ａに対して振動体１０とは反対側（＋Ｚ側）に設けられている。支持部材５０は、ローラ５１を有している。ローラ５１は、台板６０から−Ｙ方向に伸びた細長円柱状の軸部材６１（図２）によって回転自在に軸支されている。なお、ローラ５１は、押さえ部材（不図示）によって、軸Ａｙ方向（Ｙ方向）の移動が規制されており、軸部材６１から脱落しないように構成されている。
【００３７】
支持部材５０（ローラ５１）は、図１および図２に示すように、薄板状の被駆動体３０Ａ（接触部材３１）の両主面のうちチップ部材１３との接触面（図の下面）とは反対側の面（図の上面）において、チップ部材１３と被駆動体３０Ａとの接触位置の直上位置で、被駆動体３０Ａに接触している。このように、支持部材５０をチップ部材１３の直上位置（言い換えれば、被駆動体３０Ａを挟んでチップ部材１３に対向する位置）に設けることによれば、振動体１０の振動によって生じるＺ方向の力を確実に支持することができる。この結果、大きな駆動力を得ることが可能になる。
【００３８】
ローラ５１は、被駆動体３０Ａとの摩擦が小さくなるような材料が好ましい。具体的には、樹脂材料（たとえば、ＰＯＭ（ポリアセタール））のうち、摺動性能が高い（端的に言えば、良くすべる）材料を用いることが好ましい。たとえば、フッ素等の添加物を配合して摺動性能を向上させたものを用いることが好ましい。また、ローラ５１は、大きな力を受けたときでも、その荷重をしっかりと支持できるように、荷重による変形が小さい材料で構成されることが好ましい。なお、ローラ５１は、振動体１０による荷重を支持する機能を発揮するように構成されればよく、樹脂材料ではなく金属材料によって形成されてもよい。
【００３９】
図７〜図９は、振動体１０による被駆動体３０Ａの駆動状態を示す概念図である。図７は理想的な駆動状態を示しており、図８および図９はそれぞれ駆動力が十分に得られない場合の駆動状態を示している。
【００４０】
図７に示すように、理想状態においては、まず、チップ部材１３が楕円軌道ＰＢの上側に存在する場合には、振動体１０のチップ部材１３が被駆動体３０Ａに摩擦接触した状態で接触開始位置から接触終了位置まで移動することによって、所定方向（図２ではＸ方向）ＤＸの駆動力が伝達される（図７（ａ））。そして、チップ部材１３が楕円軌道ＰＢの下側に存在する場合には、チップ部材１３が被駆動体３０Ａから離れた状態で接触開始位置側へと復帰する（図７（ｂ））。以降同様の動作を繰り返すことによって、被駆動体３０Ａがチップ部材１３と接触部材３１との間に生じる摩擦力によって所定方向ＤＸ（Ｘ方向）に駆動される。すなわち、接触部材３１は、振動体１０の振動動作に応じて振動体１０との接触および振動体１０からの離反を繰り返しつつ、振動体１０との間に生じる摩擦力によって駆動される。
【００４１】
なお、理想的にはチップ部材１３と被駆動体３０Ａとが接触している期間においては、両者の相対的な位置ずれが起きないことが好ましいが、現実には両者の間に当該接触期間のうちの少なくとも一時期において相対的な位置ずれ（すなわちスベリ動作ないし摺動動作）が生じることがある。このように、接触部材３１（および後述する、３３，３５，３７等）は振動体１０との間で摺動するため、接触部材３１は「摺動部材」とも称せられる。
【００４２】
図８は、振動体１０の駆動周波数と被駆動体３０Ａの固有振動数が一致し、両者が共振した仮想的な状態を示している。この場合、被駆動体３０Ａは、チップ部材１３と同期して振動し、上下方向（Ｚ方向）に変形する。そのため、図８（ｂ）に示すように、チップ部材１３が楕円軌道ＰＢの下側に存在する場合にも、チップ部材１３が被駆動体３０Ａから離れることができず、今度は逆向きの力がチップ部材１３から被駆動体３０Ａに伝達される。端的に言えば、ブレーキがかかった状態になる。
【００４３】
また、図９は、被駆動体３０Ａが、振動体１０の駆動周波数よりも低い周波数で振動する仮想的な場合を示している。この場合には、被駆動体３０Ａは、両者（振動体１０および被駆動体３０Ａ）が異なる周期で振動するため、両者の接触および離反のタイミングが不規則になる。そのため、チップ部材１３が被駆動体３０Ａに接触するべきタイミングで、被駆動体３０Ａに接触できない状態（空振り状態）が発生（図９（ｃ）参照）し、駆動力が十分に伝達されないという問題が生じることになる。
【００４４】
実際の被駆動体３０Ａにおいては、図８および図９に示すような駆動状態の発生が抑制され、図７に示すような理想的な駆動状態に近い駆動状態が実現可能である。
【００４５】
図１０および図１１は、この第１実施形態に係る振動アクチュエータ１Ａの駆動性能等の測定結果を示す図である。図１０は、被駆動体３０Ａの振動状態を示す図である。図１０においては、振動体１０に所定周期の駆動電圧を加えた際の、チップ部材１３近傍における接触部材３１のＺ方向の振動（変位）をレーザドップラ振動計によって測定した測定結果（下側の曲線）が示されている。なお、図１０には、振動体１０の駆動電圧（上側の曲線）もあわせて示されている。また、図１１は、被駆動体３０Ａに伝達される推力（駆動力）と被駆動体３０Ａの移動速度との関係に関する測定結果を示す図である。図１１においては、推力ゼロのときの速度すなわち無負荷状態での駆動速度（無負荷速度）と、速度ゼロのときの推力（駆動力）すなわち起動推力とが示されている。
【００４６】
また、図１２および図１３は、比較例（第１の比較例とも称する）に係る振動アクチュエータ９００Ａ（次述）の駆動性能等の測定結果を示す図である。さらに、図１４および図１５は、比較例（第２の比較例とも称する）係る振動アクチュエータ９００Ｂ（次述）の駆動性能等の測定結果を示す図である。詳細には、図１２および図１４は、それぞれ、図１０と同様に被駆動体の振動状態を示す図であり、図１３および図１５は、それぞれ、図１１と同様に無負荷速度と起動推力とを示す図である。
【００４７】
第１の比較例に係る振動アクチュエータ９００Ａは、上記第１の実施形態に係る振動アクチュエータ１Ａと同様の構成を有しているが、被駆動体３０Ａ（図４および図５参照）の代わりに被駆動体９３０Ａを備える点で、振動アクチュエータ１Ａと相違している。図１６および図１７は、それぞれ、被駆動体９３０Ａの構成を示す上面図および断面図である。これらの図に示すように、被駆動体９３０Ａは、１枚のステンレス板によって構成されている。
【００４８】
第１の比較例においては、図１２に示されるように、駆動周波数よりも低い周波数の大きな振動が発生している。すなわち、図９を用いて説明したような状態が発生しており、チップ部材１３と被駆動体（この場合は９３０Ａ）との接触および離反のタイミングが不規則になり、不安定な駆動状態になっている。図１３と図１１とを比較すると、比較的小さな推力しか得られていないことが判る。また、第１の比較例においては、異音も大きい。
【００４９】
第２の比較例に係る振動アクチュエータ９００Ｂは、上記第１の実施形態に係る振動アクチュエータ１Ａと同様の構成を有しているが、被駆動体３０Ａ（図４および図５参照）の代わりに被駆動体９３０Ｂを備える点で、振動アクチュエータ１Ａと相違している。図１８は、被駆動体９３０Ｂの構成を示す断面図である。また、被駆動体９３０Ｂの上面図は、図１６と同様である。図１６および図１８に示すように、被駆動体９３０Ｂは、１枚のステンレス板９１と、１枚のアルミニウム部材９２との間に、粘弾性を有する樹脂部材９３が挟まれた状態で構成されている。このようなサンドイッチ構造によって、制振機能が発揮される。
【００５０】
このような第２の比較例においては、第１の比較例に比べると、低周波数の大きな振動は抑制されているが、被駆動体３０Ａの駆動周期での振幅は十分に抑制されているとはいえない。また、図１５と図１１とを比較すると、比較的小さな推力しか得られていないことが判る。
【００５１】
一方、図１０に示されるように、第１実施形態に係る振動アクチュエータ１Ａにおいては、第１および第２の比較例（図１２および図１４参照）と比較して、低周波数の振動が抑制されており、且つ、駆動周期（高周波）での被駆動体３０Ａの振幅が抑制されている。また、図１３および図１５と比較しつつ、図１１を参照すると、第１および第２の比較例に比べて、大きな推力が得られることが判る。
【００５２】
第１の比較例に比べて、第２の比較例ではアルミニウム部材９２および樹脂部材９３が設けられている。低周波数の大きな振動を抑制できているのは、アルミニウム部材９２および樹脂部材９３による制振効果が得られているためであると考えられる。
【００５３】
しかしながら、第２の比較例においても、駆動周期での振幅は十分に抑制されていない。これは、支持部材５０と振動体１０との間に、被駆動体９３０Ｂ自身の弾性（具体的には、アルミニウム部材９２および樹脂部材９３に起因する弾性）が介在するためであると考えられる。すなわち、制振部材として機能する被駆動体９３０Ｂ自体の弾性力によって、振動体１０からの押圧力が吸収されてしまうことに起因して、駆動効率が低下しているものと考えられる。
【００５４】
これに対して、第１実施形態に係る振動アクチュエータ１Ａにおいては、支持部材５０と振動体１０（チップ部材１３）との間に、制振部材（弾性部材）が介在しない。詳細には、図１および図２に示すように、制振部材３２は、接触部材３１における振動体１０との接触領域ＣＲと接触部材３１における接触領域の反対面側領域ＲＲとの両領域（ＣＲ，ＲＲ）を除外した部分で、接触部材３１に接続されている。このため、制振部材の弾性による余分な振動成分を排除することが可能である。したがって、第１および第２の比較例よりも駆動周期での振幅を抑制することが可能になっており、高い制振機能を実現することが可能である。また、第２の比較例と比較して駆動効率を向上させ、比較的大きな駆動力をも得ることが可能になっている。
【００５５】
このように、この第１実施形態に係る振動アクチュエータ１Ａによれば、被駆動体３０Ａの制振部材３２は、振動体１０による振動方向（「加圧部材４０による加圧方向」とも表現される）には存在しないので、振動および振動に起因する伝達ロスを抑制して、高い駆動力を得ることができる。すなわち、振動アクチュエータ１Ａにおいて、高い駆動効率を実現することが可能である。なお、加圧部材４０は、圧電素子１１に印加される高周波電圧（高周波信号）に比べて、極めて低い周期の変位にしか追従できないため、振動を抑制する機能を有しておらず、上記のような制振部材としては機能しない。
【００５６】
また、この実施形態に係る振動アクチュエータ１Ａにおいては、被駆動体３０Ａ自体に、振動体１０からの駆動力をさらに別の部材へと伝達する部位が設けられている。具体的には、図４に示すように、被駆動体３０Ａの制振部材３２において、カム溝Ｇ１，Ｇ２が設けられている。この当該カム溝Ｇ１，Ｇ２には、別部材（例えば、撮像装置におけるレンズ保持部材）に固定されたカムピン（不図示）が係合する。このような機構によれば、振動体１０は、被駆動体３０Ａ、カム溝Ｇ１，Ｇ２および当該カム溝に係合するカムピンを介して、上記別部材（レンズ保持部材等）を移動させることができる。特に、カム溝Ｇ１，Ｇ２が制振部材３２自体に設けられているため、駆動力伝達用の部位を被駆動体３０Ａとは別に設ける場合に比べて、コンパクトな構成とすることができる。また、制振部材３２によって振動が減衰されるので、別部材へと伝達する振動を抑制することができる。
【００５７】
なお、上記実施形態においては、接触部材３１の接合部の形状（上面視）が櫛歯状である場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、図２６において曲線ＣＬで示すように、接触部材３１の（制振部材３２との）接合部は、上面視において滑らかな曲線（あるい直線）として形成されてもよい。
【００５８】
また、上記実施形態においては、接触部材３１と制振部材３２との接合部において、段差部分ＢＰ（図５）を設ける場合を例示したが、これに限定されない。たとえば、図２７のように、板状の接触部材３１を、凹状断面を有する制振部材３２によって板厚方向に挟み込む状態で接合するようにしてもよい。あるいは、図２８に示すように、凸状断面を有する接触部材３１を、当該凸状部分に合致する凹状断面を有する制振部材３２で、板厚方向に挟み込む状態で接合するようにしてもよい。後者の構成によれば、接合部分における板厚方向の隆起部分を設けることなく、平らな接合部分を形成することが可能になる。
【００５９】
さらに、上記実施形態においては、接触部材３１と制振部材３２とが一体成形される場合（図４および図５参照）を例示したが、接触部材３１と制振部材３２との固定手法は、これに限定されない。たとえば、接触部材３１と制振部材３２とを接着剤を用いて固定するようにしてもよい。制振部材３２によって接触部材３１を確実に拘束するためには、高剛性材料で構成された接着剤を用いることが好ましい。
【００６０】
また、上記実施形態においては、制振部材３２は、接触部材３１の周囲の一部において、接触部材３１に対して接触した状態で固定されているが、これに限定されない。たとえば、図２９（上面図）および図３０（図２９のIII−III断面における断面図）に示すように、接触部材３１の全周囲において接触部材３１と制振部材３２とを接合する（言い換えれば、接触部材３１を囲むように制振部材３２を配置する）ようにしてもよい。これによれば、接触部材３１を制振部材３２によってさらに強固に拘束できるので、より高い振動抑制効果を得ることができる。
【００６１】
さらに、上記実施形態においては、支持部材５０がチップ部材１３の直上位置に設けられる場合を例示した（図１，図２参照）が、これに限定されない。支持部材５０（ローラ５１）は、振動体１０からの力を支持できる位置に存在すればよく、たとえば、被駆動体３０Ａを挟んでチップ部材１３に対向する側において、直上位置から少しずれた位置に存在してもよい。また、支持部材として複数（２つ）のローラを直上位置の両側に少しずれた位置（たとえば、後述する図１９のローラ５２と同様の位置）に設けるようにしてもよい。
【００６２】
＜２．第２実施形態＞
上記第１実施形態においては、被駆動体３０Ａが所定の回転軸を中心に回動する場合（すなわち回転運動する場合）を例示したが、この第２実施形態においては、被駆動体３０Ｂが直線運動する場合を例示する。
【００６３】
図１９および図２０は、それぞれ、第２実施形態に係る振動アクチュエータ１Ｂを示す正面図および側面図である。また、図２１は、振動アクチュエータ１Ｂに用いられる被駆動体３０Ｂを示す上面図である。
【００６４】
第２実施形態に係る振動アクチュエータ１Ｂは、第１実施形態に係る振動アクチュエータ１Ａの変形例であり、振動アクチュエータ１Ａと同様の構成を有している。説明の重複を回避するため、以下、振動アクチュエータ１Ａとの相違点を中心に説明する。なお、各図において、第１実施形態と同様の構成要素には第１実施形態と同一の符号を付して示している。
【００６５】
振動アクチュエータ１Ｂは、被駆動体３０Ａの代わりに被駆動体３０Ｂを備える点で、振動アクチュエータ１Ａと相違する。
【００６６】
図２０および図２１に示すように、被駆動体３０Ｂは、薄板状の細長矩形形状を有しており、その両側部においてガイドローラ５３，５４にガイドされており、Ｘ方向へ移動可能である。この被駆動体３０Ｂは、接触部材３３と制振部材３４とを備えている。接触部材３３は接触部材３１と同様の部材であり、制振部材３４は制振部材３２と同様の部材である。ただし、接触部材３３および制振部材３４の形状が、それぞれ、接触部材３１および制振部材３２の形状と相違している。
【００６７】
接触部材３３は、制振部材３４よりも一回り小さな細長矩形形状を有している。接触部材３３の露出部３３ｂと振動体１０のチップ部材１３とが摩擦接触することによって、振動体１０からの駆動力が被駆動体３０Ｂに伝達される。この露出部３３ｂのＹ方向の幅Ｗｗは、チップ部材１３との接触幅Ｗｔ（図２参照）に若干量の幅ΔＷを加えた大きさを有しており（Ｗｗ＝Ｗｔ＋ΔＷ）、露出部３３ｂのＸ方向の長さＬｄは、直線運動における所定の駆動範囲の長さＬｘに若干量の長さΔＬを加えた大きさを有している（Ｌｄ＝Ｌｘ＋ΔＬ）。
【００６８】
制振部材３４は、細長矩形形状の接触部材３３の１つの長辺と２つの短辺とに接触した状態で固定されている。制振部材３４は、接触部材３３の外縁部３３ａを挟み込むことによって、接触部材３３を拘束し接触部材３３の振動（特に共振）を抑制することが可能である。
【００６９】
図１９および図２０に示されるように、第２実施形態に係る振動アクチュエータ１Ｂにおいては、被駆動体３０Ｂの制振部材３４が、振動体１０による振動方向（ここではＺ方向）には存在しない。より詳細には、制振部材３４は、接触部材３３における振動体１０との接触領域ＣＲと接触部材３３における接触領域の反対面側領域ＲＲとの両領域（ＣＲ，ＲＲ）を除外した部分において、接触部材３３に接続されている。具体的には、制振部材３４は、接触部材３３における振動体１０との接触領域（接触面）ＣＲの側方（図では左側（＋Ｙ側）））において、接触部材３３に接続されている。このため、高い制振機能を実現するととともに、高い駆動効率を実現することが可能である。特に、支持部材５０と振動体１０との間に制振部材が介在しないため、制振部材の弾性による余分な振動成分を排除することが可能である。
【００７０】
また、支持部材５０のローラ５１は、振動体１０のチップ部材１３との間で被駆動体３０Ｂ（接触部材３３）を挟むように、被駆動体３０Ｂに対して振動体１０とは反対側（＋Ｚ側）に設けられている。支持部材５０のローラ５１は、薄板状の被駆動体３０Ｂ（接触部材３３）の両主面のうちチップ部材１３との接触面（下面）とは反対側の面（上面）において、チップ部材１３と被駆動体３０Ｂとの接触位置の直上位置で、被駆動体３０Ｂに接触している。このように、支持部材５０をチップ部材１３の直上位置（言い換えれば、被駆動体３０Ｂを挟んでチップ部材１３に対向する位置）に設けることによれば、振動体１０の振動によって生じるＺ方向の力を確実に支持することができる。この結果、大きな駆動力を得ることが可能になる。なお、この第２実施形態においては、支持部材５０が、１つのローラ５１だけで構成されるのではなく、ローラ５２をも含む複数のローラで構成される場合を例示している。
【００７１】
＜３．第３実施形態＞
第３実施形態においては被駆動体３０Ｃが振動体１０による振動面（楕円軌道ＰＢ（図７）を含む面）に平行な面内で回転する場合を例示する。後述するように、被駆動体３０Ｃがロータとして構成され、振動体１０がロータ内部に配置される。このため、コンパクトな構成とすることができる。
【００７２】
図２２は、第３実施形態に係る振動アクチュエータ１Ｃの内部構成を示す上面図（一部断面図）である。また、図２３は、振動アクチュエータ１Ｃの内部構成を示す側面図（一部断面図）である。以下、振動アクチュエータ１Ａとの相違点を中心に説明する。なお、便宜上、図２２においては制振部材３６の図示を省略しており、図２３においては台板７０の円筒壁の一部を省略して示している。
【００７３】
第３実施形態に係る振動アクチュエータ１Ｃは、振動体１０と被駆動体３０Ｃと加圧部材４０と台板７０とを備えている。
【００７４】
台板７０は、底面付き円筒形状を有している。具体的には、台板７０は、円形状の底面部７１と、当該底面部７１の最外周部分においてＺ方向に突出した円筒壁７２とを有している。円筒壁（円筒面）７２に囲まれた凹部には、振動体１０が配置されている。振動体１０が、接触部材３５の円筒面で囲まれる位置に設けられているので、小型化を図ることができる。
【００７５】
また、底面部７１から突出した突出部７３に対して、加圧部材４０が固定されている。この加圧部材４０によって、所定の付勢力で振動体１０のチップ部材１３が接触部材３５に対して押し付けられている。これにより、駆動力がより確実に伝達される。
【００７６】
被駆動体３０Ｃは、接触部材３５と制振部材３６とを有している。接触部材３５は、円筒形状を有する部材として構成されており、制振部材３６は、円形状の薄板状部材であり、円筒形状の接触部材３５における円状空洞部の一端面を覆う端面部材として形成される。円形状の制振部材３６の最外周部分において、円筒形状の接触部材３５の端部が挟まれて固定されており、後述するように、接触部材３５と制振部材３６とは一体化して回転する。なお、接触部材３５が円筒形状に形成されているため、アーチ効果によって、より高い強度を得ることができる。そのため、より高い制振効果が得ることが可能である。
【００７７】
また、接触部材３５と台板７０とは、接触部材３５の外側と台板７０の円筒壁７２の内側との間に所定の間隙を空けた状態で同心円状に配置される。また、当該間隙においては、台板７０の内周面に設けられた溝と接触部材３５の外周面に設けられた溝とに挟まれて複数のボール５５が配置されており、これら複数のボール５５がボールベアリングとして機能する。
【００７８】
図２３に示すように、振動体１０のチップ部材１３の先端部は、接触部材３５の内周側に接触している。振動体１０はＸＹ平面に平行な平面において楕円軌道を描くように振動することによって、チップ部材１３と接触部材３５との接点における接線方向への駆動力が生じる。具体的には、振動体１０が接触部材３５との接触および接触部材３５からの離反を繰り返しつつ、接触部材３５との間に摩擦力を生じさせて、接触部材３５を駆動する。
【００７９】
ボールベアリングによって台板７０に対して支持されている接触部材３５は、この駆動力によって、円筒形状の接触部材３１の中心軸Ａｂを中心に回転し、台板７０に対して相対的に移動する。
【００８０】
第３実施形態に係る振動アクチュエータ１Ｃにおいては、被駆動体３０Ｃの制振部材３６等が、振動体１０による振動方向（ここではＸ方向）には存在しない。より詳細には、制振部材３６は、接触部材３５における振動体１０との接触領域ＣＲと接触部材３５における接触領域の反対面側領域ＲＲとの両領域（ＣＲ，ＲＲ）を除外した部分（具体的には、接触部材３５における振動体１０との接触領域（接触面）ＣＲの側方（図では上方（＋Ｚ側）））において、接触部材３５に接続されている。このため、高い制振機能を実現するととともに、高い駆動効率を実現することが可能である。
【００８１】
また、振動アクチュエータ１Ｃにおいては、接触部材３５に対して別部材の制振部材３６が接続されている。また、制振部材３６は接触部材３５とは異なる材料で形成されている。したがって、接触部材３５と制振部材３６とが一体構造部品として同一の材料で形成される場合に比べて振動を抑制することが可能である。特に、制振部材３６は、円筒状の接触部材３５における一端側の円状端部を全周にわたって挟み込んで強固に固定している。このため、接触部材３５を拘束して接触部材３５の振動（共振を含む）をより抑制することが可能である。
【００８２】
さらに、図２２および図２３に示されるように、ボール５５（支持部材）は、振動体１０のチップ部材１３との間で被駆動体３０Ｃ（接触部材３５）を挟むように、被駆動体３０Ｃの接触部材３５に対して振動体１０とは反対側に設けられている。これによれば、振動体１０の振動によって生じる半径方向の力を確実に支持することができ、大きな駆動力を得ることが可能になる。
【００８３】
＜４．第４実施形態＞
第４実施形態は、第３実施形態の変形例である。
【００８４】
図２４は、第４実施形態に係る振動アクチュエータ１Ｄの内部構成を示す上面図（一部断面図）である。また、図２５は、振動アクチュエータ１Ｄの内部構成を示す側面図（一部断面図）である。以下、振動アクチュエータ１Ｃとの相違点を中心に説明する。なお、便宜上、図２４においては制振部材３８の図示を省略している。
【００８５】
第４実施形態に係る振動アクチュエータ１Ｄは、振動体１０と被駆動体３０Ｄと加圧部材４０と台板８０とを備えている。
【００８６】
台板８０は、薄板状の円形形状を有している。台板８０の中央には、円筒型の突出部８２が設けられている。この突出部８２は、後述する被駆動体３０Ｄの回転軸を支持する軸受けとして機能する。また、台板８０の最外周部分の一部においては、突出部８１が設けられており、この突出部８１に対して、振動体１０に固設された加圧部材４０が固定されている。
【００８７】
被駆動体３０Ｄは、接触部材３７と制振部材３８とを有している。接触部材３７は、円筒形状を有する部材として構成されており、制振部材３８は円形状の薄板状部材として構成されている。円形状の制振部材３８の最外周部分において、円筒形状の接触部材３７の端部が固定されている。また、制振部材３８の中央部には、回転軸３９が「かしめ」或いは圧入などによって制振部材３８に対して固定されており、接触部材３７と制振部材３８と回転軸３９とは一体化して回転する。なお、回転軸３９は、耐摩耗性を考慮して金属などで構成されることが好ましい。また、ここでは、回転軸３９は、制振部材３８とは別に形成されているが、制振部材３８の一部として一体的に形成されてもよい。たとえば、回転軸をも有する制振部材３８を、接触部材３７とは異なる種類の金属で形成するようにしてもよい。
【００８８】
図２５に示すように、振動体１０のチップ部材１３の先端部は、接触部材３５の内周側に接触している。そのため、第３実施形態と同様に、チップ部材１３と接触部材３７との接点において接線方向への駆動力が生じ、この駆動力によって、接触部材３７は、台板７０に対して回転する。
【００８９】
ここにおいて、制振部材３８は、円筒状の接触部材３７における一端側の円状端部を全周にわたって固定している。このため、接触部材３７を拘束して接触部材３７の振動（特に共振）を抑制することが可能である。
【００９０】
また、この第４実施形態に係る振動アクチュエータ１Ｄにおいては、被駆動体３０Ｄの制振部材が、振動体１０による振動方向には存在しない。したがって、共振動作等に起因する伝達ロスを抑制して、高い駆動力を得ることができる。すなわち、振動アクチュエータ１Ｄにおいて、高い駆動効率を実現することが可能である。
【００９１】
さらに、この第４実施形態においては、回転軸３９を接触部材３７の内側に設けており、当該回転軸３９によって、振動体１０による駆動力を支持している。このような構成によれば、円筒状の接触部材３７の外側に支持部材（ボール５５等）を設けていないため、第３実施形態の振動アクチュエータ１Ｃに比べて、一層の小型化を図ることができる。
【００９２】
＜５．変形例等＞
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。
【００９３】
たとえば、上記第１実施形態においては、被駆動体３０Ａが揺動運動する場合を例示したが、これに限定されず、たとえば、被駆動体は１回転（３６０度）以上回転するように構成されてもよい。図３１（上面図）および図３２（断面図）は、第１実施形態の被駆動体３０Ａの代わりに、円盤状の被駆動体を設けた変形例である。この変形例においては、円環形状の接触部材３１が、中央部の制振部材３２を取り囲むように、制振部材３２の全周において接合されてりう。また、接触部材３１（詳細には露出部３１ｂ）は、チップ部材１３との摩擦接触によって駆動され、１回転以上の回転運動を行うことが可能である。図３３は、さらなる変形例を示す図である。図３３に示すように、接触部材３１と制振部材３２との接合部分（破線で示す）を上面視において櫛歯状に形成するようにしてもよい。これによれば、接合強度を高めることができる。
【００９４】
また、上記第１実施形態においては、被駆動体３０Ａに、駆動力の伝達手段としてカム溝Ｇ１、Ｇ２を設ける場合を例示したが、これに限定されず、その他の伝達手段（たとえば歯車など）を被駆動体自体に設けるようにしてもよい。
【００９５】
図３４は、そのような変形例に係る被駆動体を示す上面図である。図３４に示すように、被駆動体の制振部材３２の外周部の一部（詳細には中心軸ＡＺを介して接触部材３１の反対側）に、歯車の歯ＴＨを設けるようにしてもよい。これによれば、駆動力の伝達手段を被駆動体３０Ａとは別に設ける場合に比べて、コンパクトな構成とすることができる。また、制振部材３２に、エンコーダのスリット部ＳＬを設けるようにしてもよい。さらに当該スリット部ＳＬを挟む位置に投光部および受光部を設けることによれば、透過型の光学式エンコーダを構成することができる。この場合、スリット部ＳＬが被駆動体３０Ａと一体的に形成されるため、コンパクト化を図ることができる。
【００９６】
図３５は図３４に類似する別の変形例を示す図である。図３５の変形例は、スリット部ＳＬの代わりにエンコーダ板ＥＢを設けている点で、図３４の変形例と相違する。このエンコーダ板ＥＢは、反射型の光学エンコーダに用いられるものであり、反射部と吸収部とを有している。このようにして、反射型の光学式エンコーダを構成するようにしてもよい。あるいは、磁性鉄粉を混入した着時可能な樹脂を用いて、磁気エンコーダを同様の部位に構成するようにしてもよい。
【００９７】
また、図３６および図３７は、さらに別の変形例を示す図である。この変形例においては、制振部材３２が上側部分ＵＰと下側部分ＬＰとの２段構造（図３７参照）になっており、当該制振部材３２の一部である上側部分ＵＰが歯車ＴＷとして構成されている。このような歯車を用いて別部材に駆動力を伝達するようにしてもよい。
【００９８】
さらに、上記第１実施形態の被駆動体３０Ａにおいて、回動範囲を規制するストッパピンを設けるようにしてもよい。図３８〜図４１は、このような変形例を示す図である。図３８（上面図）および図３９（図３８のＶ−Ｖ断面における断面図）に示すように、Ｚ方向に突出するストッパピンＰＮが制振部材３２上に設けられる。一方、振動アクチュエータ１Ａの本体側には、ストッパ部材ＳＢが固定されている。また、ストッパ部材ＳＢは、制振部材３２の外縁部の直上部分において、制振部材３２に接触しないように所定の間隙を空けて配置される。そして、被駆動体３０Ａが矢印ＡＲの向きに回動して、その回動角度が所定の角度に到達すると、図４０に示すように、ストッパピンＰＮがストッパ部材ＳＢに当接する。また、被駆動体３０Ａが矢印ＡＲとは逆向きに回動して、その回動角度が所定の角度に到達すると、図４１に示すように、ストッパ部材ＳＢがストッパピンＰＮに当接する。このように、被駆動体３０Ａの回動動作が規制される。
【００９９】
また、第１実施形態以外の実施形態の被駆動体において、駆動力の伝達手段を設けるようにしてもよい。
【０１００】
たとえば、第３実施形態の被駆動体３０Ｃ（図２３）において、制振部材３６の外周に歯車の歯を設けるようにしてもよい。図４２および図４３は、それぞれ、そのような変形例に係る被駆動体の上面図および断面図を示す図である。
【０１０１】
あるいは、第３実施形態の被駆動体３０Ｃにおいて、制振部材３６の形状として特定の形状を採用することによって、制振部材３６をカムとして用いるようにしてもよい。図４４（上面図）および図４５（断面図）は、そのような変形例を示す図である。この変形例においては、制振部材３６の上面（端面）が傾斜している。また、特定の別部材に固定されたカムフォロアピンＦＰは、制振部材３６の上面に対して付勢されている。制振部材３６の上面の高さは周方向の位置に応じて異なるため、当該制振部材３６の上面に接触するカムフォロアピンＦＰが、制振部材３６の回動動作に伴って、ガイド部ＧＤにガイドされて上下方向（Ｚ方向）に直線運動する。
【０１０２】
また、図４６（上面図）および図４７（断面図）は、別の変形例を示す図である。この変形例においては、制振部材３６が上側部分ＵＰと下側部分ＬＰとの２段構造になっており、当該制振部材３６の一部である上側部分ＵＰがカムＣＭとして構成されている。カムフォロアピンＦＰは、カムＣＭに対して所定の付勢力によって中心に向けて付勢されている。このカムフォロアピンＦＰは、ガイド部ＧＤにガイドされており、図の左右方向に摺動可能である。中心軸ＡｂからカムＣＭの外周面までの距離は制振部材３６（カムＣＭ）の周方向の位置に応じて異なるため、カムＣＭに接触するカムフォロアピンＦＰが、制振部材３６の回動動作に伴って半径方向（左右方向）に直線運動する。
【０１０３】
上記各実施形態においては、振動体１０が楕円振動する場合を例示したが、これに限定されない。たとえば、振動体１０による振動は、単振動であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】第１実施形態に係る振動アクチュエータ（駆動装置）の正面図である。
【図２】振動アクチュエータの側面図である。
【図３】振動体の正面図である。
【図４】被駆動体の上面図である。
【図５】被駆動体の断面図である。
【図６】振動体による駆動動作を示す図である。
【図７】被駆動体の駆動状態（理想状態）を示す概念図である。
【図８】被駆動体の駆動状態を示す概念図である。
【図９】被駆動体の駆動状態を示す概念図である。
【図１０】振動アクチュエータ（第１実施形態）の振動状態に関する測定結果を示す図である。
【図１１】振動アクチュエータ（第１実施形態）の駆動力に関する測定結果を示す図である。
【図１２】振動アクチュエータ（第１比較例）の振動状態に関する測定結果を示す図である。
【図１３】振動アクチュエータ（第１比較例）の駆動力に関する測定結果を示す図である。
【図１４】振動アクチュエータ（第２比較例）の振動状態に関する測定結果を示す図である。
【図１５】振動アクチュエータ（第２比較例）の駆動力に関する測定結果を示す図である。
【図１６】第１比較例に係る被駆動体の構成を示す上面図である。
【図１７】第１比較例に係る被駆動体の構成を示す断面図である。
【図１８】第２比較例に係る被駆動体の構成を示す断面図である。
【図１９】第２実施形態に係る振動アクチュエータ（駆動装置）の正面図である。
【図２０】第２実施形態に係る振動アクチュエータの側面図である。
【図２１】第２実施形態に係る被駆動体の上面図である。
【図２２】第３実施形態に係る振動アクチュエータの上面図である。
【図２３】第３実施形態に係る被駆動体の側面図である。
【図２４】第４実施形態に係る振動アクチュエータの上面図である。
【図２５】第４実施形態に係る被駆動体の側面図である。
【図２６】変形例に係る被駆動体を示す上面図である。
【図２７】接触部材と制振部材との接合状態に関する変形例を示す断面図である。
【図２８】接触部材と制振部材との接合状態に関する別の変形例を示す断面図である。
【図２９】被駆動体に関する別の変形例を示す上面図である。
【図３０】図２９の被駆動体を示す断面図である。
【図３１】被駆動体に関する変形例（１回転以上回転可能）を示す上面図である。
【図３２】図３１の被駆動体を示す断面図である。
【図３３】さらなる変形例に係る被駆動体を示す上面図である。
【図３４】被駆動体に関する変形例（歯車を有するもの）を示す上面図である。
【図３５】被駆動体に関する別の変形例を示す上面図である。
【図３６】被駆動体に関するさらに別の変形例を示す上面図である。
【図３７】図３６の被駆動体を示す断面図である。
【図３８】被駆動体に関する変形例（回動規制機構を有するもの）を示す上面図である。
【図３９】図３８の被駆動体を示す側面図である。
【図４０】回動規制動作を説明する上面図である。
【図４１】回動規制動作を説明する上面図である。
【図４２】被駆動体に関する別の変形例を示す上面図である。
【図４３】図４２の被駆動体を示す断面図である。
【図４４】被駆動体に関するさらに別の変形例を示す上面図である。
【図４５】図４４の被駆動体を示す断面図である。
【図４６】被駆動体に関する別の変形例を示す上面図である。
【図４７】図４６の被駆動体を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１Ａ〜１Ｄ  振動アクチュエータ（駆動装置）
１０  振動体
１１，１２  圧電素子
１３  チップ部材
１４  ベース部材
３０Ａ〜３０Ｄ  被駆動体
３１，３３，３５，３７  接触部材（摺動部材）
３２，３４，３６，３８  制振部材
４０  加圧部材
５０  支持部材
５１，５２  ローラ
６０，７０，８０  台板
Ｇ１，Ｇ２  カム溝
ＴＨ  （歯車の）歯
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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