(57)【要約】【課題】  真空状態を保ったままで、チャック表面に付着した異物を除去する方法を提供する。【解決手段】  （ａ）に示すように、図示しない搬送ロボットにより、レチクルの代わりにパージ用容器７を昇降テーブル５の上に載置する。そして、（ｂ）に示すようにレチクルステージ１が、チャッキング位置に来た状態で、昇降テーブル５を上昇させ、パージ用容器７のパージ口７ａが、静電チャック２の表面から数ｍｍ程度離れた位置となるように上昇させ、その状態で、パージ口７ａから気体を吹き出して、静電チャック２の表面を気体パージし、静電チャック２の表面に付着したパーティクルを吹き飛ばす。吹き飛ばされたパーティクルとパージ用気体は、露光装置を真空引きしている真空ポンプにより露光装置外に排出される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を吸着する吸着面を下向きに備えたチャックと、当該チャックに対面するように前記基板を載置して上下運動を行い、前記基板を前記チャックのチャッキングが可能な位置まで搬送するテーブルとを有する装置において、前記チャックの表面に付着した異物を除去する方法であって、パージ用気体容器を内蔵する容器を前記基板の代わりに前記テーブル上に載置し、前記テーブルを駆動して前記容器を前記チャックの近傍に位置させ、その状態で前記容器からパージ用気体を前記チャックの表面に吹き付けることを特徴とするチャック表面の異物除去方法。
【請求項２】
基板を吸着する吸着面を下向きに備えたチャックと、当該チャックに対面するように前記基板を載置して上下運動を行い、前記基板を前記チャックのチャッキングが可能な位置まで搬送するテーブルとを有する装置において、前記チャックの表面に付着した異物を除去する方法であって、粘着フィルムを前記基板の代わりに前記テーブル上に載置し、前記テーブルを駆動して前記粘着フィルムを前記チャックの表面に接触させ、その後、前記テーブルを駆動して、前記粘着フィルムを前記チャックの表面から離すことを特徴とするチャック表面の異物除去方法。
【請求項３】
請求項１に記載のチャック表面の異物除去方法に使用される容器であって、パージ用気体を収納する容器と、当該パージ用気体を収納する容器と配管で連結された電磁弁と、外部からの電磁誘導により前記電磁弁を駆動する電力を発生するコイルとを有し、前記電力が発生したとき前記電磁弁が開となり、前記パージ用気体が外部に放出されるように構成されたことを特徴とする容器。
【請求項４】
基板を吸着する吸着面を下向きに備えたチャックに対面するように前記基板を載置して上下運動を行い、前記基板を前記チャックのチャッキングが可能な位置まで搬送するテーブルであって、請求項３に記載の容器の前記コイルに対し、電磁誘導により電力を供給可能なコイルを有することを特徴とするテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置に使用されるレチクルやウエハを吸着保持するため等に用いられるチャックの表面に付着した異物を除去する方法、及びこの方法に使用される容器、テーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスに要求される集積度が高くなるに従い、その製造工程中のリソグラフィ工程に使用される露光装置の精度の高度化が要求され、最近では、電子線露光装置（ＥＰＬ）や極端紫外線露光装置（ＥＵＶＬ）が使用されるようになってきている。
【０００３】
ＥＰＬやＥＵＶＬにおいては、レチクルやウエハは高度の真空中で使用されるため、それらを保持するチャックとしては静電チャックが使用される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、静電チャックを使用すると、静電チャックの残留電界のために、空間中に浮遊する電荷を持ったパーティクル（異物）が、静電チャック表面に吸着され、そのまま表面に留まるという問題点が発生する。このようなことが発生すると、ウエハ及びレチクルを吸着した状態で、ウエハ及びレチクル表面の平面度を狂わせる原因となる。
【０００５】
特に反射型レチクルを使用するＥＵＶＬでは、レチクル表面を数ｎｍの平面度に抑える必要があるため，数十ｎｍ程度のパーティクルは、レチクル表面は勿論、静電チャックに付着することも許されない。
【０００６】
この対策として、適宜、真空状態を破り、大気圧に戻した状態で、人手による清掃が行われているが、真空状態を破るという工程が増え、かつ、完全な清掃が困難であり、場合によってはかえってチャック表面に付着するパーティクルを増やす結果になるという問題点がある。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、真空状態を保ったままで、チャック表面に付着した異物を除去する方法、及びこの方法に使用される容器、テーブルを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するための第１の手段は、基板を吸着する吸着面を下向きに備えたチャックと、当該チャックに対面するように前記基板を載置して上下運動を行い、前記基板を前記チャックのチャッキングが可能な位置まで搬送するテーブルとを有する装置において、前記チャックの表面に付着した異物を除去する方法であって、パージ用気体容器を内蔵する容器を前記基板の代わりに前記テーブル上に載置し、前記テーブルを駆動して前記容器を前記チャックの近傍に位置させ、その状態で前記容器からパージ用気体を前記チャックの表面に吹き付けることを特徴とするチャック表面の異物除去方法である。
【０００９】
本手段においては、テーブル上に容器を載置してテーブルを上昇させ、容器のパージ用気体噴出部をチャック表面に近づける。そして、その状態でパージ用気体を噴出させてチャック表面の異物をパージして除去する。チャックが真空中にある場合は、パージ気体は、通常こうした装置に設けられている真空ポンプによって排出されるので、真空状態を破らなくても気体バージを行うことができる。
【００１０】
前記課題を解決するための第２の手段は、基板を吸着する吸着面を下向きに備えたチャックと、当該チャックに対面するように前記基板を載置して上下運動を行い、前記基板を前記チャックのチャッキングが可能な位置まで搬送するテーブルとを有する装置において、前記チャックの表面に付着した異物を除去する方法であって、粘着フィルムを前記基板の代わりに前記テーブル上に載置し、前記テーブルを駆動して前記粘着フィルムを前記チャックの表面に接触させ、その後、前記テーブルを駆動して、前記粘着フィルムを前記チャックの表面から離すことを特徴とするチャック表面の異物除去方法である。
【００１１】
本手段においては、テーブル上に粘着フィルムを載置してテーブルを上昇させ、粘着フィルムをチャック表面に接触させ、チャック表面に存在する異物を粘着フィルムに粘着させ、その状態でテーブルを下げて粘着フィルムをチャック表面から離すことにより、チャック表面の異物を除去する。
【００１２】
本手段においては、チャックが真空中に置かれている場合でも、真空を破らずにチャック表面の異物を除去することができる。
【００１３】
前記課題を解決するための第３の手段は、前記第１の手段であるチャック表面の異物除去方法に使用される容器であって、パージ用気体を収納する容器と、当該パージ用気体を収納する容器と配管で連結された電磁弁と、外部からの電磁誘導により前記電磁弁を駆動する電力を発生するコイルとを有し、前記電力が発生したとき前記電磁弁が開となり、前記パージ用気体が外部に放出されるように構成されたことを特徴とする容器である。
【００１４】
本手段によれば、外部配線を行うことなく、外部からパージ用気体を放出するタイミングを制御することができる。
【００１５】
前記課題を解決するための第３の手段は、基板を吸着する吸着面を下向きに備えたチャックに対面するように前記基板を載置して上下運動を行い、前記基板を前記チャックのチャッキングが可能な位置まで搬送するテーブルであって、前記第３の手段である容器の前記コイルに対し、電磁誘導により電力を供給可能なコイルを有することを特徴とするテーブルである。
【００１６】
本手段によれば、前記容器のコイルに非接触で電磁弁を駆動するために必要な電力を供給することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、真空状態を保ったままで、チャック表面に付着した異物を除去する方法、及びこの方法に使用される容器、テーブルを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態の例を説明するが、それに先立ち、本発明が前提としている装置の例として、露光装置のレチクルステージの静電チャックに関する装置の例を、図１を用いて説明する。レチクルステージ１には、静電チャック２が、そのチャック面が下向きになるように取り付けられている。レチクルステージ１は、レチクルステージ駆動機構３により、図の左右向きの矢印の方向に移動する。すなわち、図１に示す位置でレチクル４をチャッキングし、図の右側にあって図示されていない露光位置まで搬送する。
【００１９】
図に示すチャッキング位置には、昇降テーブル５が設けられており、駆動装置６により図の矢印のように上下に移動するようになっている。レチクル４は、昇降テーブル５が下降位置にある状態で、図示しない搬送ロボットにより搬送されて昇降テーブル５上に載置される。この状態でレチクルステージ１が左に移動して図１に示すような位置となり、昇降テーブル５が上昇してレチクル４を静電チャック２の静電力が働く位置まで持ち上げる。駆動装置６には図示しない位置検出機構が設けられており、これにより、レチクル４と静電チャック２の下面の間隔を知ることができる。レチクル４が静電チャック２の静電力が働く位置まで持ち上げられた状態で、静電チャック２に電圧を印加し、レチクル４をチャッキングして固定し、図の右側にある図示しない露光位置まで搬送する。
【００２０】
レチクル４の使用を終えた場合には、昇降テーブル５の表面がレチクルステージ１の静電チャック２により保持されたレチクル４の下面よりわずかに下となるように昇降テーブル５を上昇させ、レチクルステージ１を図１に示す位置まで移動させて、静電チャック２の電圧を切って、レチクル４を昇降テーブル５に載置し、その後昇降テーブル５を下降させて、図示しない搬送ロボットによりレチクル４を搬出する。
【００２１】
以下、本発明の実施の形態の例を図を用いて説明するが、以下の図においては、前出の図に示された構成要素と同じ構成要素には、同じ符号を付してその説明を省略することがある。図２は、本発明の第１の実施の形態であるチャック表面の異物除去方法を説明するための図である。
【００２２】
まず、図２（ａ）に示すように、図示しない搬送ロボットにより、レチクルの代わりにパージ用容器７を昇降テーブル５の上に載置する。そして、図２（ｂ）に示すようにレチクルステージ１が、チャッキング位置に来た状態で、昇降テーブル５を上昇させ、パージ用容器７のパージ口７ａが、静電チャック２の表面から数ｍｍ程度離れた位置となるように上昇させ、その状態で、パージ口７ａから気体を吹き出して、静電チャック２の表面を気体パージし、静電チャック２の表面に付着したパーティクルを吹き飛ばす。吹き飛ばされたパーティクルとパージ用気体は、露光装置を真空引きしている真空ポンプにより露光装置外に排出される。
【００２３】
図３に、パージ用容器７の、より詳細な構造の例を示す。パージ用容器７の中には、パージ用気体収納容器８、電磁弁９、及び電磁弁９に電力を供給するためのコイル１１が収納されている。パージ用気体収納容器８からの配管は電磁弁９を介して、パージ口７ａのノズル１０につながっている。一方、昇降テーブル５には、電力供給用のコイル１２が設けられている。コイル１２を励磁すると、コイル１２とコイル１１との電磁結合によりコイル１１が起電力を発生し、それにより電磁弁９が駆動されて開となり、パージ用気体収納容器８中の気体がノズル１０に供給されてパージを行うようになっている。このような構造のパージ用容器７と昇降テーブル５を用いることにより、図２を用いて説明した静電チャック２の表面の気体パージを行うことができる。
【００２４】
図４は、本発明の第２の実施の形態であるチャック表面の異物除去方法を説明するための図である。この場合には、図３（ａ）に示すように、図示しない搬送ロボットにより、表面に粘着フィルム１３が貼着されたブロック１４を昇降テーブル５の上に載置する。そして、図３（ｂ）に示すようにレチクルステージ１が、チャッキング位置に来た状態で、昇降テーブル５を上昇させ、粘着フィルム１３を静電チャック２の表面に接触させる。
【００２５】
接触の際に、粘着フィルム１３と静電チャック２の間に過大な力が加わらないように、粘着フィルム１３をある程度厚くして弾力性を持たせておくか、粘着フィルム１３とブロック１４の間に弾性材を挟んでおくことが好ましい。駆動装置６に設けられた位置検出器により、昇降テーブル５が上昇しすぎて粘着フィルム１３と静電チャック２の間に過大な力が作用したり、粘着フィルム１３と静電チャック２が接触しなかったりすることがないように制御する。
【００２６】
静電チャック２と粘着フィルム１３が接触することにより、静電チャック２の表面に付着していたパーティクルは粘着フィルム１３に粘着する。この状態で昇降テーブル５を下降させると、パーティクルは粘着フィルム１３に粘着した状態で、静電チャック２の表面から除去される。静電チャック２の表面も粘着フィルム１３と粘着するが、昇降テーブル５を下降させたとき重力により粘着フィルム１３と静電チャック２が離れるように、ブロック１４の重量を十分に重くしておく。このようにして、静電チャック２の表面に付着したパーティクルを除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】露光装置のレチクルステージの静電チャックに関する装置の例を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態であるチャック表面の異物除去方法を説明するための図である。
【図３】パージ用容器の、より詳細な構造の例を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態であるチャック表面の異物除去方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００２８】
１…レチクルステージ、２…静電チャック、３…レチクルステージ駆動機構、４…レチクル、５…昇降テーブル、６…駆動装置、７…パージ用容器、７ａ…パージ口、８…パージ用気体収納容器、９…電磁弁、１０…ノズル、１１…コイル、１２…コイル、１３…粘着フィルム、１４…ブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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