(57)【要約】  【課題】気体吸着活性が高く、特に窒素あるいは酸素に対する吸着性能が高い物質が望まれている。  【解決手段】１ｍｏｌのＬｉと１．１ｍｏｌのＡｌ2Ｏ3とを、Ａｒ雰囲気中、ステンレス製ボールによる振動ボールミルを用いてメカニカルアロイングを行い混合して、気体吸着性物質（Ｌｉ−Ａｌ2Ｏ3）を得た。なお、Ａｌ2Ｏ3の硬度は９、密度は３．９７ｇ／ｃｍ3である。また、目視により、Ｌｉが１ｍｍ以下の粉末になっていることを確認した。この気体吸着性物質（Ｌｉ−Ａｌ2Ｏ3）をＡｒ雰囲気にてサンプル管に入れて、サンプル管内を真空排気後、サンプル管内が約６００００Ｐａとなるよう窒素と酸素を別々に導入したときの、この気体吸着性物質（Ｌｉ−Ａｌ2Ｏ3）による吸着特性を図３に示す。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともＬｉと、硬度が５以上である固体物質とを含み、かつ２５℃常圧下で少なくとも窒素もしくは酸素を吸着することを特徴とする気体吸着性物質。
【請求項２】
前記固体物質が、少なくとも酸化物を含むことを特徴とする請求項１に記載の気体吸着性物質。
【請求項３】
前記Ｌｉの少なくとも一部が、粒径１ｍｍ以下になっていることを特徴とする請求項１もしくは２のいずれか一項に記載の気体吸着性物質。
【請求項４】
少なくとも前記Ｌｉと、前記固体物質の少なくとも一部とが、相溶していることを特徴とする請求項１から３に記載の気体吸着性物質。
【請求項５】
少なくとも前記Ｌｉと、前記固体物質とが、メカニカルアロイングにより混合されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の気体吸着性物質。
【請求項６】
少なくともＬｉと、２５℃における硬度が５以上でありかつ密度が４ｇ／ｃｍ3以下である固体物質とを含み、かつ２５℃常圧下で窒素を５ｃｍ3／ｇ以上吸着可能とすることを特徴とする気体吸着性物質。
【請求項７】
少なくとも、相互に金属間化合物をつくらない少なくとも２種の金属からなりかつ前記２種の金属の混合のエンタルピーが０より大きいことを特徴とする気体吸着合金と、請求項１から６のいずれか一項に記載の気体吸着性物質とを含むことを特徴とする気体吸着材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体吸着性物質と、その気体吸着性物質を含む気体吸着材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
気体吸着性物質は、真空保持、希ガス中の微量ガスの除去、蛍光灯中のガスの除去等様々な分野で用いられている。
【０００３】
半導体製造工業で用いられている希ガスは、希ガス中の窒素、炭化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、酸素、水素、水蒸気などを除去し、高純度に精製することが望まれている。特に、その中でも安定な分子である窒素を除去することは困難である。
【０００４】
希ガス中の窒素、あるいは炭化水素などを取り除く従来の方法としては、例えば、ジルコニウム、バナジウム及びタングステンからなる三元合金のゲッター材と希ガスを加熱下に接触させる方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
これは、合金を１００〜６００℃の温度で希ガスと接触させることにより、希ガスから窒素等の不純物を除去するものである。
【０００６】
また、従来の別の方法としては、ジルコニウム、鉄、マンガン、イットリウム、ランタンと、希土類元素の１種の元素を含み、窒素に対して高ガス吸着効率を備える無蒸発ゲッター合金を用いる方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
これは、合金を３００〜５００℃の間の温度で１０〜２０分間活性化処理を行うことにより、水素、炭化水素、窒素等の吸着に対して室温でも作用することができるものである。
【０００８】
また、従来のさらに別の方法としては、低温で窒素を吸着する性質があるＢａ−Ｌｉ合金を用いる方法がある（例えば、特許文献３参照）。
【０００９】
これは、断熱ジャケット内に真空を維持するためのデバイスであり、Ｂａ−Ｌｉ合金からなり、室温においても窒素等のガスに対して反応性を示す。
【００１０】
また、これはＢａによる窒素吸着であり、Ｌｉではなく、Ｎａ、Ｋでも問題ないという記載がある。
【００１１】
また、酸素吸収剤として鉄粉、酸化促進物質、フィラー、水分供与体からなるものがある（例えば、特許文献４参照）。
【００１２】
これは、食品、医薬品等の品質保持用途に利用される酸素吸収剤であり、酸素吸収には水分が必要である。
【特許文献１】特開平６−１３５７０７号公報
【特許文献２】特表２００３−５３５２１８号公報
【特許文献３】特許第２６２７７０３号公報
【特許文献４】特許第３２５２８６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、特許文献１に記載の上記従来の技術では、３００〜５００℃で加熱し続けることが必要であり、高温での加熱であるためエネルギーコストが大きく環境にも悪く、また、低温でのガス吸着を望む場合は使用できない。
【００１４】
また、特許文献２に記載の上記従来の技術では、３００〜５００℃の前処理が必要であり、高温での前処理が困難な場合のガス除去、例えばプラスチック袋中のガスを常温下で除去することは困難である。
【００１５】
また、特許文献３に記載の上記従来の技術では、活性化のための熱処理を必要とせず常温で窒素吸着可能であるが、さらなる高活性化、大容量化が望まれていると共に、Ｂａは劇物指定物質であるため、工業的に使用するには環境や人体に対して問題のないものが望まれている。
【００１６】
また、作製のため合金を溶融する必要があり、製造にかかるエネルギーが大きくなる。
【００１７】
また、特許文献４に記載の上記従来の技術では、酸素吸収に水分が必要であり、微量の水分も嫌う雰囲気では使用することができない。
【００１８】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、気体吸着活性が高く、特に窒素あるいは酸素に対する吸着性能が高い気体吸着性物質を得ることにより、常温常圧、あるいは常温減圧下でも窒素あるいは酸素を吸着可能とすることを目的とする。
【００１９】
さらには、環境や人体に対して問題のないものを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するために、本発明の気体吸着性物質は、少なくともＬｉと、硬度が５以上である固体物質とを含み、かつ２５℃常圧下で少なくとも窒素もしくは酸素を吸着する気体吸着性物質である。
【００２１】
Ｌｉは、通常は表面に被膜が形成される等の理由で不活性化し、窒素あるいは酸素を吸着することができない。
【００２２】
しかしながら、Ｌｉの硬度が０．６であるのに対し、硬度が５以上の固体物質を共存させることにより、前記固体物質がＬｉを磨砕したりし、Ｌｉの表面が削られ活性な表面を新生することが可能となる。従って、常温で窒素あるいは酸素を速やかに吸着可能となる。
【００２３】
また、上記の本発明の気体吸着性物質において、上記固体物質として、少なくとも酸化物を含むことを特徴としている。
【００２４】
酸化物を用いることにより、Ｌｉの活性がより維持される傾向がある。これは、例えばＬｉと金属を組み合わせると、不純物として酸素を含有しやすい金属をＬｉが還元することにより、Ｌｉが劣化される可能性があることが考えられる。
【００２５】
従って、Ｌｉと、安定的に酸素を含む酸化物との構成にすることにより、上記Ｌｉの酸化をより抑制できると考える。
【００２６】
また、前記Ｌｉの少なくとも一部が、粒径１ｍｍ以下になっていることを特徴とする。
【００２７】
粒径を１ｍｍ以下とすることにより、Ｌｉ外層部だけでなく、Ｌｉ内部まで窒化あるいは酸化されやすくなり、Ｌｉあたりの気体吸着量が増大し、材料を有効に使うことができる。
【００２８】
また、上記の本発明の気体吸着性物質において、少なくともＬｉと、前記固体物質の一部とが、相溶していることが好ましい。
【００２９】
Ｌｉと前記固体物質の一部とが相溶することにより、界面が増大し、活性が向上すると考えられる。
【００３０】
また、上記の本発明の気体吸着性物質において、少なくともＬｉと、前記固体物質とが、メカニカルアロイングにより混合されていることが好ましい。
【００３１】
メカニカルアロイすることにより、Ｌｉと前記固体物質とを高エネルギーで磨砕、混合することができ、前記固体物質によるＬｉを削る効果が増大し、Ｌｉ新生面露出や細分化効果が増大する。また、前記固体物質も削られ細分化されるので、Ｌｉを細分化することに対しさらに効果的となるのである。
【００３２】
また、メカニカルアロイすることにより、機械的エネルギーがＬｉや前記固体物質に蓄積され、出発点で有するエネルギーよりもメカニカルアロイ後に有するエネルギーの方が増大し、さらに高活性化することが考えられる。
【００３３】
また、本方法で作製することは、溶融等が必要なく熱エネルギーが必要でないため、環境的あるいはコスト的にも優れている。
【００３４】
また、本発明の気体吸着材は、少なくとも、相互に金属間化合物をつくらない少なくとも２種の金属からなりかつ前記２種の金属の混合のエンタルピーが０より大きいことを特徴とする気体吸着合金と、上記気体吸着性物質とを含むことを特徴とする気体吸着材である。
【００３５】
相互に金属間化合物をつくらない金属であり、かつ前記２種の金属の混合のエンタルピーが０より大きい金属で、通常では相互作用をもたないような金属を用いることにより、その中に含まれる金属の活性を向上させることが可能である。従って、金属と気体との反応性が向上し気体吸着活性が高くなるのである。
【００３６】
この理由としては、模式的に述べると、例えばＬｉ−Ｆｅ系合金ではＬｉ原子とＦｅ原子が安定な化学結合をつくらないため、強制的にそれらの原子を隣接させると、互いに他の第三元素と結合しようとする働きが一層大きくなり、吸着活性が高くなるためであると考えられる。
【００３７】
このように、異なる気体吸着活性をもつ、前記気体吸着合金と、本発明の気体吸着性物質を組み合わせることにより、吸着対象気体への暴露直後には活性な方が気体を急速に吸着し、より活性の低い方が前者よりも緩やかに吸着をするといった、速効性にも吸着活性維持にも優れた気体吸着材を得ることができるのである。
【発明の効果】
【００３８】
本発明の気体吸着性物質は、特に窒素あるいは酸素に対する吸着活性が高い合金を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
請求項１に記載の気体吸着性物質の発明は、少なくともＬｉと、硬度が５以上である固体物質とを含み、かつ２５℃常圧下で少なくとも窒素もしくは酸素を吸着することを特徴とする。
【００４０】
ここで、硬度が５以上である固体物質としては、Ｓｉ、Ｂ、ｃ−Ｃ（ダイヤモンド）、ＳｉＯ2、ＳｉＣ、ｃ−ＢＮ（立方晶窒化ホウ素）、Ａｌ2Ｏ3、ＭｇＯ、ＴｉＯ2等があげられる。
【００４１】
また、その他の成分を添加することも可能である。
【００４２】
また、ここでいう硬度とは１０段階のモース硬度を指す。
【００４３】
また、上記固体物質の確認方法としては、例えばＸ線回折にて、Ｌｉと、固体物質のピークが確認できる等の方法で行ってもよいが、特に指定するものではない。
【００４４】
また、前記固体物質の含有率は５ｍｏｌ％以上９５ｍｏｌ％以下であることが望ましい。それは、気体吸着性物質１００ｍｏｌ％に対し、固体物質が５ｍｏｌ％よりも少なくなると、延性の高いＬｉが多くなることにより、固体物質と均一に混合しにくくなり、また、９５ｍｏｌ％より多くなると活性の高いＬｉが減少し気体吸着活性が小さくなるためである。
【００４５】
また、好ましくは、前記固体物質の密度が５ｇ／ｃｍ3以下であることが好ましい。前記固体物質を用いることにより、密度が０．５３ｇ／ｃｍ3のＬｉと組み合わせたときでも密度上昇が少なく、また、単位重量あたりの窒素吸着量を増大することができる。
【００４６】
従って、例えば、本気体吸着性物質を製品に組み込んだときでも重量増加が少なく、かつ窒素吸着量を確保できるのである。
【００４７】
また、本発明の気体吸着性物質は、２５℃常圧下で少なくとも窒素もしくは酸素を吸着可能とするものであるが、窒素もしくは酸素以外の気体、例えば、水素、水蒸気、一酸化炭素、二酸化炭素、窒素酸化物、硫黄酸化物、炭化水素を吸着するものであってもよい。窒素あるいは酸素以外に吸着する気体については、特に指定するものではない。
【００４８】
また、本発明において吸着量の測定方法については、特に指定するものではなく、吸着容量法、重量法等、公知のものを利用でき、少なくとも窒素あるいは酸素の吸着を確認できればよい。
【００４９】
また、本発明の気体吸着性物質は、１ｇあたり窒素もしくは酸素を１ｃｍ3以上吸着可能、さらに好ましくは３ｃｍ3以上吸着可能、さらに好ましくは５ｃｍ3以上吸着することが好ましい。その吸着量の測定は、例えば、吸着している過程にある、一部吸着した気体吸着性物質を取り出し、その気体吸着性物質に対し窒素吸着量を測定してもよく、また一部吸着もしくは吸着活性を失った気体吸着性物質に対し、加熱する等の方法で窒素を追い出し、その窒素量と、加熱後の気体吸着性物質とから１ｇあたりの窒素吸着量を求めてもよい。
【００５０】
また、ここでいう吸着とは、表面への吸着の他に内部への吸収、あるいは収着も含むものとする。
【００５１】
また、本発明における吸着材は、常温、あるいは約８０℃以下の雰囲気にて、常圧以下、特に低圧領域での吸着が可能である。
【００５２】
また、気体吸着性物質の使用形態としては、粉体、圧縮成型、ペレット化、シート状、薄膜状、あるいは別容器への収容、他物質への蒸着といった使用方法をあげられるが、特に指定するものではない。
【００５３】
また、請求項２に記載の気体吸着性物質の発明は、請求項１に記載の発明における前記固体物質が少なくとも酸化物を含むことを特徴とする。
【００５４】
ここで、酸化物とは、Ａｌ2Ｏ3、ＭｇＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等である。
【００５５】
あるいは、三元素以上含む酸化物であってもよい。
【００５６】
また、請求項３に記載の気体吸着性物質の発明は、請求項１もしくは２のいずれか一項に記載の発明において、前記Ｌｉの少なくとも一部が、粒径１ｍｍ以下になっていることを特徴とする。
【００５７】
粒径１ｍｍ以下とは、少なくとも一部の粒径が１ｍｍ以下となっていればよく、一般的な確認方法で確認することが可能である。また、気体吸着前の粒径であっても、吸着後の粒径であっても、特に指定するものではない。
【００５８】
また、請求項４に記載の気体吸着性物質の発明は、請求項１から３のいずれか一項に記載の発明において、少なくとも前記Ｌｉと前記固体物質の少なくとも一部とが相溶していることを特徴とする。
【００５９】
ここで、少なくとも一部が相溶しているとは、少なくとも一部が物理的に２種の物質を分離できない状態のことをいう。例えば２種の物質の境界面の一部が原子レベルで物質同士が混合している等の状態をいうが、これに限定するものではない。
【００６０】
また、請求項５に記載の気体吸着性物質の発明は、請求項１から４のいずれか一項に記載の発明において、少なくとも前記Ｌｉと前記固体物質とがメカニカルアロイングにより混合されていることを特徴とする。
【００６１】
ここで、メカニカルアロイングで混合するとは、機械的に混合する方法を指し、特に指定するものではない。また、高活性な気体吸着合金を作製するため、不活性気体中、例えばＡｒ、Ｈｅ等の雰囲気中、あるいは真空下でメカニカルアロイングを行うことが好ましい。
【００６２】
また、メカニカルアロイングを行う際、別にＣを添加したり、冷却下で行ったり、アルコール等を少量滴下したりして、容器への付着を防いだりすることもできる。
【００６３】
また、請求項７に記載の気体吸着材の発明は、少なくとも、相互に金属間化合物をつくらない少なくとも２種の金属からなりかつ前記２種の金属の混合のエンタルピーが０より大きいことを特徴とする気体吸着合金と、請求項１から６のいずれか一項に記載の気体吸着性物質とを含むことを特徴とする。
【００６４】
ここで、金属同士が金属間化合物をつくらないことは、例えばＸ線回折から確認できる。
【００６５】
ここで、混合のエンタルピーが０より大きいことは、例えば相図から確認できる。混合のエンタルピーが０より大きい金属種の相図には、非固溶型、あるいは共晶型といったことを表す相図が含まれる。
【００６６】
また、ここでいう合金とは、２種以上の金属によって構成される物質のことをいう。
【００６７】
また、前者の気体吸着合金と後者の気体吸着物質とを含むとは、前者と後者を一度に混合する、あるいは予め前者の気体吸着合金と気体吸着物質を別々に作製して同一雰囲気中で使用する、あるいは別々に作製したものをその後混合する、またその混合物を圧縮成形する、あるいは各々別にペレット化して同雰囲気中で使用する、あるいはどちらかをどちらかで被覆する等の方法があるが特に指定するものではない。
【００６８】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００６９】
（実施の形態１）
本発明の気体吸着性物質は、Ｌｉと固体物質の２種の物質からなる。この固体物質は環境等に対して問題のないものを用いている。
【００７０】
固体物質の種類を変えた気体吸着性物質の窒素、酸素、空気吸着の評価結果を実施例１から３に示す。
【００７１】
（実施例１）
固体物質としてＳｉを使用した。１ｍｏｌのＬｉと５ｍｏｌのＳｉとを、Ａｒ雰囲気中、ステンレス製ボールによる遊星ボールミルを用いてメカニカルアロイングを行い混合して気体吸着性物質（Ｌｉ−Ｓｉ）を得た。なお、Ｓｉの硬度は６．５、密度は２．３ｇ／ｃｍ3である。
【００７２】
メカニカルアロイングにより混合することにより、２種の物質の境界面の一部がナノレベルで混合しており、２種の物質同士の境界面で相溶が生じていると考えられる。
【００７３】
また、目視により、Ｌｉが１ｍｍ以下の粉末になっていることを確認した。
【００７４】
次に、Ａｒ雰囲気下で気体吸着性物質（Ｌｉ−Ｓｉ）の吸着特性を、図１の吸着材評価装置１にて評価した。
【００７５】
吸着材評価装置１は、ガスボンベ４が第一バルブ５を通じて、また、真空ポンプ６が第二バルブ７を通じて、所定容積をもつ気体供与部８に接続されている。また、気体供与部８から、第三バルブ９を経てサンプル管３に接続されている。また、サンプル管３には、圧力ゲージ１０が接続されている。また、気体供与部８と、第三バルブ９との間は取り外し可能となっている。
【００７６】
まず、気体吸着性物質２は、Ａｒ雰囲気にて、取り外した状態のサンプル管３（図示せず）に密閉し、第三バルブ９を閉めた状態で、気体供与部８に接続した。
【００７７】
それから、第一バルブ５は閉めた状態で、第二バルブ７、その後第三バルブ９を開け、系内を真空排気する。その後、系内が十分低圧になったところで、第三バルブ９、第二バルブ７を閉め、第一バルブ５を開け、ガスボンベ４から、サンプル管３内が所定圧になるよう、気体供与部８にガスを導入し、第一バルブ５を閉める。そして、第三バルブ９を開け、気体吸着性物質２に気体を暴露させることにより、気体吸着特性を評価した。
【００７８】
サンプル管内が約８００００Ｐａとなるよう、窒素を導入したときの、時間と圧力変化の関係を図２に示す。
【００７９】
図２に示すように、約４０分でほぼ０Ｐａとなった。
【００８０】
（実施例２）
固体物質としてＡｌ2Ｏ3を使用した。１ｍｏｌのＬｉと１．１ｍｏｌのＡｌ2Ｏ3とを、Ａｒ雰囲気中、ステンレス製ボールによる振動ボールミルを用いてメカニカルアロイングを行い混合して、気体吸着性物質（Ｌｉ−Ａｌ2Ｏ3）を得た。なお、Ａｌ2Ｏ3の硬度は９、密度は３．９７ｇ／ｃｍ3である。
【００８１】
また、目視により、Ｌｉが１ｍｍ以下の粉末になっていることを確認した。
【００８２】
次に、Ａｒ雰囲気下で気体吸着性物質（Ｌｉ−Ａｌ2Ｏ3）をサンプル管３に密閉し、実施例１と同様の方法で、吸着材評価装置１にて吸着特性を評価した。
【００８３】
サンプル管内が約６００００Ｐａとなるよう、窒素を導入したときの、時間と圧力変化の関係を図３に示す。
【００８４】
吸着初期では、実施例１に比べて、初期圧が低いにもかかわらず、吸着速度が速く、活性が高いことがわかる。
【００８５】
また、サンプル管内が約６００００Ｐａとなるよう、酸素を導入したときの、時間と圧力変化の関係を図３に示す。
【００８６】
また、サンプル管内に、第一バルブ５から雰囲気空気（湿度６３％）を導入し、約５５０００Ｐａとした。そのときの、時間と圧力の関係を図４に示す。
【００８７】
さらに、吸着量を測定するため、気体吸着性物質（Ｌｉ−Ａｌ2Ｏ3）をＱｕａｎｔａｃｈｒｏｍｅ社製Ａｕｔｏｓｏｒｂ−１−Ｃにより、窒素・酸素吸着量評価を行った。
【００８８】
窒素吸着量を評価することにより、約５３００Ｐａで２１．９８ｃｍ3／ｇＳＴＰ、約９２０００Ｐａにて３０．４５ｃｍ3／ｇＳＴＰ吸着することを確認した。また、酸素吸着量を評価することにより、約９００Ｐａにて１．９９ｃｍ3／ｇＳＴＰ、約９２０００Ｐａにて６．３１ｃｍ3／ｇＳＴＰ吸着することを確認した。
【００８９】
（実施例３）
固体物質としてＭｇＯを使用した。１ｍｏｌのＬｉと２ｍｏｌのＭｇＯとを、ステンレス製ボールによる振動ボールミルを用いてメカニカルアロイングを行い混合して、気体吸着性物質（Ｌｉ−ＭｇＯ）を得た。なお、ＭｇＯの硬度は５．５、密度は３．６ｇ／ｃｍ3である。
【００９０】
また、目視により、Ｌｉが１ｍｍ以下の粉末になっていることを確認した。
【００９１】
次に、Ａｒ雰囲気下で気体吸着性物質（Ｌｉ−ＭｇＯ）をサンプル管３に密閉し、実施例１と同様の方法で、吸着材評価装置１にて吸着特性を評価した。
【００９２】
サンプル管内が約６００００Ｐａとなるよう、窒素を導入したときの、時間と圧力の関係を図５に示す。
【００９３】
また、サンプル管内が約６５０００Ｐａとなるよう、窒素約８０％、酸素約２０％の混合空気を導入したときの、時間と圧力の関係を図６に示す。
【００９４】
また、サンプル管内を窒素約３１０Ｐａとしたときの、時間と圧力変化の関係を図７に示す。
【００９５】
図７より、約６．５分で５０Ｐａに到達し、さらに圧力が下がる傾向を示した。
【００９６】
さらに、吸着量を測定するため、気体吸着性物質（Ｌｉ−ＭｇＯ）をＱｕａｎｔａｃｈｒｏｍｅ社製Ａｕｔｏｓｏｒｂ−１−Ｃにより、窒素・酸素吸着量評価を行った。
【００９７】
窒素吸着量を評価することにより、約４５Ｐａで５．４４ｃｍ3／ｇＳＴＰ、約９２０００Ｐａにて２６．６４ｃｍ3／ｇＳＴＰ吸着することを確認した。また、酸素吸着量を評価することにより、約４５Ｐａで１．９４ｃｍ3／ｇＳＴＰ、約９２０００Ｐａにて１１．９３ｃｍ3／ｇ吸着することを確認した。
【００９８】
（実施例４）
固体物質としてＭｇＯを使用した。１ｍｏｌのＬｉと１ｍｏｌのＭｇＯとを、ステンレス製ボールによる振動ボールミルを用いてメカニカルアロイングを行い混合して、気体吸着性物質（Ｌｉ−ＭｇＯ）を得た。
【００９９】
次に、Ａｒ雰囲気下で気体吸着性物質（Ｌｉ−ＭｇＯ）をサンプル管３に密閉し、実施例１と同様の方法で、吸着材評価装置１にて吸着特性を評価した。
【０１００】
サンプル管内を、窒素約９６０００Ｐａとしたときの、時間と圧力の関係を、時間と圧力の関係を図８に示す。
【０１０１】
窒素暴露と同時に、速やかに窒素を吸着することを確認した。
【０１０２】
次に本発明の実施の形態１の気体吸着性物質に対する比較例を示す。
【０１０３】
（比較例１）
気体吸着性物質として、Ｌｉ単体をメカニカルアロイングしようとしたが、そのままではメカニカルアロイングによる均一な細分化ができなかった。
【０１０４】
（比較例２）
気体吸着性物質として、粒径約１ｃｍのＬｉの吸着特性を評価した。サンプル管内を、窒素約８００００Ｐａとした。結果、２時間経過してから圧力が減少し始めた。
【０１０５】
（比較例３）
気体吸着性物質として、１ｍｏｌのＬｉと５ｍｏｌのＡｕとをメカニカルアロイングしたが、均一な細分化はできなかった。なお、Ａｕの硬度は２．５、密度は１９．３ｇ／ｃｍ3である。
【０１０６】
また、実施例１と同様の方法で、吸着材評価装置１にて吸着特性を評価した。
サンプル管内を、約５００００Ｐａの窒素雰囲気としたとき、雰囲気圧力は少し減少したが、大幅な減少は見られなかった。
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
以上のように、本発明のかかる気体吸着性物質は、気体吸着活性が高く、特に窒素あるいは酸素に対する吸着性能が高いため、蛍光灯中のガスの除去、断熱等の真空保持、希ガス中の微量ガスの除去、気体分離等様々な分野で用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】本発明の実施の形態における気体吸着性物質の吸着特性の評価に用いた吸着評価装置の概略構成図
【図２】本発明の実施例１における、サンプル管内が約８００００Ｐａとなるよう窒素を導入したときの気体吸着性物質による窒素の吸着特性を示す特性図
【図３】本発明の実施例２における、サンプル管内が約６００００Ｐａとなるよう窒素を導入したときの気体吸着性物質による窒素の吸着特性と、サンプル管内が約６００００Ｐａとなるよう酸素を導入したときの気体吸着性物質による酸素の吸着特性とを示す特性図
【図４】本発明の実施例２における、サンプル管内が約５５０００Ｐａとなるよう雰囲気空気を導入したときの気体吸着性物質による空気の吸着特性を示す特性図
【図５】本発明の実施例３における、サンプル管内が約６００００Ｐａとなるよう窒素を導入したときの気体吸着性物質による窒素の吸着特性を示す特性図
【図６】本発明の実施例３における、サンプル管内が約６５０００Ｐａとなるよう窒素約８０％、酸素約２０％の混合空気を導入したときの気体吸着性物質による混合空気の吸着特性を示す特性図
【図７】本発明の実施例３における、サンプル管内を窒素約３１０Ｐａとしたときの気体吸着性物質による窒素の吸着特性を示す特性図
【図８】本発明の実施例４における、サンプル管内を窒素約９６０００Ｐａとしたときの気体吸着性物質による窒素の吸着特性を示す特性図
【符号の説明】
【０１０９】
２    気体吸着性物質
【図１】
2006297369.tif 000003
【図２】
2006297369.tif 000004
【図３】
2006297369.tif 000005
【図４】
2006297369.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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