(57)【要約】【課題】  計測値が補正されるレーザ干渉計の他に、計測値を補正するためのレーザ干渉計を設置する必要がなく、従来の構成と異なるレーザ干渉計の計測値の補正方法を提供する。【解決手段】  レーザ干渉計の計測値の補正方法は、（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して第１の距離だけ移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測して移動距離を求める工程と、（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離と、前記第１の距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程とを有する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、
（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程と
を有するレーザ干渉計の計測値の補正方法。
【請求項２】
前記工程（ａ）が、さらに、
（ａ１）前記可動テーブルの移動前に、該可動テーブル上に画定された第１の被観測点の位置を、位置計測装置で計測する工程と、
（ａ２）前記可動テーブルの移動後に、該可動テーブル上に画定された第２の被観測点の位置を、前記位置計測装置で計測する工程と、
（ａ３）前記工程（ａ１）及び（ａ２）の計測結果に基づいて、前記実際の移動距離を算出する工程と
を含む請求項１に記載のレーザ干渉計の計測値の補正方法。
【請求項３】
前記工程（ａ）が、さらに、
（ａ１）前記可動テーブルの移動前に、該可動テーブル上に画定された第１の被観測点の位置を、位置計測装置で計測する工程と、
（ａ２）前記可動テーブルの移動後に、該可動テーブル上に画定された前記第１の被観測点の位置を、前記位置計測装置で計測する工程と、
（ａ３）前記工程（ａ１）及び（ａ２）の計測結果に基づいて、前記実際の移動距離を算出する工程と
を含む請求項１に記載のレーザ干渉計の計測値の補正方法。
【請求項４】
（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、
（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程と、
（ｃ）前記可動テーブルを移動させるべき目標位置を示す目標位置情報に、前記工程（ｂ）で得られた補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出する工程と、
（ｄ）前記レーザ干渉計により計測される位置を示す計測位置情報が、前記目標計測位置情報と一致するように、前記可動テーブルを移動させる工程と
を有するテーブル移動方法。
【請求項５】
（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、
（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程と、
（ｃ）前記可動テーブルを移動させるとともに、該可動テーブルの位置を前記レーザ干渉計で計測し、該レーザ干渉計で計測された位置を示す計測位置情報に、前記工程（ｂ）で得られた補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、該補正された計測位置情報が、該可動テーブルを移動させるべき目標位置を示す目標位置情報と一致するまで、該可動テーブルを移動させる工程と
を有するテーブル移動方法。
【請求項６】
第１及び第２の被観測点が画定された可動テーブルと、
前記可動テーブルを少なくとも第１の方向に関して移動させる移動機構と、
前記可動テーブルの前記第１の方向に関する位置を計測するレーザ干渉計と、
前記可動テーブルに画定された前記第１及び第２の被観測点の位置を計測する位置計測装置と、
制御装置と
を有し、該制御装置は、
前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第１の位置情報を取得し、
前記第１の被観測点の位置が前記位置計測装置で計測された後、前記可動テーブルを、前記第１の方向に関して移動させるように、前記移動機構を制御し、前記レーザ干渉計で該テーブルの移動開始位置及び移動終了位置を計測することにより生成された移動開始位置情報及び移動終了位置情報を取得し、該移動開始位置情報及び移動終了位置情報から移動距離情報を算出し、
前記可動テーブルの移動後に前記位置計測装置で前記第２の被観測点の位置を計測することにより生成された第２の位置情報を取得し、
前記第１及び第２の位置情報に基づいて、実際の移動距離を算出し、前記移動距離情報と、前記実際の移動距離とに基づいて、前記レーザ干渉計を補正するための補正情報を算出し、記憶するテーブル移動装置。
【請求項７】
前記制御装置は、前記可動テーブルを移動させるべき目標位置を示す目標位置情報に、前記補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出し、
前記レーザ干渉計により計測される位置を示す計測位置情報が、前記目標計測位置情報と一致するまで、前記可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御する請求項６に記載のテーブル移動装置。
【請求項８】
前記制御装置は、前記可動テーブルの位置を前記レーザ干渉計で計測した計測位置情報に、前記補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、該補正された計測位置情報が、該可動テーブルを移動させるべき目標位置を示す目標位置情報と一致するまで、該可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御する請求項６に記載のテーブル移動装置。
【請求項９】
第１の被観測点が画定された可動テーブルと、
前記可動テーブルを少なくとも第１の方向に関して移動させる移動機構と、
前記可動テーブルの前記第１の方向に関する位置を計測するレーザ干渉計と、
前記可動テーブルに画定された前記第１の被観測点の位置を計測する位置計測装置と、
制御装置と
を有し、該制御装置は、
前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第１の位置情報を取得し、
前記第１の被観測点の位置が前記位置計測装置で計測された後、前記可動テーブルを、前記第１の方向に関して移動させるように、前記移動機構を制御し、前記レーザ干渉計で該テーブルの移動開始位置及び移動終了位置を計測することにより生成された移動開始位置情報及び移動終了位置情報を取得し、該移動開始位置情報及び移動終了位置情報から移動距離情報を算出し、
前記可動テーブルの移動後に前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第２の位置情報を取得し、
前記第１及び第２の位置情報に基づいて、実際の移動距離を算出し、前記移動距離情報と、前記実際の移動距離とに基づいて、前記レーザ干渉計を補正するための補正情報を算出し、記憶するテーブル移動装置。
【請求項１０】
（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、
（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程と、
（ｃ）前記可動テーブル上に保持された加工対象物の被加工点を、レーザビームの光路が通過するように、前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記工程（ｂ）で得られた補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出する工程と、
（ｄ）前記レーザ干渉計により計測される位置を示す計測位置情報が、前記目標計測位置情報と一致するように、前記可動テーブルを移動させる工程と
（ｅ）前記可動テーブル上に保持された加工対象物に、レーザビームを入射させる工程と
を有するレーザ加工方法。
【請求項１１】
（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、
（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程と、
（ｃ）被加工点が画定された加工対象物を保持した前記可動テーブルを移動させるとともに、該可動テーブルの位置を前記レーザ干渉計で計測し、該レーザ干渉計で計測された位置を示す計測位置情報に、前記工程（ｂ）で得られた補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、レーザビームの光路が前記被加工点を通過するように前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記補正された計測位置情報が一致するまで、該可動テーブルを移動させる工程と、
（ｄ）前記可動テーブル上に保持された加工対象物に、レーザビームを入射させる工程と
を有するレーザ加工方法。
【請求項１２】
レーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザビームを入射すべき被加工点が画定された加工対象物を保持し、第１及び第２の被観測点が画定された可動テーブルと、
前記可動テーブルを少なくとも第１の方向に関して移動させる移動機構と、
前記可動テーブルの前記第１の方向に関する位置を計測するレーザ干渉計と、
前記可動テーブルに画定された前記第１及び第２の被観測点の位置を計測する位置計測装置と、
制御装置と
を有し、該制御装置は、
前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第１の位置情報を取得し、
前記第１の被観測点の位置が前記位置計測装置で計測された後、前記可動テーブルを、前記第１の方向に関して移動させるように、前記移動機構を制御し、前記レーザ干渉計で該テーブルの移動開始位置及び移動終了位置を計測することにより生成された移動開始位置情報及び移動終了位置情報を取得し、該移動開始位置情報及び移動終了位置情報から移動距離情報を算出し、
前記可動テーブルの移動後に前記位置計測装置で前記第２の被観測点の位置を計測することにより生成された第２の位置情報を取得し、
前記第１及び第２の位置情報に基づいて、実際の移動距離を算出し、前記移動距離情報と、前記実際の移動距離とに基づいて、前記レーザ干渉計を補正するための補正情報を算出し、
前記レーザ光源から出射するレーザビームの光路が、前記可動テーブル上に保持された加工対象物の被加工点を通過するように、前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出し、  
前記レーザ干渉計により計測される位置を示す計測位置情報が、前記目標計測位置情報と一致するまで前記可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御するレーザ加工装置。
【請求項１３】
レーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザビームを入射すべき被加工点が画定された加工対象物を保持し、第１及び第２の被観測点が画定された可動テーブルと、
前記可動テーブルを少なくとも第１の方向に関して移動させる移動機構と、
前記可動テーブルの前記第１の方向に関する位置を計測するレーザ干渉計と、
前記可動テーブルに画定された前記第１及び第２の被観測点の位置を計測する位置計測装置と、
制御装置と
を有し、該制御装置は、
前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第１の位置情報を取得し、
前記第１の被観測点の位置が前記位置計測装置で計測された後、前記可動テーブルを、前記第１の方向に関して移動させるように、前記移動機構を制御し、前記レーザ干渉計で該テーブルの移動開始位置及び移動終了位置を計測することにより生成された移動開始位置情報及び移動終了位置情報を取得し、該移動開始位置情報及び移動終了位置情報から移動距離情報を算出し、
前記可動テーブルの移動後に前記位置計測装置で前記第２の被観測点の位置を計測することにより生成された第２の位置情報を取得し、
前記第１及び第２の位置情報に基づいて、実際の移動距離を算出し、前記移動距離情報と、前記実際の移動距離とに基づいて、前記レーザ干渉計を補正するための補正情報を算出し、
前記可動テーブルの位置を前記レーザ干渉計で計測した計測位置情報に、前記補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、前記レーザ光源から出射するレーザビームの光路が、前記可動テーブルに保持された加工対象物の被加工点を通過するように、前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記補正された計測位置情報が一致するまで、該可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御するレーザ加工装置。
【請求項１４】
レーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザビームを入射すべき被加工点が画定された加工対象物を保持し、第１の被観測点が画定された可動テーブルと、
前記可動テーブルを少なくとも第１の方向に関して移動させる移動機構と、
前記可動テーブルの前記第１の方向に関する位置を計測するレーザ干渉計と、
前記可動テーブルに画定された前記第１の被観測点の位置を計測する位置計測装置と、
制御装置と
を有し、該制御装置は、
前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第１の位置情報を取得し、
前記第１の被観測点の位置が前記位置計測装置で計測された後、前記可動テーブルを、前記第１の方向に関して移動させるように、前記移動機構を制御し、前記レーザ干渉計で該テーブルの移動開始位置及び移動終了位置を計測することにより生成された移動開始位置情報及び移動終了位置情報を取得し、該移動開始位置情報及び移動終了位置情報から移動距離情報を算出し、
前記可動テーブルの移動後に前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第２の位置情報を取得し、
前記第１及び第２の位置情報に基づいて、実際の移動距離を算出し、前記移動距離情報と、前記実際の移動距離とに基づいて、前記レーザ干渉計を補正するための補正情報を算出し、
前記レーザ光源から出射するレーザビームの光路が、前記可動テーブル上に保持された加工対象物の被加工点を通過するように、前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出し、  
前記レーザ干渉計により計測される位置を示す計測位置情報が、前記目標計測位置情報と一致するまで前記可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御するレーザ加工装置。
【請求項１５】
レーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザビームを入射すべき被加工点が画定された加工対象物を保持し、第１の被観測点が画定された可動テーブルと、
前記可動テーブルを少なくとも第１の方向に関して移動させる移動機構と、
前記可動テーブルの前記第１の方向に関する位置を計測するレーザ干渉計と、
前記可動テーブルに画定された前記第１の被観測点の位置を計測する位置計測装置と、
制御装置と
を有し、該制御装置は、
前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第１の位置情報を取得し、
前記第１の被観測点の位置が前記位置計測装置で計測された後、前記可動テーブルを、前記第１の方向に関して移動させるように、前記移動機構を制御し、前記レーザ干渉計で該テーブルの移動開始位置及び移動終了位置を計測することにより生成された移動開始位置情報及び移動終了位置情報を取得し、該移動開始位置情報及び移動終了位置情報から移動距離情報を算出し、
前記可動テーブルの移動後に前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第２の位置情報を取得し、
前記第１及び第２の位置情報に基づいて、実際の移動距離を算出し、前記移動距離情報と、前記実際の移動距離とに基づいて、前記レーザ干渉計を補正するための補正情報を算出し、
前記可動テーブルの位置を前記レーザ干渉計で計測した計測位置情報に、前記補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、前記レーザ光源から出射するレーザビームの光路が、前記可動テーブルに保持された加工対象物の被加工点を通過するように、前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記補正された計測位置情報が一致するまで、該可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御するレーザ加工装置。
【請求項１６】
（ａ）第１の部材を、第１の方向に関して移動させるとともに、該第１の部材の移動開始位置及び移動終了位置を第２の位置計測装置で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、
（ｂ）前記第２の位置計測装置を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該第２の位置計測装置を補正するための補正情報を得る工程と
を有する位置計測装置の補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ干渉計の計測値の補正方法に関する。本発明は、また、テーブル移動方法及び装置、及び、レーザ加工方法及び装置に関し、特に、レーザ干渉計により可動テーブルの位置を計測するテーブル移動方法及び装置、及び、レーザ加工方法及び装置に関する。本発明は、さらに、位置計測装置の補正方法に関し、特に、レーザ干渉計の計測値の補正に適用可能な位置計測装置の補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＸＹテーブル機構が有する可動テーブルの位置計測に、レーザ干渉計が用いられる。レーザ干渉計が、可動テーブルの基準位置からの移動距離を計測することにより、可動テーブルの位置が求められる。
【０００３】
可動テーブル上に、例えば、レーザビームを入射すべき被加工点が画定された加工対象物が保持される。可動テーブルを移動させることにより、被加工面上にレーザビームが入射する入射点を移動させることができる。加工対象物上の被加工点にレーザビームが入射するように、可動テーブルの位置合わせを行う必要がある。
【０００４】
例えば、気圧変化や温度変化に伴い、大気の屈折率が変動すると、大気中を通過する光の波長が変動する。これに起因して、レーザ干渉計の計測値が変動してしまう。
例えば、レーザ干渉計を用いた計測系が設置される室内の気圧は、気象条件の変動に伴い、平均値に対して最大で±５％程度変動する。気圧が１ｈｐａ変動すると、レーザ干渉計による距離の計測値は、０．３ｐｐｍ程度変動する。１ｈｐａは１気圧の約０．１％であるので、レーザ干渉計による距離の計測値は、気圧変動に起因して、最大で±１５ｐｐｍ程度変動する。例えば、１気圧においてレーザ干渉計による計測結果が１ｍとなる距離に対して、気圧変動に起因して、最大で±１５μｍ程度の計測値の変動が生じる。
【０００５】
特許文献１に開示されたＸＹテーブル機構について説明する。このＸＹテーブル機構は、可動テーブルの位置計測に用いられる第１のレーザ干渉計と、第１のレーザ干渉計による計測値を補正するために用いられる第２のレーザ干渉計とを有する。第２のレーザ干渉計に対して位置が固定されたミラーが設置されている。第２のレーザ干渉計が、第２のレーザ干渉計との相対位置が定まった基準位置からミラーまでの距離を計測する。基準位置からミラーまでの距離は変動しないが、第２のレーザ干渉計による計測値は、例えば気圧の変動により変動する。第２のレーザ干渉計の計測値の変動量に基づいて、可動テーブルの位置を計測する第１のレーザ干渉計の計測値が補正される。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１７８９５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１が開示する方法では、計測値が補正されるレーザ干渉計の他に、計測値を補正するためのレーザ干渉計を使用する。
本発明の一目的は、計測値が補正されるレーザ干渉計の他に、計測値を補正するためのレーザ干渉計を設置する必要がなく、従来の構成と異なるレーザ干渉計の計測値の補正方法を提供することである。
【０００８】
本発明の他の目的は、上記レーザ干渉計の計測値の補正方法を、レーザ干渉計により可動テーブルの位置を計測するテーブル移動方法及びレーザ加工方法に適用したテーブル移動方法及びレーザ加工方法を提供し、さらに、これらのテーブル移動方法及びレーザ加工方法にそれぞれ用いることができるテーブル移動装置及びレーザ加工装置を提供することである。
【０００９】
本発明のさらに他の目的は、レーザ干渉計の計測値の補正に適用可能な位置計測装置の補正方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の観点によれば、（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程とを有するレーザ干渉計の計測値の補正方法が提供される。
【００１１】
本発明の第２の観点によれば、第１の観点によるレーザ干渉計の計測値の補正方法において、工程（ａ）が、さらに、（ａ１）前記可動テーブルの移動前に、該可動テーブル上に画定された第１の被観測点の位置を、位置計測装置で計測する工程と、（ａ２）前記可動テーブルの移動後に、該可動テーブル上に画定された第２の被観測点の位置を、前記位置計測装置で計測する工程と、（ａ３）前記工程（ａ１）及び（ａ２）の計測結果に基づいて、前記実際の移動距離を算出する工程と含むレーザ干渉計の計測値の補正方法が提供される。
【００１２】
本発明の第３の観点によれば、（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程と、（ｃ）前記可動テーブルを移動させるべき目標位置を示す目標位置情報に、前記工程（ｂ）で得られた補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出する工程と、（ｄ）前記レーザ干渉計により計測される位置を示す計測位置情報が、前記目標計測位置と一致するように、前記可動テーブルを移動させる工程とを有するテーブル移動方法が提供される。
【００１３】
本発明の第４の観点によれば、（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程と、（ｃ）前記可動テーブルを移動させるとともに、該可動テーブルの位置を前記レーザ干渉計で計測し、該レーザ干渉計で計測された位置を示す計測位置情報に、前記工程（ｂ）で得られた補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、該補正された計測位置情報が、該可動テーブルを移動させるべき目標位置を示す目標位置情報と一致するまで、該可動テーブルを移動させる工程とを有するテーブル移動方法が提供される。
【００１４】
本発明の第５の観点によれば、第１及び第２の被観測点が画定された可動テーブルと、
前記可動テーブルを少なくとも第１の方向に関して移動させる移動機構と、前記可動テーブルの前記第１の方向に関する位置を計測するレーザ干渉計と、前記可動テーブルに画定された前記第１及び第２の被観測点の位置を計測する位置計測装置と、制御装置とを有し、該制御装置は、前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第１の位置情報を取得し、前記第１の被観測点の位置が前記位置計測装置で計測された後、前記可動テーブルを、前記第１の方向に関して移動させるように、前記移動機構を制御し、前記レーザ干渉計で該テーブルの移動開始位置及び移動終了位置を計測することにより生成された移動開始位置情報及び移動終了位置情報を取得し、該移動開始位置情報及び移動終了位置情報から移動距離情報を算出し、前記可動テーブルの移動後に前記位置計測装置で前記第２の被観測点の位置を計測することにより生成された第２の位置情報を取得し、前記第１及び第２の位置情報に基づいて、実際の移動距離を算出し、前記移動距離情報と、前記実際の移動距離とに基づいて、前記レーザ干渉計を補正するための補正情報を算出し、記憶するテーブル移動装置が提供される。
【００１５】
本発明の第６の観点によれば、第５の観点によるテーブル移動装置において、前記制御装置が、前記可動テーブルを移動させるべき目標位置を示す目標位置情報に、前記補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出し、前記レーザ干渉計により計測される位置を示す計測位置情報が、前記目標計測位置情報と一致するまで、前記可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御するテーブル移動装置が提供される。
【００１６】
本発明の第７の観点によれば、第５の観点によるテーブル移動装置において、前記制御装置が、前記可動テーブルの位置を前記レーザ干渉計で計測した計測位置情報に、前記補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、該補正された計測位置情報が、該可動テーブルを移動させるべき目標位置を示す目標位置情報と一致するまで、該可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御するテーブル移動装置が提供される。
【００１７】
本発明の第８の観点によれば、（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程と、（ｃ）前記可動テーブル上に保持された加工対象物の被加工点を、レーザビームの光路が通過するように、前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記工程（ｂ）で得られた補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出する工程と、（ｄ）前記レーザ干渉計により計測される位置を示す計測位置情報が、前記目標計測位置情報と一致するように、前記可動テーブルを移動させる工程と（ｅ）前記可動テーブル上に保持された加工対象物に、レーザビームを入射させる工程とを有するレーザ加工方法が提供される。
【００１８】
本発明の第９の観点によれば、（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測し、計測結果から移動距離情報を求める工程と、（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、実際の移動距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程と、（ｃ）被加工点が画定された加工対象物を保持した前記可動テーブルを移動させるとともに、該可動テーブルの位置を前記レーザ干渉計で計測し、該レーザ干渉計で計測された位置を示す計測位置情報に、前記工程（ｂ）で得られた補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、レーザビームの光路が前記被加工点を通過するように前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記補正された計測位置情報が一致するまで、該可動テーブルを移動させる工程と、（ｄ）前記可動テーブル上に保持された加工対象物に、レーザビームを入射させる工程とを有するレーザ加工方法が提供される。
【００１９】
本発明の第１０の観点によれば、レーザビームを出射するレーザ光源と、レーザビームを入射すべき被加工点が画定された加工対象物を保持し、第１及び第２の被観測点が画定された可動テーブルと、前記可動テーブルを少なくとも第１の方向に関して移動させる移動機構と、前記可動テーブルの前記第１の方向に関する位置を計測するレーザ干渉計と、前記可動テーブルに画定された前記第１及び第２の被観測点の位置を計測する位置計測装置と、制御装置とを有し、該制御装置は、前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第１の位置情報を取得し、前記第１の被観測点の位置が前記位置計測装置で計測された後、前記可動テーブルを、前記第１の方向に関して移動させるように、前記移動機構を制御し、前記レーザ干渉計で該テーブルの移動開始位置及び移動終了位置を計測することにより生成された移動開始位置情報及び移動終了位置情報を取得し、該移動開始位置情報及び移動終了位置情報から移動距離情報を算出し、前記可動テーブルの移動後に前記位置計測装置で前記第２の被観測点の位置を計測することにより生成された第２の位置情報を取得し、前記第１及び第２の位置情報に基づいて、実際の移動距離を算出し、前記移動距離情報と、前記実際の移動距離とに基づいて、前記レーザ干渉計を補正するための補正情報を算出し、前記レーザ光源から出射するレーザビームの光路が、前記可動テーブル上に保持された加工対象物の被加工点を通過するように、前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出し、  前記レーザ干渉計により計測される位置を示す計測位置情報が、前記目標計測位置情報と一致するまで前記可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御するレーザ加工装置が提供される。
【００２０】
本発明の第１１の観点によれば、レーザビームを出射するレーザ光源と、レーザビームを入射すべき被加工点が画定された加工対象物を保持し、第１及び第２の被観測点が画定された可動テーブルと、前記可動テーブルを少なくとも第１の方向に関して移動させる移動機構と、前記可動テーブルの前記第１の方向に関する位置を計測するレーザ干渉計と、前記可動テーブルに画定された前記第１及び第２の被観測点の位置を計測する位置計測装置と、制御装置とを有し、該制御装置は、前記位置計測装置で前記第１の被観測点の位置を計測することにより生成された第１の位置情報を取得し、前記第１の被観測点の位置が前記位置計測装置で計測された後、前記可動テーブルを、前記第１の方向に関して移動させるように、前記移動機構を制御し、前記レーザ干渉計で該テーブルの移動開始位置及び移動終了位置を計測することにより生成された移動開始位置情報及び移動終了位置情報を取得し、該移動開始位置情報及び移動終了位置情報から移動距離情報を算出し、前記可動テーブルの移動後に前記位置計測装置で前記第２の被観測点の位置を計測することにより生成された第２の位置情報を取得し、前記第１及び第２の位置情報に基づいて、実際の移動距離を算出し、前記移動距離情報と、前記実際の移動距離とに基づいて、前記レーザ干渉計を補正するための補正情報を算出し、前記可動テーブルの位置を前記レーザ干渉計で計測した計測位置情報に、前記補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、前記レーザ光源から出射するレーザビームの光路が、前記可動テーブルに保持された加工対象物の被加工点を通過するように、前記可動テーブルを配置させるための該可動テーブルの目標位置情報に、前記補正された計測位置情報が一致するまで、該可動テーブルを移動させるように、前記移動機構を制御するレーザ加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００２１】
第１の観点によるレーザ干渉計の計測値の補正方法を用いれば、レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、可動テーブルの実際の移動距離とに基づいて、レーザ干渉計の計測値を補正するための補正情報が得られる。補正情報に基づいて、例えば、レーザ干渉計による可動テーブルの位置の計測値を補正し、補正前よりも正確な可動テーブルの位置を求めることができる。
【００２２】
第２の観点によるレーザ干渉計の計測値の補正方法、または第５の観点によるテーブル移動装置を用いれば、第１及び第２の被観測点の位置を、位置計測装置で計測することにより、可動テーブルの実際の移動距離を算出することができる。レーザ干渉計を用いて求められた移動距離情報と、可動テーブルの実際の移動距離とに基づいて、レーザ干渉計の計測値を補正するための補正情報が得られる。
【００２３】
第３の観点によるテーブル移動方法、または第６の観点によるテーブル移動装置を用いれば、目標位置情報に補正情報を適用して目標計測位置情報が算出される。計測位置情報が、目標計測位置情報と一致するように可動テーブルを移動させることにより、可動テーブルを目標位置に配置させることができる。
【００２４】
第４の観点によるテーブル移動方法、または第７の観点によるテーブル移動装置を用いれば、計測位置情報に補正情報を適用して、補正された計測位置情報が算出される。補正された計測位置情報が、目標位置情報と一致するように可動テーブルを移動させることにより、可動テーブルを目標位置に配置させることができる。
【００２５】
第８の観点によるレーザ加工方法、または第１０の観点によるレーザ加工装置を用いれば、レーザビームの光路が加工対象物の被加工点を通過するように、前記可動テーブルを配置させるための目標位置情報に、補正情報を適用して、目標計測位置情報が算出される。計測位置情報が、目標計測位置情報と一致するように可動テーブルを移動させることにより、可動テーブルを目標位置に配置させることができる。これにより、被加工点にレーザビームを入射できる。
【００２６】
第９の観点によるレーザ加工方法、または第１１の観点によるレーザ加工装置を用いれば、計測位置情報に補正情報を適用して、補正された計測位置情報が算出される。レーザビームの光路が加工対象物の被加工点を通過するように、前記可動テーブルを配置させるための目標位置情報に、補正された計測位置情報が一致するように、可動テーブルを移動させることにより、可動テーブルを目標位置に配置させることができる。これにより、被加工点にレーザビームを入射できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１（Ａ）に、本発明の第１の実施例によるレーザ加工装置を概略的に示す。ＸＹテーブル機構１が、基台１ａ、可動テーブル１ｂ、及び移動機構１ｃを含んで構成される。基台１ａに固定されたＸＹ直交座標系を考える。移動機構１ｃが、可動テーブル１ｂを、基台１ａに対して、ＸＹ面に平行な２次元方向に移動させる。
【００２８】
図１（Ｂ）は、可動テーブル１ｂの平面図である。可動テーブル１ｂの縁に、反射面がＸ軸方向に垂直なミラー３ａ、及び反射面がＹ軸方向に垂直なミラー３ｂが固定されている。ミラー３ａの反射面は、可動テーブル１ｂのＹ軸方向に関する一端から他端までに亘って配置され、ミラー３ｂの反射面は、可動テーブル１ｂのＸ軸方向に関する一端から他端までに亘って配置されている。Ｘ用レーザ干渉計４ａ及びＹ用レーザ干渉計４ｂが、基台１ａに対して固定された位置に設置されている。
【００２９】
図１（Ａ）に戻って説明を続ける。Ｘ用レーザ干渉計４ａは、ミラー３ａがＸ軸方向に単位移動量だけ移動するごとに、主制御装置７にパルスを出力し、Ｙ用レーザ干渉計４ｂは、ミラー３ｂがＹ軸方向に単位移動量だけ移動するごとに、主制御装置７にパルスを出力する。主制御装置７が、Ｘ用レーザ干渉計４ａ及びＹ用レーザ干渉計４ｂから入力されたパルスをそれぞれカウントする。Ｘ用レーザ干渉計４ａから入力されたパルスは、ミラー３ａがＸ軸正方向に移動しているときは加算され、ミラー３ａがＸ軸負方向に移動しているときは減算される。Ｘ用レーザ干渉計４ａから入力されたパルスを、Ｘ軸方向に関する基準位置からカウントすることにより、ミラー３ａが固定されている可動テーブル１ｂのＸ座標が得られる。可動テーブル１ｂのＹ座標も同様に、Ｙ用レーザ干渉計４ｂから入力されたパルスを、Ｙ軸方向に関する基準位置からカウントすることにより得られる。Ｘ用レーザ干渉計４ａ及びＹ用レーザ干渉計４ｂを用いて計測された可動テーブル１ｂのＸＹ座標を、「計測位置情報」と呼ぶこととする。
【００３０】
なお、上述したように、レーザ干渉計は、被計測物が単位移動量だけ移動するごとに相当のパルスを出力する。しかし、この単位移動量に対するレーザ干渉計による計測量が気象条件等で変動し得るために、移動量が正確に得られなくなってしまう。
【００３１】
主制御装置７が、可動テーブル１ｂを移動させるべき目標位置を示す目標位置情報と、補正情報とを記憶しており、目標位置情報に補正情報を適用して、目標計測位置情報を算出する。なお、補正情報及びその求め方については後に詳述する。目標位置情報、目標計測位置情報、及び計測位置情報は、Ｘ座標とＹ座標とで構成される。
【００３２】
主制御装置７から、サーボ機構２に、計測位置情報と目標計測位置情報とが入力される。サーボ機構２は、計測位置情報が、目標計測位置情報と一致するように、移動機構１ｃを制御する。主制御装置７とサーボ機構２が、制御装置１０を構成する。
【００３３】
可動テーブル１ｂは、ＸＹ面に平行な保持面１ｄを有する。保持面１ｄに固定されたＰＱ直交座標系を考える。Ｐ座標軸とＸ座標軸とは相互に平行で、両者の正の向きが一致する。Ｑ座標軸とＹ座標軸とは相互に平行で、両者の正の向きが一致する。
【００３４】
例えば、可動テーブル１ｂが原点に配置されているときに、ＸＹ直交座標系とＰＱ直交座標系の原点が一致するようなＰＱ座標系を考えることができる。可動テーブル１ｂが移動しても、可動テーブル１ｂのＸＹ座標を計測することにより、ＰＱ直交座標系とＸＹ直交座標系との相対位置関係が求められる。ＰＱ直交座標系とＸＹ直交座標系との相対位置関係が求まっていれば、可動テーブル１ｂを移動させて、可動テーブル１ｂ上のＰＱ座標が定まった点を、ＸＹ座標系において所望の位置に位置合わせできる。
【００３５】
保持面１ｄ上に、各々ＰＱ座標の定まったマークＭ１及びＭ２が形成されている。マークＭ１からＰ軸負方向に距離Ｌだけ離れた位置に、マークＭ２が配置されている。マークＭ１からＭ２までの距離Ｌを示す距離情報が、主制御装置７に記憶されている。なお、可動テーブル１ｂの温度が一定に保たれている。これにより、可動テーブル１ｂが熱膨張または熱収縮することに起因して、マークＭ１からＭ２までの距離が変動することがない。
【００３６】
可動テーブル１ｂに、加工対象物２０を保持することができる。加工対象物２０の可動テーブル１ｂに対する位置合わせ作業を行うことにより、加工対象物２０上に画定された被加工点が、ＰＱ直交座標系で表される。レーザ光源２１がレーザビームを出射する。レーザビームが被加工面へ入射する入射点のＸＹ座標が固定されている。
【００３７】
レーザ加工を行う場合、被加工点がレーザビーム入射点に位置合わせされるように（つまり、レーザビームの光路が被加工点を通過するように）、可動テーブル１ｂを配置させるための目標位置が定められる。
【００３８】
被加工点がレーザビーム入射点に位置合わせされているときに、加工対象物２０にレーザビームが入射するように、主制御装置７が、レーザ光源２１を制御する。
なお、加工対象物２０は、例えば、表面に非晶質シリコン膜が形成されたガラス基板である。非晶質シリコン膜にレーザビームが入射することにより、シリコン膜の多結晶化が行われる。
【００３９】
基台１ａに対する位置が固定され、例えばＣＣＤ撮像素子を含んで構成されるカメラ５が、マークを検出する。カメラ５に検出されるマークは、例えば、可動テーブル１ｂに形成されたマークＭ１及びＭ２であり、また例えば、加工対象物２０に形成され、加工対象物２０の可動テーブル１ｂに対する位置合わせに用いられるアライメントマークである。
【００４０】
移動機構１ｃが、可動テーブル１ｂを移動させることにより、カメラ５の視野５ａの内部にマークを配置することができる。カメラ５が、画像処理装置６に、画像情報を出力する。
【００４１】
カメラ５の視野５ａに固定されたＵＶ直交座標系を考える。Ｕ座標軸とＸ座標軸とが相互に平行で、両者の正の向きが一致する。Ｖ座標軸とＹ座標軸とが相互に平行で、両者の正の向きが一致する。カメラ５の基台１ａに対する位置が固定されているので、ＵＶ直交座標系とＸＹ直交座標系との相対位置関係が固定される。カメラ５の視野５ａが例えば正方形であるとき、例えば視野５ａの中心にＵＶ直交座標系の原点を配置することができる。ＵＶ直交座標系の原点は、ＸＹ直交座標系における定まった位置に配置される。
【００４２】
画像処理装置６が、マークの画像を含む画像情報に基づき、マークのＵＶ座標を求める。カメラ５及び画像処理装置６により、ＵＶ座標内におけるマークの位置計測が行われる。画像処理装置６から、マークのＵＶ座標が、主制御装置７に入力される。なお、例えば、１台のパーソナルコンピュータが、画像処理装置６及び主制御装置７の機能を実現するような構成を有するレーザ加工装置を作製することができる。
【００４３】
次に、補正情報及び目標計測位置情報について説明する。まず、図２を参照して、補正情報を求める方法の一例について説明する。ここでは、Ｘ用レーザ干渉計４ａを用いて、Ｘ軸方向に関する補正情報を求める方法について説明する。
【００４４】
まず、図２の上側に示すように、カメラ５の視野５ａの内部に、マークＭ１が配置されるように、可動テーブル１ｂを移動させ、マークＭ１のＵ座標Ｕ１を計測する。主制御装置７が、座標Ｕ１を取得する。
【００４５】
次に、可動テーブル１ｂをＸ軸正方向に移動させ、図２の下側に示すように、視野５ａの内部に、マークＭ２を配置する。
可動テーブル１ｂの移動開始位置と、移動終了位置とが、Ｘ用レーザ干渉計４ａで計測され、主制御装置７が、計測された移動開始位置を示す移動開始位置情報、及び計測された移動終了位置を示す移動終了位置情報を取得する。主制御装置７が、移動開始位置情報と移動終了位置情報とから、可動テーブル１ｂの移動距離情報を算出する。言い換えると、この移動距離情報は、可動テーブル１ｂの移動距離をＸ用レーザ干渉計４ａで計測した計測値である。
【００４６】
例えば、可動テーブル１ｂの移動距離をＸ用レーザ干渉計４ａで計測した計測値が、マークＭ１からＭ２までの距離Ｌと等しくなるように、可動テーブル１ｂを移動させる。なお、このとき、可動テーブル１ｂの移動距離が、正確にＬであれば、移動後のマークＭ２のＵ座標が、移動前におけるマークＭ１のＵ座標Ｕ１と一致する。Ｘ用レーザ干渉計４ａの計測値に誤差が生じているとき、可動テーブル１ｂの移動距離はＬからややずれる。可動テーブル１ｂの移動距離が、Ｌからややずれたとき、移動後のマークＭ２のＵ座標は、Ｕ１からややずれる。しかし、移動前のマークＭ１の位置が視野５ａの中心近傍にあれば、移動後のマークＭ２は視野内に入るであろう。
【００４７】
視野５ａの内部にマークＭ２を配置した後、マークＭ２のＵ座標Ｕ２を計測する。主制御装置７が、座標Ｕ２を取得する。
可動テーブル１ｂがＸ軸正方向へ移動した距離は、マークＭ２がＸ軸正方向へ移動した距離Ｄと等しい。距離Ｄは、下式（１）に示すように、マークＭ２からＭ１までの距離Ｌに、マークＭ２のＵ座標Ｕ２からマークＭ１のＵ座標Ｕ１を引いた値Δを足すことにより求められる。
Ｄ＝Ｌ＋Δ＝Ｌ＋Ｕ２−Ｕ１  ・・・（１）
可動テーブル１ｂの移動距離ＤをＸ用レーザ干渉計４ａで計測した値をＤｍとする。下式（２）に示すように、可動テーブル１ｂの実際の移動距離Ｄを、Ｘ用レーザ干渉計４ａによる計測値Ｄｍで割った値αを補正情報とする。
α＝（Ｌ＋Ｕ２−Ｕ１）／Ｄｍ  ・・・（２）
なお、Ｘ用レーザ干渉計４ａによる計測値Ｄｍに、補正情報αを乗じれば、可動テーブル１ｂの実際の移動距離Ｄが求められる。
【００４８】
図１（Ａ）に示す主制御装置７が、可動テーブル１ｂの移動距離Ｄ、及び補正情報αを算出する。主制御装置７は、算出された補正情報αを記憶する。
次に、Ｘ軸方向に関して、目標位置情報に補正情報を適用し、目標計測位置情報を算出する方法の一例について説明する。可動テーブル１ｂが、目標位置に配置されているとき、可動テーブル１ｂのＸ座標がＸ０であるとする。つまり、目標位置情報が、Ｘ０であるとする。
【００４９】
目標位置情報Ｘ０を補正情報αで割った値であるＸ０／αを、目標計測位置情報とする。可動テーブル１ｂのＸ座標が、Ｘ用レーザ干渉計４ａによりＸ０／αであると計測されたとき、可動テーブル１ｂは、Ｘ座標がＸ０である位置に配置される。つまり、可動テーブル１ｂのＸ座標を示す計測位置情報が、目標計測位置情報Ｘ０／αと一致するように、可動テーブル１ｂを移動させれば、可動テーブル１ｂが目標位置に配置される。
【００５０】
Ｘ用レーザ干渉計４ａ及びＹ用レーザ干渉計４ｂが、例えばともに大気の屈折率変動に起因して計測誤差を生じていると考えられる場合、計測誤差は、両レーザ干渉計で一致すると考えてよいであろう。このような場合、上述の方法で求められたＸ軸方向に関する補正情報αを、Ｙ軸方向に関する目標位置情報にも適用して、Ｙ軸方向に関する目標計測位置情報が求められる。例えば、Ｙ軸方向に関する目標位置情報をＹ０とするとき、Ｙ軸方向に関する目標計測位置情報が、Ｙ０／αと求められる。
【００５１】
以上説明したレーザ加工装置においては、Ｘ用レーザ干渉計４ａ及びＹ用レーザ干渉計４ｂにより計測された可動テーブル１ｂの位置を示す計測位置情報が、目標計測位置情報と一致するように、サーボ機構２が移動機構１ｃを制御することにより、可動テーブル１ｂを、目標位置に位置合わせすることができる。
【００５２】
次に、第２の実施例によるレーザ加工装置について説明する。本実施例のレーザ加工装置の概略的構成は第１の実施例のものと同様であるので、再び図１（Ａ）を参照して説明を続ける。
【００５３】
本実施例のレーザ加工装置では、主制御装置７が、Ｘ用レーザ干渉計４ａ及びＹ用レーザ干渉計４ｂによる計測で得られた計測位置情報に、図２を参照して説明した方法で求められた補正情報を適用して、補正された計測位置情報を得る。具体的には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の各々に関する計測位置情報に、補正情報αを乗じることにより、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の各々に関して、補正された計測位置情報が算出される。
【００５４】
主制御装置７が、可動テーブル１ｂの補正された計測位置情報と、目標位置情報とを、サーボ機構２に出力する。サーボ機構２は、補正された計測位置情報が、目標位置情報と一致するように、移動機構１ｃを制御する。
【００５５】
つまり、このレーザ加工装置では、可動テーブル１ｂを移動させるとともに、可動テーブル１ｂの位置をＸ用レーザ干渉計４ａ及びＹ用レーザ干渉計４ｂで計測し、計測された位置を示す計測位置情報に、補正情報を適用して、補正された計測位置情報を算出し、補正された計測位置情報が、目標位置情報と一致するまで、可動テーブル１ｂを移動させる。なお、主制御装置７とサーボ機構２とが、制御装置１０を構成する。
【００５６】
第２の実施例によるレーザ加工装置においては、補正された計測位置情報が目標位置情報と一致するように、サーボ機構２が、移動機構１ｃを制御することにより、可動テーブル１ｂを、目標位置に位置合わせすることができる。
【００５７】
以上説明した第１及び第２の実施例によるレーザ加工装置を用いれば、可動テーブルの位置をレーザ干渉計で計測した計測値に、例えば気圧に起因して誤差が生じている場合であっても、目標位置に可動テーブルを配置することができる。これにより、可動テーブルに保持された加工対象物に画定された被加工点に、レーザビームを入射させることができる。
【００５８】
なお、図２を参照して説明した補正情報の算出方法において、可動テーブル１ｂの移動距離Ｄを、Ｘ用レーザ干渉計４ａにより計測した値Ｄｍが、マークＭ１からＭ２までの距離Ｌと等しければ、補正情報αは、
α＝（Ｌ＋Ｕ２−Ｕ１）／Ｌ＝１＋（Ｕ２−Ｕ１）／Ｌ・・・（３）
と表される。
【００５９】
なお、図２を参照して説明した補正情報の算出方法において、可動テーブル１ｂの移動方向と、Ｕ座標軸の正方向が一致していたが、可動テーブル１ｂの移動方向と、Ｕ座標軸の正方向が互いに反対向きであるとき（これは、図２において、Ｕ座標の正方向と負方向を逆転させた場合に対応する）、可動テーブル１ｂの移動距離Ｄは、マークＭ２からＭ１までの距離Ｌに、マークＭ１のＵ座標Ｕ１を足し、さらにマークＭ２のＵ座標Ｕ２を引くことにより求められる。
Ｄ＝Ｌ＋Ｕ１−Ｕ２・・・（４）
なお、図２を参照して説明した補正情報の算出方法において、可動テーブル１ｂをＸ軸方向に移動させたが、可動テーブル１ｂの移動方向を、Ｘ軸方向と一致させる必要はない。可動テーブル１ｂがＹ軸方向に関しても移動したとしても、可動テーブル１ｂのＸ軸方向に関する移動距離を、Ｘ用レーザ干渉計４ａで計測することができる。
【００６０】
なお、図２を参照して説明した補正情報の算出方法において、マークＭ１及びＭ２が、互いにＰ軸方向に離れるように（Ｑ軸方向の位置は一致するように）、両マークを配置したが、両マークの配置はこれに限らない。マークＭ２が、マークＭ１からＰ軸方向に関して予め決められた距離Ｌだけ離れた位置に配置されているならば、マークＭ２のＱ軸方向の位置が、マークＭ１のそれと一致している必要はない。このように配置されたマークＭ１及びＭ２を用いても、上述したように両マークのＵ座標を計測することにより、可動テーブル１ｂのＸ軸方向に関する移動距離Ｄを求めることができる。
【００６１】
なお、マークＭ１に対して、マークＭ２をＰ軸及びＱ軸の両方向に離れた位置に配置した場合、例えば以下に説明するように、Ｙ用レーザ干渉計４ｂの計測値を補正するための補正情報を、Ｘ用レーザ干渉計４ａの計測値を補正するための補正情報とは別に求めることができる。
【００６２】
マークＭ１からマークＭ２までのＹ軸方向に関する距離Ｌ２を、予め正確に計測しておく。マークＭ１を視野５ａ内に配置して、マークＭ１のＶ座標を計測する。可動テーブル１ｂを少なくともＹ軸方向に関して移動させ、マークＭ２を視野５ａ内に配置して、マークＭ２のＶ座標を計測する。マークＭ１からマークＭ２までのＹ軸方向に関する距離Ｌ２と、マークＭ１及びＭ２のＶ座標に基づいて、可動テーブル１ｂのＹ軸方向に関する移動距離Ｄ２を求める。移動距離Ｄ２を、移動距離Ｄ２をＹ用レーザ干渉計４ｂで計測した値で割った値が、Ｙ用レーザ干渉計４ｂに関する補正情報となる。
【００６３】
なお、図２を参照して説明した補正情報の算出方法において、１台のカメラ５により、マークＭ１及びＭ２のＵ座標を計測した。基台１ａに対する位置が固定されたもう１台のカメラを設置した構成を有するレーザ加工装置を作製することもできる。このようなレーザ加工装置を用いれば、マークＭ１の位置を一方のカメラで計測した後、可動テーブル１ｂを移動させ、マークＭ２の位置を他方のカメラで計測することができる。両カメラそれぞれに固定された座標系同士の相対位置関係が予め定まっていれば、両カメラそれぞれで計測されたマークＭ１及びＭ２の位置に基づいて、可動テーブル１ｂの移動距離を求めることが可能である。
【００６４】
なお、図２を参照して説明した補正情報の算出方法において、２つのマークＭ１及びＭ２を用いたが、以下に説明するように、１つのマーク（これをマークＭとする）を用いて、補正情報αを算出することも可能である。カメラ５の視野５ａ内にマークＭを配置して、マークＭのＵ座標を計測し、移動後のマークＭが視野５ａ内に配置されるように、可動テーブル１ｂを少なくともＸ軸方向に関して移動させる。可動テーブル１ｂの移動後にマークＭのＵ座標を計測する。可動テーブル１ｂの移動の前後に、カメラ５を用いて計測された２つのＵ座標から、マークＭのＸ軸方向に関する移動距離が求められる。この移動距離を、Ｘ用レーザ干渉計４ａで計測した値で割れば、Ｘ用レーザ干渉計４ａを補正する補正情報αが求められる。カメラ５の視野が充分に広ければ、このようにして補正情報αを求めることもできる。
【００６５】
なお、１つのマークを用いる場合は、移動後のマークもカメラ５の視野内に収まるように、可動テーブル１ｂを移動させる。２つのマークを用いる場合は、カメラ５で検出するマークが移動前と移動後で異なるので可動テーブル１ｂの移動距離を長くできる。カメラ５を用いたマークの位置検出の精度が一定であるとき、可動テーブルの移動距離が長い方が、可動テーブルの移動距離を正確に求めることができ、レーザ干渉計の補正情報を精度良く求めることができる。
【００６６】
なお、図２を参照して説明した補正情報の算出方法において、可動テーブル１ｂが移動する距離を、レーザ干渉計以外の位置計測装置を用いて計測することもできる。このような場合、可動テーブル１ｂの実際の移動距離と、移動距離を位置計測装置により計測した値とに基づいて、その位置計測装置の計測値を補正する補正情報を得ることができる。なお、可動テーブル以外の部材を移動させて、その移動距離を計測しても、位置計測装置の計測値を補正することは可能である。
【００６７】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】図１（Ａ）は、本発明の第１の実施例または第２の実施例によるレーザ加工装置の概略図であり、図１（Ｂ）は、可動テーブルの平面図である。
【図２】補正情報の求め方を説明するための可動テーブルの平面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１  ＸＹテーブル機構
１ａ  基台
１ｂ  可動テーブル
１ｃ  移動機構
１ｄ  保持面
Ｍ１、Ｍ２  マーク
２  サーボ機構
３ａ、３ｂ  ミラー
４ａ、４ｂ  レーザ干渉計
５  カメラ
５ａ  （カメラ５の）視野
６  画像処理装置
７  主制御装置
１０  制御装置
【図１】
2006267053.tif 000003
【図２】
2006267053.tif 000004