(57)【要約】【課題】  このスライド装置は，ＸテーブルとＺテーブルとをリニアモータでそれぞれ駆動し，装置自体の厚み即ち嵩高さを抑えて装置自体をコンパクトに構成する。【解決手段】このスライド装置は，Ｚテーブル５がＸテーブル４に対してベッド１と同一の面に配設され，ベッド１とＸテーブル４との間にリニアモータ４９を配置し，Ｘテーブル４とＺテーブル５との間にリニアモータ４６を配置する。Ｘテーブル４は，リニアモータ４６，４９のヨークをそれぞれ構成している。【選択図】  図２
2006238540.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状でなるベッド，前記ベッドに対向して一方向に摺動自在に配設された第１テーブル，前記第１テーブルに対向して前記一方向に交差する他方向に摺動自在に配設された第２テーブル，前記ベッドと前記第１テーブルとを前記一方向に相対移動可能に位置決め駆動する第１リニアモータ，及び前記第１テーブルと前記第２テーブルとを前記他方向に相対移動可能に位置決め駆動する第２リニアモータを有するスライド装置において，
前記第２テーブルは，前記ベッドが配設された前記第１テーブルの面と同一の面側に，前記第１テーブルに対向して配設されていることを特徴とするリニアモータを内蔵したスライド装置。
【請求項２】
前記第１テーブルは前記ベッドより突出した突出部を備えており，前記第２テーブルは前記突出部に対向して配設されていることを特徴とする請求項１に記載のスライド装置。
【請求項３】
前記第１テーブルの前記面には前記第１リニアモータを構成する第１界磁マグネット及び第１電機子コイル組立体の何れか一方と前記第２リニアモータを構成する第２電機子コイル組立体及び第２界磁マグネットの何れか一方とが配設され，前記ベッドには前記第１リニアモータの前記一方に対向した他方が配設され，前記第２テーブルには前記第２リニアモータの前記一方に対向した他方が配設されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のスライド装置。
【請求項４】
前記ベッド，前記第１テーブル，及び前記第２テーブルは，鋼製でなり，前記第１テーブルは前記第１リニアモータを構成する前記第１界磁マグネット及び前記第１電機子コイル組立体の何れか一方のヨークと前記第２リニアモータを構成する前記第２電機子コイル組立体及び前記第２界磁マグネットの何れか一方のヨークとして機能し，前記ベッドは前記第１リニアモータの前記一方に対向した他方のヨークとして機能し，前記第２テーブルは前記第２リニアモータの前記一方に対向した他方のヨークとして機能することを特徴とする請求項３に記載のスライド装置。
【請求項５】
前記第１テーブルの移動方向の前記一方向はＸ方向であり，前記第２テーブルの移動方向の前記他方向はＺ方向であり，ピックアンドプレース装置として適用されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のスライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，半導体製造装置，各種組立装置などの各種装置に使用されるリニアモータを内蔵したスライド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年，半導体製造装置，各種組立装置などに小型リニアモータを内蔵したスライド装置が多く使用されるようになり，スライド装置に対して種々の応用分野が求められるようになっている。小型リニアモータを内蔵したスライド装置は，半導体製造装置，各種組立装置などの各種装置の小形化の要求と共に，高速性，高加減速性，高応答性，高精度な位置決めなどが要求されるようになっている。
【０００３】
従来，スライド装置として可動マグネット型リニアモータを内蔵したものが知られている。該スライド装置は，可動マグネット型リニアモータを内蔵しており，嵩高を抑えてコンパクトに構成されており，界磁マグネットのＮ極とされた一方の磁極の外側に補助マグネットを配設して磁束のパターンを矯正して磁気検知素子でもって正確に位置検出を可能にしている。上記スライド装置は，詳細には，相対的に移動可能な一方の部材に取り付けられるベッド，他方の部材に取り付けられ且つベッドの長手方向に直動案内ユニットを介してスライド自在に設けられたテーブル，テーブルのベッドに対する対向面にテーブルのスライド方向に極性が交互に異なり且つ両端の極性が異なる態様で並設された磁極から成る界磁マグネット，界磁マグネットに対向してベッドのテーブルに対する対向面に配置された電機子コイルを有し且つ界磁マグネットが生じさせる磁束と電機子コイルに流れる電流との電磁相互作用により前記界磁マグネットに推力を与えてテーブルをスライド自在に位置決め駆動する電機子組立体，及びベッドに界磁マグネットに対向して配設され磁束の強さと方向を検知する磁気検知素子を具備している（例えば，特許文献１参照）。
【０００４】
また，ＸＹテーブル装置として，Ｘ方向及びＹ方向に高加減速位置決め可能な出力テーブルを設けたものが知られている。該ＸＹテーブル装置は，Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルとを垂直方向に重ねることなく水平方向にずらして配置すると共に，上記両テーブルと連繋してＸＹ方向に移動し所定位置に位置決めされる出力テーブルをＸ軸テーブル上に備えたものであり，Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルのそれぞれにリニアモータからなる走行駆動装置と，リニアモータの固定部と移動部とのギャップを支持すると共に各テーブルの直線移動を案内する直動案内装置とを設け，出力テーブルとＹ軸テーブルとを直動案内装置を介して連繋し，該直動案内装置の案内レールはＹ軸テーブル側に，スライダは出力テーブル側に固定されている。即ち，上記ＸＹテーブル装置は，出力テーブルがリニアモータの走行駆動装置で駆動されるＸ軸テーブル及びＹ軸テーブルにリニアガイド装置でなるＸ軸カップリング及びリニアガイド装置でなるＹ軸カップリングを介して連動するものになっている（例えば，特許文献２参照）。
【０００５】
また，スライドガイドとスライダーを備えたスライダーユニットを用いたピックアンドプレース装置が知られている。スライダーユニットでは，復帰用スプリングが圧縮されてもガイドロッドなど他のものと接触しないようにしたものである。復帰用スプリングを必要とするスライダーユニットのスプリングを短く分割し，ガイドロッド又はスライダーそのものに嵌挿するスプリング受けで結合する。このようなスライダーユニットをピックアンドプレース装置のＸ方向のスライド機構に用いたものであり，トップブロックがカム機構によりピックアンドプレース運動を行うものになっている（例えば，特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００２−１０６１７号公報
【特許文献２】特開平９−１２３０３４号公報
【特許文献３】特開２０００−１９３０６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら，従来の上記のＸＹテーブル装置では，大掛かりなものになっていた。また，上記のピックアンドプレース装置では，半導体製造装置（マウンター装置）などにおいて，スライダユニットを多数に並べて使用する場合などは，全体の装置が大きくなってしまい，好ましくないものになっていた。
【０００７】
この発明の目的は，上記の課題を解決することであり，一方向，例えば，Ｘ方向に移動して位置決めする第１テーブルと，上記方向に交差する他方向，例えば，Ｚ方向に移動して位置決めする第２テーブルを備え，第１テーブルの一方の面に対してベッドと第２テーブルとを重なることなく配設し，装置自体の厚み即ち嵩高さを抑えて装置自体をコンパクトに構成し，装置自体を多数順次配設して使用できるように構成でき，しかも第１テーブルと第２テーブルとをリニアモータでそれぞれ駆動するように構成されているスライド装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は，平板状でなるベッド，前記ベッドに対向して一方向に摺動自在に配設された第１テーブル，前記第１テーブルに対向して前記一方向に交差する他方向に摺動自在に配設された第２テーブル，前記ベッドと前記第１テーブルとを前記一方向に相対移動可能に位置決め駆動する第１リニアモータ，及び前記第１テーブルと前記第２テーブルとを前記他方向に相対移動可能に位置決め駆動する第２リニアモータを有するスライド装置において，前記第２テーブルは，前記ベッドが配設された前記第１テーブルの面と同一の面側に，前記第１テーブルに対向して配設されていることを特徴とするリニアモータを内蔵したスライド装置に関する。
【０００９】
このスライド装置において，前記第１テーブルは前記ベッドより突出した突出部を備えており，前記第２テーブルは前記突出部に対向して配設されている。
【００１０】
このスライド装置において，前記第１テーブルの前記面には前記第１リニアモータを構成する第１界磁マグネット及び第１電機子コイル組立体の何れか一方と前記第２リニアモータを構成する第２電機子コイル組立体及び第２界磁マグネットの何れか一方とが配設され，前記ベッドには前記第１リニアモータの前記一方に対向した他方が配設され，前記第２テーブルには前記第２リニアモータの前記一方に対向した他方が配設されている。
【００１１】
このスライド装置において，前記ベッド，前記第１テーブル，及び前記第２テーブルは，鋼製でなり，前記第１テーブルは前記第１リニアモータを構成する前記第１界磁マグネット及び前記第１電機子コイル組立体の何れか一方のヨークと前記第２リニアモータを構成する前記第２電機子コイル組立体及び前記第２界磁マグネットの何れか一方のヨークとして機能し，前記ベッドは前記第１リニアモータの前記一方に対向した他方のヨークとして機能し，前記第２テーブルは前記第２リニアモータの前記一方に対向した他方のヨークとして機能するものである。
【００１２】
このスライド装置は，前記第１テーブルの移動方向の前記一方向はＸ方向であり，前記第２テーブルの移動方向の前記他方向はＺ方向であり，ピックアンドプレース装置として適用される。
【発明の効果】
【００１３】
このスライド装置は，上記のように構成されているので，特に，第１テーブルでＸ方向に，第２テーブルでＺ方向に移動自在に位置決め駆動することができ，第１テーブルの一方の面側にベッドと第２テーブルとが配設されているので，スライド装置自体の厚みを可及的に小さくコンパクトに構成でき，リニアモータを内蔵したＸＺスライド装置でありながら，従来に無いスライド装置の厚みを実現したものになっており，半導体製造装置，各種組立装置など，特に，ピックアンドプレース装置として適用する場合に，多数の数を設置しても適正な厚みにとどめることができ，装置自体をコンパクトに設置して使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下，図面を参照して，この発明によるリニアモータを内蔵したスライド装置の実施例を説明する。この発明によるリニアモータを内蔵したスライド装置は，クリーンルーム，試験実験室等のエリアで稼働される半導体製造装置，各種組立装置などの各種装置に組み込んで使用できるものである。このスライド装置は，互いに交差する２方向，具体的には，Ｘ方向とＺ方向とに移動可能であり，位置決め可能な装置であって，従来に無い，厚み即ち嵩高さを抑えた最もコンパクトな構造に構成されており，特に，複数個を併置して用いるピックアンドプレース装置として利用して好ましいものである。この発明によるスライド装置は，例えば，本出願人に係る特開２００２−１０６１７号公報に開示された可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置を基礎にしており，これらのスライド装置の応用装置に構成されており，スライド装置の直動案内の構成，リニアモータの構成及びリニアエンコーダの構成は概して同様に構成されているので，ここでは，それらについての詳細な説明は省略することとする。
【００１５】
この発明によるスライド装置は，図１及び図２に示すように，特に，ピックアンドプレース装置として利用できる態様のものに構成されている。このスライド装置は，長手状の矩形板状でなるベッド１の一方よりの側面（図１，２では下面）には取付用ねじ孔３８（図４）が形成されており，取付用ねじ孔３８にねじによって別部品になる支柱８が固設され，スライド装置自体が立設した状態で示されており，ベッド１に対して一方向であるＸ方向に摺動自在に配設されたＸテーブル４（第１テーブル），及びＸ方向に交差するＺ方向に摺動自在に配設されたＺテーブル５（第２テーブル）を備えたものになっている。即ち，Ｚテーブル５は，ベッド１に対して，Ｘ方向及びＺ方向に摺動自在なＸＺスライド装置に構成されており，ピックアンドプレース運動（ｐ．ｐ．ｍ）が可能になっている。このスライド装置は，ピックアンドプレース装置に適用した場合には，Ｚテーブル５に各種チャックやグリップ（図示せず）を取り付けて利用されるものである。また，ベッド１に設けた支柱８は，取付孔２２を備えており，取付孔２２にねじなどを挿通して所定の機台，ベースなどに固定させて配設できるように構成されている。この実施例では，支柱８をベッド１と別部品に構成したが，支柱８をベッド１と一体構造に構成して専用のものに構成してもよいことは勿論である。
【００１６】
図２に示すように，Ｘテーブル４は，支柱８が固設されたベッド１の他方よりにベッド１よりも下側の一方に突出した突出部２５を一体に形成しており，全体的にＬ字状の板状に構成されており，ベッド１に対してＸ方向にスライド可能に構成されている。また，図１に示すように，Ｚテーブル５は，Ｘテーブル４の突出部２５にあってベッド１側の面である裏面４５に配設され，Ｚテーブル５は，Ｘテーブル４に対してＸ方向と直交するＺ方向にスライドするように構成されている。Ｚテーブル５がベッド１側の面である裏面４５に配設されたことにより，スライド装置の嵩高さである嵩幅は，ベッド１のおもて面３０からＸテーブル４のおもて面５３までの幅Ｂ（図６）になり，２方向でなるスライド装置でありながら極めて厚みの薄いコンパクトな構成に形成されている。
【００１７】
図３〜図７において，このスライド装置は，図１に示す支柱８をベッド１から取り外して，同様の方向に，竪型に配設した状態で示されている。このスライド装置は，Ｘ方向及びＺ方向に摺動即ちスライドするＸＺスライド装置になっており，Ｚテーブル５がベッド１に対してＸ方向及びＺ方向にスライドしてピックアンドプレース運動（ｐ．ｐ．ｍ）ができるものになっており，図示していないが，実際には，Ｚテーブル５に各種チャックやグリップを取り付けて利用されるものになっている。ベッド１は，平板状になり，ここでは，支柱８をベッド１と別体にしているので，支柱８をベッド１から外した態様が長手状に矩形板状になっている。ベッド１の一方の面である裏面５９には，長手方向に沿って一対の直動案内ユニット４０でなる軌道レール２がねじによって固着され，各軌道レール２には２つのスライダ３９が軌道レール２に沿って摺動自在に跨架し，スライダ３９にＸテーブル４が固着されている。Ｘテーブル４は，図７に示すように，ベッド１よりも一方側に突出した突出部２５が形成されたＬ字状の板状で構成されている。Ｘテーブル４は，その裏面４５に４つのスライダ３９がねじ５５で固着して直動案内ユニット４０によって，ベッド１の長手方向である一方向，即ちＸ方向に摺動自在になっている。
【００１８】
Ｘテーブル４の突出部２５の裏面４５には，Ｘ方向と直交するＺ方向に沿って一対の直動案内ユニット４２でなる軌道レール３がねじによって固着され，各軌道レール３には２つのスライダ４１が軌道レール３に沿って摺動自在に跨架し，スライダ４１にＺテーブル５がスライダ固定ねじ３５によって固着されている。Ｚテーブル５は，図３に示すように，ベッド１よりも一方側，図では下側に突出した態様で配設され，具体的には，Ｘテーブル４の突出部２５の裏面４５に対向して配設されている。Ｚテーブル５は，裏面６０に４つのスライダ４１がねじ３５で固着されており，スライダ４１はＸテーブル４の突出部２５に固定された軌道レール３と共働して直動案内ユニット４２を構成している。Ｚテーブル５は，直動案内ユニット４２を介してＸテーブル４に対してＺ方向に摺動自在になっている。このスライド装置は，ベッド１，Ｘテーブル４及びＺテーブル５が鋼製で作製されており，ベッド１の裏面５９とＸテーブル４の裏面４５との互いに対向する面間にＸテーブル用のリニアモータ４９が配置され，また，Ｘテーブル４の裏面４５とＺテーブル５の裏面６０との互いに対向する面間にＺテーブル用のリニアモータ４６が配置されており，このスライド装置では，ベッド１，Ｘテーブル４及びＺテーブル５がヨーク即ち磁路を形成する機能を果たすように構成されている。このスライド装置は，具体的には，リニアモータ４９を構成するため，電機子コイル６１が配設されたベッド１がコイルヨークを構成し，界磁マグネット５０が配設されたＸテーブル４がマグネットヨークを構成しており，また，リニアモータ４６を構成するため，電機子コイル６２が配設されたＸテーブル４がコイルヨークを構成し，界磁マグネット４７が配設されたＺテーブル５がマグネットヨークを構成している。言い換えれば，Ｘテーブル４は，リニアモータ４９に対してはマグネットヨークとして機能し，また，リニアモータ４６に対してはコイルヨークとして機能している。
【００１９】
ベッド１とＸテーブル４との間には，相対移動可能に位置決め駆動するリニアモータ４９が内蔵されている。リニアモータ４９は，例えば，前掲特開２００２−１０６１７号公報に開示されたものと同様のもので構成することができ，扁平に略矩形に巻かれたコアレスコイルでなる複数の電機子コイル６１がスライド方向に並設された電機子コイル組立体５１，及び電機子コイル組立体５１に対向して矩形板状に形成された複数の永久磁石が磁性を交互に異ならせて並設された界磁マグネット５０で構成され，界磁マグネット５０が生じさせる磁束と電機子コイル６１に流れる電流との電磁相互作用によって相対移動可能に位置決め駆動するものになっている。この実施例では，Ｘテーブル４用の電機子組立体６は，コイルヨークを構成するベッド１と，ベッド１上にスライド方向に並んで平坦な薄板であるコイル基板に接着剤等で固着された扁平な都合６個の電機子コイル６１とから構成されている。また，この実施例では，前掲特開２００２−１０６１７号公報に開示されたものと同様に，電機子コイル組立体５１は，３相でなる３つずつの電機子コイル６１を１組とする３相のコアレスコイルから構成されている。リニアモータ４９は，図６に示すように，ベッド１とＸテーブル４との間で，一対の直動案内ユニット４０間に配設され，電機子コイル組立体５１がＸ方向に沿ってベッド１の裏面５９に固設され，及び界磁マグネット５０がＸ方向に沿ってＸテーブル４の裏面４５に固設されている。リニアモータ４９は，６個の電機子コイル６１と，１０極のマグネットでなる界磁マグネット５０から構成されている。なお，このスライド装置では，電源装置，及び制御装置であるドライバ装置とコントロール装置は，スライド装置の外部に設けられている。
【００２０】
このスライド装置において，ベッド１及びＸテーブル４は，鋼製でなる磁性材料から作られており，図示の実施例では，ベッド１はコイルヨークを兼ね，及びＸテーブル４はマグネットヨークを兼ねている。ベッド１及びＸテーブル４には，ベッド１に対するＸテーブル４のスライド方向の位置を検出するエンコーダが具備され，エンコーダは，光学式リニアエンコーダ９で構成され，ベッド１より僅かに突出したＸテーブル４の張出部５２の裏面にスライド方向であるＸ方向に沿って貼り付けられたリニアスケール１２，及びリニアスケール１２に対向してベッド１から張り出した取付ブラケット１５に固設されたＸテーブル４用のセンサ１１を備えており，センサ１１にはセンサコード１７が接続されている。ベッド１は，図１又は図３に示すように，装置自体の軽量化を図るため，おもて面３０に中央部を横切るように伸びている肉ぬすみ２３が設けられている。また，ベッド１の肉ぬすみ２３には，Ｘテーブル４用の電機子コイル６１をそれぞれベッド１に固定できるように，電機子コイル固定ねじ孔３２が形成されている。また，ベッド１のおもて面３０の肉ぬすみ２３に隣接した両側には，直動案内ユニット４０における軌道レール２を取り付けるため，ベッド１を貫通して軌道レール固定ねじ３１が挿通している。
【００２１】
ベッド１の一端側には，コネクタブロック２６が取り付けられ，コネクタブロック２６には，電機子コイル組立体５１用の電源及び信号コード１９が支持されていると共に，Ｚテーブル５用の電源及び信号コード２０及びセンサコード１８が支持されている。Ｘテーブル４の他端側には，コード固定具２８が取り付けられ，コード固定具２８には，Ｚテーブル５用の電源及び信号コード２０及びセンサコード１８が支持されている。ベッド１及びＸテーブル４には，可動テーブルであるＸテーブル４が所定ストローク距離から逸脱しないようにストッパが設けられている。ストッパは，一方がＸテーブル４の端面が突き当ってストップするベッド端部に固設されたコネクタブロック２６の端面でなり，他方がＸテーブル４の端部から張り出したストッパ部５４とストッパ部５４と対向するベッド１に固設されたストッパ腕１６とでストップするものになっており，コネクタブロック端面の中央とストッパ腕１６には，衝突を緩和する弾性体でなるストッパパッド２７が取り付けられている。
【００２２】
Ｘテーブル４は，図７に示すように，可動テーブルとして軽量化が図られて，おもて面５３の適正な各所に肉ぬすみ２４が設けられている。Ｘテーブル４とＺテーブル５との間には相対移動可能に位置決め駆動するリニアモータ４６が内蔵されている。Ｘテーブル４のおもて面５３には，Ｘテーブル４用の直動案内ユニット４０におけるスライダ３９を固定するため，固定ねじ５５が挿通されている。また，Ｘテーブル４の突出部２５には，Ｚテーブル５用の直動案内ユニット４２における軌道レール３を固定するため，固定ねじ５６が挿通されている。Ｘテーブル４は，上部にセンサ１１の設置場所に対応して張出部５２が伸びている。リニアモータ４６は，リニアモータ４９と同様に，扁平に略矩形に巻かれたコアレスコイルでなる複数の電機子コイル６２がスライド方向に並設された電機子コイル組立体４８，及び電機子コイル組立体４８に対向して矩形板状に形成された複数の永久磁石が磁性を交互に異ならせて並設された界磁マグネット４７で構成され，界磁マグネット４７が生じさせる磁束と電機子コイル６２に流れる電流との電磁相互作用によって相対移動可能に位置決め駆動するものになっている。この実施例では，Ｚテーブル５用の電機子組立体７は，コイルヨークを構成するＸテーブル４と，Ｘテーブル４上にスライド方向に並んで平坦な薄板であるコイル基板に接着剤等で固着された扁平な都合３個の電機子コイル６２とから構成されている。また，このスライド装置は，電源装置，及び制御装置であるドライバ装置とコントロール装置は，スライド装置の外部にそれぞれ設けられている。
【００２３】
リニアモータ４６は，３個の電機子コイル６２と，５極の永久磁石でなる界磁マグネット４７から構成されている。また，リニアモータ４９と同様に，電機子コイル組立体４８は，３相でなる３つずつの電機子コイル６２を１組とする３相のコアレスコイルからなっている。リニアモータ４６は，図５に示すように，一対の直動案内ユニット４２間に配設され，電機子コイル組立体４８がＸ方向に直交するＺ方向に沿ってＸテーブル４の突出部２５の裏面４５に固設され，及び界磁マグネット４７が電機子コイル組立体４８に対向してＺ方向に沿ってＺテーブル５の裏面６０に固設されている。また，Ｘテーブル４である突出部２５及びＺテーブル５は，鋼製でなる磁性材料から作られており，図示の実施例では，Ｘテーブル４の突出部２５はコイルヨークを兼ね，及びＺテーブル５はマグネットヨークを兼ねている。従って，このスライド装置では，Ｘテーブル４が，ベッド１との間に設けたリニアモータ４９のマグネットヨークとして機能し，Ｚテーブル５との間に設けたリニアモータ４６のコイルヨークとして機能し，両者に対するヨークをそれぞれ構成するので，スライド装置をコンパクト化に構成できる要因になっている。
【００２４】
また，Ｘテーブル４及びＺテーブル６には，Ｘテーブル４に対するＺテーブル５のスライド方向の位置を検出するエンコーダＺが具備され，エンコーダＺは，光学式リニアエンコーダ１０でなり，側面に張り出したＺテーブル５の張出部３３の裏面にスライド方向であるＺ方向に沿って貼り付けられたリニアスケール１４，及びリニアスケール１４に対向してＸテーブル４の突出部２５の側面から張り出した張出部４３に固設されたセンサ１３を備えている。また，可動テーブルであるＺテーブル５が所定ストローク距離から逸脱しないようにストッパが設けられている。ストッパは，一方がＺテーブル５の一方の端面が突き当ってストップするベッド１の側面でなり，他方が，図６に示すように，Ｘテーブル４の突出部２５の端部に固定ねじ３６で取り付けられたＬ字状金具でなるストッパ具３４でなり，ストッパ具３４にはストッパパット２９が取り付けられ，ストッパパット２９にＺテーブル５の他方の端面が突き当ってストップするものになっている。ベッド１の側面のストッパ部には，衝突を緩和する弾性体でなるストッパパッド５７が取り付けられている。また，Ｘテーブル４及びＺテーブル５には，Ｚテーブル５の重量バランスをとるバランス用ばね３７が取り付けられている。Ｚテーブル５のおもて面４４には，図３に示すように，ワーク取付用ねじ孔２１が設けられており，チャックやグリップなどが取り付けられるようになっている。
【００２５】
このスライド装置は，上記の構成により，嵩高さである嵩幅Ｂ（図６参照）を，２方向でなるスライド装置でありながら従来に無いコンパクト化を実現したものであり，例えば，この実施例の嵩幅Ｂは，１７ｍｍになっている。従って，このスライド装置は，数十台に並べて使用する組立装置にあっても装置自体がコンパクト化できるものになっている。また．このスライド装置は，可能な限りコンパクト化し且つリニアモータ４６，４９を内蔵したので，近年に要求される，高速性，高加減速，高応答，高精度な位置決めなどを実現できるものになっている。更に，このスライド装置は，最良になる一例を示したものであり，他のリニアモータ構成，アルミ製でなるベッド及びテーブル構成，支柱構成，Ｘテーブル４の異形状構成などの各種態様は，その場に合わせて応用できるものであり，図示していないが，その他の実施例に含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
このリニアモータを内蔵したスライド装置は，クリーンルーム，クリーン環境等のエリアで稼働される半導体製造装置，各種組立装置などの各種装置に組み込んで使用され，例えば，ピックアンドプレース装置として利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明によるスライド装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の反対側から見たスライド装置を示す斜視図である。
【図３】図１に示す支柱を取り外した状態のスライド装置の正面図である。
【図４】図１のスライド装置の下面図である。
【図５】図４のストッパ具を外した第２テーブル部分の下面図である。
【図６】図３のスライド装置の側面図である。
【図７】図３のスライド装置の背面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１      ベッド
４      Ｘテーブル（第１テーブル）
５      Ｚテーブル（第２テーブル）
２５    突出部
４６    リニアモータ（第２リニアモータ）
４７    界磁マグネット（第２界磁マグネット）
４８    電機子コイル組立体（第２電機子コイル組立体）
４９    リニアモータ（第１リニアモータ）
５０    界磁マグネット（第１界磁マグネット）
５１    電機子コイル組立体（第１電機子コイル組立体）
【図１】
2006238540.tif 000003
【図２】
2006238540.tif 000004
【図３】
2006238540.tif 000005
【図４】
2006238540.tif 000006
【図５】
2006238540.tif 000007
【図６】
2006238540.tif 000008
【図７】
2006238540.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月25日(2006.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また，Ｘテーブル４及びＺテーブル６には，Ｘテーブル４に対するＺテーブル５のスライド方向の位置を検出するエンコーダＺが具備され，エンコーダＺは，光学式リニアエンコーダ１０でなり，側面に張り出したＺテーブル５の張出部３３の裏面にスライド方向であるＺ方向に沿って貼り付けられたリニアスケール１４，及びリニアスケール１４に対向してＸテーブル４の突出部２５の側面から張り出した張出部４３に固設されたセンサ１３を備えている。また，可動テーブルであるＺテーブル５が所定ストローク距離から逸脱しないようにストッパが設けられている。ストッパは，一方がＺテーブル５の一方の端面が突き当ってストップするベッド１の側面でなり，他方が，図６に示すように，Ｘテーブル４の突出部２５の端部に固定ねじ３６で取り付けられたＬ字状金具でなるストッパ具３４でなり，ストッパ具３４にはストッパパット２９が取り付けられ，ストッパパット２９にＺテーブル５の他方の端面が突き当ってストップするものになっている。ベッド１の側面のストッパ部には，衝突を緩和する弾性体でなるストッパパッド５７が取り付けられている。また，Ｚテーブル５には，Ｚテーブル５の重量バランスをとるバランス用ばね３７が取り付けられている。Ｚテーブル５のおもて面４４には，図３に示すように，ワーク取付用ねじ孔２１が設けられており，チャックやグリップなどが取り付けられるようになっている。