(57)【要約】【課題】  電界発光素子によって構成される発光装置及び照明装置において、電界発光素子の一部がショートしてしまっても、発光装置及び照明装置全体の発光を損なわず、発光を維持することが可能である発光装置及び照明装置を提供することを課題としている。【解決手段】  前記課題を解決するための本発明の構成は、同一平面上に形成された２個以上の電界発光素子が、直列に接続されていることを特徴とする発光装置及び照明装置である。【選択図】  図１
2006049853.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一平面上に形成された２個以上の電界発光素子が、直列に接続していることを特徴とする発光装置。
【請求項２】
第１の陽極と第１の有機薄膜と第１の陰極よりなる第１の電界発光素子と、
第２の陽極と第２の有機薄膜と第２の陰極よりなる第２の電界発光素子とを有し、
前記第１の陽極と前記第２の陽極の側端部は隔壁により覆われており、
前記第１の陽極の一部は前記第１の有機薄膜により覆われており、
前記第２の陽極の一部は前記第２の有機薄膜により覆われており、
前記第１の有機薄膜は前記第１の陰極に覆われており、
前記第２の有機薄膜は前記第２の陰極に覆われており、
前記第２の陰極は前記隔壁上を介して前記第１の陽極と電気的に接続し、
前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置。
【請求項３】
第１の陽極と有機薄膜と第１の陰極よりなる第１の電界発光素子と、
第２の陽極と前記有機薄膜と第２の陰極よりなる第２の電界発光素子とを有し、
第１の陽極と第２の陽極が同一平面上に形成され、
前記第１の陽極及び前記第２の陽極の一部を覆って前記有機薄膜が形成され、
前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第１の陽極に対応して第１の陰極が形成され、
前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第２の陽極に対応して第２の陰極が形成され、
前記有機薄膜が形成されていない前記第２の陽極の端部において前記第１の陰極が伸びて電気的に接続し、
前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置
【請求項４】
第１の陽極と有機薄膜と第１の陰極よりなる第１の電界発光素子と、
第２の陽極と前記有機薄膜と第２の陰極よりなる第２の電界発光素子とを有し、
第１の陽極と第２の陽極が同一平面上に形成され、
前記第１の陽極と前記第２の陽極の側端部は隔壁により覆われており、
前記第１の陽極及び前記第２の陽極の一部を覆って前記有機薄膜が形成され、
前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第１の陽極に対応して第１の陰極が形成され、
前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第２の陽極に対応して第２の陰極が形成され、
前記有機薄膜が形成されていない前記第２の陽極の端部において前記第１の陰極が前記隔壁上を越えて延伸し、前記第２の陽極に電気的に接続し、
前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置
【請求項５】
第１の陰極と第１の有機薄膜と第１の陽極よりなる第１の電界発光素子と、
第２の陰極と第２の有機薄膜と第２の陽極よりなる第２の電界発光素子とを有し、
前記第１の陰極と前記第２の陰極の側端部は隔壁により覆われており、
前記第１の陰極の一部は前記第１の有機薄膜により覆われており、
前記第２の陰極の一部は前記第２の有機薄膜により覆われており、
前記第１の有機薄膜は前記第１の陽極に覆われており、
前記第２の有機薄膜は前記第２の陽極に覆われており、
前記第２の陽極は前記隔壁上を介して前記第１の陰極と電気的に接続し、
前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置。
【請求項６】
第１の陰極と有機薄膜と第１の陽極よりなる第１の電界発光素子と、
第２の陰極と前記有機薄膜と第２の陽極よりなる第２の電界発光素子とを有し、
第１の陰極と第２の陰極が同一平面上に形成され、
前記第１の陰極及び前記第２の陰極の一部を覆って前記有機薄膜が形成され、
前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第１の陰極に対応して第１の陽極が形成され、
前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第２の陰極に対応して第２の陽極が形成され、
前記有機薄膜が形成されていない前記第２の陰極の端部において前記第１の陽極が伸びて電気的に接続し、
前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置。
【請求項７】
第１の陰極と有機薄膜と第１の陽極よりなる第１の電界発光素子と、
第２の陰極と前記有機薄膜と第２の陽極よりなる第２の電界発光素子とを有し、
第１の陰極と第２の陰極が同一平面上に形成され、
前記第１の陰極と前記第２の陰極の側端部は隔壁により覆われており、
前記第１の陰極及び前記第２の陰極の一部を覆って前記有機薄膜が形成され、
前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第１の陰極に対応して第１の陽極が形成され、
前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第２の陰極に対応して第２の陽極が形成され、
前記有機薄膜が形成されていない前記第２の陰極の端部において前記第１の陽極が前記隔壁上を越えて延伸し、前記第２の陰極に電気的に接続し、
前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置。
【請求項８】
請求項２乃至請求項７のいずれか一項において、前記直列接続構造が複数さらに直列に設けられていることを特徴とする発光装置。
【請求項９】
請求項８において、前記直列接続構造により直列に接続されている電界発光素子の数が２個乃至２０個であることを特徴とする発光装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか一項において、前記直列接続構造により接続されている電界発光素子群を１単位として、１単位の電界発光素子群よりなることを特徴とする発光装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項９のいずれか一項において、前記直列接続構造により接続されている電界発光素子群を１単位として、複数単位の電界発光素子群よりなることを特徴とする発光装置。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載の発光装置を用いたことを特徴とする照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、陽極、陰極、および前記陽極と陰極との間に、電流を流すことによって発光する薄膜を挟んだ構造からなる素子（電界発光素子）及び当該電界発光素子を基板上に備えた発光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電界発光素子とは、陰極と陽極の間に有機化合物、あるいは無機化合物を含む薄膜もしくは結晶を形成し、陰陽極間に通電することで発光を得る素子である。近年、とりわけ有機化合物を主構成成分とする薄膜（以下、有機薄膜と記す）が陰極と陽極間に設置された電界発光素子、すなわち電界発光素子の開発が盛んに行われている。
【０００３】
電界発光素子は、図３に示すように、陰極１０１と陽極１０２の間に有機薄膜１０３が設置されており、陰極１０１から電子が、陽極１０２から正孔が注入され、有機薄膜１０３中で電子と正孔（電子と正孔の両方、あるいはいずれかを区別せずに指す場合、以下キャリアと記す）の再結合が生じる。これによって有機薄膜を構成する有機分子の励起状態が形成され、この励起状態が輻射過程によって基底状態に戻る際に発光が得られる。
【０００４】
電界発光素子では、有機薄膜は１μｍを下回るほどの薄膜で形成される。また、有機薄膜自身から発光が得られるため、液晶ディスプレイに用いられているバックライトが不要である。したがって、電界発光素子は極めて薄型軽量に作製できることが大きな特徴である。
【０００５】
また、キャリアを注入してから再結合に至るまでの時間は１μ秒程度あるいはそれ以下であり、したがって応答速度が速い。さらに、キャリア注入型の電界発光素子であって直流電圧で駆動されるため、ノイズが生じにくいというメリットを有する。適切な有機材料、あるいは構造を採用することで、数Ｖの電圧で駆動させることも可能であり、次世代の発光装置への応用が期待されている。
【０００６】
電界発光素子の応用としては、主としてディスプレイと照明が期待されている。照明の応用を考えた場合、従来の照明器具である白熱球は点光源であり、蛍光灯は線状の光源である。これに対し、電界発光素子は面状の発光を与えることができるため、例えばシート状の照明など、従来にない形状を持つ照明装置を作製することが可能と考えられる。また、面光源であることにより、より自然光に近い照明を簡便にえることが可能となる。
【０００７】
一方、電界発光素子の最大のデメリットは素子の劣化に基づく信頼性の低さである。素子の劣化は、大別すると二つに分類される。一つは輝度が経時的に徐々に低下するという現象である。これは、一定電流で電界発光素子を駆動した場合、材料の劣化などに起因して、電流効率が徐々に低下するため、その結果輝度が徐々に劣化するものである。もう一つの劣化モードは、主として膜質の変化に起因する、陰極と陽極間のショート（導通）である。つまり、有機薄膜中の材料の結晶化などに起因して膜の一部に欠損が生じ、そこでは陰極と陽極間の抵抗が大幅に低下し、その結果部分的にショートした状態となる。このため、有機薄膜全体に均等にキャリアを注入することができなくなり、素子として発光が得られなくなる。
【０００８】
前者の劣化に対しては、有機材料の構造を工夫することで改善することが可能である。近年、電界発光素子に使用される有機材料は格段の進歩を遂げ、その結果輝度の経時的変化はかなり抑制することが可能となってきている。
【０００９】
一方後者の劣化に対しては、単に有機材料の構造を工夫するだけでは回避することが困難な場合が多い。材料設計の観点からは、材料の結晶化を防ぐという方法が考えられる。しかし、有機材料中に極微量に含まれる不純物や、素子外部から含浸する水などの化合物、あるいは基板から発生する微量のガスなどが電極間ショートの原因の一つに考えられており、材料の純度のみならず、基板の構造、洗浄の程度にも大きく影響を受ける。また、素子作製プロセスにおける不純物の混入を最大限に防ぐ努力を払わなければならない。
【００１０】
電界発光素子をディスプレイに用いる場合、電界発光素子はパッシブマトリクス型、あるいはアクティブマトリクス型の基板上に形成される。この場合、基本的に各素子は独立して駆動される。概念図を図２に示す。基板２０４上に電界発光素子の第１の電極２０６が形成され、その上に有機薄膜２０８、さらにその上に第２の電極２０５が積層されている。第１の電極２０６と第２の電極２０５はそのどちらかが陽極、もう一方が陰極となり、図２においては第１の電極２０６が陽極、第２の電極２０５が陰極である。
【００１１】
ディスプレイは数百μｍ四方程度の微小な領域に各画素が形成されており、これらの画素は独立に駆動される。したがって、ある素子がショートによって発光が得られなくなっても、発光欠損は数百μｍ程度の領域に限定できるため、画面上には点状、あるいは線状の欠陥が生じるだけである。もちろん、ディスプレイとしての表示品質低下は避けられないものの、欠陥の数が少なければ一応ディスプレイとしての機能を果たすことができる。
【００１２】
しかしながら、電界発光素子を照明の用途に用いる場合、発光部分は比較的大きな面積をもつ素子である。素子の大きさは、照明として発光させるための大きさに等しいため、ディスプレイで用いられる場合と比較すると、非常に大きな面積を有することになる。すると、素子の微小な領域がショートしただけで、該当する素子全体が発光しなくなる。
【００１３】
図４に照明用の電界発光素子の構造を示す。図４中、７０１、７０２が電界発光素子の電極であり、どちらかが陽極、もう一方が陰極となっており、有機薄膜７０３がその間に形成されている。電界発光素子全体の領域２０１のうち、極微小領域２０２がショートすると、電界は微小領域２０２に集中してしまい、残りの大部分には電流を印加することができない。したがって、素子全体の領域、すなわち領域２０１全体が発光しなくなり、用いられる材料の劣化がない場合でも、照明器具としては寿命を迎えることになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は上述した問題点に鑑みてなされたものであり、電界発光素子によって構成される発光装置及び照明装置において、電界発光素子の一部がショートしても、発光装置もしくは照明装置全体の発光を損なわずに発光を維持できる発光装置及び照明装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記課題を解決するための本発明の構成の１つは、同一平面上に形成された２個以上の電界発光素子が、直列に接続していることを特徴とする発光装置である。
【００１６】
前記課題を解決するための本発明の構成の１つは、第１の陽極と第１の有機薄膜と第１の陰極よりなる第１の電界発光素子と、第２の陽極と第２の有機薄膜と第２の陰極よりなる第２の電界発光素子とを有しており、前記第１の陽極と前記第２の陽極の側端部は隔壁により覆われ、前記第１の陽極の一部は前記第１の有機薄膜により覆われている。また、前記第２の陽極の一部は前記第２の有機薄膜により覆われている。そして、前記第１の有機薄膜は前記第１の陰極に覆われており、前記第２の有機薄膜は前記第２の陰極に覆われている。前記第２の陰極は前記隔壁上を介して前記第１の陽極と電気的に接続し、前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置である。
【００１７】
前記課題を解決するための本発明の構成の１つは、第１の陽極と有機薄膜と第１の陰極よりなる第１の電界発光素子と、第２の陽極と前記有機薄膜と第２の陰極よりなる第２の電界発光素子とを有している。また、第１の陽極と第２の陽極は同一平面上に形成され、前記第１の陽極及び前記第２の陽極の一部を覆って前記有機薄膜が形成されている。そして、前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第１の陽極に対応して第１の陰極が形成され、前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第２の陽極に対応して第２の陰極が形成される。また、前記有機薄膜が形成されていない前記第２の陽極の端部において前記第１の陰極が伸びて電気的に接続し、前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置である。
【００１８】
前記課題を解決するための本発明の構成の１つは、第１の陽極と有機薄膜と第１の陰極よりなる第１の電界発光素子と、第２の陽極と前記有機薄膜と第２の陰極よりなる第２の電界発光素子とを有している。また、第１の陽極と第２の陽極は同一平面上に形成され、前記第１の陽極と前記第２の陽極の側端部は隔壁により覆われており、前記第１の陽極及び前記第２の陽極の一部を覆って前記有機薄膜が形成されている。そして、前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第１の陽極に対応して第１の陰極が形成され、前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第２の陽極に対応して第２の陰極が形成される。また、前記有機薄膜が形成されていない前記第２の陽極の端部において前記第１の陰極が前記隔壁上を越えて延伸し、前記第２の陽極に電気的に接続し、前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置である。
【００１９】
前記課題を解決するための本発明の構成の１つは、第１の陰極と第１の有機薄膜と第１の陽極よりなる第１の電界発光素子と、第２の陰極と第２の有機薄膜と第２の陽極よりなる第２の電界発光素子とを有しており、前記第１の陰極と前記第２の陰極の側端部は隔壁により覆われ、前記第１の陰極の一部は前記第１の有機薄膜により覆われている。また、前記第２の陰極の一部は前記第２の有機薄膜により覆われている。そして、前記第１の有機薄膜は前記第１の陽極に覆われており、前記第２の有機薄膜は前記第２の陽極に覆われている。前記第２の陽極は前記隔壁上を介して前記第１の陰極と電気的に接続し、前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置である。
【００２０】
前記課題を解決するための本発明の構成の１つは、第１の陰極と有機薄膜と第１の陽極よりなる第１の電界発光素子と、第２の陰極と前記有機薄膜と第２の陽極よりなる第２の電界発光素子とを有している。また、第１の陰極と第２の陰極は同一平面上に形成され、前記第１の陰極及び前記第２の陰極の一部を覆って前記有機薄膜が形成されている。そして、前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第１の陰極に対応して第１の陽極が形成され、前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第２の陰極に対応して第２の陽極が形成される。また、前記有機薄膜が形成されていない前記第２の陰極の端部において前記第１の陽極が伸びて電気的に接続し、前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置である。
【００２１】
前記課題を解決するための本発明の構成の１つは、第１の陰極と有機薄膜と第１の陽極よりなる第１の電界発光素子と、第２の陰極と前記有機薄膜と第２の陽極よりなる第２の電界発光素子とを有している。また、第１の陰極と第２の陰極は同一平面上に形成され、前記第１の陰極と前記第２の陰極の側端部は隔壁により覆われており、前記第１の陰極及び前記第２の陰極の一部を覆って前記有機薄膜が形成されている。そして、前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第１の陰極に対応して第１の陽極が形成され、前記有機薄膜の一部を覆い且つ前記第２の陰極に対応して第２の陽極が形成される。また、前記有機薄膜が形成されていない前記第２の陰極の端部において前記第１の陽極が前記隔壁上を越えて延伸し、前記第２の陰極に電気的に接続し、前記第１の電界発光素子と前記第２の電界発光素子の直列接続構造が形成されていることを特徴とする発光装置である。
【発明の効果】
【００２２】
以上のような本発明の発光装置、表示装置及び照明により、以下のような効果を得ることができる。
【００２３】
本発明の電界発光素子は、図１（Ａ）のように隣り合う、もしくは近傍の素子同士が直列に接続されており、図１（Ｂ）のように、第１の電極３０１Ａ〜３０１Ｃ、第２の電極３０３Ａ〜３０３Ｃ及びその間に挟まれた有機薄膜３０２Ａ〜３０２Ｃを有し、隣り合う素子の第１の電極と第２の電極が電気的に接続されている構造である。第１の電極と第２の電極はどちらかが陽極、もう一方が陰極となる。
【００２４】
ここで領域Ａの部分において陰陽極間がショートした場合、この領域では最早発光を得ることはできないが、領域Ａの陽極は領域Ｂの陰極と電気的に接続されているため、領域Ｂと領域Ｃには電流を印加することが可能である。したがって、領域Ａでは発光が得られないが、領域ＢとＣでは発光を得ることができ、素子全体の発光を維持することができる。
【００２５】
このことから、本発明の電界発光素子は、その一部がショート状態となっても当該素子の発光を残すことが可能となる。また、このような電界発光素子を有する発光装置は、その一部がショート状態となってしまっても、多大な影響を被ることが無く、発光装置としての機能を維持することができる。また、これにより当該発光装置の使用可能期間を長くすることが可能となる。また、このような電界発光素子や発光装置を用いた照明は、電界発光素子の一部がショート状態となっても、照明としての機能を著しく損ねることはなく、照明として引き続き使用することができる。これにより、照明の使用可能期間が長くなり、信頼性を向上させることができる。
【００２６】
これに対して従来の方法では、図４のような素子構造をとるため、領域Ａにおけるショートが起これば、このショート部分のみに電界が集中し、その結果領域ＢとＣには電流を印加することができない。したがって、素子の全領域に渡って発光が得られない。
【００２７】
このように本発明により、素子の極微小領域のショートが起こっても、それ以外の領域での発光を維持することができ、素子の寿命を延ばすことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２９】
（実施の形態１）
以下には、本発明を達成するための形態を図５を用いて説明する。なお、図５では、一層の有機薄膜ならびに陰陽極から構成される素子構造が示されているが、有機薄膜の層数に制限はない。
【００３０】
本発明の発光装置は、基板５０１上に形成された島状の第１の電極５０２と、第１の電極５０２の側端部を覆う絶縁膜（隔壁）５１０と少なくとも第１の電極５０２の一部に重なって有機薄膜５０３と、有機薄膜５０３上の少なくとも第１の電極５０２に一部重なって形成された第２の電極５０４とからなる電界発光素子を複数有している。
【００３１】
電界発光素子の第１の電極５０２と第２の電極５０４はそのどちらかが陽極であり、もう一方が陰極となる。本発明では第１の電極５０２は隣接する、あるいは近傍の電界発光素子が有する第２の電極５０６と直列に接続されている。また、この接続されている電界発光素子群を１単位として、複数単位をもって発光装置としても良いし、１単位で発光装置を形成しても良い。また、単位毎に接続される電界発光素子の数が同じであっても良いし、異なっていても良い。
【００３２】
本実施の形態では第１の電極５０２が陽極、第２の電極５０４が陰極である場合について説明する。
【００３３】
まず、電界発光素子では、発光を取り出す必要があるため、少なくともどちらかの電極が透明である必要がある。本実施の形態では、基板上に透明な材料で第１の電極５０２（陽極）を形成し、陽極側から発光を取り出すことのできる電界発光素子について説明する。しかし本発明は、この構造に限定されたものではなく、例えば陰極だけを透明にし、陰極側から光を取り出す構造、あるいは陰極陽極ともに透明にして、素子の上下から発光を得る構造にも適用可能である。
【００３４】
図５において、５０１は素子を担持するための基板であり、石英やガラスのみならず、紙やプラスチック樹脂なども用いることができる。本発明の形態では基板上に透明な第１の電極５０２（陽極）を形成するので、基板に可視光透過性があればよい。透明な陽極としては、ＩＴＯ（インジウム・すず酸化物）やＩＺＯ（インジウム・亜鉛酸化物）などの、導電性金属酸化物が好適である。これらの導電性金属酸化物膜は、通常スパッタにより成膜されるが、ゾル−ゲル法などを応用して作製しても構わない。また、金属酸化物以外の材料として、金などの仕事関数の大きな金属を用いることも可能である。ただしこの場合には、光透過性を考慮して、超薄膜を形成する。
【００３５】
ここで本発明の特徴は、図５に示すように、第１の電極５０２を島状に形成することである。島状に形成された透明電極上に、有機薄膜５０３を形成する。有機薄膜５０３は主として有機化合物を用いて形成するが、単一組成の薄膜を用いて形成してもよい。例えばトリス（８−キノリノラト）アルミニウム（略称：Ａｌｑ3）、トリス（４−メチル−８−キノリノラト）アルミニウム（略称：Ａｌｍｑ3）、ビス（１０−ヒドロキシベンゾ［ｈ］−キノリナト）ベリリウム（略称：ＢｅＢｑ2）、ビス（２−メチル−８−キノリノラト）−（４−ヒドロキシ−ビフェニリル）−アルミニウム（略称：ＢＡｌｑ）、ビス［２−（２−ヒドロキシフェニル）−ベンゾオキサゾラト］亜鉛（略称：Ｚｎ（ＢＯＸ）2）、ビス［２−（２−ヒドロキシフェニル）−ベンゾチアゾラト］亜鉛（略称：Ｚｎ（ＢＴＺ）2）などの典型金属錯体が挙げられる。あるいは９，１０−ジフェニルアントラセンや４，４’−ビス（２，２−ジフェニルエテニル）ビフェニルなどの炭化水素系化合物なども好適である。
【００３６】
また、有機薄膜は複数の材料の混合層であってもよい。上述した有機薄膜中に、蛍光色素、あるいはりん光色素を少量混合することで、発光効率を上げることができる。蛍光材料としてはクマリン誘導体、キナクリドン誘導体、アクリドン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体、アントラセン誘導体、ピロン誘導体などが挙げられる。りん光色素としては、三重項発光材料としては、トリス（２−フェニルピリジン）イリジウム（以下、「Ｉｒ（ｐｐｙ）3」と記す）、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８−オクタエチル−２１Ｈ，２３Ｈ−ポルフィリン−白金（以下、「ＰｔＯＥＰ」と記す）など、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｔ、あるいは希土類金属などの遷移金属錯体が挙げられる。
【００３７】
上述した単一組成の有機薄膜、あるいは混合有機薄膜は、発光を得るための機能層であり、発光層と言われるものである。つまり、発光層のみから構成される有機薄膜が陰陽極間に設置された素子である。しかし、有機薄膜は発光層だけでなく、他の機能を有する層を組み合わせた積層構造の膜であってもよい。これは、上述した単一組成あるいは混合の発光層のみでは、電子と正孔の注入バランスを制御することが困難であるため、これを改善するために複数の材料を積層することで、発光効率が改善されるためである。例えば上述した単一組成、あるいは混合組成の発光層以外に、注入された正孔を効率よく発光層へ輸送する正孔輸送層、注入された電子を効率よく発光層へ輸送する電子輸送層を設けるのが良い。正孔輸送層に相応しい材料としては、芳香族アミン系（すなわち、ベンゼン環−窒素の結合を有するもの）の化合物である。広く用いられている材料として、４，４’−ビス［Ｎ−（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニル−アミノ］−ビフェニル，その誘導体である４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ］−ビフェニル、４，４’，４’’−トリス（Ｎ，Ｎ−ジフェニル−アミノ）−トリフェニルアミン、４，４’，４’’−トリス［Ｎ−（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニル−アミノ］−トリフェニルアミンなどのスターバースト型芳香族アミン化合物が挙げられる。電子輸送層に好適な材料としては、上記典型金属化合物が挙げられるが、他に３−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−４−（４−エチルフェニル）−５−（４−ビフェニリル）−１，２，４−トリアゾールなどのトリアゾール誘導体、バソフェナントロリンやバソキュプロインなどのフェナントロリン誘導体を用いても良い。
【００３８】
これらの有機薄膜を形成する方法は真空蒸着法だけではなく、スピンコーティング法、ディップコーティング法、スプレー法はどの、所謂湿式法を採用しても構わない。
【００３９】
さらに、上述した正孔輸送層と陽極の間には、陽極からの正孔注入障壁を低減するための正孔注入層を設置するのが良い。正孔注入層に相応しい化合物としては、酸化コバルト、酸化チタン、酸化ニオブ、酸化ニッケル、酸化ネオジウム、酸化バナジウム、酸化ベルリウムアルミニウム、酸化モリブデン、酸化ランタン、酸化ルテニウム、酸化レニウムなどの遷移金属酸化物などが挙げられる。好ましくは、４族から７族の遷移金属酸化物であり、窒化物、ハロゲン化物を用いても構わない。あるいは、４，４´、４´´―トリス［３−メチルフェニル（フェニル）アミノ］トリフェニルアミン（以下、ｍ−ＭＴＤＡＴＡと記す）や、４，４´―ビス［Ｎ−（４−（Ｎ，Ｎ−ジ−ｍ−トリルアミノ）フェニル）−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル（以下、ＤＮＴＰＤと記す）などに代表されるスターバースト型アミン、あるいは金属フタロシアニンなどの低分子有機化合物なども好例である。有機高分子系化合物も使用することが可能であり、ポリアニリン、あるいはポリ（２，３−エチレンジオキシチオフェン）などが挙げられる。
【００４０】
同様に、電子輸送層と陰極の間には、陰極からの電子注入障壁を低減するための電子注入層を設置するのが良い。電子注入層に相応しい化合物としては、フッ化カルシウムやフッ化リチウム、酸化リチウムや塩化リチウムなどのアルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩などを適用すればよい。
【００４１】
このようにして有機薄膜５０３が形成され、次に第２の電極５０４（陰極）が形成される。第２の電極５０４（陰極）としては仕事関数の小さい金属、およびその金属化合物が挙げられる。例えばＭｇ−Ａｇ合金、Ａｌ−Ｌｉ合金、Ｍｇ−Ｌｉ合金などである。ただし、電子注入層を用いる場合、電子注入障壁が低減されるため、仕事関数が大きな金属であるＡｌを用いても構わない。
【００４２】
このとき、第２の電極５０４（陰極）は、前記陽極に対向するように、かつ第１の電極５０２（陽極）と同様に島状に形成されることが本発明の特徴である。さらに、図５の点線部で示されるように、一つの陽極は、隣接する、あるいは近傍の陰極と電気的に接続されていることが特徴である。つまり、複数の電界発光素子が同一平面状に形成され、かつ電気的には複数の電界発光素子が直列に配置されたものである。図５では、それぞれ３つの電界発光素子が電気的に直列に配置されているが、直列に配置する電界発光素子の数に制約はなく、２つ以上の整数であればよい。ただし、直列に配置されているため、装置の駆動電圧は個々の電界発光素子の駆動電圧の和となるのが原則である。したがって、駆動電圧を考慮すると、２つ以上、２０個以内が好ましい。
【００４３】
また、この接続されている電界発光素子を１単位として、複数単位をもって発光装置としても良いし、１単位で発光装置を形成しても良い。また、単位毎に接続される電界発光素子の数が同じであっても良いし、異なっていても良い。
【００４４】
ここで図５において、太線部で囲まれた領域５０５がショートしても、電気的に接続された素子部分には電流を印加することができる。したがって、領域５０５からは発光は得られないが、他の領域に存在する素子からは発光が得られ、領域Ａの占める割合を発光面に対して充分に小さくしておけば、素子のほぼ全体から発光が維持されることになる。
【００４５】
このことから、本発明の電界発光素子は、一つの電界発光素子がショート状態となっても他の素子の発光を残すことが可能となり、当該素子の寿命を延ばすことが可能となる。
【００４６】
本実施の形態では、有機薄膜は単層、あるいは複数の有機薄膜で構成することができるが、さらに図６に示すように、有機薄膜中に導電性の中間層（以下、中間導電層と記す）を設置しても構わない。図６においても第１の電極５０２は陽極とし、第２の電極５０４は陰極としているが、これはどちらでもかまわない。
【００４７】
すなわち、基板５０１上に形成された第１の電極５０２（陽極）上に、有機薄膜５０８を形成する。この有機薄膜５０８は単一の層でも良く、あるいはキャリアを輸送するための電子・正孔輸送層、および発光層などを組み合わせて積層構造としても構わない。こうして形成された有機薄膜５０８上に、中間導電層５０７を形成する。さらにこの中間導電層５０７の上に、有機薄膜５０６が形成され、最後に第２の電極５０４（陰極）が形成される。このときの有機薄膜５０６も単層、あるいは複数の有機薄膜で構成することができる。また、有機薄膜５０８と５０６は、同一の構造、組成でも良く、また、異なる構造、組成でも構わない。さらに、有機薄膜５０８と５０６から得られる発光のスペクトルは同一でも良く、異なっていても構わない。
【００４８】
このようにして作製された素子では、陰陽極間に通電することにより、第２の電極（陰極）５０４から有機薄膜５０６に電子が、第１の電極（陽極）５０２から有機薄膜５０８へ正孔が注入されるだけでなく、中間導電層５０７から有機薄膜５０８に電子が、中間導電層５０７から有機薄膜５０６へ正孔が注入される。したがって、有機薄膜５０８だけでなく、有機薄膜５０６においてもキャリアの再結合が生じ、両薄膜から発光が得られる。このとき有機薄膜５０８と５０６の発光が互いに補色の関係にあれば、白色の発光が得られる。なお、中間導電層を設置する場合、個々の素子は二つの素子を直列に積層したこととなるため、個々の素子の駆動電圧はほぼ倍増する。しかし、同一の電流密度を印加することで、ほぼ倍の発光強度を得ることができる。
【００４９】
中間導電層は透明性を有することと、中間導電層の上下に設置された有機薄膜にキャリア注入可能であることが必須要件である。具体的な材料としては、１）Ａｌｑやバソクプロイン（以下、ＢＣＰと記す）などの電子輸送性化合物と、アルカリ金属などの電子注入性化合物からなる混合層とＩＴＯ（インジウム・すず酸化物）やＩＺＯ（インジウム・亜鉛酸化物）などの透明電透明電極の積層、２）前記電子輸送性化合物と電子注入性化合物からなる混合層と金属酸化物の積層、３）前記電子輸送性化合物と電子注入性化合物からなる混合層と電子受容性有機化合物の積層、などが挙げられる。
【００５０】
なお、本実施の形態では中間導電層は一つだけ用い、二つの有機薄膜を用いる例を示したが、中間導電層の数に制約はなく、有機薄膜の数は中間導電層の数より１層多くすれば良い。
【００５１】
（実施の形態２）
本実施の形態では実施の形態１と異なるレイアウトにより本発明の発光装置を作成する方法について図１２、図１３に上面図と断面図を示しながら説明する。図１２、図１３では二つの電界発光素子が直列に接続されている１単位を例として示す。もちろん、３つ以上の電界発光素子が直列に接続されていても良い。また、１単位で発光装置を構成しても良いし、複数単位で発光装置としても良い。構成要素の材料などは実施の形態１に記載がある場合は省略する。
【００５２】
まず、基板６０１上に島状に第１の電極６０３を設ける（図１２（Ａ））。第１の電極６０３は基板６０１の方向に光を取り出す場合は透明である必要があるが、第１の電極６０３に対して基板６０１と反対の方向に光を取り出す場合は不透明であっても構わない。また、第１の電極６０３は電界発光素子の陽極、もしくは陰極として機能する。第１の電極６０３を陽極とする場合は仕事関数の大きなアルミニウムなどの材料を用いると良い。陽極として用いることができ、透明性を有する材料は実施の形態１に示した金属酸化物が挙げられる。金やアルミニウムなど不透明な材料であっても極薄膜とすることによって充分な透明性を得ることもできる。
【００５３】
また、陰極として第１の電極６０３を用いる場合は、仕事関数の小さい材料を用いることができる。例えばＭｇ−Ａｇ合金、Ａｌ−Ｌｉ合金、Ｍｇ−Ｌｉ合金などである。ただし、電子注入層を用いる場合、電子注入障壁が低減されるため、仕事関数が大きな金属であるＡｌを用いても構わない。また、これらの陰極材料は不透明であるが、透明性を出したい場合には極薄膜とすることで充分な透明性を得ることができる。
【００５４】
続いて、基板６０１、第１の電極６０３を覆って絶縁膜（隔壁）６０９を形成する。絶縁膜（隔壁）６０９にはコンタクトホール６１０と素子形成部６１１に第１の電極６０３が露出するように開口部を設ける（図１２（Ｂ））。
【００５５】
次に素子形成部６１１に形成された開口部を覆って有機薄膜６０４を形成する（図１３（Ｃ））。続いて第２の電極６０５をも素子形成部６１１に形成された開口部の少なくとも一部を覆うように形成し、電界発光素子が形成される（図１３（Ｄ））。ただし、第１の電界発光素子６１２の第２の電極６０５は第２の電界発光素子６１３の第１の電極６０３に電気的に接続するように形成する。本実施の形態では絶縁膜（隔壁）６０９に設けられたコンタクトホールを介して接続されるが接続方法についてはこれに限らない。
【００５６】
また、第１の電界発光素子６１２の第１の電極と第２の電界発光素子６１３の第２の電極は外部接続部６０７までのびて形成されており、外部電源がつながっている。外部接続部に直接接続される電極は一単位に第１の電極６０３、第２の電極６０５各々一つずつであり、直列接続された素子の末端の素子のうち、一方において第１の電極６０３が外部接続部に直接接続していたら、もう一方の末端の素子は第２の電極６０５が外部接続部で直接接続する。
【００５７】
このように形成された本発明の発光装置は一部の電界発光素子がショートしてしまったとしても、電気的に接続された他の電界発光素子部分には電流を印加することができる。したがって、ショートしてしまった部分からは発光は得られないが、他の電界発光素子素子からは発光が得られ、一カ所で起きたショートにより大きな影響が及ぼされることがない。
【００５８】
（実施の形態３）
本実施の形態では、本発明の他の実施の形態について図１１を参照しながら説明する。なお、図中に示した電界発光素子の配置方法は実施の形態２に説明したものを用いたが、もちろん実施の形態１に示した配置でも構わないし、本発明の構成を有するものであればどのような配置方法でも構わない。
【００５９】
実施の形態１、実施の形態２に示したような本発明の発光装置は、第１の電極６０３、第２の電極６０５及びその間に挟まれた有機薄膜６０４で構成される複数の上記電界発光素子と、当該電界発光素子と外部の回路や電源をつなぐ為の外部接続部６０７が設けられた基板６０１と、封止部材６０２を有している。なお、基板には上記したものの他に何らかの機能を有する回路などを設けていても良い（図１１）。
【００６０】
電界発光素子は水などにより劣化が促進されてしまう為、基板上に形成された電界発光素子を促進する物質から保護することを目的として、封止が行われる。封止は基板と同様の対向基板や、封止缶、封止膜等により行われるが、対向基板を封止に用いる場合は、絶縁性のシール材６０８により、外部接続部が露出するように貼り合わせる。
【００６１】
対向基板と素子基板との間の空間には乾燥した窒素などの不活性気体を充填しても良いし、シール材を画素部全面に塗布しそれにより対向基板を形成しても良い。シール材には紫外線硬化樹脂などを用いると好適である。シール材には乾燥剤やギャップを一定に保つための粒子を混入しておいても良い。続いて外部接続部にフレキシブル配線基板を貼り付けることによって、発光装置が完成する。
【００６２】
なお、図１１は電界発光素子を直列に接続する方法の一例を示した。電界発光素子の第２の電極６０５は隔壁６０９に開けられたコンタクトホール６０６を介して隣接する電界発光素子の第１の電極６０３と接続されている。図１１ではストライプ状に配置する例を示したが、マトリクス状でももちろんかまわず、それらの選択は使用者が設計事項として適宜定めることができる。なお、簡単の為に基板に対して一つ一つの電界発光素子が非常に大きくなっているが、基板に対する一つの電界発光素子の面積率を小さくしてゆけば、ショートにより一つの電界発光素子が点灯しなくなっても大きな影響はない。もちろん素子同士の接続の仕方はこれに限らず、適宜使用者が設定しうるものである。また、図１１では電界発光素子の接続単位が１単位であるが、２単位以上の複数単位でもかまわない。
【００６３】
本発明の発光装置は、搭載された電界発光素子の一部にショートが発生しても他の電界発光素子の発光が維持されるため、多大な影響を被ることが無く、発光装置としての機能を維持することができる。また、これにより当該発光装置の使用可能期間を長くすることが可能となり、その寿命を延ばすことが可能となる。
【００６４】
（実施の形態４）
本実施の形態では、本発明の発光装置を用いた機器の一例を図７〜図８を用いて説明する。
【００６５】
図７は、本発明の液晶表示装置の一例である。図７に示した液晶表示装置は、筐体９０１、液晶層９０２、バックライト９０３、筐体９０４を有し、液晶層９０２は、ドライバＩＣ９０５と接続されている。また、バックライト９０３は、実施の形態１に示した構成を有する発光装置が用いられおり、端子９０６により、電流が供給されている。
【００６６】
本発明の液晶表示装置はバックライトとして実施の形態１に記載した構成を有する発光装置を用いているため、薄型軽量な液晶表示装置とすることができる。また、薄型軽量な液晶表示装置であったとしても、信頼性の高い表示装置とすることができる。すなわち、バックライト９０３に用いた照明装置においてたとえ素子の極微小領域のショートが起こっても、それ以外の領域での発光を維持することができる。
【００６７】
また、バックライトの大面積化が可能となるため、液晶表示装置の大面積化も可能になる。さらに、電界発光素子は薄型で低消費電力であるため、表示装置の薄型化、低消費電力化も可能となる。
【００６８】
図８（Ａ）は、本発明の照明装置を室内の照明として用いたものである。本発明の照明装置は、素子の極微小領域のショートが起こっても、それ以外の領域での発光を維持することができ、使用可能期間の長い照明装置とすることができる。面発光の照明装置であり、大面積化した場合でも輝度のばらつきが少ないため、例えば、天井全面に本発明の照明装置を用いることもできる。また、天井に限らず、壁、床や柱等にも本発明の照明装置を用いることができる。さらに、可撓性を有する基板を用いて本発明の発光装置を作製することにより、薄型で可撓性を有する照明装置を得ることができる。そのため、曲面に設置することも可能である。また、室内に限らず、室外で使用することも可能であり、外灯として、建物の壁等に設置することもできる。
【００６９】
図８（Ｂ）は、本発明の照明装置を、トンネル内の照明として用いたものである。本発明の照明装置は、素子の極微小領域のショートが起こっても、それ以外の領域での発光を維持することができ、使用可能期間の長い照明装置とすることができる。また、可撓性を有する基板を用いて本発明の発光装置を作製することにより、薄型で可撓性を有する照明装置を得ることもできる。そのため、トンネル内の壁の曲面に沿って設置することが可能である。
【００７０】
図８（Ｃ）は、本発明の照明装置をインテリア用の照明として用いた一例である。本発明の照明装置は、素子の極微小領域のショートが起こっても、それ以外の領域での発光を維持することができき、使用可能期間の長い照明装置とすることができる。また、可撓性を有する基板を用いて本発明の発光装置を作製することにより、薄型で可撓性を有する照明装置を得ることもできる。また、本発明の発光装置は、面発光であるため、図８（Ｂ）のように、自由な形状に加工することが可能である。
【００７１】
また、本発明の照明装置は、写真を撮影する際の照明として用いることもできる。写真を撮影する場合は、大面積の均一化された輝度の光で被写体を照らすことにより、自然光で被写体を照らした場合と同様な写真を撮ることができる。
【００７２】
（実施の形態５）
電界発光素子の温度特性と輝度の経時変化特性を考慮して、その変動要因によらず一定輝度で照明するようにできる発光装置について図９、図１０を参照して説明する。
【００７３】
図９、図１０で示す発光装置は、電界発光素子４０４が実施の形態１と同様な構成を備えている。この電界発光素子４０４の他にモニタ素子４０３が配置されている。モニタ素子４０３は一つ又は複数設けることができる。モニタ素子４０３は電界発光素子４０４に隣接して設けても良いし、電界発光素子４０４が形成される基板の他の部分に設けても良い。
【００７４】
モニタ素子４０３と電界発光素子４０４は、同じ製造工程で作製されたものであることが望ましい。すなわち、素子の構造と構成する材料を同じものとする。電界発光素子４０４とモニタ素子４０３を同じにすることにより、温度特性や劣化の特性を類似なものとすることができる。その結果、電界発光素子４０４の輝度変動に対する補正の精度を高めることができる。電界発光素子４０４とモニタ素子４０３の構造は実施の形態１と同様であり、同一平面上に形成された複数の電界発光素子同士が、近傍のもしくは隣接する電界発光素子と直列に２個以上接続している構造である。ただし、モニタ素子４０３は電極構造を複雑化せず、一対の電極間に有機薄膜を挟んだだけの典型的な積層構造としても良い。
【００７５】
モニタ素子４０３は、電流源４０１と接続している。電流源４０１に接続するモニタ素子４０３の一方の端子は、電圧発生回路４０２の入力側とも接続している。電圧発生回路４０２の出力側は電界発光素子４０４と接続している。
【００７６】
電流源４０１は、モニタ素子４０３に一定の電流を供給する。モニタ素子４０３が定電流駆動した状態で環境温度が変化すると、その抵抗値が変化する。モニタ素子４０３の抵抗値が変化すると、当該モニタ素子４０３に流れる電流値は一定であるから、モニタ素子４０３の両電極間における電位差が変化する。この時のモニタ素子４０３の電位差を検出することで、環境温度の変化を検出することができる。モニタ素子４０３において、電流源４０１に接続しない他方の電極電位は一定である。従って、モニタ素子４０３の電流源４０１に接続されている側の電極電位の変化を検出することができる。
【００７７】
また、定電流駆動されるモニタ素子４０３の発光特性が経時変化により変化する場合にも、モニタ素子４０３の抵抗値が変化する。この場合にも同様に、モニタ素子４０３の電位差を検出することで発光特性の変化を知ることができる。すなわち、発光輝度の劣化の度合いを検出することができる。
【００７８】
電圧発生回路４０２はモニタ素子４０３の一方の電極電位を入力電位としている。電圧発生回路４０２から出力される電位は、モニタ素子４０３で検出した電位と同電位である。この電圧発生回路４０２により、モニタ素子４０３の一方の電極電位を、電界発光素子４０４の駆動電圧に反映させることができる。
【００７９】
電圧発生回路４０２は、図９の挿入図で示すように、オペアンプを用いたボルテージフォロワ回路で構成することができる。ボルテージフォロワ回路の非反転入力端子は高入力インピーダンスであり出力端子は低出力インピーダンスであるため、入力側と出力側を同電位として出力し、電流源４０１の電流がボルテージフォロワ回路に流れ込むことなく出力端子からは電流を流すことができる。なお、ここで例示したボルテージフォロワ回路のように、電位の変動を防止することが可能な回路であれば、他の回路構成を適用することもできる。
【００８０】
この発光装置は、電流源４０１、モニタ素子４０３、電圧発生回路４０２によって、温度及び劣化補償回路（以下補償回路という）を構成している。すなわち、発光部に設けた電界発光素子と、該電界発光素子と同等のモニタ素子の両者を、異なる駆動条件で動作させ、発光部に設けた電界発光素子とモニタ素子に流れる総電荷量の比が、輝度の劣化を考慮した一定の関係を満たすように制御する。
【００８１】
本実施の形態の発光装置は、電界発光素子に生ずる本質的な劣化を考慮することにより、電界発光素子４０４の電荷量と、モニタ素子４０３に流れる電荷量を対比して、電界発光素子４０４の輝度が一定となるように補正をする。それにより、電界発光素子４０４の輝度を一定に保つコンスタントルミネセント駆動をすることができる。例えば、モニタ素子４０３の駆動条件を、電界発光素子４０４の駆動条件よりも過負荷となるように設定し、その輝度を一定に保つように制御することでコンスタントルミネセント駆動を実現する。
【００８２】
電界発光素子の温度特性と輝度の経時変化特性を考慮して、その変動要因によらず一定輝度で照明するようにできる発光装置の一例を、図１０を参照して説明する。
【００８３】
図１０で示す発光装置は、モニタ素子４０３と電界発光素子４０４を備えている。モニタ素子４０３は電流源４０１によって定電流駆動される。定電圧源４０５は一定の電圧を発生させる機能を有し、公知のバンドギャップレギュレータ等の温度係数の小な定電圧源が用いられる。定電圧源４０５から発生した電圧は、オペアンプ４０６、トランジスタ４０７及び抵抗４０８により、温度係数が小さな定電流に変換される。そして変換された電流は、トランジスタ４０９、４１０及び抵抗４１１、４１２により構成されるカレントミラー回路で反転され、電界発光素子４０４に供給される。定電圧源４０５の電圧は、モニタ素子４０３の電位差を検知する電圧発生回路４０２の出力に応じて制御される。この場合、電圧発生回路４０２の出力電圧が高くなれば、定電圧源４０５の出力電圧も上昇し、電界発光素子４０４に流れる電流量が増加するように動作する。
【００８４】
図１０の発光装置は、モニタ素子４０３を用いて、定電圧源４０５から発生される電圧を、温度変化及び経時変化に応じて補正することで、温度変化及び経時変化の両者に起因する影響を防止することができる。
【００８５】
このように、実施の形態１及び実施の形態２に記載の発光装置、表示装置及び照明に、温度変化及び経時変化に応じて電界発光素子の輝度を補正する手段を組み合わせれば、照度の低下による目への負担を防止することができ、常に最適な明るさの照明とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の発光装置の構造を示す図、ならびに回路図
【図２】一般的な発光装置の構造を示す図
【図３】一般的な発光装置の構造を示す図
【図４】大きな画素面積を有する電界発光素子の構造と、ショートが生じたときの模式図
【図５】本発明の発光装置の構造を示す図、ならびにショートが生じたときの模式図
【図６】本発明の発光装置であり、かつ、中間導電層が設置された素子の構造を示す図。
【図７】本発明の照明装置の一使用形態を表す図。
【図８】本発明の照明装置の使用形態を例示する図。
【図９】輝度の温度変化及び経時変化を補償を行うことができる回路の図。
【図１０】輝度の温度変化及び経時変化を補償を行うことができる回路の図。
【図１１】本発明の発光装置の上面図。
【図１２】本発明の発光装置の作成プロセスを表す図。
【図１３】本発明の発光装置の作成プロセスを表す図。
【符号の説明】
【００８７】
１０１    陰極
１０２    陽極
１０３    有機薄膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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