(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドと基板とを相対的に移動させながら、基板上の所定の位置にインクを吐出、着弾させることにより、基板上の所定の位置にパターンを形成する工程を有するインクジェット法による薄膜形成方法において、インクジェット方式による膜厚制御、膜厚均一性制御、パターン平坦化制御に優れたインクジェット法による薄膜形成方法及びインクジェット装置を提供するものである。【解決手段】インクジェットヘッドのインク供給口の近傍に、保湿材を備え、保湿材への溶媒を供給する溶媒供給機構と、保湿材の加熱機構を具備し、保湿材へ加熱することによりインク吐出口周辺に溶媒蒸気を発生させるインクジェット装置を用いて、インク吐出口周辺に保湿材から溶媒蒸気を蒸発させながら、インクの吐出し、インクの薄膜を形成するインクジェット法による薄膜形成方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッドと基板とを相対的に移動させながら、基板上の所定の位置にインクを吐出、着弾させることにより、基板上の所定の位置にパターンを形成する工程を有するインクジェット法による薄膜形成方法において、インクジェットヘッドのインク吐出口周辺に設置された保湿材から溶媒蒸気を蒸発させながら、インクの吐出を行うことを特徴とするインクジェット法による薄膜形成方法。
【請求項２】
前記溶媒蒸気がインクを構成する溶媒からなることを特徴とする請求項１記載のインクジェット法による薄膜形成方法。
【請求項３】
インクジェットヘッドと基板とを相対的に移動させながら、前記基板上の所定の位置にインクを吐出、着弾させることにより、前記基板上の所定の位置にインクよりなるパターンを形成するインクジェット装置において、ステージ駆動機構上面と接する位置に可動ステージが付設され、該可動ステージの直上の対向する位置にインクジェットヘッドが近接し、配設され、インクジェットヘッドには、インク供給口を備え、インク供給口の近傍に保湿材を具備し、インク供給口へのインクの流動等を制御するヘッド制御機構と、保湿材への溶媒を供給する溶媒供給機構とをインクジェットヘッドへ連結された構造であり、前記ステージ駆動機構と、前記ヘッド制御機構とを装置制御管理機構により制御するインクジェット装置であって、前記可動ステージに被印刷の基板を載置し、インク供給口と可動ステージとを相対的に移動させ、インクジェットヘッドのインク吐出口周辺に保湿材より溶媒蒸気を発生させ、該溶媒蒸気の雰囲気で、前記基板上にインク吐出することを特徴とするインクジェット装置。
【請求項４】
前記の保湿材及び／又は溶媒供給機構を加熱する加熱機構を備えたことを特徴とする請求項３記載のインクジェット装置。
【請求項５】
インクジェットヘッドと透明基板とを相対的に移動させながら、透明基板上の所定の位置にインクを吐出、着弾させることにより、透明基板上の所定の位置にカラーフィルタ用パターンを形成する工程を有するインクジェット法によるカラーフィルタの製造方法において、請求項１、若しくは２記載の薄膜形成方法を用いて、又は請求項３、若しくは４記載のインクジェット装置を用いて、カラーフィルタ用パターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
透明基板上にカラーフィルタ用パターンを形成したカラーフィルタにおいて、請求項５記載のカラーフィルタの製造方法を用いたことを特徴とするカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット法による薄膜形成方法及びそのインクジェット装置、それを用いたカラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラー液晶ディスプレイ等のカラー表示装置に使用されるカラーフィルタの作製方法として、インクジェット方式が提案されている。
【０００３】
インクジェット方式を用いたカラーフィルタの製造方法としては、例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３等に記載されている方法が挙げられる。
【０００４】
特許文献１には、カラーフィルタの製造方法では、透明基板上にブラックマトリックス領域、着色領域の順番に形成され、着色領域の形成時、着色領域外へのインクの広がりを防止するため、ブラックマトリックスのインクにフッ酸系撥水・撥油剤を含有させてブラックマトリックスのパターン形成することによって、着色領域内のみに着色インクを定着させることが記載されている。また、特許文献２、特許文献３には、含フッ素化合物及び／または含ケイ素化合物を含有する黒色樹脂層を、着色工程における着色インクにじみ、混色を防止するための仕切り壁とすることが記載されている。
【０００５】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】特開平６−３４７６３７号公報
【特許文献２】特開平７−３５９１５号公報
【特許文献３】特開平７−３５９１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、これらの技術では、透明基板の表面と、仕切り壁となるブラックマトリックス面と、着色インク面との表面エネルギー違いによって、パターン断面形状が凸形状、あるいは凹形状になり易く、又は平坦化する前に被弾するインク粒子が溶媒蒸発による皮膜を形成するため、膜厚を平坦にする事は非常に困難となる。特に、カラーフィルタの場合、膜厚により分光特性が変化し、膜厚が不均一になると、色ムラが発生し、表示品質が劣化するという問題があった。
【０００７】
本発明の課題は、これらの問題点を解決するためになされたものであり、インクジェット方式による膜厚制御、膜厚均一性制御、パターン平坦化制御に優れたインクジェット法による薄膜形成方法及びインクジェット装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明において上記目的を達成するために、まず、本発明の請求項１に係る発明は、インクジェットヘッドと基板とを相対的に移動させながら、基板上の所定の位置にインクを吐出、着弾させることにより、基板上の所定の位置にパターンを形成する工程を有するインクジェット法による薄膜形成方法において、インクジェットヘッドのインク吐出口周辺に設置された保湿材から溶媒蒸気を蒸発させながら、インクの吐出を行うことを特徴とす
るインクジェット法による薄膜形成方法である。
【０００９】
本発明の請求項２に係る発明は、前記溶媒蒸気がインクを構成する溶媒からなることを特徴とする請求項１記載のインクジェット法による薄膜形成方法である。
【００１０】
本発明の請求項３に係る発明は、インクジェットヘッドと基板とを相対的に移動させながら、前記基板上の所定の位置にインクを吐出、着弾させることにより、前記基板上の所定の位置にインクよりなるパターンを形成するインクジェット装置において、ステージ駆動機構上面と接する位置に可動ステージが付設され、該可動ステージの直上の対向する位置にインクジェットヘッドが近接し、配設され、インクジェットヘッドには、インク供給口を備え、インク供給口の近傍に保湿材を具備し、インク供給口へのインクの流動等を制御するヘッド制御機構と、保湿材への溶媒を供給する溶媒供給機構とをインクジェットヘッドへ連結された構造であり、前記ステージ駆動機構と、前記ヘッド制御機構とを装置制御管理機構により制御するインクジェット装置であって、前記可動ステージに被印刷の基板を載置し、インク供給口と可動ステージとを相対的に移動させ、インクジェットヘッドのインク吐出口周辺に保湿材より溶媒蒸気を発生させ、該溶媒蒸気の雰囲気で、前記基板上にインク吐出することを特徴とするインクジェット装置である。
【００１１】
本発明の請求項４に係る発明は、前記の保湿材及び／又は溶媒供給機構を加熱する加熱機構を備えたことを特徴とする請求項３記載のインクジェット装置である。
【００１２】
本発明の請求項５に係る発明は、インクジェットヘッドと透明基板とを相対的に移動させながら、透明基板上の所定の位置にインクを吐出、着弾させることにより、透明基板上の所定の位置にカラーフィルタ用パターンを形成する工程を有するインクジェット法によるカラーフィルタの製造方法において、請求項１、若しくは２記載の薄膜形成方法を用いて、又は請求項３、若しくは４記載のインクジェット装置を用いて、カラーフィルタ用パターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【００１３】
本発明の請求項６に係る発明は、透明基板上にカラーフィルタ用パターンを形成したカラーフィルタにおいて、請求項５記載のカラーフィルタの製造方法を用いたことを特徴とするカラーフィルタである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、インクジェットヘッドのインク吐出口周辺に設置された保湿材から溶媒蒸気を蒸発させながら、インクの吐出を行うことを特徴とするインクジェット法により、画素の断面形状が平坦で、色ムラ等の不具合がなく、カラーフィルタとしての要求特性に優れ、特に混色の無い色特性に優れたカラーフィルタを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明のインクジェット法による薄膜形成方法について説明する。
【００１６】
図１は、本発明のインクジェット法による薄膜形成方法を説明する概念図で、部分拡大した側断面図である。
【００１７】
図１は、被印刷の基板６の表面にインクジェットヘッドのインキ供給口２から薄膜形成用のインク粒子２１が吐出中であり、インキ供給口２の近傍に加熱機構４を具備する保湿材３を備え、保湿材３の表面から溶媒蒸気３１が発生させながら、基板６の表面では薄膜４０の層形成が進行中である。なお、図中の破線は、加熱機構４及び保湿材３と溶媒供給機構との連結管である。
【００１８】
本発明のインクジェット法による薄膜形成では、保湿材３の表面から溶媒蒸気３１を蒸発させながら、インク２０の吐出を行うことで、まず、インク粒子２２が着弾する基板露出面は、溶媒蒸気３１により濡れ、該溶媒の表面エネルギーに平均化され、断面形状も平坦化となり、他方では、基板表面６に着弾したインク表面２２を溶媒で濡らすため、溶媒蒸気３１は着弾したインク２２がレベリングする前に、該インク表面に乾燥被膜が形成される事を防ぐ効果があり、その為、充分なレベリングが行われ、薄膜４０の断面形状が平坦になる。溶媒蒸気３１を継続的に、且つ安定に蒸発させる為に、保湿材３を加熱しても良く、あるいは、溶媒を加熱しても良い。
【００１９】
以下に、本発明の実施の形態をカラーフィルタの製造方法を例に図面を用いて説明するが、本発明の薄膜形成方法はこれにより限定されるものではなく、その他のインクジェット法を用いた薄膜形成に利用することができる。
【００２０】
図２は、本発明によるインクジェット装置の一実施例を図示した。
【００２１】
本発明の薄膜形成には、インクジェット法を用いる。本発明のインクジェット装置は、ステージ駆動機構９上面と接する位置に可動ステージ８が付設され、該可動ステージ８上には、被印刷の基板６が載置されている。該基板６は相対的に可動する。前記基板面の直上の対向する位置にインクジェットヘッド１が近接し、配設されている。インクジェットヘッド１には、インク供給口２を備え、インク供給口２の近傍に保湿材３と、その加熱機構４を具備した構造である。前記インク供給口２と可動ステージ８上の基板６面とは、相対的に可動し、可動範囲は基板上の全面をカバーすることができる。インクジェットヘッド１には、インク供給口２へのインクの流動等を制御するヘッド制御機構１０と、保湿材３への溶媒を供給する溶媒供給機構４とに連結されている。前記のステージ駆動機構９とヘッド制御機構１０とを装置制御管理機構１１により管理するインクジェット装置である。なお、１点破線は、インク供給口２へのインク供給する連結管である。
【００２２】
インクジェットヘッド１には、インク吐出方法の相違によりピエゾ変換方式と熱変換方式があり、特にピエゾ変換方式が好適である。インクの粒子化周波数は５〜１００ＫＨｚ程度、インク供給口２の口径としては５〜８０μｍ程度，ヘッドを３個配置し、ヘッド１個にインク供給口２を６０〜５００個組み込んだ装置が好適である。
【００２３】
インクジェットヘッド１周辺には、保湿材３が設置されている。図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、保湿材３は、インクジェットヘッド１の周辺の好適な箇所に設置することができる。図３ａは、インク供給口径２の配置エリアの四方を囲む位置に保湿材３が形成され、図３ｂは、二方の位置に、また、図３ｃは、一方の位置に形成されている。
【００２４】
本発明の保湿材３の材料には、インキの溶媒に耐性のあるもので、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリエステル、セルロース、アクリル樹脂、ナイロン、ポリビニルアルコールを使用することができる。
【００２５】
本発明の保湿材３の形態は、布、不織布、スポンジである。保湿材からの発塵を防ぐ形態が好ましい。
【００２６】
本発明の保湿材３はインクジェットヘッド１周辺に設置され、溶媒供給機構５と接続されている。
【００２７】
溶媒蒸気は、着色インクと同じ組成の溶媒にすることが、望ましい。溶媒蒸気を適切な圧力で吹き付けても良い。
【００２８】
また、保湿材３をインク供給口径２の周辺に設置したことにより、インク供給口の乾燥を防ぐことができ、吐出不良の低減効果がある。
【００２９】
また、保湿材３は、何れのインクジェットヘッドにも簡単に取り付けることができ、装置構成も簡便である。
【００３０】
本発明のインクジェット装置には、少なくとも、保湿材の加熱機構４、又は溶媒の加熱機構の何れか一つが設置される。保湿材への加熱機構４と溶媒への加熱機構４とは両方とも設置しても、何ら問題はない。
【００３１】
本発明の薄膜形成方法を用いたカラーフィルタの製造について説明する。
【００３２】
図４は、本発明の薄膜形成方法を用いたカラーフィルタの製造方法を説明する側断面図である。
【００３３】
図４ａは、本発明の薄膜形成方法を用いたカラーフィルタの製造では、透明基板６上にフォトリソグラフィー法により、ブラックマトリックス７を形成する。
【００３４】
本発明の透明基板６には、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板等が使用できる。
【００３５】
本発明におけるブラックマトリックス７の材料に用いる黒色樹脂組成物は、黒色遮光材、光開始剤、分散剤、樹脂、溶媒を主成分とする黒色樹脂組成物が用いられる。
【００３６】
本発明におけるブラックマトリックス７の材料に用いる黒色遮光材は、黒色顔料、黒色染料、無機材料などであり、有機顔料、カーボンブラック、アニリンブラック、黒鉛、酸化チタン、鉄黒などを混合して用いられるものである。
【００３７】
本発明におけるブラックマトリックス７の材料に用いる光開始剤は、光重合性モノマー、光重合光開始剤が用いられる。
【００３８】
本発明におけるブラックマトリックス７の材料に用いる分散剤は、非イオン性界面活性剤では、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテルなど、また、イオン性界面活性剤では、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリ脂肪酸塩、脂肪酸塩アルキルリン酸塩、テトラアルキルアンモニウム塩など、その他に、有機顔料誘導体、ポリエステルなどがあげられる。分散剤は一種類を単独で使用してもよく、また、二種類以上を混合して使用してもよい。
【００３９】
本発明におけるブラックマトリックス７の材料に用いる溶媒は、黒色樹脂組成物の塗布性、分散安定性などの点から、適宜選択して使用されるものであり、トルエン、キシレン、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ジクライム、シクロヘキサノンなどがあげられる。なお、前記溶媒は、溶剤の単体、又はその２種類以上を混合したものを含むものである。
【００４０】
また、本発明におけるブラックマトリックス７の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔａなどの金属を用いることもできる。
【００４１】
図４ｂでは、インクの混色を防止する為に、ブラックマトリックス７上面に、インクジェット法により撥インク性隔壁１７を形成する。
【００４２】
本発明の撥インク性隔壁の材料は、光開始剤、分散剤、樹脂、溶媒を主成分とする感光
性樹脂組成物が用いられる。
【００４３】
本発明における撥インク性隔壁の材料に用いる光開始剤は、光重合性モノマー、光重合光開始剤が用いられる。
【００４４】
本発明における撥インク性隔壁の材料に用いる分散剤は、非イオン性界面活性剤では、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテルなど、また、イオン性界面活性剤では、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリ脂肪酸塩、脂肪酸塩アルキルリン酸塩、テトラアルキルアンモニウム塩など、その他に、有機顔料誘導体、ポリエステルなどがあげられる。分散剤は一種類を単独で使用してもよく、また、二種類以上を混合して使用してもよい。
【００４５】
本発明における撥インク性隔壁の材料に用いる溶媒は、黒色樹脂組成物の塗布性、分散安定性などの点から、適宜選択して使用されるものであり、トルエン、キシレン、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ジクライム、シクロヘキサノンなどがあげられる。
【００４６】
本発明における撥インク性隔壁の撥インク剤には、ケイ素または／およびフッ素の原子を含む材料が好ましい。撥インキ剤の具体的な例としては、主鎖または側鎖に有機シリコーンを有するもので、シロキサン成分を含むシリコーン樹脂やシリコーンゴム、この他にはフッ化ビニリデン、フッ化ビニル、三フッ化エチレン等や、これらの共重合体等のフッ素樹脂などを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
【００４７】
図４ｃでは、着色インクをインクジェット法で吐出し、所定の着色パターン２３ａ、２３ｂ、２３ｃを形成した後に、インクを硬化させ、カラーフィルタとする。
【００４８】
本発明の着色インクの材料は、着色顔料、樹脂、分散剤、溶媒などで構成される。着色剤として使用する顔料の具体例としては、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ９、１９、３８、４３、９７、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７７、１７９、１８０、１９２、２１５、２１６、２０８、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５、１５：６、１６、２２、２９、６０、６４、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ７、３６、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２０、２４、８６、８１、８３、９３、１０８、１０９、１１０、１１７、１２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５３、１５４、１６６、１６８、１８５、  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ３６、  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ２３などを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。さらに、これらは要望の色相を得るために２種類以上を混合して用いても構わない。
【００４９】
着色インクに使用する溶媒種は、インクジェット方式における適性の表面張力範囲３５ｍＮ／ｍ以下で、且つ、沸点が１３０℃以上のものが好ましい。表面張力が３５ｍＮ／ｍ以上であるとインクジェット吐出時のドット形状の安定性に著しい悪影響を及ぼし、また、沸点が１３０℃以下であるとインク供給口近傍での乾燥性が著しく高くなり、その結果、ノズル詰まり等の不良発生を招くので好ましくない。具体的には、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール、２−エトキシエチルアセテート、２−ブトキシエチルアセテート、２−メトキシエチルアセテート、２−エトキシエチルエーテル、２−（２−エトキシエトキシ）エタノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール、２−（２−エトキシエトキシ）エチルアセテート、２−（２−ブトキシエトキシ）エチルアセテート、２−フェノキシエタノール、ジエチレングリコールジメチルエーテルなどを挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、上記要件を満たす溶媒等は用いることができる。また、必要に応じて２種類以上の溶媒を混合して用いて
も構わない。
【００５０】
本発明の着色インクの樹脂には、カゼイン、ゼラチン、ポリビニールアルコール、カルボキシメチルアセタール、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、メラニン樹脂などが用いられ、色素との関係にて適宜選択される。耐熱性や耐光性が要求される際にはアクリル樹脂が好ましい。
【００５１】
樹脂への色素の分散を向上させるために、分散剤を用いてもよく、分散剤として、非イオン性界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテルなど、また、イオン性界面活性剤としては、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリ脂肪酸塩、脂肪酸塩アルキルリン酸塩、テトラアルキルアンモニウム塩など、その他に、有機顔料誘導体、ポリエステルなどがあげられる。分散剤は一種類を単独で使用してもよく、また、二種類以上を混合して使用してもよい。溶媒としては溶解性の他に経時安定性、乾燥性などが要求され、色素、樹脂との関係にて適宜選択される。
【００５２】
以下に本発明の実施例を具体的に説明する。
【実施例１】
【００５３】
まず、ブラックマトリックスの作製を説明する。
【００５４】
ポリイミド前駆体（東レ（株）製：セミコファインＳＰ−５１０）１０重量部、カーボンブラック７．５重量部、ＮＭＰ１３０重量部、分散剤（銅フタロシアニン誘導体）５重量部、光開始剤５重量部及び撥インキ剤（ポリアルキルシロキサン）０．５重量部をビーズミル分散機で冷却しながら３時間分散しブラックマトリックス組成物を調製した。このブラックマトリックス組成物をスピンコータによって、ガラス基板上に約１．０μｍの塗膜に形成した。その後、フォトリソグラフィ法により、ブラックマトリックスパターンを形成した。該パターンを２３０℃で２０分間の加熱硬化によりブラックマトリックスを形成した。
【００５５】
次に、撥インク性隔壁の作製を説明する。
【００５６】
ポリイミド前駆体（東レ（株）製：セミコファインＳＰ−５１０）１０重量部、ＮＭＰ１３０重量部、分散剤（銅フタロシアニン誘導体）５重量部、光開始剤５重量部及び撥インキ剤（ポリアルキルシロキサン）０．５重量部をビーズミル分散機で冷却しながら３時間分散し撥インク性隔壁組成物を調製した。  この撥インク性隔壁組成物をスピンコータによって、前記ブラックマトリックス上に約１．０μｍの塗膜に形成した。その後、フォトリソグラフィ法により、撥インク性隔壁を形成した。該隔壁を２３０℃で２０分間の加熱硬化により撥インク性隔壁を形成した。
【００５７】
着色インクの調製を説明する。
【００５８】
メタクリル酸２０部、メチルメタクリレート１０部、ブチルメタクリレート５５部、ヒドロキシエチルメタクリレート１５部を乳酸ブチル３００ｇに溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５部を加え７０℃にて５時間の反応によりアクリル共重合樹脂を得た。得られたアクリル共重合樹脂を樹脂濃度が１０％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈しアクリル共重合樹脂の希釈液とした。
【００５９】
この希釈液８０．１ｇに対し顔料１９．０ｇ、分散剤０．９ｇを添加して、３本ロールにて混練し、赤色、緑色、青色の各着色ワニスを得た。この各着色ワニスをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで顔料濃度が１２〜１５％、粘度が１５ｃｐｓに
なるように調整しＲ，Ｇ，Ｂ着色インクを得た。
【００６０】
インクジェット装置について説明する。
【００６１】
インクジェット装置には、吐出量１２ｐｌ，１８０ｄｐｉインクジェットヘッドを搭載した装置を使用した。インクジェットヘッド周辺にポリプロピレン製の不織布からなる保湿材を設置し、溶媒供給機構と接続した。保湿材は加熱機構と接しており、４０℃で加熱している。溶媒供給機構には着色インク溶媒であるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが充填されている。
【００６２】
カラーフィルタの着色層の作製を説明する。
【００６３】
前記ブラックマトリックスの開口部に、インクジェット装置により、溶媒を蒸発させながら、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）各々の着色パターン状を形成した。その後、インクを熱硬化させ、カラーフィルタを形成した。
【００６４】
このようにして得られたカラーフィルタは、画素の断面形状が平坦で、色ムラも無く、濃度バランスに優れたカラーフィルタであった。
【００６５】
次に、以下に本発明の比較例としての実施例を具体的に説明する。
【実施例２】
【００６６】
溶媒を蒸発させないこと以外は、実施例１と同様の方法で、ブラックマトリックスの開口部に、インクジェット装置により、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）各々の着色パターンを形成した。その後、インクを熱硬化させ、カラーフィルタを形成した。
【００６７】
このようにして得られたカラーフィルタは、画素の断面形状が実施例１で作製されたＣＦに比べ平坦が劣っており、色ムラ等による表示品質が劣っていた。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明のインクジェット法による薄膜形成方法を説明する概念図で、部分拡大した側断面図である。
【図２】本発明のインクジェット装置の一例を示す説明図である。
【図３】本発明のインクジェット装置の一例を示す説明図である。
【図４】本発明の薄膜形成方法を用いたカラーフィルタの製造方法を説明する側断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１…インクジェットヘッド
２…インク供給口
３…保湿材
４…加熱機構
５…溶媒供給機構
６…基板
７…ブラックマトリックス
８…可動ステージ
９…ステージ駆動機構
１０…ヘッド制御機構
１１…コンピュータ
１２…カラーフィルタ
１７…撥インク性隔壁
２０…インク
２１…インク粒子
２２…着弾したインク粒子
２３ａ…Ｒ着色パターン
２３ｂ…Ｇ着色パターン
２３ｃ…Ｂ着色パターン
３０…溶媒
３１…溶媒蒸気
４０…薄膜
【図１】
2006061871.tif 000003
【図２】
2006061871.tif 000004
【図３】
2006061871.tif 000005
【図４】
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