(57)【要約】【課題】  小型の光学部品の超音波洗浄とスピン乾燥を、３点支持や中央部に貫通孔を有する光学部品保持具で行っていたが、スピン乾燥だけではシミや汚れができてしまい、高度の熟練を要する手拭き作業に頼らざるを得なかった。また、複数種類の形状寸法の異なる光学部品を１つの光学部品保持具で保持して超音波洗浄・スピン乾燥をすることができず、多数の光学部品保持具を必要としていた。【解決手段】  複数の光学部品保持部を、その一方の寸法を可変にした可変光学部品保持部にするとともに、周縁部が２段構造の光学部品保持具の外側の周縁部に、内側から外側に通じる溝を設け、光学部品載置部は光学部品を固定しないで自由に動けるように保持して洗浄・乾燥を行うようにして課題を解決した。【選択図】  図３
2006061771.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持具において、前記光学部品保持具は、前記光学部品保持具の表側に表側周縁部とその内側にある光学部品保持部形成部を有しており、前記表側周縁部には、表側外側周縁部とその内側に隣接して形成されている表側内側周縁部の２種類の周縁部が形成されているとともに、前記表側外側周縁部と前記表側内側周縁部が前記光学部品保持具の表側表面に垂直な方向における高さの異なる２段形状（以下、表側２段形状ともいう）になっており、前記表側２段形状は、当該光学部品保持具の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、前記表側外側周縁部が前記表側内側周縁部よりも高さが低く形成されており、前記光学部品保持部形成部には、被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数個有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品を載置する側とは反対側（以下、光学部品保持具の裏側ともいう）まで貫通して形成されているとともにその開口部が前記光学部品載置部の一方の端部から他方の端部まで形成されている貫通孔が少なくとも３つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも３つの貫通孔のうちの２つは、前記光学部品載置部において、各貫通孔の開口部が細長い形状をしているとともに、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部にそれぞれ接して形成されており、少なくとも１つの前記光学部品保持部が、光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変えることができる光学部品保持部（以下、可変光学部品保持部ともいう）として形成されており、前記可変光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変える手段が着脱可能な仕切部（以下、可変仕切部ともいう）による手段であり、前記光学部品保持具の裏側の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部とその内側に隣接して形成されている裏側内側周縁部の２段形状（以下、裏側２段形状ともいう）になっており、前記裏側２段形状は、高さの定義を前記表側２段形状の場合と同じとして、前記裏側外側周縁部が前記裏側内側周縁部よりも高さが低く、すなわち、前記光学部品保持具の裏面において前記裏側外側周縁部から前記裏側内側周縁部が窪んでいるように形成されており、前記裏側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部の貫通孔が形成されており、前記表側内側周縁部は前記裏側内側周縁部の内側に挿入することが出来る形状と寸法に形成されており、異なる２つの前記光学部品保持具を、一方の前記光学部品保持具の前記表側内側周縁部を他方の前記光学部品保持具の前記裏側内側周縁部に対向させて、前記一方の光学部品保持具の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持具の前記裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部にはめ込んで接続することができる構造になっており、前記光学部品保持部が形成されている位置よりも外側にある前記表側内側周縁部には、細長い開口部を有し、前記表側内側周縁部から前記裏側内側周縁部に貫通している貫通孔（以下、内側周縁部貫通孔ともいう）が複数個形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部品保持具において、前記表側内側周縁部に複数のピン状の凸部と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の穴などの凹部（以下、表面凹部ともいう）が形成されており、前記光学部品保持具の表面の前記凸部が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる穴などの凹部（以下、裏面凹部ともいう）が形成されており、前記表面の凸部をその裏側に形成されている前記裏面凹部にはめ込んで、２枚の前記光学部品保持具を重ねて結合させることができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項３】
請求項２に記載の光学部品保持具において、異なる２つの前記光学部品保持具を、一方の前記光学部品保持具の光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持具は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、２つの前記光学部品保持具を重ね合わせたときに、前記一方の光学部品保持具の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持具の前記表側内側周縁部に形成されている表面凹部にはめ込んで、接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の光学部品保持具において、２つの前記光学部品保持具を重ね合わせたときに、少なくとも一方の光学部品保持具の前記光学部品保持部形成部の表面あるいはその裏面と前記他方の光学部品保持具の前記光学部品保持部形成部の表面との間に０．１〜０．５ｍｍのギャップができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の光学部品保持具において、少なくとも１つの前記可変光学部品保持部の、前記光学部品載置部の上方から見た輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持具は、その一方の方向（以下、縦方向ともいう）に、前記可変光学部品保持部が、固定されている仕切部（以下、固定仕切部ともいう）によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持具の縦方向におおむね直交する方向（以下、横方向ともいう）に前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の光学部品保持具において、光学部品保持部の前記仕切部には前記可変仕切部を圧入して装着することができる取付部（以下、可変仕切部取付部ともいう）が設けられていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持部形成部が平行平板状であることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の光学部品保持具において、少なくとも３つの前記貫通孔が、前記可変仕切部に平行な方向に、当該光学部品載置部の一端から他端に至る開口部を有するように形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持部の全ての貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記貫通孔が光学部品載置部表面から光学部品保持具の裏側まで、おおむね一様な貫通孔であることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部に装着する部分には、前記可変仕切部取付部に挿入することが出来る凸部（以下、係合凸部ともいう）が設けられていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１３】
請求項１２に記載の光学部品保持具において、前記係合凸部の前記可変仕切部取付部に装着する部分の外形が円筒の側面の一部を有する形状であることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１４】
請求項１２に記載の光学部品保持具において、前記係合凸部の前記可変仕切部取付部に装着する部分の外形が球面の一部であることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記可変仕切部の前記光学部品保持部の底部に当接する部分の形状が、光学部品保持部の底部の前記可変仕切部の底部に当接する部分の形状と同じ形状であることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部の少なくとも一部に前記裏側外側周縁部の内側すなわち前記裏側内側周縁部から前記裏側外側周縁部の外側に達するように形成された溝（以下、裏側外側周縁部溝ともいう）が形成されており、前記裏側外側周縁部溝の深さは当該裏側内側周縁部の表面よりも浅くないことを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１７】
請求項１６に記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持具を表側表面から見た輪郭形状が、隅の切欠部の有無などの細部構造を除いておおむね四角形であることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１８】
請求項１７に記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部溝が前記裏側外側周縁部の四隅に形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持具が樹脂の一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項２０】
請求項１９に記載の光学部品保持具において、前記樹脂がＡＢＳであることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項２１】
請求項１９に記載の光学部品保持具において、前記樹脂がポリアセタール樹脂であることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項２２】
請求項１９に記載の光学部品保持具において、前記樹脂がポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂であることを特徴とする光学部品保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学部品の洗浄や洗浄した後に被洗浄物に付着している洗浄液を除去する乾燥のいずれかまたは双方に用いることができる光学部品保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信では、光アイソレーター、サーキュレーター、ＷＤＭ、フィルター等の様々なモジュールが使用されるが  これらのモジュールには水晶、方解石等の結晶や多層膜フィルター等が組み込まれている。
【０００３】
通常、アイソレータ、フィルター等のモジュールは、たとえば光ファイバーからモジュールに入力された光を、たとえば多層膜フィルター等に入力させて、透過、反射、分離、および屈折等の光学現象を利用することにより、モジュールの機能を実現させている。フィルター等の表面が汚れていると、光ファイバーからモジュールに入力された光が汚れたフィルター等の表面で減衰したり乱反射したりして結合損失が増大したり、モジュールの機能を損なってしまうことがある。モジュールに用いる光学部品の表面の清浄度はモジュールの品質上きわめて重要である。
【０００４】
このため、これらの光学部品の洗浄には多くの工夫が施されてきた。
【０００５】
従来は、たとえば３本の棒状の支持部品で多数の光学部品を３方向から３点支持（以下、支持を保持ともいう）をしたり、光学部品を光学部品挿入部を有する光学部品保持具（前記光学部品保持具は、ケースと呼称するのが適切な場合もあるが、以下、そのような場合も、そして、前記のような３点支持をするように棒状の支持部品を組み合わせて構成した保持部品も、特に必要な場合を除き光学部品保持具とも称する）で保持して超音波洗浄機で光学部品の汚れを落とし、光学部品の表面を清浄にして後、スピン乾燥機で付着した洗浄液を除去しようとしていた。しかし、光学部品の最大面の大きさが８ｍｍ角（すなわち、一辺の寸法が８ｍｍの正方形）以下のような小さいものを洗浄する際には、従来の３点支持をする治具で光学部品を支持して洗浄すると、支持部品で光学部品を確実に支持するには支持部品の強度を保つために支持部品をあまり細くすることができないため、超音波洗浄するときに、光学部品の支持部品の陰になった部分に超音波が効果的に当たらずに光学部品の汚れが残ってしまったり、洗浄中や洗浄後の乾燥時に光学部品が欠落することがある上に、洗浄の仕上げ工程としてのいわゆる水切り工程、すなわち光学部品に付着した洗浄液を除去する乾燥工程で、洗浄残液を完全に取り去ることが出来ず、そのままでは光学部品の汚れとして残ってしまい、正常なモジュールを構成するのに用いることができない光学部品が多発してしまうという大問題があった。
【０００６】
そのため、実際には、光学部品をモジュールに実装するときに、あるいは洗浄後に、１個ずつ専用のピンセットなどで光学部品を持ち、その表面を溶剤を浸したクリーニングペーパーや綿棒などで拭き上げる拭き作業に頼らざるを得なかった。
【０００７】
この光学部品の拭き作業は、光学部品を１個ずつピンセットで注意深くつかみ、純水や有機溶剤等をつけたクリーニングペーパーや綿棒で汚れを拭き取る作業で、一辺が１１ｍｍぐらいの大きな光学部品の場合でも高度な熟練を要する難しい時間のかかる作業であるが、特に、表面を清浄にする光学部品の大きさが１ｍｍ角前後のように小さい場合には、非常に高度な熟練を要し、満足な品質特性を有するように光学部品を清浄にすることが出来るようになるためには、少なくとも数ヶ月の訓練が必要であった。この拭き作業は作業効率が悪く、多層膜フィルタの例では、１時間に２０個程度しか清浄にすることが出来なかった。
【０００８】
光学部品の洗浄においては、洗浄液中で光学部品に付着している汚れを除去する工程は当然重要な洗浄工程であるが、洗浄工程のあとに光学部品に付着している洗浄液（超純水も含めて洗浄液または洗剤という）を除去する乾燥工程も洗浄の重要な工程である。
【０００９】
図１２は、この乾燥工程に使用される従来のスピン乾燥機の要部をモデル的に示した図である。
【００１０】
図１２で、符号１３０１は従来のスピン乾燥装置、１３０２はスピン乾燥装置１３０１の外枠、１３０３はスピン乾燥装置１３０１を構成する回転させることが出来る回転板を有する回転体、１３１０〜１３１３は回転体１３０３の回転板に取り付けられたホルダで被乾燥物としての光学部品（以下、ワークとも称する）を保持した乾燥用の光学部品保持具や光学部品保持具を保持した保持枠（以下、クレードルともいう）（たとえば、図２１，図２２に図示）を保持するためのホルダ、１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃはそれぞれホルダ１３１０〜１３１３の側壁、１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂはそれぞれ側壁１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ，１３１３ｃに設けられたクレードル設置用溝、１３１５は前記クレードルの位置決めのための支持棒、１３１６は回転方向を示す矢印、１３２０はスピン乾燥装置の蓋、１３２３は蓋１３２０に設けられた送風口、１３２２は送風口に取り付けられているフィルタである。
【００１１】
図１２で、ホルダ１３１０〜１３１３は回転体１３０３にネジなどで固定された状態で保持されている。
【００１２】
図１２のようなスピン乾燥装置で、洗浄したワークのスピン乾燥を行う際は、ワークを保持した光学部品保持具を入れたクレードルを、クレードルに設けられた突起部（図２２に図示）をホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれのクレードル設置用溝１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂに挿入してホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれに配置した後に、回転体１３０３をたとえば矢印１３１６の方向に回転させることによってスピン乾燥を行う。このとき、回転体に装着されたクレードルの底面は、図２２のように、回転体の回転により与えられる遠心力に対してクレードルが最も安定に保持されるように、回転体の回転により与えられる遠心力の方向に直交するように前記ホルダに取り付けられるようになっている。
【００１３】
ワークの３点支持による保持方法については、たとえば、特開平６−２０８０９３（以下、特許文献１という）にも記載されており、その細部についてはあまり詳細でないが、図と文章からおおむね知ることができる。
【００１４】
図１３〜図１６は、ワークの３点支持による保持方法について説明する図で、特許文献１と完全に同じではないが、本発明の発明者等の分類では同種の技術思想に基づくワークの３点支持による保持方法ということができるもので、現在光学部品の洗浄・乾燥に使用されているものである。
【００１５】
図１３は、ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【００１６】
図１３で、符号１３３１は被乾燥物としてのワーク、１３３２〜１３３４はワーク１３３１を固定するための光学部品支持部品である。
【００１７】
図１３で光学部品支持部品１３３２および１３３４は、ワーク１３３１の側面の両辺のおおよそ中央にそれぞれ配置されており、光学部品支持部品１３３３は光学部品支持部品１３３２と１３３４を結ぶ線分の垂直２等分線近傍の光学部品側面に配置されている。
【００１８】
図１３において、ワーク１３３１を洗浄・乾燥する際には、ワークを固定するための光学部品支持部品１３３２〜１３３４の接触面積が可能な限り少ない方が良いとされている。
【００１９】
図１４〜図１６は、図１３の光学部品支持部品の例を説明するための図で、図１４は１本の光学部品支持部品の斜視図、図１５は図１４の光学部品支持部品を図１４の直線Ｙ１−Ｙ２で切った断面から斜めに見た図、図１６は図１４の光学部品支持部品がワークを保持している状態を説明するための図である。
【００２０】
図１４〜図１６で、符号１３４０は従来の光学部品支持部品、１３４１は光学部品支持部品１３４０を構成する支柱、１３４２は支柱１３４１の端部に設けられたネジ、１３４３は光学部品支持部品１３４０を構成する支持板、１３４１ａ，１３４１ｂは支柱１３４１の溝に入れた支持板１３４３をカシメによって固定しているカシメ部分、１３４４は支持板１３４３に形成されたＶ字溝である。
【００２１】
図１４および図１５に示した光学部品支持部品１３４０には支柱１３４１の先端部にネジ１３４２が設けられており、図示しないが、複数本の光学部品支持部品１３４０を支持部品取り付け枠に光学部品を保持するのに適当な間隔で固定できるように形成して洗浄・乾燥用の光学部品保持具が構成されている。また、支持板１３４３はフッ素樹脂で形成されており、ある程度の弾力性を有しており、形状が図示の如くＶ字型の溝を有するノコギリの刃状に形成されている。前記Ｖ字型の溝は、同一形状・寸法の溝が、同一光学部品保持具として使用する全ての支柱１３４１の長手方向の同じ位置に設けられている。
【００２２】
図１６で、ワーク１３３１は、水平方向の左右に２つとそれに直交する方向の１つの計３つの方向から３つの光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３のＶ字形の溝部分によって支えられている。
【００２３】
図１４〜図１６を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワーク１３３１を固定した場合、支持板１３４３のワークを支持する部分がＶ字型の溝形状に形成されているために、ワーク１３３１は３方の側面の稜線部分だけが支持板１３４３のＶ字型の溝に支持されており、支持板１３４３との接触面積が比較的小さいように緩く固定される。
【００２４】
しかし、図１４〜図１６を用いて説明したような光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３は、フッ素樹脂であるテトラフルオロエチレン（たとえば、商標名、テフロン）で形成されていることなどから、一辺が１０ｍｍ以上のあまり重くないワークしか固定することが出来ず、これ以下の小さいワークに関しては別の方法で保持しなければならなかった。
【００２５】
図１７および図１８は光学部品支持部品の図１４〜図１６を用いて説明した例とは別の従来例を説明する図で、特許文献１とは異なる例である。
【００２６】
図１７は１本の光学部品支持部品の斜視図、図１８は図１７の光学部品支持部品３本によってワークが固定（緩く固定）されている状態を説明するための図である。
【００２７】
図１７および図１８で、符号１３５０は光学部品支持部品、１３５１は光学部品支持部品１３５０を構成する支柱、１３５３は支柱１３５１に設けられたワークを固定するためのＶ字形の溝である。
【００２８】
図１７で、支柱１３５１は円柱形であり、直径は６ｍｍ〜１０ｍｍである。また、溝１３５３は同一形状・寸法の溝が一定の間隔で支柱１３５１に、支柱１３５１の長さ方向に切った断面がＶ字形の溝として設けられている。
【００２９】
図１８で、ワーク１３３１は支柱１３５１に形成された溝１３５３の部分にワーク１３３１の一部を入れることによって緩く固定されている。この場合、図中のワーク１３３１の左右の辺は、中央より少し上の方を支持されている。この緩く固定されているという状態は、ワークをピンセットなどで注意して持ち、たとえば、３点支持の光学部品支持部品として組み上げられた３本の支柱１３５１に形成された溝１３５３の部分にワーク１３３１の一部を入れて保持したとき、ワークを超音波洗浄したり、スピン乾燥したりしたときに、ワークが溝１３５３の部分から抜け出すことはないが、ワークをピンセットなどで持って溝１３５３の部分から取り出したり、ワークを溝１３５３の部分に挿入したりすることが出来る程度に固定されているという意味である。以下、３点支持の記述において、特に断らない場合には、このような緩く固定することを、単に、固定するあるいは束縛するともいう。図１６と図１８に示した保持の状態も、この緩く固定した状態である。
【００３０】
図１９は、ワーク１３３１が光学部品支持部品によって固定されているときのワークと光学部品支持部品との接触状態を説明するための図であり、図１８の矢印１３５４の方向から見た図である。
【００３１】
図１９でワーク１３３１は、支柱１３５１に形成された溝１３５３が作る斜面に接することによって緩く固定されている。
【００３２】
図１７および図１８を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワークを固定した場合、支柱１３５１が円柱形に構成されているため、溝１３５３の部分も円柱形となっており、ワークとの接触面積が極めて少なくて済む。しかし、ワークの一辺が８ｍｍ以下である場合、図１９からもわかるように支柱１３５１がワークに非常に近い位置にある状態でワークを固定することになるため、洗浄する際にワークに支柱１３５１の影の部分になる部分が生じ、超音波を効果的にワークに当てることが出来ず、洗浄自体がうまくいかないという欠点があった。
【００３３】
支持板１３４３をカシメによって固定する支柱１３４１や溝１３５３が形成された支柱１３５１は、機械加工によって１本ずつ加工されているのが現状である。支柱の材料としてはステンレス鋼や、加工によって溝をつけた金属に樹脂をコーティングしたものが多く用いられている。樹脂だけでつくった支柱は、強度に問題があり、溝を付けた金属や溝を付けた金属に樹脂をコートしたものが主に用いられていた。
【００３４】
以上説明したように、従来は、ワークが小さい場合は光学部品支持部品によってワークを固定できなかったり、固定できた場合でもワークを効果的に洗浄することが出来ないという大きな問題があった。
【００３５】
そのため、小さなワークを洗浄・乾燥する際には、通常、ワークを図２０で後述するような洗浄治具に収納した後に、洗浄治具をクレードルなどに入れて、前記のようにスピン乾燥装置に装着して洗浄・乾燥する方法が採られている。
【００３６】
図２０は、従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持具の斜視図である。
【００３７】
図２０で、符号１３５５は従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持具、１３５６はワークを入れるための光学部品挿入部である。光学部品挿入部１３５６は穴状になっており、穴の底部の周縁部にはそこに挿入した光学部品を保持するための光学部品載置枠１３５６ａが設けられており、その内側に洗浄液を通過させるための貫通孔１３５６ｂが設けられている。この貫通孔１３５６ｂの直径はワークより十分小さく、光学部品載置枠１３５６ａの中央部に設けられている。
【００３８】
図２０からも推察できるように、光学部品保持具１３５５の基本的な技術思想は、光学部品を３点支持のように緩く固定せずに光学部品載置枠１３５６ａに載置し、洗浄・乾燥中に光学部品の特に重要なところである光学面の重要部分を貫通孔１３５６ｂのところで周囲のものと非接触に保つことができるように考慮しているところにある。
【００３９】
図２０のような洗浄・乾燥用の光学部品保持具を用いて洗浄と乾燥を行うときは、光学部品挿入部にワークを入れて、光学部品保持具ごとクレードルなどに入れて洗浄装置やスピン乾燥装置の所定位置に載置する。
【００４０】
図２１は、洗浄や乾燥工程において用いられているクレードルについて説明する図である。図２１中の（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図で、点線８０１〜８０４でそれらの対応する位置関係を示してある。
【００４１】
図２１で、符号８００はクレードル、８１１〜８１４はクレードルの側壁、８２０と８２１は側壁８１２と８１３の下部につけられているピン、８３０はクレードル８００をもつときに用いる取っ手部分、８５２〜８５５はそれぞれ側壁８１１〜８１４の内側の下方（すなわち、クレードルの底部）に設けられた支柱、８５１は洗浄・乾燥用の光学部品保持具を載置する載置部で支柱８５２〜８５４に固定されている。クレードル８００は、たとえばステンレス鋼製のものを用いることができる。
【００４２】
図２１で、光学部品を保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持具をクレードル８００に入れて洗浄した光学部品のスピン乾燥を行う場合、洗浄・乾燥用の光学部品保持具を載置部８５１の上に載置して、クレードルをスピン乾燥装置に装着する。載置部８５１は、これに限定されないが、クレードルの下方、たとえばピン８２０，８２１の位置よりわずかに上に形成しておき、平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持具を用いる場合は、スピン乾燥装置の回転体に装着した状態のクレードルの底面と載置部８５１と平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持具の表面と裏面がすべて平行になるように形成しておくと取扱上好都合である。
【００４３】
図２２は従来のスピン乾燥装置を説明するための断面図である。
【００４４】
図２２において、符号１０１０はスピン乾燥装置の回転体、１０１１は回転体１０１０を回転させるときの回転軸、１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂは回転体１０１０と回転軸１０１１を連結・固定する固定ネジ、１０１４，１０１５は乾燥するワークを入れて保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持具、１０１６，１０１７はワークを載置し保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持具１０１４，１０１５を載置するクレードル、１０１８ａ，１０１９ａはクレードルの突起部を保持するホルダ、１０２０は回転体の上部枠、１０１８ｂ、１０１９ｂはホルダ１０１８ａ，１０１９ａに設けられたクレードル吊り下げ用の溝、１０１８，１０１９はクレードルの突起部でホルダ１０１８ａ，１０１９ａの溝１０１８ｂ、１０１９ｂに入れてホルダ１０１８ａ，１０１９ａにクレードル１０１６，１０１７を保持する連結ピン，１０２１〜１０２４は回転体１０１０の回転時にクレードルを支えるためにホルダ１０１８ａ，１０１９ａに取り付けられている支持棒、１３７０は回転板である。
【００４５】
図２２で、クレードル１０１６，１０１７は、洗浄・乾燥用の光学部品保持具の上面部分１０１４ａ，１０１５ａが（洗浄・乾燥用の光学部品保持具が平行平板のときは、同様に、前記クレードルの底面も）、回転軸１０１１の回転中心となる中心軸線Ａ１−Ａ２にそれぞれ平行になるように、かつ、洗浄・乾燥用の光学部品保持具の上面部分１０１４ａ，１０１５ａの中央における前記中心軸線Ａ１−Ａ２を中心とする仮想の円筒の外側面の接平面（図示せず）にそれぞれ平行になるように、さらに、回転体１０１０の中心軸線であるＡ１−Ａ２に対して対称に配置されており、洗浄・乾燥用の光学部品保持具に載置した洗浄後の光学部品を、回転軸１０１１を中心にして回転体全体を回転させることによって洗浄した光学部品に残った洗浄液を除去して光学部品を乾燥させるようになっている。
【００４６】
しかし、本発明の発明者等の調査の結果、図２０と図２２を用いて説明したような従来の乾燥方法では、洗浄液の残りをワークから完全に除去することが出来ないうえに、スピン乾燥装置の回転を止めると、残った洗浄液がワークを濡らしてしまうことが多く、それが多層膜フィルターなどのワークにシミなどを作ってしまうため、良好な洗浄・乾燥が出来なかった。
【００４７】
そのため、従来は残った水分を除去するために多層膜フィルターなどのワークをピンセットで注意深くつまみ、クリーニングペーパーや綿棒などで水分を拭き取る手作業を必要としていた。
【００４８】
図２３および図２４は従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液のふき取り方法について説明するための模式図である。
【００４９】
図２３および図２４において、符号４００はワーク、５０１は綿棒、５０２，５０３は綿棒５０１の端部、５０４は綿棒の動く方向を示す矢印、５１０はハンドラップ、５１１は有機溶剤、５１２はハンドラップの皿部、５１３はピンセット、５１４は管である。    図２３で、ハンドラップ５１０の内部には有機溶剤５１１が入っており、皿部５１２をたとえば綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３で押し下げると、有機溶剤５１１は管５１４を毛管現象によって皿部５１２まで上がり、綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３に適量の有機溶剤５１１を付けることが出来る。
【００５０】
図２４で、ワーク４００をピンセット５１３によってつまみ、有機溶剤をしみこませた綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３を矢印５０４の方向へ動かしながら、ワーク４００の光学面４０１と４０２を拭いて清浄にすることが出来る。
【００５１】
また、綿棒５０１に有機溶剤を付けないでワーク４００をふき、水分をワーク４００から除去することも出来る。
【００５２】
図２３および図２４を用いて説明したような洗浄・乾燥方法は、図１２〜図２２を用いて説明したような方法では洗浄・乾燥出来ないものの洗浄・乾燥に用いられることが多い。しかし、一辺が８ｍｍ以下のように小さなワーク、たとえば、光通信に通常用いられている光学面が１．４ｍｍ角の薄いフィルタのような場合、ワークが非常に小さくて、これをピンセットで掴みながら水分をふき取ったりする作業は非常に困難な作業である。
【００５３】
この拭き作業は、非常に高度な熟練を要し、満足した品質特性を得るためには、数ヶ月の作業者トレーニングが必要であった。そして、この拭き作業を収得した作業者が行った場合でも、作業効率が悪く、高々２０個／時間の多層膜フィルターしか清浄にすることが出来なかった。
【００５４】
従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持具の図２０に示した例とは異なる例が、特開２０００−２４９４６６（以下，特許文献２という）に記載されている。特許文献２には，パレットに設けられたすり鉢状の貫通穴に光学部品を入れて乾燥を行うことが記載されている（特許文献２の図１〜図３参照）。そして、特許文献２の図２，図５〜図７には前記穴に蓋を取り付けた断面図が記載されており，前記蓋には，適当にあけられた穴が設けられている。この蓋の穴に関しては，空気をすり鉢状貫通穴に流すこと以外の特別の作用は記載されていない。
【００５５】
本発明の発明者らは，特許文献２のような光学部品保持具を用いて前記と同様な洗浄と乾燥を行ったが、良好な洗浄および乾燥を行うことができず、手拭き作業が不可欠であった。さらに，光学部品によっては損傷を生じてしまい，光学部品の着脱がしにくいなど、大きな問題があることがわかった。
【００５６】
本発明の発明者等の調査の結果、従来の光学部品保持具を用いて洗浄された光学部品の乾燥を行うに当たり、乾燥方法を種々変えてみたが、真に好ましい洗浄・乾燥を行うには、光学部品保持具の改善が不可欠であることがわかった。
【００５７】
また、寸法・材質などの異なる光学部品を超音波洗浄し、スピン乾燥するには、寸法・材質などの異なる光学部品毎に、それぞれの光学部品の寸法・材質などに合った従来の光学部品保持具を用いて洗浄・乾燥を行わなければならず、一度に洗浄・乾燥する各一種類の光学部品の数が少ない場合には、各光学部品の専有面積のムダが多くなり、洗浄・乾燥工程の作業コストが高くなるばかりでなく、多種類の光学部品保持具を用いるためのコストも高くなるという大きな問題を有していた。
【００５８】
【特許文献１】特開平６−２０８０９３
【特許文献２】特開２０００−２４９４６６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００５９】
以上説明したように、長時間の作業者トレーニングが不可欠で高度な熟練を要する拭き作業を不可欠とせず、一度に多数の光学部品を乾燥することが出来て、しかも一度に多種類の光学部品を乾燥することが出来、光学部品としての性能を満足に発揮することができるような清浄な光学面を有する光学部品を量産出来る乾燥用の光学部品保持具の実現が強く望まれていた。
【００６０】
本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、本発明の目的の一つは、長時間の作業者トレーニングが必要で高度な熟練を要する手拭き作業を不可欠とせず、小型の光学部品の場合でも、一度に多数の洗浄後の光学部品を良好な状態に乾燥することが可能で、しかも一度に多種類の洗浄後の光学部品を１つの光学部品保持具で良好な状態に乾燥することも可能で、取扱い易い乾燥に適した光学部品保持具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００６１】
本発明は前記の課題を解決せんとしてなされたものである。
【００６２】
請求項１に記載の本発明の光学部品保持具は、光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持具で、前記光学部品保持具は、前記光学部品保持具の表側に表側周縁部とその内側にある光学部品保持部形成部を有しており、前記表側周縁部には、表側外側周縁部とその内側に隣接して形成されている表側内側周縁部の２種類の周縁部が形成されているとともに、前記表側外側周縁部と前記表側内側周縁部が前記光学部品保持具の表側表面に垂直な方向における高さの異なる２段形状（以下、表側２段形状ともいう）になっており、前記表側２段形状は、当該光学部品保持具の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、前記表側外側周縁部が前記表側内側周縁部よりも高さが低く形成されており、前記光学部品保持部形成部には、被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数個有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品を載置する側とは反対側（以下、光学部品保持具の裏側ともいう）まで貫通して形成されているとともにその開口部が前記光学部品載置部の一方の端部から他方の端部まで形成されている貫通孔が少なくとも３つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも３つの貫通孔のうちの２つは、前記光学部品載置部において、各貫通孔の開口部が細長い形状をしているとともに、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部にそれぞれ接して形成されており、少なくとも１つの前記光学部品保持部が、光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変えることができる光学部品保持部（以下、可変光学部品保持部ともいう）として形成されており、前記可変光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変える手段が着脱可能な仕切部（以下、可変仕切部ともいう）による手段であり、前記光学部品保持具の裏側の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部とその内側に隣接して形成されている裏側内側周縁部の２段形状（以下、裏側２段形状ともいう）になっており、前記裏側２段形状は、高さの定義を前記表側２段形状の場合と同じとして、前記裏側外側周縁部が前記裏側内側周縁部よりも高さが低く、すなわち、前記光学部品保持具の裏面において前記裏側外側周縁部から前記裏側内側周縁部が窪んでいるように形成されており、前記裏側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部の貫通孔が形成されており、前記表側内側周縁部は前記裏側内側周縁部の内側に挿入することが出来る形状と寸法に形成されており、異なる２つの前記光学部品保持具を、一方の前記光学部品保持具の前記表側内側周縁部を他方の前記光学部品保持具の前記裏側内側周縁部に対向させて、前記一方の光学部品保持具の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持具の前記裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部にはめ込んで接続することができる構造になっており、前記光学部品保持部が形成されている位置よりも外側にある前記表側内側周縁部には、細長い開口部を有し、前記表側内側周縁部から前記裏側内側周縁部に貫通している貫通孔（以下、内側周縁部貫通孔ともいう）が複数個形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６３】
請求項２に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１に記載の光学部品保持具において、前記表側内側周縁部に複数のピン状の凸部と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の穴などの凹部（以下、表面凹部ともいう）が形成されており、前記光学部品保持具の表面の前記凸部が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる穴などの凹部（以下、裏面凹部ともいう）が形成されており、前記表面の凸部をその裏側に形成されている前記裏面凹部にはめ込んで、２枚の前記光学部品保持具を重ねて結合させることができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６４】
請求項３に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項２に記載の光学部品保持具において、異なる２つの前記光学部品保持具を、一方の前記光学部品保持具の光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持具は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、２つの前記光学部品保持具を重ね合わせたときに、前記一方の光学部品保持具の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持具の前記表側内側周縁部に形成されている表面凹部にはめ込んで、接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６５】
請求項４に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜３のいずれかに記載の光学部品保持具において、２つの前記光学部品保持具を重ね合わせたときに、少なくとも一方の光学部品保持具の前記光学部品保持部形成部の表面あるいはその裏面と前記他方の光学部品保持具の前記光学部品保持部形成部の表面との間に０．１〜０．５ｍｍのギャップができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６６】
請求項５に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜４のいずれかに記載の光学部品保持具において、少なくとも１つの前記可変光学部品保持部の、前記光学部品載置部の上方から見た輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６７】
請求項６に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜５のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持具は、その一方の方向（以下、縦方向ともいう）に、前記可変光学部品保持部が、固定されている仕切部（以下、固定仕切部ともいう）によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持具の縦方向におおむね直交する方向（以下、横方向ともいう）に前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６８】
請求項７に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜６のいずれかに記載の光学部品保持具において、光学部品保持部の前記仕切部には前記可変仕切部を圧入して装着することができる取付部（以下、可変仕切部取付部ともいう）が設けられていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６９】
請求項８に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜７のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持部形成部が平行平板状であることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７０】
請求項９に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜８のいずれかに記載の光学部品保持具において、少なくとも３つの前記貫通孔が、前記可変仕切部に平行な方向に、当該光学部品載置部の一端から他端に至る開口部を有するように形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７１】
請求項１０に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜９のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持部の全ての貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７２】
請求項１１に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜１０のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記貫通孔が光学部品載置部表面から光学部品保持具の裏側まで、おおむね一様な貫通孔であることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７３】
請求項１２に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜１１のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部に装着する部分には、前記可変仕切部取付部に挿入することが出来る凸部（以下、係合凸部ともいう）が設けられていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７４】
請求項１３に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１２に記載の光学部品保持具において、前記係合凸部の前記可変仕切部取付部に装着する部分の外形が円筒の側面の一部を有する形状であることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７５】
請求項１４に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１２に記載の光学部品保持具において、前記係合凸部の前記可変仕切部取付部に装着する部分の外形が球面の一部であることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７６】
請求項１５に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜１４のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記可変仕切部の前記光学部品保持部の底部に当接する部分の形状が、光学部品保持部の底部の前記可変仕切部の底部に当接する部分の形状と同じ形状であることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７７】
請求項１６に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜１５のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部の少なくとも一部に前記裏側外側周縁部の内側すなわち前記裏側内側周縁部から前記裏側外側周縁部の外側に達するように形成された溝（以下、裏側外側周縁部溝ともいう）が形成されており、前記裏側外側周縁部溝の深さは当該裏側内側周縁部の表面よりも浅くないことを特徴とする光学部品保持具である。
【００７８】
請求項１７に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１６に記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持具を表側表面から見た輪郭形状が、隅の切欠部の有無などの細部構造を除いておおむね四角形であることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７９】
請求項１８に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１７に記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部溝が前記裏側外側周縁部の四隅に形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００８０】
請求項１９に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１〜１８のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持具が樹脂の一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００８１】
請求項２０に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１９に記載の光学部品保持具において、前記樹脂がＡＢＳであることを特徴とする光学部品保持具である。
【００８２】
請求項２１に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１９に記載の光学部品保持具において、前記樹脂がポリアセタール樹脂であることを特徴とする光学部品保持具である。
【００８３】
請求項２２に記載の本発明の光学部品保持具は、請求項１９に記載の光学部品保持具において、前記樹脂がポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂であることを特徴とする光学部品保持具である。
【発明の効果】
【００８４】
以上説明したように、本発明の光学部品保持具をスピン乾燥に使用することにより、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可欠とせずに、寸法などが異なる光学部品を含めて、一度に大量に短時間で、高い品質で乾燥することができるようになり、さらに、複数種類の光学部品の洗浄・乾燥を一つの光学部品保持具でできるようにもなった。
【００８５】
そして、本発明の光学部品保持具を用いた洗浄・乾燥によって、極めて高品質な清浄な光学面を有する光学部品の製造歩留まりを大幅に向上させることができ、製造コストを大幅に低減することができるようになった。
【００８６】
さらに、本発明の光学部品保持具は、搬送に有利な構造になっており、乾燥後にコンパクトに耐衝撃性のパッケージをして、清浄な光学部品の搬送にも用いることができるという大きな利点を有するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００８７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について説明する。なお、説明に用いる各図は本発明の例を理解できる程度に各構成成分の寸法、形状、配置関係などを概略的に示してある。そして本発明の説明の都合上、部分的に拡大率を変えて図示する場合もあり、本発明の例の説明に用いる図は、必ずしも実施例などの実物や記述と相似形でない場合もある。また、各図において、同様な構成成分については同一の番号を付けて示し、重複する説明を省略することもある。
【００８８】
図１〜図１１は本発明の実施の形態例としての、可変仕切部を用いた可変光学部品保持部を有する光学部品保持具２５０を説明する図でである。
【００８９】
図１は光学部品保持具２５０を光学部品を光学部品保持部に挿入する側すなわち表側から見て光学部品保持具２５０の構成を説明する図、図２は、光学部品保持具２５０を光学部品を光学部品保持部に挿入する側とは反対側すなわち裏側から見て光学部品保持具２５０の構成を説明する図で、図１のＢ１−Ｂ２を軸に裏返した状態の図である。
【００９０】
図１と図２で、符号２５０は本発明の実施の形態例としての光学部品保持具、２５１は基板、２５１ａは基板２５１の表側、２０１ａ１は表側外側周縁部、２０１ａ２は表側内側周縁部、２０１ａ３は光学部品保持部形成部、２５１ｂは基板２５１の裏側、２０１ｂ１は裏側外側周縁部、２０１ｂ２は裏側内側周縁部、２０１ｂ３は光学部品保持部形成部の裏側、２０３ｂ１〜２０３ｂ４は基板裏側のコーナー部に設けられた裏側外側周縁部溝、２０４は基板２５１の表面の表側内側周縁部２０１ａ２のコーナー部に設けられた穴などの表面凹部、２０４ｂは表面凹部２０４の基板裏面側、２０５は基板２５１の表面の表側内側周縁部２０１ａ２のコーナー部に設けられたピン状の凸部、２０５ｂは基板表面の凸部２０５の裏側である基板裏面に形成された穴などの裏面凹部、２０６ａは基板２５１の表面２５１ａの光学部品保持部形成部２０１ａ３の範囲を示す線（図１では破線で、また後述の図３、図５，図６では実線で示してある）、２０６ｂは基板２５１の裏面２５１ｂにおける光学部品保持部形成部の裏側２０１ｂ３の範囲を示す線（図２では破線で示してある）、２０７ａ〜２０７ｌは内側周縁部貫通孔である。
【００９１】
図３は光学部品保持部形成部２０１ａ３の平面図、図４は図３のＢ３−Ｂ４の位置の断面図、図５は光学部品保持具の部分拡大図で可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けた状態の平面図、図６は光学部品保持具の部分拡大図で可変仕切部取付部２６０に可変仕切部を取り付けていない状態の平面図、図７と図８は光学部品保持具２５０のコーナー部の部分拡大断面図である。
【００９２】
図３〜図８で、符号２０４ａは表面凹部の周縁部、２０５ｂ１は裏面凹部２０５ｂの周縁部、２５２，２５２ａ，２５２ｂ，２５２ｃは可変光学部品保持部、２５２ｆ，２５２ｇは光学部品載置部のたとえば可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けたときに、その可変仕切部２５６に直交する方向の周縁部、２５４ａ〜２５４ｄは光学部品載置部の島部（以下、島部それぞれをあるいはそれらを総称して島部２５４ともいう）、２５４ｅ〜２５４ｇは可変仕切部取付位置に形成されている島部、２５５ａ〜２５５ｅは光学部品載置部の貫通孔（以下、貫通孔それぞれをあるいはそれらを総称して貫通孔２５５ともいう）、２５６は可変仕切部、２６０は可変仕切部取付部である。
【００９３】
光学部品保持具２５０は、その表側すなわち表面２５１ａに、図１のように、表側周縁部とその内側にある光学部品保持部形成部２０１ａ３を有しており、前記表側周縁部には、表側外側周縁部２０１ａ１とその内側に隣接して形成されている表側内側周縁部２０１ａ２の２種類の周縁部が形成されているとともに、表側外側周縁部２０１ａ１と表側内側周縁部２０１ａ２が光学部品保持具の表側表面に垂直な方向における高さの異なる２段形状（表側２段形状）になっており、前記表側２段形状は、前記のように当該光学部品保持具の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、表側外側周縁部２０１ａ１が表側内側周縁部２０１ａ２よりも高さが低く形成されている。
【００９４】
光学部品保持具２５０を側面から見た形状は、表側内側周縁部２０１ａ２と光学部品保持部形成部２０１ａ３が表側外側周縁部２０１ａ１から突出した形状に形成されている。表側内側周縁部２０１ａ２と光学部品保持部形成部２０１ａ３の部分は平行平板になっている。この形状は、複数の光学部品保持具を重ねて使用するときに、条件を設定しやすく、洗浄・乾燥品質を高めることができ、量産において大きな効果を発揮するものである。
【００９５】
光学部品保持具２５０を真上から見た形状は、輪郭が四角形で、表側外側周縁部２０１ａ１とその内側に隣接して形成されている表側内側周縁部２０１ａ２とその内側に隣接して形成されている光学部品保持部形成部２０１ａ３の輪郭も四角形である。
【００９６】
光学部品保持具２５０の輪郭の四角形と光学部品保持部形成部２０１ａ３の輪郭の四角形はいずれも正方形にすることが特に好ましく、同形状・寸法の光学部品保持具２５０を複数枚重ねて用いる場合に好適である。
【００９７】
光学部品保持具２５０の表側内側周縁部２０１ａ２の内側の光学部品保持部形成部２０１ａ３には、複数の光学部品保持部が形成されており、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有している。
【００９８】
光学部品保持部形成部２０１ａ３に形成されている複数の光学部品保持部は、後述するように、被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる可変光学部品保持部を複数個有り、可変光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち光学部品を載置する側から光学部品を載置する側とは反対側すなわち光学部品保持具の裏側まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも３つ形成されている。
【００９９】
表側内側周縁部２０１ａ２の各辺には、細長い開口部を有する内側周縁部貫通孔２０７ａ〜２０７ｌが図１と図２のように形成されている。この内側周縁部貫通孔２０７ａ〜２０７ｌの開口部は、長方形の両端部に半円を継ぎ足したような形状の、細長い形状に形成されている。
【０１００】
内側周縁部貫通孔２０７ａ〜２０７ｌは表側内側周縁部２０１ａ２からその裏側の裏側内側周縁部２０１ｂ２まで一様な断面で貫通して形成されている。
【０１０１】
表側内側周縁部２０１ａ２には複数の（この場合は２本の）ピン状の凸部２０５と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の（この場合は２個の）穴などの凹部すなわち表面凹部２０４が形成されている。２本のピン状の凸部２０５ならびに２個の表面凹部２０４はそれぞれ表側内側周縁部２０１ａ２の対角線上にあるコーナー部に形成されている。
【０１０２】
光学部品保持具２５０の裏側の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部２０１ｂ１とその内側に隣接して形成されている裏側内側周縁部２０１ｂ２の２段形状（裏側２段形状）になっており、前記裏側２段形状は、高さの定義を前記表側２段形状の場合と同じとして、裏側外側周縁部２０１ｂ１が裏側内側周縁部２０１ｂ２よりも高さが低く、すなわち、光学部品保持具２５０を図２のように裏返した状態で、光学部品保持具の裏側すなわち裏面２５１ｂにおいて裏側外側周縁部２０１ｂ１から裏側内側周縁部２０１ｂ２が窪んでいるように形成されており、裏側内側周縁部２０１ｂ２の内側に光学部品保持部の貫通孔が形成されている。
【０１０３】
光学部品保持具２５０の表面のピン状の凸部２０５が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる穴などの凹部すなわち裏面凹部２０５ｂが形成されており、もう一枚の光学部品保持具２５０の表面の凸部２０５を裏面凹部２０５ｂにはめ込んで、２枚の光学部品保持具２５０を重ねて結合させることができる構造になっている。
【０１０４】
すなわち、同一形状寸法の２つの光学部品保持具２５０を、その表側を同じ方向にして重ねたとき、一方の光学部品保持具の表側内側周縁部を他方の光学部品保持具の裏側内側周縁部の内側に挿入することが出来る形状と寸法に形成されており、２つの前記光学部品保持具を、一方の光学部品保持具の表側内側周縁部を他方の光学部品保持具の裏側内側周縁部に対向させて、一方の光学部品保持具の表側内側周縁部のコーナー部に形成されている凸部２０５を他方の光学部品保持具の裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部２０５ｂにはめ込んで接続することができる構造になっている。
【０１０５】
このとき、表面凹部２０４の周縁部２０４ａと裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１の後述する構造とその作用によって、２枚の重ねられた光学部品保持具２５０のうちの一方の光学部品保持具２５０の裏側の、表側内側周縁部２０１ａ２および光学部品保持部形成部２０１ａ３が形成されている部分の裏側と他方の光学部品保持具２５０の表側内側周縁部２０１ａ２および光学部品保持部形成部２０１ａ３との間に適当なギャップが形成され、スピン乾燥時の洗浄液除去効果を一層高めることができる。
【０１０６】
光学部品保持具を複数枚重ねる用い方における前記２つの基板の間のギャップ（間隔）の好適な例として、前記ギャップを０．１〜０．５ｍｍにしたときに、極めて良好な光学部品の洗浄・乾燥を行うことができた。前記２つの基板の間のギャップを０．１ｍｍ以上にすると本発明者等のスピン乾燥における水切れ効果が大きく好ましいが、前記ギャップを０．５ｍｍよりも大きくすると、ワークの形状・寸法によっては、ギャップからワークが飛び出してしまう恐れがあり、０．１〜０．５ｍｍは特に好ましいギャップである。
【０１０７】
光学部品保持具２５０の裏面２５１ｂには、裏側外側周縁部２０１ｂ１の少なくとも一部に、図２のように、裏側外側周縁部２０１ｂ１の内側の裏側内側周縁部から裏側外側周縁部の外側に達するように形成された溝である裏側外側周縁部溝２０３ｂ１〜２０３ｂ４が形成されており、裏側外側周縁部溝の深さは当該裏側内側周縁部の表面よりも浅くないように形成されており、スピン乾燥時の洗浄液除去効果を高めている。
【０１０８】
裏側外側周縁部溝２０３ｂ１〜２０３ｂ４は裏側外側周縁部２０１ｂ１の四隅に図２に示したように形成されている。
【０１０９】
図１，図２に示した光学部品保持具２５０は正方形の輪郭形状を有しており、隅に切欠部を有している。
【０１１０】
光学部品保持具２５０は、図３のように、可変光学部品保持部２５２が基板２５１の表側２５１ａに凹部として７列、基板２５１の表側２５１ａの縦方向に形成されている。各列の可変光学部品保持部２５２は、図のように、横方向の６カ所に各一対の可変仕切部取付部２６０を有しており、必要な位置の可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けて、必要な大きさの光学部品保持部を形成することができるようになっている。
【０１１１】
可変光学部品保持部２５２の横方向の端部とその直近の可変仕切部取付部２６０の間で形成される光学部品保持部あるいは隣り合った２つの可変仕切部取付部２６０の間で形成される光学部品保持部がこの例の場合の最小の大きさの光学部品保持部となり、この最小の大きさの光学部品保持部を、この例の場合、単位光学部品保持部と称することにする。
【０１１２】
図３の例では、各列の可変光学部品保持部２５２で、図の右側から２番目と３番目の可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けて、各列の可変光学部品保持部２５２を、２つの単位光学部品保持部を横方向に連結した状態の可変光学部品保持部２５２ａ、１つの単位光学部品保持部から成る可変光学部品保持部２５２ｂ、４つの単位光学部品保持部を横方向に連結した状態の可変光学部品保持部２５２ｃの３種類の光学部品保持部に分割している。各列の可変光学部品保持部２５２ａ，２５２ｂ，２５２ｃの光学部品載置部の形状は同じ形状で、そこに載置された光学部品が各単位光学部品保持部間の境で傷が付かない形状になっている。
【０１１３】
各列の可変光学部品保持部２５２ａ，２５２ｂ，２５２ｃにはそれぞれの寸法に適した光学部品を挿入して、超音波洗浄とスピン乾燥を行うことができる。
【０１１４】
図３に示した可変仕切部２５６は、７列の可変光学部品保持部２５２すべてを一つの可変仕切部で仕切ることができるように形成されているが、本発明は、もちろんこれに狭く限定されるものではなく、たとえば、１列の可変光学部品保持部２５２だけを仕切ることができる長さの可変仕切部として形成しても良い。このようにすることで、横方向寸法が単位光学部品保持部の任意の整数倍の光学部品保持部を、各列に任意に形成することができる。また、複数列の可変光学部品保持部２５２を一つの可変仕切部で仕切ることができるように形成した可変仕切部を形成しておき、これを用いて、あるいは複数種類の可変仕切部を適宜組み合わせて用いて、前記と同様にして必要な寸法の光学部品保持部を形成することができる。このような可変光学部品保持部を有する光学部品保持具は、多種少量品種の光学部品の効率の良い洗浄・乾燥を行うことができ、また、同じ光学部品保持具を同一種類の多数の光学部品の量産における洗浄・乾燥に用いることもできる。
【０１１５】
図３〜図６に示したように、各光学部品載置部には、可変光学部品保持部の縦方向に平行な開口部を有する複数の貫通孔とその間に島部が形成されている。前記島部は、各単位光学部品保持部の光学部品載置部を形成している島部２５４ａ〜２５４ｄと、各単位光学部品保持部の間の可変仕切部を装着したときにその下に位置する島部２５４ｅ〜２５４ｇの２種類があり、各島部２５４ａ〜２５４ｄならびに２５４ｅ〜２５４ｇはそれぞれ互いに平行に形成されている。
【０１１６】
光学部品載置部の貫通孔２５５ａ〜２５５ｅの開口部は、互いに平行に形成されている。
【０１１７】
光学部品載置部の貫通孔２５５ａ〜２５５ｅは、長方形の開口部を有する細長い形状の開口部の貫通孔である。
【０１１８】
光学部品載置部の貫通孔２５５ａ〜２５５ｅは、図示のように四角形の光学部品保持部の光学部品載置部の、互いに対向する周縁部（たとえば、図３に符号２５２ｆと２５２ｇで示した辺）の間に、一方の周縁部（端部）から他方の周縁部に至るまで連続した開口部を有して形成されている。貫通孔２５５ａと貫通孔２５５ｅは、符号２５２ｆと２５２ｇで示した光学部品載置部の前記互いに対向する周縁部とは別の互いに対向する周縁部（たとえば、可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けたときに、その可変仕切部２５６に平行な周縁部）に、その細長い形状の開口部の細長い方の１辺が接するように形成されている。この場合、実際には貫通孔２５５ａの一部は可変仕切部の下に入り込むように形成されることもあるが、本発明では、本発明の技術思想からも明らかなように、その場合の貫通孔２５５ａは、上方から見て可変仕切部に接するところまでを貫通孔２５５ａと定義することにし、貫通孔の可変仕切部の下に入り込む部分は、貫通孔２５５ａと一体化された別の貫通孔と定義することにする。
【０１１９】
貫通孔２５５ａ〜２５５ｅの断面の形状は、光学部品載置部の表面から裏面までおおむね一様な断面に形成されている。
【０１２０】
光学部品載置部の貫通孔のこれらの特徴は、スピン乾燥における洗浄残液除去効果に極めて良好な結果をもたらすものである。
【０１２１】
図５は可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けた状態の光学部品保持具の部分拡大図で、各貫通孔と各島部が交互に互いに平行に形成されており、可変仕切部が各貫通孔と各島部に平行に形成されている。
【０１２２】
図６は可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けていない状態の光学部品保持具の部分拡大図で、各貫通孔と各島部が交互に互いに平行に形成されている。
【０１２３】
図７と図８は光学部品保持具２５０のコーナー部の部分拡大断面図である。
【０１２４】
表面凹部２０４の周縁部２０４ａはその周りの符号２０４ａ２で示した部分よりも所定寸法だけ突出して形成されている。符号２０４ａ２で示した部分は、平行平板状の表側内側周縁部２０１ａ２および光学部品保持部形成部２０１ａ３と同じ高さに形成されている。
【０１２５】
裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１はその周りの符号２０５ｂ２で示した部分よりも所定寸法だけ突出して形成されている。符号２０５ｂ２で示した部分は、平行平板状の裏側内側周縁部２０１ｂ２および光学部品保持部形成部の裏側２０２ｂと同じ高さに形成されている。
【０１２６】
表面凹部２０４の周縁部２０４ａの符号２０４ａ２で示した部分からの突出量（寸法）と裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１の符号２０５ｂ２で示した部分からの突出量（寸法とは同じ寸法である。
【０１２７】
前記のように、表面凹部２０４と表面の凸部２０５が２対ずつ、表側内側周縁部２０１ａ２のコーナー部にそれぞれ対角線状に形成されており、同一形状・寸法の光学部品保持具２５０を２枚、前記のように、一方の光学部品保持具２５０の裏側を他方の光学部品保持具２５０の表側に重ねたときに、凸部２０５が裏面凹部２０５ｂに入って２枚の光学部品保持具２５０が少し持ち上げられない限り、簡単にはずれないようになっている。このとき、裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１と基板の表面および裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１と基板の裏面の高さの差によって、重ねられた２枚の光学部品保持具の間に前記所定のギャップが保たれるようになっている。
【０１２８】
また、本発明の光学部品保持具を複数重ねて用いるときの各光学部品保持具の間に形成させるギャップの作り方は、前記の例に狭く限定されず、種々のバリエーションを可能とするものである。
【０１２９】
図９〜図１１は可変仕切部の係合凸部の例を説明する図で、図９は可変仕切部の端部近傍を、光学部品保持具に取り付けたときの上方から見た平面図、図１０は可変仕切部の端部近傍を図９の矢印２５６ｅの方向から見た側面図、図１１は可変仕切部の端部近傍の側面図で図１０の例とは別の例を説明する図である。図９で,図の上方の線を直線で示してあるが、部分的に切り取った線で、端面を意味するのではない。
【０１３０】
図９〜図１１で、符号２５６ａは可変仕切部を構成する仕切板、２５６ｂは基板２５１に設けられた可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付ける係合凸部、２５６ｂ１は球状の係合凸部、２５６ｂ２は円筒状の係合凸部、２５６ｃは可変仕切部を構成する仕切板の上面、２５６ｄは可変仕切部を構成する仕切板の下面である。
【０１３１】
図１０の側面図は、可変仕切部２５６が平板状の仕切り板２５６ａの係合凸部として半球状の係合凸部２５６ｂ１を設けた板で構成されている例である。その上面２５６ｃ、すなわち、可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けたときに、光学部品保持部の上側になる表面は平面状に形成されており、下面２５６ｄは、光学部品載置部の形状と同じ形状に形成されている。そして、可変仕切部２５６を可変仕切部取付部２６０に取り付けたときに、可変仕切部２５６の下面２５６ｄの下に大きな隙間ができて、そこから被洗浄・乾燥物である光学部品が向け出さないように、各寸法が決められている。
【０１３２】
図１０に示したように、可変仕切部２５６の下面２５６ｄの、半球状の係合凸部２５６ｂの位置の下の形状は、可変仕切部取付部２６０の形状に合わせて平坦に形成されている。
【０１３３】
可変仕切部２５６の係合凸部２５６ｂは、平板状の仕切り板２５６ａの両側面に等間隔に形成されており、両側の係合凸部２５６ｂの頂点間の寸法は、それを取り付ける可変仕切部取付部２６０の幅よりもわずかに大きく形成されている。
【０１３４】
図１１は、可変仕切部の係合凸部の他の例を説明する側面図である。
【０１３５】
図１１のように、係合凸部２５６ｂ２は、円筒の上と下に半球を取り付けた状態のものを両半球を上下にして縦方向に２分割した形状をしている。
【０１３６】
可変仕切部の係合凸部の形状は、取り付けやすく、不用意に外れにくいことが寛容であり、前記球状や円筒状や長円を回転したような形状は条件に好適なものである。
【０１３７】
可変仕切部２５６は可変仕切部取付部２６０に軽く圧入して装着できることが好ましく、装着したら洗浄・乾燥工程で外れないことが重要である。しかも、着脱が容易なことが好ましい。この観点から、半球面状の係合凸部２５６ｂ１や円筒面状の係合凸部２５６ｂ２は好適である。
【０１３８】
図１〜図１１を用いて説明した光学部品保持具に各種類の光学部品を複数個保持して、超音波洗浄とスピン乾燥を行ったところ、従来のように手拭き作業に頼ることなく、量産レベルでの、シミのない、極めて良好な洗浄・乾燥結果を得た。このような光学部品の洗浄・乾燥は、従来は手拭き作業に頼らざるを得なかったもので、光学部品が小型の場合は特に難航していたものである。
【０１３９】
図１〜図１１を用いて説明した光学部品保持具は樹脂を用いて一体成形したものを用いることができ、光学部品の洗浄・乾燥の品質を高めることができ、作業コストを安くすることができるのみならず、光学部品保持具の製造コストを安くすることができる。
【０１４０】
前記樹脂の好ましい例として、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂をあげることができる。これらの樹脂は、スピン乾燥効果を高めることができ、前２者は製造コストが安く、ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂
は効果であるが、精度を高めることができる。
【０１４１】
光学部品保持部の外周部は、そこに入れて洗浄や乾燥を行う光学部品の載置部に載置される部分の最大寸法よりも、１０％以上大きく形成しておくと、洗浄・乾燥時に光学部品が適宜動いて、たとえばスピン乾燥時に貫通孔の開口部を塞がないようになり水切れ効果を妨げないように作用するなど、適切な状態で洗浄や乾燥が行われ、洗浄・乾燥効果を一層高めることができる。なお、前記１０％以上大きくとは、１０％程度大きいのが特に良いという意味ではない。
【０１４２】
以上、図面を参照しながら本発明の実施の形態例を説明したが、本発明はこれに狭く限定されるものではなく、多くのバリエーションを可能とするものである。
【産業上の利用可能性】
【０１４３】
以上説明したように、本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可避とせずに、一度に大量に短時間で高い品質で乾燥することができるようになり、また、多種類の光学部品を一つの光学部品保持具に混在させて保持して同時に洗浄・乾燥を行うこともできるようになった。
【０１４４】
さらに、本発明の光学部品保持具は、洗浄と乾燥を一環工程で行うことができるとともに、乾燥後にコンパクトにパッケージして、清浄な光学部品の搬送にも用いることができるという大きな利点を有するものである。
【０１４５】
本発明は光通信分野に限らず、カメラ業界、携帯電話業界、眼鏡業界など工業上広い範囲で多大な効果を発揮するものである。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の表側の構成を説明する図である。
【図２】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の裏側の構成を説明する図である。
【図３】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の光学部品保持部形成部の平面図である。
【図４】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の、図３におけるＢ３−Ｂ４の位置の断面図である。
【図５】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の部分拡大図で、可変仕切部取付部に可変仕切部を取り付けた状態の平面図である。
【図６】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の部分拡大図で、可変仕切部取付部に可変仕切部を取り付けていない状態の平面図である。
【図７】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具のコーナー部の部分拡大断面図である。
【図８】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具のコーナー部の部分拡大断面図である。
【図９】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の可変仕切部の係合凸部の例を説明する平面図である。
【図１０】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の可変仕切部の係合凸部の例を説明する側面図である。
【図１１】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の可変仕切部の係合凸部の例を説明する側面図である。
【図１２】従来のスピン乾燥装置の要部をモデル的に示した斜視図である。
【図１３】ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【図１４】光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品１本の斜視図である。
【図１５】図１４の光学部品支持部品を直線Ｙ１−Ｙ２の位置で切った断面から斜めに見た図である。
【図１６】図１４の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明するための図である。
【図１７】光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品一本の斜視図である。
【図１８】図１７の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明する図である。
【図１９】ワークと支持部品の接触状態を説明するための図である。
【図２０】従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持具の斜視図である。
【図２１】クレードルについて説明する図である。図中、（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図である。
【図２２】従来のスピン乾燥装置を説明するための断面図である。
【図２３】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。
【図２４】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。
【符号の説明】
【０１４７】
２０１ａ１：表側外側周縁部
２０１ａ２：表側内側周縁部
２０１ａ３：光学部品保持部形成部
２０１ｂ１：裏側外側周縁部
２０１ｂ２：裏側内側周縁部
２０１ｂ３：光学部品保持部形成部の裏側
２０３ｂ１〜２０３ｂ４：裏側外側周縁部溝
２０４：表面凹部
２０４ａ：表面凹部の周縁部
２０４ｂ：表面凹部の基板裏面側
２０５：基板表面のピン状の凸部
２０５ｂ：基板表面の凸部の裏側の裏面凹部
２０５ｂ１：裏面凹部の周縁部
２０６ａ：光学部品保持部形成部の範囲を示す線
２０６ｂ：光学部品保持部形成部の裏側の範囲を示す線
２０７ａ〜２０７ｌ：内側周縁部貫通孔
２５０，１０１４，１０１５，１３５５：光学部品保持具
２５１：基板
２５１ａ：基板の表側
２５１ｂ：基板の裏側
２５２，２５２ａ，２５２ｂ，２５２ｃ：可変光学部品保持部
２５２ｆ，２５２ｇ：光学部品載置部の可変仕切部に直交する方向の周縁部
２５４，２５４ａ〜２５４ｄ：光学部品載置部の島部
２５４ｅ〜２５４ｇ：可変仕切部取付部の底部に形成されている島部
２５５，２５５ａ〜２５５ｅ，１３５６ｂ：貫通孔
２５６：可変仕切部
２５６ａ：可変仕切部を構成する仕切板
２５６ｂ，２５６ｂ１，２５６ｂ２：可変仕切部に設けられた係合凸部
２５６ｃ：可変仕切部を構成する仕切板の上面
２５６ｄ：可変仕切部を構成する仕切板の下面
２６０：可変仕切部取付部
４００，１３３１：ワーク（光学部品）
５０１：綿棒
５０２，５０３：綿棒の端部
５０４，１３１６：矢印
５１０：ハンドラップ
５１１：有機溶剤
５１２：皿部
５１３：ピンセット
５１４：管
８００，１０１６，１０１７：クレードル
８３０：取っ手部分
１０１０，１３０３：回転体
１０１１：回転軸
１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂ：固定ネジ
１０２０：上部枠
１０１８，１０１９：連結ピン
１０１８ａ，１０１９ａ，１３１０〜１３１３：ホルダ
１０１８ｂ，１０１９ｂ：溝
１０２１〜１０２４，１３１５：支持棒
１３０１：スピン乾燥装置
１３７０：回転板
１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃ：側壁
１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂ：クレードル設置用溝
１３３２〜１３３４，１３４０，１３５０：光学部品支持部品（光学部品支持棒）
１３５６：光学部品挿入部
１３５６ａ：光学部品載置枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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