(57)【要約】【課題】  回路基板を保持する回路基板保持具と、回路基板の被測定点に接触して被測定点の計測を行うプローブを保持するプローブ保持具とを有する回路基板試験装置であって、回路基板の被測定点に適度な圧力でプローブを接触させることができる回路基板試験装置を提供することを課題とする。【解決手段】  プローブ保持具は、直線状のガイド５７と、ガイド５７に沿って配置され中心軸を中心に回転可能で中心軸方向に移動可能に支持されたねじ棒５９と、ガイド５７に移動可能に係合し、プローブ７３が設けられ、ねじ棒５９が螺合するめねじ穴６３ａが形成されたスライダ６３と、ねじ棒５９が当接し、ねじ棒５９の中心軸方向の移動のうちの一方の方向の移動を禁止する折曲部(ストッパ)５５ａと、折曲部５５ａ及びスライダ６３に当接し、ねじ棒５９が折曲部５５ａに当接する方向にスライダ６３を押すスプリング(弾性部材)６５とからなるプローブ押し当て機構を設ける。【選択図】          図１
2006162370.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板を保持する回路基板保持具と、
前記回路基板の被測定点に接触して前記被測定点の計測を行うプローブを保持するプローブ保持具と、
を有する回路基板試験装置であって、
前記プローブ保持具は、
直線状のガイドと、
該ガイドに沿って配置され、中心軸を中心に回転可能で前記中心軸方向に移動可能に支持されたねじ棒と、
前記ガイドに移動可能に係合し、前記プローブが設けられ、前記ねじ棒が螺合するめねじ穴が形成されたスライダと、
前記ねじ棒が当接し、前記ねじ棒の前記中心軸方向の移動のうちの一方の方向の移動を禁止するストッパと、
前記ストッパ及び前記スライダに当接し、前記ねじ棒が前記ストッパに当接する方向に前記スライダを押す弾性部材と、
からなるプローブ押し当て機構を有することを特徴とする回路基板試験装置。
【請求項２】
前記プローブの軸と平行な軸を中心に前記プローブを回転可能とする回転機構を有することを特徴とする請求項１記載の回路基板試験装置。
【請求項３】
前記回路基板は略矩形であり、フロアに対して略垂直に配置され、
前記回路基板保持具は、
前記回路基板の下辺に対向する第１フレームと、
該第１フレームに取り付けられ、前記回路基板の一方の側辺と対向する第２フレームと、
前記第１フレームに取り付けられ、前記回路基板の他方の側辺と対向する第３フレームと、
前記第１フレーム、前記第２フレーム、前記第３フレームにそれぞれ少なくとも１つ設けられ、前記第１フレーム、前記第２フレーム、前記第３フレームに沿って移動可能に設けられたスライドブロックと、
該スライドブロックの移動を禁止するストッパ機構と、
該スライドブロックに設けられ、前記回路基板の縁部が嵌合する溝が形成された保持爪とを有し、
更に、前記第２フレーム、前記第３フレームのうち、少なくとも一方のフレームを前記第１フレームに沿って移動可能としたことを特徴とする請求項１または２記載の回路基板試験装置。
【請求項４】
前記回路基板が配置される平面上には、前記保持爪以外の部材がないようにしたことを特徴とする請求項３記載の回路基板試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、開発現場で開発された回路基板の試験をプローブを用いて行う回路基板試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からＩＣ・抵抗・コンデンサ等の電子部品を実装した量産品用回路基板の試験装置は、例えば、下記特許文献１に示すように数多く提案されている。このような回路基板試験装置で試験される回路基板は、試験装置で容易に測定できるように、被測定点の位置、回路基板の形状は予め考慮された設計・形状になっている。
【０００３】
一方、開発現場で開発される回路基板は、以下のような特徴を有しており、量産品用回路基板試験装置では試験できない問題点がある。
（１） 回路基板の大きさが様々で、被測定点の数、位置も様々である。
【０００４】
（２） 回路基板の縁部まで電子部品が実装され、回路基板の保持が困難な場合がある。
（３） 回路基板を動作させながら計測する場合があるが、電源や信号入出力用コネクタが量産品回路基板試験装置の基板保持具と干渉し、接続するのに邪魔になる場合がある。
【０００５】
従って、開発現場では、作業者が直接プローブを持って、または、プローブが先端に設けられたフレキシブルアームを用いて、回路基板上の所定の被測定点にプローブを接触させ、測定しているのが現状である。
【特許文献１】特開２００２−２９６３１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
プローブを被測定点に接触させて測定する場合、安定した測定を行うためには、接触不良、ノイズ混入を防止する観点から、適度な圧力で接触させることが必要である。
しかし、回路基板に実装されるＩＣ等の半導体の性能が向上すると共に、端子が小型化し、端子数も増加して各端子間のピッチが狭ピッチ化されている。
【０００７】
そのため、作業者が直接プローブを持って、または、プローブが先端に設けられたフレキシブルアームを用いて、プローブの先端を回路基板の被測定点に適度な圧力で接触させることが難しく、作業者にとって大きな負荷となり、作業能力による差が生じる問題点がある。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、容易に回路基板の被測定点に適度な圧力でプローブを接触させることができる回路基板試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する請求項１に係る発明は、回路基板を保持する回路基板保持具と、前記回路基板の被測定点に接触して前記被測定点の計測を行うプローブを保持するプローブ保持具と、を有する回路基板試験装置であって、前記プローブ保持具は、直線状のガイドと、該ガイドに沿って配置され、中心軸を中心に回転可能で前記中心軸方向に移動可能に支持されたねじ棒と、前記ガイドに移動可能に係合し、前記プローブが設けられ、前記ねじ棒が螺合するめねじ穴が形成されたスライダと、前記ねじ棒が当接し、前記ねじ棒の前記中心軸方向の移動のうちの一方の方向の移動を禁止するストッパと、  前記ストッパ及び前記スライダに当接し、前記ねじ棒が前記ストッパに当接する方向に前記スライダを押す弾性部材とからなるプローブ押し当て機構を有することを特徴とする回路基板試験装置である。
【００１０】
プローブ押し当て機構の弾性部材により、ねじ棒はストッパに当接し、一方の方向の移動が禁止されている。また、スライダはガイドに移動可能に係合しているので、回転が禁止されている。
【００１１】
この状態で、ねじ棒を一方の方向に回転させると、スライダのみがガイドに案内されてガイドの一方の方向へ移動し、スライダに設けられたプローブが回路基板の被測定点に接触する。
【００１２】
更に、ねじ棒を一方の方向に回転させると、今度は、スライダ、ねじ棒がガイドの他方の方向に移動する。このとき、弾性部材は弾性変形し、その弾性反発力によりプローブは被測定点に押接する。
【００１３】
請求項２に係る発明は、前記プローブの軸と平行な軸を中心に前記プローブを回転可能とする回転機構を有することを特徴とする請求項１記載の回路基板試験装置である。
請求項３に係る発明は、
前記回路基板は略矩形であり、フロアに対して略垂直に配置され、
前記回路基板保持具は、
前記回路基板の下辺に対向する第１フレームと、
該第１フレームに取り付けられ、前記回路基板の一方の側辺と対向する第２フレームと、
前記第１フレームに取り付けられ、前記回路基板の他方の側辺と対向する第３フレームと、
前記第１フレーム、前記第２フレーム、前記第３フレームにそれぞれ少なくとも１つ設けられ、前記第１フレーム、前記第２フレーム、前記第３フレームに沿って移動可能に設けられたスライドブロックと、
該スライドブロックの移動を禁止するストッパ機構と、
該スライドブロックに設けられ、前記回路基板の縁部が嵌合する溝が形成された保持爪とを有し、
更に、前記第２フレーム、前記第３フレームのうち、少なくとも一方のフレームを前記第１フレームに沿って移動可能としたことを特徴とする請求項１または２記載の回路基板試験装置である。
【００１４】
請求項４に係る発明は、前記回路基板が配置される平面上には、前記保持爪以外の部材がないようにしたことを特徴とする請求項３記載の回路基板試験装置である。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る発明によれば、弾性部材により、プローブが設けられたスライダはねじ棒がストッパに当接する方向に押されているので、ねじ棒とめねじ穴との螺合のバックラッシュが小さくなる。
【００１６】
よって、プローブを所望の位置に正確に移動させることができる。
又、プローブが回路基板の被測定点に接触した後、更に、ねじ棒を回転させることで、適度な圧力でプローブを回路基板の被測定点に接触させることができる。
【００１７】
請求項２に係る発明によれば、例えば、先端側が二股形状となり、その一方が信号検出部で、他方がグランドとなっているようなプローブの場合、プローブの軸と平行な軸を中心にプローブを回転させることにより、信号検出部とグランドとを最適な箇所に接触させることができ、正確な測定が可能となる。
【００１８】
請求項３に係る発明によれば、前記回路基板の下辺に対向する第１フレームと、該第１フレームに取り付けられ、前記回路基板の一方の側辺と対向する第２フレームと、前記第１フレームに取り付けられ、前記回路基板の他方の側辺と対向する第３フレームとを有し、更に、前記第２フレーム、前記第３フレームのうち、少なくとも一方のフレームを前記第１フレームに沿って移動可能としたことにより、前記回路基板が略矩形であれば、さまざまな大きさの回路基板を保持することができる。
【００１９】
スライドブロックは、前記第１フレーム、前記第２フレーム、前記第３フレームに沿って移動可能に設けられているので、前記回路基板が矩形であれば、各スライドブロックを移動させた場合、各スライドブロックに設けられた保持爪は常に回路基板の下辺と２つの側辺の縁部に接触しながら移動する。よって、回路基板の縁部に実装された電子部品を避けるために、スライドブロックを移動させる場合でも、回路基板の姿勢は変化しないので、作業が容易となる。
【００２０】
請求項４に係る発明によれば、前記回路基板が配置される平面上には、前記保持爪以外の部材がないようにしたことにより、回路基板を動作させながら計測する場合、電源や信号入出力用コネクタを容易に回路基板に接続できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に、図面を用いて、本発明の形態例を説明する。最初に、図２を用いて、本形態例の回路基板試験装置の全体構成を説明する。本形態例の回路基板試験装置は、矩形の回路基板１をフロアと平行なベース１１に対して垂直方向に保持する回路基板保持具３と、回路基板１の被測定点に接触して被測定点の計測を行うプローブ５を保持するプローブ保持具７とからなっている。尚、本明細書では、ベース１１に対して垂直な方向をｚ軸、ベース１１と平行な平面上で回路基板１に対して垂直な方向をｘ軸、ベース１１と平行な平面上で回路基板１と平行な方向をｙ軸とする。
【００２２】
ここで、図３〜図５を用いてプローブ保持具の説明を行う。図３は、図２に示すプローブ保持具の上面図、図４は図２に示すプローブ保持具の正面図、図５は図４の右側面図である。
【００２３】
プローブ保持具７の下部は、磁気吸引力でベース１１（図２参照）に吸着するマグネットスタンド１３となっている。このマグネットスタンド１３には、ベース１１に対して垂直方向（ｚ軸方向）に伸びるシャフト１５が固着されている。
【００２４】
このシャフト１５に沿って昇降ステージ１７が移動可能に設けられている。この昇降ステージ１７は、昇降ステージ本体１９と、昇降ステージ本体１９に設けられ、シャフト１５が挿通する穴２１が形成された昇降ブロック２３とからなっている。昇降ブロック２３には、昇降ブロック２３の外壁面から穴２１まで延びるスリット２５が形成されている。このスリット２５により、昇降ブロック２３には、第１アーム部２７と第２アーム部２９とが形成されている。第１アーム部２７には水平方向に延びる穴２７ａが形成され、第２アーム部２９には穴２７ａと対向し、水平方向に延びるめねじ穴２９ａが形成されている。そして、第１アーム部２７の穴２７ａより大きな径を有する大径部３１ａと、大径部３１ａに連設され、第１アーム部２７の穴２７ａを挿通し、第２アーム部２９のめねじ穴２９ａに螺合するおねじ部３１ｂを有する締め付けねじ３１が設けられている。この締め付けねじ３１を回転させることにより、昇降ブロック２３のスリット２５の間隔が広がったり、狭まったりする。即ち、昇降ブロック２３の穴２１の径が縮小したり、拡大したりする。この昇降ブロック２３の穴２１の径を変化させることで、昇降ステージ１７を所望の高さに保持することが可能となる。
【００２５】
昇降ステージ１７の昇降ステージ本体１９には、２軸移動ステージ３０が設けられている。この２軸移動ステージ３０は、昇降ステージ本体１９に設けられる固定ベース３３と、固定ベース３３に対して、ベース１１と平行な平面上で、回路基板１と平行な方向（ｙ軸方向）に移動可能に設けられたｙステージ３５と、ｙステージ３５上でベース１１と垂直な方向（ｚ軸方向）に移動可能なｚステージ３７とからなっている。
【００２６】
固定ベース３３に対してｙステージ３５を移動可能とする機構、及びｙステージ３５に対してｚステージ３７を移動可能とする機構は、周知であるが、例示すると以下のような機構がある。
【００２７】
ｙステージ３５を例にとって説明すると、固定ベース３３上に設けられ、ｙ軸方向に延び、ｙステージ３５が移動可能に係合するガイドと、ｙステージ３５、固定ベース３３のうちのどちらか一方に、前記ガイドに沿って回転可能に、軸方向の移動が禁止された状態で設けられたねじ棒と、ｙステージ３５、固定ベース３３のうちのどちらか他方に設けられ、前記ねじ棒に螺合するナット部材とからなり、ねじ棒を回転させることにより、ｙステージ３５がガイド（ｙ軸方向）に沿って移動する送りねじ機構がある。又、固定ベース３３上に設けられ、ｙ軸方向に延び、ｙステージ３５が移動可能に係合するガイドと、ｙステージ３５、固定ベース３３のうちのどちらか一方に、前記ガイドに沿って設けられたラックと、ｙステージ３５、固定ベース３３のうちのどちらか他方に設けられ、前記ラックに噛合するピニオンとからなり、ピニオンを回転させることにより、ｙステージ３５がガイド（ｙ軸方向）に沿って移動するラックアンドピニオン機構がある。
【００２８】
なお、図中、３９はｙステージ駆動用ノブ、４１はｚステージ駆動用ノブであり、これらのノブを回転させることで、回路基板１と平行な平面（ｘｚ平面）上の所望の位置にｚステージ３７を移動させることができる。
【００２９】
ｚステージ３７上には、プローブ押し当て機構５１が設けられている。このプローブ押し当て機構５１を図１を用いて説明する。ｚステージ３７の回路基板１と対向する面には、上方に延びる支持プレート５３が設けられている。この支持プレート５３の上面には、ベース５５が取り付けられている。ベース５５上には、回路基板１に対して垂直な方向（ｘ軸方向）に延びる直線状のガイド５７が設けられている。
【００３０】
ベース５５には、回路基板１と平行な方向で上方に向かって折曲された折曲部５５ａが形成され、この折曲部５５ａには、穴５５ｂが形成されている。
ねじ棒５９はガイド５７に沿って配置され、一方の端部側は、ベース５５の穴５５ｂに挿入され、中心軸を中心に回転可能に、中心軸方向に移動可能に支持されている。更に、ねじ棒５９の一方の端部側は、ベース５５の穴５５ｂを挿通し、操作ノブ６１がねじ棒５９と一体となるように設けられている。操作ノブ６１のねじ棒５９との接続部６１ａはベース５５の折曲部５５ａの穴５５ｂの径より大きく設定されている。
【００３１】
従って、ベース５５の折曲部５５ａは、操作ノブ６１の接続部６１ａが当接することにより、ねじ棒５９の中心軸方向の移動のうちの一方の方向（回路基板１に向かう方向）の移動を禁止するストッパとなっている。
【００３２】
ガイド５７には、スライダ６３が移動可能に係合している。このスライダ６３には、ねじ棒５９の他方の端部側が螺合するめねじ穴６３ａが形成されている。
そして、ねじ棒５９を巻回し、一方の端部がベース５５の折曲部５５ａ（ストッパ）に、他方の端部がスライダ６３に当接するスプリング（弾性部材）６５の付勢力により、スライダ６３は、操作ノブ６１の接続部６１ａ（ねじ棒５９）がベース５５の折曲部５５ａ（ストッパ）に当接し、ねじ棒５９は一方の方向（回路基板１に近づく方向）の移動が禁止されている。また、スライダ６３はガイド５７に移動可能に係合しているので、回転が禁止されている。
【００３３】
このため、操作ノブ６１を回転させると、スライダ６３はガイド５７に沿って移動することとなる。
スライダ６３には、プローブ７３が設けられている。本形態例のプローブ７３はプローブ収納パイプ７５内に配置されている。プローブ収納パイプ７５の筒面には、めねじ穴が形成され、プローブ収納パイプ７５の外部から固定ねじ７７が螺合している。この固定ねじ７７が、プローブ７３の外面に当接し、プローブ７３をプローブ収納パイプ７５の内壁面に押し当てることにより、プローブ７３はプローブ収納パイプ７５に固定される。なお、本形態例では、固定ねじ７７のプローブ収納パイプ７５の外周面より突出したおねじ部分を巻回し、一方の端部が固定ねじ７７の頭部に、他方の端部がプローブ収納パイプ７５の外周面に当接するスプリング７９により、固定ねじ７７のゆるみ止めを行うようにしている。更に、本形態例のプローブ７３の先端部には、被測定点に接触する信号検出部７３ａが形成されている。
【００３４】
プローブ収納パイプ７５は、プローブ収納パイプ７５の周面を覆うような断面形状Ｃ字形のパイプ保持部材８１で保持される。このパイプ保持部材８１はブラケット８３を介してスライダ６３に取り付けられている。
【００３５】
パイプ保持部材８１には、図３、図５に示すように、外面から内面に向かってめねじ穴が形成され、このめねじ穴に螺合する固定ねじ８３が設けられている。この固定ねじ８３が、プローブ収納パイプ７５の外面に当接し、プローブ収納パイプ７５をパイプ保持部材８１の内壁面に押し当てることにより、プローブ収納パイプ７５はパイプ保持部材８１に固定される。更に、固定ねじ８３を緩めることにより、プローブ７３の軸と平行な軸を中心にプローブ収納パイプ７５（プローブ７３）は回転可能となっている。すなわち、パイプ保持部材８１と固定ねじ８３とで、プローブ７３の軸と平行な軸を中心にプローブ７３を回転可能とする回転機構を構成している。
【００３６】
次に、図２、図６〜図７を用いて回路基板保持具３の説明を行う。図６は図２に示す回路基板保持具の上面図、図７は図２に示す回路基板保持具の左側面図である。また、図２の回路基板保持具３は、図７の切断線Ａ−Ａでの断面を示している。
【００３７】
図７に示すように、回路基板保持具３は、回路基板１の下辺に対向する第１フレーム１２１と、回路基板１の一方の側辺と対向する第２フレーム１２３と、回路基板１の他方の側辺と対向する第３フレーム１２５とを有している。
【００３８】
回路基板保持具３の下部は、磁気吸引力でベース１１に吸着するマグネットスタンド１０１となっている。このマグネットスタンド１０１には、ベース１１に対して垂直方向（ｚ軸方向）に伸びるシャフト１０３が固着されている。
【００３９】
図６に示すように、第１フレーム１２１の略中央部分には、昇降ブロック１０５が設けられている。この昇降ブロック１０５には、シャフト１０３が挿通する穴１０７が形成さている。昇降ブロック１０５には、昇降ブロック１０５の外壁面から穴１０７まで延びるスリット１０９が形成されている。このスリット１０９により、昇降ブロック１０５には、第１アーム部１１１と第２アーム部１１３とが形成されている。第１アーム部１１１には水平方向に延びる穴１１１ａが形成され、第２アーム部１１３には穴１１１ａと対向し、水平方向に延びるめねじ穴１１３ａが形成されている。そして、第１アーム部１１１の穴１１１ａより大きな径を有する大径部１１５ａと、大径部１１５ａに連設され、第１アーム部１１１の穴１１１ａを挿通し、第２アーム部１１３のめねじ穴１１３ａに螺合するおねじ部１１５ｂを有する締め付けねじ１１５が設けられている。この締め付けねじ１１５を回転させることにより、昇降ブロック１０５のスリット１０９の間隔が広がったり、狭まったりする。即ち、昇降ブロック１０５の穴１０７の径が縮小したり、拡大したりする。この昇降ブロック１０５の穴１０７の径を変化させることで、昇降ブロック１０５（第１フレーム１２１）を所望の高さに保持することが可能となる。
【００４０】
第１フレーム１２１、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５の断面形状はすべて同じで、図８に示すように、基底部Ｂと、基底部Ｂの一方の側部から略９０度に折曲された第１側部Ｃと、基底部Ｂの他方の側部から第１側部Ｄと同じ方向に同じ角度だけ折曲された第２側部Ｄとからなっている。そして、第１フレーム１２１、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５の基底部Ｂには、各フレームの長手方向に伸びるガイド穴Ｅが形成されている。
【００４１】
また、各フレームの基底部Ｂと、第１側部Ｃと、第２側部Ｄとに囲まれた空間には、スライドブロックＦが移動可能に係合している。スライドブロックＦの各フレームの基底部Ｂと対抗する面には、めねじ穴Ｇが形成されている。一方、各フレームの外部には、締め付けねじＨが配設される。この締め付けねじＨは、ガイド穴Ｅの狭いほうの幅より大きな径を有する操作部Ｉと操作部Ｉに連設され、各フレームのガイド穴Ｅを挿通して、スライドブロックＦのめねじ穴Ｇに螺合するおねじ部Ｊとからなっている。
【００４２】
この締め付けねじＨを緩めることで、スライドブロックＦは各ガイドのガイド穴Ｅに沿って移動可能となり、締め付けねじＨを締め付けることで、スライドブロックＦの移動を禁止することとなる。
【００４３】
次に、第１フレーム１２１と、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５との取り付け構造を説明する。図７に示すように、第１フレーム１２１の両サイドには、締め付けねじＨ'を有するスライドブロックＦ'が配設されている。このスライドブロックＦ'は、第１フレーム１２１の基底部Ｂと、第１側部Ｃと、第２側部Ｄとに囲まれた空間から突出し、突出部分は、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５の基底部Ｂと、第１側部Ｃと、第２側部Ｄとに囲まれた空間に嵌合している、この突出部分が２本のねじ１３１を用いて第２フレーム１２３、第３フレーム１２５に取り付けられている。従って、締め付けねじＨ'を緩めることで、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５は、第１フレーム１２１に沿って移動可能となり、締め付けねじＨ'を締め付けることで、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５はの移動を禁止することとなる。
【００４４】
次に、第１フレーム１２１、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５に回路基板１を保持する機構を説明する。図２、図６、図７に示すように、第１フレーム１２１の中央部には締め付けねじＨを有するスライドブロックＦが２つ配設されている。第２フレーム１２３、第３フレーム１２５には、締め付けねじＨを有するスライドブロックＦがそれぞれ１つ配設されている。
【００４５】
各スライドブロックＦは、各フレームの基底部Ｂと、第１側部Ｃと、第２側部Ｄとに囲まれた空間から突出し、突出部分には、保持爪２０１が２本のねじ２０３を用いて取り付けられている。ここで、図９を用いて保持爪２０１の説明を行う。図９は保持爪を説明する図であり、（ａ）図は正面図、（ｂ）図は上面図、（ｃ）図は（ａ）図の右側面図、（ｄ）図は、（ａ）図の切断線Ｋ−Ｋでの断面図である。これらの図において、保持爪２０１は、角柱状であり、正面図である（ａ）図が角柱の上面または下面を示している。保持爪２０１の上面から下面にわたって、ねじ２０３が挿通する穴２０５が２つ形成されている。保持爪２０１は、図８に示すように、保持爪２０１の第１側面２０１ａ、第２側面２０１ｂとの間の稜線２０１ｃが回路基板１に対向するようにスライドブロックＦに取り付けられる。
【００４６】
第１側面２０１ａから第２側面２０１ｂにわたって、稜線２０１ｃと交差し、回路基板１の縁部が嵌合する溝２０７が形成されている。この溝２０７の断面形状は、さまざまな厚さの回路基板が嵌合可能なようにＶ字形となっている。
【００４７】
そして、図２、図６、図８に示すように、回路基板１が配置される平面上には、保持爪２０１以外の部材がないようになっている。
次に、このような構成の回路基板試験装置の作動を説明する。
【００４８】
（１） 回路基板１の回路基板保持具３へのセット
まず、回路基板保持具３をベース１１上にマグネットスタンド１０１の磁気吸引力でもって、固定する。締め付けねじ１１５を緩めて第１フレーム１２１、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５を所望の高さ（Ｚ軸方向）に昇降させた後、締め付けねじ１１５を締め付けて、その位置を保持する。
【００４９】
次に、回路基板１を保持できない程度に、回路基板保持具３の第２フレーム１２３、第３フレーム１２５の間隔を大開けておく。回路基板１の下縁部を第１フレーム１２１の２つの保持爪２０１の溝２０７に嵌合させた状態で、回路基板１の一方の側縁部を第２フレーム１２３の保持爪２０１の溝２０７に嵌合させる。次に、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５の両方またはいずれか一方を第１フレーム１２１に沿って移動させ、第３フレーム１２５の保持爪２０１の溝２０７に回路基板１の他方の側縁部を嵌合させる。
【００５０】
（２） プローブ保持具７のセット
プローブ保持具７をベース１１上にマグネットスタンド１１３の磁気吸引力でもって固定し、Ｘ軸‐Ｙ軸平面でのラフな位置決めを行う。次に、締め付けねじ３１を緩めて、２軸移動ステージ３０を所望の高さ（Ｚ軸方向）に昇降させた後、締め付けねじ３１を締め付けて、その位置を保持する。
【００５１】
次に、プローブ押し当て機構５１の操作ノブ６１を回して、プローブ７３を回路基板１に近づけ、プローブ７３の先端を回路基板１の被測定点近傍まで移動させる。
次に、２軸移動ステージ３０のｙステージ駆動用ノブ３９、ｚステージ駆動用ノブ４１を操作して、プローブ７３の回路基板１の平面（ｙｚ平面）内の位置出しを行う。
【００５２】
次に、図１０（ａ）に示すように、プローブ押し当て機構５１の操作ノブ６１を回して、プローブ７３の先端の信号検出部７３ａを回路基板１の被測定点Ｐに接触させる。
更に、操作ノブ６１を同一方向に回すと、プローブ７３の信号検出部７３ａが回路基板１の被測定点Ｐに当接しているので、図１０（ｂ）に示すように、スライダ６３より上の部材、すなわち、スライダ６３、パイプ保持部材８１、プローブ収納パイプ７５、プローブ７３、ねじ棒５９が後退し、スプリング６５の弾性反発力が大きくなり、適度な圧力でプローブ７３の信号検出部７３ａは回路基板１の被測定点Ｐに接触する。
【００５３】
このような構成のプローブ保持具７によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１） プローブ押し当て機構５１において、スプリング６５によって、プローブ７３が設けられたスライダ６３はねじ棒５９がベース５５の折曲部５５ａ（ストッパ）に当接する方向に押されているので、ねじ棒５９とめねじ穴６３ａとの螺合のバックラッシュが小さくなる。よって、プローブ７３を所望の位置に正確に移動させることができる。
【００５４】
（２） プローブ７３が回路基板１の被測定点Ｐに接触した後、更に、操作ノブ６１を回転させることで、適度な圧力でプローブ７３の信号検出部７３ａを回路基板１の被測定点Ｐに接触させることができる。
【００５５】
（３） 固定ねじ８３を緩めることにより、プローブ７３の軸と平行な軸を中心にプローブ収納パイプ７５（プローブ７３）は回転可能となっている。よって、例えば、図１１に示すように、プローブ７３の先端部が二股形状となり、その一方が信号検出部７３ａで、他方がグランド７３ｂとなっている場合、プローブ７３の軸と平行な軸を中心にプローブ７３を回転させることにより、信号検出部７３ａとグランド７３ｂとを最適な箇所に接触させることができ、正確な測定が可能となる。
【００５６】
また、このような構成の回路基板保持具３によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１） 回路基板１の下辺に対向する第１フレーム１２１と、第１フレーム１２１に取り付けられ、回路基板１の一方の側辺と対向する第２フレーム１２３と、第１フレーム１２１に取り付けられ、回路基板１の他方の側辺と対向する第３フレーム１２５とを有し、更に、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５を第１フレーム１２１に沿って移動可能としたことにより、回路基板１が略矩形であれば、さまざまな大きさの回路基板を保持することができる。
【００５７】
（２） スライドブロックＦは、第１フレーム１２１、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５に沿って移動可能に設けられているので、回路基板１が矩形であれば、各スライドブロックＦを移動させた場合、各スライドブロックＦに設けられた保持爪２０１は常に回路基板１の下辺と２つの側辺の縁部に接触しながら移動する。よって、回路基板１の縁部に実装された電子部品を避けるために、スライドブロックＦを移動させる場合でも、回路基板１の姿勢は変化しないので、作業が容易となる。
【００５８】
（３） 回路基板１が配置される平面上には、保持爪２０１以外の部材がないようにしたことにより、回路基板１を動作させながら計測する場合、電源や信号入出力用コネクタを容易に回路基板１に接続できる。
【００５９】
尚、本発明は上記形態例に限定するものではない。上記形態例では、第２フレーム１２３、第３フレーム１２５は第１フレーム１２１に沿って移動可能としたが、少なくともどちらか一方のフレームが第１フレーム１２１に対して移動可能であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】プローブ押し当て機構の構成図である。
【図２】回路基板試験装置の全体構成を説明する図である。
【図３】図２に示すプローブ保持具の上面図である。
【図４】図２に示すプローブ保持具の正面図である。
【図５】図４の右側面図である。
【図６】図２に示す回路基板保持具の上面図である。
【図７】図２に示す回路基板保持具の左側面図である。
【図８】フレームとスライドブロック，保持爪の斜視図である。
【図９】図９の保持爪を説明する図で、（ａ）図は正面図、（ｂ）図は上面図、（ｃ）図は（ａ）図の右側面図、（ｄ）図は、（ａ）図の切断線Ｋ−Ｋでの断面図である。
【図１０】プローブ押し当て機構の作動を説明する図である。
【図１１】プローブの先端部の他の形態例を説明する図である。
【符号の説明】
【００６１】
５５ａ  折曲部（ストッパ）
５７  ガイド
５９  ねじ棒
６３  スライダ
６３ａ  めねじ穴
６５  スプリング（弾性部材）
【図１】
2006162370.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006162370.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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