(57)【要約】【課題】  作業効率が向上されたウェハ移載装置を提供する。【解決手段】  本実施形態に係るウェハ移載装置１００においては、カメラ１１６がフォーク駆動部１１１の中央上部に配置されているため、ウェハ１２０ａの移動が不要となった。また、識別記号１２０ａｘの向きが上下逆になる場合や左右方向に傾いていて、作業者が判読しにくい場合には、画像処理を施すことによってウェハ画像表示部１１８における識別記号１２０ａｘの向きを整えることができる。そのため、ウェハ１２０ａの位置合わせが不要となった。さらに、回転させることなく、ウェハ周縁部を含むウェハの全体がウェハ画像表示部１１８に表示される。そのため、ウェハ１２０ａを回転させる作業が不要となった。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの画像を撮像する撮像部と、
前記画像をユーザに提示する画像表示部と、
前記ユーザから指示を受け付け、該指示に基づいてウェハの移載位置を決定する移載位置決定部と、
決定された前記移載位置に前記ウェハを移動させる操作部と、
を備え、
前記撮像部は、該撮像部の視野領域内に固定された前記ウェハの一方の面の全体の画像を撮像することを特徴とするウェハ移載装置。
【請求項２】
請求項１に記載のウェハ移載装置において、
前記画像表示部は、目視により画像が識別されるように拡大して表示することを特徴とするウェハ移載装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のウェハ移載装置において、
前記移載位置決定部は、前記ユーザから、前記ウェハの移載位置について指示を受け付けることを特徴とするウェハ移載装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載のウェハ移載装置において、
前記移載位置決定部は、
前記ユーザから、画像を再度撮像する要求を受け付ける受付部と、
前記要求に対応して、前記撮像部に対し、前記撮像部の視野および撮像位置の少なくとも一方を変更して前記ウェハの拡大画像を撮像することを求める撮像要求部と、
前記拡大画像に基づいて前記ウェハの移載位置を決定する決定部と、
を含むことを特徴とするウェハ移載装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載のウェハ移載装置において、
前記ウェハに識別マークが設けられていることを特徴とするウェハ移載装置。
【請求項６】
請求項５に記載のウェハ移載装置において、
前記識別マークが前記ウェハの周縁部に設けられることを特徴とするウェハ移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハ移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程においては、キャリアに収納された複数のウェハを、別な複数のキャリアに分割して収納する作業や、分割して複数のキャリアに収納されたウェハを１つのキャリアに収納して統合する、といった作業が存在する。
【０００３】
複数のキャリアにウェハを分割して収納する理由は、カスタムＬＳＩ製品においては、分割したウェハのキャリア毎にウェハへの回路形成が一部異なる場合があるためである。カスタムＬＳＩ製品においては、ＲＯＭに記憶するデータは顧客や用途によって異なり、また、少量受注であることから、製造工程のうち、ＲＯＭデータを形成する工程では、異なるＲＯＭデータ毎にウェハをキャリアに分割・収納し、ＲＯＭデータ毎のキャリア単位で製造装置にセットおよび処理をして、ＲＯＭデータ以外の各製品に共通する回路パターン形成では、ウェハを１つのキャリアに収納・統合して、バッチ処理を行う。
【０００４】
上述した、ウェハの分割・統合の作業は、ウェハ自体を加工するものではなく付加価値を生むものではない。しかし、半導体製造工程において、顧客のニーズに合った品種、数量を効率よく製造するために行っているものである。したがって、分割・統合の作業を可能な限り短時間で行うことが求められている。ウェハ移載装置としては、特許文献１に記載されたものが挙げられる。
【０００５】
図１１を用いて、従来のウェハ移載装置１の構成を説明する。
【０００６】
ウェハ移載装置１において、ウェハ１２を移載する機能を有する動作部２は、キャリア４ａ〜４ｃがセットされる載置部３ａ、３ｂ、３ｃと、ウェハ１２を乗せ、任意の角度で回転可能な駆動部（不図示）に連結されているウェハ台５とを有する。また、動作部２は、ウェハ１２のＯＦ（Orientation Flat, ウェハ１２の周縁部の一部を直線にすることでウェハ全体の方向を合わせる基準としている）部を検出するための斜光センサ部６と、ウェハ１２の周縁部を撮影するカメラ７と、カメラ７を支持するアーム８とを有する。さらに、動作部２は、ウェハ１２を支持するフォーク９ａ、９ｂと、フォーク９ａとフォーク９ｂとを連結するアーム１０と、フォーク９ａと９ｂとを上昇、下降、回転、および平行移動させるためのフォーク駆動部１１とを有する。さらにまた、動作部２は、カメラ７によって撮影されたウェハ周縁部の画像を表示するウェハ画像表示部１３と、ウェハ移載装置１からの作業者に対する作業指示を表示する作業指示表示部１４と、ウェハ移載装置１を操作するための操作パネル１５とを有する。図１１においては、説明の簡略化のため、キャリア載置部を３つとした。
【０００７】
以下、図１１〜図１８を用いて、従来技術に係るウェハ移載装置１の動作を説明する。
【０００８】
まず、複数のウェハ１２が収納されたキャリア４ａをキャリア載置部３ａにセットし、空のキャリア４ｂ、４ｃを、それぞれキャリア載置部３ｂ、３ｃにセットする（図１１）。
【０００９】
次に、複数のウェハ１２を最初に収納されたキャリア４ａから、空のキャリア４ｂ、４ｃに分割して収納する場合、まず、フォーク９ａをキャリア４ａ内に収納されたウェハの間に挿入し、上部のウェハ１２ａをフォーク９ａに乗せ、キャリア４ａから外に出す（図１２）。ついで、フォーク駆動部１１によって、フォーク９ａがアーム１０の中心部を軸に、平面上を１８０度の回転およびウェハ台５の方向へ向けて平行移動する。フォーク９ａは、ウェハ台５と斜光センサ６との間に移動する（図１３）。続いて、フォーク駆動部１１によって、ウェハ１２ａを支持するフォーク９ａが、ウェハ１２ａをウェハ台５に乗せるために下降し、ウェハ１２ａは、ウェハ台５に載置される。
【００１０】
次に、操作パネル１５を用いて、作業者がウェハ１２ａの方向合わせの操作指示を行う。その指示に基づいて、ウェハ台５に連結される支柱が、その下部に設けられたモーターＭの駆動によって回転することでウェハ１２ａが回転する。次に、斜光センサ部６によって、ウェハ１２ａのＯＦ部が検出され、ＯＦ部が斜光センサ部６を向いた方向でウェハ１２ａの回転が停止する（図１３、図１６）。ウェハ１２ａの停止位置（方向）は、フォーク操作部において、データとして記憶される。
【００１１】
次に、操作パネル１５におけるウェハ回転操作部からの指示信号に基づいて、ウェハ台５に連結する支柱が、その下部に位置するモーターＭによって回転する。こうすることにより、ウェハ１２ａが回転し、ウェハ１２ａ周縁部の視野範囲１３ａをカメラ７を用いて映し出された画像が、画像処理部で処理されて、ウェハ画像表示部１３のディスプレイに表示される。そして、ウェハ１２ａの周縁部１２ａａの範囲を作業者が見ながら、「ＡＢＣ」と記載された識別マークである識別記号１２ａｘを探す（図１３、図１６、図１７）。ここで、ウェハ画像表示部１３で観察可能なウェハの周縁部１２ａａの領域は、ウェハ中心部から扇を描いた形の扇の角度である２３度程度の領域１３ａに相当する（図１８）。したがって、ウェハ１２aを、ウェハのＯＦ部の方向を合わせた位置を基準として回転させて、２３度毎にウェハ１２ａ周縁部に設けられた識別記号１２ａｘを探す必要がある。
【００１２】
次に、識別記号１２ａｘを作業者が発見し、判読した後、作業者は、操作パネル１５を用いて、ウェハ１２ａの収納先のキャリアを４ｃと入力指定する。上述した収納先の指定に基づいて、フォーク操作部によって、ウェハ１２ａを乗せたフォーク部が右４５度回転し、キャリア４ｃの前に移動し（図１４）、ウェハ１２ａをキャリア４ｃに収納する（図１５）。
【００１３】
以上の動作によって、元のキャリア４ａから１枚のウェハ１２ａが、別のキャリア４ｃに分割、収納される。以降、キャリア４ａに残ったウェハも、同様な方法にて、キャリア４ｂまたは４ｃに分割、収納される。
【００１４】
【特許文献１】特開昭６１−１８７２４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、ウェハ周縁部にマークされる識別記号の位置は、フォトリソグラフィ工程のショットマップにおけるショットが配置されていないウェハの領域である。そのため、従来技術に係るウェハ移載装置１の操作においては、ウェハの識別記号を探すためにウェハをカメラの下まで移動させる作業、ウェハのＯＦ方向を合わせるためにウェハを回転・停止させ、ウェハの停止位置（方向）を基準として一定角度ごとに回転させる作業、識別記号を探し読み取る作業といった３段階の作業が必要であるという課題を有していた。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明によれば、
ウェハの画像を撮像する撮像部と、
前記画像をユーザに提示する画像表示部と、
前記ユーザから指示を受け付け、該指示に基づいてウェハの移載位置を決定する移載位置決定部と、
決定された前記移載位置に前記ウェハを移動させる操作部と、
を備え、
前記撮像部は、該撮像部の視野領域内に固定された前記ウェハの一方の面の全体の画像を撮像することを特徴とするウェハ移載装置
が提供される。
【００１７】
この発明によれば、ウェハ移載装置に備えられる撮像部はウェハの一方の面の全体の画像を撮像し、画像表示部は、画像をユーザに提示する。また、ユーザからの指示に基づいて、移載位置決定部はウェハの移載位置を決定し、操作部は決定された移載位置にウェハを移動させる。そのため、ウェハを回転させる作業を要することなく、画像表示部に表示された画像を用いてウェハを移動させることが可能な、作業効率が向上されたウェハ移載装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、作業効率が向上されたウェハ移載装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００２０】
図１、図２および図５を用いて本実施形態に係るウェハ移載装置１００の構成を説明する。
【００２１】
図１に示すウェハ移載装置１００は、ウェハ１２０ａ（図５）の画像を撮像する撮像部であるカメラ１１６と、画像をユーザである作業者に提示する画像表示部であるウェハ画像表示部１１８と、作業者から指示を受け付け、その指示に基づいてウェハ１２０ａ（図５）の移載位置であるキャリア１０４ｂ〜キャリア１０４ｃを決定する移載位置決定部１６４（図２）と、決定された移載位置にウェハ１２０ａ（図５）を移動させるフォーク操作部１５６（図２）と、を備え、カメラ１１６は、カメラ１１６の視野領域である視野位置１２１（図５）内に固定されたウェハ１２０ａ（図５）の一方の面の全体の画像を撮像し、ウェハ画像表示部１１８は、目視により画像が識別されるように拡大して表示する。
【００２２】
また、図９に示す移載位置決定部１６４は、ユーザである作業者から、ウェハの画像を再度撮像する要求を受け付ける受付部である指示受付部１１５と、要求に対応して、撮像部であるカメラ１１６に対し、カメラ１１６の視野および撮像位置の少なくとも一方を変更してウェハ１２０ａの拡大画像を撮像することを求める撮像要求部１６６と、拡大画像に基づいてウェハ１２０ａの移載位置を決定する決定部１５４とを含む。
【００２３】
図１に示すように、ウェハ移載装置１００において、複数のウェハ１１２（図４）を移載させる機能を有する動作部１０２は、キャリア１０４ａ〜１０４ｃをセットする機能を有するキャリア載置部１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃを有する。
【００２４】
また、動作部１０２は、後述するウェハ１２０ａの周縁部を含む全体を撮影する機能を有するカメラ１１６と、カメラ１１６を支持する機能を有するアーム１１７とを有する。
【００２５】
さらに、動作部１０２は、ウェハ１２０ａを支持する機能を有するフォーク１０９ａおよびフォーク１０９ｂと、フォーク１０９ａとフォーク１０９ｂとを連結する機能を有するアーム１１０と、フォーク１０９ａとフォーク１０９ｂとを上昇、下降、回転、平行移動させる機能を有するフォーク駆動部１１１とを有する。
【００２６】
さらにまた、動作部１０２は、カメラ１１６で撮影したウェハ１２０ａの全体の画像を表示する機能を有するウェハ画像表示部１１８と、ウェハ画像表示部１１８を支持する機能を有する支持部１１９と、ウェハ移載装置１００から作業者に対して作業を指示する機能を有する作業指示表示部１１４と、ウェハ移載装置１００を操作するための指示受付部である操作パネル１１５とを有する。カメラ１１６は、フォーク駆動部１１１の中央部の上方に位置する。
【００２７】
本実施形態においては、説明の簡略化のためキャリア載置部が３つ設けられた形態について説明するが、キャリア載置部が４つ以上設けられていてもよいし、２つであってもよい。
【００２８】
次に、図２〜図８を用いて、本実施形態に係るウェハ移載装置１００の動作を説明する。
【００２９】
複数のウェハ１１２が収納されたキャリア１０４ａがキャリア載置部１０３ａにセットされ、空のキャリア１０４ｂおよびキャリア１０４ｃが、それぞれキャリア載置部１０３ｂ、１０３ｃにセットされる。複数のウェハ１１２を、収納されたキャリア１０４ａから、空のキャリア１０４ｂまたはキャリア１０４ｃに分割して収納する場合、まず、フォーク１０９ａをキャリア１０４ａ内に収納されたウェハ１１２の間に挿入する。次に、上部のウェハ１２０ａをフォーク１０９ａに乗せて、キャリア１０４ａから外に出し、ウェハ１２０ａをカメラ１１６の視野位置１２１に移動させる（図２、図４、図５）。
【００３０】
図２は、ウェハ移載装置１００の動作のフローを説明するための図であり、図３は、ウェハ移載装置１００の動作のフローチャートを示す図である。図２および図３に示すように、撮像部であるカメラ１１６は、ウェハ１２０ａのカメラ側の面の全体の画像を一度に撮像し（ステップＳ１０）、メモリ１５０に保存する（ステップＳ２０）。また、カメラ１１６は、ウェハ画像表示部１１８に対して、ウェハ１２０ａの画像をメモリ１５０に保存した旨の情報を供給する（ステップＳ３０）。次に、ウェハ画像表示部１１８は、メモリ１５０に保存された画像を読み込み、画像処理部１５８によって画像処理が施された後、ディスプレイ１６０に画像情報を表示する（ステップＳ４０）。
【００３１】
このとき、ウェハ画像表示部１１８のディスプレイ１６０に、ウェハ１２０ａの周縁部を含むウェハ１２０ａ全体が、実物の１．５倍程度の拡大倍率で表示される（図５、図８）。なお、図８は、図５のディスプレイ１６０の拡大図である。拡大倍率は、ウェハ実物の大きさ、識別記号の寸法、ウェハ画像表示部１１８のディスプレイ１６０の大きさにより任意に変更可能であり、ユーザである作業者が識別記号を判読できる程度の大きさに拡大されていればよい。
【００３２】
ついで、作業者は、ウェハ画像表示部１１８のディスプレイ１６０に表示されたウェハ１２０ａの周縁部を見て、「ＤＥＦ」と記載された識別マークである識別記号１２０ａｘを判読する（ステップＳ５０）。識別記号は、実寸法より１．５倍程度拡大してディスプレイ１６０に表示されるので、作業者は、ウェハ画像表示部１１８のディスプレイ１６０に拡大表示された識別記号１２０ａｘを容易に判読することができる（図２、図３、図８）。
【００３３】
ここで、識別記号１２０ａｘの位置が、ウェハ画像表示部１１８のディスプレイ１６０内において、ウェハ１２０ａの上部や左右の位置にくる場合には、図８中、識別記号１２０ａｘの向きが上下逆になったり、横になったりして判読しづらいこともある。このような場合には、画像処理部１５８によって、ウェハ１２０ａの画像に画像処理が施される。こうすることにより、ウェハ１２０ａの画像の表示が所望の角度だけ回転させられ、識別記号１２０ａｘが、図８中、ウェハ画像表示部１１８のディスプレイ１６０の下部に移動される。このように、画像処理を施すことによって、ディスプレイ１６０内において識別記号１２０ａｘの向きを修正して、正しい記号表示をさせることで、作業者による判読を容易に行うことができる。
【００３４】
続いて、作業者は、識別記号１２０ａｘを判読した後、指示受付部である操作パネル１１５にウェハ１２０aの収納先のキャリアを１０４ｃと指示する（ステップＳ６０）。次に、指示受付部が受け付けた指示に基づいて、決定部１５４は、操作部であるフォーク操作部１５６を制御し、駆動部１６２の動作により、ウェハ１２０ａを乗せたフォークを右向きに９０度回転させ、キャリア１０４ｃの前に移動させる（図２、図３（ステップＳ７０、ステップＳ８０）、図５、図６）。次に、ウェハ１２０ａがキャリア１０４ｃに収納される（図７）。ここで、指示受付部である操作パネル１１５と決定部１５４は、移載位置決定部１６４を構成する。
【００３５】
以上の動作により、はじめにキャリア１０４ａに収納されていた１枚のウェハ１２０ａが、別のキャリア１０４ｃに分割、収納される。以降、キャリア１０４ａに残ったウェハも、同様な方法にて、キャリア１０４ｂまたは１０４ｃに分割、収納される。
【００３６】
以下、ウェハ移載装置１００の効果について説明する。
【００３７】
従来技術に係るウェハ移載装置１においては、ウェハ１２ａの識別記号１２ａｘを探すために、ウェハ１２ａを、フォーク駆動部１１の中央からカメラ７の下まで移動させていた。一方、本実施形態に係るウェハ移載装置１００においては、カメラ１１６がフォーク駆動部１１１の中央上部に配置されているため、従来のウェハ移載装置１においては必要であったウェハ１２０ａのフォーク駆動部１１１の中央部から従来技術に係るウェハ移載装置のカメラ７に相当する位置までの往復移動が不要となった。
【００３８】
また、従来技術に係るウェハ移載装置１においては、ウェハ１２ａの方向を合わせるために、ウェハ１２ａを回転させていたが、ウェハ移載装置１００においては、ウェハ１２０ａを回転させていない。また、識別記号１２０ａｘの向きが上下逆になる場合や左右方向に傾いていて、作業者が判読しにくい場合には、画像処理部１５８により画像処理が施されることによってウェハ画像表示部１１８のディスプレイ１６０における識別記号１２０ａｘの向きを整えることができる。そのため、ウェハ１２０ａの位置合わせが不要となった。
【００３９】
さらに、従来技術に係るウェハ移載装置１においては、ウェハ周縁部にマークされた識別記号１２ａｘがカメラ７の視野に入るように、ウェハ１２ａの方向を合わせた位置（方向）を基準として２３度毎に回転させていた。また、この回転の基準点を決めるために斜光センサ部６を設ける必要があった。一方、ウェハ移載装置１００においては、回転させることなく、ウェハ周縁部を含むウェハの全体がウェハ画像表示部１１８のディスプレイ１６０に表示される。そのため、ウェハ１２０ａを回転させる作業が不要となった。また、回転させる作業が不要になったことによって、回転の基準点を決める必要がなくなり、ウェハ移載装置１００に斜光センサ部を設ける必要がなくなった。
【００４０】
以上に述べたように、ウェハ移載装置１００においては、従来技術において必要であった、ウェハ周縁部にマークされた識別記号を判読するための、フォーク駆動部１１１の中央部から従来技術に係るウェハ移載装置のカメラ７に相当する位置までのウェハの往復移動、ウェハ回転および識別記号の方向整合といった動作が不要となった。上述した動作が不要となったことによって、従来の技術と比較して、ウェハ移載作業時間を、たとえば、４０％程度、短縮することが可能となった。
【００４１】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００４２】
たとえば、上記実施形態においては、ウェハ周縁部にマークされた識別記号を判読してウェハを移動させる形態について説明したが、ウェハの中央部近傍などウェハ周縁部以外の位置に識別記号が設けられていてもよい。また、識別記号以外のウェハの画像情報を判読してウェハを移動させてもよい。
【００４３】
また、上記実施形態においては、作業者が識別記号１２０ａｘを判読して、指示受付部にウェハを移動させる旨の指示をする形態について説明したが、図９および図１０に示すように、ユーザである作業者がウェハ画像表示部１１８に表示されたウェハ１２０ａの画像を見て、ウェハ１２０ａ内の識別記号１２０ａｘの大まかな位置を探し、最終的な識別記号１２０ａｘの判読を決定部１５４に行わせてもよい。図９は、他の実施形態におけるウェハ移載装置１００の動作のフローを説明するための図であり、図１０は、他の実施形態におけるウェハ移載装置１００の動作のフローチャートを示す図である。図９および図１０に示すように、まず、ウェハ画像表示部１１８に表示されたウェハ１２０ａｘの画像を見たユーザは指示受付部（操作パネル）１１５にウェハ１２０ａの画像を再度撮像する要求を出す（ステップＳ６１）。次に、指示受付部（操作パネル）１１５は撮像要求部１６６に対し、上記の要求を送出する（ステップＳ７１）。ついで、撮像要求部１６６は、上記要求に対応して、撮像部であるカメラ１１６に対し、カメラ１１６の視野および撮像位置の少なくとも一方を変更してウェハ１２０ａの拡大画像を撮像することを要求する（ステップＳ７２）。続いて、カメラ（撮像部）１１６は、上記要求に応じて、ウェハ１２０ａの拡大画像を撮像し、決定部１５４に拡大画像を読み取らせ、決定部１５４は識別記号を判読する（ステップＳ７３）。次に、決定部１５４は、識別記号の判読結果に基づいて、操作部１５６を操作して、ウェハを移動させる（ステップＳ８０）。
【００４４】
また、上記実施形態においては、識別記号１２０ａｘが、実寸法より１．５倍程度拡大して、目視により画像が識別されるように表示される形態について説明したが、目視により画像が識別されない程度に識別記号１２０ａｘが表示されていてもよい。また、実寸法より１．５倍程度以外の拡大倍率で、ユーザや決定部１５４などが判読可能な大きさに識別記号が拡大されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施の形態に係るウェハ移載装置を模式的に示した平面図である。
【図２】実施の形態に係るウェハ移載装置の構造を模式的に示したブロック図である。
【図３】実施の形態に係るウェハ移載装置の動作フローを示すフローチャートである。
【図４】実施の形態に係るウェハ移載装置の動作を模式的に示した平面図である。
【図５】実施の形態に係るウェハ撮影部を模式的に示した平面図である。
【図６】実施の形態に係るウェハ移載装置の動作を模式的に示した平面図である。
【図７】実施の形態に係るウェハ移載装置の動作を模式的に示した平面図である。
【図８】実施の形態に係るウェハ画像表示部を模式的に示した平面図である。
【図９】他の実施の形態に係るウェハ移載装置の構造を模式的に示したブロック図である。
【図１０】他の実施の形態に係るウェハ移載装置の動作フローを示すフローチャートである。
【図１１】従来の技術に係るウェハ移載装置を模式的に示した平面図である。
【図１２】従来の技術に係るウェハ移載装置の動作を模式的に示した平面図である。
【図１３】従来の技術に係るウェハ移載装置の動作を模式的に示した平面図である。
【図１４】従来の技術に係るウェハ移載装置の動作を模式的に示した平面図である。
【図１５】従来の技術に係るウェハ移載装置の動作を模式的に示した平面図である。
【図１６】従来の技術に係るウェハ撮影部を模式的に示した平面図である。
【図１７】従来の技術に係るウェハ画像表示部を模式的に示した平面図である。
【図１８】従来の技術に係るウェハを模式的に示した平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１００      ウェハ移載装置
１０２      動作部
１０３ａ    キャリア載置部
１０３ｂ    キャリア載置部
１０３ｃ    キャリア載置部
１０４ａ    キャリア
１０４ｂ    キャリア
１０４ｃ    キャリア
１０９ａ    フォーク
１０９ｂ    フォーク
１１０      アーム
１１１      フォーク駆動部
１１２      ウェハ
１１４      作業指示表示部
１１５      操作パネル
１１６      カメラ
１１７      アーム
１１８      ウェハ画像表示部
１１９      支持部
１２０ａ    ウェハ
１２０ａｘ  識別記号
１２１      視野位置
１５０      メモリ
１５４      決定部
１５６      フォーク操作部
１５８      画像処理部
１６０      ディスプレイ
１６２      駆動部
１６４      移載位置決定部
１６６      撮像要求部
【図１】
2006147883.tif 000003
【図２】
2006147883.tif 000004
【図３】
2006147883.tif 000005
【図４】
2006147883.tif 000006
【図５】
2006147883.tif 000007
【図６】
2006147883.tif 000008
【図７】
2006147883.tif 000009
【図８】
2006147883.tif 000010
【図９】
2006147883.tif 000011
【図１０】
2006147883.tif 000012
【図１１】
2006147883.tif 000013
【図１２】
2006147883.tif 000014
【図１３】
2006147883.tif 000015
【図１４】
2006147883.tif 000016
【図１５】
2006147883.tif 000017
【図１６】
2006147883.tif 000018
【図１７】
2006147883.tif 000019
【図１８】
2006147883.tif 000020