(57)【要約】【課題】  ボンディング精度を向上することができるダイボンディング装置を提供する。【解決手段】  Ｘ方向へ移動したチップ４のモニタ画面５１上の座標をＸ移動時モニタ座標（Ｘｐ１，Ｙｐ１）、ＸＹテーブル上の座標をＸ移動時テーブル座標（Ｘｔ１，Ｙｔ１）として記憶し、前記Ｘ座標値（Ｘｔ１）から前記Ｘ座標値（Ｘｔ０）を減算して絶対値をとるとともに、この減算値を、前記Ｘ座標値（Ｘｐ１）から前記Ｘ座標値（Ｘｐ０）を減算した値の絶対値で除算して、Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸを算出する。同様の処理をＹ方向でも行いＸ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを算出する。このＸ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸ及びＹ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを用いて求められた値でＸＹテーブルを駆動してチップ４を移動し、その際に生じたズレ量をＸ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸ及びＹ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹに反映する。【選択図】        図５
2006049664.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピックアップ対象となるチップをカメラで撮影し、そのモニタ画面上でチップの位置ズレ量を画像認識するとともに、該位置ズレ量に基づいて前記チップをＸＹテーブルで駆動して位置ズレを補正する際に、前記モニタ画面上で認識される前記位置ズレ量に倍率係数を乗算して前記ＸＹテーブルでの駆動量を算出するダイボンディング装置において、
前記モニタ画面上の任意のチップを認識し、当該チップの前記モニタ画面上の座標を元位置モニタ座標として記憶するとともに前記ＸＹテーブル上の座標を元位置テーブル座標として記憶する初期位置記憶手段と、
前記チップを前記カメラの撮影範囲内にて前記ＸＹテーブルで所定量Ｘ方向へ移動し、当該チップの前記モニタ画面上の座標をＸ移動時モニタ座標として記憶するとともに、前記ＸＹテーブル上の座標をＸ移動時テーブル座標として記憶するＸ移動時座標記憶手段と、
前記Ｘ移動時テーブル座標のＸ座標値から前記元位置テーブル座標のＸ座標値を減算するとともに、この減算値を、前記Ｘ移動時モニタ座標のＸ座標値から前記元位置モニタ座標のＸ座標値を減算した値で除算して、Ｘ方向での前記倍率係数を示すＸ方向倍率係数を算出するＸ方向倍率係数算出手段と、
前記チップを元の位置に戻す戻し手段と、
元の位置に戻されたチップを前記カメラの撮影範囲内にて前記ＸＹテーブルで所定量Ｙ方向へ移動し、当該チップの前記モニタ画面上の座標をＹ移動時モニタ座標として記憶するとともに、前記ＸＹテーブル上の座標をＹ移動時テーブル座標として記憶するＹ移動時座標記憶手段と、
前記Ｙ移動時テーブル座標のＹ座標値から前記元位置テーブル座標のＹ座標値を減算するとともに、この減算値を、前記Ｙ移動時モニタ座標のＹ座標値から前記元位置モニタ座標のＹ座標値を減算した値で除算して、Ｙ方向での前記倍率係数を示すＹ方向倍率係数を算出するＹ方向倍率係数算出手段と、
前記モニタ画面上での中心位置から前記チップまでのズレ量を、前記Ｘ方向倍率係数及び前記Ｙ方向倍率係数を用いて前記ＸＹテーブルでの移動量に変換し、当該移動量分前記ＸＹテーブルを移動して前記チップを前記中心位置へ移動する中心位置移動手段と、
前記中心位置に移動したチップを前記ＸＹテーブルで所定量Ｘ方向へ移動し、当該チップから前記中心位置までの前記モニタ画面上でのＸ方向離間距離を求め、該Ｘ方向離間距離に前記Ｘ方向倍率係数を乗算して前記ＸＹテーブルによるＸ方向戻し量を算出するＸ方向戻し量算出手段と、
前記チップを前記ＸＹテーブルで前記Ｘ方向戻し量移動した後に、当該チップと前記中心位置とのズレ量を補正後Ｘ方向ズレ量として算出する補正後Ｘ方向ズレ量算出手段と、
前記Ｘ方向戻し量に対する前記補正後Ｘ方向ズレ量の割合から前記Ｘ方向倍率係数を修正するＸ方向倍率係数修正手段と、
前記チップを前記中心位置へ戻す中心位置戻し手段と、
前記中心位置に戻したチップを前記ＸＹテーブルで所定量Ｙ方向へ移動し、当該チップから前記中心位置までの前記モニタ画面上でのＹ方向離間距離を求め、該Ｙ方向離間距離に前記Ｙ方向倍率係数を乗算して前記ＸＹテーブルによるＹ方向戻し量を算出するＹ方向戻し量算出手段と、
前記チップを前記ＸＹテーブルで前記Ｙ方向戻し量移動した後に、当該チップと前記中心位置とのズレ量を補正後Ｙ方向ズレ量として算出する補正後Ｙ方向ズレ量算出手段と、
前記Ｙ方向戻し量に対する前記補正後Ｙ方向ズレ量の割合から前記Ｙ方向倍率係数を修正するＹ方向倍率係数修正手段と、
を備えたことを特徴とするダイボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップをピックアップする際にウェーハマウントに支持されたウェーハリングをＸＹテーブルで駆動するダイボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図９に示すように、ウェーハリング７０１に張設されたウェーハシート７０２上のウェーハ７０３はダイシングされてチップ７０４が形成されており、このチップ７０４は、ダイボンディング装置によってリードフレームにボンディングされるように構成されている。
【０００３】
このダイボンディング装置において、ウェーハマウントに取り付けられた前記ウェーハリング７０１よりチップ７０４をピックアップする際には、図１０に示すように、ピックアップ対象となるチップ７０４をカメラで撮影し、モニタ画面７１１上での中心位置７１２から前記チップ７０４の中心７１３までの位置ズレ量７１４を画像認識で検出し、その位置ズレ量７１４分前記ウェーハマウントのＸＹテーブルを駆動して、前記チップ７０４の位置ズレを補正する。
【０００４】
このとき、前記ＸＹテーブルの分解能と前記モニタ画面７１１の分解能とが異なるため、画像認識で検出したモニタ画面７１１上での位置ズレ座標に倍率係数をかけてＸＹテーブル上での位置ズレ座標に変換しなければならない。
【０００５】
この倍率係数を求める際には、図１１に示すように、モニタ画面７１１に表示された一辺が１００ｐｉｘｃｌの枠７２１の対角の二カ所に前記チップ７０４の端を手動で位置合わせする。すると、このときのＸＹテーブル上でのパルス数の変化量が求まるので、Ｘ方向及びＹ方向の変化量を１００ｐｉｘｃｌで除算することによって、Ｘ方向及びＹ方向の倍率係数を求めていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このようなダイボンディング装置にあっては、作業者による手作業で位置合わせを行うため、位置合わせを誤るとピックアップ位置ズレ不良を起こしてしまう。
【０００７】
すなわち、ＸＹテーブルの分解能が４μｍでモニタ画面７１１の分解能が５１２＊４８０ｐｉｘｃｌの場合、ボンディングのＸ−Ｙ方向に４０μｍの位置ズレを起こす可能性があった。
【０００８】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、ボンディング精度を向上することができるダイボンディング装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために本発明のダイボンディング装置にあっては、ピックアップ対象となるチップをカメラで撮影し、そのモニタ画面上でチップの位置ズレ量を画像認識するとともに、該位置ズレ量に基づいて前記チップをＸＹテーブルで駆動して位置ズレを補正する際に、前記モニタ画面上で認識される前記位置ズレ量に倍率係数を乗算して前記ＸＹテーブルでの駆動量を算出するダイボンディング装置において、前記モニタ画面上の任意のチップを認識し、当該チップの前記モニタ画面上の座標を元位置モニタ座標として記憶するとともに前記ＸＹテーブル上の座標を元位置テーブル座標として記憶する初期位置記憶手段と、前記チップを前記カメラの撮影範囲内にて前記ＸＹテーブルで所定量Ｘ方向へ移動し、当該チップの前記モニタ画面上の座標をＸ移動時モニタ座標として記憶するとともに、前記ＸＹテーブル上の座標をＸ移動時テーブル座標として記憶するＸ移動時座標記憶手段と、前記Ｘ移動時テーブル座標のＸ座標値から前記元位置テーブル座標のＸ座標値を減算するとともに、この減算値を、前記Ｘ移動時モニタ座標のＸ座標値から前記元位置モニタ座標のＸ座標値を減算した値で除算して、Ｘ方向での前記倍率係数を示すＸ方向倍率係数を算出するＸ方向倍率係数算出手段と、前記チップを元の位置に戻す戻し手段と、元の位置に戻されたチップを前記カメラの撮影範囲内にて前記ＸＹテーブルで所定量Ｙ方向へ移動し、当該チップの前記モニタ画面上の座標をＹ移動時モニタ座標として記憶するとともに、前記ＸＹテーブル上の座標をＹ移動時テーブル座標として記憶するＹ移動時座標記憶手段と、前記Ｙ移動時テーブル座標のＹ座標値から前記元位置テーブル座標のＹ座標値を減算するとともに、この減算値を、前記Ｙ移動時モニタ座標のＹ座標値から前記元位置モニタ座標のＹ座標値を減算した値で除算して、Ｙ方向での前記倍率係数を示すＹ方向倍率係数を算出するＹ方向倍率係数算出手段と、前記モニタ画面上での中心位置から前記チップまでのズレ量を、前記Ｘ方向倍率係数及び前記Ｙ方向倍率係数を用いて前記ＸＹテーブルでの移動量に変換し、当該移動量分前記ＸＹテーブルを移動して前記チップを前記中心位置へ移動する中心位置移動手段と、前記中心位置に移動したチップを前記ＸＹテーブルで所定量Ｘ方向へ移動し、当該チップから前記中心位置までの前記モニタ画面上でのＸ方向離間距離を求め、該Ｘ方向離間距離に前記Ｘ方向倍率係数を乗算して前記ＸＹテーブルによるＸ方向戻し量を算出するＸ方向戻し量算出手段と、前記チップを前記ＸＹテーブルで前記Ｘ方向戻し量移動した後に、当該チップと前記中心位置とのズレ量を補正後Ｘ方向ズレ量として算出する補正後Ｘ方向ズレ量算出手段と、前記Ｘ方向戻し量に対する前記補正後Ｘ方向ズレ量の割合から前記Ｘ方向倍率係数を修正するＸ方向倍率係数修正手段と、前記チップを前記中心位置へ戻す中心位置戻し手段と、前記中心位置に戻したチップを前記ＸＹテーブルで所定量Ｙ方向へ移動し、当該チップから前記中心位置までの前記モニタ画面上でのＹ方向離間距離を求め、該Ｙ方向離間距離に前記Ｙ方向倍率係数を乗算して前記ＸＹテーブルによるＹ方向戻し量を算出するＹ方向戻し量算出手段と、前記チップを前記ＸＹテーブルで前記Ｙ方向戻し量移動した後に、当該チップと前記中心位置とのズレ量を補正後Ｙ方向ズレ量として算出する補正後Ｙ方向ズレ量算出手段と、前記Ｙ方向戻し量に対する前記補正後Ｙ方向ズレ量の割合から前記Ｙ方向倍率係数を修正するＹ方向倍率係数修正手段と、を備えている。
【００１０】
すなわち、カメラで撮影されたチップの位置ズレ量を補正する際に用いられる倍率係数を求める際には、先ずモニタ画面上の任意のチップを認識し、当該チップの前記モニタ画面上の座標を元位置モニタ座標として記憶するとともに、ＸＹテーブル上の座標を元位置テーブル座標として記憶する。そして、前記カメラの撮影範囲内において、前記チップを前記ＸＹテーブルで所定量Ｘ方向へ移動し、当該チップの前記モニタ画面上の座標をＸ移動時モニタ座標として記憶するとともに、前記ＸＹテーブル上の座標をＸ移動時テーブル座標として記憶し、前記Ｘ移動時テーブル座標のＸ座標値から前記元位置テーブル座標のＸ座標値を減算するとともに、この減算値を、前記Ｘ移動時モニタ座標のＸ座標値から前記元位置モニタ座標のＸ座標値を減算した値で除算して、Ｘ方向での前記倍率係数を示すＸ方向倍率係数を算出する。
【００１１】
そして、前記チップを元の位置に戻し、該チップを前記カメラの撮影範囲内にて前記ＸＹテーブルで所定量Ｙ方向へ移動し、当該チップの前記モニタ画面上の座標をＹ移動時モニタ座標として記憶するとともに、前記ＸＹテーブル上の座標をＹ移動時テーブル座標として記憶し、前記Ｙ移動時テーブル座標のＹ座標値から前記元位置テーブル座標のＹ座標値を減算するとともに、この減算値を、前記Ｙ移動時モニタ座標のＹ座標値から前記元位置モニタ座標のＹ座標値を減算した値で除算して、Ｙ方向での前記倍率係数を示すＹ方向倍率係数を算出する。
【００１２】
これにより、前記Ｘ方向での前記倍率係数を示すＸ方向倍率係数と、Ｙ方向での前記倍率係数を示すＹ方向倍率係数とが算出される。
【００１３】
次に、前記モニタ画面上での中心位置から前記チップまでのズレ量を、前記Ｘ方向倍率係数及び前記Ｙ方向倍率係数を用いて前記ＸＹテーブルでの移動量に変換し、当該移動量分前記ＸＹテーブルを移動して前記チップを前記中心位置へ移動し、このチップを前記ＸＹテーブルで所定量Ｘ方向へ移動し、当該チップから前記中心位置までの前記モニタ画面上でのＸ方向離間距離を求め、該Ｘ方向離間距離に前記Ｘ方向倍率係数を乗算して前記ＸＹテーブルによるＸ方向戻し量を算出する。その後、前記チップを前記ＸＹテーブルで前記Ｘ方向戻し量移動して、当該チップと前記中心位置とのズレ量を補正後Ｘ方向ズレ量として算出するとともに、前記Ｘ方向戻し量に対する前記補正後Ｘ方向ズレ量の割合から前記Ｘ方向倍率係数を修正した後、前記チップを前記中心位置へ戻す。
【００１４】
これと同様に、前記中心位置に戻したチップを前記ＸＹテーブルで所定量Ｙ方向へ移動し、当該チップから前記中心位置までの前記モニタ画面上でのＹ方向離間距離を求め、該Ｙ方向離間距離に前記Ｙ方向倍率係数を乗算して前記ＸＹテーブルによるＹ方向戻し量を算出し、前記チップを前記ＸＹテーブルで前記Ｙ方向戻し量移動して、当該チップと前記中心位置とのズレ量を補正後Ｙ方向ズレ量として算出するとともに、前記Ｙ方向戻し量に対する前記補正後Ｙ方向ズレ量の割合から前記Ｙ方向倍率係数を修正する。
【００１５】
これにより、前記Ｘ方向倍率係数及び前記Ｙ方向倍率係数を用いて求められた値で前記ＸＹテーブルを駆動してチップを移動するとともに、その際に生じたズレ量が、前記Ｘ方向倍率係数及び前記Ｙ方向倍率係数に反映される。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように本発明のダイボンディング装置にあっては、算出されたＸ方向倍率係数及びＹ方向倍率係数を用いて求められた値でＸＹテーブルを駆動してチップを移動し、その際に生じたズレ量を前記Ｘ方向倍率係数及び前記Ｙ方向倍率係数に反映して前記Ｘ方向倍率係数及び前記Ｙ方向倍率係数を補正することができる。
【００１７】
したがって、作業者による手作業でチップの位置合わせを行って倍率係数を求めていた従来と比較して、位置合わせの誤りによる前記倍率係数の誤差を防止することができる。これにより、チップピックアップ時に生じるピックアップミスや、ボンディング時に生じる位置ズレ不良を防止することができ、ボンディング精度の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるダイボンディング装置１を示すブロック図であり、該ダイボンディング装置１は、ウェーハリング２に張設されたウェーハシート３上のチップ４をピックアップしてリードフレーム上へ移送しボンディングする装置である。
【００１９】
このダイボンディング装置１は、マイコンを備えた制御部１１を中心に構成されており、該制御部１１には、ウェーハマウントにセットされた前記ウェーハリング２をＸＹテーブルで駆動するＸＹテーブル駆動部１２が接続されている。これにより、前記制御部１１からの制御信号に従って前記ウェーハマウントにセットされた前記ウェーハリング２を駆動し、ピックアップ対象となるチップ４をピックアップ位置に配置できるように構成されている。
【００２０】
前記制御部１１には、ヘッド駆動部３１が接続されており、該ヘッド駆動部３１は、前記制御部１１からの信号に従って、チップ４を吸着して移送するボンディングヘッド３２を制御するように構成されている。これにより、該ボンディングヘッド３２を、チップ４のピックアップ位置とボンディング位置との間で往復移動できるように構成されており、前記ボンディングヘッド３２によって前記チップ４をピックアップしてリードフレーム上へ移送するとともに、該リードフレームのボンディングポイントに載置してボンディングできるように構成されている。
【００２１】
また、前記制御部１１には、前記ウェーハシート３の画像を取得するカメラ４１と、該カメラ４１で取得した画像を表示するモニタからなる表示部４２と、当該制御部１１に各種データを入力するためのキーボードやマウスからなる入力部４３とが接続されている。
【００２２】
以上の構成にかかる本実施の形態にかかるダイボンディング装置１の動作を、図２〜図４のフローチャートに従って説明する。
【００２３】
すなわち、ボンディング時においてカメラ４１で撮影されたチップ４の位置ズレ量を補正する際に用いる倍率係数を求める際には、先ず、図５に示すように、モニタ画面５１上の任意のチップ４を認識し（Ｓ１）、当該チップ４の中心５２を示す元位置５３の前記モニタ画面５１上の座標を元位置モニタ座標（Ｘｐ０，Ｙｐ０）として記憶するとともに、ＸＹテーブル上の座標を元位置テーブル座標（Ｘｔ０，Ｙｔ０）としてマイコン内蔵のメモリに記憶する（Ｓ２）。なお、前記モニタ画面５１上の座標は、モニタ画面５１のｐｉｘｃｌ値で示すとともに、前記ＸＹテーブル上の座標は、当該ＸＹテーブルを駆動するパルスモータのパルス数で示すものとする。
【００２４】
そして、前記カメラ４１の撮影範囲内において、前記チップ４を前記ＸＹテーブルでＸ方向へ移動しながら、前記チップ４の前記モニタ画面５１上の座標を認識する（Ｓ３）。このとき、前記チップ４が前記モニタ画面５１から外れて認識できなくなるため、その認識から外れる直前のモニタ画面５１上の座標とＸＹテーブル上の座標を記憶する。つまり、前記チップ４を所定量Ｘ方向へ移動した際の当該チップ４の前記モニタ画面５１上の座標をＸ移動時モニタ座標（Ｘｐ１，Ｙｐ１）として記憶するとともに、前記ＸＹテーブル上の座標をＸ移動時テーブル座標（Ｘｔ１，Ｙｔ１）として前記メモリに記憶し（Ｓ４）、前記Ｘ移動時テーブル座標（Ｘｔ１，Ｙｔ１）のＸ座標値（Ｘｔ１）から前記元位置テーブル座標（Ｘｔ０，Ｙｔ０）のＸ座標値（Ｘｔ０）を減算して絶対値をとるとともに、この減算値を、前記Ｘ移動時モニタ座標（Ｘｐ１，Ｙｐ１）のＸ座標値（Ｘｐ１）から前記元位置モニタ座標（Ｘｐ０，Ｙｐ０）のＸ座標値（Ｘｐ０）を減算した値の絶対値で除算して、Ｘ方向での前記倍率係数を示すＸ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸを算出する（Ｓ５）。
【００２５】
そして、前記チップ４を、図６に示すように、例えば前記ＸＹテーブルを前記元位置テーブル座標（Ｘｔ０，Ｙｔ０）へ移動することにより元の位置に戻し（Ｓ６）、前記カメラ４１の撮影範囲内において、前記チップ４を前記ＸＹテーブルでＹ方向へ移動しながら、前記チップ４の前記モニタ画面５１上の座標を認識する（Ｓ７）。このとき、前記チップ４が前記モニタ画面５１から外れて認識できなくなるため、その認識から外れる直前のモニタ画面５１上のモニタ画面上の座標とＸＹテーブル上の座標を記憶する。つまり、前記チップ４を所定量Ｙ方向へ移動した際の当該チップ４の前記モニタ画面５１上の座標をＹ移動時モニタ座標（Ｘｐ２，Ｙｐ２）として記憶するとともに、前記ＸＹテーブル上の座標をＸ移動時テーブル座標（Ｘｔ２，Ｙｔ２）として前記メモリに記憶し（Ｓ８）、前記Ｘ移動時テーブル座標（Ｘｔ２，Ｙｔ２）のＹ座標値（Ｙｔ２）から前記元位置テーブル座標（Ｘｔ０，Ｙｔ０）のＹ座標値（Ｙｔ０）を減算して絶対値をとるとともに、この減算値を、前記Ｙ移動時モニタ座標（Ｘｐ２，Ｙｐ２）のＹ座標値（Ｙｐ２）から前記元位置モニタ座標（Ｘｐ０，Ｙｐ０）のＹ座標値（Ｙｐ０）を減算した値の絶対値で除算して、Ｙ方向での前記倍率係数を示すＹ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを算出する（Ｓ９）。
【００２６】
これにより、前記Ｘ方向での前記倍率係数を示すＸ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸと、Ｙ方向での前記倍率係数を示すＹ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹとが算出される。
【００２７】
次に、図７に示すように、前記モニタ画面５１上での中心位置６１から前記チップ４の中心５２までのズレ量を、前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸ及び前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを用いて前記ＸＹテーブルでの移動量に変換し、当該移動量分前記ＸＹテーブルを移動して前記チップ４を前記中心位置６１へ移動し（Ｓ１０）、このチップ４を前記ＸＹテーブルで所定量ΔＸ分Ｘ方向である右方向へ移動した後（Ｓ１１）、図８に示すように、移動したチップ４から前記中心位置６１までの前記モニタ画面５１上でのＸ方向離間距離ΔＸ１をｐｉｘｃｌ値で求め（Ｓ１２）、該Ｘ方向離間距離ΔＸ１に前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸを乗算して前記ＸＹテーブルによるＸ方向戻し量を算出するとともに、前記チップ４を前記ＸＹテーブルで前記Ｘ方向戻し量移動する（Ｓ１３）。そして、このときの前記チップ４と前記中心位置６１とのズレ量を補正後Ｘ方向ズレ量ΔＸ２として算出するとともに（Ｓ１４）、前記Ｘ方向戻し量ΔＸ１に対する前記補正後Ｘ方向ズレ量ΔＸ２の割合から前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸを修正、具体的には、Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸ＝（（ΔＸ１＋ΔＸ２）／ΔＸ１）＊ＭＡＧＮＩＸの式によって修正した後（Ｓ１５）、前記チップ４を前記中心位置６１に戻す（Ｓ１６）。
【００２８】
このとき、前記補正後Ｘ方向ズレ量ΔＸ２を前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸによって前記ＸＹテーブル上でのズレ量に変換し、このズレ量が１パルス以下となるまで、前記ステップＳ１１〜Ｓ１５を１〜２回繰り返すことで、右方向での前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸをより正確な値に近づけることができる。
【００２９】
同様に、前記中心位置６１に戻された前記チップ４を前記ＸＹテーブルで所定量ΔＸ分Ｘ方向である左方向へ移動した後（Ｓ１７）、移動したチップ４から前記中心位置６１までの前記モニタ画面５１上でのＸ方向離間距離ΔＸ１をｐｉｘｃｌ値で求め（Ｓ１８）、該Ｘ方向離間距離ΔＸ１に前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸを乗算して前記ＸＹテーブルによるＸ方向戻し量を算出するとともに、前記チップ４を前記ＸＹテーブルで前記Ｘ方向戻し量移動する（Ｓ１９）。そして、このときの前記チップ４と前記中心位置６１とのズレ量を補正後Ｘ方向ズレ量ΔＸ２として算出するとともに（Ｓ２０）、前記Ｘ方向戻し量ΔＸ１に対する前記補正後Ｘ方向ズレ量ΔＸ２の割合から前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸを修正、具体的には、Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸ＝（（ΔＸ１＋ΔＸ２）／ΔＸ１）＊ＭＡＧＮＩＸの式によって修正した後（Ｓ２１）、前記チップ４を前記中心位置６１に戻す（Ｓ２２）。
【００３０】
このとき、前記補正後Ｘ方向ズレ量ΔＸ２を前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸによって前記ＸＹテーブル上でのズレ量に変換し、このズレ量が１パルス以下となるまで、前記ステップＳ１７〜Ｓ２１を１〜２回繰り返すことで、左方向での前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸをより正確な値に近づけることができる。
【００３１】
これと同様の動作をＹ方向でも行う。すなわち、前記中心位置６１にあるチップ４を前記ＸＹテーブルで所定量ΔＹ分Ｙ方向である図中上方向へ移動した後（Ｓ２３）、移動したチップ４から前記中心位置６１までの前記モニタ画面５１上でのＹ方向離間距離ΔＹ１をｐｉｘｃｌ値で求め（Ｓ２４）、該Ｙ方向離間距離ΔＹ１に前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを乗算して前記ＸＹテーブルによるＹ方向戻し量を算出するとともに、前記チップ４を前記ＸＹテーブルで前記Ｙ方向戻し量移動する（Ｓ２５）。そして、このときの前記チップ４と前記中心位置６１とのズレ量を補正後Ｙ方向ズレ量ΔＹ２として算出するとともに（Ｓ２６）、前記Ｙ方向戻し量ΔＹ１に対する前記補正後Ｙ方向ズレ量ΔＹ２の割合から前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを修正、具体的には、Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹ＝（（ΔＹ１＋ΔＹ２）／ΔＹ１）＊ＭＡＧＮＩＹの式によって修正した後（Ｓ２７）、前記チップ４を前記中心位置６１に戻す（Ｓ２８）。
【００３２】
このとき、前記補正後Ｙ方向ズレ量ΔＹ２を前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹによって前記ＸＹテーブル上でのズレ量に変換し、このズレ量が１パルス以下となるまで、前記ステップＳ２３〜Ｓ２７を１〜２回繰り返すことで、上方向での前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹをより正確な値に近づけることができる。
【００３３】
同様に、前記中心位置６１に戻された前記チップ４を前記ＸＹテーブルで所定量ΔＹ分Ｙ方向である下方向へ移動した後（Ｓ２９）、移動したチップ４から前記中心位置６１までの前記モニタ画面５１上でのＹ方向離間距離ΔＹ１をｐｉｘｃｌ値で求め（Ｓ３０）、該Ｙ方向離間距離ΔＹ１に前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを乗算して前記ＸＹテーブルによるＹ方向戻し量を算出するとともに、前記チップ４を前記ＸＹテーブルで前記Ｙ方向戻し量移動する（Ｓ３１）。そして、このときの前記チップ４と前記中心位置６１とのズレ量を補正後Ｙ方向ズレ量ΔＹ２として算出するとともに（Ｓ３２）、前記Ｙ方向戻し量ΔＹ１に対する前記補正後Ｙ方向ズレ量ΔＹ２の割合から前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを修正、具体的には、Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹ＝（（ΔＹ１＋ΔＹ２）／ΔＹ１）＊ＭＡＧＮＩＹの式によって修正した後（Ｓ３３）、前記チップ４を前記中心位置６１に戻して（Ｓ３４）、終了する。
【００３４】
このとき、前記補正後Ｙ方向ズレ量ΔＹ２を前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹによって前記ＸＹテーブル上でのズレ量に変換し、このズレ量が１パルス以下となるまで、前記ステップＳ２９〜Ｓ３３を１〜２回繰り返すことで、下方向での前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹをより正確な値に近づけることができる。
【００３５】
このように、前段で算出されたＸ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸ及びＹ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを用いて求められた値でＸＹテーブルを駆動してチップ４を移動し、その際に生じたズレ量を前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸ及びＹ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹに反映して前記Ｘ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＸ及び前記Ｙ方向倍率係数ＭＡＧＮＩＹを補正することができる。
【００３６】
したがって、作業者による手作業でチップ４の位置合わせを行って倍率係数を求めていた従来と比較して、位置合わせの誤りによる前記倍率係数の誤差を防止することができる。これにより、チップピックアップ時に生じるピックアップミスや、ボンディング時に生じる位置ズレ不良を防止することができ、ボンディング精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施の形態の示すブロック図である。
【図２】同実施の形態の動作を示すフローチャートである。
【図３】図２に続くフローチャートである。
【図４】図３に続くフローチャートである。
【図５】同実施の形態の動作を示す説明図である。
【図６】図５に続く動作を示す説明図である。
【図７】図６に続く動作を示す説明図である。
【図８】図７に続く動作を示す説明図である。
【図９】従来例で使用するウェーハリングを示す平面図である。
【図１０】同従来例の動作を示す説明図である。
【図１１】図１０に続く動作を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    ダイボンディング装置
４    チップ
１１    制御部
１２    ＸＹテーブル駆動部
４１    カメラ
４２    表示部
５１    モニタ画面
６１    中心位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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