(57)【要約】【課題】  液体定量吐出装置の電源投入直後から安定した負圧力を確保し、電源投入直後から使用可能とすること。【解決手段】  貯留容器内の液体を所定量ずつ吐出し、液体吐出の休止中に貯留容器の液体に負圧を作用させる負圧系を有する液体定量吐出装置において、貯留容器に負圧を作用させる負圧系を、負圧発生手段と、該負圧発生手段に連通し、貯留容器内を所望の負圧力に調整する電空レギュレータと、該電空レギュレータと貯留容器との間に配設された圧力センサと、該圧力センサからの信号に基づいて電空レギュレータを制御して貯留容器内を所望の負圧力に調整する制御手段とから構成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留容器内の液体を所定量ずつ吐出し、液体吐出の休止中に貯留容器の液体に負圧を作用させる負圧系を有する液体吐出装置であって、
前記負圧系を、負圧発生手段と、該負圧発生手段に連通し、貯留容器内を所望の負圧力に調整する電空レギュレータと、該電空レギュレータと貯留容器との間に配設された圧力センサと、該圧力センサからの信号に基づいて前記電空レギュレータを制御して貯留容器内を所望の負圧力に調整する制御手段と、
から構成したことを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペースト状もしくはクリーム状を呈する電子材料や、接着剤その他の中高粘度液体材料、粘度が経時的に変化する液体材料、低粘度液体材料などを、シリンジから高精度で吐出することができる吐出装置に関するものであって、特に、電源投入後直ちに、精度の良い定量吐出（作業）を行なうことができる液体定量吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の従来技術にかかる定量吐出装置としては、例えば、特開平3−217271号公報（特許文献１）に記載されたものが知られている。
この液体定量吐出装置は、吐出用電磁弁を介してシリンジと、エア供給源およびエア吸引源との接続をもたらし、その吐出用電磁弁とエア供給源との間には、電磁弁側から順次にアキュムレータおよび圧力調整用減圧弁を、また、吐出用電磁弁とエア供給源との間には、電磁弁側から順次アキュムレータおよび吸引負圧用減圧弁をそれぞれ配設したところにおいて、吐出用電磁弁へ、所定の時間にわたって吐出信号を出力するとともに、圧力調整用減圧弁および吸引負圧用減圧弁のそれぞれに、シリンジ内の液体の、少なくとも残量に応じた圧力設定信号を出力する制御部を設けたものである。このような定量吐出装置において、圧力調整用減圧弁および吸引負圧用減圧弁を電空レギュレータにより構成した実施例が回路図とともに開示されている。
【０００３】
ここで、「電空レギュレータ」とは、特公平7−50418号公報（特許文献２）に記載されているように、２次側の圧力を調整する際に、自身が有する圧力センサを用いて圧力を検出し、その検出した検出圧力値と設定圧力値とを比較し、その比較結果に応じて、自身が有する電磁弁を制御することによってパイロット室に対して空気圧パルスを供給し、パイロット室に連結された吸気弁体または排気弁体を開閉し、メインバルブから吐出される吐出圧力を設定圧力値に調整するような装置であり、それ自体公知のものである。
【特許文献１】特開平3−217271号公報（第6頁、図１）
【特許文献２】特公平7−050418号公報（第4頁、図1）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、かかる従来技術にあっては、定量吐出装置の電源投入直後のシリンジ内の負圧力は、電源投入後、しばらくしてからのシリンジ内の負圧力と比較して、ばらつきが大きいということがわかった。
すなわち、液だれ防止のためにシリンジ内の液材に作用させる負圧力が、電源投入直後には安定性に欠けており、負圧不足である場合には、シリンジに連通し先端に吐出口を有するノズルから液材がタレ落ちたり、または負圧過剰の場合には、ノズル先端から外気を吸い込んでしまうという問題があった。
本発明は、このような問題を解決し、吐出装置の電源投入直後から安定した負圧力を確保し、電源投入直後から安定的な使用が可能な液材吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そこで、本発明者は、従来技術が抱える上記問題を解決するために、鋭意研究を重ねた結果、以下のような発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、
貯留容器内の液体を所定量ずつ吐出し、液体吐出の休止中に貯留容器内の液体に負圧を作用させるような負圧系を有する液体定量吐出装置において、
前記貯留容器に負圧を作用させる負圧系を、負圧発生手段と、該負圧発生手段に連通し、貯留容器内を所望の負圧力に調整する電空レギュレータと、該電空レギュレータと貯留容器との間に配設された圧力センサと、該圧力センサからの信号に基づいて前記電空レギュレータを制御して貯留容器内を所望の負圧力に調整する制御手段と、から構成したことを特徴とする液体定量吐出装置である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、電源投入直後から液体の安定した吐出作業・塗布作業を行うことができるので、使用前の暖機運転が不要となり、また、速やかに作業を開始することができるので、不要な待機時間を排除し、作業を効率的に行うことができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明にかかる液体定量吐出装置の一実施形態を添付図面に示すところに基づいて説明する。
図１は、液体定量吐出装置の回路図であり、図中、実線は圧力回路を、破線は信号回路をそれぞれ示す。
ここでは、充填された液体の吐出を行うシリンジ１に、そこへ液体吐出用の加圧力を供給する加圧気体供給手段２（図示では、コンプレッサー２ａおよび、その下流側に配設した圧力調整用レギュレータ２ｂ）が、二位置切替可能な吐出弁３を介して接続されていると共に、そのシリンジ１内へ液体保持用の負圧力を供給する負圧供給手段４（図示では、負圧力調整用電空レギュレータ４ａおよびその下流側のエジェクタ４ｂ）が、二位置切替可能な大気開放弁６を介して前記吐出弁３に接続されている。
すなわち、シリンジ１に連通している吐出弁３は、位置切替えによって、加圧気体供給手段２または負圧供給手段４のいずれか一方に連通するようになっている。
【０００８】
このような構成によれば、制御部５からの信号に基づく吐出弁３の作動によって、加圧気体供給手段２または大気開放弁６とのいずれか一方がシリンジ１に連通するように制御されると共に、同じく制御部５からの信号に基づく大気開放弁６の作動によって、負圧供給手段４または大気開放口７とのいずれか一方が吐出弁３に連通するように制御される。
したがって、吐出弁３が、大気開放弁６とシリンジ１とに連通するようなポート位置にあるとき、シリンジ１は、負圧供給手段４または大気開放ロ７のいずれか一方に連通することになる。
【０００９】
本発明においては、シリンジ１内に貯留された液体の吐出は、制御部５からの信号によって、吐出弁３を図示のポート位置からシフトさせ、シリンジ１内の液体残量その他に応じてレギュレータ２ｂで調整された所要の加圧力を、シリンジ１内へ所要時間供給することにより行われる。
前記シリンジ１からの所定量の液体の吐出を終えたときは、制御手段５によって、吐出弁３を図示のポート位置に復帰させると共に、大気開放弁６を図示のポート位置からシフトさせて、シリンジ内の加圧された気体を大気に放出させた後に、適切な時間をもって大気開放弁６を図示のポート位置に戻すことによって、負圧供給手段４によって適切な負圧力がシリンジ１内の液体材料に作用する。
【００１０】
ここにおいて、加圧気体供給手段２の圧力調整用レギュレータ２ｂは、コンプレッサー２ａからの加圧気体を所要圧力に減圧すべく機能し、かかるレギュレータ２ｂより下流側の気体圧力は、圧力センサ８ａにより測定することができる。
また、負圧供給手段４のエジェクタ４ｂは、通過気体の流量に応じた大きさの負圧力を発生し、負圧力調整用電空レギュレータ４ａは、前記エジェクタ４ｂが作る負圧力を所要圧力にすべく機能する。そして、この負圧力調整用電空レギュレータ４ｂより下流側の負圧力は、圧力センサ８ｂにより測定することができる。
なお、吐出作業待機中は、吐出弁３および大気開放弁６のポート位置が、シリンジ１と負圧供給手段４とを連通させる位置となる。
【００１１】
そして、圧力センサ８ｂによって負圧力調整用電空レギュレータ４ｂの下流側圧力が計測される。圧力センサ８ｂによって計測された圧力は、制御部５に送信され、制御部５においては所望とする圧力であるか否かが判断され、必要に応じて負圧力調整用電空レギュレータ４ｂを制御して、圧力センサ８ｂで計測される負圧力が所望とする圧力になるよう調整される。
【産業上の利用可能性】
【００１２】
以上説明したように、本発明は、ペースト状もしくはクリーム状を呈する電子材料や、接着剤その他の中高粘度液体材料、粘度が経時的に変化する液体材料、低粘度液体材料などを、電源投入直後から即座に精度良く定量吐出することができる液体吐出装置を提供するものであり、特に、LSI等の半導体製造の分野において有効的に利用される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明にかかる定量吐出装置の一実施形態を示す回路図である。
【符号の説明】
【００１４】
１  シリンジ
２  加圧気体供給手段
２ａ  コンプレッサー
２ｂ  圧力調整用レギュレータ
３  吐出弁
４  負圧供給手段
４ａ  負圧力調整用電空レギュレータ
４ｂ  真空エジェクタ
５  制御部
６  大気開放弁
７  大気開放口
８ａ、８ｂ  圧力センサ
【図１】
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