(57)【要約】【課題】液化した有機材料が蓋体の下面に結露しても、この有機材料が坩堝の外部に漏れ出さない構造の蒸着装置を提供する。【解決手段】有機ＥＬ装置に用いられる基板の下方へ配され、有機材料を真空蒸着するための坩堝２２があり、坩堝２２は、貯留部２４と、蓋体２６と、ヒータを有し、また、蓋体２６には有機材料が吹出す吹出口２８が開口し、蓋体２６の外周部近傍の下面には、貯留部２４の開口部の内側に嵌合するひさし部３０が下方に突出している。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
前記筐体内に配置され、蒸着材料を貯留するための貯留部と、前記貯留部の上面に配置され、前記蒸着材料を出射する吹出口を備えた蓋体と、を有する坩堝と、
前記坩堝を加熱する加熱手段とを有し、
前記蓋体は前記貯留部の開口部内壁に嵌合するひさし部を備えた
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記蒸着装置は、被蒸着部材を保持する保持機構を備えた
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記蒸着装置は、前記被蒸着部材に対し相対移動可能な移動手段を有している
ことを特徴とする請求項２記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記坩堝は、前記被蒸着部材の移動方向に直交する方向を長手方向とする直方体の箱形である
ことを特徴とする請求項３記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記吹出口は、前記長手方向に開口した長方形形状である
ことを特徴とする請求項４記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記吹出口は、前記長手方向に配列した複数の開口を有する
ことを特徴とする請求項４記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記開口部内壁と、前記開口部内壁に嵌合する前記ひさし部との距離は０．５ｍｍ以下である
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項８】
前記蒸着材料は、前記加熱手段により融解した後、昇華して出射する
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項９】
前記蒸着材料の融解温度と昇華温度との差は１５０℃以上である
ことを特徴とする請求項８記載の蒸着装置。
【請求項１０】
前記蒸着材料は有機材料であることを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項１１】
前記被蒸着部材は、有機EL装置に用いる基板であることを特徴とする請求項２記載の蒸着装置。
【請求項１２】
前記坩堝が、カーボン、または、グラファイトにより形成され、前記有機材料が接触する内側は石英ガラスより形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項１３】
前記坩堝が、カーボン、または、グラファイトにより形成され、前記有機材料が接触する内側は、ＢＮ（ボーンナイトライド）、または、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）によってコーティングされていることを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項１４】
前記坩堝が、金属により形成されていることを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄型表示装置として複数の有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子をマトリクス状に配置した有機ＥＬ表示装置が注目を集めている。有機ＥＬ素子は、陰極及び陽極間に有機材料でなる発光層を挟持して構成される。有機ＥＬ素子における発光層は耐水性が低く、発光層を形成する際には真空薄膜成膜技術の一つである真空蒸着技術によって成膜するのが一般的である。
【０００３】
このような発光層の成膜を行う技術として、成膜対象となる基板とライン型蒸着源とを相対移動させる技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この有機材料を基板に真空蒸着する場合には、真空雰囲気中で、基板をマスクを介してライン型蒸着源に対向して基板を配置した状態で、蒸着源を加熱させつつ、蒸着源の長手方向と直交する方向に相対移動させることにより、基板の対向面に有機材料を成膜している。
【０００５】
蒸着源は、基板の移動方向と直交する方向の長さを充分カバーする蒸着幅を有している。
【特許文献１】特開２００３−１５７９７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、蒸着源からの出射量を制御するために、図４に示すような蒸着源として貯留部１０２に蓋体１０４を被せ配置した構造の坩堝１００を考えると、蓋体１０４の内面にトラップされた蒸着材料が液化し、蓋体１０４を伝って、坩堝１００の外部に漏れ出す可能性があることがわかった。
【０００７】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、蓋体にて蒸着材料が液化したとしても、この蒸着材料が坩堝の外部に漏れ出さない構造の蒸着装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、筐体と、前記筐体内に配置され、蒸着材料を貯留するための貯留部と、前記貯留部の上面に配置され、前記蒸着材料を出射する吹出口を備えた蓋体と、を有する坩堝と、前記坩堝を加熱する加熱手段とを有し、前記蓋体は前記貯留部の開口部内壁に嵌合するひさし部を備えたことを特徴とする蒸着装置である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、蒸着材料が不所望に外部に漏れ出すことを防止し、蒸着レイトを安定させ、また蒸着被膜の膜厚を安定化させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の一実施形態について、図１〜図３に基づいて説明する。
【００１１】
本実施形態は、有機ＥＬ装置に用いられる基板１０に正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層等よりなる有機層を積層するための真空蒸着装置に関し、真空状態を実現すチャンバー（筐体）内部に基板１０を配し、真空蒸着を行なう。
【００１２】
（１）真空蒸着の方法
以下、図２及び図３に基づいて、基板１０に有機材料を真空蒸着する方法について説明する。
【００１３】
基板１０は、チャンバー内部の真空雰囲気中においてマグネット２０によって吸引して被蒸着面が蒸着源に対向して配置されるよう、被蒸着面を下向きにした状態で保持機構により保持している。すなわち、図３に示すように、基板１０の被蒸着面には、ステンレス製のマスク支持部１２が配され、基板１０の被蒸着面の反対側の面には、アルミニウム製、または、カッパー製の押え板１８が配され、マグネット２０がマスク支持部１２を吸引することにより、基板１０を保持している。マスク支持部１２には、額縁状の枠部１４内部に鉄−クロム合金製のマスクが設けられている。
【００１４】
上記のようにして保持された基板１０の下方には、所定間隔（例えば、１５０ｍｍである）を開けて坩堝２２が配されている。坩堝２２は、直方体の箱形であって、坩堝２２を移動可能とする移動手段により、坩堝２２の長手方向と直交する方向に一定速度（例えば、１０〜２０ｍｍ／秒である）で走査される。坩堝２２の長手方向の長さは、蒸着幅が相対移動方向と直交する方向の基板の長さをカバーできる程度に設定される。
【００１５】
坩堝２２は、貯留部２４と蓋体２６とより構成され、貯留部２４内部に有機材料が貯留されている。この詳しい構成については後から説明する。蓋体２６の上面には、昇華した有機材料が出射するための吹出口２８が坩堝長手方向に沿って複数開口している。また、坩堝２２の両側壁には、ヒータ２５が内蔵され、貯留されている有機材料を加熱する。
【００１６】
そして、上記にように、所定速度で坩堝２２を基板１０の縦方向に移動させると、加熱により昇華した有機材料が基板１０の被蒸着面におけるマスク１６によって覆われていない部分に、選択的に有機材料が蒸着される。尚、吹出口は、坩堝長手方向に沿った長方形形状であってもよい。
【００１７】
（２）坩堝２２の構造
上記真空蒸着で用いられる坩堝２２の構造について図１及び図２に基づいて説明する。
【００１８】
坩堝２２は、直方体の箱形であって貯留部２４と蓋体２６とより構成されている。貯留部２４は、二層構造であって外側がカーボン、または、グラファイトより構成され、有機材料が接触する内側は石英ガラスより構成されている。
【００１９】
蓋体２６は、貯留部２４の上面の開口部及び貯留部２４の側壁を覆う形状となっており、蓋体２６の上面には吹出口２８が所定間隔毎に複数開口している。さらに、蓋体２６の下面には、ひさし部３０が下方に突出している。このひさし部３０は、図１及び図２に示すように、貯留部２４の壁の内側に嵌合するように、蓋体２６の下面の四周部に沿って突出している。
【００２０】
貯留部２４の開口部内壁と、この内壁に嵌合するひさし部３０との距離（隙間）は、０．５ｍｍ以下とすることが望ましい。こうすることで、ひさし部と貯留部の間での蓋体の天井面で、蒸着材料が液化することを防止することができる。
【００２１】
尚、蒸着材料の融解温度と昇華温度（蒸着温度）との差が大きい場合に、本実施形態は特に効果を奏する。融解温度と昇華温度との差が１５０℃以上ある場合には、本実施形態は必須となる。例えば蒸着材料の融点は２００℃より小さく、蒸着温度は３５０℃を超える。
【００２２】
蓋体２６の内側は、コーティング材によってコーティングされ、有機材料が染み込まない構造となっている。このコーティング材としては、例えばＢＮ（ボーンナイトライド）やＳｉＣ（シリコンカーバイド）が好適である。
【００２３】
なお、貯留部２４の内側も石英ガラスで構成するのでなく、このコーティング材をコーティングしても良い。
【００２４】
この坩堝２２であると、ヒータ２５により有機材料が加熱され、昇華して気体となると吹出口２８から吹出す。この場合に、蓋体２６の下面、すなわち、天井面に一部の有機材料がトラップし結露して液化した場合に、図１及び図２に示すように、液化した有機材料が蓋体２６の天井面、ひさし部３０を伝わって貯留部２４の内壁に至り液体状の有機材料に戻る。
【００２５】
そのため、従来のように貯留部２４と蓋体２６との間に流れ込むことがなく坩堝２２の外側に有機材料が漏れ出すことがない。
【００２６】
（第２の実施形態）
上記実施形態では、基板１０を固定し、坩堝２２を移動させたが、これに代えて坩堝２２を固定し、基板１０を移動させてもよい。
【００２７】
この場合には、基板１０を直線移動させるだけでなく、基板１０の下面中央部に坩堝２２を配し、基板１０をその中心で回転させて、真空蒸着を行なってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１の実施形態の側方から見た縦断面図である。
【図２】同じく正面から見た坩堝の縦断面図である。
【図３】真空蒸着装置の斜視図である。
【図４】従来の坩堝の縦断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０  坩堝
１２  貯留部
１４  蓋体
２８  吹出口
３０  ひさし部
【図１】
2006219755.tif 000003
【図２】
2006219755.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006219755.tif 000006