(57)【要約】      （修正有）【課題】鉛直状態で移送されるトレイを安定かつ高速に移送し、トレイの進入及び排出を感知することができるトレイ移送装置を提供する。【解決手段】基板及びマスクが固着され、下端に棒状の密着部材が設置された鉛直状態のトレイ１１２の移送のためにトレイ下部に密着して移送経路を形成し、駆動源によって回転される複数のプーリー１１４を備えた移送部と、前記トレイ１１２の移送路上にセンサーを備え、トレイ１１２の進入及び排出を感知できる感知部とを含んでなる移送装置１００。【選択図】図３
2006191039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板及びマスクが固着された鉛直状態のトレイ下部に密着して移送路を形成し、駆動源によって回転される複数のプーリーを備えた移送部と、
前記トレイの移送路上にセンサーを備え、トレイの進入及び排出を感知するための感知部と、が具備されてなることを特徴とするトレイ移送装置。
【請求項２】
前記センサーは、超音波センサー、光センサー、光ファイバーセンサー、磁気センサー、赤外線センサー、紫外線センサー、の中で選択されたいずれかひとつの非接触センサーであることを特徴とする請求項１に記載のトレイ移送装置。
【請求項３】
前記非接触センサーは、トレイの下側に設置されてトレイの下面を感知することを特徴とする請求項１または２に記載のトレイ移送装置。
【請求項４】
前記プーリーは、それぞれ駆動源によって駆動されることを特徴とする請求項１に記載のトレイ移送装置。
【請求項５】
前記感知部のセンサーによってトレイの進入及び排出時点、移送時間などがデータ化され、該データに基づいて移送部を制御する制御部がさらに含まれてなることを特徴とする請求項１または２に記載のトレイ移送装置。
【請求項６】
基板及びマスクが固着され鉛直状態で移送されて進入したトレイと接触しながらトレイの状態を維持するガイド部と、
前記ガイド部が往復移動できるように該ガイド部と連動可能に設置された駆動部と、
前記駆動部によって移動されるガイド部の移動経路を案内する誘導部と、
が具備されてなることを特徴とするトレイ移送装置。
【請求項７】
前記ガイド部は、トレイの両側面に接触し得るように配置された複数のローラーと、前記ローラーが装着されて往復移動できるように駆動部と連動可能に設置され、前記移動経路が案内されるように前記誘導部に装着された移動部材とを含むことを特徴とする請求項６に記載のトレイ移送装置。
【請求項８】
前記駆動部は、前記移動部材と連結された駆動源を含むことを特徴とする請求項６または７に記載のトレイ移送装置。
【請求項９】
前記誘導部は、前記移動部材の移動経路を案内し、該移動部材が嵌合されたレールを含むことを特徴とする請求項６または７に記載のトレイ移送装置。
【請求項１０】
前記ローラーは、鉛直状態で移送されて進入したトレイを挟み、該トレイの両側面に一定間隔で接触し得るように配置されることを特徴とする請求項７に記載のトレイ移送装置。
【請求項１１】
前記ローラーは、進入時のトレイの両側において互いに対向して配置されることを特徴とする請求項１０に記載のトレイ移送装置。
【請求項１２】
前記ローラーは、進入時のトレイの両側において互い違いに配置されることを特徴とする請求項１０に記載のトレイ移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はトレイに関し、より詳細には、鉛直状態で移送されるトレイが安定で高速に移送され、そのトレイの進入及び排出を感知することができるトレイ移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、平板ディスプレイの一つである電界発光ディスプレイ装置は発光層として使用する物質によって無機電界発光ディスプレイ装置と、有機電界発光ディスプレイ装置とに区分され、有機電界発光ディスプレイ装置は低電圧で駆動可能であり、軽量の薄型でありながら視野角が広いだけでなく応答速度もまた速いという長所を具備しているため脚光を浴びている。
【０００３】
このような有機電界発光ディスプレイ装置の有機電界発光素子は、基板上に積層式に形成される陽極、有機物層及び陰極で構成される。前記有機物層は、正孔と電子が再結合して励起子を形成して光を放出する有機発光層を含み、また正孔と電子を有機発光層に円滑に輸送して発光效率を高めるために前記陰極と有機発光層の間には電子注入層と電子輸送層が介在し、陽極と有機発光層の間には正孔注入層と電子輸送層が介在する。
【０００４】
上述された構造で構成される有機電界発光素子は、一般的に真空蒸着法、イオンプレイティング法及びスパッタリング法などのような物理気相蒸着法またはガス反応による化学気相蒸着法で製作される。
【０００５】
特に、有機電界発光素子の有機物層を形成するためには、真空チャンバ内で有機物質を蒸発させて形成された有機気相物質を蒸着源から噴射して基板に蒸着させる真空蒸着法が広く使用される。
【０００６】
近年、ディスプレイの大型化に応じて基板が大型化されており、このような大型基板に有機物層を蒸着するために蒸着源が、真空チャンバ内を垂直上下方向に移動しながら有機気相物質を噴射する蒸着システムが開発された。
【０００７】
このような蒸着システムでは、蒸着源を上下方向に移動させる駆動軸が提供されており、前記駆動軸は駆動手段によって軸回転するようになる。駆動軸の回転によって蒸着源は垂直上下方向に移動し、その間に、有機物質を蒸発させることにより形成される有機気相物質を噴射する。
【０００８】
また、前記蒸着機から噴射された物質が塗布される基板が大面積化されつつあるため、基板の曲がり現象が除去されるように基板とマスクが鉛直状態で整列されるようにするための垂直整列システムが研究されている。
【０００９】
前記基板が鉛直状態で固定されて往復移動できるように設置された基板トレイホルダーには、前記基板と連結される連結部材が突出部分を有し、基板トレイと同じく鉛直状態で配置されたホルダープレートが必要となる。
【００１０】
また、鉛直状態で移送される基板の移送速度及び移送位置等の条件を制御及び改善するためには、基板の進入・排出が感知される必要があり、ガラスまたはマスクなどが附着されたトレイを鉛直状態で移送させるための別途の移送装置、及びこの移送装置によって移送されるトレイが鉛直状態を維持するためのガイド手段が要求される。
【００１１】
一方、前記のトレイ移送装置に関する従来技術を記載した文献としては、下記特許文献１等がある。
【特許文献１】特開２００４−３０４２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
したがって、本発明は前記従来技術の問題を解決するために提案されたもので、その目的は、鉛直状態で移送されるトレイが安定で高速に移送され、このトレイの進入及び排出を感知することができるトレイ移送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を果たすための本発明によるトレイ移送装置は、基板及びマスクが固着され、下端に棒状の密着部材が設置された鉛直状態の前記トレイの移送のために前記密着部材と密着しながら移送経路を形成し、駆動源によって回転される複数のプーリーを含む移送部と、前記トレイの移送経路上に設置されたセンサーによりトレイの進入及び排出を感知することができる感知部とを具備して構成される。
【００１４】
また、前記非接触センサーは、超音波センサー、光センサー、光ファイバーセンサー、赤外線センサー、及び紫外線センサーの中から選択されたいずれかひとつであることが望ましい。
【００１５】
また、本発明による移送装置は、前記感知部のセンサーによってデータ化されたトレイの進入・排出時点、及び移送時間などに基づいて移送部を制御する制御部をさらに含んで構成されることが望ましい。
【００１６】
また、本発明によるトレイ移送装置は、鉛直状態で移送されて進入したトレイと接触しながらトレイの鉛直状態を維持するガイド部と、前記ガイド部が往復移動できるようにガイド部と連動可能に設置された駆動部と、前記駆動部によって移動するガイド部の移動経路を案内する誘導部と、を具備して構成される。
【００１７】
また、前記ガイド部は、トレイの両側に接触し得るように配置された複数のローラーと、このローラーが装着されて往復移動できるように駆動部と連動可能に設置され、移動経路上を案内されるように誘導部に装着された移動部材と、を含んで構成されることが望ましい。
【００１８】
また、前記駆動部は、前記移動部材と連結された駆動源を含んで構成されることが望ましい。
【００１９】
また、前記誘導部は、前記移動部材が嵌合されたレールであって移動部材の移動経路を案内するレールを含んで構成されることが望ましい。
【００２０】
そして、本発明の他の実施形態によるトレイ移送装置の構造は、鉛直状態で移送されて進入したトレイを挟み、該トレイの両側に一定間隔で接触し得るように配置されたローラーを含んで構成される。
【００２１】
また、前記ローラーはトレイ両側に対向して配置されるか、または互い違いに配置されることが望ましい。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように本発明によれば、トレイを感知するためのセンサーの損傷が防止されるため寿命が長期化されることはもちろん、交換費用が低減され、また、トレイの移送速度が向上することによりトレイの移送作業時間が短縮され、全体工程の進行速度が向上して時間あたりの生産性が増大されるという效果がある。
【００２３】
また、鉛直状態で移送されるトレイ上部の搖れがローラーの支持によって除去されることはもちろん、トレイの一部位に対する摩耗が防止され、前記トレイがローラーによって安定に支持されてトレイの移送速度が高速化されるという效果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の好適な実施形態によるトレイ移送装置を、添付された図面を参照して詳しく説明する。
【００２５】
図１は、本発明の好適な実施形態によるトレイ移送装置を装着するための真空蒸着システムのバッファー領域に蒸着源が位置している状態を表す概略図、図２は、本発明の好適な実施形態によるトレイ移送装置を装着するための真空蒸着システムの成膜領域に蒸着源が位置している状態を表す概略図である。
【００２６】
図１を参照すれば、真空蒸着システムの真空チャンバ１０には、有機物層を形成しようとする基板３０と、基板３０の前方に位置するマスク４０と、マスク４０から所定間隔だけ離された蒸着源２０が設置される。
【００２７】
マスク４０と基板３０は、アラインメントシステム（図示せず）によって整列されチャック５０に当接された状態で固定される。
【００２８】
マスク４０は、基板３０に形成しようとする有機物層に対応するパターンが形成されているパターン形成部（仮想線で表示）と、マスクフレーム（図示せず）に溶接によって固定される固定部とから構成される。
【００２９】
この時、真空チャンバ１０はマスク４０及び基板３０の設置位置に対応する成膜領域Ｂと、前記成膜領域Ｂ以外の位置に対応するバッファー領域Ａとに区分される。
【００３０】
蒸着源２０は、移動手段（図示せず）の作動によって軸回転する駆動軸に移動可能に装着され、前記駆動軸の回転方向にしたがって真空チャンバ１０内から垂直上下方向に移動する。
【００３１】
一方、図３は本発明の好適な実施形態によるトレイ移送装置が概略的に図示された斜視図、図４は、図３に示されたトレイ移送装置の感知部を示す本発明の一実施形態が概略的に示された部分側面図、図５は、図４に図示された感知部の他の例が概略的に示された側面図、図６は、図５に図示された感知装置及び周辺装置の制御関係が図示されたブロック図である。
【００３２】
図３のように、本発明によるトレイ移送装置１００は、基板及びマスクが固着されたトレイ１１２の円滑な移送のためにトレイ１１２の下面と接触し得る複数のプーリー１１４を備えた移送部１１０と、前記トレイ１１２の移送経路上に感知センサーを備えトレイ１１２の進入および排出を感知できる感知部１２０とを含んで構成される。
【００３３】
前記トレイ１１２の下側には、前記トレイ１１２の下部に設けられた棒状の密着部材が安着されるように複数のプーリー１１４が配置され、前記プーリー１１４が回転されることによりトレイ１１２が移送される。
【００３４】
前記感知センサーとして、図４及び図５のように、接触センサー１２２及び非接触センサー１２４の中のいずれか一つが選択されて使用されることができる。
【００３５】
前記感知センサーが接触センサー１２２である場合、この接触センサー１２２は、トレイ１１２の移送のためにトレイ１１２の下面と接触し得る複数のプーリー１１４の間に、トレイ１１２を接触して感知できるように設置される。
【００３６】
前記接触センサー１２２は、移送されるトレイ１１２の前方下端部がセンサー１２２のヘッド部と接触し得るように配置され、この接触センサー１２２のヘッド部上端面はトレイ１１２の下面と同一平面上に、またはやや高く配置することもでき、センサー１２２のヘッド部に弾性が付与されてトレイ１１２が通過すれば初期位置に戻るように配置することもできる。
【００３７】
また、前記感知センサーが非接触センサー１２４である場合、この非接触センサー１２４はトレイ１１２の下側に設置されて、進入するトレイ１１２の下面を感知することにより、トレイ１１２の進入及び排出を感知するようになる。
【００３８】
また、前記非接触センサー１２４は、トレイ１１２の側面または上面を感知するように設置することもできる。
【００３９】
この時、前記非接触センサー１２４が外部衝撃及び外部環境から保護されるように別途の装着部材（図示せず）が設けられることは当然であり、また、この装着部材によって非接触センサー１２４がトレイ１１２の側方、下方または上方の隣接した位置に固定されうる。
【００４０】
前記非接触センサー１２４は、超音波、電波、光、赤外線、紫外線、磁気等を含む様々な種類の物理量を利用することができ、このような物理量を検出するための超音波センサー、光センサー、光ファイバーセンサー、赤外線センサー、磁気センサー、紫外線センサー等を含む様々な種類のセンサーの中のいずれか一つを選択して使用することができ、この中で超音波センサーを利用することが一番望ましい。
【００４１】
一方、前記非接触センサー１２４のデータが受信されてトレイ１１２の移動位置及び移動速度などを読み取って他の工程等の作業速度等を調整する制御装置を含む制御部１３０が別に構成され、この制御部１３０はトレイ１１２の移送速度及び移送位置等を認知してトレイ１１２を移送させる移送部１１０を制御するようになる。
【００４２】
以下、本発明の好適な実施形態によるトレイ移送装置の作用を簡単に説明する。
【００４３】
図７は、本発明の他の実施形態によるトレイ移送装置が概略的に示された斜視図、図８は、図７に示された移送装置の使用状態を表す図、図９は、図７に示されたトレイの他の例が示された部分拡大図である。
【００４４】
図７及び図８に図示されたように、本発明の他の実施形態によるトレイ移送装置２００は、鉛直状態で移送されて進入したトレイと接触しながらトレイの状態を維持するガイド部２１０と、前記ガイド部２１０が往復移動するように連動可能に設置された駆動部２２０と、前記駆動部２２０によって移動されるガイド部２１０の移動経路を案内する誘導部２３０とを含んで構成される。
【００４５】
前記トレイ１１２は、別途の駆動部１１４によって移送され、前記駆動部１１４は、モーター（図示せず）によって回転されながらトレイ１１２の下面に固着された棒状の固定部材３０２を安着させるための溝が形成された複数の駆動プーリー１１５を有している。
【００４６】
一方、前記ガイド部２１０は、トレイ１１２の両側に対向して、または互い違いに配置された複数のローラー２１２と、該ローラー２１２が装着されて往復移動する移動部材２１４を含んで構成される。
【００４７】
前記ローラー２１２は、トレイ１１２の両側に接触し得るように配置され、前記トレイ１１２を挟んで対向して配置されることが望ましいが、互い違いに配置されても良い。
【００４８】
また、前記ローラー２１２は、トレイ１１２が進入すればトレイ１１２と接触し得るようにトレイ１１２側に移動し、トレイ１１２が排出されれば元の位置に戻る。前記移動部材２１４は後述される駆動部２２０の駆動源２２２と連動可能に設置され、後述される誘導部２３０のレール２３２に嵌合してその移動経路上を誘導される。
【００４９】
前記駆動部２２０は、前記移動部材２１４の往復移動するための動力を提供する部材としてシリンダーまたはモーターなどが含まれた駆動源２２２を含んで構成される。
【００５０】
前記駆動源２２２と移動部材２１４は、駆動源２２２の駆動力によって移動部材２１４が往復移動するように設置される。すなわち、駆動源２２２がモーターである場合、ベルトやチェーンなどの連結部材によって駆動力が伝達されるように設置され、駆動源２２２がシリンダーである場合、シリンダーの伸縮されるバー（ｂａｒ）に移動部材２１４が直接設置される。前記誘導部２３０は、移動部材２１４が駆動源２２２によって円滑で安定した移動経路を提供されるようにするための部材としてレール２３２を含んで構成される。
【００５１】
また、前記誘導部２３０は駆動源２２２を内蔵することができる。
【００５２】
図９のように、前記トレイ１１２のローラー２１２が接触し得る両側面の一部に、ローラー２１２との接触による摩擦及び摩耗を防止するための補強部材１１３を附着させることができる。
【００５３】
一方、図１０は、本発明の他の実施形態によるトレイ移送装置が概略的に図示された斜視図、図１１は、図１０に図示されたローラーの他の例が図示された斜視図である。
【００５４】
図１０及び図１１に図示されたように、トレイ移送装置２００は、鉛直状態で移送されて進入されたトレイ１１２を挟み、このトレイ１１２の両側に一定間隔で接触し得るように対向して配置されたローラー３１０を含んで構成される。
【００５５】
前記トレイ１１２が挿入されるときにトレイ１１２の両側に配置されるローラー３１０間の最小の間隔はおおよそトレイ１１２が進入されるときの干渉が十分に回避されるほどであれば良く、最大の間隔は移送されるトレイ１１２が片側に傾いて固定部材３０２がプーリー１１５から離脱しない程度の範囲であれば良い。
【００５６】
また、前記ローラー２１２はトレイ１１２を挟んで対向して配置されることが望ましいが、互い違いに配置されても良い。
【００５７】
以下、本発明の他の実施形態によるトレイ移送装置の作用を簡単に説明する。トレイ１１２の下部に設置された別途の駆動部１１４によって移送される鉛直状態のトレイ１１２が進入するとき、前記トレイ１１２の上端部は、その両側に接触し得る複数のローラー２１２によって鉛直状態が維持される。
【００５８】
また、トレイ１１２に固着された補助材１１３によってローラー２１２との頻繁な接触によってトレイ１１２の一部位における摩耗の発生が防止される。
【００５９】
前記ローラー２１２によるトレイ１１２の支持によってトレイ１１２が高速移送される。
【００６０】
以下、本発明のまた他の実施形態によるトレイ移送装置の作用を簡単に説明する。駆動部１１４によって移送される鉛直状態のトレイ１１２が進入するとき、トレイ１１２の上部がローラー３１０に挟まれ、このトレイ１１２が連続的に移送されながらトレイ１１２の傾きをローラー３１０が支持することにより、前記トレイ１１２が安定かつ高速で排出される。
【００６１】
本発明は添付された図面に図示された実施形態を参照して説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるということを理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の望ましい実施形態によるトレイ移送装置を装着するための真空蒸着システムのバッファー領域に蒸着源が位置している状態を表す概略図である。
【図２】本発明の好適な実施形態によるトレイ移送装置を装着するための真空蒸着システムの成膜領域に蒸着源が位置している状態を表す概略図である。
【図３】本発明の好適な実施形態によるトレイ移送装置が概略的に図示された斜視図である。
【図４】図３に示されたトレイ移送装置の感知部を示す本発明の一実施形態が概略的に図示された部分側面図である。
【図５】図４に図示された感知部の他の例が概略的に図示された側面図である。
【図６】図５に図示された感知装置及び周辺装置の制御関係が図示されたブロック図である。
【図７】本発明の他の実施形態によるトレイ移送装置が概略的に図示された斜視図である。
【図８】図７に図示された移送装置の使用状態を表す図である。
【図９】図７に図示されたトレイのまた他の例が示された部分拡大図である。
【図１０】本発明のまた他の実施形態によるトレイ移送装置が概略的に図示された斜視図である。
【図１１】図１０に図示されたローラーの他の例が図示された斜視図である。
【符号の説明】
【００６３】
１００    トレイ移送装置、
１１０    移送部、
１１２    トレイ、
１１４    プーリー、
１２０    感知部、
１２２    接触センサー、
１２４    非接触センサー。
【図１】
2006191039.tif 000003
【図２】
2006191039.tif 000004
【図３】
2006191039.tif 000005
【図４】
2006191039.tif 000006
【図５】
2006191039.tif 000007
【図６】
2006191039.tif 000008
【図７】
2006191039.tif 000009
【図８】
2006191039.tif 000010
【図９】
2006191039.tif 000011
【図１０】
2006191039.tif 000012
【図１１】
2006191039.tif 000013