(57)【要約】【課題】静的画面欠点と区別して動的画面欠点を検出することが可能なプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法を提供する。【解決手段】一対の基板間に複数の放電セルを有し、各放電セルにおいて放電を発生させることにより画像表示を行うプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法において、露光時間を短フィールド時間に設定して複数の画像を順次撮像するステップ（ステップ１）と、この複数の画像の各画素における時系列の画像データを用いて標準偏差を算出して標準偏差画像を得るステップ（ステップ２）と、この標準偏差画像を用いて点灯画面を評価するステップ（ステップ３〜ステップ５）とを有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板間に複数の放電セルを有し、各放電セルにおいて放電を発生させることにより画像表示を行うプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法において、露光時間を短フィールド時間に設定して複数の画像を順次撮像するステップと、この複数の画像の各画素における時系列の画像データを用いて標準偏差を算出して標準偏差画像を得るステップと、この標準偏差画像を用いて点灯画面を評価するステップとを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法。
【請求項２】
一対の基板間に複数の放電セルを有し、各放電セルにおいて放電を発生させることにより画像表示を行うプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法において、露光時間を短フィールド時間に設定して画像を撮像するステップと、この撮像した画像とそれより前に撮像した画像の各画素における時系列の画像データの標準偏差を算出して標準偏差画像を得るステップと、この標準偏差画像を用いて点灯画面を評価するステップとを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法。
【請求項３】
以前に撮像した画像の各画素における時系列の画像データの平均値および標準偏差それぞれからなる平均値画像および標準偏差画像を記憶しておき、新たに撮像する度に、前記平均値画像および前記標準偏差画像と新たに撮像した画像とを用いて標準偏差画像を得ることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法。
【請求項４】
プラズマディスプレイパネルの点灯周期に同期させてプラズマディスプレイパネルの画像を撮像することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルを点灯表示し、画面検査を行うプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルは、前面基板と背面基板とを、間に放電空間が形成されるように対向配置して周辺部を封着し、放電空間に希ガスを封入して構成されている。前面基板上には走査電極と維持電極とからなる表示電極が複数形成され、背面基板上には表示電極と直交する方向にアドレス電極が複数形成されており、表示電極とアドレス電極との立体交差部には単位発光領域である放電セルが形成される。このプラズマディスプレイパネルでは、表示電極とアドレス電極とに所定の電圧を印加して各放電セルで選択的に放電を発生させ、各放電セルに形成された蛍光体層が放電によって発光することにより、画像表示が行われる。
【０００３】
このプラズマディスプレイパネルなどの表示パネルの点灯画像を検査する場合、例えば特許文献１には、表示パネルを点灯させ、点灯した表示パネルの画像を撮像カメラにより取り込み、画像処理装置によって表示パネルの画素セルの欠陥、表示ムラを定量化して判定することが記載されている。
【特許文献１】特開平９−２１８１３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなプラズマディスプレイパネルにおける放電セルの不灯欠陥として、どのように駆動しても常に不灯となる放電セルが存在することがあり、この場合には放電セルが不灯となっている状態は時間的に変化しない。そこで、このような不灯の放電セルを静的画面欠点という。
【０００５】
また、プラズマディスプレイパネルでは、１フィールド時間（１／６０秒）を複数のサブフィールドに分割し、各放電セルにおいて放電を発生させるサブフィールドを選択することにより階調表示を行う。このため、所定の階調を表示するときには所定の選択されたサブフィールドにおいて放電を発生させるが、場合によっては或る放電セルにおいて本来点灯すべきサブフィールドにおいて点灯しないことがあり、これも放電セルの不灯欠陥である。この場合には放電セルが不灯となっている状態は時間的に変化するので、このような不灯の放電セルを動的画面欠点という。
【０００６】
従来の方法を用いてプラズマディスプレイパネルの点灯画像を検査すると、静的画面欠点は検出可能であるが、動的画面欠点は安定的に検出することが困難であった。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑み、静的画面欠点と区別して動的画面欠点を検出することが可能なプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、露光時間を短フィールド時間に設定して複数の画像を順次撮像するステップと、この複数の画像の各画素における時系列の画像データを用いて標準偏差を算出して標準偏差画像を得るステップと、この標準偏差画像を用いて点灯画面を評価するステップとを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、プラズマディスプレイパネルの点灯画面検査を行う際に、静的画面欠点と区別して動的画面欠点を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、一対の基板間に複数の放電セルを有し、各放電セルにおいて放電を発生させることにより画像表示を行うプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法において、露光時間を短フィールド時間に設定して複数の画像を順次撮像するステップと、この複数の画像の各画素における時系列の画像データを用いて標準偏差を算出して標準偏差画像を得るステップと、この標準偏差画像を用いて点灯画面を評価するステップとを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法である。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、一対の基板間に複数の放電セルを有し、各放電セルにおいて放電を発生させることにより画像表示を行うプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法において、露光時間を短フィールド時間に設定して画像を撮像するステップと、この撮像した画像とそれより前に撮像した画像の各画素における時系列の画像データの標準偏差を算出して標準偏差画像を得るステップと、この標準偏差画像を用いて点灯画面を評価するステップとを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法である。
【００１２】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、以前に撮像した画像の各画素における時系列の画像データの平均値および標準偏差それぞれからなる平均値画像および標準偏差画像を記憶しておき、新たに撮像する度に、前記平均値画像および前記標準偏差画像と新たに撮像した画像とを用いて標準偏差画像を得ることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、プラズマディスプレイパネルの点灯周期に同期させてプラズマディスプレイパネルの画像を撮像することを特徴とする。
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１５】
（実施の形態１）
まず、プラズマディスプレイパネルの構造について要部を示す斜視図である図１を用いて説明する。図１に示すように、前面板１は、ガラス製の前面基板２上に、走査電極３および維持電極４からなる表示電極対を複数形成し、その表示電極対を覆うように誘電体ガラスからなる誘電体層５を形成し、誘電体層５上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層６を形成して構成されている。
【００１６】
一方、前面板１に対向配置された背面板７は、ガラス製の背面基板８上に、アドレス電極９を複数形成し、そのアドレス電極９を覆うように誘電体層１０を形成し、その誘電体層１０上にアドレス電極９と平行な複数の隔壁１１を形成し、さらに隣接する隔壁１１の間にそれぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色に発光する蛍光体層１２を形成して構成されている。アドレス電極９は隣接する隔壁１１の間に位置している。
【００１７】
走査電極３および維持電極４とアドレス電極９とが直交するように、一対の基板である前面基板２と背面基板８とが対向配置され、これら基板の周辺部を封着部材（図示せず）を用いて封着している。前面基板２と背面基板８との間に形成された放電空間にネオンおよびキセノンからなる放電ガスを封入しており、走査電極３および維持電極４とアドレス電極９との立体交差部に放電セルが形成される。すなわち、一対の基板間に複数の放電セルを有している。この放電セルは画像を表示するときの単位発光領域であり、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色に発光する蛍光体層１２が形成された隣接する３つの放電セルによって１つの画素を形成する。
【００１８】
このプラズマディスプレイパネルでは、１フィールド時間（１／６０秒）を複数のサブフィールドに分割し、各放電セルにおいて放電を発生させるサブフィールドを組み合わせることにより階調表現を行う。各サブフィールドでは、走査電極３に順次走査パルスを印加するとともに画像データに基づいてアドレス電極９にアドレスパルスを印加することで表示する放電セルを選択した後、走査電極３と維持電極４とに交互に維持パルスを印加することによって、選択した放電セルにおいて維持放電を起こす。これにより、維持放電が起こった放電セルでは、紫外線が発生し、その紫外線で励起された蛍光体層１２から各色の可視光が放出されて、画像表示が行われる。
【００１９】
次に、このようなプラズマディスプレイパネルについて点灯画面検査を行う方法について説明する。
【００２０】
図２は、本発明の実施の形態１におけるプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査装置の説明図である。図２において、パネル検査台１３に設置されたプラズマディスプレイパネル１４は、駆動回路制御手段１５で駆動されて点灯状態にあり、この点灯画像を、カメラ撮像制御手段１６によりコントロールされた１台または複数台のカメラ（撮像手段）１７により撮像できるようになっている。カメラ１７の露光時間は、露光時間制御手段１８によりカメラ撮像制御手段１６を介して任意に設定される。カメラ１７により撮像された画像の画像データは画像処理部１９にて処理され、結果を出力するようになっている。
【００２１】
画像処理部１９は、短フィールド時間を露光時間として撮像された連続画像が記憶される短フィールド時間露光連続画像記憶手段２０と、この連続画像の各画素における時系列の画像データの標準偏差を算出する連続画像標準偏差算出手段２１と、その標準偏差画像より得られた欠陥部抽出を行う欠陥部判定処理手段２２とから構成されている。ここで短フィールド時間は、プラズマディスプレイパネル１４の表示周期である１フィールド時間または、その整数倍の数フィールド時間とする。欠陥部判定処理手段２２は、標準偏差画像から欠陥領域を抽出する２値化ラベリング手段２３と、そのラベリングされた領域の面積・平均濃度・幅・長さといった複数の特徴量を算出する特徴量抽出手段２４と、その算出された欠陥の特徴量から良否の判定を行う良否判定手段２５とから構成されている。
【００２２】
図３は、本発明の実施の形態１における点灯画面検査装置の動作フローを示しており、ステップ１からステップ６までの各ステップを行うことでプラズマディスプレイパネルの動的画面欠点について検査することができる。以下、各ステップについて説明する。
【００２３】
まずステップ１では、露光時間制御手段１８により、短フィールド時間に露光時間が設定された条件にて、カメラ１７を用いてプラズマディスプレイパネル１４の画像を順次撮像し、撮像した画像データを短フィールド時間露光連続画像記憶手段２０に入力する。ここで一例として、短フィールド時間を１フィールド時間とする。
【００２４】
次にステップ２において、連続画像標準偏差算出手段２１により連続画像標準偏差を算出する標準偏差算出処理を行う。ここで、連続画像標準偏差は、ステップ１で得られた時系列の画像データを用い、統計学で一般的に用いられている標準偏差を求める数式により算出する。すなわち、時間ｔk（ｋ＝１〜ｎ）において画像を撮像したとし、時間ｔkで撮像した画像データを（Ｄij）kとすると、連続画像標準偏差Ｕijは次の数式１で求められる。
【００２５】
【数１】
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【００２６】
ここで、下付添字ｉ、ｊはカメラ１７の各画素を特定する番号であり、プラズマディスプレイパネル１４の画面内の位置に対応するものである。また、Σはｋについて１〜ｎの加算を行うことを表している。ここで、この数式１により求めた各画素における連続画像標準偏差Ｕijの集合によって構成される画像を標準偏差画像という。
【００２７】
次にステップ３において、この標準偏差画像における所定の検査エリアに対して、２値化ラベリング手段２３により２値化ラベリング処理を行う。すなわち、標準偏差画像の画像データ（連続画像標準偏差Ｕij）に対して、或る閾値を設定し、画像データがその閾値以上となっている画素を抽出するという処理である。この２値化ラベリング処理を行うことにより、閾値以上の画像データを有する画素が存在する領域（ラベリングされた領域という）を抽出することができる。
【００２８】
次にステップ４において、ラベリングされた領域に対して、特徴量抽出手段２４により特徴量抽出を行う。ここで特徴量は、ラベリングされた領域の面積・幅・長さ・平均濃度などである。
【００２９】
次のステップ５において、この抽出された特徴量に対して、予め決められた判定基準に従い、良否判定手段２５により良否判定を行う。例えば、特徴量であるラベリングされた領域の面積、幅、長さ、平均濃度のそれぞれについて所定の判定基準値を決めておき、抽出した特徴量のいずれか１つでも判定基準値より大きくなる場合には、動的画面欠点が存在することによりパネルとしては不良であると判定するというように、抽出した特徴量を用いることで動的画面欠点に関してパネルの良否を判定することができる。そして、最後にステップ６において良否判定結果を外部に出力し、検査を終了する。
【００３０】
ここで、正常に点灯する放電セルの１フィールド時間毎の点灯率変化を図４に示す。この場合の点灯率はあまり変化しておらず、撮像した画像の画像データもあまり変化しない。このため、正常に点灯する放電セルの画像データから得られる連続画像標準偏差は小さい値を示す。また、全く点灯しない不灯の放電セルにおいても連続画像標準偏差は小さい値を示す。
【００３１】
これに対して、動的画面欠点となる放電セル（点滅セルという）の１フィールド時間毎の点灯率変化の一例を図５に示す。図５からわかるように、点滅セルの点灯率は変化が激しく、確率的に点灯率が低い状態または高い状態になっていることが多い。また、図６は撮像した画像の画像データの一例を示しており、図６（ａ）は点滅セルの点灯率が低い場合（点灯率０％）、図６（ｂ）は点滅セルの点灯率が中間値の場合（点灯率５０％）、図６（ｃ）は点滅セルの点灯率が高い場合（点灯率１００％）を示している。
【００３２】
図６において、画像データが短い周期で振動するように変化しているのは、プラズマディスプレイパネル１４に設けられた隔壁１１などの発光に寄与しない部分があるためであり、そのような部分において画像データが極所的に小さくなっている。また、図６中の領域Ａの部分に点滅セルが存在している。点滅セルの部分では、図６に示すように、点滅セルの点灯率が低いときには画像データが小さく、点滅セルの点灯率が高いときには画像データが大きいというように、画像データは点滅セルの点灯率に応じて大きさが変わる。このように点滅セルにおいては、点灯率が大きく変化するとともに点灯率に応じて画像データが変化するため、点滅セルの画像データから得られる連続画像標準偏差は大きな値を示すこととなり、正常に点灯する放電セルや全く点灯しない不灯の放電セルと点滅セルとの間で連続画像標準偏差の値に違いが生じる。
【００３３】
したがって、ステップ３の２値化ラベリング処理によってラベリングされる領域は、点滅セルが存在する領域となり、ステップ４、ステップ５を実施することでラベリングされた領域についての評価を行っている。このように、ステップ３〜ステップ５は標準偏差画像を用いて点灯画面を評価するステップである。
【００３４】
以上のように、本実施の形態１の構成によれば、連続画像標準偏差算出手段２１を用いて、各画素の時系列の画像データについての標準偏差を算出することにより、時間的変化を伴わない不灯放電セルなどの静的画面欠点と区別して、時間的変化を伴う点滅セルなどの動的画面欠点が検出可能となり、高精度な検査を実現することができる。これにより、製造工程における目視検査員の省人化が可能になるとともに、後工程への不良パネルの流出が軽減でき、ロスコストの削減が可能になる。
【００３５】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２におけるプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法について図７、図８を用いて説明する。
【００３６】
図７は、本発明の実施の形態２におけるプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査装置の説明図である。図７において、図２と同じ構成については同じ符号を用いており、図２の構成と異なるのは画像処理部２６であるので、以下では主に画像処理部２６について説明する。
【００３７】
図７において、画像処理部２６は、露光時間制御手段１８により露光時間を短フィールド時間に設定し、カメラ撮像制御手段１６により制御された条件にてカメラ１７で撮像した画像データを入力し、その画像データについて所定の画像処理を行い、判定結果を出力するようになっている。撮像は所定のタイミングで順次行っていくが、最後に撮像したタイミングを撮像現時点とすると、画像処理部２６は、撮像現時点で撮像した短フィールド時間露光画像を記憶する短フィールド時間露光画像記憶手段２７と、撮像現時点より前の撮像画像枚数を記憶しておく撮像枚数記憶手段２８と、撮像現時点より前に撮像した画像の平均値画像を記憶する平均値画像記憶手段２９と、撮像現時点より前に撮像した画像の標準偏差画像を記憶する標準偏差画像記憶手段３０と、撮像現時点より前に撮像した画像と撮像現時点に撮像した画像とを含めた画像について標準偏差画像を算出する標準偏差画像算出手段３１と、その標準偏差画像から欠陥判定を行う欠陥部判定処理手段２２からなる。ここで、標準偏差画像は前述した通りであり、平均値画像は、カメラ１７の各画素において時系列に得られた画像データの平均値を求め、その平均値の集合によって構成される画像をいう。
【００３８】
また、欠陥部判定処理手段２２は、標準偏差画像から欠陥領域を抽出する２値化ラベリング手段２３と、そのラベリングされた領域の面積・平均濃度・幅・長さといった複数の特徴量を算出する特徴量抽出手段２４と、その算出された欠陥の特徴量から良否の判定を行う良否判定手段２５とから構成されている。ここで、画像処理部２６は、画像処理ボードのＦＰＧＡに組み込むことにより、リアルタイム高速処理を実現している。
【００３９】
次に、本発明の実施の形態２におけるプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法について、そのフロー図である図８を用いて説明する。
【００４０】
まずステップ１では、短フィールド時間に露光時間が設定された条件にて、カメラ１７を用いてプラズマディスプレイパネル１４の画像を撮像し、その撮像により得られた画像データを短フィールド時間露光画像記憶手段２７に入力する。このときに撮像された画像を、撮像時間中の（Ｎ＋１）枚目の画像とする。したがって、この時点では、撮像枚数記憶手段２８にはＮの値が記憶され、平均値画像記憶手段２９には、この撮像時点より前に撮像されたＮ枚分の画像の平均値画像が記憶され、標準偏差画像記憶手段３０にはそのＮ枚分の画像の標準偏差画像が記憶されている。
【００４１】
次にステップ２〜ステップ４では、撮像枚数、平均値画像および標準偏差画像が同時に更新される。ここで、（Ｎ＋１）枚目の平均値画像は、Ｎ枚分の平均値画像と（Ｎ＋１）枚目の画像と撮像枚数（Ｎ）とから算出でき、また（Ｎ＋１）枚目の標準偏差画像は、Ｎ枚分の平均値画像、Ｎ枚分の標準偏差画像、（Ｎ＋１）枚目の画像および撮像枚数（Ｎ）から、画像処理ボード上のパイプライン処理にて、リアルタイムに算出することが可能となる。
【００４２】
次のステップ５において、この標準偏差画像における所定の検査エリアに対して、２値化ラベリング手段２３により２値化ラベリング処理を行う。次のステップ６において、ラベリングされた領域に対して、特徴量抽出手段２４により特徴量抽出を行う。ここで特徴量は、ラベリングされた領域の面積・幅・長さ・平均濃度などである。次のステップ７において、この抽出された特徴量に対して、予め決められた判定基準に従い、良否判定手段２５により良否判定を行う。次に、ステップ８のように、（Ｎ＋２）枚目、（Ｎ＋３）枚目と撮像が繰り返されるたびに、ステップ１〜ステップ７の各ステップが繰り返される。そして、ステップ１〜ステップ７の各ステップを繰り返す際に不良と判定された場合にはステップ９に移って良否判定結果を外部に出力し、検査を終了する。また、所定の枚数を撮像してもパネル不良と判定されなければ、そのパネルは良品であると判断しステップ９に移って良否判定結果を外部に出力し、検査を終了する。
【００４３】
本実施の形態２によれば、短フィールド時間露光画像記憶手段２７と、撮像枚数記憶手段２８と、平均値画像記憶手段２９と、標準偏差画像記憶手段３０とを備え、新たな画像を撮像する度に、各記憶手段のデータと新たに撮像した画像を用いて平均値画像および標準偏差画像を算出し、各記憶手段のデータを更新するようにしている。これにより、実施の形態１と比較して、より高速に検査可能となり、時間的変化を伴わない不灯放電セルなどの静的画面欠点と区別して、時間的変化を伴う点滅セルのような動的画面欠点を高精度高速に検査することが実現可能となる。
【００４４】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３におけるプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法について図９および図１０を用いて説明する。
【００４５】
図９は、本発明の実施の形態３におけるプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査装置の説明図である。図９において、図２と同じ構成については同じ符号を用い、説明を省略する。図９において、パネル垂直同期処理部３２は、駆動回路制御手段１５から出されるパネル垂直同期信号に合わせて、カメラ１７にて画像を撮像できるようにしている。その他の構成については図２に示した構成と同じである。
【００４６】
次に、本発明の実施の形態３におけるプラズマディスプレイパネルの点灯画面検査方法のフローを図１０に示す。まずステップ１において、パネル垂直同期処理部３２により、パネル垂直同期とカメラ同期を合わせる。これ以降のステップ２〜ステップ７の各ステップは、図３で示したステップ１〜ステップ６の各ステップと同じである。
【００４７】
パネル垂直同期とカメラ同期を合わせることにより、プラズマディスプレイパネルの点灯周期に同期させて画像を撮像することになり、短フィールド時間露光画像において、図６（ｂ）に示したような点滅セルの点灯率が中間値となる場合を軽減することが可能となる。
【００４８】
かかる構成によれば、パネル垂直同期とカメラ同期を合わせることにより、点滅セルの点灯率が中間値となる確率を低減することが可能となり、実施の形態１よりも検出精度を向上させることが可能となり、時間的変化を伴わない不灯放電セルなどの静的画面欠点と区別して、時間的変化を伴う点滅セルなどの動的画面欠点を高精度に検査することができる。なお、本実施の形態３では、上記実施の形態１においてパネル垂直同期処理部３２を備えることについて示したが、上記実施の形態２においてもパネル垂直同期処理部３２を備えるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
以上のように本発明によれば、プラズマディスプレイパネルの点灯画面検査において、点滅セルのような時間的変化を伴う動的画面欠点が、不灯放電セルなどの静的画面欠点と区別して検出可能となり、プラズマディスプレイパネルの点灯画面検査に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】プラズマディスプレイパネルの要部を示す斜視図
【図２】本発明の実施の形態１における点灯画面検査装置の説明図
【図３】同点灯画面検査装置の動作フロー図
【図４】正常な放電セルの１フィールド時間毎の点灯率変化の一例を示す図
【図５】点滅セルの１フィールド時間毎の点灯率変化の一例を示す図
【図６】（ａ）〜（ｃ）は撮像した画像の画像データの一例を示す図
【図７】本発明の実施の形態２における点灯画面検査装置の説明図
【図８】本発明の実施の形態２における点灯画面検査のフロー図
【図９】本発明の実施の形態３における点灯画面検査装置の説明図
【図１０】本発明の実施の形態３における点灯画面検査のフロー図
【符号の説明】
【００５１】
２  前面基板
８  背面基板
１４  プラズマディスプレイパネル
１６  カメラ撮像制御手段
１７  カメラ
１８  露光時間制御手段
１９、２６  画像処理部
２０  短フィールド時間露光連続画像記憶手段
２１  連続画像標準偏差算出手段
２２  欠陥部判定処理手段
２７  短フィールド時間露光画像記憶手段
２８  撮像枚数記憶手段
２９  平均値画像記憶手段
３０  標準偏差画像記憶手段
３１  標準偏差画像算出手段
３２  パネル垂直同期処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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