(57)【要約】【課題】本発明は、バンプを介して半導体チップと基板とをボンディングするのに最適なバンプ形状にして、生産性の増大に寄与する半導体装置の製造装置と、基板の位置認識精度とバンプの検出精度を向上させ、生産性の増大化を得られる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】半導体装置の製造装置として、基板Ｐと半導体チップＨとの少なくとも一方に設けられるバンプＢの頂部ｄを加圧して、バンプ頂部を平坦化する平坦化機構部５と、この平坦化機構部によって頂部が平坦化されたバンプを介して基板と半導体チップとをボンディングするボンディング機構部１０とを具備し、平坦化機構部は、バンプを撮像するバンプ認識カメラ６と、バンプの頂部を加圧する加圧面を備えた平坦化ツール７と、バンプ認識カメラが検出したバンプ位置に平坦化ツールを移動調整するとともに、平坦化ツールの加圧面をバンプに加圧する加圧機構を備えた駆動機構８とから構成される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バンプを撮像して、バンプの位置を検出する認識手段と、
上記バンプの頂部を加圧する加圧面を備えた平坦化ツールと、
上記認識手段が検出したバンプ位置に上記平坦化ツールを移動調整するとともに平坦化ツールの加圧面をバンプに加圧する加圧手段を備えた駆動機構と、
上記平坦化ツールによって頂部が平坦化されたバンプを介して、基板と電子部品とをボンディングするボンディング手段と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造装置。
【請求項２】
上記平坦化ツールのバンプ加圧面は、バンプが設けられる部分の表面よりも表面粗さが粗く形成されることを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造装置。
【請求項３】
基板に設けられたバンプを介して電子部品をボンディングする半導体装置の製造方法において、
モニタ画面上の所定部位を基板に対する位置認識パターンとして設定し、かつこの位置認識パターンから離間し、最も外側にあるバンプのさらに外側に複数の基準点を設定する工程と、
基板の位置認識と、基板上のバンプの有り無し検出を同時に行う工程と、
基板に設けられるバンプの一部がモニタ画面から出て、バンプ検出エラーが発生したとき、上記基板に対する位置認識結果をもとに上記基準点の位置を算出して、基板の位置ずれ量を求める工程と、
この工程で求められた基板のずれ量に対応して認識位置を移動し、認識パターンと基準点をモニタ画面内にずらす工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
上記認識パターンと基準点をモニタ画面内にずらす工程のあと、
再度、基板の位置認識と、基板上のバンプの有り無しを検出する工程に戻ることを特徴とする請求項３記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バンプを介して電子部品と基板とを接続する、いわゆるフリップチップボンディングをなして半導体装置を製造する製造装置および製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
［特許文献１］には、半導体装置の製造方法として、基板にバンプを形成し、このバンプを介して電子部品である半導体チップとボンディングする、いわゆるフリップチップボンディング方式が開示されている。
【０００３】
具体的には、所定部位にバンプが設けられた基板がボンディングステージへ搬送されたタイミングをとって、ピックアップ反転ツールがウエハステージ上に載置される半導体チップから１つの半導体チップを取出す。
【０００４】
そして、ピックアップ反転ツールは半導体チップを反転し、フェースダウン（下向き）方向にしてボンディングヘッドへ受け渡しする。このボンディングヘッドでは、ボンディングツールが半導体チップを吸着して、基板上にバンプを介して半導体チップをボンディングする。
【特許文献１】特開２００４−１０３６０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記［特許文献１］には説明されていないが、基板にバンプを設けるのに、いわゆるワイヤボンディングによる方法が採用されている。このワイヤボンディング方法は、具体的には、キャピラリの孔部にワイヤを挿通し、かつワイヤの先端をキャピラリの先端部から突出させる。
【０００６】
そして、ワイヤの先端を加熱して溶融させ、ボール状に形成して、このボール部分を基板の所定部位に押付け加圧する熱圧着をなし、基板に固着させる。ついで、キャピラリをたとえばループ状軌道を描いて移動させ、ワイヤを切断する。
【０００７】
言わば、キャピラリを複雑に移動して基板に固着したワイヤ部分を引きちぎった状態となす。したがって、基板に形成されたバンプの表面（頂部）には、いわゆるヒゲ状の突起が残ったままで固形化することが多い。
【０００８】
当然、個々のバンプにおいて突起の有無とその形態、およびバンプ底部から突起先端までの高さ寸法が相違して形成される。このようなバンプに半導体チップを当てると、半導体チップとバンプの位置が対応していても、バンプの高さ寸法の相違から半導体チップが傾いた状態になることがある。
【０００９】
そのため、ボンディング中に半導体チップが滑って位置ずれが生じたり、回転してしまい、ボンディングができない虞れもある。この現象は、特に超音波を併用したボンディング方法で、かつ半導体チップのサイズが小さい場合に顕著であり、生産効率に悪影響を及ぼしている。
【００１０】
本発明は上記事情に着目してなされたものであり、その目的とするところは、バンプを介して半導体チップと基板とをボンディングするのに最適なバンプ形状にして、生産性の増大に寄与する半導体装置の製造装置と、基板の位置認識精度とバンプの検出精度を向上させ、生産性の増大化を得られる半導体装置の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため本発明の半導体装置の製造装置は、バンプを撮像してバンプの位置を検出する認識手段と、バンプの頂部を加圧する加圧面を備えた平坦化ツールと、認識手段が検出したバンプ位置に平坦化ツールを移動調整するとともに平坦化ツールの加圧面をバンプに加圧する加圧手段を備えた駆動機構と、平坦化ツールによって頂部が平坦化されたバンプを介して、基板と電子部品とをボンディングするボンディング手段とを具備する。
【００１２】
上記目的を達成するため本発明の基板に設けられたバンプを介して電子部品をボンディングする半導体装置の製造方法は、モニタ画面上の所定部位を基板に対する位置認識パターンとして設定し、かつこの位置認識パターンから離間し、最も外側にあるバンプのさらに外側に複数の基準点を設定する工程と、基板の位置認識と、基板上のバンプの有り無し検出を同時に行う工程と、基板に設けられるバンプの一部がモニタ画面から出て、バンプ検出エラーが発生したとき、基板に対する位置認識結果をもとに上記基準点の位置を算出して基板の位置ずれ量を求める工程と、この工程で求められた基板のずれ量に対応して認識位置を移動し、認識パターンと基準点をモニタ画面内にずらす工程とを具備する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、フリップチップボンデングに最適なバンプ形状にして、生産性の増大に寄与する効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。  
図１は、半導体製造装置の一部を省略して示す、概略の斜視図である。  
直状の搬送ベルトもしくは搬送送り爪構造をなし、図の左側端から右側端方向へ基板Ｐを搬送する搬送方向が設定された搬送ライン１が設けられる。この搬送ライン１の左側端部には、基板Ｐを搬送ライン１へ供給するローダ機構２が配置され、右側端に後述するようにして半導体チップＨを実装した基板Ｐを取出すアンローダ機構３が配置される。
【００１５】
上記ローダ機構２に供給される基板Ｐは、配線Ｒ上の所定部位にバンプＢが設けられていて、このバンプＢを備えた基板Ｐが搬送ライン１に搬送されることになる。ローダ機構２から搬送ライン１によって搬送される基板Ｐに対して、上記バンプＢの頂部を加工する平坦化機構部（平坦化手段）５が配置される。
【００１６】
上記平坦化機構部５は、バンプＢを撮像するバンプ認識カメラ（認識装置）６と、バンプＢを平坦化する平坦化ツール７を備えている。上記平坦化ツール７の構成素材は、気相合成ダイヤの研磨前の母材が用いられていて、この先端面の表面粗さ（算術平均粗さ：Ｒａ）が、たとえば  ０．３μｍ  に設定されている。そして、平均化ツール７はＸ・Ｙ・Ｚ方向に駆動制御されるるとともに、加圧機構を備えた駆動機構８に支持されている。
【００１７】
このような平坦化機構部５の搬送ライン１搬送方向には、基板Ｐおよび半導体チップＨを認識する認識機構部９と、バンプＢを介して基板Ｐと半導体チップＨとをフリップチップボンディングするボンディング機構部（ボンディング手段）１０が設けられる。  
先に上記ボンディング機構部１０から説明すると、搬送ライン１直下部に配置されるボンディングステージ１３と、このボンディングステージ１３とは離間した搬送ライン１側部に配置されるウエハステージ１４と、このウエハステージ１４と上記ボンディングステージ１３との間に介設されるチップ反転ユニット１５と、上記ボンディングステージ１３の上方部に配置されるボンディングヘッド１６を備えている
上記ボンディングステージ１３は、搬送ライン１上の基板Ｐを、搬送ライン１に代って支持する。このボンディングステージ１３上に搬送ラインを介して配置されるボンディングヘッド１６は、ボンディングツール２０を備えていて、このボンディングツール２０は駆動機構１９によりＸ・Ｙ・Ｚ方向およびθ方向に移動自在に支持される。
【００１８】
上記ウエハステージ１４は、ベース上に順次設けられたＸＹテーブル（いずれも図示しない）およびθテーブルを有し、このθテーブル上には電子部品として、分割された多数の半導体チップＨが図示しないシートに貼着された状態で載置される。  
上記チップ反転ユニット１５は、略Ｌ字状に形成されるピックアップ反転ツール２１を備えている。このピックアップ反転ツール２１は、先端部に半導体チップＨを真空吸着するノズルが設けられ、基端部は上記ノズルが水平方向から１８０度回動した水平方向までの範囲で回動変位自在であるとともに、Ｚ方向に駆動されるようになっている。
【００１９】
なお、上記ボンディングツール２０は、半導体チップＨを安定した状態で吸着保持できるよう、半導体チップＨを吸着する部分は、半導体チップＨの外径寸法と同等、あるいは僅かに大小をつけて設定されている。  
上記認識機構部９は、ボンディングステージ１３上の基板Ｐに向けられた基板認識カメラ１１と、ボンディングヘッド１６に隣接した位置に設けられる裏面認識カメラ１７およびチップ認識カメラ１８と、上記ウエハステージ１４の上方部位に配置されるウエハ認識カメラ２２を備えている。
【００２０】
上記基板認識カメラ１１は駆動機構１２によって支持され、ボンディングステージ１３上の基板Ｐに対して相対的にＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動可能であり、基板Ｐを撮像するよう設けられる。上記裏面認識カメラ１７は、上記チップ反転ユニット１５によって電極部が下向き（フェースダウン）に支持された半導体チップＨを撮像するよう設けられる。上記チップ認識カメラ１８は、チップ反転ユニット１５からボンディングヘッド１６に受け渡された半導体チップＨを撮像するよう設けられる。上記ウエハ認識カメラ２２は、ウエハステージ１４上の半導体チップＨを撮像するよう設けられる。
【００２１】
平坦化機構部５に設けられるバンプ認識カメラ６と、認識機構部９を構成する基板認識カメラ１１、裏面認識カメラ１７、チップ認識カメラ１８およびウエハ認識カメラ２２の、それぞれが撮像した撮像信号は全て画像認識制御部へ送られ、白黒の閾値による２値化画像処理がなされる。この画像認識制御部の処理結果が、制御装置（いずれも図示しない）に入力され、制御装置から対応する機構部に対して制御信号が送られて必要な制御をなすように構成される。
【００２２】
このような半導体製造装置であって、ローダ機構２から搬送ライン１に供給される基板Ｐの配線Ｒには、ここでは図示しないバンプ形成機構によって以下に述べるようなバンプＢが設けられている。  
すなわち、図２（Ａ）に示すように、キャピラリ２５の孔部ａにＡｕワイヤ２６を挿通し、このワイヤの先端をキャピラリ２５の先端面ｂから突出させる。この状態で、図示しない電気トーチを作用させてＡｕワイヤ２６に対する電気放電をなし、Ａｕボール２６ａを形成する。Ａｕボール２６ａの直径は、ワイヤ２６の直径に対して約２〜３倍の大きさになる。
【００２３】
図２（Ｂ）に示すように、キャピラリ２５を降下してＡｕワイヤ２６の先端に形成したＡｕボール２６ａを基板リードフレームＲ上の所定部位に、所定の加圧力をもって押付け、かつキャピラリ２５を超音波振動する。Ａｕボール２６ａは超音波併用の熱圧着によって基板リードフレームＲ上に固着され、バンプＢの底部が形成される。
【００２４】
図２（Ｃ）に示すように、キャピラリ２５をバンプＢ底部の上方で、垂直方向とループ状の軌道を描くよう移動させたあと、水平方向に移動してＡｕワイヤ２６を切断する。この状態で、バンプＢ底部の上面に頂部ｄが形成されるが、バンプ頂部ｄにたとえばヒゲ状の突起ｅが残るバンプＢがある。
【００２５】
再び図１に示すように、以上述べたバンプＢを備えた基板Ｐがローダ機構２から搬送ライン１へ供給され、搬送される。この基板Ｐがバンプ平坦化機構部５に対向した位置に搬送されると、認識カメラ６が作動して基板Ｐ上のバンプＢを撮像する。この認識カメラ６の撮像信号は画像認識制御部へ送られて画像処理され、バンプＢに対する平坦化ツール７の位置決めが行われる。つまり、搬送ライン１が停止し、平坦化ツール７を支持する駆動機構８がＸ，Ｙ方向に作動する。
【００２６】
図２（Ｄ）に示すように、平坦化ツール７の位置決めをなしたあと降下（Ｚ方向に移動）してバンプ頂部ｄに接触させ、さらに所定の圧力をもって加圧する。上述したように、平坦化ツール７は気相合成ダイヤの研磨前の母材が用いられ、先端面ｆの表面粗さ（算術平均粗さ：Ｒａ）が  ０．３μｍ  に設定されているので、バンプ頂部ｄに突出するヒゲ状突起ｅが圧潰変形して平坦化する。
【００２７】
図では、１本の平坦化ツール７が１個のバンプＢを平坦化している状態を示しているが、実際には生産性を上げるために、１本の平坦化ツール７が複数個のバンプＢを同時に平坦化する。  
バンプＢが基板Ｐの配線Ｒ上に設けられた状態で、バンプＢ底部からヒゲ状突起ｅ先端までの高さ寸法は約７０μｍあるが、平坦化ツール７によってヒゲ状突起ｅが圧潰されバンプ頂部ｄが平坦化することで、バンプＢは底部から頂部ｄまでの高さ寸法が約５０μｍに変る。平坦化した頂部ｄの表面には、平坦化ツール７の先端面ｆにおける表面粗さそのままの粗い形状が残される。
【００２８】
平坦化ツール７によるバンプ頂部ｄの平坦化が完了したあとは基板Ｐの搬送が再開され、図２（Ｆ）に示すように、バンプＢ位置が基板認識カメラ１１の下方部位に到達したところで、基板Ｐの搬送が停止する。基板認識カメラ１１は基板Ｐに設けられる配線Ｒを撮像して、基板Ｐの位置を認識する。同時に、基板Ｐに設けられるバンプＢを撮像して、バンプＢの有無を検出する。
【００２９】
このとき、平坦化ツール７の先端面ｄに対して表面粗さ数値を設定したから、バンプＢの頂部ｄでは、そのままの状態の表面粗さが形成されている。したがって、バンプ頂部ｄは照明光を乱反射することとなり、画像認識制御部は、バンプＢをほとんど黒に近い状態として認識する。
【００３０】
これに対して、バンプＢが設けられる基板Ｐのバンプ形成面である配線Ｒ部分は、たとえば銅材の薄板にニッケルメッキ処理を施して形成され、光沢がある。したがって、基板Ｐの配線Ｒ表面は照明光を全反射し、画像認識制御部は、ほとんど白に近い状態として認識する。
【００３１】
すなわち、図３に示すように、基板Ｐの配線Ｒ面に対するバンプＢの明暗の状態が極めて鮮明化して、バンプＢの有無が確実に検出され、認識効率の向上化を得られる。認識エラーの発生率が大幅に低減化して、装置稼働率の増大化に繋げられる。  
再び図１に示すように、ウエハステージ１４上の半導体チップＨがウエハ認識カメラ２２によって撮像され、この撮像信号にもとづいてピックアップ反転ツール２１に吸着されるべき半導体チップＨの位置決めがなされる。すなわち、ウエハステージ１４を支持するＸＹテーブルおよびθテーブルの方向の位置決めが行われる。
【００３２】
ピックアップ反転ツール２１が作動して、ウエハステージ１４上の半導体チップＨを吸着し、かつ１８０°反転する。この状態を裏面認識カメラ１７が撮像して、撮像信号を画像認識制御部へ送る。裏面認識カメラ１７で認識された半導体チップＨは、裏面認識カメラ１７の撮像結果にもとづいてボンディングヘッド１６に設けられたボンディングツール２０に受け渡される。
【００３３】
上記ボンディングツール２０に受け渡された半導体チップＨは、チップ認識カメラ１８によって撮像され、その撮像信号が画像認識制御部へ送られる。先に説明したように、ボンディングステージ１３上の基板Ｐは基板認識カメラ１１によって位置認識されているから、基板Ｐ上における半導体チップＨのボンディング位置が決定され、その決定にもとづいて上記ボンディングヘッド１６の位置決め、すなわち半導体チップＨの位置決めがなされる。
【００３４】
ボンディングヘッド１６は基板Ｐ上の予め教示された位置に向かって駆動され、この教示位置に到達したあと画像認識制御部によって求められたボンディング位置に位置決めされて降下し、半導体チップＨを基板Ｐにボンディングすることになる。このようにして、基板Ｐの配線Ｒ上に設けられるバンプＢに半導体チップＨが直接取付けられる、いわゆるフリップチップボンディングが行われ、半導体チップＨが基板Ｐに実装された半導体装置が製造される。
【００３５】
なお、先に説明したように認識機構部９を構成する基板認識カメラ１１は、基板Ｐに設けられる配線Ｒの一部を撮像し、基板Ｐの位置を認識するとともに、配線Ｒ上のバンプＢを撮像して、バンプＢの有無を検出する。  
具体的には、基板認識カメラ１１の倍率を極力大きくして、基板Ｐの一部をモニタ画面に写し、基板Ｐの配線ＲとともにバンプＢを撮像する。しかしながら、何らかの条件により基板Ｐの搬送位置がずれて、モニタ画面に映るべき予め設定された数のバンプＢがモニタ画面に入らない場合がある。
【００３６】
このような状態のときでも、基板認識カメラ１１は撮像して撮像信号を画像認識制御部へ送り、ここで２値化画像処理して処理信号を制御装置へ送る。制御装置では、予め設定され記憶するバンプＢの数と、検出したバンプＢの数とを比較し、一致しないところからバンプ検出エラーの判断をなす。本来は、直ちに装置の運転を停止して、基板の搬送をし直さなければならず、生産性に影響を及ぼす虞れがある。
【００３７】
そこで、以下に述べるように認識条件を設定して、バンプ検出エラーにもとづく装置の停止を回避し、生産性低下の解消を図ることとする。  
すなわち、図４に示すように、上記基板認識カメラ１１が撮像した撮像信号が制御装置へ送られ、その撮像信号にもとづいてモニタ画面Ｍ上に基板Ｐの配線Ｒ一部と、ここに設けられるバンプＢが映し出される。  
制御装置では、予めモニタ画面Ｍ上の中央部を基板Ｐに対する位置認識パターンＮとして設定し、この位置認識パターンＮに対する所定の位置に、図で黒丸で示す第１の基準点Ｔａと、第２の基準点Ｔｂを設定し記憶している。
【００３８】
たとえば、上記位置認識パターンＮは、互いに隣接する配線Ｒの一部と、これら配線Ｒ相互間の隙間Ｓ部分を対象としている。なお説明すると、画面横方向の配線間隙間Ｓａと縦方向の配線間隙間Ｓｂとがクロスする部分が、位置認識パターンＮの一側部に所定量だけずれた位置になるように設定する。
【００３９】
第１の基準点Ｔａは、位置認識パターンＮの左上角部ａからＸ方向とＹ方向に所定間隔だけ離間し、斜め左方向の部位で上部配線Ｒの角部を対象として設定する。第２の基準点Ｔｂは、認識パターンＮの右下角部ｂからＸ方向とＹ方向に所定間隔だけ離間し、斜め右方向の部位で下部配線Ｒの角部を対象として設定する。すなわち、これら第１、第２の基準点Ｔａ，Ｔｂは位置認識パターンＮから離間するうえに、最も外側に設けられるバンプＢの、さらに外側に設定されることになる。
【００４０】
そして、基板認識カメラ１１による撮像信号にもとづいて基板Ｐの位置認識および配線Ｒ上のバンプＢの有り無しの検出が同時に行われるが、先に説明したように、何らかの条件により基板認識カメラ１１に対する基板Ｐの搬送位置がずれることがある。  
この状態を、図５に示す。すなわち、基板認識カメラ１１はモニタ画面Ｍに映し出された状態である、基板Ｐの配線Ｒの一部とバンプＢの一部および、たとえば第２の基準点Ｔｂがモニタ画面Ｍから外れている状態を撮像して、その撮像信号を画像認識制御部へ送る。
【００４１】
撮像信号を受けた画像認識制御部は、２値化画像処理をなして認識信号を制御装置へ送る。ここでは、モニタ画面Ｍ上のバンプＢの数を演算し、その結果が予め記憶された正規のバンプ数に到達しないことを認識する。そして、モニタ画面Ｍ上では第１の基準点Ｔａの存在を確認するが、第２の基準点Ｔｂは存在していないことを確認する。
【００４２】
しかしながら、モニタ画面Ｍ中には位置認識パターンＮ全体が存在しているところから、少なくとも基板Ｐに対する位置認識結果は得られている。そこで、制御装置は基板Ｐに対する位置認識結果にもとづいて、モニタ画面Ｍ上で確認できない第２の基準点Ｔｂの位置を演算で求める。
【００４３】
その演算結果から、基板Ｐの位置ずれ量を算出し、位置認識カメラ１１の移動量を求める。すなわち、第２の基準点Ｔｂがモニタ画面Ｍに映し出されるとともに、位置認識パターンＮがモニタ画面Ｍの中央部に位置するように、基板認識カメラ１１の移動を制御する。  
図６に示すように、基板認識カメラ１１は図の矢印方向へ移動され、位置認識パターンＮがモニタ画面Ｍの中央部に位置し、第１、第２の基準点Ｔａ，Ｔｂがモニタ画面Ｍに映し出されて、予め設定された数のバンプＢがモニタ画面Ｍ内に入る。
【００４４】
そこで、再度、基板Ｐの位置認識を行うとともに、バンプＢの有無の検出を行う。このとき、バンプＢが設定数有りとの結果が得られれば、位置認識カメラ１１の認識を終了して基板Ｐをボンディング機構１０との対向位置へ搬送する。  
ボンディング機構１０では、ボンディングツール２０に吸着された半導体チップＨをチップ認識カメラ１８で認識する。そして、基板認識カメラ１１が基板ＰとバンプＢを認識した結果にもとづいて、ボンディングツール２０をボンディング位置に移動し、バンプＢを介して基板Ｐと半導体チップＨをボンディングする。
【００４５】
したがって、何らかの条件で基板Ｐの位置がずれて、予め設定されたバンプＢの数の認識ができず、バンプ検出エラーが生じても、直ちに装置を停止する必要が無くなって、装置の稼働率の増大化を得られる。  
以上の認識条件を、図７に示すフローチャートにもとづいて再度説明する。
【００４６】
ステップＳ１で、モニタ画面Ｍ上に設定した位置認識パターンＮから基板Ｐの位置認識を行う。タイミング的には同時に、ステップＳ２でパンプＢの数を検出して、そのバンプ数が予め設定した数だけあるか否かを判断する。すなわち、バンプＢの設定数の有り無しの算出を行う。
【００４７】
バンプＢに対する検出結果がＹＥＳであればステップＳ３に移る。ボンディング機構１０では、ボンディングツール２０に吸着された半導体チップＨをチップ認識カメラ１８で認識する。そして、基板認識カメラ１１が基板ＰとバンプＢを認識した結果にもとづいて、ボンディングツール２０をボンディング位置に移動し、バンプＢを介して基板Ｐと半導体チップＨをボンディングする。
【００４８】
また、ステップＳ２で、たとえば基板Ｐの搬送位置がずれてバンプＢ一部がモニタ画面Ｍからはみ出てしまったことにより、バンプ有無の検出結果がＮＯとなった場合は、ステップＳ５へ移る。  
このステップＳ５では、基板Ｐに対する位置認識結果により、隠れている基準点（第２の基準点Ｔｂ）の位置を算出し、その算出結果にもとづいて位置認識パターンＮがモニタ画面Ｍの中心になるように基板認識カメラ１１の位置を移動制御する。
【００４９】
そのあと、再びステップＳ１に移って基板Ｐの位置認識を行うとともに、ステップＳ２においてバンプＢに対する有り無しの検出を行う。ここでバンプＢが正規の数だけ有り（ＹＥＳ）との検出結果が出たら、ステップＳ３へ移る。このようなバンプＢの有無検出のリトライを繰り返して、装置の停止条件を可能な限り少なくする。
【００５０】
なお、上述の実施の形態では基板Ｐの配線Ｒ上にバンプＢを設けたが、半導体チップＨにバンプＢを備えた場合にも適用可能であり、また、バンプＢをリードフレームに設けて半導体チップＨをフリップチップボンディングする場合にも適用可能である。  
また、本発明は上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。そして、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施の形態に係る、半導体製造装置の概略の外観斜視図。
【図２】同実施の形態に係る、バンプ形成から平坦化を経て認識に至るまでの工程を順に示す図。
【図３】同実施の形態に係る、基板の配線上に設けられたバンプの状態を示す平面図。
【図４】同実施の形態に係る、正規の基板の位置認識と、バンプ有無の検出を同時に行う状態でのモニタ画面の図。
【図５】同実施の形態に係る、モニタ画面に対して基板の位置がずれた状態のモニタ画面の図。
【図６】同実施の形態に係る、正規の位置に基板とバンプを戻した状態でのモニタ画面の図。
【図７】同実施の形態に係る、認識のフローチャート図。
【符号の説明】
【００５２】
Ｐ…基板、Ｒ…配線、Ｂ…バンプ、Ｈ…半導体チップ、ｄ…バンプ頂部、５…平坦化機構部（平坦化手段）、７…平坦化ツール、Ｍ…モニタ画面、１０…ボンディング機構部。
【図１】
2006147860.tif 000003
【図２】
2006147860.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2006147860.tif 000007
【図６】
2006147860.tif 000008
【図７】
2006147860.tif 000009