(57)【要約】【課題】  大量のフラックスやはんだを必要としない太陽電池セルの製造方法とその方法により製造された太陽電池セルを含む太陽電池モジュールを提供する。【解決手段】  半導体基板に電極を形成する工程と、電極の表面の少なくとも一部にはんだペーストを印刷する工程とを含む太陽電池セルの製造方法とその方法により製造された太陽電池セルを含む太陽電池モジュールである。ここで、はんだペーストの印刷はスクリーン印刷法により行なわれることが好ましい。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板に電極を形成する工程と、前記電極の表面の少なくとも一部にはんだペーストを印刷する工程と、を含む、太陽電池セルの製造方法。
【請求項２】
前記はんだペーストの印刷は、スクリーン印刷法により行なわれることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項３】
前記電極の表面のすべてに前記はんだペーストを印刷したことを特徴とする、請求項１または２に記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項４】
前記電極の表面の一部に前記はんだペーストを印刷したことを特徴とする、請求項１または２に記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項５】
前記はんだペーストを乾燥させた後に前記電極の表面に形成されたはんだ層と、インターコネクタの表面の少なくとも一部に形成されたはんだ層と、を接触させた状態でこれらのはんだ層を溶融状態にした後に固化することによってインターコネクタを設置することを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項６】
前記電極の表面に印刷されたはんだペーストと、インターコネクタの表面の少なくとも一部に形成されたはんだ層と、を接触させた状態でこれらを溶融状態にした後に固化することによってインターコネクタを設置することを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項７】
前記はんだペーストを乾燥させた後に前記電極の表面に形成されたはんだ層と、インターコネクタの表面の少なくとも一部に印刷されたはんだペーストと、を接触させた状態でこれらを溶融状態にした後に固化することによってインターコネクタを設置することを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項８】
前記電極の表面に印刷されたはんだペーストと、インターコネクタの表面の少なくとも一部に印刷されたはんだペーストと、を接触させた状態でこれらを溶融状態にした後に固化することによってインターコネクタを設置することを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項９】
前記インターコネクタが段差を有していることを特徴とする、請求項５から８のいずれかに記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項１０】
前記はんだペーストがシリカを含んでいることを特徴とする、請求項１から９のいずれかに記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項１１】
前記シリカの含有量が前記はんだペースト全体の０．１質量％以上３質量％以下であることを特徴とする、請求項１０に記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれかに記載の太陽電池セルの製造方法によって製造された太陽電池セルを含む、太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールに関し、特にはんだペーストを用いた太陽電池セルの製造方法およびその方法により製造された太陽電池セルを含む太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、特に地球環境の保護の観点から、太陽光エネルギを電気エネルギに変換する太陽電池セルおよび太陽電池モジュールについて次世代のエネルギ源としての期待が急激に高まっている。太陽電池セルは一般的にＳｉ（シリコン）基板などの半導体基板の内部にｐｎ接合を形成し、半導体基板の表面に電流を取り出すための電極を設置して、電極の表面にはんだ層が形成される。そして、この太陽電池セルを複数用意し、それぞれの太陽電池セルの電極の表面のはんだ層上にインターコネクタを設置することによって太陽電池セル同士が連結され、太陽電池モジュールが形成される。
【０００３】
図７に、従来の太陽電池セルの製造プロセスのフローチャートを示す。まず、ステップＳ１において、ｐ型Ｓｉ基板のエッチングが行なわれる。次に、ステップＳ２において、ｐ型Ｓｉ基板の受光面側にｎ型拡散層および太陽光の反射率を低下させるための反射防止膜が形成される。次いで、ステップＳ３において、ｐ型Ｓｉ基板の裏面のほぼ全面にＡｌペーストをスクリーン印刷して乾燥させた後に酸化性雰囲気下で約７００℃程度の高温で焼成してＡｌ電極を形成する。そして、ステップＳ４において、ｐ型Ｓｉ基板の裏面の一部にＡｇペーストをスクリーン印刷し、ｐ型Ｓｉ基板の受光面側の反射防止膜上にＡｇペーストをスクリーン印刷した後に、これらのＡｇペーストを１５０℃程度の温度で乾燥させる。そして、ステップＳ５において、ｐ型Ｓｉ基板の反射防止膜および裏面の一部にスクリーン印刷されたＡｇペーストを約６２０℃程度の高温で１〜２分程度焼成することによってｐ型Ｓｉ基板の両面にＡｇ電極を形成する。
【０００４】
その後、ステップＳ６において、Ａｇ電極形成後のｐ型Ｓｉ基板をたとえば特許文献１に記載されているようなフラックスへ浸漬させた後、温風乾燥させる。次いで、ステップＳ７において、ｐ型Ｓｉ基板を約２００℃のたとえば特許文献１に記載されているようなはんだ浴に約１分間浸漬させることによってＡｇ電極にはんだを塗布する。そして、Ａｇ電極を洗浄した後にリフローすることによって太陽電池セルが完成する。
【０００５】
そして、Ａｇ電極のはんだ層と、インターコネクタに形成されたはんだ層とを接触させた状態で４００℃の熱風をインターコネクタに吹き付ける。これによりはんだ層を溶融させた後、冷却して固化することによって、Ａｇ電極とインターコネクタとの電気的な接続が行なわれる。このように、インターコネクタを介して複数の太陽電池セルを直列または並列に電気的に接続することによって太陽電池モジュールが製造される。
【特許文献１】特開平１１−２６７８８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の太陽電池セルの製造プロセスにおいて、Ａｇ電極形成後のｐ型Ｓｉ基板のフラックスへの浸漬およびはんだ浴への浸漬の際には、ｐ型Ｓｉ基板を１００枚程度キャリアに立てて並べ、キャリアごとに４００Ｌ程度のフラックスが収容されたフラックス槽に浸漬させた後に、１０００ｋｇを超えるはんだが収容されたはんだ浴に浸漬させる必要があった。
【０００７】
しかしながら、このように大量のフラックスとはんだを用いる場合には、設備が大掛かりなものになってしまうという問題があった。また、フラックスがアルコールを含む場合にはその保管量や管理方法に様々な制約があった。さらに、はんだ浴においては、大量のはんだドロスが生じるという問題があった。
【０００８】
また、上記においては、キャリアのはんだ浴からの引き上げによって、図８に示すように、ｐ型Ｓｉ基板１に形成されたＡｇ電極５、６においては、ｐ型Ｓｉ基板１のはんだ浴からの引き上げ方向（図８の矢印で示される方向）の末端部側におけるはんだ層７の厚みが厚くなる、いわゆるはんだ溜り１０が発生することがあった。概ね、１０μｍ程度の厚みのはんだ層７が、はんだ溜り１０においては５００μｍを超える厚みとなる場合が散見された。このようなはんだ溜りを有する場合には、太陽電池セルの特性検査や太陽電池セルの直列配線などの際に太陽電池セルの割れを生じさせるため、不良品として選別せざるを得なかった。そして、選別された太陽電池セルについて再度はんだ層を形成したり、はんだこてを用いて人手によりはんだ溜りを溶融して取り除いたりしていたため、はんだ溜りの解消に非常に手間がかかるという問題があった。
【０００９】
本発明の目的は、大量のフラックスやはんだを必要としない太陽電池セルの製造方法およびその方法により製造された太陽電池セルを含む太陽電池モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、半導体基板に電極を形成する工程と、電極の表面の少なくとも一部にはんだペーストを印刷する工程と、を含む太陽電池セルの製造方法である。
【００１１】
ここで、本発明の太陽電池セルの製造方法において、はんだペーストの印刷はスクリーン印刷法により行なわれることが好ましい。
【００１２】
また、本発明の太陽電池セルの製造方法においては、電極の表面のすべてにはんだペーストを印刷することができる。
【００１３】
また、本発明の太陽電池セルの製造方法においては、電極の表面の一部にはんだペーストを印刷することができる。
【００１４】
また、本発明の太陽電池セルの製造方法においては、はんだペーストが乾燥された後に電極の表面に形成されたはんだ層と、インターコネクタの表面の少なくとも一部に形成されたはんだ層と、を接触させた状態でこれらのはんだ層を溶融状態にした後に固化することによってインターコネクタを設置することができる。
【００１５】
また、本発明の太陽電池セルの製造方法においては、電極の表面に印刷されたはんだペーストと、インターコネクタの表面の少なくとも一部に形成されたはんだ層と、を接触させた状態でこれらを溶融状態にした後に固化することによってインターコネクタを設置することができる。
【００１６】
また、本発明の太陽電池セルの製造方法においては、はんだペーストが乾燥された後に電極の表面に形成されたはんだ層と、インターコネクタの表面の少なくとも一部に印刷されたはんだペーストと、を接触させた状態でこれらを溶融状態にした後に固化することによってインターコネクタを設置することができる。
【００１７】
また、本発明の太陽電池セルの製造方法においては、電極の表面に印刷されたはんだペーストと、インターコネクタの表面の少なくとも一部に印刷されたはんだペーストと、を接触させた状態でこれらを溶融状態にした後に固化することによってインターコネクタを設置することができる。
【００１８】
また、本発明の太陽電池セルの製造方法においては、インターコネクタが段差を有していることが好ましい。
【００１９】
また、本発明の太陽電池セルの製造方法においては、はんだペーストがシリカを含んでいてもよい。ここで、シリカの含有量がはんだペースト全体の０．１質量％以上３質量％以下であることが好ましい。
【００２０】
さらに、本発明は、上記のいずれかに記載の太陽電池セルの製造方法によって製造された太陽電池セルを含む太陽電池モジュールである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、大量のフラックスやはんだを必要としない太陽電池セルの製造方法およびその方法により製造された太陽電池セルを含む太陽電池モジュールを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本願の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２３】
図１に、本発明による太陽電池セルの好ましい一例の模式的な断面図を示す。この太陽電池セルはｐ型Ｓｉ基板１の受光面（太陽光が入射する側の面）側にｎ型拡散層２が形成されており、ｎ型拡散層２上に反射防止膜３およびＡｇ電極５が形成されている。そして、このＡｇ電極５の表面には、はんだ層７が形成されている。また、ｐ型Ｓｉ基板１の裏面（受光面と反対側の面）側にはＡｌ焼結層８とＡｌ／Ｓｉ合金層９とからなるＡｌ電極４が形成されている。また、このＡｌ電極４の間にはＡｇ電極６が形成されており、このＡｇ電極６の表面には、はんだ層７が形成されている。
【００２４】
図２に、この太陽電池セルの製造プロセスの好ましい一例のフローチャートを示す。まず、ステップＳ１において、ｐ型Ｓｉ基板のエッチングが行なわれる。次に、ステップＳ２において、ｐ型Ｓｉ基板の受光面側にｎ型拡散層および太陽光の反射率を低下させるための反射防止膜が形成される。次いで、ステップＳ３において、ｐ型Ｓｉ基板の裏面のほぼ全面にＡｌペーストをスクリーン印刷して乾燥させた後に酸化性雰囲気下で高温で焼成することによってＡｌ電極を形成する。そして、ステップＳ４において、ｐ型Ｓｉ基板の裏面の一部にＡｇペーストをスクリーン印刷した後に乾燥させ、さらにｐ型Ｓｉ基板の受光面側の反射防止膜上にＡｇペーストをスクリーン印刷した後に乾燥させる。そして、ステップＳ５において、ｐ型Ｓｉ基板の反射防止膜および裏面の一部にスクリーン印刷されたＡｇペーストを焼成することによって、ｐ型Ｓｉ基板の受光面上および裏面上にＡｇ電極を形成する。ここまでは、従来の太陽電池セルの製造プロセスと同様である。
【００２５】
その後、ステップＳ６において、図３に示すように、ｐ型Ｓｉ基板１の受光面側にあるＡｇ電極５および裏面側にあるＡｇ電極６の表面にはんだペースト７ａが印刷される。
【００２６】
ここで、はんだペースト７ａは、たとえばＰｎ−Ｓｎ合金（鉛−スズ合金）などからなるはんだの粒子をロジンなどを含むフラックスに分散させたペースト状のものである。はんだペースト７ａは市販されており、主にＩＣ回路基板への部品のはんだコーティングに利用されている。このようなはんだペースト７ａにはフラックスが含まれていることから、Ａｇ電極への濡れ性についても良好である。また、はんだペースト７ａには、はんだペースト７ａ全体の０．１質量％以上３質量％以下のシリカ（ＳｉＯ2）が含まれていることが好ましい。シリカの含有量がはんだペースト７ａ全体の０．１質量％未満である場合にはシリカを含有させた効果が得られない傾向にあり、３質量％よりも多い場合にははんだペースト７ａの粘性が少なくなりすぎて印刷をすることができない傾向にある。なお、シリカは粉末状であり得る。
【００２７】
また、はんだペースト７ａは、Ａｇペーストなどと同様に、スクリーン印刷などを用いて所望のパターン状に印刷することができる。はんだペースト７ａをスクリーン印刷した場合にはＡｇ電極の表面に均一にはんだ層を形成することができるため、従来のようにはんだ溜まりを発生させない。なお、はんだペースト７ａはＡｇ電極の表面のすべてに印刷されてもよく、Ａｇ電極の表面の一部のみに印刷されてもよい。
【００２８】
そして、ステップＳ７において、Ａｇ電極にスクリーン印刷されたはんだペーストを乾燥することによってはんだペーストを構成する溶媒が除去され、Ａｇ電極の表面にはんだペースト中のはんだの粒子が残留してはんだ層が形成される。これにより、Ａｇ電極の表面にはんだ層が形成されて、本発明の太陽電池セルが完成する。
【００２９】
この太陽電池セルのＡｇ電極の表面に形成されたはんだ層と、インターコネクタに形成されたはんだ層とを接触させた状態でたとえば熱風をインターコネクタに吹き付けるなどの方法により、これらのはんだ層を溶融させる。その後、はんだ層を冷却して固化することによって、太陽電池セルのＡｇ電極とインターコネクタとの電気的な接続が行なわれる。このように、インターコネクタを介して複数の太陽電池セルを直列または並列に電気的に接続することによって太陽電池モジュールが製造される。
【００３０】
ここで、本明細書において、インターコネクタとは、その一部が太陽電池セルの電極に電気的に接続される部材のことをいい、主に、異なる太陽電池セル同士を電気的に接続するために用いられる。インターコネクタの形状は特に限定されないが、インターコネクタの設置によって太陽電池セルに生じる応力を緩和する観点からは、インターコネクタは段差を有していることが好ましい。また、本発明においては、太陽電池セルのＡｇ電極とインターコネクタとの接触時における太陽電池セルのＡｇ電極の表面状態およびインターコネクタの表面状態は、印刷されたはんだペーストの状態または印刷されたはんだペーストを乾燥させた後のはんだ層の状態のいずれの状態であってもよい。
【００３１】
このように、本発明によれば、はんだペーストを用いてＡｇ電極の表面へのはんだ層の形成が可能になることから、はんだ溜まりの発生を防止することができるだけでなく、大量のフラックスやはんだ浴へのｐ型Ｓｉ基板の浸漬を必要としない。したがって、はんだ層の形成に大型の装置が不要となり、使用する材料の量を低減させることができる。
【００３２】
なお、上記においては、半導体基板としてｐ型Ｓｉ基板を用いたが、その他の半導体基板を用いてもよいことは言うまでもない。
【実施例】
【００３３】
（実施例１）
テクスチャエッチングされた厚さ２４０μｍで幅１２５ｍｍ×長さ１２５ｍｍの矩形のｐ型Ｓｉ基板の片側の表面（受光面となる側の表面）に約９００℃のリン拡散により約５０Ω／□の面抵抗値を有するｎ型拡散層を形成した。そのｎ型拡散層上に反射防止膜としてプラズマＣＶＤ法により約６０ｎｍの厚みのＳｉ窒化膜を形成した。そして、ｐ型Ｓｉ基板の裏面に市販のＡｌペーストをスクリーン印刷法にて印刷し、１５０℃程度で乾燥した後、空気中で７００℃で焼成してｐ型Ｓｉ基板の裏面にＡｌ電極を形成した。次いで、このｐ型Ｓｉ基板の裏面および受光面の所定の位置に、市販のＡｇペーストをスクリーン印刷法によって印刷し、１５０℃で乾燥した後、空気中で６２０℃で焼成することによって、ｐ型Ｓｉ基板の両面にＡｇ電極を形成した。ここで、ｐ型Ｓｉ基板の受光面側の電極は、図４に示すように、幅１．５ｍｍ×長さ１２２ｍｍのメイングリッド５ａが２本設置されており、それぞれのメイングリッド５ａに複数のサブグリッド５ｂが交差して設置された構成を有している。
【００３４】
その後、ｐ型Ｓｉ基板の受光面のＡｇ電極にはんだペースト（株式会社弘輝製の品番「Ｓ３Ｘ５８−Ｍ４０５」）をスクリーン印刷した。そして、スクリーン印刷されたはんだペーストについて最高温度２４０℃の大気中でリフローを行ない、同様にｐ型Ｓｉ基板の裏面のＡｇ電極にもはんだペースト（株式会社弘輝製の品番「Ｓ３Ｘ５８−Ｍ４０５」）をスクリーン印刷した後に最高温度２４０℃の大気中でリフローを行なって、太陽電池セルを完成させた。
【００３５】
このようにして得られた太陽電池セルについて最大電力（Ｗ）を調査し、さらに温湿度サイクル試験を行ない、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率を調査した。その結果を表１に示す。
【００３６】
なお、表１の最大電力および最大電力の変化率の数値は、３枚の太陽電池セルの調査結果の平均値を記載したものである。また、温湿度サイクル試験においては、太陽電池セルについて、湿度８５％の雰囲気下で−４０℃から８５℃まで温度を上昇させた後に８５℃から−４０℃まで温度を降下させる温度変化を１サイクルとし、この１サイクルを６時間かけて行なった。そして、このサイクルを２５サイクル行なった後の太陽電池セルの最大電力を調査し、温湿度サイクル試験後の最大電力の温湿度サイクル試験前の最大電力に対する変化率を算出し、この変化率が±１０％以内であれば信頼性に優れているものとして評価した。また、この変化率において「−」の表記は、温湿度サイクル試験後の太陽電池セルの最大電力が温湿度サイクル試験前のものよりも低かったことを示している。
【００３７】
（実施例２）
はんだペーストを図４に示すメイングリッド５ａのみにスクリーン印刷したこと以外は実施例１と同様にして、太陽電池セルを作製した。そして、この太陽電池セルについて、実施例１と同様にして、最大電力（Ｗ）を調査し、さらに温湿度サイクル試験を行なって温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率を調査した。その結果を表１に示す。
【００３８】
（実施例３）
はんだペーストを図４に示すメイングリッド５ａの幅の２／３の領域のみにスクリーン印刷したこと以外は実施例１と同様にして、太陽電池セルを作製した。そして、この太陽電池セルについて、実施例１と同様にして、最大電力（Ｗ）を調査し、さらに温湿度サイクル試験を行ない、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率を調査した。その結果を表１に示す。
【００３９】
（実施例４）
幅１．５ｍｍ×長さ１．５ｍｍの矩形状に、はんだペーストを図４に示すメイングリッド５ａの長手方向に３ｍｍのピッチで間欠的にスクリーン印刷したこと以外は実施例１と同様にして、太陽電池セルを作製した。そして、この太陽電池セルについて実施例１と同様にして最大電力（Ｗ）を調査し、さらに温湿度サイクル試験を行なって温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率を調査した。その結果を表１に示す。
【００４０】
【表１】
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【００４１】
上記のように、実施例１〜４の太陽電池セルについては、最大電力はすべて２．１５Ｗ以上であり、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率はすべて±１０％以内であった。これらの数値は、フラックス槽およびはんだ浴に浸漬させてはんだ層が形成された従来の太陽電池セルと同等のものであった。
【００４２】
（実施例５）
実施例１の太陽電池セルの受光面側の電極のメイングリッドのはんだ層上に、インターコネクタに形成されているはんだ層が接触するようにしてインターコネクタを設置し、リフローすることによって太陽電池セルのＡｇ電極のはんだ層とインターコネクタに形成されているはんだ層とを溶融させた後に固化した。これにより、太陽電池セルの受光面側のＡｇ電極とインターコネクタとの電気的な接続が行なわれた。続いて、この太陽電池セルの裏面側のＡｇ電極についても同様にインターコネクタとの電気的な接続が行なわれた。ここで、太陽電池セルの受光面側および裏面側のＡｇ電極との電気的な接続が行なわれたインターコネクタは、幅１．５ｍｍ×長さ１７５ｍｍ×厚さ０．２５ｍｍの銅タブ線に厚さ０．０４ｍｍのはんだ層が形成されたものが用いられた。
【００４３】
そして、これらのインターコネクタを経由して、実施例１と同様にして、太陽電池セルの最大電力を調査した。また、実施例１と同様にして、温湿度サイクル試験を行ない、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率を調査した。さらに、この温湿度サイクル試験後にインターコネクタが剥離しているかどうかについても目視により調査した。これらの結果を表２に示す。
【００４４】
（実施例６）
実施例５においてはＡｇ電極にスクリーン印刷されたはんだペーストをリフローして得られた太陽電池セルが用いられたが、実施例６においてはＡｇ電極にスクリーン印刷されたはんだペーストをリフローする前の太陽電池セルに実施例５で用いられたものと同じ構成のインターコネクタを設置し、その後リフローすることによって、太陽電池セルの受光面側および裏面側のＡｇ電極とインターコネクタとの電気的な接続が行なわれた。
【００４５】
そして、これらのインターコネクタを経由して、実施例５と同様にして、太陽電池セルの最大電力を調査した。また、実施例５と同様にして、温湿度サイクル試験を行ない、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率を調査し、温湿度サイクル試験後のインターコネクタの剥離について調査した。これらの結果を表２に示す。
【００４６】
（実施例７）
実施例４の太陽電池セルの受光面側のＡｇ電極のメイングリッドのはんだ層上に、実施例５で用いられたものと同じ構成のインターコネクタに形成されているはんだ層が接触するようにしてインターコネクタを設置し、リフローさせることによって、実施例４の太陽電池セルの受光面側のＡｇ電極とインターコネクタとの電気的な接続が行なわれた。続いて、実施例５と同様にして、実施例４の太陽電池セルの裏面側のＡｇ電極とインターコネクタとの電気的な接続が行なわれた。
【００４７】
そして、これらのインターコネクタを経由して、実施例５と同様にして、太陽電池セルの最大電力を調査した。また、実施例５と同様にして、温湿度サイクル試験を行なって温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率を調査し、温湿度サイクル試験後のインターコネクタの剥離について調査した。これらの結果を表２に示す。
【００４８】
【表２】
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【００４９】
上記のように、実施例５〜７のインターコネクタ付きの太陽電池セルについては、最大電力はすべて２．００Ｗ以上であり、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率はすべて±１０％以内であった。これらの数値は、フラックス槽およびはんだ浴に浸漬させてはんだ層の形成が行なわれた従来の太陽電池セルを用いて作製されたインターコネクタ付きの太陽電池セルと同等のものであった。
【００５０】
（実施例８）
図５の模式的側面図に示す段差を有するインターコネクタ１１を用いたこと以外は実施例７と同様にしてインターコネクタ付きの太陽電池セルを作製した。ここで、図５に示すインターコネクタ１１においては、太陽電池セルの受光面側のＡｇ電極との接触部分１１ａのみに竹べらを用いてはんだペーストの印刷がされた。続いて、実施例７と同様にして、太陽電池セルの裏面側のＡｇ電極と実施例５で用いられたものと同じ構成のインターコネクタとの電気的な接続が行なわれた。
【００５１】
そして、これらのインターコネクタを経由して、実施例７と同様にして、太陽電池セルの最大電力を調査した。また、実施例７と同様にして、温湿度サイクル試験を行ない、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率を調査し、温湿度サイクル試験後のインターコネクタの剥離について調査した。さらに、インターコネクタを太陽電池セルの受光面側の電極と電気的に接続した後に太陽電池セルの１辺を指で押さえて対辺の浮き上がった高さを定規で測定して太陽電池セルの反りの量を調査した。これらの結果を表３に示す。
【００５２】
（実施例９）
実施例１において用いられたものと同じ構成のはんだペーストに、平均粒径約０．５μｍの粉末状シリカを上記のはんだペーストの０．８質量％加えたものを用いたこと以外は実施例６と同様にして、インターコネクタ付きの太陽電池セルを作製した。
【００５３】
そして、実施例８と同様にして、太陽電池セルの最大電力、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率、温湿度サイクル試験後のインターコネクタの剥離および太陽電池セルの反りの量を調査した。これらの結果を表３に示す。
【００５４】
（実施例１０）
実施例８で用いられた図５に示す段差を有するインターコネクタ１１を用いたこと以外は実施例９と同様にしてインターコネクタ付きの太陽電池セルを作製した。
【００５５】
そして、実施例８と同様にして、太陽電池セルの最大電力、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率、温湿度サイクル試験後のインターコネクタの剥離および太陽電池セルの反りの量を調査した。これらの結果を表３に示す。
【００５６】
【表３】
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【００５７】
上記のように、実施例８〜１０のインターコネクタ付きの太陽電池セルについては、最大電力はすべて１．９８Ｗ以上であり、温湿度サイクル試験前後の最大電力の変化率はすべて±１０％以内であった。これらの数値は、フラックス槽およびはんだ浴に浸漬させてはんだ層の形成が行なわれた従来の太陽電池セルを用いて作製されたインターコネクタ付きの太陽電池セルと同等のものであった。
【００５８】
さらに、上記の従来の太陽電池セルを用い、実施例５と同様にしてインターコネクタ付きの太陽電池セルを作製した。そして、この従来の太陽電池セルを用いたインターコネクタ付きの太陽電池セルについて実施例８と同様にして反りの量を測定したところ４．２ｍｍであった。したがって、インターコネクタの形状や用いられるはんだペーストの組成を変更した実施例８〜１０のインターコネクタ付きの太陽電池セルについては反りの量に関して変更の効果が確認された。
【００５９】
（実施例１１）
実施例５において作製されたインターコネクタ付きの太陽電池セルを５４個直列配線することによって太陽電池モジュールを作製した。図６に、この太陽電池モジュールの一部の模式的な断面図を示す。ここで、１本のインターコネクタ１１の一端が太陽電池セル１２ａの受光面側のＡｇ電極とはんだ層を介して電気的に接続されており、インターコネクタ１１の他端が太陽電池セル１２ｂの裏面側のＡｇ電極とはんだ層を介して電気的に接続されている。この電気的な接続が連続して５４個の太陽電池セルが直列に配線されることにより太陽電池モジュールが構成されている。この太陽電池モジュールの最大電力は１２６Ｗであった。これは、はんだペーストを用いずにフラックス槽およびはんだ浴に浸漬させてはんだ層が形成された従来の太陽電池セルが５４個直列配線された太陽電池モジュールの最大電力と同等のものであった。
【００６０】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明によれば、はんだペーストを用いてＡｇ電極へのはんだ層の形成が可能になることから、大量のフラックスやはんだ浴への浸漬を必要としない太陽電池セルの製造方法とこの方法により製造された太陽電池セルを含む太陽電池モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明による太陽電池セルの好ましい一例の模式的な断面図である。
【図２】本発明による太陽電池セルの製造プロセスの好ましい一例のフローチャートである。
【図３】本発明に用いられるｐ型Ｓｉ基板の受光面側および裏面側にあるＡｇ電極にペーストが印刷された後のｐ型Ｓｉ基板の好ましい一例の模式的な断面図である。
【図４】本発明に用いられるｐ型Ｓｉ基板の受光面の好ましい一例の模式的な平面図である。
【図５】本発明に用いられるインターコネクタの好ましい一例の模式的な側面図である。
【図６】本発明による太陽電池モジュールの一部の好ましい一例の模式的な断面図である。
【図７】従来の太陽電池セルの製造プロセスのフローチャートである。
【図８】従来において、はんだ溜りが発生しているｐ型Ｓｉ基板の一例の模式的な断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１  ｐ型Ｓｉ基板、２  ｎ型拡散層、３  反射防止膜、４  Ａｌ電極、５，６  Ａｇ電極、５ａ  メイングリッド、５ｂ  サブグリッド、７  はんだ層、７ａ  はんだペースト、８  Ａｌ焼結層、９  Ａｌ／Ｓｉ合金層、１０  はんだ溜り、１１  インターコネクタ、１１ａ  接触部分、１２ａ，１２ｂ  太陽電池セル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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