(57)【要約】      （修正有）【課題】カップリング効率の高い光通信モジュールを提供する。【解決手段】光信号を伝送する光ファイバ１０８の一端部を保持する上部スリーブ１０４、上記光信号を受信又は送信する光素子１０６及び前記光ファイバ１０８と上記光素子１０６との相互間に介在して上記光信号を中継する集光レンズ１０１の各々を１つの光軸上に配置する工程と、上記光素子から上記光ファイバに入射する上記光信号あるいは上記光ファイバから上記光素子に入射する上記光信号の強度を検出する工程と、予め定められた上記光ファイバの一端部及び上記集光レンズの焦点位置相互間のずれと上記光信号の強度との関係に基づいて、検出された上記光信号の強度に対応するずれを求める工程と、上記ずれ量を補償する調整レンズ１１２を前記光ファイバの一端部と上記光素子との相互間に配置する工程と、を含む。【選択図】図５
2006162806.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光信号を伝送する光ファイバの一端部を保持するスリーブ、前記光信号を受信又は送信する光素子及び前記光ファイバと前記光素子との相互間に介在して前記光信号を中継する集光レンズの各々を１つの光軸上に配置する工程と、
前記光素子から前記光ファイバに入射する前記光信号あるいは前記光ファイバから前記光素子に入射する前記光信号の強度を検出する工程と、
予め定められた前記光ファイバの一端部及び前記集光レンズの焦点位置相互間のずれと前記光信号の強度との関係に基づいて、検出された前記光信号の強度に対応するずれを求める工程と、
前記ずれ量を補償する調整レンズを前記光ファイバの一端部と前記光素子との相互間に配置する工程と、
を含む光通信モジュールの製造方法。
【請求項２】
光信号を伝送する光ファイバの一端部を保持するスリーブ、前記光信号を受信又は送信する光素子、及び前記光ファイバと前記光素子との相互間に介在して前記光信号を中継する集光レンズの各々を１つの光軸上に配置する工程と、
前記光素子から前記光ファイバに入射する前記光信号あるいは前記光ファイバから前記光素子に入射する前記光信号の強度を検出する工程と、
予め定められた前記光ファイバの一端部及び前記集光レンズの焦点位置相互間のずれと前記光信号の強度との関係に基づいて、検出された前記光信号の強度に対応するずれを求める工程と、
前記ずれ量を補償する調整レンズを前記集光レンズに重ねて形成する工程と、
を含む光通信モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記調整レンズは液体材料の表面張力を利用して成形され、該液体材料の量は前記ずれに基づいて設定される、請求項１又は２に記載の光通信モジュールの製造方法。
【請求項４】
前記調整レンズは液滴吐出法によって前記スリーブ内の光軸上に形成される、請求項３に記載の光通信モジュールの製造方法。
【請求項５】
前記集光レンズは前記光軸の方向を変える反射光学系を備え、前記調整レンズは前記反射光学系に設けられて前記光信号の反射点を変える、請求項１乃至４のいずれかに記載の光通信モジュールの製造方法。
【請求項６】
電気信号と光信号間の信号変換を行う光通信モジュールであって、
互いの光軸が共通する、光素子、第１の光学レンズ、第２の光学レンズ及び光ファイバを備え、
前記第１の光学レンズの焦点位置が、前記光ファイバの端部位置を越えて光ファイバ内にあり、
前記第２の光学レンズが、前記第１の光学レンズの焦点位置を前記光ファイバの端部近傍に位置させるように形成されている光通信モジュール。
【請求項７】
電気信号と光信号間の信号変換を行う光通信モジュールであって、
互いの光軸が共通する、光素子、第１の光学レンズ、第２の光学レンズ及び光ファイバを備え、
前記第１の光学レンズの焦点位置が、前記光ファイバの端部位置と前記第１の光学レンズとの間にあり、
前記第２の光学レンズが、前記第１の光学レンズの焦点位置を前記光ファイバの端部近傍に位置させるように形成されている光通信モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光ファイバを用いて光信号を送受信する光通信モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信モジュールは、例えば光素子、集光レンズ、光ファイバ、及びそれらを保持する基板、フェルール等から構成されている。光素子は発光素子、受光素子、あるいはその双方から成る。集光レンズは光ファイバ端面、または光素子表面に光を集中させる機能を有する。光通信モジュールにおいて光素子と光ファイバとの接続における光信号の伝搬ロスを減少（カップリング効率を向上）させるためには、該モジュールを構成する各要素の光軸を一致させると共に、集光レンズの焦点と光素子、あるいは集光レンズの焦点と光ファイバの端面を一致させることが重要である。そこで、例えば、特開平８−１２２５８１号公報は集光レンズと光ファイバ端面との間にばね等の弾性体からなるスペーサを設け、カップリング効率を測定しつつ光ファイバ端面位置を移動して最大効率となる位置で光ファイバを保持するフェルールを固定する方法を提案している（特許文献1）。
【特許文献１】特開平８−１２２５８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記構成の如き光通信モジュールは部品点数が増加する。また、光ファイバの１端を保持するフェルールを最適位置に保持した状態で光ファイバと光素子相互間を固定するために特別な製造組立装置を必要とするため製造コストの上昇を招く。
【０００４】
よって、本発明は、光通信モジュールを構成する構成要素の光軸調整が容易な光通信モジュールの製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
また、本発明は、光通信モジュールを構成する構成要素の光軸調整における位置の合わせ精度が高く、カップリング効率の高い光通信モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために本発明の光通信モジュールの製造方法は、光信号を伝送する光ファイバの一端部を保持するスリーブ、上記光信号を受信又は送信する光素子及び上記光ファイバと上記光素子との相互間に介在して上記光信号を中継する集光レンズの各々を１つの光軸上に配置する工程と、上記光素子から上記光ファイバに入射する上記光信号あるいは上記光ファイバから上記光素子に入射する上記光信号の強度を検出する工程と、予め定められた上記光ファイバの一端部及び上記集光レンズの焦点位置相互間のずれと上記光信号の強度との関係に基づいて、検出された上記光信号の強度に対応するずれを求める工程と、上記ずれ量を補償する調整レンズを上記光ファイバの一端部と上記光素子との相互間に配置する工程と、を含む。
【０００７】
かかる製造方法によれば、調整レンズで光信号を正確に導出することが可能となって、カップリング効率の高い光通信モジュールを提供することができる。
【０００８】
また、本発明の光通信モジュールの製造方法は、光信号を伝送する光ファイバの一端部を保持するスリーブ、上記光信号を受信又は送信する光素子及び前記光ファイバと上記光素子との相互間に介在して上記光信号を中継する集光レンズの各々を１つの光軸上に配置する工程と、上記光素子から上記光ファイバに入射する上記光信号あるいは上記光ファイバから上記光素子に入射する上記光信号の強度を検出する工程と、予め定められた上記光ファイバの一端部及び上記集光レンズの焦点位置相互間のずれと上記光信号の強度との関係に基づいて、検出された上記光信号の強度に対応するずれを求める工程と、上記ずれ量を補償する調整レンズを上記集光レンズに重ねて形成する工程と、を含む。
【０００９】
かかる製造方法によれば、１つのレンズを修正してカップリング効率の高い光通信モジュールを提供することができる。
【００１０】
本発明の光通信モジュールの製造方法は、光軸が屈折した（あるいは向きを変える）反射光学系を備える光通信モジュールの調整レンズの形成工程にも適用可能である。調整レンズにより光信号の反射点あるいは集光点位置を変えることによって、反射光学系を備えた光通信モジュールにおいてもカップリング効率の高い光通信モジュールを提供することができる。
【００１１】
好ましくは、上記調整レンズは液体材料の表面張力を利用して凸レンズ状あるいは凹レンズ状に成形し固化する。さらに好ましくは、上記液体材料を液滴吐出法により配置する。
【００１２】
かかる製造方法によれば、ずれ量を補償する調整レンズの集光又は発散能力を連続的に変化させることが可能となりカップリング効率の高い光通信モジュールを提供できる。
【００１３】
本発明の光通信モジュールは、光軸が共通する、光素子、第１の光学レンズ、第２の光学レンズ及び光ファイバと、を備える光通信モジュールにおいて、上記光素子から照射される光に対する第１の光学レンズの焦点位置が上記光ファイバの一端面からずれている。
【００１４】
好ましくは、ずれた焦点は光ファイバ内か、光ファイバの一端面と上記第１の集光レンズの間か、どちらか一方側に位置している。上記構成により、焦点位置のずれ位置が決定され、第２の光学レンズとして凹型か凸型のどちらを形成すべきかを決定できる。
【００１５】
また、本発明の光通信モジュールは、第２の光学レンズが、第１の光学レンズの焦点位置のずれを補うように形成されている。
【００１６】
上記構成により、カップリング効率の高い光通信モジュールを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施例について図面を参照しつつ説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１乃至図５は本発明の第１の実施例における光通信モジュールの製造過程を示す断面図である。各図において、対応する要素には同一符号を付している。
【００１９】
まず、第１の光学レンズ１０１（凸レンズ）が内部に固定された筒状の下部スリーブ１０２に透光性を有する中間基板１０３を固定する。さらに後述のフェルール１０７を保持する筒状の上部スリーブ１０４と下部スリーブ１０２とを互いの中心軸が共通になるようにして固定し、スリーブ１０を組み立てる。
【００２０】
次に、図２に示すように、スリーブ１０に光素子である発光素子１０６が固定されたヘッダー１０５を、発光素子１０６の光軸がレンズ１０１の光軸と略一致するように配置する（粗調整）。
【００２１】
次に、光ファイバ１０８の一端部を保持したフェルール１０７を上部スリーブ１０４に挿入し、光ファイバ１０８の他端部に光信号の強度（光量）を検出する図示しない受光センサを接続する。
【００２２】
次に、発光素子１０６を図示しない駆動回路に接続して発光させ、光ファイバ１０８での受光状態を測定する。この測定に基づいて、まず、光軸（中心線）に垂直な面における光ファイバ１０８と発光素子１０６のセンター位置合わせを行う。例えば、受光センサの受光光量がピーク値となったときに、光ファイバ１０８と発光素子１０６との光軸が一致したと判断する。
【００２３】
すなわち、ヘッダー１０５は、発光素子１０６を固定している上面が平滑であり、下部スリーブ１０２をヘッダー１０５に接触した状態で（光軸に垂直な面上の）移動可能である。そこで、フェルール１０７が停止した状態でヘッダー１０５を当該垂直面内で移動させる。光ファイバ１０８の受光面に入光する光信号の強度が最大となったとき、光ファイバ１０８の光軸bと発光素子１０６の光軸aが一致したと判断する。当該位置で下部スリーブ１０２及びヘッダー１０５の相互間を接着材１０９等によって固定する。
【００２４】
ここまでの手順で光軸に垂直な面上すなわちX,Y方向の位置合わせが終了する。
【００２５】
次に、レンズ１０１の焦点位置（集光点位置）の基準位置からのずれを測定する。ずれが許容範囲を超える場合にはこのずれを補うべく、後述の第２のレンズ１１２の形成に必要な液状レンズ材料の量を決定する。すなわち、この実施例では、レンズ１０１は予めフェルール１０７を上部スリーブ１０４の所定の突き当たり停止位置（ストッパ位置）まで挿入したとき、レンズ１０１の焦点位置が光ファイバ１０８の一端部（以下、「受光面」と称する。）を越えて光ファイバ１０８内に位置するように形成されている。このレンズ１０１の焦点距離のずれの調整を第２のレンズ１１２によって行う。実施例では、レンズ１１２は液状材料を固化して形成される。液状レンズ材料量とレンズ形状、それによる焦点距離の変動量の関係は予め実験的に求められ、データベース化されている。このデータベースは図示しないコンピュータシステムに検索可能に記憶され、製造プロセスにおいて参照される。
【００２６】
例えば、図３に示すように、光ファイバ１０８の受光面（端面）に入射する光信号の強度を測定しつつ、フェルール１０７を光ファイバ１０８の光軸方向において発光素子１０６からの距離が離間する方向に（フェルール１０７を引き抜く方向に）移動させる。そして、受光センサにおける光信号の強度が最大となったとき、レンズ１０１の焦点位置と判断する。このときのフェルール１０７の移動量がずれ量に相当する。このずれ量に対応する第２のレンズに要する液状レンズ材料の滴下量をデータベースを参照して決定することができる。
【００２７】
また、実験的に得られている、焦点位置が光ファイバ受光面と一致したときの光信号の強度と、フェルール１０７を所定の位置まで挿入したとき得られる光信号の強度の差から、第１のレンズ１０１の焦点位置及びこの後形成する第２のレンズに要する液状レンズ材料の滴下量を決定することもできる。
【００２８】
なお、前述したスリーブ１０とヘッダー１０５との接着剤による固定を滴下量の決定と相前後して行っても良い。、
次に、図４に示すように、補助レンズである第２のレンズ１１２の形成を行う。
【００２９】
まず、透明な中間基板１０３の光軸上に図示しないシリンジや液滴吐出ヘッド等のノズル１１０から液状レンズ材料１１１を滴下する。滴下量は上述のようにレンズ１０１の焦点位置の受光面からのずれ量等から実験的に求められる。滴下後の液状レンズ材料１１１は熱若しくは紫外線照射等により硬化され、光学レンズ１１２が形成される。レンズ１１２がレンズ１０１と光ファイバ１０７間に配置されるので、レンズ１０１の焦点位置が光ファイバ１０７の端部に位置するように調整される。
【００３０】
図５に示すように、レンズ１１２の形成後にフェルール１０７を上部スリーブ１０４に挿入して光通信モジュールが形成される。
【００３１】
なお、下部スリーブ１０２に設けられた光学レンズ１０１は、透光性樹脂等により一体成型することも可能である。
【００３２】
また、光信号の強度測定と液状レンズ材料の滴下は複数回繰り返して行うこととしてもよい。それにより、レンズ１０１のより細かい焦点位置調整が可能となる。
【００３３】
また、光ファイバ１０８（あるいは下部スリーブ１０２）とヘッダー１０５の位置合わせ及び接着は、光信号の強度測定と並行して行うことも可能であり、接着に溶接等の他の手段を用いることも可能である。
【００３４】
また、光ファイバ１０８（あるいは下部スリーブ１０２）とヘッダー１０５の位置合わせ及び光信号の強度測定に用いる光ファイバは、測定段階では最終的に本光通信モジュールに組み込まれるものと同一である必要はない。位置合わせ時には受光面積の広い光ファイバが有利である。
【００３５】
また、中間基板１０３は光軸周辺（中央部分）のみ透光性を有する、反射防止機能を有するものであってもよい。
【００３６】
さらに、中間基板１０３は第２の光学レンズ１１２が形成される領域の周囲を撥液処理するとレンズ材料の液滴が１点（光軸上）に集中して、第２の光学レンズ形成時の形状等の制御が容易である。
【実施例２】
【００３７】
図６乃至図９は、本発明の第２の実施例における光通信モジュールの製造過程を示す断面図である。各図において図５と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
【００３８】
この実施例では、第１の光学レンズ１０１は第１の実施例と同様に凸レンズであるが、調整用のレンズすなわち第２の光学レンズ１１２は凹レンズである。
【００３９】
まず、図６に示すように、第１のレンズ１０１が固定された下部スリーブ１０２上に透光性材料から成る中間基板２０１を形成しさらに上部スリーブ１０４を固定する。ここで中間基板２０１には中央に貫通孔２０２が設けてある。貫通孔２０２の内周縁にはテーパ面が形成されている。
【００４０】
次に、図７に示すように、第１の実施例と同様に発光素子１０６を固定したヘッダー１０５を下部スリーブ１０２に突き当て、同時に焦点位置測定用の光ファイバ２０４及びそれを保持する測定用フェルール２０３を上部スリーブ１０４に挿入し、発光素子１０６を発光させる。そして、第１の実施例と同様に、ヘッダー１０５と下部スリーブ１０２を光軸が合った状態で接着し、相前後して第２のレンズ（調整レンズ）の形成に要する液状レンズ材料量の算出を行う。
【００４１】
図示するように、第２の実施例では、レンズ１０１の焦点は、測定用光ファイバ２０４の受光面と測定用フェルール２０３の橋面（係止面）の間に位置する。したがって、レンズ１０１の焦点位置を正確に求めるためには、第１の実施例と異なりフェルール１０７よりも発光素子１０６の近くまで挿入することができる焦点位置測定用の光ファイバ２０３及び測定用フェルール２０４が別途必要となる。
【００４２】
ただし、光信号の強度（焦点位置のずれによる光信号の測定値の変動）から焦点位置を求める場合には、図９（あるいは図５）に示す光通信モジュールに使用する光ファイバ１０８及びフェルール１０７を用いることもできる。
【００４３】
次に、図８に示すように、焦点位置のずれから算出された量の液状レンズ材料１１１を、図示しないシリンジや液滴吐出ヘッド等のノズル１１０から貫通孔２０２の光軸上に滴下する。ここで、貫通孔２０２の径、液状レンズ材料１１１の粘度及び量等を適切に選択することにより、貫通孔２０２に液状レンズ材料１１１による膜を表面張力によって形成することができる。この膜は中央部が外周囲よりも薄く形成れて凹レンズとして機能する。その状態で、液状レンズ材料１１１に熱若しくは紫外線等を照射して固化する。
【００４４】
図９に示すように、光ファイバ１０８を保持したフェルール１０７を上部スリーブ１０４に挿入すれば、レンズ１０１の焦点位置が調整されたカップリング効率の高い光通信モジュールが完成する。
【００４５】
なお、本実施例では調整用レンズを凹レンズとしたが、貫通孔周辺（中間基板２０１の平面部分）が撥液処理されていれば、貫通孔上に滴下する液状レンズ材料量を増すことにより凸レンズを形成することも可能である。したがって、本実施例のように貫通孔付きの基板を用いれば第１のレンズ１０１による焦点位置が光ファイバ受光面のどちら側にずれても対処可能となる。そして、レンズ１０１による焦点位置が光ファイバ内にある場合、焦点位置測定用の光ファイバ２０４及びそれを保持する測定用フェルール２０３は不必要となる。
【００４６】
また、中間基板２０１は、光信号が通過可能な径の貫通孔を有すれば非透光性材料で形成されていても本発明の実施は可能である。
【００４７】
また、レンズ１０１、下部スリーブ１０２、上部スリーブ１０４、中間基板２０１は４つ全て若しくはその内のいくつかを一体成型することも可能である。
【実施例３】
【００４８】
図１０乃至図１４は、本発明の第３の実施例における光通信モジュールの製造過程を示す断面図である。各図において図５と対応する構成部分には同符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
【００４９】
第３の実施例では、図示するように、レンズ３０１の上に調整用のレンズ１１２を重ねて形成するものである。したがって中間基板１０３は不要となる。
【００５０】
まず、図１０に示すように、スリーブ３０２に光学レンズ３０１を形成する。光学レンズ３０１は透光性樹脂によってスリーブ３０２と一体成型しても良い。レンズ３０１は、半球状でフェルール１０７を所定の位置まで挿入したとき、焦点位置が光ファイバの受光面を越えて光ファイバ内にくるように形成されている。
【００５１】
次に、図１１に示すように、第１の実施例と同様に発光素子１０６を固定したヘッダー１０５をスリーブ３０２に突き当て、同時に光ファイバ１０８を固定したフェルール１０７をスリーブ３０２に挿入し、発光素子１０６を発光させ、光ファイバ１０８の受光状態を測定する。そして、第１の実施例と同様に、ヘッダー１０５とスリーブ３０２を光軸が合った状態で接着し、相前後して調整レンズの形成に要する液状レンズ材料量の算出を行う。図１２はヘッダー１０５とスリーブ３０２が接着された状態を示している。
【００５２】
次に、図１３に示すように、焦点位置のずれに対応して算出された量の液状レンズ材料１１１を、図示しないシリンジや液滴吐出ヘッドのノズル１１０から半球状の光学レンズ３０１の平坦面側の円弧中心位置に滴下する。滴下された液状レンズ材料１１１は、表面張力によりレンズ３０１表面に盛り上がり凸型形状となる。予め光学レンズ３０１の周囲を撥液処理しておくことによって液状レンズ材料１１１の形状制御が容易となる。滴下された液状レンズ材料１１１を熱若しくは紫外線等により硬化させ、光学レンズ３０１上に重ねて凸レンズ１１２が形成される。それにより、レンズ３０１の焦点位置が光ファイバ１０８の端部位置に調整される。
【００５３】
図１４に示すように、フェルール１０７を上部スリーブ１０４に挿入して、焦点位置が光ファイバ受光面と一致した光通信モジュールが形成される。光信号の集光度が増加してカップリング効率の高い光通信モジュールが完成する。
【００５４】
このように、液状レンズ材料１１０滴下前の光学レンズ３０１の焦点は光ファイバ１０８の受光面位置を越えて光ファイバ１０８内にあるので、重ねて形成された凸レンズ１１２により、焦点位置が調整される。
【実施例４】
【００５５】
図１５乃至図１８は、本発明の第４の実施例における光通信モジュールの製造過程を示す断面図である。
【００５６】
この実施例では、基板の一面側にスリーブが配置され、他面側に光素子が配置されている。光ファイバは基板に沿ってスリーブに装着され、光素子から出射した光信号は基板を通過して途中に配置された反射板で反射して光ファイバに入射する構成としている。
【００５７】
まず、図１５に示すように、光通信モジュールは、基板４０１に発光素子４０２とスリーブ４０３を接着剤１０９で固定して組み立てられる。スリーブ４０３は第１のレンズであるレンズ４０４、反射面４０５及び光ファイバを保持するフェルールが挿入される凹部等の要素で形成されており、本実施例では透光性材料で一体成形されている。また、反射面４０５は透光性材料表面に、金属薄膜等の光を反射する物質を蒸着等で形成される。
【００５８】
次に、図１６に示すように、上記凹部に光ファイバ４０７を保持するフェルール４０６を挿入し、発光素子４０２から光信号を出射する。光信号はレンズ４０４で集光され反射面４０５で伝搬方向を変えて光ファイバ４０７の受光面に達する。ここで、レンズ４０４と反射面４０５は、発光素子１０５の光軸aが光ファイバ１０８の光軸bと一致するよう形成されているが、予めレンズ４０４の焦点位置は光ファイバ４０７の受光面よりファイバ４０７内に位置するように設定されている。
【００５９】
したがって、既述したように、光ファイバ４０７の受光面で入光する光信号の強度を測定しつつフェルール４０６を反射面４０５から離間する方向に（フェルール４０６を引き抜く方向に）移動させれば光信号の強度が最大となったときに焦点位置が判明する。そして、基準位置とのずれを求めてこの後形成する第２のレンズに必要な液状レンズ材料の滴下量を決定することができる。
【００６０】
また、実験的に得られている焦点距離が光ファイバ受光面と一致したときの光信号の強度と、フェルール４０６を所定の位置まで挿入したとき得られる光信号の強度の差から、この後形成する第２のレンズに必要な液状レンズ材料の滴下量を決定することもできる。
【００６１】
次に、図１７に示すように、スリーブ４０３凹部のフェルール４０６の先端面と対向する部分に、図示しないシリンジや液滴吐出ヘッド等のノズル１１０から液状レンズ材料１１１を滴下する。なお、滴下の実施時には、スリーブ４０３は図示の状態から９０度回転され、滴下面が水平となるようになされる。
【００６２】
そして、滴下された液状レンズ材料１１１を熱等により硬化し、調整レンズ４０８を形成する。
【００６３】
図１８に示すように、フェルール４０６を再度スリーブの窪みに挿入する。
【００６４】
以上の過程により、調整レンズ４０８とレンズ４０４とによる焦点位置と光ファイバの受光面（端面）位置が一致し、反射光学系を備えた光通信モジュールのカップリング効率が改善される。
【００６５】
なお、液状レンズ材料１１１の滴下の前に、スリーブ４０３の光ファイバ受光面と対向する面を表面処理しておくとよい。具体的には調整レンズ４０８を形成する領域を親液処理し、その周囲を撥液処理しておくことが好ましい。それにより、表面張力を利用した調整レンズ４０８の形状の制御性が向上する。
【００６６】
また、反射光学系を備えた光通信モジュールにおいても、第２の実施例で示した貫通孔付の中間基板２０１をスリーブ４０３の凹部内に用いることにでき、その場合、調整レンズ４０８を凹レンズとすることも可能となる。
【実施例５】
【００６７】
実施例４の変形例として反射面４０５上に調整レンズ４０８を形成することも可能である。図１９及び図２０に上記変形例を示す。両図において、図１８と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
【００６８】
この実施例では、図１９に示すように、実施例４とは異なってスリーブ４０３の凹部内に調整レンズ４０８は配置されていない。調整レンズ４０８は、図２０に示されるようにスリーブ４０３の反射面４０５の背面に形成されている。なお、実際の液状レンズ材料１１１の滴下はモジュール全体を４５度回転して反射面４０５が水平となった状態で行われる。実施例４に比べて焦点位置の正確な制御は困難ではあるが、フェルール４０６を挿入したままで、液状レンズ材料１１１の滴下が可能という利点がある。
【００６９】
なお、この反射光学系を備えた光通信モジュールにおいても、第２の実施例で示した貫通孔付の中間基板２０１をスリーブ４０３の反射面４０５の背面に用いることにでき、その場合、調整レンズ４０８を凹レンズとすることも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１の実施例における工程を説明する工程図である。
【図２】本発明の第１の実施例における工程を説明する工程図である。
【図３】本発明の第１の実施例における工程を説明する工程図である。
【図４】本発明の第１の実施例における工程を説明する工程図である。
【図５】本発明の第１の実施例における工程を説明する工程図である。
【図６】本発明の第２の実施例における工程を説明する工程図である。
【図７】本発明の第２の実施例における工程を説明する工程図である。
【図８】本発明の第２の実施例における工程を説明する工程図である。
【図９】本発明の第２の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１０】本発明の第３の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１１】本発明の第３の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１２】本発明の第３の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１３】本発明の第３の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１４】本発明の第３の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１５】本発明の第４の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１６】本発明の第４の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１７】本発明の第４の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１８】本発明の第４の実施例における工程を説明する工程図である。
【図１９】本発明の第５の実施例における工程を説明する工程図である。
【図２０】本発明の第５の実施例における工程を説明する工程図である。
【符号の説明】
【００７１】
１０  スリーブ、１０１  第１の光学レンズ、１０２  上部スリーブ、１０３  中間基板、１０４  上部スリーブ、１０５  ヘッダー、１０６  発光素子、１０７  フェルール、１０８  光ファイバ、１０９  接着剤、１１０  ノズル、１１１  液状レンズ材料、１１２  第２の光学レンズ、２０１  中間基板  ２０２貫通孔、２０３  焦点位置測定用の光ファイバ  ２０４  測定用フェルール、３０１  光学レンズ、３０２  スリーブ  ４０１  基板、４０２  発光素子、４０３  スリーブ、４０４  第１のレンズ、４０５  反射面、４０６  フェルール、４０７  光ファイバ、４０８  調整レンズ、a  発光素子１０５の光軸、b  光ファイバ１０８の光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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