(57)【要約】【課題】  低コストで高精度なボールねじ熱変位の補正方法を提供する。【解決手段】  ボールねじ１４と接触している熱源の熱量を温度センサ２の温度から推定し、該熱源の熱量と該熱源がボールねじ全長に与える熱量の比率の分布とを予め記憶し、推定した熱源の熱量と、該比率の分布と、該熱源の位置とから該熱源がボールねじに与える熱量分布の時間変化を推定し、推定された熱量分布の時間変化から第１の温度分布の時間変化を推定する一方、ボールねじ１４と接触していない熱源の温度を、温度センサ１，３，４から推定し、該熱源の温度と該熱源がボールねじ全長に与える温度の比率の分布を予め記憶し、推定した熱源の温度と、該比率の分布と、該熱源の位置とから該熱源がボールねじに与える第２の温度分布の時間変化を推定する。そして、これらの第１及び第２の温度分布を足してボールねじの温度分布を推定し、ボールねじの熱変位補正量を求める。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボールねじを用いた機械の駆動系において、
ボールねじと接触している第１の熱源の熱量を、該第１の熱源の付近に設置した第１の温度センサの温度から推定し、該第１の熱源の熱量と該第１の熱源がボールねじ全長に与える熱量の第１の比率の分布を予め記憶しておき、前記第１の温度センサから推定した前記第１の熱源の熱量と、該第１の比率の分布と、該第１の熱源の位置とから該第１の熱源がボールねじに与える熱量分布の時間変化を推定し、推定された熱量分布の時間変化から第１の温度分布の時間変化を推定する一方、
ボールねじと接触していない第２の熱源の温度を、該第２の熱源の付近に設置した第２の温度センサから推定し、該第２の熱源の温度と該第２の熱源がボールねじ全長に与える温度の第２の比率の分布を予め記憶しておき、前記第２の温度センサから推定した前記第２の熱源の温度と、該第２の比率の分布と、該第２の熱源の位置とから該第２の熱源がボールねじに与える第２の温度分布の時間変化を推定し、
上記第１及び第２の温度分布を夫々足し合わせてボールねじの温度分布を推定し、推定された温度分布を用いてボールねじの熱変位補正量を求めることを特徴としたボールねじ熱変位の補正方法。
【請求項２】
ボールねじと接触している第１の熱源の熱量を、該第１の熱源の付近に設置した第１の温度センサの温度から推定する際に、ボールねじの速度に応じた係数を該第１の温度センサの温度に掛け合わせた値を用いることを特徴とした請求項１に記載のボールねじ熱変位の補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ロボット、バリ取り装置、工作機械等の駆動系に用いられるボールねじ熱変位の補正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ボールねじを駆動系に利用した機械として、パラレルリンク機構の工作機械がある。パラレルリンク機構の工作機械として図１１に示すように、加工空間を６軸方向へ自由に動き回る主軸頭１２を装備した工作機械が知られている。この工作機械においては、天井部１７に６つの自在継手１５が配設されている。各自在継手１５には伸縮アクチュエータであるボールねじ１４の上端部が支持されるとともに、ボールねじ１４を駆動する中空型サーボモータ１６が設置されている。ボールねじ１４は中空型サーボモータ１６の中空軸を貫通し、ボールねじナットと中空軸が連結されている。
【０００３】
６本のボールねじ１４の下端部には自在継手１３を介して主軸頭１２が支持され、この主軸頭１２に主軸が回転可能に設けられている。そして、自在継手１３と自在継手１５との間のボールねじ１４の長さを変えることにより、主軸頭１２を加工空間の任意の姿勢で位置決めし、主軸１８に取り付けた工具でテーブル１１上のワークを加工するようになっている。２３は、継手２１及び基部２２を介して外部から主軸頭１２へ接続される可撓管で、主軸頭１２への冷却液の供給及び排出管が通される。
【０００４】
このような工作機械においては、主軸頭１２の位置の制御に数μｍの正確さが要求される。したがって、ボールねじ１４の長さを正確に制御する必要があるが、サーボモータ１６の回転数が高くなればモータのステータや、ボールねじナットが発熱し、その熱がボールねじ軸に伝わって熱膨張してしまい、主軸頭１２の位置が不正確になってしまう。
ボールねじ固定型の駆動装置の中には、基準スケールを設けて、基準スケールに基づいて移動体の位置決めを行い、ボールねじ軸が膨張した場合であっても移動体の位置決め誤差が生じないようにしたものもあるが、パラレルリンク工作機械のようなボールねじ自体が可動するような構造においては基準スケールを備えることが困難である。
【０００５】
そこで、本件出願人が先に提供している特許文献１や特許文献２のボールねじ駆動装置の様に、ボールねじ軸の中空孔に冷却液を流して、ボールねじ軸の熱膨張を抑える対策が考えられる。
また、特許文献３の様に、ボールねじが回転しないパラレルリンク機構の工作機械において、ボールねじ軸を中空として、その中空部に多数の温度センサを取り付けることで、ボールねじ温度分布の測定を可能としたものも知られている。
そして、特許文献４では、発熱源として駆動源を考え、温度センサを使用せずに駆動源の速度及び駆動トルクを用いて発熱量を推定する工作機械の熱変位補正方法を示している。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２６６９７７号公報
【特許文献２】特開２００５−２８５５８号公報
【特許文献３】特開２００２−３６１５４１号公報
【特許文献４】特許第３４０７９７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１，２においては、工作機械の稼働率を高くすると、ボールねじ軸の温度上昇を抑制できないことがある。さらに、冷却装置が付加されているため、構造が複雑で、修理・メンテナンスが困難である上、製造コストが高くなってしまう。これは特許文献３においても同様で、多数の温度センサが必要となるためコスト高となる。また、ボールねじが回転しない構造に限定されることで、適用範囲が制約される。
【０００８】
一方、ボールねじ軸の温度分布は駆動源の発熱だけではなく、ボールねじが設置されている環境の温度にも影響を受けるため、ボールねじの温度分布を精度よく推定するには、環境温度も温度センサで測定するのが望ましい。しかし、特許文献４の補正方法では環境温度まで考慮していないため、環境温度によっては温度分布の推定の精度が低下するおそれがあり、正確な熱変位補正が可能とは言えない。また、駆動源の発熱には個体差があることから、温度センサで測定した場合に比べて駆動源の発熱量推定の不正確さは否めない。
また、同文献では、ボールねじの熱量の分布を有限個の区間領域間での熱量が交換されるとして求めているが、熱変位を正確に知るために分割した区間の数を増やすと計算時間も増える。計算時間の長大化による制御性能低下を防ぐには、計算能力は極めて高いが高コストである制御装置を採用するしかない。
【０００９】
そこで、本発明は、温度センサを用いつつ、製造コストが比較的軽減される簡単な構成で、精度の高い熱変位補正が可能なボールねじ熱変位の補正方法を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１の発明によるボールねじの熱変位の補正方法は、ボールねじを用いた機械の駆動系において、ボールねじと接触している第１の熱源の熱量を、該第１の熱源の付近に設置した第１の温度センサの温度から推定し、該第１の熱源の熱量と該第１の熱源がボールねじ全長に与える熱量の第１の比率の分布を予め記憶しておき、前記第１の温度センサから推定した前記第１の熱源の熱量と、該第１の比率の分布と、該第１の熱源の位置とから該第１の熱源がボールねじに与える熱量分布の時間変化を推定し、推定された熱量分布の時間変化から第１の温度分布の時間変化を推定する一方、ボールねじと接触していない第２の熱源の温度を、該第２の熱源の付近に設置した第２の温度センサから推定し、該第２の熱源の温度と該第２の熱源がボールねじ全長に与える温度の第２の比率の分布を予め記憶しておき、前記第２の温度センサから推定した前記第２の熱源の温度と、該第２の比率の分布と、該第２の熱源の位置とから該第２の熱源がボールねじに与える第２の温度分布の時間変化を推定し、上記第１及び第２の温度分布を夫々足し合わせてボールねじの温度分布を推定し、推定された温度分布を用いてボールねじの熱変位補正量を求めることを特徴としたものである。
【００１１】
請求項２の発明によるボールねじの熱変位の補正方法は、上記請求項１の熱変位の補正方法において、ボールねじと接触している第１の熱源の熱量を、該第１の熱源の付近に設置した第１の温度センサの温度から推定する際に、ボールねじの速度に応じた係数を該第１の温度センサの温度に掛け合わせた値を用いることを特徴としたものである。
【００１２】
なお、本発明における第１の熱源及び第２の熱源は、夫々単独の熱源のみを指すものではなく、ボールねじに対する接触の有無によって区別することで、複数の熱源も含まれる。例えば第１の熱源では、スプラインナットやボールねじナットによるもの等が、第２の熱源では、環境温度やサーボモータによるもの等が挙げられる。よって、第１、第２の温度センサも熱源に対応して夫々複数設けられる場合も含む。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１の発明によれば、ボールねじを用いた機械の駆動系において、熱源の付近に取り付けた少数の温度センサを用いてボールねじ全長の温度分布を推定し、このボールねじ温度分布の推定値を用いてボールねじの熱変位量を推定することができる。よって、製造コストが比較的軽減される簡単な構成で、精度の高いボールねじの熱変位補正が可能となる。
請求項２の発明によれば、請求項１の効果に加えて、ボールねじの速度も考慮することで、ボールねじがどのような駆動状態にあっても正確にボールねじの温度分布を推定することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面等に基づいて説明する。
本発明の補正方法は、ボールねじの熱変位を熱源に設置した温度センサと、熱源の位置情報を用いてボールねじの温度分布の経時変化の推定を行うものである。まず、発熱源がボールねじに与える温度分布、及び熱量分布は、図１に示す様な熱源を中心として左右対称の曲線と、熱源の推定温度及び推定熱量を掛け合わせることで近似する。本発明ではこの曲線を次の様に表す。すなわち、熱源Ｈjが位置Ｐjにあるとして、温度を求めようとするボールねじ上の位置Ｌiにおける温度比率分布曲線Ｆt（Ｐj）、熱量比率分布曲線Ｆq（Ｐj）を下記の式で表すものである。ここで、Ｘi＝Ｌi−Ｐjであり、Ｗjは熱源の幅、Ｇjは曲線を決定する定数であり熱源毎に値を持たせる。この曲線は図１に示す様に、熱源の位置Ｐjの変化に応じて実線から点線へと移動する。
【００１５】
［数１］
｜Ｘi｜＞Ｗj／２の 場合
Ｆq(Ｐj),Ｆt(Ｐj)＝(exp(Ｇj・Ｗj/２)−exp(−Ｇj・Ｗj/２))・exp(−Ｇj・｜Ｘi｜)／２
｜Ｘi｜≦Ｗj／２の 場合
Ｆq(Ｐj),Ｆt(Ｐj)＝(1−exp(Ｇj・Ｗj/２)・(exp(Ｇj・Ｘi)＋exp(−Ｇj・Ｘi))／２)
【００１６】
ボールねじ温度分布の推定は、熱源のタイプによって２つの方法に分けられる。
まず、熱源がボールねじに接触している場合（タイプＡの熱源（第１の熱源）と呼ぶ）は、熱源の熱量をこの熱源の付近に設置した温度センサの温度から推定し、推定した熱量とこの熱源がボールねじ全長に与える熱量の比率（数１）を掛け合わせることでボールねじ全長における熱量を推定する。そして、推定した熱量から温度を推定する。タイプＡの発熱源としては、スプラインナット、ボールねじナット等が考えられる。
一方、熱源がボールねじに接触していない場合（タイプＢの熱源（第２の熱源）と呼ぶ）は、温度を温度センサから推定し、この熱源の温度とこの熱源がボールねじ全長に与える温度の比率（数１）を掛け合わせることでボールねじ全長における温度を推定する。タイプＢの発熱源としてはサーボモータのコイル、ボールねじ周囲の環境温度等が考えられる。
【００１７】
ボールねじの温度分布は各熱源がボールねじに与える温度分布を重ね合わせることによって得られることが一般的に知られている。各熱源Ｈjがボールねじに与える温度をθjとすれば、熱源をｍ個所想定した場合ボールねじの温度分布θはこれらを足し合わせ、下記の式となる。
【００１８】
［数２］
θ ＝θ１＋θ２＋ ・・・ ＋θｍ−１＋θｍ
【００１９】
以下、図１１に示すパラレルリンク機構の工作機械のボールねじへの本発明の請求項１と請求項２を同時に実施した例を詳細に説明する。パラレルリンク機構の工作機械の駆動系は図２の様に中空軸のサーボモータにスプライン付きボールねじが貫通した構造である。タイプＡの熱源としてスプラインナット５とボールねじナット６を考え、この熱源の熱量を推定するために温度センサ２を取り付ける。さらに、タイプＢの熱源として環境温度を考え、この熱源の温度を推定するため温度センサ１と温度センサ４を取り付ける。同じく、タイプＢの熱源としてサーボモータ１６のコイルを想定し、この熱源の温度を推定するため温度センサ３を取り付ける。
【００２０】
そして、図２の様に各熱源がボールねじに与える温度分布を推定し、足し合わせることでボールねじの温度分布を得る。ただしパラレルリンク機構の工作機械の場合、ボールねじの温度分布の推定値を基に求めた熱膨張量のうち、図２の自在継手回転中心間の距離（ストラット長）分の熱膨張量を補正することとなる。
【００２１】
続いて、ボールねじ熱変位補正の流れを図３に基づいて説明する。図３における第１ステップ（「Ｓ１」と略記する。以下他のステップでも同様）において、熱変位補正を行うボールねじをｄ個の区間に分割するための分割数ｄ、それぞれの要素ｉの長さΔＬｉを決定する。さらに、計算周期ＴＳ、線膨張率α、基準温度ＨＳを決定する。計算周期ＴＳはボールねじ熱変位を計算する間隔であり、短くするほど推定精度が向上するが、数値制御装置の処理能力やデータ保存のためのメモリ等の資源が必要となる。
ボールねじ熱変位量は基準温度ＨＳとボールねじの推定温度との相対温度を用いて計算する。これは次の理由による。
パラレルリンク機構の工作機械では機械精度を向上するため、自在継手１３と自在継手１５との位置、ストラット長をキャリブレーションによって同定する必要がある。キャリブレーションの詳細についてはここでは記さないが、テーブル１１と主軸１８間の相対距離を測定する作業である。この測定時の温度を基準温度とし、ボールねじ熱変位量を基準温度とボールねじの推定温度との相対温度を用いて計算することで、キャリブレーションによるストラット長の同定値に対する熱変位量を求めるためである。
【００２２】
次に、図３におけるステップＳ２において、前回の機械停止時のボールねじ温度分布と、今回の機械起動時の熱源の温度を用いてボールねじ温度分布の初期値θ０を推定し、続くＳ３で、ボールねじ温度分布の初期値θ０を用いてストラット長の熱変位補正量の初期値Ｅ０を推定する。
Ｓ４では、ストラット長の熱変位補正量を更新し、Ｓ５で、タイプＡの熱源Ａjがボールねじに与える温度分布θＡj（第１の温度分布）の推定を行い、Ｓ６においては、タイプＢの熱源Ｂjがボールねじに与える温度分布θＢj（第２の温度分布）の推定を行う。
Ｓ７では、図２で説明した様に各熱源によりボールねじに与えられた温度分布を足し合わせてボールねじ温度分布θを推定し、続くＳ８では、ストラット長の熱変位補正量Ｅを推定し、Ｓ９で、ストラット長の熱変位補正量を更新する。
そして、Ｓ１０において、機械電源がＯＮか否かの確認を行う。この判別でＯＮの場合、Ｓ５に戻り、ＯＦＦの場合、Ｓ１１において、ボールねじ推定温度分布の最終値θＥＮＤと停止時間ＴＥＮＤを数値制御装置のメモリに記録して終了する。
【００２３】
ここで、図３のＳ２の処理について、図４において詳細に説明する。まず、運転していない時にボールねじの温度と似た温度変化を示す熱源の温度をＨ０として、図４におけるＳ２１において、熱源の温度Ｈ０を読み込む。次にＳ２２において、数値制御装置より現在時刻ＴＳＴＡＲＴを読み込む。このとき、ボールねじが冷える時の温度の時定数をＴ０とすると、前回の停止時間から４・Ｔ０経過していればボールねじが十分冷え切って、熱源の温度Ｈ０と等しくなったと考えられる。よって、次のＳ２３では、以下の数３の関係を判別する。
【００２４】
［数３］
（ＴＳＴＡＲＴ−ＴＥＮＤ）＞４・Ｔ０
【００２５】
この判別で経過時間が４・Ｔ０を超えていると、Ｓ２５へ進み、ボールねじ温度分布の初期値θ０を熱源Ｈ０の温度とする。４・Ｔ０以下であれば、ステップＳ２４に進み、前回停止してから今回の起動までの経過時間ＴＰと前回のボールねじ温度分布の最終値θＥＮＤとを用いてボールねじ初期温度分布θ０を下記の式で計算する。
【００２６】
［数４］
θ０＝Ｈ０＋(θＥＮＤ−Ｈ０)・exp(−ＴＰ／Ｔ０)
ただし、ＴＰ＝ＴＳＴＡＲＴ−ＴＥＮＤ
【００２７】
次に、図３におけるＳ３の処理について。図５、図６に基づいて詳細に説明する。はじめに、図６のＳ３１において、Ｓ２で求めたボールねじ各要素ｉの温度分布の初期値の点間温度を直線補間する。結果、ボールねじの温度分布の初期値は図５に示すような直線の温度分布となる。次に、Ｓ３２で数値演算装置からストラット長を取り込む。そして、Ｓ３３でストラット長までの温度を足し合わせＳ０とする。例えばストラット長が１１００の場合、図５における網掛け範囲がＳ０となる。ボールねじ熱変位量Ｅ０は線膨張係数αとＳ０を掛け合わせた値とする（数５）。
【００２８】
［数５］
Ｅ０ ＝α・Ｓ０
【００２９】
次に、図３におけるＳ５の処理について、詳細に説明を行う。まず図７のＳ５１において、熱源Ａjの温度ＨＡjと位置ＰＡjを読み込む。次に、Ｓ５２において、熱源Ａjの温度ＨＡjに抑制係数ＣＡjを掛け合わせＨＡj'とする（数６）。この抑制係数はボールねじの速度に応じて可変させる。
【００３０】
［数６］
ＨＡj'＝ＣＡj・ＨＡj
【００３１】
次に、Ｓ５３において、熱源Ａjの発熱相当量の推定ＱＡj'の計算を次式にて行う。ここで、ＩＡjは熱源Ａjの発熱量を推定する際に用いる定数であり、ｎは計算回数を表している。
【００３２】
［数７］
ＱＡj'（ｎ）＝ＨＡj'（ｎ−１）＋(ＨＡj'（ｎ）−ＨＡj'（ｎ−１）)／βＡj
ただし、βＡj＝ＴＳ／(ＴＳ＋ＩＡj)
【００３３】
次に、Ｓ５４において、熱源Ａjのボールねじ熱量比率分布曲線Ｆq（ＰＡj）を読み込み、Ｓ５５において、ボールねじの発熱相当量分布ＱＡjの計算を次式にて行う。
【００３４】
［数８］
ＱＡj＝ＱＡj'・Ｆq(ＰＡj)
【００３５】
そして、Ｓ５６において、発熱相当量分布ＱＡjからボールねじ温度分布の経時変化を次式にて計算する。ここで、ＯＡjは熱源Ａjがボールねじに与える温度を推定する際に用いる定数であり、ｎは計算回数を表している。
【００３６】
［数９］
θＡj（ｎ）＝θＡj（ｎ−１）＋(ＱＡj（ｎ−１）−θＡj（ｎ−１）)・γＡj
γＡj＝ＴＳ／(ＴＳ＋ＯＡj)
【００３７】
次に、図３におけるＳ６の処理について、詳細に説明を行う。図８のＳ６１において、熱源Ｂjの温度ＨＢjと位置ＰＢjを読み込み、Ｓ６２において、熱源Ｂjのボールねじ温度比率分布曲線Ｆt(ＰＢj)を読み込む。次に、Ｓ６３において、ボールねじの温度分布θＢj'を次式で計算する。
【００３８】
［数１０］
θＢj'＝ＨＢj・Ｆt(ＰＢj)
【００３９】
そして、Ｓ６４において、ボールねじ温度分布の経時変化の計算を次式で行う。ここで、ＯＢjは熱源Ａjがボールねじに与える温度を推定する際に用いる定数であり、ｎは計算回数を表している。
【００４０】
［数１１］
θＢj（ｎ）＝θＢj（ｎ−１）＋(θＢj'（ｎ）−θＢj（ｎ−１）)・γＢj
ただし、γＢj＝ＴＳ／(ＴＳ＋ＯＢj)
【００４１】
図３のＳ８については先に説明したＳ３と同じであるので説明は省く。
【００４２】
図９は送り速度１０m/minと２０m/minで機械を動かしたときのボールねじ温度の実測値と、本発明を用いて推定したボールねじの温度分布のグラフで、図１０は、送り速度１０m/minと２０m/minで機械を動かしたときの主軸頭１２とテーブル１１間の熱変位の実測値と、本発明によるボールねじ熱変位量を用いて推定した熱変位のグラフである。本発明を用いることで、ボールねじの温度分布が精度よく推定できていることと、推定したボールねじの温度分布から求めたボールねじの変位量を用いることで、機械の熱変位量が推定できていることが分かる。
【００４３】
このように、上記形態のボールねじの熱変位補正方法によれば、ボールねじを用いたパラレルリンク機構の工作機械において、熱源の付近に取り付けた少数の温度センサ１〜４を用いてボールねじ全長の温度分布を推定し、このボールねじ温度分布の推定値を用いてボールねじの熱変位量を推定することができる。よって、製造コストが比較的軽減される簡単な構成で、精度の高いボールねじの熱変位補正が可能となる。
特にここでは、ボールねじと接触しているタイプＡの熱源の熱量を、該熱源の付近に設置した温度センサの温度から推定する際に、ボールねじの速度に応じて可変させた抑制係数を該温度センサの温度に掛け合わせた値（ＨＡj'）を用いることで、ボールねじがどのような駆動状態にあっても正確にボールねじの温度分布を推定可能となる。
【００４４】
なお、上記形態では、ボールねじの速度に応じて可変させた抑制係数を用いて熱源の熱量を推定しているが、ボールねじの速度による影響が少なければ、当該抑制係数を用いずに熱量の推定を行っても差し支えない。
また、モータに取り付ける温度センサはサーボモータに内蔵されているエンコーダの温度センサで代用してもよい。このようにすれば構成部の兼用が図れてより合理的な構成となる。
一方、パラレルリンク機構の工作機械においては、ボールねじ（ストラット）の熱膨張だけでなく、ジョイント回転中心の熱膨張を考慮することで、図１０の結果よりも熱変位量をさらに精度良く推定することが可能である。
また、ボールねじに接触しない発熱源として、環境温度とサーボモータのコイルを挙げているが、このほかにもサーボモータの軸受などについてもこれらと同様に推定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】ボールねじ温度分布比率及び、ボールねじ熱量分布比率の説明図である。
【図２】本発明を適用したパラレルリンク機構の工作機械の駆動系の断面図と、各熱源がボールねじに与える熱量分布と、各熱源がボールねじに与える温度分布と、ボールねじの温度分布の位置関係の説明図である。
【図３】本発明のボールねじ熱変位の補正方法の流れ図である。
【図４】本発明のボールねじ温度分布の初期値θ０の計算の流れ図である。
【図５】各要素間の補間したボールねじの温度分布と、ストラット長の温度の計算方法を説明した図である。
【図６】ストラット長の熱変位補正量初期値の推定の流れ図である。
【図７】タイプＡの熱源Ａjがボールねじに与える温度分布θＡjの推定の流れ図である。
【図８】タイプＢの熱源Ｂjがボールねじに与える温度分布θＢjの推定の流れ図である。
【図９】送り速度を変えて駆動させた際の、本発明によるボールねじ温度の推定値と、ボールねじ温度の実測値のグラフである。
【図１０】送り速度を変えて駆動させた際の、本発明によるボールねじ熱変位量を用いて推定した機械のＺ軸方向の熱変位量の推定値と、実測値のグラフである。
【図１１】パラレルリンク機構を用いた工作機械の斜視図である。
【符号の説明】
【００４６】
１〜４・・温度センサ、５・・スプラインナット、６・・ボールねじナット、１１・・テーブル、１２・・主軸頭、１３・・自在継手、１４・・ボールねじ、１５・・自在継手、１６・・サーボモータ、１７・・天井部、１８・・主軸、２１・・継手、２２・・基部、２３・・可撓管。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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