(57)【要約】【課題】  生産性が良く、安価な方法で、櫛歯電極の焦電破壊の無い表面弾性波装置の製造方法を提供する。【解決手段】  本発明の表面弾性波装置の製造方法において、基体部材１の収納部１ｂに櫛歯電極５側を上方にして挿入された絶縁体４と収納部１ｂの底部１ｃとの間には、熱硬化性の接着材６を介在させると共に、開放部１ａ側には、櫛歯電極５に接触した導電性部材９を配置した状態で、熱を加えて接着材６を硬化させた後、導電性部材９を櫛歯電極５から離間させたため、複数の櫛歯電極５は、導電性部材９によって導通され、従って、従来のようなカーボンからなる導電性膜の形成工程、及び導電性膜を除去する除去工程が不要となって、生産性が良く、安価な方法によって、櫛歯電極５間の焦電破壊の生じない製造方法が提供できる。【選択図】        図４
2006033053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方に開放部を備えた凹部からなる収納部を有する絶縁材からなる基体部材と、平坦状の絶縁体とこの絶縁体の一面側に設けられた櫛歯電極とからなる表面弾性波素子を備え、前記収納部に前記櫛歯電極側を上方にして挿入された前記絶縁体と前記収納部の底部との間には、熱硬化性の接着材を介在させると共に、前記開放部側には、前記櫛歯電極に接触した導電性部材を配置した状態で、熱を加えて前記接着材を硬化させた後、前記導電性部材を前記櫛歯電極から離間させたことを特徴とする表面弾性波装置の製造方法。
【請求項２】
前記絶縁体は、前記接着材が前記底部に設けられた状態で前記収納部に挿入され、又は、前記絶縁体の他面側に前記接着材が設けられた状態で前記収納部に挿入されると共に、前記導電性部材は、前記接着材が冷却した後に、前記櫛歯電極から離間させたことを特徴とする請求項１記載の表面弾性波装置の製造方法。
【請求項３】
前記導電性部材は、弾性を有する材料で形成されたことを特徴とする請求項１、又は２記載の表面弾性波装置の製造方法。
【請求項４】
前記導電性部材は、導電性のゴムで形成されたことを特徴とする請求項３記載の表面弾性波装置の製造方法。
【請求項５】
前記絶縁体は、前記導電性部材によって前記底部側に加圧されたことを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の表面弾性波装置の製造方法。
【請求項６】
前記導電性部材の前記櫛歯電極接触側と反対側に位置する前記導電性部材の上部には、前記導電性部材を支持するための平板状の金属材からなる支持部材が配置されたことを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の表面弾性波装置の製造方法。
【請求項７】
前記支持部材は、金属板で形成されると共に、前記支持部材と前記導電性部材は、前記支持部材に設けられた突起の先端に前記導電性部材を取付、又は、前記導電性部材に設けられた突部が前記支持部材の孔に嵌合して取り付けられたことを特徴とする請求項６記載の表面弾性波装置の製造方法。
【請求項８】
前記支持部材と前記導電性部材が電気的に接地された状態にしたことを特徴とする請求項６、又は７記載の表面弾性波装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は携帯電話機等の無線機器に使用して好適な表面弾性波装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の表面弾性波装置の製造方法に関する図面を説明すると、図５は従来の表面弾性波装置の製造方法によって製造された表面弾性波装置の断面図、図６は従来の表面弾性波装置の製造方法に係る第１工程を示す説明図、図７は従来の表面弾性波装置の製造方法に係る第２工程を示す説明図である。
【０００３】
次に、従来の表面弾性波装置の構成を図５〜図７に基づいて説明すると、セラミックからなる基体部材５１は、上部に開放部５１ａを有した凹部からなる収納部５１ｂを有し、この基体部材５１には、複数の端子５２が収納部５１ｂ内と基体部材５１外に配置された状態で設けられている。
【０００４】
表面弾性波素子５３は、セラミックからなる絶縁体５４と、この絶縁体５４の一面（上面）５４ａ側に設けられた複数の櫛歯電極５５とで形成され、この表面弾性波素子５３は、収納部５１ｂ内に収納されると共に、絶縁体５４の他面（下面）５４ｂ側が収納部５１ｂの底部５１ｃに設けられた熱硬化性の接着材５６に接着されて、基体部材５１に取り付けられている。
【０００５】
また、端子５２と櫛歯電極５５は、収納部５１ｂ内において、ワイヤー５７によるボンディングによって接続されると共に、蓋体５８が開放部５１ａを塞ぐように基体部材５１の上端部に取り付けられることによって、従来の表面弾性波装置が形成されている。
【０００６】
次に、従来の表面弾性波装置の製造方法を図５〜図７に基づいて説明すると、先ず、第１工程として、図６に示すように、絶縁体５１の一面５４ａ側には、カーボンからなる導電性膜５９が形成されて、複数の櫛歯電極５５が導電性膜５９によって導通され、このような表面弾性波素子３の他面５４ｂ側が底部５１ｃ上に設けられた熱硬化性の接着剤５６上に載置される。
【０００７】
次に、この状態で加熱し、熱硬化性の接着材５６を硬化して、絶縁体５４と底部５１ｃを接着材５６によって接着した後、図７に示す第２の工程として、酸素プラズマによって導電性膜５９を除去する。
【０００８】
しかる後、図５に示すように、ワイヤー５７のボンディングによって、端子５２と櫛歯電極５５を接続した後、蓋体５８によって収納部５１ｂが塞がれると、従来の表面弾性波装置の製造が完了する。（例えば、特許文献１参照）
【０００９】
この従来の表面弾性波装置の製造方法によれば、複数の櫛歯電極５５が導電性膜５９によって導通された状態で、熱硬化性の接着材５６が加熱されて、絶縁体５４と底部５１ｃを接着材５６によって接着するため、櫛歯電極５５間における焦電破壊を生じることが無いが、複数の櫛歯電極５５を導通するための導電性膜５９を設ける工程と、且つ、酸素プラズマによって導電性膜５９を除去する工程を必要として、生産性が悪い上に、コスト高になる。
【００１０】
【特許文献１】特開平９−１１６３６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従来の表面弾性波装置の製造方法によれば、複数の櫛歯電極５５が導電性膜５９によって導通された状態で、熱硬化性の接着材５６が加熱されて、絶縁体５４と底部５１ｃを接着材５６によって接着するため、櫛歯電極５５間における焦電破壊を生じることが無いが、複数の櫛歯電極５５を導通するための導電性膜５９を設ける工程と、且つ、酸素プラズマによって導電性膜５９を除去する工程を必要として、生産性が悪い上に、コスト高になるという問題がある。
【００１２】
そこで、本発明は生産性が良く、安価な方法で、櫛歯電極の焦電破壊の無い表面弾性波装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するための第１の解決手段として、上方に開放部を備えた凹部からなる収納部を有する絶縁材からなる基体部材と、平坦状の絶縁体とこの絶縁体の一面側に設けられた櫛歯電極とからなる表面弾性波素子を備え、前記収納部に前記櫛歯電極側を上方にして挿入された前記絶縁体と前記収納部の底部との間には、熱硬化性の接着材を介在させると共に、前記開放部側には、前記櫛歯電極に接触した導電性部材を配置した状態で、熱を加えて前記接着材を硬化させた後、前記導電性部材を前記櫛歯電極から離間させた製造方法とした。
【００１４】
また、第２の解決手段として、前記絶縁体は、前記接着材が前記底部に設けられた状態で前記収納部に挿入され、又は、前記絶縁体の他面側に前記接着材が設けられた状態で前記収納部に挿入されると共に、前記導電性部材は、前記接着材が冷却した後に、前記櫛歯電極から離間させた製造方法とした。
【００１５】
また、第３の解決手段として、前記導電性部材は、弾性を有する材料で形成された製造方法とした。
また、第４の解決手段として、前記導電性部材は、導電性のゴムで形成された製造方法とした。
【００１６】
また、第５の解決手段として、前記絶縁体は、前記導電性部材によって前記底部側に加圧された製造方法とした。
また、第６の解決手段として、前記導電性部材の前記櫛歯電極接触側と反対側に位置する前記導電性部材の上部には、前記導電性部材を支持するための平板状の金属材からなる支持部材が配置された製造方法とした。
【００１７】
また、第７の解決手段として、前記支持部材は、金属板で形成されると共に、前記支持部材と前記導電性部材は、前記支持部材に設けられた突起の先端に前記導電性部材を取付、又は、前記導電性部材に設けられた突部が前記支持部材の孔に嵌合して取り付けられた製造方法とした。
また、第８の解決手段として、前記支持部材と前記導電性部材が電気的に接地された状態にした製造方法とした。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の表面弾性波装置の製造方法は、上方に開放部を備えた凹部からなる収納部を有する絶縁材からなる基体部材と、平坦状の絶縁体とこの絶縁体の一面側に設けられた櫛歯電極とからなる表面弾性波素子を備え、収納部に櫛歯電極側を上方にして挿入された絶縁体と収納部の底部との間には、熱硬化性の接着材を介在させると共に、開放部側には、櫛歯電極に接触した導電性部材を配置した状態で、熱を加えて接着材を硬化させた後、導電性部材を櫛歯電極から離間させたため、複数の櫛歯電極は、導電性部材によって導通され、従って、従来のようなカーボンからなる導電性膜の形成工程、及び導電性膜を除去する除去工程が不要となって、生産性が良く、安価な方法によって、櫛歯電極間の焦電破壊の生じない製造方法が提供できる。
【００１９】
また、絶縁体は、接着材が底部に設けられた状態で収納部に挿入され、又は、絶縁体の他面側に接着材が設けられた状態で収納部に挿入されると共に、導電性部材は、接着材が冷却した後に、櫛歯電極から離間させたため、温度変化が生じた際に発生する櫛歯電極間の電圧を導電性部材によって阻止できて、櫛歯電極間の焦電破壊の生じない製造方法が提供できる。
【００２０】
また、導電性部材は、弾性を有する材料で形成されたため、導電性部材の櫛歯電極への接触の良好なものが得られる。
【００２１】
また、導電性部材は、導電性のゴムで形成されたため、導電性部材の櫛歯電極への接触の一層良好なものが得られる。
【００２２】
また、絶縁体は、導電性部材によって底部側に加圧されたため、導電性部材の櫛歯電極への接触が良好であると共に、接着材が押圧状態で硬化され、絶縁体と底部の接着の確実なものが得られる。
【００２３】
また、導電性部材の櫛歯電極接触側と反対側に位置する導電性部材の上部には、導電性部材を支持するための平板状の金属材からなる支持部材が配置されたため、導電性部材の保持が確実となって、導電性部材の移動の安定したものが得られる。
【００２４】
また、支持部材は、金属板で形成されると共に、支持部材と導電性部材は、支持部材に設けられた突起の先端に導電性部材を取付、又は、導電性部材に設けられた突部が支持部材の孔に嵌合して取り付けられたため、導電性部材の支持部材への取付と、支持部材に対する導電性部材の取付位置の確実なものが得られる。
【００２５】
また、支持部材と導電性部材が電気的に接地された状態にしたため、櫛歯電極の焦電破壊を確実に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明の表面弾性波装置の製造方法に関する図面を説明すると、図１は本発明の表面弾性波装置の製造方法によって製造された表面弾性波装置の断面図、図２は本発明の表面弾性波装置の製造方法に係る第１工程を示す説明図、図３は本発明の表面弾性波装置の製造方法に係る第２工程を示す説明図、図４は本発明の表面弾性波装置の製造方法に係る第３工程を示す説明図である。
【００２７】
次に、本発明の表面弾性波装置の構成を図１〜図４に基づいて説明すると、絶縁材からなり、複数枚の基板が積層された多層基板からなる基体部材１は、上部に開放部１ａを有した凹部からなる収納部１ｂを有し、この基体部材１には、複数の端子２が収納部１ｂ内と基体部材１外に配置された状態で設けられている。
【００２８】
表面弾性波素子３は、セラミック材等からなる平坦状の絶縁体４と、この絶縁体４の一面（上面）４ａ側に設けられた複数の櫛歯電極５とで形成され、この表面弾性波素子３は、収納部１ｂ内に収納されると共に、絶縁体４の他面（下面）４ｂ側が収納部１ｂの底部１ｃに設けられた熱硬化性の接着材６に接着されて、基体部材１に取り付けられている。
【００２９】
また、端子２と櫛歯電極５は、収納部１ｂ内において、ワイヤー７によるボンディングによって接続されると共に、収納部１ｂの内部に不活性ガスが密封された状態で、蓋体８が開放部１ａを塞ぐように基体部材１の上端部に取り付けられることによって、本発明の表面弾性波装置が形成されている。
【００３０】
次に、本発明の表面弾性波装置の製造方法を図１〜図４に基づいて説明すると、先ず、第１工程として図２に示すように、収納部１ｂの底部１ｃ上に熱硬化性の接着材６を設けた後、図３に示す第２工程で、表面弾性波素子３を収納部１ｂ内に挿入すると共に、複数の櫛歯電極５を上方にした状態で、絶縁体４の他面４ｂを熱硬化性の接着材６上に載置する。
【００３１】
なお、この実施例では、底部１ｃ上に接着材６を設けたもので説明したが、絶縁体４の他面（下面）４ｂ側に接着材６を設けた状態で、表面弾性波素子３を収納部１ｂ内に挿入し、接着材６を底部１ｃ上に載置しても良い。
【００３２】
次に、図４に示す第３工程では、表面弾性波素子３上に配置される治具Ｇを用意し、この治具Ｇは、弾性ある導電性のゴム等からなる導電性部材９と、この導電性部材９の上部に位置して、導電性部材９に組み合わされた金属板等からなる支持部材１０とで形成されると共に、導電性部材９と支持部材１０は、電気的に接地された状態となっている。
【００３３】
そして、導電性部材９は、平坦状部９ａと、この平坦状部９ａから上方に突出する突部９ｂを有すると共に、支持部材１０は、平板状部１０ａと、この平板状部１０ａに設けられた孔１０ｂを有し、この支持部材１０には、導電性部材９の平坦状部９ａを平板状部１０ａの下面に配置して、突部９ｂを孔１０ｂに嵌合することによって、導電性部材９が位置決めされた状態で取り付けられている。
【００３４】
なお、ここでは図示しないが、支持部材１０と導電性部材９の取付は、支持部材１０に設けられた突起の先端に、導電性部材１９の平坦状部９ａを接着材等によって接着等して取り付けても良い。
【００３５】
このような構成を有する治具Ｇは、導電性部材９の平坦状部９ａが複数の櫛歯電極５上に接触した状態で、支持部材１０の押圧を介して導電性部材９によって絶縁体４を押圧し、この状態で、治具Ｇと表面弾性波素子３，及び基体部材１は、加熱炉内等に搬送され、熱硬化性の接着材６を加熱、硬化させて、接着材６によって基体部材１と絶縁体４を接着、固定する。
【００３６】
その後、治具Ｇと表面弾性波素子３，及び基体部材１は、加熱炉外に搬送され、接着材６を含む治具Ｇと表面弾性波素子３，及び基体部材１が常温以下に冷却された状態で、治具Ｇを上方に移動して、導電性部材９の櫛歯電極５への接触を解き、しかる後、図１に示すように、ワイヤー７のボンディングによって、端子２と櫛歯電極５を接続した後、蓋体８によって収納部１ｂが塞がれると、本発明の表面弾性波装置の製造が完了する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の表面弾性波装置の製造方法によって製造された表面弾性波装置の断面図。
【図２】本発明の表面弾性波装置の製造方法に係る第１工程を示す説明図。
【図３】本発明の表面弾性波装置の製造方法に係る第２工程を示す説明図。
【図４】本発明の表面弾性波装置の製造方法に係る第３工程を示す説明図。
【図５】従来の表面弾性波装置の製造方法によって製造された表面弾性波装置の断面図。
【図６】従来の表面弾性波装置の製造方法に係る第１工程を示す説明図。
【図７】従来の表面弾性波装置の製造方法に係る第２工程を示す説明図。
【符号の説明】
【００３８】
１：基体部材
１ａ：開放部
１ｂ：収納部
１ｃ：底部
２：端子
３：表面弾性波素子
４：絶縁体
４ａ：一面（上面）
４ｂ：他面（下面）
５：櫛歯電極
６：接着材
７：ワイヤー
８：蓋体
Ｇ：治具
９：導電性部材
９ａ：平坦状部
９ｂ：突部
１０：支持部材
１０ａ：平板状部
１０ｂ：孔
【図１】
2006033053.tif 000003
【図２】
2006033053.tif 000004
【図３】
2006033053.tif 000005
【図４】
2006033053.tif 000006
【図５】
2006033053.tif 000007
【図６】
2006033053.tif 000008
【図７】
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