(57)【要約】【課題】  周波数の広帯域化を実現することのできる平衡形周波数変換回路を得る。【解決手段】  第１の平衡不平衡変換器１は、ＲＦ信号とＩＦ信号を入出力する。第２の平衡不平衡変換器２は、ＬＯ信号を入力する。ダイオード回路３は、ＲＦ信号またはＩＦ信号と、ＬＯ信号とを周波数混合する。第１の平衡不平衡変換器１とダイオード回路３の間に、任意の周波数毎に、ダイオード回路３と第１の平衡不平衡変換器１とのインピーダンスの整合をとる可変整合回路４を設ける。【選択図】        図１
2006229324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波信号と中間周波信号を入出力する第１の平衡不平衡変換器と、
局部発振信号を入力する第２の平衡不平衡変換器と、
前記第１の平衡不平衡変換器の高周波信号または中間周波信号と、前記第２の平衡不平衡変換器の局部発振信号とを周波数混合するリング状に接続されたダイオードからなるダイオード回路と、
前記第１の平衡不平衡変換器と前記ダイオード回路との間、または、前記第２の平衡不平衡変換器と前記ダイオード回路との間の少なくとも一方に設けられ、任意の周波数毎に、前記ダイオード回路と前記第１の平衡不平衡変換器または前記第２の平衡不平衡変換器とのインピーダンスの整合をとる可変整合回路とを備えた平衡形周波数変換回路。
【請求項２】
高周波信号と中間周波信号を入出力する第１の平衡不平衡変換器と、
局部発振信号を供給するためのＬＯ端子と、
前記平衡不平衡変換器の高周波信号または中間周波信号と、前記局部発振信号とを周波数混合するリング状に接続されたダイオードからなるダイオード回路と、
前記平衡不平衡変換器と前記ダイオード回路との間に設けられ、任意の周波数毎に、前記ダイオード回路と前記平衡不平衡変換器とのインピーダンスの整合をとる可変整合回路とを備えた平衡形周波数変換回路。
【請求項３】
高周波信号と中間周波信号を入出力する平衡不平衡変換器と、
局部発振信号を入力する第２の平衡不平衡変換器と、
直列接続された複数のダイオードと、当該複数のダイオードをそれぞれ短絡するためのスイッチからなるダイオード直列接続回路をリング状に接続し、前記第１の平衡不平衡変換器の高周波信号または中間周波信号と、前記第２の平衡不平衡変換器の局部発振信号とを周波数混合するダイオード回路とを備えた平衡形周波数変換回路。
【請求項４】
ダイオード回路を、直列接続された複数のダイオードと、当該複数のダイオードをそれぞれ短絡するためのスイッチからなるダイオード直列接続回路をリング状に接続して構成したことを特徴とする請求項１または請求項２記載の平衡形周波数変換回路。
【請求項５】
ダイオード回路を、アンチパラレルダイオードペアをリング状に接続して構成したことを特徴とする請求項１または請求項２記載の平衡形周波数変換回路。
【請求項６】
可変整合回路を、微細加工技術により形成した機械的スイッチを用いて形成したことを特徴とする請求項１から請求項２および請求項４から請求項５のうちのいずれか１項記載の平衡形周波数変換回路。
【請求項７】
ダイオード直列接続回路を構成するスイッチを、微細加工技術により形成した機械的スイッチを用いて構成したことを特徴とする請求項３または請求項４記載の平衡形周波数変換回路。
【請求項８】
第１の平衡不平衡変換器および第２の平衡不平衡変換器を、微細加工技術を用いて中空構造をシリコン基板上に形成することで構成したことを特徴とする請求項１記載の平衡形周波数変換回路。
【請求項９】
平衡不平衡変換器を、微細加工技術を用いて中空構造をシリコン基板上に形成することで構成したことを特徴とする請求項２記載の平衡形周波数変換回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、マイクロ波やミリ波などの高周波で用いられる平衡形周波数変換回路に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
マイクロ波やミリ波などの高周波で用いられる周波数変換回路（以下ミクサとする）において、広帯域化の手法として平衡不平衡変換器を用いた平衡形ミクサの構成が良く知られている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】Ｓｔｅｐｈｅｎ  Ａ．  Ｍａａｓ「Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ  Ｍｉｘｅｒｓ  Ｓｅｃｏｎｄ  Ｅｄｉｔｉｏｎ」  Ａｒｔｅｃｈ  Ｈｏｕｓｅ，Ｂｏｓｔｏｎ  Ｌｏｎｄｏｎ，１９９３  Ｐ２７０  図７．２６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような従来の平衡形周波数変換回路の場合、その適用可能な周波数帯域は平衡不平衡変換器の適用可能周波数帯域が上限となる。しかしながら、ここで、ミクサ動作を行うためのダイオードのインピーダンスが周波数毎に異なるため、広帯域化すると変換効率が帯域内で変化してしまう問題点があった。また、広帯域化を実現するためには、ダイナミックレンジの拡大も必須であるが、従来の平衡形周波数変換回路では、電力に対するダイナミックレンジは使用するダイオードに依存してしまっていた。
【０００５】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、周波数の広帯域化を実現することのできる平衡形周波数変換回路を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る平衡形周波数変換回路は、高周波信号と中間周波信号を入出力する第１の平衡不平衡変換器とダイオード回路との間、または、局部発振信号を入力する第２の平衡不平衡変換器とダイオード回路との間の少なくとも一方に、任意の周波数毎に、ダイオード回路と第１または第２の平衡不平衡変換器とのインピーダンスの整合をとる可変整合回路とを備えたものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の平衡形周波数変換回路は、第１または第２の平衡不平衡変換器とダイオード回路との間に可変整合回路を設けたので、平衡形周波数変換回路として広帯域化を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１による平衡形周波数変換回路を示す構成図である。
図において、平衡形周波数変換回路は、第１の平衡不平衡変換器１、第２の平衡不平衡変換器２、ダイオード回路３、可変整合回路４からなる。第１の平衡不平衡変換器１および第２の平衡不平衡変換器２は、平衡／不平衡の変換を行うものであり、第１の平衡不平衡変換器１にはＲＦ（高周波）信号とＩＦ（中間周波）信号が入出力され、第２の平衡不平衡変換器２にはＬＯ（局部発振）波が入力されるようになっている。即ち、第１の平衡不平衡変換器１の不平衡側にはＲＦ端子５が、第２の平衡不平衡変換器２の不平衡側にはＬＯ端子６が設けられている。また、第１の平衡不平衡変換器１の平衡側にＩＦ信号を出力または入力するためのＩＦ端子７が設けられている。
【０００９】
ダイオード回路３は、四つのダイオード（ダイオード３ａ〜３ｄ）をリング状に接続することで構成されており、ダイオード３ａとダイオード３ｂの接続点とダイオード３ｃとダイオード３ｄの接続点に、第２の平衡不平衡変換器２の平衡側が接続されている。また、ダイオード３ｄとダイオード３ａの接続点とダイオード３ｂとダイオード３ｃの接続点には、それぞれ可変整合回路４を介して第１の平衡不平衡変換器１の平衡側が接続されている。
【００１０】
可変整合回路４は、第１の平衡不平衡変換器１とダイオード回路３との間に設けられて、任意の周波数毎にインピーダンスの整合をとるための回路であり、スイッチ回路、キャパシタ、インダクタンス等で構成されている。尚、この可変整合回路４の構成は公知であるため、その詳細については省略する。また、二つの可変整合回路４の構成は同一であるとする。
【００１１】
次に、動作について説明する。
本実施の形態の平衡形周波数変換回路は、ＬＯ波とＩＦ信号を入力し、その和成分あるいは差成分を出力するアップコンバージョンとしての動作と、ＬＯ波とＲＦ信号を入力してその差成分を出力するダウンコンバージョンとしての動作の両方に適用可能であるが、これらの基本的な動作については、従来と同様であるためここでの説明は省略する。
【００１２】
本実施の形態における可変整合回路４は、平衡形周波数変換回路を広帯域化するために、周波数毎のダイオードインピーダンスとＲＦ信号用の第１の平衡不平衡変換器１との整合をとるためのものである。この可変整合回路４は、その平衡形周波数変換回路の所望帯域を複数の帯域に分割し、それぞれに最適化した整合状態を供するものである。ＲＦ信号用の第１の平衡不平衡変換器１のリング状に接続したダイオード回路３と反対側、つまりＲＦ端子５側に整合回路をつけた場合と比較すると、一般的にＲＦ信号用の平衡不平衡変換器４はそれの有する三つのそれぞれの端子インピーダンスが帯域内で一定になるように設計されているので、周波数によりダイオードのインピーダンスが変化した場合、平衡不平衡変換特性そのものの周波数特性が劣化する問題がある。そのため、第１の平衡不平衡変換器１のＲＦ端子５側に接続するよりも、第１の平衡不平衡変換器１とダイオード回路３とのの間に接続した方が効果は大きい。
【００１３】
以上のように、実施の形態１によれば、高周波信号と中間周波信号を入出力する第１の平衡不平衡変換器と、局部発振信号を入力する第２の平衡不平衡変換器と、第１の平衡不平衡変換器の高周波信号または中間周波信号と、第２の平衡不平衡変換器の局部発振信号とを周波数混合するリング状に接続されたダイオードからなるダイオード回路と、第１の平衡不平衡変換器とダイオード回路との間に設けられ、任意の周波数毎に、ダイオード回路と第１の平衡不平衡変換器のインピーダンスの整合をとる可変整合回路とを備えたので、第１の平衡不平衡変換器の適用可能周波数帯域を上限とした平衡形周波数変換回路の広帯域化が実現できる効果がある。
【００１４】
実施の形態２．
図２は、実施の形態２における平衡形周波数変換回路の構成図である。
図示の平衡形周波数変換回路は、第１の平衡不平衡変換器１、第２の平衡不平衡変換器２、ダイオード回路３、可変整合回路８からなり、実施の形態１と異なる点は、可変整合回路８が、第２の平衡不平衡変換器２とダイオード回路３との間に設けられている点である。他の各構成は、実施の形態１と同様であるため、対応する部分に同一符号を付してその説明を省略する。また、可変整合回路８は、実施の形態１の可変整合回路４と同様に、スイッチ回路、キャパシタ、インダクタ等からなる公知の回路で構成され、任意の周波数毎に、第２の平衡不平衡変換器２とダイオード回路３とのインピーダンスの整合をとるための回路である。
【００１５】
次に、実施の形態２の動作について説明する。
本実施の形態においても、可変整合回路８は、平衡形周波数変換回路を広帯域化するために、周波数毎のダイオードインピーダンスとＬＯ波用の第２の平衡不平衡変換器２との整合をとるためのものである。この可変整合回路８は、その平衡形周波数変換回路の所望帯域を複数の帯域に分割し、それぞれに最適化した整合状態を供するものである。
【００１６】
ＬＯ波用の第２の平衡不平衡変換器２のダイオード回路３と反対側、つまりＬＯ端子６側に整合回路をつけた場合と比較すると、一般的にＬＯ波用の第２の平衡不平衡変換器２はそれの有する三つのそれぞれの端子インピーダンスが帯域内で一定になるように設計されているので、周波数によりダイオードのインピーダンスが変化した場合、平衡不平衡変換特性そのものの周波数特性が劣化する問題がある。そのため、ＬＯ端子６側に接続するよりも第２の平衡不平衡変換器２とダイオード回路３の間に接続した方が効果は大きい。
【００１７】
また、本実施の形態の平衡形周波数変換回路においても、ＬＯ波とＩＦ信号を入力し、その和成分あるいは差成分を出力するアップコンバージョン用と、ＬＯ波とＲＦ信号を入力してその差成分を出力するダウンコンバージョン用との両方に適用することができる。
【００１８】
以上のように、実施の形態２の平衡形周波数変換回路によれば、高周波信号と中間周波信号を入出力する第１の平衡不平衡変換器と、局部発振信号を入力する第２の平衡不平衡変換器と、第１の平衡不平衡変換器の高周波信号または中間周波信号と、第２の平衡不平衡変換器の局部発振信号とを周波数混合するリング状に接続されたダイオードからなるダイオード回路と、第２の平衡不平衡変換器とダイオード回路との間に設けられ、任意の周波数毎に、ダイオード回路と第２の平衡不平衡変換器のインピーダンスの整合をとる可変整合回路とを備えたので、第２の平衡不平衡変換器の適用可能周波数帯域を上限とした平衡形周波数変換回路の広帯域化が実現できる効果がある。
【００１９】
実施の形態３．
図３は、実施の形態３の平衡形周波数変換回路を示す構成図である。
図示の平衡形周波数変換回路は、第１の平衡不平衡変換器１、第２の平衡不平衡変換器２、ダイオード回路３、可変整合回路４，８からなる。即ち、実施の形態３の平衡形周波数変換回路は、実施の形態１における可変整合回路４と実施の形態２における可変整合回路８の両方を備えた平衡形周波数変換回路である。これ以外の構成は、実施の形態１，２と同様であるため、対応する部分に同一符号を付してその説明を省略する。
【００２０】
このように構成された平衡形周波数変換回路の動作は、実施の形態１および実施の形態２を組み合わせたものとなる。即ち、可変整合回路４によって、第１の平衡不平衡変換器１とダイオード回路３とのインピーダンスの整合がとられ、また、可変整合回路８によって、第２の平衡不平衡変換器２とダイオード回路３とのインピーダンスの整合がとられる。
【００２１】
以上のように、実施の形態３の平衡形周波数変換回路によれば、高周波信号と中間周波信号を入出力する第１の平衡不平衡変換器と、局部発振信号を入力する第２の平衡不平衡変換器と、第１の平衡不平衡変換器の高周波信号または中間周波信号と、第２の平衡不平衡変換器の局部発振信号とを周波数混合するリング状に接続されたダイオードからなるダイオード回路と、第１の平衡不平衡変換器とダイオード回路との間および第２の平衡不平衡変換器とダイオード回路との間に設けられ、任意の周波数毎に、ダイオード回路と第１の平衡不平衡変換器および第２の平衡不平衡変換器とのインピーダンスの整合をとる可変整合回路とを備えたので、第１および第２の平衡不平衡変換器の適用可能周波数帯域を上限とした平衡形周波数変換回路の広帯域化が実現でき、特に、マルチバンドで使用する場合に大きい効果が得られる。
【００２２】
実施の形態４．
図４は、実施の形態４における平衡形周波数変換回路の構成図である。
図４は、シングルバランスミクサに適用した場合の構成を示しており、図示の平衡形周波数変換回路は、平衡不平衡変換器１ａ、ダイオード回路３、可変整合回路４からなり、ダイオード回路３にはＬＯ端子６が直接接続されている。ＬＯ端子６がダイオード回路３に接続されている以外の構成は、実施の形態１と同様であるため、対応する部分に同一符号を付してその説明を省略する。また、平衡不平衡変換器１ａは、実施の形態１における第１の平衡不平衡変換器１と同様である。
【００２３】
このように構成された平衡形周波数変換回路において、その基本的な動作はシングルバランスミクサと同様であるが、本実施の形態の可変整合回路４によって、平衡不平衡変換器１ａとダイオード回路３との周波数毎のインピーダンスの整合がとられており、平衡形周波数変換回路としての広帯域化を実現することができる。
【００２４】
以上のように、実施の形態４の平衡形周波数変換回路によれば、高周波信号と中間周波信号を入出力する平衡不平衡変換器と、局部発振信号を供給するためのＬＯ端子と、平衡不平衡変換器の高周波信号または中間周波信号と、局部発振信号とを周波数混合するリング状に接続されたダイオードからなるダイオード回路と、平衡不平衡変換器とダイオード回路との間に設けられ、任意の周波数毎に、ダイオード回路と平衡不平衡変換器とのインピーダンスの整合をとる可変整合回路とを備えたので、実施の形態１と同様に、平衡不平衡変換器の適用可能周波数帯域を上限とした平衡形周波数変換回路の広帯域化が実現できる効果がある。
【００２５】
実施の形態５．
図５は、実施の形態５における平衡形周波数変換回路の構成図である。
図示の平衡形周波数変換回路は、第１の平衡不平衡変換器１、第２の平衡不平衡変換器２、ダイオード回路９からなり、第１の平衡不平衡変換器１および第２の平衡不平衡変換器２の構成は、実施の形態１〜３と同様である。即ち、第１の平衡不平衡変換器１はＲＦ端子５とＩＦ端子７が接続され、第２の平衡不平衡変換器２はＬＯ端子６が接続されている。
【００２６】
図６は、ダイオード回路９の詳細を示す説明図である。
ダイオード回路９は、図６（ａ）に示すように、直列接続された複数のダイオード１０ａ，１０ｂ，１０ｃと、これらのダイオードをそれぞれ短絡するためのスイッチ１１ａ，１１ｂ，１１ｃからなるダイオード直列接続回路１２をリング状に接続したものである。即ち、図５に示すように、四つのダイオード直列接続回路１２ａ〜１２ｄが、実施の形態１〜４におけるダイオード３ａ〜３ｄに代わって設けられている。
【００２７】
このように構成された実施の形態５の平衡形周波数変換回路の基本的な動作は、従来の平衡形ミクサと同様である。
ここで、マルチバンド、マルチモードの送受信機を考えた場合、ミクサの飽和特性を自由に可変できることが望ましい。本実施の形態ではこれに対処するため、ダイオード直列接続回路１２におけるスイッチ１１ａ，１１ｂ，１１ｃを切り替え、直列に接続されるダイオード１０ａ，１０ｂ，１０ｃの数を可変としている。このような構成により、ダイオードが一つ増える毎に飽和電圧としては６ｄＢ、飽和電力としては３ｄＢ向上させることができる。
【００２８】
例えば、図６（ａ）に示すスイッチ１１ａをオフ状態とし、スイッチ１１ｂ，１１ｃをオン状態とした場合は、図６（ｂ）に示す等価回路となる。即ち、ダイオード直列接続回路１２は、ダイオード１０ａのみの回路となる。また、スイッチ１１ａ，１１ｂ，１１ｃを全てオフ状態とした場合は、図６（ｃ）に示す等価回路となる。即ち、ダイオード直列接続回路１２は、ダイオード１０ａ，１０ｂ，１０ｃからなる回路となる。このように、スイッチ１１ａ，１１ｂ，１１ｃのオン／オフ状態を制御することにより、ダイオード回路９としてのダイナミックレンジを拡大させることができる。尚、上記例では、ダイオード直列接続回路１２を構成するダイオードとスイッチの数として三つの場合を説明したが、これ以外の個数であってもよい。
【００２９】
以上のように、実施の形態５によれば、高周波信号と中間周波信号を入出力する平衡不平衡変換器と、局部発振信号を入力する第２の平衡不平衡変換器と、直列接続された複数のダイオードと、複数のダイオードをそれぞれ短絡するためのスイッチからなるダイオード直列接続回路をリング状に接続し、第１の平衡不平衡変換器の高周波信号または中間周波信号と、第２の平衡不平衡変換器の局部発振信号とを周波数混合するダイオード回路とを備えたので、広帯域化を実現するためのダイナミックレンジの拡大を図ることができる。
【００３０】
実施の形態６．
図７は、実施の形態６における平衡形周波数変換回路の構成図である。
図示の平衡形周波数変換回路は、第１の平衡不平衡変換器１、第２の平衡不平衡変換器２、可変整合回路４，８、ダイオード回路９からなる。本実施の形態は、図３に示した実施の形態３におけるダイオード回路３に代えてダイオード回路９としたものであり、ダイオード回路９以外の構成は、図３と同様であるため、対応する部分に同一符号を付してその説明を省略する。
【００３１】
また、ダイオード回路９は、実施の形態５で説明したダイオード回路９と同一である。即ち、図６（ａ）に示したように、直列接続された複数のダイオード１０ａ，１０ｂ，１０ｃと、これらのダイオードをそれぞれ短絡するためのスイッチ１１ａ，１１ｂ，１１ｃからなるダイオード直列接続回路１２をリング状に接続したものである。
【００３２】
このように構成された平衡形周波数変換回路では、ダイオードの稼働数を変化させると、ダイオード直列接続回路１２としてのダイオードインピーダンスが大きく変わる。これに対処するため、本実施の形態では、可変整合回路４および可変整合回路８によって、第１の平衡不平衡変換器１および第２の平衡不平衡変換器２とのインピーダンスの整合をとる。
【００３３】
尚、上記実施の形態では、実施の形態３に示す構成に適用した場合を説明したが、実施の形態１から実施の形態４のいずれの実施の形態であっても同様に適用可能である。
【００３４】
以上のように、実施の形態６の平衡形周波数変換回路によれば、実施の形態１から実施の形態４のうち、いずれの実施の形態のダイオード回路を、直列接続された複数のダイオードと、複数のダイオードをそれぞれ短絡するためのスイッチからなるダイオード直列接続回路をリング状に接続して構成したので、平衡形周波数変換回路として、広帯域化が実現できると共に、広帯域に亘ってダイナミックレンジの拡大を図ることができる。
【００３５】
実施の形態７．
図８は、実施の形態７における平衡形周波数変換回路の構成図である。
図示の平衡形周波数変換回路は、第１の平衡不平衡変換器１、第２の平衡不平衡変換器２、可変整合回路４、ダイオード回路１３からなる。ここで、ダイオード回路１３以外の構成は、実施の形態１と同様であるため、ここでの説明は省略する。ダイオード回路１３は、極性が相互に異なる２個のダイオードが並列に接続されたアンチパラレルダイオードペアをリング状に接続してなる回路である。即ち、実施の形態１におけるダイオード３ａ〜３ｄに代わってアンチパラレルダイオードペア１３ａ〜１３ｂを設けたものである。
【００３６】
次に、実施の形態７の動作について説明する。
基本的な動作は、実施の形態１と同様であるが、本実施の形態では、ダイオード回路１３としてアンチパラレルダイオードペア１３ａ〜１３ｂをリング状に配置しているため、入力したＬＯ波の２ｎ倍波と、入力したＩＦ信号の和成分あるいは差成分を出力するアップコンバージョン用と、入力したＬＯ波の２ｎ倍波と入力したＲＦ信号の差成分を出力するダウンコンバージョン用との両方に適用することができる。
【００３７】
尚、上記実施の形態７では、実施の形態１の構成に対してアンチパラレルダイオードペアを用いたダイオード回路１３の構成を適用したが、これに限定されるものではなく、実施の形態１から実施の形態４のいずれの実施の形態に対しても適用可能である。
【００３８】
以上のように、実施の形態７の平衡形周波数変換回路によれば、ダイオード回路を、アンチパラレルダイオードペアをリング状に接続して構成したので、実施の形態１から実施の形態４のいずれかの実施の形態の効果に加えて、ミリ波帯など、高周波のＬＯ源が容易に実現できない周波数帯域で特に有効であるという効果がある。
【００３９】
実施の形態８．
実施の形態８は、可変整合回路を、微細加工技術により形成した機械的スイッチを用いて形成したものであり、図面上の構成は、実施の形態１から実施の形態４および実施の形態６のいずれかの実施の形態と同様であるため、ここでは、一例として図１に示した実施の形態１を援用して説明する。
【００４０】
半導体の微細加工技術を駆使して作製された微小な部品から構成されるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）と呼ばれる電気機械システムが知られている。実施の形態８では、このようなマイクロマシン技術を用いて半導体基板上に形成した微少な機械的スイッチを可変整合回路４のスイッチとして用いたものである。ここで、マイクロマシン技術による機械的スイッチとしては、例えば、特開２００４−４８１７６号公報等に記載されているように公知であり、一般に低損失な機械的スイッチとして知られてため、ここでの詳細な説明は省略する。
また、動作については、実施の形態１と同様であるため、ここでの説明は省略する。更に、本実施の形態は、実施の形態１だけでなく、実施の形態１から実施の形態４および実施の形態６のいずれの実施の形態に対しても適用可能である。
【００４１】
以上のように、実施の形態８の平衡形周波数変換回路によれば、可変整合回路を、微細加工技術により形成した機械的スイッチを用いて形成したので、低損失なスイッチ回路を半導体基板上に実現することができ、その結果、平衡形周波数変換回路としての低損失化を図ることができる。
【００４２】
実施の形態９．
実施の形態９は、実施の形態５で示した平衡形周波数変換回路のダイオード回路９におけるスイッチ１１ａ，１１ｂ，１１ｃを、微細加工技術により形成した機械的スイッチを用いて形成したものであり、図面上の構成は、実施の形態５と同様であるため、図５を援用して説明する。
【００４３】
実施の形態９におけるダイオード回路９のスイッチ１１ａ，１１ｂ，１１ｃを構成する機械的スイッチについては、上記実施の形態８で説明したように公知であるため、ここでの説明は省略する。これ以外の構成は、実施の形態５と同様である。
【００４４】
以上のように、実施の形態９の平衡形周波数変換回路によれば、ダイオード直列接続回路を構成するスイッチを、微細加工技術により形成した機械的スイッチを用いて構成したので、低損失なスイッチ回路を半導体基板上に実現することができ、その結果、平衡形周波数変換回路としての低損失化を図ることができる。
【００４５】
実施の形態１０．
実施の形態１０は、第１の平衡不平衡変換器および第２の平衡不平衡変換器の少なくともいずれか一方を、微細加工技術を用いて中空構造をシリコン基板上に形成することで構成したものである。図面上の構成は、実施の形態１から実施の形態７と同様であるため、一例として実施の形態１の図１を援用して説明する。
【００４６】
実施の形態１０では、第１の平衡不平衡変換器１または第２の平衡不平衡変換器２の少なくともいずれか一方を、マイクロマシン技術を用いた多層配線技術によって構成する。また、中空構造をシリコン基板上に形成する構成としては、例えば、特開２００３−２１８６１０号公報等に示されている構成を用いる。これ以外の構成は、実施の形態１と同様である。また、その動作は実施の形態１と同様である。
尚、本実施の形態は、実施の形態１の構成を例として説明したが、実施の形態１〜実施の形態９のいずれの実施の形態に対しても適用可能である。
【００４７】
以上のように、実施の形態１０の平衡形周波数変換回路によれば、第１の平衡不平衡変換器および第２の平衡不平衡変換器または平衡不平衡変換器を、微細加工技術を用いて中空構造をシリコン基板上に形成することで構成したので、低損失な回路を半導体基板上に実現することができることから平衡形周波数変換回路としての低損失化が図れ、また、平面回路構造の平衡不平衡変換器に比べ広帯域化が可能となる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】この発明の実施の形態１による平衡形周波数変換回路を示す構成図である。
【図２】この発明の実施の形態２による平衡形周波数変換回路を示す構成図である。
【図３】この発明の実施の形態３による平衡形周波数変換回路を示す構成図である。
【図４】この発明の実施の形態４による平衡形周波数変換回路を示す構成図である。
【図５】この発明の実施の形態５による平衡形周波数変換回路を示す構成図である。
【図６】この発明の実施の形態５による平衡形周波数変換回路のダイオード回路の詳細を示す説明図である。
【図７】この発明の実施の形態６による平衡形周波数変換回路を示す構成図である。
【図８】この発明の実施の形態７による平衡形周波数変換回路を示す構成図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  第１の平衡不平衡変換器、１ａ  平衡不平衡変換器、２  第２の平衡不平衡変換器、３，９，１３  ダイオード回路、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ  ダイオード、４，８  可変整合回路、５  ＲＦ端子、６  ＬＯ端子、７  ＩＦ端子、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ  スイッチ、１２  ダイオード直列接続回路、１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、１３ｄ  アンチパラレルダイオードペア。
【図１】
2006229324.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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