(57)【要約】【課題】  小型の光学部品の超音波洗浄とスピン乾燥を、３点支持や中央部に貫通孔を有する光学部品保持具で行っていたが、スピン乾燥だけではシミや汚れができてしまい、高度の熟練を要する手拭き作業に頼らざるを得ず、手拭き作業を不可欠とせず、一度に多数の光学部品を洗浄・乾燥することが出来る光学部品保持具の実現が望まれていた。【解決手段】  複数の光学部品保持部を有するとともに周縁部が２段構造の光学部品保持具の内側の周縁部に周縁部貫通孔を設け、隣り合った光学部品保持部の間に連結溝を設け、周縁部貫通孔と連結溝の端部を連結し、光学部品保持部の光学部品載置部に複数の細長い開口部の貫通孔を設け、少なくとも一対の貫通孔を光学部品載置部の端部に接して設け、光学部品載置部は光学部品を固定しないで自由に動けるように保持して洗浄・乾燥を行うようにして課題を解決した。【選択図】  図１
2006061768.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持具において、前記光学部品保持具は、前記光学部品保持具の表側に表側周縁部とその内側にある光学部品保持部形成部を有しており、前記表側周縁部には、表側外側周縁部とその内側に隣接して形成されている表側内側周縁部の２種類の周縁部が形成されているとともに、前記表側外側周縁部と前記表側内側周縁部が前記光学部品保持具の表側表面に垂直な方向における高さの異なる２段形状（以下、表側２段形状ともいう）になっており、前記表側２段形状は、当該光学部品保持具の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、前記表側外側周縁部が前記表側内側周縁部よりも高さが低く形成されており、前記表側内側周縁部に複数のピン状の凸部と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の穴などの凹部（以下、表面凹部ともいう）が形成されており、前記光学部品保持具の表面の前記凸部が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる穴などの凹部（以下、裏面凹部ともいう）が形成されており、前記表面の凸部をその裏側に形成されている前記裏面凹部にはめ込んで、２枚の前記光学部品保持具を重ねて結合させることができる構造になっており、前記光学部品保持具の前記表側内側周縁部の内側の前記光学部品保持部形成部には、被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数個有しており、少なくとも１つの前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品を載置する側とは反対側（以下、光学部品保持具の裏側ともいう）まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも２つ形成されており、前記光学部品保持具の裏側の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部とその内側に隣接して形成されている裏側内側周縁部の２段形状（以下、裏側２段形状ともいう）になっており、前記裏側２段形状は、高さの定義を前記表側２段形状の場合と同じとして、前記裏側外側周縁部が前記裏側内側周縁部よりも高さが低く、すなわち、前記光学部品保持具の裏面において前記裏側外側周縁部から前記裏側内側周縁部が窪んでいるように形成されており、前記裏側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部の貫通孔が形成されており、前記表側内側周縁部は前記裏側内側周縁部の内側に挿入することが出来る形状と寸法に形成されており、異なる２つの前記光学部品保持具を、一方の前記光学部品保持具の前記表側内側周縁部を他方の前記光学部品保持具の前記裏側内側周縁部に対向させて、前記一方の光学部品保持具の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持具の前記裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部にはめ込んで接続することができる構造になっており、前記光学部品保持部が形成されている位置よりも外側にある前記表側内側周縁部には、開口部が前記光学部品保持部の開口部よりも２倍以上長い長さを有し、前記表側内側周縁部から前記裏側内側周縁部に貫通している貫通孔（以下、内側周縁部貫通孔ともいう）が複数個形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部の少なくとも一部に前記裏側外側周縁部の内側すなわち前記裏側内側周縁部から前記裏側外側周縁部の外側に達するように形成された溝（以下、裏側外側周縁部溝ともいう）が形成されており、前記裏側外側周縁部溝の深さは当該裏側内側周縁部の表面よりも浅くないことを特徴とする光学部品保持具。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持具を表側表面から見た輪郭形状が、隅の切欠部の有無などの細部構造を除いておおむね四角形であることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項４】
請求項３に記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部溝が前記裏側外側周縁部の四隅に形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持部形成部には、前記光学部品保持部が、前記光学部品保持具の表側の縦横方向にマトリクス状に形成されており、前記光学部品保持部は前記光学部品保持具の表側の縦方向と横方向の少なくとも一方向において、複数の隣り合った前記光学部品保持部の間に、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部の周縁部よりも０．５ｍｍ以上浅い溝（以下、連結溝ともいう）が形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項６】
請求項５に記載の光学部品保持具において、複数の前記連結溝が光学部品保持具の表面で一方向に平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項７】
請求項５または６に記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部溝の幅が、前記連結溝の幅よりも広いことを特徴とする光学部品保持具。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記内側周縁部貫通孔と複数の前記連結溝とが接続された状態に形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項９】
請求項８に記載の光学部品保持具において、前記連結溝の溝幅が、その接続される前記内側周縁部貫通孔とその手前の光学部品保持部の間におけるよりも２つの隣り合った光学部品保持部の間における方が狭く形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１０】
請求項２〜９のいずれかに記載の光学部品保持具において、複数の前記光学部品保持部は、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部に形成されている前記貫通孔の少なくとも２つは、前記光学部品載置部において、各貫通孔の開口部が細長い形状をしているとともに、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部にそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１１】
請求項１０に記載の光学部品保持具において、光学部品載置部の少なくとも２つの前記貫通孔の開口部が、前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている光学部品載置部の対向する両端部とは異なる方向で対向している両側の端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品載置部に形成されている全ての貫通孔の開口部が細長い形状をしているとともに、互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学部品の洗浄や洗浄した後に被洗浄物に付着している洗浄液を除去する乾燥のいずれかまたは双方に用いることができる光学部品保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信では、光アイソレーター、サーキュレーター、ＷＤＭ、フィルター等の様々なモジュールが使用されるが  これらのモジュールには水晶、方解石等の結晶や多層膜フィルター等が組み込まれている。
【０００３】
通常、アイソレータ、フィルター等のモジュールは、たとえば光ファイバーからモジュールに入力された光を、たとえば多層膜フィルター等に入力させて、透過、反射、分離、および屈折等の光学現象を利用することにより、モジュールの機能を実現させている。フィルター等の表面が汚れていると、光ファイバーからモジュールに入力された光が汚れたフィルター等の表面で減衰したり乱反射したりして結合損失が増大したり、モジュールの機能を損なってしまうことがある。モジュールに用いる光学部品の表面の清浄度はモジュールの品質上きわめて重要である。
【０００４】
このため、これらの光学部品の洗浄には多くの工夫が施されてきた。
【０００５】
従来は、たとえば３本の棒状の支持部品で多数の光学部品を３方向から３点支持（以下、支持を保持ともいう）をしたり、光学部品を光学部品挿入部を有する光学部品保持具（前記光学部品保持具は、ケースと呼称するのが適切な場合もあるが、以下、そのような場合も、そして、前記のような３点支持をするように棒状の支持部品を組み合わせて構成した保持部品も、特に必要な場合を除き光学部品保持具とも称する）で保持して超音波洗浄機で光学部品の汚れを落とし、光学部品の表面を清浄にして後、スピン乾燥機で付着した洗浄液を除去しようとしていた。しかし、光学部品の最大面の大きさが８ｍｍ角（すなわち、一辺の寸法が８ｍｍの正方形）以下のような小さいものを洗浄する際には、従来の３点支持をする治具で光学部品を支持して洗浄すると、支持部品で光学部品を確実に支持するには支持部品の強度を保つために支持部品をあまり細くすることができないため、超音波洗浄するときに、光学部品の支持部品の陰になった部分に超音波が効果的に当たらずに光学部品の汚れが残ってしまったり、洗浄中や洗浄後の乾燥時に光学部品が欠落することがある上に、洗浄の仕上げ工程としてのいわゆる水切り工程、すなわち光学部品に付着した洗浄液を除去する乾燥工程で、洗浄残液を完全に取り去ることが出来ず、そのままでは光学部品の汚れとして残ってしまい、正常なモジュールを構成するのに用いることができない光学部品が多発してしまうという大問題があった。
【０００６】
そのため、実際には、光学部品をモジュールに実装するときに、あるいは洗浄後に、１個ずつ専用のピンセットなどで光学部品を持ち、その表面を溶剤を浸したクリーニングペーパーや綿棒などで拭き上げる拭き作業に頼らざるを得なかった。
【０００７】
この光学部品の拭き作業は、光学部品を１個ずつピンセットで注意深くつかみ、純水や有機溶剤等をつけたクリーニングペーパーや綿棒で汚れを拭き取る作業で、一辺が１１ｍｍぐらいの大きな光学部品の場合でも高度な熟練を要する難しい時間のかかる作業であるが、特に、表面を清浄にする光学部品の大きさが１ｍｍ角前後のように小さい場合には、非常に高度な熟練を要し、満足な品質特性を有するように光学部品を清浄にすることが出来るようになるためには、少なくとも数ヶ月の訓練が必要であった。この拭き作業は作業効率が悪く、多層膜フィルタの例では、１時間に２０個程度しか清浄にすることが出来なかった。
【０００８】
光学部品の洗浄においては、洗浄液中で光学部品に付着している汚れを除去する工程は当然重要な洗浄工程であるが、洗浄工程のあとに光学部品に付着している洗浄液（超純水も含めて洗浄液または洗剤という）を除去する乾燥工程も洗浄の重要な工程である。
【０００９】
図７は、この乾燥工程に使用される従来のスピン乾燥機の要部をモデル的に示した図である。
【００１０】
図７で、符号１３０１は従来のスピン乾燥装置、１３０２はスピン乾燥装置１３０１の外枠、１３０３はスピン乾燥装置１３０１を構成する回転させることが出来る回転板を有する回転体、１３１０〜１３１３は回転体１３０３の回転板に取り付けられたホルダで被乾燥物としての光学部品（以下、ワークとも称する）を保持した乾燥用の光学部品保持具や光学部品保持具を保持した保持枠（以下、クレードルともいう）（たとえば、図１７，図１６に図示）を保持するためのホルダ、１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃはそれぞれホルダ１３１０〜１３１３の側壁、１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂはそれぞれ側壁１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ，１３１３ｃに設けられたクレードル設置用溝、１３１５は前記クレードルの位置決めのための支持棒、１３１６は回転方向を示す矢印、１３２０はスピン乾燥装置の蓋、１３２３は蓋１３２０に設けられた送風口、１３２２は送風口に取り付けられているフィルタである。
【００１１】
図７で、ホルダ１３１０〜１３１３は回転体１３０３にネジなどで固定された状態で保持されている。
【００１２】
図７のようなスピン乾燥装置で、洗浄したワークのスピン乾燥を行う際は、ワークを保持した光学部品保持具を入れたクレードルを、クレードルに設けられた突起部（図１７に図示）をホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれのクレードル設置用溝１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂに挿入してホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれに配置した後に、回転体１３０３をたとえば矢印１３１６の方向に回転させることによってスピン乾燥を行う。このとき、回転体に装着されたクレードルの底面は、図１７のように、回転体の回転により与えられる遠心力に対してクレードルが最も安定に保持されるように、回転体の回転により与えられる遠心力の方向に直交するように前記ホルダに取り付けられるようになっている。
【００１３】
ワークの３点支持による保持方法については、たとえば、特開平６−２０８０９３（以下、特許文献１という）にも記載されており、その細部についてはあまり詳細でないが、図と文章からおおむね知ることができる。
【００１４】
図８〜図１１は、ワークの３点支持による保持方法について説明する図で、特許文献１と完全に同じではないが、本発明の発明者等の分類では同種の技術思想に基づくワークの３点支持による保持方法ということができるもので、現在光学部品の洗浄・乾燥に使用されているものである。
【００１５】
図８は、ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【００１６】
図８で、符号１３３１は被乾燥物としてのワーク、１３３２〜１３３４はワーク１３３１を固定するための光学部品支持部品である。
【００１７】
図８で光学部品支持部品１３３２および１３３４は、ワーク１３３１の側面の両辺のおおよそ中央にそれぞれ配置されており、光学部品支持部品１３３３は光学部品支持部品１３３２と１３３４を結ぶ線分の垂直２等分線近傍の光学部品側面に配置されている。
【００１８】
図８において、ワーク１３３１を洗浄・乾燥する際には、ワークを固定するための光学部品支持部品１３３２〜１３３４の接触面積が可能な限り少ない方が良いとされている。
【００１９】
図９〜図１１は、図８の光学部品支持部品の例を説明するための図で、図９は１本の光学部品支持部品の斜視図、図１０は図９の光学部品支持部品を図９の直線Ｙ１−Ｙ２で切った断面から斜めに見た図、図１１は図９の光学部品支持部品がワークを保持している状態を説明するための図である。
【００２０】
図９〜図１１で、符号１３４０は従来の光学部品支持部品、１３４１は光学部品支持部品１３４０を構成する支柱、１３４２は支柱１３４１の端部に設けられたネジ、１３４３は光学部品支持部品１３４０を構成する支持板、１３４１ａ，１３４１ｂは支柱１３４１の溝に入れた支持板１３４３をカシメによって固定しているカシメ部分、１３４４は支持板１３４３に形成されたＶ字溝である。
【００２１】
図９および図１０に示した光学部品支持部品１３４０には支柱１３４１の先端部にネジ１３４２が設けられており、図示しないが、複数本の光学部品支持部品１３４０を支持部品取り付け枠に光学部品を保持するのに適当な間隔で固定できるように形成して洗浄・乾燥用の光学部品保持具が構成されている。また、支持板１３４３はフッ素樹脂で形成されており、ある程度の弾力性を有しており、形状が図示の如くＶ字型の溝を有するノコギリの刃状に形成されている。前記Ｖ字型の溝は、同一形状・寸法の溝が、同一光学部品保持具として使用する全ての支柱１３４１の長手方向の同じ位置に設けられている。
【００２２】
図１１で、ワーク１３３１は、水平方向の左右に２つとそれに直交する方向の１つの計３つの方向から３つの光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３のＶ字形の溝部分によって支えられている。
【００２３】
図９〜図１１を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワーク１３３１を固定した場合、支持板１３４３のワークを支持する部分がＶ字型の溝形状に形成されているために、ワーク１３３１は３方の側面の稜線部分だけが支持板１３４３のＶ字型の溝に支持されており、支持板１３４３との接触面積が比較的小さいように緩く固定される。
【００２４】
しかし、図９〜図１１を用いて説明したような光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３は、フッ素樹脂であるテトラフルオロエチレン（たとえば、商標名、テフロン）で形成されていることなどから、一辺が１０ｍｍ以上のあまり重くないワークしか固定することが出来ず、これ以下の小さいワークに関しては別の方法で保持しなければならなかった。
【００２５】
図１２および図１３は光学部品支持部品の図９〜図１１を用いて説明した例とは別の従来例を説明する図で、特許文献１とは異なる例である。
【００２６】
図１２は１本の光学部品支持部品の斜視図、図１３は図１２の光学部品支持部品３本によってワークが固定（緩く固定）されている状態を説明するための図である。
【００２７】
図１２および図１３で、符号１３５０は光学部品支持部品、１３５１は光学部品支持部品１３５０を構成する支柱、１３５３は支柱１３５１に設けられたワークを固定するためのＶ字形の溝である。
【００２８】
図１２で、支柱１３５１は円柱形であり、直径は６ｍｍ〜１０ｍｍである。また、溝１３５３は同一形状・寸法の溝が一定の間隔で支柱１３５１に、支柱１３５１の長さ方向に切った断面がＶ字形の溝として設けられている。
【００２９】
図１３で、ワーク１３３１は支柱１３５１に形成された溝１３５３の部分にワーク１３３１の一部を入れることによって緩く固定されている。この場合、図中のワーク１３３１の左右の辺は、中央より少し上の方を支持されている。この緩く固定されているという状態は、ワークをピンセットなどで注意して持ち、たとえば、３点支持の光学部品支持部品として組み上げられた３本の支柱１３５１に形成された溝１３５３の部分にワーク１３３１の一部を入れて保持したとき、ワークを超音波洗浄したり、スピン乾燥したりしたときに、ワークが溝１３５３の部分から抜け出すことはないが、ワークをピンセットなどで持って溝１３５３の部分から取り出したり、ワークを溝１３５３の部分に挿入したりすることが出来る程度に固定されているという意味である。以下、３点支持の記述において、特に断らない場合には、このような緩く固定することを、単に、固定するあるいは束縛するともいう。図１１と図１３に示した保持の状態も、この緩く固定した状態である。
【００３０】
図１４は、ワーク１３３１が光学部品支持部品によって固定されているときのワークと光学部品支持部品との接触状態を説明するための図であり、図１３の矢印１３５４の方向から見た図である。
【００３１】
図１４でワーク１３３１は、支柱１３５１に形成された溝１３５３が作る斜面に接することによって緩く固定されている。
【００３２】
図１２および図１３を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワークを固定した場合、支柱１３５１が円柱形に構成されているため、溝１３５３の部分も円柱形となっており、ワークとの接触面積が極めて少なくて済む。しかし、ワークの一辺が８ｍｍ以下である場合、図１４からもわかるように支柱１３５１がワークに非常に近い位置にある状態でワークを固定することになるため、洗浄する際にワークに支柱１３５１の影の部分になる部分が生じ、超音波を効果的にワークに当てることが出来ず、洗浄自体がうまくいかないという欠点があった。
【００３３】
支持板１３４３をカシメによって固定する支柱１３４１や溝１３５３が形成された支柱１３５１は、機械加工によって１本ずつ加工されているのが現状である。支柱の材料としてはステンレス鋼や、加工によって溝をつけた金属に樹脂をコーティングしたものが多く用いられている。樹脂だけでつくった支柱は、強度に問題があり、溝を付けた金属や溝を付けた金属に樹脂をコートしたものが主に用いられていた。
【００３４】
以上説明したように、従来は、ワークが小さい場合は光学部品支持部品によってワークを固定できなかったり、固定できた場合でもワークを効果的に洗浄することが出来ないという大きな問題があった。
【００３５】
そのため、小さなワークを洗浄・乾燥する際には、通常、ワークを図１５で後述するような洗浄治具に収納した後に、洗浄治具をクレードルなどに入れて、前記のようにスピン乾燥装置に装着して洗浄・乾燥する方法が採られている。
【００３６】
図１５は、従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持具の斜視図である。
【００３７】
図１５で、符号１３５５は従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持具、１３５６はワークを入れるための光学部品挿入部である。光学部品挿入部１３５６は穴状になっており、穴の底部の周縁部にはそこに挿入した光学部品を保持するための光学部品載置枠１３５６ａが設けられており、その内側に洗浄液を通過させるための貫通孔１３５６ｂが設けられている。この貫通孔１３５６ｂの直径はワークより十分小さく、光学部品載置枠１３５６ａの中央部に設けられている。
【００３８】
図１５からも推察できるように、光学部品保持具１３５５の基本的な技術思想は、光学部品を３点支持のように緩く固定せずに光学部品載置枠１３５６ａに載置し、洗浄・乾燥中に光学部品の特に重要なところである光学面の重要部分を貫通孔１３５６ｂのところで周囲のものと非接触に保つことができるように考慮しているところにある。
【００３９】
図１５のような洗浄・乾燥用の光学部品保持具を用いて洗浄と乾燥を行うときは、光学部品挿入部にワークを入れて、光学部品保持具ごとクレードルなどに入れて洗浄装置やスピン乾燥装置の所定位置に載置する。
【００４０】
図１６は、洗浄や乾燥工程において用いられているクレードルについて説明する図である。図１６中の（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図で、点線８０１〜８０４でそれらの対応する位置関係を示してある。
【００４１】
図１６で、符号８００はクレードル、８１１〜８１４はクレードルの側壁、８２０と８２１は側壁８１２と８１３の下部につけられているピン、８３０はクレードル８００をもつときに用いる取っ手部分、８５２〜８５５はそれぞれ側壁８１１〜８１４の内側の下方（すなわち、クレードルの底部）に設けられた支柱、８５１は洗浄・乾燥用の光学部品保持具を載置する載置部で支柱８５２〜８５４に固定されている。クレードル８００は、たとえばステンレス鋼製のものを用いることができる。
【００４２】
図１６で、光学部品を保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持具をクレードル８００に入れて洗浄した光学部品のスピン乾燥を行う場合、洗浄・乾燥用の光学部品保持具を載置部８５１の上に載置して、クレードルをスピン乾燥装置に装着する。載置部８５１は、これに限定されないが、クレードルの下方、たとえばピン８２０，８２１の位置よりわずかに上に形成しておき、平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持具を用いる場合は、スピン乾燥装置の回転体に装着した状態のクレードルの底面と載置部８５１と平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持具の表面と裏面がすべて平行になるように形成しておくと取扱上好都合である。
【００４３】
図１７は従来のスピン乾燥装置を説明するための断面図である。
【００４４】
図１７において、符号１０１０はスピン乾燥装置の回転体、１０１１は回転体１０１０を回転させるときの回転軸、１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂは回転体１０１０と回転軸１０１１を連結・固定する固定ネジ、１０１４，１０１５は乾燥するワークを入れて保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持具、１０１６，１０１７はワークを載置し保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持具１０１４，１０１５を載置するクレードル、１０１８ａ，１０１９ａはクレードルの突起部を保持するホルダ、１０２０は回転体の上部枠、１０１８ｂ、１０１９ｂはホルダ１０１８ａ，１０１９ａに設けられたクレードル吊り下げ用の溝、１０１８，１０１９はクレードルの突起部でホルダ１０１８ａ，１０１９ａの溝１０１８ｂ、１０１９ｂに入れてホルダ１０１８ａ，１０１９ａにクレードル１０１６，１０１７を保持する連結ピン，１０２１〜１０２４は回転体１０１０の回転時にクレードルを支えるためにホルダ１０１８ａ，１０１９ａに取り付けられている支持棒、１３７０は回転板である。
【００４５】
図１７で、クレードル１０１６，１０１７は、洗浄・乾燥用の光学部品保持具の上面部分１０１４ａ，１０１５ａが（洗浄・乾燥用の光学部品保持具が平行平板のときは、同様に、前記クレードルの底面も）、回転軸１０１１の回転中心となる中心軸線Ａ１−Ａ２にそれぞれ平行になるように、かつ、洗浄・乾燥用の光学部品保持具の上面部分１０１４ａ，１０１５ａの中央における前記中心軸線Ａ１−Ａ２を中心とする仮想の円筒の外側面の接平面（図示せず）にそれぞれ平行になるように、さらに、回転体１０１０の中心軸線であるＡ１−Ａ２に対して対称に配置されており、洗浄・乾燥用の光学部品保持具に載置した洗浄後の光学部品を、回転軸１０１１を中心にして回転体全体を回転させることによって洗浄した光学部品に残った洗浄液を除去して光学部品を乾燥させるようになっている。
【００４６】
しかし、本発明の発明者等の調査の結果、図１５と図１７を用いて説明したような従来の乾燥方法では、洗浄液の残りをワークから完全に除去することが出来ないうえに、スピン乾燥装置の回転を止めると、残った洗浄液がワークを濡らしてしまうことが多く、それが多層膜フィルターなどのワークにシミなどを作ってしまうため、良好な洗浄・乾燥が出来なかった。
【００４７】
そのため、従来は残った水分を除去するために多層膜フィルターなどのワークをピンセットで注意深くつまみ、クリーニングペーパーや綿棒などで水分を拭き取る手作業を必要としていた。
【００４８】
図１８および図１９は従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液のふき取り方法について説明するための模式図である。
【００４９】
図１８および図１９において、符号４００はワーク、５０１は綿棒、５０２，５０３は綿棒５０１の端部、５０４は綿棒の動く方向を示す矢印、５１０はハンドラップ、５１１は有機溶剤、５１２はハンドラップの皿部、５１３はピンセット、５１４は管である。    図１８で、ハンドラップ５１０の内部には有機溶剤５１１が入っており、皿部５１２をたとえば綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３で押し下げると、有機溶剤５１１は管５１４を毛管現象によって皿部５１２まで上がり、綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３に適量の有機溶剤５１１を付けることが出来る。
【００５０】
図１９で、ワーク４００をピンセット５１３によってつまみ、有機溶剤をしみこませた綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３を矢印５０４の方向へ動かしながら、ワーク４００の光学面４０１と４０２を拭いて清浄にすることが出来る。
【００５１】
また、綿棒５０１に有機溶剤を付けないでワーク４００をふき、水分をワーク４００から除去することも出来る。
【００５２】
図１８および図１９を用いて説明したような洗浄・乾燥方法は、図７〜図１７を用いて説明したような方法では洗浄・乾燥出来ないものの洗浄・乾燥に用いられることが多い。しかし、一辺が８ｍｍ以下のように小さなワーク、たとえば、光通信に通常用いられている光学面が１．４ｍｍ角の薄いフィルタのような場合、ワークが非常に小さくて、これをピンセットで掴みながら水分をふき取ったりする作業は非常に困難な作業である。
【００５３】
この拭き作業は、非常に高度な熟練を要し、満足した品質特性を得るためには、数ヶ月の作業者トレーニングが必要であった。そして、この拭き作業を収得した作業者が行った場合でも、作業効率が悪く、高々２０個／時間の多層膜フィルターしか清浄にすることが出来なかった。
【００５４】
従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持具の図１５に示した例とは異なる例が、特開２０００−２４９４６６（以下，特許文献２という）に記載されている。特許文献２には，パレットに設けられたすり鉢状の貫通穴に光学部品を入れて乾燥を行うことが記載されている（特許文献２の図１〜図３参照）。そして、特許文献２の図２，図５〜図７には前記穴に蓋を取り付けた断面図が記載されており，前記蓋には，適当にあけられた穴が設けられている。この蓋の穴に関しては，空気をすり鉢状貫通穴に流すこと以外の特別の作用は記載されていない。
【００５５】
本発明の発明者らは，特許文献２のような光学部品保持具を用いて前記と同様な洗浄と乾燥を行ったが、良好な洗浄および乾燥を行うことができず、手拭き作業が不可欠であった。さらに，光学部品によっては損傷を生じてしまい，光学部品の着脱がしにくいなど、大きな問題があることがわかった。
【００５６】
本発明の発明者等の調査の結果、従来の光学部品保持具を用いて洗浄された光学部品の乾燥を行うに当たり、乾燥方法を種々変えてみたが、真に好ましい洗浄・乾燥を行うには、光学部品保持具の改善が不可欠であることがわかった。
【００５７】
【特許文献１】特開平６−２０８０９３
【特許文献２】特開２０００−２４９４６６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００５８】
以上説明したように、長時間の作業者トレーニングが不可欠で高度な熟練を要する拭き作業を不可欠とせず、一度に多数の光学部品を乾燥することが出来て、光学部品としての性能を満足に発揮することができるような清浄な光学面を有する光学部品を量産出来るスピン乾燥用の光学部品保持具の実現が強く望まれていた。
【００５９】
本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、本発明の目的の一つは、長時間の作業者トレーニングが必要で高度な熟練を要する手拭き作業を不可欠とせず、小型の光学部品の場合でも、一度に多数の洗浄後の光学部品を良好な状態に乾燥することが可能で、取扱い易い乾燥に適した光学部品保持具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００６０】
本発明は前記の課題を解決せんとしてなされたものである。
【００６１】
本発明の請求項１に記載の光学部品保持具は、光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持具で、前記光学部品保持具は、前記光学部品保持具の表側に表側周縁部とその内側にある光学部品保持部形成部を有しており、前記表側周縁部には、表側外側周縁部とその内側に隣接して形成されている表側内側周縁部の２種類の周縁部が形成されているとともに、前記表側外側周縁部と前記表側内側周縁部が前記光学部品保持具の表側表面に垂直な方向における高さの異なる２段形状（以下、表側２段形状ともいう）になっており、前記表側２段形状は、当該光学部品保持具の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、前記表側外側周縁部が前記表側内側周縁部よりも高さが低く形成されており、前記表側内側周縁部に複数のピン状の凸部と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の穴などの凹部（以下、表面凹部ともいう）が形成されており、前記光学部品保持具の表面の前記凸部が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる穴などの凹部（以下、裏面凹部ともいう）が形成されており、前記表面の凸部をその裏側に形成されている前記裏面凹部にはめ込んで、２枚の前記光学部品保持具を重ねて結合させることができる構造になっており、前記光学部品保持具の前記表側内側周縁部の内側の前記光学部品保持部形成部には、被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数個有しており、少なくとも１つの前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品を載置する側とは反対側（以下、光学部品保持具の裏側ともいう）まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも２つ形成されており、前記光学部品保持具の裏側の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部とその内側に隣接して形成されている裏側内側周縁部の２段形状（以下、裏側２段形状ともいう）になっており、前記裏側２段形状は、高さの定義を前記表側２段形状の場合と同じとして、前記裏側外側周縁部が前記裏側内側周縁部よりも高さが低く、すなわち、前記光学部品保持具の裏面において前記裏側外側周縁部から前記裏側内側周縁部が窪んでいるように形成されており、前記裏側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部の貫通孔が形成されており、前記表側内側周縁部は前記裏側内側周縁部の内側に挿入することが出来る形状と寸法に形成されており、異なる２つの前記光学部品保持具を、一方の前記光学部品保持具の前記表側内側周縁部を他方の前記光学部品保持具の前記裏側内側周縁部に対向させて、前記一方の光学部品保持具の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持具の前記裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部にはめ込んで接続することができる構造になっており、前記光学部品保持部が形成されている位置よりも外側にある前記表側内側周縁部には、開口部が前記光学部品保持部の開口部よりも２倍以上長い長さを有し、前記表側内側周縁部から前記裏側内側周縁部に貫通している貫通孔（以下、内側周縁部貫通孔ともいう）が複数個形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６２】
本発明の請求項２に記載の光学部品保持具は、請求項１に記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部の少なくとも一部に前記裏側外側周縁部の内側すなわち前記裏側内側周縁部から前記裏側外側周縁部の外側に達するように形成された溝（以下、裏側外側周縁部溝ともいう）が形成されており、前記裏側外側周縁部溝の深さは当該裏側内側周縁部の表面よりも浅くないことを特徴とする光学部品保持具である。
【００６３】
本発明の請求項３に記載の光学部品保持具は、請求項１または２に記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持具を表側表面から見た輪郭形状が、隅の切欠部の有無などの細部構造を除いておおむね四角形であることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６４】
本発明の請求項４に記載の光学部品保持具は、請求項３に記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部溝が前記裏側外側周縁部の四隅に形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６５】
本発明の請求項５に記載の光学部品保持具は、請求項１〜４のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品保持部形成部には、前記光学部品保持部が、前記光学部品保持具の表側の縦横方向にマトリクス状に形成されており、前記光学部品保持部は前記光学部品保持具の表側の縦方向と横方向の少なくとも一方向において、複数の隣り合った前記光学部品保持部の間に、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部の周縁部よりも０．５ｍｍ以上浅い溝（以下、連結溝ともいう）が形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６６】
本発明の請求項６に記載の光学部品保持具は、請求項５に記載の光学部品保持具において、複数の前記連結溝が光学部品保持具の表面で一方向に平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６７】
本発明の請求項７に記載の光学部品保持具は、請求項５または６に記載の光学部品保持具において、前記裏側外側周縁部溝の幅が、前記連結溝の幅よりも広いことを特徴とする光学部品保持具である。
【００６８】
本発明の請求項８に記載の光学部品保持具は、請求項５〜７のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記内側周縁部貫通孔と複数の前記連結溝とが接続された状態に形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００６９】
本発明の請求項９に記載の光学部品保持具は、請求項８に記載の光学部品保持具において、前記連結溝の溝幅が、その接続される前記内側周縁部貫通孔とその手前の光学部品保持部の間におけるよりも２つの隣り合った光学部品保持部の間における方が狭く形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７０】
本発明の請求項１０に記載の光学部品保持具は、請求項２〜９のいずれかに記載の光学部品保持具において、複数の前記光学部品保持部は、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部に形成されている前記貫通孔の少なくとも２つは、前記光学部品載置部において、各貫通孔の開口部が細長い形状をしているとともに、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部にそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７１】
本発明の請求項１１に記載の光学部品保持具は、請求項１０に記載の光学部品保持具において、光学部品載置部の少なくとも２つの前記貫通孔の開口部が、前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている光学部品載置部の対向する両端部とは異なる方向で対向している両側の端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【００７２】
本発明の請求項１２に記載の光学部品保持具は、請求項１〜１１のいずれかに記載の光学部品保持具において、前記光学部品載置部に形成されている全ての貫通孔の開口部が細長い形状をしているとともに、互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持具である。
【発明の効果】
【００７３】
以上説明したように、本発明の光学部品保持具をスピン乾燥に使用することにより、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可欠とせずに、一度に大量に短時間で、高い品質で乾燥することができるようになった。
【００７４】
そして、本発明の光学部品保持具を用いた洗浄・乾燥によって、極めて高品質な清浄な光学面を有する光学部品の製造歩留まりを大幅に向上させることができ、製造コストを大幅に低減することができるようになった。
【００７５】
さらに、本発明の光学部品保持具は、搬送に有利な構造になっており、乾燥後にコンパクトに、耐衝撃性のパッケージをして、清浄な光学部品の搬送にも用いることができるという大きな利点を有するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について説明する。なお、説明に用いる各図は本発明の例を理解できる程度に各構成成分の寸法、形状、配置関係などを概略的に示してある。そして本発明の説明の都合上、部分的に拡大率を変えて図示する場合もあり、本発明の例の説明に用いる図は、必ずしも実施例などの実物や記述と相似形でない場合もある。また、各図において、同様な構成成分については同一の番号を付けて示し、重複する説明を省略することもある。
【００７７】
図１〜図６は本発明の光学部品保持具の実施の形態例を説明する図である。
【００７８】
図１は光学部品保持具２００を光学部品を光学部品保持部に挿入する側すなわち表側から見た平面図、図２は、光学部品保持具２００を光学部品を光学部品保持部に挿入する側とは反対側すなわち裏側から見た平面図で、図１の線分Ｂ１−Ｂ２を軸に裏返した状態の平面図である。図３は図１の線分Ｂ３−Ｂ４に沿った断面図、図４は光学部品保持部の光学部品載置部を光学部品保持部に光学部品を挿入する側から見た図、図５と図６は光学部品保持具２００のコーナー部の部分拡大断面図である。
【００７９】
図１〜図６で、符号２００は本発明の実施の形態例としての光学部品保持具、２０１は基板、２０１ａは基板２０１の表側、２０１ａ１は表側外側周縁部、２０１ａ２は表側内側周縁部、２０１ａ３は光学部品保持部形成部、２０１ｂは基板２０１の裏側、２０１ｂ１は裏側外側周縁部、２０１ｂ２は裏側内側周縁部、２０１ｂ３は光学部品保持部形成部の裏側、２０２は光学部品保持部、２０２ｂは基板２０１の表側に光学部品保持部２０２が形成されている部分に対応する基板裏側の部分、２０３ａ１と２０３ａ２は光学部品保持部２０２に接続して形成されている連結溝、２０３ｂ１〜２０３ｂ４は基板裏側のコーナー部に設けられた裏側外側周縁部溝、２０４は基板２０１の表面の表側内側周縁部２０１ａ２のコーナー部に設けられた穴などの表面凹部、２０４ａは表面凹部の周縁部、２０４ｂは表面凹部２０４の基板裏面側、２０５は基板２０１の表面の表側内側周縁部２０１ａ２のコーナー部に設けられたピン状の凸部、２０５ｂは基板表面の凸部２０５の裏側である基板裏面に形成された穴などの裏面凹部、２０５ｂ１は裏面凹部２０５ｂの周縁部、２０７ａ〜２０７ｌは内側周縁部貫通孔、２１２は光学部品載置部、２１２ｂは光学部品載置部２１２の外周部、２１２ｃと２１２ｄは光学部品載置部の互いに対向している端部、２１４ａ〜２１４ｄは光学部品載置部の島部（以下、島部それぞれをあるいはそれらを総称して島部２１４ともいう）、２１５ａ〜２１５ｅは光学部品載置部の貫通孔（以下、貫通孔それぞれをあるいはそれらを総称して貫通孔２１５ともいう）である。
【００８０】
光学部品保持具２００は、その表側すなわち表面２０１ａに、図１のように、表側周縁部とその内側にある光学部品保持部形成部２０１ａ３を有しており、前記表側周縁部には、表側外側周縁部２０１ａ１とその内側に隣接して形成されている表側内側周縁部２０１ａ２の２種類の周縁部が形成されているとともに、図３のように、表側外側周縁部２０１ａ１と表側内側周縁部２０１ａ２が光学部品保持具の表側表面に垂直な方向における高さの異なる２段形状（表側２段形状）になっており、前記表側２段形状は、前記のように当該光学部品保持具の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、表側外側周縁部２０１ａ１が表側内側周縁部２０１ａ２よりも高さが低く形成されている。
【００８１】
光学部品保持具２００を側面から見た形状は、表側内側周縁部２０１ａ２と光学部品保持部形成部２０１ａ３が表側外側周縁部２０１ａ１から突出した形状に形成されている。表側内側周縁部２０１ａ２と光学部品保持部形成部２０１ａ３の部分は平行平板になっている。この形状は、複数の光学部品保持具を重ねて使用するときに、条件を設定しやすく、洗浄・乾燥品質を高めることができ、量産において大きな効果を発揮するものである。
【００８２】
光学部品保持具２００を真上から見た形状は、輪郭が四角形で、表側外側周縁部２０１ａ１とその内側に隣接して形成されている表側内側周縁部２０１ａ２とその内側に隣接して形成されている光学部品保持部形成部２０１ａ３の輪郭も四角形である。
【００８３】
光学部品保持具２００の表側内側周縁部２０１ａ２の内側の光学部品保持部形成部２０１ａ３には、被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部２０２を複数個有しており、光学部品保持部２０２は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部２１２を有しており、前記光学部品載置部２１２には前記光学部品載置部の表側すなわち光学部品を載置する側から光学部品を載置する側とは反対側すなわち光学部品保持具の裏側まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも２つ形成されている。
【００８４】
表側内側周縁部２０１ａ２の各辺には、細長い開口部を有する内側周縁部貫通孔２０７ａ〜２０７ｌが図１と図２のように形成されている。この内側周縁部貫通孔２０７ａ〜２０７ｌの開口部は、光学部品載置部の貫通孔２１４の開口部の２倍以上の長さの開口部に形成されており、光学部品保持部２０２の開口部の２倍以上の長さになっている。内側周縁部貫通孔の長さを光学部品保持部２０２の開口部の２倍以上の長さにしたところ、スピン乾燥において多数の光学部品保持部から移動してくる洗浄残液を効果的に除去することができるとともに、内側周縁部に付着した洗浄残液を残さずに除去することができた。
【００８５】
内側周縁部貫通孔２０７ａ〜２０７ｌは表側内側周縁部２０１ａ２からその裏側の裏側内側周縁部２０１ｂ２まで一様な断面で貫通して形成されている。
【００８６】
図１のように、本発明の実施の形態例としての光学部品保持具２００は、平板状の基板２０１の表面２０１ａに凹部として光学部品保持部２０２を縦横１０行１０列のマトリクス状に形成し、縦方向の各列に形成された各光学部品保持部２０２の間には連結溝２０３ａ１が、縦方向の各列の端にある光学部品保持部２０２と内側周縁部貫通孔２０７ｄ〜２０７ｆのいずれかあるいは内側周縁部貫通孔２０７ｊ〜２０７ｌのいずれかの間には連結溝２０３ａ２が形成されている。連結溝２０３ａ２は連結溝２０３ａ１よりも広い幅に形成されている。各連結溝２０３ａ２と連結溝２０３ａ１は、一方向に互いに平行に形成されており、光学部品保持部２０２の光学部品載置部の周辺部の深さよりも０．５ｍｍ以上浅い溝として形成されている。
【００８７】
このようにすることにより、スピン乾燥時の洗浄液除去効果を高めることができるとともに、光学部品を光学部品保持部２０２に装着したり取り出したりするのが容易になり、光学部品を傷つける可能性を低減している。
【００８８】
内側周縁部貫通孔２０７ｄ〜２０７ｆならびに内側周縁部貫通孔２０７ｊ〜２０７ｌには、図１のように、３本または４本の複数の連結溝２０３ａ２が連結されている。この構造により、スピン乾燥時の洗浄液除去効果を一層高めることができる。
【００８９】
表側内側周縁部２０１ａ２には複数の（この場合は２本の）ピン状の凸部２０５と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の（この場合は２個の）穴などの凹部すなわち表面凹部２０４が形成されている。２本のピン状の凸部２０５ならびに２個の表面凹部２０４はそれぞれ表側内側周縁部２０１ａ２の対角線上にあるコーナー部に形成されている。
【００９０】
光学部品保持具２００の裏側の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部２０１ｂ１とその内側に隣接して形成されている裏側内側周縁部２０１ｂ２の２段形状（裏側２段形状）になっており、前記裏側２段形状は、高さの定義を前記表側２段形状の場合と同じとして、裏側外側周縁部２０１ｂ１が裏側内側周縁部２０１ｂ２よりも高さが低く、すなわち、光学部品保持具２００を図２のように裏返した状態で、光学部品保持具の裏側すなわち裏面２０１ｂにおいて裏側外側周縁部２０１ｂ１から裏側内側周縁部２０１ｂ２が窪んでいるように形成されており、裏側内側周縁部２０１ｂ２の内側に光学部品保持部２０２の貫通孔が形成されている。
【００９１】
表側２段形状と裏側２段形状の高さの状態は図３の断面図にも現れている。
【００９２】
光学部品保持具２００の表面の凸部２０５が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる穴などの凹部すなわち裏面凹部２０５ｂが形成されており、もう一枚の光学部品保持具２００の表面の凸部２０５を裏面凹部２０５ｂにはめ込んで、２枚の光学部品保持具２００を重ねて結合させることができる構造になっている。
【００９３】
すなわち、同一形状寸法の２つの光学部品保持具２００を、その表側を同じ方向にして重ねたとき、一方の光学部品保持具の表側内側周縁部を他方の光学部品保持具の裏側内側周縁部の内側に挿入することが出来る形状と寸法に形成されており、２つの前記光学部品保持具を、一方の光学部品保持具の表側内側周縁部を他方の光学部品保持具の裏側内側周縁部に対向させて、一方の光学部品保持具の表側内側周縁部のコーナー部に形成されている凸部２０５を他方の光学部品保持具の裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部２０５ｂにはめ込んで接続することができる構造になっている。
【００９４】
このとき、表面凹部２０４の周縁部２０４ａと裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１の後述する構造とその作用によって、２枚の重ねられた光学部品保持具２００のうちの一方の光学部品保持具２００の裏側の、表側内側周縁部２０１ａ２および光学部品保持部形成部２０１ａ３が形成されている部分の裏側と他方の光学部品保持具２００の表側内側周縁部２０１ａ２および光学部品保持部形成部２０１ａ３との間に適当なギャップが形成され、スピン乾燥時の洗浄液除去効果を一層高めることができる。
【００９５】
光学部品保持具を複数枚重ねる用い方における前記２つの基板の間のギャップ（間隔）の好適な例として、０．１〜０．５ｍｍにしたときに、極めて良好な光学部品の洗浄・乾燥を行うことができた。前記２つの基板の間のギャップを０．１ｍｍ以上にすると本発明者等のスピン乾燥における水切れ効果が大きく好ましいが、前記ギャップを０．５ｍｍよりも大きくすると、ワークの形状・寸法によっては、ギャップからワークが飛び出してしまう恐れがあり、０．１〜０．５ｍｍは特に好ましいギャップである。
【００９６】
光学部品保持具２００の裏面２０１ｂには、裏側外側周縁部２０１ｂ１の少なくとも一部に、図２のように、裏側外側周縁部２０１ｂ１の内側の裏側内側周縁部から裏側外側周縁部の外側に達するように形成された溝である裏側外側周縁部溝２０３ｂ１〜２０３ｂ４が形成されており、裏側外側周縁部溝２０３ｂ１〜２０３ｂ４の幅は連結溝２０３ａ２の幅よりも広い幅に形成されており、裏側外側周縁部溝の深さは当該裏側内側周縁部の表面よりも浅くないように形成されており、スピン乾燥時の洗浄液除去効果を高めている。
【００９７】
裏側外側周縁部溝２０３ｂ１〜２０３ｂ４は裏側外側周縁部２０１ｂ１の四隅に図２に示したように形成されている。
【００９８】
図１，図２に示した光学部品保持具２００は正方形の輪郭形状を有しており、隅に切欠部を有している。
【００９９】
１つの光学部品保持部２０２を図１の表面２０１ａの真上から見ると、開口部が円形で、底部には円形の輪郭形状を有する光学部品載置部が形成されており、光学部品載置部には、図４のように、貫通孔２１５と島部２１４が交互に形成されている。このような形状の光学部品保持部を用いて、輪郭形状が円形、三角形、四角形など多くの形状の光学部品を保持して洗浄・乾燥することができる。
【０１００】
光学部品載置部２１２には、図４のように、開口部が細長い形状の６個の貫通孔２１５ａ〜２１５ｅが形成されており、各貫通孔は、光学部品載置部の表面から基板裏側２０１ｂまで一様な形状・寸法の貫通孔になっている。
【０１０１】
この貫通孔の開口部が細長形状になっていることにより、乾燥時の洗浄液を除去する際に、洗浄液の泡により貫通孔の液流が止まってしまうことを防いでいる。
【０１０２】
図４で、光学部品載置部２１２の各２つの貫通孔の間には、光学部品載置部２１２の肉部である島部２１４が形成されている。すなわち、貫通孔２１５ａと貫通孔２１５ｂの間には島部２１４ａがあり、貫通孔２１５ｂと貫通孔２１５ｃの間には島部２１４ｂがあり、貫通孔２１５ｃと貫通孔２１５ｄの間には島部２１４ｃがあり、貫通孔２１５ｄと貫通孔２１５ｅの間には島部２１４ｄがある。各貫通孔２１５ａ〜２１５ｅはその島部側の辺が互いに平行に形成されている。
【０１０３】
そして、貫通孔２１５ｂ、２１５ｃ、２１５ｄは、（厳密には、その長手方向の端部を除いて）その中心線が互いに平行に（従って、各貫通孔が互いに平行に）形成されているとともに、光学部品載置部２１２の外周部２１２ｂの互いに対向している一端から他端まで連続して形成されている。貫通孔２１５ｃは光学部品載置部２１２の中心を通るように形成されている。光学部品載置部２１２の両端部に形成されている細長い貫通孔２１５ａと貫通孔２１５ｅは、その細長い辺の一つ（それぞれ符号２１５ａ１と２１５ｅ１で示した辺）が、光学部品載置部２１２の外周部２１２ｂの、貫通孔２１５ｂ、２１５ｃ、２１５ｄについて説明した互いに対向している端部とは別の、互いに対向している端部２１２ｃと端部２１２ｄのいずれかの端部に接して形成されている。これらの構造は、スピン乾燥時の洗剤残液の水切れを促進する効果を有する。
【０１０４】
貫通孔の開口部の一辺と光学部品載置部２１２の端部（外周部２１２ｂ）の一部が接して形成されていることは、樹脂を用いた成形技術で製造する場合、特別に製造コストの上昇を招かずにこの範囲の誤差で成形することが可能であることと、水切れ効果をあまり妨げずに済むことが、本発明の発明者等の検討によって確認されたことによる。
【０１０５】
各島部２１４ａ〜２１４ｄの各貫通孔の開口部を形成している部分を、面取り加工を施したり、曲面形状に形成したりして、載置される光学部品に傷がつかないようにしたり、洗浄・乾燥効果を高めたりすることが好ましい。
【０１０６】
光学部品載置部の貫通孔の側面の形状、すなわちその両側の島部の貫通孔を形成している部分の形状は、光学部品載置部の表面から光学部品保持具の裏面方向に、おおむね平行に形成されている。
【０１０７】
光学部品保持部２１２の外周部２１２ｂは、そこに入れて洗浄や乾燥を行う光学部品の載置部に載置される部分の最大寸法よりも、１０％以上大きく形成しておくと、洗浄・乾燥時に光学部品が適宜動いて、たとえばスピン乾燥時に貫通孔の開口部を塞がないようになり水切れ効果を妨げないように作用するなど、適切な状態で洗浄や乾燥が行われ、洗浄・乾燥効果を一層高めることができる。なお、前記１０％以上大きくとは、１０％程度大きいのが特に良いという意味ではない。
【０１０８】
光学部品保持部２０２の側壁は、図３の如く、光学部品を挿入する開口部から光学部品載置部２１２との境界である光学部品載置部の外周部２１２ｂまで同じ直径の一様な円筒面の形状に形成されている。この構造は、光学部品を挿入しやすいこと、洗浄・乾燥中に光学部品保持部上で光学部品が動いた時の損傷の危険性を低減すること、対象光学部品の制約を少なくすることなど多くの効果をもたらす。
【０１０９】
光学部品保持部２０２の開口部すなわち光学部品保持部２０２の入口部分は、テーパ面やいわゆるＲ面のような曲面に形成しておくことにより、洗浄・乾燥対象の光学部品の出し入れがし易く、また、光学部品保持具２００を重ねて使用するときに、光学部品の損傷リスクを効果的に低減することができる。図示していないが、本実施の形態例においても適用したところ、良好な結果を得た。
【０１１０】
図５と図６は光学部品保持具２００のコーナー部の部分拡大断面図である。
【０１１１】
表面凹部２０４の周縁部２０４ａはその周りの符号２０４ａ２で示した部分よりも所定寸法だけ突出して形成されている。符号２０４ａ２で示した部分は、平行平板状の表側内側周縁部２０１ａ２および光学部品保持部形成部２０１ａ３と同じ高さに形成されている。
【０１１２】
裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１はその周りの符号２０５ｂ２で示した部分よりも所定寸法だけ突出して形成されている。符号２０５ｂ２で示した部分は、平行平板状の裏側内側周縁部２０１ｂ２および光学部品保持部形成部の裏側２０２ｂと同じ高さに形成されている。
【０１１３】
表面凹部２０４の周縁部２０４ａの符号２０４ａ２で示した部分からの突出量（寸法）と裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１の符号２０５ｂ２で示した部分からの突出量（寸法とは同じ寸法である。
【０１１４】
前記のように、表面凹部２０４と表面の凸部２０５が２対ずつ、表側内側周縁部２０１ａ２のコーナー部にそれぞれ対角線状に形成されており、同一形状・寸法の光学部品保持具２００を２枚、前記のように、一方の光学部品保持具２００の裏側を他方の光学部品保持具２００の表側に重ねたときに、凸部２０５が裏面凹部２０５ｂに入って２枚の光学部品保持具２００が少し持ち上げられない限り、簡単にはずれないようになっている。このとき、裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１と基板の表面および裏面凹部２０５ｂの周縁部２０５ｂ１と基板の裏面の高さの差によって、重ねられた２枚の光学部品保持具の間に前記所定のギャップが保たれるようになっている。
【０１１５】
光学部品保持部形成部２０１ａ３に形成されている複数の光学部品保持部は、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有している。
【０１１６】
また、本発明の前記各種の光学部品保持具は、光学部品の洗浄や乾燥のみならず、洗浄・乾燥後に清浄な環境で清浄に、たとえば透明な薄いプラスチック材料などで防塵性の梱包を行って、適当な緩衝の梱包をして、納入先などに発送することもでき、その用途は極めて広いものである。
【０１１７】
以上、図面を参照しながら本発明の実施の形態例を説明したが、本発明はこれに狭く限定されるものではなく、多くのバリエーションを可能とするものである。
【産業上の利用可能性】
【０１１８】
以上説明したように、本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可避とせずに、一度に大量に短時間で高い品質で乾燥することができるようになった。
【０１１９】
さらに、本発明の光学部品保持具は、洗浄と乾燥を一環工程で行うことができるとともに、乾燥後にコンパクトにパッケージして、清浄な光学部品の搬送にも用いることができるという大きな利点を有するものである。
【０１２０】
本発明は光通信分野に限らず、カメラ業界、携帯電話業界、眼鏡業界など工業上広い範囲で多大な効果を発揮するものである。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の表側の平面図である。
【図２】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の裏側の平面図である。
【図３】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の図１のＢ３−Ｂ４に沿った断面図である。
【図４】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具の光学部品載置部を説明する図である。
【図５】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具のコーナー部の部分拡大断面図である。
【図６】本発明の実施の形態例としての光学部品保持具のコーナー部の部分拡大断面図である。
【図７】従来のスピン乾燥装置の要部をモデル的に示した斜視図である。
【図８】ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【図９】光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品１本の斜視図である。
【図１０】図９の光学部品支持部品を直線Ｙ１−Ｙ２の位置で切った断面から斜めに見た図である。
【図１１】図９の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明するための図である。
【図１２】光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品一本の斜視図である。
【図１３】図１２の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明する図である。
【図１４】ワークと支持部品の接触状態を説明するための図である。
【図１５】従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持具の斜視図である。
【図１６】クレードルについて説明する図である。図中、（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図である。
【図１７】従来のスピン乾燥装置を説明するための断面図である。
【図１８】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。
【図１９】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。
【符号の説明】
【０１２２】
２００，１０１４，１０１５，１３５５：光学部品保持具
２０１：基板
２０１ａ：基板の表側
２０１ａ１：表側外側周縁部
２０１ａ２：表側内側周縁部
２０１ａ３：光学部品保持部形成部
２０１ｂ：基板の裏側
２０１ｂ１：裏側外側周縁部
２０１ｂ２：裏側内側周縁部
２０１ｂ３：光学部品保持部形成部の裏側
２０２：光学部品保持部
２０２ｂ：光学部品保持部が形成されている部分に対応する基板裏側の部分
２０３ａ１，２０３ａ２：連結溝
２０３ｂ１〜２０３ｂ４：裏側外側周縁部溝
２０４：表面凹部
２０４ａ：表面凹部の周縁部
２０４ｂ：表面凹部の基板裏面側
２０５：基板表面のピン状の凸部
２０５ｂ：基板表面の凸部の裏側の裏面凹部
２０５ｂ１：裏面凹部の周縁部
２０７ａ〜２０７ｌ：内側周縁部貫通孔
２１２：光学部品載置部
２１２ｂ：光学部品載置部の外周部
２１２ｃ，２１２ｄ：光学部品載置部の互いに対向している端部
２１４，２１４ａ〜２１４ｄ：光学部品載置部の島部
２１５，２１５ａ〜２１５ｅ，１３５６ｂ：貫通孔
２１５ａ１，２１５ｅ１：貫通孔の細長い辺の一つ
４００，１３３１：ワーク（光学部品）
５０１：綿棒
５０２，５０３：端部
５０４，１３１６：矢印
５１０：ハンドラップ
５１１：有機溶剤
５１２：皿部
５１３：ピンセット
５１４：管
８００，１０１６，１０１７：クレードル
８３０：取っ手部分
１０１０，１３０３：回転体
１０１１：回転軸
１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂ：固定ネジ
１０１８，１０１９：連結ピン
１０１８ａ，１０１９ａ，１３１０〜１３１３：ホルダ
１０１８ｂ，１０１９ｂ：溝
１０２０：上部枠
１０２１〜１０２４，１３１５：支持棒
１３０１：スピン乾燥装置
１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃ：側壁
１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂ：クレードル設置用溝
１３３２〜１３３４，１３４０，１３５０：光学部品支持部品（光学部品支持棒）
１３５６：光学部品挿入部
１３５６ａ：光学部品載置枠
１３７０：回転板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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