(57)【要約】【課題】  従来のレーザ加熱装置は半導体基板等の被加熱物を所望の加熱分布で加熱することができないという欠点があった。【解決手段】  本発明のレーザ加熱装置は、レーザ光源と、このレーザ光源から出るレーザー光をリング状に集光せしめる曲面レンズとよりなる。上記曲面レンズは半径方向断面が凸レンズ状のリング体より成る円板状レンズである。上記リング体が同心円状に半径方向に複数隣接されている。上記各リング体の断面形状が互いに異なる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、このレーザ光源から出るレーザー光をリング状に集光せしめる曲面レンズとよりなることを特徴とするレーザ加熱装置。
【請求項２】
上記曲面レンズは半径方向断面が凸レンズ状のリング体より成る円板状レンズであることを特徴とする請求項１記載のレーザ加熱装置。
【請求項３】
上記リング体が同心円状に半径方向に複数隣接されていることを特徴とする請求項２記載のレーザ加熱装置。
【請求項４】
上記各リング体の断面形状が互いに異なることを特徴とする請求項２または３記載のレーザ加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレーザ加熱装置、特に大きな面積を有する半導体基板等を一度の照射で所望の加熱分布で加熱することができるレーザ加熱装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ加熱装置のレーザ光を直接半導体基板等の被加熱物に照射する場合は、被加熱物からの反射光が半導体レーザ加熱装置に戻り半導体レーザ素子が破損することがあり、これを防止するため、レーザ光を斜めから被加熱物に照射して、被加熱物を加熱していた（引用文献１）。
【特許文献１】特開２００１−２５２７７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
然しながら、上記従来のレーザ加熱装置はレーザ光を斜めから被加熱物に照射していたので、被加熱物上に所望の温度分布を得ることが難しかった。
【０００４】
なお、レーザによる被加熱物１の加熱は、小さい面積であれば図１３に示すようにレンズ３で集光したレーザ光照射で可能であるが、大面積の場合はミラーによるスキャニングレーザ照射のような大掛かりの装置が必要であった。
【０００５】
また、レーザ光をレンズでデフォーカスしたレーザ光照射では、被加熱物の熱分布は均一ではなく、被加熱物の中心の方が外周に比べて温度が高くなってしまうという欠点があった。
【０００６】
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のレーザ加熱装置は、レーザ光源と、このレーザ光源から出るレーザー光をリング状に集光せしめる曲面レンズとよりなることを特徴とする。
【０００８】
上記曲面レンズは半径方向断面が凸レンズ状のリング体より成る円板状レンズであることを特徴とする。
【０００９】
また、上記リング体が同心円状に半径方向に複数隣接されていることを特徴とする。
【００１０】
また、上記各リング体の断面形状が互いに異なることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のレーザ加熱装置によれば、被加熱物にリング状にレーザ光を照射できるので、被加熱物の表面の加熱温度分布の制御が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１３】
本発明のレーザ加熱装置は図１及び図２に示すように、高出力半導体レーザ等のレーザ光源（図示せず）と、上記レーザ光源から出たレーザ光２を円板状の半導体基板等の被加熱物４の表面に円板状の曲面レンズ５を介して照射せしめる。上記曲面レンズ５は例えば図２に示すように半径方向断面が凸レンズ状のリング体５ａにより形成せしめる。
【００１４】
本発明のレーザ加熱装置は上記のような構成であるから、上記レーザ光源から出たレーザ光２は上記曲面レンズ５を通過して図３に示すようにリング状に集光され、上記レーザ光２の焦点位置に設置した被加熱物４の表面をリング状に照射し、上記被加熱物４を加熱する。
【００１５】
上記のように本発明のレーザ加熱装置によれば、被加熱物４の外縁付近にリング状にレーザ光２を照射せしめることができるので、被加熱物４の中心が高温となるという問題を解決できる。
【００１６】
また、上記曲面レンズ５と上記被加熱物４との位置を変え、上記被加熱物４に照射されるレーザ光２のリングの幅や、上記被加熱物４のレーザ光を照射せしめる場所を調整することにより基板を更に均一に加熱できるようになる。
【実施例２】
【００１７】
図４及び図５は本発明のレーザ加熱装置の第２の実施例を示し、この第２の実施例においては、第１の実施例の半径方向断面が凸レンズ状のリング体を同心円状に、半径方向に２個隣接して形成した曲面レンズ６を用いる。
【００１８】
本発明の第２の実施例のレーザ加熱装置においては、上記レーザ光源から出たレーザ光２を上記曲面レンズ６を通過せしめて図６に示すように同心円状の２重のリング状に集光せしめ、上記レーザ光の焦点位置に設置した被加熱物４を２重のリング状に照射し、上記被加熱物４を加熱せしめる。
【００１９】
この第２の実施例においては、被加熱物４が大きい場合であっても、被加熱物に同心円状の２重のリング状のレーザ光２を照射せしめるので、被加熱物４の表面の加熱温度分布の制御が容易となり、また、上記曲面レンズ６と上記被加熱物４との位置を変え、上記被加熱物４に照射したレーザ光２のリングの幅や、上記被加熱物４のレーザ光を照射せしめる場所を調整することにより基板を均一に加熱できるようになる。
【００２０】
なお、図７及び図８に示すように、上記曲面レンズ６の内側のリング体６ａの厚さを、外側のリング体６ｂの厚さに比べて小さくし、上記曲面レンズ６の外側のリング体６ｂを通過したレーザ光２の焦点位置に被加熱物４を配置し、図９に示すように、上記外側のリング体６ｂを通過したレーザ光２による外側リング７と、上記内側のリング体６ａを通過したレーザ光２がデフォーカスして形成された内側リング８とによる２重のリング状のレーザ光を用いて、被加熱物４の表面の加熱温度分布を制御せしめてもよい。
【００２１】
また、同心円状の上記リング体を３個以上用いれば更に大きい被加熱物の表面の加熱温度分布を制御せしめることができる。
【００２２】
この場合、上記曲面レンズの複数のリング体の厚さなどの断面形状を夫々異ならしめて被加熱物の表面の加熱温度分布を制御せしめてもよい。
【００２３】
また、上記各リング体の半径方向の幅を異ならしめて被加熱物に照射される各リングの直径を調整せしめ、被加熱物の表面の加熱温度分布を制御せしめてもよい。
【００２４】
また、上記被加熱物に照射される各リングの直径は他のレンズを組み合わせることにより調整せしめてもよい。
【００２５】
また、上記曲面レンズは球面レンズ、非球面レンズ、円柱を軸方向に２つに割った形をしているシリンドリカルレンズであってもよく、またこれらを組み合わせたレンズであってもよい。
【実施例３】
【００２６】
本発明の第３の実施例においては図１０及び図１１に示すように、レーザ光源と被加熱物４との間に、上記レーザ光源から出たレーザ光２をリング状に集光せしめる、半径方向断面が凸レンズ状の曲面レンズ９と、上記曲面レンズ９を通過し上記リング状に集光されたレーザ光２をコリメート（平行光に）するリング状のシリンドリカルレンズ１０と、上記シリンドリカルレンズ１０を通過したリング状の上記レーザ光２のリング径を拡大せしめる凹レンズ１１を設ける。
【００２７】
本発明の第３の実施例においては、上記レーザ光源１から出たレーザ光２を上記曲面レンズ９を通過せしめてリング状に集光せしめ、この集光したリング状のレーザ光２を上記シリンドリカルレンズ１０により再びコリメートし、上記凹レンズ１１により上記リング状のレーザ光２のリング径を拡大せしめて、図１２に示すように、上記被加熱物４にリング状に照射し、被加熱物４を加熱せしめる。
【００２８】
この第３の実施例によっても被加熱物４の表面の加熱温度分布の制御が容易となる。
【００２９】
なお、上記シリンドリカルレンズ１０を通過したレーザ光２のリングの直径が上記被加熱物よりも小さいような場合には、上記凹レンズ１１を省略せしめてもよい。
【００３０】
また、上記凹レンズ１１を通過したレーザ光を更にコリメートするためのレンズ（図示せず）を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明のレーザ加熱装置の縦断側面図である。
【図２】本発明のレーザ加熱装置の曲面レンズの一部を切除した斜視図である。
【図３】図１に示すレーザ加熱装置を用いて加熱した被加熱物の正面図である。
【図４】本発明の他の実施例のレーザ加熱装置の縦断側面図である。
【図５】図４に示すレーザ加熱装置の曲面レンズの一部を切除した斜視図である。
【図６】図４に示すレーザ加熱装置を用いて加熱した被加熱物の正面図である。
【図７】本発明の更に他の実施例のレーザ加熱装置の縦断側面図である。
【図８】図７に示すレーザ加熱装置の曲面レンズの一部を切除した斜視図である。
【図９】図７に示すレーザ加熱装置を用いて加熱した被加熱物の正面図である。
【図１０】本発明の更に他の実施例のレーザ加熱装置の縦断側面図である。
【図１１】図１０に示すレーザ加熱装置のシリンドリカルレンズの一部を切除した斜視図である。
【図１２】図１０に示すレーザ加熱装置を用いて加熱した被加熱物の正面図である。
【図１３】従来のレーザ加熱装置の説明図である。
【符号の説明】
【００３２】
１    被加熱物
２    レーザ光
３    レンズ
４    被加熱物
５    曲面レンズ
５ａ  凸レンズ状のリング体
６    曲面レンズ
６ａ  内側のリング体
６ｂ  外側のリング体
７    外側リング
８    内側リング
９    曲面レンズ
１０    シリンドリカルレンズ
１１    凹レンズ
【図１】
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【図２】
2006229075.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2006229075.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2006229075.tif 000014
【図１３】
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