(57)【要約】【課題】  従来のオリフラ認識によらずにガラス基板の材質を、簡単にしかも確実に選別できる、材質判別装置を提供する。【解決手段】  材質判別処理部は、予め、材質判別の対象となる複数Ｎ種類の材質、各々の、透過特性およびまたは反射特性から、前記複数Ｎ種類の各々を判別できる特定波長の組として決められた、１以上ｎ個（ｎは正の整数）の判別波長λｉ（ｉ＝１、２・・・ｎ）の組の、各判別波長において、それぞれ、判別波長における測定データと、該判別波長に対応する前記データベースに保管された、Ｎ種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを比較して、試料の材質を判別するものである。【選択図】  図１
2006170831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材質を判別しようとする試料の材質が、予め知られている異なる複数Ｎ種類の材質の中のどれかに該当する場合に、前記試料に検査光を照射し、その透過光およびまたは反射光の特性からその試料の材質を判別する材質判別装置であって、前記複数Ｎ種類の材質について、予め、判別に必要な、透過特性およびまたは反射特性に関するデータを保管しておくデータベースと、試料へ検査光を照射するための光源部と、前記検査光による試料からの透過光を受光する透過光受光部、およびまたは、前記検査光による試料からの反射光を受光する反射光受光部と、前記各受光部の受光結果から、試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データを得て、得られた試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データと、前記データベースに保管された、材質判別の対象となる複数Ｎ種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを、比較することにより材質の判別処理を行う材質判別処理部とを備えており、前記材質判別処理部は、予め、材質判別の対象となる複数Ｎ種類の材質、各々の、透過特性およびまたは反射特性から、前記複数Ｎ種類の各々を判別できる特定波長の組として決められた、１以上ｎ個（ｎは正の整数）の判別波長λｉ（ｉ＝１、２・・・ｎ）の組の、各判別波長において、それぞれ、判別波長における測定データと、該判別波長に対応する前記データベースに保管された、Ｎ種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを比較して、試料の材質を判別するものであることを特徴とする材質判別装置。
【請求項２】
請求項１に記載の材質判別装置であって、前記光源部は、前記ｎ個の各判別波長λｉ（ｉ＝１、２・・・ｎ）の検査光を、それぞれ個別に選択的に照射することができるものであることを特徴とする材質判別装置。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１項に記載の材質判別装置であって、前記試料は、表示装置用のガラス基板であることを特徴とする材質判別装置。
【請求項４】
請求項３に記載の材質判別装置であって、前記表示装置用のガラス基板は無アルカリガラス基板であり、前記判別波長が、紫外線領域であることを特徴とする材質判別装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の材質判別装置であって、製造ライン上に設置して前記試料の材質判別を行うものであることを特徴とする材質判別装置。
【請求項６】
請求項５に記載の材質判別装置であって、前記試料の材質判別結果に対応して、試料を仕分けする仕分け部を備えていることを特徴とする材質判別装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の材質判別装置であって、前記試料の材質判別結果において試料が目的とする材質のものでない場合に、アラームを出力するアラーム部を備えていることを特徴とする材質判別装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の材質判別装置であって、材質判別の結果等を表示あるいは印刷により出力する出力部を備えていることを特徴とする材質判別装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の材質を判別する装置に関し、特に、材質を判別しようとする試料が、予め知られている材質が異なる複数Ｎ種類の試料の中の、どれかに該当する場合に、材質を判別しようとする試料に検査光を照射し、その透過光およびまたは反射光の特性からその試料の材質を判別する材質判別装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶用表示装置やプラズマディスプレイ装置の実用化は盛んで、ますます、その量産化が要求されており、大型化の要求も強い。
これに伴い、液晶用表示装置用のカラーフィルタを形成したガラス基板からなる液晶表示パネルおよびプラズマディスプレイ装置用の表示パネル等に用いられるガラス基板からなる表示パネルの作製も、大サイズ化したガラス基板での量産化対応が必要となってきた。
このような中、例えば、表示装置メーカにより、サイズ、液晶ディスプレイにする方式が異なるため、カラーフィルタ基板を製造する製造側では、表示装置メーカから指定された材質、サイズのガラス基板を用いて、該ガラス基板の面上にカラーフィルタを形成したカラーフィルタ基板の製造を行っている。
各表示装置メーカにより、カラーフィルタ基板用のガラス基板の材質の種類が異なることがあり、その種類も多い。
そのため、基板サイズや厚みに他と違いがある場合には、その種類を目視で確認できるが、同じ大きさの基板サイズや厚みのもの同士の種類の区分けには、材質の区分けをしなければならなかった。
従来は、その材質の区分けを、ガラス基板のコーナー部（角部とも言う）に設けた切り欠き（以下、オリフラ：オリエンテーションフラットとも言う）により、行っていた。
基板の角部に、ガラス基板の材質によって、異なる角度や大きさを変えてガラス基板の種類毎に固有のカットがなされていた。
そして、このようなガラス基板におけるオリフラを測定する装置は開発はされており、従来は、そのようなオリフラを測定する装置により、ガラス基板の種類の区分けを行っていた。
例えば、図５（ａ）に示す、２つの角部に切り欠き４１を設けたものと、図５（ｂ）に示す、１つの角部に切り欠き４１を設けたものとで、区分けする。
あるいは、図５（ｃ）に示す、ように、切り欠き４２の形状を、図５（ａ）や図５（ｂ）に示すものと異なるようにして区分けする。
尚、図５中、３１、３２、３３はガラス基板である。
しかし、表示装置用のガラス基板は、第５世代サイズ（一般的に１１００ｍｍ×１２５０ｍｍもしくは１１００ｍｍ×１３００ｍｍのサイズ）では、その材質の種類も多く、異なった材質のガラス基板でオリフラが同一であったり、あるいはまた、同じ材質のガラス基板でオリフラが異なる場合があった。
それに伴い、カラーフィルタ基板の製造現場においては、基板が誤って表裏もしくは上下反転して投入されてしまうことが多々あるが、表裏もしくは上下反転して投入されてしまうと、全く異なった材質でも、オリフラ認識により、検査機では同じ材質とみなされてしまい、誤った材質のガラス基板が振り分けられず、そのまま誤った材質のガラス基板にカラーフィルタを製造してしまうこともあった。
このため、このようなオリフラ認識によらずガラス基板の材質を、簡単にしかも確実に選別できる方法が求められていた。
【０００３】
一方、ガラス基板等の材質の種類をオリフラで判別するのではなく、測定しようとする試料に測定光を照射し、そのスペクトル特性（波形のこと）によって判別する材質の判別装置が特開２００２−２４３６３９号公報（特許文献１）に記載されており、また、スペクトル特性（波形）によって判別するプラスチツク材等の材質判別方法及び装置が特開２００３−１７２６９９号公報（特許文献２）に記載されている。
【特許文献１】特開２００２−２４３６３９号公報
【特許文献２】特開２００３−１７２６９９号公報  しかし、これらに記載のものは、照射した光の透過や、反射のスペクトル特性（波形）によって判別する装置、方法であるため、スペクトル特性が少しでも異なればＮＧ判定になり、材質の種類に差がないものでも異なる判定を下してしまうなどの問題があった。  更にまた、判定には目視ツールがないため、迅速にＮＧ基板の判別ができない問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように、最近では、液晶表示装置等のカラーフィルタ基板用のガラス基板においては、ガラス基板のサイズも第５世代に対応するサイズが要求され、これに伴い、カラーフィルタ基板製造側では、従来のオリフラ認識によらずにガラス基板の材質を、簡単にしかも確実に判別できる方法が求められていた。
本発明はこれに対応するもので、従来のオリフラ認識によらずにガラス基板の材質を、簡単にしかも確実に選別できる、材質判別装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の材質判別装置は、材質を判別しようとする試料の材質が、予め知られている異なる複数Ｎ種類の材質の中のどれかに該当する場合に、前記試料に検査光を照射し、その透過光およびまたは反射光の特性からその試料の材質を判別する材質判別装置であって、前記複数Ｎ種類の材質について、予め、判別に必要な、透過特性およびまたは反射特性に関するデータを保管しておくデータベースと、試料へ検査光を照射するための光源部と、前記検査光による試料からの透過光を受光する透過光受光部、およびまたは、前記検査光による試料からの反射光を受光する反射光受光部と、前記各受光部の受光結果から、試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データを得て、得られた試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データと、前記データベースに保管された、材質判別の対象となる複数Ｎ種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを、比較することにより材質の判別処理を行う材質判別処理部とを備えており、前記材質判別処理部は、予め、材質判別の対象となる複数Ｎ種類の材質、各々の、透過特性およびまたは反射特性から、前記複数Ｎ種類の各々を判別できる特定波長の組として決められた、１以上ｎ個（ｎは正の整数）の判別波長λｉ（ｉ＝１、２・・・ｎ）の組の、各判別波長において、それぞれ、判別波長における測定データと、該判別波長に対応する前記データベースに保管された、Ｎ種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを比較して、試料の材質を判別するものであることを特徴とするものである。
そして、上記の材質判別装置であって、前記光源部は、前記ｎ個の各判別波長λｉ（ｉ＝１、２・・・ｎ）の検査光を、それぞれ個別に選択的に照射することができるものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記の材質判別装置であって、前記試料は、表示装置用のガラス基板であることを特徴とするものであり、該表示装置用のガラス基板は無アルカリガラス基板であり、前記判別波長が、紫外線領域であることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの材質判別装置であって、製造ライン上に設置して前記試料の材質判別を行うものであることを特徴とするものであり、前記試料の材質判別結果に対応して、試料を仕分けする仕分け部を備えていることを特徴とするものである。
そして、上記いずれかの材質判別装置であって、前記試料の材質判別結果において試料が目的とする材質のものでない場合に、アラームを出力するアラーム部を備えていることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの材質判別装置であって、材質判別の結果等を表示あるいは印刷により出力する出力部を備えていることを特徴とするものである。
ここで、「ＡおよびまたはＢ」とは、Ａ、ＡとＢ、Ｂの全ての場合を含むものである。  また、無アルカリガラスとは、ナトリウムやカリウムの含有量がゼロで、ホウ素やアルミニウムを含むもので、二酸化ケイ素１００％のシリカ（石英）ガラスとは、ホウ素やアルミニウムが含まれている点で異なるもので、無アルカリガラス基板は、非晶質（アルモファス）シリコンタイプのＴＦＴを使用の液晶表示装置用のガラス基板として、あるいは、低温で多結晶（ポリ）シリコンタイプのＴＦＴを使用の液晶表示装置用のガラス基板として用いられており、シリカ（石英）ガラスに比べ安価である。
尚、アクティブマトリクス・タイプの液晶表示装置用のガラス基板としては、ナトリウムやカリウムが含まれているガラスを用いると、ナトリウムやカリウムが溶け出し、それが不純物としてさまざまな問題を引き起こすため、上記シリカ（石英）ガラスや無アルカリガラスが用いられている。
【０００６】
（作用）
本発明の材質判別装置は、このような構成にすることにより、従来のオリフラ認識によらずにガラス基板の材質を、簡単にしかも確実に選別できる、材質判別装置の提供を可能としている。
特に、特定波長の透過率およびまたは反射率を用いて材質判別する為、スペクトル特性( 波形) を用い、複雑な画像処理を用いて材質判別する装置とは異なり、簡単な処理で正確に判別可能である。
具体的には、複数Ｎ種類の材質について、予め、判別に必要な、透過特性およびまたは反射特性に関するデータを保管しておくデータベースと、試料へ検査光を照射するための光源部と、前記検査光による試料からの透過光を受光する透過光受光部、およびまたは、前記検査光による試料からの反射光を受光する反射光受光部と、前記各受光部の受光結果から、試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データを得て、得られた試料の透過特性およびまたは反射特性に関する測定データと、前記データベースに保管された、材質判別の対象となる複数Ｎ種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを、比較することにより材質の判別処理を行う材質判別処理部とを備えており、前記材質判別処理部は、予め、材質判別の対象となる複数Ｎ種類の材質、各々の、透過特性およびまたは反射特性から、前記複数Ｎ種類の各々を判別できる特定波長の組として決められた、１以上ｎ個（ｎは正の整数）の判別波長λｉ（ｉ＝１、２・・・ｎ）の組の、各判別波長において、それぞれ、判別波長における測定データと、該判別波長に対応する前記データベースに保管された、Ｎ種類の材質についての透過特性およびまたは反射特性に関するデータとを比較して、試料の材質を判別するものであることにより、これを達成している。
光源部としては、前記ｎ個の各判別波長λｉ（ｉ＝１、２・・・ｎ）の検査光を、それぞれ個別に選択的に照射することができるものが挙げられる。
この場合、分光器を必要としない為、スペクトル特性( 波形) を用いて材質判別する装置よりも、安価で作製可能である。
簡単な装置構成で、基板の異品種混入防止や、基板の仕分けに、使用することが可能である。
例えば、光学フィルタにより光源の波長を制御してこれを達成することができる。
この形態には限定されず、受光部側で波長を選択する方式でも良い。
【０００７】
対象とする試料が表示装置のカラーフィルタ基板用のガラス基板である場合、各表示装置メーカが使用するカラーフィルタ基板用のガラス基板の材質は、通常、無アルカリガラス基板であるが、その組成は、各表示装置メーカ毎に若干異なる。
液晶表示装置のカラーフィルタ形成用のガラス基板としては、例えば、ＨＮテクノガラス製のＮＡ３５、ＮＡ４５、日電ガラス製のＯＡ１０、ＯＡ２、旭硝子製のＡＮ１００、ＡＮ６３５、コーニング製の１７３７、コーニング製のＥＡＧＬＥ２０００、７０５９等がある。
本願発明者は、これらの無アルカリガラス基板は、可視光領域では透過率に殆ど差はないが、紫外線領域において若干の差が見られることを見出し、更に、特定の波長においては、透過率の差から互いに判別可能であることを見出し、即ち、判別波長として、紫外線領域の特定波長を選ぶことにより、これら無アルカリガラスの材質の違いを判別できるとし、本願請求項３の発明を成したものである。
例えば、材質Ａ１〜材質Ａ７の無アルカリガラス基板については、透過率特性は図２に示すようになる。
各材質の無アルカリガラス基板の透過率特性の測定は、汎用の分光光度計にて測定できる。
この場合、判別のための透過率の分解能を１．８％とすれば、図２に示す各ガラス基板材質の透過特性から、材質Ａ１と材質Ａ２とは、２２８ｎｍ〜２３４ｎｍのλ１波長で判別可能で、材質Ａ３と材質Ａ４とは、２３７ｎｍ〜２５６ｎｍのλ２波長あるいは、２６８〜３０７ｎｍのλ３波長で判別可能であり、そしてまた、材質Ａ３、材質Ａ４、材質Ａ５、材質Ａ６、材質Ａ７は、λ３波長で互いに判別可能である。
このことから、対象とする試料が材質Ａ１〜材質Ａ７のいずれかの材質であることが分かっていれば、λ１波長、および、λ３波長の２波長にて、試料の透過光特性とデータベースに保存された各材質の透過特特性とを、それぞれ比較するだけで、試料の材質を特定することができる。
勿論、対象とする試料を、処理対象の目的とする材質であるか否かを判別するだけの場合には、上記波長λ１、λ２、λ３のいずれか１つを選別して検査光として用いれば良い。
尚、液晶表示装置のカラーフィルタ基板の製造においては、カラーフィルタ基板用のガラス基板としての、無アルカリガラス基板の組成が若干異なる材質種類の種類毎に、対応する表示装置メーカからの要望により、あるいは、処理特性等が異なることがあるため、必要に応じて処理条件を変えて製造することがある。
このためにも、このような組成が若干異なる材質種類の正確な判別が必要で、量産化に対応するには、簡単に正確な判別ができる材質判別装置が必要とされる。
【０００８】
具体的な態様としては、カラーフィルタ基板等の対象とする試料を用いた製造ライン上に設置して前記試料の材質判別を行う請求項４の形態のものが挙げられる。
これにより、製造ラインにおける材質混在を防止できるものとしている。
そして、該請求項４の形態のものにおいて、前記試料の材質判別結果に対応して、試料を仕分けする仕分け部を備えている請求項５の形態が挙げられる。
これにより、製造ラインにおいて、材質判別結果に対応して、試料を所望の方へ仕分けすることを可能としている。
勿論、ガラス基板の材質の仕分けにも使用できる。
また、アラーム部を備えている請求項６の構成とすることにより、材質判別結果に対応して、材質の混在を作業者等に喚起することができる。
また、出力部を備えている請求項７の構成とすることにより、材質判別の結果等を表示、あるいは印刷して、材質の混在を作業者等に喚起することができ、また、印刷して、材質判別結果の履歴を残し、確認することを可能としている。
勿論、製造ライン上に設置して使用する形態のものでなく、全体をコンパクトにしたハンディタイプの形態としても良い。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、上記のように、従来のオリフラ認識によらずにガラス基板の材質を、簡単にしかも確実に選別できる、材質判別装置の提供を可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は本発明の材質判別装置の実施の形態の１例の概略構成図で、図２は液晶表示装置のカラーフィルタ基板用のガラス基板の材質の透過率特性を示したグラフで、図３は処理の１例を示した処理フロー図で、図４は別の処理例を示した処理フロー図である。
図３中のＳ１１〜Ｓ１９、図４中のＳ２１〜Ｓ３５は処理ステップを示している。
図１〜図２中、１１は光源部、１２は受光部（透過光受光部とも言う）、１３は材質判定処理部、１４はデータベース、１５は表示部（出力部とも言う）、１６はアラーム部、１７は仕分け部、１８は搬送方向、２０は試料（ガラス基板とも言う）である。
【００１１】
はじめに、本発明の材質判別装置の実施の形態の１例を、図１に基づいて説明する。
本例の材質判別装置は、無アルカリガラス基板を用いて液晶表示装置のカラーフィルタ基板を形成する製造ラインにおいて、ガラス基板の材質を判別するための材質判別装置で、材質を判別しようとする試料２０の材質が、予め知られている異なる複数Ｎ種類の材質の中のどれかに該当する場合に、前記試料２０に検査光１１ａを照射し、その透過光１１ｂの特性から試料２０の材質を判別する材質判別装置である。
そして、前記複数Ｎ種類の材質について、予め、判別に必要な、透過特性に関するデータを保管しておくデータベース１４と、試料２０へ検査光１１ａを照射するための光源部１１と、前記検査光１１ａによる試料２０からの透過光１１ｂを受光する透過光の受光部１２と、受光部１１ｂの受光結果から、試料２０の透過特性に関する測定データを得て、該測定データと、データベース１４に保管された、材質判別の対象となる複数Ｎ種類の材質についての透過特性に関するデータとを、比較することにより材質の判別処理を行う材質判別処理部１３とを備え、更にまた、材質判別処理部１３の材質判別結果に対応して、試料２０を仕分けする仕分け部１７と、試料２０が目的とする材質のものでない場合に、アラームを出力するアラーム部１６と、材質判別の結果等を表示する表示部１５とを備えている。
そして、前記材質判別処理部１３は、予め、材質判別の対象となる複数Ｎ種類の材質、各々の、透過特性から、前記複数Ｎ種類の各々を判別できる特定波長の組として決められた、１以上ｎ個（ｎは正の整数）の判別波長λｉ（ｉ＝１、２・・・ｎ）の組の、各判別波長において、それぞれ、判別波長における測定データと、該判別波長に対応する前記データベース１４に保管された、Ｎ種類の材質についての透過特性に関するデータとを比較して、試料の材質を判別するものである。
本例における光源部１１は、前記ｎ個の各判別波長λｉ（ｉ＝１、２・・・ｎ）の検査光を、それぞれ個別に選択的に照射することができるもので、各選別波長に対応する光学フィルタにより光源の波長を制御している。
分光器を必要としない構造の為、公知のスペクトル特性( 波形) を用いて材質判別する装置を用いた場合よりも、簡単な装置構成にでき、また、簡単にしかも確実に材質選別できるものとしている。
受光部１２は、例えば、透過率の判別分解能が１．８％で、図２に示す２２８ｎｍ〜２３４ｎｍのλ１波長において、材質Ａ１と材質Ａ２の透過率の差を確実に判断できるものであり、また、２６８〜３０７ｎｍのλ３波長において、材質Ａ３〜材質Ａ７の各材質間の透過率の差を確実に判断できるものである。
材質判別処理部１３は、所定のメモリ部を有し、測定データとデータベース１４から得たデータとの比較を行うことができるものである。
表示部１５、アラーム部１６は、特に限定はされない。
仕分け部１７は、ロボットを用いた仕分けでも、単に搬送ラインを分けるだけの仕分けでもよく、特に限定されない。
【００１２】
図２に示すような透過率特性を有する無アルカリガラスからなる各ガラス基板材質７種、材質Ａ１〜材質Ａ７が汎用的に使用される場合、特定波長による、試料（ガラス基板）２０の材質の判別は、例えば、以下のようにして行う。
試料２０が、予め知られた、図２に示すような、透過率特性を有する各ガラス基板材質７種、材質Ａ１〜材質Ａ７の中のいずれかである場合、材質Ａ１と材質Ａ２とは、２２８ｎｍ〜２３４ｎｍのλ１波長で判別可能で、材質Ａ３と材質Ａ４とは、２３７ｎｍ〜２５６ｎｍのλ２波長あるいは、２６８〜３０７ｎｍのλ３波長で判別可能であり、そしてまた、材質Ａ３〜材質Ａ７は、λ３波長で互いに判別可能であることが分かる。
したがって、対象とする試料が材質Ａ１〜材質Ａ７のいずれかの材質であることが分かっていれば、λ１波長、および、λ３波長の２波長を判別用波長として、それぞれ、各判別波長における測定データと、各判別波長に対応するデータベース１４に保管された、上記の７種類の材質についての透過特性に関するデータとを比較して、試料の材質を特定することができる。
勿論、対象とする試料を、処理対象の目的とする材質であるか否かを判別するだけの場合には、上記波長λ１、λ２、λ３のいずれか１つを選別して検査光１１ａとして用いれば良い。
【００１３】
本例の材質判別装置の処理例を、図３に基づいて説明する。
尚、これを以って各部の動作説明にも代える。
本処理例は、試料が材質Ａ１〜材質Ａ７の中の、処理対象の材質であるか否かを判別する例である。
そして、材質Ａ１〜材質Ａ７について、予め、データベース１４に、少なくとも、これらを判別できる波長λ１、λ３における透過率に関するデータを保管しており、試料２０の材質を判別して、処理対象の材質である場合には、試料２０を処理ラインに流し、それ以外の材質である場合には、試料２０を回収ラインに流すものである。
先ず、処理対象のガラス基板の材質を決定し（Ｓ１１）、処理対象の材質を判別できる特定波長λを決める。（Ｓ１２）
処理対象のガラス基板の材質が、材質Ａ１あるいは材質Ａ２である場合には、特定波長λとしては前述のλ１にし、また、それ以外の材質である場合には、特定波長λとしては前述のλ３とする。
次いで、特定波長λの光を検査光１１ａとして、光源部１１から試料２０に照射し、その透過光１１ｂを受光部１２にて受光し、試料２０の特定波長λにおける透過率を測定データとして得る。（Ｓ１３）
次いで、材質判別処理部１３において、得られた特定波長λにおける透過率の測定データと、該特定波長λに対応する、データベース１４に保管されている各材質の透過率のデータとを、それぞれ、比較することにより、試料２０の材質を特定する。（Ｓ１４）
その結果を表示部１５により表示する。（Ｓ１５）
そして、試料２０が処理対象の材質である場合（Ｓ１６）には、仕分け部１７により、処理ラインに流し（Ｓ１７）、試料２０が処理対象の材質でない場合（Ｓ１６）には、アラーム部１６によりアラームを発生し（Ｓ１８）、仕分け部１７により、試料２０を回収ラインに流す。（Ｓ１９）
【００１４】
次に、別の処理例を、図４に基づいて説明する。
本処理例は、試料が材質Ａ１〜材質Ａ７の中の、どの材質であるかを判別する例である。
そして、材質Ａ１〜材質Ａ７について、予め、データベース１４に、少なくとも、これらを判別できる波長λ１、λ３における透過率に関するデータを保管しており、試料の材質が材質Ａ１の場合は、所定のライン１に試料を流し、試料の材質が材質Ａ７の場合には、所定のライン２に試料を流し、且つ、それ以外の材質の場合にはアラームを発生し、試料を回収ラインに流すものである。
先ず、試料を、透過率を測定する位置に配置し、特定波長λ１の検査光、λ３の検査光にて、それぞれ、試料の検査光を照射して、その透過光を受光することにより、それぞれ、特定波長λ１、λ３における透過率データを測定データとして得る。（Ｓ２１）
次いで、材質判別処理部１３において、先ず、λ１波長において、測定データと、データベースの対応する各材質のデータとを比較する。（Ｓ２２）
これにより、対象とする試料２０が材質Ａ１である（Ｓ２４）か、あるいは材質Ａ２である（Ｓ２３）か、あるいは、残りの材質Ａ３〜材質Ａ７のいずれかである（Ｓ２５）か、を判別できる。
試料２０が材質Ａ１であると判別された場合（Ｓ２４）、結果を表示部１５に表示し、仕分け部１７において該試料２０を材質Ａ１用の処理ラインである所定のライン１（図示していない）に流す。（Ｓ３３）
試料２０が材質Ａ２であると判別された場合（Ｓ２３）、結果を表示部１５に表示し、アラーム部１６によりアラームを発生し、仕分け部１７において該試料２０を回収ラインに流す。（Ｓ３５）
試料２０が材質Ａ２でも、材質Ａ１でもないと判別された場合（Ｓ２５）、即ち、残りの材質Ａ３〜材質Ａ７のいずれかであると判別された場合には、λ３波長において、測定データと、データベースの対応する各材質のデータとを比較する。（Ｓ２６）
そして、試料２０が材質Ａ７と判別された場合（Ｓ３１）には、結果を表示部１５に表示し、仕分け部１７において該試料２０を材質Ａ７用の処理ラインである所定のライン２（図示していない）に流す。（Ｓ３２）
そしてまた、試料２０が材質Ａ３〜材質Ａ６の中のいずれかに判別された場合（Ｓ２７〜Ｓ３０）、結果を表示部１５に表示し、アラーム部１６によりアラームを発生し、仕分け部１７において該試料２０を回収ラインに流す。（Ｓ３５）
【００１５】
本発明の材質判別装置は、本例に限定されるものではない。
本例の第１の変形例としては、図１に示す実施の形態例において、受光部が試料からの検査光の反射光を受光する形態のもので、且つ、特定波長における各材質の反射率データを保管したデータベースを備え、材質判別処理部において、特定波長において、試料の反射率の測定データと、各材質の反射率データとを比較するものが挙げられる。
尚、判別対象の透過特性や反射特性と、受光部の分解能に応じて、適宜、検査光の波長を選定する必要がある。
第２の変形例としては、本例と第１の変形例の折衷で、試料の透過光を受光する透過受光部と、試料の反射光を受光する反射受光部とをともに備えた形態が挙げられる。
この場合、判別する材質によっては、検査光として透過光を用いるか、反射光を用いるか適宜選択できる形態とすることができる。
尚、各変形例については、各部や、その処理は、基本的に、本例と同じで、ここでは説明を省く。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の材質判別装置の実施の形態の１例の概略構成図である。
【図２】液晶表示装置のカラーフィルタ基板用のガラス基板の材質の透過率特性を示したグラフである。
【図３】処理の１例を示した処理フロー図である。
【図４】別の処理例を示した処理フロー図である。
【図５】従来、材質判別用の切り欠き部を用けたガラス基板を示した図である。
【符号の説明】
【００１７】
１１            光源部
１２            受光部（透過光受光部とも言う）
１３            材質判定処理部
１４            データベース
１５            表示部（出力部とも言う）
１６            アラーム部
１７            仕分け部
１８            搬送方向
２０            試料（ガラス基板とも言う）
【図１】
2006170831.tif 000003
【図２】
2006170831.tif 000004
【図３】
2006170831.tif 000005
【図４】
2006170831.tif 000006
【図５】
2006170831.tif 000007