(57)【要約】      （修正有）【課題】輝尽性蛍光体膜の全体的の物性を把握する。【解決手段】所定の基板上に輝尽性蛍光体膜を形成し（ステップＳ１）、前記輝尽性蛍光体膜に紫外線を照射して前記輝尽性蛍光体膜を瞬時発光させ、その瞬時発光された蛍光の色度を測定する（ステップＳ２）。色度の測定結果から輝尽性蛍光体膜の発光素子量および膜厚を算出する。【選択図】図４
2006162474.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の基板上に輝尽性蛍光体膜を形成し、前記輝尽性蛍光体膜に紫外線を照射して前記輝尽性蛍光体膜を瞬時発光させ、その瞬時発光された蛍光の色度を測定することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の放射線画像変換パネルの製造方法において、
前記蛍光の色度の測定結果から、前記輝尽性蛍光体膜の発光素子量を算出することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の放射線画像変換パネルの製造方法において、
前記蛍光の色度の測定結果から、前記輝尽性蛍光体膜の膜厚を算出することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
【請求項４】
所定の基板上に輝尽性蛍光体膜を形成する輝尽性蛍光体膜形成装置と、
前記輝尽性蛍光体膜に紫外線を照射して前記輝尽性蛍光体膜を瞬時発光させる照射装置と、
前記輝尽性蛍光体膜から瞬時発光された蛍光の色度を測定する色度測定装置と、
を備えることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造システム。
【請求項５】
請求項４に記載の放射線画像変換パネルの製造システムにおいて、
前記測定装置の測定結果から、前記輝尽性蛍光体膜の発光素子量を算出する算出装置を備えることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造システム。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の放射線画像変換パネルの製造システムにおいて、
前記測定装置の測定結果から、前記輝尽性蛍光体膜の膜厚を算出する算出装置を備えることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被写体の放射線画像を形成する際に用いられる放射線画像変換パネルの製造方法及び製造システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、Ｘ線画像のような放射線画像は医療現場において病状の診断に広く用いられている。特に、増感紙−フィルム系による放射線画像は、長い歴史のなかで高感度化と高画質化が図られた結果、高い信頼性と優れたコストパフォーマンスを併せ持った撮像システムとして、いまなお、世界中の医療現場で用いられている。近年では、輝尽性蛍光体を放射線画像変換パネルの一要部として用いたコンピューテッドラジオグラフィー（ＣＲ（computed radiography））も商品化され、高感度化及び画質の改善が日夜続けられている。
【０００３】
上記「輝尽性蛍光体」というのは、被写体を透過した放射線を蓄積して、励起光の照射等により、蓄積した放射線をその線量に応じた強度で輝尽発光するものであり、放射線画像変換パネルにおいて所定の基板上に膜状に形成されるものである。そのような放射線画像変換パネルの製造方法の一例が特許文献１に開示されている。特許文献１に記載の製造方法では、所定の基板上に輝尽性蛍光体膜を成膜し、輝尽性蛍光体膜に電子線を照射して当該輝尽性蛍光体膜を発光させ、当該輝尽性蛍光体膜の発光強度を測定し、その測定結果から当該輝尽性蛍光体膜の膜厚を算出している（段落番号００４１〜００４５参照）。
【特許文献１】特開２００４−１２４１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、輝尽性蛍光体膜の発光強度を単に測定しているだけで、輝尽性蛍光体膜から発光される光のスペクトル分布まで測定するには至っていない。そのため、特許文献１に記載の技術で測定した輝尽性蛍光体膜の膜厚は局所的なものであって、輝尽性蛍光体膜の局所的な物性しか把握することができず、輝尽性蛍光体膜の全体的な物性を把握することはできない。
本発明の目的は、輝尽性蛍光体膜の全体的の物性を把握することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため請求項１に記載の放射線画像変換パネルの製造方法は、
所定の基板上に輝尽性蛍光体膜を形成し、前記輝尽性蛍光体膜に紫外線を照射して前記輝尽性蛍光体膜を瞬時発光させ、その瞬時発光された蛍光の色度を測定することを特徴としている。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、
請求項１に記載の放射線画像変換パネルの製造方法において、
前記蛍光の色度の測定結果から、前記輝尽性蛍光体膜の発光素子量を算出することを特徴としている。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、
請求項１又は２に記載の放射線画像変換パネルの製造方法において、
前記蛍光の色度の測定結果から、前記輝尽性蛍光体膜の膜厚を算出することを特徴としている。
【０００８】
請求項４に記載の発明の放射線画像変換パネルの製造システムは、
所定の基板上に輝尽性蛍光体膜を形成する輝尽性蛍光体膜形成装置と、
前記輝尽性蛍光体膜に紫外線を照射して前記輝尽性蛍光体膜を瞬時発光させる照射装置と、
前記輝尽性蛍光体膜から瞬時発光された蛍光の色度を測定する色度測定装置と、
を備えることを特徴としている。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、
請求項４に記載の放射線画像変換パネルの製造システムにおいて、
前記測定装置の測定結果から、前記輝尽性蛍光体膜の発光素子量を算出する算出装置を備えることを特徴としている。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、
請求項４又は５に記載の放射線画像変換パネルの製造システムにおいて、
前記測定装置の測定結果から、前記輝尽性蛍光体膜の膜厚を算出する算出装置を備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１〜３の発明では、輝尽性蛍光体膜が瞬時発光したときの蛍光の色度を測定するため、その測定結果から、輝尽性蛍光体膜の色度はもとより当該色度から輝尽性蛍光体膜のスペクトル分布等まで算出することができる。そのため、輝尽性蛍光体膜の局所的な物性から輝尽性蛍光体膜の全体的な物性まで、輝尽性蛍光体膜の物性を幅広く把握することができる。
【００１２】
請求項４〜６の発明では、測定装置を備えるため、測定装置の測定結果から、輝尽性蛍光体膜の色度はもとより当該色度から輝尽性蛍光体膜のスペクトル分布等まで算出することができる。そのため、輝尽性蛍光体膜の局所的な物性から輝尽性蛍光体膜の全体的な物性まで、輝尽性蛍光体膜の物性を幅広く把握することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態について説明する。ただし、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲は以下の実施形態及び図示例に限定されるものではない。
【００１４】
図１は放射線画像変換パネル１の概略構成を示す断面図である。
図１に示す通り、放射線画像変換パネル１は所定の基板２を有しており、当該基板２上に輝尽性蛍光体膜３が形成されている。
【００１５】
基板２は、高分子材料，ガラス，金属等で構成されており、特に、セルロースアセテートフィルム，ポリエステルフィルム，ポリエチレンテレフタレート，ポリアミドフィルム，ポリイミドフィルム，トリアセテートフィルム，ポリカーボネートフィルム等のプラスチックフィルム、石英，ホウ珪酸ガラス，化学的強化ガラス等の板ガラス、又はアルミニウム，鉄，銅，クロム等の金属シート若しくはそれら金属酸化物の被覆層を有する金属シートで構成されているのがよい。
【００１６】
輝尽性蛍光体膜３は、ＣｓＢｒ：Ｅｕ等のユーロピウム付活ハロゲン化セシウム系の輝尽性蛍光体から構成されており、公知の蒸着処理で形成されている。
【００１７】
放射線画像変換パネル１は、基板２及び輝尽性蛍光体膜３が２枚の防湿性の保護フィルム４，４間に封止されている。詳しくは、各保護フィルム４，４の周縁部同士が基板２及び輝尽性蛍光体膜３の全周にわたって融着されており、基板２及び輝尽性蛍光体膜３が当該保護フィルム４，４で完全に封止され、輝尽性蛍光体膜３への水分の浸入が確実に防止されている。
【００１８】
図２は、本発明に係る「放射線画像変換パネル１の製造システム５」の概略構成を示すブロック図である。
図２に示す通り、放射線画像変換パネル１の製造システム５では、基板２に輝尽性蛍光体を蒸着して当該基板２に輝尽性蛍光体膜３を形成する蒸着装置１０と、輝尽性蛍光体膜３を化学的に活性化する活性化装置２０と、輝尽性蛍光体膜３が形成された基板２を樹脂フィルムで封止する封止装置３０とが、設けられている。
【００１９】
蒸着装置１０には、輝尽性蛍光体膜３に紫外線を照射して当該輝尽性蛍光体膜３から瞬時に発光される光の色度（青，赤，緑の３原色を基準として色の種別を数量的に規定したもの）を測定する色度測定装置４０が配されている。放射線画像変換パネル１の製造システム５では、色度測定装置４０の測定結果から、蒸着装置１０による蒸着処理の条件と、活性化装置２０による活性化処理の条件とを、適宜変更することができるようになっている。
【００２０】
図３は蒸着装置１０及び色度測定装置４０の概略構成を示す図面である。
図３に示す通り、蒸着装置１０は蒸着炉１１を有している。蒸着炉１１の内部には坩堝１２が配されており、蒸着炉１１の側部には光透過性の透過窓１３が配されている。
【００２１】
色度測定装置４０は紫外線を発する紫外線光源４１を有している。紫外線光源４１は輝尽性蛍光体膜３を励起させるための励起光を発するものであり、具体的には波長２５５ｎｍ前後の光又は波長３６５ｎｍ前後の光を発するようになっている。紫外線光源４１は蒸着炉１１の外部であって透過窓１３と対向する位置に配されており、紫外線光源４１から発された紫外線は透過窓１３を透過して蒸着炉１１の内部に伝播するようになっている。
【００２２】
蒸着炉１１の内部にはポリゴンミラ４２が配されている。ポリゴンミラ４２は紫外線光源４１の紫外線を受光可能な位置に配されており、紫外線光源４１の紫外線を自ら回転しながら輝尽性蛍光体膜３に照射するようになっている（図３中実線参照）。ポリゴンミラ４２は、輝尽性蛍光体膜３が紫外線を受けて瞬時発光すると、その光（蛍光）を受光して蒸着炉１１の内部から外部に透過窓１３を介して伝播させるようになっている（図３中点線参照）。
【００２３】
紫外線光源４１の近傍であって透過窓１３と対向する位置には光学センサ４３が配されている。光学センサ４３は透過窓１３を透過してきた蛍光を検出するセンサであり、輝尽性蛍光体膜３が瞬時発光した蛍光を検出するようになっている。光学センサ４３にはコンピュータ４４が接続されており、コンピュータ４４が光学センサ４３の検出結果に基づき輝尽性蛍光体膜３の瞬時発光の色度を測定するようになっている。
【００２４】
色度測定装置４０は上記した紫外線光源４１、ポリゴンミラ４２、光学センサ４３及びコンピュータ４４を含むものであり、主にはこれらの部材から構成されている。
【００２５】
続いて、本発明に係る放射線画像変換パネル１の製造方法について図４を参照しながら説明する。
【００２６】
図４は放射線画像変換パネル１の製造方法の概略を示すフローチャートである。
放射線画像変換パネル１の製造方法は、上記で説明した放射線画像変換パネル１の製造システム５を援用するもので、始めに、輝尽性蛍光体膜形成装置としての蒸着装置１０を用いて予め設定した蒸着条件で基板２上に輝尽性蛍光体膜３を形成する（ステップＳ１）。
【００２７】
具体的には、図３に示す通り、蒸着装置１０の蒸着炉１１の内部に基板２を設置し、蒸着炉１１の内部を排気してハロゲン化水素雰囲気下の真空状態とする。その後、抵抗加熱法，エレクトロンビーム法等の方法により、輝尽性蛍光体を蒸着源として坩堝１２から当該輝尽性蛍光体を蒸発させ、輝尽性蛍光体膜３を基板２上に形成する。
【００２８】
ステップＳ１の処理を終えたら、色度測定装置４０を用いて輝尽性蛍光体膜３が瞬時発光した蛍光の色度を測定する（ステップＳ２）。
【００２９】
具体的には、図３に示す通り、紫外線光源４１から紫外線を発させた状態で、ポリゴンミラ４２を回転させて当該紫外線を輝尽性蛍光体膜３に照射する。このとき、輝尽性蛍光体膜３が紫外線を受けて瞬時発光するため、その蛍光を光学センサ４３で検出する。そして光学センサ４３の検出結果を受けて、コンピュータ４４により、輝尽性蛍光体膜３が瞬時発光した蛍光の色度を測定する。
【００３０】
更にステップＳ２の処理では、算出装置としてのコンピュータ４４を用いて、測定した蛍光の色度から、輝尽性蛍光体膜３のスペクトル分布を算出するとともに、図５（ａ），（ｂ）に示すようにＥｕ濃度を算出して、輝尽性蛍光体膜３の各部位の膜厚と発光素子量（Ｅｕ量）とを当該輝尽性蛍光体膜３の全体にわたって算出するようになっている。すなわち、ステップＳ２の処理では、色度測定装置４０（コンピュータ４４を含む。）が蛍光の色度を測定し、その測定結果から、コンピュータ４４が輝尽性蛍光体膜３のスペクトル分布、膜厚及び発光素子量をも算出するようになっている。
【００３１】
ステップＳ２の処理を終えたら、ステップＳ２の処理で測定・算出した結果が一定基準を満たす良好なものか否かを判断する（ステップＳ３）。すなわち、ステップＳ２で算出した（１）スペクトル分布が所定の分布となっているか（２）膜厚が所定値に達しているか（３）発光素子量が所定値に達しているか、をそれぞれ判断する。
【００３２】
ステップＳ３の処理において、上記（１）〜（３）の全ての条件を満たし結果が良好であると判断したら、活性化装置３０を用いて、輝尽性蛍光体膜３に対し予め設定した活性化条件で周知の加熱処理，プラズマ処理等の処理を施して輝尽性蛍光体膜３を活性化する（ステップＳ４）。
【００３３】
ステップＳ３の処理において、上記（１）〜（３）の条件のうち１つでも条件を満たさず結果が良好でないと判断したら、ステップＳ１の処理で輝尽性蛍光体膜３を形成した基板２の後続の基板２に対し、ステップＳ１の処理とは異なる蒸着条件で、ステップＳ１の処理と同様の蒸着処理を実行する（ステップＳ５）。すなわち、ステップＳ１の処理で製造順がｎ番目の基板２に輝尽性蛍光体膜３を形成したとしたら、ステップＳ１の処理の蒸着条件を変更し、その変更した蒸着条件で、（ｎ＋１）番目の基板２に対しステップＳ１の処理と同様の蒸着処理を実行する（ステップＳ１の処理をステップＳ５の処理に置き換える）。
【００３４】
「蒸着条件」とは、蒸着炉１１の内部の真空度，ハロゲン化水素の分圧，坩堝１２の温度，蒸着炉１１の内部の温度，基板２の温度等のことであり、ステップＳ５の処理では、これら複数の条件のうち少なくとも１つの条件を変更した状態で蒸着処理を実行する。
【００３５】
更にステップＳ３の処理において、上記（１）〜（３）の条件のうち１つでも条件を満たさず結果が良好でないと判断したら、活性化装置３０を用いて、輝尽性蛍光体膜３に対し予め設定していた活性化条件（ステップＳ４の処理の活性化条件）とは異なる活性化条件で周知の加熱処理，プラズマ処理等の処理を施して輝尽性蛍光体膜３を活性化する（ステップＳ６）。すなわち、予め設定していた活性化条件を変更し、その変更した活性化条件で活性化処理を実行する。
【００３６】
「活性化条件」とは、加熱処理における加熱時間，加熱温度やプラズマ処理におけるプラズマ照射時間，プラズマ照射強度等のことであり、ステップＳ６の処理では、これら複数の条件のうち少なくとも１つの条件を当初の条件から変更した状態で活性化処理を実行する。
【００３７】
ステップＳ４，Ｓ６の処理を終えたら、封止装置３０を用いて基板２及び輝尽性蛍光体膜３を２枚の保護フィルム４，４間に封止する（ステップＳ７）。このように、ステップＳ１からステップＳ７までの各処理を実行することで、放射線画像変換パネル１を製造することができる。
【００３８】
以上の本実施形態では、ステップＳ２の処理において輝尽性蛍光体膜３が瞬時発光したときの蛍光の色度を測定し、その測定結果から、輝尽性蛍光体膜３のスペクトル分布や輝尽性蛍光体膜３の全体にわたる膜厚及び発光素子量まで算出するようになっている。そのため、輝尽性蛍光体膜３の局所的な物性から輝尽性蛍光体膜３の全体的な物性まで、輝尽性蛍光体膜３の物性を幅広く把握することができ、その知見をステップＳ３の処理以降の処理に有効に活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】放射線画像変換パネル１の概略構成を示す断面図である。
【図２】放射線画像変換パネル１の製造システム５の概略構成を示すブロック図である。
【図３】蒸着装置１０及び色度測定装置４０の概略構成を示す図面である。
【図４】放射線画像変換パネル１の製造方法の概略を示すフローチャートである。
【図５】色度とＥｕ濃度との相関関係の一例を示す図面である。
【符号の説明】
【００４０】
１  放射線画像変換パネル
２  基板
３  輝尽性蛍光体膜
４  保護フィルム
５  放射線画像変換パネルの製造システム
１０  蒸着装置（輝尽性蛍光体膜形成装置）
２０  活性化装置
３０  封止装置
４０  色度測定装置
４４  コンピュータ（算出装置）
【図１】
2006162474.tif 000003
【図２】
2006162474.tif 000004
【図３】
2006162474.tif 000005
【図４】
2006162474.tif 000006
【図５】
2006162474.tif 000007