(57)【要約】  【課題】  保護層を厚くすることをせずに、ピンホール、水銀消耗を極力なくすことが可能な誘電体バリア放電型の低圧放電ランプを提供すること。  【解決手段】  誘電体バリア放電型の低圧放電ランプにおいて、ガラスバルブ１５内面の、外部電極１８、１９の配設部分に対応する領域に、薄膜１２、１３として、金属酸化物としての酸化イットリウムの連続薄膜を配置する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスバルブの一方端側における端部の外周に第１の外部電極が、他方端側における端部の外周に第２の外部電極がそれぞれ配設されている誘電体バリア放電型の低圧放電ランプにおいて、
前記ガラスバルブ内面の、少なくとも前記各外部電極が配設されている部分に対応する領域に、金属酸化物の連続薄膜が保護膜として形成されていることを特徴とする低圧放電ランプ。
【請求項２】
ガラスバルブの一方端側における端部の外周に第１の外部電極が、他方端側における端部の外周に第２の外部電極がそれぞれ配設されている誘電体バリア放電型の低圧放電ランプにおいて、
前記ガラスバルブ内面の、少なくとも前記各外部電極が配設されている部分に対応する領域に、金属酸化物の紛体と金属酸化物の連続薄膜とを含む保護膜が形成されており、
前記保護膜は、前記金属酸化物の連続薄膜により前記金属酸化物の紛体間が連続した橋掛け状態でかつ前記金属酸化物の紛体間に隙間を有した状態で接続されてなることを特徴とする低圧放電ランプ。
【請求項３】
前記保護膜は、前記ガラスバルブ内面の略全面に形成されていることを特徴する請求項１または２に記載の低圧放電ランプ。
【請求項４】
前記ガラスバルブの長手方向において、前記ガラスバルブ中央側における前記第１の外部電極の端部の位置を第１の位置、前記ガラスバルブ中央側における前記第２の外部電極の端部の位置を第２の位置としたとき、前記ガラスバルブ内面の、前記第１の位置と前記第２の位置との間の領域に前記保護膜を介して蛍光体層が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の低圧放電ランプ。
【請求項５】
前記ガラスバルブの長手方向において、
前記ガラスバルブ内面における前記ガラスバルブ一方端側の端面を第１の端面、前記ガラスバルブ他方端側の端面を第２の端面とし、前記ガラスバルブ一方端側における前記第１の外部電極の端部と前記第１の端面との間の距離をＳ１、前記ガラスバルブ他方端側における前記第２の外部電極の端部と前記第２の端面との間の距離をＳ２としたとき、距離Ｓ１、Ｓ２が、０≦Ｓ１＜０．５（ｍｍ）、０≦Ｓ２＜０．５（ｍｍ）の範囲内にあることを特徴とする請求項３または４に記載の低圧放電ランプ。
【請求項６】
前記ガラスバルブの長手方向において、
前記ガラスバルブ内面における前記ガラスバルブ一方端側の端面を第１の端面、前記ガラスバルブ他方端側の端面を第２の端面とし、前記ガラスバルブ一方端側における前記第１の外部電極の端部と前記第１の端面との間の距離をＳ１、前記ガラスバルブ他方端側における前記第２の外部電極の端部と前記第２の端面との間の距離をＳ２としたとき、距離Ｓ１、Ｓ２が、Ｓ１≧０．５（ｍｍ）、Ｓ２≧０．５（ｍｍ）であることを特徴とする請求項１または２に記載の低圧放電ランプ。
【請求項７】
前記金属酸化物の連続薄膜は、イットリウム化合物、チタン化合物、亜鉛化合物、マグネシウム化合物、珪素化合物およびアルミニウム化合物のいずれか一を含む材料から形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の低圧放電ランプ。
【請求項８】
前記第１の外部電極と前記第２の外部電極の少なくとも一方の外部電極には、その外部電極の外周面の少なくとも一部を包囲して接続されたキャップ形状またはスリーブ形状の金属部材が設けられており、
前記ガラスバルブ中央側における前記金属部材の端部が、当該金属部材と接続されている外部電極の前記ガラスバルブ中央側における端部の位置から前記ガラスバルブ中央に向かう方向とは反対の方向に間隔ｄをあけて配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の低圧放電ランプ。
【請求項９】
光源として、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の低圧放電ランプを搭載したことを特徴とするバックライトユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電型の低圧放電ランプ及びバックライトユニットに関し、特にガラスバルブ内面に薄膜を形成する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置のバックライトユニット用の光源は、従来、ガラスバルブの内部に電極を備える冷陰極型のランプが主であったが、近年、ガラスバルブの外部に電極を備える誘電体バリア放電型のランプが検討されている。
この理由は、例えば複数のランプを用いてバックライトユニットを構成する場合、内部に電極を備える冷陰極型ランプでは各ランプにつき安定器が必要であるのに対し、誘電体バリア放電型のランプでは、前記安定器が不要であるため、ランプを点灯させるための点灯回路や配線等が簡単になるからである。
【０００３】
この誘電体バリア放電型のランプは、ガラス管の両端が封止されて形成された放電空間に水銀と希ガスの混合ガス等の放電媒体が封入されてなるガラスバルブと、当該ガラスバルブの両端側のそれぞれの部分の外周に第１と第２の外部電極を備えている。
誘電体バリア放電型のランプでは、第１と第２の外部電極間に高周波電圧を供給すると、両電極の内側のガラス部分が誘電体として機能することにより、ガラスバルブ内の水銀蒸気中の放電によって放射される紫外線がガラス管内周面に形成された蛍光体層に当たって蛍光が発せられる構成になっている。
【０００４】
このような構成では、ガラス管の、第１と第２の外部電極の配設部分の内周面にイオン化された水銀等の物質が集中し易くその壁面への衝突によりガラス管にピンホールができることがある。そこで、従来からガラス管内周面の両電極配設部分に対応する領域に金属酸化物の保護層を形成する技術が提案されている（例えば、特許文献１）。
このような保護層は、通常、酸化イットリウム等の金属酸化物の粉末を水等の溶媒中に混合分散させた懸濁液を調製し、その懸濁液をガラス管内部に流し込んで内面に付着させ、付着された懸濁液を乾燥させた後、焼成することにより形成される。
【特許文献１】特開２００３−１７００５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような方法により保護層を形成してもピンホールができたり水銀消耗が発生するといった問題がある。
すなわち、保護層は、微視的に見ると金属酸化物の粒子として、それそれが球に近いものや角ばったもの、いびつなものなど大きさも形状もばらばらな多数の粒子がガラス管内周面上に積み重なった状態で形成されている。そのため、粒子間に隙間（細孔）が出来易く、さらにランプ寿命に至るまでの間にその粒子が崩れてガラス管内周面が放電空間に露出するといったこともあり、そのような隙間や露出部分にイオン化された水銀粒子が飛び込んでガラス管内周面に衝突し、ピンホールができたり、ガラス管内に打ち込まれて止まったままになり水銀蒸気として機能しなくなる、いわゆる水銀消耗が発生してしまうものである。
【０００６】
このような粒子間の隙間や露出を極力なくすようにするには、保護層の厚みをより厚くすることが考えられるが、保護層を厚くするとその分静電容量が小さくなって結果的にランプ効率の低下をもたらすので極力薄くする必要があり、誘電体バリア放電型においては保護層をむやみに厚くすることはできない。
本発明は、上記のような問題点を鑑みてなされたものであって、保護層を厚くすることをせずに、ピンホールおよび水銀消耗の発生を極力なくすことが可能な誘電体バリア放電型の低圧放電ランプおよびバックライトユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る低圧放電ランプは、ガラスバルブの一方端側における端部の外周に第１の外部電極が、他方端側における端部の外周に第２の外部電極がそれぞれ配設されている誘電体バリア放電型の低圧放電ランプにおいて、前記ガラスバルブ内面の、少なくとも前記各外部電極が配設されている部分に対応する領域に、金属酸化物の連続薄膜が保護膜として形成されていることを特徴としている。
【０００８】
ここで、連続薄膜とは、金属酸化物の微粒子からなる層のように微粒子が積み重なって層が形成されるため隣接する微粒子間に隙間が生じるものとは異なり、実質的に粒子界面を有しない膜であり、本発明の効果を損なわない程度に膜を構成する物質が実質連続して繋がっているものを意味する。
本発明のバックライトユニットは、光源として、上記の低圧放電ランプを搭載したことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
このように、保護膜として金属酸化物の連続薄膜が配される構成にしているので、ガラスバルブ内面の、第１と第２の外部電極が配設されている部分に対応する領域が、当該連続薄膜により隙間なく一様に覆われるようになり、従来のように大きさも形状も異なる金属酸化物の粒子を積み重ねて層を形成する場合に、粒子間の隙間を通ってイオン化した水銀等がガラス管内周面に直接衝突してピンホールができたり水銀消耗が発生するといったことを防止できる。
【００１０】
また、ガラスバルブの一方端側における端部の外周に第１の外部電極が、他方端側における端部の外周に第２の外部電極がそれぞれ配設されている誘電体バリア放電型の低圧放電ランプにおいて、前記ガラスバルブ内面の、少なくとも前記各外部電極が配設されている部分に対応する領域に、金属酸化物の紛体と金属酸化物の連続薄膜とを含む保護膜が形成されており、前記保護膜は、前記金属酸化物の連続薄膜により前記金属酸化物の紛体間が連続した橋掛け状態でかつ前記金属酸化物の紛体間に隙間を有した状態で接続されてなることを特徴とする。
【００１１】
これにより、保護膜の厚みをより厚くでき、イオン化した水銀等の衝突によるガラス管のピンホールや水銀消耗の発生のさらなる防止を実現できる。
また、前記保護膜は、前記ガラスバルブ内面の略全面に形成されていることを特徴としている。
このように、保護膜をガラスバルブ内面の外部電極の部分だけでなく略全面に形成することにより、ガラスバルブ全体に渡ってその内面を保護することが可能になる。
【００１２】
さらに、前記ガラスバルブの長手方向において、前記ガラスバルブ中央側における前記第１の外部電極の端部の位置を第１の位置、前記ガラスバルブ中央側における前記第２の外部電極の端部の位置を第２の位置としたとき、前記ガラスバルブ内面の、前記第１の位置と前記第２の位置との間の領域に前記保護膜を介して蛍光体層が形成されていることを特徴としている。
【００１３】
このように、ガラスバルブ長手方向においてガラスバルブ内面の、外部電極の配設部分に対応する領域に蛍光体層を配さない構成にすることにより、放電空間内において当該領域に集まってくる水銀等の物質が蛍光体層に吸着されて消耗するといったことを防止できる。
また、前記ガラスバルブの長手方向において、前記ガラスバルブ内面における前記ガラスバルブ一方端側の端面を第１の端面、前記ガラスバルブ他方端側の端面を第２の端面とし、前記ガラスバルブ一方端側における前記第１の外部電極の端部と前記第１の端面との間の距離をＳ１、前記ガラスバルブ他方端側における前記第２の外部電極の端部と前記第２の端面との間の距離をＳ２としたとき、距離Ｓ１、Ｓ２が、０≦Ｓ１＜０．５（ｍｍ）、０≦Ｓ２＜０．５（ｍｍ）の範囲内にあることを特徴としている。
【００１４】
ガラスバルブ両端側の端面にも保護膜を形成する場合、ガラスバルブ長手方向において、ガラスバルブ端面と外部電極の間の距離を０．５（ｍｍ）内に近接させることが可能になり、保護膜を形成しない場合に、それ以上の距離を確保するためランプ全長を長くするといったことをする必要がなくなる。
また、前記ガラスバルブの長手方向において、前記ガラスバルブ内面における前記ガラスバルブ一方端側の端面を第１の端面、前記ガラスバルブ他方端側の端面を第２の端面とし、前記ガラスバルブ一方端側における前記第１の外部電極の端部と前記第１の端面との間の距離をＳ１、前記ガラスバルブ他方端側における前記第２の外部電極の端部と前記第２の端面との間の距離をＳ２としたとき、距離Ｓ１、Ｓ２が、Ｓ１≧０．５（ｍｍ）、Ｓ２≧０．５（ｍｍ）であることを特徴としている。
【００１５】
このように、ガラスバルブ長手方向において、ガラスバルブ端面と外部電極の間の距離を０．５（ｍｍ）以上離すようにすれば、ランプ全長がその分長くなることになるが、端面に保護膜が形成されていなくてもピンホールの発生を防ぐことができ、端面に保護膜を形成する工程を省くことができる。
さらに、前記金属酸化物の連続薄膜は、イットリウム化合物、チタン化合物、亜鉛化合物、マグネシウム化合物、珪素化合物およびアルミニウム化合物のいずれか一を含む材料から形成されていることを特徴としている。
【００１６】
このようにいずれかの金属酸化物を選択することができ、設計の自由度が広がる。
また、前記第１の外部電極と前記第２の外部電極の少なくとも一方の外部電極には、その外部電極の外周面の少なくとも一部を包囲して接続されたキャップ形状またはスリーブ形状の金属部材が設けられており、前記ガラスバルブ中央側における前記金属部材の端部が、当該金属部材と接続されている外部電極の前記ガラスバルブ中央側における端部の位置から前記ガラスバルブ中央に向かう方向とは反対の方向に間隔ｄをあけて配置されていることを特徴とする。
【００１７】
ここで、前記反対の方向とは、例えば前記金属部材が前記第１の外部電極に接続されている場合には、前記ガラスバルブ長手方向に、前記ガラスバルブ中央側における前記第１の外部電極の端部の位置から前記ガラスバルブ一方端側に向かう方向であり、前記金属部材が前記第２の外部電極に接続されている場合には、前記ガラスバルブ中央側における前記第２の外部電極の端部の位置から前記ガラスバルブ他方端側に向かう方向を意味する。
【００１８】
これにより、ランプ点灯時の金属部材とガラスバルブ間のコロナ放電の発生を抑制でき、コロナ放電により生成されるオゾンによるランプ周辺の樹脂部材等の劣化、短寿命化を防止することができる。
本発明のバックライトユニットは、光源として、ピンホール、水銀消耗の発生を防止できる上記の低圧放電ランプを搭載しているので長寿命である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の誘電体バリア型の低圧放電ランプ（以下、単に、「ランプ」という。）を用いたバックライトユニットについて説明し、その後ランプ及びこのランプの製造方法について説明する。
１．バックライトユニットの概略の構成について
図１は、本実施の形態に係るアスペクト比１６：９の液晶テレビ用の直下方式のバックライトユニット１の構成を示す概略斜視図であり、内部の様子が分かるように拡散板３１、拡散シート３２、レンズシート３３の一部を切り欠いて示している。
【００２０】
バックライトユニット１は、図１に示すように、所定方向（図中のＹ方向）に間隔をおいて１６列に配された直管状のランプ１０と、これらのランプ１０を収納する筐体２０と、この筐体２０の開口部を覆う前面パネル３０とを備える。
筐体２０は、例えばポリエチレンテレフタレイト（ＰＥＴ）樹脂製であって、その内面に銀などの金属が蒸着されて反射面が形成されている。
【００２１】
筐体２０の前面開口部は、拡散板３１、拡散シート３２およびレンズシート３３を積層してなる透光性の前面パネル３０で覆われており、内部に埃などが入り込まないように密閉されている。
前面パネル３０の拡散板３１、拡散シート３２は、ランプ１０から発せられた光を散乱、拡散させるものであり、レンズシート３３は、当該シート３３の法線方向へ光を集めるものであって、これらによりランプ１０から発せられた光が前面パネル３０の表面（発光面）の全体に亘り均一に前方を照射するように構成されている。
【００２２】
筐体２０には、図２に示すソケット台４０が設けられている。ソケット台４０は、１６本のランプ１０の両端を、弾性のあるステンレス、りん青銅等からなる電極ソケット４１、４２に保持し、ランプ点灯させるものである。電極ソケット４１、４２のランプ保持部分の幅ｄ０は、後述の外部電極１８、１９の領域内で保持（当該領域を幅方向にはみ出すことなく保持）できる寸法に設計されている。
【００２３】
ランプ１０は、誘電体バリア放電を利用したものであって、本実施の形態では、水平方向に配列された状態で、電気的に並列接続されている。なお、ここでは、ランプ１０は、その軸心が図中のＸ方向を向くように配列されているが、その軸心がＹ方向を向くように配列しても良い。
２．ランプの構成について
図３は、本実施の形態に係るランプ１０の縦断面図である。
【００２４】
このランプ１０は、ガラス管１１の両端が封止されてなるガラスバルブ１５と、ガラスバルブ１５の、管軸方向（矢印Ｘ方向に平行な方向）両端側の外周に設けられた外部電極１８、１９および当該外部電極１８、１９の外周面の少なくとも一部を包囲するスリーブ形状（円筒状）の金属部材２１、２２を備える。
ガラスバルブ１５内部には放電空間１５１が形成され、この放電空間１５１には、例えば水銀や希ガス（例えば、アルゴン、ネオン）等の放電媒体が所定の封入圧で封入されている。なお、放電媒体は、減圧状態で放電空間１５１内に充填されている。
【００２５】
ガラス管１１は、その横断面形状が円状である。
ガラスバルブ１５内面には、保護膜として金属酸化物の連続薄膜（以下、単に「薄膜」という。）１２、１３が形成されている。
薄膜１２は、ガラスバルブ長手方向（ガラス管の管軸方向）において、封止部１６の放電空間１５１を臨む端面１６ａの位置（図中Ａの位置）からガラスバルブ中央側における外部電極１８の端部１８２の位置（図中Ｂの位置）までの間の領域に形成されている。
【００２６】
一方、薄膜１３は、管軸方向において、位置Ｂから封止部１７の放電空間１５１を臨む端面１７ａの位置（図中Ｄの位置）までの間の領域に形成されている。
薄膜１２、１３は、いわゆるゾル−ゲル法を用いて形成された、ガラス化した化学的に安定な金属酸化物、ここでは酸化イットリウムの連続薄膜であり、従来のような金属酸化物の粉末が積み重なって形成された層ではなく、実質的に粒子界面を有しない膜であり、膜を構成する物質が実質連続して繋がってなり、ここでは膜厚が数百ナノ［ｎｍ]という極めて薄いものになっている。
【００２７】
なお、薄膜１２、１３は、その材料、形成方法、膜厚等が略同じであり同機能を有するものであるが、別々に形成されるので異なる符号を付している。
ガラスバルブ１５内面の、管軸方向において位置Ｂからガラスバルブ中央側における外部電極１９の端部１９１の位置（図中Ｃの位置）までの間の領域には、蛍光体層１４が薄膜１３を介して形成されている。この蛍光体層１４は、粒状の蛍光体粒子が層状に積み重なって層をなしたものであり、厚さ約１０〜２０［μｍ］になっている。同図では、薄膜１２、１３、蛍光体層１４の配置関係をわかり易くするため、その膜厚等について実際のものと縮尺を合わせていない。
【００２８】
蛍光体としては、三波長域用で赤、緑、青発光の３種類が用いられている。具体的には、赤色にユーロピウム付活酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３：Ｅｕ３＋）を、緑色にセリウム・テルビウム付活りん酸ランタン（ＬａＰＯ4：Ｃｅ３＋、Ｔｂ３＋）を、また青色にユーロピウム付活バリウムマグネシウムアルミネート（ＢａＭｇ２Ａｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ２＋）が使用されている。
【００２９】
ガラス管１１には、例えば、ほう珪酸ガラス管が用いられており、外径が約４［ｍｍ］、内径が約３［ｍｍ］である。なお、ランプ１０の全長は、７２０［ｍｍ］である。このガラス管１１の封止は、例えば、ガスバーナーにより端部を加熱溶融させることで行っている。
封止部１６、１７の放電空間１５１を臨む端面（管軸方向においてガラスバルブ内面におけるガラスバルブ一方端側と他方端側の端面）１６ａ、１７ａには、薄膜１６１、１７１が形成されている。この薄膜１６１、１７１も上記薄膜１２、１３と同じもの、すなわち酸化イットリウムの連続薄膜である。なお、端面１７ａには、凹部１７ｂが形成されている。この凹部１７ｂは、後述の封止工程において形成されるものであり、放電空間１５１に突出していないので放電に影響を与えることはない。
【００３０】
外部電極１８，１９は、例えば、銀ペーストがガラスバルブ１５外周の電極形成予定部分に塗布されて構成されている。本実施の形態では、外部電極１８，１９の幅Ｌ１は、２０［ｍｍ］である。
ここでは、管軸方向において、ガラスバルブ一方端側の外部電極１８の端部１８１の位置と、端面１６ａの位置とが略同じになっており、またガラスバルブ他方端側の外部電極１９の端部１９２の位置と、端面１７ａの位置が略同じになっている。
【００３１】
このようにガラスバルブ１５内面の略全面に薄膜１２、１３、１６１、１７１を形成することによりガラス管１１と放電媒体とを離隔するようにしている。なお、外部電極１８、１９は、導電性部材であれば、銀ペーストに限られず、ニッケルペースト、金ペースト等を用いることもできる。
金属部材２１、２２は、電気導電性が良く、かつガラスバルブ１５と熱膨張係数が近い材料、例えばＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ（コバール）からなり、外部電極１８、１９の外表面に密着接続されている。この接続方法としては、例えば焼きバメ法を用い円筒状の金属部材２１、２２をガラスバルブ１５の端部より挿入し、金属部材２１、２２を外部電極１８、１９に密着接続する方法とすることができる。金属部材２１、２２としては、例えば半田を用いるとしても良い。
【００３２】
金属部材２１の管軸方向における両端部２１ａ、２１ｂは、外部電極１８の管軸方向における両端部１８１、１８２よりそれぞれ内側に、間隔ｄ、例えば１［ｍｍ］をあけて設置されている。同様に、金属部材２２の管軸方向における両端部２２ａ、２２ｂは、外部電極１９の管軸方向における両端部１９１、１９２よりそれぞれ内側に間隔ｄをあけて設置されている。
【００３３】
このように間隔ｄをあける構成とすることにより、金属部材２１、２２とガラスバルブ１５間においてランプ点灯時のコロナ放電の発生を抑制することができる。これは、例えば金属部材２１、２２の外部電極１８、１９への接続工程におけるばらつきにより同図破線で示すように金属部材２１の端部２１ｂが外部電極１８の端部１８２よりもガラスバルブ中央の方に飛び出す構成とした場合、金属部材２１とガラスバルブ１５間にすきまαが生じ、金属部材２１とガラスバルブ１５が直接対向し、ランプ点灯時にコロナ放電が発生し易くなるからである。このことは例えば金属部材２２の端部２２ａについても同様である。
【００３４】
コロナ放電が発生するとオゾンが生成され、生成されたオゾンによりランプ周辺の樹脂部材等の劣化が進み短寿命になるおそれがあるが、本実施の形態のように金属部材２１とガラスバルブ１５間にすきまαを有しない構成とすることによりオゾンの発生を抑え、もって短寿命化を防止することが可能になる。なお、金属部材２１、２２の幅方向長さは。３［ｍｍ］以上であることが望ましい。このようにすることにより、金属部材２１、２２が電極ソケット４１、４２に安定に接続保持される。また、間隔ｄは、０［ｍｍ］以上であれば良いが、金属部材２１、２２の外部電極１８、１９への接続工程におけるばらつきを考慮すると、１［ｍｍ］以上とすることが望ましい。また、金属部材２１、２２両方について間隔ｄをあける構成に限られず、少なくとも一方の金属部材に間隔ｄを設ける構成とすることでもオゾン発生の抑制という効果を得られる。このことは、後述の金属部材２７、２８、２９についても同様である。
【００３５】
３．ランプの製造方法
次にランプ１０の製造方法、特にガラスバルブ１５の製造方法について説明する。なお、ガラスバルブ１５の両端外周に設ける外部電極については、従来技術と同じであるため、ここでの説明は省略する。
ガラスバルブ１５は、ガラス管内周面に薄膜１２、１３、蛍光体層１４を形成する形成工程と、形成工程を経たガラス管１１の両端部を封止する封止工程とを経て製造される。
【００３６】
以下、各工程について、図４および図５を用いて説明する。ここでは、上記ランプ１０の構成の説明で具体例として示した寸法のガラスバルブ１５を、ガラス管１００（外径４［ｍｍ］、内径３［ｍｍ］のもの）を用いて製造する場合について説明する。
（１）形成工程
（１−１）薄膜１３の形成
まず、図４（ａ）に示すように、金属酸化物の連続薄膜形成のために調製されたコーティング溶液５１が入ったタンク５０を用意する。コーティング溶液５１としては、金属アルコキシド、ここではイットリウムイソプロポキシド、および加水分解のための水、溶媒としてのアルコールを含む溶液である。
【００３７】
そして、ガラス管１００を垂直に立てると共にその下側の端部をコーティング溶液５１に浸した状態で保持し、図外の真空ポンプの吸引力により、ガラス管１００の上側の端部からガラス管１００内を排気し、その内部を負圧にしてコーティング溶液５１を吸い上げる。
ガラス管１００内に吸い上げられているコーティング溶液５１の液面が位置Ｄ（図３の位置Ｄに相当。以下、図３と同じ符号で示す位置については、図３の位置に相当するものとする。）に達すると、吸い上げを停止して、ガラス管１００の上側の端部を開放する。これにより、吸い上げられたコーティング溶液５１の液面がゆっくりと下降し、下側の開口Ｐから位置Ｄまでのガラス管１００内周面にコーティング溶液５１が付着する。
【００３８】
ガラス管１００を引き上げ、常温で所定時間だけ乾燥させ溶媒を除去した後、所定温度で所定時間加熱する。これにより、金属アルコキシドの加水分解、重合反応が進み、膜厚が数百[ｎｍ]の薄膜１３が形成される。本発明者らは、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）及びＸＭＡ（Ｘ線マイクロアナライザー）等の分析装置により薄膜１３の存在を確認している。
【００３９】
なお、この膜厚については、主にコーティング溶液５１の粘度を変えることにより調整することができる。具体的には、粘度を増大させると膜厚も増大する関係があるので、実験等から最適な粘度のコーティング溶液５１が調製される。
また、上記所定温度の設定条件を変えることにより、薄膜１３を（ａ）非晶質、（ｂ）非晶質と結晶質の混合、（ｃ）結晶質のいずれかの状態のものにすることができる。すなわち、薄膜１３として非晶質膜や、非晶質と結晶質の混合膜等を形成することができる。
【００４０】
（１−２）蛍光体層１４の形成
蛍光体層１４の形成では、まず蛍光体層形成のために調製された懸濁液６１が入ったタンク６０を用意する。この懸濁液６１は、蛍光体粒子、増粘剤、結着剤等を水等の溶媒中に混合分散させた溶液である。
そして、図４（ｂ）に示すように、薄膜１３形成後のガラス管１００を開口Ｐが下側に位置するようにして垂直に立て、下側の端部を懸濁液６１に浸した状態で保持し、薄膜１３のときと同様にして懸濁液６１を吸い上げる。ガラス管１００内に吸い上げられている懸濁液６１の液面が位置Ｃに達すると、吸い上げを停止して、ガラス管１００の上側の端部を開放する。これにより、吸い上げられた懸濁液６１の液面がゆっくりと下降し、ガラス管１００内周面の位置Ｃから開口Ｐまでの部分に懸濁液６１が薄膜１３を介して付着されることになる。
【００４１】
ここで、懸濁液６１の吸い上げを位置Ｃで停止させる（位置Ｄまで吸い上げない）のは、ガラス管１００の内周面の、外部電極１９の配設部分に対応する領域（位置Ｃから位置Ｄまでの領域）に蛍光体層１４を形成させないようにするためである。すなわち、蛍光体層１４の形成により誘電体としてのガラス管の厚みが増大し、静電容量が低下することを防止するためである。
【００４２】
次に、ガラス管１００を引き上げ、その内部に所定温度、例えば常温のエアを吹き込んで、ガラス管１００内周面に付着している溶液を乾燥させた後、所定の温度で加熱する。これにより、蛍光体層１４が薄膜１３の上に形成されることになる。
（１−３）蛍光体の部分除去
次に、ガラス管１００内周面の、外部電極１８の配設部分に対応する領域（位置Ｂから位置Ａまでの領域）の蛍光体を、例えば機械的に除去する。
【００４３】
具体的には、針金状やブラシ状の部材をガラス管１００の開口Ｐからガラス管１００内部に挿入し、挿入された部分を除去すべき蛍光体に押し付けながら、ガラス管１００または当該部材を管軸周りに回転させることにより、蛍光体を削剥させるものである。
この削剥による蛍光体除去は、上記の外部電極１９に対応する領域に蛍光体を形成させないようにしたことと同じ理由（静電容量の低下防止）によるものである。
【００４４】
なお、削剥という方法では、蛍光体層１４だけを削り薄膜１３を残すといったことが困難であり、また位置Ａを境に削る部分と削らない部分を分けるよりも位置Ｂから開口Ｐまでの間をひといきに削剥した方が作業が容易なことから、本実施の形態では位置Ｂから開口Ｐまでの領域について蛍光体と一緒に薄膜１３も削剥するようにしている（図４（ｃ）の破線部分）。
【００４５】
（１−４）薄膜１２の形成
この工程は、上記（１−３）の工程で蛍光体を削剥した部分に薄膜１２を形成する工程である。薄膜１２は、上記薄膜１３と同じものであり、その形成方法も基本的に同じである。
すなわち、図４（ｄ）に示すように、ガラス管１００を開口Ｐが下側に位置するように垂直に立て、下側の端部をタンク５０内に入れられたコーティング溶液５１に浸した状態で保持し、コーティング溶液５１をその液面が位置Ｆ（ここでは、位置Ｂよりも約３ｍｍ上方の位置）に達するまで吸い上げる。
【００４６】
コーティング溶液５１を位置Ｂよりも上方の位置Ｆまで吸い上げるのは、位置Ｂまでしか吸い上げないとしたときに、薄膜の未形成部分ができてガラス管１００の内周面がその極一部でも放電空間に露出するといったことを防止するためである。すなわち、基本的には液面が位置Ｂに来るまでコーティング溶液５１を吸い上げれば、その液面が表面張力により薄膜１３の端部１３１に付着し、薄膜１２、１３により薄膜の未形成部分が生じることはなくなると考えられる。ところが、実際には削剥により薄膜１３の端部１３１がぎざぎざ状に断裁されたようになっている場合もあり、そのような場合には薄膜１３の端部１３１と薄膜１２との間の部分に隙間が生じコーティング溶液５１の未着部分ができることも考えられる。そこで、位置Ｆまで吸い上げることで、仮に薄膜１３の端部１３１がぎざぎざ状に断裁されたようになっていても、その端部１３１に十分にコーティング溶液５１が行き渡るようにして、未形成部分が出来ることを防止しているのである。
【００４７】
ガラス管１００の上側の端部を開放することにより、吸い上げられたコーティング溶液５１の液面がゆっくりと下降し、管軸方向に位置Ｆから開口Ｐまでのガラス管１００の内周面にコーティング溶液５１が付着する。
ガラス管１００を引き上げ、乾燥、加熱を行う。これは、上記（１−１）と同じ方法により行われる。これにより、図４（ｅ）に示すように、ガラス管１００の内周面の、位置Ｆから開口Ｐまでの領域に薄膜１２が形成される。この場合、拡大図に示すように、位置Ｂにおいて薄膜１２の端部１２１が蛍光体層１４の端部を上から覆うようになって、薄膜１２と１３の間に隙間ができることがない。
【００４８】
また、上記の削剥工程において、削剥されるべき蛍光体粒子の一部（例えば、同図の黒点７０）が仮にガラス管１００内周面の位置Ａから位置Ｂまでの領域（外部電極の配設部分に対応する領域）に残っていたとしても、その蛍光体粒子は薄膜１２により完全に覆われるようになる。したがって、外部電極に引き寄せられるようにガラス管１００内周面の外部電極の位置に集まったイオン化された水銀等の粒子が、残留している蛍光体粒子に衝突して、場合によってはその蛍光体粒子に吸着されて消耗されるといったことも防止できる。
【００４９】
（２）封止工程
まず、ガラス管１００の一方の端部を封止する工程を行う。
図５（ａ）に示すように、ガラス管１００に内挿可能なビードガラス２００を用意する。このビードガラス２００は、ガラス管１００と同じ材料（ほう珪酸ガラス）であり、円柱状をしている。ビードガラス２００の一方の端面２０１は平坦状をしており、当該端面２０１には、上記薄膜１２、１３と同じ材料、同じ条件で形成された薄膜１６１が予め形成されている。ここでは、ビードガラス２００の寸法は、径２．７［ｍｍ］、長さ２．０［ｍｍ］である。薄膜１６１の膜厚は数百［ｎｍ］である。
【００５０】
続いて、管軸方向において、ガラス管１００の内周面の開口Ｐから位置Ａまでの領域に形成されている薄膜１２を削剥する。このような削剥を行うのは、封止のためビードガラス２００をガラス管１００内に挿入し溶着させる際に、ビードガラス２００の外周面とガラス管１００の内周面の間に薄膜１２が介在していると、ガラス管１００とビードガラス２００が一体化できず、完全な封止を行えないからである。
【００５１】
薄膜１２の削剥後に、ビードガラス２００を、図５（ａ）に示すようにガラス管１００を水平に寝かした状態で、開口Ｐからビードガラス２００の端面２０１の位置が位置Ａに来るように内挿する。
そして、ガラス管１００のビードガラス２００が挿入されている部分周辺を、例えばガスバーナーを用いて加熱し、ビードガラス２００をガラス管１００に融着させる。これにより、図５（ｂ）に示すように、ビードガラス２００（破線）がガラス管１００と一体化されてガラス管１００の一方端が封止されることになる。この封止部分１０１は、図３に示す完成したガラスバルブ１５の封止部１６に相当するものである。
【００５２】
次に、ガラス管１００の他方の端部を封止するため、図５（ｃ）に示す円筒状のビードガラス２１０を用意する。このビードガラス２１０は、上記ビードガラス２００と同じ材料のものである。
ビードガラス２１０の一方の端面２１１には、上記薄膜１２、１３と同じ材料、同じ条件で形成された薄膜１７１が予め形成されている。ビードガラス２１０の寸法は、径２．７［ｍｍ］、長さ２．０［ｍｍ］、内径１．０５［ｍｍ］であり、薄膜１７１の膜厚は、数百［ｎｍ］である。
【００５３】
このビードガラス２１０を、ガラス管１００を水平に寝かした状態で、他方端の開口Ｑからビードガラス２１０の端面２１１の位置が位置Ｄに来るように内挿し、ビードガラス２１０をガラス管１００に融着させる。このとき貫通孔２１２がつぶれないようにされる。
そして、図示していないが、公知の方法を用いて、ガラス管１００の内部を排気して減圧した後、水銀体や希ガス等を貫通孔２１２を介して充填する。その後、ガラス管１００におけるビードガラス２１０の周辺をガスバーナー等で加熱して、ガラス管１００の他方端の開口Ｑを封止する。
【００５４】
このとき、ガラス管１００の内圧と大気圧の圧力差により、軟化されたガラス材が貫通孔２１２を介してガラス管１００内に吸引されて、ビードガラス２１０の貫通孔２１２が閉塞される。このとき、通常は、ガラス材が貫通孔２１２の途中まで吸い込まれた状態で閉塞され、図３に示すように、端面１７ａの平面度が保たれた状態で凹部１７ｂが形成されることになる。
【００５５】
ここで、ガラス管１００の内部は、大気に対して負圧となっており、充填される希ガス（アルゴン及びネオン）の圧力は、約８［ｋＰａ］であり、充填される水銀量は、約２［ｍｇ］である。
これにより、図５（ｄ）に示すように、ガラス管１００における封止部１０１と反対側の封止部１０３（図３の封止部１７に相当）も形成され、ガラスバルブ１５の製造が完了する。製造されたガラスバルブ１５は、その内面の凹部１７ｂの底面を除く略全面に上記薄膜が形成されていることになり、ガラス管１００内周面の、外部電極１８、１９の配設部分に対応する領域が放電空間１５１に露出することがなくなる。
【００５６】
なお、ビードガラス２１０は、封止部１０３でガラス管１００の端部と一体化しており、図５（ｄ）では破線で示している。
このように本実施の形態では、金属酸化物の連続薄膜を形成するようにしたので、ガラスバルブ内面の略全面を一様に隙間なく膜で覆って放電空間と隔離させることができ、従来のように大きさも形状も異なる金属酸化物の粒状の固体を積み重ねて層を形成する場合に、放電空間内のイオン化された水銀等がその固体粒子間の隙間を通ってガラス管内周面に直接衝突してピンホールができたり、水銀消耗が発生するといったことを防止できる。
【００５７】
また、薄膜の膜厚（数百ｎｍ）を、従来の保護層の厚み（１μｍ）に比べて大変薄くすることができ、もって誘電体（ガラス管と薄膜）の厚みを薄くすることができ、その分静電容量を大きくすることが可能になって、ランプ効率を向上させることができる。また、膜厚を薄くできることにより、薄膜１２と１３とでその厚みにばらつきが出たとしても、そのばらつき量を従来よりも小さくでき、ガラス管両端で比誘電率の差が小さくなってより安定した放電が行えるようになる。
【００５８】
なお、上記では、図５（ｃ）においてビードガラス２１０として円筒状の用いる構成を説明したが、例えば円柱状のもの（貫通孔２１２が設けられていないもの）を用いて封止する構成とすることも可能である。
具体的には、図６に示すように、ビードガラス２１０の代わりに、上記ビードガラス２００と同じ形状のビードガラス２３０を用意する。このビードガラス２３０の一方の端面２３１には、上記薄膜１２、１３と同じ材料、同じ条件で形成された薄膜２３２が予め形成されている。このビードガラス２３０を開口Ｑからビードガラス２３０の端面２３１の位置が位置Ｄに来るように内挿し、加熱すると共に２方向、例えば上下方向からガラス管１００を介してビードガラス２３０を加圧する。この加圧は、管軸方向からみたとき、ビードガラス２３０外周面の上下の部分がガラス管１００内周面に融着し、左右の部分がガラス管１００内周面から離間、すなわち所定の隙間ができるように行われる。
【００５９】
そして、公知の方法を用いて、ガラス管１００の内部を排気して減圧した後、水銀体や希ガス等を上記隙間の部分を介して充填する。その後、ガラス管１００におけるビードガラス２３０の周辺をガスバーナー等で加熱して、ガラス管１００の他方端の開口Ｑを封止する。
このとき、ガラス管１００の内圧と大気圧の圧力差により、軟化されたガラス材が内方に引かれビートガラス２３０外周面の上記左右の部分にくっついて上記の隙間がなくなり、ビードガラス２３０外周面とガラス管１００内周面が完全に融着され、ガラス管１００が封止されることになる。
【００６０】
このような貫通孔のないビードガラス２３０を用いることにより、図３に示すような凹部１７ｂがなくなり、ガラスバルブ１５内面の略全面に薄膜を形成することが可能になる。
４．変形例
以上、本発明を各実施の形態に基づいて説明したが、本発明の内容が、上記の実施の形態に示された具体例に限定されないことは勿論であり、例えば、以下のような変形例を実施することができる。
【００６１】
（４−１）上記実施の形態では、管軸方向において、ガラスバルブ１５内面の、外部電極１８のガラスバルブ中央に近い方の端部１８２と外部電極１９のガラスバルブ中央に近い方の端部１９１との間の領域に蛍光体層１４を配置する構成としたが、蛍光体層１４の配置領域はこれに限定されない。
例えば、図７（ａ）に示すように管軸方向において、外部電極１８の端部１８２から距離Ｌ２だけガラスバルブ端部寄りの位置Ｊまで蛍光体層１４の一方の端部１４１を延出するように配置することもできる。
【００６２】
このような配置形態をとるのは、蛍光体層１４の形成工程における製造公差の範囲内で仮に蛍光体層１４の管軸方向における形成範囲が最も狭くなった場合でも、蛍光体層１４の一方の端部１４１の位置が位置Ｂよりもガラスバルブ端部側に位置するようにして蛍光体層１４の管軸方向長さとして最低限必要な長さを確保するためである。基本的には、外部電極１８の位置する領域に蛍光体層を配してもその部分から発せられた蛍光は外部電極に邪魔されて外部に出て行けずランプ効率の向上に寄与しないのであるが、製造公差を考慮して予め多めの範囲を設定しておけば、公差内の最低限の範囲をとったとしても必要な長さを確保でき、所定のランプ効率を維持することができる。通常の公差の大きさを考慮すると、上記Ｌ２は、０≦Ｌ２≦２（ｍｍ）の範囲内になるようにすることが好ましい。
【００６３】
この構成とする場合、図４（ｃ）での削剥工程において薄膜１３と蛍光体層１４の削剥範囲を開口Ｐから位置Ｊまでの範囲にすれば良い。もちろん、薄膜１２、１３によりガラスバルブ１５内面が覆われるようにされることに代わりはない。このことは以下の変形例においても同様である。
また、例えば図７（ｂ）に示すように管軸方向において、外部電極１８の端部１８２から距離Ｌ３だけガラスバルブ中央寄りの位置Ｋまで蛍光体層１４の一方の端部１４１が後退するように配置することもできる。この場合、蛍光体層１４の形成範囲が上記実施の形態に比べて少なくなることになるが、蛍光体層１４は、微視的に見たとき形状や大きさにばらつきが多い蛍光体粒子が積み重なって層状に形成されたものであるため、蛍光体粒子間の隙間に放電空間内の水銀等の粒子が入り込むことも考えられ、水銀消耗をできるだけ少なくしたい場合に有利である。Ｌ３を大きく取ればそれだけ水銀消耗を抑えられるが、その一方で発光量低下によりランプ効率が低下するため、Ｌ３の範囲としては０≦Ｌ３≦２（ｍｍ）の範囲内になるようにすることが好ましい。
【００６４】
（４−２）上記図３に示すように、管軸方向において、ガラスバルブ内面におけるガラスバルブ一方端側の端面１６ａと他方端側の端面１７ａにも薄膜１６１、１７１を形成するとした。このように端面１６ａ、１７ａにも薄膜を形成しているのは、ガラスバルブ１５内部では、外部電極１８、１９に向かってイオン化された水銀等が集まり易く、ガラスバルブ端部が外部電極に近接している場合にはその端部内面にも当該水銀等が衝突してピンホールを形成したり水銀消耗が生じることが考えられるからであるが、端面が外部電極に近接していない場合には、ピンホール等をほとんど考慮する必要もなく、その意味で端面１６ａ、１７ａに薄膜１６１、１７１を形成しない構成をとることも可能である。
【００６５】
図８（ａ）は、端面１６ａ、１７ａに薄膜を形成しない場合の構成例を示す図である。
同図に示すように、端面１６ａ、１７ａは、管軸方向に外部電極１８、１９の端部１８１、１９２と距離Ｓ１、Ｓ２だけ離れた位置に配される構成になっている。このＳ１、Ｓ２としては、少なくとも０．５［ｍｍ］以上とすれば寿命に至るまでの間にピンホール等が生じないことが確認されている。
【００６６】
なお、上記では、端面１６ａ、１７ａが平面になっている場合の例を説明したが、平面ではない、例えば図８（ｂ）に示すように端面１６ａがガラスバルブ一方端側に凹状に窪んでいる形状になっている場合や、図８（ｃ）に示すように端面１６ａが放電空間１５１側に凸状に膨出している形状になっているような場合には、ガラス管１１の内周面が管軸に向かって屈曲し始める位置１１１を基準として、管軸方向において位置１１１と外部電極１８の端部１８１との間の距離がＳ１とされる。このことは、端面１７ａについても同様である。
【００６７】
（４−３）上記実施の形態では、ガラスバルブ１５両端側に外部電極として第１と第２の２つの外部電極を配する構成としたが、外部電極について、当該外部電極を２以上の電極部で構成、具体的には複数の電極部を管軸方向に所定の間隔を空けて並べて配置するとしても良い。この場合、両方の外部電極について、ガラスバルブとの接触面積を調整して、静電容量を実質的に等しくなるようにされる。そして、ガラスバルブ内面の、各電極部の配設部分に対応する領域に本発明の金属酸化物の連続薄膜を配置すれば良い。要するに、外部電極としてどのような大きさ、個数（１以上）のものが配置される構成であっても、少なくともガラスバルブ内面の、電極部の配設部分に対応する領域に上記薄膜が配置される構成であれば良い。
【００６８】
このことからすれば、ガラスバルブ１５内面の、外部電極１８の端部１８２と外部電極１９の端部１９１間の領域に形成される薄膜としては、上記実施の形態の薄膜でなくても、金属酸化物の粉末を含む懸濁液をガラス管内周面に付着、乾燥、焼成することにより形成される粒子からなる層を用いる構成とすることも可能である。
（４−４）上記実施の形態では、ガラス管の封止をビードガラスを用いて行うとしたが、ガラス管を封止する方法はこれに限定されない。例えば、ピンチシールドやチップオフといった方法を用いることができる。この場合、封止部の内面にも上記の薄膜が形成されるようにすることが好ましいが、その形成が困難な場合には、上記（４−２）で説明したように、封止部の内面が管軸方向に外部電極から所定距離以上離れるように構成することが望ましい。
【００６９】
（４−５）上記実施の形態では、金属酸化物として酸化イットリウムを用いる場合の例を説明したが、金属酸化物の連続薄膜が形成されれば良く、例えばイットリウム化合物、チタン化合物、亜鉛化合物、マグネシウム化合物、珪素化合物、アルミニウム化合物、ランタン化合物、セリウム化合物のいずれか一を含む薄膜を形成する構成とすることもできる。より好ましくは、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化ランタン、酸化セリウムのいずれか含む薄膜とすることができる。
【００７０】
形成される金属酸化物に応じて、膜形成に最適な金属アルコキシド、溶媒等の種類、量等が実験等から適宜決定される。
また、上記実施の形態では、ゾル−ゲル法を用いて薄膜を形成するとしたが、上記薄膜を形成可能な方法であれば、これに限定されず、他の方法を用いても良い。
（４−６）上記実施の形態では、金属アルコキシドを含む溶液を焼成することにより金属酸化物の連続薄膜を生成し、生成された膜を保護膜として用いるとしたが、例えば図９に示す構成の膜を保護膜３００として用いるとしても良い。
【００７１】
同図に示す保護膜３００は、金属酸化物として酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）の紛体３０１間のすきま３０３に、各紛体３０１を橋掛け状態にして繋ぐように連結させる連結体３０２が介在する構成になっている。
このような保護膜３００は、例えば上記実施の形態のコーティング溶液５１に当該金属酸化物の紛体を加えたものをガラス管１００の内面に塗布、乾燥、焼成することにより形成することができる。金属酸化物の紛体３０１は、金属アルコキシドの加水分解、重合反応によらず略そのまま状態が維持され、連結体３０２が上記重合反応等により生成される連続薄膜として各紛体３０１を繋ぐ役割を果たすことになる。
【００７２】
このような構成にすることで、保護膜の厚みをより厚く形成することができる。
すなわち、上記実施の形態のように金属酸化物の紛体３０１を加えない方法を用いて薄膜を形成する場合、コーティング溶液５１の塗布量を多くする等によりある程度は膜厚を厚くできる。しかし、膜厚を厚くするために塗布量を多くし過ぎると、ガラス管１００が変形するおそれが生じる。これは、乾燥、焼成工程でのコーティング溶液５１の収縮率が高く、その一方でガラス管１００はその焼成時の温度になると変形し易いことからコーティング溶液５１の収縮によりガラス管１００が曲がる等の変形を起こすことがあるからである。また、膜中の残留炭素濃度が高くなり、ランプ性能が劣化するおそれも生じる。
【００７３】
保護膜は、上記のように放電空間内のイオン化された水銀等のガラス管内周面への直接衝突の防止等のために形成されるものなので、ランプ効率に影響を与えない程度に誘電体（ガラス管と保護膜）の静電容量を確保できるのであれば、膜厚は厚くすることが望ましい。
そこで、本変形例のような金属酸化物の紛体３０１を含む構成をとれば、乾燥、焼成工程で収縮が起こっても紛体３０１間のすきま３０３が緩衝材的な役割を果たしガラス管の変形を防止できると共に、紛体３０１の含有量により紛体３０１のガラス管内周面上に積み重なる量（膜厚に相当）を調整でき、もちろん各紛体３０１間には連結体３０２（連続薄膜）が橋掛け状態で各紛体３０１を繋ぐように介在するので、従来のように粒子間にガラス管内面まで直接通ずるすきまができるといったことがなく、ガラス管内面を保護することができる。
【００７４】
同図は、酸化イットリウムの紛体３０１の径が約０．１ミクロン、５層状に紛体が積み重なり、膜厚が０．５ミクロン程度になっている例を示したものである。
なお、金属酸化物の紛体３０１としては酸化イットリウムに限られず、例えば酸化ランタン、二酸化珪素、酸化チタン、酸化セリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化亜鉛等を用いることができる。
【００７５】
（４−７）上記実施の形態では、蛍光体層１４を薄膜１３を介してガラス管１１内周面に形成するとしたが、蛍光体層１４と薄膜１３の形成順序は、薄膜の材料として励起光をカットするもの（上記の例で酸化チタン、酸化セリウム、酸化亜鉛等）が用いられていない場合には、上記の順序に限定されない。例えば、最初に蛍光体層をガラス管内周面に形成し、その上に薄膜を形成するとしても良い。
【００７６】
（４−８）上記実施の形態では、薄膜１２、１３、１６１、１７１を同じ材料、同じ方法で形成、同じ膜厚とするとしたが、例えば端面１６ａ、１７ａについては水銀等の物質の衝突が少ないと考えられ、薄膜１６１、１７１の膜厚を、薄膜１２、１３よりもさらに薄くすることもできる。また、薄膜１６１、１７１を薄膜１２、１３とは異なる金属酸化物の連続薄膜とすることも可能である。
【００７７】
（４−９）上記実施の形態では、金属部材１８、１９としてスリーブ形状のものを用いた例を説明したが、外部電極１８、１９と電極ソケット４１、４２との間に介在して電気的に接続する部材であればその形状がスリーブ形状に限定されることはない。
例えば、図１０に示すようなキャップ形状の金属部材２７、２８を用いることができる。図１０（ａ）は、金属部材２７、２８が装着されたランプの構成例を示す図であり、図１０（ｂ）は、金属部材２７の外観斜視図を示す図である。
【００７８】
両図に示すように、本変形例では、外部電極２５、２６がランプ１０の封止部１６、１７を覆うように形成され、キャップ状の金属部材２７、２８が外部電極２５、２６を覆うように外部電極２５、２６の外周面に装着されている。
ガラスバルブ中央側における金属部材２７の端部２７１は、ガラスバルブ中央側における外部電極２５の端部２５１から管軸方向に封紙部１６側に間隔ｄをあけたところに位置している。このことは金属部材２８についても同様であり、ガラスバルブ中央側における金属部材２８の端部２８１は、ガラスバルブ中央側における外部電極２６の端部２６１から管軸方向に封紙部１７側に間隔ｄをあけたところに位置している。上記実施の形態と同様に、図３に示すようなすきまαを有しない構成とすることにより、金属部材２７、２８とガラスバルブ１５との間においてランプ点灯時にコロナ放電が発生するといったことを抑制できる。
【００７９】
金属部材２７、２８は、円筒形の一方の端部側に半球のドームを被せたような形状に形成されており、弾性力を持たせるために、例えば長手方向に２つのスリット２７2が設けられ、スリット２７2による弾性力を利用して金属部材２７、２８が外部電極２５、２６に密着接続されるようになっている。
なお、金属部材２７、２８の端部２７１、２８１は、鋭角な部分を有しないように面取り加工されているため、ガラスバルブ１５の端部から装着し易く、装着時に外部電極２５、２６の外周面の損傷が生じ難くなっている。
【００８０】
また、図１１に示すように、薄体である金属部材２９を外部電極１８の周囲を巻着して当該薄体の両端近傍の部分同士を圧潰することにより装着する構成とすることも可能である。この構成とすれば、ガラスバルブとして外径が異なる複数の種類のものを製造する場合でも、複数の種類ごとにその外径に合う大きさの部材を別々に用意することなく、薄体を１種類だけ用意すればそれをガラスバルブの外径に合わせて巻着、圧潰して装着することができ安価かつ作業も容易に行える。
【００８１】
（４−１０）上記実施の形態では、本発明に係るランプを直下方式のバックライトユニットに適用した場合の例を説明したが、本発明のランプは、誘電体バリア放電型の低圧放電ランプ全般に適用でき、例えば導光板方式のバックライトユニットにも適用することができる。また、ガラス管は、Ｕ字状、Ｌ字状に湾曲した形状であっても良い。さらに一般照明装置の光源としても用いることができる。また、蛍光体層を配しない、いわゆるブラックライトにも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は、誘電体バリア放電型の低圧放電ランプにおいてガラス管のピンホール、水銀消耗の発生を防止する技術に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】バックライトユニットの概略斜視図である。
【図２】ソケット台４０の外観を示す斜視図である。
【図３】本実施の形態に係るランプの縦断面図である。
【図４】ガラスバルブの製造工程の概略を示す図である。
【図５】ガラスバルブの製造工程の概略を示す図である。
【図６】ガラスバルブの製造工程の別の例における一工程の概略を示す図である。
【図７】変形例におけるガラスバルブの一方の端部の構成を示す図である。
【図８】別の変形例におけるガラスバルブの端部の構成を示す図である。
【図９】変形例における保護膜３００の構成を示す図である。
【図１０】変形例における金属部材２７、２８の構成を示す図である。
【図１１】別の変形例における金属部材２９の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００８４】
１    バックライトユニット
１０    ランプ
１１、１００    ガラス管
１２、１３、１６１、１７１、２３２    連続薄膜（保護膜）
１４    蛍光体層
１５    ガラスバルブ
１６、１７、１０１、１０３    封止部
１６ａ、１７ａ、    封止部の放電空間を臨む面（端面）
１８、１９、２５、２６    外部電極
２１、２２、２７、２８、２９      金属部材
２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２７１、２８１      金属部材の端部
１５１    放電空間
１８１、１８２、１９１、１９２、２５１、２６１      外部電極の端部
３００      保護膜
３０１      金属酸化物の紛体
３０２      連続薄膜
３０３      すきま
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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