(57)【要約】【課題】  ウエハーのダイシング方法の提供。【解決手段】  本発明のウエハーのダイシング方法は、ロールフォーミング機構下方のローラを利用し、ロールフォーミング方式でウエハーの溝部を切断して複数のチップ或いはダイとなし、ウエハーのダイシング作業を効率的に行なえるようにする方法であり、産業上の利用価値を有する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハーのダイシング方法において、
（ａ）樹脂膜を接合しレーザーで溝を形成したウエハーを、樹脂膜端が上となるように機台のプラットフォームの樹脂パッドの上に置く工程、
（ｂ）ロールフォーミング機構によりロールフォーミング方式でウエハーをロールフォーミングする工程、
（ｃ）ウエハーの溝部分をロールフォーミングにより分離してウエハーを複数のダイとなす工程、
以上の工程を具えたことを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項２】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構はローラでウエハーをロールフォーミングすることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項３】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構は気圧シリンダによりローラを降下させることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項４】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構はサーボモータによりローラを降下させることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項５】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構はステップモータによりローラを降下させることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項６】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ウエハーは樹脂膜端が上向きとなるようプラットフォームの樹脂パッドの上に置かれることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項７】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構のローラがウエハーに対して発生する圧力が、ウエハーの溝部分を切断するに足るものであることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項８】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構のローラが横向きにウエハーをロールフォーミングすることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項９】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構のローラが縦向きにウエハーをロールフォーミングすることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項１０】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、プラットフォームの上面に位置決めフレームが設けられてウエハーの放置位置決めに供されることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項１１】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、プラットフォームが機台の台面のガイドレールに取り付けられたことを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項１２】
請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、プラットフォームの下方にプラットフォームを駆動して移動させる駆動装置が設けられたことを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載のウエハーのダイシング方法において、駆動装置が一端の伝動輪でビーズスクリューを駆動し、ビーズスクリューを介してプラットフォームを駆動して往復スライドさせることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載のウエハーのダイシング方法において、駆動装置がプラットフォームを駆動して上昇させてロールフォーミング機構のローラにウエハーをロールフォーミングさせることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一種のウエハーのダイシング方法に係り、特に、ロールフォーミングの方式を利用し、ウエハーを複数のダイに切断し分離する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
伝統的なウエハーのダイシング方法は、図１に示されるように、ウエハー５の背面に先ず一層の樹脂膜５１を接合し、更にウエハー５の樹脂膜と反対の表面にレーザーで溝５２を形成し、更にダイシングマシンでウエハー５を溝５２に沿って切断分離し複数のダイとなす。周知のウエハーダイシングマシンに採用されている切断手段は、ナイフとされ、溝に沿って逐一縦、横に切断分離作業を行なうのに供される。
【０００３】
周知のウエハー５の切断手段は、基本的な切断効果を達成できるものの、ナイフで逐一溝５２に沿って切断する方式は時間がかかる。複数のナイフを使用して同時に切断することでこのような工程の効率不良の問題を解決することができるが、切断作業時にナイフと溝５２との間のアライメント精度が低い状況が発生すると、大量の不良の損耗を生じる恐れがある。このため、現在、ウエハーの切断手段としては単一のナイフで逐一切断する技術形態の運用が主流であり、その実用性と機能は改善される必要がある。
【０００４】
ゆえに、産業上の利用価値を有する新たなウエハーのダイシング方法が求められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の主要な目的は、一種のウエハーのダイシング方法を提供することにあり、それは、伝統的なナイフによるウエハーダイシングの方式を改良し、ロールフォーミングの方式でウエハーを切断して複数のチップ或いはダイとなし、ダイシング効率を高め、加工コストを減らし、産業の発展を促進できる方法であるものとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、ウエハーのダイシング方法において、
（ａ）樹脂膜を接合しレーザーで溝を形成したウエハーを、樹脂膜端が上となるように機台のプラットフォームの樹脂パッドの上に置く工程、
（ｂ）ロールフォーミング機構によりロールフォーミング方式でウエハーをロールフォーミングする工程、
（ｃ）ウエハーの溝部分をロールフォーミングにより分離してウエハーを複数のダイとなす工程、
以上の工程を具えたことを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項２の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構はローラでウエハーをロールフォーミングすることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項３の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構は気圧シリンダによりローラを降下させることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項４の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構はサーボモータによりローラを降下させることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項５の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構はステップモータによりローラを降下させることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項６の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ウエハーは樹脂膜端が上向きとなるようプラットフォームの樹脂パッドの上に置かれることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項７の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構のローラがウエハーに対して発生する圧力が、ウエハーの溝部分を切断するに足るものであることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項８の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構のローラが横向きにウエハーをロールフォーミングすることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項９の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、ロールフォーミング機構のローラが縦向きにウエハーをロールフォーミングすることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項１０の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、プラットフォームの上面に位置決めフレームが設けられてウエハーの放置位置決めに供されることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項１１の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、プラットフォームが機台の台面のガイドレールに取り付けられたことを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項１２の発明は、請求項１に記載のウエハーのダイシング方法において、プラットフォームの下方にプラットフォームを駆動して移動させる駆動装置が設けられたことを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項１３の発明は、請求項１２に記載のウエハーのダイシング方法において、駆動装置が一端の伝動輪でビーズスクリューを駆動し、ビーズスクリューを介してプラットフォームを駆動して往復スライドさせることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
請求項１４の発明は、請求項１２に記載のウエハーのダイシング方法において、駆動装置がプラットフォームを駆動して上昇させてロールフォーミング機構のローラにウエハーをロールフォーミングさせることを特徴とする、ウエハーのダイシング方法としている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のウエハーのダイシング方法は、ロールフォーミング方式を利用してウエハーを複数のダイに切断、分離する方法であり、周知のウエハーの切断手段の効率を大幅に向上し、産業上の利用価値を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１から図３に示されるように、本発明のウエハーのダイシング方法は工程１０において、樹脂膜５１を接合しレーザーで溝５２を形成したウエハー５を、樹脂膜５１端が上となるように機台１のプラットフォーム２の樹脂パッド２１の上に置く（図４）。機台１の制御パネル１１のオンオフ操作を行ない、並びに工程２０においてロールフォーミング機構４によりロールフォーミング形式でウエハー５をロールフォーミングし、前述のローラ４３にウエハー５に対するウエハー５の溝５２部分の厚さを圧迫し切断できる圧力を発生させる（図６）。最後に工程３０において、ウエハー５の溝５２部分を切断分離して複数のダイとなす。
【０００９】
図３に示されるように、プラットフォーム２は機台１台面のガイドレール２２上に取り付けられ、プラットフォーム２下方の駆動装置３が伝動輪３２を介してビーズスクリュー３１を回転させ、プラットフォーム２の往復スライド動作を制御し、ウエハー５がプラットフォーム２に沿ってスライドする時、ローラ４３がウエハー５を、その各溝５２への加圧により分離して複数のダイとなす。ロールフォーミング機構４は気圧シリンダ４１を利用しピストンロッド４２の進出端が下向きにローラ４３を降下させる。ロールフォーミング機構はまたサーボモータ或いはステップモータを利用してローラ４３を降下させるものとされうる。
【００１０】
或いは、ロールフォーミング機構４のローラ４３が不動とされて、駆動装置３によりプラットフォーム２を駆動し上昇させ、プラットフォーム２上のウエハー５が完全にローラ４３を通過する位置までローラ４３方向に移動させてる形態も可能である。また、プラットフォーム２の上面の位置決めフレーム２３は、ウエハー５の樹脂膜固定フレーム５３を定位放置するのに供され（図１参照）、切断するウエハー５を敏捷にローラ４３によるロールフォーミング範囲内に位置決めできる。
【００１１】
図７は本発明の好ましい実施例のブロックフローチャートである。本発明のウエハーのダイシング方法は、工程１０において、樹脂膜５１を接合しレーザーで溝５２を形成したウエハー５を、樹脂膜５１端が上となるように機台１のプラットフォーム２の樹脂パッド２１の上に置く（図４）。機台１の制御パネル１１のオンオフ操作を行ない、並びに工程２０１においてロールフォーミング機構４によりローラ４３を降下させる（図５）。更に工程２０３においてローラ４３でウエハー５に対する第１次ロールフォーミング（横向き）を行なう。更に工程２０３でロールフォーミング機構４を９０度回転させ（或いはロールフォーミング機構４を回転させずにプラットフォーム２を９０度回転させる）。続く工程２０４でローラ４３によりウエハー５に対する第２次ロールフォーミング（縦向き）を行なう。最後に工程３０で、ウエハー５を溝５２部分を切断分離して複数のダイとなす。
【００１２】
総合すると、本発明のウエハーのダイシング方法は、ロールフォーミング方式を利用してウエハーを複数のダイに切断、分離する方法であり、周知のウエハーの切断手段の効率を大幅に向上し、産業上の利用価値を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】周知のウエハーのダイシング前の状態図である。
【図２】本発明のブロックフローチャートである。
【図３】本発明の外観図である。
【図４】本発明の切断作業前の状態表示図である。
【図５】本発明の切断作業状態の表示図である。
【図６】本発明の切断作業状態の局部表示図である。
【図７】本発明の好ましい実施例のブロックフローチャートである。
【符号の説明】
【００１４】
１  機台          １１  制御パネル        ２  プラットフォーム
２１  樹脂パッド  ２２  ガイドレール      ２３  位置決めフレーム
３  駆動装置      ３１  ビーズスクリュー  ３２  伝動輪
４  ロールフォーミング機構                ４１  気圧シリンダ
４２  ピストンロッド                      ４３  ローラ
５  ウエハー                              ５１  樹脂膜
５２  溝                                  ５３  固定フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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