(57)【要約】【課題】  形成される膜にムラができるのを防ぐことが可能な液滴吐出方法、ヘッドユニット、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器を提供すること。【解決手段】  ヘッド１１４が往復走査する際に、往路及び復路のどちらの方向から走査するときでも液体材料１１１（赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂ）の吐出される順序が同一になるため、往路と復路との吐出環境の違いを無くすことができる。これにより、形成される膜にムラが生じるのを防ぐことができる。【選択図】  図９
2006334488.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と吐出ヘッドとを相対的に走査させながら、前記基板上に機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、
前記基板上と前記吐出ヘッドとを相対的に往復走査させ、
前記往復走査の間、前記吐出ヘッドが、複数種類の機能液の液滴を走査方向における前記基板上の異なる位置に吐出し、
当該吐出の際には、前記往復走査の往路及び復路において前記複数種類の機能液をそれぞれ同じ順序で吐出する
ことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
基板を相対的に往復走査しながら、前記基板上に機能液の液滴を吐出するヘッドユニットであって、
走査方向における前記基板上の異なる位置に複数種類の機能液の液滴を吐出可能であると共に、前記往復走査の往路及び復路においてそれぞれ同じ順序で前記複数種類の機能液の液滴を吐出可能であることを特徴とするヘッドユニット。
【請求項３】
前記機能液の種類ごとに設けられたノズル群が、走査の往路方向及び走査の復路方向でそれぞれ同じ順序になるように前記走査方向に配列されていることを特徴とする請求項２に記載のヘッドユニット。
【請求項４】
走査方向に対して自身の向きを反転する手段を有していることを特徴とする請求項２に記載のヘッドユニット。
【請求項５】
請求項２乃至請求項４のうちいずれか一項に記載のヘッドユニットが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１に記載の液滴吐出方法により機能液が吐出された基板を含むことを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法、ヘッドユニット、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタの液滴吐出ヘッドは、微小なインク滴をドット状に吐出することが可能であり、インク滴の大きさやピッチの均一性の面で極めて精度が高い。この技術は、各種製品の製造分野への応用がなされている。例えば、液晶装置のカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置の発光部等を形成する場合にも応用することができる。具体的には、液滴吐出ヘッドに特殊なインクや感光性の樹脂液等（機能液）を含ませ、電気光学装置用の基板上を往復走査しながら当該機能液の液滴を吐出するものがある（例えば、特許文献１参照。）。ただし、この方法では、複数種類の機能液を１種類ずつ異なる装置によって吐出しているため、吐出に要する総時間が長くなってしまう。そこで、複数の吐出ヘッドを走査方向に並べて配置し、それぞれの吐出ヘッドから異なる種類のインクを吐出する方法が考えられている。  
【特許文献１】特開２００４−２６７９２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、この方法によれば、往復走査の往路及び復路において、往路の最初に吐出される機能液と復路の最初に吐出される機能液との種類が異なってしまう。このように往路及び復路における吐出環境の違いにより、形成される膜にムラが生じる場合がある。
上記のような事情に鑑み、本発明の目的は、形成される膜にムラができるのを防ぐことが可能な液滴吐出方法、ヘッドユニット、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するため、本発明に係る液滴吐出方法は、基板と吐出ヘッドとを相対的に走査させながら、前記基板上に機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、前記基板上と前記吐出ヘッドとを相対的に往復走査させ、前記往復走査の間、前記吐出ヘッドが、複数種類の機能液の液滴を走査方向における前記基板上の異なる位置に吐出し、当該吐出の際には、前記往復走査の往路及び復路において前記複数種類の機能液をそれぞれ同じ順序で吐出することを特徴とする。
【０００５】
本発明によれば、吐出ヘッドが往復走査する間に、往路及び復路のどちらの方向から走査するときでも複数種類の機能液が同じ順序で吐出されるため、往路と復路との吐出環境の違いを無くすことができる。これにより、形成される膜にムラが生じるのを防ぐことができる。
【０００６】
本発明の別の観点に係るヘッドユニットは、基板を相対的に往復走査しながら、前記基板上に機能液の液滴を吐出するヘッドユニットであって、走査方向における前記基板上の異なる位置に複数種類の機能液の液滴を吐出可能であると共に、前記往復走査の往路及び復路においてそれぞれ同じ順序で前記複数種類の機能液の液滴を吐出可能であることを特徴とする。  
本発明によれば、吐出ヘッドが往復走査する際に、往路及び復路のどちらの方向から走査するときでも機能液を同一の順序で吐出することができるので、往路と復路との吐出環境の違いを無くすことが可能なヘッドユニットを得ることができる。
【０００７】
また、前記機能液の種類ごとに設けられたノズル群が、走査の往路方向及び走査の復路方向でそれぞれ同じ順序になるように前記走査方向に配列されていることが好ましい。  
本発明によれば、走査の往路方向及び走査の復路方向でそれぞれ同じ順序になるように予めノズルを配置しておくので、吐出ヘッドを走査させるときには吐出ヘッドの方向を変化させる必要が無い。これにより、ヘッドユニットの構成及び吐出ヘッドの制御が複雑になるのを回避できる。
【０００８】
また、走査方向に対して自身の向きを反転する手段を有していることが好ましい。  
このような構成によれば、例えば往路の走査と復路の走査とを切り替えるときに、吐出ヘッドを反転させることができる。吐出ヘッドを反転させることで、往路と復路とでは同一のノズル群から同一の順序で機能液を吐出させることができる。これにより、機能液の吐出環境の違いを無くすことができる。
【０００９】
本発明の別の観点に係る液滴吐出装置は、上記のヘッドユニットが搭載されていることを特徴とする。  
本発明によれば、往路と復路との吐出環境の違いを無くすことが可能なヘッドユニットが搭載されているため、形成される膜にムラができにくい液滴吐出装置を得ることができる。
【００１０】
本発明の別の観点に係る電気光学装置は、上記の液滴吐出方法により機能液が吐出された基板を含むことを特徴とする。  
本発明によれば、形成される膜にムラができるのを防ぐことができる液滴吐出方法により機能液の液滴が吐出されているため、表示が均一な良質の電気光学装置を得ることができる。
【００１１】
本発明の別の観点に係る電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。  
本発明によれば、表示が均一な良質の電気光学装置を搭載したので、表示性能の優れた電子機器を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（電気光学装置）  
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。以下の図では、各部材を認識可能な大きさとするため、縮尺を適宜変更している。  
図１は、本実施形態に係る液晶装置１の構成を示す斜視図である。  
同図に示すように、液晶装置１は、液晶パネル４０と、バックライト４１とを主体として構成されている。液晶パネル４０は、アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とがシール材２６を介して貼り合わされ、当該アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とシール材２６との間に液晶６が挟持された構成になっている。図中破線で表された表示領域２ａは、画像や動画等が表示される領域である。
【００１３】
なお、本実施形態の液晶装置１は、スイッチング素子として二端子型非線形素子である薄膜ダイオード（ＴＦＤ）素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置を採用しているが、例えばスイッチング素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子を用いた液晶装置や、パッシブマトリクス方式の液晶装置であっても勿論構わない。また、液晶パネル４０は、２枚の大判のマザー基板を張り合わせ、切断することにより形成される（多数個取り）。２枚のマザー基板としては、カラーフィルタ基板３を生成するカラーフィルタ側マザー基板と、アクティブマトリクス基板２を生成するアクティブマトリクス側マザー基板とがある。
【００１４】
図２は、カラーフィルタ基板３の構成を示す平面図である。図２（ａ）はカラーフィルタ基板３の全体構成を示す図であり、図２（ｂ）はカラーフィルタ基板３の一部を拡大して示す図である。  
図２（ａ）に示すように、カラーフィルタ基板３は、例えばガラスやプラスチック等の透明な材料によって形成された矩形の基板である。カラーフィルタ基板３上には遮光層１３が設けられており、遮光層１３で囲まれた領域（画素）に対応して赤色層１６Ｒ、緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂを有するカラーフィルタ１６が設けられている。なお、カラーフィルタ基板３には、当該カラーフィルタ１６を覆うようにオーバーコート層（図示せず）が形成され、オーバーコート層上には配向膜（図示せず）が形成されている。当該配向膜は、例えばポリイミド等からなり、表面がラビング処理された水平配向膜である。
【００１５】
また、図２（ｂ）に示すように、１個の赤色層１６Ｒ（または緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂ）については、短辺の長さＳが例えば１７０μｍ程度、長辺の長さＬが例えば５１０μｍ程度の矩形に設けられている。また、隣接するカラーフィルタ１６同士の間隔については、行方向の間隔Ｔ１は約２０μｍとなっており、列方向の間隔Ｔ２は約４０μｍとなっている。
【００１６】
（液滴吐出装置）  
次に、本実施形態に係る液滴吐出装置（以下、「吐出装置」と称呼する。）１００について説明する。  
図３に示すように、吐出装置１００は、液体材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０を介してタンク１０１から液体材料１１１が供給される吐出走査部１０２とを主体として構成されている。
【００１７】
液体材料１１１には、例えば上述した液晶装置１のカラーフィルタ１６の赤色層１６Ｒを構成する材料（以下、「赤色材料」という。）１１１Ｒと、緑色層１６Ｇを構成する材料（以下、「緑色材料」という。）１１１Ｇと、青色層１６Ｂを構成する材料（以下、「青色材料」という。）１１１Ｂとの３種類がある。
【００１８】
タンク１０１は、赤色材料１１１Ｒを保持する赤色材料タンク１０１Ｒと、緑色材料１１１Ｇを保持する緑色材料タンク１０１Ｇと、青色材料１１１Ｂを保持する青色材料タンク１０１Ｂとを有しており、上述した３種類の液体材料１１１を個別に保持するようになっている。各タンク１０１には、例えば図示しない圧力ポンプが取り付けられている。当該圧力ポンプが駆動してタンク１０１内部に圧力を加えることで、液体材料１１１がタンク１０１内から吐出走査部１０２へと供給されるようになっている。
【００１９】
ここで、赤色材料１１１Ｒとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに赤色の無機顔料（例えば、赤色酸化鉄(III)やカドミウム赤等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、更に非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。  
また、緑色材料１１１Ｇとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに緑色の無機顔料（例えば、酸化クロム緑やコバルト緑等）を分散させた後、溶剤としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。  
また、青色材料１１１Ｂとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに青色の無機顔料（例えば、群青や紺青等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。  
吐出走査部１０２は、複数のヘッド１１４（図４参照）を保持するキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３の位置を制御するキャリッジ位置制御装置１０４と、カラーフィルタ側マザー基板を構成する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御するステージ位置制御装置１０８と、制御部１１２とを有している。なお、実際には、吐出装置１００には複数（例えば１０個）のキャリッジ１０３が設置されている。図３では、説明の簡単のため、１個のキャリッジ１０３を図示して説明することにした。
【００２０】
キャリッジ位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、キャリッジ１０３をＸ軸方向又はＺ軸方向に沿って移動させるようになっている。ステージ位置制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、Ｙ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させるようになっている。
【００２１】
上述のように、キャリッジ１０３はキャリッジ位置制御装置１０４の制御によってＸ軸方向に移動するようになっている。一方、ステージ１０６はステージ位置制御装置１０８の制御によってＹ軸方向に移動するようになっている。つまり、キャリッジ位置制御装置１０４およびステージ位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対するヘッド１１４の相対位置が変わるようになっている。
【００２２】
つまり、キャリッジ１０３及びステージ１０６のうち双方若しくはいずれか一方を移動させることで、キャリッジ１０３がステージ１０６（あるいはステージ１０６に保持される基体１０Ａ）を走査することができるようになっている。以下、本実施形態では、キャリッジ１０３を静止させ、ステージ１０６を移動させることで走査を行う場合について説明する。
【００２３】
図４は、１個のキャリッジ１０３をステージ１０６側から観察した図であり、図４の紙面に垂直な方向がＺ軸方向である。また、図４の紙面の左右方向がＸ軸方向であり、紙面の上下方向がＹ軸方向である。  
同図に示すように、キャリッジ１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数のヘッド１１４を保持している。ヘッド１１４には、液体材料１１１のうち赤色材料１１１Ｒを吐出するヘッド１１４Ｒ、緑色材料１１１Ｇを吐出するヘッド１１４Ｇ、青色材料１１１Ｂを吐出するヘッド１１４Ｂの３種類がある。
【００２４】
キャリッジ１０３には、ヘッド群１１４Ｐが２箇所に設けられている。各ヘッド群１１４Ｐには、ヘッド１１４Ｒ、ヘッド１１４Ｇ、ヘッド１１４Ｂがそれぞれ２個ずつ、Ｙ軸方向に直線状に設けられている。したがって、１つのキャリッジ１０３においては、ヘッド１１４Ｒ、ヘッド１１４Ｇ、ヘッド１１４Ｂがそれぞれ４個ずつ設けられており、ヘッド１１４は、計１２個設けられていることになる。
【００２５】
図５は、ヘッド１１４の底面１１４ａを示した図である。底面１１４ａの形状は、対向する２つの長辺及び対向する２つの短辺を有する矩形である。当該底面１１４ａはステージ１０６側を（図中Ｚ軸方向）向いている。ヘッド１１４の長辺方向と図中Ｘ軸方向、また、ヘッド１１４の短辺方向と図中Ｙ軸方向については、それぞれ平行になっている。
【００２６】
また、当該底面１１４ａには、ノズル１１８がＸ軸方向に例えば９０個ずつ、２列（列１１６Ａと列１１６Ｂ）に配置されている。また、各ノズル１１８のノズル径ｒは、約３０μｍとなっている。列１１６Ａ側のノズル１１８及び列１１６Ｂ側のノズル１１８は、それぞれ各列において所定のピッチＬＮＰ（ＬＮＰ：約１４０μｍ）で配置されている。また、ノズル列１１６Ｂの各ノズル１１８の位置が、ノズル列１１６Ａの各ノズル１１８位置に対して、ノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）だけＸ軸方向の負の方向（図５の下方向）にずれるように配置されている。なお、ヘッド１１４に設けられるノズル列は２列でなくても良い。例えば、３列、４列、・・・Ｍ列（Ｍは自然数）と列数を増やしても良いし、あるいは１列であっても構わない。
【００２７】
ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれが９０個のノズルからなるため、１つのヘッド１１４には１８０個のノズルが設けられている。ただし、ノズル列１１６Ａの両端から５つ目までのノズルは、液体材料１１１が吐出されないようになっている（休止ノズル：図５中、破線で囲まれた部分）。同様に、ノズル列１１６Ｂの両端から５つ目までのノズルも液体材料１１１が吐出されない休止ノズルとなっている（図５中、破線で囲まれた部分）。このため、ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、両端の２０個のノズルを除いた１６０個のノズル１１８が液体材料１１１を吐出するようになっている（吐出ノズル）。
【００２８】
本明細書では、ノズル列１１６Ａに含まれる９０個のノズル１１８のうち、図中上端から６番目のノズル１１８をヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」と表記する。つまり、ノズル列１１６Ａにおける８０個の吐出ノズルのうち、図中最上部に位置する吐出ノズルがヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」である。なお、すべてのヘッド１１４に対して、「基準ノズル１１８Ｒ」の指定の仕方が同じであればよいので、「基準ノズル１１８Ｒ」の位置は、上記位置でなくてもよい。
【００２９】
次に、ヘッド１１４の内部の構成を説明する。図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、それぞれのヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれのヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液体材料１１１が常に充填される液たまり１２９が設けられている。
【００３０】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が設けられている。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０は、ノズル１１８ごとに設けられているおり、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に設けられた供給口１３０を介して、液たまり１２９から液体材料１１１が供給される。
【００３１】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを有している。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液体材料１１１が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状の材料が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。なお、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して液体材料１１１を吐出する構成を有していてもよい。
【００３２】
次に、制御部１１２の構成を説明する。  
制御部１１２は、液体材料１１１を吐出するタイミングや、キャリッジ１０３の固定位置、ステージ１０６の移動（移動速度、移動距離等）等、吐出装置１の動作に関して統括して制御する部位である。  
図７に示すように、制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えており、各部分同士が通信可能に接続されている。
【００３３】
入力バッファメモリ２００は、外部に接続される例えば情報処理装置等から液体材料１１１の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２としては、例えばＲＡＭ等が用いられている。
【００３４】
処理部２０４は、記憶手段２０２内に格納された吐出データにアクセスし、当該吐出データを基にして、走査駆動部２０６及びヘッド駆動部２０８に、必要な駆動信号を供給する。  
走査駆動部２０６は駆動信号に基づいて、キャリッジ位置制御装置１０４およびステージ位置制御装置１０８に所定の位置制御信号を供給する。また、ヘッド駆動部２０８は駆動信号に基づいて、各ヘッド１１４に液体材料１１１を吐出する吐出信号を供給する。
【００３５】
ヘッド駆動部２０８は、図８（ａ）に示すように、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有している。アナログスイッチＡＳは、ヘッド１１４内の振動子１２４に接続されている（具体的には、電極１２４Ａに接続されている。ただし、電極１２４Ａは図８（ａ）には示されていない。）。当該アナログスイッチＡＳは、ノズル１１８のそれぞれに対応するように設けられており、ノズル１１８の個数と同数設けられている。
【００３６】
駆動信号生成部２０３は、図８（ｂ）に示すような駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に独立して供給される。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。すなわち、駆動信号ＤＳは、複数の吐出波形Ｐが吐出周期ＥＰで繰り返される信号である。吐出周期ＥＰは、例えば処理部２０４によって所望の値に調節されるようになっている。この吐出周期ＥＰを適宜調節することによって、複数のノズル１１８から所定の順序で液体材料１１１が吐出されるように吐出信号を生成することができる。このように、吐出のタイミングを制御することができるようになっている。
【００３７】
また、制御部１１２は、吐出のタイミングの制御だけではなく、ノズル１１８から吐出される液体材料１１１の体積を制御することも可能になっている。当該液体材料１１１の体積の制御は、各ノズル１１８に個別に制御できるようになっている。各ノズル１１８から吐出される液体材料１１１の体積については、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００３８】
なお、制御部１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御部１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御部１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
【００３９】
次に、各ヘッド群１１４Ｐにおける６つのヘッド１１４の位置関係について説明する。
図９は、キャリッジ１０３の一部を示す図である。なお、図４に示す２組の１１４Ｒ、１１４Ｇ、１１４Ｂについては、本図において、それぞれヘッド１１４Ｒ１、１１４Ｇ１、１１４Ｂ１及びヘッド１１４Ｒ２、１１４Ｇ２、１１４Ｂ２と表記して区別するものとする。また、本図におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各方向は、図４におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各方向と一致している。
【００４０】
図９に示すように、１つのヘッド群１１４Ｐの各ヘッド１１４は、図中左側から、ヘッド１１４Ｂ１、１１４Ｇ１、１１４Ｒ１及びヘッド１１４Ｒ２、１１４Ｇ２、１１４Ｂ２の順で配列されている。すなわち、キャリッジ１０３の中心線Ｈ（Ｘ軸方向に延在する）の左右が対称となるような順序で配列されている。
【００４１】
キャリッジ１０３が走査（スキャン）する際、往路方向が例えば図９の左側から右側に向かう方向である場合、ヘッド１１４は、走査方向に対して１１４Ｂ２、１１４Ｇ２、１１４Ｒ２、ヘッド１１４Ｒ１、１１４Ｇ１、１１４Ｂ１の順で走査する（図中、各ヘッド１１４の上側に数字で順序を示した）。したがって、走査方向に対して先頭のヘッドから順に液体材料１１１を吐出すると、液体材料１１１が吐出される順序は、青色材料１１１Ｂ、緑色材料１１１Ｇ、赤色材料１１１Ｒ、赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂの順になる。
【００４２】
また、この往路方向に対する復路方向は図９の右側から左側に向かう方向である。各ヘッド１１４は、走査方向に対してヘッド１１４Ｂ１、１１４Ｇ１、１１４Ｒ１、ヘッド１１４Ｒ２、１１４Ｇ２、１１４Ｂ２の順で走査する（図中、各ヘッド１１４の下側に数字で順序を示した）。したがって、走査方向に対して先頭のヘッドから順に液体材料１１１を吐出すると、液体材料１１１が吐出される順序は、青色材料１１１Ｂ、緑色材料１１１Ｇ、赤色材料１１１Ｒ、赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂの順になる。このように、往路と復路とで、赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ及び青色材料１１１Ｂが同一の順序で吐出されるようになっている。
【００４３】
（液晶装置の製造方法（液滴吐出方法））  
次に、このように構成された液晶装置１の製造工程について説明する。  
本実施形態では、大面積のマザー基板を用いて複数の液晶装置を一括して形成し、切断によって個々の液晶装置１に分離する方法を例に挙げて説明する。
【００４４】
まず、カラーフィルタ側マザー基板の形成工程について簡単に説明する。  
吐出装置１００のステージ１０６に、基体１０Ａを保持させる。当該基体１０Ａには、カラーフィルタ１６を保持する被吐出部１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ：図１０等参照）が形成されている。被吐出部１８Ｒには赤色層１６Ｒが保持され、被吐出部１８Ｇには緑色層１６Ｇが保持され、被吐出部１８Ｂには青色層１６Ｂが保持されるようになっている。なお、基体１０Ａをステージ１０６に保持する際には、基体１０Ａの短辺方向がＸ軸方向に一致し、長辺方向がＹ軸方向に一致するように位置を調節する。
【００４５】
この状態で、図１０に示すようにステージ１０６を図中左側から右側へ移動させる。キャリッジ１０３は、例えば図中右側から左側に基体１０Ａ上を走査する。このとき、キャリッジ１０３が基体１０Ａ上を走査しながら、各ヘッド１１４から液体材料１１１を順に吐出する。
【００４６】
例えば、１回の走査によって、図１０に示すように、例えば図中最上行の各被吐出部１８及び図中最下行の各被吐出部１８に赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂが吐出される。このとき、複数行にわたって設けられている被吐出部１８のうちどの行に液体材料１１１を吐出するかは、適宜設定することが可能である。
【００４７】
次に、２回目の走査を行う。１回目の走査が終わった状態では、ステージ１０６が図中右側に移動している。２回目の走査では、図１１に示すように、ステージ１０６を図中右側から左側へ移動させる。キャリッジ１０３は、１回目の走査とは反対の方向、すなわち、図中左側から右側に基体１０Ａ上を走査する。このときも、キャリッジ１０３が基体１０Ａを走査しながら、各ヘッド１１４から液体材料１１１を吐出する。
【００４８】
２回目の走査では、１回目の走査の際に液体材料１１１を吐出した被吐出部１８以外の被吐出部１８に液体材料１１１を吐出する。例えば図１１に示すように、１回目の走査の際に液体材料１１１が吐出されなかった図中上から２行目の各被吐出部１８及び図中上から２行目の各被吐出部１８に、赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂを吐出する。
【００４９】
このように、２回目以降の走査では、複数行にわたって設けられている被吐出部１８のうち、液体材料１１１が吐出されてない被吐出部１８の行を選択しながら液体材料１１１を吐出し、各被吐出部１８に液体材料１１１が計１回ずつ吐出されるまで、走査を繰り返す。
【００５０】
各被吐出部１８に液体材料１１１が計１回ずつ吐出されたら、図１２に示すように、今度は各被吐出部１８に液体材料１１１が計２回ずつ吐出されるまで、図１０及び図１１の走査を繰り返す。以下、当該走査を繰り返しながら、各被吐出部１８に液体材料１１１が計３回ずつ、計４回ずつ、と吐出回数を徐々に増やしていくことにより、図１３に示すように、各被吐出部１８全体に液体材料１１１が吐出されることになる。
【００５１】
これ以降の工程について簡単に説明する。カラーフィルタ１６が形成された基体１０Ａ上には、図示しない電極や配線等を形成し、平坦化膜を形成する。また、基体１０Ａの表面にギャップ制御用の図示しないスペーサ及び隔壁を形成する。この基体１０Ａに形成された配線やカラーフィルタを覆うように配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。配向膜は、例えばポリイミドを塗布又は印刷することによって形成することができる。また、エポキシ樹脂等からなるシール材を矩形環状に形成し、シール材で囲まれた領域に液晶を塗布する。
【００５２】
次に、アクティブマトリクス側マザー基板の形成については、ガラスやプラスチック等の透光性材料からなる大判の基材に配線、電極等を形成し、当該配線、電極等が形成された領域に、平坦化膜を形成する。平坦化膜を形成したら、ポリイミド等からなる配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。
【００５３】
次に、カラーフィルタ側マザー基板とアクティブマトリクス側マザー基板とをパネル状に貼り合わせる。両基板を近接させ、アクティブマトリクス側マザー基板がカラーフィルタ側マザー基板上のシール材に接着させるようにする。その後、接着した両マザー基板にスクライブ線を形成し、当該スクライブ線に沿ってパネルを切断し、切断した各パネルの洗浄を行い、各パネルに駆動ドライバ等を実装する。各液晶パネルの外側表面に偏光板を貼着し、バックライト４１を取り付けて、液晶装置１が完成する。
【００５４】
このように、本実施形態によれば、ヘッド１１４が往復走査する際に、往路及び復路のどちらの方向から走査するときでも液体材料１１１（赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂ）の吐出される順序が同一になるため、往路と復路との吐出環境の違いを無くすことができる。これにより、形成される膜にムラが生じるのを防ぐことができる。
【００５５】
また、本実施形態では、キャリッジ１０３が基体１０Ａ上を通過するときに各液体材料１１１を吐出するヘッド１１４の順序が往路と復路とで同一になるような順序でヘッド１１４を予め配置しておいたので、往路と復路とでキャリッジ１０３の向きを変化させる必要が無く、吐出装置１の装置構成及びヘッド１１４の制御が複雑になるのを回避できる。
【００５６】
（電子機器）  
次に、本発明に係る電子機器について、携帯電話を例に挙げて説明する。  
図１４は、携帯電話３００の全体構成を示す斜視図である。  
携帯電話３００は、筺体３０１、複数の操作ボタンが設けられた操作部３０２、画像や動画、文字等を表示する表示部３０３を有する。表示部３０３には、本発明に係る液晶装置１が搭載される。  
このように、表示が均一な良質の液晶装置１を搭載したので、表示性能の優れた電子機器（携帯電話３００）を得ることができる。
【００５７】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。  
上記実施形態では、キャリッジ１０３に設けられるヘッド１１４の順序（走査方向の配列）を予め設定して配置しているが、これに限られることは無く、例えば、図１５に示すように、キャリッジ１０３の向きを反転する手段、例えばモータ等の回転機構をこのキャリッジ１０３に備え付けておき、キャリッジ１０３がＺ軸を軸とする回転方向に回転可能にさせておいても良い。往路の走査と復路の走査とを切り替えるときにモータを駆動させれば、キャリッジ１０３の向きを反転させることができるので、ヘッド１１４をキャリッジ１０３にどのような順序に配置にしておいても、各ヘッド１１４の基体１０Ａ上を進む順序は同一になる。
【００５８】
また、上記実施形態の説明は、本発明を液晶装置１のカラーフィルタ基板３にカラーフィルタ層１６を形成する場合の例であるが、この例に限られることは無く、例えば本発明を有機ＥＬ装置用基板に有機層（発光層等）を形成する場合にも適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施形態に係る液晶装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係るカラーフィルタ基板の構成を示す平面図である。
【図３】本実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。
【図４】本実施形態に係る液滴吐出装置のキャリッジの構成を示す平面図である。
【図５】本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの外部構成を示す平面図である。
【図６】本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの内部構成を示す図である。
【図７】本実施形態に係る液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図である。
【図８】本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッド駆動部の構成を示す図である。
【図９】本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの配置を示す図である。
【図１０】本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図（その１）である。
【図１１】本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図（その２）である。
【図１２】本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図（その３）である。
【図１３】本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図（その４）である。
【図１４】本発明に係る電子機器の構成を示す斜視図である。
【図１５】本発明に係る液滴吐出装置の別の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６０】
１…液晶装置  ２…アクティブマトリクス基板  ３…カラーフィルタ基板  １０Ａ…基体  １６…カラーフィルタ  １８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）…被吐出部  １００…液滴吐出装置（吐出装置）  １０３…キャリッジ  １０６…ステージ  １１１（１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ）…液体材料  １１４（１１４Ｒ、１１４Ｇ、１１４Ｂ）…ヘッド  １１４Ｐ…ヘッド群  １１４Ｇ…ヘッド  １１８…ノズル  ３００…携帯電話
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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