(57)【要約】      （修正有）【課題】液晶表示基板を軽量化及び薄型化する。【解決手段】支持基板２１１と、支持基板上に形成された接着剤層２１２と、接着剤層上に形成され周辺部が接着剤層により取り囲んでいる粘着剤層２１３と、を含む。この液晶表示基板搬送用ジグ２１０を用いて液晶表示装置を製造することにより、液晶表示装置製造工程中に浮き上がりを防止してプラスチック基板２２１の表面平坦性を確保する。また、通常のガラス液晶表示装置製造設備を用いてプラスチック液晶表示装置を製造することができる。【選択図】図２ｅ
2006079057.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板と、
前記支持基板上に形成された接着剤層と、
前記接着剤層上に形成され、周辺部が前記接着剤層により取り囲まれている粘着剤層と、
を含むことを特徴とする液晶表示基板搬送用ジグ。
【請求項２】
前記接着剤層は、シリコン系接着剤を含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示基板搬送用ジグ。
【請求項３】
前記粘着剤層は、感温性粘着剤を含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示基板搬送用ジグ。
【請求項４】
前記接着剤層の下部に形成され、前記支持基板に接着されたベース基板をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示基板搬送用ジグ。
【請求項５】
前記接着剤層上に形成され、前記粘着剤層と実質的に同一なサイズを有するベース基板をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示基板搬送用ジグ。
【請求項６】
前記接着剤層の下部に形成され、前記支持基板に接着された第1ベース基板と、
前記接着剤層の上部に形成され、前記粘着剤層と実質的に同一なサイズを有する第2ベース基板と、
をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示基板搬送用ジグ。
【請求項７】
支持基板上に接着剤層を形成する段階と、
前記接着剤層上に前記接着剤層より小さいサイズを有する粘着剤層を形成する段階と、
前記粘着剤層上にプラスチック基板を形成する段階と、
前記プラスチック基板を加圧することにより前記プラスチック基板と前記粘着剤層周辺を取り囲む前記接着剤層とを附着し、液晶表示装置製造工程用基板を準備する段階と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記接着剤層は、シリコン系接着剤を含むことを特徴とする、請求項７に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記粘着剤層は、感温性粘着剤を含むことを特徴とする、請求項７に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記プラスチック基板を附着する段階の後に、前記プラスチック基板上に液晶表示装置製造工程を遂行する段階と、
前記製造工程が完了した後に、前記プラスチック基板を前記接着剤層と前記粘着剤層とから分離する段階と、
をさらに含むことを特徴とする、請求項７に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記プラスチック基板を前記接着剤層と前記粘着剤層とから分離する段階は、
前記プラスチック基板に、少なくとも前記粘着剤層まで分離線を形成する段階と、
前記分離線に沿って、前記プラスチック基板を、前記接着剤層及び前記粘着剤層から分離する段階と、
を含むことを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記分離線に沿って前記プラスチック基板を前記接着剤層及び前記粘着剤から分離する段階の前に、前記粘着剤層を加温、感温又は紫外線を照射する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項１１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記分離線に沿って前記プラスチック基板を前記接着剤層及び前記粘着剤層から分離する段階の前に、前記粘着剤層を０℃乃至５℃に感温する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項１１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記プラスチック基板を前記接着剤層及び前記粘着剤層から分離する段階は、
前記接着剤層を有機溶媒で溶解させる段階と、
前記プラスチック基板を前記粘着剤層から分離する段階と、
を含むことを特徴とする、請求項１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記プラスチック基板を前記粘着剤層から分離する段階の前に、前記粘着剤層を加温、感温又は紫外線を照射する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項１４に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記プラスチック基板を前記粘着剤層から分離する段階の前に、前記粘着剤層を０℃乃至５℃に感温する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項１４に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記有機溶媒は、テトラヒドロフラン又はクロロホルムであることを特徴とする、請求項１４に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１８】
前記接着剤層を形成する段階の前に、前記支持基板に接着されたベース基板を形成する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項７に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１９】
前記粘着剤層を形成する段階の前に、前記接着剤層上に前記粘着剤層と実質的に同一なサイズを有するベース基板を形成する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項７に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示基板搬送用ジグ及びこれを用いた液晶表示装置の製造方法に関する。詳しくは、軽量で薄型の液晶表示基板に用いられるプラスチック基板を搬送するための液晶表示基板搬送用ジグ及びこれを用いた液晶表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯用情報端末機や携帯用電話機に用いられる液晶表示装置には、軽量で薄型の液晶表示基板が求められる。
こうしたニーズに対し、ガラス基板の密度を減少させるか、或いはガラス基板の厚さを薄くすることによって軽量化や薄型化が成されてきている。しかし、ガラスを主として構成する二酸化シリコン（ＳｉＯ2）が実質的にガラスの全ての物理的特性値を決定するため、ガラス密度を低くすることによる軽量化・薄型化には限界がある。一方、ガラス基板が薄くなると、その強度が低下するため、製造ラインでの設備変更が必要になる上、外部からの力に対する物理的抵抗が低くなる。従って、ガラス基板の厚さは、量産レベルでは、０．７ｍｍ程度までの薄型化が限界であり、０．５ｍｍ又は０．３ｍｍの厚さの大型ガラス（３００×３００ｍｍ以上）を使用した液晶表示装置の製造は困難である。
【０００３】
薄型化を実現するために、ガラス基板の代わりにプラスチック基板を使用した液晶表示装置についての開発が進行している。その製造方法としては、プラスチック基板をシート状として搬送する方法及びロール状として連続的に送出する方法が知られている。
しかし、プラスチック基板は、剛性や熱変形温度、表面硬度などが低いため、損傷しやすく、加熱工程で膨張／収縮などの変形を起こしやすい。従って、プラスチック基板で液晶表示装置を製造することは、ガラス基板を使用する場合に比べてさらに困難である。
【０００４】
こうした問題点を解決するため、プラスチック基板を額縁形のフレームに固定した形態で搬送して液晶表示装置を製造する方法が提案されている。また、プラスチック基板の周辺部を支持基板に圧着した形態に製造し、後に圧着部を切断する方法や、異形フィルム上にプラスチック基板を形成する高分子樹脂を積層した形態に製造する方法も提案されている。
【０００５】
しかし、プラスチック基板をフレームに固定した形態に製造する方法では、プラスチック基板がフレームの内部で歪み、表面平坦性の確保が難しくなる。そのため、液晶表示装置の製造工程中の各種印刷装置や露光装置などで、フレーム内部の平坦性の欠落を担保する必要がある。例えば、特殊なステージの設計などが必要になって製造コストが高くなる。また、ガラス基板との互換性が得られないなどの問題を有している。
【０００６】
一方、異形フィルム上にプラスチック基板を形成する高分子樹脂を積層した形態の液晶表示装置の製造方法においては、次の問題がある。第１に、異形フィルムの支持基板の剛性が低く、搬送性が低下する。第２に、使用できる製造工程、装置及び条件が限定される。第３に、異形フィルムと高分子樹脂との密着性が低いので、密着力の面で安定した搬送性が得られない。また、加熱処理が行われる場合、異形フィルムと高分子樹脂との界面に気泡や部分的な剥離が発生し、以後の工程処理の続行に困難を来す。
【特許文献１】特開2000-252342号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の技術的課題は、薄型化された液晶表示基板搬送用ジグを提供するところにある。
本発明の他の技術的課題は、液晶表示基板搬送用ジグを用いた液晶表示基板を製造する方法を提供するところにある。
本発明のさらに他の技術的課題は、液晶表示基板を用いた液晶表示装置を製造する方法を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために、本発明１は、以下の構成要素を含む液晶表示基板搬送用ジグを提供する。
・支持基板、
・前記支持基板上に形成された接着剤層、
・前記接着剤層上に形成され、周辺部が前記接着剤層により取り囲まれている粘着剤層。
【０００９】
発明２は、前記発明１において、前記接着剤層がシリコン系接着剤を含む液晶表示基板搬送用ジグを提供する。シリコン系接着剤は、加温処理又は感温処理などによりその接着力が低下されない特性を有するので好ましい。
発明３は、前記発明１において、前記粘着剤層が感温性粘着剤を含む液晶表示基板搬送用ジグを提供する。
【００１０】
感温性粘着剤を用いると、ジグ上に積層されるアレイ基板やカラーフィルター基板の露光工程で、プラスチック基板が脱落しにくい。また、粘着剤層上に形成されるプラスチック基板に、熱膨張によるストレスを生じさせることもない。
発明４は、前記発明１において、前記接着剤層の下部に形成され、前記支持基板に接着されたベース基板をさらに含む液晶表示基板搬送用ジグを提供する。
【００１１】
ベース基板は、粘着剤層上に形成されるプラスチック基板上にＴＦＴ素子層を形成するアレイ工程で、プラスチック基板を支持する役割をする。また、アレイ工程中で発生する熱を分散させてプラスチック基板の温度が上昇することを防ぐ保護基板の役割をする。
発明５は、前記発明１において、前記接着剤層上に形成され、前記粘着剤層と実質的に同一なサイズを有するベース基板をさらに含む液晶表示基板搬送用ジグを提供する。
【００１２】
ベース基板は、接着剤層と粘着剤層とを分離して接着剤層の成分と粘着剤層の成分とが混合することを防止し、相反する性能を有する接着剤層と粘着剤層との各接着性能を確保する。
発明６は、前記発明１において、下記の構成要素をさらに含む液晶表示基板搬送用ジグを提供する。
・前記接着剤層の下部に形成され、前記支持基板に接着された第１ベース基板、
・前記接着剤層の上部に形成され、前記粘着剤層と実質的に同一なサイズを有する第2ベース基板。
【００１３】
前記第１ベース基板は、前記発明４におけるベース基板に相当する。前記第２ベース基板は、前記発明５におけるベース基板に相当する。
発明７は、下記段階を含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
・支持基板上に接着剤層を形成する段階、
・前記接着剤層上に前記接着剤層より小さいサイズを有する粘着剤層を形成する段階、
・前記粘着剤層上にプラスチック基板を形成する段階、
・前記プラスチック基板を加圧することにより前記プラスチック基板と前記粘着剤層周辺を取り囲む前記接着剤層とを附着し、液晶表示装置製造工程用基板を準備する段階。
【００１４】
この製造方法を用いれば、プラスチック基板の中央部に形成されている粘着剤層中に含まれた溶媒などのために加温処理などでガスが発生しても、接着剤層の強力な接着力によりプラスチック基板が浮き上がる問題を防止し、工程収率を高めることができる。
発明８は、前記発明７において、前記接着剤層はシリコン系接着剤を含む液晶表示装置の製造方法を提供する。シリコン系接着剤は、加温処理又は感温処理などによりその接着力が低下されない特性を有するので好ましい。
【００１５】
発明９は、前記発明７において、前記粘着剤層が感温性粘着剤を含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
感温性粘着剤を用いると、ジグ上に積層されるアレイ基板やカラーフィルター基板の露光工程で、プラスチック基板が脱落しにくい。また、粘着剤層上に形成されるプラスチック基板に、熱膨張によるストレスを生じさせることもない。
【００１６】
発明１０は、前記発明７において、
・前記プラスチック基板を附着する段階の後に、前記プラスチック基板上に液晶表示装置製造工程を遂行する段階、
・前記製造工程が完了した後に、前記プラスチック基板を前記接着剤層と前記粘着剤層とから分離する段階と、
をさらに含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
【００１７】
発明１１は、前記発明１０において、前記プラスチック基板を前記接着剤層と前記粘着剤層とから分離する段階は、以下の段階を含んでいる液晶表示装置の製造兵法を提供する。
・前記プラスチック基板に、少なくとも前記粘着剤層まで分離線を形成する段階、
・前記分離線に沿って、前記プラスチック基板を、前記接着剤層及び前記粘着剤層から分離する段階。
【００１８】
分離線を形成することにより、プラスチック基板上に形成されるアレイ基板やカラーフィルター基板を、液晶表示基板搬送用ジグから容易に分離できる。
発明１２は、前記発明１１において、前記分離線に沿って前記プラスチック基板を前記接着剤層及び前記粘着剤から分離する段階の前に、前記粘着剤層を加温、感温又は紫外線を照射する段階をさらに含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
【００１９】
分離する条件は、粘着剤層を形成する粘着剤の種類に応じて変えることができる。
発明１３は、前記発明１１において、前記分離線に沿って前記プラスチック基板を前記接着剤層及び前記粘着剤層から分離する段階の前に、前記粘着剤層を０℃乃至５℃に感温する段階をさらに含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
感温性粘着剤を用いると、ジグ上に積層されるアレイ基板やカラーフィルター基板の露光工程で、プラスチック基板が脱落しにくい。また、粘着剤層上に形成されるプラスチック基板に、熱膨張によるストレスを生じさせることもない。
【００２０】
発明１４は、前記発明１０において、前記プラスチック基板を前記接着剤層及び前記粘着剤層から分離する段階は、下記の段階を含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
・前記接着剤層を有機溶媒で溶解させる段階、
・前記プラスチック基板を前記粘着剤層から分離する段階。
発明１５は、前記発明１４において、前記プラスチック基板を前記粘着剤層から分離する段階の前に、前記粘着剤層を加温、感温又は紫外線を照射する段階をさらに含む液晶表示装置の製造方法を提供する。発明１２と同様の理由による。
【００２１】
発明１６は、発明１４において、前記プラスチック基板を前記粘着剤層から分離する段階の前に、前記粘着剤層を０℃乃至５℃に感温する段階をさらに含む液晶表示装置の製造方法を提供する。前記発明１３と同様の理由による。
発明１７は、前記発明１４において、前記有機溶媒は、テトラヒドロフラン又はクロロホルムである液晶表示装置の製造方法を提供する。
【００２２】
発明１８は、前記発明７において、前記接着剤層を形成する段階の前に、前記支持基板に接着されたベース基板を形成する段階をさらに含む液晶表示装置の製造方法を提供する。前記発明４と同様の理由による。
発明１９は、前記発明７において、前記粘着剤層を形成する段階の前に、前記接着剤層上に前記粘着剤層と実質的に同一なサイズを有するベース基板を形成する段階をさらに含む液晶表示装置の製造方法を提供する。前記発明５と同様の理由による。
【発明の効果】
【００２３】
前述したような本発明の液晶表示基板搬送用ジグ及びこれを用いた液晶表示装置の製造方法によれば、次の効果がある。
第１に、本発明に従う液晶表示基板搬送用ジグを用いてプラスチック液晶表示基板を製造すれば、プラスチック基板と液晶表示基板搬送用ジグとの高密着力により、液晶表示装置製造工程中に浮き上がりを防止してプラスチック基板の表面平坦性を確保することができる。その結果、プラスチック液晶表示装置製造において収率を高めることができる。
【００２４】
第２に、本発明に従う液晶表示基板搬送用ジグを用いてプラスチック液晶表示基板を製造すれば、通常のガラス液晶表示装置製造設備を用いてプラスチック液晶表示装置を製造することができる。そのため、設備についての別途の投資コストなしでプラスチック液晶表示装置を製造することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の利点及び特徴、そしてそれらを達成する方法は、添付する図面と共に詳細に後述している実施形態を参照すれば明確になる。しかしながら、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、相異なる多様な形態で具現されるものであり、本実施形態は、本発明の開示が完全となり、当業者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、特許請求の範囲の記載に基づいて決められなければならない。なお、明細書全体にかけて同一参照符号は同一構成要素を示すものとする。
【００２６】
以下、添付した図１乃至図８ｍを参照して本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造方法についての工程流れ図であり、図２ａ乃至図２ｋは、各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【００２７】
図１を参照すれば、先ず支持基板上に接着剤層を形成する（Ｓ１０１）。
具体的に、図２ａを参照すれば、支持基板２１１は、ガラス基板又は透明性樹脂基板であり得る。こうした支持基板２１１上に接着剤層２１２を形成する。
接着剤層２１２は、被接着体に対し強い接着力を有する接着剤層として、加温処理又は感温処理などによりその接着力が低下されない特性を有する物質で形成される。例えば、シリコンＰＳＡ接着テープ、高耐熱性シリコン接着剤などのシリコン系接着剤で形成できる。接着剤層２１２は、通常用いられるスピンコーティング方法又はラミネーション方法により支持基板２１１上に形成される。この際、接着剤層２１２の厚さは、５μｍ乃至１５μｍであり得るが、これに限定されるものではない。
【００２８】
次いで、接着剤層上に粘着剤層を形成する（Ｓ１０２）。
図２ｂ及び図２ｃを参照すれば、粘着剤層２１３は、接着剤層２１２より小さいサイズで形成される。これは、後述するプラスチック基板が接着剤層２１２と附着されるようにするためである。
粘着剤層２１３は、常温では、通常の粘着剤と同様に被粘着体を固定させる役割をするものの、紫外線処理、加温処理又は感温処理などにより被粘着体が容易に分離されるようにする特性を有する物質で形成される。紫外線処理により被粘着体を分離する粘着剤の場合は、アレイ基板又はカラーフィルター基板の露光工程のとき、プラスチック基板が脱落する可能性があるだけではなく、露光時間が長いほどプラスチック基板が割れることができるおそれがある。また、加温処理により被粘着体を分離する粘着剤の場合は、プラスチック基板に加温処理するとき、熱膨張によるストレスを生じプラスチック基板に亀裂が生ずるおそれがある。従って、本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造に使用される粘着剤層２１３は、特に感温処理により被粘着体から容易に分離する特性を有する感温性粘着剤で形成されることが好ましい。例えば、アクリル系樹脂の感温性粘着テープ、アクリル系樹脂の感温性加熱式粘着テープなどのアクリル系成分の粘着剤が使用できる。
【００２９】
粘着剤層２１３は、接着剤層２１２上に通常用いられるスピンコーティング方法又はラミネーション方法により形成でき、その厚さは、５μｍ乃至１５μｍであり得るが、これに限定されない。
続けて、粘着剤層上にプラスチック基板を形成する（Ｓ１０３）。
図２ｄを参照すれば、プラスチック基板２２１は、ポリカーボネート（ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ）、ポリエーテルサルホン（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｓｕｌｆｏｎｅ）、ポリアリレート（ｐｏｌｙａｒｙｌａｔｅ）などの成分の基板で形成できるが、これに限定されない。こうしたプラスチック基板２２１は、それと等しい厚さを有するガラス基板よりさらに小さい重力を示すため、液晶表示装置は、さらに軽くなることができる。その上に、プラスチック基板２２１が衝突についてガラス基板と等しい抵抗を有するように作られる場合、プラスチック基板２２１の厚さは、ガラス基板と比較して縮小されることができるため、液晶表示基板がさらに薄い厚さを有するように許容する。
【００３０】
本発明の第１の実施形態による液晶表示装置に使用されるプラスチック基板２２１の厚さは、２５μｍ乃至４００μｍであることができ、これに限定されない。
また、プラスチック基板２２１のサイズは、少なくとも粘着剤層２１３よりさらに大きく形成されなければならないが、これは、プラスチック基板２２１が粘着剤層２１３の下部に形成されている接着剤層２１２と附着されなければならないためである。
【００３１】
次いで、プラスチック基板上に加圧してプラスチック基板と接着剤層とを附着する（Ｓ１０４）。
図２ｅを参照すれば、支持基板２１１、接着剤層２１２、粘着剤層２１３及びプラスチック基板２２１の順序に順次に積層されていることに圧力を加える。このように、圧力を加える方法としては、ローラー、ラミネーティング装置などを用いることができ、これに限定されない。
【００３２】
前述したように、プラスチック基板２２１上に圧力を加えれば、接着剤層２１２とプラスチック基板２２１との間に形成されていた空間が消えながら、プラスチック基板２２１の下方で粘着剤層２１３の形成されない部分が接着剤層２１２と附着される。その結果、図２ｅに示されているように、支持基板２１１、接着剤層２１２及び周辺部が接着剤層により取り囲んでいる粘着剤層２１３を含む構造（以下、これを液晶表示基板搬送用ジグという。）２１０上にプラスチック基板２２１が附着される。
【００３３】
前述したような液晶表示基板搬送用ジグ２１０上にプラスチック基板２２１を形成し、加温処理又は感温処理などにより接着力に影響を受けない接着剤層２１２とプラスチック基板２２１とを直接附着させることによって、プラスチック基板２２１の中央部に形成されている粘着剤層２１３中に含まれた溶媒などが加温処理などによりガスが発生しても接着剤層２１２の強力な接着力によりプラスチック基板２２１が浮き上がる問題を防止し、工程収率を高めることができる。
【００３４】
続けて、プラスチック基板上にＴＦＴ素子層又はＲ，Ｇ，Ｂカラーフィルター層を形成する（Ｓ１０５）。
図２ｆを参照すれば、プラスチック基板２２１が附着されている液晶表示基板搬送用ジグ２１０を、チャンバ内にローディングさせる。図示しないが、プラスチック基板２２１上に順次通りゲートバスラインとＴＦＴゲート電極とを形成し、ゲート絶縁膜を形成する。続けて、ソース／ドレーン電極及びデータバスラインを形成してＴＦＴを完成し、ＩＴＯ画素電極を蒸着し、オーバーコーティング層を形成してＴＦＴ素子層２２２を形成する。こうしたＴＦＴ素子層２２２が形成されているプラスチック基板２２１を、以下アレイ基板２２０という。
【００３５】
ＴＦＴ素子層２２２を形成する過程でチャンバ内の温度が１４０乃至１５０℃に至るが、液晶表示基板搬送用ジグ２１０に含まれている支持基板２１１によりプラスチック基板２２１の受ける熱が分散される。また、接着剤によりプラスチック基板２２１が支持基板２１１に固定されているので、工程進行中のプラスチック基板２２１の変形を防止することができる。
【００３６】
同様の方法で、図２ｇに示すように、プラスチック基板２２１上にカラーフィルター層２２３が形成されているカラーフィルター基板２３０も、アレイ基板２２０の製造工程とほとんど同様に製造できる。
次いで、アレイ基板又はカラーフィルター基板を、接着剤層と粘着剤層とから分離する（Ｓ１０６）。
【００３７】
アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を接着剤層２１２と粘着剤層２１３とから分離する方法は、次の通りである。
先ず、図２ｈを参照すれば、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０が附着されている液晶表示基板搬送用ジグ２１０上に、ダイ−カッティング（ｄｉｅ−ｃｕｔｔｉｎｇ）作業を通じ、少なくとも粘着剤層２１３表面まで達する分離線２３１を形成する。こうした作業を通じて、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０が液晶表示基板搬送用ジグ２１０で容易に分離されることができるようにする。
【００３８】
図２ｉを参照すれば、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を液晶表示基板搬送用ジグ２１０から分離する条件は、液晶表示基板搬送用ジグ２１０に形成されている粘着剤層２１３を形成する粘着剤の種類に応じて変わる。例えば、粘着剤層２１３を形成する粘着剤が加温型粘着剤である場合には、加熱条件下で被粘着体を分離することができる。紫外線照射型粘着剤である場合には、紫外線照射により被粘着体を分離することができる。本実施形態において使用される粘着剤は、０℃乃至５℃の温度条件下で被粘着体が分離する感温型粘着剤であり得る。従って、液晶表示基板搬送用ジグ２１０の粘着剤層２１３からアレイ基板２２０又はカラーフィルター２３０の分離は、０℃で約１０分、５℃で２４時間程度放置することによって遂行されることができる。
【００３９】
アレイ基板又はカラーフィルター基板を接着剤層と粘着剤層とから分離する他の方法としては、図２ｊに示すように、液晶表示基板搬送用ジグ２１０に形成されている接着剤層２１２をテトラヒドロフラン又はクロロホルムのような有機溶媒を使用して溶解した後、粘着剤層２１３の温度を０℃乃至５℃に感温する方法が挙げられる。
前述したような液晶表示基板搬送用ジグ２１０でアレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を分離する段階は、後述されるアレイ基板２２０とカラーフィルター基板２３０とを液晶層を挟んで附着する段階以後にも行うこともできる（Ｓ１０７）。
【００４０】
次いで、アレイ基板とカラーフィルター基板とを液晶を挟んで附着する（Ｓ１０７）。
図２ｋを参照すれば、カラーフィルター基板２３０上にスペーサを散布し、アレイ基板２２０上にシールライン２４１を形成した後、二つの基板を附着し、液晶２４２を注入してパネルを完成することができる。また、スペーサが散布されているカラーフィルター基板２３０上に液晶２４２を注入した後、シールライン２４１が形成されているアレイ基板２４０を覆って二つの基板を附着し、パネルを完成することもできる。
【００４１】
以上の方法により、液晶表示装置製造工程中に浮き上がりを防止してプラスチック基板の表面平坦性を確保する。また、通常のガラス液晶表示装置製造設備を用いてプラスチック液晶表示装置を製造することができる。
＜第２実施形態＞
図３は、本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造方法についての工程流れ図である。図４ａ乃至図４ｌは、各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【００４２】
図３を参照すれば、先ず支持基板上に下部接着剤層を形成する（Ｓ２０１）。
具体的に図４ａを参照すれば、支持基板２１１は、ガラス基板又は透明性樹脂基板であり得る。こうした支持基板２１１上に下部接着剤層２１４を形成する。
下部接着剤層２１４は、被接着体について強い接着力を有する接着剤層として、加温処理又は感温処理などによりその接着力が低下されない特性を有する物質で形成される。例えば、シリコンＰＳＡ接着テープ、高耐熱性シリコン接着剤などのシリコン系接着剤が形成できる。下部接着剤層２１４は、通常用いられるスピンコーティング方法又はラミネーション方法により支持基板２１１上に形成される。この際、下部接着剤層２１４の厚さは５μｍ乃至１５μｍであり得るが、これに限定されない。
【００４３】
次いで、下部接着剤層上にベース基板２１５を形成する（Ｓ２０２）。
図４ｂを参照すれば、ベース基板２１５は、ポリカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポリアリレートなどの成分の基板で形成できるが、これに限定されない。ベース基板２１５は、後述されるプラスチック基板上にＴＦＴ素子層を形成するアレイ工程でプラスチック基板を支持する役割をする。また、アレイ工程中で発生する熱を分散させてプラスチック基板の温度が上昇することを防ぐ保護基板の役割をする。
【００４４】
ベース基板２１５の厚さは、１０μｍ乃至１００μｍであることができ、これに限定されない。
続けて、ベース基板２１５上に上部接着剤層２１２を形成する（Ｓ２０３）。
図４ｃを参照すれば、上部接着剤層２１２は、下部接着剤層２１４と同様に、被接着体に対し強い接着力を有し、加温処理又は感温処理などによりその接着力が低下しない特性を有する物質で形成される。例えば、シリコンＰＳＡ接着テープ、高耐熱性シリコン接着剤などのシリコン系接着剤で形成できる。上部接着剤層２１２は、通常用いられるスピンコーティング方法又はラミネーション方法により支持基板２１１上に形成される。この際、上部接着剤層２１２の厚さは、５μｍ乃至１５μｍであり得るが、これに限定されない。
【００４５】
次いで、上部接着剤層上に粘着剤層を形成する（Ｓ２０４）。
図４ｄ及び図４ｅを参照すれば、粘着剤層２１３は、上部接着剤層２１２より小さいサイズで形成される。これは、後述するプラスチック基板２２１が上部接着剤層２１２と附着されるようにするためである。
粘着剤層２１３は、常温では、通常の粘着剤と同様に被粘着体を固定させる役割をするが、紫外線処理、加温処理又は感温処理などにより、被粘着体が容易に分離されるようにする特性を有する物質で形成される。紫外線処理により被粘着体を分離する粘着剤の場合は、アレイ基板又はカラーフィルター基板の露光工程のときプラスチック基板が脱落する可能性があるだけではなく、露光時間が長いほどプラスチック基板が割れるおそれがある。また、加温処理により被粘着体を分離する粘着剤の場合は、プラスチック基板に加熱処理するとき熱膨張によるストレスを生じ、プラスチック基板に亀裂が生ずるおそれがある。従って、本実施形態で用いる粘着剤層２１３は、感温処理により被粘着体から容易に分離する特性を有する感温性粘着剤で形成することが好ましい。例えば、アクリル系樹脂の感温性粘着テープ、アクリル系樹脂の感温性加温式粘着テープなどのアクリル系成分の粘着剤が使用できる。
【００４６】
粘着剤層２１３は、上部接着剤層２１２上に通常用いられるスピンコーティング方法又はラミネーション方法により形成でき、その厚さは、５ｍ乃至１５ｍであり得るが、これに限定されない。
続けて、粘着剤層上にプラスチック基板を形成する（Ｓ２０５）。
図４ｆを参照すれば、プラスチック基板２２１は、ポリカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポリアリレートなどの成分の基板で形成できるが、これに限定されない。こうしたプラスチック基板２２１は、それと等しい厚さを有するガラス基板よりさらに小さい重力を示すため、液晶表示装置は、さらに軽くなる。その上に、プラスチック基板２２１が衝突についてガラス基板と同等の強さを有するように作られる場合、プラスチック基板２２１の厚さは、ガラス基板と比較して小さくできるため、液晶表示基板をさらに薄く形成できる。
【００４７】
本発明の第２の実施形態による液晶表示装置に使用されるプラスチック基板２２１の厚さは、２５μｍ乃至４００μｍであることができ、これに限定されない。
また、プラスチック基板２２１のサイズは、少なくとも粘着剤層２１３よりさらに大きく形成されなければならないが、これは、プラスチック基板２２１が粘着剤層２１３の下部に形成されている上部接着剤層２１２と附着されなければならないためである。
【００４８】
次いで、プラスチック基板上に加圧してプラスチック基板と上部接着剤層とを附着する（Ｓ２０６）。
図４ｇを参照すれば、支持基板２１１、下部接着剤層２１４、ベース基板２１５、上部接着剤層２１２、粘着剤層２１３及びプラスチック基板２２１の順序に順次に積層されていることに圧力を加える。このように圧力を加える方法としては、ローラー、ラミネーティング装置などを用いることができ、これに限定されない。
【００４９】
前述したように、プラスチック基板２２１上に圧力を加えれば、上部接着剤層２１２とプラスチック基板２２１との間に形成されていた空間がなくなり、プラスチック基板２２１の下方で粘着剤層２１３の形成されない部分が上部接着剤層２１２と附着される。その結果、図４ｇに示すように支持基板２１１、下部接着剤層２１４、ベース基板２１５、上部接着剤層２１２及び周辺部が上部接着剤層により取り囲んでいる粘着剤層２１３を含む構造（以下、これを液晶表示基板搬送用ジグという。）２１０′上にプラスチック基板２２１が附着される。
【００５０】
前述したような液晶表示基板搬送用ジグ２１０′上にプラスチック基板２２１を形成して、加温処理又は感温処理などにより接着力に影響を受けない上部接着剤層２１２とプラスチック基板２２１とを直接附着することによって、プラスチック基板２２１の中央部に形成されている粘着剤層２１３中に含まれた溶媒などが加温処理などによりガスが発生しても、上部接着剤層２１２の強力な接着力によりプラスチック基板２２１の浮き上がる問題を防止し、工程収率を高めることができる。
【００５１】
続けて、プラスチック基板上にＴＦＴ素子層又はＲ，Ｇ，Ｂカラーフィルター層を形成する（Ｓ２０７）。
図４ｈを参照すれば、プラスチック基板２２１が附着されている液晶表示基板搬送用ジグ２１０′をチャンバ内にローディングさせる。図示しないが、プラスチック基板２２１上に順次通りゲートバスラインとＴＦＴゲート電極とを形成し、ゲート絶縁膜を形成する。続けて、ソース／ドレーン電極及びデータバスラインを形成してＴＦＴを完成し、ＩＴＯ画素電極を蒸着し、オーバーコーティング層を形成してＴＦＴ素子層２２２を形成する。こうしたＴＦＴ素子層２２２が形成されているプラスチック基板２２１を以下、アレイ基板２２０という。
【００５２】
ＴＦＴ素子層２２２を形成する過程でチャンバ内の温度が１３０℃乃至１５０℃に至るが、液晶表示基板搬送用ジグ２１０′に含まれている支持基板２１１によりプラスチック基板２２１の受ける熱が分散される。また、接着剤によりプラスチック基板２２１が支持基板２１１に固定されていて、工程進行中にプラスチック基板２２１の変形を防止することができる。
【００５３】
同様の方法に図４ｉに示されているように、プラスチック基板２２１上にカラーフィルター層２２３が形成されているカラーフィルター基板２３０も、アレイ基板２２０の製造工程とほとんど同様に製造される。
次いで、アレイ基板又はカラーフィルター基板を、上部接着剤層と粘着剤層とから分離する（Ｓ２０８）。
【００５４】
アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を上部接着剤層２１２と粘着剤層２１３とから分離する方法は、次の通りである。
先ず、図４ｊを参照すれば、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０が附着されている液晶表示基板搬送用ジグ２１０′上に、ダイ−カッティング作業を通じ、少なくとも粘着剤層２１３まで分離線２３１を形成する。こうした作業を通じ、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０が液晶表示基板搬送用ジグ２１０′で容易に分離されることができるようにする。
【００５５】
図４ｋを参照すれば、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を液晶表示基板搬送用ジグ２１０′から分離する条件は、液晶表示基板搬送用ジグ２１０′に形成されている粘着剤層２１３を形成する粘着剤の種類に応じて変わる。例えば、粘着剤層２１３を形成する粘着剤が加温型粘着剤である場合には、加熱条件下で被粘着体が分離されることができ、紫外線照射型粘着剤である場合には、紫外線照射により被粘着体が分離されることができる。本実施形態で使用される粘着剤は、０℃乃至５℃の温度条件下で被粘着体が分離されることができる感温型粘着剤であり得る。従って、液晶表示基板搬送用ジグ２１０′の粘着剤層２１３からアレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０の分離は、０℃で約１０分、５℃で２４時間程度放置することによって遂行されることができる。
【００５６】
アレイ基板又はカラーフィルター基板を上部接着剤層と粘着剤層とから分離することができる他の方法としては、図４ｌに示すように、液晶表示基板搬送用ジグ２１０′に形成されている接着剤層２１２をテトラヒドロフラン又はクロロホルムのような有機溶媒を使用して溶解した後、粘着剤層２１３の温度を０℃乃至５℃に感温する方法が挙げられる。
前述したような液晶表示基板搬送用ジグ２１０′でアレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を分離する段階は、後述するアレイ基板２２０とカラーフィルター基板２３０とを液晶層を挟んで附着する段階以後に行うこともできる（Ｓ２０９）。
【００５７】
次いで、アレイ基板又はカラーフィルター基板を、液晶層を挟んで附着する（Ｓ２０９）。
図２ｋを参照すれば、カラーフィルター基板２３０上にスペーサを散布し、アレイ基板２００上にシールライン２４１を形成した後、二つの基板を附着し、液晶２４２を注入してパネルを完成することができる。また、スペーサが散布されているカラーフィルター基板２３０上に液晶２４２を注入した後、シールライン２４１が形成されているアレイ基板２４０を覆って二つの基板を附着し、パネルを完成することもできる。
【００５８】
＜第３実施形態＞
図５は、本発明の第３の実施形態による液晶表示装置の製造方法についての工程流れ図である。図６ａ乃至図６ｋは、各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
図５を参照すれば、先ず支持基板上に接着剤層を形成する（Ｓ３０１）。
【００５９】
具体的に図６ａを参照すれば、支持基板２１１は、ガラス基板又は透明性樹脂基板であり得る。こうした支持基板２１１上に接着剤層２１２を形成する。
接着剤層２１２は、被接着体について強い接着力を有する接着剤層として、加温処理又は感温処理などによりその接着力が低下されない特性を有する物質で形成される。例えば、シリコンＰＳＡ接着テープ、高耐熱性シリコン接着剤などのシリコン系接着剤が形成できる。接着剤層２１２は、通常用いられるスピンコーティング方法又はラミネーション方法により支持基板２１１上に形成される。この際、接着剤層２１２の厚さは、５μｍ乃至１５μｍであり得るが、これに限定されない。
【００６０】
次いで、接着剤層２１２上にベース基板２１６を形成する（Ｓ３０２）。
図６ｂ及び図６ｃを参照すれば、ベース基板２１６のサイズは、少なくとも接着剤層２１２より小さいサイズで形成されなければならないが、これは後述するプラスチック基板が接着剤層２１２と附着されるようにするためである。
前述したようなベース基板２１６は、接着剤層２１２と後述する粘着剤層とを分離して接着剤層２１２の成分と粘着剤層２１３の成分が混合することを防止し、相反する性能を有する接着剤層２１２と粘着剤層２１３の各接着性能を確保する。その結果、優秀な接着性と剥離性とを実現することができる。
【００６１】
続けて、ベース基板上に粘着剤層２１３を形成する（Ｓ３０３）。
図６ｄを参照すれば、ベース基板２１６に形成された粘着剤層２１３は、常温では、通常の粘着剤と同様に被粘着体を固定させる役割をするものの、紫外線処理、加温処理又は感温処理などにより被粘着体が容易に分離されるようにする特性を有する物質で形成される。紫外線処理により被粘着体を分離する粘着剤の場合は、アレイ基板又はカラーフィルター基板の露光工程のときプラスチック基板が脱落する可能性があるだけではなく、露光時間が長いほどプラスチック基板が割れてしまうおそれがある。また、加温処理により被粘着体を分離する粘着剤の場合は、プラスチック基板を加温するとき熱膨張によるストレスを生じ、プラスチック基板に亀裂が発生するおそれがある。従って、本実施形態で使用される粘着剤層２１３は、特に感温処理により被粘着体から容易に分離される特性を有する感温性粘着剤で形成できる。例えば、アクリル系樹脂の感温性粘着テープ、アクリル系樹脂の感温性加温式粘着テープなどのアクリル系成分の粘着剤が使用できる。
【００６２】
粘着剤層２１３は、ベース基板２１６上に通常用いられる方法により形成でき、その厚さは、５μｍ乃至１５μｍであり得るが、これに限定されない。
続けて、粘着剤層上にプラスチック基板を形成する（Ｓ３０４）。
図６ｅを参照すれば、プラスチック基板２２１は、ポリカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポリアリレートなどの成分の基板で形成できるが、これに限定されない。こうしたプラスチック基板２２１は、それと等しい厚さを有するガラス基板よりさらに小さい重力を示すため、液晶表示装置は、さらに軽くなることができる。その上に、プラスチック基板２２１が衝突についてガラス基板と同等の抵抗を有するように作られる場合、プラスチック基板２２１の厚さは、ガラス基板と比較して小さくできるため、液晶表示基板をさらに薄くすることができる。
【００６３】
本発明の第３の実施形態による液晶表示装置に使用されるプラスチック基板２２１の厚さは、２５μｍ乃至４００μｍであることができ、これに限定されない。
また、プラスチック基板２２１のサイズは、少なくとも粘着剤層２１３よりさらに大きく形成されなければならないが、これはプラスチック基板２２１が粘着剤層２１３の下部に形成されている接着剤層２１２と附着されなければならないためである。
【００６４】
次いで、プラスチック基板上に加圧してプラスチック基板と接着剤層とを附着する（Ｓ３０５）。
図６ｆを参照すれば、支持基板２１１、接着剤層２１２、ベース基板２１６、粘着剤層２１３及びプラスチック基板２２１の順序に順次に積層されていることに圧力を加える。このように圧力を加える方法としては、ローラー、ラミネーティング装置などを用いることができ、これに限定されない。
【００６５】
前述したように、プラスチック基板２２１上に圧力を加えれば、接着剤層２１２とプラスチック基板２２１との間に形成されていた空間が消滅し、プラスチック基板２２１の下方で粘着剤層２１３の形成されない部分が接着剤層２１２と附着される。その結果、図６ｆに示すように、支持基板２１１、接着剤層２１２、ベース基板２１６及び周辺部が接着剤層２１２により取り囲んでいる粘着剤層２１３を含む構造（以下、これを液晶表示基板搬送用ジグという。）２１０″上にプラスチック基板２２１が附着される。
【００６６】
このように液晶表示基板搬送用ジグ２１０″上にプラスチック基板２２１を形成し、加温処理又は感温処理などにより接着力に影響を受けない接着剤層２１２とプラスチック基板２２１とを直接附着することによって、プラスチック基板２２１の中央部に形成されている粘着剤層２１３中に含まれた溶媒などが加温処理などによりガスが発生しても、接着剤層２１２の強力な接着力によりプラスチック基板２２１が浮き上がる問題を防止し、工程収率を高めることができる。
【００６７】
続けて、プラスチック基板上にＴＦＴ素子層又はＲ，Ｇ，Ｂカラーフィルター層を形成する（Ｓ３０６）。
図６ｇを参照すれば、プラスチック基板２２１が附着されている液晶表示基板搬送用ジグ２１０″を、チャンバ内にローディングさせる。図示しないが、プラスチック基板２２１上に順次通りゲートバスラインとＴＦＴゲート電極を形成し、ゲート絶縁膜を形成する。続けて、ソース／ドレーン電極及びデータバスラインを形成してＴＦＴを完成し、ＩＴＯ画素電極を蒸着し、オーバーコーティング層を形成してＴＦＴ素子層２２２を形成する。こうしたＴＦＴ素子層２２２が形成されているプラスチック基板２２１を、以下アレイ基板２２０という。
【００６８】
ＴＦＴ素子層２２２を形成する過程で、チャンバ内の温度が１４０℃乃至１５０℃に至るが、液晶表示基板搬送用ジグ２１０″に含まれている支持基板２１１により、プラスチック基板２２１の受ける熱が分散されることができる。また、接着剤によりプラスチック基板２２１が支持基板２１１に固定されているので、工程進行中にプラスチック基板２２１の変形を防止することができる。
【００６９】
図６ｈに示すように、プラスチック基板２２１上にカラーフィルター層２２３が形成されているカラーフィルター基板２３０も、アレイ基板２２０の製造工程とほとんど同様に製造される。
次いで、アレイ基板又はカラーフィルター基板を、接着剤層と粘着剤層とから分離する（Ｓ３０７）。
【００７０】
アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を接着剤層２１２と粘着剤層２１３とから分離する方法は次の通りである。
先ず、図６ｉを参照すれば、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０が附着されている液晶表示基板搬送用ジグ２１０″上に、ダイ−カッティング作業を通じ、少なくとも粘着剤層２１３まで達する分離線２３１を形成する。こうした作業を通じて、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０が液晶表示基板搬送用ジグ２１０″で容易に分離されることができるようにする。
【００７１】
図６ｊを参照すれば、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を液晶表示基板搬送用ジグ２１０″から分離する条件は、液晶表示基板搬送用ジグ２１０″に形成されている粘着剤層２１３を形成する粘着剤の種類に応じて変わる。例えば、粘着剤層２１３を形成する粘着剤が加温型粘着剤である場合には、加熱条件下で被粘着体が分離されることができ、紫外線照射型粘着剤である場合には、紫外線照射により被粘着体が分離されることができる。本発明の第３の実施形態による液晶表示装置を製造するため使用される粘着剤層２１３を構成する粘着剤は、０℃乃至５℃の温度条件下で被粘着体が分離されることができる感温型粘着剤であり得る。従って、液晶表示基板搬送用ジグ２１０″の粘着剤層２１３からアレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０の分離は、０℃で約１０分、５℃で２４時間程度放置することによって遂行されることができる。
【００７２】
アレイ基板又はカラーフィルター基板を接着剤層と粘着剤層とから分離することができる他の方法としては、図６ｋに示すように、液晶表示基板搬送用ジグ２１０″に形成されている接着剤層２１２をテトラヒドロフラン又はクロロホルムのような有機溶媒を使用して溶解した後、粘着剤層２１３の温度を０℃乃至５℃に感温する方法が挙げられる。
前述したような液晶表示基板搬送用ジグ２１０″でアレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を分離する段階は、後述されるアレイ基板２２０とカラーフィルター基板２３０とを液晶層を挟んで附着する段階以後にも行うこともできる（Ｓ３０８）。
【００７３】
次いで、アレイ基板又はカラーフィルター基板を液晶層を挟んで附着する（Ｓ３０８）。
図２ｋを参照すれば、カラーフィルター基板２３０上にスペーサを散布し、アレイ基板２２０上にシールライン２４１を形成した後、二つの基板を附着し、液晶２４２を注入してパネルを完成することができる。また、スペーサが散布されているカラーフィルター基板２３０上に液層２４２を注入した後、シールライン２４１が形成されているアレイ基板２４０を覆って二つの基板を附着し、パネルを完成することもできる。
【００７４】
＜第４実施形態＞
図７は、本発明の第４の実施形態による液晶表示装置の製造方法についての工程流れ図である。図８ａ乃至図８ｍは、各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
図７を参照すれば、先ず支持基板上に下部接着剤層を形成する（Ｓ４０１）。
【００７５】
具体的に図８ａを参照すれば、支持基板２１１は、ガラス基板又は透明性樹脂基板であり得る。こうした支持基板２１１上に下部接着剤層２１４を形成する。
下部接着剤層２１４は、被接着体について強い接着力を有する接着剤層として、加温処理又は感温処理などによりその接着力が低下されない特性を有する物質で形成される。例えば、シリコンＰＳＡ接着テープ、高耐熱性シリコン接着剤などのシリコン系接着剤が形成できる。下部接着剤層２１４は、通常用いられるスピンコーティング方法又はラミネーション方法により支持基板２１１上に形成される。この際、下部接着剤層２１４の厚さは５μｍ乃至１５μｍであり得るが、これに限定されない。
【００７６】
次いで、下部接着剤層上に下部ベース基板を形成する（Ｓ４０２）。
図８ｂを参照すれば、下部ベース基板２１５は、ポリカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポリアリレートなどの成分の基板で形成できるが、これは限定されない。下部ベース基板２１５は、後述されるプラスチック基板上にＴＦＴ素子層を形成するアレイ工程でプラスチック基板を支持する役割をするだけではなく、アレイ工程中で発生する熱を分散させてプラスチック基板の温度が上昇することを防ぐ保護基板の役割をする。
【００７７】
下部ベース基板２１５の厚さは、１０μｍ乃至１００μｍであることができ、これに限定されない。
続けて、下部ベース基板上に上部接着剤層を形成する（Ｓ４０３）。
図８ｃを参照すれば、上部接着剤層２１２は、被接着体について強い接着力を有する接着剤層として加温処理又は感温処理などによりその接着力が低下されない特性を有する物質で形成される。例えば、シリコンＰＳＡ接着テープ、高耐熱性シリコン接着剤などのシリコン系接着剤が形成できる。上部接着剤層２１２は、通常用いられるスピンコーティング方法又はラミネーション方法により支持基板２１１上に形成される。この際、上部接着剤層２１２の厚さは５μｍ乃至１５μｍであり得るが、これに限定されない。
【００７８】
次いで、上部接着剤層上に上部ベース基板を形成する（Ｓ４０４）。
図８ｄ及び図８ｅを参照すれば、上部ベース基板２１６のサイズは、少なくとも上部接着剤層２１２より小さいサイズで形成されなければならないが、これは、後述するプラスチック基板が上部接着剤層２１２と附着されるようにするためである。
前述したような上部ベース基板２１６は、上部接着剤層２１２と後述する粘着剤層とを分離して上部接着剤層２１２の成分と粘着剤層の成分が混合することを防止し、相反する性能を有する接着剤層２１２と粘着剤層の各接着性能を確保することができる。その結果優秀な接着性と剥離性とを得ることができる。
【００７９】
続けて、上部ベース基板上に粘着剤層２１３を形成する（Ｓ４０５）。
図８ｆを参照すれば、上部ベース基板２１６に形成された粘着剤層２１３は、常温では、通常の粘着剤と同様に被粘着体を固定させる役割をするものの、紫外線処理、加温処理又は感温処理などにより被粘着体が容易に分離されるようにする特性を有する物質で形成される。紫外線処理により被粘着剤を分離する粘着剤の場合は、アレイ基板又はカラーフィルター基板の露光工程のときプラスチック基板が脱落する可能性があるだけではなく、露光時間が長いほどプラスチック基板が割れるおそれがある。また、加温処理により被粘着体を分離する粘着剤の場合は、プラスチック基板に加温処理するとき熱膨張によるストレスを生じプラスチック基板に亀裂が生ずるおそれがある。従って、本発明の第４の実施形態による液晶表示装置の製造に使用される粘着剤層２１３は、特に感温処理により被粘着体から容易に分離される特性を有する感温性粘着剤で形成できる。例えば、アクリル系樹脂の感温性粘着テープ、アクリル系樹脂の感温性加温式粘着テープなどのアクリル系成分の粘着剤が使用できる。
【００８０】
粘着剤層２１３は、上部ベース基板２１６上に通常用いられるスピンコーティング方法により形成でき、その厚さは、５μｍ乃至１５μｍであり得るが、これに限定されない。
続けて、粘着剤層上にプラスチック基板を形成する（Ｓ４０６）。
図８ｇを参照すれば、プラスチック基板２２１は、ポリカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポリアリレートなどの成分の基板で形成できるが、これに限定されない。こうしたプラスチック基板２２１は、それと同等の厚さを有するガラス基板よりさらに軽いので、液晶表示装置をさらに軽量化することができる。その上、プラスチック基板２２１が衝突についてガラス基板と同等の抵抗を有するように作られる場合、プラスチック基板２２１の厚さは、ガラス基板と比較して小さくできるため、さらに薄い液晶表示基板を提供することができる。
【００８１】
本発明の第４の実施形態による液晶表示装置に使用されるプラスチック基板２２１の厚さは、２５μｍ乃至４００μｍであることができ、これに限定されない。
また、プラスチック基板２２１のサイズは、少なくとも粘着剤層２１３よりさらに大きく形成されなければならないが、これはプラスチック基板２２１が粘着剤層２１３の下部に形成されている上部接着剤層２１２と附着されなければならないためである。
【００８２】
次いで、プラスチック基板上に加圧してプラスチック基板と上部接着剤層とを附着する（Ｓ４０７）。
図８ｈを参照すれば、支持基板２１１、下部接着剤層２１４、下部ベース基板２１５、上部接着剤層２１２、上部ベース基板２１６、粘着剤層２１３及びプラスチック基板２２１の順序に、順次に積層されている層に圧力を加える。このように圧力を加える方法としては、ローラー、ラミネーティング装置などを用いることができ、これに限定されない。
【００８３】
前述したように、プラスチック基板２２１上に圧力を加えれば、上部接着剤層２１２とプラスチック基板２２１との間に形成されていた空間が消滅しながら、プラスチック基板２２１の下方で粘着剤層２１３の形成されない部分が上部接着剤層２１２と附着される。その結果、図８ｈに示すように、支持基板２１１、下部接着剤層２１４、下部ベース基板２１５、上部接着剤層２１２、上部ベース基板２１６及び周辺部が上部接着剤層２１２により取り囲んでいる粘着剤層２１３を含む構造（以下、これを液晶表示基板搬送用ジグという。）２１０'''上にプラスチック基板２２１が附着される。
【００８４】
前述したような液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''上にプラスチック基板２２１を形成して、加温処理又は感温処理などにより接着力に影響を受けない上部接着剤層２１２とプラスチック基板２２１とを直接附着することによって、プラスチック基板２２１の中央部に形成されている粘着剤層２１３中に含まれた溶媒などが加温処理などによりガスが発生しても上部接着剤層２１２の強力な接着力によりプラスチック基板２２１が浮き上がる問題を防止し、工程収率を高めることができる。
【００８５】
続けて、プラスチック基板上にＴＦＴ素子層又はＲ，Ｇ，Ｂカラーフィルター層を形成する（Ｓ４０８）。
図８ｉを参照すれば、プラスチック基板２２１が附着されている液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''を、チャンバ内にローディングさせる。図示しないが、プラスチック基板２２１上に順次通りゲートバスラインとＴＦＴゲート電極とを形成し、ゲート絶縁膜を形成する。続けて、ソース／ドレーン電極及びデータバスラインを形成してＴＦＴを完成し、ＩＴＯ画素電極を蒸着し、オーバーコーティング層を形成してＴＦＴ素子層２２２を形成する。こうしたＴＦＴ素子層２２２が形成されているプラスチック基板２２１を以下、アレイ基板２２０という。
【００８６】
ＴＦＴ素子層２２２を形成する過程でチャンバ内の温度が１３０℃乃至１５０℃に至るが、液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''に含まれている支持基板２１１によりプラスチック基板２２１の受ける熱が分散されることができる。また、接着剤によりプラスチック基板２２１が支持基板２１１に固定されているので、工程進行中にプラスチック基板２２１の変形を防止することができる。
【００８７】
図８ｊに示すように、プラスチック基板２２１上にカラーフィルター層２２３が形成されているカラーフィルター基板２３０も、アレイ基板２２０の製造工程とほとんど同様に製造される。
次いで、アレイ基板又はカラーフィルター基板と粘着剤層とに分離線を形成する（Ｓ４０９）。
【００８８】
アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を接着剤層２１２と粘着剤層２１３とから分離する方法は次の通りである。
先ず、図８ｋを参照すれば、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０が附着されている液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''上にダイ−カッティング作業を通じて少なくとも粘着剤層２１３まで分離線を形成する。こうした作業を通じて、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０が液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''で容易に分離されることができるようにする。
【００８９】
図８ｌを参照すれば、アレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''から分離する条件は、液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''に形成されている粘着剤層２１３を形成する粘着剤の種類に応じて変わる。例えば、粘着剤層２１３を形成する粘着剤が加温型粘着剤である場合には、加熱条件下で被粘着体が分離されることができ、紫外線照射型粘着剤である場合には、紫外線照射により被粘着体が分離されることができる。本発明の第４の実施形態による液晶表示装置を製造するため使用される粘着剤層２１３を構成する粘着剤は、０℃乃至５℃の温度条件下で被粘着体が分離されることができる感温型粘着剤であり得る。従って、液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''の粘着剤層２１３からアレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０の分離は、０℃で約１０分、５℃で２４時間程度放置することによって遂行されることができる。
【００９０】
アレイ基板又はカラーフィルター基板を接着剤層と粘着剤層とから分離することができる他の方法としては、図８ｍに示すように、液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''に形成されている接着剤層２１２をテトラヒドロフラン又はクロロホルムのような有機溶媒を使用して溶解した後、粘着剤層２１３の温度を０℃乃至５℃に感温する方法が挙げられる。
前述したような液晶表示基板搬送用ジグ２１０'''でアレイ基板２２０又はカラーフィルター基板２３０を分離する段階は、後述されるアレイ基板２２０とカラーフィルター基板２３０とを液晶層を挟んで附着する段階以後にも行うこともできる（Ｓ４１０）。
【００９１】
次いで、アレイ基板又はカラーフィルター基板を液晶層を挟んで附着する（Ｓ４１０）。
図２ｋを参照すれば、カラーフィルター基板２３０上にスペーサを散布し、アレイ基板２２０上には、シールライン２４１を形成した後、二つの基板を附着した後、液晶２４２を注入してパネルを完成することができる。また、スペーサが散布されているカラーフィルター基板２３０上に液層２４２を注入した後、シールライン２４１が形成されているアレイ基板２４０を覆って二つの基板を附着し、パネルを完成することもできる。
【００９２】
以上、添付した図面を参照して本発明の好適な実施形態を説明したが、当業者であれば、本発明の技術的思想や必須的な特徴を変更せずに他の具体的な形態で実施されうることを理解することができる。したがって、上述した好適な実施形態は、例示的なものであり、限定的なものではないと理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造方法についての工程流れ図である。
【図２ａ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｂ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｃ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｄ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｅ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｆ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｇ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｈ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｉ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｊ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図２ｋ】第１実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図３】第２実施形態による液晶表示装置の製造方法についての工程流れ図である。
【図４ａ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｂ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｃ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｄ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｅ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｆ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｇ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｈ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｉ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｊ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｋ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図４ｌ】第２実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図５】第３実施形態による液晶表示装置の製造方法についての工程流れ図である。
【図６ａ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｂ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｃ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｄ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｅ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｆ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｇ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｈ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｉ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｊ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図６ｋ】第３実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図７】第４実施形態による液晶表示装置の製造方法についての工程流れ図である。
【図８ａ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｂ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｃ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｄ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｅ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｆ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｇ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｈ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｉ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｊ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｋ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｌ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【図８ｍ】第４実施形態による液晶表示装置の各段階別工程における中間段階構造物の断面図又は平面図である。
【符号の説明】
【００９４】
２１０，２１０′，２１０″，２１０'''：液晶表示基板搬送用ジグ
２１１：支持基板
２１２，２１４：接着剤層
２１３：粘着剤層
２１５，２１６：ベース基板
２２０：アレイ基板
２２１：プラスチック基板
２２２：ＩＴＯ素子層
２２３：カラーフィルター層
２３０：カラーフィルター基板
２３１：分離線
２４１：シールライン
２４２：液晶
【図１】
2006079057.tif 000003
【図２ａ】
2006079057.tif 000004
【図２ｂ】
2006079057.tif 000005
【図２ｃ】
2006079057.tif 000006
【図２ｄ】
2006079057.tif 000007
【図２ｅ】
2006079057.tif 000008
【図２ｆ】
2006079057.tif 000009
【図２ｇ】
2006079057.tif 000010
【図２ｈ】
2006079057.tif 000011
【図２ｉ】
2006079057.tif 000012
【図２ｊ】
2006079057.tif 000013
【図２ｋ】
2006079057.tif 000014
【図３】
2006079057.tif 000015
【図４ａ】
2006079057.tif 000016
【図４ｂ】
2006079057.tif 000017
【図４ｃ】
2006079057.tif 000018
【図４ｄ】
2006079057.tif 000019
【図４ｅ】
2006079057.tif 000020
【図４ｆ】
2006079057.tif 000021
【図４ｇ】
2006079057.tif 000022
【図４ｈ】
2006079057.tif 000023
【図４ｉ】
2006079057.tif 000024
【図４ｊ】
2006079057.tif 000025
【図４ｋ】
2006079057.tif 000026
【図４ｌ】
2006079057.tif 000027
【図５】
2006079057.tif 000028
【図６ａ】
2006079057.tif 000029
【図６ｂ】
2006079057.tif 000030
【図６ｃ】
2006079057.tif 000031
【図６ｄ】
2006079057.tif 000032
【図６ｅ】
2006079057.tif 000033
【図６ｆ】
2006079057.tif 000034
【図６ｇ】
2006079057.tif 000035
【図６ｈ】
2006079057.tif 000036
【図６ｉ】
2006079057.tif 000037
【図６ｊ】
2006079057.tif 000038
【図６ｋ】
2006079057.tif 000039
【図７】
2006079057.tif 000040
【図８ａ】
2006079057.tif 000041
【図８ｂ】
2006079057.tif 000042
【図８ｃ】
2006079057.tif 000043
【図８ｄ】
2006079057.tif 000044
【図８ｅ】
2006079057.tif 000045
【図８ｆ】
2006079057.tif 000046
【図８ｇ】
2006079057.tif 000047
【図８ｈ】
2006079057.tif 000048
【図８ｉ】
2006079057.tif 000049
【図８ｊ】
2006079057.tif 000050
【図８ｋ】
2006079057.tif 000051
【図８ｌ】
2006079057.tif 000052
【図８ｍ】
2006079057.tif 000053