(57)【要約】  【課題】  複数のプレートを積層して液体吐出ヘッドを形成する際の製造処理を簡略化すること。  【解決手段】ノズル５１に連通する圧力室５２が形成されている圧力室形成プレート２２と、圧電素子５８が形成されている振動板２３と、振動板２３を挟んで圧力室形成プレート２２が配置されている側とは反対側に配置され、圧力室５２に液体を供給する共通液室５５、及び、圧電素子５８の配置面に対して略垂直に立ち上がり共通液室５５内の少なくとも一部を貫通する電気配線６０が形成されている共通液室形成プレート２５を含む複数のプレート２１、２２、２３、２４、２５が積層されて形成され、少なくとも、振動板２３と共通液室形成プレート２５との間のプレート２３、２４、２５間の接合部分、及び、圧電素子５８と電気配線６０との電気的な接合部分が、同一の硬化条件を有するＮＣＰ(Non Conductive Paste)３０で接合される構成とした。【選択図】  図１
2006297916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の流路が形成されている流路プレートと、
液体が吐出される際に圧力を発生するアクチュエータが形成されているアクチュエータ形成プレートと、
を含む複数のプレートが積層されて形成され、
前記流路プレートと前記アクチュエータ形成プレートとの間のプレート間の接合部分、及び、前記アクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合部分が、同一の硬化条件を有するＮＣＰ(Non Conductive Paste)で接合されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
液体の吐出口に連通する圧力室が形成されている圧力室形成プレートと、
液体が吐出される際に圧力を発生するアクチュエータが形成されているアクチュエータ形成プレートと、
前記アクチュエータ形成プレートを挟んで前記圧力室形成プレートが配置されている側とは反対側に配置され、前記圧力室に液体を供給する共通液室、及び、前記アクチュエータの配置面に対して略垂直に立ち上がり前記共通液室内の少なくとも一部を貫通する電気配線が形成されている共通液室形成プレートと、
を含む複数のプレートが積層されて形成され、
前記アクチュエータ形成プレートと前記共通液室形成プレートとの間のプレート間の接合部分、及び、前記アクチュエータと前記電気配線との電気的な接合部分が、同一の硬化条件を有するＮＣＰ(Non Conductive Paste)で接合されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記電気配線をとり出すＦＰＣ（Flexible Print Circuit）との電気接続も同じＮＣＰを使用していることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記ＮＣＰは、大きさが５μｍ以下の無機フィラーを含むことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドを有し、前記液体吐出ヘッドから記録媒体に吐出される液体によって前記記録媒体上に画像を形成することを特徴とする画像形成装置。
【請求項６】
複数のプレートが積層されて形成される液体吐出ヘッドの製造方法において、
液体の流路が形成されている流路プレート、及び、液体が吐出される際に圧力を発生するアクチュエータが形成されているアクチュエータ形成プレートを含む複数のプレートを用意し、少なくとも、前記流路プレートと前記アクチュエータ形成プレートとの間のプレート間の接合部分、及び、前記アクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合部分に、同一の硬化条件を有するＮＣＰ(Non Conductive Paste)を付着させる工程と、
前記流路プレートと前記アクチュエータ形成プレートとの間のプレート間の接合、及び、前記アクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合部分の接合を、前記硬化条件で同時に行なう工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
複数のプレートが積層されて形成される液体吐出ヘッドの製造方法において、
液体の吐出口に連通する圧力室が形成されている圧力室形成プレート、液体が吐出される際に圧力を発生するアクチュエータが形成されているアクチュエータ形成プレート、及び、前記アクチュエータ形成プレートを挟んで前記圧力室形成プレートが配置されている側とは反対側に配置され、前記圧力室に液体を供給する共通液室及び前記アクチュエータの配置面に対して略垂直に立ち上がり前記共通液室内の少なくとも一部を貫通する電気配線が形成されている共通液室形成プレートを含む複数のプレートを用意し、少なくとも、前記アクチュエータ形成プレートと前記共通液室形成プレートとの間のプレート間の接合部分、及び、前記アクチュエータと前記電気配線との電気的な接合部分に同一の硬化条件を有するＮＣＰ(Non Conductive Paste)を付着させる工程と、
少なくとも、前記アクチュエータ形成プレートと前記共通液室形成プレートとの間のプレート間の接合、及び、前記アクチュエータと前記電気配線との接合を、前記硬化条件で同時に行なう工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、画像形成装置、及び、液体吐出ヘッドの製造方法に係り、特に複数のプレートが積層されて形成される液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置、及び、その液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のノズルを配列させた液体吐出ヘッドと紙などの記録媒体とを相対的に移動させながら、ノズルから記録媒体に向けてインクを吐出することにより、記録媒体上に画像を形成するようにした画像形成装置が知られている。
【０００３】
このような画像形成装置に搭載する液体吐出ヘッドとしては、例えば、ノズルに連通する圧力室にインクを供給し、この圧力室の外側に振動板を介して取り付けられた圧電素子に対して画像データに応じた駆動信号を与えることにより、圧力室の容積を変化させて、圧力室内のインクをノズルから吐出するようにしたピエゾ方式の液体吐出ヘッドが知られている。
【０００４】
一方で、ヒータなどの発熱体によってインクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインクを飛ばすようにしたサーマルジェット方式の液体吐出ヘッドも知られている。
【０００５】
ところで、液体吐出ヘッドを製造する際、複数のプレート同士を接合して液体吐出ヘッドを形成する方法が知られている。また、液体吐出ヘッドを製造する際、圧電素子などの圧力発生手段としてのアクチュエータに電気信号を与えるための電極や電気配線を設ける必要がある。
【０００６】
特許文献１には、インク流路が形成されている流路基板と圧電素子が形成されている振動板とをシート接着剤で接合し、振動板と圧電素子とをハンダで接合したものが記載されている。
【０００７】
また、特許文献２には、インク供給溝が形成されているベースプレートとヒータが形成されているヒータボードとを接着剤で接合し、ヒータボードとヒータ駆動用ＩＣとをＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）等で接合したものが記載されている。
【特許文献１】特開平９−２７７５２１号公報（特に図１）
【特許文献２】特開２００３−２１１６７７号公報（特に図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、積層するプレート間の接合と、アクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合とを別工程で行なうと手間がかかり、製造コストを抑えることが困難である。
【０００９】
また、画像の高品質化の要求があり、この要求に応えるためにはノズルを２次元配列化するとともに高密度化することが求められている。このような２次元配列化と高密度化とを両立させるためには、電気配線をどのように配置するかが課題になるとともに、積層されるプレート間の接合及びアクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合を実際にどのようにして行なうかが課題となる。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、複数のプレートを積層して液体吐出ヘッドを形成する際に製造処理を簡略化し得る液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを適用した画像形成装置、及び、液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、液体の流路が形成されている流路プレートと、液体が吐出される際に圧力を発生するアクチュエータが形成されているアクチュエータ形成プレートと、を含む複数のプレートが積層されて形成され、前記流路プレートと前記アクチュエータ形成プレートとの間のプレート間の接合部分、及び、前記アクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合部分が、同一の硬化条件を有するＮＣＰ(Non Conductive Paste)で接合されていることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
【００１２】
ＮＣＰは、非導電性の高純度の樹脂を主成分とする。具体的な数値として、９５質量％以上、より望ましくは９８質量％以上の高純度である。ＮＣＰは、ペースト状態（又は液体状態）で接合部分に付着され、所定の硬化条件下で収縮しつつ硬化する。ＮＣＰの具体例としては、高純度のエポキシ樹脂を主成分とするものが挙げられる。
【００１３】
ＮＣＰの付着の態様は、プレート間の接合部分及び電気的な接合部分に共に同一種類のＮＣＰを付着させる態様に特に限定されないが、プレート間の接合部分及び電気的な接合部分に共に硬化条件として少なくとも同一の温度において硬化するＮＣＰを用いる。
【００１４】
なお、実際に使用される状態の液体吐出ヘッドでは、ＮＣＰはペースト状態（又は液体状態）を既に脱し、硬化した状態である。
【００１５】
この発明によれば、積層されるプレート間の接合及びアクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合を同一の硬化条件下で同時に行なうことができるので、プレート間の接合及びアクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合をそれぞれ別工程で行う必要があった従来の液体吐出ヘッドと比較して、製造処理が簡素化されることになり、製造コストを抑えることができる。
【００１６】
また、ＮＣＰは、ナトリウムイオンの含有量が極めて少ないので、液体に溶出する不溶性物質の発生が抑えられ、ノズルの不吐出発生が防止される。また、ＮＣＰは、塩化物イオンの含有量が極めて少ないので、金属のプレートを使用しても腐食し難く、吐出性能の劣化が防止される。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、液体の吐出口に連通する圧力室が形成されている圧力室形成プレートと、液体が吐出される際に圧力を発生するアクチュエータが形成されているアクチュエータ形成プレートと、前記アクチュエータ形成プレートを挟んで前記圧力室形成プレートが配置されている側とは反対側に配置され、前記圧力室に液体を供給する共通液室、及び、前記アクチュエータの配置面に対して略垂直に立ち上がり前記共通液室内の少なくとも一部を貫通する電気配線が形成されている共通液室形成プレートと、を含む複数のプレートが積層されて形成され、前記アクチュエータ形成プレートと前記共通液室形成プレートとの間のプレート間の接合部分、及び、前記アクチュエータと前記電気配線との電気的な接合部分が、同一の硬化条件を有するＮＣＰ(Non Conductive Paste)で接合されていることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
【００１８】
なお、アクチュエータ形成プレートと共通液室形成プレートとの間には、アクチュエータを保護するためのプレート（介装プレート）が介在する場合を含む。この場合には、アクチュエータ形成プレート及び介装プレート間の接合部分、及び、介装プレート及び共通液室形成プレート間の接合部分が、電気的な接合部分とともに、同一の硬化条件を有するＮＣＰで接合されている構成となる。
【００１９】
一方で、アクチュエータ形成プレートと共通液室形成プレートとの間に介装プレートが介在しないで直接的に接合されている場合には、アクチュエータ形成プレート及び共通液室形成プレート間の直接的な接合部分が、電気的な接合部分とともに、同一の硬化条件を有するＮＣＰで接合されている構成となる。
【００２０】
この発明によれば、アクチュエータの配置面に対して略垂直に立ち上がり前記共通液室内の少なくとも一部を貫通する電気配線を設けたことにより、アクチュエータの配置面に水平に電気配線を張りめぐらす必要がなくなりノズルの２次元配列化及び高密度化が可能になるとともに、プレート間の接合及び電気配線とアクチュエータとの電気的な接合を同一の硬化条件下で同時に行なうことができるので、製造工程が簡略化され、製造コストを抑えることができる。
【００２１】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記電気配線をとり出すＦＰＣ（Flexible Print Circuit）との電気接続も同じＮＣＰを使用していることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
【００２２】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか１項に記載の発明において、前記ＮＣＰは、大きさが５μｍ以下の無機フィラーを含むことを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
【００２３】
この発明によれば、ＮＣＰの接着機能を保ちつつ、積層構造体の強度を確保することが可能になる。
【００２４】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドを有し、前記液体吐出ヘッドから記録媒体に吐出される液体によって前記記録媒体上に画像を形成することを特徴とする画像形成装置を提供する。
【００２５】
請求項６に記載の発明は、複数のプレートが積層されて形成される液体吐出ヘッドの製造方法において、液体の流路が形成されている流路プレート、及び、液体が吐出される際に圧力を発生するアクチュエータが形成されているアクチュエータ形成プレートを含む複数のプレートを用意し、少なくとも、前記流路プレートと前記アクチュエータ形成プレートとの間のプレート間の接合部分、及び、前記アクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合部分に、同一の硬化条件を有するＮＣＰ(Non Conductive Paste)を付着させる工程と、前記流路プレートと前記アクチュエータ形成プレートとの間のプレート間の接合、及び、前記アクチュエータに電気信号を与えるための電気的な接合部分の接合を、前記硬化条件で同時に行なう工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【００２６】
請求項７に記載の発明は、複数のプレートが積層されて形成される液体吐出ヘッドの製造方法において、液体の吐出口に連通する圧力室が形成されている圧力室形成プレート、液体が吐出される際に圧力を発生するアクチュエータが形成されているアクチュエータ形成プレート、及び、前記アクチュエータ形成プレートを挟んで前記圧力室形成プレートが配置されている側とは反対側に配置され、前記圧力室に液体を供給する共通液室及び前記アクチュエータの配置面に対して略垂直に立ち上がり前記共通液室内の少なくとも一部を貫通する電気配線が形成されている共通液室形成プレートを含む複数のプレートを用意し、少なくとも、前記アクチュエータ形成プレートと前記共通液室形成プレートとの間のプレート間の接合部分、及び、前記アクチュエータと前記電気配線との電気的な接合部分に同一の硬化条件を有するＮＣＰ(Non Conductive Paste)を付着させる工程と、少なくとも、前記アクチュエータ形成プレートと前記共通液室形成プレートとの間のプレート間の接合、及び、前記アクチュエータと前記電気配線との接合を、前記硬化条件で同時に行なう工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【００２７】
接合部分へのＮＣＰの付着は、ペースト状態（又は液体状態）のＮＣＰを器具から直接接合部分に投与する態様、シート上にＮＣＰを予め付着させておきシートから転写させる態様、マスクを使用したスクリーン印刷による態様などがある。このようにＮＣＰを用いることにより、塗布方法の選択肢が増加し、塗布面の状況やコストメリットなどを考慮した選択の自由度が増す。
【００２８】
また、硬化条件が同一であれば、プレート間の接合部分と電気的な接合部分とは異なる態様でＮＣＰを付着させてもよい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、プレート間の接合及び電気的な接合をそれぞれ別工程で行う必要があった従来技術と比較して、製造処理を簡略化して、製造コストを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、添付図面に従って、本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
【００３１】
図１は、本発明に係る一実施形態の液体吐出ヘッド５０を示す断面図である。
【００３２】
図１において、液体吐出ヘッド５０は、複数のプレート２１、２２、２３、２４、２５が積層されて形成されている。
【００３３】
ノズル形成プレート２１（「ノズルプレート」ともいう）は、液体を吐出する複数のノズル５１（吐出口）が形成されている。
【００３４】
圧力室形成プレート２２は、ノズル５１にそれぞれ連通する複数の圧力室５２が形成されている。なお、圧力室５２は個別の流路ということもできる。
【００３５】
振動板２３（「アクチュエータ形成プレート」ともいう）は、圧力室形成プレート２２を挟んでノズル形成プレート２１が配置されている側とは反対側に配置されており、圧力室５２内のインクに付与する圧力を発生する圧力発生手段としての複数の圧電素子５８が形成されている。
【００３６】
圧電素子５８は、例えばＰＺＴからなり、所定の電気信号（駆動信号）が与えられると変位（歪み）が発生し、振動板２３を介して圧力室５２の容積を変化させる。
【００３７】
振動板２３は、各圧力室５２のノズル５１が配置されている側とは反対側の面（振動面）を構成しているとともに、圧電素子５８の一方の電極として機能する。
【００３８】
なお、本実施形態における振動板２３は、複数の圧力室５２に共通のものとし１枚のプレートで形成されているが、このような場合に特に限定されず、圧力室５２ごとに形成されている場合もある。
【００３９】
圧電素子保護プレート２４（「ピエゾカバー」、「介装プレート」ともいう）は、圧電素子５８がその厚さ方向に自在に変位が発生するように（すなわち圧電素子５８の動作を保障するように）、空間を確保して、圧電素子５８を保護する。
【００４０】
共通液室形成プレート２５は、振動板２３及び圧電素子保護プレート２４を挟んで、圧力室形成プレート２２が配置されている側とは反対側に配置されており、圧力室５２にインクを供給する共通液室５５、及び、複数の柱状電気配線６０が形成されている。
【００４１】
共通液室５５は、複数の圧力室５２に対して、インク供給口５３を介して、インクを供給する。なお、共通液室５２は共通の流路ということもできる。
【００４２】
圧力室５２に対してノズル５１を下として見たとき、共通液室５５は、複数の圧力室５２の直上において、これらの複数の圧力室５２の全てを覆うように、ひとつの共通の空間をなす液室として形成されている。このような共通液室５５により、各圧力室５２に対して、インクがリフィル性良く供給されることになる。
【００４３】
なお、図１では、共通液室５５から圧力室５２に至る流路の形状は、図示の便宜上、「Ｌ」字形となっているが、このような形状に特に限定されない。共通液室５５から圧力室５２へのインクのリフィル性を優先するには、共通液室５５から圧力室５２に向けて垂直に至る形（「Ｉ」字形）とすることが、好ましい。
【００４４】
柱状電気配線６０は、導電性材料からなり、圧電素子５８の配置面に対して略垂直に立ち上がり（すなわち振動板２３に対して略垂直に立ち上がり）、圧電素子５８のバンプ電極６４から、共通液室５５内を貫通して、後述のフレキシブル配線板２６のバンプ電極６６まで至る柱状の配線である。このような柱状電気配線６０により、各圧電素子５８に対して、面積効率良く駆動信号が与えられる。すなわち、駆動配線を圧電素子５８の配置面に平行に張りめぐらす場合と比較して、圧力室５２を高密度化することができ、これによりノズル５１の高密度化が可能になる。
【００４５】
なお、柱状電気配線６０の形状は、円柱形状や角柱形状に特に限定されるものではない。例えば、断面積が徐々に大きくなる（又は小さくなる）、テーパ形状であってもよい。
【００４６】
柱状電気配線６０の外周面（共通液室５５内のインクに接液する面である）には、絶縁性の保護膜６８（絶縁保護膜）が形成されている。
【００４７】
フレキシブル配線板２６（ＦＰＣ：Flexible Print Circuit）は、複数の電気配線を有し、共通液室形成プレート２５の柱状電気配線６０を介して、各圧電素子５８に駆動信号を与えるものである。
【００４８】
フレキシブル配線板２６に形成されている電気配線は、そのフレキシブル配線板２６上に形成されているバンプ電極６６を介して、柱状電気配線６０と接合されている。言い換えると、フレキシブル配線板２６のバンプ電極６６は柱状電気配線６０と電気的に接続されている。具体的には、フレキシブル配線板２６のバンプ電極６６と柱状電気配線６０の外部側（図１では上側）の端部６２とが、ＮＣＰ（Non Conductive Paste）３０で固定されて接合されている。
【００４９】
また、柱状電気配線６０は、圧電素子５８上に形成されているバンプ電極６４を介して、圧電素子５８と接合されている。言い換えると、柱状電気配線６０は圧電素子５８のバンプ電極６４と電気的に接続されている。具体的には、圧電素子５８のバンプ電極６４と柱状電気配線６０の内部側（図１では下側）の端部６１とが、ＮＣＰ３０で固定されて接合されている。
【００５０】
共通液室形成プレート２５と圧電素子保護プレート２４とはＮＣＰ３０で接合されている。同様に、圧電素子保護プレート２４と振動板２３とはＮＣＰ３０で接合されている。同様に、振動板２３と圧力室形成プレート２２とはＮＣＰ３０で接合されている。同様に、圧力室形成プレート２２とノズル形成プレート２１とはＮＣＰ３０で接合されている。すなわち、プレート間の接合部分は全てＮＣＰ３０で接合されている。
【００５１】
ＮＣＰ３０は、非導電性の高純度の樹脂からなる。具体的な数値として、９５質量％以上、より望ましくは９８質量％以上の高純度である。ＮＣＰ３０は、ペースト状態（又は液体状態）で接合部分に付着され、接合部分同士を圧着した状態で加熱されると所定の温度で収縮しつつ硬化する。これにより接合部分同士が確実に接合された状態で固定され、かつ、封止される。
【００５２】
ＮＣＰ３０としては、例えば高純度のエポキシ樹脂からなるＮＣＰを用いる。
【００５３】
ＮＣＰ３０は、ナトリウムイオン（Ｎａ＋）の含有量が極めて少ない（例えば５ｐｐｍ未満）。これにより、インク中に溶出する不溶物質の発生が抑えられる。
【００５４】
また、ＮＣＰ３０は、塩化物イオン（Ｃｌ−）の含有量が極めて少ない（例えば１５ｐｐｍ未満）。これにより、金属のプレートを使用しても腐食し難い。
【００５５】
なお、液体吐出ヘッド５０の製造が完了して使用される状態では、ＮＣＰ３０はペースト状態（又は液体状態）を既に脱し、硬化した状態であることは言うまでもない。
【００５６】
図２は、柱状電気配線６０と圧電素子５８のバンプ電極６４との電気的な接合部分を拡大して示す拡大図である。
【００５７】
図２では、説明の便宜上、柱状電気配線６０の下端部６１の凹凸がやや誇張して描かれている。バンプ電極６４の形状は、実際には、図１にも示すように柱状電気配線６０に接合される上部に平面が存在する柱状であることが、望ましい。これにより、バンプ電極６４と柱状電気配線６０との接触面積が増加し電気接続の信頼性を向上させる。このようなバンプ電極６４に対して柱状電気配線６０が圧着されると、バンプ電極６４はそれ自体が変形する。バンプ電極６４の材料としては、例えばＡｕを用いる。ＮＣＰ３０は、ペースト状態（又は液体状態）の状態で接合部分に付着されており、柱状電気配線６０とバンプ電極６４とが圧着された状態で加熱されると収縮しつつ硬化する。このような、バンプ電極６４の変形とＮＣＰ３０の収縮とにより柱状電気配線６０とバンプ電極６４とが確実に接合された状態が形成され、封止固定されて柱状電気配線６０とバンプ電極６４との接合が確実に確保される。言い換えると、ＮＣＰ３０は、電気的な接合部分を接合する機能と、その電気的な接合部分を封止する機能を有する。
【００５８】
バンプ電極６４の高さと柱状電気配線６０の電極（下端部６１の突出した部分）の高さとの合計は、１０〜１００μｍであることが、望ましい。これにより、バンプ電極６４、６６の変形に因る高さばらつきの吸収シロを確保しつつ、バンプ電極６４、６６の変形し過ぎに因る短絡などの電気的な不具合を防止できる。
【００５９】
なお、図２には圧電素子５８側のバンプ電極６４のみ示したが、図１に示すフレキシブル配線２６側のバンプ電極６６についても、柱状電気配線６０に接合される下部に平面が存在する柱状であることが、望ましい。また、このバンプ電極６６の高さと柱状電気配線６０の電極（上端部６２の突出した部分）の高さとの合計は、１０〜１００μｍであることが、望ましい。
【００６０】
図２に示す例では、ＮＣＰ３０に多数の微小な無機フィラー３１が含まれている。
【００６１】
無機フィラー３１の基本的な機能としては、粘度の調整または熱膨張係数の調整がある。本実施形態においては、無機フィラー３１の大きさ（直径相当）を５μｍ以下にしてある。これにより、ＮＣＰ３０の接着機能を保ちつつ、さらに接合部分の剛性低下を防止して、積層構造体の強度を確保する。
【００６２】
［製造処理の流れ］
図１に示した液体吐出ヘッド５０の製造処理の例について、図面を用いて詳細に説明する。
【００６３】
まず、フレキシブル配線板２６、共通液室形成プレート２５、圧電素子保護プレート２４、圧電素子５８が形成された振動板２３、圧力室形成プレート２２、及び、ノズル形成プレート２１を形成する処理（プレート形成処理）について、図３を用いて説明する。
【００６４】
図３（ａ）に示すように、フレキシブル配線板２６を用意して、フレキシブル配線板２６にＡｕ等からなるバンプ電極６６を形成する。このバンプ電極６６は、後に共通液室形成プレート２５の柱状電気配線６０に接合される電極である。
【００６５】
また、図３（ｂ）に示すように、共通液室５５及び柱状電気配線６０を有する共通液室形成プレート２５を形成する。共通液室形成プレート２５の形成方法は特に限定されないが、例えば、フォトリソグラフィーにより必要な開口部を設けながら薄膜を積層して形成する方法がある。複数のＳＵＳプレートを積層して形成してもよい。１枚のプレートに対してエッチングを施して共通液室５５となるべき空間を形成するようにしてもよい。
【００６６】
なお、柱状電気配線６０の側面には絶縁保護膜６８をコーティングにより形成する。これは、共通液室５５内のインクから導電性の柱状電気配線６０を保護するためである。
【００６７】
また、図３（ｃ）に示すように、圧電素子保護プレート２４を形成する。例えば、フォトリソグラフィーにより圧電素子５８を保護するための空間となるべき開口部を設けながら薄膜を積層して形成する方法がある。複数のＳＵＳプレートを積層して形成してもよい。１枚のプレートに対してエッチングを施して圧電素子５８を保護するための空間を形成するようにしてもよい。
【００６８】
また、図３（ｄ）に示すように、振動板２３上に圧電素子５８を形成する。例えば、ＡＤ（エアロゾルデポジション）法あるいはスパッタ法によって振動板２３上に薄膜状の圧電素子５８を形成する。なお、圧電素子５８には、Ａｕ等からなるバンプ電極６４を形成しておく。このバンプ電極６４は、後に共通液室形成プレート２５の柱状電気配線６０に接合される電極である。
【００６９】
また、図３（ｅ）に示すように、圧力室５２を有する圧力室形成プレート２２を形成する。圧力室形成プレート２２の形成方法は特に限定されないが、例えば、フォトリソグラフィーにより必要な開口部を設けながら薄膜を積層して形成する方法がある。複数のＳＵＳプレートを積層して形成してもよい。１枚のプレートに対してエッチングを施して圧力室５２となるべき空間を形成するようにしてもよい。
【００７０】
また、図３（ｆ）に示すように、ノズル形成プレート２１を形成する。ノズル形成プレート２１の形成方法は、特に限定はされないが、例えばポリイミドからなるプレートにノズル５１を形成する。
【００７１】
次に、プレート間の接合部分及び電気的な接合部分にＮＣＰを付着させる処理（ＮＣＰ付着処理）について、図４を用いて説明する。
【００７２】
図４（ａ）に示すように、共通液室形成プレート２５に形成されている柱状電気配線６０の外部側の端部６２にＮＣＰ３０をディスペンスする。具体的には、柱状電気配線６０の外部側の端部６２（後にフレキシブル配線板２６のバンプ電極６６と接合する電極である）に対して、ディスペンス器具２１２からペースト状態（又は液体状態）のＮＣＰ３０を投与する。ＮＣＰ３０は、柱状電気配線６０の外部側の端部６２の露出した部分を全て覆うように投与される。
【００７３】
また、図４（ｂ）に示すように、圧電素子保護プレート２４の両接合面（共通液室形成プレート２５との接合面、及び、振動板２３との接合面である）にＮＣＰ３０を転写する。具体的には、ＮＣＰが塗布されているシート２１４を圧電素子保護プレート２４の両接合面に圧接した後に剥がすことにより、シート２１４上のＮＣＰ３０を両接合面に転写する。
【００７４】
また、図４（ｃ）に示すように、振動板２３上の圧電素子５８のバンプ電極６４にＮＣＰをディスペンスするとともに、振動板２３の圧力室形成プレート２２との接合面にＮＣＰ３０を転写する。具体的には、振動板２３上のバンプ電極６４（後に共通液室形成プレート２５の柱状電気配線６０と接合する電極である）に対して、ディスペンス器具２１２からペースト状態(又は液体状態)のＮＣＰ３０を投与する。ＮＣＰ３０は、振動板２３上のバンプ電極６４の露出した部分を全て覆うようにして投与される。
【００７５】
また、ＮＣＰが塗布されているシート２１４を振動板２３の圧力室形成プレート２２との接合面に圧接した後に剥がすことにより、シート２１４上のＮＣＰ３０を接合面に転写する。
【００７６】
また、図４（ｄ）に示すように、圧力室形成プレート２２のノズル形成プレート２１との接合面にＮＣＰ３０を転写する。具体的には、ＮＣＰが塗布されているシート２１４を圧力室形成プレート２２のノズル形成プレート２１との接合面に圧接した後に剥がすことにより、シート２１４上のＮＣＰ３０を接合面に転写する。
【００７７】
なお、ＮＣＰ３０の塗布方法として、ディスペンス器具２１２から直接接合部分に投与する態様と、シート２１４上にＮＣＰ３０を予め付着させておきシート２１４から転写させる態様とを説明したが、マスクを使用したスクリーン印刷によりＮＣＰ３０を塗布するようにしてもよい。このようにＮＣＰ３０を用いることにより、塗布方法の選択肢が増加し、塗布面の状況やコストメリットなどを考慮した選択の自由度が増す。
【００７８】
次に、プレート間の接合部分及び電気的な接合部分のＮＣＰを硬化させる処理（ＮＣＰ硬化処理）について、図５を用いて説明する。
【００７９】
図５に示すように、複数のプレート２１、２２、２３、２４、２５を位置決めしながら重ね合わせ、加圧した状態でＮＣＰの特定の硬化条件下で加熱する。
【００８０】
なお、図５に示す例では、フレキシブル配線板２６も積み重ね、フレキシブル配線板２６のバンプ電極６６と柱状電気配線６０との接続も行なうようになっている。
【００８１】
具体的には、加熱機能を有するベースプレート２２２の上に、位置決めピン２２６によって位置決めしつつ、ノズル形成プレート２１、圧力室形成プレート２２、圧電素子５８が形成されている振動板２３（アクチュエータ形成プレート）、圧電素子保護プレート２４（介装プレート）、共通液室形成プレート２５、フレキシブル配線板２６の順に積み重ね、更にその上に、加熱機能を有する加圧プレート２２４を置く。加圧プレートの重量により、ノズル形成プレート２１からフレキシブル配線板２６までの積層された構造体（積層構造体）を加圧し、そのような加圧した状態においてベースプレート２２２及び加圧プレート２２４の加熱機能により、所定時間だけ、ＮＣＰ３０の硬化温度で加熱する。
【００８２】
すなわち、隣接するプレート間の接合部分（ノズル形成プレート２１と圧力室形成プレート２２との間の接合部分、圧力室形成プレート２２と振動板２３との間の接合部分、振動板２３と圧電素子保護プレート２４との間の接合部分、圧電素子保護プレート２４と共通液室形成プレート２５との間の接合部分）、及び、電気的な接合部分（圧電素子５８のバンプ電極６４と柱状電気配線６０との接合部分、フレキシブル配線板２６のバンプ電極６６と柱状電気配線６０との接合部分）について、加圧下でＮＣＰ３０の硬化温度で加熱して、隣接するプレート間の接合と電気的な接合部分の接合とを同時に行う。
【００８３】
ＮＣＰ３０の硬化温度は、２００℃以下の比較的低温とすることが、望ましい。これにより、線膨張差などによる熱変形を防止できる。
【００８４】
以上、フレキシブル配線板２６も併せて加圧及び加熱する場合を例に示したが、フレキシブル配線板２６のみ後から接合するようにしてもよい。すなわち、ノズル形成プレート２１から共通液室形成プレート２５までの接合が済んだ後に、図４（ａ）に示すように電気配線６０とのフレキシブル配線板２６のバンプ電極６６の接合部分にＮＣＰ３０のディスペンスを行って、当該接合部分のみ硬化処理を別途行う。
【００８５】
また、ノズル形成プレート２１についても、別途、接合を行うようにしてもよい。すなわち、圧力室形成プレート２２から共通液室形成プレート２５までの接合が済んだ後に、ノズル形成プレート２１と圧力室形成プレート２２との接合面にＮＣＰ３０を転写して、当該接合部分のみ硬化処理を別途行う。
【００８６】
なお、本実施形態では、振動板２３と圧電素子保護プレート２４とが別のプレートとして形成されている場合を例に説明したが、振動板２３と圧電素子保護プレート２４とが一体に形成されていてもよい。この場合には、圧電素子５８が形成されている振動板２３及び圧力室保護プレート２４が一体形成されたプレートと、共通液室形成プレート２５との接合面がＮＣＰ３０で接合されることになる。
【００８７】
〔液体吐出ヘッドの全体構造〕
次に、液体吐出ヘッドの全体構造について説明する。
【００８８】
図６は液体吐出ヘッド５０の全体を示す平面透視図である。記録媒体上に形成されるドットのピッチを高密度化するためには、液体吐出ヘッド５０におけるノズルのピッチを高密度化する必要がある。本例の液体吐出ヘッド５０は、図６に示すように、インクの吐出口であるノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室５２とインク供給口５３からなる複数の圧力室ユニット５４を２次元マトリクス状に配置させた構造を有し、これにより、液体吐出ヘッド長手方向（紙送り方向と直交する方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化を達成している。なお、図６では、作図の便宜上、一部の圧力室ユニット５４は省略して描いてある。
【００８９】
図６における各圧力室ユニット５４及びその周辺の詳細な構造については、図１を用いて説明したとおりである。
【００９０】
なお、図１では、共通液室５５から圧力室５２のインク供給口５３に至る流路が「Ｌ」字形となっているが、図１での図示の便宜上そのように描いたのであり、図６では、共通液室５５から圧力室５２へのインクのリフィル性を優先して、共通液室５５から圧力室５２のインク供給口５３に向けて垂直に至る「Ｉ」字形であるものとする。
【００９１】
図７は、図６に示した液体吐出ヘッド５０の一部を拡大して示す拡大図である。図７に示されるように、多数の圧力室ユニット５４は、主走査方向と主走査方向に対して所定の角度θをなす斜め方向との２方向に沿って格子状に配列されている。すなわち多数のノズル５１は２次元マトリクス状に配列されている。このような２次元マトリクス状の配列により、ノズル密度の実質的な高密度化が実現されている。
【００９２】
具体的には、主走査方向に対して一定の角度θをなす斜め方向に沿って圧力室ユニット５４が一定のピッチｄで複数配列されていることにより、各ノズル５１が主走査方向に沿った一直線上にピッチＰ（＝ｄ×cosθ）で配列されたものと等価的に取り扱うことができる。これにより、主走査方向に沿って１インチ当たり2400個（2400ノズル／インチ）におよぶ高密度のノズル配列と実質的に同等の構成を実現することが可能になる。
【００９３】
本発明の実施に際してノズルの配置構造は図６に示した例に限定されない。記録紙の送り方向と略直交する方向に記録紙の全幅に対応する長さにわたるノズル列を備えるフルライン型液体吐出ヘッドの形態として、図６に例示した構成に代えて、例えば、図８に示すように、複数のノズル５１が２次元に配列された短尺の液体吐出ヘッドブロック５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで記録紙の全幅に対応する長さのノズル列を有するライン液体吐出ヘッドを構成してもよい。
【００９４】
［画像形成装置の全体構成］
前述の液体吐出ヘッド５０を適用した画像形成装置の例について説明する。
【００９５】
図９に示す画像形成装置１１０は、黒（Ｋ），シアン（Ｃ），マゼンタ（Ｍ），イエロー（Ｙ）の各インクに対応して設けられた複数の液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙを有する印字部１１２と、各液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１１４と、記録媒体たる記録紙１１６を供給する給紙部１１８と、記録紙１１６のカールを除去するデカール処理部１２０と、印字部１１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１１６の平面性を保持しながら記録紙１１６を搬送する搬送部１２２と、印字部１１２による印字結果を読み取る印字検出部１２４と、記録済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部１２６とを備えている。
【００９６】
インク貯蔵／装填部１１４は、各液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙに対応する色のインクを貯蔵するインクタンクを有し、各タンクは所要の管路を介して液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙと連通されている。
【００９７】
図９では、給紙部１１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００９８】
給紙部１１８から送り出される記録紙１１６はマガジンに装填されていたことによる巻きクセが残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部１２０においてマガジンの巻きクセ方向と逆方向に加熱ドラム１３０で記録紙１１６に熱を与える。
【００９９】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図９のように、裁断用のカッター（第１のカッター）１２８が設けられており、該カッター１２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。なお、カット紙を使用する場合には、カッター１２８は不要である。
【０１００】
デカール処理後、カットされた記録紙１１６は、搬送用ローラ対１３１によってニップ搬送され、プラテン１３２上へと送られる。プラテン１３２の後段（印字部１１２の下流側）にも搬送用ローラ対１３３が配置されており、前段の搬送用ローラ対１３１と後段の搬送用ローラ対１３３とが連動して記録紙１１６を所定の速度で搬送する。
【０１０１】
プラテン１３２は記録紙１１６の平面性を保ちつつ記録紙１１６を保持（支持）する部材（記録媒体の保持手段）として機能するとともに、背面電極として機能する部材である。図９におけるプラテン１３２は記録紙１１６の幅よりも広い幅寸法を有し、少なくとも印字部１１２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する部分が水平面（フラット面）をなすように構成されている。
【０１０２】
記録紙１１６の搬送経路において、印字部１１２の上流側には、加熱ファン１４０が設けられている。加熱ファン１４０は、印字前の記録紙１１６に加熱空気を吹き付け、記録紙１１６を加熱する。印字直前に記録紙１１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【０１０３】
印字部１１２の各液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙは、当該画像形成装置１１０が対象とする記録紙１１６の最大紙幅に対応する長さを有し、そのノズル面には最大サイズの記録紙の少なくとも一辺を超える長さ（描画可能範囲の全幅）にわたりインク吐出用のノズルが複数配列されたフルライン型の液体吐出ヘッドとなっている（図６参照）。
【０１０４】
液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙは、記録紙１１６の送り方向に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の色順に配置され、それぞれの液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙが記録紙１１６の搬送方向と略直交する方向に沿って延在するように固定設置される。
【０１０５】
搬送部１２２により記録紙１１６を搬送しつつ各液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙからそれぞれ異色のインクを噴射することにより記録紙１１６上にカラー画像を形成し得る。
【０１０６】
このように、紙幅の全域をカバーするノズル列を有するフルライン型の液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙを色別に設ける構成によれば、紙送り方向（副走査方向）について記録紙１１６と印字部１１２を相対的に移動させる動作を１回行うだけで（すなわち１回の副走査で）、記録紙１１６の全面に画像を記録することができる。これにより、記録液体吐出ヘッドが紙搬送方向と直交する方向に往復動作するシャトル型液体吐出ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【０１０７】
本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組合せについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インク、特別色インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを噴射する液体吐出ヘッドを追加する構成も可能である。また、各色液体吐出ヘッドの配置順序も特に限定はない。
【０１０８】
図９に示した印字検出部１２４は、印字部１１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ又はエリアセンサ）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりや着弾位置ずれなどの噴射不良をチェックする手段として機能する。各色の液体吐出ヘッド５０Ｋ、５０Ｃ、５０Ｍ、５０Ｙにより印字されたテストパターン又は実技画像が印字検出部１２４により読み取られ、印字結果が検査される。
【０１０９】
印字検出部１２４の後段には後乾燥部１４２が設けられている。後乾燥部１４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。
【０１１０】
後乾燥部１４２の後段には、加熱・加圧部１４４が設けられている。加熱・加圧部１４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ１４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【０１１１】
こうして生成されたプリント物は排紙部１２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。この画像形成装置１１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部１２６Ａ、１２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）１４８によってテスト印字の部分を切り離す。また、図９には示さないが、本画像の排出部１２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられる。
【０１１２】
図１０は、画像形成装置１１０の機能的な全体構成例を示すブロック図である。図１０に示すように、画像形成装置１１０は、通信インターフェース１７０、システムコントローラ１７２、画像メモリ１７４、ＲＯＭ１７５、モータドライバ１７６、ヒータドライバ１７８、プリント制御部１８０、画像バッファメモリ１８２、ヘッドドライバ１８４等を備えている。
【０１１３】
通信インターフェース１７０は、ホストコンピュータ１８６から送られてくる画像データを受信する画像入力手段である。通信インターフェース１７０にはＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット（登録商標）、無線ネットワークなどの有線又は無線のインターフェースを適用することができる。
【０１１４】
ホストコンピュータ１８６から送出された画像データは通信インターフェース１７０を介して画像形成装置１１０に取り込まれ、一旦画像メモリ１７４に記憶される。
【０１１５】
システムコントローラ１７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、所定のプログラムに従って画像形成装置１１０の全体を制御する。すなわち、システムコントローラ１７２は、通信インターフェース１７０、画像メモリ１７４、モータドライバ１７６、ヒータドライバ１７８等の各部を制御し、ホストコンピュータ１８６との間の通信制御、画像メモリ１７４及びＲＯＭ１７５の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ１８８やヒータ１８９を制御する制御信号を生成する。搬送系のモータ１８８とは、例えば、図９で説明した搬送用ローラ対１３１、１３３の駆動ローラに動力を与えるモータである。また、ヒータ１８９とは、例えば、図９で説明した加熱ドラム１３０、加熱ファン１４０或いは後乾燥部１４２などに用いられる加熱手段である。
【０１１６】
ＲＯＭ１７５には、システムコントローラ１７２のＣＰＵが実行するプログラム及び制御に必要な各種データなどが格納されている。ＲＯＭ１７５は、書換不能な記憶手段であってもよいし、ＥＥＰＲＯＭのような書換可能な記憶手段であってもよい。画像メモリ１７４は、画像データの一時記憶領域として利用されるとともに、プログラムの展開領域及びＣＰＵの演算作業領域としても利用される。
【０１１７】
モータドライバ１７６は、システムコントローラ１７２からの指示に従って搬送系のモータ１８８を駆動するドライバ（駆動回路）である。ヒータドライバ１７８は、システムコントローラ１７２からの指示に従ってヒータ１８９を駆動するドライバである。
【０１１８】
プリント制御部１８０は、入力画像に基づいて各色インクのドットデータを生成する信号処理手段として機能する。すなわち、プリント制御部１８０は、システムコントローラ１７２の制御に従い、画像メモリ１７４内の画像データからインク吐出制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行い、生成したデータ（ドットデータ）をヘッドドライバ１８４に供給する制御部である。
【０１１９】
プリント制御部１８０には画像バッファメモリ１８２が備えられており、プリント制御部１８０における画像処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ１８２に一時的に格納される。なお、図１０において画像バッファメモリ１８２はプリント制御部１８０に付随する態様で示されているが、画像メモリ１７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部１８０とシステムコントローラ１７２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。
【０１２０】
画像入力から画像形成までの処理の流れを概説すると、形成すべき画像のデータは、通信インターフェース１７０を介して外部から入力され、画像メモリ１７４に蓄えられる。この段階では、例えば、ＲＧＢの画像データが画像メモリ１７４に記憶される。
【０１２１】
画像形成装置１１０では、インク（色材) による微細なドットの打滴密度やドットサイズを変えることによって、人の目に疑似的な連続階調の画像を形成するため、入力されたデジタル画像の階調（画像の濃淡）をできるだけ忠実に再現するようなドットパターンに変換する必要がある。そのため、画像メモリ１７４に蓄えられた原画像（ＲＧＢ）のデータは、システムコントローラ１７２を介してプリント制御部１８０に送られ、該プリント制御部１８０においてディザ法や誤差拡散法などを用いたハーフトーン化処理によってインク色ごとのドットデータに変換される。
【０１２２】
すなわち、プリント制御部１８０は、入力されたＲＧＢ画像データをＫ，Ｃ，Ｍ，Ｙの４色のドットデータに変換する処理を行う。こうして、プリント制御部１８０で生成されたドットデータは、画像バッファメモリ１８２に蓄えられる。
【０１２３】
ヘッドドライバ１８４は、プリント制御部１８０から与えられるドットデータ（すなわち、画像バッファメモリ１８２に記憶されたドットデータ）に基づき、液体吐出ヘッド５０の各ノズル５１に対応する圧電素子５８を駆動するための駆動信号を出力する。なお、ヘッドドライバ１８４には液体吐出ヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
【０１２４】
ヘッドドライバ１８４から出力された駆動信号が液体吐出ヘッド５０に加えられることによって、該当するノズル５１からインクが吐出される。記録紙１１６の搬送速度に同期して液体吐出ヘッド５０からのインク吐出を制御することにより、記録紙１１６上に画像が形成される。
【０１２５】
その他、本発明は、実施形態において説明した例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の設計変更や改良を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明に係る一実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。
【図２】柱状電気配線と圧電素子との接合部分を拡大して示す拡大図である。
【図３】液体吐出ヘッドの製造処理のうち各プレートを形成する処理の説明に用いる説明図である。
【図４】液体吐出ヘッドの製造処理のうちＮＣＰを付着する処理の説明に用いる説明図である。
【図５】液体吐出ヘッドの製造処理のうちＮＣＰを硬化させる処理の説明に用いる説明図である。
【図６】本発明に係る一実施形態の液体吐出ヘッドの全体構成を示す平面透視図である。
【図７】図６に示す液体吐出ヘッドの一部を拡大して示す拡大図である。
【図８】他の態様の液体吐出ヘッドの全体構成を示す平面透視図である。
【図９】本発明に係る一実施形態の液体吐出ヘッドを適用した画像形成装置の全体構成図である。
【図１０】本発明に係る一実施形態の液体吐出ヘッドを適用した画像形成装置の機能的な構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０１２７】
２１…ノズル形成プレート、２２…圧力室形成プレート、２３…振動板（アクチュエータ形成プレート）、２４…圧電素子保護プレート（介装プレート）、２５…共通液室形成プレート、２６…フレキシブル配線板（ＦＰＣ）、３０…ＮＣＰ(Non Conductive Paste)、３１…無機フィラー、５０…液体吐出ヘッド、５１…ノズル、５２…圧力室、５３…インク供給口、５５…共通液室、５８…圧電素子（アクチュエータ）、６０…柱状電気配線、６４，６６…バンプ電極、１１０…画像形成装置、２２２…ベースプレート、２２４…加圧プレート、２２６…位置決めピン
【図１】
2006297916.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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