(57)【要約】【課題】本発明はワークテーブル交換による煩雑な作業を省略し、より迅速で安全な交換作業を提供することができる液晶表示パネル検査装置に関する。【解決手段】本発明の液晶表示パネル検査装置は、ワークテーブルが本体の外側に引き出されるように第１スライド部材を有する。第１スライド部材は、ワークテーブルがバックライトの前方で液晶表示パネルを受け渡すためのローディング位置から本体の外側でワークテーブルを交換するための交換位置へのスライド移動を可能とする。第１スライド部材は、アラインメントユニットの移動フレームに設置されワークテーブルのスライド移動をガイドするＬＭガイド部を具備しているので、ワークテーブル交換による煩雑な作業を省略し、より迅速で安全な交換作業を可能とするという格別の効果を有する。【選択図】図２Ｂ
2006338007.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示パネル検査装置において、
本体ケースと、
前記本体ケース内部で検査しようとする液晶表示パネルが供給される液晶表示パネル供給部と、
前記液晶表示パネル供給部から供給される液晶表示パネルをローディングさせて液晶表示パネルを検査する検査部と、
前記液晶表示パネル供給部と前記検査部との間の液晶表示パネル搬送のためのパネルキャリアとを含み、
前記検査部は、
前面に検査のための液晶表示パネルが搭載されるワークテーブルと、
前記本体ケースの内部に装着された前記ワークテーブルが、前記本体ケースの外部に引き出されるように第１スライド部材を含むことを特徴とする液晶表示パネル検査装置。
【請求項２】
前記検査部はＸ軸、Ｙ軸方向の水平移動及びＺ軸方向の垂直移動と共にＺ軸回りに回転する移動フレームを有するアラインメントユニットと、前記移動フレームに設置されるバックライトユニットとをさらに含み、
前記ワークテーブルは前記バックライトユニットの前方に配置され、
前記第１スライド部材は、前記ワークテーブルが前記バックライトの前方で液晶表示パネルを受け渡すためのローディング位置から前記本体ケースの外で前記ワークテーブルを交換するための交換位置へとスライド移動させることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネル検査装置。
【請求項３】
前記第１スライド部材は、
前記移動フレームに設置され、前記ワークテーブルのスライド移動をガイドするＬＭガイド部を含み、
前記ＬＭガイド部は多段に広げられるか、折り畳まれる少なくとも２つのＬＭガイドを含むことを特徴とする請求項２に記載の液晶表示パネル検査装置。
【請求項４】
前記第１スライド部材は、
前記アラインメントユニットの上端及び下端にＸ軸方向に設置されるＬＭガイド部と、
前記ＬＭガイド部に沿ってＸ軸方向に移動する移動プレートと、
前記移動プレートから分離可能なように、前面に前記ワークテーブルが装着されるドッキングプレートを含むことを特徴とする請求項２に記載の液晶表示パネル検査装置。
【請求項５】
前記第１スライド部材は、
前記ワークテーブルが前記ローディング位置に移動した状態で前記移動プレートの任意の移動を防止するためのクランプをさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の液晶表示パネル検査装置。
【請求項６】
前記第１スライド部材は、
前記移動プレートの引き出し距離を制限する第１ストッパと、
引き入れ距離を制限する第２ストッパと、
前記第１ストッパまたは前記第２ストッパによって前記移動プレートが停止する過程で発生する衝撃を緩和させる緩衝部材とをさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の液晶表示パネル検査装置。
【請求項７】
前記第１スライド部材は、
前記ドッキングプレートを前記移動フレームにドッキングさせるためのドッキング部材をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の液晶表示パネル検査装置。
【請求項８】
前記ドッキング部材は、
前記移動フレームの前面に設置され、前記ドッキングプレートの端部に形成された貫通孔のそれぞれに挿入されポジションピンを含むことを特徴とする請求項７に記載の液晶表示パネル検査装置。
【請求項９】
前記ドッキング部材は、
前記ポジションピンが前記貫通孔に挿入された前記ドッキングプレートを前記移動フレーム側に押すプッシャ器具をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の液晶表示パネル検査装置。
【請求項１０】
前記第１スライド部材は、
前記移動プレートに設置され、前記ドッキングプレートが前記移動フレームにドッキングされ前記移動フレームとともに前進移動される場合に、前記ドッキングプレートの前方への移動を制限するストッパをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の液晶表示パネル検査装置。
【請求項１１】
前記移動フレームから側面方向に前記バックライトユニットのスライド移動が可能となるように第２スライド部材をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の液晶表示パネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示パネルの検査装置に係り、より詳細にはワークテーブルの交換を容易且つ迅速に実行できる構造を有する液晶表示パネル検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に平板ディスプレイ（ｆｌａｔ  ｐａｎｅｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）の主力製品である液晶表示装置（ＴＦＴ−ＬＣＤ）は量産技術及びの確立研究開発の成果により、大型化と高解像度化が急速に進展している。さらには、ノートブックコンピュータ用のみならず大型モニタ応用製品としても開発され、既存のＣＲＴ（ｃａｔｈｏｄｅ  ｒａｙ  ｔｕｂｅ）製品を徐々に代替し、ディスプレイ産業における比重が次第に増大している。最近の情報化社会において、ディスプレイは視覚情報伝達媒体として、その重要性が一層高まっており、特にすべての電子製品が軽薄短小化される傾向に伴い、低消費電力化、薄型化、軽量化、高画質及び携帯性の重要性が一層高まっている。
【０００３】
液晶表示装置は、このような平板ディスプレイの条件を満足する性能のみならず量産性をも具備したディスプレイ装置であるので、これを利用した各種の新製品の創出が急速に行われており、電子産業界では、半導体以上にその比重が爆発的に増加しており、次世代主力技術として注目されている。
【０００４】
このような液晶表示装置は、製造ライン最終段階で点灯検査を実行する必要があり、これは特定の検査設備でプローブユニットを利用して液晶表示パネルのデータライン及びゲートラインのそれぞれの断線検査、色検査、及び顕微鏡などを利用した目視検査を実施している。
【０００５】
一方、液晶表示装置は、現在１５インチ、１７インチ、１８．１インチ、１９インチ等の多様なサイズで提供されており、このような多様なサイズの液晶表示装置を全部検査するための検査装置が既に提供されている。しかし、多様なサイズの液晶表示装置を一つの装置で検査するためには液晶表示装置のサイズ変更による装置内での構造的変更が必要である。
【０００６】
特に、検査しようとする液晶表示装置のサイズが変更されれば、それに従って液晶表示装置が置かれるワークテーブルを交換する必要がある。既存のワークテーブル交換は検査装置の前面で装置内部に位置したワークステージからワークテーブルを分離交換する方式で作業が行われている。このようなワークテーブル交換方式では、次のような問題点がある。第１に、装置前面のベースプレートに設置されたプローブユニットなどを分離しなければならない作業を先行して行わなければならない煩雑さがある。第２に、液晶表示装置の大型化によるワークテーブルの重量の増加によって検査装置の前面且つ装置内部に位置するワークテーブルを交換するのには限界がある。第３に、交換作業プロセスにおける作業者が誤ってワークテーブルを検査装置の内部に落としてしまうと、周辺器機器が破損される恐れがある。このように、従来のワークテーブルを交換するための作業においては、多くの難点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上述の問題点を解決するためのものであり、その目的は、ワークテーブル交換による煩雑な作業を省略して、より迅速で安全な交換作業が可能な液晶表示パネル検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的を解決するために、本発明の液晶表示パネル検査装置は、液晶表示パネルがローディングされるワークテーブル交換の便宜性を提供するため、ワークテーブルが本体の外側に引き出されるように第１スライド部材を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の液晶表示パネル検査装置は、液晶表示パネル供給部から供給される液晶表示パネルをローディングさせて、液晶表示パネルを検査する検査部を有する。前記検査部はＸ軸、Ｙ軸方向の水平移動及びＺ軸方向の垂直移動と同時にＺ軸回りに回転する移動フレームを有するアラインメントユニットと、移動フレーム前方に配置され、前面に検査のための液晶表示パネルが搭載されるワークテーブルと、前記ワークテーブルが前記バックライトの前方で液晶表示パネルを授受するためのローディング位置から前記本体ケースの外で前記ワークテーブルとを交換するための交換位置へのスライド移動を提供する第１スライド部材とを具備する。
【００１０】
一実施形態によれば、前記第１スライド部材は前記移動フレームに設置されて、前記ワークテーブルのスライド移動をガイドするＬＭガイド部を具備することができる。
【００１１】
一実施形態によれば、前記第１スライド部材は前記アラインメントユニットの上端と下端にＸ軸方向に沿って設置されるＬＭガイド部と、前記ＬＭガイド部に沿ってＸ軸方向に移動される移動プレートと、前記移動プレートから分離可能に装着され、前面に前記ワークテーブルが装着されるドッキングプレートを具備することができる。
【００１２】
一実施形態によれば、前記第１スライド部材は前記ワークテーブルが前記ローディング位置に移動された状態で前記移動プレートの任意の移動を防止するためのクランプと、前記移動プレートの引き出し／挿入距離を制限するストッパと、該ストッパによって停止される前記移動プレートに加えられる衝撃を緩和させる緩衝部材とを具備することができる。
【００１３】
一実施形態によれば、前記ドッキングプレートは、ドッキング部材によって前記移動フレームにドッキング（ｄｏｃｋｉｎｇ）されることができる。前記ドッキング部材は前記移動フレームの前面に設置され、前記ドッキングプレートの端部に形成された貫通孔のそれぞれに挿入されて係合するポジションピンと、前記ドッキングプレートを前記移動フレーム側に押すプッシャ器具とを具備することができる。
【００１４】
一実施形態によれば、前記第１スライド部材は、前記ドッキングプレートが前記移動フレームにドッキングされて前記移動フレームとともに前進移動される場合には、前記ドッキングプレートの前方移動を制限するストッパを具備することができる。
【００１５】
一実施形態によれば、前記バックライトユニットは、第２スライド部材によって前記移動フレームから側面方向にスライド移動され本体の外側に引き出されることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の液晶表示パネル検査装置は、第１スライド部材によってワークテーブルの交換作業が本体の外で行われることにより、ワークテーブルの交換による煩雑作業を省略し、より迅速で安全な交換作業が可能な格別の効果を持つ。
【００１７】
また、液晶表示パネル検査装置は、第２スライド部材によってバックライトユニットの点検を本体の外側で実施することができるので、バックライトユニット点検をより速かにできるという格別の効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の実施形態は様々な形態に変形可能であり、本発明の特許請求の範囲は下記の実施形態によって限定されず、本実施形態は、本発明の属する技術分野における平均的な知識を持った者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面の構成要素の形状などは、より明確な説明を強調するために誇張されている場合がある。
【００１９】
本発明の実施形態を添付の図１から図９に基づいて詳細に説明する。また、前記図面で同一の機能を実行する構成要素に対しては同一の参照番号を用いる。
【００２０】
図１及び図２Ａは本発明の実施例による液晶表示パネル検査装置の構成を説明するための図である。図２Ｂは本発明の実施例に係る液晶表示パネル検査装置で液晶表示パネルが本体の外側に引き出された状態を示す。
【００２１】
図１から図２Ｂを参照すると、本発明の液晶表示パネル検査装置１００はプローブユニット１１２を利用し液晶表示パネル１０のデータライン及びゲートラインのそれぞれの断線検査、色検査、及び顕微鏡などを利用した目視検査を実施する装置である。
【００２２】
本発明の検査装置１００は、液晶表示パネル１０がローディングされるワークテーブル１２２の交換の便宜性を提供するためにワークテーブル１２２が、本体１０２の外側に引き出されるようなスライド手段を提供している点に、その特徴がある。
【００２３】
以下、説明を簡略化し容易に理解するために、検査装置に傾斜配置された液晶表示パネルと平行な面内での左右方向及び傾斜上下方向をＸ方向及びＹ方向といい、その液晶表示パネルに垂直方向をＺ方向という。
【００２４】
本発明の液晶表示パネル検査装置１００は、前面に約６０°の角度の傾斜面部１０４を備える本体１０２を有する。本体１０２は四角形状のフレームで形成される。本体１０２の傾斜面部１０４は液晶表示パネル１０より大きい四角形の開口部を有する。本体１０２の側面の一部はワークテーブル１２２が引き出されるように開放される。本体１０２において、上部には検査しようとする液晶表示パネル１０が供給される供給部１８６が配置され、下部（供給部の下）には検査部１１０が配置される。
【００２５】
供給部１８６及び検査部１１０の前方には、供給部１８６と検査部１１０との間の液晶表示パネル１０を搬送する少なくとも２つの搬送装置で構成されたパネルキャリア１８０が配置される。本体１０２の傾斜面部１０４には、顕微鏡ユニット１７０が具備される。顕微鏡ユニット１７０は、ワークテーブル１２２にローディングされた液晶表示パネル１０の異常部分を微細にチェックするか、稼動初期時には、プローブユニッ１１２のプローブブロック１１４に具備されたプローブ（図示しない）及び液晶表示パネル１０のパッドを整列するために使われる。顕微鏡ユニット１７０は、顕微鏡移送部材１７２によって水平または垂直移動可能なように設置される。
【００２６】
検査部１１０では、液晶表示パネル１０の後方に具備された光源（バックライトユニット）１２４から液晶表示パネル１０に光を照射して製造工程上発生する液晶表示パネル１０の染みや液晶表示パネル１０のデータライン及びゲートラインの断線状態及び色などを検査する。
【００２７】
検査部１１０は、プローブユニット１１２と検査ステージ１２０とを有する。検査部１１０のプローブユニット１１２は、本体１０２の傾斜面部１０４に形成された開口部上に配置される。プローブユニット１１２は、複数個のプローブブロック１１４が装着されたプローブベース１１６を有する。
【００２８】
検査部１１０の検査ステージ１２０は、本体の傾斜面部１０４とほぼ平行に傾いた状態で液晶表示パネル１０を受けて、その液晶表示パネル１０をプローブユニット１１２に対して移動させる。ここで、検査ステージ１２０は、液晶表示パネル１０を把持可能とする機能と、液晶表示パネル１０をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動させる機能と、Ｚ軸回りにある角度で回転させる機能などを有する。
【００２９】
図３及び図４は、移動プレートがワークテーブルの交換位置に移動された状態の検査ステージを示す。
【００３０】
図３及び図４を参照して具体的に説明すれば、検査ステージ１２０は、液晶表示パネル１０を解除可能なように吸着するワークテーブル１２２と、このワークテーブル１２２に置かれた液晶表示パネル１０の後方で照射するように点灯されるバックライトユニット１２４と、ワークテーブル１２２をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動させ、Ｚ軸回りにある角度で回転する移動フレーム１２８を有するアラインメントユニット１２６と、ワークテーブル１２２の交換作業のためにワークテーブル１２２を本体１０２の側方に引き出すように第１スライド部材１３０とを具備している。
【００３１】
例えば、液晶表示パネル検査装置１００は、検査しようとする液晶表示パネル１０のサイズが変更されれば、ワークテーブル１２２をそのサイズに適合するものに交換する。本発明の検査装置においては、第１スライド部材１３０によってワークテーブル１２２の交換作業が本体１０２の外側で行われることにその特徴がある。
【００３２】
ここで、第１スライド部材１３０は、大きくアラインメントユニット１２６の上端と下端に設置されるＬＭガイド部１３６と、このＬＭガイド部１３６に沿ってＸ軸方向に移動される移動プレート１３２と、この移動プレート１３２に分離可能なように装着されるドッキングプレート１３４とを具備する。
【００３３】
図５及び図６に示したように、ＬＭガイド部１３６は、アラインメントユニット１２６に固定される下部ブラケッ１４０と、この下部ブラケッ１４０に設置される１段ＬＭレール１４２と、この１段ＬＭレール１４２に沿って移動される１段ＬＭブロック１４３と、この１段ＬＭブロック１４３に支持される中間プレート１４４と、この中間プレート１４４の上面に設置される２段ＬＭレール１４５と、この２段ＬＭレール１４５に沿って移動される２段ＬＭブロック１４６と、このＬＭブロック１４６に支持される上部プレート１４７とを有する。この上部プレート１４７は移動プレート１３２の底面に固定される。
【００３４】
このように構成されたＬＭガイド部１３６におけるスライド移動の詳細は、次の通りである。ユーザが移動プレート１３２の把手１３３を掴んで本体の外側方向に引張ると、初めに、上部プレート１４７に連結された２段ＬＭブロック１４６が２段ＬＭレール１４５に沿って移動される。その次に中間プレート１４４に連結された１段ＬＭブロック１４３が１段ＬＭレール１４２に沿って移動されることにより、移動プレート１３２が本体１０２の側方向に水平移動されて本体１０２の外にワークテーブル１２２が引き出される。
【００３５】
図４及び図６に示したように、第１スライド部材１３０は、移動プレート１３２の引き出し距離を制限する第１ストッパ１５０と、引き込み距離を制限する第２ストッパ１５２とを有する。前記ストッパ１５０，１５２は、下部ブラケッ１４０、中間プレート１４４、及び上部プレート１４７に設置される。そして下部ブラケッ１４０に設置された第１ストッパ１５０及び第２ストッパ１５２には移動プレート１３２の動作が停止した場合に、衝撃を緩和させる緩衝部材であるショックアブソーバ（ｓｈｏｃｋ  ａｂｓｏｒｂｅｒ）１５４が設置される。もしユーザが無理矢理に移動プレート１３２を押し入れるか、引っ張るようなことをしても、ショックアブソーバ１５４によってその衝撃が緩和され、移動プレートが停止する過程で発生する衝撃を最小化することができる。
【００３６】
第１スライド部材１３０はクランプ部材１５６を有する。このクランプ部材１５６は、下部ブラケッ１４０に設置された固定体１５６ａと、移動プレート１３２に設置された移動体１５６ｂ、及び固定体と移動端に形成されたネジ穴１５７に挿入され移動端と固定体とを締結する締結ボルト１５６ｃからなる。すなわち、作業者がワークテーブル１２２の交換作業の後、移動プレート１３２を本体１０２中に押し込んで、締結ボルト１５６ｃで移動体１５６ｂと固定体１５６ａとを締結させれば、移動プレート１３２の任意の移動を予め防止することができる。
【００３７】
ワークテーブル１２２はドッキングプレート１３４上に装着される。そして、ドッキングプレート１３４は移動プレート１３２から分離または結合可能なように設置される。
【００３８】
より詳細に説明すれば、ワークテーブル１２２の交換段階においては、ドッキングプレート１３４が移動プレート１３２に結合することにより、第１スライド部材１３０に移動可能なように設置された移動プレート１３２の移動によって、ドッキングプレート１３４が本体１０２の外側に位置し、ドッキングプレート１３４前面に装着されたワークテーブル１２２を交換する作業が行われる。
【００３９】
一方、液晶表示パネル１０の検査段階においては、移動プレート１３２が検査部１１０領域に位置し、Ｚ軸方向にアラインメントユニット１２６が移動することによって、ドッキングプレート１３４が移動フレーム１２８から分離する。
【００４０】
そして、移動フレーム１２８及びドッキングされたドッキングプレート１３４は前面に設置されたワークテーブル１２２に載置された液晶表示パネル１０を最適な検査位置に位置するようにＸ，Ｙ，Ｚ方向の平行移動及びＺ軸回りに回転するアラインメントユニット１２６の動作によってアラインメントユニット１２６の上側にドッキングされたドッキングプレート１３４が共に動くようになる。
【００４１】
図５及び図７を参照すれば、ドッキングプレート１３４と移動フレーム１２８との間のドッキングは、移動フレーム１２８に設置された６個のポジションピン１６０及びドッキングプレート１３４を移動フレーム１２８側に押す４個のプッシャ器具１６２で構成されるドッキング手段によって行われる。プッシャ器具１６２は、油圧シリンダ１６４及び油圧シリンダロッド１６５の端に設置された押圧片１６６により構成される。ドッキングプレート１３４と移動プレート１３２との間には、押圧片１６６が通る開口部１６７が形成されており、プッシャ器具１６２の押圧片１６６は、ドッキングプレート１３４が移動フレーム１２８にドッキングされた場合に、開口部１６７を通じてドッキングプレート１３４の前方に位置する。この状態で、押圧片１６６は９０°回転して、油圧シリンダ１６４の作動によってドッキングプレート１３４の前面を押す。そのような状態を図７に示す。
【００４２】
すなわち、ドッキングプレート１３４と移動フレーム１２８との間のドッキング過程は、次のようである。まず検査ステージ１２０のＺ軸方向の移動により前記検査ステージ１２０の移動フレーム１２８がＺ軸方向に前方へ移動され、この時に、移動フレーム１２８上に具備されたポジションピン１６０がドッキングプレート１３４の端部に形成された貫通孔１６１のそれぞれに挿入され結合される。この時、プッシャ器具の押圧片１６６は開口部１６７を通じてドッキングプレート１３４の前方に位置し、押圧片１６６は回転動作によって９０°回転した後、油圧シリンダ１６４の作動によってドッキングプレート１３４の前面を押すことにより安定的なドッキングが行われる。
【００４３】
一方、移動プレート１３２の前面の左端及び右端には、ドッキングプレートの前方への移動距離を制限するストッパ１６８が具備される。このストッパ１６８は、ワークテーブル１２２とプローブユニット１１２との間の衝突を防止するために、ドッキングプレート１３４の過度な前進を制限する。
【００４４】
より詳細にドッキングプレート１３４の移動を段階的によく見れば、ドッキングプレート１３４は、検査部１１２のアラインメントユニット１２６の移動によって移動フレーム１２８とドッキングされた後、アラインメントユニット１２６のＺ軸方向の移動によって移動プレート１３２から分離する。ドッキングプレート１３４の前面に設置されたワークテーブル１２２は、ドッキングプレート１３４とともにＺ軸方向に移動して、ワークテーブル１２２に置かれた液晶表示パネル１０は、プローブユニット１１２に近接するように移動される。プローブユニット１１２の底面に設置されたプローブ（図示しない）は液晶表示パネル１０のパッドと接触される。ドッキングプレート１３４が過度にＺ軸方向に移動する場合、プローブユニット１１２のプローブ及び液晶表示パネル１０のパッドが衝突することができる。ストッパ１６８はドッキングプレート１３４の過度な前進を制限して、プローブまたは液晶表示パネル１０の損傷を予防することができる。
【００４５】
図８は、バックライトユニットが本体の側面に引き出された状態を示す。
【００４６】
図８に示したように、本発明の検査装置１００は、バックライトユニット１２４の点検及びバックライトユニットのランプの交換などの作業のためにバックライトユニット１２４を本体１０２の側面に引き出すことが可能な第２スライド部材１９０を具備する。第２スライド部材１９０は図３及び図８に示したように、アラインメントユニット１２６の移動フレーム１２８上に設置されるＬＭガイド部からなり、バックライトユニット１２４はこのＬＭガイド部に沿って本体１０２の側面に引き出される。
【００４７】
図９は、ワークテーブル１２２を本体１０２の側面に引き出すための第１スライド部材１３０'の変形例を示す。
【００４８】
図９に示したように、第１スライド部材１３０'はアラインメントユニット１２６の移動フレーム１２８上に設置される。第１スライド部材１３０'は、ワークテーブル１２２が装着される移動プレート１３２'と、この移動プレート１３２'を移動フレーム１２８上にスライド移動できるようにガイドするＬＭガイド部１３６とを具備する。すなわち、図９のように、第１スライド部材１３０'が、アラインメントユニット１２６の移動フレーム１２８上に設置された場合には、上述の実施形態のようなドッキングプレート及びドッキング部材などの構成要素を省略することができる。
【００４９】
一方、本発明は前記の構成からなる液晶表示パネル検査装置において、多様に変形可能であり、様々な実施形態を取ることができる。しかし、本発明は前記の詳細な説明で言及される特定の実施形態に限定されず、特許請求の範囲によって定義される本発明の技術的思想と範囲内にあるすべての変形物と均等物及び代替物を含むと理解されなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態に係る液晶表示パネル検査装置の構成を説明するための図である。
【図２Ａ】本発明の実施形態に係る液晶表示パネル検査装置の構成を説明するための図である。
【図２Ｂ】本発明の実施形態に係る液晶表示パネル検査装置で液晶表示パネルが本体の外側に引き出された状態を示す。
【図３】移動プレートがワークテーブルの交換位置に移動した状態の検査ステージを示す。
【図４】移動プレートがワークテーブルの交換位置に移動した状態の検査ステージを示す。
【図５】検査ステージのＬＭガイド部を説明するための図である。
【図６】検査ステージのＬＭガイド部を説明するための図である。
【図７】ワークテーブルが液晶表示パネルを授受するためのローディング位置に移動した状態の検査ステージを示す。
【図８】バックライトユニットが本体の外側に引き出された状態を示す。
【図９】ワークテーブルを本体の側面に引き出すための第１スライド部材の変形例を示す。
【符号の説明】
【００５１】
１０２  本体
１０４  傾斜面部
１１０  検査部
１１２  プローブユニット
１２０  検査ステージ
１２２  ワークテーブル
１２４  バックライトユニット
１２６  アラインメントユニット
１３０  第１スライド部材
【図１】
2006338007.tif 000003
【図２Ａ】
2006338007.tif 000004
【図２Ｂ】
2006338007.tif 000005
【図３】
2006338007.tif 000006
【図４】
2006338007.tif 000007
【図５】
2006338007.tif 000008
【図６】
2006338007.tif 000009
【図７】
2006338007.tif 000010
【図８】
2006338007.tif 000011
【図９】
2006338007.tif 000012