(57)【要約】【課題】  ワイヤハーネスからの力で描画位置が狂うことのない画像形成装置の提供。【解決手段】ワーク上に画像を形成する描画手段と、画像データを入力する画像伝送用ハーネスが接続され、前記画像伝送用ハーネスを通して入力された画像データに基づいて制御信号を発生する制御基板と、前記描画手段に隣接して設けられ、前記制御基板から入力された制御信号に基づいて前記描画手段を駆動する駆動基板とを備え、前記制御基板と前記駆動基板とは柔軟性を有するフレキシブル基板で接続された画像形成装置。【選択図】        図９
2006267472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク上に画像を形成する描画手段と、
画像データを入力する画像伝送用ハーネスが接続され、前記画像伝送用ハーネスを通して入力された画像データに基づいて制御信号を発生する制御基板と、
前記描画手段に隣接して設けられ、前記制御基板から入力された制御信号に基づいて前記描画手段を駆動する駆動基板とを備え、
前記制御基板と前記駆動基板とは柔軟性を有するフレキシブル基板で接続されてなることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記描画手段は、画像データに応じて空間変調素子によって光ビームを変調してワーク上に画像を形成する露光ヘッドであって、
前記駆動基板は、前記制御基板から入力された制御信号に基づいて前記空間変調素子を駆動する請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記露光ヘッドは、前記空間変調素子によって光ビームを変調する空間変調部と、前記空間変調部で変調された光ビームをワーク上に結像させる結像光学系とを備える請求項２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
露光ヘッドを複数有し、
前記複数の露光ヘッドは、ｘ方向に配設されて露光ユニットを形成するとともに、
前記露光ヘッドの夫々について前記制御基板および前記駆動基板が設けられてなり、
画像形成時において、前記ワークを、前記露光ユニットに対して前記ｘ方向に対して実質的に直角なｙ方向に沿って相対移動させるワーク移動手段を備える請求項２または３に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記結像光学系は、前記空間変調素子によって変調された光ビームの夫々をワーク上に結像させるマイクロレンズアレイを備える請求項３または４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記画像伝送用ハーネスは、前記制御基板の近傍においては、前記制御基板に接続された方向に沿って延在してなる請求項１〜５の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記制御基板および前記画像伝送用ハーネスの少なくとも一方を支持する支持部材を更に備える請求項１〜６の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記制御基板同士は通信ケーブルで接続されているとともに、前記通信ケーブルは、前記制御基板の近傍においては、前記制御基板に接続された方向に沿って延在してなる請求項５〜７の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項９】
前記空間変調素子は、駆動基板からの駆動信号に応じて反射面の角度が変更される一群の反射鏡が二次元状に配設されてなるデジタル・マイクロミラー・デバイスである請求項２〜８の何れか１項に記載の画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像形成装置に係り、特に、描画手段に接続されるワイヤハーネスの影響を受けてワークへの画像形成位置がずれることのない画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）のような空間光変調素子をパターンジェネレータとして利用して、画像データに応じて変調された光ビームにより、被露光部材上に画像露光を行うマルチビーム露光装置の開発が進められている。
【０００３】
ＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーをシリコン等の半導体基板上に２次元的に配列したミラーデバイスであり、各メモリセルに蓄えた電荷による静電気力でマイクロミラーの反射面の角度を変化させるように構成されている。
【０００４】
従来のＤＭＤを用いたマルチビーム露光装置では、例えば、レーザビームを出射する光源から出射されたレーザビームをレンズ系でコリメートし、このレンズ系の略焦点位置に配置されたＤＭＤの複数のマイクロミラーでそれぞれレーザビームを反射して複数のビーム出射口から各ビームを出射する露光ヘッドを用い、さらに露光ヘッドのビーム出射口から出射された各ビームを１画素毎に１つのレンズで集光させるマイクロレンズアレイ等の光学素子を持つレンズ系により感光材料（被露光部材）の露光面上にスポット径を小さくして結像し、解像度の高い画像露光を行う。
【０００５】
前記マルチビーム露光装置では、画像データ等に応じて生成した制御信号に基づいてＤＭＤのマイクロミラーの各々を駆動回路でオンオフ（ｏｎ／ｏｆｆ）制御してレーザビームを変調（偏向）し、変調されたレーザビームを露光面（記録面）上に照射して露光する。
【０００６】
前記マルチビーム露光装置としては、複数の露光ヘッドを有する露光ユニットを備え、記録面に感光材料（フォトレジスト等）を配置して前記露光ユニットに対して相対移動させつつ、各露光ヘッドのＤＭＤを画像データに応じて変調して前記感光材料をパターン露光するマルチヘッド露光装置がある。
【０００７】
しかしながら、近年、基板の集積度が高くなるにつれて、さらに高い解像度が要求されるようになってきたので、各露光ヘッドに対応する画像の相対位置のずれの許容値が小さくなってきた。
【０００８】
さらに、前記露光ヘッドにおいては、光源から結像面にいたるまでに数多くの光学部材や機構部材などが使用されているので、温度変化による熱膨張や熱収縮、および長期間使用による経時変化の蓄積により、各露光ヘッドにより形成される画像が、つなぎ目において無視できない程度のずれを起こし、画像品質が低下するという問題もあった。
【０００９】
そこで、ＰＳＤ（position-sensing device、位置検出装置）や４分割ディテクタなどの位置検出素子によって各ビームの位置を検出し、各ビームによって形成される画像間のずれを補正する方法が提案された（特許文献１）。
【００１０】
しかしながら、複数の露光ヘッドを備えたマルチヘッド露光装置においては、露光ヘッドの間隔が隣接ビームの間隔に比べて圧倒的に大きいので、前記特許文献１に記載の方法を適用することは困難である。
【００１１】
そこでビーム位置検出手段で検出した位置情報から、ずれ量演算手段により描画のずれ量を求め、この検出した描画のずれ量に対応して適切に補正し、より高精度な描画を行って高品質の露光画像を得られるようにできるマルチヘッド露光装置が考えられた。
【００１２】
前記マルチヘッド露光装置においては、画像データに基づいて制御信号を出力する制御基板と、前記制御基板からの制御信号に基づいてＤＭＤなどの空間変調素子を駆動する駆動基板とを各露光ヘッド毎に設けることが一般的である。
【００１３】
近年、大面積の感光材料に高密度な画像を形成することが求められるようになるに従い、各露光ヘッドの制御基板に入力される画像データの量も膨大になってきた。したがって、前記制御基板に接続されて画像データを入力する画像伝送ハーネスは益々太くなる傾向にある。
【特許文献１】特開平１０−３１１７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、画像伝送ハーネスのようなワイヤハーネスは、太くなると腰が強くなるが、配線の都合からワイヤハーネスは通常、屈曲した状態で制御基板に接続される。したがって、露光ヘッドは、ワイヤハーネスが戻ろうとする力を受けるから、光ビームの照射位置がずれる可能性がある。
【００１５】
特に、前記露光ヘッドが、ＤＭＤのような空間変調素子によって光ビームを変調する空間変調部と、前記空間変調部で変調された光ビームをワーク上に結像させる結像光学系とを備え、しかも前記結像光学系が、空間変調素子によって変調された光ビームの夫々を感光材料のようなワーク上に結像させるマイクロレンズアレイを備える場合には、ワイヤハーネスからの力により、空間変調部と結像光学系との相対位置がずれて、所期の光学性能が得られないという問題が生じる可能性がある。
【００１６】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたものであり、露光ヘッドのような描画手段に接続されるワイヤハーネスが太くて腰が強いものである場合においても、ワイヤハーネスからの力で描画位置が狂うことのない画像形成装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
請求項１に記載の発明は、ワーク上に画像を形成する描画手段と、画像データを入力する画像伝送用ハーネスが接続され、前記画像伝送用ハーネスを通して入力された画像データに基づいて制御信号を発生する制御基板と、前記描画手段に隣接して設けられ、前記制御基板から入力された制御信号に基づいて前記描画手段を駆動する駆動基板とを備え、前記制御基板と前記駆動基板とは柔軟性を有するフレキシブル基板で接続されてなることを特徴とする画像形成装置に関する。
【００１８】
前記画像形成装置においては、制御基板と駆動基板とはフレキシブル基板で接続されているから、画像伝送用ハーネスから制御基板に伝達された外力は、前記フレキシブル基板で遮断され、駆動基板には殆ど伝達されない。
【００１９】
したがって、画像伝送用ハーネスが太く、腰の強いものであっても、画像伝送用ハーネスからの力によって描画手段の位置が狂うことがない。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の画像形成装置において、前記描画手段が、画像データに応じて空間変調素子によって光ビームを変調してワーク上に画像を形成する露光ヘッドであって、前記駆動基板が、前記制御基板から入力された制御信号に基づいて前記空間変調素子を駆動するものに関する。
【００２１】
前記露光ヘッドは、光ビームをワークに照射した画素によって画像を形成するから、何らかの外力によって露光ヘッドの位置が狂うと、画素の位置も狂い、精度の高い画像が得られない。
【００２２】
この問題は、ワークに微細な画像を形成することが要求される場合には深刻な問題になる。
【００２３】
前記画像形成装置においては、画像伝送用ハーネスからの外力は、制御基板には伝達されるが、フレキシブル基板で遮断されるから、駆動基板や露光ヘッドに前記外力が伝達されることはない。
【００２４】
したがって、ワークに微細な画像を形成することが要求される場合においても高精度な画像が得られる。
【００２５】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の画像形成装置において、前記露光ヘッドが、前記空間変調素子によって光ビームを変調する空間変調部と、前記空間変調部で変調された光ビームをワーク上に結像させる結像光学系とを備えるものに関する。
【００２６】
露光ヘッドが空間変調部と結像光学系とに分かれている画像形成装置においては、制御基板に接続された画像伝送用ハーネスが腰の強いものである場合には、画像伝送用ハーネスからの力を受けて空間変調部と結像光学系との相対位置がずれ、ワーク上に画像が正しく結像しない可能性がある。
【００２７】
しかしながら、前記画像形成装置においては、制御基板と駆動基板とがフレキシブル基板で接続されているから、画像伝送用ハーネスからの力はフレキシブル基板で吸収され、空間変調部や結像光学系には及ばない。
【００２８】
したがって、空間変調部と結像光学系との相対位置が狂うことはない。
【００２９】
請求項４に記載の発明は、請求項２または３に記載の画像形成装置において、露光ヘッドを複数有し、前記複数の露光ヘッドが、ｘ方向に配設されて露光ユニットを形成するとともに、前記露光ヘッドの夫々について前記制御基板および前記駆動基板が設けられてなり、画像形成時において、前記ワークを、前記露光ユニットに対して前記ｘ方向に対して実質的に直角なｙ方向に沿って相対移動させるワーク移動手段を備えるものに関する。
【００３０】
前記画像形成装置においては、各露光ヘッドにおける画素のｏｎ−ｏｆｆを制御して隣接する２つの画像同士が繋がるようにすることにより、大面積のワークにも高精度で画像が形成できる。
【００３１】
請求項５に記載の発明は、請求項３または４に記載の画像形成装置において前記結像光学系が、前記空間変調素子によって変調された光ビームの夫々をワーク上に結像させるマイクロレンズアレイを備えるものに関する。
【００３２】
前記画像形成装置においては、空間変調部で変調された画素は、マイクロレンズアレイによってワーク上に夫々結像するので、空間変調部で画素をｏｎ−ｏｆｆして形成された画像を、結像光学系において画像を大倍率で拡大してワークに投影した場合においても画像の鮮明度が低下することがない。
【００３３】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の何れか１項に記載の画像形成装置において、  前記画像伝送用ハーネスが、前記制御基板の近傍においては、前記制御基板に接続された方向に沿って延在してなるものに関する。
【００３４】
前記画像形成装置においては、画像伝送用ハーネスが制御基板の近傍では制御基板に接続された方向に沿って延在しているから、画像伝送用ハーネスとして太くて腰のつよいものを用いた場合においても、制御基板が画像伝送用ハーネスから強い力を受けることがない。したがって、画像伝送用ハーネスからの力が制御基板、フレキシブル基板、および駆動基板を介して描画手段に伝わることがないから、ワーク上により高精度の画像を形成できる。
【００３５】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の何れか１項に記載の画像形成装置において、前記制御基板および前記画像伝送用ハーネスの少なくとも一方を支持する支持部材を更に備えるものに関する。
【００３６】
前記画像形成装置においては、前記制御基板および前記画像伝送用ハーネスの少なくとも一方は支持部材によって支持されているから、前記画像伝送用ハーネスから前記制御基板に向って及ぼされる力をより小さくできる。
【００３７】
請求項８に記載の発明は、請求項５〜７の何れか１項に記載の画像形成装置において、前記制御基板同士が通信ケーブルで接続されているとともに、前記通信ケーブルは、前記制御基板の近傍においては、前記制御基板に接続された方向に沿って延在してなるものに関する。
【００３８】
露光ヘッドを複数有する画像形成装置においては、夫々の露光ヘッドに制御基板を設けることが一般的である。このような画像形成装置においては、制御基板相互を通信ケーブルで接続して画像データ等を相互に遣り取りできるようにすることが普通である。
【００３９】
前記画像形成装置においては、前記通信ケーブルを、少なくとも前記制御基板の近傍において前記制御基板に接続された方向に沿って延在するように形成しているから、制御基板が通信ケーブルから受ける力を極めて小さくすることができる。
【００４０】
請求項９に記載の発明は、請求項２〜８の何れか１項に記載の画像形成装置において、前記空間変調素子が、駆動基板からの駆動信号に応じて反射面の角度が変更される一群の反射鏡が二次元状に配設されてなるデジタル・マイクロミラー・デバイスであるものに関する。
【００４１】
ＤＭＤによれば、画素は全て微小な点として形成されるから、前記画像形成装置によれば、ワークが大面積の場合であっても、画質の高い画像を形成できる。
【発明の効果】
【００４２】
以上説明したように、本発明によれば、描画手段に接続されるワイヤハーネスが太くて腰が強いものである場合においても、ワイヤハーネスの腰の影響を受けて描画位置が狂うことのない画像形成装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、本発明の画像形成装置の一例である露光装置について説明する。
【００４４】
図１〜図３に示すように、実施形態１に係る露光装置１００は、フラットベッド型である。
【００４５】
露光装置１００は、棒状の角パイプを枠状に組み付けて構成された矩形状の枠体１２に各部が収容されて構成されている。なお、枠体１２にはパネル（図示せず。）が張り付けられて内外が遮断されている。
【００４６】
枠体１２は、背高の筐体部１２Ａと、この筐体部１２Ａの一側面から突出するように設けられたステージ部１２Ｂとで構成されている。
【００４７】
ステージ部１２Ｂは、その上面が筐体部１２Ａよりも低位とされ、作業者がこのステージ部１２Ｂの前に立ったときに、ほぼ腰の高さになるように配設されている。
【００４８】
ステージ部１２Ｂの上面には、開閉蓋１４が設けられている。開閉蓋１４の筐体部１２Ａ側の一辺には、図示しない蝶番が取付けられ、この一辺を中心として開閉する。
【００４９】
開閉蓋１４を開放した状態のステージ部１２Ｂの上面には、本発明のステージに相当する露光ステージ１６が露出可能となっている。
【００５０】
図４に示すように、露光ステージ１６の下面には、断面略コ字型の脚部１６Ａが取り付けられている。脚部１６Ａは、このステージ部１２Ｂから前記筐体部１２Ａまで延設された定盤１８に対して、当該露光ステージ１６を摺動可能に支持すると共に、互いに平行、かつ定盤１８の長手方向に沿って配設された一対の摺動レール２０を介して支持されている。したがって、露光ステージ１６は、前記摺動レール２０上を、ほとんど摩擦抵抗なくｙ方向に沿って移動する。
【００５１】
本発明のワークの一例である感光材料２２は、露光ステージ１６における感光材料載置面１７に載置される。感光材料載置面１７には、複数の溝（図示省略）が設けられ、バキュームポンプ等によって溝内を負圧にすることができるように構成されている。バキュームポンプ等によって溝内を負圧にすることにより、感光材料２２は、感光材料載置面１７に密着され、マーク測定中および露光中に移動することが防止される。
【００５２】
図１〜図３に示すように、定盤１８の長手方向一端部はステージ部１２Ｂに至り、この位置に露光ステージ１６が位置している状態で、作業者は露光ステージ１６上に感光材料２２を載置し、または取り出すことができる。
【００５３】
ステージ部１２Ｂには、定盤１８の長手方向一端部に位置する露光ステージ１６に載置された直後の感光材料２２の温度を測定する赤外線温度計１９が設けられている。なお、赤外線温度計１９において露光ステージ１６の実際の温度を測定するようにしてもよい。赤外線温度計１９は、本発明におけるワーク温度測定手段に相当する。
【００５４】
定盤１８は、筐体部１２Ａを構成する角パイプに対して強固に固定された架台２４に支持されており、露光ステージ１６の移動軌跡の基準となっている。
【００５５】
前記定盤１８の長手方向に沿って配設された一対の摺動レール２０の間には、ステッピングモータの駆動力を応用した直線型の駆動源でであるリニアモータ部２６が配設されている。
【００５６】
リニアモータ部２６は、ステッピングモータと同様で駆動されるから、実施形態１に係る露光ステージ１６は、定速性、位置決め精度、並びに始動、停止時のトルク変動等、電気的な制御により精度の高い駆動制御が可能となっている。
【００５７】
露光ステージ１６における定盤１８上での移動軌跡のほぼ中間位置には、露光ユニット２８が配設され、露光ユニット２８に隣接してカメラユニット３２が配設されている。
【００５８】
露光ユニット２８およびカメラユニット３２は、温度変化による寸法変化を避けるためにチャンバー４６に収納されている。チャンバ−４６の内部は、ダクト４８を介して接続された温調ユニット５０によって一定の温度に調節されている。
【００５９】
露光装置１００は、更に、全体を制御するとともに、画像データを入力するコンピュータ１０を備えている。コンピュータ１０は、キーボード１０Ａとディスプレイ１０Ｂと演算記憶部１０Ｃとから構成されている。
【００６０】
露光ユニット２８は、定盤１８の幅方向、即ちｘ方向に沿って２列に配列された８個の露光ヘッド２８０と、露光ヘッド２８０が装着される桁状の露光ユニットベース２８１とを備えている。露光ユニットベース２８１は、図１に示すように、前記定盤１８の幅方向両端部の外側にそれぞれ立設された一対の支柱３０に掛け渡されるように配設され、これによって露光ステージ１６が通過するゲートが形成される。
【００６１】
露光ユニット２８においては、露光ステージ１６を定速度で移動させながら、所定のタイミングでそれぞれの露光ヘッド２８０から露光ステージ１６上の感光材料２２に複数の光ビームを照射することにより、感光材料２２を露光する。
【００６２】
図７〜図９に示すように、露光ヘッド２８０は、頂部に設けられたＤＭＤユニット２８２と、ＤＭＤユニット２８２の下方に設けられた第１結像光学ユニット２８４と、第１結像光学ユニット２８４の下方に設けられた第２結像光学ユニット２８６とを備える。第１結像光学ユニット２８４と第２結像光学ユニット２８６との間には、ＤＭＤユニットでｏｎされた画素を感光材料２２上に結像させるマイクロレンズアレイ２８５が設けられている。ＤＭＤユニット２８２は、本発明における空間変調部に相当し、第１結像光学ユニット２８４と第２結像光学ユニット２８６とマイクロレンズアレイ２８５とは、本発明における結像光学系に相当する。
【００６３】
ＤＭＤユニット２８２の内部にはＤＭＤが収容され、頂部には、ＤＭＤを駆動するＤＭＤ駆動基板２９０が設けられている。ＤＭＤユニット２８２の上方には、更に、コンピュータ１０から画像データが入力されるとともに、入力された画像データに基づいて各露光ヘッド２８０におけるＤＭＤ駆動基板２９０に制御信号を入力する制御基板２９２が設けられている。制御基板２９２は、フレキシブル基板２９４を介してＤＭＤ駆動基板２９０に接続されている。ＤＭＤ駆動基板２９０は、本発明の駆動基板に相当する。制御基板２９２には、コンピュータ１０からの画像データを入力する画像伝送用ハーネス２９６が接続されている。画像伝送用ハーネス２９６は、制御基板２９２の近傍においては、制御基板２９２に接続された方向に延在している。制御基板２９２を支持する支持板２９１Ａには、図７および図９に示すように折り返し部２９１Ｂが形成され、折り返し部２９１Ｂにおいてフレーム１３Ａ（支持部材）に螺子止めされている。また、画像伝送用ハーネス２９６は、止め具２９５によってフレーム１３Ｂ（支持部材）に固定されている。フレーム１３Ａおよびフレーム１３Ｂは、たとえば露光ユニットベース２８１に固定されている。
【００６４】
ＤＭＤユニット２８２には、更に、筐体部１２Ａ内の露光ステージ１６の移動を妨げない場所に設けられた光源ユニット内のレーザ光源からのレーザ光を導入する光ファイバ２８３が接続され、また、露光ヘッド２８０に冷却風を送りこむ排熱ダクト２８７が接続されている。
【００６５】
各露光ヘッド２８０においては、光ファイバ２８３によって案内され、入射された光ビームを、ＤＭＤユニット２８２内のＤＭＤによって画素単位で制御し、感光材料２２に対して画素パターンを露光する。実施形態１に係る露光装置１００では、複数の画素を重ね合わせて１画素の濃度を表現する。
【００６６】
露光ヘッド２８０は、図６において（Ｂ）に示すように、ｍ行ｎ列（例えば、２行４列）の略マトリックス状に配列され、複数の露光ヘッド２８０が、ｘ方向、換言すれば前記露光ステージ１６の移動方向即ち走査方向ｂに直交する方向に配列される。実施形態１に係る露光装置１００では、露光ヘッド２８０は、感光材料２２の幅との関係で、４個×２行＝８個設けられている。なお、図１〜図３および図５に示すように、８個の露光ヘッド２８０は千鳥状に配列されている。
【００６７】
１つの露光ヘッド２８０による露光エリア２８Ｂは、走査方向ｂを短辺とする矩形状であって走査方向に対して所定の傾斜角で傾斜している。したがって露光ステージ１６が移動すると、図６において（Ａ）に示すように、感光材料２２には露光ヘッド２８０毎に帯状の露光済み領域が形成される。
【００６８】
図１０に示される如く、１つの露光ヘッド２８０において、露光済み領域２８Ｂは、二次元配列（例えば４×５）された２０個の画素によって形成される。
【００６９】
前記２０個の画素は走査方向に対して傾斜しているから、一の列の画素は、走査方向に対してより下流側に位置する列の相隣り合う２つの画素の間を通過する。したがって、実質的な画素間ピッチを詰めることができ、高解像度化を図ることができる。
【００７０】
前記露光ステージ１６上に位置決めされた感光材料２２への露光処理は、前記露光ステージ１６が摺動レール２０上を筐体部１２Ａの奥に向って移動するとき（往路）ではなく、前述のように、一旦、筐体部１２Ａの奥に到達して、ステージ部１２Ｂへ戻るとき（復路）に実行される。
【００７１】
すなわち、往路は、露光ステージ１６上の感光材料２２の位置情報を得るための移動であり、カメラユニット３２で感光材料２２を撮像して前記位置情報を得る。
【００７２】
前述のように、制御基板２９２は、ＤＭＤユニット２８２に固定されたＤＭＤ駆動基板２９０とはフレキシブル基板２９４を介して接続されているから、画像伝送用ハーネス２９６が腰の強いものであっても、画像伝送用ハーネス２９６からの力はフレキシブル基板２９４で吸収されてしまい、露光ヘッド２８０自体には伝わらない。
【００７３】
また、画像伝送用ハーネス２９６は、制御基板２９２の近傍においては制御基板２９２に接続された方向に延在しているから、画像伝送用ハーネス２９６から制御基板２９２に加わる力そのものも極めて小さい。
【００７４】
したがって、露光ユニット２８においては、特に高い精度で感光材料２２を露光できる。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明は、露光ヘッドを複数備える画像形成装置に好ましく適用できるが、
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】図１は、実施形態１に係る画像形成装置の概略を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態１の画像形成装置の概略略を示す側面図である。
【図３】図３は、実施形態１の画像形成装置の概略を示す平面図である。
【図４】図４は、前記画像形成装置の備えるステージの構成を示す斜視図である。
【図５】図５は、前記画像形成装置の備える露光ユニットの構成を示す斜視図である。
【図６】図６は、前記画像形成装置の備える露光ユニットによる露光領域を示す平面図およびヘッドアッセンブリの配列パターンを示す平面図である。
【図７】図７は、前記露光ユニットを構成する露光ヘッドの構成の詳細を示す部分断面図である。
【図８】図８は、前記露光ユニットにおける露光ヘッドの頂部の構成を示す平面図である。
【図９】図９は、１本の露光ヘッドにおける頂部の構成を示す斜視図である。
【図１０】図１０は、前記画像形成装置の備える露光ユニットが備えるヘッドアッセンブリの夫々のドットパターンの配列状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０  コンピュータ
１０Ａ      キーボード
１０Ｂ      ディスプレイ
１０Ｃ      演算記憶部
１２  枠体
１２Ａ      筐体部
１２Ｂ      ステージ部
１４  開閉蓋
１６  露光ステージ
１６Ａ      脚部
１７  感光材料載置面
１８  定盤
１９  赤外線温度計
２０  摺動レール
２２  感光材料
２４  架台
２６  リニアモータ部
２８  露光ユニット
３０  支柱
３２  カメラユニット
４６  チャンバー
４８  ダクト
５０  温調ユニット
１００      露光装置
２８０      露光ヘッド
２８１      露光ユニットベース
２８２      ＤＭＤユニット
２８３      光ファイバ
２８４      結像光学ユニット
２８５      マイクロレンズアレイ
２８６      結像光学ユニット
２８７      排熱ダクト
２９０      ＤＭＤ駆動基板
２９２      制御基板
２９４      フレキシブル基板
２９６      画像伝送用ハーネス
【図１】
2006267472.tif 000003
【図２】
2006267472.tif 000004
【図３】
2006267472.tif 000005
【図４】
2006267472.tif 000006
【図５】
2006267472.tif 000007
【図６】
2006267472.tif 000008
【図７】
2006267472.tif 000009
【図８】
2006267472.tif 000010
【図９】
2006267472.tif 000011
【図１０】
2006267472.tif 000012