(57)【要約】【課題】複数のロボット及び成膜室での位置決め機構が不要で安価であるとともに、位置決め時間を要さず、有機ＥＬ素子の生産性を向上させることができる有機ＥＬ素子の製造装置を提供すること。【解決手段】成膜室内で被処理基板上に被蒸着物をパターニングさせて蒸着させるように、前記被処理基板に相対し且つ前記被蒸着物との間に配置されるマスクと前記マスクを保持するマスク保持部材を有する有機ＥＬ素子を製造する製造装置において、前記マスク保持部材の交換及び前記被処理基板の搬送を行うロボットが前記マスク保持部材と前記被処理基板の両方を掴持でき、且つ、掴持位置を決める。ここで、前記マスク保持部材は、前記被処理基板と同一な形状部位を持つ。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜室内で被処理基板上に被蒸着物をパターニングさせて蒸着させるように、前記被処理基板に相対し且つ前記被蒸着物との間に配置されるマスクと前記マスクを保持するマスク保持部材を有する有機ＥＬ素子を製造する製造装置において、
前記マスク保持部材の交換及び前記被処理基板の搬送を行うロボットが前記マスク保持部材と前記被処理基板の両方を掴持でき、且つ、掴持位置を決めることを特徴とする有機ＥＬ素子の製造装置。
【請求項２】
前記マスク保持部材は、前記被処理基板と同一な形状部位を持つことを特徴とする請求項１記載の有機ＥＬ素子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ素子の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の有機ＥＬ膜蒸着装置は、特許文献１や特許文献２に記載されているように、複数の成膜室を配置し、有機ＥＬ素子を構成する層状膜を成膜する装置が提案されている。
【０００３】
一般的に層状膜は図４に示すように、ガラス基板３０上に透明電極３１、正孔注入輸送層３２、発光層３３、電子注入輸送層３４、陰極３５、Ｓｉ層３６で形成され、それぞれ層状膜は成膜室内でガラス基板３０上に相対し、且つ、被蒸着物との間に配置されるマスクを位置決めしてパターニングされる。前記マスクは、通常マスク保持部材に締結され、数十回蒸着毎に交換される。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−０２７２１３号公報
【特許文献２】特開平８−１１１２８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来例では、マスクの交換及びガラス基板の搬送を行うロボットが複数必要となったり、成膜室でのガラス基板とマスク保持部材の位置決め機構の必要性が生じたりする。この場合、成膜室内でガラス基板及びマスク保持部材が搬入された後に、位置決め動作を開始して成膜することとなる。
【０００６】
本発明の目的は、複数のロボット及び成膜室での位置決め機構が不要で安価であるとともに、位置決め時間を要さず、有機ＥＬ素子の生産性を向上させることができる有機ＥＬ素子の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、成膜室内で被処理基板上に被蒸着物をパターニングさせて蒸着させるように、前記被処理基板に相対し且つ前記被蒸着物との間に配置されるマスクと前記マスクを保持するマスク保持部材を有する有機ＥＬ素子を製造する製造装置において、前記マスク保持部材の交換及び前記被処理基板の搬送を行うロボットが前記マスク保持部材と前記被処理基板の両方を掴持でき、且つ、掴持位置を決めることを特徴とする。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記マスク保持部材は、前記被処理基板と同一な形状部位を持つことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、マスクの交換及びガラス基板の搬送を行うロボットが複数必要となったに対して、マスク保持部材は前記被処理基板と同一な形状部位を持ち、マスク保持部材と被処理基板の両方を掴持できることによって、ロボットが共有でき１台となって安価な有機ＥＬ素子の製造装置の提供が可能となる。
【００１０】
又、成膜室でのガラス基板とマスク保持部材の位置決め機構の必要性が生じたのに対して、ロボット上で掴持位置を決めることによって、各成膜室毎の位置決め機構が不要となって大幅にコストが低減し、安価な有機ＥＬ素子の製造装置の提供が可能となる。
【００１１】
更に、成膜室内に搬送された後に位置決め動作を開始することに対し、ロボット上で掴持位置を決めることで、成膜室内での位置決め時間を要さないこととなって、製造時間を短縮でき、有機ＥＬ素子の生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に実施の形態に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらによって何ら限定されるものではなく、本発明の目的が達成される範囲内での各要素の置換や設計変更がなされたものも包含する。
【００１３】
図１〜図４は本発明の実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置を示しており、図１は実施形態に係る製造装置の上視図、図２は図１に示した製造装置の一部拡大図、図３及び図４は図１に示した製造装置の成膜室内の一部拡大断面図である。又、図５は有機ＥＬ素子の膜構成を示す簡略断面斜視図である。
【００１４】
図５において、１はガラス基板であり、２はガラス基板１上に成膜される陽極（ＩＴＯ）であり、３はホール輸送層、４は発光層、５は電子輸送層、６は陰極であって、ガラス基板１上に順次成膜される。
【００１５】
図１〜図４において、１１は被蒸着体のガラス基板である。１２はマスク、１３はマスク１２を保持するマスク保持部材であり、ガラス基板１１と同一な形状部位のつば１９を備える。図１〜図３は前記ガラス基板１１を掴持した様子を示し、図４は前記マスク保持部材１３を掴持した様子を示している。１４（ａ），１４（ｂ），１４（ｃ）はガラス基板１１及びマスク保持部材１３を突き当てる突き当て部材、１５（ａ），１５（ｂ），１５（ｃ）は突き当て部材１４（ａ），１４（ｂ），１４（ｃ）の対向位置に設けたガラス基板１１及びマスクユニット１３を押し付ける押し付け部材であり、１６（ａ），１６（ｂ），１６（ｃ）は押し付け部材１５（ａ），１５（ｂ），１５（ｃ）を駆動するプランジャである。
【００１６】
２１はガラス基板１１及びマスク保持部材１３を格納するストッカー、２２は成膜室であり、有機ＥＬを構成する各膜を成膜する。
【００１７】
１７はマスク保持部材１３の交換及びガラス基板１１の搬送を行うロボットであり、Ｙ方向及び高さ方向に駆動する。又、Ｘ方向に駆動するスライド装置１８に締結され、各成膜室２２に移動する。２０は成膜室内の下部に設けられた蒸着物である。
【００１８】
上記有機EL素子の製造装置によれば、ロボット１６によりストッカー２１から運び出されたガラス基板１１は、ロボット１６上で押し付け部材１５（ａ），１５（ｂ），１５（ｃ）がプランジャ１６（ａ），１６（ｂ），１６（ｃ）により、駆動し押し付けられて、突き当て部材１４（ａ），１４（ｂ），１４（ｃ）に突きあたり所望の位置に位置決めされる。この動作はストッカー２１から成膜室２２（ａ）にガラス基板１１が移動する間に行う。
【００１９】
図３に示すように、成膜室２２（ａ）へ移動したガラス基板１１は、押し付け部材１５（ａ），１５（ｂ），１５（ｃ）がプランジャ１６（ａ），１６（ｂ），１６（ｃ）の力が解除されると同時にロボット１６が下降し、マスク１２上に設置される。このとき、既にマスク１２との位置が所望の位置に決められている。ロボット１６が上昇及びＹ方向に移動して待避後、直ちに成膜を開始する状態にある。成膜は前述のような膜を成膜する場合、蒸着物２０を加熱等して行われる場合の他、スパッタリングが用いられるが、一般的な公知であるため、これについての説明は省略する。
【００２０】
同様に前述した層を順次成膜する際に、成膜室２２（ａ）から成膜室２２（ｎ−１）、成膜室２２（ｎ−１）から成膜室２２（ｎ）へガラス基板１１が移動する間にも、ロボット１６上でガラス基板１１は位置決めされる。
【００２１】
又、各成膜室２２内のマスク１２は、７０回程度の蒸着により目詰まりを生じ、パターニング状態が不備となる。この場合、図４に示すように、ガラス基板１１と同一な形状部位のつば１９を持つマスク保持部材１３をロボット１６が運び出し、ストッカー２１へ移動し、不備となったマスク保持部材１３を置く。
【００２２】
ストッカー２１より良好なマスク保持部材１３を運び出し、ロボット１６上で押し付け部材１５（ａ），１５（ｂ），１５（ｃ）がプランジャ１６（ａ），１６（ｂ），１６（ｃ）により駆動し押し付けられ、突き当て部材１４（ａ），１４（ｂ），１４（ｃ）に突き当たって所望の位置に位置決めされる。この動作はストッカー２１から各成膜室２２にマスク保持部材が移動する間に行う。
【００２３】
ガラス基板１１の場合と同様に、各成膜室２２へ移動したマスク保持部材１３は、押し付け部材１５（ａ），１５（ｂ），１５（ｃ）がプランジャ１６（ａ），１６（ｂ），１６（ｃ）の力が解除されると同時にロボット１６が下降し設置される。このとき、既に成膜室２２内での位置が所望の位置に決められており、且つ、ガラス基板１１との位置と合致する。
【００２４】
しかして、本実施の形態によれば、ガラス基板１１と同一な形状部位を持つマスク保持部材１３により、ロボット１６両方を掴持できる。これにより２種のロボットを用意する必要がなくなり、有機ＥＬの製造装置が安価となる。又、搬送中にガラス基板及びマスク（マスク保持部材）を位置決めできることで、各成膜室に設置されていた位置決め機構が不要となり、有機ＥＬ素子の製造装置が安価となる。又、成膜室内での位置決め時間を要さないため、有機ＥＬ素子の製造時間を短縮させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る製造装置の上視図である。
【図２】図１に示した製造装置の一部拡大図である。
【図３】図１に示した製造装置の成膜室内の一部拡大断面図である。
【図４】図１に示した製造装置の成膜室内の一部拡大断面図である。
【図５】有機ＥＬ素子の膜構成を示す断面斜視図である
【符号の説明】
【００２６】
１      ガラス基板
２      陽極
３      ホール輸送層
４      発光層
５      電子輸送層
６      陰極
１１    ガラス基板
１２    マスク
１３    マスク保持部材
１４（ａ）〜１４（ｃ）  突き当て部材
１５（ａ）〜１５（ｃ）  押し付け部材
１６（ａ）〜１６（ｃ）  プランジャ
１７    ロボット
１８    スライド装置
１９    つば
２１    ストッカ
２２    成膜室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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