(57)【要約】【課題】浮上スライダにおける安定したサーボ追従を可能にし、また、トラッキング動作に伴う、集光レンズと入射光との光軸ずれをなくす。【解決手段】浮上スライダ２２を支持するサスペンションアーム２１におけるトラッキング動作によって発生するモーメントに対応して、２つの積載型圧電素子２７に正負反対の電圧を印加することにより、サスペンションアーム２１の長手方向を中心としてスイングアーム２３に対して回転する方向に傾斜しようとする力Ｆを発生させる。この力Ｆによりトラッキング動作によって発生するモーメントを打ち消すことにより、浮上スライダ２２における安定した浮上を可能にする。【選択図】図１
2006338836.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスクにレーザ光を集光する集光レンズを搭載し、かつ光ディスクの回転に伴って該光ディスクの表面との間に僅かな空気層を形成しながら滑走する浮上スライダをトラッキング方向に動作させる浮上スライダ駆動装置において、
前記浮上スライダのトラッキング方向への駆動力を発生するトラッキング駆動部を前記浮上スライダの重心よりも前記光ディスクの表面から遠い位置に配置し、前記浮上スライダに前記トラッキング方向への駆動力に比例したラジアルチルト方向のモーメントを発生するモーメント発生部を設けたことを特徴とする浮上スライダ駆動装置。
【請求項２】
光ディスクにレーザ光を集光する集光レンズを搭載し、かつ光ディスクの回転に伴って該光ディスクの表面との間に僅かな空気層を形成しながら滑走する浮上スライダをフォーカシング方向に弾性を有するサスペンションの先端に固定し、該サスペンションを回転動作するスイングアームに接続することによって前記浮上スライダをトラッキング方向に動作させる浮上スライダ駆動装置において、
前記浮上スライダのトラッキング方向への駆動力を発生するトラッキング駆動部を前記浮上スライダの重心よりも前記光ディスクの表面から遠い位置に配置し、前記浮上スライダに前記トラッキング方向への駆動力に比例したラジアルチルト方向のモーメントを発生するモーメント発生部を設けたことを特徴とする浮上スライダ駆動装置。
【請求項３】
光ディスクにレーザ光を集光する集光レンズを搭載し、かつ光ディスクの回転に伴って該光ディスクの表面との間に僅かな空気層を形成しながら滑走する浮上スライダを、固定部に対してフォーカシング方向およびトラッキング方向に弾性を有するサスペンションによって支持し、前記浮上スライダのトラッキング方向への駆動力を発生するトラッキング駆動部を備えた浮上スライダ駆動装置において、
前記トラッキング駆動部を前記浮上スライダの重心よりも前記光ディスクの表面から遠い位置に配置し、前記浮上スライダに前記トラッキング方向への駆動力に比例したラジアルチルト方向のモーメントを発生するモーメント発生部を設けたことを特徴とする浮上スライダ駆動装置。
【請求項４】
前記トラッキング駆動部は、駆動コイルと駆動磁石から構成され、駆動コイルと駆動磁石とのいずれか一方は前記浮上スライダに固定され、他方が固定部に固定されている構成であって、
前記駆動コイルは、タンジェンシャル方向を軸として巻回され、かつ浮上スライダのフォーカシング方向の中心軸を挟んでトラッキング方向における両側に配置された平面状の駆動コイルであり、前記駆動磁石は、前記それぞれの駆動コイルを構成する辺のうち、光ディスクに近い側のトラッキング方向に電流が流れる辺と、前記浮上スライダのフォーカシング方向の中心軸に近い側のフォーカシング方向に電流が流れる辺とに、タンジェンシャル方向の磁束を与えることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置。
【請求項５】
前記トラッキング駆動部は、駆動コイルと駆動磁石から構成され、駆動コイルと駆動磁石とのいずれか一方は前記浮上スライダに固定され、他方が固定部に固定されている構成であって、
前記駆動コイルは、タンジェンシャル方向を軸として巻回された平面状の駆動コイルであり、前記駆動磁石は、前記駆動コイルを構成する辺のうち、光ディスクから遠い側のトラッキング方向に電流が流れる辺と、フォーカシング方向に電流が流れる２辺とに、タンジェンシャル方向の磁束を与えており、かつ該タンジェンシャル方向の磁束は前記駆動コイルのフォーカシング方向の中心軸の両側で反対方向の磁束であることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置。
【請求項６】
前記モーメント発生部で発生するラジアルチルト方向のモーメントの大きさは、前記トラッキング方向の駆動力の大きさをＦとし、前記浮上スライダの重心とトラッキング方向の駆動力の中心との距離をΔｈとしたとき、Ｆ・Δｈであることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置。
【請求項７】
光ディスクに対して照射光を発する光源と、該光源から照射されるレーザ光を集光レンズに導く照明光学系と、前記光ディスクからの反射光を受光する検出光学系と、請求項１〜６いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置とを備えたことを特徴とする光ピックアップ装置。
【請求項８】
前記レーザ光をタンジェンシャル方向からフォーカシング方向に偏向する固定偏向部材を備え、前記照明光学系からはトラッキング方向のレーザ光を照射し、前記浮上スライダ駆動装置の浮上スライダにトラッキング方向のレーザ光をタンジェンシャル方向に偏向する可動偏向部材を設け、該可動偏向部材からのタンジェンシャル方向からのレーザ光を、前記固定偏向部材によりフォーカシング方向に偏向し、前記集光レンズを介して前記光ディスクに入射させることを特徴とする請求項７記載の光ピックアップ装置。
【請求項９】
光ディスクを回転駆動する回転駆動系と、請求項７または８記載の光ピックアップ装置を前記光ディスクの半径方向に移動するシーク駆動部とを備えたことを特徴とする光ディスク装置。
【請求項１０】
請求項１〜３いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置におけるモーメント発生部は、前記シーク駆動部のシーク動作に応じてモーメントを追加することを特徴とする請求項９記載の光ディスク装置。
【請求項１１】
光ディスクにレーザ光を集光する集光レンズを備え、光ディスクの回転に伴って該光ディスクの表面との間に僅かな空気層を形成しながら滑走する浮上スライダをトラッキング方向に動作させる浮上スライダ駆動装置に用いられる浮上スライダ駆動方法であって、
前記浮上スライダのトラッキング方向への駆動力は、前記浮上スライダの重心よりも前記光ディスクの表面から遠い位置に作用し、かつ前記トラッキング方向への駆動力に比例したラジアルチルト方向のモーメントを発生させることによって、前記トラッキング方向への駆動力によって発生するラジアル方向のモーメントを相殺し、浮上スライダの浮上特性を安定化することを特徴とする浮上スライダ駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクにレーザ光を集光する集光レンズを搭載し、かつ光ディスクの回転に伴って該光ディスクの表面との間に僅かな空気層を形成しながら滑走する浮上スライダの駆動装置および駆動方法、ならびに浮上スライダ駆動装置を搭載する光ピックアップ装置，光ディスク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ディスク装置では、レーザ光束を集光して光スポットとして光ディスクに照射し、光ディスクからの反射光の光学的変化を識別することによって、各種情報を読み取る構成になっている。
【０００３】
光ディスクの大容量，高密度化に対応するためには、小さな光スポットを形成することが必要であり、このためにレーザ光束を集光する対物レンズの開口（ＮＡ）を大きくしたり、レーザの波長を短くしたりするなどの方法が採用されてきた。
【０００４】
しかし、従来のファーフィールド領域を利用した方式では、光の回折限界によってスポット径が制限されてしまうため、高密度化には限界が生じていた。そこで、光の回折限界を超えた近接場光記録方式が提案されている。その一つにソリッドイマージョンレンズ（Solid Immersion Lens：ＳＩＬ）を利用することによりＮＡを１以上にして近接場光を生成する方法がある。
【０００５】
ところで、ＳＩＬを用いた近接場記録再生の光ディスクシステムにおいて、ＳＩＬの先端部は光ディスクに対して非常に近接させる必要がある。このような光ディスクシステムを構成する手段として、光ディスクの回転に伴う空気流によって僅かな空気層を形成して浮上させる浮上スライダ方式が提案されている。
【０００６】
浮上スライダの関連する構成として多数の提案がなされている（特許文献１〜５）。
【０００７】
図２０は特許文献１の浮上スライダ方式を説明する図であり、１はレーザ光源、２は受光素子、３，４はレンズ、５はビームスプリッタ、６は１／４波長板であって、ＳＩＬ７，８を搭載した浮上スライダ９がサスペンションアーム１０の先端に取り付けられており、このサスペンションアーム１０を取り付けたスイングアーム（図示せず）を回動させることによって、浮上スライダ９を光ディスクＤの半径方向に駆動して、トラッキング動作およびシーク動作を行う。
【０００８】
浮上スライダ方式では、光ディスクの偏心，チャッキングの偏心，スピンドルモータの偏心が生じると、ＳＩＬとレーザ入射光の光軸とがずれてしまうために、良好な信号が得られないという問題がある。
【０００９】
これを回避するために特許文献２では、図２１に示すように、浮上スライダ１１にＳＩＬ１２，１３を搭載し、浮上スライダ１１をスイングアーム１４によって回転動作することにより、光ディスクＤの半径方向に移動可能な構成にし、スイングアーム１４の先端に、スイングアーム１４の回転の半径方向からフォーカシング方向に偏向する偏向ミラー１５を設けることにより、光学部品間の相対的位置関係が固定されるようにしている。
【００１０】
また、特許文献３には、光ファイバによって照明光学系および検出光学系と光ヘッド部を光学的に接続する構成が記載されており、特許文献４，５には、対物レンズホルダに偏向ミラーを搭載した構成が記載されている。
【特許文献１】特開２００２−７４７２６号公報
【特許文献２】特開平１１−１４４２９３号公報
【特許文献３】特開２００２−２６９８０３号公報
【特許文献４】特許第２７６６４６８号公報
【特許文献５】特許第３０２１３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、前記従来の技術において、特許文献１に記載の構成では、サスペンションは浮上スライダの上面に接続されており、動作時、重心に駆動力が伝わるようになっていない。ここで浮上スライダの重心とは、浮上スライダの可動部の質量中心（慣性中心）である。浮上スライダにおいてずれがあると、浮上スライダはトラッキング動作を行ったときにモーメントが生じ、浮上スライダが回転する作用が働く。ＳＩＬは光ディスクの表面上に対して精度良く浮上させる必要があるため、このようなモーメントが加わると信号が劣化したり、サーボが外れるなどの悪影響が発生する。
【００１２】
また、前記のようなスイングアームで駆動させる構成ではなく、浮上スライダに駆動部が直接取り付けられている構成も考えられるが、このような構成の場合、大きな駆動力を得るためには、駆動部の寸法をフォーカシング方向に大きくする必要がある。駆動部の寸法を大きくしていくと、トラッキング駆動力の中心は光ディスク表面から遠くなっていってしまう。一方、浮上スライダの重心は光ディスクの表面近傍に位置するため、両者を一致させることが難しかった。
【００１３】
特許文献２に記載の構成では、照明光学系，検出光学系全てをスイングアームの可動部に搭載しなければならないため、可動部質量が増加して動特性が低下してしまうという問題があった。
【００１４】
特許文献３に記載の構成では、光ファイバによって各部を光学的に接続すると、構成が複雑になり、また光ファイバが光ヘッドの動作を妨げてしまうという問題が残る。
【００１５】
また、特許文献４，５に記載の構成のように、対物レンズホルダに偏向ミラーを搭載すると、集光レンズを光ディスクに近接することが難しく、可動部の質量が大きくなってしまうため、可動部の追従性が悪化し、サーボが外れやすいという問題が発生する。
【００１６】
本発明は、前記従来技術の問題を解消し、浮上スライダにおける安定したサーボ追従を可能にし、また、トラッキング動作に伴う、集光レンズと入射光との光軸ずれをなくすことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、光ディスクにレーザ光を集光する集光レンズを搭載し、かつ光ディスクの回転に伴って該光ディスクの表面との間に僅かな空気層を形成しながら滑走する浮上スライダをトラッキング方向に動作させる浮上スライダ駆動装置において、前記浮上スライダのトラッキング方向への駆動力を発生するトラッキング駆動部を前記浮上スライダの重心よりも前記光ディスクの表面から遠い位置に配置し、前記浮上スライダに前記トラッキング方向への駆動力に比例したラジアルチルト方向のモーメントを発生するモーメント発生部を設けたことを特徴とし、この構成によって、トラッキング駆動力で発生するモーメントをキャンセルする駆動モーメントを発生させることにより、サーボを安定して行うことができる。しかも、大きなトラッキング駆動力を得るために、トラッキング駆動部をフォーカシング方向に拡大してもサーボを安定して行うことができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明は、光ディスクにレーザ光を集光する集光レンズを搭載し、かつ光ディスクの回転に伴って該光ディスクの表面との間に僅かな空気層を形成しながら滑走する浮上スライダをフォーカシング方向に弾性を有するサスペンションの先端に固定し、該サスペンションを回転動作するスイングアームに接続することによって前記浮上スライダをトラッキング方向に動作させる浮上スライダ駆動装置において、前記浮上スライダのトラッキング方向への駆動力を発生するトラッキング駆動部を前記浮上スライダの重心よりも前記光ディスクの表面から遠い位置に配置し、前記浮上スライダに前記トラッキング方向への駆動力に比例したラジアルチルト方向のモーメントを発生するモーメント発生部を設けたことを特徴とし、この構成によって、スイングアーム機構において、浮上スライダにモーメント発生部を設けることにより、トラッキング動作を安定して行うことができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明は、光ディスクにレーザ光を集光する集光レンズを搭載し、かつ光ディスクの回転に伴って該光ディスクの表面との間に僅かな空気層を形成しながら滑走する浮上スライダを、固定部に対してフォーカシング方向およびトラッキング方向に弾性を有するサスペンションによって支持し、前記浮上スライダのトラッキング方向への駆動力を発生するトラッキング駆動部を備えた浮上スライダ駆動装置において、前記トラッキング駆動部を前記浮上スライダの重心よりも前記光ディスクの表面から遠い位置に配置し、前記浮上スライダに前記トラッキング方向への駆動力に比例したラジアルチルト方向のモーメントを発生するモーメント発生部を設けたことを特徴とし、この構成によって、浮上スライダに備えられたトラッキング駆動部によりトラッキング方向の駆動力とラジアルチルト方向のモーメントを発生することにより、モーメントキャンセルを行う手段を簡易な構成で達成することができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置において、トラッキング駆動部は、駆動コイルと駆動磁石から構成され、駆動コイルと駆動磁石とのいずれか一方は浮上スライダに固定され、他方が固定部に固定されている構成であって、駆動コイルは、タンジェンシャル方向を軸として巻回され、かつ浮上スライダのフォーカシング方向の中心軸を挟んでトラッキング方向における両側に配置された平面状の駆動コイルであり、駆動磁石は、それぞれの駆動コイルを構成する辺のうち、光ディスクに近い側のトラッキング方向に電流が流れる辺と、浮上スライダのフォーカシング方向の中心軸に近い側のフォーカシング方向に電流が流れる辺とに、タンジェンシャル方向の磁束を与えることを特徴とし、この構成によって、単極着磁の駆動磁石を用いて低コストにトラッキング駆動によるモーメントキャンセルを行うことができる。
【００２１】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜３いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置において、トラッキング駆動部は、駆動コイルと駆動磁石から構成され、駆動コイルと駆動磁石とのいずれか一方は浮上スライダに固定され、他方が固定部に固定されている構成であって、駆動コイルは、タンジェンシャル方向を軸として巻回された平面状の駆動コイルであり、駆動磁石は、駆動コイルを構成する辺のうち、光ディスクから遠い側のトラッキング方向に電流が流れる辺と、フォーカシング方向に電流が流れる２辺とに、タンジェンシャル方向の磁束を与えており、かつ該タンジェンシャル方向の磁束は駆動コイルのフォーカシング方向の中心軸の両側で反対方向の磁束であることを特徴とし、この構成によって、２極着磁の駆動磁石を用い、駆動磁石を光ディスクから離れた構成でトラッキング駆動によるモーメントキャンセルを行うことにより、光ディスクと駆動磁石との衝突を防ぐことができる。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜３いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置において、モーメント発生部で発生するラジアルチルト方向のモーメントの大きさは、トラッキング方向の駆動力の大きさをＦとし、浮上スライダの重心とトラッキング方向の駆動力の中心との距離をΔｈとしたとき、Ｆ・Δｈであることを特徴とし、この構成によって、トラッキング駆動力で発生するモーメントの大きさと等しいキャンセルモーメントを発生することにより、安定なサーボを行うことができる。
【００２３】
請求項７に記載の発明は、光ピックアップ装置において、光ディスクに対して照射光を発する光源と、該光源から照射されるレーザ光を集光レンズに導く照明光学系と、前記光ディスクからの反射光を受光する検出光学系と、請求項１〜６いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置とを備えたことを特徴とし、この構成によって、トラッキング駆動力が大きく、かつ動作が安定した浮上スライダ方式の光ピックアップ装置を提供することができる。
【００２４】
請求項８に記載の発明は、請求項７記載の光ピックアップ装置において、レーザ光をタンジェンシャル方向からフォーカシング方向に偏向する固定偏向部材を備え、照明光学系からはトラッキング方向のレーザ光を照射し、浮上スライダ駆動装置の浮上スライダにトラッキング方向のレーザ光をタンジェンシャル方向に偏向する可動偏向部材を設け、該可動偏向部材からのタンジェンシャル方向からのレーザ光を、固定偏向部材によりフォーカシング方向に偏向し、集光レンズを介して前記光ディスクに入射させることを特徴とし、この構成によって、浮上スライダのトラッキングによる光軸ずれが発生しない光ピックアップ装置を提供することができる。
【００２５】
請求項９に記載の発明は、光ディスク装置において、光ディスクを回転駆動する回転駆動系と、請求項７または８記載の光ピックアップ装置を前記光ディスクの半径方向に移動するシーク駆動手段とを備えたことを特徴とし、この構成によって、トラッキング駆動力が大きく、かつ動作が安定している浮上スライダ方式の光ピックアップ装置を用いることにより、データの記録／再生が良好に行える光ディスクドライブ装置を提供することができる。
【００２６】
請求項１０に記載の発明は、請求項９記載の光ディスク装置において、請求項１〜３いずれか１項記載の浮上スライダ駆動装置におけるモーメント発生部は、前記シーク駆動部のシーク動作に応じてモーメントを追加することを特徴とし、この構成によって、シーク動作時にも安定したフォーカスサーボが行える光ディスクドライブ装置を提供することができる。
【００２７】
請求項１１に記載の発明は、光ディスクにレーザ光を集光する集光レンズを備え、光ディスクの回転に伴って該光ディスクの表面との間に僅かな空気層を形成しながら滑走する浮上スライダをトラッキング方向に動作させる浮上スライダ駆動装置に用いられる浮上スライダ駆動方法であって、前記浮上スライダのトラッキング方向への駆動力は、前記浮上スライダの重心よりも前記光ディスクの表面から遠い位置に作用し、かつ前記トラッキング方向への駆動力に比例したラジアルチルト方向のモーメントを発生させることによって、前記トラッキング方向への駆動力によって発生するラジアル方向のモーメントを相殺し、浮上スライダの浮上特性を安定化することを特徴とし、この方法によって、浮上スライダのトラッキング動作，シーク動作によって発生するモーメントをキャンセルすることにより、安定したサーボ追従が可能になる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、トラッキング駆動部を拡大することにより、浮上スライダの重心とトラッキング方向の駆動中心を一致させることができなくても、浮上スライダのトラッキング動作，シーク動作によって発生するモーメントをキャンセルすることによって、安定したサーボ追従を行うことができ、また、トラッキング動作に伴う、集光レンズと入射光との光軸ずれをなくすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３０】
図１は本発明の実施形態１を説明するための浮上スライダ駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の一部を光ディスクを下側にして示した斜視図、図２は実施形態１の光ピックアップ装置全体を光ディスク（図示せず）を上側にして示した斜視図、図３は実施形態１におけるトラッキング駆動部の構成図、図４は実施形態１の要部を示す側面図である。
【００３１】
図１〜図４において、２１は、一端部に浮上スライダ２２が設けられ、他端部にスイングアーム２３が設けられたサスペンションアームであって、浮上スライダ２２に、半球レンズ２４と第１レンズ２５とからなるソリッドイマージョンレンズ（Solid Immersion Lens：ＳＩＬ）２６が設けられ、このＳＩＬ２６の両側に対応するサスペンションアーム２１にモーメント発生部として積載型圧電素子２７が設置されている。
【００３２】
図２に示す２８は光ピックアップ装置の光学ハウジングであって、半導体レーザなどからなる光源２９，受光素子などからなる光検出部３０、光源２９の出射光Ｌａの光路、および光ディスクＤからの反射光Ｌｂを受ける光検出部３０の光路に配設されたビームスプリッタ３１と、入射光Ｌａ，反射光Ｌｂをビームスプリッタ３１に入・反射する固定偏向部材である偏向ミラー３２が固定されている。
【００３３】
前記スイングアーム２３には、図３に示すように、駆動コイル３３が固定され、この駆動コイル３３に対向させて光学ハウジング２８に駆動磁石３４が固定されている。
【００３４】
浮上スライダ２２は、その滑走面が光ディスクＤの表面に対向するように配置され、サスペンションアーム２１の先端に２つの積層型圧電素子２７部分に取り付けられ、所定の力で光ディスクＤに押し付けられている。ＳＩＬ２６の半球レンズ２４の平面部は、浮上スライダ２２の光ディスクＤに対する滑走面と同一面上になるように配置されている。
【００３５】
サスペンションアーム２１は、図１に示すように、浮上スライダ２２の上面に固定されているため、浮上スライダ２２の重心よりも光ディスクＤから遠い位置に固定されている。
【００３６】
光ディスクＤを回転させたとき、浮上スライダ２２と光ディスクＤとの間には空気層が形成され、浮上スライダ２２は光ディスクＤの表面から僅かに浮上し、摩擦のない状態で光ディスクＤの表面を滑走する。駆動コイル３３に電流を流すことによって、駆動磁石３４との電磁作用によってスイングアーム２３を回動駆動し、サスペンションアーム２１の先端に取り付けられた浮上スライダ２２をトラッキング制御駆動することができる。
【００３７】
そして、サスペンションアーム２１に対して、前記トラッキング動作によって発生するモーメントに対応して２つの積載型圧電素子２７に正負反対の電圧を印加することによって、サスペンションアーム２１に、その長手方向を中心としてスイングアーム２３に対して回転する方向に傾斜しようとする力Ｆが加わり、よって、トラッキング動作によって発生するモーメントＭａ（後で詳述する）を打ち消し、安定した浮上を続けることができる。
【００３８】
積載型圧電素子２７によって加えるモーメントＭｂ（後で詳述する）の大きさＭｂは、Ｍｂ＝Ｆ・Δｈ（Ｆ：トラッキング駆動力、Δｈ：浮上スライダの重心と駆動力伝達点との距離）とすると、最も安定した動作が可能である。積載型圧電素子２７の変位量をΔｘ、サスペンションアームの捻り剛性をｋθ、積載型圧電素子２７の駆動力の作用半径をｒとすると、Ｍｂ＝Ｆ・Δｈ＝ｋθ・Δｘ／ｒを満足するように積載型圧電素子２７に駆動電圧を印加すればよいことになる。
【００３９】
図５は本発明の実施形態２を説明するための浮上スライダ駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の一部を光ディスクを下側にして示した斜視図、図６は実施形態２の光ピックアップ装置全体を光ディスク（図示せず）を上側にして示した斜視図、図７は実施形態２におけるトラッキング駆動部の構成図、図８は実施形態２の要部を示す側面図である。なお、以下の説明において、既に説明した部材に対応する部材には同一符号を付して詳しい説明は省略する。
【００４０】
浮上スライダ２２は、その滑走面が光ディスクＤの表面に対向するように配置され、サスペンション３５によって所定の力で光ディスクＤに押し付けられている。実施形態２のサスペンション３５は、実施形態１のサスペンションアーム２１とは異なり、フォーカシング方向およびトラッキング方向に変位可能に浮上スライダ２２を支持している。
【００４１】
また、浮上スライダ２２には、そのタンジェンシャル方向における両側に、それぞれ一対のトラッキング駆動用の駆動コイル３６を設けて可動部を構成し、さらに固定部であるベースヨーク３７に、浮上スライダ２２に設けられている駆動コイル３６に磁束が貫くように、駆動磁石３８が配置されている。
【００４２】
駆動コイル３６は、タンジェンシャル方向を軸として巻回された平面状のコイルであって、図７に示すように、浮上スライダ２２のフォーカシング方向の中心軸を挟んでトラッキング方向における両側に、それぞれ１つずつ隣接して配置されている。ここで駆動コイル３６を構成する辺のうち、光ディスクＤに近い側のトラッキング方向に電流が流れる辺と、浮上スライダ２２の中心に近い側のフォーカシング方向に電流が流れる辺には、駆動磁石３８によってタンジェンシャル方向に磁束が与えられている。
【００４３】
実施形態２において、光ディスクＤを回転させたとき、浮上スライダ２２と光ディスクＤとの間には空気層が形成され、浮上スライダ２２は光ディスクＤの表面から僅かに浮上し摩擦のない状態で光ディスクＤの表面を滑走する。また、駆動コイル３６に駆動電流を流すことによって、浮上スライダ２２をトラッキング方向に駆動することができる。
【００４４】
図７に矢印にて示すように、実施形態２では、トラッキング動作によって発生するモーメントＭａと反対方向のラジアルチルト方向のモーメントＭｂが、駆動コイル３６と駆動磁石３８からなるトラッキング駆動部によって同時に発生するようになっている。モーメントの大きさはＭは、Ｍ＝Ｆ・Δｈで与えられる。
【００４５】
駆動コイル３６のフォーカシング方向とトラッキング方向の辺の長さの比を変えることによって、トラッキング駆動力と発生モーメントの大きさの比率を変更することが可能である。このように簡易な構成でトラッキング動作によって発生するモーメントＭａに対してキャンセルさせるモーメントＭｂを発生させることができ、安定したサーボ追従を行うことが可能になる。
【００４６】
図９は本発明の実施形態３を説明するための浮上スライダ駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の一部を光ディスクを下側にして示した斜視図、図１０は実施形態３の光ピックアップ装置全体を光ディスク（図示せず）を上側にして示した斜視図、図１１は実施形態３におけるトラッキング駆動部の構成図、図１２は実施形態３の要部を示す側面図である。
【００４７】
浮上スライダ２２は、その滑走面が光ディスクＤの表面に対向するように配置され、サスペンション３５によって所定の力で光ディスクＤに押し付けられている。サスペンション３５は実施形態２にて説明したように、フォーカシング方向およびトラッキング方向に変位可能に浮上スライダ２２を支持している。
【００４８】
浮上スライダ２２には、そのタンジェンシャル方向における両側に１つずつトラッキング駆動用の駆動コイル４０を設けて可動部を構成している。さらに、固定部のベースヨーク３７には、浮上スライダ２２に設けられている駆動コイル４０に磁束が貫くように駆動磁石３８が配置されている。
【００４９】
駆動コイル４０を構成する辺のうち、光ディスクＤと遠い側のトラッキング方向に電流が流れる辺と、フォーカシング方向に電流が流れる２辺には、駆動磁石３８によってタンジェンシャル方向に磁束が与えられており、さらに、この磁束が駆動コイル４０のフォーカシング方向の中心軸の両側にあるように、駆動磁石３８は同一面内に２極が存在するように着磁されている。
【００５０】
実施形態３においても、光ディスクＤを回転させたとき、浮上スライダ２２と光ディスクＤとの間には空気層が形成され、浮上スライダ２２は光ディスクＤの表面から僅かに浮上し摩擦のない状態で光ディスクＤの表面を滑走する。また、駆動コイル４０に電流を流すことによって、浮上スライダ２２をトラッキング方向に駆動することができる。
【００５１】
図１１に矢印にて示すように、実施形態３では、トラッキング動作によって発生するモーメントＭａと反対方向のラジアルチルト方向のモーメントＭｂが、駆動磁石３８と駆動コイル４０からなるトラッキング駆動部によって同時に発生するようになっている。
【００５２】
実施形態３の駆動部の構成は、実施形態２の駆動部の構成と比較すると、駆動コイル４０よりも駆動磁石３８を光ディスクＤから遠ざけた構成にすることができるため（図７，図８と図１１，図１２参照）、光ディスクＤの面振れなどによって、光ディスクＤと駆動磁石３８の衝突が発生し難くなる。
【００５３】
図１３は前記実施形態１〜３にて説明した浮上スライダの駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の実施形態４の概略構成図であり、４１は浮上スライダ２２の既述したサスペンション，駆動コイル，駆動磁石などからなる駆動装置、４２は光源２９から出射したレーザ光を平行光にするコリメートレンズ、４３，４４は光検出部３０に反射光を集光させる検出レンズとシリンドリカルレンズである。
【００５４】
光学ハウジング２８に保持されている光源２９から出射した拡散光は、コリメートレンズ４２によって略平行光になる。その後、ビームスプリッタ３１を通り、偏向ミラー３２により折り曲げられる。偏向ミラー３２によって折り曲げられた平行光は、光学ハウジング２８に搭載された浮上スライダ駆動装置４１のＳＩＬ２６に入射して集光され、光ディスクＤ上に光スポットＳを形成する。
【００５５】
光スポットＳの反射光は、ビームスプリッタ３１によって入射した方向と向きを変えて、検出レンズ４３とシリンドリカルレンズ４４を通った後、光検出部３０に入射する。光ディスクＤ上の光スポットＳの反射光が光検出部３０に入射するように各光学部品を配置しておく。光検出部３０で得られた信号を基に、浮上スライダ２２の駆動装置４１におけるフォーカシングコイル，トラッキングコイルである前記駆動コイル３３を駆動することによって、光ディスクＤに対してＳＩＬ２６を追従することにより、光ディスクＤの記録／再生情報を得ることができる。
【００５６】
このように、実施形態４において、光学ハウジング２８に搭載されている浮上スライダ２２の駆動装置４１として実施形態１〜３において説明した浮上スライダ２２の駆動装置４１を搭載したことにより、サーボ特性が安定した良好な信号が得られる光ピックアップ装置を提供することができる。
【００５７】
図１４は本発明の実施形態５を説明するための浮上スライダ駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の一部を光ディスクを下側にして示した斜視図、図１５は実施形態５の光ピックアップ装置全体を光ディスク（図示せず）を上側にして示した斜視図、図１６は実施形態５におけるトラッキング駆動部の構成図、図１７は実施形態５の要部を示す側面図である。
【００５８】
実施形態５において、実施形態４にて説明した光学系とは可動偏向部材である可動偏向ミラー４５を設けた点において異なっており、光学ハウジング２８に保持された光源２９からの出射光Ｌａは、コリメートレンズ４２によって略平行光になる。その後、ビームスプリッタ３１を通り、可動偏向ミラー４５によりトラッキング方向からタンジェンシャル方向に折り曲げられる。その後、レーザ光は固定偏向部材である偏向ミラー３２によってタンジェンシャル方向からフォーカシング方向に折り曲げられる。偏向ミラー３２によって折り曲げられた平行光は、光学ハウジング２８に搭載された浮上スライダ２２の駆動装置４１のＳＩＬ２６に入射して、光ディスクＤ上に光スポットを形成する。
【００５９】
光スポットの反射光Ｌｂはビームスプリッタ３１までは往路と同じ光路を戻り、ビームスプリッタ３１によって入射した方向と向きを変えて、検出レンズ４３とシリンドリカルレンズ４４を通った後、光検出部３０に入射する。光ディスクＤ上の光スポットの反射光Ｌｂが光検出部３０に入射するように各光学部品を配置しておく。光検出部３０で得られた信号を基として浮上スライダ２２の駆動装置４１のフォーカシングコイル，トラッキングコイルである駆動コイル４０を駆動することによって、光ディスクＤに対して半球レンズ２４と第１レンズ２５からなるＳＩＬ２６を追従することにより、光ディスクＤの記録／再生情報を得ることができる。
【００６０】
実施形態５では、浮上スライダ２２がトラッキング動作をした時には可動偏向ミラー４５が同時に移動するため、固定されている偏向ミラー３２に入射されるレーザ光も同量だけトラッキング移動するため、実施形態５の浮上スライダ２２においては、トラッキング動作によってＳＩＬ２６と入射光との光軸ずれが発生することがなく、いつでも良好な信号を得ることが可能である。
【００６１】
さらに、浮上スライダ２２は、光ディスクＤの面振れがあっても、その変動に従って浮上しながら、光ディスクＤとＳＩＬ２６間の距離を保つことができる。
【００６２】
図１８は実施形態１〜５にて説明した光ピックアップ装置を搭載した本発明に係る光ディスク装置の実施形態の概略構成を示す平面図、図１９は図１８の光ディスク装置の側面図である。
【００６３】
図１８，図１９において、５０は実施形態１〜５にて説明した光ピックアップ装置、５１は光ディスク装置の筐体であって、筐体５１に防振ゴム５２を介してピックアップモジュールベース５３が設置されている。ピックアップモジュールベース５３には光ディスクＤを回転駆動させるスピンドルモータ５４が固定されている。また、ピックアップモジュールベース５３に取り付けられたシークレール５５には光ピックアップ装置５０が搭載されている。光ピックアップ装置５０は、シークレール５５にてガイドされてシークモータ（図示せず）により、光ディスクＤの半径方向に移動可能になっている。
【００６４】
本光ディスク装置に搭載されている光ピックアップ装置５０は、既述したようにサーボ特性が安定で、良好な信号を得ることができる実施形態１〜５にて説明したものであるため、記録／再生性能が優れた光ディスク装置を提供することができる。
【００６５】
また、実施形態１のようにチルト駆動のみを別の駆動手段で与えられるようにした構成の場合には、光ピックアップ装置がシーク動作を行ったときに加わるモーメントと反対方向のラジアルチルトモーメントを発生させることにより、シーク時の浮上特性を安定に保つことも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、ＣＤ，ＤＶＤなどの各種光学的情報記録媒体に対する記録／再生を行うための浮上スライダ駆動装置を搭載する光ピックアップ装置，光ディスク装置に適用され、浮上スライダにおける安定したサーボ追従が要求される光ピックアップ装置，光ディスク装置に実施して有効である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施形態１を説明するための浮上スライダ駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の一部を光ディスクを下側にして示した斜視図
【図２】実施形態１の光ピックアップ装置全体を光ディスクを上側にして示した斜視図
【図３】実施形態１におけるトラッキング駆動部の構成図
【図４】実施形態１の要部を示す側面図
【図５】本発明の実施形態２を説明するための浮上スライダ駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の一部を光ディスクを下側にして示した斜視図
【図６】実施形態２の光ピックアップ装置全体を光ディスクを上側にして示した斜視図
【図７】実施形態２におけるトラッキング駆動部の構成図
【図８】実施形態２の要部を示す側面図
【図９】本発明の実施形態３を説明するための浮上スライダ駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の一部を光ディスクを下側にして示した斜視図
【図１０】実施形態３の光ピックアップ装置全体を光ディスクを上側にして示した斜視図
【図１１】実施形態３におけるトラッキング駆動部の構成図
【図１２】実施形態３の要部を示す側面図
【図１３】実施形態１〜３にて説明した浮上スライダの駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の実施形態４の概略構成図
【図１４】本発明の実施形態５を説明するための浮上スライダ駆動装置を搭載した光ピックアップ装置の一部を光ディスクを下側にして示した斜視図
【図１５】実施形態５の光ピックアップ装置全体を光ディスク（図示せず）を上側にして示した斜視図
【図１６】実施形態５におけるトラッキング駆動部の構成図
【図１７】実施形態５の要部を示す側面図
【図１８】実施形態１〜５にて説明した光ピックアップ装置を搭載した本発明に係る光ディスク装置の実施形態の概略構成を示す平面図
【図１９】図１８の光ディスク装置の側面図
【図２０】従来の浮上スライダ方式における構成を説明するための構成図
【図２１】従来の浮上スライダ方式における他の構成を説明するための構成図
【符号の説明】
【００６８】
２１  サスペンションアーム
２２  浮上スライダ
２３  スイングアーム
２４  半球レンズ
２５  第１レンズ
２６  ソリッドイマージョンレンズ（ＳＩＬ）
２７  積載型圧電素子
２８  光学ハウジング
２９  光源
３０  光検出部
３１  ビームスプリッタ
３２  偏向ミラー
３３，３６，４０  駆動コイル
３４，３８  駆動磁石
３５  サスペンション
３７  ベースヨーク
４５  可動偏向ミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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