(57)【要約】【課題】  誘電体膜を積層するのに必要な酸化プロセスによりＡｇが腐食せず反射率が低下することのない増反射ミラーを提供する。【解決手段】  金属膜３２上に酸化防止薄膜３３を介して誘電体多層膜３６を成膜してなる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属膜上に酸化防止薄膜を介して誘電体多層膜を成膜してなることを特徴とする増反射ミラー。
【請求項２】
上記酸化防止薄膜は、成膜プロセスにおいて酸素が少なく、且つ、可視光領域で高透過率を持つ材料からなることを特徴とする請求項１記載の増反射ミラー。
【請求項３】
上記酸化防止薄膜は、ＩＴＯあるいはＺｎＯｘ系の薄膜であることを特徴とする請求項２記載の増反射ミラー。
【請求項４】
上記金属膜は、Ａｇ又はＡＰＣ等の銀合金材料からなることを特徴とする請求項１記載の増反射ミラー。
【請求項５】
上記誘電体多層膜は、ＴｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５又はＴａ２Ｏ５からなる高屈折率層と低屈折率材料は、ＳｉＯ２又はＭｇＦ２から低屈折率層を有することを特徴とする請求項１記載の増反射ミラー。
【請求項６】
光源から出射された光を導光して面発光させる導光板を備え、透過型液晶表示素子を背面側から照明する液晶表示用バックライト装置であって、金属膜上に酸化防止薄膜を介して誘電体多層膜を成膜してなる増反射ミラーが上記導光板に設けられていることを特徴する液晶表示用バックライト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示用バックライト装置における光源の反射ミラーとして用いられている金属膜をさらに高反射させるための構造を持つ増反射ミラー及びに増反射ミラーを設けた導光板を備える液晶表示用バックライト装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、透過型液晶表示素子を用いた液晶プロジェクター等の液晶表示装置では、バックライト装置により透過型液晶表示素子を背面側から照明して、画面を表示する。
【０００３】
液晶表示装置に備えられるバックライト装置は、光源と、光源から出射された光を導光して面発光させる導光板などからなり、光源としては、蛍光管や発光ダイオードなどが使用される。
【０００４】
導光板には、光源から出射光を反射させる反射ミラーが設けられている。この反射ミラーとしては、従来、金属膜が広く用いられており、更なる高反射特性を得るために、図４に示すように、基板２０１上に形成した金属膜２０２の上に誘電体膜による高屈折率薄膜２０３や低屈折率薄膜２０４を積層した構造を持つ増反射ミラー２００も広く知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２４１１７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の如く高反射特性を得るために金属膜の上に誘電体膜による高屈折率薄膜や低屈折率薄膜を積層した構造を持つ増反射ミラーでは、金属膜として可視光領域において反射率の高いＡｇを用いた場合、誘電体膜を積層する際に必要な酸化プロセスによって、Ａｇの腐食を生じ反射率が低下してしまうという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、上述の如き従来の問題点に鑑み、誘電体膜を積層するのに必要な酸化プロセスによりＡｇが腐食せず反射率が低下することのない増反射ミラー及びこの増反射ミラーを設けた導光板を備える液晶表示用バックライト装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の更に他の目的、本発明によって得られる具体的な利点は、以下に説明される実施の形態の説明から一層明らかにされる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、増反射ミラーであって、金属膜上に酸化防止薄膜を介して誘電体多層膜を成膜してなることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る増反射ミラーにおいて、上記酸化防止薄膜は、例えば、成膜プロセスにおいて酸素導入量が少なく、且つ、可視光領域で高透過率を持つ材料からなる。
【００１１】
また、本発明に係る増反射ミラーにおいて、上記酸化防止薄膜は、例えば、ＩＴＯあるいはＺｎＯｘ系の薄膜である。
【００１２】
また、本発明に係る増反射ミラーにおいて、上記金属膜は、例えば、Ａｇ又はＡＰＣ等の銀合金材料からなる。
【００１３】
さらに、本発明に係る増反射ミラーにおいて、上記誘電体多層膜は、例えば、ＴｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５又はＴａ２Ｏ５からなる高屈折率層と低屈折率材料は、ＳｉＯ２又はＭｇＦ２から低屈折率層を有する。
【００１４】
また、本発明は、光源から出射された光を導光して面発光させる導光板を備え、透過型液晶表示素子を背面側から照明する液晶表示用バックライト装置であって、金属膜上に酸化防止薄膜を介して誘電体多層膜を成膜してなる増反射ミラーが上記導光板に設けられていることを特徴する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、誘電体多層膜を積層するのに必要な酸化プロセスによりＡｇが腐食せず反射率が低下することのないミラー及びこの増反射ミラーを設けた導光板を備える液晶表示用バックライト装置を提供することができる。
【００１６】
本発明では、成膜プロセスに酸素が微量で、かつ、可視光領域において高透過な薄膜である酸化防止膜として、例えば、ＩＴＯ、ＺｎＯｘ系等を用い、Ａｇあるいは、ＡＰＣ等の銀合金材料を金属薄膜とした増反射ミラーを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明は以下の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更可能であることは言うまでもない。
【００１８】
本発明は、例えば図１に示すような構成の液晶表示装置１００に適用される。
【００１９】
この液晶表示装置１００は、透過型液晶カラー表示パネル１０と、この透過型液晶カラー表示パネル１０を背面側から照明するバックライト装置２０からなる。
【００２０】
透過型液晶カラー表示パネル１０は、マトリクス状に配置された信号線及び走査線、この信号線と走査線の交点に配置されたスイッチング素子としての薄膜トランジスタ、画素電極などが形成された背面側のガラス基板１１と、対向電極１２やカラーフィルタ１３が内表面に形成された前面側のガラス基板１４を対向させ、これら２枚のガラス基板１１，１４の間に、例えば、ツイステッドネマチック（ＴＮ）液晶を封入した液晶層１５を設けてなる。
【００２１】
この液晶表示装置１００は、このような構成の透過型のカラー液晶表示パネル１０を２枚の偏光板１６，１７で挟み、バックライト装置２０により背面側から白色光を照射した状態で、アクティブマトリクス方式で駆動することによって、所望のフルカラー映像を表示する。
【００２２】
この液晶表示装置１００におけるバックライト装置２０は、冷陰極蛍光管（CCFL：Cold Cathode Fluorescent Lamp）を使ったエッジライト型のバックライト装置であって、上記カラー液晶表示パネル１０背面側の側方に配置された冷陰極蛍光管２１を光源として備え、上記冷陰極蛍光管２１から出射された光を導光して面発光させる導光板２２、上記冷陰極蛍光管２１から出射された光を導光板２２に入射させるための陰極線管カバー２３、上記導光板２２の背面側に設けられた増反射ミラー２４、上記導光板２２の前面に拡散シート２５を介して設けられたプリズムシート２６、上記プリズムシート２６の前面側にもう得られた拡散シート２７等からなる。
【００２３】
なお、上記冷陰極蛍光管２１に変わる光源として複数個の発光ダイオードを直線上に配列して用いるようにしても良い。
【００２４】
このバックライト装置２０において、上記導光板２２の背面側に設けられた増反射ミラー２４は、金属膜３２上に酸化防止薄膜３３を介して誘電体多層膜３６を成膜してなる。
【００２５】
具体的には、図２に示すように、上記増反射ミラー２４は、基板３１上に高反射金属膜３２を形成し、その上に、微量の酸素プロセスで、且つ、可視光領域で高透過な薄膜からなる酸化防止薄膜３３を形成し、さらに、高屈折率層３４と低屈折率層３５を積層した該誘電体多層膜３６を形成してなる。上記誘電体多層膜３６は、各層３４，３５の構成を、マトリクス法に基づいたシミュレーションにより膜厚設計された光学薄膜である。
【００２６】
基板３１は、フィルターの支持体となるものであり、例えば、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリオレフィン（ＰＯ）等のポリマーにより構成することができる。金属膜３２は、例えば、Ａｇ、あるいは、ＡＰＣ（ＡｇＰｄＣｕ）等の銀合金材料を用いる。酸化防止薄膜３３には、成膜プロセスにおいて酸素流量が微量で（〜１％）しかも、可視光領域において高透過な（〜８５％）ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）、あるいは、ＺｎＯｘ系（ＡＺＯ，ＧＺＯ）薄膜を用いる。高屈折率層３４の材料は、例えば、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２とし、低屈性率層３５の材料は、例えば、ＳｉＯ２、ＭｇＦ２とする。また、上記の光学多層膜３６は、例えば、スパッタ法によるドライプロセスによって形成する。
【００２７】
このような構造の増反射ミラー２４では、図３に示すように、例えば、Ａｇ（５０ｎｍ）／ＩＴＯ（５ｎｍ）／Ｎｂ２Ｏ５（７０ｎｍ）／ＳｉＯ２（５０ｎｍ）の膜厚構成の場合、可視光領域（波長：３８０〜７８０ｎｍ）において、平均反射率９３％となる。
【００２８】
図３には、本発明に係る増反射ミラー２４の光学特性をＡｇ単層の場合及びＡｌ単層の場合の光学特性とともに示してある。図３における横軸は波長（ｎｍ）を示し、縦軸は反射率（％）を示している。
【００２９】
上述如き構成の増反射ミラー２４は、金属膜３２上に酸化防止薄膜３３を介して誘電体多層膜３６を成膜してなるので、上記金属膜３２として、可視光領域において、反射率の高いＡｇを用いても、誘電体多層膜３６を構成する高屈折率層３４・低屈折率層３５を積層するにあたって、その酸化プロセスによって、Ａｇが容易に腐食することなく、反射率が低下してしまうことがない。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明を適用した液晶表示装置の構成を示す図である。
【図２】上記液晶表示装置におけるバックライト装置の導光板の設けられた増反射ミラーの構成を示す模式的な要部断面図である。
【図３】上記増反射ミラーの光学特性を示す特性図である。
【図４】従来の増反射ミラーの構成を示す模式的な要部断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０  透過型液晶カラー表示パネル、１１，１４  ガラス基板、１２  対向電極、１３  カラーフィルタ、１５  液晶層、１６，１７  偏光板、２０  バックライト装置、２１  冷陰極蛍光管、２２  導光板、２３  陰極線管カバー、２４  増反射ミラー、２５，２７  拡散シート、２６  プリズムシート、３１  基板、３２  金属膜、３３  酸化防止薄膜、３４  高屈折率層、３５  低屈折率層、３６  誘電体多層膜、１００  液晶表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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