(57)【要約】【課題】ピクセル単位の厳密な位置合わせを行う必要がなく、光学的なずれや機械的なずれが存在していた場合でも虚報を生じさせないようにする。【解決手段】予め基準対象物１０のピクセル毎に、許容輝度幅と、そのピクセル位置を中心として検査対象物１１の対応するピクセルを探索する探索距離を記憶しておき、まず、基準対象物１０のピクセル位置に対応する検査対象物１１のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。今度は逆に、その検査対象物１１のピクセル位置に対応する基準対象物１０のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に、検査対象物１１の輝度に対する第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、各探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在している場合に、基準対象物１０の位置に対応するピクセルを良ピクセルとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め基準対象物のピクセル毎に、許容輝度幅と、検査対象物の当該ピクセル位置を中心として対応するピクセルを探索するための探索距離とを記憶しておき、当該記憶された許容輝度幅と探索距離を用いて各ピクセルの良否を検査するピクセルの検査方法であって、
前記基準対象物のピクセル位置に対応する検査対象物のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、当該第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在した場合に、当該基準対象物のピクセル位置に対応するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたピクセルの検査方法。
【請求項２】
予め基準対象物のピクセル毎に、許容輝度幅と、検査対象物の当該ピクセル位置を中心として対応するピクセルを探索するための探索距離とを記憶しておき、当該記憶された許容輝度幅と探索距離を用いて各ピクセルの良否を検査するピクセルの検査方法であって、
前記基準対象物のピクセル位置に対応する検査対象物のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定するとともに、前記検査対象物のピクセル位置に対応する基準対象物のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在すること、および、第二の探索距離内に第二の許容輝度幅内のピクセルが存在することを条件として、当該基準対象物のピクセル位置に対応するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたピクセルの検査方法。
【請求項３】
予め基準対象物のピクセル毎に、許容輝度幅と、検査対象物の当該ピクセル位置を中心として対応するピクセルを探索するための探索距離とを記憶しておき、当該記憶された許容輝度幅と探索距離を用いて各ピクセルの良否を検査するピクセルの検査方法であって、
検査対象物の画像を基準対象物に対応させて補正処理し、基準対象物のピクセル位置に対応する補正処理後の検査対象物のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定するとともに、補正処理後の検査対象物の前記ピクセル位置に対応する基準対象物のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在すること、および、第二の探索距離内に第二の許容輝度幅内のピクセルが存在することを条件として、当該基準対象物のピクセル位置に対応するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたピクセルの検査方法。
【請求項４】
検査対象物を撮像する撮像手段と、予め基準対象物のピクセル毎に、許容輝度幅と、検査対象物の当該ピクセル位置を中心として対応するピクセルを探索するための探索距離とを記憶する記憶手段と、当該記憶された許容輝度幅と探索距離を用いて各ピクセルの良否を検査するピクセル判定手段とを備えてなるピクセルの検査装置であって、当該ピクセル判定手段が、
前記基準対象物のピクセル位置に対応する検査対象物のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する第一のピクセル判定手段を備え、
当該第一のピクセル判定手段が、前記第一の探索距離内に前記許容輝度幅内のピクセルが存在すると判定した場合に、当該基準対象物のピクセル位置に対応するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたピクセルの検査装置。
【請求項５】
検査対象物を撮像する撮像手段と、予め基準対象物のピクセル毎に、許容輝度幅と、検査対象物の当該ピクセル位置を中心として対応するピクセルを探索する探索距離を記憶する記憶手段と、当該記憶された許容輝度幅と探索距離を用いて各ピクセルの良否を検査するピクセル判定手段とを備えてなるピクセルの検査装置であって、当該ピクセル判定手段が、
前記基準対象物のピクセル位置に対応する検査対象物のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する第一のピクセル判定手段と、
検査対象物の前記ピクセル位置に対応する基準対象物のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する第二のピクセル判定手段を備え、
前記第一のピクセル判定手段及び第二のピクセル判定手段が、それぞれの探索距離内にそれぞれの許容輝度幅内のピクセルが存在すると判定した場合に、当該基準対象物のピクセル位置に対応するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたピクセルの検査装置。
【請求項６】
検査対象物を撮像する撮像手段と、予め基準対象物のピクセル毎に、許容輝度幅と、検査対象物の前記ピクセル位置を中心として対応するピクセルを探索するための探索距離とを記憶する記憶手段と、検査対象物の画像を基準対象物に対応させて補正処理する補正処理手段と、前記記憶手段に記憶された許容輝度幅と探索距離を用いて各ピクセルの良否を検査するピクセル判定手段とを備えてなるピクセルの検査装置であって、当該ピクセル判定手段が、
前記基準対象物のピクセル位置に対応する補正処理後の検査対象物のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する第一のピクセル判定手段と、
補正処理後の検査対象物の前記ピクセル位置に対応する基準対象物のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する第二のピクセル判定手段を備え、
前記第一のピクセル判定手段及び第二のピクセル判定手段が、それぞれの探索距離内にそれぞれの許容輝度幅内のピクセルが存在すると判定した場合に、当該基準対象物のピクセル位置に対応するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたピクセルの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の表面に形成された状態の良否を検査するためのピクセルの検査方法及び検査装置に関し、より詳しくは、予め作成された基準データと比較を行うことによってパターンの欠陥などを検出するピクセルの検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリント基板には、その表面にパッドや配線パターン、レジストなどが形成されている。このパッドや配線パターン、レジストの形成状態は、通常、検査装置によって検査される。このプリント基板の形成状態を検査する検査装置に関しては、例えば、下記の特許文献１に記載されるような装置が存在する。
【０００３】
下記の特許文献１に記載される検査装置は、まず、複数の基準パターンをそれぞれ撮像し、各基準パターンの各ピクセル毎に輝度上限基準値及び輝度下限基準値から構成される基準データを記憶する。そして、検査対象物を検査する場合、まず、検査パターンの画像を撮像し、基準パターンの画像と正確に位置合わせをした後、検査画像データの各ピクセルの輝度値が基準データの輝度上限基準値と輝度下限基準値の範囲内にあるかどうかを判定する。そして、そのピクセルが基準範囲を越える場合に欠陥候補のピクセルであると判定するものである。
【特許文献１】特開平１１−０７３５１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような検査装置を用いて表面の形成状態を検査する場合、次のような問題を有する。すなわち、上述のように、基準パターンと検査パターンのピクセルを対応させて検査する方法では、それぞれのパターンをピクセル単位まで厳密に合わせなければならず、光学的なずれや機械的なずれが存在した場合は、虚報が増えてしまうという問題を有していた。また、精密な検査を行うために分解能を上げようとすると、更に、ピクセル単位で位置合わせを行うことが困難となり、分解能を上げても検査精度が向上しないという問題を有していた。
【０００５】
そこで、本発明は、かかる課題に着目してなされたもので、ピクセル単位の厳密な位置合わせを行う必要がなく、また、光学的なずれや機械的なずれが存在していた場合でも、虚報を生じさせないようなピクセルの検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するために、予め基準対象物のピクセル毎に、許容輝度幅と、検査対象物の当該ピクセル位置を中心として対応するピクセルを探索するための探索距離とを記憶しておき、当該記憶された許容輝度幅と探索距離を用いて各ピクセルの良否を検査するピクセルの検査方法であって、前記基準対象物のピクセル位置に対応する検査対象物のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、当該第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在した場合に、当該基準対象物のピクセル位置に対応するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたものである。
【０００７】
このようにすれば、従来のように基準対象物と検査対象物をピクセル単位まで厳密に位置合わせを行う必要がなく、分解能を上げても光学的なずれや機械的なずれなどを吸収して精度良い検査を行うことができるようになる。
【０００８】
また、このような検査を行う場合、前記基準対象物のピクセル位置に対応する検査対象物のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定するとともに、検査対象物の前記ピクセル位置に対応する基準対象物のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在すること、および、第二の探索距離内に第二の許容輝度幅内のピクセルが存在することを条件として、当該基準対象物のピクセル位置に存在するピクセルを良ピクセルと判定するようにする。
【０００９】
通常、基準対象物をベースとして検査対象物の対応するピクセルのみを探索した場合、検査対象物側に異常なピクセルが存在していたとしても、そのピクセルが参照されない可能性がある。しかし、このように、基準対象物をベースとするだけでなく、今度は逆に、検査対象物をベースとして基準対象物の対応するピクセルも探索するようにすれば、各ピクセルの検査漏れがなくなる。
【００１０】
更に、別の発明では、このようなピクセルの良否判定を行う前に、検査対象物の画像を基準対象物に対応させる補正処理を行う。
【００１１】
この補正処理の態様としては、例えば、プリント基板などの検査対象物の画像を伸縮させる補正や、検査対象物の画像を回転させる補正、もしくは、平行移動させる補正、また、検査対象物の所定の矩形領域内の画像を基準対象物の対応矩形領域にほぼ一致させるような補正などがある。
【００１２】
このような補正処理を行えば、本来ならば、補正前のずれた検査対象物の画像の位置まで探索距離を広げて対応するピクセルを見つけ出さなければならないところを、狭い探索距離内で対応するピクセルを見つけ出すことができるようになる。そして、このように探索距離を狭めることによって、無関係なピクセルでたまたま輝度が一致してしまうことによる虚報を減少させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、予め基準対象物のピクセル毎に、許容輝度幅と、検査対象物の当該ピクセル位置を中心として対応するピクセルを探索するための探索距離とを記憶しておき、当該記憶された許容輝度幅と探索距離を用いて各ピクセルの良否を検査するピクセルの検査方法であって、前記基準対象物のピクセル位置に対応する検査対象物のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、当該第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在した場合に、当該基準対象物のピクセル位置に対応するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたので、従来のように基準対象物と検査対象物をピクセル単位まで厳密に位置合わせを行う必要がなく、分解能を上げても光学的なずれや機械的なずれなどを吸収して精度良い検査を行うことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施の形態におけるピクセルの判定処理の概要を示したものであり、基準対象物１０の画像をベースとして検査対象物１１の対応するピクセルの有無を判定する例を示したものである。また、図２は、本実施の形態における検査装置１の機能ブロック図を示したものであり、図３・図４は補正処理手段６によって検査対象物１１の全体画像や矩形領域画像を補正処理する例を示したものである。また、図５はこの検査方法における基準データの生成フロー、図６は検査処理のフローを示したものである。
【００１５】
この実施の形態における検査装置１は、プリント基板などの検査対象物１１の表面画像を撮像する撮像手段２と、基準対象物１０の基準データを記憶する記憶手段５とを備えてなるもので、検査対象物１１の各ピクセルの良否を判定するに際して、まず、撮像された検査対象物１１の画像を基準対象物１０の画像にほぼ一致させる補正処理を行う。そして、この補正処理された検査対象物１１の各ピクセルの良否を判定する場合、まず、基準対象物１０の各ピクセル位置に対応する検査対象物１１のピクセル位置を特定し、そのピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。また、今度は逆に、その検査対象物１１のピクセル位置に対応する基準対象物１０のピクセル位置（即ち、もとのピクセル位置）を中心とする第二の探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。そして、それぞれの探索距離内に許容輝度幅に含まれるピクセルが存在している場合に、その基準対象物のピクセル位置に存在するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたものである。以下、この検査装置１の具体的構成について詳細に説明する。
【００１６】
図２に示すように、このピクセルの検査装置１は、撮像手段２、前処理手段３、画像メモリ３０、基準データ生成手段４、記憶手段５、補正処理手段６、ピクセル判定手段７、クラスタ判定手段８、出力手段９を備えてなる。
【００１７】
撮像手段２は、検査に際して基準対象物１０や検査対象物１１の表面画像を撮像するもので、この実施形態では、２５６階調のグレースケールによりその表面画像を取得する。この撮像手段２は、斜め方向から光を照射する照射装置と、真上からその反射光を取得するＣＣＤカメラなどによって構成される。なお、この基準対象物１０は、検査対象物１１を検査するに際して基準となるデータ（基準データ）を生成するためのもので、目視もしくは他の検査装置などによって既に良品であると判定されたものである。
【００１８】
前処理手段３は、この撮像手段２によって撮像された基準対象物１０もしくは検査対象物１１の画像をＡ／Ｄ変換し、画像メモリ３０に格納する。
【００１９】
基準データ生成手段４は、撮像手段２によって撮像された基準対象物１０の画像から基準データを生成する。この基準データは、基準対象物１０の全体形状に関するデータや、その内側の複数の矩形領域に関するデータ、及び、ピクセルに関するデータを有する。この全体形状に関するデータは、プリント基板の縦横の長さなどのデータ、また、矩形領域に関するデータは、矩形領域内のパターン画像などのデータ、また、各ピクセルに関するデータは、そのピクセルの輝度や許容輝度幅及び探索距離などのデータなどである。このピクセルに関するデータのうち許容輝度幅は、検査するピクセルの輝度の上限値と下限値との差を示すものであり、また、探索距離は、所定のピクセル位置を中心として、許容輝度幅内のピクセルを探索する距離を示すものである。この許容輝度幅や探索距離は、ピクセル毎に設定され、例えば、シルクの縁、パッドの縁、配線パターンの縁などのように輝度変化の大きい部分については許容輝度幅も大きく設定される。また、探索距離についても同様に、シルクの縁、パッドの縁、配線パターンの縁などのように輝度変化の大きい部分については、探索距離も大きく設定される。これらの許容輝度幅や探索距離は自動的に設定されるものであり、予め許容輝度幅や探索距離の上限値をマニュアルで設定しておき、複数の基準対象物１０の各ピクセルの標準偏差に基づいて決定される。具体的には、輝度変化のほとんど存在しない部分については、許容輝度幅を±１０、探索距離を１ピクセルと設定し、輝度変化の大きい部分については、許容輝度幅を±３０、探索距離を３ピクセルなどと設定される。なお、この許容輝度幅や探索距離については、これらの値に限定されるものではない。
【００２０】
記憶手段５は、この基準データ生成手段４によって生成された基準データなどを格納する。
【００２１】
補正処理手段６は、撮像手段２によって撮像された検査対象物１１の画像を、基準対象物１０にほぼ一致させるための補正処理を行う。この補正処理における全体画像の補正の例を図３に示す。図３において、斜線で網掛けされた実線部分は基準対象物１０を示し、破線は検査対象物１１を示している。図３に示すように、検査対象物１１が基準対象物１０よりも小さい場合は（図３（ａ））、全体形状をδx、δyだけ拡大させるような補正処理を行う。また、検査対象物１１が基準対象物１０よりもδθだけ回転している場合は、その角度だけ回転させるような補正処理を行う。また、検査対象物１１が基準対象物１０に対して平行にずれている場合は、そのずれ量分だけ平行移動させるような補正処理を行う。これらの補正処理は、例えば、検査対象物１１がステージ上の正規の位置に固定されていない場合や、検査対象物１１の寸法上に誤差が存在する場合などに有効となる。
【００２２】
次に、この補正処理の別の態様を図４に示す。図４（ａ）は、基準対象物１０のある矩形領域の例を示したものであり、図４（ｂ）は、検査対象物１１の同じ位置における矩形領域を示したものである。実際の製品では、図４（ｂ）に示すように、検査対象物１１のパッドや配線パターンなどが、基準対象物１０のパッドや配線パターンなどよりも所定方向にずれている場合がある。このような場合に、検査対象物１１の矩形領域内の画像を基準対象物１０にほぼ一致させるような平行移動の補正処理を行うようにする。これらの補正処理を行うことにより、検査対象物１１のパッドや配線パターンなどは、基準対象物１０のパッドや配線パターンなどとほぼ一致することになり、あまり探索距離を大きくしなくても許容輝度幅内の対応するピクセルを見つけ出すことができる。すなわち、本来ならば、補正前のずれた画像の対応する位置まで探索距離を広げて対応するピクセルを見つけ出さなければならないところを、狭い探索距離で対応するピクセルを見つけ出すことができるようになる。そして、このように探索距離を狭めることによって、無関係なピクセルでたまたま輝度が一致するものを「対応するピクセル」と判定してしまうことを防止することができるようになる。
【００２３】
ピクセル判定手段７は、基準対象物１０の各ピクセル位置に対応するピクセルが検査対象物１１に存在するか否かを判定するもので、次に示すような第一のピクセル判定手段７０と第二のピクセル判定手段７１を備える。
【００２４】
まず、第一のピクセル判定手段７０は、基準対象物１０をベースとして、その基準対象物１０の各ピクセル位置に対応する検査対象物１１のピクセル位置を特定し、このピクセル位置を中心とする探索距離内に、基準対象物１０のピクセルの輝度に対する許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。この判定に際しては、探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが一つでも存在する場合は、「良ピクセル」と判定し、逆に、探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが全く存在しない場合は「不良ピクセル」と判定する。通常、補正処理手段６によって基準対象物１０と検査対象物１１とを完全に一致させれば、基準対象物１０のピクセル位置に対応する検査対象物１１の位置に存在するピクセルを検査すれば良い。しかしながら、実際には、光学的なずれや機械的なずれが存在することから、完全に一致させることが困難であり、また、分解能を上げた場合は数ピクセル程度ずれる可能性がある。このため、探索距離内においてほぼ輝度の一致するものが存在すれば、一次的判断として「良ピクセル」と判定する。この第一のピクセル判定手段７０による判定結果は、ディスプレイ装置などに可視的に表示され、例えば、「不良ピクセル」と判定された部分には、基準対象物１０の画像上に「×」印などを示す。
【００２５】
第二のピクセル判定手段７１は、今度は逆に、検査対象物１１をベースとして、その基準対象物１０のピクセル位置を中心とする探索距離内に、その検査対象物１１のピクセルの輝度に対する許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。この判定に際しても、探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが一つでも存在する場合は、「良ピクセル」と判定し、逆に、探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが全く存在しない場合は「不良ピクセル」と判定する。この検査対象物１１をベースとした判定処理を行う場合、前述の補正処理された後の検査対象物１１の画像を用いる。そして、補正処理された後の検査対象物１１の前記位置（第一の探索距離の中心位置）に対応する基準対象物１０のピクセル位置を特定し、そのピクセル位置における許容輝度幅・探索距離を記憶手段５から読み出して、その探索距離内に検査対象物１１の輝度に対する許容輝度幅内のピクセルが基準対象物１０上に存在するか否かを判定する。通常、補正処理手段６によって基準対象物１０と検査対象物１１を完全に一致させることができれば、基準対象物１０のピクセル位置に対応する検査対象物１１の位置に存在するピクセルのみを検査すれば良い。しかしながら、実際には、光学的なずれや機械的なずれが存在することから、完全に一致させることが困難であり、また、分解能を上げた場合は数ピクセル程度ずれる可能性がある。このため、探索距離内においてほぼ輝度が一致するものが存在していれば、二次的判断として「良ピクセル」と判定する。この第二の判定結果は、先の第一の判定結果と同様に、ディスプレイ装置に可視的に表示され、第一のピクセル判定手段７０による判定画像に上書きして、「不良ピクセル」と判定された部分に「×」印などを示していく。
【００２６】
そして、最終的に、ピクセル判定手段７は、検査対象物１１の探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが一つでも存在すること、及び、基準対象物１０の探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが一つでも存在することを条件に、その基準対象物１０のピクセル位置に存在するピクセルを良ピクセルと判定する。また、逆に、検査対象物１１の探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが全く存在しない場合、もしくは、基準対象物１０の探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが全く存在しない場合は、その基準対象物１０のピクセル位置に存在するピクセルを不良ピクセルと判定する。
【００２７】
クラスタ判定手段８は、このピクセル判定手段７によって「不良ピクセル」と判定された基準対象物１０のピクセル群の大きさに基づいて、その検査対象物１１が全体として不良品であるか否かを判定する。この良否の判定は、「不良ピクセル」と判定されたピクセルが隣接して所定数以上存在する場合に、不良品であると判定する。
【００２８】
出力手段９は、このクラスタ判定手段８による判定結果を報知可能に出力する。その際、どの部分が不良のクラスタであるかをユーザに知らせる必要があるため、クラスタ判定手段８によって不良クラスタと判定されたクラスタの位置をディスプレイ装置に可視的に出力する。
【００２９】
次に、このように構成された検査装置１を用いて検査対象物１１を検査する方法について説明する。
【００３０】
<基準データの生成フロー>
【００３１】
まず、検査対象物１１を検査するに際して基準データを生成する場合のフローチャートを図５に示す。基準データを生成する場合、まず、予め用意された複数の基準対象物１０を検査装置１のステージ（図示せず）にセットし、撮像手段２を用いてその表面の画像を取得する（ステップＳ１）。そして、所定枚数以上の基準対象物１０の画像が取り込まれた場合、基準対象物１０毎に、それぞれ全体領域に関するデータ、矩形領域に関するデータ、ピクセルに関するデータを生成し（ステップＳ２）、複数の基準対象物１０について、全体領域に関するデータの平均値や、矩形領域に関するデータの平均値、ピクセルに関するデータの平均値及び標準偏差値などを演算する（ステップＳ３）。そして、次に、許容輝度幅の上限値や探索距離の上限値をマニュアルで入力する（ステップＳ４）。なお、この入力は、このステップではなく、ステップＳ１の前に予め入力しておいても良い。
【００３２】
そして、ステップＳ３の平均値や標準偏差値の演算が行われた後、標準偏差値の最も大きいピクセルについては、先に入力された許容輝度幅の上限値及び探索距離の上限値を設定するとともに、標準偏差値の小さいピクセルについては、許容輝度幅や探索距離を小さく設定する（ステップＳ５）。そして、これら設定されたデータを基準データとして記憶手段５に格納する（ステップＳ６）。
【００３３】
<検査対象物１１の検査フロー>
【００３４】
次に、検査対象物１１を検査する場合のフローチャートを図６に示す。まず、検査対象物１１を検査する場合、その検査対象物１１を検査装置１のステージにセットし、撮像手段２を用いてその表面の画像を取得する（ステップＴ１）。この撮像された画像は、ステージ上へのセットの仕方によっては位置ずれしている可能性があり、記憶手段５に記憶されている基準対象物１０の画像の状態とは異なっている場合がある。このため、画像状態をほぼ一致させるために補正処理を行う（ステップＴ２）。この補正処理に際しては、まず、全体形状の補正処理を行う。具体的には、検査対象物１１上のコーナーの３点を抽出し、その３点から検査対象物１１の縦横の長さ、回転角度、平行移動距離などを演算する。そして、これらの縦横長さや回転角度、平行移動距離などに基づいて、検査対象物１１の全体画像を基準データの全体画像にほぼ一致させるような補正処理を行う。
【００３５】
次に、矩形領域の補正処理を行う。この矩形領域の補正処理を行う場合、基準対象物１０の所定の矩形領域の画像と検査対象物１１の対応する矩形領域の画像とがほぼ一致するように検査対象物１１の画像を平行移動させる。
【００３６】
そして、これらの補正処理が終了した後、基準対象物１０の各位置に存在するピクセルが良ピクセルであるか否かを判定する。この判定に際しては、まず、基準対象物１０の各ピクセルの位置、輝度、許容輝度幅、探索距離を記憶手段５から読み出す（ステップＴ３）。そして、この読み出されたピクセル位置に対応する検査対象物１１のピクセル位置を特定し、そのピクセル位置を中心として、その探索距離内に、基準対象物１０のピクセルの輝度に対する許容輝度幅内の輝度のピクセルが存在するか否かを判定する（ステップＴ４）。この判定は第一のピクセル判定手段７０によって行われる。ここで、探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが一つも存在しない場合は、その基準対象物１０のピクセル位置のピクセルを「不良ピクセル」と判定する（ステップＴ８）。
【００３７】
次に、この第一のピクセル判定が終了した後、今度は、補正処理された後の検査対象物１１の画像をベースとして、その検査対象物１１のピクセル位置に対応する基準対象物１０のピクセル位置を中心とする探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。但し、検査対象物１１の各ピクセルについては、許容輝度幅や探索距離などのデータを記憶していないので、その検査対象物１１のピクセル位置に対応した基準対象物１０のピクセル位置の許容輝度幅や探索距離を用いる。具体的には、まず、その検査対象物１１のピクセル位置に対応した基準対象物１０のピクセル位置の許容輝度幅、探索距離を読み出す（ステップＴ５）。そして、この読み出された許容輝度幅及び探索距離に基づき、対応する基準対象物１０のピクセル位置を中心として、その探索距離内に、検査対象物１１の輝度に対する許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する（ステップＴ６）。この判定は第二のピクセル判定手段７１によって行われ、探索距離内に許容輝度幅内の輝度のピクセルが一つも存在しない場合、その基準対象物１０のピクセル位置のピクセルを「不良ピクセル」と判定する（ステップＴ８）。
【００３８】
一方、ステップＴ４で「良ピクセル」と判定され、かつ、ステップＴ６で「良ピクセル」と判定された場合に、その基準対象物１０のピクセル位置に対するピクセルを「良ピクセル」と判定する（ステップＴ７）。
【００３９】
そして、全てのピクセルの検査が完了した場合（ステップＴ９；Ｙｅｓ）、次に、このピクセル判定手段７によって「不良ピクセル」と判定された基準対象物１０のピクセルのうち、隣接する不良ピクセルの数をカウントし、所定数以上の不良ピクセルの存在する場合は（ステップＴ１０）、この検査対象物１１は不良品である旨の出力を行い（ステップＴ１１）、一方、全ての隣接する不良ピクセルの数が所定数よりも少ない場合は良品である旨の出力を行う（ステップＴ１２）。
【００４０】
このように上記実施の形態によれば、予め基準対象物１０のピクセル毎に、許容輝度幅と、そのピクセル位置を中心として検査対象物１１の対応するピクセルを探索するための探索距離とを記憶しておき、検査対象物１１の各ピクセルの良否を判定する場合、基準対象物１０の各ピクセル位置に対応する検査対象物１１のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定するようにしたので、従来のように基準対象物と検査対象物をピクセル単位まで正確に位置合わせする必要がなく、分解能を上げても光学的なずれや機械的なずれなどを吸収して精度良い検査を行うことができるようになる。
【００４１】
また、このように検査を行う場合、今度は逆に、当該検査対象物１１のピクセル位置に対応する基準対象物１０のピクセル位置を中心とする探索距離内に、その検査対象物１１の輝度に対する許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、この探索距離内にも許容輝度幅内のピクセルが存在している場合に、その基準対象物１０のピクセル位置に対応するピクセルを良ピクセルと判定するようにしたので、検査対象物１１の各ピクセルについての検査漏れをなくすことができ、精度良い検査を行うことができるようになる。
【００４２】
更に、このようなピクセル判定を行う前に、検査対象物１１の全体形状の補正処理を行い、また、矩形領域毎の補正処理を行って検査対象物１１の画像を基準対象物１０の画像にほぼ一致させるようにしたので、本来ならば、補正前のずれた検査対象物の画像の位置まで探索距離を広げて対応するピクセルを見つけ出さなければならないところを、狭い探索距離内で対応するピクセルを見つけ出すことができるようになる。そして、このように探索距離を狭めることによって、無関係なピクセルでたまたま輝度が一致して虚報を生じてしまうということを防止することができる。
【００４３】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。
【００４４】
例えば、上記実施の形態では、検査対象物１１としてプリント基板を例に挙げて説明したが、これに限らず、液晶パネル、物品の表面に付された文字、図形、記号などを検査対象物としても良い。
【００４５】
また、上記実施の形態では、第一の探索距離と第二の探索距離、及び、第一の許容輝度幅と第二の許容輝度幅を同じ値に設定しているが、これに限らず、それぞれ違う値を設定するようにしても良い。
【００４６】
更に、上記実施の形態では、ピクセル毎に許容輝度幅や探索距離を設定しているが、全て共通の許容輝度幅や探索距離に設定するようにしても良い。また、上記実施の形態では、第一の許容輝度幅、第一の探索距離と、第二の許容輝度幅、第二の探索距離とを分けて記載しているが、これらはそれぞれ同じであっても良い。
【００４７】
加えて、上記実施の形態では、補正処理手段６によって全体形状の補正処理と矩形領域毎の補正処理を行うようにしているが、これに限らず、検査対象物１１と基準対象物１０との位置をほぼ一致させるようにすれば、どのような補正処理方法を用いるようにしても良い。また、上記では、領域毎の補正処理として矩形領域の補正処理を例に挙げているが、必ずしも矩形領域に限定されるものではなく、種々の領域の補正処理を行うようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施の形態における検査処理方法の概要を示す図
【図２】同形態における検査装置の機能ブロック図
【図３】同形態における全体補正の処理の概要を示す図
【図４】同形態における矩形領域の補正の処理の概要を示す図
【図５】同形態における基準データの生成フローを示す図
【図６】同形態における検査処理のフローを示す図
【符号の説明】
【００４９】
１・・・検査装置
２・・・撮像手段
３・・・前処理手段
４・・・基準データ生成手段
５・・・記憶手段
６・・・補正処理手段
７・・・ピクセル判定手段
８・・・クラスタ判定手段
９・・・出力手段
１０・・・基準対象物
１１・・・検査対象物
７０・・・第一のピクセル判定手段
７１・・・第二のピクセル判定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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