(57)【要約】【課題】検査対象の端子の狭小化に対応しつつ、検査対象との電気的接続および内部における電気的接続を充分確保可能な検査装置を実現する。【解決手段】プローブ３と、プローブ３を保持するプローブホルダ４と、プローブ３を介して検査対象１に対して検査信号を出力する検査回路５と、プローブ３と検査回路５とを電気的に接続する中継接続部材６とを備える。中継接続部材６は、プローブ３と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に形成された第１配線構造１１、１２を備えた第１接続部材８と、検査回路５に備わる配線構造７と電気的に接続され、同一層上に形成された第２配線構造１６を備えた第２接続部材９とを有する。中継接続部材６は、プローブ３との接続に適した第１接続部材８と、検査回路５との接続に適した第２接続部材９とを備えることによって、両者に対する良好な電気的導通を実現できる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触する複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材であって、
それぞれの一端において複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第１配線構造が形成された第１接続部材と、
一端において所定長だけ表面に露出した前記第１配線構造の他端と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第２配線構造が同一層上に形成された第２接続部材と、
を備えたことを特徴とする中継接続部材。
【請求項２】
前記第１接続部材は、絶縁部材によって形成され、上面に１以上の前記第１配線構造が形成されたシート部材を複数積層した構造を有し、隣り合う前記第１配線構造は、互いに異なるシート部材上に形成されたことを特徴とする請求項１に記載の中継接続部材。
【請求項３】
所定の検査対象に対して該検査対象に備わる複数の端子を介して電気信号を入出力することによって検査を行う検査装置であって、
前記検査対象上に形成された複数の前記端子のそれぞれと一端が接触する複数のプローブと、
複数の前記プローブを前記端子に対応した位置に収容するプローブホルダと、
それぞれの一端において複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第１配線構造が形成された第１接続部材と、一端において所定長だけ表面に露出した前記第１配線構造の他端と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第２配線構造が同一層上に形成された第２接続部材と、
前記第２接続部材と電気的に接続され、前記第２接続部材に対して少なくとも検査信号を出力する検査回路と、
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項４】
所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と接触する複数のプローブと、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材の製造方法であって、
単一のシート部材の表面上に、一方の端部から中央付近まで延伸した複数の第１配線と、他方の端部から中央付近まで延伸し、かつ中央付近にて隣接する前記第１配線間に位置するよう形成された第２配線とを形成する配線形成工程と、
前記シート部材を、前記第１配線および前記第２配線が延伸する方向に関して、前記第１配線のみが形成された第１領域と、前記第２配線のみが形成された第２領域と、前記第１配線および前記第２配線の双方が形成された第３領域とに分割することによって第１シート部材、第２シート部材および第３シート部材を形成するシート分割工程と、
前記第１シート部材および前記第２シート部材を、前記第１配線と前記第２配線との配列パターンが、前記第３シート部材における配列パターンとほぼ同一になるよう積層する積層工程と、
前記第１シート部材および前記第２シート部材の積層構造における前記第１配線および前記第２配線の端部を、前記第３シート部材における前記第１配線および前記第２配線の端部と電気的に接続した状態で前記第１、第２および第３シート部材の相互間の位置関係を固定する固定工程と、
を含むことを特徴とする中継接続部材の製造方法。
【請求項５】
前記積層工程前において、前記第１シート部材および前記第２シート部材の少なくともいずれか一方に対して、他方との位置あわせに利用する位置あわせ標識を形成する標識形成工程をさらに含み、
前記積層工程において、前記位置あわせ標識を用いて前記第１シート部材と前記第２シート部材との間の位置あわせを行いつつ積層することを特徴とする請求項４に記載の中継接続部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触する複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材、中継接続部材を用いた検査装置および中継接続部材の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネル等の電子部品に対して電気特性検査を行うための検査装置が知られている。このような検査装置としては、例えば、図５に示すように、電子部品たる検査対象１０１に備わる端子１０１ａに対応して多数設けられた複数のプローブ１０２と、複数のプローブを保持するプローブホルダ１０３と、所定の検査信号の出力等を行う検査回路１０５と、プローブと検査回路との間を電気的に接続するための中継接続部材１０４とによって形成される。かかる構成を採用することによって、検査の際には、検査回路１０５より出力された検査信号は、中継接続部材１０４に備わるシート部材１０７上に形成された配線構造１０６およびプローブ１０２を経由して検査対象１０１たる電子部品に入力し、電子部品内の回路の処理を経て応答信号がプローブ１０２および配線構造１０６を経由して検査回路１０５に入力される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
検査回路１０５としては、専用の電子回路を用いることとしても良いが、例えば電子部品の動作試験を行う等の場合には、電子部品を製品に実装した際に実際に使用される電子回路を用いることが好ましい。例えば、液晶パネルの検査を行う検査装置においては、検査回路１０５として実装時に用いられるドライバＩＣを備えたＴＡＢ(Tape Automated Bonding)を使用するのが一般的である。検査回路１０５として製品レベルで使用される電子回路を用いる理由は、実際の使用状況に近い条件下で検査を行うことが好ましいことと、別途検査専用の電子回路を作製することによる検査コストの上昇を回避するためである。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−２２２２９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の検査装置では、中継接続部材１０４とプローブ１０３の電気的接続および中継接続部材１０４と検査回路１０５の電気的接続に不具合が生じる可能性が否定できないという課題を有する。以下、かかる課題について説明する。
【０００６】
液晶パネル等の電子部品は近年小型化の傾向が顕著であり、かかる傾向に鑑みて検査の際に検査信号の入出力が行われる複数の端子についても、小型化および隣接する端子間の間隔が狭小化するという傾向が見られる。かかる傾向に対応して、検査装置においてもプローブ１０２の配置間隔の狭小化および中継接続部材１０４中に形成する複数の配線構造１０６の間隔を狭小化する必要性が生じる。このため、従来の検査装置では、特に、プローブ１０２と中継接続部材１０４中に形成した配線構造１０６との間で電気的接続を行うためには、プローブ１０２と中継接続部材１０４との間できわめて正確な位置あわせを行う必要があり、検査装置の作製を困難なものとしていた。
【０００７】
また、従来の検査装置では、プローブ１０２と中継接続部材１０４中の配線構造１０６との接続は、ハンダ等で固定することによって実現するのではなく、配線構造１０６と別体に形成されたプローブ１０２が、配線構造１０６に対して所定の荷重を印加しつつ物理的に接触することによって実現する。このため、位置ずれした状態でプローブ１０２が配線構造１０６に接触した場合または配線構造１０６に接触した後にプローブ１０２が位置ずれした場合には、プローブ１０２との間に生じる摩擦力に起因して配線構造１０６の形状が変化し、隣接する配線構造間で電気的に短絡を生じる等の新たな問題が発生する。
【０００８】
さらに、従来の検査装置は、中継接続部材１０４と検査回路１０５との間の電気的接続に関しても問題を有する。図５に示すように、検査対象１０１に備わる端子１０１ａと配線構造１０６とは向かい合った状態でプローブ１０２を介した電気的接続を実現しており、この結果、図５における紙面垂直方向に関する複数の端子１０１ａの配列パターンは、鏡に映したのと同様の理由で配線構造１０６において反転することとなる。このため、検査回路１０５は、配列パターンが反転した中継接続部材１０４に対して電気的に接続する必要が生じることとなり、図５に示すように、中継接続部材１０４と検査回路１０５とは、いわゆる「く」の字状に接続する必要性が生じることとなる。かかる接続態様は物理的に無理が生じた構造であることから、例えば物理的な強度が低い部分において配線構造１０６等に断線が生じるなどの問題が新たに生じることとなる。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、検査対象に備わる端子の狭小化に対応しつつ、検査対象との電気的接続および内部における電気的接続を充分確保可能な検査装置、検査装置を構成する中継接続部材および中継接続部材の製造方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１にかかる中継接続部材は、所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触する複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材であって、それぞれの一端において複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第１配線構造が形成された第１接続部材と、一端において所定長だけ表面に露出した前記第１配線構造の他端と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第２配線構造が同一層上に形成された第２接続部材とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
この請求項１の発明によれば、隣接する第１配線構造を異なる層上に形成することによって同一層上における第１配線構造の間隔を広げ、プローブと第１配線構造との間の電気的導通を充分に確保可能な第１接続部材と、第１接続部材と検査回路とを電気的に接続する第２配線構造を同一面上に形成することによって検査回路に対する電気的接続を充分に確保可能な第２接続部材とを備えたことによって、プローブと検査回路との間の電気的導通を充分に確保することが可能である。
【００１２】
また、請求項２にかかる中継接続部材は、上記の発明において、前記第１接続部材は、絶縁部材によって形成され、上面に１以上の前記第１配線構造が形成されたシート部材を複数積層した構造を有し、隣り合う前記第１配線構造は、互いに異なるシート部材上に形成されたことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項３にかかる検査装置は、所定の検査対象に対して該検査対象に備わる複数の端子を介して電気信号を入出力することによって検査を行う検査装置であって、前記検査対象上に形成された複数の前記端子のそれぞれと一端が接触する複数のプローブと、複数の前記プローブを前記端子に対応した位置に収容するプローブホルダと、それぞれの一端において複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第１配線構造が形成された第１接続部材と、一端において所定長だけ表面に露出した前記第１配線構造の他端と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第２配線構造が同一層上に形成された第２接続部材と、前記第２接続部材と電気的に接続され、前記第２接続部材に対して少なくとも検査信号を出力する検査回路とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
また、請求項４にかかる中継接続部材の製造方法は、所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と接触する複数のプローブと、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材の製造方法であって、単一のシート部材の表面上に、一方の端部から中央付近まで延伸した複数の第１配線と、他方の端部から中央付近まで延伸し、かつ中央付近にて隣接する前記第１配線間に位置するよう形成された第２配線とを形成する配線形成工程と、前記シート部材を、前記第１配線および前記第２配線が延伸する方向に関して、前記第１配線のみが形成された第１領域と、前記第２配線のみが形成された第２領域と、前記第１配線および前記第２配線の双方が形成された第３領域とに分割することによって第１シート部材、第２シート部材および第３シート部材を形成するシート分割工程と、前記第１シート部材および前記第２シート部材を、前記第１配線と前記第２配線との配列パターンが、前記第３シート部材における配列パターンとほぼ同一になるよう積層する積層工程と、前記第１シート部材および前記第２シート部材の積層構造における前記第１配線および前記第２配線の端部を、前記第３シート部材における前記第１配線および前記第２配線の端部と電気的に接続した状態で前記第１、第２および第３シートの相互間の位置関係を固定する固定工程とを含むことを特徴とする。
【００１５】
この請求項４の発明によれば、単一のシート部材上に所定の第１配線および第２配線を第１〜第３領域に渡って連続的に形成することとしたため、第１、第２および第３シート部材のそれぞれに対して別個独立に配線パターンを形成する必要がなく、かつ分離した後に配線間で位置ずれが生じるおそれが抑制されることとなり、電気的導通に優れた中継接続部材を製造することができる。
【００１６】
また、請求項５にかかる中継接続部材の製造方法は、上記の発明において、前記積層工程前では、前記第１シート部材および前記第２シート部材の少なくともいずれか一方に対して、他方との位置あわせに利用する位置あわせ標識を形成する標識形成工程をさらに含み、前記積層工程において、前記位置あわせ標識を用いて前記第１シート部材と前記第２シート部材との間の位置あわせを行いつつ積層することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明にかかる中継接続部材および検査装置は、隣接する第１配線構造を異なる層上に形成することによって同一層上における第１配線構造の間隔を広げ、プローブと第１配線構造との間の電気的導通を充分に確保可能な第１接続部材と、第１接続部材と検査回路とを電気的に接続する第２配線構造を同一面上に形成することによって検査回路に対する電気的接続を充分に確保可能な第２接続部材とを備えたことによって、プローブと検査回路との間の電気的導通を充分に確保できるという効果を奏する。
【００１８】
また、本発明にかかる中継接続部材の製造方法は、単一のシート部材上に所定の第１配線および第２配線を第１〜第３領域に渡って連続的に形成することとしたため、第１、第２および第３シート部材のそれぞれに対して別個独立に配線パターンを形成する必要がなく、かつ分離した後に配線間で位置ずれが生じるおそれが抑制されることとなり、電気的導通に優れた中継接続部材を製造することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明にかかる検査装置および検査装置を構成する中継接続部材を実施するための最良の形態（以下、「実施の形態」と称する）を、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。
【００２０】
図１は、実施の形態にかかる検査装置の全体構成を示す模式図である。図１に示すように、本実施の形態にかかる検査装置は、検査対象１に備わる端子２と一端が接触するプローブ３と、プローブ３を所定の位置に保持するプローブホルダ４と、プローブ３を介して検査対象１に対して少なくとも検査信号を出力する検査回路５と、プローブ３と検査回路５とを電気的に接続するための中継接続部材６とを備える。
【００２１】
プローブ３は、検査の際に一端において検査対象１に備わる端子２と接触し、他端において第１配線構造１１，１２（後述）と接触することにより、検査回路５と検査対象１との間を電気的に接続するためのものである。具体的には、プローブ３は、バネ等の弾性部材を一部に備えた伸縮自在の導電性部材によって形成され、端子２等の接触対象に対して所定の凹圧力を印可しつつ接触することによって、接触対象と電気的に導通する機能を有する。なお、本実施の形態において検査対象１上に形成される端子２は複数設けられることとし、本実施の形態にかかる検査装置は、複数の端子２に対応して、複数のプローブ３を備える。
【００２２】
プローブホルダ４は、複数のプローブ３を所定の位置に保持するためのものである。すなわち、プローブ３は、検査対象１上に形成された複数の端子２とそれぞれ接触することによって電気的に導通するためのものであり、プローブホルダ４は、導通状態が良好となるようあらかじめ定めた場所に位置するよう、複数のプローブ３を保持する機能を有する。具体的な保持態様としては、プローブホルダ４は例えば板状体によって形成され、かかる板状体に形成された貫通口内に、両端が板状体の表面から若干突出するようプローブ３を保持することとする。
【００２３】
検査回路５は、検査対象１の電気的特性の検査を行う際に、検査に必要な検査信号を検査対象１に対して出力するためのものである。具体的には、検査回路５は、ＴＡＢ等によって構成され、例えば検査信号を生成する電子回路を含むＩＣチップ５ａを搭載すると共に、ＩＣチップ５ａと中継接続部材６とを電気的に接続するための配線構造７を備えた構造を有する。なお、検査回路５として、検査専用の電子回路を備えたものを別途作製することとしても良いが、本実施の形態では、検査対象１が製品の一部として実装された際に、検査対象１に対して動作信号等の入出力を行う回路をそのまま流用することとする。すなわち、例えば検査対象１が液晶パネルの場合には、液晶パネルを用いてディスプレイを作製した場合に液晶パネルに対して画素信号等を入力するドライバ回路を検査回路５として使用する。このように既存の電子回路を流用することによって、現実の動作に即した検査が可能であると共に、検査装置の製造コストを低減することが可能である。
【００２４】
次に、中継接続部材６について説明する。図１にも示すように、中継接続部材６は、プローブ３と電気的に接続するための第１接続部材８と、第１接続部材８と検査回路５との間を電気的に接続するための第２接続部材９と、第１接続部材８の反り等を防止するための補強部材１０とによって構成される。
【００２５】
第１接続部材８は、他端においてそれぞれ対応するプローブ３と電気的に接続すると共に、互いに異なる層上に形成された第１配線構造１１、１２を備える。具体的には、図１にも示すように、第１接続部材８は、シート部材１３、１４を順次積層した構成を有し、シート部材１３、１４のそれぞれの表面上に第１配線構造１１、１２をあらかじめ形成しておくことにより、第１配線構造１１、１２が異なる層上に形成された構造を実現する。
【００２６】
シート部材１３、１４は、膜厚が薄く柔軟性に富んだシート状の絶縁部材によって形成される。具体的には、シート部材１３、１４は、例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）の基材として用いられるポリイミド等を材料として形成される。なお、図１にも示すように、積層構造の下層に位置するシート部材１３は、形成される第１配線構造１１がプローブ３等と電気的に接続することを可能とするために、第１配線構造１１、１２の延伸方向に関してシート部材１４よりも延伸した構成を有し、シート部材１４よりも延伸した部分まで第１配線構造１１を延伸させた構造を有する。
【００２７】
第１配線構造１１、１２は、プローブ３と第２接続部材９上に形成される第２配線構造１６（後述）との間の導通経路としての機能を果たすものである。具体的には、第１配線構造１１、１２は、プローブ３に対応して複数形成されており、かつ、隣接する対は一方が第１配線構造１１となり、他方が第１配線構造１２となるよう、すなわち、隣接する第１配線構造は異なる層上に位置するよう形成されている。なお、第１配線構造１１は、第１配線構造１２に対して下層に位置するが、基材たるシート部材１３がシート部材１４よりも延伸した部分を有することに対応して、かかる部分まで延伸して形成されることによって端部近傍が表面上に露出した構造を有する。
【００２８】
第２接続部材９は、第１接続部材８を構成する第１配線構造１１、１２と検査回路５とを電気的に接続するためのものである。具体的には、第２接続部材９は、シート部材１５上に複数の第２配線構造１６が形成された構造を有し、第２配線構造１６によって第１配線構造１１、１２と検査回路５とを電気的に接続する機能を有する。また、複数の第２配線構造１６は、それぞれが同一のシート部材１５上、すなわち同一層上に形成された構造を有する。
【００２９】
補強部材１０は、第１接続部材８を補強するためのものである。上述したように第１接続部材８の一方の端部は、第１配線構造１１、１２がプローブ３と接触することによってプローブ３に対して電気的に導通する構成を有することから、プローブ３と第１接続部材８との間には所定の押圧力が作用することとなる。一方で、第１接続部材８の基材として機能するシート部材１３、１４は柔軟性に富んだシート状の部材によって形成されることから、プローブ３から供給される押圧力に対してシート部材１３、１４が反ることによってプローブ３と第１配線構造１１、１２とが密着せず、両者の間の導通状態が悪化するおそれがある。このため、本実施の形態では、補強部材１０を新たに備えることによって第１接続部材８を補強し、第１配線構造１１、１２の端部とプローブ３との間における良好な電気的導通を実現する。
【００３０】
次に、第１接続部材８を構成する第１配線構造１１、１２のうち、プローブ３と接触する側の端部の構造について詳細に説明する。図２は、第１接続部材８のうちプローブ３と接触する側の端部の一部について示す平面図である。なお、図２は、第１接続部材８をプローブ３側から見た平面構造を模式的に示したものであり、直接目視できない部分は破線にて示している。なお、図２等では、複数存在する第１配線構造１１、１２等について、互いを区別するために必要に応じてａ、ｂ等の添え字を付すこととする。また、第１配線構造１１、１２の個数については、図２等の例に限定して解釈する必要がないことはもちろんである。
【００３１】
図２に示すように、シート部材１３上に形成される第１配線構造１１ａ〜１１ｄと、シート部材１４上に形成される第１配線構造１２ａ〜１２ｄとは、平面構造としては互いに交互に配置された構造を有する。具体的には、第１接続部材８をプローブ３側から眺めた際には、第１配線構造１１ａ、１２ａ、１１ｂ、１２ｂ、・・・のように配列されることとなり、プローブ３側から見て隣接する第１配線構造は、互いに異なる層（シート部材１３またはシート部材１４）上に位置するよう形成されたこととなる。かかる構造を採用することにより、図２にも示すように、単一層上に第１配線構造を形成した場合と比較して、同一層上に形成される第１配線構造の間隔はほぼ２倍の値となる。
【００３２】
また、第１配線構造１１ａ〜１１ｄおよび第１配線構造１２ａ〜１２ｄの端部には、延伸方向と垂直な方向に第１配線構造よりも広い幅を有する接続パッド１８ａ〜１８ｄおよび接続パッド１９ａ〜１９ｄのそれぞれが形成されている。これらの接続パッド１８ａ〜１８ｄおよび接続パッド１９ａ〜１９ｄは、それぞれがいわゆる千鳥配置の状態で形成されており、具体的には、例えば接続パッド１８ａ〜１８ｄの場合には、第１配線構造の延伸方向上に関して、接続パッド１８ａ、１８ｃは同一の位置に形成される一方で、接続パッド１８ｂ、１８ｄは、接続パッド１８ａ等と異なる位置に形成されている。すなわち、接続パッド１８ａ〜１８および接続パッド１９ａ〜１９ｄは、第１配線構造の延伸方向に関する位置が、それぞれ隣接する接続パッド間で異なるよう形成されている。
【００３３】
次に、第１接続部材８、第２接続部材９および検査回路５の相互間における電気的な接続関係について説明する。図３は、第１接続部材８、第２接続部材９および検査回路５の相互間の接続態様を説明するための模式図である。以下、図３を参照しつつ接続態様に関して説明する。
【００３４】
まず、第１接続部材８と第２接続部材９との間の接続態様について説明する。第１接続部材８と第２接続部材９との間の電気的接続は、具体的には第１接続部材８に備わる第１配線構造１１、１２の端部と第２接続部材９に備わる第２配線構造１６の端部とが接触した状態で第１接続部材８と第２接続部材９の間の位置関係が固定されることによって実現される。なお、第１配線構造１１、１２と第２配線構造１６との間の電気的な接触抵抗を実用上問題ない程度にまで抑制する観点から、本実施の形態では第１配線構造１１、１２と第２配線構造１６とが互いに接触する部分を、所定の配線長ｄ1だけ確保する必要があるものとする。
【００３５】
第１配線構造１１においてかかる配線長ｄ1を確保するために、本実施の形態では第１接続部材８に関して、第２接続部材９と接続する側においてシート部材１３がシート部材１４よりも延伸した構造を有する。上述したように、第１配線構造１１は、シート部材１３を基材として形成され、シート部材１４の下層に形成されることとなる。このため、第２配線構造１６と接続するためには配線長ｄ1の範囲が第１接続部材８の表面上に露出した構造とする必要があり、かかる配線長ｄ1を確保するために基材たるシート部材１４をシート部材１３よりも延伸させた構造を採用する。なお、本実施の形態では第１配線構造１２は全体が第１接続部材８の表面上に露出した構造を有するが、仮に保護層等によって被覆する構造を採用した場合であっても、第１配線構造１１の場合と同様に第２接続部材９と接続する側の端部において配線長ｄ1だけ露出した構造とすることが好ましい。
【００３６】
このような構造の第１接続部材８に対して、第２接続部材９に備わる第２配線構造１６は、第１配線構造１１、１２と接触する領域として、配線長ｄ1のほぼ２倍にあたる配線長ｄ2の範囲が必要となる。上述したように、第１接続部材８は、下層側に位置する第１配線構造１１を表面に露出させるためにシート部材１３をシート部材１４よりも延伸させた構造を有する。ここで、シート部材１４は、第１配線構造１２の基材として機能することから、図３に示すように、シート部材１３上に形成された第１配線構造１１は、シート部材１４上に形成された第１配線構造１２よりも第２接続部材９側に配線長ｄ1にほぼ等しい長さだけ延伸した構造を有することとなる。そして、複数の第２配線構造１６は、それぞれが第１配線構造１１、１２のいずれか一方と接触する必要があり、いずれに対しても接触可能な構造とするためには、接触に要する配線長ｄ2としてｄ1のほぼ２倍の値が必要となる。
【００３７】
このように、接続用の領域が所定の配線長だけ確保された第１配線構造１１、１２および第２配線構造１６を用いることによって、第１接続部材８と第２接続部材９とが電気的に接続されることとなる。すなわち、第１配線構造１１、１２と第２配線構造１６とが向かい合う状態（図３の例では第２接続部材９が第１接続部材８に対して紙面垂直上方に位置することとなる）で第１接続部材８の端部と第２接続部材９の端部とが重ね合わされ、例えばＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film：異方性導電性接着剤）を用いることによって両者の位置関係が固定される。なお、第１接続部材８と第２接続部材９とが互いに固定された状態では、図３に示す一点鎖線領域同士が接触し、電気的導通が行われることとなる。すなわち、例えば、第１配線構造１１ａの一点鎖線領域は、第２配線構造１６ａの一点鎖線領域と接触した状態で固定され、第１配線構造１２ａの一点鎖線領域は、第２配線構造１６ｂの一点鎖線領域と接触した状態で固定され、かかる接触状態により第１配線構造１２ａと第２配線構造１６ａとの間および第１配線構造１１ａと第２配線構造１２ｂとの間がそれぞれ配線長ｄ1の範囲で接触し、電気的な接触抵抗を充分に低減した、良好な電気的導通を実現している。このことは第１配線構造１１ｂと第２配線構造１６ｃとの間および第１配線構造１２ｂと第２配線構造１６ｄとの間においても同様であって、第１接続部材８に形成されたすべての第１配線構造と、第２接続部材９に形成されたすべての第２配線構造とは、それぞれ対応するものの間で電気的に接続することとなる。
【００３８】
次に、第２接続部材９と検査回路５との間の接続態様について説明する。第２接続部材９と検査回路５との間の電気的接続は、具体的には第２接続部材９に備わる第２配線構造１６の端部と、検査回路５に備わる配線構造７の端部とが接触することによって実現される。
【００３９】
第２配線構造１６の端部と配線構造７の端部とを接触させる場合にも、電気的な接触抵抗を低減するために配線長ｄ1の領域に渡って接触させることとする。このため、第２配線構造１６は、検査回路５と接触する側の端部にて接触領域として配線長ｄ１の領域が確保され、配線構造７においても同様に配線長ｄ１の領域が確保されている。そして、かかる確保された領域同士が接触するよう第２接続部材９と検査回路５との間の位置関係がＡＣＦ等によって固定され、電気的な導通が実現される。
【００４０】
次に、本実施の形態にかかる検査装置の製造方法の一例について説明する。以下では、検査装置を構成する部材のうち、第１接続部材８および第２接続部材９によって構成される中継接続部材６の製造方法について説明することとする。
【００４１】
図４は、中継接続部材を構成する第１接続部材８および第２接続部材９の製造方法を説明するための模式図である。図４に示すように、まず単一のシート部材２１上に、所定の配線パターンを形成する。シート部材２１は、中央に位置する中央領域２１ａ（特許請求の範囲における第３領域に対応）と、両端部に位置する端部領域２１ｂ（特許請求の範囲における第１領域に対応）、端部領域２１ｃ（特許請求の範囲における第２領域に対応）とによって構成されており、中央領域２１ａおよび端部領域２１ｂ、２１ｃのそれぞれにおいて異なるパターンとなるよう配線が形成される。
【００４２】
具体的には、シート部材２１上には、中央領域２１ａから端部領域２１ｂに渡って第１配線２２ａ〜２２ｈが形成され、中央領域２１ａから端部領域２１ｃに渡って第２配線２３ａ〜２３ｉが形成される。第１配線２２ａ〜２２ｈおよび第２配線２３ａ〜２３ｉは、それぞれがほぼ平行に延伸した構成を有する一方で、中央領域２１ａにて第１配線と第２配線とが交互に配列するよう形成される。具体的には、図４に示すように第２配線２３ａ、第１配線２２ａ、第２配線２３ｂ、第１配線２２ｂ、・・・・、第１配線２２ｈ、第２配線２３ｉの順に配列するよう配線パターンが形成される。また、シート部材２１の端部近傍には、第１配線２２ａ〜２２ｈおよび第２配線２３ａ〜２３ｉのそれぞれに対応して、パッド２４ａ〜２４ｈおよびパッド２５ａ〜２５ｉが形成される。また、後述する位置あわせの際の便宜のため、図４の例では端部領域２１ｃ上に位置あわせ用のアライメント２６（特許請求の範囲における位置あわせ標識の一例として機能する）が形成される。
【００４３】
その後、シート部材２１を、図４に示す破線に沿って中央領域２１ａ、端部領域２１ｂ、２１ｃの三片に分割する。分割した三片は、それぞれ特許請求の範囲における第３シート部材、第１シート部材および第２シート部材の一例として機能するものである。所定の配線パターンが形成された中央領域２１ａ、端部領域２１ｂ、２１ｃは、それぞれ中継接続部材６に備わるシート部材１５、シート部材１３およびシート部材１４を構成することとなり、各領域上に形成された配線パターンは、図４を図３と対比すれば明らかなように、それぞれ第２配線構造１６、第１配線構造１２、第１配線構造１１を構成することとなる。すなわち、形成された第１配線２２ａ〜２２ｈおよび第２配線２３ａ〜２３ｉのうち、中央領域２１ａ上に残存する部分は、それぞれ第２配線構造１６を構成し、端部領域２１ｂに残存する部分は、それぞれ第１配線構造１２を構成し、端部領域２１ｃに残存する部分は、それぞれ第１配線構造１１を構成することとなる。また、パッド２４およびパッド２５はそれぞれ接続パッド１９および接続パッド１８を構成することとなる。
【００４４】
そして、第１接続部材８を形成すべくシート部材１４およびシート部材１３に対応した端部領域２１ｂ、２１ｃを順次積層し、固定する。なお、かかる工程において、上述したアライメント２６によって端部領域２１ｂ、２１ｃの位置あわせを正確に行うことが好ましい。例えば、図４に示す例では、アライメント２６は、端部領域２１ｂの中央領域２１ａ側の端部（図４において、破線部にて示した側の端部）の位置を示しており、アライメント２６の位置に端部領域２１ｂの端部が一致するように積層・固定することによって、端部領域２１ｂ、２１ｃ間の位置関係を正確にあわせることが可能である。
【００４５】
その一方で、中央領域２１ａは、表面上に形成された第１配線２２ａ〜２２ｈと第２配線２３ａ〜２３ｉと共に第２接続部材９を形成する。そのため、中央領域２１ａを端部領域２１ｂ、２１ｃを積層した構造に対して、配線構造同士が電気的に接続するよう、すなわち図３に示した接続関係を満たすよう固着することによって中継接続部材６が完成する。
【００４６】
次に、本実施の形態にかかる検査装置の利点について説明する。まず、本実施の形態にかかる検査装置は、第１接続部材８において、互いに隣接する第１配線構造１１、１２が異なる層上に形成されたことによる利点を有する。図２にも示したように、互いに隣接する第１配線構造１１、１２が異なる層（すなわち、シート部材１３、１４）上に形成されたことにより、同一層上に形成された複数の第１配線構造１１および複数の第１配線構造１２配置間隔をプローブ３の配置間隔の２倍に広げることが可能である。このため、図２に示すようにプローブ３との端部と接触するための接続パッド１８、１９の面積を広くすることが可能であり、プローブ３と接続パッド１８、１９との間の位置あわせを容易に行うことが可能となると共に、プローブ３との間の摩擦力に起因した配線構造（接続パッド）の変形を抑制することが可能であるという利点を有する。
【００４７】
また、本実施の形態では、それぞれシート部材１３上に形成された複数の接続パッド１８と、それぞれシート部材１４上に形成された複数の接続パッド１９に関して、隣接するもの同士が、第１配線構造の延伸方向に関して異なる位置に配置された構造を有する。かかる構造を採用することによって、接続パッド１８、１９のそれぞれに関してさらに面積を大きくすることが可能である。すなわち、例えば図２において、接続パッド１８ｂは、第１配線構造の延伸方向（図２における縦方向）に関して、接続パッド１８ａ、１８ｃと異なる位置に形成されることから、延伸方向と垂直な方向（図２における横方向）に関して延伸しても接続パッド１８ａ、１８ｃと短絡することはない。このため、接続パッド１８ｂに関しては近傍に位置する第１配線構造１１ａ、１１ｃと短絡しない限りにおいて延伸方向と垂直な方向に延伸させることが可能となる。このことは他の接続パッド１８ａ、１９ａ等でも同様であって、同一層上にて隣接するもの同士が異なる位置に配置されることで、さらに広い面積の接続パッドを実現することが可能である。
【００４８】
さらに、本実施の形態では、中継接続部材９にて第２接続部材９を新たに設けた構造を採用することにより、検査回路５と中継接続部材９との間で良好な電気的導通を実現することが可能であるという利点を有する。以下、かかる利点について詳細に説明する。
【００４９】
上述したように、本実施の形態では第１接続部材８にて第１配線構造１１、１２が異なる層上に形成された構造を有し、より具体的には、第１配線構造１１、１２間には、シート部材１４が介在することとなる。従って、下層に位置する第１配線構造１１を他と電気的に導通するためには、端部近傍にて第１配線構造１１を露出した構造を採用する必要があり、第１配線構造１１における電気的接続部分（図３における一点鎖線領域）と、上層に形成された第１配線構造１２における電気的接続部分（図３における一点鎖線領域）とは配線構造の延伸方向に関して位置がずれることとなる。このため、第１接続部材８と電気的に接続する部材は、第１配線構造１１、１２の双方と電気的に接続するために、通常必要とされる配線長ｄ1のほぼ２倍の長さたる配線長ｄ2を電気的接続部分として確保する必要がある。
【００５０】
これに対して、中継接続部材８の接続対象たる検査回路５は、電気的接続部分（配線構造７）の長さとして配線長ｄ1程度しか備えないのが通常である。上述したように、検査回路５は検査対象１を実装する際にドライバ回路等として用いられるものを流用したものであることから、検査回路５に備わる電気的接続部分は、検査対象１の表面上（すなわち、同一層上）に形成された端子２と電気的に接続するために必要な長さ（例えば、配線長ｄ1）のみを有することとなる。従って、第１接続部材８と検査回路５とを直接的に接続した場合には、第１接続部材８と検査回路５との間で充分な導通状態を得ることが困難であるという問題が新たに生じることとなる。検査回路５として、電気的接続部分が配線長ｄ2となる検査専用の回路を用いることとしても良いが、かかる構成を採用した場合には、実装時の動作に即した検査を行うことが困難になることおよび検査装置の製造コストが上昇するという別の問題が新たに生じることとなり、根本的な問題の解決とはならない。
【００５１】
そこで、本実施の形態では、第１接続部材８と検査回路５との間に第２接続部材９を介在させた構成を採用することにより、中継接続部材６と検査回路５との間で良好な導通状態を実現している。すなわち、第２接続部材９においては、配線長に制限が無く、第１接続部材８と接続する側にて第２配線構造１６にて配線長ｄ2を確保することは容易であるため、異なる層上に形成された第１配線構造１１、１２のいずれに対しても良好な導通状態を実現することが可能である。また、上述したように複数の第２配線構造１６は、すべてが単一のシート部材１５上に形成されていることから、検査回路５に備わる配線構造７との間の電気的な接続には配線長ｄ1で足りることとなり、既存の検査回路５を流用しても充分な導通を確保することが可能であることとなる。このように、第１接続部材８のみならず第２接続部材９も備えることによって、中継接続部材６は、第１接続部材８の作用によってプローブ３に対して充分な導通を確保することが可能であり、第２接続部材９の作用によって検査回路５に対して充分な導通を確保することができるという利点を有することとなる。
【００５２】
また、本実施の形態において中継接続部材６が第２接続部材９を新たに備えたことによって、物理的に無理のない構造の検査装置を実現できるという利点を有する。図５に示したように、従来の検査装置では、中継接続部材１０４が単一の接続部材によって形成された構造を有する。このため、従来の検査装置では、検査回路１０５上に形成された複数の配線構造１０５ａと検査対象１０１上に形成された複数の端子１０１ａとの間の対応関係を維持するためには、図５に示すように中継接続部材１０４と検査回路１０５とを「く」の字状に接続する必要があり、物理的に無理が生じた構造となり、強度の弱い部分において断線が生じる等の問題があった。
【００５３】
これに対して、本実施の形態では、中継接続部材６は、複数の接続部材（第１接続部材８、第２接続部材９）を備えた構造を有することによりかかる問題を解決している。すなわち、図１における紙面垂直方向に関する端子２の配列パターンは、端子２に対して第１配線構造１１、１２が対向した状態で配置された第１接続部材８を経由することによって反転する。その後、第１配線構造１１、１２に対して第２配線構造１６が対向した状態で配置された第２接続部材９を経由することによって再び反転し、元の配列パターンと一致することとなる。この結果、検査回路５は、検査対象１に備わる複数の端子２と接触させた場合と同様に配線構造７を第２配線構造１６と接触させることが可能となり、「く」の字状ではなく通常の接続態様によって第２接続部材９と検査回路５とを接続することが可能となる。この結果、本実施の形態にかかる検査装置は、物理的に無理のない構造を実現することができ、断線等の不具合の発生確率を低減できるという利点を有することとなる。
【００５４】
さらに、本実施の形態にかかる検査装置は、図４に示したように中継接続部材６を単一のシート部材２１を用いて製造することが可能である。また、上述したように中継接続部材６を構成するシート部材１５上に形成される第２配線構造１６は、シート部材１３、１４上に形成される第１配線構造１１、１２と交互に接続する構成を有する。従って、シート部材２１上において、中央領域２１ａ（分離後にシート部材１５を構成）上に第１配線２２と第２配線２３を交互に配列するよう形成し、端部領域２１ｃ（分離後にシート部材１３を構成）にはそのうちの第２配線２３を延伸させ、端部領域２１ｂ（分離後にシート部材１４を構成）には第１配線２２を延伸させた配線構造を形成することによって、第１配線構造１１、１２および第２配線構造１６を容易に実現することが可能である。このため、シート部材２１上に配線パターンを形成するためのマスクは、領域毎に３通りのものを用意する必要はなく、単純なパターンのマスクを用いて配線パターンを形成することが可能である。
【００５５】
また、図４からも明らかなように第１配線２２は中央領域２１ａと端部領域２１ｂとで連続性を保持し、第２配線２３は中央領域２１ａと端部領域２１ｃとで連続性を保持する。従って、シート部材２１を分離することによって形成されるシート部材１３、１４、１５は、それぞれ表面上に形成された第１配線構造１１、１２と第２配線構造１６との間で隣接配線間の間隔がずれる等の弊害が生じることはなく、第１接続部材８と第２接続部材９とを接続した際に、いずれの配線構造に関しても良好な導通状態を確保することが可能であるという利点を有する。
【００５６】
以上、実施の形態を用いて本発明を説明したが、実施の形態はあくまで一具体例であって、本発明を実施の形態に限定して解釈するべきではなく、当業者であれば様々な実施例、変形例に想到することが可能である。例えば、本実施の形態では第１接続部材８の構成として、それぞれ所定の配線パターンが表面上に形成されたシート部材１３、１４を積層した構造を有するが、第１接続部材８としてはＴＡＢ、ＦＰＣ等を積層した構造に限定する必要はなく、隣接した第１配線構造が互いに異なる層上に形成された構造であれば第１接続部材として使用することが可能である。また、第１配線構造が形成される層の数についても、２層に限定する必要はなく、複数であれば任意の数の層上に第１配線構造を形成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】実施の形態にかかる検査装置の全体構成を示す模式図である。
【図２】検査装置を構成する第１接続部材のプローブ近傍部分の構造を詳細に示す模式図である。
【図３】検査装置を構成する第１接続部材、第２接続部材および検査回路の相互間における接続態様を説明するための模式図である。
【図４】検査装置を構成する中継接続部材の製造方法を説明するための模式図である。
【図５】従来の検査装置の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  検査対象
２  端子
３  プローブ
４  プローブホルダ
５  検査回路
５ａ  ＩＣチップ
６  中継接続部材
７  配線構造
８  第１接続部材
９  第２接続部材
１０  補強部材
１１、１１ａ〜１１ｄ  第１配線構造
１２、１２ａ〜１２ｄ  第１配線構造
１３〜１５  シート部材
１６、１６ａ〜１６ｄ  第２配線構造
１８ａ〜１８ｄ  接続パッド
１９ａ〜１９ｄ  接続パッド
２１  シート部材
２１ａ  中央領域
２１ｂ、２１ｃ  端部領域
２２ａ〜２２ｈ  第１配線
２３ａ〜２３ｉ  第２配線
２４ａ〜２４ｈ  パッド
２５ａ〜２５ｉ  パッド
２６  アライメント
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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