(57)【要約】【課題】  必要最低限のＵＶ光を必要な箇所に限定して照射できるフィンガーを有したマウント装置およびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  接着剤で半導体部品である記録素子基板を高精度接着固定するマウント装置であり、前記記録素子基板を吸着して貼り合せるフィンガーにおいて、記録素子基板を吸着する吸着部と少なくとも記録素子基板の外形より大きい遮光部と記録素子基板の記録液流路端部の位置に形成する仮固定用の貫通穴スリットを設けたことを特徴とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤で半導体部品である記録素子基板を高精度接着固定するマウント装置であり、前記記録素子基板を吸着して貼り合せるフィンガーにおいて、記録素子基板を吸着する吸着部と少なくとも記録素子基板の外形より大きい遮光部と記録素子基板の記録液流路端部の位置に形成する仮固定用の貫通穴スリットを設けたことを特徴とするマウント装置。
【請求項２】
記録素子基板の仮固定及び記録素子基板記録液流路端部の接着剤硬化を一括で行う構成とすることを特徴とする請求項１に記載のマウント装置。
【請求項３】
前記フィンガーにおいて貫通穴スリットは吸着部と一体に形成され、高精度に複数箇所設けられていることを特徴とする請求項１に記載のマウント装置。
【請求項４】
前記接着剤は熱硬化併用紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする請求項１に記載のマウント装置。
【請求項５】
前記マウント装置はシリコン基板上にインクを吐出する吐出口と吐出発生素子が形成された記録素子基板を支持部材に接着剤で高精度接着固定するインクジェットヘッドのマウント装置であることを特徴とする請求項１に記載のマウント装置。
【請求項６】
接着剤で半導体部品である記録素子基板を高精度接着固定するマウント装置であり、前記記録素子基板を吸着して貼り合せるフィンガーにおいて、記録素子基板を吸着する吸着部と少なくとも記録素子基板の外形より大きい遮光部と記録素子基板の記録液流路端部の位置に形成する仮固定用の貫通穴スリットを設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
記録素子基板の仮固定及び記録素子基板記録液流路端部の接着剤硬化を一括で行う構成とすることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記フィンガーにおいて貫通穴スリットは吸着部と一体に形成され、高精度に複数箇所設けられていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記接着剤は熱硬化併用紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記マウント装置はシリコン基板上にインクを吐出する吐出口と吐出発生素子が形成された記録素子基板を支持部材に接着剤で高精度接着固定するインクジェットヘッドのマウント装置であることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
インクジェット用ヘッドの記録素子基板を支持部材に高精度接着固定するマウント装置であり、特に記録素子基板の貼り合わせ固定に使用するフィンガーに関し、インクジェット記録ヘッドの製造方法に係る。
【背景技術】
【０００２】
図４は本発明におけるインクジェット方式の記録ヘッドである。
【０００３】
記録ヘッド１００は記録素子ユニット１０１とチップタンクの接合体であるチップタンクユニット１０２と複数のインクタンク１０４を収容するタンクホルダ１０３とが組み付けられて構成されている。
【０００４】
図５の前記チップタンクユニットの構成要素である記録素子ユニット１０１は図６の分解斜視図に示すように、インクを吐出するノズル列を有した記録素子基板２０１，２０２、プリンタ本体からの電気信号を受け取る為の外部信号入力端子を有した電気配線テープ５０１、前記記録素子基板が接着によりマウントされる支持部材３０１および前記電気配線テープ５０１が接着により貼り合わされるマクラ部材４０１から構成されている。
【０００５】
チップタンクには記録素子組み付けの位置決め部と記録素子ユニットへのインク供給路が形成されており、前記インク供給路にはフィルターが溶着され、その周囲にはシールゴムが組み付けられている（図示なし）。
【０００６】
記録素子ユニットは前記チップタンクと精度良く位置決めしてネジで固定する。その後、前記電気配線テープの外部信号入力端子とプリンタ本体からの電気信号を受け取るＰＷＢ基板を電気的に接続する（図示なし）。
【０００７】
図５の電気接続部分はインクによる腐食や外的衝撃から保護する為に、第１の封止剤６０１及び第２の封止剤６０２により封止される。第１の封止剤６０１は、主に記録素子基板の外周部を封止し、第２の封止剤６０２は、記録素子基板と電気配線テープとの接続部の表側を封止している。
【０００８】
封止後、電気配線テープの外部入力端子側をチップタンクの外形に合わせて折り曲げ、さらにＰＷＢを熱加締めによってチップタンクに固定する。こうして前記チップタンクユニットが完成する（図示なし）。
【０００９】
次に記録素子ユニット１０１について図６を用いて説明する。
【００１０】
記録素子ユニットは支持部材３０１、マクラ部材４０１、記録素子基板２０１，２０２および電位配線テープ５０１で構成され、記録素子基板は高精度に貼り合わされたチップマウントユニットと前記支持部材３０１に接着接合されたマクラ部材４０１に電気配線テープを全面接着し、その後記録素子ユニットの周囲ならびに電気的接続部を封止してなる。
【００１１】
記録素子基板はサイドシューター型バブルジェット（登録商標）基板として公知の構造であり、図７で示すように厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板２０１ｂにインク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口２０１ｃと、インク供給口を挟んだ両側にそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列された吐出手段であるヒーター列２０１ｄ、前記ヒーターに電気配線により接続され基板の両外側に接続パッドが配列された電極部２０１ｅを有する。接続パッドにはＡｕスタッドバンプが形成されている。またノズル列２０１ａは樹脂材料でフォトリソ技術により形成されている。
【００１２】
電気配線テープはテープ基材、配線、カバー層の積層体であり、記録素子基板に対してインクを吐出するための電気信号を印加する。一例としてＴＡＢテープが考えられる。記録素子基板に対応するデバイスホールの辺に当たる素子接続部には、配線がデバイスホールに露出してなるインナーリードが設けられている。電気配線テープはカバー層の側をタンク表面に接着層を介して接着固定される（図示なし）。
【００１３】
電気配線テープと記録素子基板は、それぞれ熱超音波圧着法や異方性導電テープを介して電気的に接続される。ＴＡＢテープの場合は熱超音波圧着法によるインナーリードボンディング（ＩＬＢ）が好適である。図の記録素子ユニットにおいては、電気配線テープのインナーリードと記録素子基板上のスタッドバンプとがＩＬＢ接合される（図示なし）。
【００１４】
そしてこの電気的接合部および記録素子基板側面に対して外的衝撃やインク付着を防止するため封止剤を塗布する。封止剤は熱硬化型が一般に使用され、記録素子基板の側面の封止と電気接続部の封止はそれぞれ物性および硬化条件がことなる２種類の接着剤図５の６０１，６０２で封止される。こうして塗布された封止剤が硬化すると記録素子ユニットは完成する。
【００１５】
次にマウント工程について説明する。
【００１６】
マウント工程は記録素子基板を高精度で支持部材に貼り合わせる工程である。インクジェットヘッドにおけるインクを吐出する吐出口の位置を決定する中核になる工程のため高い精度が求められる。具体的には支持部材の基準に対する記録素子基板の位置を決める絶対精度と、記録素子基板どおしの位置関係を示す相対位置精度である。
【００１７】
図３にマウント装置のフィンガーユニットを示す。図３（ａ）はフィンガーユニットを示す側面図である。フィンガーユニットには記録素子基板を吸着して貼り合わせるフィンガー５ａと記録素子基板を位置決めして吸着保持するワーク受け台がガイド５ｇを介して取り付けられ、共に図示しない吸着穴が加工されている。このようにフィンガーは記録素子基板を、またワーク受け台は支持部材を吸着保持した状態で両者を上下方向から挟み込むようにして記録素子基板を支持部材にマウントする。
【００１８】
図１（ａ）は従来のフィンガーを示す平面図であり、図３（ｂ）はフィンガーユニットの側面図である。従来のフィンガーは図１（ａ）で示すように記録素子基板を搬送したり貼り合せたりする時に吸着する吸着部を有し、かつＵＶ光を照射して短時間で接着剤を硬化させるため記録素子基板の両端をフィンガー吸着部より外側に露出させている。このようにフィンガーの外形は記録素子基板の外形より小さく形成されている。よって仮固定時には予め転写やディスペンスなどの手法で接着剤が供給された支持部材に記録素子基板を押し付けることで記録素子基板の外周にはみ出させるようにして、はみ出した接着剤にＵＶ光を照射して仮硬化させて記録素子基板を仮固定していた。
【００１９】
上述したようなマウント装置で記録素子基板およびそれを含むインクジェット記録ヘッド製造の記録素子基板の搭載方法には、接着剤転写→仮固定→追加ＵＶ照射→加熱キュアの工程手順で行われる。次にこの手順にそって説明する。
【００２０】
（１）接着剤転写
支持部材へ紫外線・熱硬化併用型接着剤を転写または塗布（以下、転写と略す）する。
【００２１】
（２）仮固定
支持部材に対して記録素子基板の位置決めは画像処理等で精度良く位置決めし記録素子基板を押圧する。
【００２２】
記録素子基板の押圧にて記録素子基板の外周部に延出した紫外線・熱硬化併用型接着剤を紫外線光にて照射し仮固定を行う。
【００２３】
（３）追加ＵＶ照射
記録素子基板の押圧にて記録素子基板の記録液流路端部位置に延出した紫外線・熱硬化併用型接着剤を紫外線光にて照射し仮硬化を行う。
【００２４】
（４）加熱キュア
紫外線・熱硬化併用型接着剤が転写された場所のうち記録素子基板と支持部材間は紫外線光の影部分になるため接着剤は未硬化状態である。この接着剤を熱硬化工程により完全硬化を行う。
【００２５】
等の製造方法が用いられる。
【００２６】
次に前述の製造方法（３）追加ＵＶ照射の必要性を説明する。
【００２７】
記録素子基板外周部の紫外線・熱硬化併用型接着剤は紫外線光により硬化（記録素子基板の仮固定）させるが記録素子基板と支持部材の間は紫外線光の影部分となるため紫外線・熱硬化併用型接着剤は未硬化状態である。そのため接着剤未硬化部分は次工程の（４）加熱キュア工程において硬化させるが熱を加えることで硬化の直前に接着剤粘度が低粘度化し、毛管力により記録液流路角部の稜線部分を伝わり、吐出ノズル方向へ進む。この時、紫外線・熱硬化併用型接着剤ダミーノズルを経由し吐出本ノズルまで到達することがあり機能的に不具合が生じる場合がある。
【００２８】
従って（３）追加ＵＶ照射工程は（４）加熱キュア工程の前に記録素子基板の記録液流路端部位置に延出した紫外線・熱硬化併用型接着剤を紫外線光にて照射し仮硬化を行い、接着剤の毛管力によって吐出本ノズルまで到達することを防止させることを目的としている。
【特許文献１】特開平１１−１７０５４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
記録素子基板の貼り合わせに使用する接着剤の機能は支持部材上に記録素子基板を固定するほかに、インクを吐出する時の記録素子基板の熱を支持部材に逃がす（放熱する）ことと、供給されたインクが漏れないようにするための封止の役割も重要である。インク流路の周りには確実に接着剤が満たされていることが重要であり、かつ放熱のためには接着剤の厚みは出来るだけ薄い方が望ましい。
【００３０】
仮固定ではまずフィンガーに吸着された記録素子基板上に設けられたアライメントマークを画像処理しながら位置補正するアライメントを行う。次に予め接着剤が供給された支持部材に前記記録素子基板を押し付けて貼り合わせて接着剤を記録素子基板の外周部にはみ出させる。この時、図１（ａ）が示すように記録素子基板の両端部にＵＶ光８ａを照射して接着剤を硬化させて記録素子基板を仮固定する。また、追加ＵＶ照射工程にて記録素子基板の押圧にて記録素子基板の記録液流路端部位置に延出した紫外線・熱硬化併用型接着剤を紫外線光にて照射し仮硬化を行う。
【００３１】
しかしこの仮固定及び追加ＵＶ照射時のＵＶ光を過剰に照射すると記録素子基板の外周だけでなくＵＶ光が直接当たらない記録素子基板の裏面部まで接着剤の硬化が進行してしまう。また、接着剤を硬化させる手段としてＵＶ光のみを選択して硬化させるとエポキシ基の重合反応による硬化が促進しすぎて接着剤が含有するシランカップリング剤の反応を抑制してしまい、耐アルカリ性に対する接着力の持続性が低下してしまう傾向があった。実使用上においても、インクをヘッド内に注入した状態で充分な接着力持続性が得られず色間部の接着剤が剥がれて混色を起してしまう。そこで記録素子基板の仮固定及び追加ＵＶ照射において接着剤は必要以上硬化させずにＵＶ光の照射領域を限定することが課題であった。
【００３２】
本発明に係る目的は、記録素子基板のＵＶ光照射による仮固定及び、追加ＵＶ照射において、
（１）接着剤を硬化させて記録素子基板を貼り合せることができる。
【００３３】
（２）記録素子基板記録液流路端部の接着剤を硬化させることができる。
【００３４】
上記（１）（２）を一括で行う構成にすることで必要最低限のＵＶ光を必要な箇所に限定して照射できるフィンガーを有したマウント装置およびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００３５】
本発明はシリコン基板上にインクを吐出する吐出口と吐出発生素子が形成された記録素子基板を支持部材上に高精度接着固定するマウント装置であり前記記録素子基板を吸着して貼り合せるフィンガーにおいて、記録素子基板を吸着する吸着部と少なくとも記録素子基板の外形より大きい遮光部と記録素子基板の記録液流路端部の位置に形成する仮固定用の貫通穴スリットを設けたことを特徴とするマウント装置を提供するものである。
【００３６】
本発明によれば記録素子基板の仮固定及び記録素子基板記録液流路端部の接着剤硬化を一括で行う構成とすることでＵＶ光の照射領域を記録素子に対して必要最低限の領域に限定できるため、過剰なＵＶ照射によるＵＶ光が直接当たらない記録素子基板の裏面部領域までの硬化を抑制できる。またフィンガーは記録素子基板より大きく、かつ記録素子基板の吸着部と一体で形成されるため仮固定用貫通穴スリットの高精度加工により照射領域を高精度に得ることができる。
【発明の効果】
【００３７】
本出願に係る発明によれば、シリコン基板上にインクを吐出する吐出口と吐出発生素子が形成された記録素子基板を支持部材上に高精度接着固定するマウント装置であり前記記録素子基板を吸着して貼り合せるフィンガーにおいて、記録素子基板を吸着する吸着部と少なくとも記録素子基板の外形より大きい遮光部と記録素子基板の記録液流路端部の位置に形成する仮固定用の貫通穴スリットを設けたことを特徴とするマウント装置を提供するものであり、記録素子基板のマウントにおけるＵＶ光照射範囲を必要最低限な照射領域、すなわち記録素子基板の記録液流路端部に限定して照射することが出来る。かつ記録素子基板の仮固定及び記録素子基板記録液流路端部の接着剤硬化を一括で行う構成が出来る。
【００３８】
また記録素子基板と支持部材の貼り合わせ時、記録素子基板はフィンガーに吸着された状態で行うがフィンガー自体が記録素子基板を吸着するための吸着穴とＵＶ光の照射領域を限定する貫通穴スリットを一体に併せ持つため記録素子基板に対して高精度に照射領域を設けることが出来る。
【００３９】
このように本発明によれば記録素子基板のマウントに使用する紫外線・熱併用硬化型接着剤に対して紫外線による硬化領域を必要最低限に抑えることができると共に未硬化部の接着剤は加熱キュアによって完全硬化することによりエポキシ基の重合による硬化の促進を抑え、接着剤が含有するシランカップリング剤の反応を抑制することなく記録素子基板を接着出来るため、長期に渡って耐インク性、耐熱性の高い強固な接着力を得ることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下本発明を実施するための最良の形態を、実施例により詳しく説明する。
【実施例１】
【００４１】
本発明の第１の実施例を説明する。
【００４２】
マウント工程では記録素子基板をマクラ部材と支持部材の接着接合体に高精度で接着固定する。具体的には前記支持部材の基準に対する記録素子基板の貼り合わせ位置を規定する絶対精度と複数の記録素子基板の相対位置を規定する相対精度が要求される。インクジェット記録ヘッドにおけるインクを吐出する吐出口の位置を規定する中核となる工程のためである。
【００４３】
接着剤は紫外線・熱硬化併用硬化型が使用される。エポキシ樹脂と光・熱重合開始剤およびエポキシ系シランカップリング剤からなる。
【００４４】
以下に記録素子基板が支持部材にマウントするプロセスを説明する。図２は本発明におけるマウント装置の概略を示す平面図である。
【００４５】
１）部品供給
１は記録素子基板の仮置き台であり記録素子基板を吸着する吸着穴が設けられている。記録素子基板が供給されると吸着で固定される。２は支持部材の仮置き台であり突き当てピンなどに突き当てて支持部材の仮置き位置を決める。
【００４６】
２）接着剤転写
支持部材とマクラ部材の接合体に接着剤を供給する。仮置き台に置かれた支持部材を図示しない支持部材移載フィンガーで吸着して仮置き台から転写位置決め台３に移載する。この時ｘ方向、ｙ方向の位置決めクランプが交互に作動して転写位置決め台に設けられた位置決めピンに対して支持部材をｘ方向及びｙ方向から突き当てて位置決めを行い、その後転写位置決め台に設けられた吸着穴で吸着して固定する。
【００４７】
接着剤（紫外線・熱併用硬化型）は予め回転ステージ４ａ上に０．１ｍｍ程度の厚さで薄く展開されている。回転ステージは一定（矢印）の方向に等速回転して、同じく転写ステージ上に０．１ｍｍ程度の隙間で設定されたスキージによって薄い接着剤の層を形成している。接着剤は転写ピン４ｂの下降・上昇によって転写され、マクラ部材と支持部材の接合体に転写供給される。
【００４８】
３）画像処理／アライメント
上記２）の転写工程により接着剤が供給された支持部材は図示しない支持部材移載フィンガーで吸着されて転写位置決め台からインデックスユニット上のワーク受け台図３（ａ）５ｆに移載される。
【００４９】
同じく１）で記録素子基板の仮置き台に吸着されている記録素子基板は仮置き台が前後動作してインデックスユニットのフィンガーの直下に移動してフィンガーに受け渡される。
【００５０】
フィンガーに記録素子基板を吸着したインデックスはその状態を維持したままアライメントユニット７の方向に回転する。そこで記録素子基板のアライメントを行うため記録素子基板はフィンガーからアライメントユニットに受け渡される。
【００５１】
アライメントユニットに受け渡された記録素子基板は吸着で固定されており、かつ記録素子基板に配されたアライメントマークを画像認識しながらｘ方向、ｙ方向およびθの補正を行って所定の精度に追い込む。複数の記録素子基板を有する場合は３）画像処理／アライメントの動作を１チップ毎に順次行う。
【００５２】
４）貼り合わせ／仮ＵＶ照射
記録素子基板の貼り合わせ位置の画像処理が終わると記録素子基板は再度フィンガーに受け渡される。記録素子基板はフィンガーの吸着により記録素子基板の位置を保持した状態でマクラ部材と支持部材の接合体に貼り合わされ、接着剤は記録素子基板に押し広げられて記録素子基板外周及び、記録液液室（ＡＥ部）へはみ出す。
【００５３】
この時、記録素子基板の記録液流路端部のみにＵＶ光を照射して、記録液液室（ＡＥ部）へはみ出した接着剤のみを硬化させることにより記録素子基板の仮固定を行う。
【００５４】
従来の方法では
（１）記録素子基板の外周部へＵＶ光を照射して記録素子基板の外周部へはみ出した接着剤を硬化させて仮固定する。
【００５５】
（２）次工程で記録液流路端部のみにＵＶ光を照射して、記録液液室（ＡＥ部）へはみ出した接着剤を硬化させる。
【００５６】
という手順に渡り記録素子基板の外周部及び、記録液液室（ＡＥ部）へＵＶ光による照射を行っていたため、必要以上のＵＶ光の照射領域としていた。
【００５７】
５）熱キュア
ＵＶ光で硬化されていない部分を確実に硬化、固定させるため、１５０℃に設定されたクリーンオーブンに入れて所定の時間加熱する。
【００５８】
こうして記録素子基板と支持部材の接合体であるマウントユニットが完成する。
【００５９】
図１はフィンガーおよび仮固定の様子を示す平面図である。図１（ａ）は従来のフィンガーであり貼り合わせ時のＵＶ光照射領域８ａを示す平面図である。フィンガー５ａは記録素子基板の長手外形寸法より小さく、記録素子基板の両端部は露出している。そして記録素子基板の端部（４箇所）に対してＵＶ光が照射されて記録素子基板は仮固定される。５ｃの破線内領域は記録素子基板の吸着部であり、通常フィンガーの吸着溝は吐出口にかからない領域に設けられている。
【００６０】
図１（ｂ）は本発明におけるフィンガーである。
【００６１】
フィンガーの外形寸法は記録素子基板より大きく、フィンガー自身にＵＶ光照射用の貫通穴からなるスリット５ｂを有する。スリットは記録液液室２０２ａ（ＡＥ部）端部へはみ出した接着剤に照射できるように、記録素子基板の記録液流路端部に設けられる。またフィンガーは記録素子基板を吸着する吸着部と一体に形成されるため、高精度に設けることが出来る。
【実施例２】
【００６２】
本発明第２の実施例を説明する。
【００６３】
図８は記録素子基板の仮固定の様子を示す側面図であり、図８（ａ）は従来の仮固定、図８（ｂ）は本発明第２の実施例を示す側面図である。
【００６４】
図８（ａ）に示すように従来は記録素子基板がフィンガーからオーバーラップし、記録素子基板外周部へはみ出した接着剤７０１に対してＵＶ光を照射していた。装置上では図示するように垂直方向ではなく若干角度（θ＝２０°以下）を設けて照射している。さらにこの時、ＵＶ光照度を高く設定するに従い、直接光が照射されていない領域にある接着剤、即ち記録素子の裏面と記録素子基板の間に存在する接着剤の硬化が進行してしまうことが分かっている。
【００６５】
そこで本発明第２の実施例では図９に示すように仮固定用のＵＶ照射用スリットを特定箇所に限定して設けることを特徴とする。
【００６６】
例えば図９（ａ）は記録素子基板の記録液流路端部に限定している。図９（ｂ）は記録素子基板の記録液流路端部及び記録素子の外周一部に限定している。このように記録素子基板の大きさ（長さや幅）等の違いにより、必要な記録素子基板の仮固定力に応じて最適なＵＶ照射領域を限定することにより、ＵＶ照射領域を必要最低限に限定してその他の未硬化接着剤は熱キュアによって硬化させることにより強固な接着性を得る事ができる。
【００６７】
本発明によるフィンガーは記録素子基板の吸着部とＵＶ光照射用の貫通穴スリットを同一部品内に形成することにより照射領域の高精度な設定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】（ａ）従来のフィンガーを示す図（ｂ）本発明におけるフィンガーを示す図（ｃ）従来のフィンガーを示す平面図
【図２】本発明におけるマウント装置を示す概略平面図
【図３】（ａ）フィンガーユニットを示す側面図（ｂ）フィンガーの側面図
【図４】本発明におけるインクジェット記録ヘッドを示す斜視図
【図５】本発明における記録素子ユニットを示す斜視図
【図６】本発明における記録素子ユニットの構成部品を示す分解斜視図
【図７】本発明における記録素子基板の構成要素を示す分解斜視図
【図８】（ａ）従来の仮固定を示す側面図（ｂ）本発明における仮固定を示す側面図
【図９】本発明の第２実施例を説明するフィンガーの平面図
【符号の説明】
【００６９】
１００  記録ヘッド
１０１  記録素子ユニット
１０２  チップタンクユニット
１０３  タンクホルダ
１０４  インクタンク
２０１  記録素子基板（ブラック）
２０１ａ  ノズル列
２０１ｂ  Ｓｉ基板
２０１ｃ  記録液液室（ＡＥ部）
２０１ｄ  ヒーター列
２０１ｅ  電極部
２０２  記録素子基板（カラー）
２０２ａ  記録液液室（ＡＥ部）
３０１  支持部材
４０１  マクラ部材
５０１  電気配線テープ（ＴＡＢテープ）
６０１  第１の封止剤
６０２  第２の封止剤
７０１  熱硬化併用紫外線硬化型接着剤
１  記録素子基板仮置き台
２  支持部材仮置き台
３  転写位置出し台
４  回転ステージユニット
４ａ  回転ステージ
４ｂ  転写ピン
５  インデックスユニット
５ａ  フィンガー
５ｂ  貫通穴スリット
５ｃ  吸着穴
５ｄ  記録素子基板吸着面
５ｅ  吸着用エアー継ぎ手
５ｆ  支持部材受け台
５ｇ  ワーク受け台ガイド
６  カメラユニット
７  アライメントユニット
８  ＵＶ照射ユニット
８ａ  ＵＶ光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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