(57)【要約】【課題】  ケースの一面側と他面側とにダイアフラムによってオイルが封止されてなる圧力検出室を設け、この両圧力検出室の内圧の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、両圧力検出室内のオイルの温度差により生じる検出誤差を極力低減する。【解決手段】  ケース１０に設けられたセンサ素子２０と、ケース１０の一面側に設けられ第１のダイアフラム８１によって内部にオイル７０を封止してなる第１の圧力検出室１１ａと、ケース１０の他面側に設けられ第２のダイアフラム８２によって内部にオイル７０を封止してなる第２の圧力検出室１１ｂとを備える圧力センサＳ１において、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０間の熱伝導を確保するための金属などからなる熱伝導部材２００がケース１０に埋設され、この熱伝導部材２００により両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０が熱的に接続されている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケース（１０）と、
前記ケース（１０）に設けられ印加される圧力に基づいて信号を出力するセンシング部（２０）と、
前記ケース（１０）の一面側に設けられ、第１のダイアフラム（８１）によって内部に圧力媒体（７０）を封止してなる第１の圧力検出室（１１ａ）と、
前記ケース（１０）の他面側に設けられ、第２のダイアフラム（８２）によって内部に圧力媒体（７０）を封止してなる第２の圧力検出室（１１ｂ）と、を備え、
前記第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）による圧力と前記第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）による圧力とが、前記センシング部（２０）に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、
前記第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）と前記第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）との熱伝導を確保するための熱伝導手段（２００、２１０）が設けられていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記熱伝導手段（２００）は、前記ケース（１０）に設けられ、前記第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）と前記第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）とを熱的に接続する熱伝導部材（２００）であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記熱伝導部材（２００）は、前記ケース（１０）よりも熱伝導率の高い材質からなるものであって前記ケース（１０）の一面側から他面側へ貫通させた状態で前記ケース（１０）に埋設されたものであることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記ケース（１０）は樹脂からなるものであり、前記熱伝導部材（２００）は金属からなるものであることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記熱伝導部材（２００）は、前記ケース（１０）にインサート成形されたものであることを特徴とする請求項４に記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記熱伝導部材（２００）は、前記ケース（１０）の一面側にて前記第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）に接触し、前記ケース（１０）の他面側にて前記第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）に接触することにより、これら両圧力媒体（７０）を熱的に接続していることを特徴とする請求項３ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記熱伝導部材（２００）は、前記ケース（１０）の一面側にて前記第１のダイアフラム（８１）に接触し、前記ケース（１０）の他面側にて前記第２のダイアフラム（８２）に接触することにより、前記第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）と前記第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）とを熱的に接続していることを特徴とする請求項３ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記熱伝導部材（２００）は、熱伝導性に優れた材質からなる前記ケース（１０）自体であることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記ケース（１０）の一面側には、前記第１のダイアフラム（８１）に対して圧力を導入するための第１の圧力ポート（１２）が、前記第１のダイアフラム（８１）に接して設けられており、
前記ケース（１０）の他面側には、前記第２のダイアフラム（８２）に対して圧力を導入するための第２の圧力ポート（１３）が、前記第２のダイアフラム（８２）に接して設けられており、
前記第１の圧力ポート（１２）および前記第２の圧力ポート（１３）は、前記ケース（１０）よりも熱伝導率の高い材質からなるものであり、
前記第１の圧力ポート（１２）と前記第２の圧力ポート（１３）とを、熱的に接続するポート接続部材（２２０）が設けられており、
前記第１の圧力ポート（１２）、前記第２の圧力ポート（１３）および前記ポート接続部材（２２０）により、前記熱伝導手段（２１０）が構成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項１０】
前記第１の圧力ポート（１２）、前記第２の圧力ポート（１３）および前記ポート接続部材（２２０）は、金属からなるものであることを特徴とする請求項９に記載の圧力センサ。
【請求項１１】
前記第１の圧力ポート（１２）および前記第２の圧力ポート（１３）と、前記ポート接続部材（２２０）とは、溶接により接続されていることを特徴とする請求項１０に記載の圧力センサ。
【請求項１２】
前記圧力媒体（７０）は、オイルであることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ケースの一面側と他面側とにダイアフラムによって圧力媒体が封止されてなる圧力検出室を設け、この両圧力検出室の内圧の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の圧力センサとしては、一般に、ケースと、ケースに設けられ印加される圧力に基づいて信号を出力するセンシング部と、ケースの一面側に設けられ第１のダイアフラムによって内部に圧力媒体を封止してなる第１の圧力検出室と、ケースの他面側に設けられ第２のダイアフラムによって内部に圧力媒体を封止してなる第２の圧力検出室とを備えて構成されたものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
そして、この圧力センサにおいては、第１の圧力検出室の圧力媒体による圧力と第２の圧力検出室の圧力媒体による圧力とが、センシング部に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにしている。
【０００４】
図６は、この種の圧力センサの一般的な概略断面構成を示す図である。ここでは、ダイアフラムからの圧力をセンシング部へ伝達する圧力媒体としてオイルを用いた両面オイル封止構造の圧力センサとしている。
【０００５】
この図６に示される圧力センサは、たとえば、ディーゼルエンジンのＤＰＦ（ディーゼル・パティキュレート・フィルタ）に用いることができるものである。このＤＰＦは、排気管途中に煤煙をトラップするフィルタを設け、一定量が溜まったら燃やすことで大気中に煤煙が放出されることを防ぐシステムである。
【０００６】
そして、この圧力センサは、排気管内におけるフィルタ前後の圧力の差圧、すなわちＤＰＦの上流側圧力とＤＰＦの下流側圧力との差圧を測定する差圧検出方式を採用したものである。
【０００７】
図６に示されるように、ケース１０の一面側と他面側とにそれぞれ互いに連通する第１の凹部１１ａ、第２の凹部１１ｂが設けられている。これら第１の凹部１１ａ、第２の凹部１１ｂは、それぞれ、第１の圧力検出室１１ａ、第２の圧力検出室１１ｂとして構成されるものである。
【０００８】
そして、両凹部１１ａ、１１ｂの連通部を遮断するようにケース１０にはセンシング部としてのセンサ素子２０が設けられている。このセンサ素子２０は、印加される圧力のレベルに応じて電気信号を出力するものである。
【０００９】
つまり、ここでは、各凹部１１ａ、１１ｂにより構成される空間が圧力検出室１１ａ、１１ｂを構成しており、この圧力検出室１１ａ、１１ｂの内部にセンシング部２０が設けられている。
【００１０】
また、これら第１の凹部１１ａおよび第２の凹部１１ｂ内には、それぞれ、圧力媒体としてのオイル７０が充填されており、各凹部１１ａ、１１ｂは、それぞれ、Ｏリング９０を介して金属などからなるダイアフラム（メタルダイアフラム）８１、８２により覆われている。
【００１１】
また、図６に示されるように、圧力ポート１２、１３は、ダイアフラム８１、８２を介してＯリング９０に押し当てられるようにケース１０に組み付けられている。ここで、ダイアフラム８１、８２の周辺部は圧力ポート１２、１３に接着されており、圧力ポート１２、１３とケース１０とに挟まれている。
【００１２】
このようにして、ケース１０の一面側の第１の圧力検出室１１ａおよびケース１０の他面側の第２の圧力検出室１１ｂは、それぞれ、ダイアフラム８１、８２によって内部に圧力媒体としてのオイル７０を封止してなる室として構成されている。
【００１３】
ここで、たとえば、第１の圧力ポート１２の導入ポート１２ａが上記排気管におけるＤＰＦの上流側、第２の圧力ポート１３の導入ポート１３ａが上記排気管におけるＤＰＦの下流側にゴムホース等により接続されるものである。それにより、第１の圧力ポート１２へＤＰＦの上流側圧力（前圧）が導入され、第２の圧力ポート１３へＤＰＦの下流側圧力（後圧）が導入されるようになっている。
【００１４】
そして、各圧力ポート１２、１３に導入された上記圧力は、ダイアフラム８１、８２を介して圧力検出室１１内のセンサ素子２０に伝達されるようになっている。具体的には、第１のダイアフラム８１にＤＰＦの上流側圧力（前圧）が印加され、第２のダイアフラム８２にＤＰＦの下流側圧力（後圧）が印加されるようになっている。
【００１５】
そして、両ダイアフラム８１、８２に印加された圧力がオイル７０を介してセンサ素子２０に受圧され、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０による圧力と第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０による圧力との差圧にもとづいてセンサ素子２０によって圧力検出がなされるようになっている。
【特許文献１】特開２００３−３１５１９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、本発明者の検討によれば、上記図６に示されるような従来の圧力センサにおいては、次に述べるように、封入された圧力媒体としてのオイル７０の熱膨張に起因してセンサに検出誤差が発生する可能性がある。
【００１７】
ここで、上記図６に示されるような両面にオイル７０を封止した構造では、第１の圧力検出室１１ａと第２の圧力検出室１１ｂとでオイル７０の量をそろえることにより、各圧力検出室１１ａ、１１ｂ間でオイル７０の熱膨張の度合が釣り合い、検出誤差をなくすこと可能である。
【００１８】
しかしながら、使用環境においては、第１の圧力検出室１１ａ側と第２の圧力検出室１１ｂ側とで、印加される受圧媒体の温度や輻射熱の違いにより、各圧力検出室１１ａ、１１ｂ間のオイル７０に温度差が発生する。
【００１９】
たとえば、圧力センサを排気管に設けた場合などにおいては、図６中に矢印で示されるように、第１の圧力検出室１１ａ側に熱風や輻射熱などが多く与えられる環境になることにより、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０の方が、第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０よりも高温となる。
【００２０】
すると、第１の圧力検出室１１ａ内のオイル７０の方が大きく膨張するため、それを封止している第１のダイアフラム８１が、図６中の破線に示されるように、外方に向かって膨らむことになる。
【００２１】
そのため、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０の内圧の方が、第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０の内圧よりも小さくなり、それによって、センサ素子２０による検出に誤差が生じてしまう。つまり、このようなオイル７０の内圧の差が生じると、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのダイアフラム８１、８２に加わる圧力に差がない場合でも、その内圧差が出力に出てしまい、誤差となる。
【００２２】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ケースの一面側と他面側とにダイアフラムによって圧力媒体が封止されてなる圧力検出室を設け、この両圧力検出室の内圧の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、両圧力検出室内の圧力媒体の温度差により生じる検出誤差を極力低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、ケース（１０）と、ケース（１０）に設けられ印加される圧力に基づいて信号を出力するセンシング部（２０）と、ケース（１０）の一面側に設けられ、第１のダイアフラム（８１）によって内部に圧力媒体（７０）を封止してなる第１の圧力検出室（１１ａ）と、ケース（１０）の他面側に設けられ、第２のダイアフラム（８２）によって内部に圧力媒体（７０）を封止してなる第２の圧力検出室（１１ｂ）と、を備え、第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）による圧力と第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）による圧力とが、センシング部（２０）に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）と第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）との熱伝導を確保するための熱伝導手段（２００、２１０）が設けられていることを特徴としている。
【００２４】
それによれば、熱伝導手段（２００、２１０）によって、第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）と第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）との熱伝導が良好なものになるため、これら両圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）の圧力媒体（７０）間の温度差を低減することができ、両圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）の両圧力媒体（７０）の熱膨張の差も低減することができる。
【００２５】
したがって、本発明によれば、ケース（１０）の一面側と他面側とにダイアフラム（８１、８２）によって圧力媒体（７０）が封止されてなる圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）を設け、この両圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）の内圧の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、両圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）内の圧力媒体（７０）の温度差により生じる検出誤差を極力低減することができる。
【００２６】
ここで、請求項２に記載の発明のように、請求項１に記載の圧力センサにおいては、熱伝導手段（２００）は、ケース（１０）に設けられ、第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）と第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）とを熱的に接続する熱伝導部材（２００）であるものにできる。
【００２７】
そして、請求項３に記載の発明のように、請求項２に記載の圧力センサにおいては、熱伝導部材（２００）としては、ケース（１０）よりも熱伝導率の高い材質からなるものであってケース（１０）の一面側から他面側へ貫通させた状態でケース（１０）に埋設されたものを採用することができる。
【００２８】
また、請求項４に記載の発明のように、請求項３に記載の圧力センサにおいては、ケース（１０）は樹脂からなるものであり、熱伝導部材（２００）は金属からなるものにできる。
【００２９】
そして、請求項５に記載の発明のように、請求項４に記載の圧力センサにおいては、熱伝導部材（２００）は、ケース（１０）にインサート成形されたものとして構成することができる。
【００３０】
また、請求項６に記載の発明では、請求項３〜請求項５に記載の圧力センサにおいて、熱伝導部材（２００）は、ケース（１０）の一面側にて第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）に接触し、ケース（１０）の他面側にて第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）に接触することにより、これら両圧力媒体（７０）を熱的に接続していることを特徴としている。
【００３１】
それによれば、ケース（１０）の一面側から他面側へ貫通させた状態でケース（１０）に埋設された熱伝導部材（２００）において、両圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）の圧力媒体（７０）の熱的な接続を適切に行える。
【００３２】
また、請求項７に記載の発明では、請求項３〜請求項５に記載の圧力センサにおいて、熱伝導部材（２００）は、ケース（１０）の一面側にて第１のダイアフラム（８１）に接触し、ケース（１０）の他面側にて第２のダイアフラム（８２）に接触することにより、第１の圧力検出室（１１ａ）の圧力媒体（７０）と第２の圧力検出室（１１ｂ）の圧力媒体（７０）とを熱的に接続していることを特徴としている。
【００３３】
それによれば、ケース（１０）の一面側から他面側へ貫通させた状態でケース（１０）に埋設された熱伝導部材（２００）において、両圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）の圧力媒体（７０）の熱的な接続を適切に行える。
【００３４】
また、請求項８に記載の発明のように、請求項２に記載の圧力センサにおいて、熱伝導部材（２００）は、熱伝導性に優れた材質からなるケース（１０）自体として構成することができる。
【００３５】
また、請求項９に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサにおいて、ケース（１０）の一面側には、第１のダイアフラム（８１）に対して圧力を導入するための第１の圧力ポート（１２）が、第１のダイアフラム（８１）に接して設けられており、ケース（１０）の他面側には、第２のダイアフラム（８２）に対して圧力を導入するための第２の圧力ポート（１３）が、第２のダイアフラム（８２）に接して設けられており、第１の圧力ポート（１２）および第２の圧力ポート（１３）は、ケース（１０）よりも熱伝導率の高い材質からなるものであり、第１の圧力ポート（１２）と第２の圧力ポート（１３）とを、熱的に接続するポート接続部材（２２０）が設けられており、第１の圧力ポート（１２）、第２の圧力ポート（１３）およびポート接続部材（２２０）により、熱伝導手段（２１０）が構成されていることを特徴としている。
【００３６】
それによれば、両圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）の圧力媒体（７０）は、第１の圧力ポート（１２）、第２の圧力ポート（１３）およびポート接続部材（２２０）を介して互いに熱的に接続されるため、これら両圧力媒体（７０）間の熱伝導を適切に確保することができる。
【００３７】
ここで、請求項１０に記載の発明のように、請求項９に記載の圧力センサにおいては、第１の圧力ポート（１２）、第２の圧力ポート（１３）およびポート接続部材（２２０）は、金属からなるものにできる。
【００３８】
また、請求項１１に記載の発明では、請求項１０に記載の圧力センサにおいて、第１の圧力ポート（１２）および第２の圧力ポート（１３）と、ポート接続部材（２２０）とは、溶接により接続されていることを特徴としている。
【００３９】
それによれば、第１の圧力ポート（１２）および第２の圧力ポート（１３）と、ポート接続部材（２２０）との間の各接合部の熱抵抗を小さくし、熱伝導を良好に確保することができ、好ましい。
【００４０】
また、請求項１２に記載の発明のように、請求項１〜請求項１１に記載の圧力センサにおいては、圧力媒体（７０）としては、オイルを採用することができる。
【００４１】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００４３】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る差圧検出型の圧力センサＳ１の概略断面構成を示す図である。
【００４４】
限定するものではないが、本実施形態は、たとえば、自動車のディーゼルエンジンの排気管に設けられたＤＰＦ（ディーゼルパティキュレートフィルタ）の圧力損失を検出するために当該排気管に取り付けられ、当該ＤＰＦ前後の排気管の差圧を検出する差圧（相対圧）検出型の圧力センサとして適用することができる。
【００４５】
［構成等］
図１において、ケース１０は圧力センサＳ１の本体を区画するもので、たとえば、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂材料などを、成形することにより作られる。
【００４６】
ケース１０においては、一面側（図１中の上面側）に第１の凹部１１ａが形成されており、当該一面と反対の面側（図１中の下面側）に第１の凹部１１ａと連通する第２の凹部１１ｂが形成されている。そして、ケース１０には、第１の凹部１１ａと第２の凹部１１ｂとの連通部を遮断するように圧力検出用のセンサ素子２０が設けられている。
【００４７】
つまり、各凹部１１ａ、１１ｂにより構成される空間にセンサ素子２０が設けられており、このセンサ素子２０よりもケース１０の一面側に位置する第１の凹部１１ａが第１の圧力検出室１１ａとして構成され、センサ素子２０よりもケース１０の他面側に位置する第２の凹部１１ｂが第２の圧力検出室１１ｂとして構成されている。
【００４８】
センサ素子２０は、印加される圧力に基づいて信号を出力するセンシング部として構成されるものである。具体的には、センサ素子２０は、印加された圧力値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。
【００４９】
本例では、このようなセンサ素子２０としては、シリコン基板等の半導体基板に薄肉部としてのダイアフラム（図示せず）を有する半導体ダイアフラム式のセンサチップを採用している。
【００５０】
また、このような半導体ダイアフラム式のセンサチップは、たとえば、半導体プロセスによってシリコン半導体チップに対して、ダイアフラムおよび拡散抵抗素子などにより構成されるブリッジ回路などを形成してなるものであり、圧力によってセンサチップのダイアフラムが歪み、その歪みによって生じる抵抗値変化を電気信号に変換して出力する機能を有するものである。
【００５１】
そして、センサ素子２０には、ガラス等よりなる台座３０が接合されており、これらセンサ素子２０と台座３０とは一体化されている。ここで、センサ素子２０と台座３０とは、たとえば陽極接合などにより接合することができる。
【００５２】
そして、図１に示されるように、センサ素子２０は、この台座３０を介して、ケース１０における第１の凹部１１ａの底面に、図示しないシリコーン系接着剤等の接着剤により接着されている。
【００５３】
それによって、センサ素子２０および台座３０は、ケース１０に取り付け固定された形で設けられている。ここで、台座３０には、第２の凹部１１ｂと連通する貫通孔３１が形成されている。
【００５４】
つまり、第２の凹部１１ｂは台座３０の貫通孔３１まで通じているが、その先はセンサ素子２０により遮断されており、このセンサ素子２０を境として、第１の圧力検出室としての第１の凹部１１ａと、第２の圧力検出室としての第２の凹部１１ｂとは、遮断された形となっている。
【００５５】
また、ケース１０に設けられた配線部材としてのターミナル１０ａは、センサ素子２０からの信号を取り出すためのものである。この本例では、図１に示されるように、ターミナル１０ａは銅等の導電性金属よりなる棒状部材であり、たとえば、ケース１０にインサート成形されることで固定されている。
【００５６】
ターミナル１０ａの一端側はセンサ素子２０の近傍において第１の凹部１１ａ内に露出しており、センサ素子２０とアルミや金などからなるワイヤ４０により結線され電気的に接続されている。このワイヤ４０は、たとえば通常のワイヤボンディング法などにより形成できるものである。
【００５７】
ここで、第１の凹部１１ａ内に露出しているターミナル１０ａの一端部の周囲には、ターミナル１０ａとケース１０との隙間をシールするためのシール材５０が設けられている。このシール材５０は、たとえば、シリコーン系樹脂やエポキシ系樹脂等の樹脂などからなるものである。
【００５８】
そして、ターミナル１０ａは、センサ素子２０からケース１０におけるセンサ素子２０の搭載面すなわち第１の凹部１１ａの底面と平行な方向に延びるように配置されている。そして、ターミナル１０ａのうちワイヤ４０との接続部とは反対側の端部が、ケース１０の開口部１０ｂから外部に露出している。
【００５９】
そして、このターミナル１０ａの露出端部は、ケース１０の開口部１０ｂとともに、図示しない外部配線部材に接続可能となっており、それによって、センサ素子２０は、ワイヤ４０、ターミナル１０ａを介して外部回路（たとえば、車両のＥＣＵ等）に対して信号のやり取りが可能となっている。
【００６０】
つまり、ケース１０の開口部１０ｂの部分は、そこに露出するターミナル１０ａとともに、外部との接続を行うためのコネクタ部として構成されている。このように、ケース１０は、センシング部であるセンサ素子２０が設置されるセンシング部設置部として機能するとともに、コネクタケースとしても機能するものである。
【００６１】
また、図１に示されるように、外部から圧力を導入するための圧力ポート１２、１３が、ケース１０に組み付けられている。第１の圧力ポート１２は、ケース１０の一面側すなわち第１の凹部１１ａ側（第１のダイアフラム８１側）に組み付けられ、第２の圧力ポート１３は、ケース１０の他面側すなわち第２の凹部１１ｂ側（第２のダイアフラム８２側）に組み付けられている。
【００６２】
これら圧力ポート１２、１３は、上記ケース１０と同様に、たとえば、ＰＢＴやＰＰＳ等の樹脂材料などを成形することにより作られる。また、第１の圧力ポート１２、第２の圧力ポート１３には、それぞれ、図１中において２点鎖線にて示す導入ポート１２ａ、１３ａが設けられている。
【００６３】
ここで、ケース１０と第１の圧力ポート１２、および、ケース１０と第２の圧力ポート１３とは、ネジ部材としてのネジ６０およびナット６１、６２を用いて接合されることで、一体に組み付けられている。
【００６４】
ナット６１はケース１０にインサート成形されたもので、ケース１０と第１および第２の圧力ポート１２、１３とをネジ６０およびナット６１によりネジ結合した後、ナット６２を用いて締結している。なお、これらネジ部材６０〜６２に代えて、リベットなどを用いてケース１０と圧力ポート１２、１３とを組み付けてもよい。
【００６５】
また、ケース１０における第１の凹部１１ａおよび第２の凹部１１ｂには、圧力媒体としてのオイル７０が充填されている。このオイル７０は、フッ素系オイルやシリコーン系オイルなどからなるものである。
【００６６】
そして、ケース１０と第１の圧力ポート１２との間には第１のダイアフラム８１が固定されており、ケース１０と第２の圧力ポート１３との間には第２のダイアフラム８２が固定されている。
【００６７】
本実施形態では、第１および第２のダイアフラム８１、８２は、ＣｒやＮｉなどの耐食性や耐熱性にすぐれた金属からなるメタルダイアフラムであり、たとえば（Ｃｒ＋３．３Ｍｏ＋２０Ｎ）で表される孔食指数が５０以上であり且つＮｉを３０重量％以上含む材料からなるものにできる。
【００６８】
図１に示されるように、第１のダイアフラム８１は、第１の凹部１１ａを覆うように配置され、第１の凹部１１ａ内のオイル７０を封止している。一方、第２のダイアフラム８２は、第２の凹部１１ｂを覆うように配置され、第２の凹部１１ｂ内のオイル７０を封止している。
【００６９】
また、ケース１０において、第１および第２のダイアフラム８１、８２が押しつけられて固定される部位には、Ｏリング９０が設けられている。このＯリング９０は、ゴムなどの通常のＯリング材料からなるものである。そして、このＯリング９０の配設により、第１および第２のダイアフラム８１、８２によるオイル７０の封止がより確実なものとなっている。
【００７０】
つまり、図１に示されるように、圧力ポート１２、１３は、ダイアフラム８１、８２を介してＯリング９０に押し当てられるようにケース１０に組み付けられている。このようにして、本実施形態では、ダイアフラム８１、８２およびＯリング９０によって圧力検出室１１が封止されている。
【００７１】
なお、図１では示されていないが、後述する図２に示されるように、各ダイアフラム８１、８２の周辺部は、Ｏリング９０を介して圧力ポート１２、１３とケース１０における凹部１１ａ、１１ｂの開口縁部との間に挟み付けられている。
【００７２】
そして、図１では示さないが、各ダイアフラム８１、８２はそれぞれ、各圧力ポート１２、１３に対して、フロロシリコーン系樹脂あるいはフッ素系樹脂等の樹脂からなる接着剤を介して接着されている。なお、この接着剤は後述する図２において、符号１００を付して示してある。
【００７３】
このように、ケース１０の一面側に設けられた第１の凹部１１ａは、第１のダイアフラム８１によって内部に圧力媒体としてのオイル７０を封止してなる第１の圧力検出室として構成され、ケース１０の他面側に設けられた第２の凹部１１ｂは、第２のダイアフラム８２によって内部に圧力媒体としてのオイル７０を封止してなる第２の圧力検出室として構成されている。
【００７４】
詳細な作動は後述するが、このような圧力検出室１１ａ、１１ｂを有する本実施形態の圧力センサＳ１においては、第１の凹部１１ａのオイル７０による圧力と第２の凹部１１ｂのオイル７０による圧力とが、センシング部としてのセンサ素子２０に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようになっている。
【００７５】
そして、本実施形態の圧力センサＳ１の独自の構成として、第１の凹部１１ａのオイル７０と第２の凹部１１ｂのオイル７０との熱伝導を確保するための熱伝導手段２００が設けられている。
【００７６】
ここで、本実施形態では、熱伝導手段２００は、ケース１０に設けられ、第１の凹部１１ａのオイル７０と第２の凹部１１ｂのオイル７０とを熱的に接続する熱伝導部材２００である。
【００７７】
この熱伝導部材２００は、ケース１０よりも熱伝導率の高い材質からなるものであれば、金属材料、セラミック材料、樹脂材料およびこれらの複合材料などからなるものであってもよい。
【００７８】
ケース１０が上述のＰＰＳやＰＢＴなどのような樹脂からなるものである場合には、熱伝導部材２００は、たとえば金属からなるものにできる。具体的には、熱伝導部材２００としては、ステンレス（ＳＵＳ）や銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）などの熱伝導性の良好な金属を採用することができる。
【００７９】
図１に示される例では、この熱伝導部材２００は、ケース１０の一面側から他面側へ貫通させた状態でケース１０に埋設されたものとなっている。このような熱伝導部材２００は、たとえば、当該熱伝導性部材２００をケース成型用の金型に設置してケース１０の成形を行うことで作られたもの、すなわち、ケース１０にインサート成形されたものとすることができる。
【００８０】
なお、このインサート成形以外にも、たとえば、熱伝導部材２００は、ケース１０に設けた貫通穴に挿入して接着などにより固定されたものとしたり、当該貫通穴に圧入されることにより固定されたものにしてもよく、熱伝導部材２００のケース１０への埋設方法は、特に限定されるものではない。
【００８１】
そして、熱伝導部材２００は、ケース１０の一面側にて第１の凹部１１ａに露出し、その露出部にて第１の凹部１１ａのオイル７０に接触するとともに、ケース１０の他面側にて第２の凹部１１ｂに露出し、その露出部にて第２の凹部１１ｂのオイル７０に接触している。これにより、熱伝導部材２００は、これら両凹部１１ａ、１１ｂのオイル７０同士を熱的に接続している。
【００８２】
また、ここで、図１に示される圧力センサＳ１では、センサ素子２０を境にして、第１のダイアフラム８１側に配置されるオイル７０の量と第２のダイアフラム８２側に配置されるオイル７０の量とが等しいものにすることが好ましい。これは、第１の凹部１１ａの容積や第２の凹部１１ｂの容積、センサ素子２０や台座３０の体積等を考慮して設計することで実現可能である。
【００８３】
［作動等］
次に、本実施形態の圧力センサＳ１の圧力検出動作について述べる。
【００８４】
図示しないが、たとえば、第１の圧力ポート１２の導入ポート１２ａが上記排気管におけるＤＰＦの上流側に対してゴムホースなどにより接続され、第２の圧力ポート１３の導入ポート１３ａが上記排気管におけるＤＰＦの下流側に対してゴムホースなどにより接続されるようになっている。
【００８５】
それにより、第１の圧力ポート１２へＤＰＦの上流側圧力（前圧）が導入され、第２の圧力ポート１３へＤＰＦの下流側圧力（後圧）が導入される。そして、各圧力ポート１２、１３に導入された上記圧力は、ダイアフラム８１、８２を介して圧力検出室１１内のセンサ素子２０に伝達される。
【００８６】
具体的には、第１の圧力ポート１２へ導入されたＤＰＦの上流側圧力（前圧）が第１のダイアフラム８１に対して印加され、第２の圧力ポート１３へ導入されたＤＰＦの下流側圧力（後圧）が第２のダイアフラム８２に対して印加される。
【００８７】
そして、第１および第２のダイアフラム８１、８２に印加された圧力がそれぞれオイル７０を介して、センシング部としてのセンサ素子２０に受圧される。そして、第１のダイアフラム８１側から受圧された圧力と第２のダイアフラム８２側から受圧された圧力との差圧をセンサ素子２０により検出する。
【００８８】
本例においては、圧力検出室１１ａ、１１ｂに設けられているセンサ素子２０は、半導体ダイアフラム式のものである。そして、このセンサ素子２０において、図示しないダイアフラムの表面には、第１の凹部１１ａ内のオイル７０から圧力が伝達されるようになっている。
【００８９】
また、第２の凹部１１ｂと連通する台座３０の貫通孔３１にも、第２の凹部１１ｂ内のオイル７０が入り込むことで充填されており、センサ素子２０において、当該図示しないダイアフラムの裏面には、第２の凹部１１ｂ内のオイル７０から圧力が伝達されるようになっている。
【００９０】
そして、図示しないセンサ素子２０のダイアフラムの表面に対して、第１のダイアフラム８１側からオイル７０を介してＤＰＦの上流側圧力が受圧され、当該ダイアフラムの裏面に対して、第２のダイアフラム８２側からオイル７０を介してＤＰＦの下流側圧力が受圧される。
【００９１】
そして、センサ素子２０の上記ダイアフラムは、その表裏両面からの圧力の差圧により歪み、この歪みに基づく信号がセンサ素子２０からワイヤ４０を介してターミナル１０ａから外部に出力される。こうして、圧力検出がなされる。
【００９２】
［製造方法等］
次に、本圧力センサＳ１の製造方法の一例について、図２も参照して述べる。図２は、図１に示される圧力センサＳ１において各部品が分解された状態を断面的に示す分解図である。
【００９３】
ターミナル１０ａ、ナット６１および上記熱伝導部材２００がインサート成形などにより保持されてなるケース１０を用意し、このケース１０において、第１の凹部１１ａ内に露出したターミナル１０ａの一端部をシール材５０によってシールする。
【００９４】
次に、台座３０と一体化されたセンサ素子２０を、ケース１０の第１の凹部１１ａに接着することにより固定し、センサ素子２０とターミナル１０ａとの間でワイヤボンディングを行いワイヤ４０による結線を行う。
【００９５】
次に、第１の圧力ポート１２に対して第１のダイアフラム８１を上記接着剤１００を用いて接着するとともに、ケース１０の第１の凹部１１ａにオイル７０を注入し、ケース１０に対してＯリング９０をセットする。
【００９６】
そして、真空中にて、ケース１０と第１の圧力ポート１２とを、ネジ６０とナット６１とをネジ結合させながら一体化することにより、オイル７０の封止を行う。ここで、オイル７０中に気泡が入らないようにネジ６０によりネジ締めを行っていく。
【００９７】
その後、第１の圧力ポート１２と同様に、第２の圧力ポート１３についても、第２のダイアフラム８２、オイル７０、Ｏリング９０を介在させながら、真空中にてケース１０に対してナット６２を用いてネジ結合する。その後、特性調整や検査を行い、こうして、図１に示す圧力センサＳ１が完成する。
【００９８】
［効果等］
ところで、本実施形態によれば、ケース１０と、ケース１０に設けられ印加される圧力に基づいて信号を出力するセンシング部としてのセンサ素子２０と、ケース１０の一面側に設けられ、第１のダイアフラム８１によって内部にオイル７０を封止してなる第１の圧力検出室１１ａと、ケース１０の他面側に設けられ、第２のダイアフラム８２によって内部にオイル７０を封止してなる第２の圧力検出室１１ｂとを備え、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０による圧力と第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０による圧力とが、センサ素子２０に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０と第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０との熱伝導を確保するための熱伝導手段２００が設けられていることを特徴とする圧力センサＳ１が提供される。
【００９９】
上述したが、この種の差圧検出型の圧力センサにおいては、使用環境において、第１の圧力検出室１１ａ側と第２の圧力検出室１１ｂ側とでオイル７０に温度差が発生する場合があり、そのような場合、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０の内圧の差により、検出誤差を招くことになる。
【０１００】
その点、本実施形態の圧力センサＳ１によれば、熱伝導手段２００によって、第１の圧力検出室１１ａである第１の凹部１１ａのオイル７０と第２の圧力検出室１１ｂである第２の凹部１１ｂのオイル７０との熱伝導が良好なものになる。
【０１０１】
そのため、本圧力センサＳ１においては、両圧力検出室１１ａ、１１ｂ間で温度環境に相違が生じたとしても、たとえば、高温側のオイル７０から熱伝導手段２００を介して低温側のオイル７０へと熱が伝達することにより、これら両側のオイル７０の温度バランスを釣り合わせる方向へ向かわせる。
【０１０２】
そのため、本圧力センサＳ１によれば、これら両圧力検出室１１ａ、１１ｂの圧力媒体としてのオイル７０間の温度差を低減することができ、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０の熱膨張の差も低減することができる。
【０１０３】
したがって、本実施形態によれば、ケース１０の一面側と他面側とにダイアフラム８１、８２によって圧力媒体７０が封止されてなる圧力検出室１１ａ、１１ｂを設け、この両圧力検出室１１ａ、１１ｂの内圧の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサＳ１において、両圧力検出室１１ａ、１１ｂ内の圧力媒体７０の温度差により生じる検出誤差を極力低減することができる。
【０１０４】
ここで、本実施形態の圧力センサＳ１においては、熱伝導手段２００は、ケース１０に設けられ、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０と第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０とを熱的に接続する熱伝導部材２００であることも特徴のひとつである。このような熱伝導部材２００により、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０の熱伝導を確保することができる。
【０１０５】
また、本実施形態の圧力センサＳ１においては、そのような熱伝導部材２００が、ケース１０よりも熱伝導率の高い材質からなるものであり、さらに、熱伝導部材２００がケース１０の一面側から他面側へ貫通させた状態でケース１０に埋設されたものであることも特徴のひとつである。
【０１０６】
さらに、本実施形態の圧力センサＳ１においては、ケース１０よりも熱伝導率の高い材質からなる熱伝導部材２００としては、ケース１０が樹脂からなるものであるとき、金属からなるものを採用できることも特徴のひとつである。
【０１０７】
また、本実施形態の圧力センサＳ１においては、そのような熱伝導部材２００は、ケース１０にインサート成形されたものにできることも特徴のひとつである。もちろん、上述したが、熱伝導部材２００のケース１０への埋設方法は、インサート成形に限定されるものではない。
【０１０８】
さらに、本実施形態の圧力センサＳ１においては、上記図１に示されるように、熱伝導部材２００は、ケース１０の一面側にて第１の圧力検出室１１ａのオイル７０に接触し、ケース１０の他面側にて第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０に接触することにより、これら両圧力検出室１１ａ、１１ｂの圧力媒体としてのオイル７０を熱的に接続していることも特徴のひとつである。
【０１０９】
それによれば、ケース１０の一面側から他面側へ貫通させた状態でケース１０に埋設された熱伝導部材２００において、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０の熱的な接続を適切に行える。
【０１１０】
つまり、本実施形態の熱伝導部材２００は、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０間の温度バランスを調整し、温度差を小さくするヒートバランサとして機能するものである。
【０１１１】
（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態に係る差圧検出型の圧力センサＳ２の概略断面構成を示す図である。
【０１１２】
本実施形態においても、上記実施形態と同様に、ケース１０と、ケース１０に設けられた上記センサ素子２０と、ケース１０の一面側に設けられ第１のダイアフラム８１によって内部にオイル７０を封止してなる第１の圧力検出室１１ａと、ケース１０の他面側に設けられ第２のダイアフラム８２によって内部にオイル７０を封止してなる第２の圧力検出室１１ｂとを備え、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０による圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０と第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０との熱伝導を確保するための熱伝導手段２００が設けられていることを特徴とする圧力センサＳ２が提供される。
【０１１３】
また、本実施形態の圧力センサＳ２においても、熱伝導手段２００は、ケース１０に設けられ両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０を熱的に接続する熱伝導部材２００であること、さらに、そのような熱伝導部材２００が、ケース１０よりも熱伝導率の高い材質からなるものであってケース１０の一面側から他面側へ貫通させた状態でケース１０に埋設されたものであることを特徴とすることも、上記第１実施形態と同様である。
【０１１４】
しかし、上記第１実施形態では、熱伝導部材２００は、ケース１０の一面側にて第１の圧力検出室１１ａのオイル７０に接触し、ケース１０の他面側にて第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０に接触するものであった。
【０１１５】
それに対して、本実施形態では、図３に示されるように、熱伝導部材２００は、Ｏリングの外側に位置しており、その位置においてケース１０の一面側から他面側へ貫通した状態でケース１０に埋設されたものとなっている。また、上記図２に示されるように、Ｏリング９０の外側では、両ダイアフラム８１、８２の周辺部が、圧力ポート１２、１３とケース１０とに挟まれた状態で存在している。
【０１１６】
そのため、本実施形態の圧力センサＳ２においては、熱伝導部材２００は、ケース１０の一面側にて第１のダイアフラム８１に接触し、ケース１０の他面側にて第２のダイアフラム８２に接触している。
【０１１７】
そして、各ダイアフラム８１、８２はそれぞれ各圧力検出室１１ａ、１１ｂ内の圧力媒体としてのオイル７０に接しているため、本実施形態においても、熱伝導部材２００を介して、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０と第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０とが熱的に接続されている。
【０１１８】
このような、本実施形態の圧力センサＳ２においても、ケース１０よりも熱伝導率の高い材質からなる熱伝導部材２００としては、ケース１０は樹脂からなるものであるとき、金属からなるものにできる。
【０１１９】
また、、本実施形態の圧力センサＳ２においても、そのような熱伝導部材２００は、ケース１０にインサート成形されたものにできるが、上記実施形態と同様に、熱伝導部材２００のケース１０への埋設方法はインサート成形に限定されない。
【０１２０】
なお、本実施形態の熱伝導部材２００は、凹部１１ａ、１１ｂを取り囲むような環状のものであってもよく、凹部１１ａ、１１ｂの周囲に部分的に不連続に配置されたものであってもよい。また、熱伝導部材２００と各ダイアフラム８１、８２とが接触可能であれば、Ｏリング９０の内側に、熱伝導部材２００が配置されていてもよい。
【０１２１】
いずれにせよ、本実施形態では、熱伝導部材２００とターミナル１０ａとが電気的に干渉しないようにすることが必要であり、そのためには、熱伝導部材２００には、ターミナル１０ａを回避する穴を設けたり、ケース１０内部においてターミナル１０ａを避けて熱伝導部材２００を設置したり、熱伝導部材２００とターミナル１０ａとを絶縁部材を介して接触させることなどが必要である。
【０１２２】
このように、本実施形態によっても、ケース１０の一面側から他面側へ貫通させた状態でケース１０に埋設された熱伝導部材２００において、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０の熱的な接続を適切に行え、熱伝導部材２００は、上記ヒートバランサとして適切に機能するものである。
【０１２３】
そして、このような特徴点を有する本実施形態の圧力センサＳ２によれば、上記実施形態と同様に、両圧力検出室１１ａ、１１ｂの圧力媒体としてのオイル７０間の熱伝導が良好なものになるため、両圧力検出室１１ａ、１１ｂ間で温度環境に相違が生じたとしても、これら両オイル７０間の温度差を低減することができ、両オイル７０の熱膨張の差も低減することができる。
【０１２４】
そのため、本実施形態によっても、ケース１０の一面側と他面側とにダイアフラム８１、８２によって圧力媒体７０が封止されてなる圧力検出室１１ａ、１１ｂを設け、この両圧力検出室１１ａ、１１ｂの内圧の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサＳ２において、両圧力検出室１１ａ、１１ｂ内の圧力媒体７０の温度差により生じる検出誤差を極力低減することができる。
【０１２５】
（第３実施形態）
図４は、本発明の第３実施形態に係る差圧検出型の圧力センサＳ３の概略断面構成を示す図である。
【０１２６】
本実施形態においても、上記実施形態と同様に、ケース１０と、ケース１０に設けられた上記センサ素子２０と、ケース１０の一面側に設けられ第１のダイアフラム８１によって内部にオイル７０を封止してなる第１の圧力検出室１１ａと、ケース１０の他面側に設けられ第２のダイアフラム８２によって内部にオイル７０を封止してなる第２の圧力検出室１１ｂとを備え、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０による圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０と第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０との熱伝導を確保するための熱伝導手段２００が設けられていることを特徴とする圧力センサＳ３が提供される。
【０１２７】
また、本実施形態の圧力センサＳ３においても、熱伝導手段２００は、ケース１０に設けられ両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０を熱的に接続する熱伝導部材２００であることを特徴とすることも、上記第１実施形態と同様である。
【０１２８】
しかし、上記第１実施形態では、熱伝導部材２００は、ケース１０とは別体のものであり、熱伝導部材２００はケース１０に埋設されたものであった。
【０１２９】
それに対して、本実施形態では、図４に示されるように、熱伝導部材２００は、熱伝導性に優れた材質からなるケース１０自体である。つまり、ケース１０そのものが自体が熱伝導手段として構成されている。
【０１３０】
熱伝導性に優れた材質からなるケース１０としては、金属、セラミック、樹脂およびそれらの複合材料などであってもよい。たとえば、金属からケース１０を構成した場合には、ターミナル１０ａに絶縁性皮膜をコーティングを施すなどにより、ケース１０とターミナル１０ａとの電気的な絶縁を確保できるようにする。
【０１３１】
このように、本実施形態では、ケース１０自体からなる熱伝導部材２００を採用することで、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０の熱的な接続を適切に行え、熱伝導部材２００は、上記ヒートバランサとして適切に機能するものである。
【０１３２】
そして、このような熱伝導部材としてのケース１０を有する本実施形態の圧力センサＳ３によれば、上記実施形態と同様に、両圧力検出室１１ａ、１１ｂの圧力媒体としてのオイル７０間の熱伝導が良好なものになるため、両圧力検出室１１ａ、１１ｂ間で温度環境に相違が生じたとしても、これら両オイル７０間の温度差を低減することができ、両オイル７０の熱膨張の差も低減することができる。
【０１３３】
そのため、本実施形態によっても、ケース１０の一面側と他面側とにダイアフラム８１、８２によって圧力媒体７０が封止されてなる圧力検出室１１ａ、１１ｂを設け、この両圧力検出室１１ａ、１１ｂの内圧の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサＳ３において、両圧力検出室１１ａ、１１ｂ内の圧力媒体７０の温度差により生じる検出誤差を極力低減することができる。
【０１３４】
（第４実施形態）
図５は、本発明の第４実施形態に係る差圧検出型の圧力センサＳ４の概略断面構成を示す図である。
【０１３５】
本実施形態においても、上記実施形態と同様に、ケース１０と、ケース１０に設けられた上記センサ素子２０と、ケース１０の一面側に設けられ第１のダイアフラム８１によって内部にオイル７０を封止してなる第１の圧力検出室１１ａと、ケース１０の他面側に設けられ第２のダイアフラム８２によって内部にオイル７０を封止してなる第２の圧力検出室１１ｂとを備え、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０による圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０と第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０との熱伝導を確保するための熱伝導手段２１０が設けられていることを特徴とする圧力センサＳ４が提供される。
【０１３６】
ここにおいて、上記各実施形態では、熱伝導手段は、ケース１０に設けられ両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０を熱的に接続する熱伝導部材２００（図１〜図４参照）であった。
【０１３７】
それに対して、本実施形態では、図５に示されるように、熱伝導手段２１０は、２つの圧力ポート１２、１３とこれらを熱的に接続するポート接続部材２２０とを組み合わせたものからなる。
【０１３８】
図５に示されるように、本圧力センサＳ４では、ケース１０の一面側には、第１のダイアフラム８１に対して圧力を導入するための第１の圧力ポート１２が、第１のダイアフラム８１に接して設けられており、ケース１０の他面側には、第２のダイアフラム８２に対して圧力を導入するための第２の圧力ポート１３が、第２のダイアフラム８２に接して設けられている。
【０１３９】
ここで、本実施形態の圧力センサＳ４においては、熱伝導手段２１０としての第１の圧力ポート１２および第２の圧力ポート１３は、ケース１０よりも熱伝導率の高い材質からなるものである。
【０１４０】
そのような圧力ポート１２、１３の材質としては、金属、セラミック、樹脂およびそれらの複合材料などであってもよい。ケース１０が上述のような樹脂からなるものである場合には、圧力ポート１２、１３は、たとえば金属からなるものにでき、より具体的には、ステンレスや銅、アルミニウムなどの金属を採用することができる。また、酸化防止などのために、さらにメッキが施されていてもよい。
【０１４１】
また、図５に示されるように、ケース１０の周囲において、第１の圧力ポート１２と第２の圧力ポート１３は、ポート接続部材２２０により接続され連結されている。この接続ポート２２０も、圧力ポート１２、１３と同様に、ケース１０よりも熱伝導率の高い材質からなるものである。
【０１４２】
たとえば、ポート接続部材２２０としては、ステンレスなどの金属を採用することができ、ポート接続部材２２０と各圧力ポート１２、１３とは、溶接や接着などにより接合されている。それにより、第１の圧力ポート１２と第２の圧力ポート１３とは、ポート接続部材２２０を介して熱的に接続されている。
【０１４３】
そして、各圧力ポート１２、１３は、各ダイアフラム８１、８２を押しつけるようにケースに組み付けられているため、第１の圧力ポート１２は、第１のダイアフラム８１を介して第１の圧力検出室１１ａ内のオイル７０に熱的に接続されている。一方、第２の圧力ポート１３は、第２のダイアフラム８２を介して第２の圧力検出室１１ｂ内のオイル７０に熱的に接続されている。
【０１４４】
こうして、本実施形態においては、第１の圧力検出室１１ａのオイル７０から、第１のダイアフラム８１、第１の圧力ポート１２、ポート接続部材２２０、第２の圧力ポート１３、第２のダイアフラム８２、そして第２の圧力検出室１１ｂのオイル７０へつながる熱的な伝達経路が形成される。
【０１４５】
つまり、本実施形態においても、第１の圧力ポート１２、第２の圧力ポート１３およびポート接続部材２２０からなる熱伝導部材２１０を介して、両圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０同士が熱的に適切に接続されている。
【０１４６】
なお、本実施形態の圧力センサＳ４において、図５に示されるように、ポート接続部材２２０にケース１０における右側端部のコネクタ部を回避する穴を設けたり、当該コネクタ部を避けてポート接続部材２２０を設置したりすることにより、当該コネクタ部とポート接続部材２２０とが干渉しないようにしている。
【０１４７】
このような本実施形態の圧力センサＳ４は、たとえば、第１の圧力ポート１２および第３の圧力ポート１３とケース１０とを組み付けた後、ポート接続部材２２０を組み付け、溶接などにより固定することで製造することができる。
【０１４８】
このように、本実施形態の圧力ポートＳ４においては、互いに熱的に接続されケース１０よりも熱伝導性に優れた材質からなる第１の圧力ポート１２、第２の圧力ポート１３およびポート接続部材２２０により、熱伝導手段２１０が構成されていることを特徴としている。
【０１４９】
それによれば、上記実施形態と同様に、両圧力検出室１１ａ、１１ｂの圧力媒体としてのオイル７０間の熱伝導が良好なものになるため、両圧力検出室１１ａ、１１ｂ間で温度環境に相違が生じたとしても、これら両オイル７０間の温度差を低減することができ、両オイル７０の熱膨張の差も低減することができる。
【０１５０】
そのため、本実施形態によっても、ケース１０の一面側と他面側とにダイアフラム８１、８２によって圧力媒体７０が封止されてなる圧力検出室１１ａ、１１ｂを設け、この両圧力検出室１１ａ、１１ｂの内圧の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサＳ４において、両圧力検出室１１ａ、１１ｂ内の圧力媒体７０の温度差により生じる検出誤差を極力低減することができる。
【０１５１】
そして、このような第１の圧力ポート１２、第２の圧力ポート１３およびポート接続部材２１０は、たとえば金属からなるものにすることができ、これらは、互いに、溶接や接着などにより接続されているものにできる。
【０１５２】
ここで、第１の圧力ポート１２、第２の圧力ポート１３およびポート接続部材２１０は、溶接により接続されることが好ましい。これは、はんだなどの接着材を介した接合方法に比べて、溶接の方が接合部の熱抵抗が小さく、接合された各部材間の熱伝導性を良好なものにできるためである。
【０１５３】
（他の実施形態）
なお、上記した各実施形態は、可能な範囲で組み合わせて用いてもよい。たとえば、ケース１０に埋設された熱伝導部材２００（図１、図３参照）を備えつつ、圧力ポート１２、１３およびポート接続部材２２０からなる熱伝導部材２１０を備える構成を採用してもよい。
【０１５４】
また、上記各図に示される圧力センサにおけるセンサ素子２０の電気的な取り出し構造やケース１０への取付構造は、本発明の圧力センサに適用できる一具体例を示したものであり、上記図示例に限定されるものではない。
【０１５５】
また、センサ素子２０を構成するセンサチップとしては、センサ信号を処理する回路部が半導体プロセスなどにより一体に形成されたもの、いわゆる集積化センサチップを採用してもよい。
【０１５６】
また、センシング部としては、第１および第２の圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０の圧力の差（差圧）が印加され、この差圧に基づいて信号を出力するものであればよく、上記した半導体ダイアフラム式のセンサ素子に限定されるものではない。
【０１５７】
また、上記実施形態では、たとえば、第１の圧力ポート１２から第１のダイアフラム８１に対して排気管におけるＤＰＦの上流側圧力が導入され、第２の圧力ポート１３から第２のダイアフラム８２に対して排気管におけるＤＰＦの下流側圧力が導入されるようになっていた。
【０１５８】
これとは反対に、上記実施形態の差圧検出型の圧力センサにおいては、第１のダイアフラム８１にＤＰＦの下流側圧力が導入され、第２のダイアフラム８２にＤＰＦの上流側圧力が導入されるようにしてもよい。
【０１５９】
また、外部から圧力を導入するための圧力ポート１１、１２の構成は、上記した図示例に限定されるものではない。
【０１６０】
また、ケース１０の厚さ、すなわちケース１０の一面と他面との距離は極力小さい方がよい。ケース１０を薄くした方が、ケース１０の一面側のオイル７０と他面側のオイル７０との温度差を小さいものにできることから、ケース１０の機械的強度を確保することの可能な範囲で極力薄くすることが好ましい。
【０１６１】
また、上記実施形態では、圧力センサにおける圧力媒体としてシリコーンオイルなどのオイル７０を用いたが、圧力媒体としては、液体、気体などに関わらず、ダイアフラム８１、８２からの圧力をセンシング部２０に適切に伝達できるものであれば、オイルに限定されるものではない。
【０１６２】
要するに、本発明は、ケースと、ケースに設けられ印加される圧力に基づいて信号を出力するセンシング部と、ケースの一面側に設けられ第１のダイアフラムによって内部に圧力媒体を封止してなる第１の圧力検出室と、ケースの他面側に設けられ第２のダイアフラムによって内部に圧力媒体を封止してなる第２の圧力検出室とを備え、第１の圧力検出室圧力媒体による圧力と第２の圧力検出室の圧力媒体による圧力とが、センシング部に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、第１の圧力検出室の圧力媒体と第２の圧力検出室の圧力媒体との熱伝導を確保するための熱伝導手段を設けたことを要部とするものであり、その他の部分については、適宜設計変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１６３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る差圧検出型の圧力センサの概略断面図である。
【図２】図１に示される圧力センサの分解図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る差圧検出型の圧力センサの概略断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る差圧検出型の圧力センサの概略断面図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係る差圧検出型の圧力センサの概略断面図である。
【図６】従来の差圧検出型の圧力センサの一般的な概略断面図である。
【符号の説明】
【０１６４】
１０…ケース、
１１ａ…第１の圧力検出室としての第１の凹部、
１１ｂ…第２の圧力検出室としての第２の凹部、
１２…第１の圧力ポート、１３…第２の圧力ポート、
２０…センシング部としてのセンサ素子、７０…圧力媒体としてのオイル、
８１…第１のダイアフラム、８２…第２のダイアフラム、
２００…熱伝導手段としての熱伝導部材、
２１０…熱伝導手段としての第１および第２の圧力ポートとポート接続部材、
２２０…ポート接続部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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