(57)【要約】【課題】メッキ液の中へ沈めた時に確実なシール状態を確保することができるメッキ治具を提供する。【解決手段】上下に貫通した開口５の開口周縁に沿って設けられた複数の給電電極７を有するベース部材３と、前記開口５の開口周縁に沿って配置され前記給電電極７と電気的に接続し合う板状に形成された被メッキ体１７の表面が載置セットされるリング状の第１シール部材９と、その第１シール部材９にセットされる前記被メッキ体１７の裏面全体を覆うカバー部材２１と、そのカバー部材２１と前記被メッキ体１７の裏面とそれぞれ接触し前記被メッキ体１７を前記第１シール部材９へ向けて押えつける被メッキ押え部材１９と、前記被メッキ押え部材１９の外周に沿って配置されたリング状の第２のシール部材２７とで構成し、複数の締結具９によりカバー部材２１とベース部材３とを第２シール部材２７を挟んで締結する。【選択図】図１
2006016649.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下に貫通した開口の開口周縁に沿って設けられた複数の給電電極を有するベース部材と、前記開口の開口周縁に沿って配置され前記給電電極と電気的に接続し合う板状に形成された被メッキ体の表面が載置セットされるリング状の第１シール部材と、その第１シール部材にセットされる前記被メッキ体の裏面全体を覆うカバー部材と、そのカバー部材と前記被メッキ体の裏面とそれぞれ接触し前記被メッキ体を前記第１シール部材へ向けて押えつける被メッキ押え部材と、前記被メッキ押え部材の外周に沿って配置されたリング状の第２のシール部材と、前記カバー部材とベース部材とを前記第２シール部材を挟んで締結する複数の締結具とから成ることを特徴とするメッキ治具。
【請求項２】
前記被メッキ押え部材は、リング状の円板と、その円板の中央部位に設けられ前記カバー部材の内壁面と接触し合う上下に伸縮調整可能な突起体と、前記円板に設けられ前記被メッキ体の裏面外周縁に沿って弾接し合うリング状の弾性部材とから成ることを特徴とする請求項１記載のメッキ治具。
【請求項３】
前記給電電極は、帯板状に形成された水平部と垂直部とで形成され、前記水平部は前記垂直部を介して入力される入力荷重に対して、弾性反力を備えた弾性体に支持される一方、前記垂直部の先端縁は前記被メッキ体と電気的に接続していることを特徴とする請求項１記載のメッキ治具。
【請求項４】
前記給電電極の垂直部先端縁は、複数の山形形状となっていることを特徴とする請求項３記載のメッキ治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウエハ等の表面にのみメッキを施すのに適するメッキ治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に半導体等を実装するウエハ等の表面には銅メッキが施されるようになっている。
【０００３】
ウエハの表面に銅メッキを施すには、メッキ液が満たされたメッキ槽内にウエハ全体を沈めることでメッキが施されるようになるが、前記した通りウエハの表面にのみメッキされるようになっている。ウエハの周縁部及び裏面の一部分にメッキが施されるようになると不良品となって廃棄処分されるため、メッキ作業にあたってウエハの表面のみ露出するようメッキ治具にセットし、メッキ治具ごとメッキ槽内へ沈める手段を採っている。
【０００４】
一般的な公知のメッキ治具の概要は、ゴム製のシールカバー内にウエハをセットすることで、その弾性力によって周縁部及び裏面側にメッキ液が侵入することがないようシールされ、表面のみ露出する構造となっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ゴム製のシールカバーは、ウエハの表面を除いて全体がカバーされるようになるが、シールカバーに対するウエハのセット管理を怠たるとメッキ液の中へ沈めた時にメッキ液が裏面へ回り込み不良品につながる問題があり、いかに歩留りをアップさせるかが課題となっている。
【０００６】
そこで、本発明は、メッキ液の中へ沈めた時に確実なシール状態を確保することができるメッキ治具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明にあっては、上下に貫通した開口の開口周縁に沿って設けられた複数の給電電極を有するベース部材と、前記開口の開口周縁に沿って配置され前記給電電極と電気的に接続し合う板状の形成された被メッキ体の表面が載置セットされるリング状の第１シール部材と、その第１シール部材にセットされる前記被メッキ体の裏面全体を覆うカバー部材と、そのカバー部材と前記被メッキ体の裏面とそれぞれ接触し前記被メッキ体を前記第１シール部材へ向けて押えつける被メッキ押え部材と、前記被メッキ押え部材の外周に沿って配置されたリング状の第２シール部材と、前記カバー部材とベース部材とを前記第２シール部材を挟んで締結する複数の締結具とから成ることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のメッキ治具によれば、被メッキ体の表面が露出する開口はリング状の第１シール部材によって確実にシールされ、開口周縁部から侵入するメッキ液を確実に阻止することができる。
【０００９】
また、カバー部材とベース部材との間はリング状の第２シール部材を挟んで締結されるため、その第２シール部材によって全周が確実にシールされ、被メッキ体の周縁部及び裏面へのメッキ液の侵入を確実に阻止することができるようになり、歩留りの向上が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
第１には、前記被メッキ押え部材を、リング状の円板と、その円板の中央部位に設けられ前記カバー部材の内壁面と接触し合う上下伸縮調整可能な突起体と、前記円板に設けられ前記被メッキ体の裏面外周縁に沿って弾接し合うリング状の弾性部材とによって、全周面にわたってほぼ均一なシール圧が作用する構造とする。
【００１１】
第２には、前記給電電極を、帯板状に形成された水平部と垂直部とで形成し、前記水平部を前記垂直部を介して入力される入力荷重に対して反発力を備えた弾性体によって支持する一方、前記垂直部の先端縁を前記被メッキ体と電気的に接続させ、弾性体による弾性反力を利用することで給電電極の先端を被メッキ体に確実に接続させる構造とする。
【００１２】
第３には、前記給電電極の垂直部先端縁を、複数の山形形状とし、その山形形状によって被メッキ体に給電電極の先端が確実に突刺さる接続状態が得られる構造とする。
【実施例１】
【００１３】
以下、図１乃至図５の図面を参照しながら本発明の実施の形態について具体的に説明する。
【００１４】
図１はメッキ治具の概要断面図、図２はメッキ治具の概要分解断面図をそれぞれ示している。
【００１５】
メッキ治具１のベース部材３は、図１において上下に貫通した開口５とその開口周縁に沿って配置され図外のメッキ槽内に設けられる陽極に対して陰極となる複数の給電電極７を有している。前記開口５の開口周縁には、その開口周縁に沿ってリング状の第１シール部材９が設けられている。
【００１６】
給電電極７は帯板状に形成された水平部１１とその水平部１１から垂直に立上がる垂直部１３とから成り、水平部１１は、上方からの荷重に対して弾性反力を備えた弾性体１５の上面に載置されている。この場合、弾性体１５は独立して設けてもよく、前記第１シール部材９と一体の一体形成であってもよい。
【００１７】
垂直部１３は、前記第１シール部材９に沿って上方へ延長され、その垂直部先端縁１３ａは図３に示すように複数の山形形状となっていて前記第１シール部材９に載置セットされるウエハ等の被メッキ体１７に対して確実に突刺さるようになっている。この場合、山形形状は２連となっているが３連又は４連であってもよい。
【００１８】
被メッキ体１７は板状に形成され前記開口５を介して表面１７ａにのみ銅メッキが施されるようになっている。被メッキ体１７の裏面１７ｂには、被メッキ押え部材１９と、さらにその被メッキ押え部材１９全体をカバーするカバー部材２１がそれぞれ設けられている。
【００１９】
被メッキ押え部材１９は、所定の板厚により面剛性を備えた円板２０と、その円板２０の中央部位に設けられたねじ式の突起体２３と、前記円板２０の裏面外周縁に沿って配置されたリング状の弾性部材２５とで形成されている。
【００２０】
リング状の弾性部材２５は前記第１シール部材９に載置セットされる被メッキ体１７の裏面１７ｂ外周縁に沿って弾接している。
【００２１】
突起体２３は、外周に雄ねじが設けられたスクリュウねじとなっていて円板２０の中央に設けられた雌ねじ孔に螺合し、左又は右回転させることで、円板２０の上面から上方へ突出する突出量の調整が可能となっている。したがって、突起体２３の先端頭部がカバー部材２１の内壁面と突当ることで上方からの荷重Ｗは、前記突起体２３が中央部位に位置するという条件と相俟って、前記円板２０を介して弾性部材２５にほぼ均一に伝達されるようになっている。これにより、被メッキ体７の外周縁は図１下向きに均等に押えつけられる作用が働き全周面にわたって前記第１シール部材９による均一なシール圧が確保されるようになっている。
【００２２】
カバー部材２１は、丸い板状に形成され、リング状の第２シール部材２７を挟んで前記ベース部材３と締結可能となっている。カバー部材２１の内側外周縁には、第２シール部材セット溝２８が全周にわたって設けられると共にその外側に締結用の締結孔３０が所定の間隔で７つ設けられている。
【００２３】
第２シール部材２７は、前記被メッキ押え部材１９の外周に沿ってリング状に配置されベース部材３とカバー部材２１との間を全周にわたってシールするようになっている。
【００２４】
カバー部材２１とベース部材３を締結する締結具２９は、ボルトタイプとなっていて、前記カバー部材２１の締結孔３０から挿入され、先端部は前記ベース部材３のねじ孔３ａと螺合し合う形状となっている。この場合、締結具２９はベース部材３から立上がると共に締結孔３０を貫通した後、ナットが螺合されるセットボルトタイプであってもよい。
【００２５】
したがって、締結具２９を取外すことでベース部材３に対する被メッキ押え部材１９及びカバー部材２１の取外しが可能となり、被メッキ体１７のセットが可能となる。
【００２６】
このように構成されたメッキ治具１によれば、ウエハ等の被メッキ体１７を図１に示すようにセットした後、締結具２９を締付けることで、前記第２シール部材２７を挟んでカバー部材２１とベース部材３との締結状態が確保され、全周にわたって確実なシール状態が得られる。
【００２７】
この締結時において、カバー部材２１からの荷重Ｗは突起体２３に伝達される。この時、締結具２９による締結力が場所によって異なっても、中央部位の突起体２３により円板２０を介して弾性部材２５にほぼ均等に伝達され、被メッキ体１７を押圧する。押圧された被メッキ体１７は、図４の鎖線から実線に示すように第１シール部材９及び弾性体１５の弾性反力に抗して給電電極７の垂直部先端縁１３ａを下方へ押圧する。この押圧により蓄積された弾性反力によって第１シール部材９は被メッキ体１７と確実に密着し合い全周にわたって確実なシール状態が得られる。
【００２８】
同時に給電電極７は、弾性体１５の弾性反力によって山形状の垂直部先端線１３ａは前記被メッキ体１７に突刺さり確実な接続状態が得られるようになる。
【００２９】
したがって、被メッキ体１７がセットされたメッキ治具１のベース部材３を図外のメッキ槽内へ縦に並べてセットすることで、被メッキ体１７の表面のみ銅メッキが確実に得られるようになり、歩留りの向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明にかかるメッキ治具の概要断面図。
【図２】メッキ治具の概要分解断面図。
【図３】給電電極の概要斜視図。
【図４】給電電極の垂直部先端縁と被メッキ体の接続状態を示す説明図。
【図５】ベース部材とそのベース部材から取外したカバー部材を裏から見た概要平面図。
【符号の説明】
【００３１】
３…ベース部材
５…開口
７…給電電極
９…第１シール部材
１１…水平部
１３…垂直部
１３ａ…垂直部先端縁
１５…弾性体
１７…被メッキ体
１９…被メッキ押え部材
２０…円板
２１…カバー部材
２３…突起体
２５…弾性部材
２７…第２シール部材
２９…締結具
【図１】
2006016649.tif 000003
【図２】
2006016649.tif 000004
【図３】
2006016649.tif 000005
【図４】
2006016649.tif 000006
【図５】
2006016649.tif 000007