(57)【要約】【課題】圧電素子を用いても、駆動ロスの大きい拡大機構を使用せずに、十分なストロークと、高剛性を両立させ、且つ、圧電素子の本来の最小駆動量よりもさらに微小な最小駆動量を任意に設定でき、更に、一方向に長い形状の為に、鏡筒内に配置しやすく、レンズ駆動機構の省スペース化を計れることを特徴とする多段式箱型アクチュエータを提案する。【解決手段】  中央に第一の圧電素子を配する為の凹部を有し、該凹部の側部の両側に前記凹部とは逆方向に開口を有する第二の圧電素子を配する為の第二の凹部をそれぞれ設けた構造の箱型フレームを特徴とする多段式箱型アクチュエータ。【選択図】        図１
2006304480.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央に第一の圧電素子を配する為の凹部を有し、該凹部の側部の両側に前記凹部とは逆方向に開口を有する第二の圧電素子を配する為の第二の凹部をそれぞれ設けた構造の箱型フレームを特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載の第二の圧電素子を配する為の台座に、第二の圧電素子を配し、その第二の圧電素子を請求項１記載の箱型フレームの両側の逆向きに開口している凹部に配するように、箱型フレームを配し、請求項１記載の箱型フレームの中央の凹部に第一の圧電素子を配し、これを一段目とし、次に、請求項１記載の箱型フレームと類似形状の構造体である第二の箱型フレームの凹部に請求項１記載の箱型フレームを配し、該第二の箱型フレームの中央の凹部に、第三の圧電素子を配し、三段の圧電素子と二段の箱型フレームとなるように多段式に配置することを特徴とする請求項１記載の多段式箱型アクチュエータ。
【請求項３】
請求項２記載の構造を配置したレンズ駆動ユニットにおいて、可動部の固有値が数百Ｈｚ以上になる様な剛性を持つことを特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１記載の圧電素子の内、台座の上に配する第二の圧電素子の片方のみを最小駆動量だけ伸長させると、その第二の圧電素子と第一の圧電素子との間隔、第一の圧電素子と同台座の反対側の第二の圧電素子との間隔が等しい場合、第一の圧電素子の先端では、最小駆動量の半分の駆動量が得られる構造を特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項５】
請求項２記載の台座の上に配する第二の圧電素子と第一の圧電素子との間隔、第一の圧電素子と同台座の反対側の第二の圧電素子との間隔を変更することにより、アクチュエータ全体の最小駆動量を、圧電素子単体の最小駆動量より、微小な最小駆動量に任意に設定でき、造を特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項６】
請求項２または４記載の段数を増やすことにより、更に、アクチュエータ全体の最小駆動量を、圧電素子単体の最小駆動量より、高最小駆動量に任意に設定できる構造を特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１記載の多段式箱型アクチュエータにおいて、箱型フレーム内に配している圧電素子にかかる曲げモーメントや、線弾力を軽減させる為に、アクチュエータ（圧電素子）と箱型フレームの間に、剪断力や曲げモーメントを低減させる保護機能を持たせた結合子を設けている構造を特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項８】
請求項１記載の多段式箱型アクチュエータにおいて、箱型フレーム内に配している圧電素子にかかる曲げモーメントや、線弾力を軽減させる為に、圧電素子の伸縮方向に弱く、それと直角方向には強いような、ガイド機構を配したことを特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項９】
請求項７と似た様な形状で、箱型フレームの凹部に配した圧電素子を覆い、凹部内の湿度を保つ為の防水機能を持たせた蓋を配したことを特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項２記載の様に箱型フレームを多段に配することにより、一方向に長い形状を有し、これにより、方向により剛性が異なり、原版に描写されたパターンを基板上に転写する露光装置の露光光学系の光学性能を補正する為に光学素子を光軸方向に駆動する為の、レンズの並進方向と光軸回りの剛性が強く、半径回りと接線軸回りの剛性が弱いことを特徴とするレンズ駆動系と同等な機構を有していることを特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項９記載の半径方向の剛性をより弱くする為に、請求項２記載の台座に、短手方向の変形を容易にするヒンジ機構を有することを特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項２記載の構造を上下逆にした構造を特徴とする多段式箱型アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置のレンズ駆動機構に係わる多段式箱型アクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ等の固体素子の集積度および動作速度を向上させるため、回路パターンの微細化が進んでいる。現在これらのパターン形成には、量産性と解像性能に優れた縮小投影露光法による半導体露光装置が広く用いられている。この方法は転写パターンが描画された原版であるマスク上の回路パターンを投影レンズを介して一括して被露光基板上であるシリコンウエハに転写するものである。また、数多くの異なる種類のパターンを有する原版（マスク）を基板（シリコンウエハ）に転写する。高集積度の回路を作成するためには、解像性能だけでなく重ね合せ精度の向上が不可欠である。
【０００３】
半導体露光装置における重ね合せ誤差はアライメント誤差、像歪み、および倍率誤差に分類される。アライメント誤差は、原版（マスク）と基板（ウエハ）との相対位置調整によって軽減される。一方、倍率誤差は、投影光学系の一部を光軸方向に移動させることによって調整可能である。光軸方向に移動させる際には、移動方向以外の他成分、とりわけ平行偏心、および傾き誤差が大きくならないようにしなければならない。
【０００４】
上記のような重ね合わせ誤差が生じた場合、半導体露光装置の投影倍率調整としてレンズ移動装置が用いられ、レンズ位置を光軸方向に移動させることで重ね合わせ誤差を補正する。レンズ位置を変位センサによって計測しているが、温度変動などによって出力値が変動（ドリフト）する可能性がある。このことは、倍率、収差等の誤差を生じる結果につながるため、相対的な基準位置補正を行うことが望ましい。そのため、原点位置を設け、その位置を基準ととして用いることでレンズ位置調整を行う。
【０００５】
レンズ駆動装置の可動部として、圧電素子と弾性ヒンジと剛体リンクからなる拡大機構により、圧電素子本来のストロークよりも、長大なストロークを有するレンズ駆動機構が知られている。
【０００６】
また、一般的な機械装置の駆動機構として圧電素子を用いたアクチュエータについて、以下のような技術が開示されている。
【０００７】
例えば、特許文献１には、自動車のエンジンマウントのアクティブ防振装置に関して、外乱振動を打ち消す為の加振機構が開示されている。
【０００８】
特許文献１には、大きな外乱振動に対してそれ以上の振動を発生させる為に圧電素子を直列に配置し、必要な振動を発生させる拡幅機構が開示されている。
【特許文献１】特開平４−２０３６２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述の公知技術では、以下のような問題があった。
【００１０】
特許文献１において、開示された駆動機構では、アクチュエータを直列に配する為に「折曲した金具」を使用しているが、このＳ字形状では、外部からの負荷により金具が曲げられ、更に、それ以上の問題として、金具の姿勢を保持する機構が無い為に、金具自体が回転する様に動く為に剛性値がかなり低くなる。
【００１１】
また、アクチュエータを圧電素子として考えると曲げモーメントや剪断力に弱い圧電素子に曲げモーメントを負荷してしまうこの機構は、問題である。
【００１２】
圧電素子に不要なモーメントを負荷することにより、最悪、圧電素子の破損の原因になりかねない。
【００１３】
特許文献１において、同Ｓ字形状の金具自体の姿勢を保持する機構が無い為に、圧電素子が駆動した場合でも、金具自体が回転するように振舞うので、ストロークを吸収してしまい、駆動ロスを招く結果となる。
【００１４】
特許文献１において、開示された駆動機構では、圧電素子を直列に配置したことにより、ストロークが増加し、且つ、複数のアクチュエータで構成されているので、最小駆動量の微小化が可能な様に見えるが、上述した様に同Ｓ字形状の金具自体の姿勢を保持する機構が無い為に、ストロークを吸収してしまい、最小駆動量の微小化は出来ない結果となる。
【００１５】
本出願に係る発明の目的は、圧電素子を用いても、駆動ロスの大きい拡大機構を使用せずに、十分なストロークと、高剛性を両立させ、且つ、圧電素子の本来の最小駆動量よりもさらに微小な最小駆動量を任意に設定でき、更に、一方向に長い形状の為に、鏡筒内に配置しやすく、レンズ駆動機構の省スペース化を計れることを特徴とする多段式箱型アクチュエータを提案することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するため、本出願に係る第１の発明は、中央に第一の圧電素子を配する為の凹部を有し、該凹部の側部の両側に前記凹部とは逆方向に開口を有する第二の圧電素子を配する為の第二の凹部をそれぞれ設けた構造の箱型フレームを特徴とする。
【００１７】
上記目的を達成するため、本出願に係る第２の発明は、請求項１記載の第二の圧電素子を配する為の台座に、第二の圧電素子を配し、その第二の圧電素子を請求項１記載の箱型フレームの両側の逆向きに開口している凹部に配するように、箱型フレームを配し、請求項１記載の箱型フレームの中央の凹部に第一の圧電素子を配し、これを一段目とし、次に、請求項１記載の箱型フレームと類似形状の構造体である第二の箱型フレームの凹部に請求項１記載の箱型フレームを配し、該第二の箱型フレームの中央の凹部に、第三の圧電素子を配し、三段の圧電素子と二段の箱型フレームとなるように多段式に配置することを特徴とする。
【００１８】
上記目的を達成するため、本出願に係る第３の発明は、請求項２記載の構造を配置したレンズ駆動ユニットにおいて、可動部の固有値が数百Ｈｚ以上になる様な剛性を持つことを特徴とする。
【００１９】
上記目的を達成するため、本出願に係る第４の発明は、請求項１記載の圧電素子の内、台座の上に配する第二の圧電素子の片方のみを最小駆動量だけ伸長させると、その第二の圧電素子と第一の圧電素子との間隔、第一の圧電素子と同台座の反対側の第二の圧電素子との間隔が等しい場合、第一の圧電素子の先端では、最小駆動量の半分の駆動量が得られる構造を特徴とする。
【００２０】
上記目的を達成するため、本出願に係る第５の発明は、請求項２記載の台座の上に配する第二の圧電素子と第一の圧電素子との間隔、第一の圧電素子と同台座の反対側の第二の圧電素子との間隔を変更することにより、アクチュエータ全体の最小駆動量を、圧電素子単体の最小駆動量より、微小な最小駆動量に任意に設定できる構造を特徴とする。
【００２１】
上記目的を達成するため、本出願に係る第６の発明は、請求項２または４記載の段数を増やすことにより、更に、アクチュエータ全体の最小駆動量を、圧電素子単体の最小駆動量より、高最小駆動量に任意に設定できる構造を特徴とする。
【００２２】
上記目的を達成するため、本出願に係る第７の発明は、請求項１記載の多段式箱型アクチュエータにおいて、剪断力や、曲げモーメントに弱いアクチュエータ（圧電素子）と箱型フレームの間に、剪断力や曲げモーメントを低減させる保護機能を持たせた結合子を設けている構造を特徴とする。
【００２３】
上記目的を達成するため、本出願に係る第８の発明は、請求項１記載の多段式箱型アクチュエータにおいて、箱型フレーム内に配している圧電素子にかかる曲げモーメントや、線弾力を軽減させる為に、箱型フレームの凹部に配した圧電素子を覆うように、圧電素子の伸縮方向に弱く、それと直角方向には強いような、板ばねもしくは、ベローズ等を配したことを特徴とする。
【００２４】
上記目的を達成するため、本出願に係る第９の発明は、請求項７と似た様な形状で、箱型フレームの凹部に配した圧電素子を覆い、凹部内の湿度を保つ為の防水機能を持たせた蓋を配したことを特徴とする。
【００２５】
上記目的を達成するため、本出願に係る第１０の発明は、請求項２記載の様に箱型フレームを多段に配することにより、一方向に長い形状を有し、これにより、方向により剛性が異なり（短手方向よりも、長手方向の剛性が高い）、原版に描写されたパターンを基板上に転写する露光装置の露光光学系の光学性能を補正する為に光学素子を光軸方向に駆動する為の、レンズの並進方向と光軸回りの剛性が強く、半径回りと接線軸回りの剛性が弱いことを特徴とするレンズ駆動系と同等な機構を有していることを特徴とする。
【００２６】
上記目的を達成するため、本出願に係る第１１の発明は、請求項３記載の半径方向の剛性をより弱くする為に、請求項２記載の台座に、短手方向の変形を容易にするヒンジ機構を有することを特徴とする。
【００２７】
上記目的を達成するため、本出願に係る第１２の発明は、請求項２記載の構造を上下逆にした構造を特徴とする。
【発明の効果】
【００２８】
本出願に係わる発明によれば、高剛性な箱型フレームを採用し、圧電素子を多段に結合し、且つ、箱型フレームの姿勢を保持できる様に、圧電素子で並列に支持することにより、駆動機構全体として高剛性かつ、高い固有値（数百Ｈｚ以上）を得ることができる。
【００２９】
また、拡大機構を使用しないために、拡大したことに因る低剛性に因る低い固有値や、拡大機構によるストロークのロスを避けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下本発明を実施するための最良の形態を、実施例により詳しく説明する。
【実施例】
【００３１】
（第１の実施例）
本発明を適用したレンズ駆動ユニットを使用した半導体露光装置を図１、図２に基づいて説明する。
【００３２】
図１は本発明を適用した半導体露光装置の投影光学系ユニットの一部である。図１において、１０１は本実施例の半導体露光装置における投影光学系を含む鏡筒、１０２は鏡筒１０１を支持する本体定盤、１０３は表面に感光剤を塗布してあるウエハ、１０４はウエハ１０３を支持するウエハステージ、１０５はウエハ１０３に転写するパターンを描写したレチクル（原版）、１０６はレチクル１０５を保持するレチクルステージ、１０７はレチクル１０５に露光光で照明する照明系光学ユニットの一部、１０８は本体定盤１０２上に位置し、レチクルステージ１０６を保持する外筒、１０９は投影光学系の一部となる、駆動するレンズ駆動ユニットである。照明系光学ユニット１０７によりレチクル１０５を露光し、投影光学系レンズ（鏡筒１０１の内部）を介してウエハ１０３にレチクル１０５のパターンを転写する。
【００３３】
図２は本発明を適用したレンズ駆動ユニットである。図２において、２０１は投影光学系の一部であるレンズ、２０２はレンズを保持し、かつ上下に移動する可動部、２０３は本発明の多段式箱型アクチュエータ、２０４は可動部２０２の基準となる固定部である。
【００３４】
本発明の多段式箱型アクチュエータ２０３の形状が一方向に長い為に、固定部２０４の様に幅の狭い個所に配しやすく、また、可動部に対して接近しやすい形状になっている。
【００３５】
図３、図４は本発明の特徴を最もよく表す図面であり、図３は、前記図２の本発明の多段式箱型アクチュエータ２０３の概観図である。また、図４は、図３の多段式箱型アクチュエータの断面図である。図３、図４ともに、３段の場合の他段式アクチュエータを示す。４０１ａ、４０１ｂは、前記図２の２０４固定部に設置する為の台座、４０２ａ、４０２ｂは、台座４０１ａに、４０２ｃ、４０２ｄは、台座４０１ｂに配する１段目の圧電素子、４０３ａは、圧電素子４０２ａ、４０２ｂに支持される１段目の箱型フレーム、同様に４０３ｂは、圧電素子４０２ｃ、４０２ｄに支持される１段目の箱型フレーム、４０４ａは、箱型フレーム４０３ａに配する２段目の圧電素子、同様に、４０４ｂは、箱型フレーム４０３ｂに配する２段目の圧電素子、４０５は、圧電素子４０４ａと、圧電素子４０４ｂに支持される箱型フレーム、４０６は、箱型フレーム４０５に配する３段目の圧電素子、４０７は、圧電素子４０６と前記図２の可動部２０２を固定する結合部材である。
【００３６】
ここで、特許文献１と本発明の構造を比較してみる。
【００３７】
特許文献１は、本文献図５（ａ）の様な機構になっている。これは、上の圧電素子９２、下の圧電素子９２、上下の圧電素子を結合する金具９３で構成されている。上下一対一の場合は、圧電素子同士の中心で支持していないと、金具９３の姿勢を保持できずに、図５（ａ）の鎖線の様に回転し、且つ、圧電素子９２に曲げモーメントを負荷させることになる。
【００３８】
これに対し、本発明では、多段式箱型アクチュエータの最小単位（請求項１）の機構図を示している図５（ｂ）の様に、圧電素子を結合する箱型フレーム４０３ａを、圧電素子４０２ａと４０２ｂで支持している為に、箱型フレームの姿勢を保持でき、且つ、それぞれの圧電素子に、曲げモーメントを負荷させない。また、図５（ｃ）は、多段式箱型アクチュエータの全体の機構図である。
【００３９】
図５（ｃ）で示す様に、２点鎖線で囲まれた箇所が、図５（ｂ）で示す最小単位の機構図であるが、これを一つのアクチュエータと見なすと、図５（ｃ）は、図５（ｄ）の様に置き換えることができる。これは、図５（ｂ）と同等であり、つまり、全体においてもバランスが良い機構である事がわかる。
【００４０】
次に、多段式箱型アクチュエータ２０３の動作について説明する。
【００４１】
上記の構成において、図２の固定部２０４に配された、多段式箱型アクチュエータ２０３の１段目の圧電素子４０２ａ、４０２ｂ、４０２ｃ、４０２ｄが、ｓ１伸張し、２段目の圧電素子４０４ａ、４０４ｂが、ｓ２伸張し、３段目の圧電素子４０６が、ｓ３伸張し、多段式箱型アクチュエータ全体で、Ｓ（＝ｓ１＋ｓ２＋ｓ３）伸張する。
【００４２】
これにより、全多段式箱型アクチュエータが、伸張すると、レンズ２０１と可動部２０２が、光軸方向にストロークＳだけ伸長することができる。
【００４３】
この３段の場合、同じサイズの圧電素子を使用したとすると圧電素子一個分の高さで、３倍のストロークが得られることになる。
【００４４】
また、一箇所の多段式箱型アクチュエータが伸張すると、レンズ２０１と可動部２０２が、多段式箱型アクチュエータの支持部直径をＤとすると、
2006304480.tif 000003
だけ傾くことができる。
【００４５】
次に、多段式箱型アクチュエータの最小駆動量について説明する。
【００４６】
図６（ａ），（ｂ）は、図３の機構図で一段目のみを表したものである。
【００４７】
各圧電素子の最小駆動量をΔｓとし、圧電素子４０２ａのみΔｓだけ駆動させると、圧電素子４０２ｂと箱型フレーム４０３ａの接続部を支点として、箱型フレームが傾く。
【００４８】
また、圧電素子４０４ａと圧電素子４０２ａ、圧電素子４０４ａと圧電素子４０２ｂの間隔が等しい場合、圧電素子４０４ａでの最小駆動量が
2006304480.tif 000004
になる。さらに、図５（ｃ）は、図３の全体を表した機構である。
【００４９】
圧電素子４０２ａのみをΔｓだけ駆動させると圧電素子４０４ａでの最小駆動量が
2006304480.tif 000005
となり、さらに最終出力端の結合部材での最小駆動量は、
2006304480.tif 000006
になる。
【００５０】
（第２の実施例）
第１の実施例において、最小駆動量の説明をした。
【００５１】
次に、圧電素子の間隔を変更することにより、最小駆動量の設定が可能であることを示す。
【００５２】
この第２の実施例では、最終出力端を
2006304480.tif 000007
にする場合について説明する。
【００５３】
図７（ａ），（ｂ）は、図５（ａ）の圧電素子４０４ａを「圧電素子４０４ａと圧電素子４０２ｂ」、「圧電素子４０４ａと圧電素子４０２ａ」の間隔が、１：４になる様に配置した機構図である。
【００５４】
第２の実施例と同様に、圧電素子４０２ａのみΔｓだけ駆動させると、圧電素子４０４ａでの最小駆動量が
2006304480.tif 000008
になる。
【００５５】
さらに、図６（ｃ）は、全体を表した機構である。
【００５６】
第３の実施例と同様に、圧電素子４０２ａのみをΔｓだけ駆動させると圧電素子４０４ａでの最小駆動量が
2006304480.tif 000009
となり、さらに最終出力端の結合部材での最小駆動量は、
2006304480.tif 000010
となる。
【００５７】
「圧電素子４０４ａと圧電素子４０２ｂ」、「圧電素子４０４ａと圧電素子４０２ａ」の間隔の比率を任意に設定すること、また、段数を増やすことにより、最小駆動量を任意に設定できる。
【００５８】
（第３の実施例）
図８は、圧電素子自体の駆動や、可動部の質量が原因に因る多段式箱型アクチュエータ内の圧電素子にかかる剪断力や、曲げモーメントを更に減らす為の躱し機構を組込んだ機構で、具体的な一例として、圧電素子と箱型フレームの間に、弾性ヒンジを設けた機構を示す。
【００５９】
また、圧電素子の両端に弾性ヒンジを設ける場合は、更に、箱型フレームを鉛直方向に駆動させる為のためのガイドを設ける必要がある。
【００６０】
但し、この弾性ヒンジは、駆動ロスの原因にもなるので、極力、設けないほうが良い。
【００６１】
これを解決する為には、（１）可動部の質量に因る負荷を圧電素子にかけないように、可動部の質量を軽減する、また、同様に（２）圧電素子に負荷をかけないように、多段式箱型アクチュエータの最終端で必要な駆動量に対して、各圧電素子の駆動量を適切にし、各箱型フレームを極端に傾けない様にする、更に、（１），（２）を考慮した上で、（３）圧電素子自体を剪断力や曲げモーメントに耐えられる構造とすることが挙げられる。
【００６２】
（第４の実施例）
図９は、第３の実施例と同じ目的で、圧電素子にかかる剪断力や、曲げモーメントを減らす為の保護機構を組込んだ機構を示す。
【００６３】
箱型フレームの凹部に配した圧電素子を覆うように、圧電素子の伸縮方向に弱く、それと直角方向には強いような、板ばねもしくは、ベローズ等を設けることにより、箱型フレーム内に配している圧電素子にかかる曲げモーメントや、剪断力を軽減させる。
【００６４】
更に、第３の実施例と併用することも考えられる。
【００６５】
（第５の実施例）
図９と似た様な形状で、箱型フレームの凹部に配した圧電素子を覆うことにより、凹部を密閉し、凹部内の湿度を保つ為の防水機能を持たせる。
【００６６】
更に、第４の実施例と併用することも考えられる。
【００６７】
（第６の実施例）
図１０は、箱型フレーム４０４ａ、４０４ｂ、４０５の剛性をより高くする為に、両端にも壁を設け強化した多段式箱型アクチュエータである。
【００６８】
（第７の実施例）
図２のレンズ駆動ユニットにおいて駆動機構の剛性は、６自由度のうち、３軸の並進、光軸回りは硬く、半径回りと接線回り弱いことが理想である。元々本発明は、構造上、接線周りの回転が弱いが、更に、弱くする為に、図１１の様に、多段式箱型アクチュエータの下位の部品である台座４０１ａ、４０１ｂに、多段式箱型アクチュエータの短手方向の変位を容易にする為に弾性ヒンジを設けた機構である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第１の実施例における半導体露光装置の投影光学系ユニットを説明する全体図
【図２】本発明の第１の実施例におけるレンズ駆動ユニットを説明する全体図
【図３】本発明の第１の実施例における多段式箱型アクチュエータを説明する外観図
【図４】本発明の第１の実施例における多段式箱型アクチュエータを説明する断面図
【図５】本発明の第１の実施例における多段式箱型アクチュエータの最小駆動量を説明する動作説明図
【図６】本発明の第１の実施例における多段式箱型アクチュエータの最小駆動量を説明する動作説明図
【図７】本発明の第２の実施例における多段式箱型アクチュエータの最小駆動量が圧電素子の配置間隔を任意に変更することにより、設定可能であることを説明する動作説明図
【図８】本発明の第３の実施例における多段式箱型アクチュエータの圧電素子にかかる剪断力や曲げモーメントを躱す為に組込んだ機構を説明する為の機構図
【図９】本発明の第４、５の実施例における多段式箱型アクチュエータの圧電素子にかかる剪断力や曲げモーメントから保護する為と、防水の為に組込んだ機構を説明する為の機構図
【図１０】本発明の第５の実施例における箱型フレームを強化した多段式箱型アクチュエータの外観図
【図１１】本発明の第３の実施例における多段式箱型アクチュエータの短手方向の剛性を低くする為に弾性ヒンジを設けた台座を説明する為の外観図
【符号の説明】
【００７０】
１０１  鏡筒
１０２  本体定盤
１０３  ウエハ
１０４  ウエハステージ
１０５  レチクル（原版）
１０６  レチクルステージ
１０７  照明系光学ユニットの一部
１０８  外筒
１０９  レンズ駆動ユニット
２０１  レンズ
２０２  可動部
２０３  多段式箱型アクチュエータ
２０４  固定部
４０１ａ  台座
４０１ｂ  台座
４０２ａ  １段目の圧電素子ａ
４０２ｂ  １段目の圧電素子ｂ
４０２ｃ  １段目の圧電素子ｃ
４０２ｄ  １段目の圧電素子ｄ
４０３ａ  １段目の箱型フレームａ
４０３’ａ  １段目の両端の閉じた箱型フレームａ
４０３ｂ  １段目の箱型フレームｂ
４０４ａ  ２段目の圧電素子ａ
４０４ｂ  ２段目の圧電素子ｂ
４０５  ２段目の箱型フレーム
４０６  ３段目の圧電素子
４０７  結合部材
４０２．４ａ  １段目の圧電素子ａのベローズ
４０２．４ｂ  １段目の圧電素子ｂのベローズ
４０４．４ａ  ２段目の圧電素子ａのベローズ
４０６．４  ３段目の圧電素子のベローズ
４０２．５ａ  １段目の圧電素子ａの躱し機構
４０２．５ｂ  １段目の圧電素子ｂの躱し機構
４０４．５ａ  ２段目の圧電素子ａの躱し機構
４０６．５  ３段目の圧電素子の躱し機構
【図１】
2006304480.tif 000011
【図２】
2006304480.tif 000012
【図４】
2006304480.tif 000013
【図５】
2006304480.tif 000014
【図６】
2006304480.tif 000015
【図７】
2006304480.tif 000016
【図８】
2006304480.tif 000017
【図９】
2006304480.tif 000018
【図３】
2006304480.tif 000019
【図１０】
2006304480.tif 000020
【図１１】
2006304480.tif 000021