(57)【要約】【課題】  被検レンズのばらつきや検査用チャート自身の外乱等の影響を受けることなく、目的とする像高で被検レンズの性能検査を短時間で実行できるようにすること。【解決手段】  被検レンズの性能検査用の検査パターンＰと、被検レンズを含むレンズ性能検査用の光学系と、該光学系を介して被検レンズにより結像された検査パターンＰの像を撮像する撮像手段と、該撮像手段からの出力信号である検査パターンＰの像に対応する光強度分布信号に基づいて演算処理を行う演算処理部とを有するレンズ性能検査装置における検査パターンＰを備えた検査用チャート１２において、検査パターンＰの周辺に位置ずれ検出用スポットＳを複数配置したことを特徴とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検レンズの性能検査用の検査パターンと、
前記被検レンズを含むレンズ性能検査用の光学系と、
該光学系を介して被検レンズにより結像された前記検査パターンの像を撮像する撮像手段と、
該撮像手段からの出力信号である前記検査パターンの像に対応する光強度分布信号に基づいて演算処理を行う演算処理部とを有するレンズ性能検査装置における前記検査パターンを備えた検査用チャートにおいて、
前記検査パターンの周辺に位置ずれ検出用スポットを複数配置したことを特徴とする検査用チャート。
【請求項２】
請求項１に記載の検査用チャートを用いたレンズ性能検査装置であって、
前記検査用チャートに光を照射する光照射部を備え、
該光照射部が、前記検査パターンと前記位置ずれ検出用スポットとのいずれかに選択的に光を点灯または消灯することを特徴とするレンズ性能検査装置。
【請求項３】
前記光照射部が、前記検査パターンを中心として前記位置ずれ検出用スポットを上下左右に４分割された領域及び前記４分割された領域の境界線上の上下あるいは左右の２つの領域のそれぞれにおいて、光を点灯または消灯することを特徴とする請求項２に記載のレンズ性能検査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の検査用チャートを用いたレンズ性能検査装置であって、
前記検査パターンを中心として同心円上に前記位置ずれ検出用スポットを複数配置し、
前記検査パターンと前記位置ずれ検出用スポットとのいずれかに選択的に光を点灯または消灯する光照射部を備えることを特徴とするレンズ性能検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検レンズの光学性能を検査する検査用チャート及びこの検査用チャートを備えたレンズ性能検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、写真レンズ等の被検レンズを介して、検査用チャート上に設けたパターン像を撮像素子上に結像し、得られたパターン像の光強度分布により前記被検レンズの光学性能を検査する場合、被検レンズの製作ばらつき等によりパターン像が撮像素子上に結像しない場合が多々生じる。
【０００３】
このような場合、特に自動検査機では検査用チャートと撮像素子の相対位置をずらすことによりパターン像を探索することになるが、このため検査時間が長くなってしまうという問題がある。
【０００４】
この問題を解決するために、短時間で正確に計測位置を検出することが可能な解像度チャートが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。この特許文献１に記載の解像度チャートは、図５に示すように、正方形の黒画像５１と、この正方形の黒画像５１の周りに一定のスペースを設け、この正方形の黒画像５１を中心として垂直方向両側に縦縞模様の黒パターン５２と、水平方向両側に横縞模様の黒パターン５３とを各々設けて検査用チャート５０を形成し、縦縞模様、横縞模様の黒パターン５２、５３を隣り合う正方形の黒パターン５１が各々相互に共有するようにして全体として図５に示す連続模様としたものである。
【０００５】
これにより、被検レンズの製作ばらつきがあっても、撮像素子には必ず検査用チャート５０の一部が結像することになり、正方形の黒パターン５１の位置から測定に用いる検査パターン位置を算出できるため、検査時間を短縮することができるとしている。
【特許文献１】実公平５−２２８４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図５に示す連続模様をなす検査用チャート５０を使用する場合、連続模様の繰り返しのために、この検査用チャート５０のどの部分のパターンを用いて検査を行ったかを把握することは難しい。
【０００７】
そのため、特に被検レンズの軸外光束による複数の像高での検査を行う場合、被検レンズの製作ばらつき等の影響で、目的とは異なる像高で検査を行ってしまうという問題がある。
【０００８】
また、連続模様をなす検査用チャート５０を使用するため、測定に用いる検査パターン以外の検査パターンからの発散光が、測定に用いる検査パターン像に影響を及ぼしてしまうという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、被検レンズのばらつきや検査用チャート自身の外乱等の影響を受けることなく、目的とする像高で被検レンズの性能検査を短時間で実行できる検査用チャート及びこの検査用チャートを備えたレンズ性能検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の検査用チャートは、被検レンズの性能検査用の検査パターンと、前記被検レンズを含むレンズ性能検査用の光学系と、該光学系を介して被検レンズにより結像された前記検査パターンの像を撮像する撮像手段と、該撮像手段からの出力信号である前記検査パターンの像に対応する光強度分布信号に基づいて演算処理を行う演算処理部とを有するレンズ性能検査装置における前記検査パターンを備えた検査用チャートにおいて、前記検査パターンの周辺に位置ずれ検出用スポットを複数配置したことを特徴とする。
【００１１】
この発明では、検査用チャートの像が、被検レンズにより撮像手段に結像されると、位置ずれ検出用スポットの像が撮像手段に結像するように、検査用チャートと撮像手段との相対的な位置が動かされることになる。これにより、撮像手段は、検査用チャートの像である位置ずれ検出用スポットあるいは検査パターンを検出することになる。このように、検査パターンの周辺に位置ずれ検出用スポットを配置することにより、設計値に対して製作ばらつきがある被検レンズでも、位置ずれ量を求めることができるため、広エリアでの合焦が可能となる。すなわち、検査パターンの探索時間を短縮することができるので、目的とする像高で被検レンズの性能検査を短時間で実行することが可能となる。
【００１２】
本発明のレンズ性能検査装置は、上記の検査用チャートを用いたレンズ性能検査装置であって、前記検査用チャートに光を照射する光照射部を備え、該光照射部が、前記検査パターンと前記位置ずれ検出用スポットとのいずれかに選択的に光を点灯または消灯することを特徴とする。
【００１３】
この発明では、光照射部から照射された光により検査用チャートの像が、被検レンズを含む光学系によって撮像手段に結像する。そして、位置ずれ検出用スポットの像が撮像手段に結像するように、検査用チャートと撮像手段との相対的な位置を動かした後、光照射部より検査用チャートの位置ずれ検出用スポットに照射されている光が消灯する。これにより、検査パターンにのみ光が照射され、検査用チャートと撮像手段との相対的な位置を徐々に移動して検査パターンの像を検出する。すなわち、光照射部により、必要に応じて検査パターン及び位置ずれ検出用スポットへの照射の有無が行われるため、必要がないときは、位置ずれ検出用スポットを照射させないようにすることができる。したがって、光照射部を備えることにより、位置ずれ検出用スポットによるノイズを除去することが可能となるため、検査用チャート自身の外乱等の影響を受けずに被検レンズの性能検査を行うことができる。また、目的とする像高で被検レンズの性能検査を短時間で実行することが可能となる。
【００１４】
また、本発明のレンズ性能検査装置は、前記光照射部が、前記検査パターンを中心として前記位置ずれ検出用スポットを上下左右に４分割された領域及び前記４分割された領域の境界線上の上下あるいは左右の２つの領域のそれぞれにおいて、光を点灯または消灯することを特徴とする。
【００１５】
この発明では、光照射部から照射された光により検査用チャートの像が、被検レンズを含む光学系によって撮像手段に結像する。その後、光照射部より検査パターンを中心として位置ずれ検出用スポットを上下左右に４分割された領域及び４分割された領域の境界線上の上下あるいは左右の２つの領域（合計６つの領域）において選択的に光を消灯しつつ、そのときの結像状態を撮像手段により画像データに変換する。そして、変換された画像データに基づいて位置ずれ検出用スポットの像の有無により領域を確定する。確定した領域に応じて、４分割された領域の境界線上の上下あるいは左右の２つの領域の片方を再度点灯し、検査用チャートと撮像手段との相対的な位置を補正する。このように、検査用チャートと撮像手段との相対的な位置を徐々に補正して、検査パターンを検出する。したがって、光照射部を備えることにより、位置ずれ検出用スポットを領域ごとに照射することができるため、目的とする像高で被検レンズの性能検査を短時間で実行することが可能となる。
【００１６】
また、本発明のレンズ性能検査装置は、上記の検査用チャートを用いたレンズ性能検査装置であって、記検査パターンを中心として同心円上に前記位置ずれ検出用スポットを複数配置し、前記検査パターンと前記位置ずれ検出用スポットとのいずれかに選択的に光を点灯または消灯する光照射部を備えることを特徴とする。
【００１７】
この発明では、光照射部から照射された光により検査用チャートの像が、被検レンズを含む光学系によって撮像手段に結像する。その後、一般的に用いられる画像処理手法により、白画像部分を対象として、位置ずれ検出用スポットの画像データに対してラベル付けを行う。次に、ラベル付けを行った位置ずれ検出用スポットの像のうち、同心円上に配置されている３点以上を選択し、中心座標に対する図形的な特徴量のずれ量とずれ方向を算出する。この特徴量のすれ量が検査パターンからの位置ずれ量に相当し、ずれ方向が検査パターンからの位置ずれ方向に相当するため、これらの算出データに基づいて、検査用チャートと撮像手段との相対的な位置合わせを行う。これにより、検査パターンの探索時間を短縮できるため、目的とする像高で被検レンズの性能検査を短時間で実行することが可能となる。また、レンズ性能を測定する際には、位置ずれ検出用スポットに照射されている光が消灯するため、位置ずれ検出用スポットから発散した光が測定に影響を及ぼさないようにすることができる。すなわち、被検レンズのばらつきや検査用チャート自身の外乱等の影響を受けることなく、目的とする像高で被検レンズの性能検査を短時間で実行できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明においては以下の効果を奏する。
本発明に係る検査用チャートによれば、検査パターンの周辺に位置ずれ検出用スポットを配置することにより、設計値に対して製作ばらつきがある被検レンズでも、位置ずれ量を求めることができるため、広エリアでの合焦が可能となる。
また、本発明に係るレンズ性能検査装置によれば、上述した位置ずれ量を求めることができる検査用チャートを利用できるので、被検レンズのばらつきや検査用チャート自身の外乱等の影響を受けることなく、目的とする像高で被検レンズの性能検査を短時間で実行できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明の第１実施形態について、図１から図３を参照して説明する。
本実施形態に係る検査用チャート１２を用いたレンズ性能検査装置１は、図１に示すように、相対位置移動機構１５上にレンズ性能検査用の光学系を有する測定部１０と、この測定部１０の出力信号に基づいて演算処理を行う制御処理手段２０とを備えている。
【００２０】
上記測定部１０は、検査対象となる被検レンズ１１と、図２に示すパターンを持った検査用チャート１２と、この検査用チャート１２の背面１２ａ側に配され検査用チャート１２を照明する光源（光照射部）１３と、被検レンズ１１と対向して配置され、検査用チャート１２を撮像する２次元撮像素子（撮像手段）１４とを備えている。
図中Ｌは光軸であり、光源１３から照射された光が検査用チャート１２を通過するときの光の中心軸を示している。
【００２１】
検査用チャート１２は、図２に示すように、位置ずれ検出用スポットＳ（例えば、直径３ｍｍの円形状孔）を検査パターンＰ（例えば、直径０．５ｍｍの円形状孔）の周辺にマトリックス状に配置したものである。また、この検査用チャート１２は、上下左右に４分割された領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ及び４分割された領域の境界線上の上下の領域Ｅ，Ｆを備えている。すなわち、検査用チャート１２は、検査パターンＰを中心として、中心軸をＸ軸，Ｙ軸とすると、Ｘ＋，Ｙ＋の領域Ａ、Ｘ−，Ｙ＋の領域Ｂ、Ｘ−，Ｙ−の領域Ｃ、Ｘ＋，Ｙ−の領域Ｄ、Ｙ＋上の領域Ｅ、Ｙ−上の領域Ｆを有している。また、この検査用チャート１２は、被検レンズ１１を挟んで２次元撮像素子１４と対向して配置されている。
【００２２】
上記光源１３は、後述する制御処理手段２０の制御部２１により、検査パターンＰ及び検査用チャート１２の６つの領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆを段階的（選択的）に点灯及び消灯することが可能になっている。
相対位置移動機構１５は、検査用チャート１２と２次元撮像素子１４との相対移動（図１に示す相互間距離の変化、Ｘ，Ｙ方向の移動及び回転移動等）させる機構となっている。この相対位置移動機構１５とは別の位置に制御処理手段２０を備えている。
【００２３】
制御処理手段２０は、図３に示すように、全体の制御を行う制御部２１と、あらかじめ検査対象となる像高の値や、被検レンズ１１の合否判定をするための規格値（ＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）値）を格納している記憶部２２と、ＭＴＦ値の演算や測定位置が所定の像高となりかつ検査用チャート１２と２次元撮像素子１４との位置ずれ量がなくなる位置の算出等各種演算を行う演算部（演算処理部）２３と、各種データを表示する表示部２４と、ラベリング（粒子解析による特徴量抽出）処理等の画像処理を行う画像処理部２５と、制御部２１の制御に基づいて撮像素子移動機構１５を駆動する駆動部２６と、光源１３のオンオフを制御する出力部２７とを有している。
【００２４】
また、制御処理手段２０は相対位置移動機構１５を制御し、前記相対位置を移動可能になっている。さらに、２次元撮像素子１４，相対位置移動機構１５には、ケーブルＬ１，Ｌ２が接続されており、２次元撮像素子１４からの出力信号を取り込むとともに、相対位置移動機構１５の駆動制御を行うようになっている。
【００２５】
次に、以上の構成からなる本実施形態の検査用チャート１２を用いて、レンズ性能の検査を行うレンズ性能検査装置の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係るレンズ性能検査装置１を用いて被検レンズ１１の性能を検査するには、まず、光源１３を作動させ、光照射部から光が点灯し、検査用チャート１２の全体に入射する。これにより、検査用チャート１２の像（検査パターンＰ及びその周辺の位置ずれ検出用スポットＳの像）が被検レンズ１１によって２次元撮像素子１４上に結像する。この像は、２次元撮像素子１４によって光強度分布に対応した電気信号に変換され、ケーブルＬ１を介して制御処理手段２０に２次元画像データとして取り込まれる。この２次元画像データは、２次元撮像素子１４の画素配置と一対一の対応関係になっていて、光強度が強い箇所ほど大きな値となる光強度分布をデジタル化したデータとなっている。
【００２６】
ここで、被検レンズ１１がほぼ設計値通りに製作されている場合は、検査パターンＰのパターンデータは取り込んだ画像データのほぼ中央に位置する。このため、演算部２３にて検査パターンＰに対応する範囲についてＦＦＴ（高速フーリエ変換）演算を行うことにより被検レンズ１１のＭＴＦ値を算出することができる。
【００２７】
一方、被検レンズ１１が設計値に対して製作ばらつきがある場合は、検査パターンＰの２次元画像データには、位置ずれ検出用スポットＳの像が含まれた状態で制御処理手段２０に取り込まれることになる。
このようなばらつきがある場合、制御部２１は出力部２７に検査用チャート１２の６つの領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆを段階的に消灯する命令を出力する。そして、領域Ａ〜Ｆの段階的な消灯と同期して２次元画像データを再度制御処理手段２０より取り込む。取り込まれた２次元画像データから、画像処理部２５により、位置ずれ検出用スポットＳの像の特徴量が抽出される。さらに、演算部２３において、抽出された特徴量から位置ずれ検出用スポットＳの像の有無を判定し、位置ずれの発生している位置ずれ検出用スポットＳがある検査用チャート１２の領域を確定する。
【００２８】
次に、制御部２１は確定した領域がＡ，Ｂ，Ｅ（あるいは領域Ｃ，Ｄ，Ｆ）であれば、出力部２７に指令を送り、領域Ｅ（あるいは領域Ｆ）を再度点灯する。制御部２１は、２次元画像データを制御処理手段２０により取り込みながら、駆動部２６を介して相対位置移動機構１５に命令を出力する。これにより、領域Ｅ（あるいは領域Ｆ）の位置ずれ検出用スポットＳが２次元撮像素子１４に結像するように、相対位置移動機構１５が駆動される。
【００２９】
その後、２次元画像データは画像処理部２５により、位置ずれ検出用スポットＳの特徴量を抽出している間、常に演算部２３において、位置ずれ検出用スポットＳの像の有無を判定する。そして、位置ずれ検出用スポットＳの像が見つかると、制御部２１は駆動部２６を介して相対位置移動機構１５に停止命令を出力する。次に、制御部２１は、出力部２７に指令を送り、光源１３より領域Ｅ（あるいは領域Ｆ）に照射された光が消灯する。
【００３０】
続いて、制御部２１は、２次元画像データを制御処理手段２０により取り込みながら、駆動部２６を介して相対位置移動機構１５に命令を出力する。これにより、検査パターンＰが２次元撮像素子１４に結像するように、相対位置移動機構１５が駆動される。その後、２次元画像データは画像処理部２５により、検査パターンＰの特徴量を抽出している間、常に演算部２３において、検査パターンＰの像の有無を判定する。この後、演算部２３は、測定位置が所定の像高となり、かつ、検査用チャート１２と２次元撮像素子１４との位置ずれ量がなくなる位置の算出を行う。制御部２１は、演算部２３の演算結果を基に、駆動部２６を介して相対位置移動機構１５に動作命令を出力し、測定位置が所定の像高となり、かつ、検査用チャート１２と２次元撮像素子１４との位置ずれ量がなくなる位置となるように、相対位置移動機構１５を駆動させ、検査用チャート１２と２次元撮像素子１４との相対位置を調節する。
【００３１】
次いで、相対位置移動機構１５の動作が完了後、制御処理手段２０は、再び２次元撮像素子１４から画像データを取り込み、この取り込んだ画像データは、検査用チャート１２と２次元撮像素子１４との位置ずれ量が補正され、さらに所定の像高での画像データとなっている。このため、演算部２３において検査パターンＰに対応する範囲についてＦＦＴ（高速フーリエ変換）演算を行うことにより、所定の像高での被検レンズ１のＭＴＦ値を算出することができる。次いで、制御部２１は、この算出されたＭＴＦ値と記憶部２２にあらかじめ格納されている合否判定の規格値のＭＴＦ値とを比較判定し、合否結果を表示部２４に表示して作業者に呈示する。
【００３２】
以上に説明した本実施形態における検査用チャート１２及びレンズ性能検査装置１によれば、検査パターンＰの周辺に位置ずれ検出用スポットＳが配されているので、被検レンズ１１の製作ばらつき等の影響を受けることなく、検査用チャート１２と２次元撮像素子１４との相対位置の補正，被検レンズ１１のＭＴＦ値算出及び被検レンズ１１の合否判別等の一連の作業を短時間で検査することが可能となる。また、従来のように連続模様ではないため、検査用チャート１２自身の外乱が発生しないので、測定するＭＴＦ値への誤差要因を低減することができる。
【００３３】
次に、本発明に係る第２実施形態について、図４を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、上述した第１実施形態に係るレンズ性能検査装置１と構成を共通とする箇所には同一符号を付けて、説明を省略することにする。
本実施形態に係るレンズ性能検査装置において、第２実施形態は、検査用チャート３０における位置ずれ検出用スポットＳの配置の点で、第１実施形態と異なる。
【００３４】
検査用チャート３０は、検査パターンＰを中心として位置ずれ検出用スポットＳを同心円上に複数配置している。
光源１３は、制御部２１により、検査パターンＰ及び位置ずれ検出用スポットＳを選択的に点灯及び消灯することが可能になっている。
【００３５】
次に、以上の構成からなる本実施形態の検査用チャート３０を用いて、レンズ性能の検査を行うレンズ性能検査装置の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係るレンズ性能検査装置を用いて被検レンズ１１の性能を検査するには、まず、制御処理手段２０により、光源１３より光が照射され、検査用チャート３０の像（検査パターンＰ及びその周辺の位置ずれ検出用スポットＳの像）が２次元撮像素子１４に結像する。ここで、被検レンズ１１が設計値に対して製作ばらつきがある場合、２次元撮像素子１４に結像した像は、位置ずれ検出用スポットＳが含まれた状態で制御処理手段２０に取り込まれることになる。こうした場合には、画像処理部２５が、既知の画像処理手法で一般的に用いられるラベリング（粒子解析による特徴量抽出）により白画像部分を対象として位置ずれ検出用スポットＳの像に対してラベル付けを行う。次に、演算部２３は、画像処理部２５においてラベル付けされた同心円上に配置されている位置ずれ検出用スポットＳの像の中から３点以上を選択し、中心座標に対する図形的な特徴量と算出する。そして、検査パターンＰの横方向中心座標と縦方向中心座標を算出する。
【００３６】
次いで、演算部２３は、さらに縦方向中心座標及び横方向中心座標とその符号（プラスまたはマイナス）とによって、検査用チャート３０と２次元撮像素子１４との現在の位置関係を求める。この後、演算部２３により、測定位置が所定の像高となり、かつ検査用チャート３０と２次元撮像素子１４との位置ずれ量がなくなる位置を算出する。制御部２１は、演算部２３の演算結果を基に、駆動部２６を介して相対位置移動機構１５に動作命令を出力し、測定位置が所定の像高となり、かつ、検査用チャート３０と２次元撮像素子１４との位置ずれ量がなくなる位置となるように、相対位置移動機構１５を駆動させ、検査用チャート３０と２次元撮像素子１４との相対位置を調節する。
【００３７】
次いで、相対位置移動機構１５の動作が完了後、制御処理手段２０により光源１３からの位置ずれ検出用スポットＳに照射されている光が消灯する。すなわち、検査用チャート３０には検査パターンＰのみに光源１３から光が照射されているため、検査パターンＰからの光のみが被検レンズ１１により２次元撮像素子１４に結像される。その後、制御処理手段２０は、再び２次元撮像素子１４から画像データを取り込み、第１実施形態と同様にして、演算部２３において、ＦＦＴ（高速フーリエ変換）演算を行い、被検レンズ１１のＭＴＦ値を算出することができる。
【００３８】
本実施形態に係るレンズ性能検査装置によれば、検査用チャート３０を用いることにより、３点以上の位置ずれ検出用スポットＳから中心座標に対するずれ量を算出しているので、第１実施形態よりもさらに高速に検査用チャート３０と２次元撮像素子１４との相対位置の補正が可能となる。したがって、一連の作業を短時間で行うことが可能となる。
【００３９】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、光源１３により光が照射される領域を検査用チャート１２の４分割された領域Ａ〜Ｄ及びＹ＋上の領域Ｅ，Ｙ−上の領域Ｆとしたが、Ｙ＋上の領域Ｅ，Ｙ−上の領域Ｆに代えて、図２の一点鎖線で示すように、Ｘ＋上の領域Ｅ，Ｘ−上の領域Ｆとして、選択的に点灯または消灯する構成であっても良い。
また、検査パターンＰ及び位置ずれ検出用スポットＳの少なくとも一方は、円形状孔に限らず、１本のスリットや３本のスリット等のスリットを用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１実施形態におけるレンズ性能検査装置の全体を示す概略図である。
【図２】本発明の第１実施形態におけるレンズ性能検査装置に用いられる検査用チャートを示す平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態におけるレンズ性能検査装置の制御処理手段の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の第２実施形態におけるレンズ性能検査装置に用いられる検査用チャートを示す平面図である。
【図５】従来の検査用チャートを示す平面図である。
【符号の説明】
【００４１】
Ｐ  検査パターン
Ｓ  位置ずれ検出用スポット
１  レンズ性能検査装置
１１  被検レンズ
１２，３０  検査用チャート
１３  光源（光照射部）
１４  ２次元撮像素子（撮像手段）
１５  相対位置移動機構
２０  制御処理手段（制御機構）
２３  演算部（演算処理部）
【図１】
2006170958.tif 000003
【図２】
2006170958.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006170958.tif 000006
【図５】
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