(57)【要約】      （修正有）【課題】  封止樹脂部の良好な接着力を維持し、剥がれを少なくできる表面弾性波装置を提供する。【解決手段】  本発明の表面弾性波装置は、圧電基板１と封止基板７とを封止樹脂により上下に気密結合し、且つ、圧電基板１と封止基板７との間の振動空間部１０を密封する第１の封止樹脂部８とを備え、四角状の第１の封止樹脂部８のコーナ部８ａには、円弧状、或いは複数の鈍角の角を有した面取り部８ｂが設けられたため、この面取り部８ｂによって、圧電基板１と封止基板７の膨張、収縮の差によるコーナ部８ａにおける応力を分散できて、第１の封止樹脂部８の良好な接着力を維持し、第１の封止樹脂部８の剥がれを少なくできる。【選択図】        図２
2006333130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の櫛歯電極、或いは複数対の櫛歯電極を一面側に形成した圧電基板と、前記櫛歯電極を形成した側に振動空間部を持たせた状態で、前記圧電基板に対向して配設された封止基板と、前記櫛歯電極から外れた位置で、前記圧電基板と前記封止基板とを結合し、且つ、前記圧電基板と前記封止基板との間の前記振動空間部を密封する第１の封止樹脂部とを備え、四角状の前記第１の封止樹脂部のコーナ部には、円弧状、或いは複数の鈍角の角を有した面取り部が設けられたことを特徴する表面弾性波装置。
【請求項２】
複数角状の前記面取り部は、前記コーナ部に直線が３つ以上設けられて、４つ以上の鈍角からなる角が前記コーナ部に形成されたことを特徴する請求項１記載の表面弾性波装置。
【請求項３】
複数対の前記櫛歯電極を有すると共に、前記櫛歯電極のそれぞれは、長方形状の個別の前記振動空間部を有するように前記第１の封止樹脂部によって仕切られ、長方形状の前記振動空間部の短辺側は、外側に膨らむ円弧状部によって形成されたことを特徴する請求項１、又は２記載の表面弾性波装置。
【請求項４】
前記第１の封止樹脂部から空隙部を設けて外側に位置し、環状の帯状体で形成された第２の封止樹脂部を有し、前記第１の封止樹脂部の外側の前記コーナ部、及び前記第２の封止樹脂部の外側と内側の前記コーナ部には、前記面取り部が設けられたことを特徴する請求項３記載の表面弾性波装置。
【請求項５】
前記第１の封止樹脂部は、一対の前記櫛歯電極、或いは複数対の前記櫛歯電極を内方に位置して囲むように、環状の帯状体で形成され、帯状体の前記第１の封止樹脂部の外側と内側の前記コーナ部には、前記面取り部が設けられたことを特徴する請求項１、又は２記載の表面弾性波装置。
【請求項６】
前記第１の封止樹脂部から空隙部を設けて外側に位置し、環状の帯状体で形成された第２の封止樹脂部を有し、前記第２の封止樹脂部の外側と内側の前記コーナ部には、前記面取り部が設けられたことを特徴する請求項５記載の表面弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は種々の電気機器に使用される共振器やフィルタ等に適用して好適な表面弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１１は従来の表面弾性波装置の要部の断面図、図１２は図１１の１２−１２線における断面図を示し、次に、従来の表面弾性波装置の構成を図１１，図１２に基づいて説明すると、圧電基板５１の下面には、一対の櫛歯電極５２と、この櫛歯電極５２に接続された引出導体５３が設けられている。
【０００３】
封止基板を兼ねる配線基板５４は、櫛歯電極５２との間に振動空間部５５を持たせた状態で、圧電基板５１の下面に対向して配置され、この配線基板５４と圧電基板５１との間には、櫛歯電極５２を囲むように、感光性樹脂からなる四角形の帯状体の第１のダム５６と、この第１のダム５６の外側に位置し、感光性樹脂からなる四角形の帯状体の第２のダム５７と、この第２のダム５７の外側に位置し、四角形の帯状体の封止樹脂部５８が設けられ、振動空間部５５が密封された構成によって、従来の表面弾性波装置が形成されている。（例えば、特許文献１参照）
【０００４】
従来の表面弾性波装置の圧電基板５１と配線基板５４は、異なる材料で形成され、外部環境による温度変化によって、膨張、収縮が異なるため、圧電基板５１と配線基板５４間に介在する封止樹脂部５８は、圧電基板５１と配線基板５４の膨張、収縮の差による応力を受けると共に、この応力が封止樹脂部５８の９０度のコーナ部に集中して、封止樹脂部５８の接着を弱め、剥がれが生じる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３３６６７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の表面弾性波装置において、圧電基板５１と配線基板５４間に介在する封止樹脂部５８は、圧電基板５１と配線基板５４の膨張、収縮の差による応力を受けると共に、この応力が封止樹脂部５８の９０度のコーナ部に集中して、封止樹脂部５８の接着を弱め、剥がれが生じるという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は封止樹脂部の良好な接着力を維持し、剥がれを少なくできる表面弾性波装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための第１の解決手段として、一対の櫛歯電極、或いは複数対の櫛歯電極を一面側に形成した圧電基板と、前記櫛歯電極を形成した側に振動空間部を持たせた状態で、前記圧電基板に対向して配設された封止基板と、前記櫛歯電極から外れた位置で、前記圧電基板と前記封止基板とを結合し、且つ、前記圧電基板と前記封止基板との間の前記振動空間部を密封する第１の封止樹脂部とを備え、四角状の前記第１の封止樹脂部のコーナ部には、円弧状、或いは複数の鈍角の角を有した面取り部が設けられた構成とした。
【０００９】
また、第２の解決手段として、複数角状の前記面取り部は、前記コーナ部に直線が３つ以上設けられて、４つ以上の鈍角からなる角が前記コーナ部に形成された構成とした。
また、第３の解決手段として、複数対の前記櫛歯電極を有すると共に、前記櫛歯電極のそれぞれは、長方形状の個別の前記振動空間部を有するように前記第１の封止樹脂部によって仕切られ、長方形状の前記振動空間部の短辺側は、外側に膨らむ円弧状部によって形成された構成とした。
【００１０】
また、第４の解決手段として、前記第１の封止樹脂部から空隙部を設けて外側に位置し、環状の帯状体で形成された第２の封止樹脂部を有し、前記第１の封止樹脂部の外側の前記コーナ部、及び前記第２の封止樹脂部の外側と内側の前記コーナ部には、前記面取り部が設けられた構成とした。
【００１１】
また、第５の解決手段として、前記第１の封止樹脂部は、一対の前記櫛歯電極、或いは複数対の前記櫛歯電極を内方に位置して囲むように、環状の帯状体で形成され、帯状体の前記第１の封止樹脂部の外側と内側の前記コーナ部には、前記面取り部が設けられた構成とした。
また、第６の解決手段として、前記第１の封止樹脂部から空隙部を設けて外側に位置し、環状の帯状体で形成された第２の封止樹脂部を有し、前記第２の封止樹脂部の外側と内側の前記コーナ部には、前記面取り部が設けられた構成とした。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の表面弾性波装置は、圧電基板と封止基板とを結合し、且つ、圧電基板と封止基板との間の振動空間部を密封する第１の封止樹脂部とを備え、四角状の第１の封止樹脂部のコーナ部には、円弧状、或いは複数の鈍角の角を有した面取り部が設けられたため、この面取り部によって、圧電基板と封止基板の膨張、収縮の差によるコーナ部における応力を分散できて、第１の封止樹脂部の良好な接着力を維持し、第１の封止樹脂部の剥がれを少なくできる。
【００１３】
また、複数角状の面取り部は、コーナ部に直線が３つ以上設けられて、４つ以上の鈍角からなる角がコーナ部に形成されたため、コーナ部における応力を効果的に分散できて、第１の封止樹脂部の一層良好な接着力を維持し、第１の封止樹脂部の剥がれを少なくできる。
【００１４】
また、複数対の櫛歯電極を有すると共に、櫛歯電極のそれぞれは、長方形状の個別の振動空間部を有するように第１の封止樹脂部によって仕切られ、長方形状の振動空間部の短辺側は、外側に膨らむ円弧状部によって形成されたため、円弧状部によって、個別の振動空間部のコーナ部における第１の封止樹脂部の剥がれを少なくできる上に、第１の封止樹脂部の幅を広くできて、振動空間部内への水分の侵入防止を確実に行うことができる。
【００１５】
また、第１の封止樹脂部から空隙部を設けて外側に位置し、環状の帯状体で形成された第２の封止樹脂部を有し、第１の封止樹脂部の外側のコーナ部、及び第２の封止樹脂部の外側と内側のコーナ部には、面取り部が設けられたため、面取り部によって、コーナ部における第１、第２の封止樹脂部の剥がれを少なくできる上に、第１、第２の封止樹脂部の存在によって、振動空間部内への水分の侵入防止を確実に行うことができる。
【００１６】
また、第１の封止樹脂部は、一対の櫛歯電極、或いは複数対の櫛歯電極を内方に位置して囲むように、環状の帯状体で形成され、帯状体の第１の封止樹脂部の外側と内側のコーナ部には、面取り部が設けられたため、面取り部によって、コーナ部における第１の封止樹脂部の良好な接着力を維持し、第１の封止樹脂部の剥がれを少なくできる。
【００１７】
また、第１の封止樹脂部から空隙部を設けて外側に位置し、環状の帯状体で形成された第２の封止樹脂部を有し、第２の封止樹脂部の外側と内側のコーナ部には、面取り部が設けられたため、面取り部によって、コーナ部における第１、第２の封止樹脂部の剥がれを少なくできる上に、第１、第２の封止樹脂部の存在によって、振動空間部内への水分の侵入防止を確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の表面弾性波装置の図面を説明すると、図１は本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る正面図、図２は図１の２−２線における断面図、図３は図２の３−３線における断面図、図４は図２の４−４線における断面図、図５は本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る封止樹脂部の要部の拡大図である。
【００１９】
また、図６は本発明の表面弾性波装置の第２実施例に係る封止樹脂部の要部の拡大図、図７は本発明の表面弾性波装置の第３実施例に係る封止樹脂部の要部の拡大図、図８は本発明の表面弾性波装置の第４実施例に係る要部断面平面図、図９は本発明の表面弾性波装置の第５実施例に係る要部断面平面図、図１０は本発明の表面弾性波装置の第６実施例に係る要部断面図である。
【００２０】
次に、本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る構成を図１〜図５に基づいて説明すると、四角形の圧電基板１は、一面（上面）側に設けられた一対の櫛歯電極２と、この櫛歯電極２に接続された状態で、角部に引き出された引出導体３と、この引出導体３の位置で、厚み方向に貫通して設けられた複数の貫通孔１ａと、圧電基板１の下面の貫通孔１ａの外周部に設けられたランド部４と、貫通孔１ａ内に設けられ、引出導体３とランド部４を接続する接続導体５と、圧電基板１の下面外側面に設けられ、接続導体５に接続された半田バンプ等からなるバンプ６を有する。
【００２１】
セラミック材等からなる四角形状の封止基板７は、圧電基板１に対向し、櫛歯電極２から僅かに間隔を置いて配設されており、この封止基板７と圧電基板１との間は、圧電基板１と封止基板７との間の隙間を密封する熱硬化性樹脂等からなり、四角状の環状で帯状体をなした第１，第２の封止樹脂部８，９が設けられている。
そして、第１の封止樹脂部８は、櫛歯電極２から外れた位置で櫛歯電極２を囲むように設けられて、封止基板７と櫛歯電極２との間に振動空間部１０を形成すると共に、第２の封止樹脂部９は、第１の封止樹脂部８の外側の位置に空隙部１１を持って形成されている。
【００２２】
また、四角状の第１，第２の封止樹脂部８，９の外側と内側のコーナ部８ａ、９ａは、特に図５に示すように、円弧状からなる面取り部８ｂ、９ｂが設けられてると共に、円弧状の面取り部８ｂ、９ｂは、半径が５μ以上のもので形成されて、本発明の表面弾性波装置の第１実施例が形成されている。
このような構成を有する本発明の表面弾性波装置は、バンプ６が電気機器のマザー基板（図示せず）上に載置、半田付けされて、面実装されるようになっている。
【００２３】
そして、本発明の表面弾性波装置が電気機器に搭載された際、圧電基板１と封止基板７が異なる材料で形成されているため、外部環境の温度変化による膨張、収縮が異なり、圧電基板１と封止基板７間に介在する第１，第２の封止樹脂部８，９は、膨張、収縮の差による応力を受けるが、第１，第２の封止樹脂部８，９のコーナ部８ａ、９ａにかかる応力は、面取り部８ｂ、９ｂによって分散して、接着力が維持され、剥がれが少なくなる。
なお、上記実施例では、第１，第２の封止樹脂部８，９を設けたもので説明したが、第１，第２の封止樹脂部８，９の何れか一方のみでも良い。
【００２４】
また、図６は本発明の表面弾性波装置の第２実施例を示し、この第２実施例について説明すると、第１，第２の封止樹脂部８，９のコーナー部８ａ、９ａは、１本の直線によって切り欠きされて、２つの鈍角の角を有した面取り部８ｂ、９ｂが設けられたものである。
その他の構成は、上記第１実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【００２５】
また、図７は本発明の表面弾性波装置の第３実施例を示し、この第３実施例について説明すると、第１，第２の封止樹脂部８，９のコーナー部８ａ、９ａは、３本の直線によって切り欠きされて、４つの鈍角の角を有した面取り部８ｂ、９ｂが設けられたものである。
その他の構成は、上記第１実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
なお、コーナー部８ａ、９ａは、５つ以上の鈍角の角を有した面取り部８ｂ、９ｂが設けられたものでも良い。
【００２６】
また、図８は本発明の表面弾性波装置の第４実施例を示し、この第４実施例は、複数対の櫛歯電極２が設けられた表面弾性波フィルタからなる表面弾性波装置で形成され、第１の封止樹脂部８によって、複数対の櫛歯電極２の全体が囲まれると共に、複数対の櫛歯電極２の位置に設けられた共通の振動空間部１０が設けられた構成となっている。
その他の構成は、上記第１実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【００２７】
また、図９は本発明の表面弾性波装置の第５実施例を示し、この第５実施例は、複数対の櫛歯電極２が設けられた表面弾性波フィルタからなる表面弾性波装置で形成され、複数対の櫛歯電極２のそれぞれが第１の封止樹脂部８によって仕切られて、長方形状の個々の振動空間部１０を有すると共に、長方形状の振動空間部１０の短辺側は、外側に膨らむ円弧状部８ｃによって形成されたものである。
【００２８】
この円弧状部８ｃは、長方形を形成する短辺の長さに対して、１．０５〜１．２５倍程度の長さによって形成すると、曲線の半径が大きくならず、小型化に支障のないものが得られる。
その他の構成は、上記第４実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【００２９】
また、図１０は本発明の表面弾性波装置の第６実施例を示し、この第６実施例は、引出導体３の接続された接続導体５が封止基板７側に導出されて、この封止基板７側にバンプ６が設けられたものである。
その他の構成は、上記第１実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る正面図。
【図２】図１の２−２線における断面図。
【図３】図２の３−３線における断面図。
【図４】図２の４−４線における断面図。
【図５】本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る封止樹脂部の要部の拡大図。
【図６】本発明の表面弾性波装置の第２実施例に係る封止樹脂部の要部の拡大図。
【図７】本発明の表面弾性波装置の第３実施例に係る封止樹脂部の要部の拡大図。
【図８】本発明の表面弾性波装置の第４実施例に係る要部断面平面図。
【図９】本発明の表面弾性波装置の第５実施例に係る要部断面平面図。
【図１０】本発明の表面弾性波装置の第６実施例に係る要部断面図。
【図１１】従来の表面弾性波装置の要部の断面図。
【図１２】図１１の１２−１２線における断面図。
【符号の説明】
【００３１】
１：圧電基板
１ａ：貫通孔
２：櫛歯電極
３：引出導体
４：ランド部
５：接続導体
６：バンプ
７：封止基板
８：第１の封止樹脂部
８ａ：コーナ部
８ｂ：面取り部
８ｃ：円弧状部
９：第２の封止樹脂部
９ａ：コーナ部
９ｂ：面取り部
１０：振動空間部
１１：空隙部
【図１】
2006333130.tif 000003
【図２】
2006333130.tif 000004
【図３】
2006333130.tif 000005
【図４】
2006333130.tif 000006
【図５】
2006333130.tif 000007
【図６】
2006333130.tif 000008
【図７】
2006333130.tif 000009
【図８】
2006333130.tif 000010
【図９】
2006333130.tif 000011
【図１０】
2006333130.tif 000012
【図１１】
2006333130.tif 000013
【図１２】
2006333130.tif 000014