(57)【要約】【課題】  被測定流体への放熱量に応じた第１の検知部からの信号と、被測定流体の温度に応じた第２の検知部からの信号とを電子回路部に取り出して電気的な処理を行うことにより流量を計測する熱式流量計において、計測精度を向上し、特に、外気による計測精度への影響を低減すること。【解決手段】  第１の検知部３および第２の検知部４を、被測定流体が検知部全体を貫流するように管路２ａの内部に配置するとともに、管路軸に沿ってこれらを配置した。また、測定管２の端部に固定した熱伝導率が大きい円筒管１１，１２にこれらの検知部を収納し、熱伝導率が大きい絶縁材１４ａでこれらの検知部を固定した。さらに、この熱伝導率が大きい絶縁材１４ａが充填された位置よりも測定管２の端部側の位置に、熱伝導率が小さい絶縁材１４ｂを充填した。【選択図】  図１
2006284321.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感温部および該感温部を加熱する発熱部を備え、測定管の管路を流れる被測定流体の流速に応じた前記感温部からの放熱を検知する第１の検知部と、
感温部を備え、前記被測定流体の温度を検知する第２の検知部とによって、前記測定管の管路を流れる被測定流体の流量を計測する熱式流量計であって、
前記第１の検知部および前記第２の検知部が、前記被測定流体が検知部全体を貫流するように前記管路の内部に配置されるとともに、管路軸に沿って配置されていることを特徴とする熱式流量計。
【請求項２】
前記測定管の一方の端部に固定され先端部が封止された円筒管と、前記測定管の他方の端部に固定され先端部が封止された円筒管とからなる熱伝導率が大きい一対の円筒管が前記測定管の管路軸に沿って互いに対向するように設けられ、一方の円筒管に前記第１の検知部が収納され、他方の円筒管に第２の検知部が収納されていることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。
【請求項３】
前記第１の検知部および第２の検知部が、前記測定管の両端部に固定された一本の熱伝導率が大きい円筒管に収納され、前記円筒管の内部における前記第１の検知部と前記第２の検知部との間に、熱伝導率が小さい絶縁材が充填されていることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。
【請求項４】
前記第１の検知部および前記第２の検知部が、前記円筒管に充填された熱伝導率が大きい絶縁材によって該円筒管の内部に固定されていることを特徴とする請求項２または３に記載の熱式流量計。
【請求項５】
前記円筒管の内部における前記熱伝導率が大きい絶縁材が充填された位置よりも前記測定管の端部側の位置に、該熱伝導率が大きい絶縁材よりも熱伝導率が小さい絶縁材が充填されていることを特徴とする請求項４に記載の熱式流量計。
【請求項６】
前記被測定流体が腐食性流体であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の熱式流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定流体への放熱量に応じた第１の検知部からの信号と、被測定流体の温度に応じた第２の検知部からの信号とを電子回路部に取り出して電気的な処理を行うことにより流量を計測する熱式流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体の流量を計測する流量計として従来から各種のものが使用されているが、その一つに熱式流量計がある。いわゆる傍熱型の熱式流量計では、発熱部と感温部とを備えたセンサ素子を用いて、発熱部に通電することにより感温部を加熱し、測定管の管路を流れる被測定流体の流速に応じた感温部から被測定流体への放熱量を、感温部の電気的特性、例えば電気抵抗値の変化として検知する。
【０００３】
加熱された感温部から被測定流体への放熱量は被測定流体の温度に依存するため、この感温部の電気抵抗と、温度補正用の別途の感温部による電気抵抗とを組み込んだ抵抗ブリッジ回路を構成し、これによって被測定流体の温度を流量計測値に反映させる技術が知られている（特許文献１,２）。
【０００４】
特許文献１では、測定管の上流側および下流側に、一端部が被測定流体に接するように一対の電極を取り付け、被測定流体への放熱を検知する加熱側感温センサと被測定流体の温度を検知する感温センサとをそれぞれの電極の他端部に設置している。
【０００５】
特許文献２では、素子基板の片面にヒータおよびサーミスタを取り付けた第１の測温デバイスと、素子基板の片面にサーミスタを取り付けた第２の測温デバイスとを用意し、断面半円状の管路を有する樹脂ブロックの上面に設けられた２つの開口のそれぞれに第１の測温デバイスと第２の測温デバイスとを位置させて、開口の底部に設けられたリブにこれらの測温デバイスを押し付けて開口を閉塞し、さらにその上から詰栓をすることによってこれらの測温デバイスを管路の上面部に固定している。
【特許文献１】特開平１０−８２６７８号公報
【特許文献２】特開２００２−５７０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の熱式流量計では、加熱側感温センサの一端部に熱伝導率が大きい電極を接続し、この電極を介して被測定流体への放熱を行っているが、同時に加熱側感温センサの他端部から外気へ放熱されるので、加熱側感温センサから放熱される熱量が外気によって変化し計測精度に影響する場合がある。
【０００７】
特許文献２の熱式流量計では、第１の測温デバイスのヒータによる発熱が、素子基板を通じて外気に放熱されるので、同様に計測精度に影響する場合がある。
このように、熱式流量計においては計測精度の向上、特に、外気による計測精度への影響を低減するという課題があった。
【０００８】
本発明は、上述したような従来技術における課題を解決するためになされたものであり、流体の流量を精度よく計測でき、特に、外気による計測精度への影響が小さい熱式流量計を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の熱式流量計は、感温部および該感温部を加熱する発熱部を備え、測定管の管路を流れる被測定流体の流速に応じた前記感温部からの放熱を検知する第１の検知部と、
感温部を備え、前記被測定流体の温度を検知する第２の検知部とによって、前記測定管の管路を流れる被測定流体の流量を計測する熱式流量計であって、
前記第１の検知部および前記第２の検知部が、前記被測定流体が検知部全体を貫流するように前記管路の内部に配置されるとともに、管路軸に沿って配置されていることを特徴とする。
【００１０】
ここで、感温部および発熱部を備えた第１の検知部は、感温部と発熱部が別途に構成されたもの、例えばヒータからなる発熱部とサーミスタからなる感温部とを備えるものであってもよく、あるいは、感温部と発熱部が同一の素子で構成されたもの、例えば通電による抵抗熱により発熱し、温度により抵抗値が変化する素子であってもよいが、感温部と発熱部が同一の素子で構成されたものが特に好ましい。
【００１１】
上記の発明では、第１の検知部および第２の検知部を、被測定流体が検知部全体を貫流するように測定管の管路内に配置したので、管路を流れる被測定流体の流れ雰囲気および温度雰囲気に対して感温素子やヒータなどの感温面のほぼ全面を接触させることができる。さらに、管路軸の軸回りの指向性がない形態で被測定流体とこれらの検知部とを熱的に接触させることができる。このため、被測定流体の流量を精度よく計測することができ、計測精度に対する外気の影響も小さい。
【００１２】
これらの第１の検知部および第２の検知部は、第１の検知部から放熱される熱が被測定流体の流れによって第２の検知部へ伝達しない程度に離間されて、第１の検知部を下流側とし、第２の検知部を上流側として測定管の管路軸に沿って対向配置される（本明細書において管路の「軸」とは管路の中心線のみを意図するものではなく、本発明の要旨に基づいて管路の中心線から多少ずれたものであってもよい）。
【００１３】
本発明の熱式流量計は、前記測定管の一方の端部に固定され先端部が封止された円筒管と、前記測定管の他方の端部に固定され先端部が封止された円筒管とからなる熱伝導率が大きい一対の円筒管が前記測定管の管路軸に沿って互いに対向するように設けられ、一方の円筒管に前記第１の検知部が収納され、他方の円筒管に第２の検知部が収納されていることを特徴とする。
【００１４】
また本発明の熱式流量計は、前記第１の検知部および第２の検知部が、前記測定管の両端部に固定された一本の熱伝導率が大きい円筒管に収納され、前記円筒管の内部における前記第１の検知部と前記第２の検知部との間に、熱伝導率が小さい絶縁材が充填されていることを特徴とする。
【００１５】
円筒管の内部に収納された第１の検知部および第２の検知部は、測定管の管路を流れる被測定流体の流れ雰囲気および温度雰囲気に対して熱伝導率が大きい円筒管を介して熱的に接触し、これらの間で熱伝達が行われる。測定管の端部から管路軸に沿って延びる熱伝導率の大きい円筒管を設けてその内部に第１の検知部および第２の検知部を収納したので、被測定流体がこれらの検知部を貫流するようにこれらの検知部を管路内に配置させることができる。また、円筒管を測定管の管路軸に沿って配置することにより、第１の検知部および第２の検知部について、測定管の管路の軸回りおよび円筒管の軸回りの指向性がなくなるので、被測定流体の流量を精度よく計測することができる。
【００１６】
また、一本の円筒管に第１の検知部および第２の検知部を収納し、熱伝導率の小さい樹脂材、ゴム材などの絶縁材をこれらの検知部の間に充填して、発熱する第１の検知部から第２の検知部への熱伝達を抑制することで、一対の円筒管のそれぞれに第１の検知部と第
２の検知部とを収納した上記の場合よりも熱式流量計の作製がさらに容易になる。
【００１７】
また本発明の熱式流量計は、前記第１の検知部および前記第２の検知部が、前記円筒管に充填された熱伝導率が大きい絶縁材によって該円筒管の内部に固定されていることを特徴とする。
【００１８】
このようにすることで、円筒管の内部に収納された第１の検知部および第２の検知部を、測定管の管路を流れる被測定流体の流れ雰囲気および温度雰囲気に対して熱伝導率の大きい絶縁材および円筒管を介して熱伝達させることができる。例えば、円筒管に接着剤を注入して硬化することによってこれらの検知部を円筒管内に固定することができる。
【００１９】
また本発明の熱式流量計は、前記円筒管の内部における前記熱伝導率が大きい絶縁材が充填された位置よりも前記測定管の端部側の位置に、該熱伝導率が大きい絶縁材よりも熱伝導率が小さい絶縁材が充填されていることを特徴とする。
【００２０】
このようにすることで、第１の検知部および第２の検知部と、測定管の端部側との間での熱伝達が抑制されるので、これらの検知部の感温部から外気への放熱を抑制でき、測定精度が向上する。例えば、円筒管に接着剤を注入して硬化することにより熱伝導率が小さい絶縁材を円筒管内に充填することができる。
【００２１】
上記した本発明の熱式流量計は、腐食性流体の計測用に好適である。すなわち、測定管の端部の貫通孔に円筒管を通してＯリング等の環状シール部材を該貫通孔の外側から加圧してシールできるのでシール性が良く、検知部や信号線がセラミック、石英等の耐腐食性を有する円筒管に収納されて保護されているので、フッ素樹脂などの耐腐食性を有する樹脂で測定管を作製することによって、腐食性流体の計測に適した熱式流量計を構成することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の熱式流量計によれば、流体の流量を精度よく計測できる。
また本発明の熱式流量計は、外気による計測精度への影響が小さい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら本発明について説明する。図１は、本発明の熱式流量計における一つの実施形態を示した断面図である。この熱式流量計１は洗浄用途等において用いられ、例えばオゾンが混合されたスチーム、ＳＰＭ洗浄におけるＨ2ＨＯ4（硫酸）とＨ2
Ｏ2（過酸化水素水）との混合比率が４：１である腐食性流体などの流量を計測するもの
であり、耐腐食性を有するＰＦＡ（パーフルオロアルキルビニルエーテル）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などのフッ素樹脂で形成された測定管２を備えている。
【００２４】
測定管２は、被測定流体が流される配管３１ａと配管３１ｂとの間に接続される。配管３１ａと配管３１ｂも、測定管２と同様のフッ素樹脂で形成されており、これらは測定管２の内部にある直線状の管路２ａの上流側と下流側に、溶接によって測定管２と垂直に接続されている。
【００２５】
配管３１ａから測定管２の管路２ａに対して垂直に流入した被測定流体は、管路２ａの軸に沿って同図の左から右へ管路２ａを流れた後、配管３１ｂへ管路２ａに対して垂直に流出する。
【００２６】
熱式流量計１は、管路２ａを軸方向に流れる被測定流体の流量を計測する。管路２ａの下流側には第１の検知部３が設けられ、管路２ａの上流側には第２の検知部４が設けられ
ている。第１の検知部３と第２の検知部４はそれぞれ管路２ａの軸上に配置され、被測定流体がこれらの全体を貫流するようになっている。これにより、第１の検知部３と第２の検知部４における感温面のほぼ全面が被測定流体に対して熱的に接触する。
【００２７】
第１の検知部３は、通電により抵抗熱で発熱する発熱部と、温度に応じて抵抗値が変化する感温部とを備えている。感温部は、通電により発熱した発熱部によって加熱されるとともに、被測定流体に対してその流速に応じた熱量を放出し、発熱部による加熱と被測定流体への放熱との双方によって定まる温度に応じた抵抗値を出力する。
【００２８】
第１の検知部３として、別途の発熱部と感温部とを組み合わせて構成したものと、単一の素子が発熱部と感温部とを兼ねるものを用いることができる。前者の具体例としては、ヒータ等の抵抗発熱体とサーミスタ等の感温体とを備えたもの、例えば薄膜状の抵抗発熱体と薄膜状の感温体とを絶縁層を介して積層した素子、半導体基板に微細加工技術によって発熱部と抵抗部とを形成した素子などを挙げることができる。
【００２９】
後者の具体例としては、通電により抵抗発熱するとともに温度により抵抗値が変化する抵抗発熱体を備えた素子などを挙げることができる。本発明では特に、後者の単一の素子が発熱部と感温部とを兼ねるものを用いることが好ましい。
【００３０】
第２の検知部４は、温度に応じて抵抗値が変化する感温部を備えている。この感温部は、被測定流体の温度に応じた電気信号を出力する。第２の検知部４の具体例としては、温度変化に対する抵抗値の変化が大きい抵抗体などを挙げることができる。
【００３１】
第１の検知部３は、測定管２の下流側端部に固定され先端部が封止された第１の円筒管１１の先端部側に収納されている。第１の円筒管１１は、その管軸が測定管２の管路２ａの軸と平行となるように配置されている。
【００３２】
第１の円筒管１１は、熱伝導率が大きく強酸などの腐食性流体に対して耐腐食性を有する材質によって形成されている。このような材質としては、高熱伝導性のセラミック、石英ガラスなどを挙げることができる。
【００３３】
第１の円筒管１１の先端部側には、熱伝導率が大きい絶縁材１４ａが、第１の検知部３の全体を覆うように充填され、第１の検知部３は絶縁材１４ａによって第１の円筒管１１の内部に固定されている。本実施形態では、第１の円筒管１１の内部へ接着剤を注入して、第１の検知部３が浸漬された状態で接着剤を硬化することにより絶縁材１４ａを第１の円筒管１１の内部へ充填している。
【００３４】
第１の検知部３には信号線５が接続され、信号線５は第１の円筒管１１の基端部から測定管２の外部へ引き出されて電子回路部（図示せず）へ電気的に接続されている。
第１の円筒管１１の内部における絶縁材１４ａが充填された位置よりも測定管２の端部側の位置には、熱伝導率が小さい絶縁材１４ｂが充填されている。第１の検知部３に接続された信号線５は、この絶縁材１４ｂによって第１の円筒管１１の内部に固定されている。本実施形態では、絶縁材１４ａとなる接着剤を注入して硬化させた後、この接着剤とは別種の接着剤を第１の円筒管１１の内部へ注入して硬化することにより絶縁材１４ｂを充填している。
【００３５】
熱伝導率が大きい絶縁材１４ａとしては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、あるいはこのような合成樹脂にフィラー等を添加して熱伝導率を向上させたもの、構造制御型エポキシ樹脂などを挙げることができる。
【００３６】
絶縁材１４ａよりも熱伝導率が小さい絶縁材１４ｂとしては、芳香族ポリイミドをベースとしたワニス（商品名：ＳＫＹＢＯＮＤ、米国モンサント社）などを挙げることができる。この製品は、ハニカムを形成することができることから熱伝達を充分に小さくすることができる。この他、スポンジ形状のシリコーンゴムなどを使用することができる。
【００３７】
第２の検知部４は、測定管２の上流側端部に固定され先端部が封止された第２の円筒管１２の先端部側に収納されている。第２の円筒管１２は第１の円筒管１１と同様に、その管軸が測定管２の管路２ａの軸と平行となるように配置され、第１の円筒管１１と第２の円筒管１２は、これらの先端部が管路２ａの軸に沿って互いに対向するように配置されている。
【００３８】
第２の円筒管１２の先端部側には、熱伝導率が大きい絶縁材１４ａが、第２の検知部４の全体を覆うように充填され、第２の検知部４は絶縁材１４ａによって第２の円筒管１２の内部に固定されている。上記と同様に、第２の円筒管１２の内部へ接着剤を注入して、第２の検知部４が浸漬された状態で接着剤を硬化することにより絶縁材１４ａを第２の円筒管１２の内部へ充填している。
【００３９】
第２の検知部４には信号線６が接続され、信号線６は第２の円筒管１２の基端部から測定管２の外部へ引き出されて第１の検知部３が接続された上記の電子回路部へ電気的に接続されている。
【００４０】
第２の円筒管１２の内部における絶縁材１４ａが充填された位置よりも測定管２の端部側の位置には、熱伝導率が小さい絶縁材１４ｂが充填されている。第２の検知部４に接続された信号線６は、この絶縁材１４ｂによって第２の円筒管１２の内部に固定されている。
【００４１】
上記と同様に、絶縁材１４ａとなる接着剤を注入して硬化させた後、この接着剤とは別種の接着剤を第２の円筒管１２の内部へ注入して硬化することにより絶縁材１４ｂを充填している。
【００４２】
第１の円筒管１１と第２の円筒管１２はそれぞれ、測定管２の外側端部に配置された端板２１によって測定管２の外面に嵌め込まれたシール部材（Ｏリング２２）を加圧することによりシールされている。
【００４３】
図３に示したように、端板２１にはその中央部に第１の円筒管１１（第２の円筒管１２）の径と略同一の径である孔２１ａと、それよりも小さい径の孔２１ｂが形成されている。小径の孔２１ｂを設けることで、孔２１ａに挿入された第１の円筒管１１（第２の円筒管１２）が管路２ａの内圧に抗して固定される。端板２１の四隅には図１のねじ２３を螺合させて端板２１を測定管２の外側端部にＯリング２２を介して固定するための螺合孔２１ｃが形成されている。端板２１の材質には、外部への熱伝導を抑制するために、熱伝導率が小さいもの、例えばゴム材などが用いられる。
【００４４】
第１の円筒管１１（第２の円筒管１２）は、測定管２の管路２ａから外部へ貫通する貫通孔２ｂに挿入される。測定管２の外面には、貫通孔２ｂと連続した凹部２ｃが設けられている。凹部２ｃは、貫通孔２ｂの開口から外側へ向かって次第に拡径する円錐形状になっている。この凹部２ｃに嵌め込まれたＯリング２２に第１の円筒管１１（第２の円筒管１２）を貫通させるとともに、あらかじめ端板２１の孔２１ａに第１の円筒管１１（第２の円筒管１２）を孔２１ｂに突き当たるまで挿入したものを、ねじ２３によって測定管２の外側端部に螺着してＯリング２２を加圧する。これによって、Ｏリング２２を断面三角形状に変形させてシールするとともに、第１の円筒管１１（第２の円筒管１２）を測定管
２に固定する。
【００４５】
端板２１の孔２１ｂには、第１の円筒管１１（第２の円筒管１２）が挿入された位置よりも外側から熱伝導率の小さい絶縁材１４ｃが充填されている。本実施形態では、端板２１を測定管２に固定した後、端板２１の孔２１ｂの外側開口から接着剤を注入して硬化することにより絶縁材１４ｃを充填している。信号線５（信号線６）は、端板２１の孔２１ｂの外側開口から外部へ引き出され、上記の電子回路部へ接続される。
【００４６】
以上のように、第１の円筒管１１および第２の円筒管１２を管路２ａの軸に沿って配置するとともに、その内部に管路軸に沿って第１の検知部３と第２の検知部４とを収納しているので、被測定流体が第１の検知部３および第２の検知部４を貫流して、これらの検知部における感温面のほぼ全面に被測定流体の流れが接する。さらに、第１の円筒管１１（第２の円筒管１２）と管路２ａについて軸回りの指向性がないように第１の検知部３と第１の検知部４とが配置されているので、本実施形態の熱式流量計１は精度の良い計測を行うことができる。
【００４７】
さらに本実施形態の熱式流量計１は、第１の円筒管１１および第２の円筒管１２に熱伝導率が小さい絶縁材１４ｂを充填しているので、第１の検知部３および第２の検知部４の感温部への外気の影響が非常に少なく、精度の良い計測を行うことができるとともに、流量変化の際の応答性が高い。
【００４８】
第１の検知部３と第２の検知部４は、測定管２の外部に設けられた電子回路部へ信号線５，６によって接続され、第１の検知部３と第２の検知部４からの電気信号をこの電子回路部で処理することによって被測定流体の流量が得られる。電子回路部には、第１の検知部３における感温部の抵抗と、第２の検知部４における感温部の抵抗とを含んだブリッジ回路が設けられ、第１の検知部３の感温部により検知される放熱量と、第２の検知部４の感温部により検知される被測定流体の温度とに応じた信号をブリッジ回路から取り出すことによって被測定流体の流量が計測される。
【００４９】
図２は、本発明の他の実施形態における熱式流量計を示した断面図である。なお、上述した実施形態と共通する部材は同一の符号で示しその詳細な説明を省略する。本実施形態の熱式流量計１は、基本的な構成は図１と同様であるが、測定管２の両端部に固定された一本の円筒管１３に第１の検知部３と第２の検知部４とを収納するとともに、円筒管１３の内部における第１の検知部３と第２の検知部４との間に、熱伝導率が小さい絶縁材１４ｄを充填している。
【００５０】
絶縁材１４ｄは、加熱された第１の検知部３から第２の検知部４への熱伝達を充分に抑制するためのものであり、その材質および充填する管軸方向への長さはこの目的に沿って決められる。絶縁材１４ｄの材質の具体例としては、ゴム材、樹脂材を挙げることができ、樹脂材の場合には、例えば、接着剤を注入して硬化することにより絶縁材１４ｄを充填することができる。
【００５１】
本実施形態の熱式流量計１は、円筒管１３を管路２ａの軸に沿って配置するとともに、その内部に管路軸に沿って第１の検知部３と第２の検知部４とを収納しているので、被測定流体が第１の検知部３および第２の検知部４を貫流して、これらの検知部における感温面のほぼ全面に被測定流体の流れが接する。さらに、円筒管１３と管路２ａについて軸回りの指向性がないように第１の検知部３と第２の検知部４とが配置されているので、本実施形態の熱式流量計１は精度の良い計測を行うことができる。
【００５２】
さらに本実施形態の熱式流量計１は、円筒管１３の内部における第１の検知部３と第２
の検知部４よりも測定管２の端部側に、熱伝導率が小さい絶縁材１４ｂを充填しているので、第１の検知部３と第２の検知部４の感温部への外気の影響が非常に少なく、精度の良い計測を行うことができるとともに、流量変化の際の応答性が高い。
【００５３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において各種の変形、変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】図１は、本発明の熱式流量計における一つの実施形態を示した断面図である。
【図２】図２は、本発明の熱式流量計における他の実施形態を示した断面図である。
【図３】図３は、端板の正面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  熱式流量計
２  測定管
２ａ  管路
２ｂ  貫通孔
２ｃ  凹部
３  第１の検知部
４  第２の検知部
５  信号線
６  信号線
１１  第１の円筒管
１２  第２の円筒管
１３  円筒管
１４ａ  絶縁材
１４ｂ  絶縁材
１４ｃ  絶縁材
１４ｄ  絶縁材
２１  端板
２１ａ  孔
２１ｂ  孔
２１ｃ  螺合孔
２２  Ｏリング
２３  ねじ
３１ａ,３１ｂ  配管
【図１】
2006284321.tif 000003
【図２】
2006284321.tif 000004
【図３】
2006284321.tif 000005