(57)【要約】【課題】  インターポーザーを容易かつ確実にアンテナ形成済シートに実装することができ、実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができるインターポーザーの実装方法、この実装方法に用いられる熱カシメ装置およびこの実装方法により得られるインターポーザー実装済シートを提供すること。【解決手段】  第１非導電層１１と、拡大電極１２と、ＩＣチップ１３とを有するインターポーザー１０を、第２非導電層２１と、アンテナ２２とを有するアンテナ形成済シート２０上に実装するにあたり、インターポーザー１０を、ヒータ３２が内蔵されたカシメ刃３１によりアンテナ形成済シート２０側に押圧する。このことにより、第１非導電層１１をカシメ刃３１の熱により融解させる。そして、拡大電極１２とアンテナ２２とを直接的に接着させる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた第１導電層からなる拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられた第２導電層からなるアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、
アンテナ形成済シート上にインターポーザーを重ね合わせる載置工程と、
アンテナ形成済シート上に載せられたインターポーザーを、ヒータが内蔵された伝熱性のカシメ刃によりアンテナ形成済シート側に押圧し、インターポーザーの第１非導電層をカシメ刃の熱により融解させ、インターポーザーの拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとを接着させる熱カシメ工程と、
を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法。
【請求項２】
インターポーザーの第１非導電層は合成樹脂シートからなることを特徴とする請求項１記載のインターポーザーの実装方法。
【請求項３】
カシメ刃はこのカシメ刃の温度を測定する熱電対を内蔵し、
ヒータ温度制御部により、熱電対により測定されたカシメ刃の測定温度に基づいて、ヒータが制御されてカシメ刃の温度が調整されることを特徴とする請求項１または２記載のインターポーザーの実装方法。
【請求項４】
熱カシメ工程中において、受け台ヒータにより加熱された受け台によってアンテナ形成済シートおよびインターポーザーを更に加熱することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のインターポーザーの実装方法。
【請求項５】
熱カシメ工程の前工程において、アンテナ形成済シート上に載せられたインターポーザーを予押圧器によりアンテナ形成済シート側に予押圧する予押圧工程を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のインターポーザーの実装方法。
【請求項６】
予押圧工程中において、予押圧器ヒータにより加熱された予押圧器によってインターポーザーを加熱しながらアンテナ形成済シート側に予押圧することを特徴とする請求項５記載のインターポーザーの実装方法。
【請求項７】
予押圧工程中において、予押圧器用受け台ヒータにより加熱された予押圧器用受け台によってアンテナ形成済シートおよびインターポーザーを更に加熱することを特徴とする請求項５または６記載のインターポーザーの実装方法。
【請求項８】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた第１導電層からなる拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられた第２導電層からなるアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装する熱カシメ装置であって、
アンテナ形成済シートを受ける受け台と、
アンテナ形成済シート上に載せられたインターポーザーを受け台上のアンテナ形成済シート側に押圧する伝熱性のカシメ刃と、
カシメ刃に内蔵されこのカシメ刃を加熱するヒータと、
を備えたことを特徴とする熱カシメ装置。
【請求項９】
カシメ刃に内蔵され、カシメ刃の温度を測定する熱電対と、
熱電対により測定されたカシメ刃の測定温度に基づいて、ヒータを制御してカシメ刃の温度を調整するヒータ温度制御部と、
を更に備えたことを特徴とする請求項８記載の熱カシメ装置。
【請求項１０】
受け台に内蔵され、この受け台を加熱する受け台ヒータを更に備えたことを特徴とする請求項８または９記載の熱カシメ装置。
【請求項１１】
カシメ刃および受け台の上流側に、アンテナ形成済シート上に載せられたインターポーザーをアンテナ形成済シート側に予押圧する予押圧器と、アンテナ形成済シートを受ける予押圧器用受け台とを更に備えたことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の熱カシメ装置。
【請求項１２】
予押圧器に内蔵され、この予押圧器を加熱する予押圧器ヒータを更に備えたことを特徴とする請求項１１記載の熱カシメ装置。
【請求項１３】
予押圧器用受け台に内蔵され、この予押圧器用受け台を加熱する予押圧器用受け台ヒータを更に備えたことを特徴とする請求項１１または１２記載の熱カシメ装置。
【請求項１４】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた第１導電層からなる拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられた第２導電層からなるアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に、加熱加圧装置を用いて実装したインターポーザー実装済シートであって、
拡大電極は加熱加圧装置に対応する凹部を有し、拡大電極の凹部とアンテナとの間の第１非導電層は加熱により融解されて除去され、凹部とアンテナとは直接的に接着していることを特徴とするインターポーザー実装済シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インターポーザーをアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法、この実装方法に用いられる熱カシメ装置およびこの実装方法により得られるインターポーザー実装済シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極（第１導電層）と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナ（第２導電層）とを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法としては、例えばカシメ工程による実装方法が知られている。図５は、カシメ工程によりインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０に実装する際のインターポーザー１０およびアンテナ形成済シート２０の縦断面図である。
【０００３】
このカシメ工程においては、アンテナ形成済シート２０上にインターポーザー１０を載置し、図５に示すようにこのインターポーザー１０の拡大電極１２に対して上方からカシメ刃５０を強く押圧する。そして、例えば合成樹脂シートからなるインターポーザー１０の第１非導電層１１をカシメ刃５０の押圧力によって突き破ることによりインターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とを接続させている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、カシメ工程によりインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０に実装する方法においては、カシメ刃５０による押圧力でもインターポーザー１０の第１非導電層１１を完全に突き破ることができない場合があり、インターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とを確実に電気的に接続することができないという問題がある。
【０００５】
また、カシメ刃５０による押圧力だけでは、インターポーザー１０とアンテナ形成済シート２０との間の接着強度を十分に大きなものとすることができないという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、インターポーザーを容易かつ確実にアンテナ形成済シートに実装することができるとともに、実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができるインターポーザーの実装方法を提供することを目的とする。
【０００７】
また、本発明は、インターポーザーを容易かつ確実にアンテナ形成済シートに実装することができるとともに、実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができる熱カシメ装置を提供することを目的する。
【０００８】
また、本発明は、インターポーザーが確実にアンテナ形成済シートに実装され、この実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができるインターポーザー実装済シートを提供することを目的する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた第１導電層からなる拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられた第２導電層からなるアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、アンテナ形成済シート上にインターポーザーを重ね合わせる載置工程と、アンテナ形成済シート上に載せられたインターポーザーを、ヒータが内蔵された伝熱性のカシメ刃によりアンテナ形成済シート側に押圧し、インターポーザーの第１非導電層をカシメ刃の熱により融解させ、インターポーザーの拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとを接着させる熱カシメ工程と、を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法である。
ここで、「インターポーザーをアンテナ形成済シート上に実装する」とは、インターポーザーをアンテナ形成済シートのアンテナ上の所定箇所に搭載した後、電気的に接続することをいう。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、インターポーザーの第１非導電層をカシメ刃の押圧力により突き破ることのみならずカシメ刃の熱によってこの第１非導電層を融解させるので、インターポーザーの拡大電極を容易かつ確実にアンテナ形成済シートのアンテナに電気的に接続させることができる。しかも、融解した第１非導電層が再び冷却されて固化することによりインターポーザーをアンテナ形成済シートに融着させるので、インターポーザーとアンテナ形成済シートとの間の接着強度を大きくすることができ、実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができる。
【００１０】
本発明のインターポーザーの実装方法においては、インターポーザーの第１非導電層は合成樹脂シートからなることが好ましい。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、第１非導電層をより確実にカシメ刃の熱により融解させることができ、また融解した第１非導電層が再びインターポーザーをより確実にアンテナ形成済シートに融着させることができる。
【００１１】
本発明のインターポーザーの実装方法においては、カシメ刃はこのカシメ刃の温度を測定する熱電対を内蔵し、ヒータ温度制御部により、熱電対により測定されたカシメ刃の測定温度に基づいて、ヒータが制御されてカシメ刃の温度が調整されることが好ましい。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、実装工程においてカシメ刃を所期の温度に維持することができ、第１非導電層をより確実にカシメ刃の熱により融解させることができる。
【００１２】
本発明のインターポーザーの実装方法においては、熱カシメ工程中において、受け台ヒータにより加熱された受け台によってアンテナ形成済シートおよびインターポーザーを更に加熱することが好ましい。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、カシメ刃がインターポーザーをアンテナ形成済シートに押圧する際に、受け台によりインターポーザーに追加の熱を与えることができるので、このインターポーザーの第１非導電層をカシメ刃の熱および受け台の熱により確実に融解させることができる。
【００１３】
本発明のインターポーザーの実装方法においては、熱カシメ工程の前工程において、アンテナ形成済シート上に載せられたインターポーザーを予押圧器によりアンテナ形成済シート側に予押圧する予押圧工程を更に備えたことが好ましい。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、カシメ刃によりインターポーザーの拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとを接着させる前に、予押圧器により予めインターポーザーをアンテナ形成済シート側に押圧しておくことによって、このインターポーザーにおけるカシメ刃により押圧されるべき部分の第１非導電層の厚みを小さくしておくことができる。このため、第１非導電層をより確実にカシメ刃の熱により融解させることができる。
【００１４】
本発明のインターポーザーの実装方法においては、予押圧工程中において、予押圧器ヒータにより加熱された予押圧器によってインターポーザーを加熱しながらアンテナ形成済シート側に予押圧することが好ましい。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、予押圧器により予めインターポーザーをアンテナ形成済シート側に押圧する際に、予押圧器の熱によってカシメ刃により押圧されるべき部分の第１非導電層を融解させることができ、この第１非導電層の厚みを更に小さくしておくことができる。
【００１５】
本発明のインターポーザーの実装方法においては、予押圧工程中において、予押圧器用受け台ヒータにより加熱された予押圧器用受け台によってアンテナ形成済シートおよびインターポーザーを更に加熱することが好ましい。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、予押圧器により予めインターポーザーをアンテナ形成済シート側に押圧する際に、予押圧器用受け台によりインターポーザーに追加の熱を与えることができるので、この熱によってカシメ刃により押圧されるべき部分の第１非導電層を融解させることができ、この第１非導電層の厚みを更に小さくしておくことができる。
【００１６】
本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた第１導電層からなる拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられた第２導電層からなるアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装する熱カシメ装置であって、アンテナ形成済シートを受ける受け台と、アンテナ形成済シート上に載せられたインターポーザーを受け台上のアンテナ形成済シート側に押圧する伝熱性のカシメ刃と、カシメ刃に内蔵されこのカシメ刃を加熱するヒータと、を備えたことを特徴とする熱カシメ装置である。
このような熱カシメ装置によれば、インターポーザーの第１非導電層をカシメ刃の押圧力により突き破ることのみならずカシメ刃の熱によってこの第１非導電層を融解させるので、インターポーザーの拡大電極を容易かつ確実にアンテナ形成済シートのアンテナに電気的に接続させることができる。しかも、融解した第１非導電層が再び冷却されて固化することによりインターポーザーをアンテナ形成済シートに融着させるので、インターポーザーとアンテナ形成済シートとの間の接着強度を大きくすることができ、実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができる。
【００１７】
本発明の熱カシメ装置においては、カシメ刃に内蔵され、カシメ刃の温度を測定する熱電対と、熱電対により測定されたカシメ刃の測定温度に基づいて、ヒータを制御してカシメ刃の温度を調整するヒータ温度制御部と、を更に備えたことが好ましい。
このような熱カシメ装置によれば、実装工程においてカシメ刃を所期の温度に維持することができ、第１非導電層をより確実にカシメ刃の熱により融解させることができる。
【００１８】
本発明の熱カシメ装置においては、受け台に内蔵され、この受け台を加熱する受け台ヒータを更に備えたことが好ましい。
このような熱カシメ装置によれば、カシメ刃がインターポーザーをアンテナ形成済シートに押圧する際に、受け台によりインターポーザーに追加の熱を与えることができるので、このインターポーザーの第１非導電層をカシメ刃の熱および受け台の熱により確実に融解させることができる。
【００１９】
本発明の熱カシメ装置においては、カシメ刃および受け台の上流側に、アンテナ形成済シート上に載せられたインターポーザーをアンテナ形成済シート側に予押圧する予押圧器と、アンテナ形成済シートを受ける予押圧器用受け台とを更に備えたことが好ましい。
このような熱カシメ装置によれば、カシメ刃によりインターポーザーの拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとを接着させる前に、予押圧器により予めインターポーザーをアンテナ形成済シート側に押圧しておくことによって、このインターポーザーにおけるカシメ刃により押圧されるべき部分の第１非導電層の厚みを小さくしておくことができる。このため、第１非導電層をより確実にカシメ刃の熱により融解させることができる。
【００２０】
本発明の熱カシメ装置においては、予押圧器に内蔵され、この予押圧器を加熱する予押圧器ヒータを更に備えたことが好ましい。
このような熱カシメ装置によれば、予押圧器により予めインターポーザーをアンテナ形成済シート側に押圧する際に、予押圧器の熱によってカシメ刃により押圧されるべき部分の第１非導電層を融解させることができ、この第１非導電層の厚みを更に小さくしておくことができる。
【００２１】
本発明の熱カシメ装置においては、予押圧器用受け台に内蔵され、この予押圧器用受け台を加熱する予押圧器用受け台ヒータを更に備えたことが好ましい。
このような熱カシメ装置によれば、予押圧器により予めインターポーザーをアンテナ形成済シート側に押圧する際に、予押圧器用受け台によりインターポーザーに追加の熱を与えることができるので、この熱によってカシメ刃により押圧されるべき部分の第１非導電層を融解させることができ、この第１非導電層の厚みを更に小さくしておくことができる。
【００２２】
本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた第１導電層からなる拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられた第２導電層からなるアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に、加熱加圧装置を用いて実装したインターポーザー実装済シートであって、拡大電極は加熱加圧装置に対応する凹部を有し、拡大電極の凹部とアンテナとの間の第１非導電層は加熱により融解されて除去され、凹部とアンテナとは直接的に接着していることを特徴とするインターポーザー実装済シートである。
このようなインターポーザー実装済シートによれば、インターポーザーの拡大電極の凹部がアンテナ形成済シートのアンテナに直接的に接着しているので、インターポーザーの拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとの間の電気的な接続を確実なものとすることができる。しかも、融解した後に再び冷却されて固化した第１非導電層によりインターポーザーがアンテナ形成済シートに融着しているので、インターポーザーとアンテナ形成済シートとの間の接着強度を大きくすることができ、実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のインターポーザーの実装方法によれば、インターポーザーの第１非導電層をカシメ刃の押圧力により突き破ることのみならずカシメ刃の熱によってこの第１非導電層を融解させるので、インターポーザーの拡大電極を容易かつ確実にアンテナ形成済シートのアンテナに電気的に接続させることができる。しかも、融解した第１非導電層が再び冷却されて固化することによりインターポーザーをアンテナ形成済シートに融着させるので、インターポーザーとアンテナ形成済シートとの間の接着強度を大きくすることができ、実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができる。
【００２４】
また、本発明の熱カシメ装置によれば、インターポーザーの第１非導電層をカシメ刃の押圧力により突き破ることのみならずカシメ刃の熱によってこの第１非導電層を融解させるので、インターポーザーの拡大電極を容易かつ確実にアンテナ形成済シートのアンテナに電気的に接続させることができる。しかも、融解した第１非導電層が再び冷却されて固化することによりインターポーザーをアンテナ形成済シートに融着させるので、インターポーザーとアンテナ形成済シートとの間の接着強度を大きくすることができ、実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができる。
【００２５】
また、本発明のインターポーザー実装済シートによれば、インターポーザーの拡大電極の凹部がアンテナ形成済シートのアンテナに直接的に接着しているので、インターポーザーの拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとの間の電気的な接続を確実なものとすることができる。しかも、融解した後に再び冷却されて固化した第１非導電層によりインターポーザーがアンテナ形成済シートに融着しているので、インターポーザーとアンテナ形成済シートとの間の接着強度を大きくすることができ、実装されたインターポーザーがアンテナ形成済シートから剥離することを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
第１の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。図１は、インターポーザーをアンテナ形成済シートに実装する前のインターポーザーおよびアンテナ形成済シートの縦断面図であり、図２は、本実施の形態における熱カシメ装置ならびにこの熱カシメ装置に送られるインターポーザーおよびアンテナ形成済シートを示す斜視図であり、図３は、図２の熱カシメ装置、インターポーザーおよびアンテナ形成済シートの縦断面図であり、図４は、インターポーザーを熱カシメ装置によりアンテナ形成済シートに実装した後のインターポーザー実装済シートの縦断面図である。
【００２７】
まず、図４において、本発明によるインターポーザーの実装方法によって得られるインターポーザー実装済シート（ＩＣタグ付シート）４０について簡単に説明する。
図４に示すように、インターポーザー実装済シート４０は、第２非導電層２１と、この第２非導電層２１上に設けられたアンテナ（第２導電層）２２とを有するアンテナ形成済シート２０と、このアンテナ形成済シート２０上に実装され、第１非導電層１１と、この第１非導電層１１上に設けられた拡大電極（第１導電層）１２と、拡大電極１２上に設けられたＩＣチップ１３とを有するインターポーザー１０とを備えている。
【００２８】
このようなインターポーザー実装済シート４０は、以下のような工程を順次経ることにより製造される。
【００２９】
まず、図１を用いてインターポーザー１０およびアンテナ形成済シート２０の準備工程について説明する。
【００３０】
この準備工程においては、非導通性の第１非導電層１１上に、接着剤（図示せず）を介してアルミニウム、銅等からなる金属箔の導通性の拡大電極（第１導電層）１２を形成し、さらに、この拡大電極１２上にＩＣチップ１３を実装することにより、第１非導電層１１と、拡大電極１２と、ＩＣチップ１３とを有するインターポーザー１０を製造する。第１非導電層１１は熱により融解するものとなっており、具体的には例えばポリエチレン（ＰＥ）、塩化ビニル（ＰＶＣ）、ＡＢＳ等の合成樹脂シートからなっている。
【００３１】
一方、例えば紙、樹脂からなる非導通性の第２非導電層２１上に、接着剤（図示せず）を介してアルミニウム、銅等からなる金属箔の導通性のアンテナ（第２導電層）２２を形成することにより、第２非導電層２１と、アンテナ２２とを有するアンテナ形成済シート２０を製造する。
【００３２】
なお、拡大電極１２およびアンテナ２２は金属箔からなるものに限られず、例えば印刷やエッチングで形成されるものであってもよい。
【００３３】
次に、図２および図３を用いてインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０に実装する実装方法について説明する。
ここで、「インターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０上に実装する」とは、インターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２上の所定箇所に搭載した後、電気的に接続することをいう。
【００３４】
はじめに本実施の形態の実装を行う熱カシメ装置３０について説明する。
この熱カシメ装置３０は、アンテナ形成済シート２０を受ける受け台３５と、アンテナ形成済シート２０上に載せられたインターポーザー１０を受け台３５上のアンテナ形成済シート２０側（図２の下方）に押圧する伝熱性のカシメ刃３１と、カシメ刃３１に内蔵されこのカシメ刃３１に熱を伝えるヒータ３２と、カシメ刃３１に内蔵されこのカシメ刃３１の温度を測定する熱電対３３とを備えている。また、図２に示すようにヒータ３２および熱電対３３にはヒータ温度制御部３４が接続されており、熱電対３３により測定されたカシメ刃３１の測定温度に基づいて、ヒータ３２を制御してカシメ刃３１の温度を調整するようになっている。
【００３５】
熱カシメ装置３０のカシメ刃３１は合金工具鋼（ＳＫＳ３、ＳＫＤ１１）、高速度工具鋼（ＳＫＨ５１）、粉末ハイス、超硬合金等からなっており、このカシメ刃３１の熱伝導率は例えば２５〜３５Ｗ／ｍ・℃となっている。カシメ刃３１はインターポーザー１０を載置したアンテナ形成済シート２０が送られる場所よりも上方に設けられている。
【００３６】
カシメ刃３１が合金工具鋼（ＳＫＳ３、ＳＫＤ１１）、高速度工具鋼（ＳＫＨ５１）、粉末ハイス、超硬合金等からなることにより、このカシメ刃３１を耐摩耗性の優れたものとすることができ、また十分な伝熱性を有するものとすることができ、このことにより、インターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０により確実に実装することができる。
【００３７】
カシメ刃３１に内蔵されたヒータ３２は、図３に示すようにセットネジ３２ａによってこのカシメ刃３１内に固定されている。インターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０に実装する実装工程においては、ヒータ３２がカシメ刃３１を加熱し、このカシメ刃３１の温度が後述のように例えば２００℃以上に調整されるようになっている。
【００３８】
また、カシメ刃３１に内蔵された熱電対３３は、図３に示すようにセットネジ３３ａ、３３ａによってこのカシメ刃３１内に固定されている。この熱電対３３は、ヒータ３２により加熱されたカシメ刃３１の温度を測定するものである。
【００３９】
熱電対３３により測定されたカシメ刃３１の測定温度は、この熱電対３３に接続されたヒータ温度制御部３４に送られる。ヒータ温度制御部３４は、熱電対３３により測定されたカシメ刃３１の測定温度に基づいてヒータ３２を制御してカシメ刃３１の温度を調整する。ヒータ温度制御部３４においては、例えばＰＩＤ制御によりカシメ刃３１の実際の温度をこのカシメ刃３１の設定温度に維持するよう、ヒータ３２の制御が行われる。
具体的には、例えば熱電対３３により測定されたカシメ刃３１の測定温度が２００℃よりも小さくなった場合には、ヒータ温度制御部３４はヒータ３２を制御してこのヒータ３２による加熱温度を上昇させる。
また、このヒータ温度制御部３４には、カシメ刃３１の設定温度を表示する設定温度モニタ３４ａおよびカシメ刃３１の測定温度を表示する測定温度モニタ３４ｂが設けられている。
【００４０】
次に、本実施の形態の実装方法について述べる。
まず、図１および図２に示すようにインターポーザー１０がアンテナ形成済シート２０上に載置される。この場合、インターポーザー１０の第１非導電層１１の裏面またはアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２の表面に接着剤が塗布されており、インターポーザー１０はアンテナ形成済シート２０上に仮接着される。その後、このアンテナ形成済シート２０が熱カシメ装置３０の受け台３５に達し、同時にインターポーザー１０はカシメ刃３１の真下に到達する。
【００４１】
このように、アンテナ形成済シート２０上のインターポーザー１０が熱カシメ装置３０のカシメ刃３１の真下に到達したときに（図３参照）、このカシメ刃３１がインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側（図２および図３の下方）に押圧する。
【００４２】
この際、カシメ刃３１はヒータ３２により加熱されている。また、熱電対３３がカシメ刃３１の温度を測定し、測定されたカシメ刃３１の測定温度に基づいてヒータ温度制御部３４がヒータ３２を制御してカシメ刃３１の温度を調整しており、その結果カシメ刃３１は例えば２００℃以上となっている。
【００４３】
この場合、例えば合成樹脂シートからなるインターポーザー１０の第１非導電層１１をカシメ刃３１の押圧力および熱によって突き破ることにより、図４に示すようにインターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とを接着させることができる。この際、インターポーザー１０の第１非導電層１１はカシメ刃３１の熱により融解する。
このようにして、インターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とが電気的に接続される。
【００４４】
上述のように、本実施の形態の実装方法によって、図４に示すような、拡大電極１２がカシメ刃３１に対応する凹部１２ａを有し、拡大電極１２の凹部１２ａとアンテナ２２との間の第１非導電層１１が加熱により融解されて除去され、凹部１２ａとアンテナ２２とが直接的に接着しているインターポーザー実装済シート４０を得ることができる。
【００４５】
本実施の形態のインターポーザー１０の実装方法によれば、インターポーザー１０の第１非導電層１１をカシメ刃３１の押圧力により突き破ることのみならずカシメ刃３１の熱によってこの第１非導電層１１を融解させるので、インターポーザー１０の拡大電極１２を容易かつ確実にアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２に電気的に接続させることができる。しかも、融解した第１非導電層１１が再び冷却されて固化することによりインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０に融着させるので、インターポーザー１０とアンテナ形成済シート２０との間の接着強度を大きくすることができ、実装されたインターポーザー１０がアンテナ形成済シート２０から剥離することを確実に防止することができる。
【００４６】
また、インターポーザー１０の第１非導電層１１は合成樹脂シートからなっているので、この第１非導電層１１をより確実にカシメ刃３１の熱により融解させることができ、また融解した第１非導電層１１が再びインターポーザー１０をより確実にアンテナ形成済シート２０に融着させることができる。
【００４７】
また、カシメ刃３１はこのカシメ刃３１の温度を測定する熱電対３３を内蔵し、ヒータ温度制御部３４により、熱電対３３により測定されたカシメ刃３１の測定温度に基づいて、ヒータ３２を制御してカシメ刃３１の温度を調整するようになっているので、実装工程においてカシメ刃３１を所期の温度に維持することができ、第１非導電層１１をより確実にカシメ刃３１の熱により融解させることができる。
【００４８】
本実施の形態の熱カシメ装置３０によれば、インターポーザー１０の第１非導電層１１をカシメ刃３１の押圧力により突き破ることのみならずカシメ刃３１の熱によってこの第１非導電層１１を融解させるので、インターポーザー１０の拡大電極１２を容易かつ確実にアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２に電気的に接続させることができる。しかも、融解した第１非導電層１１が再び冷却されて固化することによりインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０に融着させるので、インターポーザー１０とアンテナ形成済シート２０との間の接着強度を大きくすることができ、実装されたインターポーザー１０がアンテナ形成済シート２０から剥離することを確実に防止することができる。
【００４９】
本実施の形態のインターポーザー実装済シート４０によれば、インターポーザー１０の拡大電極１２の凹部１２ａがアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２に直接的に接着しているので、インターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２との間の電気的な接続を確実なものとすることができる。しかも、融解した後に再び冷却されて固化した第１非導電層１１によりインターポーザー１０がアンテナ形成済シート２０に融着しているので、インターポーザー１０とアンテナ形成済シート２０との間の接着強度を大きくすることができ、実装されたインターポーザー１０がアンテナ形成済シート２０から剥離することを確実に防止することができる。
【００５０】
上記実施の形態において、インターポーザー１０のＩＣチップ１３はアンテナ２２と反対側を向いているが、インターポーザー１０のＩＣチップ１３がアンテナ２２側を向いていても良い。この場合、アンテナ２２とＩＣチップ１３との間に絶縁層が挿入される。
【００５１】
第２の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。図６は、本実施の形態における熱カシメ装置ならびにこの熱カシメ装置に送られるインターポーザーおよびアンテナ形成済シートを示す斜視図であり、図７は、インターポーザーを予押圧器によりアンテナ形成済シート側に押圧する際の縦断面図である。
【００５２】
図６および図７に示す熱カシメ装置３０は、アンテナ形成済シート２０の搬送方向（図６の矢印方向）においてカシメ刃３１および受け台３５の上流側に予押圧器６０および予押圧器用受け台６５を更に設けた点が異なるのみであり、他は実質的に図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同様の構成を有している。
図６および図７に示す本実施の形態において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５３】
図６に示すように、インターポーザー１０がアンテナ形成済シート２０上に載置される載置箇所の下流側であって、カシメ刃３１および受け台３５の上流側に予押圧器６０および予押圧器用受け台６５が設けられている。
予押圧器６０はアンテナ形成済シート２０のインターポーザー１０側に設置されており、アンテナ形成済シート２０上に載せられたインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側に押圧するよう構成されている。一方、予押圧器用受け台６５はアンテナ形成済シート２０の裏面側に設置されており、このアンテナ形成済シート２０を受けるよう構成されている。
【００５４】
図７に示すように、予押圧器６０は、先端（図７の下端）に凸状の湾曲部６０ａを有しており、この予押圧器６０の湾曲部６０ａがインターポーザー１０を押圧するようになっている。また、予押圧器６０には、この予押圧器６０を加熱する予押圧器ヒータ６１が内蔵されている。
【００５５】
次に、本実施の形態の実装方法について図６および図７を用いて述べる。
インターポーザー１０がアンテナ形成済シート２０上に載置された後、アンテナ形成済シート２０およびインターポーザー１０は図６の矢印方向に搬送され、アンテナ形成済シート２０が予押圧器用受け台６５に達し、同時にインターポーザー１０は予押圧器６０の真下に到達する。この際に、予押圧器６０は予押圧器ヒータ６１の熱により予め加熱されている。
【００５６】
アンテナ形成済シート２０上のインターポーザー１０が予押圧器６０の真下に到達したときに、この予押圧器６０がインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側（図６および図７の下方）に押圧する。このときに、予押圧器６０がインターポーザー１０の第１非導電層１１に対して加熱を行う。
【００５７】
予押圧器６０がインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側に押圧した後、アンテナ形成済シート２０およびインターポーザー１０は更に図６の矢印方向に搬送され、カシメ刃３１および受け台３５に達する。
【００５８】
アンテナ形成済シート２０上のインターポーザー１０が熱カシメ装置３０のカシメ刃３１の真下に到達したときに、このカシメ刃３１がインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側に押圧する。
【００５９】
この際、カシメ刃３１はヒータ３２により加熱されている。また、熱電対３３がカシメ刃３１の温度を測定し、測定されたカシメ刃３１の測定温度に基づいてヒータ温度制御部３４がヒータ３２を制御してカシメ刃３１の温度を調整しており、その結果カシメ刃３１は例えば２００℃以上となっている。
【００６０】
この場合、例えば合成樹脂シートからなるインターポーザー１０の第１非導電層１１をカシメ刃３１の押圧力および熱によって突き破ることにより、図４に示すようにインターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とを接着させることができる。この際、インターポーザー１０の第１非導電層１１はカシメ刃３１の熱により融解する。
このようにして、インターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とが電気的に接続される。
【００６１】
上述のように本実施の形態のインターポーザー１０の実装方法および実装装置によれば、カシメ刃３１によりインターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とを接着させる前に、予押圧器６０により予めインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側に押圧しておくことによって、このインターポーザー１０におけるカシメ刃３１により押圧されるべき部分の第１非導電層１１の厚みを小さくしておくことができる。このため、第１非導電層１１をより確実にカシメ刃３１の熱により融解させることができる。
【００６２】
また、予押圧工程中において、予押圧器ヒータ６１により加熱された予押圧器６０によってインターポーザー１０を加熱しながらアンテナ形成済シート２０側に予押圧している。このため、予押圧器６０により予めインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側に押圧する際に、予押圧器６０の熱によってカシメ刃３１により押圧されるべき部分の第１非導電層１１を融解させることができ、この第１非導電層１１の厚みを更に小さくしておくことができる。
【００６３】
第３の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の第３の実施の形態について説明する。図８は、本実施の形態における熱カシメ装置ならびにこの熱カシメ装置に送られるインターポーザーおよびアンテナ形成済シートを示す斜視図である。
【００６４】
図８に示す熱カシメ装置３０は、受け台３５を加熱する受け台ヒータ７０がこの受け台３５に内蔵されている点が異なるのみであり、他は実質的に図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同様の構成を有している。
図８に示す本実施の形態において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６５】
図８に示すように、アンテナ形成済シート２０を受ける受け台３５には、この受け台３５を加熱する受け台ヒータ７０が内蔵されている。この受け台ヒータ７０は、カシメ刃３１に内蔵されたヒータ３２と略同一の構成となっている。
【００６６】
次に、本実施の形態の実装方法について述べる。
アンテナ形成済シート２０上のインターポーザー１０が熱カシメ装置３０のカシメ刃３１の真下に到達したときに、このカシメ刃３１がインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側に押圧する。
【００６７】
この際、カシメ刃３１はヒータ３２により加熱されている。また、熱電対３３がカシメ刃３１の温度を測定し、測定されたカシメ刃３１の測定温度に基づいてヒータ温度制御部３４がヒータ３２を制御してカシメ刃３１の温度を調整しており、その結果カシメ刃３１は例えば２００℃以上となっている。
【００６８】
この場合、例えば合成樹脂シートからなるインターポーザー１０の第１非導電層１１をカシメ刃３１の押圧力および熱によって突き破ることにより、図４に示すようにインターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とを接着させることができる。
【００６９】
更に、図８に示すように、カシメ刃３１がインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側に押圧する際に、受け台３５が受け台ヒータ７０により予め加熱されている。
このため、ヒータ３２により加熱されたカシメ刃３１によりインターポーザー１０が加熱されるとともに、受け台ヒータ７０により加熱された受け台３５によってアンテナ形成済シート２０およびインターポーザー１０が更に加熱される。
このようにして、インターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とが電気的に接続される。
【００７０】
上述のように本実施の形態のインターポーザー１０の実装方法および実装装置によれば、カシメ刃３１がインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０に押圧する際に、受け台３５によりインターポーザー１０に追加の熱を与えることができるので、このインターポーザー１０の第１非導電層１１をカシメ刃３１の熱および受け台３５の熱により確実に融解させることができる。
【００７１】
なお、本実施の形態によるインターポーザーの実装方法および実装装置は、上記の態様に限定されるものではなく、様々の変更を加えることができる。
次に本実施の形態によるインターポーザーの実装方法および実装装置の変形例について説明する。
【００７２】
本変形例においては、第２の実施の形態で述べたように、カシメ刃３１および受け台３５の上流側に、アンテナ形成済シート２０上に載せられたインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側に予押圧する予押圧器６０と、アンテナ形成済シート２０を受ける予押圧器用受け台６５とを更に設けた場合において、この予押圧器用受け台６５の内部に更に当該予押圧器用受け台６５を加熱する予押圧器用受け台ヒータ（図示せず）を設けてもよい。
この予押圧器用受け台ヒータは、受け台３５に内蔵された受け台ヒータ７０と略同一の構成となっている。
【００７３】
この変形例においては、予押圧器６０により予めインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０側に押圧する際に、予押圧器用受け台６５によりインターポーザー１０に追加の熱を与えることができるので、この熱によってカシメ刃３１により押圧されるべき部分の第１非導電層１１を融解させることができ、この第１非導電層１１の厚みを更に小さくしておくことができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】インターポーザーをアンテナ形成済シートに実装する前のインターポーザーおよびアンテナ形成済シートの縦断面図である。
【図２】第１の実施の形態における熱カシメ装置ならびにこの熱カシメ装置に送られるインターポーザーおよびアンテナ形成済シートを示す斜視図である。
【図３】図２の熱カシメ装置、インターポーザーおよびアンテナ形成済シートの縦断面図である。
【図４】インターポーザーを熱カシメ装置によりアンテナ形成済シートに実装した後のインターポーザー実装済シートの縦断面図である。
【図５】従来のカシメ工程によりインターポーザーをアンテナ形成済シートに実装する際のインターポーザーおよびアンテナ形成済シートの縦断面図である。
【図６】第２の形態における熱カシメ装置ならびにこの熱カシメ装置に送られるインターポーザーおよびアンテナ形成済シートを示す斜視図である。
【図７】インターポーザーを予押圧器によりアンテナ形成済シート側に押圧する際の縦断面図である。
【図８】第３の形態における熱カシメ装置ならびにこの熱カシメ装置に送られるインターポーザーおよびアンテナ形成済シートを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７５】
１０    インターポーザー
１１    第１非導電層
１２    拡大電極（第１導電層）
１２ａ  凹部
１３    ＩＣチップ
２０    アンテナ形成済シート
２１    第２非導電層
２２    アンテナ（第２導電層）
３０    熱カシメ装置
３１    カシメ刃
３２    ヒータ
３２ａ  セットネジ
３３    熱電対
３３ａ、３３ａ  セットネジ
３４    ヒータ温度制御部
３４ａ  設定温度モニタ
３４ｂ  測定温度モニタ
３５    受け台
４０    インターポーザー実装済シート
５０    カシメ刃
６０    予押圧器
６０ａ  湾曲部
６１    予押圧器ヒータ
６５    予押圧器用受け台
７０    受け台ヒータ
【図１】
2006107418.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006107418.tif 000007
【図６】
2006107418.tif 000008
【図７】
2006107418.tif 000009
【図８】
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