(57)【要約】【課題】  トレイを効率良く使い回すとともに、トレイの管理を容易に行うことができるトレイ搬送システムを提供することを課題とする。【解決手段】  板状ワーク３を載せるトレイ２と、該トレイ２が搬送される搬送路１０と、該搬送路１０に沿って配置された処理装置６・６・・・と、を備え、板状ワーク３を載せたトレイ２は搬送路１０上を搬送されてトレイ２上の板状ワーク３が処理装置６に供給されるトレイ搬送システム１であって、前記搬送路１０は、同じトレイ２が循環使用される閉ループ搬送路１２・１２・・・を複数有する構成とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを載せるトレイと、該トレイが搬送される搬送路と、該搬送路に沿って配置された処理装置と、を備え、前記板状ワークを載せたトレイは前記搬送路上を搬送されて前記トレイ上の板状ワークが前記処理装置に供給されるトレイ搬送システムであって、
前記搬送路は、同じトレイが循環使用される閉ループ搬送路を複数有することを特徴とするトレイ搬送システム。
【請求項２】
前記閉ループ搬送路は、
板状ワークを載せた実トレイを搬送するための実トレイ搬送路と、
前記実トレイ搬送路と平面視で重なるように配置された、空トレイを搬送するための空トレイ搬送路と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載のトレイ搬送システム。
【請求項３】
前記閉ループ搬送路は複数の処理装置に跨って形成されたことを特徴とする請求項２に記載のトレイ搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを載せたトレイを搬送するトレイ搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パソコンやテレビの画面等に使われる電子ディスプレイ（液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等）の需要が増大しており、電子ディスプレイを大量生産するシステムが要望されている。この電子ディスプレイは、原材料である板ガラスの表面にアレイ製造工程、カラーフィルタ製造工程等の各種処理工程を経て処理が施されていくのであるが、各種処理装置間を搬送する上で、表面に傷等がつかないように優しく搬送することが望ましい。
【０００３】
そこで、この板ガラスを１枚ずつトレイに載せて搬送する技術が提案され、この技術は、例えば、本願と同出願人によって出願された特許文献１に開示されている。
この特許文献１に開示されているトレイ搬送システムは、板状のワークである板ガラスを載せるためのトレイと、該トレイを搬送する搬送手段であるローラコンベアと、該ローラコンベアに沿って配置された処理装置と、ローラコンベア上でトレイを一時的に保管する一時保管装置と、を備え、板ガラスを載せたトレイはローラコンベア上を始端から終端まで一方向に搬送されるように構成されている。
【特許文献１】特開２００４−１６８４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明では、このトレイ搬送システムを改良して、トレイを効率良く使い回すとともに、トレイの管理を容易に行うことができるトレイ搬送システムを提供することを第１の課題とする。また、このようなトレイ搬送システムを構成する上で、占有床面積を最小限に抑えることを第２の課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の解決しようとする課題は以上のとおりであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
まず、請求項１に記載のように、板状ワークを載せるトレイと、該トレイが搬送される搬送路と、該搬送路に沿って配置された処理装置と、を備え、前記板状ワークを載せたトレイは前記搬送路上を搬送されて前記トレイ上の板状ワークが前記処理装置に供給されるトレイ搬送システムであって、前記搬送路は、同じトレイが循環使用される閉ループ搬送路を複数有する構成とする。
【０００６】
また、請求項２に記載のように、前記閉ループ搬送路は、板状ワークを載せた実トレイを搬送するための実トレイ搬送路と、前記実トレイ搬送路と平面視で重なるように配置された、空トレイを搬送するための空トレイ搬送路と、を備えた構成とする。
【０００７】
そして、請求項３に記載のように、前記閉ループ搬送路は複数の処理装置に跨って形成された構成とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、以上のように構成したことにより、次のような効果を奏する。
まず、請求項１に記載の発明では、前記閉ループ搬送路によって搬送された板状ワークを載せたトレイは処理装置の前でそのトレイ上の板状ワークが処理装置へ供給されて、空になったトレイはそのまま閉ループ搬送路内を一方向に循環し、この空トレイには処理装置の前で処理装置から出てきた板状ワークが載せられるように構成されている。この構成によれば、トレイを効率良く循環使用することができ、また、この閉ループ搬送路内でのトレイの管理も容易に行うことができて、トレイの搬送効率が向上するとともに作業性が向上する。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明では、前記実トレイ搬送路によって搬送された板状ワークを載せたトレイを実トレイ搬送路の終端でそのトレイ上の板状ワークが処理装置に供給されて、空になったトレイは空トレイ搬送路の始端に送られ、この空トレイは空トレイ搬送路の終端へ送られて、該空トレイは再び実トレイ搬送路の始端に送られ、該実トレイ搬送路の始端で板状ワークが空トレイ上に載せられるように構成されている。この構成によれば、トレイを効率良く循環使用することができ、また、この閉ループ搬送路内でのトレイの管理も容易に行うことができて、トレイの搬送効率が向上するとともに作業性が向上する。さらに、この請求項２に記載の発明では、実トレイ搬送路と空トレイ搬送路とを平面視で重なるように配置したので、占有床面積を必要最小限に抑えることができ、スペースを有効に利用することができて、コスト的にも有利である。
【００１０】
そして、請求項３に記載の発明では、前記実トレイ搬送路によって搬送された板状ワークを載せたトレイを実トレイ搬送路の終端でそのトレイ上の板状ワークが複数の処理装置のうちの第１の処理装置へ供給されて、空になったトレイは空トレイ搬送路の始端に送られ、この空トレイは空トレイ搬送路の終端へ送られて、該空トレイは再び実トレイ搬送路の始端に送られて、該実トレイ搬送路の始端で複数の処理装置のうちの第２の処理装置から出てきた板状ワークが空トレイ上に載せられるように構成されている。この構成によれば、トレイを効率良く循環使用することができ、また、この閉ループ搬送路内でのトレイの管理も容易に行うことができて、トレイの搬送効率が向上するとともに作業性が向上する。さらに、この請求項３に記載の発明では、処理装置に空トレイを運び戻すための専用の搬送路を減らすことができ、その結果、占有床面積を抑えることができて、コスト的にも有利である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に、本発明の実施の一形態を、図面を参照しながら説明する。
まず、液晶ディスプレイ等の板状ワーク３を載せたトレイ２を搬送するためのトレイ搬送システム１の構成について説明する。
【００１２】
図１に示すように、このトレイ搬送システム１は、トレイ２が搬送される搬送路１０と、該搬送路１０に沿って配置された複数の処理装置６・６・・・と、を備え、板状ワーク３を載せたトレイ２は搬送路１０上を搬送されてトレイ２上の板状ワーク３が処理装置６・６・・・に供給されるように構成されている。
この搬送路１０は、例えば、ローラコンベアやベルトコンベア等の搬送コンベアで構成されており、本実施の形態では、該搬送路１０は短手方向両側端部にトレイ２の搬送を案内するためのガイドを有するローラコンベアで構成されて、該ローラコンベアは長手方向にトレイ２を繰り送るための多数のローラ１７・１７・・・を備え（図３参照）、該ローラ１７・１７・・・上を板状ワーク３がトレイ２を介して搬送されるように構成されている。
【００１３】
前記搬送路１０は、長手方向一方向に向けてトレイ２が搬送される主搬送路１１と、同じトレイ２が循環使用される、複数の閉ループ搬送路１２・１２・・・と、で構成されており、各閉ループ搬送路１２は複数の処理装置６・６に跨って（本実施の形態では、隣り合う２つの処理装置６・６に跨って）形成されている。
【００１４】
各処理装置６は、板状ワーク５が処理装置６内に入庫される入庫口６１と、板状ワーク５が処理装置６内から出庫される出庫口６２と、を備え、該入庫口６１は主搬送路１１上の出口部１１ａと対向して配置され、該出庫口６２は主搬送路１１上の入口部１１ｂと対向して配置されている。そして、処理装置６の入庫口６１と主搬送路１１上の出口部１１ａとの間は連結路６３を介して連結されており、処理装置６の出庫口６２と主搬送路１１上の入口部１１ｂとの間は連結路６４を介して連結されている。この連結路６３・６４は、例えば、ローラコンベアやベルトコンベア等の搬送コンベアで構成されており、本実施の形態では、該連結路６３・６４は短手方向両側端部に板状ワーク３の搬送を案内するためのガイドを有するローラコンベアで構成されて、該ローラコンベアは長手方向に板状ワーク３を繰り送るための多数のローラ６７・６７・・・を備え、該ローラ６７・６７・・・上を板状ワーク３が搬送されるように構成されている。
【００１５】
次に、前記閉ループ搬送路１２について説明する。
前記各閉ループ搬送路１２は、板状ワーク３を載せた実トレイ２を搬送するための実トレイ搬送路１３と、空トレイ２を搬送するための空トレイ搬送路１４と、で構成されており、該実トレイ搬送路１４は、主搬送路１１の一部で構成されている。具体的には、実トレイ搬送路１３は、主搬送路１１上のある処理装置６への出口部１１ａから該処理装置６の隣の処理装置６からの入口部１１ｂまでの間の区間で構成され、空トレイ搬送路１４は、該実トレイ搬送経路１３の下方に配置されている。なお、この空トレイ搬送路１４は、実トレイ搬送経路１３の上方に配置してもよい。このように空トレイ搬送路１４と実トレイ搬送路１３とを平面視で重なるように配置することで、占有床面積を必要最小限に抑えることができ、設置スペースが有効に活用されて、コストの上でも有利となる。
【００１６】
この閉ループ搬送路１２は、板状ワーク３を載せたトレイ２を処理装置６へ供給し、空になったトレイ２はそのまま閉ループ搬送路１２内を一方向に循環させて、この空トレイ２には前記処理装置６の隣の処理装置６から出てきた板状ワーク３が載せられるように構成されている。
【００１７】
図１、図２に示すように、閉ループ搬送路１２の空トレイ搬送路１４は、実トレイ搬送路１３と平行に配置される戻し搬送路１４ａと、該戻し搬送路１４ａの長手方向両端部から実トレイ搬送路１３へ向けて形成される昇降搬送路１４ｂ・１４ｂで構成されて、該空トレイ搬送路１４は、側面視で、「凹」字状に形成されている。
【００１８】
前記昇降搬送路１４ｂは、トレイ２が載置される移載装置４０と、該移載装置４０を昇降するアクチュエータ（例えば、油圧アクチュエータ等）４１と、その内部を移載装置４０が昇降する角筒状の案内フレーム４２と、を有し、該案内フレーム４２の上端部における主搬送路１１の長手方向の両側面に主搬送路１１のローラコンベアと実トレイ搬送路１３のローラコンベアとが連結され、該案内フレーム４２の上下中途部における実トレイ搬送路１３側の側面には空トレイ搬送路１４の戻し搬送路１４ａのローラコンベアが連結されて、該案内フレーム４２における戻し搬送路１４ａのローラコンベアとの連結部の上方にはトレイ２が通過するための開口部４２ａが形成されている。
【００１９】
このような構成で、アクチュエータ４１を駆動することにより、移載装置４０を水平に保ちながら案内フレーム４２に沿って昇降させ、該移載装置４０の上面の搬送面の高さを、実トレイ搬送路１３の搬送面の高さ、又は空トレイ搬送路１４の戻し搬送路１４ａの搬送面の高さと一致させることができるように構成されている。
【００２０】
図３、図４に示すように、前記移載装置４０は、トレイ２を主搬送路１１の長手方向に向けて搬送する第１ローラユニット７０と、板状ワーク３を主搬送路１１の短手方向（連結路６３・６４の長手方向）に向けて搬送する第２ローラユニット８０と、該第２ローラユニット８０を昇降するアクチュエータ４６と、これらの部材を収容する筐体４５と、を備え、該筐体４５は上方が開放された箱状の構成で、平面視で、トレイ２よりも若干大きく構成されている。
【００２１】
前記第１ローラユニット７０は、主搬送路１１の長手方向に所定間隔を開けて配置された複数のローラ軸７２・７２・・・と、各ローラ軸７２に軸方向に所定間隔を開けて取り付けられた複数のローラ７１・７１・・・と、前記複数のローラ軸７２・７２・・・を正逆回転駆動する駆動装置７３と、を備え、該駆動装置７３の駆動により第１ローラユニット７０の多数のローラ７１・７１・・・を回転させてトレイ２を主搬送路１１の長手方向に向けて繰り送るように構成されている。
【００２２】
前記駆動装置７３は前記移載装置４０の筐体４５の上部における反連結路６３（６４）側の側面に取り付けられており、前記複数のローラ軸７２は軸心方向を主搬送路１１の短手方向に向けて該駆動装置７３と前記筐体４５上部の連結路６３（６４）側の側面との間で回転自在に軸支されている。各ローラ軸７２に取り付けられたローラ７１・７１・・・の配置位置であるが、隣り合うローラ軸７２・７２のローラ７１・７１・・・の回転面は主搬送路１１の短手方向にずらして配置されており、第１ローラユニット７０の多数のローラ７１・７１・・・は主搬送路１１の長手方向にジグザグに配置されて、トレイ２の下面に万遍なく接触して搬送するように構成されている。
【００２３】
また、図３に示すように、前記実トレイ搬送路１３を含む主搬送路１１を構成するローラコンベアのローラ１７・１７・・・、前記空トレイ搬送路１４の戻し搬送路１４ａを構成するローラコンベアのローラ１７・１７・・・、及び前記連結路６３・６４を構成するローラコンベアのローラ６７・６７・・・も前記第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・と同様に構成されており、ローラコンベアの長手方向に所定間隔を開けて配置された複数のローラ軸１８・１８・・・（６８・６８・・・）と、各ローラ軸１８（６８）に軸方向に所定間隔を開けて取り付けられた複数のローラ１７・１７・・・（６７・６７・・・）と、前記複数のローラ軸１８・１８・・・（６８・６８・・・）を正逆回転駆動する駆動装置１９（７９）と、を備えて、該ローラコンベアの多数の１７・１７・・・（６７・６７・・・）はローラコンベアの長手方向にジグザグに配置されて、実トレイ搬送路１３を含む主搬送路１１を構成するローラコンベアのローラ１７・１７・・・と、空トレイ搬送路１４の戻し搬送路１４ａを構成するローラコンベアのローラ１７・１７・・・にあっては、トレイ２の下面に万遍なく接触して搬送するように構成され、連結路６３・６４を構成するローラコンベアのローラ６７・６７・・・にあっては、板状ワーク３の下面に万遍なく接触して搬送するように構成されている。
【００２４】
図４、図５に示すように、前記第２ローラユニット８０は、昇降台８４と、昇降台８４上に立設された複数のローラ支持フレーム８３・８３・・・と、該ローラ支持フレーム８３に軸心方向を主搬送路１１の長手方向（連結路６３・６４の短手方向）に向けて回転自在に取り付けられた複数のローラ８１・８１と、を備え、該第２ローラユニット８０が具備する多数のローラ８１・８１・・・は昇降台８４内に内装された図示せぬ駆動装置によって駆動されるように構成され、該昇降台８４は前記アクチュエータ４６によって昇降されるように構成されている。
【００２５】
各ローラ支持フレーム８３に軸支されたローラ８１・８１は、その回転面がローラ支持フレーム８３の上面よりも上方へ突出されており、昇降台８４が下降している状態の待機位置では第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・の回転面は第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・の回転面よりも下方に位置している（図５（ａ）参照）。この第２ローラユニット８０の複数のローラ支持フレーム８３・８３・・・は第１ローラユニット７０のローラ軸７２・７２・・・の間に配置されており、すなわち、第２ローラユニット８０の複数のローラ支持フレーム８３・８３・・・と、第１ローラユニット７０のローラ軸７２・７２・・・並びに各ローラ軸７２に取り付けられたローラ７１・７１・・・とが、平面視で重ならないように配置されていている。
【００２６】
なお、本実施の形態では、第１ローラユニット７０の４本のローラ軸７２・７２・・・の間の３箇所のスペースに、各スペースに第２ローラユニット８０のローラ支持フレーム８３・８３を２個ずつ配置して、合計６個のローラ支持フレーム８３・８３・・・を配置しているが、この配置構成に限定するものではない。
【００２７】
また、図１、図５に示すように、トレイ２の底面には前記第２ローラユニット８０の複数のローラ支持フレーム８３・８３・・・に対応させて複数の開口部２ｂ・２ｂ・・・が形成されており、該開口部２ｂは平面視でトレイ支持体８３よりも一回り大きく形成されている。
前記アクチュエータ４１によって移載装置４０の第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・の回転面の高さと、主搬送路１１のローラ１７・１７・・・の回転面及び実トレイ搬送路１３のローラ１７・１７・・・の回転面の高さと一致させている場合に、移載装置４０に向けて搬送されてきたトレイ２が第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・上で一旦停止して移載装置４０の筐体４５の直上方に位置したときに、該トレイ２の開口部２ｂ・２ｂ・・・の直下方に第２ローラユニット８０のローラ支持フレーム８３・８３・・・が位置するように構成されている。
【００２８】
この状態で、昇降台８４を上昇させたときに、第２ローラユニット８０のローラ支持フレーム８３・８３・・・は、第１ローラユニット７０のローラ軸７２・７２・・・及びローラ７１・７１・・・と干渉することなく、その隙間を通過するとともに、該第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・上のトレイ２の開口部２ｂ・２ｂ・・・を通過して、該ローラ支持フレーム８３・８３・・・に軸支されている第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・の回転面がトレイ２の底面よりも上方へ突出した状態となって、トレイ２に載置されている板状ワーク３が該第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・によって軽く持ち上げられるように構成されている（図５（ｂ）参照）。
【００２９】
このときの第２ローラユニット８０の位置が上昇位置であり、該上昇位置では第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・の回転面と連結路６３（６４）のローラ６７・６７・・・の回転面とが同じ高さ位置になるように構成されている。なお、第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・の回転面と同じ高さ位置にある主搬送路１１のローラ１７・１７・・・の回転面及び実トレイ搬送路１３のローラ１７・１７・・・の回転面はこの連結路６３（６４）のローラ６７・６７・・・の回転面よりも若干低い位置に配置されている。
【００３０】
以上のような構成で、板状ワーク３が第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・によって軽く持ち上げられた状態で、該第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・及び連結路６３のローラ１７・１７・・・・が回転駆動されると、該板状ワーク３は連結路６３を繰り送られていき、前記処理装置６の入庫口６１から処理装置６内へ入庫される。
【００３１】
このとき、前記板状ワーク３を載せていたトレイ２は空となり、この空トレイ２は次のように空トレイ搬送路１４を搬送されていく。トレイ２上の板状ワーク３が連結路６３へ搬送されていくと、前記アクチュエータ４１の駆動により空になったトレイ２を載せた移載装置４０が下降していき、該移載装置４０の第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・の回転面と前記空トレイ搬送路１４の戻し搬送路１４ａのローラ１７・１７・・・の回転面の高さ位置が一致したところで、移載装置４０の下降が停止する。
なお、この移載装置４０の昇降に際して、移載装置４０上のトレイ２の位置移動しないように、移載装置４０に、移載装置４０上のトレイ２の位置移動を規制するためのストッパを設けてもよい。
【００３２】
そして、第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・及び戻し搬送路１４ａのローラ１７・１７・・・が回転駆動されると、該空トレイ２は戻し搬送路１４ａを繰り送られていく。このとき該戻し搬送路１４ａの搬送方向下流側の昇降搬送路１４ｂの移載装置４０も下降していて該移載装置４０の第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・も回転駆動されており、該空トレイ２を該移載装置４０上に移載するためのスタンバイがなされている。
【００３３】
そうして、空トレイ２は戻し搬送路１４ａの搬送方向下流側の移載装置４０上に載せられて、該空トレイ２を載せた移載装置４０はアクチュエータ４１の駆動によって上昇していき、該移載装置４０の第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・の回転面と前記主搬送路１１のローラ１７・１７・・・の回転面及び前記実トレイ搬送路１３のローラ１７・１７・・・の回転面の高さ位置が一致したところで、移載装置４０の上昇が停止する。
【００３４】
この位置は前記板状ワーク２を入庫した処理装置６の隣の処理装置６の出庫口６２と対向する主搬送路１１上の入口部１１ｂであり、該入口部１１ｂで移載装置４０の第２ローラユニット８０を上昇位置に上昇させて、該隣の処理装置６の出庫口６２から出庫された板状ワーク３を空トレイ２上に移載するためのスタンバイをしておく。
【００３５】
そして、該処理装置６の出庫口６２から板状ワーク３が出庫されてくると、連結路６４のローラ１７・１７・・・・及び移載装置４０の第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・を回転駆動して該板状ワーク３を搬送し、第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・上で停止させる。この第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・上の板状ワーク３はトレイ２と離間した状態にあり、前記アクチュエータ４６の駆動により第２ローラユニット８０を待機位置まで下降させることで、該第２ローラユニット８０のローラ８１・８１・・・上に支持されていた板状ワーク３がトレイ２上に移載される。
【００３６】
こうして板状ワーク３がトレイ２上に載置されると、移載装置４０の第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・及び実トレイ搬送路１３のローラ１７・１７・・・が回転駆動されて、板状ワーク３を載せたトレイ２が実トレイ搬送路１３へ搬送されるのである。
【００３７】
以上のように、閉ループ搬送路１２が構成されており、この一つの閉ループ搬送路１２内には複数のトレイ２・２・・・が搬送されるように構成してもよい。
【００３８】
以上のような構成で、閉ループ搬送路１２の実トレイ搬送路１３によって搬送されてきた板状ワーク３を載せたトレイ２を、該実トレイ搬送路１３の搬送方向下流側の出口部１１ａでトレイ２上の板状ワーク３が連結路６３を介して処理装置６に供給されて、空になったトレイ２は空トレイ搬送路１４の一方の昇降搬送路１４ｂ、戻し搬送路１４ａ、他方の昇降搬送路１４ｂを搬送されて、該空トレイ２は再び実トレイ搬送路１３に送られ、該実トレイ搬送路１４の搬送方向上流側の入口部１１ｂで前記処理装置６の隣の処理装置６から出庫された板状ワーク３が該空トレイ２上に載せられるように構成されている。
この構成によれば、閉ループ搬送路１２内で効率良くトレイ２を使い回すことができ、トレイ２・２・・・の搬送効率が向上して、作業性が向上する。
【００３９】
また、このトレイ搬送システム１によれば、一直線上に配置されたローラコンベア上を始端から終端まで一方向にトレイを搬送する従来のトレイ搬送システムに比べて、どの搬送区間に現在何枚のトレイ２・２・・・があるかを容易に管理することができる。すなわち、このトレイ搬送システム１によれば、各閉ループ搬送路１２内に現在何枚のトレイ２・２・・・が存在するかを容易に管理することができて、必要に応じて閉ループ搬送路１２内のトレイ２・２・・・の枚数を増減させることもでき、搬送効率の向上を図ることができるとともに、作業性の向上を図ることができる。
【００４０】
さらに、このトレイ搬送システム１では、各処理装置６・６・・・での処理に応じて、比較的高いクリーン度が要求される閉ループ搬送路１２と、比較的高いクリーン度が要求されない閉ループ搬送路１２とが設けられる場合に、次のようにトレイ２・２・・・を管理することもできる。
【００４１】
比較的高いクリーン度が要求される閉ループ搬送路１２を搬送されるトレイ２・２・・・は相対的に汚れ難く、比較的高いクリーン度が要求されない閉ループ搬送路１２を搬送されるトレイ２・２・・・は相対的に汚れ易いため、例えば、前者ではトレイ２・２・・・が閉ループ搬送路１２を２０周すると１回洗浄し、後者ではトレイ２・２・・・が閉ループ搬送路１２を５周すると１回洗浄するなどして、前者の閉ループ搬送路１２を搬送されるトレイ２・２・・・と、後者の閉ループ搬送路１２を搬送されるトレイ２・２・・・とで、洗浄する頻度を異なるように設定することができ、クリーン度に応じて各閉ループ搬送路１２毎にトレイ２・２・・・の洗浄頻度を適切に設定することができて、トレイ２・２・・・の管理を容易に行うことができ、メンテナンス性が向上する。
【００４２】
なお、本実施の形態では、閉ループ搬送路１２を構成する実トレイ搬送路１３と空トレイ搬送路１４とを平面視で重なるように配置しているが、設置スペースに余裕がある場合等には、空トレイ搬送路１４を実トレイ搬送路１３の短手方向一側方に配置して、側面視で重なるように配置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】トレイ搬送システム１の構成を示す斜視図。
【図２】閉ループ搬送路１２の構成を示す側面図。
【図３】主搬送路１１と実トレイ搬送路１３と連結路６３（６４）との連結部を示す平面図。
【図４】移載装置４０の構成を示す平面図。
【図５】同じく側面断面図。
【符号の説明】
【００４４】
１    トレイ搬送システム
２    トレイ
３    板状ワーク
６    処理装置
１０    搬送路
１１    主搬送路
１２    閉ループ搬送路
１３    実トレイ搬送路
１４    空トレイ搬送路
１４ａ  戻し搬送路
１４ｂ  昇降搬送路
【図１】
2006168896.tif 000003
【図２】
2006168896.tif 000004
【図３】
2006168896.tif 000005
【図４】
2006168896.tif 000006
【図５】
2006168896.tif 000007