(57)【要約】    【課題】  電子機器収容ラックに収容される電子機器の増加に応えるとともに、電子機器収容ラックの設置場所に応じた配置を可能にする。    【解決手段】  背面同士が対向するように複数の電子機器を収容し得るラック本体を備えている電子機器収容ラック１において、ラック本体を電子機器の対向方向で第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとに分割できるようにした。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
背面同士が対向するように複数の電子機器を収容し得るラック本体を備えている電子機器収容ラックにおいて、
前記ラック本体を前記電子機器の対向する方向へ分割可能にしたことを特徴とする電子機器収容ラック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は電子機器収容ラックに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージには複数のモータが使用され、各モータを駆動するために複数のアンプユニットが用いられる。アンプユニットはモータ駆動回路を内蔵する筐体を有する。
【０００３】
アンプユニットは半導体露光装置の近傍に設置されるラックに収納される。ラックはアンプユニットの形状に合致する複数の収納室を有する（特開平６−６９６７５号公報参照）。
【０００４】
ラックの正面に収納室の開口が位置し、アンプユニットはラックの正面側から収納室に収納される。
【０００５】
他の従来技術として、正面側にだけ開口を有する箱状のラック本体と、その開口を開閉する扉とを備えたラックがある。このラックは半導体露光装置の下に置かれる。
【０００６】
ラック本体内部にはアンプユニットを載置する棚が配置されている。棚はラック本体の正面側から背面側へ水平に延びている。棚にアンプユニットを載置すると、ラック本体の容積のほぼ１／３（ラック本体の正面側スペース）がアンプユニットによって占有される。また、扉の下部中央にはラック本体内の空気を外部へ排出するための排出口が形成されている。
【０００７】
ラック本体内部の背面側には、アンプユニットの背面の排気口から排出された空気を扉の排出口へ導く排気通路が形成されている。排気通路はラック本体の容積のほぼ２／３を占める。
【特許文献１】特開平６−６９６７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、近年、半導体露光装置のステージの数の増加やそのステージを駆動するためのモータの高出力化に伴ってアンプユニットが増加して、ラックが大型化（特に幅方向）する傾向にある。
【０００９】
しかし、ラックを設置するためのある特定の形状を有するスペースの減少等（例えば設置エリアの面積の減少、設置エリアの形状の多様化等）を含むラックの設置環境は悪化する傾向にある。
【００１０】
したがって、ラックを決まった形状のまま大型化することなくアンプユニットの増加に対応することが困難であった。
【００１１】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は電子機器収容ラックに収容される電子機器の増加に応えるとともに、電子機器収容ラックの設置場所に応じた配置を可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前述の課題を解決するため請求項１記載の発明は、背面同士が対向するように複数の電子機器を収容し得るラック本体を備えている電子機器収容ラックにおいて、前記ラック本体を前記電子機器の対向する方向へ分割可能にしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、電子機器収容ラックに収容される電子機器の増加に応えるとともに、電子機器収容ラックの設置場所に応じた配置を可能にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１はこの発明の一実施形態に係る電子機器収容ラックの結合状態を示す平面図である。
【００１６】
電子機器収容ラック（以下単にラックという）１は第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとを備えている。ラック１は所定のラック設置用エリア（図示せず）内に設置される。この実施形態では第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとで請求項１記載のラック本体が構成される。
【００１７】
第１のラック本体１０Ａ及び第２のラック本体１０Ｂはそれぞれ同じ大きさの直方体の箱である。第１のラック本体１０Ａの正面１０Ａ−２に複数の扉２０Ａが、第２のラック本体１０Ｂの正面１０Ｂ−２に複数の扉２０Ｂがそれぞれ設けられている。
【００１８】
第１のラック本体１０Ａの背面１０Ａ−１と第２のラック本体１０Ｂの背面１０Ｂ−１とが当接し、それらが例えばボルト（図示せず）を用いて結合されている。
【００１９】
なお、図示していないが、ラック本体１０Ａ，１０Ｂには複数の電子機器（例えば半導体露光装置のステージ駆動用モータを駆動するためのアンプユニット）がそれぞれ収納されている。第１のラック本体１０Ａに収納された電子機器の背面と第２のラック本体１０Ｂに収納された電子機器の背面とは対向している。
【００２０】
ボルトを緩めて第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとの結合状態を解除することによって、ラック１を第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとに分割し、それらを例えば以下のようにラック設置用エリア内に配置することができる。なお、ラック設置用エリアの長手方向の寸法は、ラック本体１０Ａ，１０Ｂを幅方向へ並べたときのラック１の長手方向の寸法より小さい。
【００２１】
以下、第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとの配置例を説明する。
【００２２】
図２は電子機器収容ラックの第１の配置例を示す平面図である。
【００２３】
第１の配置例では、背面１０Ａ−１と背面１０Ｂ−１とが所定間隔をおいて対向するように第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとを配置した。なお、少なくとも扉２０Ａ，２０Ｂの一方を開くことができるようにすれば、扉２０Ａと扉２０Ｂとが対向するように第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとを配置してもよい。
【００２４】
図３は電子機器収容ラックの第２の配置例を示す平面図である。
【００２５】
第２の配置例では、第２のラック本体１０Ｂの背面の一端部に第１のラック本体１０Ａの側面を当接させ、第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０ＢとでＬ字形が形成されるように第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとを配置した。第１のラック本体１０Ａは例えばボルト（図示せず）を用いて第２のラック本体１０Ｂの背面の一端部に結合されている。
【００２６】
図４は電子機器収容ラックの第３の配置例を示す平面図である。
【００２７】
第３の配置例では、第２のラック本体１０Ｂの背面の中央部に第１のラック本体１０Ａの側面を当接させ、第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０ＢとでＴ字形が形成されるように第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとを配置した。第１のラック本体１０Ａは例えばボルト（図示せず）を用いて第２のラック本体１０Ｂの背面の中央部に結合されている。
【００２８】
この実施形態によれば、ラック本体を第１のラック本体１０Ａと第２のラック本体１０Ｂとに分割可能にしたので、ラック本体１０Ａ，１０Ｂの配置を適宜変化させて、多様なラック設置場所にラック１を設置することができる。また、第１のラック本体１０Ａ及び第２のラック本体１０Ｂは複数の電子機器をそれらの背面同士が対向するように収容し得るラック本体を電子機器対向方向へ２分割可能にしたものであるので、ラック１を大型化することなくラック１に収容される電子機器の増加に応えることができる。更に、ラック本体を分割可能にしたので、ラック１の設置、移動及び電子機器の調整作業を効率良く行なうことができる。
【００２９】
なお、ラック本体の分割は２分割に限られない。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１はこの発明の第１実施形態に係る電子機器収容ラックの結合状態を示す平面図である。
【図２】図２は電子機器収容ラックの第１の配置例を示す平面図である。
【図３】図３は電子機器収容ラックの第２の配置例を示す平面図である。
【図４】図４は電子機器収容ラックの第３の配置例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１：ラック（電子機器収容ラック）、１０Ａ：第１のラック本体、１０Ｂ：第２のラック本体、１０Ａ−１，１０Ｂ−１：背面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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