(57)【要約】【課題】  ＤＬＣコーティング面に塗布された潤滑剤を安全に供給可能な転がり軸受け及び転がり軸受けを備えた主軸装置を提供する。【解決手段】  アンギュラ玉軸受け１の回転時に転動体２と接触する内輪軌道面３１、外輪軌道面４１にＤＬＣコーティング１０，１５を施し、その接触走行面３２，４２の近傍に油溜まり２０，２５を設け、グリースを塗付する。この軸受け１、ＤＬＣコーティング無しの軸受け、内輪軌道面及び外輪軌道面にＤＬＣコーティングを施した軸受けを１分間に１万回、１万５千回、２万回、２万２千回回転させ、回転後の外輪の上昇温度を計測すると、アンギュラ玉軸受け１が最も低い。油溜まり２０，２５保持されたグリースが回転時に接触面３３，４３に供給されるので、摩擦係数が上昇せず、接触面３３，４３の上昇温度が抑えられ、グリースの劣化も抑えられ、軸受け１は高性能化する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内輪と外輪との間に複数の転動体が保持器に保持されて配設される転がり軸受けにおいて、
内輪軌道面及び外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、前記転動体の回転を円滑に行わせるための潤滑剤の油溜まりを前記転動体との接触面の近傍に設けたことを特徴とする転がり軸受け。
【請求項２】
前記内輪軌道面及び前記外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、前記転動体との接触面にＤＬＣ（Diamond Like Carbon）コーティングが形成されており、前記油溜まりは当該ＤＬＣコーティングにおいて未コーティング部を設けることにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載の転がり軸受け。
【請求項３】
前記内輪軌道面及び前記外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、ＤＬＣコーティングが形成されており、前記油溜まりは当該ＤＬＣコーティングを窪ませることにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載の転がり軸受け。
【請求項４】
前記転動体がジャイロモーメントによるジャイロ滑りを起こした際に、前記内輪軌道面及び前記外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、前記接触面に対して当該転動体が滑り込んでくる方向側に前記油溜まりを設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の転がり軸受け。
【請求項５】
前記転がり軸受けは、アンギュラ玉軸受けであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の転がり軸受け。
【請求項６】
前記内輪軌道面又は前記外輪軌道面に前記潤滑剤を供給する供給機構を設けたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の転がり軸受け。
【請求項７】
工作機械の主軸の軸受けとして使用されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の転がり軸受け。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の転がり軸受けを備えたことを特徴とする主軸装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転がり軸受けに関するものであり、詳細には、潤滑剤を塗布することにより摩擦熱の発生や摩耗を防いでいる転がり軸受け及び当該転がり軸受けを備えた主軸装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、工作機械の加工効率向上のために、主軸の回転を高速化させたいという要望が大きい。ここで、軸受けの性能を示す指標としてＤｍＮ値が知られている。これは、転がり軸受けの転動体の中心を結んでできるピッチ円の直径Ｄｍと、軸の回転数Ｎr.p.m.の積で与えられ、値が大きい方がより高性能であることを示している。このＤｍＮ値から考えると、ピッチ円の直径Ｄｍを大きくすればＤｍＮ値も大きくなり、高性能となるが、工作機械の小型化の要望もあり、ピッチ円の直径Ｄｍの大型化は現実的でない。そこで、回転数Ｎを増やす、即ち、主軸の回転の高速化が求められることになる。工作機械の小型化の要求に応え、ピッチ円の直径Ｄｍを小さくすると、さらに主軸の回転数Ｎを増やし、回転の高速化を推し進める必要がある。
【０００３】
また、工作機械の加工工程においては、作業環境の悪化や廃液処理にともなう環境汚染への対策としてＭＱＬ（Minimum Quantity Lubrication）が謳われており、なるべく少ない潤滑剤でクリーンに加工する要望も高まっているため、潤滑剤を軸受けに吹き付けるオイルミスト潤滑よりもグリース等の潤滑剤を軸受け内部に充填するグリース潤滑が望まれている。
【０００４】
さらに、従来から、軸受けでは軸の回転時における軸と軸受けの接触面との摩擦による温度上昇、焼き付き、摩耗を防ぐために、高硬度低摩擦のDiamond Like Carbon（以下、ＤＬＣという）をコーティングし、軸と軸受けとの滑りをよくする工夫がなされている。こういった中で、特許文献１における高速回転用転がり軸受においては、高速回転化での耐焼付性及び耐磨耗性の向上を図るため、母材に対するＤＬＣ被膜の等価弾性係数を小さく、塑性変形硬さを硬くするために、金属層と炭素層との間の界面をなくして、金属層から炭素層に向けて連続的に組成が変化する傾斜組成の複合層を形成している。
【特許文献１】特開２００３−１３９６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ＭＱＬによりオイルミスト潤滑よりもグリース潤滑が望まれているものの、ＤＬＣコーティングの表面の離型性が高いためグリースを弾いてしまうことと、軸受けの稼動時に生じる滑り発熱によるグリースの劣化とにより、継続的に潤滑剤を供給するオイルミスト潤滑に比べて、グリース塗布による潤滑のＤｍＮ値が低いものとなってしまっている。
【０００６】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、ＤＬＣコーティング面に塗布された潤滑剤を安全に供給可能な転がり軸受け及び当該転がり軸受けを備えた主軸装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明の転がり軸受けでは、内輪と外輪との間に複数の転動体が保持器に保持されて配設される転がり軸受けにおいて、内輪軌道面及び外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、前記転動体の回転を円滑に行わせるための潤滑剤の油溜まりを前記転動体との接触面の近傍に設けたことを特徴とする構成となっている。
【０００８】
また、請求項２に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１に記載の発明の構成に加えて、前記内輪軌道面及び前記外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、前記転動体との接触面にＤＬＣコーティングが形成されており、前記油溜まりは当該ＤＬＣコーティングにおいて未コーティング部を設けることにより形成されていることを特徴とする構成となっている。
【０００９】
また、請求項３に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１に記載の発明の構成に加えて、前記内輪軌道面及び前記外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、ＤＬＣコーティングが形成されており、前記油溜まりは当該ＤＬＣコーティングを窪ませることにより形成されていることを特徴とする構成となっている。
【００１０】
また、請求項４に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明の構成に加えて、前記転動体がジャイロモーメントによるジャイロ滑りを起こした際に、前記内輪軌道面及び前記外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、前記接触面に対して当該転動体が滑り込んでくる方向側に前記油溜まりを設けたことを特徴とする構成となっている。
【００１１】
また、請求項５に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１乃至４のいずれかに記載の発明の構成に加えて、前記転がり軸受けは、アンギュラ玉軸受けであることを特徴とする構成となっている。
【００１２】
また、請求項６に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の構成に加えて、前記内輪軌道面又は前記外輪軌道面に前記潤滑剤を供給する供給機構を設けたことを特徴とする構成となっている。
【００１３】
また、請求項７に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明の構成に加えて、工作機械の主軸の軸受けとして使用されることを特徴とする構成となっている。
【００１４】
また、請求項８に係る発明の主軸装置では、請求項１乃至７のいずれかに記載の転がり軸受けを備えたことを特徴とする構成となっている。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る発明の転がり軸受けでは、内輪軌道面及び外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、転動体の回転を円滑に行わせるための潤滑剤の油溜まりを転動体との接触面の近傍に設けることができる。したがって、摺動運動により潤滑剤が引きずられて接触面の間に入り込み、入り込んだ潤滑剤が圧縮することにより潤滑剤の外側への圧力が発生するので、接触面を浮かせる効果が得られる。よって、転動体が接触面において接触しながら滑ることを抑制することができるので、接触面の摩擦熱の上昇が抑えられ、より高速の摩擦に耐えられるので、高速回転が可能となる。よって、転がり軸受けの寿命が長くなる。また、油溜まりは接触面に存在しないので、油溜まりの端において接触による面圧上昇を生じて過大応力となり、転動体の回転を妨げることがなく安全である。
【００１６】
また、請求項２に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１に記載の発明の効果に加えて、内輪軌道面及び外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、転動体との接触面にＤＬＣコーティングが形成されており、油溜まりはＤＬＣコーティングにおいて未コーティング部を設けることにより形成することができるので、マスキングの形状により油溜まりの形状も指定できるので、油溜まりの加工がしやすい。
【００１７】
また、請求項３に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１に記載の発明の効果に加えて、内輪軌道面及び外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、ＤＬＣコーティングが形成されており、油溜まりはＤＬＣコーティングを窪ませることにより形成することができるので、油溜まりの加工がしやすい。
【００１８】
また、請求項４に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明の効果に加えて、転動体がジャイロモーメントによるジャイロ滑りを起こした際に、内輪軌道面及び外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、接触面に対して転動体が滑り込んでくる方向側に油溜まりを設けることができる。したがって、転動体がジャイロ滑りを起こした際にも、接触面の間へ潤滑剤が効率よく供給されるため、接触面の摩擦熱の上昇が抑えられ、より高速の摩擦に耐えられるので、高速回転が可能となる。よって、転がり軸受けの寿命が長くなる。
【００１９】
また、請求項５に係る発明の転がり軸受けは、アンギュラ玉軸受けであるので、主に高速回転に使用されるアンギュラ玉軸受けにおいても、請求項１乃至４のいずれかに記載の発明の効果を奏することができる。
【００２０】
また、請求項６に係る発明の転がり軸受けでは、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の効果に加えて、内輪軌道面又は外輪軌道面に潤滑剤を供給する供給機構を設けることができるので、潤滑剤が不足した際に潤滑剤を供給することができる。
【００２１】
また、請求項７に係る発明の転がり軸受けは、工作機械の主軸の軸受けとして使用されるので、工作機械の動作の柱となる主軸においても、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明の効果を奏することができる。
【００２２】
また、請求項８に係る発明の主軸装置では、請求項１乃至７のいずれかに記載の転がり軸受けを備えているので、転がり軸受けにおいて、その摺動運動により潤滑剤が引きずられて接触面の間に入り込み、接触面の摩擦熱の上昇が抑えられ、より高速の摩擦に耐えられるので、転がり軸受けの高速回転が可能となり、主軸装置の高速回転も可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。本実施の形態では、転がり軸受けの内輪軌道面及び外輪軌道面のうちの少なくとも一つの表面において、転動体との接触面の近傍に潤滑剤（グリース）の油溜まりを設け、より効果的にグリースを使用し、主軸の高速回転を可能とした。本実施の形態では、周知の高速回転用転がり軸受けであるアンギュラ玉軸受けを用いた主軸装置を例に挙げて説明する。以下、詳細に説明する。
【００２４】
図１は、主軸装置１００の軸に沿った方向で切断した縦断面図である。主軸装置１００は、アンギュラ玉軸受け１を利用した周知の主軸装置であり、円筒状のハウジング１０３の内部には、円筒状のスピンドル１０１が貫通し、スピンドル１０１の内部には棒状のドローバ１０２が挿入されている。ハウジング１０３とスピンドル１０１との間には、図１における下側から順に、２つのアンギュラ玉軸受け１、リング状のベアリングスペーサ１０７、２つのアンギュラ玉軸受け１が通され、ナット１０６で図１における下方向に締着されている。また、ドローバ１０２は、ばね１０５により図１における上方向に付勢されている。また、ハウジング１０３の図１における下側には、押えフタ１０４が設けられており、スピンドル１０１を保護している。尚、図示外のモータの駆動によりドローバ１０２及びスピンドル１０１が回転する。
【００２５】
図２は、本願発明のアンギュラ玉軸受け１の切断斜視図であり、図３は、図２におけるアンギュラ玉軸受け１の切断面の拡大図であり、図４は、内輪軌道面３１と転動体２との接触走行面３２を示す簡易図である。
【００２６】
図２及び図３に示すように、アンギュラ玉軸受け１は、中心部が空洞の略円筒状の内輪３と、内輪３よりも直径の大きい略円筒状であり、その側面に設けられた円形の保持穴で球状の転動体２を保持する保持器５と、保持器５よりも直径の大きい略円筒状の外輪４とから構成される。内輪３の外側の面は、その一方の端が転動体２に沿った曲面となっており、この面が内輪軌道面３１となる。また、外輪４の内側の面は、内輪３と反対側の端が転動体２に沿った曲面となっており、この面が外輪軌道面４１となっている。よって、内輪３の内輪軌道面３１、外輪４の外輪軌道面４１、保持器５の保持穴の内側の面である転動体支持面５１が、転動体２の表面２１と接している。そして、内輪軌道面３１にはＤＬＣコーティング１０が施されており、外輪軌道面４１にはＤＬＣコーティング１５が施されている。
【００２７】
尚、アンギュラ玉軸受け１が矢印Ａ方向（図２参照）に回転する場合、転動体２はＣ−Ｃ’線（図２，図３参照）を自転軸として回転する。しかしながら、転動体２の内輪３及び外輪４への接触軸Ｄ−Ｄ’線がアンギュラ玉軸受け１の回転軸（図２のＥ−Ｅ’線は回転軸に平行）に対して傾いているため、この回転軸Ｃ−Ｃ’線も傾斜している。そこで、それを垂直又は水平にしようとする力（ジャイロモーメント）が生じる。このジャイロモーメントが転動体２間の負荷重量と摩擦係数の積よりも大きくなると、ジャイロモーメントの方向（図２，図３，図４の矢印Ｂ方向）へ転動体２が滑り出す、ジャイロ滑りが発生する。このジャイロ滑りが生じると、転動体２の表面と接触面３３，４３とに摩擦が生じ、発熱、摩耗、焼き付きの原因となる。
【００２８】
そこで、ＤＬＣコーティング１０の接触面３３（図３参照）に対しては、ジャイロ滑りにより転動体２が回り込んでくる側（図２乃至図４の右側）の約０．２ｍｍ離れた位置に約１ｍｍの巾でＤＬＣコーティング１０の未コーティング部が設けられ、油溜まり２０とされている。この油溜まり２０には、グリースが保持される。そして、アンギュラ玉軸受け１の回転に伴い転動体２が回転しジャイロ滑りした際に、油溜まり２０に保持されているグリースが接触面３３に向かって流れ込み接触面３３と転動体２との間にグリースが挟まれることとなる。そして、このくさびの如く流れ込んだグリースは、接触面３３の油膜圧力を高め、転動体２を浮かせる効果があり、転動体２と内輪３とが固体接触した状態での固体接触滑りを抑制することができるので、摩擦係数を低下させ、発熱を抑制する。
【００２９】
また、同様に、ＤＬＣコーティング１５の接触面４３に対しては、ジャイロ滑りにより転動体２が回り込んでくる側（図２，図３の左側）の約０．２ｍｍ離れた位置に約１ｍｍの巾でＤＬＣコーティング１５の未コーティング部が設けられ、油溜まり２５とされている。尚、ＤＬＣコーティング１０，１５の厚さは１μｍであり、
【００３０】
尚、内輪３の直径である内径は７０ｍｍ、転がり軸受けの転動体の中心を結んでできるピッチ円の直径は９１ｍｍ、外輪４直径である外径１１０ｍｍ、ラジアル隙間０ｍｍ、予圧２００Ｎ、転動体２の内輪３及び外輪４に対する接触角１８°である。また、内輪３及び外輪４の材質はＳＵＪ２（高炭素クロム軸受鋼）、転動体２の材質は窒化ケイ素セラミックスある。また、内輪軌道面３１、外輪軌道面４１に潤滑剤として塗付されているグリースは、ＮＯＫクリューバー製のバリウムコンプレックス増ちょう剤のエステル潤滑剤のイソフレックスＮＢＵ１５を使用した。
【００３１】
次に、図５を参照して、ＤＬＣコーティングについて説明する。図５は、ＤＬＣコーティング１０がなされた内輪軌道面３１の部分断面拡大図である。ＤＬＣコーティング１０は、周知のＵＢＭ（UnBalanced Magnetron（非平衡磁場型））スパッタリング法で形成されており、金属層１３からＤＬＣ層１１への傾斜断面構造とされている。図５に示すように、内輪３を形成する基板１４の上に、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）、Ｓｉ（ケイ素）等からなる金属層１３が形成されており、その金属層１３とＤＬＣ層１１との境界面をなくすために、金属層１３からＤＬＣ層１１へ向けて連続的に組成が変化する傾斜組成の傾斜層１２が形成されている。尚、外輪軌道面４１のＤＬＣコーティング１５も同様にしてＵＢＭスパッタリング法で形成されている。
【００３２】
そして、油溜まり２０は、油溜まり２０以外の部分をマスキングし、Ａｒ、ＣＦ４、Ｏ２の混合ガスであるエッチングガスを使用して周知のプラズマエッチングにより形成され、図５に示すように、傾斜層１２までＤＬＣ層１１が除去されている。このＤＬＣ層１１の表面にグリースを塗布すると、油溜まり２０にグリースが貯留される。尚、外輪軌道面４１のＤＬＣコーティング１５にも同様にして、プラズマエッチングにより油溜まり２５が設けられている。
【００３３】
本実施の形態では、ＤＬＣコーティング無しのアンギュラ玉軸受け（ＤＬＣなし軸受け）、内輪軌道面３１及び外輪軌道面４１にＤＬＣコーティング１０，１５を施しただけのアンギュラ玉軸受け（ＤＬＣあり軸受け）、内輪軌道面３１及び外輪軌道面４１に施されたＤＬＣコーティング１０，１５の接触走行面３２，４２の近傍に油溜まり２０，２５を設けたアンギュラ玉軸受け１（ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け）の三種類のアンギュラ玉軸受けを用いて、軸の回転数に対する外輪の上昇温度を計測した。具体的には、ＤＬＣなし軸受け、ＤＬＣあり軸受け、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け（アンギュラ玉軸受け１）をそれぞれ、１分間に１００００回、１５０００回、２００００回、２２０００回回転させ、回転後の外輪４の回転開始前からの上昇温度を計測した。表１は、その計測結果の表であり、図６は、その計測結果のグラフ図である。尚、温度計測には、熱電対を使用した。
【００３４】
【表１】
2006177467.tif 000003
【００３５】
表１及び図６に示すように、１００００r.p.m.で回転させると、ＤＬＣなし軸受けでは５℃上昇し、ＤＬＣあり軸受けでは４．５℃上昇し、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１では４℃上昇した。また、１５０００r.p.m.で回転させると、ＤＬＣなし軸受けでは１５℃上昇し、ＤＬＣあり軸受けでは１３℃上昇し、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１では１１℃上昇した。また、２００００r.p.m.で回転させると、ＤＬＣなし軸受けでは３２．５℃上昇し、ＤＬＣあり軸受けでは２６℃上昇し、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１では１８℃上昇した。また、２２０００r.p.m.で回転させると、ＤＬＣなし軸受けでは４５℃上昇し、ＤＬＣあり軸受けでは３２℃上昇し、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１では２２℃上昇した。
【００３６】
つまり、どの回転数においても、その上昇温度はＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１の上昇温度が最も低く、ＤＬＣコーティングを施していないアンギュラ玉軸受けの上昇温度が最も高くなっており、回転数の増加に伴う外輪４の温度上昇は、ＤＬＣなし軸受けよりも、ＤＬＣあり軸受けの方が低く、さらに、ＤＬＣあり軸受けよりも、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１の方が低くなっている。さらに、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１と、ＤＬＣなし軸受けとの上昇温度差は１００００回転で１℃、１５０００回転で４℃、２００００回転で１４．５℃、２２０００回転で２３℃と、回転数が増えるにつれて拡大している。また、外輪上昇温度は４０℃〜４５℃が限界とされており、ＤＬＣなし軸受けでは、回転数２２０００で４５℃上昇し、回転数は２２０００が限界値となるが、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１では更なる高速回転も可能である。この際のＤｍＮ値は２００万である。
【００３７】
したがって、温度上昇によるグリースの劣化も、ＤＬＣなし軸受けの劣化が最も激しく、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１の劣化が最も抑えられている。よって、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１のグリースの寿命が最も長く、長い期間十分な潤滑が可能となる。
【００３８】
また、図６のグラフを読み取ると、同程度の外輪上昇温度におけるアンギュラ玉軸受け１の１分間の回転数を見ると、ＤＬＣなし軸受けが一番少なく、次いでＤＬＣあり軸受け、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１の順で多くなっている。例えば、外輪上昇温度が２０℃である場合には、ＤＬＣなし軸受けでは約１６５００r.p.m.、ＤＬＣあり軸受けでは約１７５００r.p.m.、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１では約２１０００r.p.m.となる。
【００３９】
アンギュラ玉軸受け１のピッチ円の直径Ｄｍと、軸の回転数Ｎr.p.m.の積で与えられる軸受けの性能を示す指標であるＤｍＮ値を考えると、ピッチ円の直径は９１ｍｍなので、ＤＬＣなし軸受けでは約１５０万、ＤＬＣあり軸受けでは約１６０万、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１は、約１９０万となり、ＤＬＣ／油溜まりあり軸受け１が一番高性能となる。
【００４０】
したがって、アンギュラ玉軸受け１の内輪軌道面３１及び外輪軌道面４１に施されたＤＬＣコーティング１０，１５の接触走行面３２，４２の近傍に油溜まり２０，２５を設けると、油溜まり２０，２５に潤滑剤が保持され、回転時に常に接触面３３，４３にグリースが供給されるので、油膜強度が高くなり、摩擦係数が上昇しない。よって、接触面３３，４３の上昇温度も抑えられ、グリースの劣化も抑えることができる。これらの効果により、アンギュラ玉軸受け１は高性能化し、寿命も長くなる。そして、この軸受けを使用した主軸装置１００も高性能化する。
【００４１】
尚、本発明の転がり軸受けは、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。本発明の軸受けは、高速回転用のアンギュラ玉軸受けに限らず、他の形状の軸受けであってもよい。
【００４２】
また、上記実施の形態では、油溜まり２０，２５の形状を巾約１ｍｍの１本の帯状としたが、この形状に限らずその他の種々の形状であってもよい。例えば、帯状の油溜まりを１本でなく数本設け、所定の間隔で配置してもよい。また、接触面３３，４３の転動体２が回り込んでくる側の近傍であれば、帯状でなく円形や多角形の油溜まりを断続的に並べて設けたり、網目状に設けたりしてもよい。さらに、多角形については、接触面３３、４３側に向かって鋭角になるようにするとよい。
【００４３】
また、上記実施の形態では、ＤＬＣコーティング１０が施されている内輪軌道面３１の断面（図５参照）を例に挙げてＤＬＣコーティング１０の断面構造について説明したが、ＤＬＣ層１１の除去により形成される油溜まり２０の断面の形状はこれに限らず、その他の種々の形状であってもよい。図５のようにＤＬＣコーティング１０の表面に対して垂直でなくともよい。油溜まり２０の側面が、ＤＬＣ層１１の表面から油溜まり２０の底面の内側へ向けてなだらかに傾斜するようにしてもよい。こうすることによって、転動体２の表面と接するＤＬＣ層１１の表面に近付くにつれて、油溜まり２０の深さが浅くなってゆくので、油溜まり２０に保持されている潤滑剤が毛細管現象により良好に表面へ供給される。また、側面は傾斜でなくとも、階段状にしてＤＬＣ層１１の表面に油溜まり２０の深さが浅くなるようにしてもよい。また、油溜まり２０，２５の接触面３３，４３側の側面のみを傾斜や階段状にしてもよい。
【００４４】
尚、油溜まり２０の側面の傾斜角は９０°より大きく成ると、油溜まり２０がＤＬＣ層１１の内側へ回り込んでしまうため、潤滑剤がＤＬＣ層１１の表面へ良好に供給されないため、望ましくない。この傾斜角は、プラズマエッチィングによりＤＬＣ層１１を除去する際の種々の条件、エッチング時間、エッチングガスの混合比、ガス圧、マスキング部材とＤＬＣ層１１との距離、エッチング温度等により決定される。
【００４５】
また、図７は、変形例のアンギュラ玉軸受け８００の切断斜視図である。図７に示すように、潤滑剤を供給する供給機構として、外輪４の外側から外輪軌道面４１に向けて貫通孔４５を設けてもよい。また、上記実施の形態では、潤滑剤としてＮＯＫクリューバー製のバリウムコンプレックス増ちょう剤のエステル潤滑剤のイソフレックスＮＢＵ１５を使用したが、潤滑剤はこのグリースに限らず、他の潤滑剤を用いてもよい。
【００４６】
また、上記実施の形態では、ＤＬＣコーティングにＵＢＭスパッタリング法を用いているが、他のＤＬＣコーティング形成法であってもよい。たとえば、プラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition（化学気相堆積））法を用いてもよい。特に、外輪軌道面４１や転動体支持面５１のように、ＤＬＣコーティングを施す面が内側の場合には、回り込み性のよいプラズマＣＶＤ法が有効である。
【００４７】
また、上記実施の形態では、油溜まり２０の形成にプラズマエッチングを用いたが、油溜まり２０の形成方法はこれに限らない。例えば、ＦＩＢ（収束イオンビーム）やフェムト秒レーザーを用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の転がり軸受けは、工作機械の軸受け、高速回転用のアンギュラ玉軸受けのみでなく、種々の機器に用いられる軸受けに適応可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】主軸装置１００の軸に沿った方向で切断した縦断面図である。
【図２】ＤＬＣ／油溜まりありのアンギュラ玉軸受け１の切断斜視図である。
【図３】図２におけるアンギュラ玉軸受け１の切断面の拡大図である。
【図４】内輪軌道面３１と転動体２との接触走行面３２を示す簡易図である。
【図５】ＤＬＣコーティング１０がなされた内輪軌道面３１の断面拡大図である。
【図６】計測結果のグラフ図である。
【図７】変形例のアンギュラ玉軸受け８００の切断斜視図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  アンギュラ玉軸受け
２  転動体
３  内輪
４  外輪
５  保持器
１０  ＤＬＣコーティング
１５  ＤＬＣコーティング
２０  油溜まり
２５  油溜まり
３１  内輪軌道面
３２  接触走行面
３３  接触面
４１  外輪軌道面
４２  接触走行面
４３  接触面
１００  主軸装置
【図１】
2006177467.tif 000004
【図２】
2006177467.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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