(57)【要約】【課題】  ウェハ収納部におけるウェハの有無を容易且つ確実に確認できるウェハ収納容器を提供する。【解決手段】  本体部１０の側板１０ｂ、１０ｃ内に、各ウェハ収納部１毎に対応した一対の標識部材３を収納する標識部材収納部２をそれぞれ設ける。そして、ウェハＷをウェハ収納部１に収納した後に、標識部材３をなす棒材３１を標識部材収納部２の収納口から離れる方向である上方に突出させる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを収納するウェハ収納部を複数備えたウェハ収納容器であって、
前記ウェハ収納部における前記ウェハの有無を示す標識部材が、前記ウェハ収納部毎に設けられていることを特徴とするウェハ収納容器。
【請求項２】
前記標識部材は、前記ウェハを前記ウェハ収納部に収納した後に、前記ウェハ収納部の収納口から離れる方向に突出するように設けられていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ収納容器。
【請求項３】
前記標識部材は、前記ウェハを前記ウェハ収納部に収納した後に、前記ウェハ収納部の収納口の少なくとも一部を覆うように設けられていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ収納容器。
【請求項４】
前記標識部材は、前記ウェハの周縁を支持するウェハ支持部を備えていることを特徴とする請求項３に記載のウェハ収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のウェハを同時に収納可能なウェハ収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、ウェハの保管や輸送を行うために、複数のウェハを同時に収納可能なウェハ収納容器が用いられている。
図７は、従来のウェハ収納容器を示す分解斜視図である。
このウェハ収納容器は、図７に示すように、ウェハＷを収納する本体部１００と、この本体部１００に被せられる蓋部２００と、からなる。なお、図７に示す蓋部２００は、本体部１００に被せる状態とは逆さの状態を示す。
【０００３】
本体部１００には、ウェハＷを縦にした状態で収納可能な複数のウェハ収納部１１０が設けられている。すなわち、本体部１００の対向する二つの内側面には、それぞれ複数の縦長の仕切り板１１１ａ，１１１ｂが互いに向かう合うように等間隔に設けられている。そして、これらの仕切り板１１１ａ，１１１ｂによって、ウェハ収納部１１０が構成されている。また、各ウェハ収納部１１０の底面には、ウェハＷの周縁が差し込まれる切り込み１１２が形成されている。
【０００４】
蓋部２００には、ウェハ抑え２１０が設けられている。このウェハ抑え２１０には、各ウェハ収納部１１０に収納されたウェハＷの周縁が差し込まれる切り込み２１１が形成されている。
そして、各ウェハ収納部１１０にウェハＷを１枚ずつ収納した後の本体部１００に、ウェハ抑え２１０が設けられた面がウェハ収納部１１０の収納口側に位置するようにして、蓋部２００を被せる。これにより、ウェハＷの周縁が、本体部１００の切り込み１１２と蓋部２００の切り込み２１１に差し込まれ、ウェハ収納部内でウェハＷが固定される。  
【０００５】
特許文献１には、ウェハ収納容器のウェハ収納部に収納される複数のウェハを、均一な力で長期間にわたって固定するための技術が提案されている。
【特許文献１】特開平１１−１１１８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ウェハ収納部へのウェハの収納は、一枚ずつ手作業で行われる場合がある。このとき、ウェハの厚さが薄く、且つ、ウェハ収納部の収納口上方からはウェハの周縁の一部しか見えないため、ウェハ収納部におけるウェハの有無を確認することが難しい。このため、ウェハ収納部にウェハを収納する作業効率が良好ではない。また、既にウェハが収納されたウェハ収納部に誤って別のウェハを収納し、ウェハに損傷を与えてしまう場合もある。
【０００７】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ウェハ収納部におけるウェハの有無を容易且つ確実に確認できるウェハ収納容器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような課題を解決するために、本発明のウェハ収納容器は、ウェハを収納するウェハ収納部を複数備えたウェハ収納容器であって、前記ウェハ収納部における前記ウェハの有無を示す標識部材が、前記ウェハ収納部毎に設けられていることを特徴とするものである。
本発明によれば、ウェハ収納部毎に設けられた標識部材により、各ウェハ収納部におけるウェハの有無を容易且つ確実に確認できる。よって、ウェハ収納部にウェハを収納する作業効率を良好にできるとともに、ウェハが既に収納されたウェハ収納部に誤って別のウェハを収納する可能性を低減できる。
【０００９】
本発明のウェハ収納容器において、前記標識部材は、前記ウェハを前記ウェハ収納部に収納した後に、前記ウェハ収納部の収納口から離れる方向に突出するように設けられていてもよい。
これによれば、標識部材がウェハ収納口から離れる方向に突出したウェハ収納部にはウェハが収納済みであることを容易且つ確実に確認できる。つまり、ウェハを収納しようとする作業者は、ウェハ収納口を視認しつつウェハを収納する動作をするため、そのウェハ収納口から離れる方向に標識部材が突出していれば、他の部位に標識部材を設ける場合と比べて、標識部材を見誤る可能性を低くできるという利点がある。
【００１０】
また、本発明のウェハ収納容器において、前記標識部材は、前記ウェハを前記ウェハ収納部に収納した後に、前記ウェハ収納部の収納口の少なくとも一部を覆うように設けられていてもよい。
これによれば、標識部材がウェハ収納部の収納口の少なくとも一部を覆ったウェハ収納部にはウェハが収納済みであることを容易且つ確実に確認できる。つまり、ウェハ収納口の少なくとも一部が標識部材で覆われていれば、上述と同様の理由から、他の部位に標識部材を設ける場合と比べて、標識部材を見誤る可能性をさらに低くできるという利点がある。
【００１１】
さらに、本発明のウェハ収納容器において、前記ウェハを前記ウェハ収納部に収納した後に、前記ウェハ収納部の収納口の少なくとも一部を覆うように前記標識部材が設けられている場合、前記標識部材は、前記ウェハの周縁を支持するウェハ支持部を備えていることが好ましい。
これによれば、ウェハをウェハ収納部に収納した後に、標識部材でウェハ収納部の収納口の少なくとも一部を覆い、且つ、ウェハの周縁を支持することができるため、蓋部を被せなくても、ウェハ収納部内でウェハを固定できる。よって、ウェハ収納容器の蓋部を省くことが可能となるため、ウェハ収納容器の小型化及び低コスト化を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
〔第１実施形態〕
図１は、本発明のウェハ収納容器の一例を示す斜視図である。図２は、図１に示すウェハ収納容器のＡ−Ａ線拡大断面を示し、標識部材の動作を説明する図である。図３は、図１に示すウェハ収納容器の使用状態を示す斜視図である。
【００１３】
本実施形態では、上述した図７に示すウェハ収納容器とは、本体部の構成のみが異なるため、その異なる部分についてのみ説明する。
このウェハ収納容器の本体部１０には、図１に示すように、ウェハＷを縦にした状態で収納可能な複数のウェハ収納部１と、このウェハ収納部１毎に設けられた一対の標識部材３を収納可能な複数の標識部材収納部２と、が備えられている。
【００１４】
すなわち、このウェハ収納容器の本体部１０は、略正方形状の底板１０ａと、この底板１０ａをなす正方形の四辺から垂直に立ち上がる略正方形状の側板１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅと、から構成されている。この側板１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅのうち、対向する二枚の側板１０ｂ，１０ｃの厚みは、他の対向する二枚の側板１０ｄ，１０ｅの厚みよりも厚く形成されている。
【００１５】
側板１０ｂ，１０ｃの内側面には、それぞれ複数の縦長の仕切り板１１ａ，１１ｂが互いに対向するように等間隔に設けられている。そして、これらの対向する仕切り板１１ａ，１１ｂによって、ウェハ収納部１が構成されている。
また、側板１０ｂ，１０ｃ内には、各ウェハ収納部１と対応した位置に、側板１０ｂ，１０ｃの上面で開口し、平面視略正方形状で縦長の長孔からなる標識部材収納部２が複数設けられている。
【００１６】
この標識部材収納部２の内側面のやや上側には、図２に示すように、側板１０ｂ，１０ｃの内側面に至る第一の貫通孔１Ｈと、側板１０ｂ、１０ｃの外側面に至る第二の貫通孔２Ｈとが、同じ高さ位置で設けられている。さらに、標識部材収納部２の内側面のやや下側の位置には、その内側面からリング状に突出する係止部２１が設けられている。
底板１０ａの内側面には、各ウェハ収納部１の底面をなす位置に、ウェハＷの周縁が差し込まれる切り込み１２が形成されている。
【００１７】
標識部材３は、図２に示すように、角柱状の棒材３１と、突起部３２と、バネ係止部３３と、バネ３４と、からなる。
棒材３１は、その一側面に開口する第一の突起収納孔３１Ａと、第一の突起収納孔３１Ａが開口した側面の裏の側面に開口する第二の突起収納孔３１Ｂと、を備えている。第一の突起収納孔３１Ａは、棒材３１の上端と長手方向中央部との中間程度の位置に設けられ、第二の突起収納孔３１Ｂは、棒材３１の長手方向中央部近傍に設けられている。
【００１８】
突起部３２は、その内部に設けられた図示しないバネ機構によって、第一の突起収納孔３１Ａから突出可能な第一の突起部３２Ａと、第二の突起収納孔３１Ｂから突出可能な第二の突起部３２Ｂと、からなる。
バネ係止部３３は、棒材３１の長手方向中央部よりもやや下側の位置で、棒材３１の周囲に突出して設けられている。
【００１９】
バネ３４は、棒材３１の長手方向中央部よりもやや下側の周囲に巻き付けられたコイルバネであり、バネ係止部３３と係止部２１との間で伸縮可能に設けられている。このバネ３４により、棒材３１を、標識部材収納部２の収納口から飛び出る方向に付勢している。  この本体部１０において、ウェハ収納部１にウェハＷが収納されていない場合、標識部材３は、バネ３４が縮んだ状態で、標識部材収納部２に収納されている。このとき、第一の突起部３２Ａは、第一の突起収納孔３１Ａから突出して第一の貫通孔１Ｈに嵌合し、第二の突起部３２Ｂは、第二の突起収納孔３１Ｂに収納されている。図２（ａ）は、この状態を示す図である。
【００２０】
このような本体部１０のウェハ収納部１に、作業者がウェハＷを収納すると、図２（ｂ）に示すように、第一の貫通孔１Ｈに嵌合している第一の突起部３２ＡがウェハＷの周縁に押されて、第一の突起収納孔３１Ａに収納される。これにより、第一の突起部３２Ａは第一の貫通孔１Ｈから外れるため、バネ３４の弾性復元力によって、棒材３１は上方に持ち上がる。
【００２１】
そして、棒材３１の移動に伴って、第二の突起部３２Ｂが第二の貫通孔２Ｈの位置まで移動すると、第二の突起部３２Ｂが第二の突起収納孔３１Ｂから突出して第二の貫通孔２Ｈに嵌合する。これにより、標識部材３は、棒材３１の一端が標識部材収納部２の収納口から離れる方向である上方に突出した状態で固定される。図２（ｃ）は、この状態を示す図である。
【００２２】
その後、作業者は、ウェハ収納部１にウェハＷが収納された後の本体部１０に、上述した図７と同様の蓋部２００を被せて、ウェハＷの保管・搬送を行う。但し、蓋部２００は、複数のウェハ収納部１の収納口を全て覆い、且つ、棒材３１が標識部材収納部２から突出した状態で本体部１０に被せることができるように、その寸法を決定する必要がある。  なお、ウェハＷの保管・搬送が完了して、ウェハ収納容器のウェハ収納部１からウェハＷが取り出された後、作業者は、指又は治具を用いて、第二の貫通孔２Ｈに嵌合している第二の突起部３２Ｂを第二の突起収納孔３１Ｂに押し込んだ状態で、棒材３１を標識部材収納部２に押し込む。このとき、棒材３１の移動に伴って、第一の突起部３２Ａが第一の貫通孔１Ｈの位置まで移動すると、第一の突起部３２Ａが第一の突起収納孔３１Ａから突出して第一の貫通孔１Ｈに嵌合する。よって、標識部材３は、棒材３１に巻き付けられたバネ３４が縮んだ状態で標識部材収納部２に再び収納される。
【００２３】
すなわち、本実施形態のウェハ収納容器は、図３に示すように、ウェハＷが収納されたウェハ収納部１では棒材３１が標識部材収納部２の収納口よりも離れる方向である上方に突出し、ウェハＷが未収納のウェハ収納部１では棒材３１が標識部材収納部２に収納された状態となる。これにより、ウェハ収納部１におけるウェハＷの有無を容易且つ確実に確認することができる。よって、ウェハ収納部１にウェハＷを収納する作業効率を良好にできるとともに、ウェハＷが収納済みのウェハ収納部１に誤って別のウェハＷを収納する可能性を低減できる。
【００２４】
〔第２実施形態〕
図４は、本発明のウェハ収納容器の他の例を示す斜視図である。図５は、図４に示すウェハ収納容器のＢ−Ｂ線拡大断面を示し、標識部材の動作を説明する図である。図６は、図４に示すウェハ収納容器の使用状態を示す斜視図である。
なお、本実施形態では、上述した図１に示す本体部１０とは、標識部材収納部２および標識部材３の構成のみが異なるため、その異なる部分についてのみ説明する。
この本体部１０Ａの標識部材収納部４には、図４に示すように、その内側面のやや上側の位置に、側板１０ｂ，１０ｃの外側面に至る貫通孔３Ｈが設けられている。
標識部材５は、図５に示すように、角柱状の第１部材５１および第２部材５２と、側板１０ｂ、１０ｃの横方向（図５における紙面の表裏方向）に沿った軸線を有する軸５３と、からなる。第一部材５１および第二部材５２は、軸５３によって相対的に回動可能に連結されている。
【００２５】
第一部材５１は、回動時に側板１０ｂ、１０ｃと摺接しないように、第二部材５２と連結する側の端部はＲ形状となっている。また、第一部材５１の一側面には、ウェハＷの周縁が差し込まれる切り込み（ウェハ支持部）５１Ａが形成されている。
第二部材５２は、一側面に開口する突起収納孔５２Ａと、この突起収納孔５２Ａから突出可能な突起部５２Ｂと、を備えている。突起部５２Ｂは、その内部に図示しないバネ機構が設けられており、第二部材５２の移動に伴って貫通孔３Ｈの位置までくると突起収納孔５２Ａから突出し、貫通孔３Ｈに嵌合するようになっている。これにより、標識部材５は、標識部材収納部４の収納口から上方に引っ張りあげても、標識部材収納部４の収納口近傍で係止されるようになっている。
【００２６】
この本体部１０Ａにおいて、ウェハ収納部１にウェハＷが収納されていない場合、標識部材５は、第一部材５１および第二部材５２が一直線状に配置され、且つ、第一部材５１の先端が標識部材収納部４の収納口から離れる方向である上方に突出した状態で収納されている。図５（ａ）は、この状態を示す図である。
このような本体部１０Ａのウェハ収納部１にウェハＷを収納した後、図５（ｂ）に示すように、作業者は、第一部材５１の先端を把持して、少なくとも軸５３が露出するまで、ウェハ収納部１の収納口から上方に引っ張りあげる。
【００２７】
次に、作業者は、軸５３の回動機構を利用して、第一部材５１をウェハ収納部１の収納口側に倒す。これにより、ウェハ収納部１の収納口の一部が第一部材５１で覆われ、ウェハ収納部１に収納されたウェハＷの周縁の一部は、第一部材５１に形成された切り込み５１Ａに差し込まれる。図５（ｃ）は、この状態を示す図である。
これにより、ウェハ収納部１内でウェハＷが固定されるため、ウェハ収納部１にウェハＷが収納された後の本体部１０Ａは、上述した図７と同様の蓋部２００を被せずに、ウェハＷの保管・搬送が行うことができる。
【００２８】
なお、ウェハＷの保管・搬送が完了して、ウェハ収納容器のウェハ収納部１からウェハＷを取り出す場合、作業者は、第一部材５１の先端を把持して上方に引っ張りあげ、第一部材５１を第二部材５２と一直線状に配置した後、標識部材収納部４内に再び収納する。これにより、ウェハ収納部１の収納口が露出するため、この収納口からウェハＷを取り出すことができる。
【００２９】
すなわち、本実施形態のウェハ収納容器は、図６に示すように、ウェハＷが収納されたウェハ収納部１ではその収納口の一部が第一部材５１で覆われ、ウェハＷが未収納のウェハ収納部１ではその収納口が露出した状態となる。これにより、ウェハ収納部１におけるウェハＷの有無を容易且つ確実に確認することができる。よって、ウェハ収納部１にウェハＷを収納する作業効率を良好にできるとともに、ウェハＷが収納済みのウェハ収納部１に誤って別のウェハＷを収納する可能性を低減できる。
【００３０】
また、本実施形態のウェハ収納容器によれば、ウェハＷが収納された後のウェハ収納部１の収納口の大部分が第一部材５１で覆われ、且つ、切り込み５１ＡによりウェハＷの周縁を支持できるため、蓋部を省くことができる。
なお、上記各本実施形態においては、ウェハ収納部毎に一対の標識部材を設けたが、これに限らず、ウェハ収納部毎に一つの標識部材を設けてもよい。また、ウェハが収納されたウェハ収納部の位置をより正確に把握するために、各標識部材に数字やアルファベット等の印を付けたり、各標識部材を色分けしたりしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明のウェハ収納容器の一例を示す断面図。
【図２】図１に示すウェハ収納容器に設けられた標識部材の動作を説明する図。
【図３】図１に示すウェハ収納容器の使用状態を示す平面図。
【図４】本発明のウェハ収納容器の他の例を示す断面図。
【図５】図４に示すウェハ収納容器に設けられた標識部材の動作を説明する図。
【図６】図４に示すウェハ収納容器の使用状態を示す平面図。
【図７】従来のウェハ収納容器の一例を示す斜視図。
【符号の説明】
【００３２】
１０，１０Ａ…本体部、１…ウェハ収納部、２，４…標識部材収納部、３，５…標識部材、Ｗ…ウェハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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