(57)【要約】【課題】ノイズの多い環境で、テスタを、被測定対象をハンドリング・プロービングする装置と共に使用する場合に、ノイズの影響を低減するテストシステム及び電源・接地の接続箱を提供する。【解決手段】テスタの第１の接地端子１６６をプローバの第２の接地端子に接続する第１の接地線１６４と、テスタの底面とプローバの底面を覆い、第１の接地端子に第２の接地線１６２によって接続されたグラウンドプレーン１６０と、テスタとプローバにそれぞれ電源を供給し、配電盤からの第１の電源線１７２を受けてテスタ用とプローバ用の第２及び第３の電源線（１５６、１５８）に分岐する電源端子台１４４と、配電盤からの第３の接地線１７４を受けて第１の接地端子に第４の接地線１５４で接続した接地端子台１４８とを備えた接続箱とを備えたテストシステム１００。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローバと、
前記プローバと協働して測定をするテスタであって、前記テスタの第１の接地端子は前記プローバの第２の接地端子に接続される第１の接地線を備えるテスタと、
前記テスタの底面と前記プローバの底面を覆い、前記第１の接地端子に第２の接地線によって接続されたグラウンドプレーンと、
前記テスタと前記プローバにそれぞれ電源を供給する接続箱であって、該接続箱は、配電盤からの第１の電源線を受けて前記テスタ用と前記プローバ用の第２及び第３の電源線に分岐する電源端子台を備え、該接続箱はさらに、配電盤からの第３の接地線を受けて前記第１の接地端子に第４の接地線で接続した接地端子台とを備えた接続箱と
を有したテストシステム。
【請求項２】
前記接続箱は第５の接地線を有し、前記接地端子台の前記第４の接地線と大地とを接続したことを特徴とする請求項１に記載のテストシステム。
【請求項３】
前記接続箱は、さらに第１と第２のノイズカットトランスを有し、該第１のノイズカットトランスは前記第２の電源線に挿入され、該第２のノイズカットトランスは前記第３の電源線に挿入されたことを特徴とする請求項１または２に記載のテストシステム。
【請求項４】
前記接続箱は、インダクタをさらに有し、前記配電盤からの第３の接地線を該インダクタを介して前記接地端子台に接続したことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のテストシステム。
【請求項５】
前記接続箱は、さらに、第１と第２の漏電遮断器を有し、該第１の漏電遮断器は、前記第２の電源線に挿入され、該第２の漏電遮断器は、前記第３の電源線に挿入されたことを特徴とする請求項１または２または４に記載のテストシステム。
【請求項６】
前記接続箱は、さらに、第１と第２の漏電遮断器を有し、該第１の漏電遮断器は、前記第２の電源線の、前記電源端子台と前記第１のノイズカットトランスの間に挿入され、該第２の漏電遮断器は、前記第３の電源線の、前記電源端子台と前記第２のノイズカットトランスの間に挿入されたことを特徴とする請求項３に記載のテストシステム。
【請求項７】
プローバと、
前記プローバと協働して測定をするテスタと、
前記テスタと前記プローバにそれぞれ電源及び接地電位を供給する接続箱であって、該接続箱は、配電盤からの第１の電源線を受けて前記テスタと前記プローバにそれぞれ接続される第２及び第３の電源線にそれぞれ分岐する端子台を備え、該端子台はさらに配電盤からの第１の接地線を受けて前記テスタと前記プローバにそれぞれ分岐して接続される第２及び第３の接続線が接続され、前記第２の電源線には第１の遮断器が挿入され、前記第３の電源線には第２の遮断器が挿入された接続箱と
を有したテストシステム。
【請求項８】
前記第１及び第２の遮断器は、配線用遮断器または漏電遮断器であることを特徴とする請求項７に記載のテストシステム。
【請求項９】
プローバと、
前記プローバと協働して測定をするテスタであって、前記テスタは第１の接地端子をそなえ、前記第１の接地端子により配電盤からの第１の接地線を受け、さらに前記第１の接地端子と前記プローバとの間で第２の接地線を接続し、前記テスタは第１の電源端子を備え、前記第１の電源端子により前記配電盤からの第１の電源線を受け、また前記第１の電源端子と前記プローバとの間で第２の電源線を遮断器を介して接続するテスタと
を有したテストシステム。
【請求項１０】
前記遮断器が、配線用遮断器または漏電遮断器であることを特徴とする請求項９に記載のテストシステム。
【請求項１１】
配電盤からテスタとプローバに電源を供給する接続箱であって、該接続箱は、前記配電盤からの第１の電源線を受けて前記テスタ用と前記プローバ用の第２及び第３の電源線に分岐する電源端子台を備え、該接続箱はさらに、配電盤からの第１の接地線を受けて前記テスタに接続する第２の接地線とを備えた接続箱。
【請求項１２】
前記接続箱は、第３の接地線をさらに有し、前記第２の接地線を大地に接続したことを特徴とする請求項１１に記載の接続箱。
【請求項１３】
前記接続箱は、さらに第１と第２のノイズカットトランスを有し、該第１のノイズカットトランスは前記第２の電源線に挿入され、該第２のノイズカットトランスは前記第３の電源線に挿入されたことを特徴とする請求項１１または１２に記載の接続箱。
【請求項１４】
前記接続箱は、インダクタをさらに有し、前記配電盤からの第１の接地線を該インダクタを介して前記接地端子台に接続したことを特徴とする請求項１１ないし１３のいずれかに記載の接続箱。
【請求項１５】
前記接続箱は、第１と第２の漏電遮断器を有し、該第１の漏電遮断器は、前記第２の電源線に挿入され、該第２の漏電遮断器は、前記第３の電源線に挿入されたことを特徴とする請求項１１または１２または１４に記載の接続箱。
【請求項１６】
前記接続箱は、第１と第２の漏電遮断器を有し、該第１の漏電遮断器は、前記第２の電源線の、前記電源端子台と前記第１のノイズカットトランスの間に挿入され、該第２の漏電遮断器は、前記第３の電源線の、前記電源端子台と前記第２のノイズカットトランスの間に挿入されたことを特徴とする請求項１３に記載の接続箱。
【請求項１７】
配電盤からテスタとプローバに電源を供給する接続箱であって、配電盤からの第１の電源線を受けてテスタとプローバにそれぞれ接続される第２及び第３の電源線にそれぞれ分岐する端子台を備え、該端子台はさらに配電盤からの第１の接地線を受けて前記テスタと前記プローバにそれぞれ分岐して接続される第２及び第３の接続線が接続され、前記第２の電源線には第１の遮断器が挿入され、前記第３の電源線には第２の遮断器が挿入された接続箱。
【請求項１８】
前記第１及び第２の遮断器は、配線用遮断器または漏電遮断器であることを特徴とする請求項１７に記載の接続箱。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子あるいは表示パネルなどの測定技術に関し、より詳細には、テスタに、被測定対象のハンドリングをするプローバなどの装置を接続して測定する際のノイズ低減技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶（ＬＣＤ）・有機／無機ＥＬなどをはじめとするさまざまな表示パネルすなわちＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）パネルの開発と生産においては、ＦＰＤアレイテスタなどのパネルテスタにパネルプローバが接続され、測定が行われる。特に、種類によっては、大きいものでは１辺が１メートルを超すガラス等の基材を使用するため、パネルプローバも１辺がその３倍以上の大きさとなり、工場でのスペース確保が大変となる。
【０００３】
また、集積回路（ＩＣ）などの半導体素子の開発／生産においても、半導体素子のウエハの評価のためにＩＣテスタあるいは半導体パラメトリックテスタなどにウエハプローバを接続して測定をするが、最近はウエハの直径が３００ｍｍに増大するなどして、設置スペースの確保が大変となっている。
【０００４】
そのため、これらのテスタとプローバは、工場内でも配電盤から離れた位置に設置されることが少なくないと考えられる。
【０００５】
一方で、これらウエハやガラス等に搭載された被測定対象（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）の測定は、製造プロセスの進歩により微小電流・電圧での高精度な測定が要求されるようになってきており、それを達成するためにはノイズの低減が必要不可欠である。
【０００６】
図４に、このノイズの問題を説明する図を模式的に示す。プローバ８０４は、被測定対象（ここでは図示されていない）を搭載したウエハあるいはガラスなどをハンドリングすなわち搬送及び位置合わせし、被測定対象の指定部分にプロービングする機能を備え、テスタ８０２はケーブル８２８とテストヘッド８２６を介してこのプロービングされた信号を測定する。テスタの電源供給線（以下、簡単のために電源線と称する）８１０とプローバの電源線８１４は、共に工場の配電盤８０６の電源（ＰＷＲ）端子に接続されている。同様に、テスタの接地線８１２とプローバの接地線８１６は、配電盤８０６の接地（ＧＮＤ）端子に接続されている。なお、ここには図示されていないが配電盤には、別途、電源が供給され、接地が施されている。また、本明細書では、わかりやすさのために、図中に明示的に記載された接地線は、全て点線で示している。
【０００７】
ここで、プローバ８０４内でＤＵＴにプロービングがされたと考える。この時、一点鎖線のループの矢印８３０で示されるように、テスタとプローバの接地線８１２と８１６は、テストヘッド８２６及びケーブル８２８を介してループ面積の大きな閉回路すなわちグラウンドループを、テスタ１１０とプローバ１１２と配電盤１７０との間で形成してしまう。上記のような設置スペースの制約から、これら電源線８１０および８１４、あるいは接地線８１２および８１６の長さが１０メートル以上ある場合も多いと考えられる。このような場合、工場内の各種のノイズの放射がこれらの接地線や、電源線に重畳あるいは誘起され、あるいはグラウンドループに入り込み、テスタ８０２での測定に支障をきたすことになる。
【０００８】
今日、半導体・表示パネル素子の電気的性能評価装置が稼動する環境における量産生産ライン上ではテスタと共に様々な装置が設置・稼動しており、生産物を搬送するための移動装置も使用されている。それらの装置の中には、保護接地グラウンドが据付固定されているものもあるが、ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）などの無人運搬車のように完全に工場配電盤から分離された状態のものもある。一般に接地がされていない機器は、コモンモードノイズの発生源になり易いものが多い。また、保護接地がされているものであっても、ノイズの観点からは満足したシールド効果を発揮できずにノイズを発しているものも中にはある。そのために、シールド材の強化や、パーマロイによる磁気シールドや電源コードにフェライト材を混入したシースを使って放射を低減したりフェライトクランプを多数個使用したりする対策を施していることも多いと考えられる。
【０００９】
また、微小電圧・電流を扱う測定装置（以下、簡単のために、本明細書ではテスタと呼ぶ）とともに使用されるプローバやローダには、被測定対象の搬送、サブミクロン単位での高精度な位置合わせのために、フィードバックコントロールによるサーボモーターあるいはサーボアンプなどが使用されている。
【００１０】
一般にサーボモーターあるいはサーボアンプでは、周波数が数１００Ｈｚから数１０ｋＨｚ程度の矩形波を用いてスイッチングされるため、適切に使用しないと、その高調波によるノイズを発生する機器がはびこる事態になる。これら微小電圧・電流を扱うテスタは、このようなノイズの大きいものが近傍に存在すると、少なからずその影響を受け、本来持つ高精度な測定機能を活かす事が出来ない。
【００１１】
さらに、工場においては、電源の配送において保護接地は設けられていても、接地点から実際の負荷までの距離が十メートル以上ある場合も考えられる。そのような場合、外来ノイズにより接地線の電位が安定しないという懸念がある。
【００１２】
このような場合、前述のノイズを発する機器からの比較的低周波の伝導性ノイズが接地線に誘起され、測定装置と共に使われる機器に対策を施したとしても、周囲にある未対策の装置から発するノイズにより測定装置のグラウンドがコモンモードで揺すられる事態に至る。
【００１３】
したがって、プローバに限らずテスタの周辺装置のノイズレベルを低減することも重要だが、ノイズを受信するテスタ側において、ノイズに対する感受性を低減させることも重要である。
【００１４】
なお、微小電流測定のテスタを特許文献１に、ウエハプローバを特許文献２に、パネルプローバを特許文献３に示す。
【００１５】
【特許文献１】特開平１１−１６３６６３号広報
【特許文献２】特開平６−５３２９７号広報
【特許文献３】特開２００１−２９６５４７号広報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明の目的は、ノイズの影響を受けやすい上述のような環境において、テスタを、プローバなど、被測定対象をハンドリング及びプロービングする装置とともに使用する場合に、ノイズの影響を低減するテストシステム及び電源・接地周りの接続装置すなわち接続箱を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記のような問題点に対し、本発明の発明者は、次のようにこれらの問題点を解析した。すなわち、
（解析１）工場クリーンルーム内において電源の配電盤が遠いことにより、テスタとプローバからのそれぞれの接地線が非常に遠いポイントで繋げられる場合には、その布線区間で電源線を介して多数の装置から発するノイズにより接地線が誘導性の干渉を受け易くなる。
【００１８】
（解析２）即ちテスタおよびプローバが筐体を経由して空間的に広いループを形成し磁界起因のノイズを誘起したり、双方の接地端子が高周波的に異なったポテンシャルを互いに持つために高周波ノイズ電流が筐体間を還流することによって高精度測定に影響を及ぼす原因となる。
【００１９】
（解析３）さらにノイズの周波数帯域が測定サンプリングタイミング帯域に近接するようになると、信号にフィルタ処理を施しても測定値にノイズ成分が重畳する影響を免れなくなる。
【００２０】
（解析４）端的には、テスタを基準に取れば、筐体経由の還流電流がプローバ全体を揺らし、デバイスを載せておくチャックトップに容量結合的に伝搬し、測定の擾乱を引き起こすモデルとなる。
【００２１】
（解析５）よって、電流の還流を妨げ、電磁的放射エネルギーを最小限にするように、還流経路を設計すればノイズの影響を受けにくくする対策を効果的に実施することが可能である。
【００２２】
上記の解析の基づき、本発明者はさらに、次のような解決方針を発案するに至った。
（方針１）テスタとプローバとの筐体が接地される接地点（グラウンドポイント）は独立した１点の基準点とし、還流したノイズ電流により接地点が誘導性の擾乱を受けないように、各筐体に配送される接地線は短く、対地インピーダンスを低く保ちながらグラウンドループ面積が極小になるよう配慮しながら布線設計を行う。
【００２３】
（方針２）配電盤からの距離が遠い場合に接地線が誘導性のノイズの影響を受けたとしても、それが上記基準点に影響を与えないような設計を施す。
【００２４】
（方針３）保護接地の設計においては、絶縁破壊による感電・漏電を防止するよう十分留意して設計検討を行う。
【００２５】
上記の方針に基づき、本発明による第１の態様によるテストシステムは、プローバと、プローバと協働して測定し、その第１の接地端子はプローバの第２の接地端子に接続される第１の接地線を備えるテスタと、テスタの底面とプローバの底面を覆い、第１の接地端子に第２の接地線によって接続されたグラウンドプレーンと、テスタとプローバにそれぞれ電源を供給する接続箱であって、該接続箱は、配電盤からの第１の電源線を受けてテスタ用とプローバ用の第２及び第３の電源線に分岐する電源端子台を備え、該接続箱はさらに、配電盤からの第３の接地線を受けて前記第１の接地端子に第４の接地線で接続した接地端子台とを備えた接続箱とを備えるものである。
【００２６】
本発明による第２の態様によるテストシステムでは、接続箱は第５の接地線を有し、接地端子台の第４の接地線と大地とを接続したことを特徴とする。
【００２７】
さらに、第３の態様によるテストシステムでは、接続箱は、さらに第１と第２のノイズカットトランスを有し、該第１のノイズカットトランスは、第２の電源線に挿入され、該第２のノイズカットトランスは、第３の電源線に挿入されたことを特徴とする。
【００２８】
さらに、第４の態様によるテストシステムでは、接続箱は、インダクタをさらに有し、配電盤からの第３の接地線を該インダクタを介して接地端子台に接続したことを特徴とする。
【００２９】
さらに、第５の態様によるテストシステムでは、上述の第１、第２、第４の態様において、接続箱は、さらに、第１と第２の漏電遮断器を有し、該第１の漏電遮断器は、第２の電源線に挿入され、該第２の漏電遮断器は、第３の電源線に挿入されたことを特徴とする。
【００３０】
さらに、第６の態様によるテストシステムでは、上述の第３の態様において、接続箱は、さらに、第１と第２の漏電遮断器を有し、該第１の漏電遮断器は、第２の電源線の、電源端子台と第１のノイズカットトランスの間に挿入され、該第２の漏電遮断器は、第３の電源線の、電源端子台と前記第２のノイズカットトランスの間に挿入されたことを特徴とする。
【００３１】
さらに、本発明の第７の態様によるテストシステムは、プローバと、プローバと協働して測定するテスタと、テスタとプローバにそれぞれ電源および接地電位を供給する接続箱であって、該接続箱は、配電盤からの第１の電源線を受けてテスタとプローバにそれぞれ接続される第２及び第３の電源線にそれぞれ分岐する端子台を備え、該端子台はさらに配電盤からの第１の接地線を受けてテスタとプローバにそれぞれ分岐して接続される第２及び第３の接続線が接続され、第２の電源線には第１の遮断器が挿入され、第３の電源線には第２の遮断器が挿入された接続箱とを備えている。
【００３２】
また、本発明の第８の態様によるテストシステムは、上述の第７の態様において、この第１及び第２の遮断器が、配線用遮断器または漏電遮断機であることを特徴とする。
【００３３】
さらに、本発明による第９の態様によるテストシステムは、プローバと、プローバと協働して測定し、配電盤からの第１の接地線を受ける第１の接地端子と、さらに第１の接地端子とプローバとの間で接続される第２の接地線と、配電盤からの第１の電源線を受ける第１の電源端子と、プローバに遮断器を介して接続した第２の電源線とを備えたテスタとを備える。
【００３４】
また、本発明の第１０の態様によるテストシステムは、上述の第９の態様において、この遮断器が、配線用遮断器または漏電遮断器であることを特徴とする。
【００３５】
さらに、本発明による第１１の態様による接続箱は、配電盤からテスタとプローバに電源を供給する接続箱であって、該接続箱は、配電盤からの第１の電源線を受けてテスタ用とプローバ用の第２及び第３の電源線に分岐する電源端子台を備え、該接続箱はさらに、配電盤からの第１の接地線を受けてテスタに接続する第２の接地線とを備えている。
【００３６】
さらに、本発明による第１２の態様による接続箱は、第３の接地線をさらに有し、第２の接地線を大地に接続したことを特徴とする。
【００３７】
さらに、本発明による第１３の態様による接続箱は、さらに第１と第２のノイズカットトランスを有し、該第１のノイズカットトランスは第２の電源線に挿入され、該第２のノイズカットトランスは第３の電源線に挿入されたことを特徴とする。
【００３８】
さらに、本発明による第１４の態様による接続箱は、インダクタをさらに有し、配電盤からの第１の接地線を該インダクタを介して接地端子台に接続したことを特徴とする。
【００３９】
さらに、本発明による第１５の態様による接続箱は、上述の第１１、第１２、第１４の態様において、第１と第２の漏電遮断器を有し、該第１の漏電遮断器は、第２の電源線に挿入され、該第２の漏電遮断器は、第３の電源線に挿入されたことを特徴とする。
【００４０】
さらに、本発明による第１６の態様による接続箱は、上述の第１３の態様において、第１と第２の漏電遮断器を有し、該第１の漏電遮断器は、第２の電源線の、電源端子台と第１のノイズカットトランスの間に挿入され、該第２の漏電遮断器は、第３の電源線の、電源端子台と第２のノイズカットトランスの間に挿入されたことを特徴とする。
【００４１】
さらに、本発明による第１７の態様による接続箱は、配電盤からテスタとプローバに電源を供給する接続箱であって、配電盤からの第１の電源線を受けてテスタとプローバにそれぞれ接続される第２及び第３の電源線にそれぞれ分岐する端子台を備え、該端子台はさらに配電盤からの第１の接地線を受けてテスタとプローバにそれぞれ分岐して接続される第２及び第３の接続線が接続され、第２の電源線には第１の遮断器が挿入され、第３の電源線には第２の遮断器が挿入されたことを特徴とする。
【００４２】
さらに、本発明による第１８の態様による接続箱は、上述の第１７の態様において、この第１及び第２の遮断器が、配線用遮断器または漏電遮断器であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４３】
以上のように、被測定対象をハンドリング・プロービングするプローバなどの装置をテスタとともに用いて測定をする際に、本発明によるテストシステムまたは接続箱を用いると、測定値に与える影響を低減することができる。またその結果、高速・高精度・高再現性のいずれかまたは複数を達成した電気測定評価環境を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
本発明による実施形態を図１に示す。図１を参照すると、テストシステム１００は、大まかには、測定を行うテスタ１１０、被測定対象を位置合わせしてプロービングするプローバ１１２、これらに電源及び安定した接地電位を供給する接続箱１３０を備え、接続箱１３０には、工場設備である配電盤１７０から、電源線１７２及び接地線１７４がキャブタイヤケーブルに収容された形態などで接続されている。
【００４５】
テスタ１１０にはケーブル１２２を介してテストヘッド１２０が接続され、テストヘッド１２０はプローバ１１２に接続されてプローバからの測定信号を受け取る。
【００４６】
配電盤１７０から電源線１７２を介して接続箱１３０に供給された電源は、電源用（ＰＷＲ）端子台１４４でテスタ用（１４０）とプローバ用（１４４）の２系統の電源線に分配され、それぞれの漏電遮断器（ＥＬＣＢ：Ｅａｒｔｈ  Ｌｅａｋａｇｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｒｅａｋｅｒ）１３８及びケーブル（１３４及び１３６）を介して、それぞれのノイズカットトランス（ＮＣＴ：Ｎｏｉｓｅ  Ｃｕｔ  Ｔｒａｎｓ）１３２に接続され、それぞれの電源線（１５６及び１５８）により、テスタ１１０及びプローバ１１２に接続される。ここでＥＬＣＢ１３８は、漏電検出時に遮断する機能を持つブレーカである。また、ノイズカットトランス１３２は、特にコモンモードノイズを遮断する効果の高いトランスであって、概ね１ＭＨｚ帯域を主体としたコモンモードノイズに対して阻止効果のあるものが望ましい。なお、本明細書では、機能が同じ構成要素には、同じ参照番号が付されている。また、ここには図示されていないが配電盤１７０には、別途工場設備として、電源及び接地電位が供給されている。
【００４７】
接地電位に関しては、配電盤１７０から接地線１７４で接続箱１３０内のインダクタンスＬのインダクタ１４６を介して接地（ＧＮＤ）端子台１４８に接続される。インダクタンス１４６には、好ましくはトロコイダルコイルを用い、１０ｋＨｚ〜５ＭＨｚの帯域で１ｍＨ以上のインダクタンスとなるものが望ましい。また、このトロコイダルコイルは、直流での電気抵抗をできるだけ小さく、望ましくは１オームより小さくするために、例えばＡＷＧ＃１０〜１２以上の太い線材が巻かれたインダクタであることが望ましい。これにより、配電盤からの接地線１７４にノイズが重畳されても、交流的には高インピーダンスとなるので、テスタのグラウンド側にノイズが流れにくくすることができる。
【００４８】
接地端子台１４８で接地線１４７にはさらに、別の接地線１５０により、外部の独立した第３種接地の接地端子１５２に接続されている。接地線１５０は、コンジットパイプつきの接地線などの、しっかりと接地が取れるものが望ましい。これにより、接地電位の変動を防ぐことができる。
【００４９】
接地端子台１４８では接地線１４７に接地線１５４を接続し、接地線１５４をテスタ１１０の接地端子１６６に接続する。さらに、接地端子１６６には別の接続線１６４を介してプローバ１１２の接地端子に接続する。ここで、接続箱１３０からテスタ１１０またはプローバ１１２に至る電源線１５６及び１５８と接地線１５４の長さは、好ましくは２メートル以内が望ましい。また、テスタ１１０とプローバ１１２との間の接地線１６４の長さは、３メートル以内であることが望ましい。
【００５０】
さらに、テスタ１１０とプローバ１１２の双方の底面をカバーする床面にグラウンドプレーン１６０を設ける。このグラウンドプレーン１６０は、例えば、１枚もしくは電気的に緊密に接続された複数枚のアルミなどの金属板である。グラウンドプレーン１６０の裏面は、設置床面が導電性の場合には、絶縁されているものが望ましい。グラウンドプレーン１６０は、別の接地線１６２によって、テスタ１１０の接地端子１６６に接続されている。
【００５１】
このように、本実施例では、テスタの筐体の接地端子とプローバの筐体の接地端子とが接続される接地点は、他の機器と共通とせず、独立したものとして接地端子台１４８に設け、かつ相互にとっては１点の基準保護接地点１６６で一点接地を構成しているので、接地電位同士のばらつきが少ない。
【００５２】
また、本実施例では、接地用端子台１４８から負荷側（テスタおよびプローバ側）の配線（１５０、１５４、１６２、１６４、１４７、および、１７４）はＡＷＧ＃１０相当以上の出来るだけ太く、インダクタンスの低い素材が望ましく、接地点である接地用端子台１４８から各筐体は、ノイズ帯域の波長の概ね１／１００程度である３ｍ以内、可能であれば１ｍないし２ｍ以内の長さの線材で接続されることが望ましい。
【００５３】
さらに、接続箱１３０とテスタ１１０あるいはプローバ１１２を接続する電源線（１５６及び１５８）または接地線（１５４、１６２及び１６４）は好ましくはキャブタイヤケーブルで構成され、好ましくはノイズの誘導を避けるために対地面または筐体面から５ｃｍ程度以内に添わせて布線を行うことが望ましい。接地された金属製のダクトやアルミ板などによるグラウンドプレーンすなわち設定された遮蔽板１６０を併設して配線を添わせることで、効果を増大させることができる。なお、グラウンドプレーン１６０は、設置される床面の状況に応じて絶縁処理が施される。
【００５４】
その上さらに、テスタ１１０とプローバ１１２とは被測定対象の近傍で筐体同士（テストヘッド１２０およびプローバ１１２）が接近あるいは接続されて、グラウンドループを形成する。この時、このグラウンドループのループ面積の増大を避けるために、双方の接地線を互いに添うように布線したり、一筆書き状に接続されるように布線する（接地線１５４及び１６４）ことが望ましい。
【００５５】
また、テスタ１１０とプローバ１１２は、配電盤１７０から数メートルないし数１０ｍを隔てた距離を持つ場合、接地点を１点に取ったとしても、高周波においてはこの長い接地線１７４自体がインピーダンスを持つので、他の機器からの誘導によってこのグラウンドインピーダンス部分にノイズ成分が誘起される。このノイズ成分がテスタ側へ還流することを抑制するために、インピーダンス阻止部品として例えばインダクタ１４６を接地線１７４と接地線１４７の間に直列に挿入する。
【００５６】
また、さらに接地電位を安定させるために、接地線へは、新たにクリーンな接地電位として第３種接地による接地端子１５２からコンジットパイプを使用した接地線１５０により接続箱１３０に引き入れている。これにより、外来の周囲ノイズの多くは接地線１５０に結合して、接地端子１５２に流れてしまうので、テスタ側にノイズが還流する割合はさらに低下する。これにより、テスタ１１０とプローバ１１２へは、ノイズの影響がきわめて低い静かな接地電位が供給される。
【００５７】
また、配電盤１７０から接続箱１３０への電源線１７２及び接地線１７４を含むキャブタイヤケーブルが非常に長い場合には、電源線１７２にも、主にコモンモード成分のノイズが重畳される。この電源線経由のノイズがテスタ１１０に伝搬しないようにするために、テスタ内で使用する電源のコモンモードインピーダンスが高いことが望ましい。しかし一般市販電源は、伝導放射規格を満足するよう電源のノイズを下げるためのコンデンサが、対接地間に挿入されているので、そのコンデンサの値以上にコモンモードインピーダンスを高くすることはできない。そこで、このノイズを広帯域で軽減するために、電源線１４０及び１４２のより下流（負荷寄りすなわちテスタとプローバ寄り）の交流電源部分にノイズカットトランスを挿入することが望ましい。図１の実施例では、接続箱１３０中に２個のノイズカットトランス１３２として接続されている。ノイズカットトランス１３２には、概ね１ＭＨｚ帯域を主体としたコモンモードノイズに対して阻止効果のあるものが望ましい。
【００５８】
また、ここでは図示していないが、ノイズカットトランスが適切に動作するために、２つのノイズカットトランス１３２の１次側シールド（配電盤側のシールド）はインダクタ１４６より上流の接地線１７４に接続され、２次側シールド（テスタ１１０またはプローバ１１２側のシールド）は接地線１５４に接続されることが望ましい。
【００５９】
さらに、テスタ１１０とプローバ１１２には、それぞれ、漏電遮断器１３８が接続箱１３０内で取り付けられている。これは、漏電遮断器１３８がないと、テスタ１１０あるいはプローバ１１２の絶縁不良などにより接地線に漏洩電流が流れる場合に備えて、インダクタ１４６に、テスタ１１０とプローバ１１２の定格電流の合計の漏洩電流が流れてもよいように対処する必要性があるためである。すなわち、短絡などの万が一の事態に対処するために、大電流に耐えられるように大きく、重く、しかも経済的でないインダクタを用意しなければならない。このように、漏電遮断器１３８を備えることにより、インダクタ１４６は、定常時には３ｍＡないし１００ｍＡ程度の漏洩電流に対して十分な余裕があればよく、インピーダンス阻止部材の定格値を汎用かつ実用レベル（例えば最大１０Ａ程度）に低減させることができるので部品の入手性や経済性を満足させることができる。
【００６０】
なお、本実施例において、重畳するノイズの程度によっては、インダクタ１４６、接地線１５０、ノイズカットトランス１３２、漏電遮断器１３８のうち、いずれかまたは複数を取り除いた態様をとることもできる。
【００６１】
次に、図２を参照して本発明による別の実施態様を説明する。図２におけるテストシステム２００は、大まかには、測定を行うテスタ２１０、被測定対象に対して位置合わせ及びプロービングを行うプローバ１１２、これらに電源及び安定した接地電位を供給する接続箱２３０を備え、接続箱２３０には、工場設備である配電盤１７０から、電源線２５０及び接地線２５２が接続されている。なお、図１と同じ参照番号の構成要素は、機能的に図１と同じ物である。
【００６２】
テスタ２１０がケーブル１２２とテストヘッド１２０を介して、プローバ１１２から測定する仕組みと、配電盤１７０の機能については、図１と同様である。
【００６３】
配電盤１７０から電源線２５０を介して接続箱２３０に供給された電源は、端子台２３８でテスタ用（２３４）とプローバ用（２３６）の２系統の電源線に分配され、それぞれの遮断器（ＣＢ：Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｒｅａｋｅｒ）２３２及び電源ケーブル（２４０及び２４６）により、テスタ２１０及びプローバ１１２に接続される。ここで遮断器２３２には、配線用遮断器（ＭＣＣＢ：Ｍｏｌｄｅｄ−Ｃａｓｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｒｅａｋｅｒ）または漏電遮断器（ＥＬＣＢ）を使用することができる。
【００６４】
接地線２５２により配電盤１７０から端子台２３８に供給された接地電位は、端子台２３８で分配され、テスタ２１０とプローバ１１２にそれぞれの接地線２４２及び２４４によって接続される。
【００６５】
接続箱２３０とテスタ２１０またはプローバ１１２の接地線の長さは、好ましくは２メートル以内が望ましい。
【００６６】
この実施態様は、図１の実施例に比べて電源線２５０と接地線２５２に重畳されるノイズレベルが軽い場合に適用されるのが望ましい。接続箱２７０内の構成が簡略化され、グラウンドプレーンが削除され、テスタ２１０とプローバ１１２への接地線の接続も変更されている。
【００６７】
さらに、図３を参照して本発明によるさらに別の実施態様を説明する。図３におけるテストシステム３００は、大まかには、測定を行うテスタ３１０、被測定対象に対して位置合わせ及びプロービングを行うプローバ１１２を備える。テスタ３１０には、工場設備である配電盤１７０から、電源線３２０及び接地線３２２が接続されている。なお、図１と同じ参照番号の構成要素は、機能的に図１と同じ物である。また、テスタ３１０がケーブル１２２とテストヘッド１２０を介して、プローバ１１２から測定する仕組みと、配電盤１７０の機能については、図１と同様である。
【００６８】
配電盤１７０から電源線３２０を介してテスタ３１０の電源端子３２４に接続された電源は、電源端子３２４から別の電源線３１４により遮断器（ＣＢ）３１２とさらに別の電源線３１６を介してプローバ１１２に接続される。
【００６９】
また、配電盤１７０から接地線３２２を介してテスタ３１０の接地端子３２６に接続された接地電位は、接地端子３２６から別の接地線３１８を介してプローバ１１２に接続される。ここで遮断器３１２には、配線用遮断器（ＭＣＣＢ：Ｍｏｌｄｅｄ−Ｃａｓｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｒｅａｋｅｒ）または漏電遮断器（ＥＬＣＢ）を使用することができる。なお、接地線３１８の長さは、３メートル以内であることが望ましい。
【００７０】
なお、配電盤１７０には、別途工場設備として、電源及び接地電位が供給されているのは、図１と同様である。
【００７１】
この実施態様は、テスタ３１０の電源端子３２４と接地端子３２６で２本のケーブルを共締めすることが可能で、一筆書きの接続が許される場合の態様であり、図２の実施例のときと同程度のノイズが電源線３２０と接地線３２２に重畳される場合に適している。ここでは、接続箱が削除され、テスタ３１０とプローバ１１２との電源線と接地線の接続が変更され、一筆書き状の結線により、グラウンドループのループ面積が低減されるように配慮されている。なお、ここでは、遮断器３１２を設けたことにより、電源線３１６に、適正な仕様の線材すわなち入手性と経済性が良好な線材を採用することができる。また、遮断器３１２を削除する態様も可能である。
【００７２】
以上、本発明の実施態様をテスタとプローバを例にして説明してきた。テスタにはＩＣテスタ、半導体パラメトリックテスタ、ＦＰＤアレイテスタをはじめとする各種テスタが含まれ、プローバには、ウエハプローバ、パネルプローバをはじめとする各種の被測定対象に対して位置合わせ及びプロービングを行う装置が含まれる。また、プローバの代替として、半導体や表示パネルの未完成品を保管容器から取り出す各種のローダをテスタに組み合わせる場合にも適用することができる。さらに、本発明は被測定対象をハンドリングするその他の装置とテスタを組み合わせて使用する場合にも適用することができる。また、各実施態様は例示にすぎず、本発明の特許請求の範囲内でさまざまな変形を施すことができることは、当業者には容易に理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明による実施態様を説明するブロック図である。
【図２】本発明による別の実施態様を説明するブロック図である。
【図３】本発明によるさらに別の実施態様を説明するブロック図である。
【図４】従来技術によるテスタとプローバの配電盤からの接続を説明する図である。
【符号の説明】
【００７４】
１００  テストシステム
１１０  テスタ
１１２  プローバ
１２０  テストヘッド
１２２  ケーブル
１３０  接続箱
１３２  ノイズカットトランス（ＮＣＴ）
１３４、１３６、１４０、１４２、１５６、１５８、１７２  電源線
１３８  漏電遮断器
１４４  電源用端子台
１４６  インダクタ
１４７、１５０、１５４、１６２、１６４、１７４  接地線
１４８  接地端子台
１６６  接地端子
１７０  配電盤
【図１】
2006258490.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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