(57)【要約】【課題】  装置構成の複雑化や、大型化を招くことなく、測定時間を短縮できるレンズ系の偏心測定装置を提供する。【解決手段】  被測定レンズ系５を光軸ｎ１周りに回転させながら、光源２からの光をズーム光学系４を通して入射し、被測定レンズ面５Ａにおける反射像を、テレビカメラ７で取り込んで、反射像の軌跡から偏心量を測定するレンズ系の偏心測定装置１において、ズーム光学系４の移動レンズ群４Ｂを移動させて、被測定レンズ面５Ａのフォーカス位置に合わせるにあたり、移動レンズ群４Ｂの移動が完了する前に、被測定レンズ系５の回転を開始させる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光をズーム光学系を通って被測定レンズ系のレンズ面に照射し、その反射像を撮像するにあたり、前記ズーム光学系の移動レンズ群を前記レンズ面のフォーカス位置に移動させ、前記被測定レンズ系を回転させた状態で反射像を撮像し、反射像の回転半径、及び方向を測定することで前記被測定レンズ系の偏心量を求めるレンズ系の偏心測定方法であって、
前記移動レンズ群が前記レンズ面のフォーカス位置に移動し終わる前に、前記被測定レンズ系の回転を開始することを特徴とするレンズ系の偏心測定方法。
【請求項２】
反射像の撮像が終了し、前記被測定レンズ系の回転を停止させ、前記被測定レンズ系の他の前記レンズ面について連続して測定を行うにあたり、前記被測定レンズ系の回転が停止する前に、他の前記レンズ面の測定を開始させることを特徴とする請求項１に記載のレンズ系の偏心測定方法。
【請求項３】
光源からの光をズーム光学系を通って被測定レンズ系のレンズ面に照射し、その反射像を撮像するにあたり、前記ズーム光学系の移動レンズ群を前記レンズ面のフォーカス位置に移動させ、前記被測定レンズ面を回転させた状態で反射像を撮像し、反射像の回転半径、及び方向を測定することで前記被測定レンズ系の偏心量を求めるレンズ系の偏心測定装置であって、
前記被測定レンズ系を回転させる被測定レンズ系回転手段と、前記ズーム光学系の前記移動レンズ群を光軸に沿って移動させる移動レンズ群駆動手段と、前記移動レンズ群駆動手段によって前記移動レンズ群が前記フォーカス位置に移動し終わる前に、前記被測定レンズ系回転手段に駆動指令を出力する回転タイミング制御手段と、を備えることを特徴とするレンズ系の偏心測定装置。
【請求項４】
前記被測定レンズ系の前記レンズ面の反射像の撮像が終了し、前記被測定レンズ系回転手段の回転を停止させ、前記被測定レンズ系の他の前記レンズ面について連続して測定を行う際に、前記被測定レンズ系回転手段の回転が停止する前に、前記移動レンズ群駆動手段に移動開始指令を出力する移動タイミング制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載のレンズ系の偏心測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ系の各面の偏心量を測定するレンズ系の偏心測定方法、及び偏心測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のレンズを備えるレンズ系では、レンズ面が偏心していると正しく結像させることができなくなる。このため、従来からレンズ系の偏心量を測定することが行われている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
ここで、図８から図１０を用いて従来の偏心測定装置について説明する。なお、図８は装置構成の概略図であり、図９は測定手順のフローチャートである。図１０はタイムチャートであり、横軸は時間を示し、縦軸は移動レンズ群の速度と、スピンドルの速度とを示している。
【０００３】
図８に示すように、光源１０２の光軸上にビームスプリッタ１０３を配し、光軸と直交する方向にテレビカメラ１０７を配し、光軸上にズーム光学系１０４が配置される。ズーム光学系１０４を通過した測定光は、被測定レンズ系１０５に入射するようになっており、被測定レンズ系１０５は、スピンドル１０６によって光軸周りに回転自在に保持されている。
測定にあたっては、図９のステップＳ１０１に示すように、ズーム光学系１０４の固定レンズ群１０４Ａを固定したままで、移動レンズ群１０４Ｂを計算上のフォーカス位置に移動させる。この場合のフォーカス位置は、被測定レンズ系１０５の被測定レンズ面（例えば、レンズ面１０５Ａ）での反射光がテレビカメラ１０７で結像するときの移動レンズ群１０４Ｂの位置である。このとき、図１０のステップＳ１０１に示すように、移動レンズ群１０４Ｂは、速度がゼロの状態から加速し、所定の最高速度に達したら等速移動に変じ、計算上のフォーカス位置で止まるように減速した後に停止させる。
続いて、図９のステップＳ１０２で、フォーカス位置のサーチを行う。すなわち、光源１０２からの測定光を被測定レンズ系１０５で反射させたときの反射光を、ビームスプリッタ１０３を介してテレビカメラ１０７で観察しながら、移動レンズ群１０４Ｂを同一方向に送って、実際のフォーカス位置を探し出す。このとき、図１０に示すように、移動レンズ群１０４Ｂは、加速した後に、定速移動に変じ、その後減速してから停止させる。
図９のステップＳ１０３では、フォーカス位置に移動レンズ群１０４Ｂを移動させる。図１０に示すように、バックラッシ補正のため、前記ステップＳ１０２で探したフォーカス位置を越えた位置に移動させてから、ステップＳ１０２のときと同じ送り方向からフォーカス位置に移動させる。この間、移動レンズ群１０４Ｂは、加速移動、定速移動、減速及び停止を順番に実施する。
【０００４】
図９のステップＳ１０４では、スピンドル１０６の回転を開始する。図１０に示すように、スピンドル１０６は、速度ゼロの状態から徐々に加速し始める。ステップＳ１０５に示すように、テレビカメラ１０７で反射像の取り込みを開始し、ステップＳ１０６に示すように、スピンドル１０６が１周回転したら、取り込みを終了する。そして、被測定レンズ系１０５の回転に伴って移動する反射像の移動量から、被測定レンズ面１０５Ａの偏心量が求められる。この間、図１０に示すように、スピンドル１０６は、加速して最高速度に達した後に減速に転じ、回転開始から１周分回転したところで停止する。速度の時間積分が距離となるので、図１０に斜線で示す部分の面積が、スピンドル１０６を１周回転させたときの距離になる。
また、他の被測定レンズ面についての偏心量を求めるときには、被測定レンズ系１０５の回転を停止させた後に、再度、移動レンズ群１０４Ｂを計算上のフォーカス位置に移動させた後に、前記と同様に反射光をテレビカメラ１０７で観察しながら、実際のフォーカス位置を探し、偏心量を求める。
【特許文献１】特開昭４８−３９３６号公報
【特許文献２】特開平３−１１１７３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、レンズの枚数が多いなどの理由で被測定レンズ系１０５が重い場合には、被測定レンズ系１０５の加減速に時間がかかり、測定のタクトタイムが増加してしまうという問題があった。被測定レンズ系１０５の加減速時間を短縮するために、スピンドルのトルクを単純に増加させると、被測定レンズ系１０５の着脱時に、作業者を保護するための機構や、そのための手順が必要になるので、装置の大型化を招いたり、結果的に測定のタクトタイムが増加してしまったりする。また、トルクの増加は、装置の消費電力の増加を招くので好ましくない。
この発明は、このような事情に鑑みてなされてものであり、その目的とするところは、装置構成の複雑化や、大型化を招くことなく、測定時間を短縮することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決する本発明の請求項１に係る発明は、光源からの光をズーム光学系を通って被測定レンズ系のレンズ面に照射し、その反射像を撮像するにあたり、前記ズーム光学系の移動レンズ群を前記レンズ面のフォーカス位置に移動させ、前記被測定レンズ系を回転させた状態で反射像を撮像し、反射像の回転半径、及び方向を測定することで前記被測定レンズ系の偏心量を求めるレンズ系の偏心測定方法であって、前記移動レンズ群が前記レンズ面のフォーカス位置に移動し終わる前に、前記被測定レンズ系の回転を開始することを特徴とするレンズ系の偏心測定方法とした。
このレンズ系の偏心測定方法では、被測定レンズ系による反射像を取り込む際に、移動レンズ群をレンズ面のフォーカス位置に向かって移動させる際に、移動を開始させてから、実際にフォーカス位置に移動し終わるまでの間に、被測定レンズ系を光軸周りに回転を開始させる。その結果、移動レンズ群がフォーカス位置に移動したときには、被測定レンズ系は既に所定の速度で回転しているようになる。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のレンズ系の偏心測定方法において、反射像の撮像が終了し、前記被測定レンズ系の回転を停止させ、前記被測定レンズ系の他の前記レンズ面について連続して測定を行うにあたり、前記被測定レンズ系の回転が停止する前に、他の前記レンズ面の測定を開始させることを特徴とする。
このレンズ系の偏心測定方法では、測定レンズ系の特定のレンズ面による反射光の取り込みが終了し、次のレンズ面の測定を開始する際に、一旦、測定レンズ系の回転を停止させて、そのレンズ面のフォーカス位置のサーチを行うが、このとき、測定レンズ系の回転が終了する前に、移動レンズ群をフォーカス位置に向かって移動を開始させる。
【０００８】
請求項３に係る発明は、光源からの光をズーム光学系を通って被測定レンズ系のレンズ面に照射し、その反射像を撮像するにあたり、前記ズーム光学系の移動レンズ群を前記レンズ面のフォーカス位置に移動させ、前記被測定レンズ面を回転させた状態で反射像を撮像し、反射像の回転半径、及び方向を測定することで前記被測定レンズ系の偏心量を求めるレンズ系の偏心測定装置であって、前記被測定レンズ系を回転させる被測定レンズ系回転手段と、前記ズーム光学系の前記移動レンズ群を光軸に沿って移動させる移動レンズ群駆動手段と、前記移動レンズ群駆動手段によって前記移動レンズ群が前記フォーカス位置に移動し終わる前に、前記被測定レンズ系回転手段に駆動指令を出力する回転タイミング制御手段と、を備えることを特徴とするレンズ系の偏心測定装置とした。
このレンズ系の偏心測定装置では、回転タイミング制御手段が被測定レンズ系回転手段を制御し、被測定レンズ系を光軸周りに回転させる。この際に、回転タイミング制御手段は、移動レンズ群がレンズ面のフォーカス位置に向かって移動し始めてから、実際にフォーカス位置に移動し終わるまでの間に、被測定レンズ系を光軸周りに回転させ始める。これにより、移動レンズ群がフォーカス位置に移動したときには、被測定レンズ系は既に所定の速度で回転しているようになる。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載のレンズ系の偏心測定装置において、前記被測定レンズ系の前記レンズ面の反射像の撮像が終了し、前記被測定レンズ系回転手段の回転を停止させ、前記被測定レンズ系の他の前記レンズ面について連続して測定を行う際に、前記被測定レンズ系回転手段の回転が停止する前に、前記移動レンズ群駆動手段に移動開始指令を出力する移動タイミング制御手段をさらに備えることを特徴とする。
このレンズ系の偏心測定装置では、連続して測定を行う場合に、被測定レンズ系の回転を停止させた状態で、フォーカス位置を確認し直してから測定を行う。この際に、移動タイミング制御手段は、測定レンズ系の回転が終了する前に、移動レンズ群駆動手段を制御して移動レンズ群を光軸に沿って移動させる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、被測定レンズ系のレンズ面の偏心を測定するにあたり、測定に適した位置に移動レンズ群を移動させる際に、移動レンズ群の移動が終了する前に被測定レンズ系を回転させ始めるので、移動レンズ群の移動が完了したときには、所定の速度で被測定レンズ系が回転していることになる。したがって、被測定レンズ系を回転させながら必要なデータ量を取得するにあたり、測定開始時の被測定レンズ系の回転初速が従来に比べて大きくなるので、少ない時間で測定を行うことが可能になる。
また、被測定レンズ系で連続して２つ以上のレンズ面の偏心を測定する場合に、次に測定するレンズ面に合わせて移動レンズ群を移動させる際に、被測定レンズ系の回転が終了する前に、移動レンズ群の移動を開始させるようすると、被測定レンズ系の回転が終了したときには、移動レンズ群を測定用の所定位置、又はこれに近い位置に移動させることができる。したがって、連続して測定を行う場合に、次の測定開始時の移動レンズ群の位置を、従来に比べて測定に適した位置に近付けることができるので、少ない時間で測定を行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
図１に示すように、偏心測定装置１は、光源であるレーザダイオード２と、レーザダイオード２の光軸ｎ１上に配置された光路分岐手段としての偏光ビームスプリッタ３と、ズーム光学系４と、被測定レンズ系５を保持するスピンドル６とを、光軸ｎ１に沿って順番に配置し、ビームスプリッタ３による反射光の集光位置には、光像検出手段であるテレビカメラ７を配設し、このテレビカメラ７と、ズーム光学系４の移動レンズ群駆動回路８と、スピンドル６とがパーソナルコンピュータ９（以下、パソコン９）に電気的に接続して構成されている。
【００１２】
ここで、被測定レンズ系５は、３枚のレンズから構成されており、これらレンズのうち、ズーム光学系４に最も近い面が被測定レンズ面５Ａになり、１枚目のレンズの裏面が被測定レンズ面５Ｂになっている。なお、レンズの数は、３枚に限定されない。また、図１に示す被測定レンズ面５Ａ，５Ｂ以外のレンズ面を測定対象とすることができる。
ズーム光学系４は、ビームスプリッタ３側に配置される固定レンズ群４Ａと、光軸ｎ１に沿って移動自在で、固定レンズ群４Ａに近接、又は離間する移動レンズ群４Ｂとから構成されている。固定レンズ群４Ａ、移動レンズ群４Ｂのそれぞれのレンズ数は、１枚でも良いし、２枚以上でも良い。
スピンドル６は、被測定レンズ系５の中心を光軸ｎ１と一致するように保持し、かつ被測定レンズ系５を光軸ｎ１回りに回転させる被測定レンズ系回転手段である。
レンズ群駆動回路８は、ズーム光学系４に電気的に接続され、移動レンズ群４Ｂを駆動させる回路から構成されている。
パソコン９は、各部の制御を行ったり、データ処理を行ったりする制御装置であり、例えば、被測定レンズ系５の設計式と、測定用に供されるズーム光学系４の設計式とから、被測定レンズ面５Ａの計算上のフォーカス位置を算出したり、偏心量を算出したりする演算手段９Ａと、スピンドル６の回転開始、及び停止を指令する回転タイミング制御手段９Ｂと、レンズ群駆動回路８の移動開始、及び停止を指令する移動タイミング制御手段９Ｃと、不図示のメモリなどを含んで構成されている。
【００１３】
次に、この偏心測定装置１の作用について説明する。
図２のステップＳ１に示すように、最初に、ズーム光学系４の移動レンズ群４Ｂを、被測定レンズ面５Ａの計算上のフォーカス位置に移動させる。この際のフォーカス位置は、パソコン９の演算手段９Ａで予め計算しておき、この計算結果に基づいて移動タイミング制御手段９Ｃが移動レンズ群駆動回路８を作動させ、移動レンズ群４Ｂを移動させる。ここで、一般的に、製造誤差などの要因によって、計算上のフォーカス位置と、実際のフォーカス位置とは一致しない。このため、計算上のフォーカス位置に合わせた状態でテレビカメラ７で観察したときの反射像は、図３に示すような、ぼけた大径の反射像１０となる。
ここで、図４のステップＳ１に示すように、移動レンズ群４Ｂは、速度ゼロの状態から加速し、所定の最高速で移動した後、計算上のフォーカス位置で止まるように減速し、停止する。また、スピンドル６は、初期状態では停止しているが、二回目以降の測定、つまり、被測定レンズ面５Ｂ以降の測定を行うときには、図４に示すように、スピンドル６が回転している場合には、回転タイミング制御手段９Ｂが一定の割合で減速させる。
【００１４】
ステップＳ２では、スピンドル６の回転が停止し終わるまで待機する。最初に測定する際には、スピンドル６は停止しているので、このままステップＳ３に進むが、二回目以降の測定の場合で、スピンドル６が回転しているときには、スピンドルの速度がゼロになるまで待つ。これは、スピンドル６が回転した状態では、移動レンズ群４Ｂによるフォーカス位置のサーチを安定して行えないからである。そして、図４に示すように、スピンドル６の速度がゼロになったら、ステップＳ３に進む。
【００１５】
ステップＳ３では、フォーカス位置のサーチを行う。すなわち、テレビカメラ７で反射光の画像を取り込みながら、移動タイミング制御手段９Ｃ、及び移動レンズ群駆動回路８の制御によって、移動レンズ群４Ｂを予め設定されている量だけ移動させる。そして、図５に示すような、集光した反射像１１が得られたら、そのときの移動レンズ群４Ｂの位置をフォーカス位置とし、パソコン９に記憶させる。
さらに、反射像１１が得られた後、図３に示すような、ぼけた反射像１０が再び得られる位置まで、移動レンズ群４Ｂを移動させる。なお、図４に示すように、移動レンズ群４Ｂは、スピンドル６の停止を起点として、加速を開始した後に定速移動し、その後減速、停止する。
次に、ステップＳ４で、回転タイミング制御手段９Ｂが、スピンドル６の回転を開始させる。図４に示すように、駆動指令を出力するタイミングは、前記ステップＳ３で移動レンズ群４Ｂの移動が終了したときである。これによって、スピンドル６が等加速度で回転し始める。
【００１６】
ステップＳ５では、移動レンズ群４Ｂを再びフォーカス位置に移動させる。この際に、バックラッシ補正を行うため、前記ステップＳ３で探したフォーカス位置を越えた位置まで一旦移動し、ステップＳ３と同じ方向からフォーカス位置に移動する。この間の移動は、共に加速から定速度移動を経て減速、停止に至るように、移動タイミング制御手段９Ｃ、及び移動レンズ群駆動回路８によって制御される。そして、ステップＳ６で、フォーカス位置への移動完了を待った後に、ステップＳ７に進む。
【００１７】
ステップＳ７では、テレビカメラ７から反射像１１（図５参照）を取り込む。ステップＳ８に示すように、取り込みを行う期間は、反射像１１の取り込みを開始してから、被測定レンズ系５が光軸ｎ１周りに一回転するまで行う。これにより、図６に示すように、反射像軌跡１２が得られる。この反射像軌跡１２は、ある点を中心として回転した像であるので、最小二乗法などの公知の演算を行って、反射像軌跡１２の回転中心１３を求める。そして、この回転中心１３に対する反射像１１の中心の偏差を求め、例えば、任意のＸ方向と、これに直交するＹ方向のそれぞれの成分を、ふれ量ｄｘ、ｄｙとする。
【００１８】
ここで、図６及び図７を用いて被測定レンズ面５Ａの偏心量の算出原理について説明する。なお、図７は、偏心量と、ふれ量との関係を２次元で示したもので、光源２とビームスプリッタ３は図示を省略している。光源２からの光は、実線で示す光路を通って、固定レンズ群４Ａ、移動レンズ群４Ｂを順番に通過し、被測定レンズ面５Ａで反射し、この反射光は、移動レンズ群４Ｂと、固定レンズ群４Ａとを順番に通過して、テレビカメラ７の撮像面で結像し、反射像１１として取り込まれる。この状態からスピンドル６を１８０°回転させたときには、破線で示す光路を通り、反射像１１Ａが形成される。
図６に示す回転中心１３は、被測定レンズ面５Ａが偏心していないときに観察される反射像の中心位置であるが、被測定レンズ面５Ａが図７に示す偏心量εを有する場合には、この偏心量εに応じたふれ量ｄだけ中心位置がずれる。したがって、ふれ量ｄの大きさ、及びふれ方向から演算手段９Ａの計算によって偏心量εを求めることができる。なお、通常、回転中心１３を直接に測定する方法はなく、回転中心１３の位置は固定レンズ群４Ａの偏心量や、移動レンズ群４Ｂのピッチング、ヨーイング等の影響による偏心量を含んでいるので、その座標を予測することができないが、スピンドル６を回転させたときの反射像１１の回転中心から間接的に求めることができる。
【００１９】
演算手段９Ａは、ふれ量ｄｘ，ｄｙと、レーザダイオード２と、偏光ビームスプリッタ３と、ズーム光学系４と、テレビカメラ７との位置関係、ズーム光学系の設計式、及び被測定レンズ系５の設計式から、計算によって被測定レンズ面５Ａの光軸に対する傾きを求め、被測定レンズ面５Ａの偏心量とする。現実には、光軸ｎ１とスピンドル６の回転軸との間には図示しないずれがあり、厳密には、スピンドル６の回転軸に対する傾きが求められる。
この際に、図１０に示すように、従来の測定方向では、スピンドルは速度ゼロの状態から加速し、１周分で停止するように減速停止するのに対して、本実施の形態では、図４に示すように、スピンドル６が回転している状態から測定が開始される。したがって、斜線で示すスピンドル６の回転距離は従来と等しいが、少ない時間で１周分の画像が取り込めている。
【００２０】
測定が終了したら、ステップＳ９として、スピンドル６の回転を停止させる。
他の被測定レンズ面の測定を行わない場合には、ここでの処理を終了する。これに対して、他の被測定レンズ面、例えば被測定レンズ面５Ｂなどの偏心量を求める場合には、この状態からステップＳ１に戻る。このとき、移動タイミング制御手段９Ｃは、移動レンズ群駆動回路８に移動開始指令を出力し、スピンドル６の回転が終了する前に、移動レンズ群４Ｂを計算上のフォーカスに向かって移動を開始させる。それ以降の処理は、前記の通りである。さらに、被測定レンズ面５Ｂ以降の測定をする場合には、そのレンズ面よりも光源２側のレンズ面の偏心量の影響を計算によって差し引くことで、同様にしてふれ量ｄから偏心量εを求めることができる。
そして、全ての被測定レンズ面に対して測定を行い、全ての面について算出された偏心量から被測定レンズ系５の偏心量を求める。厳密には、スピンドル６の回転軸に対する各面の傾きが求まるが、所定の換算を行うことによって、各面の間の関係を全て求めることができる。
【００２１】
この実施の形態では、以下のような効果が得られる。
すなわち、図９に示すような、従来では、スピンドルは、速度ゼロの状態から加速して、最高速度に達し、その後１周回転したときに停止するように減速させるのに対して、この実施の形態では、スピンドル６を回転させた状態で撮像を開始し、スピンドル６が最高速度に達したら、その速度を保ち、撮像開始からスピンドル６が１周回転する間に取り込んだデータで偏心量εを算出するようにしたので、短い時間で１周分の画像の取り込みが可能になり、測定時間を短縮することができる。
また、従来では、連続して複数のレンズ面の測定を行う際には、スピンドルを一旦停止させた後に、移動レンズ群の移動を開始させていたのに対して、この実施の形態では、先の被測定レンズ面５Ａの測定が終了し、スピンドル６の回転を停止させるように制御し始めたら、スピンドル６が止まり終わる前に、移動レンズ群４Ｂの移動を開始させるようにしたので、同じ被測定レンズ系５において２回目以降の測定を行う場合に、測定開始までに要する時間を短縮することができる。
これらのことから、レンズ系の偏心測定装置１は、他の特別な機構を付加したり、装置を大型化したりすることなく、測定時間を短縮することができる。また、電力増加を防ぐことができ、特別の準備工程が不要になる。
【００２２】
なお、本発明は、前記の実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、ステップＳ１で、スピンドル６の回転を停止させる際に、被測定レンズ系５の向きが一定になるように減速を開始するタイミングを調整しても良い。被測定レンズ系５が回転対称に製造されていない場合に、ステップＳ３でフォーカス位置をサーチする際に、被測定レンズ系５の向きを揃えることが可能になるので、測定再現性を向上させることが可能になる。
また、コンピュータに演算手段９Ａと、回転タイミング制御手段９Ｂと、移動タイミング制御手段９Ｃとを実行させるプログラムを、コンピュータに読み込み可能に記録媒体に記録したり、ネットワークを通じてダウンロード可能にしたりしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態における偏心測定装置の概略構成を示す図である。
【図２】偏心測定の手順を示すフローチャートである。
【図３】被測定レンズ面の反射像がぼけている状態を示す図である。
【図４】偏心測定の手順を示すタイムチャートである。
【図５】被測定レンズ面の反射像が集光状態にある場合を示す図である。
【図６】回転状態におけるふれ量を模式的に示す図である。
【図７】被測定レンズ面の偏心量とふれ量との関係を模式的に説明する図である。
【図８】従来の偏心測定装置の概略構成を示す図である。
【図９】従来の偏心測定の手順を示すフローチャートである。
【図１０】従来の偏心測定の手順を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
【００２４】
１      レンズ系の偏心測定装置
２      光源
４      ズーム光学系
４Ｂ    移動レンズ群
５      被測定レンズ系
５Ａ，５Ｂ    被測定レンズ面（レンズ面）
６      スピンドル（被測定レンズ系回転手段）
８      移動レンズ群駆動回路（移動レンズ群駆動手段）
９Ｂ    回転タイミング制御手段
９Ｃ    移動タイミング制御手段
１１，１１Ａ，１２    反射像
【図１】
2006112896.tif 000003
【図２】
2006112896.tif 000004
【図３】
2006112896.tif 000005
【図４】
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【図５】
2006112896.tif 000007
【図６】
2006112896.tif 000008
【図７】
2006112896.tif 000009
【図８】
2006112896.tif 000010
【図９】
2006112896.tif 000011
【図１０】
2006112896.tif 000012