(57)【要約】【課題】吸着チャックを備えた供給手段で吸着搬送したスレーブディスク（被転写用ディスク）をホルダー部の吸着チャックに受け渡す際に位置ズレを生じることがない。【解決手段】ホルダユニット２２に保持されたマスターディスク４６の磁気パターンをスレーブディスク４０に磁気転写する磁気転写装置１０であって、第１吸着チャック４２ｂを備えたディスク供給ユニット２６でスレーブディスク４０を吸着搬送して固定側ホルダ２３の第２吸着チャック２３Ａに受け渡す磁気転写装置のディスク受け渡し方法において、第１吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０吸着する吸着力よりも第２吸着チャック２３Ａの吸着力を高くしてスレーブディスク４０を第２吸着チャック２３Ａに吸着した後、第１吸着チャック４２ｂの吸着を解除するようにした。【選択図】  図６
2006134511.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホルダー部に保持されたマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに磁気転写する磁気転写装置であって、第１吸着チャックを備えた供給手段で前記被転写用ディスクを吸着搬送して前記ホルダー部の第２吸着チャックに受け渡す磁気転写装置のディスク受け渡し方法において、
前記第１吸着チャックで前記被転写用ディスクを吸着する吸着力よりも前記第２吸着チャックの吸着力を高くして前記被転写用ディスクを第２吸着チャックに吸着した後、前記第１吸着チャックの吸着を解除することを特徴とする磁気転写装置のディスク受け渡し方法。
【請求項２】
前記被転写用ディスクを前記第１吸着チャックから第２吸着チャックに受け渡すときに、前記第１又は第２吸着チャックに設けた位置ズレ防止ガイドを前記被転写用ディスクの中心孔又は外周縁に嵌合させた状態で受け渡すことを特徴とする請求項１の磁気転写装置のディスク受け渡し方法。
【請求項３】
ホルダー部に保持されたマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに磁気転写する装置であって、第１吸着チャックを備えた供給手段で前記被転写用ディスクを吸着搬送して前記ホルダー部の第２吸着チャックに受け渡す磁気転写装置において、
前記第１吸着チャックで前記被転写用ディスクを吸着する吸着力よりも前記第２吸着チャックの吸着力を高くして、前記被転写用ディスクを第２吸着チャックに吸着した後、前記第１吸着チャックの吸着を解除するように前記第１及び第２吸着チャックの吸着・解除手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項４】
前記第１吸着チャック又は前記第２吸着チャックの少なくも一方に設けられ、前記第１吸着チャックから第２吸着チャックに受け渡すときに、吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイドを備えたことを特徴とする請求項３の磁気転写装置。
【請求項５】
前記位置ズレ防止ガイドの先端は、前記被転写用ディスクの吸着反対面から突出しないように形成されていることを特徴とする請求項４の磁気転写装置。
【請求項６】
前記位置ズレ防止ガイドは、前記被転写用ディスクに形成された中心孔に嵌合するように形成されていることを特徴とする請求項４又は５の磁気転写装置。
【請求項７】
前記位置ズレ防止ガイドは、前記被転写用ディスクの外周縁に嵌合するように形成されていることを特徴とする請求項４又は５の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気転写装置のディスク受け渡し方法及び磁気転写装置に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する磁気転写装置及びその装置におけるディスク受け渡し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクよりスレーブディスク（被転写用ディスク）に一括転写する磁気転写装置を使用することが効率的である。
【０００３】
この磁気転写装置においては、吸着チャックを備えた供給手段で吸着搬送したスレーブディスクをホルダー部の吸着チャックに受け渡してスレーブディスクをマスターディスクに密着させ、この状態でホルダー部に磁界を加えることでマスターディスクの磁気パターンをスレーブディスクに転写する方法が広く採用されている。また、スレーブディスクとマスターディスクを密着させたときには、互いのディスク中心が一致することが必要である。従って、スレーブディスクが供給手段の吸着チャックからホルダー部の吸着チャックに受け渡される際に、スレーブディスクが変形したり、位置ズレ（ディスク中心が一致しない）したりすると、マスターディスクの磁気パターンがスレーブディスクに正しく転写されないという問題がある。
【０００４】
この対策として、例えば、特許文献１では、ディスク保持具に真空吸引により保持し、マスターディスクとスレーブディスクとを対面当接したとき、スレーブディスクを吸着保持する吸着保持部の密着用吸引口から真空吸引すると共に、ディスク保持具の中心部に形成された変形防止用吸引口から真空吸引することにより、スレーブディスクとマスターディスクとを密着するときに、マスターディスクの中央部がスレーブディスク側に変形しないようにした磁気転写装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−３２５７２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の磁気転写装置では、ホルダー部に受け渡される際のスレーブディスクの変形を防止できても、受け渡しの際の吸着位置の位置ズレを防止することはできない。この位置ズレは、供給手段の吸着チャックの吸着を解除する際に特に生じ易い。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、吸着チャックを備えた供給手段で吸着搬送したスレーブディスク（被転写用ディスク）をホルダー部の吸着チャックに受け渡す際に位置ズレを生じることがない磁気転写装置のディスク受け渡し方法及び磁気転写装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１は前記目的を達成するために、ホルダー部に保持されたマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに磁気転写する磁気転写装置であって、第１吸着チャックを備えた供給手段で前記被転写用ディスクを吸着搬送して前記ホルダー部の第２吸着チャックに受け渡す磁気転写装置のディスク受け渡し方法において、前記第１吸着チャックで前記被転写用ディスクを吸着する吸着力よりも前記第２吸着チャックの吸着力を高くして前記被転写用ディスクを第２吸着チャックに吸着した後、前記第１吸着チャックの吸着を解除することを特徴とする磁気転写装置のディスク受け渡し方法を提供する。
【０００８】
本発明の請求項１によれば、供給手段の第１吸着チャックで被転写用ディスクを吸着する吸着力よりもホルダー部の第２吸着チャックの吸着力を高くして被転写用ディスクを第２吸着チャックに吸着した後、第１吸着チャックの吸着を解除するようにしたので、被転写用ディスクを第１吸着チャックから第２吸着チャックに受け渡す際に位置ズレを生じることがない。この場合、第１及び第２吸着チャックの吸着力が同じか、第２吸着チャックの吸着力の方が小さいと、第１吸着チャックの吸着を解除する際のエア圧で被転写用ディスクが動いてしまう虞がある。
【０００９】
ここで、第１及び第２吸着チャックの吸着力とは、吸着圧力と吸着面積との積で表される力を意味する。従って、本発明を第１及び第２吸着チャックの関係を吸着圧力と吸着面積を用いて表現する場合には、第１吸着チャックの吸着圧力（Ｐ１）に、第２吸着チャックの吸着面積（Ａ２）に対する第１吸着チャックの吸着面積（Ａ１）の比（Ａ１／Ａ２）を掛けた値［Ｐ１×（Ａ１／Ａ２）］よりも、第２吸着チャックの吸着圧力（Ｐ２）を高く［Ｐ２＞Ｐ１×（Ａ１／Ａ２）］して被転写用ディスクを第２吸着チャックに吸着した後、第１吸着チャックの吸着を解除するという表現になる。
【００１０】
請求項２は請求項１において、前記被転写用ディスクを前記第１吸着チャックから第２吸着チャックに受け渡すときに、前記第１又は第２吸着チャックに設けた位置ズレ防止ガイドを前記被転写用ディスクの中心孔又は外周縁に嵌合させた状態で受け渡すことを特徴とする。
【００１１】
この被転写用ディスクの位置ズレは、上記したように、被転写用ディスクを吸着保持する第１吸着チャックの吸着を解除する際に特に生じ易いが、位置ズレ防止ガイドを被転写用ディスクの中心孔又は外周縁に嵌合された状態で吸着が解除されるので、位置ズレを確実に防止できる。
【００１２】
本発明の請求項３は前記目的を達成するために、ホルダー部に保持されたマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに磁気転写する装置であって、第１吸着チャックを備えた供給手段で前記被転写用ディスクを吸着搬送して前記ホルダー部の第２吸着チャックに受け渡す磁気転写装置において、前記第１吸着チャックで前記被転写用ディスクを吸着する吸着力よりも前記第２吸着チャックの吸着力を高くして、前記被転写用ディスクを第２吸着チャックに吸着した後、前記第１吸着チャックの吸着を解除するように前記第１及び第２吸着チャックの吸着・解除手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とする磁気転写装置を提供する。
【００１３】
本発明の請求項３によれば、制御手段により、供給手段の第１吸着チャックで被転写用ディスクを吸着する吸着力よりもホルダー部の第２吸着チャックの吸着力を高くして被転写用ディスクを第２吸着チャックに吸着した後、第１吸着チャックの吸着を解除するようにしたので、被転写用ディスクをホルダー部の第２吸着チャックに受け渡す際に位置ズレを生じることがない。
【００１４】
請求項４は請求項３において、前記第１吸着チャック又は前記第２吸着チャックの少なくも一方に設けられ、前記第１吸着チャックから第２吸着チャックに受け渡すときに、吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイドを備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項４は、請求項３で説明した制御手段による第１及び第２吸着チャックの制御に加えて、第１又は第２吸着チャックに設けた位置ズレ防止ガイドを被転写用ディスクの中心孔又は外周縁に嵌合させた状態で被転写用ディスクをホルダー部の第２吸着チャックに受け渡すようにした。これにより、被転写用ディスクの位置ズレを一層確実に防止することができる。
【００１６】
請求項５は請求項４において、前記位置ズレ防止ガイドの先端は、前記被転写用ディスクの吸着反対面から突出しないように形成されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項５のように、位置ズレ防止ガイドの先端を被転写用ディスクの吸着反対面から突出しないように形成したので、被転写用ディスクを供給手段の第１吸着チャックからホルダー部の第２吸着チャックに受け渡すときに、位置ズレ防止ガイドの先端がホルダー部に接触して干渉し合うことがない。
【００１８】
請求項６は請求項４又は５において、前記位置ズレ防止ガイドは、前記被転写用ディスクに形成された中心孔に嵌合するように形成されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項６によれば、被転写用ディスクを第１吸着チャックから第２吸着チャックに受け渡す際に、位置ズレ防止ガイドは、被転写用ディスクに形成された中心孔に嵌合する。この位置ズレ防止ガイドにより、吸着チャックと被転写用ディスクとが正しく位置決めされた状態で受け渡しが行われる。従って、受け渡しの際における吸着位置の位置ズレを防止することができる。
【００２０】
請求項７は請求項４又は５において、前記位置ズレ防止ガイドは、前記被転写用ディスクの外周縁に嵌合するように形成されていることを特徴とする。
【００２１】
請求項７によれば、被転写用ディスクを第１吸着チャックから第２吸着チャックに受け渡す際に、位置ズレ防止ガイドは、被転写用ディスクの外周縁に嵌合する。この位置ズレ防止ガイドにより、吸着チャックと被転写用ディスクとが正しく位置決めされた状態で受け渡しが行われる。従って、受け渡しの際における吸着位置の位置ズレを防止することができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明によれば、吸着チャックを備えた供給手段で吸着搬送したスレーブディスクをホルダー部の吸着チャックに受け渡す際に位置ズレを生じることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面に従って、本発明に係る磁気転写方法及び装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２４】
図１は、本発明に係る磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク用カセットの概要を示す斜視図である。
【００２５】
この磁気転写装置１０の装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面である。
【００２６】
ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容するディスク供給カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしてのディスク排出カセット５６が設けられている。ディスク供給カセット３８とディスク排出カセット５６とは同一形状のものが採用されている。
【００２７】
図２に示されるように、ディスク供給カセット３８及びディスク排出カセット５６は、スレーブディスク４０がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっている。すなわち、カセットの内面に並行して形成された複数の溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の外周が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。
【００２８】
図１のベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。
【００２９】
図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダー部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着または接着により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０（図示略）を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。
【００３０】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。
【００３１】
固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、図示しないクッション材を介してカップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、図示しないクッション材を介して表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。
【００３２】
また、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４の裏面（マスターディスク４６が固定される面の反対面）の中心には、それぞれ図示しない軸部材が立設されている。この軸部材の一方が装置本体１２に固定されている。一方、もう一つの軸部材は、駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。
【００３３】
以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。
【００３４】
一方、スレーブディスク４０の転写を行ったり、ホルダユニット２２の内部に密閉空間を形成させたりする際には、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが接する状態になり、ホルダユニット２２の内部に密閉空間が形成される。これにより、ホルダユニット２２の内部には、充分なクリーン度が確保でき、マスターディスク４６の寿命を飛躍的に向上させることができる。また、ホルダユニット２２の内部において、マスターディスク４６、４６同士の間には所定のクリアランスが形成されるようになっており、マスターディスク４６、４６同士の接触が避けられるように構成されている。また、スレーブディスク４０がホルダユニット２２に供給される際も、ホルダユニット２２には空隙部分が形成される。
【００３５】
図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間欠駆動される。すなわち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止しするようになっている。
【００３６】
更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より左側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より右側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。
【００３７】
ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク供給カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。
【００３８】
ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク排出カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。
【００３９】
ディスク供給ユニット２６は、図２、図４、図５に示されるように、主として、スレーブディスク４０に吸着するチャック機構４２と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、チャック機構４２を回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４とから構成される。
【００４０】
チャック機構４２は、主として、一端部（基部）をロータリシリンダ４４で支持されるチャック腕４２ａと、チャック腕４２ａの他端部（先端部）に設けられ、スレーブディスク４０を吸着する第１吸着チャック４２ｂと、スレーブディスク４０を第１吸着チャック４２ｂから後記する固定側ホルダ２３の第２吸着チャック２３Ａに受け渡す際に、吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイド４２ｃとで構成される。すなわち、ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を吸着したチャック機構４２を、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及び第１吸着チャック４２ｂの向きを反転するようになっている。
【００４１】
図４はチャック機構４２を説明する図であり、（Ａ）は側面断面図、（Ｂ）は（Ａ）の○で囲んだ部分の部分拡大図で位置ズレ防止ガイド４２ｃを説明する説明図である。
【００４２】
図４に示すように、チャック機構４２は、内部に減圧室４２ｈを有する本体部４２ｄと、吸着盤４２ｅとがビス９３で連結されており、この吸着盤４２ｅに位置ズレ防止ガイド４２ｃが設けられる。すなわち、吸着盤４２ｅの吸着面４２ｆにはスレーブディスク４０の中心孔４０ａに嵌合する位置ズレ防止ガイド４２ｃが吸着面４２ｆから突起して形成される。この場合、位置ズレ防止ガイド４２ｃは吸着盤４２ｅと一体形成されていても、別体として形成されていてもよい。そして、吸着面４２ｆにおける位置ズレ防止ガイド４２ｃの外側にリング状の吸引孔４２ｇが形成され、この吸引孔４２ｇが本体部４２ｄの減圧室４２ｈまで連通される。尚、吸引孔４２ｇはリング状に連続した１つの孔である必要はなく、複数の孔で断続的にリング形状を形成してもよい。
【００４３】
本体部４２ｄは、チャック腕４２ａの内部に形成される通気路４２ｊを介して吸着（真空吸着）及び吸着解除を行う吸着・解除手段４２ｖ（図６参照）に接続されており、これにより吸着チャック４２ｂはスレーブディスク４０を吸着又は吸着を解除することができる。
【００４４】
また、図４（Ｂ）に示されるように、位置ズレ防止ガイド４２ｃ先端周縁にテーパー４２ｋが形成されている。このテーパ４２ｋにより、位置ズレ防止ガイド４２ｃの先端が先細状になるので、第１吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着する際に、位置ズレ防止ガイド４２ｃがスレーブディスク４０の中心孔４０ａにスムーズに誘導されて、位置ズレ防止ガイド４２ｃとスレーブディスク４０とが嵌合状態になる。尚、位置ズレ防止ガイド４２ｃは、図４（Ａ）では吸着面４２ｆから突起した円柱状の突起部として形成されているが、円柱状であることに限定されるものではなく、円筒形状であってもよく、スレーブディスク４０の中心孔４０ａの内周縁に位置ズレ防止ガイド４２ｃの複数箇所が当接して位置ズレ防止ガイド４２ｃが中心孔４０ａに嵌合状態なる形状であればよい。更には、図示しないが、円筒形状を縦方向に複数の分割片に分割したものでもよい。このように分割片に分割することで、位置ズレ防止ガイド４２ｃが弾性変形し易くなるので、位置ズレ防止ガイド４２ｃがスレーブディスク４０の中心孔４０ａに一層スムーズに嵌合し易くなる。但し、分割片の数が多過ぎると、嵌合する力が弱くなり位置ズレの原因になるので、５片以内にするとよい。
【００４５】
但し、図４（Ｂ）のように、位置ズレ防止ガイド４２ｃの嵌合部分の厚みＬがスレーブディスク４０の厚みＭよりも小さくなるようにして、吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着した際に、スレーブディスク４０の吸着反対面から位置ズレ防止ガイド４２ｃの先端が突出しないことが好ましい。これは、位置ズレ防止ガイド４２ｃの先端をスレーブディスク４０の吸着反対面から突出させると、スレーブディスク４０をマスターディスク４６に対向配置させてスレーブディスク４０を固定側ホルダ２３に受け渡すときに、位置ズレ防止ガイド４２ｃが固定側ホルダ２３に接触して干渉し合うためである。
【００４６】
また、吸着盤４２ｅの先端周縁にもテーパー４２ｐを形成することが好ましい。これは、スレーブディスク４０の中周部分（スレーブディスク４０の内周部分と外周部分を除いた部分）には、マスターディスク４６のサーボ情報が転写されるサーボエリアがあるので、テーパー４２ｐを形成することにより吸着面４２ｆがサーボエリアに接触しないように吸引孔４２ｇのリング径を大きくすることができ、安定した吸着が可能になるからである。
【００４７】
図５は、位置ズレ防止ガイド４２ｃの別の態様で、スレーブディスク４０の外周に嵌合する場合であり、（Ａ）は側面断面図、（Ｂ）は（Ａ）の○で囲んだ部分の部分拡大図で位置ズレ防止ガイド４２ｃを説明する説明図である。
【００４８】
図５に示すように、吸着チャック４２ｂは、内部に減圧室４２ｈを有する本体部４２ｄと、吸着盤４２ｅとがビス９３で連結されており、本体部４２ｄに位置ズレ防止ガイド４２ｃが設けられる。この場合、位置ズレ防止ガイド４２ｃは本体部４２ｄと一体形成されていても、別体として形成されていてもよい。すなわち、本体部４２ｄは、スレーブディスク４０の外径と略同等な大径部４２ｑと、吸着盤４２ｅと略同等な小径部４２ｒとで構成され、大径部４２ｑの外周位置でスレーブディスク４０側に円筒形状な位置ズレ防止ガイド４２ｃが支持されている。位置ズレ防止ガイド４２ｃの内径Ｗ１は、スレーブディスク４０の径よりも小さく、外径Ｗ２がスレーブディスク４０の径よりも大きく形成されると共に、位置ズレ防止ガイド４２ｃの先端内側に段差状の切欠き４２ｓが形成される。この切欠き４２ｓにスレーブディスク４０の外周縁が嵌合される。また、この切欠き４２ｓには、該切欠き４２ｓの先端部をラッパ管状に広げるテーパー４２ｔが形成されている。これにより、第１吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着する際に、位置ズレ防止ガイド４２ｃの切欠き４２ｓにスレーブディスク４０がスムーズに誘導されて、位置ズレ防止ガイド４２ｃとスレーブディスク４０とが嵌合状態になる。また、切欠き４２ｓのうち、スレーブディスク４０の面に当接する部分の縁が面落としされて、テーパー４２ｕが形成される。これは、図４で示したテーパー４２ｐと同様に位置ズレ防止ガイド４２ｃがサーボエリアに接触しないようにするためである。
【００４９】
尚、スレーブディスク４０の外周縁に嵌合する位置ズレ防止ガイド４２ｃは、円筒形状に限定されるものではなく、図示しないが、円筒形状を縦方向に複数の分割片に分割し、それぞれの分割片先端に切欠き４２ｓとテーパー４２ｕとを形成すればよい。このように分割片に分割することで、位置ズレ防止ガイド４２ｃが弾性変形し易くなるので、位置ズレ防止ガイド４２ｃとスレーブディスク４０とが一層スムーズに嵌合し易くなる。但し、分割片の数が多過ぎると、嵌合する力が弱くなるので、吸着位置に位置ズレの原因になるので、５片以内にするとよい。
【００５０】
また、図５（Ｂ）のように、位置ズレ防止ガイド４２ｃの嵌合部分の厚みＬがスレーブディスク４０の厚みＭよりも小さくなるようにすることは図４の場合と同様である。また、本体部４２ｄも、図４の場合と同様であり、チャック腕４２ａの内部に形成される通気路４２ｊを介して吸着及び吸着解除を行う吸着・解除手段４２ｖ（図６参照）に接続されており、これにより吸着チャック４２ｂはスレーブディスク４０を吸着又は吸着を解除することができる。
【００５１】
ディスク供給ユニット２６により、ディスク供給カセット３８から取り出されたスレーブディスク４０は、ホルダユニット２２に吸着搬送されると共に、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して、相対的に位置決めが行われる。そして、第１吸着チャック４２ｂに吸着されたスレーブディスク４０は、マスターディスク４６を保持する固定側ホルダ２３の第２吸着チャック２３Ａ（図６参照）に吸着される。これにより、スレーブディスク４０が固定側ホルダ２３に受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着状態で保持される。
【００５２】
図６は、ディスク供給ユニット２６の第１吸着チャック４２ｂに吸着されたスレーブディスク４０を、固定側ホルダ２３の第２吸着チャックに受け渡す機構を説明する説明図である。尚、図６の第１吸着チャック４２ｂについては上記において既に説明した部分については説明は省略する。
【００５３】
固定側ホルダ２３の表面中央部には、吸引孔２３ａがリング状に形成されると共に、吸引孔２３ａが固定側ホルダ２３内部に形成された減圧室２３ｂを介して配管２３ｃにより吸引孔２３ａに吸着力を発生させたり、吸着力を解除する吸着・解除手段２３ｄに接続される。尚、吸引孔２３ａはリング状に連続した１つの孔である必要はなく、複数の孔で断続的にリング形状を形成してもよい。図６の矢印Ａは吸着作動におけるエアの流れであり、矢印Ｂは解除作動におけるエアの流れである。これにより、固定側ホルダ２３に第２吸着チャック２３Ａが一体的に形成される。また、固定側ホルダ２３の表面（吸着面側）には、吸引孔２３ａのリング径よりも大径な中心孔４６ａを有するマスターディスク４６が接着により固定保持される。これにより、スレーブディスク４０をマスターディスク４６に密着させた状態で吸着・解除手段２３ｄを吸着作動させることにより、吸引孔２３ａに吸着力が生じ、マスターディスクの中心孔４６ａ越しにスレーブディスク４０の内周部分を固定側ホルダ２３に吸着することができる。
【００５４】
また、第２吸着チャック２３Ａの吸着・解除手段２３ｄは、吸着・解除手段２３ｄのＯＮ−ＯＦＦ及び吸着力（真空度）を制御する制御手段１６に制御ケーブルを介して接続される。また、配管２３ｃには圧力センサー２３ｅが設けられ、測定された真空度が制御手段１６に入力される。
【００５５】
一方、ディスク供給ユニット２６の第１吸着チャック４２ｂは、通気路４２ｊを有するチャック腕４２ａを介して吸引孔４２ｇに吸着力を発生させたり、吸着力を解除する第１吸着チャック４２ｂの吸着・解除手段４２ｖに接続される。更に、第１吸着チャック４２ｂの吸着・解除手段４２ｖは上記した制御手段１６に制御ケーブルを介して接続されると共に、チャック腕４２ａには圧力センサー４２ｗが設けられ、測定された真空度が制御手段１６に入力される。
【００５６】
ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、ディスク排出カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。
【００５７】
ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０を吸着するチャック機構５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック機構５２を回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。また、チャック機構５２は、図４及び図５で示したと同様の構造に形成される。すなわち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０を吸着したチャック機構５２を、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック機構５２の向きを反転するようになっている。
【００５８】
図７に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２には認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット３０で視覚認識される。
【００５９】
この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスク供給カセット３８が設けられた側面と反対の側面にほど近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。
【００６０】
認識ユニット３０には位置決め手段としての制御手段３０Ａが接続され、制御手段３０Ａは認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。
【００６１】
位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。
【００６２】
このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３０Ａにティーチングされている。
【００６３】
一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、チャック機構４２の吸着動作によって吸着チャック４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３０Ａに予めティーチングされている。
【００６４】
これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。
【００６５】
図１のコイルユニット３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側にコイルを離間して配置したものである。このコイルユニット３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。
【００６６】
次に、上記の如く構成された磁気転写装置１０による磁気転写方法について説明する。
【００６７】
運転開始により、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２がディスク供給カセット３８内のスレーブディスク４０を吸着して、順次１枚づつ取り出す。このスレーブディスク４０の取り出しにおいて、スレーブディスク４０の中心孔４０ａ又はスレーブディスク４０の外周縁に位置ズレ防止ガイド４２ｃを嵌合させながら吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着するようにした。これにより、吸着位置の位置ズレを生じることなくチャック機構４２でスレーブディスク４０を取り出すことができる。
【００６８】
取り出されたスレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置８２に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される。
【００６９】
このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。
【００７０】
ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。
【００７１】
次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。
【００７２】
この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、チャック機構４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出されるスレーブディスク４０の中心とが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９により、スレーブディスク４０が位置決めされる。
【００７３】
次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、スレーブディスク４０を吸着している吸着チャック４２ｂの吸着が解除されると共に、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される。このスレーブディスク４０を吸着チャック４２ｂから固定側ホルダ２３へ受け渡す際に、制御手段１６は、２つの圧力センサー４２ｗ、２３ｅの測定値に基づいて、第１吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着する吸着力よりも第２吸着チャック２３Ａの吸着力を高くしてスレーブディスク４０を第２吸着チャック２３Ａに吸着した後、第１吸着チャック４２ｂの吸着を解除するように、第１吸着チャック４２ｂの吸着・解除手段４２ｖ及び第２吸着チャック２３Ａの吸着・解除手段２３ｄＯＮ−ＯＦＦ及び真空度の大きさを制御する。これにより、スレーブディスク４０をディスク供給ユニット２６の第１吸着チャック４２ｂから固定側ホルダ２３の第２吸着チャック２３Ａに受け渡す際に位置ズレを生じることがない。更には、この受け渡しにおいて、スレーブディスク４０の中心孔４０ａ又はスレーブディスク４０の外周縁に位置ズレ防止ガイド４２ｃを嵌合させた状態で吸着チャック４２ｂの吸着が解除される。これにより、位置ズレを一層確実に防止できる。
【００７４】
尚、本実施の形態では、位置ズレ防止ガイド４２ｃを第１吸着チャック４２ｂに設けるようにしたが、第２吸着チャック２３Ａの表面（吸着面）中心部に、スレーブディスク４０の中心孔４０ａに挿入して嵌合される位置ズレ防止ガイドを設け、スレーブディスク４０を第１吸着チャック４２ｂから第２吸着チャック２３Ａに受け渡す際に、位置ズレ防止ガイドがスレーブディスク４０の中心孔４０ａに挿入されるようにしてもよい。
【００７５】
次いで、移動側ホルダ２４をロボット７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する。
【００７６】
次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置８４に位置決めする。そして、コイルユニット３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ、ホルダユニット２２を回転させながら両側から磁界を加える。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。
【００７７】
磁気転写後、コイルユニット３２、３２を初期の位置に退避させ、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置８６に位置決めする。
【００７８】
次いで、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。
【００７９】
次いで、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０を吸着する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。この固定側ホルダ２３からディスク排出ユニット３４のチャック機構５２へのスレーブディスク４０の受け取りにおいて、スレーブディスク４０の中心孔４０ａ又はスレーブディスク４０の外周縁に位置ズレ防止ガイド５２ｃを嵌合させながら吸着チャック５２ｂでスレーブディスク４０を吸着するようにした。これにより、吸着位置の位置ズレを生じることなくチャック機構５２でスレーブディスク４０を受け取ることができる。
【００８０】
次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック機構５２により把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック機構５２を含めて上下方向の向きが反転される。
【００８１】
次いで、スレーブディスク４０及びチャック機構５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によってディスク排出カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０をディスク排出カセット５６内に順次１枚づつ収納する。
【００８２】
上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。
【００８３】
尚、図１における符号１４はクリーンユニットであり、６４はクリーンユニットからダウンフローされた清浄エアを吸い込む吸引口である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図
【図２】ディスク用カセットにスレーブディスクを出し入れする状態を示す斜視図
【図３】ホルダユニットの構成を示す断面図
【図４】チャック機構を説明する説明図
【図５】チャック機構に設けられた位置ズレ防止ガイドの別の態様を説明する説明図
【図６】ディスク供給ユニットの第１吸着チャックに吸着したスレーブディスクをマスターディスクを保持する固定側ホルダに受け渡す機構の説明図
【図７】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図
【符号の説明】
【００８５】
１０…磁気転写装置、１２…装置本体、１４…クリーンユニット、１６…制御手段、２２…ホルダユニット（保持手段）、２３…固定側ホルダ、２３ａ…吸引孔、２３ｂ…減圧室、２３ｃ…配管、２３ｄ…吸着・解除手段、２３ｅ…圧力サンサー、２４…移動側ホルダ、２６…ディスク供給ユニット（供給手段）、３０…認識ユニット、３２…コイルユニット、３４…ディスク排出ユニット、３８…ディスク供給カセット、４０…スレーブディスク（被転写用ディスク）、４０ａ…スレーブディスクの中心孔、４２…チャック機構、４２ａ…チャック腕、４２ｂ…吸着チャック、４２ｃ…位置ズレ防止ガイド、４２ｄ…本体部、４２ｅ…吸着盤、４２ｆ…吸着面、４２ｇ…吸引孔、４２ｈ…減圧室、４２ｊ…通気路、４２ｋ…テーパー、４２ｐ…テーパー、４２ｑ…大径部、４２ｒ…小径部、４２ｓ…切欠き、４２ｔ…テーパー、４２ｕ…テーパー、４２ｖ…吸着・解除手段、４２ｗ…圧力サンサー、４６…マスターディスク、４６ａ…中心孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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