(57)【要約】【課題】マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させ、また、スレーブディスクの転写歩留りを向上させることができる磁気転写装置及び方法を提供する。【解決手段】被転写用ディスク４０を気体吸引による減圧手段によりチャックに吸着しながら搬送し、被転写用ディスクを磁気パターンを有するマスターディスク４６に対向するように供給し、その流路中にフィルタ手段を有する気体加圧による加圧手段により被転写用ディスクをチャックから解放する。供給された被転写用ディスクにマスターディスクを圧接させて挟持し、被転写用ディスクとマスターディスクに磁界を加えてマスターディスク上の磁気パターンを被転写用ディスクに転写させる。【選択図】  図１
2006134509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その先端部に１以上の吸引孔を有し、該吸引孔によりディスクを吸着するチャックを備え、
該チャック内には前記吸引孔と連通する流路が設けられており、該流路と接続される減圧系配管系路と加圧系配管系路とが切り換え可能となっていることを特徴とするディスク保持装置。
【請求項２】
前記加圧系配管系路が大気圧に解放されている請求項１に記載のディスク保持装置。
【請求項３】
前記減圧系配管系路中及び／又は前記加圧系配管系路中にフィルタ手段が設けられている請求項１又は２に記載のディスク保持装置。
【請求項４】
磁気パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持する保持手段と、
請求項１〜３のいずれか１項に記載のディスク保持装置を備え、該ディスク保持装置の吸着チャックで吸着した被転写用ディスクを搬送して前記ホルダ部により保持された前記マスターディスクに対向するように供給する供給手段と、
前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段と、
を具備したことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のディスク保持装置によって、前記吸着チャックで被転写用ディスクを吸着する吸着工程と、吸着された前記被転写用ディスクを搬送して、ホルダ部に保持されたマスターディスクに対向するように供給する供給工程と、
供給された前記被転写用ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、
前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写工程と、
を具備したことを特徴とする磁気転写方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク保持装置及びそれを用いた磁気転写方法並びに装置に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する際に好適に適用できるディスク保持装置及びそれを用いた磁気転写方法並びに装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。
【０００３】
従来、この種の磁気転写技術として各種の提案がなされている（たとえば、特許文献１〜３参照。）。このうち、特許文献１は、磁気転写を行う際に、１つのハンドラーの間欠駆動により、作業効率を向上させる旨の提案である。
【０００４】
特許文献２は、スレーブディスクをハンドリングする際の真空吸着チャックの接触部分の表面硬度を所定以上とし、真空吸着チャックの磨耗を改善するとともに、マスターディスクとスレーブディスクとの平行度を向上させる旨の提案である。特許文献３は、磁気転写を行う際のクリーン度を向上させて、マスターディスクの寿命を向上させる旨の提案である。
【特許文献１】特開２００１−２５０２２７号公報
【特許文献２】特開２００２−１５４２１号公報
【特許文献３】特開２００１−３５１２３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来技術において、マスターディスクの寿命が短く、頻繁にマスターディスクを交換しなければならないという問題点が指摘されている。すなわち、磁気転写を行う際に、マスターディスクと転写されるハードディスク（スレーブディスク）とを密着させる必要があるが、この環境における清浄度が悪いと、微粒子やゴミ等によりマスターディスクの表面に傷を発生させることが多い。また、磁気転写されるスレーブディスクも、微粒子やゴミ等により転写歩留りが低下する。
【０００６】
このため、従来の磁気転写装置も清浄度の良好なクリーンブース内に設置されることが多く、また、特許文献３のように、クリーンエアの滞留を生じないような工夫を施すことも提案されている。
【０００７】
ところが、清浄度の良好なクリーンブース内に装置を設置し、この中で磁気転写を行っても、特許文献２に開示されているように、スレーブディスクをハンドリングする際に真空吸着チャックを使用した場合、この真空吸着チャックから発塵し、周囲を汚染することが指摘されている。以下、この現象について説明する。
【０００８】
図７は、一般的な真空吸着チャック１とスレーブディスク２との位置関係を説明する断面図である。スレーブディスク２は、円環状（ドーナツ状）のディスクである。真空吸着チャック１は、円盤状の部材であり、先端部の円環状部分１Ａがスレーブディスク２の表面に接するとともに、背面に吸引パイプ１Ｂが立設されている。吸引パイプ１Ｂの中間には、エアフィルタ３が配されている。
【０００９】
真空吸着チャック１は、図示しない減圧手段（真空ポンプ等）により吸引パイプ１Ｂを経て図７の実線矢印４の方向にエア吸引することによりスレーブディスク２を吸着保持し、吸着保持したスレーブディスク２をマスターディスク（図示略）に対向する位置まで搬送し、マスターディスクに密着するように供給する。
【００１０】
次いで、マスターディスクの周縁に設けられた固定手段により、スレーブディスク２がマスターディスクに密着保持される。その後、真空吸着チャック１はスレーブディスク２の吸着保持した状態を解放する。このとき、図示しない加圧手段（又は大気解放）により吸引パイプ１Ｂを経て図７の破線矢印５の方向にエア加圧することによりスレーブディスク２の吸着保持した状態を解放する。
【００１１】
このエア加圧する際のエア中に微粒子やゴミ等が存在すると、スレーブディスク及びその周縁を汚染させることとなる。また、図７に示されるように、吸引パイプ１Ｂの中間にエアフィルタ３が配されていたとしても、エア吸引（実線矢印４の方向）の際にエアフィルタ３で補足したエア中の微粒子やゴミ等がエア加圧（破線矢印５の方向）の際に逆流することとなり、解決にはならない。
【００１２】
そして、このような場合、微粒子やゴミ等がスレーブディスクの表面に付着し、転写の際にマスターディスクの表面に傷を発生させたり、スレーブディスクの転写歩留りが低下することとなる。
【００１３】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、磁気転写の際に充分な清浄度を確保させることにより、上記の問題点を解消し、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させ、また、スレーブディスクの転写歩留りを向上させることができるディスク保持装置及びそれを用いた磁気転写方法並びに装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記目的を達成するために、請求項１に係る本発明は、その先端部に１以上の吸引孔を有し、該吸引孔によりディスクを吸着するチャックを備え、該チャック内には前記吸引孔と連通する流路が設けられており、該流路と接続される減圧系配管系路と加圧系配管系路とが切り換え可能となっていることを特徴とするディスク保持装置を提供する。
【００１５】
また、請求項５に係る本発明は、前記ディスク保持装置によって、前記吸着チャックで被転写用ディスクを吸着する吸着工程と、吸着された前記被転写用ディスクを搬送して、ホルダ部に保持されたマスターディスクに対向するように供給する供給工程と、供給された前記被転写用ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写工程と、を具備したことを特徴とする磁気転写方法を提供する。
【００１６】
このために、請求項４に係る本発明は、磁気パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持する保持手段と、前記ディスク保持装置を備え、該ディスク保持装置の吸着チャックで吸着した被転写用ディスクを搬送して前記ホルダ部により保持された前記マスターディスクに対向するように供給する供給手段と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段と、を具備したことを特徴とする磁気転写装置を提供する。
【００１７】
本発明によれば、被転写用ディスク（スレーブディスク）を吸着保持するチャック内の流路と接続される減圧系配管系路と加圧系配管系路とが切り換え可能となっているので、スレーブディスク吸着の際には減圧系配管系路を使用し、スレーブディスク解放の際には加圧系配管系路を使用すれば、チャックより微粒子やゴミ等を排出してスレーブディスク及びその周縁を汚染させることを防止できる。
【００１８】
すなわち、既述の従来例（図７）のように、エアフィルタ３で補足したエア中の微粒子やゴミ等がエア加圧の際に逆流することはなく、独自の加圧系配管系路より清浄度の高いエアを供給してスレーブディスクを解放できるので、スレーブディスク及びその周縁を汚染させることを防止できる。
【００１９】
本発明において、前記加圧系配管系路が大気圧に解放されていることが好ましい。このように、独自の加圧手段を設けずに、加圧系配管系路が大気圧に解放されていても、スレーブディスクを容易に解放できる。
【００２０】
また、本発明において、前記減圧系配管系路中及び／又は前記加圧系配管系路中にフィルタ手段が設けられていることが好ましい。このように、配管系路中にフィルタ手段が設けられていれば、エアの清浄度を一層良好にできるので、本発明の効果を一層発揮できる。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように、本発明によれば、被転写用ディスク（スレーブディスク）を吸着保持するチャック内の流路と接続される減圧系配管系路と加圧系配管系路とが切り換え可能となっているので、スレーブディスク吸着の際には減圧系配管系路を使用し、スレーブディスク解放の際には加圧系配管系路を使用すれば、チャックより微粒子やゴミ等を排出してスレーブディスク及びその周縁を汚染させることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面に従って、本発明に係る好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係る磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク用カセットの概要を示す斜視図である。この磁気転写装置１０は、装置本体１２と、この装置本体１２の全体を覆うクリーンユニット１４よりなる。
【００２３】
装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面である。この装置本体１２は、周辺をクリーンユニット１４に囲われ、清浄度が確保されるようになっている。
【００２４】
クリーンユニット１４の天井部には、装置の内部にクリーンエアを供給するクリーンエア送風ユニット（図示略）が設けられている。このクリーンエア送風ユニットは、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタと、送風ファンにより構成され、装置の内部に、ダウンフローによる清浄度クラス１００未満のクリーンエアが供給できるようになっている。
【００２５】
クリーンエア送風ユニットより吹き出されたクリーンエアは、外部に排出されるようになっている。このため、図１に示されるように、ベース６０上において、装置本体１２の各機構が配置されていない空き領域には、排気手段としての排気ファン６４が複数配設されている。
【００２６】
ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容するディスク供給カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしてのディスク排出カセット５６が設けられている。ディスク供給カセット３８とディスク排出カセット５６とは同一形状のものが採用されている。
【００２７】
図２に示されるように、ディスク供給カセット３８及びディスク排出カセット５６は、スレーブディスク４０がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっている。すなわち、カセットの内面に並行して形成された複数の溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の外周が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。
【００２８】
図１において、ベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。
【００２９】
図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダ部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着または接着により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。
【００３０】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。
【００３１】
固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、カップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。そして、固定側ホルダ２３は、装置本体１２に固定されている。一方、移動側ホルダ２４は、駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。
【００３２】
以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、図３に示されるように、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。
【００３３】
図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間歇駆動される。すなわち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止しするようになっている。
【００３４】
更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より左側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より右側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。
【００３５】
ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク供給カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。
【００３６】
ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク排出カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。
【００３７】
ディスク供給ユニット２６により、ディスク供給カセット３８から取り出されたスレーブディスク４０は、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して、相対的に位置決めが行われ、マスターディスク４６に設けられる空隙越しにホルダユニット２２によって吸着されて受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着されて保持される。固定側ホルダ２３の内側にはスレーブディスク４０の内径付近を吸着する吸着溝（図示略）が設けられ、この吸着溝によりスレーブディスク４０が吸着保持される。
【００３８】
ディスク供給ユニット２６は、図２及び図４に示されるように、主として、スレーブディスク４０を把持するチャック機構４２と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、チャック機構４２を回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４とから構成される。
【００３９】
チャック機構４２は、一端部（基部）がロータリシリンダ４４で支持されるチャック腕４２ａと、チャック腕４２ａの他端部（先端部）に設けられ、スレーブディスク４０の内周部分を吸着する吸着チャック４２ｂと、吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着する際、及び吸着した後の吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイド４２ｃとより構成される。
【００４０】
すなわち、ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０の内周部分を吸着したチャック機構４２を、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック機構４２の向きを反転するようになっている。
【００４１】
図４は、このチャック機構４２を説明する図であり、（Ａ）は側面断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の円内の部分拡大図であり、位置ズレ防止ガイド４２ｃを説明するものである。なお、図４において、チャック腕４２ａ（図２参照）の図示は省略されており、チャック腕４２ａの内部に形成される通気路４２ｇのみ概念的に示されている。
【００４２】
図４に示されるように、吸着チャック４２ｂは、内部に減圧室４２ｉを有する本体部４２ｄと吸着盤４２ｅとがビス９３、９３で連結されており、この吸着盤４２ｅに位置ズレ防止ガイド４２ｃが設けられている。すなわち、吸着盤４２ｅの吸着面にはスレーブディスク４０の中心孔に嵌合する突起した嵌合部が形成され、この嵌合部により位置ズレ防止ガイド４２ｃが構成されている。
【００４３】
この場合、位置ズレ防止ガイド４２ｃは吸着盤４２ｅと一体形成されていても、別体として形成されていてもよい。そして、吸着面における位置ズレ防止ガイド４２ｃの外側にリング状の吸引孔４２ｆが形成され、この吸引孔４２ｆが本体部４２ｄの減圧室４２ｉまで連通されている。
【００４４】
本体部４２ｄは、チャック腕４２ａ内の流路である通気路４２ｇを介して減圧及び減圧解除を行う減圧系配管系路９６及び加圧系配管系路９８に接続されており、これにより吸着チャック４２ｂはスレーブディスク４０の内周部分を吸着又は吸着を解除することができる。
【００４５】
すなわち、チャック腕４２ａ内の通気路４２ｇは、減圧系配管系路９６の配管９６ａと加圧系配管系路９８の配管９８ａとに分岐されている。そして、減圧系配管系路９６の配管９６ａには、分岐箇所より順にフィルタ手段であるエアフィルタ９６ｂ、電磁弁９６ｃが設けられており、配管９６ａの先端は図示しない減圧手段（たとえば、ロータリー式真空ポンプ）に接続されている。
【００４６】
また、加圧系配管系路９８の配管９８ａには、分岐箇所より順にフィルタ手段であるエアフィルタ９８ｂ、電磁弁９８ｃが設けられており、配管９８ａの先端は図示しない加圧手段（たとえば、エアポンプ、ブロワー等）に接続されている。
【００４７】
減圧系配管系路９６の電磁弁９６ｃ、及び加圧系配管系路９８の電磁弁９８ｃは、図示しない制御手段（たとえば、パソコン）により、それぞれ駆動できるようになっている。これにより吸着チャック４２ｂはスレーブディスク４０の内周部分を吸着又は吸着を解除することができる。
【００４８】
図４（Ｂ）に示されるように、位置ズレ防止ガイド４２ｃの周面下部にテーパ４２ｈが形成されている。このテーパ４２ｈにより、位置ズレ防止ガイド４２ｃの周面下部が先細状になるので、吸着チャック４２ａでスレーブディスク４０を吸着する際に、位置ズレ防止ガイド４２ｃがスレーブディスク４０の中心孔にスムーズに誘導されて、位置ズレ防止ガイド４２ｃとスレーブディスク４０とが嵌合状態になる。
【００４９】
位置ズレ防止ガイド４２ｃがスレーブディスク４０に嵌合される深さｔは、スレーブディスク４０の板厚より小さく形成されることが好ましい。深さｔをこのように形成することにより、位置ズレ防止ガイド４２ｃの先端とマスターディスク４６との接触を防止することができる。
【００５０】
なお、位置ズレ防止ガイド４２ｃは、図４（Ａ）では吸着面から突起した円柱状の嵌合部として形成されているが、円柱状であることに限定されるものではなく、スレーブディスク４０の中心孔の内周縁に位置ズレ防止ガイド４２ｃの複数箇所が当接して位置ズレ防止ガイド４２ｃが中心孔に嵌合状態なる形状であればよい。
【００５１】
また、図４（Ｂ）に示されるように吸着盤４２ｅの吸着面周縁の面を落として、テーパを形成することが好ましい。これは、スレーブディスク４０の中周部分（スレーブディスク４０の内周部分と外周部分を除いた部分）には、マスターディスク４６のサーボ情報が転写されるサーボ領域４０ｂがあるので、テーパを形成することにより吸着面がサーボ領域４０ｂに接触しないように吸引孔のリングを大きくすることができ、安定した吸着が可能になるからである。
【００５２】
次に、ディスク排出ユニット３４について説明する。ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、ディスク排出カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。
【００５３】
ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径部分を吸着固定するチャック機構５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック機構５２を回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。
【００５４】
すなわち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内周部分を吸着したチャック機構５２を、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック機構５２の向きを反転するようになっている。
【００５５】
ディスク排出ユニット３４のうち、スレーブディスク４０を把持するチャック機構５２は、図４に示される既述のチャック機構４２と同一の構成とできる。したがって、重複する説明は省略する。
【００５６】
図５に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２には認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット３０で視覚認識される。
【００５７】
この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスクディスク供給カセット３８が設けられた側面と反対の側面にほど近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。
【００５８】
認識ユニット３０には位置決め手段としての制御手段３０Ａが接続され、制御手段３０Ａは認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。
【００５９】
位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。
【００６０】
このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３０Ａにティーチングされている。
【００６１】
一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、チャック機構４２の位置ズレ防止ガイド４２ｃの中心にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３０Ａに予めティーチングされている。
【００６２】
これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。
【００６３】
コイルユニット３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側にコイルを離間して配置したものである。このコイルユニット３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。
【００６４】
次に、上記のように構成された磁気転写装置の運転方法について説明する。
【００６５】
運転開始により、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（吸着チャック４２ｂ）がディスク供給カセット３８内のスレーブディスク４０を吸着把持して、順次１枚づつ取り出す。
【００６６】
この際、図４に示される減圧系配管系路９６の電磁弁９６ｃが駆動され、チャック機構４２（チャック腕４２ａの内部）の通気路４２ｇが配管９６ａを経て減圧手段と接続される。これにより、エアが矢印９６ｅの方向に吸引され、スレーブディスク４０の吸着把持が行える。
【００６７】
なお、加圧系配管系路９８の電磁弁９８ｃは駆動されず、配管９８ａ内のエアの流れ（矢印９８ｅ）はない。
【００６８】
スレーブディスク４０の吸着把持の際、チャック機構４２（吸着チャック４２ｂ）がスレーブディスク４０のサーボ領域４０ｂに接触しないように構成されているので、スレーブディスク４０のサーボ領域４０ｂがダメージを受けることはない。
【００６９】
次いで、取り出されたスレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置８２に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される。
【００７０】
このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。
【００７１】
ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。
【００７２】
次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。
【００７３】
この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、チャック機構４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出されるスレーブディスク４０の中心とが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９により、スレーブディスク４０が位置決めされる。
【００７４】
次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される。
【００７５】
次いで、図４に示される減圧系配管系路９６の電磁弁９６ｃを駆動させて、チャック機構４２（チャック腕４２ａの内部）の通気路４２ｇと減圧手段との接続を遮断するとともに、加圧系配管系路９８の電磁弁９８ｃを駆動させて、チャック機構４２（チャック腕４２ａの内部）の通気路４２ｇを配管９８ａを経て加圧手段に接続させる。これにより、エアが矢印９８ｅの方向に供給され、スレーブディスク４０の吸着が解放される。
【００７６】
この際、加圧手段から供給されるエアは、配管９８ａ中に設けられたエアフィルタ９８ｂを通過しているので、チャック機構４２より微粒子やゴミ等を排出してスレーブディスク及びその周縁を汚染させることを防止できる。
【００７７】
なお、スレーブディスク４０の吸着を解放する際に、電磁弁９６ｃを駆動させて減圧系配管系路９６のチャック機構４２の通気路４２ｇと減圧手段との接続を遮断しなくとも、加圧手段から供給されるエアの流量が多ければ、解放動作に支障をきたすことはない。
【００７８】
次いで、移動側ホルダ２４をロボット７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する。
【００７９】
次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置８４に位置決めする。そして、コイルユニット３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ、ホルダユニット２２を回転させながら両側から磁界を加える。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。
【００８０】
磁気転写後、コイルユニット３２、３２を初期の位置に退避させ、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置８６に位置決めする。
【００８１】
次いで、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。
【００８２】
次いで、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０の内径部分を吸引保持する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。
【００８３】
ディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０の吸引保持の詳細は、ディスク供給ユニット２６によるスレーブディスク４０の吸引保持の動作と同一である。したがって、重複する説明は省略する。
【００８４】
次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック機構５２により吸着把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック機構５２を含めて上下方向の向きが反転される。
【００８５】
次いで、スレーブディスク４０及びチャック機構５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によってディスク排出カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０をディスク排出カセット５６内に順次１枚づつ収納する。
【００８６】
ディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０の解放の詳細は、ディスク供給ユニット２６によるスレーブディスク４０の解放の動作と同一である。したがって、重複する説明は省略する。
【００８７】
上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。
【００８８】
以上説明した本実施形態によれば、スレーブディスク４０を吸着保持するチャック機構４２の流路４２ｇと接続される減圧系配管系路９６と加圧系配管系路９８とが切り換え可能となっているので、スレーブディスク４０吸着の際には減圧系配管系路９６を使用し、スレーブディスク４０解放の際には加圧系配管系路９８を使用すれば、チャック機構４２より微粒子やゴミ等を排出してスレーブディスク４０及びその周縁を汚染させることを防止できる。
【００８９】
次に、本発明の他の実施形態について説明する。この実施形態は、図１〜５により説明された既述の実施形態とチャック機構に接続された減圧系配管系路９６及び加圧系配管系路９８のみ相違し、他の構成は同一である。それゆえ、相違する構成のみ説明する。
【００９０】
図６は、スレーブディスク４０の内周部分を吸着するチャック機構４２（５２）であり、（Ａ）は側面断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の円内の部分拡大図であり、位置ズレ防止ガイド４２ｃを説明するものである。このチャック機構４２は、図４のチャック機構４２と同一の構成である。したがって、重複する説明は省略する。
【００９１】
本体部４２ｄは、チャック腕４２ａ内の流路である通気路４２ｇを介して減圧及び減圧解除を行う減圧系配管系路１０６及び加圧系配管系路（大気解放系配管系路）１０８に接続されており、これにより吸着チャック４２ｂはスレーブディスク４０の内周部分を吸着又は吸着を解除することができる。
【００９２】
すなわち、チャック腕４２ａ内の通気路４２ｇは、減圧系配管系路１０６の配管１０６ａと加圧系配管系路１０８の配管１０８ａとに分岐されている。そして、減圧系配管系路１０６の配管１０６ａには、分岐箇所より順にフィルタ手段であるエアフィルタ１０６ｂ、電磁弁１０６ｃが設けられており、配管１０６ａの先端は図示しない減圧手段（たとえば、ロータリー式真空ポンプ）に接続されている。
【００９３】
また、加圧系配管系路１０８の配管１０８ａには、分岐箇所より順にフィルタ手段であるエアフィルタ１０８ｂ、電磁弁１０８ｃが設けられており、配管１０８ａの先端は大気中に解放されている。
【００９４】
減圧系配管系路１０６の電磁弁１０６ｃ、及び加圧系配管系路１０８の電磁弁１０８ｃは、図示しない制御手段（たとえば、パソコン）により、それぞれ駆動できるようになっている。これにより吸着チャック４２ｂはスレーブディスク４０の内周部分を吸着又は吸着を解除することができる。
【００９５】
以上説明したチャック機構４２の作用については、既述（図４）のチャック機構４２の作用と略同様であることより、詳細な説明は省略する。
【００９６】
なお、スレーブディスク４０の吸着を解除する際には、減圧系配管系路１０６の電磁弁１０６ｃを駆動させて、チャック機構４２（チャック腕４２ａの内部）の通気路４２ｇと減圧手段との接続を遮断するとともに、加圧系配管系路１０８の電磁弁１０８ｃを駆動させて、チャック機構４２（チャック腕４２ａの内部）の通気路４２ｇを配管１０８ａを経て大気と連通させる。これにより、エアが矢印１０８ｅの方向に供給され、スレーブディスク４０の吸着が解放される。
【００９７】
以上、本発明に係るディスク保持装置及びそれを用いた磁気転写方法並びに装置の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【００９８】
たとえば、上記実施形態において、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６が配されて磁気転写が行われているが、スレーブディスク４０の片面のみにマスターディスク４６が配されて磁気転写が行われる構成であってもよい。
【００９９】
また、ホルダユニット２２の構成等も、上記の実施形態に限定されるものではなく、各種の態様のものが採用できる。
【０１００】
更に、磁気転写装置１０の構成も、上記実施形態のロータリーインデックス方式に限定されるものではなく、インラインインデックス方式等各種の態様のものが採用できる。
【０１０１】
また、上記の実施形態は、磁気転写について述べられているが、本発明に係るディスク保持装置は、これ以外の用途であっても、装置間のディスクの受け渡しや、他の装置におけるディスクのハンドリング等にも広く適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図
【図２】ディスク用カセットにスレーブディスクを出し入れする状態を示す斜視図
【図３】ホルダユニットの構成を示す断面図
【図４】チャック機構を説明する断面図
【図５】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図
【図６】チャック機構の他の形態を説明する断面図
【図７】一般的な真空吸着チャックとスレーブディスクとの位置関係を説明する断面図
【符号の説明】
【０１０３】
１０…磁気転写装置、１２…装置本体、１４…クリーンユニット、２２…ホルダユニット（保持手段）、２３…固定側ホルダ、２４…移動側ホルダ、２６…ディスク供給ユニット、３０…認識ユニット、３２…コイルユニット、３４…ディスク排出ユニット、３８…ディスク供給カセット、４０…スレーブディスク（被転写用ディスク）、４０ｂ…サーボ領域、４０ｃ…非サーボ領域、４２、５２、９４…チャック機構、４６…マスターディスク、５６…ディスク排出カセット、９６、１０６…減圧系配管系路、９８、１０８…加圧系配管系路、９６ａ…配管、９８ａ…配管、９６ｂ…エアフィルタ、９８ｂ…エアフィルタ、９６ｃ…電磁弁、９８ｃ…電磁弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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