(57)【要約】【課題】  めっき膜の膜厚を被めっき面の全面に亘って均一に形成でき、めっき膜の品質を向上できると共に、装置の小型化、簡略化を図ることができるようにする。【解決手段】  水槽１０内には、陰極３０を下側にして陽極２０を上側にしてこれら陽極２０および陰極３０を互いに平行でかつ水平に配置する。また、水槽１０の側板１０Ｂには、陽極２０および陰極３０を水槽１０内に挿入するための開口１７を設けると共に、開口１７を閉塞する閉塞板４０を設ける。さらに、水槽の側板１０Ｂ，１０Ｃには、陽極２０を水平状態に保つための溝部１８Ａ，１８Ｂを設ける。また、陰極３０は閉塞板４０に対して片持ち支持の状態で取り付ける。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも底板および側板を有して内部にめっき液が注入される水槽と、前記水槽のめっき液内で互いに対向して水平に配置される陰極板および陽極板とを備えた電気めっき試験器であって、
前記陰極板および前記陽極板のうち被めっき物となる一方の板を他方の板の下側に配置し、前記水槽の側板には、前記陰極板および前記陽極板をそれぞれ前記水槽内に挿入するための開口を設けると共に、前記水槽には前記開口を閉塞するための閉塞板を着脱可能に設けたことを特徴とする電気めっき試験器。
【請求項２】
前記水槽の側板には、前記陰極板および前記陽極板のうち少なくともいずれかの板を水平状態に保持するための溝部を設けたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の電気めっき試験器。
【請求項３】
前記溝部は、前記陰極板および前記陽極板のうち少なくともいずれか一方の板の高さを調整するために前記水槽の側板に対して上下方向に複数個配置したことを特徴とする請求項２に記載の電気めっき試験器。
【請求項４】
前記溝部は、前記陰極板および前記陽極板のうち上側に位置する板の高さ調整を行うための溝であり、前記上側に位置する板には、当該板に通電を行う伝導部材を前記水槽内に向けて上方から下向きに差し込んで電気的に接続させ、前記伝導部材は、前記上側に位置する板の高さに応じて高さ調整可能に前記水槽に対して支持させる構成としたことを特徴とする請求項３に記載の電気めっき試験器。
【請求項５】
前記陰極板および前記陽極板のうち下側に位置する板は、前記閉塞板に片持ち支持の状態で取り付ける構成としたことを特徴とする請求項４に記載の電気めっき試験器。
【請求項６】
前記陰極板および前記陽極板のうち下側に位置する板には、当該板に通電を行う伝導部材を前記水槽内に向けて水平方向から前記閉塞板を貫通させて電気的に接続させることを特徴とする請求項５に記載の電気めっき試験器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばウエーハ、ガラス基板およびセラミック基板等の表面にめっきおよび陽極酸化を施すための電気めっき試験器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、めっき技術は各方面の技術分野で応用されており、半導体の配線技術にも用いられている。半導体分野では、半導体の高集積化および高性能化を実現するために、半導体の配線ピッチを縮小することが求められており、最近採用されている配線技術の一つとして、層間絶縁膜を成膜後にドライエッチングプロセスを行うことによって配線溝を確保し、その配線溝にめっきにより配線材料を埋め込む方法がある。
【０００３】
このようなめっき技術を実現するためには、被めっき物に形成された溝にめっきを均一に析出させる必要がある。そこで、本出願人により、被めっき物の被めっき面に均一なめっき膜を形成することができる電気めっき試験器が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この電気めっき試験器は、めっき液が注入された水槽内に被めっき物となる陰極板と、陽極板とを互いに対向して配置し、これら陰極板および陽極板にそれぞれ電源を接続することにより陰極板と陽極板との間に電界を発生させ、陰極板の表面にめっきを施すものである。
【特許文献１】特開２００３−３０１２９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の電気めっき試験器においては、陰極板のめっき時に、陰極板の被めっき面から水素を主成分とした気泡が発生する。そして、この陰極板は陽極板と共に水槽内に垂直に配置されるため、前記気泡は陰極板の被めっき面を次から次へとなぞるように伝って上昇する。このように気泡が陰極板の被めっき面をなぞるように伝っていくことで、陰極板の被めっき面に形成されるめっき膜の膜厚にむらが発生し、めっき膜の品質を必ずしも高めることができないという問題がある。
【０００６】
そこで、このような問題を解消するために、陰極板および陽極板を垂直に設置した後に電気めっき試験器を９０度回転させ、陰極板を下にして陽極板を上にしてこれらの板を水平に保つことにより、気泡が直接陰極板の表面を伝わるのを回避する方法が知られている。しかし、このような方法を用いると、電気めっき試験器を回転させるための装置が別途必要となり、電気めっき試験器全体が大型化して複雑化するという問題がある。
【０００７】
このような背景に鑑みて本発明がなされたのであり、本発明は、めっき膜の膜厚を被めっき面の全面に亘って均一に形成でき、めっき膜の品質を向上できると共に、装置の小型化、簡略化を図ることができるようにした電気めっき試験器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記した課題を解決するため、請求項１に記載の本発明の電気めっき試験器は、少なくとも底板および側板を有して内部にめっき液が注入される水槽と、前記水槽のめっき液内で互いに対向して水平に配置される陰極板および陽極板とを備えた電気めっき試験器であって、前記陰極板および前記陽極板のうち被めっき物となる一方の板を他方の板の下側に配置し、前記水槽の側板には、前記陰極板および前記陽極板をそれぞれ前記水槽内に挿入するための開口を設けると共に、前記水槽には前記開口を閉塞するための閉塞板を着脱可能に設けたことを特徴としている。
【０００９】
このような構成により、陰極板および陽極板の取付時には、陰極板および陽極板を、水槽の側板に設けられた開口を通じて水槽内に挿入することにより、これら陰極板および陽極板を水槽内で互いに水平にした状態で容易に取り付けることができる。そして、陰極板および陽極板のうち被めっき物となる一方の板を他方の板の下側に配置する構成としたので、めっき時に一方の板の被めっき面から発生する水素を主成分とした気泡を、一方の板の被めっき面から当該被めっき面に沿って伝うことなく、直接上方へと上昇させて外部に逃がすことができる。また、前記したように陰極板および陽極板を水平状態で水槽内に容易に取り付けることができるため、従来技術で述べたように水槽全体を９０度回転させるような大掛かりな装置を不要にできる。なお、本発明では、被めっき物を電源の陰極に接続して、被めっき物の表面にめっきを施すようにしてもよいし、被めっき物を電源の陽極に接続して、この被めっき物の表面に酸化物の皮膜である陽極皮膜を形成するようにしてもよい。
【００１０】
請求項２に記載の本発明の電気めっき試験器は、水槽の側板には、陰極板および陽極板のうち少なくともいずれかの板を水平状態に保持するための溝部を設けたことを特徴としている。
【００１１】
このような構成により、陰極板および陽極板のうち少なくともいずれか一方の板を水槽の側板に設けられた溝部に嵌合させるだけで、この一方の板を水槽内で水平状態に容易に保持することができ、前記一方の板の取り付けを簡単に行うことができる。
【００１２】
請求項３に記載の本発明の電気めっき試験器は、溝部は、陰極板および陽極板のうち少なくともいずれか一方の板の高さを調整するために水槽の側板に対して上下方向に複数個配置したことを特徴としている。
【００１３】
このような構成により、陰極板および陽極板のうち少なくともいずれか一方の板の溝部に対する取付位置を、上下方向で変更することにより、陰極板と陽極板との間の離間寸法を変更することができ、これにより、被めっき物となる陰極板（または陽極板）の被めっき面に形成されるめっき膜の膜厚等を適宜に調整することができる。
【００１４】
請求項４に記載の本発明の電気めっき試験器は、溝部は、陰極板および陽極板のうち上側に位置する板の高さ調整を行うための溝であり、前記上側に位置する板には、当該板に通電を行う伝導部材を水槽内に向けて上方から下向きに差し込んで電気的に接続させ、前記伝導部材は、前記上側に位置する板の高さに応じて高さ調整可能に前記水槽に対して支持させる構成としたことを特徴としている。
【００１５】
このような構成により、伝導部材を水槽内に向けて上方から下向きに差し込むことにより、伝導部材の先端を前記上側に位置する板に電気的に接続させることができる。また、この上側に位置する板の高さを変更するときには、この板の高さに応じて伝導部材の高さを調整することにより、伝導部材を前記板に容易に係合させて電気的に接続させることができる。
【００１６】
請求項５に記載の本発明の電気めっき試験器は、陰極板および陽極板のうち下側に位置する板を、閉塞板に片持ち支持の状態で取り付ける構成としたことを特徴としている。
【００１７】
このような構成により、前記下側に位置する板の取付時には、この板を予め閉塞板に取り付けておき、この状態で閉塞板を水槽に取り付けることにより、前記板を閉塞板に片持ち支持の状態で容易に取り付けることができる。従って、作業者が前記板を水槽の開口内にわざわざ手を延ばして取り付ける手間を省くことができる。なお、前記下側の板は、閉塞板を水槽に取り付ける際に、前記下側の板の一端側が片持ち支持されていればよく、取り付けた後には、前記下側の板の他端側等を例えば閉塞板と対向する水槽の部位に引っ掛けたり、水槽に形成した溝に嵌合させたりすることにより、前記下側の板を両持ち支持の状態で水槽内で安定して保持することができる。また、前記下側の板の他端側に下面側から頭部を有するボルトを装着し、このボルトの頭部を水槽の底部に当接させることにより、前記下側の板の他端側を支持するようにしてもよい。
【００１８】
請求項６に記載の本発明の電気めっき試験器は、陰極板および陽極板のうち下側に位置する板には、当該板に通電を行う伝導部材を水槽内に向けて水平方向から閉塞板を貫通させて電気的に接続させることを特徴とする請求項５に記載の電気めっき試験器。
【００１９】
このような構成により、伝導部材を水槽内に向けて水平方向から閉塞板を貫通させることにより、この伝導部材を下側に位置する板に対して電気的に容易に接続することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、被めっき物の被めっき面に形成されるめっき膜の膜厚を全面に亘って均一にでき、めっき膜の品質を向上することができる。また、陰極板および陽極板を水槽の側面に設けられた開口を通じて水槽内に水平状態で容易に取り付けることができ、前記板の取付時の作業効率を高めることができる。さらに、水槽を９０度回転させるような大掛かりな装置を不要にでき、装置の小型化、簡略化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に、本発明の実施の形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る電気めっき試験器を示す分解斜視図であり、図２は、図１中の陰極を閉塞板に取り付けた状態で電気めっき試験器を示す分解斜視図である。図３は、本実施の形態に用いる水槽を示す正面図であり、図４は、本実施の形態に用いる水槽を示す左側面図である。図５は、本実施の形態に係る電気めっき試験器を示す左側面図であり、図６は、本実施の形態に係る電気めっき試験器を示す正面図である。図７は、閉塞板を取り外した状態で電気めっき試験器を示す正面図である。
【００２２】
図１ないし図４に示すように、電気めっき試験器１は、水槽１０、陽極２０、陰極３０および閉塞板４０によって概ね構成され、水槽１０内にはめっき液が注入されている。
【００２３】
水槽１０は、図１ないし図４に示すように、底板１０Ａと、正面板である第１の側板１０Ｂ（以下、側板１０Ｂという）と、背面板である第２の側板１０Ｃ（以下、側板１０Ｃという）と、左側板である第３の側板１０Ｄ（以下、側板１０Ｄという）と、右側板である第４の側板１０Ｅ（以下、側板１０Ｅという）と、側板１０Ｂ，１０Ｃの上端に設けられたブラケット１０Ｂ１，１０Ｃ１にボルト１１，１１，…（図２参照）によって締結された上板１０Ｆとを有している。また、図３に示すように、水槽１０内には、底板１０Ａに立設された右側の立板１４（以下、立板１４という）と、立板１４の下部側から水平方向に延びた横板１３と、横板１３の左端部に立設された左側の立板１２（以下、立板１２という）とが形成されている。
【００２４】
また、立板１４には複数の流通孔１４Ａ，１４Ａ，…（図１参照）が穿設されると共に、横板１３についても、複数の流通孔１３Ａ，１３Ａ，…が穿設されている。さらに、底板１０Ａには排出孔１０Ａ１が穿設されている。そして、図３および図５に示すように水槽１０の側板１０Ｃには、側板１０Ｅと立板１４との間に位置してポンプ（図示せず）が装着されるポンプ装着口１５が設けられている。また、立板１２の上端と立板１４の上端との間には図５に示す蓋板１６が設けられている。
【００２５】
このため、前記ポンプを作動させると、このポンプから吐出されためっき液は、図３に示すように、矢示Ａ方向へと吐出される。そして、この吐出されためっき液は、各流通孔１４Ａを通じて矢示Ｂ方向へと流通したり、立板１４の上端を矢示Ｂ′方向へと乗り越えて流通したりすることにより、立板１２，１４および横板１３で取り囲まれる空間部内へと導かれる。また、この空間部内に導かれためっき液は、各流通孔１３Ａを通じて矢示Ｃ方向へと流通したり、矢示Ｄ方向へと立板１２の上端を乗り越えて流通したりすることにより、横板１３の下側に導かれ、そこから矢示Ｆ方向へと排出孔１０Ａ１を通じて外部に排出される。このようにポンプは水槽１０内でめっき液を一定方向に流通させ、めっき液が滞留するのを防止することにより、後記するウエーハ３１のめっき時に生成される「かす」がウエーハ３１に付着するのを防止するものである。
【００２６】
ここで、水槽１０の側板１０Ｂには、図１ないし図３に示すように、略凸形状をなした開口１７が形成されている。また、この開口１７は、水平方向に幅狭となった幅狭部１７Ａと、幅狭部１７Ａの下側に連続して形成されて水平方向に幅広となった幅広部１７Ｂとによって構成されている。そして、開口１７の幅狭部１７Ａの周縁には、コ字状をなす複数の溝部１８Ａ，１８Ａ，…が左右方向で対向して上下方向に沿って形成されている。また、水槽１０の側板１０Ｃには、側板１０Ｂの各溝部１８Ａとそれぞれ対応した高さ位置に、水平方向に沿って細長く延びる複数の他の溝部１８Ｂ，１８Ｂ，…が形成されている。さらに、水槽１０の側板１０Ｂには開口１７の周囲を取り囲むように略四角形の枠状体からなるシール部材１９が取り付けられている。また、側板１０Ｂと側板１０Ｄとの角隅部および側板１０Ｂと側板１０Ｅとの角隅部にはロック機構５０，５０の一部を構成する押え部材５１，５１が固定して取り付けられている。
【００２７】
陽極２０は、図８に示すように、アクリル等の絶縁材料を用いて四角形状に形成されると共に四角形状の凹溝２１Ａを有する陽極カートリッジ受け２１と、陽極カートリッジ受け２１の凹溝２１Ａ内に嵌合して設けられた銅やニッケル等の金属材料からなる長方形状の陽極板２２と、陽極カートリッジ受け２１との間で陽極板２２を挟持するアクリル等の絶縁材料からなる陽極カートリッジ押え２３と、陽極カートリッジ押え２３の表面（図８中の下面）に敷設された布等の繊維材料からなるアノードバック２４と、アノードバック２４を陽極カートリッジ押え２３との間で挟持するアクリル等の絶縁材料からなるアノードバック押え２５とによって構成されている。なお、アノードバック押え２５に形成した穴２５Ａの形状、大きさ等は、ウエーハ３１の被めっき面３１Ａの形状に合わせて適宜変更可能である。
【００２８】
ここで、陽極カートリッジ押え２３には、その前端部両側に位置して略長方形状をなす第１の嵌合突部２３Ａ，２３Ａが突設されている。また、陽極カートリッジ押え２３は、その後端部が陽極カートリッジ受け２１とアノードバック押え２５との間から後方に突出した第２の嵌合突部２３Ｂとなっている。そして、陽極２０は、図５ないし図７に示すように、第１の嵌合突部２３Ａが溝部１８Ａ，１８Ａに嵌合して取り付けられる（図５参照）と共に、第２の嵌合突部２３Ｂ（図８参照）が溝部１８Ｂに嵌合して取り付けられる。これにより、陽極２０は水槽１０のめっき液内で水平方向に三点支持で安定して保持される。なお、アノードバック２４は、ウエーハ３１のめっき時に生成される「かす」が陽極板２２に付着するのを防止するものである。
【００２９】
また、陽極カートリッジ受け２１には円形穴２１Ｂが穿設され、この円形穴２１Ｂに陽極側の伝導棒２６が上方から差し込まれることにより、陽極側の伝導棒２６の先端（下端）が陽極板２２に電気的に接触するようになっている。そして、この陽極側の伝導棒２６は、前記蓋板１６に穿設されたねじ穴（図示せず）にねじ込まれ、作業者が陽極側の伝導棒２６を回動することにより、陽極２０の高さに応じて陽極側の伝導棒２６の先端の高さ位置が調整可能になっている。
【００３０】
陰極３０は前記特許文献１に記載の陰極カートリッジとほぼ同様に構成され、陽極２０の下側に位置して陽極２０と平行でかつ水平に配置されている。そして、陰極３０は、被めっき物となる陰極板であるウエーハ３１と、ウエーハ３１の被めっき面３１Ａに電気を伝導させる伝導部材である陰極伝導体３２と、ウエーハ３１の表面側（被めっき面３１Ａ側）を覆い、陰極伝導体３２を保持するアクリル等の絶縁材料からなる第１の絶縁体３３と、ウエーハ３１の裏面側（被めっき面３１Ａの反対側）を覆い、ウエーハ３１を保持するアクリル等の絶縁材料からなる第２の絶縁体３４とから構成される。また、陰極伝導体３２は、環状の伝導板３２Ａと、伝導板３２Ａに電気的に接続された陰極側の伝導棒３２Ｂとによって構成されている。
【００３１】
そして、図２に示すように、陰極３０は、第１の絶縁体３３の前端部が後記する閉塞板４０に片持ち支持の状態で締結されている。また、陰極伝導体３２の伝導棒３２Ｂは水槽１０内に向けて水平方向から閉塞板４０を貫通し、伝導板３２Ａを介してウエーハ３１に電気的に接続されている。ここで、図１および図２に示すように、第１の絶縁体３３および閉塞板４０には、それぞれ伝導棒３２Ｂを挿通させるための挿通孔３３Ａ，４０Ａが設けられ、これら挿通孔３３Ａ，４０Ａを通じて伝導棒３２Ｂは閉塞板４０から外部に突出している。また、伝導棒３２Ｂと挿通孔３３Ａとの間、および伝導棒３２Ｂと挿通孔４０Ａとの間は、それぞれ１個の円筒状をなすシール部材７０（図５参照）により液密にシールされ、これにより挿通孔３３Ａ，４０Ａからのめっき液の漏洩を防止している。また、ウエーハ３１と第１の絶縁体３３との間、および第１の絶縁体３３と第２の絶縁体３４との間は、環状のシール部材（図示せず）を用いて液密にシールされている。
【００３２】
閉塞板４０は略四角形状の板材として形成され、シール部材１９の外縁部に締結されることにより開口１７を閉塞している。また、閉塞板４０の左右両側にはロック機構５０の一部を構成するレバー部材５２が回動可能に設けられている。そして、このレバー部材５２の先端を押え部材５１に引っ掛けることにより、閉塞板４０はシール部材１９側に強く押し付けられ、これにより、閉塞板４０と開口１７との間は液密にシールされ、開口１７からのめっき液の漏洩が防止される。
【００３３】
なお、図５に示す符号「６０」は水槽１０の上端側に前後方向に移動可能となった掻き混ぜ具で、この掻き混ぜ具６０は、図５ないし図７に示すように、前後両側にローラ６１，６１が回動可能に設けられた支持板６２と、支持板６２から垂下して設けられた垂直板６３，６３と、各垂直板６３の下端側を連結した連結棒６４とによって概ね構成されている。そして、支持板６２には掻き混ぜ具６０を外部から操作してこの掻き混ぜ具６０を前後方向に移動させるための操作板６５が設けられている。そして、この掻き混ぜ具６０は、操作板６５をアクチュエータ（図示せず）を用いて前後方向に動かすことにより各垂直板６３および連結棒６４でめっき液を掻き混ぜて、めっき液が水槽１０内で滞留するのを防止するものである。
【００３４】
このように構成される本実施の形態では、ポンプの電源を入れた後、陽極側の伝導棒２６を電源の陽極に接続し、陰極側の伝導棒３２Ｂを電源の陰極に接続することにより、陰極３０のウエーハ３１の被めっき面にめっき膜を形成する。
【００３５】
ここで、本実施の形態では、陰極３０を下側にして陽極２０を上側にしてこれら陽極２０および陰極３０を互いに平行でかつ水平に配置したので、めっき時に陰極３０のウエーハ３１の被めっき面から発生する水素を主成分とした気泡を、ウエーハ３１の被めっき面から上方へと上昇させて、外部に逃がすことができる。従って、めっき時にはウエーハ３１の被めっき面に沿って気泡が伝うことがなくなり、被めっき面に形成されるめっき膜の膜厚を全面に亘って均一にでき、めっき膜の品質を向上することができる。
【００３６】
また、陽極２０および陰極３０を水槽１０内に挿入するための開口１７を、水槽１０の側板１０Ｂに形成したので、陽極２０および陰極３０を、それぞれ開口１７を通じて水槽１０内に水平状態で容易に挿入することができ、陽極２０および陰極３０の水槽１０内への取り付けを簡単に行うことができ、これら陽極２０および陰極３０の取付時の作業効率を高めることができる。従って、従来技術で述べたように水槽全体を９０度回転させるような大掛かりな装置を不要にでき、装置を小型化、簡略化することができる。
【００３７】
また、水槽１０の側板１０Ｂには溝部１８Ａを設け、側板１０Ｃには溝部１８Ａと対応する高さ位置に溝部１８Ｂを設ける構成としたので、陽極２０をこれら溝部１８Ａ，１８Ｂに嵌合させるだけで陽極２０を水槽１０内で水平状態に保持することができ、陽極２０の取り付けを簡単に行うことができる。
【００３８】
また、水槽１０の側板１０Ｂには溝部１８Ａを上下方向に複数個配置し、側板１０Ｃについても溝部１８Ｂを上下方向に複数個配置する構成としたので、溝部１８Ａ，１８Ｂに対する陽極２０の取付位置を上下方向で変更することにより、陽極２０と陰極３０との間の間隔を変更することができ、これにより、陰極３０のウエーハ３１の被めっき面３１Ａに形成されるめっき膜の膜厚等を適宜に調整することができる。
【００３９】
さらに、陽極２０および陰極３０のうち上側に位置する陽極２０には、伝導棒２６を水槽１０内に向けて上方から下向きに差し込んで電気的に接続させると共に、伝導棒２６を陽極２０の高さに応じて高さ調整可能に水槽１０に対して支持させる構成としたので、陽極２０の高さに応じて伝導棒２６の高さを調整することにより、伝導棒２６を陽極板２２に容易に係合させることができる。
【００４０】
さらに、陰極３０を閉塞板４０に片持ち支持の状態で取り付ける構成としたので、陰極３０の取付時には、この陰極３０を予め閉塞板４０に取り付けておき、この状態で閉塞板４０を水槽１０に取り付けることにより、作業者が陰極３０を水槽１０の開口１７内にわざわざ手を延ばして取り付ける手間を省くことができ、陰極３０の取り付けを容易に行うことができる。
【００４１】
また、陽極２０および陰極３０のうち下側に位置する陰極３０には、陰極伝導体３２の伝導棒３２Ｂを水槽１０内に向けて水平方向から閉塞板４０を貫通させて電気的に接続させる構成としたので、伝導棒３２Ｂを伝導板３２Ａを介して陰極３０のウエーハ３１に電気的に容易に接続させることができる。
【００４２】
なお、実施の形態では、陽極２０を、その高さ位置を変更可能に水槽１０に取り付けると共に、陰極３０を閉塞板４０に取り付ける構成とした場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、陽極２０を閉塞板４０に取り付けると共に、陰極３０をその高さ位置を変更可能に水槽１０に取り付けるようにしてもよい。
【００４３】
また、実施の形態では、ウエーハ３１と第１の絶縁体３３との間、および第１の絶縁体３３と第２の絶縁体３４との間を、環状のシール部材（図示せず）のみを用いて液密にシールする構成とした場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、ウエーハ３１の裏面側をポンプ（図示せず）等を用いて負圧状態に保持することにより、ウエーハ３１全体を均等な押付力をもって前記シール部材に面接触させ、これによりシール部材のシール性能をより高めるようにしてもよい。この場合、シール部材７０は、前記環状のシール部材と共に、ウエーハ３１のうち被めっき面３１Ａ以外の部位にめっき液が浸入する不具合を防止するための機能も併せもつことができる。
【００４４】
さらに、実施の形態では、図５に示すように、掻き混ぜ具６０の連結棒６４を丸棒に形成した場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず、例えば断面四角形状、断面三角形状に形成してもよく、また、その他の形状に形成してもよいものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施の形態に係る電気めっき試験器を示す分解斜視図である。
【図２】図１中の陰極を閉塞板に取り付けた状態で電気めっき試験器を示す分解斜視図である。
【図３】実施の形態に用いる水槽を示す正面図である。
【図４】実施の形態に用いる水槽を示す左側面図である。
【図５】実施の形態に係る電気めっき試験器を示す左側面図である。
【図６】実施の形態に係る電気めっき試験器を示す正面図である。
【図７】閉塞板を取り外した状態で電気めっき試験器を示す正面図である。
【図８】実施の形態に用いる陽極を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００４６】
１      電気めっき試験器
１０    水槽
１０Ａ  底板
１０Ｂ  第１の側板
１０Ｃ  第２の側板
１０Ｄ  第３の側板
１０Ｅ  第４の側板
２０    陽極
２２    陽極板
２６    陽極側の伝導棒（伝導部材）
３０    陰極
３１    ウエーハ（陰極板）
３２    陰極伝導体（伝導部材）
３２Ｂ  陰極側の伝導棒
４０    閉塞板
【図１】
2006299367.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006299367.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2006299367.tif 000008
【図７】
2006299367.tif 000009
【図８】
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