(57)【要約】【課題】  基板収納容器に収納された基板の搬送中のたわみを抑制し、基板の取り扱いが容易で確実に運搬できるようにする。【解決手段】  枚葉基板収納容器９は、方形状の容器本体１０及び蓋１７から構成されている。容器本体１０は、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、支持部１４、複数の凹部１５、及び情報表示部１６を有し、蓋１７は、複数のリテーナ１８を有している。ウエハ収納部１１は、ウエハ７を収納する空間部分である。蓋収納部１２は、蓋１７を収納する空間部分であり、その上部に設けられた２つの凹部１５に蓋１７のストッパとしてのクランピング機構部１９をそれぞれ挿入することにより枚葉基板収納容器９が密封される。支持部１４は、ウエハ収納部１１の中央部に設けられ、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔よりも狭い円形状を有し、ウエハ７を容器本体１０の中央部に着座させる役目をする。【選択図】  図１
2006351707.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を着座する支持部と、
前記基板の端部を支持する基板ティースと、
第１の方向に開口する基板の搬送入口と、
を有する基板収納容器であって、
第１の方向と９０度の角度をなす第２の方向の前記支持部の幅は、前記基板を搭載し前記搬送入口から前記基板を搬送入するアームの間隔よりも狭いことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
基板を着座する複数の支持部と、
前記基板の端部を支持する基板ティースと、
第１の方向に開口する基板の搬送入口と、
を有する基板収納容器であって、
前記複数の支持部は、第１の方向と９０度の角度をなす第２の方向に隣り合う前記複数の支持部間の間隔が、前記基板を搭載し前記搬送入口から前記基板を搬送入するアームの幅よりも広いことを特徴とする基板収納容器。
【請求項３】
前記支持部は、前記基板を載置し、搬送する基板搬送装置のアームの間隔よりも狭い領域に配置形成され、円形、方形、多角形、或いは半球形であることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
搬送された基板を着座する支持部と、前記基板の端部を支持する基板ティースと、前記基板の搬送口として用いられ、前記基板を密封するために設けられた蓋収納部とを有する容器本体と、前記蓋収納部に挿入されて前記容器本体に勘合され、前記基板を密閉保存する蓋とを有する枚葉基板収納容器と、
前記蓋収納部を同一方向に揃え、前記枚葉基板収納容器を複数固定するホルダーと、
を具備することを特徴とする基板収納容器。
【請求項５】
前記基板収納容器の外壁面に設けられ、製造ロット番号、基板番号、或いは工程コードを表示し、読み取り及び書き込み可能な情報表示部を具備する請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、ＣＤ（Compact  Disk）、ＬＤ（Laser  Disk）、フォトレティクル用基板、ディスプレイパネル用基板などを収容する基板収納容器に係り、特に好適には半導体ウエハを収納する枚葉基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体ウエハの大口径化の進展に伴い、１枚あたりの半導体ウエハの重量が増大し、従来のピンセットを用いたハンドリング作業から自動搬送装置を用いた搬送作業及び保持作業に変更されてきている。あわせて、少量多品種生産を可能とするために、小ロット対応用の基板収納容器として、大口径半導体ウエハを１枚ずつ収納する枚葉基板収納容器、或いはこの枚葉基板収納容器を複数固定した専用基板収納容器が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
ところが、特許文献１などに記載されている枚葉基板収納容器では、ウエハ周辺部だけでウエハを保持し、ウエハ収納後に密閉用の半円盤形の蓋などで密閉しているので、大口径半導体ウエハ、例えば、自重が１００ｇ以上有する３００ｍｍφ（１２インチ）シリコンウエハでの搬送作業や保持作業の場合、作業性が低下する可能性が高くなる問題点がある。また、薄化した大口径シリコンウエハでの搬送作業や保持作業の場合、自重によりたわみやウエハの割れ・カケが発生する可能性が高くなる問題点がある。そして、上記問題点は、大口径シリコンウエハに限定されず、化合物半導体ウエハ、円盤表面の損傷を嫌うディスク体、フォトレティクル用基板、或いはディスプレイパネル用基板の搬送作業や保持作業においても発生する可能性がある。
【特許文献１】特開２００１−１４８４１７号公報（頁１０、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、搬送中のたわみを抑制し、取り扱いが容易で確実に運搬できる基板収納容器を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の一態様の基板収納容器は、基板を着座する支持部と、前記基板の端部を支持する基板ティースと、第１の方向に開口する基板の搬送入口と、を有する基板収納容器であって、第１の方向と９０度の角度をなす第２の方向の前記支持部の幅は、前記基板を搭載し前記搬送入口から前記基板を搬送入するアームの間隔よりも狭いことを特徴とする。
【０００６】
更に、上記目的を達成するために、本発明の他態様の基板収納容器は、基板を着座する複数の支持部と、前記基板の端部を支持する基板ティースと、第１の方向に開口する基板の搬送入口と、を有する基板収納容器であって、前記複数の支持部は、第１の方向と９０度の角度をなす第２の方向に隣り合う前記複数の支持部間の間隔が、前記基板を搭載し前記搬送入口から前記基板を搬送入するアームの幅よりも広いことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、搬送中のたわみを抑制し、取り扱いが容易で確実に運搬できる基板収納容器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【０００９】
まず、本発明の実施例１に係る基板収納容器について、図面を参照して説明する。図１はウエハ搬送機構と枚葉基板収納容器を示す上面図、図２はウエハ搬送機構を示す拡大側部断面図、図３は枚葉基板収納容器を示す拡大断面図で、図３（ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う拡大断面図、図３（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線に沿う拡大断面図である。本実施例では、枚葉基板収納容器に基板としての３００ｍｍφ（１２インチ）の大口径シリコンウエハを収納している。
【００１０】
図１に示すように、ウエハ搬送機構１には、搬送基体２、プレート３、複数の固定ネジ４、複数のアーム５、及び複数のウエハガイド６が設けられ、枚葉基板収納容器９は方形状の容器本体１０及び蓋１７から構成されている。ウエハ搬送機構１は、２本のアーム（ホークとも呼称される）５上に載置された基板としての３００ｍｍφ（１２インチ）のウエハ７を枚葉基板収納容器９の容器本体１０に搬入し、収納する。或いは、アーム５を用いて枚葉基板収納容器９の容器本体１０に収納されているウエハ７を容器本体１０の外部に搬出する。ここで、ウエハ７のオリフラ８は、ウエハ搬送機構１に設けられた２個のウエハガイド６により、常に一定な位置（左側）にセットされる。
【００１１】
枚葉基板収納容器９の容器本体１０には、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、支持部１４、複数の凹部１５、及び情報表示部１６が設けられ、例えば、軽くて錆びにくい金属であるチタンから構成され、ウエハ７のキズ・カケや発塵を防止するためにその表面を樹脂コート、例えば、導電性フッ素樹脂でコートされている。枚葉基板収納容器９の蓋１７は、複数のリテーナ１８を有し、枚葉基板収納容器９を密閉する役目をする。ここで、例えば、アーム幅Ａが３０ｍｍ、アーム間距離（アーム間隔）Ｂが１６０ｍｍ、ウエハ搬送入方向と９０度の方向の支持部幅Ｃが１００ｍｍに形成され、アーム５の内端と支持部１４の端との距離が３０ｍｍに形成されている。
【００１２】
ウエハ収納部１１は、ウエハ７を収納する空間部分である。蓋収納部１２は、蓋１７を収納する空間部分であり、その内壁面の上部に設けられた２つの凹部１５に蓋１７のストッパとしてのクランピング機構部１９をそれぞれ挿入し、嵌合することにより枚葉基板収納容器９が密封される。ウエハティース１３は、蓋収納部１２側を除く、右側、上側、及び下側の３方向に設けられ、ウエハ７を着座し、支持させる梁である。支持部１４は、円形状を有し、ウエハ収納部１１の中央部に設けられ、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔よりも狭い領域に配置され、ウエハ７を容器本体１０の中央部に着座させる役目をする。
【００１３】
情報表示部１６は、容器本体１０の外壁面の下面に設けられ、ＩＣカードやタグ（ＴＡＧ）システムからなり、ロット番号、ウエハ番号、工程コードなどの各種情報（工程情報）を表示し、枚葉基板収納容器９の外部から各種情報を読み出し及び書き込むことができる。ここで、情報表示部１６は、ＳＥＭＩ（Semiconductor  Equipment  and  Mechanical  Interface）規格Ｅ６２であるＦＩＭＳ（Front  Opening  Interface  Mechanical  Standard）インターフェースのロードポート上部に取り付けられているＩＤリーダにより、各種情報を読み取るために枚葉基板収納容器９の外壁面の下面に設けられている。なお、このロードポート対応以外の場合、情報表示部１６を枚葉基板収納容器９の周壁外周面の上面や側面に設けてもよい。
【００１４】
リテーナ１８は、蓋１７の容器本体１０との密閉面側に２個設けられ、ウエハ７を枚葉基板収納容器９に密閉するときのウエハ押え機構としての役目をする。
【００１５】
図２に示すように、ウエハ搬送機構１の搬送基体２は、樹脂コートされた金属から構成され、アーム５を垂直方向に昇降、或いは水平方向に搬送させる動作を行う。プレート３は、樹脂コートされた金属から構成され、搬送基体２の上面に４本の固定ネジ４により固定され、樹脂コートされた金属から構成された２本のウエハガイド及び２本のアーム７を有している。なお、搬送基体２の動作を制御する動作制御部については、図示及び説明を省略する。
【００１６】
図３（ａ）に示すように、枚葉基板収納容器９の容器本体１０は、ウエハ収納部１１の蓋収納部１２を除く周辺部に、ウエハ７を着座させる導電性樹脂からなるウエハティース１３を有している。ここで、ウエハティース１３を容器本体１０と同じ材質であるチタンで容器本体１０と一体整形し、その表面を導電性樹脂コートしてもよい。そして、容器本体１０の容器上部と容器下部の間隔は、中央部が狭く、周辺部が広い構造となっている。容器上部と支持部との間隔Ｄ１は、例えば、１３ｍｍ以上に形成され、支持部高さＨ１は、アーム５の厚さよりも大きく、例えば、アーム５の厚さが３ｍｍの場合、支持部高さＨ１は１２ｍｍ以上に形成されている。
【００１７】
ここで、ウエハ７を容器本体１０へ挿入するとき、アーム５上に載置されたウエハ７は、容器本体１０の周辺に設けられたウエハティース１３に接触後にアーム５を降下させることにより、ウエハティース１３及び支持部１４により支持される。一方、ウエハ７を容器本体１０から搬出するとき、支持部１４上に載置されたウエハ７は、アーム５を上昇させることにより、アーム５上に載置され、搬出される。
【００１８】
図３（ｂ）に示すように、枚葉基板収納容器９の蓋１７は、その断面が方形状を有し、ウエハ７のキズ・カケや発塵を防止するために導電性樹脂を用いている。
【００１９】
次に、大口径ウエハを収納した場合について、図４及び図５を参照して説明する。図４は、ウエハ収納時の枚葉基板収納容器を示す上面図、図５は図４のＣ−Ｃ線に沿う拡大断面図である。
【００２０】
図４に示すように、枚葉基板収納容器９は、容器本体１０及び蓋１７によりウエハ７を密閉保存し、大気中の異物や化学的な汚染からウエハ７を防御する役目を果たす。また、ウエハ７を固定する部分は、リテーナ１８で保持される２箇所、ウエハティース１３で保持される右側及び上下の３箇所、ウエハ７底面を保持する支持部１４の計６箇所である。
【００２１】
図５に示すように、ウエハ７は、右側のベベル面がウエハティース１３、左側のベベル面がリテーナ１８でそれぞれ固定されている。
【００２２】
ここで、枚葉基板収納容器９の各部の形状は、ＳＥＭＩ  Ｓｔａｎｄａｒｄに準拠し、枚葉ウエハ収納容器としてのＳＷＩＦ（Single  Wafer  Interface）アダプターで規格化されているＳＥＭＩ  Ｅ４７．１、ＳＥＭＩ  Ｅ６２などに準拠し、形成されるのが好ましい。
【００２３】
上述したように、本実施例の基板収納容器では、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、支持部１４、複数の凹部１５、及び情報表示部１６から構成される方形状の容器本体１０と、複数のリテーナ１８を有する方形状の蓋１７が設けられている。ウエハティース１３は、蓋収納部１２側を除く、右側、上側、及び下側の３方向に設けられ、ウエハ７を着座させる梁としての役目をする。支持部１４は、ウエハ収納部１１の中央部に設けられ、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔よりも狭い円形状を有し、ウエハ７を容器本体１０の中央部に着座させる役目をする。リテーナ１８は、蓋１７の容器本体１０との密閉面側に２個設けられ、ウエハ７を枚葉基板収納容器９に密閉するときのウエハ押え機構としての役目をする。
【００２４】
このため、ウエハ７は、リテーナ１８で保持される２箇所、ウエハティース１３で保持される右側及び上下の３箇所、ウエハ７底面を保持する支持部１４の計６箇所で固定収納されている。したがって、大口径のウエハ７、裏面研磨された薄化ウエハ、或いは先ダイシングされたウエハ等であっても、ウエハ割れやカケが発生せずに、ウエハを容易に、且つ安定して搬送作業及び保持作業を行うことができる。
【００２５】
なお、本実施例では、枚葉基板収納容器を３００ｍｍ（１２インチ）の大口径シリコンウエハの収納用として用いているが、シリコンウエハよりも脆弱な大口径ＧａＡｓウエハ、フォトレティクル用基板（フォトマスクとも呼称される）、液晶ディスプレイパネル用基板、プラズマディスプレイパネル用基板、ＣＤ、或いはＬＤなどの収納、運搬、及び保管用として用いることができる。また、基板収納容器の支持部を円形状にしているが、方形状や多角形状などの別形状にしてもよい。そして、支持部１４の表面（第一主面）に応力を緩和するために、例えば、導電性フッ素樹脂から構成される複数の突起を設けてもよい。更に、２５枚の大口径のウエハを収納できるＦＯＵＰに、ウエハを着座させるための支持部を設けてもよい。
【実施例２】
【００２６】
次に、本発明の実施例２に係る基板収納容器について、図面を参照して説明する。図６は枚葉基板収納容器を示す上面図である。本実施例では、枚葉基板収納容器の容器本体の支持部の形状を変更している。
【００２７】
以下、実施例１と同一構成部分には、同一符号を付してその部分の説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
【００２８】
図６に示すように、容器本体１０ａは、方形状の構造で、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、複数の支持部１４ａ、複数の凹部１５、及び情報表示部１６が設けられ、軽くて錆びにくい金属、例えば、チタンから構成され、ウエハ７のキズ・カケや発塵を防止するために、その表面を樹脂コート、例えば、導電性フッ素樹脂でコートされている。なお、枚葉基板収納容器の蓋は、実施例１と同一形状なので、図示及び説明を省略する。
【００２９】
支持部１４ａは、円形状を有し、ウエハ収納部１１の中央部に４個設けられている。そして、支持部１４ａは、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔よりも狭い領域に配置され、ウエハ７を容器本体１０の中央部に着座させる役目をする。
【００３０】
上述したように、本実施例の基板収納容器では、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、複数の支持部１４ａ、複数の凹部１５、及び情報表示部１６から構成される方形状の容器本体１０ａと、複数のリテーナ１８を有する方形状の蓋１７が設けられている。ウエハティース１３は、蓋収納部１２側を除く、右側、上側、及び下側の３方向に設けられ、ウエハ７を着座させる梁としての役目をする。支持部１４ａは、円形状を有し、ウエハ収納部１１の中央部に４個設けられ、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔よりも狭い領域に配置され、ウエハ７を容器本体１０ａの中央部に着座させる役目をする。リテーナ１８は、蓋１７の容器本体１０ａとの密閉面側に２個設けられ、ウエハ７を枚葉基板収納容器に密閉するときのウエハ押え機構としての役目をする。
【００３１】
このため、ウエハ７は、リテーナ１８で保持される２箇所、ウエハティース１３で保持される右側及び上下の３箇所、ウエハ７底面を保持する４個の支持部１４ａの計９箇所で固定収納されている。したがって、大口径のウエハ、裏面研磨された薄化ウエハ、或いは先ダイシングされたウエハ等であっても、ウエハ割れやカケが発生せずに、ウエハを容易に、且つ安定して搬送作業及び保持作業を行うことができる。
【００３２】
なお、本実施例では、枚葉基板収納容器の容器本体に円形状からなる支持部を４個設けているが、方形状からなる複数の支持部、或いは半球形状からなる複数の支持部などを設けてもよい。
【実施例３】
【００３３】
次に、本発明の実施例３に係る基板収納容器について、図面を参照して説明する。図７はウエハ搬送機構と枚葉基板収納容器を示す上面図である。本実施例ではウエハ搬送機構のアームの本数、及び枚葉基板収納容器の容器本体の支持部の形状を変更している。
【００３４】
以下、実施例１と同一構成部分には、同一符号を付してその部分の説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
【００３５】
図７に示すように、ウエハ搬送機構１ａには、搬送基体２、プレート３、複数の固定ネジ４、複数のアーム５ａ、及び複数のウエハガイド６が設けられ、枚葉基板収納容器９ａは方形状の容器本体１０ｂ及び蓋１７から構成されている。ウエハ搬送機構１ａは、３本のアーム５ａ上に載置された３００ｍｍφ（１２インチ）のウエハ７を枚葉基板収納容器９ａの容器本体１０ｂに搬入し、収納する。或いは、アーム５ａを用いて枚葉基板収納容器９ａの容器本体１０ｂに収納されているウエハ７を容器本体１０ｂの外部に搬出する。
【００３６】
枚葉基板収納容器９ａの容器本体１０ｂには、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、複数の支持部１４ｂ、複数の凹部１５、及び情報表示部１６が設けられ、軽くて錆びにくい軽金属、例えば、チタンから構成され、ウエハ７のキズ・カケや発塵を防止するために、その表面を樹脂コート、例えば、導電性フッ素樹脂でコートされている。
【００３７】
支持部１４ｂは、台形状を有し、上段のアーム５ａと中段のアーム５ａが搬送される空間部分、及び中段のアーム５ａと下段のアーム５ａが搬送される空間部分の２箇所で、且つウエハ収納部１１の中央部に２個設けられ、ウエハ搬送機構１ａのアーム５ａ間の間隔よりも狭い領域に配置され、ウエハ７を容器本体１０ｂの中央部に着座させる役目をする。
【００３８】
上述したように、本実施例の基板収納容器では、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、複数の支持部１４ｂ、複数の凹部１５、及び情報表示部１６から構成される方形状の容器本体１０ｂと、複数のリテーナ１８を有する方形状の蓋１７が設けられている。ウエハティース１３は、蓋収納部１２側を除く、右側、上側、及び下側の３方向に設けられ、ウエハ７を着座させる梁としての役目をする。支持部１４ｂは、台形状を有し、ウエハ収納部１１の中央部に２個設けられ、ウエハ搬送機構１ａのアーム５ａ間の間隔よりも狭い領域に配置され、ウエハ７を容器本体１０の中央部に着座させる役目をする。リテーナ１８は、蓋１７の容器本体１０との密閉面側に２個設けられ、ウエハ７を枚葉基板収納容器９ａに密閉するときのウエハ押え機構としての役目をする。
【００３９】
このため、ウエハ７は、リテーナ１８で保持される２箇所、ウエハティース１３で保持される右側及び上下の３箇所、ウエハ７底面を保持する２個の支持部１４ｂの計７箇所で固定収納されている。したがって、大口径のウエハ７、裏面研磨された薄化ウエハ、或いは先ダイシングされたウエハ等であっても、ウエハ割れやカケが発生せずに、ウエハを容易に、且つ安定して搬送作業及び保持作業を行うことができる。
【００４０】
なお、本実施例では、支持部１４ｂを台形状に形成しているが、円形状、方形状、或いは多角形状などの別形状にしてもよい。
【実施例４】
【００４１】
次に、本発明の実施例４に係る基板収納容器について、図面を参照して説明する。図８は基板収納容器を示す概略斜視図である。本実施例では、ホルダーを用いて複数の枚葉基板収納容器を一体化させている。
【００４２】
以下、実施例１と同一構成部分には、同一符号を付してその部分の説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
【００４３】
図８に示すように、基板収納容器２０は、略四角柱状を有し、複数の枚葉基板収納容器９とホルダー２１から構成され、枚葉基板収納容器９には、容器本体１０及び蓋１７とにより、大口径のウエハ７が密閉収納される。ホルダー２１は、蓋１７が設けられている開閉側を同一方向にした枚葉基板収納容器９を５個固定する役目をする。
【００４４】
ここで、ホルダー２１は、複数個の枚葉基板収納容器９を自由に固定可能な構造となっている。また、基板収納容器２０は、ＳＥＭＩ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｅ５７、Ｅ１．９、Ｅ４７．１などに準拠するＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）と同様に、ＳＥＭＩ規格Ｅ６２であるＦＩＭＳインターフェースのロードポートでの容器のローディング、蓋の開閉、及びウエハ７の自動搬送が可能な構造となっている。
【００４５】
上述したように、本実施例の基板収納容器では、容器本体１０及び蓋１７とにより、大口径のウエハ７を密閉収納する複数の枚葉基板収納容器９と、枚葉基板収納容器９を蓋１７が設けられている開閉側を同一方向にして同時に複数個自由に固定できるホルダー２１が設けられている。このため、２５枚の大口径のウエハ７を収納できるＦＯＵＰと同様に、ＦＩＭＳインターフェースのロードポートでの基板収納容器２０のローディング、蓋１７の自動開閉、及びウエハ７の自動搬送を行うことができる。
【実施例５】
【００４６】
次に、本発明の実施例５に係る基板収納容器について、図面を参照して説明する。図９は枚葉基板収納容器を示す上面図である。本実施例では、枚葉基板収納容器の容器本体及び蓋の形状を変更している。
【００４７】
図９に示すように、枚葉基板収納容器９ｂは、容器本体１０ｃ及び蓋１７ａから構成されている。容器本体１０ｃは、表面が導電性樹脂でコートされた金属で構成され、円形状を有し、右側半分にウエハ７を支持するためのウエハティース１３が設けられ、中央部にウエハ７を着座させるための円形状の支持部１４ｃが設けられている。蓋１７ａは、導電性樹脂から構成され、略円形状を有している。
【００４８】
次に、大口径ウエハを収納した場合について、図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は、ウエハ収納時の枚葉基板収納容器を示す上面図、図１１は図１０のＤ−Ｄ線に沿う拡大断面図である。
【００４９】
図１０に示すように、枚葉基板収納容器９ｂは、容器本体１０ｃ及び蓋１７ａによりウエハ７を密閉保存し、大気中の異物や化学的な汚染からウエハ７を防御する役目を果たす。また、ウエハ７は、ウエハティース１３で保持される容器本体１０ｃの右側半分、蓋１７ａの下部に設けられた複数のリテーナ１８で支持・固定される４箇所、及びウエハ７底面を保持する支持部１４ｃとで支持されている。
【００５０】
図１１に示すように、ウエハ７は、右側のベベル面がウエハティース１３、左側のベベル上面が図示しないリテーナ１８でそれぞれ固定されている。そして、枚葉基板収納容器９ｂは、容器本体１０ｃの左側面に設けられ、蓋１７ａと嵌合するための凹部１５、及び容器本体１０ｃの上部側に設けられ、蓋１７ａと嵌合するための凸部２２に、それぞれ蓋１７ａを嵌め合わせることによりウエハ７を密閉保存している。ここで、枚葉基板収納容器９ｂの各部の形状は、ＳＥＭＩ  Ｓｔａｎｄａｒｄに準拠し、形成されるのが好ましい。なお、情報表示部を容器本体１０ｃの外壁の側面、或いは外壁の下面に設けてもよく、容器本体１０ｃ及び蓋１７ａを方形状にしてもよい。
【００５１】
上述したように、本実施例の基板収納容器では、円形状を有し、右側半分にウエハ７を支持するためのウエハティース１３と、中央部にウエハ７を着座させるための円形状の支持部１４ｃを有する容器本体１０ｃと、略円形状を有する蓋１７ａが設けられている。
【００５２】
このため、ウエハ７の搬送が容易に行え、容器本体１０ｃ及び蓋１７ａによりウエハ７を密閉保存し、大気中の異物や化学的な汚染からウエハ７を防御することができる。
【実施例６】
【００５３】
次に、本発明の実施例６に係る基板収納容器について、図面を参照して説明する。図１２は枚葉基板収納容器を示す上面図、図１３は図１２のＥ−Ｅ線に沿う拡大断面図である。本実施例では、枚葉基板収納容器の容器本体の支持部の形状を変更している。
【００５４】
以下、実施例１と同一構成部分には、同一符号を付してその部分の説明を省略し、異なる部分のみ説明する。
【００５５】
図１２に示すように、容器本体１０ｄは、方形状の構造で、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、複数の支持部１４ｄ、複数の凹部１５、及び情報表示部１６が設けられ、軽くて錆びにくい金属、例えば、チタンから構成され、ウエハ７のキズ・カケや発塵を防止するために、その表面を樹脂コート、例えば、導電性フッ素樹脂でコートされている。なお、枚葉基板収納容器の蓋は、実施例１と同一形状なので図示及び説明は省略する。支持部１４ｄは、盃形状を有し、ウエハ収納部１１の中央部に４個設けられている。支持部１４ｄの設けられている領域は、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔よりも狭い。
【００５６】
図１３に示すように、支持部１４ｄは、ウエハ７を着座させる機能を有するウエハサポート部２３と、容器本体と接着するための固定部２４からなり、例えば、弾力性の強い金属から構成され、その表面を導電性フッ素樹脂でコートされている。そして、支持部１４ｄはウエハ７がウエハサポート部２３に載置された時、応力を緩和する板バネとして機能する。
【００５７】
上述したように、本実施例の基板収納容器では、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、複数の支持部１４ｄ、複数の凹部１５、及び情報表示部１６から構成される方形状の容器本体１０ｄと、複数のリテーナ１８を有する方形状の蓋１７が設けられている。ウエハティース１３は、蓋収納部１２側を除く、右側、上側、及び下側の３方向に設けられ、ウエハ７を着座させる梁としての役目をする。支持部１４ｄは、ウエハ収納部１１の中央部に４個設けられ、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔より狭い領域に配置され、ウエハ７を容器本体１０ｄの中央部に着座させる役目及び応力を緩和する板バネとして機能する。リテーナ１８は、蓋１７の容器本体１０ｄとの密閉面側に２個設けられ、ウエハ７を枚葉基板収納容器に密閉するときのウエハ押え機構としての役目をする。
【００５８】
このため、ウエハ７は、リテーナ１８で保持される２箇所、ウエハティース１３で保持される右側及び上下の３箇所、ウエハ７底面を保持する４個の支持部１４ｄの計９箇所で固定収納されている。したがって、大口径のウエハ、裏面研磨された薄化ウエハ、或いは先ダイシングされたウエハ等であっても、ウエハ割れやカケが発生せずに、ウエハを容易に、且つ安定して搬送作業及び保持作業を行うことができる。
【００５９】
本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々、変更してもよい。
【００６０】
例えば、実施例１乃至４では、容器本体は金属製であり、枚葉基板収納容器の内部にウエハが格納されているかの判断、及びウエハ情報の確認が困難であるが、容器本体の上面を金属から透明な樹脂に変更して、枚葉基板収納容器の内部にウエハが格納されているかの判断、及びウエハ情報の確認ができるようにしてもよい。また、実施例５で用いられている蓋、又は蓋の上面部分を透明な樹脂にして枚葉基板収納容器の内部にウエハが格納されているかの判断、及びウエハ情報の確認ができるようにしてもよい。
【００６１】
本発明は、以下の付記に記載されているような構成が考えられる。  
（付記１）  搬送された基板を着座する支持部と、前記基板の端部を支持する基板ティースと、前記基板の搬送口として用いられ、前記基板を密封するために設けられた蓋収納部と、前記蓋収納部の内壁面に設けられた凹部とを有する容器本体と、前記基板を押えるリテーナと、ストッパとしてのクランピング機構部とを有し、前記凹部にクランピング機構部が挿入されて前記容器本体に勘合され、前記基板を密閉保存する蓋とを具備する基板収納容器。
【００６２】
（付記２）  搬送された基板を着座する支持部と、前記基板の端部を支持する基板ティースと、前記基板の搬送口として用いられ、前記基板を密封するために設けられた蓋収納部と、前記蓋収納部の内壁面に設けられた凹部とを有し、表面が導電性樹脂でコートされた金属から構成される容器本体と、前記基板を押えるリテーナと、ストッパとしてのクランピング機構部とを有し、前記凹部にクランピング機構部が挿入されて前記容器本体に勘合され、前記基板を密閉保存する導電性樹脂の蓋とを具備する基板収納容器。
【００６３】
（付記３）  搬送された基板を着座する支持部、及び前記基板の端部を支持する基板ティースを有し、表面が導電性樹脂でコートされた金属から構成される容器本体と、前記基板上面を覆い、前記容器本体端部に挿入されて前記容器本体に勘合され、前記基板を密閉保存する導電性樹脂の蓋とを具備する基板収納容器。
【００６４】
（付記４）  搬送された基板を着座する基板サポート部及び前記基板サポート部を固定する固定部から構成されるバネ構造の支持部と、前記基板の端部を支持する基板ティースと、前記基板の搬送口として用いられ、前記基板を密封するために設けられた蓋収納部とを有する容器本体と、前記蓋収納部に挿入されて前記容器本体に勘合され、前記基板を密閉保存する蓋とを具備する基板収納容器。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施例１に係るウエハ搬送機構と枚葉基板収納容器を示す上面図。
【図２】本発明の実施例１に係るウエハ搬送機構を示す拡大側部断面図。
【図３】本発明の実施例１に係る枚葉基板収納容器を示す拡大断面図で、図３（ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う拡大断面図、図３（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線に沿う拡大断面図。
【図４】本発明の実施例１に係るウエハ収納時の枚葉基板収納容器を示す上面図。
【図５】図４のＣ−Ｃ線に沿う拡大断面図。
【図６】本発明の実施例２に係る枚葉基板収納容器を示す上面図。
【図７】本発明の実施例３に係るウエハ搬送機構と枚葉基板収納容器を示す上面図。
【図８】本発明の実施例４に係る基板収納容器を示す概略斜視図。
【図９】本発明の実施例５に係る枚葉基板収納容器を示す上面図。
【図１０】本発明の実施例５に係るウエハ収納時の枚葉基板収納容器を示す上面図。
【図１１】図１０のＤ−Ｄ線に沿う拡大断面図。
【図１２】本発明の実施例６に係る枚葉基板収納容器を示す上面図。
【図１３】図１２のＥ−Ｅ線に沿う拡大断面図。
【符号の説明】
【００６６】
１、１ａ  ウエハ搬送機構
２  搬送基体
３  プレート
４  固定ネジ
５、５ａ  アーム
６  ウエハガイド
７  ウエハ
８  オリフラ
９、９ａ、９ｂ  枚葉基板収納容器
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ  容器本体
１１  ウエハ収納部
１２  蓋収納部
１３  ウエハティース
１４、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ  支持部
１５  凹部
１６  情報表示部
１７、１７ａ  蓋
１８  リテーナ
１９  クランピング機構部
２０  基板収納容器
２１  ホルダー
２２  凸部
２３  ウエハサポート部
２４  固定部
Ａ  アーム幅
Ｂ  アーム間距離（アーム間隔）
Ｃ  支持部幅
Ｄ１  容器上部と支持部との間隔
Ｈ１  支持部高さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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