(57)【要約】【課題】発光効率が高い発光素子および発光装置を提供することを目的とする。また、従来よりも簡略化された方法により、前記発光素子を作製する方法を提供することを目的とする。【解決手段】一対の電極の間に発光領域を有し、発光領域は、複数種の発光量子収率の高い物質と、一種または複数種のキャリア輸送性の高い物質とを含み、発光領域は、キャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質が分散している領域と、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域とが交互に積層している構造を有する発光素子を提供する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極の間に発光領域を有し、
前記発光領域は、複数種の発光量子収率の高い物質と、一種または複数種のキャリア輸送性の高い物質とを含み、
前記発光領域は、前記キャリア輸送性の高い物質に前記発光量子収率の高い物質が分散している領域と、前記キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域とが交互に積層している構造を有することを特徴とする発光素子。
【請求項２】
請求項１において、前記キャリア輸送性の高い物質の最高被占軌道準位よりも前記発光量子収率の高い物質の最高被占軌道準位が高く、かつ、前記キャリア輸送性の高い物質の最低空軌道準位よりも前記発光量子収率の高い物質の最低空軌道が低いことを特徴とする発光素子。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記キャリア輸送性の高い物質に前記発光量子収率の高い物質が分散している領域の厚さは、２０ｎｍ以下であることを特徴とする発光素子。
【請求項４】
請求項１または請求項２において前記キャリア輸送性の高い物質に前記発光量子収率の高い物質が分散している領域の厚さは、５ｎｍ以下であることを特徴とする発光素子。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、前記キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域の厚さは、２０ｎｍ以下であることを特徴とする発光素子。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、前記キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域の厚さは、５ｎｍ以下であることを特徴とする発光素子。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、前記発光量子収率の高い物質が分散している領域は、前記発光量子収率の高い物質を０．００１ｗｔ％以上５０ｗｔ％以下の濃度で含むことを特徴とする発光素子。
【請求項８】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、前記発光量子収率の高い物質が分散している領域は、前記発光量子収率の高い物質を０．０３ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下の濃度で含むことを特徴とする発光素子。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一項において、
前記複数種の発光量子収率の高い物質は、互いに補色の関係にある色を発光する物質であることを特徴とする発光素子。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項８のいずれか一項において、
前記発光素子は白色発光することを特徴とする発光素子。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一項において、前記発光量子収率の高い物質は蛍光を発光することを特徴とする発光素子。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一項において、前記発光量子収率の高い物質は燐光を発光することを特徴とする発光素子。
【請求項１３】
請求項１２において、前記発光量子収率の高い物質の三重項準位は、前記キャリア輸送性の高い物質の三重項準位よりも低いことを特徴とする発光素子。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一項において、前記キャリア輸送性の高い物質は、正孔輸送性よりも電子輸送性の高い物質であることを特徴とする発光素子。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一項において、前記キャリア輸送性の高い物質は、電子輸送性よりも正孔輸送性の高い物質であることを特徴とする発光素子。
【請求項１６】
請求項１乃至請求項１５のいずれか一項に記載の発光素子と、前記発光素子の発光を制御する制御回路とを有する発光装置。
【請求項１７】
基板を保持する保持部と、蒸発源を保持する保持部と、前記基板を保持する保持部と前記蒸発源を保持する保持部との間に設けられた開口部を有する回転板と、
を有する蒸着装置を用い、
前記回転板を回転させることにより積層膜の膜厚を制御することを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１８】
基板を保持する保持部と、３つ以上の蒸発源を保持する保持部と、前記基板を保持する保持部と前記蒸発源を保持する保持部との間に設けられた複数の開口部を有する回転板と、
を有する蒸着装置を用い、
前記複数の蒸発源には、それぞれ、複数の発光量子収率の高い物質と、一種または複数のキャリア輸送性の高い物質とが、保持されており、
前記回転板を回転させることにより、前記複数の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、前記キャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質を分散した領域とを交互に形成していくことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１９】
基板を保持する保持部と、３つ以上の蒸発源を保持する保持部と、前記基板を保持する保持部と前記蒸発源を保持する保持部との間に設けられた第１の開口部と第２の開口部とを有する回転板と、
を有する蒸着装置を用い、
前記蒸発源には、それぞれ、複数の発光量子収率の高い物質と、一種または複数種のキャリア輸送性の高い物質と、が保持されており、
前記キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに前記第１の開口部の近くに存在するように配置され、
前記発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに前記第２の開口部の近くに存在するように配置され、
前記回転板を回転させることにより、
前記第１の開口部が、前記キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、前記基板上に前記キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域が形成され、
前記第２の開口部が、前記発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、前記基板上に前記発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域が形成され、
前記キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域と前記発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域が交互に形成されていくことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２０】
基板を保持する保持部と、複数の蒸発源を保持する保持部と、前記基板を保持する保持部と前記蒸発源を保持する保持部との間に設けられた第１の開口部と第２の開口部とを有する回転板と、
を有する蒸着装置を用い、
前記複数の蒸発源には、それぞれ、ｎ（ｎは２以上の整数）種の発光量子収率の高い物質と、キャリア輸送性の高い物質と、が保持されており、
前記キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに前記第１の開口部の近くに存在するように配置され、
互いに異なる発光量子収率の高い物質が保持されたｎ個の蒸発源は、回転板が回転したときに前記第２の開口部の近くに存在するように配置され、
前記回転板を回転させることにより、
前記第１の開口部が、前記キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、前記基板上に前記キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域が形成され、
前記第２の開口部が、前記発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、前記基板上に前記発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域が形成され、
ｎ種の発光量子収率の高い物質の濃度が高い各領域の間に、前記キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域が形成されていることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２１】
請求項１８乃至請求項２０のいずれか一項において、
前記キャリア輸送性の高い物質の最高被占軌道準位よりも前記発光量子収率の高い物質の最高被占軌道準位が高く、かつ、前記キャリア輸送性の高い物質の最低空軌道準位よりも前記発光量子収率の高い物質の最低空軌道が低いことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２２】
請求項１８乃至請求項２１のいずれか一項において、
前記発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域の厚さは、２０ｎｍ以下であることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２３】
請求項１８乃至請求項２１のいずれか一項において、
前記発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域の厚さは、５ｎｍ以下であることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２４】
請求項１８乃至請求項２３のいずれか一項において、
前記キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域の厚さは、２０ｎｍ以下であることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２５】
請求項１８乃至請求項２３のいずれか一項において、
前記キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域の厚さは、５ｎｍ以下であることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２６】
請求項１８乃至請求項２５のいずれか一項において、前記発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域は、前記発光量子収率の高い物質を０．００１ｗｔ％以上５０ｗｔ％以下の濃度で含むことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２７】
請求項１８乃至請求項２５のいずれか一項において、前記発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域は、前記発光量子収率の高い物質を０．０３ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下の濃度で含むことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２８】
請求項１８乃至請求項２７のいずれか一項において、
前記複数種の発光量子収率の高い物質は、互いに補色の関係にある色を発光する物質であることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２９】
請求項１８乃至請求項２７のいずれか一項において、
前記発光素子は白色発光をすることを特徴とする発光素子の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子およびそれを備えた発光装置に関する。また、発光素子を作製する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、発光性の有機化合物を用いた発光素子の研究開発が盛んに行われている。これら発光素子の基本的な構成は、一対の電極間に発光性の有機化合物を含む層を挟んだものである。この素子に電圧を印加することにより、一対の電極から電子および正孔がそれぞれ発光性の有機化合物を含む層に注入され、電流が流れる。そして、それらキャリア（電子および正孔）が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。このようなメカニズムから、このような発光素子は、電流励起型の発光素子と呼ばれる。
【０００３】
なお、有機化合物が形成する励起状態の種類としては、一重項励起状態と三重項励起状態が可能であり、一重項励起状態からの発光が蛍光、三重項励起状態からの発光が燐光と呼ばれている。
【０００４】
このような発光素子は、例えば膜厚が０．１μｍ程度の有機薄膜で形成されるため、薄型軽量に作製できることが大きな利点である。また、キャリアが注入されてから発光に至るまでの時間は１μ秒程度あるいはそれ以下であるため、非常に応答速度が速いことも特長の一つである。これらの特性は、フラットパネルディスプレイ素子として好適であると考えられている。
【０００５】
また、これらの発光素子は膜状に形成されるため、大面積の素子を形成することにより、面状の発光を容易に得ることができる。このことは、白熱電球やＬＥＤに代表される点光源、あるいは蛍光灯に代表される線光源では得難い特色であるため、照明等に応用できる面光源としての利用価値も高い。
【０００６】
このように、発光性の有機化合物を用いた電流励起型の発光素子は、表示装置や照明等への応用が期待されているが、未だ課題も多い。その課題の一つとして、発光効率の向上が挙げられる。
【０００７】
例えば、発光素子を用いてカラー表示を行う表示装置を作製する場合、白色の発光素子とカラーフィルタを用いて赤、緑、青の三原色を得る方法がある。この場合、発光素子からの発光は、赤のカラーフィルタでは、赤の光だけが透過し、他の波長の光は遮られてしまう。同様に、緑、青のカラーフィルタでも、それぞれ緑、青の光だけが透過し、他の波長の光は遮られてしまう。つまり、カラーフィルタを通過するときに、発光素子からの発光の約２／３は外部に取り出されず無駄となってしまう。よって、より発光効率の高い白色発光素子が求められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記問題に鑑み、本発明は、発光効率が高い発光素子、およびそれを用いた発光装置を提供することを目的とする。また、発光効率が高い発光素子を作製する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、鋭意検討を重ねた結果、多重量子井戸構造を有する発光領域を有する発光素子を作製することにより、本課題が解決できることを見いだした。
【００１０】
よって、本発明の発光素子の一は、一対の電極の間に発光領域を有し、発光領域は、複数種の発光量子収率の高い物質と、一種または複数種のキャリア輸送性の高い物質とを含む。発光領域は、キャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質が分散している領域と、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域とが交互に積層している構造を有することを特徴とする。すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域とが交互に積層している構造を有することを特徴とする。
【００１１】
例えば、二種の発光量子収率の高い物質と、一種のキャリア輸送性の高い物質とを有する発光領域である場合、発光領域は、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、キャリア輸送性の高い物質に第１の発光量子収率の高い物質が分散している領域、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、キャリア輸送性の高い物質に第２の発光量子収率の高い物質が分散している領域が順に積層している構造を有する。
【００１２】
また、例えば、三種の発光量子収率の高い物質と、一種のキャリア輸送性の高い物質とを有する発光領域である場合、発光領域は、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、キャリア輸送性の高い物質に第１の発光量子収率の高い物質が分散している領域、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、キャリア輸送性の高い物質に第２の発光量子収率の高い物質が分散している領域、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、キャリア輸送性の高い物質に第３の発光量子収率の高い物質が分散している領域、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域が順に積層している構造を有する。
【００１３】
上記構成において、キャリア輸送性の高い物質の最高被占軌道準位よりも発光量子収率の高い物質の最高被占軌道準位が高く、かつ、キャリア輸送性の高い物質の最低空軌道準位よりも発光量子収率の高い物質の最低空軌道準位が低いことを特徴とする。
【００１４】
また、上記構成において、キャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質が分散している領域の厚さは、２０ｎｍ以下、より好ましくは５ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１５】
また、上記構成において、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、すなわち発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域の厚さは、２０ｎｍ以下、より好ましくは５ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１６】
また、上記構成において、発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域は、発光量子収率の高い物質を０．００１ｗｔ％以上５０ｗｔ％以下の濃度で含むことを特徴とする。より好ましくは、発光量子収率の高い物質を０．０３ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下の濃度で含むことを特徴とする。
【００１７】
また、上記構成において、複数種の発光量子収率の高い物質は、互いに補色の関係にある色を発光する物質であることを特徴とする。
【００１８】
また、上記構成において、発光素子は白色発光をすることを特徴とする。
【００１９】
また、上記構成において、発光量子収率の高い物質は蛍光を発光する物質であってもよいし、燐光を発光する物質であってもよい。なお、燐光を発光する物質であった場合、発光量子収率の高い物質の三重項準位は、キャリア輸送性の高い物質の三重項準位よりも低いことが好ましい。
【００２０】
また、上記構成において、キャリア輸送性の高い物質は、正孔輸送性よりも電子輸送性の高い物質であってもよいし、電子輸送性よりも正孔輸送性の高い物質であってもよい。
【００２１】
また、本発明は、上述した発光素子を有する発光装置も範疇に含めるものである。本明細書中における発光装置とは、発光素子と、発光素子の発光を制御する制御回路とを有するものである。具体的には、画像表示装置、もしくは光源（照明装置を含む）を含む。また、発光装置にコネクター、例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）もしくはＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープもしくはＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）が取り付けられたモジュール、ＴＡＢテープやＴＣＰの先にプリント配線板が設けられたモジュール、または発光素子にＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）方式によりＩＣ（集積回路）が直接実装されたモジュールも全て発光装置に含むものとする。
【００２２】
また、本発明は、上述した発光素子を作製する方法を提供するものである。よって、本発明の発光素子の作製方法の一は、基板を保持する保持部と、蒸発源を保持する保持部と、基板を保持する保持部と蒸発源を保持する保持部との間に設けられた開口部を有する回転板と、を有する蒸着装置を用い、回転板を回転させることにより積層膜の膜厚を制御することを特徴とする。
【００２３】
また、本発明の発光素子の作製方法の一は、基板を保持する保持部と、３つ以上の蒸発源を保持する保持部と、複数の開口部を有する回転板と、を有する蒸着装置を用いる。そして、複数の蒸発源には、それぞれ、複数の発光量子収率の高い物質と、一種または複数のキャリア輸送性の高い物質とが、保持されており、回転板を回転させることにより、複数の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質を分散した領域とを交互に形成していくことを特徴とする。すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域とが交互に積層していくことを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の発光素子の作製方法の一は、基板を保持する保持部と、３つ以上の蒸発源を保持する保持部と、基板を保持する保持部と蒸発源を保持する保持部との間に設けられた第１の開口部と第２の開口部とを有する回転板と、を有する蒸着装置を用いる。そして、蒸発源には、それぞれ、複数の発光量子収率の高い物質と、一種または複数種のキャリア輸送性の高い物質と、が保持されている。キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第１の開口部の近くに存在するように配置され、発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置され、回転板を回転させることにより、第１の開口部が、キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上にキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域が形成され、第２の開口部が、発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域が形成され、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域と発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域が交互に形成されていくことを特徴とする。すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域とが交互に積層していくことを特徴とする。
【００２５】
また、本発明の発光素子の作製方法の一は、基板を保持する保持部と、複数の蒸発源を保持する保持部と、基板を保持する保持部と蒸発源を保持する保持部との間に設けられた第１の開口部と第２の開口部とを有する回転板と、を有する蒸着装置を用いる。そして、複数の蒸発源には、それぞれ、ｎ（ｎは２以上の整数）種の発光量子収率の高い物質と、キャリア輸送性の高い物質と、が保持されている。キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第１の開口部の近くに存在するように配置され、互いに異なる発光量子収率の高い物質が保持されたｎ個の蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置されている。そして、回転板を回転させることにより、第１の開口部が、キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上にキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域が形成され、第２の開口部が、発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域が形成され、ｎ種の発光量子収率の高い物質の濃度が高い各領域の間に、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域が形成されていることを特徴とする。すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域とが交互に積層していくことを特徴とする。
【００２６】
また、本発明の発光素子の作製方法の一は、基板を保持する保持部と、複数の蒸発源を保持する保持部と、基板を保持する保持部と蒸発源を保持する保持部との間に設けられた第１の開口部と第２の開口部とを有する回転板と、を有する蒸着装置を用いる。そして、蒸発源には、それぞれ、２種の発光量子収率の高い物質と、キャリア輸送性の高い物質と、が保持されている。キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第１の開口部の近くに存在するように配置され、第１の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置され、第２の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置されている。そして、回転板を回転させることにより、第１の開口部が、キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上にキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第１の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第１の開口部が、キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上にキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第２の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第１の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第２の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を繰り返し形成していくことを特徴とする。すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域とが交互に積層していくことを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の発光素子の作製方法の一は、基板を保持する保持部と、複数の蒸発源を保持する保持部と、基板を保持する保持部と蒸発源を保持する保持部との間に設けられた第１の開口部と第２の開口部とを有する回転板と、を有する蒸着装置を用いる。そして、複数の蒸発源には、それぞれ、３種の発光量子収率の高い物質と、キャリア輸送性の高い物質と、が保持されている。キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第１の開口部の近くに存在するように配置され、第１の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置され、第２の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置され、第３の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置されている。そして、回転板を回転させることにより、第１の開口部が、キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上にキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第１の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第１の開口部が、キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上にキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第２の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第１の開口部が、キャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上にキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第３の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第１の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第２の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第３の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を繰り返し形成していくことを特徴とする。すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域とが交互に積層していくことを特徴とする。
【００２８】
また、本発明の発光素子の作製方法の一は、基板を保持する保持部と、複数の蒸発源を保持する保持部と、基板を保持する保持部と蒸発源を保持する保持部との間に設けられた第１の開口部と第２の開口部とを有する回転板と、を有する蒸着装置を用いる。そして、複数の蒸発源には、それぞれ、２種の発光量子収率の高い物質と、２種のキャリア輸送性の高い物質と、が保持されている。第１のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第１の開口部の近くに存在するように配置され、第２のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第１の開口部の近くに存在するように配置され、第１の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置され、第２の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置されている。そして、回転板を回転させることにより、第１の開口部が、第１のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に第１のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第１の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第１の開口部が、第２のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に第２のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第２の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第１のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第１の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域、第２のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第２の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を繰り返し形成していくことを特徴とする。すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域とが交互に積層していくことを特徴とする。
【００２９】
また、本発明の発光素子の作製方法の一は、基板を保持する保持部と、複数の蒸発源を保持する保持部と、基板を保持する保持部と蒸発源を保持する保持部との間に設けられた第１の開口部と第２の開口部とを有する回転板と、を有する蒸着装置を用いる。そして、複数の蒸発源には、それぞれ、三種の発光量子収率の高い物質と、三種のキャリア輸送性の高い物質と、が保持されている。第１のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第１の開口部の近くに存在するように配置され、第２のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第１の開口部の近くに存在するように配置され、第３のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第１の開口部の近くに存在するように配置され、第１の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置され、第２の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置され、第３の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源は、回転板が回転したときに第２の開口部の近くに存在するように配置されている。そして、回転板を回転させることにより、第１の開口部が、第１のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に第１のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第１の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第１の開口部が、第２のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に第２のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第２の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第１の開口部が、第３のキャリア輸送性の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に第３のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第２の開口部が、第３の発光量子収率の高い物質が保持された蒸発源の近くに位置しているとき、基板上に発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成し、第１のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第１の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域、第２のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第２の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域、第３のキャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域、第３の発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を繰り返し形成していくことを特徴とする。すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域とが交互に積層していくことを特徴とする。
【００３０】
上記構成において、キャリア輸送性の高い物質の最高被占軌道準位よりも発光量子収率の高い物質の最高被占軌道準位が高く、かつ、キャリア輸送性の高い物質の最低空軌道準位よりも発光量子収率の高い物質の最低空軌道が低いことを特徴とする。また、上記構成において、発光性が高い物質とは、発光素子に通電した際に、発光する物質であり、キャリア輸送性の高い物質とは、発光素子に通電した際に、発光中心である発光性が高い物質にキャリアを効率良く注入する物質である。また、発光量子収率の高い物質は、同一濃度の溶液において、上記キャリア輸送性の高い物質よりも発光量子収率が高くてもよい。一方キャリア輸送性が高い物質は、上記発光性の高い物質に比べてキャリアの移動度が高くても良い。また、発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域や発光量子収率の高い物質がキャリア輸送性の高い物質中に分散している領域においては、発光量子収率の高い物質の濃度がキャリア輸送性の高い物質の濃度よりも高くても良い。また、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域においては、キャリア輸送性の高い物質の濃度が発光量子収率の高い物質の濃度よりも高くても良い。
【００３１】
また、上記構成において、キャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質が分散している領域の厚さは、２０ｎｍ以下、より好ましくは５ｎｍ以下であることが好ましい。
【００３２】
また、上記構成において、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域は、２０ｎｍ以下、より好ましくは５ｎｍ以下であることが好ましい。
【００３３】
また、上記構成において、発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域は、発光量子収率の高い物質を０．００１ｗｔ％以上５０ｗｔ％以下の濃度で含むことを特徴とする。より好ましくは、発光量子収率の高い物質を０．０３ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下の濃度で含むことを特徴とする。
【００３４】
また、上記構成において、複数種の発光量子収率の高い物質は、互いに補色の関係にある色を発光する物質であることを特徴とする。なお、補色とは、混合すると無彩色になる色同士の関係をいう。つまり。補色の関係にある色を発光する物質の発光を混合すると、白色発光を得ることができる。
【００３５】
また、上記構成において、発光素子は白色発光をすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】
本発明の発光素子は、発光領域が多重量子井戸構造を有するため、発光効率が高い。また、複数の発光量子収率の高い物質を含むため、所望の色、例えば白色の発光をし、かつ発光効率の高い発光素子を得ることができる。
【００３７】
また、本発明の発光装置は、発光効率の高い発光素子を有しているため、消費電力が低い。
【００３８】
また、本発明の発光素子の作製方法は、複数の発光量子収率の高い物質を含む多重量子井戸構造を有する発光領域を容易に形成することができるため、本発明の発光素子の作製方法を用いることにより、スループットを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本発明の実施の態様について図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００４０】
（実施の形態１）
【００４１】
本実施の形態では、本発明の発光素子、特に発光領域について説明する。
【００４２】
本発明の発光素子の発光領域は、多重量子井戸構造を有する。具体的には、キャリア輸送性が高く結晶化しにくい物質（以下、ホスト材料という）と、発光量子収率の高い物質（以下、ゲスト材料という）とを組み合わせて構成される。
【００４３】
キャリア輸送性が高い物質としては、例えば、テトラフェニルシランやテトラ（３−メチルフェニル）シランなどのケイ素化合物、９，１０−ジフェニルアントラセンや９，１０−ジ（２−ナフチル）アントラセンなどのアントラセン誘導体、１０、１０’−ジフェニル９、９’−ジアントラセンなどのビアントリル誘導体、１，３，６，８−テトラフェニルピレンなどのピレン誘導体、４，４’−ジ（Ｎ−カルバゾリル）ビフェニルなどのカルバゾール誘導体、４，４’−ビス（５−メチルベンゾオキサゾール−２−イル）スチルベンなどのオキサゾール誘導体、４，４’−ビス（２，２−ジフェニルエテニル）ビフェニルなどのスチルベン誘導体などが挙げられる。あるいは、電子輸送性の高い物質を用いてもよく、例えば、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（略称：Ａｌｑ３）、トリス（４−メチル−８−キノリノラト）アルミニウム（略称：Ａｌｍｑ３）、ビス（１０−ヒドロキシベンゾ［ｈ］−キノリナト）ベリリウム（略称：ＢｅＢｑ２）、ビス（２−メチル−８−キノリノラト）−（４−ヒドロキシ−ビフェニリル）−アルミニウム（略称：ＢＡｌｑ）、ビス［２−（２−ヒドロキシフェニル）−ベンゾオキサゾラト］亜鉛（略称：Ｚｎ（ＢＯＸ）２）、ビス［２−（２−ヒドロキシフェニル）−ベンゾチアゾラト］亜鉛（略称：Ｚｎ（ＢＴＺ）２）などの典型金属錯体が挙げられる。また、３−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−４−（４−エチルフェニル）−５−（４−ビフェニリル）−１，２，４−トリアゾールなどのトリアゾール誘導体、バソフェナントロリンやバソキュプロインなどのフェナントロリン誘導体を用いても良い。あるいはポリ（Ｎ−ビニルカルバゾール）やポリ（フェニレンビニレン）などの高分子材料を用いても構わない。
【００４４】
なお、キャリア輸送性の高い物質のＨＯＭＯ（最高被占軌道）準位は発光量子収率の高い物質のＨＯＭＯ準位よりも低く、キャリア輸送性の高い物質のＬＵＭＯ（最低空軌道）準位は発光量子収率の高い物質のＬＵＭＯ準位よりも高いことが好ましい。例えば、キャリア輸送性の高い物質のＨＯＭＯ準位は−５．３ｅＶから−６．０ｅＶであり、ＬＵＭＯ準位は−２．０ｅＶから−２．６ｅＶであることが好ましい。
【００４５】
発光量子収率の高い物質としては、蛍光発光材料、燐光発光材料のどちらも用いることができる。これらの発光材料としては、具体的には、クマリン６やクマリン５４５Ｔなどのクマリン誘導体、Ｎ，Ｎ’−ジメチルキナクリドンやＮ、Ｎ’−ジフェニルキナクリドンなどのキナクリドン誘導体、Ｎ−フェニルアクリドンやＮ−メチルアクリドンなどのアクリドン誘導体、ルブレンや９，１０−ジフェニルアントラセン、２、５、８、１１−テトラ−ｔ−ブチルペリレンなどの縮合芳香族化合物、４−ジシアノメチレン−２−［ｐ−（ジメチルアミノ）スチリル］６−メチル−４Ｈ−ピランなどのピラン誘導体、４−（２，２−ジフェニルビニル）トリフェニルアミンなどのアミン誘導体などが挙げられる。燐光発光材料としては、ビス｛２−（４−トリル）ピリジナート｝アセチルアセトナートイリジウム（ＩＩＩ）やビス｛２−（２’−ベンゾチエニル）ピリジナート｝アセチルアセトナートイリジウム（ＩＩＩ）、ビス｛２−（４、６−ジフルオロフェニル）ピリジナート｝ピコリナートイリジウム（ＩＩＩ）などのイリジウム錯体、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８−オクタエチル−２１Ｈ，２３Ｈ−ポルフィリン−白金錯体などの白金錯体、４，７−ジフェニル−１，１０−フェナントロリントリス（２−テノイルトリフルオロアセトナト）ユーロピウム（ＩＩＩ）などの希土類錯体などが挙げられる。
【００４６】
なお、上記の材料を適宜組み合わせて所望の色の発光を得ることができる。例えば、クマリン誘導体、キナクリドン誘導体、アクリドン誘導体、９，１０−ジフェニルアントラセン、２、５、８、１１−テトラ−ｔ−ブチルペリレン、４−（２，２−ジフェニルビニル）トリフェニルアミン、ビス｛２−（４−トリル）ピジナート｝アセチルアセトナートイリジウム（ＩＩＩ）などの青色から緑色に発光する材料と、ルブレン、ピラン誘導体、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８−オクタエチル−２１Ｈ，２３Ｈ−ポルフィリン−白金錯体、４，７−ジフェニル−１，１０−フェナントロリントリス（２−テノイルトリフルオロアセトナト）ユーロピウム（ＩＩＩ）などの赤色から黄色に発光する材料とを組み合わせることで、白色発光をする発光素子を得ることができる。
【００４７】
これらの発光量子収率の高い物質をキャリア輸送性の高い物質に添加することにより、発光領域を形成する。本発明の発光素子の発光領域は、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質が分散している領域とが交互に積層されている構成を有している。つまり、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が周期的に変化している構造を有している。具体的には、キャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質が分散している領域は、０．００１ｗｔ％以上５０ｗｔ％以下、好ましくは０．０３ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下の割合で発光量子収率の高い物質が添加されている。
【００４８】
なお、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域とキャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質が分散している領域は、交互に積層されており、各領域の厚さは２０ｎｍ以下、より好ましくは５ｎｍ以下であることが好ましい。
【００４９】
また、キャリア輸送性の高い物質に発光量子収率の高い物質を分散するのではなく、発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域を形成してもよい。すなわち、発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域とが交互に積層されている構成を有していてもよい。この場合も、発光量子収率の高い物質の濃度が周期的に変化している構造を有している。
【００５０】
なお、キャリア輸送性の高い物質の濃度が高い領域と発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域は、交互に積層されており、各領域の厚さは２０ｎｍ以下、より好ましくは５ｎｍ以下であることが好ましい。
【００５１】
ここで、キャリア輸送性の高い物質と、発光量子収率の高い物質との組み合わせとしては、キャリア輸送性の高い物質のＨＯＭＯ（最高被占軌道）準位よりも発光量子収率の高い物質のＨＯＭＯ準位が高く、かつ、キャリア輸送性の高い物質のＬＵＭＯ（最低空軌道）準位よりも発光量子収率の高い物質のＬＵＭＯ準位が低いことが必要である。この条件を満たすことにより、多重量子井戸構造を形成することができる。
【００５２】
また、発光量子収率の高い物質として燐光発光材料を用いる場合には、燐光発光材料の三重項準位がキャリア輸送性の高い物質の三重項準位よりも低いことが必要である。
【００５３】
また、キャリア輸送性の高い物質の発光スペクトルと、発光量子収率の高い物質の吸収スペクトルとの重なりがあることが好ましい。特に、キャリア輸送性の高い物質の発光と発光量子収率の高い物質の吸収に重なりが大きいと、キャリア輸送性の高い物質から発光量子収率の高い物質へのエネルギー移動がより効率よく起こるため、好ましい。
【００５４】
本発明の発光素子のエネルギー準位についてより詳しく説明する。本発明の発光素子のエネルギー準位を示す概略図を図３に示す。図３において、第１の電極１０２から注入された正孔は、正孔注入性の高い物質を含む第１の層１０３、正孔輸送性の高い物質を含む第２の層１０４を経て、発光領域である第３の層１０５へ輸送される。第２の電極１０７から注入された電子は電子輸送性の高い物質を含む第４の層１０６を経て、発光領域である第３の層１０５へ輸送される。第３の層１０５において正孔と電子とが再結合し、発光する。第３の層１０５は、発光量子収率の高い物質とキャリア輸送性の高い物質とを含み、多重量子井戸構造を有している。
【００５５】
発光素子の発光効率を向上させるためには、発光領域に注入される電子および正孔のバランスが重要である。発光効率を向上させるためには、電子または正孔の一方が過多になるのではなく、ほぼ同量の電子と正孔が注入されることが好ましい。また、発光領域に注入された電子と正孔は効率良く再結合することが望まれる。また、発光領域で再結合せずに陽極まで到達する電子、発光領域で再結合せずに陰極まで到達するホールの量を減らすことも重要である。
【００５６】
そのためには、発光領域に多数の再結合領域が存在する多重量子井戸構造を形成することが好ましい。
【００５７】
なお、一つの井戸に電子や正孔が強くトラップされ、次の井戸に移動できない場合には、電子と正孔の再結合効率が低くなり、多重量子井戸構造の効果である高い発光効率は得られない。つまり、一つの井戸に電子や正孔が強くトラップされることなく、電子や正孔が次の井戸に移動することが必要である。このためには、キャリア輸送性の高い物質と発光量子収率の高い物質のＨＯＭＯ準位、ＬＵＭＯ準位を考慮し、井戸の深さ、障壁の高さを最適化することが重要である。なお、電子にとっての井戸の深さ、障壁の高さとは、キャリア輸送性の高い物質のＬＵＭＯ準位と発光量子収率の高い物質のＬＵＭＯ準位との差であり、正孔にとっての井戸の深さ、障壁の高さとは、キャリア輸送性の高い物質のＨＯＭＯ準位と発光量子収率の高い物質のＨＯＭＯ準位との差である。
【００５８】
図３は、キャリア輸送性の高い物質（ホスト材料）の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質（ホスト材料）に発光量子収率の高い物質（ゲスト材料）が分散された領域とが交互に積層した構成を示している。すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域と、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域とが交互に積層した構成となっている。図３において、キャリア輸送性の高い物質（ホスト材料）の濃度が高い領域、すなわち、キャリア輸送性の高い物質に含まれる発光量子収率の高い物質の濃度が低い領域は障壁として機能し、発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域は井戸として機能する。発光領域である第３の層１０５に注入された正孔は、発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域（井戸）に入り、電子と再結合する。最初の井戸を通り抜けた正孔は第２の井戸に入り、電子と再結合する。井戸が多数形成されていることにより、正孔は井戸にトラップされ、電子との再結合確率が向上する。電子についても同様であり、発光量子収率の高い物質の濃度が高い領域（井戸）に入り、正孔と再結合する。最初の井戸を通り抜けた電子は第２の井戸に入り、正孔と再結合する。井戸が多数形成されていることにより、正孔は井戸にトラップされ、電子との再結合確率が向上する。よって、正孔と電子の再結合確率が向上することにより、発光効率が向上する。
【００５９】
また、複数種の発光量子収率の高い物質（ゲスト材料）を用いることにより、所望の色の発光をする、発光効率の高い発光素子を得ることができる。例えば、青色系ゲスト材料、赤色系ゲスト材料、緑色系ゲスト材料を用いることにより、全体として白色の発光を示す発光素子を作製することができる。また、補色の関係にある色を発光するゲスト材料２種を用いて白色の発光を示す発光素子を作製することもできる。本発明の発光素子は、多重量子井戸構造を有しており、効率の高い白色発光素子を得ることができる。
【００６０】
例えば、図３（Ａ）に示すように、発光素子の積層方向に対し、キャリア輸送性の高い物質（ホスト材料）１１１の濃度が高い領域とホスト材料に第１のゲスト材料１２１が分散された領域とを局部的に積層し、ホスト材料１１１の濃度が高い領域とホスト材料に第２のゲスト材料１２２が分散された領域とで局部的に積層してもよい。
【００６１】
また、図４（Ａ）に示すように、ホスト材料１１１の濃度が高い領域、ホスト材料に第１のゲスト材料１２１が分散された領域、ホスト材料１１１の濃度が高い領域、ホスト材料に第２のゲスト材料１２２が分散された領域、を繰り返し積層している構成としてもよい。なお、図４（Ａ）に示すように、第１のゲスト材料１２１が分散された領域と第２のゲスト材料１２２が分散された領域の距離が近い場合には、一方のゲスト材料から他方のゲスト材料へエネルギー移動が起こらないよう、第１のゲスト材料の発光スペクトルと第２のゲスト材料の吸収スペクトルとの重なりが小さいことが好ましい。
【００６２】
また、本発明の発光素子は２種の発光量子収率の高い物質を用いたものに限られず、３種以上の発光量子収率の高い物質を用いてもよい。
【００６３】
例えば、図３（Ｂ）に示すように、発光素子の積層方向に対し、ホスト材料１１２と第１のゲスト材料１３１とを局部的に積層し、ホスト材料１１２と第２のゲスト材料１３２とを局部的に積層し、ホスト材料１１２と第３のゲスト材料１３３とを局部的に積層してもよい。
【００６４】
また、図４（Ｂ）に示すように、ホスト材料１１２の濃度が高い領域、ホスト材料に第１のゲスト材料１３１が分散された領域、ホスト材料１１２の濃度が高い領域、ホスト材料１１２に第２のゲスト材料１３２が分散された領域、ホスト材料１１２の濃度が高い領域、ホスト材料１１２に第３のゲスト材料１３３が分散された領域、を繰り返し積層している構成としてもよい。なお、図４（Ｂ）に示すように、第１のゲスト材料１３１が分散された領域、第２のゲスト材料１３２が分散された領域、第３のゲスト材料１３３が分散された領域の距離が互いに近い場合には、一方のゲスト材料から他のゲスト材料へエネルギー移動が起こらないようにすることが好ましい。具体的には、第１のゲスト材料の発光スペクトルと他のゲスト材料の吸収スペクトルとの重なりが小さく、第２のゲスト材料の発光スペクトルと他のゲスト材料の吸収スペクトルとの重なりが小さく、第３のゲスト材料の発光スペクトルと他のゲスト材料の吸収スペクトルとの重なりが小さいことが好ましい。
【００６５】
なお、本実施の形態では、発光量子収率の高い物質（ゲスト材料）を２種類および３種類用いた形態を示したが、４種類以上の発光量子収率の高い物質（ゲスト材料）を用いて発光領域を形成してもよい。また、キャリア輸送性の高い物質（ホスト材料）についても、一種のキャリア輸送性の高い物質を用いるだけでなく複数種のキャリア輸送性の高い物質を用いてもよい。各発光量子収率の高い物質（ゲスト材料）に対して共通のキャリア輸送性の高い物質（ホスト材料）を用いると、発光素子の作製工程が簡略化されるため好ましい。
【００６６】
また、発光領域における多重量子井戸構造の井戸と障壁の数は、適宜設定すれば良く、本実施の形態に示したものに限られることはない。
【００６７】
（実施の形態２）
本発明の実施に用いる蒸着装置及び、その蒸着装置を用いて多重量子井戸構造を有する発光領域を形成する方法について、図１０〜１６を用いて説明する。
【００６８】
本発明の実施に用いる蒸着装置には、被処理物に対し蒸着する処理を行う処理室１００１の他、搬送室１００２が設けられている。被処理物は搬送室１００２を経て処理室１００１へ搬送される。搬送室１００２には、被処理物を移載する為のアーム１００３が備え付けられている（図１０）。
【００６９】
処理室１００１内には、図１１に示すように、第１の材料が保持された蒸発源１０１０と第２の材料が保持された蒸発源１０１１ａ、第３の材料が保持された蒸発源１０１１ｂ、第４の材料が保持された蒸発源１０１１ｃは、第１の開口部１０１２ａおよび第２の開口部１０１２ｂが設けられた回転板１０１３を間に挟んで、それぞれ保持部１０１４と対向するように設けられている。保持部１０１４には被処理物１０１６が保持され、軸１０１５を中心として回転させることにより、被処理物に形成される層の厚さ等の面内バラツキを低減することができる。
【００７０】
回転板１０１３は、軸１０１５を中心として回転し、回転することによって第２の開口部１０１２ｂの位置が変わる。なお、第１の開口部１０１２ａは、軸１０１５上に設けられているため、回転板１０１３が回転しても位置は変化しない。なお、図１２では、図１１における回転板１０１３の上面図を、同一図面上に示している。
【００７１】
第２の開口部１０１２ｂが、蒸発源１０１１ｂおよび蒸発源１０１１ｃよりも蒸発源１０１１ａに近くなるように位置しているとき、第２の開口部１０１２ｂから保持部１０１４の方へ、第２の材料の濃度が第３の材料の濃度および第４の材料の濃度よりも高い状態で材料が拡散する。そして、保持部１０１４に保持された被処理物１０１６へ、第２の材料の濃度の方が第３の材料の濃度および第４の材料の濃度よりも高くなるように、それぞれの材料が蒸着される。
【００７２】
また、回転板１０１３が回転し、第２の開口部１０１２ｂが蒸発源１０１１ａおよび蒸発源１０１１ｃよりも蒸発源１０１１ｂに近くなるように位置すれば、第３の材料の濃度が第２の材料の濃度および第４の材料の濃度よりも高くなるように、被処理物１０１６上にそれぞれの材料が蒸着される。
【００７３】
また、回転板１０１３が回転し、第２の開口部１０１２ｂが蒸発源１０１１ａおよび蒸発源１０１１ｂよりも蒸発源１０１１ｃに近くなるように位置すれば、第４の材料の濃度が第２の材料の濃度および第３の材料の濃度よりも高くなるように、被処理物１０１６上に、それぞれの材料が蒸着される。
【００７４】
なお、第１の開口部は、回転板１０１３が回転しても位置は変化しないため、第１の材料は、常に、被処理物１０１６上に蒸着される。
【００７５】
上記の方法により、第１の材料の濃度が高い領域、第１の材料に第２の材料が分散された領域、第１の材料の濃度が高い領域、第１の材料に第３の材料が分散された領域、第１の材料の濃度が高い領域、第１の材料に第４の材料が分散された領域を順に形成することができる。
【００７６】
図１１および図１２の構成の場合、回転板１０１３の回転を速くすると、各領域の積層方向の幅は短くなる。つまり、各領域の膜厚は小さくなる。回転板１０１３の回転を遅くすると、各領域の積層方向の幅は長くなる。つまり、各領域の膜厚は大きくなる。
【００７７】
このとき、被処理物１０１６を保持する保持部１０１４は、回転板の軸１０１５と同一の軸を中心として回転してもよい。その場合、回転方向は、回転板の回転方向と同じ向きであっても、逆向きであってもよい。ただし、回転の向きが同じ場合、回転速度は異なるようにすることが好ましい。
【００７８】
処理室１００１内の構成は図１１および図１２に表されるものには限定されず、図１３に表されるような構成としてもよい。図１３において、第１の材料が保持された蒸発源１０２１ａと第２の材料が保持された蒸発源１０２１ｂ、第３の材料が保持された蒸発源１０２１ｃ、第４の材料が保持された蒸発源１０２１ｄは、第１の開口部１０２２ａおよび第２の開口部１０２２ｂが設けられた回転板１０２３を間に挟んで、それぞれ保持部１０２４と対向するように設けられている。回転板１０２３は、軸１０２５を中心として回転し、回転することによって第１の開口部１０２２ａおよび第２の開口部１０２２ｂの位置が変わる。なお、回転軸１０２５を中心として回転板１０２３を回転させたときに第１の開口部１０２２ａと第２の開口部１０２２ｂの軌跡が重ならないように第１の開口部１０２２ａと第２の開口部１０２２ｂが設けられている。
【００７９】
第１の開口部１０２２ａが、蒸発源１０２１ｂよりも蒸発源１０２１ａの近くになるように位置しているとき、第２の開口部１０２２ｂは、蒸発源１０２１ｄよりも蒸発源１０２１ｃの近くになるように位置している。このとき、第１の開口部１０２２ａからは第２の材料よりも第１の材料の濃度が高い状態で、第２の開口部１０２２ｂからは第４の材料よりも第３の材料の濃度が高い状態で、材料が拡散し、保持部１０２４に保持された被処理物１０２６へそれぞれの材料が蒸着される。つまり、第２の材料の濃度よりも第１の材料の濃度が高く、かつ、第４の材料の濃度よりも第３の材料の濃度が高くなるように、それぞれの材料が蒸着される。
【００８０】
第１の開口部１０２２ａが、蒸発源１０２１ａよりも蒸発源１０２１ｂの近くになるように位置しているとき、第２の開口部１０２２ｂは、蒸発源１０２１ｃよりも蒸発源１０２１ｄの近くになるように位置している。このとき、第１の開口部１０２２ａからは第１の材料よりも第２の材料の濃度が高い状態で、第２の開口部１０２２ｂからは第３の材料よりも第４の材料の濃度が高い状態で、材料が拡散し、保持部１０２４に保持された被処理物１０２６へそれぞれの材料が蒸着される。つまり、第１の材料の濃度よりも第２の材料の濃度が高く、かつ、第３の材料の濃度よりも第４の材料の濃度が高くなるように、それぞれの材料が蒸着される。
【００８１】
このとき、被処理物１０２６を保持する保持部１０２４は、回転板の軸１０２５と同一の軸を中心として回転してもよい。その場合、回転方向は、回転板の回転方向と同じ向きであっても、逆向きであってもよい。ただし、回転の向きが同じ場合、回転速度は異なるようにすることが好ましい。
【００８２】
上記の方法により、第１の材料の濃度が高い領域、第１の材料に第３の材料が分散された領域、第１の材料の濃度が高い領域、第２の材料の濃度が高い領域、第２の材料に第４の材料が分散された領域、第２の材料の濃度が高い領域を順に形成することができる。
【００８３】
蒸発源がより多くなっても同様に、各材料の濃度が高い領域を順に形成することができる。図１４において、第１の材料が保持された蒸発源１０３１ａ、第２の材料が保持された蒸発源１０３１ｂ、第３の材料が保持された蒸発源１０３１ｃ、第４の材料が保持された蒸発源１０３１ｄ、第５の材料が保持された蒸発源１０３１ｅ、第６の材料が保持された蒸発源１０３１ｆは、第１の開口部１０３２ａおよび第２の開口部１０３２ｂが設けられた回転板１０３３を間に挟んで、それぞれ保持部１０３４と対向するように設けられている。回転板１０３３は、軸１０３５を中心として回転し、回転することによって第１の開口部１０３２ａおよび第２の開口部１０３２ｂの位置が変わる。なお、回転軸１０２５を中心として回転板１０３３を回転させたときに第１の開口部１０３２ａと第２の開口部１０３２ｂの軌跡が重ならないように第１の開口部１０２２ａと第２の開口部１０２２ｂが設けられている。
【００８４】
第１の開口部１０３２ａが、蒸発源１０３１ｂおよび蒸発源１０３１ｃよりも蒸発源１０３１ａの近くになるように位置しているとき、第２の開口部１０３２ｂは、蒸発源１０３１ｅおよび蒸発源１０３１ｆよりも蒸発源１０３１ｄの近くになるように位置している。このとき、第１の開口部１０３２ａからは第２の材料および第３の材料よりも第１の材料の濃度が高い状態で、第２の開口部１０３２ｂからは第５の材料および第６の材料よりも第４の材料の濃度が高い状態で、材料が拡散し、それぞれ保持部１０３４に保持された被処理物１０３６へそれぞれの材料が蒸着される。つまり、第２の材料の濃度および第３の材料の濃度よりも第１の材料の濃度が高く、かつ、第５の材料および第６の材料の濃度よりも第４の材料の濃度が高くなるようにそれぞれの材料が蒸着される。
【００８５】
第１の開口部１０３２ａが、蒸発源１０３１ａおよび蒸発源１０３１ｃよりも蒸発源１０３１ｂの近くになるように位置しているとき、第２の開口部１０３２ｂは、蒸発源１０３１ｄおよび蒸発源１０３１ｆよりも蒸発源１０３１ｅの近くになるように位置している。このとき、第１の開口部１０３２ａからは第１の材料および第３の材料よりも第２の材料の濃度が高い状態で、第２の開口部１０３２ｂからは第４の材料および第６の材料よりも第５の材料の濃度が高い状態で、材料が拡散し、保持部１０３４に保持された被処理物１０３６へそれぞれの材料が蒸着される。つまり、第１の材料の濃度および第３の材料の濃度よりも第２の材料の濃度が高く、かつ、第４の材料の濃度および第６の材料の濃度よりも第５の材料の濃度が高くなるように、それぞれの材料が蒸着される。
【００８６】
第１の開口部１０３２ａが、蒸発源１０３１ａおよび蒸発源１０３１ｂよりも蒸発源１０３１ｃの近くになるように位置しているとき、第２の開口部１０３２ｂは、蒸発源１０３１ｄおよび蒸発源１０３１ｅよりも蒸発源１０３１ｆの近くになるように位置している。このとき、第１の開口部１０３２ａからは第１の材料および第２の材料よりも第３の材料の濃度が高い状態で、第２の開口部１０３２ｂからは第４の材料および第５の材料よりも第６の材料の濃度が高い状態で、材料が拡散し、保持部１０３４に保持された被処理物１０３６へそれぞれの材料が蒸着される。つまり、第１の材料の濃度および第２の材料の濃度よりも第３の材料の濃度が高く、かつ、第４の材料の濃度および第５の材料の濃度よりも第６の材料の濃度が高くなるように、それぞれの材料が蒸着される。
【００８７】
このとき、被処理物１０３６を保持する保持部１０３４は、回転板の軸１０３５と同一の軸を中心として回転してもよい。その場合、回転方向は、回転板の回転方向と同じ向きであっても、逆向きであってもよい。ただし、回転の向きが同じ場合、回転速度は異なるようにすることが好ましい。
【００８８】
上記の方法により、第１の材料の濃度が高い領域、第１の材料に第４の材料が分散された領域、第１の材料の濃度が高い領域、第２の材料の濃度が高い領域、第２の材料に第５の材料が分散された領域、第２の材料の濃度が高い領域、第３の材料の濃度が高い領域、第３の材料に第６の材料が分散された領域、第６の材料の濃度が高い領域を順に形成することができる。
【００８９】
なお、被処理物を保持する保持部は、図１１〜図１４に示したもの限られず、図１５および図１６に示す構成を用いてもよい。
【００９０】
図１５において、被処理物を保持する為の保持部は、軸１１１３を中心として回転する第１の回転板１１１２と、第１の回転板１１１２上に設けられた複数の第２の回転板１１１４ａ〜１１１４ｄとで構成されている。なお、軸１１１３は、図１１〜図１４に示した開口部を有する回転板の回転軸と同一であることが好ましい。第２の回転板１１１４ａ〜１１１４ｄは、軸１１１３とは別に、第２の回転板１１１４ａ〜１１１４ｄのそれぞれに対して設けられた軸を中心として、それぞれ独立に回転する。被処理物１１１５ａ〜１１１５ｄは、第２の回転板１１１４ａ〜１１１４ｄのそれぞれに保持される。
【００９１】
図１５において、第２の回転板１１１４ａには被処理物１１１５ａが保持され、第２の回転板１１１４ｂには被処理物１１１５ｂが保持され、第２の回転板１１１４ｃには被処理物１１１５ｃが保持され、第２の回転板１１１４ｄには被処理物１１１５ｄが保持されている。
【００９２】
なお、図１５に示す構成において、第１の回転板と第２の回転板はそれぞれ独立に回転してもよい。例えば、第１の回転板のみ回転させて蒸着してもよい。
【００９３】
また、第１の回転板１１１２及び第２の回転板１１１４ａ〜１１１４ｄの形状について特に限定はなく、図１５に表されるような円形の他、四角形等の多角形であってもよい。また、第２の回転板１１１４ａ〜１１１４ｄは、必ずしも設けなくてもよいが、第２の回転板１１１４ａ〜１１１４ｄを設けることによって、被処理物に形成される層の厚さ等の面内バラツキを低減することができる。
【００９４】
また図１６に示す構成では、保持部１１２２に、複数の被処理物１１２５ａ〜１１２５ｄが保持されている。保持部１１２２は、軸１１２３を中心として回転する。なお、軸１１２３は、図１１〜図１４に示した開口部を有する回転板の回転軸と同一であることが好ましい。
【００９５】
なお、蒸着装置の構成は、図１０に示されたものには限定されず、例えば、発光素子を封止する為の封止室がさらに設けられた構成であってもよい。また、蒸着を行う処理室は、一室だけでなく、二室以上設けられていてもよい。
【００９６】
なお、被処理物を保持する保持部の回転の向きと、開口部を有する回転板の回転の向きとは、同じ向きであってもよいし、逆向きであってもよい。ただし、回転の向きが同じ場合、回転速度は異なるようにすることが好ましい。
【００９７】
また、蒸発時の蒸着速度は、各材料によって、同じであっても異なっていてもよい。
【００９８】
また、各領域の積層方向の幅、つまり、各領域の膜厚は、回転速度、蒸着速度以外に、被処理物と蒸発源との距離、蒸発源と蒸発源との距離、基板と回転軸との距離等により変化するため、それぞれの装置において最適値を適宜設計すれば良い。なお、基板の大きさにもよるが、蒸発源と蒸発源の距離は、基板中心と回転軸との距離の２倍程度であることが好ましい。例えば、１２ｃｍ×１２ｃｍの基板を用いる場合、基板と蒸発源との距離を２０〜４０ｃｍとし、蒸発源と蒸発源との距離を１５〜３０ｃｍ、基板の中心と回転軸との距離を８〜１５ｃｍとし、蒸着速度を０．２〜２．０ｎｍ／ｓ、回転速度を２〜２０ｒｐｍとすることにより、多重量子井戸構造を形成することができる。
【００９９】
また、多重量子井戸構造を形成する場合、蒸発源と被処理物との間にあるシャッターを開閉することにより各領域を形成する方法が考えられる。しかし、本発明の方法を用いることにより、シャッターの開閉操作を伴うことなく、より容易に多重量子井戸構造を形成することが可能となる。それにより、スループット良く多重量子井戸構造を有する発光素子を作製することができる。
【０１００】
（実施の形態３）
本実施の形態では、本発明の発光素子について説明する。
【０１０１】
本発明の発光素子は、一対の電極間に複数の層を有する。当該複数の層は、電極から離れたところに発光領域が形成されるように、つまり電極から離れた部位でキャリア（担体）の再結合が行われるように、キャリア注入性の高い物質やキャリア輸送性の高い物質からなる層を組み合わせて積層されたものである。また、本発明の発光素子は、発光領域に多重量子井戸構造を有している。
【０１０２】
本発明の発光素子の一態様について図１（Ａ）を用いて以下に説明する。
【０１０３】
本形態において、発光素子は、第１の電極１０２と、第１の電極１０２の上に順に積層した第１の層１０３、第２の層１０４、第３の層１０５、第４の層１０６と、さらにその上に設けられた第２の電極１０７とから構成されている。なお、本形態では第１の電極１０２は陽極として機能し、第２の電極１０７は陰極として機能するものとして以下説明をする。
【０１０４】
基板１０１は発光素子の支持体として用いられる。基板１０１としては、例えばガラス、またはプラスチックなどを用いることができる。なお、基板が作製工程において支持体として機能するものであれば、これら以外のものでもよい。
【０１０５】
第１の電極１０２としては、種々の材料を用いることができ、仕事関数の大きい（具体的には４．０ｅＶ以上）金属、合金、導電性化合物、およびこれらの混合物などを用いることが好ましい。具体的には、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、珪素を含有したインジウム錫酸化物、酸化インジウムに２〜２０ｗｔ％の酸化亜鉛（ＺｎＯ）を混合したＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、酸化タングステンを０．５〜５ｗｔ％、酸化亜鉛を０．１〜１ｗｔ％含有したインジウム酸化物（ＩＷＺＯ）等が挙げられる。これらの導電性金属酸化物膜は、通常スパッタにより成膜されるが、ゾル−ゲル法などを応用して作製しても構わない。その他、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、または金属材料の窒化物（例えば、窒化チタン：ＴｉＮ）等が挙げられる。
【０１０６】
第１の層１０３は、正孔注入性の高い物質を含む層である。モリブデン酸化物（ＭｏＯｘ）やバナジウム酸化物（ＶＯｘ）、ルテニウム酸化物（ＲｕＯｘ）、タングステン酸化物（ＷＯｘ）、マンガン酸化物（ＭｎＯｘ）等を用いることができる。この他、フタロシアニン（略称：Ｈ２Ｐｃ）や銅フタロシアニン（ＣｕＰＣ）等のフタロシアニン系の化合物、或いはポリ（エチレンジオキシチオフェン）／ポリ（スチレンスルホン酸）（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）等の高分子等によっても第１の層１０３を形成することができる。
【０１０７】
また、第１の層１０３に、有機化合物と無機化合物とを複合してなる複合材料を用いてもよい。特に、有機化合物と、有機化合物に対して電子受容性を示す無機化合物とを含む複合材料は、有機化合物と無機化合物との間で電子の授受が行われ、キャリア密度が増大するため、正孔注入性、正孔輸送性に優れている。この場合、有機化合物としては、正孔の輸送に優れた材料であることが好ましい。具体的には、芳香族アミン系の有機化合物またはカルバゾール系の有機化合物であることが好ましい。無機化合物としては、有機化合物に対し電子受容性を示す物質であればよく、具体的には、遷移金属の酸化物であることが好ましい。例えば、チタン酸化物（ＴｉＯｘ）、バナジウム酸化物（ＶＯｘ）、モリブデン酸化物（ＭｏＯｘ）、タングステン酸化物（ＷＯｘ）、レニウム酸化物（ＲｅＯｘ）、ルテニウム酸化物（ＲｕＯｘ）、クロム酸化物（ＣｒＯｘ）、ジルコニウム酸化物（ＺｒＯｘ）、ハフニウム酸化物（ＨｆＯｘ）、タンタル酸化物（ＴａＯｘ）、銀酸化物（ＡｇＯｘ）、マンガン酸化物（ＭｎＯｘ）等の金属酸化物を用いることができる。第１の層１０３に有機化合物と無機化合物とを複合してなる複合材料を用いた場合、第１の電極１０２とオーム接触をすることが可能となるため、仕事関数に関わらず第１の電極を形成する材料を選ぶことができる。
【０１０８】
第２の層１０４を形成する物質としては、正孔輸送性の高い物質、具体的には、芳香族アミン系（すなわち、ベンゼン環−窒素の結合を有するもの）の化合物であることが好ましい。広く用いられている材料として、４，４’−ビス［Ｎ−（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル，その誘導体である４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル（以下、ＮＰＢと記す）、４，４’，４’’−トリス（Ｎ，Ｎ−ジフェニル−アミノ）トリフェニルアミン、４，４’，４’’−トリス［Ｎ−（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニルアミノ］トリフェニルアミンなどのスターバースト型芳香族アミン化合物が挙げられる。ここに述べた物質は、主に１０−６ｃｍ２／Ｖｓ以上の正孔移動度を有する物質である。但し、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いてもよい。なお、第２の層１０４は、単層のものだけでなく、上記物質の混合層、あるいは二層以上積層したものであってもよい。
【０１０９】
第３の層１０５は、実施の形態１に示した多重量子井戸構造を有する発光領域である。具体的には、キャリア輸送性が高い物質と、発光量子収率の高い物質とを組み合わせて構成される。
【０１１０】
第４の層１０６を形成する物質としては、電子輸送性の高い物質、例えばトリス（８−キノリノラト）アルミニウム（略称：Ａｌｑ３）、トリス（４−メチル−８−キノリノラト）アルミニウム（略称：Ａｌｍｑ３）、ビス（１０−ヒドロキシベンゾ［ｈ］−キノリナト）ベリリウム（略称：ＢｅＢｑ２）、ビス（２−メチル−８−キノリノラト）−（４−ヒドロキシ−ビフェニリル）アルミニウム（略称：ＢＡｌｑ）、ビス［２−（２−ヒドロキシフェニル）ベンゾオキサゾラト］亜鉛（略称：Ｚｎ（ＢＯＸ）２）、ビス［２−（２−ヒドロキシフェニル）ベンゾチアゾラト］亜鉛（略称：Ｚｎ（ＢＴＺ）２）などの典型金属錯体が挙げられる。あるいは９，１０−ジフェニルアントラセンや４，４’−ビス（２，２−ジフェニルエテニル）ビフェニルなどの炭化水素系化合物なども好適である。あるいは、３−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−４−（４−エチルフェニル）−５−（４−ビフェニリル）−１，２，４−トリアゾールなどのトリアゾール誘導体、バソフェナントロリンやバソキュプロインなどのフェナントロリン誘導体を用いても良い。ここに述べた物質は、主に１０−６ｃｍ２／Ｖｓ以上の電子移動度を有する物質である。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、上記以外の物質を第４の層１０６として用いても構わない。また、第４の層１０６は、単層のものだけでなく、混合層でもよく、また上記物質からなる層が二層以上積層したものとしてもよい。
【０１１１】
第２の電極１０７を形成する物質としては、仕事関数の小さい（仕事関数３．８ｅＶ以下）金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを用いることができる。このような陰極材料の具体例としては、元素周期表の１族または２族に属する元素、すなわちリチウム（Ｌｉ）やセシウム（Ｃｓ）等のアルカリ金属、およびマグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）等のアルカリ土類金属、およびこれらを含む合金（ＭｇＡｇ、ＡｌＬｉ）、ユウロピウム（Ｅｕ）、イッテルビウム（Ｙｂ）等の希土類金属およびこれらを含む合金等が挙げられる。しかしながら、第２の電極１０７と発光層との間に、電子注入を促す機能を有する層を、当該第２の電極と積層して設けることにより、仕事関数の大小に関わらず、Ａｌ、Ａｇ、ＩＴＯ、珪素を含むＩＴＯ等様々な導電性材料を第２の電極１０７として用いることができる。
【０１１２】
なお、電子注入を促す機能を有する層としては、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化セシウム（ＣｓＦ）、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）等のようなアルカリ金属又はアルカリ土類金属の化合物を用いることができる。また、この他、電子輸送性を有する物質からなる層中にアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含有させたもの、例えばＡｌｑ３中にマグネシウム（Ｍｇ）やリチウム（Ｌｉ）を含有させたもの等を用いることができる。
【０１１３】
また、第１の層１０３、第２の層１０４、第４の層１０６の形成方法は、蒸着法や、インクジェット法、スピンコート法など種々の方法を用いても構わない。また各電極または各層ごとに異なる成膜方法を用いて形成しても構わない。なお、第３の層１０５は、実施の形態２に示した方法で形成することが好ましい。
【０１１４】
以上のような構成を有する本発明の発光素子は、第１の電極１０２と第２の電極１０７との間に生じた電位差により電流が流れ、発光量子収率の高い物質を含む層である第３の層１０５において正孔と電子とが再結合し、発光するものである。つまり第３の層１０５に発光領域が形成されるような構成となっている。
【０１１５】
発光は、第１の電極１０２または第２の電極１０７のいずれか一方または両方を通って外部に取り出される。従って、第１の電極１０２または第２の電極１０７のいずれか一方または両方は、透光性を有する物質で成る。第１の電極１０２のみが透光性を有する物質からなるものである場合、図１（Ａ）に示すように、発光は第１の電極１０２を通って基板側から取り出される。また、第２の電極１０７のみが透光性を有する物質からなるものである場合、図１（Ｂ）に示すように、発光は第２の電極１０７を通って基板と逆側から取り出される。第１の電極１０２および第２の電極１０７がいずれも透光性を有する物質からなるものである場合、図１（Ｃ）に示すように、発光は第１の電極１０２および第２の電極１０７を通って、基板側および基板と逆側の両方から取り出される。
【０１１６】
なお第１の電極１０２と第２の電極１０７との間に設けられる層の構成は、上記のものには限定されない。発光領域と金属とが近接することによって生じる消光が抑制されるように、第１の電極１０２および第２の電極１０７から離れた部位に正孔と電子とが再結合する発光領域を設けた構成であり、且つ、発光領域が多重量子井戸構造を有するものであれば、上記以外のものでもよい。
【０１１７】
つまり、層の積層構造については特に限定されず、電子輸送性の高い物質または正孔輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、正孔注入性の高い物質、バイポーラ性（電子及び正孔の輸送性の高い物質）の物質等から成る層を、本発明の複合材料を含む層と自由に組み合わせて構成すればよい。
【０１１８】
図２に示す発光素子は、陰極として機能する第１の電極３０２の上に電子輸送性の高い物質からなる第１の層３０３、発光量子収率の高い物質を含む第２の層３０４、正孔輸送性の高い物質からなる第３の層３０５、正孔注入性の高い物質からなる第４の層３０６、陽極として機能する第２の電極３０７とが順に積層された構成となっている。なお、３０１は基板である。
【０１１９】
本実施の形態においては、ガラス、プラスチックなどからなる基板上に発光素子を作製している。一基板上にこのような発光素子を複数作製することで、パッシブ型の発光装置を作製することができる。また、ガラス、プラスチックなどからなる基板以外に、例えば薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ基板上に発光素子を作製してもよい。これにより、ＴＦＴによって発光素子の駆動を制御するアクティブマトリクス型の発光装置を作製できる。なお、ＴＦＴの構造は、特に限定されない。スタガ型のＴＦＴでもよいし逆スタガ型のＴＦＴでもよい。また、ＴＦＴアレイ基板に形成される駆動用回路についても、Ｎ型およびＰ型のＴＦＴからなるものでもよいし、若しくはＮ型またはＰ型のいずれか一方からのみなるものであってもよい。
【０１２０】
（実施の形態４）
本実施の形態では、本発明の発光素子を有する発光装置について説明する。
【０１２１】
本実施の形態では、画素部に本発明の発光素子を有する発光装置について図５を用いて説明する。なお、図５（Ａ）は、発光装置を示す上面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）をＡ−Ａ’およびＢ−Ｂ’で切断した断面図である。点線で示された６０１は駆動回路部（ソース側駆動回路）、６０２は画素部、６０３は駆動回路部（ゲート側駆動回路）である。また、６０４は封止基板、６０５はシール材であり、シール材６０５で囲まれた内側は、空間６０７になっている。
【０１２２】
なお、引き回し配線６０８はソース側駆動回路６０１及びゲート側駆動回路６０３に入力される信号を伝送するための配線であり、外部入力端子となるＦＰＣ（フレキシブルプリントサーキット）６０９からビデオ信号、クロック信号、スタート信号、リセット信号等を受け取る。なお、ここではＦＰＣしか図示されていないが、このＦＰＣにはプリント配線基盤（ＰＷＢ）が取り付けられていても良い。本明細書における発光装置には、発光装置本体だけでなく、それにＦＰＣもしくはＰＷＢが取り付けられた状態をも含むものとする。
【０１２３】
次に、断面構造について図５（Ｂ）を用いて説明する。素子基板６１０上には駆動回路部及び画素部が形成されているが、ここでは、駆動回路部であるソース側駆動回路６０１と、画素部６０２中の一つの画素が示されている。
【０１２４】
なお、ソース側駆動回路６０１はｎチャネル型ＴＦＴ６２３とｐチャネル型ＴＦＴ６２４とを組み合わせたＣＭＯＳ回路が形成される。また、駆動回路を形成するＴＦＴは、種々のＣＭＯＳ回路、ＰＭＯＳ回路もしくはＮＭＯＳ回路で形成しても良い。また、本実施例では、基板上に駆動回路を形成したドライバ一体型を示すが、必ずしもその必要はなく、駆動回路を基板上ではなく外部に形成することもできる。
【０１２５】
また、画素部６０２はスイッチング用ＴＦＴ６１１と、電流制御用ＴＦＴ６１２とそのドレインに電気的に接続された第１の電極６１３とを含む複数の画素により形成される。なお、第１の電極６１３の端部を覆って絶縁物６１４が形成されている。ここでは、ポジ型の感光性アクリル樹脂膜を用いることにより形成する。
【０１２６】
また、絶縁物６１４の上端部または下端部に曲率を有する曲面が形成されるようにする。例えば、絶縁物６１４の材料としてポジ型の感光性アクリルを用いた場合、絶縁物６１４の上端部のみに曲率半径（０．２μｍ〜３μｍ）を有する曲面を持たせることが好ましい。また、絶縁物６１４として、光の照射によってエッチャントに不溶解性となるネガ型、或いは光の照射によってエッチャントに溶解性となるポジ型のいずれも使用することができる。
【０１２７】
第１の電極６１３上には、発光物質を含む層６１６、および第２の電極６１７がそれぞれ形成されている。ここで、陽極として機能する第１の電極６１３に用いる材料としては、仕事関数の大きい材料を用いることが望ましい。例えば、ＩＴＯ膜、または珪素を含有したインジウム錫酸化物膜、２〜２０ｗｔ％の酸化亜鉛を含む酸化インジウム膜、窒化チタン膜、クロム膜、タングステン膜、Ｚｎ膜、Ｐｔ膜などの単層膜の他、窒化チタンとアルミニウムを主成分とする膜との積層、窒化チタン膜とアルミニウムを主成分とする膜と窒化チタン膜との３層構造等を用いることができる。なお、積層構造とすると、配線としての抵抗も低く、良好なオーミックコンタクトがとれ、さらに陽極として機能させることができる。
【０１２８】
発光物質を含む層６１６は、実施の形態１で示した発光量子収率の高い物質とキャリア輸送性の高い物質とを含む発光領域を有している。また、発光物質を含む層６１６を構成する他の材料としては、低分子系材料、中分子材料（オリゴマー、デンドリマーを含む）、または高分子系材料であっても良い。また、発光物質を含む層に用いる材料としては、通常、有機化合物を単層もしくは積層で用いる場合が多いが、本発明においては、有機化合物からなる膜の一部に無機化合物を用いる構成も含めることとする。また、発光物質を含む層６１６は、蒸着マスクを用いた蒸着法、インクジェット法、スピンコート法等の種々の方法によって形成される。ただし、発光領域は、実施の形態２で示した方法により形成することが好ましい。
【０１２９】
さらに、発光物質を含む層６１６上に形成され、陰極として機能する第２の電極６１７に用いる材料としては、仕事関数の小さい材料（Ａｌ、Ａｇ、Ｌｉ、Ｃａ、またはこれらの合金ＭｇＡｇ、ＭｇＩｎ、ＡｌＬｉ、ＣａＦ２、フッ化リチウムまたは窒化カルシウム）を用いることが好ましい。なお、発光物質を含む層６１６で生じた光が第２の電極６１７を透過させる場合には、第２の電極６１７として、膜厚を薄くした金属薄膜と、透明導電膜（ＩＴＯ、２〜２０ｗｔ％の酸化亜鉛を含む酸化インジウム、珪素を含有したインジウム錫酸化物、酸化亜鉛（ＺｎＯ）等）との積層を用いるのが良い。
【０１３０】
さらにシール材６０５で封止基板６０４を素子基板６１０と貼り合わせることにより、素子基板６１０、封止基板６０４、およびシール材６０５で囲まれた空間６０７に発光素子６１８が備えられた構造になっている。なお、空間６０７には、充填材が充填されており、不活性気体（窒素やアルゴン等）が充填される場合の他、シール材６０５で充填される場合もある。
【０１３１】
なお、シール材６０５にはエポキシ系樹脂を用いるのが好ましい。また、これらの材料はできるだけ水分や酸素を透過しない材料であることが望ましい。また、封止基板６０４に用いる材料としてガラス基板や石英基板の他、ＦＲＰ（Ｆｉｂｅｒｇｌａｓｓ−Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ）、ＰＶＦ（ポリビニルフロライド）、マイラー、ポリエステルまたはアクリル等からなるプラスチック基板を用いることができる。
【０１３２】
以上のようにして、本発明の発光素子を有する発光装置を得ることができる。
【０１３３】
本発明の発光装置は、実施の形態１で示した多重量子井戸構造の発光領域を有し、発光効率の高い発光素子を有する。よって、本発明を用いることにより、消費電力が低減された発光装置を提供することができる。
【０１３４】
以上のように、本実施の形態では、トランジスタによって発光素子の駆動を制御するアクティブ型の発光装置について説明したが、この他、トランジスタ等の駆動用の素子を特に設けずに発光素子を駆動させるパッシブ型の発光装置であってもよい。図６には本発明を適用して作製したパッシブ型の発光装置の斜視図を示す。図６において、基板９５１上には、電極９５２と電極９５６との間には発光物質を含む層９５５が設けられている。電極９５２の端部は絶縁層９５３で覆われている。そして、絶縁層９５３上には隔壁層９５４が設けられている。隔壁層９５４の側壁は、基板面に近くなるに伴って、一方の側壁と他方の側壁との間隔が狭くなっていくような傾斜を有する。つまり、隔壁層９５４の短辺方向の断面は、台形状であり、底辺（絶縁層９５３の面方向と同様の方向を向き、絶縁層９５３と接する辺）の方が上辺（絶縁層９５３の面方向と同様の方向を向き、絶縁層９５３と接しない辺）よりも短い。このように、隔壁層９５４を設けることで、静電気等に起因した発光素子の不良を防ぐことが出来る。また、パッシブ型の発光装置においても、発光効率が高い本発明の発光素子を含むことによって、消費電力が低減された発光装置を得ることができる。
【０１３５】
（実施の形態５）
本実施の形態では、実施の形態４に示す発光装置をその一部に含む本発明の電気機器について説明する。本発明の電気機器は、実施の形態１および実施の形態３に示した発光領域を有し、低消費電力の表示部を有する。
【０１３６】
本発明の発光装置を表示装置として用いて作製された電気機器として、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ、ナビゲーションシステム、音響再生装置（カーオーディオ、オーディオコンポ等）、コンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末（モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機または電子書籍等）、記録媒体を備えた画像再生装置（具体的にはＤｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ（ＤＶＤ）等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうる表示装置を備えた装置）などが挙げられる。これらの電気機器の具体例を図７に示す。
【０１３７】
図７（Ａ）は本発明に係るテレビ装置であり、筐体９１０１、支持台９１０２、表示部９１０３、スピーカー部９１０４、ビデオ入力端子９１０５等を含む。このテレビ装置において、表示部９１０３は、実施の形態１および実施の形態３で説明したものと同様の発光素子をマトリクス状に配列して構成されている。当該発光素子は、発光効率が高いという特徴を有している。その発光素子で構成される表示部９１０３も同様の特徴を有するため、このテレビ装置は低消費電力化が図られている。このような特徴により、テレビ装置において、劣化補償機能や電源回路を大幅に削減、若しくは縮小することができるので、筐体９１０１や支持台９１０２の小型軽量化を図ることが可能である。本発明に係るテレビ装置は、低消費電力、高画質及び小型軽量化が図られているので、それにより住環境に適合した製品を提供することができる。
【０１３８】
図７（Ｂ）は本発明に係るコンピュータであり、本体９２０１、筐体９２０２、表示部９２０３、キーボード９２０４、外部接続ポート９２０５、ポインティングマウス９２０６等を含む。このコンピュータにおいて、表示部９２０３は、実施の形態１および実施の形態３で説明したものと同様の発光素子をマトリクス状に配列して構成されている。当該発光素子は、発光効率が高いという特徴を有している。その発光素子で構成される表示部９２０３も同様の特徴を有するため、このコンピュータは低消費電力化が図られている。このような特徴により、コンピュータにおいて、劣化補償機能や電源回路を大幅に削減、若しくは縮小することができるので、本体９２０１や筐体９２０２の小型軽量化を図ることが可能である。本発明に係るコンピュータは、低消費電力、高画質及び小型軽量化が図られているので、環境に適合した製品を提供することができる。また、小型軽量化が可能であるので、携帯にも適した製品を提供することができる。
【０１３９】
図７（Ｃ）は本発明に係るゴーグル型ディスプレイであり、本体９３０１、表示部９３０２、アーム部９３０３を含む。このゴーグル型ディスプレイにおいて、表示部９３０２は、実施の形態１および実施の形態３で説明したものと同様の発光素子をマトリクス状に配列して構成されている。当該発光素子は、発光効率が高いという特徴を有している。その発光素子で構成される表示部９３０２も同様の特徴を有するため、このゴーグル型ディスプレイは低消費電力化が図られている。このような特徴により、ゴーグル型ディスプレイにおいて、劣化補償機能や電源回路を大幅に削減、若しくは縮小することができるので、本体９３０１の小型軽量化を図ることが可能である。本発明に係るゴーグル型ディスプレイは、低消費電力、高画質及び小型軽量化が図られているので、装着したときの負担が少なく、違和感なく使用することができる製品を提供することができる。
【０１４０】
図７（Ｄ）は本発明に係る携帯電話であり、本体９４０１、筐体９４０２、表示部９４０３、音声入力部９４０４、音声出力部９４０５、操作キー９４０６、外部接続ポート９４０７、アンテナ９４０８等を含む。この携帯電話において、表示部９４０３は、実施の形態１および実施の形態３で説明したものと同様の発光素子をマトリクス状に配列して構成されている。当該発光素子は、発光効率が高いという特徴を有している。その発光素子で構成される表示部９４０３も同様の特徴を有するため、この携帯電話は低消費電力化が図られている。このような特徴により、携帯電話において、劣化補償機能や電源回路を大幅に削減、若しくは縮小することができるので、本体９４０１や筐体９４０２の小型軽量化を図ることが可能である。本発明に係る携帯電話は、低消費電力、高画質及び小型軽量化が図られているので、携帯に適した製品を提供することができる。
【０１４１】
図７（Ｅ）は本発明の係るカメラであり、本体９５０１、表示部９５０２、筐体９５０３、外部接続ポート９５０４、リモコン受信部９５０５、受像部９５０６、バッテリー９５０７、音声入力部９５０８、操作キー９５０９、接眼部９５１０等を含む。このカメラにおいて、表示部９５０２は、実施の形態１および実施の形態３で説明したものと同様の発光素子をマトリクス状に配列して構成されている。当該発光素子は、発光効率が高いという特徴を有している。その発光素子で構成される表示部９５０２も同様の特徴を有するため、このカメラは画質の劣化がなく、低消費電力化が図られている。このような特徴により、カメラにおいて、劣化補償機能や電源回路を大幅に削減、若しくは縮小することができるので、本体９５０１の小型軽量化を図ることが可能である。本発明に係るカメラは、低消費電力、高画質及び小型軽量化が図られているので、携帯に適した製品を提供することができる。
【０１４２】
以上の様に、本発明の発光装置の適用範囲は極めて広く、この発光装置をあらゆる分野の電気機器に適用することが可能である。本発明の発光装置を用いることにより、低消費電力な表示部を有する電気機器を提供することが可能となる。
【０１４３】
また、本発明の発光装置は、発光効率の高い発光素子を有しており、照明装置として用いることもできる。本発明の発光素子を照明装置として用いる一態様を図８〜図９を用いて説明する。
【０１４４】
図８は、本発明の発光装置をバックライトとして用いた液晶表示装置の一例である。図８に示した液晶表示装置は、筐体９０１、液晶層９０２、バックライト９０３、筐体９０４を有し、液晶層９０２は、ドライバＩＣ９０５と接続されている。また、バックライト９０３は、本発明の発光装置が用いられおり、端子９０６により、電流が供給されている。
【０１４５】
本発明の発光装置を液晶表示装置のバックライトとして用いることにより、消費電力の低減されたバックライトが得られる。また、本発明の発光装置は、面発光の照明装置であり大面積化も可能であるため、バックライトの大面積化が可能であり、液晶表示装置の大面積化も可能になる。さらに、発光装置は薄型で低消費電力であるため、表示装置の薄型化、低消費電力化も可能となる。
【０１４６】
図９（Ａ）は、本発明の発光装置を室内の照明２００１として用いたものである。本発明の発光装置は消費電力が低減されているため、低消費電力の照明装置を得ることができる。面発光の照明装置であり、大面積化も可能であるため、例えば、天井面に本発明の照明装置を用いることもできる。また、天井に限らず、壁、床や柱等にも本発明の発光装置を用いることができる。さらに、可撓性を有する基板を用いて本発明の発光装置を作製することにより、薄型で可撓性を有する照明装置を得ることができる。そのため、曲面に設置することも可能である。また、室内に限らず、室外で使用することも可能であり、外灯として、建物の壁等に設置することもできる。
【０１４７】
図９（Ｂ）は、本発明の発光装置を、トンネル内の照明２００２として用いたものである。本発明の発光装置は消費電力が低減されているため、低消費電力の照明装置を得ることができる。また、可撓性を有する基板を用いて本発明の発光装置を作製することにより、薄型で可撓性を有する照明装置を得ることもできる。そのため、トンネル内の壁の曲面に沿って設置することが可能である。
【０１４８】
図９（Ｃ）は、本発明の発光装置をインテリア用の照明２００３として用いた一例である。本発明の発光装置は消費電力が低減されているため、低消費電力の照明装置を得ることができる。また、可撓性を有する基板を用いて本発明の発光装置を作製することにより、薄型で可撓性を有する照明装置を得ることができる。また、本発明の発光装置は、面発光であるため、図９（Ｃ）のように、自由な形状に加工することが可能である。
【０１４９】
また、本発明の発光装置は、写真を撮影する際の照明として用いることもできる。写真を撮影する場合は、大面積で高輝度の光で被写体を照らすことにより、自然光で被写体を照らした場合と同様な写真を撮ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１５０】
【図１】本発明の発光素子を説明する図。
【図２】本発明の発光素子を説明する図。
【図３】本発明の発光素子を説明する図。
【図４】本発明の発光素子を説明する図。
【図５】本発明の発光装置を説明する図。
【図６】本発明の発光装置を説明する図。
【図７】本発明の発光装置を用いた電気機器を説明する図。
【図８】本発明の発光装置を用いた電気機器を説明する図。
【図９】本発明の発光装置を用いた電気機器を説明する図。
【図１０】本発明の発光素子を作製する方法を説明する図。
【図１１】本発明の発光素子を作製する方法を説明する図。
【図１２】本発明の発光素子を作製する方法を説明する図。
【図１３】本発明の発光素子を作製する方法を説明する図。
【図１４】本発明の発光素子を作製する方法を説明する図。
【図１５】本発明の発光素子を作製する方法を説明する図。
【図１６】本発明の発光素子を作製する方法を説明する図。
【符号の説明】
【０１５１】
１０１    基板
１０２    第１の電極
１０３    第１の層
１０４    第２の層
１０５    第３の層
１０６    第４の層
１０７    第２の電極
１１１    ホスト材料
１１２    ホスト材料
１２１    第１のゲスト材料
１２２    第２のゲスト材料
１３１    第１のゲスト材料
１３２    第２のゲスト材料
１３３    第３のゲスト材料
３０２    第１の電極
３０３    第１の層
３０４    第２の層
３０５    第３の層
３０６    第４の層
３０７    第２の電極
６０１    ソース側駆動回路
６０２    画素部
６０３    ゲート側駆動回路
６０４    封止基板
６０５    シール材
６０７    空間
６０８    配線
６０９    ＦＰＣ（フレキシブルプリントサーキット）
６１０    素子基板
６１１    スイッチング用ＴＦＴ
６１２    電流制御用ＴＦＴ
６１３    第１の電極
６１４    絶縁物
６１６    発光物質を含む層
６１７    第２の電極
６１８    発光素子
６２３    ｎチャネル型ＴＦＴ
６２４    ｐチャネル型ＴＦＴ
９０１    筐体
９０２    液晶層
９０３    バックライト
９０４    筐体
９０５    ドライバＩＣ
９０６    端子
９５１    基板
９５２    電極
９５３    絶縁層
９５３    絶縁層
９５４    隔壁層
９５５    発光物質を含む層
９５６    電極
１００１    処理室
１００２    搬送室
１００３    アーム
１０１０    蒸発源
１０１３    回転板
１０１４    保持部
１０１５    軸
１０１６    被処理物
１０２３    回転板
１０２４    保持部
１０２５    軸
１０２６    被処理物
１０３３    回転板
１０３４    保持部
１０３５    軸
１０３６    被処理物
１１１２    回転板
１１１３    軸
１１２２    保持部
１１２３    軸
２００１    照明
２００２    照明
２００３    照明
９１０１    筐体
９１０２    支持台
９１０３    表示部
９１０４    スピーカー部
９１０５    ビデオ入力端子
９２０１    本体
９２０２    筐体
９２０３    表示部
９２０４    キーボード
９２０５    外部接続ポート
９２０６    ポインティングマウス
９３０１    本体
９３０２    表示部
９３０３    アーム部
９４０１    本体
９４０２    筐体
９４０３    表示部
９４０４    音声入力部
９４０５    音声出力部
９４０６    操作キー
９４０７    外部接続ポート
９４０８    アンテナ
９５０１    本体
９５０２    表示部
９５０３    筐体
９５０４    外部接続ポート
９５０５    リモコン受信部
９５０６    受像部
９５０７    バッテリー
９５０８    音声入力部
９５０９    操作キー
９５１０    接眼部
１０１１ａ    蒸発源
１０１１ｂ    蒸発源
１０１１ｃ    蒸発源
１０１２ａ    第１の開口部
１０１２ｂ    第２の開口部
１０２１ａ    蒸発源
１０２１ｂ    蒸発源
１０２１ｃ    蒸発源
１０２１ｄ    蒸発源
１０２２ａ    第１の開口部
１０２２ｂ    第２の開口部
１０３１ａ    蒸発源
１０３１ｂ    蒸発源
１０３１ｃ    蒸発源
１０３１ｄ    蒸発源
１０３１ｅ    蒸発源
１０３１ｆ    蒸発源
１０３２ａ    第１の開口部
１０３２ｂ    第２の開口部
１１１４ａ    回転板
１１１４ｂ    回転板
１１１４ｃ    回転板
１１１４ｄ    回転板
１１１５ａ    被処理物
１１１５ｂ    被処理物
１１１５ｃ    被処理物
１１１５ｄ    被処理物
１１２５ａ    被処理物
【図１】
2006351523.tif 000002
【図２】
2006351523.tif 000003
【図３】
2006351523.tif 000004
【図４】
2006351523.tif 000005
【図５】
2006351523.tif 000006
【図６】
2006351523.tif 000007
【図７】
2006351523.tif 000008
【図８】
2006351523.tif 000009
【図９】
2006351523.tif 000010
【図１０】
2006351523.tif 000011
【図１１】
2006351523.tif 000012
【図１２】
2006351523.tif 000013
【図１３】
2006351523.tif 000014
【図１４】
2006351523.tif 000015
【図１５】
2006351523.tif 000016
【図１６】
2006351523.tif 000017