(57)【要約】【課題】  制御用マークの位置を確実に検出する制御用マーク位置検出装置、および、方法を提供することである。【解決手段】  制御用マーク・データのビデオ信号強度データと前記制御用マーク・データに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データのビデオ信号強度データの比を算出して、前記算出された比を所与の閾値と大小比較をして２値化して識別値として、前記制御用マーク・データに加える制御用マーク識別値算出手段と、お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの識別値が異なる場合に、前記お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの座標データは、制御用マーク部と背景部との境界に接する座標データであると判定する制御用マーク位置判定手段と、を備える制御用マーク位置検出装置である。【選択図】  図１
2006284536.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御用マークは、制御用マーク部と背景部から構成されていて、
記憶手段には、制御用マークを撮像して得られたビデオ信号のサンプリングされた位置を表す座標データと前記ビデオ信号の強度を表すビデオ信号強度データとを含む制御用マーク・データから構成される制御用マーク・ファイルを記憶させて、
制御用マーク・データのビデオ信号強度データと前記制御用マーク・データに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データのビデオ信号強度データの比を算出して、前記算出された比を第１の閾値と大小比較をして２値化して識別値として、前記制御用マーク・データに加える制御用マーク識別値算出手段と、
お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの識別値が異なる場合に、前記お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの座標データは、制御用マーク部と背景部との境界に接する座標データであると判定する制御用マーク位置判定手段と、
を備える制御用マーク位置検出装置。
【請求項２】
注目する制御用マーク・データを含んだ所定範囲でサンプリングされた制御用マーク・データの識別値の総和値を算出して、前記算出された総和値が第２の閾値より大きければ、注目する制御用マーク・データの識別値を大きな２値化の値に更新して、前記算出された総和値が第２の閾値より小さければ、注目する制御用マーク・データの識別値を小さな２値化の値に更新する制御用マーク識別値補正手段と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の制御用マーク位置検出装置。
【請求項３】
前記制御用マークを撮像して、ビデオ信号に変換する撮像手段と、
前記ビデオ信号から、前記撮像された制御用マークのサンプリング位置の座標データと前記サンプリング位置で撮像されたビデオ信号のビデオ信号強度データを含む制御用マーク・データを生成して、保持する制御用マーク・データ生成手段と、
を備えることを特徴とする請求項１または、請求項２に記載の制御用マーク位置検出装置。
【請求項４】
制御用マーク部と背景部から構成される制御用マークであって、
制御用マークを撮像して得られたビデオ信号のサンプリングされた位置を表す座標データと前記ビデオ信号の強度を表すビデオ信号強度データとを含む制御用マーク・データから構成される制御用マーク・ファイルを記憶させて、
制御用マーク・データのビデオ信号強度データと前記制御用マーク・データに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データのビデオ信号強度データの比を算出して、前記算出された比を第１の閾値と大小比較をして２値化して識別値として、前記制御用マーク・データに加える制御用マーク識別値算出ステップと、
お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの識別値が異なる場合に、前記お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの座標データは、制御用マーク部と背景部との境界に接する座標データであると判定する制御用マーク位置判定ステップと
を含んだ手順でなされることを特徴とする制御用マーク位置検出方法。
【請求項５】
注目する制御用マーク・データを含んだ所定範囲でサンプリングされた制御用マーク・データの識別値の総和値を算出して、前記算出された総和値が第２の閾値より大きければ、注目する制御用マーク・データの識別値を大きな２値化の値に更新して、前記算出された総和値が第２の閾値より小さければ、注目する制御用マーク・データの識別値を小さな２値化の値に更新する制御用マーク識別値補正ステップ
を含んだ手順でなされることを特徴とする請求項４に記載の制御用マーク位置検出方法。
【請求項６】
前記制御用マークを撮像して、ビデオ信号に変換する撮像ステップと、
前記ビデオ信号から、前記撮像された制御用マークのサンプリング位置の座標データと前記サンプリング位置で撮像されたビデオ信号のビデオ信号強度データを含む制御用マーク・データを生成して、保持する制御用マーク・データ生成ステップと、
を含んだ手順でなされることを特徴とする請求項４、または、請求項５に記載の制御用マーク位置検出方法。
【請求項７】
コンピュータに組込むことによって、コンピュータを請求項１から、請求項３のいずれか1項に記載の制御用マーク位置検出装置として動作させるコンピュータプログラム。
【請求項８】
請求項７に記載のプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷位置合わせマークや、露光装置のマスク・アライメント・マークなどの制御用マークの位置検出装置、及び、位置検出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、制御用マークの位置検出には、カメラ等の画像センサーを用いて、行われている。
【０００３】
たとえば、特許文献１には、半導体ウエハ等の基板上に形成された制御用マーク（アライメント・マーク）を、テレビカメラで撮像して、そのビデオ信号波形とその微分波形から、制御用マークの位置を検出する技術が提案されている。（従来技術１）
【特許文献１】特開平８−１４８４１６号公報（５〜１４頁、図１〜２、９〜１６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来技術１では、制御用マークを画像センサーで撮像すると、ビデオ信号波形には、ノイズ成分が含まれているために、その微分波形には、制御用マークの微分波形とノイズ成分の微分波形が混在してしまい、制御用マークの位置を誤検出するという欠点があった。
【０００５】
本発明は、このような従来技術を考慮してなされたものであって、本発明の課題は、制御用マークの位置を確実に検出する制御用マーク位置検出装置、および、方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。すなわち、請求項１に記載の発明は、制御用マークは、制御用マーク部と背景部から構成されていて、記憶手段には、制御用マークを撮像して得られたビデオ信号のサンプリングされた位置を表す座標データと前記ビデオ信号の強度を表すビデオ信号強度データととを含む制御用マーク・データから構成される制御用マーク・ファイルを記憶させて、制御用マーク・データのビデオ信号強度データと前記制御用マーク・データに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データのビデオ信号強度データの比を算出して、前記算出された比を第１の閾値と大小比較をして２値化して識別値として、前記制御用マーク・データに加える制御用マーク識別値算出手段と、お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの識別値が異なる場合に、前記お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの座標データは、制御用マーク部と背景部との境界に接する座標データであると判定する制御用マーク位置判定手段と、を備える制御用マーク位置検出装置である。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、注目する制御用マーク・データを含んだ所定範囲でサンプリングされた制御用マーク・データの識別値の総和値を算出して、前記算出された総和値が第２の閾値より大きければ、注目する制御用マーク・データの識別値を大きな２値化の値に更新して、前記算出された総和値が第２の閾値より小さければ、注目する制御用マーク・データの識別値を小さな２値化の値に更新する制御用マーク識別値補正手段と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の制御用マーク位置検出装置である。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、前記制御用マークを撮像して、ビデオ信号に変換する撮像手段と、
前記ビデオ信号から、前記撮像された制御用マークのサンプリング位置の座標データと前記サンプリング位置で撮像されたビデオ信号のビデオ信号強度データを含む制御用マーク・データを生成して、保持する制御用マーク・データ生成手段と、を備えることを特徴とする請求項１または、請求項２に記載の制御用マーク位置検出装置である。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、制御用マーク部と背景部から構成される制御用マークであって、制御用マークを撮像して得られたビデオ信号のサンプリングされた位置を表す座標データと前記ビデオ信号の強度を表すビデオ信号強度データとを含む制御用マーク・データから構成される制御用マーク・ファイルを記憶させて、制御用マーク・データのビデオ信号強度データと前記制御用マーク・データに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データのビデオ信号強度データの比を算出して、前記算出された比を第１の閾値と大小比較をして２値化して識別値として、前記制御用マーク・データに加える制御用マーク識別値算出ステップと、お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの識別値が異なる場合に、前記お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの座標データは、制御用マーク部と背景部との境界に接する座標データであると判定する制御用マーク位置判定ステップとを含んだ手順でなされることを特徴とする制御用マーク位置検出方法である。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、注目する制御用マーク・データを含んだ所定範囲でサンプリングされた制御用マーク・データの識別値の総和値を算出して、前記算出された総和値が第２の閾値より大きければ、注目する制御用マーク・データの識別値を大きな２値化の値に更新して、前記算出された総和値が第２の閾値より小さければ、注目する制御用マーク・データの識別値を小さな２値化の値に更新する制御用マーク識別値補正ステップを含んだ手順でなされることを特徴とする請求項４に記載の制御用マーク位置検出方法である。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、前記制御用マークを撮像して、ビデオ信号に変換する撮像ステップと、前記ビデオ信号から、前記撮像された制御用マークのサンプリング位置の座標データと前記サンプリング位置で撮像されたビデオ信号のビデオ信号強度データを含む制御用マーク・データを生成して、保持する制御用マーク・データ生成ステップと、を含んだ手順でなされることを特徴とする請求項４、または、請求項５に記載の制御用マーク位置検出方法である。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、コンピュータに組込むことによって、コンピュータを請求項１から、請求項３のいずれか1項に記載の制御用マーク位置検出装置として動作させるコンピュータプログラムである。
【００１３】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体である。
【００１４】
制御用マーク部の信号強度データの値は“１”以上の安定した値であるので、サンプリング位置が隣接する信号強度データとのビデオ信号強度比は、概ね“１”の値を示す。他方、背景部の信号強度データの値は “１”未満のランダムな値であるので、その信号強度比は、大きくばらつく。従って、信号強度比が、おおむね“１”の値の制御用マーク・データは制御用マーク部のものであり、それ以外の制御用マーク・データは、背景部のものと判定して識別値を与える。ところで、信号強度データの値は、ノイズにより、本来の値からずれることがある。そこで、信号強度比の判定結果（識別値）を前後のサンプリング位置の識別値と比較して、異なる識別値を示せば、ノイズによる悪影響の結果であると判断して、この識別値を前後の識別値と同じに補正する。この補正された識別値をサンプリングの順序に並べて、識別値が変化するところが、制御用マーク部と背景部の境界となる。
【発明の効果】
【００１５】
本願発明によれば、制御用マークの位置を確実に検出する装置、および、方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面等を参照しながら、本発明の実施の形態について、更に詳しく説明する。図１は、制御用マーク検出装置と位置制御装置との情報の流れの説明図である。制御用マーク位置検出装置１００は、画像センサー１０１を備えて、制御用マークの位置を検出する。位置制御装置２００は、移動台１００ａを制御する。制御用マーク検出装置１００と位置制御装置２００は、通信回線で接続されていて、以下のように、情報を送受信する。位置制御装置２００は、制御用マーク位置検出開始の指示を送信する（図１（ア））。制御用マーク位置検出装置１００は、制御用マーク位置検出開始の指示を受信する（同（イ））。制御用マーク１００ｂを画像センサー １０１で撮像して、マークの位置を検出する（同（（ウ））。制御用マーク位置検出装置１００は、制御用マーク位置検出情報を送信する（同（（エ））。
【００１７】
位置制御装置２００は、制御用マーク位置検出情報を受信する（同（（オ））。位置制御装置２００は、制御用マーク位置検出情報を基にして、制御用マークが正しい位置にあるか判定する（同（（カ））。位置制御装置２００は、正しい位置になければ、制御用マークが正しい位置につくように、移動台１００ａを移動させて、再度、制御用マークの位置検出を指示する。また、正しい位置にあれば、そのままの状態で終了する（同（（キ））。
【００１８】
図２は、制御用マーク位置検出装置の詳細な構成図である。制御用マーク検出装置１００は、制御用マーク・データ生成手段１０２と、制御用マーク識別値算出手段１０３と、制御用マーク識別値補正手段１０４と、制御用マーク位置判定手段１０５と、撮像手段１０１と、記憶手段１１２とを備える。記憶手段１１２は、制御用マーク・ファイル１１２ａと、識別値算出用閾値１１２ｆと、識別値補正補正用閾値１１２ｇとを記憶する。
【００１９】
制御用マーク・データ生成手段１０２は、制御用マークを撮像して得られたビデオ信号のサンプリングされた位置を表す座標データと前記ビデオ信号の強度を表すビデオ信号強度データを含む制御用マーク・データを生成して、保持する。制御用マーク識別値算出手段１０３は、制御用マーク・データのビデオ信号の強度データと前記制御用マーク・データに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データのビデオ信号の強度データの比を算出して、前記算出された比を識別値算出用閾値１１２ｆと大小比較をして２値化して識別値として、前記制御用マーク・データに加える。制御用マーク識別値補正手段１０４は、注目する制御用マーク・データを含んだ所定の範囲でサンプリングされた制御用マーク・データの識別値の総和値を算出して、前記算出された総和値が識別値補正補正用閾値１１２ｇより大きければ、注目する制御用マーク・データの識別値を大きな２値化の値に更新して、前記算出された総和値が識別値補正補正用閾値１１２ｇより小さければ、注目する制御用マーク・データの識別値を小さな２値化の値に更新する。制御用マーク位置判定手段１０５は、お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの識別値が異なる場合に、前記お互いに隣接してサンプリングされた制御用マーク・データの座標データは、制御用マーク部と背景部との境界に接する座標データであると判定する。撮像手段１０１は、制御用マークを撮像して、ビデオ信号に変換する。
【００２０】
記憶手段１１２は、制御用マーク検出装置１００に内蔵される不揮発メモリ領域である。撮像手段１０１は、光学センサを備えたハードウエアである。制御用マーク・データ生成手段１０２と、制御用マーク識別値算出手段１０３と、制御用マーク識別値補正手段１０４と、制御用マーク位置判定手段１０５とは、装置１００に内蔵されるコンピュータ・プログラムである。制御用マーク・ファイル１１２ａと、識別値算出用閾値１１２ｂと、識別値補正補正用閾値１１２ｃは、デジタル・データである。
【００２１】
図３は、ビデオ信号から生成する制御用マーク・ファイルの構造を説明する図である。制御用マーク・ファイル１１２ａは、複数の制御用マーク・データから構成される。制御用マーク・データは、“ビデオ信号強度データ”１１２ｂと“座標データ”１１２ｃと“ビデオ信号強度比”１１２ｄと“識別値”１１２ｅとを含んで構成される。“ビデオ信号強度データ”１１２ｂは、制御用マークを撮像して得られたビデオ信号の強度をデジタル化した値である。“座標データ”１１２ｃは、制御用マークを撮像してビデオ信号がサンプリングされた位置を示す座標データである。“ビデオ信号強度比”１１２ｄは、隣接してサンプリングした２つのビデオ信号強度データの比である。“識別値”１１２ｅは、識別値算出用閾値１１２ｆを用いて、ビデオ信号強度データの比を２値化したものである。
【００２２】
図４は、本発明によるの制御用マーク位置検出装置のフローチャートである。
（１）制御用マーク位置検出装置１００は、制御用マーク位置検出開始の指示を受信する。（    ステップＳ１１）
（２）撮影手段１０１は、制御用マーク１００ｂを撮像して、ビデオ信号に変換する。このと    き、マーク部１００ｃのビデオ信号強度は、大きく、背景部１００ｄのビデオ信号強度は    、小さくなる。（ステップＳ１２）
（３）制御用マーク・データ生成手段１０２は、ビデオ信号をデジタル化して、ビデオ信号サ    ンプリングの座標値１１２ｃ“Ｘ” と、ビデオ信号強度データ１１２ｂ“ｆ(Ｘ)”を    含む制御用マーク・データを作成して、制御用マーク・ファイル１１２ａに記録する。（    ステップＳ１３）
（４）制御用マーク識別値算出手段１０３は、制御用マーク・ファイル１１２ａの未処理の制    御用マーク・データ（“Ｘn”、 “ｆ(Ｘn)”）を選択する。（ステップＳ１４）
（５）制御用マーク識別値算出手段１０３は、ビデオ信号強度比算出式“ｆ(Ｘn)／f(Ｘn    +１) −1＝αn” を用いて、ビデオ信号強度比１１２ｄを算出して、制御用マーク・    ファイル１１２ａに記録する。（ステップＳ１５）
（６）制御用マーク識別値算出手段１０３は、２つの識別値算出用閾値１１２ｆ“α1”、“    α2”で、このビデオ信号強度データ比“αn”を評価する。ビデオ信号強度データ比“    αn”が、２つの識別値算出用閾値１１２ｆ“α1”、“α2”の間（α1＜αn＜α2    )であれば、次のステップに進む。αn ＜ α1 または、α2 ＜αnであれば、ステップ    （８）に進む。（ステップＳ１６）
（７）制御用マーク識別値算出手段１０３は、識別値を“βn=1”として、ステップ（９）に    進む。（ステップＳ１７）
（８）制御用マーク識別値算出手段１０３は、識別値を“βn=0”とする。（ステップＳ１８    ）
（９）全ての制御用マーク・データを選択していれば、次のステップに進む。選択していない    制御用マーク・データがあれば、ステップ（４）に戻る。（ステップＳ１９）
（１０）制御用マーク識別値補正手段１０４は、制御用マーク・ファイルの未処理の制御用マ    ーク・データ（“Ｘn”、 “ｆ(Ｘn)”）を選択する。（ステップＳ３１）
（１１）制御用マーク識別値補正手段１０４は、座標値１１２ｃの範囲が、“Ｘn−h≦Ｘn    ≦Ｘn＋h”に含まれる制御用マーク・データの識別値１１２ｅ“βn”の総和“Σβn    ”を算出する。（ステップＳ３２）
（１３）制御用マーク識別値補正手段１０４は、識別値補正用閾値１１２ｇ“ｅ”で、識別値    の総和“Σβn”を、評価する。識別値の総和“Σβn”が識別値補正用閾値１１２ｇ“    ｅ”以上であれば、次のステップに進む。識別値の総和“Σβn”が識別値補正用閾値１    １２ｇ“ｅ”未満であれば、ステップ（１５）に進む。（ステップＳ３３）
（１４）制御用マーク識別値補正手段１０４は、識別値を、“βn＝１”として、ステップ（    １６）に進む。（ステップＳ３４）
（１５）制御用マーク識別値補正手段１０４は、識別値“βn＝０”とする。（ステップＳ３    ５）
（１６）全ての制御用マーク・データを選択していれば、次のステップに進む。選択していな    い制御用マーク・データがあれば、ステップ（１０）に戻る。（ステップＳ３６）
（１７）制御用マーク・ファイルの未処理の制御用マーク・データ（“Ｘn”、 “ｆ(Ｘn    )”）を選択する。（ステップＳ３７）
（１８）制御用マーク位置判定手段１０５は、サンプリング座標が隣接する２つの制御用マー    ク・データの識別値“βn ”“βn+1”を比較する。隣接する２つの識別値“βn ”    “βn+1”を比較して、両者の値が異なれば、次のステップに進む。両者の値が同じであ    れば、ステップ（１５）に進む。（ステップＳ３８）
（１９）制御用マーク位置判定手段１０５は、座標値“Ｘn”は、マーク部と背景部の境界座    標として保持する。（ステップＳ３９）
（２０）全ての制御用マーク・データを選択していれば、次のステップに進む。選択していな    い制御用マーク・データがあれば、ステップ（１７）に戻る。（ステップＳ４０）
（２１）制御用マーク検出装置１００は、保持されているマーク部と背景部の境界座標値“Ｘ    n”を送信する。（ステップＳ４１）
【００２３】
なお、識別値算出用閾値１１２ｆと、識別値補正補正用閾値１１２ｇは、テストにより求められた値を用いるが、制御用マーク位置検出結果を評価して、適宜、変更してもよい。
【００２４】
図５は、制御用マークの例である。制御用マーク１１０ｂは、マーク部１１０ｃと背景部１１０ｄで構成されている。このマーク部１１０ｃと背景部１１０ｄは、色相・明度・彩度の差や濃度差により、反射光強度や透過光強度に相違が出るように、設計される。
【００２５】
図６は、制御用マークの反射光を撮像する方法である。制御用マーク１１０ｂに当てられた照明の反射光は、制御用マーク１１０ｂのマーク部１１０ｃと背景部１１０ｄの色相・明度・彩度の差や濃度差に応じて、反射光スペクトルや反射光強度に変化が生じて、画像センサ１１０に撮像されて、ビデオ信号に変換される。
【００２６】
図７は、制御用マークの透過光を撮像する方法である。制御用マーク１１０ｂと背景部１１０ｄは透明な支持体に形成されていて、制御用マーク１１０ｂを透過した光は、制御用マーク１１０ｂのマーク部１１０ｃと背景部１１０ｄの色相・明度・彩度の差や濃度差に応じて、透過光スペクトルや透過光強度に変化が生じて、画像センサ１１０に撮像されて、ビデオ信号に変換される。
【００２７】
図８は、マークを撮像したときの画像センサー信号の波形強度の例である。
制御用マーク１１０ｂを画像センサ１１０で撮像したときのビデオ信号強度のグラフ２００である。画像センサ１１０は、制御用マーク１１０ｂの撮像線１１０ｅ上を撮像して、サンプリング点（たとえば、“１００”１１０ｆ、“３００”１１０ｇ）をビデオ信号に変換する。ビデオ信号強度のグラフ２００は、縦軸ｆ(Ｘｎ)が、ビデオ信号強度を表して、横軸Ｘがサンプリングした座標値（たとえば、“１００”１１０ｈ、“３００”１１０ｉ）を表している。制御用マーク１１０ｂ上のサンプリング点の座標値とビデオ信号強度のグラフ２００のサンプリングした座標値は対応している。
【００２８】
図９は、ビデオ信号強度の説明図である。ビデオ信号強度のグラフ２００の部分拡大図２００ａは、座標値が、“３００”前後で、マーク部のビデオ信号強度値が、“２”前後の値で推移しており、背景部のビデオ信号強度値が、“±０．３”未満の値で推移していることを示している。部分拡大図２００ａで示されたビデオ信号のビデオ信号強度値と座標値は、図３のビデオ信号強度値１１２ｆと座標値１１２ｇに示したとおりである。
【００２９】
図１０は、隣接するビデオ信号強度の比のグラフである。マーク部のビデオ信号強度値ｆ(Ｘｎ) は、測定の結果、“１”から“８”の値を示すので、隣接するマーク部のビデオ信号強度値の比“ｆ(Ｘｎ)／ｆ(Ｘｎ+１)”は、“１”前後を示す。他方、背景部のビデオ信号強度値ｆ(Ｘｎ) は、“±１”未満の小さてランダムな値を示すので、その比は、“０”から“±∞”までの値をランダムな分布を示す。そこで、ビデオ信号強度値の比から１を減じた値“ｆ(Ｘｎ)／ｆ(Ｘｎ+１)−１”をグラフ化すると、図１０のようになる。マーク部の値は、“０” 前後を示し、背景部の値は、ランダムに分布した値を示している。
図９の部分拡大図２００ａで示した制御用マーク・データの“ｆ(Ｘｎ)／ｆ(Ｘｎ+１)−１”の値は、図３のビデオ信号強度比１１２ｈに示したとおりである。
【００３０】
図１１は、ビデオ信号強度比を２値化したグラフである。図１０に示した “ｆ(Ｘｎ)／ｆ(Ｘｎ+１)−１”の値を、識別値算出用閾値１１２ｆで２値化した値をグラフ２２０に示した。マーク部１００ｃの値は、“１”を示して、 背景部１００ｄの値は、概ね“０”を示しているが、ビデオ信号のノイズや制御用マーク上の汚れ・ごみや照明光のむらなどが原因となり、異常値が若干混在している。
【００３１】
図１２は、識別値補正用閾値１１２ｇで補正した識別値のグラフと制御用マークの境界位置との図解である。識別値のグラフ３２０ａは、図１１のビデオ信号強度比を２値化したグラフ３２０の識別値を補正処理した結果である。識別値が変化する点Ａ、Ｂ、Ｃ、…、Ｍ，Ｎが、制御用マーク１００ｂのマーク部１００ｃと背景部１００ｄとの境界位置と一致することを示している。前記識別値が変化する点の座標値は、座標値一覧表２３０に示すとおり、“Ａ：１２０”、“Ｂ：２００”、“Ｃ：２５０”、…、“Ｍ：９５０”、“Ｂ：１０００” である。
【００３２】
このように、画像センサは、１次元ライン・センサによる実施事例を説明したが、ＴＶカメラのような２次元センサを用いても、同様の効果が得られる。制御マークの濃淡を撮像して、ビデオ信号強度に変換する実施事例を説明したが、制御マークの色相・彩度・明度を撮像して、受光スペクトルに変換して色差処理をしても、同様の効果が得られる。
【００３３】
以上詳しく説明したように、本願発明によれば、印刷位置合わせマークや、露光装置のマスク・アライメント・マークなどの制御用マークの位置を確実に検出する装置、および、方法を提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図２】制御用マーク位置検出装置と位置制御装置との情報の流れ
【図１】制御用マーク位置検出装置構成図
【図３】ビデオ信号から生成するマーク・ファイルの構造と例
【図４】制御用マーク位置検出装置のフローチャート
【図５】制御用マークの例
【図６】マークを撮像する方法（マークの反射光を撮像する場合）
【図７】マークを撮像する方法（マークの透過光を撮像する場合）
【図８】マークを撮像したときの画像センサー信号の波形強度の例
【図９】画像センサー信号から生成するビデオ信号強度比方算出法の説明図の例
【図１０】ビデオ信号強度比のグラフ
【図１１】ビデオ信号強度比２値化のグラフ
【図１２】２値化したビデオ信号強度比の区間評価結果の図解
【符号の説明】
【００３５】
１００  制御用マーク検出装置
１００ａ  移動台
１００ｂ  制御用マーク
１００ｃ  マーク部
１００ｄ  背景部
１００ｅ  制御用マーク上をサンプリングした線
１０１  撮像手段
１０２  制御用マーク・データ生成手段
１０３  制御用マーク識別値算出手段
１０４  制御用マーク識別値補正手段
１０５  制御用マーク位置判定手段
１１０  画像センサ
１１２  記憶手段
１１２ａ  制御用マーク・ファイル
１１２ｂ  ビデオ信号強度データ
１１２ｃ  座標データ
１１２ｄ  ビデオ信号強度比
１１２ｅ  識別値
１１２ｆ  識別値算出用閾値
１１２ｇ  識別値補正用閾値
２００  位置制御装置
３００  ビデオ信号強度のグラフ
３００ａ  部分拡大図
３２０  識別値算出用閾値で２値化した値をグラフ
３２０ａ  異常値を補正処理した結果の識別値をグラフ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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