(57)【要約】【課題】  振動に対する敏感さを低下させた光学系の評価装置を提供する。【解決手段】  光学系１の光軸評価装置Ａは、表示領域を有する表示器８と、光学系１から基準面上に投影された像を、表示領域上の基準位置に常に表示させる投影像捕捉装置３とを備える。投影像捕捉装置３は、光学系から基準面に投影された像を撮像する光学検出器５と、この撮像画像を、表示領域上の基準位置に表示させる捕捉制御器７とを備える。さらに、捕捉制御器７は、低倍率の撮像画像を受けて、光学系１を光学検出器５に対して相対的に調整可能に位置決めする位置決め部７０であって、投影像が、第１の検出領域上の特定領域内に位置するように動作する、位置決め部７０と、高倍率の撮像画像を受けて、表示器８の表示領域の基準位置に投影像の画像を表示させることにより、投影像の表示領域上における揺れを抑制する投影像揺れ抑制部７２と、を備える。【選択図】  図１
2006107582.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系の評価装置であって、
台と、
該台に支持された基盤と、
該基盤の上側および下側の一方に装着したＸ／Ｙステージであって、該ステージに評価対象の光学系装置を装着するための前記のＸ／Ｙステージと、
前記基盤の上側および下側の他方に装着した光学検出器と、
を備えた光学系評価装置。
【請求項２】
請求項１記載の光学系評価装置であって、
さらに、画像処理手段を備え、
該画像処理手段は、前記評価対象の光学系装置からの投影像を検出する前記光学検出器からの画像を処理することにより、前記画像における投影像の揺れを抑制すること、
を特徴とする光学系評価装置。
【請求項３】
請求項２記載の光学系評価装置であって、
さらに、表示器を備え、
該表示器は、前記画像処理手段からの前記画像を表示する表示領域を有し、
前記表示領域に表示された画像における前記投影像が、前記表示領域内の基準位置に表示されるようにすること、
を特徴とする光学系評価装置。
【請求項４】
請求項１記載の光学系評価装置において、
前記台および前記基盤は、水平方向に延在し、
前記Ｘ／Ｙステージは、前記評価対象の光学系装置を、前記基盤に対し相対的に水平方向に移動させることができること、
を特徴とする光学系評価装置。
【請求項５】
請求項４記載の光学系評価装置において、
前記Ｘ／Ｙステージは、前記評価対象の光学系装置を取り付けるための取り付けヘッドを備え、
該取り付けヘッドは、前記光学系装置に含まれる光学系の光軸が概して垂直方向に向くように取り付けたこと、
を特徴とする光学系評価装置。
【請求項６】
請求項５記載の光学系評価装置において、
前記光学検出器は、前記評価対象の光学系装置から投影される像を受けるための検出光学系を備え、
該光学検出器の前記検出光学系は、該光学検出器が装着された前記基盤の前記他方の側から、前記Ｘ／Ｙステージが装着された前記一方の側の方へと垂直方向に延在して、前記検出光学系の先端が、前記Ｘ／Ｙステージに取り付けられる前記評価対象の光学系装置の前記光学系の近くに位置するようにしたこと、
を特徴とする光学系評価装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の光学系評価装置を備えた光学系調整装置。
【請求項８】
光学系の光軸についての評価を行う装置であって、
表示領域を有する表示器と、
光学系から基準面上に投影された像を、前記表示領域上の基準位置に常に表示させる投影像捕捉手段と、
を備えた光学系の光軸評価装置。
【請求項９】
請求項８記載の光軸評価装置において、
前記投影像捕捉手段は、
光学系から基準面に投影された像を撮像する光学検出器と、
前記撮像画像を、前記表示領域上の基準位置に表示させる捕捉制御器と、
を備えたこと、を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１０】
請求項９記載の光軸評価装置において、
前記光学検出器は、
前記光学系がその光軸上において投影する像を受ける前記基準面を構成する擬似ディスクと、
前記基準面上の投影像を、第１の倍率で撮像して第１の撮像画像を発生する、第１の検出領域をもつ第１の検出器と、
前記投影像を、第１の倍率より高い第２の倍率で撮像して第２の撮像画像を発生する、第２の検出領域をもつ第２の検出器であって、前記第２検出領域が、前記第１検出領域内の特定の領域に対応する、前記の第２の検出器と、
を備えたこと、を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の光軸評価装置において、
前記第１と第２の検出器は、２次元撮像素子を含むこと、
を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１２】
請求項１１記載の光軸評価装置において、
前記２次元撮像素子は、ビデオ信号フォーマットの信号を発生するＣＣＤカメラであること、
を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１３】
請求項１０記載の光軸評価装置において、
前記捕捉制御器は、
前記第１撮像画像を受けて、前記光学系を前記光学検出器に対して相対的に調整可能に位置決めする位置決め手段であって、前記投影像が、前記第１検出領域上の前記特定領域内に位置するように動作する、前記の位置決め手段と、
前記第２撮像画像を受けて、前記表示器の前記表示領域の基準位置に前記投影像の画像を表示させることにより、投影像の前記表示領域上における揺れを抑制する投影像揺れ抑制手段と、
を備えたこと、を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１４】
請求項１３記載の光軸評価装置において、
前記投影像揺れ抑制手段は、
前記第２撮像画像中における前記投影像の位置を検出する投影像位置検出手段と、
前記第２撮像画像中の、前記投影像位置を含む画像部分を発生して、前記表示器に供給する画像抜き取り手段と、
を備えたこと、
を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１５】
請求項１４記載の光軸評価装置において、
前記投影像位置検出手段は、
前記第２撮像画像のデータを格納する、行列に配置された複数のアドレスをもつメモリと、
前記複数のアドレスと、これらアドレスに格納された画像データとから、前記投影像の重心に対応する重心アドレスを計算する重心計算手段であって、前記投影像の重心が前記投影像位置を表す、前記の重心計算手段と、
を備えたこと、を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１６】
請求項１５記載の光軸評価装置において、
前記重心計算手段は、
前記メモリの前記複数のアドレスに格納された１フィールドの画像データの輝度信号がしきい値以上のときのその輝度信号のアドレスを記憶する記憶手段と、
前記１フィールドの画像データに対して前記記憶手段に記憶された少なくとも１つのアドレスを受け、該少なくとも１つのアドレスの値を加算し、該少なくとも１つのアドレスの個数で除算することにより前記重心アドレスを計算する計算手段と、
を備えたこと、を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１７】
請求項１５記載の光軸評価装置において、
前記画像抜き取り手段は、
前記重心アドレスを含むアドレス空間を定めるアドレス空間手段であって、該アドレス空間のアドレスを順次発生する、前記のアドレス空間手段と、
該アドレス発生手段からアドレスを受け、前記メモリの該アドレスに格納された画像データを読み取って前記表示器に供給する読み取り手段と、
を備えたこと、を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１８】
請求項１５記載の光軸評価装置において、
前記表示器は、モニタ表示位置指定機能を有し、
前記抜き取り手段は、前記重心アドレスを、モニタ表示位置指定アドレスとして使用し、
これにより、前記表示器の表示領域上のおける投影像の揺れを抑制すること、
を特徴とする光学系光軸評価装置。
【請求項１９】
請求項８から１８のいずれかに記載の光学系光軸評価装置を備えた光学系光軸調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＤやＤＶＤ用の光ピックアップのような光学系の評価装置または調整装置、特にこのような装置の耐振構造、並びに、光軸の傾きの評価または調整に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＤやＤＶＤ用の光ピックアップの光学系の光軸の評価装置または調整装置は、ピックアップからのビームにより生ずるビーム・スポット画像を拡大して表示することにより、ピックアップの対物レンズの光軸の傾きの調整を行っている。このような従来の光軸評価／調整装置は、スポット画像の拡大率が高いため、評価／調整装置への外部環境からの振動がある一定限度以上に抑えられた状態で使用するように設計されている。したがって、このような光軸評価／調整装置を使用するためには、評価／調整装置を防振台上に設置する等の十分な防振対策をとることが必要となっている。
【０００３】
しかし、防振台は、一般的に高価であり、しかも防振性能が高くなるにつれ、より一層高価なものとなる。これは、光軸評価／調整装置を含む設備全体の価格を上昇させる。さらに、このような従来の光軸評価／調整装置は、装置自体が外部からの振動に敏感であり、さらに光ピックアップの対物レンズの傾き調整の際に、対物レンズの傾きを手で調整する作業により生じる振動の影響も大きく受ける。このような振動に対する敏感さは、振動が収まるまで調整作業を一時的に中断せざるを得なくなるという問題も生じさせる。光軸評価／調整装置における他の部分、例えば、位置追跡（ビーム・スポット画像の追跡）のためのＸ／Ｙステージ等の動きに伴い生じる振動もある。このような振動も、調整作業に要する時間を長引かせるものとなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
したがって、本発明の目的は、振動に対する敏感さを低下させた、光学系の評価装置または調整装置を提供することである。
本発明の別の目的は、振動に対する敏感さを低下させた、光学系の光軸の評価装置または調整装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の１形態によれば、本発明が提供する光学系評価装置は、台と、該台に支持された基盤と、該基盤の上側および下側の一方に装着したＸ／Ｙステージであって、該ステージに評価対象の光学系装置を装着するための前記のＸ／Ｙステージと、前記基盤の上側および下側の他方に装着した光学検出器と、を備える。さらに、光学系評価装置は、画像処理手段を備えることができ、この画像処理手段は、前記評価対象の光学系装置からの投影像を検出する前記光学検出器からの画像を処理することにより、前記画像における投影像の揺れを抑制するようにする。
【０００６】
また、本発明の別の形態によれば、本発明が提供する光学系の光軸評価装置は、表示領域を有する表示器と、光学系から基準面上に投影された像を、前記表示領域上の基準位置に常に表示させる投影像捕捉手段と、を備える。前記投影像捕捉手段は、光学系から基準面に投影された像を撮像する光学検出器と、前記撮像画像を、前記表示領域上の基準位置に表示させる捕捉制御器と、を備えることができる。前記光学検出器は、前記光学系がその光軸上において投影する像を受ける前記基準面を構成する擬似ディスクと、前記基準面上の投影像を、第１の倍率で撮像して第１の撮像画像を発生する、第１の検出領域をもつ第１の検出器と、前記投影像を、第１の倍率より高い第２の倍率で撮像して第２の撮像画像を発生する、第２の検出領域をもつ第２の検出器であって、前記第２検出領域が、前記第１検出領域内の特定の領域に対応する、前記の第２の検出器と、を備えることができる。前記捕捉制御器は、前記第１撮像画像を受けて、前記光学系を前記光学検出器に対して相対的に調整可能に位置決めする位置決め手段であって、前記投影像が、前記第１検出領域上の前記特定領域内に位置するように動作する、前記の位置決め手段と、前記第２撮像画像を受けて、前記表示器の前記表示領域の基準位置に前記投影像の画像を表示させることにより、投影像の前記表示領域上における揺れを抑制する投影像揺れ抑制手段と、を備えることができる。前記投影像揺れ抑制手段は、前記第２撮像画像中における前記投影像の位置を検出する投影像位置検出手段と、前記第２撮像画像中の、前記投影像位置を含む画像部分を発生して、前記表示器に供給する画像抜き取り手段と、を備えることができる。前記投影像位置検出手段は、前記第２撮像画像のデータを格納する、行列に配置された複数のアドレスをもつメモリと、前記複数のアドレスと、これらアドレスに格納された画像データとから、前記投影像の重心に対応する重心アドレスを計算する重心計算手段であって、前記投影像の重心が前記投影像位置を表す、前記の重心計算手段と、を備えることができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、従来使用されていたような防振台を不要としたり、またはより簡素な防振台の使用で足りるようにすることができる。また、これにより、光学系の評価装置または調整装置全体のコストを低減することもできる。あるいはまた、本発明では、従来よりも大きな振動下でも、光軸の傾き調整が可能となる。このことはまた、従来のようなＸ／Ｙステージによる高い位置追跡能力が不要となり、位置追跡を簡単化および低コスト化することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明による１実施形態の光学系評価装置Aを示している。図示のように、この光学系評価装置Ａは、評価対象の光学系、すなわち被調整光学系１内の光学要素（例えば対物レンズ）の光学的パラメータ（例えば光軸の傾き）に対する評価をするため、投影像捕捉装置３を備えている。投影像捕捉装置３は、被調整光学系１からの投影像、例えば光学系内の光学要素を経たビームによるビーム・スポット（ＢＳ）画像を捕捉するため、光学検出器５と捕捉制御器７とを備えている。また、光学系評価装置Ａは、この捕捉した投影像を表示領域上の基準位置に表示する表示器８も備えている。
【０００９】
詳細には、光学検出器５は、光学系からの投影像を受ける基準面を備え、そしてこの基準面上の投影像を撮像する第１検出器５０と第２検出器５２とを備えている。第１検出器５０は、第１の２次元の検出領域を有していて、基準面上の投影像を、低倍率で撮像して低倍率撮像画像を発生し、そして第２検出器５２は、第２の２次元の検出領域を有していて、その投影像を、高倍率で撮像して高倍率撮像画像を発生する。ここで、第２検出器５２の第２検出領域は、第１検出器５０の第１検出領域内の中央部の小領域である目標領域に対応している。また、捕捉制御器７は、位置決め部７０と、投影像揺れ抑制部７２とを備えている。位置決め部７０は、被調整光学系１を光学検出器５に対して相対的に調整可能に位置決めして、投影像が、第１検出領域上の目標領域内に位置するようにするため、位置検出部７００と位置調整部７０２とを備えている。したがって位置決め部７０は、投影像が目標領域外にあるときには、投影像を目標領域内に入れ、そして目標領域内にある間にこの領域外へ出ようとするときには目標領域内に留まるように動作する。尚、目標領域内での投影像の動きは、許容する。
【００１０】
また、投影像揺れ抑制部７２は、第２検出器５２からの高倍率撮像画像を受けて、表示器８の表示領域の基準位置に投影像の画像を表示させることにより、投影像の表示領域上における揺れを抑制するため、投影像位置検出部７２０と、画像抜き取り部７２２とを備えている。上記のように、位置決め部７０では、目標領域内での投影像の動きは許容しているため、投影像の高倍率撮像画像では、光学系評価装置Ａに加わる振動により投影像は大きく揺れて見える。このため、投影像位置検出部７２０は、第２検出器５２からの高倍率撮像画像中における投影像の位置を検出し、そして  画像抜き取り部７２２は、高倍率撮像画像中の、その投影像位置を含む画像部分を発生して表示器８に供給する。表示器は、画像抜き取り部７２２からの画像部分を表示領域の基準位置に表示させることにより、投影像の表示領域上における揺れを抑制する。この実質上止まって見える投影像は、被調整光学系１の光学要素のある種の調整（例えば、光軸の傾き調整）を容易に行うことができるようにする。
【００１１】
次に、図２〜図１３を参照して、図１の光学系評価装置Ａを適用した１実施形態である、ＣＤまたはＤＶＤ用の光ピックアップの光軸調整装置Ｂについて説明する。この光軸調整装置Ｂは、光ピックアップ内に設けられた対物レンズの光軸の傾きを調整するのに用いる。
【００１２】
先ず、図２〜図４を参照して、光軸調整装置Ｂの機構部について詳細に説明する。尚、図１の要素と対応する要素には同じ参照番号に記号“Ｂ”を付してある。図２は、光軸調整装置Ｂの機構部の概略的な正面図と、その他の電気的処理部とを示しており、図３は、図２の機構部の一部断面で示した側面図であり、図４は、図２および図３に示した光学検出ユニットと調整対象の光ピックアップを示す概略図である。図２および図３に示したように、光軸調整装置Ｂの機構部は、被調整ピックアップ１Ｂを取り付けることができる支持機構２Ｂと、この支持機構２Ｂに取り付けられた光学検出ユニット５Ｂとで構成され、そして光軸調整装置Ｂの電気的処理部は、支持機構２Ｂに取り付けらえたプリアンプ・ユニット７Ｂ−１と、そして支持機構２Ｂとは別に設置されたコンピュータ本体部７Ｂ−２と、表示部８Ｂと、リモコン部９Ｂとで構成されている。
【００１３】
機構部についてさらに詳細に説明すると、図２および図３から分かるように、支持機構２Ｂは、水平に載置される板である支持台２００と、この支持台２００に取り付けた２つの側板２０２および２０４と、背面板２０６と、これら板により支持された共通の基盤２０８を備えている。これら台と側板と基盤とは、互いにネジ等で強固に固着されている。また、機構部は、基盤２０８の上面に取り付けられた光学検出ユニット５Ｂと、基盤２０８の下面に取り付けられたＸ／Ｙステージ２２０とを備えている。光学検出ユニット５Ｂは、本体部分５０と、この本体部分５０から下方に延びた鏡筒部分５５とを有している。また、Ｘ／Ｙステージ２２０は、基盤２０８の下面に固定部が装着されたＸ軸ステージ２２２と、Ｘ軸ステージ２２２の可動部の下面に固定部が装着されたＹ軸ステージ２２４と、Ｙ軸ステージ２２４の可動部の下面に装着されたピックアップ取り付けヘッド２２６とを備えている。取り付けヘッド２２６には、被調整ピックアップ１Ｂを取り付けるための取り付け機構を有しており、そしてその取り付け機構は、取付ヘッドに取り付けられている水平に配置された２本の軸（主軸と副軸）２２５と、これら軸に挿入されたピックアップを固定するバネ（不図示）とを備えている。さらに、Ｘ／Ｙステージ２２０は、背面板２０６の背面に取り付けたＸ軸およびＹ軸用のステッピングモータ２２８，２２９（図３では、１つのみ図示）を備え、これにより、Ｘ軸ステージ２２２とＹ軸ステージ２２４のそれぞれを駆動する。ステッピングモータ２２８，２２９は、ステッピングモータの回転位置により、中心軸をずらした円形のカム２２７（図３においてステッピングモータの上方に示す）を介してＸ／Ｙステージの移動量を制御する(すなわち、Ｘ／Ｙステージに取り付けられた板２２１をカムで押すことによりステージを移動させる)。また、支持機構２Ｂは、１対の傾き調整ノブ２３０を回転可能に支持する機構（不図示）が取り付けヘッド２２６に取り付けられている。これにより、傾き調整ノブの各々は、先端がねじ回しになっていて、被調整ピックアップ１Ｂの対物レンズの傾きを定める２つのネジの対応するものを回すことができるようにしている。
【００１４】
以上のように、機構部においては、光学検出ユニット５ＢとＸ／Ｙステージ２２０とは、互いに共通の基盤２０８に装着しているため、床等から受ける振動に対して、光学検出ユニット５ＢとＸ／Ｙステージ２２０したがってこれに取り付ける被調整ピックアップ１Ｂとの間の相対的な位置関係は、少なくとも水平方向において変化が少ない構造となっている。しかも、光学検出ユニット５ＢとＸ／Ｙステージ２２０とを基盤２０８の上面と下面のそれぞれ反対側に配置しているため、基盤２０８を共通の支点とすることができるため、位置関係の相対的変化をさらに低減することができている(外部振動に対して光学検出ユニット５ＢとＸ／Ｙステージ２２０の相対関係の変化は小さい)。さらに、共通の基盤への装着により、光学検出ユニット５ＢとＸ／Ｙステージ２２０が垂直方向に密接しているため、垂直方向における相対的な位置関係の変化も少なくなっている。
【００１５】
次に、図４を参照すると、これには、光学検出ユニット５Ｂと被調整ピックアップ１Ｂの光学系を概略的に示している。先ず、被調整ピックアップ１Ｂは、ベース部１０と、対物レンズ支持台１２とを備えている。ベース部１０は、概略的に示したように、本体１００を備え、そしてこの本体１００内に、レーザダイオード１０２と、コリメータ・レンズ１０４と、ミラー１０６とを備えて、レーザダイオード１０２からのレーザ・ビームを上方へと向ける。また、対物レンズ支持台１２は、本体１２０と、本体内に装着されたフォーカス・アクチュエータ１２２とを備え、そしてフォーカス・アクチュエータ１２２は、対物レンズ１２４を垂直方向に可動するように装着している。対物レンズ１２４は、レーザダイオード１０２からのビームをミラー１０６を介して受けて上方にある焦点距離の位置で合焦させる。この位置は、フォーカス・アクチュエータ１２２で調整可能である。また、対物レンズ支持台１２は、ベース部１０に対しては、２つのネジ１２６および１２８で調節可能に取り付けられている。これら２つのネジすなわち傾角調整ネジは、当該分野でよく知られているように、Ｘ軸方向およびＹ軸方向における傾きの調整に使用することができる。
【００１６】
また、光学検出ユニット５Ｂは、上記のように、本体５０と鏡筒５５とを備えているが、鏡筒５５は、筒５５０と、その先端に取り付けられた疑似ディスク５５２と、筒５５０内に取り付けられた対物レンズ５５４とを備えている。疑似ディスク５５２の背面が焦点面５５６になっている。焦点面５５６は、被調整ピックアップ１Ｂの対物レンズからのビーム・スポットが投影される基準面を構成しており、そしてこの焦点面におけるビーム・スポット（ＢＳ）画像は、対物レンズ５５４で平行光に変換する。また、光学検出ユニット５Ｂの本体５０は、焦点面５５６上のビーム・スポット画像を検出するため、低倍率ＣＣＤカメラ５００と、高倍率ＣＣＤカメラ５２０とを備え、さらにフォーカス検出センサ５６０も備えている。低倍率ＣＣＤカメラ５００は、２次元の撮像素子であって、対物レンズ５５４からのビーム・スポット画像を、ハーフミラー５０２を介し合焦レンズ５０４を経て受ける。フォーカス検出センサ５６０は、そのビーム・スポット画像を、ハーフミラー５０２からさらにハーフミラー５６２を介し合焦レンズ５６４を経て受ける。さらに、高倍率ＣＣＤカメラ５２０は、そのビーム・スポット画像を、ハーフミラー５０２からさらにハーフミラー５６２そしてミラー５２２を介しそして合焦レンズ５２４を経て受けるようになっている。
【００１７】
ここで、図５を参照して、低倍率ＣＣＤカメラ５００と高倍率ＣＣＤカメラ５２０の検出領域の関係について説明する。図示のように、低倍率ＣＣＤカメラ５００の撮像領域は、検出領域ＳＡ１（図５（ａ））であり、そしてこの検出領域ＳＡ１は、その中央部に小さな領域である目標領域ＴＡが位置している。一方、高倍率ＣＣＤカメラ５２０の撮像領域は、検出領域ＳＡ２（図５（ｂ））を構成し、この領域は、検出領域ＳＡ１内の小さな目標領域ＴＡに対応している。尚、低倍率ＣＣＤと高倍率ＣＣＤの倍率比は、例えば２０倍である。前述のように、ビーム・スポット（ＢＳ）画像Ｐが検出領域ＳＡ１内に入ると、光軸調整装置Ｂでは、この画像が、「Ｐ’」で示すように目標領域ＴＡ内に入るようにＸ／Ｙステージの位置を制御し、これにより、高倍率の検出領域ＳＡ２では、図示のように例えば中心から左下方向にずれた位置に現れる。尚、検出領域ＳＡ２におけるＢＳ画像の位置は、光軸調整装置Ｂが受ける振動により、大きく揺れることになる。本発明の光軸調整装置Ｂでは、検出領域ＳＡ２内の、ＢＳ画像Ｐ’を中心に含む一定の大きさの画像部分を切り出す。この切出領域ＣＡの画像部分を、表示器８Ｂの表示領域ＤＡ（図５（ｃ））に表示することにより、表示領域ＤＡ内において画像ＢＳ’が止まって見えるようにする。尚、フォーカス検出センサ５６０は、従来のフォーカスセンサと同様に２次元の検出領域を有しており、そして非点収差法等の従来の方法を使用してフォーカス状態にあるか否か検出するものである。尚、このフォーカス検出センサ５６０は、ビーム・スポット（ＢＳ）画像が目標領域ＴＡ内にある限りはそのフォーカス状態を検出できる従来の任意のタイプのものが使用可能であり、したがってこれ以上の説明は省略する。
【００１８】
次に、図６を参照して、光軸調整装置Ｂの電気的処理部について詳細に説明する。図６は、上述した機構部に含まれる光学検出ユニット５Ｂ（低倍率ＣＣＤカメラ５００、高倍率ＣＣＤカメラ５２０およびフォーカス検出センサ５６０を含む）、被調整ピックアップ１ＢおよびＸ／Ｙステージ２２０に加え、プリアンプ・ユニット７Ｂ−１と、コンピュータ本体部７Ｂ−２と、表示部８Ｂとリモコン部９Ｂをより詳細に示している。図示のように、プリアンプ・ユニット７Ｂ−１は、ローカルＣＰＵ７０００と、Ｘ／Ｙ位置情報発生回路７００２と、ステッピングモータ・ドライバ７０２０と、オート・パワーコントロール（ＡＰＣ）回路７０４０と、フォーカスサーボ回路７０４２と、電源７０４４とを備えている。詳細には、ローカルＣＰＵ７０００は、光軸調整装置Ｂにおけるフォーカス調整とＸ／Ｙステージの位置調整を制御するようにプログラムされており、そして種々の入力および出力を備えている。すなわち、ローカルＣＰＵは、リモコン部９Ｂから、光ピックアップ内のレーザダイオードの点灯を指示するＬＤ−ＯＮ信号、フォーカス調整の開始を示すフォーカスＯＮ信号、その他のリモートコントロール信号を受ける。また、ローカルＣＰＵは、Ｘ／Ｙ位置情報発生回路７００２から、検出領域ＳＡ１内におけるビーム・スポット（ＢＳ）画像（図５に示す）の位置の検出に使用する１組のＸ／Ｙ位置検出用信号を受け、また、ステッピングモータ２２８／２２９の原点位置を示す原点位置信号出力を受ける。また、ローカルＣＰＵは、ＬＤ−ＯＮ信号に応答して点灯信号を出力に発生してこれをＡＰＣ回路７０４０に供給する。また、ローカルＣＰＵは、フォーカスＯＮ信号に応答して三角波電圧を出力に発生してこれをフォーカスサーボ回路７０４２に供給し、またＸ／Ｙ位置情報発生回路からの位置検出用信号に応答してＸ／Ｙ位置を検出し、そしてこの検出したＸ／Ｙ位置に応じたＸ／Ｙステージの位置制御信号を出力に発生してこれをステッピングモータ・ドライバ７０２０に供給する。また、ローカルＣＰＵは、ビーム・スポット（ＢＳ）画像が検出領域ＳＡ１内の目標領域ＴＡ内にあるときにフォーカスサーボＯＮ信号を出力に発生して、これをフォーカスサーボ回路７０４２に供給する。さらに、ローカルＣＰＵは、対物レンズ１２４の合焦状態を表すフォーカス状態ＯＮを示す信号が発生されたときに傾き測定開始信号を出力に発して、コンピュータ本体部７Ｂ−２に供給する。
【００１９】
さらに詳細に説明すると、ＡＰＣ回路７０４０は、ローカルＣＰＵからの点灯信号を受けると、被調整ピックアップ１Ｂのレーザダイオード１０２（図４）の出力パワーを制御する端子に電圧を印加して点灯し、ピックアップ内のモニタダイオード（これはピックアップのレーザダイオード１０２の光量をモニタするダイオードであり、図４では図示を省略）の出力を検出してその値が規定値になるように印可する電圧を制御する。これは、ビーム・スポット（ＢＳ）画像を疑似ディスクの焦点面５５６上に投影させる。また、Ｘ／Ｙ位置情報発生回路７００２は、低倍率ＣＣＤカメラ５００に接続して、このＣＣＤからのビデオ信号出力を受け、そして出力に、ＢＳ画像Ｐ（図５に示す）の検出領域ＳＡ１内における位置の検出に使用するＢＳ画像位置検出用信号を出力に発生してローカルＣＰＵに供給する。ドライバ７０２０は、ローカルＣＰＵから受ける位置制御信号に応答して、ステッピングモータ２２８（図３）を駆動する。
【００２０】
また、プリアンプ・ユニット７Ｂ−１に設けられたフォーカスサーボ回路７０４２は、フォーカス検出センサ５６０に接続して、このセンサからのフォーカス状態を表す信号を受ける入力を有し、そして出力に、１つの動作モードすなわち位置検出モードにおいてはローカルＣＰＵからの三角波電圧を受けて三角波出力を発生し、そしてもう１つの動作モードすなわちフォーカスサーボモードにおいては、検出されたフォーカス状態に応じたフォーカス調整信号を発生する。尚、位置検出モードには、ローカルＣＰＵからフォーカスＯＮ信号を受けた時に入り、そしてフォーカスサーボモードには、ローカルＣＰＵからフォーカスサーボＯＮ信号を受けた時に入る。いずれにしても、三角波出力またはフォーカス調整信号は、被調整ピックアップ１Ｂのフォーカス・アクチュエータ１２２に供給され、そしてこのアクチュエータは、対物レンズ１２４の位置を光軸方向に沿って移動させるかまたは微動させる。フォーカスサーボモードにおいては、対物レンズ１２４の合焦状態が維持され、そしてフォーカスサーボ回路７０４２は、この合焦状態を検出すると、これを表すフォーカス状態ＯＮ信号を出力に発生して、ローカルＣＰＵに供給する。プリアンプ・ユニット７Ｂ−１に含まれる電源７０４４は、ＣＣＤ５００，５２０、および被調整ピックアップ１Ｂに対して電力を供給するように接続されている。さらに、プリアンプ・ユニット７Ｂ−１は、ＣＣＤ出力切り換えスイッチＳＷを備え、これは、低倍率ＣＣＤ５００あるいは高倍率ＣＣＤ５２０の出力の一方を選択してコンピュータ本体部７Ｂ−２に供給する。尚、通常は、このスイッチＳＷは、高倍率ＣＣＤ５２０の出力を選択するように設定されている。また、各ＣＣＤの出力は、それぞれのモニタ出力端子にも、各ＣＣＤカメラ出力のモニタのために接続されている。
【００２１】
さらに、図６に示すように、コンピュータ本体部７Ｂ−２は、プリアンプ・ユニット７Ｂ−１からのビデオ信号出力を受けるビデオＡ／Ｄボード７２００を備えており、そしてこのボードからのデジタル形態に変換されたビデオ信号を処理して対物レンズの傾き調整のための画像を発生し、これを表示部８Ｂのディスプレイ・モニタに供給する。図１の位置決め部７０での位置制御は、プリアンプ・ユニット７Ｂ−１において実現しているが、図１の投影像揺れ抑制部７２の機能は、コンピュータ本体部７Ｂ−２で実行するプログラムで実現している。
【００２２】
ここで、図７を参照して、Ｘ／Ｙ位置情報発生回路７００２の１実施形態の詳細について説明する。Ｘ／Ｙ位置情報発生回路７００２は、図示のように低倍率ＣＣＤカメラ５００からのビデオ信号を受ける同期分離回路７００２０と、ベデスタル・クランプ回路７００２２と、二値化回路７００２４とを備えている。詳細には、同期分離回路７００２０は、受けたビデオ信号から、垂直同期信号および水平同期信号と、偶数／奇数フィールド判別信号と、バックポーチ・クランプ信号とを発生する。垂直同期信号は１つの垂直期間の開始時から定められた時間後にハイ（Ｈ）となり、水平同期信号は、１つの水平期間の開始時にハイとなり、偶数／奇数フィールド判別信号は、奇数フィールドのときはハイ、偶数フィールドのときはロー（Ｌ）となる。このような信号を発生する同期分離回路は、周知であり、例えば市販のビデオ同期分離ＩＣで実現することができる。また、クランプ回路７００２２は、入力にＣＣＤカメラ５００からのビデオ信号を受ける入力と、同期分離回路からのバックポーチ・クランプ信号を受ける入力とを有し、そしてバックポーチ・クランプ信号の期間におけるビデオ信号の直流レベルがグランド・レベルとなるようにビデオ信号をクランプする。このクランプされたビデオ信号を受ける入力をもつ二値化回路７００２４は、所定のしきい値以上のときにハイ・レベルとなり、それ未満のときはロー・レベルとなる二値化信号を発生する。ここで、所定のしきい値は、ビーム・スポット（ＢＳ）画像を検出するためのものである。
【００２３】
垂直同期信号、水平同期信号、偶数／奇数フィールド判別信号、二値化信号は、上述のビーム・スポット画像の位置を検出するのに使用する１組のＸ／Ｙ位置検出用信号を構成し、そしてこれは、ローカルＣＰＵに入力される。
【００２４】
ローカルＣＰＵ内のカウンタ１は、フィールド判別信号が奇数を示すハイのとき、垂直同期信号に続く水平同期信号の数のカウントを開始し、そしてそのフィールドの間に二値化信号がハイになったときにカウントを停止する。この停止したときのカウント値は、Ｙ軸位置カウントとなって、検出領域ＳＡ１におけるビーム・スポット（ＢＳ）画像ＰのＹ軸方向の位置を表す。例えば、カウンタ１のカウント値が所定の値Ａ（例えば１２７）より小さい場合は、画像ＢＳは、画面の中心よりも上にあり、その値より大きい場合、画面の下に位置することになる。この所定値Ａとの差に応じて、画像ＢＳのＹ軸方向位置が算出される。一方、ローカルＣＰＵ内のカウンタ２は水平同期信号がハイになったときにカウントを開始し、そして１水平期間に相当する所定の値Ｂ（例えば６２．０マイクロ秒）になるまでの間、例えば基準クロックをカウントすることにより、時間を計測し、そして１水平期間内に二値化信号がハイになったとき、その時点でカウントを停止する。このときのカウント値は、Ｘ軸位置カウントとなって、ＢＳ画像Ｐの検出領域ＳＡ１内におけるＸ軸位置を表す。但し、１水平期間内に二値化信号がハイにならない場合には、カウント２はクリアされ、そして次に１水平期間に対するカウントを開始することになる。例えば、計測時間が所定値Ｂより小さい場合、画像ＢＳは、画面中心の左側に、また所定値Ｂより大きい場合、画面中心の右側にあると判定する。尚、上記から分かるように、Ｘ／Ｙ位置の検出は、奇数フィールドの期間中に行う。偶数フィールドの期間は、奇数フィールドの期間中に検出したＸ／Ｙ位置にしたがって、画像ＢＳが画面中心にくるようにＸ／Ｙステージの制御を行う。尚、上記のカウンタ１および２は、ソフトウェアで実現しているが、ハードウェアで構成することもできる。
【００２５】
次に、図８を参照して、図２ないし図７を参照して説明した光軸調整装置Ｂを使用した光ピックアップの評価・調整の全体の流れについて説明する。先ず、ステップＳ２において、調整対象の光ピックアップを、光軸調整装置Ｂの取り付けヘッド２２６に取り付けられている２本の軸２２５にピックアップを挿入して、バネ圧で固定することによって装着する。次に、ステップＳ４で、リモコン部９ＢにおけるＬＤ−ＯＮスイッチが操作されると、このスイッチからのＬＤ−ＯＮ信号に応答してローカルＣＰＵ７０００がＡＰＣ回路７０４０に点灯信号を供給して被調整ピックアップ１Ｂのレーザダイオード１０２を点灯させる。これにより、疑似ディスクの焦点面５５６上にビーム・スポット（ＢＳ）画像が投影される。次に、ステップＳ６で、対物レンズ１２４の傾き調整を行う。この傾き調整プロセスには、フォーカス調整に使用するＢＳ画像の捕捉／追跡ステップと、これに続くフォーカス調整ステップが含まれ、さらにまたＢＳ画像の振動抑制ステップと、オペレータによる傾き調整作業とが含まれる。調整作業では、オペレータは、振動抑制されたＢＳ画像に基づき、光ピックアップの対物レンズの傾きを、傾き調整ノブで調整ネジ１２６および１２８を回すことにより行う。このステップが完了すると、光ピックアップの光軸調整作業が終了する。
【００２６】
次に、図９および図１０を参照して、図８の傾き調整プロセスＳ６をさらに詳細に説明する。この調整プロセスには、上記のようにＢＳ画像の捕捉／追跡ステップが含まれている。先ず、ステップＳ１０において、リモコン部のフォーカスＯＮスイッチの操作に対応してローカルＣＰＵ７０００は、フォーカスＯＮ信号をフォーカスサーボ回路７０４２に送る。次に、ステップＳ１２で、フォーカスサーボ回路は、位置検出モードとなって、ピックアップのフォーカス・アクチュエータ１２２に対し、三角波を印加して、ＢＳ画像が合焦する対物レンズ位置を探す。すなわち、被調整ピックアップからの光が疑似ディスクの焦点面近傍に焦点を結ばないと、ＣＣＤカメラ５００にはＢＳスポット画像は観測されないので、フォーカス・アクチュエータを上下に移動させて、概略の合焦位置を探す動作をする。これにより、対物レンズ１２４は、光軸方向（図４では上下方向）に振動し、これによりＢＳ画像の疑似ディスクの焦点面５５６上におけるフォーカス状態が変化する。尚、ＢＳ画像Ｐは、少なくともＣＣＤカメラ５００の検出領域ＳＡ１内にあるものとする。この間に、ステップＳ１４で、ローカルＣＰＵは、Ｘ／Ｙ位置情報発生回路７００２からの信号の検出を行う。すなわち、フォーカス・アクチュエータが合焦状態近辺に来ると、ローカルＣＰＵは、このＣＰＵ内の図７のカウンタ１とカウンタ２からのＹ軸位置カウントとＸ軸位置カウントを受けてビーム・スポット画像のＸ／Ｙ位置を検出する。ステップＳ１６では、それらカウントを受けた時、すなわち、合焦状態近辺となる対物レンズ位置が分かると、カウントを受けた時の三角波の電圧値を中心として、三角波の振幅の変化範囲を小さくする。これにより、ＢＳ画像の合焦状態あるいはこれに近いフォーカス状態が常に得られる。次に、ステップＳ１８で、ローカルＣＰＵは、Ｙ軸位置カウントおよびＸ軸位置カウントが表すＢＳ画像位置が、目標領域ＴＡ内にあるか否かについて、目標領域ＴＡの境界を定める座標と大小比較することにより行う。目標領域外と判断したとき、画像位置と境界との誤差量を演算して、この誤差量が減少する方向にＸ／Ｙステージを移動させるべく、ステッピングモータ・ドライバに位置制御信号を供給する。次に、ステップＳ２０で、ＢＳ画像の位置が、目標領域ＴＡ内にあるか否か判定し、そしてＮＯの場合ステップＳ１８を繰り返し実行し、そしてＹＥＳの場合ステップＳ２２に進む。
【００２７】
図１１の(ａ)は、ＢＳ画像が図５（ａ）の目標領域ＴＡ内に入っている状態での実際のＣＣＤカメラ画像を示している。図１１（ａ）の画像から分かるように、ビーム・スポットの画像が領域の中心に位置している。尚、中心の画像以外に２つの小さなビームも見られるが、これらは、サブビームであり、本発明とは直接の関係がない。また、
再び図９において、ステップＳ２２では、ＢＳ画像が目標領域ＴＡ内に入っているため、ローカルＣＰＵは、フォーカスサーボＯＮ信号をフォーカスサーボ回路７０４２に発生する。これにより、フォーカスサーボ回路７０４２は、フォーカスサーボモードに入り、このモードでは、フォーカスサーボを作動させる。このフォーカスサーボモードでは、フォーカスサーボ回路７０４２は、上記の三角波の印加は中止し、合焦状態からずれた場合にのみ合焦状態に戻すための信号をフォーカス・アクチュエータ１２２に供給し、これによって、後続の傾き調整の間においても常に合焦状態が維持されるようにする。この合焦状態が維持されていることは、フォーカス状態ＯＮ信号によってフォーカスサーボ回路７０４２からローカルＣＰＵに通知される。ステップＳ２４では、ローカルＣＰＵがフォーカスサーボ回路からのそのフォーカス状態ＯＮ信号を検出すると、次にステップＳ２６で、傾き測定開始信号を発生してコンピュータ本体部７Ｂ−２に供給する。
【００２８】
次に、図１０を参照して、図８の傾き調整フローの残りの部分をさらに詳細に説明する。先ず、ステップＳ３０で、コンピュータ本体部７Ｂ−２のパーソナル・コンピュータは、ローカルＣＰＵ７０００から、傾き測定開始信号を受信すると、ステップＳ３２で、高倍率ＣＣＤカメラ５２０からのビデオ信号をビデオＡ／Ｄボード７２００でデジタル信号に変換して、このデジタル信号から、検出領域ＳＡ２（図５（ｂ））内におけるＢＳ画像の重心位置を検出し、そしてさらに、検出した重心位置を中心にした領域、すなわち切出領域ＣＡ内の画像を切り出して、ディスプレイ・モニタ８Ｂに表示させることによりビーム・スポット画像の振動を抑制する。図１１（ｂ）は、実際の高倍率ＣＣＤカメラ画像からの、切出領域内のＢＳ画像を示している。次に、ステップＳ３４で、ＢＳ画像について、その中心を通るＸ軸およびＹ軸に沿った輝度のプロファイルも同時に表示する。
【００２９】
図１２は、Ｘ軸およびＹ軸の輝度プロファイルの実際の表示例を示している。図から分かるように、中心のほぼ円形の像と、この外の一番目のリング状の像である１次リングがあることが分かる。
【００３０】
次に図１０のステップＳ３６で、切出領域ＣＡの画像のモニタ画面から、１次リングの輝度差を演算し、どの方向にどれだけの輝度差があるかをモニタ上の別のエリア（不図示）にベクトル形式で表示する。次にステップＳ３８では、このベクトルの長さすなわち輝度差があるしきい値以内であれば、傾きは許容範囲内として「ＯＫ」の表示を行い、そのしきい値を越えると、「ＮＧ」の表示を行う。これが終了すると、再びステップＳ３２に戻って、以上のステップを傾き調整の間繰り返し実行する。
【００３１】
次に、図１３を参照して、図１０のステップＳ３２で実行するビーム・スポット画像の振動抑制を行う高速振動制御フローについて詳細に説明する。先ず、ステップＳ４０で、パーソナル・コンピュータ７Ｂ−２は、高倍率ＣＣＤからのビデオ信号を構成するピクセルの奇数フィールドをメモリに取り込む（１回に１フィールド分のピクセル・データを取り込む）。次のステップＳ４２で、その奇数フィールドである１フィールド分のピクセル・データ（白黒の場合、輝度信号成分のみ）を記憶したメモリの最初のアドレスから、輝度信号を順次読み出す。次のステップＳ４４で、輝度が、しきい値（このしきい値は、ビーム・スポット画像の有無を判定するため）以上であるピクセル・データのメモリ・アドレスを格納する。奇数フィールド分のピクセル・データについての輝度判定が完了すると、ステップＳ４６で、ステップＳ４４で格納した多数のメモリ・アドレスからビーム・スポット画像の重心を計算する。
【００３２】
一般に、このような重心の計算は、各ピクセル・データの輝度を質量として考えると、以下の式で行うことができる。
（数１）
Ｍ＝（ｍ１・ｘ１＋ｍ２・ｘ２＋．．．．．．＋ｍｉ・ｘｉ＋．．．．．．＋ｍｎ・ｘｎ）／（ｍ１＋ｍ２＋．．．．．．＋ｍｉ＋．．．．．．＋ｍｎ）                                        （１）
ここで、Ｍは重心アドレス、ｍはピクセル・データの輝度、ｘはピクセル・データのメモリ・アドレス、ｎは、１フィールド分のメモリのアドレス総数である。この式の分母は、メモリ・アドレス値とピクセル・データの積の総和であり、分子は、ピクセル・データの和である。
【００３３】
本発明では、上記式の計算を、簡略化して行う。すなわち、ステップＳ４４で、ピクセル・データをしきい値を使って二値化することにより“０”と“１”にする。これにより、分子の計算において、しきい値未満のピクセル・データによるｍｉ・ｘｉの項を予め除外することができ、しかも計算に使用するｍｉ・ｘｉの項は、二値化によってｍ＝１であるため、しきい値以上の輝度をもつメモリ・アドレスの値のみとなる。また、分母は、二値化により、しきい値以上のピクセル・データの総数すなわち、“１”のデータをもつメモリ・アドレスの個数で計算できる。したがって、Ｍは、ステップＳ４４で格納したメモリ・アドレス値の和を、ステップＳ４４で格納したメモリ・アドレスの個数で除算したものとなる。本発明では、計算量が少なくなるため、重心の計算を高速で行うことができる。ただし、傾き調整作業に十分な速度が実現できる限り、上記の式（１）をそのまま使って計算するようにすることもできる。また、本実施形態では、メモリに１フィールド分のピクセル・データを格納した後にメモリからそのデータを読み出して重心計算を行っているが、メモリに書き込むのと並列に上記の演算をするようにすることもできる。
【００３４】
以上のようにして計算した重心は、ステップＳ４８において、モニタ表示位置指定機能において使用することにより、ビーム・スポット画像の振動を抑制する。ここで、モニタ表示位置指定機能とは、検出領域ＳＡ２の画面における画像Ｐの重心位置のアドレスを指定すると、この位置を含む予め指定した範囲、すなわち図５（ｂ）の切出領域ＣＡの画像部分をモニタに表示させる機能である。この機能は、アドレス空間をもつビデオ・メモリに格納されたピクセル・データから、重心アドレスを含む切出領域ＣＡに相当する切り出し用のアドレス空間を判定し、そしてこの切り出しアドレス空間からのピクセル・データを繰り返し読み出してモニタに供給する、という機能である。一例として、モニタ表示位置指定機能は、市販のソフト“ＶｉｓｕａｌＢａｓｉｃ”を使用し、これにより、（１）表示領域を指定し、（２）Ｐｉｃｔｕｒｅ Ｌｏａｄコマンドで、表示するメモリ内のデータ・ファイル（領域ＳＡ２に相当するデータ）を指定し、（３）ｔｏｐとｌｅｆｔの各コマンドで、上記（２）で指定したデータ・ファイル内の切出領域ＣＡの始点に相当する座標（メモリアドレス）を指定する、ことで実現することができる。これにより、ビーム・スポット画像は、図５（ｃ）および図１２に示したように、静止して見える。傾き調整を行っているオペレータは、傾きネジの調整を、静止したスポット画像を見ながら行うことができる。
【００３５】
以上に説明した本発明の１実施形態の光軸の傾きの調整装置は、対物レンズの傾きを調整するものであるが、当業者には理解されるように、その他のレンズまたは光学系の光軸の傾きの調整にも用いることができる。また、上記１実施形態では、ソフトウェアとハードウェアの組み合わせで、位置決め部７０と投影像揺れ抑制部７２を実現したが、場合によっては、全てハードウェアで実現したり、あるいは利用するＣＰＵの処理速度によっては、全てソフトウェアで実現することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は、本発明による１実施形態の光学系評価装置を示すブロック図。
【図２】図２は、図１の光学系評価装置を適用した１実施形態である、ＣＤまたはＤＶＤ用の光ピックアップの光軸調整装置の一部を概略的な正面図で、その他の電気的処理部をブロック図で示す図。
【図３】図３は、図２の光軸調整装置の機構部を一部断面で示した側面図。
【図４】図４は、図２および図３に示した光学検出ユニットと被調整ピックアップの光学系を概略的に示す図。
【図５】図５は、低倍率ＣＣＤカメラと高倍率ＣＣＤカメラの検出領域の関係を示す図。
【図６】図６は、図２の光軸調整装置の電気的処理部の詳細を示すブロック図。
【図７】図７は、図４のＸ／Ｙ位置情報発生回路の詳細を示すブロック図。
【図８】図８は、光軸調整装置を使用した光ピックアップの評価・調整の全体の流れを示す図。
【図９】図９は、図８の傾き調整プロセスをさらに詳細に示すフローチャート。
【図１０】図１０は、図８の傾き調整プロセスの残りの部分を示すフローチャート。
【図１１】図１１は、ＣＣＤカメラによる低倍率と高倍率のビーム・スポット画像を示す図。
【図１２】図１２は、Ｘ軸およびＹ軸の輝度プロファイルの実際の表示例を示す図。
【図１３】図１３は、図１０のステップＳ３２で実行するビーム・スポット画像の振動抑制を行う高速振動制御フローを示すフローチャート。
【符号の説明】
【００３７】
１  被評価光学系
３  投影像捕捉器
５  光学検出器
７  捕捉制御器
８  表示器
【図１】
2006107582.tif 000003
【図２】
2006107582.tif 000004
【図３】
2006107582.tif 000005
【図４】
2006107582.tif 000006
【図５】
2006107582.tif 000007
【図６】
2006107582.tif 000008
【図７】
2006107582.tif 000009
【図８】
2006107582.tif 000010
【図９】
2006107582.tif 000011
【図１０】
2006107582.tif 000012
【図１３】
2006107582.tif 000013
【図１１】
2006107582.tif 000014
【図１２】
2006107582.tif 000015