(57)【要約】【課題】  有機ＥＬパネルにおける不良箇所の特定を容易に行うこと。【解決手段】  パネル検査装置１は、有機ＥＬパネル１１に検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部３と、有機ＥＬパネル１１の各ピクセルに流れる電流値を測定する電流測定部４と、電流値をデータ処理するデータ処理部５と、各部の動作制御を行う制御部２とを備え、有機ＥＬパネルの駆動と電流値やデータ等の測定値の取得との同期をとることによって、有機ＥＬパネルにおける不良箇所の特定が容易となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬパネルに検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部と、
前記有機ＥＬパネルの各ピクセルに流れる電流を測定する電流測定部と、
前記電流測定部で測定した電流値をデータ処理するデータ処理部と、
前記各部の動作制御を行う制御部とを備え、
前記制御部は、各部の動作の同期をとることにより測定ピクセルと電流値及び／又はデータとの対応付けを行うことを特徴とする、パネル検査装置。
【請求項２】
前記有機ＥＬパネルは駆動回路を備えた有機ＥＬディスプレイであり、
前記検査用駆動パターン出力部は当該駆動回路に検査用駆動パターンを与えて有機ＥＬディスプレイを駆動し、
前記電流測定部は、当該有機ＥＬディスプレイの各ピクセルに流れる電流値を測定することを特徴とする、請求項１に記載のパネル検査装置。
【請求項３】
前記有機ＥＬパネルは、同一基板上に形成された有機ＥＬ素子を含む複数のピクセルを備え、
前記検査用駆動パターン出力部は当該ピクセルに検査用駆動パターンを与えて各有機ＥＬ素子を駆動し、
前記電流測定部は、当該有機ＥＬ素子に流れる電流値を測定することを特徴とする、請求項１に記載のパネル検査装置。
【請求項４】
前記制御部は有機ＥＬパネルの全ピクセル毎について同期をとり、
前記電流測定部及び／又はデータ処理部は全ピクセルに対応付けを行って記録することを特徴とする、請求項１乃至３の何れかに記載のパネル検査装置。
【請求項５】
前記制御部は有機ＥＬパネルの所定ピクセルについて同期をとり、
前記電流測定部及び／又はデータ処理部は、記録する際に所定ピクセルについてのみ対応付けを行うことを特徴とする、請求項１乃至３の何れかに記載のパネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬディスプレイなどに用いられる有機ＥＬパネルのピクセル欠陥を検出する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬパネルは、複数本の走査線と信号線をマトリックス状に配列し、各線の交差部にピクセルを配置している。各ピクセルは、走査線及び信号線によりスイッチ動作するスイッチ回路と、電源ラインから一定の所定電圧の印加を受けて定電流を供給する定電流回路と、定電流回路に接続される有機ＥＬ画素とを備え、スイッチ回路で選択されたピクセルの有機ＥＬ画素は定電流回路からの電流供給によって発光する。
【０００３】
このような有機ＥＬディスプレイを評価するために、検査信号で有機ＥＬパネルを駆動して、パネルの点灯状態を目視、あるいはＣＣＤカメラ等の撮像装置によって観察する方法が知られているが、評価者の個人差や同一人であっても評価基準が変動するなどにより評価結果にばらつきが生じるという問題が指摘されている。
【０００４】
このような課題に対して、有機ディスプレイの画素に流れる電流を測定することで有機ＥＬディスプレイの評価を行う評価装置が提案されている（例えば、特許文献１〜３）。
【特許文献１】特開２００２−４００７４号公報
【特許文献２】特開平１０−３２１３６７号公報
【特許文献３】特開２００３−１７２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の有機ディスプレイの評価装置では、目視やＣＣＤカメラによる点灯検査の課題であった、ピクセル毎の明るさの定量化や微小な明るさの差異の検出の困難性や、ＣＣＤカメラにおける光量から電気量への信号変化時のロス等を解決することができる。
【０００６】
しかしながら、従来の評価装置では、測定データとピクセルとの対応関係をとる手段がないため、欠陥位置は欠陥ピクセルを含むある幅を持った領域でしか認識することができず、ピクセルの特定が難しいという課題がある。
【０００７】
そこで、本発明は上記課題を解決し、有機ＥＬパネルにおける不良箇所の特定が容易なパネル検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を解決するために、本発明は、有機ＥＬパネルの駆動と電流値やデータ等の測定値の取得との同期をとることによって、有機ＥＬパネルにおける不良箇所の特定が容易とする。
【０００９】
本発明のパネル検査装置は、有機ＥＬパネルに検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部と、有機ＥＬパネルの各ピクセルに流れる電流値を測定する電流測定部と、電流値をデータ処理するデータ処理部と、各部の動作制御を行う制御部とを備える構成とする。
【００１０】
制御部は、検査用駆動パターン出力部、電流測定部、及びデータ処理部の各部の動作の同期をとる制御を行い、この同期によって測定ピクセルと電流値やデータとの対応付けを行う。この対応付けによって、ピクセル中に不良箇所がある場合には、電流値やデータとピクセルとの対応関係からピクセルを容易に特定することができる。
【００１１】
本発明のパネル検査装置は、有機ＥＬパネルに駆動回路が組み込まれた有機ＥＬディスプレイパネルに対して適用する他、駆動回路の組み込みが行われていない有機ＥＬパネルのみに対して適用することもできる。
【００１２】
第１の態様は、有機ＥＬパネルは駆動回路を備えた有機ＥＬディスプレイであり、パネル検査装置の検査用駆動パターン出力部は駆動回路に検査用駆動パターンを与えて有機ＥＬディスプレイを駆動し、電流測定部は有機ＥＬディスプレイの各ピクセルに流れる電流値を測定する。
【００１３】
各部は、制御部によって同期がとられているため、有機ＥＬディスプレイが備える有機ＥＬパネルの各ピクセルと測定電流及びデータとの対応関係を知ることができ、欠陥ピクセルの特定が容易となる。なお、第１の態様において、有機ＥＬディスプレイは、基板上に有機ＥＬパネルと共に駆動回路を組み込んだ状態としてもよい。
【００１４】
本発明の第２の態様は、有機ＥＬパネルは駆動回路が組み込まれない状態で同一基板上に形成された有機ＥＬ素子を含む複数のピクセルを備える。検査用駆動パターン出力部はピクセルに検査用駆動パターンを与えて各有機ＥＬ素子を駆動し、電流測定部は、有機ＥＬ素子に流れる電流値を測定する。
【００１５】
第１の態様及び第２の態様において、制御部による同期制御は全ピクセルについて行う形態とする他、特定のピクセルについてのみ行う形態としてもよい。
【００１６】
有機ＥＬパネルの全ピクセルについて同期制御を行う形態では、電流測定部及び／又はデータ処理部は、同期制御した全ピクセルについて対応付けを行って記録する。これにより、記録された測定値やデータは、ピクセルとの一対一の対応付けによって特定することができる。
【００１７】
また、有機ＥＬパネルの所定ピクセルについて同期制御を行う形態では、電流測定部及び／又はデータ処理部は、同期制御した所定ピクセルについて対応付けを行って記録し、他のピクセルについては記録のみを行う。これにより、記録された測定値やデータの内、所定ピクセルは対応付けによって特定することができ、その他のピクセルは所定ピクセルとの相対位置によって特定することができる。
【００１８】
所定ピクセルは、例えば各スキャン信号ライン（走査線）の先頭ピクセルとすることができ、同じスキャン信号ライン（走査線）上のピクセルは先頭ピクセルからの位置によって特定することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のパネル検査装置によれば、有機ＥＬパネルにおける不良箇所の特定が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。
【００２１】
はじめに、本発明のパネル検査装置の概略構成について図１を用いて説明する。なお、本発明のパネル検査装置は有機ＥＬパネルに限らず、液晶パネルについても適用することができるが、以下では有機ＥＬパネルについて説明する。
【００２２】
図１において、パネル検査装置１は、有機ＥＬパネルに駆動回路を組み込んだ有機ＥＬディスプレイ１０あるいは駆動回路が組み込まれていない有機ＥＬパネル１１のピクセルの欠陥検査を行う。なお、ピクセルの欠陥としては、各ピクセルを駆動するＴＦＴアレイの欠陥や各ピクセルが備える有機ＥＬ素子の欠陥が含まれ、本発明のパネル検査装置はこれらの欠陥により各ピクセルに流れる電流変化に基づいて欠陥判定を行う。
【００２３】
パネル検査装置１は、有機ＥＬディスプレイ１０あるいは有機ＥＬパネル１１に検査用の駆動パターンを与える検査用駆動パターン出力部３と、各ピクセルに流れる電流を測定する電流測定部４と、電流測定部４で測定した電流をデータ処理して欠陥判定を行うデータ処理部５を備え、さらに、検査用駆動パターン出力部３と電流測定部４とデータ処理部５との動作を制御し、これらの間で同期をとる制御部２を備える。
【００２４】
制御部２による同期制御によって、電流測定部４で測定された測定電流とピクセルとの対応付けや、データ処理部５で行われた判定結果とピクセルとの対応付けを行うことができ、ピクセルに欠陥がある場合には当該ピクセルを特定することができる。
【００２５】
図２は、本発明のパネル検査装置１によって、有機ＥＬパネルに駆動回路が組み込まれた有機ＥＬディスプレイを検査する態様を説明するための概略図である。
【００２６】
図２において、有機ＥＬパネル１１は、例えば、データライン（信号線）及びスキャン信号ライン（走査線）の制御・信号ラインを縦方向及び横方向に格子状に配列し、ラインが交差する位置に有機ＥＬ用電極に接続された有機ＥＬ素子を配置して構成され、当該有機ＥＬ用電極はスイッチ回路を介して電圧供給線と接続されて有機ＥＬ素子に駆動電流を供給することで発光動作を行い、スイッチ回路の制御はデータ及びスキャン信号を受けた制御回路により行われる。
【００２７】
有機ＥＬディスプレイ１０は、有機ＥＬパネル１１に垂直駆動回路１２及び水平駆動回路１３を組み込んで構成される。垂直駆動回路１２には有機ＥＬパネル１１のスキャン信号ラインが接続され、水平駆動回路１３には有機ＥＬパネル１１のデータラインが接続される。通常、垂直駆動回路１２及び水平駆動回路１３は、駆動回路１４からの駆動信号に基づいて駆動動作を行う。
【００２８】
本発明のパネル検査装置１では、例えば、検査用駆動パターン出力部３で生成した検査用の駆動パターンを水平駆動回路１３に送り、水平駆動回路１３はシフトレジスタによってデータラインから有機ＥＬパネル１１の各ピクセルに順に検査信号を送る。電流測定部４は、各ピクセルに流れる電流を測定し、得られた測定電流値をデータ処理部５に送る。データ処理部５は、測定電流値をデータ処理して欠陥判定等を行う。
【００２９】
なお、検査用駆動パターン出力部３は、図２に示すように駆動回路１４からの駆動信号を加工して駆動パターンを生成する他、検査用駆動パターン出力部３のみで独立して生成することができる。
【００３０】
なお、図２では、各ピクセル流れる電流値を電流測定部４で測定し、得られた測定電流値をデータ処理部１１に送る構成としているが、電流測定部４とデータ処理部１１とを共通の回路で構成してもよい。
【００３１】
本発明のパネル検査装置１は、検査用駆動パターン出力部３、駆動回路１４、電流測定部４、データ処理部５等を制御する制御部２を備え、制御部２は各部の動作の開始や停止等の駆動制御を行う他、各部の動作を同期して駆動する同期制御を行う。
【００３２】
有機ＥＬパネル１１の各ピクセルにおいて何れのピクセルが駆動されるかは、水平駆動回路１３からのデータラインや垂直駆動回路１２からのスキャン信号ラインの信号によって定まる。一方、電流測定部４は、前記各信号で定められて駆動されたピクセルから流れる電流を測定する。
【００３３】
制御部２は、有機ＥＬパネル１１の各ピクセルを駆動する駆動回路（垂直駆動回路１２や水平駆動回路１３）の動作と、有機ＥＬパネル１１の各ピクセルの電流を測定する電流測定部４やデータ処理部５の動作との同期をとることによって、得られた測定電流値やデータ処理された判定結果とピクセルとの対応付けを行い、有機ＥＬパネルにおける不良箇所の特定を容易とする。
【００３４】
次に、図３は、有機ＥＬパネルに駆動回路が組み込まれていない有機ＥＬディスプレイを検査する態様を説明するための概略図である。図３において、基板２０上には駆動回路が形成される前の段階の複数の有機ＥＬパネル１１（１１ａ〜１１ｅ）が形成されている。
【００３５】
本発明のパネル検査装置１は、この駆動回路を備えない状態の有機ＥＬパネルの欠陥検査を行う。
【００３６】
図３において、本発明のパネル検査装置１は前記した構成と同様に、有機ＥＬパネル１１に検査用の駆動パターンを与える検査用駆動パターン出力部３と、各ピクセルに流れる電流を測定する電流測定部４と、電流測定部４で測定した電流をデータ処理して欠陥判定を行うデータ処理部５を備え、さらに、検査用駆動パターン出力部３と電流測定部４とデータ処理部５との動作を制御し、これらの間で同期をとる制御部２を備える。
【００３７】
基板２０には、各有機ＥＬパネル１１に検査信号を印加するための第１の回路パターン、及び各ピクセルに流れる電流を外部に取り出すための第２の回路パターンが形成されている。検査用駆動パターン出力部３は、前記第１の回路パターンを通して有機ＥＬパネル１１に検査用の駆動パターンを供給し、第２の回路パターンを通して各ピクセルに流れる電流を電流測定部４に送る。また、データ処理部５は、測定電流値をデータ処理して欠陥判定等を行う。
【００３８】
なお、図３では、各ピクセル流れる電流値を電流測定部４で測定し、得られた測定電流値をデータ処理部１１に送る構成としているが、電流測定部４とデータ処理部１１とを共通の回路で構成してもよい。
【００３９】
本発明のパネル検査装置１は、検査用駆動パターン出力部３、電流測定部４、データ処理部５等を制御する制御部２を備え、制御部２は各部の動作の開始や停止等の駆動制御を行う他、各部の動作を同期して駆動する同期制御を行う。
【００４０】
有機ＥＬパネル１１の各ピクセルにおいて何れのピクセルが駆動されるかは、検査用駆動パターン出力部３から送られる駆動パターンによって定まる。一方、電流測定部４は、前記各信号で定められて駆動されたピクセルから流れる電流を測定する。
【００４１】
制御部２は、検査用駆動パターンの出力と測定電流の取り込み及びデータ処理の各動作について同期をとる。これにより、測定電流値やデータはピクセルとの対応付けが可能となり、それぞれピクセルと対応付けて記録することができ、欠陥ピクセルの特定が容易となる。なお、図３において、基板上の各有機ＥＬパネル１１ａ〜１１ｅについても同期制御によって特定することができる。
【００４２】
次に、同期制御の態様について説明する。制御部２による同期制御は、有機ＥＬパネルの全ピクセル毎について同期をとる第１の形態の他に、有機ＥＬパネルの所定ピクセルについて同期をとる第２の形態とすることができる。以下、第１の形態について図４を用いて説明し、第２の形態について図５を用いて説明する。また、同期制御の各形態における記録のデータ状態を図６を用いて説明する。
【００４３】
なお、図４，５において、検査用駆動パターン出力部３は、ビデオ信号を元にして検査用駆動パターンを生成する例を示している。
【００４４】
第１の形態では、有機ＥＬパネルの全ピクセル毎について同期をとるために、制御部２は同期信号（図４（ｂ））を生成する。この同期信号はクロック信号（図４（ａ））に基づいて生成することができる。なお、ここでは、各ピクセルに対して１クロック信号及び１同期信号を対応付けているが、ピクセル及び同期信号に対するクロック信号の個数は任意の複数としてもよい。
【００４５】
検査用駆動パターン出力部３は、ビデオ信号を元にして検査用駆動パターンを生成する。この検査用駆動パターン（図４（ｄ））は、ビデオ信号を同期信号と同期させることによって生成することができる。
【００４６】
検査用駆動パターンは各ピクセルに印加される。各ピクセルへの印加は、同期信号と同期して順次切り換えられる。各ピクセルを流れた電流は電流測定部４によって測定される。測定信号（図４（ｅ））は、同期信号と同期して測定される。
【００４７】
データ処理部８は、測定電流値に基づいて欠陥判定等のデータ処理が行われる。データ処理は欠陥判定に限らず、信号強度の分布処理等種々の処理とすることができ、記録が行われる。記録する対象は、データ処理を行った後のデータの他、電流測定部４からの測定電流値としてもよい。
【００４８】
ピクセルへの検査用駆動パターンの印加とピクセルからの電流の測定は、同期信号によって同期がとられているため、印加されたピクセルと測定信号とは一対一に対応付けられ、また、ピクセルと処理データとについても一対一に対応付けが行われている。したがって、処理データから欠陥が判定された場合には、その欠陥があるピクセルを容易に特定することができる。
【００４９】
なお、図４（ｆ）では、説明の便宜上から、一スキャン信号ライン（走査線）上にピクセル１〜ピクセル６が配置され、次のスキャン信号ライン（走査線）上にピクセル１１〜ピクセル１６が配置される例を示しているが、スキャン信号ライン（走査線）上に配置されるピクセル数は６個に限らず、通常より多数のピクセルが配置される。
【００５０】
図６（ａ）は、第１の形態において、測定データの記録状態を模式的に示す図である。各ピクセルと測定データとは同期信号によって対応付けすることができため、メモリ領域において例えば各ピクセルを特定するアドレスに対応付けて測定データを記録することができる。
【００５１】
第２の形態では、有機ＥＬパネルの所定ピクセルについて同期をとるために、制御部２は同期信号（図５（ｂ））を生成する。この同期信号はクロック信号（図５（ａ））に基づいて生成することができ、例えば連続する複数のピクセルの先頭ピクセルを所定ピクセルとし、同期信号の立ち上がりを所定ピクセルに対応付けることができる。
【００５２】
検査用駆動パターン出力部３は、ビデオ信号を元にして検査用駆動パターンを生成する。この検査用駆動パターン（図５（ｄ））は、ビデオ信号を同期信号と同期させることによって生成することができる。検査用駆動パターン（図５（ｄ））は、同期信号によって所定ピクセルとのみ対応付けが行われる。
【００５３】
検査用駆動パターンは所定ピクセル以降、クロック信号で制御されるシフトレジスタに基づいて順に印加される。したがって、各ピクセルへの印加は、所定ピクセルについては同期信号と同期した後、シフトレジスタにより順次切り換えられる。各ピクセルを流れた電流は電流測定部４によって測定される。測定信号（図５（ｅ））は、所定ピクセルのみ同期信号と同期している。その後に測定される測定信号は、各ピクセルに流れる電流を順次取り込むことで取得される。当該測定信号は、同期信号による同期の制御は行われていないが、所定ピクセル後はシフトレジスタにより順次駆動されるため、所定ピクセルからの順番によってピクセルとの対応付けを行うことが可能である。
【００５４】
データ処理部８は、測定電流値に基づいて欠陥判定等のデータ処理が行われる。データ処理は欠陥判定に限らず、信号強度の分布処理等種々の処理とすることができ、記録が行われる。記録する対象は、データ処理を行った後のデータの他、電流測定部４からの測定電流値としてもよい。
【００５５】
ピクセルへの検査用駆動パターンに印加とピクセルからの電流の測定は、所定ピクセルについては同期信号によって同期がとられているため、印加されたピクセルと測定信号とは一対一に対応付けられ、また、所定ピクセルと処理データとについても一対一に対応付けが行われている。
【００５６】
また、所定ピクセル以外のピクセルについては、所定ピクセルからの位置によって測定信号や処理データと対応付けることができる。
【００５７】
したがって、処理データから欠陥が判定された場合には、その欠陥があるピクセルを容易に特定することができる。
【００５８】
なお、図５（ｆ）では、説明の便宜上から、一スキャン信号ライン（走査線）上にピクセル１〜ピクセル６が配置され、次のスキャン信号ライン（走査線）上にピクセル１１〜ピクセル１６が配置される例を示しているが、スキャン信号ライン（走査線）上に配置されるピクセル数は６個に限らず、通常より多数のピクセルが配置される。
【００５９】
図６（ｂ）は、第２の形態において、測定データの記録状態を模式的に示す図である。各ピクセルと測定データとは同期信号によって対応付けすることができため、メモリ領域において例えば各ピクセルを特定するアドレスに対応付けて測定データを記録することができる。
【００６０】
図７は、検査用駆動パターンによるピクセルの駆動例を説明するための図である。ここでは、スキャン信号線に信号を送ることによってピクセル配列の垂直方向を選択し、シフトレジスタによってデータ線を選択することによってピクセル配列の水平方向を選択し、このデータ線に検査用駆動パターンを流すことによって、各ピクセルを駆動する例を示している。
【００６１】
各ピクセルを流れる電流は、有機ＥＬ素子カソード・ディスプレイラインを兼ねた測定信号線により検出される。
【００６２】
図７の構成では、検査用駆動パターン及びキャン信号線に流れる信号によって駆動するピクセルを特定すると共に、測定信号線により得る測定信号とピクセルとの対応付けを行う。
【００６３】
以下、図８，９を用いて本発明のパターン検査装置の構成例を説明する。なお、図８，９において、有機ＥＬパネル２はＲＧＢの各ピクセルを備える構成を示している。
【００６４】
図８及び図９の構成例は共にシフトレジスタを用いてデータラインを選択する構成例であり、ビデオ信号を用いて検査用駆動パターンを生成すると共に、検査用駆動パターンに各ピクセルに対応した周期性を持たせる。検査用駆動パターンに周期性を持たせる構成として、図８ではクロック信号により検査用駆動パターンの周期を設定し、図９ではシフトレジスタ信号により検査用駆動パターンの周期を設定している。
【００６５】
有機ＥＬパネルの各ピクセルは、有機ＥＬ素子１１ａ，有機ＥＬ電極１１ｂ，ＴＦＴ１１ｃ、１１ｄを備える。ＴＦＴ１１ｄは切り換えスイッチ手段を構成し、ソースには出力用電源ライン２３が接続されドレインには有機ＥＬ電極１１ｂが接続され、出力用電源ライン２３から印加された電圧によって、有機ＥＬ電極１１ｂを介して有機ＥＬ素子１１ａに駆動電流が供給される。
【００６６】
有機ＥＬ電極１１ｂに流れる電流は、ＴＦＴ１１ｄのゲートに印加される電圧によって制御される。このＴＦＴ１１ｄはＴＦＴ１１ｃによって制御される。ＴＦＴ１１ｃのゲートには垂直駆動回路１２からのスキャン信号ライン２２が接続され、ＴＦＴ１１ｃのカソードには水平駆動回路１３からのデータライン２１が接続され、スキャン信号ライン２２とデータライン２１の組み合わせによってピクセルの選択が行われ、データライン２１の駆動信号によって駆動電流の制御が行われる。なお、図示するシフトレジスタ１５を備えた水平駆動回路１３では、シフトレジスタ信号によってピクセルを順次駆動する。
【００６７】
有機ＥＬ素子１１ａには有機ＥＬ素子カソード・電圧ライン２４が接続される他、ピクセルに流れる電流を測定するための電流測定部４が接続される。電流測定部４は、有機ＥＬ素子１１ａに流れる電流を測定し、測定電流値をデータ処理部５に送る。データ処理部５は、測定電流値に基づいて有機ＥＬパネルの欠陥判定を行う。
【００６８】
図示するパネル検査装置１では、データラインに検査用駆動パターンを供給することによってピクセルの欠陥検査を行う。
【００６９】
検査用駆動パターン出力部３は、ビデオ信号を用いて検査用駆動パターンを生成する。
【００７０】
図８の検査用駆動パターン出力部３では、ビデオ信号をクロック信号の周期に同期してオン／オフさせることで検査用駆動パターンを生成する。一方、図９の検査用駆動パターン出力部３では、ビデオ信号をシフトレジスタ出力の周期に同期してオン／オフさせることで検査用駆動パターンを生成する。
【００７１】
オン／オフ制御されたビデオ信号からなる検査用駆動パターンは、シフトレジスタ出力で制御されるＴＦＴを介して所定のピクセルに供給される。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明の有機ＥＬパネルのほか、液晶パネルの検査等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明のパネル検査装置の概略構成を説明するための図である。
【図２】本発明のパネル検査装置による、有機ＥＬパネルに駆動回路が組み込まれた有機ＥＬディスプレイを検査する態様を説明するための概略図である。
【図３】本発明のパネル検査装置による、駆動回路が組み込まれていない有機ＥＬパネルを検査する態様を説明するための概略図である。
【図４】本発明のパネル検査装置による同期制御の第１の形態を説明するための図である。
【図５】本発明のパネル検査装置による同期制御の第２の形態を説明するための図である。
【図６】本発明のパネル検査装置の測定データの記録状態を模式的に示す図である
【図７】検査用駆動パターンによるピクセルの駆動例を説明するための図である。
【図８】本発明のパネル検査装置の構成例を説明するための概略図である。
【図９】本発明のパネル検査装置の構成例を説明するための概略図である。
【符号の説明】
【００７４】
１…パネル検査装置、２…制御部、３…検査用駆動パターン出力部、４…電流測定部、５…データ処理部、１０…有機ＥＬディスプレイ、１１…有機ＥＬパネル、１１ａ…有機ＥＬ素子、１１ｂ…有機ＥＬ電極、１１ｃ，１１ｄ…ＴＦＴ、１２…垂直駆動回路、１３…水平駆動回路、１４…駆動回路、１５…シフトレジスタ、２１…データライン、２２…スキャン信号ライン、２３…出力用電源ライン、２４…有機ＥＬ素子カソード・電圧ライン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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