(57)【要約】【課題】  ２相正弦波状信号に含まれる３次高調波成分を比較的簡単なディジタル演算処理を用いて除去する。【解決手段】  エンコーダ１０から出力される位相のずれた２相正弦波状信号に含まれる３次高調波歪みを補正する３次高調波歪補正部４０を備える。３次高調波演算・検出部４１は、ｒ−θ変換部５０から出力されるリサージュ波形の半径ｒの変化に基づいてフーリエ解析等により３次高調波の振幅ａ３及び位相φ３を算出する。３次高調波歪補正部４０は、算出された３次高調波の振幅ａ３及び位相φ３に基づいて２相正弦波状信号Ａ４，Ｂ４から３次高調波歪みを補正する。【選択図】  図１
2006112859.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンコーダから出力される位相のずれた２相正弦波状信号を補正するエンコーダ出力信号補正装置において、
前記２相正弦波状信号に含まれる３次高調波成分の振幅及び位相の少なくとも一方を、前記２相正弦波状信号のリサージュ波形の半径の変化に基づいて算出する３次高調波演算部と、
前記３次高調波演算部により算出された前記振幅及び位相の少なくとも一方に基づいて、前記２相正弦波状信号における３次高調波歪を補正する補正部と
を備えたことを特徴とするエンコーダ出力信号補正装置。
【請求項２】
前記３次高調波演算部は、前記リサージュ波形の半径の最大値と最小値を算出し、この最大値及び最小値の差に基づいて前記３次高調波成分の振幅を算出することを特徴とする請求項１記載のエンコーダ出力信号補正装置。
【請求項３】
前記３次高調波演算部は、前記リサージュ波形の半径が最大値又は最小値となるときの位相を検出し、この検出結果に基づいて前記３次高調波成分の位相を算出することを特徴とする請求項１記載のエンコーダ出力信号補正装置。
【請求項４】
前記３次高調波演算部は、前記リサージュ波形の半径の変化をフーリエ解析して周波数信号成分を求めることにより前記３次高調波成分の振幅及び位相の少なくとも一方を算出することを特徴とする請求項１記載のエンコーダ出力信号補正装置。
【請求項５】
前記３次高調波演算部は、フーリエ変換の実部と虚部とを漸化式により求めることを特徴とする請求項４記載のエンコーダ出力信号補正装置。
【請求項６】
前記補正部は、前記３次高調波成分の位相が０°又は９０°である場合における前記２相正弦波状信号の値と前記３次高調波成分の値との相関関係に基づいて、前記２相正弦波信号の各値に対応する前記３次高調波成分の値を求め、この３次高調波成分の値を２相正弦波信号から減算して振幅を補正する振幅補正部を備えたことを特徴とする請求項１記載のエンコーダの出力信号補正装置。
【請求項７】
前記補正部は、
前記相関関係を示すデータを保持するルックアップテーブルを更に備え、
前記振幅補正部は、このルックアップテーブルを参照して前記２相正弦波信号の各値に対応する前記３次高調波成分の値を求めることを特徴とする請求項６記載のエンコーダの出力信号補正装置。
【請求項８】
前記補正部は、
前記３次高調波演算部で算出された位相の分だけ、３次高調波成分を含む２相正弦波状信号のリサージュ波形を回転させて、前記３次高調波成分の位相が０°又は９０°である状態とする座標回転部と、
前記振幅補正部が出力する２相正弦波信号のリサージュ波形を、前記座標回転部で回転された角度と同一の角度だけ逆回転させる座標逆回転部と
を更に備えたことを特徴とする請求項６又は７記載のエンコーダの出力信号補正装置。
【請求項９】
エンコーダから出力される位相のずれた２相正弦波状信号を補正するエンコーダ出力信号補正装置において、
前記２相正弦波状信号に含まれる３次高調波成分の振幅及び位相の少なくとも一方を記憶するメモリと、
このメモリに記憶された前記振幅及び位相の少なくとも一方に基づいて、前記２相正弦波状信号における３次高調波歪を補正する補正部と
を備え、
前記メモリは、前記２相正弦波状信号のリサージュ波形の半径の変化に基づいて前記振幅及び位相の少なくとも一方を算出する外部の回路からの書き込みにより前記振幅及び位相の少なくとも一方を記憶するものである
ことを特徴とするエンコーダ出力信号補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置、角度、速度、角速度等の検出を行うエンコーダの２相正弦波状信号を補正するエンコーダの出力信号補正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エンコーダのスケールに形成される格子の間隔には加工限界があるため、スケール格子より細かい間隔を測定するには、エンコーダが出力する正弦波状信号の位相変化の空間周期を更に細分して内挿する必要がある。このため、従来より種々の内挿回路が用いられている。ディジタル処理による内挿回路は例えば、エンコーダから出力される９０°位相が異なるＡ、Ｂ相正弦波状信号を所定の周波数でサンプリングしてディジタルデータに変換するＡ／Ｄコンバータと、このＡ／Ｄコンバータにより得られたディジタルデータＤＡ、ＤＢに基づいて各サンプリング点の位相角データＰＨを求めるルックアップテーブルを記憶したメモリとから構成される。ルックアップテーブルは、逆正接関数（ＡＴＡＮ）を用いた、ＰＨ＝ＡＴＡＮ（ＤＢ／ＤＡ）に基づいて作成される。
【０００３】
エンコーダが出力するＡ、Ｂ相正弦波状信号は、通常完全な正弦波ではなく、これを直交座標で表すと、一般に楕円状のリサージュ波形を描く。Ａ、Ｂ相正弦波状信号電圧の振幅が異なると、リサージュ波形は楕円となり、また各信号電圧のオフセット値により、リサージュ波形は原点からずれた円又は楕円の波形となる。また、位相誤差が存在すると、楕円の長軸及び短軸が座標軸と平行でなく、４５°に近づく。内挿回路はＡ、Ｂ相正弦波状信号を正弦波と仮定して作られているため、理想的な正弦波からのズレは内挿精度に悪影響を与える。このため、Ａ、Ｂ相正弦波状信号における振幅誤差、位相誤差及びオフセットを補正するための装置が、例えば特許文献１、２により提案されている。
【０００４】
しかし、このような振幅誤差等が補正された２相正弦波状信号においても、理想的な正弦波信号波形からのズレ、すなわち波形歪が大きく、しかもその歪率は特にメインスケールとインデックススケールの間隔の変動により大きく変動する。この波形歪の多くは、奇数次（３次、５次・・・）の高調波成分によるものであり、このような歪率変動のある２相正弦波状信号を用いて測定を行うと、大きな測定誤差が発生する。
【０００５】
このような高調波成分を除いた正弦波状信号を出力するための技術は、幾つか提案されている。例えば、特許文献３では、スケール上に僅かに位相をずらした２つの矩形波格子パターンを設け、それらの出力を加算してちょうど高調波成分を相殺するようにしたものが提案されている。また、均一格子のスケールと不均一格子のスケールとの組合せにより高調波成分を除いた正弦波状信号を出力するようにしたものも、特許文献４により提案されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−３１１７４１号公報
【特許文献２】特開２００３−２２２５３４号公報
【特許文献３】特開平３−４８１２２号公報
【特許文献４】特許第２６９５６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、この特許文献３の技術では、ある程度波形歪を低減することはできるが、精密機械工作等における位置測定に適用するには精度が十分でない。また、特許文献４の方式では、高精度に明部暗部のデューティ比を作成する必要があるため、微細スケールにおいては高精度にこれを作成することが困難である。
【０００８】
本発明は、正弦波状信号に含まれる３次高調波成分を比較的簡単なディジタル演算処理を用いて除去し、これにより内挿回路における内挿精度の向上やエンコーダのスケール不均一やアライメントの不均一に起因する高調波成分誤差に対するロバスト性の向上等が実現可能なエンコーダ出力信号補正装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、エンコーダから出力される位相のずれた２相正弦波状信号を補正するエンコーダ出力信号補正装置において、前記２相正弦波状信号に含まれる３次高調波成分の振幅及び位相の少なくとも一方を、前記２相正弦波状信号のリサージュ波形の半径の変化に基づいて演算する３次高調波演算部と、前記３次高調波演算部により演算された前記振幅及び位相の少なくとも一方に基づいて、前記２相正弦波状信号における３次高調波歪を補正する補正部とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
ここで、前記３次高調波演算部は、前記リサージュ波形の半径の最大値と最小値を演算し、この最大値及び最小値の差に基づいて前記３次高調波成分の振幅を演算するものとすることができる。又は、前記３次高調波演算部は、前記リサージュ波形の半径が最大値又は最小値となるときの位相を検出し、この検出結果に基づいて前記３次高調波成分の位相を演算するものとすることができる。
【００１１】
また、前記３次高調波演算部は、前記リサージュ波形の半径の変化をフーリエ解析して周波数信号成分を求めることにより前記３次高調波成分の振幅及び位相の少なくとも一方を演算するものとすることができる。
【００１２】
一方、前記補正部は、前記３次高調波成分の位相が０°又は９０°である場合における前記２相正弦波状信号の値と前記３次高調波成分の値との相関関係に基づいて、前記２相正弦波信号の各値に対応する前記３次高調波成分の値を求め、この３次高調波成分の値を２相正弦波信号から減算して振幅を補正する振幅補正部とを備えたものとすることができる。前記相関関係を示すデータは、はルックアップテーブルに保持され、前記振幅補正部がこのルックアップテーブルを参照して前記３次高調波成分の値を求めるようにしてもよい。また、前記補正部が、前記３次高調波演算部で算出された位相の分だけ、３次高調波成分を含む２相正弦波状信号のリサージュ波形を回転させて、前記３次高調波成分の位相が０°又は９０°である状態とする座標回転部と、前記振幅補正部が出力する２相正弦波信号のリサージュ波形を、前記座標回転部で回転された角度と同一の角度だけ逆回転させる座標逆回転部とを更に備えるようにしてもよい。  
また、この発明に係るエンコーダ出力信号補正装置の別の態様は、エンコーダから出力される位相のずれた２相正弦波状信号を補正するエンコーダ出力信号補正装置において、前記２相正弦波状信号に含まれる３次高調波成分の振幅及び位相の少なくとも一方を記憶するメモリと、このメモリに記憶された前記振幅及び位相の少なくとも一方に基づいて、前記２相正弦波状信号における３次高調波歪を補正する補正部とを備え、前記メモリは、前記２相正弦波状信号のリサージュ波形の半径の変化に基づいて前記振幅及び位相の少なくとも一方を算出する外部の回路からの書き込みにより前記振幅及び位相の少なくとも一方を記憶するものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、リサージュ波形の半径の変化から３次高調波成分の振幅及び位相を求め、これに基づいて２相正弦波状信号から３次高調波歪を補正するようにしているので、内挿回路における内挿精度の向上及びエンコーダのスケール不均一やアライメントの不均一に起因する高調波成分誤差に対するロバスト性の向上等を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、この発明の実施の形態に係るエンコーダ出力信号補正装置１の基本構成を示すブロック図である。このエンコーダ出力信号補正装置１は、Ａ／Ｄコンバータ２０、２１と、オフセット・振幅・位相補正部３０と、オフセット・振幅・位相検出部３１と、３次高調波歪補正部４０と、３次高調波演算・検出部４１と、ｒ−θ変換部５０とを備え、これによりエンコーダ１０の出力信号Ａ０、Ｂ０から３次高調波を除去する補正を行うものである。
【００１５】
エンコーダ１０はその検出原理は問わないが、例えば光電式或いは磁気式である。エンコーダ１から出力されるＡ相正弦波状信号、Ｂ相正弦波状信号Ａ０、Ｂ０は、通常、振幅誤差、位相誤差、オフセット等を含んでいる。
【００１６】
信号Ａ０、Ｂ０は、それぞれＡ／Ｄコンバータ２０、２１により、所定の周波数でサンプリングされてディジタル信号Ａ１、Ｂ１に変換され、オフセット・振幅・位相補正部３０に入力される。オフセット・振幅・位相補正部３０は、オフセット・振幅・位相検出部３１により演算された補正係数に基づいて、ディジタル信号Ａ１、Ｂ１のオフセット、振幅及び位相を補正して出力信号Ａ４、Ｂ４を出力する。オフセット・振幅・位相検出部３１は、出力信号Ａ４、Ｂ４に基づいてオフセット・振幅・位相補正部３０における補正係数を演算する。補正係数の演算手法は、上記特許文献１、２の方法と同様であるので、ここでは詳細な説明は省略する。
【００１７】
出力信号Ａ４、Ｂ４は、振幅、位相、及びオフセットが補正された正弦波状の出力信号であるが、３次高調波を含む高調波成分を依然として含んでいる。
すなわち、３次高調波の振幅及び位相が等しいとして、基本波の振幅をａ１、３次高調波の振幅をａ３、３次高調波の位相をφ３とすると、出力信号Ａ４，Ｂ４は、次式で表される。
【００１８】
【数１】
2006112859.tif 000003
【００１９】
但し、ｕ＝２πｘ／λ
λ：信号ピッチ
ｘ：変位
である。
従って、信号Ａ４，Ｂ４のリサージュ半径ｒは、次式のように求められる。
【００２０】
【数２】
2006112859.tif 000004
【００２１】
上記式から明らかなように、リサージュ半径ｒは、最大値ｒｍａｘ＝ａ１＋ａ３、最小値ｒｍｉｎ＝ａ１−ａ３の間を周期λ／４、位相３φ３で変化する。従って、ａ１，ａ３及びφ３が求まれば、３次高調波歪を補正することができる。
【００２２】
３次高調波歪補正部４０は、出力信号Ａ４、Ｂ４の３次高調波成分を補正して出力信号Ａ７、Ｂ７を出力するものである。補正は、３次高調波演算・検出部４１から与えられる補正係数（基本波の振幅ａ１、３次高調波の振幅ａ３、及び３次高調波の位相φ３）に基づいて実行される。
ｒ−θ変換部５０は、出力信号Ａ７、Ｂ７からリサージュ波形を生成し、このリサージュ波形の位相θごとの半径ｒを演算するものである。３次高調波演算・検出部４１は、このｒ、θに基づいて、各補正係数（基本波の振幅ａ１、３次高調波の振幅ａ３、及び３次高調波の位相φ３）を演算する。
【００２３】
次に、オフセット・振幅・位相補正部３０及び３次高調波歪補正部４０の具体的な回路構成を、図２を参照して説明する。
オフセット・振幅・位相補正部３０は、オフセット補正部３０１、振幅補正部３０２及び位相補正部３０３から構成されている。オフセット補正部３０１は加算器３１０及び３１１からなり、オフセット・振幅・位相検出部３１から与えられる加算係数ｄａ１、ｄｂ１をそれぞれ信号Ａ１、Ｂ１に加算することにより、オフセット補正を実行する。振幅補正部３０２は、乗算器３２０、３２１からなり、オフセット・振幅・位相検出部３１から与えられる乗算係数ｋａ１、ｋｂ１をそれぞれ信号Ａ２、Ｂ２に乗算することにより、振幅補正を実行する。位相補正部３０３は、乗算器３３０〜３３３及び加算器３４０、３４１からなり、オフセット・振幅・位相検出部３１から与えられる乗算係数ｋｐｈ１、ｋｐｈ２を用いて、信号Ａ３、Ｂ３を次のような出力信号Ａ４、Ｂ４に変換することにより、位相補正を実行する。
【００２４】
【数３】
2006112859.tif 000005
【００２５】
３次高調波歪補正部４０は、図２に示すように、座標回転部４０１、振幅補正部４０２及び座標逆回転部４０３から構成されている。座標回転部４０１は、乗算器４１０〜４１３と、加算器４１４、４１５とを備えている。すなわち座標回転部４０１は、次に示す［数４］の演算を行うことにより、図３左に示すような、信号Ａ４、Ｂ４のリサージュ波形Ｌ４を、３次高調波の位相に対応する角度φ３だけ反時計周りに回転させ、図３右に示すような、信号Ａ５、Ｂ５に対応するリサージュ波形Ｌ５を生成するものである。この角度φ３の回転を行うのは、リサージュ波形上において、３次高調波の位相が０°又は９０°である状態を作り、この状態で次段の振幅補正部４０２での処理を実行するためである。
【００２６】
【数４】
2006112859.tif 000006
【００２７】
振幅補正部４０２は、３次高調波演算・検出部４１で算出された基本波の振幅ａ１及び３次高調波の振幅ａ３を用いて、３次高調波の位相が０°又は９０°である出力信号Ａ５、Ｂ５から３次高調波成分を除去する方向の補正を行う。
すなわち、位相φ３が０°又は９０°のとき、出力信号Ａ５（又はＢ５）の電圧（値）Ｖａ１とその３次高調波成分の電圧（値）Ｖａ３の相関をプロットすると、図４に示すグラフの関係が得られる。このグラフは、次の関係式によって表現される。
【００２８】
【数５】
2006112859.tif 000007
【００２９】
出力信号Ａ５、Ｂ５には、この［数５］のＶａ３で表現される３次高調波成分が含まれているので、振幅補正部４０２において、この［数５］により演算されるＶａ３を出力信号Ａ５、Ｂ５から減算した出力信号Ａ６、Ｂ６を得ることにより、３次高調波成分を減算する補正を実行することができる。この演算は、振幅補正部４０２に、数５で示されるＶａ１とＶａ３との関係、又はＶａ１と（Ｖａ１−Ｖａ３）との関係を記憶したルックアップテーブル４０２Ｔを設けて実現することができる。すなわち、出力信号Ａ５（又はＢ５）の各サンプル値（Ｖａ１）をルックアップテーブル４０２Ｔへのインデックスとし、３次高調波成分の値Ｖａ３を出力として読み出し、Ｖａ１から減算することにより、出力信号Ａ６（又はＢ６）を得る。また、ルックアップテーブル４０２Ｔからの出力を（Ｖａ１−Ｖａ３）とすれば、そのまま出力信号Ａ６，Ｂ６が得られる。
【００３０】
座標逆回転部４０３は、乗算器４３０〜４３３と、加算器４３４、４３５とを備えており、次の演算を行うことにより、信号Ａ６、Ｂ６のリサージュ波形を、座標回転部４０１での回転角度φ３だけ時計回り、すなわち逆回転（角度−φ３だけ回転）させ、信号Ａ７、Ｂ７を生成するものである。角度−φ３だけ回転されたリサージュ波形即ち出力信号Ａ７、Ｂ７は、元の出力信号Ａ４、Ｂ４の基本波と同一の基本波を含み、かつ３次高調波成分が減算されている。
【００３１】
【数６】
2006112859.tif 000008
【００３２】
ｒ−θ変換部５０は、この出力信号Ａ７、Ｂ７を、リサージュ波形を表現する半径ｒ、位相θに変換する部分である。変換は、次の式に従って行う。
【００３３】
【数７】
2006112859.tif 000009
2006112859.tif 000010
【００３４】
次に、３次高調波演算・検出部４１が、半径ｒ、位相θに基づき、振幅ａ１、振幅ａ３及び位相φ３を演算する手法を具体的に説明する。
【００３５】
（方法１）
まず、より簡便な第１の方法を説明する。前述したように、リサージュ波形の半径ｒは、３次高調波歪によりλ／４の周期で変化し、その最大値ｒｍａｘはｒｍａｘ＝ａ１＋ａ３、最小値ｒｍｉｎはｒｍｉｎ＝ａ１−ａ３となる（図５参照）。従って、ａ１、ａ３は、ｒｍａｘ、ｒｍｉｎを用いて、次のように演算できる。
【００３６】
【数８】
2006112859.tif 000011
【００３７】
また、位相φ３は、半径ｒが最大値又は最小値となるｕの値（図５：多値）を用いて求めることができる。
【００３８】
（方法２）
方法１は簡易で計算機の負荷が小さくて済むが、３次高調波成分の振幅ａ３が小さくなると、位相φ３の検出精度が低下する可能性がある。次に説明する方法２は、φ３をより厳密に演算することができる方法である。以下、この方法２を説明する。この方法２では、フーリエ解析を用いて振幅ａ１、ａ３及び位相φ３を演算する。すなわち、リサージュ波形に含まれる波長λ／４（空間周波数４・２π／λ）の信号成分のフーリエ変換の実部をＲｅ、虚部をＩｍとし、動的補正をおこなうため、補正後の波形で検出した実部と虚部から［数９］、［数１０］の式で示されるｄＲｅ、ｄＩｍを求め、［数１１］の漸化式でＲｅとＩｍを更新する。この更新を数回繰り返すことにより、Ｒｅ、Ｉｍは一定の値に収束するので、その値をＲｅ、Ｉｍとして決定する。
【００３９】
【数９】
2006112859.tif 000012
【数１０】
2006112859.tif 000013
【数１１】
2006112859.tif 000014
2006112859.tif 000015
【００４０】
ａ１が次に示す［数１２］のように求められると共に、上記［数１１］で決定されたＲｅ、Ｉｍに基づいて、ａ３、φ３がそれぞれＲｅ、Ｉｍで特定される複素空間上の座標の原点からの距離と角度として、次の［数１３］、［数１４］により求められる。ここで、［数１３］で係数√２が掛けられているのは、フーリエ変換で得られる信号の大きさは実効値であり、振幅はその√２倍であるためである。
【００４１】
【数１２】
2006112859.tif 000016
【００４２】
【数１３】
2006112859.tif 000017
【００４３】
【数１４】
2006112859.tif 000018
【００４４】
フーリエ解析に際しては、半径ｒｉを回転方向に等ピッチでサンプリングする必要がある。このため、リサージュ波形１回転（基本波の１周期）を均等にＮ個の扇形の区間に分割し、等ピッチのθｉ（ｉ＝０〜Ｎ−１）に対応した区間i毎の半径の代表値ｒｉを、平均化の手法やディジタルフィルタ等の方法を用いて演算する。平均化の手法を用いる場合、図６に示すように、扇形の区間ｉ（θｉ±Δθ／２（但し、Δθ＝２π／Ｎ））にある複数（Ｍ個）の点における半径ｒｍを求め、次の式により代表値ｒｉを求めることが出来る。
【００４５】
【数１５】
2006112859.tif 000019
【００４６】
このようにして、３次高調波演算・検出部４１でａ１、ａ３、φ３が演算され、これが３次高調波歪補正部４０での補正に用いられる。３次高調波歪補正部４０での補正、ｒ−θ変換部５０でのｒ−θ変換、及び３次高調波演算・検出部４１での補正係数の演算が数回繰り返されることにより、出力信号Ａ７、Ｂ７の３次高調波成分が一層除去され、出力信号Ａ７、Ｂ７の波形を理想的な正弦波状に近づけることができる。図７（ａ）は、補正前の信号Ａ１、Ｂ１のリサージュ波形と、信号Ａ７、Ｂ７のリサージュ波形とを比較したものである。また、同図（ｂ）は、信号Ａ１、Ｂ１における１周期内の半径ｒの変化と、信号Ａ７、Ｂ７における１周期内の半径ｒの変化とを比較したものである。
【００４７】
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。例えば、上記実施の形態では、エンコーダから出力されたＡ相、Ｂ相正弦波状信号に対し、最初にオフセット、振幅及び位相の補正を行い、続いて３次高調波の補正を実行していたが、この順序は入れ替えることが可能である。すなわち、３次高調波の補正を先に実行し、後からオフセット、振幅及び位相の補正を実行するようにしてもよい。また、上記の実施の形態では、振幅や位相等の補正をディジタル回路により実行したが、ＤＳＰやソフトウエア等により同様の処理を行ってもよい。
【００４８】
また図８に示すように、オフセット・振幅・位相検出部３１及び３次高調波演算・検出部４１をエンコーダ出力信号補正装置２の外部の回路とし、これらの回路で検出された各種検出パラメータを外部からメモリ６０に適宜記憶させるようにすることもできる。このような構成によれば、工場出荷時、メンテナンス時において、検出部３１及び４１をエンコーダ出力信号補正装置２に接続し、これら検出部３１及び４１による検出を行って検出パラメータをメモリ６０に書込み、出荷以降のエンコーダ１０の使用時においては、検出部３１及び４１をエンコーダ出力信号補正装置２から外し、メモリ６０に記憶された検出パラメータを読み出して補正を実行することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】この発明の実施の形態に係るエンコーダ出力信号補正装置１の基本構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示すオフセット・振幅・位相補正部３０及び３次高調波歪補正部４０の具体的な回路構成を示す回路図である。
【図３】図２の座標回転部４０１の機能を説明するための図である。
【図４】図２の振幅補正部４０２中のルックアップテーブル４０２Ｔに記憶される相関データを示す図である。
【図５】３次高調波演算・検出部４１における振幅ａ１、ａ３の演算方法を説明するための図である。
【図６】ｒ−θ変換部５０における半径ｒ、位相θの算出方法を説明するための図である。
【図７】この実施の形態の装置による３次高調波歪補正を含む補正の実行前後のリサージュ波形の変化の一例を示す図である。
【図８】本発明の他の実施の形態に係るエンコーダ出力信号補正装置２の基本構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５０】
１０・・・エンコーダ、  ２０、２１Ａ・・・／Ｄコンバータ、３０・・・オフセット・振幅・位相補正部、  ３１・・・オフセット・振幅・位相検出部、  ４０・・・３次高調波歪補正部、  ４１・・・３次高調波演算・検出部、  ５０・・・ｒ−θ変換部、  ４０１・・・座標回転部、  ４０２・・・振幅補正部、  ４０３・・・座標逆回転部、  ６０・・・メモリ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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