(57)【要約】【課題】  ダイヘッドの分解や組み立てを容易に行なうことができると共に、簡単な操作でギャップ寸法を調整できるダイヘッドを提供する。【解決手段】  ダイヘッド１３を、それぞれがスリットギャップ１９を形成するためのギャップ壁面１７ａ、１８ａと互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面１７ｂ、１８ｂを備えた第一ダイブロック１７及び第二ダイブロック１８と、その第一ダイブロック及び第二ダイブロックを、前記合わせ面の位置で且つ長手方向に間隔を開けた複数箇所で互いに締結する複数の締結手段２２を備えた構造とし、その締結手段２２を、第一ダイブロックに取り付けられ、第二ダイブロックを磁力で吸引する電磁石２３で構成し、電磁石への供給電力の調整でギャップ寸法を調整可能とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれがスリットギャップを形成するためのギャップ壁面と互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面を備え、その合わせ面を互いに合わせて組み合わせた時に前記ギャップ壁面の間に塗工液を吐出するためのスリットギャップが形成される構成の第一ダイブロック及び第二ダイブロックと、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックを、前記合わせ面の位置で且つ長手方向に間隔を開けた複数箇所で互いに締結する複数の締結手段を備え、該締結手段が、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックの一方に取り付けられ、他方を磁力で吸引する電磁石を有していることを特徴とするダイヘッド。
【請求項２】
前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックの一方が、前記合わせ面に垂直に且つ該合わせ面に開口するように形成された貫通穴を有しており、前記電磁石が、前記貫通穴に挿入、保持されたコイル芯と該コイル芯の周囲に巻かれたコイルとを有することを特徴とする請求項１記載のダイヘッド。
【請求項３】
更に、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックの一方に取り付けられた複数の電磁石に供給する電力を個々に調整可能な制御手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載のダイヘッド。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項記載のダイヘッドを組み付ける方法であって、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックを、互いの合わせ面を突き合わせ、前記電磁石に通電して組み付ける工程と、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックの間に形成されるスリットギャップのギャップ寸法を測定し、そのギャップ寸法のダイヘッド長手方向におけるばらつきが所定の許容範囲内に入るよう、前記電磁石への供給電力を調整するギャップ寸法調整工程とを有するダイヘッド組み付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造工程、有機ＥＬ素子製造工程、燃料電池製造工程、フォトマスク製造工程、包装材製造工程などにおいて、ウェブや板材などの被塗工物に対して塗工液を塗布するために用いるダイヘッド及びその組み付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、図４（ａ）に示すように、バックアップロール１に支持されて走行中のウェブ（被塗工物）２にダイヘッド３を対向、配置し、該ダイヘッド３から塗工液を膜状に吐出して塗布する塗工装置、及び、図４（ｂ）に示すように、定盤４上に載置された板材又はシート（被塗工物）５にダイヘッド３を対向、配置し、そのダイヘッド３から塗工液を膜状に吐出しながらダイヘッド３を定盤４上の板材又はシート５に対して相対的に移動させ、塗布する塗工装置が知られている。この種の塗工装置に用いるダイヘッド３は、図５、図６に示すように、第一ダイブロック７と第二ダイブロック８を備えており、その第一ダイブロック７と第二ダイブロック８にはそれぞれ、スリットギャップ９を形成するためのギャップ壁面７ａ、８ａと、互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面７ｂ、８ｂが形成され、更に一方のダイブロック８にはマニホールド１０が形成されている。この二つのダイブロック７、８は、その合わせ面を互いに合わせて組み合わせ、長手方向（本明細書では、矢印Ｘ−Ｘ方向で示す吐出幅方向を長手方向という）に間隔をあけた複数箇所に配置したボルト１１によって両者を締結して一体化され、ギャップ壁面７ａ、８ａの間に塗工液を吐出するためのスリットギャップ９が形成される構成となっている。
【０００３】
この構造のダイヘッド３では、各ダイブロック７、８のギャップ壁面７ａ、８ａ及び合わせ面７ｂ、８ｂを高精度に加工しており、ダイブロック７、８を、合わせ面７ｂ、８ｂを合わせて組み付けることにより、ギャップ壁面７ａ、８ａ間に形成されるスリットギャップ９のギャップ寸法ｄが所定の値となるようにしている。ところが、実際には全部のボルト１１を一定トルクで締め付けても合わせ面における面内圧力に偏りが生じ、スリットギャップ９のギャップ寸法ｄに影響がでる。特に、ダイヘッドの軽量化を図るため各ダイブロック７、８の厚さ（合わせ面７ｂ、８ｂに直角方向に図った厚さ）を小さくすると、合わせ面における面内圧力に偏りによって各ダイブロック７、８の先端部分に生じる歪が大きくなり、スリットギャップ９のギャップ寸法ｄの長手方向におけるむらが無視できなくなる。このむらは塗布精度に影響するため、ギャップ寸法ｄの長手方向におけるむらは一定の許容範囲内に入るように調整する必要がある。そこで、従来は、ギャップ寸法ｄを測定し、その測定結果に基づいて各ボルト１１の締付けトルクを調整してギャップ寸法ｄのダイヘッド長手方向におけるばらつきが所定の許容範囲内に入るように調整していた。
【０００４】
しかしながら、第一ダイブロック７及び第二ダイブロック８をボルト１１によって締結し、そのボルト１１の締付けトルクを調整してギャップ寸法を調整する作業は面倒で手間のかかる作業であった。また、ダイヘッドを使用した塗工中において、スリットギャップにスラリー、フィラー等の単体及び凝集物が詰まることによる吐出不良発生時、或いはその恐れが生じた時などには、塗工を中止し、多数のボルト１１を外してダイヘッドを分解、洗浄し、再度組み立てて多数のボルト１１を締結するという作業が必要となるが、多数のボルト１１の脱着には多大な手間が掛かり、この分解、洗浄作業を頻繁に行なう必要がある場合には大きい負担となっていた。また、分解、洗浄後、再組み立てした場合には、各ボルトを先に調整した締付けトルクで締めてもギャップ寸法精度の再現性が得にくいこともあった。これは次の理由による。すなわち、ボルト締結における軸力は、ねじピッチや雄ねじであるボルト及び雌ねじであるダイブロックの加工精度等で決定される接触面積、材質による摩擦係数等による摩擦抗力により決定されるが、所定の締付けトルクでボルトを締結しても摩耗等により軸力が変化することがあり、その場合、第一ダイブロック７及び第二ダイブロック８間の合わせ面における面内圧力が変化し、ギャップ寸法精度に影響し、良好な再現性を得られないことがあった。その場合、ギャップ寸法の再調整作業が必要であり、多大な作業負担となっていた。
【０００５】
そこで、ダイ吐出側のスリットギャップの開口部をエアーシリンダにて調整する構成としたダイヘッドが特開２０００−３３４３５９号公報に提案されている。しかしながら、このダイヘッドでは、スリットギャップを形成している部分に弾性ひずみを発生させてギャップ寸法を調整しているが、ひずみを発生させた場合にはダイ洗浄後等の毎回の組み立て時に塗布精度に再現性が得られない。また、ダイ先端部での液滴保持状態により面質不良が発生する場合があり、先端部のみの部分的な修正では塗布速度を向上させるとか、塗布膜厚分布の精度を上げるなどの塗布条件の向上は図りにくいといった問題もある。特開２００３−２４８５７号公報には、くさびにてダイ吐出側のスリットギャップの開口部を調整する方法が提案されている。しかし、この方法も上記と同様にダイ先端部での液滴保持状態のばらつきにより面質不良を発生させる場合がある。また、開口部を開く、閉じる等操作を行なうためにくさびを用いた場合、材料の弾性変形域を用いるが、弾性ひずみが発生した場合には操作範囲の限定、及び内部スリット精度を再研磨等により修正する必要があるといった問題がある。
【特許文献１】特開２０００−３３４３５９号公報
【特許文献２】特開２００３−２４８５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたもので、ダイヘッドの分解や組み立てを容易に行なうことができると共に、スリットギャップ先端部分を弾性変形させてギャップ寸法を調整することなく、簡単な操作でギャップ寸法を所定の許容範囲内に調整することを可能とするダイヘッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記課題を解決するため、ダイヘッドを、それぞれがスリットギャップを形成するためのギャップ壁面と互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面を備え、その合わせ面を互いに合わせて組み合わせた時に前記ギャップ壁面の間に塗工液を吐出するためのスリットギャップが形成される構成の第一ダイブロック及び第二ダイブロックと、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックを、前記合わせ面の位置で且つ長手方向に間隔を開けた複数箇所で互いに締結する複数の締結手段を備えた構造とし、その締結手段を、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックの一方に取り付けられ、他方を磁力で吸引する電磁石を有する構成としたことを特徴とする。
【０００８】
ここで、電磁石を前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックの一方に取り付ける構造としては、電磁石を第一ダイブロック及び第二ダイブロックの一方に埋め込む構造を取っても良いが、これに代えて、第一ダイブロック及び第二ダイブロックの一方に、そのダイブロックに設けられている前記合わせ面に垂直に且つ該合わせ面に開口する貫通穴を形成し、前記電磁石を、前記貫通穴に挿入、保持された磁性材料製のコイル芯と該コイル芯の周囲に巻かれたコイルとを有する構造とすることが好ましく、これにより、電磁石をダイブロックに対する取り付けを容易とすることができると共にコイル芯によって磁力を他方のダイブロックに効果的に作用させて、大きい吸引力を作用させることができる。
【０００９】
また、ダイヘッドに設けた複数の電磁石に供給する電力、例えば電流を個々に調整可能な制御手段を設けておくことが好ましく、これにより各電磁石による締結力を容易に調整してギャップ寸法を調整できる。
【００１０】
本発明はまた、上記した本発明のダイヘッドを組み付ける方法を提供する。すなわち、本発明のダイヘッド組み付け方法は、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックを、互いの合わせ面を突き合わせ、前記電磁石に通電して組み付ける工程と、前記第一ダイブロック及び第二ダイブロックの間に形成されるスリットギャップのギャップ寸法を測定し、そのギャップ寸法のダイヘッド長手方向におけるばらつきが所定の許容範囲内に入るよう、前記電磁石への供給電力を調整するギャップ寸法調整工程とを有するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のダイヘッドは、第一ダイブロックと第二ダイブロックの締結に電磁石を用いたことにより、組み付けに当たっては、単に第一ダイブロック及び第二ダイブロックを、互いの合わせ面を突き合わせ、前記電磁石に通電することで、第一ダイブロックと第二ダイブロックとを磁力によって締結することができ、また、ギャップ寸法の調整に当たっては、ギャップ寸法を測定し、その測定結果に基づいて電磁石への供給電力例えば供給電流を調整することで、スリットギャップの全長におけるギャップ寸法のばらつきが所望の許容範囲内に収まるように調整することができる。なお、ギャップ寸法を測定する代わりに、実際に塗工を行い、塗布膜厚のばらつきを測定し、そのデータを元にして各電磁石への供給電力を調整してギャップ寸法を調整することもできる。いずれの方法においても、ギャップ寸法調整は単に電磁石への供給電力の調整で可能であるので、調整作業をきわめて容易に行なうことができる。更に、電磁石による磁力はきわめて再現性が高いため、ダイヘッドのギャップ寸法のばらつきが所定の許容範囲内に入るように、各電磁石への供給電力を調整し、設定しておくと、ダイヘッドを分解して再組み立てした時にも、あらかじめ設定した供給電力とすることで、ギャップ寸法のばらつきを所望の許容範囲内とすることができ、従って再度のギャップ寸法の調整操作はほとんど必要ない。ダイヘッドを分解するに当たっては単に電磁石への通電を停止すればよい。このように、ダイヘッドを洗浄のために分解し、再組み立てする作業は、きわめて容易で且つ短時間で実施できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は本発明の好適な実施の形態に係るダイヘッドの概略斜視図、図２はダイヘッドの概略断面図である。全体を参照符号１３で示すダイヘッドは、第一ダイブロック１７と第二ダイブロック１８を備えており、その第一ダイブロック１７と第二ダイブロック１８にはそれぞれ、スリットギャップ１９を形成するためのギャップ壁面１７ａ、１８ａと、互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面１７ｂ、１８ｂが形成され、更に一方のダイブロック１８にはマニホールド２０が形成されている。マニホールド２０はコートハンガー型、ストレート型のいずれでもよい。このダイヘッド１３は更に、合わせ面１７ｂ、１８ｂを突き合わせた状態の第一ダイブロック１７及び第二ダイブロック１８を、その合わせ面の位置で且つ長手方向に間隔を開けた複数箇所で互いに締結する複数の締結手段２２を備えている。この締結手段２２は、第一ダイブロック１７に取り付けられ、第二ダイブロック１８を磁力で吸引する電磁石２３を有している。電磁石２３を取り付ける側の第一ダイブロック１７は、ＳＵＳ６３０等の非磁性材料にて製作され、電磁石２３で吸引される側の第二ダイブロック１８はＳＵＳ４０２等の磁性材料にて製作される。
【００１３】
電磁石２３を第一ダイブロック１７に取り付けるため、第一ダイブロック１７には、合わせ面１７ｂに垂直に且つ合わせ面１７ｂに開口するように貫通穴２４が形成されており、その貫通穴２４の軸線方向の少なくとも一部領域に合わせ面１７ｂに向かう方向に径が小さくなるテーパ部２４ａが形成されている。一方、電磁石２３は、貫通穴２４のテーパ部２４ａに嵌合するテーパ部２５ａを備えた、鋼材等の磁性材料で作られたコイル芯２５とそのコイル芯２５の周囲に巻かれたコイル２６とを備えた構造であり、コイル芯２５を貫通穴２４に嵌合させることで簡単に第一ダイブロック１７に固定することができると共にコイル芯２５に作用する第二ダイブロック１８に向かう力を第一ダイブロック１７に伝達可能となっている。コイル芯２５は、第二ダイブロック１８に向かう磁束密度を集中させる働きを有しており、そのコイル芯２５と第二ダイブロック１８との間に大きい吸引力が確保できるよう、貫通穴２４に嵌合させた状態でその先端が、第二ダイブロック１８に接触はしないが極力近接した位置となるように、その長さが定められている。なお、貫通穴２４及びコイル芯２５の形状は、図示したようなテーパ部２４ａ、２５ａの嵌合で力を伝達するものに限らず、貫通穴２４に段部を形成し、コイル芯２５にも段部を形成して、両段部を突き合わせて力を伝達する構造、或いは貫通穴２４は単にストレートな穴とし、コイル芯２５にはその貫通穴２４の外側で第一ダイブロック１７の外面に突き当たる段部を設ける構造としてもよい。
【００１４】
第一ダイブロック１７に対する電磁石２３の取り付け位置（貫通穴２４の形成位置）は、第一ダイブロック１７と第二ダイブロック１８を互いに突き合わせている合わせ面１７ｂ、１７ｃにおいて面内圧力が極力均一となるように定めている。なお、第一ダイブロック１７と第二ダイブロック１８を互いに締結する複数の締結手段２２は、その全てを電磁石２３で形成する場合に限らず、一部の締結手段２２を従来用いていたボルト（図５のボルト１１参照）で構成してもよい。例えば、第一ダイブロック１７と第二ダイブロック１８の位置決め或いはずれ防止のために、ダイヘッド１３の両端部分或いは中心部分の締結手段２２をボルトで構成し、残りを電磁石で構成するように変更してもよい。
【００１５】
ダイヘッド１３に設けている複数の電磁石２３には、電源３１、アンプ３２、パソコン３３等が接続され、各電磁石２３に同時に給電可能としている。アンプ３２及びパソコン３３は、複数の電磁石２３に供給する電力の大きさ、例えば電流の大きさを個々に調整可能とするために設けたものであり、各電磁石２３への供給電力を調整する制御手段を構成する。
【００１６】
次に、上記構成のダイヘッド１３の組み付け作業を説明する。最初の組み付けに当たっては、まず第一ダイブロック１７と第二ダイブロック１８を、互いの合わせ面１７ｂ、１８ｂを突き合わせ、各電磁石２３に通電し、磁力を発生させる。これにより、電磁石２３のコイル芯２４と第二ダイブロック１８との間に磁力が作用し、両者が引きつけ合うことで、第一ダイブロック１７と第二ダイブロック１８とが締結される。この際の各電磁石２３に対する供給電力値は一定としておく。また、締結手段２２としてボルトを併用した場合には、そのボルトもあらかじめ定めた締結トルクで締め込んでおく。この状態では、各ダイブロック１７、１８を精密に加工しておいても、両ダイブロック１７、１８の間に形成されるスリットギャップ１９のギャップ寸法（図２の寸法ｄ）は、ダイヘッド１３の全長に渡って、必ずしも一定になっているとは限らず、許容範囲を越えてばらついている場合がある。そこで、図３に示すように、スリットギャップ１９の長手方向の一部領域のギャップ寸法を適当な測定装置で、例えば、静電容量式隙間測定用プローブ３６と静電容量式隙間測定器３７を備えた静電容量式隙間測定装置３５で測定し、且つ測定位置をダイヘッド１３の長手方向に逐次変えてダイヘッド１３の全長に渡って測定し、ギャップ寸法のばらつきの傾向を確認し、次いで、各電磁石２３への供給電力、例えば電流を調整して各電磁石２３の磁力を変化させ、合わせ面１７ｂ、１８ｂにおける圧力を変化させてギャップ寸法を調整し、且つ再度ギャップ寸法を測定するという調整動作を行なう。これにより、スリットギャップ１９の全長におけるギャップ寸法のばらつきを所望の許容範囲内（例えば、ギャップ寸法１００μｍに対して±１μｍの範囲内）に収まるように調整することができる。なお、この調整作業は、オペレータが静電容量式隙間測定装置３５で測定したギャップ寸法のばらつきを見て、パソコンを操作して各電磁石２３への供給電力を調整する方法で行なっても良いし、静電容量式隙間測定装置３５で測定したギャップ寸法をパソコン３３に入力させ、そのギャップ寸法が所定の許容範囲内に入るようにパソコン３３によってフィードバック制御する方法で自動的に行なってもよい。これらの調整作業において、ダイブロック１７、１８間の締結圧力を調整する作業は単にパソコン３３を操作して電磁石２３への供給電力を変更するのみで良いので、従来のようにボルトの締付けトルクを変更する場合に比べてはるかに容易であり、短時間で実施できる。
【００１７】
以上の調整が終了すると、各電磁石２３への供給電力値、例えば電流値をパソコン３３に記憶させておく。このダイヘッド１３を用いて塗工する場合には、各電磁石２３に、先に調整した供給電力値、例えば電流値で通電した状態で塗工を行なう。これにより、ダイヘッド１３のスリットギャップ１９のギャップ寸法むらを所定の許容範囲内に保った状態で塗工を行なうことができ、塗布膜厚むらを小さく抑えた状態での塗工を行なうことができる。塗工中、塗布膜厚むらが大きくなる場合には、膜厚むらが大きい部分の電磁石２３への供給電力を変更し、調整を行なう。そして、膜厚むらを所定の許容範囲内にできた後は、その時の供給電力値での通電を継続して塗工を行なう。また、この時の供給電力値をパソコン３３に記憶させておく。この調整作業もパソコン３３を操作して電磁石２３への供給電力を変更するのみで良いので、きわめて簡単に行なうことができる。
【００１８】
ダイヘッド１３による塗工を適当な期間継続し、ダイヘッド１３の分解、洗浄が必要となった時には、電磁石２３への通電を遮断し、締結手段としてボルトを用いていた場合にはそのボルトを外す。これにより、ダイブロック１３の第一ダイブロック１７、第二ダイブロック１８を分解することができる。そして、ダイヘッド１３を分解し、洗浄した後は、第一ダイブロック１７と第二ダイブロック１８を、互いの合わせ面１７ｂ、１８ｂを突き合わせ、各電磁石２３に通電して締結し、また、締結手段２２としてボルトを併用した場合には、そのボルトを所定の締結トルクで締め込む。この時の各電磁石２３への供給電力値は、先にパソコン３３に記憶させた値とする。これにより、各電磁石２３は供給電力値に応じた磁力を発生させ、第一ダイブロック１７、第二ダイブロック１８を締結するが、その際の磁力の再現性はきわめて正確であるので、組み立てたダイヘッド１３におけるギャップ寸法のむらは、先に設定した許容範囲内に保たれている。かくして、ギャップ寸法の再度の調整は不要である。このように、このダイヘッド１３の洗浄に当たって、分解、再組み立てはきわめて簡単であり、短時間で実施できる。
【００１９】
電磁石２３への供給電力の調整でギャップ寸法を調整できることを以下に示すダイヘッド１３を用いて検証した。
・ダイヘッド１３の全長：２００ｍｍ
・第一ダイブロック１７の材質：ＳＵＳ６３０
・第二ダイブロック１８の材質：ＳＵＳ４０２
・電磁石２３の使用個数及び配置：４個の電磁石を５０ｍｍピッチで配置
・電磁石２３の仕様：コイル芯材質はＳ４５Ｃ、コイル芯外径（コイル巻線部）は１５ｍｍ、コイル巻数は２００巻。
【００２０】
上記仕様のダイヘッド１３の全電磁石２３に１００Ｖ×５アンペアの電流を通電して第一ダイブロック１７と第二ダイブロック１８を締結し、その状態で静電容量式隙間測定装置を用いてスリットギャップのギャップ寸法を測定したところ、ギャップ寸法は１０６．３〜１０９．７μｍにばらつており、両端部が最も広くなっていた。そこで、両端部に配置している電磁石２３への供給電流を１００Ｖ×１０アンペアに変更してギャップ寸法を測定したところ、ギャップ寸法は１０６．３〜１０７．６μｍの範囲内となり、ばらつきの最大値を１．３μｍに抑えることができた。
【００２１】
なお、以上に説明した実施の形態では、電磁石２３をそのコイル２５が第一ダイブロック１７の外側に位置するように取り付けているが、この構造に代えて、電磁石２３を第一ダイブロック１７内に埋め込む形態で取り付けても良い。その場合、第一ダイブロック１７の複数の電磁石２３を取り付ける領域全体に電磁石配置用の溝を形成し、その溝内に電磁石を埋め込む形態としてもよいし、各電磁石の取り付け位置にスポット的な穴を形成してそこに埋め込む形態としてもよい。更に、上記した実施の形態は本発明の説明用のものであって、本発明を限定するものではなく、本発明は特許請求の範囲の記載範囲内で種々変更可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の好適な実施の形態に係るダイヘッドの概略斜視図
【図２】図１に示すダイヘッドの概略断面図
【図３】ダイヘッドのスリットギャップの調整を行なう状態を説明する概略斜視図
【図４】（ａ）、（ｂ）はそれぞれダイヘッドを用いたウェブ、板材への塗布様式を示す概略側面図
【図５】従来のダイヘッドの概略断面図
【図６】従来のダイヘッドの概略斜視図
【符号の説明】
【００２３】
１  ローラ
２  ウェブ
１、１３  ダイヘッド
４  定盤
５  板材又はシート
７、１７  第一ダイブロック
８、１８  第二ダイブロック
７ａ、８ａ、１７ａ、１８ａ  ギャップ壁面
７ｂ、８ｂ、１７ｂ、１８ｂ  合わせ面
９、１９  スリットギャップ
１０、２０  マニホールド
２２  締結手段
２３  電磁石
２４  貫通穴
２４ａ  テーパ部
２５  コイル芯
２５ａ  テーパ部
２６  コイル
３１  電源
３２  アンプ
３３  パソコン
３５  静電容量式隙間測定装置
３６  静電容量式隙間測定用プローブ
３７  静電容量式隙間測定器
【図１】
2006223999.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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