(57)【要約】    【課題】  マイクロ波電力をモニタするパワ−モニタにおいて、マイクロ波電力の周波数変動が許容される周波数帯域でモニタ特性を一定化すること。    【解決手段】  パワ−モニタ１６は、マイクロ波電力の特定の周波数ｆｒ＝２４５０ＭＨｚに対して低周波側でピ−クとなる周波数特性の方向性結合器と、そのｆｒに対して高周波側でピ−クとなる周波数特性の検波器とを備え、方向性結合器の周波数特性と検波器の周波数特性の合成効果によって、マイクロ波電力の周波数変動が許容される周波数帯域のモニタ特性を一定化する構成としてある。【選択図】    図９
2006112791.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
方向性結合器と検波器とを備えたマイクロ波電力のパワ−モニタにおいて、
方向性結合器と検波器は、マイクロ波電力の特定の周波数に対して低周波側または高周波側で最大となる周波数特性に設定し、
低周波側で最大となる周波数特性の方向性結合器と高周波側で最大となる周波数特性の検波器、或いは、高周波側で最大となる周波数特性の方向性結合器と低周波側で最大となる周波数特性の検波器とを設け、方向性結合器の周波数特性と検波器の周波数特性による合成効果によりモニタ特性を一定化したマイクロ波電力のパワ−モニタ。
【請求項２】
請求項１に記載したパワ−モニタにおいて、
マイクロ波電力を供給する導波管に付設し、その導波管内に配設したアンテナ部材を有する長形の結合素子を備え、
当該結合素子の長さを変えて周波数特性を設定する方向性結合器を備えたマイクロ波電力のパワ−モニタ。
【請求項３】
請求項１に記載したパワ−モニタにおいて、
方向性結合器が出力するマイクロ波電力の検波電圧を整流、平滑する整流・平滑回路と、
この整流・平滑回路の前段に設けたインピ−ダンス変換回路とを備え、
インピ−ダンス変換回路の調整によって周波数特性を設定する検波器を備えたマイクロ波電力のパワ−モニタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パワ−モニタの周波数特性を改善してモニタ精度を高めたマイクロ波電力のパワ−モニタに関する。
【背景技術】
【０００２】
図９は、マイクロ波電力を利用した加熱装置の従来例を示した簡略図である。
この加熱装置は、マイクロ波発振器１１から発振させたマイクロ波電力を導波管１２を通して加熱炉１３内に供給し、このマイクロ波電力を加熱炉１３内の被加熱物１４に照射させる。
これにより、被加熱物１４がマイクロ波電力による誘電作用によって加熱される。
【０００３】
また、このような加熱装置では、マイクロ波電力の供給路にアイソレ−タ１５とパワ−モニタ１６とを備えたものがある。
なお、アイソレ−タ１５とパワ−モニタ１６については、それらの一方を備えた加熱装置やそれら両方を備えない加熱装置もある。
【０００４】
アイソレ−タ１５は、加熱炉１３からマイクロ波発振器１１に向かうマイクロ波電力の反射波ＰＲをカットする働きをする。
パワ−モニタ１６は、マイクロ波電力の進行波ＰＳと反射波ＰＲとを検出し、その検出結果に基づいて加熱装置の運転状態や被加熱物１４の加熱状態などをモニタ（監視）するものである。
【０００５】
マイクロ波電力には、マイクロ波発振器１１から導波管１２を通って加熱炉１３に進む進行波ＰＳの他に、加熱炉１３の壁などにぶつかって反射したり、被加熱物１４で吸収されないで反射して導波管１２を通ってマイクロ波発振器１１に戻ってくる反射波ＰＲとがある。
【０００６】
したがって、進行波ＰＳをモニタすることにより、マイクロ波発振器１１が正常に発振動作しているか、アイソレ−タ１５が正常であるかなどについて判断することができる。
【０００７】
また、反射波ＰＲをモニタすることにより、加熱炉１３が異常となったときや被加熱物１４の性質や特性変化などについて判断することができる。
【０００８】
上記したパワ−モニタ１６は、図１０に示したように、進行波パワ−モニタと反射波パワ−モニタとからなり、進行波パワ−モニタは、方向性結合器１７、検波器１８、表示器１９から構成され、反射波パワ−モニタは、方向性結合器２０、検波器２１、表示器２２から構成されている。
また、これら進行波パワ−モニタと反射波パワ−モニタは次に述べるように同様の構成となっている。
なお、パワ−モニタ１６については、進行波パワ−モニタと反射波パワ−モニタのいずれか一方を設けたものもある。
【０００９】
図１１、図１２は方向性結合器１７、２０を示す。
図示するように、進行波ＰＳの方向性結合器１７は、基板２３の板面に導電性材をコ字形にプリント形成した結合素子２４と、この結合素子２４の両端部に設けたアンテナピン２５ａ、２５ｂとから構成されている。
そして、アンテナピン２５ａ、２５ｂを導波管１２内に突出させるようにして、基板２３が導波管１２の外側面に固定されている。
【００１０】
この方向性結合器１７は、結合素子２４の一端部２４ａから出力する結合電力ＰＳＯを検波器１８に送る。
なお、この方向性結合器１７によって検出される結合電力ＰＳＯは、マイクロ波電力に影響しない僅かな電力（例えば、マイクロ波電力の１／１０万程度）となっている。
【００１１】
反射波ＰＲの方向性結合器２０は、上記した進行波ＰＳの方向性結合器１７と同様の構成となっており、基板２６に形成した結合素子２７と、アンテナピン２８ａ、２８ｂとを有し、基板２６が導波管１２に固定され、アンテナピン２８ａ、２８ｂが導波管１２内に突出している。
【００１２】
この方向性結合器２０は、結合素子２７の他端部２７ｂから出力する結合電力ＰＲＯを検波器２１に送る。
この結合電力ＰＲＯもマイクロ波電力の反射波ＰＲに比べて僅かな電力となる。
【００１３】
図１３は、上記した進行波ＰＳの検波器１８の回路を示す。
図示する如く、この検波器１８は、方向性結合器１７によって検出した結合電力ＰＳＯを入力して電圧検波し、その電圧整流するダイオ−ド２９と、電圧平滑するコンデンサ３０及び抵抗３１とからなり、進行波ＰＳの上記結合電力ＰＳＯに相応する直流電圧ＶＳを出力する構成となっている。
【００１４】
なお、反射波ＰＲの検波器２１は、上記した進行波ＰＳの検波器１８と同じ構成であり、反射波ＰＲの結合電力ＰＲＯを入力し、その結合電力ＰＲＯに相応する直流電圧ＶＲを出力する。
【００１５】
また、進行波ＰＳの検波器１８が出力する直流電圧ＶＳは、表示器１９である電圧計に送り、この電圧計の表示を目視し、進行波ＰＳの供給状態を判断する。
【００１６】
同様に反射波ＰＲの検波器２１が出力する直流電圧ＶＲを表示器２２である電圧計によって表示させ、その電圧計の表示を目視して反射波ＰＲの発生状態を判断する。
【００１７】
図１４は、上記した進行波ＰＳの方向性結合器１７の動作を説明するための説明図である。
この方向性結合器１７は、アンテナピン２５ｂから入力し、結合素子２４を通って一端部２４ａから出力する検出電力ＰＳ１と、アンテナピン２５ａから入力して直接に一端部２４ａから出力する検出電力ＰＳ２とが合成され、進行波ＰＳの結合電力ＰＳＯとして出力される。
【００１８】
すなわち、検出電力ＰＳ１と検出電力ＰＳ２とを同相の電力波形となし、これら検出電力ＰＳ１、ＰＳ２が加算されて結合電力ＰＳＯとして出力されるようになっている。
【００１９】
また、この方向性結合器１７は、結合素子２４の他端部２４ｂには検出電力が発生しない。
すなわち、結合素子２４の一端部２４ａには、アンテナピン２５ａから入力するマイクロ波電力ＰＳ１が直接に現われるが、アンテナピン２５ｂから入力するマイクロ波電力ＰＳ２は結合素子２４を通って一端部２４ａに達するため、マイクロ波電力ＰＳ１に対して１８０°の位相差が生じ、これらマイクロ波電力ＰＳ１、ＰＳ２とが互いに打ち消し合う関係となる。
【００２０】
具体的には、アンテナピン２５ａ、２５ｂの間隔をλ／４、結合素子２４の長さを（３／４）×λとしてある。
なお、λはマイクロ波電力の波長である。
【００２１】
図１５は、反射波ＰＲの方向性結合器２０の動作説明図ある。
この方向性結合器２０は、上記した進行波ＰＳの方向性結合器１７と同様の動作となる。
すなわち、結合素子２７の他端部２７ｂには、反射波ＰＲの検出電力ＰＲ１とＰＲ２とが同相に現われ、これら検出電力ＰＲ１とＰＲ２の加算電力が結合電力ＰＲＯとして出力する。
なお、結合素子２７の一端部２７ａでは検出電力ＰＲ１とＰＲ２とが打ち消し合うため、検出電力が現われない。
【００２２】
上記した進行波ＰＳの方向性結合器１７が出力する結合電力ＰＳＯが検波器１８に送られ、この検波器１８によって電圧検波される。
したがって、検波器１８により整流・平滑された直流電圧ＶＳが表示器（電圧計）１９によって表示される。
【００２３】
同様に、反射波ＰＲの方向性結合器２０が出力する検波電力ＰＲＯが検波器２１によって電圧検波され、この検波器２１が出力する直流電圧ＶＲが表示器（電圧計）２２によって表示される。
【００２４】
この結果、表示器１９の表示により、導波管１２によって供給されるマイクロ波電力の進行波ＰＳの状態が分かる。
また表示器２２の表示により、マイクロ波電力の反射波ＰＲの状態が分かる。
【００２５】
一方、この種の加熱装置で使用するマイクロ波電力の周波数は、２４５０ＭＨｚであるが、マイクロ波発振器１１として備えるマグネトロンの精度誤差などのために２４５０ＭＨｚ／±５０ＭＨｚの周波数範囲のマイクロ波電力が許容されている。
【００２６】
このことから、パワ−モニタ１６は２４５０ＭＨｚのマイクロ波電力に対して最も感度を高めるように構成されている。
すなわち、方向性結合器１７、２０については、図１６（Ａ）に示すように、ｆｒ＝２４５０ＭＨｚでピ−クとなる周波数特性となっており、また、検波器１８、２１についても、図１６（Ｂ）に示すように、ｆｒ＝２４５０ＭＨｚで最も高い検波電圧となる周波数特性となっている。
なお、進行波ＰＳと反射波ＰＲとの方向性結合器１７、２０と、検波器１８、２１は同じ周波数特性となっている。
【００２７】
具体的には、図示する如く、方向性結合器１７、２０は、ｆｒを境に低周波側と高周波側に向かって大きく降下する周波数特性の結合電力となる。
【００２８】
また、検波器１８、２１は、マイクロ波電力の特定の周波数ｆｒを境に低周波側と高周波側に向かって緩やかに降下する周波数特性の検波電圧となっている。
なお、ｆ１は、マイクロ波電力の周波数帯域である２４５０ＭＨｚ／±５０ＭＨｚの下限周波数２４００ＭＨｚを、ｆ２は上限周波数２５００ＭＨｚを各々示す。
【００２９】
この結果、パワ−モニタ１６は、方向性結合器１７、２０の周波数特性と検波器１８、２１の周波数特性の合成効果によって図１６（Ｃ）に示すようなモニタ特性（表示特性）となる。
【００３０】
このことから、マイクロ波電力の電力量が同じであっても、周波数が変化すると、検波器出力である直流電圧ＶＰ、ＶＲが変るため、表示器１９、２２の表示値が変る。
【００３１】
したがって、マイクロ波発振器１１がｆ１〜ｆ２の許容範囲内の一定周波数で発振すると、表示器１９、２２がその周波数にしたがって表示することから、パワ−モニタ１６の信頼度が問題となる。
言い換えれば、パワ−モニタ１６は、マイクロ波電力を測定する電力計の役割を果たすためのものであるから、表示器１９、２２がマイクロ波電力量の変動で表示変化しているのか、マイクロ波電力の周波数変化で表示変化しているのかの区別がつかない。
【００３２】
具体的に述べれば、進行波パワ−モニタは、マイクロ波発振器１１が周波数ｆｒのマイクロ波電力を発振していれば表示器１９が所定の表示値を表示するが、周波数ｆ１或いはｆ２のマイクロ波電力を発振しているときは、その表示値からずれた表示となる。
【００３３】
また、加熱炉１３に供給されるマイクロ波電力の電力量（強さ）が変動した場合にも、検波器１８が出力する直流電圧ＶＰのレベルが変るため、表示器１９が所定の表示値からずれた表示となる。
したがって、表示器１９の表示変化では、マイクロ波電力の強さが変化したのか、周波数変化したのかの区別ができない。
同様に、表示器２２の表示変化では、マイクロ波電力の反射波に増減が生じたのか、周波数変化したのかの区別が困難になる。
【特許文献１】特開２０００−３４６８８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３４】
本発明は、上記した実情にかんがみ、加熱炉に供給されるマイクロ波電力の周波数が所定範囲で変化した場合は、一定のモニタ表示とし、加熱炉に供給されるマイクロ波電力の電力量や反射波の発生量が変化したときに、その異常発生の確認が可能なマイクロ波電力のパワ−モニタを提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３５】
本発明は上記した目的を達成するために、第１の発明として、方向性結合器と検波器とを備えたマイクロ波電力のパワ−モニタにおいて、方向性結合器と検波器は、マイクロ波電力の特定の周波数に対して低周波側または高周波側で最大となる周波数特性に設定し、低周波側で最大となる周波数特性の方向性結合器と高周波側で最大となる周波数特性の検波器、或いは、高周波側で最大となる周波数特性の方向性結合器と低周波側で最大となる周波数特性の検波器とを設け、方向性結合器の周波数特性と検波器の周波数特性による合成効果によりモニタ特性を一定化したマイクロ波電力のパワ−モニタを提案する。
【００３６】
第２の発明としては、第１の発明のパワ−モニタにおいて、マイクロ波電力を供給する導波管に付設し、その導波管内に配設したアンテナ部材を有する長形の結合素子を備え、当該結合素子の長さを変えて周波数特性を設定する方向性結合器を備えたマイクロ波電力のパワ−モニタを提案する。
【００３７】
第３の発明としては、第１の発明のパワ−モニタにおいて、方向性結合器が出力するマイクロ波電力の検波電圧を整流、平滑する整流・平滑回路と、この整流・平滑回路の前段に設けたインピ−ダンス変換回路とを備え、インピ−ダンス変換回路の調整によって周波数特性を設定する検波器を備えたマイクロ波電力のパワ−モニタを提案する。
【発明の効果】
【００３８】
上記のパワ−モニタは、マイクロ波電力の特定の周波数に対して低周波側の周波数において最大となる周波数特性の方向性結合器と、特定の周波数に対し高周波側の周波数において最大となる周波数特性の検波器を備えた場合は、特定の周波数を含む周波数帯域では、方向性結合器の周波数特性が高周波に向かって下り勾配、検波器の周波数特性が高周波に向かって上り勾配となる。
【００３９】
この結果、方向性結合器の周波数特性と検波器の周波数特性の合成効果によって、マイクロ波電力の許容周波数帯域ではほぼ一定のモニタ特性となる。
したがって、マイクロ波電力の周波数が許容される範囲内で変化したとしても表示器の表示を一定にすることが可能になる。
【００４０】
具体的に述べれば、マイクロ波電力の周波数が許容帯域以外となったときやマイクロ波電力量が変動したとき、或いは、マイクロ波電力の反射波が変化したときなど、表示器が特定の表示値からずれることから、マイクロ波発振器や加熱炉などの異常を直ちに判知することができる。
【００４１】
また、上記したパワ−モニタは、マイクロ波電力の特定の周波数に対して低周波側の周波数において最大となる周波数特性の検波器と、特定の周波数に対して高周波側の周波数において最大となる方向性結合器とを組み合わせても上記同様に周波数の許容帯域でほぼ一定となるモニタ特性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
次に、本発明の実施形態について図面に沿って説明する。
図１は、一実施形態として示した進行波ＰＳの方向性結合器４０の正面図である。
この方向性結合器４０は、従来例のものと同様に、基板４１の板面に導電性材の結合素子４２をプリント形成したもので、この結合素子４２の両端部にはアンテナピン４３ａ、４３ｂが設けてある。
なお、アンテナピン４３ａ、４３ｂはλ／４の間隔となっている。
【００４３】
そして、この方向性結合器４０では、結合素子４２の高さをＤ１とし、従来の結合素子２４の高さＤ０に比べて高さ方向の長さを増大してある。
なお、図示した二点鎖線は従来の結合素子２４を説明の便宜上示したものである。
【００４４】
このように構成した方向性結合器４０は、図１１、図１２に示した従来の方向性結合器１７と同様に、導波管１２内にアンテナピン４３ａ、４３ｂを配設するようにして、基板４１を導波管１２の外側面に固着する。
【００４５】
また、方向性結合器４０は、アンテナピン４３ａと４３ｂから入力したマイクロ波電力の検出電力が加算され、結合素子４２の一端部４２ａから結合電力ＰＳＯを出力する。その他は従来例に比べて変りがない。
【００４６】
上記した如く、結合素子４２の高さをＤ１とし、この結合素子４２の長さを増加させると、周波数特性が図２にＡ１として示したように低周波側に推移する。
【００４７】
すなわち、マイクロ波電力の特定の周波数ｆｒに対して低周波側となる周波数ｆ１において結合電力ＰＳＯがピ−クとなる周波数特性の方向性結合器となる。
【００４８】
図３は、一実施形態として示した検波器４４の回路図である。
この検波器４４は、整流・平滑回路４５と、その前段に設けたインピ−ダンス変換回路４６とから構成してある。
整流・平滑回路４５は従来例の検波器１８と同じ回路である。
【００４９】
インピ−ダンス変換回路４６は、コンデンサ４７とコイル４８とで共振させる回路で、共振点を変えることによって、図４にＢ１として示したように、周波数特性を推移させるようになっている。
【００５０】
図４に示したように、本実施形態では、マイクロ波電力の特定周波数ｆｒに対して高周波側となる周波数ｆ２においてピ−クとなる周波数特性Ｂ１の検波器４４となっている。
なお、図４に示した周波数特性Ｂ０は、周波数ｆｒでピ−クとなる周波数特性を示す。
【００５１】
上記した方向性結合器４０と検波器４４を備える進行波パワ−モニタは、方向性結合器４０の周波数特性Ａ１がｆ１〜ｆ２の間で下り勾配の特性となり、検波器４４の周波数特性Ｂ１がｆ１〜ｆ２の間で上り勾配の特性となる。
【００５２】
この結果、周波数特性Ａ１、Ｂ１の合成効果により、図５にＣ１として示したモニタ特性を得る。
図示するように、このモニタ特性は、特定周波数ｆｒを含むｆ１〜ｆ２の間がほぼ一定の周波数特性となる。
【００５３】
このことから、マイクロ波電力が変動しなければ、周波数がｆ１〜ｆ２の間で変化した場合にも、一定の検波器出力（直流電圧ＶＳ）となり、表示器１９が特定の表示値を示す。
【００５４】
また、マイクロ波電力の周波数がｆ１〜ｆ２以外となると、上記したモニタ特性Ｃ１にしたがって検波器出力が変化し、また、マイクロ波電力の強さが変化し、検波器出力のレベルが変ると、表示器１９が特定の表示値からずれるため、この表示器１９の表示変化によってマイクロ波発振器１１やアイソレ−タ１５などの異常を判断することができる。
【００５５】
図６は、他の実施形態の方向性結合器５０を示す正面図である。
この方向性結合器５０は、結合素子５２の高さＤ２を従来の結合素子２４の高さＤ０より低く形成してある。
【００５６】
このように構成した方向性結合器５０は、図７にＡ２として示したように、ｆｒに対して高周波側に推移した周波数特性となる。
なお、図６に示した参照符号５１は基板、５３ａ、５３ｂはアンテナピンを示し、その他は、図１１、図１２に示す従来の方向性結合器１７と同じ構成である。
【００５７】
上記した方向性結合器５０を備える進行波パワ−モニタは、図８にＢ２として示した周波数特性の検波器と組み合わせて構成する。
なお、この場合の検波器は、図３に示す形成器４４と同じ回路構成のものであるが、インピ−ダンス変換回路４６の共振点を調整し、ｆｒに対して低周波側のｆ１においてピ−クとなる周波数特性Ｂ２に設定する。
【００５８】
このように構成したパワ−モニタは、方向性結合器５０の周波数特性Ａ２がｆ１〜ｆ２の間で上り勾配、検波器４４の周波数特性Ｂ２がｆ１〜ｆ２の間で下り勾配となるから、これら周波数特性Ａ２、Ｂ２の合成効果によって図５に示すモニタ特性を得ることができる。
【００５９】
反射波パワ−モニタについても同様に構成することができる。
反射波パワ−モニタの方向性結合器を図１、図６に示す結合素子４２、５２と同じ構成とすると、反射波の結合出力ＰＲＯがそれら結合素子４２、５２の他端部４２ｂ、５２ｂから出力する。
なお、結合出力ＰＲＯは、図２、図７に示す周波数特性と同様となる。
【００６０】
その結合出力ＰＲＯを図３に示す検波器４４と同様の検波器によって電圧検波、平滑整流することによって、図５に示すモニタ特性と同様にｆ１〜ｆ２の間でほぼ一定となる反射波のモニタ特性を得る。
なお、この場合の検波器も図４、図８に示す検波電圧の周波数特性に設定する。
【００６１】
このように構成した反射波パワ−モニタは、反射波の強さ（反射波の発生量）が変わらないかぎり、マイクロ波電力が周波数ｆ１〜ｆ２の間で変化しても表示器が一定の表示値を示す。
そして、マイクロ波電力の周波数がｆ１〜ｆ２以外に変動したとき、反射波の強さが変わったときには、表示器が所定の表示値がずれることから、マイクロ波発振器１１やアイソレ−タ１５などの異常、或いは、加熱炉１３、被加熱物１４の異常などについて判断することができる。
【００６２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、結合素子４２、５２は、コ字形の他に、Ｕ字形、Ｓ字形などに形成することができ、また、これら結合素子４２、５２は、必ずしも基板４１、５１に導電性材をプリント形成したものにかぎらず、導電性材を接着剤で貼り合わせ、また、その他の方法で形成してもよい。
【００６３】
さらに、結合素子４２、５２は、（λ／４）×（２ｎ−１）の式にしたがって設定することができる。
なお、λはマイクロ波電力の波長、ｎは整数（ｎ＝１、２、３、４・・・・・）である。
【００６４】
上式において、ｎを偶数とすると、３λ／４、７λ／４、１１λ／４・・・・となり、アンテナピン４３ａ、４３ｂ（または、５２ａ、５２ｂ）間の電気長となり、結合素子４２、５２の長さをそれらの波長に合せて設定することができる。
この場合は、結合素子４２、５２の一端部４２ａ、５２ａから結合出力ＰＳＯが出力し、結合出力ＰＲＯがその他端部４２ｂ、５２ｂから出力する。
【００６５】
また、上記において、ｎを奇数とすると、λ／４、５λ／４、９λ／４・・・・・・となり、アンテナピン４３ａ、４３ｂ（または、５２ａ、５２ｂ）間の電気長となり、結合素子４２、５２の長さをそれらの波長に合せて設定することができる。
この場合には、結合素子４２、５２の他端部４２ｂ、５２ｂから結合出力ＰＳＯが出力し、その一端部４２ａ、５２ａから結合出力ＰＲＯが出力する。
【００６６】
したがって、結合素子４２、５２の長さ、結合出力ＰＳＯ、ＰＲＯを出力させる結合素子端側については、設定の都合によって適宜変えることができる。
【００６７】
また、マイクロ波電力の特定の周波数をｆｒとして、ｆｒ＝２４５０ＭＨｚ、マイクロ波電力の許容範囲の周波数をｆ１、ｆ２として、ｆ１＝２４００ＭＨｚ、ｆ２＝２５００ＭＨｚとして説明したが、本発明のパワ−モニタは、ｆ１〜ｆ２の間を一定のモニタ特性とすることを特徴とすることから、ｆ１、ｆ２は許容範囲の周波数とせずに、ｆ１は２４００ＭＨｚより低い、例えば、２０００ＭＨｚなどに、ｆ２は２５００ＭＨｚより高い、例えば、３０００ＭＨｚなどの周波数としても同様に実施することができる。
【００６８】
さらに、方向性結合器の周波数特性がピ−クとなる周波数と、検波器の周波数特性がピ−クとなる周波数とは必ずしも一致させる必要がない。
また、本発明を実施する場合には、進行波パワ−モニタと反射波パワ−モニタとを備えてもよいが、それらのいずれか一方のパワ−モニタを備えてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
被加熱物をマイクロ波電力で加熱する加熱装置、マイクロ波電力で殺菌する殺菌装置などのマイクロ波電力を利用した各種の装置のパワ−モニタとして適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明のパワ−モニタに備える方向性結合器の実施形態を示す正面図である。
【図２】上記方向性結合器の周波数特性図である。
【図３】本発明のパワ−モニタに備える検波器の実施形態を示す回路図である。
【図４】上記検波器の周波数特性図である。
【図５】上記した方向性結合器と検波器とを備えるパワ−モニタのモニタ特性図である。
【図６】本発明のパワ−モニタに備える方向性結合器の他の実施形態を示す正面図である。
【図７】図６に示す方向性結合器の周波数特性図である。
【図８】図６に示す方向性結合器と組合せて使用する検波器の周波数特性図である。
【図９】マイクロ波加熱装置の簡略図である。
【図１０】マイクロ波加熱装置に備えられるパワ−モニタのブロック図である。
【図１１】パワ−モニタを構成する方向性結合器の従来例を示す斜視図である。
【図１２】図１１に示す方向性結合器の断面図である。
【図１３】パワ−モニタを構成する従来の検波器を示す回路図である。
【図１４】進行波パワ−モニタを構成する方向性結合器の動作説明図である。
【図１５】反射波パワ−モニタを構成する方向性結合器の動作説明図である。
【図１６】図１６（Ａ）は従来の方向性結合器の周波数特性図、図１６（Ｂ）は従来の検波器の周波数特性図、図１６（Ｃ）は従来のパワ−モニタのモニタ特性図である。
【符号の説明】
【００７１】
１１  マイクロ波発振器
１２  導波管
１３  加熱炉
１４  被加熱物
１５  アイソレ−タ
１６  パワ−モニタ
１９  表示器
４０  方向性結合器
４１  基板
４２  結合素子
４３ａ、４３ｂ  アンテナピン
４４  検波器
４５  整流・平滑回路
４６  インピ−ダンス変換回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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