(57)【要約】【課題】スレーブディスクに異常が発生した場合に対応するマスターディスクに記録された製造履歴情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できるだけでなく、センター孔の打ち抜きや磁気転写時のマスターディスクの位置決めの際にも容易且つ迅速に位置決めできる。【解決手段】マスターディスク１０には、プリフォーマット情報（例えばサーボ信号）に対応する凹凸パターン１８と、マスターディスクの製造履歴情報に対応する凹凸パターン２０と、製造履歴情報に対応する凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターン２２と、がパターン形成されている。【選択図】  図１
2006134486.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンを備えたマスターディスクの製造方法において、
前記情報に対応する凹凸パターンをマスターディスクにパターン形成する際に、前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することを特徴とするマスターディスクの製造方法。
【請求項２】
前記情報内には、前記マスターディスクの製品情報を含むことを特徴とする請求項１のマスターディスクの製造方法。
【請求項３】
前記転写は磁気転写であることを特徴とする請求項１又は２のマスターディスクの製造方法。
【請求項４】
前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、前記マスターディスクの円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマークと、該円周状位置決めマーク上の少なくとも１カ所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマークとから成ると共に、前記ポイント状位置決めマークの直近に、前記製品情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１のマスターディスクの製造方法。
【請求項５】
被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンがパターン形成されたマスターディスクにおいて、
前記情報に対応する凹凸パターンと、
前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンと、がパターン形成されていることを特徴としたマスターディスク。
【請求項６】
前記情報内には、前記マスターディスクの製品情報を含むことを特徴とする請求項５のマスターディスク。
【請求項７】
前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、前記マスターディスクの円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマークと、該円周状位置決めマーク上の少なくとも１カ所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマークとから成ると共に、前記ポイント状位置決めマークの直近に、前記製品情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されていることを特徴とする請求項５又は６のマスターディスク。
【請求項８】
前記ポイント状位置決めマークは前記円周状位置決めマーク上の複数箇所にパターン形成されていることを特徴とする請求項５〜７の何れか１のマスターディスク。
【請求項９】
前記情報に対応する凹凸パターンと、前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、転写後に視覚的に認識可能であることを特徴とする請求項５〜８の何れか１のマスターディスク。
【請求項１０】
請求項５〜９の何れか１のマスターディスクにより転写された被転写用ディスクであって、転写により形成された情報に対応する凹凸パターンと、位置決め情報に対応する凹凸パターンは、磁気現像により視覚的に認識可能であることを特徴とするスレーブディスク。
【請求項１１】
請求項５〜請求項９の何れか１の凹凸パターンを有することを特徴とするマスターディスク原盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスターディスク及びその製造方法に係り、特に情報が担持されたマスターディスクから被転写用ディスクへ該情報を転写するためのマスターディスク及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体等の記録媒体においては一般に、情報量の増加に伴い、多くの情報を記録する大容量で、安価で、かつ、好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せる、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれている。それらの一例として高密度フレキシブルディスクや高密度ハードディスクが知られている。その大容量を実現するためには、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドが走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を再生する、いわゆるトラッキングサーボ技術が、大きな役割を担っている。ディスクの１周の中で、ある間隔でトラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が、いわゆるプリフォーマット情報として書き込まれる。磁気ヘッドはこのようなプリフォーマット情報を読み取って自らの位置を修正することにより正確にトラック上を走行することが可能に設定されている。
【０００３】
この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、時間がかかることから、プリフォーマット情報が書き込まれているマスターディスクにより一括転写する方法が効率的であり、磁気転写装置（例えば特許文献１）が提案されている。
【０００４】
この磁気転写は、被転写用ディスクに転写すべき情報に対応する凹凸パターンを有するマスターディスクを用意し、このマスターディスクと被転写用ディスクを密着させた状態で、転写用磁界を印加することにより、マスターディスクの凹凸パターンに対応するプリフォーマット情報（例えばサーボ信号）を被転写用ディスクに磁気転写する。このマスターディスクは繰り返しの使用により摩耗してくるため交換が必要となるため、同一の凹凸パターンを有するマスターディスクが複数用意され、適宜交換されて使用されている。
【０００５】
ところで、マスターディスクから情報が磁気転写された被転写用ディスクに後工程で異常が発生した場合、若しくは、製品として出荷後に異常が発生した場合に、その原因の解析、対策を行うには、この製品の生産における各種情報すなわち製品情報が必要となる。従って、被転写用ディスクに異常が発生した際の原因を究明するためには、どのマスターディスクによって製造されたかが重要となる場合があり、マスターディスクの特定がより迅速な原因の解析およびその対策に繋がる。
【０００６】
このことから、出願人は、特許文献２において、サーボ信号のようなプリフォーマット情報の他に、マスターディスクの製造履歴情報に対応する凹凸パターンをマスターディスクに備えることを提案した。この場合、製品情報が磁気ヘッドで読み出せる信号のみでは被転写用ディスクの製品情報は読み取れても、マスターディスクやその原盤の製品情報を読み取ることができない。また、例えばサーボ領域の不具合などで磁気ヘッドでの読み取りができない場合には、磁気現像等で画像として読み取れることが必要になる。このことから、特許文献２では、製品情報は、読取ヘッドにより読み取られ得る信号として記録されるものに限らず、磁気現像を行うことにより視覚的に確認可能なアルファベットや数字等の文字で記録されてもよいことを提案した。
【特許文献１】特開平１０−２６９５６６号公報
【特許文献２】特開２００２−２３０７５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、マスターディスクにパターン形成される凹凸パターンの深さは０．１μｍ以下であり、製品情報がアルファベット、数字等の文字情報の場合には、その文字サイズは１０〜１００μｍ程度と極めて小さいと共に、それを読み取る顕微鏡やマイロスコープの視野は極めて狭い。従って、磁気現像した後に顕微鏡やマイロスコープで製品情報を読み取る際に、製品情報を読み取る以前にマスターディスクのどこに記録されているかを探すのが極めて困難であるという欠点がある。このような欠点は、何も製品情報に限ったことではなく、製品情報以外のフォーマットデータの情報をマスターディスクにパターン形成する場合も同様である。
【０００８】
また、マスターディスクは、サーボ信号等のプリフォーマット情報をパターン形成した後でセンター孔等を打ち抜く際の金型との位置決めや、被転写用ディスクへ磁気転写する際の位置決め等が必要になり、例えば十字マークのようなポイントマークで位置決めするが、小さなポイントマークがどこにあるかを探すのが極めて困難であるという欠点がある。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、被転写用ディスクに異常が発生した場合に対応するマスターディスクに記録された製品情報等の記録位置を容易且つ迅速に特定できるだけでなく、センター孔の打ち抜きや転写時のマスターディスクの位置決めの際にも容易且つ迅速に位置決めできるマスターディスク及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の請求項１は前記目的を達成するために、被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンを備えたマスターディスクの製造方法において、前記情報に対応する凹凸パターンをマスターディスクにパターン形成する際に、前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することを特徴とする。
【００１１】
このように、被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンを備えたマスターディスクを製造する際に、前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成しておけば、位置決め情報の凹凸パターンを利用して情報の凹凸パターン位置を容易且つ迅速に特定できる。また、マスターディスクに位置決め情報の凹凸パターンを形成しておけば、センター孔等を打ち抜く際や被転写用ディスクに磁気転写する際に、位置決めを容易且つ迅速に行うことができる。この場合、前記情報の凹凸パターンを基準に位置決め情報が入っているので、高精度な位置決めを行うことができる。
【００１２】
位置決め情報の凹凸パターンを形成するには、情報に対応する凹凸パターンをマスターディスクにパターン形成する際に、位置決め情報に対応する凹凸パターンも同時にパターン形成することが好ましい。
【００１３】
請求項２は請求項１において、前記情報内には、前記マスターディスクの製品情報を含むことを特徴とする。
【００１４】
被転写用ディスクに転写する基本的な情報としては、サーボ情報やフォーマット情報等の記録メディアの機能としての情報であるが、情報内にマスターディスクの製品情報（例えば製造履歴情報）を含む場合、その製品情報に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することは特に意義がある。これにより、被転写用ディスクに異常が発生した場合に対応するマスターディスクに記録された製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できるからである。ただし、製品情報だけに限定するものではなく、その他の情報においても情報に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することは有意義である。
【００１５】
請求項３は請求項１又は２において、前記転写は磁気転写であることを特徴とする。
【００１６】
請求項３は、マスターディスクが磁気ディスクで、磁気転写により被転写用ディスクに転写する場合である。しかし、本発明は磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種の媒体に適用することができる。
【００１７】
請求項４は請求項１〜３の何れか１において、前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、前記マスターディスクの円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマークと、該円周状位置決めマーク上の少なくとも１カ所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマークとから成ると共に、前記ポイント状位置決めマークの直近に、前記製品情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項４は、位置決め情報の好ましい凹凸パターンの構成と、位置決め情報と情報（例えば製品情報）の関連づけを示したもので、環状に形成された円周状位置決めマークを探して、その円周状位置決めマークをたどって行けばポイント状位置決めマークを探すことができるので、小さなポイント状位置決めマークを簡単に探すことができる。そして、このポイント状位置決めマークの直近に、例えば製品情報の凹凸パターンをパターン形成しておけば、製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できる。更に、マスターディスクの位置決めを行う場合にも、環状をした円周状位置決めマークを使用することで、従来のように十字マークのようなポイントマークで位置決めする場合には比べて簡単に且つ高精度な位置決めを行うことができる。また、位置決めの際にマスターディスクの円周方向の位置決めが必要な場合には円周状位置決めマークとポイント状位置決めマークとの両方を使用することで簡単にできる。
【００１９】
ここで、円周状位置決めマークとは、位置決め情報に対応する凹凸パターンのうちのマスターディスクの円周に沿って環状に形成された凹凸パターンをいい、ポイント状位置決めマークとは、位置決め情報に対応する凹凸パターンのうちの点状（十字状も含む）に形成された凹凸パターンを言う。尚、位置決め情報に凹凸パターンの位置が関連づけられる情報としては、アルファベットや数字等の文字、あるいはバーコードや２次元コード等の各種の態様を採用することができる。
【００２０】
本発明の請求項５は前記目的を達成するために、被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンがパターン形成されたマスターディスクにおいて、前記情報に対応する凹凸パターンと、前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンと、がパターン形成されていることを特徴とする。
【００２１】
請求項５は、本発明のマスターディスクであり、情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されているので、位置決め情報の凹凸パターンを利用して情報の凹凸パターン位置を容易且つ迅速に特定できる。また、マスターディスクに位置決め情報の凹凸パターンを形成しておけば、センター孔等を打ち抜く際や被転写用ディスクに転写する際に、位置決めを容易且つ迅速に行うことができる。
【００２２】
請求項６は請求項５において、前記情報内には、前記マスターディスクの製品情報を含むことを特徴とする。
【００２３】
請求項６によれば、被転写用ディスクに異常が発生した場合に対応するマスターディスクに記録された製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できる。
【００２４】
請求項７は請求項５又は６において、前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、前記マスターディスクの円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマークと、該円周状位置決めマーク上の少なくとも１カ所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマークとから成ると共に、前記ポイント状位置決めマークの直近に、前記製品情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されていることを特徴とする。
【００２５】
請求項７は、位置決め情報の好ましい凹凸パターンの構成と、位置決め情報と製品情報の関連づけを示したもので、請求項４で説明したと同様である。
【００２６】
請求項８は請求項５〜７の何れか１において、請求項前記ポイント状位置決めマークは前記円周状位置決めマーク上の複数箇所にパターン形成されていることを特徴とする。
【００２７】
請求項８のように、ポイント状位置決めマークを円周状位置決めマーク上の複数箇所にパターン形成すれば、マスターディスクを円周方向に位置決めするときの角度情報として利用することができ、より効率的な位置決めが可能となる。
【００２８】
請求項９は請求項５〜８の何れか１において、前記情報に対応する凹凸パターンと、前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、転写後に視覚的に認識可能であることを特徴とする。
【００２９】
磁気転写後の被転写用ディスクに異常発生が生じ、マスターディスクの情報、例えば製品情報を得たい場合に、磁気ヘッドによる読み取りができない情況であっても、製品情報に対応する凹凸パターンと、位置決め情報に対応する凹凸パターンとを目視又は磁気現像により視覚的に認識可能としておけば、製品情報が１０〜１００μｍ程度と極めて小さい文字情報であっても、位置決め情報に対応する凹凸パターンを利用して製品情報が記載された位置を容易且つ迅速に探すことができる。
【００３０】
本発明の請求項１０は前記目的を達成するために、請求項５〜９の何れか１のマスターディスクにより転写された被転写用ディスクであって、転写により形成された情報に対応する凹凸パターンと、位置決め情報に対応する凹凸パターンは、磁気現像により視覚的に認識可能であることを特徴とする。
【００３１】
請求項１０は、本発明のマスターディスクにより情報が転写されたスレーブディスクであり、スレーブディスクが磁気ヘッドによる読み取りができない情況であっても、情報、例えば製品情報に対応する凹凸パターンと、位置決め情報に対応する凹凸パターンとを磁気現像により視覚的に認識可能としておけば、製品情報が１０〜１００μｍ程度と極めて小さい文字情報であっても、位置決め情報に対応する凹凸パターンを利用して製品情報が記載された位置を容易且つ迅速に探すことができる。
【００３２】
本発明の請求項１１は前記目的を達成するために、請求項５〜９の何れか１の凹凸パターンを有することを特徴とするマスターディスク原盤を提供する。
【００３３】
マスターディスク原盤にも、請求項３〜請求項６の何れか１の凹凸パターンをパターン形成しておけば、本発明のマスターディスクの複製を容易に製造することができる。
【発明の効果】
【００３４】
以上説明したように、本発明によれば、被転写用ディスクに異常が発生した場合に対応するマスターディスクに記録された製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できるだけでなく、センター孔の打ち抜きや転写時のマスターディスクの位置決めの際にも容易且つ迅速に位置決めできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、添付図面に従って、本発明に係るマスターディスク及びその製造方法の好ましい実施の形態について詳説する。
【００３６】
尚、本発明は磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種の媒体に適用することができるが、本実施の形態では、磁気ディスクの例で以下に説明する。
【００３７】
図１は、本発明のマスターディスクの一例を示す上面図であり、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った断面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面図（ｂ）、Ｃ−Ｃ線に沿った断面図（ｃ）である。尚、図１のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線に沿った断面図である図２には、サーボ信号等のプリフォーマット情報に対応した凹凸パターン１８は示されないが、説明上図２に凹凸パターン１８を図示してある。
【００３８】
図１に示すように、マスターディスク１０はディスク状に形成されており、図１の内側点線１２及び外側点線１４で囲まれるドーナツ形状の領域が、被転写用ディスクであるスレーブディスク１６（図２、図４参照）にプリフォーマット情報（例えばサーボ信号）を磁気転写するための凹凸パターン１８が形成されるユーザ使用領域１１である。また、内側点線１２の内周側及び外側点線１４の外周側の領域はスレーブディスク１６におけるユーザ不使用領域１３であり、このユーザ不使用領域１３にマスターディスク１０の製品情報に対応する凹凸パターン２０と該製品情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターン２２とがパターン形成される。図１及び図２では、外側点線１４の外周側のユーザ不使用領域１３に製品情報に対応する凹凸パターン２０と位置決め情報に対応する凹凸パターン２２とを設けた一例である。尚、位置決め情報に関連づける情報としては、製品情報だけに限定するものではなく、製品情報以外のフォーマットデータの情報をマスターディスクにパターン形成する場合も、その情報に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することが好ましいが、本実施の形態では製品情報の例で説明する。
【００３９】
かかる製品情報に対応する凹凸パターン２０及び位置決め情報に対応する凹凸パターン２２は、読取ヘッド（磁気ヘッド）により読み取られ得る信号として記録されるものに限らず、磁気現像を行うことにより視覚的に確認可能な凹凸パターンを使用することができる。例えば、製品情報に対応する凹凸パターン２０としては、アルファベットや数字等の文字、あるいはバーコードや２次元コードでもよく、図１は数字「０１２３４」で示した一例である。
【００４０】
また、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２としては、マスターディスク１０の円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマーク２２Ａと、該円周状位置決めマーク２２Ａ上の少なくとも１カ所に十字形状にパターン形成されたポイント状位置決めマーク２２Ｂとから構成されることが好ましい。これにより、磁気現像したときに、マスターディスク１０の外周沿いに環状の円周状位置決めマーク２２Ａと十字形状のポイント状位置決めマーク２２Ｂとが視覚的に顕在化されるので、顕微鏡やマイクロスコープ等を使用した画像処理により読み取り可能となる。尚、円周状位置決めマーク２２Ａ上にポイント状位置決めマーク２２Ｂをパターン形成するとは、円周状位置決めマーク２２Ａに対応する凹凸パターンとポイント状位置決めマーク２２Ｂに対応する凹凸パターンが重なって形成されるという意味ではなく、図１のように、環状に形成された円周状位置決めマーク２２Ａの環状線上であって凹凸パターンのない部分に、ポイント状位置決めマーク２２Ｂの凹凸パターンが形成されることを意味する。  
【００４１】
また、マスターディスク１０の外周沿いに凸パターンで円を描いて円周状位置決めマーク２２Ａとし、この凸パターンの円の表面にパターンのないポイント状位置決めマーク２２Ｂや文字、バーコード等の情報を記載するようにしてもよい。
【００４２】
更には、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２は、凹凸の凸部分で情報を読み取る（磁気現像による読み取りも含む）ことに限定されるものではなく、反転文字のように凹部分で情報が読み取れるようにしてもよい。即ち、マスターディスク１０の外周沿いに環状に凹溝を形成して円周状位置決めマーク２２Ａとし、該円周状位置決めマーク２２Ａ上の少なくとも１カ所に凹状な十字形状を形成してポイント状位置決めマーク２２Ｂとする場合である。更には、円周状位置決めマーク２２Ａとポイント状位置決めマーク２２Ｂのうちの何れか一方を凹部分で読み取れるようにし、他方を凸部分で読み取れるようにすることも可能である。
【００４３】
そして、このポイント状位置決めマーク２２Ｂの直近に、製品情報の凹凸パターン２０がパターン形成されている。これにより、環状に形成された円周状位置決めマーク２２Ａを探して、その円周状位置決めマーク２２Ａをたどって行けばポイント状位置決めマーク２２Ｂを探すことができるので、小さなポイント状位置決めマーク２２Ｂを簡単に探すことができる。更に、マスターディスク１０の位置決めを行う場合にも、環状をした円周状位置決めマーク２２Ａを使用することで、従来のように十字マークのような点形状のポイントマークで位置決めする場合に比べて簡単に且つ高精度な位置決めを行うことができる。また、位置決めの際にマスターディスク１０の円周方向の位置決めが必要な場合には円周状位置決めマーク２２Ａとポイント状位置決めマーク２２Ｂとの両方を使用し、円周方向の位置決め基準にポイント状位置決めマーク２２Ｂを使用すればよい。
【００４４】
尚、本実施の形態では、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２として、円周状位置決めマーク２２Ａとポイント状位置決めマーク２２Ｂとで構成し、ポイント状位置決めマーク２２Ｂの直近に製品情報に対応する凹凸パターン２０を配置することで、製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できるだけでなく、センター孔の打ち抜きや磁気転写時のマスターディスク１０の位置決めの際にも容易且つ迅速に位置決めできるようにしたが、これに限定するものではない。例えば、円周状位置決めマーク２２Ａを複数の同心円にしてもよく、正多角形（例えば８角形等）にしてもよい。
【００４５】
また、ポイント状位置決めマーク２２Ｂを円周状位置決めマーク２２Ａ上の複数箇所にパターン形成することが好ましい。例えば、図１のように、円周状位置決めマーク２２Ａ上の４箇所９０度ごとに４つの円周状位置決めマーク２２Ｂをパターン形成する。そして、この４つの円周状位置決めマーク２２Ｂの直近に製品情報の凹凸パターン２０をパターン形成する。この場合、４つの製品情報の凹凸パターン２０に同じ情報を入れてもよいし、製品情報を分割して入れてもよい。このように、ポイント状位置決めマーク２２Ｂを円周状位置決めマーク２２Ａ上の複数箇所にパターン形成しておくことで、マスターディスク１０の円周方向の位置決めをするときの角度情報として利用することができるので、より効率的な位置決めが可能となる。また、製品情報を４分割して入れる場合にも、複数のポイント状位置決めマーク２２Ｂと分割された製品情報とを対応させておけば、分割された製品情報を探し易くなる。また、４つの製品情報に同じ情報を入れておけば、磁気転写時に、スレーブディスク１６の欠陥等の原因により一部の情報が記録されなかった場合、もしくは、読み出せなかった場合にも、他の部分に記録された製品情報を読み出して使用することができる。
【００４６】
図２は、マスターディスク１０のユーザ不使用領域１３に形成した製品情報に対応する凹凸パターン２０（図２（ａ））、円周状位置決めマークに対応する凹凸パターン２２Ａ（図２（ｂ））、ポイント状位置決めマークに対応する凹凸パターン２２Ｂ（図２（ｃ））を示すと共に、マスターディスク１０上に凹凸パターンが転写されるスレーブディスク１６を一点鎖線で示している。
【００４７】
被転写用ディスクであるスレーブディスク１６は、例えばハードディスク装置やフロッピー（登録商標）ディスク装置に用いられる磁気ディスク媒体であり、マスターディスク１０のユーザ使用領域１１に対応する被転写領域にサーボ信号が磁気転写され、ユーザ不使用領域１３に対応する被転写領域に製品情報及び位置決め情報が磁気転写される。尚、マスターディスク１０の製品情報や位置決め情報がスレーブディスク１６のユーザ不使用領域に磁気転写された場合には、通常の読取ヘッドでは読み取ることができないため、専用の読取ヘッド（専用の読取ドライブ）を用意して読み取る必要がある。
【００４８】
次に、マスターディスク１０の製造方法について説明する。
【００４９】
図３はマスターディスク１０表面の微細凹凸パターンを示す部分拡大斜視図である。
【００５０】
図３に示すマスターディスク１０の基板２４としては、ニッケル、シリコン、石英ガラス等各種組成のガラス、アルミニウム、合金、各種組成のセラミックス、合成樹脂等が使用できる。この基板２４表面の凹凸パターン１８、２０、２２の形成は、フォトファブリケーション法や、フォトファブリケーション法等で形成した原盤によるスタンパー法、等によって行える。
【００５１】
スタンパー法におけるマスター原盤の形成は、たとえば、以下のように行うことができる。
【００５２】
表面が平滑なガラス板（又は石英ガラス板）の上にスピンコート法等によりフォトレジストの層を形成し、プレベーク後に、このガラス板を回転させながら、サーボ信号に対応して変調したレーザー光（又は電子ビーム）を照射し、フォトレジスト層の略全面に所定のパターン、例えば各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に対応する凹凸パターン１８（図１参照）を円周上の各フレームに対応する部分に露光する。このサーボ信号に対応する凹凸パターン１８を形成すると同時に、製品情報に対応する凹凸パターン２０と位置決め情報に対応する凹凸パターン２２を形成する。即ち、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２として、マスターディスク１０の円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマーク２２Ａと、該円周状位置決めマーク２２Ａ上の少なくとも１箇所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマーク２２Ｂとを形成し、ポイント状位置決めマーク２２Ｂの直近に製品情報に対応する凹凸パターン２０を形成する。
【００５３】
その後、フォトレジストの層を現像処理し、露光部分が除去されたフォトレジストの層により形成されたそれぞれの凹凸パターン１８、２０、２２を有するガラス原盤を得る。そして、ガラス原盤の表面の凹凸パターン１８、２０、２２を基に、この表面にメッキ（電鋳）を施し所定厚さまで形成することにより、表面にポジ状の凹凸パターン１８、２０、２２を有するＮｉ基板を作成する。そして、この基板をガラス原盤から剥離する。
【００５４】
この基板をそのままプレス用のマスター原盤とするか、凹凸パターン１８、２０、２２上に必要に応じて軟磁性層、保護膜等を被覆してプレス用のマスター原盤とする。
【００５５】
また、ガラス原盤にメッキを施して、電鋳により第２の原盤を作成し、この第２の原盤に更にメッキを施して、電鋳によりネガ状凹凸パターン１８、２０、２２を有する反転原盤を作成してもよい。更に、第２の原盤にメッキを施して電鋳を行うか、低粘度の樹脂を押し付けて硬化させるかした、第３の原盤を作成し、第３の原盤にメッキを施して電鋳を行い、ポジ状凹凸パターンを有する基板を作成してもよい。
【００５６】
基板２４の材料としては、金属ではＮｉ又はＮｉ合金を使用することができる。この基板を作成するメッキ法としては、無電解メッキ、電鋳、スパッタリング、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法等が適用できる。
【００５７】
磁性層２６（軟磁性層）の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。磁性層２６の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いることができる。特に、ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉが好ましく用いることができる。磁性層２６の厚さｔは、５０ｎｍ〜５００ｎｍの範囲が好ましく、１００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲が更に好ましい。
【００５８】
尚、磁性層２６の上にダイヤモンドライクカーボン等の保護膜を設けることが好ましく、保護膜の上に更に潤滑剤層を設けてもよい。この場合、保護膜として厚さが５〜３０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン膜と潤滑剤層とする構成が好ましい。また、磁性層２６と保護膜との間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤は、スレーブディスク４０との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などの耐久性の劣化を改善する効果を有する。
【００５９】
マスターディスク１０として、前記のプレス用のマスター原盤を用いて樹脂基板を作製し、その表面に磁性層を設けて形成してもよい。樹脂基板の樹脂材料としては、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオレフィン及びポリエステルなどが使用できる。
【００６０】
このうち、耐湿性、寸法安定性及び価格などの点からポリカーボネートが好ましい。成形品にばりがある場合は、これをバーニシュ又は研磨加工により除去する。また、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂などを使用して、プレス原盤にスピンコート、バーコート等の塗布によりマスターディスク１０を形成してもよい。樹脂基板の凹凸パターン突起の高さは、５０〜１０００ｎｍの範囲が好ましく、１００〜５００ｎｍの範囲が更に好ましい。この樹脂基板の表面の微細パターンの上に磁性層４８を被覆しマスターディスク１０を得る。磁性層２６の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜方法、メッキ法などによる成膜方法で行える。
【００６１】
一方、マスターディスク１０の製造方法の１種であるフォトファブリケーション法は、以下の手順で行う。先ず、たとえば、平板状の基板の平滑な表面にフォトレジストを塗布し、サーボ信号の凹凸パターン１８に応じたフォトマスクを用いた露光、現像処理により、情報に応じた凹凸パターン１８を形成させる。このサーボ信号に対応する凹凸パターン１８を形成すると同時に、製品情報に対応する凹凸パターン２０と位置決め情報に対応する凹凸パターン２２を形成する。即ち、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２として、スタンパー法と同様に、マスターディスク１０の円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマーク２２Ａと、該円周状位置決めマーク２２Ａ上の少なくとも１箇所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマーク２２Ｂとを形成し、ポイント状位置決めマーク２２Ｂの直近に製品情報に対応する凹凸パターン２０を形成する。
【００６２】
次いで、エッチング工程により、凹凸パターン１８、２０、２２に応じて基板のエッチングを行い、磁性層２６の厚さに相当する深さの穴を形成する。次いで、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜方法、メッキ法等により、形成した穴に対応した厚さで基板の表面まで磁性材料を成膜する。そして、フォトレジストをリフトオフ法で除去し、表面を研磨して、ばりがある場合には、これを取り除くとともに、表面を平滑化する。これにより、マスターディスク１０を製造する。
【００６３】
次に、スレーブディスク１６について説明する。
【００６４】
スレーブディスク１６は、両面又は片面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体であり、マスターディスク１０に密着させる以前に、グライドヘッド、研磨体などにより表面の微小突起又は付着塵埃を除去するクリーニング処理（バーニッシィング等）が必要に応じて施される。また、スレーブディスク１６には予め初期磁化が施される。
【００６５】
スレーブディスク１６としては、ハードディスク、高密度フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体が使用できる。スレーブディスク１６の磁気記録層には、塗布型磁気記録層、メッキ型磁気記録層、又は金属薄膜型磁気記録層が採用できる。
【００６６】
金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。これらは、磁束密度が大きいこと、磁界印加方向と同じ方向（面内記録なら面内方向）の磁気異方性を有していることより、明瞭な転写が行えるため好ましい。
【００６７】
そして磁性材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性を付与するために、非磁性の下地層を設けることが好ましい。この下地層には、結晶構造と格子定数を磁性層２６に合わすことが必要である。そのためには、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を用いることが好ましい。
【００６８】
次に、マスターディスク１０を用いてスレーブディスク１６へ情報を転写する磁気転写方法の基本工程を図４および図５に基づき説明する。
【００６９】
図４は、スレーブディスク１６とマスターディスク１０とを示す斜視図である。スレーブディスク１６は、例えば、円盤状の記録メディア１６ａの中心部にハブ１６ｂが固着されてなるフレキシブルディスクであり、記録メディア１６ａはフレキシブルなポリエステルシート等の非磁性体からなる円盤状のベース１６ｃの両面に磁性体層が形成された記録面１６ｄ、１６ｅを有する。
【００７０】
また、マスターディスク１０は、剛体により円環状ディスクに形成され、その片面にスレーブディスク１６の記録面１６ｄ、１６ｅに密着される微細凹凸パターンが形成されてなる転写情報担持面を有するものである。マスターディスク１０、１０’はそれぞれスレーブディスク１６の下側記録面１６ｄ、上側記録面１６ｅ用の凹凸パターンが形成されている。尚、凹凸パターン１８、２０、２２はサーボ信号に対応するもの、マスターディスク１０、１０’の製品情報に対応するもの、及び位置決め情報に対応するものがある。尚、図４に示すマスターディスク１０、１０’は、凹凸パターン１８、２０、２２が形成された基板２４、２４’とその凹凸パターン１８、２０、２２上に形成された軟磁性層２６、２６’とから構成されるが、基板２４、２４’がＮｉなどによる強磁性体である場合には基板２４、２４’のみで磁気転写可能であり、必ずしも磁性層２６、２６’（軟磁性層）を被覆しなくてもよい。但し、転写特性の良い磁性層を設けることでより良好な磁気転写を行うことができる。しかし、基板２４、２４’が非磁性体の場合は磁性層２６、２６’を設ける必要がある。
【００７１】
また、強磁性金属による基板２４、２４’を用い、その凹凸パターン面に磁性層２６、２６’を被覆する場合には、基板２４、２４’の磁性の影響を断つために、基板２４、２４’と磁性層２６、２６’との間に非磁性層を設けることが好ましい。さらに最上層にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護膜を被覆すれば、この保護膜により接触耐久性が向上し多数回の磁気転写が可能となる。さらにはＤＬＣ保護膜の下層にＳｉ膜をスパッタリング等で形成するようにしてもよい。
【００７２】
図５は、この磁気転写の基本工程を説明するための図であり、図５（ａ）は磁場を一方向に印加してスレーブディスク１６を初期直流磁化する工程、（ｂ）はマスターディスク１０とスレーブディスク１６とを密着して反対方向磁界を印加する工程、（ｃ）は磁気転写後の状態をそれぞれ示す図である。尚、図５においてスレーブディスク１６についてはその下面記録面１６ｄのみを示している。
【００７３】
図５( ａ) に示すように、予めスレーブディスク１６に初期磁界Ｈinをトラック方向の一方向に印加して初期磁化( 直流消磁) を施しておく。その後、図５( ｂ) に示すように、このスレーブディスク１６の記録面１６ｄとマスターディスク１０の基板２４の凹凸パターン１８、２０、２２に磁性層２６が被覆されてなる情報担持面とを密着させ、スレーブディスク１６のトラック方向に初期磁界Ｈinとは逆方向に転写用磁界Ｈduを印加して磁気転写を行う。その結果、図５( ｃ) に示すように、スレーブディスク１６の磁気記録面（トラック）にはマスターディスク１０の情報担持面の凹凸パターン１８、２０、２２に応じた情報（ここでは、サーボ信号、マスターディスクの製品情報、及び位置決め情報）が磁気的に転写記録される。尚、ここでは、スレーブディスク１６の下側記録面１６ｄと下側のマスターディスク１０とについて説明したが、図４に示すように、スレーブディスク１６の上側記録面１６ｅについても上側のマスターディスク１０’と密着させて同様に磁気転写を行う。スレーブディスク１６の上下記録面１６ｄ、１６ｅへの磁気転写は同時になされてもよいし、片面ずつ順次なされてもよい。尚、初期磁界および転写用磁界は、スレーブディスク１６の保持力、マスターディスク及びスレーブディスクの比透磁率を勘案して定められた値を採用することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明のマスターディスクの一例を示す上面図
【図２】図１のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線に沿った断面図
【図３】マスターディスク表面の微細凹凸パターンを示す部分拡大斜視図
【図４】磁気転写におけるマスターディスクとスレーブディスクを示す斜視図
【図５】磁気転写の基本工程を説明する説明図
【符号の説明】
【００７５】
１０、１０’…マスターディスク、１２…内側点線、１４…外側点線、１６…スレーブディスク、１８…サーボ信号に対応する凹凸パターン、２０…マスターディスクの製品情報に対応する凹凸パターン、２２…位置決め情報に対応する凹凸パターン、２２Ａ…位置決め情報に対応する凹凸パターンのうちの円周状位置決めマーク、２２Ｂ…ポイント状位置決めマーク、２４…基板、２６…磁性層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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