(57)【要約】【課題】  作動性及び耐久性の向上が可能な回転導入機を提供する。【解決手段】  軸方向に貫通する貫通孔６を有するハウジング２と、貫通孔６内に回転可能に挿通された回転軸４とを備えた回転導入機１において、回転軸４の外周面と貫通孔６の内周面との間に二つのＯリング１６ａ，１６ｂを介装し、貫通孔６の内周面に二箇所のＯリング保持溝１８ａ，１８ｂを設け、各Ｏリング保持溝１８ａ，１８ｂの形状を、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRが、回転軸４の中心軸線ＣＬSに対して傾斜した状態を保持する形状とし、その傾斜角度θ1を、１°≦θ1≦３０°の範囲内に設定する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に貫通する貫通孔を有するハウジングと、前記貫通孔内に回転可能に挿通される回転軸と、前記回転軸の外周面と前記貫通孔の内周面との間に介装されるとともに回転軸の外周面及び貫通孔の内周面と摺動可能に接触するＯリングと、を備え、前記回転軸と前記Ｏリングとの間に潤滑剤が供給される回転導入機において、
前記Ｏリングは、その中心軸線が前記回転軸の中心軸線に対して傾斜し、
前記貫通孔内に、前記Ｏリングの傾斜した状態を保持する傾斜保持部を設けたことを特徴とする回転導入機。
【請求項２】
前記回転軸の中心軸線に対する前記Ｏリングの中心軸線の傾斜角度を、１°〜３０°の範囲内としたことを特徴とする請求項１に記載した回転導入機。
【請求項３】
前記傾斜保持部は、前記貫通孔の内周面に前記回転軸の周方向に沿って環状に設けられたＯリング保持溝であることを特徴とする請求項１または２に記載した回転導入機。
【請求項４】
前記Ｏリング保持溝の縁部は、面取りされていることを特徴とする請求項３に記載した回転導入機。
【請求項５】
前記Ｏリング保持溝の両側面のうち少なくとも一方は、前記回転軸の中心軸線に対して直角以下の角度で傾斜していることを特徴とする請求項３または４に記載した回転導入機。
【請求項６】
前記Ｏリング保持溝の両側面のうち少なくとも一方は、前記Ｏリング保持溝の深さ方向に沿って断面円弧状に形成されていることを特徴とする請求項３または４に記載した回転導入機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、真空環境を有する半導体製造装置、圧力容器、圧力室等に用いられる回転導入機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、クリーンルーム等の清浄環境、真空環境、圧力室等の高圧力環境、爆発性雰囲気等の特殊環境（以下、第二の空間と示す）へ、通常環境（以下、第一の空間と示す）から回転力を導入し、回転動力源がおかれる第一の空間と第二の空間とを気密的に隔離しつつ、第一の空間で発生させた回転力を第二の空間へ導入するために、特許文献１に記載されているような回転導入機が用いられている。
この回転導入機は、図６に示すように、貫通孔６を有するハウジング２と、貫通孔６内に回転可能に挿通される回転軸４とを備えている。
貫通孔６の両端部には、低圧空間側支持軸受１２と高圧空間側支持軸受１４がそれぞれ嵌合されている。
【０００３】
回転軸４は、低圧空間側支持軸受１２と高圧空間側支持軸受１４に固定されており、図中に高圧空間と示す第一の空間側の端部に図示しない回転動力源が接続されている。回転軸４の外周面と貫通孔６の内周面との間には、弾性体からなる二つのＯリング１６ａ，１６ｂが介装されており、これらのＯリング１６ａ，１６ｂは、貫通孔６の内周面に設けられた二箇所のＯリング保持溝１８ａ，１８ｂ内に、回転軸４の外周面及び貫通孔６の内周面と摺動可能に接触した状態でそれぞれ保持されている。また、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRと、回転軸４の中心軸線ＣＬSとは同軸となっている。なお、図中では、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRと回転軸４の中心軸線ＣＬSとは重複しているため、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRは図示を省略している。
【０００４】
このような回転導入機１では、回転軸４の回転時に、Ｏリング１６ａ，１６ｂと回転軸４の外周面とが互いに摺動するため、第一の空間と図中に低圧空間と示す第二の空間との機密的な隔離状態を保持しながら、第一の空間から第二の空間へ回転力を導入することが可能となっている。なお、図６の構成では、ハウジング２に、貫通孔６の内周面に設けられた潤滑剤溜り部１０と、ハウジング２の外部とを連通する潤滑剤供給路８を設けており、この潤滑剤供給路８によって、ハウジング２の外部から、回転軸４と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間へ潤滑剤を供給する通路を形成している。
【特許文献１】特開２００３−３１４５７２号公報（第５図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような回転導入機１では、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRと回転軸４の中心軸線ＣＬSとが同軸であるため、回転軸４の回転時には、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの摺動部位が常に同一となる。このため、回転軸４と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間に潤滑剤が供給されにくく、回転軸４と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間に潤滑不良が生じるおそれがある。
【０００６】
回転軸４と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間に潤滑不良が生じると、回転軸４の回転時に、回転軸４と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間に生じる摩擦抵抗が増加してしまうため、回転導入機１の作動性が低下してしまう。また、各Ｏリング１６ａ，１６ｂに生じる磨耗が進行しやすくなり、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの耐久性が低下してしまう。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたもので、回転軸とＯリングとの間へ潤滑剤を円滑に供給することが可能であり、作動性及び耐久性の向上が可能な回転導入機を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のうち、請求項１に記載した発明は、軸方向に貫通する貫通孔を有するハウジングと、前記貫通孔内に回転可能に挿通される回転軸と、前記回転軸の外周面と前記貫通孔の内周面との間に介装されるとともに回転軸の外周面及び貫通孔の内周面と摺動可能に接触するＯリングと、を備え、前記回転軸と前記Ｏリングとの間に潤滑剤が供給される回転導入機において、
前記Ｏリングは、その中心軸線が前記回転軸の中心軸線に対して傾斜し、
前記貫通孔内に、前記Ｏリングの傾斜した状態を保持する傾斜保持部を設けたことを特徴とするものである。
【０００８】
本発明によると、Ｏリングの中心軸線が回転軸の中心軸線に対して傾斜しているため、回転軸の回転時に、回転軸の外周面とＯリングとの摺動部位が常に同一部位となることが防止され、回転軸とＯリングとの間へ潤滑剤が円滑に供給される。
また、回転軸の外周面とＯリングとの摺動部位の面積が増加するため、Ｏリングに加わる緊迫力を受ける面積が増加する。
次に、請求項２に記載した発明は、請求項１に記載した発明であって、前記回転軸の中心軸線に対する前記Ｏリングの中心軸線の傾斜角度を、１°〜３０°の範囲内としたことを特徴とするものである。
本発明によると、請求項１に記載した発明の効果が、より効果的に発揮される。
【０００９】
次に、請求項３に記載した発明は、請求項１または２に記載した発明であって、前記傾斜保持部は、前記貫通孔の内周面に前記回転軸の周方向に沿って環状に設けられたＯリング保持溝であることを特徴とするものである。
本発明によると、Ｏリングの傾斜した状態を保持する傾斜保持部が、ハウジングと一体に設けられているため、傾斜保持部の耐久性が向上し、Ｏリングの傾斜状態が確実に保持される。
次に、請求項４に記載した発明は、請求項３に記載した発明であって、前記Ｏリング保持溝の縁部は、面取りされていることを特徴とするものである。
本発明によると、Ｏリング保持溝の縁部が面取りされているため、貫通孔の内周面と回転軸の外周面との間へのＯリングの食い込みや、Ｏリングの損傷が防止される。
【００１０】
次に、請求項５に記載した発明は、請求項３または４に記載した発明であって、前記Ｏリング保持溝の両側面のうち少なくとも一方は、前記回転軸の中心軸線に対して直角以下の角度で傾斜していることを特徴とするものである。
本発明によると、Ｏリング保持溝の側面にＯリングへ向けて突出する部分が形成されないため、貫通孔の内周面とＯリング保持溝の両側面のうち少なくとも一方とのなす角度が鋭角にならず、貫通孔の内周面と回転軸の外周面との間へのＯリングの食い込みや、Ｏリングの損傷が防止される。
【００１１】
次に、請求項６に記載した発明は、請求項３または４に記載した発明であって、前記Ｏリング保持溝の両側面のうち少なくとも一方は、前記Ｏリング保持溝の深さ方向に沿って断面円弧状に形成されていることを特徴とするものである。
本発明によると、Ｏリング保持溝の側面にＯリングへ向けて突出する部分が形成されないため、貫通孔の内周面と回転軸の外周面との間へのＯリングの食い込みや、Ｏリングの損傷が防止される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、回転軸とＯリングとの間へ潤滑剤が円滑に供給されるとともに、Ｏリングの損傷を防止することが可能となり、回転導入機の耐久性及び作動性を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、本発明の第一実施形態について図面を参照しつつ説明する。
まず、図１から図３を参照して本発明の第一実施形態の構成を説明する。
図１に示すように、本実施形態の回転導入機１は、ハウジング２と、回転軸４とを備えている。
ハウジング２は、気密的に閉じた円筒であり、図中に高圧空間と示す第一の空間と、図中に低圧空間と示す第二の空間との間に設置され、貫通孔６、潤滑剤供給路８及び潤滑剤排出路（図示せず）を有している。第二の空間は第一の空間よりも低圧の空間であり、第一の空間と第二の空間とは、ハウジング２及び図示しない隔壁等によって気密的に隔離されている。
【００１４】
貫通孔６は、ハウジング２を軸方向に貫通しており、第一の空間と第二の空間とを連通している。貫通孔６の内周面には潤滑剤溜り部１０が形成され、両端部には低圧空間側支持軸受１２と高圧空間側支持軸受１４がそれぞれ嵌合されている。潤滑剤溜り部１０には、潤滑剤供給路８を通じて、ハウジング２の外部から供給された潤滑剤が保持される。低圧空間側支持軸受１２及び高圧空間側支持軸受１４は共に、外輪がハウジング２に固定されており、内輪が回転軸４に固定されている。なお、図中では、低圧空間側支持軸受１２及び高圧空間側支持軸受１４は、転動体として鋼球を用いた軸受であるが、低圧空間側支持軸受１２及び高圧空間側支持軸受１４は、転動体としてころを用いた軸受等、構成の異なる軸受であってもよい。
【００１５】
潤滑剤供給路８は、ハウジング２の外部と潤滑剤溜り部１０とを連通している。潤滑剤排出路は、潤滑剤供給路８と同様の構成となっている。また、潤滑剤としては、例えば、フッ素グリースやシリコングリース等の低蒸気圧のグリースや、フッ素オイルやシリコンオイル等の低蒸気圧オイルを用いる。
回転軸４の外周面と貫通孔６の内周面との間には、二つのＯリング１６ａ，１６ｂが、回転軸４の外周面と摺動可能に接触した状態で介装されている。回転軸４の一方の端部４ａは第一の空間へ突出し、他方の端部４ｂは第二の空間へ突出している。また、回転軸４の一方の端部４ａには、例えば、モーター等の図示しない回転動力源が連結されている。
【００１６】
各Ｏリング１６ａ，１６ｂは、例えば、フッ素ゴムやシリコンゴム等の弾性樹脂によって形成されており、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの径方向に沿った断面は、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRに対して、それぞれ垂直となっている。また、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRは、回転軸４の中心軸線ＣＬSに対して傾斜しており、その傾斜角度θ1は、１°≦θ1≦３０°の範囲内に設定されている。なお、図中では、Ｏリング１６ｂの中心軸線ＣＬRを省略している。
【００１７】
また、貫通孔６の内周面には、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRの傾斜状態を保持する傾斜保持部として、二箇所のＯリング保持溝１８ａ，１８ｂが設けられている。各Ｏリング保持溝１８ａ，１８ｂは、回転軸４の周方向に沿って環状に形成されている。また、各Ｏリング保持溝１８ａ，１８ｂ内において、各Ｏリング１６ａ，１６ｂは、各Ｏリング保持溝１８ａ，１８ｂの底面と、それぞれ密着した状態で保持されている。
【００１８】
ここで、図２及び図３を参照して、Ｏリング保持溝１８の形状について詳述する。
図１中に図示されているものとは異なるが、Ｏリング保持溝１８の形状は、図２に示すように、Ｏリング保持溝１８の両側面２０のうち、低圧空間側である第二の空間に近い側面と貫通孔６の内周面とのなす角度が鋭角となっている部分、すなわち、Ｏリング保持溝１８の半周を、側面２０が回転軸４の中心軸線ＣＬSに対して傾斜する傾斜角度θ2が、９０°以下となるように形成することが好適である。また、図２中に示すように、Ｏリング保持溝１８の縁部には、面取り２４を設けることが好適である。ここで、面取り２４は、図２中に示されているような平面状の面取りに限定されるものではなく、Ｒ面取りであるとより好適である。また、側面２０の傾斜角度を図１に示したものと同様とし、Ｏリング保持溝１８の縁部に面取り（好ましくはＲ面取り）を設けるようにしてもよい。
【００１９】
また、Ｏリング保持溝１８の形状は、図３に示すように、側面２０を、Ｏリング保持溝１８の深さ方向に沿って断面円弧状となるように形成し、Ｏリング保持溝１８の縁部に面取り２４を設ける構成としてもよい。なお、図３中には、Ｏリング保持溝１８の両側面２０のうち、図の左側の側面２０のみを、Ｏリング保持溝１８の深さ方向に沿って断面円弧状となるように形成した状態を示している。この場合も、Ｏリング保持溝１８の縁部に設ける面取りを、Ｒ面取りとすることがより好適である。
【００２０】
次に、上記の構成を備えた回転導入機１の作用・効果等を説明する。
図示しない回転動力源を駆動させて回転軸４を回転させると、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとが互いに摺動し、第一の空間と第二の空間との気密的な隔離状態を保持しつつ、第一の空間から第二の空間へ回転力を導入する。
このとき、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRが回転軸４の中心軸線ＣＬSに対して傾斜しており、その傾斜角度θ1が１°≦θ1≦３０°の範囲内であるため、回転軸４の回転時には、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの摺動部位は常に変化することとなる。したがって、回転軸４の回転時には、回転軸４の外周面の各Ｏリング１６ａ，１６ｂと摺動する部位のうち、各Ｏリング１６ａ，１６ｂと摺動していない部位に潤滑剤が移動し、この移動した潤滑剤が、回転軸４の回転に伴って、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間に供給される。
【００２１】
ここで、上述した傾斜角度θ1を、１°≦θ1≦３０°の範囲内とした理由について説明する。
傾斜角度θ1が１°未満である場合、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの摺動部位が、傾斜角度θ1が０°である場合、すなわち、図６に示した従来の回転導入機１と殆ど変わらない。したがって、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間への、潤滑剤の供給効果が期待できない。また、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの摺動部位の、面積増加の効果も期待できない。
【００２２】
また、傾斜角度θ1が３０°を超えている場合、回転軸４の回転に伴って生じる、各Ｏリング１６ａ，１６ｂ及び回転軸４に加わる摩擦力の大半が、各Ｏリング１６ａ，１６ｂに対するねじれ力として作用するため、このねじれ力によって、各Ｏリング１６ａ，１６ｂが切断してしまう可能性が増加する。
したがって、本実施形態の回転導入機１であれば、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRが、回転軸４の中心軸線ＣＬSに対して傾斜しているため、回転軸４の回転時には、回転軸４の外周面の摺動部位が常に変化することとなる。このため、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間へ潤滑剤が円滑に供給され、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間へは常に新しい潤滑剤が供給されるため、回転軸４と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間に生じる潤滑不良を防止することが可能となる。その結果、回転軸４の回転時に、回転軸４と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間に生じる摩擦抵抗が低減され、回転導入機１の作動性が向上する。
【００２３】
また、各Ｏリング１６ａ，１６ｂに生じる磨耗が軽減されるため、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの耐久性が向上する。さらに、各Ｏリング１６ａ，１６ｂに磨耗が生じた際に発生するカスが低減され、回転軸４と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの摺動部位の汚染が防止されるとともに、第一の空間及び第二の空間の汚染が防止される。
また、本実施形態の回転導入機１であれば、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRが、回転軸４の中心軸線ＣＬSに対して傾斜しているため、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの摺動部位の面積が増加して、各Ｏリング１６ａ，１６ｂに加わる緊迫力を受ける面積が増加する。その結果、各Ｏリング１６ａ，１６ｂに生じる磨耗が軽減され、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの耐久性が向上する。また、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの摺動部位の面積が増加することにより、各Ｏリング１６ａ，１６ｂのシール性が向上するため、回転導入機１の使用条件が拡大される。
【００２４】
さらに、本実施形態の回転導入機１であれば、回転軸４の外周面と各Ｏリング１６ａ，１６ｂとの間へ潤滑剤が円滑に供給されるため、第二の空間が、特に潤滑条件の厳しい真空である場合に好適である。
また、本実施形態の回転導入機１であれば、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRが回転軸４の中心軸線ＣＬSに対して傾斜する傾斜角度θ1を、１°≦θ1≦３０°の範囲内としたため、各Ｏリング１６ａ，１６ｂに生じる磨耗の軽減効果が、より効果的に発揮される。
【００２５】
また、本実施形態の回転導入機１であれば、Ｏリング保持溝１８を、傾斜角度θ2を９０°以下とするか、または、Ｏリング保持溝１８の縁部に面取り２４（より好ましくはＲ面取り）を設けて形成したため、Ｏリング保持溝１８の側面２０に、Ｏリング１６へ向けて突出する部分が形成されることがなく、Ｏリング１６の耐久性及び回転軸４の作動性の低下が防止される。また、Ｏリング保持溝１８を、側面２０を、Ｏリング保持溝１８の深さ方向に沿って断面円弧状となるように形成し、Ｏリング保持溝１８の縁部に面取り２４を設ける構成とした場合も同様に、Ｏリング保持溝１８の側面２０に突出部分が形成されることがなく、Ｏリング１６の耐久性及び回転軸４の作動性の低下が防止される。
【００２６】
また、本実施形態の回転導入機１であれば、Ｏリング１６の傾斜した状態を保持する傾斜保持部として、貫通孔６の内周面にＯリング保持溝１８がハウジング２と一体に設けられているため、Ｏリング１６の傾斜した状態が確実に保持される。
なお、本実施形態の回転導入機１では、回転軸４の外周面と貫通孔６の内周面との間に、二つのＯリング１６ａ，１６ｂを介装したが、これに限定されるものではない。すなわち、第一の空間と第二の空間とを気密的に隔離することが可能であれば、回転軸４の外周面と貫通孔６の内周面との間に、Ｏリング１６を一つのみ介装した構成としてもよい。
【００２７】
また、本実施形態の回転導入機１では、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRが回転軸４の中心軸線ＣＬSに対して傾斜する傾斜角度θ1を、１°≦θ1≦３０°の範囲内としているが、これに限定されるものではない。すなわち、傾斜角度θ1を、１°未満の角度としてもよく、３０°を超える角度としてもよい。もっとも、上述した理由により、傾斜角度θ1は、１°≦θ1≦３０°の範囲内とすることが好適である。
【００２８】
さらに、本実施形態の回転導入機１では、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRの傾斜状態を保持する傾斜保持部として、貫通孔６の内周面に二箇所のＯリング保持溝１８ａ，１８ｂを設けたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、貫通孔６内に、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRの傾斜状態に対応する形状の環状部材を挿入することにより、この環状部材によって、各Ｏリング１６ａ，１６ｂの中心軸線ＣＬRの傾斜状態を保持する構成としてもよい。
また、本実施形態の回転導入機１では、第二の空間を第一の空間よりも低圧の空間としたが、これに限定されるものではなく、第一の空間と第二の空間とが等圧の空間であってもよい。また、第一の空間を第二の空間よりも低圧の空間としてもよい。
【００２９】
また、本実施形態の回転導入機１では、Ｏリング保持溝１８の形状を、Ｏリング保持溝１８の両側面２０のうち、低圧空間側である第二の空間に近い側の側面に、Ｏリング１６へ向けて突出する部分が形成されないように形成したが、これに限定されるものではない。すなわち、Ｏリング保持溝１８の形状を、側面２０が回転軸４の中心軸線ＣＬSに対して傾斜する傾斜角度θ2が、９０°を越えるように形成してもよい。しかしながら、このような構成とすると、特に第一の空間と第二の空間の圧力差の大きい場合等では、Ｏリング１６が低圧空間側（本実施形態では第二の空間寄りの側）に引きつけられてしまう。このため、図４に示すように、Ｏリング保持溝１８の側面２０に、Ｏリング１６へ向けて突出する突出部分２２が形成され、この突出部分２２がＯリング１６に食い込んでＯリング１６に損傷が生じてしまうおそれがあり、Ｏリング１６のシール効果が低減してしまう。また、貫通孔６の内周面と回転軸４の外周面との間に、Ｏリング１６の一部が食い込んでしまい、Ｏリング１６の損傷及び回転軸４の作動性の低下が生じてしまう。したがって、Ｏリング保持溝１８の形状は、Ｏリング保持溝１８の側面２０に、Ｏリング１６へ向けて突出する部分が形成されない形状とすることが好適である。また、第一の空間と第二の空間の圧力差が小さい場合であっても、側面２０を上記のように形成することは好適である。この場合、Ｏリング１６がどちらの側面２０に接してもよいように、両側面２０を上記のように形成することが好適である。
【００３０】
また、本実施形態の回転導入機１では、二つのＯリング１６ａ，１６ｂを備えるとともに、貫通孔６の内周面のうちＯリング１６ａ，１６ｂ間に潤滑剤溜り部１０を形成する構成としたが、これに限定されるものではない。すなわち、Ｏリング１６を一つのみ備える構成や、潤滑剤溜り部１０を形成しない構成としても、回転軸４とＯリング１６との間に、潤滑剤が供給可能な通路が形成されていればよい。この場合、潤滑剤が供給される通路は、Ｏリング１６によって第二の空間と気密的に隔離された空間と連通する構成とする。
また、本実施形態の回転導入機１では、回転軸４を一体物で形成したが、これに限定されるものではなく、例えば、回転軸４を、第一の空間に突出する入力軸と、第二の空間に突出する出力軸と、入力軸の回転を出力軸に伝達する伝達部材とを備える構成としてもよい。
【００３１】
また、本実施形態の回転導入機１では、Ｏリング１６の形状を、Ｏリング１６の径方向に沿った断面が、Ｏリング１６の中心軸線ＣＬRに対して垂直となるように形成したが、これに限定されるものではない。すなわち、Ｏリング１６の径方向に沿った断面が、Ｏリング１６の中心軸線ＣＬRに対して、傾斜角度θ1に対応した傾斜となるようにＯリング１６を形成としてもよい。
また、本実施形態の回転導入機１では、Ｏリング保持溝１８の縁部に面取り２４を設けたが、これに限定されるものではなく、Ｏリング保持溝１８の縁部に面取り２４を設けない構成としてもよい。もっとも、上述した理由により、Ｏリング保持溝１８の縁部に面取り２４を設けることが好適である。
【００３２】
次に、本発明の第二実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、上述した第一実施形態と同様の構成については同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
まず、図５を参照して、本実施形態の回転導入機１の構成を説明する。
図中に示されているように、本実施形態の回転導入機１は、上述した第一実施形態のものと、以下の点で構成が異なっている。すなわち、貫通孔６の両端部のうち、第二の空間側の端部に支持軸受が嵌合されておらず、第一の空間側の端部に、二つの高圧空間側支持軸受１４ａ，１４ｂが回転軸４の軸方向に沿って嵌合されている。
その他の構成は、上述した第一実施形態のものと同様である。
【００３３】
次に、本実施形態の作用・効果について説明する。
図示しない回転動力源を駆動させて回転軸４を回転させると、各Ｏリング１６ａ，１６ｂと回転軸４の外周面とが互いに摺動し、第一の空間と第二の空間との気密的な隔離状態を保持しつつ、第一の空間から第二の空間へ回転力を導入する。
このとき、第一の空間側の端部には、二つの高圧空間側支持軸受１４ａ，１４ｂが嵌合されているため、各高圧空間側支持軸受１４ａ，１４ｂから発生する塵やアウトガス等の異物が、第二の空間へ侵入することが防止される。したがって、第一の空間よりも低圧の空間である第二の空間の汚染が防止される。また、各高圧空間側支持軸受１４ａ，１４ｂに対し、比較的潤滑寿命の短い、あるいは、高価な固体潤滑剤や真空用潤滑剤を使用する必要が無くなるためコストが低下する。
その他の作用・効果は、上述した第一実施形態と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第一実施形態の回転導入機の構成を説明する図である。
【図２】本発明の第一実施形態の回転導入機の構成を説明する図である。
【図３】本発明の第一実施形態の回転導入機の構成を説明する図である。
【図４】本発明の第一実施形態の回転導入機の構成を説明する図である。
【図５】本発明の第二実施形態の回転導入機の構成を説明する図である。
【図６】従来の回転導入機の構成を説明する図である。
【符号の説明】
【００３５】
１    回転導入機
２    ハウジング
４    回転軸
６    貫通孔
８    潤滑剤供給路
１０  潤滑剤溜り部
１２  低圧空間側支持軸受
１４  高圧空間側支持軸受
１６  Ｏリング
１８  Ｏリング保持溝
２０  側面
２２  突出部分
２４  面取り
ＣＬR  Ｏリングの中心軸線
ＣＬS  回転軸の中心軸線
θ1  回転軸の中心軸線に対するＯリングの中心軸線の傾斜角度
θ2  回転軸の中心軸線に対するＯリング保持溝の側面の傾斜角度
【図１】
2006234094.tif 000003
【図２】
2006234094.tif 000004
【図３】
2006234094.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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