(57)【要約】【課題】光干渉角速度計の自己診断機能を簡素な構成で実現する。【解決手段】デジタル信号処理型式の光干渉角速度計に、擬似角速度信号を発生する擬似角速度信号発生回路と、位相変調信号が与えられる側の位相変調器の一方の電極に角速度計側モードでは共通電位を印加し、校正モードではランプ波状の擬似角速度信号を印加する状態に切換える切換手段と、校正モードにおいて、フィードバック信号発生回路から擬似角速度信号を打ち消すフィードバック信号が発生するか否かを判定する判定手段とを付加した。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一周する光学路と、その光学路に対して右廻り光及び左廻り光を通す分岐手段と、その光学路を伝搬してきた左右両廻り光を干渉させる干渉手段と、その干渉手段と上記光学路の一端との間に設けられた左右両廻り光間に位相差を与える位相変調器と、上記干渉手段により得られる干渉光の強度を電気信号として検出する受光器と、上記位相変調器により位相変調された上記受光器からの光電変換信号を復調し、角速度情報を検出する同期検波器と、その同期検波器からの出力を積分する積分器と、その積分器の出力を入力してランプ波状のフィードバック信号を生成するフィードバック信号発生回路とを具備し、上記フィードバック信号を上記位相変調器の位相変調信号に加算するか、又は上記位相変調器とは別に上記干渉手段と上記光学路の一端との間に設けた第２位相変調器に印加し、上記光学路の左右両廻り光間の位相差が常時零となるように制御するクローズドループ方式の光干渉角速度計において、
予め設定された擬似角速度値に相当するデジタル量をタイミングパルスに同期させて積分し、ランプ波状の擬似角速度信号を発生する擬似角速度信号発生回路と、
上記位相変調信号が与えられる側の位相変調器の一方の電極に角速度計測モードでは共通電位を印加し、校正モードではランプ波状の擬似角速度信号を印加する状態に切換える切換手段と、
上記校正モードにおいて、上記フィードバック信号発生回路から上記擬似角速度信号を打ち消すフィードバック信号が発生するか否かを判定する判定手段と、
を設けた構成としたことを特徴とする光干渉角速度計。
【請求項２】
少なくとも一周する光学路と、その光学路に対して右廻り光及び左廻り光を通す分岐手段と、その光学路を伝搬してきた左右両廻り光を干渉させる干渉手段と、その干渉手段と上記光学路の一端との間に設けられた左右両廻り光間に位相差を与える位相変調器と、上記干渉手段により得られる干渉光の強度を電気信号として検出する受光器と、上記位相変調器により位相変調された上記受光器からの光電変換信号を復調し、角速度情報を検出する同期検波器と、その同期検波器からの出力を積分する積分器と、その積分器の出力を入力してランプ波形状のフィードバック信号を生成するフィードバック信号発生回路とを具備し、上記フィードバック信号を上記位相変調器の位相変調信号に加算するか、又は上記位相変調器とは別に上記干渉手段と上記光学路の一端との間に設けた第２位相変調器に印加し、上記光学路の左右両廻り光間の位相差が常時零となるように制御するクローズドループ方式の光干渉角速度計において、
予め設定された擬似角速度値に相当するデジタル量をタイミングパルスに同期させて積分し、ランプ波状の擬似角速度信号を発生させる擬似角速度信号発生回路と、
校正モードにおいて、上記擬似角速度信号発生回路が発生する擬似角速度信号を上記位相変調信号に、この位相変調信号に同期して加算し、その加算結果を上記位相変調器に印加する加算器と、
上記校正モードにおいて、上記フィードバック信号発生回路から上記擬似角速度信号を打ち消すフィードバック信号が発生するか否かを判定する判定手段と、
を設けた構成としたことを特徴とする光干渉角速度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はフィードバック信号としてランプ波状を利用するクローズドループ方式の光干渉角速度計に関し、特に故障診断機能を備えた光干渉角速度計を提供しようとするものである。
【背景技術】
【０００２】
図５に従来から用いられているデジタル処理型のクローズドループ方式の光干渉角速度計（特許文献１）の構成の一例を示す。ここに示す光干渉角速度計（以下ＦＯＧと称す）は、フィードバック信号Ｖｆとして階段状の位相偏移を付与するデジタルフェーズランプ方式と呼ばれているもので、階段状のフィードバック信号Ｖｆの階段状の一段分の時間幅は、光学路を構成する光ファイバコイル１７を通過する光の伝搬時間τに設定される。
また、位相変調も半周期をτとする±(nπ+π/2)(rad)の短波形がＣＷ光とＣＣＷ光間の位相差として付与される。位相変調駆動回路３０よりパルス幅をτとする短形状の位相変調信号ＶＰを光ファイバコイル１７の片端に配置した位相変調器１６に印加し、光ファイバコイル１７を伝搬する両光間に±π/(rad)の位相差を交互に付与する短形波位相変調が行われる。
【０００３】
受光器１８に達した干渉光は、図６のようになる。位相変調のＡ１の期間は、両光間の位相差が“０”の状態を示し、Ａ２の期間は、角速度が印加されサニャック位相差Δφｓが生じた状態を示す。位相変調のＡ１の期間φ１〜φ４に相当する干渉光の出力Ｉ１〜Ｉ４は図６に示すように同レベルとなり、干渉光の強度の差異は生じない。Ａ２の期間は、φ５、φ７に対応するＩ５、Ｉ７はφ５、φ８に対応するＩ５、Ｉ８の干渉光強度に差異ΔＩが生じる。その差異ΔＩは、次式で表される。
ΔＩ＝Ｐｏ・ｓｉｎΔφ５      ………  （１）
（１）式に示すようにφ５、φ７に対応するＩ５、Ｉ７とφ５、φ８に対応するＩ５、Ｉ８の干渉光強度の差異ΔＩを検出すれば、サニャック位相差ΔφＳを知ることができる。ここで、サニャック位相差ΔφＳは、
ΔφＳ＝（４πＲＬ／ｅλ）Ω＝ＫＳ・Ω    ………      （２）
Ω：入力角速度
Ｒ：光ファイバコイルの半径
Ｌ：光ファイバコイルの光ファイバ長
Ｃ：光速 
λ：光源波長
ＫＳ：サニャック係数
で表され、サニャック係数ＫＳを比例定数として入力角速度Ωに比例する。続いて干渉光出力Ｉ１〜Ｉ８は、受光器１８で光電変換された後、Ａ／Ｄ変換器１９において周期τでＡ／Ｄ変換され、その後同期検波回路２０により（１）式において周期τでＡ／Ｄ変換され、その後同期検波回路２０により（１）式に対応するデジタル量が演算される。即ち入力角速度Ωの正弦関数に比例したデジタル量を求めることができる。
【０００４】
クローズドループの方法に関する説明
クローズドループ方式の場合には、（１）式における位相差ΔφＳは光ファイバコイル１７の両光間の位相差Δφに置き換えられる。このΔφは、
Δφ＝ΔφＳ＋Δφｆ    ………    （３）
ここでΔφＳは、光ファイバコイル１７に角速度を印加したときに生じるサニャック位相差を示す。Δφｆはフィードバック信号Ｖｆにより生じる位相差を示す。同期検波回路２０により生成された（１）式に対応したデジタル量をフィードバック回路２２に負帰還となるように与えると、積分器２１の入力、即ち同期検波回路２０の出力は零となり（ΔＩ＝０）、Δφ＝０となる。従って、
ΔφＳ  ＝  −Δφｆ    ………    （４）
の関係が成り立つ。フィードバック位相差Δφｆを発生させる方法は、光の伝搬時間τを一段の幅とする階段状鋸歯状波（デジタルフェーズランプ）を位相変調器１５に印加し達成することができる。
【０００５】
ここで、光学素子１３は、例えばニオブ酸リチューム（ＬｉＮｂＯ３）の光学結晶に導波路を形成し、Ｙ分岐結合部１４、位相変調器１５、１６を集積化した光集積回路（光ＩＣ）が通常用いられる。光ファイバコイル１７の片端に配置した位相変調器１５にフィードバック信号Ｖｆを印加するとＣＷ光は図７Ｂの破線で示した位相シフトを受ける。一方、ＣＣＷ光は、実線で示したようにＣＷ光に対して光の伝搬時間τだけ進んだ位相シフトを受ける。通常デジタルフェーズランプは、干渉光の周期性からフィードバック位相φｆが２ｍπを超えたところで絶対値として２ｍπ減じられる。このデジタルフェーズランプの繰返し周波数ｆと入力角速度Ωとの間には、次の関係が成立する。
【０００６】
ｆ＝（４Ａ／ｎｍＬλ）Ω＝（２Ｒ／ｎｍλ）Ω    ………    （５）
Ｒ：光ファイバコイルの半径
Ａ：光ファイバコイルにおいて光ファイバが囲む総面積
ｎ：光ファイバの屈折率
すなわち、デジタルフェーズランプの繰返し周波数ｆを計測すれば与えられた入力角速度Ωを知ることができる。デジタルフェーズランプの繰返し周波数ｆはフィードバック信号発生回路２２からデジタルフェーズランプを取り出し、このデジタルフェーズランプをジャイロ出力パルス発生回路３２に入力し、このジャイロ出力パルス発生回路３２でデジタルフェーズランプの繰返し周期ｆに対応した正パルス出力及び負パルス出力を生成する。正パルス出力は例えば右廻りの角速度が入力された場合の出力を示し、負パルス出力は例えば左廻りの角速度が入力された場合の出力を示す。
【０００７】
以上によりＦＯＧの概略の構成及び動作が理解されよう、尚、図５に示す２ｍπ制御回路３１は入力角速度の最大計測範囲の拡大を図るために設けられた部分である。この部分の構成及び動作は本発明に直接関係しないのでここではこれ以上の説明は省略する。必要があれば特許文献１を参照。
【特許文献１】特開平１１−２９５０７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した従来のＦＯＧは自己診断機能を有しないため、正常に動作するか否かの判断は、実施に回転テーブルにジャイロを載せ、物理的に入力角速度を与えての出力をチェックするか、又は、当該角速度計が故障して異常値を出力するかしないと、その角速度計自体の良否を判定することはできなかった。
この点、「特公平７−５２１０６公報」には自己診断機能を備えた光干渉角速度計が開示されている。然し乍ら、この特許文献ではアナログ式のＦＯＧに自己診断機能を付加した内容になっているため、擬似回転角速度信号の信頼性（電圧値そのもの、或は電圧の安定性）が悪い欠点がある。
【０００９】
つまり、アナログ回路でフィードバック信号の一段に相当する擬似回転角速度信号を精度よく発生させることは難しい。又、その発生した電圧を長期に渡って安定に保持させることも難しい。これらを実現するにはコストの上昇は避けられない。
この発明の目的はコストの上昇を来すことなく、自己診断機能を備えた光干渉角速度計を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明の請求項１では、少なくとも一周する光学路と、その光学路に対して右廻り光及び左廻り光を通す分岐手段と、その光学路を伝搬してきた左右両廻り光を干渉させる干渉手段と、その干渉手段と光学路の一端との間に設けられた左右両廻り光間に位相差を与える位相変調器と、干渉手段により得られる干渉光の強度を電気信号として検出する受光器と、位相変調器により位相変調された受光器からの光電変換信号を復調し、角速度情報を検出する同期検波器と、その同期検波器からの出力を積分する積分器と、その積分器の出力を入力してランプ波形状のフィードバック信号を生成するフィードバック信号発生回路とを具備し、フィードバック信号を位相変調器の位相変調信号に加算するか、又は位相変調器とは別に干渉手段と光学路の一端との間に設けた第２位相変調器に印加し、光学路の左右両廻り光間の位相差が常時零となるように制御するクローズドループ方式の光干渉角速度計において、予め設定された擬似角速度値に相当するデジタル量をタイミングパルスに同期させて積分し、ランプ波状の擬似角速度信号を発生する擬似角速度信号発生回路と、位相変調信号が与えられる側の位相変調器の一方の電極に角速度計測モードでは共通電位を印加し、校正モードではランプ波状の擬似角速度信号を印加する状態に切換える切換手段と、校正モードにおいて、フィードバック信号発生回路から擬似角速度信号を打ち消すフィードバック信号が発生するか否かを判定する判定手段とを設けた構成とした光干渉角速度計を提案する。
【００１１】
この発明の請求項２では、少なくとも一周する光学路と、その光学路に対して右廻り光及び左廻り光を通す分岐手段と、その光学路を伝搬してきた左右両廻り光を干渉させる干渉手段と、その干渉手段と光学路の一端との間に設けられた左右両廻り光間に位相差を与える位相変調器と、干渉手段により得られる干渉光の強度を電気信号として検出する受光器と、位相変調器により位相変調された受光器からの光変換信号を復調し、角速度情報を検出する同期検波器と、その同期検波器からの出力を積分する積分器と、その積分器の出力を入力してランプ波形状のフィードバック信号を生成するフィードバック信号発生回路とを具備し、フィードバック信号を位相変調器の位相変調信号に加算するか、又は位相変調器とは別に干渉手段と光学路の一端との間に設けた第２位相変調器に印加し、光学路の左右両廻り光間の位相差が常時零となるように制御するクローズドループ方式の光干渉角速度計において、予め設定された擬似角速度値に相当するデジタル量をタイミングパルスに同期させて積分し、ランプ波状の擬似角速度信号を発生させる擬似角速度信号発生回路と、校正モードにおいて、擬似角速度信号発生回路が発生する擬似角速度信号を位相変調信号に、この位相変調信号に同期して加算し、その加算結果を位相変調器に印加する加算器と、校正モードにおいて、フィードバック信号発生回路から擬似角速度信号を打ち消すフィードバック信号が発生するか否かを判定する判定手段とを設けた構成とした光干渉角速度計を提案する。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、フィードバック信号の一段に相当する回転速度信号をデジタル量で提供し、このデジタル量を位相変調信号の周期に同期して積分することによりランプ波状のデジタル擬似角速度信号を生成するから、デジタル量は安定であり、安価に安定した擬似角速度信号を発生させることができる。また、デジタル量は時間の経過に対しても変動しないから、擬似角速度信号も時間の経過に対して安定である。
従って、この発明によれば安価なコストで精度が良く、然も長期に安定して動作する自己診断機能を備えた光干渉角速度計を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
この発明を実施する場合、適用する光干渉角速度計の型式としては受光器で受光した受光信号をＡ／Ｄ変換器でＡ／Ｄ変換し、デジタル信号処理により入力角速度を計測するデジタル信号処理型式のＦＯＧであることが望ましい。
この発明では、このデジタル信号処理型式のＦＯＧに予め設定された擬似角速度値Δφに相当するデジタル量をタイミングパルスに同期させて積分し、ランプ波状の擬似回転角速度信号を発生する擬似回転角速度信号発生回路と、角速度計側モードでは位相変調信号が印加されている側の位相変調器の共通電位が印加されている電極に対し、校正モードでは擬似角速度信号を印加する状態に切換る切換手段と、校正モードにおいてフィードバック信号発生回路から擬似角速度信号を打ち消すためのフィードバック信号が発生するか否かを判定する判定手段とを付加した構成とするものである。
【００１４】
この構成によれば、擬似角速度信号はデジタル量で提供され、デジタル量を位相変調信号に同期して積分することによりランプ波状の擬似角速度信号を生成するから、精度の良い擬似角速度信号を生成することができる。また、デジタル信号から擬似角速度信号を生成するから、その変動の発生は全くない。従って、安価に安定した擬似角速度信号を得ることができる。
【実施例１】
【００１５】
図１にこの発明の請求項１で提案したＦＯＧの実施例を示す。尚、図１に示す実施例では図５に示した構成の中で光ファイバコイル１７と、２ｍπ制御回路３１に係わる部分の構成は省略し、図５と対応する部分の構成には同一符号を付して示している。
図１において新たに追加した構成は擬似角速度信号発生回路４０と、切換手段５０と、演算処理部６０である。演算処理部６０は例えばマイクロコンピュータで構成することができ、その内部に入力角速度算出手段６１と、表示手段６２とを備える。入力角速度算出手段６１はジャイロ出力パルス発生回路３２が出力するジャイロ出力パルスの周期から入力角速度Ωを算出する。その算出結果を表示手段６２に表示する。
【００１６】
これと共に、演算処理部６０には判定手段６３と校正値記憶部６４とが設けられる。校正値記憶部６４は予め設定した校正のための擬似角速度値に相当するデジタル値を記憶する。校正のためのデジタル値は複数設定することができ、何れの校正値を利用するかは特に図示しないが、操作パネル等に設けられた入力手段で選択して読み出すことができる。校正値記憶部６４から読み出した校正値は擬似角速度信号発生回路４０に入力され、この擬似角速度信号発生回路４０でランプ波状の擬似角速度信号ＶＣを発生する。
擬似角速度信号発生回路４０は入力手段に極性切換手段４１を有し、その後段に積分器４３を配置し、更に積分器４３の後段に擬似ランプ発生回路４４と、Ｄ／Ａ変換器４５が配置され、Ｄ／Ａ変換器４５から出力されるランプ波状の擬似角速度信号ＶＣが切換手段５０の一方の入力に印加される。
【００１７】
極性切換手段４１は負極性発生手段４１Ａとマルチプレクサ４１Ｂとによって構成することができる。負極性発生手段４１Ａは校正値記憶部６４から読み出された校正値（デジタル信号）の全てのビットを極性反転し、その極性反転したデジタル値に「１」を加えて負の補数を得ることにより負のデジタル値を得る。マルチプレクサ４１Ｂは正のデジタル値と負のデジタル値の何れかを選択し、積分器４３に出力する。正のデジタル値を選択した場合は、積分器４３は０から正方向にクロック発生回路２４から与えられるクロック、つまり、位相変調信号ＶＰの周期に同期して積算されるデジタル値を出力し、擬似ランプ発生回路４４はその積算値を用いて０と所定値の間でランプ波状に変化するデジタル値を発生する。極性切換手段４１で負のデジタル値を選択した場合は、積分器４３は０から負方向に積算されるデジタル値を出力し、擬似ランプ発生回路４４はその積算値を利用して０〜負の所定値の間でランプ波状に変化するデジタル値を出力する。Ｄ／Ａ変換器４５はランプ波状に変化するデジタル値をランプ波状に変化するアナログ量に変換し、擬似角速度信号ＶＣを出力する。
【００１８】
アナログの擬似角速度信号ＶＣは切換手段５０の一方の入力に印加される。切換手段５０の他方の入力には共通電位を印加する。切換手段５０の選択接点は位相変調器１６の一方の電極に接続される。切換手段５０は演算処理部６０から出力されるモード切替信号により選択接点を切換制御する。つまり、角速度計側モードでは選択接点を共通電位側に転換し、位相変調器１６の一方の電極に共通電位を与える。このとき位相変調器１６の他方の電極には位相変調信号ＶＰが与えられ、位相変調器１６を通過する光に位相変調信号ＶＰに相当する位相変調を与える。
【００１９】
一方、校正モードでは切換手段５０は擬似角速度信号ＶＣを選択し、位相変調器１６の一方の電極にランプ波状に変化する擬似角速度信号ＶＣを印加する。この状態で位相変調器１６では、この位相変調器１６を通過する光に位相変調信号ＶＰと擬似角速度信号ＶＣとを重畳した位相変調を与える。図２に位相変調信号ＶＰと擬似角速度信号ＶＣと、その重畳例を示す。図２Ｂに示す擬似角速度信号ＶＣの一段の高さは校正値記憶部６４から読み出した擬似角速度値Δφに相当し、Δφの積算値が所定値、例えば２πに達するとランプ波形がリセットされる、このリセット処理が擬似ランプ発生回路４４で施される。
【００２０】
擬似角速度信号ＶＣが位相変調器１６に印加されることにより、光干渉角速度計は図５に示した光ファイバコイル１７に入力角速度Ωが入力されたと等価な状態となる。この状態で光干渉角速度計が正常に動作しているものとすると、受光器１８で受光する光信号の位相は標準位相から擬似角速度信号ＶＣの量に対応した位相差が発生し、この位相差が同期検波回路２０で同期検波され、その同期検波出力を積分器２１で積分することにより、フィードバック信号発生回路２２からは擬似角速度信号ＶＣを打ち消す方向のフィードバック信号Ｖｆが発生する。図３に擬似角速度信号ＶＣとフィードバック信号Ｖｆとの関係を示す。光干渉角速度計が正常に動作している場合は、擬似角速度信号ＶＣとフィードバック信号Ｖｆの各一段の高さΔφとΔφ´は等しい値となる。
【００２１】
入力角速度算出手段６１はジャイロ出力パルス発生回路３２から出力されるフィードバック信号Ｖｆのフライバック周期から、擬似入力角速度を算出する。判定手段６３は入力角速度算出手段６１が算出した擬似入力角速度と、校正値記憶部６４から擬似角速度信号発生回路４０へ出力した校正値とを比較し、両者が限りなく近い値であれば、つまり、フィードバック信号発生回路２２から擬似角速度信号を丁度打ち消すフィードバック信号が発生していると判定することができ、光干渉角速度計が正しく動作していることが解る。両者に差が生じ、その差の値が許容値を越えている場合は光干渉角速度計の動作に異常があると判定する。この判定結果を表示手段６２に表示し、異常を知らせる。従って、この発明によれば光干渉角速度計を回転テーブルに搭載し、現実に入力角速度を印加しなくても、入力角速度に対して正常に計測結果を出力するか否かを診断することができる。また、この発明によれば校正値をデジタル信号で提供し、擬似角速度信号発生回路４０をデジタル回路で構成したから温度変動、或は電源の電圧変動に対して安定に動作し、コストをかけずに精度の高い自己診断機能を付加することができる。
【００２２】
図４は、この発明の請求項２で提案する光干渉角速度計の実施例を示す。この実施例では位相変調駆動回路３０と位相変調器１６との間にアナログ加算器５１を設け、このアナログ加算器５１で位相変調信号ＶＰに擬似角速度信号発生回路４０から出力される擬似角速度信号ＶＣを電気的に加算し、その加算結果を位相変調器１６の一方の電極に印加する構成とした場合を示す。またこの場合、位相変調器１６の他方の電極は常時共通電位に接続される。
この実施例では、角速度計側モードでは擬似角速度信号発生回路４０の出力は０であるから、位相変調信号ＶＣのみが単独で位相変調器１６に印加され、光ファイバーコイルに入力される入力角速度の計測が行われる。
【００２３】
一方、校正モードでは校正値記憶部６４から擬似角速度信号発生回路４０に校正値が入力されるから、擬似角速度信号発生回路４０はランプ波状の擬似角速度信号ＶＣを出力する。この擬似角速度信号ＶＣをアナログ加算器５１で位相変調信号ＶＰと加算し、その加算結果を位相変調器１６に印加する。この場合の印加信号の波形は図２Ｃに示した信号の波形と等価である。
このように、位相変調信号ＶＰと擬似角速度信号ＶＣを電気的に加算して位相変調器１６に印加しても、図１で説明したと同様の作用効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
この発明は光干渉角速度計の出荷検査の部門或は光干渉角速度計の実用現場において活用される。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】この発明の請求項１で提案する光干渉角速度計の実施例を説明するためのブロック図。
【図２】図１の動作を説明するための波形図。
【図３】図２と同様の波形図。
【図４】この発明の請求項２で提案する光干渉角速度計の実施例を説明するためのブロック図。
【図５】従来の技術を説明するためのブロック図。
【図６】図５の動作を説明するための波形図。
【図７】図５の動作を説明するための波形図。
【符号の説明】
【００２６】
１１    光源                        ２４    クロック発生回路
１２    光カプラ                    ３０    位相変調駆動回路
１３    光学素子                    ３２    ジャイロ出力パルス発生回路
１４    Ｙ分岐係合部                ４０    擬似角速度信号発生回路
１５、１６    位相変調器                  ５０    切換手段
１７    光ファイバコイル            ５１    アナログ加算器
１８    受光器                      ６０    演算処理部
１９    Ａ／Ｄ変換器                ６１    入力角速度算出手段
２０    同期検波回路                ６２    表示手段
２１    積分器                      ６３    判定手段
２２    フィードバック信号発生回路  ６４    校正値記憶部
２３    Ｄ／Ａ変換器
【図１】
2006177893.tif 000003
【図２】
2006177893.tif 000004
【図３】
2006177893.tif 000005
【図４】
2006177893.tif 000006
【図５】
2006177893.tif 000007
【図６】
2006177893.tif 000008
【図７】
2006177893.tif 000009