(57)【要約】【課題】  撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置をバラツキがなく適正位置に配置する。【解決手段】  ノズル１２を貫通形成し且つ表面が前記ノズル１２内に入り込むように撥インク性皮膜２１で覆われたノズルプレート４に対して、裏面側に光学エネルギーを照射する光源３１を配置し、表面側のノズル１２に対向する位置に前記光学エネルギーを前記ノズル１２の内面に反射する反射する反射鏡３５を配置し、該反射鏡３５による反射角を調整することにより、ノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜１２の撥インク性発揮位置を正確に調整する。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを貫通形成したノズルプレートの表面を前記ノズル内に入り込むように撥インク性皮膜で覆うようにしたインクジェットプリンタのノズルプレートであって、
前記ノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を光学エネルギーの照射によって調整したことを特徴とするインクジェットプリンタのノズルプレート。
【請求項２】
前記撥インク性皮膜は、フッ素系高分子材料で構成され、当該フッ素系高分子材料のＣ−Ｆ結合の結合エネルギーより大きな前記光学エネルギーの照射によってＣ−Ｆ結合を解離させて撥インク性発揮位置を調整することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタのノズルプレート。
【請求項３】
ノズルを貫通形成し且つ表面が前記ノズル内に入り込むように撥インク性皮膜で覆われたノズルプレートに対して、裏面側から照射してノズルを通過した光学エネルギーを反射鏡で前記ノズルの内面に反射してノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を調整するようにしたことを特徴とするインクジェットプリンタのノズルプレートの製造方法。
【請求項４】
ノズルを貫通形成し且つ表面が前記ノズル内に入り込むように撥インク性皮膜で覆われたノズルプレートに対して、裏面側に光学エネルギーを照射する光源を配置し、表面側のノズルに対向する位置に前記光学エネルギーを前記ノズルの内面に反射する反射する反射鏡を配置し、該反射鏡による反射角を調整することにより、ノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を調整するようにしたことを特徴とするインクジェットプリンタのノズルプレートの製造方法。
【請求項５】
前記ノズルプレートの少なくともノズルの撥インク性皮膜及び反射鏡をインクの溶媒に浸漬した状態で、前記反射鏡による撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を調整することを特徴とする請求項３又は４に記載のインクジェットプリンタのノズルプレート製造方法。
【請求項６】
前記撥インク性皮膜は、フッ素系高分子材料で構成され、前記光源から照射される光学エネルギーを当該フッ素系高分子材料のＣ−Ｆ結合を解離させるエネルギーに設定されていることを特徴とする請求項３乃至５の何れか１項に記載のインクジェットプリンタのノズルプレート製造方法。
【請求項７】
前記反射鏡は、反射面が凹面に形成され、反射面の中心を光源からの照射光の光軸に一致させて配置されていることを特徴とする請求項３乃至６の何れか１項に記載のインクジェットプリンタのノズルプレート製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルを貫通形成したノズルプレートの表面を前記ノズル内に入り込むように撥インク性皮膜で覆うようにしたインクジェットプリンタのノズルプレート及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインクジェットプリンタのノズルプレートの製造方法としては、ノズルプレートの裏面に感光性樹脂フィルムを圧接させて、温度により粘度を制御しながらこの一部をノズル内に入り込ませ、次いでこれを紫外線の照射により硬化させた上、ノズルプレートの表面に撥インク性の共析メッキを施して、その一部がノズル内に入り込むその量を硬化させた感光性樹脂フィルムによって規制することによって、飛行曲がりや吐出不良の生じない均一のノズルプレートを形成するようにしたインクジェットプリンタのノズルプレート製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−１２５２２０号公報（第１頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載された従来例にあっては、感光性樹脂フィルムで撥インク性の共析メッキ層のノズル内への入り込み量を規制するようにしているが、感光性樹脂フィルムによるノズル内の共析メッキ層の規制位置を正確に形成することができないので、撥インク性の共析メッキ層のノズル内周面位置に若干のバラツキが生じ、ノズル内周面への入り込み量が不均一となって、インク滴が吐出する方向が曲がってしまうという未解決の課題がある。
【０００４】
また、ノズル内周面への撥インク性の共析メッキ層の入り込み量が多過ぎる場合には、メニスカスの振動中心がその分ノズルプレートの表面から離れてしまう結果、所要吐出量のインクを吐出させるために必要とするエネルギーが大きくなって吐出効率が悪くなり、逆に共析メッキ層の入り込み量が少な過ぎる場合には、メニスカスの振動中心がノズルプレートの表面近くになる結果、インク滴が吐出した後のメニスカスの振動によりインク滴が再吐出するという、所謂ミスファイアを起こすなど、製品毎に大きなバラツキが生じて信頼性を損ねるという未解決の課題もある。
【０００５】
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置をバラツキがなく適正位置に配置することができるインクジェットプリンタのノズルプレート及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、ノズルを貫通形成したノズルプレートの表面を前記ノズル内に入り込むように撥インク性皮膜で覆うようにしたインクジェットプリンタのノズルプレートであって、前記ノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を光学エネルギーの照射によって調整したことを特徴としている。
この第１の発明では、ノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を光学エネルギーの照射によって調整するので、撥インク性皮膜のノズル内における入り込み量を多めに設定することにより、撥インク性発揮位置をバラツキを生じることなく正確に調整することができ、インク滴の飛行曲がりを確実に防止し、さらにインク滴の吐出効率を向上させると共に、所謂ミスファイアを確実に防止することができる。
【０００７】
また、第２の発明は、第１の発明において、前記撥インク性皮膜は、フッ素系高分子材料で構成され、当該フッ素系高分子材料のＣ−Ｆ結合の結合エネルギーより大きな前記光学エネルギーの照射によってＣ−Ｆ結合を解離させて撥インク性発揮位置を調整することを特徴としている。
この第２の発明では、撥インク性皮膜がフッ素系高分子材料で構成されており、その撥インク性がＣ−Ｆ結合によって発揮されるので、このＣ−Ｆ結合の結合エネルギーより大きな光学エネルギーをノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜に照射することにより、Ｃ−Ｆ結合を解離させて、撥インク性を解消して親水性と等価な親インク性とすることにより撥インク性発揮位置を正確に調整することができる。
【０００８】
第３の発明は、ノズルを貫通形成し且つ表面が前記ノズル内に入り込むように撥インク性皮膜で覆われたノズルプレートに対して、裏面側から照射してノズルを通過した光学エネルギーを反射鏡で前記ノズルの内面に反射してノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を調整するようにしたことを特徴としている。
この第３の発明では、光源から出射されノズル内を通過した光学エネルギーを反射鏡で反射してノズル内の撥インク性皮膜に照射するので、撥インク性皮膜に対する照射位置を正確に調整して撥インク性発揮位置を正確に設定することができる。
【０００９】
第４の発明は、ノズルを貫通形成し且つ表面が前記ノズル内に入り込むように撥インク性皮膜で覆われたノズルプレートに対して、裏面側に光学エネルギーを照射する光源を配置し、表面側のノズルに対向する位置に前記光学エネルギーを前記ノズルの内面に反射する反射する反射鏡を配置し、該反射鏡による反射角を調整することにより、ノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を調整するようにしたことを特徴としている。
【００１０】
この第４の発明では、ノズルプレートの裏面側に配置した光源から出射された光学エネルギーはノズル内を通過させて表面側に配置された反射鏡で反射させてノズル内の撥インク性皮膜に照射するので、撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置の表面からの高さを正確に調整することができる。
第５の発明は、第３又は第４の発明において、前記ノズルプレートの少なくともノズルの撥インク性皮膜及び反射鏡をインクの溶媒に浸漬した状態で、前記反射鏡による撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を調整することを特徴としている。
【００１１】
この第５の発明では、少なくともノズルの撥インク性皮膜をインクの溶媒に浸漬した状態で、反射鏡による撥インク性皮膜の撥インク性発揮位置を調整するので、撥インク性発揮位置の調整を正確に行うことができる。
第６の発明は、第３乃至第５発明の何れか１つの発明において、前記撥インク性皮膜は、フッ素系高分子材料で構成され、前記光源から照射される光学エネルギーを当該フッ素系高分子材料のＣ−Ｆ結合を解離させるエネルギーに設定されていることを特徴としている。
【００１２】
この第６の発明では、撥インク性皮膜がフッ素系高分子材料で構成されており、その撥インク性がＣ−Ｆ結合によって発揮されるので、このＣ−Ｆ結合の結合エネルギーより大きな光学エネルギーをノズル内に入り込んだ撥インク性皮膜に照射することにより、Ｃ−Ｆ結合を解離させて、撥インク性を解消して親水性と等価な親インク性とすることにより撥インク性発揮位置を正確に調整することができる。
【００１３】
第７の発明は、第３乃至第６の何れか１つの発明において、前記反射鏡は、反射面が凹面に形成され、反射面の中心を光源からの照射光の光軸に一致させて配置されていることを特徴としている。
この第７の発明では、凹面上の反射面で反射されたて撥インク性皮膜に照射された光学エネルギーが撥インク性皮膜で反射されたときに、全て発インク性皮膜の発インク性発揮位置より上方に向かうことにより、撥インク性発揮位置をより正確に調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明を適用し得るインクジェットプリンタのインクジェット記録ヘッドを示す断面図であって、図中、１はインクジェット記録ヘッドであって、キャビティプレート２の上下面を振動板３及びノズルプレート４で閉塞した構成を有する。
キャビティプレート２には、インクタンク５に連通されたインクチューブ６を介してインクが供給されるリザーバ７と、このリザーバ７に狭い通路８を介して連通されてインクが充填されるキャビティ（圧力室）９とが形成されている。
【００１５】
振動板３にはその上面に振動板３を上下に変位させる圧電式アクチュエータ１０が中間層１１を介して配設されている。
ノズルプレート４は、親水性と等価な親インク性を有する材料で形成され、キャビティ９に連通してインク滴を吐出するノズル１２が形成されており、このノズル１２はインク滴を吐出する下面側が円筒面１３に形成され、この円筒面の上端から上面側までの間が円錐面１４に形成されている。
【００１６】
圧電式アクチュエータ１０は、対向して配置される櫛歯状の電極１５、１６と、その電極１５、１６の各櫛歯と交互に配置される圧電素子１７とからなる。
このような構成からなる圧電式アクチュエータ１０では、第１電極１５と第２電極１６との間に印加される駆動回路１８からの駆動信号により、図１に示すように上下方向に伸び縮みするモードを利用している。この圧電式アクチュエータ１０は、圧電素子１７が積層されているために、大きな駆動力が得られるのが特徴である。
【００１７】
したがって、圧電式アクチュエータ１０では、図１に示すような駆動信号が印加されると、振動板３に変位が生じてキャビティ内９内の圧力が変化して、ノズル１２からインク滴が下方に吐出される。
なお、図１に示すノズルプレート４に形成されるインクジェットヘッド１毎のノズル１２は、例えば図２に示すように配列されている。この図２の例では、４色のインク（イエローＹ，マゼンタＭ，シアンＣ，ブラックＫ）に対応した４列のノズル列１９Ｙ、１９Ｍ、１９Ｃ及び１９Ｋが配列され、各ノズル列１９Ｙ〜１９Ｋの夫々はノズル１２が千鳥状配列パターンで形成されている。
【００１８】
そして、前述したノズルプレート４は、図３（ａ）に拡大図示するように、その下面を覆うように撥インク性皮膜２１が形成され、この撥インク性皮膜２１がノズル１２の円筒面１３内に入り込まされ、この円筒面１３内に入り込んだ撥インク性皮膜２１の撥インク性発揮位置が後述するように光学エネルギーを照射することにより、適正位置に調整されている。
【００１９】
この撥インク性皮膜２１は、ニッケルイオンとポリテトラフルオロエチレン等の撥水性高分子樹脂の粒子とを分散させた電解液中にノズルプレート４の下面側を浸漬し、電界液を攪拌しながらノズルプレート１２の表面に形成する共析メッキ層で構成されている。ここで、共析メッキ処理に使用されるフッ素系高分子材料としては、ポリテトラフルオロエチレンの他、ポリパーフルオロアルコキシブタジエン、ポリフルオロビニリデン、ポリフルオロビニル、ポリジパーフルオロアルキルフマレート等の受信を単独で又は混合したものを適用することができる。
【００２０】
そして、ノズルプレート４のノズル１２内に入り込んだ撥インク性皮膜２１の入り込み量ｄが正常であり、且つ円周方向でバラツキがない場合には、前述したように圧電式アクチュエータ１０の電極１５及び１６間に駆動回路１８から図１にシンボル内に示す波形の駆動信号を供給して、振動板３を変位させることにより、キャビティ９内のインクをノズル１２に押し出して、このノズル１２からインク滴を吐出させたときに、図３（ａ）に示すように、ノズルから吐出されたインク柱２２の吐出方向が真下に真っ直ぐに飛行することになる。
【００２１】
しかしながら、撥インク皮膜２１が円周方向で、図３（ｂ）に示すように、左右の円筒面１３で右側円筒面の入り込み量が左側円筒面の入り込み量に対して高さＤ１だけ少ない状態となっている場合には、インク滴を形成する際に先ずインク柱２２が形成される。このインク柱２２は、撥インク性皮膜２１の入り込み量の差Ｄ１の分だけインク柱が押し出されるときの流体抵抗が異なるため、流体抵抗の小さい側に対して流体抵抗の大きい側が遅れてしまうので、撥インク性皮膜２１の入り込み量が少ない右側円筒面では親インク性のノズルプレート４が長く、この分の流体抵抗が小さく、逆に入り込み量が多い左側円筒面では親インク性のノズルプレート４の長さが短くなるので、右側円筒面に対して流体抵抗が増加することから、中心軸に対して左側に角度θだけ傾斜する飛行曲がりが発生する。
【００２２】
また、撥インク性皮膜２１のノズル１２への入り込み量が多すぎる場合には、図４に示すように、インク柱２２が出ようとするのに対して撥インク性皮膜２１による流体抵抗が大きくなり、正常の場合と同じようにインク滴を吐出させようとすれば大きなエネルギーが必要になり、同じエネルギーでインク滴を吐出させようとすればインク滴の初速度は小さくなる。
【００２３】
ここで、撥インク性皮膜２１を構成するフッ素系高分子材料の表面の撥インク性は、撥水性とほぼ等価である。したがって、撥インク性を低下させ、より親水性に近づけるためには、フッ素系高分子のＣ−Ｆの結合（結合エネルギー１２８ｋｃａｌ／ｍｏｌ）を解離させることが必要である。
このフッ素系高分子のＣ−Ｆ結合を解離するためには、その結合エネルギーより大きな光学エネルギーを照射すればよく、この場合の照射する光の波長と結合エネルギーの関係は、図５に示すように、光の波長が短くなるほど結合エネルギーが増加することから、Ｃ−Ｆ結合の結合エネルギー１２８ｋｃａｌ／ｍｏｌより大きな光学エネルギーを出すには光の波長が約２２３ｎｍより小さい波長の光を照射すればよいことになる。この条件を満たす光源としては、ＡｒＦレーザー（波長１９３ｎｍ、光学エネルギー１４７ｋｃａｌ／ｍｏｌ）やＸｅエキシマランプ（波長１７２ｎｍ、光学エネルギー１６２ｋｃａｌ／ｍｏｌ）などが好適である。
【００２４】
また、フッ素系高分子による撥インク性皮膜２１の表面にＡｒＦレーザー光を照射したときのインクと接触角との関係は、図６に示すように、レーザー光照射量（Ｊ／ｍ2）が少ないときには接触角が９０度に近づいて撥インク性を表すが、この状態からレーザー光照射量を増加させると接触角が急激に低下して親インク性を呈してインクが濡れ易くなる。
【００２５】
このように、撥インク性皮膜２１にＡｒＦレーザーやＸｅエキシマランプの光をノズル１２内に入り込んだ撥インク性皮膜２１に照射することにより、撥インク性発揮位置を調整することが可能となる。
このため撥インク性皮膜２１の撥インク性発揮位置を調整するには、図７に示すように、先ず、前述したＡｒＦレーザー又はＸｅエキシマランプで構成され、撥インク性皮膜２１のインクに対する接触角が小さくなるレーザー光照射量に設定された光源３１をその出射光３２が垂直に下方に出射されるように配置する。次いで、この光源３１に下方から対向するようにノズルプレート４をそのノズル１２の円錐面１４が光源３１と対向し、且つノズル１２の中心軸が光源３１から出射される出射光３２の中心光軸３３と一致するように位置決めして配置し、さらにノズルプレート４の下側に逆円錐状凹面の反射面３４を有する反射鏡３５をその反射面の中心が中心光軸３３と一致するように位置決め配置する。
【００２６】
ここで、反射鏡３５の反射面３４の水平面に対する傾斜角φは、光源３１から出射される出射光３２を反射し、その反射光がノズル１２内に入り込んだ撥インク性皮膜２１の適正入り込み量Ｄが撥インク性発揮位置となるように適正入り込み量Ｄより上方側に照射されるように光学設計されている。
また、反射鏡３５としては、光源３１からの出射光３２の波長１００〜２００ｎｍの範囲で反射率が比較的高いアルミニウムや、その表面にスパッタなどで成膜したアルミナ（ＡＬ2Ｏ3）、酸化シリコン（ＳｉＯ2）の高密度の薄膜で覆ってさらに反射率を高めることが好ましい。
【００２７】
そして、ノズルプレート４及び反射鏡３５をインクの溶媒例えば水３６に浸漬させた状態で、光源３１から撥インク性皮膜２１のＣ−Ｆの結合の係合エネルギーより大きい光学エネルギーで且つ接触角を小さくする照射量の出射光３２を出射することにより、この出射光３２がノズル１２内を通って反射鏡３５の反射面３４に照射され、この反射面３４で反射した反射光がノズル１２内に入り込んだ撥インク性皮膜２１にその適正入り込み量Ｄより上方側に照射される。
【００２８】
このため、反射鏡３５の反射光に照射された撥インク性皮膜２１は、そのＣ−Ｆ結合が解離されて撥インク性から親水性と等価か親インク性に反転することになり、適正入り込み量Ｄの位置から下側で撥インク性を維持することになり、適正入り込み量Ｄの位置が親インク性から撥インク性を発揮する撥インク性発揮位置となり、撥インク性発揮位置を正確に調整することができる。
【００２９】
この結果、図６に示すように、ノズル１２に入り込んだ撥インク性皮膜２１の入り込み量がノズル１２の円筒面１３の左右位置で異なり、左側位置で右側位置より入り込み量が多い場合であっても、適正入り込み量Ｄより上方側の反射光が照射された領域では、撥インク性から親インク性に変化されているので、流体抵抗はノズル１２の左右位置で略等しくなり、前述した図３（ａ）に示すように、飛行曲がりを生じることなく真下に且つミスファイアを生じることなく正常な状態で吐出させることができる。
【００３０】
同様に、図８に示すように、ノズル１２の円筒面１３への入り込み量が適正入り込み量Ｄより多い場合にも、適正入り込み量Ｄより上方の撥インク性皮膜２１に光源３１から出射された撥インク性皮膜２１Ｃ−Ｆ結合の結合エネルギーより大きい光学エネルギーの出射光３２を反射鏡３５の反射面３４で反射して照射するので、この反射光が照射された撥インク性皮膜２１を撥インク性から親インク性に変換して撥インク性発揮位置を適正入り込み量Ｄの位置に正確に調整することができる。
【００３１】
このように、上記実施形態によると、ノズル１２内に入り込んだフッ素系高分子材料を含んで構成された撥インク性皮膜２１に光源３１から出射された撥インク性皮膜２１のＣ−Ｆ結合の結合エネルギーより大きい光学エネルギーの出射光３２を反射鏡３５の反射面３４で反射して照射することにより、適正入り込み量Ｄより上方側の撥インク性皮膜２１を撥インク性から親インク性に変換して撥インク性皮膜２１の撥インク性発揮位置を適正入り込み量Ｄの位置に正確に調整することができる。
【００３２】
この場合、反射鏡３５の反射面を凹面に形成することにより反射光をノズル１２内の上方のみに反射させることができ、撥インク性発揮位置を正確に調整することができると共に、光源３１から出射される出射光３２の光の強度分布はガウス分布に近い分布をしていることが多いが、出射光３２の光強度分布にかかわらず、ノズル１２の内面のハイインク皮膜２１の撥インク性発揮位置を正確に管理することができる。
【００３３】
なお、上記実施形態では、反射鏡３５の反射面３４を逆円錐面とする場合について説明したが、これに限定されるものではなく、湾曲凹面とすることもでき、要は光源３１から出射される出射光３２を適正引き込み量Ｄの位置より上方に反射できるものであればよい。
また、インクジェット記録ヘッド１としては、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、図９に示すように、２列にノズルを配列した２列のノズル配列４０ａ及び４０ｂを設け、各ノズル配列４０ａ及び４０ｂの２列のノズル即ち４列のノズルを夫々４色のインクイエローＹ、マゼンタＭ、シアンＣ及びブラックＫに対応させるようにしてもよい。
【００３４】
この場合のインクジェット記録ヘッド１の内部構造としては、図１０に示すように、ノズルプレート４の上方にインク供給部４１から供給されるインクをリザーバ４２を介してキャビティ４３に供給し、キャビティ４３の上面に形成された振動板４４の上面に、圧電材料４６を上下電極４５，４７で挟んだ簡単な構造のユニモルフアクチュエータ４８を配置した構成を採用するようにしてもよい。この図１０の例では、ノズル１２が前述した実施形態における円錐面１４を省略して円筒面のみで構成されている。このように、ノズル１２を、円筒面のみの構造としても円筒面１３及び円錐面１４を有する場合と同様に撥インク被膜の撥インク性発揮位置と均一性を調整することができる。そして、ユニモルフアクチュエータ４８を駆動回路４９から出力される駆動信号で駆動することにより、振動板４４を変位させてキャビティ４３内に充填されたインクをノズル１２からインク滴として吐出される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明を適用したインクジェットプリンタの記録ヘッドを示す断面図である。
【図２】図１に示す記録ヘッドのノズルプレートの構成を示す平面図である。
【図３】ノズルプレートの拡大断面図であって、（ａ）はインク滴が正常飛行状態である場合を、（ｂ）はインク滴が飛行曲がりを生じている場合を示している。
【図４】撥インク性皮膜のノズルへの入り込み量が大きい状態を示す図である。
【図５】光の波長と結合エネルギーとの関係を示す特性線図である。
【図６】レーザー光照射量と接触角との関係を示す特性線図である。
【図７】撥インク性皮膜の入り込み量にバラツキがある場合のノズルプレートの製造方法の説明に供する製造装置の概略構成図である。
【図８】撥インク性皮膜の入り込み量が多すぎる場合の図６と同様の製造装置の概略構成図である。
【図９】記録ヘッドのノズルプレートの他の構成を示す平面図である。
【図１０】図９の記録ヘッドの断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１…インクジェット記録ヘッド、２…キャビティプレート、３…振動板、４…ノズルプレート、１０…圧電式アクチュエータ、１２…ノズル、２１…撥インク性皮膜、２２…インク柱、３１…光源、３２…出射光、３４…反射面、３５…反射鏡、４４…振動板、４８…ユニモルフアクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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