(57)【要約】【課題】  センサ出力における温度によるオフセット量の変動を、温度センサを用いずに補正できて計算角度精度が劣化せず、高精度の回転検出が可能な回転検出装置を提供する。【解決手段】  この回転検出装置１は、複数の磁気センサ３ａの磁気分布より回転角度を検出するものであって、基準補正量記憶手段１０と、補正手段１１とを備える。基準補正量記憶手段１０は、所定の温度および磁界における各磁気センサ３ａの出力を基準補正量（Ｂ（ｉ））として記憶する手段である。補正手段１１は、前記基準補正量記憶手段１０に記憶された基準補正量（Ｂ（ｉ））を用いて、各磁気センサ３ａのセンサ出力を補正する手段である。この補正手段１１は、複数の磁気センサ３ａの出力パターンに応じて前記基準補正量（Ｂ（ｉ））を変化させるものとしている。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁気センサの磁気分布より回転角度を検出する回転検出装置であって、所定の温度および磁界における各磁気センサの出力を基準補正量として記憶する基準補正量記憶手段と、この基準補正量記憶手段に記憶された基準補正量を用いて、各磁気センサのセンサ出力を補正する補正手段とを備え、この補正手段は、複数の磁気センサの出力パターンに応じて前記基準補正量を変化させるものとした回転検出装置。
【請求項２】
請求項１において、前記補正手段は、基準補正量記憶手段に記憶された基準補正量に所定の値を乗算することで基準補正量を変化させるものである回転検出装置。
【請求項３】
請求項２において、前記補正手段は、乗算する所定の値を、この値で乗算したセンサ出力について、隣接する磁気センサの出力との差を取り、その差の絶対値の総和が最小となるときの値として決定する回転検出装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の回転検出装置を備えた回転検出装置付き軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種の機器における回転検出、例えば小型モータの回転制御のための回転検出や、事務機器の位置検出のための回転検出、ロボットの関節角度の検出等に用いられる回転検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロボットの関節等の回転あるいは回転角度を検出する場合には、関節等に回転検出装置を直接設置したり、関節部の軸を支持する軸受と一体に回転検出装置を設置するなどの構成が採用される。このような回転検出装置は、その用途が例えばロボットの指等の関節の回転角度検出である場合には小型であることが望まれる。そこで、そのような要望に応える小型の回転検出装置として、例えば回転側部材に永久磁石等からなる磁気発生手段を配置すると共に、固定側部材に前記磁気発生手段の磁気を検出する半導体素子からなる磁気ラインセンサを配置したものが提案されている（例えば特許文献１）。磁気ラインセンサは、例えば矩形の各辺に沿うように配置し、これら磁気ラインセンサの出力から磁気発生手段の回転角度を算出する。この場合、回転角度の算出は、磁気発生手段による磁界が零付近のセンサを抽出して、その抽出されたセンサ座標に基づいて行っている。
【特許文献１】特開２００４−３７１３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記構成の回転検出装置では、半導体素子からなる磁気ラインセンサの出力は磁界が０であっても完全に０にはならず、僅かではあるが各センサ固有のオフセット量を持っている。そこで、この回転検出装置における角度算出では、その検出性能を高精度にする場合、０磁界中でのセンサ出力のオフセット量を不揮発メモリ等に記憶しておき、各センサの出力から予め記憶されている各センサ固有のオフセット量を減算することでセンサデータを補正し、この補正されたセンサデータを使用して角度計算を行っている。
ところで、上記磁気ラインセンサの各センサは半導体素子であることから、温度の影響を顕著に受け、その影響がオフセット量の変化となって現れる。そのため、オフセット量を記憶したときの温度と、回転検出装置を使用するときの温度とが大幅に異なると、各センサのオフセット量を正確に補正できなくなり、角度検出精度が劣化するという問題が有った。
【０００４】
このことを、図１０〜図１４を参照して説明する。図１０は、所定温度Ｔ１における上記磁気ラインセンサの各センサの出力データＱ１（ｉ）をグラフ化したものであり、横軸は各センサの並び番号ｉを示す。図１１は、同じ温度Ｔ１でかつ磁界０において測定しておいた各センサの出力データＢ１（ｉ）つまりオフセット量をグラフ化したものであり、横軸が各センサの並び番号ｉを示すことは図１０の場合と同じである。図１０の出力データから図１１のオフセット量を減算すると、減算後（補正後）のセンサデータＳ１（ｉ）  Ｓ１（ｉ）＝Ｑ１（ｉ）−Ｂ１（ｉ）
は、図１２のように滑らかな波形となる。
【０００５】
いま、温度が図１１のオフセット量を測定した温度Ｔ１から温度Ｔ２に変化すると、温度の変化に合わせてオフセット量も図１１のＢ１（ｉ）から図１４のＢ２（ｉ）のように変化する。このため、このときのセンサデータもオフセット量の変化に伴い、図１３のようにＱ１（ｉ）からＱ２（ｉ）へ変化する。このとき、上記した補正方法を使用すると、補正後のセンサデータＳ２（ｉ）、
Ｓ２（ｉ）＝Ｑ２（ｉ）−Ｂ１（ｉ）
は、図１５のようになり、滑らかな波形とはならない。その結果、角度検出精度が劣化する。
【０００６】
この発明の目的は、センサ出力における温度によるオフセット量の変動を、温度センサを用いずに補正できて、計算角度精度が劣化せず、高精度の回転検出が可能な回転検出装置を提供することである。
この発明の他の目的は、温度変化に左右されることなく高精度な回転角度出力を得ることのできる回転検出装置付き軸受を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の回転検出装置は、複数の磁気センサ（３ａ）の磁気分布より回転角度を検出する回転検出装置であって、所定の温度および磁界における各磁気センサ（３ａ）の出力を基準補正量（Ｂ（ｉ））として記憶する基準補正量記憶手段（１０）と、この基準補正量記憶手段（１０）に記憶された基準補正量（Ｂ（ｉ））を用いて、各磁気センサ（３ａ）のセンサ出力を補正する補正手段（１１）とを備え、この補正手段（１１）は、複数の磁気センサ（３ａ）の出力パターンに応じて前記基準補正量（Ｂ（ｉ））を変化させるものとしている。
この構成によると、各磁気センサ（３ａ）の出力が、基準補正量記憶手段（１０）に記憶された基準補正量（Ｂ（ｉ））を用いて補正手段（１１）により補正され、補正に用いるとき基準補正量（Ｂ（ｉ））は複数の磁気センサ（３ａ）の出力パターンに応じて変化させられる。そのため、センサ出力における温度によるオフセット量の変動を、温度センサを用いずに補正できて、角度精度が劣化せず、高精度の回転検出が可能となる。
【０００８】
この発明において、前記補正手段（１１）は、基準補正量記憶手段（１０）に記憶された基準補正量（Ｂ（ｉ））に所定の値（α）を乗算することで基準補正量（Ｂ（ｉ））を変化させるものであっても良い。
温度の変化とオフセット量の変化には、所定の相関があるため、所定の温度で測定したオフセット量に対して、ある倍率αを乗算したオフセット量を使用してセンサ出力を補正することにより、オフセット量の変動をより適切に補正したセンサ出力が得られる。
【０００９】
この場合に前記補正手段（１１）は、乗算する所定の値（α）、つまり倍率（α）を、この倍率（α）で乗算したセンサ出力について、隣接する磁気センサ（３ａ）の出力との差を取り、その差の絶対値の総和が最小となるときの値として決定するようにしても良い。倍率（α）を変化させ、補正後のセンサ出力が最も滑らかになるときの倍率（α）を求め、そのときの補正後センサ出力によって角度を計算すれば、温度の変動による角度検出精度の劣化を防止することができる。補正後センサ出力が最も滑らかになるときの倍率（α）の計算は、補正されたセンサ出力を使用して隣接する磁気センサ（３ａ）の出力との差をとり、その絶対値の総和が最も小さくなるときの倍率（α）で求めることができる。これにより、センサ出力からオフセット量を除去するのに最適な補正量を得ることができ、より高精度の回転検出が可能となる。
【００１０】
この発明の回転検出装置付き軸受は、軸受（２０）に、この発明の回転検出装置（１）を備えたものである。軸受（２０）にこの発明における上記構成の回転検出装置（１）を設けたため、軸受使用機器における回転部の高精度な回転角度検出が可能となる。
【発明の効果】
【００１１】
この発明の回転検出装置は、複数の磁気センサの磁気分布より回転角度を検出する回転検出装置であって、所定の温度および磁界における各磁気センサの出力を基準補正量として記憶する基準補正量記憶手段と、この基準補正量記憶手段に記憶された基準補正量を用いて、各磁気センサのセンサ出力を補正する補正手段とを備え、この補正手段は、複数の磁気センサの出力パターンに応じて前記基準補正量を変化させるものとしたため、センサ出力における温度によるオフセット量の変動を、温度センサを用いずに補正できて、計算角度精度が劣化せず、高精度の回転検出が可能となる。
この発明の回転検出装置付き軸受は、この発明の回転検出装置を備えるため、温度変化に左右されることなく、軸受使用機器における回転部の高精度な回転角度検出が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
この発明の一実施形態を図１ないし図９と共に説明する。図１は、この実施形態の回転検出装置を組み込んだ転がり軸受の断面図を示す。この転がり軸受２０は、内輪２１と外輪２２の転走面間に、保持器２３に保持された転動体２４を介在させたものである。転動体２４はボールからなり、この転がり軸受２０は深溝玉軸受とされている。
回転軸７が嵌合する内輪２１は、転動体２４を介して外輪２２に支持されている。外輪２２は、軸受使用機器のハウジング（図示せず）に設置されている。
【００１３】
回転検出装置１は、回転側部材である内輪２１側に設けられた磁気発生手段２、および非回転側部材である外輪２２側に設けられたセンサチップ６を備える。内輪２１には、磁気発生手段取付部材２６が取付けられ、この磁気発生手段取付部材２６に磁気発生手段２が取付けられている。
磁気発生手段２は、発生する磁気が内輪２１の回転中心Ｏの回りの円周方向異方性を有するものであり、永久磁石の単体、あるいは永久磁石と磁性材の複合体からなる。ここでは、磁気発生手段２は、１つの永久磁石４を２つの磁性体ヨーク５，５で挟んで一体化したものとされて、概形が二叉のフォーク状とされ、一方の磁性体ヨーク５の一端がＮ磁極、他方の磁性体ヨーク５の一端がＳ磁極となる。これらＮ磁極およびＳ磁極が、内輪２１の回転によって上記回転中心Ｏの回りを旋回移動する。
磁気発生手段取付部材２６は、内輪２１の一端の内径孔を覆うように設けられ、外周縁に設けられた円筒部２６ａを、内輪２１の肩部外周面に嵌合させることにより、内輪２１に取付けられている。また、円筒部２６ａの近傍の側板部が内輪２１の幅面に係合して軸方向の位置決めがなされている。
【００１４】
外輪２２にはセンサ取付部材２７が取付けられ、このセンサ取付部材２７にセンサチップ６が取付けられている。センサチップ６には、図２のように、磁気ラインセンサ３と、この磁気ラインセンサ３の出力から磁気発生手段２の回転角度を算出する角度計算手段となる回路８とが集積されている。図１のセンサ取付部材２７には、角度計算回路８を接続するケーブル２８が取付けられている。センサ取付部材２７は、外周部の先端円筒部２７ａを外輪２２の内径面に嵌合させ、この先端円筒部２７ａの近傍に形成した鍔部２７ｂを外輪２２の幅面に係合させて軸方向の位置決めがなされている。
【００１５】
図２において、磁気ラインセンサ３は、仮想の矩形の４辺における各辺に沿って配置され、各辺のセンサ列３Ａ〜３Ｄにおける磁気センサ３ａの個数は少なくとも１個以上とされている。この場合、前記矩形の中心は、内輪２１の回転中心Ｏに一致する。
【００１６】
図３は、磁気ラインセンサ３の出力を処理する信号処理部９の概略構成をブロック図で示したものである。この信号処理部９は、前記角度計算手段８のほかに、基準補正量記憶手段１０および補正手段１１を備える。基準補正量記憶手段１０は、所定の温度および磁界における磁気ラインセンサ３での各磁気センサ３ａの出力を基準補正量（Ｂ（ｉ））として記憶した手段である。補正手段１１は、前記基準補正量記憶手段１０に記憶された基準補正量（Ｂ（ｉ））を用いて、磁気ラインセンサ３での各磁気センサ３ａの出力を補正する手段である。ここでは、基準補正量記憶手段１０および補正手段１１の役割を、角度計算手段８とともにセンサチップ内に設けている。
【００１７】
この実施形態における補正手段１１による補正の概要を説明する。この実施形態では、補正に使用するオフセット量を、基準補正量記憶手段１０に基準補正量（Ｂ（ｉ））として記憶しておいて、温度変化に合わせて増減させることにし、この増減量は、従来のように温度センサ等で計測された温度を使用して補正するのではなく、各温度センサ３ａの出力パターンによって決定することにした。
【００１８】
図１の回転検出装置１において、磁気発生手段２とセッサチップ６とがある角度を持って対向しているときに、磁気ラインセンサ３の各磁気センサ３ａの出力データＱ１（ｉ）をグラフ化したものを図１０に示す。横軸は各センサの並び番号ｉを示す。図１１は、同じ温度Ｔ１でかつ磁界０において測定しておいた各磁気センサ３ａの出力データＢ１（ｉ）であり、オフセット量を示す。横軸が各センサの並び番号ｉを示すことは図１０の場合と同じである。図１０の出力データから図１１のオフセット量を減算すると、減算後（補正後）のセンサデータＳ１（ｉ）、
Ｓ１（ｉ）＝Ｑ１（ｉ）−Ｂ１（ｉ）、
は、図１２のように滑らかな波形となる。
【００１９】
いま、温度が図１１のオフセット量を測定した温度Ｔ１から温度Ｔ２に変化すると、温度の変化に合わせてオフセット量も、図１１のＢ１（ｉ）から図１４のＢ２（ｉ）のように変化する。このため、このときのセンサデータもオフセット量の変化に伴い、図１３のようにＱ１（ｉ）からＱ２（ｉ）へ変化する。このとき、従来の補正方法を使用すると、補正後のセンサデータＳ２（ｉ）、
Ｓ２（ｉ）＝Ｑ２（ｉ）−Ｂ１（ｉ）、
は、図１５のようになり、滑らかな波形とはならない。その結果、角度検出精度が劣化する。
【００２０】
温度の変化とオフセット量の変化には、所定の相関があるため、所定の温度Ｔ１で測定したオフセット量Ｂ１（ｉ）に対して、ある倍率αを乗算したオフセット量Ｂ１’（ｉ）を使用してセンサデータ補正し、その結果をＳ２’（ｉ）、
Ｓ２’（ｉ）＝Ｑ２（ｉ）−Ｂ１’（ｉ）
＝Ｑ２（ｉ）−α×Ｂ１（ｉ）、
とすれば、Ｓ２’（ｉ）はＳ２（ｉ）の波形よりも滑らかになる（図７参照）。
【００２１】
したがって、倍率αを変化させ、Ｓ２’（ｉ）の波形が最も滑らかになるときのαを求め、そのときのＳ２’（ｉ）によって角度計算をすれば、温度の変動による角度検出精度の劣化を防止することができる。
Ｓ２’（ｉ）が最も滑らかになるとのαの計算は、式（１）に示すように補正されたデータを使用して隣接する磁気センサ３ａとの差を取り、その絶対値の総和Ｘが最も小さくなるときのαで求めることができる。
Ｘ＝Σ｜（S2'(i)−S2'(i −１) ｜
＝｜(Q2(i)−α×B1(i))−(Q2(i −1)−α×B1(i−１))｜        （式１）
ただし、                                                                              S2'(i)：磁気センサ３ａの補正出力
S2'(i −１) ：隣接する磁気センサ３ａの補正出力
Q2(i) ：温度Ｔ２での磁気センサ３ａの出力
Q2(i−1)：温度Ｔ２での隣接する磁気センサ３ａの出力
B1(i) ：所定温度Ｔ１での磁気センサ３ａのオフセット量
B1(i−１) ：所定温度Ｔ１での隣接する磁気センサ３ａのオフセット量
【００２２】
図４および図５は、上記信号処理部９の処理動作を示すフロー図である。磁気ラインセンサ３として並ぶ各磁気センサ３ａの配列番号をｉで表すと、信号処理部９の処理動作の概要は以下の通りである。すなわち、この処理は、温度の変化と磁気センサ３ａの出力のオフセット量の変化との間に所定の相関があることに着目して、所定の温度Ｔ１で測定したオフセット量Ｂ１（ｉ）（図１１参照）に対して、ある倍率αを乗算したオフセット量Ｂ１’（ｉ）を求め、このオフセット量Ｂ１’（ｉ）を用いて磁気センサ３ａの出力Ｑ２（ｉ）（図６参照）を補正し、その補正結果Ｓ２’（図７参照）
Ｓ２’（ｉ）＝Ｑ２（ｉ）−Ｂ１’（ｉ）
＝Ｑ２（ｉ）−α×Ｂ１（ｉ）
から、回転角度を算出するものである。
【００２３】
図４のフロー図において、CalcAngle 関数は、入力された倍率（この例ではα１）を使用して、各磁気センサ３ａの出力であるセンサデータを補正し、回転角度θを算出する関数である。図５のフロー図は、図４のフロー図におけるサブルーチンSumDiff 関数の処理動作を示す。まず、SumDiff 関数について説明する。
図５のフロー図において、入力αはオフセット量を補正する倍率であり、出力はＸである。この処理動作の前段では、オフセット量Ｂ（ｉ）に入力αを乗算した値を、磁気センサ３ａの出力Ｑ（ｉ）から減算して、補正されたセンサ出力Ｓを算出する。
後段の処理動作では、一つ前のセンサ出力をＳｄとし（すなわちＳｄ＝Ｓ（ｉ−１））、センサ番号０からＮ−１までのセンサ出力について、Ｘ＝Σ｜Ｓ−Ｓｄ｜を計算する。なお、途中で隣接する磁気センサ３ａがない場合は、Ｘへの積算は行わない。
【００２４】
図４のフロー図の処理動作では、３つの倍率（α１，α１−β，α１＋β）のそれぞれに、SumDiff 関数を使用して、隣接する磁気センサ３ａの差分の総和Ｘｚ，Ｘｍ，Ｘｐを計算し、この３つの値の中で最小値となった総和Ｘに対応する倍率を、次の角度計算に使用する。βは１以下の適宜設定される値であり、ここでは０．０５としている。また、α１の初期値は１としている。
上記した差分の総和Ｘが最小となるαを求める処理手順は、以下の通りである。
ステップ（Ｓ１）  設定する倍率α１に初期値１を代入し、βには所定の値（０．０５）を代入して次のステップ（Ｓ２）へ進む。
ステップ（Ｓ２）  倍率αにα１を代入して、角度計算結果θの計算、および差分の総和Ｘｚの計算を開始し（Ｓ３）、Ｘｚの計算完了後に、次のステップ（Ｓ４）へ進む。
ステップ（Ｓ４）  倍率αに（α１−β）を代入して、差分の総和Ｘｍの計算を開始し、Ｘｍの計算完了後に、ステップ（Ｓ５）へ進む。
ステップ（Ｓ５）  倍率αに（α１＋β）を代入して、差分の総和Ｘｐの計算を開始し、Ｘｐの計算完了後に、ステップ（Ｓ６）へ進む。
ステップ（Ｓ６〜Ｓ１０）差分の総和Ｘｚ，Ｘｍ，Ｘｐの最小値によってα１を更新する。すなわち、最小値がＸｚならα１、Ｘｍなら（α１−β）、Ｘｐなら（α１＋β）を新たなα１の値とする。ステップ（Ｓ２）で開始した角度計算が終了したら、総和計算へ進む。
【００２５】
このように、上記処理では、倍率α１の角度計算の１つに対して、差分の総和は３つの倍率での計算が必要である。角度計算は内部で積和演算等を実施するため、差分の総和の計算よりも通常は長い計算時間を必要とする。そこで、差分の総和の計算（Ｓ３〜Ｓ１０）と角度計算（Ｓ２）を並列に動作させることにより、全体の処理時間の短縮を図ることもできる。
なお、倍率α１は１回の角度計算毎にβしか変化しないが、角度計算速度は温度変化に比べて十分速いため、上記処理は温度変化に対して十分追従することができる。
【００２６】
このように、この回転検出装置１の信号処理部９では、次式
Ｘ＝Σ｜（S2'(i)−S2'(i −１) ｜
＝Σ｜(Q2(i)−α×B1(i))−(Q2(i −1)−α×B1(i−１))｜
ただし、                                                                              S2'(i)：磁気センサ３ａの補正出力
S2'(i −１) ：隣接する磁気センサ３ａの補正出力
Q2(i) ：温度Ｔ２での磁気センサ３ａの出力
Q2(i−1)：温度Ｔ２での隣接する磁気センサ３ａの出力
B1(i) ：所定温度Ｔ１での磁気センサ３ａのオフセット量
B1(i−１) ：所定温度Ｔ１での隣接する磁気センサ３ａのオフセット量
で与えられる差分の総和Ｘが最も小さくなるときのαの値を求め、その時の磁気センサ３ａの補正出力Ｓ２’（ｉ）（このとき補正出力の波形は最も滑らかになる：図７参照）によって回転角度θを算出するようにしている。
このため、この回転検出装置１では、温度によるセンサ出力のオフセット量の変動を、温度センサを使用せずに補正することができ、高精度な回転角度出力を得ることができる。また、この回転検出装置１を搭載した転がり軸受２０では、回転軸７の回転を、温度変化に左右されることなく高精度に検出することができる。
【００２７】
図８は、前記実施形態における回転検出装置１において、信号処理部９の中の補正手段１１などの構成をデジタル回路で置き換えた例を示すブロック図である。同図において、センサデータ出力回路１２では、センサＲＡＭ１３に磁気センサ３ａ（センサ番号ｉ）の出力が記憶され、オフセットＲＯＭ１４に所定の温度Ｔ１における０磁界でのセンサ出力（オフセット量）Ｂｉが記憶されている。つまり、オフセットＲＯＭ１４が前記実施形態における基準補正量記憶手段１０に相当する。クリア信号によりアドレス・カウンタをゼロにした後、カウンタアップ信号によって、アドレスｉを１つずつ増加させると、センサＲＡＭ１３およびオフセットＲＡＭ１４からは、アドレスｉに応じて、センサ番号順にセンサ出力Ｑｉとオフセット量（基準補正量）Ｂｉが出力される。乗算器１５によってオフセット量Ｂｉはα倍され、減算器１６によりセンサ出力Ｑｉからα倍されたオフセット量α×Ｂｉを減算した結果Ｓ（ｉ）が、センサデータ出力回路１２から出力される。つまり、乗算器１５および減算器１６で、前記実施形態における補正手段１１の主要部が構成される。この補正されたセンサ出力Ｓ（ｉ）を使用して、角度計算回路８は回転角度θを算出する。一方、上記補正センサ出力Ｓ（ｉ）は別の積算回路１７にも入力され、隣接する磁気センサ３ａ（センサ番号（ｉ−１））との差分を取るため、磁気センサ１個分遅延したセンサ出力との減算を行い、絶対値回路を経由して常に正の値とする。この値を積算した結果Ｘが、積算回路１７の演算結果として出力される。
【００２８】
図８のブロック図では図示されないが、同図のデジタル回路には、倍率αとしてα１，（α１−β），（α１＋β）をセンサデータ出力回路１２に供給する回路や、これら各倍率に対応する積算回路１７の演算結果Ｘのうち最小値となるものを選択し、その最小値に対応する倍率を新たな倍率α１として更新する回路等が含まれる。
【００２９】
なお、上記実施形態において、磁気ラインセンサ３のセンサ出力に基づく角度計算を、０磁界付近（ゼロクロス付近）のデータを用いて行う場合には、センサ出力は図９のように飽和していても良い。この場合には、飽和状態にある隣接する磁気センサ３ａのセンサ出力間で差分をとっても差分値は０となるので、差分の総和を計算するときには、センサ出力がゼロクロス付近となる所定個数Ｍの磁気センサ３ａの出力だけについて積算すればよく、これにより差分総和の計算を簡略化できる。
【００３０】
また、上記実施形態では、磁気ラインセンサ３が、矩形の各辺に沿って配置される４つのセンサ列３Ａ〜３Ｄ（図２）を持ち、各センサ列３Ａ〜３Ｄの端では、隣接する磁気センサ３ａが無いので、センサ列端部での差分の積算は省略される。なお、磁気ラインセンサ３のセンサ列が例えば円形である場合には、全ての磁気センサが隣接する磁気センサを持つことになるので、このような省略は考慮しなくて良い。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】この発明の一実施形態にかかる回転検出装置を備えた転がり軸受の一例を示す断面図である。
【図２】同回転検出装置の磁気ラインセンサが集積されたセンサチップの平面図である。
【図３】同回転検出装置の信号処理部の概略構成を示すブロック図である。
【図４】同信号処理部の処理動作の主要部を示すフロー図である。
【図５】同処理動作のサブルーチンを示すフロー図である。
【図６】任意温度における磁気ラインセンサの出力波形図である。
【図７】同センサ出力の補正後の波形図である。
【図８】信号処理部をデジタル回路化した場合の回路例を示すブロック図である。
【図９】一部に飽和状態の部分を含む磁気ラインセンサの出力波形図である。
【図１０】従来例における所定温度での磁気ラインセンサの出力波形図である。
【図１１】同所定温度での磁気ラインセンサのオフセット量を示す波形図である。
【図１２】同所定温度での磁気ラインセンサの出力からオフセット量を減算して得られる補正出力波形図である。
【図１３】前記所定温度から変化した温度での磁気ラインセンサの出力波形図である。
【図１４】同温度での磁気ラインセンサのオフセット量を示す波形図である。
【図１５】同温度での磁気ラインセンサの出力を従来例の補正方法で補正した出力波形図である。
【符号の説明】
【００３２】
１…回転検出装置
２…磁気発生手段
３…磁気ラインセンサ
３ａ…磁気センサ
８…角度計算手段（角度計算回路）
１０…基準補正量記憶手段
１１…補正手段
２０…転がり軸受
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2006170948.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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