(57)【要約】【課題】  長期にわたってセンシングの線形性を安定して保てる光ファイバ干渉計等を得る。【解決手段】  第１の所定距離だけ離れた２つのリール間に所定の長さの光ファイバを巻き付けたセンシングコイル２と、第１の所定距離よりも短い第２の所定距離だけ離れた２つのリール間に、センシングコイル２と同じ巻数で光ファイバを巻き付けたリファレンスコイル３とを備え、２つのリール間に巻き付けたことによってできる光ファイバの直線部分の外部被覆を除去し、センシングコイル２に巻かれた光ファイバとリファレンスコイル３に巻かれた光ファイバとの外部被覆が付された部分の長さを同じにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の所定距離だけ離れた２つのリール間に所定の長さの光ファイバを巻き付けた第１のコイルと、
前記第１の所定距離よりも短い第２の所定距離だけ離れた２つのリール間に、前記第１のコイルと同じ巻数で光ファイバを巻き付けた第２のコイルとを備え、
２つのリール間に巻き付けたことによってできる光ファイバの直線部分の外部被覆を除去し、前記第１のコイルに巻かれた光ファイバと前記第２のコイルに巻かれた光ファイバとの外部被覆が付された部分の長さを同じにすることを特徴とする光ファイバ干渉計。
【請求項２】
前記外部被覆とクラッドとの間に前記クラッドを保護するための内部コーティング層を設けた光ファイバを前記第１のコイル及び前記第２のコイルに巻き付けたことを特徴とする請求項１記載の光ファイバ干渉計。
【請求項３】
前記第２のコイルの光ファイバについて、前記第１のコイルと同じ巻数で巻き付けたことにより余った経路調整用部分の外部被覆をさらに除去することを特徴とする請求項１又は２記載の光ファイバ干渉計。
【請求項４】
請求項１、２又は３に記載の光ファイバ干渉形を備え、
前記第１のコイルと前記第２のコイルとを直列に連結配置し、前記第１のコイルと前記第２のコイルとの双方に、測定対象となる物理量に基づいた力を加える力伝達手段をさらに備えたことを特徴とする光ファイバセンサ。
【請求項５】
前記力伝達手段により加えられた力により、前記第１のコイル及び前記第２のコイルを通過して干渉した干渉光の変化に基づいて、前記第１のコイル及び前記第２のコイルのそれぞれに巻かれた光ファイバの光路差を算出し、前記光路差に基づいて測定対象となる物理量の値を決定する演算手段をさらに備えることを特徴とする請求項４記載の光ファイバセンサ。
【請求項６】
圧力を前記測定対象となる物理量とすることを特徴とする請求項４又は５記載の光ファイバセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は光ファイバセンサ等に関するものである。特に測定対象の物理量のセンシングを行うための光ファイバ干渉計の構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧力等の物理量を測定するための光ファイバセンサにおいて、そのセンシングを行う光ファイバ干渉計の方式として、測定対象の物理量を力に変換し、その力を直接光ファイバに伝達する展長方式等がある。この方式では、例えば、２つの離れたリール間を光ファイバで巻いたコイルを２組（センシングコイルとリファレンスコイル）設ける。そして、光カプラが入力されるレーザ光を分割し、センシングコイルとリファレンスコイルとを通過させる。そして、それぞれのコイル内を通過した光は、ファイバ端でミラーにより反射される。ここで、センシングコイルとリファレンスコイルとの光ファイバの長さにわずかに違いを与えておき、反射戻り光が時間差をもつようにすることで、マイケルソン型の光ファイバ干渉計を構成する。内部は光ファイバ導入口等から大気に開放されている。
【０００３】
そして、ダイヤフラム等によって、物理量の変化がセンシングコイルのみに伝達するような構造にしておき、ダイヤフラムに加わった力に応じて、センシングコイルに歪み（光路長の変化）が発生することで、リファレンスコイルとセンシングコイルとを通過する光の経路差（光路差）が変化する。したがって、各コイルを通過した光を干渉させると、その干渉光（光信号）は経路差に基づいて変化することになる。
【０００４】
そこで、干渉光を電気信号に変換し、その電気信号に基づいて演算手段が経路差を算出する。そして、その経路差に基づいて物理量を決定することで、測定を行う（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−１１１３６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
圧力センサのようなセンサにおいては、一般的に、測定対象（例えば圧力）に対して変化する何らかの物理量（例えばダイヤフラムに加わる力）を直接あるいはさらに別の物理量（例えば、光路長変化）に変換することで検出する。したがって、通常は再現性の高い（ヒステリシスの小さい）材料を使用し、測定対象と変換する物理量との間において十分線形の関係にあるとみなせる領域でセンシングさせるように使用する。
【０００６】
しかしながら、光ファイバには、信頼性確保のためにファイバクラッドの外側に樹脂系の被覆材料がコーティングされている。この被覆材料が粘弾性特性を有するため、長期にわたって光ファイバの線形性を安定させることが困難であり、経路差と物理量との間にずれが生じ、これが光ファイバセンサ全体の測定誤差につながっていた。
【０００７】
そこで、長期にわたってセンシングの線形性を安定して保てる光ファイバ干渉計、その干渉計を備えた光ファイバセンサの実現が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る光ファイバ干渉計は、第１の所定距離だけ離れた２つのリール間に所定の長さの光ファイバを巻き付けた第１のコイルと、第１の所定距離よりも短い第２の所定距離だけ離れた２つのリール間に、第１のコイルと同じ巻数で光ファイバを巻き付けた第２のコイルとを備え、２つのリール間に巻き付けたことによってできる光ファイバの直線部分の外部被覆を除去し、第１のコイルに巻かれた光ファイバと第２のコイルに巻かれた光ファイバとの外部被覆が付された部分の長さを同じにするものである。また、光ファイバセンサは、このような光ファイバ干渉計を備えて測定を行うものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、第１のコイル及び第２のコイルに巻き付けた光ファイバに第１のコイルと第２のコイルとの間で直線部分の長さに差をもたせた上で、巻数を同じにし、さらに第１のコイル及び第２のコイルのそれぞれに巻き付けた外部被覆部分の長さを同じにするようにしたので、第１のコイル及び第２のコイルにおいて、感度を左右する直線部分の長さ以外の部分の条件を同じにすることができる。そして、両方に物理量に基づく力を印加してキャンセルさせることにより、長期にわたって安定した応答をすることができ、経路差と最終的な測定値との間のずれが従来に比べてほとんど生じない光ファイバ干渉計を得ることができる。そして、その干渉計を備えた光ファイバセンサでは長期にわたって誤差が少なく、安定して物理量を測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１は本発明の第１の実施の形態に係る光ファイバ干渉計を中心とする光ファイバセンサの構成図である。図１において、光カプラ１は、光ファイバケーブル９を通過してきたレーザ光源１３からのレーザ光を分岐してセンシングコイル２及びリファレンスコイル３に通し、センシングコイル２及びリファレンスコイル３を通ってきた光を結合して光ファイバケーブル９を通過させる。
【００１１】
第１のコイルとなるセンシングコイル２は、一定距離を有する２つのリールに光ファイバを巻き付けて構成される。本実施の形態では、内部コーティング層を有する光ファイバを用いるものとし、センシングコイル２の光ファイバについては、後述するように、直線部分（以下、展長部分という）の外部被覆を除去している。第２のコイルとなるリファレンスコイル３も、２つのリール（センシングコイル２のものと同径）に光ファイバを巻き付けて構成される。ここで、２つのリール間の距離はセンシングコイル２のリール間距離よりも短くし、両コイルの巻数を同じにする。したがって、センシングコイル２とリファレンスコイル３との光ファイバの経路長（特に展長部分の長さ（以下、展長長さという））は異なる。光ファイバは、外部被覆を除去した部分の耐性を確保するため、外部被覆とクラッドの間に内部コーティング層を有するものが望ましく、本実施の形態でも内部コーティング層を有する光ファイバを用いるものとする。このような光ファイバとしては、例えば昭和電線電纜株式会社のS-Tylus （商標登録出願中の商標又は登録商標）がある。センシングコイル２及びリファレンスコイル３のそれぞれ一方のリールが固着されており、常に同距離を保っている。また、リファレンスコイル３の他方のリールは、伝達棒７と固着されており、センシングコイル２の他方のリールは外ケース８と固着されている。これにより、伝達棒７に加わる力は、センシングコイル２及びリファレンスコイル３の双方に伝達される。なお、本実施の形態では、リファレンスコイルも測定対象となる物理量（本実施の形態では圧力とする）に基づいて経路長が変化する構造を採っているので、従来の意味でのリファレンスコイルコイルとは異なり、どちらのコイルが基準でなければならないということはないが、便宜上、ここではセンシングコイル２、リファレンスコイル３と区別して呼ぶことにする。
【００１２】
ミラー４及び５は、センシングコイル２、リファレンスコイル３（経路差調整用光ファイバ１０）を通過してきた光をそれぞれ反射して、再度センシングコイル２、リファレンスコイル３（経路差調整用光ファイバ１０）を通過させる。ダイヤフラム６は、測定対象となる圧力を力に変換するための役割を果たす。伝達棒７はダイヤフラム６が変換した力をリファレンスコイル３（センシングコイル２）に伝達する。
【００１３】
外ケース８は内部に設けられた光ファイバ圧力センサ本体を保護する。また、センシングコイル２の他方のリールと固着されており、伝達棒７により伝達された力がセンシングコイル２及びリファレンスコイル３だけに加わるようにするための役割を果たす。光ファイバケーブル９は、光源（図示せず）からのレーザ光を光ファイバ圧力センサに入射し、光カプラ１で結合された光を、圧力演算を行う演算器（図示せず）に送るためのケーブルである。経路差調整用光ファイバ１０はリファレンスコイル３に巻ききれなかった光ファイバである（センシングコイル２との関係においてリファレンスコイル３は展長長さを短くし、巻数を同数にしているため）。後述するように、この経路差調整用光ファイバ１０も外部被覆を除去する。大気開放口１１は、外ケース８の内外の気圧を同じにするために設けられている。本実施の形態では、光ファイバケーブル９を外ケース８内部に引き込むための導入口も兼ねている。演算手段１２は、光ファイバケーブル９を通過した光（センシングコイル２及びリファレンスコイル３を通過した光の干渉光）に基づいて、センシングコイル２及びリファレンスコイル３の経路差を算出し、算出した経路差に対応する物理量を算出又は例えば記憶手段にテーブル形式で記憶された物理量のデータを検索し、測定値とする。
【００１４】
次に本実施の形態の光ファイバ圧力センサのセンシング動作について説明する。ダイヤフラム６に圧力Ｐが加わると、ダイヤフラム６の面積Ｓに比例した力Ｆ＝ＳＰが、伝達棒７を介して、センシングコイル２、リファレンスコイル３の両方に加わる。ここで、センシングコイル２のスチフネス（スティフネス）ｓs は、展長長さをＬfs、光ファイバのヤング率をＥf 、光ファイバの断面の半径をｒf コイルのターン数をＮとすると、次式（１）で表される。
ｓs ＝２Ｎπｒf2・Ｅf ／Ｌfs                                        …（１）
【００１５】
同様に、リファレンスコイル３のスチフネスｓr は、展長長さをＬfrとすると、次式（２）で表される。
ｓr ＝２Ｎπｒf2・Ｅf ／Ｌfr                                        …（２）
【００１６】
センシングコイル２のファイバ変位ｘs は、ｘs ＝ＳＰ／ｓs となるから、センシングコイル３に巻かれた光ファイバ全体の変位ΔＬxs（以下、センシングファイバ変位ΔＬxsという）は、ΔＬxs＝２Ｎｘs となる。同様にリファレンスコイルのファイバ変位ｘr は、ｘr ＝ＳＰ／ｓr であるから、リファレンスファイバ３に巻かれた光ファイバ全体の変位ΔＬxr（以下、リファレンスファイバ変位ΔＬxrという）は、ΔＬxr＝２Ｎｘr となる。
【００１７】
経路差変化量ΔＬは、センシングファイバ変位ΔＬxsとリファレンスファイバ変位ΔＬxrとの差となり、次式（３）で表される。このように、圧力Ｐに比例して経路差ΔＬが変化するので、本構成のセンサを圧力センサとして用いることができる。また。センシングコイル２の展長長さＬfsとリファレンスコイル３の展長長さＬfrの差を調整することにより、感度の調整を行うことができる。
ΔＬ＝ΔＬxs−ΔＬxr＝ＳＰ（Ｌfs−Ｌfr）／πｒf2・Ｅf               …（３）
【００１８】
上述した（３）式を成立させ、安定した圧力検出測定を行うためには、センシングコイル２とリファレンスコイル３の光ファイバにおける展長長さ以外の条件を同じにする必要がある。しかし、実際には、単に展長長さを異ならせるだけだとそれ以外の条件も変わってくる。
【００１９】
図２は粘弾性体におけるモデルを表す図である。光ファイバ素線を粘弾性体としてみた場合、そのモデルは図２に示すように、フォークトモデルの無限連結型となり、各時定数は対数配列となる。これは同一の力を長時間印加すると、ファイバの変位が対数時間に比例するという実測にしたがったものである。ここで、対数時間と光ファイバ変位の比例定数をクリープ傾斜ａＦとする（クリープ傾斜も力Ｆに比例する）。
【００２０】
図３は力印加時の変位と対数時間との関係を表す図である。図３では、力を印加してから１０8 秒後にほぼ最終歪みに到達する場合を示している。各単一フォークトモデルにおいて、そのコンプライアンスＣi がすべて同じであれば、１０8 秒後に最終値の９９．９％に到達するとしたときの時定数は、次式（４）で表すことができる。ここで、ｎは単一フォークトモデルの連結数である。したがって、ｎ→∞が理想型である（ここで示したモデルはほぼ完全に実測と一致する）。
【００２１】
【数１】
2006058039.tif 000003
【００２２】
まず、以上の考えに従って従来の力−歪み応答を考える。ｔ＝０で力Ｆを印加した時のステップ応答を求める。速度ｖは次式（５）で表される。また、変位ｘは（５）式を積分して次式（６）で表される。
【００２３】
【数２】
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【００２４】
図４はある条件で設計した従来のセンシングコイルのステップ応答例を表す図である。本来、変位ｘは力Ｆ（測定対象となる圧力）に関係ないのが理想的ではあるが、実際には、変位ｘは力Ｆの大きさに比例した傾きをもって対数時間上で示される。これをクリープ誤差と呼ぶことにする。
【００２５】
次に、力ＦがＦ＝Ｆamp ｃｏｓ（ωｔ）の正弦波の定常応答を考える。変位ｘは次式（７）で表される。
【００２６】
【数３】
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【００２７】
図５は力をｘ軸とし変位をｙ軸にしたときの定常応答を表す図である。外部被覆が付された光ファイバの場合、図５のようなリサージュ波形としてあらわれることになり、粘弾性特性による位相遅れが生じる分、ヒステリシス誤差が生まれることがわかる。
【００２８】
図６は、印加周期を変化させたときの力と変位との関係を表す図である。また、図６からみてもわかるように、同じように力を加えていくとしても、印加力の周期を変化させると、傾き（＝感度）が変わるという再現性の誤差も生まれる。
【００２９】
このように、特に対処を施さなければ、光ファイバは、粘弾性特性を有するため、直流センサとしてはふさわしくない特性を示す。さらに粘弾性特性は、一般に温度特性を持つことが知られており、温度が変われば、誤差の大きさや変化の速度も変わるという問題があるために補正も難しい。上記のような誤差の大きさはクリープ傾斜の大きさに影響する。本実施の形態の光ファイバ圧力センサは、粘弾性特性の影響をなくすようにし、このクリープ傾斜を除去するための構造にしている。
【００３０】
図７は本実施の形態のセンシングコイル２を表す図である。光ファイバは大きく分けると、ガラスで構成されるクラッドと、シリコーン等の樹脂等で構成される外部被覆とに分かれる。クラッドは、常温においてはほぼ完全弾性体と考えられるが、外部被覆は粘弾性特性を示すために、センシングに用いる場合は除去するのが望ましい。しかし、リール接触部分まで除去してしまうと、破断確率が跳ね上がり、センサとして成り立たない。そこで本実施の形態では、クラッドと外部被覆との間に、クラッドの保護をするために、例えばやや硬いが非常に薄い樹脂（ポリマー樹脂）でコーティングを施し、粘弾性特性の非常に低い内部コーティング層が形成された光ファイバを用いている。
【００３１】
図８は破断確率のワイブルプロットを示した図である。光ファイバの外部被覆のみを注意深く除去すると、クラッドと非常に薄いコーティング層だけが残るので粘弾性特性を格段に減少させることができる。十分なプルーフテストを通過したものだけをセンシングコイル２として用いるようにすれば、外部被覆を有する光ファイバとほぼ同等の破断確率が得られ、信頼性も確保できる。この被覆の除去方法としては、例えば、外部被覆に切れ込みを入れた上で、トルエンを含む液体中に一定時間以上浸漬し、外部被覆のみを除去する方法がある。また、例えば、ひまし油等の植物性油脂を含む液体中に、一定時間以上、光ファイバ素線を浸漬し、外部被覆とクラッドとの間を解離させた後に、外部被覆を剥離する等方法がある。以上のような方法を用いれば、クラッドを傷つけることなく、簡単に外部被覆を除去することできる。
【００３２】
ただ、リールと光ファイバとが接触する部分についてまで、外部被覆を除去してしまうと、非常に薄い内部コーティング層だけではリール表面の微小な凹凸の影響で破断の可能性を著しく高くし、信頼性が確保できない。したがって、この部分の外部被覆は残さなければならない。そこで、本実施の形態では、リファレンスコイル２とセンシングコイル３とを直列に連結し、それぞれに同じ力を加えてリファレンスコイル２とセンシングコイル３と同じ条件で歪ませ、残った外部被覆による粘弾性特性の影響をキャンセルさせる。そのため、本実施の形態の光ファイバセンサの構造は、同じ向き、力が光ファイバに加わり歪みが生じるような構造（以下、プッシュ−プッシュ（push-push ）型の構造という）となる。
【００３３】
ここで、センシングコイル２とリファレンスコイル３の外部被覆を残す部分の光ファイバの長さを同じにする必要がある。センシングコイル２の外部被覆を残す範囲をＬfs1 、Ｌfs3 、外部被覆除去範囲をＬfs2 とすると、センシングコイル２の展長長さＬfsとリファレンスコイル３の展長長さＬfrとの間には、次式（８）、（９）のような関係が成立するようにすれば、リファレンスコイル３の外部被覆を除去する必要はない。ただ、これに限定するものではなく、センシングコイル２とリファレンスコイル３の外部被覆を残す部分の光ファイバの長さを同じにできれば、リファレンスコイル３の方の外部被覆を除去してもよい。
Ｌfs＝Ｌfs1 ＋Ｌfs2 ＋Ｌfs3                                         …（８）
Ｌfr＝Ｌfs1 ＋Ｌfs3                                                 …（９）
【００３４】
ここで、上述したように、センシングコイル２とリファレンスコイル３の展長長さを変化させることにより感度を調整することができる。そこで、展長長さ（経路差）を調整できるようにするため、リファレンスコイル３部分に巻かれた光ファイバだけでなく、経路差調整用光ファイバ１０のような部分を設けて置いた方がよい。この経路差調整用光ファイバ１０は、本来、無負荷で力が印加されないため、クリープ誤差には関与しないが、外部被覆の有無で温度特性が変わってくるので、外部被覆の温度特性の影響をなくし、より誤差を少なくするためには、経路差調整用光ファイバ１０の外部被覆を除去した方がよい。
【００３５】
図９はクリープ傾斜（ファイバ変位と対数時間との関係）の実測を表した図である。図９は、従来のセンシングコイル（図９（ａ））並びに、本実施の形態のセンシングコイル２（図９（ｂ））、リファレンスコイル（図９（ｃ））、センシングコイル３（図９（ａ））及びリファレンスコイルとセンシングコイル３との（図９（ｄ））を表している。従来のセンシングコイルの傾斜に比べて、本実施の形態のセンシングコイル２、リファレンスコイル３共に非常に傾斜が小さい。また、それらの差をとってみると、図９に示すように、本実施の形態の構造では、クリープ傾斜がほとんど存在せず、クリープ誤差がほとんどない光ファイバ圧力センサが実現できることがわかる。
【００３６】
光ファイバの外部被覆を除去し、センシングコイル２とリファレンスコイル３をプッシュ−プッシュ型に連結した光ファイバ圧力センサでは、図９に示すように、コイルは従来型と同様の信頼性を有し、図１０に示すようにクリープ傾斜がほぼ０となり、完全弾性体に非常に近い直流センサを実現できる。完全弾性体では時定数は０であるため、ステップ応答ではｔ＝０の瞬間に最終値に到達し、定常応答では位相遅れが発生しないのでヒステリシスも存在しない。したがって、これに近い状態が得られることになる。
【００３７】
ダイヤフラム６に加わった力に応じて、リファレンスコイル２とセンシングコイル３とを通過する光の経路差（光路差）が変化し、その干渉光も変化する。演算手段１２では、光ファイバケーブル９を通過した光に対して、例えば、Ｏ／Ｅ（光−電気）変換器を介して干渉光を電気信号に変換し、その電気信号に基づいて、例えば位相差等を算出して経路差を算出する。算出した経路差に基づいて測定値を決定する。
【００３８】
以上のように、第１の実施の形態によれば、センシングコイル２とリファレンスコイル３との間で、展長長さに差をもたせ、センシングコイル２とリファレンスコイル３との外部被覆部分の長さを同じにしたので、展長長さ以外の光ファイバの条件（例えば外部被覆の粘弾性特性による位相遅れ等）を可能な限り同じにすることができる。そして、伝達棒７を介して、センシングコイル２及びリファレンスコイル３の双方に、物理量に基づく力を印加し、それぞれの粘弾性特性をキャンセルさせた上で、その力に基づいて経路差を変化し、干渉光を変化させるようにしたので、長期にわたって安定した応答を図ることができ、経路差と最終的な測定値との間のずれが従来に比べてほとんど生じない。また、センシングコイル２とリファレンスコイル３との展長長さに差をもたせて直列に連結配置するようにしたので、省スペース化を図ることができる。
【００３９】
実施形態２．
上述の実施の形態では、展長長さが短い方のコイルを上側にし、展長長さが長い方（外部被覆を除去した方）のコイルを下側にした構造にしたが、本発明ではこれに限定されるものではなく、展長長さが長い方（外部被覆を除去した方）のコイルを上側にし、展長長さが短い方のコイルを下側にした構造にしてもよい。
【００４０】
実施形態３．
図１０は本発明の第３の実施の形態に係る光ファイバセンサの構成図である。図１０において、伝達棒７Ａは、センシングコイル２を貫通する穴を通って、リファレンスコイル３と固着されている。図１０のように伝達棒７Ａを配置することで、光ファイバ干渉計をさらに小型化することができる。
【００４１】
また、図１や図１０のように、センシングコイル２とリファレンスコイル３とを直接に配置することができれば、省スペース化を図ることができるが、例えば、センシングコイル２及びリファレンスコイル３にそれぞれ物理量に基づく同じ力を加えることができれば、直列配置に限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】第１の実施の形態に係る干渉計を中心とする光ファイバセンサの構成図である。
【図２】粘弾性体におけるモデルを表す図である。
【図３】力印加時の変位と対数時間との関係を表す図である。
【図４】ある条件で設計した従来のセンシングコイルのステップ応答例を表す図である。
【図５】力をｘ軸とし変位をｙ軸にしたときの定常応答を表す図である。
【図６】印加周期を変化させたときの力と変位との関係を表す図である。
【図７】本実施の形態のセンシングコイル２を表す図である。
【図８】破断確率のワイブルプロットを示した図である。
【図９】クリープ傾斜の実測を表した図である。
【図１０】第３の実施の形態に係る光ファイバセンサの構成図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  光カプラ
２  センシングコイル
３  リファレンスコイル
４、５  ミラー
６  ダイヤフラム
７、７Ａ  伝達棒
８  外ケース
９  光ファイバケーブル
１０  経路差調整用光ファイバ
１１  大気開放口
１２  演算手段
１３  レーザ光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006058039.tif 000011
【図７】
2006058039.tif 000012
【図８】
2006058039.tif 000013
【図９】
2006058039.tif 000014
【図１０】
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