(57)【要約】【課題】この発明は、均一な金属被膜の成膜を実現したうえで、簡便にして容易なレンズ着脱操作を実現し得るようにすることにある。【解決手段】保持部本体１０の第１の保持盤１１の挿通穴１１１に挿入した支柱部材２２を離脱させた状態で、第１及び第２のレンズ支持部材１４，１５間へのレンズ１６の着脱を実行し、装着したレンズ１６に成膜を施す際には、上記支柱部材２２を保持部本体１０の第１の保持盤１１の挿通穴１１１に挿入して、支柱１３及び支柱部材２２をレンズ１６の周囲に等間隔に配した状態で、レンズ１６の成膜処理を行うように構成した。【選択図】      図１
2006200015.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の支柱を介して一体的に連結されて対向配置される一対の保持盤と、
前記一対の保持盤の一方に支持される第１のレンズ支持部材と、
前記一対の保持盤の他方に前記第１のレンズ支持部材に対向して軸方向に移動調整自在に支持され、前記第１のレンズ支持部材と協働して金属被膜の成膜されるレンズを挟持して該第１のレンズ支持部材と一体的に回転駆動される第２のレンズ支持部材と、
前記一対の保持盤の一方に着脱自在に設けられ、着状態で、前記レンズを挟んで前記支柱に対して等間隔に並設される少なくとも２本の支柱部材と、
を具備することを特徴とするレンズ保持装置。
【請求項２】
前記第２のレンズ支持部には、回転力が伝達される被駆動部が設けられることを特徴とする請求項１記載のレンズ保持装置。
【請求項３】
前記第２のレンズ支持部材を、前記第１のレンズ支持部材方向に付勢する付勢手段を備えることを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ保持装置。
【請求項４】
前記レンズは、複数枚が積重されて前記第１及び第２のレンズ支持部材に挟持されて保持されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載のレンズ保持装置。
【請求項５】
前記レンズは、非成膜面を覆うカバー部材を介して前記第１及び第２のレンズ支持部材に挟持されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載のレンズ保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばレンズの周壁に金属被膜を成膜する金属被膜成膜装置に係り、特にそのレンズの周壁に金属被膜を成膜可能に保持するレンズ保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、蒸着物、例えばレンズに金属被膜を成膜する薄膜蒸着装置としては、真空蒸着槽内に蒸着源を配し、この蒸着源に対応して球状ドームを、モータ歯車機構を介して回転自在に収容配置するように構成したものがある（例えば，特許文献１参照。）。この球状ドームには、ワーク保持機構が上記蒸着源に対応して回転自在に設けられる。そして、このワーク保持機構には、被蒸着物であるレンズが、その被蒸着面を上記蒸着源に向けて装着される。
【０００３】
上記構成により、真空蒸着槽内の球状ドームが、モータ歯車機構を介して回転駆動されると、それに連動してワーク保持機構が回転されて、該ワーク保持機構に装着された被蒸着物の被蒸着面が、蒸着源に対向された状態で回転され、その被蒸着物の被蒸着面に対して金属被膜である蒸着薄膜が成膜される。
【特許文献１】特開平７−１３８７５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記ワーク保持機構を備えた薄膜蒸着装置では、レンズを、真空蒸着槽内の球状ドームのワーク保持機構に装着して成膜処理を実行し、成膜処理後、真空蒸着槽内の球状ドームのワーク保持機構より離脱させて取出さなければならないために、その着脱作業が非常に面倒であるという問題を有する。
【０００５】
この発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、均一な金属被膜の成膜を実現し得、且つ、簡便にして容易なレンズ着脱操作を実現し得るようにしたレンズ保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、一対の支柱を介して一体的に連結されて対向配置される一対の保持盤と、前記一対の保持盤の一方に支持される第１のレンズ支持部材と、前記一対の保持盤の他方に前記第１のレンズ支持部材に対向して軸方向に移動調整自在に支持され、前記第１のレンズ支持部材と協働して金属被膜の成膜されるレンズを挟持して該第１のレンズ支持部材と一体的に回転駆動される第２のレンズ支持部材と、前記一対の保持盤の一方に着脱自在に設けられ、着状態で、前記レンズを挟んで前記支柱に対して等間隔に並設される少なくとも２本の支柱部材とを備えてレンズ保持装置を構成した。
【０００７】
上記構成によれば、第１及び第２のレンズ支持部材間にレンズを装着する場合には、支柱部材を一方の保持盤から離脱させた状態で、第２のレンズ支持部材を移動調整して行い、成膜時には、支柱部材を一方の保持盤に装着して一対の支柱に等間隔に配して成膜処理が行われる。
【０００８】
これにより、容易なレンズ着脱操作を実現したうえで、成膜時においてレンズへの均一な成膜処理が可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、均一な金属被膜の成膜を実現し得、且つ、簡便にして容易なレンズ着脱操作を実現し得るようにしたレンズ保持装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
図１は、この発明の一実施の形態に係るレンズ保持装置を示すもので、保持部本体１０は、対を構成する例えば円盤状の第１及び第２の保持盤１１，１２が、例えば一対の支柱を１３，１３介して所定の間隔に対向配置される。この一対の支柱１３，１３は、第１及び第２の保持盤１１，１２の周囲部に、略１８０度の角度間隔を有して並設される（図２参照）。
【００１２】
第１の保持盤１１には、その略中心部に第１のレンズ支持部材１４が第２の保持盤１２に向かって延出される。そして、第２の保持盤１２には、第２のレンズ支持部材１５が上記第１のレンズ支持部材１４に対向して接離方向に移動自在に配される。
【００１３】
この第２のレンズ支持部材１５は、上記第１の保持盤１１の第１のレンズ支持部材１４と協働して積重された複数枚のレンズ１６の両端の非成膜面を、非成膜面保護用のカバー部材１７で挟んだ状態で成膜可能に挟持する。
【００１４】
この第２のレンズ支持部材１５には、その中間部に螺子部１５１が設けられる。そして、この螺子部１５１には、ナット部材１８が螺合調整自在に螺着される。このナット部材１８には、ばね係着部１８１が設けられ、このばね係着部１８１には、ばね部材１９の一端部が係着される。
【００１５】
このばね部材１９は、その他端部が上記第２の保持盤１２に、ナット部材１８に対して第１のレンズ支持部材１４方向の付勢力を付与するように係着される。これにより、ばね部材１９は、ナット部材１８の螺子部１５１に対する螺合位置に応じて第２のレンズ支持部材１５に対して第１のレンズ支持部材１４方向の付勢力を付勢し、これら第１及び第２のレンズ支持部材１４，１５間に装着された複数枚のレンズ１６に対して所望の付勢力を付与する。
【００１６】
上記第２のレンズ支持部材１５は、その他端部が上記第２の保持盤１２より下方方向に延出されて,その中間部に被駆動部を構成する円盤状の回転力伝達部２０が設けられる。そして、この回転力伝達部２０には、被駆動部を構成する複数の係合ピン２１が放射状に突設される（図３参照）。
【００１７】
この回転力伝達部２０の係合ピン２１は、図示しない金属被膜成膜装置内に配される回転駆動装置に選択的に係合されて該回転駆動装置（図示せず）を介して回転力が伝達されて第２のレンズ支持部材１５を回転させる。すると、この第２のレンズ支持部材１５は、第１のレンズ支持部材１４との間にレンズ１６を挟持した状態で、第１及び第２の保持盤１１，１２と共に、積重された複数枚のレンズ１６の,例えば側壁の成膜面に金属被膜を均一的に成膜可能に回転駆動させる。
【００１８】
さらに、上記第１の保持盤１１には、一対の支柱１３，１３間に、例えば６０度の角度間隔を有して挿入穴１１１が計４個形成され（図２参照）、この挿入穴１１１には、成膜用支柱部材２２が着脱自在に挿入される。この支柱部材２２は、外径形状が上記支柱１３と略同形状に形成され、上記レンズ１６への金属被膜の成膜時には、上記第１の保持盤１１の挿入穴１１１に挿入されて、その中間部が上記第１及び第２のレンズ支持部材１４，１５で挟持したレンズ１６の周壁の成膜面に対向された状態で、上記支柱１３間に等間隔に配される。
【００１９】
この支柱部材２２は、上記第１及び第２のレンズ支持部材１４，１５間へのレンズ１６の着脱操作時には、第１の保持盤１１の挿入穴１１１から抜脱され、保持部本体１０から離脱される。これにより、保持部本体１０の第１及び第２のレンズ支持部材１４，１５間へのレンズ着脱操作の簡便化が図れる。
【００２０】
上記構成において、保持部本体１０には、その支柱部材２２を第１の保持盤１１の挿入穴１１から離脱させた状態で、第２のレンズ支持部材１５の螺子部１５１に螺合されるナット部材１８を緩めてばね部材１９の付勢力に抗して該第２のレンズ部材１５を押し下げて第１のレンズ部材１４から離間させる。
【００２１】
この状態で、保持部本体１０には、その第１及び第２のレンズ支持部材１４，１５間に、カバー部材１７で挟装したレンズ１６を挟んでナット部材１８を締付けて,該レンズ１６を相互間に挟持させる。その後、保持部本体１０には、その第１の保持盤１１の挿入穴１１１に支柱部材２２が挿入されて支柱１３に対して等間隔に組付けられる。そして、この保持部本体１０は、例えば上記金属被膜成膜装置（図示せず）のストッカー室に保管される。このストッカー室には、例えば扉を介して仕込み・取出し室が連通され、この仕込み・取出し室には、扉を介して成膜室が連設される。
【００２２】
上記保持本体１０に装着されたレンズ１６に金属被膜を成膜する場合には、上記ストッカー室と仕込み・取出し室との間の扉を閉じた状態で、それぞれを大気開放し、大気開放状態で、扉を開いて、上記移送機構（図示せず）を用いて保持部本体１０を、ストッカー室から仕込み・取出し室に移送させ、移送後、該仕込み・取出し室の扉を閉める。続いて、仕込み・取出し室を真空引きし、真空引き完了状態で、成膜室の扉を開けて保持部本体１０を該成膜室に移送させ、保持部本体１０に装着されたレンズ１６の周壁の成膜面に金属被膜の成膜を実行する。
【００２３】
ここで、保持部本体１０は、第２のレンズ支持部材１５の回転力伝達部２０の係合ピン２１に対して上述したように回転駆動装置（図示せず）からの回転力が付与されて回転駆動されると、レンズ１６の周囲に等間隔で並設される支柱１３及び支柱部材２２の作用により、レンズ１６の周壁の成膜面に均一な金属被膜が成膜される。
【００２４】
このように、上記レンズ保持装置は、保持部本体１０の第１の保持盤１１の挿通穴１１１に挿入した支柱部材２２を離脱させた状態で、第１及び第２のレンズ支持部材１４，１５間へのレンズ１６の着脱を実行し、装着したレンズ１６に成膜を施す際には、上記支柱部材２２を保持部本体１０の第１の保持盤１１の挿通穴１１１に挿入して、支柱１３及び支柱部材２２をレンズ１６の周囲に等間隔に配した状態で、レンズ１６の成膜処理を行うように構成した。
【００２５】
これによれば、保持部本体１０への容易なレンズ着脱操作を実現したうえで、金属被膜の成膜時において、支柱１３及び支柱部材２２の作用によりレンズ１６への均一な成膜処理を確実に行うことが可能となる。
【００２６】
なお、上記実施の形態では、積重配置した複数枚のレンズ１６を、カバー部材１７で挟装した状態で、第１及び第２のレンズ支持部材１４，１５で挟持して保持するように構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、カバー部材１７を用いることなく、１枚のレンズ１６を挟持して成膜するように構成したり、あるいはレンズ１６を挟持して成膜するように構成したりすることも可能である。
【００２７】
また、上記実施の形態では、保持部本体１０の第１の保持盤１１に対して４本の支柱部材２２を支柱１３の間に等間隔に配するように構成した場合で説明したが、この本数に限ることなく、２本以上を配することで、同様の効果が期待される。
【００２８】
さらに、上記実施の形態では、保持部本体１０を円盤状の第１及び第２の保持盤１１，１２を用いて構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、例えば多角形形状等の各種形状の保持盤を用いて構成することも可能である。
【００２９】
また、上記実施の形態では、第１のレンズ支持部材１４を第１の保持盤１１に固定配置し、第２のレンズ支持部材１５を第２の保持盤１２に移動調整自在に配するように構成した場合で説明した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、第１のレンズ支持部材１４を第１の保持盤１１に対して移動調整自在に配し、第２のレンズ支持部材１５を第２の保持盤１２に対して固定配置するように構成することも可能で,略同様の効果が期待される。
【００３０】
よって、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
【００３１】
例えば実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【００３２】
また、この発明は、上記実施の形態によれば、その他、次のような構成を得ることもできる。
【００３３】
（付記１）
支柱を介して対向配置される一対の保持盤と、
前記一対の保持盤の一方に一体的に支持された第１のレンズ支持部材と、
前記一対の保持盤の他方に移動自在に設けられ、前記第１のレンズ支持部材と協働して金属被膜の成膜されるレンズを挟持する第２のレンズ支持部材と、
前記一対の保持盤の一方に着脱自在に設けられる前記支柱と略同一外径の支持部材と、
を具備すること特徴とするレンズ保持装置。
【００３４】
（付記２）
前記第２のレンズ支持部材は、前記第１のレンズ支持部材方向に付勢されることを特徴とする付記１記載のレンズ保持装置。
【００３５】
（付記３）
前記第１及び第２のレンズ支持部材に挟持されるレンズは、複数枚であることを特徴とする付記１又は２記載のレンズ保持装置。
【００３６】
（付記４）
前記レンズは、非成膜面がカバー部材で覆われた状態で、前記第１及び第２のレンズ支持部材との間に挟持されることを特徴とする付記１乃至３のいずれか記載のレンズ保持装置。
【００３７】
（付記５）
前記第２のレンズ支持部材は、回転力が付与され、前記第１のレンズ部材との間に前記レンズを挟持した状態で、該第１のレンズ部材と一体的に回転されることを特徴とする付記１乃至４のいずれか記載のレンズ保持装置。
【００３８】
（付記６）
前記一対の保持盤は,略円盤状に形成されることを特徴とする付記１乃至５のいずれか記載のレンズ保持装置。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】この発明の一実施の形態に係るレンズ保持装置を側面から見た状態を示した平面図である。
【図２】図１の第１の保持盤の上面側の配置構成を示した平面図である。
【図３】図１の第２の保持盤の下面側の配置構成を示した平面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０…保持部本体、１１…第１の保持盤、１１１…挿通穴、１２…第２の保持盤、１３…支柱、１４…第１のレンズ支持部材、１５…第２のレンズ支持部材、１５１…螺子部、１６…レンズ、１７…カバー部材、１８…ナット部材、１８１…ばね係着部、１９…ばね部材、２０…回転力伝達部、２１…係合ピン、２２…支柱部材。
【図１】
2006200015.tif 000003
【図２】
2006200015.tif 000004
【図３】
2006200015.tif 000005