(57)【要約】【課題】この発明は、ゲートで仕切られたチャンバ間で搬送対象物を停止することなくスムーズに搬送できる搬送装置を提供することを課題とする。【解決手段】搬送装置３０は、開閉可能なゲートＧを介して隣接した２つのチャンバ３３、３４間で搬送対象物を受け渡し搬送する搬送機構４０を有する。搬送機構４０は、チャンバ３３、３４毎に設けられ、搬送対象物に固設されたラック３８に歯合するピニオン４１をそれぞれ有する。上流側のピニオン４１が回転して搬送対象物が搬送され、下流側のピニオン４１にラック３８の先端が歯合するとき、下流側のピニオン４１がレール４３に沿って傾斜した方向に退避可能となっている。【選択図】      図５
2006168957.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉可能なゲートを介して隣接した複数のチャンバ間で搬送対象物を搬送する搬送装置であって、
上記搬送対象物に固設されたラックと、
上記各チャンバに設けられ、上記ラックと歯合して回転することで上記搬送対象物を上記複数のチャンバ間で受け渡して移動させる複数のピニオンと、
上記各ピニオンを独立して回転させる回転機構と、
上記各ピニオンが上記ラックに歯合する動作位置から退避可能に上記各ピニオンをそれぞれ支持した複数の支持機構と、
上記各ピニオンを上記動作位置へそれぞれ付勢する複数の付勢機構と、
を有することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
上記各付勢機構は、対応するピニオンが上記ラックに歯合する前の待機状態において第１の付勢力で当該ピニオンを上記動作位置へ付勢し、当該ピニオンが上記ラックに歯合した後、上記第１の付勢力より強い第２の付勢力で当該ピニオンを上記動作位置へ付勢することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
上記各ピニオンに対応して上記回転機構との間に設けられ、各ピニオンの回転トルクを制御可能な複数のクラッチをさらに有し、
上記各クラッチは、対応するピニオンが上記ラックに歯合する前の待機状態において、当該ピニオンに対して自由回転可能な程度の第１の回転トルクを付与することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
上記各クラッチは、当該ピニオンが上記ラックに歯合した後、当該ピニオンに対して上記第１の回転トルクより大きい上記ラックを移動可能な第２の回転トルクを付与することを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
上記各ピニオンに対応して上記回転機構との間に設けられ、各ピニオンの回転トルクを制御可能な複数のクラッチをさらに有し、
上記ラックに歯合して回転している上流側のピニオンから上記搬送対象物の搬送方向下流側に隣接した下流側のピニオンに上記搬送対象物を受け渡して搬送する際、下流側のピニオンが上記ラックに歯合する前の待機状態において、下流側のピニオンに回転トルクを付与する下流側のクラッチが当該下流側のピニオンに対して自由回転可能な程度の第１の回転トルクを付与しておき、且つ上流側のピニオンに回転トルクを付与する上流側のクラッチが当該上流側のピニオンに対して上記第１の回転トルクより大きい第２の回転トルクを付与しており、上記ラックが下流側のピニオンに歯合した後、下流側のクラッチが下流側のピニオンに付与する回転トルクを上記第１の回転トルクから上記第２の回転トルクまで徐々に大きくするとと同時に、上流側のクラッチが上流側のピニオンに付与する回転トルクを上記第２の回転トルクから上記第１の回転トルクまで徐々に小さくすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
【請求項６】
上記各ピニオンの回転位置を検出する複数のセンサをさらに有し、
上記回転機構は、上記各ピニオンが上記ラックに歯合する前の待機状態において、対応する上記センサの検出結果に基づいて、対応するピニオンの回転停止位置を上記ラックと歯合可能な位置に設定しておくことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
上記複数の支持機構は、上記搬送対象物の搬送方向に対して傾斜した方向に対応するピニオンを退避可能に支持していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、開閉可能なゲートを介して隣接した複数のチャンバ間で搬送対象物を受け渡して搬送する搬送装置に係り、例えば、表示装置の製造装置内で基板を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、偏平な平面パネル構造の真空外囲器を有する表示装置として、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等が知られている。また、ＦＥＤの一種として、表面伝導型の電子放出素子を備えた表示装置（以下、ＳＥＤと称する）の開発が進められている。
【０００３】
ＳＥＤは、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有する。これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周縁部を互いに接合され、内部を真空にされて偏平な平面パネル構造の真空外囲器を構成している。
【０００４】
前面基板の内面には３色の蛍光体層に重ねてメタルバックを有する蛍光体スクリーンが形成され、背面基板の内面には蛍光体層を励起発光させる電子を放出する多数の電子放出素子が整列配置されている。また、背面基板の内面上には、電子放出素子を駆動するための多数本の配線がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器の外部に引き出されている。
【０００５】
前面基板と背面基板の間には板状或いは柱状の複数のスペーサが設けられている。これらスペーサは、前面基板および背面基板の内面に当接することで、大気圧荷重を支えて基板間の隙間を維持するよう機能する。
【０００６】
このＳＥＤを動作させる場合、基板間に１０［ｋＶ］程度の高電圧を与え、配線に接続した駆動回路を介して各電子放出素子に選択的に駆動電圧を印加する。これにより、各電子放出素子から選択的に電子ビームが放出され、これら電子ビームが、対応する蛍光体層に照射され、蛍光体層が励起発光されてカラー画像が表示されるようになっている。
【０００７】
また、上記ＳＥＤを製造する場合、予め、蛍光体スクリーンを形成した前面基板、および、電子放出素子および配線を形成しているとともに側壁およびスペーサを接合した背面基板を用意し、用意した２枚の基板を真空装置内に投入し、ベーク処理やゲッタ処理を経て基板の周縁部同士を封着する。
【０００８】
この際、前面基板および背面基板を真空装置内で各処理工程を受け持つチャンバ間で移動させるため、チャンバ間における基板の搬送装置が必要となる。前面基板および背面基板は、その内面に蛍光体スクリーンや電子放出素子が形成されているため、搬送装置は、基板を直接搬送するのではなく、基板の背面側を保持した保持部材をチャンバ間で移動させる。
【０００９】
ところで、真空装置の各処理チャンバ間には、各チャンバを密閉するためのゲートが設けられており、チャンバ間で保持部材を移動させるためには、各チャンバ毎に保持部材を受け渡すための搬送機構を設ける必要がある。
【００１０】
しかし、このように各チャンバに設けた複数の搬送機構を用いて保持部材をチャンバ間で受け渡す場合、保持部材をチャンバ間でスムーズに受け渡すことは難しい。特に、何らかの原因により保持部材がチャンバ間で停止してしまうと、チャンバ間のゲートの解放時間が長くなり、各チャンバの雰囲気を維持し難くなってしまう。また、例えば、保持部材が途中で停止すると、２つのチャンバの雰囲気温度の違いに起因して基板に熱応力が作用し、最悪の場合、基板が割れる問題が生じる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
この発明の目的は、ゲートで仕切られたチャンバ間で搬送対象物を停止することなくスムーズに搬送できる搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、この発明の搬送装置は、開閉可能なゲートを介して隣接した複数のチャンバ間で搬送対象物を搬送する装置であって、上記搬送対象物に固設されたラックと、上記各チャンバに設けられ、上記ラックと歯合して回転することで上記搬送対象物を上記複数のチャンバ間で受け渡して移動させる複数のピニオンと、上記各ピニオンを独立して回転させる回転機構と、上記各ピニオンが上記ラックに歯合する動作位置から退避可能に上記各ピニオンをそれぞれ支持した複数の支持機構と、上記各ピニオンを上記動作位置へそれぞれ付勢する複数の付勢機構と、を有する。
【００１３】
上記発明によると、各チャンバに設けられたピニオンを回転させることにより、各ピニオンに順次歯合するラックを移動させることができ、搬送対象物を隣接する複数のチャンバ間でスムーズに搬送できる。特に、ラックを隣接するピニオン間で受け渡す際、下流側のピニオンがラックとうまく歯合しない場合であっても、当該ピニオンが動作位置から退避することでラックとの歯合を確立でき、ラックとピニオンがロックしたり搬送対象物の搬送経路がズレたりすることを防止できる。
【発明の効果】
【００１４】
この発明の搬送装置は、上記のような構成および作用を有しているので、ゲートで仕切られたチャンバ間で搬送対象物を停止することなくスムーズに搬送できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。  
始めに、図１乃至図３を参照して、本発明の実施の形態に係る表示装置の一例として、ＳＥＤ（Surface-conduction Electron-emitter Display）について説明する。図１は、前面基板２を部分的に切り欠いた状態のＳＥＤの真空外囲器１０（以下、表示パネル１０と称する場合もある）を示す斜視図であり、図２は、図１の真空外囲器１０を線II-IIで切断した断面図であり、図３は、図２の断面を部分的に拡大した部分拡大断面図である。図１乃至図３において、表示パネル１０の内部構造は、説明を分かり易くするため、適宜、構成を拡大して或いは概略的に示してある。
【００１６】
図１乃至図３に示すように、表示パネル１０は、それぞれ矩形のガラス板からなる前面基板２および背面基板４を備え、これらの基板は約１．０〜２．０ｍｍの隙間をおいて互いに平行に対向配置されている。なお、背面基板４は、前面基板２より１回り大きいサイズを有する。また、前面基板２および背面基板４は、ガラスからなる矩形枠状の側壁６を介して周縁部同士が接合され、内部が真空の扁平な平面パネル構造の真空外囲器１０を構成している。
【００１７】
前面基板２の内面には画像表示面として機能する蛍光体スクリーン１２が形成されている。この蛍光体スクリーン１２は、赤、青、緑の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ、および遮光層１１を並べて構成され、重ねてアルミニウム等からなるメタルバック１４を有する。蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは、ストライプ状あるいはドット状に形成されている。
【００１８】
背面基板４の内面には、蛍光体スクリーン１２の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを励起発光させるための電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子１６が設けられている。これらの電子放出素子１６は、画素毎、すなわち蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子１６は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板４の内面上には、各電子放出素子１６に駆動電圧を与えるための多数本の配線１８がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器１０の外部に引き出されている。
【００１９】
接合部材として機能する側壁６は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材１９により、前面基板２の周縁部および背面基板４の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。本実施の形態では、背面基板４と側壁６をフリットガラス１９ａを用いて接合し、前面基板２と側壁６をインジウム１９ｂを用いて接合した。
【００２０】
また、表示パネル１０は、前面基板２と背面基板４の間にガラスからなる複数の細長い板状のスペーサ８を備えている。本実施の形態において、スペーサ８は、複数の細長いガラス板としたが、多数の柱状のスペーサでも良い。各スペーサ８は、上述した蛍光体スクリーン１２のメタルバック１４および遮光層１１を介して前面基板２の内面に当接する上端８ａ、および背面基板４の内面上に設けられた配線１８上に当接する下端８ｂを有する。しかして、これら複数のスペーサ８は、前面基板２および背面基板４の外側から作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。
【００２１】
さらに、ＳＥＤは、前面基板２のメタルバック１４にアノード電圧を印加する図示しない電圧供給部を備えている。電圧供給部は、例えば、メタルバック１４に１０［ｋＶ］程度の高電圧を印加することにより、蛍光体スクリーン１２の電位を高くする。これにより、接地された背面基板４と前面基板２との間に１０［ｋＶ］程度の電位差が形成される。
【００２２】
そして、上記ＳＥＤにおいて、画像を表示する場合、配線１８に接続した図示しない駆動回路を介して電子放出素子１６の素子電極間に電圧を与え、任意の電子放出素子１６の電子放出部から電子ビームを放出するとともに、メタルバック１４にアノード電圧を印加する。電子放出部から放出された電子ビームは、アノード電圧により加速され、蛍光体スクリーン１２に照射される。これにより、蛍光体スクリーン１２の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが励起されて発光し、カラー画像を表示する。
【００２３】
また、上記構造の表示パネル１０を製造する場合、予め、蛍光体スクリーン１２の設けられた前面基板２を用意し、電子放出素子１６および配線１８が設けられているとともに側壁６およびスペーサ８が接合された背面基板４を用意しておく。そして、前面基板２、および背面基板４を後述する真空装置２０内に配置し、側壁６を介して前面基板２を背面基板４に接合する。
【００２４】
図４には、上述した前面基板２と背面基板４を接合してＳＥＤを製造するための真空装置２０（ＡＩＯ；オールインワン）の概略構造を示してある。
【００２５】
図４に示すように、真空装置２０は、投入・払出室２１、ロボット室２２、ベーク室２３、封着室２４、およびゲッタ室２５を有する。投入・払出室２１、ベーク室２３、封着室２４は、ロボット室２２に隣接して配置され、ゲッタ室２５は、ロボット室２２から離間した側で封着室２４に連続して並設されている。
【００２６】
各チャンバ２１、２２、２３、２４、２５には、図示しない真空ポンプが取り付けられており、各チャンバを独立して真空引きすることができるようになっている。また、隣接した２つのチャンバ間には、それぞれシャッタＳ（ゲート）が設けられており、隣接した２つのチャンバを選択的に連通可能となっている。さらに、ロボット室２２内には、投入・払出室２１、ベーク室２３、封着室２４との間でそれぞれ基板（前面基板２、背面基板４）を受け渡しするためのロボット２６が配設されている。
【００２７】
上記構造の真空装置２０を用いて前面基板２および背面基板４を接合して表示パネル１０を製造する場合、まず、予め、蛍光体スクリーン１２の設けられた前面基板２を用意し、電子放出素子１６および配線１８が設けられているとともに側壁６およびスペーサ８が接合された背面基板４を用意しておく。なお、側壁６の背面基板４から離間した上端および対向する前面基板２の内面周縁部には、予めインジウム１９ｂを充填しておく。また、真空装置２０の投入・払出室２１を除く４つのチャンバ２２、２３、２４、２５は、それぞれ真空ポンプＰによって真空引きした状態としておく。
【００２８】
そして、上述した前面基板２、および背面基板４を投入・払出室２１を介して真空装置２０へ投入する。このとき、投入・払出室２１のロボット室２２から離間した入口側のシャッタＳが開放され、真空装置２０の外側に配置された図示しないロボットアームによって２枚の基板２、４が内面を上向きにして投入される。この後、上述した入口側のシャッタＳが閉じられて、図示しない真空ポンプによって投入・払出室２１が真空引きされ、ロボット室２２に連通するためのシャッタＳが開放される。
【００２９】
さらに、ロボット室２２とベーク室２３を連通するシャッタＳが開放され、ロボット室２２のロボット２６が動作され、投入・払出室２１から２枚の基板２、４が取り出されてベーク室２３へ投入される。このとき、各基板２、４は、ロボット２６の２本のアーム３１、３２によって支持されて移動される。
【００３０】
この後、投入・払出室２１とロボット室２２の間のシャッタＳ、およびベーク室２３とロボット室２２の間のシャッタＳが閉じられて、ベーク室２３内の図示しないヒータが動作され、前面基板２および背面基板４が加熱焼成されて脱ガスされる。このとき、各基板２、４がそれぞれ内面を上向きにしてベーク室２３に投入されているため、側壁６の上端に充填された封着材１９が溶融されて垂れることはなく、前面基板２の内面に充填された封着材１９が垂れることもない。
【００３１】
ベーク終了後、ロボット室２２に連通するシャッタＳが開放されて２枚の基板２、４がロボット２６によって取り出され、封着室２４との間のシャッタＳを開放後、封着室２４へ投入される。そして、ベーク室２３とロボット室２２との間のシャッタＳが閉じられる。このとき、前面基板２は、その背面を封着室内の図示しない静電チャック上に載置されて吸着保持される。一方、背面基板４は、その内面を上向きにしたまま前面基板２の下方に配置される。この状態で、２枚の基板２、４がある程度冷却され、インジウム１９ｂが固化される。
【００３２】
この後、封着室２４とゲッタ室２５との間のシャッタＳが開放されて、前面基板２を吸着した静電チャックがゲッタ室２５へ移動される。さらに、２つのチャンバ２４、２５間のシャッタＳが閉じられて、ゲッタ室２５内の静電チャックが反転され、前面基板２が表裏反転される。このとき、前面基板２内面の周縁部に充填された封着材１９は個化されているため、垂れることはない。
【００３３】
そして、ゲッタ室２５の底部に設けられた図示しない蒸着機構が動作され、ゲッター材が前面基板２の内面に蒸着される。この後、チャンバ２４、２５間のシャッタＳが再び開放されて、前面基板２を反転させたまま吸着した静電チャックが封着室２４へ移動される。
【００３４】
このようにして２枚の基板２、４が封着室２４内に再び配置されると、静電チャックによって吸着された状態の前面基板２に向けて背面基板４が上昇され、２枚の基板２、４が近接されて位置決めされる。
【００３５】
この後、側壁６の上端に充填されたインジウム１９ｂおよび前面基板２内面の周縁部に充填されたインジウム１９ｂが加熱溶融され、両者が溶融されたインジウム１９ｂによって封着される。封着後、２枚の基板２、４が所定温度まで冷却され、表示パネル１０が製造される。
【００３６】
そして、ロボット室２２と封着室２４との間のシャッタＳ、およびロボット室２２と投入・払出室２１との間のシャッタＳが開放され、表示パネル１０が封着室２４から取り出されて投入・払出室２１へ移動され、開放した２つのシャッタＳが閉じられる。この後、投入・払出室２１の入口側のシャッタＳが開放されて大気に連通され、外部に配置した図示しないロボットアームによって表示パネル１０が真空装置２０から払い出される。
【００３７】
以上のように、真空装置２０を用いて表示パネル１０を組み立てる場合、開閉可能なシャッタＳを介して隣接したチャンバ間で前面基板２および背面基板４を移動するための種々の機構が必要となる。基板２、４を移動するための機構として、上述したロボット２６の他に、例えば、静電チャックで背面側を吸着保持した前面基板２を封着室２４からゲッタ室２５へ搬送するための搬送装置などがある。
【００３８】
特に、封着室２４からゲッタ室２５へ前面基板２を搬送する搬送装置は、シャッタＳで仕切られた２つのチャンバ２４、２５間で搬送対象物としての静電チャックおよび前面基板２を搬送する必要があるため、２つのチャンバ２４、２５それぞれに搬送対象物を受け渡して搬送するための独立した搬送機構が必要となる。しかも、これら独立した搬送機構には、搬送対象物のスムーズな受け渡し搬送が要求される。
【００３９】
例えば、搬送対象物のスムーズな受け渡しができずに搬送対象物が２つのチャンバ間で停止してしまうと、シャッタＳの解放時間が不所望に長くなり、各チャンバの雰囲気を維持できなくなってしまう。また、搬送対象物が途中で停止してしまうと、最悪の場合、各チャンバの雰囲気温度差に起因して前面基板２に熱応力が作用して前面基板２が割れてしまう場合がある。
【００４０】
図５には、この発明の実施の形態に係る搬送装置３０の要部平面図を示してあり、図６には、この搬送装置３０に組み込まれた搬送機構４０の概略図を示してある。なお、この搬送装置３０は、例えば、上述した封着室２４からゲッタ室２５へ静電チャックおよび前面基板２を搬送するための装置として利用される。
【００４１】
図５に示すように、搬送装置３０は、開閉可能なゲートＧを介して隣接した２つのチャンバ３３、３４それぞれに独立して設けられた搬送機構４０を有する。本実施の形態では、各チャンバ３３、３４にそれぞれ１つの搬送機構４０を設けたが、各チャンバに２つ以上の搬送機構４０を設けても良い。また、この搬送装置３０による搬送対象物は、矩形のガラス板３５の背面側を矩形板状の保持部材３６で保持した構造を有する。
【００４２】
保持部材３６の周辺近くの下面側には、ガラス基板３５を隣接するチャンバ３３、３４間を通して移動させるための４つの車輪３７が取り付けられている。また、保持部材３６の搬送機構４０に対向した一方の長辺には、各搬送機構４０の後述するピニオン４１に歯合するラック３８が固設されている。しかして、各搬送機構４０のピニオン４１を後述するタイミングで切り換えながら回転させることにより、ラック３８を固設した保持部材３６が車輪３７の回転によりチャンバ間を移動することになる。なお、ラック３８は、ゲートＧを閉じて各チャンバ３３、３４を密閉可能なように、搬送対象物の搬送方向（図中矢印Ｔ方向）に沿ったチャンバ３３、３４の長さ未満の長さを有する。
【００４３】
各搬送機構４０は、ラック３８に歯合するピニオン４１、ピニオン軸を回転可能に支持した矩形板状のスライダ４２、スライダ４２を図５中矢印Ｓ方向にスライド可能に支持したレール４３、チャンバ３３、３４の外側で固定的に設けられレール４３を上面に固設した矩形板状の支持部材４４、およびスライダ４２をレール４３に沿って付勢することでピニオン４１をラック３８に歯合する動作位置へ付勢する加圧シリンダ４５（付勢機構）を有する。なお、上述したスライダ４２、レール４３、および支持部材４４は、この発明の支持機構として機能する。
【００４４】
レール４３は、搬送対象物の搬送方向Ｔに対して傾斜した方向に延設され、ピニオン４１をその動作位置から傾斜した方向に退避可能にしている。このように、ピニオン４１の退避方向を搬送対象物の搬送方向に対して傾斜させることにより、ラック３８からの僅かな接触により、加圧シリンダ４５の加圧力に抗してピニオン４１を退避させることができる。
【００４５】
また、加圧シリンダ４５は、例えば低摩擦シリンダであり、その加圧力は図示しない空圧のレギュレータの切り替えで大小２段階に制御できるようになっている。つまり、加圧シリンダ４５は、ラック３８がピニオン４１に歯合しない待機状態（例えば、図５において右側のチャンバ３４に取り付けられた搬送機構４０）においてピニオン４１をその動作位置に弱い押圧力（第１の付勢力）で付勢し、ラック３８がピニオン４１に歯合した後、強い押圧力（第２の付勢力）でピニオン４１を動作位置へ付勢するように、その加圧力を２段階で切り換える。
【００４６】
図６に詳細に示すように、ピニオン軸４６は、チャンバ３３、３４の下面およびスライダ４２の上面に密閉状態で取り付けられたベローズ４７を介してチャンバの下方に延出し、スライダ４２を貫通し、スライダ４２の下面に固設された回転導入機４８を介してモータ５０（回転機構）に接続されている。回転導入機４８を貫通して延びたピニオン軸４６の先端には、モータ５０の回転軸に固設されたプーリ５１との間で無端状のタイミングベルト５２を巻回したプーリ５３が取り付けられている。また、ピニオン軸４６とモータ５０の間で、モータ５０の回転軸には、パウダークラッチ等のトルク制御可能なクラッチ４９が取り付けられている。しかして、モータ５０を回転させると、クラッチ４９によって制御された回転トルクでピニオン４１が回転される。
【００４７】
本実施の形態では、ラック３８がピニオン４１に歯合する前の待機状態において、ピニオン４１に対して自由回転可能な程度の弱い回転トルク（第１の回転トルク）を付与するように、クラッチ４９によって回転トルクを制御し、ピニオン４１がラック３８に歯合した後、ラック３８を移動可能な程度の強い回転トルク（第２の回転トルク）をピニオン４１に付与するように、クラッチ４９によってピニオン４１に付与する回転トルクを制御するようにした。
【００４８】
また、各搬送機構４０は、ピニオン４１の回転位置を検出するための回転位置検出センサ５５（以下、単に、センサ５５と称する）を有する。センサ５５は、ピニオン軸４６に取り付けられた回転板５４を検出することによりピニオン４１の回転位置を検出する。すなわち、モータ５０は、ピニオン４１がラック３８に歯合する前の待機状態において、センサ５５の検出結果に基づいて、ピニオン４１の回転停止位置をラック３８に歯合可能な位置に設定しておく。これにより、搬送対象物の移動によってラック３８がピニオン４１に接触する際、ラック３８とピニオン４１がロックしたり搬送対象物の搬送経路がずれたりする不具合を防止でき、両者を確実に歯合させることができる。
【００４９】
以下、上記構造の搬送装置３０による搬送動作について説明する。  
まず、搬送動作開始前の初期状態において、搬送方向（矢印Ｔ方向）上流側のチャンバ３３に取り付けられた搬送機構４０のピニオン４１が搬送対象物のラック３８に歯合している。このとき、上流側のピニオン４１を動作位置へ付勢する加圧シリンダ４５は、比較的強い加圧力をピニオン４１に与えている。この状態から、２つのチャンバ３３、３４間のゲートＧを解放し、上流側搬送機構４０のクラッチ４９を接続し、モータ５０を回転させて上流側のピニオン４１を回転させる。このとき、クラッチ４９は、ピニオン４１に対してラック３８を移動可能な程度の強い回転トルクを付与する。これにより、ピニオン４１に歯合したラック３８が図中右方向に移動し、搬送対象物が搬送を開始する。
【００５０】
このとき、下流側のチャンバ３４に取り付けられた下流側の搬送機構４０のピニオン４１の回転停止位置は、上述したセンサ５５を用いて、移動してくるラック３８に歯合可能な回転位置に予め設定されている。また、このとき、待機状態の下流側のピニオン４１には、下流側のクラッチ４９を介して極めて弱い回転トルクが付与されている。この回転トルクは、ラック３８が歯合した際にはラック３８に従動して回転でき、且つ待機状態においては不所望な外力によってその回転停止位置がずれない程度に設定されている。さらに、このとき、下流側のピニオン４１をラック３８に歯合する動作位置へ付勢する加圧シリンダ４５は、比較的弱い加圧力を下流側のピニオン４１に与えている。
【００５１】
そして、搬送対象物がゲートＧを通過してラック３８の搬送方向先端が下流側のピニオン４１に歯合すると、搬送対象物の搬送が停止されることなく、下流側のピニオン４１が上流側のピニオン４１と同じ速度で回転を開始する。これにより、搬送対象物が上流側の搬送機構４０から下流側の搬送機構４０へ受け渡されて、搬送対象物が下流側のチャンバ３４へ搬送される。
【００５２】
ラック３８の先端が下流側のピニオン４１に接触するとき、上述したように予めピニオン４１の回転停止位置が歯合可能な位置に設定されているため、ラック３８とピニオン４１がロックしてしまうことが無く、搬送対象物の搬送経路がずれることも無い。万が一、ラック３８が下流側のピニオン４１にうまく歯合しない場合であっても、下流側のピニオンが比較的弱い加圧力で動作位置に付勢されているため、レール４３に沿ってピニオン４１が動作位置から傾斜方向に容易に退避することができ、ラック３８をピニオン４１に確実に歯合させることができる。また、待機状態において、下流側のピニオン４１には、クラッチ４９を介して比較的弱い回転トルクが付与されているため、ラック３８がピニオン４１に歯合したときピニオン４１がラック３８の移動を妨げることはない。
【００５３】
上流側の搬送機構４０から下流側の搬送機構４０へ搬送対象物を受け渡す場合、ラック３８の先端が下流側のピニオン４１に歯合した後、下流側のピニオン４１に付与する回転トルクを徐々に上げると同時に、上流側のピニオン４１に付与する回転トルクを徐々に下げるように、各搬送機構４０のクラッチ４９が各ピニオン４１に付与する回転トルクを制御する。このとき、２つのピニオン４１の回転速度は一定に保持する。これにより、搬送対象物の受け渡しをよりスムーズにできる。
【００５４】
また、ラック３８が下流側のピニオン４１に完全に歯合した後、下流側の加圧シリンダ４５による加圧力を強めるように制御する。これにより、ラック３８とピニオン４１の歯合状態をより確実なものとすることができ搬送の信頼性を高めることができる。
【００５５】
以上のように、本実施の形態によると、ゲートＧを介して隣接したチャンバ毎に搬送機構４０を設け、各搬送機構４０のピニオン４１をその動作位置から退避可能としたため、ラック３８とピニオン４１がうまく歯合しない場合であっても、ラック３８とピニオン４１がロックして停止してしまったり、搬送対象物の搬送経路がずれてしまったりする不具合を防止でき、搬送対象物を停止することなく確実に搬送できる。これにより、ゲートＧを不所望に長い時間解放してしまうことがなく、各チャンバ３３、３４の雰囲気を維持できる。また、チャンバ間で搬送対象物が停止することがないので、例えば、チャンバ間の雰囲気温度の差に起因してガラス基板３５に熱応力が作用して割れてしまうようなこともない。
【００５６】
なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。
【００５７】
例えば、上述した実施の形態では、ゲートＧを介して隣接した２つのチャンバ３３、３４間で搬送対象物を搬送する場合について説明したが、これに限らず、３つ以上のチャンバがゲートＧを介して隣接した真空装置内で搬送対象物を搬送する場合に本発明を適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】この発明の実施の形態に係るＳＥＤの表示パネルを示す外観斜視図。
【図２】図１の表示パネルを線II−IIに沿って切断した断面斜視図。
【図３】図２の断面を部分的に拡大して示す部分拡大断面図。
【図４】図１の表示パネルを組み立てるための真空装置を示す概略図。
【図５】この発明の実施の形態に係る搬送装置を示す概略平面図。
【図６】図５の搬送装置に組み込まれた搬送機構を示す概略図。
【符号の説明】
【００５９】
２…前面基板、４…背面基板、６…側壁、８…スペーサ、１０…真空外囲器（表示パネル）、１２…蛍光体スクリーン、１４…メタルバック、１６…電子放出素子、１８…配線、２０…真空装置、３０…搬送装置、３３、３４…チャンバ、３５…ガラス基板、３６…保持部材、３７…車輪、３８…ラック、４０…搬送機構、４１…ピニオン、４３…レール、４５…加圧シリンダ、４６…ピニオン軸、４７…ベローズ、４８…回転導入機、４９…クラッチ、５０…モータ、５５…回転位置検出センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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