(57)【要約】【課題】ホルダとマスターディスクとの相対位置を正確に把握することにより、転写不良を減少させることができる磁気転写装置及び方法を提供する。【解決手段】ホルダ部に保持され、磁気パターンを有するマスターディスクに対向するように被転写用の磁気ディスクを供給し、供給された被転写用の磁気ディスクにマスターディスクを圧接させて挟持し、ホルダ部に磁界を加えてマスターディスク上の磁気パターンを被転写用の磁気ディスクに転写させ、ホルダ部とマスターディスクとの相対位置関係を測定し、測定結果によって被転写用ディスクの良否を判別する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、
前記ホルダ部によって保持された前記マスターディスクに対向するように被転写用ディスクを供給する供給手段と、
前記マスターディスクのパターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写手段と、
前記ホルダ部と前記マスターディスクとの相対位置関係を測定する位置計測手段と、
を具備したことを特徴とする転写装置。
【請求項２】
磁気パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、
前記ホルダ部によって保持された前記マスターディスクに対向するように被転写用ディスクを供給する供給手段と、
前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段と、
前記ホルダ部と前記マスターディスクとの相対位置関係を測定する位置計測手段と、
を具備したことを特徴とする転写装置。
【請求項３】
前記位置計測手段による測定結果によって前記被転写用ディスクの良否を判別する判別手段を具備した請求項１又は２に記載の転写装置。
【請求項４】
前記位置計測手段が、前記マスターディスクに対向するように配されたミラーと撮像素子とを具備した請求項１、２又は３に記載の転写装置。
【請求項５】
前記位置計測手段による測定結果によって前記ホルダ部と前記マスターディスクとの相対位置の補正を行う位置補正手段を具備した請求項１〜４のいずれか１項に記載の転写装置。
【請求項６】
ホルダ部に保持され、磁気パターンを有するマスターディスクに対向するように被転写用の磁気ディスクを供給する供給工程と、
供給された前記被転写用の磁気ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、
前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用の磁気ディスクに転写させる転写工程と、
前記ホルダ部と前記マスターディスクとの相対位置関係を測定する位置計測工程と、
前記位置計測工程による測定結果によって前記被転写用ディスクの良否を判別する判別工程と、
を具備したことを特徴とする転写方法。
【請求項７】
前記位置計測工程において、前記ホルダ部に設けられたホルダアライメントマークと前記マスターディスクに設けられたマスターアライメントマークとの相対位置関係を測定する請求項６に記載の転写方法。
【請求項８】
前記位置計測工程による測定結果によって前記ホルダ部と前記マスターディスクとの
相対位置の補正を行う位置補正工程を具備した請求項６又は７に記載の転写方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写装置及び方法に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する際の不良品の発生を防止するのに有効な転写装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。
【０００３】
従来、この種の磁気転写技術として各種の提案がなされている（たとえば、特許文献１〜７参照。）。このうち、特許文献１及び２は、磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが表面の凹凸形状又は埋め込み構造で形成されたマスターディスク（パターンドマスター）を、磁気記録部を有する被転写用ディスク（スレーブディスク）と密着させた状態で転写用磁界を印加して、マスターディスクに担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブディスクに転写記録する旨の提案である。
【０００４】
特許文献３は、上記のものの改良技術であり、マスターディスクに多数の貫通孔を設け、スレーブディスクとの密着性を向上させて、転写記録の信頼性を向上させる旨の提案である。特許文献４は、マスターディスクの製造方法に関するもので、フォトリソグラフィー技術により作成した原盤より電鋳により多数のマスターディスクを製造する旨の提案である。
【０００５】
ところが、このような従来技術において、転写不良が多いという問題点が指摘されている。すなわち、磁気転写を行う際に、マスターディスクと転写されるスレーブディスクとを精度良く位置決めした状態で密着させる必要がある。そして、この位置決め精度が悪いと、磁気転写後にドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記録された磁化パターンの中心とが精度良く一致せず、ドライブ装置の不良となる。
【０００６】
特許文献５及び６は、このような問題点に対処した提案である。このうち、特許文献５は、密着フランジにスレーブディスクをセットした後、その上にパターンに対応して透明部分に形成したマーカーを有するマスターディスクを載置し、撮像装置でマーカーとスレーブディスクとの位置とが一致するように観察しつつマスターディスクの位置調整を行ってから両者を密着させる旨の提案である。
【０００７】
特許文献６は、マスターディスクをＸ、Ｙ方向に移動可能なホルダに保持し、マスターディスクの中心位置をＣＣＤカメラで撮像して、スレーブディスクとの位置を一致させて密着させる旨の提案である。
【０００８】
また、特許文献７は、スレーブディスクを自動搬送しながら両面にマスターディスクを密着させて磁気転写を行う際の作業効率を向上させる旨の提案であり、外段取りでマスターディスクとホルダを位置決め後、スレーブディスクとホルダとを位置決めすることにより上記問題点に対処している。
【特許文献１】特開昭６３−１８３６２３号公報
【特許文献２】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献３】特開平１０−２９６５６６号公報
【特許文献４】特開２００１−２５６６４４号公報
【特許文献５】特開平１１−１７５９７３号公報
【特許文献６】特開２００１−２５６６４４号公報
【特許文献７】特開２００４−８７０９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献５及び６の方法では、スレーブディスクの両面に同時に転写する際に、反対側のマスターディスクやホルダが邪魔して位置測定が困難であるばかりか、反対側の面のマスターディスクとスレーブディスクとの位置決めが不可能である。
【００１０】
また、特許文献７の方法では、マスターディスクのホルダへの保持手段として吸着や接着を採用しているが、スレーブディスクを挟み込み転写を繰り返すことによって、ホルダに対するマスターディスクの位置が徐々にずれることが避けられない。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ホルダとマスターディスクとの相対位置を正確に把握することにより、転写不良を減少させることができる磁気転写装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するために、本発明は、マスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、前記ホルダ部によって保持された前記マスターディスクに対向するように被転写用ディスクを供給する供給手段と、前記マスターディスクのパターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写手段と、前記ホルダ部と前記マスターディスクとの相対位置関係を測定する位置計測手段と、を具備したことを特徴とする転写装置を提供する。
【００１３】
なお、被転写用ディスクは、磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種媒体を指すものである。
【００１４】
また、本発明は、ホルダ部に保持され、磁気パターンを有するマスターディスクに対向するように被転写用の磁気ディスクを供給する供給工程と、供給された前記被転写用の磁気ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用の磁気ディスクに転写させる転写工程と、前記ホルダ部と前記マスターディスクとの相対位置関係を測定する位置計測工程と、前記位置計測工程による測定結果によって前記被転写用ディスクの良否を判別する判別工程と、を具備したことを特徴とする転写方法を提供する。
【００１５】
また、このために、本発明は、磁気パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、前記ホルダ部によって保持された前記マスターディスクに対向するように被転写用ディスクを供給する供給手段と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段と、前記ホルダ部と前記マスターディスクとの相対位置関係を測定する位置計測手段と、を具備したことを特徴とする転写装置を提供する。
【００１６】
本発明によれば、ホルダ部とマスターディスクとの相対位置計測による測定結果を得、測定結果の大小によって被転写用ディスクの良否を容易に判別することができるので、転写不良の被転写用ディスクの後工程への流出を効果的に防止することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明によれば、ホルダ部とマスターディスクとの相対位置計測による測定結果を得、測定結果の大小によって被転写用ディスクの良否を容易に判別することができるので、転写不良の被転写用ディスクの後工程への流出を効果的に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面に従って、本発明に係る転写装置及び方法の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係る転写装置である磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク用カセットの概要を示す斜視図である。磁気転写装置１０は、装置本体１２とクリーンユニット１４とよりなる。
【００１９】
装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面である。この装置本体１２は、周辺をクリーンユニット１４に囲われ、清浄度が確保されるようになっている。
【００２０】
クリーンユニット１４の天井部には、装置の内部にクリーンエアを供給するクリーンエア送風ユニット（図示略）が設けられている。このクリーンエア送風ユニットは、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタと、送風ファンにより構成され、装置の内部に、ダウンフローによる清浄度クラス１００未満のクリーンエアが供給できるようになっている。
【００２１】
クリーンエア送風ユニットより吹き出されたクリーンエアは、外部に排出されるようになっている。このため、図１に示されるように、ベース６０上において、装置本体１２の各機構が配置されていない空き領域には、排気手段としての排気ファン６４が複数配設されている。
【００２２】
ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容する供給用カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしての排出用カセット５６が設けられている。供給用カセット３８と排出用カセット５６とは同一形状のものが採用されている。
【００２３】
図２に示されるように、供給用カセット３８及び排出用カセット５６は、スレーブディスク４０がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっている。すなわち、カセットの内面に並行して形成された複数の溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の外周が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。
【００２４】
ベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。
【００２５】
図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダ部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着（又は接着）により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。
【００２６】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。
【００２７】
固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、カップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。そして、固定側ホルダ２３は、装置本体１２に固定されている。一方、移動側ホルダ２４は、駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。
【００２８】
以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、図３に示されるように、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。
【００２９】
図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間歇駆動される。すなわち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止しするようになっている。
【００３０】
更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より左側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より右側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。
【００３１】
ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、供給用カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。
【００３２】
ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、排出用カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。
【００３３】
ディスク供給ユニット２６により、供給用カセット３８から取り出されたスレーブディスク４０は、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して、相対的に位置決めが行われ、マスターディスク４６に設けられる空隙越しにホルダユニット２２によって吸着されて受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着されて保持される。固定側ホルダ２３の内側にはスレーブディスク４０の内径付近を吸着する吸着溝（図示略）が設けられ、この吸着溝によりスレーブディスク４０が吸着保持される。
【００３４】
ディスク供給ユニット２６は、図２に示されるように、スレーブディスク４０の内径を把持するための２片の保持具であるチャック４２ａ、４２ｂからなるチャック機構４２と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、チャック４２ａ、４２ｂを回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４から構成される。
【００３５】
すなわち、ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック４２ａ、４２ｂを、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック機構４２の向きを反転するようになっている。
【００３６】
ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、排出用カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。
【００３７】
ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持する２つの保持具であるチャック５２ａ、５２ｂからなるチャック機構５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック５２ａ、５２ｂを回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。
【００３８】
すなわち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック５２ａ、５２ｂを、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック機構５２の向きを反転するようになっている。
【００３９】
図４に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のチャック４２ａ、４２ｂには認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット３０で視覚認識される。
【００４０】
この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスク供給用カセット３８が設けられた側面と反対の側面に近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。
【００４１】
認識ユニット３０には位置決め手段としての制御手段３０Ａが接続され、制御手段３０Ａは認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。
【００４２】
位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。
【００４３】
このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３０Ａにティーチングされている。
【００４４】
一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、チャック機構４２のチャッキング動作によってチャック４２ａ、４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３０Ａに予めティーチングされている。
【００４５】
これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。
【００４６】
コイルユニット３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側にコイルを離間して配置したものである。このコイルユニット３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。
【００４７】
次に、本発明の特徴部分である、ホルダ部（ホルダユニット２２）とマスターディスク４６との相対位置関係を測定する位置計測手段と、位置計測手段による測定結果によってスレーブディスク４０の良否を判別する判別手段と、位置計測手段による測定結果によってホルダユニット２２とマスターディスク４６との相対位置の補正を行う位置補正手段について説明する。
【００４８】
図１における、ディスク排出工程位置８６のホルダユニット２２の側面には、位置計測手段が設けられている。なお、図１においては、位置計測手段のうち、撮像素子であるＣＣＤカメラ１６のみ図示されており、ミラー１８は退避してホルダユニット２２の内部に配されていることより、図示されていない。
【００４９】
図５は、位置計測手段とホルダユニット２２との位置関係を示す斜視図である。この位置計測手段は、撮像素子であるＣＣＤカメラ１６と、ミラー１８とよりなる。このうち、ＣＣＤカメラ１６は、カメラ本体１６Ａとレンズ鏡筒１６Ｂと照明光源１７より構成される。このＣＣＤカメラ１６は、既述の制御手段３０Ａと接続されている。
【００５０】
ＣＣＤカメラ１６は、支持手段１６Ｃにより支持されており、制御手段３０Ａの指示によりＸ軸回り及びＺ軸回りに若干量回転可能となっており、ホルダユニット２２（固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４）及びマスターディスク４６、４６の双方の被測定部位に対応できるようになっている。
【００５１】
更に、ＣＣＤカメラ１６は、位置計測終了時に、ディスク排出ユニット３４の各ロボット３５、３６、３７と干渉しないように、退避可能となっている。
【００５２】
照明光源１７としては、狭いスペースに設けられる点で、図５に示されるような同軸落射照明方式のものが好ましく採用できる。この光源としてハロゲン光光源（ファイバー式）やＬＥＤが好ましく採用できる。ＬＥＤの場合には、スペクトル幅が小さい（５０ｎｍ程度）ものが色収差が小さいので好ましく、波長が短い青色やＵＶ（４８０ｎｍ以下）が、より高分解能にできるので好ましい。なお、図示の構成以外に、ＣＣＤカメラ１６と離れた位置に別途照明手段を設ける構成も採用できる。
【００５３】
ミラー１８は、図示しない支持手段により、ホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間に配されている。このミラー１８は、マスターディスク４６の表面に対して傾斜して配されており、マスターディスク４６及びホルダユニット２２の被測定部位の映像が、ミラー１８を介してＣＣＤカメラ１６で撮像できる位置に配されている。
【００５４】
このミラー１８は、両表面が鏡面に形成されており、制御手段３０Ａの指示によりＺ軸回りに回転可能となっており、マスターディスク４６、４６及びホルダユニット２２（固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４）の双方の被測定部位に対応できるようになっている。
【００５５】
更に、ミラー１８は、位置計測終了時に、ホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間より、外部に退避可能となっている。
【００５６】
ミラー１８のサイズは、ＣＣＤカメラ１６のレンズ鏡筒１６Ｂに使用されるレンズに見合った十分な大きさ（レンズ口径と同等）であることが好ましい。また、ミラー１８は高精度な表面反射鏡であることが好ましい。
【００５７】
ミラー１８の表面精度は１／４波長以下が好ましく、１／１０波長以下がより好ましい。なお、ホルダユニット２２の開き間隔が充分であるか、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定角度をなすように開く構成のものであるか、ホルダユニット２２が透明な部材で形成されているのであれば、ミラー１８を使わない方式も採用できる。
【００５８】
次に、位置計測手段によって計測されるアライメントマークについて説明する。図６は、ホルダユニット２２（たとえば固定側ホルダ２３）に設けられたホルダアライメントマークＭｈ１、Ｍｈ２と、マスターディスク４６に設けられたマスターアライメントマークＭｍ１、Ｍｍ２との位置関係を示す図である。
【００５９】
図６に示されるように、マスターアライメントマークＭｍ１、Ｍｍ２は、いずれもマスターディスク４６の外周部近傍の磁気パターン書き込み領域以外の部分に設けられており、Ｍｍ１は時計方向で９時の位置に設けられており、Ｍｍ２は時計方向で１２時の位置に設けられている。
【００６０】
これに対応して、ホルダアライメントマークＭｈ１、Ｍｈ２は、マスターアライメントマークに対向する位置のホルダユニット２２（この場合は固定側ホルダ２３）に設けられている。すなわち、Ｍｈ１は時計方向で９時の位置に設けられており、Ｍｈ２は時計方向で１２時の位置に設けられている。
【００６１】
これらのホルダアライメントマークＭｈとマスターアライメントマークＭｍの個数に制限はないが、個数が少ない場合には測定精度が若干劣る場合もあり、個数が多い場合には測定精度が向上する反面、測定時間を要するという制約がある。図示の構成では、２組が円周方向に９０度離れて配されており、Ｘ、Ｙ軸方向のずれのみならず回転方向（θ軸方向）のずれも測定可能となっている。
【００６２】
ホルダアライメントマークＭｈとマスターアライメントマークＭｍの形状や大きさについても特に制限はなく、マークの位置が正確に読み取れるものであればよい。図示の構成では、十字マークが採用されている。
【００６３】
なお、スレーブディスク４０が、固定側ホルダ２３の内側に吸着されている状態でマスターアライメントマークＭｍが撮像できるように、マスターディスク４６の外径をスレーブディスク４０の外径よりも大きくし、マスターアライメントマークＭｍの位置もスレーブディスク４０の外周の外側にすることが好ましい。
【００６４】
また、マスターディスク４６の外径をスレーブディスク４０の外径よりも大きくしなくても、スレーブディスク４０を取り外した後にマスターディスク４６のマスターアライメントマークＭｍを撮像できる。
【００６５】
更に、後述する図８の構成のように、マスターディスク４６の外形位置を検出するのであれば、マスターアライメントマークＭｍは不要である。
【００６６】
その他、スレーブディスク４０にアライメントマークを入れて、スレーブディスク４０の位置ずれを検出する構成も採用できる。
【００６７】
位置計測手段と、これによって計測されるアライメントマークの以上の構成により、ホルダユニット２２（固定側ホルダ２３又は移動側ホルダ２４のいずれか）とマスターディスク４６との相対位置関係をが得られるようになっている。
【００６８】
次に、位置計測手段による測定結果によってスレーブディスク４０の良否を判別する判別手段について説明する。既述したように、位置計測手段のＣＣＤカメラ１６は、制御手段３０Ａと接続されている。したがって、ＣＣＤカメラ１６によるホルダユニット２２（固定側ホルダ２３又は移動側ホルダ２４のいずれか）とマスターディスク４６との相対位置関係の測定結果が制御手段３０Ａに送られるようになっている。この制御手段３０Ａが、判別手段を構成する。この判別手段によりスレーブディスク４０の良否を判別する方法については後述する。
【００６９】
次に、位置計測手段による測定結果によってホルダユニット２２（固定側ホルダ２３又は移動側ホルダ２４のいずれか）とマスターディスク４６との相対位置の補正を行う位置補正手段について説明する。位置補正手段は、ディスク排出ユニット３４とこれに接続された制御手段３０Ａとより構成される。
【００７０】
そして、制御手段３０Ａが所得したホルダユニット２２（固定側ホルダ２３又は移動側ホルダ２４のいずれか）とマスターディスク４６との相対位置関係の測定結果より、位置ずれ量がゼロになるように、ディスク排出ユニット３４がマスターディスク４６を把持して位置調整が行える構成となっている。位置調整方法の詳細については後述する。
【００７１】
次に、上記のように構成された磁気転写装置の運転方法について説明する。図７は、磁気転写装置の運転方法について説明するフローチャートである。
【００７２】
運転開始により、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）が供給用カセット３８内のスレーブディスク４０を把持して、順次１枚づつ取り出す（ステップＳ−１０）。
【００７３】
取り出されたスレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置８２に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される（ステップＳ−１２）。
【００７４】
このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着（又は接着）にて固定されている。
【００７５】
ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。
【００７６】
次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。
【００７７】
この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、チャック機構４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出されるスレーブディスク４０の中心とが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９により、スレーブディスク４０が位置決めされる。
【００７８】
次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される。
【００７９】
次いで、移動側ホルダ２４をロボット７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する（ステップＳ−１４）。
【００８０】
次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ（ステップＳ−１６）、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置８４に位置決めする。そして、コイルユニット３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ（ステップＳ−１８）、ホルダユニット２２を回転させながら両側から磁界を加える（ステップＳ−２０）。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。
【００８１】
磁気転写後、コイルユニット３２、３２を初期の位置に退避させ（ステップＳ−２２）、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置８６に位置決めする（ステップＳ−２４）。
【００８２】
次ステップにおいて、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる（ステップＳ−２６）。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。
【００８３】
次いで、位置計測手段のミラー１８をホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間に移動させるとともに、ＣＣＤカメラ１６を適正位置に調整し、ホルダユニット２２に設けられたホルダアライメントマークＭｈ１とマスターディスク４６に設けられたマスターアライメントマークＭｍ１とを同時に撮像し、次いで、ホルダアライメントマークＭｈ２とマスターアライメントマークＭｍ２とを同時に撮像する。
【００８４】
そして、位置計測手段により、ホルダユニット２２（固定側ホルダ２３又は移動側ホルダ２４のいずれか）とマスターディスク４６との相対位置関係を求め、求められた測定結果より、判別手段により、スレーブディスク４０の良否を判別する。以下、詳細の手順について説明する。
【００８５】
位置計測手段において、ホルダアライメントマークＭｈ１、Ｍｈ２の測定された座標位置より、固定側ホルダ２３（又は移動側ホルダ２４）の中心座標位置を算出する。また、マスターアライメントマークＭｍ１、Ｍｍ２の測定された座標位置より、マスターディスク４６の中心座標位置を算出する。この両中心座標位置を比較することにより、ホルダユニット２２（固定側ホルダ２３又は移動側ホルダ２４のいずれか）とマスターディスク４６との相対位置関係が求まる。
【００８６】
なお、ホルダアライメントマークＭｈ１、Ｍｈ２、及びマスターアライメントマークＭｍ１、Ｍｍ２は、いずれも同心円上に９０度離れて設けられており、同心円の直径は既知であることより、中心座標位置は容易に算出できる。
【００８７】
判別手段により、スレーブディスク４０の良否を判別する場合には、固定側ホルダ２３（又は移動側ホルダ２４）の中心座標位置とマスターディスク４６の中心座標位置との距離が所定の閾値未満であれば「良」とし、閾値以上であれば「不良」とする。
【００８８】
そして、良（ＯＫ）の場合には、定常フローの次ステップ（ステップＳ−３２）に移り、不良（ＮＧ）の場合には、マスターディスク４６の位置補正（ステップＳ−３４）に移る（以上、ステップＳ−３０）。
【００８９】
なお、上記の閾値は、スレーブディスク４０のトラックの径方向のズレ量の許容値より小さく設定することが好ましい。このように、閾値をスレーブディスク４０の許容限界レベルより厳しく設定することにより、不良のスレーブディスク４０の後工程への流出を効果的に防止できる。
【００９０】
位置補正工程（ステップＳ−３４）において、先ず、固定側ホルダ２３の内側に吸着されているスレーブディスク４０を廃棄する。すなわち、不良と判定されたスレーブディスク４０の後工程への流出を防止する必要がある。
【００９１】
具体的動作は、ディスク排出ユニット３４により、スレーブディスク４０を把持し、固定側ホルダ２３の内側より取り外し、装置本体１２内部に配置してある廃棄カセット（図示略）にこのスレーブディスク４０を収納する。この廃棄カセットは、所定枚数（たとえば、２５枚）の廃棄用スレーブディスク４０が収納された時点で、装置本体１２外部に排出される。
【００９２】
次いで、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２でマスターディスク４６の内周を把持する。チャック機構５２によるマスターディスク４６の把持のための位置決めは、スレーブディスク４０の把持のための位置決めと同様に、基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂを認識ユニット３０で視覚認識することにより行う。
【００９３】
次いで、固定側ホルダ２３（又は移動側ホルダ２４）によるマスターディスク４６の吸着を停止し、Ｘロボット３５により固定側ホルダ２３（又は移動側ホルダ２４）よりマスターディスク４６を若干量だけ離間させ、Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３６、３７により、マスターディスク４６の中心座標位置と固定側ホルダ２３（又は移動側ホルダ２４）の中心座標位置とが一致するように、位置補正手段（ディスク排出ユニット３４とこれに接続された制御手段３０Ａ）を駆動させる。
【００９４】
次いで、Ｘロボット３５により固定側ホルダ２３（又は移動側ホルダ２４）に向けてマスターディスク４６を移動させ、固定側ホルダ２３（又は移動側ホルダ２４）にマスターディスク４６を吸着固定させる。
【００９５】
次ステップ（ステップＳ−３６）において、マスターディスク４６の位置の再計測を行う。このフローの前半は、既述のステップＳ−３０における、位置計測手段により、ホルダユニット２２（固定側ホルダ２３又は移動側ホルダ２４のいずれか）とマスターディスク４６との相対位置関係を求める工程と同様である。
【００９６】
そして、このフローの後半において、固定側ホルダ２３（又は移動側ホルダ２４）の中心座標位置とマスターディスク４６の中心座標位置との距離と所定の管理値とを比較する。この管理値は、既述の閾値と同一の値とすることもでき、異なる値とすることもできる。
【００９７】
両者の中心座標位置同士の距離がこの管理値未満（ＯＫ）であれば、最初のステップ（ステップＳ−１０）に移り、次のスレーブディスク４０の転写に移る。その際、ＣＣＤカメラ１６及びミラー１８がホルダユニット２２の間より退避する。
【００９８】
一方、両者の中心座標位置同士の距離がこの管理値以上（ＮＧ）であれば、定常フローの運転を停止し、オフでマスターディスク４６の交換等を行う（ステップＳ−３８）。
【００９９】
説明をステップＳ−３０での良（ＯＫ）の場合にに戻って、定常フローの次ステップ（ステップＳ−３２）について説明する。なお、次ステップに移る前に、ＣＣＤカメラ１６及びミラー１８がホルダユニット２２の間より退避する。
【０１００】
ステップＳ−３２では、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０の内径を把持する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。
【０１０１】
次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック機構５２により把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック機構５２を含めて上下方向の向きが反転される。
【０１０２】
次いで、スレーブディスク４０及びチャック機構５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によって排出用カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０を排出用カセット５６内に順次１枚づつ収納する。
【０１０３】
上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。
【０１０４】
なお、図７のフローチャートは、磁気転写装置の運転方法の１例であり、必ずしもこれに従わなければならない訳ではない。たとえば、このフローチャートでは、スレーブディスク４０の処理１枚毎にマスターディスク４６の位置検査を行っているが、処理数枚毎、処理１０数枚毎、又は処理２０数枚毎（たとえば、処理２５枚（１カセット）毎）に行ってもよく、この態様の方がむしろ実生産にふさわしい。
【０１０５】
以上、本発明に係る磁気転写装置及び方法の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【０１０６】
たとえば、位置計測手段として、上記実施形態の構成のもの以外に、マスターディスク４６の表面にレーザ光をスキャンして、この反射光をフォトマルやフォトダイオード等で捕らえ、ホルダアライメントマークＭｈとマスターアライメントマークＭｍとの相対位置を計測する方法や、マスターディスク４６の表面にハロゲン光等の光を照射して、ＣＭＯＳラインイメージセンサ、エリアイメージセンサ等で反射光を捕らえてホルダアライメントマークＭｈとマスターアライメントマークＭｍとの相対位置を計測する方法等、公知の各種検査方法が採用できる。
【０１０７】
なお、ラインセンサを使用する場合には、ホルダユニット２２を一定速度で回転させながら測定すればよく、回転位置はエンコーダからのパルス信号をトリガーとしてスキャンすることにより位置精度が確保できる。
【０１０８】
図８は、他の検査方法の例を示す構成例であり、位置計測手段とホルダユニット２２との位置関係を示す斜視図である。この位置計測手段は、投光部９６と受光部９８とで構成される変位計９４である。この構成では、固定側ホルダ２３のホルダアライメントマークＭｈやマスターディスク４６のマスターアライメントマークＭｍ（いずれも図６参照）を検知できないので、時計方向の９時の位置において、固定側ホルダ２３の外形位置とマスターディスク４６外形位置とを同時に検知し、位置ずれ量が求められるようになっている。
【０１０９】
なお、図示は省略されているが、移動側ホルダ２４とこれに保持されたマスターディスク４６を同時に検知する位置計測手段（変位計９４）を設けることもでき、図示の変位計９４と干渉しない位置、たとえば、時計方向の１２時の位置において、移動側ホルダ２４の外形位置とマスターディスク４６の外形位置を同時に検知できる位置に配することができる。
【０１１０】
この場合、ホルダユニット２２を時計方向又は反時計方向に９０度回転させることにより、それぞれの変位計９４で２箇所のホルダアライメントマークＭｈとマスターアライメントマークＭｍとの相対位置を計測できる。
【０１１１】
また、上記実施形態のフローでは、固定側ホルダ２３（又は移動側ホルダ２４）の中心座標位置とマスターディスク４６の中心座標位置との距離を所定の閾値や管理値と比較しているが、スレーブディスク４０の処理１枚、処理数枚、処理１０数枚、又は処理２０数枚（たとえば、処理２５枚（１カセット））の処理前後の両中心座標位置の距離を比較する態様も採り得る。
【０１１２】
更に、上記実施形態において、磁気ディスクの転写について説明されているが、本発明は、磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種媒体の転写にも好適に適用できる。
【０１１３】
また、磁気転写装置１０の構成も、上記実施形態のロータリーインデックス方式に限定されるものではなく、インラインインデックス方式等各種の態様のものが採用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図
【図２】ディスク用カセットにスレーブディスクを出し入れする状態を示す斜視図
【図３】ホルダユニットの構成を示す断面図
【図４】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図
【図５】位置計測手段とホルダユニットとの位置関係を示す斜視図
【図６】ホルダユニットに設けられたホルダアライメントマークと、マスターディスクに設けられたマスターアライメントマークとの位置関係を示す図
【図７】磁気転写装置の運転方法について説明するフローチャート
【図８】位置計測手段とホルダユニットとの位置関係を示す斜視図
【符号の説明】
【０１１５】
１０…磁気転写装置、１２…装置本体、１４…クリーンユニット、１６…ＣＣＤカメラ、１７…照明光源、１８…ミラー、２２…ホルダユニット（保持手段）、２３…固定側ホルダ、２４…移動側ホルダ、２６…ディスク供給ユニット、３０Ａ…制御手段、３２…コイルユニット、３４…ディスク排出ユニット、３８…供給用カセット、４０…スレーブディスク（被転写用ディスク）、４６…マスターディスク、５６…排出用カセット、７０…ロボット（駆動手段）
【図１】
2006134485.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2006134485.tif 000006
【図５】
2006134485.tif 000007
【図６】
2006134485.tif 000008
【図７】
2006134485.tif 000009
【図８】
2006134485.tif 000010