(57)【要約】    【課題】ランプの切換えのみでＴＡＢテープの反射光検査と透過光検査とを同一装置で行い得るＴＡＢテープの検査用冶具を提供する。    【解決手段】資料台４とベース５とを備えている。資料台４は、その略中央部に検査用開口４１が、その側縁に内面にＴＡＢテープ２の両側縁を保持可能な段差４２ａを有する壁４２が設けられた保持板４３と、保持板４３の両端部を覆うように設けられた蓋４４と、保持板４３の低部外面に設けられた少なくとも一組の脚部４５とから構成され、ベース５は、脚部４５の下に設けられ、且つその内部にエンボススペーサー３が通過可能なスペース５aが設けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
資料台とベースとを備えたＴＡＢテープの検査用冶具であって、前記資料台は、その略中央部に検査用開口が、その両側縁に内壁面にＴＡＢテープの両側端を保持可能な段差を有する壁が設けられた保持板と、該保持板の両端部を覆うように設けられた蓋と、前記保持板の低部外面に設けられた少なくとも一組の脚部とから構成され、前記ベースは、前記脚部の下に設けられ、且つその内部にエンボススペーサーが通過可能なスペースが設けられていることを特徴とするＴＡＢテープの検査用冶具。
【請求項２】
前記壁の段差上面より前記保持板の上面までの距離及び前記壁の段差上面より前記蓋の下面までの距離がそれぞれ少なくとも１．５ｍｍである請求項１に記載のＴＡＢテープの検査用冶具。
【請求項３】
前記スペースの高さが少なくとも５ｍｍ程度である請求項１または２に記載のＴＡＢテープの検査用冶具。
【請求項４】
帯電防止可能な材料で作成されている請求項１乃至３の何れかに記載のＴＡＢテープの検査用冶具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢテープの外観検査に用いる冶具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置を構成する電子部品の一つにＴＡＢテープがある。このＴＡＢテープには、良く知られているように、例えば、特許文献１に記載されているように、銅箔とポリイミドテープを接着剤で貼り合わせた３層ＴＡＢやポリイミドフィルムに直接銅箔を設けた２層ＴＡＢがあり、何れも銅箔上にレジスト層を設け、これをパターニングしてエッチングレジストを得、露出している銅箔部をエッチング除去し、次いで残存するレジスト層を除去して、必要あればメッキを施して得ている。
【０００３】
このようにして得たＴＡＢテープは、長尺の基材を用いてリール・ツー・リール方式により製造される。このため、リール巻取り時のＴＡＢテープ同士の接触を防止するために、両側縁に凹凸処理を施したテープ状スペーサーを（以下、エンボススペーサーという）を用いてリールに巻き取られる。
【０００４】
ところで、このようにして得たＴＡＢテープが所望の製品規格に合致しているかどうかの検査は、例えば、特許文献２に記載されたようにＣＣＤカメラを用いて行う場合もあるが、例えば色むらのようにＣＣＤカメラでは検出できない項目もあるため、最終的には顕微鏡による目視検査によって行われている。
【特許文献１】特開平６−１９６５２９号公報
【特許文献２】特開平５−３４０８９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
顕微鏡による検査を実施する際には、検査時にＴＡＢテープの表面へ顕微鏡の対物レンズの先端等が接触しないようにするために、また、ＴＡＢテープを安定して搬送することを目的として、ＴＡＢテープを保持するための冶具（以下、検査冶具という）を用いる。
【０００６】
図５は、顕微鏡を用いた従来の検査装置の概略構成を示している。図５において、Ａは検査されるべきＴＡＢテ−プＢの巻取りリール、Ｃはエンボススペーサー、Ｄは検査冶具、Ｅは顕微鏡である。ＴＡＢテープＢとエンボススペーサーＣとは、一体となって検査冶具Ｄ内部を通過するように構成されている。通常、顕微鏡Ｅでの検査は、ＴＡＢテープ表面に光を照射し、その反射光を顕微鏡Ｅで観察する、いわゆる反射光検査方式で行われる。
【０００７】
近年、ＴＡＢテープに設けられる配線パターンも高密度配線化が求められるようになり、インナーリード幅２０μｍ、リード間隔２０μｍ以下のものも作成されるようになって来ている。これに伴いパターンの欠陥がより明確になるような検査方法が求められるようになって来ている。
【０００８】
配線部の突起や欠けといった欠陥を検出するためには、ＴＡＢテ−プの下部より光を照射し、透過してきた光を観察する、いわゆる透過光検査が上記反射光検査より有利であることは、リードフレーム等エンボススペーサーを用いないものの検査で確認されている。図６及び７はこの事実を示すものであり、図６はＴＡＢテープ銅配線パターンの一部を反射像で見た様子を、図７は同一部分を透過像で見た様子を夫々示している。反射像で見る場合には、通常ソルダーレジスト（通常緑色）を通して銅配線パターンを見ることになる。一方、透過像で見る場合には、透過光はソルダーレジストを透過するが銅配線パターンは透過しないために、ソルダーレジストに影響されることなく銅配線パターンの欠陥有無（突起物等）を容易に確認することができる。このことから、例えばランプの切換えのみの簡便な方法により、ＴＡＢテープの反射光検査と透過光検査とを、同一装置で行うことが求められている。
【０００９】
ＴＡＢテープの検査に透過光検査方式を採用しようとすると、ＴＡＢテープの下側にランプを設置して透過像を得る必要がある。しかしながら、従来の冶具を用いた方法では、ＴＡＢテープの下にエンボススペーサーがあること、検査冶具に製品の搬送を容易にするためのスペーサーを付けていたことから透過ランプからの光がこれらに遮られてしまい、透過光検査を実施することが出来なかった。
【００１０】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ランプの切換えのみでＴＡＢテープの反射光検査と透過光検査とを同一装置で行い得るＴＡＢテープの検査用冶具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するため、本発明によるＴＡＢテープの検査用冶具は、資料台とベースとを備えたＴＡＢテープの検査用冶具であって、前記資料台は、その略中央部に検査用開口が、その両側縁に内壁面にＴＡＢテープの両側縁を保持可能な段差を有する壁が設けられた保持板と、該保持板の両端部を覆うように設けられた蓋と、前記保持板の低部外面に設けられた少なくとも一組の脚部とから構成され、前記ベースは、前記脚部の下に設けられ、且つその内部にエンボススペーサーが通過可能なスペースが設けられていることを特徴とする。
【００１２】
本発明のよれば、前記壁の段差上面より前記保持板の上面までの距離及び前記側壁の段差上面より前記蓋の下面までの距離が、好ましくは、それぞれ少なくとも１．５ｍｍである。
【００１３】
また、本発明によれば、前記スペースの高さが、好ましくは、少なくとも５ｍｍ程度である。
【００１４】
また、本発明によれば、ＴＡＢテープの検査用冶具は、帯電防止可能な材料で作成されている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のＴＡＢテープ検査用冶具は、簡便に使用することができ、特別な専用搬送装置を必要としない。従って、ＴＡＢテープの反射光検査と透過光検査を同一の装置で簡便且つ安価に実施することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図示した実施例に基づき説明する。
図１は本発明にかかるＴＡＢテープ検査装置の概略構成を示す側面図、図２は資料台の一実施例の平面図、図３は図２の側面図、図４は図２のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【００１７】
図１において、１及び１’はＴＡＢテープ２の巻取りリール、３はエンボススペーサー、４は資料台、５はベース、６は顕微鏡、７は透過光用ランプ、８は反射光用ランプである。
資料台４は、略中央部に顕微鏡６の対物レンズの光軸と整合する検査用開口４１と、内壁面にＴＡＢテープ２の両側縁部を保持し得る段差４２ａを設けた壁４２を有する保持板４３と、保持板４３の両端部を覆う蓋４４と、保持板４３の下面に設けられた少なくとも一組の脚部４５とを備えている。
ベース５は、脚部４５の下に設けられていて、内部にエンボススペーサー３が通過可能のスペース５ａが設けられている。
【００１８】
ＴＡＢテープ２とエンボススペーサー３とはＴＡＢテープの巻取りリール１より繰り出され、冶具手前で一旦別々に分けられる。そして、ＴＡＢテープ２は資料台４の入り口側から挿入され、その先端両側縁は段差４２ａの上面に保持されて検査用開口４１の上を通過し、資料台４の出口より輩出される。
エンボススペーサー３は、ＴＡＢテープ２と一旦分離された後、ベース５内部のスペース５ａ内を通過する。その後、ＴＡＢテープ２とエンボススペーサー３とは重ね合わせられて、ＴＡＢテープの巻取りリール１’に巻き取られる。
【００１９】
本検査冶具を用いてＴＡＢテープの反射像を得るには、例えば、透過光用ランプ７のスイッチをオフにして反射光用ランプ８をオンとし、照明光用ランプ８の光で照らされた被検部分の反射光を顕微鏡６に取り込めば良い。そして、透過像は、透過光用ランプ７をオンとして照明光用ランプ８をオフとし、被検部分を透過した光を顕微鏡６に取り込めば良い。この場合、透過光用ランプ７と資料台４との間にシャッターを設けて、透過光用ランプ７のオン・オフをシャッターの開閉で代用しても良い。
【００２０】
上記説明で明らかなように、本冶具においては、検査されるべきＴＡＢテープ２は段差４２ａの上面上に保持されつつ移動するため、保持板４３の上面と段差４２ａの上面との間の距離Ｓ１と、段差４２ａの上面と蓋４４の下面との間の距離Ｓ２は、ＴＡＢテープ２に設けられたソルダーレジスト層の厚さを考慮すると、それぞれ少なくとも１．５ｍｍとするのが好ましい。
また、ベース５内のスペース５ａの高さは、エンボススペーサー３の通過を可能にするために少なくとも５ｍｍ程度とするのが好ましい。
また、ＴＡＢテープ２がポリイミドフィルム等の有機絶縁フィルムからなることを考慮すると、資料台４及びベース５は、帯電防止機能を有する材料で作られることが好ましい。
【００２１】
実施例
材料としてアクリル樹脂を用いて資料台４を作成し、ステンレスを用いてエンボススペーサー３を通すベース５を作成して、図１に示す検査装置を組み立てた。
被検体としては、幅４８ｍｍ、長さ３０ｍｍのＴＡＢテープを用いた。このＴＡＢテープには、両側端縁から２ｍｍ内側の範囲に一定間隔でスプロケットホール（パーフォレーション）が設けられていたため、開口４１の大きさは、３９ｍｍ×５０ｍｍとし、四隅は強度を持たせるためＲが２ｍｍの円弧にした。
このＴＡＢテープの１パターン毎に反射像と透過像を観察し、反射像で色むらやレジスト異常の有無を判定し、透過像でリード部に発生している突起やパターン欠けの有無を判定して不良率を求めた。その結果、以下のようであった。
反射像での不良率    １．９％
透過像での不良率    ４．３％
合計不良率          ６．２％
この結果から明らかなように、本検査冶具を用いることにより、正確に不良率を検出することが可能となり、クレームの発生を防止することが可能となった。
【００２２】
従来例
透過光用ランプを常時オフにして、反射像のみで色むら，レジスト異常，リード部の突起，パターン欠けの有無を判定して不良率を求めた以外は、上記実施例と同様にして不良率を求めた。なお、透過像での不良率を求めないことを顧慮して、通常以上に注意して不良の判定を行った。その結果、不良率は１．９％と実施例と同様になった。
その後、得られた良品を対象として別途透過検査を行ったところ、パターン系の不良が約２％程度検出された。この点を考慮しても全体で不良率は約４％程度でしかなく、本検査冶具を用いた場合より低い不良率しか検出できず、不正確であることが分かった。
【００２３】
上記説明で明らかなように、本発明にかかる検査冶具を用いれば、同一装置で照明用ランプのオン・オフ操作のみで、反射光検査と透過光検査とを行うことが可能であり、極めて便利である。また、かかる構成を採るため、本発明の検査冶具を用いた検査方法は安価に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明にかかるＴＡＢテープ検査装置の概略構成を示す側面図である。
【図２】資料台の一実施例の平面図である。
【図３】図２の側面図である。
【図４】図４は図２のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】従来のＴＡＢテープ検査装置の概略構成を示す側面図である。
【図６】リードフレームのインナーリード部の一部を反射像で見た様子を示す図である。
【図７】図６に示したのと同一部分を透過像で見た様子を示す図である。
【符号の説明】
【００２５】
１，１'               ＴＡＢテープ巻取りリール
２                    ＴＡＢテープ
３                    エンボススペーサー
４                    資料台
５                    ベース
６                    顕微鏡
７                    透過光用ランプ
８                    反射光用ランプ
４１                  検査用開口
４２                  壁
４２ａ                壁の内面に設けた段差
４３                  保持板
４４                  蓋
４５                  脚部
Ｓ１                  段差の上面と保持板の上面との間の距離
Ｓ２                  蓋の下面と段差の上面との間の距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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