(57)【要約】【課題】  加工対象物の加速期間中にも、所望のレーザ加工を行うことができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】  保持機構が、帯状の加工対象物を保持し、加工対象物を、その長さ方向に送る。保持機構は、送り開始から一定の加速度で送り速度を上昇させ、目標速度に到達すると、送り速度を目標速度に維持する。レーザ光源が、加工対象物にパルスレーザビームを入射させてレーザ加工を行う。加工対象物の長さ方向に関して一定の第１の間隔で分布する位置にパルスレーザビームが入射するように、加工対象物の送り速度が一定の加速度で上昇している加速期間には、レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期が、送り速度に基づいて制御される。送り速度が目標速度に到達して一定の目標速度に維持されている等速期間には、パルスレーザビームの出射時期が、目標速度に基づいて制御される。【選択図】  図３
2006320952.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の加工対象物を保持し、該加工対象物を、その長さ方向に送る保持機構であって、送り開始から一定の加速度で送り速度を上昇させ、目標速度に到達すると、送り速度を該目標速度に維持する保持機構と、
前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させてレーザ加工を行うレーザ光源と、
前記加工対象物の長さ方向に関して一定の第１の間隔で分布する位置にパルスレーザビームが入射するように、前記加工対象物の送り速度が一定の加速度で上昇している加速期間には、前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を、送り速度に基づいて制御し、送り速度が目標速度に到達して一定の目標速度に維持されている等速期間には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する制御装置と
を有するレーザ加工装置。
【請求項２】
前記パルスレーザビームの１つのレーザパルスである第１のレーザパルスが前記加工対象物に入射した後、該加工対象物の長さ方向に離れた位置に次の第２のレーザパルスが入射するまでの期間が、前記加速期間から等速期間に移行する時点を跨るとき、該第１及び第２のレーザパルスの入射位置の間隔が前記第１の間隔と等しくなるように、前記制御装置が前記第１のレーザパルスの出射から第２のレーザパルスの出射までの間隔を制御する請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記加速期間から等速期間に切り替わる時点に、前記加工対象物にレーザパルスが入射するように、前記加速期間に前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を制御する請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
さらに、前記レーザ光源から出射したパルスレーザビームを、前記加工対象物の長さ方向と交差する第１の方向に走査するビーム走査器を有し、
前記制御装置は、前記ビーム走査器を制御して、前記第１の方向に関する走査開始位置から走査終了位置までパルスレーザビームを走査して、始点から終点まで一様に分布する１列の被加工点にレーザパルスを入射させる工程を複数回繰り返し、該被加工点の複数の列の始点が、前記加工対象物の長さ方向に関して前記第１の間隔で分布するように該始点に入射させるレーザパルスの出射時期を制御し、前記等速期間に、パルスレーザビームの入射位置が前記第１の方向に関して第２の間隔で分布するように前記レーザ光源及びビーム走査器を制御し、前記加速期間に、パルスレーザビームの入射位置が、前記第１の方向に関して前記第２の間隔で分布し、かつその配列方向が、前記等速期間に前記第１の方向にパルスレーザビームを走査することにより形成された複数の被加工点の配列する方向と平行になるように前記レーザ光源及びビーム走査器を制御する請求項１〜３のいずれかに記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
さらに、前記保持機構は、目標速度から一定の負の加速度で送り速度を低下させて、保持された加工対象物を静止させ、
前記制御装置は、送り速度が一定の負の加速度で低下している減速期間に、該加工対象物の長さ方向に関して一定の前記第１の間隔で分布する位置にパルスレーザビームが入射するように、前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を制御する請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項６】
（ａ）帯状の加工対象物を、その長さ方向に送る工程であって、送り速度を一定の加速度で上昇させ、送り速度が目標速度に到達したら、送り速度を該目標速度に維持する工程と、
（ｂ）長さ方向に送られている前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させて加工を行う工程であって、パルスレーザビームの入射位置が、該加工対象物の長さ方向に一定の第１の間隔で配列するように、加速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を送り速度に基づいて制御し、等速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する工程と
を有するレーザ加工方法。
【請求項７】
前記工程ｂにおいて、さらに、パルスレーザビームの入射位置を、前記加工対象物の長さ方向と交差する第１の方向に移動させながら１列分の加工を行う工程を繰り返して複数列の加工を行い、各列の最初のパルスレーザビームの入射位置が、前記一定の第１の間隔で分布するようにパルスレーザビームの出射間隔を制御し、各列のパルスレーザビームの入射位置が前記第１の方向に関して一定の第２の間隔で分布し、前記加速期間中に加工される列内のレーザビームの入射位置を結ぶ直線が、前記等速期間中に加工される列内のレーザビームの入射位置を結ぶ直線と平行になるように、パルスレーザビームの出射間隔を制御する請求項６に記載のレーザ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置及び加工方法に関し、特に帯状の加工対象物を長さ方向に送りながらレーザビームを入射させて加工を行うレーザ加工装置及び加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１及び２に、帯状の加工対象物を長さ方向に送りながら、レーザビームを幅方向に走査してミシン目加工を行う技術が開示されている。いずれの場合にも、加工対象物の送り速度の変化を考慮して、レーザビームの入射位置を送り方向に移動させることにより、送り速度に依存しないで長さ方向に直交するミシン目を形成することができる。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２８００８２号公報
【特許文献２】特開２００１−２６９７９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１及び２に開示されたレーザ加工技術においては、レーザビームを加工対象物の幅方向に走査するとともに、レーザビームの入射位置を送り方向に移動させる機構が必要になる。また、加工時の送り速度の変化に起因するレーザビームの入射位置の軌跡の乱れを防止することを目的としている。レーザビームの入射位置を送り方向に移動させる距離は、送り速度の不安定性に起因する速度の変化を吸収できる程度でよい。
【０００５】
特許文献１及び２に開示された技術では、送り速度が目標速度に到達した後の加工が対象とされている。加工対象物の加速期間中や減速期間中には、ミシン目加工を行うことは考慮されていない。送り速度が目標速度よりも著しく遅い期間に加工されるミシン目と、目標速度で送られている期間に加工されるミシン目と、共に長さ方向に対して直交させるためには、レーザビームの入射位置の、送り方向への移動可能距離を長くしなければならない。
【０００６】
本発明の目的は、加工対象物の加速期間中にも、所望のレーザ加工を行うことができるレーザ加工装置及び加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、帯状の加工対象物を保持し、該加工対象物を、その長さ方向に送る保持機構であって、送り開始から一定の加速度で送り速度を上昇させ、目標速度に到達すると、送り速度を該目標速度に維持する保持機構と、前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させてレーザ加工を行うレーザ光源と、前記加工対象物の長さ方向に関して一定の第１の間隔で分布する位置にパルスレーザビームが入射するように、前記加工対象物の送り速度が一定の加速度で上昇している加速期間には、前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を、送り速度に基づいて制御し、送り速度が目標速度に到達して一定の目標速度に維持されている等速期間には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する制御装置とを有するレーザ加工装置が提供される。
【０００８】
本発明の他の観点によると、（ａ）帯状の加工対象物を、その長さ方向に送る工程であって、送り速度を一定の加速度で上昇させ、送り速度が目標速度に到達したら、送り速度を該目標速度に維持する工程と、（ｂ）長さ方向に送られている前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させて加工を行う工程であって、パルスレーザビームの入射位置が、該加工対象物の長さ方向に一定の第１の間隔で配列するように、加速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を送り速度に基づいて制御し、等速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する工程とを有するレーザ加工方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
加速期間にも、等速期間中に入射するレーザパルスの入射位置と同じ間隔で、レーザパルスの入射位置を分布させることができる。これにより、加工対象物を有効に使用することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１に、実施例によるレーザ加工装置の概略図を示す。パルスレーザ光源１が、加工用のパルスレーザビームを出射する。パルスレーザ光源１は、例えば炭酸ガスレーザ発振器とトリガパルス発生器を含んで構成される。パルスレーザ光源１から出射されたパルスレーザビームが、ビーム走査器２及びレンズ３を経由して、加工対象物１０に入射する。ビーム走査器２は、例えば揺動する反射鏡を含むガルバノスキャナであり、レーザビームを１次元方向に走査する。レンズ３として、例えばｆθレンズが用いられる。レンズ３は、パルスレーザビームを加工対象物１０の表面に集束させる。
【００１１】
加工対象物１０は、帯状の形状を有し、繰出しリール４から繰り出されて、巻取りリール５に巻き取られる。駆動機構６が、繰出しリール４及び巻取りリール５を所定の速さで回転させる。駆動機構６に、目標速度ｖｃ、加速時間ｔａ、減速時間ｔｓ、及び等速時間ｔｃの情報が設定されている。駆動機構６が起動されると、駆動機構６は、加速時間ｔａで送り速度が目標速度ｖｃに到達するように、加工対象物１０の送り速度を一定の加速度で上昇させる。送り速度が目標速度ｖｃに到達すると、送り速度を目標速度ｖｃに維持する。目標速度ｖｃに到達してから等速時間ｔｃが経過すると、減速時間ｔｓで送り速度が０になるように、一定の負の加速度で送り速度を低下させる。
【００１２】
制御装置７が、パルスレーザ光源１に発振指令信号ｓｉｇ０を送信し、ビーム走査器２に移動指令信号ｓｉｇ１を送信する。パルスレーザ発振器１は、発振指令信号ｓｉｇ０を受信する度に、１つのレーザパルスを出射する。ビーム走査器２が移動指令信号ｓｉｇ１を受信すると、移動指令信号ｓｉｇ１で指示された位置にレーザビームが入射する状態に遷移する。駆動機構６に設定されている目標速度ｖｃ、加速時間ｔａ、減速時間ｔｓ、及び等速時間ｔｃと同一の情報が、制御装置７にも設定されている。駆動機構６は、起動されると、加工対象物１０の繰り出し及び巻き取りを開始すると同時に、移動開始通知信号ｓｉｇ１を制御装置７に送信する。
【００１３】
なお、制御装置７から駆動機構６に、移動の開始を指令する信号を送信するようにしてもよい。また、目標速度ｖｃ、加速時間ｔａ、減速時間ｔｓ、及び等速時間ｔｃの情報を、駆動機構６及び制御装置７の一方のみに設定しておき、一方から他方に設定情報を転送するようにしてもよい。
【００１４】
図２に、加工対象物１０の一部の概略平面図を示す。加工対象物１０の送り方向をＸ軸の正方向とし、幅方向をＹ軸方向とするＸＹ直交座標系を導入する。ビーム走査器２によるレーザビームの走査方向がＹ軸方向と平行になる。Ｘ軸に平行な横縞と幅方向に延在する縦縞とが直角からややずれた角度で交わる格子縞の各格子点に対応する位置に、被加工点１１が配置されている。Ｘ軸方向のピッチをｐｘ、Ｙ軸方向のピッチ（相互に隣り合う横縞の間隔）をｐｙとする。複数の縦縞の各々に沿って分布する被加工点１１の集合を「被加工点の列」と呼ぶこととする。
【００１５】
Ｙ軸方向に関して、走査開始位置Ｙｓから走査終了位置Ｙｅまでレーザビームを走査することにより、１列分の被加工点１１が加工される。走査開始位置Ｙｓに位置する被加工点１１を「始点」と呼び、走査終了位置Ｙｅに位置する被加工点１１を「終点」と呼ぶこととする。
【００１６】
以下、１列分の被加工点１１の加工の手順を、より詳細に説明する。加工中に、加工対象物１０は、Ｘ軸方向にある速さで送られている。レーザビームの入射位置のＹ座標が走査開始位置Ｙｓに一致するように、図１に示したビーム走査器２を制御する。ビーム走査器２の制御が完了すると、パルスレーザ光源１から、レーザパルスを１ショットだけ出射させる。その後、レーザビームの入射位置が、Ｙ軸の正方向にピッチｐｙだけ移動するように、ビーム走査器２を制御する。ビーム走査器２の制御が完了すると、パルスレーザ光源１からレーザパルスを１ショットだけ出射させる。
【００１７】
加工中の列の終点の加工が終了するまで、レーザビームの入射位置の１ピッチ分の移動と、レーザパルスの出射とを繰り返す。
１列分の加工が終了すると、レーザビームの入射位置が走査開始位置Ｙｓに戻るように、ビーム走査器２を制御する。次に加工すべき列の始点がレーザビームの入射位置まで送られてきた時点から、次の１列分の加工を開始する。
【００１８】
次に、図３を参照して、第１の実施例によるレーザ加工方法について説明する。
図３は、加工対象物１０の送り速度の時間変化、及びパルスレーザビームの出射タイミングを示すグラフである。横軸は、時刻ｔ１＝０からの経過時間を表し、縦軸は加工対象物１０の送り速度を表す。また、横軸上に、レーザパルスの出射時期を短い縦線で示す。
【００１９】
時刻ｔ１で、加工対象物１０の送りが開始され、一定の加速度で送り速度が上昇し、時刻ｔａで目標速度ｖｃに到達する。目標速度ｖｃに到達した後は、送り速度が目標速度ｖｃに維持される。送り開始時刻ｔ１から１列目の加工が開始され、加工時間Ｐｔ１が経過した時点で、１列目の加工が終了する。時刻ｔ２から２列目の加工が開始され、加工時間Ｐｔ２が経過した時点で、２列目の加工が終了する。
【００２０】
時刻ｔｎからｎ列目の加工が開始され、加工時間Ｐｔｎが経過した時点でｎ列目の加工が完了する。時刻ｔｎ＋１からｎ＋１列目の加工が開始され、加工時間Ｐｔｎ＋１が経過した時点でｎ＋１列目の加工が完了する。時刻ｔｎから、次の列の加工が開始される時刻ｔｎ＋１までの期間が、加速期間から等速期間に切り替わる時刻ｔａを跨る。
【００２１】
まず、加速期間中における各列の加工開始時刻、すなわち、各列の始点にパルスレーザビームを入射させる時刻を決定する方法について説明する。加工対象物１０の送りの加速度をａとすると、加速度ａは、
ａ＝ｖｃ／ｔａ
と表される。目標速度ｖｃ及び加速時間ｔａは、予め与えられている。加工対象物１０の送り開始時刻０から、１列目の加工を開始する。加工対象物１０が長さ方向のピッチｐｘだけ送られる度に、次の１列の加工を開始すればよいことになる。時刻ｔまでに加工対象物１０が送られる長さＬは、
Ｌ＝（１／２）ａｔ２
となる。第ｉ列目の加工開始時刻ｔｉまでに送られる長さＬｉが、ｐｘ（ｉ−１）に等しくなればよい。
（１／２）ａｔｉ２＝ｐｘ（ｉ−１）
を解くと、
ｔｉ＝（２ｐｘ（ｉ−１）／ａ）１／２
が得られる。このように、徐々に上昇する送り速度に基づいて、各列の加工開始時刻（各列の始点にレーザパルスを入射させる時刻）を決定することにより、各列の始点を、加工対象物１０の長さ方向に一定のピッチｐｘで配列させることができる。
【００２２】
次に、等速期間に切り替わって最初に加工する列の加工開始時刻ｔｎ＋１の決定方法について説明する。加速期間中の時刻ｔｎから時刻ｔａまでに送られる長さＬａは、
Ｌａ＝（ａ／２）（ｔａ２−ｔｎ２）
と表される。等速期間中の時刻ｔａから時刻ｔｎ＋１までに送られる長さＬｃは、
Ｌｃ＝ｖｃ（ｔｎ＋１−ｔａ）
と表される。Ｌａ＋Ｌｃがピッチｐｘに等しくなればよいのであるから、
ｔｎ＋１＝ｔａ＋（ｐｘ−（ａ／２）（ｔａ２−ｔｎ２））／ｖｃ
が得られる。この式から、等速期間に最初に加工される列の開始時刻ｔｎ＋１を求めることにより、ｎ列目とｎ＋１列目の始点同士の間隔をピッチｐｘに等しくすることができる。
【００２３】
このように、ある列の加工開始時刻から次の列の加工開始時刻までの期間が、加速期間から等速期間に切り替わる時刻ｔａを跨る場合には、加速期間中に送られる長さと、等速期間中に送られる長さとの和がピッチｐｘに等しくなるように、２つの列の加工開始時刻の間隔が決定される。
【００２４】
次に、等速期間における各列の加工開始時刻の決定方法について説明する。等速期間に加工されるある列の加工開始時刻から、次に加工される列の加工開始時刻までの時間（加工周期）Ｔｃが、
Ｔｃ＝ｐｘ／ｖｃ
となるように、加工周期Ｔｃを決定すればよい。このように、等速期間中は、送りの目標速度ｖｃに基づいて、各列の加工開始時刻が決定される。
【００２５】
次に、等速期間中に加工される列の各々の加工方法について説明する。各列の始点から終点までの加工時間Ｐｃと、レーザビームの入射位置が走査終了位置Ｙｅから走査開始位置Ｙｓまで戻るのに必要な時間との和が、加工周期Ｔｃよりも短くなるように、加工時間Ｐｃを決定する。レーザパルスの出射時期を、加工時間Ｐｃ内で均等に分布させる。これにより、パルスレーザビームの入射位置を、１列内に一定のピッチｐｙで分布させることができる。
【００２６】
次に、加速期間中に加工される列の各々の加工方法について説明する。加速期間中の送り速度は、目標速度ｖｃよりも遅いため、１列の加工時間を等速期間中の加工時間Ｐｃと等しくすると、加速期間中に加工される列が、等速期間中に加工される列と平行にならない。このため、加速期間中に加工される複数の列の始点の間隔が、ピッチｐｘからずれてしまう。
【００２７】
加速期間中に加工が開始されるｉ列目の始点から終点までの加工時間Ｐｔｉの決定方法について説明する。加速期間中に加工されるｉ列目の加工開始時刻からｉ＋１列目の加工開始時刻までの間隔Ｔｉは、
Ｔｉ＝ｔｉ＋１−ｔｉ
となる。この間隔Ｔｉの間の送りの平均速度をｖｉとする。間隔Ｔｉの時間に加工対象物１０が送られる長さと、等速期間において加工周期Ｔｃの間に送られる長さとは、共にピッチｐｘに等しいから、
ｖｉＴｉ＝ｖｃＴｃ
が成り立つ。
【００２８】
等速期間中の加工時間Ｐｃの間に、加工対象物１０が送られる長さはｖｃＰｃである。このため、各列の終点のＸ座標は、始点のＸ座標からｖｃＰｃだけずれる。加速期間中に加工される列の始点と終点とのＸ軸方向のずれを、等速期間中に加工される列の始点と終点とのＸ軸方向のずれと等しくすればよい。ある列の終点にレーザビームを入射してから、次の列の始点にレーザビームを入射するまでの期間、すなわちＴｉ−Ｐｔｉは、加工時間Ｐｔｉに比べて十分短いため、ｉ列目の加工期間中の平均の送り速度は、上記平均速度ｖｉに等しいと近似できる。従って、ｉ列目の始点と終点とのＸ軸方向のずれは、ｖｉＰｔｉと近似できる。ｉ列目の始点と終点とのＸ軸方向のずれを、等速期間に加工される列の始点と終点とのＸ軸方向のずれｖｃＰｃと等しくするためには、下記の等式が成り立てばよい。
ｖｃＰｃ＝ｖｉＰｔｉ
これらの式から、
Ｐｔｉ＝（Ｔｉ／Ｔｃ）Ｐｃ
が得られる。この加工時間Ｐｔｉ内に、レーザパルスの出射時期を等間隔で分布させることにより、パルスレーザビームの入射位置を、１列内に一定のピッチｐｙで分布させることができる。さらに、上述の式で示すように、加工時間Ｐｔｉを決定すると、第ｉ番目の列を、等速期間中に加工される列とほぼ平行にすることができる。
【００２９】
図３では、加速期間中の加工方法について説明したが、減速期間中も同様に、各列の加工開始時期、及び加工時間を決定することができる。これにより、減速期間中も、加工対象物１０の長さ方向及び幅方向に関して一定のピッチで分布する被加工点にパルスレーザビームを入射させることができる。
【００３０】
一例として、送りの目標速度ｖｃは約３３ｍｍ／ｓ、加速時間ｔａは約５秒、ピッチｐｘ及びｐｙは約２ｍｍ、各列の始点から終点までのＹ軸方向の距離は約６０ｍｍである。第１の実施例による方法を採用することにより、加速期間中に加工される領域にも、被加工点を、長さ方向及び幅方向に一様に分布させることができる。
【００３１】
次に、図４を参照して、第２の実施例によるレーザ加工方法について説明する。図３に示した第１の実施例では、ｎ番目の列の加工開始時点からｎ＋１番目の列の加工開始時点までの期間が、加速期間から等速期間に切り替わる時刻ｔａを跨った。第２の実施例では、加速期間から等速期間に切り替わる時刻ｔａに、丁度ある列の加工が開始されるように、各列の加工開始時刻が調整される。以下、この調整方法について説明する。
【００３２】
加速期間中に加工対象物１０が送られる長さＬａは、
Ｌａ＝（１／２）ａｔａ２
となる。この長さＬａを長さ方向のピッチｐｘで割ったときの余りをＲａとする。時刻０に加工対象物１０を送り始めてから、余りＲａに等しい長さだけ送った時点ｔ１から、１列目の加工を開始する。送りの加速度をａとすると、
ｔ１＝（２Ｒａ／ａ）１／２
となる。
【００３３】
２列目以降は、加工対象物１０がピッチｐｘだけ送られる度に、列の加工を開始すればよい。第ｉ列目の加工開始時刻ｔｉは、
ｔｉ＝（２／ａ）（ｐｘ（ｉ−１）＋Ｒａ）
となる。ｉ番目の列の始点から終点までの加工時間Ｐｔｉは、第１の実施例の場合と同様の方法で決定することができる。
【００３４】
第２の実施例の場合にも、第１の実施例の場合と同様に、加速期間中にも、被加工点１１を、長さ方向及び幅方向に一様に分布させることができる。第２の実施例では、加工対象物の送りを開始した時点から最初にパルスレーザビームを入射させる時刻ｔ１までに送られる領域には、被加工点１１を分布させることができない。ただし、第１の実施例の場合には、加速期間から等速期間に切り替わる時点で、次に加工する列の加工開始時刻を算出するための複雑な計算を行う必要がある。第２の実施例では、加速期間から等速期間に切り替わる時点に、ある列の加工が開始されるように調整されているため、この複雑な計算を行う必要がない。
【００３５】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】実施例によるレーザ加工装置の概略図である。
【図２】実施例によるレーザ加工方法で加工される対象物の一部の平面図である。
【図３】第１の実施例によるレーザ加工方法における加工対象物の送り速度の時間変化と、レーザパルスの入射時刻とを示すグラフである。
【図４】第２の実施例によるレーザ加工方法における加工対象物の送り速度の時間変化と、レーザパルスの入射時刻とを示すグラフである。
【符号の説明】
【００３７】
１  パルスレーザ光源
２  ビーム走査器
３  レンズ
４  繰出しリール
５  巻取りリール
６  駆動機構
７  制御装置
１０  加工対象物
【図１】
2006320952.tif 000003
【図２】
2006320952.tif 000004
【図３】
2006320952.tif 000005
【図４】
2006320952.tif 000006