(57)【要約】【課題】  流路ユニットとアクチュエータユニットの共通電極とを高い信頼性で接続する。【解決手段】  インクジェットヘッドは、流路ユニット４と、流路ユニット４と接着されたアクチュエータユニット２１とを含んでいる。流路ユニット４のアクチュエータユニット２１との接着面には、導電性部材３１が充填された凹部３０が形成されている。アクチュエータユニット２１は、複数の圧力室１０を跨るように配置された共通電極３４と各圧力室１０に対応する複数の個別電極３５とを有している。共通電極３４は、アクチュエータユニット２１の流路ユニット４との接着面において露出した端子４６と電気的に接続されている。端子４６は凹部３０と対向した位置に形成されており、導電性部材３１と接触している。【選択図】      図６
2006168004.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル及びそれぞれが前記ノズルと連通した複数の圧力室を有する流路ユニットと、
圧電シート、それぞれが前記圧力室に対向する複数の個別電極、及び、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極を有しており、前記流路ユニットに接着されたアクチュエータユニットとを備えており、
前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットとの接着面には、前記共通電極と電気的に接続されている接触端子が露出しており、
前記流路ユニットの前記アクチュエータユニットとの接着面には、前記接触端子と対向する凹部が形成されており、前記凹部に充填された導電性材料が前記接触端子に接触していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記凹部の開口部の面積が底部の面積よりも大きくなっていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記流路ユニットが、前記凹部と外気とを連通させる連通通路をさらに有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記連通通路における外気との連通口が封止されていることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記流路ユニットが、前記凹部に連通している予備室をさらに有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記共通電極が、前記アクチュエータユニットの端面に露出するように前記圧電シートの周縁にまで延在しており、
前記アクチュエータユニットが、前記端面及び前記流路ユニットとの接着面に連続して形成されていると共に前記共通電極と前記接触端子とを電気的に接続している導通配線をさらに有していることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記共通電極が、前記アクチュエータユニットの端面に露出するように前記圧電シートの周縁にまで延在しており、
前記アクチュエータユニットが、前記端面及び前記流路ユニットとの接着面に連続して形成されていると共に前記共通電極と前記接触端子とを電気的に接続している導通配線をさらに有しており、
前記連通通路が、前記流路ユニットの前記アクチュエータユニットとの接着面に形成された溝であると共に、前記導通配線における前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットとの接着面に形成されている領域の少なくとも一部と対向していることを特徴とする請求項３又は４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記アクチュエータユニットが、その内部において前記流路ユニットとの接着面に直交するように形成されていると共に前記共通電極と前記接触端子とを電気的に接続している導通配線を有していることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記アクチュエータユニットが、前記共通電極における前記複数の個別電極と反対側に前記共通電極と平行になるように配置された補強電極をさらに有しており、
前記導通配線が、前記共通電極及び前記補強電極と直接的に接続されていると共に前記アクチュエータユニットを貫通していることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記アクチュエータユニットが、前記共通電極における前記複数の個別電極と反対側に前記共通電極と平行になるように配置されていると共に前記共通電極と電気的に接続された補強電極をさらに有しており、
前記導通配線が、前記共通電極及び前記補強電極の少なくともいずれかと直接的に接続されていると共に前記アクチュエータユニットを貫通していないことを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
複数のノズル、それぞれが前記ノズルと連通した複数の圧力室、及び、平面上に形成された凹部を有する流路ユニットを作製する工程と、
前記平面に接着剤を塗布する工程と、
前記凹部に導電性材料を充填する工程と、
圧電シート、複数の個別電極、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極、及び、前記共通電極と電気的に接続されていると共に前記流路ユニットとの接着面に露出している接触端子を有するアクチュエータユニットを作製する工程と、
前記複数の個別電極のそれぞれが前記圧力室と対向するように、且つ、前記接触端子が前記凹部に充填された前記導電性材料と接触するように前記アクチュエータユニットと前記流路ユニットとを接着する工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記流路ユニットを作製する工程において、前記凹部と外気とを連通させる連通通路を有するように前記流路ユニットを作成し、
前記アクチュエータユニットと前記流路ユニットとを接着する工程の後、前記連通通路の外気との連通口を封止する工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記アクチュエータユニットを作製する工程において、前記アクチュエータユニットの端面に露出するように前記圧電シートの周縁にまで延在している前記共通電極を形成した後に、
露出した前記共通電極を含む前記端面及び前記接着面の少なくとも一部が露出するようにマスクで覆い、前記マスクから露出した前記端面及び前記接着面の領域に対して物理蒸着法を用いて導電部材を同時に蒸着することで、前記接触端子及び当該接触端子と前記共通電極とを電気的に接続する導通配線を形成することを特徴とする請求項１１又は１２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記アクチュエータユニットを作製する工程において、
前記共通電極に対して、前記接着面に交差するように貫通孔が形成された絶縁体層を積層し、前記貫通孔に導電部材を充填することで、前記接触端子及び当該接触端子と前記共通電極とを電気的に接続する導通配線を形成することを特徴とする請求項１１又は１２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等において、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、圧電性のセラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。
【０００３】
かかるインクジェットヘッドの一例として、連続平板状の圧電シートを、複数の圧力室に跨って形成されたコモン電極（共通電極）と、各圧力室に対向して配置された複数の個別電極とで挟み込んだ圧電アクチュエータ（アクチュエータユニット）を有するものが知られている（特許文献１参照）。このインクジェットヘッドにおいて、圧電アクチュエータの側面には、キャビティユニット（流路ユニット）の上面から圧電アクチュエータの積層方向に沿って導電性接着剤が塗布されている。この導電性接着剤によってキャビティユニット（流路ユニット）と圧電アクチュエータのコモン電極とが電気的に接続され、キャビティユニットがグランドに接続されている。キャビティユニットとコモン電極とがグランドに接続されて同電位となっていることで、キャビティユニットとコモン電極間に電位差が生じなくなる。これにより、内部電極（コモン電極及び個別電極）のマイグレーションに起因した圧電アクチュエータの破損を抑制することが可能になる。つまり、キャビティユニットと内部電極間に電位差が生じると、キャビティユニット内のインク中の水分が電解され、水素イオン（Ｈ+）が生成される。このとき、圧電アクチュエータの内部電極がマイナス側になっていると、生成された水素イオンが内部電極側に移動し、内部電極が水素イオンを吸蔵して膨張する。このようにキャビティユニットと内部電極間に電位差が生じると、膨張した内部電極によって圧電アクチュエータが破損する可能性があるが、上述のようにキャビティユニットとコモン電極とが同電位とされていることで、圧電アクチュエータの破損を抑制することが可能になる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−８０７０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、圧電アクチュエータとキャビティユニットとが接着剤によって固定されるので、接着剤が圧電アクチュエータに隣接するキャビティユニットの上面上に流れ出す可能性がある。流れ出た接着剤はキャビティユニットの上面を被覆するので、導電性接着剤を後から塗布してもコモン電極とキャビティユニットとが電気的に接続されないという問題が生じる。これに対して、被覆した接着剤を削ってキャビティユニットの上面に無垢の面を露出し、その無垢面とコモン電極とを接続するように導電性接着剤を塗布することは可能であるが、接着剤を削る作業が煩雑であるばかりか、無垢面を露出させるときの接着剤の除去作業において、接着剤の滓が発生し、その滓がヘッド内の流路に侵入し流路つまりを引き起こす要因となる。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、製造過程において異物を発生させることがなく、流路ユニットとアクチュエータユニットの共通電極とが高い信頼性で接続されたインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００７】
本発明のインクジェットヘッドは、複数のノズル及びそれぞれが前記ノズルと連通した複数の圧力室を有する流路ユニットと、圧電シート、それぞれが前記圧力室に対向する複数の個別電極、及び、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極を有しており、前記流路ユニットに接着されたアクチュエータユニットとを備えている。そして、前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットとの接着面には、前記共通電極と電気的に接続されている接触端子が露出しており、前記流路ユニットの前記アクチュエータユニットとの接着面には、前記接触端子と対向する凹部が形成されており、前記凹部に充填された導電性材料が前記接触端子に接触している。
【０００８】
これによると、流路ユニットとアクチュエータユニットとを接着したときに流路ユニットを覆った接着剤を削りとることなく共通電極と流路ユニットとを電気的に接続することができる。これにより、ヘッド内のインク流路を詰まらせることなく、共通電極と流路ユニットとを高い信頼性で接続することが可能になる。したがって、共通電極と流路ユニットとの電位差がなくなってマイグレーションが起こりにくくなる。
【０００９】
本発明においては、前記凹部の開口部の面積が底部の面積よりも大きくなっていることが好ましい。これにより、凹部に充填された導電性部材が開口部付近に溜まりやすくなるため、導電性材料が容易に盛り上がり、接触端子と確実に接触させることができる。
【００１０】
また、本発明において、前記流路ユニットが、前記凹部と外気とを連通させる連通通路をさらに有していることが好ましい。これにより、導電性部材を硬化させるときに導電性部材から発生する溶媒ガスが連通通路を介して外気に放出されるため、凹部内に不要な圧力が掛かるのを防止することができる。
【００１１】
また、このとき、前記連通通路における外気との連通口が封止されていてもよい。これにより、連通通路を介して凹部内にインクの飛沫やダストが侵入するのを防止することができる。
【００１２】
また、本発明において、前記流路ユニットが、前記凹部に連通している予備室をさらに有していることが好ましい。これにより、導電性部材を硬化させるときに導電性部材から発生する溶媒ガスを予備室に逃がすことにより、外気に連通させることなく凹部内の圧力を低下させることができる。
【００１３】
また、本発明において、前記共通電極が、前記アクチュエータユニットの端面に露出するように前記圧電シートの周縁にまで延在しており、前記アクチュエータユニットが、前記端面及び前記流路ユニットとの接着面に連続して形成されていると共に前記共通電極と前記接触端子とを電気的に接続している導通配線をさらに有していることが好ましい。これにより、アクチュエータユニットの強度を損なうことなく導通配線を形成することができる。
【００１４】
また、このとき、前記共通電極が、前記アクチュエータユニットの端面に露出するように前記圧電シートの周縁にまで延在しており、前記アクチュエータユニットが、前記端面及び前記流路ユニットとの接着面に連続して形成されていると共に前記共通電極と前記接触端子とを電気的に接続している導通配線をさらに有している。そして、前記連通通路が、前記流路ユニットの前記アクチュエータユニットとの接着面に形成された溝であると共に、前記導通配線における前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットとの接着面に形成されている領域の少なくとも一部と対向していてもよい。これにより、アクチュエータユニットの強度を損なうことなく導通配線を形成しつつ、導通配線と流路ユニットとの干渉を無くして流路ユニットとアクチュエータユニットとの密着度を高くすることができる。
【００１５】
また、本発明において、前記アクチュエータユニットが、その内部において前記流路ユニットとの接着面に直交するように形成されていると共に前記共通電極と前記接触端子とを電気的に接続している導通配線を有していることが好ましい。これにより、導通配線が外部に露出しないため、導通配線をインクの飛沫やダストから保護することができる。
【００１６】
また、このとき、前記アクチュエータユニットが、前記共通電極における前記複数の個別電極と反対側に前記共通電極と平行になるように配置された補強電極をさらに有している。そして、前記導通配線が、前記共通電極及び前記補強電極と直接的に接続されていると共に前記アクチュエータユニットを貫通していてもよい。これにより、共通電極と接触端子とを一括して電気的に接続することができる。
【００１７】
また、このとき、前記アクチュエータユニットが、前記共通電極における前記複数の個別電極と反対側に前記共通電極と平行になるように配置されていると共に前記共通電極と電気的に接続された補強電極をさらに有している。そして、前記導通配線が、前記共通電極及び前記補強電極の少なくともいずれかと直接的に接続されていると共に前記アクチュエータユニットを貫通していなくてもよい。これにより、導通配線部がアクチュエータユニットを貫通していないため、アクチュエータユニットが加圧されたときに、アクチュエータユニットから導通配線が外れにくくなる。
【００１８】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、複数のノズル、それぞれが前記ノズルと連通した複数の圧力室、及び、平面上に形成された凹部を有する流路ユニットを作製する工程と、前記平面に接着剤を塗布する工程と、前記凹部に導電性材料を充填する工程と、圧電シート、複数の個別電極、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極、及び、前記共通電極と電気的に接続されていると共に前記流路ユニットとの接着面に露出している接触端子を有するアクチュエータユニットを作製する工程と、前記複数の個別電極のそれぞれが前記圧力室と対向するように、且つ、前記接触端子が前記凹部に充填された前記導電性材料と接触するように前記アクチュエータユニットと前記流路ユニットとを接着する工程とを備えている。
【００１９】
これによると、流路ユニットとアクチュエータユニットとを接着したときに共通電極や流路ユニットを覆った接着剤を削りとることなく共通電極と流路ユニットとを電気的に接続することができる。これにより、ヘッド内のインク流路を詰まらせることなく、共通電極と流路ユニットとを高い信頼性で接続することが可能になる。したがって、共通電極と流路ユニットとの電位差がなくなってマイグレーションが起こりにくくなる。
【００２０】
本発明において、前記流路ユニットを作製する工程において、前記凹部と外気とを連通させる連通通路を有するように前記流路ユニットを作成し、前記アクチュエータユニットと前記流路ユニットとを接着する工程の後、前記連通通路の外気との連通口を封止する工程をさらに備えていることが好ましい。これにより、溶媒ガスが連通通路を介して外気に放出された後に連通口を封止するため、導電性材料をインクの飛沫やダストから保護しつつ、凹部内に不要な圧力が掛かるのを防止することができる。
【００２１】
また、本発明において、前記アクチュエータユニットを作製する工程において、前記アクチュエータユニットの端面に露出するように前記圧電シートの周縁にまで延在している前記共通電極を形成した後に、露出した前記共通電極を含む前記端面及び前記接着面の少なくとも一部が露出するようにマスクで覆い、前記マスクから露出した前記端面及び前記接着面の領域に対して物理蒸着法を用いて導電部材を同時に蒸着することで、前記接触端子及び当該接触端子と前記共通電極とを電気的に接続する導通配線を形成することが好ましい。これにより、アクチュエータユニットの端面及び流路ユニットとの接着面に一括して導通配線を形成することができる。また、蒸着方向を変えることにより、導通配線の端面側の厚み及び流路ユニットとの接着面側の厚みを調整することができる。
【００２２】
また、本発明において、前記アクチュエータユニットを作製する工程において、前記共通電極に対して、前記接着面に交差するように貫通孔が形成された絶縁体層を積層し、前記貫通孔に導電部材を充填することで、前記接触端子及び当該接触端子と前記共通電極とを電気的に接続する導通配線を形成することが好ましい。これにより、接触端子及び導通配線を容易に形成することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２４】
本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドについて説明する。図１は、本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。図２は、図１のII−II線に沿った断面図である。インクジェットヘッド１は、図１に示すように、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上面に配置され且つ２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック７１と、これらヘッド本体７０とベースブロック７１とを保持するホルダ７２とを含んでいる。
【００２５】
ヘッド本体７０は、図２に示すように、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤６（図５参照）によって接着された複数のアクチュエータユニット２１とを含んでいる。アクチュエータユニット２１は、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成である。また、ヘッド本体７０の底面は微小径を有する多数のノズル８（図５参照）が配列されたインク吐出面７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０が半田によって接着され、左又は右に引き出されている。
【００２６】
図３は、ヘッド本体７０を上面から見た平面図である。図３に示すように、流路ユニット４は、一方向（主走査方向）に延在した矩形平面形状を有している。図３において、流路ユニット４内に設けられた共通インク室であるマニホールド流路５が破線で描かれている。マニホールド流路５には、ベースブロック７１のインク溜まり３に貯溜されていたインクが複数の開口３ａを通じて供給される。マニホールド流路５は、流路ユニット４の長手方向（主走査方向）と平行に延在する複数の副マニホールド流路５ａに分岐している。
【００２７】
流路ユニット４の上面には、平面形状が台形である４つのアクチュエータユニット２１が、開口３ａを避けるように、千鳥状で２列に配列されており、流路ユニット４の上面に接着されている。各アクチュエータユニット２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット４の長手方向に沿うように配置されている。複数の開口３ａは流路ユニット４の長手方向に沿って２列に配列されており、各列５個、計１０個の開口３ａがアクチュエータユニット２１と干渉しない位置に設けられている。そして、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が、流路ユニット４の幅方向（副走査方向）に部分的にオーバーラップしている。
【００２８】
アクチュエータユニット２１の接着領域に対応する流路ユニット４の下面であって、インク吐出面７０ａは、多数のノズル８がマトリクス状に配列されたインク吐出領域となっている。アクチュエータユニット２１に対向する流路ユニット４の上面には、多数の圧力室１０（図５参照）がマトリクス状に配列された圧力室群９が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット２１は、圧力室群９を構成する多数の圧力室１０に跨る寸法を有している。
【００２９】
図２に戻って、ベースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内のインク溜まり３は、ベースブロック７１の長手方向に沿って延在する略直方体の中空領域である。インク溜まり３は、その一端に設けられた開口（図示せず）を通じて外部に設置されたインクタンク（図示せず）からインクが供給され、常にインクで満たされている。インク溜まり３には、インクを流出するための開口３ｂが、その延在方向に沿って２列に計１０個設けられている。これら開口３ｂは、流路ユニット４の開口３ａと接続されるように千鳥状に設けられている。すなわち、インク溜まり３の１０個の開口３ｂと流路ユニット４の１０個の開口３ａは同じ位置関係となるように設けられている。
【００３０】
ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍部分７３ａにおいて周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４の上面における開口３ａの近傍部分と接触している。そのため、ベースブロック７１の下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａ以外の領域は、ヘッド本体７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配されている。
【００３１】
ホルダ７２は、ベースブロック７１を把持する把持部７２ａと、副走査方向に間隔をおいて設けられ把持部７２ａの上面から上方に向けて突出する一対の突出部７２ｂとを含んでいる。ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。アクチュエータユニット２１に接続されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、ホルダ７２の突出部７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ５０上にドライバＩＣ８０が設置されている。すなわち、ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１に伝達するものであり、アクチュエータユニット２１及びドライバＩＣ８０とは半田によって電気的に接合されている。
【００３２】
ドライバＩＣ８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク８２が密着配置されているため、ドライバＩＣ８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方においては、ＦＰＣ５０の外側に接続された基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、および、ヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間は、それぞれシール部材８４で接着されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。
【００３３】
図４は、図３に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。図４に示すように、流路ユニット４内のアクチュエータユニット２１と対向する領域には、流路ユニット４の長手方向と平行に４本の副マニホールド流路５ａが延在している。各副マニホールド流路５ａには、ノズル８の各々に通じる多数の個別インク流路７（図５参照）が接続されている。
【００３４】
流路ユニット４の上面であって、アクチュエータユニット２１と対向する領域には、平面形状が略菱形の多数の圧力室１０からなる圧力室群９が形成されている。圧力室群９は、アクチュエータユニット２１の外形とほぼ同じ大きさの台形形状を有している。圧力室群９は、各アクチュエータユニット２１について１つずつ形成されている。圧力室群９に属する各圧力室１０は、その長い対角線の一端においてノズル８に連通されていると共に、長い対角線の他端においてアパーチャ１３を介して副マニホールド流路５ａに連通されている。後述するように、アクチュエータユニット２１上には、平面形状がほぼ菱形で圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５（図６参照）が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。また、流路ユニット４の上面には、圧力室群９の外側であってアクチュエータユニット２１と対向する位置に凹部３０が形成さている。なお、図４において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０（圧力室群９）、アパーチャ１３及びノズル８を実線で描いている。
【００３５】
次に、ヘッド本体７０の断面構造について説明する。図５は、図４に示すV−V線における断面図であり、個別インク流路を示している。図５から分かるように、ノズル８は、圧力室１０及びアパーチャすなわち絞り１３を介して副マニホールド流路５ａと連通している。このようにして、ヘッド本体７０には、副マニホールド流路５ａの出口からアパーチャ１３、圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路７が圧力室１０ごとに形成されている。
【００３６】
ヘッド本体７０は、図５に示すように、上から順に、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７及びノズルプレート２８の合計８枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた７枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。
【００３７】
アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート４１〜４３（図６参照）が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの最上層だけが電界印加時に活性部となる部分を有する層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り２層が活性部を有しない非活性層とされたものである。
【００３８】
キャビティプレート２２は、圧力室１０の空隙を構成するほぼ菱形の孔が、アクチュエータユニット２１の貼付範囲内に多数設けられた金属プレートである。キャビティプレート２２には、アクチュエータユニット２１と対向する領域に厚み方向に貫通した孔２２ａが形成されている。孔２２ａは、アクチュエータユニット２１の端部近傍と対向した位置に配置されている。
【００３９】
ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１３との連絡孔２３ａ及び圧力室１０からノズル８への連絡孔２３ｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。ベースプレート２３には、孔２２ａと対向する位置から副走査方向に沿って延在した切り欠き２９が形成されている。切り欠き２９は、ベースプレート２３の厚み方向に貫通して形成されている。この構成により、キャビティプレート２２、ベースプレート２３及びアパーチャプレート２４が積層されることで、流路ユニット４には、アクチュエータユニット２１に向かって開口した凹部３０（実際には、アクチュエータユニット２１によって開口が塞がれている）と、切り欠き２９、キャビティプレート２２の下面及びアパーチャプレート２４の上面で囲まれた連通通路とが形成される。連通通路は、ヘッド本体７０の製造途中において後述するように凹部３０を外部と連通可能にしており、ヘッド本体７０の製造が完成するときに連通通路の出口（連通口）に封止材（図示せず）が配置されて密閉される。凹部３０内には、導電性部材（導電性材料）３１となる導電性ペーストが充填されており、後述するアクチュエータユニット２１の端子（接触端子）４６と接触している。これにより、流路ユニット４と端子４６とが電気的に接続される。
【００４０】
アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３と副マニホールド流路５ａとの連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６、２７は、副マニホールド流路５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート２８は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００４１】
これら８枚のシート２１〜２８は、図５に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路７は、副マニホールド流路５ａからまず上方へ向かい、アパーチャ１３において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１３から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。
【００４２】
図５から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１３とは異なるレベルに設けられている。これにより、図４に示すように、アクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１３を、当該圧力室に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。また、ベースプレート２３に形成された切り欠き２９が作る連通通路により、キャビティプレート２２に形成された凹部３０の底面部と外部とが連通されている。これにより、凹部３０に充填される導電性ペーストに熱処理を加えたとき、導電性ペーストから発生する溶媒ガスを連通通路を介して外部に逃がすことができるようになっている。この結果、凹部３０内に不要な圧力がかからなくなり、少なくとも凹部３０が関係する各プレート間の良好な接着固定が実現される。
【００４３】
次に、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。図６（ａ）は図５に描かれた１点鎖線で囲まれた領域の部分拡大断面図であり、図６（ｂ）はアクチュエータユニット２１の部分拡大平面図である。
【００４４】
図６（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された３枚の圧電シート４１、４２、４３を含んでいる。これら圧電シート４１〜４３は、圧力室群９を構成する多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４３が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート４１〜４３は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００４５】
最上層の圧電シート４１上には、個別電極３５が形成されている。最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、シート全面に形成された略２μｍの厚みの共通電極３４が介在している。さらに、圧電シート４１とその下側の最下層の圧電シート４３との間には、共通電極３４と同様にシート全面に形成された略２μｍの厚みの補強電極３３が介在している。これら個別電極３５、共通電極３４及び補強電極３３は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。また、共通電極３４及び補強電極３３はともに、対応する各圧電シート４２，４３の全面に形成されているため、各シートが積層されたときにその端面が外部に露出している。
【００４６】
個別電極３５は、図６（ｂ）に示すように、圧力室１０と対向する位置に配置された主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ圧力室１０と対向しない位置に配置された補助電極領域３５ｂとから構成されている。主電極領域３５ａは、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の主電極領域３５ａにおける鋭角部は延出されて補助電極領域３５ｂにつながっている。補助電極領域３５ｂの先端表面には、円形のランド３６が設けられている。図６（ｂ）に示すように、ランド３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向している。ランド３６は、例えば、ガラスフリットを含む金からなり、補助電極領域３５ｂに接着され電気的に接続されている。図６（ａ）ではＦＰＣ５０の図示を省略しているものの、ランド３６は、ＦＰＣ５０に設けられた複数の接点とそれぞれ電気的に接合されている。
【００４７】
各圧電シート４１〜４３には、互いに重ならないように各シートの厚み方向に貫通した孔４７ａ〜４９ａが形成されている。これら孔４７ａ〜４９ａ内には、それぞれ導電性材料からなる導通配線４７ｂ〜４９ｂが配置されている。導通配線４７ｂの上面は、アクチュエータユニット２１の上面において露出しており、ＦＰＣ５０の独立した接点と半田で接続され、導通配線４７ｂが接地されている。一方、導通配線４７ｂの下面は共通電極３４と電気的に接続している。導通配線４８ｂは、上面が共通電極３４と下面が補強電極３３と電気的に接続している。導通配線４９ｂは、上面が補強電極３３と電気的に接続されており、下面がアクチュエータユニット２１の下面において露出しており、その露出部分が上述の端子４６となっている。この構成により、共通電極３４及び補強電極３３がすべての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれているとともに、端子４６が導電性部材３１と接触しているので、流路ユニット４もグランド電位に保たれている。つまり、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１との間に電位差が生じない構成となっている。
【００４８】
また、個別電極３５のランド３６は、ＦＰＣ５０の接点と独立して接合されており、ドライバＩＣ８０とそれぞれ接続されている。これにより、各圧力室１０に対応するものごとに電位を制御することができる。
【００４９】
次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性層が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）２枚の圧電シート４２，４３を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。したがって、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性層として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート４２，４３は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２，４３との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４３全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図６（ａ）に示したように、圧電シート４１〜４３の下面は圧力室を区画するキャビティプレート２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４３は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４３は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド５側から吸い込む。
【００５０】
なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４３が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクが副マニホールド流路５ａ側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４３が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【００５１】
＜インクジェットヘッドの製造方法＞
次に、上述したインクジェットヘッド１の製造方法について、図７を参照しつつ説明する。図７は、インクジェットヘッド１の製造工程のフロー図である。
【００５２】
インクジェットヘッド１を製造するには、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１等の部品を別々に作製し、それから各部品を組み付ける。まず、ステップ１（Ｓ１）では、流路ユニット４を作製する。流路ユニット４を作製するには、これを構成する各プレート２２〜２８にパターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して図５に示すような孔を各プレート２２〜２８に形成する。このとき、キャビティプレート２２には、凹部３０となる孔２２ａも形成する。また、ベースプレート２３には、切り欠き２９も形成する。そして、個別インク流路７及びアクチュエータユニット２１が接着される面において凹部３０が形成されるように位置合わせされた７枚のプレート２２〜２８を、エポキシ系の熱硬化性接着剤を介して重ね合わせる。次いで、７枚のプレート２２〜２８を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して７枚のプレート２２〜２８が互いに固着され、図５に示すような流路ユニット４が得られる。なお、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１の端子４６との干渉を回避するという観点から、この端子４６の外形面積より広い開口面積を有するように孔２２ａを形成することが好適である。これにより、アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着時に生じることがあるアクチュエータユニット２１の破損や欠けを未然に防ぐことができる。
【００５３】
一方、アクチュエータユニット２１を作製するには、まず、ステップ２（Ｓ２）において、圧電セラミックスのグリーンシートを３枚用意する。グリーンシートは、予め焼成による収縮量を見込んで形成される。そのうち、圧電シート４２となるグリーンシート上に導電性ペーストを共通電極３４のパターンに、圧電シート４３となるグリーンシート上に導電性ペーストを補強電極３３のパターンにスクリーン印刷する。また、３枚のグリーンシートに孔４７ａ〜４９ａをそれぞれ形成し、各孔４７ａ〜４９ａに導電性ペーストを充填する。そして、治具を用いて各孔４７ａ〜４９ａが互いに重ならないようにグリーンシート同士を位置合わせしつつ、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートの下に、共通電極３４のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせ、さらにその下に、補強電極３３のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせる。
【００５４】
そして、ステップ３（Ｓ３）において、ステップ２で得られた積層体を公知のセラミックスと同様に脱脂し、さらに所定の温度で焼成する。これにより、３枚のグリーンシートが圧電シート４１〜４３となり、導電性ペーストが共通電極３４、補強電極３３及び導通配線４７ｂ〜４９ｂとなる。このうち、導電配線４７ｂは圧電シート４１の表面に露出した部分がＦＰＣ５０と接続する端子となる。一方、導通配線４９ｂは圧電シート４３の表面に露出した部分が導電性部材３１と接触する端子４６となる。その後、最上層にある圧電シート４１上に、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷する。そして、積層体を加熱処理することによって導電性ペーストを焼成して、圧電シート４１上に個別電極３５を形成する。しかる後、ガラスフリットを含む金を個別電極３５の補助電極領域３５ｂ上に印刷して、ランド３６を形成する。このとき、導通配線４７ｂの露出部に電気的に接続するように、このランド３６と同等のランドを形成してもよい。これにより、ＦＰＣ５０と導通配線４７ｂとの接続の信頼性が向上する。このようにして、図６（ａ）に描かれたようなアクチュエータユニット２１を作製することができる。
【００５５】
なお、ステップ１の流路ユニット作製工程と、ステップ２〜３のアクチュエータユニット作製工程は、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。
【００５６】
次に、ステップ４（Ｓ４）において、ステップ１で得られた流路ユニット４の圧力室に相当する凹部及び凹部３０が形成された面に、エポキシ系の熱硬化性接着剤６を、バーコーターを用いて塗布する。熱硬化性接着剤６としては、例えば二液混合タイプのものが用いられる。
【００５７】
次に、ステップ５（Ｓ５）において、ステップ１で得られた流路ユニット４の凹部３０内に導電性部材３１となる導電性ペーストを充填する。このとき、凹部３０の底部側の直径がより開口側の直径より小さくなっているので、少量であっても充填された導電性ペーストはキャビティプレート２２の表面よりも上方に盛り上がるようになる。そのため、後述するように端子４６と導電性ペーストとを接触させるときに、両者が容易に接触する。また、周囲に位置する熱硬化性接着剤６が端子４６と導電性ペーストとの間に入り込みにくくなる。したがって、端子４６と導電性部材３１となる導電性ペーストとを確実に接触させることが可能になる。また、これは導電性ペーストが少量でも実現できるので、コスト低減に寄与する。さらに、余剰の導電ペーストによるアクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着不良を防ぐという観点から、導電性ペーストの充填量は、凹部３０の内容積の５０％〜９５％程度とすることが好適である。
【００５８】
続いて、ステップ６において、流路ユニット４に塗布された熱硬化性接着剤層状に、アクチュエータユニット２１を載置する。このとき、各アクチュエータユニット２１は、活性部と圧力室１０とが対向するように、且つ流路ユニット４の凹部３０に充填された導電性ペーストとアクチュエータユニット２１の端子４６とが対向するように流路ユニット４に対して位置決めされる。この位置決めは、予め作製工程（ステップ１〜ステップ３）において流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１に形成された位置決めマーク（図示せず）に基づいて行われる。
【００５９】
次に、ステップ７（Ｓ７）において、流路ユニット４と、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１との間の熱硬化性接着剤６と、アクチュエータユニット２１との積層体を図示しない加熱・加圧装置で熱硬化性接着剤６が硬化しない程度の温度に仮加熱する。こうして積層体を仮加熱することで、凹部３０内の導電性ペーストの溶媒の一部を蒸発させ、その蒸発したガスが切り欠き２９がなす凹部３０と外部とを連通する連通通路から外部に放出される。これにより、凹部３０内に不要な圧力が掛かるのを防止することができる。したがって、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とを確実に接着することが可能になる。
【００６０】
次に、ステップ８（Ｓ８）において、積層体を熱硬化性接着剤６の硬化温度以上に本加熱しながら加圧する。こうして、熱硬化性接着剤６が硬化し、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とが接着されると共に、端子４６と導電性部材３１とが確実に電気的に接触する。そして、ステップ９（Ｓ９）において、加熱・加圧装置から取り出された積層体を自然冷却する。次いで、ステップ１０（Ｓ１０）において、連通通路の出口を封止材（図示せず）で封止する。これによって、連通通路を介して凹部３０内にインクの飛沫やダストが侵入するのを防止することができる。こうして、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とで構成されたヘッド本体７０が製造される。
【００６１】
しかる後、ＦＰＣ５０の接合工程を行った後、ベースブロック７１の接着工程などを経ることによって、上述したインクジェットヘッド１が完成する。
【００６２】
以上のような第１実施形態のインクジェットヘッド１によると、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とを接着したときに、導電性部材３１が配設される凹部３０の内部まで熱硬化性接着剤６で覆われることがない。さらに、導電性部材３１と端子４６とが接触するので、流路ユニット４を覆った熱硬化性接着剤６を削りとることなく、共通電極３４と流路ユニット４とを電気的に接続することができる。これにより、ヘッド内のインク流路を詰まらせることなく、共通電極３４と流路ユニット４とを高い信頼性で接続することが可能になる。したがって、共通電極３４と流路ユニット４との電位差がなくなってマイグレーションが起こりにくくなる。また、アクチュエータユニット２１の導通配線４７ｂ〜４９ｂのほとんどが外部に露出していないので、導通配線４７ｂ〜４９ｂをインクの飛沫やダストから保護することができる。また、導通配線４７ｂ〜４９ｂが互いに重なる位置に配置されていないため、アクチュエータユニット２１が加圧されたときに、アクチュエータユニット２１から外れにくくなる。これは、導通配線４７ｂ〜４９ｂが存在する孔４７ａ〜４９ａがアクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着面に対して直交する方向にアクチュエータユニット２１を連続して貫通していないので、導通配線４９ｂに導電性部材３１との接触による加圧力がかかっても導通配線４９ｂの上面側には圧電シート４２が位置し、その加圧力を導通配線４９ｂと孔４９ａとの接合力だけでなく、圧電シート４２で受けることが可能になるからである。
【００６３】
続いて、本発明の第２実施形態のインクジェットヘッドについて、以下に説明する。図８（ａ）は、本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体の部分拡大断面図であり、図８（ｂ）はヘッド本体の部分拡大平面図である。なお、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１と同様なものについては同符号で示し、説明を省略する。
【００６４】
本実施形態のインクジェットヘッドにおいて、アクチュエータユニット１２１は、図８（ａ）に示すように、圧電シート４１〜４３を連続して厚み方向に貫通した孔１１２を有している。孔１１２は、導電性部材１３１と対向する位置に形成されており、内部に導電性材料からなる導通配線１１３が配置されている。導通配線１１３は、共通電極３４及び補強電極３３と電気的に接続されている。導通配線１１３の上面は、アクチュエータユニット１２１の上面において露出しており、ＦＰＣ５０の独立した接点（図示せず）と半田で接続され、導通配線１１３が接地されている。一方、導通配線１１３の下面はアクチュエータユニット１２１の下面において露出しており、その露出部分が端子１４６となっている。この構成により、第１実施形態と同様に、共通電極３４及び補強電極３３がすべての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれているとともに、端子１４６が後述のように導電性部材１３１と接触しているので、流路ユニット４もグランド電位に保たれている。つまり、流路ユニット１１４とアクチュエータユニット１２１との間に電位差が生じない構成となっている。
【００６５】
流路ユニット１０４は、上述の流路ユニット４とほぼ同様に７枚の金属プレートが積層されて構成されているが、キャビティプレート２２、ベースプレート２３及びアパーチャプレート２４の構成が若干上述したものと異なっている。キャビティプレート２２には、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、圧力室１０となる孔のほかに、端子１４６と対向する位置に厚み方向に貫通した孔１２２ａと、ベースプレート２３と対向する面において副走査方向に平行に延在した凹部１２２ｂとが形成されている。ベースプレート２３には、連絡孔２３ａ，２３ｂのほかに、厚み方向に貫通した孔１２３が形成されている。アパーチャプレート２４には、アパーチャ１３及び圧力室１０からノズル８への連絡孔のほかに、凹部１２２ｂと対向する領域において厚み方向に貫通した孔１２４が形成されている。これらプレート２２〜２４及びサプライプレート２５を積層することで、流路ユニット１０４内には、凹部１２２ｂ及びベースプレート２３の上面で囲まれた第１予備室１２６と、孔１２４、ベースプレート２３の下面及びサプライプレート２５の上面で囲まれた第２予備室１２７と、第１及び第２予備室１２６，１２７に連通した凹部１３０とが形成される。凹部１３０内には、導電性部材１３１となる導電性ペーストが充填されている。そして、上述の第１実施形態と同様に流路ユニット１０４とアクチュエータユニット１２１とが熱硬化性接着剤６によって接着されており、アクチュエータユニット１２１の端子１４６と導電性部材１３１とが接触している。これにより、流路ユニット１０４と端子１４６とが電気的に接続される。
【００６６】
＜インクジェットヘッドの製造方法＞
上述した第２実施形態のインクジェットヘッドの製造方法は、第１実施形態の製造方法とほぼ同様であり、まず、流路ユニット１０４を作製する。このとき、第１実施形態と異なる点は、キャビティプレート２２に孔１２２ａ及び凹部１２２ｂが形成されていることと、ベースプレート２３に孔１２３が形成されていることと、アパーチャプレート２４に孔１２４が形成されていることである。これら孔１２２ａ，１２３，１２４はエッチングにより形成され、凹部１２２ｂはハーフエッチングにより形成される。そして、各プレートが熱硬化性接着剤を介して重ね合わされ、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して、凹部１３０、第１予備室１２６及び第２予備室１２７を有する流路ユニット１０４が得られる。
【００６７】
次に、アクチュエータユニット１２１を作製する。まず、圧電セラミックスのグリーンシートを３枚用意する。グリーンシートは、予め焼成による収縮量を見込んで形成される。そのうち、圧電シート４２となるグリーンシート上に導電性ペーストを共通電極３４のパターンに、圧電シート４３となるグリーンシート上に導電性ペーストを補強電極３３のパターンにスクリーン印刷する。そして、各グリーンシートに孔を形成し、各シートの孔が連続して、孔１１２を形成するように各シートを位置合わせしつつ重ね合わせる。そして、孔１１２内に導電性ペーストを充填する。もちろん、各シートの孔毎に予め導電性ペーストが充填されていてもよい。次いで、公知のセラミックスと同様に脱脂し、さらに所定の温度で焼成する。これにより、３枚のグリーンシートが圧電シート４１〜４３となり、導電性ペーストが共通電極３４、補強電極３３及び導通配線１１３となる。その後、最上層にある圧電シート４１上に、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷する。そして、積層体を加熱処理することによって導電性ペーストを焼成して、圧電シート４１上に個別電極３５を形成する。しかる後、ガラスフリットを含む金を個別電極３５の補助電極領域３５ｂ上に印刷して、ランド３６を形成する。このようにして、図８（ａ）に描かれたようなアクチュエータユニット１２１を作製することができる。
【００６８】
ところで、図示はしないが、このように貫通形成された導通配線１１３とＦＰＣ５０との接続時に、導通配線１１３がアクチュエータユニット１２１から外れないようにするという観点からは、上述のランド３６を形成するときに、これと同様のランドを圧電シート４１の表面に露出した導通配線１１３と電気的に接続するようにしながら、導通配線１１３の露出部からオフセットした位置に形成してもよい。これにより、ＦＰＣ５０との接続時の加圧力が、直接導通配線１１３に加わることがなくなるので、導通配線１１３を確実に接地電位とすることができる。
【００６９】
次に、流路ユニット１０４の圧力室に相当する凹部及び凹部１３０が形成された面に、第１実施形態と同様にエポキシ系の熱硬化性接着剤を、バーコーターを用いて塗布する。そして、流路ユニット１０４の凹部１３０に導電性部材１３１となる導電性ペーストを充填する。このとき、凹部１３０の一部を構成する孔１２２ａの下方側の直径が開口側の直径より小さくなっているので、充填された導電性ペーストはキャビティプレート２２上において盛り上がるようになる。
【００７０】
次に、流路ユニット１０４上に各アクチュエータユニット１２１を載置する。このとき、各アクチュエータユニット１２１は、活性部と圧力室１０とが対向するように、且つ流路ユニット１０４の凹部１３０に充填された導電性ペーストとアクチュエータユニット１２１の端子１４６とが対向するように流路ユニット１０４に対して位置決めされる。
【００７１】
次に、流路ユニット１０４と、流路ユニット１０４とアクチュエータユニット１２１との間の熱硬化性接着剤６と、アクチュエータユニット１２１との積層体を図示しない加熱・加圧装置で熱硬化性接着剤６が硬化しない程度の温度に仮加熱する。こうして積層体を仮加熱することで、凹部１３０内の導電性ペーストの溶媒の一部を蒸発させ、その蒸発したガスを第１及び第２予備室１２６，１２７内に逃がす。これにより、外気に連通させることなく凹部１３０内の圧力を低下させることができる。したがって、流路ユニット１０４とアクチュエータユニット１２１とを確実に接着することが可能になる。そして、第１実施形態と同様に積層体を本加熱し、積層体を自然冷却することで、ヘッド本体１７０が製造される。しかる後、ＦＰＣ５０の接合工程を行った後、ベースブロック７１の接着工程などを経ることによって、上述したインクジェットヘッドが完成する。なお、本実施の形態では、第１及び第２予備室１２６，１２７内に余剰の導電性ペーストも逃がすことができるので、溢れた導電性ペーストが各プレート間の接着を妨げることがなくなる。
【００７２】
以上のような第２実施形態のインクジェットヘッドによると、第１実施形態のインクジェットヘッド１とほぼ同様な効果を得るばかりか、アクチュエータユニット１２１がそれを貫通した孔１１２内に導通配線１１３を有していることで、共通電極３４と補強電極３３と端子１４６とを一括して電気的に接続することができる。また、製造方法において、孔１１２に導通配線１１３となる導電性ペーストを充填し焼成するだけで、端子１４６と共通電極３４及び補強電極３３とを電気的に接続された導通配線１１３を容易に形成することが可能になる。
【００７３】
続いて、本発明に第３実施形態のインクジェットヘッドについて、以下に説明する。図９（ａ）は、本発明の第３実施形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体の部分拡大断面図であり、図９（ｂ）はヘッド本体の部分拡大平面図である。なお、上述した第１及び第２実施形態のインクジェットヘッドと同様なものについては同符号で示し、説明を省略する。
【００７４】
本実施形態のインクジェットヘッドは、流路ユニット２０４が第２実施形態のインクジェットヘッドの流路ユニット１０４と若干構成が異なるだけでその他は同様である。流路ユニット２０４のキャビティプレート２２には、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、圧力室１０となる孔のほかに、端子１４６と対向する位置に厚み方向に貫通した孔２２２ａと、アクチュエータユニット１２１と対向する面において副走査方向に平行に延在し且つアクチュエータユニット１２１側に向かって開口した溝２２２ｂとが形成されている。溝２２２ｂは、孔２２２ａからアクチュエータユニット１２１と対向しない領域まで延在されている。なお、ベースプレート２３には、連絡孔２３ａ，２３ｂ以外は形成されていない。アクチュエータユニット１２１、キャビティプレート２２及びベースプレート２３を積層することで、流路ユニット２０４には、アクチュエータユニット１２１の下面と溝２２２ｂとで囲まれ外部に連通する連通通路と、連通通路と連通した凹部２３０とが形成される。連通通路の出口には、封止材２３２が配置されて、連通通路を介して凹部２３０内にインクの飛沫やダストが侵入するのを防止することになる。凹部２３０内には、導電性部材２３１となる導電性ペーストが充填されている。そして、上述の第１及び第２実施形態と同様に流路ユニット２０４とアクチュエータユニット１２１とが熱硬化性接着剤６によって接着されており、アクチュエータユニット１２１の端子１４６と導電性部材２３１とが接触している。これにより、流路ユニット２０４と端子１４６とが電気的に接続される。
【００７５】
＜インクジェットヘッドの製造方法＞
上述した第３実施形態のインクジェットヘッドの製造方法は、第１及び第２実施形態の製造方法とほぼ同様に、まず、流路ユニット２０４を作製する。このとき、上述の実施形態と異なる点は、キャビティプレート２２に孔２２２ａ及び溝２２２ｂが形成されている点である。圧力室１０となる孔と孔２２２ａはエッチングにより形成され、溝２２２ｂはハーフエッチングにより形成される。そして、キャビティプレート２２以外の複数のプレートにも孔をエッチングにより形成した後、各プレートが熱硬化性接着剤を介して重ね合わされ、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して、流路ユニット２０４のアクチュエータユニット１２１と対向する面に凹部２３０及び溝２２２ｂが形成された流路ユニット２０４が得られる。
【００７６】
次に、第２実施形態と同様にアクチュエータユニット１２１を製造する。次に、流路ユニット２０４に上述の実施形態と同様にエポキシ系の熱硬化性接着剤６をバーコーターを用いて塗布し、流路ユニット２０４の凹部２３０に導電性部材２３１となる導電性ペーストを充填する。そして、流路ユニット２０４上に各アクチュエータユニット１２１を載置する。このとき、各アクチュエータユニット１２１は、活性部と圧力室１０とが対向するように、且つ流路ユニット２０４の凹部２３０に充填された導電性ペーストとアクチュエータユニット１２１の端子１４６とが対向するように流路ユニット２０４に対して位置決めされる。
【００７７】
次に、流路ユニット２０４と、流路ユニット２０４とアクチュエータユニット１２１との間の熱硬化性接着剤６と、アクチュエータユニット１２１との積層体を図示しない加熱・加圧装置で熱硬化性接着剤６が硬化しない程度の温度に仮加熱する。こうして積層体を仮加熱することで、凹部２３０内の導電性ペーストの溶媒の一部を蒸発させ、その蒸発したガスを溝２２２ｂとアクチュエータユニット１２１の下面で囲まれた連通通路から外部に放出する。これにより、第１実施形態と同様に流路ユニット２０４とアクチュエータユニット１２１とを確実に接着することが可能になる。そして、第１実施形態と同様に積層体を本加熱し、積層体を自然冷却する。次いで、連通通路の出口を封止材２３２で封止する。これによって、連通通路を介して凹部２３０内にインクの飛沫やダストが侵入するのを防止することができる。こうして、流路ユニット２０４とアクチュエータユニット１２１とで構成されたヘッド本体２７０が製造される。しかる後、ＦＰＣ５０の接合工程を行った後、ベースブロック７１の接着工程などを経ることによって、インクジェットヘッドが完成する。
【００７８】
以上のような第３実施形態のインクジェットヘッドによると、第１及び第２実施形態のインクジェットヘッドと同様に流路ユニット２０４とアクチュエータユニット１２１とを接着したときに、導電性部材２３１と端子１４６とが接触するので、流路ユニット２０４を覆った熱硬化性接着剤６を削りとることなく、共通電極３４と流路ユニット２０４とを電気的に接続することができる。これにより、ヘッド内のインク流路を詰まらせることなく、共通電極３４と流路ユニット２０４とを高い信頼性で接続することが可能になる。したがって、共通電極３４と流路ユニット２０４との電位差がなくなってマイグレーションが起こりにくくなる。また、外部に連通する連通通路が、アクチュエータユニット１２１と流路ユニット２０４との接着界面部に形成されているので、加熱処理時に放出される導電性ペーストからのガスを確実に外部に排出することができる。これによりアクチュエータユニット１２１と流路ユニット２０４との接着が確実となるばかりか、導電性部材２３１と端子１４６との電気的な接触の信頼性も向上する。
【００７９】
続いて、本発明の第４実施形態のインクジェットヘッドについて、以下に説明する。図１０（ａ）は、本発明の第４実施形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体の部分拡大断面図であり、図１０（ｂ）はヘッド本体の部分拡大平面図である。なお、上述した各実施形態と同様なものについては同符号で示し、説明を省略する。
【００８０】
本実施形態のインクジェットヘッドにおいて、アクチュエータユニット３２１には、図１０（ａ）に示すように、圧電シート４１〜４３を貫通する孔や導電配線が内部に形成されておらず、アクチュエータユニット３２１の端面において各シート４１〜４３間から露出した共通電極３４及び補強電極３３とを電気的に接続する導通配線３４５が形成されている。導通配線３４５は、図１０（ａ）に示すように、その断面がＬ字形状を有しており、アクチュエータユニット３２１の一端面から下面に沿って延在されている。導通配線３４５のアクチュエータユニット３２１の下面に延在された部分は、平面形状が三角形状を有しており、アクチュエータユニット３２１と対向する一鋭角部が導電部材３１と接触する端子３４６となっている。共通電極３４は図示しない領域においてＦＰＣ５０の接点と電気的に接続され、接地されている。この構成により、第１実施形態と同様に、共通電極３４及び補強電極３３がすべての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれているとともに、端子３４６が導電性部材３１と接触しているので、流路ユニット４もグランド電位に保たれている。つまり、流路ユニット４とアクチュエータユニット３２１との間に電位差が生じない構成となっている。なお、第４実施形態における流路ユニット４は第１実施形態の流路ユニットと同じ構成となっている。
【００８１】
＜インクジェットヘッドの製造方法＞
続いて、上述した第４実施形態のインクジェットヘッドの製造方法について、以下に説明する。なお、流路ユニット４は第１実施形態の製造方法（ステップ１）と同様にして形成される。作製されたアクチュエータユニット３２１を上述したステップ４〜ステップ１０において流路ユニット４に接着することでヘッド本体３７０が製造される。つまり、第４実施形態におけるインクジェットヘッドの製造方法は、第１実施形態におけるステップ２〜ステップ３が異なるだけでその他は同じ製造工程を経ることでインクジェットヘッドが製造される。
【００８２】
アクチュエータユニット３２１を作製するには、まず、圧電セラミックスのグリーンシートを３枚用意する。グリーンシートは、予め焼成による収縮量を見込んで形成される。そのうち、圧電シート４２となるグリーンシート上に導電性ペーストを共通電極３４のパターンに、圧電シート４３となるグリーンシート上に導電性ペーストを補強電極３３のパターンにスクリーン印刷する。そして、治具を用いて導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートの下に、共通電極３４のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせ、さらにその下に、補強電極３３のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせる。
【００８３】
次いで、公知のセラミックスと同様に脱脂し、さらに所定の温度で焼成する。これにより、３枚のグリーンシートが圧電シート４１〜４３となり、導電性ペーストが共通電極３４、補強電極３３及び導通配線１１３となる。その後、最上層にある圧電シート４１上に、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷する。そして、積層体を加熱処理することによって導電性ペーストを焼成して、圧電シート４１上に個別電極３５を形成する。しかる後、ガラスフリットを含む金を個別電極３５の補助電極領域３５ｂ上に印刷して、ランド３６を形成する。
【００８４】
次に、積層体の一端面と、個別電極３５が形成された面と対向する面（アクチュエータユニット３２１の下面）とに導通配線３４５を形成する。図１１（ａ）は、導通配線３４５をアクチュエータユニット３２１に形成する前の状態を示す説明図であり、図１１（ｂ）は、導電配線３４５をアクチュエータユニット３２１に形成した後の状態を示す説明図である。図１１（ａ）に示すように、積層体を設置台３５１上に配置させ、積層体において導通配線３４５を形成しない領域にマスク３５２を施す。そして、積層体を設置台３５１と共に所定の角度まで傾け、ＰＶＤ（Physical Vapor Deposition；物理蒸着）法により、導通配線３４５となる導電性微粒子を蒸着させる。こうして、図１１（ｂ）に示すように、積層体の一端面の一部と、個別電極３５が形成された面と対向する面の一部とに同時に導電配線３４５を形成することができる。また、蒸着方向を変えることで、導通配線３４５の端面側の厚み及び個別電極３５が形成された面と対向する面側の厚みを容易に調整することができる。このようにして、図１０（ａ）に描かれたようなアクチュエータユニット３２１を作製することができる。
【００８５】
以上のような第４実施形態のインクジェットヘッドによると、第１実施形態のインクジェットヘッド１とほぼ同様に、流路ユニット４とアクチュエータユニット３２１とを接着したときに、導電性部材３１と端子３４６とが接触するので、流路ユニット４を覆った熱硬化性接着剤６を削りとることなく、共通電極３４と流路ユニット４とを電気的に接続することができる。したがって、共通電極３４と流路ユニット４との電位差がなくなってマイグレーションが起こりにくくなる。さらに、アクチュエータユニット３２１が端面及び流路ユニット４と接着する面において導通配線３４５を有していることで、共通電極３４と補強電極３３と端子１４６とを一括して電気的に接続することができる。また、導通配線３４５がアクチュエータユニット３２１の表面上に形成されているので、アクチュエータユニットの内部に導通配線が形成されているよりも強度が向上する。つまり、圧電シート４１〜４３に導通配線が存在する孔を形成する必要がなくなるので、各圧電シート４１〜４３の強度がほとんど低下しない。さらに、本実施の形態のように、導電配線３４５をＰＶＤ法のような薄膜法で形成しているので、その厚さがサブミクロンでも確実な導電性が得られる。そのために、アクチュエータユニット３２１と流路ユニット４との接着時に、導電配線３４５の厚さが両者の接着を阻害することがない。例えば、０．１μｍ〜０．５μｍであってもよく、２μｍ程度の厚さを有していてもよい。なお、端面上での厚さは１μｍ以上が接続の信頼性の点で好適である。
【００８６】
続いて、本発明の第５実施形態のインクジェットヘッドについて、以下に説明する。図１２（ａ）は、本発明の第５実施形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体の部分拡大断面図であり、図１２（ｂ）はヘッド本体の部分拡大平面図である。なお、上述した各実施形態と同様なものについては同符号で示し、説明を省略する。
【００８７】
本実施形態のインクジェットヘッドのヘッド本体４７０は、図１２（ａ）に示すように、第４実施形態におけるアクチュエータユニット３２１と第３実施形態における流路ユニット２０４とほぼ同様な流路ユニット４０４とが積層されて構成されている。流路ユニット４０４は、キャビティプレート２２に形成された溝４２２の平面形状が上述した流路ユニット２０４の溝２２２ｂと形状が若干異なるだけでその他は同じである。溝４２２は、図１２（ｂ）に示すように、平面形状が三角形状に形成されており、導通配線３４５のアクチュエータユニット３２１の下面に形成された部分とほぼ相似形状で若干大きな平面形状となっている。溝４２２は、孔２２２ａからアクチュエータユニット３２１と対向しない領域まで延在されている。これら流路ユニット４０４とアクチュエータユニット３２１とが作製されて熱硬化性接着剤６で接着されたときに、導通配線３４５の一部が溝４２２内に収まり、流路ユニット４０４とアクチュエータユニット３２１との密着度を高くすることが可能になる。つまり、流路ユニット４０４に溝４２２を形成することで、導通配線３４５による流路ユニット４０４とアクチュエータユニット３２１との干渉をなくすことができる。これによって、アクチュエータユニット３２１の端子３４６と導電性部材２３１とが確実に接触することになる。したがって、本実施形態においても流路ユニット４０４とアクチュエータユニット３２１との間に電位差が生じない。また、溝４２２とアクチュエータユニット３２１の下面とで囲まれた連通通路は、流路ユニット４０４とアクチュエータユニット３２１とが接着された後に、封止材４２３でその出口が封止される。これにより、上述のように連通通路を介して凹部２３０内にインクの飛沫やダストが侵入するのを防止することができる。また、溝４２２の深さにもよるが、導通配線３４５の厚さに対する自由度が増し、前述の実施形態のような薄膜法による形成をしなくても済むようになる。例えば、配線の肉厚が厚くなる印刷法で形成することが可能になり、製造コストの低減に寄与する。
【００８８】
以上のような第５実施形態のインクジェットヘッドによると、上述の各実施形態のインクジェットヘッドと同様に、流路ユニット４０４とアクチュエータユニット３２１とを接着したときに、導電性部材２３１と端子３４６とが接触するので、流路ユニット４０４を覆った熱硬化性接着剤６を削りとることなく、共通電極３４と流路ユニット４０４とを電気的に接続することができる。したがって、共通電極３４と流路ユニット４０４との電位差がなくなってマイグレーションが起こりにくくなる。
【００８９】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した各実施形態における流路ユニットには、導電性部材が配置されるとともにキャビティプレートを貫通した凹部が形成されているが、凹部がキャビティプレートを貫通していなくてもよい。また、凹部と外部とが連通した連通通路が形成されていなくてもよい。また、凹部は、アクチュエータユニットから離れるに連れてその径が小さくなっていなくてもよい。また、凹部の平面形状がどのような平面形状であってもよい。また、連通通路の出口が封止材で封止されていなくてもよい。また、上述の各実施形態におけるアクチュエータユニットは、ＦＰＣの接点を介して共通電極及び補強電極を接地するとともに、流路ユニットも接地しているが、ＦＰＣを介さずに、直接流路ユニットを接地し、共通電極及び補強電極を接地してもよい。これにおいても、アクチュエータユニットと流路ユニットとがグランド電位に保持されることになり、両者間に電位差が生じなくなる。また、共通電極に所定の電位を供給していてもよい。これにおいても、共通電極、補強電極及び流路ユニットは電気的に接続されているので、同電位となってアクチュエータユニットと流路ユニットとの間に電位差が生じない。したがって、マイグレーションが起こりにくくなる。
【００９０】
また、流路ユニットと共通電極との接続の信頼性向上という観点からは、上述した各実施形態における流路ユニット４、１０４、２０４、４０４とアクチュエータユニット２１、１２１、３２１との接着面において、流路ユニット４、１０４、２０４、４０４側に設けられた導電性部材３１、１３１、２３１とアクチュエータユニット２１、１２１、３２１側に設けられた端子４６、１４６、３４６とを接合するばかりではなく、アクチュエータユニット２１、１２１、３２１側の接着面の少なくとも一部に端子とは異なる導電性薄膜層を設けておいてもよい。つまり、上述した各実施形態では、いずれも流路ユニット４、１０４、２０４、４０４とアクチュエータユニット２１、１２１、３２１とを接着剤で固定している。このときに用いられる接着剤の量や厚さにもよるが、両ユニットともに、その接着面はいわゆる鏡面になっているわけではなく、微視的に見ると凹凸が存在している。そのため、接着領域中には、接着剤層を貫通して両者が直接接触している部位がある。そのとき、アクチュエータユニット２１、１２１、３２１側に共通電極と導通している導電性薄膜層が形成されておれば、このような接触部位を介しても電気的に接続されることになり、流路ユニットと共通電極との接続の信頼性が向上する。
【００９１】
これに関する１つの具体例として、上述した第３実施形態をもとにした変形例について、図１３を参照しつつ説明する。なお、図１３において、第３実施形態と同様なものについては同符号で示し、その説明を省略する。本変形例では、図１３に示すように、端子１４６に電気的に接続するように、アクチュエータユニット１２１の接着面側のほぼ全域が導電性薄膜層５００で被覆されている。この薄膜層５００の材料としては、ニッケルが用いられている。ニッケル層は無電界メッキ法により形成されている。この構成により、接着領域内で流路ユニット２０４と薄膜層５００との直接的接触が十分に期待できる。また、この変形例では、図１３に示すように、圧力室１０の上側開口が薄膜層５００によって封止されている。すなわち、圧力室１０の内壁が共通電極３４に電気的に接続した壁面で構成されることになり、インクも含めて流路ユニット２０４全体をほぼ接地電位とすることができる。これにより、確実にアクチュエータユニット２１の破損を防ぐことができる。なお、薄膜層５００としては、インクに対して溶解したり反応して腐食したりすることがない導電性材料であればよく、ニッケル以外にも、金、チタン、パラジウム、白金、アルミニウムなどの単層、複層あるいは合金層を用いることができる。また、その形成方法も材料に合わせて選択すればよく、メッキ法以外に蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などを適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図２】図１のII−II線に沿った断面図である。
【図３】図２に示すヘッド本体を上面から見た平面図である。
【図４】図３に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。
【図５】図４に示すＶ−Ｖ線における断面図である。
【図６】（ａ）は図５に描かれた１点鎖線で囲まれた領域の部分拡大断面図であり、（ｂ）はアクチュエータユニットの部分拡大平面図である。
【図７】インクジェットヘッドの製造工程のフロー図である。
【図８】（ａ）は本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体の部分拡大断面図であり、（ｂ）はヘッド本体の部分拡大平面図である。
【図９】（ａ）は本発明の第３実施形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体の部分拡大断面図であり、（ｂ）はヘッド本体の部分拡大平面図である。
【図１０】（ａ）は本発明の第４実施形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体の部分拡大断面図であり、（ｂ）はヘッド本体の部分拡大平面図である。
【図１１】（ａ）は導通配線をアクチュエータユニットに形成する前の状態を示す説明図であり、（ｂ）は導電配線をアクチュエータユニットに形成した後の状態を示す説明図である。
【図１２】（ａ）は本発明の第５実施形態によるインクジェットヘッドのヘッド本体の部分拡大断面図であり、（ｂ）はヘッド本体の部分拡大平面図である。
【図１３】（ａ）は本発明の第３実施形態に関する変形例によるインクジェットヘッドのヘッド本体の部分拡大断面図であり、（ｂ）はヘッド本体の部分拡大平面図である。
【符号の説明】
【００９３】
１  インクジェットヘッド
４，１０４，２０４，４０４  流路ユニット
６  接着剤
８  ノズル
１０  圧力室
２１，１２１，３２１  アクチュエータユニット
３０，１３０，２３０  凹部
３３  補強電極
３４  共通電極
３５  個別電極
４１〜４３  圧電シート
４６，１４６，３４６  端子（接触端子）
４７ｂ，４８ｂ，４９ｂ，１１３ｂ，３４５  導通配線
１２６  第１予備室
１２７  第２予備室
【図１】
2006168004.tif 000003
【図２】
2006168004.tif 000004
【図３】
2006168004.tif 000005
【図４】
2006168004.tif 000006
【図５】
2006168004.tif 000007
【図６】
2006168004.tif 000008
【図７】
2006168004.tif 000009
【図８】
2006168004.tif 000010
【図９】
2006168004.tif 000011
【図１０】
2006168004.tif 000012
【図１１】
2006168004.tif 000013
【図１２】
2006168004.tif 000014
【図１３】
2006168004.tif 000015