(57)【要約】  【課題】  １台で複数台の超音波振動子を駆動することのできる超音波振動子駆動装置を提供する。  【解決手段】  複数の超音波モータ２１、２２に取り付けられた超音波振動子２５、２６の中からＸ軸超音波モータ２１の超音波振動子２５を選択超音波振動子として選択する超音波振動子選択部１１と、超音波振動子２５に対する駆動信号を生成する駆動信号生成部１２と、駆動信号を電力増幅して駆動電力を生成する駆動電力生成部１３と、駆動電力生成部１３と超音波振動子２５とを電気的に接続する接続部１４とを含む。【選択図】  図１
2006223077.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の超音波振動子に駆動電力を供給する超音波振動子駆動装置であって、
前記複数の超音波振動子の中から１つの超音波振動子を選択超音波振動子として選択する超音波振動子選択部と、
前記選択超音波振動子に対する駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
前記駆動信号を電力増幅して駆動電力を生成する駆動電力生成部と、
前記駆動電力生成部と前記選択超音波振動子とを電気的に接続する接続部とを含む超音波振動子駆動装置。
【請求項２】
前記超音波振動子選択部が、前記選択超音波振動子が前記選択超音波振動子により駆動される被駆動体を予め定められた駆動量駆動したことが検出された後に、前記複数の超音波振動子の選択を変更する第１の選択変更部を含む請求項１に記載の超音波振動子駆動装置。
【請求項３】
前記超音波振動子選択部が、前記選択超音波振動子が前記選択超音波振動子により駆動される被駆動体を予め定められた時間駆動した後に、前記複数の超音波振動子の選択を変更する第２の選択変更部を含む請求項１に記載の超音波振動子駆動装置。
【請求項４】
前記選択超音波振動子による前記被駆動体の動作量を測定する測定手段と、
前記測定手段により測定された動作量の前記超音波振動子選択部へのフィードバックをオンオフするフィードバックオンオフ手段を含む請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の超音波振動子駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波振動子駆動装置に係り、特に、複数の超音波振動子を駆動することが可能な超音波振動子駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡のステージのように微小な距離を正確に移動させる必要のある移動体の駆動装置として超音波振動子を駆動源とする超音波モータが適用されるようになってきている。
【０００３】
本出願人は、変位および速度を極めて精密に制御することのできる超音波モータ駆動装置を既に提案している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
図６は本出願人が既に提案した超音波モータ駆動装置のブロック図であって、Ｘ・Ｙステージ９１は、Ｘ・Ｙステージ９１に接触して配置される超音波モータ９２によって駆動される。
【０００５】
超音波モータ駆動装置９は、指令信号を出力する制御部９３と、指令信号に基づいて駆動パターンを決定する駆動パターン決定基板９４と、駆動パターンに基づいて超音波モータ９２に取り付けられた超音波振動子９６、９７を駆動する駆動信号を発生する駆動信号基板９５とを含む。
【０００６】
制御部９３は変位目標値および速度目標値を出力し、駆動パターン決定基板９４は速度目標値に応じて定まるインターバルを挟んだ変位目標値に応じて定まる波数の正弦波である駆動パターンを決定する。
【０００７】
駆動信号基板９５は、駆動パターンに基づいて、制御部９３から指令された周波数および振幅を有する駆動信号を発生し、超音波モータ９２の超音波振動子９６、９７を励磁する。
【０００８】
上記提案に係る超音波モータ駆動装置は、単一の超音波モータを駆動するものであり、多軸ステージを超音波モータで駆動する場合には、軸数台の超音波モータ駆動装置が必要となる。
【０００９】
また、１つの制御回路で複数の超音波モータを駆動可能な超音波モータ駆動システムも既に提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１０】
上記提案に係る超音波モータ駆動システムは、１つの制御回路で複数の超音波モータの動作指令を発生するものであり、動作指令に基づいて超音波モータを駆動するドライバは超音波モータごとに設置する必要がある。
【特許文献１】特開２００４−２０１４０５号公報（［００１８］〜［００２１］、図１）
【特許文献２】特開２００３−２８４３６７号公報（［００１２］、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、複数の超音波モータを備えるＸ・Ｙステージにあっては複数の超音波モータを同時に動作させる場合は少ないばかりでなく、超音波モータに電力が供給されていないときでも超音波モータとＸ・Ｙステージとの間に作用する機械的摩擦力によりＸ・Ｙステージは現位置を維持することが可能であるので、超音波モータの超音波振動子ごとに超音波振動子駆動装置あるいはドライバを設置することは、駆動装置が大型化するだけでなく経済性も悪化することとなる。
【００１２】
本発明は、従来の問題を解決するために、複数の超音波振動子を駆動することのできる簡易な構成の超音波振動子駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の超音波振動子駆動装置は、複数の超音波振動子に駆動電力を供給する超音波振動子駆動装置であって、前記複数の超音波振動子の中から１つの超音波振動子を選択超音波振動子として選択する超音波振動子選択部と、前記選択超音波振動子に対する駆動信号を生成する駆動信号生成部と、前記駆動信号を電力増幅して駆動電力を生成する駆動電力生成部と、前記駆動電力生成部と前記選択超音波振動子とを電気的に接続する接続部とを含む構成を有している。
【００１４】
この構成により、１台の超音波振動子駆動装置で複数の超音波振動子を駆動することができることとなる。
【００１５】
本発明の超音波振動子駆動装置は、前記超音波振動子選択部が、前記選択超音波振動子が前記選択超音波振動子により駆動される被駆動体を予め定められた駆動量駆動したことが検出された後に、前記複数の超音波振動子の選択を変更する第１の選択変更部を含む構成を有している。
【００１６】
この構成により、１つの超音波振動子の動作が完了するごとに駆動する超音波振動子を変更して１台の超音波振動子駆動装置により複数台の超音波振動子を駆動することができることとなる。
【００１７】
本発明の超音波振動子駆動装置は、前記超音波振動子選択部が、前記選択超音波振動子が前記選択超音波振動子により駆動される被駆動体を予め定められた時間駆動した後に、前記複数の超音波振動子の選択を変更する第２の選択変更部を含む構成を有している。
【００１８】
この構成により、所定時間ごとに駆動する超音波振動子を変更して１台の超音波振動子駆動装置により複数台の超音波振動子を駆動することができることとなる。
【００１９】
本発明の超音波振動子駆動装置は、前記選択超音波振動子による前記被駆動体の動作量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定された動作量の前記超音波振動子選択部へのフィードバックをオンオフするフィードバックオンオフ手段を含む構成を有している。
【００２０】
この構成により、被駆動体の動作量をフィードホワード制御またはフィードバック制御により制御することが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、複数の超音波振動子の中から１つの超音波振動子を選択超音波振動子として選択する超音波振動子選択部と、駆動電力生成部と選択超音波振動子とを電気的に接続する接続部とを設けることにより、１台で複数の超音波振動子を駆動することができることとなるという効果を有する超音波振動子駆動装置を提供することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態の超音波振動子駆動装置について、図面を用いて説明する。
【００２３】
なお、実施の形態においては、超音波振動子は超音波モータに取り付けられて、Ｘ・Ｙステージを駆動するものとする。
【００２４】
本発明の実施の形態の超音波振動子駆動装置１は、図１のブロック図に示すように、複数の超音波モータ２１、２２に取り付けられた超音波振動子２５、２６の中からＸ軸超音波モータ２１に取り付けられた超音波振動子２５を選択超音波振動子として選択する超音波振動子選択部１１と、Ｘ軸超音波モータ２１に取り付けられた超音波振動子２５に対する駆動信号を生成する駆動信号生成部１２と、駆動信号を電力増幅して駆動電力を生成する駆動電力生成部１３と、駆動電力生成部１３とＸ軸超音波モータ２１に取り付けられた超音波振動子２５とを電気的に接続する接続部１４とを含む。
【００２５】
なお、Ｘ・ＹステージのＸ軸方向動作量を測定するＸ軸方向移動量測定装置２３、Ｙ軸方向動作量を測定するＹ軸方向移動量測定装置２４、ならびに、超音波振動子選択部１１に入力されるＸ軸方向移動量測定装置２３またはＹ軸方向移動量測定装置２４の測定結果を切換える切換え部１５を備えていてもよい。
【００２６】
図２は、本発明の実施の形態の超音波振動子駆動装置１のハードウエア構成を示すブロック図であって、超音波振動子選択部１１と駆動信号生成部１２とはマイクロコンピュータ４中にソフトウエア的に構成される。
【００２７】
マイクロコンピュータ４は、マイクロコンピュータ４にインストールされたプログラムを実行するＣＰＵ４１と、プログラムおよび演算結果を記憶するメモリ４２と、操作パネル５が接続される操作パネルインターフェイス（以下“Ｉ／Ｆ”と記す）４３と、超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号Ｉ／Ｆ４４と、接続部１４に識別信号を出力する識別信号Ｉ／Ｆ４５と、フィードバック信号を入力するフィードバック信号入力Ｉ／Ｆ４６とがバス４７に接続された構成を有する。
【００２８】
操作パネルＩ／Ｆ４３に接続される操作パネル５は、液晶表示パネル５１と、ポインティングデバイス５２と、データ入力キー５３とを含む。
【００２９】
駆動信号Ｉ／Ｆ４４は駆動信号をドライバ５５に供給する。ドライバ５５は、供給された駆動信号を電力増幅して、駆動電力を発生する。なお、ドライバ５５は駆動信号生成部１２として機能する。
【００３０】
識別信号Ｉ／Ｆ４５に接続される識別信号出力回路５７は、識別信号Ｉ／Ｆ４５から出力される識別信号に基づいてリレイ５８およびリレイ５９を操作する。
【００３１】
リレイ５８およびリレイ５９は、それぞれ、識別信号がオン状態であれば接点は接状態に、オフ状態であれば接点は断状態に制御される。
【００３２】
なお、識別信号出力回路５７ならびにリレイ５８およびリレイ５９は、接続部１４として機能する。
【００３３】
フィードバック信号入力Ｉ／Ｆ４６には、Ｘ・Ｙテーブル２のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置の検出信号がフィードバックされる。
【００３４】
Ｘ・Ｙテーブル２は、Ｘ軸超音波モータ２１の超音波振動子２５にドライバ５５が出力する駆動電力を供給することによりＸ軸方向に、Ｙ軸超音波モータ２２の超音波振動子２６にドライバ５５が出力する駆動電力を供給することによりＹ軸方向に移動可能な構成となっている。
【００３５】
Ｘ軸方向移動量測定装置（例えば、リニアエンコーダ）２３は、Ｘ・Ｙテーブル２のＸ軸方向位置を検出し、Ｙ軸方向移動量測定装置（例えば、リニアエンコーダ）２４は、Ｘ・Ｙテーブル２のＹ軸方向位置を検出し、フィードバック信号入力Ｉ／Ｆ４６を介して駆動信号生成部１２にＸ・Ｙテーブル２のＸ軸方向位置およびＹ軸方向位置をフィードバックする。
【００３６】
フィードバック経路には、フィードバック信号を接断するリレイ６０およびリレイ６１が設置され、識別信号出力回路５７によって駆動される。なお、リレイ６０およびリレイ６１は切換え部１５として機能する。
【００３７】
Ｘ軸超音波モータ２１の超音波振動子２５およびＹ軸超音波モータ２２の超音波振動子２６は、それぞれ、ドライバ５５から出力される駆動電力によって駆動される。
【００３８】
なお、ドライバ５５とＸ軸超音波モータ２１の超音波振動子２５およびＹ軸超音波モータ２２の超音波振動子２６とは、リレイ５８およびリレイ５９を介して接続されている。
【００３９】
即ち、識別信号出力回路５７がリレイ５８に対するオン信号を出力すると、リレイ５８の接点は閉状態、リレイ５９は開状態となり、ドライバ５５が出力する駆動電力はＸ軸超音波モータ２１の超音波振動子２５に供給され、Ｙ軸超音波モータ２２の超音波振動子２６への駆動電力は遮断されるように構成されている。
【００４０】
識別信号出力回路５７がリレイ５８に対するオン信号を出力したときには、フィードバック経路のリレイ６０は開状態、リレイ６１は閉状態となり、Ｘ軸方向移動量測定装置２３による測定結果がフィードバック信号入力Ｉ／Ｆ４６に入力されるように構成されている。
【００４１】
また、識別信号出力回路５７がリレイ５９に対するオン信号を出力すると、リレイ５９の接点は閉状態、リレイ５８は開状態となり、ドライバ５５が出力する駆動電力はＹ軸超音波モータ２２の超音波振動子２６に供給され、Ｘ軸超音波モータ２１の超音波振動子２５への駆動電力は遮断されるように構成されている。
【００４２】
識別信号出力回路５７がリレイ５９に対するオン信号を出力したときには、フィードバック経路のリレイ６１は開状態、リレイ６０は閉状態となり、Ｙ軸方向移動量測定装置２４による測定結果がフィードバック信号入力Ｉ／Ｆ４６に入力されるように構成されている。
【００４３】
なお、上記の実施の形態では、接続部１４はリレイ５８およびリレイ５９で構成されているものとしているが、リレイに代えて半導体スイッチング素子を使用してもよい。
【００４４】
なお、半導体スイッチング素子はリレイに比較して小型であるため、ドライバ５５の基板上に設置することも可能である。
【００４５】
以下に、本発明に係る超音波振動子駆動装置の動作の２つの実施例を説明する。
（第１実施例）
図３は、マイクロコンピュータ４にインストールされる第１の超音波振動子駆動ルーチンのフローチャートであって、１つの超音波振動子の動作が完了した後に別の超音波振動子の駆動が開始される。
【００４６】
ＣＰＵ４１は、まず、駆動すべき複数の超音波振動子の識別インデックスｉを“１”に初期化する（ステップＳ３１）。
【００４７】
次に、ＣＰＵ４１は、識別信号Ｉ／Ｆ４５を介して識別信号出力回路５７に超音波振動子の識別インデックスｉを出力する（ステップＳ３２）。なお、本実施の形態においては、超音波振動子の識別インデックスｉが“１”のときは、リレイ５８が閉、リレイ５９が開となり、ドライバ５５が出力する駆動電力はＸ軸超音波モータ２１の超音波振動子２５に供給される。
【００４８】
Ｙ軸超音波モータ２２の超音波振動子２６には駆動電力が供給されないが、Ｙ軸超音波モータ２２のステータとロータとは接触状態を維持しているので、ステータとロータの摩擦力によりＸ・Ｙテーブル２のＹ軸方向の移動は阻止される。
【００４９】
次に、ＣＰＵ４１は、被駆動体のＸ軸方向の目標位置Ｐｄ（１）を読み込む（ステップＳ３３）。なお、目標位置Ｐｄ（１）は操作パネル５から読み込まれてもよく、上位制御装置（図示せず）から読み込まれてもよい。
【００５０】
ＣＰＵ４１は、目標位置Ｐｄ（１）に基づいて定まる波数の駆動信号を生成し（ステップＳ３４）、駆動信号Ｉ／Ｆ４４を介してドライバ５５に駆動信号を出力する（ステップＳ３５）。
【００５１】
ＣＰＵ４１は、Ｘ軸方向移動量測定装置２３によって測定されるＸ・Ｙテーブル２のＸ軸方向の実位置Ｐａ（１）をフィードバック信号入力Ｉ／Ｆ４６を介して読み込み（ステップＳ３６）、Ｘ軸方向の目標位置Ｐｄ（１）と実位置Ｐａ（１）との差の絶対値が予め定められた誤差ε未満であるか否かを判定する（ステップＳ３７）。
【００５２】
ＣＰＵ４１は、差の絶対値が誤差ε以上であれば、Ｘ・Ｙテーブル２はＸ軸方向の目標位置Ｐｄ（１）に到達していないものとしてステップＳ３４に戻り、駆動信号の生成を継続する。
【００５３】
ＣＰＵ４１は、差の絶対値が誤差ε未満となれば、超音波振動子の識別インデックスｉが駆動すべき超音波振動子の台数Ｉ以上となったか否かを判定する（ステップＳ３８）。
【００５４】
本実施の形態では、本発明の超音波振動子駆動装置はＸ・Ｙテーブル２のＸ軸超音波モータ２１の超音波振動子２５およびＹ軸超音波モータ２２の超音波振動子２６を駆動するので、ステップＳ３８では否定判定され、超音波振動子の識別インデックスｉを“２”にインクリメントして（ステップＳ３９）、ステップＳ３２に戻る。
【００５５】
ＣＰＵ４１は、識別信号Ｉ／Ｆ４５を介して識別信号出力回路５７に超音波振動子の識別インデックスｉを出力する（ステップＳ３２）が、超音波振動子の識別インデックスｉが“２”のときは、リレイ５８が開、リレイ５９が閉となり、ドライバ５５から出力される駆動電力はＹ軸超音波モータ２２の超音波振動子２６に供給される。
【００５６】
Ｘ軸超音波モータ２１の超音波振動子２５には駆動電力が供給されないが、Ｘ軸超音波モータ２１のステータとロータとは接触状態を維持しているので、Ｘ・Ｙテーブル２のＸ軸方向の移動は阻止される。
【００５７】
ＣＰＵ４１は、被駆動体のＹ軸方向の目標位置Ｐｄ（２）を読み込む（ステップＳ３３）。
【００５８】
ＣＰＵ４１は、目標位置Ｐｄ（２）に基づいて定まる波数の駆動信号を生成し（ステップＳ３４）、駆動信号Ｉ／Ｆ４４を介してドライバ５５に駆動信号を出力する（ステップＳ３５）。
【００５９】
ＣＰＵ４１は、Ｙ軸方向移動量測定装置２４によって測定されるＸ・Ｙテーブル２のＹ軸方向の実位置Ｐａ（２）をフィードバック信号入力Ｉ／Ｆ４６を介して読み込み（ステップＳ３６）、Ｙ軸方向の目標位置Ｐｄ（２）と実位置Ｐａ（２）との差の絶対値が予め定められた誤差ε未満であるか否かを判定する（ステップＳ３７）。
【００６０】
ＣＰＵ４１は、差の絶対値が誤差ε以上であれば、Ｘ・Ｙテーブル２はＹ軸方向の目標位置Ｐｄ（２）に到達していないものとしてステップＳ３４に戻り、駆動信号の生成を継続する。
【００６１】
ＣＰＵ４１は、差の絶対値が誤差ε未満となれば、超音波振動子の識別インデックスｉが駆動すべき超音波振動子の台数Ｉ以上となったか否かを判定する（ステップＳ３８）。
【００６２】
超音波振動子の識別インデックスｉは“２”であるので、ステップＳ３８で肯定判定されて、このルーチンを終了する。
【００６３】
なお、上記の第１実施例においては、Ｘ・Ｙテーブル２のＸ軸方向位置およびＹ軸方向位置はＸ軸方向移動量測定装置２３およびＹ軸方向移動量測定装置２４で測定するものとしているが、Ｘ軸方向目標位置およびＹ軸方向目標位置を位置検出スイッチで検出するようにしてもよい。
【００６４】
即ち、Ｘ・Ｙテーブル２のＸ軸方向目標位置およびＹ軸方向目標位置にフォトセンサ、マイクロスイッチ等の位置検出スイッチを設置し、ステップＳ３６で位置検出スイッチの状態を読み込み、位置検出スイッチの状態が反転したときにＸ・Ｙテーブル２が目標位置に到達したと判定するようにしてもよい。
【００６５】
また、Ｘ軸方向移動量測定装置２３およびＹ軸方向移動量測定装置２４によるフィードバックを使用せずに、駆動信号生成部１２が予め定められた数のパルスを出力するたびに超音波振動子を切換えるようにしてもよい。
【００６６】
以上説明したように、第１実施例によれば、１つの超音波振動子の動作が完了するごとに駆動する超音波振動子を変更することにより、１台の超音波振動子駆動装置により複数台の超音波振動子を駆動することが可能となる。
（第２実施例）
図４および図５は、マイクロコンピュータ４にインストールされる識別インデックス切り替えルーチンおよび第２の超音波振動子駆動ルーチンのフローチャートであって、予め定められた所定時間（例えば１秒）ごとに駆動する超音波振動子が切り替えられる。
【００６７】
図４は、超音波振動子の識別インデックス切り替えルーチンのフローチャートであって、所定時間ごとに実行される。
【００６８】
まず、ＣＰＵ４１は、識別インデックスｉが最大値Ｉ以上であるか否かを判定する（ステップＳ４１）。
【００６９】
ＣＰＵ４１は、識別インデックスｉが最大値Ｉに到達と判定したときには識別インデックスｉを“１”に初期化し（ステップＳ４２）、識別インデックスｉが最大値Ｉ未満であると判定したときには識別インデックスｉをインクリメントする（ステップＳ４３）。
【００７０】
最後に、ＣＰＵ４１は識別インデックスｉを識別信号Ｉ／Ｆ４５を介して識別信号出力回路５７に出力する（ステップＳ４４）。
【００７１】
図５は、第２の超音波振動子駆動ルーチンのフローチャートであって、例えば１００ミリ秒ごとに実行される。
【００７２】
ＣＰＵ４１は、まず、識別インデックス切り替えルーチンから出力される識別インデックスｉを読み込む（ステップＳ５１）。次に、ＣＰＵ４１は、操作パネル５または上位制御装置（図示せず）から、目標位置Ｐｄ（ｉ）を読み込む（ステップＳ５２）。
【００７３】
ＣＰＵ４１は、目標位置Ｐｄ（ｉ）に基づいて駆動信号を生成し（ステップＳ５３）、駆動信号Ｉ／Ｆ４４を介してドライバ５５に出力する（ステップＳ５４）。
【００７４】
なお、Ｘ・Ｙテーブル２の位置制御あるいは速度制御は、図示しない位置制御ルーチンまたは速度制御ルーチンで実行される。
【００７５】
以上説明したように、第２実施例によれば、所定時間ごとに駆動する超音波振動子を変更することにより、１台の超音波振動子駆動装置により複数台の超音波振動子を駆動することが可能となる。
【００７６】
なお、上記の実施の形態においては、Ｘ・Ｙテーブル２の移動量は、Ｘ軸方向移動量測定装置２３およびＹ軸方向移動量測定装置２４により測定され、超音波振動子駆動装置１にフィードバックすることとしているが、移動量のフィードバックは必須ではない。
【００７７】
即ち、リレイ６０およびリレイ６１をともに開状態として移動量を計測しない、いわゆるオープンループ制御によりＸ・Ｙテーブル２を駆動してもよく、あるいは、Ｘ・Ｙテーブルの移動量とは厳密には等価ではない、パルス数あるいは超音波モータの移動量をフィードバックする、いわゆるセミクローズドループ制御によりＸ・Ｙテーブル２を駆動してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
以上のように、本発明に係る超音波振動子駆動装置は、１台で複数台の超音波振動子を駆動することができるという効果を有し、圧電素子等の駆動装置等として有効である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明に係る実施の形態の超音波振動子駆動装置のブロック図
【図２】本発明に係る実施の形態の超音波振動子駆動装置のハードウエア構成のブロック図
【図３】本発明に係る実施の形態の超音波振動子駆動装置にインストールされる第１の超音波モータ駆動ルーチンのフローチャート
【図４】本発明に係る実施の形態の超音波振動子駆動装置にインストールされる識別インデックス切り替えルーチンのフローチャート
【図５】本発明に係る実施の形態の超音波振動子駆動装置にインストールされる第２の超音波モータ駆動ルーチンのフローチャート
【図６】従来の超音波モータ駆動装置のブロック図
【符号の説明】
【００８０】
１  超音波振動子駆動装置
２  Ｘ・Ｙテーブル
１１  超音波振動子選択部
１２  駆動信号生成部
１３  駆動電力生成部
１４  接続部
２１  Ｘ軸超音波モータ
２２  Ｙ軸超音波モータ
２３  Ｘ軸方向移動量測定装置
２４  Ｙ軸方向移動量測定装置
２５、２６  超音波振動子
【図１】
2006223077.tif 000003
【図２】
2006223077.tif 000004
【図３】
2006223077.tif 000005
【図４】
2006223077.tif 000006
【図５】
2006223077.tif 000007
【図６】
2006223077.tif 000008