(57)【要約】【課題】プリント基板外観検査の検査画像撮像時において鏡面反射発生後に生じる劣化画像の補正を行う装置を提供する。【解決手段】ポリゴンミラー３により偏向した光ビームを被検査物８上でＳ軸方向に走査し、反射光を受光素子７にて受光するセンサ部１と、前記センサ部１から出力される１ライン走査を順次行うことで得られる短冊状画像データを記憶する画像バッファ部１７と、所定の光強度以上の反射光が前記受光素子に入射する鏡面反射が発生したことを検出すると鏡面反射発生信号を出力する鏡面検出部２２と、鏡面反射が発生した撮像部を当該Ｓ軸方向と逆方向走査して得られる画像データを記録する鏡面反射部記録部２５とを備え、鏡面反射が発生したことを示す鏡面反射発生信号が存在するときは、画像バッファ部１７からの画像データと鏡面反射部記録部２５からの画像データを合成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物に光ビームを照射して該検査物の形状を測定する外観検査装置において、
ポリゴンミラーにより光ビームを偏向し被検査物に対しＸ軸方向と略一致するＳ軸方向に前記偏向された光ビームを走査して該被検査物からの反射光を受光素子にて受光するセンサ部と、
前記センサ部から出力される当該Ｓ軸方向の１ライン走査を順次行うことで得られるＹ軸方向の所定の長さの前記被検査物の短冊状画像データを記憶する画像バッファ部と、
前記反射光から得られる信号電圧と基準電圧の比較を行い所定の光強度以上の反射光が前記受光素子に入射する鏡面反射が発生したことを検出すると鏡面反射発生信号を出力する鏡面検出部と、
前記鏡面反射発生信号に基づき鏡面反射が発生した撮像位置のラインの再走査を通常のＳ軸方向と逆方向に走査を行って画像データの記録を行う鏡面反射部記録部と、
を備え、
当該鏡面反射が発生したことを示す前記鏡面反射発生信号が存在するときは、前記画像バッファ部からの画像データと前記鏡面反射部記録部からの画像データを合成して検査画像を生成することを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記鏡面反射部記録部からの画像データは、該鏡面反射部記録部への記録時と逆向きに読み出すことを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記逆方向のＳ軸走査は、前記ポリゴンミラーの回転を逆方向回転して前記被検査物を走査することを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
【請求項４】
被検査物に光ビームを照射して該検査物の形状を測定する外観検査方法において、
ポリゴンミラーにより光ビームを偏向し被検査物に対しＸ軸方向と略一致するＳ軸方向に前記偏向された光ビームを走査して該被検査物からの反射光を受光素子にて受光するセンサ部を有し、
前記センサ部から出力される当該Ｓ軸方向の１ライン走査を順次行うことで得られるＹ軸方向の所定の長さの前記被検査物の短冊状画像データを画像バッファ部に記憶し、
前記反射光から得られる信号電圧と基準電圧の比較を行い所定の光強度以上の反射光が前記受光素子に入射する鏡面反射が発生したことを検出すると鏡面反射発生信号を出力し、
前記鏡面反射発生信号に基づき鏡面反射が発生した撮像位置のラインの再走査を通常のＳ軸方向と逆方向に走査を行って画像データを鏡面反射部記録部に記録し、
当該鏡面反射が発生したことを示す前記鏡面反射発生信号が存在するときは、前記画像バッファ部からの画像データと前記鏡面反射部記録部からの画像データを合成して検査画像を生成することを特徴とする外観検査方法。
【請求項５】
前記鏡面反射部記録部からの画像データは、該鏡面反射部記録部への記録時と逆向きに読み出すことを特徴とする請求項４に記載の外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置及び外観検査方法に関するものであり、より詳細には、プリント基板外観検査の検査画像撮像時において鏡面反射発生後に生じる劣化画像を補正する外観検査に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の外観検査装置では、被検査物を撮像する際に光ビームと被検査物の表面の材質、状態、角度等の要因及び受光素子の位置関係より鏡面反射が発生した場合、受光素子に対して処理能力を超える光が突然入射することがある。このような場合にはセンサ回路の処理速度が十分に追いつかず鏡面反射該当部のみならず、それに続く画素にも画像の劣化が発生するためセンサ回路の該当部に対しクランプダイオードの挿入や、受光素子への過度な入射光を回避するためＮＤフィルタの導入などを行い鏡面反射が発生した場合においても画像の劣化を軽減する取り組みが行われている。
【０００３】
また、鏡面反射が生じやすい被検査物に対して互いに違った角度から照明光を照射することのできる２つの照明装置及び被検査物に対して視点が異なるように配置された複数の撮影装置を用意し、２つの照明装置から順番に照明光の照射を行い、鏡面反射が発生した場合でも、いずれの照明装置がオンしているかによって撮影された画像上における鏡面反射の位置が異なることを利用することで影響を除去する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
更に、発生した尾引き現象の補正を行う方法として、発光体が発光するときの残光特性の影響による尾引きが原因で発生する画像の劣化に対し、劣化した画素領域を隣接画素間の画素値を比較することで得られる差分値から検出を行い、検出位置での差分値に基づいた補正係数より各画素ごとに補正を行う方法が開示されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
更に、超音波診断装置において超音波をよく反射する強反射体が存在する場合、その受信信号の信号レベルが高くなりその後に尾引き信号を伴う場合があるため、尾引き信号を減衰させる目的で受信信号の基準電圧を越える部分のみ取り出して２つに分岐し、一方を積分器に入力することで生成される減衰量制御信号を、もう一方の受信信号に乗じることで元の信号レベルを減衰させ尾引き信号のレベルを抑えようとする方法が開示されている（例えば、特許文献３参照。）。
【特許文献１】特開２００２−２６００１７号公報
【特許文献２】特開平７−１２９７６４号公報
【特許文献３】特開平７−３０３０１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、鏡面反射が発生する状況下ではクランプダイオードを挿入する電気的対策を講じた場合においても現状の受光素子、増幅器、ダイオード等の電子部品の仕様内で十分な改善は見込めず、またＮＤフィルタを導入する光学的対策を講じた場合には非鏡面反射時の受光素子に対する入射光をもフィルタリングしてしまい画像情報全体のダイナミックレンジを減少させてしまうという課題を有している。
【０００７】
また、鏡面反射に対して取り組んだ前記特許文献１の構成では、複数の照明装置及び撮影装置を必要とするためセンサの容量が大きくなると共に、プリント基板外観検査装置においては被検査物表面の情報を詳細に知る必要があるため、垂直方向の反射光情報を得られることが望ましいが、特許文献１の方法を用いた場合には垂直方向の反射光情報は十分に得られないという課題を有している。
【０００８】
また、発生した尾引き現象の補正に取り組んだ前記特許文献２においては尾引き現象による画像の劣化を補正する際に必要となる補正係数は実験的に求めテーブル化を行う必要があるためユーザ自身による調整が必要であり、ユーザ間におけるばらつき等が発生しプリント基板外観検査装置では量産時における検査精度のばらつきに反映する可能性の面から課題を有している。
【０００９】
更に超音波診断装置における尾引き現象の補正に取り組んだ前記特許文献３の構成は、一連の受信信号において基準電圧を超える部分のみを取り出して減衰量制御信号を乗算し元の信号レベルを減衰させ尾引き信号のレベルを押さえるため、尾引き発生部前後の信号との相関関係に課題を有している。
【００１０】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、被検査物に対して垂直方向から照射される光ビームに対する垂直方向の反射光を受光素子にて受光する場合、鏡面反射が原因で引き起こされる検査画像の劣化に対し、該被検査物を１８０度回転させた状態で撮像を行ったデータをもとに検査画像の補正を行うことが可能な外観検査装置を提供する事を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記従来の課題を解決するために、本発明の外観検査装置は、被検査物に光ビームを照射して該検査物の形状を測定する外観検査装置において、ポリゴンミラーにより光ビームを偏向し被検査物に対しＸ軸方向と略一致するＳ軸方向に前記偏向された光ビームを走査して該被検査物からの反射光を受光素子にて受光するセンサ部と、前記センサ部から出力される当該Ｓ軸方向の１ライン走査を順次行うことで得られるＹ軸方向の所定の長さの前記被検査物の短冊状画像データを記憶する画像バッファ部と、前記反射光から得られる信号電圧と基準電圧の比較を行い所定の光強度以上の反射光が前記受光素子に入射する鏡面反射が発生したことを検出すると鏡面反射発生信号を出力する鏡面検出部と、前記鏡面反射発生信号に基づき鏡面反射が発生した撮像位置のラインの再走査を通常のＳ軸方向と逆方向に走査を行って画像データの記録を行う鏡面反射部記録部と、を備え、当該鏡面反射が発生したことを示す前記鏡面反射発生信号が存在するときは、前記画像バッファ部からの画像データと前記鏡面反射部記録部からの画像データを合成して検査画像を生成することを特徴としたものである。
【００１２】
また、本発明の外観検査方法は、被検査物に光ビームを照射して該検査物の形状を測定する外観検査方法において、ポリゴンミラーにより光ビームを偏向し被検査物に対しＸ軸方向と略一致するＳ軸方向に前記偏向された光ビームを走査して該被検査物からの反射光を受光素子にて受光するセンサ部を有し、前記センサ部から出力される当該Ｓ軸方向の１ライン走査を順次行うことで得られるＹ軸方向の所定の長さの前記被検査物の短冊状画像データを画像バッファ部に記憶し、前記反射光から得られる信号電圧と基準電圧の比較を行い所定の光強度以上の反射光が前記受光素子に入射する鏡面反射が発生したことを検出すると鏡面反射発生信号を出力し、前記鏡面反射発生信号に基づき鏡面反射が発生した撮像位置のラインの再走査を通常のＳ軸方向と逆方向に走査を行って画像データを鏡面反射部記録部に記録し、当該鏡面反射が発生したことを示す前記鏡面反射発生信号が存在するときは、前記画像バッファ部からの画像データと前記鏡面反射部記録部からの画像データを合成して検査画像を生成することを特徴としたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の外観検査装置によれば、被検査物に対して垂直方向から照射される光ビームを被検査物上に走査させ受光素子に入射する反射光を検出して画像化する装置に関し、反射光のうち垂直方向成分を受光素子にて受光する場合に鏡面反射が発生することが原因で生じる検査画像の劣化に対し、被検査物上の光ビーム走査方向を２種類設けそれぞれの方向による撮像で得た画像を用いた補正を行うことで、より精密な検査画像を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明の外観検査装置を使用して、被検査物に対して垂直方向から照射される光ビームの垂直方向の反射光を受光素子にて受光する場合、鏡面反射が原因で引き起こされる検査画像の劣化に対し、該被検査物を通常の走査方向に対し、逆方向の１８０度回転させた走査方向で撮像を行ったデータをもとに検査画像の補正を行うものであり、以下に、図面とともに詳細に説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は本発明に係る外観検査装置における検査画像撮像から外観検査までの手順を示すフローチャートである。まず始めに図中Ｓ１からＳ９で示した各工程の簡単な説明を行う。  Ｓ１において、外観検査の開始指令が出されると、Ｓ２の検査画像撮像において、垂直方向から照射される光ビームの被検査物による垂直方向の反射光を受光素子で受光することにより検査画像の撮像が行われる。その際、Ｓ３では、被検査物上に実装された部品のリード部等の反射係数が大きい場合に鏡面反射が発生する場合がある。鏡面反射が発生するとそれに伴い検査画像の劣化が生じてしまうため、鏡面反射が発生したことを検知し画像の劣化による外観検査精度の低下を抑制するため鏡面反射の発生箇所を記録する必要がある。その方法としてＳ４においては、受光素子からの出力電圧と基準電圧との比較を行い、鏡面反射発生位置に対応する専用の記録部にフラグ信号の出力を行う。更に、Ｓ５において、鏡面反射が発生した被検査物に対して走査方向を１８０度変更後、Ｓ６においてフラグ信号が示す範囲の撮像を行い、Ｓ７で、当該範囲の画像データを記録する。
【００１６】
Ｓ７で記憶された画像データの読み出しは、通常のＳ軸方向と逆方向に読み出して、Ｓ２の撮像で得た鏡面反射が発生した部分の画像データと合成する。
【００１７】
このようなステップにて、鏡面反射による画像の劣化を最小限に抑えた鏡面反射発生部分の画像データを得ることができる。更に、鏡面反射が発生しなかった部分の画像データとＳ７の手順で得られた画像データをＳ８において被検査物に相当する検査画像に合成することで、Ｓ９にて、より正確な外観検査を実施することが可能になる。本発明の外観検査装置及び外観検査方法は、以上の工程を１サイクルとするものである。
【００１８】
以下、図１の各工程についてさらに詳細な説明を行う。図２にはセンサ部を、図３にはセンサ部を含む外観検査装置全体の構成を模式的に示す。
【００１９】
まず始めにセンサ部の構造について図２を用いて説明を行う。
【００２０】
センサ部１は光源２（レーザ光源）、ポリゴンミラー３、走査レンズ４からなる走査光学系とハーフミラー５、集光レンズ６、受光素子７とからなる受光光学系にて構成される。走査光学系は、レーザ光源２からの光ビーム（レーザ）をポリゴンミラー３により偏向し、走査レンズ４を介して被検査物８に対して垂直方向よりレーザを照射する。さらに、ポリゴンミラー３が回転することで偏向されたレーザは走査レンズ４に対する入射位置を順次変え、被検査物８上で１ライン走査を順次繰り返し撮像を行う。１ライン撮像幅は、３０ｍｍであり、走査方向はＸ軸方向と略一致するＳ軸方向とする。一方の受光光学系は、被検査物８からの垂直方向への反射光をハーフミラー５で偏向し、集光レンズ６により受光素子７に集光させることで被検査物８の画像信号を得る。
【００２１】
続いて各軸駆動部と被検査物８の撮像について図３を用いて説明を行う。
Ｙ軸位置検知部９は、ＣＰＵ１０から撮像開始の指示が出るとレーザ走査位置と被検査物８の位置と被検査物８の撮像開始希望位置のＹ座標より撮像開始希望位置到達信号Ａ２を生成し撮像制御部１１に出力する。被検査物８の載置テーブル１２は、Ｙ軸方向駆動部１３により被検査物８の撮像に必要な距離だけＹ軸方向に移動する。
【００２２】
一方、ポリゴンミラー駆動部１４は偏向されたレーザを被検査物８上でＹ軸方向に対し略直角のＳ軸方向に走査するためポリゴンミラー３を回転させる。また図４、図５にはポリゴンミラー３とＳ軸撮像開始位置告知信号Ａ１の関係をそれぞれ模式的に示した。ポリゴンミラー３の面境界にレーザが照射された場合を表す図４において、偏向されたレーザは被検査物８上を走査することが不可能であり、このときのＳ軸撮像開始位置告知信号Ａ１は図４の信号位置１に相当する。
【００２３】
しかしポリゴンミラーがさらに回転後レーザが照射されると、偏向されたレーザは図５に示す通り被検査物８上のＳ軸撮像開始可能位置に到達する。このときＳ軸位置検知部１５は図５の信号位置２に相当するＳ軸撮像開始位置告知信号Ａ１を撮像制御部１１に出力する。このように、Ｓ軸撮像開始位置告知信号Ａ１は前記Ｓ軸撮像開始可能位置にレーザが照射される角度に回転するポリゴンミラー３が位置する度に撮像制御部１１に対し出力されるものである。
【００２４】
撮像制御部１１は、撮像開始希望位置到達信号Ａ２の入力でトリガ待ち状態になり、Ｓ軸撮像開始位置告知信号Ａ１の入力で１ライン撮像が開始される。ここで、通常検査時における被検査物８の載置方向を０度撮像方向と呼ぶものとし、このときセンサ回路出力切替部１６は画像バッファ部１７側を選択するものである。
【００２５】
本装置では、１２面構造かつ４００００ｒｐｍにて回転するポリゴンミラー３が用いられておりＳ軸撮像開始位置告知信号Ａ１の周期は１２５μｓである。ポリゴンミラー１面の走査可能なＳ軸方向走査幅（１ライン撮像幅）は３０ｍｍで、その中を１５００ポイント、即ち２０μｍの分解能で撮像が行われ、その反射光は受光素子７に入力後センサ回路部１８で増幅、Ａ／Ｄ変換等が行われ画像バッファ部１７に一時的に保存される。さらに、被検査物８の載置テーブル１２は撮像実行中、一定速度（分解能２０μｍ／１ライン撮像の周期）で所定の長さだけＹ軸方向に移動することで短冊状画像データが得られ、１つの短冊状画像を撮像し終えるとＸ軸方向駆動部１９が、センサ部１をＹ軸方向に対して略直角方向のＸ軸方向に３０ｍｍ移動させセンサ部１は再び撮像を開始する。この動作を被検査物８全体が撮像できるまで繰り返し行い画像合成部２０において短冊状画像の貼り合わせ実施後、検査部２１にて被検査物８の検査が行われる。
【００２６】
しかしながら、前記の通り受光素子７に入射するレーザは被検査物８の垂直方向の反射光であるため、被検査物８上に配置されたＩＣやコネクタのリード部等反射係数の大きい部品においては光軸と受光素子７との位置関係によって鏡面反射が発生する。鏡面反射は受光素子７に突然の激しい入射光をもたらし受光素子７及びセンサ回路部１８は飽和状態になり１ライン撮像データは図６に示すように該鏡面反射発生から数画素後に至るまで鏡面反射の影響を受け画像が劣化するため、検査部２１において正常な検査が行えず改善を必要とする。図６に示す鏡面反射が原因で生じる鏡面反射発生後の画像の劣化を尾引き現象と呼ぶことにする。
【００２７】
即ち、鏡面反射が発生した場合、その鏡面反射の発生後の劣化が尾引き現象となるので、発生後の画像データの劣化部分が長くなる。この尾引き現象の発生部分の画像データを除去するため通常のＳ軸方向と逆方向に走査し、尾引き現象の影響のない鏡面反射の発生部分の前後の画像データを利用するものである。もちろん、鏡面反射の発生部分の画像データは、除去できず劣化したままであるが、鏡面反射による画像データの劣化部分を減らすことができる。
【００２８】
なお、ポリゴンミラー３がＳ軸撮像開始可能位置に到達する度にＳ軸位置検知部１５によってＳ軸撮像開始位置告知信号を生成する代わりに、レーザの走査位置を検出する受光素子を別に設けることでＳ軸撮像開始位置告知信号を生成し、撮像制御部１１に出力することも可能である。
【００２９】
また本装置では、前記被検査物８の載置テーブル１２を所定の長さだけＹ軸方向に移動させ短冊状画像データの取得を行い、さらにセンサ部１をＸ軸方向に移動させることで被検査物８全体の撮像を行うがその代わりに、センサ部１をＹ軸方向に所定の長さだけ移動させ短冊状画像データの取得を行い、さらに被検査物８の載置テーブル１２をＸ軸方向に移動させることで被検査物８全体の撮像を実現することも可能である。
【００３０】
続いて尾引き現象が発生した場合の補正について更に詳しく説明を行う。鏡面反射が発生した場合には通常、図７に示すように１ライン撮像の進行方向に鏡面反射が原因の尾引き現象が現れ検査画像に劣化が起こる。ここで、短冊状画像の四隅の位置を明解に示すためＡ〜Ｄの各文字を付与する。鏡面検出部２２は受光素子７から出力される画像信号の強度を基準電圧と比較し、画像信号の出力が基準電圧より大きい場合に鏡面反射が発生しているものと判断し、図８に示したように鏡面反射が発生した短冊状画像の１ライン撮像位置に対応する鏡面反射発生記録部２３にフラグ信号（鏡面反射発生信号）の入力をもって鏡面反射発生位置の記録を行う。また、鏡面反射が発生した場合においても該被検査物８全体の撮像が一通り終了するまで検査画像の撮像を実施し、該鏡面反射部以外にも鏡面反射が存在する場合には都度１ライン撮像位置に対応する鏡面反射発生記録部２３に鏡面反射発生位置の記録を行う。
【００３１】
被検査物８に対する０度撮像方向での撮像終了後、鏡面反射発生記録部２３に鏡面反射発生信号の記録がある場合には鏡面反射が発生した被検査物８を載置テーブル１２より取り出し１８０度回転させた状態で再載置し、鏡面反射発生信号の記録位置より鏡面反射位置検出部２４において導出される範囲内の撮像を行う。もちろん再載置後において、被検査物８の全体を再走査してもよい。ここで、１８０度回転させた状態で載置テーブル１２に被検査物８を載置し撮像を行う方向を１８０度撮像方向と呼ぶものとする。ここでは、被検査物８の大きさをＸ（ｍｍ）×Ｙ（ｍｍ）、被検査物８の端から撮像開始位置までの余白をＸ軸方向ではＡ（ｍｍ）、Ｙ軸方向ではＢ（ｍｍ）、鏡面反射が発生した位置を撮像開始位置よりカウントしてｘ番目の短冊状画像を構成するｙライン目において検出したものとし、それぞれに対し図９に示すとおり座標を与えると、本装置の１ライン撮像幅は３０（ｍｍ）かつＹ軸方向の分解能は２０（μｍ）であることより、
ａ（ｍｍ）＝３０（ｘ−１）＋Ａ  から  ３０ｘ＋Ａ・・・（１）
ｂ（μｍ）＝２０（ｙ−１）＋Ｂ  から  ２０ｙ＋Ｂ・・・（２）
の範囲内に鏡面反射発生位置が存在することが明らかになる。さらに、被検査物８の１８０度撮像方向による撮像範囲は、
Ａ´（ＭＭ）＝Ｘ−（３０Ｘ＋Ａ）  から  Ｘ−｛３０（Ｘ−１）＋Ａ｝・・・（３）
Ｂ´（μＭ）＝Ｙ−（２０Ｙ＋Ｂ）  から  Ｙ−｛２０（Ｙ−１）＋Ｂ｝・・・（４）
で表すことができる。ＣＰＵ１０から撮像指令が出力されると式（３）、（４）で導出された範囲の撮像が行われる。もちろん１８０度撮像方向の撮像範囲はｘ、ｙの値を変化させることにより所望の範囲を指定することが可能である。
【００３２】
センサ回路出力切替部１６は、１８０度撮像方向で被検査物８を撮像するとき鏡面反射部記録部２５側を選択して画素の配列が０度撮像方向の時とは逆方向のままの状態で１８０度撮像時の画像データを鏡面反射部記録部２５に記録する。また、図１０は図７の短冊状画像を１８０度撮像方向にて撮像されたものにＡ〜Ｄの各文字を付与したものであり、Ａ〜Ｄの各文字が示す位置は図７及び図１０で対応しているものとする。１８０度撮像方向による撮像では図１０からも解るように尾引き現象は鏡面反射発生部に対して１ライン撮像の進行方向に現れるため、０度撮像方向時に尾引き現象の影響を受けた画素部分に対して尾引き現象の影響がない正確な画素情報を得ることが可能となる。もちろん１８０度撮像方向においても０度撮像方向時の鏡面反射部と同一部で鏡面反射が発生することが予測できるが、鏡面反射が原因で発生する尾引き現象は１ライン撮像の進行方向に発生するため、尾引き現象の発生する部位も０度撮像方向と１８０度撮像方向では互いに異なる。
【００３３】
鏡面反射部記録部２５は、鏡面反射発生記録部２３に鏡面反射発生を示すＨレベルが短冊状画像内に存在する場合にのみ、該当する０度撮像方向により撮像された短冊状画像データ全体の読み出しを画像バッファ部１７より行う。鏡面反射部記録部２５に記録されている１８０度撮像方向の１ライン撮像データは図１１に示すように、０度方向撮像の画像データと逆向きになっているので逆方向の読み出しを行い、画像バッファ部１７より読み出した０度撮像方向における鏡面反射の発生した１ライン撮像データを含む短冊状画像データより尾引き現象の影響が少ない短冊状画像を生成する。
【００３４】
一方、短冊状画像内に鏡面反射発生信号のＨレベルが存在しないとき画像合成部２０は、画像バッファ部１７より直接短冊状画像データの読み出しを行う。
【００３５】
即ち、画像合成部２０は、鏡面反射が存在しない場合には画像バッファ部１７から画像データを読み出し短冊状画像の合成を行うが、鏡面反射が存在する場合は、一度鏡面反射部記録部２５に鏡面反射が発生した短冊状画像を読み出し、鏡面反射で劣化した１ライン撮像データ部分が最小になるように補正後、画像合成部２０で鏡面反射の影響の存在しない短冊状画像データと合成することで被検査物８に相当する検査画像を得る。この場合、短冊状画像全体を補正してもよいが、鏡面反射が存在するライン部分のみを補正して画像合成部２０で画像データと合成してもよい。
【００３６】
なお、被検査物８を取り出して１８０度回転させた状態で載置テーブル１２に再載置する代わりに、被検査物８を載置したテーブルが１８０度旋廻することにより同様の撮像を行うことも可能である。
【００３７】
また、被検査物８を１８０度回転させ撮像を行うことで、同一部位の撮像を行う１ライン撮像方向を１８０度変化させる代わりに、ポリゴンミラー３の回転方向を逆向きにすることで１ライン撮像方向を１８０度変化させることも可能である。
【００３８】
更に、本装置の外観検査装置及び外観検査方法は、被検査物８に対して垂直方向から照射されるレーザの垂直方向の反射光を受光素子にて受光するセンサの代わりに、被検査物に対して垂直ではない角度を持った方向から照射されるレーザの反射光を任意の方向で設置された受光素子にて受光するセンサで実施を行うことも可能である。
【００３９】
本発明による外観検査装置及び外観検査方法を使用して、被検査物８からの垂直方向の反射光を受光素子７にて受光する場合、鏡面反射が原因で引き起こされる検査画像の尾引き現象に対し、該被検査物８を１８０度回転させた状態で撮像を行ったデータをもとに検査画像の補正を行うことで尾引き現象に影響の少ない検査画像の入手が可能となる。これにより高精度な検査画像を得ること、高精度な検査を実施することが実現し、高密度化が進むプリント基板に対処する必要のある外観検査装置の性能をより充実させることが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明にかかる外観検査装置は、被検査物にレーザを照射し垂直方向の反射光を受光することによって被検査物の表面状態を画像化する外観検査装置等において、被検査物上で発生する鏡面反射が原因で生じる尾引き現象の補正を行う手段として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施例１における外観検査装置の撮像方法を示すフローチャート
【図２】本発明の実施例１における外観検査装置の光学系の構成を示す図
【図３】本発明の実施例１における外観検査装置の全体の構成を示す図
【図４】外観検査装置におけるポリゴンミラーの面とＳ軸位置検知部出力との関係を表す図
【図５】外観検査装置におけるポリゴンミラーの面とＳ軸撮像開始位置告知信号との関係を表す図
【図６】従来の方法で鏡面反射が発生する被検査物を１ライン撮像した場合を示す図
【図７】本発明の実施例１における０度撮像方向にて鏡面反射が発生する被検査物を撮像した短冊状画像を示す図
【図８】本発明の実施例１における鏡面反射が発生した１ライン撮像場所の記録を示す図
【図９】本発明の実施例１における０度撮像方向にて鏡面反射が発生した被検査物上の場所の特定方法を示す図
【図１０】本発明の実施例１における１８０度撮像方向にて鏡面反射が発生する被検査物を撮像した短冊状画像を示す図
【図１１】本発明の実施例１における１８０度撮像方向にて撮像された１ライン撮像データを０度撮像方向の１ライン撮像データに変換することを示す図
【符号の説明】
【００４２】
１  センサ部
２  光源（レーザ）
３  ポリゴンミラー
７  受光素子
８  被検査物
１７  画像バッファ部
２２  鏡面検出部
２５  鏡面反射部記録部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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