(57)【要約】【課題】  搬送部内の風速の測定作業を搬送機構により機械的に迅速且つ正確に行えるようにし、労力の軽減及び信頼性の向上を図る。【解決手段】  複数の基板ｗを収納した運搬容器２を載置する載置部３と、前記基板ｗに所定の処理を施す処理部４Ａ〜４Ｃと、前記載置部３上の運搬容器２及び前記処理部４Ａ〜４Ｃの間で基板ｗを搬送する搬送機構５を有する搬送部６と、該搬送部６内に清浄空気を供給する清浄空気供給部７とを備えた処理装置１であって、前記搬送機構５に、前記搬送部６内における清浄空気の風速を測定する風速測定手段１９を設ける。【選択図】          図１
2006284059.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納した運搬容器を載置する載置部と、前記基板に所定の処理を施す処理部と、前記載置部上の運搬容器及び前記処理部の間で基板を搬送する搬送機構を有する搬送部と、該搬送部内に清浄空気を供給する清浄空気供給部とを備えた処理装置であって、前記搬送機構に、前記搬送部内における清浄空気の風速を測定する風速測定手段を設けたことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
複数の基板を収納した運搬容器を載置する載置部と、前記基板に所定の処理を施す処理部と、前記載置部上の運搬容器及び前記処理部の間で基板を搬送する搬送機構を有する搬送部と、該搬送部内に清浄空気を供給するファン及びフィルタを有するファンフィルタユニットと、前記搬送機構に設けられ前記搬送部内における清浄空気の風速を測定する風速測定手段と、該風速測定手段を搬送機構により搬送部内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集すると共に該測定データに基いて前記ファンフィルタユニットの運転を制御する制御部とを備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項３】
基板を搬送する搬送機構を有する搬送部内に清浄空気を供給すべく天井部に複数の区域に分けて配置されたファンフィルタユニットを監視制御するシステムであって、各ファンフィルタユニットの運転を制御するファンフィルタユニットコントローラと、前記搬送機構を制御する搬送機構コントローラと、前記搬送機構に設けられ前記搬送部内の清浄空気の風速を測定する風速測定手段と、搬送部内の各区域における測定ポイントを入力するユーザーインターフェイスと、該ユーザーインターフェイス、搬送機構コントローラ及び風速測定手段をネットワークで接続し、搬送機構コントローラ及び風速測定手段からの各測定ポイントの測定データを収集して各ファンフィルタユニットの運転状態を監視すると共に統括制御を行う統括コントローラとを備えたことを特徴とするファンフィルタユニット監視制御システム。
【請求項４】
基板を搬送する搬送機構を有する搬送部内に清浄空気を供給すべく天井部に複数の区域に分けて配置されたファンフィルタユニットの監視制御をコンピュータに実行させるプログラムであって、前記搬送機構に設けた風速測定手段を搬送機構により搬送部内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集する測定データ収集モジュールと、該測定データに基いて各ファンフィルタユニットの運転状態を監視すると共に各ファンフィルタユニットの運転を制御するファンフィルタユニット監視制御モジュールとを有することを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置、ファンフィルタユニット監視制御システム及びプログラムに係り、特に処理装置の搬送部におけるファンフィルタユニットの風速を測定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造においては、被処理基板である例えば半導体ウエハ（以下、ウエハという。）に各種の処理例えばエッチング処理等を施す工程があり、これらの工程を実行するための処理装置が用いられている。処理装置は、複数枚例えば２５枚のウエハを収納した運搬容器としてのフープ（Front Opening Unified Pod）を載置する載置部と、前記ウエハに所定の処理を施す処理部と、前記載置部上のフープ及び前記処理部の間で基板を搬送する搬送機構を有する搬送部とを備えている。該搬送部の天井部には搬送部内に清浄空気を供給するための清浄空気供給部としてのファンフィルタユニットが設けられている。該ファンフィルタユニットは、ファンとフィルタからなっている。
【０００３】
前記搬送部内は、ウエハのパーティクル汚染を防止するために、常に清浄な空気によるダウンフローを作り出すと共に内圧を高めることにより、パーティクル（ごみを含む）が除去された清浄度の高い環境を維持することが要求されている。一方、フィルタの目詰まり等に起因するファンフィルタユニットの性能の低下や隣接するファンフィルタユニット間の性能のバラツキにより、搬送部内に乱流が生じると、パーティクルが巻き上がって溜まるポイントが生じやすい。
【０００４】
そのため、処理装置においては、搬送部内を高清浄度に維持するために、ファンフィルタユニットが正常に機能しているかをチェックするために、搬送部内において風速を多点で測定する必要がある。従来では、測定者が棒先に取付けた測定プローブを外部から搬送部内に挿入したり、或いは測定者が搬送部内に直接入って搬送部内の風速の測定を行っていた。
【０００５】
なお、関連する技術としては、ファンフィルタユニットの上部に風速計を設けたもの（雰囲気処理部の寿命判定装置を備える基板処理装置）（特開平１１−７４１６９号公報）や、各搬送・処理部間及び処理部と外部間に風向検出手段を配置し、各部間の風向に基づき各部間の気流を検出するようにしたもの（処理システム）（特開平９−３２０９１４号公報）がある、何れも搬送部内の風速を搬送機構を利用して測定するものではない。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−７４１６９号公報
【特許文献２】特開平９−３２０９１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記処理装置においては、測定者が風速の測定を行わなければならないため、測定作業に多くの労力と時間を要するだけでなく、測定プローブを所定の測定位置に正確に位置決めすることが難しく、測定誤差が大きくなりやすく、また、搬送部内に測定者が入る場合には、狭い空間での作業となり、作業性が悪い。また、測定作業中は安全のため搬送機構を停止しておく必要がある。
【０００８】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、搬送部内の風速の測定作業を搬送機構により機械的に迅速且つ正確に行うことができ、労力の軽減及び信頼性の向上が図れる処理装置、ファンフィルタユニット監視制御システム及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明のうち、請求項１記載の処理装置は、複数の基板を収納した運搬容器を載置する載置部と、前記基板に所定の処理を施す処理部と、前記載置部上の運搬容器及び前記処理部の間で基板を搬送する搬送機構を有する搬送部と、該搬送部内に清浄空気を供給する清浄空気供給部とを備えた処理装置であって、前記搬送機構に、前記搬送部内における清浄空気の風速を測定する風速測定手段を設けたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の処理装置は、複数の基板を収納した運搬容器を載置する載置部と、前記基板に所定の処理を施す処理部と、前記載置部上の運搬容器及び前記処理部の間で基板を搬送する搬送機構を有する搬送部と、該搬送部内に清浄空気を供給するファン及びフィルタを有するファンフィルタユニットと、前記搬送機構に設けられ前記搬送部内における清浄空気の風速を測定する風速測定手段と、該風速測定手段を搬送機構により搬送部内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集すると共に該測定データに基いて前記ファンフィルタユニットの運転を制御する制御部とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載のファンフィルタユニット監視制御システムは、基板を搬送する搬送機構を有する搬送部内に清浄空気を供給すべく天井部に複数の区域に分けて配置されたファンフィルタユニットを監視制御するシステムであって、各ファンフィルタユニットの運転を制御するファンフィルタユニットコントローラと、前記搬送機構を制御する搬送機構コントローラと、前記搬送機構に設けられ前記搬送部内の清浄空気の風速を測定する風速測定手段と、搬送部内の各区域における測定ポイントを入力するユーザーインターフェイスと、該ユーザーインターフェイス、搬送機構コントローラ及び風速測定手段をネットワークで接続し、搬送機構コントローラ及び風速測定手段からの各測定ポイントの測定データを収集して各ファンフィルタユニットの運転状態を監視すると共に統括制御を行う統括コントローラとを備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載のプログラムは、基板を搬送する搬送機構を有する搬送部内に清浄空気を供給すべく天井部に複数の区域に分けて配置されたファンフィルタユニットの監視制御をコンピュータに実行させるプログラムであって、前記搬送機構に設けた風速測定手段を搬送機構により搬送部内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集する測定データ収集モジュールと、該測定データに基いて各ファンフィルタユニットの運転状態を監視すると共に各ファンフィルタユニットの運転を制御するファンフィルタユニット監視制御モジュールとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の処理装置によれば、複数の基板を収納した運搬容器を載置する載置部と、前記基板に所定の処理を施す処理部と、前記載置部上の運搬容器及び前記処理部の間で基板を搬送する搬送機構を有する搬送部と、該搬送部内に清浄空気を供給する清浄空気供給部とを備えた処理装置であって、前記搬送機構に、前記搬送部内における清浄空気の風速を測定する風速測定手段を設けているため、搬送部内の風速の測定作業を搬送機構により機械的に迅速且つ正確に行うことができ、労力の軽減及び信頼性の向上が図れる。
【００１４】
請求項２記載の処理装置は、複数の基板を収納した運搬容器を載置する載置部と、前記基板に所定の処理を施す処理部と、前記載置部上の運搬容器及び前記処理部の間で基板を搬送する搬送機構を有する搬送部と、該搬送部内に清浄空気を供給するファン及びフィルタを有するファンフィルタユニットと、前記搬送機構に設けられ前記搬送部内における清浄空気の風速を測定する風速測定手段と、該風速測定手段を搬送機構により搬送部内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集すると共に該測定データに基いて前記ファンフィルタユニットの運転を制御する制御部とを備えているため、搬送部内の風速の測定作業を搬送機構により機械的に迅速且つ正確に行うことができ、労力の軽減及び信頼性の向上が図れる。
【００１５】
請求項３記載のファンフィルタユニット監視制御システムによれば、基板を搬送する搬送機構を有する搬送部内に清浄空気を供給すべく天井部に複数の区域に分けて配置されたファンフィルタユニットを監視制御するシステムであって、各ファンフィルタユニットの運転を制御するファンフィルタユニットコントローラと、前記搬送機構を制御する搬送アームコントローラと、前記搬送機構に設けられ前記搬送部内の清浄空気の風速を測定する風速測定手段と、搬送部内の各区域における測定ポイントを入力するユーザーインターフェイスと、該ユーザーインターフェイス、搬送アームコントローラ及び風速測定手段をネットワークで接続し、搬送アームコントローラ及び風速測定手段からの各測定ポイントの測定データを収集して各ファンフィルタユニットの運転状態を監視すると共に統括制御を行う統括コントローラとを備えているため、搬送部内の風速の測定作業を搬送機構により機械的に迅速且つ正確に行うことができ、労力の軽減及び信頼性の向上が図れると共に、搬送部内を高清浄度に維持することができる。
【００１６】
請求項４記載のプログラムによれば、基板を搬送する搬送機構を有する搬送部内に清浄空気を供給すべく天井部に複数の区域に分けて配置されたファンフィルタユニットの監視制御をコンピュータに実行させるプログラムであって、前記搬送機構に設けた風速測定手段を搬送機構により搬送部内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集する測定データ収集モジュールと、該測定データに基いて各ファンフィルタユニットの運転状態を監視すると共に各ファンフィルタユニットの運転を制御するファンフィルタユニット監視制御モジュールとを有しているため、搬送部内の風速の測定作業を搬送機構により機械的に迅速且つ正確に行うことができ、労力の軽減及び信頼性の向上が図れると共に、搬送部内を高清浄度に維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を基に詳述する。図１は本発明の実施の形態に係る処理装置を概略的に示す斜視図、図２は同処理装置の概略的側断面図、図３は処理装置の全体の概略構成を示す平面図である。
【００１８】
これらの図において、１は被処理基板である半導体ウエハ（以下、ウエハという。）ｗを一枚ずつ搬送して所定の処理を施す枚葉式の処理装置（処理システムともいう。）である。この処理装置１は清浄雰囲気とされたクリーンルーム内に設置されている。処理装置１は、複数例えば２５枚のウエハｗを収納した運搬容器としてのフープ２を載置する載置部である複数例えば３つのフープ載置台３と、前記ウエハｗに所定の処理例えばエッチング処理を施す処理部としての３つのプロセスシップ４Ａ，４Ｂ，４Ｃと、前記ウエハｗを前記フープ載置台３上のフープ２、プロセスシップ４Ａ〜４Ｃの間で搬送する搬送機構５を有する搬送部としてのローダーユニット６と、該ローダーユニット６内に清浄空気を供給する清浄空気供給部としてのファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵという。）７とを備えている。各プロセスシップ４Ａ〜４Ｃは、プロセスユニッ４ｘとロードロック室４ｙからなっている。
【００１９】
前記各プロセスシップ４Ａ〜４Ｃは、ウエハｗに所定の処理を施す処理室（例えば真空処理室処理室）４ｘと、該処理室４ｘにウエハｗを受け渡す搬送アーム（図示省略）を内蔵し、一時的にウエハを載置する上下駆動可能なバッファ機構を１つないし２つ有したロードロック室４ｙとを有する。処理室４ｘは、円筒状の処理室容器（チャンバ）と、該チャンバ内の配置された上部電極及び下部電極とを有し、該上部電極及び下部電極の間の距離はウエハにエッチング処理例えば反応性イオンエッチング処理を施すための適切な間隔に設定されている。また、下部電極はウエハをクーロン力等によって保持する静電チャックをその頂部に有する。
【００２０】
処理室４ｘでは、チャンバ内に処理ガスを導入し、電極で電界を発生させることにより処理ガスをプラズマ化してイオン及びラジカルを発生させ、該イオン及びラジカルによってウエハｗに反応性イオンエッチング処理を施す。また、処理室４ｘでは、チャンバ内に腐食性ガス（例えばＮＨ３）とＨＦを導入し、電界を用いないでＣＯＲ（Chemical Oxide Removal）処理によってウエハｗに等方性エッチング処理を施す。
【００２１】
プロセスシップ４Ａ〜４Ｃでは、処理室４ｘの内部圧力が真空に維持され、ロードロック室４ｙの内部圧力は真空と大気に随時置換可能となり、一方、ローダーユニット６の内部圧力は大気圧に維持される。処理室４ｘの内部圧力は真空に維持される。このため、ロードロック室４ｙは、ローダーユニット６との連結部にゲートバルブ４ｍを備えると共に、処理室４ｘとの連結部にゲートバルブ４ｎを備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成されている。
【００２２】
ローダーユニット６は、横方向に長尺の箱状の筐体６ａと、該筐体６ａ内に設けられた搬送機構５と、筐体６ａの一方の側壁（前面部）に設けられたロードポートとしてのフープ載置台３と、該フープ載置台３と対応して該側壁に配置されたウエハの投入口としての複数例えば３つの搬出入扉（オープナー）８とを有する。ローダーユニット６内は清浄度の保たれた小環境（Mini Environment）とされている。前記３つのプロセスシップ４Ａ〜４Ｃはローダーユニット６の他方の側壁（背面部）に接続されている。ローダーユニット６の長手方向の一端には、フープ２からローダーユニット６内に搬入されたウエハｗの向き（すなわちオリフラ又はノッチの位置）を合わせるウエハの位置合わせ機構であるオリエンタ９が接続されている。
【００２３】
前記搬送機構５は、図２に示すように、ローダーユニット６内に長手方向に配置したガイドレール１０に沿って電磁石駆動による往復移動可能なｘ軸移動部５ａと、該ｘ軸移動部５ａ上に昇降可能に設けられたｚ軸移動部５ｂと、該ｚ軸移動部５ｂにθ軸駆動部５ｃを介して水平旋回可能に設けられＲ軸駆動モータを内蔵した旋回台５ｅと、該旋回台５ｅ上に設けられ半径方向（Ｒ軸）すなわち水平方向へ伸縮可能な多関節型の搬送アーム５ｄとを有する。搬送アーム５ｄは先端にウエハｗを支持するピック（支持部）１１を有する。ピック１１は例えばセラミックス製の平面Ｕ字状の薄板からなっている。搬送アーム５ｄの先端にはピック１１を着脱可能に取付るためのピックホルダ１２が設けられている。
【００２４】
ＦＦＵ７は、クリーンルーム内の清浄な空気を取り込み、ローダーユニット６内に高清浄度の空気の層流のダウンフローを生じさせるためにローダ−ユニット６の上部すなわち天井部に配置されている。また、ローダ−ユニット６の底部には清浄空気を外部に排気する排気ファンユニット１３が配置されている。ＦＦＵ７は、図５に示すように、ファン（送風機）７ａとフィルタ７ｂからなり、フィルタ７ｂの上部にファン７ａが配置されている。ファン７ａにより気圧の高い空気の流れを作り出し、フィルタ７ｂを通してローダーユニット６内に清浄度の高い空気を送り込む。ローダユ−ニット６内は、外部からパーティクルが進入しないように、外部の圧力（大気圧）よりも気圧が高めに設定されている。
【００２５】
ファン７ａは、回転翼１４と電動モータ１５からなり、これらは平面方形の枠１６に収容されている。フィルタ７ｂは例えばＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air）フィルタからなり、平面方形の枠１７に収容されている。ローダーユニット６の天井部には複数の区域（ゾーン）に分けて複数例えば３つのＦＦＵ７Ａ，７Ｂ，７ｃが配置されている。各ＦＦＵ７Ａ，７Ｂ，７ｃにはその運転（例えばファンの回転）を制御するためのファンフィルタユニットコントローラ（以下、ＦＦＵコントローラという。）１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃが設けられている（図７参照）。
【００２６】
前記搬送機構５には、ローダーユニット６内における清浄空気の風速を測定するための風速測定手段１９が設けられている。風速測定手段１９は、風速計からなっている。風速測定手段１９は、例えば図４に示すように、熱線の電気抵抗が風速によって変化する性質等を利用して風速を電気的に検出する風速センサである測定プローブ１９ａと、該測定プローブ１９ａからの検出信号を入力して風速測定値を演算・出力する風速計本体１９ｂとからなっていても良い。風速測定手段１９である風速計ないし測定プローブ１９ａが搬送機構における搬送アーム５ｄに設けられる。風速計本体１９ｂは例えば搬送機構５のｘ軸移動部５ａに設けられていても良く、或いはローダーユニット６の外部に設けられていても良い。
【００２７】
本実施形態にかかる風速測定手段としては、上記熱式風速センサのみならず、ベーン式風速計、超音波風速計も対象となる。ベーン式風速計は、流体の速度に比例したスピードで回転するベーンホイールの回転数を近接したスイッチでカウントして流速を演算可能とする風速計であり、超音波風速計は一般的に音波の伝播速度で風向・風速を計測している。また、カルマン渦の現象を利用して流体に渦を発生させ、超音波センサで渦の周波数を計測する超音波渦式風速計〔例えばヘンツ（Hontzsch）社製ヴォルテックス式VAセンサ〕は、センサを流体に暴露することが無いため、機械的、電気的な破損、消耗がほとんど無く、Ｃｌ系やＢｒ系などを含んだ腐食系ガス環境下でも長期間にわたる安定性、再現性に優れている。
【００２８】
風速計ないし測定プローブ１９ａは、図２に示すように、搬送アーム５ｄの先端例えばピックホルダ１２に取付部材（アタッチメント）２０によって取付けられている。従って、搬送機構５の搬送アーム５ｄにより測定プローブ１９ａをローダーユニット６内の予め設定した多数の測定ポイントに迅速且つ正確に移動させて風速測定を実行することが可能となる。
【００２９】
処理装置（処理システム）１は、前記風速測定手段１９を搬送機構５によりローダ−ユニット６内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集すると共に該測定データに基いて前記ＦＦＵ７（７Ａ，７Ｂ，７Ｃ）の運転を制御する制御部としての後述するＭＣ（Module Controller）２４，２５，２６，２７を備え、各ＭＣを統括して監視する統括コントローラであるＥＣ（Equipment Controller）２３を備えている。また、処理装置（処理システム）１は、ウエハｗを搬送する搬送機構５を有するローダーユニット６内に清浄空気を供給すべく天井部に複数の区域に分けて配置されたＦＦＵ７Ａ，７Ｂ，７Ｃを監視制御するためのＦＦＵ監視制御システムを備えている。
【００３０】
該ＦＦＵ監視制御システムは、ＦＦＵ制御部３５と搬送制御部３６とからなり、ＦＦＵ制御部３５はＦＦＵ７Ａ，７Ｂ，７Ｃのファン回転を制御するＦＦＵコントローラ１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃと、Ｉ／Ｏモジュール３０と、該Ｉ／Ｏモジュール３０を介して各ＦＦＵコントローラ１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃの運転を制御するＦＦＵモジュールコントローラＭＣ２４とから構成され、搬送制御部３６は搬送機構コントローラ２１と、風速測定手段１９と、Ｉ／Ｏモジュール３０と、該Ｉ／Ｏモジュール３０を介して搬送シーケンスを実行するための制御を行う搬送モジュールコントローラＭＣ２７とから構成されている。また、該ＦＦＵ監視制御システムは、ＦＦＵ制御部３５と搬送制御部３６とローダーユニット６内の各区域における測定ポイントを入力するユーザーインターフェイス２２と、スイッチングハブ２８を介して接続し各測定ポイントの測定データを収集して各ＦＦＵ７Ａ，７Ｂ，７Ｃの運転状態を監視すると共に統括制御を行う統括コントローラとしてのＥＣ２３とから構成されている。
【００３１】
なお、ＭＣ２４とＭＣ２７とを１つのコントローラとしてまとめてローダーモジュール制御部としても良い。その場合、ＦＦＵ監視制御システムは、各ＦＦＵ７Ａ，７Ｂ，７Ｃの運転を制御するＦＦＵコントローラ１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃと、搬送機構５を制御する搬送機構コントローラ２１と、搬送機構５に設けられ前記ローダーユニット６内の清浄空気の風速を測定する風速測定手段１９と、ローダーユニット６内の各区域における測定ポイントを入力するユーザーインターフェイス２２と、該ユーザーインターフェイス２２、搬送機構コントローラ２１及び風速測定手段１９をネットワーク接続し、搬送機構コントローラ２１及び風速測定手段１９からの各測定ポイントの測定データを収集して各ＦＦＵ７Ａ，７Ｂ，７Ｃの運転状態を監視すると共に統括制御を行う統括コントローラとしてのＥＣとから構成されていても良い。
【００３２】
前記処理装置ないし処理システムは、３つのプロセスシップ４Ａ〜４Ｃ及びローダーユニット６の動作を制御するシステムコントローラと、ローダーユニット６の長手方向の一端に配置されたユーザーインターフェイス２２とを備えている。ユーザーインターフェイス２２は、入力部（キーボード）と例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）からなる表示部（モニター）を有し、該表示部は処理装置１の各構成要素の動作状況を表示する。
【００３３】
図７は図１ないし図３の処理装置ないし処理システムにおけるシステムコントローラの概略構成を示す図である。図７に示すように、システムコントローラは、ＥＣ（Equipment Controller）２３と、複数例えば４つのモジュールコントローラＭＣ（Module Controller）２４，２５，２６，２７と、ＥＣ２３及びＭＣ２４〜２７を接続するスイッチングハブ２８とを備えている。該システムコントローラは、ＥＣ２３からＬＡＮ（Local Area Network）を介して処理装置１が設置されている工場全体の製造工程を管理するＭＥＳ（Manufacturing Execution System）としてのホストコンピュータ２９に接続されている。ホストコンピュータ２９はシステムコントローラと連携して工場における工程に関するリアルタイム情報を基幹業務システム（図示省略）にフィードバックすると共に、工場全体の負荷等を考慮して工程に関する判断を行う。
【００３４】
ＥＣ２３は、各ＭＣ２４〜２７を統括して処理装置全体の動作を制御する統括制御部である。また、ＥＣ２３は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等を有し、ユーザーインターフェイス２２においてユーザ等によって指定されたウエハの処理方法すなわちレシピに対応するプログラム（測定ポイントの位置情報を含む）に応じてＣＰＵが、各ＭＣ２４〜２７にそのレシピに対応する制御プログラムを送信することより、各プロセスシップ４Ａ〜４Ｃ及びローダーユニット６の動作を制御する。
【００３５】
前記スイッチングハブ２８は、ＥＣ２３からの制御信号に応じてＥＣ２３の接続先としてのＭＣ２４〜２７を切り替える。ＭＣ２４〜２７は、各プロセスシップ４Ａ〜４Ｃ及びローダーユニット６の動作を制御する通常の制御部である。各ＭＣ２４〜２７は、ＧＨＯＳＴネットワークを介して各Ｉ／Ｏ（入出力）モジュール３０にそれぞれ接続されている。ＧＨＯＳＴ（general High-Speed Optimum Scalable Transceiver）と称されるＬＳＩによって実現されるネットワークである。ＧＨＯＳＴネットワークでは、ＭＣ２４〜２７がマスタに該当し、Ｉ／Ｏモジュール３０がスレーブに該当する。
【００３６】
Ｉ／Ｏモジュール３０は、ローダーユニット６の各構成要素（エンドデバイス）に接続された複数のＩ／Ｏ部３１を有し、エンドデバイスへの制御信号及びエンドデバイスからの出力信号の伝達を行う。ＧＨＯＳＴネットワークには、Ｉ／Ｏ部３１におけるデジタル信号、アナログ信号及びシリアル信号の入出力を制御するＩ／Ｏボードも接続されている。
【００３７】
図７のシステムコントローラでは、複数のエンドデバイスがＥＣ２３に直接接続されることなく、該複数のエンドデバイスに接続されたＩ／Ｏ部３１がモジュール化されてＩ／Ｏモジュール３０を構成し、該Ｉ／Ｏモジュール３０がＭＣ２４〜２７及びスイッチングハブ２８を介してＥＣ２３に接続されるため、通信系統を簡素化することができる。
【００３８】
また、ＭＣ２４〜２７のＣＰＵが送信する制御信号には、所望のエンドデバイスに接続されたＩ／Ｏ部のアドレス、及び当該Ｉ／Ｏ部を含むＩ／Ｏモジュールのアドレスを参照し、ＭＣ２４〜２７のＧＨＯＳＴが制御信号におけるＩ／Ｏ部のアドレスを参照することによって、スイッチングハブ２８や搬送機構コントローラ２１、風速測定手段１９、ＦＦＵコントローラ１８Ａ〜１８ＣがＣＰＵに制御信号の送信先の問合せを行う必要を無くすことができ、これにより、制御信号の円滑な伝達を実現することができる。
【００３９】
また、システムコントローラは、前記風速測定手段１９から出力されるデータを経時的に収集記録するデータ収集記録部としてのデータ収集サーバ３２を備えていても良い。この場合、測定プローブ１９ａから出力されるデータである検出信号は風速計本体１９ｂからアナログ信号として取り出されてＩ／Ｏ部３１に入力され、ネットワークを介してデータ収集サーバ３２に入力される。
【００４０】
以上のように構成された処理装置１によれば、複数のウエハｗを収納したフープ２を載置するフープ載置台３と、前記ウエハｗに所定の処理を施すプロセスシップ４Ａ〜４Ｃと、前記フープ載置台３上のフープ２及び前記プロセスシップ４Ａ〜４Ｃの間でウエハｗを搬送する搬送機構５を有するローダーユニット６と、該ローダーユニット６内に清浄空気を供給する清浄空気供給部としてのＦＦＵ７とを備え、前記搬送機構５に、前記ローダーユニット６内における清浄空気の風速を測定する風速測定手段１９を設けているため、ローダーユニット６内の風速の測定作業を搬送機構５により機械的に迅速且つ正確に行うことができ、風速測定作業の労力の軽減及び処理装置の信頼性の向上が図れる。
【００４１】
また、処理装置ないし処理システムにおいては、風速測定手段１９を搬送機構５の搬送アーム５ｄによりローダーユニット６内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集すると共に該測定データに基いて前記ＦＦＵ７の運転を制御する制御部としてのＭＣ２４〜２７を備えているため、ローダーユニット６内の風速の測定作業を搬送機構５の搬送アーム５ｄにより機械的に迅速且つ正確に行うことができると共に、ＦＦＵ７を正常に維持してローダーユニット６内を高清浄度に維持することができ、風速測定作業の労力の軽減及び処理装置ないし処理システムの信頼性の更なる向上が図れる。
【００４２】
更に、ＦＦＵ監視制御システムによれば、ウエハｗを搬送する搬送機構５を有するローダーユニット６内に清浄空気を供給すべく天井部に複数の区域に分けて配置されたＦＦＵ７Ａ〜７Ｃを監視制御するシステムであって、各ＦＦＵ７Ａ〜７Ｃの運転を制御するＦＦＵコントローラ１８Ａ〜１８Ｃと、前記搬送機構５を制御する搬送機構コントローラ２１と、前記搬送機構５に設けられ前記ローダーユニット６内の清浄空気の風速を測定する風速測定手段１９と、ローダーユニット６内の各区域における測定ポイントを入力するユーザーインターフェイス２２と、該ユーザーインターフェイス２２、搬送機構コントローラ２１及び風速測定手段１９をネットワークで接続し、搬送機構コントローラ２１及び風速測定手段１９からの各測定ポイントの測定データを収集して各ＦＦＵ７Ａ〜７Ｃの運転状態を制御するモジュールコントローラＭＣ２４〜２７を介し監視して統括制御を行う統括コントローラとしてのＥＣ２３とを備えているため、ローダーユニット６内の風速の測定作業を搬送機構５により機械的に迅速且つ正確に行うことができると共に、各ＦＦＵを正常に維持し且つゾーン間の風速を調整してローダーユニット６内における風速を面内均一に維持することができ、ローダーユニット６内を高清浄度に維持することができ、風速測定作業の労力の軽減及び処理装置ないし処理システムの信頼性の向上が図れる。
【００４３】
本発明の目的は、上述した実施の形態の機能を実現するソフトウエアのプログラム又は該プログラムを記録した記録媒体（記憶媒体）をＥＣ２３に供給し、ＥＣ２３のＣＰＵが記録媒体に格納されたプログラムを読み出して実行することによっても達成される。この場合、記録媒体から読み出されたプログラム事態が前述した実施の形態の機能を実現することになり、そのプログラム及び該プログラムを記録した記録媒体は本発明を構成する。
【００４４】
ウエハｗを搬送する搬送機構５を有するローダーユニット６内に清浄空気を供給すべく天井部に複数の区域に分けて配置されたＦＦＵ７Ａ〜７Ｃの監視制御をコンピュータに実行させるプログラムにおいては、前記搬送機構５に設けた風速測定手段１９を搬送機構５によりローダーユニット６内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集する測定データ収集モジュール（測定データ収集ステップ）と、該測定データに基いて各ＦＦＵ７Ａ〜７Ｃの運転状態を監視すると共に各ＦＦＵ７Ａ〜７Ｃの運転を制御するＦＦＵ監視制御モジュール（ＦＦＵ監視制御ステップ）とを有している。該プログラムによれば、ローダーユニット６内の風速の測定作業を搬送機構５により機械的に迅速且つ正確に行うことができると共に、各ＦＦＵを正常に維持してローダーユニット内を高清浄度に維持することができ、風速測定作業の労力の軽減及び処理装置ないし処理システムの信頼性の向上が図れる。
【００４５】
なお、プログラムを供給するための記録媒体としては、例えばフロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、磁気テープ等を用いることができる。また、プログラムをネットワークを介してダウンロードしても良い。
【００４６】
図６はＦＦＵの他の例を概略的に示す断面図である。なお、図６においては、図５のＦＦＵの構成要素と同様の構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。ＦＦＵとしては、図６に示すように、ファン７ａの空気取り入れ口に該空気取り入れ口の開度を調節する開度調節機構３３を設け、該開度調節機構３３を制御するように構成されていても良い。
【００４７】
図８は本発明の実施の形態に係る処理装置の変形例の概略構成を示す平面図である。なお、図８においては、図１ないし図３の処理装置の構成要素と同様の構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。図８において、処理装置１００は、平面縦長六角形のトランスファユニット４１と、該トランスファユニット４１の周囲において放射状に配置された６つの処理室４２と、ローダーユニット６と、該ローダーユニット６及びトランスファユニット４１の間に配置され、ローダーユニット６及びトランスファユニット４１を連結する２つのロードロック室４３とを備えている。トランスファユニット４１及び各処理室４２は内部の圧力が真空に維持され、トランスファユニット４１と各処理室４２とは、それぞれゲートバルブ４４を介して接続されている。
【００４８】
処理装置１００では、ローダーユニット６の内部圧力が大気圧に維持される一方、トランスファユニット４１の内部圧力は真空に維持される。そのため、各ロードロック室４３は、それぞれトランスファユニット４１との連結部と、ローダーユニット６との連結部とにゲートバルブ４５，４６を備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備室として構成されている。また、ロードロック室４３には、ローダーユニット６及びトランスファユニット４１の間において受け渡されるウエハｗを一時的に載置するためのウエハ載置台４７を有する。
【００４９】
各処理室４２は、それぞれ処理が施されるウエハを載置するウエハ載置台４８を有する。トランスファユニット４１は、２つのスカラアームタイプの搬送アームからなる搬送アームユニット４９を備えている。該搬送アームユニット４９は、トランスファユニット４１内に長手方向に配設されたガイドレール５０に沿って移動し、各処理室４２やロードロック室４３の間においてウエハｗを搬送するようになっている。この処理装置１００においても図１ないし図３の処理装置１と同様の効果がを奏することができる。
【００５０】
図９は本発明の実施の形態に係る処理装置の他の変形例の概略構成を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。図９の処理装置（処理システム）１０１は、ウエハｗに塗布・現像処理を施す塗布・現像処理システムとして構成され、複数のフープ２を載置するフープ載置台５１と、フープ２と処理部５２との間でウエハの搬送を行う第１の搬送機構５３を有する第１搬送部５４と、処理部５２を挟んでフープ載置台５１と反対側に設けられ露光装置５５が連接可能なインターフェース部５６とを備えている。処理部５２には、通路５７に沿って移動可能な第２の搬送機構５８を有する第２の搬送部５９が設けられている。第２の搬送機構５８は第１の搬送機構５３と各処理ユニットの間でウエハｗの搬送を行う。第１、第２の搬送機構５３，５８はウエハを搬送する搬送アーム５３ａ，５８ａを備えている。
【００５１】
通路５７の一方側には、ベークユニット６０、ブラシ洗浄ユニット６１、アドビージョン処理ユニット６２、その下の冷却ユニット６３、及びベークユニット６４が設けられ、他方側にはレジスト塗布ユニット６５、水洗ユニット６６、及び現像処理ユニット６７が配置されている。インターフェース部５６には、露光装置５５との間でウエハの受け渡しを行うための搬送台６８が設けられている。
【００５２】
第１、第２の搬送部５４，５９の天井部にはＦＦＵ７がそれぞれ設けられている（第１の搬送部のＦＦＵは図示省略）。ＦＦＵ７は、図９の（ｂ）に示すように、ファン７ａとフィルタ７ｂからなっている。また、ＦＦＵ７の上部にはケミカルフィルタ６９が配置されている。そして、第１、第２の搬送機構５３，５８の搬送アーム５３ａ，５８ａには風速測定手段１９〔図９（ｂ）参照〕が設けられており、風速測定手段１９を搬送機構５３，５８の搬送アーム５３ａ，５８ａにより搬送部５４，５９内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集すると共に該測定データに基いて前記ＦＦＵ７の運転を制御するようになっている。この処理装置１０１においても図１ないし図３の処理装置１と同様の効果を奏することができる。
【００５３】
図１０は本発明の実施の形態に係る処理装置の更に他の変形例の概略構成を示す縦断面図である。図１０の処理装置（処理システム）１０２は、一度に多数枚のウエハの熱処理が可能な縦型熱処理システムとして構成され、筐体７０内の前部がフープ２の搬送・保管エリア（搬送部）７１とされ、筐体７０内の後部には上方に縦型の熱処理炉７２が、下方にローディングエリア７３が設けられている。搬送・保管エリア７１において、前部にはフープ搬出入口７４及びフープ載置台７５が設けられ、上部には複数個のフープ２を保管するための棚状の保管部７６が設けられている。
【００５４】
また、搬送・保管エリア７１において、ローディングエリア７３との隔壁７７にはフープ載置部７８が設けられると共にウエハ搬出入口７９が設けられ、前記フープ載置台７５とフープ載置部７８の間にはこれら及び前記保管部７６の間でフープ２の搬送を行う第１の搬送機構８０が設けられている。一方、ローディングエリア７３には、熱処理炉７２の炉口を開閉する蓋体８１上に多数枚例えば１００枚のウエハを多段に搭載可能なボート８２を載置した状態でボート８２の搬出入を行う昇降機構（図示省略）が設けられている共に、フープ２とボート８２の間でウエハの搬送を行う第２の搬送機構（移載機構）８３が設けられている。
【００５５】
保管部７６の後方には該保管部７６に向って清浄空気を供給するためのＦＦＵ７が配置され、第１の搬送機構８０の搬送アーム８０ａには風速測定手段１９が設けられており、風速測定手段１９を搬送機構８０の搬送アーム８０ａにより搬送・保管エリア（搬送部）７１における保管部７６内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集すると共に該測定データに基いて前記ＦＦＵ７の運転を制御するようになっている。また、ローディングエリア７３においては、図１０の紙面垂直方向である一側方から他側方に向って清浄空気を供給するためのＦＦＵ（図示省略）が配置され、第２の搬送機構８３には風速測定手段が設けられ、風速測定手段（図示省略）を第２の搬送機構８３によりローディングエリア７３内の所定の測定ポイントに移動させて測定データを収集すると共に該測定データに基いて前記ＦＦＵの運転を制御するようになっていても良い。この処理装置１０２においても図１ないし図３の処理装置と同様の効果がを奏することができる。
【００５６】
以上、本発明の実施の形態ないし実施例を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態ないし実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、処理装置における処理室としては、ＣＶＤ処理等を施すものであっても良く、常圧処理を行うものであっても良い。風速測定手段としては、風向計例えば三次元風向計を備えていても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施の形態に係る処理装置を概略的に示す斜視図である。
【図２】同処理装置の概略的側断面図である。
【図３】処理装置の全体の概略構成を示す平面図である。
【図４】風速測定手段の一例を示す図である。
【図５】ファンフィルタユニットの一例を概略的に示す断面図である。
【図６】ファンフィルタユニットの他の例を概略的に示す断面図である。
【図７】図３の処理装置におけるシステムコントローラの概略構成を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る処理装置の変形例の概略構成を示す平面図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る処理装置の他の変形例の概略構成を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る処理装置の更に他の変形例の概略構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  処理装置
ｗ  半導体ウエハ（基板）
２  フープ（運搬容器）
３  フープ載置台（載置部）
４Ａ〜４Ｃ  プロセスシップ（処理部）
５  搬送機構
６  ローダーユニット（搬送部）
７  ファンフィルタユニット（清浄空気供給部）
１８Ａ〜１８Ｃ  ファンフィルタユニットコントローラ
１９  風速測定手段
１００  処理装置
１０１  処理装置
１０２  処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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