(57)【要約】【課題】流体を外部に排出することなく，複層構造のホース端面の隙間から流体が進入することを防止可能なホースジョイントを提供すること。【解決手段】  流体を供給する複層構造のホース１と，流体の供給対象の装置に設けられた供給口とを連結するホースジョイント１００が提供される。このホースジョイント１００は，上記供給口に取り付けられるジョイントボルト３０と；一側でホース１に接続され，他側でジョイントボルト３０の端部に形成された凹部３２にＯリング５０を介して嵌合するコネクタ４０と；ジョイントボルト３０に螺着されるジョイントナット７０と；ジョイントナット７０とホース１との間に配設されるホースリング６０とを備える。ホースリング６０とコネクタ４０との間でホースを挟み込んでシールするとともに，ジョイントボルト３０とコネクタ４０との間でホース１の先端部を挟み込んでシールすることを特徴とする。【選択図】  図５
2006258214.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を供給する複層構造のホースと，前記流体の供給対象の装置に設けられた供給口とを連結するホースジョイントにおいて：
前記供給口に取り付けられるジョイントボルトと；
一側で前記ホースに接続され，他側で前記ジョイントボルトの端部に形成された凹部にＯリングを介して嵌合するコネクタと；
前記ジョイントボルトに螺着されるジョイントナットと；
前記ジョイントナットと前記ホースとの間に配設されるホースリングと；
を備え，
前記ホースリングと前記コネクタとの間で，前記ホースを挟み込んでシールするとともに，
前記ジョイントボルトと前記コネクタとの間で，前記ホースの先端部を挟み込んでシールすることを特徴とする，ホースジョイント。
【請求項２】
前記コネクタの外周には突出部が形成されており，
前記ジョイントボルトの前記凹部を囲む円筒壁と，前記コネクタの前記突出部との間で，前記ホースの先端部を挟み込んでシールすることを特徴とする，請求項１に記載のホースジョイント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，ホースジョイントに関し，特に，流体を供給する複層構造のホースと，当該流体の供給対象の装置に設けられた供給口とを連結するホースジョイントに関する。
【背景技術】
【０００２】
製造業等においては，外部からホースを介して供給されたエアや液体等の流体を利用して，各種の加工を行う加工装置が多用されている。例えば，半導体ウェハ等の被加工物を切削加工するダイシング装置は，被加工物を吸着保持するチャックテーブルを備えており，このチャックテーブルに対応して配設されたコンバムに高圧エアを供給して，チャックテーブルに接続された吸引管内を負圧にし，チャックテーブルに吸引力を付与する構成である。
【０００３】
従来では，このようなダイシング装置に接続されるホースとしては，例えば図６に示すように，高圧流体の運搬に耐えられるように，シリコーンゴム等からなる外層１ａと内層１ｂとの間に，ワイヤー等の補強材１ｃが網目状に配設された二層構造のホース１が用いられている。この二層構造のホース１は，ホースジョイントを用いて，ダイシング装置に設けられた供給口（接続口）に連結される。
【０００４】
従来のホースジョイントは，例えば，図７に示すように，上記ダイシング装置の供給口に取り付けられるジョイントボルト３と，一側でジョイントボルト３の凹部に嵌合されるとともに他側でホース１内に圧入されるコネクタ４と，このコネクタ４のジョイントボルト３側の外周に嵌着されるＯリング５と，ホース１の外周に嵌着されるホースリング６と，ジョイントボルト３に螺着されてホースリング６を係止するジョイントナット７と，を備える。かかる従来のホースジョイントは，ホースリング６とコネクタ４との間でホース１を挟み込んでシールする構造である。
【０００５】
ところが，かかる従来のホースジョイントは，ホース１内に高圧流体，例えば５０〜１００Ｋｇ／ｃｍ２程度の高圧エアが供給される場合には，ホース１の内周面に気泡や傷などの製品不良があると，図８に示すように，ホース１とコネクタ４との接合部に高圧エアが進入して，ホース１の端面１ｄがある密閉空間Ｓに高圧エアが漏れ出してしまう，という問題があった。また，ジョイントボルト３とコネクタ４との接合部からのエア漏れは，正常時にはＯリング５のシール作用によって防止されているが，このＯリング５のシール作用が不十分であったり材料が疲労したりしている場合には，高圧エアがＯリング５部分を通過して上記密閉空間Ｓに漏れ出してしまうこともあった。
【０００６】
このように漏れ出した高圧エアは，図８に示すように，二層構造のホース１の端面１ｄにおける補強材１ｃ部分の僅かな隙間から侵入して，ホース１の外層１ａと内層１ｂとを離隔させるように膨張させて，破裂させる危険性がある。
【０００７】
このような問題を解決する手法として，例えば特許文献１には，ジョイントナット７の所定位置に，漏れ出した流体を外部に逃がすための孔７ａ（図７参照）が設ける手法が開示されている。これにより，上記のようにして漏れ出した流体を，ジョイントナット７の孔７ａから外部に排出して上記密閉空間Ｓ内の圧力を低下させ，漏れだした流体がホース１端面の隙間に進入しないようにして，ホース１の破裂を防ぐことができる。
【０００８】
【特許文献１】特開平８−２８５１４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら，上記特許文献１に記載の従来のホースジョイントでは，漏れ出した流体が孔７ａからホースジョイント外部に放出されてしまう。このため，当該流体によって装置周囲が汚染されてしまうという問題や，漏れること自体が危険な流体（有害な液体等）を供給する場合などには適用できないという問題があった。また，上記従来のホースジョイントは，流体の漏れを許容した解決手段であり，接合部における流体の漏れ自体を防ぐ解決手段ではない。そこで，ホース１の端面１ｄの隙間に流体が進入することを防止するための抜本的な解決方法が希求されていた。
【００１０】
そこで，本発明は上記のような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，流体を外部に排出することなく，複層構造のホース端面の隙間から流体が進入することを防止して，ホースの破裂を防止することが可能な，新規かつ改良されたホースジョイントを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために，本発明の第１の観点によれば，流体を供給する複層構造のホースと，流体の供給対象の装置に設けられた供給口とを連結するホースジョイントが提供される。このホースジョイントは，供給口に取り付けられるジョイントボルトと；一側でホースに接続され，他側でジョイントボルトの端部に形成された凹部にＯリングを介して嵌合するコネクタと；ジョイントボルトに螺着されるジョイントナットと；ジョイントナットとホースとの間に配設されるホースリングと；を備え，ホースリングとコネクタとの間で，ホースを挟み込んでシールするとともに，ジョイントボルトとコネクタとの間で，ホースの先端部を挟み込んでシールすることを特徴とする。
【００１２】
かかる構成により，ホースジョイントとコネクタとの接合部，或いはホースとコネクタとの接合部から，ホース端面が位置する密閉空間に，高圧の流体が漏れ出したとしても，ホースジョイントおよびコネクタによりホースの先端部をシールしているので，ホース端面の隙間から流体が進入することを防止できる。従って，ホースが膨張して破裂することがない。また，流体をホースジョイントの外部に排出しない構造であるので，装置周辺を汚染することがなく，どのような流体であっても適用可能である。
【００１３】
さらに，２箇所でホースをシールできるので，ホース端面の隙間から流体が進入することをより効果的に防止できとともに，ホースとコネクタとの接合部から上記密閉空間に流体が漏れ出すことを防止できる。
【００１４】
また，上記コネクタの外周には突出部が形成されており，ジョイントボルトの凹部を囲む円筒壁と，コネクタの突出部との間で，ホースの先端部を挟み込んでシールするようにしてもよい。これにより，ホース先端部を好適に挟み込んで，確実にシールできる。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように本発明によれば，複層構造のホースをホースリングとコネクタとの間で挟み込んでシールするだけでなく，当該ホースの先端部をもジョイントボルトとコネクタとの間に挟み込んでシールする。このため，ホース端面が位置する密閉空間に高圧の流体が漏れ出したとしても，ホース端面の隙間から流体が進入することを防止できるので，ホースが膨張して破裂することがない。また，流体をホースジョイント外部に排出しない構造であるので，装置周辺を汚染することがなく，どのような流体であっても適用可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１７】
まず，図１に基づいて，本発明の第１の実施形態にかかる流体供給対象の装置の一例であるダイシング装置１０の全体構成について説明する。なお，図１は，本実施形態にかかるダイシング装置１０を示す全体斜視図である。
【００１８】
図１に示すように，ダイシング装置１０は，例えば，被加工物１２を保持するチャックテーブル１５と，半導体ウェハなどの被加工物１２を切削加工する切削ユニット２０と，切削ユニット移動機構（図示せず。）と，チャックテーブル移動機構（図示せず。）とを備える。
【００１９】
チャックテーブル１５は，例えば，上面が略平坦な円盤状のテーブルであり，例えば，被加工物１２を吸着保持するための真空チャック機構（図示せず。）等を具備している。この真空チャック機構は，チャックテーブル１５に対応して配設された真空発生器（コンバム）に高圧エアを供給して，真空チャックに接続された吸引管内を負圧にすることで，真空チャックに吸引力を発生させる構造である。この高圧エアは，外部のエア供給手段（高圧ポンプ等，図示せず。）から，後述するホース１を介してダイシング装置１０に供給される。かかる構成のチャックテーブル１５は，例えば，ウェハテープ１３を介してフレーム１４に支持された状態の被加工物１２が載置され，この被加工物１２を真空吸着して安定的に保持することができる。
【００２０】
切削ユニット２０は，スピンドルに装着された切削ブレード２２を備えている。この切削ユニット２０は，切削ブレード２２を高速回転させながら被加工物１２に切り込ませることにより，被加工物１２を切削して極薄のカーフ（切溝）を形成する。この切削加工時には，切削ユニット２０に設けられた切削液供給ノズルから，切削ブレード２２および加工点に対して切削液（例えば切削水）が噴射・供給され，切削ブレード２２および加工点が冷却されるとともに，切削屑が除去・洗浄される。この切削液も，上記高圧エアと同様に，外部の切削液供給手段（高圧ポンプ等，図示せず。）から，ホース１を介してダイシング装置１０に供給される。
【００２１】
切削ユニット移動機構は，切削ユニット２０を，Ｙ軸方向に移動させる。このＹ軸方向は，切削方向（Ｘ軸方向）に対して直交する水平方向であり，例えば，切削ユニット２０内に配設されたスピンドルの軸方向である。このようなＹ軸方向の移動により，切削ブレード２２の刃先を被加工物１２の切削位置（切削ライン）に位置合わせすることができる。また，この切削ユニット移動機構は，切削ユニット２０をＺ軸方向（垂直方向）にも移動させる。これにより，被加工物１２に対する切削ブレード２２の切り込み深さを調整することができる。
【００２２】
チャックテーブル移動機構は，通常のダイシング加工時には，被加工物１２を保持したチャックテーブル１５を切削方向（Ｘ軸方向）に往復移動させて切削送りして，被加工物１２に対し切削ブレード２２の刃先を直線的な軌跡で作用させる。
【００２３】
かかる構成のダイシング装置１０は，高速回転する切削ブレード２２を被加工物１２に切り込ませながら，切削ユニット２０とチャックテーブル１５とを相対移動させることにより，切削ラインに沿って被加工物１２を格子状に切削加工（即ち，ダイシング加工）して，複数のチップに分割することができる。
【００２４】
次に，図２に基づいて，上記のようなダイシング装置１０に対して，高圧エアや切削液等の流体を供給するための構成について説明する。なお，図２は，本実施形態にかかるダイシング装置１０の供給口１７とホース１との連結部分を示す拡大図である。
【００２５】
図２に示すように，ダイシング装置１０の例えば背面１６側には，上述したダイシング装置１０の各部（チャックテーブル１５や切削ユニット２０等）に高圧エアや切削液等の流体を供給するための供給口１７が，例えば複数設けられている。これら各供給口１７には，ホースジョイント１００によって，複数本（図示の例では３本）のホース１がそれぞれ接続されている。このうちの１本のホース１は，上記チャックテーブル１５に吸引力を付与するために高圧エアを供給するホースである。以下の説明では，このような高圧エアを供給するためのホース１を連結するホースジョイント１００の例について詳述する。
【００２６】
ホース１は，上記図６に示したように，外層１ａと内層１ｂの間に補強材１ｃが配設された二層構造のホース（ブレードホース）である。外層１ａと内層１ｂは，例えば，シリコーンゴムなどといった，ある程度の弾力性と柔軟性を有する合成樹脂で形成されている。このため，ホース１を湾曲させて比較的自由に配置できる。また，補強材１ｃは，例えば，合成繊維，金属製のワイヤーなどで形成されており，上記外層１ａと内層１ｂの間に網目状に配設されている。かかる補強材１ｃによってホース１の強度が向上され，高圧エア等の高圧流体の供給に耐えられるようになっている。
【００２７】
供給口１７は，ダイシング装置１０の背面１６に形成された例えば断面略円形の開口である。かかる供給口１７は，上記チャックテーブル１５の真空チャックに接続された吸引管に連通している。
【００２８】
ホースジョイント１００は，上記ホース１をダイシング装置１０の供給口１７に連結するための中空の継手である。以下に図３〜図５に基づいて，本実施形態にかかるホースジョイント１００について詳細に説明する。なお，図３は，本実施形態にかかるホースジョイント１００の構造を示す分解斜視図であり，図４は，本実施形態にかかるホースジョイント１００を示す側面図（ａ）と断面図（ｂ）であり，図５は，本実施形態にかかるホースジョイント１００を用いてホース１と供給口１７を連結した状態を示す側面図（ａ）と断面図（ｂ）である。
【００２９】
図３〜図５に示すように，ホースジョイント１００は，上記供給口１７に取り付けられるジョイントボルト３０と，一側にホース１の先端部が接続されるとともに他側でジョイントボルト３０の凹部３２に嵌合するコネクタ４０と，コネクタ４０の外周に形成された環状溝４２に嵌着されるＯリング５０と，ジョイントナット７０とホース１との間に配置されるホースリング６０と，ホース１を内挿した状態でジョイントボルト３０に螺着されるジョイントナット７０とを備える。
【００３０】
ジョイントボルト３０は，例えばステンレス等で形成された中空部材であり，その一側（ホース１側）の端部にコネクタ４０が嵌合され，他側の端部が上記供給口１７に対して例えばねネジ作用により取り付けられる。このジョイントボルト３０は，ホース１側の端部に設けられた円筒壁３３の外周に雄ねじ部３１が形成されており，また，この円筒壁３３の内側には，上記コネクタ４０の端部が嵌合する凹部３２が形成されている。
【００３１】
コネクタ４０は，例えばステンレス等で形成された略円筒状の中空部材（インサートスリップ）である。このコネクタ４０の一側（ホース１側）の外周面は，ホース１内に圧入しやすいようにテーパ面４１となっている。また，コネクタ４０の他側（供給口１７側）の外周面は，ジョイントボルト３０の凹部３２と密接に嵌合するロール面となっており，Ｏリング５０を配設するための断面略コ字形の環状溝４２が形成されている。
【００３２】
また，コネクタ４０の略中央部の外周面には，本実施形態にかかる特徴である突出部４３が周方向に沿って設けられている。この突出部４３は，図４に示すように，コネクタ４０の外周面において，ジョイントボルト３０の円筒壁３３の先端部分と対向する位置に形成されており，コネクタ４０の外周面が段差状に盛り上がるような形状を有する。
【００３３】
従来のコネクタ４では，図７に示したように，その外周面の中央部は滑らかに傾斜した形状であり，ジョイントボルト３とコネクタ４との隙間は比較的広かった。これに対し，本実施形態にかかるコネクタ４０では，上記突出部４３が突設されているため，ジョイントボルト３０の円筒壁３３の先端部とコネクタ４０の突出部４３との隙間が，ホース１の厚みよりも狭くなっている。
【００３４】
Ｏリング５０は，例えばゴム等の弾性材料で形成されており，その径方向の厚みは上記コネクタ４０の環状溝４２の深さよりも大きい。このため，Ｏリング５０が嵌着された状態のコネクタ４０を，ジョイントボルト３０の凹部３２に嵌合すると，Ｏリング５０は，ジョイントボルト３０の凹部３２の内周面と密着する。従って，かかるＯリング５０により，ジョイントボルト３０とコネクタ４０との接合部分をシールできる。
【００３５】
ホースリング６０は，例えばプラスチック等の合成樹脂で形成された環状部材（パックリング）である。このホースリング６０の内径は，通常時のホース１の外径より大きいため，ホースリング６０の内部にホース１を挿通することができる。また，かかるホースリング６０の外周面の一側には，被係止部６１が突出形成されており，外径が拡径されている。
【００３６】
ジョイントナット７０は，例えばステンレス等で形成されたナット部材であり，その内径は，通常時のホース１の外径よりも大きい。このジョイントナット７０の内周面の一側（供給口１７側）には，上記ジョイントボルト３０の雄ねじ部３１と螺合する雌ねじ部７１が形成されている。また，ジョイントナット７０の内周面の他側（ホース１側）には，開口部を縮径するように係止部７２が形成されており，この係止部７２は，上記ホースリング６０の被係止部６１を係止する。かかる構成のジョイントナット７０を上記ジョイントボルト３０に螺着することによって，ホースリング７０を係止部７２によって係止してコネクタ４０側に押圧し，このホースリング７０とコネクタ４０との間にホース１を挟み込んで固定することができる。
【００３７】
以上のような構成のホースジョイント１００を用いて，ホース１をダイシング装置１０の供給口１７に連結する手順について説明する。まず，ジョイントナット７０およびホースリング６０内にホース１を挿入しておく。次いで，テーパ面４１が形成されたコネクタ４０の端部をホース１の先端部内に圧入して，コネクタ４０とホース１を接続する。さらに，コネクタ４０の他側の端部の環状溝４２にＯリング５０を嵌着した上で，当該コネクタ４０の他側の端部をジョイントボルト３０の凹部３２に嵌合させる。その後，上記のように予めホース１が内挿された状態のホースリング６０を，ジョイントボルト３０側に移動させ，コネクタ４０に接続されて拡径したホース１に対して強く押し付ける。さらに，ジョイントナット７０もジョイントボルト３０側に移動させて，ジョイントナット７０の内周の雌ねじ部７１をジョイントボルト３０の外周の雄ねじ部３１に螺着する。
【００３８】
このようにして組み立てられたホースジョイント１００は，図５に示すように，コネクタ４０の突出部４３とジョイントボルト３０の円筒壁３３との間（図５の第１シール部）で，ホース１の先端部を挟み込んでシールする点が大きな特徴である。なお，ホース１の先端部とは，ホース１に対してホースリング６０が接触する箇所よりもホース先端側（端面１ｄ側）の部分である。
【００３９】
上述したように，ホースジョイント１００組み立て時においては，コネクタ４０の突出部４３とジョイントボルト３０の円筒壁３３との隙間がホース１の肉厚より狭い。このため，コネクタ４０に接続されたホース１の先端部は，コネクタ４０の突出部４３とジョイントボルト３０の円筒壁３３とによって両側から挟み込まれて押しつぶされ，両者の間で強固に密着固定されてシールされる。
【００４０】
このようにコネクタ４０とジョイントボルト３０とによってホース１の先端部をシールすることにより，Ｏリング５０から高圧エアが漏れたとしても，二層構造のホース１の端面１ｄにおける補強材１ｃ部分の僅かな隙間から，高圧エアが進入することを好適に防止できる。
【００４１】
より詳細に説明すると，Ｏリング５０の疲労等が原因でＯリング５０のシール作用が低下したときには，高圧エアがジョイントボルト３０とコネクタ４０との接合部を通り抜けて，密閉空間Ｓ（ジョイントボルト３０とコネクタ４０とホース１先端部とで形成され，ホース端面１ｄが位置する空間）に漏れ出す場合がある。しかし，このような場合であっても，ジョイントボルト３０の円筒壁３３とコネクタ４０の突出部４３とが，ホース１の端面１ｄに極力近い箇所でホース１先端部を挟み込むことによって，ホース１先端部における外層１ａと内層１ｂとを強固に密着させることができる。このため，上記密閉空間Ｓに漏れ出した高圧エアは，ホース端面１ｄにおける外層１ａと内層１ｂの間の僅かな隙間から進入することができない。従って，上記図６で示したように高圧エアの圧力でホース１が膨張して破裂することを確実に防止できる。
【００４２】
さらに，本実施形態にかかるホースジョイント１００では，ジョイントナット７０をジョイントボルト３０に螺締することによって，ホースリング６０をジョイントボルト３０側に押圧して，ホースリング６０の端部をホース１に食い込ませることができる。これによって，ホースリング６０とコネクタ４０との間（図５の第２シール部）でも，ホース１を挟み込んでシールすることができる。従って，このようなホースリング６０とコネクタ４０との間，および上述したようなジョイントボルト３０とコネクタ４０との間という２箇所で，ホース１を挟み込んでシールできる。よって，ホース１内への高圧エアの進入を防止する効果をより一層高めることができる。
【００４３】
また，このように２箇所（第１及び第２シール部）でシールすることにより，コネクタ４０とホース１との接合部分から高圧エアが進入することをより確実に防止して，上記密閉空間Ｓに至らないようにする効果があることは勿論である。
【００４４】
また，本実施形態にかかるホースジョイント１００は，高圧エア等の流体をホースジョイント１００の外部に排出することなく，ホース１の破裂を防止できる。従って，装置周辺を流体で汚染することがないだけでなく，漏れること自体が危険な流体（有害な液体やガス等）を供給する際にも適用可能である。
【００４５】
また，本実施形態にかかるホースジョイント１００は，ジョイントボルト３０がホース１の回転を防止する機能を発揮するため，ホース１の連結時に生じるホース１の捻れを防止できるという効果もある。
【００４６】
より詳細に説明すると，図７に示したような従来のホースジョイントでは，ホース１を供給口１７に連結する際に，ジョイントナット７を回転させてジョイントボルト３に締結すると，ジョイントナット７と共にホースリング７及びコネクタ４も回転するため，ホース１に捻れが生じてしまうという問題があった。
【００４７】
これに対し，本実施形態にかかるホースジョイント１００は，ホース１が接続されたコネクタ３０をジョイントボルト３０の凹部３３に嵌合させたときには，ジョイントボルト３０の円筒壁３３がホース１外周に接触する構造である。このため，ホース１を連結する際に，ジョイントナット７０を回転させたとしても，ジョイントボルト３０がホース１に接触しているため，ホース１およびコネクタ３０が回転しない。従って，ホース１の捻れを防止して，ホース１を供給口１７に好適に連結することができる。
【００４８】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００４９】
例えば，上記実施形態では，ホース１を介して供給される流体として，主に高圧エアの例を挙げて説明したが，本発明はかかる例に限定されない。当該流体は，空気以外の各種の気体であってもよいし，或いは，切削液，洗浄液，エッチング液，研磨液，切断加工用高圧液などの各種の液体（水等）や，スラリー等の粘性体などであってもよい。
【００５０】
また，上記実施形態では，流体の供給対象となる装置として，ダイシング装置１０の例を挙げたが，本発明はかかる例に限定されない。流体供給対象の装置は，例えば，切削装置，研削装置，研磨装置，エッチング装置，ウォータージェット切断装置，レーザ加工装置など，流体を利用して加工を行うあらゆる装置，工場設備などであってよい。
【００５１】
また，上記実施形態では，補強材１ｃを含む二層構造のホース１の例について説明したが，かかる例に限定されない。複層構造のホースであれば，三層構造，四層構造など，その層数は任意の複数であってもよい。また，補強材１ｃは，上記実施形態のように網目状以外にも格子状，ストライプ状など，任意の形態でホース１内に配設されてよい。また，補強材１ｃの素材は，合成繊維，金属製ワイヤー以外のあらゆる素材であってもよい。また，複層構造のホースには，必ずしも補強材１ｃが含まれなくてもよい。
【００５２】
また，上記実施形態では，図４に例示したようなジョイントボルト３０の円筒壁３３とコネクタ４０の突起部４３との間で，ホース１の先端部を挟み込んでシールした。しかし，本発明はかかる例に限定されず，ジョイントボルト３０とコネクタ４０とによってホース１を挟み込む構成であれば，多様に設計変更可能である。例えば，突出部４３の形状及び配置は，図示の例に限定されるものではなく，多様に設計変更可能である。また，コネクタ４０に突出部４３を設けずに，ジョイントボルト３０の内周に突出部を設けて，ホース１を挟み込むようにしてもよい。
【００５３】
また，上記実施形態にかかるホースジョイント１００は，２箇所でホース１をシールしたが，かかる例に限定されず，３箇所以上でホース１をシールできるように構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は，流体を供給する複層構造のホースを，当該流体の供給対象の装置に設けられた供給口に連結するホースジョイントに適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかるダイシング装置を示す全体斜視図である。
【図２】同本実施形態にかかるダイシング装置の供給口とホースとの連結部分を示す拡大図である。
【図３】同実施形態にかかるホースジョイントの構造を示す分解斜視図である。
【図４】同実施形態にかかるホースジョイントを示す側面図（ａ）と断面図（ｂ）である。
【図５】同実施形態にかかるホースジョイントを用いてホースと供給口を連結した状態を示す側面図（ａ）と断面図（ｂ）である。
【図６】同実施形態にかかる二層構造のホースを示す部分切り欠き斜視図である。
【図７】従来のホースジョイントを示す断面図である。
【図８】従来のホースジョイントでホースが膨張した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  ：  ホース
１ａ  ：  外層
１ｂ  ：  内層
１ｃ  ：  補強材
１ｂ  ：  ホースの端面
１０  ：  ダイシング装置
１２  ：  被加工物
１５  ：  チャックテーブル
１６  ：  ダイシング装置の背面
１７  ：  供給口
２０  ：  切削ユニット
２２  ：  切削ブレード
３０  ：  ジョイントボルト
３１  ：  雄ねじ部
３２  ：  凹部
３３  ：  円筒壁
４０  ：  コネクタ
４１  ：  テーパ面
４２  ：  環状溝
４３  ：  突出部
５０  ：  Ｏリング
６０  ：  ホースリング
６１  ：  被係止部
７０  ：  ジョイントナット
７１  ：  雌ねじ部
７２  ：  係止部
１００  ：  ホースジョイント
Ｓ  ：  密閉空間
【図１】
2006258214.tif 000003
【図２】
2006258214.tif 000004
【図３】
2006258214.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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