(57)【要約】【課題】芯電極と外側電極間に高電圧を印加して分極を行うと微少な欠陥があった場合、可撓性感圧体の全てが分極できない。加熱ブロックで加熱しながらの分極は部分的に温度差が生じる。【解決手段】芯電極１１に周設された可撓性感圧体１２と、前記可撓性感圧体１２の通路を有する分極電極１３と、前記芯電極１１と前記分極電極１３に接続された直流電圧発生手段１８と、前記可撓性感圧体を前記通路で移動させる移動手段１９と、前記可撓性感圧体を加熱する加熱手段１４とを設け、前記加熱手段は、可撓性感圧体の周囲の空気を加熱することにより可撓性感圧体を加熱し、可撓性感圧体が通路内を移動中に加熱空気に曝され、全周囲から加熱されることになるので、均一に可撓性感圧体を加熱することができる。このため、分極効率もよくなり特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。【選択図】図１
2006284265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
芯電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の通路を有する分極電極と、前記芯電極と前記分極電極に接続された直流電圧発生手段と、前記可撓性感圧体を前記通路で移動させる移動手段と、前記可撓性感圧体を加熱する加熱手段とを設け、前記加熱手段は、可撓性感圧体の周囲の空気を加熱することによって可撓性感圧体を加熱することを特徴とするケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項２】
分極電極の可撓性感圧体の通路は少なくとも一方向が開放であることを特徴とする請求項１記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項３】
分極電極はコイル状の形状とし、コイルの中心を可撓性感圧体の通路としたことを特徴とする請求項１記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項４】
加熱手段は、発熱体と、加熱空間とを備え、加熱空間に分極電極を載置したことを特徴とした、請求項１から３のいずれか１項に記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項５】
加熱手段は、送風手段と、発熱体と、加熱空間とを備え、前記送風手段によって前記加熱手段による加熱空気は前記加熱空間と連通した分極電極の通路に送風されることを特徴とした、請求項１から３のいずれか１項に記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項６】
加熱空気の温度は複合感圧体の使用上限温度とすることを特徴とした請求項１から５のいずれか１項に記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項７】
芯電極に可撓性感圧体を周設するステップと、前記可撓性感圧体を分極する分極電極の通路を移動中に、前記芯電極と前記分極電極に接続して直流電圧を印加するステップと、前記分極中に前記可撓性感圧体を加熱するステップとを設け、前記加熱手段は可撓性感圧体の周囲の空気を加熱することによって可撓性感圧体を加熱することを特徴とするケーブル状圧力センサの分極方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はケーブル状圧力センサの分極装置および分極方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のケーブル状圧力センサは図５に示すようなものがある（例えば、特許文献１参照）。図６に示すように、芯電極１の周囲に可撓性感圧体２を配置し、その周囲に外側電極３と外皮４を順次被覆して構成されている。可撓性感圧体２としては合成ゴムや合成樹脂の中にチタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛のセラミック圧電体粉末を添加した複合体が用いられ、外側電極３は可撓性感圧体２の表面に銀系ゴム塗料などの導電塗料を塗着したものが用いられている。上記ケーブル状圧力センサの一部あるいは全面に圧力が印加されたとき、その部分の圧力センサが歪む結果、芯電極１と外側電極３の間に電圧が誘起され、この誘起電圧を利用して圧力を検出している。
【０００３】
分極方法は、芯電極１と外側電極３の間に高電圧を印加して、可撓性感圧体２を分極している（例えば、非特許文献１参照）。また図６に示すように、可撓性感圧体２をブロック状導電体５の通路に配設させ、ブロック状導電体５と芯電極１間に電圧を印加させることにより、ブロック状導電体５に配設された部分の可撓性感圧体２を分極している（例えば、特許文献２参照）。この分極により、セラミック粒子の自発分極の方向が電界方向に揃うので、可撓性感圧体２に圧電性が付与される。
【特許文献１】特開昭６２−２３００７１号公報
【特許文献２】特開２００２−２８０６３３号公報
【非特許文献１】「圧電セラミック粉末と合成ゴムとから成る圧電複合材料」紛体と工業、２２巻、１号、１９９０年ｐ５０・５６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のケーブル状圧力センサの分極方法では、芯電極１と外側電極３の間に高電圧を印加したときに、可撓性感圧体２中に微小なクラックや空孔などの欠陥が存在すると、その欠陥部で微小放電が生じる。この微小放電により、可撓性感圧体２の構成材料が熱的に蒸発、飛散して芯電極１と外側電極３間が短絡し、芯電極１と外側電極３間に高電圧を印加できなくなるので可撓性感圧体２を分極できないという課題を有していた。
【０００５】
また、ブロック状導電体５に可撓性感圧体２を配設し、可撓性感圧体２を移動手段７によって移動させながら分極する場合においては、可撓性感圧体２はケーブル状をなしているので、ブロック状導電体５に接する部分と接さない部分が生じてしまい、分極の度合に差が生じ、特性ばらつきが発生するという課題があった。
【０００６】
さらに、ブロック状導電体５を加熱手段６によって加熱することによって、可撓性感圧体２を加熱する場合においても、可撓性感圧体２がブロック状導電体５と接する部分と接さない部分で温度が異なってしまい、温度分布が生じることによる、特性ばらつきが発生するという課題があった。
【０００７】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、欠陥部が存在しても全体の可撓性感圧体が分極できなくなることを防ぐ。
【０００８】
さらに、加熱空気を用いて可撓性感圧体を加熱するので、可撓性感圧体に温度分布を生じることなく分極することができるので、特性ばらつきのない安定した特性を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記従来の課題を解決するために、本発明のケーブル状圧力センサの分極装置は、芯電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の通路を有する分極電極と、前記芯電極と前記分極電極に接続された直流電圧発生手段と、前記可撓性感圧体を前記通路で移動させる移動手段と、前記可撓性感圧体を加熱する加熱手段とを設け、前記加熱手段は、可撓性感圧体の周囲の空気を加熱することにより可撓性感圧体を加熱することを特徴としている。このため、ケーブル状の可撓性感圧体が通路内を移動しながらの分極中に加熱空気に曝され、全周囲から加熱されることになるので、温度分布が生じにくく、均一に可撓性感圧体を加熱することができる。このため、分極の効率も安定することができ、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のケーブル状圧力センサは、欠陥部が存在しても全体の可撓性感圧体が分極できなくなることを防ぐことができる。さらに、加熱空気を用いて可撓性感圧体を加熱するので、可撓性感圧体に温度分布を生じることなく分極することができるので、長尺状でありながらも特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
第１の発明は、本発明のケーブル状圧力センサの分極装置は、芯電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の通路を有する分極電極と、前記芯電極と前記分極電極に接続された直流電圧発生手段と、前記可撓性感圧体を前記通路で移動させる移動手段と、前記可撓性感圧体を加熱する加熱手段とを設け、前記加熱手段は、可撓性感圧体の周囲の空気を加熱することにより可撓性感圧体を加熱することを特徴としている。このため、可撓性感圧体が通路内を移動中に加熱空気に曝され、全周囲から加熱されることになるので、温度分布が生じにくく、均一に可撓性感圧体を加熱することができる。このため、分極の効率も安定することができ、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。
【００１２】
第２の発明は、特に、第１の発明において、分極電極の可撓性感圧体の通路は少なくとも一方向が開放であることによって、可撓性感圧体に含まれる添加剤などの揮発成分が、加熱空気によって均一に加熱されることによって可撓性感圧体から揮発するが、通路の一部が開放していることによって、その揮発成分が分極電極の通路に付着することを抑制するので、分極電極への揮発成分の付着による電圧電圧の低減を防ぐことができる。このため、可撓性感圧体の全周囲を分極電極で密着するよりも、分極効率の低下を抑制することができる。
【００１３】
第３の発明は、特に、第１または第２の発明において、分極電極はコイル状の形状とし、コイルの中心を可撓性感圧体の通路とすることによって、コイルの巻き密度の小さいものは全周囲から加熱空気を送ることが可能であるうえに、加熱空気の移動も有利に行えるので、熱がこもらない。よって、可撓性感圧体に含まれる揮発成分が分極電極に付着することを抑制でき、分極効率の低下を抑制することができる。さらに、コイル形状にすることで少なくとも一部が接するように分極電極を周設しており、全周囲が分極電極に密着するよりも、可撓性感圧体との接触抵抗を低減して状態で通路中の移動をさせることができ、かつ、全周囲から分極できる。よって、生産性が向上するとともに、接触抵抗によって生じる可撓性感圧体の傷なども低減できる。
【００１４】
第４の発明は、特に、第１〜３の発明において、加熱手段は、発熱体と、加熱空間とを備え、加熱空間に分極電極を載置することによって、簡単な構成で、加熱空間を形成でき、可撓性感圧体を加熱することができる。また、分極電極自身も加熱空間に曝されて、分極電極自身も加熱されることになるため、可撓性感圧体をより均一に加熱することが可能となる。
【００１５】
第５の発明は、特に、第１〜３の発明において、加熱手段は、送風手段と、発熱体と、加熱空間とを備え、前記送風手段によって前記加熱手段による加熱空気は前記加熱空間と連通した分極電極の通路に送風することによって、送風速度や、加熱手段の制御で、加熱温度、加熱時間などを任意に設定して制御を容易に行うことができる。さらに、可撓性感圧体と分極電極の通路間に加熱空気を送風することで、可撓性感圧体と分極電極との接触抵抗を低減することができるので、よって、生産性が向上するとともに、接触抵抗によって生じる可撓性感圧体の傷なども低減できる。また、分極電極内の通路に加熱空気を送り込むことで、均一加熱が実現できるので、必要な箇所だけを加熱でき省エネを実現できる。
【００１６】
第６の発明は、特に、第１〜５の発明において、加熱空気の温度を複合感圧体の使用上限温度とすることによって、圧電ケーブルセンサの内部応力を緩和することができる。つまり、圧電ケーブルセンサは、可撓性感圧体の形成時に生じる内部応力や芯電極がもつ材料自身の内部応力を含んでおり、使用中にある温度に曝されるとこの内部応力が緩和され、特性が変化する恐れがあるが、分極時に使用上限温度に曝しておくことによって、分極時に可撓性感圧体の内部応力を緩和し、エージングの効果を得ることができるので、可撓性感圧体の信頼性を向上することができる。
【００１７】
第７の発明は、芯電極に可撓性感圧体を周設するステップと、前記可撓性感圧体を分極する分極電極の通路を移動中に、前記芯電極と前記分極電極に接続して直流電圧を印加するステップと、前記分極中に前記可撓性感圧体を加熱するステップとを設け、前記加熱手段は可撓性感圧体の周囲の空気を加熱することによって可撓性感圧体を加熱することを特徴とするケーブル状圧力センサの分極方法である。この方法により、分極時の温度分布を均一にして可撓性感圧体を全周囲から均一に加熱できるので、分極が均一に行われ、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１におけるケーブル状圧力センサの分極装置の構成を示す外観斜視図である。
【００２０】
図１においてケーブル状圧力センサは芯電極１１に周設された可撓性感圧体１２が形成される。芯電極１１として、コイル状金属線や金属細線を束ねた線などが用いられる。可撓性感圧体１２として、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、クロロプレン樹脂、塩素化ポリエチレン、シリコン樹脂等の高分子母材に、チタン酸ジルコン酸鉛などの圧電材料を複合化した高分子材料が用いられる。この可撓性感圧体１２はコイル状の分極電極１３に配設される。分極電極１３として、鉄、ステンレス、銅、黄銅、アルミニウム等を用いる。本実施の形態において、分極電極１３はアルミニウムを使用し、分極電極１３の可撓性感圧体の通路１２には少なくとも一方向が開放であるものを使用した。通路は断面が、一辺３ｍｍの四角形で上面を開放した凹形状の構成とした。
【００２１】
なお、このときの可撓性感圧体１２の径は１．６ｍｍであった。さらに、可撓性感圧体の１２の周囲の空気を加熱するために加熱手段１４を設けた。この加熱手段１４は発熱体１５と加熱空間１６とで構成し、加熱空間１６は加熱ボックス１７によって形成している。本実施の形態において発熱体は加熱ボックス１７の上面に配設している。また、加熱ボックス１７は分極電極１３を囲うように設けている。そして、可撓性感圧体１２は、移動手段１９によって巻き取られるので、分極電極の通路を図中右手方向に向かって移動する。
【００２２】
本構成にすることによって、発熱体１５は加熱ボックス１７内の空気を加熱し加熱空間１６形成することができる。また、加熱空間１６内の分極電極１３はこの加熱空気によって暖められるとともに、分極電極１３内の通路に配設された可撓性感圧体１２も加熱空気によって均一に暖められる。可撓性感圧体１２は暖められると、可撓性感圧体１２を成形する際に使用した添加剤などの揮発成分が揮発する場合がある。本実施の形態においては分極電極１３の通路の一部を開放していることによって、その揮発成分が分極電極の通路に付着することを抑制するので、分極電極への揮発成分の付着による電圧電圧の低減を防ぐことができる。このため、可撓性感圧体の全周囲を分極電極で密着するよりも、分極効率の低下を抑制することができる。
【００２３】
また、分極電極１３はリード線によって電気的に接続される。リード線は電気的に直流電圧発生手段１８の正極または負極に接続され、芯電極１１はリード線を介して電気的に直流電圧発生手段１８の他の極に接続される。このように接続して、直流電圧発生手段１８により、芯電極１１と分極電極１３間に高電圧が印加されるので、可撓性感圧体１２が分極される。本実施の形態において印加電圧は７ｋＶ／ｍｍで分極を行った。可撓性感圧体１２の中に微少な欠陥が含まれ、その部分が分極電極１３に配設されているとき、欠陥部で生じる微少な放電により分極電極１３と芯電極１１間に高電流が流れ、短絡するために分極できなくなるが、欠陥部が分極電極１３から脱離し、分極電極１３に配設されている可撓性感圧体１２中に欠陥がなければ、分極電極１３と芯電極１１間の絶縁性は再び回復するので、分極が可能となる。このように本発明の分極装置によれば、欠陥を含む部分が分極電極１３に配設されているときのみ、分極はできないがそれ以外の場合は分極可能となる。従って、欠陥の存在により可撓性感圧体１２が全体にわたって分極できなくなることはない。
【００２４】
また、本実施の形態１において、可撓性感圧体１２の芯電極１１をアース電位にして、芯電極１１と分極電極１３の間に直流電圧を印加した。このように接続することで、人体に危険な直流高電圧部分を分極電極１３に限定でき、人体への安全を確保できる。
【００２５】
さらに、可撓性感圧体１２を移動させる移動手段１９として回転ドラムを使用した。この回転ドラムの回転スピードを変化させることによって、可撓性感圧体１２が分極電極１３内に配設される時間、言い換えれば分極時間を容易に調整することが可能となる。また、移動手段１９を設けることによって、自動化することができるため、歩留まりを向上することができる。
【００２６】
図６に示す従来の分極装置では、ブロック状導電体５の下部に加熱手段６を設けており、ブロック状導電体５を加熱することによってブロック状導電体５に配設された可撓性感圧体２を加熱している。このため、可撓性感圧体１２とブロック状導電体５とが接している部分は加熱されやすいが、接触していない部分は加熱されにくいため、可撓性感圧体２自身に温度分布が生じていた。例えば、可撓性感圧体が１００℃になるように加熱手段６を１１０℃に設定してブロック状分極電極５を３０分間加熱した場合、ブロック状導電体５の温度は１１０℃、ブロック状導電体５と接する部分の可撓性感圧体２は１１０℃、接さない部分の温度は９５℃であった。このため、分極しても温度の高い部分と低い部分とでは分極効率に差が生じ、同じ可撓性感圧体２に特性ばらつきが生じていた。温度の高かった部分と低かった部分の各々に振動を印加し、その時に発生する電圧を測定した結果、温度が高いほうが低いほうに比べ、約１．６もの差を生じた。
【００２７】
しかし、本実施の形態の分極装置は空気を加熱し、その加熱空気によって可撓性感圧体１２を加熱するので均一加熱が可能となる。例えば発熱体１５を１００℃に設定し、３０分間加熱すると、加熱ボックス１７内の加熱空間１６は１００℃になっており、分極電極１３もこの加熱空気によって１００℃に加熱されるとともに可撓性感圧体１２も分極電極１３に接する部分に関わらず１００℃と一定であった。また、可撓性感圧体１２の同軸方向に対して９０°角度を変えた４方向で加振した結果、最も出力電圧が高かったものと小さかったものの比は１．０３倍に抑えられた。よって、本実施の形態の分極装置は可撓性感圧体１２を均一加熱することができるため、特性ばらつきを低減することが可能となる。
【００２８】
（実施の形態２）
図２は、本発明の実施の形態２におけるケーブル状圧力センサの外観斜視図である。図２において実施の形態１と異なるところは、分極電極１３をコイル形状にし、コイルの中心を可撓性感圧体１２の通路としている点である。本実施の形態において、コイル径は３ｍｍ、コイルピッチ１ｍｍのものを使用した。
【００２９】
分極電極１３はコイル形状をなしているので、図１に示す凹上の分極電極１３を使用した場合と比較すると可撓性感圧体１２との接触面積が少なくなり、接触抵抗を低減できる。特に、電圧印加手段１８を作動させると、芯電極１１と分極電極１３間に高電圧が印加されるため、可撓性感圧体１２は分極電極１３の方向に引っ張られるため、分極電極１３と可撓性感圧体１２間の接触抵抗は増大することとなる。このため、移動手段１９を用いて可撓性感圧体１２を引っ張っても、接触抵抗が大きいので移動しにくく、無理に引っ張ると可撓性感圧体１２表面に摩擦による傷が発生する恐れもある。しかし、分極電極１３をコイル形状にすることによって、可撓性感圧体１２と分極電極１３の接触面積を低減できるので、無理なく移動手段１９で可撓性感圧体１２を移動することができると共に、摩擦による可撓性感圧体１２表面の傷の発生も抑制することができるため、分極中に傷部分が放電することによる歩留まりの低下を低減することができる。さらに、接触抵抗が抑制されるので移動手段１９のスピード向上も可能になり生産効率を向上することができる。
【００３０】
また、コイル状の分極電極１３なので可撓性感圧体１２の外周縁に電極が配設されることになり、断面形状が凹状の分極電極１３に比較し、可撓性感圧体１２が分極電極の通路内を移動中に、その外周面がかならずいずれかの位置で電極と接することになる。また、図示はしないが、断面形状凹状の分極電極１３と組み合わせることによって、コイル状の電極に接さない可撓性感圧体１２も凹状分極電極１３の壁面と対向するので、分極の効率は対向しない分極電極１３を組みあわせない場合極１３よりも向上する。
【００３１】
さらに、コイルの巻き密度の小さいものは全周囲から加熱空気を送ることが可能であるうえに、加熱空気の移動も有利に行えるので、より加熱空気がこもらない。よって、可撓性感圧体１２に含まれる揮発成分が分極電極１３に付着することを抑制することができるので、分極効率の低下を抑制することができる。
【００３２】
また、本実施の形態の分極装置においては、可撓性感圧体１２を分極電極１３内に一度配設してしまえば、次のロットを分極する際は芯電極１１同士を結ぶだけでよく、改めて分極電極１３内に配設する必要がない。このため簡単に可撓性感圧体１２を配設することができる。
【００３３】
（実施の形態３）
図３は、本発明の実施の形態３におけるケーブル状圧力センサの外観斜視図である。図３において実施の形態１及び２と異なるところは、加熱手段１４を発熱体１５と、加熱空間１６と送風手段２０とを備え、送風手段２０によって加熱手段１４によって加熱された加熱空間１６内の加熱空気を連通した分極電極１３の通路に送風している点である。
【００３４】
本構成にすることによって、送風速度や、加熱手段１４の制御で、加熱温度、加熱時間などを任意に設定して制御を容易に行うことができる。さらに、分極電極１３内の通路に加熱空気を送り込むことで、均一加熱が実現できるので、必要な箇所だけを加熱でき省エネを実現できる。また分極電極１３と可撓性感圧体１２間に加熱空気を、可撓性感圧体１２が移動手段１９によって移動する移動方向と同じ方向に向かって送風することによって、分極電極１３と可撓性感圧体１２間の接触抵抗を低減することができるため、無理なく移動手段１９で可撓性感圧体１２を移動することができると共に、摩擦による可撓性感圧体１２表面の傷の発生も抑制することができるため、分極中に傷部分が放電することによる歩留まりの低下を低減することができる。さらに、接触抵抗が抑制されるので移動手段１９のスピード向上も可能になり生産効率を向上することができる。
【００３５】
さらに図４に示すように、分極電極１３の通路に送った加熱空気を送風手段２０によって加熱空間に循環させることによって、発熱体１５の電力を抑制することがきるるため、効率より良く空気を加熱でき、より省エネを図ることができる。
【００３６】
また、加熱空気の温度は、加熱空気の温度は複合感圧体の使用上限温度とすることが望ましい。通常圧電ケーブルセンサは、可撓性感圧体の形成時に生じる内部応力や芯電極がもつ材料自身の内部応力を含んでおり、使用中にある温度に曝されるとこの内部応力が緩和され、特性が変化する恐れがある。しかし、分極時に使用上限温度に曝しておくことによって、分極時に可撓性感圧体の内部応力を緩和し、エージングの効果を得ることができるので、可撓性感圧体の信頼性を向上することができる。例えば、加熱空気の温度を６０℃に設定し、分極した可撓性感圧体１２を圧電ケーブルセンに試作した後、１００℃の雰囲気下に１０時間放置した場合、圧電ケーブルセンサの出力は放置前と比較して約１０％程度の出力低下が見られた。しかし、分極装置の加熱空気を１００℃に設定して分極した場合、同様に１００℃の雰囲気下に１０時間放置しても、出力の低下は認められなかった。このことからも分極時の分極温度、つまり発熱手段１４によって加熱された加熱空気によってエージングされたと考えられる。よって、加熱手段１４によって加熱される空気の温度は、加熱空気の温度は複合感圧体の使用上限温度に設定することで、長期的に安定した特性を保持することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
以上のように、本発明にかかるケーブル状圧力センサの分極装置およびその分極方法は、欠陥部が存在しても全体の可撓性感圧体が分極できなくなることを防ぐとともに、可撓性感圧体の周囲の空気を加熱することにより、均一に可撓性感圧体を加熱することがでる。このため、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができるので、圧電体等の分極装置に利用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態１における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図２】本発明の実施の形態２における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図３】本発明の実施の形態３における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図４】本発明の実施の形態３における他の分極装置の構成を示す外観斜視図
【図５】従来の圧電ケーブルセンサの構成を示す外観見取り図
【図６】従来の分極装置の構成を示す外観斜視図
【符号の説明】
【００３９】
１１  芯電極
１２  可撓性感圧体
１３  分極電極
１４  加熱手段
１５  発熱手段
１６  加熱空間
１７  加熱ボックス
１８  直流電圧発生手段
１９  移動手段
２０  送風手段
【図１】
2006284265.tif 000003
【図２】
2006284265.tif 000004
【図３】
2006284265.tif 000005
【図４】
2006284265.tif 000006
【図５】
2006284265.tif 000007
【図６】
2006284265.tif 000008