(57)【要約】【課題】  不良の発生箇所の特定や影響範囲の切り分けを迅速、確実に行えるようにする。【解決手段】  複数の工程より成る生産システムにおいて、アイソレータ１０は各工程毎に設けられる。アイソレータ１０にはその内部の環境を計測する各種センサ１３ａ〜１３ｃ（温度、湿度、気圧等）が設けられ、パソコン７は通信線９を介して各種センサによる計測結果を収集する。投入扉１１からは、原材料又は前工程のアイソレータ１０で生成された中間品が投入され、製造装置１４により所定の処理が施され、完成品又は中間品として搬出扉１２から搬出される。パソコン１０は、各アイソレータ毎に、そのアイソレータ１０に投入された中間品等のロット番号を記録し、各種センサ１３の計測結果を記録すると共に変化率を算出・記録し、その内部環境が正常か否かを判定し、異常である場合、変化が始まってから異常となるまでの間に処理された中間品等は不良品の可能性があると見なし、そのロット番号等を後工程又は前工程のアイソレータに通知する。【選択図】図２
2006107139.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数工程に対応する複数のアイソレータの各々に設置される各種センサから、該各センサによる前記アイソレータ内の環境計測値をネットワークを介して収集して記録すると共にその時間的変化率を算出して記録する計測・記録手段と、
前記収集した環境計測値が、予め登録されている正常範囲内にあるか否かにより、そのアイソレータ内の環境異常を判定する環境異常判定手段と、
前記時間的変化が生じてから前記環境異常と判定されるまでにそのアイソレータで生成された製品又は中間品を、不良品候補と判定し、更に該アイソレータの後工程以降の各アイソレータの中で該不良品候補による影響範囲にあるアイソレータを判別する不良品・影響範囲判別手段と、
を有することを特徴とするアイソレータ管理システム。
【請求項２】
前記不良品判別・通知手段は、更に、前記不良品候補を生成したアイソレータの前工程のアイソレータに対して、投入動作停止を通知することを特徴とする請求項１記載のアイソレータ管理システム。
【請求項３】
前記不良品候補による影響範囲にあるアイソレータは、該不良品候補のロットの何れかを処理中であるアイソレータであることを特徴とする請求項１又は２記載のアイソレータ管理システム。
【請求項４】
複数工程に対応する複数のアイソレータの各々に設置される各種センサから、該各センサによる前記アイソレータ内の環境計測値をネットワークを介して収集して記録すると共にその時間的変化率を算出して記録し、
前記収集した環境計測値が、予め登録されている正常範囲内にあるか否かにより、そのアイソレータ内の環境異常を判定し、
前記時間的変化が生じてから前記環境異常と判定されるまでにそのアイソレータで生成された製品又は中間品を、不良品候補と判定し、更に該アイソレータの後工程以降の各アイソレータの中で該不良品候補を処理中であるアイソレータを判別することを特徴とするアイソレータ管理方法。
【請求項５】
コンピュータに、
複数工程に対応する複数のアイソレータの各々に設置される各種センサから、該各センサによる前記アイソレータ内の環境計測値をネットワークを介して収集して記録すると共にその時間的変化率を算出して記録する機能と、
前記収集した環境計測値が、予め登録されている正常範囲内にあるか否かにより、そのアイソレータ内の環境異常を判定する機能と、
前記時間的変化が生じてから前記環境異常と判定されるまでにそのアイソレータで生成された製品又は中間品を、不良品候補と判定し、更に該アイソレータの後工程以降の各アイソレータの中で該不良品候補を処理中であるアイソレータを判別する機能と、
を実現させる為のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のアイソレータより成る生産システムを管理するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば医療品、食品等の製造現場や核燃料製造施設等において、“アイソレータ”と呼ばれる、密閉式グローブボックスが注目されている。例えば、医薬品製造プロセスにおいて、従来より、クリーンルーム内で作業を行っていたが、近年、毒性、過敏性等を発現する物質を用いる原薬製造が増えつつあり、作業者はスペーススーツ等の特殊更衣や防塵エアマスクを着用して、危険な雰囲気下での作業を行っていた。これに対して、アイソレータは、製造／実験装置等を外界から隔離された密閉空間に置き、作業者は外部から所謂“グローブ”によって材料の搬入、製造物の搬出等を行っている。
【０００３】
アイソレータ内の製造時環境（温度、湿度等）は、その製造物に対応した所定の条件内に保つ必要がある。これは、上記温度／湿度以外にも、例えば、アイソレータ内での発塵等による汚染等が徐々に進行していくものであり、発塵等は基本的にはフィルタ等で清浄されつつファンにて外部に排気されるが、通常は更に定期的に洗浄液により洗浄する必要があり、例えば洗浄液を噴霧する自動洗浄機能が知られている。
【０００４】
上記の様にアイソレータ内の製造時環境条件は所定の範囲内（正常範囲内）に保たなければ、製造物に不良が生じる等の問題が起こるので、もし製造時環境条件が正常範囲内から逸脱した場合、対応作業は緊急を要する。しかしながら、通常、製造物は、１つのアイソレータのみで製造完了するものではなく、複数のアイソレータを用いた複数工程を経て製造されるものである。この為、対応作業において、特に発生箇所や影響範囲の切り分け作業が、重要且つ緊急を要するものであり優先度の高いものである。しかしながら、従来では、上記切り分けは難しい作業であり、対応作業が遅れることが少なくなかった。もし対応作業が遅れれば、大量の不良中間品、仕掛品、製造物が発生することになり、不良発生率を上げる要因の１つとなっていた。
【０００５】
ここで、処理品質を管理することが、特許文献１に記載されている。特許文献１に係わる従来技術では、１又は複数のクリーンルーム内に製造ユニット及び測定ユニットが配置される。測定ユニットは、ウェハの処理品質を管理する為に使われるものである。すなわち、ウェハは製造ユニットの中で処理された後、搬送システムによって対応する測定ユニットに供給される。しかし、この従来技術では、しばしばウェハの一時貯蔵が必要となり、また必要な設備が肥大化するという問題が生じる。また、測定ユニットは、製造ユニットの中で実施された製造工程の品質を間接的且つ不完全にしか逆推論することができないという欠点もある。この問題に対して、特許文献１の発明では、製造ユニットの中に設けられてプロセスパラメータを求める測定装置を使用し、このプロセスデータから、ウェハの処理品質を判断する為の特性量を導出する。つまり、個々の製造ユニットの中で行われる製造工程を監視する為に既に存在している測定装置（温度センサ及び圧力センサ）が、同時に、ウェハの処理品質を管理する為にも使用される。
【特許文献１】特開２００１−６９９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１の発明では、処理品質が不十分である場合、特性量の適当な評価によってウェハの処理プロセスにおける欠陥箇所が迅速且つ確実に突き止められるとされているが、上述した影響範囲の切り分け作業までは考慮されていない。製造物が複数の連続する工程によって製造される場合、ある工程（アイソレータ）に問題が生じたとき、その影響が他の工程にも及ぶ場合があるからである。
【０００７】
本発明の課題は、複数のアイソレータを用いた複数工程による製造システムにおいて、不良の発生箇所の特定や影響範囲の切り分けを迅速、確実に行えるようにするアイソレータ管理システム等を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のアイソレータ管理システムは、複数工程に対応する複数のアイソレータの各々に設置される各種センサから、該各センサによる前記アイソレータ内の環境計測値をネットワークを介して収集して記録すると共にその時間的変化率を算出して記録する計測・記録手段と、前記収集した環境計測値が、予め登録されている正常範囲内にあるか否かにより、そのアイソレータ内の環境異常を判定する環境異常判定手段と、前記時間的変化が生じてから前記環境異常と判定されるまでにそのアイソレータで生成された製品又は中間品を、不良品候補と判定し、更に該アイソレータの後工程以降の各アイソレータの中で該不良品候補を処理中であるアイソレータを判別する不良品・影響範囲判別手段とを有するように構成する。
【０００９】
アイソレータ内の環境は、所定の環境条件（所定の温度、所定の湿度、所定の気圧等）に保ち、この所定の環境下で製造を行う必要があるが、多少の変動であれば許容される。しかし、環境の変化が継続し（例えば温度上昇し続け）、最終的に正常範囲内から逸脱した場合には、この正常範囲から逸脱したときに処理中であったロットだけでなく、上記継続した環境変化が始まった時から正常範囲逸脱時までに処理した全てのロットは、不良品である可能性が否定できないものとし、不良品候補とする。更に、このとき、不良品候補となった各ロットは、現在当該アイソレータで処理中のロットを除いては、当該アイソレータの後工程以降の各アイソレータで処理中である可能性があるので、それを判別する。そして、例えば、不良品候補のロットを処理中の全てのアイソレータから当該ロットを除外する。
【００１０】
また、上記アイソレータ管理システムにおいて、前記不良品判別・通知手段は、更に、前記不良品候補を生成したアイソレータの前工程のアイソレータに対して、投入動作停止を通知するようにしてもよい。
【００１１】
尚、本発明は、上記システム（装置）の形態に限らず、その方法、上記システムの処理をコンピュータで実現させるためのプログラム自体又は当該プログラムを記録した記録媒体自体として構成してもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のアイソレータ管理システム等によれば、複数のアイソレータを用いた複数工程による製造システムにおいて、不良の発生箇所の特定や影響範囲の切り分けを迅速、確実に行えるようにできる。これより、製造時の環境条件異常発生時における対応作業の省力化を実現し、不良中間品や不良製品の発生を最小限にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本例のアイソレータ管理システム全体の構成例であり、図２は図１に示す各アイソレータの構成図である。
【００１４】
図１において、本例では、各アイソレータは、各工程に対応して設置するものとする。図示の例では、各種工程毎に、粉砕工程用アイソレータ１、秤量工程用アイソレータ２、混合工程用アイソレータ３、コーティング工程用アイソレータ４、包装工程用アイソレータ５、及び試験検査工程用アイソレータ６が設けられており、図示の様にアイソレータ１〜アイソレータ６まで順番に作業が行われるものとする。
【００１５】
各アイソレータ１〜６は、通信線９を介して、パソコン７と接続してデータ送受信可能な構成となっている。パソコン７にはプリンタ８が接続されている。
各アイソレータ１〜６は、図２に示すアイソレータ１０の様に、投入扉１１、搬出扉１２、各種センサ１３ａ〜１３ｃ、グローブボックス１５等が設けられており、その内部には製造装置１４が設置されている。尚、製造装置１４は、例えば試験装置に置き換えてもよい。
【００１６】
各種センサ１３ａ〜１３ｃは、例えば温度センサ、圧力センサ（気圧測定用）、湿度センサ、微粒子数計測用センサ等であり、アイソレータ１０内の各種環境（環境条件）を計測するセンサである。各種センサ１３ａ〜１３ｃは、通信線９に接続しており、パソコン７は、任意のときに通信線９を介して各種センサ１３ａ〜１３ｃによる計測データ（環境データ）を収集できる。
【００１７】
搬入扉１１から被製造物（原材料又は中間品）が投入され、製造装置１４によって所定の製造プロセスが実行され、製造結果は搬出扉１２から搬出されて、次の工程がある場合にはその工程のアイソレータへと渡される。特に図示しないが、投入扉１１、搬出扉１２には、扉の開閉を検知するセンサが設けられており、扉の開閉の検知信号は、通信線９を介して、パソコン７へ送られるように構成してもよい。
【００１８】
パソコン７は、後にハードウェア構成図を示すが、例えばＣＰＵ、記憶部、メモリ等を有するものであり、記憶部には所定のアプリケーションプログラムやデータテーブルが格納されており、ＣＰＵがこのアプリケーションプログラムを記憶部から読み出して実行することで（実行の際には、必要に応じて、データテーブルのデータを参照する）、以下に述べる処理を実行する。
【００１９】
すなわち、概略的には、パソコン７において、まず複数のアイソレータの製造工程における順序が予め上記データテーブルに格納されており、このデータテーブルを用いつつ上記アプリケーションプログラムを実行することで、各アイソレータ内の環境データを定期的に取得して、環境データの時間的変化率を計算する。そして、アイソレータ内の時間的変化が発生し（つまり、時間的変化率が０ではなくなったとき）、更に当該変化が一定方向（上昇又は下降）に継続し、その後に計測値が環境条件の正常範囲から逸脱した場合には、変化発生から逸脱までの期間内に作業を行ったロットの製品又は中間品を、不良品の可能性があるもの（不良品候補）と見做し、そのロット番号を取得する。更に、この不良品候補のロットが、後工程以降のどのアイソレータで処理中又は処理済みであるか等を判別する。つまり、上記不良品候補による影響範囲を判別する。
【００２０】
以上の処理結果に基づき、例えば通信線９を介して、環境異常が生じたアイソレータ１０及びその影響範囲にあるアイソレータ１０に対して、不良品候補のロットＮｏ.を通知することで、例えば該当するロットを除外させることができる。また、環境異常が生じたアイソレータを用いて引き続き作業を続行することはできないので、その前工程のアイソレータに対して、投入動作の停止を通知する。その後、環境異常が生じたアイソレータの洗浄、修理、交換等を行うことになる。
【００２１】
ここで、「変化発生から逸脱までの期間内」としているのは、環境の変化が製品の質に及ぼす影響が、はっきりしない場合があるからである。つまり、一応、それまでの製造結果や経験等に基づいて正常範囲を設定したとしても、正常範囲内であれば不良品とはならないと保証されるわけではない場合がある。また、正常範囲内であれば製品の質に全く影響しないというわけでもない。この為、本手法では、変化発生から逸脱までの期間内に作業を行ったものは、直ちに不良品とすることはないが、不良品候補として一旦ラインから除外し、検査等を行うようにしている。
【００２２】
上記処理を実現させるプログラムについて、以下具体例を説明するが、ここではＵＭＬ(Unified Modeling Language)を用いて説明するものとする。ＵＭＬ（統一モデリング言語）は、最近注目されている、オブジェクト指向を使ってモデリングする際に使われる統一的な言語であり、例えば図３に示すクラス図や、図４〜図５に示すシーケンス図を用いて表現する。図３にはクラス図を（ａ）（ｂ）に分けて示してある。（ａ）はクラス間の関係、（ｂ）は各クラスの詳細を示す。尚、図３のクラス図は、例えば専用のＣＡＳＥツール（ＵＭＬ ＣＡＳＥツール）を用いて記述する。ＵＭＬ ＣＡＳＥツールとしては、例えば一般には“Rational Rose”(http://www.rational.com/)、“Together/J”(http://www.togethersoft.com/)等が知られている。
【００２３】
図３（ａ）に示すクラス図は、ＵＭＬの表記法に従って記載されており、簡単に説明するならば、まず、各クラスは四角形で記述され、ここでは「製造ライン」クラス２１、「工程」クラス２２、「アイソレータ」クラス２３、「センサ」クラス２４、及び「ドア」クラス２５の各クラスが記述されている。各クラスには、図３（ａ）に示すように、クラス名３１、属性３２、及び操作３３が記述される。属性３２、操作３３は、例えばＪａｖａ（登録商標）のプログラムコードに落とされる際には、それぞれ、変数（インスタンス変数又はクラス変数）、メソッドになるものである。図３（ａ）では、分かり易くする為に、属性３２と操作３３は省略して示してある。
【００２４】
各クラス間を結ぶ線は“関連”と呼ばれる。“関連”は、各クラスから作成されるインスタンス間の繋がり（リンク）を示すものである。また、この“関連”を意味する線の付近に記述される、１，２、＊、１．．＊、０．．１等の数字や記号は、関連の多重度を表すものである。＊は複数を意味し、０．．１は０又は１を意味し、１．．＊は１以上を意味する。そして、例えば「アイソレータ」クラス２３と「ドア」クラス２５との関係を例にすると、アイソレータ付近に１、ドア付近に２と記述されているのは、アイソレータ１つ当たりドアを２枚有することを意味している。よって、同様にして他の関係を見ると、１つの製造ラインは複数の工程より成り、各工程はアイソレータと１対１の関係にあり、各アイソレータは１以上のセンサを有することが記述されている。また、線の一端に記す菱形は“集約”を意味する。“集約”は、“全体−部分”を示すものであり、図示の例では、ドアとセンサがアイソレータの構成部品であることを意味している。
【００２５】
更に、「工程」クラス２２から線が出て、再び「工程」クラス２２に戻っているのは、自己再帰的な関連を記述するものであり、図示の記述の意味は「各クラスは、０又は１の前工程と、０又は１の後工程を有する」である。これは、図１の例に対応させたものであり、粉砕工程は前工程は無く後工程は１つあり、試験検査工程は前工程は１つあり後工程は無く、これら以外の各工程は全て、前工程と後工程が１つずつあることになる。
【００２６】
図３（ｂ）には、各クラス２１〜２４毎に、クラス名３１、属性３２、操作３３の具体例を示す。これは、図示の通りであるが、以下に列挙しておく。
・「製造ライン」クラス
属性３２；ライン名、工程名リスト
操作３３；製造開始()、投入動作（ロットNo.）、ロット単位作業終了（ロットNo.）、異常検出（異常ロットNo.リスト）、異常ロット表示（該当ロットNo.リスト）
・「工程」クラス
属性３２；工程名、ロットNo.リスト
操作３３；製造開始()、ロット番号記録（ロットNo.）、異常通知（時刻）、ロット番号検索()（戻り値は、異常ロットNo.リスト）、異常ロット通知（異常ロットNo.リスト）（戻り値は、該当ロットNo.リスト）
・「アイソレータ」クラス
属性３２；アイソレータ名、温度データ上限値、温度データ下限値、湿度データ上限値、湿度データ下限値、圧力データ上限値、圧力データ下限値、微粒子数上限値、微粒子数下限値、計測値、計測時刻、変化率、アイソレータテーブル
操作３３；計測開始要求（）、計測結果判定＆変化率計算（）（戻り値は時刻）
・「センサ」クラス
属性３２；温度データ、湿度データ、圧力データ、微粒子数、センサテーブル
操作３３；計測要求（）（戻り値は計測結果）
尚、操作３３においては引数（入力パラメータ）を渡して動作する操作については（）内に、渡す引数を記述するものである。
【００２７】
図４、図５は、図３のクラス図に対応し且つ図１のシステム例に対応させたＵＭＬ表記のシーケンス図である。尚、以下の説明では、「ドア」クラス２５は用いないものとし、「ドア」クラス２５に相当する作業は、作業員等がパソコン７を操作して手入力するものとして説明する。但し、この例に限らず、当然、「ドア」クラス２５を用いるようにしてもよく、この場合には、投入扉１１に設けられた上記開閉検知センサが、投入扉１１が開かれ、その後に閉じられたことを検知することを以って原材料が投入されたと判定し、同様に搬出扉１２が開かれたことを検知することを以って製造品（又は中間品）が搬出されたものと判定する。但し、この場合でも、粉砕工程に関するロットNo．の入力は例えば作業者等が行う。
【００２８】
また、図４、図５では、「製造ライン」クラス２１、「工程」クラス２２、「アイソレータ」クラス２３、「センサ」クラス２４の各々について、生成されるオブジェクトの一例として、オブジェクト「製造ラインＡ」２１ａ、オブジェクト「粉砕工程」２２ａ、オブジェクト「秤量工程」２２ｂ、オブジェクト「混合工程」２２ｃ、オブジェクト「粉砕工程用アイソレータ」２３ａ、及びオブジェクト「（粉砕工程アイソレータ内）天井設置センサ」２４ａを示すものとし、これらを例にして説明する。尚、以下の説明では逐一オブジェクトと記することなく、例えばオブジェクト「製造ラインＡ」２１ａは、「製造ラインＡ」２１ａと記すものとする。
【００２９】
まず、図４において、例えば作業者等が不図示の画面に従って製造ラインＡの製造開始を入力すると、「製造ラインＡ」２１ａの製造開始（）が呼出される。これにより、「製造ラインＡ」２１ａは、工程名リストを参照して工程の順番を判別し、後述するようにこの順番通りに各工程のロット番号記録（）を順次呼出すことになるが、この段階ではまず全ての工程オブジェクトの製造開始（）を呼出す。
【００３０】
ここで、工程名リストの一例を図６（ａ）に示す。図示の例では、工程名リスト４０は、工程ＩＤ４１、工程名４２、前工程ＩＤ４３、及び後工程ＩＤ４４の各フィールドより成る。工程ＩＤ４１、工程名４２は、その工程の識別番号と名称であり、前工程ＩＤ４３、後工程ＩＤ４４は、その工程の前後の工程の工程ＩＤである。工程の順番は、図示の例では、粉砕→秤量→混合→コーティング→包装→試験検査となっているが、ここでは、図４、図５に示す通り粉砕、秤量、混合のみを例にする。この例により、図示の通り、「粉砕工程」２２ａ、「秤量工程」２２ｂ、「混合工程」２２ｃの製造開始（）が呼出される。
【００３１】
呼出された各工程のオブジェクトは、例えば図６（ｂ）に示すアイソレータテーブル５０を参照して、自工程に対応するアイソレータを認識する。図６（ｂ）に示すアイソレータテーブル５０には、工程ＩＤ５３の各工程毎に、対応するアイソレータの識別番号と名称（アイソレータＩＤ５１とアイソレータ名５２）が格納されている。
【００３２】
その後、作業者は、１番目の粉砕工程のアイソレータに対して原材料を投入する毎に、上記画面上でそのロットＮｏ．を入力する。これによって「製造ラインＡ」２１ａの投入動作（ロットＮｏ．）が呼出され、「製造ラインＡ」２１ａは、工程名リスト４０より、１番目の工程のオブジェクトである「粉砕工程」２２ａのロット番号記録（）を呼出し、引数として上記入力されたロットＮｏ．（No.1）を渡す。これより、「粉砕工程」２２ａの属性３２のロットＮｏ．リストに、渡されたロットＮｏ．が現在時刻（ロット開始時刻）と共に追加・記録される。また、粉砕工程より後の各工程のアイソレータに対する中間品の投入は自動的に行われるものとし、「製造ラインＡ」２１ａは、工程名リスト４０が示す工程順番に従って、該当する工程を判別すると共に該当するロットNo.を認識して、ロット番号記録（）の呼出しを行う。
【００３３】
「粉砕工程」２２ａは、続いて、「粉砕工程用アイソレータ」２３ａの計測開始要求（）を呼出す。これより、「粉砕工程用アイソレータ」２３ａは、例えば図６（ｃ）に一例を示すセンサテーブル６０を参照して、自己が有する１又は複数のセンサの各センサＩＤ等を取得し、各々のオブジェクトの計測要求（）を定周期で呼出す。ここでは、一例として、図４、図５に示す通り、センサＩＤ＝0001の天井設置のセンサのみを例にして説明するが、他のセンサについても同様である。この一例では、「粉砕工程用アイソレータ」２３ａは、「天井設置センサ」２４ａの計測要求（）を定周期で呼出す。これより、「天井設置センサ」２４ａは、計測要求（）が呼出されて実行する毎に、「粉砕工程用アイソレータ」２３ａに対して戻り値として、上記センサＩＤ＝0001の天井設置のセンサから通信線９を介して取得した計測結果を渡す。これによって、「粉砕工程用アイソレータ」２３ａは、メッセージの自己呼出しとして、自身の“計測結果判定＆変化率計算（）”を呼出し、引数として上記計測結果を渡す。
【００３４】
“計測結果判定＆変化率計算（）”は、上記計測結果を記録すると共に正常値内判定を行い、更に１つ前の計測結果からの変化率を計算し、この計算結果を現在時刻（現在日時）と共に記録する。上記正常値内判定は、計測結果が、当該計測結果のデータ種別に応じた属性３２中の上限値−下限値の範囲内にあるか否かを判定するものであり、例えば温度データの計測結果である場合には、属性３２中の温度データ上限値と温度データ下限値との間にあるか否かを判別する。もし、範囲内にない場合には、環境異常と判定し、図５に示す処理を行うが、これは後述する。
【００３５】
上記計測結果、計算結果、日時の記録の一例を、図７（ａ）〜（ｄ）に示す。図７（ａ）〜（ｄ）に示す一例では、温度、湿度、圧力、微粒子数の各々について、計測結果テーブル８０，９０，１００，１１０に記録されている。
【００３６】
上記ロットNo.１のロットについての製造作業が行われている間、上記センサ計測データ収集処理が定周期で実行される。
そして、「粉砕工程」２２ａは、当該ロットＮｏ．１のロットの製造作業終了を検知すると、「製造ラインＡ」２１ａのロット単位作業終了（）を呼出し、当該ロットNo. （No.1）を引数として渡す。これより、「製造ラインＡ」２１ａは、次工程である秤量工程のオブジェクトのロット番号記録（）を呼出し、引数としてロットNo.1を渡す。これより、「秤量工程」２２ｂは、上記「粉砕工程」２２ａと同様の処理により計測結果収集、正常値内判定、変化率計算等を実行する。また、「粉砕工程」２２ａに対しては、次のロットの投入により、そのロットNo.２を引数とするロット番号記録（）の呼出しが行われる。これより、「粉砕工程」２２ａは、当該ロットNo.２について、上記と同様の処理を行う。
【００３７】
つまり、例えば、ある製品Ｄを製造するプロセスが、複数の工程（複数のアイソレータ）より順次、原材料Ａ→中間品Ｂ→中間品Ｃ→製品Ｄと製造されるものである場合、これらには一貫して同じロットＮｏ．が付けられる。よって例えば「粉砕工程」２２ａが中間品Ｂを生成するものとすると、「秤量工程」２２ｂのアイソレータには中間品Ｂが投入されると共に上記ロットNo.1が渡されることになる。そして、「秤量工程」２２ｂがロットＮｏ．１の中間品Ｂについて処理しているとき、ほぼ平行して、「粉砕工程」２２ａではロットNo.２の原材料Ａについて処理が行われることになる。これは、他の後工程についても、同様である。
【００３８】
そして、もし、何れかのアイソレータに関して、上記“計測結果判定＆変化率計算（）”の処理において、正常値内判定結果が異常であった場合、図５に示す処理が行われる。以下、図５を参照して説明する。
【００３９】
正常値内判定結果が異常であった場合、「粉砕工程用アイソレータ」２３ａは、上記計測結果テーブル８０〜１１０の中で異常があったデータ種別のテーブルを参照して、変化率が０ではなくなった時点の計測時刻（変化の発生開始時刻）を取得する。例えば、温度異常であった場合、テーブル８０を参照すると、変化の発生開始時刻は“2004/08/20 22:13:20”である。続いて、「粉砕工程」２２ａの異常通知（）を呼出し、上記変化の発生開始時刻（発生時期）を引数として渡す。
【００４０】
これより、「粉砕工程」２２ａは、メッセージの自己呼出しとして、自身のロット番号検索（）を呼出し、引数として上記発生時刻を渡す。これより、その属性３２のロットＮｏ．リストを検索して、そのロット開始時刻が、上記発生時刻から現在日時の範囲内にあるロットＮｏ．を求め、該当したロットＮＯ．（不良品候補のロットNo.）を戻り値として得る。そして、「製造ラインＡ」２１ａの異常検出（）を呼出し、引数として該当したロットNo.のリスト（異常ロットNO.リスト）を渡す。
【００４１】
これより、「製造ラインＡ」２１ａは、図６の工程名リスト４０を参照して、粉砕工程以降の各工程（後工程）のオブジェクトに対して、その異常ロット通知（）を呼出し、引数として異常ロットNo.リストを渡す。
【００４２】
各後工程のオブジェクト（図示の例では、秤量工程２２ｂ、混合工程２２ｃ）は、自己の属性３２のロットNo.リストと上記異常ロットNo.リストとを比較して、一致するロットNO.を全て抽出する。つまり、自装置で処理した又は現在処理中のロットの中に、不良品候補のロットがある場合には、それを全て抽出する。これは、換言すれば、異常ロットを生成したアイソレータの後工程以降の各アイソレータの中で、上記不良品候補のロットを処理中又は処理済みであるアイソレータを判別するものである。そして、抽出したロットNo.を該当ロットNo.リストとして、これを戻り値として「製造ラインＡ」２１ａに渡す。「製造ラインＡ」２１ａは、パソコン７のディスプレイ等に、各工程毎の該当ロットNo.リストを表示する。
【００４３】
尚、これは、パソコン７のディスプレイに表示させる例に限らず、例えば、通信線９を介して、該当する各アイソレータ１０（環境異常が生じたアイソレータ、その影響範囲のアイソレータ）に対して、不良品候補のロットのロットNo.を通知することで、各アイソレータ側の作業員等に、処理の中止や不良品候補ロットの除外を行わせるようにしてもよい。
【００４４】
上記処理は、例えば一例として仮に、図４の例において、「粉砕工程」２２ａにおいて、ロットNo.１の処理中に変化が起き始め、ロットNo.１、ロットNo.２の処理中は正常値内に収まっていたが、ロットNo.３の処理中に遂に正常値範囲を超えてしまったものとする。この場合、異常ロットNo.リストは、ロットNo.１、ロットNo.２、及びロットNo.３となる。また、「秤量工程」２２ｂの属性３２のロットNo.リストは、ロットNo.１（既に処理済み）及びロットNo.2（処理中）となっているので、該当ロットNo.リストは、ロットNo.１とロットNo.２となり、これが秤量工程名に対応付けてディスプレイに表示されることになる。あるいは、プリンタ８に印字出力されることになる。同様に、「混合工程」２２ｃの属性３２のロットNo.リストは、ロットNo.１（処理中）となっているので、該当ロットNo.リストは、ロットNo.１となり、これが混合工程名に対応付けてディスプレイに表示されることになる。更に、粉砕工程名に対応付けて、異常ロットNo.リストを表示させてもよい。
【００４５】
上述した表示を行うことで、作業者は、不良の発生箇所やその影響範囲を知ることができ、迅速に対応することができる。すなわち、各後工程において、上記異常検出されたロットＮｏ．の中間品又は製品を直ちに除外することができる。また、上記一例では、粉砕工程より前の工程が無いが、もし前の工程がある場合には、「製造ラインＡ」２１ａは、前の工程のオブジェクトの投入動作停止（）（不図示）を呼出す。これより、前の工程のオブジェクトでは、作業中断に備えて、次工程への仕掛品等の移動や原料の投入を停止する。
【００４６】
上述したように、本例のアイソレータ管理システム等によれば、複数のアイソレータを用いた複数工程による製造システムにおいて、不良の発生箇所の特定や影響範囲の切り分けを迅速、確実に行えるようにできる。これより、製造時の環境条件異常発生時における対応作業の省力化を実現し、不良中間品や不良製品の発生を最小限にすることができる。
【００４７】
図８は、上述した処理を実行するパソコン７のハードウェア構成図である。
同図に示すコンピュータ２００は、ＣＰＵ２０１、メモリ２０２、入力部２０３、出力部２０４、記憶部２０５、記録媒体駆動部２０６、及びネットワーク接続部２０７を有し、これらがバス２０８に接続された構成となっている。同図に示す構成は一例であり、これに限るものではない。
【００４８】
ＣＰＵ２０１は、当該コンピュータ２００全体を制御する中央処理装置である。
メモリ２０２は、プログラム実行、データ更新等の際に、記憶部２０５（あるいは可搬型記録媒体２０９）に記憶されているプログラムあるいはデータを一時的に格納するＲＡＭ等のメモリである。ＣＰＵ２０１は、メモリ２０２に読み出したプログラム／データを用いて、上述してある各種機能・処理を実行する。
【００４９】
出力部２０４は、例えばディスプレイ等である。
入力部２０３は、例えば、キーボード、マウス等であり、ユーザはこれらを操作して、上記不図示の画面上で所望の入力操作等を行う。
【００５０】
ネットワーク接続部２０７は、例えばイントラネットやインターネット等のネットワークに接続して、他の情報処理装置とのコマンド／データ送受信を行う為の構成である。
記憶部２０５は、例えばハードディスク等であり、上述した様々な処理・機能を上記ＣＰＵ２０１により実行させるための所定のアプリケーション・プログラムや各種データ（図６、図７に示すリストやテーブル等）が格納される。このアプリケーション・プログラムは、図３（ａ）、（ｂ）に示すクラス図や図４、図５に示すシーケンス図に基づいて作成されるオブジェクト指向プログラムであり、例えばＪａｖａ（登録商標）等で記述される。
【００５１】
あるいは、これらプログラム／データは、可搬型記録媒体２０９に記憶されているものであってもよい。この場合、可搬型記録媒体２０９に記憶されているプログラム／データは、記録媒体駆動部２０６によって読み出される。可搬型記録媒体２０９とは、例えば、ＦＤ（フレキシブル・ディスク）２０９ａ、ＣＤ−ＲＯＭ２０９ｂ、その他、ＤＶＤ、光磁気ディスク等である。
【００５２】
あるいは、また、上記プログラム／データは、ネットワーク接続部２０７により接続しているネットワークを介して、他の装置内に記憶されているものをダウンロードするものであってもよい。あるいは、更に、インターネットを介して、外部の他の装置内に記憶されているものをダウンロードするものであってもよい。
【００５３】
また、本発明は、上記本発明の各種処理をコンピュータ上で実現するプログラムを記録した可搬型記憶媒体として構成できるだけでなく、当該プログラム自体として構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本例のアイソレータ管理システム全体の構成例である。
【図２】図１に示す各アイソレータの構成図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）はＵＭＬを用いたクラス図である。
【図４】ＵＭＬを用いたシーケンス図（その１）である。
【図５】ＵＭＬを用いたシーケンス図（その２）である。
【図６】（ａ）は工程名リスト、（ｂ）はアイソレータテーブル、（ｃ）はセンサテーブルの一例である。
【図７】計測結果、計算結果、日時の記録の一例を示す図である。
【図８】パソコンのハードウェア構成図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  粉砕工程用アイソレータ
２  秤量工程用アイソレータ
３  混合工程用アイソレータ
４  コーティング工程用アイソレータ
５  包装工程用アイソレータ
６  試験検査工程用アイソレータ
７  パソコン
８  プリンタ
９  通信線
１０  アイソレータ
１１  投入扉
１２  搬出扉
１３ａ〜１３ｃ  各種センサ
１５  グローブボックス
２１  「製造ライン」クラス
２２  「工程」クラス
２３  「アイソレータ」クラス
２４  「センサ」クラス
２５  「ドア」クラス
２１ａ  オブジェクト「製造ラインＡ」
２２ａ  オブジェクト「粉砕工程」
２２ｂ  オブジェクト「秤量工程」
２２ｃ  オブジェクト「混合工程」
２３ａ  オブジェクト「粉砕工程用アイソレータ」
２４ａ  オブジェクト「（粉砕工程アイソレータ内）天井設置センサ」
３１  クラス名
３２  属性
３３  操作
４０  工程名リスト
４１  工程ＩＤ
４２  工程名
４３  前工程ＩＤ
４４  後工程ＩＤ
５０  アイソレータテーブル
５１  アイソレータＩＤ
５２  アイソレータ名
５３  工程ＩＤ
６０  センサテーブル
６１  センサＩＤ
６２  設置位置
６３  アイソレータＩＤ
８０  温度計測結果テーブル
８１  計測時刻
８２  計測値
８３  変化率
９０  湿度計測結果テーブル
９１  計測時刻
９２  計測値
９３  変化率
１００  圧力計測結果テーブル
１０１  計測時刻
１０２  計測値
１０３  変化率
１１０  微粒子数計測結果テーブル
１１１  計測時刻
１１２  計測値
１１３  変化率
２００  コンピュータ
２０１  ＣＰＵ
２０２  メモリ
２０３  入力部
２０４  出力部
２０５  記憶部
２０６  記録媒体駆動部
２０７  ネットワーク接続部
２０８  バス
２０９  可搬型記録媒体
２０９ａ  ＦＤ（フレキシブル・ディスク）
２０９ｂ  ＣＤ−ＲＯＭ
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１】
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【図２】
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