(57)【要約】【課題】  被冷却装置に付属する付属モジュールと一緒にマウントできるようにして、設備のスペース効率向上を図るとともに、配管接続系のシンプル化及び無用な冷却能力の低下を回避する。【解決手段】  規格化されたラックＲにマウントできるように構成したキャビネット３を有し、このキャビネット３に、冷却部２により冷却した冷却液Ｗを被冷却装置Ｍに供給する供給口４及び被冷却装置Ｍから戻された冷却液Ｗを取込む取込口５を設けるとともに、キャビネット３の内部に、少なくとも、冷却部２と、冷却液Ｗを貯留する冷却液タンク６と、冷却液Ｗを送出する送液ポンプ７を配設する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却部により冷却した冷却液を被冷却装置に循環させて当該被冷却装置の冷却を行う冷却装置において、規格化されたラックにマウントできるように構成したキャビネットを有し、このキャビネットに、前記冷却部により冷却した冷却液を前記被冷却装置に供給する供給口及び前記被冷却装置から戻された冷却液を取込む取込口を設けるとともに、前記キャビネットの内部に、少なくとも、前記冷却部と、前記冷却液を貯留する冷却液タンクと、前記冷却液を送出する送液ポンプを配設してなることを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
前記キャビネットは、前記ラックにマウントするための取付部を左右両側に有する前面パネルを備えることを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【請求項３】
前記キャビネットの底部には、少なくとも前記冷却液タンクに貯留する冷却液を含むキャビネット内に存在する液体を受け取ることができる形状を有し、かつ少なくとも前記冷却液タンクに貯留する冷却液を含むキャビネット内に存在する全液体を収容できる容積に形成したドレンパンを備えることを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【請求項４】
前記ドレンパンは、前記供給口及び前記取込口の下方位置まで張り出した張出部を有することを特徴とする請求項３記載の冷却装置。
【請求項５】
前記ドレンパンに付設して当該ドレンパン内の液体を検出する液体検出手段と、この液体検出手段により液体を検出したならその旨を報知する報知手段を備えることを特徴とする請求項３又は４記載の冷却装置。
【請求項６】
前記送液ポンプと前記キャビネット間及び当該キャビネットと前記ラック間には防振手段を介在させてなることを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【請求項７】
前記ラックは、電子機器等のモジュール機器をマウントするための１９インチ型ラックであることを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却部により冷却した冷却液を光学機器等の被冷却装置に循環させて当該被冷却装置の冷却を行う冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、サーモモジュールを用いた冷却部により冷却した冷却液を被冷却装置に循環させて当該被冷却装置の冷却を行う冷却装置としては、既に、本出願人が提案した特開２００２−１６２０５８号公報で開示される冷却装置が知られている。
【０００３】
この冷却装置は、サーモモジュールの冷却面に、被冷却部に循環させる冷却側冷却液を冷却する冷却側熱交換器を付設し、かつサーモモジュールの放熱面に、当該放熱面を冷却する放熱側熱交換器を付設した冷却ユニットを備える冷却装置であって、放熱面に、内部に放熱側冷却液を通す液路を有し、かつ外部に多数の放熱フィンを有する放熱側熱交換器を付設するとともに、この放熱側熱交換器に通す放熱側冷却液を冷却する空冷式熱交換器を設け、送風機からの送風が空冷式熱交換器及び放熱フィンの双方に当たるように、放熱側熱交換器，空冷式熱交換器及び送風機を配設したものであり、被冷却部に冷却した冷却液を循環させて当該被冷却部の冷却を行うことができる。
【特許文献１】特開２００２−１６２０５８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述した公報開示の冷却装置をはじめ、従来のこの種冷却装置は、次のような問題点があった。
【０００５】
第一に、冷却液を貯留する冷却液タンクや冷却液を送出する送液ポンプ等の液処理系及び振動発生源を内蔵するため、光学機器（電子顕微鏡等）や精密機器等の被冷却部からできるだけ離して設置する必要があり、通常、フロア等に単独で設置可能な外観形態を有している。したがって、別途の設置スペースを確保する必要があり、設備のスペース効率低下を招くとともに、設置スペースが狭いときは、設置自体が困難になる。
【０００６】
第二に、フロア等に単独で設置する必要があることから、光学機器等の被冷却部に対して近接した場所に設置しにくい。したがって、冷却装置と被冷却部を接続する冷却液循環用の配管が無用に長くなってしまうなど、配管接続系の煩雑化、更には冷却能力の低下を招きやすい。
【０００７】
本発明は、このような背景技術に存在する課題を解決した冷却装置の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決するため、冷却部２により冷却した冷却液Ｗを被冷却装置Ｍに循環させて当該被冷却装置Ｍの冷却を行う冷却装置１を構成するに際して、規格化されたラックＲにマウントできるように構成したキャビネット３を有し、このキャビネット３に、冷却部２により冷却した冷却液Ｗを被冷却装置Ｍに供給する供給口４及び被冷却装置Ｍから戻された冷却液Ｗを取込む取込口５を設けるとともに、キャビネット３の内部に、少なくとも、冷却部２と、冷却液Ｗを貯留する冷却液タンク６と、冷却液Ｗを送出する送液ポンプ７を配設してなることを特徴とする。
【０００９】
この場合、発明の好適な態様により、キャビネット３には、ラックＲにマウントするための取付部１１ｐ，１１ｑを左右両側に有する前面パネル３ｆを設けることができる。また、キャビネット３の底部３ｄには、少なくとも冷却液タンク６に貯留する冷却液Ｗを含むキャビネット３内に存在する液体を受け取ることができる形状を有し、かつ少なくとも冷却液タンク６に貯留する冷却液Ｗを含むキャビネット３内に存在する全液体を収容できる容積に形成したドレンパン１２を配することができる。この際、ドレンパン１２には、供給口４及び取込口５の下方位置まで張り出した張出部１２ｒを設けることができる。さらに、冷却装置１には、ドレンパン１２に付設して当該ドレンパン１２内の液体を検出する液体検出手段１３と、この液体検出手段１３により液体を検出したならその旨を報知する報知手段１４を設けることができる。一方、送液ポンプ７とキャビネット３間及び当該キャビネット３とラックＲ間には防振手段１５ａ…，１５ｂ…，１５ｃ…を介在させることができる。なお、ラックＲとしては、電子機器等のモジュール機器をマウントするための１９インチ型ラックに適用することができる。
【発明の効果】
【００１０】
このような構成を有する本発明に係る冷却装置１によれば、次のような顕著な効果を奏する。
【００１１】
（１）  基本形態として、規格化されたラックＲにマウントできるように構成したキャビネット３を有するため、光学機器（電子顕微鏡等）や精密機器等の被冷却装置Ｍに併設するラックＲに、この被冷却装置Ｍに付属する操作機器や計測機器等の付属モジュールと一緒にマウントでき、いわば被冷却装置Ｍに対して一体化することができる。したがって、設置スペースの別途の確保が不要となり、設備のスペース効率向上を図れるとともに、設置スペースの確保が困難な狭い場所でも容易に設置することができる。
【００１２】
（２）  光学機器等の被冷却装置Ｍに併設するラックＲに、この被冷却装置Ｍに付属する操作機器や計測機器等の付属モジュールと一緒にマウントできるため、被冷却装置Ｍに対する近接位置に設置することができる。したがって、冷却装置１と被冷却装置Ｍを配管で接続する際に最短距離で行うことができ、配管接続系のシンプル化及び無用な冷却能力の低下を回避することができる。
【００１３】
（３）  好適な態様により、キャビネット３に、ラックＲにマウントするための取付部１１ｐ，１１ｑを左右両側に有する前面パネル３ｆを設ければ、被冷却装置Ｍに付属する操作機器や計測機器等の付属モジュールと同様、ラックＲに対して確実に固定することができる。
【００１４】
（４）  好適な態様により、キャビネット３の底部３ｄに、少なくとも冷却液タンク６に貯留する冷却液Ｗを含むキャビネット３内に存在する液体を受け取ることができる形状を有し、かつ少なくとも冷却液タンク６に貯留する冷却液Ｗを含むキャビネット３内に存在する全液体を収容できる容積に形成したドレンパン１２を配すれば、ラックＲにマウントした際に、この下方にマウントした他の付属モジュールに対する冷却液Ｗ等の落下を確実に阻止することができる。
【００１５】
（５）  好適な態様により、ドレンパン１２に、供給口４及び取込口５の下方位置まで張り出した張出部１２ｒを設ければ、液漏れ等の発生する可能性の最も高い供給口４及び取込口５からの冷却液Ｗの落下をドレンパン１２により確実に受け取ることができる。
【００１６】
（６）  好適な態様により、ドレンパン１２に付設して当該ドレンパン１２内の液体を検出する液体検出手段１３と、この液体検出手段１３により液体を検出したならその旨を報知する報知手段１４を設ければ、液漏れや結露等の発生に対する対策を迅速に講じることができる。
【００１７】
（７）  好適な態様により、送液ポンプ７とキャビネット３間及び当該キャビネット３とラックＲ間に防振手段１５ａ…，１５ｂ…，１５ｃ…を介在させれば、冷却装置１で発生する振動を吸収し、振動がラックＲ（他の付属モジュール等）に伝播する弊害を回避することができる。
【００１８】
（８）  好適な態様により、ラックＲとして、電気機器等のモジュール機器をマウントするための標準化された１９インチ型ラックに適用すれば、各種の被冷却機器Ｍに対してそのまま適用できるなど、汎用性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明に係る最良の実施形態を挙げ、図面に基づき詳細に説明する。
【００２０】
まず、本実施形態に係る冷却装置１の構成について、図１〜図５を参照して具体的に説明する。
【００２１】
冷却装置１は、規格化されたラックＲにマウントできるように構成したキャビネット３を備える。規格化されたラックＲとしては、一般に、電気機器や電子機器等のモジュール機器をマウントする横幅が１９〔ｉｎｃｈ〕となる標準化されている１９インチ型ラックを適用することが望ましい。このような１９インチ型ラックを用いることにより、各種の被冷却機器Ｍに対してそのまま適用できるなど、汎用性を高めることができる。このラックＲは、図６（図７）に示すように、前面に開口部Ｒｏを有し、かつこの開口部Ｒｏの左右に取付用の縦フレームＦｆｐ，Ｆｆｑを有するとともに、左右側面部，上下面部及び後面部がパネルＰｓにより覆われた構成を有する。
【００２２】
キャビネット３は、ボックス状のキャビネット本体３ｍと、このキャビネット本体３ｍの前端に設けた前面パネル３ｆを備える。前面パネル３ｆには、把手２１，通気窓部２２，表示部２３ｄを含む操作部２３，警報部２４等を配設する。また、前面パネル３ｆの左右両側には、キャビネット本体３ｍの側面よりも所定幅だけ左右外方に突出させた取付部１１ｐ，１１ｑを一体形成する。この取付部１１ｐ，１１ｑは、ラックＲにマウントした際に、裏面が各縦フレームＦｆｐ，Ｆｆｑに当接する。このため、各取付部１１ｐ，１１ｑの端辺における上下二個所には、それぞれ横Ｕ形に形成したネジ止用の切欠凹部２５ｐ，２６ｐ，２５ｑ，２６ｑを設ける。これにより、被冷却装置Ｍに付属する操作機器Ｍａや計測機器Ｍｂ等の付属モジュール（図４参照）と同様、ラックＲに対して確実に固定することができる。
【００２３】
さらに、各取付部１１ｐ，１１ｑの裏面には、図１及び図２に示すように、ゴムシート等の防振シート（防振手段）１５ａ…を取付ける。これにより、ラックＲにマウントした際には、取付部１１ｐ，１１ｑと縦フレームＦｆｐ，Ｆｆｑ間に防振シート１５ａ…が介在し、冷却装置１（送液ポンプ７等）で発生する振動を吸収するため、振動がラックＲ（他の付属モジュール等）に伝播する弊害を回避できる。また、キャビネット本体３ｍの底部３ｄ下面における四個所には、ゴムブロック等の防振脚（防振手段）１５ｂ…を取付ける。これにより、ラックＲにマウントした際には、キャビネット３と後述する支持レールＦｒｐ，Ｆｒｑ間に防振脚１５ｂ…が介在し、冷却装置１（送液ポンプ７等）で発生する振動を吸収するため、振動が支持レールＦｒｐ，Ｆｒｑを介してラックＲ（他の付属モジュール等）に伝播する弊害を回避できる。
【００２４】
一方、キャビネット３の内部には冷却回路３１を内蔵する。冷却回路３１において、２は冷却部であり、図５に示すように、ペルチェ素子を用いたサーモモジュール３２…の冷却面に、後述する被冷却部Ｍに循環させる冷却液Ｗを冷却する熱交換器３３を付設するとともに、サーモモジュール３２…の放熱面に、当該放熱面を冷却（空冷）するヒートシンク３４を付設して構成した冷却ユニット３５を備えるとともに、ヒートシンク３４に対して送風する送風ファン３６を備える。また、６は冷却液Ｗを貯留する冷却液タンクであり、冷却液タンク６の下部は送液ポンプ７を介して熱交換器３３の流入口３３ｉに連通接続する。送液ポンプ７は、図８に示すように、キャビネット３の内部シャーシ３ｓに固定した支持ベース３７の上面に、防振用のゴムブッシュ（防振手段）１５ｃ…を介在させて取付ける。これにより、送液ポンプ７で発生する振動は、送液ポンプ７とキャビネット３間のゴムブッシュ１５ｃ…により吸収され、振動がキャビネット３に伝播する弊害を回避できる。
【００２５】
他方、キャビネット３の背面３ｒには、冷却部２により冷却した冷却液Ｗを、後述する被冷却装置Ｍに供給する供給口４を後方に突出させて設けるとともに、被冷却装置Ｍから戻された冷却液Ｗを取込む取込口５を後方に突出させて設ける。そして、供給口４は熱交換器３３の流出口３３ｏに連通接続するとともに、取込口５は冷却液タンク６の上部に連通接続する。また、背面３ｒには、冷却液タンク６に冷却液Ｗを補給するための補給口３８，冷却液タンク６内の冷却液Ｗを排出するためのドレン口３９及び冷却液タンク６におけるオーバーフローした冷却液Ｗを排出するためのオーバーフロー口４０をそれぞれ設け、冷却液タンク６における対応する位置にそれぞれ連通接続する。
【００２６】
さらに、キャビネット３の内部にはコントローラ４１及び電源部４２を配設する。この場合、コントローラ４１及び電源部４２は電気系を構成するため、キャビネット３の内部に仕切プレート４３を配設することにより、冷却部２，冷却液タンク６及び送液ポンプ７等の水処理系に対して完全に遮断する。これにより、電気系に対する防水性を確保する。また、送液ポンプ７，サーモモジュール３２…及び送風ファン３６は、電源部４２（コントローラ４１）に接続する。これにより、送液ポンプ７，サーモモジュール３２…，及び送風ファン３６は、コントローラ４１により作動制御される。なお、４４は熱交換器３３と供給口４間を接続する内部配管ラインに流れる冷却液Ｗの温度を検出する温度センサであり、この温度センサ４４はコントローラ４１に接続する。
【００２７】
一方、キャビネット３の底部３ｄにはドレンパン１２を配設する。このドレンパン１２は、少なくとも冷却液タンク６に貯留する冷却液Ｗを含むキャビネット３内に存在する液体（結露や霜等による水滴）を受け取ることができる形状を有し、かつ少なくとも冷却液タンク６に貯留する冷却液Ｗを含むキャビネット３内に存在する全液体を収容できる容積に形成する。したがって、ドレンパン１２は、キャビネット３の底部３ｄ上のできるだけ広い面積（形状）を確保することが望ましい。これにより、ラックＲにマウントした際に、この下方にマウントした他の付属モジュールに対する冷却液Ｗ等の落下を確実に阻止することができる。また、ドレンパン１２には、図１及び図２に示すように、供給口４及び取込口５の下方位置まで張り出した張出部１２ｒを連続して一体に形成する。これにより、液漏れ等の発生する可能性の最も高い供給口４及び取込口５からの冷却液Ｗの落下をドレンパン１２により確実に受け取ることができる。なお、張出部１２ｒの後側面１２ｒｓには、ドレンパン１２内の液体を抜き取るための抜取口４５を設ける。
【００２８】
さらに、ドレンパン１２には、ドレンパン１２内の液体（冷却液Ｗ等）を検出する漏液センサ４６（液体検出手段１３）を付設し、この漏液センサ４６はコントローラ４１に接続する。コントローラ４１は、この漏液センサ４６により液体を検出したなら、前述した警報部２４から警報を発する。なお、警報部２４には、警報ブザーや警報ランプ等を用いることができる。したがって、コントローラ４１及び警報部２４は、漏液センサ４６により液体を検出したならその旨を報知する報知手段１４を構成する。これにより、液漏れや結露等の発生に対する対策を迅速に講じることができる。また、液体検出手段１３としては、図１に仮想線で示すように、ワイヤ式漏液センサ４６ｅを用いてもよく、このワイヤ式漏液センサ４６ｅは、ドレンパン１２内のほぼ全域にわたって張り巡らすことができるため、僅かの液漏れも速やかに検出できる利点がある。
【００２９】
次に、本実施形態に係る冷却装置１をラックＲにマウントする際の取付方法について、図６及び図７を参照して説明する。
【００３０】
例示のラックＲ（１９インチ型ラック）は、図７に示すように、例えば、電子顕微鏡Ｍｏ等の被冷却装置Ｍの一部を構成することにより被冷却装置Ｍに併設されている。したがって、このラックＲには、図４に示すように、被冷却装置Ｍ（電子顕微鏡Ｍｏ等）に付属する操作機器Ｍａや計測機器Ｍｂ等の付属モジュールがマウントされる。冷却装置１は、これら操作機器Ｍａ等の付属モジュールと一緒に、このラックＲをそのままマウントすることができる。
【００３１】
まず、ラックＲの内部には、支持レールＦｒｐ，Ｆｒｑを取付ける。勿論、取付済の支持レールＦｒｐ，Ｆｒｑを有する場合には、そのまま利用することができる。そして、図６に示すように、矢印Ｄｉ方向から冷却装置１を開口部Ｒｏを通してラックＲの内部に収容する。冷却装置１を完全に収容すれば、キャビネット本体３ｍの底部下面に設けた防振脚１５ｂ…が支持レールＦｒｐ，Ｆｒｑ上に当接するとともに、取付部１１ｐ，１１ｑの裏面に設けた防振シート１５ａ…が縦フレームＦｆｐ，Ｆｆｑに当接する。したがって、前述したように、冷却装置１（送液ポンプ７等）で発生する振動が防振脚１５ｂ…及び防振シート１５ａ…により吸収され、振動がラックＲを介して操作機器Ｍａや計測機器Ｍｂ等の付属モジュールに伝播する弊害を回避できる。
【００３２】
そして、図１及び図２に示すように、ネジＳ…とナットＮ…により取付部１１ｐ，１１ｑを縦フレームＦｆｐ，Ｆｆｑに固定する。この際、各ネジＳ…は切欠凹部２５ｐ，２６ｐ，２５ｑ，２６ｑ及び縦フレームＦｆｐ，Ｆｆｑを貫通し、縦フレームＦｆｐ，Ｆｆｑの裏側でナットＮ…に螺着する。また、図３（図５）に示すように、供給口４及び取込口５は、それぞれ供給配管５１及び戻り配管５２を介して被冷却装置Ｍに接続する。なお、図７において、５３は冷却装置１の下側に配した前面接続パネルであり、冷却装置１と同様に縦フレームＦｆｐ，Ｆｆｑに固定した例である。この前面接続パネル５３は、少なくとも前面供給口４ｆと前面取込口５ｆを備えており、前面供給口４ｆは、図に現れない接続配管を介して、キャビネット３の背面３ｒに設けた供給口４に接続するとともに、前面取込口５ｆは、図に現れない接続配管を介して、キャビネット３の背面３ｒに設けた取込口５に接続する。この前面接続パネル５３を用いれば、被冷却装置Ｍに対する前面側からの接続も容易に行うことができる。
【００３３】
このような冷却システムにより、冷却装置１により冷却された冷却液（冷却水）Ｗは、供給配管５１から被冷却装置Ｍにおける発熱部位に供給され、被冷却装置Ｍの発熱部位に対する冷却が行われるとともに、熱交換により温められた冷却液Ｗは戻り配管５２から冷却装置１に戻されて再度冷却される循環が繰り返される。この際、冷却装置１の取込口５に戻された冷却液Ｗは、冷却液タンク６に一時貯留されるとともに、冷却液タンク６内の冷却液Ｗは、送液ポンプ７により熱交換器３３に送られ、この熱交換器３３により冷却された冷却液Ｗは、供給口４に送られる。
【００３４】
よって、このような本実施形態に係る冷却装置１によれば、基本形態として、規格化されたラックＲにマウントできるように構成したキャビネット３を有するため、電子顕微鏡Ｍｏ等の光学機器や精密機器等の被冷却装置Ｍに併設するラックＲに、この被冷却装置Ｍに付属する操作機器Ｍａや計測機器Ｍｂ等の付属モジュールと一緒にマウントでき、いわば被冷却装置Ｍに対して一体化することができる。したがって、設置スペースの別途の確保が不要となり、設備のスペース効率向上を図れるとともに、設置スペースの確保が困難な狭い場所でも容易に設置することができる。また、被冷却装置Ｍに対する近接位置に設置することができるため、冷却装置１と被冷却装置Ｍを配管で接続する際に最短距離で行うことができ、配管接続系のシンプル化及び無用な冷却能力の低下を回避することができる。
【００３５】
次に、本発明の変更実施形態に係る冷却装置１について、図９〜図１１を参照して説明する。
【００３６】
図９に示す変更実施形態は、前面パネル３ｆの一部にヒンジ部６１を介して開閉する開閉カバー６２を設け、この開閉カバー６２の内側に、供給口４及び取込口５を配設したものである。したがって、開閉カバー６２の内方には、供給口４及び取込口５を配設する配設空間６３が設けられる。これにより、被冷却装置Ｍに対する前面側からの接続も容易に行うことができ、利便性を高めることができる。
【００３７】
また、図１０に示す変更実施形態は、張出部１２ｒの形態を異ならせたものである。前述の張出部１２ｒは、ドレンパン１２に対して連続して一体形成した場合を示したが、変更実施形態では、張出部１２ｒをドレンパン本体１２ｍに対して別体に形成し、ドレンパン本体１２ｍの後上端に取付けたものである。この場合、張出部１２ｒは、ドレンパン本体１２ｍに対して着脱式とすることができ、必要に応じて装着することができる。したがって、抜取口４５はドレンパン本体１２ｍの後側面に設ける。
【００３８】
さらに、図１１に示す変更実施形態は、ドレンパン１２の底面部１２ｄを前上がりに傾斜させるとともに、ドレンパン１２の後側面に設けた抜取口４５に、ドレン配管６４を接続したものである。これにより、ドレンパン１２上の液体は、ドレンパン１２の後端に集められ、抜取口４５及びドレン配管６４を介して外部に排出される。図１１は、張出部１２ｒの無いドレンパン１２を例示するが、勿論、張出部１２ｒ付のドレンパン１２であってもよい。なお、図９〜図１１において、図１〜図７と同一部分には同一符号を付してその構成を明確にするとともに、その詳細な説明は省略する。
【００３９】
以上、最良の実施形態（変更実施形態）について詳細に説明したが、本発明は、このような実施形態に限定されるものではなく、細部の構成，形状，素材，数量等において、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更，追加，削除することができる。例えば、実施例は、規格化されたラックＲとして、１９インチ型ラックを例示したが、他の任意タイプの規格化されたラックＲに適用できる。なお、規格とは、ＪＩＳ等の公的な規格のみならず一部の企業が社内規格として採用する規格等も含む概念である。また、ラックＲにマウントするための取付部１１ｐ，１１ｑを左右両側に有する前面パネル３ｆを用いた場合を示したが、この取付部１１ｐ，１１ｑ…は、キャビネット３の底面に有し、前述した支持レールＦｒｐ，Ｆｒｑに固定するタイプであってもよいし、取付部１１ｐ，１１ｑ…が無いタイプであってもよい。さらに、被冷却装置Ｍは、例示した電子顕微鏡Ｍｏ等の光学装置をはじめ、ＭＲＩ等の医療機器やレーザ加工機等の産業機器など、冷却装置１を接続可能な各種の被冷却装置Ｍを適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の最良の実施形態に係る冷却装置におけるキャビネット内部の平面構成図、
【図２】同冷却装置の側面図、
【図３】同冷却装置の斜視図、
【図４】同冷却装置をラックに取付けた状態を示す正面図、
【図５】同冷却装置の冷却回路図、
【図６】同冷却装置をラックにマウントする際における取付方法の説明図、
【図７】同冷却装置をラックにマウントした状態の説明図、
【図８】同冷却装置における送液ポンプの取付構造図、
【図９】本発明の変更実施形態に係る冷却装置の一部を示す側面図、
【図１０】本発明の他の変更実施形態に係る冷却装置の一部断面側面図、
【図１１】本発明の他の変更実施形態に係る冷却装置の一部断面側面図、
【符号の説明】
【００４１】
１    冷却装置
２    冷却部
３    キャビネット
３ｆ  前面パネル
３ｄ  キャビネットの底部
４    供給口
５    取込口
６    冷却液タンク
７    送液ポンプ
１１ｐ  取付部
１１ｑ  取付部
１２    ドレンパン
１２ｒ  張出部
１３    液体検出手段
１４    報知手段
１５ａ  防振手段
１５ｂ  防振手段
１５ｃ  防振手段
Ｗ    冷却液
Ｍ    被冷却装置
Ｒ    ラック
【図１】
2006234202.tif 000003
【図２】
2006234202.tif 000004
【図３】
2006234202.tif 000005
【図４】
2006234202.tif 000006
【図５】
2006234202.tif 000007
【図６】
2006234202.tif 000008
【図７】
2006234202.tif 000009
【図８】
2006234202.tif 000010
【図９】
2006234202.tif 000011
【図１０】
2006234202.tif 000012
【図１１】
2006234202.tif 000013