(57)【要約】【課題】振動体に効率的な振動を発生させ、効果的に気体に振動を与えることができる振動装置、この振動装置を搭載した噴流発生装置、及びこの噴流発生装置を搭載した電子機器を提供すること。【解決手段】噴流発生装置１０は、フレーム４と、フレーム４に装着されたアクチュエータ５と、弾性支持部材６によってフレーム４に支持された振動体３とを有する振動装置１５を備えている。振動体３は、例えば円形状の振動板３ａの周縁部に側板３ｂが形成されて構成されている。振動体３が振動することにより、チャンバ１１ａ及び１１ｂ内の空気に振動を与え、ノズル２ａ及び２ｂを介して交互に気体を吐出させることができる。【選択図】図２
2006320887.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置であって、
フレームと、
振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、
前記振動体を駆動する駆動部と
を具備することを特徴とする振動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有することを特徴とする振動装置。
【請求項３】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記側板に穴を有することを特徴とする振動装置。
【請求項４】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記振動板と前記側板との間に接続されるリブ部材を有することを特徴とする振動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記リブ部材に穴を有することを特徴とする振動装置。
【請求項６】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動体は、樹脂、紙、または金属でなることを特徴とする振動装置。
【請求項７】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記面は、円形、楕円形、多角形、または角円形でなることを特徴とする振動装置。
【請求項８】
請求項２に記載の振動装置であって、
前記側板は、前記振動板の前記振動方向の一側に立設され、
前記駆動部は、前記振動体を振動させるための前記一側に配置されたアクチュエータを有することを特徴とする振動装置。
【請求項９】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動板は、該振動板の前記振動方向の一側に向けて徐々に径が広がるコーン形状でなり、
前記駆動部は、前記振動体を振動させるための前記一側に配置されたアクチュエータを有することを特徴とする振動装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記一側とは反対側に向けて立設された側板を有することを特徴とする振動装置。
【請求項１１】
請求項２に記載の振動装置であって、
前記フレームは、前記側板を摺動可能に支持することを特徴とする振動装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の振動装置であって、
前記フレームは、前記フレームと側板との間に設けられた隙間または潤滑剤により前記側板を摺動可能に支持することを特徴とする振動装置。
【請求項１３】
請求項２に記載の振動装置であって、
前記振動体は、
前記フレームにより摺動可能に支持される前記振動板の周縁部と、
前記フレームにより摺動可能に支持され、前記側板から突出する突出部と
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項１４】
請求項２に記載の振動装置であって、
前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第１の弾性支持部材と、
ほぼ前記振動方向で前記第１の弾性支持部材と並ぶように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第２の弾性支持部材と
をさらに具備することを特徴とする振動装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の振動装置であって、
前記側板は、
前記第１の弾性支持部材が接続された第１の端部と、
前記第１の端部と前記振動方向で反対側に設けられ、前記第２の弾性支持部材が接続された前記第２の端部とを有することを特徴とする振動装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載の振動装置であって、
前記第２の弾性支持部材は、複数の板バネ、または複数のワイヤであることを特徴とする振動装置。
【請求項１７】
請求項１４に記載の振動装置であって、
前記第１及び第２の弾性支持部材は、同じ材料でなることを特徴とする振動装置。
【請求項１８】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記振動体との間に配置され、前記振動体を支持するベローズ状の第１の弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。
【請求項１９】
請求項１８に記載の振動装置であって、
前記振動体は、
前記振動板に設けられ、前記第１の弾性支持部材が接続された側板を有し、
当該振動装置は、
前記振動方向で前記第１の弾性支持部材と並ぶように、かつ、前記第１の弾性支持部材とは前記振動体の振動方向でほぼ対称形状となるように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持するベローズ状の第２の弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の振動装置であって、
前記振動板は、該振動板の振動方向の一側に向かうにしたがって径が広がるコーン形状でなり、
前記駆動部は、前記振動体を振動させるための前記一側に配置されたアクチュエータを有することを特徴とする振動装置。
【請求項２１】
請求項１８に記載の振動装置であって、
前記第１の弾性支持部材は、
前記振動体側に配置された１つの谷部と、
前記フレーム側に配置された１つの山部とで構成され、
前記駆動部は、
前記振動体を振動させるためのアクチュエータと、
前記第１の弾性支持部材の近傍の空中を通過するように前記アクチュエータに接続された給電線と
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項２２】
請求項１８に記載の振動装置であって、
前記振動板の前記面の面積は、該振動板の前記面にほぼ平行な面内の部分であって前記第１の弾性支持部材が前記フレームに接する箇所で囲まれる部分の面積の７０パーセント以下であることを特徴とする振動装置。
【請求項２３】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動体は、
該振動板と同じ材料でなり、前記振動板の周囲であって前記フレームに装着されることで該振動板を支持する弾性支持部を有することを特徴とする振動装置。
【請求項２４】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、
マグネットと、
前記気体を流通させるための流通口を有し、前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、
前記ボビンに巻回されたコイルと
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項２５】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動板は、そのほぼ中央に前記振動方向で貫通する穴部を有し、
前記駆動部は、
前記穴部に装着されたコイルと、
前記コイルに囲まれるように前記穴部付近に配置された平板状のヨークと、
前記ヨークを挟み込むように設けられた少なくとも２つのマグネットと
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項２６】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、
前記振動体の周縁部に巻回されたコイルと、
前記振動方向で貫通し前記コイルを囲むように設けられた穴部を有する平板状のヨークと、
前記フレームの外側に設けられ、前記ヨークを挟み込むように設けられた少なくとも２つのマグネットと
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項２７】
請求項２６に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有し、
当該振動装置は、
前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第１の弾性支持部材と、
前記振動板の振動方向で前記第１の弾性支持部材と対称形状をなす第２の弾性支持部材であって、前記ヨークが前記第１及び第２の弾性支持部材の間に配置されるように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第２の弾性支持部材と
をさらに具備することを特徴とする振動装置。
【請求項２８】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、
前記振動板に装着された複数の平面コイルと、
前記平面コイルごとに対面するように前記フレームに装着された複数のマグネットと
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項２９】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、残留磁束密度が０．３〜３．０Ｔのマグネットを有するアクチュエータを有することを特徴とする振動装置。
【請求項３０】
請求項２８に記載の振動装置であって、
前記マグネットは、ネオジウム磁石であることを特徴とする振動装置。
【請求項３１】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、
前記フレームに装着された端子台と、
コイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータと、
前記端子台と前記コイルとの間に接続された給電線と
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項３２】
請求項３１に記載の振動装置であって、
前記給電線は、その最小曲げ半径が、当該給電線の太さのほぼ５倍でなることを特徴とする振動装置。
【請求項３３】
請求項３１に記載の振動装置であって、
前記給電線は、縒りがかけられていることを特徴とする振動装置。
【請求項３４】
請求項３１に記載の振動装置であって、
前記アクチュエータは、前記振動板の前記振動方向の一側に配置され、
前記給電線は、前記振動板の前記一側の反対側に延びていることを特徴とする振動装置。
【請求項３５】
請求項３４に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記一側に立設された側板を有することを特徴とする振動装置。
【請求項３６】
請求項３１に記載の振動装置であって、
前記振動体は、貫通孔を有する側板を有し、
当該振動装置は、
前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第１の弾性支持部材と、
ほぼ前記振動方向で前記第１の弾性支持部材と並ぶように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第２の弾性支持部材とをさらに具備し、
前記給電線は、前記貫通孔に挿通されるとともに前記第１及び第２の弾性支持部材の間を通過するように配置されていることを特徴とする振動装置。
【請求項３７】
請求項３１に記載の振動装置であって、
前記給電線の太さは０．４ｍｍ以上であることを特徴とする振動装置。
【請求項３８】
請求項３１に記載の振動装置であって、
前記給電線の長手方向に垂直な断面が扁平状あることを特徴とする振動装置。
【請求項３９】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、
前記フレームに装着された端子台と、
コイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータとを有し、
前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有し、
当該振動装置は、
前記アクチュエータに給電可能な導電性材料でなり、前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。
【請求項４０】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、
コイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータと、
前記コイルに接続され、最小曲げ半径が当該給電線の太さのほぼ５倍でなる給電線と
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項４１】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記フレームは、前記気体を流通させるための流通口を有することを特徴とする振動装置。
【請求項４２】
請求項２に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記側板の前記振動方向の両端に接続された第１及び第２の振動板を有する筒状でなり、
前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのアクチュエータを前記筒状の振動体の内部に有することを特徴とする振動装置。
【請求項４３】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのアクチュエータを有し、
前記振動体は、
前記アクチュエータに接続された第１の振動板と、
ほぼ前記振動方向で前記第１の振動板と配列され、前記アクチュエータの駆動により前記第１の振動板が振動するときに発生する前記気体の圧力変化により、前記第１の振動板と同期して振動する第２の振動板と
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項４４】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、コイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータを有し、
前記フレームの少なくとも一部が、前記アクチュエータの磁気回路を構成するための磁性体でなることを特徴とする振動装置。
【請求項４５】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動体を支持する弾性支持部材をさらに具備し、
前記フレームは、前記弾性支持部材が装着され、前記面内で平板状の外形を有することを特徴とする振動装置。
【請求項４６】
請求項４５に記載の振動装置であって、
前記筐体は樹脂でなり、
前記フレームは、前記筐体より剛性の高い材料でなることを特徴とする振動装置。
【請求項４７】
請求項４５に記載の振動装置であって、
前記フレームは金属でなることを特徴とする振動装置。
【請求項４８】
請求項４５に記載の振動装置であって、
前記筐体に装着されるとともに前記フレームを覆うように形成され、前記振動体を振動可能に支持する弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。
【請求項４９】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記フレームに装着されるとともに前記振動体を覆うように形成され、前記振動体を振動可能に支持する弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。
【請求項５０】
請求項４９に記載の振動装置であって、
前記弾性支持部材は、前記フレームを覆うように形成されていることを特徴とする振動装置。
【請求項５１】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、
長手方向にほぼ垂直な断面が多角形でなる電線を有し、前記電線が巻回されて構成されたコイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータを有することを特徴とする振動装置。
【請求項５２】
請求項５１に記載の振動装置であって、
前記コイルは、偶数の層に巻回されてなることを特徴とする振動装置。
【請求項５３】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、偶数の層に巻回されてなるコイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータを有することを特徴とする振動装置。
【請求項５４】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、
前記振動体に装着されたマグネットと、
通電により磁界を発生することで、前記マグネットが装着された前記振動体を振動させるコイルと
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項５５】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記コイルは、前記筐体外に配置されていることを特徴とする振動装置。
【請求項５６】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記駆動部は、
前記振動体を前記面内で回転させるための動力を、前記振動体に与える動力源と、
前記振動体を前記振動方向に振動させるように、前記動力源により回転する前記振動体の動きを変換する変換機構と
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項５７】
請求項５６に記載の振動装置であって、
前記動力源は、
コイルと、
前記振動体に装着されたマグネットと
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項５８】
請求項５６に記載の振動装置であって、
前記変換機構はネジ機構またはカム機構でなることを特徴とする振動装置。
【請求項５９】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動体は、バイモルフ型の圧電アクチュエータであることを特徴とする振動装置。
【請求項６０】
請求項１に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記面内における端部を有し、
前記駆動部は、
前記振動体の前記端部に装着されたコイルと、
前記コイルに駆動力を与えるための磁気回路を構成する複数の磁気回路構成部材と
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項６１】
請求項６０に記載の振動装置であって、
前記磁気回路構成部材は、
前記振動方向に立設され、前記コイルが周囲に配置された第１の壁と、前記第１の壁に対面する第２の壁とを有する第１のヨークと、
前記第１の壁と前記第２の壁との間で、前記第１及び第２の壁の両方に対面するように配置された板状の第２のヨークと、
前記第１の壁と前記第２のヨークとの間に挟まれ、前記第１の壁から前記第２のヨークへ向かう方向に着磁されたマグネットと
を有することを特徴とする振動装置。
【請求項６２】
フレームと、
振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、
開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、
前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部と
を具備することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項６３】
請求項６２に記載の振動装置であって、
前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有することを特徴とする振動装置。
【請求項６４】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体の一部は、前記フレームで構成されることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項６５】
請求項６４に記載の噴流発生装置であって、
前記フレームは金属でなることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項６６】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、樹脂、ゴム、金属、磁性材料またはセラミックスでなることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項６７】
請求項６２に記載の振動装置であって、
前記筐体は、前記振動板の前記面とほぼ平行であって、当該面と相似形の面を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項６８】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記駆動部は、
前記筐体に装着された端子台と、
コイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータと、
前記端子台と前記コイルとの間に接続された給電線と
を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項６９】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記フレームは、前記開口に対面する前記気体を流通させるための流通口を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７０】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、前記開口を少なくとも２つ有するとともに、前記振動板の前記振動方向の一側とその反対側で前記各開口にそれぞれ連通するように設けられた少なくとも２つのチャンバを内部に有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７１】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記開口に連通する前記気体の流路を有し、前記筐体に装着されたノズル体をさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７２】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記駆動部は、
電磁駆動を用いたアクチュエータと、
前記筐体に取り付けられ、前記アクチュエータを動かすための電気信号を生成する回路基板と
を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７３】
請求項７２に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、前記面とは異なる角度の面を有し、
前記回路基板は、前記異なる角度の面に取り付けられていることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７４】
請求項７２に記載の噴流発生装置であって、
前記回路基板は、前記筐体の一部を構成することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７５】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、
前記筐体内で前記振動体の振動方向に該振動体により分離され、前記気体が含まれる第１及び第２のチャンバと、
前記第１及び第２のチャンバのうち少なくとも一方側に配置された磁性体でなる板と
を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７６】
請求項７５に記載の噴流発生装置であって、
前記板は、金属でなり、前記筐体の一部を構成することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７７】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、
作業用の開口と、
前記作業用の開口に装着された蓋と
を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７８】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、その一部が可視光を透過する材料でなることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項７９】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記噴流発生装置が電子機器に固定されるための固定機構をさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８０】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、第１の面と、第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間をつなぐ曲面とを有する外面を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８１】
請求項６２に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、前記開口を複数有するとともに、
前記各開口のうち第１の開口面を有する第１の開口と、
前記第１の開口面とは異なる角度の第２の開口面を有する第２の開口と
を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８２】
請求項８１に記載の噴流発生装置であって、
前記第１の開口面及び前記第２の開口面は、ほぼ直交するように配置されていることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８３】
請求項８１に記載の噴流発生装置であって、
前記第１の開口面及び前記第２の開口面は、ほぼ平行に配置されていることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８４】
すべてがほぼ同じ方向に振動する複数の振動体と、
複数の開口と、前記各振動体がそれぞれ配置されるとともに前記振動体の振動方向ほぼ垂直な面内で並ぶように配置され前記各開口にそれぞれ連通する複数のチャンバとを有し、前記各チャンバに気体が含まれた筐体と、
前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記各開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部と
を具備することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８５】
請求項８４に記載の噴流発生装置であって、
前記各開口にそれぞれ連通する複数の前記気体の流路を有し、前記各流路を一体的に形成するノズル体をさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８６】
請求項８４に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが嵌め込まれる穴を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８７】
請求項８４に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが当接する段差、溝、または凹部を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８８】
請求項８４に記載の噴流発生装置であって、
前記駆動部は、磁気回路を構成する磁気回路構成部材を有する電磁駆動を用いたアクチュエータを有し、
前記磁気回路構成部材は、前記筐体から前記振動方向へ該筐体の外部に突出するように設けられていることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項８９】
振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、
開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、
前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部と
を具備することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項９０】
請求項８９に記載の噴流発生装置であって、
前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項９１】
請求項８９に記載の噴流発生装置であって、
前記駆動部は、磁気回路を有する電磁駆動を用いたアクチュエータを有し、
前記筐体の少なくとも一部が、前記磁気回路を構成するための磁性体でなることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項９２】
フレームと、
振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、
開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、
マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに巻回されたコイルとを有し、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部と
を具備することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項９３】
発熱体と、
フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた第１の筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを有する噴流発生装置と、
前記発熱体と前記噴流発生装置を保持可能な第２の筐体と
を具備することを特徴とする電子機器。
【請求項９４】
請求項９３に記載の電子機器であって、
前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有することを特徴とする電子機器。
【請求項９５】
請求項９３に記載の電子機器であって、
前記第２の筐体の一部は、前記第１の筐体の一部で構成されることを特徴とする電子機器。
【請求項９６】
請求項９３に記載の電子機器であって、
前記第２の筐体は、前記開口を介して前記気体が吐出されるときに、外部の気体を導入する導入口を有することを特徴とする電子機器。
【請求項９７】
請求項９６に記載の電子機器であって、
前記第２の筐体は、
前記第１の筐体が載置され、前記開口付近に前記導入口が配置される底部を有することを特徴とする電子機器。
【請求項９８】
請求項９７に記載の電子機器であって、
前記第２の筐体の外部であって前記底部に設けられたスペーサをさらに具備することを特徴とする電子機器。
【請求項９９】
請求項９６に記載の電子機器であって、
前記第２の筐体は、
前記発熱体の、前記第１の筐体の前記開口が配置される反対側に配置され、前記導入口から導入されるとともに前記開口を介して吐出された気体と合成された気体を、前記発熱体を通過させて排出する排出口を有することを特徴とする電子機器。
【請求項１００】
請求項９３に記載の電子機器であって、
前記噴流発生装置を複数備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１０１】
請求項１００に記載の電子機器であって、
前記噴流発生装置は、前記各振動板の振動方向がほぼ揃うように、かつ、該振動方向にほぼ垂直な面内で並列されていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０２】
発熱体と、
振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた第１の筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを有する噴流発生装置と、
前記発熱体と前記噴流発生装置とを保持可能な第２の筐体と
を具備することを特徴とする電子機器。
【請求項１０３】
発熱体と、
フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた第１の筐体と、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに巻回されたコイルとを有し、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを有する噴流発生装置と、
前記発熱体と前記噴流発生装置とを保持可能な第２の筐体と
を具備することを特徴とする電子機器。
【請求項１０４】
第１の発熱体と、
前記第１の発熱体に向けて第１の方向に第１の気体を脈流として吐出する第１の噴流発生器と、
第２の発熱体と、
前記第２の発熱体に向けて第１の方向とは異なる第２の方向に第２の気体を脈流として吐出する第２の噴流発生器と
を具備することを特徴とする電子機器。
【請求項１０５】
請求項１０４に記載の電子機器であって、
前記第１の方向と前記第２の方向とはほぼ９０度異なることを特徴とする電子機器。
【請求項１０６】
請求項１０５に記載の電子機器であって、
前記第１及び第２の発熱体は同じ構造を有することを特徴とする電子機器。
【請求項１０７】
請求項１０５に記載の電子機器であって、
前記第１及び第２の噴流発生器は同じ構造を有することを特徴とする電子機器。
【請求項１０８】
請求項１０５に記載の電子機器であって、
前記第１の方向における前記第１の発熱体の長さと、前記第１の方向における前記第１の噴流発生器の長さとを足した長さが、前記第２の噴流発生器の第１の方向における長さとほぼ等しいことを特徴とする電子機器。
【請求項１０９】
筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置の製造方法であって、
前記筐体に取り付けられるフレームを所定の位置に配置する工程と、
前記所定の位置に配置されたフレームと、前記気体を振動させる振動体を支持するための弾性支持部材とを一体成型する工程と
を具備することを特徴とする振動装置の製造方法。
【請求項１１０】
請求項１０９に記載の電子機器であって、
前記振動体と前記弾性支持部材とを一体成型する工程をさらに具備することを特徴とする振動装置の製造方法。
【請求項１１１】
筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置の製造方法であって、
前記気体を振動させる振動体を所定の位置に配置する工程と、
前記所定の位置に配置された振動体と、前記振動体を支持するための弾性支持部材とを一体成型する工程と
を具備することを特徴とする振動装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体の噴流を発生させるために気体に振動を与えるための振動装置、この振動装置を搭載した噴流発生装置、この噴流発生装置を搭載した電子機器及び振動装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ＰＣ（Personal Computer）の高性能化に伴うＩＣ（Integrated Circuit）等の発熱体からの発熱量の増大が問題となっており、様々な放熱の技術が提案され、あるいは製品化されている。その放熱方法として、例えばＩＣにアルミなどの金属でなる放熱用のフィンを接触させて、ＩＣからの熱をフィンに伝導させて放熱する方法がある。また、ファンを用いることにより、例えばＰＣの筐体内の温まった空気を強制的に排除し、周囲の低温の空気を発熱体周辺に導入することで放熱する方法もある。あるいは放熱フィンとファンとを併用することにより、放熱フィンで発熱体と空気の接触面積を大きくしつつ、ファンにより放熱フィンの周囲の暖まった空気を強制的に排除する方法もある。
【０００３】
しかしながら、このようなファンによる空気の強制対流では、放熱フィンの下流側でフィン表面の温度境界層が生起され、放熱フィンからの熱を効率的に奪えないという問題がある。このような問題を解決するためには、例えばファンの風速を上げて温度境界層を薄くすることが挙げられる。しかし、風速を上げるためにファンの回転数を増加させることにより、ファンの軸受け部分からの騒音や、ファンからの風が引き起こす風切り音などによる騒音が発生するという問題がある。
【０００４】
一方、送風手段としてファンを用いずに、上記温度境界層を破壊し、放熱フィンからの熱を効率よく外気に逃がす方法として、周期的に往復運動する振動板を用いる方法がある（例えば特許文献１、２、３、４参照）。これらの装置のうち、特に特許文献３及び４の装置は、チャンバ内を空間的に概略二分する振動板と、振動板を支持しチャンバに設けられた弾性体と、振動板を振動させる手段とを備えている。これらの装置では、例えば振動板が上方向に変位したときには、チャンバの上部空間の体積が減少するため、上部空間の圧力が上昇する。上部空間は吸排気口を通じて外気と連通しているため、上部空間の圧力上昇によって、その内部の空気の一部が外気中に放出される。一方このとき、振動板を挟んで上部空間と反対側にある下部空間の体積は逆に増加するため、下部空間の圧力が下降する。下部空間は吸排気口を通じて外気と連通しているため、下部空間の圧力減少によって、吸排気口近傍にある外気の一部が下部空間内部に引き込まれる。これとは逆に、振動板が下方向に変位したときには、チャンバの上部空間の体積が増加するため、上部空間の圧力が下降する。上部空間は吸排気口を通じて外気と連通しているため、上部空間の圧力下降によって、吸排気口近傍にある外気の一部が上部空間内部に引き込まれる。一方このとき、振動板を挟んで上部空間と反対側にある下部空間の体積は逆に減少するため、下部空間の圧力は上昇する。下部空間の圧力上昇によって、その内部の空気の一部が外気中に放出される。振動板の駆動は例えば電磁駆動方式が用いられる。このように、振動板を往復運動させることによって、チャンバ内の空気が外気に排出される動作と、外気がチャンバ内に吸気される動作が周期的に繰り返される。このような、振動板の周期的な往復運動によって誘起される空気の脈流が放熱フィン（ヒートシンク）等の発熱体に吹き付けられることにより、放熱フィンの表面にある温度境界層が効率よく破壊され、結果的に放熱フィンが効率良く冷却される。
【特許文献１】特開２０００−２２３８７１号公報（図２）
【特許文献２】特開２０００−１１４７６０号公報（図１）
【特許文献３】特開平２−２１３２００号公報（第１図、第３図）
【特許文献４】特開平３−１１６９６１号公報（第３図、第８図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、発熱体の発熱量が多い場合には、さらに冷却能力の高い、つまり、気体の噴出量の多いデバイスが要求される。特に、ＣＰＵ（Central Processing Unit）の発熱量は年々増え続けているので、これを効率良く冷却する必要がある。一方、気体噴出量を多くするためには、振動板の振幅を大きくすればよい。しかし、振幅を大きくすると、振動板に撓みが発生し、効果的に気体に振動を与えることができない上、余分なノイズが発生して騒音の原因になるおそれがある。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、振動体に効率的な振動を発生させ、効果的に気体に振動を与えることができる振動装置、この振動装置を搭載した噴流発生装置、及びこの噴流発生装置を搭載した電子機器を提供することにある。
【０００７】
本発明の別の目的は、薄型化または小型化を実現することができる振動装置、噴流発生装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係る振動装置は、筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置であって、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、前記振動体を駆動する駆動部とを具備する。
【０００９】
駆動部の駆動方式としては、例えば電磁作用、圧電作用または静電作用を利用することができる。
【００１０】
気体は、例えば空気が挙げられるが、これに限らず、窒素、ヘリウムガス、あるいはアルゴンガス、その他の気体であってもよい。
【００１１】
本発明において、前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有する。これにより、振動体の剛性が高まり、振動板の撓みを抑制して効果的に気体に振動を与えることができる。また、振動板自体を高剛性にするのではなく、側板が形成されることで振動体全体で高剛性を達成し、振動体の重量は重くならない。
【００１２】
側板は、後述するように振動板の面に対しほぼ垂直に設けられていてもよいし、あるいは垂直でなくてもよい。側板は、例えば連続的または断続的に振動板に接続されるように設けられていればよい。すなわち、断続的な場合、側板は複数設けられることになる。側板は、振動板の周囲、またはそれより内側に設けることができる。
【００１３】
本発明において、前記振動体は、前記側板に穴を有する。これにより、振動体の剛性を維持しつつ振動体を軽量化することができる。これにより、低消費電力化が図れる。
【００１４】
本発明において、前記振動体は、前記振動板と前記側板との間に接続されるリブ部材を有する。これにより、さらに振動体の剛性を高めることができる。
【００１５】
本発明において、前記振動体は、前記リブ部材に穴を有する。これにより、振動体の剛性を維持しつつ振動体を軽量化することができる。
【００１６】
本発明において、前記振動体は、樹脂、紙、または金属でなる。特に、振動体が紙でなることにより、非常に軽量化される。軽量化しても振動体は側板を有して高剛性であるので問題ない。
【００１７】
本発明において、例えば前記面は、円形、楕円形、多角形、または角円形でなる。角円形とは、直線と曲線とで囲まれた領域の形であり、例えば角が円形の多角形等が挙げられる。
【００１８】
本発明において、前記側板は、前記振動板の前記振動方向の一側に立設され、前記駆動部は、前記振動体を振動させるための前記一側に配置されたアクチュエータを有する。これにより、アクチュエータは側板に囲まれるように配置されるので、振動装置を薄型化することができる。
【００１９】
本発明において、前記振動板は、該振動板の前記振動方向の一側に向けて徐々に径が広がるコーン形状でなり、前記駆動部は、前記振動体を振動させるための前記一側に配置されたアクチュエータを有する。これにより、コーン形状の内側にアクチュエータが配置されるので、振動装置を薄型化することができる。この場合、前記振動体は、前記一側とは反対側に向けて立設された側板を有していれば、当該一側に立設されている場合に比べ振動装置の薄型化に寄与する。
【００２０】
本発明において、前記フレームは、前記側板を摺動可能に支持する。このように、側板があることで、フレームがシリンダ、振動体がピストンであるかのように構成することができる。また、側板がフレームに摺動して接することにより、振動体の横振れ等を抑制し安定して振動させることができる。例えば摺動可能となるようにフレームと側板との接触部分に表面処理を施すことができる。
【００２１】
本発明において、前記フレームは、前記フレームと側板との間に設けられた隙間または潤滑剤により前記側板を摺動可能に支持する。これにより、振動体がスムーズに振動できるようなる。
【００２２】
本発明において、前記振動体は、前記フレームにより摺動可能に支持される前記振動板の周縁部と、前記フレームにより摺動可能に支持され、前記側板から突出する突出部とを有する。これにより、側板全体がフレームに接する場合に比べ、摩擦抵抗を小さくでき消費電力を低下させ、騒音も抑制することができる。
【００２３】
本発明において、当該振動装置は、前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第１の弾性支持部材と、ほぼ前記振動方向で前記第１の弾性支持部材と並ぶように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第２の弾性支持部材とをさらに具備する。このように振動の方向に配列された第１及び第２の弾性支持部材とによって側板が支持されることにより、振動体の横振れを防止して安定した振動を得ることができる。第２の弾性支持部材は、振動板の振動方向の一側からその反対側へ気体が流通しないような機能を有していてもよいし、有していなくてもよい。
【００２４】
特に、前記側板は、前記第１の弾性支持部材が接続された第１の端部と、前記第１の端部と前記振動方向で反対側に設けられ、前記第２の弾性支持部材が接続された前記第２の端部とを有していればよい。つまり、第１と第２の弾性支持部材間の距離を極力大きくすれば、より安定した振動が得られる。
【００２５】
本発明において、前記第２の弾性支持部材は、複数の板バネである。または複数のワイヤである。このような比較的細い部材で第２の弾性支持部材が構成されることにより、振動体の横振れを防止しつつ、振動方向の本来の振れの抵抗を小さくすることができる。
【００２６】
本発明において、前記第１及び第２の弾性支持部材は、同じ材料でなる。第１及び第２の弾性支持部材は、材料だけではなく形状がほぼ同じであってもよい。
【００２７】
本発明において、当該振動装置は、前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記振動体との間に配置され、前記振動体を支持するベローズ状の第１の弾性支持部材をさらに具備する。ベローズ状の弾性支持部材の山部と谷部はそれぞれ複数設けられていてもよい。
【００２８】
本発明において、前記振動体は、前記振動板に設けられ、前記第１の弾性支持部材が接続された側板を有し、当該振動装置は、前記振動方向で前記第１の弾性支持部材と並ぶように、かつ、前記第１の弾性支持部材とは前記振動体の振動方向でほぼ対称形状となるように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持するベローズ状の第２の弾性支持部材をさらに具備する。特に、弾性支持部材がベローズ状でなる場合、各弾性支持部材の山部と山部とを対面させ、谷部と谷部とを対面させる場合、つまり対称形状でない場合、振動体の中立点からの両側の振幅が異なり、効率的な振動が得られないおそれがある。すなわち、各弾性支持部材が対称形状に配置されることにより、振動体が振動していないときの振動体の中立点からの両側の振幅が同じになり、効率的な振動が得られる。
【００２９】
本発明において、前記第１の弾性支持部材は、前記振動体側に配置された１つの谷部と、前記フレーム側に配置された１つの山部とで構成され、前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのアクチュエータと、前記第１の弾性支持部材の近傍の空中を通過するように前記アクチュエータに接続された給電線とを有する。第１の弾性支持部材は、外側であるフレーム側の方が振幅が小さく、内側である振動体側の方が振幅が大きくなる。したがって、振幅が大きい振動体側に谷部が配置されることにより、振動に伴って給電線が動くスペースが広くなり、つまり給電線の動きの自由度が高まり断線を防止できる。
【００３０】
本発明において、前記振動板の前記面の面積は、該振動板の前記面にほぼ平行な面内の部分であって前記第１の弾性支持部材が前記フレームに接する箇所で囲まれる部分の面積の７０パーセント以下である。７０パーセントを超えると、振動体の振動の抵抗が大きくなり、また、騒音が大きくなる可能性がある。好ましくは、６０パーセント以下がよい。
【００３１】
本発明において、前記振動体は、該振動板と同じ材料でなり、前記振動板の周囲であって前記フレームに装着されることで該振動板を支持する弾性支持部を有する。弾性支持部が振動体に一体成型されることにより、振動体の製造が容易になる。
【００３２】
本発明において、前記駆動部は、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し、前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに巻回されたコイルとを有する。つまり、駆動部はボイスコイルを有する。本発明では、ボビンが動くことにより、ボビンとマグネットとの間の空間の体積が変化する。ボビンに流通口がない場合、ボビンの内部空間の気圧変化が振動体の振動抵抗になる。しかし、本発明によれば、内部空間にある気体がその流通口を介してボビンの外側に逃げることができるので、効率よく振動させることができる。
【００３３】
本発明において、前記振動板は、そのほぼ中央に前記振動方向で貫通する穴部を有し、前記駆動部は、前記穴部に装着されたコイルと、前記コイルに囲まれるように前記穴部付近に配置された平板状のヨークと、前記前記ヨークを挟み込むように設けられた少なくとも２つのマグネットとを有する。このような構成によれば、マグネットを比較的大きいものを用いることができる。したがって磁力を大きくすることができ、振動を大きくすることができる。このような作用効果を考えると、前記振動板は、そのほぼ中央に前記振動方向で貫通する穴部を有し、前記駆動部は、前記穴部に装着されたコイルと、前記コイルに囲まれるように前記穴部付近に配置された平板状のヨークと、前記前記ヨークを挟み込むように設けられた少なくとも２つのマグネットとを有していてもよい。
【００３４】
本発明において、前記駆動部は、残留磁束密度が０．３〜３．０Ｔのマグネットを有するアクチュエータを有する。０．３Ｔ以上としたのは、例えば振動装置を小型化し、マグネットも小型化した場合であっても、所望の磁束密度を得るためである。また、３．０Ｔ以上となると高価になるからである。例えば前記マグネットは、ネオジウム磁石である。
【００３５】
本発明において、前記駆動部は、前記フレームに装着された端子台と、前記コイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータと、前記端子台と前記コイルとの間に接続された給電線とを有する。フレームに端子台があることにより、断線を予防するとともに、振動装置を搭載する噴流発生装置の製造時の配線が容易になる。
【００３６】
本発明において、給電線は、その最小曲げ半径が、当該給電線の太さのほぼ５倍でなる。これにより、振動体の振動による給電線の断線を防止することができる。５倍より小さいと、その曲げ部に応力が集中して断線しやすくなるからである。「最小曲げ半径」とは、その給電線の中で曲げ半径が最小となる部分の、当該曲げ半径である。
【００３７】
本発明において、前記給電線は、縒りがかけられている。これにより、断線を防止することができる。このような給電線として、例えばロボットケーブル等が用いられる。
【００３８】
本発明において、前記アクチュエータは、前記振動板の前記振動方向の一側に配置され、前記給電線は、前記振動板の前記一側の反対側に延びている。上記のように、曲げ半径を有する給電線の場合、本発明のように配線すれば、緩やかなカーブで配線することができる。また、アクチュエータの反対側には、チャンバの空間があるだけなので、配線しやすいというメリットがある。
【００３９】
本発明において、前記振動体は、貫通孔を有する側板を有し、当該振動装置は、前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第１の弾性支持部材と、ほぼ前記振動方向で前記第１の弾性支持部材と並ぶように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第２の弾性支持部材とをさらに具備し、前記給電線は、前記貫通孔に挿通されるとともに前記第１及び第２の弾性支持部材の間を通過するように配置されている。これにより、薄型化を実現することができる。
【００４０】
本発明において、前記給電線の太さは０．４ｍｍ以上である。これにより、断線を防止することができる。断線を防止する観点から、給電線の太さに上限はないが、振動装置の大きさに対応して常識的な範囲内である。例えば上限は３ｍｍ以下、あるいは５ｍｍ以下である。
【００４１】
本発明において、前記給電線の長手方向に垂直な断面が扁平状ある。振動体により発生するチャンバ内の気流を考慮して適切な配線をすれば、給電線があることによる乱気流を防止でき、風切り音による騒音を抑制することができる。
【００４２】
本発明において、前記駆動部は、前記フレームに装着された端子台と、コイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータとを有し、前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有し、当該振動装置は、前記アクチュエータに給電可能な導電性材料でなり、前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する弾性支持部材をさらに具備する。これにより、極力給電線を用いずに製造することができ、断線の懸念がなくなる。
【００４３】
本発明において、前記フレームは、前記気体を流通させるための流通口を有する。これにより、フレームの内側から外側へ、振動体の振動による適切な気流を発生させることができる。
【００４４】
本発明において、前記振動体は、前記側板の前記振動方向の両端に接続された第１及び第２の振動板を有する筒状でなり、前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのアクチュエータを前記筒状の振動体の内部に有する。例えば、当該振動装置が搭載される噴流発生装置の筐体に固定された部分にアクチュエータを取り付ければ、振動体の外側はチャンバ空間があるだけである。これにより、振動体外側の筐体内の気体をスムーズかつ効率的に筐体外に噴出することができる。また、これに伴い、騒音も低減できる。あるいは、前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのアクチュエータを有し、前記振動体は、前記アクチュエータに接続された第１の振動板と、ほぼ前記振動方向で前記第１の振動板と配列され、前記アクチュエータの駆動により前記第１の振動板が振動するときに発生する前記気体の圧力変化により、前記第１の振動板と同期して振動する第２の振動板とを有する。
【００４５】
本発明において、前記駆動部は、コイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータを有し、前記フレームの一部が、前記アクチュエータの磁気回路を構成するための磁性体でなる。これにより、フレームの少なくとも一部が、磁気回路の機能を兼ねるので磁束密度を高めることができる。
【００４６】
本発明において、当該振動装置は、前記振動体を支持する弾性支持部材をさらに具備し、前記フレームは、前記弾性支持部材が装着され、前記面内で平板状の外形を有する。このような薄型のフレームが設けられることにより、振動装置及び噴流発生装置の薄型化を実現することができる。「平板状の外形」には、フレームが平板状で、かつ、その平板に振動体が取り付けられるための穴や溝等が設けられたような形状も含まれる。
【００４７】
本発明において、前記筐体は樹脂でなり、前記フレームは、前記筐体より剛性の高い材料でなる前記フレームは、前記筐体より剛性の高い材料でなる。これにより、フレームの厚さが筐体の肉厚より薄くても、必要な剛性を保つことができる。特に、フレームが金属でなる場合、十分な剛性を保つことができる。
【００４８】
本発明において、当該振動装置は、前記筐体に装着されるとともに前記フレームを覆うように形成され、前記振動体を振動可能に支持する弾性支持部材をさらに具備する。弾性支持部材とフレームとを一体成型で形成することができる。一体成型により、製造工程が少なくなることはもちろん、弾性支持部材とフレームとの位置精度、ひいては弾性支持部材と筐体との位置精度が位置精度が著しく向上する。
【００４９】
本発明において、当該振動装置は、前記フレームに装着されるとともに前記振動体を覆うように形成され、前記振動体を振動可能に支持する弾性支持部材をさらに具備する。振動体と弾性支持部材とを一体成型で形成することができる。一体成型により、製造工程が少なくなることはもちろん、弾性支持部材と振動体との位置精度が著しく向上する。この場合、前記弾性支持部材は、上述のように前記フレームを覆うように形成されていてもよい。
【００５０】
本発明において、前記駆動部は、コイルを有する電磁駆動型のアクチュエータと、長手方向にほぼ垂直な断面が多角形でなる電線を有し、前記電線が巻回されて構成されたコイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータを有する。これにより、長手方向にほぼ垂直な断面が円形の電線に比べ、その断面積の単位当りのコイルの密度を大きくすることができる。すなわち、同じ体積に多くの電線を巻くことが可能となる。これにより、同じ巻き数でも巻き高さ（コイル全体の厚さ）が減るので、コイルの薄型化を達成できる。「多角形」とは、３角形以上の角数を持つ形状を意味する。
【００５１】
本発明において、前記コイルは、偶数の層に巻回されてなる。これにより、コイルの巻き始めと巻き終わりとが同じ側にされる場合に有効である。すなわち、その場合、奇数層の場合、コイル一本分の厚さ（１層分の厚さ）が無駄になるが、偶数層であれば、そのスペースの無駄がなくなり、小型化、薄型化に寄与する。
【００５２】
本発明において、前記駆動部は、前記振動体に装着されたマグネットと、通電により磁界を発生することで、前記マグネットが装着された前記振動体を振動させるコイルとを有する。これにより、振動装置、ひいては噴流発生装置の薄型化を実現することができる。
【００５３】
本発明において、前記コイルは、前記筐体外に配置されている。コイルが筐体外に配置されることにより、振動体とコイルとが干渉することはなく、振動体の振幅を大きくすることができる。したがって気体の吐出量を増やすことができる。また、筐体内で発生する気流の抵抗が少なくなり、騒音が抑制される。コイルは筐体に装着されていてもよいし、装着されていなくてもよい。
【００５４】
本発明において、前記駆動部は、前記振動体を前記面内で回転させるための動力を、前記振動体に与える動力源と、前記振動体を前記振動方向に振動させるように、前記動力源により回転する前記振動体の動きを変換する変換機構とを有する。前記動力源は、例えば、コイルと、前記振動体に装着されたマグネットとを有する。その場合、上述したように、コイルが筐体外に配置されてもよい。前記変換機構はラック機構またはカム機構でなるが、他の機構であってもよい。
【００５５】
本発明において、前記振動体は、バイモルフ型の圧電アクチュエータである。これにより、薄型の圧電アクチュエータを実現することができる。
【００５６】
本発明において、前記振動体は、前記面内における端部を有し、前記駆動部は、前記振動体の前記端部に装着されたコイルと、前記コイルに駆動力を与えるための磁気回路を構成する複数の磁気回路構成部材とを有する。コイルの外周に磁気回路構成部材があれば、薄型化を実現することができる。例えば、前記磁気回路構成部材は、前記振動方向に立設され、前記コイルが周囲に配置された第１の壁と、前記第１の壁に対面する第２の壁とを有する第１のヨークと、前記第１の壁と前記第２の壁との間で、前記第１及び第２の壁の両方に対面するように配置された板状の第２のヨークと、前記第１の壁と前記第２のヨークとの間に挟まれ、前記第１の壁から前記第２のヨークへ向かう方向に着磁されたマグネットとを有する。
【００５７】
本発明に他の観点に係る振動装置は、筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置であって、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに巻回されたコイルとを有する駆動部とを具備する。
【００５８】
本発明によれば、内部空間にある気体がその流通口を介してボビンの外側に逃げることができるので、ボビンの内部空間の気圧変化が振動体の振動抵抗になることはなく、振動体に効率的な振動を発生させることができる。
【００５９】
本発明に係る噴流発生装置は、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。例えば、振動体が側板を有していれば、振動体の剛性が高まり、振動板の撓みを抑制して効果的に気体に振動を与えることができる。
【００６０】
本発明において、前記筐体は、前記開口を少なくとも２つ有するとともに、前記振動板の前記振動方向の一側とその反対側で前記各開口にそれぞれ連通するように設けられた少なくとも２つのチャンバを内部に有する。これにより、各開口から交互に気体が吐出されるので、各開口から吐出されるときの各音が逆位相となり弱め合うので騒音を抑制することができる。少なくとも２つのチャンバは容積が同じである場合、振動方向での装置の対称性が増すため、より静音性を向上させることができる。しかし、必ずしも当該２つのチャンバが同じである必要はない。
【００６１】
この噴流発生装置において、フレームがない場合、当該噴流発生装置は、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。つまり、本発明は、フレーム自体が筐体で構成されている。
【００６２】
本発明において、前記駆動部は、コイルを有する電磁駆動を用いたアクチュエータを有し、前記筐体の少なくとも一部が、前記アクチュエータの磁気回路を構成するための磁性体でなる。これにより、筐体の少なくとも一部が、磁気回路の機能を兼ねるので磁束密度を高めることができる。
【００６３】
本発明において、当該噴流発生装置は、前記開口に連通する前記気体の流路を有し、前記筐体に装着されたノズル体をさらに具備する。これにより、筐体が作られてからノズル体が筐体に装着されるようにすることにより、噴流発生装置の製造が容易になる。
【００６４】
本発明において、前記駆動部は、電磁駆動を用いたアクチュエータと、前記筐体に取り付けられ、前記アクチュエータを動かすための電気信号を生成する回路基板とを有する。これにより、端子台等による中間の電気的な接続手段が不要なる上、構造も単純となる。
【００６５】
本発明において、前記筐体は、前記面とは異なる角度の面を有し、前記回路基板は、前記異なる角度の面に取り付けられている。これにより、噴流発生装置の薄型化に寄与する。
【００６６】
本発明において、前記回路基板は、前記筐体の一部を構成する。これにより、噴流発生装置の小型化に寄与する。
【００６７】
本発明において、前記筐体は、前記筐体内で前記振動体の振動方向に該振動体により分離され、前記気体が含まれる第１及び第２のチャンバと、前記第１及び第２のチャンバのうち少なくとも一方側に配置され、前記筐体の一部を構成する磁性体でなる板とを有する。これにより、例えば駆動部が電磁式のモータでなる場合であって、振動体が筐体内にある場合、その金属板によって漏れ磁界を抑えることができる。この場合、磁気シールド効果を発揮させるために透磁率の高いものが用いられることが好ましい。例えば、前記板が、金属でなることにより、樹脂等に比べ強度が高いので筐体を薄くすることができる。
【００６８】
本発明において、前記筐体は、作業用の開口と、前記作業用の開口に装着された蓋とを有する。「作業」とは、噴流発生装置の製造過程において、試験、検査、あるいは製造作業等の意味である。この場合、蓋の代わりに、前記筐体は、その一部が可視光を透過する材料でなる。あるいは、上記蓋が可視光を透過する材料であってもよい。
【００６９】
本発明において、当該噴流発生装置は、前記噴流発生装置が電子機器に固定されるための固定機構をさらに具備する。これにより、作業者が噴流発生装置を電子機器に組み込むときの作業が容易となる。
【００７０】
本発明において、前記筐体は、第１の面と、第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間をつなぐ曲面とを有する外面を有する。これにより、噴流発生装置が電子機器に搭載される場合のスペースの無駄をなくすことができる。
【００７１】
本発明において、前記筐体は、前記開口を複数有するとともに、前記各開口のうち第１の開口面を有する第１の開口と、前記第１の開口の開口面とは異なる角度の第２の開口面を有する第２の開口とを有する。これにより、異なる方向に噴流が送られる。例えば第１の開口面と第２の開口面の位置を電子機器の形態に併せて設計することができる。前記第１の開口面及び前記第２の開口面は、ほぼ直交するように、または、ほぼ平行に配置されてもよい。
【００７２】
本発明のさらに別の観点に係る噴流発生装置は、すべてがほぼ同じ方向に振動する複数の振動体と、複数の開口と、前記各振動体がそれぞれ配置されるとともに前記振動体の振動方向ほぼ垂直な面内で並ぶように配置され前記各開口にそれぞれ連通する複数のチャンバとを有し、前記各チャンバに気体が含まれた筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記各開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。
【００７３】
本発明では、平面的に並んだ複数のチャンバごとに振動体が設けられ、各チャンバと連通する開口からそれぞれ気体を吐出させることにより、噴流発生装置を薄型にすることができる上、気体の吐出量を増大させることができる。また、例えばある振動体がある一方向に動くタイミングで、別の振動体がその反対方向に動くように、その２つの振動体が振動すれば、装置全体でモーメントは発生するが、その２つ分の振動体の振動がキャンセルされる。これにより、噴流発生装置が搭載される電子機器に与える振動を抑制することができる。
【００７４】
本発明いう振動の方向である「同じ方向」とは、ある側に向かう方向とその反対側に向かう方向の両方を含む意味である。すなわち、複数の振動体が同じタイミングですべて上方向、あるいは、同じタイミングですべて下方向に振動しなければならない、という意味ではない。振動のタイミングに関係なく、振動体の振動全体の方向がほぼ同じであればよい。
【００７５】
本発明において、当該噴流発生装置は、前記各開口にそれぞれ連通する複数の前記気体の流路を有し、前記各流路を一体的に形成するノズル体をさらに具備する。これにより、筐体１つにノズル１つがセットになり、製造が容易となる。
【００７６】
本発明において、前記筐体は、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが嵌め込まれる穴を有する。あるいは、前記筐体は、上記熱輸送デバイスが当接する段差、溝、または凹部を有する。これにより、熱輸送デバイスが噴流発生装置に取り付けられるときの取り付け位置が作業者にとって容易に判別され、製造が容易となる。また、噴流発生装置と熱輸送デバイスと組み合わせたデバイスの小型化または薄型化に寄与する。
【００７７】
本発明において、前記駆動部は、磁気回路を構成する磁気回路構成部材を有する電磁駆動を用いたアクチュエータを有し、前記磁気回路構成部材は、前記筐体から前記振動方向へ該筐体の外部に突出するように設けられている。磁気回路構成部材の大きさは、他のアクチュエータの部品と比べて大きくなる場合が多いので、磁気回路構成部材以外を筐体外に突出させる。すなわち、これにより筐体を極力小さくすることができ、無駄なスペースをなくすことができる。
【００７８】
本発明の他の観点に係る噴流発生装置は、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに巻回されたコイルとを有し、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。
【００７９】
この噴流発生装置において、フレームがない場合、当該噴流発生装置は、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに巻回されたコイルとを有し、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。
【００８０】
本発明に係る電子機器は、発熱体と、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた第１の筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを有する噴流発生装置と、前記発熱体と前記噴流発生装置を保持可能な第２の筐体とを具備する。
【００８１】
第２の筐体が、前記発熱体と前記噴流発生装置を「保持可能」とは、発熱体や噴流発生装置が必ずしも「収容」されなくてもよく、例えば発熱体等の一部分が第２の筐体の外部へ露出等していてもよいことを含む意味である。
【００８２】
発熱体としては、例えばＩＣや抵抗等の電子部品、あるいは放熱フィン（ヒートシンク）等が挙げられるが、これらに限られず発熱するものなら何でもよい。
【００８３】
この電子機器において、フレームがない場合、当該電子機器は、発熱体と、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。
【００８４】
電子機器としては、電子機器としては、コンピュータ（パーソナルコンピュータの場合、ラップトップ型であっても、デスクトップ型であってもよい。）、ＰＤＡ（Personal Digital Assistance）、電子辞書、カメラ、ディスプレイ装置、オーディオ／ビジュアル機器、プロジェクタ、携帯電話、ゲーム機器、カーナビゲーション機器、ロボット機器、その他の電化製品等が挙げられる。以下の「電子機器」についても同様である。
【００８５】
本発明において、当該電子機器は、前記発熱体を収容する第２の筐体をさらに具備し、前記第２の筐体の一部は、前記第１の筐体の一部で構成される。これにより、電子機器の小型化または薄型化を実現することができる。
【００８６】
本発明の他の観点に係る電子機器は、第１の発熱体と、前記第１の発熱体に向けて第１の方向に第１の気体を脈流として吐出する第１の噴流発生器と、第２の発熱体と、前記第２の発熱体に向けて第１の方向とは異なる第２の方向に第２の気体を脈流として吐出する第２の噴流発生器とを具備する。
【００８７】
本発明では、発熱体が２つ以上、離れた位置に配置される場合にそれらの発熱体を効率よく冷却することができる。また、第１の方向と第２の方向とが異なるので、例えば第１及び第２の発熱体のそれぞれの放熱後に、異なる方向にその熱を含む気体を排出することができる。
【００８８】
「第１の気体」及び「第２の気体」の気体の種類は同じでよい。しかし、必ずしも同じでなくても異なっていてもよい。
【００８９】
例えば、前記第１の方向と前記第２の方向とはほぼ９０度異なる。例えば前記第１及び第２の発熱体は同じ構造を有していてもよいし、前記第１及び第２の噴流発生器は同じ構造を有していてもよい。「構造」とは、形状及び大きさの概念も含まれる。「同じ構造」とは、実質的に同じ製造物が作られる場合の当該製造物を意味し、物理的に全く同じという意味ではない。
【００９０】
本発明において、前記第１の方向における前記第１の発熱体の長さと、前記第１の方向における前記第１の噴流発生器の長さとを足した長さが、前記第２の噴流発生器の第１の方向における長さとほぼ等しい。前記第１の方向と前記第２の方向とはほぼ９０度異なる場合、本発明のこのような構成により、無駄なスペースをなくすことができる。
【００９１】
本発明に係る振動装置の製造方法は、筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置の製造方法であって、前記筐体に取り付けられるフレームを所定の位置に配置する工程と、前記所定の位置に配置されたフレームと、前記気体を振動させる振動体を支持するための弾性支持部材とを一体成型する工程とを具備する。
【００９２】
本発明では、フレームと弾性支持部材とが一体成型されるので、製造工程が減り、コスト削減にもなる。また、弾性支持部材とフレームとの位置精度、ひいては弾性支持部材と筐体との位置精度が位置精度が著しく向上する。
【００９３】
本発明において、前記振動体と前記弾性支持部材とを一体成型する工程をさらに具備する。本発明でも、製造工程が減り、コストが削減され、振動体と弾性支持部材との位置精度、ひいては振動体と筐体との位置精度が著しく向上する。
【００９４】
本発明の他の観点に係る振動装置の製造方法は、筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置の製造方法であって、前記気体を振動させる振動体を所定の位置に配置する工程と、前記所定の位置に配置された振動体と、前記振動体を支持するための弾性支持部材とを一体成型する工程とを具備する。
【発明の効果】
【００９５】
以上のように、本発明によれば、振動体に効率的な振動を発生させ、効果的に気体に振動を与えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００９６】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００９７】
図１は、本発明の一実施の形態に係る噴流発生装置を示す斜視図である。図２は、図１に示す噴流発生装置の断面図である。
【００９８】
噴流発生装置１０は、後部が円筒状をなす筐体１と、筐体１内に配置された振動装置１５とを備えている。筐体１の前面１ａには、ノズル２ａ及び２ｂがそれぞれ複数配列されている。図２に示すように、筐体１の内部は、振動装置１５と、この振動装置１５が取り付けられる取付部７によって、上部チャンバ１１ａ及び下部チャンバ１１ｂに分離されている。ノズル２ａ及び２ｂが取り付けられている筐体１の前面１ａには、ノズル２ａ及び２ｂに対応する位置に開口１２ａ及び１２ｂが形成されている。これにより、上部チャンバ１１ａ及び下部チャンバ１１ｂは筐体１の外部の大気にそれぞれ連通している。各チャンバ１１ａと１１ｂとは、容積がほぼ同じとなっている。すなわち、振動装置１５が上部チャンバ１１ａに配置される分、下部チャンバ１１ｂより上部チャンバ１１ａの方が図２中の上下方向（厚さ方向）で厚くなっている。これにより、後述するようにノズル２ａ及び２ｂから交互に吐出される気体量を同じにすることができ、静音性が向上する。
【００９９】
振動装置１５は、例えばスピーカに類似した構成を有している。振動装置１５は、フレーム４と、フレーム４に装着されたアクチュエータ５と、弾性支持部材６によってフレーム４に支持された振動体３とを有している。図３は、振動体３を示す斜視図である。振動体３は、円形状の振動板３ａの周縁部に側板３ｂが形成されて構成されている。側板３ｂは、振動板３ａの表面３ａ−１及び裏面３ａ−２のうち、例えば裏面３ａ−２側に立設されている。フレーム４には、フレーム４の内外で筐体１内に含まれた空気を流通させるための流通口４ａが形成されている。
【０１００】
振動体３は、例えば樹脂、紙、または金属でなる。特に、振動体３が紙でなることにより、非常に軽量化される。紙は、樹脂ほど任意な形状に作製しにくいが、軽量化では有利である。軽量化しても振動体３は側板３ｂを有し高剛性であるので問題ない。振動体３が樹脂の場合、成形により任意の形状に作製しやすい。一方、振動体３が金属の場合、マグネシウムのような軽量で射出成形が可能な材料があるので、場合に応じて使用できる。
【０１０１】
図４は、アクチュエータ５を示す拡大断面図である。円筒状のヨーク８の内側に、振動板３ａの振動方向Ｒに着磁されたマグネット１４が内蔵され、マグネット１４には、例えば円板状のヨーク１８が取り付けられている。このマグネット１４、ヨーク８及び１８により図５に示すような磁界が発生し、磁気回路が構成される。マグネット１４とヨーク８との間の空間には、コイル１７が巻回されたコイルボビン９が出入りするようになっている。すなわち、アクチュエータ５はボイスコイルモータでなる。アクチュエータ５には、給電線１６により、例えば図示しない駆動用のＩＣから電気信号が供給される。ヨーク８はフレーム４の内側中央に固定され、コイルボビン９は振動板３ａの表面３ａ−１に固定されている。平板状のヨーク１８は、上述のように例えば円板形である。しかし、円でなくても楕円や、矩形状でもよい。振動板３ａの面３ａ−１（または３ａ−２）と相似な形が合理的とも考えられる。このようなアクチュエータ５により、振動体３を矢印Ｒの方向に振動させることができる。
【０１０２】
筐体１は、例えば、樹脂、ゴム、または金属でなる。樹脂やゴムは成形で作製しやすく量産向きである。また、筐体１が樹脂やゴムの場合、アクチュエータ５の駆動により発生する音、あるいは振動板３ａが振動することにより発生する空気の気流音等を抑制することができる。つまり、筐体１が樹脂やゴムの場合、それらの音の減衰率も高くなり、騒音を抑制することができる。さらに、軽量化に対応でき、低コストとなる。樹脂等の射出成形で筐体１が作製される場合は、ノズル２ａ及び２ｂと一体で成形することが可能である。筐体１が熱伝導性の高い材料、例えば金属でなる場合、アクチュエータ５から発せられる熱を筐体１に逃がして筐体１の外部に放熱することができる。金属としては、アルミや銅が挙げられる。熱伝導性を考慮する場合、金属に限らず、カーボンであってもよい。金属としては、射出成形が可能なマグネシウム等も用いることができる。アクチュエータ５の磁気回路からの漏れ磁界が機器の他のデバイスに影響する場合は、漏れ磁界を無くす工夫が必要である。その一つが、筐体１を磁性材料、例えば鉄等にすることである。これにより、漏れ磁界はかなりのレベルで低減される。さらに、高温での使用や、特殊用途ではセラミックスの筐体であってもよい。
【０１０３】
上述したように、放熱のために筐体１に高熱伝導材料が用いられる場合、フレーム４も熱伝導性の高い材料を用いることが好ましい。この場合、フレーム４も金属やカーボンが用いられる。しかし、熱伝導をあまり考慮しない場合、フレーム４は、例えば樹脂が用いられる。樹脂であれば、安価で軽量なフレームを射出成形で作製することができる。フレーム４の一部を磁性体とすることもできる。これにより、その磁性体でアクチュエータ５のヨークを構成することができ、磁束密度を高めることも可能である。
【０１０４】
弾性支持部材６は、例えばゴムや樹脂等でなる。弾性支持部材６はベローズ状をなし、上面から見る場合、円環形状をなしている。振動体３は、主にアクチュエータ５により支持されるが、振動体３の振動方向Ｒとは垂直方向の振れである横振れを防止するために、弾性支持部材６は振動体３を支持する機能を有している。また、弾性支持部材６は、上記したように、チャンバ１１ａ及び１１ｂを分離し、振動体３が振動するときに、チャンバ１１ａ及び１１ｂ間での気体の流通を阻止する。弾性支持部材６は、ベローズ状をなしているが、その山部と谷部の個数は、図２に示すようにそれぞれ１つずつが好ましい。以下、これを２ロールと呼ぶ。１つの谷部、または１つの山部だけの場合、図２中の上下方向の高さが高くなり、薄型化に反し、山部及び谷部が複数ある場合、振動体３が振動するときに振動方向Ｒ以外の複雑な動きが発生し、効率が落ちる可能性があるからである。
【０１０５】
なお、筐体１にはノズル２ａ及び２ｂが設けられる構成としたが、ノズルではなく、筐体１に単に開口が設けられている構成であってもかまわない。
【０１０６】
以上のように構成された噴流発生装置１０の動作について説明する。
【０１０７】
アクチュエータ５に例えば正弦波の交流電圧が印加されると、振動体３は正弦波振動を行う。これにより、チャンバ１１ａ及び１１ｂ内の容積が増減する。チャンバ１１ａ及び１１ｂの容積変化に伴い、それらチャンバ１１ａ及び１１ｂの圧力が変化し、これに伴い、それぞれノズル１２ａ及び１２ｂを介して空気の流れが脈流として発生する。例えば、振動体３がチャンバ１１ａの容積を増加させる方向に変位すると、チャンバ１１ａの圧力は減少し、チャンバ１１ｂの圧力は増加する。これによりノズル１２ａを介して筐体１の外部の空気がチャンバ１１ａ内に流れ込み、チャンバ１１ｂにある空気がノズル１２ｂを介して外部に噴出される。逆に、振動体３がチャンバ１１ａの容積を減少させる方向に変位すると、チャンバ１１ａの圧力は増加し、チャンバ１１ｂの圧力は減少する。これによりチャンバ１１ａにある空気がノズル１２ａを介して外部に噴出され、ノズル１２ｂを介して外部の空気がチャンバ１１ｂ内に流れ込む。ノズル１２ａ及び１２ｂから空気が噴出されるときにノズル１２ａ及び１２ｂの周囲の気圧が低下することにより、当該周囲の空気が各ノズルから噴出される空気に巻き込まれる。すなわち、これが合成噴流である。このような合成噴流が、発熱体や高熱部に吹き付けられることにより、当該発熱体や高熱部を冷却することができる。
【０１０８】
一方、ノズル１２ａ及び１２ｂから空気が噴出されるときに、各ノズル１２ａ及びノズル１２ｂから独立して騒音が発生する。しかしながら、各ノズル１２ａ及びノズル１２ｂとで発生する各音波は逆位相の音波であるため互いに弱められる。これにより、騒音が抑制され、静音化を図ることができる。
【０１０９】
本実施の形態によれば、振動体３が側板３ｂを有するので振動体３全体の剛性が高まり、振動板３ａの撓みを抑制して効果的に気体に振動を与えることができる。また、振動板３ａ自体を厚くしたりして高剛性にするのではなく、側板３ｂが形成されることで振動体３全体で高剛性を達成し、振動体３の重量は重くならない。
【０１１０】
図６は、振動体の他の形態を示す斜視図である。以下に説明する実施の形態において、上記図１〜図４に示した形態に係る部材や機能等について同様のものは説明を簡略または省略し、異なる点を中心に説明する。また、各部材の材質等についても、基本的には上記した材質で作製することができる。振動体１３は、図２に示す状態と同様に、振動装置１５に組み込まれる。振動体１３は、側板１３ｂに複数の穴１３ｄが設けられている。穴１３ｄは、必ずしも複数でなくてもよく１つであってもよい。これにより、振動体１３の剛性を維持しつつ振動体を軽量化することができ、低消費電力化が図れる。
【０１１１】
図７は、振動体のさらに別の形態を示す斜視図である。この振動体２３は、図６に示す振動体１３と同様に側板２３ｂに穴２３ｄが複数設けられている。さらに振動板２３ａと側板２３ｂを繋ぐようにリブ２３ｅが設けられている。これにより、さらに振動体２３の剛性が高められる。
【０１１２】
図８に示すさらに別の形態の振動体３３のように、リブ３３ｅにも穴３３ｅ−１が設けられても、軽量化が図れる。図６〜図８のような振動体１３、２３及び３３が例えば樹脂でなる場合、これらの振動体１３、２３及び３３のような形状でも樹脂を射出成形することにより作製することができる。
【０１１３】
図９は、上記振動体３、１３、その他の振動体の振動板３ａ等の形状の他の形態を示す平面図である。図９（Ａ）に示すように楕円であってもよいし、図９（Ｂ）に示すように長円であってもよい。図９（Ｃ）〜（Ｅ）に示す形状は、それぞれ正方形、長方形、角が曲線の長方形である。これらのように振動板３ａ等の平面形状は任意形状でよいが、円の場合、金型なども含めて作製が容易である。上記図９（Ｃ）〜（Ｅ）に示した振動板を有する振動装置が上記筐体１に搭載される場合、筐体１の平面形状も振動板の形状に合わせて矩形であることが望ましい。例えば、軸流ファン等は回転して送風するため、平面形状は円形である。これに対し、噴流発生装置１０の振動板は、必ずしも円である必要はなく、図９（Ａ）〜（Ｅ）に示すようにフレキシブルな形状を実現できる。このように形状がフレキシブルに対応できることにより、例えばＰＣ等の電子機器に噴流発生装置１０が搭載される場合に、その配置や形状の自由度が高まる。
【０１１４】
また、噴流発生装置１０の筐体１の上面や下面が、図７に示したようなあらゆる形状の振動板の面に相似形とすることも可能である。これにより、振動板の形状に最適で、効率のよい気流を筐体１の内部で発生させることができる。
【０１１５】
図１０は、振動装置の他の形態を示す断面図である。図１１はその斜視図である。振動装置２５は、円筒状のフレーム２４に、弾性支持部材６を介して振動体３が取り付けられている。フレーム２４は、１８０°に近い長い空気の流通口２４ａが、例えばその側面に２つ設けられている。振動体３は、側板３ｂが立設される側の面３ａ−２にアクチュエータ５が配置されている。つまり、振動体３の向きが図２に示す状態と振動方向Ｒで逆向きとなっている。これにより、振動装置２５全体を薄型化することができる。
【０１１６】
図１２は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置４５の弾性支持部材３６は、ベローズ状ではなく、断面が直線状でなっている。図１３に示す振動装置５５の弾性支持部材４６は、１つの谷部のみで構成されている。これらのような弾性支持部材によっても、振動体３の表面と裏面側での空気の流通を阻止することができる。
【０１１７】
図１４は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置９５の弾性支持部材７６は、山部が１つ、谷部が２つでなる。このように２ロール以上のベローズとしてもよい。
【０１１８】
図１５は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置３５の振動体３の側板３ｂとフレーム４との間には、第１の弾性支持部材６（以下、エッジ部材という。）とは別に、第２の弾性支持部材２６（以下、ダンパという。）が装着されている。ダンパ２６は、例えば円環状をなしている。エッジ部材６とダンパ２６とは、側板３ｂにおける振動方向の両端に接続されている。このように、振動方向Ｒの２つの位置で側板３ｂが支持されることにより、振動体３の横振れを防止して安定した振動を得ることができる。
【０１１９】
図１６は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。図１７は、図１６におけるＡ−Ａ線断面図である。この振動装置６５のダンパ５６は、例えば板バネ状でなる。また、図１８に示すように、ダンパ６６をワイヤ状としてもよい。このような比較的細い部材でダンパ５６、６６が構成されることにより、振動体３の横振れを防止しつつ、振動方向の本来の振れの抵抗を小さくすることができる。
【０１２０】
図１９に示す振動装置１０５のエッジ部材６ａとダンパ６ｂとは同じ形状を有し、また同じ材料でなる。このような構成によっても振動体３の振動を安定させることができる。また、エッジ部材６ａとダンパ６ｂとが同じものであるので、量産に適し、安価である。
【０１２１】
図２０に示す振動装置１１５のエッジ部材６ａとダンパ６ｂとは同じものを用いているが、振動体３の振動方向で対称形状をなしている。このような構成により、振動体３が振動していないときの振動体３の中立点からの両側の振幅が同じになり、効率的な振動が得られる。また、図２０に示すように給電線１６が配線される場合、給電線１６に近い側の弾性支持部材であるダンパ６ｂは、フレーム４側（外側）が山部で、振動体３側（内側）が谷部となるように配置されている。通常、これらエッジ部材６ａやダンパ６ｂは、外側のフレーム４側より内側の振動体３の方が振幅が大きくなる。したがって、振幅が大きい振動体３側に谷部が配置されることにより、振動に伴って給電線１６が動くスペースが広くなり、つまり給電線１６の動きの自由度が高まり断線を防止できる。
【０１２２】
図２１は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置８５は、図１０と同様に円筒状のフレーム３４を有している。振動体３３の振動板３３ａはコーン形状でなり、そのコーン形状の振動板３３ａの内側の面３３ａ−２にアクチュエータ５が配置されている。振動体３３の側板３３ｂは上記面３３ａ−２の反対側の面３３ａ−１側に立設されている。この側板３３ｂとフレーム３４との間には、エッジ部材６ａとダンパ６ｂとが対称形状となるように配置されている。このような構成により、振動装置８５を非常に薄型化することができる。
【０１２３】
図２２は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置１２５は、円筒状のフレーム４４の内側で摺動する振動体４３を備えている。振動体４３は、振動板４３ａの周縁部に振動方向Ｒの両側に立設する側板４３ｂが設けられて構成されている。この側板４３ｂとフレーム４４の内側とがいわばピストンとシリンダのような関係になっている。このような構成によっても、振動体４３の横振れ等を抑制し安定して振動させることができる。この場合、側板４３ｂのフレーム４４に対する摩擦抵抗を小さくするために、例えば潤滑油のような流体４７等が塗られていることが好ましい。あるいは、フレーム４４の内側及び側板４３ｂの接触面のうち少なくとも一方に摩擦抵抗を小さくするような表面処理がなされていてもよい。この表面処理としては、例えばテフロン（登録商標）加工が挙げられる。
【０１２４】
図２３に示す振動装置１３５は、図２２に示す振動装置１２５の変形例である。振動板５３ａの周縁部と、側板５３ｂから径方向に突出するフランジのような突出部５３ｃの周縁部とがフレーム４４の内側に接している。これにより、振動体５３とフレーム４４との接触面積を極力小さくすることができ、摩擦抵抗を小さくすることができる。
【０１２５】
図２２に示す振動装置１２５において、側板４３ｂとフレーム４４とは必ずしも接していなくてもよく、それらの間に隙間が設けられているだけであってもよい。この隙間は、実質的に振動体４３の表面４３ａ−１側と裏面４３ａ−２側との間で空気の流通がほとんどなくなるような十分に狭い間隔であればよい。図２３に示す振動装置１３５についても同様のことが言える。
【０１２６】
図２４は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置１４５の振動体６３は、コーン形状の振動板６３ａの周縁部にエッジ部６３ｂが一体的に設けられている。例えば振動体６３は、例えば樹脂でなる場合、射出成型で作製することができ、部品点数も減るので、コスト的に有利となる。振動体６３は、例えば金属であっても金型で一体成型することができる。
【０１２７】
図２５は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置１５５の振動体７３は、コーン形状の振動板でなる。振動体７３の周縁部とフレーム５４との間に隙間５２が設けられている。この隙間５２は、実質的に振動体７３の表面７３ａ−１側と裏面７３ａ−２側との間で空気の流通がほとんどなくなるような間隔であればよい。
【０１２８】
図２６は、図２５に示す振動装置１５５の変形例である。この振動装置１６５は、図２等で示したような側板３ｂを有する振動体３を備え、側板３ｂとフレーム５４との間に十分に狭い隙間５２が設けられている。
【０１２９】
図２７は、これまで説明した各振動装置１５、２５、３５等をフレーム４の開口端側（下部側）から見た平面図である。例えば振動体３の振動板３ａの振動方向に垂直な面３ａ−１または３ａ−２の面積Ａと、その面にほぼ平行な面内の部分であってエッジ部材６が囲む面積Ｂとする。そうすると、面積Ｂが面積Ａの７０パーセント以下となることが好ましい。７０パーセントを超えると、振動体の振動の抵抗が大きくなり、また、騒音が大きくなる可能性がある。本発明者らの実験によると、７０パーセントを超えると、人間が、その騒音が気になる程度に大きくなり始めた。好ましくは、６０パーセント以下がよい。
【０１３０】
図２８は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置１９５の振動体８３の中央に穴部８３ｃが形成されている。アクチュエータ１９１は、２つのマグネット１４と、これらに挟み込まれた平板状のヨーク１８と、上記穴部８３ｃに装着された円筒状のコイルボビン３２に巻回されたコイル３９とで構成される。図２９は、このアクチュエータ１９１のマグネット１４及びヨーク１８で発生する磁力線の様子を示す。このような解放磁界を利用することにより、これまで説明したような閉じた磁気回路に比して効率は落ちるが、振動板８３ａに対して振動方向Ｒでアクチュエータ１９１が対称構造にすることができる。対称構造では、振動板８３ａの前と後からの音のレベルを極力同じにすることができるので、逆位相で音の打ち消し合いが効率よく行われる。また、薄型化にも有利である。磁気回路が閉じた系か解放系かは、アプリケーションにより選択するとよい。
【０１３１】
例えば図２８に示すようなアクチュエータ１９１では、マグネット１４がボイスコイル（コイル３９及びコイルボビン３２）の内側に配置されることにより、アクチュエータ５の配置スペースが小さくなり有利である。このことは、図４等に示したアクチュエータ５についても同様のことが言える。しかし、これらのようなアクチュエータ５、１９１では、一般にマグネット１４が小さく設計される。マグネット１４が小さいと、ボイスコイルを横切る磁束密度が小さくなる。そこで、マグネットの径が小さくてもボイスコイルでの磁束密度を高めるためには、残留磁束密度の高いマグネットを使う必要がある。残留磁束密度が０．３Ｔ（テスラ）以上のマグネットがよい。さらに、ギャップでの磁束密度をより高くしたい場合は、１Ｔ〜３Ｔ、あるいはそれ以上の残留磁束密度を持つマグネットが推奨される。１Ｔ以上のマグネットであれば、回転軸流ファンと同程度の冷却能力を有し、大きさも比較しうる噴流発生装置を実現できる。例えば、ネオジ鉄は、残留磁束密度は１．１Ｔであり、上述の要求を満足するマグネットと言える。
【０１３２】
図３０は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置２０５のアクチュエータ３０１は、中央の穴１１４ａにフレーム４４が嵌着された２つのマグネット１１４に、穴２８ａが形成された平板状のヨーク２８が挟み込まれるように配置されて構成されている。ヨーク２８の穴２８ａの径は、マグネット１１４の径より小さく形成されている。ヨーク２８の穴２８ａ付近には、振動体４３が配置され、振動体４３の側板４３ｂの外周面にコイル３９が巻回されている。このような構成によれば、マグネット１１４を比較的大きいものが用いられる。したがって磁力を大きくすることができ、振動を大きくすることができる。また、振動板４３ａに対して対称構造とすることができる。また、薄型化にも寄与する。
【０１３３】
図３１は、図３０に示す振動装置２０５の変形例を示す断面図である。この振動装置２１５の振動体１４３は、図２３で示した振動体５３と同様なフランジ状の突出部１４３ｃを有する。この突出部１４３ｃの周縁部がフレーム４４の内側に摺接する。または、隙間５２をあけて、あるいは隙間５２に潤滑材が塗布されている。このような構成によっても、図２３及び図３１に示す振動装置と同様の効果を得ることができる。
【０１３４】
図３２は、さらに別の実施の形態に係る振動装置２２５を備えた噴流発生装置を示す断面図である。この振動装置２２５では、コイル１７が巻回された円筒状のコイルボビン３７には、当該コイルボビン３７の内側と外側との間で空気を流通させるための複数の流通口３７ａが設けられている。コイルボビン３７が動くことにより、コイルボビン３７とマグネット１４との間の空間（コイルボビン３７の内側の空間）の体積が変化する。コイルボビン３７に流通口３７ａがない場合、コイルボビン３７の内部空間の気圧変化が振動体９３の振動抵抗になる。また、流通口３７ａがない場合に、マグネット１４とコイルボビン３８との間の狭い隙間を通って空気が逃げるので、そのときに音が発生するおそれがある。しかしながら、図３２のような構成であれば、コイルボビン３７の内部空間にある空気が流通口３７ａを介してコイルボビン３７の外側に逃げることができるので、効率よく振動させることができる。また、騒音も低減することができる。流通口３７ａの個数は、１つであってもよい。流通口３７ａの形状は、図３３に示すように円形であってもよいし、あるいは長穴状であってもよい。
【０１３５】
なお、図３２及び図３３では、振動体９３は平板状の振動板で構成されているが、上記各実施の形態のように側板が設けられる構成であってももちろんかまわない。
【０１３６】
図３４は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。図３５は、図３４におけるＢ−Ｂ線断面図である。この振動装置１７５のアクチュエータは、円筒状のフレーム４４の内側のほぼ中央に取り付けられたマグネット１４と、マグネット１４の対面するように振動体３の振動板３ａに配置された平面コイル１９とで構成される。コイル１９には給電線１６が接続されている。振動体３は、樹脂、ゴム、または紙等の絶縁材料であることが好ましい。あるいは、振動体３が導電性の材料であっても、例えば振動板３ａとコイル１９との間に図示しない絶縁性のシートが貼り付けられていてもよい。コイル１９に例えば交流電圧が印加されることにより、マグネット１４により生成される解放磁界によって振動体３が振動方向Ｒに振動する。本実施の形態では、解放磁界であるので、磁束密度は落ちるが、薄型化、対称形状化には有利となる。
【０１３７】
図３６は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。図３７は、その振動体を示す平面図である。この振動装置１８５のアクチュエータは、フレーム６４内に複数配列されたマグネット１４と、各マグネット１４に対面するように平板状の振動体８３にそれぞれ配置された複数の平面コイル２９とを有する。この例では、コイル２９及びマグネット１４がそれぞれ６つずつ設けられている。このようなアクチュエータも、上記と同様に解放磁界により振動体８３を振動方向Ｒに振動させることができる。このような構成によれば、コイル２９及びマグネット１４の個数を適宜選択することにより、振動体８３の大きさを、振動方向Ｒにほぼ垂直な面内で所望の大きさに設定することができる。
【０１３８】
図３８は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置２４５のアクチュエータ５に接続された給電線１６は、例えば図中、破線で囲んだ部分のように緩やかに曲げられている。このように給電線が緩やかに曲げられることにより、例えば図３９の破線で示す給電線の急激な曲げに比べ、断線の可能性を小さくすることができる。例えば、図４１（Ａ）に示したように、給電線１６の最小曲げ半径がその太さｄの３倍ぐらいである場合、その曲げ部に応力が集中して断線が起こりやすくなる。しかし、図４１（Ｂ）のように５倍以上とすることにより、断線が少なくなる。
【０１３９】
給電線１６は振動するため、振動装置２４５等の寿命まで断線に耐えなければならない。噴流発生装置では、数万時間の寿命が要求され、総振動数は数十億回となる。そのために、給電線１６は、コイルボビン９側に取り付けられる箇所と、フレーム４４側に取り付けられる箇所とで固定されていることが望ましい。そこで、振動装置２４５では、フレーム４４に端子２２が設けられた端子台２１が固定され、この端子台２１に給電線１６が接続固定されている。これにより、断線を予防するとともに、振動装置２４５を搭載する噴流発生装置の製造時の配線が容易になる。
【０１４０】
また、給電線１６の断線を防止するために、例えば図４０で示したように、給電線１６に縒りをかけた錦糸線等を用いることができる。また、細い導線を絶縁膜で被い、それを束ねたロボットケーブルなども屈曲に強く、給電線としては適している。
【０１４１】
図４０に示したよな給電線が用いられる場合、その太さｄは０．４ｍｍ以上であることが望ましい。一般的なスピーカでは、振幅が５ｍｍ程度のものはいわゆるウーハと呼ばれるもので、本発明者らの試作でも、０．３ｍｍのツイータ用の錦糸線を使ったところ、その寿命は極端に短かったが、０．４ｍｍのものに代えたところ、著しく寿命が伸びた。連続試験で１４０００時間経過したが、未だに断線していない。
【０１４２】
給電線１６は以上のように特殊な構成である。したがって、電力を送る部分から振動装置までの配線、または電力を送る部分から噴流発生装置までの配線には、上記構成の給電線１６とは別の通常の導線を用いるのが合理的である。このため、上記端子台２１が設けられていると非常に有利となる。端子台２１の取り付け位置は、図３８のような振動装置２４５のフレーム４４でよい。あるいは、後に説明する図４２等のように、噴流発生装置１３０の筐体１３１に取り付けられていてもよい。
【０１４３】
図４２は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置１３０に搭載された振動装置２５５のフレーム１４４の一部は、噴流発生装置１３０の筐体１３１の機能を兼ねている。つまり、筐体１３１の一部が切り欠かれていて、その切り欠き部に振動装置２５５が取り付けられている。筐体１３１の前面１３１ａ付近におけるフレーム１４４の側面には空気の流通口１４４ａが形成されている。このように筐体１３１の一部がフレーム１４４で構成されることにより、噴流発生装置１３０を薄型化、小型化することができる。
【０１４４】
この場合、筐体１３１及びフレーム１４４は、熱伝導性の良い材料でなると、アクチュエータ５等の放熱に効果的である。高熱伝導性の材料としては、例えば銅、アルミ等の金属、あるいはカーボン樹脂等が挙げられる。
【０１４５】
さらにこの噴流発生装置１３０の給電線１６は、振動板３ａに対してアクチュエータ５のある側とは反対側に延びている。また、アクチュエータ５の反対側のスペースには、筐体１３１で形成されたチャンバ１１１ｂによる空間があるだけで配線が容易になるとともに、上記のように給電線１６の曲げ半径を大きくすることができる。
【０１４６】
なお、上記で説明した図１０、図２１、図２２、図２３等に示す筒状のフレームを有する振動装置２５等についても、図４２に示したように、噴流発生装置の筐体１３１の機能を兼ねるように、噴流発生装置に搭載することができる。
【０１４７】
また、噴流発生装置１３０では、端子台２１は、筐体１３１の側面に取り付けられることが望ましい。側面でなく上面や下面だと、噴流発生装置１３０が図示しない電子機器に搭載される場合、電力を供給する部分から端子台２１までの導線の配線の都合上、当該上面や下面付近にスペースを設けなければならず、搭載の際の制約が生じる。また、薄型化等に反する。したがって、上面や下面より側面がよい。しかし、もちろん、電子機器側の設計によってはそのようなスペースが設けられても問題ない場合もある。
【０１４８】
図４２に示した噴流発生装置１３０では、アクチュエータ５側もそれほど複雑な形状ではない。しかし、噴流発生装置を薄型化したい場合等には、図４３に示すように振動装置２６５のように、振動体３の側板３ｂが立設された側にアクチュエータ５が配置されていればよい。この場合、アクチュエータ５が配置される側の構造は複雑となり、給電線１６は、ヨーク８及び側板３ｂを避けて端子台２１まで配線され、その曲げ半径が小さくなってしまう。特に、図４３に示す噴流発生装置１４０のような構成で、アクチュエータ５の磁気回路の効率を上げようとした場合、ボイスコイル部の磁束密度を上げるとよい。そのためにマグネット１４を大きくすればよいが、その場合、ヨーク８と側板３ｂとの間隔が近くなり、給電線１６が通るスペースが狭くなる。つまり、アクチュエータ５側に給電線１６があると、アクチュエータ５の効率向上のためにも不利となる。
【０１４９】
そこで、図４４に示すように、振動体３の振動板３ａのアクチュエータ５が配置される側と反対側に給電線１６を出して配線すると、前述のような問題はない。この場合、端子台２１も振動板３ａより下方側に配置される。
【０１５０】
図４５は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置１６０では、振動体３の側板３ｂに給電線１６が通る穴３ｂ−１が設けられている。給電線１６は、２つの弾性支持部材６の間を通り、端子台２１に接続されている。このような構成により、前述のような複雑な構造の中を給電線１６を配線するということを回避することができ、製造が容易となる。穴３ｂ−１は、複数設けられていてもよいし、長穴状であってもよい。そうすることで、振動装置２８５の製造時に、振動体３の取り付け角度方向（振動体３の振動方向Ｒにほぼ垂直な面での振動体３自体の回転角度方向）の制限を緩くできるか、あるいはなくすことができる。つまり、穴３ｂ−１が１つの場合、当該穴３ｂ−１を端子台２１に対面させるように振動体３を配置させなければならないからである。
【０１５１】
図４６は、図４５に示す噴流発生装置１６０の変形例である。この噴流発生装置１７０の振動装置２９５のフレーム４４には、流通口４４ａとは別の流通口４４ａが開口されている。この流通口４４ｂにより、振動体３の振動時に、フレーム４４内部の空気が、流通口４４ａ及び４４ｂを介して逃げるので、より空気の流れがスムーズになる。また、これにより騒音も低減される。すなわち、気流が発生するときの空気抵抗をフレーム４４内部で極力小さくするために、フレーム４４に形成される流通口の開口面積は大きいほどよい。本発明者らの実験では、流通口４４ｂがある場合、それがない場合に比べて騒音レベルは３ｄＢ程度下がったことが確認されている。
【０１５２】
図４７は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置１８０は、これでまで説明したような振動装置のフレームがないことが特徴である。つまり当該フレームが噴流発生装置１８０の筐体１８１と一体となっている。このような構成により、噴流発生装置１８０のさらなる薄型化を実現でき、部品数も減らすことができるとともに、筐体の一体成型により製造が容易になり、量産化に有利である。
【０１５３】
以上説明したような給電線１６の断面形状は、図４８に示すように円形にすることができるが、振動体３が振動したときに、図示するように給電線１６の後ろ側で乱気流が発生するおそれがある。しかし、図４９に示すように扁平状とすれば気流をスムーズに制御することができる。図４９の場合、なお、図４９に示すような向きに気流が発生するように、配線時に給電線１６の断面形状の向きを考慮する必要がある。
【０１５４】
なお、上述のような給電線を用いずに、振動体３や弾性支持部材６を導電性部材として給電することも可能である。
【０１５５】
図５０は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置１９０では、図４７等に示す噴流発生装置１８０の筐体１８１の下面に透明な覗き窓（蓋）２７が設けられている。覗き窓２７は、樹脂やガラス等でなる。このような構成によれば、噴流発生装置１９０を製造する者が、筐体２３１の内部を目視することができ、不良時の判定が容易である。覗き窓２７の透明度は、可視光が透過するような透明度でよく、その場合の可視光の透過率は、８０％以上の透過率があってもよいが、もちろんそれより低くても構わない。
【０１５６】
そのほかにも、図５１に示すように、レーザ変位計４８等を用いて、振動体３の振幅や周波数、振動波形等を観察でき、特にデバッグ時には大変に便利である。また、覗き窓２７の両面に図示しなし反射防止膜等がついていると、破線で示す矢印のような不要な反射が少なくなり、レーザ変位計４８での測定誤差が小さくなる。このような測定時には振動体３に光の反射を促進する部材４９を貼り付けたりしておくと便利である。なお、覗き窓２７はなくてもよく、単に筐体２３１に覗き穴が形成される構成であってもよい。
【０１５７】
図５２は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置２００の振動体１０３は円筒状をなし、その内部にアクチュエータ５が配置されている。振動体１０３の上板１０３ａと下板１０３ｂとがそれぞれ振動板の機能を有し、側板１０３ｃが備えられている。アクチュエータ５は、筐体２０１の内部に配置された、当該２０１に固定の仕切り板２０４に装着されている。具体的には、マグネット１４を内蔵したヨーク８及び１８がその仕切り板２０４に固定され、コイルボビン９は、振動体１０３の内面に固定されている。仕切り板２０４には、振動体１０３の側板１０３ｃを通すための環状の開口２０４ａが設けられている。振動体１０３の外側はチャンバ１０１ａ及び１０１ｂの空間があるだけである。振動体１０３の内部の空間１０１ｃと、チャンバ１０１ａ及びチャンバ１０１ｂとは隔離している。したがって、振動体１０３外側の筐体２０１内の気体を、ノズル１０２ａ及び１０２ｂを介してスムーズに効率的に筐体２０１外に噴出することができる。
【０１５８】
また、気流がスムーズになる結果、騒音も低減できる。実際、例えば図４７のような構造では、アクチュエータ５がある側のノズルから出る騒音レベルと、無い側から出る騒音レベルとでは差があった。本発明者らの試作では、アクチュエータが無い側の騒音が有る側よりも騒音スペクトルのピークで１０ｄＢ程度小さいものとなった。図５２に示す噴流発生装置２００では、ノズル１０２ａ及び１０２ｂとそれぞれ連通するチャンバ１０１ａ及び１０１ｂにはアクチュエータ５がないので騒音が抑制される。
【０１５９】
図５３は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置２１０は、側板３ｂを有する振動体３と、振動板１１３とを備えている。筐体２１１に固定の仕切り板２１４には、環状の開口２１４ａが設けられている。開口２１４ａは、必ずしも環状でなくてもよく、複数に分けられていてもよい。仕切り板２１４には、図５２に示す装置と同様にアクチュエータ５が設置されている。チャンバ１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃは互いに隔離されている。この噴流発生装置２１０では、振動体３が振動することで、チャンバ１２１ｃ内の空気の圧力変化により振動体３と同期して振動板１１３が振動する。これにより、チャンバ１２１ａ及び１２１ｂは交互に圧力が増減し、ノズル１２２ａ及び１２２ｂを介して空気が交互に噴出される。本実施の形態によっても、図５２に示す噴流発生装置２００と同様の効果が得られる。
【０１６０】
図５４は、一実施の形態に係る電子機器の一部を示す断面図である。電子機器２５０は、例えばＰＣである。この例では、噴流発生装置２２０の筐体の一部が、電子機器２５０の筐体２５１と一体になっている。具体的には、噴流発生装置２２０の下部側のチャンバ２２１ｂを構成する筐体が筐体２５１と一体になっている。このような構成によれば、図４７に示した噴流発生装置１８０が同じような電子機器に搭載される場合に比べ、噴流発生装置１８０の筐体１８１の厚み分だけ電子機器２５０を薄型化することができる。噴流発生装置２２０は、ヒートシンク８４に向けて空気を噴出し、筐体２５１に開口された通気口２５１ａから排熱される。
【０１６１】
なお、上記で説明した噴流発生装置、振動装置が電子機器に搭載される場合に、図５４のように必ず電子機器の筐体と噴流発生装置の筐体とが一体でなければならないわけではない。
【０１６２】
図５５は、例えば図１に示した噴流発生装置１０を、ラップトップ型のＰＣに搭載したときの一部を破断した斜視図である。このように、ＰＣ３００には、ヒートシンク８４と、これに向けて空気を噴出する噴流発生装置２３０が搭載されている。
【０１６３】
図５６は、上記各噴流発生装置１０等から吐出される空気が当てられるヒートシンクを示す斜視図である。このヒートシンク９７には複数の空気の流通穴９６が開けられている。図示しない噴流発生装置からの空気がこの流通穴９６を通ることで、ヒートシンク９７は冷却される。図５７は、例えば噴流発生装置１０及びヒートシンク９７の組み合わせを示す。
【０１６４】
図５８は、噴流発生装置及びヒートシンクの組み合わせの他の形態を示す斜視図である。この例では、図５７に示す噴流発生装置１０が２つ組み合わされ、これらがヒートシンク９７に向けて空気を送る。放熱する熱量に合わせて、ヒートシンク９７の大きさ等が決まるが、その大きさに合わせて、噴流発生装置の大きさもこのように任意に決めることができる。噴流発生装置自体を大きくすることも可能であるが、図５８に示すように横に２個並列に並べる事で、同じ噴流発生装置で大きさ（幅）の違うヒートシンク９７に対応することができる。図５８に示す状態から、さらに噴流発生装置を追加して２つの振動板の動きを逆位相にすると、メカ的な振動を減衰することも可能である。
【０１６５】
図５９は、ヒートシンク及び噴流発生装置の他の実施の形態を示す斜視図である。この噴流発生装置３２０の筐体は矩形でなる。このように、噴流発生装置３２０は軸流ファンと違い、丸型にとらわれる必要はなく、ある程度任意形状にすることができる。これは、機器のスペースの有効利用に寄与する。
【０１６６】
図６０は、噴流発生装置１８０を電子機器の筐体３５１に搭載したときの気流を示す図である。筐体３５１にはその上部３５１ｃ及び底部３５１ｄに導入口３５１ａがそれぞれ設けられている。ヒートシンク９７の背面側には複数の排気口３５１ｂが設けられている。導入口３５１ａは、噴流発生装置１８０のノズルの開口１８２付近に配置されている。これにより、噴流発生装置１８０が動作するときに合成噴流を作りやすくなり、ヒートシンク９７に吹き付けられる空気量を多くすることができる。底部３５１ｄには、地面２３３との間に隙間をあけて導入口３５１ａから外部の空気を導入しやすくするためのスペーサ３５４が設けられている。スペーサ３５４は、筐体３５１と同じ材料で一体成型されてもよい。
【０１６７】
電子機器がラップトップ型のＰＣである場合、オペレータがＰＣの前面近くに位置することがほとんどである。したがって、その場合、熱風が前方向に出てくることは望ましくない。それ故、排気口３５１ｂは背面かまたは側面に設けられることが好ましい。噴流発生装置１８０が動作したときに、上述した合成噴流を作るために導入口３５１ａから空気が流入し、噴流発生装置１８０によって形成された合成噴流はヒートシンク９７を通って、排気口３５１ｂから排気される。図６１に示すように、電子機器の筐体３５１の導入口３５１ａは底部３５１ｄ側のみに設けられていてもよい。
【０１６８】
図６２は、図５８に示した２連の噴流発生装置及びヒートシンク９７がＰＣ４００に搭載された形態を示している。図６３は、噴流発生装置３２０が、電子機器としてディスプレイ機器４５０に搭載された形態を示している。この場合、排気口は上方向に配置されている。ディスプレイに搭載される場合は、後方や上方あるいは側面への排気が望ましい。図６４は、噴流発生装置３３０が電子機器としてプロジェクタ５００に搭載された形態を示している。
【０１６９】
図６５は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。図６６は、図６５におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【０１７０】
噴流発生装置３４０は、ノズル体３２２と、筐体３２１とが別部品で構成されている。例えば、筐体３２１とノズル体３２２とが別々に製造され、筐体３２１にノズル体３２２が装着されれば、噴流発生装置３４０の組み立てが容易になる。また、筐体３２１とノズル体３２２とをそれぞれ一体成型で製造することも可能となる。ノズル体３２２は、複数のノズル３２２ａ及び複数のノズル３２２ｂを有している。すなわち、ノズル体３２２は、内部に気体の流路を複数有する。筐体３２１の前面、つまり、筐体３２１の、ノズル体３２２が配置される側には開口が形成され、チャンバ３２１ａがノズル体３２２の内部の領域３２６ａに連通し、チャンバ３２１ｂは領域３２６ｂに連通している。ノズル体３２２は、例えば樹脂でなるが、金属でもよい。
【０１７１】
図６６に示すように、チャンバ３２１ａとチャンバ３２１ｂとは、前面側（図中左側）では、弾性支持部材６が装着される仕切り部材３２４によって分割されている。給電線１６は、筐体３２１の背面側に取り付けられた回路基板３２３に接続されている。回路基板３２３は、振動体（振動板）３０３を振動させるための駆動信号を生成するＩＣ等を搭載し、生成した駆動信号をアクチュエータ５に供給する。このように回路基板３２３が噴流発生装置３４０に搭載されることにより、上述した端子台のような中間の電気的な接続手段が不要なる上、構造も単純となる。
【０１７２】
また、回路基板３２３が、振動板３０３の振動方向にほぼ垂直な面とは角度の異なる面、例えば筐体３２１の側面３２１ｃに取り付けられることにより、噴流発生装置３４０の厚さを薄くすることができる。この形態の場合、側面３２１ｃは、振動板３０３の振動方向にほぼ垂直な面とはほぼ９０度異なる。このように、噴流発生装置３４０の厚さを薄くするという趣旨から、図６７に示すように、筐体３２７の外面に斜面３２７ｄ（または３２７ｅ）が形成され、その斜面３２７ｄ（または３２７ｅ）に回路基板３２３が取り付けられる形態も考えられる。
【０１７３】
さらに、回路基板３２３が、ノズル体３２２が装着される側とは反対側に配置されることにより、例えば噴流発生装置３４０の製造工程において、給電線１６の配線等が楽になる。
【０１７４】
なお、上で説明した図３８、図３９、図４２等、あるいはそれら以降の図で示したすべての端子台２１の代わりに、回路基板３２３が取り付けられてもよい。
【０１７５】
図６８は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この形態に係る噴流発生装置３６０の回路基板３２３は、筐体３４１の一部を構成している。すなわち、筐体３４１が開口され、回路基板３２３はその開口を塞ぐようにその開口に回路基板３２３が嵌め込まれている。このような形態によれば、噴流発生装置３６０の図６８中の横幅を小さくすることができ、小型化に寄与する。
【０１７６】
図６９は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。図７０は、図６９におけるＤ−Ｄ線断面図である。
【０１７７】
この噴流発生装置３５０には、振動体（振動板）３３３及び弾性支持部材３２９を支持する平板状のフレーム３２８が設けられている。具体的には、図７１に示すように、フレーム３２８は、穴３２８ａを有し、平板状の外形を有する。弾性支持部材３２９には振動板３３３が装着されている。弾性支持部材３２９は、フレーム３２８の穴３２８ａを塞ぐように、その外周に設けられた取り付け部（外周部）３２９ａにおいてフレーム３２８に取り付けられる。このように、フレーム３２８が平板状であることにより、組み立てが容易、すなわち製造が容易となる。
【０１７８】
フレーム３２８と弾性支持部材３２９とは、一体成型により作製されても構わない。すなわち、予め用意されたフレーム３２８が、例えば弾性支持部材３２９の成型用の型内に配置された状態で、ゴムや樹脂等でなる弾性支持部材３２９が成型される。一体成型の手法としては、例えば、コンプレッション法、トランスファ法、インジェクション法、あるいはその他の公知の方法が用いられる。一体成型により、製造工程が少なくなることはもちろん、弾性支持部材３３４とフレーム３３５との位置精度、ひいては弾性支持部材３３４と筐体との位置精度が位置精度が著しく向上する。
【０１７９】
弾性支持部材３３４と振動板３３３とが一体成型されてもよい。この場合、フレーム３２８の場合と同様に、予め用意された振動板３３３が、弾性支持部材３２９の成型用の型内に配置された状態で、弾性支持部材３２９が成型される。
【０１８０】
例えば筐体３３１が樹脂等である場合、フレーム３２８は、その樹脂より剛性の高い材料でなる。その材料としては、アルミ、ステンレス、銅、鉄、ＳＰＣＣ（冷間圧延鋼板）等の金属が挙げられる。フレーム３２８の材料は、金属に限らず、剛性の高いものであればよい。あるいは、筐体３３１が金属の場合、フレーム３２８の材料は、その筐体３３１の材料と同じ種類の金属でもよいし、異なる種類の金属でもよい。
【０１８１】
例えば、図６５に示したような、仕切り部材３２４を有する筐体３２１が一体成型品である場合、仕切り部材３２４を薄く形成しすぎると、平面度を保つことが難しくなる。仕切り部材３２４の厚さを１ｍｍ程度とすると、弾性支持部材６の、仕切り部材３２４への装着面が平面とならず、振動板の動きが直線的な動きにならず、余分な動きが含まれてしまうおそれがある。また、これにより、騒音が増えるおそれもある。しかしながら、図７０等に示すフレーム３２８が剛性の高い材料でなる場合、その厚さが０．５〜１ｍｍ程度でも十分な剛性を保つことができる。これにより、噴流発生装置３５０の薄型化を実現することができる。
【０１８２】
なお、フレーム３２８の平面で見た形状（振動板３３３の振動方向にほぼ垂直な面内の形状）は、図７１で示した形状に限らず、様々な形状が考えられる。
【０１８３】
図７２は、フレームと弾性支持部材が一体成型された他の例を示す断面図であり、フレームと弾性支持部材の一部を示している。図７０、図７１等では、フレーム３２８は、弾性支持部材３２９の取り付け部３２９ａに接合されて、フレーム３２８が露出するような形態であった。図７２では、弾性支持部材３３４の外周部３３４ｂに設けられた被覆部３３４ａがフレーム３３５を覆っている。図７２に示す形態でも、弾性支持部材３３４とフレーム３３５が一体成型により作製される。フレーム３３５や弾性支持部材３３４の全体形状は、図７１で示したような形状でよいが、その形状に限られず、振動板の振動方向にほぼ垂直な面内で、円形、楕円、多角形等、何でもよい。
【０１８４】
このように一体成型された後、この被覆部３３４ａまたは外周部３３４ｂが図示しない噴流発生装置の筐体に接合されることで、弾性支持部材３３４が当該筐体に装着される。本実施の形態では、一体成型により、製造工程が少なくなることはもちろん、弾性支持部材３３４とフレーム３３５との位置精度、ひいては弾性支持部材３３４と筐体との位置精度が位置精度が著しく向上する。
【０１８５】
図７３では、弾性支持部材３３６が、そのフレーム被覆部３３６ａによりフレーム３３５を被覆し、かつ、振動板被覆部３３８ａにより振動板３３８を被覆している。このような弾性支持部材３３６も一体成型により形成される。具体的には、弾性支持部材３３６を成型する型内にフレーム３３５及び振動板３３８が配置された状態で、弾性支持部材３３６が成型される。振動板３３８が金属であれば、薄型化に寄与する。もちろん、金属に限らず、樹脂、あるいはゴム等でもよい。これにより、弾性支持部材３３６、フレーム３３５、振動板３３８の組み付け工程が省略されるとともに、弾性支持部材３３６、フレーム３３５、振動板３３８のそれぞれの位置精度が著しく向上する。
【０１８６】
図７４は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【０１８７】
噴流発生装置３７０は、これまで説明した噴流発生装置とは上下が逆に示されている。このように上下逆に示したのは、例えば、この噴流発生装置３７０が、図示しないＰＣ等の電子機器の筐体に組み込まれる場合、アクチュエータ５が配置される側のチャンバ３４１ｂが下になり、チャンバ３４１ａが上になるように、噴流発生装置３７０が配置される場合があることを示すためである。しかし、電子機器に噴流発生装置３７０が電子機器に組み込まれる場合、必ずしも、このように上下逆に配置されるとは限らない。
【０１８８】
噴流発生装置３７０の筐体３４１の天板３４３は、例えば金属でなる。これにより、樹脂等に比べ強度が増し、その分金属板３４３を薄くすることができるので、噴流発生装置３７０の薄型化を実現できる。例えば、この場合、金属板３４３が０．５ｍｍ程度の薄さでも十分な剛性を得ることができる。樹脂の場合、厚さが０．５ｍｍ程度であると、すぐに曲がったり、折れたりしてしまい、形状を維持することができない。
【０１８９】
さらに、金属板３４３が磁性体の場合、アクチュエータ５のマグネット１４、ヨーク８及び１８で構成される磁気回路の磁界が、金属板３４３から上方に漏れることを防止することができる。磁性材料としては、鉄、パーマロイ、ケイ素鋼板、あるいはＳＰＣＣ（冷間圧延鋼板）等が挙げられる。図７５（Ａ）は金属板３４３がない場合、図７５（Ｂ）は金属板３４３がある場合のマグネット１４、ヨーク８及び１８によって形成される磁界をシミュレーションした図である。これらの図から分かるように、金属板３４３から上方に磁界が漏れることを防止できる。なお、このシミュレーションでは、金属板３４３の材料は鉄である。
【０１９０】
例えば、この噴流発生装置３７０が、図示しないＰＣ等の電子機器の筐体に組み込まれる場合、金属板３４３の上に、図示しない様々な電子部品が配置されることが考えられる。その場合に、金属板３４３の磁気シールド効果により、電子部品へ悪影響が及ぶという懸念が少なくなる。
【０１９１】
また、金属板３４３が設けられることにより、筐体３４１内にこもる熱を放出するための放熱板としてこの金属板３４３を利用することもできる。
【０１９２】
なお、図７４では、金属板３４３がチャンバ３４１ａ側のみに設けられる構成としたが、チャンバ３４１ｂ側にもさらに設けられる構成としてもよい。この場合において、ヨーク８の磁気を筐体３４１外部に漏らさないようにするためには、ヨーク８は、筐体３４１の外部に露出させずに、筐体３４１内に収容される構成とすればよい。あるいは、そのような磁気シールド効果を発揮させず、噴流発生装置の厚さを薄くしたいだけの場合、図７４に示すように、ヨーク８を露出させて筐体の一部を構成させ、チャンバ３４１ｂ側に設けられる金属板は非磁性体とすることが望ましい。ヨーク８からの磁束がその金属板に流れないようにするためである。
【０１９３】
図７６は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【０１９４】
噴流発生装置３８０は、その筐体３８１に作業用の開口３８１ａが設けられ、蓋３８２がその開口３８１ａを塞ぐように筐体３８１に装着されて構成される。このような構成により、噴流発生装置３８０の製造工程（あるいは検査工程も含まれる。）において、開口３８１ａを介して作業者が作業をしやすくなる。具体的には、開口３８１ａがない場合、ノズル体３２２が筐体３８１に取り付けられる前において、作業者は、そのノズル体３２２が取り付けられる部分の筐体３８１の開口３８１ｂからピンセット等を用いて給電線１６の配線等を行う必要があり、これは難しい作業となる。しかし、開口３８１ａがあることにより、開口３８１ａが給電線１６に近い位置にある場合、配線作業が容易となる。配線作業が終了した後に蓋３８２で開口３８１ａが塞がれる。蓋３８２は、後に接着剤や溶着、その他の方法で筐体３８１に固定されればよい。この蓋３８２は、図５０で説明した趣旨と同様に、可視光を透過するようなガラスまたは樹脂等であってもよい。これにより、作業者は、筐体３８１内の様子を観察等することができる。
【０１９５】
図７７は、例えば図４等に示したコイルボビン９に巻回されたコイル１７の他の実施の形態を示す断面図である。この形態では、コイルボビン９に巻回されたコイル５７は、断面が矩形の導線５７ａで構成される。この「断面」とは、その導線５７ａの長手方向にほぼ垂直な断面である。コイル５７は例えば３層に巻回されているが、これは一例であり、何層でもよい。このような構成により、例えば図７８に示す断面が円形の導線５８ａでなるコイル５８に比べ、その断面積の単位当りのコイル５７の密度を大きくすることができる。すなわち、同じ体積に多くの導線を巻くことが可能となる。また、導体が占める密度が同じであって同じ巻き数であっても、巻き高さ（コイル全体の厚さ）が減るので、コイル５７の薄型化を達成できる。図７７では、導線５７ａの断面は四角形であったが、３角形でもよいし、５角形以上でもよい。
【０１９６】
図７９は、図示しないコイルボビンに巻回されるコイルの他の実施形態を示す断面図である。図７９に示すコイル５９は、導線５９ａが偶数層、例えば４層に巻回されて構成されている。このように偶数層とすることにより、矢印で示すように導線５９ａの巻き始めと巻き終わりとが同じ側（図７９中、上側）にされる場合に有効である。すなわち、その場合、図８０に示すように奇数層のコイル６０の場合、図８０中、右側に示す導線６０ａの１本分の厚さ（１層分の厚さ）が無駄になる。しかし、偶数層であれば、そのスペースの無駄がなくなり、小型化に寄与する。
【０１９７】
なお、図７９ではコイル５９は４層でなるが、２層、または６層以上の偶数層でもよい。導線５９ａは断面が円形であるが、円形に限らず図７７に示すように矩形であってもよい。
【０１９８】
図８１は、本発明のさらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す平面図である。図８２は、図８１におけるＤ−Ｄ線断面図である。
【０１９９】
噴流発生装置３９０は、２つの筐体６１及び６２が一体化された２連式の噴流発生器４０を備えている。以下、一体化された筐体６１及び６２をすべて含めた１つの筐体を「筐体７０」という。筐体７０は、例えば型等により一体成型が可能である。筐体７０は、チャンバ３９１ａ及び３９１ｂを有し、これらのチャンバ３９１ａ及び３９１ｂごとに、アクチュエータ５、振動板３０３等をそれぞれ備えている。チャンバ３９１ａ及び３９１ｂは、振動板３０３の振動方向Ｒに垂直な面内（図８２中、横方向）で並ぶように配置されている。筐体７０の前面には、複数のノズル３２２ａを有するノズル体３２２が装着されており、各ノズル３２２ａ内の流路は、チャンバ３９１ａまたは３９１ｂに連通している。このノズル体３２２は、図６５で示したノズル体３２２と同様な構成である。筐体７０の背面７０ｂには、回路基板３２３が固定されている。回路基板３２３でなくても、単なる端子台でもよい。回路基板３２３は、図６８に示したように筐体３４１の一部を構成してもよい。
【０２００】
このように、平面的に並んだ２つのチャンバ３９１ａ及び３９１ｂごとに振動板３０３が設けられ、ノズル体３２２から空気を噴出させることにより、噴流発生装置３９０を薄型にすることができる上、空気の吐出量を増大させることができる。また、例えば一方の振動板３０３がある一方向に動くタイミングで、他方の振動板３０３がその反対方向に動くように、その２つの振動板３０３が振動すれば、装置全体のモーメントは発生するが、その２つの振動板３０３の振動がキャンセルされる。これにより、噴流発生装置３９０が搭載される電子機器に与える振動を抑制することができる。
【０２０１】
図８３は、図８１に示した２連式の噴流発生装置に、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが設置された状態を示す平面図である。図８４は、その噴流発生装置の背面図である。
【０２０２】
上記熱輸送デバイスは、例えば２本のヒートパイプ１４１及び２４１で構成される。図８４に示すように、噴流発生装置５１０の、２つの筐体１６１及び１６２が一体的に設けられて構成された筐体２７０の両側部には、段差２７０ａ及び２７０ｂがそれぞれ形成されている。これら段差２７０ａ及び２７０ｂには、ヒートスプレッダ１２９及び２２９にそれぞれ熱的に接続されたヒートパイプ１４１及び２４１がそれぞれ通っている。このように、筐体２０２の両端部に段差２７０ａ及び２７０ｂがあっても構造的に問題はない。厚さ方向（図８４中、縦方向）で制限される箇所は、アクチュエータ５がある部分であり、この部分以外であれば段差が設けられても問題ない。なお、段差の代わりとして、凹部または溝でもよい。また、ヒートパイプ１４１等が挿通されるような穴が筐体２７０に形成されていてもよい。
【０２０３】
ヒートスプレッダ１２９及び２２９には、図示しない発熱源が熱的に接続される。この場合、発熱源はＣＰＵやグラフィックチップ等であるが、これらに限られない。なお、「熱的に接続される」とは、直接的に接しているか、または、熱伝導性の部材や熱伝導性のシート状の部材を介して接続されていることを意味し、気体や液体等の流体によって熱伝導する場合は含まれないものとする。ヒートパイプ１４１及び２４１の各吸熱側１４１ａ及び２４１ａが各ヒートスプレッダ１２９及び２２９にそれぞれ熱的に接続され、放熱側１４１ｂ及び２４１ｂが各ヒートシンク２３５にそれぞれ熱的に接続されている。これにより、図示しない２つの発熱源からの熱がヒートシンク２３５に伝達され、噴流発生装置５１０から発生する合成噴流により、ヒートシンク２３５から熱が放出される。
【０２０４】
本実施の形態では、筐体２７０の段差２７０ａ及び２７０ｂに、それぞれヒートパイプ１４１及び２４１が配置されているので、ヒートパイプ１４１及び２４１を含めた噴流発生装置５１０の厚さを薄くすることができる。
【０２０５】
図８５は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【０２０６】
噴流発生装置５２０のアクチュエータ５は、筐体３１１から突出するように設けられている。具体的には、アクチュエータ５の一部であるヨーク８が筐体３１１の下面３１１ａから突出している。すなわち、例えばアクチュエータ５の厚さ（図８５中、縦方向の厚さ）が、これまで説明したアクチュエータ５と同じ厚さを有する場合、筐体３１１の厚さが薄く構成される。ノズル体２２２は、その筐体３１１の厚さに合わせてその厚さが設計されている。
【０２０７】
すなわち、このような構成により筐体３１１を極力小さくすることができ、無駄なスペースをなくすことができる。例えば、上述したヒートパイプ１４１等が、ヨーク８の周囲であって筐体３１１の下面３１１ａに設置される。また、ヒートパイプ１４１等に限らず、例えば、噴流発生装置５２０が電子機器に搭載される場合に、電子機器の部品等も下面３１１ａあるいは、下面３１１ａの近傍に配置することができる。これにより電子機器の薄型化を実現することができる。
【０２０８】
図８６は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す平面図である。
【０２０９】
噴流発生装置４１０は、例えば上述した２連式の噴流発生装置であり、その筐体４０１に、固定機構としてネジ止めのためのネジ穴４０１ａが設けられている。また、アクチュエータ５のヨーク８にもネジ穴８ａが設けられてもよい。例えば、噴流発生装置４１０が電子機器に組み込まれる場合に、電子機器の筐体にもネジ穴（図示せず）が形成され、そのネジ穴と、噴流発生装置４１０の筐体４０１のネジ穴４０１ａとを対応させてネジ止めすることができる。これにより、噴流発生装置４１０が電子機器に組み込まれるときの作業が容易となる。
【０２１０】
固定機構としては、ネジ止め機構に限らず、例えば係合突起と係合溝とでなる係合機構でもよい。その場合、係合突起（または係合溝）が、筐体４０１に設けられていてもよいし、電子機器側に設けられていてもよい。また、それら係合突起や係合溝の形状は、様々な形状が考えられ、例えばフック状、あるいはレール状でもよい。
【０２１１】
ネジ穴４０１ａ、８ａは、このような２連式の噴流発生装置４１０に設けられる形態に限らず、もちろん上記したすべての噴流発生装置の筐体にも設けられてもよい。
【０２１２】
また、筐体４０１は、その側面４０１ｃと背面４０１ｄとをつなぐ曲面４０１ｂを有する。すなわち、筐体４０１には側面４０１ｃから背面４０１ｄにかけてＲが付いている。Ｒが付いている分、筐体４０１のフットプリントを小さくすることができる。これにより、噴流発生装置４１０が電子機器に搭載される場合に、スペースの無駄をなくし、電子機器の部品を多く搭載することができ有利である。ちなみに、図１等に示した噴流発生装置１０の筐体１も後ろ側にＲが付いている。
【０２１３】
図８７は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置と、電子機器の筐体の一部を示す平面図である。
【０２１４】
噴流発生装置４２０は、例えば直方体形状の筐体４２１を有する。図８８は、その筐体４２１を示す斜視図である。筐体４２１の第１の側面４２１ａ及び第２の側面４２１ｂには、それぞれ第１の開口４２３ａ及び第２の開口４２３ｂが形成されている。筐体４２１は、直方体状に形成されているので、これら開口４２３ａ及び４２３ｂの開口面は、異なる角度、すなわちほぼ９０度異なる。図８７に示すように、筐体４２１の第１の側面４２１ａにはノズル体７４が装着されている。また、第２の側面４２１ｂには、ノズル体７５が装着されている。ノズル体７４及び７５はほぼ同じ構造を有し、図６５に示したノズル体３２２とほぼ同様の構造を有する。筐体４２１のさらに別の側面４２１ｃには、アクチュエータ５を駆動するための回路基板６７が設置されている。
【０２１５】
ノズル体７４及び７５から吐出される空気は合成噴流となって、第１及び第２の発熱体としてのヒートシンク７１及び７２にそれぞれ供給される。本実施の形態は、特に、電子機器の筐体６８の隅付近に噴流発生装置４２１、ヒートシンク７１及び７２が配置される場合に有効である。具体的には、筐体６８の第１の側面６８ａに形成された第１の排気口６８ｃの近傍にヒートシンク７１が配置され、第２の側面６８ｂに形成された第２の排気口６８ｄの近傍にヒートシンク７２が配置される。このような構成によれば、ヒートシンク７１及び７２から流出する熱を持つ空気が、両排気口６８ｃ及び６９ｄから排出され、効率的に放熱することができる。
【０２１６】
なお、第１及び第２の発熱体はヒートシンクに限らず、モータ、集積回路、その他の電子部品等、発熱するものなら何でもよい。
【０２１７】
図８９は、図８７に示した形態の変形例を示す。この噴流発生装置４３０は、その筐体４３１の第１の側面４３１ａ及び第２の側面４３１ｂには、ノズル体７７及び７８がそれぞれ装着されている。筐体４３１は、図８７で示した形態と同様に、図示しない第１の開口面が第１の側面４３１ａに設けられ、第２の開口面が第２の側面４３１ｂに設けられている。このように、第１及び第２の開口面がほぼ平行になっていてもよい。
【０２１８】
なお、図８７及び図８９で示した噴流発生装置の筐体４２１等は直方体形状であったが、円柱、楕円柱、多角形柱、あるいはこれらのうち少なくとも２つが組み合わせられた形状でもよい。その場合、筐体の、異なる角度の複数の側面にノズル体がそれぞれ装着されればよい。
【０２１９】
図９０は、噴流発生装置が複数内蔵された電子機器の内部の一部を示す平面図である。
【０２２０】
この例では、電子機器の筐体６８内に、同じ構造の噴流発生装置３４０ａ及び３４０ｂが異なる向きに配置されている。噴流発生装置３４０ａにより発生する合成噴流がヒートシンク７１に供給され、熱を持つ空気が排気口６８ｃを介して排出される。また、噴流発生装置３４０ｂにより発生する合成噴流がヒートシンク７２に供給され、熱を持つ空気が排気口６８ｄを介して排出される。このように、電子機器の筐体６８の形状や、筐体６８内の図示しない電子部品等の配置に合わせて、異なる向きに空気が吐出されるように複数の噴流発生装置が配置される。
【０２２１】
図９１は、図９０に示した形態の変形例を示す。
【０２２２】
噴流発生装置４４０ａ及び４４０ｂは同じ構造でなり、それら筐体４４１ａ及び４４１ｂの平面形状は長方形でなる。電子機器の筐体８６の排気口８６ｃ及び８６ｄ付近にヒートシンク７１及び７２がそれぞれ配置されている。ヒートシンク７１及び７２も同じ構造でなる。ヒートシンク７１の長さ及び噴流発生装置４４０ａのそれぞれのＹ方向の長さを足した長さｄ１、ヒートシンク７２の長さ及び噴流発生装置４４０ｂのそれぞれのＸ方向の長さを足した長さｄ２は、ほぼ等しく設計されている。このように、ヒートシンク７１及び噴流発生装置４４０ａの両者全体の平面形状がほぼ正方形であることにより、図９０に示したように、電子機器の筐体６８の隅にある無駄なスペースをなくすことができる。
【０２２３】
図９２は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【０２２４】
噴流発生装置５３０は、マグネット９１を有する振動板８０を備える。振動板８０は、筐体４５１に弾性支持部材６により支持され、筐体４５１内の底にはコイル８１が配置されている。振動板８０は、例えば金属や樹脂でなる環状の部材９２に板状のマグネット９１が装着されて構成される。その場合、金属は非磁性体がよいが、必ずしも非磁性体に限らず磁性体でもよい。マグネット９１は、例えば振動の方向であるＲ方向に着磁されている。また、筐体４５１には、空気を吐出するノズル７９ａ及び７９ｂが設けられている。コイル８１は、例えば１本の導線が巻かれて構成され、例えば図３７で示したような平面コイル２９が用いられる。
【０２２５】
コイル８１に流す電流の向きを変化させることにより、コイル８１が発生する磁界の向きが変化する。コイル８１が発生する磁界の向きが変化すると、マグネット９１の磁界に対して反発及び吸引を繰り返すことにより振動板８０が振動する。このような構成によれば、振動して動く部分が振動板８０だけであり、つまり、アクチュエータを薄くすることができるので、噴流発生装置５３０の薄型化を実現することができる。
【０２２６】
図９２ではコイル８１は１つしか設けられていないが、複数設けられていてもよい。また、その場合、複数のコイル８１に対応してマグネットが複数あってもよい。
【０２２７】
図９３は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。
【０２２８】
噴流発生装置４６０は、マグネット８７を有する振動板８２を有する。振動板８２は、例えば中央に金属や樹脂でなる板９８の周囲にマグネット８７が装着されている。マグネット８７は、例えば環状でなり、振動方向Ｒに着磁されている。
【０２２９】
図９３に示すように、筐体４６１の外周にはコイル８８が装着されている。具体的には、例えば図９４に示すように、複数のコイル８８が筐体４６１の外周の側面に装着されている。コイル８８の個数は適宜設定可能である。コイル８８はこのような形態に限らず、１本の導線が、振動板８２の振動方向Ｒを軸として筐体４６１の外周に巻回されて１つのコイルが構成されてもよい。本実施の形態では、例えば、コイル８８に流れる交流電流が整流等されることで、振動板８２は周期的に上下いずれか一方向に吸引され、または反発されて振動する。
【０２３０】
このようにコイル８８が筐体４６１外に配置されることにより、振動板８２とコイル８８とが干渉することはなく、振動板８２の振幅を大きくすることができる。したがって気体の吐出量を増やすことができる。また、振動で動く部分がコイルではなく、マグネットであるので、コイルが動く場合における給電線が不要となり、噴流発生装置が長年使用されて断線する等の懸念も解消される。さらに、筐体４６１内で発生する気流の抵抗が少なくなり、騒音が抑制される。
【０２３１】
図９５は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【０２３２】
噴流発生装置４７０は、圧電体を有する振動板９４が筐体４７１内に配置されて構成されている。振動板９４は、すなわちピエゾ素子である。ピエゾ素子としては、例えば、電極板と圧電体とが積層されて構成される積層型、あるいはバイモルフやユニモルフ型等がある。ピエゾ素子に交流電圧が印加されることにより、振動板９４は振動する。これにより、噴流発生装置４７０の薄型化を実現することができる。
【０２３３】
図９６は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。
【０２３４】
噴流発生装置４８０は、マグネット１０７を有する振動板１０６を備えている。筐体４８１の外周にはコイル１１０が装着されている。図９７は、振動板１０６を示す平面図である。振動板１０６は、金属または樹脂等でなる板１１２の外周に環状のマグネット１０７が装着されて構成されている。マグネット１０７の着磁方向は周方向である。振動板１０６は円形に限られないことは、上述したとおりである。
【０２３５】
この振動板１０６の外周と筐体４８１の内壁４８１ａとの間には、ネジ機構１０９が備えられている。ネジ機構１０９は、例えばマグネット１０７の外周にネジ山（またはネジ溝）が形成され、筐体４８１の内壁４８１ａにネジ溝（またはネジ山）が形成されて構成される。
【０２３６】
なお、ネジ機構は、マグネット１０７や内壁４８１ａに形成されるのではなく、図示しない、ネジ山が形成されたリング状の部材及びネジ溝が形成されたリング状の部材により構成され、それらがマグネット１０７の外周や内壁４８１ａに固定されるような形態も考えられる。
【０２３７】
コイル１１０に交流電流が印加されることにより、マグネット１０７は、電磁誘導によりその平面内で回転するような回転力が与えられる。マグネット１０７に回転力が与えられると、ネジ機構１０９は、その回転力を上下方向の力に変換し、これにより、振動板１０６を振動方向Ｒで振動させる。このような構成によっても噴流発生装置４８０の薄型化を達成することができる。
【０２３８】
図９８は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。
【０２３９】
この形態に係る噴流発生装置４９０には、図９６で示したネジ機構１０９の代わりに、カム機構１１８が備えられている。図９９は、噴流発生装置４９０の筐体４９１の内壁の一部を示す図であり、図１００は、振動板１０６を示す平面図である。筐体４９１の内壁４９１ａのほぼ全周にはカム溝１１６が形成されている。カム溝１１６は、例えば波状に形成されている。振動板１０６の外周には、カム溝１１６に係合する突起１１７が複数設けられている。突起１１７の数、形状、または大きさは図１００で示す２つに限定されず、振動板１０６がスムーズに振動するような数、形状、または大きさであればよい。
【０２４０】
カム機構１１８によれば、マグネット１０７の回転運動が振動板１０６のＲ方向の振動の運動に変換される。このような構成によっても噴流発生装置４９０の薄型化を達成することができる。
【０２４１】
図１０１は、さらに別の形態に係る振動装置を示す斜視図である。
【０２４２】
この振動装置１２０では、振動板１１９の周囲にアクチュエータ１４２が配置されている。振動板１１９の平面形状は例えば矩形でなり、アクチュエータ１４２は例えば３つ設けられ、それらは振動板１１９の４辺のうち３辺にそれぞれ設けられている。図１０２は、アクチュエータ１４２の構成を示す断面図である。アクチュエータ１４２は、溝を有する長尺状の外ヨーク１４６、その外ヨーク１４６の溝内に配置された長尺状で板状の内ヨーク１４９、これらの外ヨーク１４６及び内ヨーク１４９の間に配置されたマグネット１４７及び振動板１１９の周囲に装着されたコイル１４８を有する。マグネット１４７は、外ヨーク１４６の外側の壁１４６ａに設置され、コイル１４８はその外側の壁１４６ａに対面する内側の壁１４６ｂ側に配置されている。マグネット１４７は、振動板１１９の振動方向Ｒにほぼ垂直な面に沿って、この振動板１１９の中央から外周側へ向かう方向に着磁されている。
【０２４３】
なお、本実施の形態では、アクチュエータ１４２は３つ設けられているが、外ヨーク１４６の外側の壁１４６ａ及び内ヨーク１４７は、振動板１１９の全周にわたって切れ目なく連続的に設けられる構成であってもよい。アクチュエータ１４２の数も３つに限定されず、２つでもよいし、または４つ以上でもよい。振動板の平面形状によっても、その振動板の辺の数が変わるので、その辺の数に対応してアクチュエータ１４２の数を適宜変更することができる。
【０２４４】
このような構成では、内ヨーク１４９から、外ヨーク１４６にかけて磁界が発生する。コイル１４８に交流電流が印加されることで、振動板１１９はＲ方向に振動する。本実施の形態では、振動板１１９の周囲にアクチュエータ１４６が配置されているので、振動装置１２０の薄型化を実現することができる。
【０２４５】
図１０３は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。この図１０３は、中心線ｆより右側だけ図示している。
【０２４６】
噴流発生装置５４０の筐体５０１は、磁性体でなる。筐体５０１内の底部にはマグネット１４が設置され、マグネット１４にはプレート状のヨーク１８が固定されている。筐体５０１の上部には磁性体でなる壁１３８が立設し、この壁１３８もヨークの一部となる。プレート状ヨーク１８から壁１３８にかけて形成される磁界を横切るように配置されたコイル１３７が、筒状のコイルボビン２１６に巻かれている。このコイルボビン２１６に振動板１３６が装着され、振動板１３６は弾性支持部材６によって支持されている。このように、プレート状ヨーク１８、壁１３８及び筐体５０１によりヨークが構成されることで、アクチュエータ及び噴流発生装置５４０の薄型化を実現することができる。
【０２４７】
本発明は以上説明した実施の形態には限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
【０２４８】
例えば、上記各図で示した噴流発生装置、あるいは上記各図で示した振動装置を搭載した噴流発生装置は、燃料電池の燃料を供給する手段として用いることもできる。具体的には、燃料電池本体の酸素（空気）吸入口と、噴流発生装置のノズルとを対向させるように配置すればよい。このようにすれば、噴流発生装置から吐出された噴流の空気が当該吸入口から酸素燃料として吸入される。
【０２４９】
また、上記各実施の形態で示した振動装置のうち、少なくとも２つの振動装置の特徴部分を適宜組み合わせることも可能である。噴流発生装置についても同様である。
【図面の簡単な説明】
【０２５０】
【図１】本発明の一実施の形態に係る噴流発生装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示す噴流発生装置の断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る振動体を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係るアクチュエータ５を示す拡大断面図である。
【図５】図４に示したアクチュエータにより発生する磁界の様子を示す図である。
【図６】他の実施の形態に係る振動体を示す斜視図である。
【図７】さらに別の実施の形態に係る振動体を示す斜視図である。
【図８】さらに別の実施の形態に係る振動体を示す斜視図である。
【図９】さらに別の実施の形態に係る振動板を示す平面図である。
【図１０】他の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図１１】図１０に示す振動装置の斜視図である。
【図１２】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図１３】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図１４】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図１５】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図１６】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図１７】図１６におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図１８】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図１９】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図２０】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図２１】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図２２】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図２３】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図２４】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図２５】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図２６】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図２７】図２に示す振動装置等をフレームの開口端側（下部側）から見た平面図である。
【図２８】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図２９】図２８に示すアクチュエータのマグネット及びヨークで発生する磁力線の様子を示す。
【図３０】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図３１】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図３２】さらに別の実施の形態に係る振動装置を備えた噴流発生装置を示す断面図である。
【図３３】図３２に示す噴流発生装置の変形例を示す断面図である。
【図３４】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図３５】図３４におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図３６】さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。
【図３７】図３６に示す振動体の平面図である。
【図３８】さらに別の実施の形態に係る振動装置（屈曲した給電線が配線された振動装置）を示す断面図である。
【図３９】曲げ半径が小さい給電線が配線された振動装置を示す断面図である。
【図４０】縒りがかけられた給電線を示す拡大図である。
【図４１】給電線の曲げ部分を示す拡大図である。
【図４２】他の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図４３】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図４４】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図４５】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図４６】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図４７】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図４８】給電線の断面が円形状の場合の気流を示す図である。
【図４９】給電線の断面が扁平形状の場合の気流を示す図である。
【図５０】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図５１】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図５２】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図５３】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図５４】本発明の一実施の形態に係る電子機器の一部を示す断面図である。
【図５５】図１に示した噴流発生装置を、ラップトップ型のＰＣに搭載したときの一部を破断した斜視図である。
【図５６】噴流発生装置からの空気が当てられるヒートシンクを示す斜視図である。
【図５７】噴流発生装置及びヒートシンクの組み合わせを示す斜視図である。
【図５８】噴流発生装置及びヒートシンクの組み合わせの他の形態を示す斜視図である。
【図５９】ヒートシンク及び噴流発生装置のさらに別の形態を示す斜視図である。
【図６０】噴流発生装置を電子機器の筐体に搭載したときの気流を示す図である。
【図６１】気流の他の形態を示す図である。
【図６２】図５８に示した２連の噴流発生装置及びヒートシンクがＰＣに搭載された形態を示す当該ＰＣの一部破断斜視図である。
【図６３】噴流発生装置がディスプレイ機器に搭載された形態を示す当該ディスプレイ機器の一部破断斜視図である。
【図６４】噴流発生装置がプロジェクタに搭載された形態を示す当該プロジェクタの一部破断斜視図である。
【図６５】さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図６６】図６５におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図６７】筐体の外面に斜面が形成され、その斜面に回路基板が取り付けられる形態を示す図である。
【図６８】さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図６９】さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図７０】図６９におけるＤ−Ｄ線断面図である。
【図７１】フレーム、弾性支持部材及び振動板を示す斜視図である。
【図７２】フレームと弾性支持部材が一体成型された他の例を示す断面図であり、フレームと弾性支持部材の一部を示す図である。
【図７３】弾性支持部材が、そのフレーム被覆部によりフレームを被覆し、かつ、振動板被覆部により振動板を被覆している状態の断面図である。
【図７４】さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図７５】図７５（Ａ）は金属板がない場合、図７５（Ｂ）は金属板がある場合の磁気回路によって形成される磁界をシミュレーションした図である。
【図７６】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図７７】図４等に示したコイルボビンに巻回されたコイルの他の実施の形態を示す断面図である。
【図７８】断面が円形の導線でなるコイルを示す断面図である。
【図７９】コイルボビンに巻回されるコイルの他の実施形態を示す断面図である。
【図８０】奇数層のコイルを示す断面図である。
【図８１】本発明のさらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す平面図である。
【図８２】図８１に示す噴流発生装置の断面図である。
【図８３】図８１に示した２連式の噴流発生装置に、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが設置された状態を示す平面図である。
【図８４】図８３に示した噴流発生装置の背面図である。
【図８５】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図８６】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す平面図である。
【図８７】さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置と、電子機器の筐体の一部を示す平面図である。
【図８８】図８７に示す筐体の斜視図である。
【図８９】図８７に示した形態の変形例を示す図である。
【図９０】噴流発生装置が複数内蔵された電子機器の内部の一部を示す平面図である。
【図９１】図９０に示した形態の変形例を示す図である。
【図９２】さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図９３】さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。
【図９４】図９３に示す噴流発生装置の側面図である。
【図９５】さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。
【図９６】さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。
【図９７】図９６に示す振動板の平面図である。
【図９８】さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。
【図９９】図９８に示す噴流発生装置の筐体の内壁の一部を示す図である。
【図１００】図９８に示す噴流発生装置の振動板を示す平面図である。
【図１０１】さらに別の形態に係る振動装置を示す斜視図である。
【図１０２】図１０１に示すアクチュエータの構成を示す断面図である。
【図１０３】さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。
【符号の説明】
【０２５１】
Ｒ…振動方向
１、１３１…筐体
３、１３…振動体
３ａ…振動板
３ｂ、１３ｂ…側板
３ａ−１…表面
３ａ−２…裏面
３ｂ−１…穴
４、４４…フレーム
４ａ…流通口
５、１９１…アクチュエータ
６、５６…弾性支持部材
８、１８…ヨーク
９、３７…コイルボビン
１０、１３０…噴流発生装置
１２ａ、１２ｂ…開口
１２ａ、１２ｂ…ノズル
１２ｂ…ノズル
１３…振動体
１４…マグネット
１５、２５…振動装置
１６…給電線
１７…コイル
１７…コイルボビン
２１…端子台
２３ｅ…リブ
２４…フレーム
２４ａ…流通口
５２…隙間
５３ｃ、１４３ｃ…突出部
８４、９７…ヒートシンク
２５０、３００…電子機器
【図１】
2006320887.tif 000003
【図２】
2006320887.tif 000004
【図３】
2006320887.tif 000005
【図４】
2006320887.tif 000006
【図５】
2006320887.tif 000007
【図６】
2006320887.tif 000008
【図７】
2006320887.tif 000009
【図８】
2006320887.tif 000010
【図９】
2006320887.tif 000011
【図１０】
2006320887.tif 000012
【図１１】
2006320887.tif 000013
【図１２】
2006320887.tif 000014
【図１３】
2006320887.tif 000015
【図１４】
2006320887.tif 000016
【図１５】
2006320887.tif 000017
【図１６】
2006320887.tif 000018
【図１７】
2006320887.tif 000019
【図１８】
2006320887.tif 000020
【図１９】
2006320887.tif 000021
【図２０】
2006320887.tif 000022
【図２１】
2006320887.tif 000023
【図２２】
2006320887.tif 000024
【図２３】
2006320887.tif 000025
【図２４】
2006320887.tif 000026
【図２５】
2006320887.tif 000027
【図２６】
2006320887.tif 000028
【図２７】
2006320887.tif 000029
【図２８】
2006320887.tif 000030
【図２９】
2006320887.tif 000031
【図３０】
2006320887.tif 000032
【図３１】
2006320887.tif 000033
【図３２】
2006320887.tif 000034
【図３３】
2006320887.tif 000035
【図３４】
2006320887.tif 000036
【図３５】
2006320887.tif 000037
【図３６】
2006320887.tif 000038
【図３７】
2006320887.tif 000039
【図３８】
2006320887.tif 000040
【図３９】
2006320887.tif 000041
【図４０】
2006320887.tif 000042
【図４１】
2006320887.tif 000043
【図４２】
2006320887.tif 000044
【図４３】
2006320887.tif 000045
【図４４】
2006320887.tif 000046
【図４５】
2006320887.tif 000047
【図４６】
2006320887.tif 000048
【図４７】
2006320887.tif 000049
【図４８】
2006320887.tif 000050
【図４９】
2006320887.tif 000051
【図５０】
2006320887.tif 000052
【図５１】
2006320887.tif 000053
【図５２】
2006320887.tif 000054
【図５３】
2006320887.tif 000055
【図５４】
2006320887.tif 000056
【図５５】
2006320887.tif 000057
【図５６】
2006320887.tif 000058
【図５７】
2006320887.tif 000059
【図５８】
2006320887.tif 000060
【図５９】
2006320887.tif 000061
【図６０】
2006320887.tif 000062
【図６１】
2006320887.tif 000063
【図６２】
2006320887.tif 000064
【図６３】
2006320887.tif 000065
【図６４】
2006320887.tif 000066
【図６５】
2006320887.tif 000067
【図６６】
2006320887.tif 000068
【図６７】
2006320887.tif 000069
【図６８】
2006320887.tif 000070
【図６９】
2006320887.tif 000071
【図７０】
2006320887.tif 000072
【図７１】
2006320887.tif 000073
【図７２】
2006320887.tif 000074
【図７３】
2006320887.tif 000075
【図７４】
2006320887.tif 000076
【図７５】
2006320887.tif 000077
【図７６】
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【図７７】
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【図７８】
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【図７９】
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【図８０】
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【図８１】
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【図８２】
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【図８３】
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【図８４】
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【図８５】
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【図８６】
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【図８７】
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【図８８】
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【図８９】
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【図９０】
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【図９１】
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【図９２】
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【図９３】
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【図９４】
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【図９５】
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【図９６】
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【図９７】
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【図９８】
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【図９９】
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【図１００】
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【図１０１】
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【図１０２】
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【図１０３】
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