(57)【要約】【課題】  低速駆動が容易な直線型または回転型の駆動装置を提供する。【解決手段】  印加電圧を図２に示される波形のパルス電圧にする。印加電圧の減少開始時Ｃ１から一定時間ｔ１の間、伝達部材と移動体は静止摩擦力によって保持されて共に移動し、一定時間ｔ１の後、伝達部材が移動体に対して相対すべりを起こす。移動体の固定部材に対する移動は印加電圧の減少行程のｃ段階のときにのみ引き起こされる。従って、本実施の形態では、印加電圧の最大値を小さくすることなく、印加電圧の１パルスあたりの移動体の移動量を小さくすることができ、駆動装置を容易に低速駆動させることができる。【選択図】図２
2006174615.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加電圧を増加又は減少させることで変形する電気機械エネルギー変換素子と、前記電気機械エネルギー変換素子が接合されて前記変形に伴う運動が伝達される伝達部材と、前記伝達部材に支持された移動体とを有し、
前記伝達部材を前記移動体の移動方向の正方向と逆方向に異なる速度で振動させることにより前記移動体を前記移動方向に移動させる駆動装置において、
前記印加電圧の増加開始時から一定時間の後に前記印加電圧の増加率を切り換えることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記印加電圧の増加開始時から一定時間の後に前記印加電圧の増加率を大きくし、前記伝達部材から前記移動体に作用する力を動摩擦力にする請求項１記載の駆動装置。
【請求項３】
前記印加電圧の増加開始時から一定時間の後に前記印加電圧の増加率を小さくし、前記伝達部材から前記移動体に作用する力を静止摩擦力にする請求項１記載の駆動装置。
【請求項４】
印加電圧を増加又は減少させることで変形する電気機械エネルギー変換素子と、前記電気機械エネルギー変換素子が接合されて前記変形に伴う運動が伝達される伝達部材と、前記伝達部材に支持された移動体とを有し、
前記伝達部材を前記移動体の移動方向の正方向と逆方向に異なる速度で振動させることにより前記移動体を前記移動方向に移動させる駆動装置において、
前記印加電圧の減少開始時から一定時間の後に、前記印加電圧の減少率を切り換えることを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
前記印加電圧の減少開始時から一定時間の後に、前記印加電圧の減少率を大きくし、前記伝達部材から前記移動体に作用する力を動摩擦力にする請求項４記載の駆動装置。
【請求項６】
前記印加電圧の減少開始時から一定時間の後に、前記印加電圧の減少率を小さくし、前記伝達部材から前記移動体に作用する力を静止摩擦力にする請求項４記載の駆動装置。
【請求項７】
印加電圧を増加又は減少させることで変形する電気機械エネルギー変換素子と、前記電気機械エネルギー変換素子が接合されて前記変形に伴う運動が伝達される伝達部材と、前記伝達部材に支持された移動体とを有し、
前記伝達部材を前記移動体の移動方向の正方向と逆方向に異なる速度で振動させることにより前記移動体を前記移動方向に移動させる駆動装置において、
前記伝達部材が正方向へ移動するときに、前記正方向への移動速度が一定時間の後に切り換わることを特徴とする駆動装置。
【請求項８】
前記伝達部材が正方向へ移動するときに、前記正方向への移動速度が一定時間の後に大きくなり、前記伝達部材から前記移動体に作用する力が動摩擦力になる請求項７記載の駆動装置。
【請求項９】
前記伝達部材が正方向へ移動するときに、前記正方向への移動速度が一定時間の後に小さくなり、前記伝達部材から前記移動体に作用する力が静止摩擦力になる請求項７記載の駆動装置。
【請求項１０】
印加電圧を増加又は減少させることで変形する電気機械エネルギー変換素子と、前記電気機械エネルギー変換素子が接合されて前記変形に伴う運動が伝達される伝達部材と、前記伝達部材に支持された移動体とを有し、
前記伝達部材を前記移動体の移動方向の正方向と逆方向に異なる速度で振動させることにより前記移動体を前記移動方向に移動させる駆動装置において、
前記伝達部材が前記逆方向へ移動するときに、前記逆方向への移動速度が一定時間の後に切り換わることを特徴とする駆動装置。
【請求項１１】
前記伝達部材が前記逆方向へ移動するときに、前記逆方向への移動速度が一定時間の後に大きくなり、前記伝達部材から前記移動体に作用する力が動摩擦力になる請求項１０記載の駆動装置。
【請求項１２】
前記伝達部材が前記逆方向へ移動するときに、前記逆方向への移動速度が一定時間の後に小さくなり、前記伝達部材から前記移動体に作用する力が静止摩擦力になる請求項１０記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機械エネルギー変換素子用いて移動体を直線方向又は回転方向にステップ送りする駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図９は従来の駆動装置を示す斜視図である。この駆動装置は、例えばセラミックス材料などで形成される伝達部材１１と、この伝達部材１１に接合された電気機械エネルギー変換素子１２と、例えば金属材料などで形成される移動体１３とを有して構成されている。
【０００３】
図９に示すように、伝達部材１１は内周面１１ｃを有する中空状の円形筒体として構成されている。内周面１１ｃの直径寸法はＤ１で形成されている。図９に示す実施形態では、内周面１１ｃは、伝達部材１１の前端面１１ａから延びて後端面１１ｂまで連続して形成されている。後端面１１ｂが電気機械エネルギー変換素子１２の前端面（対向面）１２ａと接合されている。電気機械エネルギー変換素子１２の後端面１２ｂが、固定部材１４の表面１４ａに接合されて固定されている。
【０００４】
電気機械エネルギー変換素子１２には図示しない電気導体が接続されており、この電気導体を介して電圧を印加および除去を行うと、これに伴って変形する。伝達部材１１に形成された内周面１１ｃの長手方向（図示Ｙ１−Ｙ２方向）における長さ寸法が伸縮変形する。この電気機械エネルギー変換素子１２の変形に伴う伸縮運動が、伝達部材１１に伝達される。電気機械エネルギー変換素子１２としては、圧電素子などが使用される。
【０００５】
移動体１３は円柱形状に構成されており、直径寸法Ｄ２は、内周面１１ｃの直径寸法Ｄ１よりも若干小さい寸法である。移動体１３は、一部が内周面１１ｃ内に挿入されている。そして、内周面１１ｃと移動体１３の表面１３ｃとの間で静止摩擦力が生じている。
【０００６】
以下に、図１０および図１１を用いて本体１０の駆動動作について説明する。
まず、図１０（ａ）に示す状態では、移動体１３の前端面１３ａが、固定部材１４の表面１４ａから間隔Ｌ１０だけ離れて位置している。また、このとき、表面１４ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔はＬ２０である。移動体１３の前端面１３ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔はＬ３０である。電気機械エネルギー変換素子１２の長手方向（図示Ｙ１−Ｙ２方向）における長さ寸法はＬ４０である。固定部材１４の表面１４ａを基準位置とし、また図１０（ａ）に示す状態を基準状態とする。また、この基準状態での電気機械エネルギー変換素子１２を変形前状態とする。この基準状態では、図１１（ａ）のＮｏ．１に示すように、電気機械エネルギー変換素子１２に印加される印加電圧がゼロとなっている。
【０００７】
次に図１１（ｂ）のＮｏ．２に示すように、電気機械エネルギー変換素子１２に対して電圧を急激に印加すると、図１０（ｂ）に示すように、電気機械エネルギー変換素子１２が内周面１１ｃの長手方向（図示Ｙ１−Ｙ２方向）に、後記する図１０（ｃ）における動作時の電気機械エネルギー変換素子１２の短縮変形速度よりも早い変形速度で急激に伸長変形し、長手方向における長さ寸法がＬ４０からＬ４１へと伸長する。このときの電気機械エネルギー変換素子１２を変形後状態とする。この電気機械エネルギー変換素子１２の急激な伸長変形に伴って、電気機械エネルギー変換素子１２に固定された伝達部材１１も固定部材１４から離れる方向（図示Ｙ１方向）に移動して、表面１４ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔は、Ｌ２０からＬ２１へと変化する。しかし、移動体１３は移動せずに、前端面１３ａが図１０（ａ）に示す基準状態の時と同じ位置に留まったままである。したがって、移動体１３の前端面１３ａが、固定部材１４の表面１４ａから間隔Ｌ１０だけ離れて位置している。また、移動体１３の前端面１３ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔は、Ｌ３０からＬ３１へと短縮させられる。これは、電圧印加が急激なため、電気機械エネルギー変換素子１２の伸長変形も急激になされて、伝達部材１１の移動も急激に行われるため、伝達部材１１の内周面１１ｃと移動体１３の表面１３ｃとの間に生じている静止摩擦力に打ち勝って、伝達部材１１のみが、移動体１３の前端面１３ａ方向に移動させられるためである。
【０００８】
次に図１１（ｃ）のＮｏ．３に示すように、電気機械エネルギー変換素子１２に印加した電圧を徐々に緩やかに減少させると、図１０（ｃ）に示すように、電気機械エネルギー変換素子１２が内周面１１ｃの長手方向に短縮変形し、この長手方向における長さ寸法Ｌ４１が、変形後状態の長さ寸法Ｌ４１から、変形前状態と同じ長さ寸法Ｌ４０に戻る。この電気機械エネルギー変換素子１２の短縮変形に伴って、電気機械エネルギー変換素子１２に固定された伝達部材１１も電気機械エネルギー変換素子１２方向（図示Ｙ２方向）に移動して、表面１４ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔が、Ｌ２１から基準状態と同じＬ２０へと変化する。このとき、印加電圧の除去が徐々に緩やかに行われるため、電気機械エネルギー変換素子１２の短縮変形も徐々に、図１０（ｂ）における動作時の電気機械エネルギー変換素子１２の伸長変形速度よりも遅い変形速度で緩やかになされる。したがって、伝達部材１１の移動も徐々に緩やかに行われるため、伝達部材１１と移動体１３の表面１３ｃとの間に生じている静止摩擦力によって、移動体１３が、伝達部材１１とともに固定部材１４の方向に移動させられる。なお、このとき、移動体１３の表面１３ｃと伝達部材１１との間には静止摩擦力が生じているため、移動体１３と伝達部材１１との相対位置は変化せず、移動体１３の前端面１３ａと伝達部材１１の前端面１１ａとの間隔は、図１０（ｂ）に示す状態と同じＬ３１のままである。このように、移動体１３が、伝達部材１１とともに固定部材１４の方向へ移動するため、移動体１３の前端面１３ａと表面１４ａとの間隔がＬ１０からＬ１１に短縮させられる。
【０００９】
これらの行程を繰り返すことにより、移動体１３を図示Ｙ２方向に移動させることができる。このような駆動装置は特許文献１（特開２００２−１４２４７０号公報）に記載されている。
【００１０】
従来の駆動装置において、移動体１３を低速移動させるときには、ノコギリ波状の印加電圧Ｖの周波数を低くするという方法が取られていた。
【００１１】
または、特許文献２（特開平１０−３３７０５６号公報）に記載されているように、印加電圧の最大電圧を小さくすることによって低速駆動させるという方法が提案されていた。
【特許文献１】特開２００２−１４２４７０号公報（第４頁、図４）
【特許文献２】特開平１０−３３７０５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、移動体１３を低速移動させるときに、ノコギリ波状の印加電圧Ｖの周波数を低くすると駆動装置に振動ノイズが発生しやすくなるという問題が発生していた。
【００１３】
また、移動体１３と伝達部材１１との間に相対すべりを発生させるためには、印加電圧の最大値を一定以上の値以上にする必要があるので、印加電圧の最大値を小さくするという方法では、最低駆動速度の制約が大きかった。
【００１４】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、振動ノイズの発生を防止しつつ、任意の低速度で駆動可能な駆動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、印加電圧を増加又は減少させることで変形する電気機械エネルギー変換素子と、前記電気機械エネルギー変換素子が接合されて前記変形に伴う運動が伝達される伝達部材と、前記伝達部材に支持された移動体とを有し、
前記伝達部材を前記移動体の移動方向の正方向と逆方向に異なる速度で振動させることにより前記移動体を前記移動方向に移動させる駆動装置において、
前記印加電圧の増加開始時から一定時間の後に前記印加電圧の増加率を切り換えることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明では、前記印加電圧の増加開始時から一定時間の後に前記印加電圧の増加率を切り換えることにより、前記印加電圧の増加時に、前記移動体が前記伝達部材に対して相対的に移動する相対すべりと、前記移動体と前記伝達部材が摩擦力によって保持されて同時に移動する協同移動の両方を行うことができる。前記印加電圧の増加率とは単位時間（例えば１ミリ秒）当たりの印加電圧の増加量である。
【００１７】
従って、印加電圧の１パルスあたりの前記移動体の移動量を小さくすることができ、駆動装置を容易に低速駆動させることができる。
【００１８】
しかも、本発明では、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することが出来るので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
【００１９】
前記移動体の前記印加電圧１パルスあたりの移動量は前記移動体と前記伝達部材が摩擦力によって保持されて同時に移動する距離（協同移動距離）によって規定されるが、本発明では、前記印加電圧の最大値を小さくすることなく、この距離を小さくすることができる。このため、前記移動体を任意の低速度で移動させることが容易になる。
【００２０】
なお、本発明において、「前記印加電圧の増加率を切り換える」とは、前記印加電圧が正の値で増加しているときの増加率を異なる正の増加率に切り換えることを意味し、前記印加電圧を定電圧にすることや負の速度（減少率）に切り換えることは含まれない。
【００２１】
例えば本発明では、前記印加電圧の増加開始時から一定時間の後に前記印加電圧の増加率を大きくし、前記伝達部材から前記移動体に作用する力を動摩擦力にする。
【００２２】
このときは、前記印加電圧の増加開始時から前記一定時間の間、前記伝達部材と前記移動体は静止摩擦力によって保持されて共に移動し、前記一定時間の後、前記伝達部材が前記移動体に対して相対すべりを起こす。
【００２３】
または、前記印加電圧の増加開始時から一定時間の後に前記印加電圧の増加率を小さくし、前記伝達部材から前記移動体に作用する力を静止摩擦力にする。
【００２４】
このときは、前記印加電圧の増加開始時から前記一定時間の間、前記伝達部材が前記移動体に対して相対すべりを起こし、前記一定時間の後、前記伝達部材と前記移動体は静止摩擦力によって保持されて共に移動する。
【００２５】
または、本発明は、前記印加電圧の減少開始時から一定時間の後に、前記印加電圧の減少率を切り換えることを特徴とするものである。
【００２６】
本発明では、前記印加電圧の減少開始時から一定時間の後に前記印加電圧の減少率を切り換えることにより、前記印加電圧の減少時に、前記移動体が前記伝達部材に対して相対的に移動する相対すべりと、前記移動体と前記伝達部材が摩擦力によって保持されて同時に移動する協同移動の両方を行うことができる。前記印加電圧の減少率とは単位時間（例えば１ミリ秒）当たりの印加電圧の減少量であり、正の値をとる。
【００２７】
従って、印加電圧の１パルスあたりの前記移動体の移動量を小さくすることができ、駆動装置を容易に低速駆動させることができる。
【００２８】
しかも、本発明では、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することが出来るので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
【００２９】
前記移動体の前記印加電圧１パルスあたりの移動量は前記移動体と前記伝達部材が摩擦力によって保持されて同時に移動する距離（協同移動距離）によって規定されるが、本発明では、前記印加電圧の最大値を小さくすることなく、この距離を小さくすることができる。このため、前記移動体を任意の低速度で移動させることが容易になる。
【００３０】
なお、本発明において、「前記印加電圧の減少率を切り換える」とは、前記印加電圧が減少しているときの減少率を異なる減少率に切り換えることを意味し、前記印加電圧を定電圧にすることや増加させることは含まれない。
【００３１】
例えば本発明では、前記印加電圧の減少開始時から一定時間の後に前記印加電圧の減少率を大きくし、前記伝達部材から前記移動体に作用する力を動摩擦力にする。
【００３２】
このときは、前記印加電圧の減少開始時から前記一定時間の間、前記伝達部材と前記移動体は摩擦力によって保持されて共に移動し、前記一定時間の後、前記伝達部材が前記移動体に対して相対すべりを起こす。
【００３３】
または、前記印加電圧の減少開始時から一定時間の後に前記印加電圧の減少率を小さくし、前記伝達部材から前記移動体に作用する力を静止摩擦力にする。
【００３４】
このときは、前記印加電圧の減少開始時から前記一定時間の間、前記伝達部材が前記移動体に対して相対すべりを起こし、前記一定時間の後、前記伝達部材と前記移動体は摩擦力によって保持されて共に移動する。
【００３５】
或は、本発明は、前記伝達部材が正方向へ移動するときに、前記正方向への移動速度が一定時間の後に切り換わることを特徴とするものである。
【００３６】
なお、「正方向への移動速度が一定時間の後に切り換わる」とは、前記伝達部材が正方向に進んでいるときの移動速度が変化することを意味し、前記伝達部材の移動速度を定速度にすることや前記正方向の逆方向に移動させることは含まれない。
【００３７】
例えば、前記伝達部材が正方向へ移動するときに、前記正方向への移動速度が一定時間の後に大きくなり、前記伝達部材から前記移動体に作用する力が動摩擦力になる。または、前記伝達部材が正方向へ移動するときに、前記正方向への移動速度が一定時間の後に小さくなり、前記伝達部材から前記移動体に作用する力が静止摩擦力になる。
【００３８】
または、本発明は、前記伝達部材が前記逆方向へ移動するときに、前記逆方向への移動速度が一定時間の後に切り換わることを特徴とするものである。
【００３９】
なお、「逆方向への移動速度が一定時間の後に切り換わる」とは、前記伝達部材が逆方向に進んでいるときの移動速度が変化することを意味し、前記伝達部材の移動速度を定速度にすることや前記正方向に移動させることは含まれない。
【００４０】
例えば、前記伝達部材が前記逆方向へ移動するときに、前記逆方向への移動速度が一定時間の後に大きくなり、前記伝達部材から前記移動体に作用する力が動摩擦力になる。または、前記伝達部材が前記逆方向へ移動するときに、前記逆方向への移動速度が一定時間の後に小さくなり、前記伝達部材から前記移動体に作用する力が静止摩擦力になる。
【発明の効果】
【００４１】
本発明では、前記印加電圧の増加開始時から一定時間の後に前記印加電圧の増加率を切り換えること、または、前記印加電圧の減少開始時から一定時間の後に前記印加電圧の減少率を切り換えることにより、前記印加電圧の増加または減少時に、前記移動体が前記伝達部材に対して相対的に移動する相対すべりと、前記移動体と前記伝達部材が摩擦力によって保持されて同時に移動する協同移動の両方を行うことができる。
【００４２】
従って、印加電圧の１パルスあたりの前記移動体の移動量を小さくすることができ、駆動装置を容易に低速駆動させることができる。
【００４３】
しかも、本発明では、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することが出来るので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
【００４４】
前記移動体の前記印加電圧１パルスあたりの移動量は前記移動体と前記伝達部材が摩擦力によって保持されて同時に移動する距離（協同移動距離）によって規定されるが、本発明では、前記印加電圧の最大値を小さくすることなく、この距離を小さくすることができる。このため、前記移動体を任意の低速度で移動させることが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、本発明の実施の形態の駆動装置の駆動状態を示す側面図である。図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示される駆動装置の本体１０は、図９又は図１０に示された駆動装置の本体１０と同じ構成である。
【００４６】
すなわちは、本体１０は例えばセラミックス材料などで形成される伝達部材１１と、この伝達部材１１に接合された電気機械エネルギー変換素子１２と、例えば金属材料などで形成される移動体１３とを有して構成されている。
【００４７】
図１に示すように、伝達部材１１は内周面１１ｃを有する中空状の円形筒体として構成されている。内周面１１ｃの直径寸法はＤ１で形成されている。図１に示す実施形態では、内周面１１ｃは、伝達部材１１の前端面１１ａから延びて後端面１１ｂまで連続して形成されている。後端面１１ｂが電気機械エネルギー変換素子１２の前端面（対向面）１２ａと接合されている。電気機械エネルギー変換素子１２の後端面１２ｂが、固定部材１４の表面１４ａに接合されて固定されている。
【００４８】
電気機械エネルギー変換素子１２には図示しない電気導体が接続されており、この電気導体を介して電圧供給回路２０が接続されている。電圧供給回路２０が電気機械エネルギー変換素子１２に供給する印加電圧は図２ないし図５に示される波形を有するパルス電圧である。電気機械エネルギー変換素子１２に印加電圧が供給されると、電気機械エネルギー変換素子１２はこれに伴って図示Ｙ１−Ｙ２方向における長さ寸法が伸縮変形する。この電気機械エネルギー変換素子１２の変形に伴う伸縮運動が、伝達部材１１に伝達される。電気機械エネルギー変換素子１２としては、圧電素子、電歪素子、あるいは磁歪素子などを使用することができる。
【００４９】
移動体１３は円柱形状に構成されており、直径寸法Ｄ２は、内周面１１ｃの直径寸法Ｄ１よりも若干小さい寸法である。移動体１３は、一部が内周面１１ｃ内に挿入されている。そして、移動体１３の表面１３ｃに静止摩擦力が生じている。
【００５０】
駆動装置Ａの駆動動作について説明する。
まず、図１（ａ）に示す状態では、移動体１３の前端面１３ａが、固定部材１４の表面１４ａから間隔Ｌ１０だけ離れて位置している。また、このとき、表面１４ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔はＬ２０である。移動体１３の前端面１３ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔はＬ３０である。電気機械エネルギー変換素子１２の長手方向（図示Ｙ１−Ｙ２方向）における長さ寸法はＬ４０である。固定部材１４の表面１４ａを基準位置とし、また図１（ａ）に示す状態を基準状態とする。また、この基準状態での電気機械エネルギー変換素子１２を変形前状態とする。この基準状態では、図２のａに示すように、電気機械エネルギー変換素子１２に印加される印加電圧がゼロとなっている。
【００５１】
次に図２のｂに示すように、電気機械エネルギー変換素子１２に供給する電圧を急激に増加させると、図１（ｂ）に示すように、電気機械エネルギー変換素子１２が内周面１１ｃの長手方向（図示Ｙ１−Ｙ２方向）に、後記する図１（ｃ）における動作時の電気機械エネルギー変換素子１２の短縮変形速度よりも早い変形速度で急激に伸長変形し、長手方向における長さ寸法がＬ４０からＬ４１へと伸長する。このときの電気機械エネルギー変換素子１２を変形後状態とする。この電気機械エネルギー変換素子１２の急激な伸長変形に伴って、電気機械エネルギー変換素子１２に固定された伝達部材１１も固定部材１４から離れる方向（図示Ｙ１方向；正方向）に移動して、表面１４ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔は、Ｌ２０からＬ２１へと変化する。しかし、移動体１３は移動せずに、前端面１３ａが図１（ａ）に示す基準状態の時と同じ位置に留まったままである。したがって、移動体１３の前端面１３ａが、固定部材１４の表面１４ａから間隔Ｌ１０だけ離れて位置している。また、移動体１３の前端面１３ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔は、Ｌ３０からＬ３１へと短縮させられる。これは、電圧印加が急激なため、電気機械エネルギー変換素子１２の伸長変形も急激になされて、伝達部材１１の移動も急激に行われるため、静止摩擦力に打ち勝って、伝達部材１１のみが、移動体１３の前端面１３ａ方向に移動させられるためである。
【００５２】
次に図２のｃ段階に示すように、電気機械エネルギー変換素子１２に印加した電圧を徐々に減少させると、図１（ｃ）に示すように、電気機械エネルギー変換素子１２が内周面１１ｃの長手方向に短縮変形し、この長手方向における長さ寸法Ｌ４１が、変形後状態の長さ寸法Ｌ４１から、長さ寸法Ｌ４２になる。この電気機械エネルギー変換素子１２の短縮変形に伴って、電気機械エネルギー変換素子１２に固定された伝達部材１１も電気機械エネルギー変換素子１２方向（図示Ｙ２方向；逆方向）に移動して、表面１４ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔が、Ｌ２１からＬ２２へと変化する。このとき、印加電圧の除去が徐々に行われるため、電気機械エネルギー変換素子１２の短縮変形も徐々に、図１（ｂ）における動作時の電気機械エネルギー変換素子１２の伸長変形速度よりも遅い変形速度で緩やかになされる。したがって、伝達部材１１の移動も徐々に行われるため、移動体１３の表面１３ｃに生じている静止摩擦力によって、移動体１３が、伝達部材１１とともに固定部材１４の方向に移動させられる。なお、このとき、移動体１３の表面１３ｃには静止摩擦力が生じているため、移動体１３と伝達部材１１との相対位置は変化せず、移動体１３の前端面１３ａと伝達部材１１の前端面１１ａとの間隔は、図１（ｂ）に示す状態と同じＬ３１のままである。このように、移動体１３が、伝達部材１１とともに固定部材１４の方向へ移動するため、移動体１３の前端面１３ａと表面１４ａとの間隔がＬ１０からＬ１１に短縮させられる。
【００５３】
本実施の形態では、図２のｄ段階に示すように、印加電圧の減少開始時ｃ１から一定時間ｔ１後に、印加電圧の減少率を切り換えて大きくしている。このように印加電圧の減少率を減少行程の途中で大きくすることにより、移動体１３に作用する力を動摩擦力にする。すると、図１（ｄ）に示すように、電気機械エネルギー変換素子１２が内周面１１ｃの長手方向（図示Ｙ２方向）に、図１（ｃ）における動作時の電気機械エネルギー変換素子１２の短縮変形速度よりも早い変形速度で急激に短縮変形し、長手方向における長さ寸法がＬ４２から変形前状態のＬ４０になる。この電気機械エネルギー変換素子１２の急激な短縮変形に伴って、電気機械エネルギー変換素子１２に固定された伝達部材１１も固定部材１４に近づく方向（図示Ｙ２方向）に移動して、表面１４ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔は、変形前状態のＬ２０になる。これは、電圧の急激な電圧の減少により、電気機械エネルギー変換素子１２の短縮変形も急激になされて、伝達部材１１の移動も急激に行われるため、静止摩擦力に打ち勝って、伝達部材１１のみが移動体１３の前端面１３ａ方向に移動させられることによる。すなわち、伝達部材１１は移動体１３に対して相対すべりを起こし、移動体１３の固定部材１４からの位置は変わらず、前端面１３ａが図１（ｃ）に示す状態と同じ位置に留まったままである。したがって、移動体１３の前端面１３ａが、固定部材１４の表面１４ａから間隔Ｌ１１だけ離れて位置している。また、移動体１３の前端面１３ａから伝達部材１１の前端面１１ａまでの間隔は、Ｌ３０からＬ３２へと伸張させられる。これらの行程を繰り返して、移動体１３は固定部材１４に近づく方向（図示Ｙ２方向；逆の方向）に移動する。
【００５４】
このように、本実施の形態では、印加電圧の減少開始時ｃ１から一定時間ｔ１の間、伝達部材１１と移動体１３は静止摩擦力によって保持されて共に移動し、一定時間ｔ１の後、伝達部材１１が移動体１３に対して相対すべりを起こす。移動体１３の印加電圧１パルスあたりの移動量は移動体１３と伝達部材１１が静止摩擦力によって保持されて同時に移動する距離（協同移動距離；Ｌ１０とＬ１１の差）によって規定される。すなわち、移動体１３の固定部材１４に対する移動は図２に示される印加電圧の減少行程のｃ段階のときにのみ引き起こされる。一方、従来の駆動装置では図９ないし図１１に示されるように、印加電圧の全減少行程において移動体１３の固定部材１４に対する移動が引き起こされる。
そして、本実施の形態も、従来の駆動装置も、印加電圧の最大値は等しい値である。
【００５５】
従って、本実施の形態では、印加電圧の最大値を小さくすることなく、印加電圧の１パルスあたりの移動体の移動量を任意に小さくすることができ、駆動装置を容易に低速駆動させることができる。
【００５６】
また、図２のｃ段階の電圧変化量（Ｖｍａｘ−Ｖ１）の設定によって、移動体１３の移動速度を設定することができる。すなわち、図２のｃ段階の電圧変化量（Ｖｍａｘ−Ｖ１）を大きくして、移動体１３と伝達部材１１の協同移動距離を長くすると移動体１３の高速移動が可能になり、図２のｃ段階の電圧変化量（Ｖｍａｘ−Ｖ１）を小さくして、移動体１３と伝達部材１１の協同移動距離を短くすると移動体１３の低速移動が可能になる。例えば、高速駆動時には、図９ないし図１１に示された従来の駆動装置に用いられるノコギリ波形の印加電圧を用い、低速駆動時には、図２に示される波形の印加電圧を用いる。従って、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することが出来るので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
【００５７】
また、本実施の形態では、ｃ段階の印加電圧の減少量（Ｖｍａｘ−Ｖ１）を各パルスごとに一定の値になるように調節することにより、各パルス当たりの移動体１３の移動量を一定にすることができる。
【００５８】
なお、「印加電圧の減少率を切り換える」とは、印加電圧が減少しているときの速度を異なる減少率に切り換えることを意味し、印加電圧を定電圧にすることや増加率に切り換えることは含まれない。
【００５９】
または、図３に示されるパルス波形の印加電圧を図１に示される本体１０の電気機械エネルギー変換素子１２に印加してもよい。印加電圧の減少開始時ｃ１から一定時間の後、図３においては回路の遅延速度に依存するがほぼ瞬間的に印加電圧の減少率を小さくし、伝達部材１１と移動体１３間に作用する力を静止摩擦力にする。
【００６０】
このときは、印加電圧の減少開始時ｃ１の後、伝達部材１１が移動体１３に対して相対すべりを起こし、印加電圧の減少率が小さくなったｄ段階において、伝達部材１１と移動体１３は静止摩擦力によって保持されて共に移動し、移動体１３が固定部材１４に近づく。これらの行程を繰り返して、移動体１３は固定部材１４に近づく方向（図示Ｙ２方向；逆の方向）に移動する。
【００６１】
すなわち、移動体１３の固定部材１４に対する移動は図３に示される印加電圧の減少行程のｄ段階のときにのみ引き起こされる。そして、本実施の形態も、従来の駆動装置も、印加電圧の最大値は等しい値である。従って、本実施の形態では、印加電圧の最大値を小さくすることなく、印加電圧の１パルスあたりの移動体の移動量を任意に小さくすることができ、駆動装置を容易に低速駆動させることができる。
【００６２】
また、図３のｄ段階の電圧変化量（Ｖ１）の設定によって、移動体１３の移動速度を設定することができる。すなわち、図３のｄ段階の電圧変化量（Ｖ１）を大きくして、移動体１３と伝達部材１１の協同移動距離を長くすると移動体１３の高速移動が可能になり、図２のｃ段階の電圧変化量（Ｖ１）を小さくして、移動体１３と伝達部材１１の協同移動距離を短くすると移動体１３の低速移動が可能になる。例えば、高速駆動時には、図９ないし図１１に示された従来の駆動装置に用いられるノコギリ波形の印加電圧を用い、低速駆動時には、図３に示される波形の印加電圧を用いる。従って、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することが出来るので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
【００６３】
また、本実施の形態では、ｄ段階の印加電圧の減少量（Ｖ１）を各パルスごとに一定の値になるように調節することにより、各パルス当たりの移動体１３の移動量を一定にすることができる。
【００６４】
本実施の形態では、図示Ｙ１方向を本発明の正方向、図示Ｙ２方向を本発明の逆方向とする。従って、図１の本体１０に図２に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、伝達部材１１が逆方向（図示Ｙ２方向）へ移動するときに、Ｙ２方向への移動速度が一定時間の後に大きくなり、移動体１３に作用する力が動摩擦力になる。また、図１の本体１０に図３に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、伝達部材１１がＹ２方向へ移動するときに、Ｙ２方向への移動速度が一定時間の後に小さくなり、移動体１３間に作用する力は静止摩擦力になる。
【００６５】
或いは、図１に示される本体１０の電気機械エネルギー変換素子１２に、図４又は図５に示されるパルス波形の印加電圧を供給してもよい。
【００６６】
本体１０の電気機械エネルギー変換素子１２に図４に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、図４のｂに示すように、印加電圧の増加開始時ｂ１から印加電圧を瞬間的に増加させ、移動体１３に作用する力を動摩擦力にする。すると、電気機械エネルギー変換素子１２が内周面１１ｃの長手方向（図示Ｙ１方向）に急激に伸張変形する。この電気機械エネルギー変換素子１２の急激な伸張変形に伴って、電気機械エネルギー変換素子１２に固定された伝達部材１１も固定部材１４から離れる方向（図示Ｙ１方向；正の方向）に急激に移動して、静止摩擦力に打ち勝って伝達部材１１のみが移動体１３の前端面１３ａ方向に移動させられる。すなわち、伝達部材１１は移動体１３に対して相対すべりを起こし、移動体１３の固定部材１４からの位置は変わらない。
【００６７】
次に印加電圧の増加開始時ｂ１から一定時間後、図４においては回路の遅延速度に依存するがほぼ瞬間的に印加電圧の増加率を切り換えて小さくしている。このように印加電圧の増加率が小さくなったｃ段階において、伝達部材１１と移動体１３は静止摩擦力によって保持されて共に移動し、移動体１３が固定部材１４から離れる方向（図示Ｙ１方向；正の方向）に移動する。次に図４のｄ段階において印加電圧が急激に減少し、伝達部材１１のみがもとの位置に戻る。これらの行程を繰り返して、移動体１３は固定部材１４から離れる方向（図示Ｙ１方向；正の方向）に移動する。
【００６８】
移動体１３の固定部材１４に対する移動は図４に示される印加電圧の増加行程のｃ段階のときにのみ引き起こされる。そして、本実施の形態も、従来の駆動装置も、印加電圧の最大値は等しい値である。従って、本実施の形態では、印加電圧の最大値を小さくすることなく、印加電圧の１パルスあたりの移動体の移動量を小さくすることができ、駆動装置を容易に低速駆動させることができる。
【００６９】
また、図４のｃ段階の電圧変化量（Ｖｍａｘ−Ｖ１）の設定によって、移動体１３の移動速度を設定することができる。すなわち、図４のｃ段階の電圧変化量（Ｖｍａｘ−Ｖ１）を大きくして、移動体１３と伝達部材１１の協同移動距離を長くすると移動体１３の高速移動が可能になり、図４のｃ段階の電圧変化量（Ｖｍａｘ−Ｖ１）を小さくして、移動体１３と伝達部材１１の協同移動距離を短くすると移動体１３の低速移動が可能になる。例えば、高速駆動時には、図９ないし図１１に示された従来の駆動装置に用いられるノコギリ波形の印加電圧を用い、低速駆動時には、図４に示される波形の印加電圧を用いる。従って、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することが出来るので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
【００７０】
また、本実施の形態では、ｃ段階の印加電圧の増加量（Ｖｍａｘ−Ｖ１）を各パルスごとに一定の値になるように調節することにより、各パルス当たりの移動体１３の移動量を一定にすることができる。
【００７１】
本体１０の電気機械エネルギー変換素子１２に図５に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、印加電圧の増加開始時ｂ１から一定時間ｔ１の間、伝達部材１１と移動体１３は静止摩擦力によって保持されて共に移動する。一定時間ｔ１の後、印加電圧の増加率が切り換わって大きくなり、伝達部材１１が移動体１３に対して相対すべりを起こす。その後、ｄ段階において印加電圧が急激に減少し、伝達部材１１のみがもとの位置に戻る。これらの行程を繰り返して、移動体１３は固定部材１４から離れる方向（図示Ｙ１方向；正の方向）に移動する。
【００７２】
移動体１３の印加電圧１パルスあたりの移動量は移動体１３と伝達部材１１が静止摩擦力によって保持されて同時に移動する距離によって規定される。すなわち、移動体１３の固定部材１４に対する移動は図５に示される印加電圧の増加行程のｂ段階のときにのみ引き起こされる。そして、本実施の形態も、従来の駆動装置も、印加電圧の最大値は等しい値である。
【００７３】
従って、本実施の形態では、印加電圧の最大値を小さくすることなく、印加電圧の１パルスあたりの移動体の移動量を小さくすることができ、駆動装置を容易に低速駆動させることができる。
【００７４】
また、図５のｂ段階の電圧変化量（Ｖ１）の設定によって、移動体１３の移動速度を設定することができる。すなわち、図５のｂ段階の電圧変化量（Ｖ１）を大きくして、移動体１３と伝達部材１１の協同移動距離を長くすると移動体１３の高速移動が可能になり、図２のｃ段階の電圧変化量（Ｖ１）を小さくして、移動体１３と伝達部材１１の協同移動距離を短くすると移動体１３の低速移動が可能になる。例えば、高速駆動時には、図９ないし図１１に示された従来の駆動装置に用いられるノコギリ波形の印加電圧を用い、低速駆動時には、図５に示される波形の印加電圧を用いる。従って、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することが出来るので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
【００７５】
また、本実施の形態では、ｂ段階の印加電圧の増加量（Ｖ１）を各パルスごとに一定の値になるように調節することにより、各パルス当たりの移動体１３の移動量を一定にすることができる。
【００７６】
なお、「印加電圧の増加率を切り換える」とは、印加電圧が増加しているときの速度を異なる増加率に切り換えることを意味し、印加電圧を定電圧にすることや減少率に切り換えることは含まれない。
【００７７】
本実施の形態では、図示Ｙ１方向を本発明の正方向、図示Ｙ２方向を本発明の逆方向とする。従って、図１の本体１０に図４に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、伝達部材１１が正方向（図示Ｙ１方向）へ移動するときに、Ｙ１方向への移動速度が一定時間の後に小さくなり、伝達部材１１と移動体１３間に作用する力が静止摩擦力になる。また、図１の本体１０に図５に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、伝達部材１１がＹ１方向へ移動するときに、Ｙ１方向への移動速度が一定時間の後に大きくなり、移動体１３間に作用する力は動摩擦力になる。
【００７８】
駆動装置の本体１０の代わりに、図６に示される本体３０を用いてもよい。本体３０は例えばセラミックス材料などで形成される伝達部材３１と、この伝達部材３１に接合された電気機械エネルギー変換素子３２と、例えば金属材料などで形成される移動体３３とを有して構成されている。
【００７９】
図１に示すように、伝達部材３１は円柱体である。伝達部材３１の直径寸法はＤ１で形成されている。移動体３３は内周面３３ｃを有する中空状の円形筒体として構成されている。伝達部材３１が移動体３３の内周面３３ｃに挿入されており、移動体３３の表面３３ｃに静止摩擦力が生じている。伝達部材３１の後端面３１ｂが電気機械エネルギー変換素子３２の前端面（対向面）３２ａと接合されている。電気機械エネルギー変換素子３２の後端面３２ｂが、固定部材３４の表面３４ａに接合されて固定されている。
【００８０】
電気機械エネルギー変換素子３２には図示しない電気導体が接続されており、この電気導体を介して電圧供給回路２０が接続されている。電圧供給回路２０が電気機械エネルギー変換素子３２に供給する印加電圧は図２ないし図５に示される波形を有するパルス電圧である。電気機械エネルギー変換素子３２に印加電圧が供給されると、電気機械エネルギー変換素子３２はこれに伴って図示Ｙ１−Ｙ２方向における長さ寸法が伸縮変形する。この電気機械エネルギー変換素子３２の変形に伴う伸縮運動が、伝達部材３１に伝達される。電気機械エネルギー変換素子３２としては、圧電素子、電歪素子、あるいは磁歪素子などを使用することができる。
【００８１】
図２又は図３に示されるパルス波形の印加電圧を電気機械エネルギー変換素子３２供給すると、移動体３３は固定部材３４に近づく方向（図示Ｙ２方向；逆方向）に向かって移動し、図４又は図５に示されるパルス波形の印加電圧を電気機械エネルギー変換素子３２供給すると、移動体３３は固定部材３４から離れる方向（図示Ｙ１方向；正方向）に向かって移動する。
【００８２】
本実施の形態でも、印加電圧の増加率又は減少率が一定時間の後に切り替わり、移動体３３の固定部材３４に対する移動は、前記印加電圧の増加行程又は減少行程の一部分においてのみ引き起こされる。そして、本実施の形態も、従来の駆動装置も、印加電圧の最大値は等しい値である。従って、本実施の形態では、印加電圧の最大値を小さくすることなく、印加電圧の１パルスあたりの移動体の移動量を小さくすることができ、駆動装置を容易に低速駆動させることができる。
【００８３】
例えば、高速駆動時には、図９ないし図１１に示された従来の駆動装置に用いられるノコギリ波形の印加電圧を用い、低速駆動時には、図２ないし図５に示される波形の印加電圧を用いる。これにより、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することが出来るので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
また、印加電圧の各パルス当たりの移動体３３の移動量を一定にすることができる。
【００８４】
図１及び図６に示される駆動装置は移動体１３、３３が直線移動する直線駆動型であったが、本発明では、回転駆動型の駆動装置を構成することもできる。
【００８５】
図７は回転型駆動装置の実施の形態を示す分解斜視図である。図７に示される回転型駆動装置は、電気機械エネルギー変換素子であるねじり変位型の圧電素子４１、圧電素子４１に連結された伝達部材４２、及び伝達部材４２の挿入穴４２ａに挿入され、回転可能に係合された係合部材（移動体）４３、並びに係合部材４３に連結しているミラー４４から構成されている。
【００８６】
圧電素子４１は円柱形状であり、上面部４１ｃ、下面部４１ｄ、及び上面部４１ｃと下面部４１ｄの間の側壁部４１ｅを有している。また、圧電素子４１は、上面部４１ｃの法線方向と交叉する方向（図示Ａ方向）に分極処理されており、側面部４１ｅには前記分極方向と交差する方向に延長されている電極部４１ａが設けられている。圧電素子４１の下面４１ｄは固定部材４５に固定されている。
【００８７】
電極部４１ａはくし歯形状の第１電極部４１ａ１と第２電極部４１ａ２からなる。第１電極部４１ａ１のくし歯部４１ｂ１と第２電極部４１ａ２のくし歯部４１ｂ２が分極方向と直交する方向（図示Ｂ方向）に延長されている。また、第１電極部４１ａ１のくし歯部４１ｂ１と第２電極部４１ａ２のくし歯部４１ｂ２は、交互に配置されている。
【００８８】
実際には、まず圧電素子４１の側面部４１ｅの斜め方向に電極部４１ａを設け、この電極部４１ａに直流電流を印加することによって、くし歯部４１ｂ１及びくし歯部４１ｂ２間に電界を発生させて、くし歯部４１ｂ１及びくし歯部４１ｂ２の延長方向（図示Ｂ方向）と直交する方向（図示Ａ方向）に圧電素子４１を分極させる。
【００８９】
圧電素子４１の第１電極部４１ａ１と第２電極部４１ａ２間に直流電流を印加すると、圧電素子４１の上面部４１ｃにねじり歪みが発生する。そして、この圧電素子４１に電圧の立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるパルス電圧を印加することにより、伝達部材が正の方向（例えばＣ方向）と逆の方向（例えばＤ方向）に異なる速度で回転振動し、係合部材を回転駆動させることが出来る。
【００９０】
圧電素子４１に図２又は図３に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、係合部材４３が伝達部材４２の回転と共に回転することと相対すべりすることを繰り返すことにより、係合部材４３及びミラー４４が固定部材４５に対して例えばＣ方向に回転する。また、圧電素子４１に図４又は図５に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、係合部材４３及びミラー４４が固定部材４５に対して例えばＤ方向に回転する。
【００９１】
本実施の形態でも、印加電圧の増加率又は減少率が一定時間の後に切り替わり、係合部材（移動体）４３の固定部材４５に対する移動は、前記印加電圧の増加行程又は減少行程の一部分においてのみ引き起こされる。そして、本実施の形態も、従来の駆動装置も、印加電圧の最大値は等しい値である。従って、本実施の形態では、印加電圧の最大値を小さくすることなく、印加電圧の１パルスあたりの係合部材の回転移動量を小さくすることができ、駆動装置を容易に低速回転駆動させることができる。
【００９２】
例えば、高速駆動時には、図９ないし図１１に示された従来の駆動装置に用いられるノコギリ波形の印加電圧を用い、低速駆動時には、図２ないし図５に示される波形の印加電圧を用いる。これにより、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することができるので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
【００９３】
また、印加電圧の各パルス当たりの係合部材４３の回転移動量を一定にすることができる。
【００９４】
図８は回転型駆動装置の実施の形態を示す分解斜視図である。
図８に示される回転型駆動装置は、電気機械エネルギー変換素子であるねじり変位型の圧電素子５１に連結された伝達部材５２が、係合部材（移動体）５３の挿入穴５３ａに挿入されて係合部材５３が回転可能に係合されている点で図８に示された回転型駆動装置と異なっている。
【００９５】
圧電素子５１は円柱形状であり、上面部５１ｃ、下面部５１ｄ、及び上面部５１ｃと下面部５１ｄの間の側壁部５１ｅを有している。また、圧電素子５１は、上面部５１ｃの法線方向と交叉する方向（図示Ａ方向）に分極処理されており、側面部５１ｅには前記分極方向と交差する方向に延長されている電極部５１ａが設けられている。圧電素子５１の下面５１ｄは固定面２５に固定されている。
【００９６】
電極部５１ａはくし歯形状の第１電極部５１ａ１と第２電極部５１ａ２からなる。第１電極部５１ａ１のくし歯部５１ｂ１と第２電極部５１ａ２のくし歯部５１ｂ２が分極方向と直交する方向（図示Ｂ方向）に延長されている。また、第１電極部５１ａ１のくし歯部５１ｂ１と第２電極部５１ａ２のくし歯部５１ｂ２は、交互に配置されている。
【００９７】
圧電素子５１の側面部５１ｅの斜め方向に電極部５１ａを設け、この電極部５１ａに直流電流を印加することによって、くし歯部５１ｂ１及びくし歯部５１ｂ２間に電界を発生させて、くし歯部５１ｂ１及びくし歯部５１ｂ２の延長方向（図示Ｂ方向）と直交する方向（図示Ａ方向）に圧電素子５１を分極させる。
【００９８】
圧電素子５１の第１電極部５１ａ１と第２電極部５１ａ２間に直流電流を印加すると、圧電素子５１の上面部５１ｃにねじり歪みが発生する。そして、この圧電素子５１に電圧の立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるパルス電圧を印加することにより、伝達部材５２が正の方向（例えばＣ方向）と逆の方向（例えばＤ方向）に異なる速度で回転振動し、係合部材を回転駆動させることが出来る。
【００９９】
圧電素子５１に図２又は図３に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、係合部材５３が伝達部材５２の回転と共に回転することと相対すべりすることを繰り返すことにより、係合部材５３及びミラー５４が固定部材５５に対して例えばＣ方向に回転する。また、圧電素子５１に図４又は図５に示されるパルス波形の印加電圧を供給すると、係合部材５３及びミラー５４が固定部材５５に対して例えばＤ方向に回転する。
【０１００】
本実施の形態でも、印加電圧の増加率又は減少率が一定時間の後に切り替わり、係合部材（移動体）５３の固定部材５５に対する移動は、前記印加電圧の増加行程又は減少行程の一部分においてのみ引き起こされる。そして、本実施の形態も、従来の駆動装置も、印加電圧の最大値は等しい値である。従って、本実施の形態では、印加電圧の最大値を小さくすることなく、印加電圧の１パルスあたりの係合部材の回転移動量を小さくすることができ、駆動装置を容易に低速回転駆動させることができる。
【０１０１】
例えば、高速駆動時には、図９ないし図１１に示された従来の駆動装置に用いられるノコギリ波形の印加電圧を用い、低速駆動時には、図２ないし図５に示される波形の印加電圧を用いる。これにより、印加電圧の周波数を変えることなく、高速駆動と低速駆動の両方の駆動モードを実現することが出来るので、駆動装置の振動ノイズの発生を防止することができる。
【０１０２】
また、印加電圧の各パルス当たりの係合部材５３の回転移動量を一定にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）本発明の実施の形態の駆動装置の駆動行程を示す断面図、
【図２】本発明の駆動装置の印加電圧の波形の一例を示すグラフ、
【図３】本発明の駆動装置の印加電圧の波形の一例を示すグラフ、
【図４】本発明の駆動装置の印加電圧の波形の一例を示すグラフ、
【図５】本発明の駆動装置の印加電圧の波形の一例を示すグラフ、
【図６】本発明の第２の実施の形態の駆動装置を示す斜視図、
【図７】本発明の第３の実施の形態の駆動装置を示す斜視図、
【図８】本発明の第４の実施の形態の駆動装置を示す斜視図、
【図９】従来の駆動装置の斜視図、
【図１０】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）図９に示されたの駆動装置の駆動行程を示す断面図、
【図１１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）従来の駆動装置の印加電圧の波形を示すグラフ、
【符号の説明】
【０１０４】
１０  本体
１１  伝達部材
１２  電気機械エネルギー変換素子
１３  移動体
２０  電圧供給回路
【図１】
2006174615.tif 000003
【図２】
2006174615.tif 000004
【図３】
2006174615.tif 000005
【図４】
2006174615.tif 000006
【図５】
2006174615.tif 000007
【図６】
2006174615.tif 000008
【図７】
2006174615.tif 000009
【図８】
2006174615.tif 000010
【図９】
2006174615.tif 000011
【図１０】
2006174615.tif 000012
【図１１】
2006174615.tif 000013