(57)【要約】      （修正有）【課題】  可動部がストッパに当接した時のバウンドを抑え、かつ小型化に寄与する可動部位置切替構造を提供する。【解決手段】  シリコン基板４の固定部１に、梁部２で支持されている可動部３が一体的に設けられている。可動部３には磁性体５とミラーが設けられている。シリコン基板４の外部に、可動部３と対向する電磁アクチュエータ７が固定されている。シリコン基板と隣接して、可動部３と当接する受け部９と、固定部１に固定されている固定フレーム１０と、受け部９とフレーム１０とをつなぐ弾性体部１１とからなるストッパ８が設けられている。電磁アクチュエータ７が磁力を発生すると、可動部３が吸引されて移動する。電磁アクチュエータ７が駆動停止されると、梁部２のばね力によって可動部３が初期位置に復帰し受け部９と当接するが、弾性体部１１によって当接時の衝撃が吸収され、可動部３のバウンドが抑えられる。【選択図】  図１
2006234029.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの所定位置の間を移動可能な可動部と、前記可動部を移動させる駆動装置と、前記可動部が一方の前記所定位置に移動してきた時に該可動部を停止させるストッパとを有し、
前記ストッパは、前記可動部と当接したときに受ける衝撃を吸収する弾性体部を含む、可動部位置切替構造。
【請求項２】
前記ストッパは、前記可動部が当接する受け部と、固定フレームと、前記受け部と前記固定フレームとを接続する前記弾性体部とからなる、請求項１に記載の可動部位置切替構造。
【請求項３】
前記受け部と前記固定フレームと前記弾性体部は一体に形成されている、請求項２に記載の可動部位置切替構造。
【請求項４】
前記受け部と前記固定フレームと前記弾性体部はシリコンにより形成されている、請求項２または３に記載の可動部位置切替構造
【請求項５】
前記弾性体部は、前記受け部と前記固定フレームの間の空間に埋め込まれた弾性樹脂からなる、請求項２に記載の可動部位置切替構造。
【請求項６】
前記一方の所定位置は、前記可動部が前記駆動装置からの駆動力を受けていない時に位置する初期位置である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の可動部位置切替構造。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の可動部位置切替構造を有し、
前記可動部には、光を反射するミラー、光を遮断する遮光部材、特定の波長の光を選択的に透過または遮断するフィルタなどの光学素子が設けられている、光デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は可動部位置切替構造と、それを有する光デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光通信分野などにおいて様々な光学デバイスが使用されており、例えば、光ファイバ伝送路の光路の切り替えや遮断を行うための光スイッチや、特定の波長の光を選択的に透過または遮断するための光フィルタなどが使用されている。光スイッチにおいては、光ファイバを直接駆動して光路を切り替える構造や、光ファイバを固定しておいてミラー等の光学素子を駆動することにより光路を切り替える構造の光スイッチが開発されている。
【０００３】
このような光スイッチは、図９に示すように、光ファイバまたは光学素子（図示せず）を可動部１０１によって保持し、この可動部１０１を駆動装置（図示されている例では電磁アクチュエータ１０２）によって駆動して、少なくとも２つの所定位置の間を移動させる構成になっている。図９（ｂ）に示すように可動部１０１が第１の所定位置（初期位置）に位置している時と、図９（ａ）に示すように第２の所定位置（移動位置）に位置している時とで、光路が切り替えられる。駆動装置が電磁石等の電磁アクチュエータ１０２であり、可動部１０１に磁性体１０３が取り付けられており、弾性を有する梁部１０４によって支持されている場合には、この可動部１０１に電磁アクチュエータ１０２からの磁力が作用している時と、電磁アクチュエータ１０２からの磁力が作用していない時とで、可動部１０１の位置が切り替わる構成になっている。
【０００４】
通常、可動部１０１に磁力が作用している時は、その磁力の強さや可動部１０１の可動範囲に応じて可動部１０１の位置は規定され、比較的安定して保持される。それに対して、この状態から電磁アクチュエータ１０２が作動停止して可動部１０１に磁力が作用しなくなると、梁部１０４の弾性力で可動部１０１は初期位置へ復帰するが、図９（ｃ）に示すように可動部１０１は慣性によって初期位置を越えて反対側まで移動し、可動範囲内で振動する可能性が高い。この時の、電磁アクチュエータ１０２に入力される入力信号と、可動部１０１の位置および光出力との関係を図１０に示している。このようにして生じた振動は、最初の振幅（変位）Ｄが大きくなかなか減衰しないため、光スイッチとしては光出力の変動、いわゆるチャタリングが発生してしまい、切替えの応答性を悪くする要因となる。
【０００５】
光スイッチの応答性を良くするには、可動部１０１が初期位置から変位Ｄだけ移動した状態でも光学素子が光路内に位置できるほど光学素子を大きくすることが考えられるが、それでも光出力が不安定になり、光スイッチとしての所望の性能が得られない可能性があるとともに、振幅Ｄが大きいため光学素子をかなり大型化する必要があり、それにともない可動部の移動量も大きく取らなければならないため、光スイッチ全体の小型化の妨げとなる。さらに、可動部の移動量を大きくするために、可動部の駆動装置のパワーアップおよび大型化を招く可能性がある。
【０００６】
可動部１０１に初期位置の周囲で自由振動を生じさせず、可動部１０１を初期位置で確実に停止させるために、図１１に示すようにストッパ１０５が設けられた構成が存在する。しかし、ストッパ１０５が設けられた構成では、可動部１０１が初期位置（図１１（ｂ）参照）においてストッパ１０５に当接した時に、図１１（ｃ）に示すようにバウンドして振動するため、振動の振幅は低減するもののチャタリングを完全に抑えることはできない。この時の、電磁アクチュエータ１０２に入力される入力信号と、可動部１０１の位置および光出力との関係を図１２に示している。このようにストッパ１０５を設けた構成では、可動部１０１が初期位置へ復帰した後の変位Ｅを、図９に示す構成の変位Ｄ（図１０参照）に比べると小さく抑えることができるが、ストッパ１０５に衝突した際の衝撃による可動部のバウンドという新たな問題が発生し、そのバウンドにより生じるチャタリングのために光スイッチの信頼性が低くなる。
【０００７】
特許文献１には、光学素子（ミラー）と一体化した可動部を、２つの所定位置の間を直線的に移動させるのではなく、揺動させることによって移動させる構成が提案されている。この構成では、揺動停止時に揺動方向に多少のバウンドが生じても、光学素子に対する光の入射位置にはあまり狂いが生じず、所望の光路が得られ易くなる。
【特許文献１】特開平１−２２２２１５号公報（第４頁右下欄第１〜５行、第６Ａ〜６Ｃ図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載されている構成では、可動部を直線的に移動させる構成に比べて、可動部のバウンドの、光路に対する影響が小さく抑えられる。しかし、この構成は、可動部のバウンド自体を防止しているわけではなく、揺動方向に可動部のバウンドが生じても光が光学素子からはみ出さないようにした構成である。従って、この構成では、光のビーム径を細くするとともに、光学素子を揺動方向に沿って比較的大きめに形成しておくことが必要である。すなわち、可動部のバウンド量を予め見込んで、光学素子には、所望の光入射位置の周囲にバウンド量に相当するスペースを設けておかなければならない。従って、光が入射するために本来必要である面積よりも大きいミラーを用意する必要がある。
【０００９】
近年では、いわゆるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて、従来よりも微細な光デバイスの製造が可能になってきているが、特許文献１の構成において光学素子を大きめに製造することは、小型化の妨げとなる。さらに、光学素子を大きめにすることにより可動部の移動量も大きくする必要があり、駆動装置も含めて体積の増加を招く。また、可動部を揺動させる構成は、ＭＥＭＳ技術を用いて簡単に構成することができず、製造工程の煩雑化を招く上に、可動部の移動量を大きくするために比較的パワーが大きく大型の駆動装置を用いなければならない。
【００１０】
そこで本発明の目的は、可動部がストッパに当接した時のバウンドを抑制して、光路の乱れが生じにくい構成で、しかも小型化を妨げることなく、ＭＥＭＳ技術を応用して容易に製造することができる可動部位置切替構造と、それを用いた光デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の可動部位置切替構造は、少なくとも２つの所定位置の間を移動可能な可動部と、可動部を移動させる駆動装置と、可動部が一方の所定位置に移動してきた時に可動部を停止させるストッパとを有し、ストッパは、可動部と当接したときに受ける衝撃を吸収する弾性体部を含む。この構成によると、可動部がストッパに当接したときの衝撃が吸収されて、可動部が所定位置に速やかに停止して安定し易い。
【００１２】
ストッパは、可動部が当接する受け部と、固定フレームと、受け部と固定フレームとを接続する弾性体部とからなる。受け部と固定フレームと弾性体部は一体に形成されてもよい。受け部と固定フレームと弾性体部はシリコンにより形成されていてもよい。
【００１３】
または、弾性体部は、受け部と固定フレームの間の空間に埋め込まれた弾性樹脂からなるものであってもよい。
【００１４】
一方の所定位置は、可動部が駆動装置からの駆動力を受けていない時に位置する初期位置である場合に特に効果的である。
【００１５】
本発明の光デバイスは、前記した可動部位置切替構造を有し、可動部には、光を反射するミラー、光を遮断する遮光部材、特定の波長の光を選択的に透過または遮断するフィルタなどの光学素子が設けられている。その場合、弾性体部を有するストッパによってチャタリングが抑制されるため、光学素子を必要以上に大きくする必要がなく、光デバイスの小型化に寄与する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、可動部がストッパに当接した時の衝撃を吸収できるため、可動部のバウンドにより生じるチャタリングを抑えて、可動部を速やかに停止させて安定させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
［第１の実施形態］
図１，２に、本発明の第１の実施形態の可動部位置切替構造が示されている。この構成について説明すると、シリコン基板４の固定部１に、弾性を有する梁部２のみで支持されて、図１の上下方向に移動可能な可動部３が一体的に設けられている。そしてこの可動部３に、磁性体５と、光を反射するミラー６（図２参照）などの光学素子が設けられている。そして、シリコン基板４の外部に、可動部３と対向する、駆動装置の一例である電磁アクチュエータ７が固定されている。電磁アクチュエータ７は電磁石からなる磁気発生源であり、可動部３と最も近接する位置には、切欠部７ａが形成されている。
【００１９】
本実施形態では、図１（ｂ）に示す初期位置（第１の所定位置）で可動部３に接する位置にストッパ８が設けられている。このストッパ８は、初期位置で可動部３が当接する受け部９と、固定部１に固定されている固定フレーム１０と、受け部９を固定フレーム１０に接続する弾性体部１１からなる。この弾性体部１１は、可動部３が受け部９に当接したときに受け部９に加わる衝撃を吸収するためのものである。
【００２０】
このような構成によると、電磁アクチュエータ７が駆動されて磁力を発生すると、その磁力が可動部３の磁性体５に作用して、可動部３を移動させる。本実施形態では、図１（ａ）に示すように可動部３が電磁アクチュエータ７側に吸引され、移動位置（第２の所定位置）へ移動する（図１の上方へ移動する）。このように可動部３が電磁アクチュエータ７側に移動した状態で、ミラー６が、図示しない光ファイバの対向位置から外れる。
【００２１】
電磁アクチュエータ７の駆動が停止すると、磁力による可動部３の吸引力が絶たれ、梁部２のばね力によって可動部３が図１（ｂ）に示す初期位置（図１の下方）に復帰する。このとき、ミラー６が、図示しない光ファイバの対向位置に位置する。このように、電磁アクチュエータ７の作動により、可動部３が、図１（ａ）に示す第２の所定位置（移動位置）と図１（ｂ）に示す第１の所定位置（初期位置）との間を移動し、その可動部３に取り付けられたミラー６が、光ファイバに対向する位置と対向しない位置との間を移動することによって、光路を切り替えるスイッチング動作が行われる。
【００２２】
前記したように電磁アクチュエータ７が作動状態から作動停止状態に移行し、可動部３が図１（ａ）に示す移動位置から図１（ｂ）に示す初期位置に復帰する際に、可動部３がストッパ８によって位置精度良く停止させられる。電磁アクチュエータ７が磁力を発生しなくなり、可動部３が梁部２の弾性力によって初期位置に移動して、ストッパ８の受け部９に当接すると、図１（ｃ）に示すように受け部９に連結されている弾性体部１１が僅かに変形して、受け部９に加わった衝撃を吸収する。このように衝撃を吸収することによって、従来の構成のようにストッパに当接した可動部がバウンドして振動することが抑えられる。その結果、チャタリングの発生がほとんどなくなる。この時の、電磁アクチュエータ７に入力される入力信号と、可動部３の位置および光出力との関係を図３に示している。
【００２３】
図１（ｃ）に示すように可動部３が当接してからストッパ８の受け部が移動する変位Ａ（図３参照）は、図１０に示す従来例における可動部１０１の変位Ｄよりも小さいのみならず、図１２に示す従来例においてストッパ１０５に当接した可動部１０１の変位（バウンド量）Ｅよりも小さい（半分程度になる）。また、この変位Ａは、図２（ｂ）に示すミラー６の、光ビームの所定の入射位置６ａからミラー端部までの移動方向に沿う距離Ｂよりも小さい。すなわち、ストッパ８による衝撃吸収時に、可動部３が図１（ｂ）に示す初期位置を越えて、図１（ｃ）に示すようにさらに移動する変位Ａが小さいため、ミラー６を光の入射位置６ａよりも大きく形成しておく範囲が比較的小さくてすむ。前記した２つの従来例においては、変位Ａよりも大きい変位Ｄ，Ｅに応じて、ミラーを大きくしなければならないため、光デバイス全体の小型化の妨げとなるが、本実施形態では、ミラー６を比較的小さくできるので、光デバイス全体の小型化に寄与する。さらに、可動部３の移動量が小さくてすむことによって、一層の小型化が図れるとともに、パワーが比較的小さい駆動装置を用いることができる。
【００２４】
ストッパ８の挙動は、可動部３から受けた衝撃を吸収して、可動部３を初期位置に復帰させて静止させるのが最も望ましいが、ストッパ８の受け部９と可動部３とが互いにぶつかり合いながら振動を減衰させていってもよい。後者の場合であっても、可動部３の振動は、ストッパが存在しない場合の自然減衰（図１０参照）に比べると短時間で振動減衰するため、この可動部位置切替構造の応答速度を向上させることができる。ただし、可動部３および梁部２と受け部９および弾性体部１１とが共振しないように固有振動数を調整することが好ましい。
【００２５】
なお、梁部２、固定部１、および可動部３は、いわゆるＭＥＭＳ技術を利用してシリコン基板４をエッチングすることによって形成され、可動部３の一部に金属膜を蒸着することによって、ミラー６が形成されている。ストッパ８の材質は特に限定されるものではないが、前記したのと同様に、ＭＥＭＳ技術を利用してシリコン基板４をエッチングすることによって形成してもよい。その場合、受け部９、固定フレーム１０、弾性体部１１を一体形成できるので、製造が簡単であるとともに、平面度および平行度が出し易く、可動部３およびミラー６を円滑に平行移動させて平行なまま保持することが容易にできるという利点がある。なお、ミラー６への光入射角度を常に一定にするために、可動部３は平行な状態で移動することが望まれるので、梁部２は少なくとも３つ以上設けられていることが好ましい。
【００２６】
可動部３自体が磁性材料から形成されていれば、磁性体５を別部材として取り付ける必要はない。
【００２７】
電磁アクチュエータ７は、ここでは簡易的な電磁石の構成であるが、これに限定されるものではなく、内部に永久磁石を配置した自己保持型の電磁アクチュエータであってもよい。また、電磁力以外の駆動力を発生させて可動部３を移動させる駆動装置を用いてもよい。
【００２８】
［第２の実施形態］
次に、本発明の可動部位置切替構造の第２の実施形態について、図４，５を参照して説明する。なお、第１の実施形態と同様な部分については同一の符号を付与し説明を省略する。
【００２９】
本実施形態では、ストッパ２０が、固定フレーム１０と可動部９の間の全周にゴム等の弾性樹脂が埋め込まれてなる弾性体部２１を有している。このストッパ２０でも、図４（ｃ）に示すように、弾性樹脂からなる弾性体部２１が弾性変形して、受け部９が可動部１と当接したときの衝撃を吸収し、前記した第１の実施形態と同様な効果が得られる。
【００３０】
このストッパ２０の製造方法について簡単に説明すると、図５（ｂ）に示すように、シリコン基板２２の一部、すなわち弾性体部２１を構成すべき部分をくり抜くように加工して薄肉にし、この薄肉部分にゴム等の弾性樹脂を注入して固化させる。その後、切断線Ｃに沿ってシリコン基板２２を研磨やエッチングなどで切断することにより、図４，５（ａ）に示すようなストッパ２０が製造できる。なお、このストッパ２０以外の構成は第１の実施形態と同様である。
【００３１】
第１および第２の実施形態の構成に加えて、図示しないが、ストッパのさらに外側にダンパを配設する構成としてもよい。その場合、二重に衝撃を吸収することができ、より効果的である。
【００３２】
［光デバイス］
本実施形態の可動部位置切替構造を内蔵した光デバイスの例を、図６〜８を参照して説明する。
【００３３】
図６に示す光スイッチは、伝達すべき光が通る出射側の１対の光ファイバ１２ａ，１２ｂと、入射側の１対の光ファイバ１２ｃ，１２ｄが基板１３上に固定されている。そして、これらの光ファイバ１２ａ〜１２ｄの先端面の前方に、逆Ｖ字型の固定ミラー１４が設けられた固定基板１５が配置されている。そして、固定基板１５の切欠部１５ａ内に、本発明の可動部３が配置されている。可動部３に設けられているミラー６は、光ファイバ１２ｂ，１２ｃの先端面に対向し、固定ミラー１４の内側に位置するＶ字型である。電磁アクチュエータ７は、ここでは省略するが、図６の紙面に対して裏側に配置されている。
可動部３は、電磁アクチュエータ７を駆動させることにより、図６の紙面に垂直な方向に移動可能であり、光ファイバ１２ｂ，１２ｃの先端面と固定ミラー１４との間にミラー６が進入した状態と、これらの間からミラーが脱出した状態とをとり得るものである。また、可動部３には、図示しないが、磁性体５が設けられている。
【００３４】
この光スイッチにおいて、可動部３が初期位置にあってミラー６が光ファイバ１２ｂ，１２ｃの先端面と固定ミラー１４との間に進入した状態では、このミラー６と固定ミラー１４とによって、出射側の光ファイバ１２ｂからの光が反射されて入射側の光ファイバ１２ｄに導かれ、出射側の光ファイバ１２ａからの光が反射されて入射側の光ファイバ１２ｃに導かれる。この状態を初期状態とする。一方、電磁アクチュエータ７が駆動されて可動部３が移動し、ミラー６が光ファイバ１２ｂ，１２ｃの先端面と固定ミラー１４の間から脱出した状態では、固定ミラー１４によって、出射側の光ファイバ１２ａからの光が反射されて入射側の光ファイバ１２ｄに導かれ、出射側の光ファイバ１２ｂからの光が反射されて入射側の光ファイバ１２ｃに導かれる。この状態を切替状態とする。
【００３５】
そして、この光スイッチでは、前記したように、弾性体部１１，２１を有するストッパ８，２０によって、可動部３が受け部９に当接した時の衝撃を吸収して、可動部３の移動を抑えて光出力を安定させることができる。
【００３６】
なお、同様な構成の光スイッチにおいて、前記した説明の初期状態と切替状態とを入れ替えて、可動部３が移動していないときにミラー６が光ファイバ１２ｂ，１２ｃの先端面と固定ミラー１４との間から脱出し、可動部３が移動したときにミラー６が光ファイバ１２ｂ，１２ｃの先端面と固定ミラー１４との間に進入する構成にすることも可能である。
【００３７】
図７に示す光スイッチは、複数の光ファイバ１６ａ，１６ｂが固定された基板１７ａ，１７ｂが、各光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面同士が互いに対向するように固定され、両基板１７ａ，１７ｂの間に可動部３が配置されている。可動部３は図７の上下方向に移動可能であり、この可動部３に設けられている遮光部材１８が、光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面同士の間に進入可能である。
【００３８】
この光スイッチにおいて、可動部３が初期位置にあって遮光部材１８が光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面同士の間に進入していない状態では、各光ファイバ１６ａ，１６ｂ間の光の伝達が行われる。しかし、電磁アクチュエータ７が駆動されて可動部３が移動し、遮光部材１８が光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面同士の間に進入すると、各光ファイバ１６ａ，１６ｂ間の光の伝達が遮断される。
【００３９】
そして、この光スイッチでも、前記したように、弾性体部１１，２１を有するストッパ８，２０によって、可動部３が受け部９に当接した時の衝撃を吸収して、可動部３の移動を抑えて光出力を安定させることができる。
【００４０】
なお、同様な構成の光スイッチにおいて、前記した説明の光の伝達状態と遮断状態とを入れ替えて、可動部３が移動していないときに遮光部材１８が光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面間に進入し、可動部３が移動したときに遮光部材１８が光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面間から脱出する構成にすることも可能である。
【００４１】
図８に示す光フィルタは、図７に示す光スイッチの遮光部材１８に代えて、特定の波長の光のみを透過するフィルタ基板１９を可動部３に設けた構成である。
【００４２】
この光フィルタにおいて、可動部３が初期位置にあってフィルタ基板１９が光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面同士の間に進入していない状態では、各光ファイバ１６ａと１６ｂの間を光がそのまま伝達される。しかし、電磁アクチュエータ７が駆動されて可動部３が移動し、フィルタ基板１９が光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面同士の間に進入すると、各光ファイバ１６ａと１６ｂの間を特定の波長の光のみが伝達される。
【００４３】
そして、この光スイッチでも、前記したように、弾性体部１１，２１を有するストッパ８，２０によって、可動部３が受け部９に当接した時の衝撃を吸収して、可動部３の移動を抑えて光出力を安定させることができる。
【００４４】
なお、同様な構成の光フィルタにおいて、可動部３が移動していないときにフィルタ基板１９が光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面間に進入し、可動部３が移動したときにフィルタ基板１９が光ファイバ１６ａ，１６ｂの先端面間から脱出する構成にすることも可能である。
【００４５】
以上の光デバイスの３つの例（光スイッチおよび光フィルタ）に限らず、本発明は、様々な構成の光デバイスに応用することができる。また、前記の説明は、第１，２の実施形態と同様に電磁アクチュエータ７を用いた可動部位置切替構造を光デバイスに採用した例に関するものであるが、他の駆動装置を有する光デバイスに採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施形態の可動部位置切替構造を示す模式的断面図であり、（ａ）は可動部が移動位置にある状態を示す図、（ｂ）は可動部が初期位置にある状態を示す図、（ｃ）はストッパが可動部からの衝撃を吸収している状態を示す図である。
【図２】図１に示す可動部位置切替構造の要部の模式的平面図である。
【図３】図１に示す可動部位置切替構造の駆動装置への入力信号と可動部の位置および光出力との関係を示すグラフである。
【図４】本発明の第２の実施形態の可動部位置切替構造を示す模式的断面図であり、（ａ）は可動部が移動位置にある状態を示す図、（ｂ）は可動部が初期位置にある状態を示す図、（ｃ）はストッパが可動部からの衝撃を吸収している状態を示す図である。
【図５】（ａ）は図４に示す可動部位置切替構造のストッパの模式的平面図、（ｂ）はその製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図６】本発明の光スイッチの第１の例を示す模式的平面図である。
【図７】本発明の光スイッチの第２の例を示す模式的平面図である。
【図８】本発明の光フィルタの例を示す模式的平面図である。
【図９】第１の従来例の可動部位置切替構造を示す模式的断面図であり、（ａ）は可動部が移動位置にある状態を示す図、（ｂ）は可動部が初期位置にある状態を示す図、（ｃ）は可動部が初期位置を越えて振動している状態を示す図である。
【図１０】図９に示す可動部位置切替構造の駆動装置への入力信号と可動部の位置および光出力との関係を示すグラフである。
【図１１】第２の従来例の可動部位置切替構造を示す模式的断面図であり、（ａ）は可動部が移動位置にある状態を示す図、（ｂ）は可動部が初期位置にある状態を示す図、（ｃ）は可動部が初期位置からバウンドした状態を示す図である。
【図１２】図１１に示す可動部位置切替構造の駆動装置への入力信号と可動部の位置および光出力との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４７】
１      固定部
２      梁部
３      可動部
４      シリコン基板
５      磁性体
６      ミラー（光学素子）
７      電磁アクチュエータ（駆動装置）
８，２０      ストッパ
９      受け部
１０    固定フレーム
１１，２１    弾性体部
１２ａ〜１２ｄ，１６ａ，１６ｂ      光ファイバ
１３，１７ａ，１７ｂ    基板
１４    固定ミラー
１５    固定基板
１５ａ  切欠部
１８    遮光部材
１９    フィルタ基板
【図１】
2006234029.tif 000003
【図２】
2006234029.tif 000004
【図３】
2006234029.tif 000005
【図４】
2006234029.tif 000006
【図５】
2006234029.tif 000007
【図６】
2006234029.tif 000008
【図７】
2006234029.tif 000009
【図８】
2006234029.tif 000010
【図９】
2006234029.tif 000011
【図１０】
2006234029.tif 000012
【図１１】
2006234029.tif 000013
【図１２】
2006234029.tif 000014