(57)【要約】【課題】  測定感度が良好で、被測定機器から放射される雑音電波の強度を短時間で測定可能な磁界分布測定装置を提供する。【解決手段】  被測定機器６から放射される雑音電波の磁界を測定するため、本体１と、本体１から突出する複数の磁界プローブ２とを備える磁界分布測定装置。複数の磁界プローブ２の各々は、磁界プローブ２の各々の軸線方向に伸縮可能で、本体１の磁界プローブ２の取付面において、縦横に複数配列することが好適である。複数の磁界プローブ２の各々は、各々の磁界プローブ２の本体内部に磁気遮断手段２ａを有し、各々の磁界プローブ２の先端部２ｃが伸縮し、磁界分布測定時に、各々の磁界プローブ２の先端部２ｃが該磁界プローブ２の本体内部において磁気遮断手段２ａによって囲繞されるようにして、隣接する磁界プローブ２間での磁気の影響を回避し、狭ピッチの磁界測定にも対応することができる。【選択図】  図１
2006200955.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定機器から放射される雑音電波の磁界を測定する磁界分布測定装置であって、
本体と、
該本体から突出する複数の磁界プローブとを備えることを特徴とする磁界分布測定装置。
【請求項２】
前記複数の磁界プローブの各々は、該磁界プローブの各々の軸線方向に伸縮可能であることを特徴とする請求項１に記載の磁界分布測定装置。
【請求項３】
前記複数の磁界プローブの各々は、該磁界プローブの各々の軸線方向に、弾性的伸縮手段によって伸縮可能であることを特徴とする請求項２に記載の磁界分布測定装置。
【請求項４】
前記複数の磁界プローブは、前記本体の該磁界プローブの取付面において、縦横に複数配列されることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の磁界分布測定装置。
【請求項５】
前記複数の磁界プローブの各々は、各々の磁界プローブの本体内部に磁気遮断手段を有するとともに、各々の磁界プローブの先端部が伸縮し、磁界分布測定時に、各々の磁界プローブの先端部が該磁界プローブの本体内部において、前記磁気遮断手段によって囲繞されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の磁界分布測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁界分布測定装置に関し、特に、被測定機器から放射される雑音電波の強度を測定するために用いられる磁界分布測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器から放射された雑音電波が他の電子機器の動作に障害を与えることを防止するため、各国において電子機器から放射される雑音電波の強度を規制している。この電子機器から放射される雑音電波の強度を測定するにあたって、例えば、特許文献１に記載の２次元電磁界強度測定装置は、上記雑音電波の電界又は磁界を電磁界プローブによって検出する。
【特許文献１】特開平４−２３０８７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記特許文献１に記載の測定装置では、磁界プローブが所定の高さに固定されているため、被測定機器の表面と磁界プローブとが離間し、磁界強度は発生源から測定点までの距離に依存するため、測定感度が悪いという問題があった。また、同測定装置では、１本の磁界プローブを用いて２次元走査をするため、測定に長時間を要するという問題があった。
【０００４】
そこで、本発明は、上記従来の測定装置における問題点に鑑みてなされたものであって、測定感度が良好で、かつ、短時間で測定を行うことのできる磁界分布測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明は、被測定機器から放射される雑音電波の磁界を測定する磁界分布測定装置であって、本体と、該本体から突出する複数の磁界プローブとを備えることを特徴とする。
【０００６】
そして、本発明によれば、本体から突出する複数の磁界プローブによって磁界分布を測定するため、測定時間を短縮することができるとともに、このような磁界分布測定装置を組み合わせることによって、様々な形状の被測定機器に対応することができる。
【０００７】
前記磁界分布測定装置において、前記複数の磁界プローブの各々を、該磁界プローブの各々の軸線方向に伸縮可能とすることができる。これによって、被測定機器の表面と磁界プローブの先端部との間の距離を密着状態で一定に維持することができ、測定感度が向上する。すなわち、被測定機器に磁界分布測定装置を押し当てることにより、各磁界プローブが被測定機器表面の凹凸に沿って伸縮し、磁界強度測定は、磁界の発生源から測定点までの距離に依存するため、測定感度が向上する。
【０００８】
前記磁界分布測定装置において、前記複数の磁界プローブの各々を、弾性的伸縮手段によって、該磁界プローブの各々の軸線方向に伸縮可能とすることができる。弾性的伸縮手段には、ばね、ダンパー等を用いることができる。
【０００９】
前記複数の磁界プローブは、前記本体の該磁界プローブの取付面において、縦横に複数配列することができる。これによって、一度に基板等の全体の測定を行うことが可能となり、測定時の２次元走査の動作を省略することができ、測定時間を短縮することができる。
【００１０】
前記磁界分布測定装置において、前記複数の磁界プローブの各々は、各々の磁界プローブの本体内部に磁気遮断手段を有するとともに、各々の磁界プローブの先端部が伸縮し、磁界分布測定時に、各々の磁界プローブの先端部が該磁界プローブの本体内部において、前記磁気遮断手段によって囲繞されるように構成することができる。これによって、隣接する磁界プローブ間での磁気の影響を回避することができ、狭ピッチの磁界測定にも対応することができる。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、本発明によれば、測定感度が良好で、かつ、短時間で測定を行うことのできる磁界分布測定装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明にかかる磁界分布測定装置の一実施の形態を示し、この磁界分布測定装置は、大別して、本体１と、本体１の内部に縦横に高精度に配列され、各々軸線方向に伸縮可能な複数の磁界プローブ２と、外部接続コネクタ３と、磁界プローブ２と外部接続コネクタ３とを接続するケーブル４とで構成される。
【００１３】
次に、上記構成を有する磁界分布測定装置による被測定機器から放射される雑音電波の磁界測定時の動作について、図２を参照しながら説明する。
【００１４】
図２（ａ）に示すように、被測定機器６の表面には、種々の実装部品によって凹凸が存在する。そこで、磁界分布測定装置の本体１を被測定機器６へ押し当てると、図２（ｂに示すように、被測定機器６表面の凹凸に沿って各磁界プローブ２が伸縮する。これによって、被測定機器６の表面と磁界プローブ２の先端部が密着状態になり、被測定機器６から放射される雑音電波の磁界測定時に、被測定機器６の表面と磁界プローブ２の先端部との間の距離を一定に維持することができる。
【００１５】
図３は、上記磁界プローブ２の伸縮動作の一実施例を示し、本実施例では、磁界プローブ２をエアダンパー７又はオイルダンパー８によって伸縮させている。すなわち、本体１に設置された磁界プローブ２の上部にエアダンパー７又はオイルダンパー８を設け、被測定機器６に本体１を押し当てると、エアダンパー７（又はオイルダンパー８）の弾性により、磁界プローブ２が伸縮動作する。尚、２点鎖線は、被測定機器６に本体１を押し当てた時の磁界プローブ２及びエアダンパー７（又はオイルダンパー８）を示す。
【００１６】
図４は、上記磁界プローブ２の伸縮動作のもう一つの実施例を示し、本実施例では、板ばね９を用いて磁界プローブ２を伸縮させている。すなわち、本体１に設置された磁界プローブ２の上部に板ばね９を設け、被測定機器６に本体１を押し当てると、板ばね９の弾性により、磁界プローブ２が伸縮動作する。板ばね９の材質は、金属、プラスチック等である。尚、２点鎖線は、被測定機器６に本体１を押し当てた時の磁界プローブ２及び板ばね９を示す。
【００１７】
次に、上記磁界分布測定装置を用いた磁界分布の測定要領について、図５を参照しながらより具体的に説明する。
【００１８】
図５（ａ）に示すように１台の磁界分布測定装置の本体１によって被測定機器６の狭い範囲への磁界測定を基本形とし、図５（ｂ）に示すように、ｎ台の本体１を平面状に接続して広範囲の磁界測定へも対応することができる。また、図５（ｃ）に示すように、ｎ個の本体１を磁界測定の対象とする所望の範囲に合わせて、様々な形状に組み合わせることもできる。
【００１９】
上記磁界プローブ２は、図６に示すように、本体内側にシールド（磁気遮断手段）２ａが形成され、本体内部のばね２ｂにより先端部２ｃが伸縮する。このように構成することにより、被測定機器６に磁界分布測定装置の本体１を押し当てると、図６（ｂ）に示すように、磁界プローブ２の先端部２ｃがばね２ｂにより収縮して上方に移動し、磁界プローブ２の本体内部へ収納される。これにより、磁界プローブ２を狭ピッチに設置しても、各測定ポイントにおいて、隣接するポイントからの磁界の影響を受けることがない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明にかかる磁界分布測定装置の一実施の形態を示す透視斜視図である。
【図２】図１の磁界分布測定装置の動作説明図であって、（ａ）は、磁界分布測定装置を被測定機器に押し当てる前の状態を、（ｂ）は、磁界分布測定装置を被測定機器に押し当てた状態を示す。
【図３】本発明にかかる磁界分布測定装置におけるエアダンパー又はオイルダンパーによる磁界プローブの伸縮動作を示す図である。
【図４】本発明にかかる磁界分布測定装置における板ばねによる磁界プローブの伸縮動作を示す図である。
【図５】本発明にかかる磁界分布測定装置による測定要領を説明するための平面図である。
【図６】本発明にかかる磁界分布測定装置の磁界プローブの動作説明図であって、（ａ）はプローブを被測定機器に押し当てる前の状態を、（ｂ）はプローブを被測定機器に押し当てた状態を示す。
【符号の説明】
【００２１】
１      （磁界分布測定装置）本体
２      磁界プローブ
２ａ    シールド
２ｂ    ばね
２ｃ    先端部
３      外部接続コネクタ
４      ケーブル
５      コイルばね
６      被測定機器
７      エアダンパー
８      オイルダンパー
９      板ばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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