(57)【要約】【課題】  簡易な手法で、母材が所定強度を有すると共にかつ摺動面の摺動性が良好な摺動性部材の製造方法、及び、摺動性部材を提供することを課題とする。【解決手段】  固体潤滑剤からなる粉末と金属粉末又はセラミック粉末とを混合してなる混合粉末を原料として、非鋳鉄系の母材３４の摺動面側に、摺動性が良好な膜をエアロゾルデポジション法で成膜する。エアロゾルデポジション法では低温で成膜することができるので、固体潤滑剤が熱で損傷することがない。従って、簡易な手法で、母材３４が高強度でかつ摺動面３６Ｉの摺動性が良好なシリンダーライナ３６を製造することができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
摺動面を有する摺動性部材の製造方法であって、
固体潤滑剤からなる粉末と金属粉末又はセラミック粉末とを前記摺動面に必要とされる摺動特性に応じた割合で混合してなる混合粉末を原料として、非鋳鉄系の母材の摺動面側にエアロゾルデポジション法で成膜することにより前記摺動面を形成したことを特徴とする摺動性部材の製造方法。
【請求項２】
摺動面を有する摺動性部材の製造方法であって、
固体潤滑剤からなる粒子を金属粉末又はセラミック粉末の表面に付着させてなる複合粉末を原料として、非鋳鉄系の母材の摺動面側にエアロゾルデポジション法で成膜することにより前記摺動面を形成したことを特徴とする摺動性部材の製造方法。
【請求項３】
非鋳鉄系の母材の摺動面側に溝状又は穴状の凹部を配設し、
固体潤滑剤を原料としてエアロゾルデポジション法で成膜することにより前記凹部に固体潤滑剤を埋め込み、
摺動面側から研磨して、前記母材と、前記凹部に埋め込まれた固体潤滑剤で構成される固体潤滑層と、を面一にして露出させて摺動面としたことを特徴とする摺動性部材の製造方法。
【請求項４】
パターン形成されたマスクを非鋳鉄系の母材の摺動面側に形成し、
金属又はセラミックを原料として摺動面側に成膜し、
前記マスクを除去することにより、マスクパターン状の開口を有する金属層又はセラミック層を露出させ、
固体潤滑剤を原料としてエアロゾルデポジション法で成膜することにより、前記開口に固体潤滑剤を埋め込み、
摺動面側から研磨して、前記金属層又は前記セラミック層と、前記開口に埋め込まれた固体潤滑剤で構成される固体潤滑層と、を面一にして露出させて摺動面としたことを特徴とする摺動性部材の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のうち何れか１項に記載の摺動性部材の製造方法によって製造されたことを特徴とする摺動性部材。
【請求項６】
前記母材がマルテンサイト系の高強度材であることを特徴とする請求項５に記載の摺動性部材。
【請求項７】
前記母材がアルミニウム合金であることを特徴とする請求項５に記載の摺動性部材。
【請求項８】
前記母材がオーステナイト系の耐熱材であることを特徴とする請求項５に記載の摺動性部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、摺動性部材の製造方法、及び、摺動性部材に関し、更に詳細には、特に内燃機関を構成する部品に最適な摺動性部材の製造方法、及び、摺動性部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリンダライナやピストンなどの内燃機関を構成する部品については、母材強度が高く、かつ摺動性に優れていることが望まれているが、母材強度と摺動性との両者を高めることは難しい。
【０００３】
このため、母材の強度をある程度低減させてでも、摺動性に優れた片状黒鉛鋳鉄や球状黒鉛鋳鉄を母材として用いているのが現状である（例えば特許文献１参照）。また、表面層（外層）が片状黒鉛鋳鉄で、母材（内層）が鋳鋼である複層部品（複層ライナ）を用いる場合もある。
【特許文献１】特開２０００−１３５５５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、母材に片状黒鉛鋳鉄や球状黒鉛鋳鉄を用いると、強度の観点では、黒鉛で構成される部分が亀裂等の欠陥と同じ作用をする。このため、母材強度が低く、耐久性、信頼性、高性能性（例えばエンジンでは高出力性）の妨げになっているという問題がある。
【０００５】
また、母材に上記の複層部品を用いると、片状黒鉛鋳鉄の黒鉛サイズや黒鉛分布の点で緻密な組織制御が困難であり、このため、摺動特性にばらつきが生じたり、外層（表面）の鋳鉄部で発生した亀裂により、所定の耐久性が得られないという問題がある。
【０００６】
更に、自動車部品では、アルミニウム合金製のシリンダーブロックで摺動性を確保するために、鋳鉄製ライナが使用されているが、軽量化、コンパクト化のためにはライナレス化が望まれている。そして、このライナレス化のために外層を溶射で形成することが試みられている。しかし、鋳鉄製溶射粉末原料の製造における黒鉛含有量の確保が難しいことや、溶射中における黒鉛の酸化焼失などの問題がある。
【０００７】
また、非鋳鉄系の摺動部材では、小型部品に対してアークイオンプレーティングによりクロム酸窒化膜を形成することが提案されているが、特殊なコーティング装置を必要とし、大型部品への適用や製造コストの観点で好ましくない。
【０００８】
本発明は、上記事実を考慮して、簡易な手法で、母材が所定強度を有すると共に摺動面の摺動性が良好な摺動性部材の製造方法、及び、摺動性部材を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、黒鉛を溶射で成膜すると黒鉛が酸化焼失する理由を検討した。そして、溶射では成膜中に高温になるために酸化焼失することを突き止めた。
【００１０】
そこで、本発明者は、低温で黒鉛をコーティングすることを検討した。そして、これを可能にするコーティング法を検討し、近年提案されているエアロゾルデポジション法に可能性を見い出した。このエアロゾルデポジション法では、脆性材料や金属材料の微粒子を基板に向けて吹き付け、微粒子の塑性変形、脆性的な変形とそれに伴う活性化を利用することにより緻密で強固な膜を形成する成膜方法である。
【００１１】
そして、このエアロゾルデポジション法により、高強度の母材の表面に固体潤滑剤を分散させることを検討し、本発明を完成するに至った。
【００１２】
請求項１に記載の発明は、摺動面を有する摺動性部材の製造方法であって、固体潤滑剤からなる粉末と金属粉末又はセラミック粉末とを前記摺動面に必要とされる摺動特性に応じた割合で混合してなる混合粉末を原料として、非鋳鉄系の母材の摺動面側にエアロゾルデポジション法で成膜することにより前記摺動面を形成したことを特徴とする。
【００１３】
固体潤滑剤の材質としては、黒鉛、硫化マンガン（ＭｎＳ）、二硫化モリブデン（ＭｏＳ2）、窒化ホウ素（ＢＮ）などである。
【００１４】
上記混合粉末の混合比は、エアロゾルデポジション法で形成する膜に要求される強度や膜厚、更には母材材質等を考慮して決定することが好ましい。
【００１５】
母材としては、例えば、高強度鋼、軽量合金、耐熱鋼などである。
【００１６】
上述したように、エアロゾルデポジション法では低温で成膜することができるので、黒鉛等の固体潤滑剤が熱で損傷することがない。従って、請求項１に記載の発明により、簡易な手法で、母材が所定強度を有すると共に摺動面の摺動性が良好な摺動性部材を製造することができる。また、固体潤滑剤と併せてあるいは混合して吹き付ける上記金属粉末又はセラミック粉末は、母材の圧縮強度やビッカース硬度以上の硬度あるいは圧縮破壊強度を持つ材質であり、かつ、上記微粒子材料の母材に対する衝突速度は、少なくとも３００ｍ／ｓｅｃ以上であることが好ましく、５００ｍ／ｓｅｃ以上であることがより好ましい。このような条件の金属又はセラミック微粒子を用いることで、容易に母材中に突き刺さり、その界面に母材との強固なミキシング層を形成し、密着強度を向上させることが可能となる。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、摺動面を有する摺動性部材の製造方法であって、固体潤滑剤からなる粒子を金属粉末又はセラミック粉末の表面に付着させてなる複合粉末を原料として、非鋳鉄系の母材の摺動面側にエアロゾルデポジション法で成膜することにより前記摺動面を形成したことを特徴とする。
【００１８】
上記の複合粉末は、金属粉末又はセラミック粉末の表面に固体潤滑剤からなる粒子を付着させているので、複合粉末全てについて表面の摺動性が良好である。従って、請求項２に記載の発明により、摺動面の摺動性を確実に良好にすることができる。
【００１９】
複合粉末としては、例えばハイブリダイゼーションで形成した複合粉末を用いる。これにより、予め混合比が決められた複合粉末を原料としてエアロゾルデポジション法によって成膜されるので、成膜する際、固体潤滑剤と金属又はセラミックとの組成比が変化することがない。また、金属粉末又はセラミック粉末と、それに付着する固体潤滑剤からなる粉末と、の粒子径を調整することによって、固体潤滑剤と金属又はセラミックとの組成比の制御が容易である。
【００２０】
請求項３に記載の発明は、非鋳鉄系の母材の摺動面側に溝状又は穴状の凹部を配設し、固体潤滑剤を原料としてエアロゾルデポジション法で成膜することにより前記凹部に固体潤滑剤を埋め込み、摺動面側から研磨して、前記母材と、前記凹部に埋め込まれた固体潤滑剤で構成される固体潤滑層と、を面一にして露出させて摺動面としたことを特徴とする。
【００２１】
上記凹部の加工は、例えば研削やエッチング等で行う。
【００２２】
請求項３に記載の発明により、母材表面に所望のパターンで固体潤滑層を形成した面を露出させて上記摺動面とすることが可能になり、しかも、固体潤滑層が占める面積の割合を所望の割合とすることができる。従って、摺動面の摺動特性及び強度特性の両者をコントロールし易い。
【００２３】
請求項４に記載の発明は、パターン形成されたマスクを非鋳鉄系の母材の摺動面側に形成し、金属又はセラミックを原料として摺動面側に成膜し、前記マスクを除去することにより、マスクパターン状の開口を有する金属層又はセラミック層を露出させ、固体潤滑剤を原料としてエアロゾルデポジション法で成膜することにより、前記開口に固体潤滑剤を埋め込み、摺動面側から研磨して、前記金属層又は前記セラミック層と、前記開口に埋め込まれた固体潤滑剤で構成される固体潤滑層と、を面一にして露出させて摺動面としたことを特徴とする。
【００２４】
これにより、母材に凹部を形成しておかなくても請求項３に記載の発明と同様の効果を奏することができる。
【００２５】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のうち何れか１項に記載の摺動性部材の製造方法によって製造されたことを特徴とする。
【００２６】
これにより、簡易な手法によって、母材が所定強度を有すると共に摺動面の摺動性が良好な摺動性部材を実現させることができる。
【００２７】
請求項６に記載の発明は、前記母材がマルテンサイト系の高強度材であることを特徴とする。
【００２８】
これにより、母材強度を従来に比べて著しく高めることができ、母材に亀裂等の損傷が生じることを充分に防止することができる。
【００２９】
請求項７に記載の発明は、前記母材がアルミニウム合金であることを特徴とする。
【００３０】
これにより、ライナレス化によって、シリンダーブロックなどの摺動部材の大幅な軽量化を図ることができる。
【００３１】
請求項８に記載の発明は、前記母材がオーステナイト系の耐熱材であることを特徴とする。
【００３２】
これにより、母材強度を従来よりも高めることができると共に、母材の大幅な耐熱化を図ることができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明は上記構成としたので、母材が所定強度を有すると共に摺動面の摺動性が良好な摺動性部材を簡易な手法で製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。第２実施形態以下では、既に説明した構成要素と同様のものには同じ符号を付してその説明を省略する。また、図５〜図１２では、円筒内面に成膜することを、簡明のために平板状の基板上に成膜する図で示している。
【００３５】
［第１実施形態］
まず、第１実施形態について説明する。図１に示すように、本実施形態では、エアロゾルデポジション法で成膜する成膜装置１０を用いる。
【００３６】
この成膜装置１０は、エアロゾルを発生させるエアロゾル化室１２と、エアロゾル化室１２に圧縮空気を送給する圧縮空気ボンベ１４と、エアロゾル化室１２から供給されたエアロゾルに含まれる粒子のうち特定の径の超微粒子を選別する分級装置１６と、を備えている。
【００３７】
エアロゾル化室１２には、図２に示すように、摺動性を有する固体潤滑剤からなる固体潤滑剤粉末２０と、金属粉末２２と、を所定比で混合してなる混合粉末２４が収容されている。また、エアロゾル化室１２は上下方向Ｖに振動して混合粉末２４を攪拌することが可能になっている。
【００３８】
また、成膜装置１０は、分級装置１６で選別された特定径の超微粒子のみ含むエアロゾルを被成膜部材に吹き付けて成膜する成膜室（チャンバ）２６と、成膜室２６を真空吸引する真空ポンプ２８と、を備えている。本実施形態では、被成膜部材として、高強度の鋼材（例えばマルテンサイト系の鋼材）からなりシリンダーライナを構成する円筒状の母材３４を用いる。
【００３９】
成膜室２６には、分級装置１６から供給されたエアロゾルを噴出するノズル３２と、ノズル３２から噴出されたエアロゾルが母材３４の摺動面側である円筒内面３４Ｉに吹き付けられるように母材３４を保持する保持部３８と、が設けられている。
【００４０】
保持部３８は、保持部３８を構成する回転軸４０を回転させることにより母材３４を回転させることが可能になっており、成膜中では母材の円筒内面３４Ｉに均一に成膜することが可能である。
【００４１】
なお、成膜装置１０は、圧縮空気ボンベ１４から分級装置１６へダイレクトに空気送給できるように、分岐ライン１５及び開閉バルブ１７Ａ、１７Ｂを備えている。
【００４２】
金属粉末２２に代えてセラミック粉末を用いてもよい。固体潤滑剤の材質としては、本実施形態では黒鉛を用いているが、硫化マンガン（ＭｎＳ）、二硫化モリブデン（ＭｏＳ2）、窒化ホウ素（ＢＮ）などであってもよい。
【００４３】
本実施形態で母材３４の円筒内面３４Ｉの表面処理を行うには、まず、成膜室２６の保持部３８に母材３４を保持させ、成膜室２６を閉める。そして、真空ポンプ２８で成膜室２６を所定圧にまで真空吸引した後、圧縮空気ボンベ１４から圧縮空気をエアロゾル化室１２へ送給する。
【００４４】
この結果、エアロゾル化室１２でエアロゾルが発生し、分級装置１６へ送給される。分級装置１６は、エアロゾルに含まれる粒子のうち設定された特定径の超微粒子を選別し、ノズル３２へ送る。
【００４５】
従って、ノズル３２からは、特定径の超微粒子のみ含むエアロゾルが噴出し、母材３４の円筒内面３４Ｉに、金属と固体潤滑剤とで構成される膜がコーティングされる。その際、保持部３８で母材３４を回転させているので、均一な厚み、組成でコーティングされる。
【００４６】
母材との密着強度に優れたコーティングを実現するためには、例えば、上記の母材である高強度鋼、軽量合金、耐熱鋼などでは、金属粉末のかわりにセラミック粉末としてアルミナなどビッカース硬度１０００Ｈｖ以上の材質の微粒子を用いると、より効果的である。さらに、母材と強固なミキシング層を形成するためには、母材に対して吹き付けコーティングさせる上記微粒子材料の衝突速度は、少なくとも３００ｍ／ｓｅｃ以上であることが好ましく、５００ｍ／ｓｅｃ以上であることがより好ましい。これには搬送ガスに音速が９７０ｍ／ｓｅｃと速いヘリウムガスを用いることが効果的であるが、２００℃以上に加熱された空気を超音速ノズルを通して吹き付けても良い。また、成膜雰囲気を真空チャンバー内で真空ポンプなどを用いて１．３３×１０4Ｐａ（１００Ｔｏｒｒ）以下、好ましくは１．３３×１０3Ｐａ（１０Ｔｏｒｒ）以下に減圧しておくと、容易に上記微粒子速度を実現することが可能である。真空ポンプとしては、吹き付けられるガス流量を十分に排気するため、ロータリーポンプにメカニカルブースターポンプを組み合わせて排気速度を稼ぐと効果的である。
【００４７】
そのほか、母材と膜の密着強度を向上するには、上記コーティング条件の中で、母材とセラミック粉末を混合した層を形成し、その後、セラミック粉末と固体潤滑剤とを混合した層を形成すると効果的で、さらに、それぞれの混合比率も徐々に変化せしめ、傾斜構造をとることにより密着強度は向上し、熱衝撃などに強くなる。
【００４８】
以上説明したように、本実施形態では、固体潤滑剤粉末２０と金属粉末２２とで構成される混合粉末２４を原料として、母材３４である高強度の母材３４の円筒内面３４Ｉに、低温で成膜可能なエアロゾルデポジション法で成膜している。これにより、固体潤滑剤粉末２０である黒鉛粉末が熱で焼失することがない。従って、母材３４が高強度の材質で構成されていても、円筒内面３６Ｉの摺動性を簡易な手法で良好にしたシリンダーライナ３６を製造することができる。
【００４９】
なお、図３に示すように、金属粉末２２と固体潤滑剤粉末２０とをそれぞれ個別に収容するエアロゾル化室４２、４４と、エアロゾル化室４２、４４から送給されたエアロゾルのうち特定の径の超微粒子をそれぞれ選別する分級装置４６、４８と、を設け、分級装置４６、４８からそれぞれ送り出された超微粒子をノズル５２内で混合して母材３４へ吹き付けても良い。
【００５０】
［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。第２実施形態では、第１実施形態に比べ、エアロゾル化室１２（図１参照）に収容されている原料粉末が異なる。
【００５１】
図４に示すように、第２実施形態では、上記原料粉末として、金属粉末（又はセラミック粉末）５２の表面に、摺動性を有する固体潤滑剤からなる潤滑材粒子（例えば黒鉛粒子）５０を付着させてなる複合粉末５４をエアロゾル化室１２に入れて用いる。複合粉末５４は、例えばハイブリダイゼーションで製造しておく。
【００５２】
この複合粉末５４の表面には上記の潤滑材粒子５０が付着しているので、複合粉末全てについて表面の摺動性が良好である。従って、本実施形態により、母材への成膜によって得られたシリンダーライナでは、円筒内面の摺動性が確実に良好である。
【００５３】
［第３実施形態］
第３実施形態について説明する。第３実施形態では、図５に示すように、母材３４の摺動面側に、固体潤滑剤を埋め込む穴５６を予め配設しておく。穴５６の形成は、機械加工で行っても良いし、エッチングで行ってもよい。
【００５４】
次に、母材３４の摺動面側にエアロゾルデポジション法で固体潤滑剤を成膜することにより、穴５６に固体潤滑剤を埋め込む（図６参照）。
【００５５】
更に、摺動面側から研磨して、穴５６に埋め込まれた固体潤滑剤で構成される固体潤滑層５８と母材３４とを面一にして露出させて摺動面５７Ｉとする（図７参照）。
【００５６】
このようにして製造されたシリンダーライナ５７は、摺動面（円筒内面）５７Ｉの摺動性が良好である。また、母材３４としては、高強度鋼、軽量鋼、耐熱鋼等を用いることができる。
【００５７】
［第４実施形態］
第４実施形態について説明する。第４実施形態では、図８に示すように、母材３４の摺動面側に格子状のマスク６０を予め形成しておく。
【００５８】
次に、母材３４の摺動面側から金属（又はセラミック）で構成される膜を成膜する。この成膜は、溶射等で行っても良い。
【００５９】
そして、母材３４を摺動面側から研削或いはエッチング等を行って、マスク６０の表面を露出させる。
【００６０】
更に、マスク６０をエッチング等により除去する。この結果、金属からなり、マスクパターン状の開口６２を有する高強度層６４が露出する（図９参照）。
【００６１】
更に、エアロゾルデポジション法により固体潤滑剤を成膜することにより、開口６２に固体潤滑剤を埋め込む（図１０参照）。
【００６２】
そして、摺動面側から研磨して、高強度層６４と、開口６２に埋め込まれた固体潤滑剤で構成される固体潤滑層６８と、を面一にして露出させて摺動面６６Ｉとする（図１１参照）。
【００６３】
このようにして製造されたシリンダーライナ６６の摺動面６６Ｉは、固体潤滑層６８が露出しているので摺動性が良好であり、しかも、高強度層６４が露出しているので高強度である。また、母材３４としては、高強度鋼、軽量鋼、耐熱鋼等を用いることができる。
【００６４】
［第５実施形態］
第５実施形態について説明する。第５実施形態では、第４実施形態に比べ、マスクとして、楕円状のマスクを母材の摺動面上に配設している。この結果、図１２に示すように、母材３４の摺動面側には、金属又はセラミックからなる高強度層７４に、楕円状の固体潤滑層７８が配設された膜が形成されている。高強度層７４と固体潤滑層７８とは面一にされている。
【００６５】
これにより、第４実施形態と同様の効果が得られる。
【００６６】
以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、これらの実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。例えば、摺動面は円筒内面に限らず、種々の形状の面に成膜することが可能であり、図１３に示すように、シャフト８４の側面８４Ｓに成膜してもよいし、図１４に示すように、平板状の基板９４に成膜してもよい。
【００６７】
なお、図１４に示したように基板９４に成膜する場合、成膜室２６内で基板９４を保持する保持部９８はＸ−Ｙ−Ｚの３軸方向に移動可能にして、基板９４の保持位置を成膜室２６内の任意の位置に設定可能としてもよい。この構成にすることにより、平板状の基板９４に成膜する際の成膜分布を著しくコントロールし易い。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】第１実施形態で用いる成膜装置の構成図である。
【図２】第１実施形態で用いる混合粉末を示す模式図である。
【図３】第１実施形態で用いる成膜装置の変形例を示す構成図である。
【図４】第２実施形態で用いる複合粉末を示す模式図である。
【図５】図５（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第３実施形態で用いる母材の摺動面側に凹部を形成したことを示す、摺動面側から見た平面図、及び、矢視５Ｂ−５Ｂの断面図である。
【図６】図６（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第３実施形態で、母材の摺動面側に固体潤滑剤をエアロゾルデポジション法で成膜したことを示す、摺動面側から見た平面図、及び、矢視６Ｂ−６Ｂの断面図である。
【図７】図７（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第３実施形態で、図６に示した状態にした後、摺動面側から研磨して、固体潤滑層と母材とを面一にして露出させたことを示す、摺動面側から見た平面図、及び、矢視７Ｂ−７Ｂの断面図である。
【図８】図８（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第４実施形態で用いる母材の摺動面側にマスクを形成したことを示す、摺動面側から見た平面図、及び、矢視８Ｂ−８Ｂの断面図である。
【図９】図９（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第４実施形態で、図８に示した状態にした後、金属を原料として成膜し、更に、マスクを除去したことを示す、摺動面側から見た平面図、及び、矢視９Ｂ−９Ｂの断面図である。
【図１０】図１０（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第４実施形態で、図９に示した状態にした後、固体潤滑剤を原料としてエアロゾルデポジション法で成膜したことを示す、摺動面側から見た平面図、及び、矢視１０Ｂ−１０Ｂの断面図である。
【図１１】図１１（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第４実施形態で、図１０に示した状態にした後、摺動面側から研磨して、固体潤滑層と母材とを面一にして露出させたことを示す、摺動面側から見た平面図、及び、矢視１１Ｂ−１１Ｂの断面図である。
【図１２】図１２（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、第５実施形態で、摺動面側から研磨して、固体潤滑層と母材とを面一にして露出させたことを示す、摺動面側から見た平面図、及び、矢視１２Ｂ−１２Ｂの断面図である。
【図１３】第１実施形態で用いた成膜装置で、シャフトの側面にエアロゾルデポジション法で成膜することを示す模式図である。
【図１４】第１実施形態で用いた成膜装置で、平板状の基板にエアロゾルデポジション法で成膜することを示す模式図である。
【符号の説明】
【００６９】
２０    固体潤滑剤粉末（固体潤滑剤からなる粉末）
２２    金属粉末
２４    混合粉末
３４    母材
３６Ｉ  円筒内面（摺動面）
５０    潤滑材粒子（固体潤滑剤からなる粒子）
５４    複合粉末
５６    穴
５７    シリンダーライナ（摺動性部材）
５７Ｉ  摺動面
５８    固体潤滑層
６０    マスク
６２    開口
６４    高強度層（金属層又はセラミック層）
６６    シリンダーライナ（摺動性部材）
６６Ｉ  摺動面
６８    固体潤滑層
７４    高強度層（金属層又はセラミック層）
７８    固体潤滑層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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