(57)【要約】【課題】  設備コストを著しく低減すると共に検査時間の短縮が可能な表示パネル検査装置及びその検査方法を提供する。【解決手段】  表示パネル（ワーク）をテスト信号に応じて点灯させ、点灯画像を撮像することで画像計測データを得る画像計測部１０と、これらの画像計測データを各表示パネルに対応したデータとして複数の表示パネル分蓄積可能なデータ蓄積部２０と、データ蓄積部２０に蓄積された画像計測データを個々に読み出して画像処理を施すことで各表示パネルの品質判定を行うデータ処理部３０とを備え、複数の表示パネルの検査処理に際して、画像計測部１０とデータ処理部３０が独立して検査処理を行う。画像計測部１０は、計測対象の各表示パネルを識別する識別データとこれらの画像計測データをデータ蓄積部２０に出力し、データ蓄積部２０は、識別データとそれに対応した画像計測データとを管理するデータベースを構築する。【選択図】      図２
2006058083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルをテスト信号に応じて点灯させ、点灯画像を撮像することで画像計測データを得る画像計測部と、
前記画像計測データを各表示パネルに対応したデータとして複数の表示パネル分蓄積可能なデータ蓄積部と、
前記データ蓄積部に蓄積された画像計測データを個々に読み出して画像処理を施すことで各表示パネルの品質判定を行うデータ処理部とを備え、
複数の表示パネルの検査処理に際して、前記画像計測部と前記データ処理部が独立して処理を行うことを特徴とする表示パネル検査装置。
【請求項２】
前記画像計測部は、計測対象の各表示パネルを識別する識別データと前記画像計測データを前記データ蓄積部に出力し、
前記データ蓄積部は、前記識別データとそれに対応した画像計測データとを管理するデータベースを構築することを特徴とする請求項１に記載された表示パネル検査装置。
【請求項３】
前記画像計測部に計測対象の表示パネルを供給するパネル供給手段と、前記画像計測部から排出された計測済みの表示パネルをストックするパネルストック手段とを備え、
前記画像計測部は、セットされた表示パネルに対する画像計測データの取得終了を検知して、表示パネル排出信号を出力することを特徴とする請求項１又は２に記載された表示パネル検査装置。
【請求項４】
前記画像計測部は、計測済みの表示パネルが排出されたことを検知して表示パネル供給信号を前記パネル供給手段に出力することを特徴とする請求項３に記載された表示パネル検査装置。
【請求項５】
前記データ処理部を複数備え、前記データ蓄積部は各表示パネルに対応した画像計測データを処理待機中の前記データ処理部に振り分けて出力することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載された表示パネル検査装置。
【請求項６】
表示パネルをテスト信号に応じて点灯させ、点灯画像を撮像することで画像計測データを得る画像計測部と、前記画像計測データを各表示パネルに対応したデータとして蓄積するデータ蓄積部と、前記データ蓄積部に蓄積された画像計測データを個々に読み出して画像処理を施すことで各表示パネルの品質判定を行うデータ処理部とを備えた表示パネル検査装置による検査方法であって、
前記画像計測部に計測対象の表示パネルを供給し、前記画像計測データを前記データ蓄積部に出力すると共に、計測済みの表示パネルを排出して次の計測対象の表示パネルを供給する画像計測工程と、
前記データ蓄積部から出力された各表示パネルに対応した前記画像計測データを処理待機中の複数の前記データ処理部に振り分けて前記画像処理を施すデータ処理工程とを有することを特徴とする表示パネル検査方法。
【請求項７】
複数の表示パネルに対する前記画像計測工程の各処理と前記データ処理工程の各処理が並列処理によってなされることを特徴とする請求項６に記載された表示パネル検査方法。
【請求項８】
前記データ処理部の数を前記データ処理工程の処理時間に応じて設定することを特徴とする請求項６又は７に記載された表示パネル検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネル検査装置及び検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル，液晶表示パネル，有機ＥＬパネル等の表示パネルは、パネル形成後の表示パネルに対して、白色発光に対する輝度ムラ，黒色表示に対する輝点，色ムラ表示，画素欠陥，マージンテスト（入力信号量に対する発光量）等の検査工程が行われ、この検査結果に基づいて形成品の品質管理を行っている。
【０００３】
この際に用いられる表示パネル検査装置としては、図１に示すように、表示パネルＪ１が搭載される検査テーブルＪ２を備え、この検査テーブルＪ２の左右には、計測を終了した表示パネルＪ１をＪ２から取り除くアンローダＪ３と新たに計測を行う表示パネルＪ１を検査テーブルＪ２に搭載するローダＪ４とを配置し、検査テーブルＪ２の側方に表示パネルＪ１の接続端子に接続して表示パネルＪ１を点灯するためのプローバ（点灯回路）Ｊ５を設け、表示パネルＪ１の上方にはＣＣＤカメラＪ６が配置され、このＣＣＤカメラＪ６にデータ処理部Ｊ７を接続したものが用いられている。また、この表示パネル検査装置は、表示パネルＪ１を除く全ての構成部材が一つの計測装置として一体に構成されたものである。そして、データ処理部Ｊ７は、ＡＤコンバータＪ７１，演算回路Ｊ７２，画像メモリＪ７３，及び表示回路Ｊ７４から構成されている。
【０００４】
このような表示パネル検査装置によると、検査を行うに当たって、ローダＪ４から検査テーブルＪ２に表示パネルＪ１が供給されて所定の位置にセットされ、次いで、この表示パネルＪ１にプローバＪ５が接続されて点灯信号が供給される。次に、表示パネルＪ１上に配設されるＣＣＤカメラＪ６が表示パネルＪ１の表示領域全体を撮像し、その点灯輝度をビデオ信号としてデータ処理部Ｊ７に送る。データ処理部Ｊ７においては、送られてきたビデオ信号をデジタル化して階調表示データとして画像メモリＪ７３に蓄積する。そして、この画像メモリＪ７３に記憶されたデータを読み出し、その計測値に基づいた検査を行う（下記特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２２２３１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような従来の表示パネル検査装置による検査では、表示パネルの高精細化と大画面化に伴って大量の計測情報が存在すること、或いは前述したような、輝度ムラ，輝点，色ムラ表示，画素欠陥，マージンテスト等の検査項目の多さが相俟って、ＣＣＤカメラによって画像計測データを取得した後のデータ処理部による処理に多大な時間を要している。そして、表示パネルは、表示パネル検査装置にセットされてからデータ処理部による処理が終了して品質判定の良否が判るまで、表示パネルにセットされた状態で待機することになるので、これが表示パネル検査装置のタクトタイムに大きく影響することになり、生産性の高い検査処理を行うことができない。
【０００７】
また、このような表示パネル検査装置を用いながら、表示パネル製造及び検査ライン全体の生産時間要求に合わせるためには、同一の表示パネル検査装置を複数台導入する必要があり、設置スペースや装置単価の問題から設備投資額が高騰するという問題が生じる。更には、パネル生産の進行段階で、計画変更等が生じて、要求されるパネル生産時間に合致しなくなった場合には、表示パネル検査装置一式の増設が必要となり、装置立ち上げ、設置スペース、装置価格等の面で追加の投資額が高騰することは避けられず、生産調整の自由度が得られないという問題もある。
【０００８】
また、複数台の表示パネル検査装置を用いる場合には、画像計測データ取得時の調整が煩雑になると共に、機差による計測のばらつきが生じ易くなり、品質管理上の問題が生じるというデメリットもある。
【０００９】
本発明は、このような問題に対処することを課題の一例とするものである。すなわち、省スペース且つ低コストで生産性の高い検査処理を行うことができること、高い生産性を確保するに際して、画像計測データ取得時の調整を少なくすると共に、機差による計測のばらつきを無くして、良好な品質管理を可能にすること等が本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような目的を達成するために、本発明による表示パネル検査装置及び検査方法は、以下の各独立請求項に係る構成を少なくとも具備するものである。
【００１１】
［請求項１］表示パネルをテスト信号に応じて点灯させ、点灯画像を撮像することで画像計測データを得る画像計測部と、前記画像計測データを各表示パネルに対応したデータとして複数の表示パネル分蓄積可能なデータ蓄積部と、前記データ蓄積部に蓄積された画像計測データを個々に読み出して画像処理を施すことで各表示パネルの品質判定を行うデータ処理部とを備え、複数の表示パネルの検査処理に際して、前記画像計測部と前記データ処理部が独立して処理を行うことを特徴とする表示パネル検査装置。
【００１２】
［請求項６］表示パネルをテスト信号に応じて点灯させ、点灯画像を撮像することで画像計測データを得る画像計測部と、前記画像計測データを各表示パネルに対応したデータとして蓄積するデータ蓄積部と、前記データ蓄積部に蓄積された画像計測データを個々に読み出して画像処理を施すことで各表示パネルの品質判定を行うデータ処理部とを備えた表示パネル検査装置による検査方法であって、前記画像計測部に計測対象の表示パネルを供給し、前記画像計測データを前記データ蓄積部に出力すると伴に、計測済みの表示パネルを排出して次の計測対象の表示パネルを供給する画像計測工程と、前記データ蓄積部から出力された各表示パネルに対応した前記画像計測データを処理待機中の複数の前記データ処理部に振り分けて前記画像処理を施すデータ処理工程とを有することを特徴とする表示パネル検査方法。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態に係る表示パネル検査装置及びその検査方法について、図面を参照にしながら詳細に説明する。
【００１４】
図２は、本発明の実施形態の表示パネル検査装置を用いた表示パネルの検査工程全体の一例を示す概念図であり、本発明の実施形態において、検査される表示パネル（ワーク）は、ＬＣＤ(Liquid Crystal Display)、やＰＤＰ（Plasma Display Panel），有機ＥＬ（Electroluminescence）などが挙げられる。
【００１５】
本発明の実施形態は、表示パネルをテスト信号に応じて点灯させ、点灯画像を撮像することで画像計測データを得る画像計測部１０と、これらの結果、得られた画像計測データを各表示パネルに対応したデータとして複数の表示パネル分蓄積可能なデータ蓄積部２０と、このデータ蓄積部２０に蓄積された画像計測データを個々に読み出して画像処理を施すことで各表示パネルの品質判定を行うデータ処理部３０とを備え、複数の表示パネルの検査処理に際して、画像計測部１０とデータ処理部３０が独立して処理を行う。
【００１６】
具体的には、図２に示すように、第一に画像計測工程として、１枚の表示パネル（以下、ワーク１という）がワーク本体に予め記載されている個別のＩＤナンバをＩＤ読み取り機２により識別された後、画像計測部１０にロードされる。画像計測部１０では、ワーク１が検査台１１上に載置され、ワークをテスト信号に応じて点灯可能となるようにコンタクトヘッド１２をワーク１に接触させる。その後、ワーク１をテスト信号に応じて点灯させ、点灯画像をＣＣＤカメラ等の画像処理用カメラＣにより撮像する。
【００１７】
そして、これらのテスト信号による検査項目は、主に白色発光による輝度ムラの品質判定、画素の欠落の品質判定、黒色表示による輝点の品質判定、ＲＢＧ表示による色ムラの品質判定、そしてマージンテスト（印加電圧に対する発光テスト）等を行い、すべての検査項目によるカメラ撮像を終えると、画像計測部１０は、セットされたワーク１に対する画像計測データの取得の終了を検知して、排出信号を出力する。これにより、ワーク１はストッカーＳＴへ一時ストックされ、待機状態となる。
【００１８】
次に、データ記録工程として、これらの結果得られた画像計測データを各ワークに対応したデータとして、例えばＡＤコンバータを用いてデジタル化し、複数の表示パネル分蓄積可能なデータ蓄積部２０へと記録する。このとき、ＩＤ読み取り機２により識別された個別のＩＤナンバと共に、これらの各データは対応して記録される。なお、同図ではワーク１について、（＃１，Ｄ１）と表示し、データ蓄積部２０がＩＤナンバ＃１に対応して各画像計測データＤ１と共に記録されていることを示す。
【００１９】
次に、データ処理工程として、ワーク１がストッカーＳＴによりストックしている間、撮像されたこれらの画像計測データＤ１とＩＤナンバ＃１は、データ蓄積部２０からデータ出力される。データ処理部３０は、検査対象のワーク１が良品として適切であるか否かを品質判定する。これらの品質判定の結果、ワーク１の良否判定結果を再度データ蓄積部２０にＩＤナンバ＃１と共に追加記録する。そして、ストッカーＳＴにストックされていたワーク１は、データ処理部３０による表示パネル排出信号により、アンロードされてこれらの一連の検査装置から排出される。
【００２０】
なお、本発明の実施形態では、画像計測部１０に計測対象の表示パネル（ワーク）を供給するパネル供給手段（図２では不図示なローダ）と、画像計測部１０から排出された計測済みの表示パネルをストックするパネルストック手段（ストッカーＳＴ）とを備え、画像計測部１０は、セットされた表示パネル（ワーク）に対する画像計測データの取得終了を検知して、表示パネル排出信号を出力して、表示パネル（ワーク）をストッカーＳＴに一時的にストックさせるものである。以下、同様にワークＮまでを順次、画像計測，データ記録，データ処理される。データ蓄積部２０は、これらの複数の表示パネル（ワーク）分のＩＤナンバ，画像計測データ，品質判定結果等を蓄積する。
【００２１】
また、画像計測部１０は、計測済みの表示パネル（ワーク）が排出されたことを検知して表示パネル供給信号をパネル供給手段（ローダ）に出力する。具体的には、画像計測部１０がカメラＣによりワーク１の画像計測データを撮像し、これらすべての検査項目を終了すると、次のワーク２をローダから供給するように命令を出す。すなわち、画像計測部１０は、ワーク１の撮像を終了すると、ワーク１をストッカーＳＴに排出し、次のワーク２をロードして、ワーク２の検査を開始する準備を行い、その後ワーク１と同様に、ワーク２に対して撮像による画像計測データを得る。以下のワークについても同様である。
【００２２】
このように図２に示す実施形態によると、複数の連続するワークの検査処理に際して、画像計測部１０とデータ処理部３０が独立して検査処理を行うことで、画像計測部１０とデータ処理部３０が異なるワークの計測又はデータ処理が少ない検査時間で可能となるため、表示パネル検査装置のタクトタイムに影響を受けずに表示パネル検査装置を活用することができ、効率的なワークの検査が可能となる。
【００２３】
次に、図３に示すように、本発明の他の実施形態である表示パネル検査装置について説明する。図２の実施形態と同内容については説明を省略する。図３に示す表示パネル検査装置は、画像計測部１０を複数設ける（画像計測部１０１〜１０Ｎとする）と共に、同数のデータ処理部３０を設ける（データ処理部３０１〜３０Ｎとする）。以下、各構成要素について詳細に説明する。
【００２４】
同図よると、ワーク１１〜１Ｎのそれぞれは、一連の製造工程を経て上流から振り分けコンベア３にセットされ、その後ＩＤ読み取り機２によって、各ワーク本体に予め記載されている個別の識別データであるＩＤナンバを識別される。また、逆にＩＤナンバを識別された後に、振り分けコンベア３にセットされてもよい。そして、振り分けコンベア３は、複数の画像計測部１０（同図では、画像計測部１０１〜１０ＮまでのＮ台設置の例を示す）の中から一番早く検査が開始される画像計測部を選別し、その検査装置に各ワーク１１〜１Ｎを順次設置する。ここで同図は、画像計測部１０１〜１０Ｎの各検査台１１１〜１１Ｎ上にワーク１１〜１Ｎがそれぞれ載置され、コンタクトヘッド１２１〜１２Ｎを各ワークに接触している例を示す。なお、ワーク１１〜１Ｎの総数Ｎと画像計測部１０１〜１０Ｎの総数Ｎとは、必ずしも一致していなくてもよい。
【００２５】
第一に、画像計測工程として、各画像計測部１０１〜１０Ｎは、ＣＣＤカメラ等の画像処理用カメラＣ１〜ＣＮを用いて、各ワーク１１〜１Ｎの画像計測データＤ１〜ＤＮを収集する。これらの検査項目は図２に示した実施形態と同様に、主に白色発光による輝度ムラの品質判定、画素の欠落の品質判定、黒色表示による輝点の品質判定、ＲＢＧ表示による色ムラの品質判定、そしてマージンテスト（印加電圧に対する発光テスト）等を行い、すべての検査項目によるカメラ撮像を終えると、各画像計測部１０１〜１０Ｎは表示パネル排出信号を出力する。これに伴い、計測済みの各ワーク１１〜１Ｎはそれぞれ対応する各ストッカーＳＴ１〜ＳＴＮへストックされ、待機状態となる。
【００２６】
次に、データ記録工程として、これらの個々のワーク１１〜１Ｎの画像計測データＤ１〜ＤＮは、各ワークに予め記載されている個別のＩＤナンバと共にデータ蓄積部２０に記録される。同図では（＃１１，Ｄ１）〜（＃１Ｎ，ＤＮ）と表示し、データ蓄積部２０がＩＤナンバ＃１１〜＃１Ｎに対応して各画像計測データＤ１〜ＤＮを記録されていることを示す。これらの各データを記録するため、データ蓄積部２０は、大容量を備えたバックアップ保存用のハードディスク等を用いてデータベースを構築することが望ましい。
【００２７】
次に、データ処理工程として、データ処理部３０１〜３０Ｎはデータ蓄積部２０から得られた各ワーク１１〜１Ｎの画像計測データを出力して、適する各データ処理部３０１〜３０Ｎに振り分け、上述した項目数に対して検査による品質判定を行い、その後ストッカーＳＴ１〜ＳＴＮに待機されたそれぞれのワーク１１〜１Ｎに排出命令を出す。そして、該当するワークは排出され、次工程へ搬送される。すなわち、複数の各データ処理部３０１〜３０Ｎによる品質判定結果は、データ蓄積部２０にＩＤナンバと共に追加記録され、各ストッカーＳＴ１〜ＳＴＮにストックされていた各ワーク１１〜１Ｎは、アンロードされてこれらの一連の検査装置から排出される。
【００２８】
なお、本実施形態では、複数の画像計測部１０１〜１０Ｎを設け、これに対応した同数のデータ処理部３０１〜３０Ｎを設けた例を示したが、本発明では、画像計測部とデータ処理部の数に特に制限はなく、すなわち、データ処理部の数をデータ処理工程の処理時間に応じて設定するものである。例えば画像計測部１台に対してデータ処理部を２台設置するなどの場合も含まれる。そして、このような場合、データ蓄積部２０は、各表示パネルに対応した画像計測データを処理待機中に複数のデータ処理部３０１〜３０Ｎに振り分けて出力する。また、データ蓄積部２０は、必要に応じて複数設置するものであってもよい。
【００２９】
このような実施形態によると、各画像計測部１０において、ワーク１が撮像による画像計測工程，データ記録工程を行いストッカーＳＴにストックされている間に、ワーク１のデータ処理工程を行うと共に、次の別ワークが同じ画像計測部１０に設置されて画像計測工程，データ記録工程の処理を経ることができる。すなわち、本実施形態においても、画像計測工程とデータ処理工程を並列処理でき、効率的な検査工程が実現できる。
【００３０】
また、このような実施形態によると、データ記録工程のデータ蓄積部２０に各ワーク１１〜１Ｎの画像計測データや検査結果を記録し、データベース化しておくことで、製品に対する再現性が容易となるという効果を有する。具体的には、ワークの製造工程にフィードバックできると共に、製造工程内の不良原因を改善することができ、結果完成品の歩留まりを向上させることが可能となる。また、良品に対しても、市場に出てからＩＤナンバにより、これらのワーク（表示パネル）を備えた製品の品質管理等が容易にできる。
【００３１】
次に、図４は１枚のワーク１が画像計測工程，データ記録工程，データ処理工程を経て、ワーク排出するまでの流れ（ステップＳ１０１〜Ｓ１１４）を示したフロー図である。以下、これについて詳細に説明する。なお、画像計測工程はＳ１０１〜Ｓ１０５，Ｓ１０７が該当し、データ記録工程はＳ１０６が該当し、データ処理工程は、Ｓ１０９〜Ｓ１１３が該当する。
【００３２】
ワーク１は、振り分けコンベア３にセットされると共にＩＤ読み取り機２によって個別のＩＤナンバを識別され（Ｓ１０１）、その後各画像計測部１０１〜１０Ｎのうち空いている装置を選択され、セットされる（Ｓ１０２）。次いで、ワーク１は所定位置に配置されるようにアライメント処理を施され（Ｓ１０３）、コンタクトヘッド１２を圧着されて、表示パネルを点灯されると共に、テスト信号発生器を用いて検査項目に合ったテスト信号による検査パターン点灯を表示する（Ｓ１０４）。その後、高精細カメラ（例えばＣＣＤカメラ）を利用して、パネルの検査画像を撮像する（Ｓ１０５）。
【００３３】
デジタル処理された画像計測データは、ワーク１のＩＤナンバと共にデータ蓄積部２０に記録保存される（Ｓ１０６，データ記録工程）。更に、他の検査項目について計測する場合は、Ｓ１０４に戻り再度、各検査項目に合ったテスト信号による検査パターン点灯させて撮像を行い、ＩＤナンバと共にデータ蓄積部２０に記録保存される。すべての検査項目において、記録保存されたことによって画像計測工程（Ｓ１０１〜Ｓ１０５，Ｓ１０７）は、完了し、コンタクトヘッド１２は開放される。
【００３４】
その後、ワーク１はストッカーＳＴ１にストックされる（Ｓ１０８）。このＳ１０８と同時に、データ蓄積部２０に記録保存されたワーク１の画像計測データは、データ処理工程へと進み、高速演算処理装置を備えたデータ処理部３０によって処理される。この高速演算処理装置により、最初に画像読み出しを行い計測系の歪を削除する（Ｓ１０９）。次いで、特徴量の抽出を行った（Ｓ１１０）後に、欠陥抽出を行うと共にその特徴量の大小により欠陥か否かの検査項目を品質判定する（Ｓ１１１）。
【００３５】
その後、他に検査する項目が残っている場合にはＳ１０９へ戻り、すべての検査項目についても、計測系の歪削除、特徴量の抽出、欠陥抽出，検査の品質判定（Ｓ１０９〜Ｓ１１１）を行う。
【００３６】
欠陥抽出（Ｓ１１１）によって出された検査値が適正範囲内にある場合は、適切なワークと判断し、逆に適正範囲外にある場合は不適切なワークであると判断し、これらの良否情報を、そのワークのＩＤナンバと共にデータ蓄積部２０に記録保存し、すべての検査項目の結果出力を行い（Ｓ１１３）、ワーク１がストックしてあるストッカーＳＴ１に対して、データ処理部３０１がワーク１を排出する命令を出し、その結果ワーク１は排出される（Ｓ１１４）。これにより、一連の画像計測工程，データ記録工程，データ処理工程は完了する。
【００３７】
なお、ワーク１がストッカーＳＴ１にストックされた（Ｓ１０８）後に、振り分けコンベア３に待機されていた次のワークは、Ｓ１０２により画像計測部１０１に設置され、次のワークの画像計測工程の画像計測が開始されることは、上述した通りである。
【００３８】
このように、１枚のワークに対して画像計測工程を実施した後は、データ処理工程を実施しながら次のワークを画像計測工程にて並列処理できるので、検査時間の短縮が図れる。少なくとも、従来技術では、最初のワークがすべての工程を終了するまでは次のワーク処理を行うことができなかったことを鑑みると、本発明の実施形態では著しく検査時間が短縮したと言える。
【００３９】
また、データ処理工程を高速演算処理が可能なデータ処理部を用いているため、従来のように目視によるモニターチェックように人間の肉眼だけによる検査とは異なり、効率的な画像処理が可能となる。したがって、従来技術と比して、検査を担当する人員も大幅に削減できる。
【００４０】
次に、図５を用いて本発明の実施形態の検査工程と従来技術による検査工程の比較に関する一例を示す。図５（ａ）は、従来技術によるワーク処理を示し、図５（ｂ）は本発明の実施形態の表示パネル検査装置及びその検査方法を用いたワーク処理を示したものである。これらの図では、画像計測工程Ａ，データ記録工程Ｂ，データ処理工程Ｃとして示す。
【００４１】
図５（ａ）の従来技術のワーク処理では、図５（ｂ）の本発明の実施形態のワーク処理との比較をしやすいように、１つの装置ライン（例えば、装置ラインＬ１）において１枚のワークを画像計測工程Ａ，データ記録工程Ｂ，データ処理工程Ｃと連続して行い、データ処理工程Ｃを終了した後に、次のワークを検査装置に供給するものである。そして、これらの図５（ａ），（ｂ）における検査条件として、１枚のワークが上流から供給されるワーク供給サイクルは１０秒／枚とする。そして、振り分けコンベア３の処理時間を１０秒／枚とし、処理時間は計３０秒／枚（その内訳は、画像計測工程Ａ（データ記録工程Ｂを含む）の合計で１０秒／枚、データ処理工程Ｃで２０秒／枚）とする。
【００４２】
以下、図５（ａ）の従来技術によるワーク処理について説明する。これらの処理では、従来の装置ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３の３台を利用し、１０秒／枚の割合でワークが供給される。同図（ａ）では、装置ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３の順にワークを供給していることを示す。装置ラインＬ１について注目してみると、時間Ｔ＝０に供給されたワークＷ１は、１０秒後のＴ＝１０にワークセットされ、Ｔ＝２０までの１０秒間に画像計測工程Ａ，データ記録工程Ｂにより、画像計測処理、データ記録される。そして、続いてＴ＝２０〜４０までの２０秒間にデータ処理工程Ｃを経て画像処理される。そして、Ｔ＝４０に装置ラインＬ１から排出されると共に上流からの次のワークＷ４は、装置ラインＬ１にワークセットされ、同様に処理される。他の装置ラインＬ２，Ｌ３についても同様にワーク処理がなされる（図５（ａ）参照）。
【００４３】
このように、同図（ａ）によると、ワーク排出は１０秒／枚であり、Ｔ＝０からワークＷ１が供給されてからＴ＝７０までに４枚のワーク（ワークＷ１〜Ｗ４）が排出されたこととなり、これらに要した設備は上述のように装置ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３の３台が必要となる。
【００４４】
次に、図５（ｂ）の本発明の実施形態の表示パネル検査装置を用いた検査方法のワーク処理について説明する。図５（ａ）にて示したワーク処理と同じ結果（Ｔ＝０〜７０の間に３枚のワークを排出すること）を得るためには、本発明の実施形態では、画像計測工程Ａとして画像計測部を１台利用し、データ記録工程Ｂとして大容量のハードディスクを１台用意し、そしてデータ処理工程Ｃとして２台のデータ処理部ＤＳ１,ＤＳ２を利用することで実現できる。つまり、本発明の実施形態では、画像計測部１０とデータ処理部３０の設置数は、各装置の処理時間に応じて設定台数が決められる。
【００４５】
具体的には、Ｔ＝０にて供給されたワークＷ１は、振り分けコンベア３によりＴ＝１０に画像計測部１０にワークセットされる。そして、Ｔ＝１０〜２０の間に画像計測工程Ａ,データ記録工程Ｂにより画像計測処理,データ記録され、Ｔ＝２０にストッカーＳＴ１に待機されると共に画像計測工程Ａにより得られたワークＷ１の画像計測データはデータ処理部ＤＳ１のデータ処理工程Ｃへと移行する。データ処理部ＤＳ１では、Ｔ＝２０〜４０までの２０秒間に画像処理や記録を実施する。そして、その後ワークＷ１は、Ｔ＝４０にてストッカーＳＴ１より排出される。
【００４６】
上流から供給されたワークＷ２は、ワークＷ１の検査装置設置後（Ｔ＝２０）、すぐに同じ画像計測部１０により画像計測工程Ａ，データ記録工程Ｂを施され、Ｔ＝３０にストッカーＳＴ２に待機されると共に別のデータ処理部ＤＳ２に画像計測データを送られ、データ処理工程Ｃに移行する。そして、２０秒後のＴ＝５０に、ストッカーＳＴ２より排出される。以下、ワークＷ３以降のワーク処理についても同様である。
【００４７】
従って、同図（ｂ）によると同図（ａ）に示したワーク処理結果と同じ内容であるＴ＝０〜７０の間に３枚のワークＷ１，Ｗ２，Ｗ３を排出することを、本発明の実施形態では１台の画像計測部１０,１台のデータ蓄積部２０、２台のデータ処理部ＤＳ１,ＤＳ２を利用するだけで実現でき、これらのデータ処理部ＤＳ１,ＤＳ２は、主に検査による品質判定を処理するものであるためパソコンなどで代用することが可能である。
【００４８】
このように本発明の実施形態の図５（ｂ）にて、データ記録工程Ｂやデータ処理工程Ｃは、単に大容量のハードディスクや高速演算処理が可能なデータ処理装置（例えば、パソコン等）で済むため、設備コストという点では低く抑えることができる。
【００４９】
すなわち、これらの装置を新規に入れ替える際にも多大な設備コストを要さない。仮に、設備の増設が必要になった場合であっても、各装置の処理時間に応じて必要な設備台数を決定できるので画像計測工程の検査装置、データ記録工程の記録装置、データ処理工程のデータ処理部のいずれかの導入で済み、最低限の導入コストや設備コストで増設が可能となる。
【００５０】
そして、実質、検査工程のラインとして動作しているものは、画像計測工程の画像計測部１０の１台で済み、従来技術に比して設備設置の省スペース化が可能となると共に設備コストという点で著しいコストダウンが図れる。
【００５１】
また、本発明の実施形態は、画像計測工程により検査データを収集し、その後ワークをストッカーにストックさせ、検査データだけをデータ処理工程にて別途処理し、そしてその間に次のワークに対して同様な画像計測工程を実施しているので、常に画像計測工程とデータ処理工程を独立して検査処理を行い、特に両者を並列処理する場合にあっては、１枚のワークが検査装置に搭載されている時間が短くて済み、効率的な表示パネルの検査が実施できる。
【００５２】
以上説明したように、本発明の実施形態に係る表示パネル検査装置及びその検査方法は、検査工程でのラインとして機能する画像計測工程とデータ処理工程を独立して検査処理を行うことができるので、画像計測工程とデータ処理工程を並列に処理でき、生産性を向上させることができる。
【００５３】
また、データ処理工程のデータ処理部の数をデータ処理工程の処理時間に応じて設定することで、使用する検査装置が少なく済み、複数検査装置を使用する場合にみられる画像計測データ取得時の調整が簡素化し、また各検査装置間の機差による測定ばらつき（収差等）が生じる可能性を低減でき、良好な品質管理を可能とする。
【００５４】
更には、検査データ収集と検査による品質判定を分離独立し、これらを並列にて検査処理しているため、１枚のワークに対する検査時間を著しく低減できると共に省スペース化及び装置単価の低コストが可能となり、設備投資額の高騰を事前に抑制することができる。そして、パネル生産の進行段階での計画変更等の予測が困難である状況に対しても、画像計測装置やデータ記憶装置，データ処理装置など必要な設備を増設するので、これまでの設備を有効活用でき、これらの計画変更に柔軟に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】従来技術の表示パネル検査装置を示した説明図である。
【図２】本発明の実施形態の表示パネル検査装置及び検査方法を示す説明図である。
【図３】本発明の他の実施形態の表示パネル検査装置及び検査方法を示す説明図である。
【図４】本発明の実施形態による１枚のワークの各処理工程を示したフロー図である。
【図５】本発明の実施形態の検査工程と従来技術による検査工程の比較に関する一例を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１，１１〜１Ｎ      ワーク
２      ＩＤ読み取り機
３      振り分けコンベア
１０,１０１〜１０Ｎ      画像計測部
２０      データ蓄積部
３０,３０１〜３０Ｎ      データ処理部
【図１】
2006058083.tif 000003
【図２】
2006058083.tif 000004
【図３】
2006058083.tif 000005
【図４】
2006058083.tif 000006
【図５】
2006058083.tif 000007