(57)【要約】【課題】複数の処理装置に被処理物を搬送する搬送台車に、搬送台車側位置検出手段を設けるとともに、前記搬送台車が前記複数の処理装置と前記被処理物の受け渡しを行うための停止位置のそれぞれに、停止位置側位置検出手段を設け、搬送台車側位置検出手段と停止位置側位置検出手段との相対位置を非接触センサを用いて検出することによって、前記搬送台車が前記停止位置のそれぞれに停止するように制御する搬送装置において、いずれかの停止位置の位置検出手段に物理的な力が印加された場合であっても、他の検出手段が変形して長時間の停止を必要とすることを防止する。【解決手段】  停止位置側位置検出手段を、搬送台車側位置検出手段に衝突した時に容易に変形して、搬送台車側位置検出手段を変形させない構造とする。【選択図】図４
2006168904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産ライン内に設置された複数の処理装置に被処理物を搬送する搬送台車に、搬送台車側位置検出手段を設けるとともに、前記搬送台車が前記複数の処理装置と前記被処理物の受け渡しを行うための停止位置のそれぞれに、停止位置側位置検出手段を設け、前記搬送台車側位置検出手段と停止位置側位置検出手段との相対位置を非接触センサを用いて検出することによって、前記搬送台車が前記停止位置のそれぞれに停止するように制御する搬送装置であって、
前記停止位置側位置検出手段が、前記搬送台車側位置検出手段と衝突した時に容易に変形して、前記搬送台車側位置検出手段を変形させない構造を有することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記搬送台車側位置検出手段が前記非接触センサを含み、前記停止位置側位置検出手段が、前記非接触センサによって検出される被検出部と、該被検出部を支持する幅狭部とを有するストライカを含むことを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
生産ライン内に設置された複数の処理装置に被処理物を搬送する搬送台車に、搬送台車側位置検出手段を設けるとともに、前記搬送台車が前記複数の処理装置と前記被処理物の受け渡しを行うための停止位置のそれぞれに、停止位置側位置検出手段を設け、前記搬送台車側位置検出手段と停止位置側位置検出手段との相対位置を非接触センサを用いて検出することによって、前記搬送台車が前記停止位置のそれぞれに停止するように制御する搬送装置であって、
前記停止位置側位置検出手段が、外部からの物理的な力の印加によって変形した場合にも、該物理的な力が取り去られた後に元の形状に復帰する弾性を備えた構造を有することを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
前記搬送台車側位置検出手段が前記非接触センサを含み、前記停止位置側位置検出手段が、前記非接触センサによって検出される被検出部を有するとともに、少なくとも一部分が弾性材料によって形成されたストライカを含むことを特徴とする請求項３記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置等の生産設備において、ライン状に配置された複数の処理装置のそれぞれに、被処理物を入れたカセットを搬送台車に載せて搬送する搬送装置に関する。特に、それぞれの処理装置に対応した停止位置に設けられる位置検出手段のいずれかに、変形を起こさせるような力が加わった場合においても、長時間の操業停止を招くことのない搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示パネル等の生産においては、被処理物（半導体基板、ガラス基板等の被処理基板）に対して、洗浄、成膜、エッチング、熱処理等、さまざまな処理が行われる。そして、この生産のために、さまざまな処理のそれぞれを行う多数の処理装置を配置して、生産ラインを構成することが一般的である。このような生産ラインには、カセットに収納した被処理基板をこれらの処理装置に搬送する、搬送装置が設けられる。
【０００３】
このような搬送装置には、例えば特許文献１に示されるように、カセットを載せる搬送台車を、ベルトもしくはケーブルの回転によって移動させるものがある。このような搬送装置では、それぞれの生産装置に対応する位置に、対応する生産装置とのカセットの受け渡しを行うための、停止位置が設けられる。そして、搬送台車をこれらの停止位置に正確に停止させるために、それぞれの停止位置および搬送台車に、位置検出手段が設けられる。
【０００４】
この位置検出手段としては、光センサや磁気センサなどの非接触センサと、このセンサによって検出可能な形状もしくは材質を有する被検出部材（以下、ストライカと呼ぶ）とが、それぞれの停止位置と搬送台車とに分けて設けられる。そして、センサによってストライカを検出することによって、搬送台車が停止位置に到達したことを検出し、搬送台車を停止するように制御される。
【０００５】
例えば特許文献１には、それぞれの停止位置にセンサを設け、搬送台車に、その縁部から突出する二等辺三角形の形状を有するストライカを設け、センサ出力が最大になった時点で停止位置に到達したことを検出して搬送台車を停止する制御方法が開示されている。
【０００６】
このような搬送装置では、位置検出手段として非接触のセンサを用いるため、通常の使用状態においては、センサおよびストライカのいずれも、他の構造物と、もしくは相互に、物理的に接触することはない。従って、位置検出手段の形状や強度は、外部からの力が加わらないことを前提に設計されていた。
【特許文献１】特開２０００−１１４３４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１に開示されたような搬送装置においても、例えば、ラインを構成する処理装置のメンテナンスの際に、作業員が誤って踏みつける等によって、複数の停止位置のいずれか１つに設けられた位置検出手段（センサとストライカのいずれか一方）に物理的な力が印加され、変形する場合があった。
【０００８】
従来の搬送装置の位置検出手段は、前述のように、外部からの力が加わらないことを前提に設計されている。このため、センサおよびストライカは、いずれも同程度の強度を持つように設けられることが一般的であった。例えば、センサは、通常の作業において作業員が誤って触れても変形することがない、所定の寸法を有する金属製のブラケットで、搬送台車もしくは停止位置の一方に取り付けられる。ストライカも、同様に、所定の寸法を有する金属板で作成され、搬送台車もしくは停止位置の他方に取り付けられる。このような位置検出手段が互いに接触すると、その両方が変形する。
【０００９】
従って、搬送台車が移動することによって、搬送台車の位置検出手段が、作業員が踏みつけることによって変形した、停止位置の位置検出手段に衝突すると、搬送台車の位置検出手段も変形する。そしてさらに、搬送台車が移動することにより、変形した搬送台車の位置検出手段が他の停止位置の位置検出手段に次々に衝突し、他の停止位置の位置検出手段も変形する。
【００１０】
このように、従来の搬送装置では、複数の停止位置のそれぞれに設けられた位置検出機構のいずれかに、変形をきたすような力が加えられると、搬送台車および他の停止位置に設けられた位置検出手段も変形する。そうすると、生産ラインを長時間停止し、搬送台車および複数の停止位置の位置検出手段を交換し、調整をやり直すことが必要になる。
【００１１】
本発明は、停止位置のいずれか１つに設けられた位置検出手段に物理的な力が印加された場合であっても、他の位置検出手段が変形することを防止し、長時間の停止を必要とすること無く、稼働を継続、もしくは再開することが可能な、搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために、本発明の搬送装置は、生産ライン内に設置された複数の処理装置に被処理物を搬送する搬送台車に、搬送台車側位置検出手段を設けるとともに、前記搬送台車が前記複数の処理装置と前記被処理物の受け渡しを行うための停止位置のそれぞれに、停止位置側位置検出手段を設け、前記搬送台車側位置検出手段と停止位置側位置検出手段との相対位置を非接触センサを用いて検出することによって、前記搬送台車が前記停止位置のそれぞれに停止するように制御する搬送装置であって、前記停止位置側位置検出手段が、前記搬送台車側位置検出手段と衝突した時に容易に変形して、前記搬送台車側位置検出手段を変形させない構造を有することを特徴とする。
【００１３】
従って、１つの停止位置側位置検出手段が物理的な力の印加によって変形し、搬送台車側位置検出手段に衝突しても、搬送台車側位置検出手段は変形しない。このため、他の停止位置側位置検出手段が変形することも無い。
【００１４】
ここで、好ましくは、前記搬送台車側位置検出手段が前記非接触センサを含み、前記停止位置側位置検出手段が、前記非接触センサによって検出される被検出部と、該被検出部を支持する幅狭部とを有するストライカを含む。
【００１５】
さらに、本発明の他の搬送装置は、生産ライン内に設置された複数の処理装置に被処理物を搬送する搬送台車に、搬送台車側位置検出手段を設けるとともに、前記搬送台車が前記複数の処理装置と前記被処理物の受け渡しを行うための停止位置のそれぞれに、停止位置側位置検出手段を設け、前記搬送台車側位置検出手段と停止位置側位置検出手段との相対位置を非接触センサを用いて検出することによって、前記搬送台車が前記停止位置のそれぞれに停止するように制御する搬送装置であって、前記停止位置側位置検出手段が、外部からの物理的な力の印加によって変形した場合にも、該物理的な力が取り去られた後に元の形状に復帰する弾性を備えた構造を有することを特徴とする。
【００１６】
従って、いずれかの停止位置検出手段に物理的な力が印加された場合であっても、物理的な力が取り去られた後には元の形状に復帰する。このため、搬送台車側位置検出手段や他の停止位置側位置検出手段が変形することは無い。
【００１７】
ここで、好ましくは、前記搬送台車側位置検出手段が前記非接触センサを含み、前記停止位置側位置検出手段が、前記非接触センサによって検出される被検出部を有するとともに、少なくとも一部分が弾性材料によって形成されたストライカを含む。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１及び２の搬送装置は、いずれか１つの停止位置側位置検出手段が変形した場合であっても、１つの位置検出手段の交換のための短時間の停止のみで稼働を再開することができる。
【００１９】
また、請求項３及び４の搬送装置は、停止位置側位置検出手段に物理的な力が印加された場合であっても、停止させることなく、稼働を継続することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について具体的に説明する。
【００２１】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の搬送装置１０が適用された生産ラインの１の構成を模式的に示す平面図である。
【００２２】
生産ライン１は、半導体基板に対して、半導体装置製造のためのさまざまな処理を実施するものであり、さまざまな処理を実施するための複数の処理装置４０が、ライン状に配置されている。この生産ライン１には、これらの処理装置４０に、カセットに納められた状態の被処理物（半導体基板）を搬送する、搬送装置１０が設けられている。
【００２３】
搬送装置１０は、レール１２，搬送台車１６，駆動機構１８からなる。搬送台車１６は、カセットを載せる載置台と、各処理装置とカセットの受け渡しを行うためのロボット（いずれも図示省略）を備え、駆動機構１８によって駆動されるケーブルに引かれてレール１２上を移動する。レール１２には、それぞれの処理装置４０とのカセットの受け渡しを行うための停止位置１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄ・・・が定められている。それぞれの停止位置には、停止位置側位置検出手段としてストライカ２０が設けられている。一方、搬送台車１６には、搬送台車側位置検出手段としてセンサブロック３０が設けられている。
【００２４】
搬送台車１６は、駆動機構１８に設けられたエンコーダ（図示省略）によって概略の位置が把握されるとともに、センサブロック３０の出力によって詳細な位置が把握され、図示しない制御装置によって、所要の停止位置に停止するように制御される。
【００２５】
図２は、本発明の搬送装置の第１の実施形態において停止位置側位置検出手段として利用するストライカ２０の一例を、レール１２に平行して設けられたストライカ固定用ブラケット１２２に取り付けた状態を示す、図１のＡの方向から見た、正面図である。ストライカ２０は、取り付け部２２と被検出部２６と、その間をつなぐ幅狭部２４とからなり、取り付け部において、ストライカ固定用ブラケット１２２にネジ２８で固定されている。ストライカ２０は、例えば一定の厚さの金属板によって形成される。
【００２６】
図３（ａ）は、搬送台車側位置検出手段であるセンサブロック３０の一例を、搬送台車の筐体１６２に取り付けた状態を示す、図１のＢの方向から見た正面図である。図３（ｂ）は、同じくセンサブロック３０を、図１のＣの方向から見た側面図である。
【００２７】
センサブロック３０は、金属製のブラケット３２と、２個の光センサ３４とを含む。図３（ａ）に示されるように、ブラケット３２は、２つの分岐３２ａ，３２ｂを有し、分岐のそれぞれの先端部に光センサ３４が取り付けられている。そして、このブラケット３２が搬送台車の筐体１６２にネジ３８で固定されることによって、センサブロック３０が搬送台車１６に固定されている。
【００２８】
光センサ３４は、図３（ｂ）に示されるように、その先端部３４ａに溝３４２を有する。そして、この溝内にストライカ２０の被検出部２６が挿入され、光路が遮られると検出信号を出力する。これによって、センサ３４の溝３４２にストライカ２０の被検出部２６が挿入されたことが、すなわち、センサブロック３０が取り付けられた搬送台車１６が停止位置１４Ａ〜１４Ｄのいずれかに到達したことが検出される。
【００２９】
ここで、ストライカ２０の材質、厚さ、および幅狭部２４の幅は、通常の使用時においては被検出部２６を支持することができるように、すなわち、被検出部２６の重量によって変形することが無いように定められる。ブラケット３２の材質および厚さも同様に、光センサ３４の重量によって変形することが無いように定められる。
【００３０】
しかし、ストライカ２０の材質、厚さ、および幅狭部２４の幅は、センサブロック３０と衝突した場合には容易に変形し、センサブロック３０を変形させることがないように定められる。例えば、ブラケット３２に厚さ２ｍｍのステンレス板を使用し、ストライカ２０には厚さ１ｍｍのアクリル板を使用した場合、幅狭部２４の幅を５ｍｍ程度とすることができる。もしくは、ストライカ２０に厚さ１ｍｍのステンレス板を使用した場合、幅狭部２４の幅は０．５ｍｍ程度とすることができる。
【００３１】
さらに、ストライカ２０の全体を同一の材料で形成するのではなく、複数の材料を組み合わせて形成することも可能である。例えば、幅狭部２４に、他の部分に比較して容易に変形しやすい材料を使用することができる。具体的には例えば、幅狭部２４をプラスチック材料で、他の部分を金属材料で構成することができる。
【００３２】
図４は、搬送台車１６が停止位置１４Ａ〜１４Ｄのいずれかに到達した状態での、ストライカ２０とセンサブロック３０との位置関係を示す正面図である。
【００３３】
搬送台車１６が停止位置１４Ａ〜１４Ｄのいずれかに到達した状態では、ストライカ２０の被検出部２６の両端が、それぞれ、センサブロック３０の２つの光センサ３４の先端部３４ａの溝内に挿入された状態になり、２つの光センサ３４の両方が検出信号を出力する。この、２つの光センサ３４の出力によって、搬送台車が停止位置に到達したことが検知され、停止される。
【００３４】
次に、図１に示された本発明の搬送装置１０において、停止位置の位置検出手段が変形した場合の影響について考察する。
【００３５】
例えば、図１の停止位置１４Ａに設置された処理装置４０のメンテナンスを行う際に、作業員が、誤って停止位置１４Ａのストライカ２０を踏みつけ、変形させた場合を考える。その後、搬送台車１６を、図１に示された待機位置１５から停止位置１４Ｄに移動させたとする。この過程で、搬送台車１６が、変形したストライカ２０が設けられた停止位置１４Ａを通過する際に、変形したストライカ２０が光センサ３４に衝突することが考えられる。しかし、図２に示されたように、ストライカ２０には幅狭部２４が設けられ、容易に変形する構造とされている。このため、光センサ３４に衝突した場合にもセンサブロック３０には変形は発生しない。センサブロック３０が変形しないため、搬送台車１６が停止位置１４Ｂ，１４Ｃを通過して停止位置１４Ｄに到達する間にも、停止位置１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄのいずれにおいても、センサブロック３０がストライカ２０に衝突することはない。
【００３６】
すなわち、１つの停止位置のストライカ２０が変形しても、搬送台車１６のセンサブロック３０および他の停止位置のストライカ２０は変形しない。
【００３７】
この後、さらに生産ライン１の操業を続け、１４Ａの停止位置に搬送台車１６を移動させることが必要になったときに、停止位置１４Ａにおいてストライカ２０の位置を正常に検出することができず、異常が検出される。この段階で、搬送装置１０および生産ライン１の操業を停止することが必要になる。しかし、停止位置１４Ａのストライカを交換するために必要な短い停止時間のみで、生産ライン１の操業を再開することができる。
【００３８】
これに対して、従来の搬送装置では、ストライカには幅狭部は設けられず、容易には変形しない構造になっていた。このため、停止位置１４Ａに設けられたストライカ２０が変形した状態で、搬送台車１６を待機位置１５から停止位置１４Ｄに移動させると、停止位置１４Ａを通過するときに、変形したストライカ２０が搬送台車１６のセンサブロック３０に衝突し、センサブロックのブラケット３２を変形させる。そして、停止位置１４Ｄに到達するまでに、この変形したセンサブロック３０が、停止位置１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄのストライカに次々と衝突し、これらの停止位置のストライカ２０を変形させる。そして、１４Ｄの停止位置において、ストライカの位置を正常に検出することができず、異常が検出される。
【００３９】
この状態では既に、１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄの全ての停止位置のストライカ２０と、搬送台車１６のセンサブロック３０とが変形している。従って、搬送装置１０および生産ライン１を長時間停止し、全ての停止位置のストライカと搬送台車センサブロックとを交換しなければ、操業を再開することができない。
【００４０】
このように、センサブロック３０と衝突したときに容易に変形するストライカ２０を停止位置側位置検出手段として備えた本発明の第１の実施形態の搬送装置１０においては、いずれか１つの停止位置の位置検出手段が変形した場合にも、他の停止位置に設けた位置検出手段や、搬送台車に設けた位置検出手段が変形することが無い。従って、本発明の搬送装置１０およびそれを備えた生産ライン１は、変形した１つの停止位置の位置検出手段を交換するための短時間の停止のみによって、操業を再開することができる。
【００４１】
［第２の実施形態］
図５は、本発明の搬送装置の第２の実施形態において停止位置側位置検出手段として利用するストライカ６０の一例を示す。ストライカ６０は、第１の実施形態と同様のセンサブロック３０と組み合わせて、第１の実施形態と同様の搬送装置１０において利用することができる。
【００４２】
ストライカ６０は、第１の実施形態のストライカ２０と同様に、取り付け部６２と被検出部６６と、その間をつなぐ幅狭部６４とからなる。そして、やはり第１の実施形態のストライカ２０と同様に、ネジ穴６７を利用して、ストライカ固定用ブラケット１２２にネジ止めすることができる。
【００４３】
しかし、第１の実施形態のストライカ２０が、その全体が、アクリル板、ステンレス板等の、弾性を持たない材料で形成されるのに対して、本実施形態のストライカ６０は幅狭部６４は、例えばゴム等の、弾性を有する材料によって形成される。幅狭部６４の材質および寸法は、通常の使用状態において加わる力、例えば、被検出部６６の重量によっては変形することが無いように定められる。しかし、例えば作業員が踏みつける等によって、外部から物理的な力が印加された場合には、幅狭部６４が容易に変形できるような材質および寸法とする。これによって、弾性を持たない部分、例えば取り付け部６２は変形せず、外部からの力が取り去られた後には、元の形状に復帰する。
【００４４】
例えば、幅狭部６４を厚さ２ｍｍの硬質ゴムで形成した場合、幅狭部６４の幅を５ｍｍ程度とすることとができる。
【００４５】
また、幅狭部６４のみを弾性を有する材料で構成するのではなく、ストライカ６０全体を、ゴム等の弾性を有する材料で構成することも可能である。さらに、弾性を有する材料として、ゴム以外のもの、例えばバネを利用することも可能である。この場合、弾性を有する材料で幅狭部６４を形成するのではなく、被検出部６６を取り付け部６２にバネで接合することによって、弾性を有する構造のストライカ６０とすることも可能である。
【００４６】
本実施形態においては、作業員が誤って踏みつける等によって、いずれかの停止位置の位置検出手段に、外部からの物理的な力が印加されても、その力が取り去られた後には、位置検出手段が元の形状に復帰する。従って、搬送台車側の位置検出手段や、他の停止位置の位置検出手段を変形させることはない。このため、本実施形態の搬送装置１０を備えた生産ライン１は、位置検出手段の交換のために停止させることなく、操業を継続することができる。
【００４７】
なお、停止位置側の位置検出手段を弾性を有する構造とした場合であっても、元の形状に復帰できる限界を超えた力が印加され、力が取り去られた後も変形が残ったままの状態になることもあり得る。しかし、そのような状態になり、搬送台車側の位置検出手段に衝突したとしても、弾性を有する停止位置側の位置検出手段が容易に変形するため、搬送台車側の位置検出手段が変形することはない。従って、他の停止位置の位置検出手段が変形することもない。このため、変形した１つの停止位置の位置検出手段を交換するための、短時間の停止のみで、搬送装置１０および生産ライン１の操業を再開することができる。
【００４８】
以上、本発明の搬送装置を詳細に説明したが、本発明は上記実施形態には限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更を行うことが可能である。
【００４９】
例えば、上記実施形態においては、搬送台車側にセンサブロック３０を設け、それぞれの停止位置側に、センサブロック３０の光センサ３４によって検出されるストライカ２０または６０を設けた例を示した。しかし、逆に、各停止位置側にセンサブロックを設け、搬送台車側に、ストライカを設けることも可能である。この場合、ブラケット３２に幅狭部を設けてストライカと衝突した時に容易に変形する構造としたり、ブラケット３２の一部をゴム等の弾性を有する材料で構成したりすることができる。
【００５０】
本発明の搬送装置は、半導体装置を製造する生産ラインには限らず、液晶表示パネルを生産する生産ライン等にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の搬送装置が適用された生産ラインの構成を模式的に示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の搬送装置の停止位置側位置検出手段の一例を示す正面図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、本発明の搬送装置の搬送台車側位置検出手段の一例を示す正面図および側面図である。
【図４】搬送台車が停止位置に到達した状態での、本発明の停止位置側および搬送台車側位置検出手段の位置関係を示す正面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の搬送装置の停止位置側位置検出手段の一例を示す正面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１                                生産ライン
１０                              搬送装置
１２                              レール
１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄ    停止位置
１６                              搬送台車
１８                              駆動機構
２０，６０                        ストライカ
２２．６２                        取り付け部
２４．６４                        幅狭部
２６，６６                        被検出部
３０                              センサブロック
３２                              ブラケット
３４                              光センサ
４０                              処理装置
【図１】
2006168904.tif 000003
【図２】
2006168904.tif 000004
【図３】
2006168904.tif 000005
【図４】
2006168904.tif 000006
【図５】
2006168904.tif 000007