(57)【要約】【課題】基板に形成される蛍光体層を構成する成分組成の均一化を図り、この蛍光体層からなる放射線画像変換パネルの輝度の均一化を図ることができる蒸着装置及び放射線画像変換パネルを提供すること。【解決手段】内部に基板７を備えた真空チャンバ２と、内部に原料を備えるとともに開口部８が形成され、開口部８が基板７に対向するように配置されたボート３と、ボートを加熱する加熱装置とを備えた蒸着装置１において、ボート３の開口部８の最小寸法に対する最大寸法の比率が１≦最大寸法／最小寸法≦３となるように形成し、この蒸着装置１を用いて放射線画像変換パネル１３を形成する。【選択図】図２
2006089816.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に基板を備えた真空チャンバと、内部に原料を備えるとともに開口部が形成され、前記開口部が前記基板に対向するように配置されたボートと、前記ボートを加熱する加熱装置とを備えた蒸着装置であって、前記ボートの開口部の最小寸法に対する最大寸法の比率が１≦最大寸法／最小寸法≦３であることを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の蒸着装置を用いて製造され、前記基板上に輝尽性蛍光体を含有する輝尽性蛍光体層を備えたことを特徴とする放射線画像変換パネル。
【請求項３】
前記輝尽性蛍光体は下記一般式（１）で表されるハロゲン化アルキルを母体とすることを特徴とする請求項２に記載の放射線画像変換パネル。
Ｍ1Ｘ・ａＭ2Ｘ’2・ｂＭ3Ｘ’’3：ｅＡ      ・・・（１）
［ここで、Ｍ1はＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、Ｍ2はＭ1以外のＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、Ｍ3はＹ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ及びＬｕからなる群から選ばれる少なくとも一種の三価金属であり、Ｘ、Ｘ’及びＸ’’はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩからなる群から選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙからなる群から選ばれる少なくとも一種の希土類金属であり、ａ、ｂ、ｅはそれぞれ０≦ａ＜０．５、０≦b＜０．５、０＜ｅ≦０．２の範囲の数値を示す。］
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置及び放射線画像変換パネルに係り、特に、ボートを備えた蒸着装置及び放射線画像変換パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、放射線画像を得るために銀塩を使用した、いわゆる放射線写真法が利用されているが、銀塩を使用せず放射線像を画像化する方法が開発されている。
【０００３】
例えば、放射線（Ｘ線、高周波発振コイル線、α線、β線、電子線、紫外線等）の照射を受けると、この放射線エネルギーの一部を蓄積し、その後、可視光等の励起光の照射を受けると、蓄積された放射線エネルギーに応じた輝尽発光を示す蛍光体である輝尽性蛍光体が知られている。この輝尽性蛍光体を利用する一例として、輝尽性蛍光体を含有する層（以下、輝尽性蛍光体層という。）が形成されている放射線画像変換パネルが挙げられる。
【０００４】
ところで、近年、市場では高輝度、高感度、高鮮鋭性を示す放射線画像変換パネルが求められており、この放射線画像変換パネルにＣｓＢｒ等のハロゲン化アルカリを母体とし、Ｅｕを付活した輝尽性蛍光体を用いることが提案されている。特に、Ｅｕを付活剤とすることで、高輝度、高感度、高鮮鋭性を示すだけでなく、従来不可能であったＸ線変換効率の向上も可能になるとされている。
【０００５】
また、感度、鮮鋭性を改善するための手段として、特定の形状に輝尽性蛍光体をコントロールすることが提案されている。例えば、特許文献１では、輝尽性蛍光体の原料を蒸発させる蒸発源の上方に基板を設置し、気相堆積法によって基板上に、輝尽性蛍光体の原料を一定の角度で入射させて、基板の法線方向に対して一定の傾きをもった細長い柱状結晶を気相成長させて基板の法線方向に対して一定の傾きをもった細長い柱状結晶を有する輝尽性蛍光体層を形成している。その際に、蒸発源としてボートを使用しており、特許文献2では、ボートの用途や蒸発させる材料に応じてボートの形状や材質を使い分ける技術が開示されている。
【０００６】
この輝尽性蛍光体層は、通常、２００〜８００μｍの比較的厚い層厚を要し、放射線画像変換パネルを製造する際には、１００ｃｃ以上の大容量のボートを複数個用い、これらのボートから輝尽性蛍光体の原料を蒸発させることで基板上に厚い膜厚の輝尽性蛍光体層を形成させる。
【０００７】
例えば、ボートを直接過熱する直接加熱式では、原料を飛散させるための開口部が設けられたボートが使用されており、図５（ａ）に示すような内部が中空である直方体形状のボート５０が一般的に用いられている。
【０００８】
ボート５０では、その上面の一部を切り取って形成させた開口部５１が設けられており、開口部５１の形状は、開口部５１からできるだけ多くの原料を一度に飛散させることができるようにボート５０の形状に合わせて、開口部の最大寸法ａが開口部の最小寸法ｂに対して大きくなるように形成されている。
【０００９】
なお、開口部の最大寸法ａとは、図５（ｂ）に示すようにボート５０の上面からみた場合に、開口部の長さ寸法が最大となる場合の寸法を指しており、開口部の最小寸法ｂとは、開口部の長さ寸法が最小となる場合の寸法を指している。
【００１０】
そして、ボート５０を使用する際には、開口部５１からボート５０の内部に蛍光体の原料を入れ、図示しない電極を接続し、ボート５０に電流を流してボート内を直接加熱し、蛍光体の原料を溶融して開口部から気体状の蛍光体を飛散させるようになっており、ボート５０の上方に配置された図示しない基板に蒸着させて、基板上に蛍光体層を形成することができるようになっている。
【特許文献１】特開平２−５８０００号公報
【特許文献２】特開２００２−２４６１７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、このようなボートで異なる融点を持つ蛍光体の原料を用いて基板上に蛍光体層を形成する場合、蒸気圧が異なるために蛍光体層の同一面内において蛍光体層を構成する成分組成にムラを生じさせてしまっていた。
【００１２】
例えば、ＣｓＢｒ：Ｅｕ（ＣｓＢｒ：６４０℃，ＥｕＢｒ2：７２０℃）では、ＣｓＢｒとＥｕＢｒ2とで蒸気圧が異なるために、ボート５０の開口部５１に近い部分の蛍光体層、すなわちボート５０の直上の蛍光体層では付活剤の濃度が低くなり、ボート５０から離れた部分の蛍光体層では、逆に付活剤の濃度が高くなるという現象を生じさせていた。その結果、このような蛍光体層からなる放射線画像変換パネルでは輝度の付均一が生じ、放射線画像変換パネルとしての品質を低下させていた。特に、このような現象は蛍光体層の表面積が広大になるほど顕著になってしまう。
【００１３】
そこで、本発明は前記した点に鑑みてなされたもので、基板に形成される蛍光体層の構成する成分組成の均一化を図り、放射線画像変換パネルの輝度の均一化を図ることができる蒸着装置及びこの蒸着装置を用いて製造される放射線画像変換パネルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題を解決するため、請求項１に記載の発明に係る蒸着装置は、
内部に基板を備えた真空チャンバと、内部に原料を備えるとともに開口部が形成され、前記開口部が前記基板に対向するように配置されたボートと、前記ボートを加熱する加熱装置とを備えた蒸着装置であって、前記ボートの開口部の最小寸法に対する最大寸法の比率が１≦最大寸法／最小寸法≦３であることを特徴とする。
【００１５】
請求項１に記載の発明によれば、内部に基板を備えた真空チャンバと、内部に原料を備えるとともに開口部が形成され、前記開口部が前記基板に対向するように配置されたボートと、前記ボートを加熱する加熱装置とを備えた蒸着装置であって、前記ボートの開口部の最小寸法に対する最大寸法の比率が１≦最大寸法／最小寸法≦３であるので、蛍光体の原料を用いて基板に真空蒸着させる際に、ボートの開口部の最大寸法及び最小寸法の比率を前記の比率にしない場合と比べて、開口部周縁と、開口部中心部とにおいて、飛散される蛍光体の原料の成分組成を均一にすることができ、基板に蒸着される蛍光体層の成分組成、例えば付活剤の濃度の均一化を図ることができる。
【００１６】
請求項２に記載の発明に係る放射線画像変換パネルは、
請求項１に記載の蒸着装置を用いて製造され、前記基板上に輝尽性蛍光体を含有する輝尽性蛍光体層を備えたことを特徴とする。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、放射線画像変換パネルは、請求項１に記載の蒸着装置を用いて製造され、前記基板上に輝尽性蛍光体を含有する輝尽性蛍光体層を備えたので、この蒸着装置を使用しないで放射線画像変換パネルを製造する場合に比べ、基板上に均一な成分組成からなる輝尽性蛍光体が蒸着した輝尽性蛍光体層を構成することができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明に係る放射線画像変換パネルは、
請求項２において、前記輝尽性蛍光体は前記一般式（１）で表されるハロゲン化アルキルを母体とすることを特徴とする。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、前記輝尽性蛍光体は前記一般式（１）で表されるハロゲン化アルキルを母体とするので、特に、前記一般式（１）で表されるハロゲン化アルキルを母体にした場合において、請求項２に記載の発明と同様の作用を得ることができ、基板上に均一な成分組成からなる輝尽性蛍光体が蒸着した輝尽性蛍光体層を構成することができる。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１に記載の発明によれば、蛍光体の原料を用いて基板に真空蒸着させる際に、ボートの開口部の最大寸法及び最小寸法の比率を前記の比率にしない場合と比べて、開口部周縁と、開口部中心部とにおいて、飛散される蛍光体の原料の成分組成を均一にすることができ、基板に蒸着される蛍光体層の成分組成、例えば付活剤の濃度の均一化を図ることができるので、この蛍光体層からなる放射線画像変換パネルの輝度の均一化を図ることができる。
【００２１】
請求項２に記載の発明によれば、この蒸着装置を使用しないで放射線画像変換パネルを製造する場合に比べ、基板上に均一な成分組成からなる輝尽性蛍光体が蒸着した輝尽性蛍光体層を構成することができるので、放射線画像変換パネルは輝度の均一化を図ることができる。
【００２２】
請求項３に記載の発明によれば、特に、前記一般式（１）で表されるハロゲン化アルキルを母体にした場合において、請求項２に記載の発明と同様の作用を得ることができ、基板上に均一な成分組成からなる輝尽性蛍光体が蒸着した輝尽性蛍光体層を構成することができるので、請求項２と同様に放射線画像変換パネルは輝度の均一化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の具体的な実施形態である蒸着装置及び放射線画像変換パネルを図１〜図４を参照して説明する。ただし、以下において、蒸着装置を用いて製造されるものの一例として放射線画像変換パネルを説明するが、本発明の範囲は図示例に限定されるものではない。まず、蒸着装置１について説明する。
【００２４】
蒸着装置１は、シート状の基板の表面に蛍光体層を真空蒸着法によって形成するものであり、図１に示すように、内部空間を真空にする真空チャンバ２を備えている。
【００２５】
真空チャンバ２の内部にはボート３が配設されており、ボート３には電極取り付け部４を介して電極５が接続されている。また、真空チャンバ２の内部であって、ボート３の上方には基板ホルダ６が配設されている。
【００２６】
基板ホルダ６には、基板７と、基板７を回転駆動させる基板ホルダ回転機構（図示略）とが配設されている。また、必要に応じて、基板７に基板７を加熱する基板加熱装置を配設したり、基板７とボート３との間に基板７への蒸着の開始と停止を行うための遮蔽板を配設したり、ボート３に蒸着原料として輝尽性蛍光体を供給する原料供給手段等を配設してもよい。また、このような蒸着装置１において、蒸着装置１を構成するボート３以外の各部材は従来公知のものを使用することができる。
【００２７】
ここで、ボート３の詳細について説明する。図２に示すように、ボート３は内部が中空である直方体形状であり、ボート３の上面には、その一部を切り取って形成させた開口部８が形成されており、この開口部８は基板７と対向するように配置されており、好ましくは、開口部８から蒸散される輝尽性蛍光体が基板の回転半径を超えて基板に蒸着することがないように配置されている。
【００２８】
開口部８は、図２（ｂ）に示すようにボート３の上面からみた場合に、開口部８の長さ寸法が最大となる場合の寸法を最大寸法ａとし、長さ寸法が最小となる場合の寸法を最小寸法ｂとし、最小寸法ｂに対する最大寸法ａの比率が下記式（Ａ）を満たすように形成されており、その形状自体は、下記式（Ａ）を満たすものであれば、正方形状、長方形状、円形状、楕円形状等特に問わないものである。
【００２９】
１≦最大寸法／最小寸法≦３      ・・・（Ａ）
【００３０】
また、ボート３の形状も内部が中空で、かつ、開口部８の最大寸法ａと最小寸法ｂの比率が前記式（１）を満たすものであれば直方体形状に限らずどのような形状であってもよい。また、ボート３を構成する材料としては石英ガラスやアルミナ等従来公知のものを使用することができる。
【００３１】
なお、本実施形態では、加熱方式としてボート３を電極５を用いて直接加熱することにより輝尽性蛍光体９を溶融するボート式を利用したが、るつぼを加熱し、その輻射熱により原料を溶融する抵抗加熱式や、高周波を照射して原料を溶融する高周波誘導加熱式であってもよい。その場合、るつぼ等の原料を溶融する容器の開口部の最大寸法ａと最小寸法ｂの比率が前記式（１）を満たすようにすればよい。
【００３２】
次に前述した蒸着装置１を用いて基板７上に輝尽性蛍光体層を形成する方法について説明する。まず、基板７を基板ホルダ６に設置し、所定量の輝尽性蛍光体９をボート３に充填する。
【００３３】
このとき用いられる基板７としては、水分の透過性が低いものが好ましく、高分子材料，ガラス，金属等で構成されており、特に、セルロースアセテートフィルム，ポリエステルフィルム，ポリエチレンテレフタレート，ポリアミドフィルム，ポリイミドフィルム，トリアセテートフィルム，ポリカーボネートフィルム等のプラスチックフィルム、石英，ホウ珪酸ガラス，化学的強化ガラス等の板ガラス、又はアルミニウム，鉄，銅，クロム等の金属シート若しくはそれら金属酸化物の被覆層を有する金属シートで構成されているのがよい。
【００３４】
また、これら基板７の層厚は基板７上に形成される輝尽性蛍光体層の用途によって異なるが、一般的には８０μｍ〜５０００μｍであり、取り扱い上の点から、さらに好ましくは８０μｍ〜３０００μｍである。
【００３５】
また、所定量の輝尽性蛍光体９とは、基板７上に所望の厚さの輝尽性蛍光体層を形成するのに必要な輝尽性蛍光体量を指しており、これは従来公知の方法で計算することにより求めることが可能である。輝尽性蛍光体９としては、一般式（１）で表されるものを使用することができる。
【００３６】
Ｍ1Ｘ・ａＭ2Ｘ’2・ｂＭ3Ｘ’’3：ｅＡ      ・・・（１）
【００３７】
ここで、Ｍ1はＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、特にＫ、Ｒｂ及びＣｓからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であることが好ましい。
【００３８】
Ｍ2はＭ1以外のＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、特にＭ1以外のＫ、Ｒｂ及びＣｓからなる群から選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であることが好ましい。
【００３９】
Ｍ3はＹ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ及びＬｕからなる群から選ばれる少なくとも一種の三価金属であり、特に、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ及びＬｕからなる群から選ばれる少なくとも一種の三価金属であることが好ましい。
【００４０】
Ｘ、Ｘ’及びＸ’’はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩからなる群から選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり、特にＸはＢｒ及びＩからなる群から選ばれる少なくとも一種のハロゲンであることが好ましい。
【００４１】
ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙからなる群から選ばれる少なくとも一種の希土類金属であり、特にＥｕ、Ｃｓ、Ｓｍ、Ｔｌ及びＮａからなる群から選ばれる少なくとも一種の希土類金属であることが好ましい。
【００４２】
ａ、ｂ、ｅはそれぞれ０≦ａ＜０．５、０≦b＜０．５、０＜ｅ≦０．２の範囲の数値を示し、特にｂは０≦ｂ≦１０-2 の範囲の数値を示すことが好ましい。
【００４３】
この中でも特に、下記一般式（２）で表される蛍光体を含むことが好ましい。
【００４４】
ＣｓＢｒ：ｅＥｕ  ・・・（２）
【００４５】
ここで、ｅは０．０００１＜ｅ≦１．０の範囲の数値を示す。
【００４６】
前記の輝尽性蛍光体９は、例えば下記（ａ）〜（ｄ）の蛍光体原料を用いて以下に述べる製造方法により製造される。
【００４７】
（ａ）ＬｉＦ、ＬｉＣｌ、ＬｉＢｒ、ＬｉＩ、ＮａＦ、ＮａＣｌ、ＮａＢｒ、ＮａＩ、ＫＦ、ＫＣｌ、ＫＢｒ、ＫＩ、ＲｂＦ、ＲｂＣｌ、ＲｂＢｒ、ＲｂＩＣｓＦ、ＣｓＣｌ、ＣＳＢｒ及びＣｓＩからなる群から選ばれる少なくとも１種もしくは２種以上の化合物。
【００４８】
（ｃ）ＹＦ3、ＹＣｌ3、ＹＢｒ3、ＹＩ3、ＬａＦ3、ＬａＣｌ3、ＬａＢｒ3、ＬａＩ3、ＣｅＦ3、ＣｅＣｌ3、ＣｅＢｒ3、ＣｅＩ3、ＰｒＦ3、ＰｒＣｌ3、ＰｒＢｒ3、ＰｒＩ3、ＮｄＦ3、ＮｄＣｌ3、ＮｄＢｒ3、ＮｄＩ3、ＰｍＦ3、ＰｍＣｌ3、ＰｍＢｒ3、ＰｍＩ3、ＳｍＦ3、ＳｍＣｌ3、ＳｍＢｒ3、ＳｍＩ3、ＥｕＦ3、ＥｕＣｌ3、ＥｕＢｒ3、ＥｕＩ3、ＧｄＦ3、ＧｄＣｌ3、ＧｄＢｒ3、ＧｄＩ3、ＴｂＦ3、ＴｂＣｌ3、ＴｂＢｒ3、ＴｂＩ3、ＤｙＦ3、ＤｙＣｌ3、ＤｙＢｒ3、ＤｙＩ3、ＨｏＦ3、ＨｏＣｌ3、ＨｏＢｒ3、ＨｏＩ3、ＥｒＦ3、ＥｒＣｌ3、ＥｒＢｒ3、ＥｒＩ3、ＴｍＦ3、ＴｍＣｌ3、ＴｍＢｒ3、ＴｍＩ3、ＹｂＦ3、ＹｂＣｌ3、ＹｂＢｒ3、ＹｂＩ3、ＬｕＦ3、ＬｕＣｌ3、ＬｕＢｒ3、及びＬｕＩ3からなる群から選ばれる少なくとも１種もしくは２種以上の化合物。
【００４９】
（ｄ）Ｅｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、及びＹからなる群から選ばれる少なくとも１種もしくは２種以上の金属。
【００５０】
上記（ａ）〜（ｄ）の蛍光体原料を一般式（１）のａ、ｂ、ｅの範囲を満たすように秤量し、純水にて混合する。この際、乳鉢、ボールミル、ミキサーミル等を用いて充分に混合してもよい。
【００５１】
次に、得られた混合液のｐＨ値Ｃを０＜Ｃ＜７に調整するように所定の酸を加えた後、水分を蒸発気化させる。
【００５２】
次に、得られた原料混合物を石英ルツボあるいはアルミナルツボ等の耐熱性容器に充填して電気炉内で焼成を行う。焼成温度は５００〜１０００℃が好ましい。焼成時間は原料混合物の充填量、焼成温度等によって異なるが、０．５〜６時間が好ましい。
【００５３】
焼成雰囲気としては少量の水素ガスを含む窒素ガス雰囲気、少量の一酸化炭素を含む炭酸ガス雰囲気等の弱還元性雰囲気、窒素ガス雰囲気、希ガス雰囲気等の中性雰囲気あるいは少量の酸素ガスを含む弱酸化性雰囲気が好ましい。
【００５４】
なお、前記の焼成条件で一度焼成した後、焼成物を電気炉から取り出して粉砕し、しかる後、焼成物粉末を再び耐熱性容器に充填して電気炉に入れ、前記と同じ焼成条件で再焼成を行えば輝尽性蛍光体の発光輝度を更に高めることができ、また、焼成物を焼成温度より室温に冷却する際、焼成物を電気炉から取り出して空気中で放冷することによっても所望の輝尽性蛍光体を得ることができるが、焼成時と同じ、弱還元性雰囲気、中性雰囲気あるいは弱酸化性雰囲気のままで冷却してもよい。
【００５５】
また、焼成物を電気炉内で加熱部より冷却部へ移動させて、弱還元性雰囲気、中性雰囲気あるいは弱酸化性雰囲気で急冷することにより、得られた輝尽性蛍光体の輝尽による発光輝度をより一層高めることができる。
【００５６】
このように作製された輝尽性蛍光体９をボート３に充填した状態で、ボート３に電極５を接続した後、真空チャンバ２内を真空排気する。真空チャンバ２内を真空排気する際には、Ａｒガス、Ｎｅガス等の不活性ガスを導入しても良い。
【００５７】
次に、基板７を基板回転機構により回転させ、その後、電極５から電流を印加して、ボート３を加熱する。すると、ボート３内の輝尽性蛍光体９は溶融し、さらに加熱された融液は蒸気となって開口部８から輝尽性蛍光体９が蒸散し、基板７上に蒸着して輝尽性蛍光体層を形成する。輝尽性蛍光体層は５０μｍ以上、好ましくは３００〜５００μｍの層厚に形成する。
【００５８】
ここで、輝尽性蛍光体層が形成される様子を説明する。
図３に示すように蒸着装置内の基板ホルダに固定した基板７の表面７ａの法線Ｒに対し、輝尽性蛍光体の蒸気流の入射角度をθ２とし、形成しようとする柱状結晶１０ａの傾斜角度をθ１とすると、経験的に傾斜角度θ１は入射角度θ２の約半分となり、入射角度θ２に応じた傾斜角度θ１で多数の柱状結晶１０ａ，１０ａ，…が形成される。例えば、入射角度θ２＝６０°で輝尽性蛍光体の蒸気流を基板７の表面７ａに入射させれば、当該基板７の表面７ａには傾斜角度θ１＝３０°の多数の柱状結晶１０ａ，１０ａ，…を形成して輝尽性蛍光体層１０を形成することができる。したがって、輝尽性蛍光体層１０は、輝尽性蛍光体から構成された多数の柱状結晶１０ａ，１０ａ，…が互いに間隔をあけて並んだ柱状構造を形成させることができ、各柱状結晶１０ａは、基板７の表面７ａの法線Ｒに対し所定角度で傾斜させることが可能である。
【００５９】
この他に、基板７の表面７ａに対し輝尽性蛍光体の蒸気流を所定の入射角度で供給する方法としては、蒸着源に対し基板７を傾斜させるように配置する方法や、基板７と蒸着源とを互いに平行に設置して、スリット等により輝尽性蛍光体の蒸気流の斜め成分のみを蒸着面から蒸発させる方法等がある。
【００６０】
このとき、ボート３から蒸散する輝尽性蛍光体９は、前記式（１）を満たし、ボートの開口部８の最大寸法ａ及び最小寸法ｂの比率を前記の比率にしない場合と比べて、開口部周縁と、開口部中心部とにおいて、輝尽性蛍光体９の成分組成を均一にした状態で飛散させることができる。その結果、基板７上の同じ膜面内において常に一定の組成の輝尽性蛍光体９が蒸着して、輝尽性蛍光体層１０にムラを生じさせることがなく、常に一定の組成の輝尽性蛍光体層１０が形成される。
【００６１】
このような過程を経て、所望の厚さの輝尽性蛍光体層１０を設けたら、輝尽性蛍光体層１０を基板７ごと切り出して蒸着装置１から取り出し、これを蛍光体パネル１１として２枚の保護フィルム１２に挟んでその周縁部をインパルスシーラで加熱・融着し、封止する。これにより、放射線画像変換パネル１３の製造が完了し、図４に示すように所定の基板７上に輝尽性蛍光体層１０が形成された蛍光体パネル１１を有し、当該蛍光体パネル１１を２枚の保護フィルム１２，１２で完全に封止した構成を有した放射線画像変換パネル１３が形成される。
【００６２】
なお、封止する際には、輝尽性蛍光体層１０を被覆するように保護フィルム１２を単に基板７に貼り付けて放射線画像変換パネル１３の製造を完了してもよい。
【００６３】
以上のように、本発明では、基板７上に形成される輝尽性蛍光体層１０の構成する成分組成の均一化を図ることができ、この輝尽性蛍光体層１０を備えた放射線画像変換パネル１３では輝度の均一化を図ることができる。
【実施例】
【００６４】
以下、本発明を実施例により説明する。なお、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。実施例では以下に記載の方法に従って放射線画像変換パネルを想定した試料１及び試料２を作製し、比較例の方法により放射線画像変換パネルを想定した試料３と共に、各試料の付活剤の濃度分布と輝度分布を測定し評価した。
【００６５】
＜試料の作製＞
（１）試料１の作製
大きさが４５．７ｃｍ×４５．７ｃｍであり、正方形状で厚さ５００μｍの基板を準備し、各基板の一方の面に光反射層を形成した。光反射層の形成は、周知の蒸着装置を用いて酸化チタン（フルウチ化学社製）と酸化ジルコニウム（フルウチ化学社製）とを基板上に蒸着することでおこなった。
【００６６】
その後、図１に示すような蒸着装置を用いて基板の光反射層上に輝尽性蛍光体を蒸着し、基板の光反射層上に輝尽性蛍光体層を形成した蛍光体プレートを形成した。具体的には、始めに、図２に示すような開口部の最大寸法ａと最小寸法ｂの比率であるａ／ｂは１であるボートにＣｓＢｒを４００ｇ充填し、基板の光反射層を形成した面を蒸着装置のボートに向けた状態で蒸着装置内の真空チャンバー内に各基板を固定する。そして真空チャンバー内を１．０×１０-3Ｐａまで真空にした後、Ａｒガスを導入して真空チャンバー内の真空度を５．０×１０-2Ｐａに調節した。その後、基板を回転して８０℃まで加熱した後、ボートに電流を印加して基板にＣｓＢｒ：Ｅｕを蒸着した。５００μｍ厚の柱状構造を有する輝尽性蛍光体層を各基板の光反射層上に形成したところで蒸着を終了し、冷却させた後に蛍光体プレートを取り出し、これを試料１とした。なお、膜厚は基板とボート間の距離、基板中心の真下からボートまでの距離、制限板などを調節することにより均一に保たれるように配置されている。
【００６７】
（２）試料２の作製
試料１の作製において、開口部の面積は同じであるが、開口部の最大寸法ａと最小寸法ｂの比率であるａ／ｂが３であるボートを用いて蒸着を行った以外は前記（１）と同様の方法で行い、作製された蛍光体プレートを試料２とした。
【００６８】
（３）試料３の作製
比較例として、試料１の作製において、開口部の面積は同じであるが、開口部の最大寸法ａと最小寸法ｂの比率であるａ／ｂが１０であるボートを用いて蒸着を行った以外は前記（１）と同様の方法で行い、作製された蛍光体プレートを試料３とした。
【００６９】
＜試料の評価＞
（１）蛍光体層中の付活剤の濃度分布の測定
前述した方法で作製された試料１〜試料３について、誘導結合プラズマ発光分析装置（ＩＣＰ−ＡＥＳ）を用いて、試料の中心部、試料の最端部、及び中心部と最端部との中間である中間部に含まれるＥｕの濃度を測定し、試料の各部位におけるＥｕの濃度を下記の表１に記載した。なお、表１中のＥｕの濃度は各試料における中心部のＥｕの濃度に対する相対値として記載した。
【００７０】
（２）輝度の測定
前述した方法で作製された試料１〜試料３について、管電圧８０ｋＶPのＸ線を照射した後、半導体レーザ光（発振波長：６８０ｎｍ）で走査して励起し、輝尽性蛍光体層から放射される輝尽発光を受光器（分光感度Ｓ−５の光電子増倍管）で受光して、その強度を測定してこれを輝度と定義した。輝度を測定する際に、基板の回転中心である試料の中心部、及び試料の最端部、中心部と最端部との中間の位置にあたる試料の中間部の輝度を測定し、試料の各部位における輝度を下記の表１に記載した。なお、表１中の輝度は高いほど良好であることを示し、各試料における中心部の輝度に対する相対値として記載した。
【表１】
2006089816.tif 000003
【００７１】
表１からもわかるように、開口部の最小寸法ｂに対する最大寸法ａの比率であるａ／ｂが１０である場合に比べて、ａ／ｂが１又は３である場合、特にａ／ｂが１である場合の方が、蛍光体プレートの同一面内における付活剤Ｅｕの濃度分布がよく、その結果、このように規定された開口部において輝度分布も優れることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明を適用した蒸着装置の模式的断面図である。
【図２】図２（ａ）は本発明を適用したボートの斜視図であり、図２（ｂ）は本発明を適用したボートの上面図である。
【図３】本発明を適用した放射線画像変換パネルの蛍光体層が形成される様子を示した模式的断面図である。
【図４】本発明を適用した放射線画像変換パネルの模式的断面図である。
【図５】図５（ａ）は従来のボートの斜視図であり、図５（ｂ）は従来のボートの上面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１  蒸着装置
２  真空チャンバ
５  電極
６  基板ホルダ
７  基板
８  ボート
１０  輝尽性蛍光体層
１３  放射線画像変換パネル
ａ  最大寸法
ｂ  最小寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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