(57)【要約】【課題】必要な範囲を局所的に清浄化する。【解決手段】熱交換装置２によってクリーンルーム１０の室内の空気を吸込んで冷房負荷を処理した空気をクリーンルーム１０の室内に吹出し、空気清浄装置３によって熱交換装置２の吹出した空気を吸込んで清浄処理した空気をクリーンルーム１０の室内の局所に向けて吹出す。この結果、所望とする局所の空気清浄度を周囲と比較して高くするので、不要な場所に清浄空気を供給して清浄化する設備コストの無駄、および消費エネルギーコストの無駄がなくなる。また、空気清浄装置３に空気を戻すリターンスペースを設けるためのパーテションが不要となるので、設備コストの無駄をなくすことができ、さらにクリーンルーム１０の階高などスペース効率を向上することができ、建築コストが低減でき、施工期間を短くできる。【選択図】        図１
2006112755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内の空気を吸込んで冷房負荷を処理した空気を前記室内に吹出す熱交換装置と、
前記熱交換装置の吹出した空気を吸込んで清浄処理した空気を前記室内の局所に向けて吹出す空気清浄装置と
を備えたことを特徴とする局所清浄化空調システム。
【請求項２】
前記空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い前記空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、当該バッフル板に対して、前記空気吹出口の口形に沿って開設したスリット孔、および前記スリット孔よりも小径に開設した複数の小孔からなる風速調整手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の局所清浄化空調システム。
【請求項３】
前記スリット孔は、前記バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所では開口幅が小さく、風速が比較的小さい箇所では開口幅が大きく設定してあることを特徴とする請求項２に記載の局所清浄化空調システム。
【請求項４】
前記空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い前記空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、当該バッフル板に対して複数の小孔を開設した風速調整手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の局所清浄化空調システム。
【請求項５】
前記空気清浄装置の空気吹出口の中央に向く前記バッフル板の縁部において、当該バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所にパンチング板を立設したことを特徴とする請求項２〜４のいずれか一つに記載の局所清浄化空調システム。
【請求項６】
前記パンチング板は、前記空気清浄装置に吸込まれた空気を前記バッフル板に向けて案内する案内板の端縁に連ねて設けてあることを特徴とする請求項５に記載の局所清浄化空調システム。
【請求項７】
前記空気清浄装置の空気吹出口の口形に沿って空気の吹出し方向に延在して配置した板片状の風向案内手段を備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の局所清浄化空調システム。
【請求項８】
前記風向案内手段は、前記空気吹出口の差し渡し方向に複数並設してあり、当該差し渡し方向に順次偏角して設けてあることを特徴とする請求項７に記載の局所清浄化空調システム。
【請求項９】
前記空気清浄装置の空気吹出口の外周縁に沿って空気の吹出し方向に延在して配置した板片状の誘引防止手段を備えたことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の局所清浄化空調システム。
【請求項１０】
前記空気清浄装置の空気吹出口の中央部分を覆うメッシュスクリーンを設けたことを特徴とする請求項２〜９のいずれか一つに記載の局所清浄化空調システム。
【請求項１１】
前記空気清浄装置を複数接続して並設した場合に、各空気清浄装置の接続部分を跨ぐ風向案内手段を設け、当該風向案内手段を設けた部位に係り前記接続部分を空ける態様で空気吹出口を覆うメッシュスクリーンを設けたことを特徴とする請求項７〜１０のいずれか一つに記載の局所清浄化空調システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、局所的に空気清浄を行うことができる局所清浄化空調システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶工場などにおいて真空系物理化学的処理を行う処理装置の周囲の空気清浄度は、処理装置が密閉装置であるため、例えばＪＩＳＢ９９２０のクリーンルームの空気清浄度の評価方法による清浄度クラス７程度の空気清浄度で十分である。しかし、処理装置のメンテナンス時では装置を開けるので、装置内部の汚染を防ぐために清浄空気（例えば清浄度クラス６）で保護する必要がある。
【０００３】
従来では、処理装置の稼働時およびメンテナンス時でも清浄度クラス６を維持できるように、天井に設置した多数のＦＦＵ（Fan Filter Unit）によってクリーンルーム内全体に清浄空気を供給している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２９６５１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来では、処理装置のメンテナンス時に必要な清浄空間以外の空間にも常時清浄空気を供給している。この方式では、ＦＦＵに空気を戻すためのリターンスペースや天井チャンバーが必要で、建築階高、建築コストおよび建築工期を要している。したがって、従来では、不要な場所に清浄空気を供給して清浄化しているために設備コストの無駄と、消費エネルギーコストの無駄とが顕著である。
【０００６】
本発明は、上記実情に鑑みて、必要な範囲を局所的に清浄化することができる局所清浄化空調システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明の請求項１に係る局所清浄化空調システムは、室内の空気を吸込んで冷房負荷を処理した空気を前記室内に吹出す熱交換装置と、前記熱交換装置の吹出した空気を吸込んで清浄処理した空気を前記室内の局所に向けて吹出す空気清浄装置とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項１において、前記空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い前記空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、当該バッフル板に対して、前記空気吹出口の口形に沿って開設したスリット孔、および前記スリット孔よりも小径に開設した複数の小孔からなる風速調整手段を備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項３に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項２において、前記スリット孔は、前記バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所では開口幅が小さく、風速が比較的小さい箇所では開口幅が大きく設定してあることを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項４に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項１において、前記空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い前記空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、当該バッフル板に対して複数の小孔を開設した風速調整手段を備えたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項５に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項２〜４のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置の空気吹出口の中央に向く前記バッフル板の縁部において、当該バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所にパンチング板を立設したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項６に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項５において、前記パンチング板は、前記空気清浄装置に吸込まれた空気を前記バッフル板に向けて案内する案内板の端縁に連ねて設けてあることを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項７に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項１〜６のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置の空気吹出口の口形に沿って空気の吹出し方向に延在して配置した板片状の風向案内手段を備えたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項８に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項７において、前記風向案内手段は、前記空気吹出口の差し渡し方向に複数並設してあり、当該差し渡し方向に順次偏角して設けてあることを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項９に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項１〜８のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置の空気吹出口の外周縁に沿って空気の吹出し方向に延在して配置した板片状の誘引防止手段を備えたことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項１０に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項２〜９のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置の空気吹出口の中央部分を覆うメッシュスクリーンを設けたことを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項１１に係る局所清浄化空調システムは、上記請求項７〜１０のいずれか一つにおいて、前記空気清浄装置を複数接続して並設した場合に、各空気清浄装置の接続部分を跨ぐ風向案内手段を設け、当該風向案内手段を設けた部位に係り前記接続部分を空ける態様で空気吹出口を覆うメッシュスクリーンを設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る局所清浄化空調システムは、空気清浄装置によって清浄化した空気を室内の局所に吹出す。この結果、所望とする局所の空気清浄度がその周囲と比較して高くなるため、不要な場所に清浄空気を供給して清浄化する場合と比較して空気清浄装置の設置台数を減らせるので設備コストの無駄、および消費エネルギーコストの無駄をなくすことができる。
【００１９】
さらに、本発明に係る局所清浄化空調システムは、熱交換装置および空気清浄装置によって室内の空気を循環させている。すなわち、空気清浄装置に空気を戻すダクトなどのリターンスペースを設けるためのパーテションが不要となる。この結果、設備コストの無駄をなくすことができ、さらに階高などスペース効率を向上することができ、建築コストが低減でき施工期間を短くすることができる。
【００２０】
空気清浄装置によって局所に吹出された空気は、風速調整手段によって形成された風速の大きいエアカーテンによって囲まれる。この結果、清浄化された空気の周辺の汚染空気が清浄空気に侵入する事態を防止することができる。エアカーテンは、作業者から発生する粒子が局所に侵入する事態も防止することができる。
【００２１】
空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、風速調整手段は、バッフル板に対して、空気吹出口の口形に沿って開設したスリット孔、およびスリット孔よりも小径に開設した複数の小孔からなる。すなわち、スリット孔によって空気吹出口の口形に沿って空気を吹出し、小孔によってスリット孔から吹出る空気の風速を大きくなるように助勢する。この結果、効率の良いエアカーテンを得ることができる。また、スリット孔は、バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所では開口幅が小さく、風速が比較的小さい箇所では開口幅が大きく設定してある。この結果、エアカーテンとしてスリット孔から吹出される空気の風速を均一化することができる。
【００２２】
空気清浄装置の空気吹出口の内側周縁を覆い空気清浄装置に吸込まれた空気が至るバッフル板を配置してあり、風速調整手段は、バッフル板に対して複数の小孔を開設してなる。この構成によっても良好なエアカーテンを得ることができる。
【００２３】
空気清浄装置の空気吹出口の中央に向くバッフル板の縁部において、バッフル板に至る空気の風速が比較的大きい箇所にパンチング板を立設してある。この結果、風速の比較的大きい空気がパンチング板に衝突するので、空気吹出口の中央で吹出される空気の風速を均一化することができる。
【００２４】
上記パンチング板は、前記空気清浄装置に吸込まれた空気を前記バッフル板に向けて案内する案内板の端縁に連ねて設けてある。すなわち、案内板とバッフル板とのオーバーラップ部分が無くなるので、当該オーバーラップ部分による空気の巻き込みを無くすことができる。
【００２５】
風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、板片状の風向案内手段によって空気清浄装置の空気吹出口から吹出した向きを案内される。この結果、室内の局所に対するエアカーテンの向きを安定することができる。また、風向案内手段は、空気吹出口の差し渡し方向に複数並設して当該差し渡し方向に順次偏角して設けてあるため、エアカーテン内の気流の乱れを小さく押さえてエアカーテンの効率を向上しつつ、エアカーテンの向きを可変する。
【００２６】
風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、誘引防止手段によって空気清浄装置の空気吹出口の外周縁部分で仕切られる。この結果、エアカーテンによって周辺の汚染空気を誘引する事態を防ぐことができる。
【００２７】
空気清浄装置の空気吹出口の中央部分を覆うメッシュスクリーンを設けた。この結果、空気吹出口の中央部分から吹出す空気が、メッシュスクリーンを通過することによって風速を均一化することができる。特に、空気清浄装置のフィルタにＨＥＰＡフィルタを用いた場合では、ＨＥＰＡフィルタ空気吹出面の中央部は、低風速域が偏在することがあり、この低風速域が粒子を誘引する原因となる。メッシュスクリーンは、例えば１６メッシュ程度で低風速域での粒子の誘引を防止する。
【００２８】
また、空気清浄装置を複数接続して並設した場合に、各空気清浄装置の接続部分を跨ぐ風向案内手段を設け、当該風向案内手段を設けた部位に係り接続部分を空ける態様で空気吹出口を覆うメッシュスクリーンを設けた。空気清浄装置のフィルタにＨＥＰＡフィルタを用いた場合、各空気清浄装置間においてＨＥＰＡフィルタの周囲の構造材の接合面では、風速が無くこの無風域が粒子を誘引する原因となる。しかし、メッシュスクリーンを設けたことによってＨＥＰＡフィルタの接合部分から速い吹出気流が得られるため、各空気清浄装置の接続部分の低風速域が周辺の汚染空気を誘引する道筋となる事態を防ぐことができる。メッシュスクリーンは、例えば１６メッシュ程度で無風速域での粒子の誘引を防止する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る局所清浄化空調システムの好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。
【実施例】
【００３０】
図１および図２は本発明に係る局所清浄化空調システムを示す概略図、図３は空気清浄装置を示す概略側断面図、図４は空気清浄装置におけるバッフル板を示す底面図である。
【００３１】
図１に示すように局所清浄化空調システムは、例えば液晶工場などにおいて真空系物理化学的処理を行う処理装置１を配置したクリーンルーム１０に適用してある。クリーンルーム１０は、床１０ａ、天井１０ｂおよび周壁１０ｃで囲まれている。処理装置１は、床１０ａに設置してある。処理装置１は、密閉装置であって図２に示すように通常処理時にチャンバー蓋１ｂによって密閉されるチャンバー１ａを有している。この処理装置１は、チャンバー１ａを上部に有し、その下部が装置本体１ｃとしてある。また、処理装置１は、メンテナンス時などにおいて図１に示すようにチャンバー蓋１ｂをチャンバー蓋置台１ｄに移動して載置することで、チャンバー１ａを上方に向けて開放させる。
【００３２】
図１および図２に示すようにクリーンルーム１０の室内には、その上部（天井１０ｂ側）に熱交換装置２と空気清浄装置３とを配置してある。熱交換装置２は、ＦＣＵ（Fan Coil Unit）でありクリーンルーム１０の室内の空気を吸込んで冷房負荷を熱処理（熱除去）した空気をクリーンルーム１０の室内に吹出す。空気清浄装置３は、ＦＦＵ（Fan Filter Unit）でありクリーンルーム１０の室内の空気を吸込んで清浄処理した空気をクリーンルーム１０の室内に吹出す。
【００３３】
熱交換装置２は、空気清浄装置３よりも上方に配置してある。熱交換装置２は、クリーンルーム１０の室内の空気を下方から吸込み、処理後の空気を側方または上方から吹出す。空気清浄装置３は、処理装置１の上方に配置してあり、熱交換装置２が処理した空気を上方から吸込み、処理後の空気を下方に吹出す。空気清浄装置３が吹出した空気は、処理装置１に向けて吹出された後、クリーンルーム１０の室内の上部に向けて対流する。このように、局所清浄化空調システムでは、熱交換装置２で処理された空気を空気清浄装置３で処理し、クリーンルーム１０の室内に対流した空気を再び熱交換装置２で処理して空気を循環させる。
【００３４】
なお、熱交換装置２が吹出す処理後の空気は、熱交換装置２の空気吸込口へ短絡せず、且つ、空気清浄装置３の空気吸込口へ十分に吸込まれる風速とする。本実施例では、熱交換装置２が吹出す処理後の空気の風速を例えば１〜２ｍ／ｓｅｃとしている。また、空気清浄装置３が吹出す処理後の空気の風速は、例えば０．６〜２．０ｍ／ｓｅｃとしている。
【００３５】
図３に示すように空気清浄装置３は、ケーシング３１を基に構成してある。ケーシング３１は、天板３１ａおよび周板３１ｂを有し、下方に向けて空気吹出口３１ｃを開設して形成してある。
【００３６】
ケーシング３１の天板３１ａには、ファン３２が設けてある。ファン３２は、天板３１ａを貫通するファンケース３２ａを有している。ファンケース３２ａは、ケーシング３１の上方に向けて開設した吸込口３２ｂと、ケーシング３１の内部において側方に向けて開設した吹出口３２ｃとを有している。ファンケース３２ａの内部には、モータ３２ｄと、当該モータ３２ｄの出力軸に設けた羽根３２ｅとが設けてある。ファン３２は、モータ３２ｄを駆動して回転する羽根３２ｅによって吸込口３２ｂから空気を吸込んでケーシング３１の内部に送る。すなわち、ファン３２の吸込口３２ｂが空気清浄装置３の空気吸込口をなす。
【００３７】
ケーシング３１の空気吹出口３１ｃには、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタなどのフィルタ３３が設けてある。
【００３８】
ケーシング３１の内部において、ファン３２の下側には、案内板３４が設けてある。案内板３４は、ケーシング３１のほぼ中央に配置してあって側方に向けて延在してある。案内板３４とケーシング３１の周板３１ｂとの間には、空気を通す間隙３５が設けてある。案内板３４は、ファン３２によってケーシング３１の内部に送り込まれた空気を周板３１ｂに向けて案内しつつ、間隙３５を介して空気吹出口３１ｃに向けて送る。
【００３９】
ケーシング３１の内部において、案内板３４の下側には、バッフル板３６が設けてある。バッフル板３６は、空気吹出口３１ｃの内側周縁を覆う態様でケーシング３１の周板に沿って配置してあり、案内板３４に一部オーバーラップして上述した間隙３５の下側の位置に設けてある。そして、バッフル板３６の間であって、空気吹出口３１ｃの口形の中央に対応する位置には、開口３７が形成される。バッフル板３６は、空気の流れを開口３７に向けて整流する。
【００４０】
図４に示すようにバッフル板３６は、風速調整手段を備えている。風速調整手段は、スリット孔３６ａと小孔３６ｂとからなる。スリット孔３６ａは、空気吹出口３１ｃの口形に沿って開設してある。小孔３６ｂは、スリット孔３６ａよりも小径のパンチング孔であり、スリット孔３６ａよりも空気吹出口３１ｃの口形の内側寄りに複数開設してある。この小孔３６ｂは、スリット孔３６ａ近傍では比較的疎に配置してあり、スリット孔３６ａから離間するに連れて比較的密に配置してある。なお、小孔３６ｂは、パンチング孔以外にメッシュなどであってもよい。また、図４には明示していないが、小孔３６ｂは、スリット孔３６ａよりも空気吹出口３１ｃの口形の外側寄りに開設してあってもよい。
【００４１】
風速調整手段は、スリット孔３６ａによって空気吹出口３１ｃの口形の周縁部分に沿って空気を吹出す。空気吹出口３１ｃから吹出る空気は、当該空気吹出口３１ｃの内側を囲むエアカーテンを形成する。また、風速調整手段は、小孔３６ｂによってバッフル板３６全体から空気が吹き出る態様で設けてあり、ＨＥＰＡフィルタ３３からの吹出風速の均一化を図る。
【００４２】
図３に示すように空気吹出口３１ｃには、風向案内手段が設けてある。風向案内手段は、板片状の羽根板３８からなる。羽根板３８は、バッフル板３６の下側位置において空気吹出口３１ｃの口形に沿って空気の吹出し方向に延在してあって、当該空気吹出口３１ｃの差し渡し方向に複数並設してある。また、各羽根板３８は、空気吹出口３１ｃの差し渡し方向に順次偏角して空気の吹出し方向に向けて拡開して設けてある。具体的には、最も内側の羽根板３８がほぼ垂直に垂下し、そこから外側の羽根板３８が垂直からの偏角が外側に向けて順次大きくなるように折曲して形成してある。すなわち、空気吹出口３１ｃから吹出す空気であって、特に風速調整手段によって風速を大きくして吹出された空気吹出口３１ｃの周縁部分の空気は、羽根板３８によってその延在方向に案内されることになる。このため、上記風速調整手段によって形成されたエアカーテンの向きが安定する。また、各羽根板３８が差し渡し方向に順次偏角して空気の吹出し方向に向けて拡開して設けてあるので、エアカーテンが空気吹出口３１ｃから拡開して形成される。
【００４３】
図３に示すように空気吹出口３１ｃには、誘引防止手段が設けてある。誘引防止手段は、板片状の仕切板３９からなる。仕切板３９は、空気吹出口３１ｃの外周縁に沿うようにケーシング３１における周板３１ｂの外面に設けてあって、空気吹出口３１ｃからの空気の吹出し方向に延在して配置してある。また、仕切板３９は、風向案内手段の羽根板３８とともに空気の吹出し方向に向けて拡開して設けてある。すなわち、空気吹出口３１ｃから吹出す空気が、仕切板３９の内側と外側とで仕切られることになる。このため、上記風速調整手段および風向案内手段によって形成されたエアカーテンが、その外部にある清浄化されていない空気を誘引するおそれがあるが、最も誘引が生じる空気吹出口３１ｃの外周縁を仕切板３９によって仕切っているので誘引が生じる事態を防いでいる。
【００４４】
図３に示すように空気吹出口３１ｃには、金属金網からなるメッシュスクリーン４０が設けてある。メッシュスクリーン４０は、空気吹出口３１ｃの中央部分であって、上記風向案内手段の最も内側の羽根板３８の間を覆うように掛け渡して設けてある。すなわち、空気吹出口３１ｃから吹出す空気であって、特に風速調整手段、風向案内手段および誘引防止手段に関わらずに吹出す空気が、メッシュスクリーン４０を通過することによって風速を均一化されることになる。ＨＥＰＡフィルタ３３の空気吹出面の中央部は、低風速域が偏在することがあり、この低風速域が粒子を誘引する原因となる。メッシュスクリーン４０は、例えば１６メッシュ程度であり低風速域での粒子の誘引を防止する。また、メッシュスクリーン４０を設けた場合、ここから吹出される気流は乱れが少なく、したがって周囲からの粒子の誘引拡散がなく、ＨＥＰＡフィルタ３３から２〜３ｍ下であっても高清浄度が確保される。ただし、メッシュスクリーン４０を設けた場合には、平均風速が低下する。一方、メッシュスクリーン４０の中央部に開口（例えばφ３００〜φ６００ｍｍ）を設けると、当該開口から速い吹出気流が得られる。すなわち、空気吹出口３１ｃの中央部より清浄な速い気流が吹出される。この速い吹出気流は、清浄化の対象物が発熱体の場合に都合がよい。
【００４５】
ここで、図５〜図９は他の実施例を示している。図５、図６および図８は空気清浄装置におけるバッフル板を示す底面図、図７および図９は空気清浄装置の概略側断面図である。
【００４６】
図５に示すように上述した風速調整手段において、スリット孔３６ａは、案内板３４を介してバッフル板３６に至る空気の風速が比較的大きい箇所では開口幅が小さく、風速が比較的小さい箇所では開口幅が大きく設定してある。具体的には、ファン３２がケーシング３１の内部に送風する空気は、図５中に矢印で示すように旋回流となる。すなわち、バッフル板３６に至る空気の風速は、図５中の矢印の向く側が主流となって比較的大きく、他が比較的小さくなる。このため、図５に示すように例えばスリット孔３６ａを２分割して風速が比較的大きい箇所の開口幅を小さく形成し、風速が比較的小さい箇所の開口幅を大きく形成することによって、エアカーテンとしてスリット孔３６ａから吹出される空気の風速が均一化されることになる。なお、スリット孔３６ａは分割する必要はなく、開口幅を漸次可変するように形成してあってもよい。また、ＨＥＰＡフィルタ３３の吹出面において、隅部からの速い吹出気流を必要とする場合には、図には明示しないがＨＥＰＡフィルタ３３の吹出面の隅部に対応する位置であってバッフル板３６におけるスリット孔３６ａの端部に開口部（四角形状が好ましい）を設ける。このため、開口部から速い吹出気流が吹出されるので、結果としてＨＥＰＡフィルタ３３の隅部から速い吹出気流として吹出される。
【００４７】
図６に示すように風速調整手段は、バッフル板３６に対してスリット孔３６ａを設けずに複数の小孔３６ｂを開設してなるものであってもよい。すなわち、バッフル板３６をパンチング板で構成したものである。このように構成した風速調整手段によっても、空気吹出口３１ｃから吹出る空気は、空気吹出口３１ｃの周縁部分の風速が中央部分よりも大きくなって当該空気吹出口３１ｃの周縁部分で吹出す空気が、その内側を囲むエアカーテンを形成することになる。
【００４８】
図７に示すように空気吹出口３１ｃの中央に向くバッフル板３６の縁部には、パンチング板４１が立設してある。パンチング板４１は、図８に示すように案内板３４を介してバッフル板３６に至る空気の風速が比較的大きい箇所に立設してある。具体的には、ファン３２がケーシング３１の内部に送風する空気は、図８中に矢印で示すように旋回流となる。すなわち、バッフル板３６に至る空気の風速は、図８中の矢印の向く側が主流となって比較的大きくなる。パンチング板４１は、風速が比較的大きい図８中の（イ）の位置に配置してある。このため、開口３７に至る風速の比較的大きい空気がパンチング板４１に衝突するので、空気吹出口３１ｃの中央で吹出される空気の風速が均一化されることになる。また、図８中の（ロ）の位置も開口３７に至る空気の風速が比較的大きいため、パンチング板４１を設けることが好ましい。なお、図８では、図５で示した風速調整手段を備えたバッフル板３６を示しているが、図４もしくは図６で示したバッフル板３６にパンチング板４１を設けてもよい。
【００４９】
図９に示すように上述したパンチング板４１は、上記案内板３４の端縁に連ねて設けてある。すなわち、案内板３４とバッフル板３６とのオーバーラップ部分を無くして、案内板３４とバッフル板３６とをパンチング板４１を介して連ねて設けてある。なお、この場合、案内板３４、バッフル板３６およびパンチング板４１が一体に折曲形成してあってもよい。このため、パンチング板４１の作用とともに、案内板３４とバッフル板３６とのオーバーラップ部分による空気の巻き込みを無くすことになる。
【００５０】
なお、上述した実施例において、その説明の便宜上、各図において左右側部に風速調整手段、風向案内手段および誘引防止手段を図示して説明してあるが、風速調整手段、風向案内手段および誘引防止手段は、空気清浄装置３における空気吹出口３１ｃの口形全周に沿って設けてある。すなわち、風速調整手段によって形成されるエアカーテンは、空気吹出口３１ｃの口形全周に沿って形成され、風向案内手段によって空気吹出口３１ｃの口形全周に沿って拡開され、かつ、誘引防止手段によって空気吹出口３１ｃの口形全周に沿って誘引が防止される。
【００５１】
図１に示すように空気清浄装置３の中央で吹出された清浄空気は、処理装置１のチャンバー１ａ内を清浄化する。チャンバー１ａ内に到達した清浄空気は、放射状に広がってチャンバー１ａの内面を覆いながらチャンバー１ａの周縁を乗り越えてエアカーテンと合流してチャンバー１ａの外部に排出される。空気清浄装置３の中央で吹出された清浄空気がチャンバー１ａの内面に広がっている間は、エアカーテンが周囲の汚染空気の侵入がないように保護する。
【００５２】
このように上述した局所清浄化空調システムでは、図１に示すようにメンテナンス時などにおいて処理装置１のチャンバー１ａを上方に向けて開放させた場合に、当該チャンバー１ａに向けて局所的に清浄化した空気を吹出す。このときの空気清浄装置３の吹出す清浄空気の風速は、最大（例えば２．０ｍ／ｓｅｃ）とする。吹出された空気は、チャンバー１ａの部分を局所的に清浄化する。具体的には、チャンバー１ａの部分では空気清浄度を高くして（例えばクラス６）、その他のクリーンルーム１０の室内の空気清浄度を許容範囲で低くする（例えばクラス７）ことが可能になる。一方、図２に示すように処理装置１のチャンバー１ａをチャンバー蓋１ｂで密閉したときには、図１の場合と比較して空気清浄装置３の吹出す空気の風速を小さくすることで、クリーンルーム１０の室内の空気清浄度を許容範囲（例えばクラス７）に維持することが可能になる。この結果、処理装置１のメンテナンス時にのみ所望とする局所の空気清浄度を周囲と比較して高くなるので、不要な場所に清浄空気を供給して清浄化する場合と比較して空気清浄装置３の台数を従前の半分以下に削減でき、設備コストの無駄、および消費エネルギーコストの無駄がなくなる。
【００５３】
上述した局所清浄化空調システムでは、クリーンルーム１０の室内において、空気清浄装置３の上方に熱交換装置２を配置して、当該熱交換装置２および空気清浄装置３によってクリーンルーム１０の室内の空気を循環させている。すなわち、空気清浄装置３に空気を戻すダクトなどのリターンスペースを設けるためのパーテションが不要となる。この結果、設備コストの無駄をなくすことができ、さらにクリーンルーム１０の階高などスペース効率を向上することができ、建築コストが低減でき施工期間を短くすることが可能である。
【００５４】
空気清浄装置３によって局所に吹出された空気は、風速調整手段によって形成されたエアカーテンによって囲まれる。この結果、清浄化された空気の周辺の汚染空気が清浄空気に侵入する事態を防止する。また、エアカーテンは、処理装置１のメンテナンスを行う作業者から発生する粒子がチャンバー１ａに侵入する事態も防止する。
【００５５】
風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、風向案内手段によって空気清浄装置３の空気吹出口３１ｃから吹出した向きを案内される。この結果、処理装置１のチャンバー１ａに対するエアカーテンの向きを安定させることができる。エアカーテンは、チャンバー１ａの周囲の上部約５００〜１５００ｍｍ程度に到達する態様で形成すると効果が高い。また、風向案内手段の各羽根板３８が空気吹出口３１ｃの差し渡し方向に順次偏角して設けてある。このため、風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、その内部の気流の乱れが小さく押さえられつつ向きが案内される。この結果、エアカーテンの効率が向上する。なお、気流の乱れが大きいと、エアカーテンの外部から侵入した粒子が内部へ拡散する速度が速くなる。
【００５６】
風速調整手段によって形成されたエアカーテンは、誘引防止手段によって空気吹出口３１ｃの外周縁部分が仕切られる。この結果、エアカーテンによって周辺の汚染空気を誘引する事態を防いでいる。
【００５７】
なお、清浄化する局所の範囲を広くする場合には、空気清浄装置３を大きくするか、複数の空気清浄装置３を並設すればよい。空気清浄装置３を並設する場合には、空気清浄装置３を並設して組み合わされた空気吹出口の口形全周に沿って上述した風速調整手段、風向案内手段および誘引防止手段を設ければよい。
【００５８】
図１０に示すように複数の空気清浄装置３を並設する場合には、各空気清浄装置３のケーシング３１の間の接続部分にスペーサ４２を介在し、当該スペーサ４２および各空気清浄装置３のケーシング３１を貫通するボルト４３で固定する。そして、図１１に示すように各空気清浄装置３の接続部分を跨ぐ態様で風向案内手段（羽根板３８）および誘引防止手段（仕切板３９）を設ける。このように構成すれば、例えば外径６００×１２００ｍｍの空気清浄装置３を２つ接続して外径１２００×１２００ｍｍの空気清浄装置３を得ることができる。さらに、図１２に示すように３つの空気清浄装置３を接続すれば、外径１８００×１２００ｍｍの空気清浄装置３を得ることができる。
【００５９】
ところで、空気清浄装置３の空気吹出口３１ｃに設けたＨＥＰＡフィルタ３３は、周囲に枠状の構造材（アルミニウム枠）があって、その内側にフィルタが接着剤で固定してあることから、当該構造材には風が通過しない。すなわち、構造材から内側に０〜４０ｍｍの範囲が低風速域となる。そして、複数の空気清浄装置３を接続した場合では、接続部分を挟んで約１００ｍｍ幅が低風速域となる。一方、ＨＥＰＡフィルタ３３の中央部は、高風速域である。このため、低風速域側から高風速域に空気が誘引されて、接続部分の低風速域が周辺の汚染空気を誘引する道筋となってしまう。
【００６０】
そこで、本実施例では、図１１および図１２に示すように空気清浄装置３を複数接続して並設した場合に、各空気清浄装置３の接続部分を跨ぐ風向案内手段を設けた部位に係り、この接続部分を空ける態様で空気吹出口３１ｃを覆うメッシュスクリーン４４（例えば１６メッシュ程度）を設けてある。具体的には、接続部分に係り、各ＨＥＰＡフィルタ３３が隣接する接合面を挟んで約１００〜２００ｍｍ程度の間隔を空けた両側にメッシュスクリーン４４を張る。この結果、メッシュスクリーン４４の微弱な空気抵抗によって吹出空気が曲げられ、さらに上述した風速調整手段のスリット孔３６ａの端部に設けた開口部による速い吹出気流により、ＨＥＰＡフィルタ３３の接合部分から速い吹出気流が得られるため、各空気清浄装置３の接続部分の低風速域が周辺の汚染空気を誘引する道筋となる事態を防ぐことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明に係る局所清浄化空調システムを示す概略図である。
【図２】本発明に係る局所清浄化空調システムを示す概略図である。
【図３】空気清浄装置を示す概略側断面図である。
【図４】空気清浄装置におけるバッフル板を示す底面図である。
【図５】空気清浄装置におけるバッフル板を示す底面図である。
【図６】空気清浄装置におけるバッフル板を示す底面図である。
【図７】空気清浄装置の概略側断面図である。
【図８】空気清浄装置におけるバッフル板を示す底面図である。
【図９】空気清浄装置の概略側断面図である。
【図１０】空気清浄装置を並設した状態を示す概略図である。
【図１１】空気清浄装置を２つ並設した場合の底面図である。
【図１２】空気清浄装置を３つ並設した場合の底面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１    処理装置
１ａ    チャンバー
１ｂ    チャンバー蓋
１ｃ    装置本体
１ｄ    チャンバー蓋置台
２    熱交換装置
３    空気清浄装置
３１    ケーシング
３１ａ    天板
３１ｂ    周板
３１ｃ    空気吹出口
３２    ファン
３２ａ    ファンケース
３２ｂ    吸込口
３２ｃ    吹出口
３２ｄ    モータ
３２ｅ    羽根
３３    フィルタ
３４    案内板
３５    間隙
３６    バッフル板
３６ａ    スリット孔
３６ｂ    小孔
３７    開口
３８    羽根板
３９    仕切板
４０    メッシュスクリーン
４１    パンチング板
４２    スペーサ
４３    ボルト
４４    メッシュスクリーン
１０    クリーンルーム
１０ａ    床
１０ｂ    天井
１０ｃ    周壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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