(57)【要約】【課題】  形状測定機が被測定物の被測定面の形状周波数成分をどの程度正しく測定することができるかを検査・校正することができ、複数個の同じ形状のものを高精度に作製することができ、値付けや検査・校正の際の設置状態の把握や測定に好適な形状を有する、形状測定機の検査・校正に用いるアーティファクトを提供する。【解決手段】  要素アーティファクト１０は、互いに平行な一対の端面１２，１４と、一対の端面１２，１４の間に延在する外周面１６とを有する。外周面１６は、一対の端面に対して直角に延在する円筒面又は平面に含まれる基準部を含む。少なくとも一方の端面１２は、円弧状又は直線状に延在する１又は２以上の溝２２，２４，２６と、平面部分とを有する。溝２２，２４，２６は、溝幅が溝深さの２０倍以上である。【選択図】  図３
2006177713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行な一対の端面と、
前記一対の端面の間に延在する外周面とを有し、
前記外周面は基準部を含み、該基準部は前記一対の端面に対して直角に延在する円筒面又は平面に含まれ、
少なくとも一方の前記端面は、円弧状又は直線状に延在する１又は２以上の溝と、平面部分とを有し、
前記溝は、溝幅が溝深さの２０倍以上であることを特徴とする、形状測定機の検査・校正に用いる要素アーティファクト。
【請求項２】
前記基準部は、前記一対の端面に対して直角に延在する円筒面に含まれ、
少なくとも一方の前記端面は、前記基準部を含む前記円筒面の中心軸と同心にそれぞれ溝断面形状と深さが一定の１又は２以上の、溝幅が溝深さの２０倍以上である前記溝と、前記平面部分とを有することを特徴とする、請求項１に記載の要素アーティファクト。
【請求項３】
前記溝が形成された前記端面の前記中心軸が通る位置に、前記端面の前記平面部分から後退又は突出する窪み又は突起が形成されたことを特徴とする、請求項２に記載の要素アーティファクト。
【請求項４】
前記端面に、断面形状の異なる前記溝が形成されたことを特徴とする、請求項１、２又は３に記載の要素アーティファクト。
【請求項５】
溝深さが異なる前記溝が形成され、前記溝深さの最大値は、前記溝深さの最小値の１０倍以上であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一つに記載の要素アーティファクト。
【請求項６】
前記溝の断面形状が略Ｖ字状であることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の要素アーティファクト。
【請求項７】
回転自在に支持可能な治具に、請求項１乃至６のいずれか一つに記載の要素アーティファクトが取り付けられてなり、前記要素アーティファクトの前記端面が前記治具の回転軸から離れて該回転軸と略平行に延在することを特徴とする、歯車歯面形状測定機の検査・校正に用いる歯車用アーティファクト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形状測定機の検査・校正アーティファクトに関し、詳しくは、歯車歯面形状測定機や三次元座標測定機などの形状測定機の輪郭曲線計測精度に対する検査・校正に用いるアーティファクトに関する。
【背景技術】
【０００２】
機械部品の性能は、作動面の表面形状のミクロンからサブミクロンオーダーのわずかな形状の違いに影響される場合があり、形状測定機を用いて機械部品の作動面形状を測定して、品質管理が行われている。世界各地の工場で同一製品が製造される場合には、世界中で同一品質を保証するための形状測定が重要となる。近年、国際規格（ＩＳＯ）による品質保証体制の浸透により、国際的な取引において、形状測定による品質保証が求められるようになってきている。
【０００３】
従来、形状測定機は、形状測定機ごとに適宜な方法で検査・校正が行われている。例えば、測定子を用いる三次元座標測定機の校正には、基準球や球面形状を有する部材が用いられている（例えば、特許文献１、非特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−２２１０５３号公報
【非特許文献１】ＪＩＳ  Ｂ−７４４０−２：２００３（財団法人日本規格協会）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
三次元座標測定機や歯車歯面形状測定機などの形状測定機で機械部品の作動面を測定した結果は、一般に、その形状偏差を示す凹凸の曲線として出力される。その凹凸曲線の形状の状態、すなわち、形状曲線の周波数特性が正しいか否かを検査する方法は今までなかった。
【０００５】
機械部品の形状評価には、三次元座標測定機に代表される形状測定機が広く用いられている。たとえば図１０（ａ）に示すように、接触式の形状測定機を用いて測定を行う場合、矢印５８で示したように、先端部５３が球形をした測定子５２が被測定物の表面５４に沿って移動し、測定した形状が出力される。形状通りの測定結果が得られるのが理想的であるが、例えば図１０（ｂ）に示すように、実際の形状とかなり異なる測定結果５６が得られる場合がある。これは、測定子５２の先端部５３の形状や、測定子５２から検出部に変位を伝達する機構部分の弾性変形などのハードウエアに起因するフィルタ効果や、形状測定機の内部で測定データを演算処理するソフトウエアに起因するフィルタ効果などによる。フィルタ効果は形状測定機の機種やメーカーによって異なり、フィルタ効果による測定誤差を完全に取り除くことはできない。すなわち、形状測定機ごとに異なる測定特性となる。
【０００６】
このような測定特性の差異を検査する方法は今までなかったが、形状周波数特性が既知のアーティファクトを測定することによって、形状測定機が被測定物の被測定面の形状周波数成分をどの程度正しく測定することができるかを検査・校正することができると考えられる。
【０００７】
その場合、アーティファクトは、値付けや形状測定機の検査・校正を行う際に負担ができるだけ小さくなるように、設置状態の把握や測定が容易な形状であることが必要である。また、形状測定機の機種やメーカーを問わず、世界各地で検査・校正に用いることができるように、複数個の同一形状のものを高精度に作製できる必要がある。
【０００８】
本発明は、かかる実情に鑑み、形状測定機が被測定物の被測定面の形状周波数成分をどの程度正しく測定することができるかを検査・校正することができ、複数個の同じ形状のものを高精度に作製することができ、値付けや検査・校正の際の設置状態の把握や測定に好適な形状を有する、形状測定機の検査・校正に用いるアーティファクトを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した、形状測定機の検査・校正に用いる要素アーティファクト、並びに歯車歯面形状測定機の検査・校正に用いる歯車用アーティファクトを提供する。要素アーティファクトは、それ自体単独で、アーティファクトとして形状測定機の検査・校正に用いることができる。あるいは、アーティファクトの一部として、アーティファクトに組み込まれた状態で、形状測定機の検査・校正に用いることができる。
【００１０】
形状測定機の検査・校正に用いる要素アーティファクトは、互いに平行な一対の端面と、前記一対の端面の間に延在する外周面とを有する。前記外周面は基準部を含む。該基準部は、前記一対の端面に対して直角に延在する円筒面又は平面に含まれる。少なくとも一方の前記端面は、円弧状又は直線状に延在する１又は２以上の溝と、平面部分とを有する。前記溝は、溝幅が溝深さの２０倍以上である。
【００１１】
上記構成において、溝は、外周面の基準部に対して高い位置精度で形成することができる。溝が形成された端面を測定すると、端面の溝以外の平面部分では直線状の測定データが得られ、溝の部分では溝の形状に対応して測定データが変化するはずであるので、測定データの形状を評価して、測定機の検査や校正を行うことができる。すなわち、溝の形状・寸法、ピッチなどを適宜に選択した要素アーティファクトを測定することにより、形状測定機が被測定物の被測定面の形状周波数成分をどの程度正しく測定することができるかを、検査・校正することができる。
【００１２】
上記構成の要素アーティファクトは、形状が単純であるため、複数個の同じ形状のものを高精度に作製することができる。
【００１３】
また、上記構成の要素アーティファクトを任意位置に任意の姿勢で設置しても、溝の形成された端面の平面部分と、溝を形成する基準となった外周面の基準部とを測定することにより、要素アーティファクトの設置状態が求まり、溝の位置を容易に知ることができ、形状測定機の検査・校正を容易に行うことができる。
【００１４】
一般に、形状測定機による測定結果、すなわち被測定面を走査した輪郭曲線は、測定子移動方向と形状偏差定義方向とで異なる倍率で二次元表示され、形状偏差定義方向の倍率は測定子移動方向の倍率の２５倍以上である。上記構成のように、端面に形成される溝の溝幅が溝深さの２０倍以上で、溝以外に平面部分があると、測定結果全体から、溝を測定した部分を判別することが容易である。
【００１５】
具体的な一態様としては、前記基準部は、前記一対の端面に対して直角に延在する円筒面に含まれる。少なくとも一方の前記端面は、前記基準部を含む前記円筒面の中心軸と同心にそれぞれ溝断面形状と深さが一定の１又は２以上の、溝幅が溝深さの２０倍以上である前記溝と、前記平面部分とを有する。
【００１６】
上記構成において、要素アーティファクトは、一対の端面に直角な円筒面に含まれる基準部内のどの位置の点も、円筒面の中心軸からの距離が等しい。要素アーティファクトの形状は、高精度に加工することができ、端面に同心円状の溝も精度よく形成することができる。また、複数個の同じ形状のものを高精度に作製することも比較的容易である。
【００１７】
上記構成の要素アーティファクトは、端面同士が平行であり、端面と、基準部を含む円筒面とが直角であるので、値付けや検査・校正の際には、例えば形状測定機のテーブル面等の任意位置に任意の姿勢で設置した場合でも、円筒面に含まれる基準部上の数点の位置測定結果から中心軸、すなわち溝の中心位置を求め、さらに、端面の平面部分の数点の位置を測定することにより、設置状態を正確に把握することができる。
【００１８】
好ましくは、前記溝が形成された前記端面の前記中心軸が通る位置に、前記端面の前記平面部分から後退又は突出する窪み又は突起が形成される。
【００１９】
上記構成によれば、形状測定機により、端面の窪み又は突起を通るように直線状に測定すれば、測定子移動方向は中心軸を通る半径方向になり、溝に対して直角になるので、検査・校正結果に紛れ込む不確かさを最小にすることができる。
【００２０】
好ましくは、前記端面に、断面形状の異なる前記溝が形成される。
【００２１】
上記構成によれば、形状周波数が異なる溝を測定することができるので、１つの要素アーティファクトで異なる形状周波数について検査・校正を行うことができる。
【００２２】
好ましくは、溝深さが異なる前記溝が形成され、前記溝深さの最大値は、前記溝深さの最小値の１０倍以上である。
【００２３】
上記構成によれば、溝を測定したときに、測定値が１桁以上異なるはずであるので、測定感度とその直線性を評価することができる。
【００２４】
好ましくは、前記溝の断面形状が略Ｖ字状である。
【００２５】
上記構成によれば、形状測定機で溝を測定したときに、直線が折れ曲がったことに対応して変化した測定データが得られ、その出力と理論曲線との差から、その形状測定機の形状周波数測定能力を知ることができる。また、直感的に分かりやすいため、検査・校正が一層、容易になる。
【００２６】
上述した要素アーティファクトは、それ自体単独でアーティファクトとして形状測定機の検査・校正に用いることができるが、以下のように、歯車歯面形状測定機の検定・校正に用いる歯車用アーティファクトの一部に組み込んで用いることもできる。
【００２７】
歯車歯面形状測定機の検査・校正に用いる歯車用アーティファクトは、回転自在に支持可能な治具に、上述したいずれかの構成の要素アーティファクトが取り付けられてなり、前記要素アーティファクトの前記端面が前記治具の回転軸から離れて該回転軸と略平行に延在する。
【００２８】
上記構成によれば、歯車の代わりに、歯車用アーティファクトについて、歯車の歯面と同様に歯車歯面形状測定機を用いて、溝が形成された要素アーティファクトの端面を測定することにより、歯車歯面形状測定機の検査・校正を行うことができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明のアーティファクトは、形状測定機が被測定物の被測定面の形状周波数成分をどの程度正しく測定することができるかを検査・校正することができ、複数個の同じ形状のものを高精度に作製することができ、値付けや検査・校正の際の設置状態の把握や測定に好適な形状を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態として実施例を、図１〜図８を参照しながら説明する。
【００３１】
（実施例１）
まず、形状測定機の検査・校正に用いる要素アーティファクトの概要を、図１及び図２を参照しながら説明する。
【００３２】
図１の断面図に示すように、要素アーティファクト４は直円柱の形状を有し、一方の端面５に、中心軸Ｓと同心に溝断面形状と深さが一定のＶ溝６が、Ｖ溝６の溝幅より大きい平面部分を残して、形成されている。
【００３３】
要素アーティファクト４は、例えば図示した状態、すなわち、Ｖ溝６が形成された端面５を上にした状態で、形状測定機のテーブルに置き、Ｖ溝６が形成された端面５に、形状測定機の測定子２の先端部３を接触させながら測定子２を端面５に沿って移動させ、測定する。Ｖ溝６が形成された端面５について、図２に示すように、形状測定機で測定した結果８と、測定した形状測定機よりも高精度な測定機による値付け測定の結果７（例えば、国家計量標準機関（ＮＭＩ）が出したサーティフィケートを用いた理論結果）とを比較することにより、形状測定機の検査・校正を行うことができる。
【００３４】
（実施例２）
次に、要素アーティファクトの具体例について、図３〜図６を参照しながら説明する。
【００３５】
図３に示すように、要素アーティファクト１０は、直円柱の形状であり、どの位置でも中心軸からの距離が等しい円筒面１６と、中心軸Ｓに対してそれぞれ垂直な一対の端面１２，１４とを有する。
【００３６】
図３及び図４の要部拡大図に模式的に示すように、要素アーティファクト１０の一方の端面１２には、円筒面１６の中心軸Ｓと同心にそれぞれ溝断面形状と深さが一定のＶ溝２２，２４，２６が形成されている。図４は、横方向の倍率を相対的に小さく、縦方向の倍率を相対的に大きく図示しており、実際のＶ溝２２，２４，２６の斜面の傾きは、図示したよりも緩やかであり、より水平に近い。Ｖ溝２２，２４，２６は、断面形状が相似形で深さがそれぞれ異なり、形状周波数が異なる。これによって、１つの要素アーティファクト１０で異なる形状周波数について検査・校正を行うことができる。なお、Ｖ溝２２，２４，２６の数は１以上であればよく、図示したよりも多くても、少なくてもよい。
【００３７】
端面１２の中心には、円錐形状の窪み２０が形成され、窪み２０の円錐形状の中心軸と、円筒面１６の中心軸Ｓとが一致するようになっている。なお、窪み２０は、円錐形状以外の形状であってもよい。また、端面１２から後退した窪み２０の代わりに、端面１２から突出した突起を形成してもよい。さらには、窪みも突起もない構成とすることも可能である。
【００３８】
Ｖ溝２２，２４，２６は、深さの最大値が深さの最小値の１０倍以上大きくなるようにする。これにより、測定値が１桁以上異なるはずであるので、測定感度とその直線性を評価することができる。
【００３９】
図５の要部拡大図に模式的に示すように、Ｖ溝２２，２４，２６や窪み２０の斜面２８の勾配は、形状測定機では測定子移動方向の倍率と形状偏差定義方向の倍率とが異なることを考慮して十分に緩やかにする。図５は、横方向の倍率を相対的に小さく、縦方向の倍率を相対的に大きく図示しており、実際の溝の斜面２８の傾きは、図示したよりもさらに緩やかであり、より水平に近い。一般に、形状測定機による測定結果、すなわち被測定面を測定した輪郭曲線は、測定子移動方向と形状偏差定義方向とで異なる倍率で二次元表示され、測定子移動方向に対して直角方向の倍率は測定子移動方向の倍率の２５倍以上である。したがって、溝幅（２Ｌ）が溝深さ（Ｄ）の２０倍以上、好ましくは１００倍程度の勾配とする。
【００４０】
なお、Ｖ溝２２，２４，２６は、図示した断面Ｖ字状に限るものではなく、非対称な断面形状であってもよく、さらには、Ｕ字状、Ｗ字状、円弧状や半円状、半周期またはその整数倍の正弦波状、矩形、多角形その他の断面形状にすることもできる。
【００４１】
端面１２には、平面部分を残して、Ｖ溝２２，２４，２６を形成する。測定結果全体から、Ｖ溝２２，２４，２６を測定した部分と他の部分とを容易に判別することができるように、Ｖ溝２２，２４，２６の径方向両側に溝幅（２Ｌ）以上の径方向長さの平面部分が残るようにする。
【００４２】
要素アーティファクト１０は、高精度に加工する。例えば、円筒面１６の円筒度、端面１２，１４の平面部分の平面度、円筒面１６と端面１２，１４の平面部分の直角度、Ｖ溝２２，２４，２６の真円度、同軸度などについて、１００ｎｍ以下の小さい公差内に収める。また、Ｖ溝２２，２４，２６の深さや傾斜面の傾き角のばらつきも、それぞれ小さくする。要素アーティファクト１０は、例えば、回転を利用した適宜な加工方法により素材から直接加工して、あるいは型を用いて加工して、複数個の同じ形状のものを、例えば１００ｎｍ以下の公差で高精度に作製することができる。
【００４３】
要素アーティファクトの具体的な一例を挙げると、母材のスタバックス鋼の表面に加工しやすい無電解ニッケルを形成した材料を、直径約４０ｍｍ、高さ約５０ｍｍの円筒形状に加工し、一方の端面に、５つのＶ溝と中心の窪みを形成する。Ｖ溝の深さの最大値は２００μｍ、最小値は２０μｍである。５つのＶ溝及び窪みの斜面の勾配は、図５に示したＤ：Ｌが１：５０程度である。
【００４４】
次に、要素アーティファクト１０の値付け測定について、説明する。
【００４５】
値付け測定は、トレーサブルな測定機を用いて行う。要素アーティファクト１０の端面１２，１４の平面部分は、平面度測定機を用いて測定する。要素アーティファクト１０の円筒面１６は、真円度測定機を用いて測定する。要素アーティファクト１０の端面１２，１４の平面部分と円筒面１６との直角度は、三次元座標測定機を用いて測定する。端面１２の窪み２０及びＶ溝２２，２４，２６は、端面１２の平面部分とともに、接触式あるいは非接触式のトレーサブルな測定機で、それぞれの形状を測定する。
【００４６】
例えば、三次元座標測定機を用いて測定する場合、要素アーティファクト１０は、Ｖ溝２２，２４，２６が形成された端面１２を上に向け、他方の端面１４を下にして、三次元座標測定機のテーブル上に置く。他方の端面１４は、要素アーティファクト１０を設置するための面となる。
【００４７】
次に、値付け測定を行った要素アーティファクト１０を、検査・校正のために測定する方法について説明する。
【００４８】
要素アーティファクト１０を三次元座標測定機の検査・校正のために用いる場合、例えば図６に示したように、三次元座標測定機のＸ−Ｙテーブル１に、要素アーティファクト１０をＸ，Ｙ軸に対して斜め方向に設置する。
【００４９】
このように要素アーティファクト１０を設置した状態で、要素アーティファクト１０の円筒面１６と端面１２の平面部分とを測定し、その測定結果から要素アーティファクト１０の中心軸Ｓと端面１２の位置を演算し、中心軸Ｓと同心に端面１２に形成された窪み２０及びＶ溝２２，２４，２６の位置を求める。
【００５０】
次に、端面１２について、符号４２で示すように、端面中心の窪み２０を通り、端面１２に沿って任意方向、例えばＸ−Ｙテーブル１に対して直角でも平行でもない斜め方向に直線状に測定を行う。端面中心の窪み２０を通り直線状に測定を行うことにより、測定子移動方向は、中心を通る半径方向となるため、Ｖ溝２２，２４，２６に対して直角になるので、検査・校正に紛れ込む不確かさを最小にすることができる。
【００５１】
Ｖ溝２２，２４，２６は断面形状がＶ字状であるので、直線が折れ曲がったことに対応して変化した測定データが得られ、Ｖ溝２２，２４，２６の部分が直感的に分かりやすいため、検査・校正が容易になる。
【００５２】
また、要素アーティファクト１０は、円筒面１６と端面１２の平面部分とを測定することにより設置状態が分かるので、要素アーティファクト１０を適宜な姿勢で設置すれば、端面１２を任意方向に測定することができる。したがって、形状測定機の三次元空間的な任意な領域における任意の三次元方向の測定特性について、検査・校正を行うことができる。
【００５３】
（実施例３）
次に、歯車歯面形状測定機の検査・校正に用いる歯車用アーティファクト４０について、図７及び図８を参照しながら説明する。
【００５４】
図７に示すように、歯車用アーティファクト４０は、実施例２の要素アーティファクト１０を治具３０に取り付けたものである。治具３０は、歯車歯面形状測定機の測定対象の歯車と同程度の寸法である。治具３０には、軸３２の中間に形成されたフランジ３４に、要素アーティファクト１０を適宜な方法で固定する。要素アーティファクト１０は、治具３０に固定されたとき、端面１２が、歯車歯面形状測定機で測定する歯車の歯面と略同じ位置に設置される。
【００５５】
歯車用アーティファクト４０は、治具３０に対する要素アーティファクト１０の位置を正確に値付け測定する。具体的には、治具３０の軸３２の両端部分３２ａ，３２ｂと、要素アーティファクト１０の円筒面１６及び端面１２を、値付け測定する。治具３０の軸３２の両端部分３２ａ，３２ｂの測定結果から、中心軸Ｔの位置を求める。同様に、要素アーティファクト１０の円筒面１６の測定結果から、要素アーティファクト１０の中心軸Ｓの位置を求める。中心軸Ｓの位置と、要素アーティファクト１０の端面１２の測定結果とから、治具３０の軸Ｔに対する端面１２の中心位置と傾き方向を求める。
【００５６】
歯車用アーティファクト４０は、歯車の歯面を測定するのと同様に、歯車歯面形状測定機によって、軸３２を回転自在に支持し、歯車の歯面の代わりに要素アーティファクト１０の端面１２を測定する。例えば、回転軸Ｔと平行な歯すじ方向、それに直交する歯形方向に測定する。
【００５７】
歯形方向に測定する場合、一つの溝を横断するように測定すると、図８に示すように、本来の歯面（インボリュート）であれば鎖線３８で示した直線状の測定結果が得られるのに対して、測定面が平面であるため実線３６のように、大略、曲線状の測定結果になる。中央のＶ字状の部分３７は、測定時に横断した溝に対応する。どのような測定結果が得られるかは、測定位置や溝の寸法・形状などに基づいて理論的に算出することができる。したがって、実測値と理論値とを比較することにより、歯車歯面形状測定機の検査・校正を行うことができる。
【００５８】
（実施例４）
次に、直方体形状の要素アーティファクト６０について、図９を参照しながら説明する。
【００５９】
要素アーティファクト６０は、平行な上面６６及び下面６１の間に、４つの側面６２，６３，６４，６５を有する。上面６６及び下面６１と側面６２，６３，６４，６５や、隣接する側面６２，６３，６４，６５同士は、それぞれ直角である。要素アーティファクト６０は、その形状の一部分を除去しても、付加的な部分を設けてもよい。
【００６０】
上面６６には、側面６２，６４と平行に直線状に延在する溝断面形状と深さが一定のＶ溝６７，６８が、Ｖ溝６７，６８の溝幅方向に隣接するＶ溝６７，６８の溝幅よりも大きい平面部分を残して形成されている。Ｖ溝６７，６８は、相似形で深さが異なる。図９では模式的に図示しているが、Ｖ溝６７，６８は、実施例２と同様に、溝幅が溝深さの２０倍以上、好ましくは１００倍程度の勾配とする。
【００６１】
以上に説明した各実施例の要素アーティファクトや歯車用アーティファクトを用いれば、形状測定機が被測定物の被測定面の形状周波数成分をどの程度正しく測定することができるかを検査・校正することができる。要素アーティファクトは、複数個の同じ形状のものを高精度に作製することができ、値付けや検査・校正の際の設置状態の把握や測定に好適な形状を有する。
【００６２】
なお、本発明の要素アーティファクトや歯車用アーティファクトは、上記各実施例に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施可能である。
【００６３】
例えば、要素アーティファクトの両方の端面に、Ｖ溝や窪みを形成してもよい。また、円筒面、側面、端面の測定しない部分については、部分的に切り欠くなどして、平面や曲面、穴などを形成し、取り扱いが容易になるようにしてもよい。この場合、円筒面又は側面のうち、切り欠くなどされずに残った部分を基準部として用いる。
【００６４】
また、本発明の要素アーティファクトや歯車用アーティファクトを用いて、実施例以外の方法で、値付け測定や形状測定機の検査・校正を行うことも可能である。接触式の形状測定機に限らず、非接触式の形状測定機についても、本発明の要素アーティファクトや歯車用アーティファクトを用いて検査・校正を行うことができる。
【００６５】
また、本発明の要素アーティファクトは、歯車歯面形状測定機以外の形状測定機の検査・校正のために、アーティファクトの一部に組み込まれた状態で用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】アーティファクトの概要を示す断面図である。（実施例１）
【図２】アーティファクトの概要を示す説明図である。（実施例１）
【図３】アーティファクトの（ａ）平面図、（ｂ）正面図である。（実施例２）
【図４】アーティファクトの要部拡大断面図である。（実施例２）
【図５】アーティファクトの要部拡大断面図である。（実施例２）
【図６】アーティファクトの使用状態の説明図である。（実施例２）
【図７】アーティファクトの使用状態の説明図である。（実施例３）
【図８】測定結果の説明図である。（実施例３）
【図９】アーティファクトの概要を示す説明図である。（実施例４）
【図１０】形状測定の説明図である。
【符号の説明】
【００６７】
４  要素アーティファクト
５  端面
６  Ｖ溝（溝）
１０  要素アーティファクト
１２，１４  端面
１６  円筒面（外周面、基準部）
２０  窪み
２２，２４，２６  Ｖ溝（溝）
３０  治具
４０  歯車用アーティファクト
６０  要素アーティファクト
６１  下面（端面）
６２，６３，６４，６５  側面（外周面）
６６  上面（端面）
６７，６８  Ｖ溝（溝）
Ｓ    中心軸
【図１】
2006177713.tif 000003
【図２】
2006177713.tif 000004
【図３】
2006177713.tif 000005
【図４】
2006177713.tif 000006
【図５】
2006177713.tif 000007
【図６】
2006177713.tif 000008
【図７】
2006177713.tif 000009
【図８】
2006177713.tif 000010
【図９】
2006177713.tif 000011
【図１０】
2006177713.tif 000012