(57)【要約】  【課題】  大きさや保磁力などの異なる種々の被転写体に磁気転写を行う磁気転写装置において、それぞれの被転写体に適切な磁界を印加する。  【解決手段】  ホルダ部１０に収容された被転写体２の中心部分に設けられた非転写領域の大きさに応じてＺ方向についてのホルダ部１０と磁界印加部２０，２２との距離を調整するとともに、上記非転写領域の大きさに応じて磁界印加部２０，２２をＸ方向に移動させてホルダ部１０に対する磁界印加部２０，２２の位置を調整し、さらに、上記のようにして調整されたホルダ部１０と磁界印加部２０，２２との距離に応じて磁界印加部２０，２２のＮ極部２０ａ，２２ａとＳ極部２０ｂ，２２ｂとの間隔を調整する。【選択図】          図１
2006107592.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写情報を担持した転写用原盤と前記転写情報が転写される被転写体とをホルダ部により対峙密着させて保持し、前記被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段により前記ホルダ部に保持された前記転写用原盤に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記ホルダ部と前記磁界印加手段とを前記被転写体の転写面の法線方向に相対的に移動可能に保持し、
前記法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離を調整して前記磁気転写を行うことを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
前記被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、前記法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離が短くなるように前記調整を行うことを特徴とする請求項１記載の磁気転写方法。
【請求項３】
前記法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離に応じて前記転写用磁界の強度を調整して前記磁気転写を行うことを特徴とする請求項１または２記載の磁気転写方法。
【請求項４】
前記ホルダ部と前記磁界印加手段とを前記被転写体の半径方向に相対的に移動可能に保持し、
前記半径方向における前記ホルダ部に対する前記磁界印加手段の位置を調整して前記磁気転写を行うことを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の磁気転写方法。
【請求項５】
前記被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、前記磁気印加手段の位置が前記ホルダ部の中心に近くなるように前記調整を行うことを特徴とする請求項４記載の磁気転写方法。
【請求項６】
前記磁界印加手段が、前記転写用磁界を形成する、互いに近接して配置されたＮ極部およびＳ極部を有し、該Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整可能なものであり、
前記Ｎ極部と前記Ｓ極部との間隔を調整して前記磁気転写を行うことを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載の磁気転写方法。
【請求項７】
前記法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離が短いほど、前記間隔を狭くするように前記調整を行うことを特徴とする請求項６記載の磁気転写方法。
【請求項８】
転写情報を担持した転写用原盤と前記転写情報が転写される被転写体とをホルダ部により対峙密着させて保持し、前記被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段により前記ホルダ部に保持された前記転写用原盤に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記ホルダ部と前記磁界印加手段とを前記被転写体の半径方向に相対的に移動可能に保持し、
前記半径方向における前記ホルダ部に対する前記磁界印加手段の位置を調整して前記磁気転写を行うことを特徴とする磁気転写方法。
【請求項９】
前記被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、前記磁気印加手段の位置が前記ホルダ部の中心に近くなるように前記調整を行うことを特徴とする請求項８記載の磁気転写方法。
【請求項１０】
転写情報を担持した転写用原盤と前記転写情報が転写される被転写体とをホルダ部により対峙密着させて保持し、前記被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段により前記ホルダ部に保持された前記転写用原盤に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記磁界印加手段が、前記転写用磁界を形成する、互いに近接して配置されたＮ極部およびＳ極部を有し、該Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整可能なものであり、
前記Ｎ極部と前記Ｓ極部との間隔を調整して前記磁気転写を行うことを特徴とする磁気転写方法。
【請求項１１】
前記被転写体の転写面の法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離が短いほど、前記間隔を狭くするように前記調整を行うことを特徴とする請求項１０記載の磁気転写方法。
【請求項１２】
転写情報を担持した転写用原盤と前記転写情報が転写される被転写体とを対峙密着させて保持するホルダ部と、該ホルダ部に保持された前記転写用原盤に転写用磁界を印加する、前記被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段とを備えた磁気転写装置において、
前記被転写体の転写面の法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離が調整可能なように、前記ホルダ部と前記磁界印加手段とを前記法線方向に相対的に移動可能に保持する法線方向移動機構部を備えたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項１３】
前記被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、前記法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離が短くなるように前記法線方向移動機構部を制御する法線方向移動制御手段を備えたことを特徴とする請求項１２記載の磁気転写装置。
【請求項１４】
前記法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離に応じて前記転写用磁界の強度を調整可能な磁界強度調整手段を備えたことを特徴とする請求項１２または１３記載の磁気転写装置。
【請求項１５】
前記被転写体の半径方向における前記ホルダ部に対する前記磁界印加手段の位置が調整可能なように、前記ホルダ部と前記磁界印加手段とを前記半径方向に相対的に移動可能に保持する半径方向移動機構部を備えたことを特徴とする請求項１２から１４いずれか１項記載の磁気転写装置。
【請求項１６】
前記被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、前記磁気印加手段の位置が前記ホルダ部の中心に近くなるように前記半径方向移動機構部を制御する半径方向移動制御手段を備えたことを特徴とする請求項１５記載の磁気転写装置。
【請求項１７】
前記磁界印加手段が、前記転写用磁界を形成する、互いに近接して配置されたＮ極部およびＳ極部を有し、該Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整可能なものであることを特徴とする請求項１２から１６いずれか１項記載の磁気転写装置。
【請求項１８】
前記法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離が短いほど、前記間隔を狭くするように前記磁界印加手段を制御する間隔制御手段を備えたことを特徴とする請求項１７記載の磁気転写装置。
【請求項１９】
転写情報を担持した転写用原盤と前記転写情報が転写される被転写体とを対峙密着させて保持するホルダ部と、該ホルダ部に保持された前記転写用原盤に転写用磁界を印加する、前記被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段とを備えた磁気転写装置において、
前記被転写体の半径方向における前記ホルダ部に対する前記磁界印加手段の位置が調整可能なように、前記ホルダ部と前記磁界印加手段とを前記半径方向に相対的に移動可能に保持する半径方向移動機構部を備えたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２０】
前記被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、前記磁気印加手段の位置が前記ホルダ部の中心に近くなるように前記半径方向移動機構部を制御する半径方向移動制御手段を備えたことを特徴とする請求項１９記載の磁気転写装置。
【請求項２１】
転写情報を担持した転写用原盤と前記転写情報が転写される被転写体とが対峙密着して保持されるホルダ部と、該ホルダ部に保持された前記転写用原盤に転写用磁界を印加する、前記被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段とを備えた磁気転写装置において、
前記磁界印加手段が、前記転写用磁界を形成する、互いに近接して配置されたＮ極部およびＳ極部を有し、該Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整可能なものであることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２２】
前記被転写体の法線方向についての前記ホルダ部と前記磁界印加手段との距離が短いほど、前記間隔を狭くするように前記磁界印加手段を制御する間隔制御手段を備ええたことを特徴とする請求項２１記載の磁気転写装置。
【請求項２３】
請求項１から１１いずれか１項記載の磁気転写方法を用いて前記被転写体に前記磁気転写を行って磁気記録媒体を製造することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写情報を担持した転写用原盤と転写情報が転写される被転写体とを対峙密着するとともに、その転写用原盤と被転写体とに転写用磁界を印加することにより転写情報を被転写体に転写する磁気転写方法および装置並びに上記磁気転写方法を用いた磁気記録媒体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、サーボ信号等の転写情報に応じて形成された、軟磁性層で被覆された凹凸パターンを有する転写用原盤と、磁気記録層を有する被転写体とを対峙密着させた状態で、転写用磁界を印加することによって転写用原盤が有する転写情報に対応する磁化パターンを被転写体に転写記録する磁気転写装置が提案されている。
【０００３】
上記のような磁気転写装置としては、たとえば、図７に示すように、シリンダ構造の上側の押圧チャンバー６２ａおよび下側のベースチャンバー６２ｂとを有し、被転写体と転写用原盤との中心位置を合わせた状態で対峙密着させて保持するホルダ部６２と、被転写体の中心から半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石６１とを備えた磁気転写装置であって、ホルダ部６２を矢印方向に回転させつつ、リング型ヘッド電磁石のギャップにおいて形成された転写用磁界を被転写体と転写用原盤とに印加することによって被転写体と転写用原盤との全面に転写用磁界を印加する磁気転写装置が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
一方、近年、被転写体としての磁気ディスクなどは、その半径が小さくなる傾向にあり、従来、３．５インチや２．５インチであったのが、１インチ以下のものが利用されるようになり、このような大きさの被転写体に対しても磁気転写を行う必要が生じている。
【０００５】
ここで、磁気ディスクのような被転写体には、その中心部分に磁気転写を行わない非転写領域が設けられており、この非転写領域以外の周辺部分の転写領域に磁気転写が行われる。したがって、リング型ヘッド電磁石により形成される磁界分布は、上記転写領域に十分な強度の磁界が印加されるように制御される。一方、被転写体の中心部分においては、被転写体の中心を対称点とした反対側にも不要な漏れ磁界が印加されてしまうが、この漏れ磁界が所定の閾値よりも大きくなると本来の印加されるべき磁界の向きと逆方向の磁界が印加されてしまい転写信号が劣化してしまうため、その点も考慮して磁界分布を制御する必要がある。
【０００６】
図６に、被転写体に印加される磁界分布の一例を示す。図６における０点が被転写体の中心を示しており、横軸が被転写体の中心からの距離を示しており、縦軸が磁界強度の大きさを示している。たとえば、非転写領域が、図６に示す範囲ｂのような大きさである場合には、図６に示すＧ１のグラフのような磁界分布が形成されるように制御する必要がある。なお、図６における磁界強度ｔｈ１は、磁気転写を行うのに必要な磁界強度であり、磁界強度ｔｈ２は、漏れ磁界として許容することができる磁界強度である。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−２４２６３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述したように、近年においては、１インチ以下の小さな被転写体も利用されるようになってきており、一般的に被転写体の半径が小さくなるほど非転写領域の範囲は狭くなるため、たとえば、図６に示す範囲ａのような非転写領域を有する被転写体に磁界分布Ｇ１の磁界を印加するようにしたのでは、転写領域において磁界強度がｔｈ１以下の領域ができてしまうとともに、漏れ磁界もｔｈ２以上になってしまう領域が生じてしまう。
【０００９】
磁界分布は、被転写体の転写面の法線方向についてのホルダ部６２とリング型ヘッド電磁石６１との距離、および被転写体の半径方向についてのホルダ部６２とリング型ヘッド電磁石６１との距離を調整することにより制御することができるが、従来の磁気転写装置においては、その装置の構成上これらの距離は予め固定されており変更することができず、被転写体における非転写領域の範囲に応じて磁界分布を変更することができなかった。
【００１０】
また、上記のような磁気転写装置において磁気転写を行う場合、被転写体の転写面近傍において水平な磁界が印加されるよう磁界分布を調整する必要がある。上記のような水平な磁界が印加されるようにするには、ホルダ部６２とリング型ヘッド電磁石６１との距離に応じてリング型ヘッド電磁石６１のＮ極部とＳ極部との間隔を調整する必要がある。
【００１１】
しかしながら、従来の磁気転写装置においては、上記のようなリング型ヘッド電磁石６１が利用されていたため上記間隔は固定であり変更することができなかった。したがって、たとえば、厚さが異なる被転写体に磁気転写を行う場合、それぞれの被転写体についてその転写面とリング型ヘッド電磁石６１との距離が異なるため、それぞれの被転写体について転写面近傍に水平な磁界を印加することができなかった。
【００１２】
また、種々の保磁力Ｈｃを有する被転写体に磁気転写を行う場合には、その保磁力Ｈｃに応じて上記法線方向についてのホルダ部６２とリング型ヘッド電磁石６１との距離を変更しなければ各被転写体に適切な強度の磁界を印加することができず、適切な磁気転写を行うことができない。
【００１３】
本発明は、上記事情に鑑み、上記のように大きさや保磁力などの異なる種々の被転写体に磁気転写を行う磁気転写装置において、それぞれの被転写体に適切な磁界を印加することができる磁気転写方法および装置並びに上記磁気転写方法を用いた磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の第１の磁気転写方法は、転写情報を担持した転写用原盤と転写情報が転写される被転写体とをホルダ部により対峙密着させて保持し、被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段によりホルダ部に保持された転写用原盤に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、ホルダ部と磁界印加手段とを被転写体の転写面の法線方向に相対的に移動可能に保持し、上記法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離を調整して磁気転写を行うことを特徴とする。
【００１５】
また、上記第１の磁気転写方法においては、被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、上記法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離を短くするように上記調整を行うようにすることができる。
【００１６】
また、上記法線方向への相対的な移動距離に応じて転写用磁界の強度を調整して磁気転写を行うようにすることができる。
【００１７】
また、ホルダ部と磁界印加手段とを被転写体の半径方向に相対的に移動可能に保持し、上記半径方向におけるホルダ部に対する磁界印加手段の位置を調整して磁気転写を行うようにすることができる。
【００１８】
また、被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、磁気印加手段の位置がホルダ部の中心に近くなるように上記調整を行うようにすることができる。
【００１９】
また、磁界印加手段を、転写用磁界を形成する、互いに近接して配置されたＮ極部およびＳ極部を有するものとするとともに、Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整可能なものとし、Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整して磁気転写を行うようにすることができる。
【００２０】
また、上記法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離が短いほど、上記間隔を狭くするように上記調整を行うようにすることができる。
【００２１】
本発明の第２の磁気転写方法は、転写情報を担持した転写用原盤と転写情報が転写される被転写体とをホルダ部により対峙密着させて保持し、被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段によりホルダ部に保持された転写用原盤に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、ホルダ部と磁界印加手段とを被転写体の半径方向に相対的に移動可能に保持し、上記半径方向におけるホルダ部に対する磁界印加手段の位置を調整して磁気転写を行うことを特徴とする。
【００２２】
また、上記第２の磁気転写方法においては、被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、磁気印加手段の位置がホルダ部の中心に近くなるように上記調整を行うようにすることができる。
【００２３】
本発明の第３の磁気転写方法は、転写情報を担持した転写用原盤と転写情報が転写される被転写体とをホルダ部により対峙密着させて保持し、被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段によりホルダ部に保持された転写用原盤に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、磁界印加手段が、転写用磁界を形成する、互いに近接して配置されたＮ極部およびＳ極部を有し、Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整可能なものであり、Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整して磁気転写を行うことを特徴とする。
【００２４】
また、上記第３の磁気転写方法においては、被転写体の転写面の法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離が短いほど、上記間隔を狭くするように上記調整を行うようにすることができる。
【００２５】
本発明の第１の磁気転写装置は、転写情報を担持した転写用原盤と転写情報が転写される被転写体とを対峙密着させて保持するホルダ部と、ホルダ部に保持された転写用原盤に転写用磁界を印加する、被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段とを備えた磁気転写装置において、被転写体の転写面の法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離が調整可能なように、ホルダ部と磁界印加手段とを上記法線方向に相対的に移動可能に保持する法線方向移動機構部を備えたことを特徴とする。
【００２６】
また、上記第１の磁気転写装置においては、被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、上記法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離が短くなるように法線方向移動機構部を制御する法線方向移動制御手段を備えるようにすることができる。
【００２７】
また、上記法線方向への相対的な移動距離に応じて転写用磁界の強度を調整可能な磁界強度調整手段を備えるようにすることができる。
【００２８】
また、被転写体の半径方向におけるホルダ部に対する磁界印加手段の位置が調整可能なように、ホルダ部と磁界印加手段とを上記半径方向に相対的に移動可能に保持する半径方向移動機構部を備えるようにすることができる。
【００２９】
また、被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、磁気印加手段の位置がホルダ部の中心に近くなるように半径方向移動機構部を制御する半径方向移動制御手段を備えるようにすることができる。
【００３０】
また、磁界印加手段を、転写用磁界を形成する、互いに近接して配置されたＮ極部およびＳ極部を有するものとするとともに、Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整可能なものとすることができる。
【００３１】
また、上記法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離が短いほど、上記間隔を狭くするように磁界印加手段を制御する間隔制御手段を備えるようにすることができる。
【００３２】
本発明の第２の磁気転写装置は、転写情報を担持した転写用原盤と転写情報が転写される被転写体とを対峙密着させて保持するホルダ部と、ホルダ部に保持された転写用原盤に転写用磁界を印加する、被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段とを備えた磁気転写装置において、被転写体の半径方向におけるホルダ部に対する磁界印加手段の位置が調整可能なように、ホルダ部と磁界印加手段とを上記半径方向に相対的に移動可能に保持する半径方向移動機構部を備えたことを特徴とする。
【００３３】
また、上記第２の磁気転写装置においては、被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、磁気印加手段の位置がホルダ部の中心に近くなるように半径方向移動機構部を制御する半径方向移動制御手段を備えるようにすることができる。
【００３４】
本発明の第３の磁気転写装置は、転写情報を担持した転写用原盤と転写情報が転写される被転写体とが対峙密着して保持されるホルダ部と、ホルダ部に保持された転写用原盤に転写用磁界を印加する、被転写体の転写面に対向して設置された磁界印加手段とを備えた磁気転写装置において、磁界印加手段が、転写用磁界を形成する、互いに近接して配置されたＮ極部およびＳ極部を有し、Ｎ極部とＳ極部との間隔を調整可能なものであることを特徴とする。
【００３５】
また、上記第３の磁気転写装置においては、被転写体の法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離が短いほど、上記間隔を狭くするように磁界印加手段を制御する間隔制御手段を備えるようにすることができる。
【００３６】
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記第１、第２および第３の磁気転写方法を用いて被転写体に磁気転写を行って磁気記録媒体を製造することを特徴とする。
【００３７】
ここで、上記「対峙密着」とは、接触密着だけでなく、ごく僅かな隙間を空けて対峙するような場合も含むものとする。
【００３８】
また、上記「被転写体の転写面に対向して設置された」とは、被転写体の転写面の表面側に設置された場合だけでなく、転写面の裏面側に設置された場合や、表面側および裏面側に設置された場合も含むものとする。
【００３９】
また、上記「被転写体の中心部分における非転写領域」とは、被転写体の中央部分に設けられた領域であって、転写情報が磁気転写されない領域のことをいい、たとえば、被転写体の中央部分に設けられた孔の部分のことをいう。
【発明の効果】
【００４０】
本発明の磁気転写方法および装置によれば、被転写体の転写面の法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離を調整可能なようにしたので、種々の大きさの非転写領域を有する被転写体に対して、転写領域に十分な強度の磁界を印加することができるとともに、漏れ磁界の大きさを所定の閾値以下にすることができ、それぞれの被転写体に対し、適切な磁界を印加することができる。具体的には、非転写領域が図５に示す範囲ｂのような大きさである場合には、図６に示すＧ１のグラフのような磁界分布を形成するようにすることができるとともに、非転写領域が図６に示す範囲ａのような大きさである場合には、図６に示すＧ２のグラフのような磁界分布を形成するようにすることができる。つまり、図６に示す磁界分布の曲線の０点付近における傾きを非転写領域の大きさに応じて変更するようにすることができる。
【００４１】
また、被転写体の保磁力が小さいほど、上記法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離を短くするようにすれば、保磁力の異なる被転写体に磁気転写を行う場合においても、それぞれの被転写体に対して適切な強度の磁界を印加することができる。
【００４２】
また、たとえば、被転写体の転写面の法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離を短くした場合、上記のように磁界分布の曲線の０点付近における傾きが大きくなるだけでなく、転写領域における磁界の強度まで大きくなってしまい（図６における破線部分のようになる）、無駄な強度の磁界を印加することになってしまうが、上記距離が短くなるほど転写用磁界の強度を小さくするようにすれば、転写領域に上記のような無駄な強度の磁界を印加することなく、適切な強度の磁界を印加することができる。
【００４３】
また、被転写体の半径方向におけるホルダ部に対する磁界印加手段の位置を調整して磁気転写を行うようにした場合には、たとえば、被転写体の中心部分における非転写領域の大きさが小さいほど、磁気印加手段の位置がホルダ部の中心に近くなるように上記調整を行うようにすれば、非転写領域に近い転写領域にも適切な磁界を印加することができる。
【００４４】
また、磁界印加手段のＮ極部とＳ極部との間隔を調整して磁気転写を行うようにした場合には、たとえば、被転写体の転写面の法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離が短いほど、上記間隔を狭くするように上記調整を行うようにすれば、たとえば、上記のように非転写領域の大きさに応じて上記法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離を調整するようした場合においても、常に転写面近傍に水平な磁界を印加することができる。また、厚さの異なる被転写体に磁気転写を行うような場合においても、被転写体の転写面の法線方向についてのホルダ部と磁界印加手段との距離が短いほど、上記間隔が狭くするように上記調整を行うようにすれば、常に転写面近傍に水平な磁界を印加することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、図面を参照して本発明の磁気転写方法を実施する磁気転写装置の一実施形態について詳細に説明する。図１は、本磁気転写装置の概略構成を示す斜視図である。
【００４６】
本磁気転写装置１は、図１に示すように、転写情報を担持した転写用原盤と転写情報が転写される被転写体とが対峙密着して保持されて収容されたホルダ部１０と、ホルダ部１０に収容された転写用原盤と被転写体とに転写用磁界を印加する一対の磁気印加部２０,２２とを備えている。
【００４７】
磁界印加部２０,２２は、それぞれホルダ部１０内に収容される被転写体の転写面に対向して設置され、それぞれホルダ部１０の上側と下側に対向して設置されている。そして、磁気印加部２０,２２は、それぞれＮ極部２０ａ,２２ａとＳ極部２０ｂ,２２ｂ（Ｓ極部２２ｂについては図示せず）とを備えており、Ｎ極部２０ａ,２２ａおよびＳ極部２０ｂ,２２ｂ、ホルダ部１０の中心から半径方向に延びるギャップを形成している。Ｎ極部２０ａ,２２ａとＳ極部２０ｂ,２２ｂには、それぞれ電磁石が設けられており、上記ギャップにおいてホルダ部１０の周方向と平行な転写用磁界を形成する。Ｎ極部２０ａおよびＳ極部２０ｂが形成する転写用磁界の向きとＮ極部２２ａおよびＳ極部２２ｂが形成する転写用磁界の向きは同じ向きである。そして、ホルダ部１０が回転することにより、磁界印加部２０,２２によってホルダ部に収容された被転写体と転写用原盤の全面に転写用磁界が印加される。なお、本実施形態においては、磁界印加部は、ホルダ部１０に対して上側および下側に設けるようにしたが、片側にのみに設けるようにしてもよく、また、電磁石ではなく永久磁石を用いて上記と同様な転写用磁界を形成するようにしてもよい。
【００４８】
そして、磁界印加部２０のＮ極部２０ａおよびＳ極部２０ｂは磁石移動機構部２１に保持されている。そして、磁石移動機構部２１は、Ｎ極部２０ａを矢印Ｙ方向（磁界が形成される方向）に移動可能に保持するＮ極側移動機構部２１ａと、Ｓ極部２０ｂを矢印Ｙ方向（磁界が形成される方向）に移動可能に保持するＳ極側移動機構部２１ｂとから構成されている。また、磁界印加部２２のＮ極部２２ａおよびＳ極部２２ｂは磁石移動機構部２３に保持されている。そして、磁石移動機構部２３は、Ｎ極部２２ａを矢印Ｙ方向（磁界が形成される方向）に移動可能に保持するＮ極側移動機構部２３ａと、Ｓ極部２２ｂを矢印Ｙ方向（磁界が形成される方向）に移動可能に保持するＳ極側移動機構部２３ｂとから構成されている。なお、移動機構の構成については、如何なる既知の構成を採用するようにしてもよい。
【００４９】
そして、磁石移動機構部２１,２３は、それぞれ固定部材２４,２５に固定されている。そして、磁石移動機構部２１,２３が固定された固定部材２４,２５は、支柱３０に対し、矢印Ｚ方向（ホルダ部１０に収容される被転写体の転写面の法線方向）に移動可能に設けられている。なお、移動機構の構成については、如何なる既知の構成を採用するようにしてもよい。そして、支柱４０の下側端部は固定台４０に固定されている。
【００５０】
固定台４０は、磁界印加手段移動機構部５０に設置されている。磁界印加手段移動機構部５０は、固定台４０が設置される移動部５０ａと、移動部５０ａを矢印Ｘ方向（ホルダ部１０の半径方向）に移動可能なレール部５０ｂとから構成されている。なお、移動機構の構成については、如何なる既知の構成を採用するようにしてもよい。
【００５１】
ホルダ部１０は、ホルダ部１０を回転可能に保持するホルダ保持部（図示省略）に設置されている。図２にホルダの断面図、図３にホルダ内面の平面図を示す。
【００５２】
そして、ホルダ部１０は、図２に示すように、シリンダ構造の下側のベースチャンバー１１と上側の押圧チャンバー１２とを備えている。そして、ベースチャンバー１１と押圧チャンバー１２とにより形成される内部空間６には、被転写体２と転写用原盤３，４とが中心位置を合わせた状態で対峙密着して保持されて収容されている。
【００５３】
ベースチャンバー１１は、その内面の中央部分に平坦性の高い減圧吸引部１１ａが形成されている。減圧吸引部１１ａには、図３に示すように、多数の吸引孔１５が設けられており、吸引孔１５は真空ポンプに接続されている。減圧吸引部１１ａは、この吸引孔１５から空気を吸引することより減圧吸引部１１ａに密着された転写用原盤３の背面を吸引保持すると共に、転写用原盤３の平坦度を減圧吸引部１１ａにならわせて修正する。
【００５４】
押圧チャンバー１２は、その内面に円環シート状の弾性材９が取り付けられ、さらに、この弾性材９の表面部分に所望の平坦度を有する平坦剛性板１０ａが設置されている。そして、平坦剛性板１０ａの中心部分には減圧吸引部１０ｂが形成されており、転写用原盤４の上面を中心位置を合わせて吸引保持する。上記減圧吸引部１０ｂにも、減圧吸引部１１ｂと同様に、真空ポンプに接続された吸引孔１５が設けられており、この吸引孔１５により転写用原盤４を吸引保持する。
【００５５】
また、押圧チャンバー１２は、軸方向（図で上下方向）にベースチャンバー１１に対して接離移動可能であり、被転写体２は、その中心孔がベースチャンバー１１の中心部に立設されたセンターピン１１ｃに嵌合されて位置決めが行われる。また、ベースチャンバー１１の底面および押圧チャンバー１２の上面には、回転軸部１１ｂ，１２ｂが突設されている。このベースチャンバー１１および押圧チャンバー１２は、上述したホルダ保持部に連係されて一体に回転駆動される。
【００５６】
そして、押圧チャンバー１２の外周にはＯリングによるシール材１３が装着され、このシール材１３は押圧チャンバー１２をベースチャンバー１１側に移動させた際に、ベースチャンバー１１の内周面に摺接して両チャンバー１１，１２間の内部空間６を密閉する。
【００５７】
また、ベースチャンバー１１の内面には吸気孔７ａが設けられている。そして、さらにこの吸気孔７ａに連通するエアー通路７ｂがベースチャンバー１１内に形成され、回転軸部１１ｂを通して外部に導出され、不図示の真空ポンプに接続されている。真空ポンプにより吸気孔７ａおよびエアー通路７ｂからホルダ部１０の内部空間６の空気を吸引し、ホルダ部１０の内部空間６を所定の圧力に制御することにより、被転写体２と転写用原盤３とを所定の密着圧力で密着させることができる。なお、内部空間６の圧力が、減圧吸引部１１ａ，１０ｂの吸引圧力より高く（真空度は低く）なるように、両者の吸引圧力が制御されることが望ましい。
【００５８】
被転写体２は、両面に磁気記録層が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体である。その磁気記録層は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。そして、被転写体２の中心部分には転写情報が磁気転写されない非転写領域が設けられている。
【００５９】
また、転写用原盤３，４は、転写情報に応じた微細な凹凸パターンが形成された円形基板上に軟磁性体が被覆されたものである。そして、この凹凸パターンの形成された面が、被転写体２に密着され、反対側の面がベースチャンバー１１、剛性板１０に吸引保持される。
【００６０】
なお、本実施形態においては、水平方向に配置した被転写体２の下側および上側にそれぞれ転写用原盤３,４を配置して両面に対峙密着させ、両面同時磁気転写を行う態様を示しているが、被転写体３,４および転写用原盤２を縦向きに配置して両面同時磁気転写を行うようにしてもよい。また、被転写体２の片方に転写用原盤３または４を対峙密着させ、片面逐次磁気転写を行うようにしてもよい。
【００６１】
次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気転写装置１では、ベースチャンバー１１の減圧吸引部１１ａに転写用原盤３を位置を合わせて保持させ、押圧チャンバー１２の剛性板１０の減圧吸引部１０ｂに転写用原盤４を位置を合わせて保持させておく。そして、押圧チャンバー１２とベースチャンバー１１とを離間した開状態で、被転写媒体２の中心位置を合わせてセットした後、押圧チャンバー１２をベースチャンバー１１に接近移動させる。
【００６２】
押圧チャンバー１２のシール材１３がベースチャンバー１１の内周面に摺接して、被転写体２および転写用原盤３，４を収容したホルダ部１０の内部空間６を密閉する。転写用原盤４が被転写体２に接触して押圧状態となる前に、真空ポンプにより内部空間６のエアー排出を行って減圧し、内部の圧力を減圧吸引部１１ａ，１０ｂの吸引圧力より高い所定の圧力とする。そして、さらに押圧チャンバー１２を下降作動させ、被転写体２と転写用原盤３，４間のエアー抜きを行って、所定の密着圧力で被転写体と転用容原盤３,４とを対峙密着させる。
【００６３】
そして、上記のようにホルダ部１０に転写用原盤３,４および被転写体２を装填した後は、その装填された被転写体２の非転写領域の大きさに応じて、磁気印加部２０,２２が磁界印加手段移動機構部５０によりＸ方向に移動させられる。このとき、非転写領域の大きさが小さいほど磁気印加部２０,２２の位置がホルダ部１０の中心に近くなるように移動させられる。その移動量は、たとえば、被転写体２における非転写領域と転写領域との境界付近の転写領域にも、磁気転写に必要な強度の磁界が印加されるように調整するようにすればよい。
【００６４】
そして、さらに、磁気印加部２０,２２も、被転写体２の非転写領域の大きさに応じて、固定部材２４,２５とともにＺ方向に移動させられる。なお、磁気印加部２０，２２は互いに反対の方向へ同じ距離だけ移動するものとする。つまり、本実施形態においては、一方の磁気印加部２０が下側に移動する場合には、他方の磁気印加部２２は上側に移動し、一方の磁気印加部２０が上側に移動する場合には、他方の磁気印加部２２は下側に移動する。そして、このとき、磁界印加部２０，２２は、非転写領域の大きさが小さいほど、Ｚ方向についてのホルダ部１０と磁界印加部２０，２２との距離が短くなるように移動させられる。その移動量は、たとえば、被転写体２における転写領域に十分な強度の磁界が印加されるとともに、上述した漏れ磁界が所定の閾値以下となるように調整するようにすればよい。具体的には、非転写領域が図５に示す範囲ｂのような大きさである場合には、図６に示すＧ１のグラフのような磁界分布が形成されるように調整し、非転写領域が図６に示す範囲ａのような大きさである場合には、図６に示すＧ２のグラフのような磁界分布が形成されるようにすればよい。
【００６５】
また、本実施形態においては、被転写体２の非転写領域の大きさに応じてＺ方向についてのホルダ部１０と磁界印加部２０，２２との距離を調整するようにしたが、被転写体２の保磁力が小さいほど、上記Ｚ方向ついてのホルダ部１０と磁界印加部２０，２２との距離を短くするようにしてもよい。
【００６６】
また、上記のようにＺ方向に磁界印加部２０，２２を移動させるとともに、ホルダ部１０と磁界印加部２０，２２とのＺ方向についての距離に応じて磁気印加部２０，２２において発生する転写用磁界の強度を調整するようにしてもよい。その場合には、たとえば、磁界印加部２０，２２として電磁石を利用するようにする場合には、電磁石に流す電流を制御する磁界強度調整手段（図示省略）を設けるようにすればよい。なお、電流の調整については手動で行うようにしてもよいし、自動的に行うようにしてもよい。自動的に行う場合には、たとえば、ホルダ部１０と磁界印加部２０，２２とのＺ方向についての距離を示す情報と電磁石に流す電流値とを対応付けたテーブルを磁界強度調整手段に設定しておき、上記距離を示す情報をセンサなどにより検出して取得し、その取得された距離を示す情報に基づいて上記テーブルを参照して電流値を求め、その電流値を流すように制御するようにすればよい。また、磁界印加部２０，２２として永久磁石を用いる場合には、その永久磁石を交換して転写用磁界の強度を調整するようにしてもよい。なお、転写用磁界の強度については、磁気転写を行うのに必要な強度の閾値程度の磁界が転写領域に印加されるように調整するようにすればよく、たとえば、０．６Ｈｃ〜１．３Ｈｃ程度の強度とすることが望ましい。
【００６７】
具体的には、たとえば、上記のようにしてＺ方向についてのホルダ部１０と磁界印加部２０，２２との距離を短くした場合、図６に示すように、転写領域における磁界の強度が破線部分まで大きくなってしまう場合があるが、このような場合に、上記のように磁界の強度を調整すれば、転写領域に上記のような無駄な強度の磁界を印加することなく、適切な強度の磁界を印加することができる。
【００６８】
そして、さらに、磁界印加部２０のＮ極部２０ａおよびＳ極部２０ｂが磁石移動機構部２１により矢印Ｙ方向に移動させられるとともに、磁界印加手段２２のＮ極部２２ａおよびＳ極部２２ｂが磁石移動機構部２３により矢印Ｙ方向に移動させられる。Ｎ極部２０ａ,２２ａとＳ極部２０ｂ,２２ｂとの間隔は、Ｚ方向についてのホルダ部１０と磁界印加部２０，２２との距離が短いほど、狭くなるように調整する。上記のように調整することにより図４（Ａ）（Ｂ）に示すように、被転写体２の転写面（図４（Ａ），（Ｂ）に示す点線部分）近傍において常に水平な磁界を形成することができる。なお、図４（Ａ），（Ｂ）においては、Ｄ２＜Ｄ１、Ｌ２＜Ｌ１である。
【００６９】
なお、本実施形態においては、被転写体２の非転写領域の大きさに応じてＺ方向についてのホルダ部１０と磁界印加部２０，２２との距離を調整し、その調整された距離に応じてＮ極部２０ａ,２２ａとＳ極部２０ｂ,２２ｂとの間隔を調整するようにしたが、これに限らず、たとえば、厚さの異なる被転写体２に磁気転写を行うような場合において、Ｚ方向についてのホルダ部１０と磁界印加部２０，２２との距離が短いほど、上記間隔が狭くするように調整を行うようにしてもよい。
【００７０】
また、上記のようなＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の移動は手動により行うようにしてもよいし、自動的に行うようにしてもよい。自動的に行う場合には、たとえば、被転写体２の非転写領域の大きさと上記Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向への移動量を対応付けたテーブルを、磁界印加手段移動機構部５０、固定部材２４および磁石移動機構部２１,２３を制御する制御部（図示省略）に設定しておき、被転写体２の非転写領域の大きさをセンサやバーコードなどにより自動検出するか、または、ユーザーにより入力装置などによって入力するなどして取得し、その取得された被転写体２の非転写領域の大きさに応じた移動量をテーブルを参照して求め、その求められた移動量に応じてＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向への移動を行うようにすればよい。また、一般的に被転写体２と非転写領域の大きさとの関係は比例関係にあるので、非転写領域の大きさではなく、被転写体２の大きさに基づいて移動量を求めるようにしてもよい。
【００７１】
なお、本実施形態においては、上記のようにＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の３方向についての移動を行うようにしたが、これらのうち少なくとも１つの方向についての移動を行うようにしてもよい。また、一部の方向についての移動を自動的に行い、その他の方向についての移動ついては手動で行うようにしてもよい。
【００７２】
そして、上記のようなＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の移動を行った後、ホルダ部１０を回転させつつ磁界印加部２０,２２によって転写用磁界を印加することにより転写用原盤３，４の全体に転写用磁界を印加し、転写用原盤３，４の転写パターンに応じた磁化パターンを被転写体２の磁気記録層に転写記録する。
【００７３】
なお、本実施形態においては、転写用原盤３,４として、図５（Ｂ）に示すような、転写情報に応じた微細な凹凸パターンを有する金属製等の基板３ａと、その表面形状に沿って積層された磁性層３ｂとを備えたものが利用される。
【００７４】
そして、磁気記録媒体の製造においては、まず、図５（Ａ）に示すように、予め被転写体２に対して、周方向（トラック方向）に磁界Ｈｉｎを印加し、磁気記録層を初期磁化させる。この状態で図５（Ｂ）に示すように、被転写体２を転写用原盤３に対峙密着させ、初期磁化の方向と反対方向に転写用磁界Ｈｄｕを印加する。この際、転写用磁界Ｈｄｕは、転写用原盤３において、被転写体２と密着した磁性層３ｂの凸部にのみ選択的に吸い込まれる。その結果、被転写体２の磁気記録層では、上記凸部に密着した部分の初期磁化は反転せず、その他の部分の初期磁化は反転し、転写用原盤３の転写情報が被転写体２に転写される。なお、上記説明においては一方の転写用原盤３側の磁気転写について説明したが、他方の転写用原盤４側における作用についても同様である。
【００７５】
そして、上記のような磁気転写後には、真空ポンプによる吸引を停止し、内部空間６を大気圧に開放すると共に、押圧チャンバー１２をベースチャンバー１１から離間作動させ、密着力を解放する。被転写体２は、ホルダ部１０より取り出されて次工程に搬出され、新たな被転写体２が搬入セットされて、同様の磁気転写処理が繰り返される。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の磁気転写装置の一実施形態の概略構成を示す外観斜視図
【図２】図１に示す磁気転写装置におけるホルダ部の断面図
【図３】図２に示すホルダ部の内面の平面図
【図４】図１に示す磁気転写装置における作用を説明するための図
【図５】図１に示す磁気転写装置による磁気転写の作用を説明するため図
【図６】図１に示す磁気転写装置における作用を説明するための図
【図７】従来の磁気転写装置の概略構成を示す外観斜視図
【符号の説明】
【００７７】
１    磁気転写装置
２    被転写体
３，４転写用原盤
９    弾性材
１０    ホルダ部
１０ａ    平坦剛性板
１１    押圧チャンバー
１２    ベースチャンバー
２０，２２    磁気印加部
２１，２３    磁石移動機構部
２４，２５    固定部材
３０    支柱
４０    固定台
５０    磁界印加手段移動機構部
【図１】
2006107592.tif 000003
【図２】
2006107592.tif 000004
【図３】
2006107592.tif 000005
【図４】
2006107592.tif 000006
【図５】
2006107592.tif 000007
【図６】
2006107592.tif 000008
【図７】
2006107592.tif 000009