(57)【要約】      （修正有）【課題】ハンド上に保持されたガラス基板の位置を測定する光学測定手段を固定部に設置できるようにしたガラス基板収納装置を提供する。【解決手段】マガジンに対してハンドが進退移動する途中の固定位置に、前記ハンド上のガラス基板１２の位置を測定する光学測定手段３５を配設し、前記ハンドが所定距離進退移動された際の前記光学測定手段３５の測定信号に基づいて前記ハンド上のガラス基板１２の傾き量（θ）を演算する傾き量演算手段を設け、該傾き量演算手段によって演算されたガラス基板１２の傾きを矯正するように、旋回手段を制御する傾き矯正手段を備えた。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を保持してマガジンに対し進退移動可能なハンドと、該ハンドを進退移動する進退移動手段と、前記ハンドを旋回する旋回手段とを備えた搬送用ロボットにより、ガラス基板をマガジンに収納するようにしたガラス基板収納装置において、前記マガジンに対してハンドが進退移動する途中の固定位置に、前記ハンド上のガラス基板の位置を測定する光学測定手段を配設し、前記ハンドが所定距離進退移動された際の前記光学測定手段の測定信号に基づいて前記ハンド上のガラス基板の傾き量を演算する傾き量演算手段を設け、該傾き量演算手段による演算結果に基づいてガラス基板の傾きを矯正するように前記旋回手段を制御する傾き矯正手段を備えたことを特徴とするガラス基板収納装置。
【請求項２】
請求項１において、前記光学測定手段は、前記ハンドの進退移動方向に対して直交する方向に平行光をもつように構成され、該平行光の一部が前記ハンド上のガラス基板の側縁によって遮られることに基づいてガラス基板の側縁の位置を測定することを特徴とするガラス基板収納装置。
【請求項３】
請求項１において、前記ハンドは、ガラス基板を吸着保持する吸着保持手段を備えていることを特徴とするガラス基板収納装置。
【請求項４】
ガラス基板を保持してマガジンに対して進退移動可能なハンドと、該ハンドを進退移動する進退移動手段と、前記ハンドを旋回する旋回手段とを備えた搬送用ロボットにより、ガラス基板をマガジンに収納するようにしたガラス基板収納装置において、前記マガジンに対してハンドが進退移動する途中の固定位置に、前記ハンド上のガラス基板の位置を測定する光学測定手段を配設し、該光学測定手段による測定によって前記ハンド上のガラス基板の位置が前記マガジンに干渉すると判断された場合には、それ以降のハンドの進退移動を停止させる進退移動停止手段を備えたことを特徴とするガラス基板収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送用ロボットを用いて、液晶パネル等のガラス基板をマガジンに収納するためのガラス基板収納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
搬送用ロボットを用いて、液晶パネル等のガラス基板をマガジンに収納するガラス基板収納装置においては、ガラス基板を上下方向に多数収納する収納棚を備えたマガジンが用意され、このマガジンより搬送用ロボットによってガラス基板を１枚ずつ取り出して製造プロセス装置等に送り込み、製造プロセス装置等において必要な処理を施されたガラス基板を、搬送用ロボットによって元のマガジン、あるいは別のマガジンに収納するようになっている。
【０００３】
この種のガラス基板収納装置においては、マガジンから取り出されたガラス基板は、水平面内で所定角度旋回された後、製造プロセス装置等に送り込まれ、また、製造プロセス装置等により必要な処理を施されたガラス基板は、製造プロセス装置等より取り出された後、旋回されてマガジン側に向けられ、マガジンに収納されるようになる。この際、ロボットハンドに対するガラス基板の保持状態によっては、旋回時に稀にロボットハンドに対してガラス基板が位置ずれを生ずる場合がある。この場合、ロボットハンドの進退方向の多少の位置ずれはさして問題にならないが、進退方向に直交する方向に位置ずれを生じた状態で、ガラス基板がマガジンに収納されると、ガラス基板のエッジ部がマガジンの収納棚等に接触して破損する恐れがある。
【０００４】
従来、搬送中のガラス基板の位置ずれを検出して、その位置ずれを矯正するものとして、特許文献１に記載されたものが知られている。かかる特許文献１に記載されたものは、ガラス基板を支持するロボットハンドにガラス基板の位置を検出する複数のセンサを設け、これらセンサからの信号に基づいてガラス基板の傾き等を検出するようになっている。
【特許文献１】特開平１０−３３８３４６号公報（段落００１３、００１４、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した従来のものにおいては、ロボットハンドにセンサを設けた構成であるので、ロボットハンド上のガラス基板の位置ずれを検出するには、最低でも３個のセンサが必要となり、ロボットハンドの軽量化の妨げとなるばかりか、コスト高となり、加えて、可動部への配線の取り回しが厄介となる問題がある。
【０００６】
また、この種のガラス基板収納装置においては、ガラス基板を収容するマガジンの収納棚の上下ピッチを、例えば１０ｍｍ程度と狭くする必要があるが、ロボットハンドにセンサを設けたものでは、センサ及びその配線によって、収納棚の上下ピッチを小さくする上での制約となる問題がある。
【０００７】
本発明は、上記した従来の不具合を解消するためになされたもので、ハンドに対するガラス基板の位置を測定する光学測定手段を、固定部に設置できるようにしたガラス基板収納装置を提供せんとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明に係るガラス基板収納装置の構成上の特徴は、ガラス基板を保持してマガジンに対し進退移動可能なハンドと、該ハンドを進退移動する進退移動手段と、前記ハンドを旋回する旋回手段とを備えた搬送用ロボットにより、ガラス基板をマガジンに収納するようにしたガラス基板収納装置において、前記マガジンに対してハンドが進退移動する途中の固定位置に、前記ハンド上のガラス基板の位置を測定する光学測定手段を配設し、前記ハンドが所定距離進退移動された際の前記光学測定手段の測定信号に基づいて前記ハンド上のガラス基板の傾き量を演算する傾き量演算手段を設け、該傾き量演算手段による演算結果に基づいてガラス基板の傾きを矯正するように前記旋回手段を制御する傾き矯正手段を備えたことである。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明に係るガラス基板収納装置の構成上の特徴は、請求項１において、前記光学測定手段は、前記ハンドの進退移動方向に対して直交する方向に平行光をもつように構成され、該平行光の一部が前記ハンド上のガラス基板の側縁によって遮られることに基づいてガラス基板の側縁の位置を測定することである。
【００１０】
請求項３に記載の発明に係るガラス基板収納装置の構成上の特徴は、請求項１において、前記ハンドは、ガラス基板を吸着保持する吸着保持手段を備えていることである。
【００１１】
さらに、請求項４に記載の発明に係るガラス基板収納装置の構成上の特徴は、ガラス基板を保持してマガジンに対して進退移動可能なハンドと、該ハンドを進退移動する進退移動手段と、前記ハンドを旋回する旋回手段とを備えた搬送用ロボットにより、ガラス基板をマガジンに収納するようにしたガラス基板収納装置において、前記マガジンに対してハンドが進退移動する途中の固定位置に、前記ハンド上のガラス基板の位置を測定する光学測定手段を配設し、該光学測定手段による測定によって前記ハンド上のガラス基板の位置が前記マガジンに干渉すると判断された場合には、それ以降のハンドの進退移動を停止させる進退移動停止手段を備えたことである。
【発明の効果】
【００１２】
上記のように構成した請求項１に係るガラス基板収納装置によれば、マガジンに対してハンドが進退移動する途中の固定位置に、ハンド上のガラス基板の位置を測定する光学測定手段を配設した構成であるので、ハンドに測定手段（センサ）を設ける場合に比して、配線の取り回しが不要となる等によって、ハンドの構成を簡素することができ、ハンドの軽量化および小形化を容易に実現できる効果がある。
【００１３】
上記のように構成した請求項２に係るガラス基板収納装置によれば、光学測定手段を、ハンドの進退移動方向に対して直交する方向に平行光をもつように構成したので、一組の光学測定手段によって、ハンドの進退移動方向に対して直交する方向のガラス基板の位置ずれを容易に測定できる効果がある。
【００１４】
上記のように構成した請求項３に係るガラス基板収納装置によれば、ハンドに、ガラス基板を吸着保持する吸着保持手段を備えたので、搬送用ロボットによる搬送中、ガラス基板は吸着保持手によってハンド上に安定的に保持され、位置ずれを起こしにくい効果がある。
【００１５】
上記のように構成した請求項４に係るガラス基板収納装置によれば、光学測定手段による測定によってハンド上のガラス基板の位置がマガジンに干渉すると判断された場合には、それ以降のハンドの進退移動を停止させる進退移動停止手段を備えた構成であるので、マガジンとの接触によるガラス基板の破損を、簡単にして確実に回避でき、しかも、異常状態を作業者に報知するようにすれば、ガラス基板がハンド上に傾いて保持される原因を究明すること等が可能となる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１および図２において、１０はガラス基板搬送用ロボット、１１は液晶パネル等のガラス基板１２を上下方向に多数収納する収納棚を備えたマガジンを示す。搬送用ロボット１０は、一例として、４つの自由度を有する直交座標形からなり、その固定フレーム１３には、スライドテーブル１４がＹ軸方向に水平移動可能に装架され、固定フレーム１３に設置されたＹ軸サーボモータ１５によりボールねじ機構を介して移動制御されるようになっている。スライドテーブル１４には昇降ブロック１６がＺ軸方向に上下移動可能に装架され、スライドテーブル１４に設置されたＺ軸サーボモータ１７によりボールねじ機構を介して移動制御されるようになっている。昇降ブロック１６には旋回軸１８が鉛直軸線の回りに回動可能に支持され、昇降ブロック１６に設置されたθ軸サーボモータ１９により減速機を介して回動されるようになっている。
【００１７】
前記旋回軸１８上には、旋回台２０が設置されている。旋回台２０上には、ハンド２１がＸ軸方向に水平移動可能に装架され、旋回台２０に設置されたＸ軸サーボモータ２２によりボールねじ機構を介して移動制御されるようになっている。旋回台２０上には、Ｘ軸方向に沿ってガイドレール３１が設置され、このガイドレール３１に前記ハンド２１がＸ軸方向にスライド可能に案内されている。ハンド２１はマガジン１１の収納棚に進入できるように薄肉で扁平状の板材からなり、このハンド２１の上面にガラス基板１２を真空吸着によって保持する複数の吸着保持手段３２が所定の間隔を存して配設されている。
【００１８】
前記Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、およびθ軸サーボモータ２２、１５、１７、１９は、図３に示すように、サーボＣＰＵ２３を介してロボットコントローラ２４に接続されている。各軸サーボモータ２２、１５、１７、１９には、エンコーダ２５、２６、２７、２８がそれぞれ接続され、各軸のモータ回転量がサーボＣＰＵ２３にフィードバックされる。これにより、前記ハンド２１は、予めプログラムされたＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸およびθ軸の目標位置に位置決め制御されるようになる。
【００１９】
なお、請求項１における進退移動手段は、上記したＸ軸サーボモータ２２、ボールねじ機構、およびエンコーダ２５等によって構成され、また旋回手段は、上記したθ軸サーボモータ１９、減速機、およびエンコーダ２８等によって構成されている。
【００２０】
上記した構成の搬送ロボット１０を用いて、図略の製造プロセス装置にて所定の処理が完了したガラス基板１２を、マガジン１１の所定の収納棚に収納する際は、製造プロセス装置に備えられたピックアップ装置により、ガラス基板１２をハンド２１上に移載させ、ガラス基板１２を複数の吸着保持手段３２によってハンド２１上に吸着保持させる。その状態で、搬送用ロボット１０の旋回台２０が前記旋回手段によって所定角度（例えば１８０°）旋回され、ハンド２１上に吸着保持されたガラス基板１２を、マガジン１１の収納棚に対向させる。しかる後、前記進退移動手段によってハンド２１がＸ軸方向に所定量前進され、ガラス基板１２を所定の収納棚の上方位置まで進入させる。続いて、吸着保持手段３２による吸着を解くとともに、ハンド２１をＺ軸方向に僅かな量だけ下降させることにより、ガラス基板１２がハンド２１上よりマガジン１１の所定の収納棚上に受け渡される。その後、ハンド２１がＸ軸方向に所定量後退され、マガジン１１より離脱される。
【００２１】
前記マガジン１１に対してハンド２１が進退移動する途中の固定部、例えば前記固定フレーム１３上には、支持フレーム３４が立設され、この支持フレーム３４の上端に、ハンド２１上のガラス基板１２の側縁位置を測定する光学測定手段３５が配設されている。かかる光学測定手段３５は、ハンド２１の進退移動方向に直交する方向に帯状に延びる平行光を有するレーザ光と、このレーザ光を受光する受光センサからなり、ガラス基板１２の側縁部によってレーザ光の一部が遮られると、遮られた残りの受光量に応じた電気信号を出力する。すなわち、光学測定手段３５は、レーザ光を部分的に遮光したときの遮光位置が、装置原点からどれだけの位置にあるかを予め測定されており、実際にガラス基板１２の側縁位置を測定した際の装置原点に対する測定値の差分と分解能（単位測定値当たりの距離）に基づいて、ガラス基板１２の側縁位置を求めることができるようになっている。
【００２２】
次に、前記光学測定手段３５を用いて、ハンド２１上のガラス基板１２の位置ずれを測定する手法について、図４に基づいて説明する。なお、以下においては、ガラス基板１２は初期状態において、ハンド２１上に実線Ａで示す姿勢に保持されているものとする。
【００２３】
ハンド２１を原位置（後退端位置）Ｐ０よりマガジン１１に向かってＸ軸方向に所定量だけ前進移動させた第１測定点Ｐ１と、さらにハンド２１がＸ軸方向に設定量（ΔＸ）だけ前進した第２測定点Ｐ２において、ハンド２１上のガラス基板１２の側縁位置を光学測定手段３５によってそれぞれ測定する。第１および第２測定点Ｐ１、Ｐ２におけるガラス基板１２を、２点鎖線I、IIでそれぞれ示す。図４においては、理解を容易にするために、恰も光学測定手段３５が設定量（ΔＸ）だけＸ軸方向に移動したか如き状態を表している。
【００２４】
前記第１および第２測定点Ｐ１、Ｐ２における光学測定手段３５の測定信号を、それぞれＳ１、Ｓ２とすると、その２つの測定信号の差ΔＳ（ΔＳ＝Ｓ１−Ｓ２）に基づいて、前記２点間におけるガラス基板１２の側縁位置のＹ軸方向のずれ量ΔＹを演算することができる。従って、前記２点間のＸ軸方向の距離ΔＸと、前記２点間におけるガラス基板１２の側縁位置のＹ軸方向のずれ量ΔＹとに基づいて、ハンド２１上のガラス基板１２の傾きを後述するようにして求めることができる。
【００２５】
このように、光学測定手段３５を固定位置に配設したことにより、ハンド２１の進退移動を利用して、ガラス基板１２の複数点を一組の光学測定手段３５によって測定できるようになる。
【００２６】
この場合、前記第１測定点Ｐ１あるいは第２測定点Ｐ２において、光学測定手段３５の平行光がガラス基板１２によって全く遮られなかったり、あるいは全部遮られたような場合は、ガラス基板１２のＹ軸方向のずれ量ΔＹを演算することができない位置にガラス基板１２が存在しているため、異常として処理する。
【００２７】
次に、図５のフロー図に基づいて、ハンド２１上のガラス基板１２の位置ずれを補正する動作について説明する。
【００２８】
図４に示すように、ハンド２１は、図略の製造プロセス装置から取り出されたガラス基板１２を保持して、マガジン１１の定められた収納棚に向かってＸ軸方向に進退移動される。ハンド２１の進退移動量はエンコーダ２５にて検出されるため、第１測定点Ｐ１、およびこの第１測定点Ｐ１よりＸ軸方向に一定量（ΔＸ）だけ離間した第２測定点Ｐ２において、光学測定手段３５の測定信号Ｓ１、Ｓ２がそれぞれ取り込まれ、ロボットコントローラ２４の所定の記憶エリアに記憶される。かかる光学測定手段３５の測定信号Ｓ１、Ｓ２に基づいて、ハンド２１上のガラス基板１２の側縁位置をそれぞれ測定できる。そして、ハンド２１が第２の測定位置Ｐ２に到着すると、ハンド２１の進退移動は一旦停止され、以下に述べるように、ハンド２１上のガラス基板１２の位置ずれを補正する必要があるか否かが判断される。
【００２９】
すなわち、まず、図５のステップ１０１において、前述したようにして測定された第１および第２測定点Ｐ１、Ｐ２における光学測定手段３５の測定信号Ｓ１、Ｓ２がそれぞれ読み込まれる。続いて、ステップ１０３において、測定信号Ｓ１の値が、設定値Ａより大きくかつ設定値Ｂより小さい所定範囲にあるか否かが判断される。同様に、ステップ１０５において、測定信号Ｓ２の値が、設定値Ａより大きくかつ設定値Ｂより小さい所定範囲にあるか否かが判断される。ここで、設定値Ａは、例えば光学測定手段３５で測定可能な最小値に、また設定値Ｂは、最大値に設定されている。上記したステップ１０３、１０５の少なくとも一方において、測定信号Ｓ１、Ｓ２の値が所定範囲にないと判断された場合（判断結果が「Ｎ」）は、光学測定手段３５の平行光がガラス基板１２によって全部遮られたか、あるいは逆に全く遮られなかったかの異常状態にあり、このような場合には、ガラス基板１２のＹ軸方向のずれ量ΔＹを演算することができない位置にガラス基板１２が存在しているので、ステップ１０７に移行し、異常信号を出力して補正動作を終了する。
【００３０】
しかしながら、通常、ハンド２１上のガラス基板１２の側縁位置の位置ずれ量は、光学測定手段３５の平行光の一部を遮る程度の範囲に止まるのが普通であるので、前記ステップ１０３、１０５における条件が満足（判断結果が「Ｙ」）されて、ステップ１０９に移行する。
【００３１】
ステップ１０９においては、前記測定信号Ｓ１、Ｓ２に基づいて、前記第１および第２測定点Ｐ１、Ｐ２におけるガラス基板１２の側縁のＹ軸方向の位置Ｙ１、Ｙ２がそれぞれ求められるとともに、両側縁位置Ｙ１、Ｙ２のＹ軸方向のずれ量ΔＹ（ΔＹ＝Ｙ１−Ｙ２）が求められる。次いでステップ１１１において、ハンド２１上のガラス基板１２の傾き角度θが、次式に基づいて演算される。
【００３２】
θ＝ｔａｎ（ΔＸ／ΔＹ）
【００３３】
すなわち、ハンド２１が第１測定点Ｐ１から第２測定点Ｐ２まで設定量ΔＸ（ΔＸ＝Ｐ１−Ｐ２）だけ移動する間の、ガラス基板１２の側縁位置のＹ軸方向のずれ量ΔＹより、ハンド２１上のガラス基板１２の傾き角度θが演算される。この場合、Ｙ軸方向のずれ量ΔＹが正の値をとるか、負の値をとるかによってガラス基板１２がどちらの方向に傾いているかを判別できる。上記したステップ１１１により、請求項１における傾き量演算手段を構成している。
【００３４】
続くステップ１１３においては、傾き角度θが許容値Ｃより小さいか否かが判断され、傾き角度θが許容値Ｃより小さいと判断（判断結果が「Ｙ」）された場合には、傾き補正の必要がないとしてステップ１１５に移行される。一方、ステップ１１３において、傾き角度θが許容値Ｃより大きいと判断（判断結果が「Ｎ」）された場合には、ステップ１１７に移行して後述する位置補正サイクルが実行される。ここで、許容値Ｃは、ガラス基板１２がマガジン１１の収納棚に接触することがない微小角度に設定されている。
【００３５】
ステップ１１５においては、ステップ１０９で求められたＹ軸方向の位置Ｙ１（Ｙ２）が許容値Ｄより小さいか否かが判断され、許容値Ｄより小さいと判断（判断結果が「Ｙ」）された場合には、ガラス基板１２の位置を補正する必要がないものとしてステップ１１９に移行される。そして、ステップ１１９において、ハンド２１の前進が指令され、ハンド２１は前記第２測定点Ｐ２よりマガジン１１に向かって前進端位置まで前進される。ここで、許容値Ｄは、ガラス基板１２がマガジン１１の収納棚に接触することがない微小量に設定されている。
【００３６】
このようにして、ハンド２１の前進により、ガラス基板１２はマガジン１１の所定の収納棚に収納されるようになるが、ガラス基板１２の収納は、ハンド２１上のガラス基板１２の傾き角度θも、またＹ軸方向のずれ量ΔＹも許容誤差範囲内にある条件下で行われるので、ガラス基板１２のエッジ部がマガジン１１の収納棚に接触することなく行い得るようになり、ガラス基板１２のエッジ部がマガジン１１の収納棚に接触することによるガラス基板１２の破損を確実に防止できる。一方、ステップ１１５において、Ｙ軸方向の位置Ｙ１（Ｙ２）が許容値Ｄより大きいと判断（判断結果が「Ｎ」）された場合には、前記ステップ１１７に移行して後述する位置補正サイクルが実行される。
【００３７】
かかる位置補正サイクルの１つの機能は、ロボット１０の旋回軸１８を前記旋回手段によって、前記ステップ１１１で演算された傾き角度θだけ旋回し、ハンド２１上のガラス基板１２の角度姿勢を矯正する動作からなる。これによりガラス基板１２は、図４の２点鎖線IIIに示すように、その側縁がＸ軸方向に平行となる角度姿勢に矯正される。しかしながら、旋回軸１８の旋回に伴い、ガラス基板１２はＹ軸方向の正規の位置に対して、Ｙ軸方向にＹ０量だけずれを生ずることになる。従って、前記位置補正サイクルのもう１つの機能は、前記旋回軸１８の旋回に伴ってガラス基板１２がＹ軸方向にずれた量（Ｙ０）だけ、搬送用ロボット１０のＹ軸サーボモータ１５を駆動して旋回台１８をＹ軸方向に修正移動させ、ガラス基板１２のＹ軸方向の中心をマガジン１１の収納棚の中心に一致するように芯出しする動作からなる。これによって、ハンド２１上のガラス基板１２は、図４の実線Ｂに示す正規の角度位置およびＹ軸方向の中心に位置決めされることになる。上記したステップ１１７により、請求項１における傾き矯正手段を構成している。
【００３８】
このようにして、位置補正サイクルが完了すると、前記ステップ１１９に移行し、前述したように、ハンド２１の前進が指令される。この場合においても、ガラス基板１２は傾き角度θ等を補正されているので、マガジン１１に接触することなく所定の収納棚にスムーズに収納される。
【００３９】
なお、上記したガラス基板１２の位置ずれ補正動作においては、ハンド２１を第２測定点Ｐ２に位置決めした状態で、旋回軸１８を旋回させるようにしたため、ハンド２１上に保持されたガラス基板１２の旋回半径が大きくなり、旋回に伴ってＹ軸方向の移動量も大きくなる。従って、旋回軸１８を傾き角度θ旋回させるに先立って、ハンド２１を一旦Ｘ軸方向の後退端位置Ｐ０に復帰させ、その後退端位置Ｐ０において、前述したようにハンド２１を傾き角度θだけ旋回させるようにすれば、図４の２点鎖線IVに示すように、ハンド２１の旋回に伴うガラス基板１２のＹ軸方向の移動量を極力少なくすることができる。これにより、ハンド２１の旋回の後に、ガラス基板１２をＹ軸方向に芯出しする動作を不要にすることもできるようになる。その後、ハンド２１をＸ軸方向の後退端位置から前進端位置まで前進させ、ガラス基板１２をマガジン１１の収納棚に収納する。
【００４０】
図６は、本発明の別の実施形態を示すフロー図で、図５のフロー図と異なる点は、ハンド２１上のガラス基板１２が許容誤差を越えて傾いていた場合には、何らかの異常が発生しているものとして、それ以上のハンド２１の進退移動を停止し、作業者に異常状態を報知するようにしたものである。
【００４１】
すなわち、前述したように、ステップ１１３において、傾き角度θが前記許容値Ｃより大きいと判断された場合、もしくは、ステップ１１５において、Ｙ軸方向の位置Ｙ１（Ｙ２）が前記許容値Ｄより大きいと判断された場合には、直ちに位置補正サイクルを実行することなく、ステップ１２１において、ハンド２１のそれ以上の進退移動を停止するとともに、ステップ１２３において、作業者に異常状態を報知する。なお、その他の点は、上記の実施の形態と同じであるので、説明は省略し、共通部分については同一符号を付すに止める。
【００４２】
この実施の形態によれば、ガラス基板１２がハンド２１上に傾いて保持されているような場合には、マガジン１１への収納を取り止めるようにしたので、上記した実施の形態と同様に、ガラス基板１２がマガジン１１に接触することを確実に防止できることは勿論、異常状態を作業者に報知することにより、ガラス基板１２がハンド２１上に傾いて保持される原因の究明を促すことが可能となる。これにより、旋回軸１８の旋回速度を低減させる等の適切な処置を施すことが可能となる。なお、上記したステップ１２１により、請求項４における進退移動停止手段を構成している。
【００４３】
上記した実施の形態においては、光学測定手段３５を平行光をもつレーザ光によって構成した例について述べたが、光学測定手段３５はハンド２１上のガラス基板１２の位置ずれを測定できるものであれば、特にその構成を限定されるものでないことは勿論であり、例えば、ハンド２１の進退移動方向に対して直交する方向に多数のスポット状のレーザ光を照射し、これらレーザ光を同方向に配列した多数のＣＣＤカメラによって検出する方式も採り得るものである。
【００４４】
また、上記した実施の形態においては、光学測定手段３５でガラス基板１２の側縁位置を測定する第１測定点Ｐ１および第２測定点Ｐ２を、それぞれハンド２１のＸ軸方向の前進途中に定めた例について説明したが、第１測定点Ｐ１は、ハンド２１がマガジン１１側に向いた角度に旋回された原位置Ｐ０を第１測定点Ｐ１とし、それより設定量ΔＸだけ前進した位置を第２測定点Ｐ２としてもよい。
【００４５】
さらに、上記した実施の形態においては、ガラス基板１２の側縁位置を、Ｘ軸方向に設定量ΔＸだけ離間した第１および第２測定点の２点で測定して、ガラス基板１２の傾き角度θを求めるようにした例について述べたが、２点での測定には必ずしも限定されるものではなく、ガラス基板１２が通過する多数の点のデータからガラス基板１２の側縁位置を測定し、傾き角度θを求めることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施の形態を示す搬送用ロボットを用いたガラス基板収納装置の全体を示す概要図である。
【図２】図１のＡ方向から見たハンドの上面図である。
【図３】搬送用ロボットの制御装置を示すブロック図である。
【図４】ガラス基板の位置ずれを測定する手法を説明するための図である。
【図５】ガラス基板の位置ずれを補正する動作を示すフロー図である。
【図６】ガラス基板の位置ずれを補正する別の動作を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０…搬送用ロボット、１１…マガジン、１２…ガラス基板、１８…旋回軸、２１…ハンド、３２…吸着保持手段、３５…光学測定手段、Ｐ１、Ｐ２…測定点、Ｓ１、Ｓ２…測定信号、θ…傾き角度。
【図１】
2006089156.tif 000003
【図２】
2006089156.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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