(57)【要約】【課題】被測定物に確実に容易に接触し得るようにした測定用プローブ（接点）を提供する。【解決手段】バネ性を有する金属から形成した細長く薄い金属板を、基部から上方に折り曲げ、折り曲げた起立部から前記基部方向に折り曲げ折り返えすことにより、略Ｕ字状の折り返し部を形成してプローブに弾性を付与させた。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バネ性を有する細長く薄い金属板を、基部から上方に折り曲げ、折り曲げた起立部から前記基部方向に折り曲げ折り返えすことにより、略Ｕ字状の折り返し部を形成して弾性を付与させたことを特徴とする測定用プローブ。
【請求項２】
前記略Ｕ字状の折り返し部よりも、前記基部を長く形成し、該折り返し部が凸起部となるように構成してなる請求項１記載のプローブ。
【請求項３】
前記金属が金合金である請求項１又は２記載のプローブ。
【請求項４】
前記略Ｕ字状の折り返し部を、前記起立部に接触する部位から更に基板方向に折曲して、第２の略Ｕ字状の折り返し部を形成してなる請求項１〜３のいずれか１項記載のプローブ。
【請求項５】
前記基部の長さを、前記折り返し部よりも長く形成し、該長く形成した部位に前記第２の略Ｕ字状の折り返し部先端を接触させてなる請求項４記載のプローブ。
【請求項６】
前記金合金が、金―ニッケル合金である請求項３〜５のいずれか１項記載のプローブ。
【請求項７】
前記プローブが高周波チップデバイス測定用である請求項２〜５のいずれか１項記載のプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、高周波チップデバイス測定用に適した測定用プローブ（接点）に係り、詳記すれば、被測定物との当接面に弾性を付与させた測定用プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
高周波チップデバイス検査用、特にコンデンサーのフィルター検査用として、基板に多数の薄板状プローブ（接点）を固定し、このプローブを被測定物に当てて検査する測定用プローブは従来から公知である。
【０００３】
この種従来の測定用プローブは、薄板状の銅合金に金メッキしたものが使用されていたが、被測定物当接面は金メッキの弾性が多少あるにすぎず、弾性は殆どない平坦なものであった。そのため被測定物に接触しないプローブが生じるので、強く接触させなければならなかったが、強く接触させて、多数回測定するとメッキがはがれて銅合金の面が露出する問題があった。このように銅合金の面が露出すると酸化されるので、正確に測定し得ない問題が生じる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明は、このような点に着目してなされたものであり、請求項１記載の発明は、被測定物に確実に容易に接触し得るようにした測定用プローブを提供することを目的とする。
【０００５】
また、請求項２記載の発明は、上記目的に加えて、全てのプローブを被測定物に容易に確実に接触し得るようにした測定用プローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的に沿う本発明のうち請求項１記載の発明は、バネ性を有する細長く薄い金属板を、基部から上方に折り曲げ、折り曲げた起立部から前記基部方向に折り曲げ折り返えすことにより、略Ｕ字状の折り返し部を形成して弾性を付与させたことを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２記載の発明は、前記略Ｕ字状の折り返し部よりも、前記基板を長く形成したことを特徴とする。
【０００８】
要するに本発明は、従来バネ性のなかった測定用プローブにバネ性を付与させることによって、被測定物に確実に容易に接触し得るようにしたことを要旨とするものである。また、バネ性を有する部分を平坦な部分より凸起するように形成することによって、バネ性を有する部分を被測定物に更に当接し易く且つ安定化するようにしたものである。しかして従来、この種プローブ（接点）でバネ性のあるものについても、段差を形成したものについても市販されていないし、このような発想も知られていない。また、プローブが安定化するということは、高周波プローブとしては重要なことであり、不安定に接触したのでは高周波用として使用し得ない。
【発明の効果】
【０００９】
以上述べた如く、請求項１に記載の発明によれば、被測定面当接面が弾性を有するので、基板上の全てのプローブを被測定面に容易に確実に接触させることができる。具体的には従来のプローブの１／１０程度の力で被測定物に当接させることができる。
また、請求項２に記載の発明によれば、被測定面に当たる折曲部は、基部より凸起しているので、従来の平坦なプローブと比べて、全てのプローブを極めて確実に接触させ易くなると共に、安定して接触させることができるので高周波プローブとして極めて好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１１】
図１及び図２は、本発明の一実施例を示すものであり、リボン状金合金薄板の基部１から上方に向けて垂直に折曲し、折り曲げた起立部２先端から基部１の方向に水平に折り曲げ、同水平折曲部３から折り返して第１の略Ｕ字状折曲部４を形成し、同折曲部４を前記起立部２当接部から基部１方向に第２の略Ｕ字状折曲部５を形成するように折曲した例を示す。尚、基部１と第２の略Ｕ字状折曲部先端の当接部６とは、単に接触しているだけである。
【００１２】
また、第２の略Ｕ字状折曲部５と垂直部２とも当接するように形成するのが好ましい。当接するように形成することによって、適度のバネ圧が付与されるからである。
【００１３】
上記実施例においては、略Ｕ字状の折曲部を２個形成し、図２に示すように、折曲部が略Ｂ字状になっているが、略Ｕ字状の折曲部は、１個でも３個でも良い。略Ｕ字状の折曲部を１個とする場合は、起立部２への接触部は、上方に折り曲げると良い。
【００１４】
本発明に使用するバネ性を有する金属としては、好ましくは金合金、特に好ましくは金―ニッケル合金を使用するのが良い。このような合金を使用すれば、従来の金メッキのように金メッキが剥がれて酸化し、使用し得なくなるという問題がなくなるからである。
【００１５】
上記実施例においては、略Ｂ字状折曲部よりも基部１の長さの方が長く形成されている。このように形成することによって、折曲部（略Ｂ字状部）は凸起部となるので、被測定面に接触させ易くなると共に測定用プローブが安定化することから好ましい。
【００１６】
本発明に使用する薄板の厚さは、好ましくは５０〜１００μ、特に好ましくは、６０〜８０μである。また薄板の幅は、０．２〜１．０ｍｍ、特に好ましくは０．３〜０．６ｍｍである。起立部２の高さは、好ましくは、０．２ｍｍ〜１．０ｍｍ特に好ましくは、０．３〜０．６ｍｍである。基部１の長さは、０．５〜１．５ｍｍ、好ましくは、０．６〜１．０ｍｍである。略Ｂ字状の折曲部の長さは、基部１の略中間程度とするのが好ましい。
【００１７】
上記実施例では、薄板の厚さは、７０〜８０μと６０〜７０μの２種類について行った。薄板の巾は０．４ｍｍ、起立部２の高さは、０．３５〜０．４ｍｍ、基部１は０．８ｍｍ、折曲部の長さは０．４ｍｍであった。
【００１８】
本発明においては、線状体を使用しないで薄板を使用しているが、これは上端の水平折曲部３を被測定物に面接触させるためである。線状体を使用したのでは、面接触とはならずに点接触となるから不安定となり、検査の信頼性が損なわれる。
【００１９】
本発明においては、通常は多数のプローブ（接点）の基部１を基板に固定し、折曲部上端水平折曲部３を被測定物に当接させて検査を行う。プローブの使用方法自体は、従来の測定用プローブ（接点）と同様にして行えば良いのは勿論である。本発明のプローブは、高周波チップデバイス検査用、特にコンデンサーのフィルター検査用として使用するのに適している。しかしながら、低周波チップデバイス検査用としても勿論使用することができる。
【００２０】
本発明によれば、この種従来の測定用プローブと異なり、被測定面に当接する方向に弾力性を有するので、多数の測定用プローブを基板に固定し、これを被測定面に当接させても、全てのプローブを容易に確実に被測定物に当接させることができる。しかも従来のように強い力で押圧する必要もないので、プローブ自体の使用寿命も著しく向上する。
【００２１】
また、本発明のプローブを金合金で形成すれば、従来のように金メッキが剥がれて正確に測定し得なくなる等の支障も生じないので、検査の信頼性も飛躍的に向上する。
【００２２】
更に、折曲部よりも基部１を長く形成すれば、折曲部は、基板上で凸起しているので、すべてのプローブの折り曲げ部を被測定面に接触させ易くなる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１・・………薄板の基部
２・・………起立部
３・・………水平折曲部
４・・………第１の略Ｕ字状折曲部
５・・………第２の略Ｕ字状折曲部
６・・………折曲部先端と基部との当接部
【図１】
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【図２】
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