(57)【要約】【課題】高精度で安定に抵抗値を測定できる抵抗測定装置を提供すること。【解決手段】抵抗値を測定する抵抗箔１２を載せる基台１１と、この基台１１に設けた第１および第２ガイドピン１４、１５と、抵抗箔１２に先端１７ａ、１８ａが接触する接触ピン１７、１８と、この接触ピン１７、１８を固定し第１および第２ガイドピン１４、１５に沿って移動可能な支持体１６と、この支持体１６を基台１１方向に押しつけるクランプボルト１９、２０を具備している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
抵抗値を測定する被測定部材を載せる基台と、この基台に設けたガイド部と、前記被測定部材に接触する接触ピンと、この接触ピンを固定し前記ガイド部に沿って移動可能な支持体と、この支持体を前記基台方向に押しつける加圧部とを具備した抵抗測定装置。
【請求項２】
支持体に、ガイド部が通る貫通穴を設けた請求項１記載の抵抗測定装置。
【請求項３】
ガイド部にその内周面にねじ溝を形成した凹部を設け、加圧部が前記ガイド部の凹部にねじ込むボルトである請求項１記載の抵抗測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、抵抗箔などの抵抗値を測定する抵抗測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の抵抗測定装置について図２を参照して説明する。基台２１上に抵抗値を測定する被測定部材たとえば抵抗箔２２が搭載されている。抵抗箔２２はパターン化されている。抵抗箔２２はたとえば絶縁材２３に接合され、絶縁材２３が基台２１上に機械的に固定されている。基台２１上の一部に支持体２４が配置される。支持体２４は基台２１とは独立した構造で、基台２１から自由に移動でき、たとえば矢印Ｙ０方向に移動させ、その自重で基台２１上に載せる。
【０００３】
支持体２４には、２つの接触ピン２５、２６が埋め込まれた形で貫通している。接触ピン２５、２６の一端、たとえば各先端２５ａ、２６ａは基台２１側に垂直に曲がっている。接触ピン２５、２６の他端はリード線２５ｂ、２６ｂに接続している。リード線２５ｂ、２６ｂは、たとえば抵抗値を測定する電子計測器に接続されている。
【０００４】
上記した構成において、抵抗箔２２を基台２１上に配置する。また、支持体２４を矢印Ｙ０方向に移動して基台２１上に配置し、接触ピン２５、２６の先端２５ａ、２６ａを、抵抗箔２２の正しい位置に接触させ、抵抗箔２２の抵抗値を測定する。この測定で、抵抗値が規格内のものは次工程へと送られる。また、抵抗値が規格外のものは抵抗値の調整、たとえばトリミングが行われ、上記した手順で、再度、抵抗値の測定が行われる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の抵抗測定装置は、接触ピン２５、２６にバネ性を持たせ、接触ピン２５、２６の各先端２５ａ、２６ａと抵抗箔２２が良好な接触圧で接触するようにしている。このとき、各先端２５ａ、２６ａは、抵抗箔２２表面に凹凸があると、その凹凸に合わせた形で接触する。
【０００６】
しかし、抵抗値を測定する抵抗箔２２が小さく、先端２５ａ、２６ａどうしの距離が接近するような場合は、径の細い接触ピン２５、２６を使用することになり、接触ピン２５、２６のバネ性が弱くなる。そのため、接触ピン２５、２６の先端２５ａ、２６ａと抵抗箔２２との接触圧が小さくなり、先端２５ａ、２６ａと抵抗箔２２との接触が不安定になる。したがって、微弱な振動などが発生すると測定精度が低下する。たとえば、抵抗箔２２などの抵抗値の調整、いわゆるトリミングなどを行う場合、抵抗値を繰り返し測定すると、抵抗値の再現性が低下する。
【０００７】
本発明は、上記した欠点を解決し、高精度で安定に抵抗値を測定できる抵抗測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の抵抗測定装置は、抵抗値を測定する被測定部材を載せる基台と、この基台に設けたガイド部と、前記被測定部材に接触する接触ピンと、この接触ピンを固定し前記ガイド部に沿って移動可能な支持体と、この支持体を前記基台方向に押しつける加圧部とを具備している。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、接触ピンを被測定部材方向に押しつける加圧部を設けている。したがって、接触ピンの先端と被測定部材の接触が安定化し、抵抗値を高精度に測定できる抵抗測定装置が実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の実施形態について図１を参照して説明する。たとえばステンレスなどの金属製基台１１上に抵抗値を測定する被測定部材、たとえば抵抗箔１２が配置されている。抵抗箔１２はパターン化されている。抵抗箔１２はたとえば絶縁材１３に接合され、絶縁材１３が基台１１と機械的に固定されている。絶縁材１３はポリイミドなど、たとえばクッション性のある材料で形成されている。
【００１１】
基台１１にはガイド部、たとえば第１および第２の２つのガイドピン１４、１５が、絶縁材１３を挟んでその両側に所定間隔に、基台１１面に対してたとえば垂直に固定されている。また、第１ガイドピン１４と第２ガイドピン１５との間を結ぶ形に絶縁性支持体１６が設けられている。
【００１２】
支持体１６は、一端に第１ガイドピン１４が通る第１貫通穴１６ａが設けられ、他端に第２ガイドピン１５が通る第２貫通穴１６ｂが設けられている。支持体１６の中央には２つの接触ピン１７、１８が埋め込まれた形で貫通し固定されている。なお、支持体１６の第１貫通穴１６ａには第１ガイドピン１４が通り、第２貫通穴１６ｂには第２ガイドピン１５が通る構造になっており、支持体１６は、第１ガイドピン１４および第２ガイドピン１５に沿って図の上下方向に自由に移動する。そして、たとえば第１および第２のガイドピン１４、１５に沿って、支持体１６を図の下方、たとえば矢印Ｙ０方向に降下させれば、接触ピン１７、１８の先端１７ａ、１８ａが抵抗箔１２に接触する。また、接触ピン１７、１８の他端にリード線１７ｂ、１８ｂが接続されている。リード線１７ｂ、１８ｂは抵抗値を測定する電子計測器などに接続され、たとえば接触ピン１７、１８の先端１７ａ、１８ａ間に位置する抵抗箔１２の抵抗値が測定される。
【００１３】
また、ガイドピン１４、１５のたとえば上端部に、その内周面にねじ溝を設けた凹部１４ａ、１５ａが形成され、加圧部たとえばクランプボルト１９、２０がガイドピン１３、１４の凹部１４ａ、１５ａに、たとえば矢印Ｙ１、Ｙ２に示す向きにねじ込まれる。
【００１４】
上記した構成において、抵抗箔１２の抵抗値を測定する場合、まず、抵抗箔１２を接合した絶縁材１３を基台１１上に固定する。その後、接触ピン１７、１８を固定した支持体１６を、第１ガイドピン１４および第２ガイドピン１５に沿って矢印Ｙ０方向に下降させ、接触ピン１７、１８の先端１７ａ、１８ａを抵抗箔１２に接触させる。このとき、絶縁材１３にクッション性があるため、接触ピン１７、１８にバネ性がなくても、先端１７ａ、１８ａと抵抗箔１２は確実に密着する。その後、クランプボルト１９、２０を締め付け、接触ピン１７、１８の先端１７ａ、１８ａと抵抗箔１２を所定圧力で接触させる。なお、クランプボルト１９、２０の締付を、トルクレンチなどその締付け圧力を数値管理可能な機器で行えば、所望の圧力でより確実に両者を密着できる。
【００１５】
上記した構成によれば、接触ピン１７、１８の先端１７ａ、１８ａと抵抗箔１２との接触圧力が良好で、かつ一定にできる。したがって、抵抗値の測定が安定化し、測定精度が向上し、抵抗値を繰り返し測定する場合などの再現性が改善する。
【００１６】
なお、上記の抵抗値の測定で、抵抗値が規格内のものは次工程へと送られる。また、抵抗値が規格外のものは抵抗値の調整、たとえばトリミングが行われ、再度、抵抗値の測定が行われる。
【００１７】
たとえば、図２に示した従来方式の場合は、１度目の測定値と２度目の測定値とで、１００Ω以上の差か見られた。しかし、発明の構成の場合は０．００１Ω以下の差となり、抵抗値を繰り返し測定する際に良好な再現性が得られた。
【００１８】
なお、上記の実施形態は抵抗箔の抵抗値を測定する場合で説明している。しかし、この発明はそれ抵抗箔以外の抵抗値を測定する場合にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態を説明する斜視図である。
【図２】従来例を説明する斜視図である。
【符号の説明】
【００２０】
１１…基台
１２…抵抗箔
１３…絶縁材
１４…第１ガイドピン
１５…第２ガイドピン
１６…支持体
１７、１８…接触ピン
１７ａ、１８ａ…接触ピンの先端
１７ｂ、１８ｂ…リード線
１９、２０…クランプボルト
【図１】
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【図２】
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