(57)【要約】【課題】１ステップで駆動電極の半ピッチ分の駆動をし、スムースに移動子を駆動できる静電アクチュエータを提供すること。【解決手段】周期的に配置された帯状の駆動電極１０５を有する固定子１０２と、駆動電極１０５に対向する部位で周期的電位分布を有する移動子１０１と、移動子１０１の所定部位とその近傍で隣り合う２つの駆動電極１０５との間に静電吸引力を作用させる電圧を印加し、移動子１０１の所定部位を該隣り合う２つの駆動電極１０５の中間部位に対向する部位に引き込む事と、移動子１０１の所定部位とその近傍の１つの駆動電極１０５との間に静電吸引力を作用させる電圧を印加し、移動子１０１の所定部位をその近傍の１つの駆動電極１０５に対向する部位に引き込む事と、を繰り返して固定子１０２と移動子１０１を相対変位させる制御部とを具備する。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
周期的に配置された帯状の駆動電極を有する第１の基板と、上記第１の基板の上記駆動電極に対向する所定部位で周期的電位分布を有する第２の基板とを相対変位させる静電アクチュエータにおいて、
上記第２の基板の上記所定部位とその近傍で隣り合う上記第１の基板の２つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該第２の基板の該所定部位を該隣り合う２つの駆動電極の中間部位に対向する部位に引き込むことと、
上記第２の基板の上記所定部位とその近傍の上記第１の基板の１つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該第２の基板の該所定部位をその近傍の該１つの駆動電極に対向する部位に引き込むことと、
を繰り返すことによって、上記第１の基板と上記第２の基板とを相対変位させる駆動制御手段を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
周期的に配置された帯状の駆動電極を有する第１の基板と、上記第１の基板の上記駆動電極に対向する部位で周期的に所定の帯電量にエレクトレット化された領域を有する第２の基板とを相対変位させる静電アクチュエータにおいて、
上記第２の基板の上記エレクトレット化された領域と、その近傍で隣り合う上記第１の基板の２つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該エレクトレット化された領域を該隣り合う２つの駆動電極の中間部位に対向する部位に引き込むことと、
上記第２の基板の上記エレクトレット化された領域と、その近傍の上記第１の基板の１つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該エレクトレット化された領域を該１つの駆動電極に対向する部位に引き込むことと、
を繰り返すことによって、上記第１の基板と上記第２の基板とを相対変位させる駆動制御手段を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項３】
複数の相で構成される駆動電極を有する第１の基板と、
上記第１の基板上に配置され、上記駆動電極に対向する部位で、所定の帯電量にエレクトレット化された領域を周期的に有する第２の基板と、
上記第１の基板における上記駆動電極の一つの相のみで、上記第２の基板における上記エレクトレット化された領域に静電吸引力を作用させ、該駆動電極の直上に該エレクトレット化された領域を引き込むことと、上記第１の基板における上記駆動電極の隣り合う２つの相で上記第２の基板における上記エレクトレット化された領域に静電吸引力を作用させて、該隣り合う駆動電極間の中間部位の直上に該エレクトレット化された領域を引き込むことと、を繰り返すような駆動パターンを生成して、上記第１基板の上記駆動電極に印加する駆動制御手段と、
を具備し、上記第２の基板が上記第１の基板に対し半ピッチステップの相対変位をすることを特徴とする静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定子と移動子との間に作用する静電気力により可動子を移動させる静電アクチュエータに関し、特に、移動子にエレクトレットを用いるエレクトレット静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、単純な構成で効率の良い駆動が可能な走査型静電アクチュエータの実用化が期待されている。中でも、移動子にエレクトレットを用いたエレクトレット静電アクチュエータは移動子への配線が不要で、しかも比較的低電圧での駆動が可能であることから、小出力・小型のアクチュエータとなり得るため、特に期待されている。
【０００３】
従来、エレクトレット静電アクチュエータとしては以下に示す装置が知られている（特許文献１参照）。これを図７を用いて簡単に説明する。先ず、移動子１０のエレクトレット１２が固定子１４の所定の固定子電極１６の真上に位置するように設定する。ここで、固定子電極１６の各端子Ａ〜Ｃに印加する電圧を全て負電圧にすると、移動子１０側から固定子１４側へ向かう電気力線が生じ、移動子１０は固定子１４に吸着される（状態（ａ））。次に、Ａ端子に正電圧、Ｂ端子に負電圧、Ｃ端子に０電位がそれぞれ印加され、Ａ端子電極側から隣接したＢ端子電極側へ向かう電気力線が形成される（状態（ｂ））。その結果、エレクトレット１２の正電荷は電気力線に沿った力を受けて、浮上し、かつ右方向へ電極１ピッチ分移動する（状態（ｃ））。次に、全ての固定子電極１６が負電位とされて電気力線が形成され、移動子１０が固定子１４に吸着される（状態（ｄ））。この工程を繰り返すことにより、移動子１０を連続的に変位させることができる。
【０００４】
また、エレクトレットを用いない静電アクチュエータとしては、以下に示す装置が知られている（特許文献２参照）。図８を用いて簡単に説明する。該装置は、駆動電極として３極からなる帯状電極１８ａ〜１８ｃが形成された移動子１０が高抵抗の誘電体で構成された固定子１４に対して移動する静電アクチュエータで、帯状電極１８ａ〜１８ｃに印加された高電圧によって固定子１４の対応する部位に電荷を誘起することで移動子１０と固定子１４の間に静電気力を生じさせるタイプの静電アクチュエータである。
【０００５】
図８に示すように初期状態（状態（ａ））においては、帯状電極１８ａ〜１８ｃには電圧は印加されていない。つまり、移動子１０、固定子１４ともに全く帯電していない。
【０００６】
次に、電源（図示せず）よりリレースイッチ（図示せず）を介して帯状電極１８ａに正の高電圧、帯状電極１８ｂに負の高電圧、帯状電極１８ｃに負の高電圧を印加すると、状態（ｂ）に示すように、それぞれの帯状電極１８ａ〜１８ｃは、その印加電圧値に応じて帯電し、高抵抗体よりなる固定子１４は、それら３極からなる帯状電極１８ａ、１８ｂ、１８ｃと対向する位置が誘電されて帯電する。すなわち、帯状電極１８ａと対向する位置が負に、帯状電極１８ｂと対向する位置が正に、帯状電極１８ｃと対向する位置が正にそれぞれ帯電する。
【０００７】
このような状態（状態（ｂ））において、リレースイッチをパーソナルコンピュータ等の制御部（図示せず）により操作し、帯状電極１８ａ〜１８ｃに印加する電圧を切り換える。例えば、帯状電極１８ａに負の高電圧を、帯状電極１８ｂに負の高電圧を、帯状電極１８ｃに正の高電圧をそれぞれ切り換えて印加すると、この操作により帯状電極１８ａ〜１８ｃにはそれぞれ瞬時に印加電圧に応じて電荷が生じる。一方、固定子１４は高抵抗層で構成されているため、内部の電荷が瞬時には移動できず、前段階の操作で帯電した状態が維持されている（状態（ｃ））。この状態（ｃ）で移動子１０と固定子１４の間には次の静電気力が作用する。帯状電極１８ａは、対向する位置の固定子１４から反発力を受けるとともに、帯状電極１８ｂと対向する位置から吸引力を受ける。すなわち、帯状電極１８ａには固定子１４から浮上させるとともに右に駆動させる力が作用する。帯状電極１８ｂには、帯状電極１８ａと対向する位置から反発力、帯状電極１８ｂと対向する位置から吸引力、そして帯状電極１８ｃと対向する位置から吸引力が作用する。すなわち、帯状電極１８ｂにはトータルとして固定子１４に吸引する力と右方向に駆動する力が作用する。帯状電極１８ｃには、帯状電極１８ｂと対向する位置と帯状電極１８ｃと対向する位置から反発力を受け、固定子１４から浮上させる力が生じる。
【０００８】
このような静電気力による駆動力により上記移動子１０は帯状電極１８ａ〜１８ｃの１ピッチ分だけ移動して停止する（状態（ｄ））。この状態（ｄ）で静電気力は釣り合っており、移動子１０は固定子１４に吸着されている。さらに、この状態で帯状電極１８ｃと対向する位置は、新たに負に誘電されて帯電する。
【０００９】
上記操作を繰り返すことにより、移動子１０は固定子１４上を移動し続ける。その際、移動子１０には、電源（不図示）より印加する高電圧の大きさに応じた駆動力が発生する。また、移動子１０はリレースイッチ（不図示）の切り換え速度に応じた速度で移動する。移動子１０は固定子１４の大きさの範囲内を移動することができる。
【特許文献１】特開平４−１１２６８３号公報
【特許文献２】特開平６−２２５５４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記特許文献１及び２に示した技術では、移動子１０の変位量は基本的に駆動電極１６，１８ａ〜１８ｃに印加されたパルス数で決まるので、オープンループでの位置制御は可能である。しかし、その変位ステップは帯状の駆動電極１６，１８ａ〜１８ｃのピッチに等しくなるので、スムースに動作させるにはそれら帯状の駆動電極のピッチを細かくする必要が生じる。ただ、狭ピッチの電極は製造技術上の困難さがあり、かつ絶縁耐圧の低下も引き起こすのであまり望ましくない。
【００１１】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、帯状の駆動電極のピッチを小さくすることなく、よりスムースな駆動を実現するための静電アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の静電アクチュエータの第１の態様は、周期的に配置された帯状の駆動電極を有する第１の基板と、上記第１の基板の上記駆動電極に対向する所定部位で周期的電位分布を有する第２の基板とを相対変位させる静電アクチュエータにおいて、上記第２の基板の上記所定部位とその近傍で隣り合う上記第１の基板の２つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該第２の基板の該所定部位を該隣り合う２つの駆動電極の中間部位に対向する部位に引き込むことと、上記第２の基板の上記所定部位とその近傍の上記第１の基板の１つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該第２の基板の該所定部位をその近傍の該１つの駆動電極に対向する部位に引き込むことと、を繰り返すことによって、上記第１の基板と上記第２の基板とを相対変位させる駆動制御手段を具備することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の静電アクチュエータの第２の態様は、周期的に配置された帯状の駆動電極を有する第１の基板と、上記第１の基板の上記駆動電極に対向する部位で周期的に所定の帯電量にエレクトレット化された領域を有する第２の基板とを相対変位させる静電アクチュエータにおいて、上記第２の基板の上記エレクトレット化された領域と、その近傍で隣り合う上記第１の基板の２つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該エレクトレット化された領域を該隣り合う２つの駆動電極の中間部位に対向する部位に引き込むことと、上記第２の基板の上記エレクトレット化された領域と、その近傍の上記第１の基板の１つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該エレクトレット化された領域を該１つの駆動電極に対向する部位に引き込むことと、を繰り返すことによって、上記第１の基板と上記第２の基板とを相対変位させる駆動制御手段を具備することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の静電アクチュエータの第３の態様は、複数の相で構成される駆動電極を有する第１の基板と、上記第１の基板上に配置され、上記駆動電極に対向する部位で、所定の帯電量にエレクトレット化された領域を周期的に有する第２の基板と、上記第１の基板における上記駆動電極の一つの相のみで、上記第２の基板における上記エレクトレット化された領域に静電吸引力を作用させ、該駆動電極の直上に該エレクトレット化された領域を引き込むことと、上記第１の基板における上記駆動電極の隣り合う２つの相で上記第２の基板における上記エレクトレット化された領域に静電吸引力を作用させて、該隣り合う駆動電極間の中間部位の直上に該エレクトレット化された領域を引き込むことと、を繰り返すような駆動パターンを生成して、上記第１基板の上記駆動電極に印加する駆動制御手段と、を具備し、上記第２の基板が上記第１の基板に対し半ピッチステップの相対変位をすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、移動子は１ステップで帯状の駆動電極の半ピッチ分の駆動をすることができるので、帯状の駆動電極のピッチを小さくすることなく、よりスムースに移動子を駆動できる静電アクチュエータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【００１７】
本発明の一実施形態について、図１乃至図５を用いて説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態に係る静電アクチュエータの構造を示す図である。同図に示すように、移動子１０１は固定子１０２の上部に配置される。ここで、移動子１０１は固定子１０２に対して図中の矢印方向に変位可能となっている。
【００１９】
図２は、図１で示した本実施形態に係る静電アクチュエータを、説明を容易にする為に移動子１０１と固定子１０２とに分離して示した図である。
【００２０】
同図に示すように、移動子１０１はフッ素樹脂フィルム１０３に、負に帯電した帯状の領域（以降、帯電領域と記す）１０４を周期的に設けたエレクトレットフィルムである。
【００２１】
また、固定子１０２はガラス基板上に駆動電極１０５（金属電極）を形成した構造となっている。上記駆動電極１０５は帯状であり、その形成位置は、固定子１０２の表面側（移動子１０１が配置される側）である。
【００２２】
さらに、固定子１０２の裏面側（移動子１０１が配置されない側）には駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１が形成されている。図３に示す様に、これら駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１は、コンタクト孔１０７を介して駆動電極１０５に電気的に接続されている。この電気的接続は、４本周期で為されている。つまり、駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１は４相パルス電源に接続されている。また、特に図示しないが、駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１とセンシング配線（不図示）は外部回路にリード線を介して接続されている。
【００２３】
図３は、図２のＡ−Ａ’線断面図である。同図に示されるように、移動子１０１の帯電領域１０４は、固定子１０２の駆動電極１０５の４本分に対応する周期で形成されている。
【００２４】
図４は、静電アクチュエータの電極の結線を模式的に示した図である。同図に示されるように、固定子１０２の駆動電極１０５はＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各相の配線に接続され、これらＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各相は、４相パルス電源に接続される。ここでＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各相の配線は駆動配線１０８，１０９，１１０，１１１に接続された配線にそれぞれ対応する。
【００２５】
以下、本実施形態に係る静電アクチュエータの動作について図５及び図６を用いて説明する。
【００２６】
図５は、移動子１０１を変位させる為に４相パルス電源からＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各相に加える駆動パルスを示す図である。
【００２７】
ここで、各相の電圧は正又は負の２値いずれかの値をとる。同図に示すように、時刻ｔ１においてはＡ相のみが正で他は負である。続く時刻ｔ２においてはＡ，Ｂ相のみが正で他は負となる。続く時刻ｔ３においてはＢ相のみが正で他は負となる。続く時刻ｔ４においてはＢ，Ｃ相のみが正で他は負となる。続く時刻ｔ５においては、Ｃ相のみが正で他は負となる。
【００２８】
以下、図５に示した時刻ｔ１〜ｔ５における移動子１０１の動作について図６を用いて説明する。
【００２９】
まず、時刻ｔ１においては駆動電極１０５におけるＡ相に対応する電極のみに正電圧が印加されて、他の電極には負電圧が印加される。このため、移動子１０１の負に帯電した帯電領域１０４は駆動電極１０５のＡ相に対応する部位に引き込まれる。続く時刻ｔ２においては、Ａ，Ｂ相に対応する電極のみに正電圧が印加されるので、帯電領域１０４は駆動電極１０５のＡ相とＢ相の中間に対応する部位に引き込まれる。同様に時刻ｔ３，ｔ４においては、帯電領域１０４は駆動電極１０５のＢ相に対応する部位，Ｂ相とＣ相の中間に対応する部位にそれぞれ引き込まれる。そして時刻ｔ５では、帯電領域１０４は駆動電極１０５のＣ相に対応する部位に引き込まれる。
【００３０】
以下同様にして図５に示すような駆動パルスを印加することによって、移動子１０１を駆動電極の半ピッチ分づつ連続的に変位させていくことができる。
【００３１】
以上説明したように、本実施形態においては、固定子１０２における駆動電極１０５の一つの相のみで移動子１０１における帯電領域１０４に静電吸引力を作用させて、該駆動電極１０５の直上に該帯電領域１０４を引き込む過程と、固定子１０２における駆動電極１０５の隣り合う２つの相で移動子における帯電領域に静電吸引力を作用させて、該隣り合う駆動電極１０５間の中間部位の直上に該帯電領域１０４を引き込む過程と、を繰り返すことにより、半ピッチステップのスムースな移動子１０１の駆動を実現できる。
【００３２】
なお、本実施形態では駆動電極１０５を４相としているが、本発明は３相あるいは５相、またはそれ以上であっても同様に適用可能であることはいうまでもない。
【００３３】
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
【００３４】
（付記）
前記の具体的実施形態から、以下のような構成の発明を抽出することができる。
【００３５】
（１）  周期的に配置された帯状の駆動電極を有する第１の基板と、上記第１の基板の上記駆動電極に対向する所定部位で周期的電位分布を有する第２の基板とを相対変位させる静電アクチュエータにおいて、
上記第２の基板の上記所定部位とその近傍で隣り合う上記第１の基板の２つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該第２の基板の該所定部位を該隣り合う２つの駆動電極の中間部位に対向する部位に引き込むことと、
上記第２の基板の上記所定部位とその近傍の上記第１の基板の１つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該第２の基板の該所定部位をその近傍の該１つの駆動電極に対向する部位に引き込むことと、
を繰り返すことによって、上記第１の基板と上記第２の基板とを相対変位させる駆動制御手段を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【００３６】
（対応する実施形態）
この（１）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、一実施形態が対応する。該一実施形態において、上記駆動電極は例えば駆動電極１０５が対応し、上記第１の基板は例えば固定子１０２が対応し、上記第２の基板は例えば移動子１０１が対応し、上記所定部位は例えば負に帯電した帯状の帯電領域１０４が対応し、上記駆動制御手段は例えば４相パルス電源が対応する。
【００３７】
（作用効果）
この（１）に記載の静電アクチュエータは、固定子における駆動電極の一つの相のみで移動子における帯電領域に静電吸引力を作用させて、該駆動電極の直上に該帯電領域を引き込む過程と、固定子における駆動電極の隣り合う２つの相で移動子における帯電領域に静電吸引力を作用させて、該隣り合う駆動電極間の中間部位の直上に該帯電領域を引き込む過程と、を繰り返すことにより、半ピッチステップのスムースな移動子の駆動を実現できる。
【００３８】
従って、この（１）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動電極のピッチを縮小せずに、スムースに移動子を駆動できる静電アクチュエータを提供することができる
（２）  周期的に配置された帯状の駆動電極を有する第１の基板と、上記第１の基板の上記駆動電極に対向する部位で周期的に所定の帯電量にエレクトレット化された領域を有する第２の基板とを相対変位させる静電アクチュエータにおいて、
上記第２の基板の上記エレクトレット化された領域と、その近傍で隣り合う上記第１の基板の２つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該エレクトレット化された領域を該隣り合う２つの駆動電極の中間部位に対向する部位に引き込むことと、
上記第２の基板の上記エレクトレット化された領域と、その近傍の上記第１の基板の１つの駆動電極との間に静電吸引力を作用させるような電圧を上記駆動電極に印加して、該エレクトレット化された領域を該１つの駆動電極に対向する部位に引き込むことと、
を繰り返すことによって、上記第１の基板と上記第２の基板とを相対変位させる駆動制御手段を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【００３９】
（対応する実施形態）
この（２）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態には、一実施形態が対応する。上記一実施形態において、上記駆動電極は例えば駆動電極１０５が対応し、上記第１の基板は例えば固定子１０２が対応し、上記第２の基板は例えば移動子１０１が対応し、上記エレクトレット化された領域は例えば負に帯電した帯状の帯電領域１０４が対応し、上記駆動制御手段は例えば４相パルス電源が対応する。
【００４０】
（作用効果）
この（２）に記載の静電アクチュエータは、固定子における駆動電極の一つの相のみで移動子における帯電領域に静電吸引力を作用させて、該駆動電極の直上に該帯電領域を引き込む過程と、固定子における駆動電極の隣り合う２つの相で移動子における帯電領域に静電吸引力を作用させて、該隣り合う駆動電極間の中間部位の直上に該帯電領域を引き込む過程と、を繰り返すことにより、半ピッチステップのスムースな移動子の駆動を実現できる。
【００４１】
従って、この（２）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動電極のピッチを縮小せずに、スムースに移動子を駆動できる静電アクチュエータを提供することができる。
【００４２】
（３）  複数の相で構成される駆動電極を有する第１の基板と、
上記第１の基板上に配置され、上記駆動電極に対向する部位で、所定の帯電量にエレクトレット化された領域を周期的に有する第２の基板と、
上記第１の基板における上記駆動電極の一つの相のみで、上記第２の基板における上記エレクトレット化された領域に静電吸引力を作用させ、該駆動電極の直上に該エレクトレット化された領域を引き込むことと、上記第１の基板における上記駆動電極の隣り合う２つの相で上記第２の基板における上記エレクトレット化された領域に静電吸引力を作用させて、該隣り合う駆動電極間の中間部位の直上に該エレクトレット化された領域を引き込むことと、を繰り返すような駆動パターンを生成して、上記第１基板の上記駆動電極に印加する駆動制御手段と、を具備し、上記第２の基板が上記第１の基板に対し半ピッチステップの相対変位をすることを特徴とする静電アクチュエータ。
【００４３】
（対応する実施形態）
この（３）に記載の静電アクチュエータに関する実施形態は、一実施形態が対応する。上記一実施形態において、上記駆動電極は例えば駆動電極１０５が対応し、上記第１の基板は例えば固定子１０２が対応し、上記エレクトレット化された領域は例えば負に帯電した帯状の帯電領域１０４が対応し、上記第２の基板は例えば移動子１０１が対応し、上記駆動制御手段は例えば４相パルス電源が対応する。
【００４４】
（作用効果）
この（３）に記載の静電アクチュエータは、固定子における駆動電極の一つの相のみで移動子における帯電領域に静電吸引力を作用させて、該駆動電極の直上に該帯電領域を引き込む過程と、固定子における駆動電極の隣り合う２つの相で移動子における帯電領域に静電吸引力を作用させて、該隣り合う駆動電極間の中間部位の直上に該帯電領域を引き込む過程と、を繰り返すことにより、半ピッチステップのスムースな移動子の駆動を実現できる。
【００４５】
従って、この（３）に記載の静電アクチュエータによれば、駆動電極のピッチを縮小せずに、スムースに移動子を駆動できる静電アクチュエータを提供することができる
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態に係る静電アクチュエータの構造を示す図である。
【図２】一実施形態に係る静電アクチュエータを移動子と固定子とに分離して示した図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’線断面図である。
【図４】一実施形態に係るアクチュエータの電極の結線について模式的に示した図である。
【図５】移動子を変位させるための駆動パルスを示す図である。
【図６】一実施形態の静電アクチュエータの動作について示した図である。
【図７】特許文献１に記載の従来技術を示す図である。
【図８】特許文献２に記載の従来技術を示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０１…移動子、  １０２…固定子、  １０３…フッ素樹脂フィルム、  １０４…負に帯電した帯状の領域（帯電領域）、  １０５…駆動電極、  １０７…コンタクト孔、  １０８，１０９，１１０，１１１…駆動配線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2006042531.tif 000005
【図４】
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【図５】
2006042531.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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