(57)【要約】【課題】  プリント基板の小型化と接続が容易であると共に、小型のカメラモジュールを提供する。【解決手段】  本発明のカメラモジュールは、撮像部材８を収納し、第１の引出導体７が設けられた突出壁５を有する絶縁基体１と、撮像部材８の下部側を覆い、第１の引出導体７に接続された第２の引出導体１２が設けられた覆い部材１１とを備えたため、分散状態にある第１の引出導体７の第１の端子７ｂが覆い部材１１の第２の引出導体１２の第２の端子１２ｂによって集中化でき、第２の端子１２ｂに接続される引出用のプリント基板１４の小型化が図れて、その接続が容易なものが得られると共に、撮像部材８が突出壁５を設けた絶縁基体１と覆い部材１１によって囲まれたため、従来の封止絶縁樹脂部が不要となって、生産性の良いものが得られる。【選択図】        図１
2006333131.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズを保持した保持部材と、この保持部材の下部に配置された絶縁基体と、前記レンズに対向した状態で、前記絶縁基体に設けられた複数の第１の引出導体に接続された撮像部材と、前記レンズと前記撮像部材との間に配置された赤外線除去フィルタとを備え、前記絶縁基体の下面には、中央部に空間部を有した環状の突出壁が設けられ、前記第１の引出導体は、前記絶縁基板の下面に設けられた第１の電極と、前記突出壁の平坦な下端面に設けられた第１の端子と、前記第１の電極と前記第１の端子とを繋ぐ第１の接続導体を有し、前記撮像部材は、前記空間部内に位置した状態で、接続体によって前記第１の電極に接続されると共に、前記撮像部材の下部側を覆う覆い部材を有し、この覆い部材には、前記第１の引出導体に接続される第２の引出導体が設けられ、前記第２の引出導体は、前記覆い部材の平坦な上面に設けられた第２の電極と、前記覆い部材の平坦な下面の一辺側に集中して配置された第２の端子と、前記第２の電極と前記第２の端子とを繋ぐ第２の接続導体を有し、前記覆い部材の前記上面が前記突出壁の前記下端面に重ね合わされた状態で、前記第１の端子と前記第２の電極が接続されると共に、前記第２の端子が引出用のプリント基板に接続可能としたことを特徴とするカメラモジュール。
【請求項２】
前記突出壁は、前記絶縁基体と同一材料で、前記絶縁基体と一体に形成されたことを特徴とする請求項１記載のカメラモジュール。
【請求項３】
前記突出壁は、前記絶縁基体と異なる材料で、前記絶縁基体と一体に形成されたことを特徴とする請求項１記載のカメラモジュール。
【請求項４】
前記突出壁は台形状に形成されると共に、前記突出壁は、前記空間部内に位置し、前記絶縁基板の下面から下方向に行くに従って漸次広くなった傾斜面が設けられた内側壁を有し、前記第１の引出導体の前記第１の接続導体が前記内側壁に形成されたことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のカメラモジュール。
【請求項５】
前記覆い部材は、箱形をなし、平板状の底壁と、この底壁の四方から上方に延びる側壁と、前記底壁と前記側壁との囲まれた収納部を有し、前記撮像部材が前記空間部と前記収納部によって収納され、前記覆い部材の前記側壁の上面が前記突出壁の前記下端面に重ね合わされた状態で、前記側壁の上面に設けられた前記第２の電極が前記第１の端子に接続されると共に、前記底壁の下面に設けられた前記第２の端子が前記引出用のプリント基板に接続可能としたことを特徴とする請求項１から４の何れかに記載のカメラモジュール。
【請求項６】
前記覆い部材の前記収納部内には、前記撮像部材の下部側が収納されたことを特徴とする請求項５記載のカメラモジュール。
【請求項７】
前記覆い部材の前記収納部は、前記底壁から前記側壁の先端部に向かって漸次広がるように傾斜した前記側壁によって形成されたことを特徴とする請求項５，又は６記載のカメラモジュール。
【請求項８】
前記覆い部材がシリコン材で形成されたことを特徴とする請求項７記載のカメラモジュール。
【請求項９】
前記第２の引出導体の前記第２の接続導体が前記覆い部材の前記側面の外面に設けられたことを特徴とする請求項５から８の何れかに記載のカメラモジュール。
【請求項１０】
前記撮像部材の電極部は、前記接続体を介して前記第１の電極に接続されると共に、前記撮像部材の撮像素子側が前記電極部と前記接続体、及び前記第１の電極を被覆する絶縁樹脂部によって封止され、前記絶縁樹脂部の外周面には、赤外線をカットする遮光金属膜が形成されたことを特徴とする請求項１から９の何れかに記載のカメラモジュール。
【請求項１１】
前記撮像部材の電極部は、前記接続体である第１のバンプを介して前記第１の電極に接続されると共に、前記絶縁基体の下面には、それぞれの前記第１の電極間に配置された複数の遊び電極を有し、この遊び電極には、第２のバンプが設けられ、前記撮像部材の撮像素子側が前記電極部、前記接続体、前記第１の電極、前記遊び電極、及び前記第２のバンプを被覆する絶縁樹脂部によって封止されたことを特徴とする請求項１から９の何れかに記載のカメラモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は携帯電話機等の電気機器に使用して好適なカメラモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
図５は従来のカメラモジュールの要部断面図を示し、従来のカメラモジュールの構成を図５に基づいて説明すると、シリコン材からなる絶縁基体５１は、中央部に孔５１ａを有する上面板５１ｂと、この上面板５１ｂの下面から下方に突出する台形状の突出壁５１ｃと、上面板５１ｂと突出壁５１ｃとで囲まれた収納部５１ｄを有し、この突出壁５１ｃの内側壁は、上面板５１ｂの下面から下方向に行くに従って漸次広がった傾斜面５１ｅを有して、絶縁基体５１の下面は、末広がり状に形成されている。
【０００３】
そして、複数の引出導体５２は、互いに対向した位置にある突出壁５１ｃに設けられ、上面板５１ｂの下面に設けられた電極５２ａと、突出壁５１ｃの下端面の全周に設けられた端子５２ｂと、傾斜面５１ｅを有した内側壁に設けられ、電極５２ａと端子５２ｂを繋ぐ接続体５２ｃによって形成されている。
【０００４】
撮像部材５３は、本体部５３ａと、本体部５３ａの上部に設けられた撮像素子５３ｂを有し、この撮像部材５３は、撮像素子５３ｂがレンズ５４に対向した状態で、全体が収納部５１ｄ内に収納され、電極部（図示せず）が引出導体５２の電極５２ａに接続体５５によって接続されると共に、収納部５１ｄ内に充填された封止絶縁樹脂部５６によって、撮像部材５３の外周部が被覆されている。
【０００５】
そして、このような構成を有する従来のカメラモジュールは、絶縁基体５１の末広がり状となった下面全体が引出用のプリント基板５７上に載置され、突出壁５１ｃの下端面に設けられた引出導体５２の端子５２ｂがプリント基板５７に接続されるようになっている。（例えば、特許文献１参照）
【０００６】
しかし、従来のカメラモジュールは、引出導体５２が台形状の突出壁５１ｃに設けられることによって、突出壁５１ｃの角部における引出導体５２の断線を少なくできるが、突出壁５１ｃの下端面に設けられた引出導体５２端子５２ｂがプリント基板に接続される構成であるため、絶縁基体５１の下面全体にプリント基板５７を配置しなければならず、プリント基板５７が大型になる上に、突出壁５１ｃは、撮像部材５３の全体を収納できる長さで延びているため、絶縁基体５１の下面が末広がり状となって、下面全体が大型になる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−３３４１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のカメラモジュールは、突出壁５１ｃの下端面に設けられた引出導体５２端子５２ｂがプリント基板に接続される構成であるため、絶縁基体５１の下面全体にプリント基板５７を配置しなければならず、プリント基板５７が大型になる上に、突出壁５１ｃは、撮像部材５３の全体を収納できる長さで延びているため、絶縁基体５１の下面が末広がり状となって、下面全体が大型になるという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明はプリント基板の小型化と接続が容易であると共に、小型のカメラモジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための第１の解決手段として、レンズを保持した保持部材と、この保持部材の下部に配置された絶縁基体と、前記レンズに対向した状態で、前記絶縁基体に設けられた複数の第１の引出導体に接続された撮像部材と、前記レンズと前記撮像部材との間に配置された赤外線除去フィルタとを備え、前記絶縁基体の下面には、中央部に空間部を有した環状の突出壁が設けられ、前記第１の引出導体は、前記絶縁基板の下面に設けられた第１の電極と、前記突出壁の平坦な下端面に設けられた第１の端子と、前記第１の電極と前記第１の端子とを繋ぐ第１の接続導体を有し、前記撮像部材は、前記空間部内に位置した状態で、接続体によって前記第１の電極に接続されると共に、前記撮像部材の下部側を覆う覆い部材を有し、この覆い部材には、前記第１の引出導体に接続される第２の引出導体が設けられ、前記第２の引出導体は、前記覆い部材の平坦な上面に設けられた第２の電極と、前記覆い部材の平坦な下面の一辺側に集中して配置された第２の端子と、前記第２の電極と前記第２の端子とを繋ぐ第２の接続導体を有し、前記覆い部材の前記上面が前記突出壁の前記下端面に重ね合わされた状態で、前記第１の端子と前記第２の電極が接続されると共に、前記第２の端子が引出用のプリント基板に接続可能とした構成とした。
【００１１】
また、第２の解決手段として、前記突出壁は、前記絶縁基体と同一材料で、前記絶縁基体と一体に形成された構成とした。
また、第３の解決手段として、前記突出壁は、前記絶縁基体と異なる材料で、前記絶縁基体と一体に形成された構成とした。
【００１２】
また、第４の解決手段として、前記突出壁は台形状に形成されると共に、前記突出壁は、前記空間部内に位置し、前記絶縁基板の下面から下方向に行くに従って漸次広くなった傾斜面が設けられた内側壁を有し、前記第１の引出導体の前記第１の接続導体が前記内側壁に形成された構成とした。
【００１３】
また、第５の解決手段として、前記覆い部材は、箱形をなし、平板状の底壁と、この底壁の四方から上方に延びる側壁と、前記底壁と前記側壁との囲まれた収納部を有し、前記撮像部材が前記空間部と前記収納部によって収納され、前記覆い部材の前記側壁の上面が前記突出壁の前記下端面に重ね合わされた状態で、前記側壁の上面に設けられた前記第２の電極が前記第１の端子に接続されると共に、前記底壁の下面に設けられた前記第２の端子が前記引出用のプリント基板に接続可能とした構成とした。
【００１４】
また、第６の解決手段として、前記覆い部材の前記収納部内には、前記撮像部材の下部側が収納された構成とした。
また、第７の解決手段として、前記覆い部材の前記収納部は、前記底壁から前記側壁の先端部に向かって漸次広がるように傾斜した前記側壁によって形成された構成とした。
【００１５】
また、第８の解決手段として、前記覆い部材がシリコン材で形成された構成とした。
また、第９の解決手段として、前記第２の引出導体の前記第２の接続導体が前記覆い部材の前記側面の外面に設けられた構成とした。
【００１６】
また、第１０の解決手段として、前記撮像部材の電極部は、前記接続体を介して前記第１の電極に接続されると共に、前記撮像部材の撮像素子側が前記電極部と前記接続体、及び前記第１の電極を被覆する絶縁樹脂部によって封止され、前記絶縁樹脂部の外周面には、赤外線をカットする遮光金属膜が形成された構成とした。
【００１７】
また、第１１の解決手段として、前記撮像部材の電極部は、前記接続体である第１のバンプを介して前記第１の電極に接続されると共に、前記絶縁基体の下面には、それぞれの前記第１の電極間に配置された複数の遊び電極を有し、この遊び電極には、第２のバンプが設けられ、前記撮像部材の撮像素子側が前記電極部、前記接続体、前記第１の電極、前記遊び電極、及び前記第２のバンプを被覆する絶縁樹脂部によって封止された構成とした。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のカメラモジュールは、撮像部材を収納し、第１の引出導体が設けられた突出壁を有する絶縁基体と、撮像部材の下部側を覆い、第１の引出導体に接続された第２の引出導体が設けられた覆い部材とを備えたため、分散状態にある第１の引出導体の第１の端子が覆い部材の第２の引出導体の第２の端子によって集中化でき、第２の端子に接続される引出用のプリント基板の小型化が図れて、その接続が容易なものが得られると共に、撮像部材が突出壁を設けた絶縁基体と覆い部材によって囲まれたため、従来の封止絶縁樹脂部が不要となって、生産性の良いものが得られる。
【００１９】
また、突出壁は、絶縁基体と同一材料で、絶縁基体と一体に形成されたため、生産性が良く、安価なものが得られる。
【００２０】
また、突出壁は、絶縁基体と異なる材料で、絶縁基体と一体に形成されたため、絶縁基体を共用化できると共に、種々の機種に応じて突出壁の形状や高さ等を任意に選択できて、融通性のあるものが得られる。
【００２１】
また、突出壁は台形状に形成されると共に、突出壁は、空間部内に位置し、絶縁基板の下面から下方向に行くに従って漸次広くなった傾斜面が設けられた内側壁を有し、第１の引出導体の第１の接続導体が内側壁に形成されたため、第１の引出導体の断線の無いものが得られる。
【００２２】
また、覆い部材は、箱形をなし、平板状の底壁と、この底壁の四方から上方に延びる側壁と、底壁と側壁との囲まれた収納部を有し、撮像部材が空間部と収納部によって収納され、覆い部材の側壁の上面が突出壁の下端面に重ね合わされた状態で、側壁の上面に設けられた第２の電極が第１の端子に接続されると共に、底壁の下面に設けられた第２の端子が引出用のプリント基板に接続可能としたため、箱形の覆い部材の存在によって、突出壁の下方側の広がり抑えることができて、小型化を図ることができる。
【００２３】
また、覆い部材の収納部内には、撮像部材の下部側が収納されたため、突出壁の下方側の広がりを一層抑えることができて、小型化を図ることができる。
【００２４】
また、覆い部材の前記収納部は、底壁から側壁の先端部に向かって漸次広がるように傾斜した側壁によって形成されたため、覆い部材の下面全体を小さくできると共に、覆い部材の下部側の形状を横方向に小型化できる。
【００２５】
また、覆い部材がシリコン材で形成されたため、エッチングによって覆い部材が形成できて、生産性の良好なものが得られる。
【００２６】
また、第２の引出導体の第２の接続導体が覆い部材の側面の外面に設けられたため、第２の接続導体の形成が容易となって、生産性の良好なものが得られる。
【００２７】
また、撮像部材の電極部は、接続体を介して第１の電極に接続されると共に、撮像部材の撮像素子側が電極部と接続体、及び第１の電極を被覆する絶縁樹脂部によって封止され、絶縁樹脂部の外周面には、赤外線をカットする遮光金属膜が形成されたため、遮光金属膜によって、突出壁や覆い部材側からの撮像素子への赤外線をカットできて、性能の良好なものが得られる。
【００２８】
また、撮像部材の電極部は、接続体である第１のバンプを介して第１の電極に接続されると共に、絶縁基体の下面には、それぞれの第１の電極間に配置された複数の遊び電極を有し、この遊び電極には、第２のバンプが設けられ、撮像部材の撮像素子側が電極部、接続体、第１の電極、遊び電極、及び第２のバンプを被覆する絶縁樹脂部によって封止されたため、第１，第２のバンプによって、突出壁や覆い部材側からの撮像素子への赤外線の侵入を少なくできて、性能の良好なものが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明のカメラモジュールの図面を説明すると、図１は本発明のカメラモジュールの第１実施例に係る要部断面図、図２は本発明のカメラモジュールの第２実施例に係る要部断面図、図３は本発明のカメラモジュールの第３実施例に係る要部断面図、図４は本発明のカメラモジュールの第４実施例に係る要部断面下面図である。
【００３０】
次に、本発明のカメラモジュールの第１実施例に係る構成を図１に基づいて説明すると、合成樹脂の成型品等からなる保持部材１は、円筒状をなし、この保持部材１の内部には、レンズ２が保持されると共に、保持部材１の下面には、赤外線除去フィルタ３（ＩＲカットフィルタ）が配置され、接着剤等によって、赤外線除去フィルタ３が保持部材１に取り付けられている。
【００３１】
ガラス等の絶縁材で形成された絶縁基体４は、中央部に孔４ａを有すると共に、絶縁基体４の下面には、絶縁基体４の下面から下方に突出する台形状をなした環状の突出壁５と、絶縁基体４と突出壁５とで囲まれた空間部６を有する。
そして、突出壁５の内側壁は、絶縁基体４の下面から下方向に行くに従って漸次広がった傾斜面５ａを有すると共に、四角形の環状からなる突出壁５は、絶縁基体４と同一材料で、絶縁基体４と一体に形成されている。
【００３２】
導電材からなる複数の第１の引出導体７は、絶縁基体４の下面で、孔４ａの周辺に設けられた第１の電極７ａと、突出壁５の平坦な下端面５ｂに設けられた第１の端子７ｂと、内側壁である傾斜面５ａに設けられ、第１の電極７ａと第１の端子７ｂとを繋ぐ第１の接続導体７ｃを有し、第１の引出導体７は、少なくとも互いに対向する突出壁５に設けられた構成となっている。
そして、第１の引出導体７が台形状の突出壁５に設けられることによって、第１の引出導体７の断線を少なくできると共に、このような構成を有する絶縁基体４は、孔４ａがレンズ２に対向した状態で、赤外線除去フィルタ３の下面に載置され、接着剤等によって、絶縁基体４が赤外線除去フィルタ３に取り付けられている。
【００３３】
撮像部材８は、本体部８ａと、本体部８ａの上部に設けられた撮像素子８ｂと、この撮像素子８ｂに接続された状態で、本体部８ａの上面に設けられた複数の電極部８ｃを有し、この撮像部材８は、撮像素子８ｂがレンズ２に対向した状態で、空間部６内に収納され、電極部８ｃが金材等のバンプ等からなる接続体９によって第１の引出導体７の第１の電極７ａに接続されると共に、撮像部材８の撮像素子８ｂ側が電極部８ｃと接続体８、及び第１の電極７ａを被覆する絶縁樹脂部１０によって封止されている。
そして、撮像部材８が絶縁基体４に取り付けられた際、撮像部材８の本体部８ａの下部側は、突出壁５の下端面５ｂから一部が突出した状態となっており、その結果、突出壁５の下方向の高さを小さくできて、突出壁５の下部側の広がりを抑えて、横方向に小さくできる。
【００３４】
絶縁材からなる箱形の覆い部材１１は、平坦状の底壁１１ａと、この底壁１１ａの四方から上方に直角に延びる側壁１１ｂと、底壁１１ａと側壁１１ｂとで囲まれた収納部１１ｃを有すると共に、この覆い部材１１には、第２の引出導体１２が設けられ、この第２の引出導体１２は、側壁１１ｂの平坦な上面に設けられた第２の電極１２ａと、底壁１２ａの平坦な下面に設けられた第２の端子１２ｂと、覆い部材１１内に設けられ、第２の電極１２ａと第２の端子１２ｂを繋ぐ第２の接続導体１２ｃで構成されている。
なお、第２の接続導体１２ｃは、覆い部材１１の表面に形成しても良い。
【００３５】
そして、第２の電極１２ａは、少なくとも互いに対向した位置にある側壁１１ｂの上面に設けられると共に、第２の端子１２ｃは、覆い部材１１の下面の一辺側に集中して配置され、この第２の端子１２ｃには、第２の接続導体１２ｃを介して第２の電極１２ａが接続されており、この実施例では、第２の端子１２ｂが２列状態で配置されている。
【００３６】
このような構成を有する覆い部材１１は、側壁１１ｂの上面が突出壁５の下端面５ｂに当接された状態で、第１の端子７ｂと第２の電極１２ｂがバンプや半田等の接続体１３によって接続されて、覆い部材１１が突出壁５に取り付けられる。
この時、撮像部材８の本体部８ａの下部側が覆い部材１１の収納部１１ｃ内に位置して、撮像部材８の全体が突出壁８と覆い部材１１によって覆われた構成となっている。
【００３７】
そして、このような構成を有する本発明のカメラモジュールは、覆い部材１１の下面の一部が引出用のプリント基板１４上に載置され、覆い部材１１の下面の一辺に集中して設けられた第２の端子１２ｂがバンプや半田等からなる接続体１５を介してプリント基板１４に設けられた導電パターン（図示せず）に接続されるようになっている。
【００３８】
また、図２は本発明のカメラモジュールの第２実施例を示し、この第２実施例の構成を説明すると、絶縁基体４と突出壁５が異なる材料で形成され、ガラス等の材料からなる絶縁基体４の下面には、熱硬化性樹脂等の材料からなる突出壁５が一体に形成されたものである。
なお、その他の構成は、上記第１実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【００３９】
また、図３は本発明のカメラモジュールの第３実施例を示し、この第３実施例の構成を説明すると、覆い部材１１は、エッチング加工されたシリコン材で形成され、この覆い部材１１の表面全体には、酸化シリコンからなる絶縁膜１６が設けられると共に、第２の引出導体１２が絶縁膜１６上に形成されている。
更に、覆い部材１１の収納部１１ｃは、底壁１１ａから側壁１１ｂの先端部に向かって漸次広がるように傾斜した側壁１１ｂによって形成され、これによって、覆い部材１１の下部側の形状を横方向に小さくしたものである。
【００４０】
更に又、絶縁樹脂部１０の外周面には、赤外線をカットする遮光金属膜１７が形成され、この遮光金属膜１７によって、突出壁５と覆い部材１１の接合部、及び突出壁５や覆い部材１１側からの撮像素子８ｂへの赤外線をカットするようにしたものである。
なお、その他の構成は、上記第２実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
また、この第３実施例における覆い部材１１は、セラミック等の絶縁材によって形成しても良い。
【００４１】
また、図４は本発明のカメラモジュールの第４実施例を示し、この第４実施例の構成を説明すると、撮像部材８の電極部８ｃは、接続体９である金材等の第１のバンプを介して第１の電極７ａに接続されると共に、絶縁基体４の下面には、それぞれの第１の電極７ａ間に配置された複数の遊び電極１８を有し、この遊び電極１８には、金材等の第２のバンプ１９が設けられ、撮像部材８の撮像素子８ｂ側が電極部８ｃ、接続体９、第１の電極７ａ、遊び電極１８、及び第２のバンプ１９を被覆する絶縁樹脂部１０によって封止されている。
【００４２】
このように、第２のバンプ１９が接続体９である第１のバンプ間に設けられると、第１のバンプ間の隙間が小さくなって、第１のバンプと第２のバンプ１９の存在によって、突出壁５と覆い部材１１の接合部、及び突出壁５や覆い部材１１側からの撮像素子８ｂへの赤外線の侵入を少なくできる。
なお、その他の構成は、上記第１〜第３実施例と同様の構成でも良く、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明のカメラモジュールの第１実施例に係る要部断面図。
【図２】本発明のカメラモジュールの第２実施例に係る要部断面図。
【図３】本発明のカメラモジュールの第３実施例に係る要部断面図。
【図４】本発明のカメラモジュールの第４実施例に係る要部断面下面図。
【図５】従来のカメラモジュールの要部断面図。
【符号の説明】
【００４４】
１：保持部材
２：レンズ
３：赤外線除去フィルタ
４：絶縁基体
４ａ：孔
５：突出壁
５ａ：傾斜面
５ｂ：下端面
６：空間部
７：第１の引出導体
７ａ：第１の電極
７ｂ：第１の端子
７ｃ：第１の接続導体
８：撮像部材
８ａ：本体部
８ｂ：撮像素子
８ｃ：電極部
９：接続体（第１のバンプ）
１０：絶縁樹脂部
１１：覆い部材
１１ａ：底壁
１１ｂ：側壁
１１ｃ：収納部
１２：第２の引出導体
１２ａ：第２の電極
１２ｂ：第２の端子
１２ｃ：第２の接続導体
１３：接続体
１４：プリント基板
１５：接続体
１６：絶縁膜
１７：遮光金属膜
１８：遊び電極
１９：第２のバンプ
【図１】
2006333131.tif 000003
【図２】
2006333131.tif 000004
【図３】
2006333131.tif 000005
【図４】
2006333131.tif 000006
【図５】
2006333131.tif 000007