(57)【要約】【課題】  真空加熱装置内の発熱体の断線を、真空加熱装置内の加熱部の配置に影響されること無く目視で判別すること。【解決手段】  真空室と前記真空室内に設けた加熱部とを有する真空加熱装置において、発熱体１３を内部に収納する加熱部１２のカバー１４の一部にカバーの内外を連通する連通孔３を有すると共に、その連通孔３に導光部材２を備える。このカバー１４に設けた導光部材２を通して、発熱体１３の発熱による発光をカバー外に導出させ、この発光の有無を真空室の外部において目視で確認することで、発熱体の断線を判別する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空室と前記真空室内に設けた加熱部とを有する真空加熱装置において、
発熱体を内部に収納する前記加熱部のカバーの一部に、カバーの内外を連通する連通孔と、前記連通孔に設けた導光部材とを備え、
前記導光部材を通して前記発熱体の発熱による発光を前記カバー外に導出させ、当該発光の有無により前記発熱体の断線を検出することを特徴とする、真空加熱装置の断線判別装置。
【請求項２】
前記カバーは、前記発熱体の発熱による発光を反射する反射板と、前記発光を受けて輻射熱を発する輻射板とを有し、
前記カバーの反射板に前記連通孔を形成することを特徴とする、請求項１に記載の真空加熱装置の断線判別装置。
【請求項３】
前記発熱体はランプヒーターであり、前記導光部材はガラス棒であり、
前記ガラス棒の端面を、前記真空室が備える観察窓から観察可能な位置に配置することを特徴とする、請求項１又は２に記載の真空加熱装置の断線判別装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空加熱装置に関し、特に真空加熱装置が備える発熱体の断線を判別する断線判別装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板や有機ＥＬ基板等の半導体製造等に係わる工程では、基板等の処理対象物を真空状態において加熱処理する場合がある。このような真空加熱として、例えば半導体製造などにおける真空成膜用の加熱手段としてシースヒーターが用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−２０８６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
加熱手段であるヒーターの断線は、抵抗線の抵抗値を監視することで検出することができ、この抵抗値の監視は、通常、ヒーターに流れる電流量の変化をモニタすることで電気的に行っている。
【０００４】
しかしながら、電流量の変化をモニタすることでヒーターの断線検出を行う場合には、この電流量の変化が、ヒーターの断線に因るものであるのか、あるいは温度上昇による抵抗値の変化変換に因るものであるのかを、単に電流量の変化を観察するのみでは判定することができないという問題がある。
【０００５】
また、電気的な断線検出に代えて、抵抗線を覆うカバーに開口部を設け、この開口部を通してヒーター内に設けた抵抗線の断線の有無を肉眼によって外部から確認することが考えられる。
【０００６】
しかしながら、通常、真空加熱装置内においてヒーターが設置される空間は、真空加熱装置が備える他の装置や部材によって制限されるため、ヒーターに形成した開口部を通してカバー内の抵抗線を見通すことができ、かつ、加熱の均一性に影響を与えないような開口部の位置を設定することができるように、開口部の位置を定めることは困難であるというスペース上の問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、真空加熱装置内の発熱体の断線を、真空加熱装置内の加熱部の配置に影響されること無く目視で判別することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、真空室と前記真空室内に設けた加熱部とを有する真空加熱装置において、発熱体を内部に収納する加熱部のカバーの一部にカバーの内外を連通する連通孔を有すると共に、その連通孔に導光部材を備える。このカバーに設けた導光部材を通して、発熱体の発熱による発光をカバー外に導出させ、この発光の有無を真空室の外部において目視で確認することで、発熱体の断線を判別する。
【０００９】
加熱部のカバー内に設けられる発熱体の発熱による発光の確認において、導光部材を通して行うことによって、真空加熱装置内において加熱部が設置される空間の制限を受けることなく行うことができる。
【００１０】
加熱部のカバーは、発熱体の発熱による発光を反射する反射板と、発光を受けて輻射熱を発する輻射板とを有し、この反射板に連通孔を形成する。カバー内において、発熱体からの発光の内、反射板に向う発光はこの反射面で反射されて輻射板側に向かい、輻射板に向う発光と共にその輻射板を加熱する。加熱された輻射板は、この輻射熱によってカバー外側の輻射板側に配置した基板等の加熱対象物を加熱する。
【００１１】
反射板に連通孔を形成して導光部材を設けることで、輻射板による基板の加熱に対して影響を与えない構成とすることができる。
【００１２】
また、発熱体としてランプヒーターを用い、導光部材としてガラス棒を用いることができる。カバー内の発熱体が発熱することで生じた発光は、ガラス棒を通り、ガラス棒の端部から外部に導出される。ガラス棒は、少なくともその先端部分を、真空室が備える観察窓から観察可能な位置に配置する。ガラス棒は、真空室内のスペースや観察窓等のレイアウトに合わせて形状を調整することで、観察窓から観察可能な位置に配置する。
【００１３】
これによって、観察者は、このガラス棒の端部を真空室の観察窓から観察することで、発熱体の断線の有無を判別することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、真空加熱装置内の発熱体の断線を、真空加熱装置内の加熱部の配置に影響されること無く目視で判別することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明の真空加熱装置の断線検出装置を説明するための概略図である。真空加熱装置１０は、真空室１１の内部に加熱部１２を備え、シャッター１６を通して導入された基板１７等の加熱対象物を真空状態で加熱する。
【００１７】
真空室１１内には、複数の加熱部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，〜１２ｎが配置され、シャッター１６を通して導入された基板１７を加熱する。真空室１１は、内部を観察できるように観察窓１８を備える。
【００１８】
各加熱部１２は、ヒーターランプ１３等の発熱体を備え、この発熱体に通電することで加熱する。加熱部１２は、内部に発熱体を収納するカバー１４を備え、このカバー１４の対向する両側の一方は反射板１４Ａを形成し、他方は輻射板１４Ｂを構成している。このカバー１４の輻射板１４Ｂ側の基板１７を配置し、輻射板１４Ｂ側から発せられる輻射をこの基板１７に照射することで、基板１７を加熱する。
【００１９】
各加熱部１２ａ〜１２ｎは、例えば、１０個程度を配列することによって、基板１７を平面状に二次元で加熱することができる。なお、ここでは、複数の加熱部１２ａ〜１２ｎを、基板１７の移動方向に沿って配列する構成を示しているが、基板１７の移動方向と直交する方向に沿って配列する構成や、複数の発熱体を一つのカバー１４内に収納した一つの加熱部で構成してもよい。
【００２０】
次に、図２の概略斜視図、及び図３の断面図及び反射板側から見た図を用いて、本発明の断線判別装置１の構成例を説明する。なお、図３（ａ）の断面図は図２中のＡ方向から見た図であり、図３（ｂ）の平面図は図２中のＢ方向から見た図である。
【００２１】
図２、図３において、前記した発熱部１２はカバー１４を備える。カバー１４は、対向した配置された反射板１４Ａと輻射板１４Ｂとを備え、反射板１４Ａの内側の反射面と輻射板１４Ｂの内側の輻射面の間で形成される空間部分には、発熱体13-1，13-2，13-3が設けられ、図示しない電源により通電することで発熱が行われる。
【００２２】
図３において、発熱体１３で発生した熱は、内カバー１４の内壁面１５に向かう。この熱の内、反射体１４Ａ側の反射面１５Ａに向かった熱はこの反射面１５Ａで反射され、輻射板１４Ｂ側の反射面１５Ａに向かった熱は、前記反射面１５Ａで反射した熱と共に、輻射板１４Ｂを発熱する。熱せられた輻射板１４Ｂは、輻射によって基板（図２，３には示していない）を加熱する。
【００２３】
本発明の断線判別装置１は、前記した加熱部１２において、その反射板１４Ａにカバー１４の内外を連通する連通孔３を有し、この連通孔３にガラス棒等の導光部材２を設ける。この導光部材２は、カバー１４の内外を光学的に連通し、発熱体１３の発熱に伴って発光した光りをカバー１４の外部に導出する。
【００２４】
図３（ｂ）において、発熱体１３からの発光は、導光部材２の柱状体の一方に端部４から導入して連通孔３を通過し、導光部材２の柱状体の他方の端部５から導出する。図３（ａ）は、導光部材２の端部５を図２中の矢印Ｂの方向から見た図であり、導光部材２の端部５の明るさによって、カバー１４内の発熱体１３の発熱状態を確認することができる。例えば、発熱体１３が正常に発熱している場合には、その発熱に伴う発光によって導光部材２の端部５は明るく見え、他方、発熱体１３′が断線によって発熱していない場合、あるいは発熱が不完全である場合には、発熱に伴う発光が無いあるいは発光が弱いため、導光部材２の端部５′は暗く見える。
【００２５】
観察者は、この導光部材２の端部５の明るさを確認することで、発熱体の断線状態を目視で確認することができる。なお、導光部材５の柱状体の側壁から光りが漏れる場合には、前記したように端部に限らず側部の明るさによって発熱体の断線状態を目視で確認することができる。
【００２６】
この導光部材２の真空加熱装置１０の外部からの目視による確認は、図１に示すように、真空加熱装置１０の真空室１１の側壁に設けた観察窓１８を通して行うことができる。真空加熱装置１０は、真空室１１内の基板等を確認するために観察窓を備えており、この観察窓を用いて、断線判別装置１の導光部材２を観察することができる。
【００２７】
導光部材２の形状は、図示する断面が円状の円柱体に限らず、任意の断面形状としたり、任意に湾曲させた形状とすることができる。加熱部１２に設けた導光部材２や観察窓１８の配置が、観察窓１８から導光部材２を直接に観察できない位置関係となる場合には、導光部材２の形状を湾曲させる等によって、観察窓１８からの観察が可能な状態とすることができる。
【００２８】
図４は、本発明の断線判別装置を半導体等の基板検査装置に適用した構成例を示している。図４に示す基板検査装置２０は、基板１７の真空状態で検査を行う検査室２２と、基板１７を大気側から真空状態となる基板検査装置２０内に導入するためのロードロック室２１と、ロードロック室２１から検査室２２との間で基板１７を搬送する搬送機構２３を備える。
【００２９】
図４では、ロードロック室２１に真空加熱装置を設けた構成を示している。ロードロック室２１内に、加熱１２を配置すると共にこの加熱部１２に導光部材２（図４では示していない）を設ける。加熱部１２の断線判別は、この導光部材２をロードロック室２１に設けた観察窓（図４では示していない）を通して観察することで行うことができる。
【００３０】
なお、図４に示す構成例は一例に過ぎず、半導体製造装置など、真空加熱装置を用いる種々の装置に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明の真空加熱装置の断線検出装置は、基板検査装置、液晶基板や有機ＥＬ基板等の半導体製造装置等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の真空加熱装置の断線検出装置を説明するための概略図である。
【図２】本発明の断線判別装置の概略斜視図である。
【図３】本発明の断線判別装置の反射板側から見た図である。
【図４】本発明の断線判別装置を半導体等の基板検査装置に適用した構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１，１ａ，〜１ｎ…断線判別装置、２…導光部材、３…連通孔、４，５…端面、１０…真空加熱装置、１１…真空室、１２，１２ａ〜１２ｎ…加熱部、１３…発熱体、１４…カバー、１４Ａ…反射板、１４Ｂ…輻射板、１５…内壁面、１５Ａ…反射面、１５Ｂ…輻射面、１６…シャッター、１７…基板、１８…観察窓、２０…基板検査装置、２１…ロードロック室、２２…検査室、２３…搬送機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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