(57)【要約】【課題】  対物レンズの交換に際し、フォーカシング及びトラッキングの駆動機構へ機械的外力が掛からず、耐久性及び検査の信頼性を確保すると共に、容易で迅速な対物レンズの交換を可能として、短時間に効率的に対物レンズの検査を行うことできる光ピックアップ用対物レンズの検査装置を得る。【解決手段】  対物レンズを押圧保持する押圧部材を有するホルダと、ホルダを光軸に平行な方向と直交する方向とに変位させる駆動手段と、を有し、対物レンズを交換可能な対物レンズ検査装置において、ホルダと離間した第１の位置と、ホルダと係合した第２の位置とに相対移動可能なホルダ固定部材を備えた対物レンズ検査装置とする。【選択図】        図１
2006107654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズを載置するレンズ載置部と前記レンズ載置部に載置された前記対物レンズを押圧保持する押圧部材を有するホルダと、前記ホルダを前記対物レンズの光軸に平行な方向と前記光軸に直交する方向とに変位させる駆動手段と、を有し、前記対物レンズを交換可能となされた対物レンズ検査装置において、
前記ホルダと離間し前記ホルダの前記変位に干渉しない第１の位置と、前記ホルダと係合し前記ホルダを固定する第２の位置とに相対移動可能なホルダ固定部材を備えたことを特徴とする対物レンズ検査装置。
【請求項２】
前記ホルダ固定部材は、前記第２の位置よりも前記対物レンズに接近した第３の位置まで相対移動可能とされ、
前記第２の位置から前記第３の位置への移動に伴って、前記押圧部材の押圧保持を解除するよう構成したことを特徴とする請求項１に記載の対物レンズ検査装置。
【請求項３】
前記押圧部材の押圧保持を解除する押圧解除部材を備えたことを特徴とする請求項１に記載の対物レンズ検査装置。
【請求項４】
前記ホルダは複数のワイヤにより支持され、前記ホルダ固定部材の移動方向と前記押圧解除部材の移動方向を略直交するよう配置したことを特徴とする請求項３に記載の対物レンズ検査装置。
【請求項５】
前記押圧部材は、前記対物レンズの光軸を挟み対称な位置を押圧するよう形成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の対物レンズ検査装置。
【請求項６】
前記レンズ載置部は貫通穴を有し、前記対物レンズの一部は前記貫通穴に挿入して載置され、前記対物レンズの前記貫通穴への挿入長が０．２ｍｍ〜０．６ｍｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の対物レンズ検査装置。
【請求項７】
前記押圧部材の押圧力をＦ、前記対物レンズの質量と前記ホルダにかかる最大加速度の積をｆとしたとき、
３≦Ｆ／ｆ＜８
を満足することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の対物レンズ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ピックアップ用の対物レンズを検査するための対物レンズ検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）やＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ）等の光学ディスクに対し、情報の記録及び／又は再生を行う光ピックアップが知られている。これらの光ピックアップには、ディスクの信号記録領域に所定の波長のレーザ光を合焦させるための対物レンズが備えられている。
【０００３】
この光ピックアップ用の対物レンズは製造過程において、品質検査が行われている。この品質検査には、対物レンズの透過波面収差の測定と、実際の光ピックアップでの記録及び／又は再生性能を確認する品質評価がある。
【０００４】
この実際の光ピックアップでの品質評価のための対物レンズ検査装置として、対物レンズを保持する保持部材を固定ネジによってホルダに固定し、被検査物である対物レンズを交換する場合は、この固定ネジを緩め保持部材を外して行うものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３１５３３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の特許文献１に記載された対物レンズ検査装置は、レンズ交換は可能であるが、対物レンズ交換の都度、固定ネジを緩めたり締め付けたりせねばならず、工程中で多数の対物レンズを検査する場合には極めて非効率であるという問題がある。
【０００６】
更に、対物レンズが載置され、保持部材、固定ネジが固定されているホルダは、フォーカシング及びトラッキングを行うために変位可能に柔軟な保持がされており、対物レンズ交換時の固定ネジの締め付け、或いは緩めに過度の力が掛かることで、フォーカシング及びトラッキング駆動機構を破損させ故障させてしまう問題を有している。
【０００７】
本発明は上記問題に鑑み、対物レンズの交換に際し、フォーカシング及びトラッキングの駆動機構へ機械的外力が掛かることを防止して、耐久性及び検査の信頼性を確保すると共に、容易で迅速な対物レンズの交換を可能として、短時間に効率的に多数の対物レンズの検査を行うことの可能な、光ピックアップ用対物レンズの検査装置を得ることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的は、以下の構成により解決される。
【０００９】
１）対物レンズを載置するレンズ載置部と前記レンズ載置部に載置された前記対物レンズを押圧保持する押圧部材を有するホルダと、前記ホルダを前記対物レンズの光軸に平行な方向と前記光軸に直交する方向とに変位させる駆動手段と、を有し、前記対物レンズを交換可能となされた対物レンズ検査装置において、前記ホルダと離間し前記ホルダの前記変位に干渉しない第１の位置と、前記ホルダと係合し前記ホルダを固定する第２の位置とに相対移動可能なホルダ固定部材を備えたことを特徴とする対物レンズ検査装置。
【００１０】
２）前記ホルダ固定部材は、前記第２の位置よりも前記対物レンズに接近した第３の位置まで相対移動可能とされ、前記第２の位置から前記第３の位置への移動に伴って、前記押圧部材の押圧保持を解除するよう構成した１）の対物レンズ検査装置。
【００１１】
３）前記押圧部材の押圧保持を解除する押圧解除部材を備えた１）の対物レンズ検査装置。
【００１２】
４）前記ホルダは複数のワイヤにより支持され、前記ホルダ固定部材の移動方向と前記押圧解除部材の移動方向を略直交するよう配置した３）の対物レンズ検査装置。
【００１３】
５）前記押圧部材は、前記対物レンズの光軸を挟み対称な位置を押圧するよう形成した１）〜４）のいずれかの対物レンズ検査装置。
【００１４】
６）前記レンズ載置部は貫通穴を有し、前記対物レンズの一部は前記貫通穴に挿入して載置され、前記対物レンズの前記貫通穴への挿入長が０．２ｍｍ〜０．６ｍｍである１）〜５）のいずれかの対物レンズ検査装置。
【００１５】
７）前記押圧部材の押圧力をＦ、前記対物レンズの質量と前記ホルダにかかる最大加速度の積をｆとしたとき、
３≦Ｆ／ｆ＜８
を満足する１）〜６）のいずれかの対物レンズ検査装置。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の、対物レンズが載置されたホルダと離間し、ホルダの変位に干渉しない第１の位置と、ホルダと係合し、ホルダを変位不能に固定する第２の位置とに相対移動可能なホルダ固定部材を備えること、即ち、対物レンズ検査時にはホルダ固定部材を第１の位置とし、ホルダを駆動変位させて対物レンズの検査を行い、対物レンズ交換時にはホルダ固定部材を第２の位置に移動させ、ホルダを堅個に固定するよう構成することで、対物レンズ交換時に、フォーカシング及びトラッキング駆動機構へ有害な機械的外力が掛かる問題を解消でき、駆動機構の破損、故障がなく、検査装置の耐久性及び検査結果の信頼性を向上させることが可能になる。
【００１７】
また、ホルダ固定部材を第２の位置よりも対物レンズに接近した第３の位置まで相対移動可能とし、第２の位置から第３の位置への移動に伴い、押圧部材の押圧保持を解除するように構成するか、或いは、押圧部材の押圧保持を解除する押圧解除部材を備えることにより、対物レンズ交換時には、上述の効果に加えて、ネジの緩めや締め付け等の面倒な動作無しに、対物レンズを迅速容易に交換できるようになり、短時間で多数の対物レンズの検査が可能になり検査作業能率を向上させることができる。
【００１８】
また、ホルダが複数のワイヤにより支持されている場合には、ホルダ固定部材の移動方向と押圧解除部材の移動方向を略直交するよう配置することにより、押圧解除部材が押圧部材の押圧を解除する際に、ワイヤへ掛かる負荷を低減することができる。
【００１９】
また、押圧部材により対物レンズの光軸を挟み対称な位置を押圧することにより、高周波数領域でのフォーカシング及びトラッキング駆動時、対物レンズ押さえ位置の偏りによる対物レンズの共振を防止でき、検査結果の信頼性を向上させることができる。
【００２０】
また、レンズ載置部は貫通穴を有し、対物レンズの一部は貫通穴に挿入して載置され、対物レンズの貫通穴への挿入長が０．２ｍｍ〜０．６ｍｍの範囲とすることで、装着時は着実に固定され、外す時は外しやすく、更に押圧解除の際に押圧部材を僅かに持ち上げるだけでよくなり、押圧部材の弾性変形領域内の変形量とすることができる。
【００２１】
また、押圧部材の押圧力をＦ、対物レンズの質量とホルダにかかる最大加速度の積をｆとしたとき、３≦Ｆ／ｆ＜８、を満足するよう押圧部材を形成することで、対物レンズ及びホルダの高次の共振を防止でき、検査結果の信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、実施の形態により本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２３】
（第１の実施の形態）
以下、本発明の第１の実施の形態について説明する。本実施の形態は、被検体である対物レンズが載置されたホルダがワイヤにより支持されているタイプのものに、本発明を適用したものである。
【００２４】
図１は、第１の実施の形態に係る対物レンズ検査装置１００を示した図である。
【００２５】
同図に示す対物レンズ検査装置１００は、被検体である対物レンズ１が載置されるレンズ載置部を有するホルダ２と、このホルダ２を変位駆動する駆動部を備えた光ピックアップ部４０とホルダ固定部材５０と、これら光ピックアップ部４０とホルダ固定部材５０を載置したスライドベース６０で構成されている。
【００２６】
光ピックアップ部４０は、ホルダ２と支持部材７が主要な部品として構成され、Ｏを光軸としフランジ部１ｆを有する対物レンズ１が、ホルダ２の図示しない貫通穴部に挿入され、対物レンズ１のフランジ部１ｆを、板バネ等の弾性体で形成された押圧部材８が押圧することによりホルダ２に固定されている。押圧部材８は、固定ネジ９によりホルダ２に固定されている。
【００２７】
この押圧部材８の固定は、これに限らず、カシメ、接着、差し込み等で固定してもよいし、ホルダと一体成形されたものであってもよい。
【００２８】
なお、本実施の形態では、レンズ面とフランジ部が一体に成形されたもの及びフランジ部を有する鏡枠にレンズを組み込んだものを総称して、対物レンズ１と称している。
【００２９】
ホルダ２は支持部材７から延びる４本の可撓性のワイヤ６により支持され、ワイヤ６をサスペンションとして、ホルダ２は所定範囲の光軸方向及び光軸直交方向の移動が可能とされている。なお本形態では、ホルダ２を４本のワイヤ６で支持したもので説明するが、これに限らず、６本や８本のワイヤで支持するものであってもよい。
【００３０】
ホルダ２の外周には、フォーカス駆動用コイル１３が巻き回され、外ヨーク４、内ヨーク５、マグネット３で構成される磁気回路中にトラッキング駆動用コイル１４（図示せず）で構成されたアクチュエータが配置されている。これらのコイルに給電することによりホルダ２は、光軸Ｏの方向（フォーカシング方向）とこの光軸に直交する方向（トラッキング方向）の２方向に揺動可能となっている。またこれらのコイルはワイヤ６を介して電源が供給されるようになっている。
【００３１】
なお、ホルダ２は対物レンズ１の質量より十分大きな質量で形成されていることが好ましい。このようにすることで、異なる対物レンズの検査に使用する際の重心移動量を小さくでき、バランスの偏りによるピッチング等を防止した、汎用性のある検査装置とすることができる。
【００３２】
また、ホルダ２のホルダ固定部材５０側の面には、外ヨーク４を挟んで、２箇所に穴部１５が形成されている。
【００３３】
なお、押圧部材８は、図示のごとく対物レンズ１の光軸Ｏを挟み対称な位置を押圧するよう形成されている。このようにすることで、ホルダ２が駆動され、高周波数でのフォーカシング及びトラッキング時、対物レンズ押さえ位置の偏りによる対物レンズの共振を防止できる。
【００３４】
ホルダ固定部材５０は、スライドベース６０に形成されたガイド溝６１にガイドされ摺動可能となされている。このホルダ固定部材５０は、図示の位置からガイド溝６１に沿って光ピックアップ部４０側へ移動したとき、ホルダ２に形成された２箇所の穴部１５に係合する２つの係合部５０ｋが形成されている。この係合部５０ｋの先端部は、図示のように円錐状に形成され、穴部１５が少々ずれた位置にあっても係合が円滑に行えるようになっている。この係合部５０ｋは、棒材を加工してホルダ固定部材５０に植設して形成するか、或いは、ホルダ固定部材５０に一体で形成してもよい。
【００３５】
また、ホルダの穴部１５側にも係合部５０ｋとの係合が円滑に行えるよう面取り等を形成することが好ましいが、何れか一方であってもよい。
【００３６】
また、ホルダ固定部材５０には、係合部５０ｋがホルダ２の穴部１５に係合した後、更に対物レンズ１に接近したとき、押圧部材８の先端部８ｓとホルダ２との間の隙間に挿入される傾斜部５０ｓが一体で形成されている。
【００３７】
光ピックアップ部４０とホルダ固定部材５０を載置した、スライドベース６０は、リードスクリューの主ガイド軸６２と副ガイド軸６３により支持され、主ガイド軸６２であるリードスクリューの回転によりガイド軸方向に移動可能となされている。
【００３８】
また、スライドベース６０には、対物レンズ１にレーザ光を出射するレーザ光源と、光ディスクから戻ってきた光を受光する受光部と、これらの光路を構成する光学部材を有した光学ブロック６４が組み付けられている。
【００３９】
また、図示していないが、対物レンズ１の上方には、光ディスクが配置され、対物レンズの検査が行われる。光ディスクは、公知のディスクテーブル上にクランプ部材によって保持され、スピンドルモータ及びドライブコントローラにより所定の回転数で回転駆動されるようになっている。
【００４０】
以上が、第１の実施の形態に係る対物レンズ検査装置１００の概略の構成である。
【００４１】
次いで、対物レンズ検査装置１００の対物レンズ交換時の動作について説明する。
【００４２】
図２は、対物レンズ検査装置１００のホルダ２とホルダ固定部材５０の相対位置関係とホルダ固定部材５０の機能を模式的に示した図である。同図は、ホルダ２とホルダ固定部材５０のみを抜き出して示した模式図である。
【００４３】
同図（ａ）は、図１と同様に、ホルダ固定部材５０が、ホルダ２と離間し、ホルダ２の変位駆動に干渉しない位置に有るときの状態を示している。
【００４４】
同図に示すように、ホルダ２に被検体である対物レンズ１（図示せず）のフランジ部１ｆが固定ネジ９で固定された押圧部材８により押圧固定されている。この状態で、ホルダ２をフォーカシング方向とトラッキング方向の２方向に揺動変位駆動し、対物レンズ１の検査が行われる。この同図（ａ）に示すホルダ固定部材５０の位置を第１の位置と称す。
【００４５】
対物レンズ１の検査が終了すると、リードスクリューである主ガイド軸６２を回転させ、スライドベース６０を移動させ（図１参照）、図示していない光ディスクの下面から退避させる。この後、対物レンズ１の交換が行われる。
【００４６】
同図（ｂ）及び（ｃ）は、対物レンズ１を交換する時のホルダ固定部材５０とホルダ２の相対位置関係を示している。
【００４７】
同図（ｂ）に示すように、ホルダ固定部材５０をスライドベース６０に形成されたガイド溝６１に沿って（図１参照）、第１の位置から移動させ、係合部５０ｋはホルダ２に形成された穴部１５に挿入されて係合する。この同図（ｂ）に示すホルダ固定部材５０の位置を第２の位置と称す。
【００４８】
このホルダ固定部材５０の第２の位置への移動により、ホルダ２は上述の可撓性のワイヤ６による支持ではなく、ホルダ固定部材５０によって堅固に支持されることになる。この状態となれば、例え、固定ネジ９を緩めて押圧部材８を外し、対物レンズ１を交換したとしてもホルダ２が堅固に支持されているため、フォーカシング及びトラッキング変位駆動機構へ有害な機械的外力が掛かる問題を解消でき、駆動機構の破損、故障をなくすことができるようになる。
【００４９】
ホルダ固定部材５０は、同図（ｂ）に示す第２の位置から、更に対物レンズ１に接近した位置へ移動され、同図（ｃ）に示す状態となる。
【００５０】
この時、同図（ｃ）に示すように、ホルダ固定部材５０に形成された傾斜部５０ｓが押圧部材８の先端部８ｓを押し上げ、押圧部材８のフランジ部１ｆへの押圧を解除する。この同図（ｃ）に示すホルダ固定部材５０の位置を第３の位置と称す。
【００５１】
このホルダ固定部材５０の第３の位置への移動により、ホルダ２は堅固に支持されつつ、押圧部材８のフランジ部１ｆへの押圧が解除され、対物レンズ１は、迅速容易に交換できるようになり、短時間で多数の対物レンズの検査を可能とでき、検査作業能率を向上させることができるようになる。
【００５２】
なお、図１で説明したホルダ固定部材を、係合部５０ｋを有するホルダ固定部材５０と傾斜部５０ｓを有する押圧解除部材に分離して構成してもよい。
【００５３】
図３は、係合部５０ｋのみを有するホルダ固定部材５０と傾斜部５０ｓを有する押圧解除部材に分離して構成した場合の、それぞれの相対位置関係とそれぞれの機能を示す模式図である。
【００５４】
同図に示す係合部５０ｋを有するホルダ固定部材５０と傾斜部５０ｓを有する押圧解除部材５１は、同じガイド溝６１に沿って移動し、ホルダ固定部材５０がホルダ２側に配置されている。これにより、押圧解除部材５１が、ホルダ固定部材５０より先にホルダ２側に移動することができないように構成されている。
【００５５】
同図（ａ）は、図２（ａ）と同様の状態であるので説明は省略する。この同図（ａ）に示すホルダ固定部材５０の位置を第１の位置と称す。
【００５６】
同図（ｂ）に示すように、ホルダ固定部材５０をスライドベース６０に形成されたガイド溝６１に沿って（図１参照）、第１の位置から移動させ、係合部５０ｋはホルダ２に形成された穴部１５に挿入されて係合する。この同図（ｂ）に示すホルダ固定部材５０の位置を第２の位置と称す。
【００５７】
このホルダ固定部材５０の第２の位置への移動により、ホルダ２は可撓性のワイヤ６による支持ではなく、堅固に支持されることになり、上記と同様の効果が得られる。
【００５８】
次いで、同図（ｃ）に示すように、傾斜部５０ｓが形成された押圧解除部材５１が、ガイド溝６１に沿って移動し、押圧部材８の先端部８ｓを押し上げ、押圧部材８のフランジ部１ｆへの押圧を解除する。
【００５９】
この押圧解除部材５１によるフランジ部１ｆへの押圧解除とホルダ固定部材５０によるホルダ２の堅個な固定により、対物レンズ１は、迅速容易に交換できるようになり、短時間で多数の対物レンズの検査を可能とでき、検査作業能率を向上させることができるようになる。
【００６０】
なお、上記の図３に示す実施の形態では、ホルダ固定部材５０と押圧解除部材５１を同じガイド溝に沿って同じ方向に移動させるよう構成した例で説明したが、ホルダ固定部材５０の移動方向と押圧解除部材５１の移動方向を略直交するよう配置してもよい。このようにすることで、押圧解除部材５１が押圧部材８の押圧保持を解除する際、ワイヤ６へ掛かる負荷を低減でき、より好ましい。また、ホルダ固定部材５０をホルダ２の対向する側面にそれぞれ設け、押圧解除部材５１の移動方向と略直交する２方向からホルダ２を挟み込むよう移動して固定するように構成してもよい。
【００６１】
（第２の実施の形態）
以下、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、所謂軸摺動タイプと呼ばれるものに、本発明を適用したものである。
【００６２】
図４は、第２の実施の形態に係る対物レンズ検査装置２００を示した図である。
【００６３】
同図に示す対物レンズ検査装置２００は、被検体である対物レンズ１が載置されるレンズ載置部を有するホルダ２と、このホルダ２を変位駆動する駆動部を備えた光ピックアップ部１４０とホルダ固定部材１５０と、これらを載置したスライドベース６０で構成されており、スライドベース６０は、図１と同様であるため上面以外は省略し、光ピックアップ部１４０とホルダ固定部材１５０を示したものである。
【００６４】
光ピックアップ部１４０は、ホルダ２０と支持部材３０が主要な部品として構成され、Ｏを光軸としフランジ部１ｆを有する対物レンズ１が、ホルダ２０の図示しない貫通穴部に挿入され、対物レンズ１のフランジ部１ｆを、板バネ等の弾性体で形成された押圧部材８が押圧することによりホルダ２０に固定されている。押圧部材８は、固定ネジ９によりホルダ２０に固定されている。
【００６５】
この押圧部材８の固定は、これに限らず、カシメ、接着、差し込み等で固定してもよいし、ホルダと一体成形されたものであってもよい。
【００６６】
なお、本実施の形態においても、レンズ面とフランジ部が一体に成形されたもの及びフランジ部を有する鏡枠にレンズを組み込んだものを総称して、対物レンズ１と称している。
【００６７】
図示していないが、ホルダ２０には対物レンズ１の光軸Ｏに平行な挿通穴が設けられており、支持部材３０にはこの挿通穴に嵌合する軸が形成されている。ホルダ２０は、この軸方向に摺動及び軸回りに回動変位し、フォーカシング及びトラッキングが行われるようになっている。
【００６８】
ホルダ２０の外周部の２箇所の切り欠き位置には、二軸アクチュエータ２１を構成するフォーカシング用コイル２５が、対向して配置されている。このフォーカシング用コイル２５の外周部には、環状のトラッキング用コイル２６と、フォーカシング用コイル２５の内周部に一端が挿入されたＵ字状のヨーク２７と、フォーカシング用コイル２５及びトラッキング用コイル２６と対向するようにヨーク２７に設けられた駆動用マグネット２８とを有している。トラッキング用コイル２６の中央部には、フォーカシング方向の初期位置にホルダ２０を位置させるための中立用の磁性体が配置されている。上述の挿通穴は、これら対向するアクチュエータ部の略中央に形成されている。
【００６９】
なお、ホルダ２０は対物レンズ１の質量より十分大きな質量で形成されていることが好ましい。このようにすることで、異なる対物レンズの検査に使用する際の重心移動量を小さくでき、バランスの偏りによるピッチング等を防止した、汎用性のある検査装置とすることができる。
【００７０】
また、ホルダ２０には舌状の突出部２０ｔが形成されている。押圧部材８は、図示のごとく対物レンズ１の光軸Ｏを挟み対称な位置を押圧するよう形成されており、先端部８ｓが突出部２０ｔの突出方向となるよう形成されている。
【００７１】
ホルダ固定部材１５０は、スライドベース６０に形成されたガイド溝６１にガイドされ摺動可能となされている。このホルダ固定部材１５０は、図示の位置からガイド溝６１に沿って光ピックアップ部１４０側へ移動したとき、ホルダ２０に形成された突出部２０ｔに係合する、コの字状の貫通穴の係合部１５０ｋが形成されている。この係合部１５０ｋの、突出部２０ｔの挿入口は、角丸めや面取り等が形成されていることが好ましく、また、突出部２０ｔの先端部は図示のようにテーパや円弧状となっていることが好ましい。
【００７２】
また、ホルダ固定部材１５０には、係合部１５０ｋがホルダ２０の突出部２０ｔに係合した後、更に対物レンズ１に接近したとき、押圧部材８の先端部８ｓとホルダ２０との間の隙間に挿入される傾斜部１５０ｓが一体で形成されている。
【００７３】
なお、この光ピックアップ部１４０とホルダ固定部材１５０を載置した、スライドベース６０は、図示しないが図１で説明したものと同様で、リードスクリューの主ガイド軸と副ガイド軸により支持され、リードスクリューの回転によりガイド軸方向に移動可能となされている。スライドベースには、対物レンズ１にレーザ光を出射するレーザ光源と、光ディスクから戻ってきた光を受光する受光部と、これらの光路を構成する光学部材を有した光学ブロックが組み付けられ、対物レンズ１の上方には、光ディスクが配置され、対物レンズの検査が行われる。光ディスクは、公知のディスクテーブル上にクランプ部材によって保持され、スピンドルモータ及びドライブコントローラにより所定の回転数で回転駆動されるようになっている。
【００７４】
以上が、第２の実施の形態に係る対物レンズ検査装置２００の概略の構成である。
【００７５】
次いで、対物レンズ検査装置２００の対物レンズ交換時の動作について説明する。
【００７６】
図５は、対物レンズ検査装置２００のホルダ２０とホルダ固定部材１５０の相対位置関係とホルダ固定部材１５０の機能を模式的に示した図である。同図は、ホルダ２０とホルダ固定部材１５０のみを抜き出して示した模式図である。なお、ホルダ固定部材１５０は図４に示すＦ−Ｆ線で切断した断面で示してある。
【００７７】
同図（ａ）は、図４と同様に、ホルダ固定部材１５０が、ホルダ２０と離間し、ホルダ２０の変位駆動に干渉しない位置に有るときの状態を示している。
【００７８】
同図に示すように、ホルダ２０に被検体である対物レンズ１（図示せず）のフランジ部１ｆが固定ネジ９で固定された押圧部材８により押圧固定されている。この状態で、ホルダ２０をフォーカシング方向とトラッキング方向の２方向に揺動変位駆動し、対物レンズ１の検査が行われる。この同図（ａ）に示すホルダ固定部材１５０の位置を第１の位置と称す。
【００７９】
対物レンズ１の検査が終了すると、スライドベース６０を移動させ、図示していない光ディスクの下面から退避させる。この後、対物レンズ１の交換が行われる。
【００８０】
同図（ｂ）及び（ｃ）は、対物レンズ１を交換する時のホルダ固定部材１５０とホルダ２０の相対位置関係を示している。
【００８１】
同図（ｂ）に示すように、ホルダ固定部材１５０をスライドベース６０に形成されたガイド溝６１に沿って（図４参照）、第１の位置から移動させ、係合部１５０ｋはホルダ２０に形成された突出部２０ｔに挿入されて係合する。この同図（ｂ）に示すホルダ固定部材１５０の位置を第２の位置と称す。
【００８２】
このホルダ固定部材１５０の第２の位置への移動により、ホルダ２０は鉄片２９の磁力による支持ではなく、ホルダ固定部材１５０によって堅固に支持されることになる。この状態となれば、例え、固定ネジ９を緩めて押圧部材８を外し、対物レンズ１を交換したとしてもホルダ２０が堅固に支持されているため、フォーカシング及びトラッキング変位駆動機構へ有害な機械的外力が掛かる問題を解消でき、駆動機構の破損、故障をなくすことができるようになる。
【００８３】
ホルダ固定部材１５０は、同図（ｂ）に示す第２の位置から、更に対物レンズ１に接近した位置へ移動され、同図（ｃ）に示す状態となる。
【００８４】
この時、同図（ｃ）に示すように、ホルダ固定部材１５０に形成された傾斜部１５０ｓが押圧部材８の先端部８ｓを押し上げ、押圧部材８のフランジ部１ｆへの押圧を解除する。この同図（ｃ）に示すホルダ固定部材１５０の位置を第３の位置と称す。
【００８５】
このホルダ固定部材１５０の第３の位置への移動により、ホルダ２０は堅固に支持されつつ、押圧部材８のフランジ部１ｆへの押圧が解除され、対物レンズ１は、迅速容易に交換できるようになり、短時間で多数の対物レンズの検査を可能とでき、検査作業能率を向上させることができるようになる。
【００８６】
また、本例においても第１の実施の形態の図３で説明したものと同様に、図４に示すホルダ固定部材１５０を、係合部１５０ｋを有するホルダ固定部材と傾斜部１５０ｓを有する押圧解除部材に分離して構成してもよいのは勿論である。
【００８７】
なお、前述の第１、第２の実施の形態においては、スライドベースを光ディスクから退避させ、対物レンズ交換を行うように構成した例で説明したが、光ディスクを退避可能にして、スライドベースを固定したものでもよいのは勿論である。また、ホルダ固定部材をホルダ側へ移動させるよう構成した例で説明したが、ホルダを含む駆動部を移動させてもよく、ホルダとホルダ固定部材が相対的に移動可能となっていればよいものである。
【００８８】
また、押圧解除部材を用いて、押圧部材の押圧解除を行うようにすることで、押圧部材を所定量以上押し上げることがなく、押圧部材の塑性変形等の故障を防止できる。
【００８９】
また、本発明の対物レンズ検査装置は、対物レンズを容易に交換できるため、使用する光源を適宜選択することにより、対物レンズ検査装置としてのみならず、ディスクの検査装置にも適用可能な汎用性の高いものとすることができる。
【００９０】
図６は、ホルダに形成された貫通穴に対物レンズ１の一部を挿入し載置した状態を示す概略の断面図である。
【００９１】
同図に示すように、図１に示すホルダ２又は図４に示すホルダ２０は、レーザ光が通過する貫通穴を有しており、この貫通穴に被検体の対物レンズ１の一部を挿入して嵌合させ、フランジ部１ｆを押圧部材（図示せず）により押しつけ固定している。同図に示すＤは、対物レンズ１の貫通穴部へ挿入する挿入長を示している。
【００９２】
貫通穴部に対物レンズ１を、挿脱しやすくするためには、図示Ｃで示すようにホルダ２、２０の貫通穴入り口に面取り又は角丸めを形成するか、対物レンズ１の挿入される部位の先端に面取り又は角丸めを形成する必要がある。この量は０．１ｍｍ程度必要である。また、嵌合により対物レンズ１を位置決めするには、嵌合部の長さとして０．１ｍｍ程度が必要となる。即ち、この対物レンズ１の貫通穴部への挿入長Ｄは、少なくとも０．２ｍｍ程度が必要となる。
【００９３】
一方、この挿入長を大きく設定すると、前述の押圧解除時押圧部材を押し上げる量を増加させねばならず、板バネ等で形成された押圧部材の弾性変形領域を越えた量では、弾性体としての機能を発揮できなくなる。
【００９４】
即ち、対物レンズの貫通穴への挿入長Ｄは０．２ｍｍ〜０．６ｍｍに設定することが好ましい。
【実施例】
【００９５】
上記の対物レンズ検査装置を用いて、フォーカシング方向及びトラッキング方向に高周波振動数の駆動を行ったとき、対物レンズの押圧固定が不安定になり信頼性のある検査結果が得られない場合があった。
【００９６】
これは対物レンズの質量とこれに掛かる最大加速度２５Ｇの積で求めた程度の押圧力では、高次共振が発生するためと考えられた。一方、押圧力を増加させるには板厚を厚くしたり、作用点と支持点を接近させる必要があり、過剰に厚くしたり、接近させると押圧解除のために押圧部材を押し上げた際に、塑性変形を起こすことになる。本発明者は、好適な押圧部材の押圧力の範囲を求めるため以下の実験を行った。
【００９７】
設定条件は以下の通りである。
【００９８】
使用した対物レンズ検査装置：図４に示す軸摺動タイプの駆動部を有するもの
対物レンズ質量：２ｇ
押圧部材の押圧力：０．０６１Ｎ〜０．４Ｎの５種
上記の５種の押圧力の押圧部材を用い、高次共振の発生の有無、押圧部材の塑性変形の有無を調べた。
【００９９】
図７は、実験結果を表にしたものである。同図右端の列に、押圧力をＦ、対物レンズの質量と掛かる最大加速度の積をｆとして、Ｆ／ｆの比を示してある。なおｆは、ｆ＝質量×最大加速度（２５Ｇ）で計算し、０．０４９Ｎである。
【０１００】
同図に示すように、高次共振は押圧力が０．１５４Ｎ以上で発生しなくなり、一方押圧部材の塑性変形は押圧力が０．２００Ｎで発生した。
【０１０１】
以上の結果より、押圧部材の押圧力をＦ、対物レンズの質量とホルダにかかる最大加速度の積をｆとしたとき、３≦Ｆ／ｆ＜８となるよう設定することが好適であることが判った。また、押圧解除時の傾斜部に掛かる力の低減と、押圧部材の個体差バラツキを考慮すると３≦Ｆ／ｆ≦４と設定することが、より好ましい。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】第１の実施の形態に係る対物レンズ検査装置１００を示した図である。
【図２】対物レンズ検査装置１００のホルダとホルダ固定部材の相対位置関係とホルダ固定部材の機能を模式的に示した図である。
【図３】係合部のみを有するホルダ固定部材と傾斜部を有する押圧解除部材に分離して構成した場合の、それぞれの相対位置関係とそれぞれの機能を示す模式図である。
【図４】第２の実施の形態に係る対物レンズ検査装置２００を示した図である。
【図５】対物レンズ検査装置２００のホルダとホルダ固定部材の相対位置関係とホルダ固定部材の機能を模式的に示した図である。
【図６】ホルダに形成された貫通穴に対物レンズの一部を挿入し載置した状態を示す概略の断面図である。
【図７】実験結果を表にしたものである。
【符号の説明】
【０１０３】
１  対物レンズ
２  ホルダ
３  マグネット
４  外ヨーク
５  内ヨーク
６  ワイヤ
７  支持部材
８  押圧部材
１３  フォーカス駆動用コイル
１４  トラッキング駆動用コイル
１５  穴部
５０  ホルダ固定部材
６０  スライドベース
６２  主ガイド軸
６３  副ガイド軸
６４  光学ブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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