(57)【要約】【課題】組立完了の出荷時や出荷後の電動弁において、弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を、個々に調整〜微調整できるようにすること。【解決手段】ストッパ機構として、ステッピングモータ３の回転軸５１の回転によって回転する回転側ストッパ部材５６と、回転側ストッパ部材５６が当接することにより回転側ストッパ部材５６のそれ以上の回転を止める固定側ストッパ部材５７とを設け、固定側ストッパ部材５７は、電動弁の外郭をなすハウジング２の内側に形成された円筒状内周部に嵌め込まれてハウジング２に対して任意の回転位置にて固定される構造にする。【選択図】図１
2006112504.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動モータの回転軸と弁体とが駆動連結され、前記弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置の少なくとも何れか一方を機械的に設定するストッパ機構を組み込まれた電動弁において、
前記ストッパ機構は、前記電動モータの回転軸の回転によって回転する回転側ストッパ部材と、前記回転側ストッパ部材が当接することにより、当該回転側ストッパ部材のそれ以上の回転を止める固定側ストッパ部材とを有し、
前記固定側ストッパ部材は、円筒状をなし、その円筒状部の周方向の一部に固定側凸部を有し、当該固定側凸部に回転側ストッパ部材が当接する構造になっており、
当該固定側ストッパ部材は、電動弁の外郭をなすハウジングの内側に形成された円筒状内周部に嵌め込まれ、前記ハウジングに対して任意の回転位置にて固定されている、
ことを特徴とする電動弁。
【請求項２】
前記ハウジングに、当該ハウジングの外壁より円筒状内周部に開口したねじ孔が形成され、前記ねじ孔に止めねじがねじ込まれ、当該止めねじの先端が前記固定側ストッパ部材の前記円筒状部に当接することにより、固定側ストッパ部材が前記ハウジングに固定されている請求項１記載の電動弁。
【請求項３】
前記回転側ストッパ部材は、前記固定側ストッパ部材の前記円筒状部と同心の回転軸線周りに回転可能に配置され、回転変位によって前記固定側ストッパ部材の固定側凸部と当接する可動側凸部を有し、前記電動モータの前記回転軸によって回転駆動される駆動ピンが前記可動側凸部に当接することにより前記回転側ストッパ部材が回転駆動される請求項１または２記載の電動弁。
【請求項４】
前記回転側ストッパ部材は、前記固定側ストッパ部材の前記円筒状部と同心の回転軸線周りに回転可能に配置され回転変位により前記固定側ストッパ部材の固定側凸部と当接する可動側凸部を有する外側可動ストッパ部材と、前記外側可動ストッパ部材の内側にあって当該外側可動ストッパ部材と同心の回転軸線周りに回転可能に配置され回転変位により前記外側可動ストッパ部材の前記可動側凸部と当接する可動側凸部を有する内側可動ストッパ部材とを含み、前記電動モータの前記回転軸によって回転駆動される駆動ピンが前記内側可動ストッパ部材の前記可動側凸部に当接することにより前記回転側ストッパ部材が回転駆動される請求項１または２記載の電動弁。
【請求項５】
電動モータの回転軸の回転を軸線運動に変換する送りねじ機構を有し、前記弁体は、前記送りねじ機構によって軸線移動し、軸線方向位置に応じて弁ポートの実効開口面積を可変設定し、流量制御を行うことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項記載の電動弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電動弁に関し、特に、弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置の少なくとも何れか一方を機械的に設定するストッパ機構を組み込まれた電動弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電動モータの回転軸と弁体とが駆動連結され、電動モータによって弁体が開閉駆動される電動弁には、弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置の少なくとも何れか一方を機械的に設定するストッパ機構が組み込まれている（例えば、特許文献１、２、３）
【０００３】
従来の電動弁のストッパ機構は、ステッピングモータ等の電動モータのロータに回転側のストッパ凸部が形成され、このストッパ凸部がロータケース内や弁ハウジング内に固定配置された固定側ストッパ凸部に当接することにより、それ以上のロータ回転を止めて弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を機械的に設定するようになっている。
【０００４】
このストッパ機構には、ロータ（モータ）の回転を１回転以下に限って弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を設定するもの、中間回転部材を設けることにより、ロータ回転の多回転において弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を設定するもの等、種々知られている。
【０００５】
しかしながら、従来の電動弁のストッパ機構は、いずれも、組立完了の電動弁において、つまり、電動弁の出荷時や出荷後において、固定側ストッパ凸部の配置位置を調整〜微調整できるようになっていない。このため、組立完了の出荷時や出荷後の電動弁において、弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を、個々に調整〜微調整することができない。
【０００６】
このようなことは、微少な流量制御を行う微流量電動弁や、半導体製造機器等において、弁体と弁座との当たりにより発生するパーティクルの混入を避けるために、最大弁閉位置を、弁体が弁座に当接する直前位置に微妙に設定する必要があるような場合、大きい問題になる。
【特許文献１】特開２００３−５６７３６号公報
【特許文献２】特開２００３−７５００８号公報
【特許文献３】特許第２６５９２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明が解決しようとする課題は、組立完了の出荷時や出荷後の電動弁において、弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を、個々に調整〜微調整できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明による電動弁は、電動モータの回転軸と弁体とが駆動連結され、前記弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置の少なくとも何れか一方を機械的に設定するストッパ機構を組み込まれた電動弁において、前記ストッパ機構は、前記電動モータの回転軸の回転によって回転する回転側ストッパ部材と、前記回転側ストッパ部材が当接することにより、当該回転側ストッパ部材のそれ以上の回転を止める固定側ストッパ部材とを有し、前記固定側ストッパ部材は、円筒状をなし、その円筒状部の周方向の一部に固定側凸部を有し、当該固定側凸部に回転側ストッパ部材が当接する構造になっており、当該固定側ストッパ部材は、電動弁の外郭をなすハウジングの内側に形成された円筒状内周部に嵌め込まれ、前記ハウジングに対して任意の回転位置にて固定されている。
【０００９】
この発明による電動弁は、好ましくは、前記ハウジングに、当該ハウジングの外壁より円筒状内周部に開口したねじ孔が形成され、前記ねじ孔に止めねじがねじ込まれ、当該止めねじの先端が前記固定側ストッパ部材の前記円筒状部に当接することにより、固定側ストッパ部材が前記ハウジングに固定されている。
【００１０】
この発明による電動弁は、好ましくは、前記回転側ストッパ部材は、前記固定側ストッパ部材の前記円筒状部と同心の回転軸線周りに回転可能に配置され、回転変位によって前記固定側ストッパ部材の固定側凸部と当接する可動側凸部を有し、前記電動モータの前記回転軸によって回転駆動される駆動ピンが前記可動側凸部に当接することにより前記回転側ストッパ部材が回転駆動される。
【００１１】
この発明による電動弁は、好ましくは、前記回転側ストッパ部材は、前記固定側ストッパ部材の前記円筒状部と同心の回転軸線周りに回転可能に配置され回転変位により前記固定側ストッパ部材の固定側凸部と当接する可動側凸部を有する外側可動ストッパ部材と、前記外側可動ストッパ部材の内側にあって当該外側可動ストッパ部材と同心の回転軸線周りに回転可能に配置され回転変位により前記外側可動ストッパ部材の前記可動側凸部と当接する可動側凸部を有する内側可動ストッパ部材とを含み、前記電動モータの前記回転軸によって回転駆動される駆動ピンが前記内側可動ストッパ部材の前記可動側凸部に当接することにより前記回転側ストッパ部材が回転駆動される。
【００１２】
この発明による電動弁は、好ましくは、電動モータの回転軸の回転を軸線運動に変換する送りねじ機構を有し、前記弁体は、前記送りねじ機構によって軸線移動し、軸線方向位置に応じて弁ポートの実効開口面積を可変設定し、流量制御を行う。
【発明の効果】
【００１３】
この発明による電動弁は、固定側ストッパ部材が、円筒状で、その円筒状部の周方向の一部に固定側凸部を有する形状をなし、この固定側ストッパ部材が、電動弁の外郭をなすハウジングの内側に形成された円筒状内周部に嵌め込まれ、ハウジングに対して任意の回転位置にて固定されるから、組立完了の電動弁において、固定側ストッパ部材の固定側凸部の配置位置を調整〜微調整することが可能になり、組立完了の出荷時や出荷後の電動弁において、弁体の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を、個々に調整〜微調整できるようになる。これにより、たとえば、弁閉位置の多様なニーズに対応できる。
【００１４】
特に、ハウジングのねじ孔にねじ込まれた止めねじによっての先端が固定側ストッパ部材をハウジングに固定する構造の場合、止めねじの締め付けだけで、組立完了の電動弁において、固定側ストッパ部材をハウジングに対して任意の回転位置に固定でき、しかも、再調整も可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
この発明による電動弁の実施形態１を、図１〜図７を参照して説明する。
【００１６】
図１に示されているように、電動弁は、弁ハウジング１と、中間ハウジング２と、ステッピングモータ３とを有する。中間ハウジング２は、弁ハウジング１とステッピングモータ３との間にあり、円筒状で、両端に接続用フランジ部２Ａ、２Ｂを有し、下側の接続用フランジ部２Ａをボルト４によって弁ハウジング１に固定接続され、上側の接続用フランジ部２Ｂをボルト５によってステッピングモータ３に固定接続されている。
【００１７】
弁ハウジング１には、入口ポート６、出口ポート７、弁室８、弁ポート９が形成されている。弁ポート９は、弁ハウジング１による円錐状の弁座面１０により画定され、弁室８の底部中央に開口している。入口ポート６は弁ハウジング１に形成された内部通路１１によって弁ポート９に連通している。出口ポート７は弁ハウジング１に形成された内部通路１２によって弁室８に連通している。
【００１８】
弁室８にはダイヤフラム弁１３が設けられている。ダイヤフラム弁１３は、中央の弁部１４と、弁部１４の周囲に形成されたダイヤフラム部１５とを有し、全体をＰＴＦＥ等、耐液性に優れたプラスチックスにより構成されている。弁部１４は、弁ポート９と同心配置で、コーン形をしていて軸線方向位置（上下位置）に応じて弁ポート９の実効開口面積を可変設定し、流量制御を行う。
【００１９】
ダイヤフラム部１５は円環状の外周縁部１５ＡをＯリング１６と共に弁ハウジング１の取付孔１７の底部と取付孔１７に入れられた内部取付部材１８とに気密に挟まれている。また、弁部１４にはＰＴＦＥ等によるもう一つのダイヤフラム部材１９の内周縁部１９Ｂが気密に接続されている。ダイヤフラム部材１９の外周縁部１９Ａはダイヤフラム部１５の外周縁部１５Ａと共にハウジング１の取付孔１７の底部と内部取付部材１８とに気密に挟まれている。これにより、弁室８における接液部は、ダイヤフラム部１５とダイヤフラム部材１９とによる２重ダイヤフラム構造によって中間ハウジング２側とは隔離されている。
【００２０】
なお、内部取付部材１８は、弁ハウジング１の取付孔１７の底部との間に、Ｏリング１６、ダイヤフラム部１５の外周縁部１５Ａ、ダイヤフラム部材１９の外周縁部１９Ａを挟み、中間ハウジング２の下側段差部２Ｃとの間に後述のボールベアリング２０のアウタレース２０Ａをスラスト方向に挟んで、ボルト４による弁ハウジング１と中間ハウジング２の固定連結によって、取付孔１７に入れられた状態で弁ハウジング１と中間ハウジング２との間に挟み込み固定されている。
【００２１】
弁部１４の上部には弁軸部材２１の下端がねじ部２２によって固定連結されている。弁軸部材２１は内部取付部材１８の中心部に一体形成された円筒状の軸ガイド部２３に軸線方向に摺動可能に嵌合している。
【００２２】
図３に示されているように、軸ガイド部２３には軸線方向のスリット状開口２４が形成されており、スリット状開口２４に雄ねじ部材２５の短冊状の係合片２６が軸線方向に変位可能に回り止め係合している。雄ねじ部材２５は、円筒状で、軸ガイド部２３上に同心配置され、回り止め状態で、軸線方向に移動可能（上下動可能）になっており、外周部に雄ねじ部２７を有する。
【００２３】
雄ねじ部材２５には径方向のスリット溝２８（図３参照）が形成されており、このスリット溝２８にヨーク形状の係合座金３０が差し込まれている。この係合座金３０と弁軸部材２１の上端とが雄ねじ部材２５の中空孔２５Ａ内においてビス３１によって固定連結されている。
【００２４】
この連結構造により、雄ねじ部材２５と弁軸部材２１とが互いに径方向に変位可能に連結されている。これにより、弁部１４の側の軸心合わせと雄ねじ部材２５の側の軸心合わせとが切り離される。
【００２５】
また、内部取付部材１８の底部と係合座金３０との間には圧縮コイルばね３２が挟まれており、雄ねじ部材２５のスリット溝２８（図３参照）における係合座金３０の係合がた付きにオフセット力を与えている。
【００２６】
図１に示されているように、雄ねじ部材２５の雄ねじ部２７にはナット部材３３の雌ねじ部３４がねじ係合している。ナット部材３３にはボールベアリング２０のインナレース２０Ｂがロックナット３５によって固定されている。これにより、ナット部材３３はボールベアリング２０によって内部取付部材１８に対して回転可能に支持されている。
【００２７】
ステッピングモータ３は、下側に回転軸（出力軸）５１を有している。回転軸５１は、中間ハウジング２内にあり、先端側をナット部材３３の上部貫通孔３３Ａ、雄ねじ部材２５の中空孔２５Ａ内に挿入されている。
【００２８】
図２に示されているように、回転軸５１には止めねじ５２によって駆動ブロック部材５３が固定されている。駆動ブロック部材５３の外周部にはピン係合凹溝５４（図５参照）が形成されている。ナット部材３３の上面部には駆動ピン５５が固定装着されている。駆動ピン５５はピン係合凹溝５４に係合している。これにより、回転軸５１の回転が、駆動ピン５５によって駆動ブロック部材５３よりナット部材３３に伝達され、この回転伝達によってナット部材３３は回転軸５１と一体的に回転する。
【００２９】
中間ハウジング２内には、弁部１４の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置の少なくとも何れか一方を機械的に設定するストッパ機構が組み込まれている。ストッパ機構は、回転側ストッパ部材５６と固定側ストッパ部材５７とを有する。
【００３０】
固定側ストッパ部材５７は、円筒状をなし、その円筒状部５７Ａの下端縁の周方向の一部に固定側凸部５８を有し、中間ハウジング２の内側に形成された円筒状内周部５９に嵌め込まれている。固定側ストッパ部材５７は、上側にフランジ部５７Ｂを有し、フランジ部５７Ｂが中間ハウジング２の上側段差部２Ｄに係合することにより、抜け落ちを防止されている。
【００３１】
中間ハウジング２にはハウジング外壁２Ｅより円筒状内周部５９に開口したねじ孔６０が複数個（例えば、１２０度間隔で２個）形成されている。ねじ孔６０の各々には止めねじ６１がねじ込まれ、止めねじ６１の先端が固定側ストッパ部材５７の円筒状部５７Ａの外周面に当接することにより、固定側ストッパ部材５７が中間ハウジング２に任意の回転位置にて固定される。
【００３２】
つまり、固定側ストッパ部材５７は、止めねじ６１の締め付け前の状態では中間ハウジング２の円筒状内周部５９との嵌合によって中心軸線周りに回転可能であり、止めねじ６１の締め付けによって中間ハウジング２に対して任意の回転位置にて固定され、固定側凸部５８の中心軸線周り位置を変更可能、微調整可能になっている。また、この固定側凸部５８の中心軸線周り位置は、止めねじ６１を緩めることにより、再設定可能になっている。
【００３３】
図４に示されているように、回転側ストッパ部材５６は、ナット部材３３の上面中央に形成された円環状の回転案内部３３Ｂに回転可能に嵌合し、固定側ストッパ部材５７の円筒状部５７Ａと同心の回転軸線周りに回転可能なリング部５６Ａと、リング部５６Ａより径方向外方に突出形成された可動側凸部６２を有し、駆動ピン５５が可動側凸部６２の第１側面６２Ａや第２側面６２Ｂに当接することにより、回転軸５１の回転方向と同方向に回転側ストッパ部材５６が回転駆動される。
【００３４】
また、回転側ストッパ部材５６の可動側凸部６２の第１側面６２Ａや第２側面６２Ｂが、図６に示す固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８の第１側面５８Ａや第２側面５８Ｂに当接することにより、回転軸５１の回転方向と同方向への回転側ストッパ部材５６のそれ以上の回転駆動が阻止される。
【００３５】
なお、回転側ストッパ部材５６は、駆動ブロック部材５３とナット部材３３とのわずかな軸線方向空隙に配置され、ストッパ機構の占有スペースを削減している。回転側ストッパ部材５６は、薄板で構成され、ワイヤカット放電加工等によって製作することができる。
【００３６】
このストッパ機構では、駆動ピン５５の時計廻り方向の回転によって回転側ストッパ部材５６の可動側凸部６２の第１側面６２Ａが固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８の第１側面５８Ａに当接することにより（図７（ｃ）参照）、回転側ストッパ部材５６のそれ以上の時計廻り方向への回転が阻止され、弁部１４の最大弁開位置が設定される。
【００３７】
これとは反対に、駆動ピン５５の反時計廻り方向の回転によって回転側ストッパ部材５６の可動側凸部６２の第１側面６２Ａとは反対の第２側面６２Ｂが固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８の第１側面５８Ａとは反対の第２側面５８Ｂに当接することにより（図７（ｇ）参照）、回転側ストッパ部材５６のそれ以上の反時計廻り方向の回転が阻止され、弁部１４の最大弁閉位置が設定される。
【００３８】
つぎに、上述の構成による電動弁の動作について説明する。ステッピングモータ３の回転軸５１の回転により、駆動ブロック部材５３が回転軸５１と一体的に回転する。駆動ブロック部材５３の回転は、ピン係合凹溝５４に係合している駆動ピン５５によってナット部材３３に伝達され、ナット部材３３が回転軸５１の回転方向と同じ方向に回転する。
【００３９】
ナット部材３３の回転により、ナット部材３３とねじ係合して回り止めされている雄ねじ部材２５が軸線方向に移動する。これにより、雄ねじ部材２５と連結されている弁軸部材２１、ダイヤフラム弁１３が軸線方向に移動し、ダイヤフラム弁１３の弁部１４が軸線方向位置に応じて弁ポート９の実効開口面積を可変設定し、流量制御を行う。
【００４０】
例えば、ステッピングモータ３の回転軸５１の時計廻り方向の回転においては、図７（ａ）に示されているように、駆動ピン５５が同方向（時計廻り方向）に回転変位し、駆動ピン５５が回転側ストッパ部材５６の可動側凸部６２の第２側面６２Ｂに当接する（図７（ｂ）参照）。これより更に、駆動ピン５５が同方向に回転変位することにより、回転側ストッパ部材５６が駆動ピン５５に押されるようにして同方向に回転する。
【００４１】
この回転によって、図７（ｃ）に示されているように、回転側ストッパ部材５６の可動側凸部６２の第１側面６２Ａが固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８の第１側面５８Ａに当接すると、回転側ストッパ部材５６ならびに駆動ピン５５のそれ以上の時計廻り方向への回転が阻止される。これにより、弁部１４の最大弁開位置が設定される。
【００４２】
これとは反対に、ステッピングモータ３の回転軸５１が反時計廻り方向に回転すると、図７（ｄ）に示されているように、駆動ピン５５が同方向（反時計廻り方向）に回転変位し、駆動ピン５５が回転側ストッパ部材５６の可動側凸部６２の第１側面６２Ａに当接する（図７（ｅ）参照）。これより更に、駆動ピン５５が同方向に回転変位することにより、図７（ｆ）に示されているように、回転側ストッパ部材５６が駆動ピン５５に押されるようにして同方向に回転する。
【００４３】
この回転によって、図７（ｇ）に示されているように、回転側ストッパ部材５６の可動側凸部６２の第２側面６２Ｂが固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８の第２側面５８Ｂに当接すると、回転側ストッパ部材５６ならびに駆動ピン５５のそれ以上の反時計廻り方向の回転が阻止される。これにより、弁部１４の最大弁閉位置が設定される。
【００４４】
この実施形態では、モータのほぼ２回転で、弁部１４の最大弁閉位置と最大弁開位置とが設定され、高分解能の制御特性を得ることができる。
【００４５】
最大弁閉位置、最大弁開位置は、固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８の移転方向位置により決まるから、外側からねじ孔６０に棒状の工具を差し込むなどして、中間ハウジング２内の固定側ストッパ部材５７を回転方向に回すことにより、組立完了の電動弁において、固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８の回転方向の配置位置を調整〜微調整することができる。その後、ねじ孔６０に止めねじ６１をねじ込んで固定側ストッパ部材５７を固定することにより、組立完了の出荷時や出荷後の電動弁において、最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を、個々に調整〜微調整、再調整できるようになる。これにより、たとえば、弁閉位置の多様なニーズに対応できるようになる。
【００４６】
また、止めねじ６１を緩めた状態で、モータ駆動で、弁部１４を所要の最大弁閉位置あるいは最大弁開位置に位置させ、回転側ストッパ部材５６の可動側凸部６２を固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８に当接させた状態下で止めねじ６１を締め付けることによっても、組立完了の出荷時や出荷後の電動弁において、最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を、個々に調整〜微調整、再調整することができる。
【００４７】
この発明による電動弁の実施形態２を、図８〜図１０を参照して説明する。なお、図８〜図１０において、図１〜図７に対応する部分は、図１〜図７に付した符号と同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【００４８】
この実施形態では、図８に示されているように、回転側ストッパ部材として、外側可動ストッパ部材７１と、内側可動ストッパ部材７２とが設けられている。
【００４９】
外側可動ストッパ部材７１は、図１０に示されているように、短軸の円筒状（リング状）をなし、図９に示されているように、固定側ストッパ部材５７の内側の円筒嵌合部５７Ｃに回転可能に嵌合し、固定側ストッパ部材５７の円筒状部５７Ａと同心の回転軸線周りに回転可能に配置されている。図１０に示されているように、外側可動ストッパ部材７１には可動側凸部をなすピン７３が径方向に貫通して設けられている。ピン７３は外端部７３Ａにて固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８と当接する。
【００５０】
内側可動ストッパ部材７２は、外側可動ストッパ部材７１の内側にあり、ナット部材３３の上面中央に形成された円環状の回転案内部３３Ｂに回転可能に嵌合し、外側可動ストッパ部材７１と同心の回転軸線周りに回転可能なリング部７２Ａと、リング部７２Ａより径方向外方に突出形成された可動側凸部７４を有し、駆動ピン５５が可動側凸部７４に当接することにより、回転軸５１の回転方向に同方向に回転駆動される。そして、内側可動ストッパ部材７２の可動側凸部７４は外側可動ストッパ部材７１のピン７３の内端部７３Ｂに当接する。
【００５１】
このストッパ機構では、駆動ピン５５の時計廻り方向あるいは反時計廻り方向の回転によって駆動ピン５５が、内側可動ストッパ部材７２の可動側凸部７４に当接し、内側可動ストッパ部材７２を同方向に回転させる。内側可動ストッパ部材７２の回転により、可動側凸部７４が外側可動ストッパ部材７１のピン７３の内端部７３Ｂに当接すると、外側可動ストッパ部材７１も内側可動ストッパ部材７２と同方向に回転するようになる。
【００５２】
そして、内側可動ストッパ部材７１のピン７３の外端部７３Ａが固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８に当接することにより、外側可動ストッパ部材７１、内側可動ストッパ部材７２のそれ以上の同方向への回転が阻止される。これにより、弁部１４の最大弁閉位置あるいは最大弁開位置が設定される。
【００５３】
この実施形態では、モータのほぼ３回転で、弁部１４の最大弁閉位置と最大弁開位置とが設定され、高分解能の制御特性を得ることができる。
【００５４】
この実施形態でも、弁部１４の最大弁閉位置、最大弁開位置は、固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８の回転方向位置により決まるから、外側からねじ孔６０に棒状の工具を差し込むなどして、中間ハウジング２内の固定側ストッパ部材５７を回転方向に回すことにより、組立完了の電動弁において、固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８の回転方向の配置位置を調整〜微調整することができる。その後、ねじ孔６０に止めねじ６１をねじ込んで固定側ストッパ部材５７を固定することにより、組立完了の出荷時や出荷後の電動弁において、弁部１４の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を、個々に調整〜微調整、再調整できるようになる。
【００５５】
また、止めねじ６１を緩めた状態で、モータ駆動で、弁部１４を所要の最大弁閉位置あるいは最大弁開位置に位置させ、外側可動ストッパ部材７１のピン７３を固定側ストッパ部材５７の固定側凸部５８に当接させた状態下で止めねじ６１を締め付けることによっても、組立完了の出荷時や出荷後の電動弁において、弁部１４の最大弁開位置あるいは最大弁閉位置を、個々に調整〜微調整、再調整することができる。
【００５６】
上述した実施形態では、固定側ストッパ部材５７の固定を止めねじ６１によって行われるなっいているが、固定側ストッパ部材５７の固定は、中間ハウジング２の外側から行えるものであればよく、再設定が不要な場合には、溶接等によって固定してもよい。また、固定側ストッパ部材５７の固定は、中間ハウジング２にステッピングモータ３を取り付ける前の状態で行えるようになっていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】この発明による電動弁の実施形態１を示す全体断面図である。
【図２】実施形態１による電動弁の要部の分解斜視図である。
【図３】実施形態１による電動弁の要部の分解斜視図である。
【図４】実施形態１による電動弁のナット部材部分の斜視図である。
【図５】実施形態１による電動弁の駆動ブロック部材の斜視図である。
【図６】実施形態１による電動弁の固定側ストッパ部材の斜視図である。
【図７】（ａ）〜（ｇ）は実施形態１による電動弁のストッパ機構の動作を示す平面図である。
【図８】この発明による電動弁の実施形態２を示す全体断面図である。
【図９】実施形態２による電動弁の要部の拡大断面図である。
【図１０】実施形態２による電動弁の要部の拡大平面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  弁ハウジング
２  中間ハウジング
３  ステッピングモータ
４、５  ボルト
６  入口ポート
７  出口ポート
８  弁室
９  弁ポート
１０  弁座面
１１、１２  内部通路
１３  ダイヤフラム弁
１４   弁部
１５  ダイヤフラム部
１６  Ｏリング
１７  取付孔
１８  内部取付部材
１９  ダイヤフラム部材
２０  ボールベアリング
２１  弁軸部材
２２  ねじ部
２３  軸ガイド部
２４  スリット状開口
２５  雄ねじ部材
２６  係合片
２７  雄ねじ部
３０  係合座金
３１  ビス
３２  圧縮コイルばね
３３  ナット部材
３４  雌ねじ部
３５  ロックナット
５１  回転軸
５２  止めねじ
５３  駆動ブロック部材
５４  ピン係合凹溝
５５  駆動ピン
５６  回転側ストッパ部材
５７  固定側ストッパ部材
５８  固定側凸部
５９  円筒状内周部
６０  ねじ孔
６１  止めねじ
６２  可動側凸部
７１  外側可動ストッパ部材
７２  内側可動ストッパ部材
７３  ピン
７４  可動側凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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