(57)【要約】【課題】支持部材の固着による拘束に起因する胴部歪の上下非対称性を抑制することにより、検出脚１２に漏れる駆動振動を低減する。【解決手段】音叉型振動子１を支持部材でパッケージへ接合することによって生じる応力分布変化に起因して、胴部１０における駆動振動（歪）に上下非対称性が生じる。本発明では、支持部材と接合される胴部１０の底面における、支持部材固着領域１aを挟む両側領域に、駆動脚１１の長手方向の溝１０ｊ、１０ｋを設ける。この構造により、支持部材による拘束領域が溝１０ｊ、１０ｋの間の領域に限定され、溝１０ｊ、１０ｋより外側の領域の胴体部１０は、支持部材２の影響を受けることなく自由に伸縮する。したがって、胴体部１０の大部分は支持部材２の拘束作用を受けないので、胴体部１０における歪の上下非対称性が抑制され、検出脚１２に漏れる駆動振動が低減する。【選択図】      図２
2006258505.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の励振用駆動脚および一対の振動用検出脚並びに該励振用駆動脚および該振動用検出脚を結合する胴部でなり、該胴部とパッケージの間に介在し、該胴部の底面の支持部材固着領域および該パッケージの支持部材搭載領域に固着された支持部材を有する振動ジャイロ用音叉型振動子において、
前記底面に複数の溝が設けられており、
前記溝は、前記底面の支持部材固着領域を挟んだ両側に設けられ、
前記溝の方向は前記励振用駆動脚の長手方向である
ことを特徴とする振動ジャイロ用音叉型振動子。
【請求項２】
前記溝は、前記胴部における前記励振用駆動脚側端面から前記振動用検出脚側端面まで設けてあることを特徴とする請求項１に記載の振動ジャイロ用音叉型振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動脚および検出脚を胴部で結合してなる音叉型振動子をパッケージへ収容してなる音叉型振動ジャイロに関し、特にパッケージを支点としてその胴部を支持する音叉型振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の音叉型振動ジャイロは、特許文献１または特許文献２に記載されている。図７は特許文献１に記載された音叉型振動ジャイロを示す図である。また図８は特許文献２に記載された音叉型振動ジャイロを示す図である。特許文献１または特許文献２に記載の音叉型振動ジャイロの基本構造及びその作動を、図９を参照して説明する。図９は振動ジャイロ用音叉型振動子を示す図であり、同図（Ａ）は音叉型振動ジャイロに対する回転の入力がないときの状態を表し、同図（Ｂ）は音叉型振動ジャイロに対し回転の入力があるときの状態を表す。図において、１１１ａ，１１１ｂは励振用駆動脚（特許文献１における励振用駆動側アーム）、１１２ａ，１１２ｂは振動用検出脚（特許文献１における振動用検出側アーム）である。励振用駆動脚１１１ａ及び１１１ｂは、互いに対をなし、逆位相で振動する。励振用駆動脚１１１ａ及び１１１ｂは、駆動脚（特許文献１では、駆動側アーム）１１１と称する。振動用検出脚１１２ａ及び１１２ｂは、互いに対をなし、逆位相で振動する。振動用検出脚１１２ａ及び１１２ｂは、検出脚（特許文献１では、検出側アーム）１１２と称する。胴部１０は、直方体であり、その平面形（上面１０ａの形）は正方形である（正方形である必要は必ずしもない）。胴部１０における各面は、上面を符号１０ａで現し、底面（図に現れていない）を符号１０ｂで現し、駆動脚１１１側の端面を符号１０ｃで現し、検出脚１１２側の端面（図に現れていない）を符号１０ｄで現し、一方の側面を符号１０ｅで現し、他方の端面（図に現れていない）を符号１０ｆで現すこととする。上面１０ａ及び底面１０ｂを主面と称する。なお、特許文献１または特許文献２の音叉型振動ジャイロには、励振用駆動脚１１１ａ及び１１１ｂの間に1つの非励振用駆動脚（特許文献１における非励振用駆動側アーム）が設けてあり、また振動用検出脚１１２ａ及び１１２ｂの間に1つの非振動用検出脚（特許文献１における非振動用検出側アーム）が設けてあるが、非励振用駆動脚および非振動用検出脚は、振動の安定化のために設けてあり、原理説明においては必要でないので、図９の音叉型振動ジャイロでは省略した。
【０００３】
胴部１０、励振用駆動脚１１１ａ及び１１１ｂ並びに振動用検出脚１１２ａ及び１１２ｂは、１つの圧電単結晶体でなり、一枚の板状の圧電単結晶から切り出された形をなす。圧電単結晶としては、水晶、ニオブ酸リチウム、ランガサイト等がある。胴部１０、励振用駆動脚１１１ａ，１１１ｂ及び振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂの厚みは同一である。励振用駆動脚１１１ａ及び１１１ｂが励振されていない状態、即ち静止状態では、励振用駆動脚１１１ａ，１１１ｂの軸及び振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂの軸は、胴部１０の端面１０ｃ及び１０ｄにそれぞれ垂直である。励振用駆動脚１１１ａ及び振動用検出脚１１２ａの軸は同一の軸線上にある。同様に、励振用駆動脚１１１ｂ及び振動用検出脚１１２ｂの軸も同一の軸線上にある。また、胴部１０の重心を通り、端面１０ｅ平行な面に関し、励振用駆動脚１１１ａ及び１１１ｂは対称であり、また振動用検出脚１１２ａ及び１１２ｂも対称である。励振用駆動脚１１１ａ，１１１ｂ及び振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂには駆動用電極及び検出用電極がそれぞれ設けてある（これら電極の図示は省略されている。）。
【０００４】
このような図９の構造の音叉型振動ジャイロにおける駆動用電極に励振用の交流電圧を印加すると、励振用駆動脚１１１ａ及び１１１ｂは、上面１０ａに平行な平面内において互いに反対方向に、即ち逆位相に、振動する。この振動が、音叉型振動ジャイロにおける駆動振動である。駆動振動は、胴部１０の主面（上面１０ａ及び底面１０ｂ）に平行な平面内における振動であり、このような主面に平行な平面内における振動を面内振動と称する。面内振動は、図９（Ａ）において矢印Ｈａ及びＨｂで現してある。この状態で、角速度ωの回転が図９（Ｂ）の入力軸回りに入力されると、脚振動による脚端速度に比例してコリオリ力が発生するので、コリオリ力は脚振動と９０度位相がずれた同じ周波数の振動になる。この振動は、コリオリ力に基づく振動という意味で、コリオリ振動と称することにする。脚端の変位が±ａの範囲になるように脚が振動をしているとき、その脚端速度の絶対値は、脚端の変位が±ａの時にゼロであり、脚端の変位がゼロの時に最大となる。図９の構造の音叉型振動ジャイロでは、角速度ωの回転が図９（Ｂ）の入力軸回りに入力されたとき、励振用駆動脚１１１ａ及び１１１ｂにコリオリ力が作用し、コリオリ振動Ｃａ及びＣｂがそれぞれ生じる。コリオリ振動Ｃａ及びＣｂは、胴部１０の主面に直交する方向の振動であり、その位相は互いに逆である。胴部１０の主面に直交する方向の振動を面垂直振動と称する。
【０００５】
胴部１０は、板状であるので、その主面に平行な方向の振動、即ち面内振動に対しては極めて高い剛性を有し、他方主面に直交する方向の振動、即ち面垂直振動に対しては相対的に低い剛性を示す。そこで、励振用駆動脚１１１ａ，１１１ｂに生じる振動のうちで、面内振動である駆動振動Ｈａ及びＨｂは、振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂには殆ど伝搬せず、他方面垂直振動であるコリオリ振動Ｃａ及びＣｂは高い効率で振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂに伝搬する。振動用検出脚１１２ａ及び１１２ｂに伝搬したコリオリ振動が、音叉型振動ジャイロにおける検出振動Ｄａ及びＤｂである。音叉型振動ジャイロは、検出振動Ｄａ及びＤｂにより振動用検出脚１１２ａ及び１１２ｂに現れる電圧を検出用電極で電気信号として取り出すことにより、角速度ωを検出する。
【０００６】
音叉型振動ジャイロでは、振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂに現れる駆動振動成分がノイズであり、検出振動成分（Ｄａ，Ｄｂ）が信号である。そこで、振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂにおける検出振動成分（Ｄａ，Ｄｂ）に対する駆動振動成分の比が信号対雑音比（Ｓ／Ｎ比）となるので、角速度ωを高い精度で検出するには、振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂに漏れ、現れる駆動振動成分を低減する必要がある。振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂに漏れる駆動振動成分は、信号成分[検出振動成分（Ｄａ，Ｄｂ）]に対するバイアスとなり、このバイアスが不安定であれば、角速度ωの検出精度は低下する。
【０００７】
特許文献１および特許文献２の音叉型振動ジャイロでは、石英ガラス製の支持部材（特許文献１における保持体）によって音叉型振動子をその重心で支持している。その重心は、胴部の中央にある。
【特許文献１】特開２００１−２５５１５２
【特許文献２】特開２００１−２０８５４５
【特許文献３】特許第２５１８６００号公報
【特許文献４】特開２０００−３３７８８０
【特許文献５】特開２００２−２４３４５１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図３は、音叉型振動子の胴部を支持部材で支持したときに、振動子に現れる歪の変動を示す模式図である。図３（Ａ），（Ｂ）は、支持部材で支持しない状態において、駆動振動が胴部に加えられたときに胴部１０に表れる歪を現す。図３（Ｃ），（Ｄ）は、胴部１０の重心を支持部材２で支持し、胴部１０をパッケージ基板３０に搭載した状態において、駆動振動が胴部１０に加えられたときに胴部に表れる歪を現す。図３（Ｃ），（Ｄ）において、支持部材２は胴部１０の重心及びパッケージ基板３０に固着されている。
【０００９】
図３（Ａ）は、駆動脚に励振された駆動振動により、互いに反対向きの脚の振動変位α１及びβ１による応力が胴部１０に生じたとき、胴部１０の上部には互いに反対向きの歪ａ１及びｂ１が生じ、胴部１０の下部には互いに反対向きの歪ｃ１及びｄ１が生じ、ａ１＝ｂ１＝ｃ１＝ｄ１であることを現している。図３（Ｂ）は、駆動脚に励振された駆動振動により、互いに反対向きの脚の振動変位α２及びβ２による応力が胴部１０に生じたとき、胴部１０の上部には互いに反対向きの歪ａ２及びｂ２が生じ、胴部１０の下部には互いに反対向きの歪ｃ２及びｄ２が生じ、ａ２＝ｂ２＝ｃ２＝ｄ２であることを現している。
【００１０】
これに対し、図３（Ｃ）は、駆動脚に励振された駆動振動により、互いに反対向きの脚の振動変位α１及びβ１による応力が胴部１０に生じたとき、胴部１０の上部には互いに反対向きの歪ａ１及びｂ１が生じ、胴部１０の下部には互いに反対向きの歪ｃ１及びｄ１が生じるが、ａ１＝ｂ１＞ｃ１＝ｄ１であることを現している。また、図３（Ｄ）は、駆動脚に励振された駆動振動により、互いに反対向きの脚の振動変位α２及びβ２による応力が胴部１０に生じたとき、胴部１０の上部には互いに反対向きの歪ａ２及びｂ２が生じ、胴部１０の下部には互いに反対向きの歪ｃ２及びｄ２が生じるが、ａ２＝ｂ２＞ｃ２＝ｄ２であることを現している。
【００１１】
図３（Ｃ），（Ｄ）に示されるように、音叉型振動子の胴部１０を支持部材２で支持したとき、胴部１０の上部における歪とその下部における歪とは大きさが相違し、胴部歪の上下非対称性が生じる。胴部１０の歪に上下非対称性が生じると、駆動振動に直交する方向の振動、即ち面垂直振動成分が胴部に生じる。この面垂直振動成分は、漏れ駆動振動として振動用検出脚に現れ、検出振動と同じ振動方向であるから、検出振動に対し雑音成分となり、角速度の検出精度を低下させる。
【００１２】
音叉型振動ジャイロでは、振動子をパッケージに搭載する振動子搭載構造の採用は不可避である。特許文献１では、音叉型振動子の重心に円柱型の支持部材を接着剤等で固着し、振動子を支持する構造が示されている。特許文献１の音叉型振動ジャイロで採用されている振動子搭載構造では、図３の模式図で示す振動子搭載構造と同じ原理で音叉型振動子を支持しており、胴部歪の上下非対称性が生じ、漏れ駆動振動として振動用検出脚に現れ、検出振動に対し雑音成分となり、角速度の検出精度を低下させる。駆動振動が振動用検出脚に漏れるのを抑制する構造として、特許文献３に記載のものが提案されている。
【００１３】
図１０（特許文献３における図１）は特許文献３に記載の回転速度センサ１０（音叉型振動ジャイロ）を示す。この回転速度センサ１０は、ハウジング１１と、両側(double ended)（即ちＨ型）音叉(tuning fork) １３と、回転速度検出回路２１とを有する。ハウジング１１は、蓋１２と、基部１４と、取付け構造体１５とを有する。音叉１３は、圧電材料の単結晶からエッチングされる。この材料は、水晶、ニオブ酸リチウム(Lithium Niobate) 或いは他の圧電物質であるのが良い。
【００１４】
図１１（特許文献３における図３）は、特許文献３に記載の音叉１３を示す。音叉１３の本体１６は、周囲のフレーム３０と内部キャビティ３３とを有する。音叉１３は、励振枝(drive tine)３１，３２及びピックアップ枝(pickup tine) ４４，４５を有する。また、音叉１３は、キャビティ３３内に単一専用取付け基部５７を有する。取付け基部５７は、フレーム３０の内周面１８から間隔を隔てられ、これで囲まれ、且つその中の中央に配置されている。取付け基部５７は、クロスブリッジ６１，６２及びサスペンションブリッジ６４乃至６７によって形成されたサスペンション装置５９によって内周面１８に結合されている。取付け基部５７の周面７１は、本体１６の内周面１８から、＋Ｙ方向では開口７３によって、−Ｙ方向では開口７４によって間隔を隔てられている。
【００１５】
図１２（特許文献３における図４）は、特許文献３に記載されたハウジング１１の基部１４及び取付構造体１５を示す。取付構造体１５はペデスタル９４である。このペデスタル９４は、音叉１３の取付け面５９とほぼ同じ寸法を有する。図１０、図１１に戻ると、音叉１３はペデスタル９４に取付けられている。取付け基部５７の裏面７０は、音叉１３の単一専用取付面である。この面は、ペデスタル９４の取付け面７６に固定されている。この固定は、従来の熱可塑性接着剤或いはエポキシ樹脂によって行われるのがよい。かくして、音叉１３は、単一専用取付面７０のところだけでハウジング１１内に取付けられる。サスペンション装置５９が、取付け基部５７をフレーム３０に結合する。ペデスタル９４は、ステンレス鋼、アルミニウム、ニッケル合金モネル（Monel)４００或いはセラミックスで作られるのがよい。研磨したシリコン或いは水晶のウエハから別に「けがい」て、そして、エポキシ樹脂を用いて基部１４に固定してもよい。特許文献３の音叉型振動ジャイロでは、振動子搭載構造はペデスタル９４、サスペンション装置５９、取付け基部５７でなる。
【００１６】
このような特許文献３に記載の振動子搭載構造では、音叉１３の本体１６に内部キャビティ３３を設けるので、音叉１３の本体１６に深いエッチング加工を施す必要がある。音叉１３が、効率的なエッチング方法が確立されていない材料、例えばランガサイト、でなるときは、引用文献３の振動子搭載構造は適用できない。また、引用文献３の振動子搭載構造は、内部キャビティ３３内にサスペンション装置５９を備えるので、複雑な構造であり、高価であり、小型化も難しい。
【００１７】
以上に挙げた特許文献１及び２の振動子搭載構造では、図３に示すように、音叉型振動子を支持部材２で支持することにより、振動子に歪の上下非対称性が発生するので、駆動振動が検出脚に漏れ、ひいては音叉型振動ジャイロの角速度検出精度の向上が妨げられ、また検出精度の安定性も損なわれていた。また、特許文献３に記載の振動子搭載構造は、効率的なエッチング方法が確立されていない材料、例えばランガサイト、でなる音叉型振動子には、適用できないし、構造が複雑で高価であり、小型化も難しい。特許文献４では図５に示すように、振動脚の根元を角度をつけて削ることにより、共振周波数や漏れ振動の調整を行っている。また、特許文献５では、図６に示すように、質量バランスを調整するために、振動脚の稜線を研削している。このように、特許文献４と特許文献５では、音叉型振動子完成後に調整を行っているので、調整量の自由度はあるが、調整工数が多くなり、ひいては振動子の制作費が高価となる。
【００１８】
そこで、本発明の目的は、音叉型振動子を支持部材で支持することによる振動子に生じる歪の上下非対称性の発生を抑制することにより、検出脚に漏れる駆動振動を低減し、ひいては音叉型振動ジャイロの角速度検出精度の向上と安定化を図ることにある。また、本発明の別の目的は、効率的なエッチング方法が確立されていない材料、例えばランガサイト、でなる音叉型振動子にも適用でき、簡単な構造であり、小型化が可能であり、また制作費も低廉な音叉型振動子の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前述の課題を解決するために本発明は次の手段を提供する。
【００２０】
（１）一対の励振用駆動脚および一対の振動用検出脚並びに該励振用駆動脚および該振動用検出脚を結合する胴部でなり、該胴部とパッケージの間に介在し、該胴部の底面の支持部材固着領域および該パッケージの支持部材搭載領域に固着された支持部材を有する振動ジャイロ用音叉型振動子において、
前記底面に複数の溝が設けられており、
前記溝は、前記底面の支持部材固着領域を挟んだ両側に設けられ、
前記溝の方向は前記励振用駆動脚の長手方向である
ことを特徴とする振動ジャイロ用音叉型振動子。
【００２１】
（２）前記溝は、前記胴部における前記励振用駆動脚側端面から前記振動用検出脚側端面まで設けてあることを特徴とする請求項１に記載の振動ジャイロ用音叉型振動子。
【発明の効果】
【００２２】
上記本発明によれば、音叉型振動子を支持部材と固着することに起因して、該振動子に生じる歪の上下非対称性の発生を抑制することができ、振動子歪の上下非対称性の発生を抑制することによって、検出脚に漏れる駆動振動を低減し、ひいては音叉型振動ジャイロの角速度検出精度の向上と安定化を可能にする振動子を提供できる。さらに、本発明によれば、効率的なエッチング方法が確立されていない材料、例えばランガサイト、でなる音叉型振動子にも適用でき、簡単な構造であり、小型化が可能であり、また制作費も低廉な音叉型振動子の提供にある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に本発明の実施の形態を挙げ、図面を参照し、本発明を一層具体的に説明する。図１は、本発明の一実施の形態の音叉型振動子を有する音叉型振動ジャイロの要部を示す分解斜視図である。図２は、図１の音叉型振動ジャイロにおける、胴部底面に溝を設けた音叉型振動子（本発明の一実施の形態の振動ジャイロ用音叉型振動子）の斜視図である。
【００２４】
図１乃至図２において、１は音叉型振動子、１ａは音叉型振動子１における支持部材固着領域、２は支持部材、３はパッケージ、１０は胴部、１０ｊ，１０ｋは胴部１０の底面に設けられた溝、１１は駆動脚、１１ａ，１１ｂは励振用駆動脚、１１ｃは非励振用駆動脚、１２は検出脚、１２ａ，１２ｂは振動用検出脚、１２ｃは非振動用検出脚、３０はパッケージ基板、３０ａは支持部材搭載領域、３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂ，３６ａ，３６ｂ，３７ａ，３７ｂは端子である。
【００２５】
図１には、音叉型振動子１、支持部材２およびパッケージ３が分解して示してある。音叉型振動子１、支持部材２およびパッケージ３が組み合わされた状態では、支持部材２の下面はパッケージ基板３０の上面における支持部材搭載領域３０ａに接着剤で固着され、支持部材２の上面は音叉型振動子１の胴部１０の底面の支持部材固着領域１ａに接着剤で固着されている。支持部材固着領域１ａの中心は、胴部１０の底面の平面形の重心位置にある。符号１，２，３の部材が結合された状態は、支持部材２が、支持部材搭載領域３０ａを支点として、音叉型振動子１の重心位置を支持している状態であり、音叉型振動子１が支持部材２を介してパッケージ３に搭載された状態である。
【００２６】
音叉型振動子１における駆動脚１１は、図９の駆動脚１１１における励振用駆動脚１１１ａ，１１１ｂに対応する励振用駆動脚１１ａ，１１ｂに加え、非励振用駆動脚１１ｃを備える。同様に、音叉型振動子１における検出脚１２は、図９の検出脚１１２における振動用検出脚１１２ａ，１１２ｂに対応する振動用検出脚１２ａ，１２ｂに加え、非振動用検出脚１２ｃを備える。非励振用駆動脚１１ｃ及び非振動用検出脚１２ｃは、特許文献１及び２の音叉型振動ジャイロにも非励振用駆動側アーム及び非振動用検出側アームとして設けてあるものであり、駆動脚１１および検出脚１２の振動を安定化するために備えてあるが、本発明の作用には重要でないし、図９のようにこれら脚１１ｃ及び１２ｃを欠いても本実施の形態は実施できるので、以下では非励振用駆動脚１１ｃ及び非振動用検出脚１２ｃについてはこれ以上の説明は省略する。図１の音叉型振動ジャイロにおける音叉型振動子１の作用は、図９に示す音叉型振動子の作用と同様である。
【００２７】
図１の音叉型振動子１は、ランガサイトからなる単結晶圧電体である。この音叉型振動子１は、砥石またはワイヤーソーによる機械加工により成形される。音叉型振動子１における励振用駆動脚１１ａ及び１１ｂの少なくとも一方には駆動用電極が、振動用検出脚１２ａ及び１２ｂの少なくとも一方には検出用電極がそれぞれ設けてあるが、図示は省略してある。また、駆動用電極および検出用電極は、端子３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂ，３６ａ，３６ｂ，３７ａ又は３７ｂの内のいずれかへボンディングワイヤで接続されているが、それらボンディングワイヤも図示が省略してある。
【００２８】
図２は、本発明の実施の形態の振動子構造を示す図である。図２では、音叉型振動子１は図１とは上下を逆にして図示してある。図２の実施の形態では、前記支持部材２と接合される胴部１０の底面１０ｂには、支持部材固着領域１ａを挟む両側に溝１０ｊ、１０ｋが設けられている。溝１０ｊ、１０ｋの方向は励振用駆動脚１１の長手方向である。
【００２９】
図４は、図２の実施の形態における音叉型振動子の胴部１０に現れる歪の上下非対称性が、図３に示した従来構造の胴部１０に現れる歪の上下非対称性よりも大幅に抑制されることを概念的に示す図である。図４(Ａ)，（Ｂ）は従来構造の音叉型振動子における胴部１０に現れる上下非対称歪を示す図であり、図４(Ａ)は図３(Ａ)，（Ｂ）と同じ内容を示し、図４(Ｂ)は図３(Ｃ)，（Ｄ）と同じ内容を示す。図４(Ａ)、（Ｂ）に示すように、従来構造の音叉型振動子１では、胴部１０には、支持部材２の拘束によって上下非対称歪が発生する。図２の実施の形態の音叉型振動子１では、図４(Ｃ)に示す２つの溝１０ｊ，１０kが胴部１０の支持部材固着領域１aの両側に設けてあるので、支持部材２による拘束領域が２つの溝１０ｊ、１０ｋの間の領域に限定され、該溝１０ｊ、１０ｋより外側の領域の胴体部１０は、支持部材２の影響を受けることなく自由に伸縮するようになる。このように、図２の実施の形態では、胴体部１０の大部分が支持部材２の拘束作用を受けないので、胴体部１０における歪の上下非対称性が大幅に抑制される。
【００３０】
以上に説明したように、図１、図２の実施の形態では、胴部１０における駆動振動に対する支持部材２の拘束によって生じる胴部歪の上下非対称性が、胴部底面に溝を設けることによって抑制されるので、検出脚１２に漏れる駆動振動が低減し、ひいては音叉型振動ジャイロの角速度検出精度が向上し、また安定化する。
【００３１】
図１、図２の実施の形態では音叉型振動子１を構成する圧電結晶材料としてランガサイトを用いた。ランガサイトは、効率的なエッチング方法が確立されていない材料であるが、本実施の形態の製造における振動子の成形は、砥石やワイヤーソーによる機械加工で可能であり、振動子の成形工程はエッチング工程を要しないので、本実施の形態は容易に実現できる。
【００３２】
なお、以上には本発明の実施の形態を、図面を参照して、具体的に説明したが、本発明がこれらの実施の形態に限定されるものでないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施の形態である胴部底面に溝を有する音叉型振動子を備える音叉型振動ジャイロを示す分解斜視図である。
【図２】図１に示した本発明の実施の形態である胴部底面に溝を有する音叉型振動子の斜視図である。
【図３】従来構造の音叉型振動子の胴部を支持部材で支持したときに、振動子に現れる歪の変動を示す模式図である。
【図４】本発明の実施の形態である音叉型振動子の胴部を支持部材で支持したときに、振動子に現れる歪の変動の上下非対称性が抑制される原理を表す模式図である。
【図５】特許文献４記載の振動型ジャイロ調整方法を示す図である。
【図６】特許文献５に記載の角速度センサおよびその特性調整方法を示す図である。
【図７】特許文献１記載の音叉型振動ジャイロ各脚の電極配置と接続状態を示す図である。
【図８】特許文献２記載の圧電振動ジャイロスコープを示す図である。
【図９】駆動脚と検出脚とを胴部で結合した構造の音叉型振動子の作動原理を説明する図である。
【図１０】特許文献３に記載の回転速度センサ１０（音叉型振動ジャイロ）を示す図である。
【図１１】特許文献３に記載の音叉１３を示す図である。
【図１２】特許文献３に記載されたハウジング１１の基部１４及び取付構造体１５を示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  音叉型振動子
１ａ  音叉型振動子１における支持部材固着領域
２  支持部材
３  パッケージ
１０  胴部
１０ｊ，１０ｋ 胴部１０の底面１０ｂに設けた溝
１１  駆動脚
１１ａ，１１ｂ，１１１ａ，１１１ｂ  励振用駆動脚
１１ｃ  非励振用駆動脚
１２  検出脚
１２ａ，１２ｂ，１１２ａ，１１２ｂ  振動用検出脚
１２ｃ  非振動用検出脚
３０  パッケージ基板
３０ａ  支持部材搭載領域
３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂ，３６ａ，３６ｂ，３７ａ，３７ｂ  端子
α１，β１，α２，β２  駆動脚の振動変位
ａ１，ｂ１，ａ２，ｂ２  胴部の上側（支持部材が固着されていない側）における歪
ｃ１，ｄ１，ｃ２，ｄ２  胴部の下側（支持部材が固着されている側）における歪
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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