(57)【要約】    【課題】  所望の位置にスペーサを配置できる技術を提供する。    【解決手段】  本発明のスペーサ塗布装置１では、予め吐出孔の状態を試験し、異常な吐出孔を特定しておき、処理対象物１１への吐出液の吐出を行うとき、異常な吐出孔の吐出動作を停止させ、その吐出孔が担当する吐出位置には、正常な吐出孔から吐出させる。異常吐出孔の隣の吐出孔は不安定であり、不安定な吐出孔が担当した吐出位置は、スペーサ個数を計数し、不足する不良吐出位置には、正常な吐出孔から吐出液を吐出させ、スペーサを追加する。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象物が配置される吐出台と、
スペーサが分散された吐出液が吐出される複数の吐出孔を有する印刷ヘッドと、
前記吐出台上の前記処理対象物と前記印刷ヘッドとを相対的に移動させる移動装置とを有し、
前記吐出孔は、前記処理対象物上のそれぞれ担当する吐出位置に前記吐出液を吐出し、スペーサを配置するスペーサ塗布装置であって、
前記各吐出孔の状態を試験する試験装置を有し、
前記試験装置の検出結果から、異常と判断された吐出孔を特定し、
異常と判定された吐出孔が担当する吐出位置には、他の吐出孔から前記吐出液を吐出させるように構成されたスペーサ塗布装置。
【請求項２】
処理対象物の表面状態を検出する検出装置を有し、
前記検出装置の検出結果から前記吐出位置のスペーサ個数を計数し、基準個数と比較して良・不良を判定し、不良と判定された吐出位置には、正常な吐出孔から前記吐出液を追加吐出するように構成された請求項１記載のスペーサ塗布装置。
【請求項３】
前記吐出孔のうち、異常と判断された吐出孔の隣に位置する吐出孔から前記吐出液が吐出された前記吐出位置のスペーサ個数を計数し、不良と判定された吐出位置に前記スペーサを追加する請求項２項記載のスペーサ塗布装置。
【請求項４】
印刷ヘッドに設けられた複数の吐出孔から、各吐出孔が担当する吐出位置にスペーサが分散された吐出液を吐出させ、前記吐出位置に前記スペーサを配置するスペーサの配置方法であって、
予め前記各吐出孔の状態を試験し、試験結果が異常な吐出孔が担当する前記吐出位置には、前記異常な吐出孔から前記吐出液を吐出させず、他の吐出孔から前記吐出液を吐出させるスペーサ配置方法。
【請求項５】
前記異常な吐出孔の、少なくとの隣の吐出孔が担当した吐出位置のスペーサ個数を計数し、基準個数よりも不足する不良な吐出位置には、他の吐出孔から前記吐出液を追加吐出させる請求項４記載のスペーサ配置方法。
【請求項６】
前記吐出位置には異なる二以上の吐出孔から前記吐出液を着弾させ、前記吐出位置の前記スペーサ個数を計数する請求項５記載のスペーサ配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は処理対象物にスペーサを配置する装置に関し、特に、スペーサが分散された吐出液を処理対象物上に吐出してスペーサを配置するスペーサ塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶パネルの液晶を保持する基板間には、基板間の間隔を一定にするためにスペーサが挿入されている。
インクジェットプリンタは、吐出量や吐出位置の精密制御が可能であることから、インクに替え、スペーサが分散された吐出液をインクジェットプリンタの印刷ヘッドから吐出させ、カラーフィルタや基板上にスペーサを配置している。
【０００３】
印刷ヘッドのノズルが詰まった場合等の異常があると、吐出液が正常に吐出されなくなり、そのノズルでスペーサを配置しようとした吐出位置には、必要個数のスペーサを配置できなくなる。また、詰まったノズルは隣接するノズルの吐出状態にも影響を与え、そのノズルの吐出量が不安定になる。
【０００４】
スペーサの配置方法については、下記のような先行技術がある。
【特許文献１】特開平１１−２４０８３号公報
【特許文献２】特開２００２−３７２７１７号公報
【特許文献３】特開２００２−７２２１８号公報
【特許文献４】特開２００５−４０９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、スペーサの配置ムラを解消し、吐出位置に基準個数以上のスペーサを配置できるスペーサ塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
吐出液が吐出された位置をカメラで撮影し、画像解析を行うと、各吐出位置に配置されたスペーサの個数を計数することができ、スペーサが不足する位置に、吐出液を再度着弾させ、スペーサを追加することができる。
【０００７】
しかしながら画像解析には長時間を要するため、すべての吐出位置のスペーサ個数を検査しようとすると、印刷ヘッドのスペーサの配置速度に追いつかなくなってくる。
特に、スペーサの直径は４〜５μｍと微細であり、それを画像処理しようとすると高倍率のカメラが必要になるため、広い領域を全て検査しようとすると、検査装置の構成が大がかりになり、また、画像処理の負担が大きい。
【０００８】
そこで本願発明は、まず、予め吐出孔の試験をしておき、異常と判断された吐出孔からは吐出液を吐出させず、その吐出孔が担当する吐出位置には正常な吐出孔から吐出液を吐出させる。
【０００９】
そして異常な吐出孔に隣接する片側一個又は片側二個の吐出孔も異常が発生し易い事から正常とは扱わず、それらの吐出孔が担当し、吐出液を吐出した吐出位置は、画像処理によってスペーサの個数を計数し、不足する吐出位置には、正常な吐出孔から吐出液を追加して吐出させ、スペーサを追加することができる。
【００１０】
即ち、本発明は、処理対象物が配置される吐出台と、スペーサが分散された吐出液が吐出される複数の吐出孔を有する印刷ヘッドと、前記吐出台上の前記処理対象物と前記印刷ヘッドとを相対的に移動させる移動装置とを有し、前記吐出孔は、前記処理対象物上のそれぞれ担当する吐出位置に前記吐出液を吐出し、スペーサを配置するスペーサ塗布装置であって、前記各吐出孔の状態を試験する試験装置を有し、前記試験装置の検出結果から、異常と判断された吐出孔を特定し、異常と判定された吐出孔が担当する吐出位置には、他の吐出孔から前記吐出液を吐出させるように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、処理対象物の表面状態を検出する検出装置を有し、前記検出装置の検出結果から前記吐出位置のスペーサ個数を計数し、基準個数と比較して良・不良を判定し、不良と判定された吐出位置には、正常な吐出孔から前記吐出液を追加吐出するように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記吐出孔のうち、異常と判断された吐出孔の隣に位置する吐出孔から前記吐出液が吐出された前記吐出位置のスペーサ個数を計数し、不良と判定された吐出位置に前記スペーサを追加するスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、印刷ヘッドに設けられた複数の吐出孔から、各吐出孔が担当する吐出位置にスペーサが分散された吐出液を吐出させ、前記吐出位置に前記スペーサを配置するスペーサの配置方法であって、予め前記各吐出孔の状態を試験し、試験結果が異常な吐出孔が担当する前記吐出位置には、前記異常な吐出孔から前記吐出液を吐出させず、他の吐出孔から前記吐出液を吐出させるスペーサ配置方法である。
また、本発明は、前記異常な吐出孔の、少なくとも隣の吐出孔が担当した吐出位置のスペーサ個数を計数し、基準個数よりも不足する不良な吐出位置には、他の吐出孔から前記吐出液を追加吐出させるスペーサ配置方法である。
また、本発明は、前記吐出位置には異なる二以上の吐出孔から前記吐出液を着弾させ、前記吐出位置の前記スペーサ個数を計数するスペーサ配置方法である。
【００１１】
本願発明では、各吐出孔が吐出液を吐出すべき吐出位置、即ち、各吐出孔が担当する吐出位置は予め分かっており、検査の負担を少なくするため、吐出孔を試験し、予め吐出孔の状態を正常と異常に分類しておき、異常な吐出孔からは吐出液を吐出させず、異常な吐出孔が担当する位置には正常な吐出孔から吐出液を吐出させ、スペーサを配置することができる。
【００１２】
また、異常な吐出孔の少なくとも一個隣の吐出孔、又は、一個及び二個隣の吐出孔は異常な吐出孔の影響を受けて吐出液が正常に吐出されない場合がある。そのような吐出孔は不安定であり、正常な吐出孔とは言えない。
【００１３】
そこで本発明では、不安定な吐出孔が担当する吐出位置は、スペーサ個数の検査を行い、スペーサが不足していた場合、正常な吐出孔から吐出液を追加して吐出させ、スペーサを追加することができる。
【発明の効果】
【００１４】
不安定な吐出孔が担当した吐出位置だけを検査するので、基準個数以上のスペーサを配置するための検査負担が軽い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１、図２の符号１は本発明の第一例のスペーサ塗布装置を示している。図１は該スペーサ塗布装置１を横方向から見た側面図、図２は上方から見た平面図である。
このスペーサ塗布装置は、吐出台１３を有しており、吐出台１３の所定位置の上には、第一の場所１５と第二の場所１６が設定されている。
【００１６】
第一の場所１５は、未処理の処理対象物１１が配置される場所であり、不図示の搬送装置及び基板位置合わせ装置により、第一の場所１５上に配置された処理対象物１１は、第一の場所１５を起点、第二の場所１６を折返し点として、第一、第二の場所１５、１６の間を往復移動するように構成されている。図１の符号３０は、処理対象物１１が往復移動する移動経路を示している。
【００１７】
第一の場所１５と第二の場所１６の間、即ち移動経路３０の間の印刷台１３の上方には、印刷ヘッド２１と検出装置２２が第一の場所側からこの順序で配置されている。
【００１８】
印刷ヘッド２１と検出装置２２はそれぞれ移動装置２５、２６に取りつけられており、吐出台１３の表面と平行な平面内で、処理対象物１１の移動経路３０とは垂直な方向に往復移動できるように構成されている。図１の符号３１、３２は、印刷ヘッド２１と検出装置２２が往復移動する移動経路を示している。
【００１９】
印刷ヘッド２１と検出装置２２には、制御装置２０が接続されており、この制御装置２０により、印刷ヘッド２１と検出装置２２の移動が制御されている。
印刷ヘッド２１には、吐出液供給装置２７が接続されている。吐出液供給装置２７には、分散液中にスペーサが分散された吐出液が蓄液されており、制御装置２０により、印刷ヘッド２１から所望のタイミングで吐出液を吐出できるように構成されている。
【００２０】
以下、処理対象物１１がカラーフィルタである場合のスペーサ塗布の手順について説明する。但し、本発明の処理対象物１１はカラーフィルタに限定されるものではない。
【００２１】
図７は、未処理の処理対象物１１の表面を説明するための平面図である。カラーフィルタの場合、その表面には、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色に対応した赤、緑、青の窓部５５Ｒ、５５Ｇ、５５Ｂが規則正しく配置されており、各色の窓部５５Ｒ、５５Ｇ、５５Ｂは、ＢＭ(ブラックマトリクス)線５６によって区分けされている。
【００２２】
ＢＭ線５６は、ここでは縦横に伸びて格子状に形成されており、横方向Ｘと縦方向Ｙとが交差する点が、スペーサを配置するために適した吐出位置Ａx,yになっている。
【００２３】
図７及び後述する図８では、添字ｘ，ｙの範囲はｘ＝１〜８、ｙ＝１〜５であり、Ａ1,1からＡ8,5の４０個の吐出位置が示されている。
【００２４】
制御装置２０には、処理対象物１１の吐出位置吐出位置Ａx,yの位置情報が予め入力されており、処理対象物１１を移動させる際、印刷ヘッド２１の位置及び検出装置２２の位置と、吐出位置Ａx,yの位置の相対的な位置関係は把握されており、処理対象物１１と印刷ヘッド２１及び検出装置２２とを移動させ、処理対象物１１の所望位置の上方に、印刷ヘッド２１や検出装置２２を位置させることができるように構成されている。
【００２５】
ここでは、処理対象物１１は、吐出位置Ａx,yのｘ方向の列又はｙ方向の列のいずれかの列が印刷ヘッド２１の移動経路３１及び検出装置２２の移動経路３２に対して平行になるように配置されている。制御装置２０によって処理対象物１１が移動され、吐出位置Ａx,yの最初の列が印刷ヘッド３１の移動経路３１の真下に位置したところで処理対象物１１は一旦静止される。
【００２６】
印刷ヘッド２１には、一般的には１２８個、２５６個等複数の吐出孔(ノズル)が設けられている。ここでは図３に示すように、６個の吐出孔Ｎ1〜Ｎ6が一直線に列設されている状態を示す。
【００２７】
吐出孔Ｎ1〜Ｎ6の間隔は、吐出位置Ａx,yの間隔よりも大きいが、吐出孔Ｎ1〜Ｎ6の列と、吐出位置Ａx,yの列の成す角度は調節されており、処理対象物１１が静止した状態で、印刷ヘッド２１を移動経路３１に沿って移動させたときに、各吐出孔Ｎ1〜Ｎ6は異なる吐出位置Ａx,yの真上を通過できるようにされている。
【００２８】
制御装置２０の制御により、各吐出孔Ｎ1〜Ｎ6は、吐出位置Ａx,yの真上で吐出液を吐出し、吐出液が吐出位置Ａx,yに向かって飛行すると、吐出位置Ａx,yに着弾する。
【００２９】
その結果、各吐出孔Ｎ1〜Ｎ6から吐出させながら印刷ヘッド２１が一回移動すると、吐出した吐出孔Ｎ1〜Ｎ6の数と同数の列に並ぶ吐出位置Ａx,yに吐出液を着弾させることができる。
【００３０】
吐出液中には、スペーサが所定の含有率(個数／体積)で含有されており、吐出位置に吐出液が着弾すると、その吐出液中に含まれているスペーサが、分散液と共に処理対象物１１の吐出位置上に付着する。スペーサは、分散液が乾燥すると吐出位置に固定される。
【００３１】
ここで、印刷ヘッド２１中の一個の吐出孔Ｎ4が異常である場合、その吐出孔Ｎ6が担当する列の吐出位置Ａ4,yには吐出液が吐出されないか、吐出されても他の吐出位置Ａx,yよりも少なく、必要個数のスペーサを配置できない。
【００３２】
このスペーサ塗布装置１では、印刷ヘッド２１の移動範囲内の、処理対象物１１の移動範囲からはずれた位置に試験装置２３が設けられている。この試験装置２３により、後述するように、印刷ヘッド２１の各吐出孔Ｎ1〜Ｎ6は吐出状態が試験され、予め正常な吐出孔Ｎ1〜Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6と、閉塞して異常な吐出孔Ｎ4に分類されており、その分類の結果は制御装置２０に入力されている。
従って、異常吐出孔Ｎ4が担当し、吐出液が吐出されない吐出位置Ａ4,yは予め特定することができる。
【００３３】
そこで、このスペーサ塗布装置１では、制御装置２０は異常吐出孔Ｎ6の吐出を停止させ、他の吐出孔Ｎ1〜Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6から吐出液を吐出させており、異常吐出孔Ｎ6が担当する列の吐出位置Ａ4,yには吐出液が着弾されず、他の吐出孔Ｎ1〜Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6が担当する吐出位置Ａ1,y〜Ａ3,y、Ａ5,y、Ａ6,yには吐出液が着弾される。
【００３４】
図８は、印刷ヘッド２１が、処理対象物１１上の吐出位置Ａx,yに対し、図面のＹ方向に移動し、異常吐出孔Ｎ4を除く吐出孔Ｎ1〜Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6から、５列の吐出位置Ａ1,y〜Ａ3,y、Ａ5,y、Ａ6,yに吐出液を吐出した状態を示している。符号５７は着弾した吐出液を示しており、符号５８は着弾した吐出液中に含まれているスペーサを示している。異常な吐出孔Ｎ4が担当する列の吐出位置Ａ4,yには吐出液は着弾せず、スペーサは配置されない。
【００３５】
制御装置２０には、吐出位置Ａx,yの間隔や二辺ｘ，ｙの個数が入力されており、吐出位置Ａx,yと、各吐出孔Ｎ1〜Ｎ6は、それぞれ対応づけられており、処理対象物１１の移動量は予め算出されている。
上記のように印刷ヘッド２１が移動経路３１上を移動し、吐出できる範囲に吐出液が吐出され後、処理対象物１１を第２の場所方向に算出された距離だけ移動させる。
【００３６】
このとき、処理対象物１１を、吐出孔Ｎ1〜Ｎ6の個数と同数の列分だけ移動させると、吐出液が吐出されていない吐出位置Ａ7,y〜Ａ12,yが印刷ヘッド２１の移動経路３１の下方で静止するので、上記と同様に、印刷ヘッド２１を移動させながら、正常な吐出孔Ｎ1〜Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6から、吐出液を吐出すると、異常吐出孔Ｎ6が担当する列の吐出位置Ａ10,yを除き、次の吐出位置Ａ7,y〜Ａ12,yに吐出液が吐出される。
【００３７】
このように、印刷ヘッド２１の移動及び吐出と、処理対象物１１の移動を交互に行うと、異常吐出孔Ｎ6が担当する列の吐出位置Ａz,yを除く吐出位置Ａx,yに吐出液が着弾される。
【００３８】
なお、処理対象物１１が、吐出孔Ｎ1〜Ｎ6の個数よりも少ない列の距離だけ移動し、吐出すると、各吐出位置Ａx,yには、異なる二以上の吐出孔Ｎ1〜Ｎ6から、吐出液が吐出され。その結果、異なる吐出孔から吐出された吐出液が合計複数回着弾する。例えば、吐出孔二個分の移動、即ち、２列分移動すると各吐出位置Ａx,yには、異なる３個の吐出孔から吐出液が着弾される。
【００３９】
検出装置２１の移動経路１２は、印刷ヘッド２１の移動経路３１と近接しており、処理対象物１１が第２の場所１６方向に移動し、新しい吐出孔Ａx,yに吐出液が吐出されているときに、異常吐出孔Ｎ4が担当した吐出孔Ａ4,y、Ａ6,yは、検出装置２２の移動経路３２の下方で静止されている。
【００４０】
その状態で、検出装置２２がその移動経路３２に沿って移動し、吐出液が吐出されなかった列の吐出位置Ａ4,yを含む所定範囲の表面状態を撮影し、制御装置２０に画像を送信する。
【００４１】
一個の吐出孔Ｎ4が異常になり、その吐出孔Ｎ4の吐出動作が停止した場合、異常吐出孔Ｎ4に隣接する吐出孔Ｎ3、Ｎ5には大きく影響が及び、さらに、その吐出孔Ｎ3、Ｎ5に隣接する吐出孔Ｎ2、Ｎ6にも影響が及ぶ場合があり、それらの吐出孔Ｎ2、Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6の吐出量が不安定になる。
【００４２】
異常な吐出孔Ｎ4と不安定な吐出孔Ｎ2、Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6を除く正常な吐出孔Ｎ1が担当する列の吐出位置Ａ1,yには、基準個数個以上のスペーサ５８が配置されるのに対し、異常吐出孔Ｎ4が担当した列の吐出位置Ａ4,yにはスペーサは配置されず、不安定な吐出孔Ｎ2、Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6が担当した列の吐出位置Ａ2,y、Ａ3,y、Ａ5,y、Ａ6,yのうちには、吐出液が着弾しないか、又は着弾する吐出液の量が正常な量よりも少なく、基準個数のスペーサが配置されない場合がある。そのような吐出位置Ａm,nは不良なので、スペーサを追加する必要がある。
【００４３】
制御装置２０は、送信された画像を解析し、異常吐出孔Ｎ4から吐出された吐出位置Ａ4,yの少なくともその両側一列ずつの吐出位置Ａ3,y、Ａ5,y(望ましくは、両側二列ずつの吐出位置Ａ2,y、Ａ3,y、Ａ5,y、Ａ6,y)のスペーサの個数を計数し、基準個数未満の不良吐出位置Ａm,nを記憶する。
【００４４】
異常吐出孔Ｎ4が担当する列を除き、処理対象物１１上の吐出位置Ａx,yに各吐出孔Ｎ1〜Ｎ6から吐出液が吐出され、また、良否判断の対象となる吐出位置Ａx,yのスペーサ個数が計数され、良否の判定が終了した処理対象物１１は、第二の場所１６から第一の場所１５方向に移動を開始し、異常な吐出孔Ｎ4が担当した列の吐出位置Ａ4、yと、不良吐出位置Ａm,nに対し、正常な吐出孔Ｎ6から一乃至複数回吐出液を吐出させ、スペーサを追加すると、各吐出位置Ａx,yには、基準個数子以上のスペーサが配置される。なお、異常吐出孔Ｎ4に最も隣接する吐出孔Ｎ3、Ｎ5だけを不良吐出孔とし、それに隣接する吐出孔Ｎ2、Ｎ5は正常吐出孔として扱うこともできる。
【００４５】
以上説明したように、異常な吐出孔Ｎ4が予め特定され、吐出が停止されていれば、その吐出孔Ｎ4が担当する吐出位置Ａ4,yは必ず不良吐出位置Ａ4,yとなるので、異常吐出孔Ｎ4が担当する吐出位置Ａ4,yは、スペーサ個数を計数せずに正常な吐出孔Ｎ1から吐出液を吐出させることができる。
【００４６】
印刷ヘッド２１を、吐出孔Ｎ1〜Ｎ6の数よりも少ない列分だけ移動させ、各吐出位置Ａx,yに対して異なる二以上の吐出孔Ｎ1〜Ｎ6から吐出液が吐出されるようにした場合、異常吐出孔Ｎ4が担当する列の吐出位置Ａ4,yには、他の吐出孔Ｎ6から吐出液が吐出されるので、スペーサは配置されるが、異常でない他の吐出孔Ｎ1〜Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6が担当する列に比べて、配置されるスペーサの個数は少なくなる。
【００４７】
また、不安定な吐出孔Ｎ2、Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6が担当する吐出位置Ａ2,y、Ａ3,y、Ａ5,y、Ａ6,yについても、正常な吐出孔Ｎ1だけによって担当される吐出位置よりもスペーサの個数は少なくなる。
【００４８】
これら、異常吐出孔Ｎ4や不安定な吐出孔Ｎ2、Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6が担当する列の吐出位置Ａ2,y〜Ａ6,yについても、検出装置２２によってスペーサの個数を計数し、スペーサ個数が不足する不良位置Ａm,nに、正常な吐出孔Ｎ1から吐出液を吐出させることができる。
【００４９】
異常吐出孔Ｎ4や不安定な吐出孔Ｎ2、Ｎ3、Ｎ5、Ｎ6が担当した吐出位置だけを検査するので、吐出孔の数が多く、正常な吐出孔が、異常及び不安定な吐出孔の数よりも多い場合に特に有効である。
【００５０】
なお、以上は、未処理の処理対象物１１への最初の吐出と、不良と判定された吐出位置Ａm,nへの追加吐出を、同じ印刷ヘッド２１が行っていたが、本発明はそれに限定されるものではない。
【００５１】
図５は、本発明の第二例のスペーサ塗布装置２であり、検査装置２２の両側に印刷ヘッド２１ａ、２１ｂが配置されている。印刷ヘッド２１ａ、２１ｂは移動装置２５ａ、２５ｂに取りつけられており、処理対象物１１の移動経路３０に対して垂直方向の移動経路３１ａ、３１ｂ上を移動するように構成されている。
【００５２】
このスペーサ塗布装置２では、各印刷ヘッド２１ａ、２１ｂの移動範囲内であって、処理対象物１１の移動範囲からはずれた位置に試験装置２３ａ、２３ｂがそれぞれ設けられており、各印刷ヘッド２１ａ、２１ｂの異常吐出孔の有無と位置が特定されている。
【００５３】
未処理の処理対象物１１には一方の印刷ヘッド２１ａで吐出液を吐出し、検査装置２２によって個数を計数して不良吐出位置Ａm,nを特定した後、他方の印刷ヘッド２１ｂで、正常な吐出孔から吐出液を吐出し、スペーサを追加することができる。
【００５４】
また、以上は、処理対象物１１と印刷ヘッド２１との両方が互いに垂直な方向を移動しており、処理対象物１１の移動方向をＸ軸にとると、印刷ヘッド２１の移動方向はＹ軸となるが、印刷ヘッド２１や検出装置２２が静止し、処理対象物１１がＸ軸とＹ軸の両方向に移動するように構成してもよい。それとは逆に、処理対象物１１が静止し、印刷ヘッド２１がＸ軸、Ｙ軸方向に移動してもよい。
【００５５】
図６は、本発明の第三例のスペーサ塗布装置３を示している。このスペーサ塗布装置３も、上記スペーサ塗布装置１、２と同様に、印刷ヘッド２１と検出装置２２はそれぞれ移動装置２５、２６に取りつけられており、互いに平行な方向に往復移動するように構成されている。同図の符号３１、３２は、印刷ヘッド２１と検出装置２２の移動経路を示している。
【００５６】
そして、このスペーサ塗布装置３では、移動装置２５，２６はレール２９に取り付けられており、移動装置２５，２６がレール２９に沿って往復移動できるように構成されている。
【００５７】
移動装置２５、２６が静止状態の印刷ヘッド２１や検出装置２２の方向に対し、移動装置２５、２６の移動方向は垂直であり、その結果、印刷ヘッド２１と検出装置２２は、印刷台１３の表面と平行な平面内で、Ｘ軸方向にもＹ軸方向にも移動でき、その移動範囲内に配置された処理対象物１１上の所望位置に印刷ヘッド２１と検出装置２２を配置できるように構成されている。
【００５８】
このスペーサ塗布装置３でも、印刷ヘッド２１の移動範囲内であって、処理対象物１１とは重ならない位置に試験装置２３が設けられており、各吐出孔は試験され、異常吐出孔の有無と位置が特定されている。第一、第二例のスペーサ塗布装置１、２と同様に、異常吐出孔が担当する列には正常な吐出孔から吐出液を吐出させ、不安定な吐出孔が担当する列はスペーサ個数を検査し、不良吐出位置には、正常な吐出孔から吐出液を再吐出することができる。
【００５９】
次に、吐出孔Ｎ1〜Ｎ6の吐出状態の試験方法の一例を説明する。
図４に示すように、試験室２３、２３ａ、２３ｂには、ストロボ３５とカメラ３６が配置されており、吐出孔Ｎ1〜Ｎ6から吐出された吐出液３８がトレイ３７に着弾するまでの間に、ヘッドからの液滴吐出タイミングより一定の遅延時間の後にストロボ３５が発光し、吐出液３８の飛行状態がカメラ３６によって撮影される。
【００６０】
撮影結果は制御装置２０に送信され、画像解析が行われ、正常な場合と比較することで、吐出状態が正常か異常かを各吐出孔Ｎ1〜Ｎ6毎に判断することができる。吐出液が吐出されないとき、吐出液の飛行速度が異常なとき、吐出量が異常なときは、異常であると判断され、その吐出孔の吐出は停止される。
【００６１】
多数枚数の処理対象物１１を処理する場合、各処理対象物１１毎に処理を開始する前に吐出孔の試験を行うことができるし、複数枚毎に試験を行うようにすることもできる。
【００６２】
なお、上記スペーサ塗布装置１〜３では、処理対象物１１上に吐出液を吐出しながら、所定の列の検出を行っていたが、処理対象物１１への吐出が終了した後、検出装置２２よる検出を行うようにしても良い。
【００６３】
また、上記制御装置２０は、印刷ヘッド２１と検出装置２２の動作の制御や、画像解析を行っていたが、それらを別々の制御装置に担当させても良い。
なお、上記例では、印刷ヘッド２１による吐出と、検出装置２２による撮影が同時に行われていたが、交互に行うことができる。
【００６４】
また、上記例では検出装置２２は移動経路３２上を移動していたが、必ずしも移動する必要はなく、静止した状態であっても、異常吐出孔Ｎ4が担当した吐出位置Ａ4,yの少なくとも両側一列ずつの吐出位置Ａ3,y、Ａ5,y(望ましくは、両側二列ずつの吐出位置Ａ2,y、Ａ3,y、Ａ5,y、Ａ6,y)のスペーサの個数を計数できればよい。
【００６５】
上記処理対象物１１はカラーフィルタであったが、本発明はそれに限定されるものではなく、アレイ側の基板でも良く、吐出位置が決まっているものを広く含む。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の第一例のスペーサ塗布装置の模式的な側面図
【図２】その模式的な平面図
【図３】吐出孔の配置を説明するための図
【図４】試験室の内部を説明するための図
【図５】本発明の第二例のスペーサ塗布装置の模式的な平面図
【図６】本発明の第三例のスペーサ塗布装置の模式的な平面図
【図７】処理対象物の塗布位置を説明するための模式的な平面図
【図８】各吐出位置の着弾状態を説明するための図
【符号の説明】
【００６７】
１〜３……スペーサ塗布装置
１３……吐出台
１１……処理対象物（基板）
２１、２１ａ、２１ｂ……印刷ヘッド
２３，２３ａ，２３ｂ……検出装置
Ｎ1〜Ｎ6……吐出孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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