(57)【要約】【課題】センター位置に復帰可能でセンター位置から離間する方向へのスライド時の抵抗が少なく耐久性の良好でコンパクトなスライドユニットを提供する。【解決手段】互いに直交する２軸方向に各独立に作用する付勢力によって載置台１をセンター位置に位置決めできるようにしたスライドユニットＳであって、載置台１に固定された第１のスライダー２をＹ方向のセンター位置に付勢するための第１の圧縮スプリング３と、第１のスライダー２をＹ方向に相対移動自在に支持する第２のスライダー４をＸ方向のセンター位置に付勢するための第２の圧縮スプリング５と、を設けている。【選択図】  図１
2006351900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交するＸＹ方向に各独立に作用する付勢力によって載置台（１）をセンター位置に位置決めできるようにしたスライドユニットであって、
前記載置台（１）に固定された第１のスライダー（２）をＹ方向のセンター位置に付勢するための第１の圧縮スプリング（３）と、前記第１のスライダー（２）をＹ方向に相対移動自在に支持する第２のスライダー（４）をＸ方向のセンター位置に付勢するための第２の圧縮スプリング（５）と、を設けたことを特徴とするスライドユニット。
【請求項２】
互いに直交するＸＹ方向に作用する付勢力によって載置台（１）をセンター位置に位置決めできるようにしたスライドユニットであって、
前記載置台（１）に固定された第１のスライダー（２）をＹ方向のセンター位置に付勢するための第１の空圧シリンダ（１３）と、前記第１のスライダー（２）をＹ方向に相対移動自在に支持する第２のスライダー（４）をＸ方向のセンター位置に付勢するための第２の空圧シリンダ（１５）と、を設けたことを特徴とするスライドユニット。
【請求項３】
前記第１のスライダー（２）及び第２のスライダー（４）は、それぞれ転動体（６）（７）によって滑動自在に支持されることを特徴とする請求項１又は２に記載のスライドユニット。
【請求項４】
前記第２のスライダー（４）には、前記第２の圧縮スプリング（５）（５）の付勢力によって、前記両スライダー（２）（４）を収納しているケーシング（８）の対向し合う内壁（８１）（８１）に接離自在に付勢当接する付勢軸（９）（９）を進退自在に設けると共に、ガイド軸（１０）をＹ方向に設ける一方、第１のスライダー（２）には、前記ガイド軸（１０）に案内される被ガイド板（１８）を設け、該被ガイド板（１８）の両側部に、前記第１の圧縮スプリング（３）（３）を接離自在に付勢当接させることを特徴とする請求項１又は３に記載のスライドユニット。
【請求項５】
前記第２のスライダー（４）には、前記第１の空圧シリンダ（１３）と第２の空圧シリンダ（１５）を設け、前記第１の空圧シリンダ（１３）のピストン（１３１）（１３１）を、前記第１のスライダー（２）に設けた受け部材（１１）に接離自在に付勢当接させる一方、前記第２の空圧シリンダ（１５）（１５）のピストン（１５１）（１５１）を、前記両スライダー（２）（４）を収納しているケーシング（８）の対向し合う内壁（８１）（８１）に接離自在に付勢当接させることを特徴とする請求項２又は３に記載のスライドユニット。
【請求項６】
前記載置台（１）には、末広がり状に形成された上凸状の位置決め部材（１ａ）を設けたことを特徴とする請求項２，３，５の何れかに記載のスライドユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センター位置に復帰可能なスライドユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器等の製造プロセスでは、例えば、液晶パネル等の薄型基板を収納したカセットを搬送手段（ＡＧＶ等）で作業ステーションまで搬送し、荷役手段を介して作業ステーション上にカセットを移載し、別途、位置決め手段によって待機しているロボットに対してカセットを位置決めした後、ロボットハンドに加工対象物（薄型基板）を把持させて加工を行い、加工終了後には、カセットを再び荷役手段を介して搬送手段に戻して搬出させるような搬送工程が設けられる。
【０００３】
このような搬送工程では、通常、作業ステーションに対する搬送手段の停止位置に若干の誤差が生じるため、上述のように、作業ステーション上に移載されたカセットを位置決め手段によって位置決めするようにしている。また、加工終了後にカセットを再び搬送手段に戻すためには、カセットが作業ステーション上の元の位置（移載された位置）に精度よく復帰しなければならない。そのため、従来では、例えば、コイルばね等の弾発力によって自動的にセンタリングが可能な載置台（カセットベース等）を作業ステーションに配設し、その上にカセットを載置するようにしていた。
【０００４】
特に、クリーンルーム内で行われる半導体関連の製造プロセスでは、粉塵の発生を避ける必要があるため、例えば、カセットを受載するカセットベースをボールやローラ等の転動体によって滑動自在に支持させ、そのカセットベースを互いに直交し合う２軸方向に配設した２対の引張スプリングによってセンター位置に付勢させるような構成が取られる。より具体的には、作業ステーションには、このようなカセットベースを所定間隔をおいて一対（又は複数対）配設し、その両カセットベースの上にカセットを跨がせるように載置していた。なお、引張スプリングを３方向に配設してカセットベースをセンター位置に復帰させることができるようにした位置決め装置等も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１５２０５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上述のような従来の位置決め装置では、各引張スプリングが互いに牽制し合う方向に付勢力を作用させて釣り合っており、かつ、カセットベースをスライドさせる方向によって各引張スプリングの付勢力の作用方向も様々に変化するため、引張スプリングの両端に形成されているフック（引張力の作用点となる）が疲労によって破損しやすいという構造上の問題があり耐久性に難点があった。また、引っ張り方向の付勢力で釣り合わせる構成では、装置のコンパクト化が難しかった。
【０００７】
また、このようなカセットベースでは、センター位置から離間する方向にスライドさせた時に大きな抵抗（反力）があると、位置決め時に、その抵抗に打ち勝つだけの位置決め力が必要とされる。従って、スライド時の抵抗はできるだけ少ないのが好ましい。以上のような問題は、半導体関連の製造プロセスだけでなく、その他の加工ライン等に設けられる位置決め装置や、物流関連の搬送工程における自動倉庫等に設けられる位置決め装置でも同様であった。
【０００８】
本発明は、このような実情に鑑みてなされ、センター位置に復帰可能でセンター位置から離間する方向へのスライド時の抵抗が少なく耐久性が良好でコンパクトなスライドユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明のスライドユニットは、互いに直交するＸＹ方向に各独立に作用する付勢力によって載置台１をセンター位置に位置決めできるようにしたスライドユニットＳであって、
前記載置台１に固定された第１のスライダー２をＹ方向のセンター位置に付勢するための第１の圧縮スプリング３と、前記第１のスライダー２をＹ方向に相対移動自在に支持する第２のスライダー４をＸ方向のセンター位置に付勢するための第２の圧縮スプリング５と、を設けたことを特徴とする。
【００１０】
このような構成によれば、第１のスライダー２と第２のスライダー４が、第１の圧縮スプリング３と第２の圧縮スプリング５によってそれぞれ各独立に互いに直交する２軸方向に付勢されるため、第１の圧縮スプリング３と第２の圧縮スプリング５の間に付勢力の拮抗はなく、しかも、両スプリング３，５の付勢力の作用方向は常に同一方向である。従って、従来のように引張スプリングを互いに牽制させるような構成よりも、載置台１を移動させるときの抵抗を低く抑えることができる。また、スプリングの耐久性も向上し、コンパクト化を達成することもできる。
【００１１】
（２）本発明の別のスライドユニットは、互いに直交するＸＹ方向に作用する付勢力によって載置台１をセンター位置に位置決めできるようにしたスライドユニットであって、
前記載置台１に固定された第１のスライダー２をＹ方向のセンター位置に付勢するための第１の空圧シリンダ１３と、前記第１のスライダー２をＹ方向に相対移動自在に支持する第２のスライダー４をＸ方向のセンター位置に付勢するための第２の空圧シリンダ１５と、を設けたことを特徴とする。
【００１２】
このような構成によれば、第１の空圧シリンダ１３と第２の空圧シリンダ１５の空気圧を抜いた状態では、載置台１を移動させるときの抵抗を格段に低く抑えることができる。従って、載置台１の位置決め時における位置決め力が少なくて済む。また、両シリンダ１３，１５に空気を充填すれば、直ちに載置台１をセンター位置に戻すことができる。
【００１３】
（３）前記第１のスライダー２及び第２のスライダー４は、それぞれ転動体６，７によって滑動自在に支持されてもよい。このようにすれば、載置台１を移動させるときの抵抗を低く抑えることができ、かつ、載置台１に載せた被載置物をスムーズに位置決めすることができる。また、移動に伴う塵埃の発生を抑えることもできる。
【００１４】
（４）前記（１）（３）項に記載のスライドユニットでは、前記第２のスライダー４には、前記第２の圧縮スプリング５，５の付勢力によって、前記両スライダー２，４を収納しているケーシング８の対向し合う内壁８１，８１に接離自在に付勢当接する付勢軸９，９を進退自在に設けると共に、ガイド軸１０をＹ方向に設ける一方、第１のスライダー２には、前記ガイド軸１０に案内される被ガイド板１８を設け、該被ガイド板１８の両側部に、前記第１の圧縮スプリング３，３を接離自在に付勢当接させてもよい。このようにすれば、第１の圧縮スプリング３と第２の圧縮スプリング５によって、載置台１をセンター位置に位置決めするための構成を簡易に形成することができる。
【００１５】
（５）前記（２）（３）項に記載のスライドユニットでは、前記第２のスライダー４には、前記第１の空圧シリンダ１３と第２の空圧シリンダ１５を設け、前記第１の空圧シリンダ１３のピストン１３１，１３１を、前記第１のスライダー２に設けた受け部材１１に接離自在に付勢当接させる一方、前記第２の空圧シリンダ１５のピストン１５１を、前記両スライダー２，４を収納しているケーシング８の対向し合う内壁８１，８１に接離自在に付勢当接させてもよい。このようにすれば、第１の空圧シリンダ１３と第２の空圧シリンダ１５によって、載置台１をセンター位置に位置決めするための構成を簡易に形成することができる。
【００１６】
（６）前記（２）（３）（５）の何れかに記載のスライドユニットでは、前記載置台１には、末広がり状に形成された上凸状の位置決め部材１４を設けてもよい。このようにすれば、第１の空圧シリンダ１３と第２の空圧シリンダ１５の空気を抜いた状態として、カセット等に形成した凹部を位置決め部材１４に容易に嵌め込んで載置台１の中央部に位置決めした状態で受載することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のスライドユニットは、互いに直交するＸＹ方向に各独立に付勢力が作用する圧縮スプリングによって載置台をセンター位置に位置決めできるようにしたので、圧縮スプリング間に付勢力の拮抗はなく、しかも、各圧縮スプリングの付勢力の作用方向が同一である。従って、従来のように引張スプリングを互いに牽制させるような構成よりも、載置台１を移動させるときの抵抗を低く抑えることができ、また、スプリングの耐久性も向上し、コンパクト化を達成することもできる。
【００１８】
本発明の別のスライドユニットは、互いに直交するＸＹ方向に各独立に付勢力が作用する空圧シリンダによって載置台をセンター位置に位置決めできるようにしたので、空圧シリンダの空気圧を抜いた状態では、スライドユニットを移動させるときの抵抗を格段に低く抑えることができる。従って、スライドユニットの位置決め時における位置決め力が少なくて済む。また、両シリンダに空気を充填すれば、直ちに載置台をセンター位置に戻すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明の最良の実施の形態に係るスライドユニットについて図面を参照しつつ詳細に説明する。
〔実施の形態１〕
本実施の形態は図１乃至図５に示される。図１（ａ）は図２（ｂ）のＡ−Ａ線矢視断面図、図１（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図、図１（ｃ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図、図２（ａ）はスライドユニットＳの平面図、（ｂ）は側面図、図３（ａ）はスライダーの平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＤ−Ｄ線矢視断面図、図３（ｃ）は図３（ａ）のＥ−Ｅ線矢視断面図、図３（ｄ）はスライダーの上方から見た斜視図、図３（ｅ）はスライダーの下方から見た斜視図である。
【００２０】
これらの図にて、符号１はスライド自在な載置台で、互いに直交するＸＹ方向に各独立に作用する付勢力によってセンター位置に位置決めできるように構成されている。２は載置台１に固定された第１のスライダー、３は第１のスライダー２をＹ方向のセンター位置に付勢するために同方向に拡縮動作する圧縮スプリング、４は第１のスライダー２をＹ方向に相対移動自在に支持する第２のスライダー、５は第２のスライダー４をＸ方向のセンター位置に付勢するための同方向に拡縮動作する圧縮スプリングである。
【００２１】
第１のスライダー２及び第２のスライダー４は、底付き箱型のケーシング８に収納され、第２のスライダー４は、矩形枠状に形成されたフレーム４１のＸ方向の両側部に設けた２対のローラ（本発明の転動体）６によってケーシング８の底板８２のＸ方向の両側縁に形成されたガイド溝８３，８３に沿って例えばＸ方向に移動自在に案内され、中央Ｘ方向に設けられる一対の第２の圧縮スプリング５，５の付勢力によってケーシング８の対向し合うＹ方向の内壁８１，８１に接離自在に付勢当接する付勢軸９，９を進退自在に有している。なお、ケーシング８は、載置台１の移動を許容するために、天板の中央部が略矩形状に切り開かれて開口８ａが形成されている。
【００２２】
第２の圧縮スプリング５，５は、第２のスライダー４のフレーム４１の中央Ｘ方向に設けられ一対のガイド筒部４２，４２内に収納され、その付勢端（外端）に、フレーム４１の中央Ｘ方向の両側に貫通状に形成した軸孔４３，４３に貫挿させた付勢軸９，９の基部を係止させ、自由状態では、両付勢軸９，９の先端がそれぞれＹ方向の内壁８１，８１に付勢当接して、第２のスライダー４はＸ方向のセンター位置に位置決めされる。
【００２３】
その付勢軸９の基部には、外方への突出を防止するために、軸孔４３の周縁に当接するストッパー９１が形成され、第２のスライダー４がＸ方向のセンター位置にある状態では、上述のように、両付勢軸９，９の内壁８１，８１への付勢当接が許容される一方、この状態から、第２のスライダー４がＸ方向の外力を受けると、何れかの付勢軸９が、第２の圧縮スプリング５の付勢力に抗して内壁８１から離れて内方への移動が許容される（図５（ａ）（ｂ）参照）。
【００２４】
第２のスライダー４のフレーム４１のＹ方向の両側には、それぞれ２個一対のローラ（本発明の転動体）７が設けられ、このローラ７によって第１のスライダー２が第２のスライダー４に対して相対移動自在に支持される。より詳しくは、第１のスライダー２は、平板状に形成され、その上部中央に載置台１を取り付けるためのボルト孔１６が形成される一方、その下部Ｙ方向の両側縁には、ローラ７に乗載するガイド溝１７が形成され、第１のスライダー２が第２のスライダー４にＹ方向に相対移動自在に支持されている。
【００２５】
そして、第１のスライダー２の下部には、側面視でハット状に折曲形成された被ガイド板１８がボルト締結等によって固定される一方、第２のスライダー４のフレーム４１のＸ方向中央には、ガイド軸１０がＹ方向に差し渡され、このガイド軸１０が被ガイド板１８の両側に形成された軸孔（符号省略）に貫挿されると共に、フレーム４１のＸ方向内側と被ガイド板１８の両側部の間には、それぞれ第１の圧縮スプリング３，３がガイド軸１０に被嵌した状態で設けられ、自由状態では、両圧縮スプリング３，３によって第１のスライダー２がＹ方向のセンター位置に付勢された状態で位置決めされている。
【００２６】
ガイド軸１０は、太軸部１０１の両側に細軸部１０２，１０２を形成してなり、両ガイド筒部４２，４２間に形成された軸孔４４に太軸部１０１が挿通され、その撓み変形が防止されると共に、細軸部１０２，１０２に被嵌させた第１の圧縮スプリング３，３の内端が太軸部１０１の周端に係止されるようにする一方、第１の圧縮スプリング３，３の外端を、第２のスライダー４のフレーム４１に形成したスプリング孔（符号省略）に貫挿させて該スプリング孔の外側を閉塞するようにボルト締結等によって固定された止め板４５，４５の軸孔に抜け止め状態に係入させている。また、被ガイド板１８の両側部に形成された軸孔（符号省略）は、ガイド軸１０の太軸部１０１の挿通を許容するが、第１の圧縮スプリング３，３の挿通を阻止するように形成され、載置台１がセンター位置にあるときには、第１の圧縮スプリング３，３の内端は、被ガイド板１８の両側部に接離自在に付勢当接している。
【００２７】
被ガイド板１８は、第２のスライダー４のフレーム４１に設けられた一対のガイド筒部４２，４２をＹ方向にゆとりを持って跨ぐように形成されているため、第１のスライダー２の第２のスライダー４に対するＹ方向への移動が許容される。従って、第１のスライダー２が上述のようにＹ方向のセンター位置にある状態から、第１のスライダー２がＹ方向に作用する外力を受けると、第１の圧縮スプリング３の付勢力に抗しつつ被ガイド板１８と第１のスライダー２の同方向への移動が許容される（図５（ａ）（ｃ）参照）。
【００２８】
このように構成されるスライドユニットＳでは、第１のスライダー２と第２のスライダー４が、第１の圧縮スプリング３と第２の圧縮スプリング５によってそれぞれ各独立に互いに直交するＸＹ方向に付勢されるため、第１の圧縮スプリング３と第２の圧縮スプリング５の間に付勢力の拮抗はなく、しかも、両スプリング３，５の付勢力の作用方向は常に同一方向になる。従って、従来のように引張スプリングを互いに牽制させるような構成よりも、載置台１を移動させるときの抵抗を低く抑えることができ、スプリングの耐久性も向上する。また、装置のコンパクト化を達成することもできる。
【００２９】
このようなスライドユニットＳは、単独でも使用できるが、半導体関連の製造プロセスの作業ステーションでは、例えば、図４に示すように、平面矩形状に形成された基板２１の四隅に各１基のスライドユニットＳを配設し、４基のスライドユニットＳでカセット２２を受載するようにしている。即ち、矢印方向に移動するＡＧＶ等の搬送手段２３がカセット（二点鎖線で示す）２２を搭載して基板２１に対応する停止位置で停止し、図示省略の荷役手段によって、４基のスライドユニットＳ上にカセット（実線で示す）２２を移載する。
【００３０】
この際に、搬送手段２３の停止位置が基板２１に対してある程度の誤差が生じるため、載置台１上に移載したカセット（実線で示す）２２を、図示省略の位置決め手段によって、ロボット２４に精度よく対応させるべく、例えば、一点鎖線で示す位置に位置決めするようにしている。その時、４基のスライドユニットＳの載置台１がカセット２２を受載した状態でセンター位置から、ＸＹ方向にシフトした位置にスライドする。そして、位置決め手段によってカセット２２を一点鎖線で示す位置に位置決めした状態に拘束して、カセット２２に収納している液晶基板（図示省略）を順次ロボット２４のハンドで取り出し所定の加工を行う。
【００３１】
カセット２２に収納されている全ての液晶基板の加工が終了すると、カセット２２に対する位置決め手段による拘束を解除する。そうすると、各載置台１がカセット２２を載せたままセンター位置に自動復帰する。この位置にあるカセット（実線で示す）２２は、待機している搬送手段２３と精度よく対応するため、荷役手段を介して、カセット２２を搬送手段２３に適切に移載させることができる。このように、４基の載置台１の任意の位置で受載したカセット２２を位置決めした後、拘束状態を解除すると、カセット２２を元の位置（任意の位置）に自動的に復帰させることができる。
【００３２】
図５，図６はスライドユニットＳの載置台１をセンター位置からＸ方向及びＹ方向に限度までスライドさせた状態を示す。このような位置では、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、載置台１と一体の第１のスライダー２の移動によって、第１の圧縮スプリング３及び第２の圧縮スプリング５の一方がそれぞれ限度まで圧縮され、他方の第１の圧縮スプリング３及び第２の圧縮スプリング５はほぼそのままの状態が維持されることとなる。
【００３３】
即ち、一方の第１の圧縮スプリング３は被ガイド板１８によって外方に向けて圧縮された状態となり、他方の第１の圧縮スプリング３は僅かに拡長してその内端が太軸部１０１の周端に係止した伸長状態となる。また、一方の第２の圧縮スプリング５は内壁８１に当接する付勢軸９によって内方に向けて圧縮された状態となり、他方の第２の圧縮スプリング５の付勢端は、内壁８１から離間した付勢軸９のストッパー９１に係止した拡長状態となる。このようにセンター位置からシフトした位置においても、載置台１で受載するカセット２２の荷重は、ローラ６，７よりも内側の位置に作用するため、その支持状態は安定なものとなる。
【００３４】
〔実施の形態２〕
本実施の形態は図７乃至図１１に示される。図７（ａ）は図８（ｂ）のＩ−Ｉ線矢視断面図、図７（ｂ）は図８（ａ）のＪ−Ｊ線矢視断面図、図７（ｃ）は図８（ａ）のＫ−Ｋ線矢視断面図、図８（ａ）はスライドユニットＳの平面図、（ｂ）は側面図、図９（ａ）はスライダーの平面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＬ−Ｌ線矢視断面図、図９（ｃ）は図９（ａ）のＭ−Ｍ線矢視断面図、図９（ｄ）はスライダーの上方から見た斜視図、図９（ｅ）はスライダーの下方から見た斜視図である。
【００３５】
これらの図にて、前実施の形態と同一又は同等部材については同一符号を付してその説明を省略する。符号１３は、第１のスライダー２をセンター位置に付勢するためにＹ方向に拡縮動作する第１の空圧シリンダ、１５は、第２のスライダー４をセンター位置に付勢するためにＸ方向に拡縮動作する第２の空圧シリンダで、両空圧シリンダ１３，１５は第２のスライダー４に一体的に設けられ、ケーシング８の側壁に設けられた空気取入口２６の接続端とシリンダ側の接続口２７とをチューブ２８で接続し外部に設けた空圧供給源（図示省略）から各シリンダ室にエアが供給されて両空圧シリンダ１３，１５が作動する。
【００３６】
第１，第２の空圧シリンダ１３，１５，１５の各シリンダ室は連通しており、第１の空圧シリンダ１３のピストン１３１，１３１を、第１のスライダー２の底部に設けた受け部材１１のＸ方向に沿う当接面１１ａ，１１ａに接離自在に付勢当接させる一方、第２の空圧シリンダ１５，１５のピストン１５１，１５１を、両スライダー２，４を収納しているケーシング８の対向し合うＹ方向に沿う内壁８１，８１にそれぞれ接離自在に付勢当接させている。
【００３７】
このような構成によれば、第１の空圧シリンダ１３と第２の空圧シリンダ１５，１５の空気圧を抜いた状態では、載置台１を移動させるときの抵抗はピストンに被嵌させたＯリングの摩擦抵抗程度になるため、載置台１のスライド時の移動抵抗を格段に低く抑えることができる。従って、載置台１の位置決め時における位置決め力が少なくて済む。また、両シリンダ１３，１５に空気を充填すれば、直ちに載置台１をセンター位置に復帰させることができる。
【００３８】
上述のように、各空圧シリンダ１３，１５，１５の空気を抜いた状態では、載置台１のスライド移動時の抵抗が格段に低くなるため、本実施の形態では、載置台１に末広がり状に形成された上凸状の位置決め部材１４を設けている。従って、カセット２２の底部に、この位置決め部材１４に被嵌させるための凹部（図示省略）を形成しておけば、カセット２２を受載する際に、載置台１が柔軟にスライドしてカセット２２を載置台１の中央部に確実に受載させることができる。
【００３９】
本実施の形態では、受け部材１１を断面チャンネル状の単一の板金材で形成しているが、Ｘ方向に沿う当接面１１ａをそれぞれ有する２部材で形成してもよいのは言うまでもない。また、第１の空圧シリンダ１３は、単一のシリンダ室に２つのピストン１３１，１３１を装入しているが、互いに連通するシリンダ室を２つ形成して各シリンダ室にそれぞれピストン１３１を装入するように構成してもよい。
【００４０】
図９，図１０は、各空圧シリンダ１３，１５，１５の空気を抜いて、スライドユニットＳの載置台１をセンター位置からＸ方向及びＹ方向に限度までスライドさせた状態を示す。このような位置では、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、載置台１と一体の第１のスライダー２の移動によって、第１の空圧シリンダ１３及び第２の空圧シリンダ１５の一方のピストン１３１，１５１がそれぞれ限度まで縮長され、第１の空圧シリンダ１３及び第２の空圧シリンダ１５の他方のピストン１３１，１５１はほぼそのままの拡長状態が維持されることとなる。
【００４１】
即ち、第１の空圧シリンダ１３の一方のピストン１３１は、受け部材１１の当接面１１ａによって内方に向けて押動されて縮長状態となり、受け部材１１の当接面１１ａが他方のピストン１３１から離れて、該他方のピストン１３１はそのままの拡長状態となる。また、一方の第２の空圧シリンダ１５のピストン１５１は一方の内壁８１によって内方に押動されて縮長状態となり、他方の内壁８１が他方の第２の空圧シリンダ１５のピストン１５１から離れて該ピストン１５１はそのままの拡長状態となる。載置台１が、このようなセンター位置からシフトした位置にある状態下で各空圧シリンダ１３，１５，１５に空気を充填すると、図７，図８に示すように、載置台１は直ちにセンター位置に復帰する。
【００４２】
なお、本発明は、実施の形態に限定されることなく、発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、適宜、必要に応じて、設計変更や改良等を行うのは自由であり、例えば、Ｘ方向とＹ方向を入れ換えてもよく、ローラ６，７はボールであってもよい。また、実施の形態間での構成や部材の流用、転用等も自由である。さらに、本発明のスライドユニットは、半導体関連の製造プロセスだけでなく、その他の加工ラインや、物流関連の搬送工程における自動倉庫等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の形態１にかかるスライドユニットの構成を示し、（ａ）は図２（ｂ）のＡ−Ａ線矢視断面図、（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図、（ｃ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図である。
【図２】（ａ）は同スライドユニットの平面図、（ｂ）は側面図である。
【図３】（ａ）は同スライダーの平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線矢視断面図、（ｃ）は（ａ）のＥ−Ｅ線矢視断面図、（ｄ）はスライダーの上方から見た斜視図、（ｅ）はスライダーの下方から見た斜視図である。
【図４】同スライドユニットが配設された作業ステーションの説明図である。
【図５】（ａ）は同載置台をＸＹ方向の限度までスライドさせた状態のスライドユニットの平面図、（ｂ）は側面図である。
【図６】（ａ）は図５（ｂ）のＦ−Ｆ線矢視断面図、（ｂ）は図５（ａ）のＧ−Ｇ線矢視断面図、（ｃ）は図５（ａ）のＨ−Ｈ線矢視断面図である。
【図７】本発明の実施の形態２にかかるスライドユニットの構成を示し、（ａ）は図８（ｂ）のＩ−Ｉ線矢視断面図、（ｂ）は図８（ａ）のＪ−Ｊ線矢視断面図、（ｃ）は図８（ａ）のＫ−Ｋ線矢視断面図である。
【図８】（ａ）は同スライドユニットの平面図、（ｂ）は側面図である。
【図９】（ａ）は同スライダーの平面図、（ｂ）は（ａ）のＬ−Ｌ線矢視断面図、（ｃ）は（ａ）のＭ−Ｍ線矢視断面図、（ｄ）はスライダーの上方から見た斜視図、（ｅ）はスライダーの下方から見た斜視図である。
【図１０】（ａ）は同載置台をＸＹ方向の限度までスライドさせた状態のスライドユニットの平面図、（ｂ）は側面図である。
【図１１】（ａ）は図１０（ｂ）のＮ−Ｎ線矢視断面図、（ｂ）は図１０（ａ）のＯ−Ｏ線矢視断面図、（ｃ）は図１０（ａ）のＰ−Ｐ線矢視断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１…載置台、２…第１のスライダー、３…第１の圧縮スプリング、４…第２のスライダー、５…第２の圧縮スプリング、６，７…転動体、８…ケーシング、８１…内壁、９…付勢軸、１０…ガイド軸、１３…第１の空圧シリンダ、１３１…ピストン、１４…位置決め部材、１５…第２の空圧シリンダ、１５１…ピストン、Ｓ…スライドユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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