(57)【要約】【課題】  二つの歯車間に生じる摩擦トルクを低減可能な歯車装置を提供する。【解決手段】  複数の小径歯１０を有する小径歯車２と、複数の大径歯１２を有する大径歯車４とを備え、小径歯１０と大径歯１２が特定噛合位置で噛合する範囲において被位置決め部材の位置決めを行う歯車装置１において、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなるバックラッシ低減手段を、複数の大径歯１２を、特定噛合位置に対応する位置に設定された複数の大径位置決め歯１２ａと、各大径位置決め歯１２ａ間に位置する複数の大径許容歯１２ｂとに区分し、各大径位置決め歯１２ｂの歯厚を各大径位置決め歯１２ａの歯厚よりも小さく加工して構成する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも噛合する二つの歯車を備え、これらの歯車の歯が特定噛合位置で噛合する範囲において被位置決め部材の位置決めを行う歯車装置において、
前記二つの歯車のうち少なくとも一方に、前記特定噛合位置におけるバックラッシが特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなるバックラッシ減少手段を備えたことを特徴とする歯車装置。
【請求項２】
前記バックラッシ減少手段を備えた歯車の歯を、前記特定噛合位置で他方の歯車の歯と噛合する位置決め歯と、前記特定噛合位置以外の噛合位置で他方の歯車の歯と噛合する許容歯と、に区分し、
前記位置決め歯は、前記許容歯よりも歯厚が大きく形成されることを特徴とする請求項１に記載した歯車装置。
【請求項３】
前記位置決め歯は、めっき処理されることにより前記許容歯よりも歯厚が大きく形成されることを特徴とする請求項２に記載した歯車装置。
【請求項４】
前記許容歯は、電解研磨されることにより前記位置決め歯よりも歯厚が小さく形成されることを特徴とする請求項２又は３に記載した歯車装置。
【請求項５】
前記バックラッシ減少手段は、前記特定噛合位置における前記二つの歯車間の隙間が特定噛合位置以外の噛合位置における二つの歯車間の隙間よりも小さくなるように、前記二つの歯車のうち少なくとも一方の回転軸線を偏芯させることを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項に記載した歯車装置。
【請求項６】
前記二つの歯車のうち少なくとも一方は、回転軸線が偏芯する位置に回転軸が連結されることを特徴とする請求項５に記載した歯車装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体製造装置等に用いられる歯車装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば半導体製造装置に備えられているインデックステーブル等の被位置決め部材では、被位置決め部材の旋回位置決めに歯車装置を用いる場合がある。この歯車装置は、被位置決め部材に連結された歯車と、この歯車と噛合する回転動力源が連結された歯車とを備えており、これら二つの歯車によって、回転動力源によって発生した回転力を被位置決め部材に伝達している。
【０００３】
このような歯車装置では、バックラッシを減少させることにより、被位置決め部材の位置決め精度を向上させている。バックラッシを減少させる方法としては、例えば、以下に示す三通りの方法が用いられている。
第一の方法としては、特許文献１に記載されている方法があげられる。この方法は、噛合する二つの歯車のうち一方の歯車を、回転軸と環状歯形部とを、環状歯形部の径方向に弾性変形可能なリブを介して連結することにより形成したものである。このような構成であれば、リブが有する弾性力によって、二つの歯車同士を常に圧接状態とすることが可能となるため、バックラッシを減少させることが可能となる。
【０００４】
また、第二の方法としては、特許文献２及び特許文献３に記載されている方法があげられる。これらの方法は、二つの歯車のうち一方の歯車の歯厚を増加させるとともに、歯厚の増加部分を弾性変形可能な材料によって形成することにより、バックラッシを減少させるものである。
また、第三の方法としては、特許文献３の従来技術として記載されている方法があげられる。この方法は、複数の歯車同士を並行に重ね合わせるとともに、これらの歯車を互いに弾性部材によって引っ張りあわせることにより、重ね合わせた複数の歯車の歯で他の歯車の歯を挟み込み、バックラッシを減少させるものである。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２３３０７１号公報（図１）
【特許文献２】特開２００１−２２１３３２２号公報（図２）
【特許文献３】特開平８−１４３６４号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した各特許文献に記載されているような方法では、歯車の歯厚を高精度に増加させる代わりに、弾性部材の有する弾性力によって二つの歯車同士を常に圧接状態とすることにより、バックラッシを減少させている。このため、被位置決め部材の位置決めを行わない位置においても、二つの歯車間に生じる摩擦トルクが増加してしまい、歯車の回転トルクが増加してしまうため、高い回転力を発生可能な回転動力源が必要となる。その結果、回転動力源として、例えば大型のモーターが必要となり、歯車装置の設置条件及び使用条件が限定されてしまうとともに、モーターの作動コストが増加してしまう。また、歯車の回転トルクが増加することにより、歯車の高速回転が困難となるため、被位置決め部材の位置決めに要する時間が長期化してしまう。これらの問題は、潤滑条件の厳しい真空環境等で特に顕著である。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたもので、被位置決め部材の位置決めを行わない位置におけるバックラッシを増加させて、摩擦トルク及び回転トルクを低減することが可能な歯車装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のうち、請求項１に記載した発明は、少なくとも噛合する二つの歯車を備え、これらの歯車の歯が特定噛合位置で噛合する範囲において被位置決め部材の位置決めを行う歯車装置において、
前記二つの歯車のうち少なくとも一方に、前記特定噛合位置におけるバックラッシが特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなるバックラッシ減少手段を備えたことを特徴とするものである。
本発明によると、被位置決め部材の位置決めを行う特定噛合位置においては、特定噛合位置以外の噛合位置よりもバックラッシを減少させることが可能となる。また、特定噛合位置以外の噛合位置においては、特定噛合位置よりもバックラッシを増加させることが可能となる。
【０００８】
次に、請求項２に記載した発明は、請求項１に記載した発明であって、前記バックラッシ減少手段を備えた歯車の歯を、前記特定噛合位置で他方の歯車の歯と噛合する位置決め歯と、前記特定噛合位置以外の噛合位置で他方の歯車の歯と噛合する許容歯と、に区分し、
前記位置決め歯は、前記許容歯よりも歯厚が大きく形成されることを特徴とするものである。
本発明によると、位置決め歯の歯厚を許容歯の歯厚よりも大きくすることにより、特定噛合位置においては、特定噛合位置以外の噛合位置よりもバックラッシを減少させることが可能となる。また、特定噛合位置以外の噛合位置においては、特定噛合位置よりもバックラッシを増加させることが可能となる。
【０００９】
次に、請求項３に記載した発明は、請求項２に記載した発明であって、前記位置決め歯は、めっき処理されることにより前記許容歯よりも歯厚が大きく形成されることを特徴とするものである。
本発明によると、位置決め歯をめっき処理することにより、位置決め歯の歯厚を許容歯の歯厚より大きく形成したため、特定噛合位置以外の噛合位置よりもバックラッシを減少させることが可能となる。
【００１０】
次に、請求項４に記載した発明は、請求項２又は３に記載した発明であって、前記許容歯は、電解研磨されることにより前記位置決め歯よりも歯厚が小さく形成されることを特徴とするものである。
本発明によると、許容歯を電解研磨することにより、許容歯の歯厚を位置決め歯の歯厚より小さく形成したため、特定噛合位置以外の噛合位置においては、特定噛合位置よりもバックラッシを増加させることが可能となる。また、許容歯の歯面に生じる接触抵抗が減少するため、二つの歯車間に生じる摩擦トルクを低減することが可能となる。
【００１１】
次に、請求項５に記載した発明は、請求項１から４のうちいずれか１項に記載した発明であって、前記バックラッシ減少手段は、前記特定噛合位置における前記二つの歯車間の隙間が特定噛合位置以外の噛合位置における二つの歯車間の隙間よりも小さくなるように、前記二つの歯車のうち少なくとも一方の回転軸線を偏芯させることを特徴とするものである。
本発明によると、二つの歯車のうち少なくとも一方の回転軸線を偏芯させることにより、特定噛合位置においては、特定噛合位置以外の噛合位置よりも二つの歯車間に生じる隙間が小さくなるため、バックラッシを減少させることが可能となる。また、特定噛合位置以外の噛合位置においては、特定噛合位置よりも二つの歯車間に生じる隙間が大きくなるため、バックラッシを増加させることが可能となる。
【００１２】
次に、請求項６に記載した発明は、請求項５に記載した発明であって、前記二つの歯車のうち少なくとも一方は、回転軸線が偏芯する位置に回転軸が連結されることを特徴とするものである。
本発明によると、二つの歯車のうち少なくとも一方に回転軸線が偏芯する位置へ回転軸を連結することにより、回転軸線が偏芯する位置へ回転軸を連結した歯車の回転軸線を偏芯させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、被位置決め部材の位置決めを行わない位置におけるバックラッシが増加するため、二つの歯車間に生じる摩擦トルクを低減することが可能となり、歯車装置の設置条件及び使用条件が拡大されるとともに作動コストが低減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の第一実施形態について図面を参照しつつ説明する。
まず、図１を参照して本実施形態の構成を説明する。
図１に示すように、本実施形態の歯車装置１は、噛合する二つの歯車２，４と、二本の回転軸６，８とを備えている。以下、二つの歯車２，４のうち、径の小さい歯車２を小径歯車２と示し、径の大きい歯車４を大径歯車４と示す。
【００１５】
小径歯車２は平歯車によって形成され、同一形状に形成された複数の小径歯１０を有しており、回転軸６を介して、モーター等の回転動力源（図示せず）と連結されている。
大径歯車４は小径歯車２と同様に平歯車によって形成され、複数の大径歯１２を有しており、回転軸８を介して、インデックステーブル等の被位置決め部材（図示せず）と連結されている。
【００１６】
このような歯車装置１は、小径歯１０と大径歯１２が特定噛合位置で噛合する範囲において、被位置決め部材の位置決めを行っており、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなるバックラッシ減少手段を備えている。なお、本実施形態では、歯車装置１を、被位置決め部材の位置決めが９０°毎に行われる場合として説明する。
【００１７】
以下に、バックラッシ減少手段の構成について詳述する。
バックラッシ減少手段は、大径歯車４が有する複数の大径歯１２を、所定の位置に設定された複数の大径位置決め歯１２ａと、各大径位置決め歯１２ａ間に位置する複数の大径許容歯１２ｂとに区分して構成されている。ここで、所定の位置とは、特定噛合位置に対応する位置であり、小径歯１０と大径位置決め歯１２ａが噛合する位置である。なお、本実施形態の歯車装置１では、被位置決め部材の位置決めが９０°毎に行われるため、所定の位置は、互いに直角をなす四箇所に設定されている。また、図１中では、各大径位置決め歯１２ａに対し、各大径許容歯１２ｂと区別するためにハッチングを施している。
【００１８】
大径位置決め歯１２ａと大径許容歯１２ｂとの区分は、以下に示すように、大径位置決め歯１２ａ及び大径許容歯１２ｂを加工することにより行われる。
まず、全ての大径歯１２の歯厚を、小径歯１０と大径歯１２が噛合する全ての範囲におけるバックラッシが、被位置決め部材の位置決め精度を満足するバックラッシとなる歯厚に形成する。
次に、大径位置決め歯１２ａに設定された各大径歯１２にマスキングを施した後、その他の各大径歯１２に対して電解研磨を行うことにより、各大径許容歯１２ｂの歯厚を、各大径位置決め歯１２ａの歯厚よりも小さく形成する。
【００１９】
次に、本実施形態の作用・効果について説明する。
回転動力源を駆動させて小径歯車２を回転させると、小径歯１０と大径許容歯１２ｂが噛合して大径歯車４が回転し、被位置決め部材が回転する。そして、小径歯１０と大径位置決め歯１２ａが噛合する特定噛合位置において、回転動力源を停止させて小径歯車２及び大径歯車４の回転を停止させ、被位置決め部材を位置決めを行う位置で停止させる。
このとき、各大径許容歯１２ｂの歯厚は、各大径位置決め歯１２ａの歯厚よりも小さく形成されているため、特定噛合位置以外におけるバックラッシは、特定噛合位置の噛合位置におけるバックラッシよりも大きくなる。
【００２０】
したがって、本実施形態の歯車装置であれば、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなり、被位置決め部材の位置決め精度が向上する。なお、一般的に、モーターは低速回転時のトルクが大きいため、特定噛合位置におけるバックラッシが小さいことによって生じる、特定噛合位置付近における小径歯車２の負荷トルクの上昇には、モーターの定格出力トルクを増加させることなく対応可能である。
【００２１】
また、本実施形態の歯車装置であれば、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置におけるバックラッシよりも大きくなるため、小径歯車２と大径歯車４との間に生じる摩擦トルクが低減され、小径歯車２の回転トルクが低減される。その結果、小径歯車２の回転動力源として小型のモーターを用いることが可能となり、歯車装置１の設置条件及び使用条件が拡大されるとともに、回転動力源の作動コストを低下させることが可能となる。また、小径歯車２を容易に高速回転させることが可能となるため、被位置決め部材の位置決めに要する時間を短縮することが可能となる。
【００２２】
さらに、本実施形態の歯車装置であれば、各大径許容歯１２ｂに対して電解研磨が行われているため、各大径許容歯１２ｂの歯面に生じる接触抵抗が低減され、小径歯車２と大径歯車４との間に生じる摩擦トルクが更に低減される。
また、本実施形態の歯車装置であれば、小径歯車２と大径歯車４との間に生じる摩擦トルクが低減されるため、特に真空環境等、潤滑条件の厳しい環境で使用される歯車装置に好適である。
【００２３】
なお、本実施形態の歯車装置では、二つの歯車２，４を、径の小さい小径歯車２と径の大きい大径歯車４としたが、これに限定されるものではなく、歯車２及び歯車４の径を同一としてもよい。
また、本実施形態の歯車装置では、二つの歯車２，４を備えた構成としたが、これに限定されるものではなく、三つ以上の歯車を備えた構成としてもよい。
【００２４】
さらに、本実施形態の歯車装置では、小径歯車２を回転動力源と連結し、大径歯車４を被位置決め部材と連結する構成としたが、これに限定されるものではなく、小径歯車２を被位置決め部材と連結し、大径歯車４を回転動力源と連結する構成としてもよい。
また、本実施形態の歯車装置では、大径位置決め歯１２ａを互いに直角をなす四箇所に設定したが、これに限定されるものではなく、特定噛合位置に対応していれば、大径位置決め歯１２ａを設定する位置は自由である。また、特定噛合位置に対応していれば、大径位置決め歯１２ａはいくつ設定してもよい。
【００２５】
また、本実施形態の歯車装置では、大径許容歯１２ｂに対して電解研磨を行うことにより、特定噛合位置以外の噛合位置で生じるバックラッシが、特定噛合位置で生じるバックラッシよりも大きくなる構成としたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、以下に示す方法によって、特定噛合位置以外の噛合位置で生じるバックラッシが、特定噛合位置で生じるバックラッシよりも大きくなる構成としてもよい。
【００２６】
まず、全ての大径歯１２の歯厚を、小径歯１０と大径歯１２が噛合する全ての範囲におけるバックラッシが、被位置決め部材の位置決め精度に達しないバックラッシとなる歯厚に形成する。次に、めっき処理の不要な歯（大径許容歯１２ｂ）にマスキングを施してから、大径位置決め歯１２ａに対してハードクロムメッキ等のめっき処理を行い、大径位置決め歯１２ａの歯厚を、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなる歯厚に形成する。この場合、大径位置決め歯１２ａの数が大径許容歯１２ｂよりも少なければ、加工コストが低減される。また、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなれば、大径許容歯１２ｂに対して電解研磨を行うとともに、大径位置決め歯１２ａに対してめっき処理を行ってもよい。
【００２７】
また、本実施形態の歯車装置では、小径歯車２及び大径歯車４を共に平歯車で形成したが、これに限定されるものではなく、例えば、かさ歯車等、他の種類の歯車を用いてもよい。また、本実施形態の歯車装置を、例えば図２に示すような位置決め装置１４に用いた場合などは、歯車装置１の構成を、大径歯車４の代わりに扇状歯車１６を備える構成としてもよい。なお、この位置決め装置１４は、真空槽中に配置されるものであり、二軸の直動送り機構と旋回機構とを備えている。旋回機構は、被位置決め部材（上軸送り機構）の、水平状態と所定角度の傾斜状態との精密な旋回位置決めを行うことが可能な機構である。この場合、扇状歯車１６が有する複数の歯１８を、特定噛合位置に対応する位置決め歯１８ａ（この例では二箇所）と、特定噛合位置以外に対応する許容歯１８ｂとに区分し、位置決め歯１８ａ及び許容歯１８ｂを、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなるように形成する。なお、図２中では、位置決め歯１８ａに対し、許容歯１８ｂと区別するためにハッチングを施している。また、ワークの搬送状態における被位置決め部材２０を実線で示し、ワークの加工状態における被位置決め部材２０を二点鎖線で示している。
【００２８】
また、本実施形態の歯車装置では、バックラッシ低減手段を、大径歯車４が有する複数の大径歯１２を、大径位置決め歯１２ａと大径許容歯１２ｂとに区分することにより構成したが、これに限定されるものではない。すなわち、バックラッシ低減手段を、大径歯車４が有する大径歯１２を、大径位置決め歯１２ａと大径許容歯１２ｂとに区分するとともに、小径歯車２が有する複数の小径歯１０を、後述する第二実施形態において説明するように、小径位置決め歯１０ａと小径許容歯１０ｂとに区分することにより構成してもよい。
【００２９】
次に、図３を参照して、本発明の第二実施形態について説明する。なお、上述した第一実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
図３に示すように、本実施形態の歯車装置１は、上述した第一実施形態の歯車装置と以下の点で構成が異なっている。すなわち、大径歯車４は、同一形状に形成された複数の大径歯１２を有しており、バックラッシ減少手段の構成が、以下に詳述する構成となっている。
【００３０】
本実施形態のバックラッシ減少手段は、小径歯車２が有する複数の小径歯１０を、所定の位置に設定された複数の小径歯位置決め歯１０ａと、各小径位置決め歯１０ａ間に位置する複数の小径許容歯１０ｂとに区分することにより構成されている。ここで、所定の位置とは、特定噛合位置に対応する位置であり、小径歯位置決め歯１０ａと大径歯１２が噛合する位置である。なお、本実施形態では、大径歯車４の歯数は１２０であり、小径歯車２の歯数は１５であるので、図示しない被位置決め部材の位置決めを、４５°毎に行うことが可能である。また、本実施形態では、所定の位置を、隣り合う二箇所とした場合について説明する。さらに、図３中では、各小径位置決め歯１０ａに対し、各小径許容歯１０ｂと区別するためにハッチングを施している。
【００３１】
小径位置決め歯１０ａと小径許容歯１０ｂとの区分は、以下に示すように、小径位置決め歯１０ａ及び小径許容歯１０ｂを加工することにより行われる。
まず、全ての小径歯１０の歯厚を、小径歯１０と大径歯１２が噛合する全ての範囲におけるバックラッシが、被位置決め部材の位置決め精度を満足するバックラッシとなる歯厚に形成する。
次に、小径位置決め歯１０ａに設定された各小径歯１０にマスキングを施した後、その他の各小径歯１０に対して電解研磨を行うことにより、各小径許容歯１０ｂの歯厚を、各小径位置決め歯１０ａの歯厚よりも小さく形成する。
その他の構成は、上述した第一実施形態と同様である。
【００３２】
次に、本実施形態の作用・効果について説明する。
回転動力源を駆動させて小径歯車２を回転させると、小径許容歯１０ｂと大径歯１２が噛合して大径歯車４が回転し、被位置決め部材が回転する。そして、小径位置決め歯１０ａと大径歯１２が噛合する特定噛合位置において、回転動力源を停止させて小径歯車２及び大径歯車４の回転を停止させ、被位置決め部材を、位置決めを行う位置で停止させる。
このとき、各小径位置決め歯１０ａの歯厚は、各小径許容歯１０ｂの歯厚よりも大きく形成されているため、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなる。
【００３３】
したがって、本実施形態の歯車装置であれば、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなり、被位置決め部材の位置決め精度が向上する。
また、本実施形態の歯車装置であれば、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置におけるバックラッシよりも大きくなるため、小径歯車２と大径歯車４との間に生じる摩擦トルクが低減され、小径歯車２の回転トルクが低減される。
【００３４】
さらに、本実施形態の歯車装置であれば、各小径許容歯１０ｂに対して電解研磨が行われているため、各小径許容歯１０ｂの歯面に生じる接触抵抗が低減され、小径歯車２と大径歯車４との間に生じる摩擦トルクが更に低減される。
また、本実施形態の歯車装置であれば、大径歯車４よりも径の小さい小径歯車２に設けられた複数の小径歯１０を加工しているため、大径歯車４に設けられた複数の小径歯１２を加工した場合と比較して、加工コストが低減される。
【００３５】
なお、本実施形態の歯車装置では、小径位置決め歯１０ａを、複数の小径歯１０のうち隣り合う二つの小径歯１０に設定したが、これに限定されるものではなく、特定噛合位置に対応していれば、小径位置決め歯１０ａを設定する位置は自由である。また、特定噛合位置に対応していれば、小径位置決め歯１０ａはいくつ設定してもよい。
その他の作用・効果は、上述した第一実施形態と同様である。
【００３６】
次に、図４を参照して、本発明の第三実施形態について説明する。なお、上述した第一実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
図４に示すように、本実施形態の歯車装置１は、上述した第一実施形態の歯車装置と以下の点で構成が異なっている。すなわち、大径歯車４は、同一形状に形成された複数の大径歯１２を有しており、バックラッシ減少手段の構成が、以下に詳述する構成となっている。
【００３７】
本実施形態のバックラッシ減少手段は、回転軸６を、小径歯車２のうち、小径歯車２の回転軸線が偏芯する位置に連結することにより構成されている。ここで、小径歯車２のうち回転軸６を連結する位置は、特定噛合位置において小径歯車２と大径歯車４との間に生じる隙間が、特定噛合位置以外において小径歯車２と大径歯車４との間に生じる隙間よりも小さくなる位置である。なお、図４中では、小径歯車２のうち、小径歯車２の回転軸線が偏芯しない位置、すなわち小径歯車２の中心軸に連結された状態の回転軸６を、回転軸６ａとして破線で示している。
その他の構成は、上述した第一実施形態と同様である。
【００３８】
次に、本実施形態の作用・効果について説明する。
回転動力源を駆動させて小径歯車２を回転させると、小径歯１０と大径歯１２が噛合して大径歯車４が回転し、被位置決め部材が回転する。そして、特定噛合位置において、回転動力源を停止させて小径歯車２及び大径歯車４の回転を停止させ、被位置決め部材を、位置決めを行う位置で停止させる。
このとき、回転軸６は、小径歯車２のうち、小径歯車２の回転軸線が偏芯して、特定噛合位置において小径歯車２と大径歯車４との間に生じる隙間が、特定噛合位置以外において小径歯車２と大径歯車４との間に生じる隙間よりも小さくなる位置に連結されているため、特定噛合位置におけるバックラッシは、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなる。
【００３９】
したがって、本実施形態の歯車装置であれば、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなり、被位置決め部材の位置決め精度が向上する。
また、本実施形態の歯車装置であれば、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置におけるバックラッシよりも大きくなるため、小径歯車２と大径歯車４との間に生じる摩擦トルクが低減され、小径歯車２の回転トルクが低減される。
【００４０】
なお、本実施形態の歯車装置では、回転軸６を、小径歯車２のうち、小径歯車２の回転軸線が偏芯する位置に連結したが、これに限定されるものではなく、小径歯車２の形状を、回転軸線が偏芯する形状とすることにより、小径歯車２の回転軸線を偏芯させる構成としてもよい。
また、本実施形態の歯車装置では、小径歯車２及び大径歯車４のうち、小径歯車２の回転軸線を偏芯させる構成としたが、これに限定されるものではなく、大径歯車４の回転軸線を偏芯させる構成としてもよい。また、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなれば、小径歯車２とともに、大径歯車４の回転軸線を偏芯させる構成としてもよい。
【００４１】
さらに、本実施形態の歯車装置では、上述した第一及び第二実施形態と異なり、各小径歯１０及び各大径歯１２をそれぞれ同一形状としたが、これに限定されるものではない。すなわち、特定噛合位置におけるバックラッシが、特定噛合位置以外の噛合位置におけるバックラッシよりも小さくなれば、各小径歯１０及び各大径歯１２に対して、めっき処理や電解研磨等の加工を行い、歯厚を変化させてもよい。
その他の作用・効果は、上述した第一実施形態と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第一実施形態の歯車装置を示す図である。
【図２】本発明の第一実施形態の歯車装置を位置決め装置に用いた場合を示す図である。
【図３】本発明の第二実施形態の歯車装置を示す図である。
【図４】本発明の第三実施形態の歯車装置を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１    歯車装置
２    小径歯車
４    大径歯車
６，８  回転軸
１０  小径歯
１２  大径歯
１４  位置決め装置
１６  扇状歯車
１８  歯
２０  被位置決め部材
【図１】
2006258210.tif 000003
【図２】
2006258210.tif 000004
【図３】
2006258210.tif 000005
【図４】
2006258210.tif 000006