(57)【要約】【課題】磁気ヘッドの製造工程における、磁気ギャップ接合工程の熱処理により、接合ガラスの溶融あるいは拡散のため、磁気ギャップが変形し、ギャップ長が不安定になり、磁気的劣化がおこる。また、これを抑制するためには、特別な治具等を必要とする。【解決手段】磁気ヘッドの製造工程における、磁気ヘッドギャップ接合工程の接合温度を接合ガラスのガラス屈伏点以上ガラス軟化点以下にある任意の温度にて熱処理することにより、磁気ヘッドの機械的強度を劣化させることなく、接合ガラスの溶融あるいは拡散を抑制し、高精度の磁気ギャップ長を容易に形成することが可能となる。【選択図】図１
2006134490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ギャップを介して、一対の磁気コア半体を突き合わせてなる磁気ヘッドで、少なくとも一方の磁気コア半体に巻線溝を形成しギャップ形成面を鏡面に研磨する工程と、トラック幅規制溝を加工する工程と、磁気ギャップ材を形成する工程と、一対の磁気コア半体のギャップ面を突き合わせた状態で、接合ガラスを熱処理により、磁気コアを接合する工程とを有するヘッドの製造において、前記接合する工程において、接合温度を接合ガラスのガラス屈伏点以上ガラス軟化点以下にある任意の温度にて熱処理することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】
少なくとも一方の磁気コア半体のギャップ対向面に金属磁性膜を形成する工程をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】
接合ガラスにＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｒ２Ｏ（Ｒはアルカリ金属）系ガラスを用いる請求項１または請求項２記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体に対して多量の磁気情報の記録・再生を行うのに適する磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、磁気ヘッドはコイルを巻いたリング状の磁性材料に非常に狭い隙間（磁気ギャップ）を設けたものである。磁気ヘッドの磁気ギャップ部分は、間隙を有する磁性材料と、この間隙に充填された非磁性材料とで構成されている。ビデオテープレコーダー用、フロッピィーディスク用の磁気ヘッドでは、磁性材料として、磁気特性、耐摩耗性、機械加工性等に優れるＭｎ−Ｚｎフェライト等の酸化物材料が主に用いられる。また、磁気ヘッドの高性能化のため、センダスト合金やＣｏ系アモルファス合金等の金属強磁性膜を磁気ギャップ部に配した材料も使われている。
【０００３】
上記のような、磁気ヘッドの製造工程では、まず、一対のフェライトコアに巻線溝およびバックガラス溝を形成し、さらにトラック幅を規定するトラック溝を形成する。次にギャップ対向面を研磨した後に金属磁性膜をギャップ対向面上に形成し、その上にギャップ材をスパッタリングで形成する。そして一対のコア半体をギャップ面で突き合わせ、接合ガラスを熱処理により溶融してコアをギャップで接合し、一つの磁気コアブロックを作製する。この際、熱処理は、接合ガラスの軟化点以上の温度にて接合処理を施している。（例えば特許文献１参照）。またその磁気ギャップを安定化させるため、特別な治具等が種々開発されている。（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平９−２１９００９号公報
【特許文献２】特開平５−１８９７１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら上記のような従来の熱処理工程においては、接着が接合ガラスの溶融にて行われており、ガラスの溶解のため接合ガラスが変形し、ギャップ長（ＧＬ）が不安定になることで、磁気的劣化の要因となる。
【０００５】
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、特別な治具等を使う事なく高精度の磁気ギャップ長（ＧＬ）を容易に形成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明者は接合ガラスの接合温度に着目し、鋭意研究の結果、接合ガラスの軟化点以下にて接着ガラスの変形がなく、接合ガラスの屈伏点以上の温度にて、従来ヘッドと同等の接合強度を得られることを見出した。このため、磁気ヘッドの機械的強度を劣化させることなく、高精度の磁気ギャップ長が得られる。
【０００７】
本発明の請求項１に対応する発明は、磁気ギャップを介して、一対の磁気コア半体を突き合わせてなる磁気ヘッドで、少なくとも一方の磁気コア半体に巻線溝を形成しギャップ形成面を鏡面に研磨する工程と、トラック幅規制溝を加工する工程と、磁気ギャップ材を形成する工程と、一対の磁気コア半体のギャップ面を突き合わせた状態で、接合ガラスを熱処理により、磁気コアを接合する工程とを有するヘッドの製造において、前記接合する工程において、接合温度を接合ガラスのガラス屈伏点以上ガラス軟化点以下にある任意の温度にて熱処理することを特徴とする。
【０００８】
請求項２に対応する発明は、請求項１に記載の磁気ヘッド製造工程において、少なくとも一方の磁気コア半体のギャップ対向面に金属磁性膜を形成する工程をさらに備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項３に対応する発明は、接合ガラスにＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｒ２Ｏ（Ｒはアルカリ金属）系ガラスを用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように本発明の磁気ヘッドの製造方法は、接合温度を接合ガラスのガラス屈伏点以上ガラス軟化点以下にある任意の温度にて熱処理することで、磁気ヘッドの機械的強度を劣化させることなく、高精度の磁気ギャップ長を得られるという効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の磁気ヘッドの実施の形態について説明する。本発明はこれらによって制限されるものではない。
【００１２】
（実施の形態）
図１は本発明の磁気ヘッドの製造方法を用いて製造されたフェライト磁気ヘッドの斜視図である。図において、磁気コア半体３，４にＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライト磁性材料、接合ガラス１、２にＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｒ２Ｏ（Ｒはアルカリ金属）系ガラスである。
【００１３】
図２は本発明の磁気ヘッドの製造方法を用いて製造されたＭＩＧ磁気ヘッドの斜視図である。図において、磁気コア半体３，４にＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライト磁性材料、接合ガラス１、２にＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｒ２Ｏ（Ｒはアルカリ金属）系ガラス、金属磁性膜５にＦｅＴａＮ膜である。
【００１４】
以上のように構成された磁気ヘッドの製造方法では、磁気コア半体３，４を接合ガラス１、２で接合する熱処理工程において、図３に示すように、接合温度を接合ガラスのガラス屈伏点以上ガラス軟化点以下にある任意の温度にて熱処理することを特徴とする。まず、図４に一般的な結晶（図中破線）とガラス（図中実線）におけるモル容積と温度の関係を示す。
【００１５】
図４に示すとおり、結晶の場合は融点にて急激なモル容積の変化がおこるのに対し、ガラスはガラス転移点から融点まで連続的に変化する。本発明者は、このガラス転移点から融点までの領域（あたかも粘度をもった固体として挙動する領域）ならば接合・接着は可能では、との仮定の基に研究を進めた。
【００１６】
次に、本発明における、接合温度決定理由を以下に示す。ガラス屈伏点とは図５に示す通り、膨張の停止する温度である、すなわちこの温度までは、ガラスは固体として挙動を示す、磁気ヘッドの製造工程における熱処理工程（接合工程）においては、この温度では、コアを接合する事が出来ない事を本発明者は見出した。
【００１７】
また、ガラス軟化点とは図６に示す通り、粘度ηが４．５×１０７ｄＰａ・ｓ（ｌｏｇη＝７．６５）であるときの温度である。この温度は、一般的には、・・・する温度である。（軟化点の定義、及び４．５×１０７ｄＰａ・ｓ（ｌｏｇη＝７．６５）の数値が持つ意味を簡単に加筆して下さい）本発明者はこの温度に着目し、鋭意研究の結果、磁気ヘッドの製造工程における熱処理工程（接合工程）においては、この温度では、ガラスが変形しないことを見出した。このことはすなわち、接合ガラスが変形せず、安定したギャップ長を得られことを示している。尚、ガラス屈伏点、ガラス軟化点ともに、上記ガラス転移点から融点までの領域に含まれる。
【００１８】
接合温度を検討した結果を表１に示す。
【００１９】
【表１】
2006134490.tif 000003
【００２０】
ガラス１とガラス２はそれぞれＭＩＧ磁気ヘッド用、フェライト磁気ヘッド用であり、基本の組成はそれぞれＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−Ｎａ２Ｏ、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｎａ２Ｏ−Ｋ２Ｏである。表中の接合強度はヘッド製造工程において、ヘッドの破壊が無かった条件を○、破壊があった条件を×と、ＧＬ精度は、磁気ヘッドのＧＬのバラツキが１０％以内の条件を○、１０％以上の条件を×、また−は、磁気ヘッドの作製が出来なかった条件を示す。ＧＬ精度とは磁気ギャップ（隙間）の長さのバラツキを表している。このバラツキがおよそ１０％以上となると磁気的劣化が生じる
以上のように本実施の形態によれば、接合温度を接合ガラスのガラス屈伏点以上ガラス軟化点以下にある任意の温度にて熱処理することで、磁気ヘッドの機械的強度を劣化させることなく、高精度の磁気ギャップ長を得られる。
【００２１】
なお、本発明は上記実施の形態によって制限されるものではない。以上の説明では金属磁性膜５はＦｅＴａＮ膜としたが、金属磁性膜５はＦｅＴａＮ系およびＦｅＴａＣ系、センダスト、ＦｅＧａＳｉＲｕの金属磁性膜や、Ｃｏ系アモルファス膜としても同様の効果が得られる。
【００２２】
また、接合ガラス１、２はＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｒ２Ｏ（Ｒはアルカリ金属）系ガラス単一としたが、少なくとも接合部がＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｒ２Ｏ系ガラスであれば、数種類の非磁性物を組み合わせても同様の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明の製造方法は、セラミック、ガラス及び金属などの各種材料の接合方法に使用することができる。例えば、各種ＬＣＲ部品、半導体パッケージ、その他の電子部品、ＣＲＴ、蛍光表示管、プラズマディスプレイパネルなどの表示デバイスに使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態１の製造によってできた磁気ヘッドを示す斜視図
【図２】本発明の実施の形態２の製造によってできた磁気ヘッドを示す斜視図
【図３】本発明における熱処理条件を示す図
【図４】ガラスおよび結晶のモル容積と温度の関係を示す図
【図５】ガラスの屈伏点を示す図
【図６】ガラスの軟化点を示す図
【符号の説明】
【００２５】
１    接合ガラス
２    接合ガラス
３    磁気コア半体
４    磁気コア半体
５    金属磁性膜
【図１】
2006134490.tif 000004
【図２】
2006134490.tif 000005
【図３】
2006134490.tif 000006
【図４】
2006134490.tif 000007
【図５】
2006134490.tif 000008
【図６】
2006134490.tif 000009