(57)【要約】【課題】  振動型ジャイロセンサにおいて、製造コストを低減したり、性能、機能等を高めたりする。【解決手段】  振動子１０に与えられた角速度を駆動信号と検出信号の位相差に基づいて検出する振動型ジャイロセンサにおいて、同一の素子１２を駆動素子および検出素子として共用する。あるいは、駆動素子および検出素子として互いに異なる動作原理により動作するものを用いるとともに、駆動素子および検出素子を同一方向を向いた平面に沿って設置したり、互いに反対方向を向いた平面に沿って設置したり、実質的に同じ場所に設置したりする。【選択図】      図１
2006234411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、前記振動子に振動を与える駆動素子と、前記振動子の振動を検出する検出素子とを具備し、前記駆動素子の駆動信号の位相と前記検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて前記振動子に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサであって、同一の素子を前記駆動素子および前記検出素子として共用したことを特徴とする振動型ジャイロセンサ。
【請求項２】
振動子と、前記振動子に振動を与える駆動素子と、前記振動子の振動を検出する検出素子とを具備し、前記駆動素子の駆動信号の位相と前記検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて前記振動子に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサであって、前記駆動素子および前記検出素子として互いに異なる動作原理により動作するものを用いるとともに、前記駆動素子および前記検出素子をいずれも同一方向を向いた平面に沿って設置したことを特徴とする振動型ジャイロセンサ。
【請求項３】
振動子と、前記振動子に振動を与える駆動素子と、前記振動子の振動を検出する検出素子とを具備し、前記駆動素子の駆動信号の位相と前記検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて前記振動子に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサであって、前記駆動素子および前記検出素子として互いに異なる動作原理により動作するものを用いるとともに、前記駆動素子および前記検出素子をそれぞれ互いに反対方向を向いた平面に沿って設置したことを特徴とする振動型ジャイロセンサ。
【請求項４】
振動子と、前記振動子に振動を与える駆動素子と、前記振動子の振動を検出する検出素子とを具備し、前記駆動素子の駆動信号の位相と前記検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて前記振動子に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサであって、前記駆動素子および前記検出素子として互いに異なる動作原理により動作するものを用いるとともに、前記駆動素子および前記検出素子を実質的に同じ場所に設置したことを特徴とする振動型ジャイロセンサ。
【請求項５】
前記駆動素子と前記検出素子とを隣接させることにより、前記駆動素子および前記検出素子を実質的に同じ場所に設置したことを特徴とする請求項４に記載の振動型ジャイロセンサ。
【請求項６】
前記駆動素子と前記検出素子とを積層することにより、前記駆動素子および前記検出素子を実質的に同じ場所に設置したことを特徴とする請求項４に記載の振動型ジャイロセンサ。
【請求項７】
同一の素子のある領域に前記駆動素子を形成し、他の領域に前記検出素子を形成することにより、前記駆動素子および前記検出素子を実質的に同じ場所に設置したことを特徴とする請求項４に記載の振動型ジャイロセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子に与えられた角速度をコリオリ力を利用して検出する振動型ジャイロセンサに関し、さらに詳述すると、上記角速度を駆動信号と検出信号の位相差に基づいて検出する振動型ジャイロセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動子に与えられた角速度をコリオリ力を利用して検出する振動型ジャイロセンサであって、上記角速度を駆動信号と検出信号の位相差に基づいて検出する振動型ジャイロセンサとして、特許文献１〜３に記載されたものがある。
【０００３】
特許文献１のジャイロセンサは、柱状の振動体と、該振動体の第１の側面に取り付けられた駆動用圧電トランスジューサと、前記第１の側面と直交する第２の側面に取り付けられた読み出し用圧電トランスジューサとを備え、前記駆動用圧電トランスジューサにより駆動された前記振動体の振動を前記読み出し用圧電トランスジューサにより電気信号に変換し、該電気信号により角速度を検出するようになした振動ジャイロにおいて、前記駆動用圧電トランスジューサを駆動する駆動信号の位相に対する前記電気信号の位相の変化を検出する位相検出手段を備え、該位相検出手段により検出した位相の変化に基づいて角速度を検出するものである（特許請求の範囲第１項）。
【０００４】
特許文献２のジャイロセンサは、水平面内振動を駆動振動として用いる圧電性を持つ単結晶を用いて構成された振動子であって、駆動振動を駆動する駆動手段と、駆動手段による駆動振動に伴って発生した駆動振動と異なる振動モードの振動状態を検出する検出手段とを備える振動子と、駆動振動を発生するために使用した電気信号を参照信号とし、駆動振動に伴って発生した駆動振動と異なる振動モードを持つ振動を検出手段によって電気信号として取り出したときの信号を出力信号とするとき、参照信号と出力信号の位相差を検出する位相差検出手段とを備え、位相検出手段により検出した位相差の変化に基づいて角速度を検出するものである（請求項１）。
【０００５】
特許文献３のジャイロセンサは、振動子と、この振動子を所定方向へ振動駆動する駆動手段と、振動子の振動成分を圧電効果により電気信号として出力する検出部と、が設けられた振動型ジャイロスコープにおいて、前記検出部は、振動子が前記駆動手段により駆動され且つ振動子に角速度が与えられていないときに同じ位相の出力が得られ且つ前記角速度が与えられたときのコリオリ力による振動成分の出力が互いに逆の位相で重畳される対を成す検出出力部を有し、前記対を成す検出出力部の位相差を検出する位相差検出手段が設けられ、前記位相差検出手段からの出力に基づいて前記角速度が検出されるものである（請求項１）。
【０００６】
【特許文献１】特公平４−１４７３４号公報
【特許文献２】特開平１０−１５３４３２号公報
【特許文献３】特開平１０−２０６１６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述した特許文献１のジャイロセンサは、駆動素子および検出素子としていずれも圧電素子を用いるとともに、振動体の第１の側面に駆動用圧電素子を取り付け、第１の側面と直交する第２の側面に読み出し用圧電素子を取り付けるものである。また、特許文献２、３のジャイロセンサは、振動体を圧電材料で形成するとともに、駆動素子および検出素子としていずれも電極を用いるものである。
【０００８】
したがって、特許文献１のジャイロセンサは、振動体の１つの側面およびそれと直交する側面にそれぞれ圧電素子を取り付けるため、振動子への駆動素子および検出素子の取り付けに高い精度を要し、製造コストが高くなるとともに、駆動素子および検出素子として同じ動作原理により動作するもの（圧電素子）を用いるため、駆動素子および検出素子としてそれぞれ最適な動作原理により動作するものを用いてジャイロセンサの性能、機能等を高めることができないものであった。また、特許文献２、３のジャイロセンサは、駆動素子および検出素子として同じ動作原理により動作するもの（電極）を用いるため、駆動素子および検出素子としてそれぞれ最適な動作原理により動作するものを用いてジャイロセンサの性能、機能等を高めることができないものであった。
【０００９】
本発明は、前述した事情に鑑みてなされたもので、振動子に与えられた角速度を駆動信号と検出信号の位相差に基づいて検出する振動型ジャイロセンサであって、振動子への駆動素子および検出素子の取り付けに高い精度を要さず、製造コストを低減することができる振動型ジャイロセンサを提供することを第１の目的とする。また、本発明は、振動子に与えられた角速度を駆動信号と検出信号の位相差に基づいて検出する振動型ジャイロセンサであって、振動子への駆動素子および検出素子の取り付けに高い精度を要さず、製造コストを低減することができるとともに、駆動素子および検出素子としてそれぞれ最適な動作原理により動作するものを用いて性能、機能等を高めることができる振動型ジャイロセンサを提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、前記目的を達成するため、下記第１〜第４発明の振動型ジャイロセンサを提供する。
（第１発明）
振動子と、前記振動子に振動を与える駆動素子と、前記振動子の振動を検出する検出素子とを具備し、前記駆動素子の駆動信号の位相と前記検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて前記振動子に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサであって、同一の素子を前記駆動素子および前記検出素子として共用したことを特徴とする振動型ジャイロセンサ。
（第２発明）
振動子と、前記振動子に振動を与える駆動素子と、前記振動子の振動を検出する検出素子とを具備し、前記駆動素子の駆動信号の位相と前記検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて前記振動子に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサであって、前記駆動素子および前記検出素子として互いに異なる動作原理により動作するものを用いるとともに、前記駆動素子および前記検出素子をいずれも同一方向を向いた平面に沿って設置したことを特徴とする振動型ジャイロセンサ。
（第３発明）
振動子と、前記振動子に振動を与える駆動素子と、前記振動子の振動を検出する検出素子とを具備し、前記駆動素子の駆動信号の位相と前記検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて前記振動子に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサであって、前記駆動素子および前記検出素子として互いに異なる動作原理により動作するものを用いるとともに、前記駆動素子および前記検出素子をそれぞれ互いに反対方向を向いた平面に沿って設置したことを特徴とする振動型ジャイロセンサ。
（第４発明）
振動子と、前記振動子に振動を与える駆動素子と、前記振動子の振動を検出する検出素子とを具備し、前記駆動素子の駆動信号の位相と前記検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて前記振動子に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサであって、前記駆動素子および前記検出素子として互いに異なる動作原理により動作するものを用いるとともに、前記駆動素子および前記検出素子を実質的に同じ場所に設置したことを特徴とする振動型ジャイロセンサ。
【００１１】
第１〜第４発明において、振動子の材質に限定はなく、例えば圧電材料、恒弾性材料、磁性材料等から適宜選択することができる。また、振動子の形状にも限定はなく、例えばビーム型、音さ型、プレート型、リング型、ボール型、線型、リードリレー型等から適宜選択することができる。
【００１２】
第１発明において、駆動素子および検出素子として共用する素子（以下「駆動・検出素子」ということもある）としては、例えば、圧電効果、静電力、電磁誘導作用（トランス、コイルなど）、電流磁気効果（磁気抵抗効果素子、ホール素子、磁気トランジスタなど）等を利用するものを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
【００１３】
第２発明〜第４発明において、駆動素子として使用する素子としては、例えば、圧電効果、静電力、電磁誘導作用（同前）、電流磁気効果（同前）等を利用するものを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。また、第２発明〜第４発明において、検出素子として使用する素子としては、例えば、圧電効果、静電力、電磁誘導作用（同前）、電流磁気効果（同前）等を利用するものを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。第２発明〜第４発明において、上述した圧電効果、静電力、電磁誘導作用、電流磁気効果等を利用する素子は、それぞれ互いに異なる動作原理により動作する素子である。
【００１４】
第４発明において、駆動素子および検出素子を実質的に同じ場所に設置する態様としては、例えば、駆動素子と検出素子とを隣接させる態様、駆動素子と検出素子とを積層する態様、同一の素子のある領域に駆動素子を形成し、他の領域に検出素子を形成する態様などを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
【００１５】
第１〜第４発明において、駆動素子の駆動信号の位相と検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて振動子に与えられた角速度を検出する手段に限定はなく、例えば、前述した特許文献１〜３に記載されたような公知の手段を用いることができる。
【発明の効果】
【００１６】
第１発明の振動型ジャイロセンサは、同一の素子を駆動素子および検出素子として共用するので、振動子への駆動素子および検出素子の取り付けに高い精度を要さず、製造コストを低減することができる。第２〜第４発明の振動型ジャイロセンサは、駆動素子および検出素子を同一方向を向いた平面に沿って設置したり、互いに反対方向を向いた平面に沿って設置したり、実質的に同じ場所に設置したりするので、振動子への駆動素子および検出素子の取り付けに高い精度を要さず、製造コストを低減することができ、また、駆動素子および検出素子として互いに異なる動作原理により動作するものを用いるので、両素子としてそれぞれ最適なものを用いて性能、機能等を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明するが、本発明は下記例に限定されるものではない。下記実施形態の振動型ジャイロセンサは、いずれも、振動子に与えられた角速度をコリオリ力を利用して検出するものである。
（第１実施形態）
図１は第１発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、圧電材料からなる四角柱状のビーム型振動子１０の一つの側面に、駆動・検出素子として電極１２を取り付けたものである。
【００１８】
本例の振動型ジャイロセンサは、電極１２によって振動子１０に振動を与えるとともに、振動子１０の振動を電極１２によって検出し、電極１２による駆動信号の位相と検出信号の位相との位相差に基づいて振動子１０に与えられた角速度を求める。
（第２実施形態）
図２は第１発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、弾性細線２６の先端に磁石あるいは磁性体からなるボール型振動子２８を取り付けるとともに、振動子２８の近傍に駆動・検出素子としてコイル３０を配置したものである。
【００１９】
本例の振動型ジャイロセンサは、コイル３０によって振動子２８に振動を与えるとともに、振動子２８の振動をコイル３０によって検出し、コイル３０による駆動信号の位相と検出信号の位相との位相差に基づいて振動子２８に与えられた角速度を求める。
（第３実施形態）
図３は第１発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、一対の弾性細線３２、３２の先端部間に磁性体からなる線型振動子３４を取り付けるとともに、振動子３４の近傍に駆動・検出素子として磁石のＮ極３６およびＳ極３８を配置したものである。
【００２０】
本例の振動型ジャイロセンサは、Ｎ極３６およびＳ極３８による交番電流によって振動子３４に図中矢印方向の振動を与えるとともに、振動子３４の振動をＮ極３６およびＳ極３８によって検出し、Ｎ極３６およびＳ極３８による駆動信号の位相と検出信号の位相との位相差に基づいて振動子３４に与えられた角速度を求める。
（角速度検出手段）
第１実施形態〜第３実施形態の振動型ジャイロセンサにおいて、振動子に与えられた角速度を検出する手段としては、例えば、図４に示す回路を用いる手段が挙げられる。図４において、１４は基準信号源、１６、１６はバッファ、１８はコンデンサ、２０は振動子、２２はアース、２４は増幅および位相検出器を示す。本例の回路では、基準信号源１４からの基準信号がバッファ１６、１６で２つに分けられ、一方が振動子２０に送られ、他方がライン２１を通って増幅および位相検出器２４に送られる。また、駆動・検出素子の検出信号は、ライン２３を通って増幅および位相検出器２４に送られる。そして、増幅および位相検出器２４において、ライン２１を通って増幅および位相検出器２４に送られた基準信号（駆動・検出素子の駆動信号）の位相と、ライン２３を通って増幅および位相検出器２４に送られた駆動・検出素子の検出信号の位相との位相差に基づいて、振動子に与えられた角速度が検出される。
（第４実施形態）
図５は第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、圧電材料からなる四角柱状のビーム型振動子４０の一つの側面に、駆動素子として電極４２、検出素子として圧電素子４４を取り付けたものである。
【００２１】
本例の振動型ジャイロセンサは、電極４２によって振動子４０に振動を与えるとともに、振動子４０の振動を圧電素子４４によって検出し、電極４２による駆動信号の位相と圧電素子４４による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子４０に与えられた角速度を求める。
（第５実施形態）
図６は第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、弾性細線４６の先端に磁石あるいは磁性体からなるボール型振動子４８を取り付けるとともに、振動子４８の近傍に駆動素子としてコイル５０、検出素子として電極５２を配置したものである。本例の振動型ジャイロセンサでは、コイル５０および電極５２はいずれも同一方向を向いた平面に沿って配置されている。
【００２２】
本例の振動型ジャイロセンサは、コイル５０によって振動子４８に振動を与えるとともに、振動子４８の振動を電極５２によって検出し、コイル５０による駆動信号の位相と電極５２による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子４８に与えられた角速度を求める。
（第６実施形態）
図７は第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、一対のばね５４、５４の先端部間に磁石からなるボール型振動子５６を取り付けるとともに、振動子５６の近傍に駆動素子としてコイル５８、検出素子としてＭＲセンサ（磁気抵抗素子）６０を配置したものである。本例の振動型ジャイロセンサでは、コイル５８およびＭＲセンサ６０はいずれも同一方向を向いた平面に沿って配置されている。
【００２３】
また、本例の振動型ジャイロセンサでは、コイル５８およびＭＲセンサ６０はエラストマーからなるモールド体６２内に封入されており、ばね５４、５４および振動子５６は上記モールド体６２の内部に形成された空間部６３内に配置されている。
【００２４】
本例の振動型ジャイロセンサは、コイル５８によって振動子５６に図中矢印方向の振動を与えるとともに、振動子５６の振動をＭＲセンサ６０によって検出し、コイル５８による駆動信号の位相とＭＲセンサ６０による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子５６に与えられた角速度を求める。
（第７実施形態）
図８（ａ）は第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、線状支持体６４の先端部に磁石あるいは磁性体からなるリードリレー型振動子６６を取り付けるとともに、振動子６６の近傍に駆動素子としてコイル６８、検出素子としてＭＲセンサ７０を配置したものである。本例の振動型ジャイロセンサでは、コイル６８およびＭＲセンサ７０はいずれも同一方向を向いた平面に沿って配置されている。また、本例の振動型ジャイロセンサでは、振動子６６の先端が振動時に対向電極６７に接触しないように、振動子６６の先端に対向電極６７が通過する通過口６９を設けてある。
【００２５】
また、本例の振動型ジャイロセンサでは、線状支持体６４の基端側およびコイル６８はエラストマーからなるモールド体７４内に封入されており、線状支持体６４の先端側、振動子６６およびＭＲセンサ７０は上記モールド体７４の内部に形成された空間部７６内に配置されている。さらに、本例の振動型ジャイロセンサでは、上記空間部７６内は真空とされており、これにより振動子の振動の安定性を向上させている。
【００２６】
本例の振動型ジャイロセンサは、コイル６８によって振動子６６に線状支持体６４との連結箇所を支点として図中矢印方向の振動を与えるとともに、振動子６６の振動をＭＲセンサ７０によって検出し、コイル６８による駆動信号の位相とＭＲセンサ７０による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子６６に与えられた角速度を求める。
（第８実施形態）
図９は第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、線状支持体１１０の先端部に磁性体（例えばＮｉ、Ｆｅ、Ｃｏなど）からなる音さ型振動子１１２を取り付けるとともに、振動子１１２の近傍に駆動素子としてコイル１１４、検出素子としてＭＲセンサ１１６を配置したものである。本例の振動型ジャイロセンサでは、コイル１１４およびＭＲセンサ１１６はいずれも同一方向を向いた平面に沿って配置されている。
【００２７】
また、本例の振動型ジャイロセンサでは、線状支持体１１０の基端側およびコイル１１４はエラストマーからなるモールド体１１８内に封入されており、線状支持体１１０の先端側、振動子１１２およびＭＲセンサ１１６は上記モールド体１１８内に封入されたガラス管１２０の内部に配置されている。
【００２８】
本例の振動型ジャイロセンサは、コイル１１４によって振動子１１２に図中矢印方向の振動を振動子１１２の先端が開閉するように与えるとともに、振動子１１２の振動をＭＲセンサ１１６によって検出し、コイル１１４による駆動信号の位相とＭＲセンサ１１６による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子１１２に与えられた角速度を求める。
（第９実施形態）
図１０は第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、線状支持体１３０の先端部に、非磁性体からなる音さ１３２と、この音さ１３２の一方の棒状部先端に固定された小磁石１３４とからなる音さ型振動子１３６を取り付けるとともに、振動子１３６の近傍に駆動素子として静電印加機構１３８、検出素子としてＭＲセンサ１４０を配置したものである。静電印加機構１３８は、直流電源１４２、対向電極１４４、１４４およびアース１４６を具備する。本例の振動型ジャイロセンサでは、静電印加機構１３８およびＭＲセンサ１４０はいずれも同一方向を向いた平面に沿って配置されている。
【００２９】
また、本例の振動型ジャイロセンサでは、線状支持体１３０の基端側および対向電極１４４、１４４はエラストマーからなるモールド体１４８内に封入されており、線状支持体１３０の先端側、振動子１３６およびＭＲセンサ１４０は上記モールド体１４８の内部に形成された空間部１５０内に配置されている。
【００３０】
本例の振動型ジャイロセンサは、静電印加機構１３８によって振動子１３６に図中矢印方向の振動を振動子１３６の先端が開閉するように与えるとともに、振動子１３６の振動をＭＲセンサ１４０によって検出し、静電印加機構１３８による駆動信号の位相とＭＲセンサ１４０による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子１３６に与えられた角速度を求める。
（第１０実施形態）
図１１は第３発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、圧電材料からなる四角柱状のビーム型振動子７６の一つの側面に駆動素子として電極７８を取り付けるとともに、上記電極７８を取り付けた側面と反対側の側面に検出素子として圧電素子８０を取り付けたものである。
【００３１】
本例の振動型ジャイロセンサは、振動子７６に与えられた角速度をコリオリ力を利用して検出するもので、具体的には、電極７８によって振動子７６に振動を与えるとともに、振動子７６の振動を圧電素子８０によって検出し、電極７８による駆動信号の位相と圧電素子８０による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子７６に与えられた角速度を求める。
（第１１実施形態）
図１２は第４発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、圧電材料からなる四角柱状のビーム型振動子８２の一つの側面に駆動素子として電極８４を取り付けるとともに、同じ側面に上記電極８４と隣接させて検出素子として圧電素子８６を取り付けたものである。
【００３２】
本例の振動型ジャイロセンサは、電極８４によって振動子８２に振動を与えるとともに、振動子８２の振動を圧電素子８６によって検出し、電極８４による駆動信号の位相と圧電素子８６による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子８２に与えられた角速度を求める。
（第１２実施形態）
図１３は第４発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、圧電材料からなる四角柱状のビーム型振動子８８の一つの側面に駆動素子として電極９０を取り付けるとともに、上記電極９０上に検出素子として圧電素子９２を積層したものである。
【００３３】
本例の振動型ジャイロセンサは、電極９０によって振動子８８に振動を与えるとともに、振動子８８の振動を圧電素子９２によって検出し、電極９０による駆動信号の位相と圧電素子９２による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子８８に与えられた角速度を求める。
（第１３実施形態）
図１４は第４発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。本例の振動型ジャイロセンサは、圧電材料からなる四角柱状のビーム型振動子９４の一つの側面に素子９６を取り付け、この素子９６のある領域に駆動素子として電極９８を形成し、他の領域に検出素子として圧電素子１００を形成したものである。
【００３４】
本例の振動型ジャイロセンサは、電極９８によって振動子９４に振動を与えるとともに、振動子９４の振動を圧電素子１００によって検出し、電極９８による駆動信号の位相と圧電素子１００による検出信号の位相との位相差に基づいて振動子９４に与えられた角速度を求める。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】第１発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図２】第１発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図３】第１発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図４】角速度検出手段の一例を示す回路図である。
【図５】第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図６】第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図７】第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図８】第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図９】第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図１０】第２発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図１１】第３発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図１２】第４発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図１３】第４発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【図１４】第４発明に係る振動型ジャイロセンサの一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０  振動子
１２  電極
２８  振動子
３０  コイル
３４  振動子
３６  Ｎ極
３８  Ｓ極
４０  振動子
４２  電極
４４  圧電素子
４８  振動子
５０  コイル
５２  電極
５６  振動子
５８  コイル
６０  ＭＲセンサ
６６  振動子
６８  コイル
７０  ＭＲセンサ
７６  振動子
７８  電極
８０  圧電素子
８２  振動子
８４  電極
８６  圧電素子
８８  振動子
９０  電極
９２  圧電素子
９４  振動子
９６  素子
９８  電極
１００  圧電素子
１１２  振動子
１１４  コイル
１１６  ＭＲセンサ
１３６  振動子
１３８  静電印加機構
１４０  ＭＲセンサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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