(57)【要約】      （修正有）【解決手段】  熱可塑性樹脂を基材とし、該熱可塑性樹脂基材の両面に導電性ポリマーの層が被覆形成されているトレイ及びその蓋をハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包に用いることを特徴とするハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包方法。【効果】  本発明によれば、熱可塑性樹脂を基材とし、該熱可塑性樹脂基材の両面に導電性ポリマー層が被覆形成されたトレイ及びその蓋を最終洗浄したハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包に用いることにより、梱包から製品を取り出した際に、１．０μｍ以上のパーティクル数が更に低減され、かつ、１．０μｍ未満の微細パーティクル（微細異物）数が少ないハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を提供することが可能となる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱可塑性樹脂を基材とし、該熱可塑性樹脂基材の両面に導電性ポリマーの層が被覆形成されているトレイ及びその蓋をハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包に用いることを特徴とするハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包方法に関するものであり、特には、組み立てが完了したハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を最終洗浄した後のハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の清浄な梱包方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路は、図１に示したように、主に高い磁気特性を有しているＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石（Ｒは、Ｙを含む希土類元素の少なくとも一種）ａと、磁気回路を構成するヨーク部品ｂとで構成されている。なお、図中ｃはコイルである。
近年、ハードディスクの記憶容量増大化に伴う磁気ヘッド浮上量の減少により、ヘッドクラッシュに至らないよう異物付着が低減されたハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路が要求されてきている。
その要求に対応して、ハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の各部品をクリーンルームに搬送する前に、超純水による超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシスクラビングなどの手法により洗浄を行っている。このような手法を用いて洗浄されたハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の各部品を、クリーンルーム内で組立を行う。
【０００３】
ここで、一般的なハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路組立工程に関し、簡単に説明すると、まず未着磁の永久磁石材料とヨーク部品とを接着し、永久磁石材料を着磁した上で、必要であれば上下それぞれの磁気回路を合体させる工程を採るが、客先で合体させる製品もあり、着磁工程が最終工程の場合もある。
また、付属部品が追加で組み込まれたり、永久磁石の接着位置や磁束量などの各検査工程が上記組立工程間及び工程後に追加されたり、詳細な工程はハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の機種によってそれぞれ異なる。なお、永久磁石材料を着磁してから接着すると、強力な永久磁石同士の吸着力により、接着工程のハンドリングが困難となるため、接着してから着磁する場合がほとんどである。
【０００４】
このようにして組立が完了したハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路に付着したパーティクルを、最終外観検査として、エアブローやドライアイスブローなどの乾式洗浄、アルコール拭きやゴム粘土を用いた除去又はテーピングなどの物理的除去法を用いて除去する。
以上のような手法で清浄度を高めたハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を、超純水を用いて洗浄されたトレイに入れ、蓋を被せ、清浄度が確認されたプラスチック製の袋に入れて、減圧パッキングを行い、梱包する。
【０００５】
ハードディスクのボイスコイルモータ用磁気回路に付着しているパーティクル（異物）としては、１．０μｍ以上のパーティクル数が少ないものが要求されているが、最近においては、ハードディスクの記憶容量増大化に伴い、１インチサイズのボイスコイルモータ用磁気回路が使用されるようになり、ヘッドクラッシュに至らないように、１．０μｍ以上のパーティクル数が更に低減され、かつ、１．０μｍ未満の微細パーティクル（微細異物）が少ないものが要求されてきている。
【０００６】
その対応として、ハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包方法についても検討され、最終洗浄した後のハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を収納するトレイとして、
（１）カーボンブラックや金属等の導電性を有する微粒子粉末（導電性フィラー）を熱可塑性樹脂と混練して成形したのもの、
（２）熱可塑性樹脂を基材として、上記の導電性を有するフィラーを含有する導電性塗料を基材となる熱可塑性樹脂両面に塗布又は浸漬したもの、
（３）熱可塑性樹脂を基材として、上記の導電性を有するフィラーを含有する導電性インクを基材となる熱可塑性樹脂両面に印刷し、導電性層を基材表面に形成したもの
などを用いることが提案されている（特開２００１−１１８２２４号公報）。
【０００７】
これらは、導電性フィラーを添加又は配合することにより、トレイの表面抵抗を１０4〜１０7Ω／ｃｍ2の範囲にさせて、トレイ自身の帯電性を低下させるものである。
【０００８】
このトレイ自身の帯電性を低下させることにより、トレイへのパーティクルの付着を低減させて、結果としてトレイに収納されたハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路へのパーティクルの付着を低減させるもので、これはトレイに付着したパーティクルによる、梱包中又は梱包後の最終洗浄した後のハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の汚染を低減するものである。
【０００９】
しかしながら、トレイの表面抵抗を１０4〜１０7Ω／ｃｍ2の範囲内にするため、トレイ表面に多量の導電性フィラー微粒子粉末を露出しているので、トレイ表面から導電性フィラー（微粒子）が発塵（脱落）するパーティクルがハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を汚染させるケースがあり、最終洗浄した後のハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の清浄な梱包方法としては、満足できる方法でなかった。
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−７９７５０号公報
【特許文献２】特開２００１−１１８２２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記事情を改善するためになされたもので、ハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路に付着するパーティクルにおいて、１．０μｍ以上のパーティクル数が更に低減され、かつ、１．０μｍ未満の微細パーティクル（微細異物）が少ない最終洗浄した後のハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の清浄な梱包方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を行った結果、ヨークに取り付けられる永久磁石部品、ヨーク及びハードディスクドライブボイスコイルモータ用磁気回路を収納する搬送用トレイについて検討した結果、熱可塑性樹脂を基材とし、該熱可塑性樹脂基材の両面に導電性ポリマー層が被覆形成されたトレイ及びその蓋を最終洗浄したハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包に用いることにより、１．０μｍ以上のパーティクル数が更に低減され、かつ、１．０μｍ未満の微細パーティクル（微細異物）が少ないハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を提供できることを知見し、本発明に至った。
【００１３】
即ち、本発明は、熱可塑性樹脂を基材とし、該熱可塑性樹脂基材の両面に導電性ポリマーの層が被覆形成されているトレイ及びその蓋をハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包に用いることを特徴とするハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包方法を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、熱可塑性樹脂を基材とし、該熱可塑性樹脂基材の両面に導電性ポリマー層が被覆形成されたトレイ及びその蓋を最終洗浄したハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の梱包に用いることにより、梱包から製品を取り出した際に、１．０μｍ以上のパーティクル数が更に低減され、かつ、１．０μｍ未満の微細パーティクル（微細異物）数が少ないハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明において、ハードディスクドライブボイスコイルモータの永久磁石材料としては、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石合金が使用され得る。
【００１６】
このＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石合金は、Ｒ（Ｒは、Ｙを含む希土類元素の少なくとも一種），Ｆｅ，Ｂを主要元素とし、その組成は、Ｒが５〜４０質量％、Ｆｅが５０〜９０質量％、Ｂが０．２〜８質量％であることが好ましい。
【００１７】
Ｒの量が５質量％未満では、α−Ｆｅの析出量が多くなりすぎて高保磁力が得られず、また４０質量％を超えると、Ｒを含む非磁性相が多くなりすぎて、残留磁束密度が低下してしまうおそれがある。
【００１８】
Ｆｅの量は５０質量％未満では、残留磁束密度が低くて磁石特性が得られず、９０質量％より多いと、α−Ｆｅの析出量が多くなりすぎて高保磁力が得られないおそれがある。
【００１９】
Ｂ量は０．２質量％未満では高保磁力が得られず、８質量％より多いとＢリッチな非磁性相が多くなりすぎて、残留磁束密度が低下するおそれがある。
【００２０】
また、磁気特性改善のために、Ｃ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｇａ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ａｇ，Ｓｎ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗ等の元素を添加したものでもよい。これら添加元素の添加量は、Ｃｏが添加元素となる場合には通常３０質量％以下、好ましくは０．５〜２０質量％であり、その他が添加元素となる場合は合計で通常８質量％以下とするのがよい。Ｃｏは残留磁束密度改善のために添加するものであるが、その量が３０質量％を超えると保磁力が低下する。その他の添加元素は、合計で８質量％を超えると磁気特性が劣化してしまうので避けることが好ましい。
【００２１】
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石合金を得る方法としては、以上のような組成になるように原料を配合し、高周波溶解炉などを用いて溶解、鋳造してインゴットを作製し、そのインゴットをジョークラッシャー、スタンプミルなどで粗粉砕した後、ボールミル、ジェットミルなどで微粉砕し、平均粒径１〜２０μｍの微粉末を得る。この微粉末を磁場中で成型し、１，０００〜１，２５０℃で０．５〜１０時間焼結し、最後に４００〜９００℃で熱処理して、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石を作製する。なお、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金は非常に酸化しやすいため、上記の工程は真空中又はアルゴンガス等の不活性雰囲気中で行われる。
【００２２】
このようにして得られた焼結磁石合金を、製品のサイズに加工した後に、Ｎｉメッキを含む表面処理を行うことが好ましい。Ｎｉメッキの場合、光沢Ｎｉメッキでもよく、無光沢ＮｉメッキやＣｕメッキなどを中間層に設ける多層メッキでもよい。その場合、最表面層は光沢ニッケルメッキを用いると、耐食性、光沢に優れた良好な外観を得ることができる。
【００２３】
次に、上記の方法によって得られたＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石とヨーク部品などを接着工程以降の作業を行うクラス１，０００以下のクリーンルームに搬入する前に、超音波洗浄、スプレー洗浄などを主体にした超純水又は溶剤洗浄を行う。超音波洗浄を用いる場合には、減圧脱気を行うことにより超音波洗浄能力を向上させることができる。
【００２４】
また、上記洗浄との複合洗浄又は前洗浄として、界面活性剤を用いた洗浄やスポンジ、ブラシなどを用いたスクラビングを用いることにより、洗浄効果を高めることができる。但し、界面活性剤を用いて洗浄する場合、洗浄後のリンスが不十分で界面活性剤がＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石やヨーク部品表面に残留してしまい、次工程の接着で接着強度が低下する可能性があるので、超純水を用いた超音波洗浄、スプレー洗浄などで界面活性剤を十分に洗い落とす必要がある。
【００２５】
次に、ヨーク部品に接着されたＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石を着磁する。通常、ハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路に使用するＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石は、単面２極以上の複雑な着磁パターンを持つものが多く、パルス磁場着磁を用いて着磁する場合がほとんどである。大容量のコンデンサーに電荷をチャージし、必要な着磁パターンに合わせて巻き線されたコイルに、一般には１ｍｓ以下の短時間で、瞬時にチャージされた電荷を放出する。その際の発生磁界は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石に磁気特性を最大限に得るために、３０ｋＯｅ以上の印加磁場が好ましい。
【００２６】
このようにして着磁されたＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石とヨーク部品との接着体は、その必要に応じて、上下それぞれを磁気回路とするために合体させる工程を採るが、客先で合体させる製品もあり、着磁工程が最終工程の場合もある。無論、付属部品が追加で組み込まれたり、磁石の接着位置や磁束量などの各検査工程が上記組立工程間及び工程後に追加されたり、詳細な工程はハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路の機種によってそれぞれ異なる。
【００２７】
上記の通り、全組立及び検査工程を終えたハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路は、最後に外観検査工程を得て製品化される。本最終外観検査において、裸眼、又は拡大鏡、顕微鏡などを用いてハードディスクドライブのボイスコイルモータの磁気回路をくまなく観察し、パーティクル、しみなどを作業者が見つけた場合、その部分のしみのアルコール拭きやゴム粘土を用いた除去又はテーピングなどの物理的除去法を用いて、パーティクルを除去することが一般的であるが、事前にエアブローやドライアイスブローなどの乾式洗浄法を用いて、前もってパーティクルを除去してもよい。
【００２８】
このようにして、最終洗浄が終了したハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を、熱可塑性樹脂を基材とし、該熱可塑性樹脂基材の両面に導電性ポリマー層が被覆形成されたトレイ内に置き、同種トレイ蓋を被せる。
【００２９】
なお、トレイの高さ、磁気回路の大きさにもよるが、トレイを数段重ねた上で、その最上部にトレイ蓋を被せたものを用いてもよい。
【００３０】
トレイ及びその蓋には、ハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路が効率よく収納できるよう、また十分な剛性が得られるように適切な凹凸が施される。
【００３１】
これらの手法によって洗浄されたＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石部品とヨーク部品は、次工程の接着工程以降の作業を行うクラス１，０００以下のクリーンルームに搬入される。
【００３２】
接着工程で、洗浄されたＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石部品とヨーク部品を接着する。この接着工程で使用される接着剤は、有害ガス発生によるハードディスクへの影響が少ないことが確認された、嫌気性硬化型接着剤がほとんどである。その硬化促進剤であるプライマーをＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石又はヨーク部品の一方又は両方の接着面に塗布することや接着直後に紫外線（ＵＶ）を照射することにより、短時間で硬化する性質をあわせ持つものが多く、短時間で高い接着強度を得ることができる。
【００３３】
なお、この接着剤の硬化促進にＵＶ照射を用いる場合には、そのＵＶ照射装置として紫外線ランプの直下に接着体を暴露するオープン法と光ファイバーを用いて局所的に照射するスポット法とがあるが、いずれを用いてもよい。このような手法により、短時間で硬化されたＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石とヨーク部品との接着体からの、ハードディスクに影響を及ぼす有害ガスの発生を最小化するために、１００℃前後のオーブンで１時間程度加熱してもよい。
【００３４】
また、更に有害ガス発生によるハードディスクへの影響が少ない接着剤として、熱硬化型エポキシ系接着剤が挙げられるが、加熱中に接着されたＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石とヨーク部品を固定する必要があり、その作業が煩雑となる不利がある。
【００３５】
トレイ及びその蓋の熱可塑性樹脂基材に用いられる熱可塑性樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂などが挙げられるが、ポリスチレン系樹脂は有機溶剤に弱く、硬くてもろい点があり、ポリプロピレン系樹脂は半透明のため中身が見えにくく、酸素やオゾン、高温においてはＮｉなどの金属と反応し、劣化する性質がある。従って、上記の記載した点、及び、ハードディスクに有害なガス又はイオンが発生しない点などを考慮すると、用いる熱可塑性樹脂としては、ポリエチレンテフタレート系樹脂を用いることが好ましい。
【００３６】
本発明の梱包方法においては、熱可塑性樹脂を基材とし、該熱可塑性樹脂基材の両面に導電性ポリマー層が被覆形成されたトレイ及びその蓋を用いることを特徴としている。
【００３７】
熱可塑性樹脂の基材両面に導電性ポリマー層が被覆形成されることにより、基材表面の帯電性を低下させて、基材表面へのパーティクルの付着を低減させる効果を得ることができる。導電性ポリマー層が被覆形成されているトレイの表面抵抗が１０3〜１０9Ω／ｃｍ2範囲内にあることが好ましい。表面抵抗が１０9Ω／ｃｍ2を超えるトレイを用いると、帯電によりパーティクルを表面に吸い付けやすくなり、結果としてその上に収納したハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を、梱包中及び梱包後に新たに汚染させてしまうおそれがある。表面抵抗が１０3Ω／ｃｍ2未満であるトレイを用いると、帯電によるパーティクルの表面への付着はなくなるものの、このような高い導電性を得るために、カーボンなどの導電性粒子をトレイに用いる樹脂に多く埋め込む必要があり、トレイ内にこれら粒子の発塵などの不利やおそれがある。特には、表面抵抗が１０4〜１０7Ω／ｃｍ2の範囲内にあることが好ましい。また、トレイ蓋の表面抵抗もトレイの表面抵抗と同様であることが好ましい。
【００３８】
トレイの熱可塑性樹脂基材の両面に被覆形成される導電性ポリマーは、電子共役系モノマー及び／又はこれら電子共役系モノマーの誘導体などを重合して得られる有機高分子である。電子共役系モノマーとしては、アニリン、チオフェン、ピロール、インドール、フラン、フェニルアセチレン、アセチレン、パラフェニレンなどが例示される。
【００３９】
トレイ表面に被覆される導電性ポリマーの具体的な選定に関しては、テスターなどによる表面抵抗の測定、静電気量測定、リキッドパーティクルカウンターなどによるトレイ自身の発塵量の測定、目視での透明度の評価の他に、ハードディスクに有害なアウトガスの有無、トレイの被覆層の耐溶剤性、耐湿性、耐熱性、耐水性、耐磨耗性などを考慮して選定される。
【００４０】
上記、例示された導電性ポリマーの中で、アニリンを重合して得られるポリアニリン類を用いることが、
（１）基材の熱可塑性樹脂として好ましいポリエチレンテレフタレート系樹脂との密着性がよい、
（２）半透明又は透明に近いものであり、外部から中を見ることができる
点から好ましい。
【００４１】
本発明においては、熱可塑性樹脂を基材とし、該熱可塑性樹脂基材の両面に導電性ポリマー層が被覆形成されたトレイ及び蓋が用いられるが、基材表面への導電性ポリマー層の被覆形成方法としては、特に限定はされないが、導電性ポリマーを含有した導電性塗料、又は、導電性インクを基材表面に塗布・乾燥させて、導電性ポリマーの皮膜を形成させる方法が好ましい。
【００４２】
導電性ポリマーは、そのまま溶媒に溶解され、あるいはバインダー樹脂と混合され、塗料状、インク状で噴霧、浸漬、ローラー法などにより適宜基材の表面に塗布した後、乾燥され、基材表面に導電性ポリマーの皮膜を形成させる方法を採用することができる。
【００４３】
基材表面に形成される導電性ポリマーの皮膜の厚さは、上記表面抵抗値を得るように形成されるが、通常０．１〜５．０μｍの範囲内にあることが好ましい。
【００４４】
搬送用トレイの大きさは一般的なものでよく、ハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路では、Ａ５（２１０×１４８ｍｍ）からＡ３（４２０×２９７ｍｍ）程度のものが好んで使われるが、製品の大きさ、梱包のハンドリングの良さ及び製品が入った搬送用トレイを入れる外箱の大きさを考慮して、適切な大きさが選定される。
【００４５】
トレイの厚みに関しても特に制限はないが、近年のハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路は、１インチ未満の小型モデルから３．５インチの大型サーバーモデルまで大きさ、質量が多岐に亘っているため、最大に磁気回路を収納した際に耐え得る剛性が得られる程度に厚く、しかしながら、重すぎて梱包のハンドリングが劣悪にならない程度に薄く、適切な厚みを選定するとよい。
【００４６】
搬送用トレイ及び蓋は、クラス１，０００以下のクリーンルームに搬入する前に、好ましくは１８ＭΩ／ｃｍ2以上の超純水にて、超音波洗浄、スプレー洗浄などを主体にした超純水又は溶剤洗浄を行う。超音波洗浄を用いる場合には、減圧脱気を行うことにより超音波洗浄能力を向上させることができる。
【００４７】
また、上記洗浄との複合洗浄又は前洗浄として、界面活性剤を用いた洗浄やスポンジ、ブラシなどを用いたスクラビングを用いることにより、洗浄効果を高めることができる。但し、界面活性剤を用いて洗浄する場合、洗浄後のリンスが不十分で、界面活性剤がトレイや蓋の表面に残留してしまい、ハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路をトレイ内に収納した際、製品を新たに汚染させるおそれがあるので、超純水を用いた超音波洗浄、スプレー洗浄などで界面活性剤を十分に洗い落とす必要がある。なお、一度使用したトレイや蓋を再洗浄して再び使用する際も、同様の洗浄方法を用いてクリーンルームに搬入する。
【００４８】
このようにしてハードディスクドライブのボイスコイルモータ用磁気回路を収納したトレイに蓋をして、ポリエチレンなどのプラスチック袋に減圧２重パックを施して、トレイ内部を外気から完全に遮断して、クリーンルーム内での梱包は完了する。これら、ポリエチレンなどのプラスチック袋に関しても、導電性を持たせてもよいが、袋自体が高価となり、かつ袋自体はハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に接触しないことを勘案して、その費用対効果を見極めた上で行うとよい。
【実施例】
【００４９】
以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００５０】
［実施例１］
質量％で３２Ｎｄ−５９．３Ｆｅ−７Ｃｏ−１．２Ｂ−０．５Ａｌ組成となるように、純度９９．９質量％以上の各原料金属を、誘導加熱高周波溶解炉を用いてアルゴン雰囲気中で溶解、鋳造し、合金インゴットを作製した。この合金インゴットをアルゴン雰囲気中１，１００℃×２４時間の均質化熱処理を行った後、アルゴン雰囲気中でジョークラッシャー、ブラウンミルを用いて粗粉砕し、次いで、窒素ガスを用いたジェットミルで微粉砕を行い、平均粒径５μｍのＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石材料粉末を得た。
この磁石材料粉末をプレス装置の金型に装入し、１５ｋＯｅの磁場を印加して、磁場印加方向に対し垂直方向に１ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力をかけて成型を行った。
この成型体をアルゴン雰囲気中にて１，０６０℃で９０分間焼結を行い、その後、更に５４０℃で時効熱処理を行い、永久磁石を得た。
この得られた永久磁石から１２ｍｍ×３．５ｍｍ×０．８ｍｍ（１インチ用）の磁石試験片を切り出した後に、単層の光沢ニッケルメッキを１０μｍ施した。
【００５１】
次に、プレスにてＳＰＣＣ鋼を１７ｍｍ×１０ｍｍ×０．８ｍｍ（１インチ用）に切断してヨークを作製し、このヨークに無電解ニッケルメッキを５μｍ施した。
これら得られた磁石試験片及びヨークを、減圧脱気（減圧脱気条件：残留酸素量２ｍｇ／リットル）した１８ＭΩ・ｃｍの超純水中にて６０℃で２分間、４５ｋＨｚ、６００Ｗの超音波で洗浄し、乾燥させた上で、クラス１，０００のクリーンルーム内に搬入した。
その後、ロックタイト製ＵＶ接着剤３６６をヨーク接着面に０．２ｍｇ塗布し、磁石試験片にロックタイト製プライマーＬＰ９８Ｂを全面に塗布した上で、両者を１０ｋｇｆにて加圧しながら３０秒間固定した。
こうして接着初期強度が得られた上で、ヨークを接着した磁石に高圧水銀灯を用いて３６５ｎｍの紫外線を１００ｍＷ／ｃｍ2の照射強度で２０秒間暴露して、ＵＶ硬化を行った。ＵＶ硬化後、クリーンオーブン内で８０℃にて１時間加熱して、磁石試験片とヨークとの接着体を得た。
【００５２】
次に、この得られた接着体を減圧脱気（減圧脱気条件：残留酸素量２ｍｇ／リットル）した１８ＭΩ・ｃｍの超純水中にて６０℃で２分間、４５ｋＨｚ、６００Ｗの超音波で洗浄し、乾燥させた上で、３０ｋＯｅ磁場中にて２極に着磁して、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータ磁気回路（以下、磁気回路試験片という）を得た。
【００５３】
次に、目視で認められる磁気回路試験片上のしみを、イソプロピルアルコールを染み込ませたクリーンウエスで拭き取り、更に、粘着テープ（住友スリーエム（株）製片面テープ１２７８：基材／ポリエステル・粘着剤／ゴム系・粘着力：３．４Ｎ／ｃｍ）をφ１．５ｍｍのステンレス製棒の先端に巻きつけて、目視で認められる磁気回路試験片上のパーティクルを除去して、磁気回路試験片を完成させた。
【００５４】
ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータ磁気回路の搬送用トレイ及びその蓋として、下記に示すものを用いた。
＊基材の熱可塑性樹脂：ポリエチレンテレフタレート樹脂両面
（トレイ底部の基材の厚さ：０．５ｍｍ）
＊基材両面に被覆形成されている導電性ポリマー：ポリアニリン
（被覆の厚さ：１μｍ）
＊トレー底部及び蓋の表面抵抗：５×１０5Ω
（表面抵抗の測定方法：ダイアインスツルメンツ社製表
面抵抗測定器ＭＣＰ−ＨＴ４５０を用いた。）
上記の搬送用トレイ及び搬送用蓋を減圧脱気（減圧脱気条件：同上条件）した１８ＭΩ・ｃｍの超純水中にて６０℃で２分間、４５ｋＨｚ、６００Ｗの超音波で洗浄した上で同クリーンルーム（クラス１，０００）内に搬入した。
【００５５】
搬送用トレイ及び搬送用蓋をクリーンルーム内に搬送後、磁気回路試験片が接する面を暴露して、クラス１００のクリーンベンチ上に２４時間放置した。２４時間暴露放置後、完成直後の磁気回路試験片１０ヶを搬送用トレイ内に入れて搬送用蓋をして搬送用トレイに収納した。
磁気回路試験片が収納された搬送用トレイをポリエチレン製の袋で減圧２重パックを行い、磁気回路試験片を梱包した。
磁気回路試験片の梱包品を同クリーンルーム（クラス１，０００）内で下記の条件で１４８時間放置した。
（放置条件：クリーンルーム（クラス１，０００）内に放置する。
２４時間ごとに、クリーンルーム内で梱包品を移動させて、置き場所をかえ
た。）
上記梱包品を放置後、クリーンルーム（クラス１，０００）内で開封して、梱包品より磁気回路試験片を取り出した。
【００５６】
梱包品より取り出した磁気回路試験片それぞれについて、１８ＭΩの超純水が１５０ｃｃ入ったビーカーに入れて、本多電子（株）製超音波洗浄機Ｗ−１１５を用い、４５ｋＨｚ、６００Ｗで１分間超音波洗浄した。
超純水中に抽出されたパーティクル数をリキッドパーティクルカウンター（ＨＩＡＣ／ＲＯＹＣＯ製、センサー：ＭＣ−０５、サンプラー：ＡＢＳ−２カウンター：８０００Ａ）で測定した。
測定は、磁気回路試験片１ヶについて、１回当たり超純水３７．５ｃｃ中の０．５μｍ〜３５０μｍのパーティクルを全数測定し、０．５μｍ〜１．０μｍ未満、１．０μｍ以上〜３５０μｍの２種類の大きさ別にクラス分けした。１サンプル当たり２回測定し、その平均値を４倍した。従って、得られたデータは磁気回路試験片１ヶ（サンプル１個）当たりから抽出されたパーティクル数に相当することになる。
【００５７】
梱包品より取り出した磁気回路試験片１０ヶそれぞれについて、超純水中に抽出されたパーティクル数をリキッドパーティクルカウンターで上記と同様にして測定した。
磁気回路試験片１０ヶ（サンプル１０個）のパーティクル数測定値の平均値を各パーティクルの大きさ別にそれぞれ表１に記載した。なお、表１中の数値の単位はサンプル１個当たりのパーティクル数平均値である。
【００５８】
［比較例１］
上記実施例１において、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータ磁気回路の搬送用トレイ及びその蓋として、下記に示すものを用いた以外は実施例１と同じにして、磁気回路試験片１ヶ（サンプル１個）当たりのパーティクル数の平均値を表１に示した。
ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータ磁気回路の搬送用トレイ及びその蓋の材質
＊ポリエチレンテレフタレート系樹脂１００質量部に対して炭素繊維（平均繊維径７μｍ、
エポキシ樹脂表面処理）２５質量部を配合した混合樹脂（トレイ底部の基材の厚さ：０．５ｍｍ）
＊トレー底部及び蓋の表面抵抗：１×１０4Ω
【００５９】
【表１】
2006134368.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】ボイスコイルモータ用磁気回路の概略斜視図である。
【符号の説明】
【００６１】
ａ  Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石
ｂ  ヨーク部品
ｃ  コイル
【図１】
2006134368.tif 000004