(57)【要約】【課題】  電磁弁１の耐久性および信頼性の低下を伴うことなく、電磁弁１の作動音を低減することを課題とする。【解決手段】  電磁弁１のハウジング２の内部に、正圧と負圧との両方の圧力が作用するバルブ室（流体導入通路）２５内で使用しても劣化・破損しないベローズ９を内蔵する。そして、電磁駆動部５のムービングコア６の軸線方向の往復動作に連動するベローズ９の蛇腹状円筒部１０の伸縮動作にダンパ効果の役割を与えて、ムービングコア６の軸線方向の移動速度を遅くすることで、ムービングコア６がピース５３の規制面に当接する際の当接音（電磁弁１の作動音）が小さくなる。これは、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の内部空間、およびベローズ９の開口部７５とリテーナ８のスリーブ部７３との間に、複数個の絞り部９１および１個の絞り部９２を設けることで実現できる。【選択図】  図１
2006258135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）ハウジングの内部に開閉自在に収容されたバルブと、
（ｂ）軸線方向に往復動作する可動コア、およびこの可動コアを軸線方向の一方側に吸引するコイルを有する電磁駆動部と、
（ｃ）前記可動コアの軸線方向の往復動作に前記バルブを連動させるシャフトと、
（ｄ）このシャフトの周囲を取り囲むように前記ハウジングの内部に収容されており、前記バルブの軸線方向の開閉動作および前記可動コアの軸線方向の往復動作に連動して軸線方向に伸縮する蛇腹状筒部を有し、この蛇腹状筒部における山部および谷部の表面に正圧と負圧との両方の圧力の作用を受けるベローズと
を備えた電磁弁において、
前記蛇腹状筒部と前記シャフトとの間には、前記蛇腹状筒部の伸縮動作に伴って内容積が変化する筒状の内部空間が設けられており、
前記ベローズは、前記蛇腹状筒部の内部空間と外部とを連通する開口部を有し、
前記ベローズの開口部と前記シャフトとの間には、前記蛇腹状筒部の内部空間の中で最も大きい開口断面積よりも極めて小さい流路断面積を有する絞り部が設けられていることを特徴とする電磁弁。
【請求項２】
請求項１に記載の電磁弁において、
前記蛇腹状筒部における山部および谷部の表面には、正圧と負圧との両方の圧力が交互に繰り返し作用することを特徴とする電磁弁。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の電磁弁において、
前記シャフトは、前記可動コアの軸線方向の往復動作に、前記バルブの軸線方向の開閉動作および前記ベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作を連動させることを特徴とする電磁弁。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載の電磁弁において、
前記シャフトは、前記可動コアと前記バルブとを駆動連結する軸状部品、およびこの軸状部品の外周に嵌め合わされた環状部品によって構成されており、
前記環状部品は、少なくとも前記ベローズの開口部内に設置されていることを特徴とする電磁弁。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載の電磁弁において、
前記蛇腹状筒部の内部空間には、前記蛇腹状筒部の内部空間の中で最も大きい開口断面積よりも極めて小さい流路断面積を有する絞り部が設けられていることを特徴とする電磁弁。
【請求項６】
請求項５に記載の電磁弁において、
前記ベローズは、前記蛇腹状筒部における山部と谷部とが交互に複数回繰り返されるような軸線方向の断面形状を有し、
前記絞り部は、前記蛇腹状筒部における谷部と前記シャフトとの間に直列的に複数個設けられていることを特徴とする電磁弁。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の電磁弁において、
前記シャフトは、前記可動コアと前記バルブとを駆動連結する軸状部品、およびこの軸状部品の外周に嵌め合わされた環状部品によって構成されており、
前記環状部品は、少なくとも前記蛇腹状筒部における谷部内に設置されていることを特徴とする電磁弁。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のうちのいずれか１つに記載の電磁弁において、
前記蛇腹状筒部の内部空間には、前記蛇腹状筒部の伸縮動作に伴う内容積の変化量が大きい外径側空間、および前記蛇腹状筒部の伸縮動作に伴う内容積の変化量が小さい内径側空間が設けられていることを特徴とする電磁弁。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のうちのいずれか１つに記載の電磁弁において、
前記電磁駆動部は、前記コイルへの通電時に電磁石となって前記可動コアを軸線方向の一方側に吸引するための吸引部、前記可動コアの軸線方向の移動距離を規制するための規制部、および前記可動コアを前記規制部側に対して逆側に付勢する付勢力を発生するスプリングを有し、
前記バルブは、前記コイルへの通電時に前記コイルの起磁力によって開弁または閉弁し、前記コイルへの通電停止時に前記スプリングの付勢力によって閉弁または開弁することを特徴とする電磁弁。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のうちのいずれか１つに記載の電磁弁において、
前記ベローズは、このベローズの軸線方向の他方側を閉塞する閉塞部を有し、
前記ハウジングは、内部に流体通過口が形成された筒状の弁座を有し、
前記バルブは、前記ベローズの閉塞部に一体的に設けられており、前記ハウジングの弁座に対して着座、離座して前記流体通過口を閉塞、開放する電磁式開閉弁の弁体であって、
前記ベローズの開口部は、前記ハウジングの弁座側に対して軸線方向の逆側で開口していることを特徴とする電磁弁。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項９のうちのいずれか１つに記載の電磁弁において、
前記ベローズは、このベローズの軸線方向の他方側を閉塞する閉塞部を有し、
前記ハウジングは、内部に流体通過口が形成された筒状の弁座を有し、且つこの弁座近傍に前記ハウジングの軸線方向に付勢力を発生するスプリングを有し、
前記バルブは、前記コイルの起磁力によって軸線方向の一方側に吸引されて開弁する第１バルブ、およびこの第１バルブが開弁することで閉弁方向に作用する圧力が所定値まで低下した際に、前記スプリングの付勢力によって軸線方向の一方側に付勢されて開弁する第２バルブを有し、
前記第２バルブは、前記第１バルブが着座可能なバルブシート部、および前記流体通過口に連通する連通路を有し、前記ハウジングの弁座に対して着座、離座して前記流体通過口を閉塞、開放する圧力感応弁の弁体であって、
前記第１バルブは、前記ベローズの閉塞部に一体的に設けられており、前記第２バルブのバルブシート部に対して着座、離座して前記連通路を閉塞、開放する電磁式開閉弁の弁体であって、
前記ベローズの開口部は、前記第２バルブのバルブシート部側に対して軸線方向の逆側で開口していることを特徴とする電磁弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸線方向に伸縮する蛇腹状円筒部を有するベローズの開口部を絞ることでダンパ効果を発生させて可動コアまたはバルブの作動音を低減させるようにした電磁弁に関するもので、特に大気圧以上の正圧流体と大気圧よりも低い負圧流体とがバルブおよびベローズに交互に繰り返し作用する電磁式タンク密閉弁等の電磁弁に係わる。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、内部に流体通過口が形成される筒状の弁座を有するハウジングと、この弁座に対して着座、離座して流体通過口を閉塞、開放するバルブ（弁体）と、通電されると起磁力を発生するコイル、このコイルの起磁力によって磁化される固定コア、およびコイルの起磁力によって磁化されて固定コアの吸引部側（軸線方向の一方側）に吸引される可動コアを有する電磁駆動部と、この電磁駆動部の可動コアの軸線方向の往復動作にバルブを連動させるシャフトとを備えた電磁弁（電磁式流量制御弁）が提案されている。そして、電磁弁は、一般的にコイルの起磁力によって固定コアの吸引部に可動コアが吸引されると、固定コアに設けられたストッパに当接するまで可動部材（可動コア、シャフト、バルブ）が軸線方向の一方側に移動するように構成されている。また、電磁弁は、コイルへの通電が停止されて起磁力が消磁されると、電磁駆動部に設けられたスプリングの付勢力によって可動部材が軸線方向の他方側に押し戻されてバルブがハウジングの弁座に着座するように構成されている。
【０００３】
したがって、電磁弁は、バルブの開弁動作時および閉弁動作時共に可動部材がストッパや弁座に当接または着座する際に騒音（可動コアまたはバルブの作動音、電磁弁の作動音とも言う）が発生するという不具合がある。そこで、ダンパ効果を利用して電磁弁の作動音を低減する方法がある（例えば、特許文献１参照）。これは、薄膜弾性体よりなるダイヤフラムの嵌合部をシャフトの外周に固定し、ダイヤフラムの半径方向の外径側端部をハウジングと電磁駆動部の端面との間に挟み込んで保持して、電磁駆動部の端面とハウジングの弁座との間に形成される内部空間（ハウジングの内部空間）を、ハウジングの弁座側の第１圧力室と電磁駆動部側の第２圧力室とに気密的に区画している。なお、第１圧力室内には、制御流体が流れるように構成されており、また、第２圧力室内には、空気が充満している。
【０００４】
そして、電磁弁の開弁動作時には、ダイヤフラムの収縮に伴って圧縮された空気（第２圧力室内の空気）が、第２圧力室から電磁駆動部側に設けられたエアオリフィスを抜けるときの流通抵抗により、可動コアの軸線方向の一方側への移動速度を遅くして（ダンパ効果の作用を得て）、電磁弁の作動音（ストッパへの可動コアの当接音）を低減するものである。また、電磁弁の閉弁動作時には、逆に、エアオリフィスを抜けるときの流通抵抗により、可動コアの軸線方向の他方側への移動速度を遅くして（ダンパ効果の作用を得て）、電磁弁の作動音（ハウジングの弁座へのバルブの着座音）を低減するものである。
【０００５】
［従来の技術の不具合］
ところが、特許文献１に記載の電磁弁を、ダイヤフラムの弾性変形部の外表面に正圧と負圧との両方の圧力の作用を受ける電磁弁に適用することが考えられる。この場合には、ダイヤフラムの弾性変形部の外表面に正圧と負圧との両方の圧力が交互に繰り返し作用すると、弾性変形部が凸形状と凹形状とに交互に繰り返し変化するため、弾性変形部の耐久性が低下して亀裂が入り、ダイヤフラムが破れてしまう可能性がある。そこで、電磁弁に内蔵されるダイヤフラムの弾性変形部の劣化・破損を防止するという目的で、ダイヤフラムの弾性変形部の肉厚を厚くすることが考えられるが、弾性変形し難くなり、電磁弁の制御応答性が悪くなってしまう。また、弾性変形部の半径方向のサイズを大きくすることが考えられるが、ダイヤフラムの大型化に伴ってハウジングの体格も変更しなければならず、自動車のエンジンルーム等への搭載性が低下する。
【０００６】
そこで、正圧と負圧との両方の圧力に対して使用可能なベローズ（ベローフラム）を備えた電磁弁がある（例えば、特許文献２参照）。この電磁弁に内蔵されたベローズは、電磁駆動部の可動コアの軸線方向の往復動作に連動するシャフトの周囲を取り囲むように円筒状に設置されて、電磁駆動部の可動コアの軸線方向の往復動作に連動して軸線方向に伸縮動作を行う蛇腹状円筒部を有している。このベローズは、シャフトの軸方向の一端側（電磁駆動部側）が開口しており、また、シャフトの軸方向の他端側（ハウジングの弁座側）が閉塞しており、この閉塞部にハウジングの弁座に対して着座、離座して弁孔を閉塞、開放するバルブが一体的に設けられている。そのバルブには、ベローズの蛇腹状円筒部の内部空間と外部（ハウジングの弁座よりも上流側の流体通路）とを連通する連通路が形成されている。
【０００７】
しかるに、従来の電磁弁に内蔵されたベローズは、蛇腹状円筒部とシャフトとの間に形成される内部空間（蛇腹状円筒部の内部空間）の内容積に対して、蛇腹状円筒部の伸縮動作に伴って内容積が変化する複数の区画室の内容積が極めて小さく、可動コアおよびシャフトの軸方向の一方側への移動に伴ってベローズの蛇腹状円筒部が収縮しても、蛇腹状円筒部の内部空間内に充満していた流体が一気に連通路を通って流体通路側に排出されてしまい、上記のダイヤフラムを備えた電磁弁のようなダンパ効果としての役割が全くないという問題があった。
【特許文献１】特開２００１−２２７６７１号公報（第５−７頁、図４）
【特許文献２】特開２０００−０１８３９９号公報（第３−４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、ベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作にダンパ効果の役割を与えて、耐久性および信頼性の低下や体格の大型化を伴うことなく、作動音を低減することのできる電磁弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、ベローズがシャフトの周囲を取り囲むようにハウジングの内部に収容されている。そして、ベローズの蛇腹状筒部とシャフトとの間に、ベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作に伴って内容積が変化（拡大・縮小）する筒状の内部空間を設けている。そして、ベローズの開口部とシャフトとの間に、ベローズの蛇腹状筒部の内部空間の中で最も大きい開口断面積よりも極めて小さい流路断面積を有する絞り部（例えばエアオリフィス）を設けている。
これによって、従来の電磁弁に内蔵されたベローズと比べて、開口部を介してベローズの蛇腹状筒部の内部と外部とを出入りする流体の流速を遅くすることができる。すなわち、ベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作にダンパ効果の役割を与えることができるので、電磁弁の作動音を低減することができる。
また、電磁弁のハウジングの内部に、正圧と負圧との両方の圧力の作用を受けても劣化・破損しないベローズを内蔵している。これにより、従来の電磁弁に内蔵されたダイヤフラムと比べてベローズの耐久性および信頼性が低下したり、また、ベローズの半径方向の体格が大型化したりすることはない。したがって、電磁弁の耐久性および信頼性の低下を伴うことなく、しかも電磁弁のハウジングやベローズの大型化を伴うことなく、電磁駆動部の可動コアの軸線方向の往復動作（またはバルブの軸線方向の開閉動作）に連動する、ベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作にダンパ効果の役割を与えることができるので、ダンパ効果の作用を確実に得ることができる。
【００１０】
ここで、ベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の断面形状を、ベローズの蛇腹状筒部における山部と谷部とが交互に複数回繰り返されるような起伏のある波形形状に形成しても良い。これにより、ベローズの開口部を介してベローズの蛇腹状筒部の内部と外部との間で流体を出し入れすることで、電磁駆動部の可動コアの軸線方向の往復動作（またはバルブの軸線方向の開閉動作）に連動して、ベローズの蛇腹状筒部が軸線方向に容易に伸縮動作することができるため、電磁弁の制御応答性を向上できる。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、ハウジングにベローズを内蔵する電磁弁を、ベローズの蛇腹状筒部における山部および谷部の表面に、正圧と負圧との両方の圧力が交互に繰り返し作用する電磁弁に適用しても良い。なお、正圧とは、大気圧以上の圧力、またはベローズの蛇腹状筒部の内部空間を出入りする、あるいはベローズの蛇腹状筒部の内部空間内に充満する流体の圧力以上の圧力である。また、負圧とは、大気圧よりも低い圧力、またはベローズの蛇腹状筒部の内部空間を出入りする、あるいはベローズの蛇腹状筒部の内部空間内に充満する流体の圧力よりも低い圧力である。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、電磁弁に内蔵されたベローズの内部に挿入されるシャフトとして、可動コアの軸線方向の往復動作に、バルブの軸線方向の開閉動作およびベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作を連動させるシャフトを設けても良い。ここで、シャフト（軸状部品）の軸線方向の一端部が可動コアの第１嵌合孔内に嵌合し、また、シャフト（軸状部品）の軸線方向の他端部がバルブの第２嵌合孔内に嵌合するように構成しても良い。これにより、コイルが通電されてコイルの起磁力によって可動コアが電磁石となり、可動コアが軸線方向の一方側に吸引されると、バルブとシャフトとが可動コアに追従して軸線方向の一方側に移動する。このとき、ベローズは、バルブおよびシャフトと一体的に動作するため、蛇腹状筒部がバルブおよびシャフトの軸線方向の一方側の移動に伴ってベローズの蛇腹状筒部の内部空間（外径側空間（複数の環状空間）＋内径側空間（筒状空間））と外部との間で流体を出し入れすることで軸線方向に収縮、伸長する。なお、シャフトとして、可動コアと同一軸線上で、しかも電磁駆動部からバルブに向けて軸線方向に真っ直ぐに延ばされた軸状のシャフトを用いても良い。また、シャフトを、ベローズの開口部の内部および蛇腹状筒部の内部を貫通するようにベローズの内部に挿入しても良い。
【００１３】
請求項４に記載の発明によれば、電磁弁に内蔵されたベローズの内部に挿入されるシャフトを、可動コアとバルブとを駆動連結する軸状部品、およびこの軸状部品の外周に嵌め合わされた環状部品によって構成しても良い。そして、環状部品を、少なくともベローズの開口部内に設置することにより、ベローズの開口部と軸状部品との間に形成される流体流路の半径方向の内径側が環状部品で埋められる。これによって、流体流路の流路断面積が絞られ、ベローズの開口部に、軸状部品の外形形状の変更およびベローズの内径寸法の変更を伴うことなく、絞り部を簡単に設けることができる。
【００１４】
請求項５に記載の発明によれば、ベローズの蛇腹状筒部の内部空間に、ベローズの蛇腹状筒部の内部空間の中で最も大きい開口断面積よりも極めて小さい流路断面積を有する絞り部（例えばエアオリフィス）を設けることにより、ダンパ効果の作用をより確実に得ることができる。これにより、電磁弁の作動音の低減効果をより向上することができる。また、請求項６に記載の発明によれば、ベローズの蛇腹状筒部における谷部とシャフトとの間に直列的に複数個の絞り部を設けることにより、ベローズの蛇腹状筒部の内部空間の内容積（特にベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作に伴う内容積の変化量が比較的に小さい空間の内容積）が減り、ベローズの蛇腹状筒部の収縮動作に伴って圧縮される流体の圧縮率が上がるので、ベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作に伴って発生するダンパ効果をより向上することができる。
【００１５】
ここで、ベローズの蛇腹状筒部における谷部の軸線方向の断面形状を、直線状部分を含むＶ字状またはＵ字状となるように形成しても良い。これにより、ベローズの蛇腹状筒部における谷部とシャフトとの間に直列的に複数個の絞り部を簡単に設けることができる。なお、ベローズの蛇腹状筒部における山部または谷部の軸線方向の断面形状に直線状部分（軸線方向に延びる部分）がなくても良い。つまり、ベローズの蛇腹状筒部における山部または谷部の軸線方向の断面形状が鋭角的に尖った形状でも良い。
【００１６】
請求項７に記載の発明によれば、電磁弁に内蔵されたベローズの内部に挿入されるシャフトを、可動コアとバルブとを駆動連結する軸状部品、およびこの軸状部品の外周に嵌め合わされた環状部品（または筒状部品）によって構成しても良い。そして、環状部品（または筒状部品）を、少なくともベローズの蛇腹状筒部における谷部内に設置することにより、ベローズの蛇腹状筒部における谷部と軸状部品との間に形成される流体流路の半径方向の内径側が環状部品（または筒状部品）で埋められる。これによって、流体流路の流路断面積が絞られ、ベローズの蛇腹状筒部の内部空間に、軸状部品の外形形状の変更およびベローズの内径寸法の変更を伴うことなく、絞り部を簡単に設けることができる。
【００１７】
請求項８に記載の発明によれば、ベローズの蛇腹状筒部の外径側空間内に充満している流体は、ベローズの蛇腹状筒部の収縮動作に伴って外径側空間内で圧縮される。この外径側空間内で圧縮された流体は、ベローズの蛇腹状筒部の内径側空間内に充満している流体をベローズの開口部に押し出す、あるいはベローズの蛇腹状筒部の内径側空間を経由してベローズの開口部に向かう。ここで、外径側空間内で圧縮された流体は、内径側空間を経由してベローズの開口部より外部に流出する前に絞り部を経由する。このとき、絞り部の流路断面積がベローズの蛇腹状筒部の内部空間の中で最も大きい開口断面積よりも極めて小さいため、絞り部を通過する際の流通抵抗により、ベローズの蛇腹状筒部の内部空間から外部に流出する流体の排出速度が遅くなる。これにより、ベローズの蛇腹状筒部の収縮動作が緩慢なものとなるので、ベローズの蛇腹状筒部の収縮動作に連動する可動コアの軸線方向の一方側への移動速度およびバルブの軸線方向の一方側への移動速度が遅くなる。したがって、ダンパ効果の作用を確実に得ることができるので、電磁弁の作動音（例えば可動コアの当接音・バルブの着座音）の低減効果を向上することができる。
【００１８】
請求項９に記載の発明によれば、電磁駆動部の吸引部がコイルへの通電時に電磁石となると、電磁駆動部の吸引部に可動コアが吸引される。これにより、可動コアが電磁駆動部の規制部に当接するまで軸線方向の一方側に移動するが、ダンパ効果の作用によって可動コアの軸線方向の一方側への移動速度が遅いため、可動コアが電磁駆動部の規制部に当接する際の当接音（電磁弁の作動音）を低減することができる。このとき、バルブがコイルへの通電時にコイルの起磁力によって閉弁する電磁弁の場合には、バルブが弁座またはバルブシート部に着座する際の着座音（電磁弁の作動音）を低減することができる。また、バルブがコイルへの通電停止時にスプリングの付勢力によって閉弁する電磁弁の場合には、バルブが弁座またはバルブシート部に着座する際の着座音（電磁弁の作動音）を低減することができる。
【００１９】
請求項１０に記載の発明によれば、ベローズの開口部が、ハウジングの弁座側に対して軸線方向の逆側（例えば電磁駆動部側）で開口している。これにより、仮にバルブがハウジングの弁座に着座して流体通過口を閉塞している場合でも、「ベローズの開口部が閉塞されてしまい、ベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作が不能となる」ことを防止することができる。したがって、ベローズの開口部がハウジングの弁座側で開口している従来の技術と比べて、電磁弁の制御応答性および信頼性、ベローズの耐久性および信頼性を向上することができる。
【００２０】
請求項１１に記載の発明によれば、ベローズの開口部が、第２バルブのバルブシート部側に対して軸線方向の逆側（例えば電磁駆動部側）で開口している。これにより、仮に第１バルブが第２バルブのバルブシート部に着座して連通路を閉塞している場合でも、「ベローズの開口部が閉塞されてしまい、ベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作が不能となる」ことを防止することができる。したがって、ベローズの開口部が第２バルブのバルブシート部側で開口している技術と比べて、電磁弁の制御応答性および信頼性、ベローズの耐久性および信頼性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明を実施するための最良の形態は、電磁弁の作動音を低減するという目的を、電磁弁に内蔵されるベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作にダンパ効果の役割を与えることで実現した。また、ベローズの蛇腹状筒部における山部および谷部の表面に正圧と負圧との両方の圧力の作用を受けても、耐久性の低下や体格の大型化を伴うことなく、ダンパ効果の作用を確実に得るという目的を、電磁弁に内蔵されるベローズの蛇腹状筒部の軸線方向の伸縮動作にダンパ効果の役割を与えることで実現した。
【実施例１】
【００２２】
［実施例１の構成］
図１ないし図４は本発明の実施例１を示したもので、図１は電磁弁の主要構造を示した図で、図２は蒸発燃料処理装置の全体構成を示した図である。
【００２３】
本実施例の電磁弁１は、リリーフ弁１１と共に蒸発燃料処理装置に組み込まれている。この電磁弁１は、自動車等の車両の走行中および燃料を燃料タンク１２内に給油する直前、所定の期間が経過するまで開弁し、それ以外の時には閉弁する常閉型の電磁式開閉弁に、圧力作動式の圧力制御弁（圧力感応弁）を一体化した電磁式タンク密閉弁である。なお、蒸発燃料処理装置は、自動車等の車両の燃料タンク１２内で蒸発気化（揮発）した蒸発燃料（エバポガス）等の流体をキャニスタ１３を経由して内燃機関（例えばガソリンエンジン：以下エンジンと言う）のエンジン吸気管１４内に吸気管負圧を利用して導入（パージ）することで、蒸発燃料等の流体が大気中へ放出されることを防止する蒸発燃料蒸散防止装置である。
【００２４】
蒸発燃料処理装置は、燃料タンク１２とキャニスタ１３とが接続配管１５を介して連通し、キャニスタ１３とエンジン吸気管１４とが接続配管１６を介して連通している。燃料タンク１２には、燃料タンク１２内の圧力（タンク内圧）を検出する圧力センサ（タンク内圧センサ：図示せず）が設けられている。キャニスタ１３内には、蒸発燃料等の流体を吸着する吸着体（例えば活性炭等）が収納されている。そして、キャニスタ１３の大気開放孔には、大気に開放された大気開放配管１７が接続されている。大気開放配管１７の途中には、キャニスタ１３内に流入する空気を濾過するフィルタ１８、および必要に応じてキャニスタ１３の大気開放孔を閉塞する常開型の電磁式開閉弁であるキャニスタ制御弁（キャニスタ・コントロール・バルブ）１９が設けられている。なお、フィルタ１８は、大気開放配管１７の入口部（大気開放孔）から流入する空気は通過可能であるが、空気に混入した異物を捕捉して、エンジン吸気管１４内への異物の侵入を防止するものである。
【００２５】
また、エンジン吸気管１４内には、エンジンの各気筒の燃焼室内に連通する吸気通路内を流れる吸入空気量を調整するためのスロットルバルブ２０が設けられている。また、接続配管１５の途中には、電磁弁１およびリリーフ弁１１よりなるタンク密閉弁ユニットが設けられている。また、接続配管１６の途中には、蒸発燃料等の流体のパージ量を調整するためのパージ制御弁（パージ・コントロール・バルブ）２１が設けられている。なお、接続配管１６は、スロットルバルブ２０よりも吸入空気流方向の下流側（エンジンの吸気ポート側）に接続されている。そして、蒸発燃料等の流体のリークチェックは次に示す順序により行われる。キャニスタ１３の大気開放孔をキャニスタ制御弁１９で閉塞する。そして、パージ制御弁２１を開放することにより、エンジン吸気管１４内の吸気管負圧を接続配管１５、１６に導入した後に、パージ制御弁２１を閉塞することで蒸発燃料等の流体を完全に遮断する。そして、一定時間が経過した後に、圧力センサによって燃料タンク１２内の圧力が上昇したか否かを測定することで、蒸発燃料等の流体のリークチェックが行われる。
【００２６】
リリーフ弁１１は、燃料タンク側の圧力がキャニスタ側の圧力に比べて十分に高圧となった場合に開弁する圧力調整弁である。このリリーフ弁１１は、電磁弁１の第１、第２バルブ３、４を迂回するバイパス流路２２、２３間に設けられた弁孔（図示せず）、この弁孔を開閉する弁体（図示せず）、この弁体を開弁方向に駆動するダイヤフラム（図示せず）、および弁体を閉弁方向に付勢するスプリング（図示せず）等から構成されている。なお、弁孔は、リリーフ弁１１のバルブボディ内に形成されており、また、弁体は、リリーフ弁１１のバルブボディ内をバルブシャフトの軸方向に移動可能である。また、ダイヤフラムで区画されるケーシング内の第１圧力室内には、キャニスタ側の圧力（基準圧力）が作用し、また、ダイヤフラムで区画されるケーシング内の第２圧力室内には、燃料タンク側の圧力が作用する。
【００２７】
次に、本実施例の電磁弁１の構成を図１ないし図４に基づいて説明する。ここで、図３および図４は電磁弁の全体構造を示した図である。
この電磁弁１は、ハウジング２の内部に開閉自在に収容された第１、第２バルブ３、４と、少なくとも第１バルブ３を開弁方向に駆動する電磁駆動部５と、この電磁駆動部５のムービングコア（可動コア）６の軸線方向の往復動作に少なくとも第１バルブ３の軸線方向の開閉動作を連動させるバルブシャフト７と、このバルブシャフト７の軸線方向に伸縮する蛇腹状のベローズ９とによって構成されている。ここで、本実施例のバルブシャフト７は、ムービングコア６の軸線方向の往復動作に、少なくとも第１バルブ３の軸線方向の開閉動作を連動させ、且つベローズ９の蛇腹状円筒部１０の軸線方向の伸縮動作を連動させる金属シャフト（金属部品、軸状部品）と、この金属シャフトの外周に嵌め合わされて、ベローズ９の内部空間の開口断面積を狭くするためのスリーブ状のリテーナ（樹脂部品、筒状部品、絞り部形成部材）８とによって構成されている。
【００２８】
ハウジング２は、樹脂材料（例えばポリブチレンテレフタレート：ＰＢＴまたはポリフェニレンサルファイド：ＰＰＳまたはポリアミド樹脂：ＰＡ等の熱可塑性樹脂）によって一体的に形成されている。このハウジング２は、内部に流体通路２４、バルブ室（ベローズ室）２５、流体通過口（弁孔）２６および流体通路２７を形成する通路形成部材である。これらの流体通路２４、バルブ室２５、弁孔２６および流体通路２７は、燃料タンク１２の内部からキャニスタ１３の内部に蒸発燃料等の流体を導入するための流体導入通路（流体導入経路）を形成する。なお、バルブ室２５および弁孔２６には、流体通路２４、２７がＬ字状（またはＹ字状またはＴ字状）に接続している。
【００２９】
そして、ハウジング２には、Ｏリング等のシール材を挟んで電磁駆動部５の樹脂モールド部材（後記する）の円筒状部（結合部）に気密的に嵌め合わされる円筒状部３０、この円筒状部３０から半径方向の外径側に延ばされた略円管状の流体流路管（入口配管）３１、および円筒状部３０から軸線方向に延ばされた略円管状の流体流路管（出口配管）３２等が樹脂材料によって一体的に形成されている。
また、流体流路管３１は、接続配管１５の上流側部を介して燃料タンク１２に接続されており、その流体流路管３１内には、入口ポートを含む流体通路（タンク側流路）２４が形成されている。また、流体流路管３２は、接続配管１５の下流側部を介してキャニスタ１３に接続されており、その流体流路管３２内には、出口ポートを含む流体通路（キャニスタ側流路）２７が形成されている。
【００３０】
ハウジング２の流体流路管３２と円筒状部３０との結合部（バルブ室２５と流体通路２７とを区画する円環状の区画壁）の内周部には、第２バルブ４が着座可能な円筒状の弁座が設けられている。このハウジング２の弁座は、第２バルブ４が着座可能なバルブシート部２８を有している。このバルブシート部２８は、金属材料（例えばステンレス鋼：ＳＵＳ等）によって形成されている。また、バルブシート部２８は、区画壁の端面より電磁駆動部側に円筒状に突出した立壁部（円筒壁部）にインサート成形されている。そして、バルブシート部２８の内部には、弁孔２６が形成されている。この弁孔２６は、バルブ室２５と流体通路２７とを連通すると共に、第２バルブ４により開閉される。また、ハウジング２の円筒状部３０の内周面には、第２バルブ４の最外径部の外径面（外周面）を摺動自在に支持するバルブ摺動部が設けられている。このバルブ摺動部は、複数個（本例では６個）のバルブガイド（凸状のリブ部）２９によって構成されている。
【００３１】
なお、このハウジング２の円筒状部３０の弁座よりも図示上方側には、リリーフ弁１１のバルブボディを取り付けるためのブラケット３３が一体的に形成されている。このブラケット３３には、バルブ室２５とリリーフ弁１１の弁孔および第２圧力室とを連通するバイパス流路２２が形成されており、また、流体通路２７とリリーフ弁１１の弁孔および第１圧力室とを連通するバイパス流路２３が形成されている。このバイパス流路２３の途中には、電磁駆動部５の内部およびホース３４を介してベローズ９の内部空間と流体通路２７とを連通する圧力抜き孔３５が開口している。なお、ブラケット３３には、リリーフ弁１１を取り付けるための取付座部３６が設けられている。この取付座部３６には、リリーフ弁１１のバルブボディを締め付け固定するための締結ボルトと螺合するインサートナット３７がインサート成形されている。
【００３２】
第１バルブ３は、樹脂材料（例えばフッ素系樹脂、四フッ化エチレン樹脂：ＰＴＦＥ等の熱可塑性樹脂）によって一体的に形成されており、バルブシャフト７を介して電磁駆動部５のムービングコア６と駆動連結されている。この第１バルブ３は、電磁駆動部５とハウジング２との間に形成される略円柱状のバルブ室２５内を軸線方向に往復移動するように設けられている。そして、第１バルブ３の中心軸線上には、第２嵌合孔４２が設けられている。この第２嵌合孔４２の内部には、バルブシャフト７の軸線方向の他端部（図示右端部）が圧入嵌合されている。なお、本実施例の第１バルブ３は、ベローズ９の軸線方向の他端部に一体的に形成（樹脂一体成形）されている。
【００３３】
そして、第１バルブ３は、ソレノイドコイル４９の起磁力によって軸線方向の一方側に移動させられて開弁する常閉型の電磁式開閉弁の弁体として機能する。この第１バルブ３の開弁時には、第２バルブ４のゴムシート部（後記する）より離座して第２バルブ４を軸線方向に貫通する連通路４３を開放する。また、第１バルブ３は、ソレノイドコイル４９の起磁力が消磁されると、電磁駆動部５のリターンスプリング３８のスプリング力によって軸線方向の他方側に移動させられて閉弁する。この第１バルブ３の閉弁時には、第２バルブ４のゴムシート部に着座して連通路４３を閉塞する。
【００３４】
また、第１バルブ３は、リテーナ８の円環状端面とウェーブワッシャ４４の端面との間に挟み込まれて保持固定されている。このウェーブワッシャ４４として、第１バルブ３をリテーナ８の円環状端面に押し付ける方向に付勢するスプリング機能を有するスナップワッシャ（または円環状の板ばね等の環状弾性体）を用いても良い。なお、第１バルブ３の、ウェーブワッシャ４４が当接する部分は、第１バルブ３の図示右側部の円環状端面（第２バルブ４のバルブシート部に着座可能なバルブシート部：樹脂シート部）よりも若干凹んだ円形状の凹状部４５とされている。
【００３５】
第２バルブ４は、樹脂材料（例えばポリブチレンテレフタレート：ＰＢＴまたはポリフェニレンサルファイド：ＰＰＳまたはポリアミド樹脂：ＰＡ等の熱可塑性樹脂）によって形成されており、第１バルブ３と同様に、バルブ室２５内を軸線方向に往復移動するように設けられている。そして、第２バルブ４は、第１バルブ３が開弁し、更に燃料タンク側の圧力（流体通路２４およびバルブ室２５内の圧力）が所定の圧力まで低下した際に、コイルスプリング３９のスプリング力によって軸線方向の一方側に移動させられて開弁する圧力感応弁の弁体として機能する。この第２バルブ４の開弁時には、ハウジング２の弁座より離座して弁孔２６を開放する。
【００３６】
また、第２バルブ４は、第１バルブ３の閉弁時に、第１バルブ３と共にリターンスプリング３８のスプリング力によって軸線方向の他方側に移動させられて閉弁する。この第２バルブ４の閉弁時には、ハウジング２の弁座に着座して弁孔２６を閉塞する。ここで、コイルスプリング３９は、第２バルブ４を開弁方向、つまり軸線方向の一方側（第１バルブ側）に付勢する付勢力（スプリング力、ばね荷重）を発生するバルブ付勢手段である。このコイルスプリング３９の軸線方向の一端は、第２バルブ４のバルブ側フックに保持され、また、コイルスプリング３９の軸線方向の他端は、ハウジング２の弁座近傍に設けられたハウジング側フックに保持されている。
【００３７】
また、第２バルブ４の中央部の内周部には、この第２バルブ４の図示左側部の円環状端面と図示右側部の円環状端面とを連通する連通路４３が形成されている。この連通路４３は、第２バルブ４の中心軸線を中心とする円形穴（流体通過口に連通する連通路）であって、第２バルブ４がハウジング２のバルブシート部２８より離座する前に、第１バルブ３が開弁した際（第１バルブ３の開弁時）、ハウジング２の弁座よりも流体の流れ方向の上流側に位置するバルブ室２５と、ハウジング２の弁座内部の弁孔２６およびハウジング２の弁座よりも流体の流れ方向の下流側に位置する流体通路２７とを連通する。
【００３８】
また、本実施例の連通路４３の上流端は、連通路４３よりも孔径の大きい円形状の凹状部４６の底面で開口している。この凹状部４６は、バルブシャフト７の軸線方向の先端部（他端部）との干渉を防ぐことが可能である。また、第２バルブ４の外周部には、ハウジング２の複数個のバルブガイド２９に摺動自在に嵌合する嵌合部（凸状のリブ部）４７が一体的に形成されている。この嵌合部４７は、第２バルブ４の外周面から半径方向の外径側に突出するように略円筒状に設けられている。なお、本実施例の嵌合部４７は、ハウジング２の電磁駆動部側の円筒状部３０との相対移動が可能なように、複数個のバルブガイド２９の内周面（内径面）に所定のクリアランスを介して嵌合保持されている。これにより、第２バルブ４の嵌合部４７の最外径部の外径面は、ハウジング２の円筒状部３０のバルブ摺動部、特に複数個のバルブガイド２９の内径面に摺動自在に支持されている。
【００３９】
そして、第２バルブ４の図示左側部の円環状端面（受圧面）には、円環状の第１周方向溝が形成されている。また、第２バルブ４の図示右側部の円環状端面（受圧面に対して逆側面）には、円環状の第２周方向溝が形成されている。そして、第２バルブ４の各端面および内部には、ゴム系弾性体（例えばフッ素ゴムまたはシリコンゴム等）よりなるモールドゴム（シールゴム）４８がゴムモールド（モールド成形）またはゴムプリントされている。このモールドゴム４８は、第１周方向溝内にモールド成形された円環状のゴムシート部（第１バルブ３が着座可能なバルブシート部）、第２周方向溝内にモールド成形された円環状のゴムシール部（ハウジング２の弁座に着座可能なバルブシート部）、および第２バルブ４の内部に充填されたゴム充填部等を有している。
【００４０】
電磁駆動部５は、電磁式アクチュエータであって、第１バルブ３およびバルブシャフト７を開弁方向に動作させるムービングコア６と、第１、第２バルブ３、４、ムービングコア６およびバルブシャフト７を閉弁方向に付勢するリターンスプリング３８と、ムービングコア６を軸線方向の一方側に吸引するソレノイドコイル４９と、ソレノイドコイル４９の通電時に磁化される固定コアと、ソレノイドコイル４９を含むコイルアッセンブリを被覆して保護する樹脂モールド部材５９とによって構成されている。なお、本実施例では、固定コアを、マグネチックプレート５０、ステータコア５１およびヨーク５２等によって構成しているが、固定コアをステータコア５１のみによって構成しても良い。また、ステータコア５１にマグネチックプレート５０またはヨーク５２のいずれか一方を組み合わせて固定コアを構成しても良い。
【００４１】
ムービングコア６は、ソレノイドコイル４９、マグネチックプレート５０、ステータコア５１およびヨーク５２と共に磁気回路を形成する可動コアである。そして、ムービングコア６は、磁性材料によって円筒状に形成されており、ソレノイドコイル４９の通電時に磁化されて電磁石となり、ステータコア５１の吸引部６０に吸引される。これにより、ムービングコア６は、第１バルブ３およびバルブシャフト７を伴って軸線方向の一方側に移動する。このムービングコア６の中心軸線上には、第１嵌合孔４１が設けられている。この第１嵌合孔４１の内部には、バルブシャフト７の軸線方向の一端部が圧入嵌合されている。そして、ムービングコア６の外周部（摺動部）は、ステータコア５１の摺動孔６１との間に、少なくともムービングコア６が摺動可能な所定のクリアランスを保って収容保持されている。このクリアランスは、ステータコア５１の開口部に設けられた空気流路６２からステータコア５１の吸引部６０近傍に設けられたスプリング室６３へ真っ直ぐに延びる円筒状の空気流路として利用される。また、リターンスプリング３８の一端は、ステータコア５１の内部に嵌合保持されたピース５３の側壁部に設けられた段差部に保持され、また、リターンスプリング３８の他端は、ムービングコア６の図示左端面に保持されている。
【００４２】
ソレノイドコイル４９は、通電を受けることにより起磁力を発生して磁性材料よりなる各磁性体（ムービングコア６、マグネチックプレート５０、ステータコア５１およびヨーク５２等）を磁化することで、第１バルブ３、バルブシャフト７およびムービングコア６を開弁方向に駆動すると共に、ステータコア５１とヨーク５２との間に形成される円筒状のコイル収納部に収容されたコイルボビン５４の一対の鍔状部間に絶縁被膜を施した導線を複数回巻装したコイルである。ソレノイドコイル４９は、コイルボビン５４の外周に巻装されたコイル部、およびこのコイル部より取り出された一対の端末リード線（端末線）を有している。また、ソレノイドコイル４９のコイル部の外径側は、樹脂ケースとして機能する樹脂モールド部材５９により被覆されて保護されている。なお、ソレノイドコイル４９の一対の端末リード線は、外部電源または電磁弁駆動回路に電気的に接続する一対の外部接続端子（ターミナル）５５に、例えばかしめまたは溶接等により電気的に接続されている。また、一対のターミナル５５の先端部は、樹脂モールド部材５９のコネクタシェル（雄型コネクタ部）６４内に露出して、外部電源側または電磁弁駆動回路側の雌型コネクタ部に差し込まれて電気的な接続を成すコネクタピンとして機能する。
【００４３】
ステータコア５１は、磁性材料によって円筒状に形成されており、ソレノイドコイル４９の通電時に磁化されて電磁石となり、その円筒状部の途中にムービングコア６を軸線方向の一方側に吸引するための吸引部６０を有している。また、ステータコア５１は、その円筒状部の軸線方向の一方側に閉塞部が設けられ、また、円筒状部の軸線方向の他方側に開口部が設けられている。ここで、ステータコア５１の円筒状部は、吸引部６０よりも図示左側の方が吸引部６０よりも図示右側と比べて内径が小さく、吸引部６０よりも図示左側の円筒状部の内周部には、Ｏリング等のシール材を挟んで円筒状のピース５３が気密的に嵌め合わされており、また、吸引部６０よりも図示右側の内周部は、ムービングコア６の外周部を摺動自在に支持する摺動孔（可動コアガイド部）６１とされている。また、ステータコア５１の開口部には、ベローズ９の図示左端面（とリテーナ８の図示左端面）とムービングコア６の図示右端面との間に、円環状の空気流路６２が形成されている。また、ステータコア５１の円筒状部の内周部とムービングコア６の図示左端面とピース５３の図示右端面との間には、リターンスプリング３８を収容するスプリング室６３が形成されている。また、ステータコア５１の閉塞部には、その中心軸線方向に貫通する軸方向孔６５が形成されている。
【００４４】
ピース５３は、第１、第２バルブ３、４、ムービングコア６およびバルブシャフト７等よりなる可動部材の軸線方向の移動距離を規制する規制部として機能する。このピース５３は、その円筒状部の軸線方向の一方側に開口部が設けられ、また、円筒状部の軸線方向の他方側に閉塞部が設けられている。このピース５３の閉塞部の先端面（図示右端面）には、可動部材の軸線方向の一方側への移動距離（リフト量）がフルリフト量（最大リフト量）に到達した際に、ムービングコア６の図示左端面を係止して、この部位より開弁方向への可動部材の移動を規制する規制面（ピース５３の規制面）が設けられている。なお、ピース５３の規制面には、ムービングコア６が当接した際の衝撃を吸収するために、更にムービングコア６の当接音を低減させるためのゴム系弾性体よりなるゴムクッション６６をピース５３の閉塞部を軸線方向に貫通する貫通孔内に装着（またはゴムモールド）している。また、ピース５３の内部空間６７の内部には、フィルタ５６、ジェット５７およびフィルタ５８が収容されている。また、ピース５３の側壁部には、ステータコア５１の吸引部６０近傍に設けられたスプリング室６３とピース５３の内部空間６７とを連通する連通孔６８が形成されている。また、ジェット５７の中心軸線上には、ピース５３の内部空間６７の流路断面積を絞るための絞り部（エアオリフィス：図示せず）が形成されている。また、フィルタ５６、５８は、内部に開口部を有する円環状の枠体、およびこの枠体の開口部に装着された網目状のフィルタエレメント等よりなり、ピース５３の内部空間６７内に侵入する異物（塵、埃、摩耗粉等）を捕捉することで、「異物によってジェット５７の絞り部が閉塞されてしまう」のを防止する。
【００４５】
樹脂モールド部材５９は、樹脂材料（例えばポリブチレンテレフタレート：ＰＢＴまたはポリフェニレンサルファイド：ＰＰＳまたはポリアミド樹脂：ＰＡ等の熱可塑性樹脂）によって一体的に形成されており、ソレノイドコイル４９のコイル部の外径側およびコイルボビン５４の外径側に位置している。この樹脂モールド部材５９内部には、ヨーク５２がインサート成形されており、樹脂モールド部材５９の内周には、マグネチックプレート５０が保持固定されている。そして、樹脂モールド部材５９の軸線方向の他端部（図示右端部）には、ハウジング２の結合端面に結合する円環状の結合端面が設けられている。また、樹脂モールド部材５９には、第１バルブ３、ムービングコア６、バルブシャフト７、ベローズ９の開閉動作（軸線方向の往復動作）を容易化するための圧力抜き孔６９を有する円管状部７０が設けられている。そして、円管状部７０には、電磁駆動部５の軸線方向の一端側で開口した圧力抜き孔６９とバイパス流路２３の途中で開口した圧力抜き孔３５とを連通するホース３４が接続されている。また、樹脂モールド部材５９の外周部には、燃料タンク１２の天井壁に、円筒状カラー７１の貫通孔を貫通する締結ボルト等の締結具を用いて締め付け固定される取付ステー部７２が一体的に形成されている。
【００４６】
ここで、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０が収縮する際の、電磁駆動部５の内部に形成される空気流路は、ステータコア５１の開口部（空気流路６２）から、ステータコア５１の摺動孔６１とムービングコア６の外周部との間に形成されるクリアランス（空気流路）→ステータコア５１の吸引部６０近傍に設けられたスプリング室６３→ピース５３の連通孔６８→ピース５３の内部空間６７→フィルタ５６→ジェット５７の絞り孔→フィルタ５８→ステータコア５１の軸方向孔６５→樹脂モールド部材５９の円管状部７０の圧力抜き孔６９に至るまでの第１空気流通経路となる。また、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０が伸長する際の、電磁駆動部５の内部に形成される空気流路は、第１空気流通経路に対して反対に空気が流れる第２空気流通経路となる。
【００４７】
本実施例のバルブシャフト７は、金属材料によって形成された円柱状の金属シャフト（７）と、この金属シャフトの外周に嵌合保持されたリテーナ８とによって構成されており、ベローズ９の内部を軸線方向に貫通するように、ベローズ９の中心軸線上に設置されている。先ず、バルブシャフト７は、図１および図４に示したように、電磁弁１の閉弁時にムービングコア６の第１嵌合孔４１から第２バルブ４の連通路４３（および凹状部４６）に至るまで真っ直ぐに延びる丸棒形状の軸状部品であって、ハウジング２の円筒状部３０の中心軸線上に配置されている。このバルブシャフト７の軸線方向（軸方向）の中央部には、リテーナ８を嵌合保持するリテーナ保持部（径大部）が設けられている。この径大部よりも軸線方向の一端側（電磁駆動部側）には、ムービングコア６の第１嵌合孔４１内に圧入嵌合される第１径小部（シャフトの軸線方向の一端部）が設けられている。また、径大部よりも軸線方向の他端側（ハウジング２の弁座側）には、第１バルブ３の第２嵌合孔４２内に圧入嵌合される第２径小部（シャフトの軸線方向の他端部）が設けられている。そして、バルブシャフト７の第１径小部は、径大部の図示左側の円錐台状端面より図示左方向に突出した部分であって、また、バルブシャフト７の第２径小部は、径大部の図示右側の円環状端面より図示右方向に突出した部分である。これらの第１、第２径小部は、共に径大部よりも外径が小さい。なお、バルブシャフト７の第２径小部の先端部は、第１バルブ３の図示右側部の円環状端面に設けられた凹状部４５よりも軸線方向の他方側に突出しており、この突出部分の外周にウェーブワッシャ４４を係止する鍔状部（または係止溝）が設けられている。
【００４８】
次に、リテーナ８は、樹脂材料（例えばポリブチレンテレフタレート：ＰＢＴまたはポリフェニレンサルファイド：ＰＰＳまたはポリアミド樹脂：ＰＡ等の熱可塑性樹脂）によって一体的に形成されており、ベローズ９の内部空間（第１バルブ３の図示左側の円環状端面からベローズ９の開口端に至るまでの円筒状空間）内においてバルブシャフト７の径大部の外周部に隙間嵌め（または中間嵌め）されている。なお、バルブシャフト７をリテーナ８の内部にインサート成形して、バルブシャフト７とリテーナ８とを一体化しても良い。このリテーナ８には、バルブシャフト７の径大部の外周に嵌合する嵌合孔を有する円筒状のスリーブ部（弾性変形しない固体、筒状部品、環状部品）７３が形成されている。このスリーブ部７３の軸線方向の一端側は開口しており、また、スリーブ部７３の軸線方向の他端側は閉塞している。この閉塞部の内部には、バルブシャフト７の第２径小部の外周に嵌合する嵌合孔が形成されている。
【００４９】
ベローズ９は、第１バルブ３と同一の樹脂材料によって一体的に形成されている。このベローズ９は、リテーナ８の周囲を取り囲むようにハウジング２のバルブ室２５の内部に収容されている。そして、ベローズ９は、蛇腹状筒部１０の軸線方向の断面形状が、蛇腹状円筒部１０における山部と谷部とが交互に複数回繰り返されるような起伏のある波形形状となるように形成している。また、蛇腹状円筒部１０における山部の軸線方向の断面形状は、直線状部分を含まない逆Ｖ字状となるように形成されている。また、蛇腹状円筒部１０における谷部の軸線方向の断面形状は、直線状部分を含むＶ字状となるように形成されている。また、ベローズ９の軸線方向の一端側の外周部には、ハウジング２および電磁駆動部５への取付座を成す円環状のフランジ部（鍔状部）７４が一体的に形成されている。このフランジ部７４は、Ｏリング等のシール材を挟んでハウジング２の円筒状部３０の一端面（テーパ面）と電磁駆動部５のマグネチックプレート５０の他端面（円環状端面）との間に挟み込まれて保持固定されている。
【００５０】
また、本実施例のベローズ９は、軸線方向の一端側（例えば電磁駆動部側）が開口しており、また、この開口部７５に対して逆側となる軸線方向の他端側（例えばハウジングの弁座側または第１バルブのバルブシート部側）が閉塞されている。これにより、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０よりも軸線方向の一端側にベローズ９の開口部７５が設けられ、また、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０よりも軸線方向の他端側にベローズ９の閉塞部が設けられる。したがって、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０は、ベローズ９の開口部７５とベローズ９の閉塞部との間に設けられることになる。ここで、本実施例のベローズ９の閉塞部は、上記の第１バルブ（弁本体）３として機能する。また、ベローズ９の開口部７５は、第２バルブ４のモールドゴム４８のゴムシート部（バルブシート部）側に対して軸線方向の逆側、つまり電磁駆動部側で開口している。このベローズ９の開口部７５は、電磁駆動部５の内部、ホース３４、圧力抜き孔３５およびバイパス流路２３を介してベローズ９の内部空間と流体通路（ベローズ９の外部）２７とを連通する円筒状の空気流路として利用されている。ここで、本実施例のベローズ９の主要構成を成す蛇腹状円筒部１０は、ベローズ９の開口部７５とベローズ９の閉塞部（第１バルブ３）との間に設けられ、開口部７５を介してベローズ９の内部と外部との間で蒸発燃料等の空気を出し入れすることで軸線方向に伸縮動作を行う。
【００５１】
ベローズ９の蛇腹状円筒部１０とリテーナ８のスリーブ部７３との間には、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の軸線方向の伸縮動作に伴って内容積が変化する円筒状の内部空間（蛇腹状円筒部１０の内部空間）が設けられている。この蛇腹状円筒部１０の内部空間には、蛇腹状円筒部１０の軸線方向の伸縮動作に伴う内容積の変化量が比較的に大きい外径側空間（蛇腹状円筒部１０の外径側空間）、および蛇腹状円筒部１０の軸線方向の伸縮動作に伴う内容積の変化量が比較的に小さい、あるいは内容積の変化が殆どない内径側空間（蛇腹状円筒部１０の内径側空間）等が設けられている。なお、蛇腹状円筒部１０の外径側空間は、蛇腹状円筒部１０における山部または谷部によって複数個（本例では６個）の円環状空間（区画室、容積可変空間）７６に区画されている。また、蛇腹状円筒部１０の内径側空間は、複数個の容積可変空間７６とベローズ９の開口部７５とを連通する円筒状空間（空気流路）７７である。
【００５２】
ここで、本実施例のベローズ９の蛇腹状円筒部１０の内部空間には、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の内部空間の中で最も大きい開口断面積、つまりベローズ９の蛇腹状円筒部１０の複数個の山部の内周部（内壁面）とリテーナ８のスリーブ部７３の外周部との間に形成される円環形状の開口断面積よりも極めて小さい流路断面積を有する複数個（本例では５個）の絞り部９１が設けられている。これらの絞り部９１は、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０における谷部の内周部（内壁面）とリテーナ８のスリーブ部７３の外周部との間に軸線方向に直列的に設けられている。そして、複数個の絞り部９１は、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の複数個の谷部の内径寸法を変更することなく、空気流路７７の半径方向の内径側部分をリテーナ８のスリーブ部７３によって部分的に埋めることで、空気流路７７の流路断面積を絞るように設けられている。なお、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の複数個の谷部の開口径とリテーナ８のスリーブ部７３の外径との円環状クリアランスは、例えば０．２ｍｍ〜１．０ｍｍのように設定されている。
【００５３】
また、本実施例のベローズ９の開口部７５とリテーナ８のスリーブ部７３との間には、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の内部空間の中で最も大きい開口断面積、つまりベローズ９の蛇腹状円筒部１０の複数個の山部の内周部（内壁面）とリテーナ８のスリーブ部７３の外周部との間に形成される円環形状の開口断面積よりも極めて小さい流路断面積を有する１個の絞り部９２が設けられている。この絞り部９２は、ベローズ９のフランジ部７４の内周部（内壁面）とリテーナ８のスリーブ部７３の外周部との間に設けられている。そして、１個の絞り部９２は、ベローズ９のフランジ部７４の内周部の内径寸法を変更することなく、ベローズ９の開口部７５の半径方向の内径側部分をリテーナ８のスリーブ部７３によって部分的に埋めることで、ベローズ９の開口部７５の流路断面積を絞るように円環状に設けられている。なお、ベローズ９の開口部７５の開口径とリテーナ８のスリーブ部７３の外径との円環状クリアランスは、例えば０．２ｍｍ〜１．０ｍｍのように設定されている。
【００５４】
［実施例１の作用］
次に、本実施例の電磁弁１の作用を図１ないし図４に基づいて簡単に説明する。
ソレノイドコイル４９への通電が実施（ＯＮ）されると、ソレノイドコイル４９に起磁力が発生し、マグネチックプレート５０、ステータコア５１、ヨーク５２およびムービングコア６が磁化される。これにより、ムービングコア６がステータコア５１の吸引部６０に吸引されるため、バルブシャフト７を介してムービングコア６に固定された第１バルブ３が、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０を軸線方向に収縮させながら、リターンスプリング３８のスプリング力に抗して軸線方向の一方側（図示左方向）に移動する。
【００５５】
ここで、第１バルブ３が軸線方向の一方側に移動する際には、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０における山部または谷部が軸線方向に収縮する。このため、ベローズ９の内部空間のうちの蛇腹状円筒部１０の外径側空間、すなわち、蛇腹状円筒部１０における山部または谷部によって区画された複数個の容積可変空間７６の内容積が縮小化される。したがって、複数個の容積可変空間７６内に充満していた蒸発燃料等の空気が圧縮されて、複数個の容積可変空間７６から、蛇腹状円筒部１０の内径側空間、すなわち、空気流路７７内に押し出される。
【００５６】
そして、空気流路７７内に流入した空気、あるいは空気流路７７内に充満していた空気は、１個以上の絞り部９１および１個の絞り部９２を抜けてベローズ９の開口部７５からベローズ９の外部（電磁駆動部５の内部の空気流路：例えばステータコア５１の開口部に設けられた空気流路６２等）に押し出されるが、１個以上の絞り部９１および１個の絞り部９２を通過する際の流通抵抗により、第１バルブ３、ムービングコア６、バルブシャフト７およびリテーナ８の軸線方向の一方側への移動速度が遅くなる。このため、ムービングコア６の閉塞部がピース５３の規制面に設けられたゴムクッション６６に当接する際の当接音（電磁弁１の作動音）が低減される。
【００５７】
一方、バルブシャフト７を介してムービングコア６に固定された第１バルブ３がリターンスプリング３８のスプリング力に抗して軸線方向の一方側（図示左方向）に移動することにより、第１バルブ３の図示右側の円環状端面が、第２バルブ４の図示左側の第１周方向溝にモールド成形されたモールドゴム４８のゴムシート部より離座する。これにより、第２バルブ４内部に形成された連通路４３が開放される。すると、ハウジング２の弁座よりも蒸発燃料等の流体の流れ方向の上流側（燃料タンク側）に位置する流体通路２４およびバルブ室２５と、ハウジング２の弁座よりも蒸発燃料等の流体の流れ方向の下流側（キャニスタ側）に位置する弁孔２６および流体通路２７とが、第２バルブ４の連通路４３を介して連通状態となる。これにより、燃料タンク側の圧力（流体通路２４およびバルブ室２５内の圧力）が、キャニスタ側の圧力（弁孔２６および流体通路２７内の圧力）と等しくなるように低下して行く。
【００５８】
ここで、第２バルブ４の開弁圧は、第２バルブ４の図示左側部の円環状端面（受圧面）に作用する受圧力（シール径×閉弁方向に作用する圧力）とコイルスプリング３９のスプリング力との関係に基づいて設定されている。このため、燃料タンク側の圧力、あるいは流体通路２４およびバルブ室２５内の圧力が開弁圧まで低下すると、コイルスプリング３９のスプリング力によって第２バルブ４が開弁する。このとき、第２バルブ４は、モールドゴム４８のゴムシート部が第１バルブ３の図示右側の円環状端面に当接する位置まで軸線方向の一方側に移動する。これにより、第１、第２バルブ３、４が密着した状態で、しかも第１、第２バルブ３、４が共にハウジング２の弁座より離座する。なお、第１、第２バルブ３、４が密着しているため、第２バルブ４内部に形成された連通路４３は閉塞される。
【００５９】
これによって、第２バルブ４の図示右側の第２周方向溝にモールド成形されたモールドゴム４８のゴムシール部が、ハウジング２の弁座、特にバルブシート部２８の円環状端面より離座することで、ハウジング２の弁座の内部に形成された弁孔２６が開放（全開）される。したがって、燃料タンク１２内で蒸発気化（揮発化）した蒸発燃料等の流体が接続配管１５の上流側部内を通って電磁弁１内に流入する。そして、蒸発燃料等の流体は、入口ポート→流体通路２４→バルブ室２５→弁孔２６→流体通路２７→出口ポートを通って接続配管１５の下流側部内に流入して、キャニスタ１３内の吸着体に吸着される。
【００６０】
また、ソレノイドコイル４９への通電が停止（ＯＦＦ）されると、ソレノイドコイル４９が消磁されるため、ステータコア５１の吸引部６０の吸引力がなくなる。これにより、リターンスプリング３８のスプリング力によって、第１、第２バルブ３、４、ムービングコア６、バルブシャフト７およびリテーナ８が、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０を軸線方向に伸長させながら軸線方向の他方側（図示右方向）に移動する。
【００６１】
ここで、第１、第２バルブ３、４が軸線方向の他方側に一緒に移動する際には、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０における山部または谷部が軸線方向に伸長する。このため、ベローズ９の内部空間のうちの蛇腹状円筒部１０の外径側空間、すなわち、蛇腹状円筒部１０における山部または谷部によって区画された複数個の容積可変空間７６の内容積が拡大化される。したがって、ベローズ９の外部（電磁駆動部５の内部の空気流路：例えばステータコア５１の開口部に設けられた空気流路６２等）内に充満していた空気は、ベローズ９の開口部７５からベローズ９の内部空間に吸い込まれる。
【００６２】
このとき、ベローズ９の開口部７５に到達した空気は、１個の絞り部９２および１個以上の絞り部９１、空気流路７７を抜けてベローズ９の蛇腹状円筒部１０における山部と谷部とで区画された各容積可変空間７６内に吸い込まれるが、１個の絞り部９２および１個以上の絞り部９１を通過する際の流通抵抗により、第１、第２バルブ３、４、ムービングコア６、バルブシャフト７およびリテーナ８の軸線方向の他方側への移動速度が遅くなる。このため、第１バルブ３に密着している第２バルブ４のモールドゴム４８のゴムシール部が、ハウジング２の弁座、特にバルブシート部２８の円環状端面に着座する際の着座音（電磁弁１の作動音）が低減される。
【００６３】
これによって、第２バルブ４のモールドゴム４８のゴムシール部が、ハウジング２の弁座、特にバルブシート部２８の円環状端面に着座することで、弁孔２６が閉塞（全閉）される。したがって、燃料タンク側の流体通路２４およびバルブ室２５とキャニスタ側の流体通路２７とが密閉化される。これにより、自動車等の車両の走行中および燃料を燃料タンク１２内に給油する直前、所定の期間が経過するまで電磁弁１が開弁し、それ以外の時には電磁弁１が閉弁することになる。
【００６４】
一方、リリーフ弁１１は、燃料タンク側の圧力が所定値（キャニスタ側の圧力）よりも高圧となった場合に、スプリングのスプリング力に抗してダイヤフラムが変位して、ダイヤフラムと弁体とを連結するバルブシャフトが軸方向に移動して、弁体が弁座より離座して弁孔を開く。また、リリーフ弁１１は、燃料タンク側の圧力が所定値（キャニスタ側の圧力）以下の低圧となった場合に、スプリングのスプリング力によってダイヤフラムが変位して、バルブシャフトが軸方向に移動して、弁体が弁座に着座して弁孔を閉じる。
【００６５】
これによって、電磁弁１の第１、第２バルブ３、４が弁孔２６を閉じている時に、燃料タンク１２内の液体燃料が蒸発気化して燃料タンク１２内の圧力が上昇した場合でも、電磁弁１内に流入した蒸発燃料等の流体は、入口ポート→流体通路２４→バルブ室２５→バイパス流路２２→リリーフ弁１１の弁孔→バイパス流路２３→流体通路２７→出口ポートを経てキャニスタ１３に向かうため、燃料タンク１２内の圧力の上昇に伴う配管接続部からの蒸発燃料等の流体の漏れを防止することができる。
【００６６】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例の電磁弁１においては、表面に正圧と負圧との両方の作用を受ける第１、第２バルブ３、４、および蛇腹状円筒部１０における山部および谷部の表面に正圧と負圧との両方の作用を受けるベローズ９を内蔵している。ここで、正圧は、燃料タンク１２の周囲温度が上昇することにより燃料タンク１２内の液体燃料が蒸発気化して燃料タンク１２内の圧力が上昇した際に作用する。また、負圧は、自動車等の車両走行中に、燃料タンク１２の周囲温度が低下することにより燃料タンク１２内の圧力が降下した際に作用する。あるいは燃料タンク１２内に設置されたフューエルポンプが燃料タンク１２内の液体燃料を吸い上げる時に作用する。
【００６７】
そこで、本実施例では、正圧と負圧との両方の圧力が交互に繰り返し作用する圧力環境下で使用することが可能なベローズ９の蛇腹状円筒部１０の軸線方向の伸縮動作にダンパ効果の役割を与えて、電磁弁１の作動音を低減するようにしている。これは、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の内部空間、およびベローズ９の開口部７５とリテーナ８のスリーブ部７３との間、特にベローズ９の蛇腹状円筒部１０が軸線方向に伸縮動作してもあまり内容積が変化しない円筒状空間に複数個の絞り部９１および１個の絞り部９２を設けることで実現することができる。
【００６８】
ここで、複数個の絞り部９１および１個の絞り部９２は、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の複数個の谷部の内周部（内壁面）とリテーナ８のスリーブ部７３の外周部との間に形成される円環形状の開口断面積よりも極めて小さい流路断面積を有している。このため、電磁弁１の開弁動作時には、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の収縮に伴って圧縮された空気が複数個の絞り部９１および１個の絞り部９２を抜けるときの流通抵抗により、ムービングコア６の軸線方向の一方側への移動速度が遅くなる。これにより、ベローズ９を備えた電磁弁１の開弁動作時においてもダンパ効果の作用を確実に得ることができるので、ムービングコア６の閉塞部がピース５３の規制面（ゴムクッション６６）に当接する際の当接音（電磁弁１の作動音）を低減することができる。
【００６９】
また、電磁弁１の閉弁動作時には、１個の絞り部９２および複数個の絞り部９１を蒸発燃料等の空気が抜けるときの流通抵抗により、第１、第２バルブ３、４の軸線方向の他方側への移動速度が遅くなる。これにより、ベローズ９を備えた電磁弁１の閉弁動作時においてもダンパ効果の作用を確実に得ることができるので、第１、第２バルブ３、４がハウジング２の弁座（特にバルブシート部２８）に着座する際の着座音（電磁弁１の作動音）を低減することができる。
【００７０】
また、本実施例の電磁弁１においては、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０における谷部の内周部（内壁面）とリテーナ８のスリーブ部７３の外周部との間に軸線方向に直列的に複数個の絞り部９１を設けている。これにより、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の内部空間の内容積（特にベローズ９の蛇腹状円筒部１０の軸線方向の伸縮動作に伴う内容積の変化量が比較的に小さい空間の内容積）が減り、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の収縮動作に伴って圧縮される流体の圧縮率が上がるので、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の軸線方向の伸縮動作に伴って発生するダンパ効果をより向上させることができる。
【００７１】
また、電磁弁１のハウジング２の内部に、正圧と負圧との両方の圧力が作用するバルブ室２５内で使用しても劣化・破損しないベローズ９を内蔵している。これにより、従来の電磁弁に内蔵されたダイヤフラムと比べてベローズ９の蛇腹状円筒部１０の耐久性および信頼性が低下したり、また、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の半径方向の体格が大型化したりすることはない。したがって、電磁弁１の耐久性および信頼性の低下を伴うことなく、しかも電磁弁１のハウジング２やベローズ９の大型化を伴うことなく、電磁駆動部５のムービングコア６の軸線方向の往復動作および第１バルブ３の軸線方向の開閉動作に連動する、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の軸線方向の伸縮動作にダンパ効果の役割を与えることができるので、ダンパ効果の作用を確実に得ることができる。
【００７２】
また、本実施例の電磁弁１においては、ベローズ９の開口部７５が、第１バルブ３のバルブシート部側に対して軸線方向の逆側（例えば電磁駆動部側）で開口している。これにより、仮に第１バルブ３が第２バルブ４のバルブシート部に着座して連通路４３を閉塞している場合でも、「ベローズ９の開口部が閉塞されてしまい、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の軸線方向の伸縮動作が不能となる」ことを防止することができる。したがって、ベローズ９の開口部７５が第２バルブ４のバルブシート部側で開口している技術と比べて、電磁弁１の第１バルブ３の制御応答性および信頼性、ベローズ９の耐久性および信頼性を向上することができる。
【実施例２】
【００７３】
図５は本発明の実施例２を示したもので、電磁弁の主要構造を示した図である。
本実施例では、リテーナ８のスリーブ部７３の外径を部分的に小さくしている。すなわち、リテーナ８のスリーブ部７３の段差部よりも軸線方向の図示右側（ベローズ９の蛇腹状円筒部１０における谷部の内周部に対向する部分）の外径が、リテーナ８のスリーブ部７３の段差部よりも軸線方向の図示左側（ベローズ９の開口部７５、つまりフランジ部７４の内周部に対向する部分）の外径と比べて小さくなっている。これにより、リテーナ８のスリーブ部７３の径小部７３ａとベローズ９の蛇腹状円筒部１０との間に形成される円筒状の空気流路（内径側空間）７７の内容積が拡大化されるため、複数個の絞り部９１が形成されなくなる。なお、リテーナ８のスリーブ部７３の鍔状部７３ｂとベローズ９の開口部７５、つまりフランジ部７４の内周部との間には、実施例１と同様に、１個の絞り部９２が設けられている。これによって、実施例１とほぼ同様な効果を得ることができる。
【実施例３】
【００７４】
図６は本発明の実施例３を示したもので、電磁弁の主要構造を示した図である。
本実施例では、バルブシャフト７の径大部７９の外径を実施例１よりも大きくしている。これにより、バルブシャフト７の径大部７９とベローズ９の蛇腹状円筒部１０との間に形成される空気流路（内径側空間）７７の内容積が、リテーナ８を設けなくても縮小化できるため、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０の内部空間に複数個の絞り部９１を設けることができる。また、バルブシャフト７の径大部７９とベローズ９の開口部７５、つまりフランジ部７４の内周部との間に形成される円環状の空気流路の内容積が、リテーナ８を設けなくても縮小化できるため、ベローズ９の開口部７５とバルブシャフト７の径大部７９との間に１個の絞り部９２を設けることができる。これによって、実施例１と同様な効果を得ることができる。
【実施例４】
【００７５】
図７は本発明の実施例４を示したもので、電磁弁の主要構造を示した図である。
本実施例では、バルブシャフト７の径大部７９の外径を部分的に小さくしている。すなわち、バルブシャフト７の段差部よりも軸線方向の図示右側（ベローズ９の蛇腹状円筒部１０における谷部の内周部に対向する部分）の外径が、バルブシャフト７の段差部よりも軸線方向の図示左側（ベローズ９の開口部７５、つまりフランジ部７４の内周部に対向する部分）の外径と比べて小さくなっている。これにより、バルブシャフト７の径大部７９の径小部７９ａとベローズ９の蛇腹状円筒部１０との間に形成される円筒状の空気流路（内径側空間）７７の内容積が拡大化されるため、複数個の絞り部９１が形成されなくなる。なお、バルブシャフト７の径大部７９の鍔状部７９ｂとベローズ９の開口部７５、つまりフランジ部７４の内周部との間には、実施例１と同様に、１個の絞り部９２が設けられている。これによって、実施例２と同様な効果を得ることができる。
【００７６】
［変形例］
本実施例では、本発明の電磁弁を、自動車等の車両の蒸発燃料処理装置に組み込まれた電磁弁１、特に電磁式タンク密閉弁に適用しているが、これに限定する必要はなく、少なくともベローズの蛇腹状筒部における山部および谷部の表面に正圧と負圧との両方の圧力の作用を受ける電磁弁に適用しても良い。なお、流体としては、エア（空気）や蒸発燃料等の気体だけでなく、気相冷媒等の気体、水、燃料、オイルや液相冷媒等の液体、あるいは気液二相状態の流体を使用することができる。また、コイルへの電圧値または電流値を増加する程、バルブのリフト量が大きく、または小さくなるようにしても良い。この場合には、バルブが電磁式流量制御弁の弁体として機能する。
【００７７】
本実施例では、本発明の電磁弁を、電磁駆動部５のソレノイドコイル（コイル）４９の起磁力によってムービングコア（可動コア）６が軸線方向の一方側に吸引された際に、ムービングコア６の動作に連動する第１バルブ（バルブ）３が開弁するタイプ（常閉型）の電磁式開閉弁に適用したが、本発明の電磁弁を、電磁駆動部のコイルの起磁力によって可動コアが軸線方向の一方側に吸引された際に、可動コアの動作に連動するバルブが閉弁するタイプ（常開型）の電磁式開閉弁に適用しても良い。ここで、本実施例では、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０における山部および谷部の表面だけでなく、第１、第２バルブ３、４の表面も、正圧と負圧との両方の圧力の作用を受けるバルブ室２５等の圧力環境下に晒されているが、必ずしも第１、第２バルブ３、４の表面が正圧と負圧との両方の圧力の作用を受ける圧力環境下に晒される必要はない。
【００７８】
本実施例では、本発明の電磁弁として、第２バルブ４のゴムシート部（バルブシート部）に対して着座、離座して第２バルブ４の連通路４３を閉塞、開放する電磁式開閉弁の弁体として機能する第１バルブ３と、ハウジング２の弁座（バルブシート部２８）に対して着座、離座してハウジング２の弁孔（流体通過口）２６を閉塞、開放する圧力感応弁の弁体として機能する第２バルブ４とを内蔵した電磁弁１を採用したが、本発明の電磁弁として、コイルの起磁力によって軸線方向に開閉動作を行い、ハウジング２の弁座に対して着座、離座してハウジング２の弁孔（流体通過口）２６を閉塞、開放する電磁式開閉弁の弁体として機能するバルブを内蔵した電磁弁１を採用しても良い。この場合には、コイルスプリング３８も不要となり、部品点数が減る。また、ベローズ９の閉塞部にバルブを一体的に設けても、また、設けなくても構わない。
【００７９】
本実施例では、ベローズ９の閉塞部に第１バルブ３を樹脂一体成形しているが、ベローズ９の閉塞部に第１バルブ３を締結具を用いて締め付け固定しても良く、また、ベローズ９の閉塞部に第１バルブ３を接着剤を用いて接着しても良く、また、ベローズ９の閉塞部に第１バルブ３を溶着固定しても良い。また、ベローズ９の閉塞部に第１バルブ３を一体的に設けても、また、設けなくても構わない。例えばベローズ９の閉塞部と第１バルブ３とを別々に設けて、バルブシャフト７にベローズ９の閉塞部と第１バルブ３とを個別に組み付けるようにしても良い。
【００８０】
また、バルブシャフト７の径大部７９やリテーナ８のスリーブ部７３の、「ベローズ９の開口部７５、つまりフランジ部７４の内周部に対向する部分」の軸線方向の断面形状を山部と谷部とが交互に繰り返されるような波形形状とすることで、絞り部９１の個数を２個以上に増やしても良い。この場合には、ベローズ９の開口部７５の内部に設けられる絞り部９１の絞り径を異なる絞り径としても良い。また、絞り部９１をベローズ９の開口部７５の軸線方向全体に渡って形成しても、絞り部９１をベローズ９の開口部７５の軸線方向よりも短く形成しても構わない。この場合には、絞り部９１を、ベローズ９の開口部７５の軸線方向の中央部分のみ、軸線方向の一端側（電磁駆動部側）のみ、軸線方向の他端側（蛇腹状円筒部側）のみに設けても良い。
【００８１】
また、バルブシャフト７の径大部７９やリテーナ８のスリーブ部７３の、「ベローズ９の蛇腹状円筒部１０における谷部の内周部に対向する部分」の軸線方向の断面形状を山部と谷部とが交互に繰り返されるような波形形状とすることで、絞り部９２の個数を更に増やしても良い。また、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０における各谷部の内部に設けられる絞り部９２の絞り径を異なる絞り径としても良い。
また、ベローズ９の蛇腹状円筒部１０を、蛇腹状楕円筒部または蛇腹状長円筒部または蛇腹状多角筒部としても良く、螺旋状筒部としても良い。
【００８２】
本実施例では、ハウジング２の円筒状部３０の外周と電磁駆動部５の樹脂モールド部材５９の円筒状部の内周とを嵌合して両者のフランジ部同士を密着させて金属リング９３によってかしめ結合しているが、ハウジング２の円筒状部３０の外周と電磁駆動部５の樹脂モールド部材５９の円筒状部の内周とを嵌合して両者のフランジ部同士を密着させて溶着固定しても良く、また、ハウジング２の円筒状部３０と電磁駆動部５の樹脂モールド部材５９の円筒状部とを樹脂一体成形しても良い。また、ハウジング２の円筒状部３０のバルブ摺動部（特に複数個のバルブガイド２９）を設けなくても良い（図８参照）。また、第２バルブ４の嵌合部４７を設けなくても良い。また、第２バルブ４にモールドゴム４８を設けなくても良い。また、ハウジング２の弁座にバルブシート部２８を設けず、ハウジング２の弁座を樹脂化しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】電磁弁の主要構造を示した断面図である（実施例１）。
【図２】蒸発燃料処理装置の全体構成を示した概略図である（実施例１）。
【図３】電磁弁の全体構造を示した平面図である（実施例１）。
【図４】電磁弁の全体構造を示した断面図である（実施例１）。
【図５】電磁弁の主要構造を示した断面図である（実施例２）。
【図６】電磁弁の主要構造を示した断面図である（実施例３）。
【図７】電磁弁の主要構造を示した断面図である（実施例４）。
【図８】電磁弁の主要構造を示した断面図である（変形例）。
【符号の説明】
【００８４】
１  電磁弁
２  ハウジング（バルブシート）
３  第１バルブ（電磁式開閉弁の弁体）
４  第２バルブ（圧力感応弁の弁体）
５  電磁駆動部（電磁式アクチュエータ）
６  電磁駆動部のムービングコア（磁性体、可動コア）
７  バルブシャフト（軸状部品）
８  リテーナ（環状部品、筒状部品）
９  ベローズ
１０  ベローズの蛇腹状円筒部（蛇腹状筒部）
２６  ハウジングの弁孔（流体通過口）
２８  ハウジングのバルブシート部（ハウジングの弁座）
３８  電磁駆動部のリターンスプリング
３９  第２バルブのコイルスプリング
４３  第２バルブの連通路
４９  電磁駆動部のソレノイドコイル（電磁駆動部のコイル）
５０  電磁駆動部のマグネチックプレート（磁性体、固定コア）
５１  電磁駆動部のステータコア（磁性体、固定コア）
５２  電磁駆動部のヨーク（磁性体、固定コア）
５３  電磁駆動部のピース（規制部）
６０  電磁駆動部のステータコアの吸引部
７５  ベローズの開口部
９１  絞り部
９２  絞り部
【図１】
2006258135.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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