(57)【要約】【課題】  光学薄膜の反りを防ぐことができ、かつ、光学薄膜の回収が容易な光学薄膜（基板レス光学薄膜）の製造方法を提供する。【解決手段】  水酸化ナトリウムの水溶液である溶解液６を入れた容器７を用意し、容器７の底面と溶解液６の表面の間にネット８を張る。そして、この溶解液の中に、犠牲層２、多層光学薄膜５を表面に有する基板１を、多層光学薄膜５側を下側にして浸漬する（ａ）。  すると、切れ目を入れた部分から犠牲層２が順次溶解していくが、多層光学薄膜５は、ネット８と基板１で挟まれた状態であるので、基板１の自重により押さえされており、多層光学薄膜５に反りが発生することがない。犠牲層２の溶解が終了した段階で、基板１を取り出し、その後、（ｂ）に示すように、ネット８を引き上げれば、所定の形状に分離された多層光学薄膜５を、容易に回収することができる。【選択図】  図２
2006058592.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に犠牲層を成膜し、その上に光学薄膜を成膜した後、これらを溶解液中に浸漬して前記犠牲層を溶解することにより、前記基板と前記光学薄膜とを分離し、単独の光学薄膜（基板レス光学薄膜）を製造する工程を有する光学薄膜の製造方法であって、前記溶解液中に浸漬する際、前記溶解液中にネットを設け、前記ネット上に、前記犠牲層と光学薄膜が成膜された基板を、前記光学薄膜側を下側とした状態で浸漬させることを特徴とする光学薄膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、干渉フィルタや反射防止膜等に使用される基板レス光学薄膜の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
干渉フィルタや反射防止膜等の機能を有する光学薄膜は、光通信分野において多用されるようになってきている。これらの光学薄膜は、ガラスや石英等の支持基板上に、これらの支持基板と一体となるように形成されたものもあるが、支持基板を持たず、光学薄膜単体で使用される場合もある。
【０００３】
このような、単体で使用される光学薄膜（基板レス光学薄膜）の製造方法は、例えば特公平８−２７４０８号公報（特許文献１）に開示されている。その概要は以下に示すようなものである。まず、仮基板の上に、可溶性担体（犠牲層）を成膜する。そして、可溶性担体の上に、多層膜からなる光学薄膜を成膜し、レーザ切断装置により、可溶性担体、光学薄膜を所定の形状に切断する（切り込みを入れる）。その後、可溶性坦体及び光学薄膜が形成された仮基板を溶解液中に浸漬すると、可溶性担体が溶解し、仮基板と光学薄膜が分離されて、所定の形状を有する基板レス光学薄膜が得られる。
【０００４】
上記のような光学薄膜の製造方法において、従来は、可溶性担体（犠牲層）と光学薄膜が形成された仮基板を溶解液中に浸漬させるとき、基板側が下側になるような状態で、溶解液を入れた容器の中に浸漬させていた。これは、光学薄膜側を下側にして浸漬させると、容器の底面と光学薄膜が接触して傷が付くこと、仮基板と光学薄膜の分離後に光学薄膜を取り出すときに、光学薄膜が容器の底面に付着して取り出しにくくなること等を避けるためであった。
【０００５】
【特許文献１】特公平８−２７４０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述のような、基板側を下にして溶解液に浸漬させる方では、前述のような問題の発生を防止することはできるものの、光学薄膜の反りが発生するという新たな問題点が生じる。則ち、犠牲層の溶解は、切断された周囲側から進行するので、時間の進行と共に、最初に剥離した多層薄膜の周囲側が反り、その結果、甚だしい場合には多層薄膜に亀裂が生じて不良品となってしまうことである。
【０００７】
第２の問題点は、基板から剥離した光学薄膜を回収するために、溶解液を濾過しなければならないという問題が依然残ることである。この溶液の濾過には長時間を有すると共に、濾過の際、光学薄膜が溶解液の容器の側面に付着してしまい、ピンセット等で取り出さなければならないという問題点がある。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、光学薄膜の反りを防ぐことができ、かつ、光学薄膜の回収が容易な光学薄膜（基板レス光学薄膜）の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題は、基板上に犠牲層を成膜し、その上に光学薄膜を成膜した後、これらを溶解液中に浸漬して前記犠牲層を溶解することにより、前記基板と前記光学薄膜とを分離し、単独の光学薄膜（基板レス光学薄膜）を製造する工程を有する光学薄膜の製造方法であって、前記溶解液中に浸漬する際、前記溶解液中にネットを設け、前記ネット上に、前記犠牲層と光学薄膜が成膜された基板を、前記光学薄膜側を下側とした状態で浸漬させることを特徴とする光学薄膜の製造方法により解決される。
【００１０】
ここにおいて、「ネット」のメッシュは、溶解液を透過させ、光学薄膜を通過させないもので無ければならないことは言うまでもなく、この範囲であれば、速やかに溶解液が透過できるものであることが好ましい。又、本明細書及び特許請求の範囲でいう「ネット」は、通常のネットの他に、布状のものや不織布状のものをも含むものである。
【００１１】
本手段においては、犠牲層が溶解されるとき、光学薄膜はネットと基板の間に挟まれ、基板の自重により押さえられているので、反りの発生を防止することができる。又、光学薄膜を回収する際には、基板を取り出した後、ネットを引き上げるだけで回収できるので、速やかに回収できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、光学薄膜の反りを防ぐことができ、かつ、光学薄膜の回収が容易な光学薄膜（基板レス光学薄膜）の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。まず、図１に示すように、従来法と同じ方法により、基板１上に犠牲層２であるアルミニウムをスパッタリングにより成膜し、その上にSiＯ２３とNb２Ｏ５４の薄膜を交互に１００層程度、スパッタリングにより成膜する。このようにして、犠牲層の上にSiＯ２３とNb２Ｏ５４からなる多層光学薄膜５が形成される（ａ）。
【００１４】
次に、ダイシングにより、多層光学薄膜５、犠牲層２および基板１の表面部に、図に示すような切り込みを縦横に入れ、後に多層光学薄膜５を分離したとき、所定の形状の多層光学薄膜５が得られるようにする（ｂ）。
【００１５】
続いて、図２（ａ）に示すように、水酸化ナトリウムの水溶液である溶解液６を入れた容器７を用意し、容器７の底面と溶解液６の表面の間にネット８を張る。ネット８のメッシュは、分離された多層光学薄膜５が、通り抜けないようなものとする。そして、この溶解液の中に、犠牲層２、多層光学薄膜５を表面に有する基板１を、多層光学薄膜５側を下側にして浸漬する。
【００１６】
すると、切れ目を入れた部分から犠牲層２が順次溶解していくが、多層光学薄膜５は、ネット８と基板１で挟まれた状態にあるので、基板１の自重により押さえられており、多層光学薄膜５に反りが発生することがない。
【００１７】
犠牲層２の溶解が終了した段階で、基板１を取り出し、その後、図２（ｂ）に示すように、ネット８を引き上げれば、所定の形状に分離された多層光学薄膜５を、容易に回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態である多層光学薄膜の製造方法の過程を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態である多層光学薄膜の製造方法における溶解液への浸漬方法を示す図である。
【符号の説明】
【００１９】
１…基板、２…犠牲層、３…SiＯ２、４…Nb２Ｏ５、５…多層光学薄膜、６…溶解液、７…容器、８…ネット
【図１】
2006058592.tif 000003
【図２】
2006058592.tif 000004