(57)【要約】【課題】  電気機械結合係数ｋｔが大きく、耐熱性に優れた圧電磁器組成物を提供する。【解決手段】  Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を含む圧電磁器組成物において、副成分としてＣｒ，ＡｌおよびＳｉを同時に含有させる。  ＣｒはＣｒ2Ｏ3換算で０．０５〜０．５０ｗｔ％、ＡｌはＡｌ2Ｏ3換算で０．００５〜１．５００ｗｔ％、ＳｉはＳｉＯ2換算で０．００５〜０．１００ｗｔ％含有されていることが望ましい。これら３種類の元素を同時に含有し、かつその含有量を上記した範囲内とすることにより、電気機械結合係数ｋｔが３０％以上、外部からの熱衝撃を受ける前および後の共振周波数Ｆｒの変化率ΔＦｒを絶対値で０．５％以下とすることができる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を含む圧電磁器組成物であって、副成分としてＣｒ，ＡｌおよびＳｉを含むことを特徴とする圧電磁器組成物。
【請求項２】
前記副成分としてＣｒをＣｒ2Ｏ3換算で０．０５〜０．５０ｗｔ％、ＡｌをＡｌ2Ｏ3換算で０．００５〜１．５００ｗｔ％、ＳｉをＳｉＯ2換算で０．００５〜０．１００ｗｔ％含有することを特徴とする請求項１に記載の圧電磁器組成物。
【請求項３】
ＣｒをＣｒ2Ｏ3換算で０．１〜０．４ｗｔ％含有することを特徴とする請求項２に記載の圧電磁器組成物。
【請求項４】
ＳｉをＳｉＯ2換算で０．００５〜０．０８０ｗｔ％含有することを特徴とする請求項２に記載の圧電磁器組成物。
【請求項５】
ＡｌをＡｌ2Ｏ3換算で０．００５〜０．５００ｗｔ％含有することを特徴とする請求項２に記載の圧電磁器組成物。
【請求項６】
ＡｌをＡｌ2Ｏ3換算で０．０１〜０．３０ｗｔ％含有することを特徴とする請求項２に記載の圧電磁器組成物。
【請求項７】
前記主成分としてＭｇおよびＮｂをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の圧電磁器組成物。
【請求項８】
Ｐｂα[（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3で表される主成分を有することを特徴とする請求項７に記載の圧電磁器組成物。
ただし、０．９５≦α≦１．０２、
０．０１≦ｘ≦０．１０、
０．４０≦ｙ≦０．５０、
０．４５≦ｚ≦０．５６
【請求項９】
前記副成分としてＣｒをＣｒ2Ｏ3換算で０．１〜０．４ｗｔ％、ＡｌをＡｌ2Ｏ3換算で０．００５〜０．０８０ｗｔ％、ＳｉをＳｉＯ2換算で０．００５〜０．０８０ｗｔ％含有することを特徴とする請求項８に記載の圧電磁器組成物。
【請求項１０】
０．９８≦α＜１．００であることを特徴とする請求項８に記載の圧電磁器組成物。
【請求項１１】
０．０２≦ｘ≦０．０８であることを特徴とする請求項８に記載の圧電磁器組成物。
【請求項１２】
０．４１≦ｙ≦０．４９であることを特徴とする請求項８に記載の圧電磁器組成物。
【請求項１３】
０．４６≦ｚ≦０．５５であることを特徴とする請求項８に記載の圧電磁器組成物。
【請求項１４】
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であることを特徴とする請求項８に記載の圧電磁器組成物。
【請求項１５】
測定周波数１０ＭＨｚにおいて、電気機械結合係数ｋｔが３０％以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電磁器組成物。
【請求項１６】
測定周波数１０ＭＨｚにおいて、電気機械結合係数ｋｔが３５％以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電磁器組成物。
【請求項１７】
外部からの熱衝撃を受ける前および後の共振周波数Ｆｒの変化率ΔＦｒが絶対値で０．５％以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電磁器組成物。                                                                             
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルタ、レゾネータ等に好適な圧電磁器組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在実用化されている圧電磁器組成物のほとんどは、室温付近において正方晶系または菱面体晶系のＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3−ＰｂＴｉＯ3固溶体）系やＰＴ（ＰｂＴｉＯ3）系などのペロブスカイト構造を有する強誘電体から構成されている。また、これらの組成に対してＰｂ（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3やＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3等の第三成分を置換し、あるいは様々な副成分を添加することにより、多種多様な要求特性への対応がはかられている。
【０００３】
圧電磁器組成物は電気エネルギと機械エネルギを自由に変換し取り出せる機能を有しており、フィルタ、レゾネータ、アクチュエータ、着火素子あるいは超音波モータなどとして使用されている。
例えば、圧電磁器組成物をフィルタとして使用する場合、電気機械結合係数が大きいことが要求されている。
そのため、例えば特許文献１では、一般式ａＰｂ（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ｂＰｂＴｉＯ3−ｃＰｂＺｒＯ3（ａ、ｂ、ｃがそれぞれ１≦ａ≦１０、４２≦ｂ≦６０、３０≦ｃ≦５７、ただし、ａ、ｂ、ｃはモル％であり、ａ＋ｂ＋ｃ＝１００）で表されるチタン酸ジルコン酸鉛のＰｂ原子の０．５〜５ｍｏｌ％をＭｇで置換し、さらに、ＣｒをＣｒ2Ｏ3に換算して０．１〜１ｗｔ％添加含有させたことを特徴とする圧電性磁器を提案している。
【０００４】
【特許文献１】特許第３２２１２４１号公報（特許請求の範囲、実施例）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１では、その実施例において、１ｋＨｚで３０％以上の電気機械結合係数（拡がり方向振動の電気機械結合係数Ｋｐ）を得ているが、より高周波側でも高い電気機械結合係数を得たいという要求がある。
また、近年では表面実装型部品が広く普及しており、プリント基板に実装される際に、ハンダリフロー炉を通すために耐熱性の高い圧電磁器組成物が求められている。
本発明は、このような技術的課題に基づいてなされたもので、電気機械結合係数が大きく、耐熱性に優れた圧電磁器組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を含む圧電磁器組成物において、副成分としてＣｒ，ＡｌおよびＳｉを同時に含有させることにより、前記課題を解決できることを知見した。
ＣｒはＣｒ2Ｏ3換算で０．０５〜０．５０ｗｔ％、ＡｌはＡｌ2Ｏ3換算で０．００５〜１．５００ｗｔ％、ＳｉはＳｉＯ2換算で０．００５〜０．１００ｗｔ％含有されていることが望ましい。これら３種類の元素を同時に含有し、かつその含有量を上記した範囲内とすることにより、電気機械結合係数ｋｔが３０％以上、外部からの熱衝撃を受ける前および後の共振周波数Ｆｒの変化率ΔＦｒ（以下、共振周波数Ｆｒの変化率ΔＦｒを単に「ΔＦｒ」という）を絶対値で０．５％以下とすることができる。電気機械結合係数ｋｔは厚み縦振動モードでの電気エネルギと機械エネルギの変換効率を表し、圧電材料の基本物性の一つである。なお、電気機械結合係数ｋｔおよびΔＦｒは、後述する［発明を実施するための最良の形態］の欄、［実施例］の欄の記載に従った方法によって特定されるものとする。
また、Ｐｂα[（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3で表される主成分（ただし、０．９５≦α≦１．０２、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．４０≦ｙ≦０．５０、０．４５≦ｚ≦０．５６を有することが望ましい。この式において、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であることが望ましい。
【発明の効果】
【０００７】
以上説明したように、本発明によれば、電気機械結合係数ｋｔが大きく、耐熱性に優れた圧電磁器組成物を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、実施の形態に基づいて本発明による圧電磁器組成物について詳細に説明する。
＜化学組成＞
本発明による圧電磁器組成物は、Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を含み、副成分としてＣｒ，ＡｌおよびＳｉを含有することを特徴とする。副成分としてＣｒ，ＡｌおよびＳｉをすべて含むことで、電気機械結合係数ｋｔが大きく、耐熱性に優れた圧電磁器組成物を得ることができる。
Ｃｒの含有は、電気機械結合係数ｋｔを大きくし、かつ耐熱性を向上させる上で有効である。また、ＡｌならびにＳｉは強度の向上にそれぞれ寄与している。
【０００９】
副成分の量は主成分に対して、ＣｒをＣｒ2Ｏ3換算で０．０５〜０．５０ｗｔ％、ＡｌをＡｌ2Ｏ3換算で０．００５〜１．５００ｗｔ％、ＳｉをＳｉＯ2換算で０．００５〜０．１００ｗｔ％とすることが望ましい。
主成分に対してＣｒ量がＣｒ2Ｏ3換算で０．０５ｗｔ％未満、Ａｌ量がＡｌ2Ｏ3換算で０．００５未満、Ｓｉ量がＳｉＯ2換算で０．００５ｗｔ％未満では、上記効果を十分に享受することができない。
一方、Ｃｒ量がＣｒ2Ｏ3換算で０．５０ｗｔ％を超えると、耐熱性が悪くなる。Ａｌ量がＡｌ2Ｏ3換算で１．５００ｗｔ％を超えると、また、Ｓｉ量がＳｉＯ2換算で０．１００ｗｔ％を超えても耐熱性は悪くなる。
【００１０】
Ｃｒ量のより望ましい範囲はＣｒ2Ｏ3換算で０．１〜０．４ｗｔ％、さらに望ましい範囲はＣｒ2Ｏ3換算で０．１〜０．３ｗｔ％である。
Ａｌ量のより望ましい範囲はＡｌ2Ｏ3換算で０．００５〜０．５００ｗｔ％、さらに望ましい範囲はＡｌ2Ｏ3換算で０．０１〜０．３０ｗｔ％である。
Ｓｉ量のより望ましい範囲はＳｉＯ2換算で０．００５〜０．０８０ｗｔ％、さらに望ましい範囲は０．００５〜０．０７０ｗｔ％、より一層望ましい範囲はＳｉＯ2換算で０．００５〜０．０５０ｗｔ％である。
【００１１】
副成分としてＣｒ，ＡｌおよびＳｉをすべて含有することを特徴とする本発明は、ＰＺＴ系の圧電磁器組成物に対して広く適用することができるが、主成分としてＰｂ，Ｚｒ，Ｔｉ，ＭｇおよびＮｂを含む圧電磁器組成物に対して適用することが望ましい。特に、以下の式（１）で示される主成分を有することが望ましい。ここでいう化学組成は焼結体の組成をいう。
【００１２】
Ｐｂα[（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3…式（１）
ただし、０．９５≦α≦１．０２、
０．０１≦ｘ≦０．１０、
０．４０≦ｙ≦０．５０、
０．４５≦ｚ≦０．５６
なお、式（１）中、α、ｘ、ｙおよびｚはそれぞれモル比を表す。
【００１３】
次に、式（１）中におけるα、ｘ、ｙおよびｚの限定理由を説明する。
Ｐｂ量を示すαは、０．９５≦α≦１．０２の範囲とすることが望ましい。αが０．９５未満では、緻密な焼結体を得ることが困難である。一方、αが１．０２を超えると良好な耐熱性を得ることができない。よって、αは、０．９５≦α≦１．０２の範囲とすることが望ましく、さらに０．９８≦α＜１．００とすることが望ましく、０．９９≦α＜１．００とすることがより望ましい。
【００１４】
Ｍｇ量およびＮｂ量を示すｘは、０．０１≦ｘ≦０．１０の範囲とすることが望ましい。ｘが０．０１未満では、電気特性Ｑmaxが小さくなる。一方、ｘが０．１０を超えると、良好な耐熱性を得ることができなくなる。よって、ｘは、０．０１≦ｘ≦０．１０の範囲とすることが望ましく、さらに０．０２≦ｘ≦０．０８とすることが望ましく、０．０２≦ｘ≦０．０６とすることがより望ましい。
【００１５】
Ｔｉ量を示すｙは、０．４０≦ｙ≦０．５０の範囲とする。ｙが０．４０未満では、良好な耐熱性を得ることができない。一方、ｙが０．５０を超えると良好な温度特性を得ることが困難になる。よって、ｙは、０．４０≦ｙ≦０．５０の範囲とすることが望ましく、さらに０．４１≦ｙ≦０．４９とすることが望ましく、０．４２≦ｙ≦０．４８とすることがより望ましい。
【００１６】
Ｚｒ量を示すｚは、０．４５≦ｚ≦０．５６の範囲とする。ｚが０．４５未満または０．５６を超えると良好な温度特性が得られなくなる。よって、ｚは、０．４５≦ｚ≦０．５６の範囲とすることが望ましく、さらに０．４６≦ｚ≦０．５５とすることが望ましく、０．４７≦ｚ≦０．５４とすることがより望ましい。
式（１）において、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であることが望ましい。
【００１７】
＜製造方法＞
次に、本発明による圧電磁器組成物の望ましい製造方法について、その工程順に説明する。
（原料粉末、秤量）
主成分の原料として、酸化物または加熱により酸化物となる化合物の粉末を用いる。具体的にはＰｂＯ粉末、ＴｉＯ2粉末、ＺｒＯ2粉末、ＭｇＣＯ3粉末、Ｎｂ2Ｏ5粉末等を用いることができる。原料粉末は所定の割合で秤量すればよい。望ましくは、式（１）の組成となるように、それぞれ秤量する。
次に、秤量された各粉末の総重量に対して、副成分としてＣｒをＣｒ2Ｏ3換算で０．０５〜０．５０ｗｔ％、ＡｌをＡｌ2Ｏ3換算で０．０１〜１．５０ｗｔ％、ＳｉをＳｉＯ2換算で０．００５〜０．１０ｗｔ％添加する。副成分の原料粉末としてはＣｒ2Ｏ3粉末、Ａｌ2Ｏ3粉末、ＳｉＯ2粉末を準備する。各原料粉末の平均粒径は０．１〜３．０μｍの範囲で適宜選択すればよい。
なお、上述した原料粉末に限らず、２種以上の金属を含む複合酸化物の粉末を原料粉末としてもよい。
【００１８】
（仮焼）
原料粉末を湿式混合した後、７００〜９５０℃の範囲内で所定時間保持する仮焼を行う。このときの雰囲気はＮ2または大気とすればよい。仮焼の保持時間は０．５〜５時間の範囲で適宜選択すればよい。
なお、主成分の原料粉末と副成分の原料粉末を混合した後に、両者をともに仮焼に供する場合について示したが、副成分の原料粉末を添加するタイミングは上述したものに限定されるものではない。例えば、まず主成分の粉末のみを秤量、混合、仮焼および粉砕する。そして、仮焼粉砕後に得られた主成分の粉末に、副成分の原料粉末を所定量添加し混合するようにしてもよい。
【００１９】
（造粒・成形）
粉砕粉末は、後の成形工程を円滑に実行するために顆粒に造粒される。この際、粉砕粉末に適当なバインダ、例えばポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を少量添加し、かつこれらを十分に混合し、その後３５０μｍのメッシュを通過させて整粒することにより造粒粉末を得る。次いで、造粒粉末を２００〜３００ＭＰａの圧力で加圧成形し、所望の形状の成形体を得る。
【００２０】
（焼成）
成形時に添加したバインダを除去した後、１１００〜１２５０℃の範囲内で所定時間成形体を加熱保持し焼結体を得る。このときの雰囲気はＮ2または大気とすればよい。加熱保持時間は０．５〜４時間の範囲で適宜選択すればよい。
【００２１】
（分極処理）
焼結体に分極処理用の電極を形成した後、分極処理を行う。分極処理は、５０〜３００℃の温度で、１．０〜２．５Ｅｃ（Ｅｃは抗電界）の電界を焼結体に対して０．５〜３０分間印加する。
分極処理温度が５０℃未満になると、Ｅｃが高くなるため分極電圧が高くなり、分極が困難になる。一方、分極処理温度が３００℃を超えると、絶縁オイルの絶縁性が著しく低下するため分極が困難となる。よって、分極処理温度は５０〜３００℃とする。望ましい分極処理温度は６０〜２５０℃、より望ましい分極処理温度は８０〜２００℃である。
また、印加する電界が１．０Ｅｃを下回ると分極が進行しない。一方、印加する電界が２．５Ｅｃを超えると実電圧が高くなって焼結体が絶縁破壊しやすくなり、圧電磁器組成物の作製が困難となる。よって、分極処理の際に印加する電界は１．０〜２．５Ｅｃとする。望ましい印加電界は１．１〜２．２Ｅｃ、より望ましい印加電界は１．３〜２．０Ｅｃである。
【００２２】
分極処理時間が０．５分未満となると、分極が不十分となって十分な特性を得ることができない。一方、分極処理時間が３０分を超えると分極処理に要する時間が長くなり、生産効率が劣る。よって、分極処理時間は０．５〜３０分とする。望ましい分極処理時間は０．７〜２０分、より望ましい分極処理時間は０．９〜１５分である。
分極処理は、上述した温度に加熱された絶縁オイル、例えばシリコンオイル浴中で行う。なお、分極方向は所望の振動モードに応じて決定する。ここで、振動モードを厚み縦振動とする場合には、分極方向を図１（ａ）に示した方向とする。厚み縦振動とは、図１（ｂ）に示すように、厚さ方向の振動である。
【００２３】
圧電磁器組成物は、所望の厚さまで研磨された後、振動電極が形成される。次いで、ダイシングソー等で所望の形状に切断された後、圧電素子として機能することとなる。
本発明における圧電磁器組成物は、フィルタ、レゾネータ、アクチュエータ、着火素子あるいは超音波モータ等の圧電素子の材料として好適に用いられる。
【００２４】
本発明が推奨する組成を選択することで、電気機械結合係数ｋｔが３０％以上、さらには３５％以上、かつΔＦｒを絶対値で０．５％以下、さらには０．４％以下、より望ましくは０．３％以下とすることができる。ここで、本発明における電気機械結合係数ｋｔは測定周波数約１０ＭＨｚにおいてインピーダンスアナライザ（ヒューレッドパッカード社製ＨＰ４１９４Ａ）を用いて測定する。なお、電気機械結合係数ｋｔは以下の式（２）に基づき求めた。
【００２５】
【数１】
2006089367.tif 000002
【００２６】
また本発明におけるΔＦｒの値は、２４時間耐熱試験に基づいて求めたものである。この２４時間耐熱試験の内容は、圧電磁器組成物をアルミ箔で包み２５０℃のはんだ浴に３０秒間浸漬した後アルミ箔を除去し、２４時間室温で放置させるというものであり、はんだ浴浸漬前と２４時間放置後に測定された各共振周波数ＦｒからΔＦｒを求めている。なお、後述する実施例でも、同様の手順でΔＦｒを求めた。
【実施例１】
【００２７】
（試料Ｎｏ．１）
出発原料として、ＰｂＯ粉末、ＴｉＯ2粉末、ＺｒＯ2粉末、ＭｇＣＯ3粉末、Ｎｂ2Ｏ5粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末、Ａｌ2Ｏ3粉末、ＳｉＯ2粉末を準備した。この原料粉末を、モル比でＰｂ[（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）0.05Ｔｉ0.46Ｚｒ0.49]Ｏ3となるように秤量した後、各粉末の総重量に対して副成分としてのＣｒ2Ｏ3粉末を０．２ｗｔ％、ＳｉＯ2粉末を０．０５ｗｔ％、さらにＡｌ2Ｏ3粉末を０．０３ｗｔ％添加し、ボールミルを用いて湿式混合を１０時間行った。
得られたスラリーを十分に乾燥させた後、大気中、８００℃で２時間保持する仮焼を行った。仮焼体が平均粒径０．７μｍになるまでボールミルにより微粉砕した後、微粉砕粉末を乾燥させた。乾燥させた微粉砕粉末に、バインダとしてＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を適量加え、造粒した。１軸プレス成形機を用いて造粒粉末を２４５ＭＰａの圧力で成形した。得られた成形体に対して脱バインダ処理を行った後、大気中、１１５０〜１２５０℃で２時間保持して、縦２０ｍｍ×横２０ｍｍ×厚さ１．０ｍｍの焼結体（試料）を得た。
【００２８】
試料の両面をラップ盤で厚み０．３ｍｍに平面加工した後に、ダイシングソーで縦×横＝１５ｍｍ×１５ｍｍに切断加工し、その表裏両面に分極用の仮電極（縦×横＝１４ｍｍ×１４ｍｍ）を形成した。その後、温度１２０℃のシリコンオイル槽中で３ｋＶ／ｍｍの電界を３０分間印加する分極処理を行った。なお、分極方向は図１（ａ）に示した方向とした。その後、仮電極を除去した。なお、仮電極除去後の試料のサイズは縦１５ｍｍ×横１５ｍｍ×厚さ０．３ｍｍである。再度ラップ盤でおよそ厚さ０．２２ｍｍまで研磨した後に、ダイシングソーで縦×横＝７．５ｍｍ×７．０ｍｍに切断加工した。
真空蒸着装置を用いて図２に示すように試験片１の両面（研磨された両面）に振動電極２を形成し、電気機械結合係数ｋｔの測定用試料（試料Ｎｏ．１）を得た。試験片１の断面（図２のＸ−Ｘ方向の断面）を図３に示すが、振動電極２の重なりは１．０ｍｍである。なお、振動電極は厚さ０．０１μｍのＣｒ下地層と厚さ２μｍのＡｇとから構成される。
【００２９】
（試料Ｎｏ．２〜１０）
副成分としてのＣｒ2Ｏ3粉末、ＳｉＯ2粉末、ならびにＡｌ2Ｏ3粉末を表１に示す量だけ添加した以外は、試料Ｎｏ．１と同一の条件で電気機械結合係数ｋｔの測定用試料を得た。
（比較例１〜４）
副成分としてのＡｌ2Ｏ3粉末を添加せず、かつＣｒ2Ｏ3粉末、ＳｉＯ2粉末を表１に示す量だけ添加した以外は、試料Ｎｏ．１と同一の条件で電気機械結合係数ｋｔの測定用試料を得た。
【００３０】
上述の式（２）より、試料Ｎｏ．１〜１０、比較例１〜４の電気機械結合係数ｋｔを算出した。また上述した方法で、試料Ｎｏ．１〜１０、比較例１〜４のΔＦｒを求めた。その結果を表１に示す。
【００３１】
【表１】
2006089367.tif 000003
【００３２】
表１に示すように、副成分としてＣｒ2Ｏ3、ＳｉＯ2およびＡｌ2Ｏ3を添加した場合（試料Ｎｏ．１〜１０）には、３５％以上の電気機械結合係数ｋｔを得つつ、ΔＦｒを絶対値で０．５％以下とすることができた。
一方、副成分としてＣｒおよびＳｉのみを添加した場合（比較例１〜４）には、電気機械結合係数ｋｔについては良好な値を得ることができたが、ΔＦｒは未だ高いレベルにあった。
【実施例２】
【００３３】
表２に示す組成（主成分：Ｐｂα[（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3）となるように秤量した後に、実施例１と同様にして圧電磁器組成物を作製し、やはり実施例１と同様にして各特性を測定した。その結果を表２に示す。
【００３４】
【表２】
2006089367.tif 000004
【００３５】
試料Ｎｏ．１１〜１４のように構成元素を変動させても、３４％以上の電気機械結合係数ｋｔを得つつ、ΔＦｒを絶対値で０．５％以下とすることができた。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】（ａ）は振動モードを厚み縦振動とする場合の分極方向を示す図、（ｂ）は厚み縦振動を説明するための図である。
【図２】振動電極が形成された試験片の斜視図である。
【図３】図２のＸ−Ｘ方向の断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１…試験片、２…振動電極                                           
【図１】
2006089367.tif 000005
【図２】
2006089367.tif 000006
【図３】
2006089367.tif 000007