(57)【要約】【課題】本発明は、正反対に位置する第１表面および第２表面を有するマクロ多孔質キャリア材料を含む、ＮＭＲ分光法のための微小化検出コイル巻型、当該検出コイル巻型の製造方法、および液相の化合物をＮＭＲ分光分析するためのＮＭＲ全分析システムにおける該検出コイル巻型の使用に関するものである。【解決手段】微小化検出コイル巻型の少なくとも１つの表面領域には、直径が５００ｎｍ〜１００μｍの複数の分離した孔が、分散されて配置されている。これらの孔は、キャリア材料を貫通して第１表面から第２表面に延びている。また、マクロ多孔質キャリア材料には、高周波小型コイルが埋設されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＮＭＲ分光法用の微小化検出コイル巻型であって、
正反対に位置する第１表面と第２表面とを有するマクロ多孔質キャリア材料を含み、
上記マクロ多孔質キャリア材料は、少なくとも１つの表面領域に分散して配置され、直径が５００ｎｍ〜１００μｍの複数の分離した孔を有し、
上記孔は、上記マクロ多孔質キャリア材料を貫通して第１表面から第２表面に延びており、
上記マクロ多孔質キャリア材料には高周波小型コイルが埋設されている、微小化検出コイル巻型。
【請求項２】
上記マクロ多孔質キャリア材料がマクロ多孔質シリコンである、請求項１に記載の微小化検出コイル巻型。
【請求項３】
ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４からなる絶縁層が、上記マクロ多孔質シリコンの実質的に全表面に形成されている、請求項２に記載の微小化検出コイル巻型。
【請求項４】
上記孔の直径が２〜２０μｍである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の微小化検出コイル巻型。
【請求項５】
上記孔の密度がコイルの電界領域において高い、請求項１〜３のいずれか１項に記載の微小化検出コイル巻型。
【請求項６】
上記高周波小型コイルの材料が銅である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の微小化検出コイル巻型。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の微小化検出コイル巻型の製造方法であって、
多孔質キャリア材料を供給する工程と、
絶縁層を形成する工程と、
導電層の基礎となる金属被膜層を堆積させる工程と、
両面リソグラフィーによって、上記導電層の基礎となる金属被膜層にパターン形成する工程と、
ＮＭＲコイルの形成に適した導電材料を電着し、電着された導電材料によりマクロ多孔質キャリア材料に埋設されたコイルを形成する工程と、を含む、微小化検出コイル巻型の製造方法。
【請求項８】
マクロ多孔質シリコンをベースとする多孔質キャリア材料を供給する工程と、
ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４から選択される絶縁層を形成する工程と、
導電層の基礎となる金属被膜層を堆積させる工程と、
両面リソグラフィーによって、上記導電層の基礎となる金属被膜層にパターン形成する工程と、
銅を電着し、該電着された銅によりマクロ多孔質キャリア材料に埋設されたコイルを形成する工程と、を含む、請求項７に記載の微小化検出コイル巻型の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の微小化検出コイル巻型の製造方法であって、
マクロ多孔質シリコンをベースとする多孔質キャリア材料を供給する工程と、
ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４から選択される絶縁層を形成する工程と、
プレカーサー層を堆積させる工程と、
両面リソグラフィーによって、上記プレカーサー層にパターン形成する工程と、
ＮＭＲコイルの形成に適した導電材料を、無電解金属被膜または無電解めっきに供給し、供給された導電材料によりコイルを形成する工程と、を含む微小化検出コイル巻型の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の微小化検出コイル巻型の使用であって、
液相試料のＮＭＲ分光分析における微小化検出コイル巻型の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＮＭＲ分光法のための微小化検出コイル巻型（detection coil former）に関するものであって、上記微小化検出コイル巻型は、正反対に位置する第１表面および第２表面を有するマクロ多孔質キャリア材料を含むものである。また、上記マクロ多孔質キャリア材料は、少なくとも１つの表面領域上に分散して配置され、直径が５００ｎｍ〜１００μｍの複数の分離した孔を有するものである。さらに、上記孔は、キャリア材料を貫通して、第１表面から第２表面に延びているものである。加えて、上記マクロ多孔質キャリア材料には、高周波小型コイルが埋設されている。
【０００２】
さらに、本発明は、本発明にかかる検出コイル巻型の製造方法、および、液相の化合物をＮＭＲ分光分析するためのＮＭＲ全分析システムにおける該検出コイル巻型の使用に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
ＮＭＲ（nuclear magnetic resonance）分光法とも呼ばれる核磁気共鳴分光法は、分子の構造を解明するための最も重要で最も注目すべき方法のうちの１つである。測定は、主に、凝縮相、すなわち、溶液もしくは固体の状態において行われる。
【０００４】
他の方法に対するこの方法の利点は、構成成分に関する先験的な知識を必要とすることなく、多成分系においても分子の構造についての説明が得られるということである。化合物の構造を解明するためには、いくつかの方法が組み合わせて用いられることもよくある。具体的には、まず多成分系に含まれる個々の成分をそれぞれに分離するための方法と、次に個々の成分について別々に分析するための方法とが組み合わせて用いられる。
【０００５】
このような統合化されたシステムの一例としては、ガスクロマトグラフィー質量分析（ＧＣ−ＭＳ）がある。ＧＣ−ＭＳによれば、ナノグラムオーダーであっても、物質を検出および分析することができる。しかし、質量分析では、化合物の構造に関して限られた情報しか得ることができない。
【０００６】
さらに、この方法には、試料が測定により破壊されてしまうという不都合がある。このことは、特に価値の高い試料、または極少量しか存在しない試料の場合には、まさに問題となる。
【０００７】
これに対して、ＮＭＲ分光法による測定では試料は破壊されないので、ＮＭＲ分光法では、上記のような不都合は生じない。したがって、例えば、キャピラリー電気泳動または液体クロマトグラフィーといった分離システムと、ＮＭＲ分光法とを組み合わせて統合システムとする分析方法が望まれている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、ＮＭＲ方法は、固有の特徴として感度が低いため、非常に少量の試料の液相分析の検出方法としては、その有用性に限界がある。
【０００９】
したがって、商業的に利用可能なＮＭＲ分光計では、通常、直径が５ｍｍ、溶液容量が約５００μｌである小さい試料管を用いて、マイクログラムオーダー量の物質を測定することしかできない。一方、測定時間を極端に長くすれば、縮小化した小さい試料管（直径が１ｍｍ；溶液容量が１μｌ）を用いて、マイクログラムオーダー量の試料を測定することができる。
【００１０】
しかし、試料の体積をこれ以上低減することは困難である。そのため、キャピラリー電気泳動または液体クロマトグラフィーと連結しての使用に支障をきたしている。その一方で、試料をハイスループットで効率的に分析する必要がある化学合成およびバイオテクノロジーの分野では、まさに、このような方法が望まれている。
【００１１】
ところで、ＮＭＲ測定装置においては、微小化検出コイルを用いることによって、感度が低いという問題を解決することができる。より小さなコイルを用いることにより、従来のコイルと比べて感度を著しく改善できる。測定の感度の評価において重要な数値は、シグナル対ノイズ比（Ｓ／Ｎ比）である。Ｓ／Ｎ比は、試料の体積ＶＰおよび高周波場（radiofrequency field）の強さＢ１に比例する。さらに、Ｓ／Ｎ比は、検出コイルの抵抗Ｒの平方根に反比例する。Ｒはコイルの半径ｒｓに比例するので、以下の式が成り立つ。
Ｓ／Ｎ比＝ＶＰ・Ｂ１／ｒｓ１／２
【００１２】
結果として、コイルの直径を低減することにより、Ｓ／Ｎ比を最大化できる。しかし、コイルの半径を低減した場合、十分な信号を得るためには、コイルの内部直径を試料の大きさにできる限りよく適合させる必要がある。
【００１３】
ＤＥ  １９９  ２７  ９７６  Ａ１には、液相分析に用いるために、ＨＦ小型コイルが周りに位置しているＮＭＲ検出部を有する小型化された全分析システムが記載されている。しかし、ＤＥ  １９９  ２７  ９７６  Ａ１に記載の構成を用いた場合、試料の大きさとＮＭＲ検出コイルの大きさとの対応が最適ではない。その結果、ＮＭＲ分光測定の感度が制限されてしまう。
【００１４】
したがって、本発明の目的は、極端に少量の試料、特に１μｌよりも少ない試料であっても測定が可能であり、しかも、十分なシグナル強度が得られるＮＭＲ測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この目的は、特許請求の範囲において特徴付けられた実施形態によって、達成される。
【００１６】
すなわち、本発明にかかる微小化検出コイル巻型は、ＮＭＲ分光法用の微小化検出コイル巻型であって、正反対に位置する第１表面と第２表面とを有するマクロ多孔質キャリア材料を含み、上記マクロ多孔質キャリア材料は、少なくとも１つの表面領域に分散して配置され、直径が５００ｎｍ〜１００μｍの複数の分離した孔を有し、上記孔は、上記マクロ多孔質キャリア材料を貫通して第１表面から第２表面に延びており、上記マクロ多孔質キャリア材料には高周波小型コイルが埋設されていることを特徴としている。
【００１７】
上記微小化検出コイル巻型において、上記マクロ多孔質キャリア材料は、マクロ多孔質シリコンであることが好ましい。
【００１８】
また、上記微小化検出コイル巻型において、ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４からなる絶縁層が、上記マクロ多孔質シリコンの実質的に全表面に形成されていることが好ましい。
【００１９】
また、上記微小化検出コイル巻型において、上記孔の直径は２〜２０μｍであることが好ましい。
【００２０】
さらに、上記微小化検出コイル巻型において、上記孔の密度はコイルの電界領域において高いことが好ましい。
【００２１】
また、上記微小化検出コイル巻型において、上記高周波小型コイルの材料が銅であることが好ましい。
【００２２】
本発明にかかる微小化検出コイル巻型の製造方法は、上記微小化検出コイル巻型の製造方法であって、多孔質キャリア材料を供給する工程と、絶縁層を形成する工程と、導電層の基礎となる金属被膜層を堆積させる工程と、両面リソグラフィーによって、上記導電層の基礎となる金属被膜層にパターン形成する工程と、ＮＭＲコイルの形成に適した導電材料を電着し、電着された導電材料によりマクロ多孔質キャリア材料に埋設されたコイルを形成する工程とを含むことを特徴としている。
【００２３】
また、上記微小化検出コイル巻型の製造方法は、マクロ多孔質シリコンをベースとする多孔質キャリア材料を供給する工程と、ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４から選択される絶縁層を形成する工程と、導電層の基礎となる金属被膜層を堆積させる工程と、両面リソグラフィーによって、上記導電層の基礎となる金属被膜層にパターン形成する工程と、銅を電着し、該電着された銅によりマクロ多孔質キャリア材料に埋設されたコイルを形成する工程とを含むことが好ましい。
【００２４】
さらに、本発明にかかる微小化検出コイル巻型の製造方法は、マクロ多孔質シリコンをベースとする多孔質キャリア材料を供給する工程と、ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４から選択される絶縁層を形成する工程と、プレカーサー層を堆積させる工程と、両面リソグラフィーによって、上記プレカーサー層にパターン形成する工程と、ＮＭＲコイルの形成に適した導電材料を、無電解金属被膜または無電解めっきに供給し、供給された導電材料によりコイルを形成する工程とを含むことを特徴としている。
【００２５】
本発明にかかる微小化検出コイル巻型の使用は、上記微小化検出コイル巻型の使用であって、液相試料のＮＭＲ分光分析において使用することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、微小化されたＮＭＲ検出コイルをマクロ多孔質基板に埋設するか、または、該マクロ多孔質基板に貫通させ、さらに、検体を該基板に貫通させることにより、ＮＭＲ分光測定の感度を改善できる。
【００２７】
また、本発明によれば、上記マクロ多孔質キャリア材料または基板は、上記コイルのマトリクスとして機能すると同時に、分析物のキャリアとしても機能する。これにより、試料の大きさとＮＭＲ検出コイルの大きさとの対応を実質的に最適化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明は、正反対に位置する第１表面と第２表面とを有するマクロ多孔質キャリア材料を含む、ＮＭＲ分光法用の微小化検出コイル巻型を提供する。上記マクロ多孔質キャリア材料は、少なくとも１つの表面領域上に分散して配置され、直径が５００ｎｍ〜１００μｍの複数の分離した孔を有する。これらの孔は、キャリア材料を貫通して第１表面から第２表面に延びている。さらに、上記マクロ多孔質キャリア材料、またはその内部には、高周波小型コイルが埋設されている。
【００２９】
本発明において、孔とは、第１表面から第２表面に上記キャリア材料を貫通して延びている孔、いわゆる、通路と、一端が閉ざされている孔、いわゆる、止まり穴との両方を意味するものと解される。しかし、一端が閉ざされている孔（つまり、止まり穴）は、上記キャリア材料の領域、特にコイルターンが存在しない領域に、配置されていてもよい。
【００３０】
また、上記マクロ多孔質キャリア材料が有する第１表面と第２表面とは、正反対に位置するものであるが、第１表面と第２表面とは、相対して位置するということもできる。
【００３１】
本発明にかかるマクロ多孔質キャリア材料は、材料の選択に関して特に限定されるものではなく、直径５００ｎｍ〜１００μｍ、好ましくは２〜２０μｍの孔を有していればよい。これにより、孔の深さと孔の開口部とのアスペクト比が、１０：１よりも大きく、好ましくは、２０：１よりも大きく、より好ましくは４０：１よりも大きくなる。
【００３２】
また、上記マクロ多孔質キャリア材料の厚さは、通常、１００〜５０００μｍであり、好ましくは３００〜６００μｍである。孔の中心から孔の中心までの距離（ピッチ）、いわゆる、互いに近接または隣接している２つの孔同士の間隔は、通常１〜１００μｍであり、好ましくは３〜５０μｍである。孔の密度は、通常、１０４〜１０８／ｃｍ２である。
【００３３】
特に、本発明で用いられるマクロ多孔質キャリア材料は、プラスチック、ガラス、Ａｌ２Ｏ３、または、シリコンをベースとするものであってもよい。本発明では、キャリア材料としてマクロ多孔質シリコンを用いることが好ましい。
【００３４】
この場合、好適に用いられるマクロ多孔質シリコンは、ドープされていてもよいし、ドープされていなくてもよい。また、ドープされている場合、ｎ型にドープされていることが好ましい。
【００３５】
このようなマクロ多孔質シリコンは、例えば、ＥＰ‐Ａ１‐０  ２９６  ３４８に記載の方法に従って製造することができる。穴の開口部または孔は、電気化学的に好適に製造することができる。この場合、電気化学的エッチングは、フッ化水素酸を含有する電解質中で、一定の電位または時間によって変化する電位を印加することにより行われる。また、シリコンからなる層または基板は、電解セルの正の極性が与えられた電極として接続される。
【００３６】
このような穴は、例えば、V. Lehmann, J. Electrochem. Soc. 140, 1993, 2836ページ以下に記載されているように形成することができる（V. Lehmann, J. Electrochem. Soc. 140, 1993, 2836ページ以下参照）。しかし、本発明では、例えば、ＧａＡｓ基板、またはＳｉ３Ｎ４によって覆われたガラス基板といった他の半導体基板が、上記マクロ多孔質基板として提供されてもよい。
【００３７】
この場合、マクロ孔は、例えば、本質的に円形、楕円形、または、本質的に正方形といった形状であってもよい。なお、ここで、マクロ孔とは、マクロ多孔質に分散している孔（マクロ孔）を意味する。
【００３８】
マクロ多孔質のキャリア材料としてマクロ多孔質シリコンを用いる場合、本発明にかかる微小化検出コイル巻型は、ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４からなる絶縁層を備えている。この絶縁層は、本質的にマクロ多孔質シリコンの全表面に形成される。本発明の基板の上記絶縁層がＳｉＯ２から構成される場合、その厚さは通常１０〜１００ｎｍである。
【００３９】
微小化検出コイル巻型の孔の密度は、コイルの電界領域において高くすることが好ましい。この場合、孔の密度は最大で１０１０／ｃｍ３までである。
【００４０】
本発明に用いられるマクロ多孔質キャリア材料にコイル巻型を埋設することにより、断面積が５００μｍ×５００μｍよりも少ないＮＭＲ‐ＨＦ‐コイルが得られる。コイルターン間の最小間隔は、孔の間隔またはピッチによって制限される。
【００４１】
本明細書において、「コイル」または「検出コイル巻型」という表現は、主磁場（Ｂ０）に対して直角である磁場（Ｂ１）を発生させる高周波共振器（radiofrequency resonator）を示すために用いられる。コイルは、通常、ソレノイドコイルとして構成される。
【００４２】
また、コイルは、コイルの導電特性に適した望ましい材料であれば、どのような材料から構成されてもよい。例えば、銀、金または銅から構成することができる。本発明の好ましい一実施形態では、マクロ多孔質キャリア材料に埋設されるコイル（高周波小型コイル）の材料は、銅を含んでいる。
【００４３】
本発明のさらなる主題は、以下の（ｉ）〜（ｖ）の工程を含む、本発明の微小化検出コイル巻型の製造方法に関するものである。
（ｉ）上述した多孔質キャリア材料を供給する工程。
（ｉｉ）場合によっては絶縁層を形成する工程。
（ｉｉｉ）導電層の基礎となる金属被膜層（種層、seed layer）を堆積させる工程。
（ｉｖ）両面リソグラフィーによって導電層の基礎となる金属被膜層（種層）にパターン形成する工程。
（ｖ）ＮＭＲコイルの形成に適した導電材料を電着することにより、電着された導電材料によりマクロ多孔質キャリア材料に埋設されたコイルを形成する工程。
【００４４】
なお、上記工程（ｉｉ）は、適切であれば、上記絶縁層を形成する工程である。また、当該絶縁層は、上記多孔質キャリア材料上に形成することが好ましい。
【００４５】
本発明の方法は、以下の（ｉ）〜（ｖ）の工程を含んでいることが好ましい。
（ｉ）上述したようなマクロ多孔質シリコンをベースとする多孔質キャリア材料を供給する工程。
（ｉｉ）ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４から選択される絶縁層を形成する工程。
（ｉｉｉ）導電層の基礎となる金属被膜層（種層）を堆積させる工程。
（ｉｖ）両面リソグラフィーによって、導電層の基礎となる金属被膜層（種層）にパターン形成する工程。
（ｖ）銅を電着し、電着された銅によりマクロ多孔質キャリア材料に埋設されたコイルを形成する工程。
【００４６】
工程（ｉｉ）の絶縁層は、例えばスパッタリング技術またはＣＶＤ法によって、通常、マクロ多孔質キャリア材料の全表面、つまり、全ての孔の表面も含めた全表面に対して形成される。上記絶縁層は、とりわけ、コイルターン間での短絡を防止するために用いられる。
【００４７】
次に、上記絶縁層上の全面に、導電層の基礎となる金属被膜層（種層）を堆積させる。続いて、所望のコイル構成に応じて、両面リソグラフィーにより、つまり、前面および背面に、上記導電層の基礎となる金属被膜層にパターン形成し、その後の工程（ｖ）における電気めっき用の開始層（start layer）として用いる。導電層にパターン形成するためのこのようなリソグラフィー法は、当業者によく知られている。
【００４８】
続いて、例えばＳｉウェハーといったキャリア材料と接触させることにより、例えば銅を電着する。上記電着は、導電層の基礎となる金属被膜層（種層）が存在している位置または領域にのみ選択的に行われる。このような導電層の基礎となる金属被膜層（種層）の電着は、物理的気相蒸着または化学蒸着（ＣＶＤ）によって行うことができる
導電層の基礎となる金属被膜層（種層）の材料は、特に限定されていない。したがって、例えば、厚さ約２００ｎｍの、気相蒸着された銅層を、例えば、ＥＣＤ（electrical copper deposition、電気的銅蒸着）中の「種層」として用いることができる。
【００４９】
別の実施形態として、本発明にかかる方法は、以下の（ｉ）〜（ｖ）の工程を含むものであってもよい。
（ｉ）上述したようなマクロ多孔質シリコンをベースとする多孔質キャリア材料を供給する工程。
（ｉｉ）ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４から選択された絶縁層を形成する工程。
（ｉｉｉ）プレカーサー層を堆積させる工程。
（ｉｖ）両面リソグラフィーによってプレカーサー層にパターン形成する工程。
（ｖ）ＮＭＲコイルの形成に適した導電材料を、無電解金属被膜または無電解めっきによって供給し、供給された導電材料によりコイルを形成する工程。
【００５０】
本発明にかかる方法の上記工程（ｖ）は、すでにパターン形成されているプレカーサー層の位置または領域上にＮＭＲコイルを水性の電解質から形成するのに適した、導電材料の無電解金属被膜または化学的金属被膜（無電解メッキ）に関するものである。本発明にかかる方法の上記工程（ｖ）において用いられる電解質組成物については、基本的に、表面処理技術、防食処理技術、または、プリント回路基板製造技術から知ることができる。
【００５１】
したがって、本発明に係る方法では、金属、特に、ニッケル、銅、プラチナ、銀、および、金、およびそれらの合金、好ましくは銅を、水溶液、すなわち、該金属の塩から無電解に堆積させることができる。このような電解質組成物は、従来技術において知られている。上記電解質組成物は、例えば、防食目的で、または、強くパターン形成された起伏のある表面に導電性を持たせるために用いられている。なお、強くパターン形成された起伏のある表面では、真空中での金属被膜は、方法的に、またはコスト的に適していない。
【００５２】
金属陽イオンを含んだ水性の電解質の金属塩または金属陽イオンと、すでにパターン形成されたプレカーサー層の材料との間に化学的電位勾配がある場合、すでにパターン形成されたプレカーサー層におけるより負に帯電した金属は酸化される。その一方で、上記電解質の金属陽イオンは還元され、すでにパターン形成されたプレカーサー層上に堆積する。プレカーサー層の材料は、特に限定されるものではないが、ＰｄおよびＰｄ‐Ｓｎコロイドからなる群より選択されることが好ましい。換言すれば、パラジウムからなる種層、または、Ｐｄ‐Ｓｎコロイドからなるクラスタであることが好ましい。
【００５３】
本発明では、微小化銅コイルがマクロ多孔質基板に備えられる。これに対応するＮＭＲ測定方法では、コイルターンのすぐ近傍に検体が位置する。その結果、シグナル対ノイズ比が改善される。さらに、例えばスパッタリングまたは低温ＣＶＤによって、例えばＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４からなる表面安定層を形成する場合、検体の化学的影響から上記コイルを保護（金属溝を腐食から保護）することができる。このような表面安定層は、例えば、ポリパリレンのようなポリマーをベースとするものであってもよい。
【００５４】
本発明にかかる微小化検出コイル巻型は、液相試料のＮＭＲ分光分析において用いることが好ましい。
【００５５】
通常のＮＭＲ測定装置は、さらに、永久磁石および点検電子機器（evaluation electronics）を備えている。このような構成は、当業者によく知られている。例えば、磁束が約１テスラであるＮｄＦｅＢ磁石を用いることができる。
【００５６】
本発明の微小化検出コイル巻型によって、試料サイズを小さくすることが可能となるため、静的な磁場を均質化する必要条件をより簡単に実現することができる。試料の体積が小さい場合、検体がコイルの中央にあれば有利である。マクロ多孔質基板では毛細管力のために、液体は孔の中央に導かれる。この効果は、疎水性または親水性の層を部分的に形成することにより維持することができる。
【００５７】
検体は、通常、適切な溶媒と１つまたは複数の測定対象の化合物とを含んでいる。なお、上記測定対象の化合物は、上記溶媒に含有される。本発明の微小化検出コイル巻型に導入される前に、測定対象の複数の成分を含む試料を、個々の成分に分離してもよい。上記分離は、液体クロマトグラフィー（例えば、ＨＰＬＣ）のようなクロマトグラフィー、またはキャピラリー電気泳動によって行うことができる。このように分離された成分は、連続的に、本発明の微小化検出コイル巻型に導入される。その後、ＮＭＲ測定装置において、これらの成分は、それぞれ別々にＮＭＲ分光法によって測定される。
【００５８】
本発明にかかる微小化検出コイル巻型を通る流れは、連続的であっても、段階的であってもよい。段階的な流れとは、ある特定の量の検体を本発明の微小化検出コイル巻型に導き、該検体をＮＭＲ分光法によって測定してから、さらなる試料に置換することを意味する。
【００５９】
図１（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、本実施形態にかかる微小化検出コイル巻型１０の前面（図１（ａ））および背面（図１（ｂ））、並びに断面（図１（ｃ））を示す図である。上記検出コイル巻型１０は、マクロ多孔質キャリア材料２０と、その中に埋設されたコイルターン３０およびボンディングパッド４０を備える小型コイルとから構成されている。また、マクロ孔５０が、上記基板内に存在する。さらに、断面図（図１（ｃ））では、上記孔の中に検体６０が示されている。
【００６０】
図２は、液相試料のＮＭＲ分光分析用の構成における、本実施形態にかかる微小化検出コイル巻型１０の断面図を示している。この場合、本実施形態にかかる微小化検出コイル巻型１０は、流体シール部を有する筐体７０によって囲まれている。また、上記検出コイル巻型１０は、検体を供給および排出するための管８０を備えている。さらに、金属が充填された孔の形状をしたコイル３０の一部と、さらに上記孔の中に検体６０が図示されている。
【００６１】
図３は、永久磁石９０の磁場（Ｂｓｔａｔ）、または、ＮＭＲ測定装置における永久磁石９０の磁極片にあるときの本実施形態にかかる微小化検出コイル巻型１０を示している。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、ＮＭＲ分析装置に用いることができるだけではなく、ＮＭＲ分析を用いるあらゆる分野に応用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本実施形態にかかる微小化検出コイル巻型を示す図であり、図１（ａ）は検出コイル巻型の前面を、図１（ｂ）は検出コイル巻型の背面を、図１（ｃ）は検出コイル巻型の断面を示す図である。
【図２】本実施形態において、液相試料のＮＭＲ分光分析用の構成における微小化検出コイル巻型の断面図である。
【図３】本実施形態において、永久磁石の磁場（Ｂｓｔａｔ）、または、ＮＭＲ測定装置の永久磁石の磁極片にあるときの微小化検出コイル巻型を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０      微小化検出コイル巻型
２０      マクロ多孔質キャリア材料
３０      コイルターン
４０      ボンディングパッド
５０      マクロ孔 
６０      検体
７０      流体シール部を有する筐体
８０      検体を供給および排出するための管
９０      永久磁石
【図１】
2006234820.tif 000003
【図２】
2006234820.tif 000004
【図３】
2006234820.tif 000005