(57)【要約】【課題】  本発明は、微細流路用凹部や液体クロマトグラフ用凹部を形成した２枚の基板を接着剤で接着しても、微細流路や液体クロマトグラフが詰まることのないマイクロリアクターを提供する【解決手段】幅が０．１〜３０００μｍの微細流路用凹部の周囲を囲むように凸部が形成されている下部基板と、前記微細流路用凹部に嵌合可能な凸部と該凸部を介してその両側に前記下部基板に形成されている凸部が嵌合可能な凹部が形成されている上部基板よりなり、それぞれの凸部が他基板の凹部に嵌合されて、下部基板と上部基板が積層されてなる、下部基板と上部基板の間に幅及び高さが０．１〜３０００μｍの微細流路が形成されていることを特徴とするマイクロリアクター。【選択図】  図１
2006112836.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
幅が０．１〜３０００μｍの微細流路用凹部の周囲を囲むように凸部が形成されている
下部基板と、前記微細流路用凹部に嵌合可能な凸部と該凸部を介してその両側に前記下部
基板に形成されている凸部が嵌合可能な凹部が形成されている上部基板よりなり、それぞ
れの凸部が他基板の凹部に嵌合されて、下部基板と上部基板が積層されてなる、下部基板
と上部基板の間に幅及び高さが０．１〜３０００μｍの微細流路が形成されていることを
特徴とするマイクロリアクター。
【請求項２】
幅が０．１〜３０００μｍの微細流路用凹部と、該微細流路用凹部に挟まれて液体クロ
マトグラフ用カラム用凹部が形成されていると共に、微細流路用凹部と液体クロマトグラ
フ用カラム用凹部の周囲を囲むように凸部が形成されている下部基板と、前記微細流路用
凹部と液体クロマトグラフ用カラム用凹部に嵌合可能な凸部と該凸部を介してその両側に
前記下部基板に形成されている凸部が嵌合可能な凹部が形成されている上部基板よりなり
、それぞれの凸部が他基板の凹部に嵌合されて、下部基板と上部基板が積層されてなる、
下部基板と上部基板の間に幅及び高さが０．１〜３０００μｍの微細流路と、該微細流路
に挟まれて液体クロマトグラフ用カラム部が形成され、該カラム部に液体クロマトグラフ
用充填材が充填されていることを特徴とするマイクロリアクター。
【請求項３】
下部基板の凸部は、幅が５０〜２５００μｍ、高さが２０〜５００μｍであり、上部基
板の凹部の幅は下部基板の凸部が嵌合しうる幅であり、深さは２０〜５００μｍであるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロリアクター。
【請求項４】
上部基板の凹部の深さは、下部基板の凸部の高さより５μｍ以下深く、該凹部と凸部の
間に実質的に空隙が形成されていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のマイクロ
リアクター。
【請求項５】
下部基板に形成されている微細流路用凹部に、上部基板に形成されている凸部が水密に
嵌合されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のマイクロリアクター
。
【請求項６】
下部基板と上部基板が接着剤により接着されていることを特徴とする請求項１〜５のい
ずれか１項記載のマイクロリアクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも２枚の基板の間に微細流路が形成されたマイクロリアクターに関
する。
【背景技術】
【０００２】
近年、シリコンなどの基板上にフォトリソグラフィーなどの半導体加工技術を用いて微
細な流路や構造体を形成し、流路内で様々な化学反応を行わせることにより既存の分析装
置の小型化や、化学プラントの小型・高機能化を行うとするマイクロリアクターの研究が
活発に行われており、マイクロリアクターにおいて、精度よく測定対象物を測定するには
、測定対象物を分離濃縮する必要があり、液体クロマトグラフを微細流路の途中に併設す
る方法が検討されている。
【０００３】
上記マイクロリアクターに微細流路や液体クロマトグラフを形成するには、微細流路用
凹部や液体クロマトグラフ用凹部を形成した２枚の基板を積層して微細流路や液体クロマ
トグラフを形成する（例えば、特許文献１参照）ことが一般的であり、積層は接着剤で接
着することにより行われている。
【特許文献１】特開２００１−７０７８４号公報
【０００４】
しかしながら、基板の表面に接着剤を塗布し、積層して接着剤で接着しようとすると、
接着剤が流動して、微細流路用凹部や液体クロマトグラフ用凹部に流れ込み微細流路や液
体クロマトグラフが詰まってしまうという欠点があった。また、接着剤の成分によっては
、被検出物への汚染という問題もあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、上記欠点に鑑み、微細流路用凹部や液体クロマトグラフ用凹部を形成
した２枚の基板を接着剤で接着しても、微細流路や液体クロマトグラフが詰まることのな
いマイクロリアクターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載のマイクロリアクターは、幅が０．１〜３０００μｍの微細流路用凹部の
周囲を囲むように凸部が形成されている下部基板と、前記微細流路用凹部に嵌合可能な凸
部と該凸部を介してその両側に前記下部基板に形成されている凸部が嵌合可能な凹部が形
成されている上部基板よりなり、それぞれの凸部が他基板の凹部に嵌合されて、下部基板
と上部基板が積層されてなる、下部基板と上部基板の間に幅及び高さが０．１〜３０００
μｍの微細流路が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
上記、下部基板及び上部基板の素材は、特に限定されるものではなく、例えば、従来か
ら使用されてきている、ガラス、蛍光ガラス、石英、セラミックス、シリコン等の無機材
料が挙げられる。これら無機材料は耐薬品性、耐熱性等が優れており、例えば、半導体微
細加工技術において広く用いられている光リソグラフィー技術を利用すれば、ガラスやシ
リコン基板上にミクロンオーダーの溝を自在に形成することができる。
【０００８】
しかしながら、マイクロリアクターを大量に、容易に且つ安価に生産し、かつ廃棄出来
ることも重要である。このような場合、材料そのものが高価であるシリコンや量産性の低
いガラスの使用は望ましいとはいえない。
【０００９】
又、医療の現場においては、ガラス製の製品を使う場合には、廃棄の際に適切な処理費
用を支払うことが義務付けられており、それ以外にも軽い、割れない等のメリットがあり
、さらには、転写金型を利用した射出成形やホットプレス成形を行うことにより、非常に
高い生産性にて表面に溝や孔を形成することが可能であることから、基板は高分子樹脂か
ら形成されるのが好ましい。
【００１０】
上記高分子樹脂の種類は、特に限定されるものではないが、加熱により簡単に表面加工
出来るという点では、熱可塑性樹脂が好ましく、例えば、ポリオレフィン系樹脂、ポリス
チレン系樹脂、ポリ乳酸系樹脂、ポリメチルメタクリレートなどのポリアクリル系樹脂、
ポリカーボネート系樹脂、ポリジメチルシロキサンなどのシリコン系樹脂等が挙げられる
。
【００１１】
マイクロリアクターは、測定物質を吸着・脱離するために、様々なｐＨの流体を用いる
ことが多いので、耐酸・アルカリ性を有する樹脂、例えば、ポリオレフィン系樹脂やポリ
アクリル系樹脂がより好ましい。
【００１２】
一方、熱硬化性樹脂は、加熱により可塑化して簡単に表面加工するという利点は有さな
いが、予め硬化剤等を混合した前駆体液を転写金型に導入しておき、樹脂表面を賦形する
ことが可能である。
【００１３】
この場合、前駆体が液状のため、転写金型の形状をより忠実に転写するという利点があ
る。又、一般に、静的に硬化された樹脂は、低い線膨張率、低い成形収縮率を示すことか
らも、有利に用いることができる。このような熱硬化樹脂としては、コストや易取扱い性
の点から、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂等を有利に用いることができる。
【００１４】
又、微細流路表面を耐薬品性の改善、圧力損失の低減、流体制御等を目的として、各種
試薬で改質してもよい。特に、高分子樹脂基板の場合は、耐候性の改善や機械的強度の改
善、耐薬品性の向上などを目的として、各種試薬、添加剤による基板そのものの改質も良
い。
【００１５】
又、基板の大きさは特に限定されるものではないが、大きくなるとマイクロリアクター
としてのハンドリング性が低下するので４００ｃｍ2 以下が好ましく、厚さは０．０１〜
１００ｍｍが好ましい。
【００１６】
次に図面を参照して説明する。図１は請求項１記載のマイクロリアクターの一例を示す
要部断面図である。
【００１７】
図中１は下部基板であり、２は上部基板である。下部基板１には、幅が０．１〜３００
０μｍの微細流路用凹部３が形成され、微細流路用凹部３の側壁に沿うように微細流路用
凹部３の周囲を囲んでいる凸部４、４が形成されている。
【００１８】
上部基板２には、微細流路用凹部３に嵌合可能な凸部６が形成され、凸部６を介してそ
の両側に、凸部４、４が嵌合可能な凹部５、５が形成されている。凸部６の高さは凹部５
の深さと同一高さになされている。
【００１９】
下部基板１と上部基板２は、凸部４、４が凹部５に嵌合されると共に凸部６が微細流路
用凹部３に嵌合されて積層され、接着剤で接着されて、幅及び高さが０．１〜３０００μ
ｍの微細流路７が形成されてマイクロリアクターが構成されている。
【００２０】
尚、８は空隙部であり、凸部４の高さを凹部５の深さより若干高くすることにより形成
されており、下部基板１と上部基板２を接着するための接着剤の剰余分が収納されている
。
【００２１】
微細流路７は下部基板１と上部基板２を積層し、微細流路用凹部３に凸部６を嵌合する
ことにより形成されるので、微細流路用凹部３の下部基板１の表面からの深さは０．１〜
３０００μｍが好ましく、凸部６の高さを調節することにより微細流路７の高さを調節す
ることができる。
【００２２】
又、下部基板１と上部基板２を接着剤で固定する際に、下部基板１及び／又は上部基板
２表面に塗布された接着剤が下部基板１と上部基板２により押圧されて微細流路７に侵入
しないように微細流路用凹部３と凸部６は水密に嵌合されるのが好ましい。
【００２３】
微細流路７は、測定物質を含有する液体試料や液体クロマトグラフで使用する溶離液等
が流動可能であることが必要であるが、大きくなると液体クロマトグラフで分離された測
定物質が微細流路内で拡散し、分離性能が低下するので、その幅及び高さは０．１〜３０
００μｍであり、好ましくは１〜１０００μｍである。
【００２４】
凸部４は凹部５に嵌合され、下部基板１と上部基板２は位置調整され、固定されるので
凸部４の幅は５０〜２５００μｍが好ましく、高さは２０〜５００μｍが好ましい。又、
凹部５の幅は凸部４が嵌合しうる幅であり、深さは２０〜５００μｍが好ましい。
【００２５】
又、下部基板１と上部基板２を接着するために塗布された接着剤の剰余分を収納できる
ように空隙部が実質的に形成されるのが好ましく、上部基板２の凹部５の深さは下部基板
１の凸部４の高さより５μｍ以下深いのが好ましい。
【００２６】
上記接着剤としては、下部基板１と上部基板２を接着しうる接着剤であれば従来公知の
任意の接着剤が使用可能であるが、溶媒の乾燥が困難であるので、無溶剤の接着剤が好ま
しく、例えば、ホットメルト型接着剤、光硬化性接着剤、熱硬化性接着剤、湿気硬化性接
着剤、粘着剤等が好ましい。
【００２７】
尚、マイクロリアクターが３枚以上の基板で形成されている場合には、隣り合う基板の
いずれかを上部基板と下部基板として理解して微細流路用凹部、凸部等を形成して積層す
ることにより微細流路を形成すればよい。
【００２８】
請求項２記載のマイクロリアクターは、幅が０．１〜３０００μｍの微細流路用凹部と
、該微細流路用凹部に挟まれて液体クロマトグラフ用カラム用凹部が形成されていると共
に、微細流路用凹部と液体クロマトグラフ用カラム用凹部の周囲を囲むように凸部が形成
されている下部基板と、前記微細流路用凹部と液体クロマトグラフ用カラム用凹部に嵌合
可能な凸部と該凸部を介してその両側に前記下部基板に形成されている凸部が嵌合可能な
凹部が形成されている上部基板よりなり、それぞれの凸部が他基板の凹部に嵌合されて、
下部基板と上部基板が積層されてなる、下部基板と上部基板の間に幅及び高さが０．１〜
３０００μｍの微細流路と、該微細流路に挟まれて液体クロマトグラフ用カラム部が形成
され、該カラム部に液体クロマトグラフ用充填材が充填されていることを特徴とする。
【００２９】
上記液体クロマトグラフ用カラム部は、微細流路に挟まれて形成されており、カラム部
に液体クロマトグラフ用充填材を充填し、測定物質を含有する液体試料を通過させ、測定
物質を吸着させた後、溶離液を通過させ測定物質を離脱させることにより、測定物質の濃
縮、分離等の機能を有する領域である。
【００３０】
上記液体クロマトグラフ用カラム部の形状は、特に限定されないが、液体試料や溶離液
が均一に流入あるいは流出するように、微細流路側から液体クロマトグラフ用カラム部の
入口方向あるいは出口方向を見た場合左右対称であるのが好ましい。
【００３１】
又、液体クロマトグラフ用カラム部の体積は、特に限定されないが、使用する際に想定
される目的の測定物質の最大量より、カラム部での分離、吸着必要量を想定し、大きさを
決定すればよい。
【００３２】
液体クロマトグラフ用カラム用凹部には、その周囲を囲むように凸部が形成され、上部
基板には液体クロマトグラフ用カラム用凹部に嵌合可能な凸部と該凸部を介してその両側
に前記下部基板に形成されている凸部が嵌合可能な凹部が形成されているが、これら凸部
及び凹部の構成は前述した通りである。
【００３３】
上記液体クロマトグラフ用カラム部には液体クロマトグラフ用充填材が充填されている
。液体クロマトグラフ用カラム部に液体クロマトグラフ用充填材を充填する方法は、特に
限定されるものではなく、例えば、下部基板と上部基板を積層して液体クロマトグラフ用
カラム部を形成すると共に下部基板又は上部基板に液体クロマトグラフ用カラム部に連通
した充填材注入口を穿設し、次に、液体クロマトグラフ用充填材の懸濁液を充填したディ
スペンサーを充填材注入口に接続し加圧して液体クロマトグラフ用充填材の懸濁液を液体
クロマトグラフ用カラム部に注入し、注入後、シール材で充填材注入口を封止する方法が
挙げられる。
【００３４】
液体クロマトグラフ用充填材は、一般に液体クロマトグラフで使用されている微粒子の
充填剤であれば特に限定されず、例えば、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体、ポリメ
タクリレート樹脂、ポリヒドロキシメタクリレート樹脂、ポリビニルアルコール、シリカ
、アルミナ等の微粒子が挙げられる。
【００３５】
又、適当な担体に、液体試料内の目的とする測定物質と相互作用する官能基や原子団を
固定化した充填材であってもよい。
【００３６】
上記相互作用としては、例えば、物理的吸着や、イオン結合、配位結合、キレート結合
、疎水性相互作用、分子内極性による相互作用などが挙げられる。
【００３７】
上記のような相互作用をする官能基や原子団としては、例えば、スルホ基、第４級アン
モニウム基、オクタデシル基、オクチル基、ブチル基、アミノ基、トリメチル基、シアノ
プロピル基、アミノプロピル基、ニトロフェニルエチル基、ピレニルエチル基、ジエチル
アミノエチル基、スルホプロピル基、カルボキシル基、カルボキシメチル基、スルホキシ
エチル基、オルトリン酸基、ジエチル（２−ヒドロキシプロピル）アミノエチル基、フェ
ニル基、イミノジ酢酸基、エチレンジアミン、硫黄原子を含むキレート形成基、例えば、
各種メルカプト基、ジチオカルバミン酸基、チオ尿素基などの官能基や、アビジン、ビオ
チンゼラチン、ヘパリン、リジン、ニコチンアミドアデニンジヌクレオチド、プロテイン
Ａ、プロテインＧ、フェニルアラニン、ヒママメレクチン、デキストラン硫酸、アデノシ
ン５’リン酸、グルタチオン、エチレンジアミン二酢酸、プロシオンレッド、アミノフェ
ニルホウ酸、牛血清アルブミン、ポリヌクレオチド（例えばＤＮＡ）、タンパク質（例え
ば抗体）等の原子団が挙げられる。これらは単独で用いられてもよいし、２種類以上が同
時に用いられてよい。
【００３８】
又、上記担体としては、例えば、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体、ポリメタクリ
レート樹脂、ポリヒドロキシメタクリレート樹脂、ポリビニルアルコール、シリカ、アル
ミナなどの液体クロマトグラフィーで用いられる担体材料、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン及びエチレンープロピレン共重合体等に代表されるポリオレフィン；エチレンーテトラ
フルオロエチレン共重合体、エチレンークロロトリフルオロエチレン共重合体に代表され
るオレフィン−ハロゲン化オレフィン共重合体；ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ
化ビニリデン、ポリクロロトリフルオロエチレン等に代表されるハロゲン化ポリオレフィ
ン及びポリスルホン等；セルロース系の多孔膜等の多孔質膜材料、綿や麻などの植物性繊
維；絹や羊毛などの動物性繊維に代表される各種の天然繊維あるいは再生繊維；ポリエス
テル繊維やポリアミド繊維等の各種合成繊維等の繊維状材料、多孔質セラミック、多孔質
ガラス等のモノリス型多孔質無機材料あるいは；ポリアクリルアミドゲル、スチレンジビ
ニルベンゼン共重合体等を多孔質化したモノリス型多孔質有機材料が挙げられる。
【００３９】
上記担体は、その表面を耐薬品性の改善あるいは、圧力損失の低下、分離性能の改善な
どを目的として各種表面修飾剤で処理されてもよい。又、これらは単独で用いられてもよ
いし、２種類以上が同時に用いられてよい。
【００４０】
官能基や原子団の担体への固定化方法は、特に限定されず、例えば、担体中に含まれる
官能基、例えば、水酸基、カルボキシル基、アルデヒド基、アミノ基などと官能基を直接
反応させる方法、酸無水物などの架橋剤で担体を処理し、官能基を架橋剤と反応させる方
法等が挙げられる。
【００４１】
上記担体の形状は、特に限定されないが、圧力損失の低下が少なく、液体試料と担体の
接触効率が高いほうが好ましいので、粒状あるいはモノリス状が好ましい。
【００４２】
又、粒状の場合、大きさは特に限定されないが、液体試料と担体を効率的に接触させる
ためには、その直径が微細流路の断面の短径以下が好ましく、より好ましくは、その１／
２以下である。
【００４３】
液体クロマトグラフ用カラム部の上流側入口付近及び下流側出口付近に、液体クロマト
グラフ用カラム部に充填された液体クロマトグラフ用充填材が、液体クロマトグラフ用カ
ラム部から流出することを防止するためにフィルターが設置されてもよく、フィルターは
上記液体クロマトグラフ用充填材の微粒子の平均粒径以下の孔径を有するのが好ましい。
【００４４】
上記フィルターの材料としては、カラム部に充填されている液体クロマトグラフ用充填
材の微粒子の平均粒径以下の孔径を有し、液体クロマトグラフで使用される溶媒に対して
溶解しない材料であれば、特に限定されず、例えば、ステンレス、ガラス、シリカ、ポリ
エーテルエーテルケトン、ポリビニリデンジフロライド、ポリテトラフルオロエチレン、
ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、セルロース混合エステル、ポリエチ
レンテレフタレート等が挙げられる。
【００４５】
上記材料を主材料とするメンブレンフィルター、ガラス繊維濾紙、モノリス状ガラス、
モノリス状ポリマーを適当なフィルター形状、例えば短冊状に切断、あるいは同形状に成
形することにより、簡便にフィルターを作製できる。
【００４６】
上記材料を前述の孔径を有する状態で、例えば、短冊状に成形することにより、フィル
ターとして使用することができる。
【００４７】
液体試料や溶離液を液体クロマトグラフに供給する際には液体試料や溶離液は層流の状
態で供給されるのが好ましいが、フィルターの厚みが厚くなると、液体試料や溶離液の流
れが乱され、乱流になり易いので、フィルターの厚みは１ｍｍ以下が好ましい。
【発明の効果】
【００４８】
請求項１記載のマイクロリアクターの構成は上述の通りであり、位置決めが容易であり
容易に製造することができる。又、接着剤で接着しても接着剤が微細流路に流れ込むこと
がないので微細流路が詰まることかなく、設計通りのマイクロリアクターを製造すること
ができる。
【００４９】
請求項２記載のマイクロリアクターの構成は上述の通りであり、位置決めが容易であり
容易に製造することができる。又、接着剤で接着しても接着剤が微細流路及び液体クロマ
トグラフ用カラム部に流れ込むことがないので微細流路及び液体クロマトグラフ用カラム
部が詰まることかなく、設計通りのマイクロリアクターを製造することができる。
【００５０】
請求項３記載のマイクロリアクターの構成は上述の通りであり、位置決めがより容易で
あり、強固に積層することができる。
【００５１】
請求項４記載のマイクロリアクターの構成は上述の通りであり、空隙部に余分の接着剤
を収納することができ、微細流路及び液体クロマトグラフ用カラム部に流れ込むことがよ
り確実に制御でき微細流路及び液体クロマトグラフ用カラム部が詰まることかなく、設計
通りのマイクロリアクターを製造することができる。
【００５２】
請求項５記載のマイクロリアクターの構成は上述の通りであり、下部基板に形成されて
いる凸部により形成された凹部に、上部基板に形成されている凸部に水密に嵌合されてい
るので、接着剤が微細流路及び液体クロマトグラフ用カラム部に流れ込むことがより確実
に制御でき微細流路及び液体クロマトグラフ用カラム部が詰まることかなく、設計通りの
マイクロリアクターを製造することができる。
【００５３】
請求項６記載のマイクロリアクターの構成は上述の通りであり、接着剤により上部基板
と下部基板は接着されているので強固に積層されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５４】
次に本発明の実施例を説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。
【実施例】
【００５５】
（実施例１）
図２はマイクロリアクターの一例を示す平面説明図である。下部基板１には凸部４、微
細流路用凹部３、液体クロマトグラフ用カラム部凹部及びフィルター部凹部が形成され、
上部基板２には凹部５及び凸部６が形成され、両者を重ね合わせ、各凹部に当接する凸部
を嵌入することにより、高さ３００μｍ、幅３００μｍの断面形状が長方形の液体クロマ
トグラフ用カラム部９及び液体クロマトグラフ用カラム部９の上流側と下流側にフィルタ
ー部１０、１０が形成されている。又、高さ２００μｍ、幅２００μｍの断面形状が長方
形の微細流路７が、フィルター部１０の上流側と下流側に接続して形成され、液体クロマ
トグラフ用カラム部９、フィルター部１０及び微細流路７の周囲には高さ１０μｍ、幅１
０００μｍの断面形状が長方形の空隙部８が形成されている。
【００５６】
アクリル製の下部基板１にディスペンサーを用いて紫外線硬化接着剤を塗布した上に、
アクリル製の上部基板に２を重ね合わせ、各凹部に当接する凸部を嵌入した後、治具で固
定した状態で紫外線を照射して接着したところ、空隙部８に接着剤が流れ込むことにより
、その空隙部８はほぼ埋め尽くされていた。
【００５７】
（比較例１）
微細流路用凹部３、液体クロマトグラフ用カラム部凹部及びフィルター部凹部が形成さ
れたアクリル製の下部基板１にディスペンサーを用いて紫外線硬化接着剤を塗布した上に
、平板である、アクリル製の上部基板２を重ね合わせ、治具で固定した状態で紫外線を照
射して接着したところ、５回接着したうちの１回は微細流路に接着剤が流れ込んで微細流
路が閉鎖されていた。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明のマイクロリアクターの一例を示す要部断面図である。
【図２】本発明のマイクロリアクターの一例を示す平面説明図である。
【符号の説明】
【００５９】
１    下部基板
２    上部基板
３    微細流路用凹部
４    凸部
５    凹部
６    凸部
７    微細流路
８    空隙部
９    カラム部
１０  フィルター部
【図１】
2006112836.tif 000003
【図２】
2006112836.tif 000004