(57)【要約】【課題】  イベントの発生が増大しても、負荷の増大を抑制して、応答性に優れた自動制御システムを提供する。【解決手段】  複数の分散システムのいずれかのイベントの発生に基づいて、中央管理システム１１で直接ＪＯＢキューを生成して貯え、該直接ＪＯＢキューに基づいてイベントに対応する被制御側の分散システムを起動する自動制御システムであって、分散システムでのイベントの発生毎に状態変化記録キューを生成して貯え、状態変化記録キューの中から時間の経過とともに不要となる状態変化記録を抹消し、抹消後の状態変化記録キューに基づいて直接ＪＯＢキューを生成する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の分散システムのいずれかのイベントの発生に基づいて、中央管理システムで直接ＪＯＢキューを生成して貯え、該直接ＪＯＢキューに基づいて前記イベントに対応する被制御側の分散システムを起動する自動制御システムであって、
前記分散システムでのイベントの発生毎に状態変化記録キューを生成して貯え、前記状態変化記録キューの中から時間の経過とともに不要となる状態変化記録を抹消し、抹消後の状態変化記録キューに基づいて前記直接ＪＯＢキューを生成することを特徴とする自動制御システムの負荷安定化方法。
【請求項２】
前記中央管理システム及び被制御側の分散システムの負荷に応じて前記状態変化記録キューを貯える貯留時間を調整し、該貯留時間中に不要となる状態変化記録を抹消することを特徴とする請求項１記載の自動制御システムの負荷安定化方法。
【請求項３】
前記状態変化記録キューをグループ化し、当該グループ毎に前記直接ＪＯＢキューを生成することを特徴とする請求項１又は２記載の自動制御システムの負荷安定化方法。
【請求項４】
グループ化した状態変化記録キューで起動されるイベント毎に、起動済フラグを設定し、該起動済フラグに基づいてイベントの重複起動を阻止することを特徴とする請求項３記載の自動制御システムの負荷安定化方法。
【請求項５】
前記中央管理システム及び被制御側の分散システムの負荷の状態を負荷環境パラメータに格納し、該負荷環境パラメータに基づいて、前記イベントの発生により前記状態変化記録キューと前記直接ＪＯＢキューのいずれを生成するかを振り分けることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の自動制御システムの負荷安定化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数の分散システムの動作を一元管理する自動制御システムの負荷安定化方法に関するものである。
連続終日稼動の完全自動化システムでは、複数の分散システムの状態を中央管理システムで監視しながら、起動動作と終了動作とを自動制御する。このような完全自動化システムでは、各分散システムを一定時間毎に起動する時間単位起動方式あるいは各分散システムの状態が変化する毎に起動するイベント駆動方式で負荷の安定化を図っている。そして、このような負荷安定化機能をさらに発展させて、負荷集中による中央管理システムでの処理効率の低下を防止する必要がある。
【背景技術】
【０００２】
図１３は、完全自動化システムの一例を示す。中央管理システム１には多数の分散システム２が接続され、各分散システムの開始条件及び終了条件に基づいて、各分散システム２の開始動作及び終了動作が中央管理システム１により連続終日稼動で自動制御される。
【０００３】
図１４は、完全自動化システムの一例として半導体の製造データ変換処理システムを示す。システムＡ〜Ｄは分散システムであり、システムＡ〜Ｃの情報に基づいて、システムＤが中央管理システム１で自動起動される場合を示す。例えば、システムＡはオーダー管理システムであり、システムＢは領域管理システム、システムＣは製造パラメータ管理システムであり、システムＤは設計データとシステムＡ〜Ｃの情報とに基づいて製造データを作成するシステムである。
【０００４】
そして、中央管理システム１はシステムＡ〜Ｃで必要となる情報がすべて揃うと、システムＤにシステム起動ＪＯＢキューを出力し、システムＤはそのＪＯＢキューに基づいて設計データから製造データを生成する処理を開始する。
【０００５】
図１５は、図１４に示す完全自動化システムにおける従来の時間単位起動方式の動作を示す。中央管理システム１は、システムＡ〜Ｃで必要な情報が揃ったか否かを一定時間毎にシステムＡ〜Ｃに問い合わせ（ステップ１〜３）、必要な情報が揃った時点でその情報を取り込み（ステップ４）、システムＤを起動する直接ＪＯＢキューを生成して貯めていく（ステップ５）。
【０００６】
図１６は、図１４に示す完全自動化システムにおける従来のイベント駆動方式の動作を示す。中央管理システム１は、システムＡ〜Ｃでイベント（状態変化）が発生したか否かを監視し（ステップ１１）、イベントの発生を受信すると、システムＡ〜Ｃで必要な情報が揃ったか否かをシステムＡ〜Ｃに問い合わせる（ステップ１２）。そして、システムＡ〜Ｃで必要な情報が揃った時点で情報を取り込み（ステップ１４）、システムＤを起動する直接ＪＯＢキューを生成して貯めていく（ステップ１５）。
【０００７】
いずれの方式においても、各分散システムの状況に応じて中央管理システムの応答性を損なわず、かつ中央管理システム及び各分散システムの負荷を軽減することが望ましい。
特許文献１には、上記のような完全自動化システムに類似するデータベースシステムが開示されている。
【特許文献１】特開２００１−１４３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のような時間単位起動方式で動作するシステムでは、分散システムでのイベントの発生の有無に関わらず、システムＡ〜Ｃで必要な情報が揃ったか否かを一定時間毎にシステムＡ〜Ｃに問い合わせるため、中央管理システム１において、その問い合わせのための処理工数が増大する。
【０００９】
すなわち、システムＡ〜Ｃで必要な情報が揃ってから、直接ＪＯＢキューの生成までの応答性を向上させようとすると、問い合わせを行う時間間隔を短くする必要があるが、これは問い合わせのための処理工数が増大することになる。一方、問い合わせを行う時間間隔を長くすると、応答性が低下する。また、システムＡ〜Ｃでイベントが発生したか否かを無限に検出し続ける必要がある。
【００１０】
従って、応答性を十分に確保しようとすると、中央管理システム１の負荷が増大するという問題点がある。
一方、イベント駆動方式では、システムＡ〜Ｃにイベントが発生した場合にのみ問い合わせを行うため、中央管理システム１による無駄な問い合わせがなくなり、負荷の増大が抑制される。
【００１１】
また、イベントの発生に応じて直接ＪＯＢキューが生成されるため、時間単位起動方式に比して応答性に優れているとともに、直接ＪＯＢキューの生成後にシステムＡ〜Ｃで情報の差し替えが発生しても、その新たなイベントの発生に基づいて直接ＪＯＢキューを新たに生成することも可能である。
【００１２】
しかし、イベントの発生に応じて問い合わせ回数及び直接ＪＯＢキューを生成する回数が増大するため、システムＤを自動起動するためのイベントの発生が増大すると、中央管理システム１の負荷が増大するという問題点がある。
【００１３】
この発明の目的は、イベントの発生が増大しても、負荷の増大を抑制して、応答性に優れた自動制御システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的は、複数の分散システムのいずれかのイベントの発生に基づいて、中央管理システムで直接ＪＯＢキューを生成して貯え、該直接ＪＯＢキューに基づいて前記イベントに対応する被制御側の分散システムを起動する自動制御システムであって、前記分散システムでのイベントの発生毎に状態変化記録キューを生成して貯え、前記状態変化記録キューの中から時間の経過とともに不要となる状態変化記録を抹消し、抹消後の状態変化記録キューに基づいて前記直接ＪＯＢキューを生成する自動制御システムの負荷安定化方法により達成される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、イベントの発生が増大しても、負荷の増大を抑制して、応答性に優れた自動制御システムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。この実施の形態は、図１４に示す半導体の製造データ変換処理システムと同様なシステムを示し、中央管理システム１１の機能を除いて、図１４に示す構成と同様である。
【００１７】
図１に示す中央管理システム１１は、基本的にイベント駆動方式で動作し、従来例と同様にシステムＡ〜Ｃでのイベントの発生に基づいて直接ＪＯＢキューを生成する機能と、システムＡ〜Ｃでのイベントの発生に基づく状態変化記録キューを生成する機能と、不要となる状態変化記録を抹消する機能とを備える。
【００１８】
中央管理システム１１は、あらかじめ備えられる状態変化データベースの検索機能を利用して、イベント発生に基づいて状態変化記録キュー（ＪＯＢとしての状態変化記録を含む）を生成する。以下、中央管理システム１１の状態変化記録キューの生成機能について説明する。
【００１９】
図２は、システムＡ〜Ｃの複数の情報に基づいて状態変化記録キューを生成する基本的動作の一例を示し、システムＡのＡ１〜Ａ３項目と、システムＢのＢ１，Ｂ２項目と、システムＣのＣ１〜Ｃ４項目とに基づいてＪＯＢキューを生成する場合を示す。
【００２０】
まず、システムＡ〜Ｃにおいて各項目の情報が揃うと、その情報は中央管理システム１１に順次取り込まれて保持される。このとき、システムＡ〜Ｃの各項目の情報は、システムＤを起動するために必要な情報であるため、Ａ１〜Ａ３項目、Ｂ１，Ｂ２項目、Ｃ１〜Ｃ４項目をすべて共通のＬＡグループとする。
【００２１】
すると、図３に示すように、システムＡ〜Ｃにおいて必要な情報が揃い、システムＡ〜Ｃにおいて１回ずつイベントの変化があったことに基づいて、ＬＡグループに状態変化有りとする３つの状態変化記録キュー(1)〜(3)が生成される。
【００２２】
次いで、例えば１０分後にシステムＡの項目Ａ２が変更されると、ＬＡグループに状態変化有りとする４つ目の状態変化記録キュー(4)が生成される。また、さらに５０分後にシステムＢの項目Ｂ１が変更されると、ＬＡグループに状態変化有りとする５つ目の状態変化記録キュー(5)が生成される。また、さらに３０分後にシステムＣの項目Ｃ４が変更されると、ＬＡグループに状態変化有りとする６つ目の状態変化記録キュー(6)が生成される。
【００２３】
ここで、各状態変化記録キュー(1)〜(6)の生成毎に直接ＪＯＢキューを生成すれば、通常のイベント駆動方式と同一となるが、本実施の形態では、後述の負荷環境パラメータに基づいて、システムＤの負荷が高くなるにつれて、中央管理システム１１の負荷を低くするために、直接ＪＯＢキューの生成回数を削減する。すなわち、状態変化記録キュー(1)〜(3)が生成されてから９０分後の最後の状態変化記録キュー(6)に基づいて直接ＪＯＢキューを生成すれば、システムＤでは最新の情報に基づいて所要の製造データの生成が可能であるからである。
【００２４】
しかし、通常の場合には、変更の終わりを予知できないため、最後の状態変化を判断することが難しい。
従って、状態変化記録キュー貯留時間を負荷に応じて調整し、その貯留時間中において必要となる最後の状態変化記録キューに基づいて直接ＪＯＢキューを生成する。
【００２５】
図４は、システムＡ〜ＣとシステムＥの情報に基づいて、複数の製品のための製造データを生成する場合の状態変化記録キューの生成動作を示す。この場合、システムＡ〜Ｃからの３つのグループＬＡ〜ＬＣの情報に基づいて、３種類の製造データをシステムＤで生成する。システムＥの情報は各グループＬＡ〜ＬＣについて共通に使用される情報である。
【００２６】
図５は、このような場合において、システムＥの情報が３回変更になった場合の状態変化記録キューを示す。同図に示すように、システムＥの情報の３回の変更により、各グループＬＡ〜ＬＣについて３つずつの状態変化記録キューが生成される。
【００２７】
この場合には、後述の負荷環境パラメータにより、少なくとも状態変化記録キュー(7)〜(9)に基づいて直接ＪＯＢキューを生成すれば各グループＬＡ〜ＬＣに対応する製造データをシステムＤで生成可能である。もちろん、状態変化記録キュー(1)〜(9)に基づいて、直接ＪＯＢキューを９回生成することも可能である。
【００２８】
図６は、図５に示す動作において、各グループＬＡ〜ＬＣを１つのオーダー０００１グループとして定義する場合を示す。このように定義すると、各グループＬＡ〜ＬＣが１つのグループとして認識されるので、各グループＬＡ〜ＬＣを独立したグループとした場合の９つの状態変化記録キュー(1)〜(9)が、システムＥの情報の３回の変更による３つの状態変化記録キュー(11)〜(13)に集約される。
【００２９】
従って、システムＥの情報の３回の変更により直接ＪＯＢキューが３回だけ生成されることにより中央管理システム１１の負荷が軽減される。
もちろん、負荷に応じて、最後の状態変化記録キュー(13)に基づいて直接ＪＯＢキューを１回だけの生成にすることも可能である。
【００３０】
しかし、このような場合には、例えばグループＬＡでのみ状態変化が発生した場合にも、すべてのグループＬＡ〜ＬＣについて状態変化記録キューが生成されて、直接ＪＯＢキューが生成されることになるため、後述の通過フィルター機能を備えることが好ましい。
【００３１】
図７は、中央管理システム１１のフィルター機能の動作を示す。このフィルター機能は、上記のようなオーダー０００１グループを定義した場合、グループＬＡ〜ＬＣの情報に基づいて直接ＪＯＢキューを生成したか否かを示すフラグを設定する。そして、そのフラグが設定されているグループは、他のグループにおいて状態変化が発生しても、当該グループの情報に基づくシステムＤの起動を阻止して、負荷を軽減しようとするものである。
【００３２】
すなわち、イベントの発生に基づいて、状態変化記録キューを生成する（ステップ２１，２２）。次いで、システムＥの情報の変更であるか否かを判別し（ステップ２３）、システムＥの情報の変更である場合には、グループＬＡ〜ＬＣに起動済フラグを設定する（ステップ２４）。そして、システムＤを起動する直接ＪＯＢキューを生成する（ステップ２５）。
【００３３】
ステップ２３において、システムＥの情報の変更ではなく、グループＬＡ〜ＬＣに対し起動済のフラグがすでに設定されているか否かを判別する（ステップ２６）。そして、フラグの設定がない場合には、ステップ２４に移行する。
【００３４】
ステップ２６において、グループＬＡ〜ＬＣに対し起動済のフラグがすでに設定されていて、例えばシステムＡの情報のみが変更された場合には、グループＬＡについては起動済フラグを解除して（ステップ２７）、グループＬＡの変更情報に基づいてシステムＤを起動する直接ＪＯＢキューを生成し（ステップ２８）、グループＬＢ，ＬＣについては直接ＪＯＢキューの生成を行わない。
【００３５】
そして、グループＬＡに対し起動済フラグを設定して（ステップ２９）、動作を終了する。
図８は、負荷環境パラメータに基づくＪＯＢキューの振り分け機能を示す。この機能は、中央管理システム１１に貯められる直接ＪＯＢキュー及び状態変化記録キューの数を調整して、各分散システムを効率よく制御する機能である。
【００３６】
すなわち、イベントの発生に基づいて、直接ＪＯＢキューの貯まっているＪＯＢ状態を取得し（ステップ３１，３２）、外部環境に応じた負荷環境パラメータを自動補正する（ステップ３３）。
【００３７】
負荷環境パラメータは、直接ＪＯＢキューの上限値、その上限値の設定期間、直接ＪＯＢキューの貯留状態等であり、ステップ３３では、直接ＪＯＢキューの上限値を例えば５に設定し、設定期間は９０日とする。そして、ステップ３３では状態変化記録キューが貯まっているにも関わらず、直接ＪＯＢキューの貯留数（未処理数）が０となるタイミングが存在する場合に、直接ＪＯＢキューの上限値を６に再設定する。
【００３８】
一方、直接ＪＯＢキューの上限値を６に設定し、そのまま変更されることのない状態が９０日以上続くと、直接ＪＯＢキューの上限値を５に再設定する。
このような負荷環境パラメータに基づいて、直接ＪＯＢキューの貯留状態を監視し、直接ＪＯＢキューの貯留数が多いとき、すなわち負荷が高いときには状態変化記録キューを生成し、負荷が低いときには直接ＪＯＢキューを生成するように動作する（ステップ３４）。
【００３９】
次に、上記のような機能を備えた中央管理システムの動作を説明する。図９は、図１に示す各システムを起動する中央管理システム１１の基本動作を示す。すなわち、分散システムを起動するための開始条件、すなわち所要の情報が揃うと、中央管理システム１１は起動ＪＯＢを直接ＪＯＢキューとして貯める（ステップ４１）。このとき、直接ＪＯＢキューの貯留状態等が負荷環境パラメータに通知される。
【００４０】
次いで、直接ＪＯＢキューの生成が終了すると、終了したシステムの処理動作が他の分散システムのイベント駆動に影響するか否か、すなわち直接ＪＯＢキューの残留があるか否かを判定する（ステップ４２）。そして、影響がない場合には次の分散システムを起動するための開始条件が揃うまで待機する状態となる。
【００４１】
ステップ３２において、直接ＪＯＢキューの残留はあるがその数が少ない場合には、次の分散システムに対する起動ＪＯＢを直接ＪＯＢキューとして生成する。また、直接ＪＯＢキューの残留数が多い場合には、状態変化記録キューを生成する（ステップ４３）。
【００４２】
そして、状態変化記録キューを貯留し、貯留期間中に不要となる状態変化記録を抹消する（ステップ４４）。
次いで、負荷環境パラメータの状態に応じて、未処理の直接ＪＯＢキューが減少したときに、状態変化記録キューに応じた直接ＪＯＢキューを生成する。このとき、前記フィルター機能により無用な状態変化記録を抹消して、直接ＪＯＢキューを生成する（ステップ４５）。
【００４３】
図１０〜図１２は、図２に示す半導体の製造データ変換処理システムにおける具体的動作を示す。
図１０は、システムＤに対する負荷が低い場合を示す。この場合には、(1)から(6)の６回のイベントに対し、中央管理システム１１ではそれぞれ６回の問い合わせをシステムＡ〜Ｃに行い、このうち必要な情報が揃う(3)〜(6)の４回のイベントに対し、直接ＪＯＢキューを生成し、システムＤを４回起動する。
【００４４】
図１１は、システムＤに対する負荷が高い場合を示す。この場合には、(1)から(6)の６回のイベントに対し、中央管理システム１１ではそれぞれ状態変化記録キューを生成して貯え、最後のイベント(6)に対してのみ状態変化記録キューに基づいてシステムＡ〜Ｃに問い合わせを行い、直接ＪＯＢキューを生成し、システムＤを１回起動する。
【００４５】
図１２は、システムＤに対する負荷が高い状態あるいは低い状態に変化する場合を示す。すなわち、(1)(2)のイベントでシステムＤに対する負荷が高いと、中央管理システム１１ではそれぞれ状態変化記録キューを生成して貯える。また、(3)(4)のイベントでシステムＤに対する負荷が低いと、中央管理システム１１ではそれぞれ問い合わせを行い、直接ＪＯＢキューを生成してシステムＤを起動する。さらに、(5)(6)のイベントでシステムＤに対する負荷が高いと、中央管理システム１１ではそれぞれ状態変化記録キューを生成して貯え、最後のイベント(6)に対してのみ状態変化記録キューに基づいてシステムＡ〜Ｃに問い合わせを行い、直接ＪＯＢキューを生成し、システムＤを起動する。
【００４６】
従って、システムＤに対する負荷が高い図１１、図１２の場合には、図１０に示す負荷が低い場合に比して、中央管理システム１１の問い合わせ回数及びシステムＤの起動回数が削減される。
【００４７】
上記のような自動制御システムでは、次に示す作用効果を得ることができる。
（１）イベントの発生に基づいて、状態変化記録キューを生成し、その状態変化記録キューの中から時間の経過とともに不要となるものを抹消し、抹消後の状態変化記録キューに基づいて直接ＪＯＢキューを生成するので、イベントの増加にともなう負荷の増大を抑制することができる。
（２）従来のイベント駆動方式と同様に、イベントの発生に基づいてシステムの起動を行うことができるので、イベントの発生に対する応答性を確保することができる。
（３）イベントの発生により生成する状態変化記録キューをグループ化することにより、イベントの増加にともなう負荷の増大を抑制することができる。
（４）状態変化記録キューに基づいて直接ＪＯＢキューを生成するとき、フィルター機能により、状態変化記録キューのグループ化に起因するシステムの重複起動を防止することができる。
（５）負荷環境パラメータに基づいて、イベントの発生により状態変化記録キューを生成するか、直接ＪＯＢキューを生成するかを選択することができるので、負荷の状態に応じた負荷安定化機能を備えることができる。
【００４８】
上記実施の形態は、次に示すように変更してもよい。
・半導体の製造データ変換処理システム以外の完全自動化システムにも同様に実施してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】半導体の製造データ変換処理システムを示すブロック図である。
【図２】中央管理システムの動作を示す説明図である。
【図３】状態変化記録キューを示す説明図である。
【図４】状態変化記録キューの生成動作を示す説明図である。
【図５】状態変化記録キューを示す説明図である。
【図６】状態変化記録キューを示す説明図である。
【図７】フィルター機能の動作を示すフローチャートである。
【図８】負荷環境パラメータに基づくＪＯＢキューの振り分け動作を示すフローチャートである。
【図９】中央管理システムの基本動作を示すフローチャートである。
【図１０】製造データ変換処理システムの具体的動作を示す説明図である。
【図１１】製造データ変換処理システムの具体的動作を示す説明図である。
【図１２】製造データ変換処理システムの具体的動作を示す説明図である。
【図１３】完全自動化システムを示すブロック図である。
【図１４】従来の製造データ変換処理システムを示すブロック図である。
【図１５】従来の時間単位駆動方式の動作を示すフローチャートである。
【図１６】従来のイベント駆動方式の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５０】
２        分散システム
１１      中央管理システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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