(57)【要約】【課題】薄板支持容器を載置台に載置する際に、位置ずれを補修して正確に位置決めする。【解決手段】半導体ウエハ等を内部に収納する容器本体２２と、この容器本体２２に設けられて容器本体２２を載置台に載置してその内部の半導体ウエハ等を出し入れするために容器本体２２を上記載置台の設定位置に位置決めする位置決め手段２３とを備えた薄板支持容器２１である。上記位置決め手段２３は、上記載置台の嵌合突起に嵌合する嵌合溝２４と、当該嵌合溝２４が上記嵌合突起に嵌合した状態で当該嵌合突起に接触する傾斜面２５とを備えた。上記傾斜面２５は、上記嵌合突起との接触面積を小さくして摩擦抵抗を低減するようにシボ加工を施した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板を内部に収納する容器本体と、当該容器本体に設けられて当該容器本体を載置台に載置してその内部の薄板を出し入れするために当該容器本体を上記載置台の設定位置に位置決めする位置決め手段とを備えた薄板支持容器であって、
上記位置決め手段が、上記載置台に設けられた嵌合突起に嵌合する嵌合溝と、当該嵌合溝が上記嵌合突起に嵌合した状態で当該嵌合突起に接触する傾斜面とを備え、当該傾斜面が摩擦抵抗を低減するように表面加工されたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板支持容器において、
上記位置決め手段の嵌合溝の傾斜面が、上記嵌合突起との接触面積を小さくして摩擦抵抗を低減するように表面加工されたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項３】
請求項１に記載の薄板支持容器において、
上記位置決め手段の嵌合溝の傾斜面が、シボ加工により摩擦抵抗を低減するように表面加工されたことを特徴とする薄板支持容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部の薄板を出し入れするために載置台の設定位置に位置決めする位置決め手段を備えた薄板支持容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
内部に収納された半導体ウエハ等を自動的に出し入れする用途に用いられる薄板支持容器は一般に知られている。このような薄板支持容器では、搬送装置のアーム部の位置と半導体ウエハ等の位置とが整合するように、位置決め手段が備えられている。この位置決め手段を備えた薄板支持容器の例としては特許文献１のようなものが知られている。この薄板支持容器を図２〜４を基に説明する。
【０００３】
図示する薄板支持容器１は、内部に半導体ウエハ（図示せず）を複数枚収納する容器本体２と、この容器本体２内の対向する側壁にそれぞれ設けられ、内部に収納された半導体ウエハを両側から支持する２つの薄板支持部(図示せず)と、容器本体２の開口２Ｆを塞ぐ蓋体４と、必要に応じて搬送装置（図示せず）の腕部で把持されるトップフランジ５と、作業者が手で薄板支持容器１を持ち運ぶときに掴む持ち運び用ハンドル６とから構成されている。
【０００４】
容器本体２は、全体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体２は縦置き状態（図示した状態）で、周囲の壁となる４枚の側壁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄと底板部(図示せず)とから構成され、その上部に開口２Ｆが設けられている。この容器本体２は、半導体ウエハの製造ライン等においてウエハ搬送用ロボット（図示せず）に対向して据え付けられるときには、横置きにされる。この横置き状態で底部となる側壁部２Ａの外側には、薄板支持容器１の位置決め手段１１が設けられている。横置き状態で天井部となる側壁部２Ｂの外側にはトップフランジ５が着脱自在に取り付けられている。横置き状態で横壁部となる側壁部２Ｃ，２Ｄの外側には持ち運び用ハンドル６が着脱自在に取り付けられている。
【０００５】
位置決め手段１１は、側壁部２Ａに設けられている。この位置決め手段１１は主に３本の嵌合溝１２によって構成されている。各嵌合溝１２は、容器本体２の縦方向に整合する第１嵌合溝１２Ａと、容器本体２の縦方向に対して同じ角度（ほぼ６０度）だけ傾斜させた第２及び第３嵌合溝１２Ｂ，１２Ｃとから構成されている。これら３本の嵌合溝１２は規格に合わせて精密な寸法精度で仕上げられている。各嵌合溝１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃは、その内壁を傾斜面１３で構成され、この傾斜面１３が載置台側の嵌合突起（図示せず）に直接に接触するようになっている。そして、各嵌合溝１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃが載置台側の嵌合突起に嵌合することによって、傾斜面１３が嵌合突起に接触してスライドして、各嵌合溝１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃの中心位置が嵌合突起の中心位置に整合するようになっている。この各嵌合溝１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃと嵌合突起との整合により、薄板支持容器１が正確な位置に設置されて、ウエハ搬送用ロボットのアーム部が半導体ウエハを支持して出し入れするようになっている。
【特許文献１】ＷＯ９９／３９９９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記薄板支持容器では、各嵌合溝１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃの傾斜面１３は、平坦面状に形成されている。このため、傾斜面１３と載置台側の嵌合突起との接触面積が大きくなってしまう。
【０００７】
一方、薄板支持容器の構成材料には、ポリカーボネート等のように、摩擦抵抗が大きいものもあるため、傾斜面１３と載置台側の嵌合突起との接触面積が大きいと、摩擦抵抗も大きくなってしまう。この結果、傾斜面１３と載置台側の嵌合突起とが滑りづらくなって、薄板支持容器を容易に位置決めすることができなくなることがある。
【０００８】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、位置決めを容易にかつ正確に行うことができる薄板支持容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、第１の発明に係る薄板支持容器は、薄板を内部に収納する容器本体と、当該容器本体に設けられて当該容器本体を載置台に載置してその内部の薄板を出し入れするために当該容器本体を上記載置台の設定位置に位置決めする位置決め手段とを備えた薄板支持容器であって、上記位置決め手段が、上記載置台に設けられた嵌合突起に嵌合する嵌合溝と、当該嵌合溝が上記嵌合突起に嵌合した状態で当該嵌合突起に接触する傾斜面とを備え、当該傾斜面が摩擦抵抗を低減するように表面加工されたことを特徴とする。
【００１０】
上記位置決め手段の嵌合溝の傾斜面は、上記嵌合突起との接触面積を小さくして摩擦抵抗を低減するように、シボ加工等の表面加工することが望ましい。
【発明の効果】
【００１１】
上記位置決め手段の嵌合溝の傾斜面を、シボ加工等により摩擦抵抗を低減するように表面加工を施したので、上記位置決め手段の嵌合溝を嵌合突起に嵌合させると、上記位置決め手段の嵌合溝の傾斜面が上記嵌合突起に対してスムーズに滑って、薄板支持容器を正確に位置決めすることができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態に係る薄板支持容器を添付図面を参照しながら説明する。
【００１３】
本発明の薄板支持容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納、保管、輸送する容器に用いて好適な容器である。本実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板支持容器を例に説明する。本実施形態に係る薄板支持容器の全体構成は、前述した従来の薄板支持容器とほぼ同様である。以下に、概略的に説明する。
【００１４】
本実施形態に係る薄板支持容器２１は、図１に示すように主に、内部に半導体ウエハ（図示せず）を複数枚収納する容器本体２２と、この容器本体２２内に対向して設けられ、半導体ウエハを支持する２つの薄板支持部(図示せず)と、容器本体２２を塞ぐ蓋体(図示せず)とを備えている。
【００１５】
容器本体２２は、その全体形状を従来の薄板支持容器１の容器本体２と同様に構成されている。そして、横置き状態で底部となる側壁部２２Ａの外側には、薄板支持容器２１の位置決め手段２３が設けられている。
【００１６】
位置決め手段２３は、側壁部２２Ａに設けられている。この位置決め手段２３は主に３本の嵌合溝２４によって構成されている。各嵌合溝２４は、容器本体２２の縦方向に整合する第１嵌合溝２４Ａと、容器本体２２の縦方向に対して同じ角度（ほぼ６０度）だけ傾斜させた第２及び第３嵌合溝２４Ｂ，２４Ｃとから構成され、これらは規格に合わせた精密な寸法精度で仕上げられている。各嵌合溝２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃは、載置台側の嵌合突起（図示せず）に嵌合するための溝で、その内壁を傾斜面２５で構成されている。この傾斜面２５が載置台の嵌合突起に直接に接触するようになっている。各嵌合溝２４は、側壁部２２Ａの表面に一体的に設けられた傾斜板２６によって構成されている。２枚の傾斜板２６を対向して配置することで、各嵌合溝２４及び各傾斜面２５を構成している。傾斜板２６は、弾性を有し、載置台の嵌合突起に接触することで、多少撓むようになっている。
【００１７】
傾斜面２５の表面は、接触面積を小さくして摩擦抵抗を低減するように表面加工されている。具体的には、傾斜面２５の表面にシボ加工を施して、摩擦抵抗を低減するようにしている。なお、シボ加工によって傾斜面２５の表面を梨地等の凹凸状態にしてもよく、無数の細かい溝を形成してもよい。細かい溝の場合は、傾斜面２５に沿って嵌合突起がずれる方向に形成する。また、傾斜面２５の表面に、断面が円弧状、三角形状、又は台形状で、その稜線方向に垂直な微細な溝を、規則的に又は不規則に形成してもよい。さらに、半球状、錐体状、錐体台状の突起を規則的に又は不規則に表面に形成してもよい。さらに、これら各形状の溝及び突起を適宜組み合わせてもよい。
【００１８】
［動作］
以上のように構成された薄板支持容器２１は、次のようにして使用される。
【００１９】
薄板支持容器２１に対して半導体ウエハを自動的に出し入れする場合は、薄板支持容器２１を載置台に載置される。このとき、容器本体２２の位置決め手段２３が載置台上の嵌合突起に嵌合される。具体的には、嵌合溝２４が嵌合突起に嵌合してその傾斜面２５が嵌合突起に接触する。
【００２０】
このとき、薄板支持容器２１が設定位置からずれた状態で載置台に載置されたときは、嵌合突起が傾斜面２５に対してずれてしまう。そして、このずれた状態で、そのまま薄板支持容器２１が載置台に置かれると、薄板支持容器２１の重さで、傾斜面２５が嵌合突起に対してスムーズに滑って位置ずれを補修して、嵌合溝２４を正確な位置にずらす。このとき、傾斜板２６が弾性的に撓んで、傾斜面２５と嵌合突起との接触部分で押圧力が必要以上に高くなって摩擦抵抗が大きくなり過ぎるのを抑えて、傾斜面２５の嵌合突起に対するスムーズな滑りを確保している。これにより、傾斜面２５の嵌合突起に対する滑りが、３つの嵌合溝２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃでそれぞれ起こり、薄板支持容器２１が正確に位置決めされる。
【００２１】
その後は、ウエハ搬送用ロボットのアーム部が半導体ウエハを支持して、薄板支持容器２１に対して出し入れを行う。
【００２２】
［効果］
以上のように、位置決め手段２３の嵌合溝２４の傾斜面２５を、シボ加工等により摩擦抵抗を低減するように表面加工を施したので、嵌合溝２４の傾斜面２５が載置台の嵌合突起に嵌合されると、これら傾斜面２５と嵌合突起とがスムーズに滑って、薄板支持容器を正確にかつ容易に位置決めすることができるようになる。
【００２３】
また、傾斜面２５を、弾性的に撓み得る傾斜板２６で構成したので、傾斜面２５と嵌合突起との接触部分で押圧力が必要以上に高くなっても、傾斜板２６が弾性的に撓んで摩擦抵抗が大きくなり過ぎるのを抑えて、傾斜面２５の嵌合突起に対するスムーズな滑りを確保することができる。この結果、薄板支持容器を確実に位置決めすることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態に係る薄板支持容器を示す正面図である。
【図２】従来の薄板支持容器を示す斜視図である。
【図３】従来の薄板支持容器をその蓋体を外した状態で示す斜視図である。
【図４】従来の薄板支持容器を示す正面図である。
【符号の説明】
【００２５】
２１：薄板支持容器、２２：容器本体、２３：位置決め手段、２４：嵌合溝、２４Ａ：第１嵌合溝、２４Ｂ：第２嵌合溝、２４Ｃ：第３嵌合溝、２５：傾斜面、２６：傾斜板。
【図１】
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【図２】
2006351604.tif 000004
【図３】
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【図４】
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