(57)【要約】【課題】簡単な方法で、被貼着物に気泡を生ずることなく貼着することができる可撓性粘着フィルムの貼着方法を提供する。【解決手段】可撓性粘着フィルム１２ａの先端をセパレータ１２ｂから剥離した後、位置決め貼付手段１７で可撓性粘着フィルム１２ａの先端を貼着開始位置Ｓに貼着するとともに、セパレータ１２ｂを引っ張る。次に、可撓性粘着フィルム１２ａをＵ字型に撓みＴを形成して矢印ａ方向に折り返した状態で押当ローラ１９とリードフレーム１５を載置したワーク吸着台１６とを所定のクリアランスＣＬで接近させる。そして、ワーク吸着台１６を可撓性粘着フィルム１２ａの先端方向（矢印ａ方向）に所定の速度で搬送することによって、リードフレーム１５を矢印ａ方向に所定の速度で搬送する。これと同時に、セパレータ１２ｂをリードフレーム１５の搬送方向（矢印ａ方向）と逆方向（矢印ｂ方向）に所定の速度で引っ張る。【選択図】図５
2006089192.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セパレータを伴う可撓性粘着フィルムから前記セパレータを剥離しながら前記可撓性粘着フィルムを被貼着物に貼着する可撓性粘着フィルムの貼着方法において、
前記可撓性粘着フィルムの先端を前記セパレータから剥離した後、前記被貼着物の貼着開始位置に貼着する貼着準備ステップと、
前記可撓性粘着フィルムをＵ字型に撓みを形成して折り返し、前記被貼着物に押し当てた状態で保持する押当ローラと前記被貼着物を搬送する搬送手段とを所定のクリアランスで接近させる撓み形成ステップと、
前記搬送手段にて前記被貼着物を前記可撓性粘着フィルムの先端方向に所定の速度で搬送するとともに、前記セパレータを前記被貼着物の搬送方向と逆方向に前記所定の速度で引っ張るフィルム貼着ステップとを備えることを特徴とする、可撓性粘着フィルムの貼着方法。
【請求項２】
セパレータを伴う可撓性粘着フィルムから前記セパレータを剥離しながら前記可撓性粘着フィルムを被貼着物に貼着する可撓性粘着フィルムの貼付装置において、
前記セパレータを伴う可撓性粘着フィルムを供給する供給手段と、
前記被貼着物を載置して直線状に搬送する搬送手段と、
前記供給手段によって供給された可撓性粘着フィルムから前記セパレータを剥離した状態で折り返して前記被貼着物との間に撓みを形成し、該撓みを一定のクリアランスで保持するとともに前記撓みの反力によって前記可撓性粘着フィルムを前記被貼着物に押し当てる押当手段と、
前記被貼着物の搬送方向と逆方向にセパレータを引っ張る引張手段とを備えることを特徴とする、可撓性粘着フィルムの貼付装置。
【請求項３】
前記供給手段が巻出ローラであり、前記引張手段が巻取ローラであることを特徴とする、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置。
【請求項４】
前記巻出ローラ、前記巻取ローラおよび前記搬送手段が同一の駆動源により駆動されていることを特徴とする、請求項３に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置。
【請求項５】
前記被貼着物の後端にて前記可撓性粘着フィルムを切断する切断手段を備えることを特徴とする、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置。
【請求項６】
前記被貼着物が突起を有し、該突起を収納する凹部を前記搬送手段の上面に設けたことを特徴とする、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置。
【請求項７】
前記搬送手段が複数の前記被貼付物を連続して供給することを特徴とする、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置。
【請求項８】
前記搬送手段に吸着手段を設け、該吸着手段によって前記被貼付物を吸着して搬送することを特徴とする、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置。
【請求項９】
前記供給手段と前記押当手段との間に、前記可撓性粘着フィルムの搬送方向に対して直交する方向の位置を補正する位置補正手段を備えることを特徴とする、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置。
【請求項１０】
セパレータを伴う可撓性粘着フィルムから前記セパレータを剥離しながら前記可撓性粘着フィルムを被貼着物に貼着する可撓性粘着フィルムの貼付装置において、
前記セパレータを伴う可撓性粘着フィルムを供給する供給手段と、
前記被貼着物を載置して直線状に搬送する搬送手段と、
前記供給手段によって供給された可撓性粘着フィルムから剥離された前記セパレータをガイドするガイド手段と、
前記被貼着物の搬送方向と逆方向に向かってセパレータを引っ張る引張手段とを備え、
前記ガイド手段は、剥離位置にて前記セパレータから剥離された前記可撓性粘着フィルムを前記被貼着物面に直行する方向から供給し、弧を描くようにして撓みを形成しながら、該撓みの反力によって前記可撓性粘着フィルムを前記被貼着物に押し当てて貼着することを特徴とする、可撓性粘着フィルムの貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セパレータを伴う可撓性粘着フィルムから前記セパレータを剥離しながら前記可撓性粘着フィルムを被貼着物に貼着する可撓性粘着フィルムの貼付装置および可撓性粘着フィルムの貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ホール素子は、半導体単結晶の基板上に磁気に感応する感磁部と内部電極とを樹脂モールドして形成され、モータの回転制御や位置検出、磁場検出に用いられていて、ＶＴＲやフレキシブルディスク、電流センサー等の広い分野で利用されている。
ＱＦＮ(Quad Flat Non-leaded Package)は、ボンディングワイヤを介して半導体チップと電気的に接続されるリードを樹脂からなる封止体の外周部の裏面（下面）から露出させて端子を構成するため、リードが封止体の側面から横方向に延びて端子を構成するＱＦＰ(Quad Flat Package)に比べて、実装面積が小さくなるという利点を備えている。
【０００３】
このようなＱＦＮの製造方法は、
（１）リードフレームに形成された複数のダイパッド部上に半導体チップを搭載し、半導体チップと複数のリードとをワイヤで接続するワイヤボンディング工程
（２）リードフレームの裏面側（半導体チップが搭載されていない面）にマスキングテープ（可撓性粘着フィルム）を貼着するテープ貼付工程
（３）キャビティが形成された上金型をリードフレームの表面側に備え、フラットな下金型をリードフレームの裏面側に備えて、両者でリードフレームを挟み込み、上金型のキャビティ内に樹脂を充填する樹脂充填工程
（４）リードフレームを切断して複数の封止体を形成する封止体形成工程
などからなる。
【０００４】
従来、上記（２）のテープ貼付工程において、貼り付けたマスキングテープとリードフレームとの間に気泡ができてマスキングテープとリードフレームとの隙間を生じ、樹脂充填工程においてその隙間からリードの外面（すなわちマスキング面）に樹脂が漏れ出して、リードの裏面側（露出面側）の一部を覆ってしまい、導通不良のホール素子を製造してしまうという問題があった。
これらの問題に対処するマスキングテープの貼付け方法として、次のような方法が開示されている。
【０００５】
マスキングテープを巻きだしながら貼付面をローラでリードフレームの裏面側の一端に当てて他端に向かって貼着する方法（例えば、特許文献１および２）や、リードフレームを第１貼付手段上に載置するとともに、マスキングテープを第２貼付手段上に貼付面を表側にしてセットし、真空装置中にて両者を合わせることによって貼着する方法（例えば、特許文献３）などがある。また、一般的な被貼着物へのテープの貼付け方法として、被貼着物にローラでテープの貼付面を当ててテープを貼着する方法（例えば、特許文献４）などがある。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１８９６９３号公報
【特許文献２】特開２００２−１９８４８０号公報
【特許文献３】特開２００３−７８０８号公報
【特許文献４】特開２００１−２０６６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、リードフレームは厚さが０．１ｍｍ程度であるため、ローラの加重によってリードフレームが歪んだ状態でマスキングテープが貼着されてしまい、次工程への搬送が正確に行えないという問題があった。また、特許文献３では、真空を形成する装置が大型化してしまうという問題があった。
そこでこの発明の目的は、簡単な方法で、被貼着物に気泡を生ずることなく貼着することができる可撓性粘着フィルムの貼着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このため請求項１に記載の発明は、セパレータを伴う可撓性粘着フィルムから前記セパレータを剥離しながら前記可撓性粘着フィルムを被貼着物に貼着する可撓性粘着フィルムの貼着方法において、
前記可撓性粘着フィルムの先端を前記セパレータから剥離した後、前記被貼着物の貼着開始位置に貼着する貼着準備ステップと、
前記可撓性粘着フィルムをＵ字型に撓みを形成して折り返し、前記被貼着物に押し当てた状態で保持する押当ローラと前記被貼着物を搬送する搬送手段とを所定のクリアランスで接近させる撓み形成ステップと、
前記搬送手段にて前記被貼着物を前記可撓性粘着フィルムの先端方向に所定の速度で搬送するとともに、前記セパレータを前記被貼着物の搬送方向と逆方向に前記所定の速度で引っ張るフィルム貼着ステップとを備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、セパレータを伴う可撓性粘着フィルムから前記セパレータを剥離しながら前記可撓性粘着フィルムを被貼着物に貼着する可撓性粘着フィルムの貼付装置において、
前記セパレータを伴う可撓性粘着フィルムを供給する供給手段と、
前記被貼着物を載置して直線状に搬送する搬送手段と、
前記供給手段によって供給された可撓性粘着フィルムから前記セパレータを剥離した状態で折り返して前記被貼着物との間に撓みを形成し、該撓みを一定のクリアランスで保持するとともに前記撓みの反力によって前記可撓性粘着フィルムを前記被貼着物に押し当てる押当手段と、
前記被貼着物の搬送方向と逆方向にセパレータを引っ張る引張手段とを備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置において、前記供給手段が巻出ローラであり、前記引張手段が巻取ローラであることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置において、前記巻出ローラ、前記巻取ローラおよび前記搬送手段が同一の駆動源により駆動されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置において、前記被貼着物の後端にて前記可撓性粘着フィルムを切断する切断手段を備えることを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置において、前記被貼着物が突起を有し、該突起を収納する凹部を前記搬送手段の上面に設けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置において、前記搬送手段が複数の前記被貼付物を連続して供給することを特徴とする。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置において、前記搬送手段に吸着手段を設け、該吸着手段によって前記被貼付物を吸着して搬送することを特徴とする。
【００１６】
請求項９に記載の発明は、請求項２に記載の可撓性粘着フィルムの貼付装置において、において、前記供給手段と前記押当手段との間に、前記可撓性粘着フィルムの搬送方向に対して直交する方向の位置を補正する位置補正手段を備えることを特徴とする。
【００１７】
請求項１０に記載の発明は、セパレータを伴う可撓性粘着フィルムから前記セパレータを剥離しながら前記可撓性粘着フィルムを被貼着物に貼着する可撓性粘着フィルムの貼付装置において、
前記セパレータを伴う可撓性粘着フィルムを供給する供給手段と、
前記被貼着物を載置して直線状に搬送する搬送手段と、
前記供給手段によって供給された可撓性粘着フィルムから剥離された前記セパレータをガイドするガイド手段と、
前記被貼着物の搬送方向と逆方向に向かってセパレータを引っ張る引張手段とを備え、
前記ガイド手段は、剥離位置にて前記セパレータから剥離された前記可撓性粘着フィルムを前記被貼着物面に直行する方向から供給し、弧を描くようにして撓みを形成しながら、該撓みの反力によって前記可撓性粘着フィルムを前記被貼着物に押し当てて貼着することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に記載の発明によれば、可撓性粘着フィルムの先端をセパレータから剥離した後、被貼着物の貼着開始位置に貼着する貼着準備ステップと、可撓性粘着フィルムをＵ字型に撓みを形成して折り返し、被貼着物に押し当てた状態で保持する押当ローラと被貼着物を搬送する搬送手段とを所定のクリアランスで接近させる撓み形成ステップと、搬送手段にて被貼着物を可撓性粘着フィルムの先端方向に所定の速度で搬送するとともに、セパレータを被貼着物の搬送方向と逆方向に前記所定の速度で引っ張るフィルム貼着ステップとを備えるので、可撓性粘着フィルムの撓みによる反力で可撓性粘着フィルムを被貼着物に押し当てながら貼着できるため、簡単な方法で、被貼着物に気泡を生ずることなく貼着することができる可撓性粘着フィルムの貼着方法を提供することができる。
【００１９】
請求項２に記載の発明によれば、セパレータを伴う可撓性粘着フィルムを供給する供給手段と、被貼着物を載置して直線状に搬送する搬送手段と、供給手段によって供給された可撓性粘着フィルムからセパレータを剥離した状態で折り返して被貼着物との間に撓みを形成し、その撓みを一定のクリアランスで保持するとともに撓みの反力によって可撓性粘着フィルムを被貼着物に押し当てる押当手段と、被貼着物の搬送方向と逆方向にセパレータを引っ張る引張手段とを備えるので、可撓性粘着フィルムの撓みの反力で被貼着物に押し当てながら可撓性粘着フィルムを貼着できるため、簡単な構成で、被貼着物に気泡を生ずることなく貼着することができる可撓性粘着フィルムの貼付装置を提供することができる。
【００２０】
請求項３に記載の発明によれば、供給手段が巻出ローラであり、引張手段が巻取ローラであるので、長尺の可撓性粘着フィルムを連続して巻き出して被貼着物に貼着することができるとともに、セパレータを連続して巻き取ることができるため、被貼着物ごとに可撓性粘着フィルムを別途用意する必要がなく作業を効率化することができる。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、巻出ローラ、巻取ローラおよび搬送手段が同一の駆動源により駆動されているので、駆動源を設置するスペースを低減することができ、コンパクトな可撓性粘着フィルムの貼付装置を提供することができる。また、巻出ローラ、巻取ローラの線速度および搬送手段の搬送速度を同一に制御することが容易である。
【００２２】
請求項５に記載の発明によれば、被貼着物の後端にて可撓性粘着フィルムを切断する切断手段を備えるので、連続的に供給された複数の被貼着物に対して一連の可撓性粘着フィルムを貼着した後、各被貼着物間にて切断手段にて可撓性粘着フィルムを切断するため、効率的に可撓性粘着フィルムを貼着することができる。
【００２３】
請求項６に記載の発明によれば、被貼着物が突起を有し、その突起を収納する凹部を搬送手段の上面に設けたので、例えば、被貼着物が表面にＩＣチップなどを搭載したリードフレームである場合、リードフレームの裏面に可撓性粘着フィルムを貼着するには、搬送手段上にリードフレームの裏面を上にして載置し、ＩＣチップなどによって形成された突起を凹部に収納するため、リードフレームの裏面をフラットな状態にして可撓性粘着フィルムを貼着することができる。したがって、表面に突起を有する被貼着物に気泡を生ずることなく貼着することができる可撓性粘着フィルムの貼付装置を提供することができる。
【００２４】
請求項７に記載の発明によれば、搬送手段が複数の前記被貼付物を連続して供給するので、複数の被貼付物への連続した可撓性粘着フィルムの貼着が容易にでき、作業の効率化を図ることができる。
【００２５】
請求項８に記載の発明によれば、搬送手段に吸着手段を設け、その吸着手段によって被貼付物を吸着して搬送するので、被貼付物に可撓性粘着フィルムを貼着する際に、ズレたりすることを防止することができる。したがって、正確に被貼付物に可撓性粘着フィルムを貼着することができる。また、搬送時に搬送の振動などによって搬送手段上で被貼付物がズレることを防止することができる。
【００２６】
請求項９に記載の発明によれば、供給手段と押当手段との間に、可撓性粘着フィルムの搬送方向に対して直交する方向の位置を補正する位置補正手段を備えるので、供給手段から供給された可撓性粘着フィルムの幅方向のズレを補正することができ、被貼着物に可撓性粘着フィルムを正確に貼着することができる。
【００２７】
請求項１０に記載の発明によれば、セパレータを伴う可撓性粘着フィルムからセパレータを剥離しながら可撓性粘着フィルムを被貼着物に貼着する可撓性粘着フィルムの貼付装置において、セパレータを伴う可撓性粘着フィルムを供給する供給手段と、被貼着物を載置して直線状に搬送する搬送手段と、供給手段によって供給された可撓性粘着フィルムから剥離されたセパレータをガイドするガイド手段と、被貼着物の搬送方向と逆方向に向かってセパレータを引っ張る引張手段とを備え、ガイド手段は、剥離位置にてセパレータから剥離された可撓性粘着フィルムを被貼着物面に直行する方向から供給し、弧を描くようにして撓みを形成しながら、その撓みの反力によって可撓性粘着フィルムを被貼着物に押し当てて貼着するので、可撓性粘着フィルムの撓みの反力で被貼着物に押し当てながら可撓性粘着フィルムを貼着できるため、簡単な構成で、被貼着物に気泡を生ずることなく貼着することができる可撓性粘着フィルムの貼付装置を提供することができる。また、撓みを形成する弧が９０度程度であるので、被貼着物の終端部にて可撓性粘着フィルムを切断したときに、可撓性粘着フィルムのロスを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
（第１の実施の形態）
以下図面を参照しつつ、本発明の最良の実施の形態について詳細に説明する。
この実施の形態では、ＱＦＮ型ホール素子のリードフレームの裏面側（ＩＣチップなどが搭載されていない面）にマスキングのための耐熱性の可撓性粘着フィルムを貼り付ける、可撓性粘着フィルムの貼付装置について説明する。
図１はこの発明のセパレータを伴う可撓性粘着フィルムの貼付装置の側面図、図２は図１の平面図である。
可撓性粘着フィルムの貼付装置１１は、可撓性粘着テープ１２を取り付けて巻き出し供給する巻出ローラ（供給手段）１３と、その可撓性粘着テープ１２のセパレータ１２ｂを引っ張って巻き取る巻取ローラ（引張手段）１４と、リードフレーム（被貼着物）１５を載置して直線状に搬送するワーク吸着台（搬送手段）１６と、可撓性粘着テープ１２の可撓性粘着フィルム１２ａを吸着してリードフレーム１５に位置決めして貼り付ける位置決め貼付手段１７と、リードフレーム１５との間に形成された可撓性粘着フィルム１２ａの撓みを一定のクリアランスＣＬで保持する押当ローラ（押当手段）１９と、可撓性粘着テープ１２に押当ローラ１９の駆動力を伝える為に押当ローラ１９との間にニップを形成するニップローラ２０と、リードフレーム１５に可撓性粘着フィルム１２ａを貼り終えたときリードフレーム１５の後端にて可撓性粘着フィルム１２ａを切断するカッタ（切断手段）１８などを備える。
なお図２では、便宜上、位置決め貼付手段１７とカッタ１８とを省略している。また、押当ローラ１９とニップローラ２０とは同一形状のローラであるため、重なって図示してある。
【００２９】
可撓性粘着テープ１２は幅４１ｍｍの巻取り状に形成されており、厚さ５０μｍのセパレータ１２ｂに、粘着層を伴う可撓性粘着フィルム１２ａを合わせてなる。
可撓性粘着フィルム１２ａは、ポリイミドの他にポリアミド、ポリエステル、ポリカーボネード、ポリエチレン、延伸硬質塩化ビニル、延伸ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデンなどの公知の耐熱性フィルムを用いる。
粘着層を形成する粘着材としては、シリコーンを厚さ６μｍ程度、粘着力を０．３Ｎ／２０ｍｍとしたものを用いる。
リードフレーム１５は、例えば厚さ０．１ｍｍ、幅５０ｍｍ、長さ１１０ｍｍの銅製であり、その表面１５ＳにはＩＣチップなどを搭載して突起１５ａを形成する。セパレータ１２ｂとしては、ポリエステルなどを用いる。
巻出ローラ１３、巻取ローラ１４および押当ローラ１９は、金属製の円柱状ローラを用いる。
ニップローラ２０は、金属製の円柱状に形成され、ローラの外周にシリコンゴム等を形成したものを用いる。
【００３０】
ワーク吸着台１６は、金属製の箱状に形成され、側面にラックギアを備える。また、ワーク吸着台１６の表面（上面）１６Ｓには、図３にて後述するように、リードフレーム１５の表面に形成されたＩＣチップなどの突起１５ａが当接しないように収納する凹部１６ａを設ける。また、表面１６Ｓには一定間隔で微細孔１６ｂを複数形成し、別に備える吸着手段にて微細孔１６ｂを介して表面１６Ｓ側の空気を吸引するようになっている。また、リードフレーム１５の表面に形成されたＩＣチップなどの突起１５ａが当接しないように収納する凹部１６ａを設ける。
位置決め貼付手段１７は、下面に複数の微細孔が形成された金属製の箱状に形成され、別に備える吸着手段にて微細孔を介して下面側の空気を吸引するようになっている。なお、下面の幅は可撓性粘着テープ１２の幅と同程度の長さを有することが望ましい。
カッタ１８は、対象物に刃を上から押しあてて溝に沿ってスライド切断するものであり、例えば、ロータリー式のカッターなどが挙げられる。
なお、位置決め貼付手段１７は、不図示の操作手段により図１中で上下方向に移動可能に設けられている。また、カッタ１８は、不図示の操作手段により図１中で上下。前後方向に移動可能に設けられている。
また、巻取ローラ１４および押当ローラ１９にはギアを介して駆動手段が取り付けられている。一方、ワーク吸着台１６にはラックギアを介して駆動手段が取り付けられている。巻取ローラ１４および押当ローラ１９は、図１中矢印ｂ方向に同一の線速ｖとなるように回転し、ワーク吸着台１６は矢印ａ方向に巻取ローラ１４および押当ローラ１９線速ｖと同一速度で反対向きに移動するように構成されている。
【００３１】
図３はワーク吸着台１６の一部拡大側面図である。
可撓性粘着テープ１２の可撓性粘着フィルム１２ａは、押当ローラ１９の最下部においてセパレータ１２ｂからフィルム１２ａが剥離する剥離位置Ｒと、可撓性粘着フィルム１２ａがリードフレーム１５の裏面１５Ｂに貼着される貼着位置Ａとの間で矢印ｂ方向に弧を描くように撓みＴが形成される。なお、剥離位置Ｒと貼着位置Ａとは、押当ローラ１９の回転軸１９Ｒからリードフレーム１５に向かって下ろされた直線Ｃ上に一定のクリアランスＣＬを隔てて位置するものとし、撓みＴはその直線Ｃよりも矢印ｂ方向に所定の量Ｄだけ張り出して形成されるものとする。なお、クリアランスＣＬは０．５〜３．０ｍｍ、好ましくは１．０ｍｍとする。
【００３２】
ところで、撓みＴは可撓性粘着フィルム１２ａの曲げ強さ（曲げ性）およびクリアランスＣＬによって、適宜設定することができる。
したがって、この例の可撓性粘着フィルムの貼付装置１１は、セパレータ１２ｂを伴う可撓性粘着フィルム１２ａからセパレータ１２ｂを剥離しながら可撓性粘着フィルム１２ａをリードフレーム（被貼着物）１５に貼着する可撓性粘着フィルムの貼付装置において、セパレータを伴う可撓性粘着フィルム１２ａを供給する巻出ローラ（供給手段）１３と、リードフレーム１５を載置して直線状に搬送するワーク吸着台（搬送手段）１６と、巻出ローラ１３によって供給された可撓性粘着フィルム１２ａからセパレータ１２ｂを剥離した状態で折り返してリードフレーム１５との間に撓みＴを形成し、その撓みＴを一定のクリアランスＣＬで保持するとともに撓みＴの反力によって可撓性粘着フィルム１２ａをリードフレーム１５に押し当てる押当ローラ（押当手段）１９と、リードフレーム１５の搬送方向ａと逆方向ｂにセパレータ１２ｂを引っ張る巻取ローラ（引張手段）１４とを備える。
【００３３】
このように構成されたセパレータ１２ｂを伴う可撓性粘着フィルム１２ａの貼付装置１１を用いて、セパレータ１２ｂを剥離しながら可撓性粘着フィルム１２ａをリードフレーム１５に貼着する方法について図１〜３を参照しつつ図４および図５を用いて説明する。
まず、貼着準備ステップＳ１にて、可撓性粘着フィルム１２ａの先端をセパレータ１２ｂから剥離した後、位置決め貼付手段１７の微細孔にて空気を吸引して、可撓性粘着フィルム１２ａの先端を位置決め貼付手段１７の下面に吸引して保持する。そしてこの状態でリードフレーム１５の貼着開始位置Ｓに貼着する（図５（ａ））とともに、セパレータ１２ｂを巻取ローラ１４に巻きつける。
【００３４】
次に、撓み形成ステップＳ２にて、可撓性粘着フィルム１２ａをＵ字型に撓みＴを形成して矢印ａ方向に折り返し、リードフレーム１５に押し当てた状態で保持する押当ローラ１９とリードフレーム１５を載置して搬送するワーク吸着台１６とを所定のクリアランスＣＬで接近させる。詳しくは、図５（ｂ）において、可撓性粘着フィルム１２ａを矢印ａ方向に折り返した状態でワーク吸着台１６を矢印方向に上昇させて、押当ローラ１９とリードフレーム１５との間のクリアランスＣＬが所定の距離となるように設定する。
そして、テープ貼着ステップＳ３にて、ワーク吸着台１６を可撓性粘着フィルム１２ａの先端方向（矢印ａ方向）に所定の速度で搬送することによって、リードフレーム１５を矢印ａ方向に所定の速度ｖで搬送する。これと同時に、セパレータ１２ｂをリードフレーム１５の搬送方向（矢印ａ方向）と逆方向（矢印ｂ方向）に前記所定の速度ｖで引っ張って巻取ローラ１４にて巻き取る。
【００３５】
したがって、剥離位置Ｒと貼着位置Ａとは常に同一直線Ｃ上に保持され、撓みＴも同一形状に保持される。この撓みＴによる可撓性粘着フィルム１２ａの曲げ強さの反力により可撓性粘着フィルム１２ａはそれぞれ、剥離位置Ｒにて押当ローラ１９に、貼着位置Ａにてリードフレーム１５に押し当てられる。この押し当て力によってリードフレーム１５に可撓性粘着フィルム１２ａを貼着させる。なお、撓みＴが同一形状に保持されるので、この押し当て力も常に一定に保持される。
さらに、ステップＳ４にて、リードフレーム１５の後端までフィルム１２ａを貼り終えたら、カッタ１８にて可撓性粘着フィルム１２ａを切断する（図５（ｃ））とともに、その切断された可撓性粘着フィルム１２ａの巻き出し側の先端を位置決め貼付手段１７にて吸着して保持する。そして、ワーク吸着台１６を所定量下方に下げながら、矢印ｂ方向に戻して次のリードフレーム１５を待つ。
【００３６】
なお、上述の例において、図６に示すように、ワーク吸着台１６を矢印ａ，ｂ方向に移動させるための駆動手段を中間ギアＩＧを介して押当ローラ１９のギア１９Ｇに噛合させるようにしてもよい。このようにすると、押当ローラ１９とその押当ローラ１９に当接するニップローラ２０との間に形成されるニップによって、押当ローラ１９の回転駆動が可撓性粘着テープ１２に伝達され、可撓性粘着テープ１２が巻出ローラ１３を巻き出して回転させる。巻出ローラ１３のギア１３Ｇと巻取ローラ１４のギア１４Ｇとは一定のギア比をもって噛合しているので、巻出ローラ１３の回転駆動が巻取ローラ１４に伝達される。このようにして、ワーク吸着台１６、巻取ローラ１４、押当ローラ１９を同一の駆動手段（駆動源）で駆動させるようにしてもよい。
このとき、ギア１３Ｇの回転数に対してギア１４Ｇの回転数を大きくするようにギア比を設定すると、巻出ローラ１３の回転数に比べて巻取ローラ１４の回転数が大きくなり、可撓性粘着テープ１２を一定のテンションを掛けた状態で搬送することができる。なお、一定以上のテンションがかかったときは、巻取ローラ１４のスリップ機構により緩和されるようにすると可撓性粘着テープを破損することなく、一定のテンションをもって搬送することができる。
【００３７】
また、図７に示すように、ワーク吸着台１６が複数のリードフレーム１５１、１５２，１５３，１５４・・・を連続して供給するようにしてもよい。すなわち、ワーク吸着台１６をコンベア上に構成し、その上にリードフレーム１５１、１５２，１５３，１５４・・・を隣接して載置する。
【００３８】
さらに、図８（ａ），（ｂ）に示すように、巻出ローラ１３と押当ローラ１９との間に、可撓性粘着テープ１２の搬送方向（ａ−ｂ方向）に対して直交する方向（ｈ１−ｈ２方向）の位置を補正する位置補正手段２１を備えるようにしてもよい。この位置補正手段２１は、立方体に形成された上面をコの字状に切り欠いて両側にガイド部２１ａを形成する。そして、可撓性粘着テープ１２を両ガイド部２１ａの間に形成された平坦部２１ｂに平行に搬送してガイドする。
【００３９】
なお、この発明はリードフレームの裏面側（ＩＣチップなどが搭載されていない面）にマスキングのための耐熱性の可撓性粘着フィルムを貼り付ける、可撓性粘着フィルムの貼付装置に限定されるものではなく、セパレータを有するあらゆる可撓性粘着フィルムをあらゆる被貼着物に貼り付ける際に適用することができる。
【００４０】
（第２の実施の形態）
次にこの発明の別の最良の実施の形態について図９を用いて詳細に説明する。
なお、図９中において図１と同一の符号は、同一の構成・作用であるので説明を省略する。
可撓性粘着フィルムの貼付装置２５は、可撓性粘着テープ１２を取り付けて巻き出し供給する巻出ローラ（供給手段）１３と、その可撓性粘着テープ１２のセパレータ１２ｂを引っ張って巻き取る巻取ローラ（引張手段）１４と、リードフレーム（被貼着物）１５を載置して直線状に搬送するワーク吸着台（搬送手段）１６と、可撓性粘着テープ１２の可撓性粘着フィルム１２ａを吸着してリードフレーム１５に位置決めして貼り付ける位置決め貼付手段１７と、巻出ローラ１３によって供給された可撓性粘着フィルム１２ａから剥離されたセパレータ１２ｂをガイドするナイフエッジ（ガイド手段）２２と、可撓性粘着テープ１２をガイドするガイドローラ２３、セパレータ１２ｂをガイドするガイドローラ２４、リードフレーム１５に可撓性粘着フィルム１２ａを貼り終えたときリードフレーム１５の後端にて可撓性粘着フィルム１２ａを切断するカッタ（切断手段）１８などを備える。
【００４１】
ナイフエッジ２２は、片面にテーパが形成された板状で、テーパによって薄くなった側の先端は曲率半径Ｒ２の半円状の丸みが形成されている。また、幅方向の寸法は、可撓性粘着テープ１２が外周を滑動するのに十分な寸法、すなわち、可撓性粘着テープ１２の幅よりも広いことが望ましい。ナイフエッジ２２の材質は、ステンレス、アルミ、樹脂などセパレータ１２ｂが滑りやすく、セパレータ１２ｂの長手方向にテンションをかけたときに変形しない程度の強度を有するものであればよい。
このナイフエッジ２２は、不図示の固定手段により可撓性粘着フィルムの貼付装置２５に対して固定されている。
ナイフエッジ２２に沿って滑動する可撓性粘着テープ１２は、剥離位置Ｄにて可撓性粘着フィルム１２ａをセパレータ１２ｂから剥離して、曲率半径Ｒ１で約９０度の弧を描くように撓みＴを形成しながらリードフレーム１５に貼着される。このときに形成される撓みＴの反力によって可撓性粘着フィルム１２ａはリードフレーム１５に貼着される。なお、曲率半径Ｒ１は、ナイフエッジ２２の先端とリードフレーム１５との距離であるクリアランスＣＬと等しく１ｍｍ程度とすることが望ましく、曲率半径Ｒ２は曲率半径Ｒ１の１／２すなわち、０．５ｍｍ程度とすることが望ましい。
【００４２】
すなわち、この例の可撓性粘着フィルムの貼付装置２５は、セパレータ１２ｂを伴う可撓性粘着フィルム１２からセパレータ１２ｂを剥離しながら可撓性粘着フィルム１２をリードフレーム（被貼着物）１５に貼着する可撓性粘着フィルムの貼付装置において、セパレータ１２ｂを伴う可撓性粘着フィルム１２ａを供給する巻出ローラ（供給手段）１３と、リードフレーム１５を載置して直線状に搬送するワーク吸着台（搬送手段）１６と、巻出ローラ１６によって供給された可撓性粘着フィルム１２ａから剥離されたセパレータ１２ｂをガイドするナイフエッジ（ガイド手段）２２と、リードフレーム１５の搬送方向ａと逆方向ｂに向かってセパレータ１２ｂを引っ張る巻取ローラ（引張手段）１４とを備え、ナイフエッジ２２は、剥離位置Ｄにてセパレータ１２ｂから剥離された可撓性粘着フィルム１２ａをリードフレーム１５の貼着面に直行する方向（すなわち図中上方）から供給し、弧を描くようにして撓みＴを形成しながら、その撓みＴの反力によって可撓性粘着フィルム１２ａをリードフレーム１５に押し当てて貼着する。
【００４３】
このように構成されたセパレータ１２ｂを伴う可撓性粘着フィルム１２ａの貼付装置２５を用いて、セパレータ１２ｂを剥離しながら可撓性粘着フィルム１２ａをリードフレーム１５に貼着する方法について図９を参照しつつ図１０を用いて説明する。
まず、貼着準備ステップにて、ワーク吸着台１６を上方に上昇させるとともに可撓性粘着フィルム１２ａの先端をセパレータ１２ｂから剥離した状態でリードフレーム１５の貼着開始位置Ｓに貼着する（図１０（ａ））一方、セパレータ１２ｂを巻取ローラ１４に巻きつける。
【００４４】
次に、撓み形成ステップにて、可撓性粘着フィルム１２ａを剥離位置Ｄにて剥離するように曲率半径Ｒ１（Ｒ１＝１．０ｍｍ）の撓みＴを形成してクリアランスＣＬを１．０ｍｍとなるように設定する。そして、この撓みＴの反力によって可撓性粘着フィルム１２ａをリードフレーム１５に押し当てた状態を形成し、テープ貼着ステップにて、ワーク吸着台１６を矢印ａ方向に搬送して可撓性粘着フィルム１２ａをリードフレーム１５に貼着する（図１０（ｂ））。
詳しくは、ワーク吸着台１６を可撓性粘着フィルム１２ａの先端方向（矢印ａ方向）に所定の速度で搬送することによって、リードフレーム１５を矢印ａ方向に所定の速度ｖで搬送する。これと同時に、セパレータ１２ｂを矢印ｃ方向に所定の速度ｖで引っ張りながら巻取ローラ１４にて巻き取る。
なお、撓みＴが同一形状に保持されるので、この押し当て力も常に一定に保持される。
【００４５】
さらに、リードフレーム１５の後端までフィルム１２ａを貼り終えたら、カッタ１８にて可撓性粘着フィルム１２ａを切断する（図１０（ｃ））とともに、その切断された可撓性粘着フィルム１２ａの巻き出し側の先端を次のリードフレーム１５の貼着開始位置Ｓに貼着するべく準備をする（図１０（ａ）に戻る）。
このとき、ワーク吸着台１６上の幅方向に切り欠き１６ｃを設けて、その切り欠き１６ｃにあわせてリードフレーム１５の後端部分を配置すると、切り欠き１６がカッタ１８の逃げになり、可撓性粘着フィルム１２ａの切断を容易にする。
この例の可撓性粘着テープの貼り付け方法によると、撓みＴ部分を、図１の例に比べて少なくすることができる。したがって、可撓性粘着テープ１２のロスを低減することができる。
【００４６】
なお、ナイフエッジ２２から巻取ローラ１４に引っ張られて巻き取られるセパレータ１２ｂは図１１に示すように、ワーク吸着台１６の搬送方向ａと反対方向ｂに、リードフレーム１５に平行に巻き取るようにしてもよい。このように構成すると、セパレータ１２ｂはガイドローラ２６を介して上方にガイドされながら巻取ローラ１４に巻き取られる。
なお、この図におけるその他の構成は、図９に示すものと同様であるので説明を省略する。このような装置構成においても、図９の装置構成と同様の効果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】この発明の可撓性粘着フィルムの貼付装置の一例を示す側面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の一部拡大側面図である。
【図４】この発明の可撓性粘着フィルムの貼着方法を示すフローチャートである。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、図４のフローチャートに基づいた可撓性粘着フィルムの貼着手順を示す説明図である。
【図６】巻出ローラ、巻取ローラおよび搬送手段を同一の駆動源により駆動する様子を説明するための図である。
【図７】搬送手段が複数の被貼付物を連続して供給する様子を説明するための図である。
【図８】（ａ），（ｂ）は、供給手段と押当手段との間に、可撓性粘着フィルムの搬送方向に対して直交する方向の位置を補正する位置補正手段を設けた図である。
【図９】この発明の可撓性粘着フィルムの貼付装置の別の例を示す側面図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、撓性粘着フィルムの貼着手順を示す説明図である。
【図１１】図９の可撓性粘着フィルムの貼付装置の変形例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１１，２５    可撓性粘着フィルムの貼付装置
１２    可撓性粘着テープ
１２ａ    可撓性粘着フィルム
１２ｂ    セパレータ
１３    巻出ローラ（供給手段）
１３Ｇ，１４Ｇ，１９Ｇ    ギア
１４    巻取ローラ（引張手段）
１５，１５１，１５２，１５３，１５４    リードフレーム（被貼着物）
１５ａ    突起
１５Ｂ    裏面
１６    ワーク吸着台（搬送手段）
１６ａ    凹部
１６ｂ    微細孔
１６ｃ    切り欠き
１６Ｇ    ラックギア
１６Ｓ    表面（上面）
１７    位置決め貼付手段
１８    カッタ（切断手段）
１９    押当ローラ（押当手段）
１９Ｒ    回転軸
２０    ニップローラ
２１    位置補正手段
２１ａ    ガイド部
２１ｂ    平坦部
２２    ナイフエッジ（ガイド手段）
２３，２４，２６    ガイドローラ
Ａ    貼着位置
Ｃ    同一直線
ＣＬ    クリアランス
Ｄ    所定の量
ＩＧ    中間ギア
Ｒ，Ｄ    剥離位置
Ｒ１，Ｒ２    曲率半径
Ｓ    貼着開始位置
Ｔ    撓み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006089192.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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