(57)【要約】【課題】  電気光学物質中に混入した導電性異物の混入を検出できる確率を向上させる。【解決手段】  本発明は、画素電極と対向電極との間に電気光学物質を挟持した構成の電気光学装置において、前記電気光学物質に交流電圧を印加するステップと、前記画素電極と前記対向電極との間のセルギャップを減少させるステップとを有する電気光学装置の検査方法を提供する。【選択図】      図１０
2006058156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素電極と対向電極との間に電気光学物質を挟持した構成の電気光学パネルの検査方法であって、
前記電気光学物質に交流電圧を印加しながら、前記画素電極と前記対向電極との間のセルギャップを減少させるステップ
を有する電気光学パネルの検査方法。
【請求項２】
前記セルギャップの減少が、前記画素電極および前記対向電極の少なくとも一方に対する圧力の印加により行われることを特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの検査方法。
【請求項３】
前記交流電圧の周波数が、５０〜１００Ｈｚであることを特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの検査方法。
【請求項４】
前記交流電圧の波形が、矩形であることを特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの検査方法。
【請求項５】
前記交流電圧が、前記電気光学装置の中間階調表示を生じる電圧であることを特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの検査方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかの項に記載の検査方法により電気光学パネルの検査を行う検査工程と、
前記検査工程による検査後に、前記電気光学パネルに該電気光学パネルの駆動回路を実装する実装工程と
を有する電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学パネルの検査方法および電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
画素電極と対向電極との間のセルギャップに液晶等の電気光学物質を挟持した構成を有する電気光学装置が広く用いられている。このような構造を有する電気光学装置において、セルギャップ内に混入した導電性異物により画素電極と対向電極が短絡する故障が発生することが知られている。ここで、導電性異物がセルギャップ以上の大きさを有するものであれば、導電性異物が混入した画素電極と対向電極は常に短絡することとなる。画素電極と対向電極とが短絡した画素は、電気光学装置に直流電圧を印加することにより他の画素と区別がつくので、目視検査により検出可能である。
【０００３】
セルギャップよりも小さい導電性異物が混入した場合、そのままの状態であれば画素電極と対向電極が短絡することはない。しかし、セルギャップは一定ではなく、電気光学装置の構造により、狭い部分と広い部分とが存在する。電気光学装置を継続的に使用するうちに伝導性異物がセルギャップが狭くなっている場所まで移動し、画素電極と対向電極との短絡を引き起こす可能性がある。したがって、小さいものであっても導電性異物の混入を放置すると将来故障を引き起こす可能性があるため、このような潜在的な故障要因を抱えた電気光学装置は、検査で検出する必要がある。しかし、セルギャップよりも小さい導電性異物が混入した場合、単に直流電圧を印加しただけでは導電性異物の混入を検出することはできない。
【０００４】
セルギャップよりも小さい導電性異物の混入を検出する方法として、電気光学装置のパネルに機械的な圧力を印加しながら直流電圧を印加する、いわゆる押圧検査といわれる方法が知られている（特許文献１〜３参照）。これらの技術は、コイルスプリングを用いた押圧器具あるいはローラにより液晶パネルに圧力を印加するものである。通常の状態では短絡しなかった画素電極と対向電極であっても、圧力の印加によりセルギャップが一時的に狭くなるため短絡する可能性が増大する。押圧検査とは、この状態で直流電圧を印加することにより短絡を検出するものである。
【特許文献１】特開平１０−２３２３７８号公報
【特許文献２】特開２００２−４０３８３号公報
【特許文献３】特開２００２−６２５１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の押圧検査では、押圧によって狭くなったセルギャップよりもなお小さい導電性異物を検出することはできないため、このように小さい導電性異物が混入した電気光学装置が検査をパスして出荷されるおそれがあった。小さい導電性異物であっても、上述のように継続的に使用するうちに伝導性異物がセルギャップが狭くなっている場所まで移動し、画素電極と対向電極との短絡を引き起こす可能性がある。
本発明は以上の事情に鑑みてなされたものであり、従来技術では検出できなかった導電性異物の混入を検出可能な検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の課題を解決するため、本発明は、画素電極と対向電極との間に電気光学物質を挟持した構成の電気光学パネルの検査方法であって、前記電気光学物質に交流電圧を印加しながら、前記画素電極と前記対向電極との間のセルギャップを減少させるステップを有する電気光学パネルの検査方法を提供する。
ここで、前記セルギャップの減少は、前記画素電極および前記対向電極の少なくとも一方に対する圧力の印加により行われることが望ましい。
また、前記交流電圧の周波数は、５０〜１００Ｈｚであることが望ましい。
また、前記交流電圧の波形は、矩形であることをが望ましい。
また、前記交流電圧は、前記電気光学装置の中間階調表示を生じる電圧であることが望ましい。
この発明によれば、前記画素電極と前記対向電極との間のセルギャップ中に混入した導電性異物の混入を検出できる確率を向上させることができる。
また、本発明は、上記のいずれかの検査方法により電気光学パネルの検査を行う検査工程と、前記検査工程による検査後に、前記電気光学パネルに該電気光学パネルの駆動回路を実装する実装工程とを有する電気光学装置の製造方法を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
＜電気光学装置の構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係る押圧検査の対象となる液晶パネル１００を有する電気光学装置１０の構成を示す図である。図１に示されるように、電気光学装置１０は、液晶パネル１００、制御回路４００、および電圧生成回路５００を含む。液晶パネル１００には、複数のデータ線（セグメント電極）２１２が列（Ｙ）方向に形成され、複数の走査線（コモン電極）３１２が行（Ｘ）方向に形成されている。データ線２１２と走査線３１２とが交差する地点には、それぞれ画素１１６が形成されている。画素１１６は、液晶容量１１８と、二端子スイッチング素子の一例であるＴＦＤ（Tin  Film  Diode：薄膜ダイオード）２２０とが直列接続されたものである。液晶容量１１８は、後述するように、対向電極として機能する走査線３１２と、矩形状の画素電極との間に電気光学物質の一例である液晶を挟持した構成となっている。
なお、本実施形態においては、走査線３１２の総数を３２０本とし、データ線２１２の総数を２４０本として、縦３２０行×横２４０列のマトリクス型表示装置として説明するが、電気光学装置１０をこれに限定する趣旨ではない。
【０００８】
走査線駆動回路３５０は、操作信号Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、…、Ｙ３２０を、それぞれ１行目、２行目、３行目、…、３２０行目の走査線３１２に供給するものである。すなわち、走査線駆動回路３５０は、３２０本の走査線３１２を１本ずつ選択し、選択した走査線３１２には選択電圧を、他の走査線３１２には非選択電圧を、それぞれ供給するものである。
また、データ線駆動回路２５０は、走査線駆動回路３５０により選択された走査線３１２に位置する画素１１６に対し、その表示内容（階調）に応じたデータ信号Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、…、Ｘ２４０を、それぞれ１列目、２列目、３列目、…、２４０列目のデータ線２１２を介して供給するものである。
【０００９】
制御回路４００は、データ線駆動回路２５０に対して、液晶パネル１００を水平走査するための各種制御信号やクロック信号などを供給する一方、走査線駆動回路３５０に対して、液晶パネル１００を垂直操作するための各種制御信号やクロック信号などを供給するものである。さらに、制御回路４００は、画素１１６の階調を「０」から「７」までの８段階で指示する３ビットの階調データＤｎを、垂直走査および水平走査に同期して供給する。
本実施形態において、３ビットの階調データＤｎは、（０００）である場合に最も明るい白色の表示を指示し、３ビットの値が上がるにつれて輝度が低下し、階調データＤｎが（１１１）である場合に最も暗い黒色の表示を指示するものである。さらに、液晶パネル１００は電圧無印加状態において白表示をするノーマリーホワイトモードの液晶パネルである。したがって、画素に点灯電圧が印加されると画素が暗くなる点に留意が必要である。なお、本明細書において、点灯電圧とは、ある１本の走査線が選択された期間に着目した場合に、データ線に印加されるデータ信号の電圧のうち、その期間において着目走査線に印加される選択電圧とは逆極性の電圧をいい、非点灯電圧とは、着目走査線が選択された期間にデータ線に印加されるデータ信号の電圧のうち、その期間において着目走査線に印加される選択電圧とは同一極性の電圧をいう。また、電圧の極性は、データ信号がとる点灯電圧、非点灯電圧の中間電圧を基準として高電位側を正極とし、低電位側を負極としている。
【００１０】
電圧生成回路５００は、液晶パネル１００の駆動に用いられる電圧±ＶSと電圧±ＶD／２とを生成するものである。このうち、電圧±ＶSは、走査信号における選択電圧として用いられ、電圧＋ＶSは抵抗Ｒ１および供給線５１１を介し、電圧−ＶSは抵抗Ｒ４および供給線５１４を介し、それぞれ走査線駆動回路３５０に供給される。また、電圧±ＶD／２は、走査信号における非選択電圧であり、電圧＋ＶD／２は抵抗Ｒ２および供給線５１２を介し、電圧−ＶD／２は抵抗Ｒ３および供給線５１３を介し、それぞれ走査線駆動回路３５０に供給される。なお、電気光学装置１０においては、電圧±ＶD／２はデータ信号におけるデータ電圧としても兼用される構成となっているので、それぞれデータ線駆動回路２５０にも供給される。
【００１１】
図２は、液晶パネル１００の全体構成を示す斜視図である。また、図３は、液晶パネル１００をＸ方向に切断した断面を示す断面図である。
図２および図３に示されるように、液晶パネル１００は、観察側に位置する素子基板２００と、背面側に位置する対向基板３００とを有する。素子基板２００と対向基板３００とは、スペーサを兼ねる導電性粒子１１４が混入されたシール材１１０によって一定の間隔を保って貼り合わせられている。この間隙には例えばＴＮ（Twisted Nematic）型の液晶１６０が封入されている。なお、シール材１１０は、図２に示されるように、対向基板３００の内周縁に沿って枠状に形成されるが、液晶１６０を封入するためにその一部が開口している。このため、液晶封入後に、その開口部分が封止材１１２によって封止されている。
【００１２】
対向基板３００の対向面には、行（Ｘ）方向に形成される帯状電極である走査線３１２のほか、配向膜３０８が形成されて、一定方向にラビング処理が施されている。ここで、走査線３１２の一端は、特に図３に示されるように、それぞれシール材１１０の形成領域まで引き延ばされている。また、対向基板３００の外側（観察側）には偏光子１３１が貼り付けられて（図２では省略）、その吸収軸が配向膜３０８へのラビング処理の方向に応じて設定されている。
【００１３】
素子基板２００の対向面には、Ｙ（列）方向に形成されるデータ線２１２に隣接して矩形状の画素電極２３４が形成されるほか、配向膜２０８が形成されて一定方向にラビング処理が施されている。
素子基板２００には、走査線３１２の各々と一対一に対応して配線３４２が設けられている。配線３４２の一端は、図３に示されるように、シール材１１０の形成領域において、対応する走査線３１２の一端と対向するように形成されている。ここで、導電性粒子１１４は、走査線３１２の一端と配線３４２の一端とが対向する部分に、少なくとも１個以上介在するような割合にてシール材１１０中に分散される。このため、対向基板３００に形成された走査線３１２は、導電性粒子１１４を介して素子基板２００における対向面上の配線３４２に接続され、電気的にみて、素子基板２００においてシール材１１０の形成領域外に引き出された状態となっている。
【００１４】
素子基板２００に形成されたデータ線２１２の一端は、そのままシール材１１０の形成領域外まで引き出された構成となっている。さらに、素子基板２００の外側（背面側）には偏光子１２１が貼り付けられていて（図２では省略）、その吸収軸は配向膜２０８へのラビング処理の方向に応じて設定されている。
なお、本実施形態に係る液晶パネル１００を透過型とすると、素子基板２００の背面側には均一に光を照射するバックライトユニットが設けられるが、ここでは図示を省略する。
【００１５】
続いて、液晶パネル１００の表示領域外の部分について説明する。図２に示されるように、素子基板２００にあって対向基板３００から張り出した２辺には、データ線２１２を駆動するためのデータ線駆動回路２５０および走査線３１２を駆動するための走査線駆動回路３５０が、それぞれＣＯＧ（Chip  On  Glass）技術により実装されている。データ線駆動回路２５０はデータ線２１２にデータ信号を直接的に供給する構成となっており、走査線駆動回路３５０は配線３４２および導電性粒子１１４を介して走査線３１２に走査信号を間接的に供給する構成となっている。
データ線駆動回路２５０が実装される領域の外側近傍には、ＦＰＣ（Flexible  Printed  Circuit）基板１５０の一端が接合されている。なお、ＦＰＣ基板１５０の他端の接続先は、図２では省略したが、図１における制御回路４００、電圧生成回路５００である。
【００１６】
次に、液晶パネル１００における画素１１６の構成について説明する。
図４は、画素１１６の構造を示す部分断面斜視図である。図４においては、説明の便宜上、図３に示す配向膜２０８、３０８よび偏光子１２１、１３１を省略している。また、図４においては、対向基板３００側の構造は省略し、走査線３１２のみを示している。
図４に示されるように、素子基板２００の対向面には、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明伝導体からなる矩形状の画素電極２３４がマトリクス上に配列されている。これらの画素電極２３４のうち、同一列に配列された画素電極２３４が、一本のデータ線２１２に、それぞれＴＦＤ２２０を介して共通接続されている。ＴＦＤ２２０は、基板側からみると、タンタル単体あるいはタンタル合金などで形成され、かつデータ線２１２からＴ字状に枝分かれした第１の導電体２２２と、第１の導電体２２２の陽極酸化により形成された絶縁体２２４と、クロム等の第２の導電体２２６とが積層された、導電体／絶縁体／導電体のサンドイッチ構造を有している。このような構造により、ＴＦＤ２２０は、電流−電圧特性が正負双方向にわたって非線形となるダイオードスイッチング特性を有する。
なお、図４では素子基板２００の対向面に直接画素電極２３４やデータ線２１２等が形成されているが、この対向面上に透明性を有する絶縁膜を形成し、この上面に画素電極２３４やデータ線２１２等が形成される場合もある。
【００１７】
図５は、液晶パネル１００をＹ方向に切断した断面を示す断面図である。素子基板２００側の構造については、先に説明したとおりである。対向基板３００の対向面には、表面に凹凸形状を有する樹脂層３５１が形成されている。ＴＦＤ２２０と対向する領域には、反射層３５２が形成される。反射層３５２は、画素電極２３４に対向する領域まで一部オーバーラップしている。反射層３５２の上には、遮光層３５３が形成される。一方、画素電極２３４と対向する領域には、Ｒ、Ｇ、Ｂのいずれかの色を呈する着色層３５５が形成される。着色層３５５は、樹脂層３５１上に直接形成される領域と、反射層３５２上に形成される領域とが存在する。遮光層３５３の上部にはオーバーコート層３５４が形成される。オーバーコート層３５４は、着色層３５５の上にも一部オーバーラップして形成される。画素電極２３４に対向する領域には、走査線３１２が形成される。走査線３１２は、着色層３５５の開口部およびその周辺に形成され、着色層３５５上に直接形成される部分と、オーバーコート層３５４の上に形成される部分とから構成される。したがって、画素電極２３４と走査線３１２との間の距離（セルギャップ）は、開口部においては広くなっているが、オーバーコート層３５４の領域では狭くなっている。
【００１８】
このような構成において、データ線２１２に印加されているデータ電圧にかかわらず、ＴＦＤ２２０を強制的に通電状態（オン）にさせる選択電圧＋ＶS、−ＶSのいずれかを走査線３１２に印加すると、走査線３１２およびデータ線２１２の交差に対応するＴＦＤ２２０がオンする。オンしたＴＦＤ２２０に接続された液晶容量１１８には、この選択電圧およびデータ電圧の差に応じた電荷が蓄積される。電荷蓄積後、走査線３１２に非選択電圧を印加させてＴＦＤ２２０をオフしても、液晶容量１１８における電荷の蓄積は維持される。
液晶容量１１８において、液晶１６０の配向状態は蓄積される電荷量に応じて変化する。すなわち、偏光子１２１、１３１を通過する光量は液晶容量１１８に蓄積される電荷量に応じて変化する。したがって、選択電圧が変動しないとすれば、選択電圧が印加されたときのデータ電圧によって液晶容量１１８における電荷の蓄積量を画素ごとに制御することができ、これにより階調表示が可能となる。
【００１９】
続いて、図１に示す制御回路４００により生成される制御信号やクロック信号などの各種信号について説明する。
図６は、走査線駆動回路３５０による走査信号の波形を示す図である。スタートパルスＤＹは、１垂直走査期間（１Ｆ）の最初に出力されるパルスである。クロック信号ＹＣＫは、Ｙ側の基準信号であり、図６に示すように１水平走査期間（１Ｈ）の周期を有する。極性指示信号ＰＯＬは、走査線が選択されたときに印加すべき選択電圧の極性を指定する信号であり、例えば、Ｈレベルであれば正極性の選択電圧＋ＶSを、Ｌレベルであれば負極性の選択電圧−ＶSをそれぞれ指定する。極性指示信号ＰＯＬは、図６に示されるように、同一の垂直走査期間内では、１水平走査期間（１Ｈ）毎に論理レベルが反転し、また、隣接する垂直走査期間において、同一の水平走査期間では論理レベルが反転する関係となっている。制御信号ＩＮＨは、１水平走査期間（１Ｈ）における選択電圧の印加期間を規定するための信号である。
【００２０】
続いて、Ｘ側（水平走査）に用いられる信号について説明する。
図７は、データ線駆動回路２５０によるデータ信号の波形を示す図である。ラッチパルスＬＰは、図７に示されるように、１水平走査期間（１Ｈ）の最初に出力されるパルスである。リセット信号ＲＥＳは、図７に示されるように、１水平走査期間（１Ｈ）の前半期間の最初および後半期間の最初にそれぞれ出力されるパルスである。交流駆動信号ＭＸは、データ線側において画素１１６を交流駆動するための信号であり、図７に示されるように、Ｙ側の極性指示信号ＰＯＬよりも位相が９０度進んだ関係にある。このため、交流駆動信号ＭＸは、選択電圧として正極性の電圧＋ＶSが指定される１水平走査期間（１Ｈ）では、その前半期間においてＨレベルとなり、その後半期間においてＬレベルとなる。一方、選択電圧として負極性の電圧−ＶSが指定される１水平走査期間（１Ｈ）では、その前半期間においてＬレベルとなり、その後半期間においてＨレベルとなる。階調コードパルスＧＣＰは、図７に示されるように、１水平走査期間の前半期間、後半期間のそれぞれにおいて、白色または黒色を除く灰色の（１１０）、（１０１）、（１００）、（０１１）、（０１０）、（００１）の順に対応して配列している。なお、図７において、階調コードパルスＧＣＰは、実際には、画素の印加電圧−濃度特性（Ｖ−Ｔ特性）を考慮して設定されるのであって、等間隔ではない。
【００２１】
図８は、ｉ行目の走査線３１２への走査信号Ｙｉと、これよりも１行下の走査線３１２への走査信号Ｙｉ＋１と、ｊ行目のデータ線２１２へのデータ信号Ｘｊとにおける各信号波形を示す図である。なお、データ信号Ｘｊについては、ｉ行目およびｉ＋１行目の走査線３１２と、ｊ列目のデータ線２１２に位置する画素を、白色表示、黒色表示、およびその中間色の灰色表示とする場合についてそれぞれ示している。
図８に示されるように、１水平走査期間（１Ｈ）が２分割されて前半期間と後半期間とに分けられるとともに、走査信号Ｙｉ、Ｙｉ＋１は、後半期間（１／２Ｈ）にわたって選択電圧をとり、データ信号Ｘｊは、画素を暗くするにつれて点灯電圧をとる期間が長くなる。ここで、点灯電圧は、選択電圧が正極性の＋ＶSであれば負極性のデータ電圧−ＶD／２であり、反対に選択電圧が負極性の−ＶSであれば正極性のデータ電圧＋ＶD／２である。一方、後半期間に先立つ前半期間におけるデータ信号は、その後半期間におけるデータ信号とは電圧が逆転した関係となっている。
したがって、１水平走査期間（１Ｈ）でみたとき、データ信号Ｘｊは、電圧＋ＶD／２と−ＶD／２とをそれぞれ５０％の割合でとることになる。このため、画素の階調がいかなるパターンで連続したとしても、１垂直走査期間（１Ｆ）において、データ信号が電圧＋ＶD／２をとる期間の累計と、電圧−ＶD／２をとる期間の累計とは互いに同一となる。
【００２２】
＜検査系の構成＞
本実施形態において、押圧検査の対象となる液晶パネルは図２に示す液晶パネル１００のうち、まだデータ線駆動回路２５０と走査線駆動回路３５０とが実装される前の段階のものである（以下、データ線駆動回路２５０と走査線駆動回路３５０とが実装されていない液晶パネル１００を、液晶パネル１０１という）。
図９は、本実施形態に係る押圧検査系１の構成を示す図である。検査治具２は、検査台１１と、検査対象となる液晶パネルを保持するための案内板３と、液晶パネルの点灯状態を確認するためのバックライト４と、偏光板５とを有する。案内板３はさらに、液晶パネル１０１を載置するための下案内板６と、液晶パネル１０１を固定するための上案内板７とから構成される。下案内板６は、検査台１１に固定されている。下案内板６は、液晶パネル１０１の形状に合わせて作製された凹部を有しており、この部分に液晶パネル１０１を設置することができる。また、下案内板６は、バックライト４からの光を透過するように透明の材質で構成されている。上案内板７は、液晶パネル１０１の表面に押圧を印加するための開口部８と、開口部８の周辺に設けられ、走査線３１２およびデータ線２１２と、後述する検査用交流電源２０とを電気的に接続するためのプローブ部９を有している。上案内板７は、穴１３にシャフト１２を貫通することにより、水平方向に移動可能な構造となっている。上案内板７を最下部に位置させると、上案内板７と下案内板６との間に液晶パネル１０１が挟み込んで固定され、配線３４２とプローブ部９とが電気的に接続される。プローブ部９は、データ線２１２に駆動信号を供給するためのプローブ部９Ｘと、走査線３１２に駆動信号を供給するためのプローブ部９Ｙとから構成される。プローブ部９Ｘは、１列目〜２４０列目のデータ線に、共通の駆動信号を供給する構成となっており、一方プローブ部９Ｙは、１行目〜３２０行目の走査線の各々に別個の駆動信号を供給可能な構成となっている。
【００２３】
押し棒１４は、液晶パネル１０１の表面に圧力を印加するためのものである。押圧検査時の圧力が必要以上に大きすぎると、色ムラ等の不良を発生させることとなってしまうため、押し棒１４は、押圧を制御可能な機構を有することが望ましい。本実施形態において、押し棒１４は、エアシリンダ式の押し棒であり、液晶パネル１０１の表面に印加する圧力を制御することが可能である。
【００２４】
検査用交流電源２０は、液晶パネル１０１に押圧検査用の駆動電圧を印加するための電源である。液晶パネル１０１はデータ線駆動回路２５０および走査線駆動回路３５０を有していないので、検査用交流電源２０は、駆動信号を液晶パネル１０１に直接与えるものである。また、検査用直流電源３０は、従来技術と同様の直流駆動電圧を印加するための電源である。
【００２５】
図１０は、検査用交流電源２０が出力する駆動信号の波形を例示する図である。
走査信号Ｙｉは、１〜３２０行目の走査線３１２を順次選択するための信号であり、ある期間毎に選択電圧＋ＶS、−ＶSのいずれかをとる。図１０に示されるように、同一の走査線３１２に対しては１水平走査期間（１Ｈ）毎に選択電圧の極性が反転し、また、隣接する走査線３１２については、同一の水平走査期間内では選択電圧の極性が交互に反転する関係となっている。
データ信号Ｘｊとしては、１列目〜２４０列目のすべてのデータ線２１２に対し図１０に示される共通の信号が与えられる。データ信号Ｘｊは、一定の周期で交互に＋ＶDと−ＶDの電圧値をとる矩形波である。図１０に示すように、ある走査線３１２に選択電圧が印加されたときに、データ線２１２に印加される検査電圧は、選択電圧と逆の極性を有する関係となっている。
【００２６】
図１０に示される駆動信号によれば、ｉ行目の走査線３１２が選択された場合には、液晶容量１１８には、選択電圧と検査電圧の差に応じた電荷が蓄積され、ｉ行目のすべての画素１１６は、選択電圧と検査電圧の差に応じた階調表示をする。走査線３１２は１行目から順次選択されていくので、液晶パネル１０１が何ら欠陥の無い良品であれば液晶パネル１０１上のすべての画素１１６は、選択電圧と検査電圧の差に応じた同一の階調表示をするはずである。しかし、導電性異物の存在により画素電極２３４と走査線３１２（対向電極）とが短絡した場合は、短絡した画素に対応するデータ線２１２と走査線３１２の電位は、駆動信号にかかわらず同電位となるので、短絡した画素を交点とする十字状線欠陥（ノーマリーホワイトモードの場合は、白い十字状線欠陥）が生じる。したがって、作業者が目視検査することにより導電性異物が混入した不良品を検出することができる。
なお、図１０のデータ信号Ｘｊは、図８に示すデータ信号Ｘｊのうち、灰色の階調に相当するものと同一である。これは、この階調が十字状線欠陥を視認しやすいという理由によるものであり、本発明をこれに限定する趣旨ではない。
また、図１０に示されるように、データ信号Ｘｊは、実効電圧が同じ場合、正弦波よりも矩形波が好ましい。さらに、液晶１６０に印加される電圧としては、８Ｖｐｐ（両振幅８Ｖ）の電圧（中間階調表示を生じる電圧）が好適である。
【００２７】
＜従来技術の押圧検査と本実施形態との比較＞
ここで、従来技術による押圧検査について概説し、その後、本実施形態との差異について説明する。
図１１は、従来技術による押圧検査の際に、データ線２１２および走査線３１２に与えられるデータ信号Ｘｊおよび走査信号Ｙｉの波形を例示する図である。押圧検査は欠陥画素を発見することを目的とするものであるため、検査対象となる液晶パネルのすべての画素に対して同一の階調表示を行わせればよい。したがって、従来は、検査装置の構成を簡単にするため、直流電源を用いて検査を行っていた。すなわち、図１１に示されるように、すべての走査線３１２に対して選択電圧＋ＶSが与えられ、すべてのデータ線２１２に対して検査電圧−ＶDが与えられる。これにより、全画素同一の階調表示が行われていた。
【００２８】
これに対し、本実施形態では、交流電源である検査用交流電源２０を用いて、図１０に示すような駆動信号を与えるものである。すなわち、画素１１６のうち特定の１の画素に注目してみると、液晶容量１１８には選択電圧とデータ電圧の差に相当する電圧がパルス的に印加されることとなる。これにより、液晶１６０内に混入した導電性異物は、液晶容量１１８に印加される電圧に応じて液晶１６０内を移動することとなる。
【００２９】
従来技術による押圧検査においては、セルギャップが広い部分に位置する導電性異物（図５：Ａ）は、液晶パネル表面に圧力を印加しても画素電極２３４と走査線３１２とを短絡させるには至らず、その検出が困難であった。これに対し、本実施形態によれば、交流電圧の印加により導電性異物は液晶１６０内を移動するので、導電性異物がセルギャップが狭い部分に移動したとき（図５：Ｂ）に圧力を加えることにより、画素電極２３４と走査線３１２とが短絡されるに至る。画素電極２３４と走査線３１２とが短絡すれば十字線状欠陥が現れるので、作業者の目視により確認することができる。このようにして、本実施形態に係る検査方法によれば、液晶１６０への導電性異物の混入を検出できる確率を向上させることができる。
【００３０】
＜実施例＞
以下、本実施形態に係る検査方法の実施例を述べる。
作業者は、検査対象となる液晶パネル１０１を、検査治具２にセットする。作業者は、検査用直流電源３０を操作し、図１１に示す直流駆動信号を液晶パネル１０１に供給しながら、押し棒１４を用いて液晶パネル１０１の表面に圧力を印加する。この時点で十字状線欠陥が検出された場合、作業者は、検査対象となっている液晶パネル１０１を不良品と判定する。直流駆動信号によっては十字状線欠陥が検出されなかった場合、作業者は検査用交流電源２０を操作し、図１０に示す交流駆動信号を液晶パネル１０１に供給しながら、押し棒１４を用いて液晶パネル１０１の表面に圧力を印加する。交流駆動信号の周波数は、導電性異物を移動させるには低い方が好ましいが、周波数が低すぎると作業者の目視に支障をきたすので、５０〜１００Ｈｚが好適である。作業者は、押し棒１４でしばらく圧力を印加した後、押し棒１４を液晶パネル１０１の表面から離し、圧力を緩和する。作業者はこのように、交流駆動信号を印加しながら圧力の印加、緩和を所定回数繰り返し行う。作業者は、十字状線欠陥が検出された時点で検査対象となっている液晶パネル１０１を不良品と判定する。なお、押し棒１４により液晶パネル１０１に印加される圧力、圧力の印加・緩和のサイクルの回数等のパラメータは、液晶パネル１０１の形状、市場での故障率等のデータにより定められる。
以上のような検査方法を実際に採用することにより、不良品の検出率を３〜４倍に向上させることができた。
【００３１】
＜変形例＞
本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。
図１２は、本発明の変形例に係る駆動信号の波形を示す図である。上述の実施形態においては、１行目〜３２０行目の走査線３１２にそれぞれ異なる信号を印加、すなわち、通常の表示動作と同様に、走査線３１２を１本ずつ選択する選択信号を順次供給する構成について説明した。しかし、図１２に示されるように、１行目〜３２０行目のすべての走査線３１２に対し、共通の選択信号を、検査中常に供給する構成としてもよい。このような構成によれば、走査線３１２の各々に対し別個の駆動信号を供給する必要がなく、共通の駆動信号を供給すればよいので、検査治具２および検査用交流電源２０の構成を簡略化できるという利点がある。
また、液晶パネル１００の製造工程において、液晶パネル１０１に対し実施形態で説明した押圧検査を実施した後に、データ線駆動回路２５０と走査線駆動回路３５０とをＣＯＧ実装してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係る検査の対象となる電気光学装置１０の構成を示す図である。
【図２】液晶パネル１００の全体構成を示す斜視図である。
【図３】液晶パネル１００をＸ方向に切断した断面を示す断面図である。
【図４】画素１１６の構造を示す部分断面斜視図である。
【図５】液晶パネル１００をＹ方向に切断した断面を示す断面図である。
【図６】走査線駆動回路３５０による走査信号の波形を示す図である。
【図７】データ線駆動回路２５０によるデータ信号の波形を示す図である。
【図８】走査信号およびデータ信号の各信号波形を示す図である。
【図９】本実施形態に係る押圧検査系１の構成を示す図である。
【図１０】検査用交流電源２０が出力する駆動信号の波形を例示する図である。
【図１１】従来技術による駆動信号の波形を例示する図である。
【図１２】本発明の変形例に係る駆動信号の波形を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１…押圧検査系、２…検査治具、３…案内板、４…バックライト、５…偏光板、６…下案内板、７…上案内板、８…開口部、９…プローブ部、１０…電気光学装置、１１…検査台、１２…シャフト、１３…穴、１４…押し棒、２０…検査用交流電源、３０…検査用直流電源、１００…液晶パネル、１０１…液晶パネル、１１０…シール材、１１２…封止材、１１４…導電性粒子、１１６…画素、１１８…液晶容量、１２１…偏光子、１３１…偏光子、１５０…ＦＰＣ基板、１６０…液晶、２００…素子基板、２０８…配向膜、２１２…データ線、２２０…ＴＦＤ、２２２…導電体、２２４…絶縁体、２２６…導電体、２３４…画素電極、２５０…データ線駆動回路、３００…対向基板、３０８…配向膜、３１２…走査線、３４２…配線、３５０…走査線駆動回路、３５１…樹脂層、３５２…反射層、３５３…遮光層、３５４…オーバーコート層、３５５…着色層、４００…制御回路、５００…電圧生成回路、５１１…供給線、５１２…供給線、５１３…供給線、５１４…供給線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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