(57)【要約】【課題】  ヤングフリンジ法用いて透過形電子顕微鏡の情報限界を測定する際に、信頼性の高い二重露光像を簡易に撮影できる装置を提供する。【解決手段】  ヤングフリンジ法撮影に必要な条件を、記憶装置26に予め記憶させておき、ヤングフリンジ法撮影が選択されると、電子顕微鏡像をずらす量と露光時間と偏向を繰り返す回数等の撮影に必要な条件を記憶装置26から読出し、装置を設定する。撮影条件に基づいて偏向コイル9を制御し、ヤングフリンジ法撮影を自動的に行う。【選択図】図1
2006107923.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子銃と、電子光学系と、試料位置より下方に位置する偏向コイルと、電子顕微鏡像の観察及び撮影装置を有し、
電子顕微鏡の情報限界を測定するために、試料の同一視野における電子顕微鏡像の位置をずらして二重露光するヤングフリンジ法撮影を行う電子顕微鏡において、
前記ヤングフリンジ法撮影のモードを選択する選択手段と、前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件を記憶しておく記憶手段と、前期記憶手段から前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件を読み出して前記電子顕微鏡を前記撮影条件に設定する手段と、前記ヤングフリンジ法撮影の開始を指示する指示手段と、前記設定された撮影条件に基づいて前記偏向コイルを制御する制御手段とを備えたことにより、前記ヤングフリンジ法撮影を自動的に行うことを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項２】
前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件は、
電子顕微鏡像をずらす量と、前記ヤングフリンジ法撮影に要する全露光時間と、前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像が始めの像位置からずらした像位置へ移動するように前記偏向コイルを用いて偏向を行う回数である、ことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
【請求項３】
前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件は、
電子顕微鏡像をずらす量と、前記ヤングフリンジ法撮影に要する全露光時間と、前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像をずらす周期（全露光時間÷前記電子顕微鏡像が始めの像位置からずらした像位置へ移動するように前記偏向コイルを用いて偏向を行う回数）である、ことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
【請求項４】
前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件は、
電子顕微鏡像をずらす量と、前記ヤングフリンジ法撮影に要する全露光時間と、前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像が始めの像位置からずらした像位置へ移動するように前記偏向コイルを用いて偏向を行う回数と、前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像をずらす周期である、ことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
【請求項５】
前記ヤングフリンジ法撮影に用いる撮影媒体は、フィルム若しくはＣＣＤカメラのうちの少なくともひとつである、ことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
【請求項６】
前記ヤングフリンジ法撮影に用いる撮影媒体の種類に基づいて、前記ヤングフリンジ法撮影に適する全露光時間の設定を変える、ことを特徴とする請求項１または５に記載の電子顕微鏡。
【請求項７】
前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件を前記記憶手段に入力する入力手段を備えた、ことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
【請求項８】
前記ヤングフリンジ法撮影を行う電子顕微鏡のカメラ長と倍率と撮影を希望するヤングフリンジ幅に基づいて前記電子顕微鏡像をずらす量を算出する演算手段と、前記演算手段によって算出された前記電子顕微鏡像をずらす量を前記記憶手段に入力する入力手段を備えた、ことを特徴とする請求項１または７に記載の電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透過形電子顕微鏡（以下単に、電子顕微鏡）の情報限界を測定するための、ヤングフリンジ法撮影方法の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡の性能の指標として、情報限界（インフォメーションリミット）が使われる。情報限界は、非晶質試料を用いて定義される高分解能電子顕微鏡法（ＨＲＥＭ：High-resolution electron microscopy）像が持つ分解能の理論的限界のことである。電子顕微鏡の情報限界の測定には、通常のゲルマニウムの非常に薄い非晶質試料を用い、高倍率で撮影した電子顕微鏡像を光学的あるいは計算機上でフーリエ変換を行い、その空間周波数を測定する方法がとられる。
【０００３】
対物レンズ球面収差補正器を搭載した電子顕微鏡や超高圧電子顕微鏡のように、極めて高い点分解能を持った装置の情報限界の測定には、ヤングフリンジ法が用いられる。ヤングフリンジは、点光源からでた干渉性の高いビームが二つのスリットを通る時、スリットから出た波動が干渉して生じる縞模様である。スリットの間隔が短いほどヤングフリンジの間隔は短くなる。ある距離だけ試料位置をずらしてフィルム上に二重露光し、得られた二つの非晶質試料のＨＲＥＭ像を、光回折法を使ってフーリエ変換するとヤングフリンジが得られる。この縞模様の現われる領域の半径から、電子顕微鏡の情報限界を得る方法をヤングフリンジ法と呼んでいる。近年の電子顕微鏡はフィルムだけでなく、ＣＣＤカメラなどの二次元電子検出器を備えている装置が多い。これらを用いて撮影されたデジタルデータを演算処理すれば、フィルムを用いる場合より迅速に情報限界を得ることが可能である。
【０００４】
ヤングフリンジ法では、試料の同一視野における電子顕微鏡像の位置を少しずらして二重露光する必要がある。通常は数秒以下という極めて短時間の内に二枚の像を撮影するため、試料の位置より下方に位置する偏向コイルを用いて、カメラに対して像を相対的にずらし、全露光時間の半分ずつを、始めの位置の像とずらした像とに割り振る方法をとる。偏向コイルとしては、投影レンズ偏向コイル（ＰＬＡ：Projector lens alignment coil)を用いるのが一般的である。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−２３５２７６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のように、ヤングフリンジ法では試料の同一視野における電子顕微鏡像の位置をある距離ずらして二重露光する。そのずらした距離に応じて縞模様ができる。縞の数は１０〜３０本程度が適当であるが、そのためには像をずらす距離は１〜３ｎｍ程度に設定する必要がある。従来は、撮影前に操作者が電子顕微鏡を設定して、実際の試料上でヤングフリンジの撮影が可能な条件を探していた。像の撮影準備を完了した後、操作者が時計を見ながら先ず始めの像位置での露光を行い、全露光時間の半分の時間が経過した後、偏向コイルつまみのノッチを適当量回して像位置をずらし、予定の全露光時間が経過したら露光を終了させている。
【０００７】
従来はヤングフリンジを撮影する条件を探す手間が必要なだけではなく、ヤングフリンジ法撮影を操作者が手動で行っているため、様々な問題がある。先ず撮影の途中で操作者が偏向コイルつまみのノッチを機械的に動かすため、像に振動の影響が現われる原因になりやすい。また、二重露光する時の時間は全露光時間の半分ずつにしなければならないが、全露光時間は高々数秒程度と極めて短時間なので、手動で正確に半分ずつにすることは困難であり、それだけデータの信頼度が低下する。また、偏向コイルつまみのノッチ間隔によって、像位置をずらす距離に制限が生じるため、操作者の目的に合うようにずらす量を設定することができないという問題もある。
【０００８】
もうひとつ、ヤングフリンジ法撮影を手動で行う場合の問題が存在する。すなわち、電子線を試料に照射すると、試料位置ドリフトやコンタミの影響のため、露光時間の前半と後半で像の状態が変化する可能性がある。したがって、異なる像位置で露光を行っている時の試料状態はできるだけ近い条件にすることが望まれる。しかし、操作者が手動で像位置をずらす場合には、前半に始めの像位置で撮影し、後半にずらした像位置で撮影するという分割方法しかとることができない。この問題は、全露光時間を細かく分割し、二つの像位置の露光を交互に繰り返す方法によらなければ解決が困難である。本発明の目的は、ヤングフリンジ法撮影を自動化することによりこれらの問題を解決することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の問題を解決するために、本発明は、
電子銃と、電子光学系と、試料位置より下方に位置する偏向コイルと、電子顕微鏡像の観察及び撮影装置を有し、
電子顕微鏡の情報限界を測定するために、試料の同一視野における電子顕微鏡像の位置をずらして二重露光するヤングフリンジ法撮影を行う電子顕微鏡において、
前記ヤングフリンジ法撮影のモードを選択する選択手段と、前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件を記憶しておく記憶手段と、前期記憶手段から前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件を読み出して前記電子顕微鏡を前記撮影条件に設定する手段と、前記ヤングフリンジ法撮影の開始を指示する指示手段と、前記撮影条件に基づいて前記偏向コイルを制御する制御手段とを備えたことにより、前記ヤングフリンジ法撮影を自動的に行うことを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件は、
電子顕微鏡像をずらす量と、前記ヤングフリンジ法撮影に要する全露光時間と、前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像が始めの像位置からずらした像位置へ移動するように前記偏向コイルを用いて偏向を行う回数であることを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件は、
電子顕微鏡像をずらす量と、前記ヤングフリンジ法撮影に要する全露光時間と、前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像をずらす周期（全露光時間÷前記電子顕微鏡像が始めの像位置からずらした像位置へ移動するように前記偏向コイルを用いて偏向を行う回数）であることを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件は、
電子顕微鏡像をずらす量と、前記ヤングフリンジ法撮影に要する全露光時間と、前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像が始めの像位置からずらした像位置へ移動するように前記偏向コイルを用いて偏向を行う回数と、前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像をずらす周期であることを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、前記ヤングフリンジ法撮影に用いる撮影媒体は、フィルム若しくはＣＣＤカメラのうちの少なくともひとつであることを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、前記ヤングフリンジ法撮影に用いる撮影媒体の種類に基づいて、前記ヤングフリンジ法撮影に適する全露光時間の設定を変えることを特徴とする。
【００１５】
また本発明は、前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件を前記記憶手段に入力する入力手段を備えたことを特徴とする。
【００１６】
また本発明は、前記ヤングフリンジ法撮影を行う電子顕微鏡のカメラ長と倍率と撮影を希望するヤングフリンジ幅に基づいて前記電子顕微鏡像をずらす量を算出する演算手段と、前記演算手段によって算出された前記電子顕微鏡像をずらす量を前記記憶手段に入力する入力手段を備えたことを特徴とする。  
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、前記ヤングフリンジ法撮影のモードを選択する選択手段と、前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件を記憶しておく記憶手段と、前期記憶手段から前記ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件を読み出して電子顕微鏡を前記撮影条件に設定する手段と、前記ヤングフリンジ法撮影の開始を指示する指示手段と、前記撮影条件に基づいて前記偏向コイルを制御する制御手段とを備えたことにより、ヤングフリンジ法撮影を自動的に行うことができるので、
ヤングフリンジ法撮影に必要な撮影条件を操作者がいちいち探して、装置を撮影条件に設定する手間が不要となり迅速な撮影ができるようになった。また、撮影途中に操作者が偏向コイルつまみを回す必要が無くなり、撮影している像に振動の影響が出なくなった。また、像位置をずらす量が偏向コイルつまみのノッチ量に依存しないので、操作者が目的とするヤングフリンジの幅を任意に設定できるようになった。また、操作者が手動で露光時間を計測する方法に比べて、二つの像位置の露光時間を正確に等しく設定できるので信頼性の高いデータを得ることができるようになった。
【００１８】
また、本発明によれば、全露光時間を細かく分割して二つの像位置の露光を交互に繰り返すようにしたので、電子線照射による試料のドリフトや汚染といった経時変化の影響でデータの信頼性が低下する問題を軽減できるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１に、本発明の実施に係わる電子顕微鏡の構成例を示す。
【００２０】
背景技術の中で述べたように、ヤングフリンジ法撮影に用いる撮影媒体は、フィルムでもＣＣＤカメラでも可能であり、少なくともそのどちらかの方法が可能であれば良いが、説明の都合上、図1にはフィルムとＣＣＤカメラの両方の方法が可能な構成例を示している。図1の構成に拘わらず、本発明を実施する要件のひとつは、フィルム若しくはＣＣＤカメラの少なくともひとつの媒体を用いてヤングフリンジ法撮影を行うことのできる電子顕微鏡である。
【００２１】
図１において、鏡筒１の中の電子銃２から放射された電子線３は、集束レンズ系５により試料６に照射され、中間レンズ系８と投影レンズ系10を経て、顕微鏡像12が蛍光板13に投影される。蛍光板13で顕微鏡像12を観察する時は、蛍光板13は下げられた状態にあり、フィルム14やCCDカメラ15には顕微鏡像12が映らない状態にあり、またビームブランキング偏向器４がOFFでビームは電子線通路を通過する状態であり、機械シャッタ11も開けられた（電子線通路から引き抜かれた）状態にある。
【００２２】
蛍光板13に投影されている顕微鏡像12をフィルムで撮影する場合は、一旦機械シャッタ11を閉めて（電子線通路に入れて電子線を遮蔽）、フィルム14を送りマガジン（図示せず）から撮影位置に搬送し、蛍光板13を上げて顕微鏡像12がフィルム14に投影可能な状態にする。次に露光に必要な時間だけ機械シャッタ11を開けて撮影する。機械シャッタ11が閉まって撮影が終了すると、撮影済のフィルム14は受けマガジン（図示せず）に搬送される。
【００２３】
蛍光板13に投影されている顕微鏡像12をＣＣＤカメラ15で撮影する場合は、一旦ビームブランキング偏向器４をONにして電子線の進行方向を曲げ、絞り（図示せず）で電子線が遮蔽されて試料に電子線が照射されないようにしてから、蛍光板13を上げて顕微鏡像12がＣＣＤカメラ15に投影可能な状態にする。次に、ビームブランキング偏向器４をOFFにして電子線を試料に照射し、露光に必要な時間だけ撮影する。ビームブランキング偏向器４がONとなって電子線が遮蔽され撮影が終了すると、ＣＣＤカメラで撮影されたデータは画像処理装置21に送られる。
【００２４】
フィルムを用いる場合でもＣＣＤカメラを用いる場合でも、通常の顕微鏡像の撮影は上述した手順でおこなえばよいが、本発明においては撮影媒体への露光中に、偏向コイル９を指示された条件で動作させるところに特徴がある。偏向コイル９そのものは、本発明を実施するために新たに専用に配置したものでも良いし、背景技術の中で述べたように、元々投影レンズ系に付属して配置されているＰＬＡなど、試料位置より下方に配置されている条件を満たす偏向コイルを利用したものでも良い。
【００２５】
ビームブランキング偏向器４、偏向コイル９、機械シャッタ11、蛍光板13、フィルム14の動作は、それぞれビームブランキング偏向器制御部16、偏向コイル制御部17、機械シャッタ制御部18、蛍光板制御部19、フィルム制御部20とそれらに接続されているインタフェース22を介して制御演算処理装置23により制御されている。制御演算処理装置23は、画像処理装置21から送られてくるデータから情報限界を求めるための演算処理なども行う。表示装置24は陰極線管／液晶等のディスプレイ、入力装置25はマウス／キーボード等である。記憶装置26にはヤングフリンジ法撮影に必要な撮影条件が予め記憶されているが、操作者が入力装置25から撮影条件を入力し、制御演算処理装置23を介して記憶させることもできる。
【００２６】
実際の装置では、電子銃２、集束レンズ系５、対物レンズ系７、中間レンズ系８、投影レンズ系10等も、それぞれの制御系を持ち、インタフェース22を介して制御されるが、図を簡単にするため省略してある。
【００２７】
次に、ヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件について説明する。
【００２８】
憶装置26に記憶されているヤングフリンジ法撮影の撮影に必要な撮影条件は、電子顕微鏡像をずらす量と、前記ヤングフリンジ法撮影に要する全露光時間と、前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像が始めの像位置からずらした像位置へ移動するように前記偏向コイルを用いて偏向を行う回数である。
【００２９】
前記電子顕微鏡像をずらす量については、ヤングフリンジ法撮影に適する倍率において、電子顕微鏡像をずらす量を適した大きさにするための偏向コイル9を制御する偏向コイル制御部17に与える制御量が記憶装置26に記憶されている。さらに、倍率、カメラ長、得たいヤングフリンジ幅を与えることによって電子顕微鏡像をずらす量を演算によって求め、記憶装置26に記憶させておくための入力手段も備えられている。
【００３０】
前記ヤングフリンジ法撮影に要する全露光時間は、使用する撮影媒体によって異なる。撮影媒体にフィルムを使用する場合の全露光時間は、通常１〜２秒が適当である。この時間は、電子顕微鏡像のドリフトやフィルムの感光感度などを考慮して経験的に求められたものである。ＣＣＤカメラはフィルムに比べて感光感度が一桁程度高いので、撮影媒体にＣＣＤカメラを使用する場合の全露光時間は、0.1〜0.2秒程度でよい。従って、記憶装置26に予め記憶しておく時間は、撮影媒体ごとに例えばフィルムは2秒、ＣＣＤカメラは0.2秒としておいて、指定された撮影媒体に応じて読み出されるようになっている。上記と異なる時間を設定したい場合は、操作者が入力手段25から制御演算処理装置23を介して記憶装置26に入力できるようにしておけばよい。
【００３１】
前記全露光時間内に前記電子顕微鏡像が始めの像位置からずらした像位置へ移動するように前記偏向コイルを用いて偏向を行う回数については、少なくとも１回が必要である。従って、記憶装置26に予め記憶されている回数を例えば１回としておき、２回以上の繰り返しを希望する場合は、操作者が入力手段25から制御演算処理装置23を介して記憶装置26に前記偏向を行う回数を入力できるようにしておけばよい。
【００３２】
次に図２、図３のフロー図に基づいて本発明の実施形態例１，２を説明する。図２の実施形態例１は撮影媒体にフィルムを用いた場合、図３の実施形態例２は撮影媒体にＣＣＤカメラを用いる場合である。それぞれのフロー図中に使用されているステップ１、３、５の図形（上下逆台形）は、操作者が入力や指示を行うステップであることを表している。ステップ４と６以下に使用されている図形（左右端が２重線の長方形）は、予め決められているプロセスが実行プログラムによって実行されることを表している。
【００３３】
先ず、図２のフロー図について説明する。
（ステップ１）：表示装置24に表示されている各種撮影モードの中から、“ヤングフリンジ法撮影”モードを、入力装置25により操作者が選択する。
（ステップ２）：記憶装置26に予め記憶されているヤングフリンジ法撮影の撮影条件を使う場合はステップ4に進み、変更した条件を使う場合はステップ3に進む。予め記憶されている条件を使うか使わないかの選択は、ステップ1のモード選択の際に分かれていても良いし、前記モード選択の後に操作者が選べるようになっていても良い。
（ステップ３）：操作者は、撮影条件を入力する。望ましくは、記憶装置26に予め記憶されている条件が表示されて、変更したい条件のみ入力できるようになっているとよい。
（ステップ４）：制御演算処理装置23は、記憶装置26から記憶されている撮影条件を読出し、装置を撮影条件に設定する。
（ステップ５）：表示装置24に表示されている撮影開始ボタンをマウスでクリックするなどして、“ヤングフリンジ法撮影”の開始を操作者が指示するとステップ４以下の動作に移る。
（ステップ６〜９）：ステップ６〜８の動作は、殆ど同時に平行して行われる。機械シャッタ11が開くことによりフィルム14への露光が開始される。
（ステップ10）：ステップ４で設定された条件に従って偏向コイルが電子線の偏向を繰り返す。例えば図４のタイムチャートに示すように、全露光時間：２秒、回数：１０回が指定されている場合、露光開始から0.1秒間は始めの像位置で露光され、0.1秒経過後にずらした像位置になるように電子線が偏向されて露光が行われる。偏向後0.1秒経過してから再び始めの像位置になるように電子線が振り戻される。この動作（露光開始から電子線の振り戻しまで）が１０回繰り返される。
（ステップ11）：所定の露光時間が経過し、制御演算処理装置23からの指示により機械シャッタ11が閉まると、電子線が試料に照射されなくなるので露光は終了する。
（ステップ12）：ステップ10で行われていた偏向コイル9の偏向動作が終了する。
（ステップ13）：蛍光板13が下がり、蛍光板13での顕微鏡像の観察が可能な状態となる。
（ステップ14）：撮影の済んだフィルムが、撮影位置から受けマガジン（図示せず）に送られ、収納される。
（ステップ15）：制御演算処理装置23からの指示により機械シャッタ11が開き、蛍光板13に顕微鏡像が投影されて再び観察可能となる。
【００３４】
次に、図３のフロー図について説明する。
機械シャッタの開け閉めを極めて短時間のうちに行うのは困難なため、撮影媒体にＣＣＤカメラを用いる場合はビームブランキング偏向器14を用いる方が好ましい。
（ステップ１）：表示装置24に表示されている各種撮影モードの中から、“ヤングフリンジ法撮影”モードを、入力装置25により操作者が選択する。
（ステップ２）：記憶装置26に予め記憶されているヤングフリンジ法撮影の撮影条件を使う場合はステップ4に進み、変更した条件を使う場合はステップ3に進む。予め記憶されている条件を使うか使わないかの選択は、ステップ1のモード選択の際に分かれていても良いし、前記モード選択の後に操作者が選べるようになっていても良い。
（ステップ３）：操作者は、撮影条件を入力する。望ましくは、記憶装置26に予め記憶されている条件が表示されて、変更したい条件のみ入力できるようになっているとよい。
（ステップ４）：制御演算処理装置23は、記憶装置26から記憶されている撮影条件を読出し、装置を撮影条件に設定する。
（ステップ５）：表示装置24に表示されている撮影開始ボタンをマウスでクリックするなどして、“ヤングフリンジ法撮影”の開始を操作者が指示するとステップ４以下の動作に移る。
（ステップ６〜８）：ステップ６、７の動作は、殆ど同時に平行して行われる。ビームブランキング偏向器４がOFFとなって電子線が試料に照射され、フィルム14への露光が開始される。
（ステップ９）：露光開始と同時に、ステップ４で設定された条件に従って偏向コイル9が電子線の偏向を繰り返す。ＣＣＤカメラはフィルムより感度が高いため、フィルムを使う場合よりおよそ一桁短い露光時間でよい。例えば、全露光時間：0.2秒、回数：５回の場合、露光開始から0.02秒間は始めの像位置で露光され、0.02秒経過後にずらした像位置になるように電子線が偏向され露光が行われる。偏向後0.02秒経過してから再び始めの像位置になるように電子線が振り戻される。この動作（露光開始から電子線の振り戻しまで）が５回繰り返される。
（ステップ10）：所定の露光時間が経過し、制御演算処理装置23からの指示によりビームブランキング偏向器４がONとなり、電子線が試料に照射されなくなるので露光は終了する。
（ステップ11）：ステップ９で行われていた偏向コイル9の偏向動作が終了する。
（ステップ12）：蛍光板13が下がり、蛍光板13での顕微鏡像の観察が可能な状態となる。
（ステップ13）：制御演算処理装置23からの指示によりＣＣＤカメラ15からデータが画像処理装置21に転送される。
（ステップ14）：制御演算処理装置23からの指示によりビームブランキング偏向器4がOFFとなって電子線が試料に照射され、蛍光板13に顕微鏡像が投影されて再び観察可能となる。
【００３５】
以上、撮影媒体がフィルム若しくはＣＣＤカメラのいずれかに決められている場合のフローを別々に説明したが、フィルムとＣＣＤカメラのどちらでも選択できるようになっている装置もある。その場合には、例えばステップ1のモードで、フィルム／ＣＣＤカメラの選択を行い、ステップ３以降は選択された撮影媒体に従って図２または３のフローに沿って実行するようになっていても良い。
【００３６】
フィルム若しくはＣＣＤカメラによって撮影された後、実際のヤングフリンジを得て電子顕微鏡の情報限界を測定する手順はそれぞれの撮影媒体で異なるが、本発明の要件ではないので具体的な説明は省く。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施に係わる透過電子顕微鏡の構成例。
【図２】本発明のヤングフリンジ法撮影方法を、フィルムを用いて行う場合のフロー図。
【図３】本発明のヤングフリンジ法撮影方法を、ＣＣＤカメラを用いて行う場合のフロー図。
【図４】偏向コイルにより像位置を繰り返しずらす動作例を説明するためのタイムチャート。
【符号の説明】
【００３８】
（図１の符号の説明）
１：鏡筒                          14：フィルム
２：電子銃                        15：ＣＣＤカメラ
３：電子線                        16：ビームブランキング偏向器制御部
４：ビームブランキング偏向器      17：偏向コイル制御部
５：集束レンズ系                  18：機械シャッタ制御部
６：試料                          19：蛍光板
７：対物レンズ系                  20：フィルム制御部
８：中間レンズ系                  21：画像処理部
９：偏向コイル                    22：インタフェース
10：投影レンズ系                  23：制御演算処理装置
11：機械シャッタ                  24：表示装置
12：電子顕微鏡像                  25：入力装置
13：蛍光板                        26：記憶装置
【図１】
2006107923.tif 000003
【図２】
2006107923.tif 000004
【図３】
2006107923.tif 000005
【図４】
2006107923.tif 000006