(57)【要約】【課題】オペレータが基板の欠陥を検査するために適した照明を提供することにより、オペレータが欠陥を確認する際の作業効率を向上させる。【解決手段】目視確認装置の制御部に照明制御部４８６を設ける。さらに、照明制御部４８６に方向決定部４８６ａおよび光量決定部４８６ｂを設ける。また、照明機構４６を複数の光源がリング状に配置された分割リング照明とする。方向決定部４８６ａおよび光量決定部４８６ｂは、欠陥に関する情報である欠陥データ１００に応じて照明方向および照明光量を決定する。照明制御部４８６は、照明機構４６の複数の光源のうち点灯する光源を選択することにより方向決定部４８６ａが決定した照明方向となるように照明機構４６を制御する。また、点灯する光源の光量を光量決定部４８６ｂが決定した照明光量となるように照明機構４６を制御する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オペレータが基板の欠陥を確認するための目視確認装置であって、
基板を保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された前記基板に向けて、照明光を照射する照明手段と、
前記基板の欠陥に関する情報を欠陥情報として取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段により取得された前記欠陥情報に応じて、前記照明手段を制御する照明制御手段と、
前記照明手段により照明された状態の前記基板の欠陥の像を前記オペレータに提供する提供手段と、
を備えることを特徴とする目視確認装置。
【請求項２】
請求項１に記載の目視確認装置であって、
前記照明制御手段は、前記欠陥情報に応じて前記照明光の光量を決定し、決定した光量となるように前記照明手段を制御することを特徴とする目視確認装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の目視確認装置であって、
前記照明制御手段は、前記欠陥情報に応じて前記照明光の照射方向を決定し、決定した照射方向となるように前記照明手段を制御することを特徴とする目視確認装置。
【請求項４】
請求項３に記載の目視確認装置であって、
前記照明手段が、
前記基板の欠陥に対して、互いに異なる方向から光を照射する複数の光源を備え、
前記照明制御手段は、前記複数の光源を選択的に点灯させることにより、前記照明光の照射方向を決定することを特徴とする目視確認装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の目視確認装置であって、
前記提供手段が、
前記基板の欠陥の像を拡大する顕微鏡を備えることを特徴とする目視確認装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の目視確認装置であって、
前記提供手段が、
前記照明手段により照明された前記基板の欠陥の像を画像データとして撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記画像データを、オペレータによる目視確認用に画面表示する表示手段と、
をさらに備えることを特徴とする目視確認装置。
【請求項７】
基板の欠陥を検査する検査システムであって、
基板の欠陥を検出する欠陥検査装置と、
前記欠陥検査装置により検出された前記基板の欠陥をオペレータが確認するための目視確認装置と、
を備え、
前記目視確認装置が、
前記欠陥検査装置により欠陥が検出された基板を保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された前記基板に向けて、照明光を照射する照明手段と、
前記欠陥検査装置により検出された前記基板の欠陥に関する情報を欠陥情報として、前記欠陥検査装置からネットワークを介して取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段により取得された前記欠陥情報に応じて、前記照明手段を制御する照明制御手段と、
前記照明手段により照明された状態の前記基板の欠陥の像を前記オペレータに提供する提供手段と、
を備えることを特徴とする検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、オペレータが基板の欠陥を確認する場合において、当該基板の欠陥を照明する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
オペレータが基板の欠陥を確認する際に、オペレータを補助する装置として目視確認装置が用いられる。目視確認装置は実態顕微鏡または確認モニタを備えており、オペレータは顕微鏡を覗くか、または確認モニタに表示された画像データによって欠陥を観察して、欠陥の確認を行う。このような目視確認装置では、オペレータによる観察を容易なものとするために、照明光源によって照明がされているのが一般的である。
【０００３】
従来より、基板の表面を検査する際に、照明光を適切な状態に調整する技術が提案されている。例えば、照明光の光量を調整する技術が特許文献１に記載されている。特許文献１では、基板を一度撮像し、画像データからパターンの輝度を取得して、この輝度が目標輝度となるように照明光の光量を調整する。これにより、パターンの輝度が常に同じ（適切な）輝度に調整される。
【０００４】
また、照明光の方向を調整する技術が特許文献２に記載されている。特許文献２には、８つの照明光源を撮像光軸の周りに円環状に配置して、その８つの照明光源のうち、点灯する照明光源を適宜選択する技術が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２５６８１４公報
【特許文献２】特許第３１９７４４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、特許文献１に記載されている技術では、パターンの欠陥を観察するために最適な輝度となるように照明光が調整されるため、逆に基板の基材部を観察するには適さないという問題があった。
【０００７】
また、特許文献２に記載されている技術は、各検査項目に応じて照明光の照明方向を選択する技術である。したがって、オペレータが検査している部分（基板の欠陥）について、最適な照明を提供する技術ではない。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、オペレータが基板の欠陥を検査するために適した照明を提供することにより、オペレータが欠陥を確認する際の作業効率を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、オペレータが基板の欠陥を確認するための目視確認装置であって、基板を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記基板に向けて、照明光を照射する照明手段と、前記基板の欠陥に関する情報を欠陥情報として取得する情報取得手段と、前記情報取得手段により取得された前記欠陥情報に応じて、前記照明手段を制御する照明制御手段と、前記照明手段により照明された状態の前記基板の欠陥の像を前記オペレータに提供する提供手段とを備えることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る目視確認装置であって、前記照明制御手段は、前記欠陥情報に応じて前記照明光の光量を決定し、決定した光量となるように前記照明手段を制御することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３の発明は、請求項１または２の発明に係る目視確認装置であって、前記照明制御手段は、前記欠陥情報に応じて前記照明光の照射方向を決定し、決定した照射方向となるように前記照明手段を制御することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項４の発明は、請求項３の発明に係る目視確認装置であって、前記照明手段が、前記基板の欠陥に対して、互いに異なる方向から光を照射する複数の光源を備え、前記照明制御手段は、前記複数の光源を選択的に点灯させることにより、前記照明光の照射方向を決定することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項５の発明は、請求項１ないし４のいずれかの発明に係る目視確認装置であって、前記提供手段が、前記基板の欠陥の像を拡大する顕微鏡を備えることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項６の発明は、請求項１ないし５のいずれかの発明に係る目視確認装置であって、前記提供手段が、前記照明手段により照明された前記基板の欠陥の像を画像データとして撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された前記画像データを、オペレータによる目視確認用に画面表示する表示手段とをさらに備えることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項７の発明は、基板の欠陥を検査する検査システムであって、基板の欠陥を検出する欠陥検査装置と、前記欠陥検査装置により検出された前記基板の欠陥をオペレータが確認するための目視確認装置とを備え、前記目視確認装置が、前記欠陥検査装置により欠陥が検出された基板を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記基板に向けて、照明光を照射する照明手段と、前記欠陥検査装置により検出された前記基板の欠陥に関する情報を欠陥情報として、前記欠陥検査装置からネットワークを介して取得する情報取得手段と、前記情報取得手段により取得された前記欠陥情報に応じて、前記照明手段を制御する照明制御手段と、前記照明手段により照明された状態の前記基板の欠陥の像を前記オペレータに提供する提供手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１ないし６に記載の発明では、情報取得手段により取得された欠陥情報に応じて、照明手段を制御することにより、オペレータは適切な照明がされた欠陥を観察することができるので、正確かつ容易に欠陥を目視確認することができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明では、欠陥情報に応じて照明光の光量を決定し、決定した光量となるように照明手段を制御することにより、照明光を適切に調整することができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明では、欠陥情報に応じて照明光の照射方向を決定し、決定した照射方向となるように照明手段を制御することにより、照明光を適切に調整することができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明では、基板の欠陥に対して、互いに異なる方向から光を照射する複数の光源を備え、複数の光源を選択的に点灯させることにより、照明光の照射方向を決定することにより、照明光の照射方向を容易に決定することができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明では、基板の欠陥の像を拡大する顕微鏡を備えることにより、オペレータが直接基板の欠陥を観察することができる。
【００２１】
請求項６に記載の発明では、照明手段により照明された基板の欠陥の像を画像データとして撮像する撮像手段により撮像された画像データを、オペレータによる目視確認用に画面表示することにより、オペレータが容易に基板の欠陥を観察することができる。
【００２２】
請求項７に記載の発明では、欠陥検査装置により検出された基板の欠陥に関する情報を欠陥情報として、欠陥検査装置からネットワークを介して取得することにより、オペレータの作業負担を軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２４】
＜１．  第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態における目視確認装置４を含む検査システム１の構成例を示す図である。検査システム１は、ネットワーク２を介して欠陥検査装置３と目視確認装置４とが接続された構成となっている。なお、ネットワーク２は、ＬＡＮ（Local Area Network）や公衆回線など、欠陥検査装置３と目視確認装置４との間で、所定の通信プロトコルを用いてデータ通信が可能であればどのようなネットワークであってもよい。また、欠陥検査装置３および目視確認装置４は、ネットワーク２に複数接続されていてもよい。
【００２５】
図２は、欠陥検査装置３の構成を示すブロック図である。欠陥検査装置３は、オペレータが指示を入力する操作部３０、欠陥検査装置３の操作情報などを表示する表示部３１、検査対象物である基板９０の検査面を撮像する撮像部３２、撮像部３２を所定の位置に移動させる移動機構３３、撮像部３２により撮像された画像データを処理する画像処理部３４、ネットワーク２を介して目視確認装置４との間でデータ通信を行う通信部３５、他の構成を制御する制御部３６を備える。
【００２６】
操作部３０は、オペレータが欠陥検査装置３に対して指示を入力する場合などに操作される。具体的には、各種ボタン類、キーボード、マウスなどが該当するが、トラックボールやジョイスティック、タッチパネルなどであってもよい。また、表示部３１は、各種データを表示する液晶ディスプレイであるが、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）や表示ランプなどであってもよい。
【００２７】
撮像部３２は、一般的なＣＣＤカメラと同等の機能を有し、基板９０の検査面を所定の大きさに分割したブロックごとに画像データとして撮像し、撮像した画像データを画像処理部３４に伝達する。
【００２８】
移動機構３３は、制御部３６からの制御信号に基づいて、撮像部３２を所定の位置に移動させる。さらに、撮像部３２の位置をエンコーダなどのセンサで検出し、制御部３６に伝達する。
【００２９】
画像処理部３４は、撮像部３２が撮像した画像データ（基板９０をブロック毎に分割して撮像した画像データ）に対して所定の画像認識処理を行って、欠陥が存在するか否かを判定する。
【００３０】
さらに、画像処理部３４は、検出した欠陥領域の位置と欠陥領域のサイズとに基づいて欠陥データ１００（図７）を生成して、制御部３６に伝達する。なお、本実施の形態における欠陥検査装置３では、欠陥領域の位置情報として、基板９０に対する当該欠陥領域が撮像された画像データの中心座標と当該画像データにおける当該欠陥領域の中心座標とを用い、欠陥領域のサイズ情報として欠陥領域の縦横寸法を用いる。ただし、欠陥領域の位置情報および欠陥領域のサイズ情報としてはこれに限られるものではなく、欠陥領域の位置を示す情報として直接基板９０に対する座標を用いてもよいし、欠陥領域のサイズを示す情報として画素数を用いてもよい。
【００３１】
通信部３５は、画像処理部３４により生成された欠陥データ１００を制御部３６を介して取得し、ネットワーク２を介して目視確認装置４に送信する機能を有する。制御部３６は、図示しないＣＰＵと記憶装置とから構成され、各種データの記憶や演算を実行し、制御信号を生成することによって欠陥検査装置３の他の構成を制御する。
【００３２】
図３は、目視確認装置４の正面図であり、図４は、目視確認装置４の側面図である。図５は、目視確認装置４のブロック図である。なお、図３においては、水平Ｘ軸およびＹ０軸、鉛直Ｚ０軸とが定義されており、図４では、
(1)  水平Ｙ０軸から鉛直面内で下向きに若干傾きつつＸ軸と直交するＹ軸、および、
(2)  Ｘ軸およびＹ軸と直交するＺ軸、
も定義されている。この実施形態ではＹ軸およびＺ軸は、それぞれＹ０軸およびＺ０軸から傾いているが、Ｙ軸がＹ０軸、Ｚ軸がＺ０軸とそれぞれ一致していてもよい。
【００３３】
目視確認装置４は、オペレータの指示を入力するための操作部４０、目視確認装置４を操作するために必要な情報や画像データを画面に表示する確認モニタ４１、基板９０上の欠陥箇所を画像データとして撮像する撮像部４２、基板９０を保持する検査ステージ４３、検査ステージ４３の両側に配置される左右一対の移動機構４４、撮像部４２をＸ軸方向に移動させる移動機構４５、照明機構４６、通信部４７および制御部４８を備える。また、検査ステージ４３の両側部分から略水平に掛け渡された架橋構造を有する支持架台４９０、確認モニタ４１を目視確認装置４の上方に支持する支持部材４９１、および撮像部４２を保護するための保護カバー４９２を備える。
【００３４】
詳細は後述するが、目視確認装置４は、被検査基板９０を撮像した画像データをマスター画像（例えば、基準となるマスター基板を撮像して得た画像データ、もしくはＣＡＤデータから作成したデジタルビットマップ画像データ）と比較して検査を行う検査システム１において、オペレータが欠陥のある箇所を目視確認するための装置としての機能を有する。
【００３５】
操作部４０は、オペレータが目視確認装置４に対して指示を入力する場合などに操作される。具体的には、各種ボタン類、キーボード、マウスなどが該当するが、トラックボールやタッチパネルなどであってもよい。また、本実施の形態における目視確認装置４は、撮像部４２のズーム位置を直接的に操作するダイヤルや、撮像部４２のＸＹ位置を直接的に操作するジョイスティックを操作部４０として備えている。
【００３６】
確認モニタ４１は、支持部材４９１によって目視確認装置４の上部に支持されており、制御部４８からの制御信号に基づいて、各種データを画面表示する。確認モニタ４１としては、例えば、液晶ディスプレイなどが該当する。
【００３７】
撮像部４２は、一般的なＣＣＤカメラであって、撮像レンズなどの光学系の光軸（Ｘ軸およびＹ軸に略垂直な軸）に沿って入射する光を、内部に２次元的に配置された受像素子（ＣＣＤ）によって光電変換する。光電変換によって得られた電気信号は、それぞれ画素値として制御部４８に伝達される。
【００３８】
また、撮像部４２はズーム機構４２０とフォーカス機構４２１とを備えている。ズーム機構４２０は、制御部４８からの制御信号に基づいて、撮像部４２の光学系のズーム位置を決定することにより、撮像部４２の撮像倍率を決定する機能を有する。ズーム機構４２０が撮像倍率を決定することにより、撮像部４２の撮像領域の広さが決定される。また、フォーカス機構４２１は、制御部４８からの制御信号に基づいて、撮像部４２のピントを合わせる機能を有する。
【００３９】
検査ステージ４３の上面は、ＸＹ平面に略平行とされており、オペレータや図示しない搬送機構などにより、目視確認装置４に移送された検査用の基板９０が所定の位置に保持される。
【００４０】
一対の移動機構４４は、それぞれ支持架台４９０の両側に取り付けられており、支持架台４９０をＹ軸方向に移動させる。これにより、支持架台４９０の移動量および位置が制御部４８により制御可能となる。また、移動機構４５は、支持架台４９０に取り付けられており、支持架台４９０に沿って撮像部４２をＸ軸方向に移動させる。これにより、撮像部４２の移動量および位置が制御部４８により制御可能となる。
【００４１】
このような機能を有する移動機構４４，４５として、例えば、サーボモータ、ボールネジおよび送りナットを用いた周知の機構を用いることができる。すなわち、ボールネジを所定の方向に沿って延設し、サーボモータにより回転させることにより、送りナットを所定の方向に移動させ、サーボモータの回転角を制御部４８が制御することにより、それぞれの位置を制御することができる。もちろん、移動機構４４，４５の機構としては、これに限られるものではなく、他の周知の機構により実現してもよい。
【００４２】
このように、目視確認装置４が移動機構４４，４５を備えることにより、目視確認装置４は、制御部４８の制御によって、撮像部４２をＸＹ平面の任意の位置に移動させることができる。したがって、撮像部４２は検査ステージ４３に保持された基板９０に対して相対的に移動することが可能であり、当該基板９０の任意の領域を撮像することができる。すなわち、移動機構４４，４５により、撮像部４２の撮像領域の位置が決定される。
【００４３】
図６は、照明機構４６を示す平面図である。なお、図６のV-V線は、図５に示す照明機構４６の断面位置を示す。照明機構４６は、６つの照明光源４６０ないし４６５から構成される。照明光源４６０ないし４６５は、点Ｏを中心としてリング状に配置される光源である。これにより、照明機構４６は、いわゆる分割リング照明を構成している。
【００４４】
各照明光源４６０ないし４６５は、図示しない電源とケーブル等により接続されており、当該電源と電気的に接続されることによって点灯し、電気的に切断されることによって消灯する。また、点灯する際の当該電源の電圧値の増減によって光量が変化する。すなわち、各照明光源４６０ないし４６５は、制御部４８により、それぞれ独立して、ＯＮ・ＯＦＦ制御および光量制御が可能とされている。
【００４５】
本実施の形態における照明光源４６０ないし４６５としては、複数の白色ＬＥＤを利用するが、もちろんこれに限られるものではない。例えば、同期的に制御される複数の蛍光ランプによって１つの照明光源が構成されていてもよい。また、本実施の形態における目視確認装置４では、６つの照明光源４６０ないし４６５を有しているが、分割できる光源の数はこれに限られるものではない。
【００４６】
図５に示すように、照明機構４６は撮像部４２の光軸の周囲を取り囲んでおり、撮像部４２の光軸（より詳しくは、光軸の中心軸Ｐ）は、ほぼ照明機構４６の中心点Ｏを通過するように配置される。図４に示すように、本実施の形態における目視確認装置４では、撮像部４２と照明機構４６とは一体的な構造物を形成している。したがって、撮像部４２が、移動機構４４，４５によって移動しても、撮像部４２と照明機構４６との配置関係は固定されている。
【００４７】
これにより、図５に示す例では、照明光源４６０は基板９０に対して照射方向Ｄ０で照明光を照射する。同様に、照明光源４６３は基板９０に対して照射方向Ｄ３で照明光を照射する。すなわち、各照明光源４６０ないし４６５は、撮像部４２の撮像領域をそれぞれ別々の方向から照明する光源として配置されている。
【００４８】
通信部４７は、ネットワーク２を介して欠陥検査装置３との間でデータ通信を行う。これにより、目視確認装置４は、欠陥検査装置３から送信される欠陥データ１００を受信する。すなわち、通信部４７は主に本発明における情報取得手段に相当する。
【００４９】
制御部４８は、ＣＰＵ４８０、ＣＰＵ４８０の一時的なワーキングエリアとして使用されるＲＡＭ４８１、読み取り専用のＲＯＭ４８２、および固定ディスク４８３から構成される。制御部４８は、図５に示すように、目視確認装置４の他の構成と信号の送受が可能な状態で接続されている。
【００５０】
ＣＰＵ４８０は、プログラム４８４に従って動作することにより、操作部４０からの入力情報や、撮像部４２からの画像情報を演算しつつ、制御信号の生成を行い、目視確認装置４の各構成を制御する。ＲＡＭ４８１、ＲＯＭ４８２、および固定ディスク４８３は、オペレータからの指示やプログラム４８４、あるいは取得される各種データなどを適宜記憶する記憶装置として機能する。
【００５１】
図７は、制御部４８の機能構成をデータの流れとともに示すブロック図である。ＣＰＵ４８０がプログラム４８４に従って動作することにより、図７に示す機能構成のうち、データ処理部４８５、照明制御部４８６、位置決定部４８７、および倍率決定部４８８の機能構成が実現される。
【００５２】
データ処理部４８５は、操作部４０から入力された設定データ１０２を固定ディスク４８３に記憶させる機能を有する。なお、設定データ１０２とは、いわゆるレシピと呼ばれる情報であって、検査条件と照明光の基準情報とを互いに関連づけた情報である。この検査条件と照明光の基準情報との関連づけは、予め実験により求められる。
【００５３】
本実施の形態において検査条件とは、基板９０の種別、パターンを形成する物質、確認しようとする欠陥の種別、欠陥部分の材質といった条件である。ただし、検査条件はこれに限られるものではなく、例えば、検査するオペレータが誰であるか（オペレータ名）など、オペレータが目視確認するときに照明光を変更する必要が生じる可能性のある条件であれば、どのような条件を検査条件としてもよい。また、基準情報とは、関連づけられる検索条件において適切に照明光を制御するための情報であって、本実施の形態においては最適な照明光の照明方向および照明光量に関する情報である。
【００５４】
データ処理部４８５は、オペレータが入力した設定データ１０２を固定ディスク４８３に記憶させることにより、固定ディスク４８３に設定データ１０２のデータベースを構築する。これにより、検査条件を検索キーとして固定ディスク４８３のデータベースを検索すれば、当該検査条件における最適な照明光の照明方向と照明光量とが基準情報として得られることとなる。
【００５５】
照明制御部４８６は、方向決定部４８６ａおよび光量決定部４８６ｂとを備えている。
【００５６】
方向決定部４８６ａは、欠陥データ１００を参照して、確認の対象となっている欠陥に関する情報を取得し、これを検索キーとして固定ディスク４８３を検索して、この欠陥に最適な照明方向を読み出す。すなわち、欠陥データ１００に基づいてレシピを特定し、特定されたレシピに設定されている照明方向を最適な照明方向として決定する。
【００５７】
照明制御部４８６は、方向決定部４８６ａにより照明方向が決定されると、６つの照明光源４６０ないし４６５から、点灯させる照明光源（以下、「点灯照明光源ＬＧ」と略する）を選択する。前述のように、各照明光源４６０ないし４６５は、それぞれ異なる方向から光を照射する光源であって、それぞれが特有の照射方向を有している。したがって、照明制御部４８６は、照明光の照射方向が、方向決定部４８６ａにより決定した照明方向と一致する照明光源を点灯照明光源ＬＧとして選択する。図５に示す例では、方向決定部４８６ａによって照明方向がＤ０と決定された場合、照明制御部４８６は照明光源４６０を点灯照明光源ＬＧとして選択する。なお、点灯照明光源ＬＧは、１つである必要はなく、例えばリング照明が適切である場合には、６つの照明光源４６０ないし４６５のすべてが点灯照明光源ＬＧとなる。
【００５８】
光量決定部４８６ｂは、方向決定部４８６ａが照明方向を決定したのと同様の手法により、照明機構４６の照明光の光量を決定する。すなわち、欠陥データ１００を参照しつつ、固定ディスク４８３を検索して、最適な照明光量を決定する。
【００５９】
照明制御部４８６は、光量決定部４８６ｂにより照明光量が決定されると、点灯照明光源ＬＧの照明光が当該照明光量となるように、点灯照明光源ＬＧに電力を供給する電源の電圧値を決定する。
【００６０】
さらに、照明制御部４８６は、選択した点灯照明光源ＬＧを識別する情報と、点灯照明光源ＬＧに電力を供給する電源の電圧値とを照明機構４６に伝達する。これにより、照明制御部４８６は、照明機構４６を制御する。
【００６１】
位置決定部４８７は、欠陥データ１００に含まれる欠陥位置に応じて、確認する欠陥を撮像するための撮像部４２の撮像位置を決定する。さらに、移動機構４４，４５を制御することにより、撮像部４２を決定した撮像位置に移動させる。
【００６２】
倍率決定部４８８は、欠陥データ１００に含まれる欠陥の大きさと、確認モニタ４１の表示領域（画像データ１０１を表示する領域）の大きさとに応じて、撮像部４２の撮像倍率を決定する。さらに、ズーム機構４２０を制御することにより、撮像部４２のズーム位置を調整する。
【００６３】
なお、一般に、同じ光量の照明光の元で撮像された画像であっても、撮像倍率を上げれば被写体は暗い像として撮像され、撮像倍率を下げれば被写体は明るい像として撮像される。したがって、本実施の形態における目視確認装置４では、倍率決定部４８８が決定する撮像倍率に応じて、照明機構４６の光量が補正される。
【００６４】
図３に戻って、支持架台４９０は、検査ステージ４３の両側部分からＸ軸方向に沿って略水平に掛け渡された架橋構造を有しており、撮像部４２を検査ステージ４３の上方に支持する機能を有する。さらに、支持架台４９０には、前述の移動機構４５が取り付けられている。
【００６５】
保護カバー４９２は、撮像部４２を保護するだけでなく、他からの入射光を防ぐことにより、撮像部４２が鮮明に基板９０を撮像できるようにする機能を有する。後述の処理により、照明機構４６による照明は適切に調整される。したがって、保護カバー４９２が外部からの入射光を防ぐことにより、適切に調整された照明光のみによって撮像部４２の撮像が行われる。これにより、目視確認装置４は、所望する照明条件で基板９０を撮像することができる。なお、保護カバー４９２は、支持架台４９０に固設されており、移動機構４４によって支持架台４９０とともにＹ軸方向に移動し、常に、撮像部４２の上方を覆うようにされている。
【００６６】
以上が、本実施の形態における検査システム１の機能および構成の説明である。次に、検査システム１の動作について説明する。図８は、本実施の形態における検査システム１の主に欠陥検査装置３の動作を示す流れ図である。
【００６７】
まず、欠陥検査装置３は、基板９０が搬入されるまで待機し（ステップＳ１１）、基板９０が搬入されると、搬入された基板９０を保持する（ステップＳ１２）。
【００６８】
次に、制御部３６が移動機構３３を制御して、撮像部３２を移動させ、撮像部３２が基板９０を撮像する（ステップＳ１３）。撮像部３２の出力信号は、画像処理部３４に伝達され、画像データとして制御部３６に伝達される。
【００６９】
基板９０を撮像した画像データが得られると、制御部３６は、エッジ検出によるパターン認識処理などの画像認識処理や、マスタ画像との比較による不一致検出処理などを行って、基板９０の欠陥を検出する（ステップＳ１４）。さらに、制御部３６は、検出した欠陥の大きさ、位置、形状、および種別（欠け、へこみなど）など、検出した欠陥に固有の情報に基づいて、欠陥データ１００を生成する（ステップＳ１５）。
【００７０】
なお、１回の撮像で得られた画像データから複数の欠陥が検出される場合もあれば、同じ基板９０の別の領域を撮像した画像データから別の欠陥が検出される場合もある。すなわち、基板９０の欠陥は１つとは限らず、欠陥データ１００には複数の欠陥について、それぞれ固有の情報が含められる。また、制御部３６は、１つ目の欠陥を検出した時点（欠陥データ１００が生成される時点）で、欠陥データ１００に、基板９０に固有の情報も含める。基板９０に固有の情報とは、例えば、基板９０の識別子、基板９０の材質、パターンを形成している物質、形成されているパターンの位置などの情報であって、当該基板９０上に検出される欠陥について共通の情報である。したがって、欠陥データ１００とは、基板９０の欠陥に関する情報であって、欠陥が検出された基板９０ごとに生成され、そこには、当該基板９０に固有の情報と、検出された欠陥（１つとは限らない）ごとに固有の情報とが含まれる。
【００７１】
１回の撮像により得られた画像データに対する処理が終了すると、基板９０の全域について検出が終了したか否かを判定する（ステップＳ１６）。まだ、検出を行っていない領域が存在する場合には、移動機構３３により撮像部３２を移動させ（ステップＳ１７）、ステップＳ１３からの処理を繰り返す。一方、すでに全ての領域について検出が終了している場合には、通信部３５がネットワーク２を介して欠陥データ１００を目視確認装置４に送信する（ステップＳ１８）。
【００７２】
欠陥データ１００の送信が終了して、検査の終了した基板９０が搬出されると、欠陥検査装置３は、ステップＳ１１に戻って、次の基板９０が搬送されるまで待機する。以上が、欠陥検査装置３における処理である。
【００７３】
図９は、本実施の形態における検査システム１の主に目視確認装置４の動作を示す流れ図である。目視確認装置４では、図示しない初期設定が終了した後、オペレータの入力と、欠陥検査装置３からのデータ受信と、基板９０の搬入とをそれぞれ監視しつつ待機する（ステップＳ２１，Ｓ２３，Ｓ２５）。
【００７４】
オペレータが操作部４０を操作して、目視確認装置４に設定データ１０２の入力を行うと（ステップＳ２１においてＹｅｓ）、入力された設定データ１０２に基づいて、データ処理部４８５が設定データ１０２を固定ディスク４８３に記憶させる（ステップＳ２２）。入力される設定データ１０２は、前述のように、検査条件と基準情報とが関連づけられたレシピ情報である。これにより、固定ディスク４８３には、設定データ１０２のデータベースが構築され、オペレータによる欠陥確認作業の準備が整うこととなる。
【００７５】
また、欠陥検査装置３からのデータ受信を検出すると（ステップＳ２３においてＹｅｓ）、通信部４７が受信した欠陥データ１００がＲＡＭ４８１に転送される。欠陥データ１００には、基板９０に固有の情報が含まれており、基板９０の識別子によってどの基板９０についての欠陥データ１００であるかが判定可能とされている。したがって、図７において図示を省略しているが、転送された欠陥データ１００は、一旦、固定ディスク４８３に記憶され（ステップＳ２４）、適当なタイミング（該当する基板９０が目視確認装置４に搬入されたときなど）で読み出されて後述の処理に利用される。
【００７６】
目視確認装置４に新たな基板９０が搬入されたことを検出すると（ステップＳ２５においてＹｅｓ）、目視確認装置４は、確認処理を実行する（ステップＳ２６）。
【００７７】
図１０および図１１は、本実施の形態における目視確認装置４の確認処理を示す流れ図である。確認処理では、まず、検査ステージ４３が搬入された基板９０を所定の位置に保持する（ステップＳ３１）。
【００７８】
次に、制御部４８は、搬入された基板９０に関する欠陥データ１００を固定ディスク４８３からＲＡＭ４８１に読み出す。さらに、照明制御部４８６は、読み出された欠陥データ１００に示される欠陥のうち、確認する欠陥を特定する（ステップＳ３２）。
【００７９】
先述のように、１つの基板９０には複数の欠陥が検出されている場合もあるため、１つの欠陥データ１００（１枚の基板９０についての欠陥データ１００）には、複数の欠陥についての固有の情報が含まれている場合がある。そこで、照明制御部４８６は、ステップＳ３２を実行して、欠陥データ１００に含まれる複数の欠陥から、確認する欠陥（以下、「確認対象欠陥」と称する）を１つずつ特定して以後の処理を行う。なお、複数の欠陥から確認対象欠陥を選択する手法はどのようなものであってもよいが、本実施の形態における目視確認装置４では、欠陥検査装置３によって検出された順番に複数の欠陥を順次確認対象欠陥として特定する手法を用いる。
【００８０】
確認対象欠陥が特定されると、まず、方向決定部４８６ａが、欠陥データ１００を参照することにより、基板９０の当該確認対象欠陥に関する情報（基板９０に固有の情報および当該確認対象欠陥に固有の情報、以下「対象欠陥情報」と称する）を取得し、取得した対象欠陥情報に基づいて、固定ディスク４８３を検索する。
【００８１】
本実施の形態における目視確認装置４では、対象欠陥情報が検査条件とみなされ、これを検索キーとして方向決定部４８６ａが固定ディスク４８３を検索することにより、関連づけられている基準情報（対象欠陥情報に示される条件において最適な照明光の照明方向）が取得される。すなわち、確認対象欠陥を確認するために最適な照明光の照明方向が決定される（ステップＳ３３）。同様に、光量決定部４８６ｂが対象欠陥情報を検索キーとして固定ディスク４８３を検索することにより、最適な照明光量が決定される（ステップＳ３４）。
【００８２】
なお、方向決定部４８６ａおよび光量決定部４８６ｂがそれぞれ照明方向および照明光量を決定する手法は、予め設定された条件から検索するという手法（いわゆるレシピ設定による制御）に限られるものではない。例えば、欠陥データ１００に直接最適な照明光に関する情報が含められていてもよい。また、欠陥データ１００に含まれる情報に基づいて、方向決定部４８６ａおよび光量決定部４８６ｂが演算により最適な照明方向および照明光量を求めてもよい。例えば、確認対象欠陥の種別が「欠け欠陥」である場合に、当該確認対象欠陥の位置とパターンの配置から、どの方向にパターンが欠けているのかを判定し、これによって最適な照明方向を決定してもよい。
【００８３】
方向決定部４８６ａによって照明方向が決定され、光量決定部４８６ｂによって照明光量が決定されると、照明制御部４８６は、これらに基づいて照明機構４６を制御し、この制御に従って照明機構４６は照明光の照射を開始する（ステップＳ３５）。具体的には、照明制御部４８６は、決定された照明方向に応じて６つの照明光源４６０ないし４６５から点灯照明光源ＬＧを選択して、この識別子を照明機構４６に伝達する。また、決定された照明光量に応じて、点灯照明光源ＬＧに供給すべき電圧値（供給電圧値）を照明機構４６に伝達する。照明機構４６は、伝達された識別子に該当する照明光源４６０ないし４６５のみを点灯させるとともに、当該点灯照明光源ＬＧに電力を供給する電源の電圧値を供給電圧値に設定する。これにより、照明機構４６から基板９０に向けて照明光が照射され、基板９０に対する照明が開始される。
【００８４】
基板９０に対する照明が開始されると、位置決定部４８７が欠陥データ１００に含まれる確認対象欠陥の位置情報に基づいて、移動機構４４，４５を制御することにより、撮像部４２が確認対象欠陥を撮像できる位置に移動する。また、倍率決定部４８８が欠陥データ１００に含まれる確認対象欠陥の大きさに基づいて、撮像部４２の撮像倍率を決定し、ズーム機構４２０を制御する。このようにして、撮像部４２の撮像領域の位置および広さが決定されると、フォーカス機構４２１によるピント合わせが行われてから撮像部４２が撮像を行う（ステップＳ３６）。撮像によって得られた画像データ１０１は、一旦制御部４８のＲＡＭ４８１に転送され、所定の処理をされてから確認モニタ４１に表示される（ステップＳ３７）。
【００８５】
ここで、照明光の照明光量および照明方向によって欠陥の見え方の違いを図を用いて説明する。図１２ないし図１４は、欠陥の材質によって、照明光の光量が変化した場合の見え方の違いを説明する図である。図１２は照明光の光量を下げた状態、図１４は逆に照明光の光量を上げた状態を示す。また、図１３は、照明光の光量を、図１２に示す例と図１４に示す例との中間光量にした状態を示す。
【００８６】
図１２では、金製のパターンについては状態を確認しやすいが、レジストが塗布された部分は暗く状態を判断することができない。一方、図１４では、レジストが塗布された部分は図１２に示す例よりも見やすくなっている。すなわち、レジストが塗布された部分では通常の光量の照明光では、欠陥を観察することはできず、図１４に示すような比較的強い光量の照明光が必要となる。ただし、このような照明光は、金製のパターンによって強く反射されるので、金製のパターンの表面状態や輪郭を正確に観察することができない。すなわち、図１２ないし図１４を比較してみれば明らかなように、欠陥を確認する場合において、その確認しようとする欠陥（確認対象欠陥）がどのような材質のものであるかによって、適切な照明光の光量は異なる。
【００８７】
本実施の形態における検査システム１では、欠陥検査装置３が欠陥を検出する際に、当該欠陥の材質を欠陥データ１００に含め、目視確認装置４の光量決定部４８６ｂがこの欠陥データ１００を参照して、欠陥の材質に応じて照明光量を決定する。したがって、例えば、欠陥がレジストが塗布された部分に存在してる場合、照明光の光量を比較的上げた状態で撮像された画像データ１０１が確認モニタ４１に提示される。すなわち、図１４に示すような画像が表示されるので、オペレータはレジストが塗布された部分の欠陥を容易に観察することができる。なお、欠陥の材質は、基板９０の材質、パターンの材質、パターンの位置、塗布膜の種類などが既知であれば、欠陥の位置から判定することもできる。
【００８８】
図１５ないし図１７は、へこみ欠陥において、照明光の光量が変化した場合の見え方の違いを説明する図である。なお、図１５ないし図１７における照明光量は、それぞれ図１２ないし図１４に示す例と同様である。
【００８９】
図１５に示すように、照明光の光量を比較的下げると、へこみ欠陥ＮＧによって金製のパターン表面に陰影が形成され観察しやすい。一方、図１７に示すように、照明光の光量を上げてしまうと、へこみ欠陥ＮＧは見えなくなる。なお、ここでは図示しないが、付着欠陥などの場合は比較的光量を上げた方が観察しやすい。これは、金などが不要な部分に付着することによって形成される付着欠陥の場合、この付着物が明るく輝く方が目立って観察しやすいからである。
【００９０】
本実施の形態における検査システム１では、欠陥検査装置３が欠陥を検出する際に、当該欠陥の種別を欠陥データ１００に含め、目視確認装置４の光量決定部４８６ｂがこの欠陥データ１００を参照して、欠陥の種別に応じて照明光量を決定する。したがって、目視確認装置４では、欠陥の種別に応じて、適切な照明光のもとで撮像された画像データ１０１が表示されるので、オペレータは欠陥を容易に観察することができる。なお、欠陥の種別は、欠陥の位置、形状、あるいは反射光量などに基づいて、特定することが可能である。
【００９１】
図１８ないし図２０は、照明光の照明方向を変更した場合の見え方の違いを説明する図である。図１８は、リング照明によって指向性のない照明を照射した場合を示す。図１９および図２０は、それぞれ異なる方向から指向性のある照明光を照射した場合を示す。
【００９２】
図１８に示すように、指向性のないリング照明では、全方向から照明光が照射されるためにパターン表面に陰影ができず、欠陥を観察するには不向きである。また、図１９に示す例では、パターン表面の欠陥が観察できるが、図２０に示す例では、同じ指向性を有する照明光を照射しているにも関わらず、パターン表面の欠陥は見えにくいものとなっている。これは、欠陥の形状や方向によって陰影のできやすい向きがあるためと考えられる。例えば、細長いへこみ欠陥であった場合、欠陥の延びる方向と平行な方向からの照明光に対しては、ほとんど陰影は形成されないが、欠陥の延びる方向と垂直な方向からの照明光に対しては、比較的はっきりとした陰影が形成される。図１８ないし図２０から明らかなように、欠陥によって適切な照明光の照明方向は異なる。
【００９３】
本実施の形態における検査システム１では、欠陥検査装置３が欠陥を検出する際に、当該欠陥の種別、形状、位置などの情報を欠陥データ１００に含め、目視確認装置４の方向決定部４８６ａがこの欠陥データ１００を参照して、欠陥に関する情報に応じて照明方向を決定する。したがって、目視確認装置４では、個々の欠陥に応じて、適切な照明方向の照明光のもとで撮像された画像データ１０１が表示されるので、オペレータは欠陥を容易に観察することができる。
【００９４】
このように、本実施の形態における検査システム１では、基板９０の個々の欠陥に関する情報（欠陥データ１００）に応じて、照明機構４６が照射する照明光が制御されるので、確認する欠陥ごとに最適な照明光を照射することができる。そして、この照明光のもとで撮像された見やすい画像データ１０１が確認モニタ４１によってオペレータに提示されるため、オペレータは容易に欠陥の確認作業を行うことができる。
【００９５】
画像データ１０１を確認モニタ４１に表示すると、目視確認装置４は、照明変更指示の入力を監視しつつ（ステップＳ４１）、確認作業が終了するまで待機する（ステップＳ４２）。なお、照明変更指示とは、照明光の照明方向および照明光量を変更するための指示であって、例えば、目視確認装置４がレシピ設定によって調整した照明光では欠陥を確認しづらいとオペレータが判断した場合に入力される。
【００９６】
確認作業が終了するまでに、照明変更指示の入力があった場合（ステップＳ４１においてＹｅｓ）、オペレータからの当該入力を受け付け（ステップＳ４３）、入力された照明変更指示に応じて照明機構４６を制御して、照明光を変更する（ステップＳ４４）。これにより、照明機構４６が照射する照明光がオペレータが所望する照明光に変更される。
【００９７】
次に、照明変更指示に示されている照明光の照明方向および照明光量に基づいて、固定ディスク４８３の設定データ１０２のデータベースを更新する（ステップＳ４５）。さらに、ステップＳ３６に戻って、変更された照明光のもとで撮像部４２が撮像を行って、以下の処理を繰り返す。
【００９８】
これにより、オペレータは確認作業中にいつでも所望する照明光に変更することができ、オペレータは所望する画像データ１０１によって確認作業を続けることができる。また、変更した内容でデータベースが更新されることにより、次回からは変更後の照明光のもとで撮像された画像データ１０１を確認モニタ４１に提示させることができる。なお、照明光を変更した場合に、データベースの更新（ステップＳ４５）を行うか否かは選択できるようにしてもよい。
【００９９】
確認対象欠陥についての確認作業が終了すると（ステップＳ４２においてＹｅｓ）、制御部４８は、欠陥データ１００を参照して、まだ確認していない欠陥が記録されているか否かを判定し（ステップＳ４６）、まだ未確認の欠陥が存在する場合はステップＳ３２に戻って処理を繰り返す。一方、基板９０上に未確認の欠陥が存在しない場合には、制御部４８の制御により、照明機構４６が点灯照明光源ＬＧを消灯させる（ステップＳ４７）。さらに、基板９０が搬出されるまで待機してから、確認処理を終了して図９に示す処理に戻る。
【０１００】
以上のように、本実施の形態における検査システム１は目視確認装置４を備え、この目視確認装置４の照明制御部４８６が、基板９０の欠陥に関する情報（欠陥データ１００に含まれる対象欠陥情報）に応じて、照明機構４６を制御することにより、各欠陥ごとに照明光を制御することができる。したがって、オペレータが欠陥を観察するのに適した照明光を照射することができる。
【０１０１】
また、方向決定部４８６ａが照明光の方向を決定し、方向決定部４８６ａによって決定した照明方向となるように、照明制御部４８６が照明機構４６を制御することにより、オペレータは、適切な方向から照明光が照射された状態の基板９０を観察することができる。
【０１０２】
また、光量決定部４８６ｂが照明光の光量を決定し、光量決定部４８６ｂによって決定した照明光量となるように、照明制御部４８６が照明機構４６を制御することにより、オペレータは、適切な明るさの照明光が照射された状態の基板９０を観察することができる。
【０１０３】
また、欠陥検査装置３が基板９０の欠陥を検出する際に、検出した欠陥について欠陥データ１００を生成して目視確認装置４に送信することにより、オペレータが確認する欠陥ごとに欠陥情報を入力しなくても、照明光を適切に制御することができる。したがって、オペレータの負担を軽減することができる。
【０１０４】
＜２．  第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、検査における上流工程で生成された欠陥データ１００に応じて、照明機構４６を制御していたが、目視確認装置は、ネットワークに接続されるのではなく、独立した装置として機能してもよい。
【０１０５】
図２１は、このような原理に基づいて構成した第２の実施の形態における目視確認装置４ａを示す外観図である。図２１では、目視確認装置４ａの内部に存在する構成については図示を省略している。また、図２２は、目視確認装置４ａのバス配線図である。なお、以下の説明において、第１の実施の形態における目視確認装置４とほぼ同様の構成については、同じ符号を付し、適宜説明を省略する。
【０１０６】
第２の実施の形態における目視確認装置４ａは、検査ステージ４３ａ、移動機構４４ａ、筐体４９、および顕微鏡５０が、主に第１の実施の形態における目視確認装置４と異なる構成である。なお、図２１および図２２には図示していないが、目視確認装置４ａは、記録ディスクなどの記憶媒体を読み取る装置などを適宜備えていてもよい。また、図２１では、外部からの光を遮断する保護カバーを省略している。
【０１０７】
操作部４０は、キーボード４００、マウス４０１、ジョイスティック４０２、およびボタン４０３，４０４、から構成され、作業者が目視確認装置４ａに対して指示を入力する際に使用される。また、操作部４０は、指示を入力するだけでなく、前述のように、欠陥データ１００の基となる情報を入力する際にも使用される。なお、操作部４０は、確認モニタ４１と兼用されるタッチパネル、あるいはＯＣＲ機能を備えたスキャナーなどであってもよい。また、これらを併用する構成であってもよい。
【０１０８】
検査ステージ４３ａは、検査する基板９０を所定の位置に保持するとともに、移動機構４４ａによって、ＸＹ平面内で移動可能とされている。本実施の形態における撮像部４２は、顕微鏡５０とともに一体的に固定されている。しかし、検査ステージ４３ａが移動可能とされていることにより、制御部４８は移動機構４４ａを制御することによって、撮像部４２（および顕微鏡５０）と基板９０とを相対的に移動させることができる。したがって、撮像部４２は、第１の実施の形態と同様に基板９０の任意の領域を撮像することができる。
【０１０９】
移動機構４４ａは、検査ステージ４３ａをＸＹ平面内で移動させるための機構である。目視確認装置４ａでは、移動機構４４ａをジョイスティック４０２によって直接的に操作することが可能とされている。また、位置決定部４８７によって、欠陥データ１００に応じた制御も可能とされている。
【０１１０】
筐体４９は、移動機構４４ａや通信部４７、制御部４８などを内部に納めて保護するとともに、目視確認装置４ａの各構成を所定の位置に配置するための基台として機能する。
【０１１１】
顕微鏡５０は、接眼レンズ等を介して、オペレータの網膜上に被検査対象物（基板９０）を拡大した像を結像させる装置である。第１の実施の形態に示した確認モニタ４１に表示される画像データ１０１による欠陥観察は、基板９０の欠陥からの光を受像素子による光電変換等によって間接的に観察することになる。しかし、本実施の形態における目視確認装置４は、顕微鏡５０を備えることにより、オペレータは基板９０の欠陥の像をより直接的に観察することができる。したがって、オペレータは正確な判断を行うことができる。
【０１１２】
顕微鏡５０を使用するオペレータは、可能な限り静止した状態で確認作業を行うことが好ましいので、顕微鏡５０は、筐体４９に固定されており、ほぼ静止した状態で使用される。また、オペレータは確認モニタ４１に表示されている欠陥について、顕微鏡５０を使用して観察することが望ましいので、撮像部４２の撮像位置と顕微鏡５０の観測位置とは一致していることが望ましい。したがって、前述のように、本実施の形態における目視確認装置４ａの撮像部４２は顕微鏡５０とともに固定されており、検査ステージ４３ａが基板９０を保持しつつ移動する構成となっている。
【０１１３】
なお、図２１に示すように、本実施の形態における目視確認装置４ａにおいても、撮像部４２、顕微鏡５０および照明機構４６が一体的に形成されており、顕微鏡５０を使用する際の照明光も照明機構４６によって与えられる。
【０１１４】
本実施の形態における目視確認装置４ａの動作は、欠陥データ１００がオペレータの入力によって与えられることを除いて、図９ないし図１１に示す第１の実施の形態における目視確認装置４の動作とほぼ同様である。すなわち、目視確認装置４ａでは、基板９０が搬入された後、オペレータによって欠陥データ１００が入力された時点で、確認処理が開始される。
【０１１５】
以上のような構成を有する第２の実施の形態における目視確認装置４ａによっても、第１の実施の形態における検査システムと同様の効果を得ることができる。
【０１１６】
また、目視確認装置４ａが顕微鏡５０を備えることにより、オペレータは基板９０の欠陥の像をより実態に近い状態で確認することができるため、正確な判断を行うことができる。
【０１１７】
＜３．  変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【０１１８】
上記実施の形態における目視確認装置４，４ａでは、６つの照明光源から点灯照明光源ＬＧを選択したが、このような手法では、照明方向を離散的にしか決定することができない。そこで、例えば、移動機構により移動可能な１つの照明光源を設け、制御部４８が当該移動機構を制御することにより、適切な照明方向となる位置に照明光源を移動させるように構成してもよい。これにより、照明光の照明方向を連続的に変更することができる。
【０１１９】
また、上記実施の形態における検査システム１および目視確認装置４ａの動作は、説明した順序で実行されなくてもよい。すなわち、同じ効果が得られる順序であれば、各ステップの順序が適宜変更されてもよい。
【０１２０】
また、上記実施の形態において照明制御部４８６のようにソフトウェアとして実現されている機能構成は、その一部または全部をハードウェアで実現してもよい。また、ハードウェアで実現している構成をソフトウェアで実現してもよい。
【０１２１】
また、第１の実施の形態における目視確認装置４においても、第２の実施の形態における目視確認装置４ａと同様に、撮像部４２が固定され、検査ステージ４３が移動するように構成してもよい。
【０１２２】
また、照明機構４６の各照明光源４６０なしい４６５は、リング状に配置されていなくてもよい。例えば、四辺形状に配置されていてもよい。すなわち、撮像部４２の光軸Ｐを囲むように配置されていればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本発明の第１の実施の形態における目視確認装置を含む検査システムの構成例を示す図である。
【図２】欠陥検査装置の構成を示すブロック図である。
【図３】第１の実施の形態における目視確認装置の正面図である。
【図４】第１の実施の形態における目視確認装置の側面図である。
【図５】第１の実施の形態における目視確認装置のブロック図である。
【図６】照明機構４６を示す平面図である。
【図７】第２の実施の形態における制御部の機能構成をデータの流れとともに示すブロック図である。
【図８】第１の実施の形態における検査システムの主に欠陥検査装置の動作を示す流れ図である。
【図９】第１の実施の形態における検査システムの主に目視確認装置の動作を示す流れ図である。
【図１０】第１の実施の形態における目視確認装置の確認処理の動作を示す流れ図である。
【図１１】第１の実施の形態における目視確認装置の確認処理の動作を示す流れ図である。
【図１２】金製のパターンとレジストが塗布された部分とを比較的光量を下げた状態で撮像した例を示す図である。
【図１３】金製のパターンとレジストが塗布された部分とを中間光量で撮像した例を示す図である。
【図１４】金製のパターンとレジストが塗布された部分とを比較的光量を上げた状態で撮像した例を示す図である。
【図１５】へこみ欠陥を比較的光量を下げた状態で撮像した例を示す図である。
【図１６】へこみ欠陥を中間光量で撮像した例を示す図である。
【図１７】へこみ欠陥を比較的光量を上げた状態で撮像した例を示す図である。
【図１８】指向性のないリング照明を照射して欠陥を撮像した例を示す図である。
【図１９】所定の方向から照明光を照射して欠陥を撮像した例を示す図である。
【図２０】図１９と異なる方向から照明光を照射して欠陥を撮像した例を示す図である。
【図２１】第２の実施の形態における目視確認装置の外観図である。
【図２２】第２の実施の形態における目視確認装置のバス配線図である。
【符号の説明】
【０１２４】
１  検査システム
１００  欠陥データ
１０１  画像データ
１０２  設定データ
２  ネットワーク
３  欠陥検査装置
４，４ａ  目視確認装置
４０  操作部
４１  確認モニタ
４２  撮像部
４３，４３ａ  検査ステージ
４４，４５，４４ａ  移動機構
４６  照明機構
４６０，４６１，４６２，４６３，４６４，４６５  照明光源
４７  通信部
４８  制御部
４８３  固定ディスク
４８５  データ処理部
４８６  照明制御部
４８６ａ  方向決定部
４８６ｂ  光量決定部
５０  顕微鏡
９０  基板
Ｄ０，Ｄ３  照射方向
【図１】
2006058170.tif 000003
【図２】
2006058170.tif 000004
【図３】
2006058170.tif 000005
【図４】
2006058170.tif 000006
【図５】
2006058170.tif 000007
【図６】
2006058170.tif 000008
【図７】
2006058170.tif 000009
【図８】
2006058170.tif 000010
【図９】
2006058170.tif 000011
【図１０】
2006058170.tif 000012
【図１１】
2006058170.tif 000013
【図２１】
2006058170.tif 000014
【図２２】
2006058170.tif 000015
【図１２】
2006058170.tif 000016
【図１３】
2006058170.tif 000017
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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