(57)【要約】  【課題】  レーザアレイから射出した複数本のレーザビームをレンズアレイもしくは細長のレンズに入射させるようにしたレーザアレイユニットにおいて、レンズアレイもしくは細長のレンズとそれを接着固定するレンズホルダとの面合わせ精度を高く確保するとともに、そのレンズホルダと他の固定部材との接着部の歪みを小さく抑える。  【解決手段】  レーザアレイＬＤ１〜７から射出した複数本のレーザビームＢ１〜７をレンズアレイ18に入射させるようにしたレーザアレイユニットにおいて、レンズアレイ18を接着固定するレンズホルダ44を、レンズアレイ18を接着する面のレンズ光軸方向と直交する方向の長さが、他の固定部材10に接着される面の同方向の長さよりも大きい形状とする。【選択図】          図１
2006284851.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズアレイもしくは細長のレンズを接着固定した上で、他の固定部材に接着固定されるレンズホルダにおいて、前記レンズアレイもしくは細長のレンズを接着する面のレンズ光軸方向と直交する方向の長さが、他の固定部材に接着される面の同方向の長さよりも大であることを特徴とするレンズホルダ。
【請求項２】
前記他の固定部材とは線膨張係数が異なる材料から形成されていることを特徴とする請求項１記載のレンズホルダ。
【請求項３】
前記他の固定部材に接着される面が、略正方形であることを特徴とする請求項１または２記載のレンズホルダ。
【請求項４】
前記他の固定部材に接着される面が、略正多角形もしくは略正円形であることを特徴とする請求項１または２記載のレンズホルダ。
【請求項５】
略透明なガラス、略透明な合成樹脂（プラスチック）、もしくは略透明なセラミックスから形成されていることを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載のレンズホルダ。
【請求項６】
請求項１から５いずれか１項記載のレンズホルダを用いたレーザアレイユニットであって、
複数の発光点を持つレーザアレイと、
このレーザアレイを固定したレーザ支持部材と、
このレーザアレイから出射した複数本のレーザビームが入射するレンズアレイもしくは細長のレンズと、
このレンズアレイもしくは細長のレンズを接着固定した上で、前記レーザ支持部材に接着固定された前記レンズホルダとからなるレーザアレイユニット。
【請求項７】
請求項１から５いずれか１項記載のレンズホルダを用いたレーザアレイユニットであって、
複数の発光点を持つレーザアレイと、
このレーザアレイを固定したレーザ支持部材と、
このレーザ支持部材を固定した基準部材と、
前記レーザアレイから出射した複数本のレーザビームが入射するレンズアレイもしくは細長のレンズと、
このレンズアレイもしくは細長のレンズを接着固定した上で、前記基準部材に接着固定された前記レンズホルダとからなるレーザアレイユニット。
【請求項８】
前記レンズアレイもしくは細長のレンズが、前記複数の発光点から射出したレーザビームをそれぞれ平行光化するコリメートレンズが複数並設されてなるコリメートレンズアレイであることを特徴とする請求項６または７記載のレーザアレイユニット。
【請求項９】
１本の光ファイバーと、
前記レンズアレイもしくは細長のレンズを含んで構成され、前記複数の発光点から射出したレーザビームを集光して前記光ファイバーに入力させる集光光学系とをさらに備えたことを特徴とする請求項６から８いずれか１項記載のレーザアレイユニット。
【請求項１０】
前記レーザアレイがＧａＮ系半導体レーザから構成されていることを特徴とする請求項６から９いずれか１項記載のレーザアレイユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズアレイもしくは細長のレンズを接着固定した上で、他の固定部材に接着固定されるレンズホルダに関するものである。
【０００２】
また本発明は、上述のようなレンズホルダを用いたレーザアレイユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００３】
従来、例えば特許文献１および２に示されるように、複数本のレーザビームを１本の光ファイバーに入力させて合波することにより、高出力のレーザビームを得るようにしたレーザ装置が知られている。このレーザ装置は基本的に、複数の発光点を持って複数本のレーザビームを発する半導体レーザアレイ（これは全体的に１つに形成されていてもよいし、あるいは複数に別れて形成されていてもよい）と、１本の光ファイバーと、上記半導体レーザから出射した複数本のレーザビームを集光した上で光ファイバーに結合させる集光光学系とから構成されている。
【０００４】
この種のレーザ装置において、上記集光光学系を構成するコリメートレンズ、集光レンズ等の光学部品や、それらを保持するためのレンズホルダ等は、通常かなり小型のものとなる。従来、特にそのような小型の部品をレーザ装置本体側に固定するために、上記特許文献１にも示されているように、接着剤による固定構造が広く適用されている。
【０００５】
一方上記半導体レーザアレイは、良好に放熱させるために、直接的にあるいはサブマウントを介して、熱伝導性の高い銅等の金属からなるヒートブロックに固定されるのが一般的である。そしてこのようなヒートブロックが用いられる場合、該半導体レーザアレイから射出したレーザビームを平行光化するコリメートレンズアレイは上述のようなレンズホルダに固定され、そのレンズホルダが該ヒートブロックに固定されることが多い。そのような構成においては、コリメートレンズアレイをレンズホルダに固定する上で紫外線硬化型の接着剤が多用されるが、その場合は、紫外線が接着箇所に良好に照射されるように、レンズホルダは透明なガラスからなるものが多く用いられる。
【特許文献１】特開２００３−３４４６０９号公報
【特許文献２】特開２００４−１３４６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したようにガラスからなるレンズホルダを、金属からなるヒートブロックに固定するには、通常接着剤が使用されるが、そうした場合は、両者の接着強度と、レンズホルダに対するコリメートレンズアレイの固定位置精度の双方を高く確保するのが難しいという問題が従来認められている。以下、この問題について、例えば先に説明した特許文献１に示される合波レーザモジュール、つまり半導体レーザアレイから射出された複数のレーザビームを各々コリメートレンズアレイによって平行光化し、それを１つの集光レンズで集光して光ファイバーに結合させるようにした合波レーザモジュールを例に挙げて説明する。
【０００７】
上記合波レーザモジュールにおいて、コリメートレンズアレイおよび集光レンズからなる集光光学系の倍率が7.8倍であるとすると、レーザビームのレンズ部での動きは、光ファイバーの入射端面上では7.8倍の動きに拡大される。ここでレンズや半導体レーザアレイの位置バラツキを考慮すると、コア径が例えば60μｍの光ファイバーと効率良くレーザビームを結合させるためには、光ファイバーの入射端面上でのレーザビームの動きは1.5μｍ以下になっていることが好ましい。それに加えて上記倍率を考えると、レンズ系と半導体レーザアレイとの相対位置の動きは、およそ0.2μｍ以下になっていることが求められる。
【０００８】
また、複数のコリメートレンズが複数並設されてなるコリメートレンズアレイにおいては、該アレイが長手方向（レンズ並設方向）の中央部を軸に回転するように動くと、最外方に位置するコリメートレンズが最も大きく動くことになる。そこで、この最外方に位置するコリメートレンズにおいて、半導体レーザアレイとの相対位置の動きをおよそ0.2μｍ以下に抑えるためには、アレイ中央部から最外方のコリメートレンズまでの長さを3.6ｍｍとすると、上述のような回転の動きは0.2′（分）以下に抑えることが必要となる。
【０００９】
紫外線硬化型接着剤等の有機接着剤は、硬化の際に体積収縮を起こすことが知られている。そこで、上記コリメートレンズアレイとレンズホルダとの間において接着剤の厚み差、角度ずれが生じていると、この収縮硬化によりコリメートレンズアレイに、上述のような回転方向の傾きが発生することになる。コリメートレンズアレイのこのような動きを上記の0.2′以下に抑えるためには、接着剤の体積収縮が一般に10％程度であることを考慮すると、コリメートレンズアレイとレンズホルダとを誤差約２′以下の面合わせ精度（２つの接着面を互いに平行な状態に設定する精度）で接着する必要がある。
【００１０】
コリメートレンズアレイとレンズホルダとの面合わせ精度は、両者の位置測定精度および面精度に依存するが、接着面の面精度が定まっている場合は、接着面がより長いほど面合わせ精度も高くなる。
【００１１】
他方、このコリメートレンズアレイは、ＢＫ７ガラス等の透明ガラスあるいはプラスチックから形成されるのが一般的であり、またそれを固定するレンズホルダも、コリメートレンズアレイと接着される面の精度や固定精度を上げるために、コリメートレンズアレイと同じ、あるいはそれに近い材料から形成されることが多い。
【００１２】
それに対して、半導体レーザアレイを固定するヒートブロックは、放熱効果を上げるために熱伝導性の高い銅等の金属から形成されるので、そこに上記ガラス等からなるレンズホルダが接着固定される場合は、両者の線膨張係数が大きく異なることになる。そうであると、ヒートブロックとレンズホルダとの接着部が環境温度の変化や、半導体レーザアレイの点灯・消灯による温度変化を受けた際に、該接着部に歪みが生じる。この歪みの大きさは接着部の最大長さによって決まり、該歪みが顕著に大きくなると、接着部の剥がれにつながる。
【００１３】
そして従来のレンズホルダは直方体状に形成されていたので、コリメートレンズアレイとの面合わせ精度を高めようとして大サイズにすると、ヒートブロックとの接着部の長さも大きくなって上記の剥がれ等が発生しやすくなり、反対にこの剥がれ等を防止するために小サイズにすると上記面合わせ精度が低下する、という不具合が発生していた。
【００１４】
なお以上は、レンズアレイをレンズホルダに接着固定し、そのレンズホルダをヒートブロックに接着固定する場合の問題について説明したが、レンズアレイの代わりにシリンドリカルレンズ等の細長のレンズをレンズホルダに接着固定する場合にも、またレンズホルダをヒートブロック以外の固定部材に接着固定する場合にも同様の問題が発生し得る。さらに、上記ヒートブロック等の固定部材とレンズホルダの線膨張係数が一致していても、それら両者の間の接着剤層が、通常そうであるように断熱性の高いものであれば、両者が温度変化を受けた際に接着部に歪みが発生する問題は同様に起こり得る。
【００１５】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、レンズアレイもしくは細長のレンズとの面合わせ精度を高く確保できるとともに、他の固定部材との接着部の温度変化による歪みを少なく抑えることができるレンズホルダを提供することを目的とする。
【００１６】
また本発明は、レーザアレイから射出した複数本のレーザビームをレンズアレイもしくは細長のレンズに入射させるようにしたレーザアレイユニットにおいて、レンズアレイもしくは細長のレンズとそれを接着固定するレンズホルダとの面合わせ精度を高く確保するとともに、そのレンズホルダと他の固定部材との接着部の歪みを小さく抑えることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明によるレンズホルダは、レンズアレイもしくは細長のレンズを接着固定した上で、他の固定部材に接着固定されるレンズホルダにおいて、上記レンズアレイもしくは細長のレンズを接着する面のレンズ光軸方向と直交する方向の長さが、前述したヒートブロック等の他の固定部材に接着される面の同方向の長さよりも大であることを特徴とするものである。
【００１８】
なお、この本発明によるレンズホルダは、上記ヒートブロック等の他の固定部材とは線膨張係数が異なる材料から形成されることを前提として形成されることが好ましい。
【００１９】
また、上記他の固定部材に接着される面は、略正方形あるいは、略正多角形もしくは略正円形に形成されることが望ましい。
【００２０】
さらに、この本発明によるレンズホルダは、略透明なガラス、略透明な合成樹脂（プラスチック）、もしくは略透明なセラミックスから形成されることが望ましい。
【００２１】
他方、本発明による１つのレーザアレイユニットは、上述した本発明のレンズホルダを用いたものであって、
複数の発光点を持つレーザアレイと、
このレーザアレイを固定した、前述のヒートブロック等のレーザ支持部材と、
このレーザアレイから出射した複数本のレーザビームが入射するレンズアレイもしくは細長のレンズと、
このレンズアレイもしくは細長のレンズを接着固定した上で、上記レーザ支持部材に接着固定された前記レンズホルダとを備えてなるものである。
【００２２】
また、本発明による別のレーザアレイユニットは、これも上記本発明のレンズホルダを用いたものであって、
複数の発光点を持つレーザアレイと、
このレーザアレイを固定した、前述のヒートブロック等のレーザ支持部材と、
このレーザ支持部材を固定した、例えばパッケージ底板上のベース板等の基準部材と、
上記レーザアレイから出射した複数本のレーザビームが入射するレンズアレイもしくは細長のレンズと、
このレンズアレイもしくは細長のレンズを接着固定した上で、上記基準部材に接着固定された前記レンズホルダとを備えてなるものである。
【００２３】
なお、上述した本発明による各レーザアレイユニットにおいては、レンズアレイもしくは細長のレンズとして、複数の発光点から射出したレーザビームをそれぞれ平行光化するコリメートレンズが複数並設されてなるコリメートレンズアレイが用いられていることが望ましい。
【００２４】
また、上記構成の本発明によるレーザアレイユニットは、
１本の光ファイバーと、
前記レンズアレイもしくは細長のレンズを含んで構成され、前記複数の発光点から射出したレーザビームを集光して前記光ファイバーに入力させる集光光学系とをさらに備えて、合波レーザユニットを構成することが望ましい。
【００２５】
さらに本発明によるレーザアレイユニットは、レーザアレイがＧａＮ系半導体レーザから構成されることを前提として形成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によるレンズホルダは、従来のように直方体状に形成される場合と異なって、レンズアレイもしくは細長のレンズを接着する面のレンズ光軸方向と直交する方向の長さが、ヒートブロック等の他の固定部材に接着される面の同方向の長さよりも大とされているので、前者の長さは十分長く確保してレンズアレイもしくは細長のレンズとの面合わせ精度を高めることができ、その一方、後者の長さは必要な接着強度が確保される範囲内で適当に短くして、温度変化による接着部の歪みを小さく抑え、その歪みに起因する剥がれ等を防止可能となる。
【００２７】
なお、上記ヒートブロック等の他の固定部材とレンズホルダとが、互いに線膨張係数の異なる材料から形成されている場合は、線膨張係数が等しい材料から形成されている場合と比べて、温度変化を受けたときに接着部の歪みがより発生しやすくなっている。したがって、上記他の固定部材とレンズホルダとが互いに線膨張係数の異なる材料から形成されている場合に本発明が適用されると、歪み発生を防止する効果がより顕著となる。
【００２８】
また本発明によるレンズホルダにおいて、上記接着部の歪みの大きさは、より正確には接着面全体で考える必要がある。上述の通り、接着部の歪みを小さく抑える観点からは、接着面の最大長さが短いことが好ましい。他方、安定した固定を実現させるために接着部の強度が高いことが望ましいが、接着面が広いほど高い接着強度が実現される。したがって、接着部の歪みを小さく抑えた範囲で最大の接着強度を確保するために、接着される面は、縦横の長さが等しくなる略正方形とすることが望ましい。より望ましくは、対角方向も含めた全ての方向の長さがより等しくなる略正多角形、さらには略正円形とするのがよい。
【００２９】
また本発明によるレンズホルダが、略透明なガラス、もしくは略透明なセラミックスから形成された場合は、そこにレンズアレイもしくは細長のレンズを接着するため、そして該レンズホルダを上記他の固定部材と接着するために紫外線硬化型接着剤が利用されるとき、紫外線を透過させて接着部に良好に照射させることができる。
【００３０】
他方、本発明によるレーザアレイユニットは、上述した本発明のレンズホルダを用いたものであるので、レンズアレイもしくは細長のレンズとそれを接着固定するレンズホルダとの面合わせ精度を高く確保するとともに、そのレンズホルダと他の固定部材
（レーザ支持部材、あるいはそれが固定される基準部材）との接着部の歪みを小さく抑えることができる。
【００３１】
また、本発明によるレーザアレイユニットが、１本の光ファイバーと、前述した通りの集光光学系とをさらに備えて、合波レーザユニットを構成している場合は、レンズアレイもしくは細長のレンズとレンズホルダとの面合わせ精度が高く確保されることから、レンズアレイもしくは細長のレンズと光ファイバーとの位置合わせ精度も高いものとなり、よってレーザビームを高効率で光ファイバーに結合可能となる。
【００３２】
また、レーザアレイがＧａＮ系半導体レーザから構成されている場合は、その他の半導体レーザから構成される場合と比べて、レーザアレイからの発熱量が特に多くなるので、このレーザアレイの点灯・消灯に際して、それを固定したレーザ支持部材の温度変化も大きくなる。したがって、このレーザ支持部材とレンズホルダとの接着部や、このレーザ支持部材を固定した基準部材とレンズホルダとの接着部においては、温度変化に伴う歪みが発生しやすくなる。そこで、このようにレーザアレイがＧａＮ系半導体レーザから構成されてなるレーザアレイユニットに本発明を適用すれば、上記歪みの発生を抑える効果がより顕著なものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００３４】
図１、図２および図３はそれぞれ、本発明の第１の実施形態である紫外光高輝度合波レーザユニットの平面形状、側面形状および部分正面形状を示すものである。図示の通りこの合波レーザユニットは、熱伝導性の高いヒートブロック10上に配列固定された一例として７個のチップ状態の横マルチモードＧａＮ系半導体レーザＬＤ１，ＬＤ２，ＬＤ３，ＬＤ４，ＬＤ５，ＬＤ６およびＬＤ７と、各ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１，ＬＤ２，ＬＤ３，ＬＤ４，ＬＤ５，ＬＤ６およびＬＤ７にそれぞれ対応するコリメートレンズ11，12，13，14，15，16および17が一体的に形成されてなるコリメートレンズアレイ18と、１つの集光レンズ20と、１本のマルチモード光ファイバー30とを有している。
【００３５】
ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７は、発振波長が例えば400〜410ｎｍの範囲内のいずれかであり、出力は概ね200ｍＷである。これらのＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７は、発光点が７個のレーザアレイを構成している。なお本実施形態では、これらのＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７としてシングルモードのものが用いられているが、マルチモードの半導体レーザを適用することも可能である。
【００３６】
これらのＧａＮ系半導体レーザＬＤ１，ＬＤ２，ＬＤ３，ＬＤ４，ＬＤ５，ＬＤ６およびＬＤ７から発散光状態で出射したレーザビームＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５，Ｂ６およびＢ７は、それぞれコリメートレンズアレイ18のコリメートレンズ11，12，13，14，15，16および17によって平行光化される。なお図３は、図２におけるＡ−Ａ線位置からこのコリメートレンズアレイ18側を見た状態を示している。
【００３７】
平行光とされたレーザビームＢ１〜７は、集光レンズ20によって集光され、マルチモード光ファイバー30のコア30ａの入射端面上で収束する。本例ではコリメートレンズ11〜17および集光レンズ20によって集光光学系が構成され、それとマルチモード光ファイバー30とによって合波光学系が構成されている。すなわち、集光レンズ20によって上述のように集光されたレーザビームＢ１〜７がマルチモード光ファイバー30のコア30ａに入射してそこを伝搬し、１本のレーザビームＢに合波されてマルチモード光ファイバー30から出射する。なおマルチモード光ファイバー30としては、ステップインデックス型のもの、グレーデッドインデックス型のもの、およびそれらの複合型のものが全て適用可能である。
【００３８】
本実施形態において合波レーザユニットを構成する光学要素は、上方が開口した箱状のパッケージ40内に収容され、このパッケージ40の上記開口がパッケージ蓋41によって閉じられることにより、該パッケージ40およびパッケージ蓋41が画成する閉空間内に密閉保持される。またマルチモード光ファイバー30の入射側の端部は、フェルール31に保持された上で、パッケージ40の側壁部に固定されている。
【００３９】
パッケージ40の底面にはベース板42が固定され、このベース板42の上面に前記ヒートブロック10が取り付けられ、このヒートブロック10の上面10ａにＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７が固定される一方、その前面10ｂに、コリメートレンズアレイ18を保持するコリメートレンズホルダ44が固定されている。さらに、ベース板42の上面にはレンズ固定台45が固定され、このレンズ固定台45の前面45ａに、集光レンズ20を保持する集光レンズホルダ46が固定されている。またＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７に駆動電流を供給する配線類47は、パッケージ40の側壁部に形成された開口を通してパッケージ外に引き出されている。
【００４０】
図３に示されるようにコリメートレンズアレイ18の各コリメートレンズ11〜17は、非球面円形レンズの光軸を含む領域を細長く切り取った形とされたものであり、このようなコリメートレンズアレイ18は、例えば光学ガラスをモールド成形することによって形成される。本実施形態においてこのコリメートレンズアレイ18は、一例として、線膨張係数が143×10-7であるＰＫ−３ガラスから形成されている。コリメートレンズアレイ18の材料としては、その他にＢＫ７ガラス等も好適に用いることができる。
【００４１】
そしてコリメートレンズ11〜17は、ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７の発光点の並び方向（図３の左右方向）の開口径が該方向に直角な方向（図３の上下方向）の開口径よりも小さく形成されて、上記発光点の並び方向に密接配置されている。
【００４２】
一方ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７としては、発光幅が２μｍで、活性層と平行な方向、直角な方向の拡がり角が一例としてそれぞれ10°、30°の状態で各々レーザビームＢ１〜７を発するものが用いられている。これらのＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７は、活性層と平行な方向に発光点が１列に並ぶように配設されている。
【００４３】
したがって、各発光点から発せられたレーザビームＢ１〜７は、上述のように細長い形状とされた各コリメートレンズ11〜17に対して、拡がり角最大の方向が開口径大の方向と一致し、拡がり角最小の方向が開口径小の方向と一致する状態で入射することになる。つまり、細長い形状とされた各コリメートレンズ11〜17は、入射するレーザビームＢ１〜７の楕円形の断面形状に対応して、非有効部分を極力少なくして使用されることになる。本実施形態では具体的に、コリメートレンズ11〜17の有効開口径は水平方向、垂直方向で各々1.1ｍｍ、3.6ｍｍであり、それらに入射するレーザビームＢ１〜７の水平方向、垂直方向のビーム径は各々0.9ｍｍ、2.6ｍｍである。またコリメートレンズ11〜17の各焦点距離ｆ１＝３ｍｍ、ＮＡ（開口数）＝0.6、レンズ配置ピッチ＝1.2ｍｍである。
【００４４】
一方集光レンズ20は、非球面円形レンズの光軸を含む領域を細長く切り取って、コリメートレンズ11〜17の並び方向つまり水平方向に長く、それと直角な方向に短い形状とされている。そして該集光レンズ20の焦点距離ｆ２＝24.0ｍｍ、倍率＝8である。この集光レンズ20も、例えば光学ガラスをモールド成形することによって形成される。なお、この集光レンズ20およびコリメートレンズアレイ18は、ガラスの他、合成樹脂から形成することも可能である。
【００４５】
またマルチモード光ファイバー30としては、コア径＝60μｍ、ＮＡ＝0.23のステップインデックス型のものが用いられている。本実施形態の構成において、レーザビームＢ１〜７のマルチモード光ファイバー30への結合効率は概ね0.8が得られる。したがって、ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７の各出力が概ね200ｍＷのときに、出力約１Ｗを超える合波レーザビームＢが得られる。
【００４６】
上記構成の合波レーザユニットにおいては、レーザビームＢ１〜７のマルチモード光ファイバー30への結合効率を高く確保する上で、コリメートレンズアレイ18および集光レンズ20は、光軸がマルチモード光ファイバー30のコア軸（入射端におけるコア軸。以下同様）と正確に平行になった状態で固定されなければならず、かつその状態を常に維持しなければならない。以下、そのような固定構造を実現するための方法について説明する。
【００４７】
まず、コリメートレンズアレイ18およびコリメートレンズホルダ44等の固定構造を説明する。本実施形態においてヒートブロック10は熱伝導性および研磨加工性に優れたKovarから直方体状に形成され、下面は金蒸着によってメタライズされ、その下面が、Ａｕメッキを施したベース板42上に低融点半田等を用いて固定されている。このKovarの線膨張係数は0.7×10-5である。なお、ヒートブロック10はKovarの他、ＣｕＷ、ＣｕＭｏ等の金属、さらにはＡｌＮ（窒化アルミニウム）等のセラミックから形成することもできる。ベース板42は例えばＣｕＷ、ＣｕＭｏ、Kovar等から形成されて、パッケージ40の底面に固定されている。
【００４８】
なお直方体状のヒートブロック10は、その前面10ｂがベース板42に対して直角となる状態に固定される。またこの前面10ｂは鏡面仕上げされて、コリメートレンズホルダ44が固定される取付面とされるとともに、後述する参照面とされている。
【００４９】
一方コリメートレンズホルダ44は、紫外線透過性のＢＫ７ガラスを用いて形成されている。このＢＫ７ガラスの線膨張係数は0.7×10-5である。図１９は、このコリメートレンズホルダ44の詳細形状を示す三面図である。ここに示される通りコリメートレンズホルダ44は六角形の平面形状を有し、幅（コリメートレンズアレイ18の長さ方向の寸法）４ｍｍ、長さ４ｍｍ、厚さ２ｍｍで、また後述のようにヒートブロック10に接着される後面44ａの長さは２ｍｍとされている。
【００５０】
ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７は、融点が280℃のＡｕＳｎ合金をロウ材として用いて、ヒートブロック10の上面10ａに実装される。このとき、±3.0μｍ以内の実装精度が得られる。
【００５１】
一方マルチモード光ファイバー30の入射側の端部は、それを保持しているフェルール31がパッケージ40の側壁部に例えばロウ材を用いて封止固定されることにより、該パッケージ40に固定される。このときマルチモード光ファイバー30は、そのコア軸が、ヒートブロック10の前面10ｂに対して直角となる状態に固定される。
【００５２】
次に、コリメートレンズホルダ44の接着固定に先立って、図４に示すようにレーザオートコリメーター50と、ベース板42の上に載置されたミラー51とを用いて、ヒートブロック10の取付面および参照面である前面10ｂの、基準方向に対する角度が測定される。本実施形態では、レーザオートコリメーター50から発せられたレーザビームＢｒをミラー51で反射させることにより進行方向を90°変え、ヒートブロック前面10ｂに垂直入射させるようにしており、ミラー51で反射後のレーザビームＢｒの進行方向ｚが上記基準方向とされる。
【００５３】
レーザオートコリメーター50は、ヒートブロック前面10ｂで反射し、ミラー51で再反射して戻って来たレーザビームＢｒを受光して、基準方向ｚに対するヒートブロック前面10ｂの角度を測定する。この角度は、基準方向ｚに対して直角で互いも直角なｘ軸、ｙ軸周りの各傾き角θx、θyで規定される。すなわち、例えば基準方向ｚに対してヒートブロック前面10ｂが完全に直角になっている場合は、傾き角θx＝θy＝０°となる。なおｙ軸方向は、レーザオートコリメーター50から発せられて下方に向かうレーザビームＢｒの進行方向と同じである。この測定された傾き角θx、θyは記録用紙等に記録されたり、あるいは記憶手段に記憶される。
【００５４】
次に図５に示すように、例えばコリメートレンズホルダ44を把持する把持部52ａを有するメカニカルハンド52を用いて、接着面であるその後面44ａがヒートブロック前面10ｂに軽く当接する状態にコリメートレンズホルダ44が保持される。なおメカニカルハンド52としては、例えば把持部52ａを３軸方向に平行移動、かつ３軸周りに回転移動させることができる６軸のものが用いられる。
【００５５】
また、上述のようにコリメートレンズホルダ44を保持させるに当たっては、参照面としてのその前面44ｂの基準方向ｚに対する角度が継続的に測定される。この角度測定はヒートブロック前面10ｂの角度測定と同様にしてなされ、また測定角度も同様に前述の傾き角θx、θyで規定される。
【００５６】
このときメカニカルハンド52は、継続的に測定されている傾き角θx、θyが、前述のヒートブロック前面10ｂについて測定された傾き角θx、θyと各々一致し、かつコリメートレンズホルダ44をｘ、ｙ方向の所定位置に配するように操作され、その状態になったところでメカニカルハンド52が停止される。次に、ヒートブロック前面10ｂとそれに軽く当接しているコリメートレンズホルダ44の後面44ａとの間に接着剤が点着され、それを硬化させることによって、コリメートレンズホルダ44がヒートブロック前面10ｂに接着固定される。
【００５７】
なおコリメートレンズホルダ44を上述のようにｘ、ｙ方向の所定位置に配するためには、その後面44ａをヒートブロック前面10ａの上で滑らせながら位置規定すればよいので、作業は容易になされ得る。
【００５８】
ここでコリメートレンズホルダ44は、その後面44ａと前面44ｂとが誤差±15″程度で互いに平行となるように形成されている。そうであれば、上述のようにコリメートレンズホルダ44の前面44ｂについて測定されている傾き角θx、θyが、ヒートブロック前面10ｂについて測定された傾き角θx、θyと各々一致しているということは、後面44ａがヒートブロック前面10ｂに対して平行になっていることを意味する。したがって、その状態を保ちながらコリメートレンズホルダ44をヒートブロック前面10ｂに接着固定すれば、後面44ａがヒートブロック前面10ｂと平行になった状態でコリメートレンズホルダ44が固定される。
【００５９】
またこのとき、予め精密測定されているコリメートレンズホルダ44の外形寸法に基づいてメカニカルハンド52の動作が制御されて、該コリメートレンズホルダ44のｚ軸周りの角度位置が所定位置に設定され、それにより該コリメートレンズホルダ44は、その上面44ｃがベース板42に対して平行となる状態で固定される。
【００６０】
また上記接着剤としては一例として紫外線硬化型のものが用いられるが、前述の通りコリメートレンズホルダ44は紫外線透過性のガラスから形成されているので、硬化用の紫外線はこのコリメートレンズホルダ44を透過して、接着剤に十分照射されるようになる。
【００６１】
その後メカニカルハンド52は、把持部52ａをパッケージ40の外に退避させるように操作される。次に図６に示すように再度レーザオートコリメーター50を用いて、固定されたコリメートレンズホルダ44の上面44ｃの、基準方向に対する角度が測定される。この場合の基準方向は、レーザオートコリメーター50から発せられて下方に向かうレーザビームＢｒの進行方向（これは図４、５におけるものと同じである）とされる。つまりここでは、基準方向ｙに対するコリメートレンズホルダ上面44ｃの角度は、ｘ軸、ｚ軸周りの各傾き角φx、φzで規定される。すなわち、例えば基準方向ｙに対してコリメートレンズホルダ上面44ｃが完全に直角になっている場合は、傾き角φx＝φz＝０°となる。この測定された傾き角φx、φzは記録用紙等に記録されたり、あるいは記憶手段に記憶される。
【００６２】
次に図７に示すように、再度メカニカルハンド52を用いてコリメートレンズアレイ18が、その下面（接着面）18ａがコリメートレンズホルダ44の上面44ｃに軽く当接する状態に保持される。このようにコリメートレンズアレイ18を保持させるに当たっては、その上面18ｂの基準方向ｙに対する角度が継続的に測定される。この角度測定はコリメートレンズホルダ上面44ｃの角度測定と同様にしてなされ、測定角度も同様に前述の傾き角φx、φzで規定される。
【００６３】
このときメカニカルハンド52は、継続的に測定されている傾き角φx、φzが、コリメートレンズホルダ上面44ｃについて測定された傾き角φx、φzと各々一致し、かつコリメートレンズアレイ18をｘ、ｚ方向所定位置に配するように操作され、その状態になったところでメカニカルハンド52が停止される。次に、コリメートレンズホルダ上面44ｃとそれに軽く当接しているコリメートレンズアレイ18の下面18ａとの間に接着剤が点着され、それを硬化させることによって、コリメートレンズアレイ18がコリメートレンズホルダ上面44ｃに接着固定される。
【００６４】
なおコリメートレンズアレイ18を上述のようにｘ、ｚ方向所定位置に配するためには、その下面18ａをコリメーターレンズホルダ上面44ｃの上で滑らせながら位置規定すればよいので、作業は容易になされ得る。
【００６５】
ここでコリメートレンズアレイ18は、その下面18ａと上面18ｂとが互いに平行となるように形成されている。そうであれば、上述のようにコリメートレンズアレイ18の上面18ｂについて測定されている傾き角φx、φzが、コリメートレンズホルダ上面44ｃについて測定された傾き角φx、φzと各々一致しているということは、下面18ａが、コリメートレンズホルダ上面44ｃに対して平行になっていることを意味する。したがって、その状態を保ってコリメートレンズアレイ18をコリメートレンズホルダ上面44ｃに接着固定すれば、下面18ａがコリメートレンズホルダ上面44ｃと平行になった状態でコリメートレンズアレイ18が固定される。
【００６６】
またこのとき、例えばコリメートレンズアレイ18の外形寸法に基づいてメカニカルハンド52の動作が制御されて、該コリメートレンズアレイ18のｙ軸周りの角度位置が所定位置に設定され、それにより、該コリメートレンズアレイ18はコリメートレンズ11〜17の光軸がマルチモード光ファイバー30のコア軸と平行になる状態で固定される。
【００６７】
なおコリメートレンズアレイ18をモールド加工することにより、その下面18ａと上面18ｂとの平行度を、誤差±15″程度とすることができる。したがって、上面18ｂを参照面とした角度測定により、最大誤差30″で、下面18ａをコリメートレンズホルダ上面44ｃと平行に位置合わせすることができる。なお、コリメートレンズアレイ18の下面18ａおよび上面18ｂのレンズ並び方向に対する平行度も、誤差±15″程度とすることができる。
【００６８】
また上記接着剤としては一例として紫外線硬化型のものが用いられるが、前述の通りコリメートレンズホルダ44は紫外線透過性のガラスから形成され、またコリメートレンズアレイ18も同様であるので、硬化用の紫外線はコリメートレンズホルダ44およびコリメートレンズアレイ18を透過して、接着剤に十分照射されるようになる。
【００６９】
以上の通りにしてコリメートレンズホルダ44がヒートブロック10に、そしてコリメートレンズアレイ18がコリメートレンズホルダ44に接着固定されれば、コリメートレンズアレイ18は、その各コリメートレンズ11〜17の光軸がマルチモード光ファイバー30のコア軸と平行になった状態で固定されるようになる。
【００７０】
ここで、コリメートレンズアレイ18とコリメートレンズホルダ44に求められる面精度に関して詳しく説明する。ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７の発光点とコリメートレンズアレイ18との位置精度について考えると、それらのｘ、ｙ方向の位置ズレは、光ファイバー30のコア端面上でのビーム位置ズレによる出力低下をもたらす。ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７の実装位置精度が±３μｍであること、および光学系の倍率が８倍であることを考慮すると、光ファイバー30のコア端面上でレーザビームＢ１〜７の位置は±24μｍ以下の範囲でばらつくと考えられる。それに、レーザビームＢ１〜７の収束スポット径が10μｍであることを加味すると、調芯後のレーザビームＢ１〜７の動きは±１μｍ以下に抑える必要が有る。以上より、ｘおよびｙ方向に関して、コリメートレンズアレイ18とコリメートレンズホルダ44の面精度は、±0.12μｍ以下が求められる。一方、コリメートレンズアレイ18とコリメートレンズホルダ44のｚ方向（光軸方向）の位置ずれは、光ファイバー30のコア端面におけるレーザビームＢ１〜７のビーム径広がりによる出力低下をもたらすが、その影響度はｘｙ方向の位置ズレと比べて鈍く、この方向の精度は±１μｍまで許容される。
【００７１】
コリメートレンズアレイ18においては、支点から最も遠い位置にあるコリメートレンズが位置ズレの影響を受けやすい。本実施形態では、アレイ中央から最外レンズまで3.6ｍｍの長さが有るので、ｙ方向の位置精度に影響を与えるφz方向のアレイの動きは、0.1′（分）以下が求められる。一方、ｚ方向の位置精度に影響を与えるφx、φy方向のアレイの動きは、約１′まで許容される。以上のことに加えて、接着剤の熱収縮量を10％と考えると、コリメートレンズアレイ18とコリメートレンズホルダ44のφz方向面精度は１′以下が求められ、φx方向の面精度は、コリメートレンズホルダ44とヒートブロック10の面精度と合わせて10′以下が求められる。
【００７２】
次に図２に戻って、集光レンズ20および集光レンズホルダ46等の固定構造について説明する。集光レンズホルダ46を固定するレンズ固定台45は、ヒートブロック10と同様にＡｌＮを用いて直方体状に形成され、下面は金蒸着によってメタライズされ、その下面が、Ａｕメッキを施したベース板42上に低融点半田等を用いて固定される。このときレンズ固定台45は、その前面45ａがヒートブロック10の前面10ｂと平行となる状態に固定される。そのためには、図５に示したレーザオートコリメーター50およびメカニカルハンド52を用いて、コリメートレンズホルダ44の前面44ｂをヒートブロック前面10ｂと平行にした手法を適用することも可能である。
【００７３】
上述のように固定されたレンズ固定台45に対してまず集光レンズホルダ46が接着固定され、次いでその上面46ｃに集光レンズ20が接着固定される。集光レンズホルダ46は例えば紫外線透過性のガラスを用いて直方体状に形成されたものであり、それをレンズ固定台45の前面45ａに接着固定するに当たっては、前述したコリメートレンズホルダ44をヒートブロック10の前面10ｂに接着固定した際の手法を同様に適用することができる。すなわちこの場合は、集光レンズホルダ46の前面46ｂが参照面として利用され、接着面となる後面46ａがレンズ固定台前面45ａと平行になる状態に該集光レンズホルダ46が接着固定される。
【００７４】
なお、上記集光レンズホルダ46の後面46ａと前面46ｂとの平行度は、誤差±15″程度とすることができる。そのような平行度は、後面46ａおよび前面46ｂを研磨加工することによって実現可能である。
【００７５】
次に、接着固定された集光レンズホルダ46の上面46ｃに、集光レンズ20が接着固定される。この集光レンズ20は、前述した通り水平方向に長い形状とされたものであるが、集光レンズホルダ46への接着面となる下面20ａと、参照面となる上面20ｂとが互いに平行となるように形成されている。この集光レンズ20を集光レンズホルダ上面46ｃに接着するに当たっては、前述したコリメートレンズアレイ18をコリメートレンズホルダ44の上面44ｃに接着固定した際の手法を同様に適用することができる。すなわちこの場合は、集光レンズ20の上面20ｂが参照面として利用され、接着面である下面20ａが集光レンズホルダ46の上面46ｃと平行となる状態に該集光レンズ20が接着固定される。
【００７６】
なお集光レンズ20の下面20ａと上面20ｂとの平行度は、誤差±15″程度とすることができる。そのような平行度は、下面20ａおよび上面20ｂを研磨加工することによって実現可能である。また、参照面とされる集光レンズ20の上面20ｂと光軸との平行度も、誤差±15″程度とすることができる。
【００７７】
以上の通りにして集光レンズ20は、その光軸がマルチモード光ファイバー30のコア軸と一致した状態で、集光レンズホルダ46に固定されるようになる。そして、それに加えてコリメートレンズアレイ18も、前述したように各コリメートレンズ11〜17の光軸がマルチモード光ファイバー30のコア軸と平行になった状態で固定されているので、レーザビームＢ１〜７のマルチモード光ファイバー30への結合効率が高く確保される。
【００７８】
また本実施形態で用いられているコリメートレンズホルダ44は、図１９に示した通り、コリメートレンズアレイ18を接着する上面44ｃのレンズ光軸方向（同図中の左右方向）と直交する方向の長さ（同図中の上下方向の長さ）が４ｍｍとされ、ヒートブロック10に接着される後面44ａ（図２参照）の同方向の長さ２ｍｍよりも大とされているので、前者の長さは十分長く確保してコリメートレンズアレイ18との面合わせ精度を高めることができ、その一方、後者の長さは必要な接着強度が確保される範囲内で適当に短くして、ヒートブロック10との接着部の温度変化による歪みを小さく抑え、その歪みに起因する剥がれ等を防止可能となる。
【００７９】
特に本実施形態では、ヒートブロック10とコリメートレンズホルダ44が、前述したように互いに線膨張係数の異なる材料から形成されていて、温度変化を受けたとき両者間に歪みが発生しやすくなっているので、上記歪みを小さく抑える効果が顕著に得られる。なお勿論であるが、それら両者は、上記歪みを小さく抑える上では、線膨張係数が等しいか、あるいは差が小さい材料から形成されるのが好ましい。
【００８０】
また、レーザアレイを構成するＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７は、その他の半導体レーザと比べると特に発熱量が多いので、それらの点灯・消灯に際して、それを固定したヒートブロック10の温度変化も大きくなる。したがって、このヒートブロック10とコリメートレンズホルダ44との接着部においては、温度変化に伴う歪みが発生しやすくなる。本実施形態では、このようなＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜７が用いられている場合に本発明を適用したものであるから、上記歪みの発生を抑える効果がより顕著なものとなる。
【００８１】
ここで、コリメートレンズアレイ18およびコリメートレンズホルダ44の面精度と位置精度との関係について説明する。面粗さがそれぞれ0.4μｍ、0.1μｍである２つの面を接着させる場合は、両端で最大0.5μｍの接着層厚み変化が避けられない。両面の角度精度は、一辺の長さに対する比となるので、２ｍｍ幅の面で接触させた場合は、角度精度が0.9′で、４ｍｍ幅の面なら、0.45′の角度位置精度が確実に達成できる限界となる。オートコリメーターによる測定精度0.1′（＝６″）、レンズ上面と下面の平行度±0.25′（＝15″）とし、固定オートコリメーター精度等を考慮すると、４ｍｍ幅の面で0.8′、２ｍｍ幅の面で1.4′の精度が達成できる。以上より、面合わせ精度１′以下が求められるコリメートレンズアレイ18とコリメートレンズホルダ44について、その光軸と直角方向に関して接着面の幅は４ｍｍが必要であり、その他の領域では２ｍｍ幅で上記面合わせ精度が達成される。
【００８２】
なお、基準方向に対する角度が測定される参照面となるヒートブロック10の前面10ｂ、コリメートレンズホルダ44の前面44ｂと上面44ｃ、コリメートレンズアレイ18の上面18ｂ、レンズ固定台45の前面45ａ、集光レンズホルダ46の前面46ｂと上面46ｃ、および集光レンズ20の上面20ｂは、レーザオートコリメーター50から発せられたレーザビームＢｒを散乱させずに良好に反射させるために、面粗さＲａが0.08μｍ未満の鏡面に仕上げされることが望ましい。参照面がこの程度の面粗さＲａになっている場合は、一般に誤差±５″程度の精度で、基準方向に対する角度を測定可能である。
【００８３】
他方、上述のような参照面と接着される接着面、すなわち具体的に挙げればコリメートレンズホルダ44の後面44ａ、コリメートレンズアレイ18の下面18ａ、集光レンズホルダ46の後面46ａ、および集光レンズ20の下面20ａは、参照面との間に接着剤を良好に浸透させるために、参照面よりも粗く形成されるのが好ましい。例えば参照面の面粗さＲａが上述のように0.08μｍ未満とされる場合、接着面の面粗さＲａは0.15μｍ以上0.35μｍ以下の範囲にあることが望ましい。なお面粗さＲａは、例えば触針式粗さ測定器で測定することができる。
【００８４】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図８および図９はそれぞれ、本発明の第２の実施形態である紫外光高輝度合波レーザユニットの側面形状および部分正面形状を示すものである。なお図９は、図８におけるＢ−Ｂ線位置からコリメートレンズアレイ18側を見た状態を示している。なおこれらの図８、９において、図１〜３中の要素と同等の要素には同番号を付し、それらについての説明は特に必要のない限り省略する（以下、同様）。
【００８５】
この第２の実施形態においては、上面144ｃにコリメートレンズアレイ18を接着固定したコリメートレンズホルダ144が、ヒートブロック10には固定されずに、基準部材であるベース板42の上に直接接着固定されている。また上面146ｃに集光レンズ20を接着固定した集光レンズホルダ146も、ベース板42の上に直接接着固定されている。
【００８６】
本実施形態においてもコリメートレンズホルダ144は、図９に示されている通り、コリメートレンズアレイ18を接着する上面144ｃのレンズ光軸方向と直交する方向の長さ（同図中の左右方向の長さ）が、ベース板42に接着される下面144ｄの同方向の長さよりも大とされているので、前者の長さは十分長く確保してコリメートレンズアレイ18との面合わせ精度を高めることができ、その一方、後者の長さは必要な接着強度が確保される範囲内で適当に短くして、ベース板42との接着部の温度変化による歪みを小さく抑え、その歪みに起因する剥がれ等を防止可能となる。
【００８７】
次に図１０〜１８を参照して、本発明のレンズホルダの形状例について説明する。なおこれらの図では、前記第１実施形態に適用されたコリメートレンズホルダ44と同様にヒートブロック10に固定されるレンズホルダを例に挙げており、各図ではレンズホルダをＨで示してある。またそれらの図では、コリメートレンズアレイ18の光軸をＯで示してある。
【００８８】
レンズホルダＨの平面形状としては、図１０〜１４に示すような形状を適宜採用することができる。なお図１０のものは、前記第１実施形態におけるコリメートレンズホルダ44の平面形状と同じである。
【００８９】
またレンズホルダＨの側面形状としては、図１５〜１７に示すような形状を適宜採用することができる。なお図１５のものは、前記第１実施形態におけるコリメートレンズホルダ44の側面形状と同じである。
【００９０】
また図１８の（１）、（２）にそれぞれ平面形状、側面形状を示すようなレンズホルダＨも形成可能である。このレンズホルダＨは、コリメートレンズアレイ18の側端面を接着固定してヒートブロック10に接着固定されるものであるが、ここでも、コリメートレンズアレイ18を接着する側面Ｈ１のレンズ光軸方向と直交する方向の長さ（同図（２）中の上下方向の長さ）が、ヒートブロック10に接着される面Ｈ２の同方向の長さよりも大とされているので、前者の長さは十分長く確保してコリメートレンズアレイ18との面合わせ精度を高めることができ、その一方、後者の長さは必要な接着強度が確保される範囲内で適当に短くして、ヒートブロック10との接着部の温度変化による歪みを小さく抑え、その歪みに起因する剥がれ等を防止可能となる。
【００９１】
以上説明した実施形態では、コリメートレンズアレイ18と集光レンズ20とが採用されているが、例えば前記特許文献１に示されるように、それら両者の機能を合わせ持つ１つの集光レンズを採用した合波レーザユニットも提案されており、本発明はそのような集光レンズアレイや、さらにはシリンドリカルレンズ等のような細長いレンズを用いるレーザアレイユニットに対しても同様に適用可能である。
【００９２】
さらに、以上は合波レーザユニットとして構成された実施形態について説明したが、本発明はこのような合波は行わないレーザアレイユニットや、レーザアレイユニット以外の装置に用いられるレンズホルダに対しても同様に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の第１実施形態による合波レーザユニットの一部破断平面図
【図２】上記合波レーザユニットの一部破断側面図
【図３】上記合波レーザユニットの部分正面図
【図４】上記合波レーザユニットの組立方法を説明する図
【図５】上記合波レーザユニットの組立方法を説明する図
【図６】上記合波レーザユニットの組立方法を説明する図
【図７】上記合波レーザユニットの組立方法を説明する図
【図８】本発明の第２実施形態による合波レーザユニットの一部破断側面図
【図９】図８の合波レーザユニットの部分正面図
【図１０】本発明のレンズホルダの形状例を示す平面図
【図１１】本発明のレンズホルダの形状例を示す平面図
【図１２】本発明のレンズホルダの形状例を示す平面図
【図１３】本発明のレンズホルダの形状例を示す平面図
【図１４】本発明のレンズホルダの形状例を示す平面図
【図１５】本発明のレンズホルダの形状例を示す側面図
【図１６】本発明のレンズホルダの形状例を示す側面図
【図１７】本発明のレンズホルダの形状例を示す側面図
【図１８】本発明のレンズホルダの形状例を示す平面図（１）と側面図（２）
【図１９】図１の合波レーザユニットに用いられたレンズホルダの三面図
【符号の説明】
【００９４】
10    ヒートブロック
11〜17    コリメートレンズ
18    コリメートレンズアレイ
20    集光レンズ
30    マルチモード光ファイバー
40    パッケージ
41    パッケージ蓋
42    ベース板
44、144    コリメートレンズホルダ
45    レンズ固定台
46、146    集光レンズホルダ
50    レーザオートコリメーター
52    メカニカルハンド
ＬＤ１〜７    ＧａＮ系半導体レーザ
Ｂ１〜７    レーザビーム
Ｂ    合波されたレーザビーム
Ｈ    レンズホルダ
【図１】
2006284851.tif 000003
【図２】
2006284851.tif 000004
【図３】
2006284851.tif 000005
【図４】
2006284851.tif 000006
【図５】
2006284851.tif 000007
【図６】
2006284851.tif 000008
【図７】
2006284851.tif 000009
【図８】
2006284851.tif 000010
【図９】
2006284851.tif 000011
【図１０】
2006284851.tif 000012
【図１１】
2006284851.tif 000013
【図１２】
2006284851.tif 000014
【図１３】
2006284851.tif 000015
【図１４】
2006284851.tif 000016
【図１５】
2006284851.tif 000017
【図１６】
2006284851.tif 000018
【図１７】
2006284851.tif 000019
【図１８】
2006284851.tif 000020
【図１９】
2006284851.tif 000021