(57)【要約】【課題】吸着チャックで被転写用ディスク（スレーブディスク）を吸着する際や、吸着した後、例えば吸着を解除する際に、吸着位置の位置ズレを生じることがない。【解決手段】ディスク保持装置４２は、磁気パターンを有するマスターディスク４６若しくは磁気パターンが転写されるスレーブディスク４０の何れかのディスクを吸着する吸着チャック４２ｂと、ディスクを吸着する際、及び吸着した後の吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイド４２ｃを備えている。【選択図】  図４
2006134510.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気パターンを有するマスターディスク又は前記磁気パターンが転写される被転写用ディスクの何れかのディスクを吸着する吸着チャックを備え、前記吸着チャックで前記ディスクを吸着する際、及び吸着した後の吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイドを備えたことを特徴とするディスク保持装置。
【請求項２】
前記位置ズレ防止ガイドは、前記吸着チャックで前記ディスクを吸着した際に、前記ディスクの吸着反対面から突出しないように形成されていることを特徴とする請求項１のディスク保持装置。
【請求項３】
前記位置ズレ防止ガイドは、前記吸着チャックが前記ディスクを吸着する際に、前記ディスクに形成された中心孔に嵌合するように形成されていることを特徴とする請求項１又は２のディスク保持装置。
【請求項４】
前記位置ズレ防止ガイドは、前記吸着チャックが前記ディスクを吸着する際に、前記ディスクの外周縁に嵌合するように形成されていることを特徴とする請求項１又は２のディスク保持装置。
【請求項５】
前記位置ズレ防止ガイドには、前記ディスクとの嵌合を誘導するテーパーが形成されていることを特徴とする請求項３又は４のディスク保持装置。
【請求項６】
磁気パターンを有するマスターディスクをホルダ部に保持する保持手段と、
請求項１〜５の何れか１のディスク保持装置を備え、該ディスク保持装置の吸着チャックで吸着した被転写用ディスクを搬送して前記ホルダ部に保持された前記マスターディスクに対向するように供給する供給手段と、
前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段とを備えたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項７】
請求項１〜５の何れか１のディスク保持装置によって、被転写用ディスクの中心孔又は前記被転写用ディスクの外周縁に位置ズレ防止ガイドを嵌合させながら吸着チャックで前記被転写用ディスクを吸着する吸着工程と、
前記吸着された被転写用ディスクを搬送して、ホルダ部に保持されたマスターディスクに対向するように供給する供給工程と、
前記供給された被転写用ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、
前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写工程と、を備えたことを特徴とする磁気転写方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク保持装置及びそれを用いた磁気転写方法並びに装置に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する際に、磁気ディスクを保持するディスク保持装置及びそれを用いた磁気転写方法並びに装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクよりスレーブディスク（被転写用ディスク）に一括転写する方法が効率的であり、好ましい。
【０００３】
従来、この種の磁気転写技術としては各種の提案がなされている（例えば、特許文献１、２参照）。このうち、特許文献１は、磁気転写を行う際に、１つのハンドラーの間欠駆動により、作業効率を向上させる旨の提案である。
【０００４】
特許文献２は、スレーブディスク（被転写用ディスク）をハンドリングする際の真空吸着チャックの接触部分の表面硬度を所定以上とし、真空吸着チャックの磨耗を改善すると共に、マスターディスクとスレーブディスクの平行度を向上させる旨の提案である。
【０００５】
このように、特許文献１のようにスレーブディスクを自動で搬送する場合には、特許文献２で開示されているような真空吸着チャックを有する供給手段を備えたハンドラーを使用するのが一般的である。
【特許文献１】特開２００１−２５０２２７号公報
【特許文献２】特開２００２−１５４２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、吸着チャックを使用した供給手段は、スレーブディスクを吸着チャックに吸着する際や吸着を解除する際に、吸着位置の位置ズレを生じ易いという欠点がある。スレーブディスクを吸着チャックで吸着する吸着位置と、マスターディスクに対向させたときの位置とは互いのディスク中心が一致するように設定されており、位置ズレを起こすと互いの中心がズレた状態で転写が行われてしまう。この結果、転写後にドライブ装置に取り付けられたときの回転中心とスレーブディスクに転写記録された磁気パターンの中心とが一致しなくなるという問題が発生する。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、吸着チャックでマスターディスク若しくは被転写用ディスク（スレーブディスク）を吸着する際や、吸着した後、例えば吸着を解除する際に、吸着位置の位置ズレを生じることがないディスク保持装置及びそれを用いた磁気転写方法並びに装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１は前記目的を達成するために、磁気パターンを有するマスターディスク又は前記磁気パターンが転写される被転写用ディスクの何れかのディスクを吸着する吸着チャックを備え、前記吸着チャックで前記ディスクを吸着する際、及び吸着した後の吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイドを備えたことを特徴とするディスク保持装置を提供する。
【０００９】
本発明のディスク保持装置によれば、吸着チャックでマスターディスク又は被転写用ディスクの何れかのディスクを吸着する際、及び吸着した後、例えば吸着を解除する際に、吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイドを設けたので、吸着位置の位置ズレを生じることがない。
【００１０】
請求項２は請求項１において、前記位置ズレ防止ガイドは、前記吸着チャックで前記ディスクを吸着した際に、前記ディスクの吸着反対面から突出しないように形成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２のように、位置ズレ防止ガイドの先端をディスクの吸着反対面から突出しないように形成した。これにより、このディスク保持装置を例えば磁気転写装置で使用した場合、このディスク保持装置で被転写用ディスクをマスターディスクに対向配置させたときに、位置ズレ防止ガイドがマスターディスクを保持するホルダ部に接触して干渉し合うことがない。
【００１２】
請求項３は請求項１又は２において、前記位置ズレ防止ガイドは、前記吸着チャックが前記ディスクを吸着する際に、前記ディスクに形成された中心孔に嵌合するように形成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項３によれば、吸着チャックでディスクを吸着する際に、位置ズレ防止ガイドは、ディスクに形成された中心孔に嵌合する。この位置ズレ防止ガイドにより、吸着チャックとディスクとが正しく位置決めされた状態で吸着動作や吸着解除動作を行う。従って、吸着チャックでディスクを吸着する際、及び吸着した後の例えば吸着解除する際における吸着位置の位置ズレを防止することができる。
【００１４】
請求項４は請求項１又は２において、前記位置ズレ防止ガイドは、前記吸着チャックが前記ディスクを吸着する際に、前記ディスクの外周縁に嵌合するように形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項４によれば、吸着チャックでディスクを吸着する際に、位置ズレ防止ガイドは、ディスクの外周縁に嵌合する。これにより、この位置ズレ防止ガイドにより、吸着チャックとディスクとが正しく位置決めされた状態で吸着動作や吸着解除動作を行う。従って、吸着チャックでディスクを吸着する際、及び吸着した後の例えば吸着解除する際における吸着位置の位置ズレを防止することができる。
【００１６】
請求項５は請求項３又は４において、前記位置ズレ防止ガイドには、前記ディスクとの嵌合を誘導するテーパーが形成されていることを特徴とする。
【００１７】
このテーパーにより位置ズレ防止ガイドをディスクにスムーズに嵌合させることができる。
【００１８】
本発明の請求項６は前記目的を達成するために、磁気パターンを有するマスターディスクをホルダ部に保持する保持手段と、請求項１〜５の何れか１のディスク保持装置を備え、該ディスク保持装置の吸着チャックで吸着した被転写用ディスクを搬送して前記ホルダ部に保持された前記マスターディスクに対向するように供給する供給手段と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段とを備えたことを特徴とする磁気転写装置を提供する。
【００１９】
本発明の請求項６によれば、被転写用ディスクを吸着搬送し、ホルダ部に保持されたマスターディスクに対向するように供給する供給手段に請求項１〜５の何れか１のディスク保持装置を備えたので、ディスク保持装置の吸着チャックで被転写用ディスクを吸着する際、及び吸着した後、例えば吸着を解除する際に、吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイドを設けたので、吸着位置の位置ズレを生じることがない。これにより、被転写用ディスクとマスターディスクとを正しく対向させた状態（互いのディスクの中心を一致させた状態）で磁界印加手段でマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに転写させることができる。
【００２０】
本発明の請求項７は前記目的を達成するために、請求項１〜５の何れか１のディスク保持装置によって、被転写用ディスクの中心孔又は前記被転写用ディスクの外周縁に位置ズレ防止ガイドを嵌合させながら吸着チャックで前記被転写用ディスクを吸着する吸着工程と、前記吸着された被転写用ディスクを搬送して、ホルダ部に保持されたマスターディスクに対向するように供給する供給工程と、前記供給された被転写用ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写工程と、を備えたことを特徴とする磁気転写方法。
【００２１】
本発明の請求項７によれば、供給工程において、請求項１〜５の何れか１のディスク保持装置によって、被転写用ディスクの中心孔又は外周縁に位置ズレ防止ガイドを嵌合させながら吸着チャックで被転写用ディスクを吸着するようにしたので、吸着位置の位置ズレを生じることがない。また、圧接工程で被転写用ディスクにマスターディスクを圧接させる際に吸着チャックの吸着を解除するが、この場合にも位置ズレ防止ガイドにより位置ズレしない。これにより、被転写用ディスクとマスターディスクとを正しく対向させた状態（互いのディスクの中心を一致させた状態）でマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに転写させることができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明のディスク保持装置によれば、吸着チャックでマスターディスク若しくは被転写用ディスク（スレーブディスク）を吸着する際や、吸着した後、例えば吸着を解除する際に、吸着位置の位置ズレを生じることがない。これにより、このディスク保持装置を用いた磁気転写方法及び装置において、高精度な転写を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面に従って、本発明に係るディスク保持装置及びそれを用いた磁気転写方法並びに装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２４】
図１は、本発明に係る磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク用カセットの概要を示す斜視図である。
【００２５】
この磁気転写装置１０の装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面である。
【００２６】
ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容するディスク供給カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしてのディスク排出カセット５６が設けられている。ディスク供給カセット３８とディスク排出カセット５６とは同一形状のものが採用されている。
【００２７】
図２に示されるように、ディスク供給カセット３８及びディスク排出カセット５６は、スレーブディスク４０がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっている。すなわち、カセットの内面に並行して形成された複数の溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の外周が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。
【００２８】
図１に戻って、ベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。
【００２９】
図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダ部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着または接着により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０（図示略）を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。
【００３０】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。
【００３１】
固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、図示しないクッション材を介してカップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、図示しないクッション材を介して表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。
【００３２】
また、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４の裏面（マスターディスク４６が固定される面の反対面）の中心には、それぞれ図示しない軸部材が立設されている。この軸部材の一方が装置本体１２に固定されている。一方、もう一つの軸部材は、駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。
【００３３】
以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。
【００３４】
一方、スレーブディスク４０の転写を行ったり、ホルダユニット２２の内部に密閉空間を形成させたりする際には、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが接する状態になり、ホルダユニット２２の内部に密閉空間が形成される。これにより、ホルダユニット２２の内部には、充分なクリーン度が確保でき、マスターディスク４６の寿命を飛躍的に向上させることができる。
【００３５】
また、図３に示されるように、ホルダユニット２２の内部において、マスターディスク４６、４６同士の間には所定のクリアランスが形成されるようになっており、マスターディスク４６、４６同士の接触が避けられるように構成されている。また、図示は省略したが、スレーブディスク４０が供給される際も、ホルダユニット２２の状態は、図３）に示される状態と略同様である。
【００３６】
図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間欠駆動される。すなわち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止しするようになっている。
【００３７】
更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より左側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より右側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。
【００３８】
ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク供給カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。
【００３９】
ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク排出カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。
【００４０】
ディスク供給ユニット２６により、ディスク供給カセット３８から取り出されたスレーブディスク４０は、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して、相対的に位置決めが行われ、マスターディスク４６に設けられる空隙越しにホルダユニット２２によって吸着されて受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着されて保持される。固定側ホルダ２３の内側にはスレーブディスク４０の内径付近を吸着する吸着溝（図示略）が設けられ、この吸着溝によりスレーブディスク４０が吸着保持される。
【００４１】
ディスク供給ユニット２６は、図２、図４、図５に示されるように、主として、スレーブディスク４０に吸着するディスク保持装置４２と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、ディスク保持装置４２を回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４とから構成される。
【００４２】
ディスク保持装置４２は、主として、一端部（基部）をロータリシリンダ４４で支持されるチャック腕４２ａと、チャック腕４２ａの他端部（先端部）に設けられ、スレーブディスク４０を吸着する吸着チャック４２ｂと、吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着する際、及び吸着した後の吸着位置の位置ズレを防止する位置ズレ防止ガイド４２ｃとで構成される。すなわち、ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を吸着したディスク保持装置４２を、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及び吸着チャック４２ｂの向きを反転するようになっている。
【００４３】
図４はディスク保持装置４２を説明する図であり、（Ａ）は側面断面図、（Ｂ）は（Ａ）の○で囲んだ部分の部分拡大図で位置ズレ防止ガイド４２ｃを説明する説明図である。
【００４４】
図４に示すように、ディスク保持装置４２は、内部に減圧室４２ｈを有する本体部４２ｄと、吸着盤４２ｅとがビス９３で連結されており、この吸着盤４２ｅに位置ズレ防止ガイド４２ｃが設けられる。すなわち、吸着盤４２ｅの吸着面４２ｆにはスレーブディスク４０の中心孔４０ａに嵌合する位置ズレ防止ガイド４２ｃが吸着面４２ｆから突起して形成される。この場合、位置ズレ防止ガイド４２ｃは吸着盤４２ｅと一体形成されていても、別体として形成されていてもよい。そして、吸着面４２ｆにおける位置ズレ防止ガイド４２ｃの外側にリング状の吸引孔４２ｇが形成され、この吸引孔４２ｇが本体部４２ｄの減圧室４２ｈまで連通される。尚、吸引孔４２ｇはリング状に連続した１つの孔である必要はなく、複数の孔で断続的にリング形状を形成してもよい。
【００４５】
本体部４２ｄは、チャック腕４２ａの内部に形成される通気路４２ｊを介して吸着（真空吸着）及び吸着解除を行う吸着・解除手段（図示せず）に接続されており、これにより吸着チャック４２ｂはスレーブディスク４０を吸着又は吸着を解除することができる。
【００４６】
また、図４（Ｂ）に示されるように、位置ズレ防止ガイド４２ｃ先端周縁にテーパー４２ｋが形成されている。このテーパ４２ｋにより、位置ズレ防止ガイド４２ｃの先端が先細状になるので、吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着する際に、位置ズレ防止ガイド４２ｃがスレーブディスク４０の中心孔４０ａにスムーズに誘導されて、位置ズレ防止ガイド４２ｃとスレーブディスク４０とが嵌合状態になる。尚、位置ズレ防止ガイド４２ｃは、図４（Ａ）では吸着面４２ｆから突起した円柱状の突起部として形成されているが、円柱状であることに限定されるものではなく、円筒形状であってもよく、スレーブディスク４０の中心孔４０ａの内周縁に位置ズレ防止ガイド４２ｃの複数箇所が当接して位置ズレ防止ガイド４２ｃが中心孔４０ａに嵌合状態なる形状であればよい。更には、図示しないが、円筒形状を縦方向に複数の分割片に分割したものでもよい。このように分割片に分割することで、位置ズレ防止ガイド４２ｃが弾性変形し易くなるので、位置ズレ防止ガイド４２ｃがスレーブディスク４０の中心孔４０ａに一層スムーズに嵌合し易くなる。但し、分割片の数が多過ぎると、嵌合する力が弱くなり位置ズレの原因になるので、５片以内にするとよい。
【００４７】
但し、図４（Ｂ）のように、位置ズレ防止ガイド４２ｃの嵌合部分の厚みＬがスレーブディスク４０の厚みＭよりも小さくなるようにして、吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着した際に、スレーブディスク４０の吸着反対面から位置ズレ防止ガイド４２ｃの先端が突出しないことが好ましい。これは、位置ズレ防止ガイド４２ｃの先端をスレーブディスク４０の吸着反対面から突出させると、スレーブディスク４０をマスターディスク４６に対向配置させたときに、位置ズレ防止ガイド４２ｃが固定側ホルダ２３に接触して干渉し合うためである。
【００４８】
また、吸着盤４２ｅの先端周縁にもテーパー４２ｐを形成することが好ましい。これは、スレーブディスク４０の中周部分（スレーブディスク４０の内周部分と外周部分を除いた部分）には、マスターディスク４６のサーボ情報が転写されるサーボエリアがあるので、テーパー４２ｐを形成することにより吸着面４２ｆがサーボエリアに接触しないように吸引孔４２ｇのリング径を大きくすることができ、安定した吸着が可能になるからである。
【００４９】
図５は、位置ズレ防止ガイド４２ｃの別の態様で、スレーブディスク４０の外周に嵌合する場合であり、（Ａ）は側面断面図、（Ｂ）は（Ａ）の○で囲んだ部分の部分拡大図で位置ズレ防止ガイド４２ｃを説明する説明図である。
【００５０】
図５に示すように、吸着チャック４２ｂは、内部に減圧室４２ｈを有する本体部４２ｄと、吸着盤４２ｅとがビス９３で連結されており、本体部４２ｄに位置ズレ防止ガイド４２ｃが設けられる。この場合、位置ズレ防止ガイド４２ｃは本体部４２ｄと一体形成されていても、別体として形成されていてもよい。すなわち、本体部４２ｄは、スレーブディスク４０の外径と略同等な大径部４２ｑと、吸着盤４２ｅと略同等な小径部４２ｒとで構成され、大径部４２ｑの外周位置でスレーブディスク４０側に円筒形状な位置ズレ防止ガイド４２ｃが支持されている。位置ズレ防止ガイド４２ｃの内径Ｗ１は、スレーブディスク４０の径よりも小さく、外径Ｗ２がスレーブディスク４０の径よりも大きく形成されると共に、位置ズレ防止ガイド４２ｃの先端内側に段差状の切欠き４２ｓが形成される。この切欠き４２ｓにスレーブディスク４０の外周縁が嵌合される。また、この切欠き４２ｓには、該切欠き４２ｓの先端部をラッパ管状に広げるテーパー４２ｔが形成されている。これにより、吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着する際に、位置ズレ防止ガイド４２ｃの切欠き４２ｓにスレーブディスク４０がスムーズに誘導されて、位置ズレ防止ガイド４２ｃとスレーブディスク４０とが嵌合状態になる。また、切欠き４２ｓのうち、スレーブディスク４０の面に当接する部分の縁が面落としされて、テーパー４２ｕが形成される。これは、図４で示したテーパー４２ｐと同様に位置ズレ防止ガイド４２ｃがサーボエリアに接触しないようにするためである。
【００５１】
尚、スレーブディスク４０の外周縁に嵌合する位置ズレ防止ガイド４２ｃは、円筒形状に限定されるものではなく、図示しないが、円筒形状を縦方向に複数の分割片に分割し、それぞれの分割片先端に切欠き４２ｓとテーパー４２ｕとを形成すればよい。このように分割片に分割することで、位置ズレ防止ガイド４２ｃが弾性変形し易くなるので、位置ズレ防止ガイド４２ｃとスレーブディスク４０とが一層スムーズに嵌合し易くなる。但し、分割片の数が多過ぎると、嵌合する力が弱くなり位置ズレの原因になるので、５片以内にするとよい。
【００５２】
また、図５（Ｂ）のように、位置ズレ防止ガイド４２ｃの嵌合部分の厚みＬがスレーブディスク４０の厚みＭよりも小さくなるようにすることは図４の場合と同様である。また、本体部４２ｄも、図４の場合と同様であり、チャック腕４２ａの内部に形成される通気路４２ｊを介して吸着（真空吸着）及び吸着解除を行う減圧・解除ラインに接続されており、これにより吸着チャック４２ｂはスレーブディスク４０を吸着又は吸着を解除することができる。
【００５３】
ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、ディスク排出カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。
【００５４】
ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０を吸着するチャック機構５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック機構５２を回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。また、チャック機構５２は、図４及び図５で示したと同様の構造に形成される。すなわち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０を吸着したチャック機構５２を、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック機構５２の向きを反転するようになっている。
【００５５】
図６に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のディスク保持装置４２には認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット３０で視覚認識される。
【００５６】
この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスク供給カセット３８が設けられた側面と反対の側面にほど近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。
【００５７】
認識ユニット３０には位置決め手段としての制御手段３０Ａが接続され、制御手段３０Ａは認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。
【００５８】
位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。
【００５９】
このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３０Ａにティーチングされている。
【００６０】
一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、ディスク保持装置４２の吸着動作によって吸着チャック４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３０Ａに予めティーチングされている。
【００６１】
これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。
【００６２】
図１のコイルユニット３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側にコイルを離間して配置したものである。このコイルユニット３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。
【００６３】
次に、上記のように構成された磁気転写装置１０による磁気転写方法について説明する。
【００６４】
運転開始により、ディスク供給ユニット２６のディスク保持装置４２がディスク供給カセット３８内のスレーブディスク４０を吸着して、順次１枚づつ取り出す。このスレーブディスク４０の取り出しにおいて、スレーブディスク４０の中心孔４０ａ又はスレーブディスク４０の外周縁に位置ズレ防止ガイド４２ｃを嵌合させながら吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着するようにした。これにより、吸着位置の位置ズレを生じることなくディスク保持装置４２でスレーブディスク４０を取り出すことができる。
【００６５】
取り出されたスレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置８２に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される。
【００６６】
このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。
【００６７】
ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。
【００６８】
次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のディスク保持装置４２に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。
【００６９】
この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、ディスク保持装置４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出されるスレーブディスク４０の中心とが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９により、スレーブディスク４０が位置決めされる。
【００７０】
次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、スレーブディスク４０を吸着している吸着チャック４２ｂの吸着が解除されると共に、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される。このスレーブディスク４０を吸着チャック４２ｂから固定側ホルダ２３への受け渡しにおいて、スレーブディスク４０の中心孔又４０ａはスレーブディスク４０の外周縁に位置ズレ防止ガイド４２ｃを嵌合させた状態で吸着チャック４２ｂの吸着が解除される。これにより、吸着位置の位置ズレを生じることなく、スレーブディスク４０を吸着チャック４２ｂから固定側ホルダ２３に受け渡すことができる。
【００７１】
次いで、移動側ホルダ２４をロボット７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する。
【００７２】
次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置８４に位置決めする。そして、コイルユニット３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ、ホルダユニット２２を回転させながら両側から磁界を加える。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。
【００７３】
磁気転写後、コイルユニット３２、３２を初期の位置に退避させ、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置８６に位置決めする。
【００７４】
次いで、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。
【００７５】
次いで、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０を吸着する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。この固定側ホルダ２３からディスク排出ユニット３４のチャック機構５２へのスレーブディスク４０の受け取りにおいて、スレーブディスク４０の中心孔４０ａ又はスレーブディスク４０の外周縁に位置ズレ防止ガイド５２ｃを嵌合させながら吸着チャック５２ｂでスレーブディスク４０を吸着するようにした。これにより、吸着位置の位置ズレを生じることなくチャック機構５２でスレーブディスク４０を受け取ることができるので、スレーブディスク４０に転写された情報部分（例えばサーボ情報）のエリアを吸着して傷等を付けてしまうことがない。
【００７６】
次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック機構５２により把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック機構５２を含めて上下方向の向きが反転される。
【００７７】
次いで、スレーブディスク４０及びチャック機構５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によってディスク排出カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０をディスク排出カセット５６内に順次１枚づつ収納する。
【００７８】
上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。
【００７９】
図１における符号１４はクリーンユニットであり、６４はクリーンユニットからダウンフローされた清浄エアを吸い込む吸引口である。
【００８０】
尚、ディスク保持装置４２は、転写装置に限らず、装置間のディスクの受け渡しや他の装置のハンドリング装置においても使用してよい。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図
【図２】ディスク用カセットにスレーブディスクを出し入れする状態を示す斜視図
【図３】ホルダユニットの構成を示す断面図
【図４】チャック機構を説明する説明図
【図５】チャック機構に設けられた位置ズレ防止ガイドの別の態様を説明する説明図
【図６】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図
【符号の説明】
【００８２】
１０…磁気転写装置、１２…装置本体、１４…クリーンユニット、２２…ホルダユニット（保持手段）、２３…固定側ホルダ、２４…移動側ホルダ、２６…ディスク供給ユニット（供給手段）、３０…認識ユニット、３２…コイルユニット、３４…ディスク排出ユニット、３８…ディスク供給カセット、４０…スレーブディスク（被転写用ディスク）、４０ａ…スレーブディスクの中心孔、４２…ディスク保持装置、４２ａ…チャック腕、４２ｂ…吸着チャック、４２ｃ…位置ズレ防止ガイド、４２ｄ…本体部、４２ｅ…吸着盤、４２ｆ…吸着面、４２ｇ…吸引孔、４２ｈ…減圧室、４２ｊ…通気路、４２ｋ…テーパー、４２ｐ…テーパー、４２ｑ…大径部、４２ｒ…小径部、４２ｓ…切欠き、４２ｔ…テーパー、４２ｕ…テーパー、４６…マスターディスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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