(57)【要約】【課題】エジェクタピンや高圧流体の噴射機構等を必要とせず、簡易な構成によって成形品の離型を可能にする樹脂成形型及び樹脂成形方法を提供する。【解決手段】キャビティ１２が流動性樹脂によって充填された後に流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂１９を形成し、少なくとも該硬化樹脂１９を含む成形品２０を完成させる際に使用される樹脂成形型３に、少なくともキャビティ１２の内底面１３を構成するブロック７と、ブロック７に力を加えることによりブロック７を内底面１３に沿う方向に変位させる駆動機構１０とを備えるとともに、駆動機構１０は、硬化樹脂１９が形成された状態においてブロック７を変位させることにより硬化樹脂１９と内底面１３とを離間させる。これにより、成形品２０の厚さ方向に力を加えることなく、樹脂成形型３から成形品２０が離型する。【選択図】図２
2006168256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャビティが流動性樹脂によって充填された後に前記流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂を形成し、少なくとも該硬化樹脂を含む成形品を完成させる際に使用される樹脂成形型であって、
少なくとも前記キャビティの内底面を構成するブロックと、
前記ブロックに力を加えることによって前記ブロックを前記内底面に沿う方向に変位させる駆動機構とを備えるとともに、
前記駆動機構は、前記硬化樹脂が形成された状態において前記ブロックを変位させることによって前記硬化樹脂と前記内底面とを離間させることを特徴とする樹脂成形型。
【請求項２】
請求項１記載の樹脂成形型において、
前記駆動機構は、前記樹脂成形型が型開きすることと並行して前記ブロックを変位させることを特徴とする樹脂成形型。
【請求項３】
キャビティを流動性樹脂によって充填された状態にし、前記流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂を形成し、少なくとも該硬化樹脂を含む成形品を取り出して該成形品を完成させる樹脂成形方法であって、
前記硬化樹脂が形成された後に、少なくとも前記キャビティの内底面を構成するブロックを前記内底面に沿う方向に変位させることによって前記硬化樹脂と前記内底面とを離間させる工程を備えることを特徴とする樹脂成形方法。
【請求項４】
請求項３記載の樹脂成形方法において、
前記離間させる工程においては、前記樹脂成形型を型開きすることと前記ブロックを変位させることとを並行することを特徴とする樹脂成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャビティに充填された流動性樹脂が硬化することによって成形体を製造する際に使用される樹脂成形型と樹脂成形方法とに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、キャビティに充填された流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂を生成し、その硬化樹脂を含む成形品を離型させて取り出すことを目的として、エジェクタピンと称する機構が使用されている（例えば、特許文献１の第９図参照）。これは、樹脂成形用の金型の下方若しくは上方（又はそれらの双方）に、金型本体とは別に昇降自在なエジェクタプレートを設け、そのエジェクタプレートに取り付けられたエジェクタピンにより成形品を突き出して離型する機構である。また、エジェクタピンを設ける必要がない、以下のような構成が提案されている。第１に、キャビティ面に孔部とバルブピンとを設け、型開き時にバルブピンによって開放された孔部から圧縮空気等の高圧流体を噴射することによって、成形品をキャビティ面から離型させる構成が提案されている（例えば、特許文献１参照の第１図、第２図参照）。第２に、キャビティ面に所要の振動を加えることによって成形品をキャビティ面から離型させる構成が提案されている。この振動は、金型とは別に設けられた振動発生手段によりキャビティ面に加えられ、振幅が１〜２μｍ程度とされている（例えば、特許文献２参照）。第３に、キャビティ面を構成するように金型に設けられた圧電体を変位させるという構成が提案されている（例えば、特許文献３参照）。この構成において圧電体が変位する方向は、キャビティ面に沿う方向であってキャビティの中心から外側に向かう方向、又は、キャビティ面に交わる方向（例えば、垂直な方向）である。
【０００３】
しかしながら、上述した従来の技術によれば、次のような問題がある。まず、エジェクタピンを使用して成形品を突き出す場合には、エジェクタプレートが昇降する空間が必要になるので、装置の小型化を図ることができない。また、エジェクタピンを使用しない構成として、第１に、高圧流体による噴射を使用する場合には、圧縮機、高圧流体タンク、配管等が必要になるので、この場合にも装置の小型化を図ることができない。第２に、所要の振動を加えて成形品をキャビティ面から離型させる場合には、キャビティ面と成形品とが密着（固着）している部分のみを振動させるのではなく、金型の外部から金型構成部全体を振動させるので、非効率であるとともに装置の複雑化を招く。更に、流動性樹脂の特性によっては硬化樹脂とキャビティ面との密着性が強い場合があり、この場合には成形品を十分に離型させることができないおそれがある。第３に、キャビティ面を構成する圧電体を変位させる場合のうち、キャビティ面に沿う方向であってキャビティの中心から外側に向いた方向に圧電体を変位させる場合には、キャビティの中心付近ではキャビティ面と成型品との間の密着性が低下しにくい。また、キャビティ面に交わる方向に圧電体を変位させる場合には、成形品の特性によってはその品質に悪影響を与えるおそれがある。
【０００４】
更に、樹脂成形のうち、プリント基板等（以下「基板」という。）に装着された半導体チップ等からなるチップ状素子（以下「チップ」という。）を樹脂封止して電子部品のパッケージを製造する場合においては、次のような独特の問題がある。これらの問題は、パッケージの薄型化（ひいては成形品の薄型化）、コスト面からの要請に伴う基板１枚当りの多数個取り化（ひいては成形品の大型化）、パッケージの小型化に伴う信頼性確保を目的とする硬化樹脂の密着性の増大等という近年の傾向に起因して発生する。まず、エジェクタピンを使用する場合には、パッケージの薄型化に伴い基板と硬化樹脂との双方が薄くなっているので、基板と硬化樹脂とのうち突き出された部分にクラックが生じるおそれがある。また、突き出されることにより、チップと基板との間の配線に使用される金属細線（ワイヤ）において、断線や接触不良が生じるおそれがある。これらは、完成品である電子部品の信頼性と歩留まりとを低下させる。また、成形品の大型化に伴い突き出す個所、すなわちエジェクタピンの本数を増やす必要があるので、金型・装置の設計を困難化させるとともに金型・装置自体の複雑化を招く。これらの問題は、硬化樹脂の密着性の増大によっていっそう深刻になっている。
【０００５】
また、エジェクタピンを使用しない構成のうちで、第１に、高圧流体を使用する場合には、成形品の大型化と硬化樹脂の密着性の増大とに対処するために、流体圧を高める必要がある。この場合には、成形品の薄型化に伴い、クラックが生じて信頼性が低下するおそれがある。また、高圧流体を噴射する個所を増やす場合には、エジェクタピンの本数を増やす場合と同様に、金型・装置の設計を困難化させるとともに金型・装置自体の複雑化を招く。第２に、振動を使用する場合には、成形品の大型化と硬化樹脂の密着性の増大とによって、成形品を十分に離型させることができないおそれがある。そして、キャビティを有する金型に対して外部から振動を加えているので、キャビティ内の硬化樹脂と金型とが同じ振動系に属することになる。したがって、仮に、１〜２μｍ程度とされている振幅を増大させたとしても、キャビティ面と成形品とが密着する面に作用する力は振動によって生じる慣性力の範囲にとどまるので、離型効果はそれほど向上しない。第３に、キャビティ面を構成する圧電体を変位させる場合には、成形品の大型化と硬化樹脂の密着性の増大とによって、成形品を十分に離型させることができないおそれがある。加えて、キャビティ面に交わる方向に圧電体を変位させる場合には、電子部品のパッケージ又はその集合体からなる成形品の薄型化に伴い、クラックが生じて電子部品の信頼性が低下するおそれがある。
【特許文献１】実開平２−３６０３９号公報（第１図、第２図、第９図）
【特許文献２】特開平５−３２６５９７号公報（第５−６頁、第１図）
【特許文献３】特開２００４−２２３８６６号公報（第４−６頁、第１−４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、簡易な構成によって成形品の離型を可能にする、樹脂成形型及び樹脂成形方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の課題を解決するために、本発明に係る樹脂成形型（３）は、キャビティ（１２）が流動性樹脂によって充填された後に流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂（１９）を形成し、少なくとも該硬化樹脂（１９）を含む成形品（２０）を完成させる際に使用される樹脂成形型（３）であって、少なくともキャビティ（１２）の内底面（１３）を構成するブロック（７）と、ブロック（７）に力を加えることによってブロック（７）を内底面（１３）に沿う方向に変位させる駆動機構（１０）とを備えるとともに、駆動機構（１０）は、硬化樹脂（１９）が形成された状態においてブロック（７）を変位させることによって硬化樹脂（１９）と内底面（１３）とを離間させることを特徴とする。なお、本出願書類においては、「ＡとＢとを離間する」という用語を、「ＡとＢとを、これらが密着（固着）した状態から密着（固着）していない状態にする」という意味で使用する。
【０００８】
また、本発明に係る樹脂成形型（３）は、上述の樹脂成形型（３）において、駆動機構（１０）は、樹脂成形型（３）が型開きすることと並行してブロック（７）を変位させることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る樹脂成形方法は、キャビティ（１２）を流動性樹脂によって充填された状態にし、流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂（１９）を形成し、少なくとも該硬化樹脂（１９）を含む成形品（２０）を取り出して該成形品（２０）を完成させる樹脂成形方法であって、硬化樹脂（１９）が形成された後に、少なくともキャビティ（１２）の内底面（１３）を構成するブロック（７）を内底面（１３）に沿う方向に変位させることによって硬化樹脂（１９）と内底面（１３）とを離間させる工程を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る樹脂成形方法は、上述の樹脂成形方法において、離間させる工程においては、樹脂成形型（３）を型開きすることとブロック（７）を変位させることとを並行することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、硬化樹脂（１９）が形成された状態において、駆動機構（１０）が、少なくともキャビティ（１２）の内底面（１３）を構成するブロック（７）を、内底面（１３）に沿う方向に変位させる。このことにより、成形品（２０）に含まれる硬化樹脂（１９）とキャビティ（１２）の内底面（１３）とを、離間する、すなわち密着した状態から密着していない状態にする。したがって、硬化樹脂（１９）の表面のうち少なくともキャビティ（１２）の内底面（１３）に密着していた部分が、内底面（１３）に密着していない状態になる。これにより、成形品（２０）を突き出すことなく、言い換えれば成形品（２０）の厚さ方向に力を加えることなく、樹脂成形型（３）から成形品（２０）が離型する。したがって、次の効果が得られる。第１に、成形品（２０）を突き出す機構が不要になるので、樹脂成形型（３）・成形装置の設計の容易化と、樹脂成形型（３）・成形装置自体の簡易化・小型化とが可能になる。第２に、成形品（２０）の厚さ方向に加わる応力が低減されるので、特に大型かつ薄型の成形品（２０）に対して品質に悪影響を与えることなく、成形品（２０）が離型する。第３に、硬化樹脂（１９）の表面のうち少なくともキャビティ（１２）の内底面（１３）に密着している面の全体に対して、その面に沿って剪断応力が作用するので、成形品（２０）が離型しやすくなる。
【００１２】
また、本発明によれば、駆動機構（１０）が、樹脂成形型（３）が型開きすることと並行してブロック（７）を変位させる。これにより、内底面（１３）と硬化樹脂（１９）の表面とが密着している状態で、内底面（１３）と硬化樹脂（１９）の表面との間に剪断応力と引っ張り応力とが作用する。これにより、剪断応力と引っ張り応力とが協働するので、成形品（２０）がいっそう離型しやすくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
キャビティ（１２）が流動性樹脂によって充填された後に流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂（１９）を形成し、少なくとも該硬化樹脂（１９）を含む成形品（２０）を完成させる際に使用される樹脂成形型（３）に、少なくともキャビティ（１２）の内底面（１３）を構成するブロック（７）と、ブロック（７）に力を加えることによってブロック（７）を内底面（１３）に沿う方向に変位させる駆動機構（１０）とを備えるとともに、駆動機構（１０）は、硬化樹脂（１９）が形成された状態においてブロック（７）を変位させることによって硬化樹脂（１９）と内底面（１３）とを離間させる。
【実施例１】
【００１４】
本発明に係る樹脂成形型及び樹脂成形方法の実施例１を、図１−図２を参照して説明する。以下、樹脂成形の例として、トランスファ成形を使用して、基板に装着されたチップを樹脂封止して電子部品のパッケージを製造する場合について説明する。この場合には、パッケージの集合体が成形品になる。図１（１）は本実施例に係る樹脂成形型が型開きした状態でチップが装着された基板が上型にセットされた状態を、図１（２）は樹脂成形型が型締めした状態で硬化樹脂が形成された状態を、それぞれ示す部分断面図である。図２（１）は図１（２）の状態からブロックが変位することによって硬化樹脂とブロックの内底面とが離間された状態を、図２（２）は樹脂成形型が型開きして成形品が取り出される状態を、それぞれ示す部分断面図である。なお、以下の説明において使用するいずれの図についても、わかりやすくするために適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。
【００１５】
図１に示されているように、下型１とこれに相対向する上型２とは、トランスファ成形を使用して樹脂封止する際の樹脂成形型３を構成する。下型１は、ベース部４と、ベース部４に固定されているとともに上型２に対向する対向部５と、ベース部４に設けられた凹部６において水平方向に摺動自在に設けられたブロック７とによって構成される。ブロック７の側面にはロッド８が固定され、そのロッド８は、ブロック７に設けられた穴部９を介して駆動機構１０に固定されている。ここで、駆動機構１０は、ロッド８を図の左右方向に進退させるようにして、例えば、流体圧力を使用したエアシリンダ、油圧シリンダ等からなるアクチュエータによって構成されている。対向部５には適宜凹部が形成されており、対向部５が下型１に組み込まれた状態において、それらの凹部は、流動性樹脂が流動する空間であるランナ１１と、流動性樹脂が充填される空間であるキャビティ１２とを構成する。ランナ１１は、プランジャが内装されたポット等からなる公知の樹脂供給手段（図示なし）に連通している。これらの構成によって、ブロック７の表面（図では上面）が少なくともキャビティ１２の内底面１３（図では下面）を構成するとともに、対向部５の凹部の側面がキャビティ１２の側面を構成する。本実施例では、更に、ブロック７の表面がランナ１１の内底面１３を、対向部５の凹部の側面がランナ１１の側面を、それぞれ構成している。
【００１６】
上型２には吸着機構１４が設けられ、この吸着機構１４は、樹脂成形型３の外部に設けられた減圧タンク等にバルブを介して接続されている（いずれも図示なし）。また、吸着機構１４によって、基板１５が吸着されて上型２に固定されている。この基板１５には、格子状に設けられた複数の領域１６においてそれぞれチップ１７が載置され、チップ１７と基板１５との電極同士（図示なし）がワイヤ１８によって接続されている。この領域１６のそれぞれが、電子部品に相当する。なお、図１（１）では４列の領域１６が形成されているが、実際には更に多数列の領域１６が形成されている場合がある。このように大面積を有する基板１５を使用して厚さが小さい成形品を形成し、これを離型する場合には、成形品の厚さ方向に加わる応力をできるだけ小さくすることが、更に強く要求される。
【００１７】
本実施例に係る樹脂成形型の動作、すなわち樹脂成形方法について説明する。まず、図１（１）に示すように、下型１と上型２とが型開きしている状態で、ポットに樹脂タブレットを投入する（いずれも図示なし）。また、チップ１７が装着された基板１５を、キャビティ１２に対向するように位置合わせする。そして、吸着機構１４によって基板１５を吸着して上型２に固定する。
【００１８】
次に、図１（２）に示すように、下型１と上型２とを型締めする。そして、下型１と上型２とが型締めした状態で、プランジャ（図示なし）によって樹脂タブレットを上向きに押圧しながら溶融させて流動性樹脂を形成する。更に、引き続いて流動性樹脂を押圧することによって、図１（１）に示されたランナ１１を経由して、ランナ１１とキャビティ１２とに流動性樹脂を充填する。その後に、流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂１９を形成する。これにより、基板１５と硬化樹脂１９とを有する成形品２０が形成されるとともに、キャビティ１２及びランナ１１の内底面１３と硬化樹脂１９の表面（図では下面）とが密着する。また、ここまでの工程では、ブロック７を静止させておく。
【００１９】
次に、図２（１）に示すように、引き続いて下型１と上型２とが型締めした状態において、駆動機構１０を使用してロッド８を内底面１３に沿う方向、すなわち水平方向（図では左方向）に変位させる。これによって、ロッド８に固定されているブロック７に対して水平方向に外力が加えられ、ブロック７も同じ方向に一体となって変位するので、ブロック７の表面、すなわちキャビティ１２とランナ１１との内底面１３も同じ方向に一体となって移動する。したがって、内底面１３とこれに密着している硬化樹脂１９の表面との間に、同じ大きさの剪断応力が同時に作用するので、微視的には内底面１３と硬化樹脂１９の表面との間に間隙が生じて、内底面１３と硬化樹脂１９の表面とが離間する。ここまでの工程によって、硬化樹脂１９と内底面１３とが密着している状態を解消することができる。なお、ブロック７を一体的に変位させる方向は内底面１３に沿う方向、すなわち水平方向であればよく、図の右方向、手前方向、又は奥方向のいずれでもよい。
【００２０】
ここで、ブロック７を変位させる際の変位量は、１回の変位によって硬化樹脂１９と内底面１３とを離間させることができる程度に十分な変位量であることが好ましい。また、変位量としては、上述した１回の変位の場合に十分な変位量よりも小さい量だけ変位させて、この変位を同方向又は逆方向に繰り返してもよい。この場合には、１回の変位量として、ブロック７を複数回変位させることによって硬化樹脂１９と内底面１３とを離間させることができる程度に十分な変位量であることが必要になる。
【００２１】
次に、図２（２）に示すように、引き続き基板１５を吸着して上型２に固定したまま、下型１と上型２とを型開きする。ここで、内底面１３と硬化樹脂１９とが既に離間しているので、基板１５と硬化樹脂１９とを有する成形品２０は、下型１から容易に離型して、引き続き上型２に固定されたまま上昇する。その後に、搬送機構（図示なし）によって成形品２０を次工程に搬送する。そして、１個のチップ１７が装着されている領域１６（図１（１）参照）のそれぞれを単位として所定の検査を行った後に、切断装置を使用して、領域１６のそれぞれを単位として成形品２０を切断する。ここまでの工程によって、電子部品のパッケージが完成する。
【００２２】
本実施例の特徴は、駆動機構１０を使用して、成形品２０を構成する硬化樹脂１９が形成された状態においてブロック７を一体的に変位させることによって、硬化樹脂１９の表面とキャビティ１２及びランナ１１の内底面１３とを離間させることである。これによって、硬化樹脂１９の表面のうち広い面積の全体に対して、内底面１３に沿う方向（水平方向）に、同じ大きさの剪断応力が同時に作用する。このことによって、次の効果が得られる。第１に、従来の技術のうちエジェクタピンと高圧流体とのいずれをも使用することなく、樹脂成形型３が構成される。したがって、樹脂成形型３・樹脂成形装置の設計の容易化と、樹脂成形型３・樹脂成形装置自体の簡易化・小型化とが可能になる。第２に、硬化樹脂１９の表面における広い面積の全体に対して、同じ大きさの剪断応力が同時に作用する。これにより、成形品２０が大型であり、かつ厚さが小さい場合であっても、厚さ方向に加わる応力が低減される。したがって、従来の技術のうちでキャビティ面に交わる方向に成形品２０を突き出す場合、すなわちエジェクタピン・高圧流体を使用する場合に比べて、成形品２０の品質に悪影響を与えることなく成形品２０を離型させることができる。また、従来の技術のうちで、所要の振動を加えて成形品をキャビティ面から離型させる場合と、キャビティ面に沿う方向であってキャビティの中心から外側に向かう方向に圧電体を変位させる場合とに比べて、成形品２０を離型させることが容易になる。
【００２３】
なお、上述した効果のうち第２の効果は、チップ１７を樹脂封止して電子部品のパッケージを製造する場合に顕著である。この場合には、厚さ方向に加わる応力が低減されることにより、成形品２０において、クラック、ワイヤ１８の断線、接触不良等の発生を防止することができる。したがって、完成品である電子部品の信頼性と歩留まりとを向上させることができる。
【実施例２】
【００２４】
本発明に係る樹脂成形型及び樹脂成形方法の実施例２を、図２を参照して説明する。本実施例は、図２（１）に示す工程、すなわち、駆動機構１０を使用してブロック７を水平方向（図では左方向）に変位させる工程において、下型１と上型２とを型開きすることを特徴とする。ここで、成形品２０が大型であり、かつ厚さが小さい場合等のように、成形品２０を離型する際にこれに加わる応力をできるだけ小さくしたい場合には、ブロック７の変位を開始した直後に下型１と上型２との型開きを開始することが好ましい。これにより、内底面１３と硬化樹脂１９の表面との間において、ブロック７の変位による剪断応力と型開きによる引っ張り応力とが協働することによって、成形品２０に加わる応力を全体として小さくすることができる。
【００２５】
本実施例によれば、内底面１３と硬化樹脂１９の表面とが密着している状態で、内底面１３と硬化樹脂１９の表面との間に剪断応力と引っ張り応力とが作用する。好ましくは、内底面１３と硬化樹脂１９の表面との間に剪断応力が作用し始めた直後に、それらの間に引っ張り応力が作用する。これらにより、剪断応力と引っ張り応力とが協働するので、成形品２０を離型させることがいっそう容易になる。
【００２６】
なお、上述の各実施例においては、基板１５において格子状に設けられた領域１６に装着されたチップ１７を樹脂封止する場合について説明した。これに限らず、基板１５に適宜装着された１個又は複数個のチップ１７を一括して樹脂封止する場合においても、本発明を適用することができる。
【００２７】
また、樹脂封止以外の一般的な樹脂成形に使用される樹脂成形型及び樹脂成形方法に対して、本発明を適用することができる。また、トランスファ成形以外に、射出成形に使用される樹脂成形型及び樹脂成形方法に対して、本発明を適用することができる。また、いわゆる圧縮成形に使用される樹脂成形型及び樹脂成形方法に対して、本発明を適用することができる。
【００２８】
また、図１（１）に示されているように、下型１の側に、ランナ１１とキャビティ１２とを設けるとともにこれらの内底面１３を構成するブロック７を設けた。これに限らず、上型２の側に、ランナ１１とキャビティ１２とブロック７とを設けてもよい。また、下型１と上型２との双方の側に、ランナ１１とキャビティ１２とブロック７とを設けることもできる。更に、本発明を、下型１と上型２とに限らず、相対向する樹脂成形型に対して適用することができる。
【００２９】
また、本発明を適用する場合には、離型性のよい型材を使用して樹脂成形型３を構成してもよい。また、内底面１３に低離型性材料からなる被膜を形成して樹脂成形型３を構成してもよい。これらの場合には、成形品２０をいっそう容易に離型することができる。更に、樹脂成形型３を、工具鋼等の金属材料を使用して構成してもよく、セラミックス等の無機材料や有機材料を使用して構成してもよい。
【００３０】
また、対向部５においてブロック７に対向する面（図では下面）のうち、ブロック７が変位する際に内底面１３に摺動する部分において、小さい摩擦係数を有する物質を膜状に形成してもよい。これにより、いっそう小さい力でブロック７を滑らかに変位させることができる。小さい摩擦係数を有する物質としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を使用することができる。
【００３１】
また、駆動機構１０が、流体圧力を使用したエアシリンダ、油圧シリンダ等からなるアクチュエータによって構成されていることとした。これに限らず、電磁力によって駆動されるアクチュエータ（プッシュプルソレノイド等）、圧電素子等を使用して、駆動機構１０を構成してもよい。また、回転運動を往復運動に変換する機構（モータ及びカム等）を使用して、駆動機構１０を構成してもよい。また、ブロック７に外力を加えるために、ブロック７に固定されたロッド８を使用したが、これに代えて、ブロック７とは独立して設けられたハンマー状の部材を使用してもよい。
【００３２】
また、ブロック７を変位させる際に駆動機構１０がブロック７に外力を加える態様は、瞬間的であっても断続的であってもよく、また、一定時間にわたる持続的なものであってもよい。更に、駆動機構１０がブロック７に外力を加える時間、回数、その外力の大きさ等は、内底面１３と硬化樹脂１９との間における密着力、接触面積等に応じて、最適な値に定めることができる。
【００３３】
また、本発明は、上述の各実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】図１（１）は実施例１に係る樹脂成形型が型開きした状態でチップが装着された基板が上型にセットされた状態を、図１（２）は樹脂成形型が型締めした状態で硬化樹脂が形成された状態を、それぞれ示す部分断面図である。
【図２】図２（１）は図１（２）の状態からブロックが変位することによって硬化樹脂とブロックの内底面とが離間された状態を、図２（２）は樹脂成形型が型開きして成形品が取り出される状態を、それぞれ示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１    下型
２    上型
３    樹脂成形型
４    ベース部
５    対向部
６    凹部
７    ブロック
８    ロッド
９    穴部
１０    駆動機構
１１    ランナ
１２    キャビティ
１３    内底面
１４    吸着機構
１５    基板
１６    領域
１７    チップ
１８    ワイヤ
１９    硬化樹脂
２０    成形品
【図１】
2006168256.tif 000003
【図２】
2006168256.tif 000004