(57)【要約】【課題】レチクル１０を載置する２つのフォーク２を具備したレチクル１０を搬送するための搬送アーム１において、レチクル１０の静電破壊を簡便に検査するための搬送アーム１およびそれを具備した露光装置を提供する。【解決手段】フォーク２の先端にフォーク２の前後および上下方向に可動に設けられた可動部材４と、可動部材４の先端にレチクル１０の表面に接触することが可能に設けられた導電性部材３と、フォーク２の内部あるいは外側を通して設けられた伸縮可能な一対の導電線とを有する通電確認手段を具備し、導電線の一端は、可動部材４の導電性部材３に導通し、導電線の他端は、通電検査手段に導通することを特徴とする。【選択図】図１
2006351750.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルを搬送するための搬送アームにおいて、通電確認手段を備えたことを特徴とする搬送アーム。
【請求項２】
レチクルを載置する２つのフォークを具備したレチクルを搬送するための搬送アームにおいて、
フォークの先端にフォークの前後および上下方向に可動に設けられた可動部材と、
可動部材の先端にレチクルの表面に接触することが可能に設けられた導電性部材と、
フォークの内部あるいは外側を通して設けられた伸縮可能な一対の導電線と
を有する通電確認手段を具備し、
導電線の一端は、可動部材の導電性部材に導通し、
導電線の他端は、通電検査手段に導通することを特徴とする搬送アーム。
【請求項３】
請求項１あるいは請求項２に記載の搬送アームにおいて、通電確認手段による通電状態の検査結果を、発光して視覚により認識させて知らしめる手段を具備したことを特徴とする搬送アーム。
【請求項４】
請求項１あるいは請求項２に記載の搬送アームにおいて、通電確認手段による通電状態の検査結果を、音声を出力し聴覚により認識させて知らしめる手段を具備したことを特徴とする搬送アーム。
【請求項５】
請求項１あるいは請求項２に記載の搬送アームにおいて、通電確認手段による通電状態の検査結果を、表示装置で知らしめることを特徴とする搬送アーム。
【請求項６】
請求項２ないし請求項５いずれか１項に記載の搬送アームにおいて、導電性部材が被搬送基板の表面に接触したことを感知することにより、可動部材の駆動を制御する制御機能を備えたことを特徴とする搬送アーム。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６いずれか１項に記載の搬送アームを具備したことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレチクルを搬送するための搬送アームおよびそれを具備した露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程に代表されるフォトリソ工程を含む製造工程において、レチクルは必要不可欠なものである。しかし、その取り扱い環境は、作業者による搬送、室内気流、レチクルケースによる取り扱い等により静電気が帯電しやすい環境といえる。レチクルに静電気が蓄積されると、その静電気の放電による回路パターンの静電破壊が発生する恐れがある。しかし、レチクルの使用時にはパターンの静電破壊に気がつかないことが多々あり、多くはその後の検査工程で発見される。このようなレチクルの静電破壊は重大な懸案事項であるため、イオナイザーによる除電処理やレチクル上で回路と周辺部を絶縁する（絶縁リング）等で対策を講じている。しかし、実際にレチクルに与えている被害状態や使用環境を監視（モニタリング）することは困難である。
【０００３】
レチクルに与えている被害状態や使用環境をモニタリングする手段として、本発明者は、転写有効領域の外側にあり、かつ直接に通電状態を確認することが可能である形状を有する静電破壊確認用パターン（以下、「導電パターン」と称する）を具備するレチクル（以下、「本件レチクル」と称する）を発明した（特許文献１）。この導電パターンは、静電気で破壊され易いパターンとしているので、導電パターンの通電が確認されない場合は、静電破壊により導電パターンが破損していることが容易に考えられる。そのため、それは本件レチクルの使用環境が静電破壊を起こす可能性があることを示唆するものである。また、導電パターンを内側絶縁リングの外側に設けることにより、転写有効領域内の回路パターンに影響を与えることなく、本検査を行なうことができるため、半導体集積回路等の製品の製造に使用するレチクルに適用することが可能となり、容易に検査することができる。なお、テスター等の通電確認装置のプロ−ブを接触させるための導電パッドを導電パターンに設けることが好ましい。この導電パッドは、テスターの形状等を考慮して、全て同じ位置に設置することが好ましいが、位置は使用者により任意に決められる。使用者は任意の機会にテスター等により、導電パターンの両端部にある導電パッドの間の通電状態を検査することで、導電パターンに静電破壊が発生しているか否かの検査を簡便に行なうことができる。
【０００４】
先行の特許出願および公知文献を以下に示す。
【特許文献１】特願２００５−０６３４３５号
【特許文献２】特開平０５−０１３２９９号公報
【特許文献３】特開平１１−２５１４０３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし本件レチクルのように、レチクルに静電破壊を確認するための導電パターンを設け、通電状態を検査する場合、別途テスタが必要である。そしてなるべくレチクルを必要とされる早い工程で検査をし、製品の被害を減少する必要がある。さらに露光や、エッチングなどモニタしたい工程毎に測定のための工程が必要となり、測定に時間を要する問題があった。特に、レチクルの導電パターンとテスタ端子を電気的に接続する工程が増大し
、時間を要する問題があった。
【０００６】
本願発明では、上記問題点を解決するもので、レチクルの静電破壊を簡便に検査するための搬送アームおよびそれを具備した露光装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は以上の課題に鑑みなされたもので、請求項１の発明は、レチクルを搬送するための搬送アームにおいて、通電確認手段を備えたことを特徴とする搬送アームとしたものである。
【０００８】
本発明の請求項２の発明は、レチクルを載置する２つのフォークを具備したレチクルを搬送するための搬送アームにおいて、フォークの先端にフォークの前後および上下方向に可動に設けられた可動部材と、可動部材の先端にレチクルの表面に接触することが可能に設けられた導電性部材と、フォークの内部あるいは外側を通して設けられた伸縮可能な一対の導電線とを有する通電確認手段を具備し、導電線の一端は、可動部材の導電性部材に導通し、導電線の他端は、通電検査手段に導通することを特徴とする搬送アームとしたものである。
【０００９】
本発明の請求項３の発明は、請求項１あるいは請求項２に記載の搬送アームにおいて、通電確認手段による通電状態の検査結果を、発光して視覚により認識させて知らしめる手段を具備したことを特徴とする搬送アームとしたものである。
【００１０】
本発明の請求項４の発明は、請求項１あるいは請求項２に記載の搬送アームにおいて、通電確認手段による通電状態の検査結果を、音声を出力し聴覚により認識させて知らしめる手段を具備したことを特徴とする搬送アームとしたものである。
【００１１】
本発明の請求項５の発明は、請求項１あるいは請求項２に記載の搬送アームにおいて、通電確認手段による通電状態の検査結果を、表示装置で知らしめることを特徴とする搬送アームとしたものである。
【００１２】
本発明の請求項６の発明は、請求項２ないし請求項５いずれか１項に記載の搬送アームにおいて、導電性部材が被搬送基板の表面に接触したことを感知することにより、可動部材の駆動を制御する制御機能を備えたことを特徴とする搬送アームとしたものである。
【００１３】
本発明の請求項７の発明は、請求項１ないし請求項６いずれか１項に記載の搬送アームを具備したことを特徴とする露光装置としたものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の請求項１に係る搬送アームによれば、搬送アームが、通電確認手段を備えてレチクルを搬送できるので、導電パターンを具備した本件レチクルを搬送する際に、通電状態の確認を行なうことができるので、本件レチクルの導電パターンに静電破壊が発生しているか否かの検査を簡便に行なうことができる。
【００１５】
本発明の請求項２に係る搬送アームによれば、レチクルを載置する２つのフォークを具備しており、フォークの先端にフォークの前後および上下方向に可動に設けられた可動部材と、可動部材の先端にレチクルの表面に接触することが可能に設けられた導電性部材と、フォークの内部あるいは外側を通して設けられた伸縮可能な一対の導電線とを有する通電確認手段を具備している。そして、導電線の一端は、可動部材の導電性部材に導通し、導電線の他端は、通電検査手段に導通している。よって、本件レチクルの導電パターンの形状に合わせて導電性部材が設けられた可動部材を移動させてレチクルを載置し、本件レ
チクルの通電状態の確認を行なうことができるので、任意の形状の導電パターンを有する本件レチクルについて、導電パターンに静電破壊が発生しているか否かの検査を簡便に行なうことができる。
【００１６】
また、本発明の請求項３に係る搬送アームによれば、視覚により認識される手段により、本件レチクルの導電パターンに静電破壊が発生しているか否かの検査を、より確実に行なうことができる。
【００１７】
また、本発明の請求項４に係る搬送アームによれば、聴覚により認識される手段により、本件レチクルの導電パターンに静電破壊が発生しているか否かの検査を、より確実に行なうことができる。
【００１８】
また、本発明の請求項５に係る搬送アームによれば、表示装置に表示することにより、本件レチクルの導電パターンに静電破壊が発生しているか否かの検査を、より確実に行なうことができる。
【００１９】
また、本発明の請求項６に係る搬送アームによれば、導電性部材を本件レチクルの導電パターンに確実に接触させることができるので、本件レチクルの導電パターンに静電破壊が発生しているか否かの検査を、より確実に行なうことができる。
【００２０】
また、本発明の請求項７に係る露光装置によれば、通電検査装置を別付けで露光装置に取り付けてフットプリント（据付面積）を増大させることなく、本件レチクルによる通電状態の検査を実施することができるので、露光装置が静電破壊を起こしやすい環境であるか否かを、コストを増大させずに簡便に確認することができる。
【００２１】
なお、以上の通電確認は、レチクルの交換の前後に容易に行なうことができ、静電破壊を簡便に検査できる。また、以上の通電確認は、レチクルの搬送時に行なうため、製品の処理時間に影響を与えることはなく、生産性に悪影響を及ぼすことはない。
【００２２】
このような構造を、投影露光機やエッチング装置などのレチクル搬送アームに具備することにより、使用する毎にレチクル有効エリア内の静電破壊の有無を間接的に確認し、早期に静電破壊を起こしたレチクルを発見することができ、静電破壊による製品への被害の拡大、不良品の次工程への流出を防止することができる。
【００２３】
なお、導電線の一端に導通する通電検査手段は、搬送アーム自体に備えてもよいし、各装置に設け搬送アームの導電線の一端に導通しても良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下本発明の実施するための最良の形態につき説明する。
【００２５】
図１は本発明の搬送アームの実施の形態例を模式的に示した説明図で、図（ａ）は平面で見た説明図、図（ｂ）は断面で見た説明図、図（ｃ）はレチクルの静電破壊確認パターンを平面で拡大して見た部分説明図である。
【００２６】
図で、本発明の搬送アーム１は、レチクル１０を搬送する搬送アーム１であって、通電確認手段を備えている。搬送アーム１は、レチクル１０を載置する２つのフォーク２を具備し、通電確認手段は、フォーク２の先端にフォーク２の前後および上下方向に可動に設けられた可動部材４と、可動部材４の先端にレチクル２の表面に接触することが可能に設けられた導電性部材３と、フォーク２の内部あるいは外側を通して設けられた伸縮可能な一対の導電線（図示せず）とで構成されている。さらに、導電線の一端は、可動部材４の
導電性部材３に導通し、導電線の他端は、通電検査手段（図示せず）に導通している。
【００２７】
本例のレチクル１０には、静電破壊確認用パターン１１（好ましくは、有効露光領域に形成されたパターンより微細な線幅を持つ）を設け、かつその端部に導電パッド１３を設けている。本例では、静電破壊確認用パターン１１として、図（ｃ）に示したように静電破壊の起こり易い鋭角のコーナー部を有する蛇行状のパターンを設けている。このようなパターンを繰り返し配置し、両端部を導電パッド１３に接続している。
【００２８】
本レチクル搬送アーム１のフォーク２の先端に設けた上下駆動が可能な導電部３が、本レチクル１０の導電パッド１３に接触するように、本レチクル搬送アーム１の可動部材４を移動させる。そして、導電部３が導電パッド１３に接した所で可動部材４が停止する。このようにして導電パッドと導電部が接触した後、導電線に導通した通電検査手段で通電状態を検査できる。また、通電状態の検査後、導電部３が原点にもどるような構造を持つ。これにより、静電破壊確認用パターン１１を有するレチクル１０の通電状態の確認が可能となる。
【００２９】
また、通電確認手段による通電状態の検査結果を、発光して視覚により認識してもよい。例えば、導電検査手段に発光ダイオードを接続することにより実施できる。
【００３０】
また、通電確認手段による通電状態の検査結果を、音声を出力し聴覚により認識させてもよい。例えば、導電検査手段にマイクを接続することにより実施できる。
【００３１】
また、通電確認手段による通電状態の検査結果を、表示装置で知らせるようにしても良い。例えば、導電検査手段にＣＲＴを接続し、表示できる。ＣＲＴは、搬送アームを設置した装置のＣＲＴを利用して良い。
【００３２】
また、導電性部材が被搬送基板の表面に接触したことを感知することにより、可動部材の駆動を制御する制御機能を備えることもできる。例えば、導電性部材を可動部材に摺動出来るように設け、導電性部材が被搬送基板の表面に接触したときに摺動し、導電性部材と可動部材の一部分とが接触出来るようにする。さらに導電性部材の接触する部分と、可動部材の接触する一部分とに接続点を設け、これを電気的スイッチとして接触したことを感知できるようにしておく。これから可動部材の制御をするようにできる。
【００３３】
本発明の搬送アームを、半導体製造工程で頻繁に利用される露光装置に具備できる。露光装置では、レチクルレースからレチクルを搬送アームに載置し、装置の内部に取りこむことが一般に実施されており、特に本願発明の搬送アームは容易にこのような従来の搬送アームと交換でき、また通電確認手段を装置に設置できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の搬送アームの実施の形態例を模式的に示した説明図で、図（ａ）は平面で見た説明図、図（ｂ）は断面で見た説明図、図（ｃ）はレチクルの静電破壊確認パターンを平面で拡大して見た部分説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１・・・・・搬送アーム
２・・・・・フォーク
３・・・・・導電性部材
４・・・・・可動部材
１０・・・・レチクル
１１・・・・静電破壊確認用パターン
１３・・・・導電パッド
【図１】
2006351750.tif 000003