(57)【要約】【課題】  本発明は、ポリマーを用いたエッチング工程を行わなくても、トレンチの上部及び下部コーナー部分を丸く形成することが可能な半導体素子の素子分離膜形成方法を提供することを目的としている。【解決手段】  半導体基板上にパッド酸化膜及びパッド窒化膜を形成する段階と、前記パッド窒化膜及びパッド酸化膜の所定の領域をエッチングした後、半導体基板をエッチングしてトレンチを形成する段階と、洗浄工程を行い、前記パッド酸化膜の一部が除去されると同時に前記トレンチの上部及び下部コーナーが丸くなるようにする段階と、前記トレンチが埋め込まれるように全体構造上に酸化膜を形成する段階と、前記酸化膜を平坦化させた後、前記酸化膜、前記パッド窒化膜及びパッド酸化膜を除去する段階とを含む構成としたことを特徴とする。【選択図】      図１
2006121021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上にパッド酸化膜及びパッド窒化膜を形成する段階と、
前記パッド窒化膜及び前記パッド酸化膜の所定の領域をエッチングした後、前記半導体基板をエッチングしてトレンチを形成する段階と、
洗浄工程を行い、前記パッド酸化膜の一部が除去されると同時に前記トレンチの上部及び下部コーナーが丸くなるようにする段階と、
前記トレンチが埋め込まれるように全体構造上に酸化膜を形成する段階と、
前記酸化膜を平坦化させた後、前記酸化膜、前記パッド窒化膜及び前記パッド酸化膜を除去する段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項２】
前記パッド酸化膜は、アルミニウム酸化膜を含むことを特徴とする請求項１記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項３】
前記アルミニウム酸化膜は、原子層蒸着（ＡＬＤ）法または高真空ＣＶＤ法を用いて形成することを特徴とする請求項２記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項４】
前記パッド窒化膜は、ＳｉＨ２Ｃｌ２とＮＨ３を熱分解してＬＰＣＶＤ法を用いて形成することを特徴とする請求項１記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項５】
前記洗浄工程は、ＮＨ４ＯＨ、ＢＯＥまたはＨＦを選択的に用いて行うことを特徴とする請求項１記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項６】
前記トレンチの上部にウォール酸化膜を形成した後、全体構造上にライナー絶縁膜を形成する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項７】
前記ライナー絶縁膜は、ＨＴＯ酸化膜、窒化膜またはこれらを用いた多重膜で形成することを特徴とする請求項６記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項８】
前記酸化膜は、ＨＤＰ法またはＬＰＣＶＤ法を用いて形成することを特徴とする請求項１記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項９】
前記酸化膜及び前記パッド窒化膜は、ウェットエッチング工程で除去することを特徴とする請求項１記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項１０】
前記ウェットエッチング工程は、ＨＦ含有溶液またはＨ３ＰＯ４系列の溶液を用いて行うことを特徴とする請求項９記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【請求項１１】
前記パッド酸化膜は、ＮＨ４ＯＨ溶液またはＨＦとＮＨ４ＯＨの混合溶液を用いた洗浄工程で除去することを特徴とする請求項１記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子の素子分離膜形成方法に係り、特に、ウェットエッチング率の高いアルミニウム酸化膜をパッド酸化膜として用い、トレンチを形成した後、洗浄工程でアルミニウム酸化膜の一部を除去しながらトレンチの上部及び下部コーナー部分を丸く形成する半導体素子の素子分離膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の製造工程において、素子分離膜は、アクティブ領域とフィールド領域を分離させ或いは素子間を分離させるために形成する。ところが、素子の高集積化及び小型化の趨勢に従い、素子分離膜は、半導体基板を所定の深さにエッチングしてトレンチを形成した後、トレンチに絶縁膜を埋め込んで形成する。このような素子分離膜は、半導体基板上にパッド酸化膜、パッド窒化膜及び感光膜を形成した後、素子分離マスクを用いて感光膜をパターニングし、パターニングされた感光膜をマスクとしてパッド窒化膜、パッド酸化膜及び半導体基板を所定の深さにエッチングしてトレンチを形成した後、絶縁膜を埋め込んで形成する。ここで、パッド窒化膜はＬＰＣＶＤ(Low Pressure Chemical Vapor Deposition；低圧化学的気相成長）法で形成されるが、パッド窒化膜が半導体基板と直接接触すると、パッド窒化膜と半導体基板間のストレスによって半導体基板に結晶欠陥を誘発するので、パッド窒化膜を形成する前にパッド酸化膜を形成する。この際、パッド酸化膜はウェットエッチング率の低い熱酸化膜を使用して形成する。
【０００３】
一方、このようなトレンチ型素子分離膜を形成するためのトレンチエッチング工程でトレンチの上部コーナーのラウンディングは、ＤＲＡＭ(Dynamic Random Access Memory)ではセルしきい値電圧及びリフレッシュに影響を及ぼし、フラッシュメモリ素子では消去及びスタンドバイ電流などの特性に影響を及ぼす。したがって、トレンチの上部コーナーを丸くするために、パッドをエッチングするときに発生するポリマーを用いてエッチング工程を行う。ポリマーを用いたエッチング工程を説明すると、トレンチを形成するためにパッド窒化膜、パッド酸化膜及び半導体基板をエッチングすると、エッチングガスとパッド窒化膜が重合反応を起こしてポリマーが発生しながらトレンチの上部コーナー部分に蓄積される。蓄積されたポリマーは、半導体基板とはエッチング選択比が異なるため、半導体基板をエッチングするときにエッチング防止膜の役割をする。したがって、ポリマーが蓄積されたトレンチの上部コーナー部分は、中央に比べて殆どエッチングされないため、トレンチの上部コーナーが丸く形成される。
【０００４】
ところで、ポリマーを用いてトレンチの上部を丸くするためには、パッド酸化膜の側壁にポリマーが均一に蒸着されるように制御することが相当難しく、ポリマーの発生に伴ってエッチング装置内に異物が発生し、エッチング装置の特性に応じて再現性の確保が難しいという問題点がある。
【０００５】
一方、パッド酸化膜は、ウェットエッチング率の低い熱酸化膜を用いて形成するため、ゲート酸化膜形成前の洗浄工程でパッド酸化膜を除去することが容易ではない。そして、パッド酸化膜を除去するとき、エッチング率が相対的に速いギャップフィル物質がまずエッチングされながらフィールド領域とアクティブ領域間の段差によるモウトが深くなるとう問題点が発生する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明の目的は、ポリマーを用いたエッチング工程を行わなくても、トレンチの上部及び下部コーナー部分を丸く形成することが可能な半導体素子の素子分離膜形成方法を提供することにある。
【０００７】
本発明の他の目的は、ウェットエッチング率の高いアルミニウム酸化膜をパッド酸化膜として用いることにより、トレンチの上部及び下部コーナーの丸みを均一にし、ゲート酸化膜形成前の洗浄工程でフィールド領域とアクティブ領域間の段差によるモウト発生を最小化することが可能な半導体素子の素子分離膜形成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係る半導体素子の素子分離膜形成方法は、半導体基板上にパッド酸化膜及びパッド窒化膜を形成する段階と、前記パッド窒化膜及びパッド酸化膜の所定の領域をエッチングした後、半導体基板をエッチングしてトレンチを形成する段階と、洗浄工程を行い、前記パッド酸化膜の一部が除去されると同時に前記トレンチの上部及び下部コーナーが丸くなるようにする段階と、前記トレンチが埋め込まれるように全体構造上に酸化膜を形成する段階と、前記酸化膜を平坦化させた後、前記酸化膜、前記パッド窒化膜及びパッド酸化膜を除去する段階とを含む。
【０００９】
前記パッド酸化膜はアルミニウム酸化膜を含む。
【００１０】
前記アルミニウム酸化膜は原子層蒸着（atomic-layer deposition:ＡＬＤ）法または高真空ＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition；化学的気相成長）法によって形成する。
【００１１】
前記パッド窒化膜はＳｉＨ２Ｃｌ２とＮＨ３を熱分解してＬＰＣＶＤ(Low Pressure Chemical Vapor Deposition；低圧化学的気相成長）法で形成する。
【００１２】
前記洗浄工程はＮＨ４ＯＨ、ＢＯＥ（Buffered Oxide Etchant）またはＨＦを選択的に用いて行う。
【００１３】
前記トレンチの上部にウォール酸化膜を形成した後、全体構造上にライナー絶縁膜を形成する段階とをさらに含む。
【００１４】
前記ライナー絶縁膜はＨＴＯ（High Temperature Oxide）酸化膜、窒化膜またはこれらを用いた多重膜で形成する。
【００１５】
前記酸化膜はＨＤＰ（High Density Plasma）法またはＬＰＣＶＤ法で形成する。
【００１６】
前記酸化膜及び前記パッド窒化膜はウェットエッチング工程で除去する。
【００１７】
前記ウェットエッチング工程はＨＦ含有溶液またはＨ３ＰＯ４系列の溶液を用いて行う。
【００１８】
前記パッド酸化膜はＮＨ４ＯＨ溶液またはＨＦとＮＨ４ＯＨの混合溶液を用いた洗浄工程で除去する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ウェットエッチング率の高いアルミニウム酸化膜をパッド酸化膜として用い、トレンチを形成した後の洗浄工程でアルミニウム酸化膜の一部を除去しながらトレンチの上部及び下部コーナーを丸くすることにより、ポリマーを用いなくてもトレンチの上部及び下部コーナーを丸く形成することができ、ゲート酸化膜形成前の洗浄工程でフィールド領域とアクティブ領域間の段差によるモウト発生を最小化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。
【００２１】
図１及び図２は本発明に係る半導体素子の素子分離膜形成方法を説明するために順次示した素子の断面図である。
【００２２】
図１（ａ）を参照すると、半導体基板１１上にパッド酸化膜１２、パッド窒化膜１３及び感光膜１４を形成する。ここで、パッド酸化膜１２は後続の工程でウェットエッチング率の高いアルミニウム酸化膜（Ａｌ２Ｏ３）を用いて形成する。アルミニウム酸化膜は原子層蒸着（atomic-layer deposition:ＡＬＤ）法または高真空ＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition；化学的気相成長）法を用いて形成する。パッド窒化膜１３はＬＰＣＶＤ(Low Pressure Chemical Vapor Deposition；低圧化学的気相成長）法によって形成するが、ＳｉＨ２Ｃｌ２とＮＨ３を熱分解して形成する。素子分離マスクを用いたリソグラフィ工程で感光膜1４をパターニングする。パターニングされた感光膜１４をマスクとしてパッド窒化膜１３、パッド酸化膜１２の所定の領域をエッチングした後、半導体基板１１を所定の深さにエッチングしてトレンチ１５を形成する。
【００２３】
図１（ｂ）を参照すると、感光膜１４を除去した後、洗浄工程を行ってパッド酸化膜１２の一部が除去されるようにすると同時にトレンチ１５の上部及び下部コーナー部分が丸くなるようにする。この際、洗浄工程はＮＨ４ＯＨ、ＢＯＥ（Buffered Oxide Etchant）、ＨＦなどを選択的に用いて行う。これにより、パッド酸化膜１２の一部が除去され、トレンチ１５の上部及び下部コーナーが丸くなる。そして、トレンチ１５の上部にプラズマダメージを除去するためのウォール酸化膜１６を形成する。
【００２４】
図２（ａ）を参照すると、全体構造上にライナー絶縁膜１７を形成した後、トレンチ１５が埋め込まれるように全体構造上に酸化膜１８を形成する。ここで、ライナー絶縁膜１７は、ＨＴＯ（High Temperature Oxide）酸化膜、窒化膜またはこれらを用いた多重膜で形成する。酸化膜１８はＨＤＰ（High Density Plasma）法またはＬＰＣＶＤ法を用いて形成するが、一般に、デザインルールが縮小されるにつれて、ＨＤＰ法を用いて形成する。ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing；化学機械的研磨）工程によって酸化膜１８を研磨して平坦化させる。
【００２５】
図２（ｂ）を参照すると、ウェットエッチング工程で酸化膜１８の一部及びパッド窒化膜１３を除去する。この際、ウェットエッチング工程は、ＨＦ含有溶液とＨ３ＰＯ４系列の溶液を用いて行う。その後、ＮＨ４ＯＨ溶液またはＨＦとＮＨ４ＯＨの混合溶液を用いた洗浄工程を行って、半導体基板１１の上部に残留するパッド酸化膜１２を除去した後、ゲート酸化膜（図示せず）を形成する。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明の活用例として、半導体素子の素子分離膜形成方法に適用出来、特に、ウェットエッチング率の高いアルミニウム酸化膜をパッド酸化膜として用い、トレンチを形成した後、洗浄工程でアルミニウム酸化膜の一部を除去しながらトレンチの上部及び下部コーナー部分を丸く形成する半導体素子の素子分離膜形成方法に適用出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る半導体素子の素子分離膜形成方法を説明するために順次示す素子の断面図である。
【図２】本発明に係る半導体素子の素子分離膜形成方法を説明するために順次示す素子の断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１１…半導体基板
１２…パッド酸化膜
１３…パッド窒化膜
１４…感光膜
１５…トレンチ
１６…ウォール酸化膜
１７…ライナー絶縁膜
１８…絶縁膜
【図１】
2006121021.tif 000003
【図２】
2006121021.tif 000004