(57)【要約】【課題】  光の波長を正確に測定する。【解決手段】  第一基準波長光（波長λ１）の光路差によって発生する干渉縞の数Ａおよび第二基準波長光（波長λ２）の光路差によって発生する干渉縞の数Ｃに基づき、第二基準波長光の波長を測定する基準波長測定部４２と、第一基準波長光（波長λ１）の光路差によって発生する干渉縞の数Ａおよび入力光（波長λｘ）の光路差によって発生する干渉縞の数Ｂに基づき、入力光の波長を測定する入力光波長測定部４４と、測定された第二基準波長光の波長λｃおよび測定された入力光の波長λｍに基づき第二補正係数ｋを導出する補正係数導出部４６と、第二補正係数ｋを、測定された入力光の波長λｍに乗じて、測定された入力光の波長を補正する入力光波長補正部４８とを備えた波長導出器４０により、入力光の波長λｘ（＝ｋ・λｍ）を正しく測定する。【選択図】  図３
2006284315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および第二基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、第二基準波長光の波長を測定する基準波長測定手段と、
第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および入力光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、入力光の波長を測定する入力光波長測定手段と、
測定された前記第二基準波長光の波長および測定された前記入力光の波長に基づき補正係数を導出する補正係数導出手段と、
前記補正係数を、測定された前記入力光の波長に乗じて、測定された前記入力光の波長を補正する入力光波長補正手段と、
を備えた波長導出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の波長導出装置であって、
前記入力光の波長が前記第一基準波長光の波長と等しい場合は、前記補正係数が１である、
波長導出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の波長導出装置と、
前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、
前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、
前記第二基準波長光および前記入力光を結合するカプラと、
前記第一基準波長光および前記カプラの出力に光路差を発生させる光路差発生器と、
前記光路差発生器の出力のうち前記カプラの出力に対応するものに基づく信号を、前記第二基準波長光に基づく信号とそれ以外の波長の光に基づく信号とに分波する分波器と、
を備えた波長計。
【請求項４】
請求項１または２に記載の波長導出装置と、
前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、
前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、
前記第二基準波長光および前記入力光のいずれかを出力する光スイッチと、
前記第一基準波長光および前記光スイッチの出力に光路差を発生させる光路差発生器と、
を備えた波長計。
【請求項５】
請求項１または２に記載の波長導出装置と、
前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、
前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、
前記第一基準波長光および前記第二基準波長光を結合するカプラと、
前記入力光および前記カプラの出力に光路差を発生させる光路差発生器と、
前記光路差発生器の出力のうち前記カプラの出力に対応するものに基づく信号を、前記第一基準波長光に基づく信号と前記第二基準波長光に基づく信号とに分波する分波器と、
を備えた波長計。
【請求項６】
請求項１または２に記載の波長導出装置と、
前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、
前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、
前記第二基準波長光および前記入力光を結合するカプラと、
前記第一基準波長光および前記カプラの出力に光路差を発生させる光路差発生器と、
前記光路差発生器の出力のうち前記カプラの出力に対応するものを、前記第二基準波長光とそれ以外の波長の光とに分波する分波器と、
を備えた波長計。
【請求項７】
請求項１または２に記載の波長導出装置と、
前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、
前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、
前記第一基準波長光および前記第二基準波長光を結合するカプラと、
前記入力光および前記カプラの出力に光路差を発生させる光路差発生器と、
前記光路差発生器の出力のうち前記カプラの出力に対応するものを、前記第一基準波長光と前記第二基準波長光とに分波する分波器と、
を備えた波長計。
【請求項８】
請求項３ないし７のいずれか一項に記載の波長計であって、
前記第二基準波長光の波長は、前記第一基準波長光の波長に基づき決定される、
波長計。
【請求項９】
請求項８に記載の波長計であって、
前記第二基準波長光源は、前記第一基準波長光を受ける光周波数てい倍器である、
波長計。
【請求項１０】
請求項９に記載の波長計であって、
前記第二基準波長光源が出射する光を受けて、所定波長の光を吸収する基準波長セルと、
前記第二基準波長光源が出射する光の波長の前記所定波長に対する差に応じて、前記第一基準波長光源が出射する光の波長を制御する制御手段と、
を備えた波長計。
【請求項１１】
第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および第二基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、第二基準波長光の波長を測定する基準波長測定工程と、
第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および入力光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、入力光の波長を測定する入力光波長測定工程と、
測定された前記第二基準波長光の波長および測定された前記入力光の波長に基づき補正係数を導出する補正係数導出工程と、
前記補正係数を、測定された前記入力光の波長に乗じて、測定された前記入力光の波長を補正する入力光波長補正工程と、
を備えた波長導出方法。
【請求項１２】
第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および第二基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、第二基準波長光の波長を測定する基準波長測定処理と、
第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および入力光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、入力光の波長を測定する入力光波長測定処理と、
測定された前記第二基準波長光の波長および測定された前記入力光の波長に基づき補正係数を導出する補正係数導出処理と、
前記補正係数を、測定された前記入力光の波長に乗じて、測定された前記入力光の波長を補正する入力光波長補正処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１３】
第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および第二基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、第二基準波長光の波長を測定する基準波長測定処理と、
第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および入力光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、入力光の波長を測定する入力光波長測定処理と、
測定された前記第二基準波長光の波長および測定された前記入力光の波長に基づき補正係数を導出する補正係数導出処理と、
前記補正係数を、測定された前記入力光の波長に乗じて、測定された前記入力光の波長を補正する入力光波長補正処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、干渉計を利用した光の波長の測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、干渉計（例えば、マイケルソン干渉計）を利用して光の波長等を測定することが行われている（例えば、特許文献１を参照）。光の波長の測定の原理は下記の通りである。
【０００３】
まず、マイケルソン干渉計により、所定の光路差Ｌが発生するようにする。ここで、基準光（波長λ１：既知）をマイケルソン干渉計に与える。これにより生じる干渉縞の数をＡとする。また、波長の測定対象である被測定光（波長λｘ：未知）をマイケルソン干渉計に与える。これにより生じる干渉縞の数をＢとする。すると、波長λｘ＝（Ａ／Ｂ）λ１となる。
【０００４】
しかし、マイケルソン干渉計を空気中で使用した場合は、空気の屈折率の波長分散の影響があるので、厳密には、λｘ＝（Ａ／Ｂ）λ１とはならない。そこで、空気の屈折率による影響を補正するための補正係数Ｋを乗じる。すなわち、λｘ＝（Ａ／Ｂ）Ｋλ１とする。なお、補正係数Ｋは、エドレンの式（例えば、特許文献２を参照）により求めることができる。また、空気の屈折率は、波長によっても変化するが、空気の温度、気圧、湿度およびCO2の濃度などによっても変化する。よって、補正係数Ｋを正確に求めるためには、空気の温度、気圧、湿度およびCO2の濃度などを正確に測定する必要がある。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２９２５５号公報
【特許文献２】特開平１０−２２１０２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、空気の温度、気圧、湿度およびCO2の濃度などを正確に測定することは困難である。しかも、被測定光の波長λｘが基準光の波長λ１から離れるにしたがって、補正係数Ｋを用いても、補正しきれずに誤差が大きくなる。
【０００７】
さらに、補正係数Ｋを用いても、空気の屈折率による影響を補正できるだけである。マイケルソン干渉計における光学素子のアライメント（位置合わせ）がずれてしまい、波長の測定に誤差を生じても、補正できない。
【０００８】
そこで、本発明は、光の波長を正確に測定することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる波長導出装置は、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および第二基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、第二基準波長光の波長を測定する基準波長測定手段と、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および入力光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、入力光の波長を測定する入力光波長測定手段と、測定された前記第二基準波長光の波長および測定された前記入力光の波長に基づき補正係数を導出する補正係数導出手段と、前記補正係数を、測定された前記入力光の波長に乗じて、測定された前記入力光の波長を補正する入力光波長補正手段とを備えるように構成される。
【００１０】
上記のように構成された波長導出装置によれば、基準波長測定手段が、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および第二基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、第二基準波長光の波長を測定する。入力光波長測定手段が、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および入力光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、入力光の波長を測定する。補正係数導出手段が、測定された前記第二基準波長光の波長および測定された前記入力光の波長に基づき補正係数を導出する。入力光波長補正手段が、前記補正係数を、測定された前記入力光の波長に乗じて、測定された前記入力光の波長を補正する。
【００１１】
また、本発明にかかる波長導出装置は、前記入力光の波長が前記第一基準波長光の波長と等しい場合は、前記補正係数が１であるようにしてもよい。
【００１２】
本発明にかかる波長計は、本発明にかかる波長導出装置と、前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、前記第二基準波長光および前記入力光を結合するカプラと、前記第一基準波長光および前記カプラの出力に光路差を発生させる光路差発生器と、前記光路差発生器の出力のうち前記カプラの出力に対応するものに基づく信号を、前記第二基準波長光に基づく信号とそれ以外の波長の光に基づく信号とに分波する分波器とを備えるように構成される。
【００１３】
本発明にかかる波長計は、本発明にかかる波長導出装置と、前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、前記第二基準波長光および前記入力光のいずれかを出力する光スイッチと、前記第一基準波長光および前記光スイッチの出力に光路差を発生させる光路差発生器とを備えるように構成される。
【００１４】
本発明にかかる波長計は、本発明にかかる波長導出装置と、前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、前記第一基準波長光および前記第二基準波長光を結合するカプラと、前記入力光および前記カプラの出力に光路差を発生させる光路差発生器と、前記光路差発生器の出力のうち前記カプラの出力に対応するものに基づく信号を、前記第一基準波長光に基づく信号と前記第二基準波長光に基づく信号とに分波する分波器とを備えるように構成される。
【００１５】
本発明にかかる波長計は、本発明にかかる波長導出装置と、前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、前記第二基準波長光および前記入力光を結合するカプラと、前記第一基準波長光および前記カプラの出力に光路差を発生させる光路差発生器と、前記光路差発生器の出力のうち前記カプラの出力に対応するものを、前記第二基準波長光とそれ以外の波長の光とに分波する分波器とを備えるように構成される。
【００１６】
本発明にかかる波長計は、本発明にかかる波長導出装置と、前記第一基準波長光を出射する第一基準波長光源と、前記第二基準波長光を出射する第二基準波長光源と、前記第一基準波長光および前記第二基準波長光を結合するカプラと、前記入力光および前記カプラの出力に光路差を発生させる光路差発生器と、前記光路差発生器の出力のうち前記カプラの出力に対応するものを、前記第一基準波長光と前記第二基準波長光とに分波する分波器とを備えるように構成される。
【００１７】
また、本発明にかかる波長計は、前記第二基準波長光の波長が、前記第一基準波長光の波長に基づき決定されるようにしてもよい。
【００１８】
また、本発明にかかる波長計は、前記第二基準波長光源が、前記第一基準波長光を受ける光周波数てい倍器であるようにしてもよい。
【００１９】
また、本発明にかかる波長計は、前記第二基準波長光源が出射する光を受けて、所定波長の光を吸収する基準波長セルと、前記第二基準波長光源が出射する光の波長の前記所定波長に対する差に応じて、前記第一基準波長光源が出射する光の波長を制御する制御手段とを備えるように構成してもよい。
【００２０】
本発明は、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および第二基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、第二基準波長光の波長を測定する基準波長測定工程と、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および入力光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、入力光の波長を測定する入力光波長測定工程と、測定された前記第二基準波長光の波長および測定された前記入力光の波長に基づき補正係数を導出する補正係数導出工程と、前記補正係数を、測定された前記入力光の波長に乗じて、測定された前記入力光の波長を補正する入力光波長補正工程とを備えるように構成される。
【００２１】
本発明は、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および第二基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、第二基準波長光の波長を測定する基準波長測定処理と、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および入力光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、入力光の波長を測定する入力光波長測定処理と、測定された前記第二基準波長光の波長および測定された前記入力光の波長に基づき補正係数を導出する補正係数導出処理と、前記補正係数を、測定された前記入力光の波長に乗じて、測定された前記入力光の波長を補正する入力光波長補正処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【００２２】
本発明は、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および第二基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、第二基準波長光の波長を測定する基準波長測定処理と、第一基準波長光の光路差によって発生する干渉縞の数および入力光の光路差によって発生する干渉縞の数に基づき、入力光の波長を測定する入力光波長測定処理と、測定された前記第二基準波長光の波長および測定された前記入力光の波長に基づき補正係数を導出する補正係数導出処理と、前記補正係数を、測定された前記入力光の波長に乗じて、測定された前記入力光の波長を補正する入力光波長補正処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００２４】
第一の実施形態
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる波長計１の構成を示す図である。第一の実施形態にかかる波長計１は、第一基準波長光源１２、第二基準波長光源１４、カプラ１６、入射用ミラー１８、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４、固定反射ミラー２６、フォトダイオード２８ａ、２８ｂ、分波器３２、縞計数器３６、波長導出器４０を備える。波長計１は、入力光の波長λｘを測定するためのものである。
【００２５】
第一基準波長光源１２は、第一基準波長光（波長λ１）を出射する。なお、λ１を第一基準波長という。
【００２６】
第二基準波長光源１４は、第二基準波長光（波長λ２）を出射する。なお、λ２を第二基準波長という。第二基準波長λ２は、第一基準波長λ１に基づき決定されるようにすることが好ましい。第二基準波長光源１４が光周波数てい倍器、例えばＳＨＧ(Second Harmonic Generation：二次高調波発生器)であり、第一基準波長光源１２から第一基準波長光を受けるようにするとよい。この場合、第二基準波長λ２は、（１／２）×λ１となる。
【００２７】
なお、図２は、第一基準波長光源１２および第二基準波長光源１４の部分の構成の変形例を示す図である。図２に示す変形例は、第一基準波長λ１および第二基準波長λ２を安定化させるためにフィードバック制御を行うものである。
【００２８】
図２に示す変形例においては、ガスセル１０２、フォトダイオード１０４およびフィードバック制御回路１０６が、波長計１に追加されている。なお、第一基準波長λ１は1.5μm帯、第二基準波長λ２は0.75μm帯に入っているものとする。ここで、第一基準波長光源１２の出射する光の波長は、本来は第一基準波長λ１であるべきところ、誤差を生じることがある。第二基準波長光源１４の出射する光の波長も、本来は第二基準波長λ２であるべきところ、誤差Δλを生じることがある。すなわち、第二基準波長光源１４の出射する光の波長が、λ２＋Δλとなってしまうことがある。
【００２９】
ガスセル１０２には、例えば、Rb（ルビジウム）が充填されている。ガスセル１０２は、第二基準波長光源１４の出射する第二基準波長光を受け、第二基準波長λ２の近傍の波長の光を吸収し、フォトダイオード１０４に与える。
【００３０】
フォトダイオード１０４は、ガスセル１０２から与えられた光を電気信号に変換する。この電気信号は、フォトダイオード１０４に与えられた光の波長λ２＋Δλに対応している。
【００３１】
フィードバック制御回路１０６は、フォトダイオード１０４から電気信号を受ける。受けた電気信号が示す波長λ２＋Δλが第二基準波長λ２よりも小さければ（Δλ＜０）、第一基準波長光源１２を制御して、第一基準波長光源１２の出射する光の波長を大きくさせる。受けた電気信号が示す波長λ２＋Δλが第二基準波長λ２よりも大きければ（Δλ＞０）、第一基準波長光源１２を制御して、第一基準波長光源１２の出射する光の波長を小さくさせる。
【００３２】
このように、第二基準波長光源１４の出射する光の波長の、第二基準波長λ２（ガスセル１０２の吸収波長）に対する誤差Δλに応じて、第一基準波長光源１２の出射する光の波長が調整される。
【００３３】
なお、周知の光ＰＬＬ(Phase Locked Loop)により、第一基準波長光の波長と、第二基準波長光の波長とを制御しても、第二基準波長λ２が第一基準波長λ１に基づき決定されるようにできる。
【００３４】
カプラ１６は、第二基準波長光および入力光を結合した結合光を、ハーフミラー２２に与える。
【００３５】
入射用ミラー１８は、第一基準波長光源１２から第一基準波長光を受け、ハーフミラー２２に与える。
【００３６】
なお、結合光および第一基準波長光は平行に進む。
【００３７】
ハーフミラー２２は、入射した光の半分を反射し、残りの半分を透過させる。ハーフミラー２２は、第一反射点２２ａにおいて、カプラ１６から与えられた結合光を受ける。また、ハーフミラー２２は、第二反射点２２ｂにおいて、第一基準波長光を受ける。ハーフミラー２２は、結合光および第一基準波長光の入射方向に対して、４５度傾いている。
【００３８】
可動反射ミラー２４は、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａを透過した光を反射して第二反射点２２ｂに与え、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂを透過した光を反射して第一反射点２２ａに与えるように構成される。なお、可動反射ミラー２４は、結合光および第一基準波長光の入射方向に平行に移動可能である。
【００３９】
固定反射ミラー２６は、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａにより反射された光を反射して第二反射点２２ｂに与え、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂにより反射された光を反射して第一反射点２２ａに与えるように構成される。なお、固定反射ミラー２６は、固定されている。
【００４０】
なお、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６によって、第一基準波長光およびカプラ１６の出力する結合光に光路差Ｌが発生する。すなわち、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６が光路差発生器として機能する。
【００４１】
すなわち、第一基準波長光が、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂを透過し、可動反射ミラー２４により反射され、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに到達するまでの光路の長さと、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂにより反射され、固定反射ミラー２６により反射され、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに到達するまでの光路の長さとの光路差がＬである。
【００４２】
しかも、結合光が、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａを透過し、可動反射ミラー２４により反射され、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに到達するまでの光路の長さと、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａにより反射され、固定反射ミラー２６により反射され、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに到達するまでの光路の長さとの光路差もＬである。
【００４３】
なお、第一基準波長光およびカプラ１６の出力する結合光に光路差Ｌを発生させる機構として、図１に示す例では、マイケルソン干渉計（ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６など）が使用されている。しかし、光路差Ｌを発生させる機構であれば、マイケルソン干渉計に限らず、例えばフィゾー干渉計でもよい。
【００４４】
フォトダイオード２８ａは、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａにおいて発生した干渉縞を受けて、電気信号に変換する。フォトダイオード２８ａの出力する電気信号は、第一基準波長光に基づく信号（波長λ１の光に基づく信号）である。フォトダイオード２８ｂは、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂにおいて発生した干渉縞を受けて、電気信号に変換する。フォトダイオード２８ｂの出力する電気信号は、第二基準波長光に基づく信号（波長λ２の光に基づく信号）とそれ以外の波長の光に基づく信号（波長λｘの光に基づく信号）が混合した信号である。
【００４５】
分波器３２は、フォトダイオード２８ｂが出力した電気信号を、第二基準波長光に基づく信号（波長λ２の光に基づく信号）とそれ以外の波長の光に基づく信号（波長λｘの光に基づく信号）とに分波する。分波器３２は、例えば電気濾波器である。なお、分波器３２を光分波器として、分波器３２が第二反射点２２ｂにおいて発生した干渉縞を受け、第二基準波長光とそれ以外の波長の光とに分波するようにしてもよい。分波された光をフォトダイオードによって電気信号に変換して、縞計数器３６に与える。
【００４６】
縞計数器３６は、フォトダイオード２８ａおよび分波器３２から電気信号を受け、干渉縞の本数をカウントする。フォトダイオード２８ａから受けた電気信号に基づき、第一基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ａが計数される。分波器３２から受けた電気信号に基づき、入力光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｂと、第二基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｃとが計数される。
【００４７】
図３は、波長導出器４０の構成を示す機能ブロック図である。波長導出器４０は、基準波長測定部４２、入力光波長測定部４４、補正係数導出部４６、入力光波長補正部４８を備える。波長導出器４０は、入力光の波長λｘを正しく導出するためのものである。
【００４８】
基準波長測定部４２は、第一基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ａおよび第二基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｃに基づき、第二基準波長光の波長を測定する。測定結果をλｃとすると、
λｃ＝（Ａ／Ｃ）Ｋλ１    （１）
となる。ただし、第一補正係数Ｋは、波長計１の使用される空気の屈折率による影響を補正するための係数である。第一補正係数Ｋは、エドレンの式により求めることができる。λｃは、本来は、第二基準波長光の波長λ２と等しくなるべきである。しかし、第一基準波長λ１と入力光の波長とが等しい場合には、屈折率が第一基準波長光と入力光の双方に対して同一であるから、第一補正係数Ｋが正確に１である。しかし、入力光の波長がλ１から外れると屈折率の波長分散の影響等により第一補正係数Ｋは正確には求めることができない。そこで、λｃ≠λ２となってしまう。
【００４９】
入力光波長測定部４４は、第一基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ａおよび入力光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｂに基づき、入力光の波長を測定する。測定結果をλｍとすると、
λｍ＝（Ａ／Ｂ）Ｋλ１    （２）
となる。λｍは、本来は、入力光の波長λｘと等しくなるべきである。しかし、第一補正係数Ｋは、第一基準波長光の波長λ１を測定する際には正しく求められるものの、測定される波長がλ１から外れると正しく求められない。そこで、λｍ≠λｘとなってしまう。
【００５０】
補正係数導出部４６は、基準波長測定部４２により測定された第二基準波長光の波長λｃおよび入力光波長測定部４４により測定された入力光の波長λｍに基づき第二補正係数ｋを導出する。第二補正係数ｋは、下記のような式を満たすものとする。
【００５１】
λｘ＝（Ａ／Ｂ）Ｋｋλ１    （３）
ここで、第一補正係数Ｋは、第一基準波長光の波長λ１を測定する際には原理的に、正しく求められる。すなわち、入力光の波長λｘ＝λ１である場合、下記のような式を満たす。
【００５２】
λ１＝（Ａ／Ｂ）Ｋλ１    （４）
式（３）および式（４）より、入力光の波長λｘ＝λ１である場合は、第二補正係数ｋ＝１であることがわかる。
【００５３】
また、第二基準波長光の波長λ２を、第二基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｃに基づき測定した場合は、式（３）のλｘをλ２に、式（３）のＢをＣに置き換え、
λ２＝（Ａ／Ｃ）Ｋｋλ１    （５）
となることがわかる。式（５）および式（１）より、第二基準波長光の波長λ２を測定した場合は、第二補正係数ｋ＝λ２／λｃであることがわかる。
【００５４】
さらに、測定される波長がλ１から外れると第一補正係数Ｋに誤差がでるのは、標準空気（15℃、760mmHg）の屈折率で補正した後の補正誤差の他に、波長計１の光学素子のアライメント（位置合わせ）のずれにより、空気部分の光路差の他にミラー等のガラス部分にも光路差が生じることによるガラス屈折率の波長分散の影響による測定誤差が原因であるのでエドレンの補正式では補正しきれない。これらの誤差は、第一基準波長λ１と測定される波長との差にほぼ比例する。
【００５５】
図４は、第二補正係数ｋと測定される波長λｘとの関係を示す図である。上記の補正誤差および測定誤差が第一基準波長λ１と測定される波長との差にほぼ比例することから、第二補正係数ｋと測定される波長λｘとの関係は一次関数（直線のグラフ）により表される。図４より、第二補正係数ｋと測定される波長λｘとの関係は、
ｋ＝Ｐλｘ＋（１−Ｐλ１）    （６）
となる。ただし、Ｐ＝（（λ２／λｃ）−１）／（λ２−λ１）である。図４より、傾きはＰであることは明らかであり、また、λｘにλ１を代入すればｋ＝１となるので、式（６）は正しいことが明らかである。ここで、式（２）および式（３）から、
λｘ＝ｋ・λｍ    （７）
となることがわかる。式（７）を式（６）に代入すれば、下記の式（８）が導かれる。式（８）を変形して式（９）を得る。
【００５６】
ｋ＝Ｐλｍ・ｋ＋（１−Ｐλ１）    （８）
（１−Ｐλｍ）ｋ＝１−Ｐλ１      （９）
式（９）をｋについて解けば、
ｋ＝（１−Ｐλ１）／（１−Ｐλｍ）    （１０）
を得る。第一基準波長λ１および第二基準波長λ２は既知である。よって、式（１０）に基準波長測定部４２により測定された第二基準波長光の波長λｃおよび入力光波長測定部４４により測定された入力光の波長λｍを代入すれば、第二補正係数ｋを導出できる。
【００５７】
入力光波長補正部４８は、補正係数導出部４６から第二補正係数ｋを受け、入力光波長測定部４４から測定された入力光の波長λｍを受け、λｘ＝ｋ・λｍとして、入力光の波長λｘを導出する。これは、第二補正係数ｋを、測定された入力光の波長λｍに乗じて、測定された入力光の波長λｍを補正し、入力光の波長λｘを導出するものである。
【００５８】
例えば、測定された入力光の波長がλｃであったとする。すると、入力光の波長＝λ２である。ここで、式（１０）にλｍ＝λｃを代入すると、第二補正係数ｋ＝λ２／λｃである。すると、入力光の波長λｘ＝ｋ・λｍ＝（λ２／λｃ）・λｃ＝λ２となり、正しく入力光の波長を導出できることがわかる。
【００５９】
また、測定された入力光の波長がλ１であったとする。すると、入力光の波長＝λ１である。ここで、式（１０）にλｍ＝λ１を代入すると、第二補正係数ｋ＝１である。すると、入力光の波長λｘ＝ｋ・λｍ＝１・λ１＝λ１となり、正しく入力光の波長を導出できることがわかる。
【００６０】
次に、本発明の第一の実施形態の動作を説明する。
【００６１】
第一基準波長光源１２は、第一基準波長光（波長λ１）を出射する。第一基準波長光は入射用ミラー１８により反射され、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに入射される。
【００６２】
また、第一基準波長光は、ＳＨＧである第二基準波長光源１４にも与えられる。第二基準波長光源１４は、第二基準波長光（波長λ２＝λ１／２）を出射する。第二基準波長光は、カプラ１６によって、入力光と結合される。結合光は、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに入射される。
【００６３】
ハーフミラー２２は、第一反射点２２ａにおいて、カプラ１６から与えられた結合光を受ける。結合光の半分はハーフミラー２２を透過して可動反射ミラー２４に与えられる。結合光の残りの半分はハーフミラー２２により反射されて固定反射ミラー２６に与えられる。
【００６４】
また、ハーフミラー２２は、第二反射点２２ｂにおいて、第一基準波長光を受ける。第一基準波長光の半分はハーフミラー２２を透過して可動反射ミラー２４に与えられる。第一基準波長光の残りの半分はハーフミラー２２により反射されて固定反射ミラー２６に与えられる。
【００６５】
可動反射ミラー２４は、ハーフミラー２２を透過した結合光を反射して、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに与える。また、可動反射ミラー２４は、ハーフミラー２２を透過した第一基準波長光を反射して、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに与える。
【００６６】
固定反射ミラー２６は、ハーフミラー２２により反射された結合光を反射して、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに与える。また、固定反射ミラー２６は、ハーフミラー２２により反射された第一基準波長光を反射して、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに与える。
【００６７】
なお、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６によって、第一基準波長光およびカプラ１６の出力する結合光に光路差Ｌが発生する。
【００６８】
これにより、第一反射点２２ａにおいて、第一基準波長光の干渉縞が発生する。しかも、第二反射点２２ｂにおいて、結合光の干渉縞が発生する。
【００６９】
フォトダイオード２８ａは、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａにおいて発生した第一基準波長光の干渉縞を受けて、電気信号に変換する。フォトダイオード２８ｂは、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂにおいて発生した結合光の干渉縞（光路差発生器（ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６）の出力のうちカプラ１６の出力に対応するもの）を受けて、電気信号に変換する。
【００７０】
フォトダイオード２８ｂが出力した電気信号は、分波器３２により、第二基準波長光に基づく信号（波長λ２の光に基づく信号）とそれ以外の波長の光に基づく信号（波長λｘの光に基づく信号）とに分波される。
【００７１】
縞計数器３６は、フォトダイオード２８ａおよび分波器３２から電気信号を受け、干渉縞の本数をカウントする。フォトダイオード２８ａから受けた電気信号に基づき、第一基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ａが計数される。分波器３２から受けた電気信号に基づき、入力光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｂと、第二基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｃとが計数される。計数された干渉縞の本数Ａ、Ｂ、Ｃは、波長導出器４０に与えられる。
【００７２】
図５は、波長導出器４０の動作を示すフローチャートである。まず、基準波長測定部４２は、干渉縞の本数ＡおよびＣに基づき、第二基準波長光の波長を測定する（Ｓ１０）。測定結果λｃは、式（１）に示すようなものである。
【００７３】
次に、入力光波長測定部４４は、干渉縞の本数ＡおよびＢに基づき、入力光の波長を測定する（Ｓ１２）。測定結果λｍは、式（２）に示すようなものである。
【００７４】
補正係数導出部４６は、基準波長測定部４２からλｃを受け、入力光波長測定部４４からλｍを受け、第二補正係数ｋを導出する（Ｓ１４）。第二補正係数ｋは、式（１０）に示すようなものである。ただし、Ｐ＝（（λ２／λｃ）−１）／（λ２−λ１）である。
【００７５】
最後に、入力光波長補正部４８は、λｍに第二補正係数ｋを乗じてλｘを導出する（Ｓ１６）。
【００７６】
本発明の第一の実施形態によれば、入力光の波長λｘが第一基準波長λ１から離れることにより第一補正係数Ｋに誤差が生じても、第二補正係数ｋを測定結果λｍに乗じることによって、正確に入力光の波長λｘを測定できる。
【００７７】
第二の実施形態
第二の実施形態にかかる波長計は、第一の実施形態において第二基準波長光および入力光をカプラ１６により結合していた点を、第一基準波長光および第二基準波長光をカプラ１９により結合するように変更したものである。
【００７８】
図６は、本発明の第二の実施形態にかかる波長計１の構成を示す図である。第二の実施形態にかかる波長計１は、第一基準波長光源１２、第二基準波長光源１４、カプラ１９、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４、固定反射ミラー２６、フォトダイオード２８ａ、２８ｂ、分波器３４、縞計数器３６、波長導出器４０を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
【００７９】
第一基準波長光源１２および第二基準波長光源１４は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
【００８０】
カプラ１９は、第一基準波長光および第二基準波長光を結合した結合光を、ハーフミラー２２に与える。なお、入力光および結合光は平行に進む。
【００８１】
ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６は第一の実施形態とほぼ同様である。ただし、第一反射点２２ａにおいて入力光を受け、第二反射点２２ｂにおいて結合光を受ける。
【００８２】
そして、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６によって、入力光およびカプラ１９の出力する結合光に光路差Ｌが発生する。すなわち、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６が光路差発生器として機能する。なお、光路差Ｌを発生させる機構であれば、マイケルソン干渉計に限らず、例えばフィゾー干渉計でもよいことは、第一の実施形態と同様である。
【００８３】
フォトダイオード２８ａは、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａにおいて発生した干渉縞を受けて、電気信号に変換する。フォトダイオード２８ａの出力する電気信号は、第一基準波長光に基づく信号（波長λ１の光に基づく信号）および第二基準波長光に基づく信号（波長λ２の光に基づく信号）が混合した信号である。フォトダイオード２８ｂは、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂにおいて発生した干渉縞を受けて、電気信号に変換する。フォトダイオード２８ｂの出力する電気信号は、入力光に基づく信号（波長λｘの光に基づく信号）である。
【００８４】
分波器３４は、フォトダイオード２８ａが出力した電気信号を、第二基準波長光に基づく信号（波長λ２の光に基づく信号）と第一基準波長光に基づく信号（波長λ１の光に基づく信号）とに分波する。分波器３４は、例えば電気濾波器である。なお、分波器３４を光分波器として、分波器３４が第一反射点２２ａにおいて発生した干渉縞を受け、第二基準波長光と第一基準波長光とに分波するようにしてもよい。分波された光をフォトダイオードによって電気信号に変換して、縞計数器３６に与える。
【００８５】
縞計数器３６は、フォトダイオード２８ｂおよび分波器３４から電気信号を受け、干渉縞の本数をカウントする。フォトダイオード２８ｂから受けた電気信号に基づき、入力光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｂが計数される。分波器３２から受けた電気信号に基づき、第一基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ａと、第二基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｃとが計数される。
【００８６】
波長導出器４０の構成は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
【００８７】
次に、本発明の第二の実施形態の動作を説明する。
【００８８】
第一基準波長光源１２は、第一基準波長光（波長λ１）を出射する。第一基準波長光はカプラ１９に入射される。また、第一基準波長光は、ＳＨＧである第二基準波長光源１４にも与えられる。第二基準波長光源１４は、第二基準波長光（波長λ２＝λ１／２）を出射する。第二基準波長光もカプラ１９に入射される。カプラ１９は第一基準波長光および第二基準波長光を結合し、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに入射する。
【００８９】
また、入力光はハーフミラー２２の第一反射点２２ａに入射される。
【００９０】
ハーフミラー２２は、第一反射点２２ａにおいて、入力光を受ける。入力光の半分はハーフミラー２２を透過して可動反射ミラー２４に与えられる。入力光の残りの半分はハーフミラー２２により反射されて固定反射ミラー２６に与えられる。
【００９１】
また、ハーフミラー２２は、第二反射点２２ｂにおいて、カプラ１９からの結合光を受ける。結合光の半分はハーフミラー２２を透過して可動反射ミラー２４に与えられる。結合光の残りの半分はハーフミラー２２により反射されて固定反射ミラー２６に与えられる。
【００９２】
可動反射ミラー２４は、ハーフミラー２２を透過した入力光を反射して、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに与える。また、可動反射ミラー２４は、ハーフミラー２２を透過した結合光を反射して、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに与える。
【００９３】
固定反射ミラー２６は、ハーフミラー２２により反射された入力光を反射して、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに与える。また、固定反射ミラー２６は、ハーフミラー２２により反射された結合光を反射して、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに与える。
【００９４】
なお、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６によって、第一基準波長光およびカプラ１９の出力する結合光に光路差Ｌが発生する。
【００９５】
これにより、第一反射点２２ａにおいて、結合光の干渉縞が発生する。しかも、第二反射点２２ｂにおいて、入力光の干渉縞が発生する。
【００９６】
フォトダイオード２８ａは、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａにおいて発生した結合光の干渉縞（光路差発生器（ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６）の出力のうちカプラ１９の出力に対応するもの）を受けて、電気信号に変換する。フォトダイオード２８ｂは、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂにおいて発生した入力光の干渉縞を受けて、電気信号に変換する。
【００９７】
フォトダイオード２８ａが出力した電気信号は、分波器３４により、第二基準波長光に基づく信号（波長λ２の光に基づく信号）と第一基準波長光に基づく信号（波長λ１の光に基づく信号）とに分波される。
【００９８】
縞計数器３６は、フォトダイオード２８ｂおよび分波器３４から電気信号を受け、干渉縞の本数をカウントする。フォトダイオード２８ｂから受けた電気信号に基づき、入力光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｂが計数される。分波器３２から受けた電気信号に基づき、第一基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ａと、第二基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｃとが計数される。計数された干渉縞の本数Ａ、Ｂ、Ｃは、波長導出器４０に与えられる。
【００９９】
波長導出器４０の動作は第一の実施形態と同様である（図５参照）。
【０１００】
第二の実施形態によっても、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【０１０１】
第三の実施形態
第三の実施形態にかかる波長計は、第一の実施形態において第二基準波長光および入力光をカプラ１６により結合していた点を、第二基準波長光および入力光を光スイッチ１７により切換えるようにしたものである。
【０１０２】
図７は、本発明の第三の実施形態にかかる波長計１の構成を示す図である。第三の実施形態にかかる波長計１は、第一基準波長光源１２、第二基準波長光源１４、光スイッチ１７、入射用ミラー１８、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４、固定反射ミラー２６、フォトダイオード２８ａ、２８ｂ、縞計数器３６、波長導出器４０を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
【０１０３】
第一基準波長光源１２および第二基準波長光源１４は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
【０１０４】
光スイッチ１７は、第二基準波長光および入力光を受け、いずれか一方を出力する。
【０１０５】
ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６は第一の実施形態とほぼ同様である。ただし、第一反射点２２ａにおいて入力光または第二基準波長光を受ける。
【０１０６】
そして、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６によって、第一基準波長光および光スイッチ１７の出力に光路差Ｌが発生する。すなわち、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６が光路差発生器として機能する。なお、光路差Ｌを発生させる機構であれば、マイケルソン干渉計に限らず、例えばフィゾー干渉計でもよいことは、第一の実施形態と同様である。
【０１０７】
フォトダイオード２８ａは、は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。フォトダイオード２８ｂは、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂにおいて発生した干渉縞を受けて、電気信号に変換する。フォトダイオード２８ｂの出力する電気信号は、第二基準波長光に基づく信号（波長λ２の光に基づく信号）または入力光に基づく信号（波長λｘの光に基づく信号）である。
【０１０８】
縞計数器３６は、フォトダイオード２８ａおよび２８ｂから電気信号を受け、干渉縞の本数をカウントする。フォトダイオード２８ａから受けた電気信号に基づき、第一基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ａが計数される。フォトダイオード２８ｂから受けた電気信号に基づき、入力光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｂまたは第二基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｃが計数される。
【０１０９】
波長導出器４０の構成は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
【０１１０】
次に、本発明の第三の実施形態の動作を図８のフローチャートを参照して説明する。
【０１１１】
第一基準波長光源１２は、第一基準波長光（波長λ１）を出射する。第一基準波長光は入射用ミラー１８により反射され、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに入射される。
【０１１２】
また、第一基準波長光は、ＳＨＧである第二基準波長光源１４にも与えられる。第二基準波長光源１４は、第二基準波長光（波長λ２＝λ１／２）を出射する。ここで、光スイッチ１７は、第二基準波長光を出射する（Ｓ５）。第二基準波長光は、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに入射される。
【０１１３】
ハーフミラー２２は、第一反射点２２ａにおいて、第二基準波長光を受ける。第二基準波長光の半分はハーフミラー２２を透過して可動反射ミラー２４に与えられる。第二基準波長光の残りの半分はハーフミラー２２により反射されて固定反射ミラー２６に与えられる。
【０１１４】
また、ハーフミラー２２は、第二反射点２２ｂにおいて、第一基準波長光を受ける。第一基準波長光の半分はハーフミラー２２を透過して可動反射ミラー２４に与えられる。第一基準波長光の残りの半分はハーフミラー２２により反射されて固定反射ミラー２６に与えられる。
【０１１５】
可動反射ミラー２４は、ハーフミラー２２を透過した第二基準波長光を反射して、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに与える。また、可動反射ミラー２４は、ハーフミラー２２を透過した第一基準波長光を反射して、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに与える。
【０１１６】
固定反射ミラー２６は、ハーフミラー２２により反射された第二基準波長光を反射して、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに与える。また、固定反射ミラー２６は、ハーフミラー２２により反射された第一基準波長光を反射して、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに与える。
【０１１７】
なお、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６によって、第一基準波長光および第二基準波長光に光路差Ｌが発生する。
【０１１８】
これにより、第一反射点２２ａにおいて、第一基準波長光の干渉縞が発生する。しかも、第二反射点２２ｂにおいて、第二基準波長光の干渉縞が発生する。
【０１１９】
フォトダイオード２８ａは、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａにおいて発生した第一基準波長光の干渉縞を受けて、電気信号に変換する。フォトダイオード２８ｂは、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂにおいて発生した第二基準波長光の干渉縞を受けて、電気信号に変換する。
【０１２０】
縞計数器３６は、フォトダイオード２８ａおよび２８ｂから電気信号を受け、干渉縞の本数をカウントする。フォトダイオード２８ａから受けた電気信号に基づき、第一基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ａが計数される。フォトダイオード２８ｂから受けた電気信号に基づき、第二基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｃとが計数される。計数された干渉縞の本数ＡおよびＣは、波長導出器４０に与えられる。
【０１２１】
基準波長測定部４２は、干渉縞の本数ＡおよびＣに基づき、第二基準波長光の波長を測定する（Ｓ１０）。測定結果λｃは、式（１）に示すようなものである。
【０１２２】
次に、光スイッチ１７は、入力光を出射する（Ｓ１１）。入力光は、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに入射される。
【０１２３】
ハーフミラー２２は、第一反射点２２ａにおいて、入力光を受ける。入力光の半分はハーフミラー２２を透過して可動反射ミラー２４に与えられる。入力光の残りの半分はハーフミラー２２により反射されて固定反射ミラー２６に与えられる。
【０１２４】
また、ハーフミラー２２は、第二反射点２２ｂにおいて、第一基準波長光を受ける。第一基準波長光の半分はハーフミラー２２を透過して可動反射ミラー２４に与えられる。第一基準波長光の残りの半分はハーフミラー２２により反射されて固定反射ミラー２６に与えられる。
【０１２５】
可動反射ミラー２４は、ハーフミラー２２を透過した入力光を反射して、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに与える。また、可動反射ミラー２４は、ハーフミラー２２を透過した第一基準波長光を反射して、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに与える。
【０１２６】
固定反射ミラー２６は、ハーフミラー２２により反射された入力光を反射して、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂに与える。また、固定反射ミラー２６は、ハーフミラー２２により反射された第一基準波長光を反射して、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａに与える。
【０１２７】
なお、ハーフミラー２２、可動反射ミラー２４および固定反射ミラー２６によって、第一基準波長光および入力光に光路差Ｌが発生する。
【０１２８】
これにより、第一反射点２２ａにおいて、第一基準波長光の干渉縞が発生する。しかも、第二反射点２２ｂにおいて、入力光の干渉縞が発生する。
【０１２９】
フォトダイオード２８ａは、ハーフミラー２２の第一反射点２２ａにおいて発生した第一基準波長光の干渉縞を受けて、電気信号に変換する。フォトダイオード２８ｂは、ハーフミラー２２の第二反射点２２ｂにおいて発生した入力光の干渉縞を受けて、電気信号に変換する。
【０１３０】
縞計数器３６は、フォトダイオード２８ａおよび２８ｂから電気信号を受け、干渉縞の本数をカウントする。フォトダイオード２８ａから受けた電気信号に基づき、第一基準波長光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ａが計数される。フォトダイオード２８ｂから受けた電気信号に基づき、入力光の光路差Ｌにより発生した干渉縞の本数Ｂとが計数される。計数された干渉縞の本数ＡおよびＢは、波長導出器４０に与えられる。
【０１３１】
入力光波長測定部４４は、干渉縞の本数ＡおよびＢに基づき、入力光の波長を測定する（Ｓ１２）。測定結果λｍは、式（２）に示すようなものである。
【０１３２】
補正係数導出部４６は、基準波長測定部４２からλｃを受け、入力光波長測定部４４からλｍを受け、第二補正係数ｋを導出する（Ｓ１４）。第二補正係数ｋは、式（１０）に示すようなものである。ただし、Ｐ＝（（λ２／λｃ）−１）／（λ２−λ１）である。
【０１３３】
最後に、入力光波長補正部４８は、λｍに第二補正係数ｋを乗じてλｘを導出する（Ｓ１６）。
【０１３４】
本発明の第三の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。しかも、分波器３２を省略することができる。
【０１３５】
なお、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば、基準波長測定部４２、入力光波長測定部４４、補正係数導出部４６、入力光波長補正部４８）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の実施形態を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０１３６】
【図１】本発明の第一の実施形態にかかる波長計１の構成を示す図である。
【図２】第一基準波長光源１２および第二基準波長光源１４の部分の構成の変形例を示す図である。
【図３】波長導出器４０の構成を示す機能ブロック図である。
【図４】第二補正係数ｋと測定される波長λｘとの関係を示す図である。
【図５】波長導出器４０の動作を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第二の実施形態にかかる波長計１の構成を示す図である。
【図７】本発明の第三の実施形態にかかる波長計１の構成を示す図である。
【図８】本発明の第三の実施形態の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１３７】
１  波長計
１２  第一基準波長光源
１４  第二基準波長光源
１６  カプラ
１７  光スイッチ
１９  カプラ
２２  ハーフミラー
２４  可動反射ミラー
２６  固定反射ミラー
２８ａ、２８ｂ  フォトダイオード
３２  分波器
３４  分波器
４０  波長導出器
４２  基準波長測定部
４４  入力光波長測定部
４６  補正係数導出部
４８  入力光波長補正部
【図１】
2006284315.tif 000003
【図２】
2006284315.tif 000004
【図３】
2006284315.tif 000005
【図４】
2006284315.tif 000006
【図５】
2006284315.tif 000007
【図６】
2006284315.tif 000008
【図７】
2006284315.tif 000009
【図８】
2006284315.tif 000010