(57)【要約】【課題】  電気光学パネルの端子形成面に付着している異物を確実に除去することのできる電気光学パネルの清浄方法および清浄装置を提供する。【解決手段】  清浄方法は、電気光学パネル２の端子形成部５に配列された複数のパネル端子７に対して外部配線８を接続する前に、複数のパネル端子７が配列されている端子形成面６に向かって清浄気体を噴出して端子形成面６に付着している異物を剥離するとともに、端子形成面６から剥離した異物を吸引する。清浄装置１は、端子形成面６に向かって清浄気体を噴出させる噴出ノズル１７と、清浄気体によって端子形成面６から剥離した異物を吸引させる吸引管１８とを設ける。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学パネルの端子形成部に配列された複数のパネル端子に対して外部配線を接続する前に、前記複数のパネル端子が配列されている端子形成面に向かって清浄気体を噴出して前記端子形成面に付着している異物を剥離するとともに、前記端子形成面から剥離した異物を吸引して除去することを特徴とする電気光学パネルの清浄方法。
【請求項２】
前記清浄気体を前記端子形成面に対して前記パネル端子の配列方向の一端側から噴出し、前記端子形成面から剥離した異物を前記パネル端子の配列方向の他端側から吸引する請求項１に記載の電気光学パネルの清浄方法。
【請求項３】
前記清浄気体として圧縮空気を用いる請求項１または２に記載の電気光学パネルの清浄方法。
【請求項４】
電気光学パネルの端子形成部に複数のパネル端子が配列されており、当該複数のパネル端子が配列されている端子形成面を清浄にするための電気光学パネルの清浄装置において、
前記端子形成面に向かって清浄気体を噴出させる噴出ノズルと、
前記清浄気体によって前記端子形成面から剥離した異物を吸引させる吸引管とを有していることを特徴とする電気光学パネルの清浄装置。
【請求項５】
前記噴出ノズルおよび吸引管が、前記端子形成部に配列された複数のパネル端子に対して外部配線を接続する接続ステージに配置されている請求項４に記載の電気光学パネルの清浄装置。
【請求項６】
前記噴出ノズルの噴出口が、前記端子形成面のパネル端子の配列方向の一端側に配置されており、
前記吸引管の吸引口が、前記端子形成面のパネル端子の配列方向の他端側に配置されている請求項４または５に記載の電気光学パネルの清浄装置。
【請求項７】
前記清浄気体が、圧縮空気である請求項４ないし６のいずれか１項に記載の電気光学パネルの清浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学パネルの端子形成部においてパネル端子が形成されている端子形成面に付着した異物を除去するのに好適な電気光学パネルの清浄方法および清浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、情報の表示を行う表示装置の一種として、液晶表示パネル、プラズマディスプレイパネル、ＥＬパネルなどの電気光学パネルを備えた表示装置が知られている。
【０００３】
このような電気光学パネル、例えば、ガラスなどの透明な素材により形成された一対の基板の間に液晶が封入された液晶表示パネルにおいては、液晶表示パネルの少なくとも一方の基板の一辺に端子形成部が張り出すように連設されており、この端子形成部の他方の基板側の表面に表示用の透明電極に連なる多数のパネル端子が配列されている。そして、液晶表示パネルに少なくとも駆動回路を加えた液晶表示モジュールを組み立てる場合、各パネル端子には、外部配線、例えば、表示画素数などが比較的少ない場合には、クリップピンが取り付けられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
なお、外部配線としては、ＴＣＰ、ＦＰＣなどの可撓配線板を用いる構成もある。このような可撓配線板は、通常、異方性導電材を介してパネル端子に接続されている。
【０００５】
ところで、パネル端子に外部配線を接続する場合、端子形成部のパネル端子の形成されている端子形成面、詳しくは、端子形成部の他方の基板側の表面、および、この表面に配列されている各パネル端子の表面に塵埃などの異物が付着すると、隣位するパネル端子間において短絡が発生して歩留まりを低下させたり、パネル端子と外部配線との接続信頼性を低下させたりするという問題点があった。
【０００６】
そこで、パネル端子に外部配線を接続する前に、端子形成面を清浄とする必要がある。このような端子形成面を清浄にする方法としては、洗浄液による湿式洗浄や、圧縮空気などの清浄気体を吹き付けるドライな環境での乾式洗浄がある。
【０００７】
【特許文献１】特開平０９−３１８９６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、湿式洗浄においては、洗浄、すすぎ、乾燥などの多くの工程を必要とし、清浄が終了するまでには相当の時間を要するので、生産性に劣るという問題点がある。また、湿式洗浄においては、電気光学パネルの全体を洗浄する場合、電気光学パネルとして液晶表示パネルを用いると、偏光膜の剥離などの不都合が生じる懸念がある。そこで、端子形成面のみを部分的に洗浄しようとすると、端子形成面の周囲を洗浄液から隔離するための隔離手段が必要となり、製造設備が大型化する。なお、湿式洗浄を行う場合には、使用後の洗浄液の排水処理設備も必要となる。
【０００９】
また、乾式洗浄においては、端子形成面から清浄気体によって吹き飛ばされた異物が周囲に飛散して、周囲の環境を汚染するとともに、飛散した異物が、清浄化した後の端子形成面に再付着して、確実な清浄を行うことができないという問題点があった。さらに、周囲に飛散した異物は、周囲の製造装置や、異物を除去する前の電気光学パネルに付着するという懸念がある。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、電気光学パネルの端子形成面に付着している異物を確実に除去することのできる電気光学パネルの清浄方法および清浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述した目的を達成するため、本発明に係る電気光学パネルの清浄方法の特徴は、電気光学パネルの端子形成部に配列された複数のパネル端子に対して外部配線を接続する前に、前記複数のパネル端子が配列されている端子形成面に向かって清浄気体を噴出して前記端子形成面に付着している異物を剥離するとともに、前記端子形成面から剥離した異物を吸引して除去する点にある。
【００１２】
本発明に係る電気光学パネルの清浄方法においては、前記清浄気体を前記端子形成面に対して前記パネル端子の配列方向の一端側から噴出し、前記端子形成面から剥離した異物を前記パネル端子の配列方向の他端側から吸引することが好ましく、また、前記清浄気体として圧縮空気を用いることが好ましい。
【００１３】
本発明に係る電気光学パネルの清浄装置の特徴は、電気光学パネルの端子形成部に複数のパネル端子が配列されており、当該複数のパネル端子が配列されている端子形成面を清浄にするための電気光学パネルの清浄装置であって、前記端子形成面に向かって清浄気体を噴出させる噴出ノズルと、前記清浄気体によって前記端子形成面から剥離した異物を吸引させる吸引管とを有している点にある。
【００１４】
本発明に係る電気光学パネルの清浄装置においては、前記噴出ノズルおよび吸引管が、前記端子形成部に配列された複数のパネル端子に対して外部配線を接続する接続ステージに配置されていることが好ましく、また、前記噴出ノズルの噴出口が、前記端子形成面のパネル端子の配列方向の一端側に配置されており、前記吸引管の吸引口が、前記端子形成面のパネル端子の配列方向の他端側に配置されている好ましく、さらに、前記清浄気体が、圧縮空気であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る電気光学パネルの清浄方法および清浄装置によれば、端子形成面からの異物の剥離および端子形成面から剥離した異物の回収を容易に行うことができる。また、本発明に係る電気光学パネルの清浄装置によれば、本発明に係る電気光学パネルの清浄方法を確実かつ容易に実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を図面に示す実施形態により説明する。
【００１７】
図１から図４は本発明に係る電気光学パネルの清浄方法を実施する清浄装置の実施形態を示すものであり、図１は要部を簡略化して示す概略斜視図、図２は載置台の要部の概略正面図、図３は異物除去状態における要部を簡略化して示す概略斜視図、図４は図３の要部の概略側面図である。
【００１８】
本実施形態の電気光学パネルの清浄装置（以下、単に、清浄装置と記す。）は、電気光学パネルとしての液晶表示パネルを液晶モジュールとする液晶モジュールの製造工程のうちの、液晶表示パネルの端子形成部の端子形成面に配列されたパネル端子に外部配線としてのクリップピンを接続する外部配線接続工程に用いるものを例示している。
【００１９】
図１に示すように、本実施形態の清浄装置１による清浄対象である電気光学パネルとしての液晶表示パネル２は、ガラスなどの透明な素材により形成された一対の基板３、４の間に液晶が封入されている。そして、一対の基板３、４のうちの一方の基板３、例えば観察側とは反対側に配置される図１下側に示すリア基板の少なくとも一辺は、他方の基板４、例えば観察側に配置される同図上側に示す対向基板であるフロント基板の外側に張り出すように突出されており、この突出部分が端子形成部５とされている。そして、端子形成部５のフロント基板側の表面は、端子形成面６とされており、この端子形成面６には、図示しない表示用の透明電極に連なる複数のパネル端子７が端子形成面６の長手方向に沿って配列されている。
【００２０】
前記液晶表示パネル２のその他の構成については、従来公知の液晶表示パネルと同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
【００２１】
前記液晶表示パネル２の端子形成面６に配列されたパネル端子７に接続されるクリップピン８は、ほぼ平板状に形成されたピン体９と弾性変形可能な側面ほぼコ字状に形成されたクリップ体１０とを有している。そして、液晶表示パネル２の端子形成部５のパネル端子７が配置された部位に、クリップピン８のクリップ体１０の開口側を端子形成部５の側方から挿入することで、クリップピン８のクリップ体１０が液晶表示パネル２の端子形成部５のパネル端子７に取り付けられるようになっている。
【００２２】
前記クリップピン８のその他の構成については、従来公知のクリップピンと同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
【００２３】
なお、クリップピン８は、パネル端子７の数と同一数のクリップピン単体を当該各クリップピン単体のピン体９の先端部においてテープ状基体１１に所定の間隔で連設された小クリップピン部品連１２とされており、小クリップピン部品連１２は、各パネル端子７と各クリップピン単体のクリップ体１０との接続固定が終了した後に、ピン体９の先端部を切断することにより、テープ状基体１１に連設するピン体５の先端部の一部を切り離し、個々のクリップピン８に分離されるようになっている。
【００２４】
本実施形態の清浄装置１は、液晶表示パネル２の端子形成部５の端子形成面６に配列されたパネル端子７に外部配線としてのクリップピン８を接続する外部配線接続工程を実施する接続ステージ１３に配設されている。この接続ステージ１３には、図示しないコンベアなどの搬送手段によって液晶表示パネル２が供給されるようになっている。また、接続ステージ１３には、小クリップピン部品連１２を把持することのできる図示しない搬送手段によって小クリップピン部品連１２が供給されるようになっている。
【００２５】
前記接続ステージ１３には、図２に示すように、パネル載置台１４が設けられている。このパネル載置台１４は、接続ステージ１３に供給された液晶表示パネル２を下方から支持する平坦な載置面１５を有している。また、載置面１５には、載置した液晶表示パネル２を載置面１５上に固定するための図示しない吸引固定手段が配設されている。さらに、載置面１５には、断面ほぼ矩形のストッパ１６が、その長手方向をパネル端子７の配列方向と平行にして配設されており、液晶表示パネル２の端子形成部５が形成されている辺とは反対側の辺の端面をストッパ１６に当接させることで、クリップピン８の装着時における図３に破線太矢印にて示す方向から端子形成部５に向かって挿入されるクリップピン８の挿入力を受け止めることができるとともに、挿入力によって液晶表示パネル２が載置面１５上を図２の左方へ移動するのを防止することができるようになっている。
【００２６】
前記パネル載置台１４は、液晶表示パネル２を載置面１５に載置した場合、図２に示すように、端子形成部５が載置面１５の外側に突出するように形成されており、クリップピン８の装着時に、パネル載置台１４がクリップピン８に接触するのを防止することができるようになっている。
【００２７】
なお、パネル載置台１４とストッパ１６とを別々とし、ストッパ１６を図示しないアクチュエータの駆動力によって載置面１５上を移動するように構成してもよい。
【００２８】
前記パネル載置台１４は、図示しないアクチュエータの駆動力によって水平方向に回転自在、かつ、上下方向に昇降自在な図示しない回転テーブル上に配設されている。そして、パネル載置台１４は、液晶表示パネル２をパネル載置台１４に載置する前の状態においては、載置面１５が液晶表示パネル２の下面と同等もしくは若干低い位置に配置されているとともに、ストッパ１６の長手方向が、図１に白抜き太矢印にて示す液晶表示パネル２の接続ステージ１３への搬送方向に沿って配置されるように回転位置が規制されている。そして、パネル載置台１４に液晶表示パネル２が載置された後、パネル載置台１４は、上昇もしくは下降し、その後、図３に示すように、液晶表示パネル２の端子形成部５の長手方向が、液晶表示パネル２の接続ステージ１３への搬送方向に対してほぼ直交する方向に位置するように水平方向へほぼ９０度回転されるようになっている。
【００２９】
なお、パネル載置台１４そのものを水平方向に回転自在かつ上下方向に昇降自在としてもよい。勿論、パネル載置台１４を回転させない構成とすることもできる。
【００３０】
図１、図３および図４に示すように、接続ステージ１３には、液晶表示パネル２の端子形成面６を清浄するための清浄装置１が配設されている。
【００３１】
本実施形態の清浄装置１は、端子形成面６に向かって清浄気体を噴出させる噴出ノズル１７と、端子形成面６から剥離した異物を吸引させる吸引管１８とを有している。
【００３２】
前記噴出ノズル１７には、清浄気体が供給されるようになっており、本実施形態の噴出ノズル１７は、図３および図４に示すように、噴出する清浄気体が端子形成面６に対してパネル端子７の配列方向の一端側の斜め上方から当たるように設けられている。
【００３３】
すなわち、噴出ノズル１７の噴出口１７ａが、端子形成面６のパネル端子７の配列方向の一端側の斜め上方に配置されている。
【００３４】
なお、噴出ノズル１７のノズル形状としては、断面円形状や、水平方向に直線状をなすスロット状などの各種の形状から選択することができる。また、噴出ノズル１７からの清浄気体の噴出口を複数としたり、端子形成面６に対する噴出ノズル１７の角度を可変としたり、噴出ノズル１７からの清浄気体の噴出中に噴出ノズル１７の角度を可変としたり、噴出ノズル１７を端子形成面６に対してパネル端子７の配列方向に沿って移動させたり、あるいは、端子形成面６を噴出ノズル１７に対してパネル端子７の配列方向に沿って移動させたりしてもよい。
【００３５】
また、噴出ノズル１７の設置位置としては、端子形成面６を清浄気体によって清浄にできるように清浄気体を噴出できる位置であれば、その設置位置は問わない。但し、斜め上方に配置すれば、噴出される清浄気体は端子形成面６から異物を剥離した後、剥離した異物とともにパネル端子７の配列方向の他端側に向かって流動するため、吸引管１８を設けない場合であっても、端子形成面６から剥離した異物が周囲に飛散して端子形成面６に再付着するおそれが少ないという利点がある。
【００３６】
またさらに、噴出ノズル１７から噴出させる清浄気体の噴出状態を一定としたり、清浄気体を間欠的に噴出させたり、流速を変化させてもよい。
【００３７】
さらに、端子形成面６に対する噴出ノズル１７の角度、すなわち、清浄気体の噴出角度としては、１５〜９０度（直角）の範囲から選択することができる。勿論、清浄気体の噴出角度を９０度とした場合には、噴出ノズル１７を端子形成面６の直上に配置し、噴出ノズル１７と液晶表示パネル２とをパネル端子７の配列方向に沿って相対的に移動させることが肝要である。
【００３８】
さらにまた、清浄気体としては、圧縮空気や窒素ガスなどの不活性ガスを用いることができるが、入手性、経済性などの観点から空気圧フィルタにより異物を除去した圧縮空気を用いることが好ましい。
【００３９】
この場合、噴出ノズル１７に圧縮空気を供給するための供給手段としては、噴出ノズル１７の基端に接続されるホースなどの配管、配管の基端部に配設される常時は閉状態とされたバルブ、空気圧縮機、圧縮空気の浄化に用いる空気圧フィルタなどにより簡単に構成することができる。
【００４０】
本実施形態の吸引管１８は、パネル端子７の配列方向の他端側、すなわち、端子形成面６に当たったあとの清浄気体の流動方向の下流側に配設されている。この吸引管１８の先端はラッパ状に形成されており、その先端の吸引口１８ａは、液晶表示パネル２と対向するように配置されている。そして、吸引管１８の基端には、吸引ポンプ、送風機、ブロア、集塵機などの吸引手段が接続されており、噴出ノズル１７から噴出された清浄気体により端子形成面６から剥離された異物を噴出ノズル１７から噴出された清浄気体とともに吸引口１８ａの内部に吸引し回収することができるようになっている。
【００４１】
なお、吸引管１８の配設位置としては、端子形成面６から剥離された異物を吸引捕捉することのできる位置に配設されていればよい。また、吸引管１８の大きさ、形状、吸引量としては、液晶表示パネル２のサイズ、噴出ノズル１７による清浄気体の噴出量や流速などに基づいて、端子形成面６から剥離した異物を確実に吸引することができるように決定すればよい。
【００４２】
また、吸引管１８の吸引口１８ａの形状は、断面矩形、楕円形などの各種の形状から選択することができる。
【００４３】
さらに、吸引管１８の吸引口１８ａのサイズとしては、対向する液晶表示パネルの面積より大きく形成することが異物を容易に吸引捕捉することができるという意味で好ましい。
【００４４】
つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について、本実施形態の電気光学パネルの清浄方法とともに説明する。
【００４５】
本実施形態の電気光学パネルの清浄方法（以下、単に、清浄方法と記す。）は、前述した本実施形態の清浄装置１を用いて接続ステージ１３においてパネル端子７に対して外部配線を接続する前に実施する。
【００４６】
すなわち、本実施形態の清浄方法は、接続ステージ１３のパネル載置台１４に液晶表示パネル２を載置し、載置面１５に液晶表示パネル２の下面を吸着固定した後、パネル載置台１４を上昇もしくは下降し、図３に示すように、液晶表示パネル２の端子形成部５の長手方向が、接続ステージ１３への搬送方向に対してほぼ直交する方向に位置するように水平方向に９０度程度回転した後に開始する。
【００４７】
なお、パネル載置台１４を昇降および回転させない構成の場合には、パネル載置台１４に液晶表示パネル２を載置し、載置面１５に液晶表示パネル２の下面を吸着固定した後に開始するとよい。
【００４８】
本実施形態の清浄方法が開始されると、噴出ノズル１７から清浄気体、本実施形態においては圧縮空気が図３および図４の実線矢印にて示すように噴出されるとともに、吸引管１８による周囲の気体の吸引が開始され異物除去状態となる。そして、噴出ノズル１７から噴出された圧縮空気は、図３および図４の実線矢印に示すように、接続ステージ１３のパネル載置台１４に載置されている液晶表示パネル２の端子形成面６に向かって噴出され、端子形成面６、詳しくは、端子形成部５のフロント基板側の表面、および、この表面に配列されている各パネル端子７の表面に付着している異物を剥離する。
【００４９】
この時、噴出ノズル１７の噴出口１７ａがパネル端子７の配列方向の一端側の斜め上方に配置されているので、圧縮空気は、端子形成面６上をパネル端子７の配列方向に沿って一端側から他端側に向かって流動する。また、端子形成面６から剥離した異物は、清浄気体に乗って端子形成面６をパネル端子７の配列方向に沿って一端側から他端側に向かって流動する。
【００５０】
ついで、圧縮空気によって端子形成面６から剥離された後、圧縮空気に乗って端子形成面６の他端側に到達した異物は、図３および図４の２点鎖線矢印に示すように、端子形成面６の他端側に配置されている吸引管１８の吸引口１８ａによって清浄気体とともに吸引され回収される。そして、噴出ノズル１７から噴出される圧縮空気、および、吸引管１８による吸引は、所定時間経過すると停止し、液晶表示パネル２の端子形成面６の清浄（異物の除去）が完了する。
【００５１】
ついで、液晶表示パネル２の端子形成面６の清浄が完了すると、従来公知の如く、パネル端子７に対するクリップピン８、詳しくは、複数のパネル端子７に対して小クリップピン部品連１２の各クリップピン単体のクリップ体１０の装着および接続固定が実施される。
【００５２】
なお、パネル端子７に対するクリップピン８の接続固定については、従来公知のパネル端子に対するクリップピンの接続固定と同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
【００５３】
ついで、パネル端子７に対するクリップピン８の接続固定が完了すると、パネル載置台１４がもとの方向へほぼ９０度逆回転した後、下降もしくは上昇し元の位置に復帰する。そして、パネル載置台１４が元の位置に復帰すると、載置面１５による液晶表示パネル２の下面の吸着固定が解除され、液晶表示パネル２は、図示しないコンベアなどの搬送手段によって搬出される。
【００５４】
したがって、本実施形態における外部配線接続工程は、接続ステージ１３におけるパネル載置台１４の載置面１５に対する液晶表示パネル２のセット工程と、接続ステージ１３におけるパネル載置台１４の回転による清浄準備工程と、清浄装置１による液晶表示パネル２の端子形成面６の清浄工程と、端子形成面６を清浄した後の液晶表示パネル２のパネル端子７に対するクリップピン８の接続固定工程とをこの順に行うように構成されている。
【００５５】
このように、本実施形態の清浄方法によれば、液晶表示パネル２の端子形成部５に配列された複数のパネル端子７に対して外部配線を接続する前に、複数のパネル端子７が配列されている端子形成面６に向かって清浄気体としての圧縮空気を噴出して端子形成面６に付着している異物を剥離するとともに、端子形成面６から剥離した異物を吸引除去する構成とされているので、端子形成面６に塵埃などの異物が付着しても、その異物を圧縮空気によって端子形成面６から剥離して除去することができ、しかも、圧縮空気の噴出により端子形成面６から剥離した異物を吸引しているので、圧縮空気によって端子形成面６から吹き飛ばされた異物が周囲に飛散することなく確実に回収することができる。その結果、異物による欠陥の発生を確実に防止することができるので、液晶表示モジュールの歩留まりの向上、パネル端子７と外部配線としてのクリップピン８との接続信頼性の向上をともに容易かつ確実に図ることができる。
【００５６】
また、本実施形態の清浄方法によれば、清浄気体としての圧縮空気を端子形成面６に対してパネル端子７の配列方向の一端側の上方から噴出し、端子形成面６から剥離した異物をパネル端子７の配列方向の他端側から吸引する構成とされているので、端子形成面６から圧縮空気によって吹き飛ばされた異物が周囲に飛散するのを防止することができるとともに、噴出された圧縮空気の流速が端子形成面６に当たった後も急速に減速することがなく、しかも、圧縮空気の流路を吸引管１８の吸引口１８ａに向かう方向に容易に制御することができるので、異物による欠陥発生をより確実に防止することができる。
【００５７】
さらに、本実施形態の清浄方法によれば、清浄気体として圧縮空気が用いられているので、入手性がよく、低コスト化を図ることができる。特に、液晶表示パネル２および液晶表示モジュールの製造工場においては、各種機器の駆動などの用途に圧縮空気を用いており、その供給配管もすでに設けられているので、既存の配管からの分岐配管や、圧縮空気の供給を制御するバルブや、空気圧フィルタなどを設けるだけで清浄気体を容易に入手することができる。
【００５８】
また、本実施形態の清浄装置１によれば、端子形成面６に向かって清浄気体としての圧縮空気を噴出させる噴出ノズル１７と、圧縮空気によって端子形成面６から剥離した異物を吸引させる吸引管１８とを有しているので、端子形成面６に塵埃などの異物が付着しても、その異物を圧縮空気によって端子形成面６から剥離して除去することができ、しかも、圧縮空気の噴出により端子形成面６から剥離した異物を吸引管１８で吸引しているので、圧縮空気によって端子形成面６から吹き飛ばされた異物を周囲に飛散させることなく確実に回収することができる。
【００５９】
さらに、本実施形態の清浄装置１によれば、噴出ノズル１７および吸引管１８が、端子形成部５に配列された複数のパネル端子７に対して外部配線を接続する接続ステージ１３に配設されているので、液晶表示パネル２の端子形成部５に配列された複数のパネル端子７に対して外部配線を接続する前に、端子形成面６の清浄化を行うことができる。その結果、本発明の清浄方法、すなわち、電気光学パネル２の端子形成部５に配列された複数のパネル端子７に対して外部配線を接続する前に、端子形成部５のパネル端子７の形成されている端子形成面６に向かって清浄気体を噴出して端子形成面６に付着している異物を剥離するとともに、端子形成面６から剥離した異物を吸引して除去する清浄方法を容易かつ確実に実施することができる。
【００６０】
したがって、本実施形態の清浄装置１によれば、異物による欠陥の発生を確実に防止し、液晶表示モジュールの歩留まりの向上、パネル端子７と外部配線としてのクリップピン８との接続信頼性の向上をともに容易かつ確実に図ることができる。
【００６１】
さらに、本実施形態の清浄装置１によれば、噴出ノズル１７の噴出口１７ａが端子形成面６のパネル端子７の配列方向の一端側の斜め上方に配置されており、吸引管１８の吸引口１８ａが端子形成面６のパネル端子７の配列方向の他端側に配置されているので、本発明の清浄方法、すなわち、清浄気体を端子形成面６に対してパネル端子７の配列方向の一端側の上方から噴出し、端子形成面６から剥離した異物をパネル端子７の配列方向の他端側から吸引する清浄方法を容易かつ確実に実施することができる。その結果、異物による欠陥の発生をより確実に防止することができる。
【００６２】
さらにまた、本実施形態の清浄装置１によれば、清浄気体が圧縮空気であるので、本発明の清浄方法、すなわち、清浄気体として圧縮空気を用いる清浄方法を容易に実施することができる。その結果、清浄気体の入手性がよく、低コスト化を図ることができる。特に、液晶表示パネル２および液晶表示モジュールの製造工場においては、各種機器の駆動などの用途に圧縮空気を用いており、その供給配管もすでに設けられているので、既存の配管からの分岐配管や、圧縮空気の供給を制御するバルブや、空気圧フィルタなどを設けるだけで清浄気体を容易に入手することができ、しかも、簡易な設備で安価に設置することができる。
【００６３】
本発明は、液晶表示パネルの端子形成部の端子形成面に配列されたパネル端子に外部配線としてのＴＣＰ、ＦＰＣなどの可撓配線板を異方性導電材を介して接続する場合にも適用することができる。
【００６４】
また、本発明は、液晶表示パネル、プラズマディスプレイパネル、ＥＬパネルなどの各種の電気光学パネルを備えた表示装置の製造に用いることができる。
【００６５】
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明に係る電気光学パネルの清浄方法を実施する清浄装置の実施形態の要部を簡略化して示す概略斜視図
【図２】図１の接続ステージに用いられる載置台の要部の概略正面図
【図３】図１の異物除去状態における要部を簡略化して示す概略斜視図
【図４】図３の要部の概略側面図
【符号の説明】
【００６７】
１  清浄装置
２  液晶表示パネル
５  端子形成部
６  端子形成面
７  パネル端子
８  クリップピン
１３  接続ステージ
１４  パネル載置台
１５  載置面
１６  ストッパ
１７  噴出ノズル
１７ａ  噴出口
１８  吸引管
１８ａ  吸引口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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