(57)【要約】【課題】幹配線がレジスト膜で覆われているときでも回路配線の断線・短絡を検査する。【解決手段】幹配線Ｍと枝配線Ｐ１，Ｐ２とを含む回路配線１１０を検査対象とする回路配線検査方法であって、電流検出抵抗１２を含む電流発生器１０を枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間に接続して電流Ｉを出力させると共に、電圧測定器２０を枝配線Ｐ２の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間に接続し、枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間に出力されている電流Ｉが電流検出抵抗１２で検出されないときには枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間に断線有りと判定し、電流Ｉが電圧測定器２０で検出されたときには枝配線Ｐ１の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間と枝配線Ｐ２の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間との間に短絡有りと判定する。【選択図】図１
2006234401.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
幹配線と当該幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含むと共に当該複数の枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、前記回路配線の断線の有無、および隣接する第１、第２の２つの前記枝配線のうちの当該第１枝配線の前記２つの端点間と当該第２枝配線の前記２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査方法であって、
信号出力検出部を含む検査信号出力手段を前記第１の枝配線の前記２つの端点のうちの反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記２つの端点のうちの幹配線側端点との間に接続して検査信号を出力させると共に、検査信号検出手段を前記第２の枝配線の前記２つの端点間に接続し、
前記第１の枝配線の前記反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記幹配線側端点との間に出力されている前記検査信号が前記信号出力検出部で検出されないときには前記第１の枝配線の前記反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記幹配線側端点との間に断線有りと判定し、前記検査信号が前記検査信号検出手段で検出されたときには前記第１の枝配線の前記２つの端点間と前記第２の枝配線の前記２つの端点間との間に短絡有りと判定する回路配線検査方法。
【請求項２】
前記検査信号出力手段として電流発生器を用い、前記検査信号検出手段として電圧測定器を用いる請求項１記載の回路配線検査方法。
【請求項３】
前記検査信号出力手段として電圧発生器を用い、前記検査信号検出手段として電圧測定器を用いる請求項１記載の回路配線検査方法。
【請求項４】
前記信号出力検出部は電流検出抵抗を備えて構成されている請求項１から３のいずれかに記載の回路配線検査方法。
【請求項５】
幹配線と当該幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含むと共に当該複数の枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、前記回路配線の断線の有無、および隣接する第１、第２の２つの前記枝配線のうちの当該第１枝配線の前記２つの端点間と当該第２枝配線の前記２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査装置であって、
信号出力検出部を含んで構成されると共に前記第１の枝配線の前記２つの端点のうちの反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記２つの端点のうちの幹配線側端点との間に検査信号を出力する検査信号出力手段と、
前記第２の枝配線の前記２つの端点間への前記検査信号の出力の有無を検出する検査信号検出手段と、
前記信号出力検出部が前記第１の枝配線の前記反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記幹配線側端点との間に出力されている前記検査信号を検出しないときには前記第１の枝配線の前記反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記幹配線側端点との間に断線有りと判定し、前記検査信号検出手段が前記検査信号を検出したときには前記第１の枝配線の前記２つの端点間と前記第２の枝配線の前記２つの端点間との間に短絡有りと判定する判定手段とを備えている回路配線検査装置。
【請求項６】
前記検査信号出力手段は電流発生器を備えて構成され、前記検査信号検出手段は電圧測定器を備えて構成されている請求項５記載の回路配線検査装置。
【請求項７】
前記検査信号出力手段は電圧発生器を備えて構成され、前記検査信号検出手段は電圧測定器を備えて構成されている請求項５記載の回路配線検査装置。
【請求項８】
前記信号出力検出部は電流検出抵抗を備えて構成されている請求項５から７のいずれかに記載の回路配線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、幹配線から分岐されている複数の枝配線の断線および枝配線間の短絡の有無を検査する回路配線検査方法および回路配線検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、この種の回路配線検査方法の一つを特開２００３−２５５００７号公報に開示している。この回路配線検査方法では、図３に示すように、幹配線Ｍとこの幹配線Ｍから引き出されている複数の枝配線Ｐ１〜ＰＮ（同図では枝配線Ｐ１〜Ｐ２を図示する）とを含む回路配線に対して、まず、幹配線Ｍ上の所定箇所に電圧測定基準点Ｘを設定し、この電圧測定基準点Ｘと１つの枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙとの間に電圧発生器５０からプローブＱ１，Ｑ４を介して電圧を印加する。次いで、この状態において、電圧計５１を使用して、枝配線Ｐ１に隣接する他方の枝配線Ｐ２の反幹配線側端点Ｐ２ｙと電圧測定基準点Ｘとの間の電圧Ｖ１をプローブＱ２，Ｑ４を介して測定すると共に、電圧計５２を使用して、枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘと電圧測定基準点Ｘとの間の電圧Ｖ２をプローブＱ３，Ｑ４を介して測定し、各電圧Ｖ１，Ｖ２に基づいて短絡・断線の有無を判断する。
【０００３】
この回路配線検査方法によれば、各枝配線Ｐ１，Ｐ２の各端点Ｐ１ｙ，Ｐ２ｙに対する各プローブＱ１，Ｑ２のプロービング位置によって検査精度が左右されることなく、高精度で検査することができる。また、予め良品基板から判定基準となるデータを収集する必要がないため、作製された回路基板の１枚目から回路配線に対する各枝配線の断線、および隣接する各枝配線間の短絡を検査することができる。さらには、各プローブＱ１〜Ｑ４の接触抵抗による影響を受けないため、通常の安価な測定プローブを使用することができる。
【特許文献１】特開２００３−２５５００７号公報（第４頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記した回路配線検査方法には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、図３において一点鎖線で示すように、幹配線Ｍの表面全体がレジスト膜（絶縁被膜）で覆われている回路配線が形成された回路基板も多く存在しており、このような回路基板では、レジスト膜で覆われた幹配線Ｍにプロービングすることができない。このため、幹配線Ｍに各プローブＱ３，Ｑ４をプロービングする必要のある上記の回路配線検査方法では、各枝配線の短絡・断線を検査するのが困難となる。
【０００５】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、幹配線から複数の枝配線が引き出されている回路配線に対して、幹配線がレジスト膜で覆われているときであっても回路配線の断線・短絡を検査し得る回路配線検査方法および回路配線検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の回路配線検査方法は、幹配線と当該幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含むと共に当該複数の枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、前記回路配線の断線の有無、および隣接する第１、第２の２つの前記枝配線のうちの当該第１枝配線の前記２つの端点間と当該第２枝配線の前記２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査方法であって、信号出力検出部を含む検査信号出力手段を前記第１の枝配線の前記２つの端点のうちの反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記２つの端点のうちの幹配線側端点との間に接続して検査信号を出力させると共に、検査信号検出手段を前記第２の枝配線の前記２つの端点間に接続し、前記第１の枝配線の前記反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記幹配線側端点との間に出力されている前記検査信号が前記信号出力検出部で検出されないときには前記第１の枝配線の前記反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記幹配線側端点との間に断線有りと判定し、前記検査信号が前記検査信号検出手段で検出されたときには前記第１の枝配線の前記２つの端点間と前記第２の枝配線の前記２つの端点間との間に短絡有りと判定する。
【０００７】
請求項２記載の回路配線検査方法は、請求項１記載の回路配線検査方法において、前記検査信号出力手段として電流発生器を用い、前記検査信号検出手段として電圧測定器を用いる。
【０００８】
請求項３記載の回路配線検査方法は、請求項１記載の回路配線検査方法において、前記検査信号出力手段として電圧発生器を用い、前記検査信号検出手段として電圧測定器を用いる。
【０００９】
請求項４記載の回路配線検査方法は、請求項１から３のいずれかに記載の回路配線検査方法において、前記信号出力検出部は電流検出抵抗を備えて構成されている。
【００１０】
請求項５記載の回路配線検査装置は、幹配線と当該幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含むと共に当該複数の枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、前記回路配線の断線の有無、および隣接する第１、第２の２つの前記枝配線のうちの当該第１枝配線の前記２つの端点間と当該第２枝配線の前記２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査装置であって、信号出力検出部を含んで構成されると共に前記第１の枝配線の前記２つの端点のうちの反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記２つの端点のうちの幹配線側端点との間に検査信号を出力する検査信号出力手段と、前記第２の枝配線の前記２つの端点間への前記検査信号の出力の有無を検出する検査信号検出手段と、前記信号出力検出部が前記第１の枝配線の前記反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記幹配線側端点との間に出力されている前記検査信号を検出しないときには前記第１の枝配線の前記反幹配線側端点と前記第２の枝配線の前記幹配線側端点との間に断線有りと判定し、前記検査信号検出手段が前記検査信号を検出したときには前記第１の枝配線の前記２つの端点間と前記第２の枝配線の前記２つの端点間との間に短絡有りと判定する判定手段とを備えている。
【００１１】
請求項６記載の回路配線検査装置は、請求項５記載の回路配線検査装置において、前記検査信号出力手段は電流発生器を備えて構成され、前記検査信号検出手段は電圧測定器を備えて構成されている。
【００１２】
請求項７記載の回路配線検査装置は、請求項５記載の回路配線検査装置において、前記検査信号出力手段は電圧発生器を備えて構成され、前記検査信号検出手段は電圧測定器を備えて構成されている。
【００１３】
請求項８記載の回路配線検査装置は、請求項５から７のいずれかに記載の回路配線検査装置において、前記信号出力検出部は電流検出抵抗を備えて構成されている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の回路配線検査方法および請求項５記載の回路配線検査装置では、信号出力検出部を含む検査信号出力手段を第１の枝配線の２つの端点のうちの反幹配線側端点と第２の枝配線の２つの端点のうちの幹配線側端点との間に接続して検査信号を出力させると共に、検査信号検出手段を第２の枝配線の２つの端点間に接続し、この状態において、第１の枝配線の反幹配線側端点と第２の枝配線の幹配線側端点との間に出力されている検査信号が信号出力検出部で検出されないときには第１の枝配線の反幹配線側端点と第２の枝配線の幹配線側端点との間に断線有りと判定し、検査信号が検査信号検出手段で検出されたときには第１の枝配線の２つの端点間と第２の枝配線の２つの端点間との間に短絡有りと判定することにより、幹配線へのプロービングを不要としつつ断線および短絡の有無を判定することができる。したがって、この回路配線検査方法および回路配線検査装置によれば、回路配線における幹配線の表面全体がレジスト膜で覆われていたとしても、各枝配線の各端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることなく、十分に高い精度で、この回路配線の断線の有無、および隣接する２つの枝配線におけるそれぞれの２つの端点間での短絡の有無を検査することができる。
【００１５】
請求項２記載の回路配線検査方法および請求項６記載の回路配線検査装置によれば、一般的な計測機器である電流発生器を検査信号出力手段として用い、一般的な計測機器である電圧測定器を検査信号検出手段として用いて回路配線を検査することができる。したがって、特殊な計測機器を使用する構成と比較して、検査に要するコストを低減することができる。
【００１６】
請求項３記載の回路配線検査方法および請求項７記載の回路配線検査装置によれば、一般的な計測機器である電圧発生器を検査信号出力手段として用い、一般的な計測機器である電圧測定器を検査信号検出手段として用いて回路配線を検査することができる。したがって、特殊な計測機器を使用する構成と比較して、検査に要するコストを低減することができる。
【００１７】
請求項４記載の回路配線検査方法および請求項８記載の回路配線検査装置によれば、電流検出抵抗を備えて構成された安価な信号出力検出部を用いることにより、カレントトランスなどで構成された比較的高価な信号出力検出部を用いる構成と比較して、検査に要するコストをさらに低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る回路配線検査方法および回路配線検査装置の最良の形態について説明する。
【００１９】
最初に、回路配線検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００２０】
回路配線検査装置１は、図１に示すように、検査信号出力手段としての電流発生器１０と、検査信号検出手段としての電圧測定器２０と、判定手段としてのＣＰＵ３０と、表示部４０とを備え、図２に示す構成の回路基板１００に形成されている回路配線１１０に対する断線・短絡の有無を検査し得るように構成されている。この場合、電流発生器１０は、電流発生源１１、信号出力検出部としての電流検出抵抗１２、および一対のプローブ１３，１４を備え、電流発生源１１で発生させている検査信号としての電流（交流電流、直流電流のいずれでもよい）Ｉを、電流検出抵抗１２を介して各プローブ１３，１４から出力可能に構成されている。また、電流発生器１０は、電流検出抵抗１２に電流Ｉが流れているときに検出信号Ｓ１を生成してＣＰＵ３０に出力する。電圧測定器２０は、一対のプローブ２１，２２を介して、各プローブ２１，２２が接触している部位間の電位差を測定し、測定した電位差Ｖ（実効値、平均値およびピーク値のいずれでもよく、以下、「電圧値Ｖ」ともいう）をＣＰＵ３０に出力する。ＣＰＵ３０は、電流発生器１０による検出信号Ｓ１の出力状況と、電圧測定器２０からの電圧値Ｖとに基づいて回路配線１１０についての検査処理を実行する。また、ＣＰＵ３０は、検査処理の結果を表示部４０に表示させる。表示部４０は、例えば、液晶パネルなどで構成されたディスプレイ装置や、プリンタ装置で構成されている。
【００２１】
次に、検査対象である回路配線１１０が形成されている回路基板１００について説明する。
【００２２】
回路基板１００は、図２に示すように、一例として両面基板で構成されて、回路配線１１０は、回路基板１００の表面および裏面に亘って形成されている。具体的には、回路配線１１０は、幹配線Ｍと、幹配線Ｍから枝状に引き出されている複数の枝配線とを含んで構成されている。また、各枝配線は、良品の回路基板１００では、幹配線Ｍのみを介して互いに電気的に接続されている。なお、同図では、説明の理解を容易にするために、隣接する２本の枝配線Ｐ１，Ｐ２と、これらが引き出されている幹配線Ｍの一部とを示している。
【００２３】
幹配線Ｍは、回路基板１００の表面（同図中の上面）に、表面全体がレジスト膜１０１（斜線を付した部分）で覆われた状態で形成されている。一方、各枝配線Ｐ１，Ｐ２は、図２に示すように、回路基板１００の表面から回路基板１００の内層および裏面（同図中の下面）に亘ってそれぞれ形成されている。この場合、各枝配線Ｐ１，Ｐ２における回路基板１００の内層に位置する部位は、内面が導電性金属でめっき処理されたスルーホールで形成されている。また、枝配線Ｐ１にはその一部を幅広に（ランド状に）形成することによって２つの端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙが設けられ、この２つの端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙのうちの一方の端点（本発明における幹配線側端点）Ｐ１ｘは、回路基板１００の表面側に形成されている枝配線Ｐ１における幹配線Ｍの近傍に設けられ、他方の端点（本発明における反幹配線側端点）Ｐ１ｙは、回路基板１００の裏面側に形成されている枝配線Ｐ１の先端に設けられている。同様にして、枝配線Ｐ２にもその一部を幅広に（ランド状に）形成することによって２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙが設けられ、この２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙのうちの一方の端点（本発明における幹配線側端点）Ｐ２ｘは、回路基板１００の表面側に形成されている枝配線Ｐ２における幹配線Ｍの近傍に設けられ、他方の端点（本発明における反幹配線側端点）Ｐ２ｙは、回路基板１００の裏面側に形成されている枝配線Ｐ２の先端に設けられている。また、各端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ，Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙは、レジスト膜１０１の非形成領域に設けられている。
【００２４】
続いて、回路配線検査装置１を使用して回路配線１１０の各枝配線Ｐ１，Ｐ２についての断線・短絡を検査する方法を、回路配線検査装置１の動作と併せて説明する。
【００２５】
まず、電流発生器１０の各プローブ１３，１４を、枝配線Ｐ１（本発明における第１の枝配線）の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２（本発明における第２の枝配線）の幹配線側端点Ｐ２ｘとにそれぞれ接触させる。また、電圧測定器２０の各プローブ２１，２２を、枝配線Ｐ２の反幹配線側端点Ｐ２ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとにそれぞれ接触させる。
【００２６】
次いで、回路配線検査装置１を作動させる。回路配線検査装置１の作動状態では、電流発生器１０が、各プローブ１３，１４を介して枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間に電流Ｉを出力する。また、電流発生器１０は、電流検出抵抗１２に電流Ｉが流れているか否かを常時検出すると共に、電流Ｉが流れているときに検出信号Ｓ１をＣＰＵ３０に出力する。また、電圧測定器２０は、各プローブ２１，２２を介して枝配線Ｐ２の２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間に発生する電位差Ｖを連続して測定すると共に、測定した端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間の電位差Ｖ（電圧値Ｖ）をＣＰＵ３０に出力する。また、ＣＰＵ３０は、電流発生器１０からの検出信号Ｓ１の出力の有無と、電圧測定器２０からの電圧値Ｖとに基づいて、回路配線１１０についての検査処理を実行する。
【００２７】
この状態において、枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間に断線が発生しておらず、かつ枝配線Ｐ１における２つの端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間の部位と枝配線Ｐ２における２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間の部位との間に短絡が発生していないときには、電流発生器１０から電流Ｉが回路配線１１０に出力（供給）される。この場合、この電流Ｉは、図１において実線で示すように、プローブ１３、枝配線Ｐ１の全体、幹配線Ｍ、枝配線Ｐ２における幹配線Ｍとの接続端部から幹配線側端点Ｐ２ｘまでの部位、およびプローブ１４を経由して電流発生器１０に至る経路Ａを流れることになる。このため、電流検出抵抗１２にも電流Ｉが流れる結果、電流発生器１０は、検出信号Ｓ１を生成してＣＰＵ３０に出力する。一方、経路Ａに含まれない枝配線Ｐ２における２つの各端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間には電流Ｉは流れず、かつ枝配線Ｐ２の２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間に断線が発生していないため、端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙの各電位が同電位となる結果、電圧測定器２０から出力される電圧値Ｖはゼロボルトになる。したがって、ＣＰＵ３０は、検査処理において、電流発生器１０から検出信号Ｓ１が出力されており、かつ電圧測定器２０から出力される電圧値Ｖがゼロボルトのときには、枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間、および枝配線Ｐ２の２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間に断線が発生しておらず、かつ枝配線Ｐ１の２つの端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間と枝配線Ｐ２の２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間とが短絡していないと判別する。
【００２８】
これに対して、枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間のいずれかの部位で断線しているときには、プローブ１３側がオープン状態になるため、電流Ｉは経路Ａには流れない。この結果、電流Ｉが電流検出抵抗１２にも流れないため、電流発生器１０は、検出信号Ｓ１を生成しない。したがって、ＣＰＵ３０は、検査処理において、電流発生器１０から検出信号Ｓ１が出力されていないときには、枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間のいずれかの部位で断線が発生していると判別する。
【００２９】
他方、枝配線Ｐ２が２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間で断線しているときには、電圧測定器２０の各プローブ２１，２２間がオープン状態になるため、電圧測定器２０から出力される電圧値Ｖは不定な値を示す。したがって、ＣＰＵ３０は、検査処理において、入力した電圧値Ｖが不定な値のときには、枝配線Ｐ２の２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間に断線が発生していると判別する。
【００３０】
また、枝配線Ｐ１における２つの端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間の部位と、枝配線Ｐ２における２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間の部位との間が、図１において一点鎖線で示す不良配線Ｐｅによって短絡されているときには、電流発生器１０から出力されている電流Ｉは、図１において破線で示すように、プローブ１３、枝配線Ｐ１における反幹配線側端点Ｐ１ｙから不良配線Ｐｅとの接点までの部位、不良配線Ｐｅ、枝配線Ｐ２における不良配線Ｐｅとの接点から幹配線側端点Ｐ２ｘまでの部位、およびプローブ１４を経由して電流発生器１０に至る経路Ｂを流れる。このため、電流検出抵抗１２に電流Ｉが流れる結果、電流発生器１０は、検出信号Ｓ１を生成してＣＰＵ３０に出力する。一方、枝配線Ｐ２では、その不良配線Ｐｅとの接点Ｃと幹配線側端点Ｐ２ｘとの間に電流Ｉが流れる。このため、枝配線Ｐ２における不良配線Ｐｅとの接点Ｃと、枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間に電位差Ｖが発生する。この結果、電圧測定器２０から出力される電圧値Ｖは、枝配線Ｐ２における不良配線Ｐｅとの接点Ｃと幹配線側端点Ｐ２ｘとの間の抵抗値と電流Ｉとによって決まるゼロボルトではない所定値になる（つまり、本発明でいうところの検査信号（電流Ｉ）が電圧測定器２０で検出された状態になる）。したがって、ＣＰＵ３０は、検査処理において、電流発生器１０から検出信号Ｓ１が出力されており、かつ電圧測定器２０から出力される電圧値Ｖがゼロボルトではない所定値のときには、枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間、および枝配線Ｐ２の２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間に共に断線が発生しておらず、かつ枝配線Ｐ１の２つの端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間と枝配線Ｐ２の２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間との間に短絡が発生していると判別する。
【００３１】
以上のようにして、互いに隣接する各枝配線Ｐ１，Ｐ２に対する断線・短絡の検査処理を実行した後、ＣＰＵ３０は、検査処理における判別結果を表示部４０に表示させる。これにより、回路配線検査装置１による各枝配線Ｐ１，Ｐ２に対する断線・短絡の検査が完了する。引き続き、枝配線Ｐ２と、この枝配線Ｐ２に隣接する他の枝配線Ｐ３とに対して、上記した各枝配線Ｐ１，Ｐ２に対する断線・短絡の検査方法を適用して、断線・短絡の検査を実行する。次いで、この作業を幹配線Ｍから引き出されたすべての枝配線に対して実行する。
【００３２】
このように、この回路配線検査方法および回路配線検査装置１によれば、電流発生器１０を枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間に接続して電流Ｉを出力させると共に、電圧測定器２０を枝配線Ｐ２の２つの端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間に接続することにより、この状態において、電流Ｉが電圧測定器２０で検出されないときには枝配線Ｐ１の反幹配線側端点Ｐ１ｙと枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘとの間が断線していると判定でき、電流Ｉが電圧測定器２０で検出されたときには枝配線Ｐ１の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間と枝配線Ｐ２の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間との間が短絡していると判定することができる。このため、各枝配線の各端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることなく、高い精度で、しかも従来の検査方法とは異なり、幹配線Ｍへのプロービングを行うことなく、回路配線１１０を検査することができる。したがって、回路配線１１０における幹配線Ｍの表面全体がレジスト膜１０１で覆われていたとしても、隣接する２つの枝配線（上記の例では枝配線Ｐ１，Ｐ２など）に対する断線・短絡を含む回路配線１１０に対する断線・短絡の検査を十分に高い精度で実施することができる。
【００３３】
また、この回路配線検査方法および回路配線検査装置１によれば、一般的な計測機器である電流発生器１０および電圧測定器２０を使用して回路配線１１０を検査することにより、特殊な計測機器を使用する構成と比較して、検査に要するコストを低減することができる。また、電流発生器１０において安価な電流検出抵抗１２を使用して電流Ｉの出力の有無を検出することにより、カレントトランスなどを使用する構成と比較して、検査に要するコストをさらに低減することができる。一方、本発明は、信号出力検出部として電流検出抵抗１２だけでなく、カレントトランスなどを適宜使用することができるのは勿論である。
【００３４】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、電流発生器１０のプローブ１４と電圧測定器２０のプローブ２２とを共に枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘに接触させる構成について説明したが、これらのプローブ１４，２２を枝配線Ｐ１の幹配線側端点Ｐ１ｘや幹配線Ｍに接触させる構成を採用することもできる。一方、プローブ１４，２２を枝配線Ｐ１の幹配線側端点Ｐ１ｘや幹配線Ｍに接触させる構成では、枝配線Ｐ１および枝配線Ｐ２間に不良配線Ｐｅが形成されたときに電流Ｉが流れる経路が、上記した経路Ｂと比較して長くなるため、経路全体の抵抗値が上昇する。この結果、枝配線Ｐ２における不良配線Ｐｅとの接点Ｃと幹配線側端点Ｐ２ｘとの間において、プローブ１４，２２を枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘに接触させる構成のときと同じ電位差を発生させるためには、経路全体の抵抗値が上昇する分だけ、電流発生器１０として電流供給能力の高い電流発生器を使用する必要があり、コストアップになるおそれが生じる。このため、プローブ１４，２２を枝配線Ｐ２の幹配線側端点Ｐ２ｘに接触させる構成を採用するのが好ましい。
【００３５】
また、検査信号出力手段として電流発生器１０を用いた構成について説明したが、電圧発生器を検査信号出力手段として用いることもできる。この構成においても、信号出力検出部として電流検出抵抗１２を使用することができる。また、図２に示すように、回路基板１００の両面に亘って各枝配線Ｐ１，Ｐ２が形成されている回路配線１１０を検査対象とする例について上記したが、片面だけに各枝配線が形成されている回路配線を検査対象とすることができるのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】回路配線検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】回路配線１１０の構成を説明するために、模式的に示した回路基板１００の斜視図である。
【図３】従来の回路配線検査方法を説明するための構成図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  回路配線検査装置
１０  電流発生器
１２  電流検出抵抗
２０  電圧測定器
３０  ＣＰＵ
１００  回路基板
１１０  回路配線
Ｉ  電流
Ｍ  幹配線
Ｐ１，Ｐ２  枝配線
Ｐ１ｘ，Ｐ２ｘ  幹配線側端点
Ｐ１ｙ，Ｐ２ｙ  反幹配線側端点
【図１】
2006234401.tif 000003
【図２】
2006234401.tif 000004
【図３】
2006234401.tif 000005