(57)【要約】【課題】被検レンズの面形状に関わりなく常に高精度なレンズホルダの位置調整方法等を提供すること。【解決手段】被検レンズを保持するレンズホルダの調整方法であって、第１の光学面１０１ａの球心Ｏａ及び第２の光学面１０１ｂの球心Ｏｂが、第２の光学面１０１ｂを挟んで、第１の光学面１０１ａと対向するように、第１の光学面１０１ａと第２の光学面１０１ｂを配置し、２つの球心Ｏａ、Ｏｂがレンズホルダ１０２側に位置するように、レンズホルダ１０２に第２の光学面１０１ｂを当接させ、第１の光学面１０１ａ側から光を照射して、第１の光学面１０１ａからの反射光を受光し、該受光した光に基づいて、第１の光学面１０１ａの変位を検出し、第１の光学面１０１ａの変位に基づいて、レンズホルダ１０２の位置を調整することを特徴とする。【選択図】        図７
2006284411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検レンズを保持するレンズホルダの調整方法であって、
第１の光学面の球心及び第２の光学面の球心が、前記第２の光学面を挟んで、前記第１の光学面と対向するように、前記第１の光学面と前記第２の光学面を配置し、
前記２つの球心が前記レンズホルダ側に位置するように、前記レンズホルダに前記第２の光学面を当接させ、
前記第１の光学面側から光を照射して、前記第１の光学面からの反射光を受光し、
該受光した光に基づいて、前記第１の光学面の変位を検出し、
前記第１の光学面の変位に基づいて、前記レンズホルダの位置を調整することを特徴とするレンズホルダの調整方法。
【請求項２】
前記第１の球心と前記第２の球心の位置と一致させた状態で、前記反射光の受光を行なうことを特徴とする請求項１に記載のレンズホルダの調整方法。
【請求項３】
前記第１の球心と前記第２の球心の位置を異ならせた状態で、前記反射光の受光を行なうことを特徴とする請求項２に記載のレンズホルダの調整方法。
【請求項４】
前記第１の球心は、前記第２の球心の位置に対して、所定の離間方向に、所定の離間量だけ離れており、前記離間方向と前記離間量とは、他の手段により予め測定されていることを特徴とする請求項３に記載のレンズホルダの調整方法。
【請求項５】
前記第１の球心は、前記第２の球心の位置に対して、所定の離間方向に、所定の離間量だけ離れており、前記離間方向と前記離間量とを測定する離間量測定ステップをさらに有することを特徴とする請求項３に記載のレンズホルダの調整方法。
【請求項６】
前記離間方向と前記離間量を用いて、前記レンズホルダの位置を調整することを特徴とする請求項４または請求項５に記載のレンズホルダの調整方法。
【請求項７】
被検レンズを保持するレンズホルダを位置決めするための位置調整用治具であって、
第１の球心を有する球面形状の第１の光学面と、
第２の球心を有する球面形状の第２の光学面とを有し、
前記第２の光学面は前記第１の球心と前記第１の光学面との間に設けられ、
前記第２の球心は前記第１の球心と同じ側の空間に設けられていることを特徴とする位置調整用治具。
【請求項８】
前記第１の球心の位置と前記第２の球心の位置とは一致することを特徴とする請求項７に記載の位置調整用治具。
【請求項９】
前記第１の球心の位置と前記第２の球心の位置とは異なることを特徴とする請求項７に記載の位置調整用治具。
【請求項１０】
被検レンズの偏心量と偏心方向とを測定する偏心測定装置であって、
前記被検レンズを保持するレンズホルダと、
前記レンズホルダを所定軸の周りに回転させる回転駆動部と、
前記被検レンズに対して光を照射する光源を備え、前記被検レンズの被検面からの反射光により形成されるスポットの軌跡を検出するスポット軌跡検出部と、
前記スポット軌跡検出部の検出結果に基づいて、前記被検レンズの偏心量と偏心方向とを演算する演算部と、
請求項７〜９のいずれか一項に記載の位置調整用治具を用いて、前記レンズホルダの調整を行なう調整機構と、
を備えることを特徴とする偏心測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検レンズを保持するレンズホルダのための位置調整治具と、この治具を用いる偏心測定装置、及びこの治具を用いるレンズホルダの調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レンズの偏心量を測定するための偏心測定装置の構成は、例えば特許文献１に提案されている。図８、図９は、それぞれ特許文献１に開示されている偏心測定装置の構成を示す。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２８８０４１号公報
【０００４】
図８は、偏心測定装置のチルト調整の機構を示す図である。図８において、スピンドル８０６は、回転軸８０６ａの周りにレンズホルダ８０２を回転させる。レンズホルダ８０２は、丸アリ８０３を介してあおり板８０６上に形成されている。あおり板８０５は、圧縮ばね８０７で付勢されている。あおり摘み８０４を操作することで、あおり板８０５の矢印方向で示すｙ−ｚ面内のチルト方向の調整ができる。なお、図示していない他のあおり摘み８０４により、あおり板８０５のｘ−ｚ面内のチルト方向を調整できる。また、図９は、偏心測定装置のシフト調整の機構を示す。圧縮ばね８０８は、シフト摘み８０９に対向する位置に形成されている。そして、シフト摘み８０９を回転することで、レンズホルダ８０２をｙ方向へ移動できる。また、図示しない他のシフト摘み８０９により、レンズホルダ８０２をｘ方向へ移動できる。
【０００５】
さらに、図８、図９を参照して、レンズホルダ８０２の調整手順について説明する。初めにチルト調整について説明する。図８に示すように、レンズホルダ８０２上に平行平面板ＰＰを載置する。偏心測定部８０１は、平行光Ｌ１を平行平面板ＰＰに照射する。平行平面板ＰＰで反射された平行光は、偏心測定部８０１内の光位置検出素子（不図示）の受光面上に集光する。次に、スピンドル８０６を回転軸８０６ａの周りに回転駆動させる。この状態において、２個のあおり摘み８０４を操作して、あおり板８０５をボールジョイント８０８を支点とした傾き調整を行なう。そして、偏心測定部８０１内の光位置検出素子により検出される点像の位置が一定、即ち点像の位置が動かなくなるようにチルト調整する。チルト調整により、レンズホルダ８０２の被検レンズを保持する部分がスピンドル８０６の回転軸８０６ａに対して直交する状態となる。
【０００６】
次に、図９に示すように、レンズホルダ８０２上から平行平面板ＰＰを外し、その代りに基準球面を形成する基準球９００を載置する。このとき、基準球９００の球心９００ａは、理論的にレンズホルダ８０２の中心軸８０２ａ上に存在する。次に、スピンドル８０６を回転軸８０６ａの周りに回転駆動させる。偏心測定部８０１は、球心９００ａに集光する集光光Ｌ２を照射する。この状態において、２個のシフト摘み８０９を操作して、丸アリ８０３の水平方向（Ｘ方向とＹ方向）の位置を調整する。そして、偏心測定部８０１内の光位置検出素子により検出される点像の位置が一定、即ち点像の位置が動かなくなるようにシフト調整する。これにより、レンズホルダ８０２の中心軸８０２ａと、スピンドル８０６の回転軸８０６ａとが一致する。
【０００７】
チルト調整とシフト調整とが終了した状態で、被検レンズをレンズホルダ８０２により保持する。この状態では、被検レンズのレンズホルダ８０２側のレンズ面の球心は、理論的に常にスピンドル８０６の回転軸８０６ａ上に設定される。次に、スピンドル８０６を回転駆動して、被検レンズのレンズホルダ８０２側とは反対側のレンズ面の偏心量を偏心測定部８０１の光位置検出素子上に結像された点像の移動量から求める。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のように、従来は、基準球を用いてレンズホルダのシフト調整を行っている。レンズホルダは、内径と外径とを有する円筒形状である。このため、被検レンズの下面（レンズホルダ側の面）が下に凸であるとき、下面と接触するレンズホルダ上端面は、内径の部分である。基準球を用いたシフト調整後では、被検レンズの下面と接触するレンズホルダ上端面の内径の中心位置と、スピンドルの回転軸とが一致している。
【０００９】
これに対して、被検レンズの下面が下に凹であるとき、下面と接触するレンズホルダ上端面は外径の部分となる。ここで、要求される偏心測定精度がサブミクロンの場合には、レンズホルダ上端面の内径と外径の中心同士をサブミクロンで一致するように加工する必要がある。
【００１０】
しかしながら、レンズホルダの外径の中心と内径の中心とが一致するように同軸加工しても、加工精度には限界がある。このため、レンズホルダ上端面の内径と外径の中心同士をサブミクロンで一致するように加工するのは、非常に困難である。これにより、凹面を有している被検レンズを、その凹面をレンズホルダ側に向けて設置するときには、スピンドルの回転軸と凹面の球心の位置とが異なってしまう。この結果、被検レンズの偏心測定精度が低下してしまうため問題である。
【００１１】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、レンズホルダと接触する被検レンズの面形状に関わりなく常に高精度にレンズホルダの位置調整を行うことができるレンズホルダの調整方法、位置調整用治具、及びこれらを用いた偏心測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、第１の本発明によれば、被検レンズを保持するレンズホルダの調整方法であって、第１の光学面の球心及び第２の光学面の球心が、第２の光学面を挟んで、第１の光学面と対向するように、第１の光学面と第２の光学面を配置し、２つの球心がレンズホルダ側に位置するように、レンズホルダに第２の光学面を当接させ、第１の光学面側から光を照射して、第１の光学面からの反射光を受光し、該受光した光に基づいて、第１の光学面の変位を検出し、第１の光学面の変位に基づいて、レンズホルダの位置を調整することを特徴とするレンズホルダの調整方法を提供できる。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の球心と第２の球心の位置と一致させた状態で、反射光の受光を行なうことが望ましい。
【００１４】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の球心と第２の球心の位置を異ならせた状態で、反射光の受光を行なうことが望ましい。
【００１５】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の球心は、第２の球心の位置に対して、所定の離間方向に、所定の離間量だけ離れており、離間方向と離間量とは、他の手段により予め測定されていることが望ましい。
【００１６】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の球心は、第２の球心の位置に対して、所定の離間方向に、所定の離間量だけ離れており、離間方向と離間量とを測定する離間量測定ステップをさらに有することが望ましい。また、本発明の好ましい態様によれば、離間方向と離間量を用いて、レンズホルダの位置を調整することが望ましい。
【００１７】
また、第２の本発明によれば、被検レンズを保持するレンズホルダを位置決めするための位置調整用治具であって、第１の球心を有する球面形状の第１の光学面と、第２の球心を有する球面形状の第２の光学面とを有し、第２の光学面は第１の球心と第１の光学面との間に設けられ、第２の球心は第１の球心と同じ側の空間に設けられていることを特徴とする位置調整用治具。
【００１８】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の球心の位置と第２の球心の位置とは一致することが望ましい。
【００１９】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の球心の位置と第２の球心の位置とは異なることが望ましい。
【００２０】
また、第３の本発明によれば、被検レンズの偏心量と偏心方向とを測定する偏心測定装置であって、被検レンズを保持するレンズホルダと、レンズホルダを所定軸の周りに回転させる回転駆動部と、被検レンズに対して光を照射する光源を備え、被検レンズの被検面からの反射光により形成されるスポットの軌跡を検出するスポット軌跡検出部と、スポット軌跡検出部の検出結果に基づいて、被検レンズの偏心量と偏心方向とを演算する演算部と、位置調整用治具を用いて、レンズホルダの調整を行なう調整機構と、を備えることを特徴とする偏心測定装置を提供できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るレンズホルダ位置調整方法は、位置調整用治具を用いて被検レンズを保持するレンズホルダの位置を調整する方法である。位置調整用治具は、第１の球心を有する球面形状の第１の光学面と、第２の球心を有する球面形状の第２の光学面とを備え、第２の光学面は第１の球心と第１の光学面との間に設けられ、第２の球心は第１の球心と同じ側の空間に設けられている。例えば、位置調整用治具は、メニスカス形状を有している。そして、第１の光学面の球心及び第２の光学面の球心が、第２の光学面を挟んで、第１の光学面と対向するように、第１の光学面と第２の光学面を配置する。レンズホルダに位置調整用治具の第２の光学面が当接するように保持する。位置調整用治具の第２の光学面が、レンズホルダに対して凹面であるとき、第２の光学面と接触するレンズホルダ上端面は外径の部分となる。そして、第１の光学面側から光を照射する。レンズホルダに保持されている位置調整用治具の第１の光学面からの反射光に基づいて第１の光学面の変位を検出する。第１の光学面の変位に基づいてレンズホルダの位置を調整する。ここで、第１の光学面の第１の球心の位置と、第２の光学面の第２の球心の位置とが既知であるときを考える。これにより、少なくとも第１の光学面からの反射光に基づいて、レンズホルダの外径に当接している第２の光学面を所望の位置状態に調整できる。このため、レンズホルダの外径の中心軸と所定軸とを一致させることができる。この結果、凹面を有している被検レンズを、その凹面をレンズホルダ側に向けて設置するとき、例えばスピンドルの回転軸とレンズホルダの外径の中心の位置とを一致させることができる。また、スピンドルの回転軸とレンズホルダの内径の中心の位置とを一致させることもできる。このように、本発明によれば、レンズホルダと接触する被検レンズの面形状に関わりなく、簡単な構成の治具により、常に高精度にレンズホルダの位置調整を行うことができる。従って、高精度に被検レンズの偏心測定が行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明に係るレンズホルダの調整方法、位置調整用治具、及び偏心測定装置の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例により、この発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００２３】
図１−１は、本発明の実施例１に係る偏心測定装置１００の概略構成を示す図である。レンズ偏心測定機１００は、レンズホルダ１０２と、反射心測定部１１０と、位置調整部１３０と、回転駆動部１４０とを有している。また、演算・制御部１５０は、反射心測定部１１０と回転駆動部１４０とに接続されている。レンズホルダ位置設定用治具１０１は、レンズホルダ１０２のシフト（位置）調整を行うために用いる。
【００２４】
図２は、レンズホルダ位置設定用治具１０１の構成を示す図である。球面形状の第一球面１０１ａは、球心Ｏａを有する。また、球面形状の第二球面１０１ｂは、球心Ｏｂを有する。第二球面１０１ｂは、球心Ｏａと第一球面１０１ａとの間に設けられている。そして、球心Ｏｂは、球心Ｏａと同じ側の空間に設けられている。ここで、球心Ｏａの位置と球心Ｏｂの位置とは一致するように構成されている。レンズホルダ位置設定用治具１０１は、位置調整用治具に対応する。第一球面１０１ａは、第１の球面に対応する。そして、第二球面１０１ｂは、第２の球面に対応する。レンズホルダ位置設定用治具１０１は、光学的に透明なガラス材料で構成されている。なお、後述するように、材質は透明なガラス材料に限定されない。
【００２５】
図１−１に戻って説明を続ける。被検レンズの偏心を測定するとき、レンズホルダ１０２は被検レンズを保持する。図１−１に示すように、レンズホルダ１０２は、円筒形状を有する。レンズホルダ１０２の被検レンズを保持する上側の端面（平面部）は輪帯形状である。輪帯形状は、外周面と内周面とから成る。そして、レンズホルダ１０２の上側の端面は、レンズホルダ１０２の中心軸１０２ａに対して略直交するようにチルト（傾き）調整されて構成されている。
【００２６】
レンズホルダ１０２は、内側接触部１０２ｂと外側接触部１０２ｃとを有している。内側接触部１０２ｂは、上側端面と内周面との境界である円形のエッジから構成される。また、外側接触部１０２ｃは、上側端面と外周面との境界である円形のエッジから構成されている。内側接触部１０２ｂの中心と外側接触部１０２ｃの中心とは、それぞれレンズホルダ１０２の中心軸１０２ａと一致するように加工されている。
【００２７】
さらに、中心軸１０２ａと回転駆動部１４０の回転軸１４２とを一致させる。これにより、レンズホルダ１０２の内側接触部１０２ｂと外側接触部１０２ｃとは、回転軸１４２に対して同軸となる。この状態において、被検レンズをレンズホルダ１０２に載置すると、被検レンズのレンズホルダ１０２に直接接触する被検面の偏心量は、理論的にはゼロとなる。
【００２８】
レンズホルダ１０２に接触する被検面が非球面の場合には、被検面の面精度や被検レンズの姿勢により、必ずしも偏心量はゼロにはならないが、数ミクロン程度の小さな値となる。中心軸１０２ａと回転軸１４２とのずれ量が数十ミクロンの場合には、被検レンズのレンズホルダ１０２に直接接触する被検面の偏心量は、数十ミクロン程度またはその数値よりも大きくなる。このように、レンズホルダ１０２の中心軸１０２ａと回転駆動部１４０の回転軸１４２とを一致させることは、偏心測定にとっては非常に重要である。このため、中心軸１０２ａの位置と回転軸１４２の位置とが異なると、精度の高い偏心測定は困難となってしまう。
【００２９】
上述のように、レンズホルダ１０２の内側接触部１０２ｂの中心と外側接触部１０２ｃの中心とは、それぞれ中心軸１０２ａと一致するように加工することが望ましい。しかしながら、加工精度には限界があり、完全に一致することは困難である。
【００３０】
内側接触部１０２ｂの中心と外側接触部１０２ｃの中心とが一致しない（異なる）とき、被検レンズのレンズホルダ１０２に直接接触する面が凸面である場合には、内側接触部１０２ｂの中心を回転駆動部１４０の回転軸１４２に一致させる。これにより、被検レンズのレンズホルダ１０２に直接接触する面の球心と回転軸１４２とが一致または概略一致する。この結果、高精度な偏心測定が可能となる。
【００３１】
また、内側接触部１０２ｂの中心と外側接触部１０２ｃの中心とが一致しない（異なる）とき、被検レンズのレンズホルダ１０２に直接接触する面が凹面である場合には、外側接触部１０２ｃの中心を回転駆動部１４０の回転軸１４２に一致させる。これにより、被検レンズのレンズホルダ１０２に直接接触する面の球心と回転軸１４２とが一致または概略一致する。この結果、高精度な偏心測定が可能となる。
【００３２】
そこで、本実施例の位置調整用治具１０１を用いることで、レンズホルダ１０２に直接接触する面が凹面であっても凸面であっても、内側接触部１０２ｂの中心と外側接触部１０２ｃの中心とが一致しない状態において、高精度な偏心測定が可能となる。
【００３３】
また、複数の偏心測定機をレンズ生産現場に導入するとき、複数のレンズホルダ１０２を製作する必要がある。レンズホルダ１０２の加工精度は、加工者の加工能力や加工機の加工精度によってばらつきが生じてしまう。さらに、同一の加工者、加工機で製作したとしても、毎回数ミクロンやサブミクロンオーダーで同一の加工精度を保証するのは困難である。このように、レンズホルダ１０２の加工精度にばらつきが存在するときでも、本実施例の位置調整用治具１０１を用いることで、内側接触部１０２ｂの中心または外側接触部１０２ｃの中心を、回転軸１４２に高精度に一致させることが可能となる。なお、本実施例の位置調整用治具１０１については、後述する。
【００３４】
次に、反射心測定部１１０の構成を説明する。光源１１１は、レンズホルダ１０２へ照射する光を供給する。光源１１１として、例えば半導体レーザ、白色光源を用いることができる。光源１１１からの光は、コリメータレンズ１１２に入射する。コリメータレンズ１１２は、入射した光を略平行光に変換して射出する。略平行光に変換された光は偏光ビームスプリッタ１１３に入射する。偏光ビームスプリッタ１１３は、特定の振動方向の偏光光を透過し、特定の振動方向に直交する振動方向の偏光光を反射する。偏光ビームスプリッタ１１３は、例えばｐ偏光光を透過し、ｓ偏光光を反射する。偏光ビームスプリッタ１１３を透過したｐ偏光光は、１／４波長板１１４に入射する。１／４波長板１１４を透過した偏光光は、対物光学系１１５に入射する。また、反射心測定部１１０の光軸を、光軸１１ｃとして示す。
【００３５】
ここで、対物光学系１１５には、平行光束が入射するものとする。この場合、対物光学系１１５は、入射光を焦点位置に集光する。対物光学系１１５は、焦点距離が、使用目的または被検レンズの曲率半径に応じて調整可能に構成されている。例えば、対物光学系１１５は、異なる焦点距離を有する他の対物光学系（不図示）と交換可能に構成されている。これにより、対物光学系１１５を適宜交換することで、光を所定の焦点位置へ集光できる。また、対物光学系１１５を変倍（ズーム）可能に構成しても良い。これによっても、光を所定の焦点位置へ集光できる。さらに、対物光学系１１５の変倍の際、後述するように、焦点位置が無限遠、即ち平行光を射出することができるように構成しておくことが望ましい。
【００３６】
被検レンズの偏心を測定する場合には、被検レンズの第１の被検面の球心位置と、対物光学系１１５の焦点位置とを一致させるように、対物光学系１１５の位置を調整する。対物光学系１１５からの集光光は、被検レンズの第１面により反射される。被検レンズは、レンズホルダ１０２に保持されている。
【００３７】
第１の被検面で反射された光は、再度、対物光学系１１５に入射する。対物光学系１１５を往路とは逆方向に進行した光は、１／４波長板１１４を透過する。往路と復路とで１／４波長板１１４を２回透過する。これにより、例えばｐ偏光光はｓ偏光光へ変換される。変換されたｓ偏光光は、偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射される。偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射された光は、レンズ系１１６、１１７を透過して光位置検出素子１１８の受光面上に集光される。
【００３８】
光位置検出素子１１８として、例えば２次元ＣＣＤ等を用いることができる。光位置検出素子１１８は、光検出部に対応する。また、光が進行する方向に沿って、光源１１１から対物光学系１１５までに至る光学系は、光照射部に対応する。さらに、被検レンズからの反射光に沿って、対物光学系１１５から光位置検出素子１１８までに至る光学系は、光検出部に対応する。従って、偏光ビームスプリッタ１１３と対物光学系１１５とは、それぞれ光照射部の機能と光検出部の機能とを兼用する。
【００３９】
次に、位置調整部１３０、回転駆動部１４０について説明する。位置調整部１３０は、可動ステージ１３１及び１３２を備えている。可動ステージ１３１は、シフト（位置）調整が可能に構成されている。可動ステージ１３２は、チルト（傾き）調整が可能に構成されている。
【００４０】
可動ステージ１３１と可動ステージ１３２との上側、下側の組合せは上下が逆の構成でも良い。可動ステージ１３１と可動ステージ１３２は、相互に独立して位置調整が可能である。ここで、可動ステージ１３１によりシフト（位置）調整を行うとき、チルト（傾き）の姿勢は変化しない。これに対して、可動ステージ１３２によりチルト（傾き）調整を行うとき、可動ステージ１３２は傾きの中心点（不図示）を中心として傾斜する。このため、可動ステージ１３２は、シフト方向の移動成分が発生してしまう。従って、レンズホルダ１０２の位置調整を行うときは、初めにレンズホルダ１０２の端面が回転軸１４２と略直交にするようにチルト調整を行う。そして、その後にシフト調整を行う。
【００４１】
回転駆動部１４０は、エアスピンドル１４１とモータ１４３とエンコーダ１４４から構成されている。エアスピンドル１４１は、回転軸１４２を中心に回転する。偏心測定の場合には、回転軸１４２が基準軸となる。モータ１４３は、エアスピンドル１４１を回転させる。エンコーダ１４４は、エアスピンドル１４１の回転角度を測定する。エンコーダ１４４により読み取ったエアスピンドル１４１の回転角は、演算・制御部１５０に入力される。
【００４２】
反射心測定部１１０の光源１１１とコリメータレンズ１１２と対物光学系１１５とは、回転駆動部１４０の回転軸１４２と同軸になるように配置されている。回転駆動部１４０は、位置調整部１３０全体を回転軸１４２の周りに回転させる。
【００４３】
演算・制御部１５０は、光位置検出素子１１８とエンコーダ１１４からの検出信号に基づいて、レンズホルダ１０２の回転軸１４２に対するシフト（位置）やチルト（傾き）を算出する。同様に、レンズの偏心測定時においては、光位置検出素子１１８とエンコーダ１１４からの検出信号に基づいて、被検レンズのシフトやチルトを算出する。また、演算・制御部１５０は、モータ１４３を制御する。表示部１５１は、光位置検出素子１１８の受光結果や、算出された偏心量等を表示する。
【００４４】
次に、レンズホルダ位置設定用治具１０１を用いた位置設定方法について説明する。上述したように、本実施例では、レンズホルダ１０２の内側接触部１０２ｂの中心、または外側接触部１０２ｃの中心と、回転軸１４２とを高精度に一致させることが可能となる。本実施例において、レンズホルダ位置設定用治具１０１の球心Ｏａの位置と球心Ｏｂの位置とは、一致している。
【００４５】
図４は、本実施例におけるレンズホルダの調整方法の大まかな手順を示すフローチャートである。ステップＳ４０１において、レンズホルダ１０２のチルト調整を行う。次に、ステップＳ４０２において、レンズホルダ１０２にレンズホルダ位置設定用治具１０１を保持する。ステップＳ４０３において、第一面１０１ａからの反射光に基づいて、点像の変位を検出する。ステップＳ４０４において、点像の情報に基づいてレンズホルダ１０２のシフト調整を行う。各工程の詳細は、以下に説明する
【００４６】
（チルト調整工程）
図１−２は、チルト調整時のレンズホルダ１０２近傍の構成を示す図である。レンズホルダ１０２を可動ステージ１３０に固定しチルト調整を行う。まず、反射心測定部１１０の対物光学系１１５の焦点距離を無限遠に調整する（対物光学系１１５は、アフォーカル光学系になる）。これにより、反射心測定部１１０からレンズホルダ１０２へ平行光Ｌ４が照射される。レンズホルダ１０２の上端面により反射した平行光は（以下、適宜「測定光」という。）は、再度、反射心測定部１１０へ入射する。なお、図１−２では、レンズホルダ１０２の上端面の全体に平行光Ｌ４が照射されている。チルト調整では、これに限られず、レンズホルダ１０２の上端面の一部にビーム状の平行光Ｌ４が照射されるように構成しても良い。このとき、アフォーカル光学系である対物光学系１１５は、反射心測定部１１０からの光を、細いビーム状に絞る。次に、可動ステージ１３１により、レンズホルダ１０２を移動する。これにより、レンズホルダ１０２の上端面を光軸１１０ｃ上に移動する。そして、ビーム状の平行光Ｌ４を、レンズホルダ１０２の上端面の一部に照射する。この結果、光源１１１からの光を効率良く用いてチルト調整できる。
【００４７】
対物光学系１１５と１／４波長板１１４を透過した測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３に入射する。上述したように、測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射される。次に反射された測定光は、光位置検出素子１１８に向かって進行する。そして、測定光は、レンズ系１１６、１１７により、光位置検出素子１１８の受光面上に点像として集光される（点像受光ステップ）。光位置検出素子１１８は、点像として集光された測定光を画像信号に変換する。変換された画像信号は、演算・制御部１５０へ出力される。表示部１５１は、光位置検出素子１１８が受光した点像の状態を表示する。
【００４８】
回転駆動部１４０の回転軸１４２に対してレンズホルダ１０２のチルトが無い状態を考える。チルトが無い状態とは、レンズホルダ１０２の上端面と、エアスピンドル１４１の回転軸１４２に対して略直交する平面とが一致する状態（平行な状態）をいう。チルトが無い状態では、レンズホルダ１０２の上端面から偏光ビームスプリッタ１１３間において、測定光１１０ｂは、照射光１１０ａの光路と同じ光路を逆に戻っていく。ここで、光源１１１から対物光学系１１５までの光学系の光軸１１０ｃと、エアスピンドル１４１の回転軸１４２とは同軸となるように構成されている。
【００４９】
この状態で、回転駆動部１４０により、位置調整部１３０を回転軸１４２の周りに回転させる。これにより、レンズホルダ１０２も、回転軸１４２を中心として回転する。レンズホルダ１０２の回転中、光軸１１０ｃに対するレンズホルダ上端面の法線の向きは常に一定であり、変化しない。このため、光位置検出素子１１８において、測定光１１０ｂの集光位置も一定である。この結果、表示部１５１に表示されている測定光の点像の位置は動かない。
【００５０】
これに対して、回転駆動部１４０の回転軸１４２に対してレンズホルダ１０２にチルトが存在する状態を考える。チルトが存在する状態とは、レンズホルダ上端面と、回転駆動部１４０の回転軸１４２に対して略直交する平面とが不一致である状態（平行でない状態）をいう。チルトが存在する状態では、光軸１１０ｃに対するレンズホルダ上端面の法線向きは、光軸１１０ｃと非平行になる。
【００５１】
よって、レンズホルダ１０２の回転中、任意の一点において、レンズホルダ上端面の法線の向きは、常時変化する。この場合、レンズホルダ上端面で反射された測定光１１０ｂが戻る光路は、チルト量に応じて照明光１１０ａの光路と異なってくる。このため、測定光１１０ｂの中心光線と回転軸１４２とは、同軸とならない。この結果、表示部１５１に表示されている測定光の点像の位置は、円弧状の軌跡を描く。測定者は、光位置検出素子１１８の受光面において、点像の円弧状の軌跡の半径が極力小さくなるように、好ましくは略ゼロとなるようにチルト調整用可動ステージ１３２を調整する。このように、調整ステップでは、レンズホルダ１０２を回転させている状態において、検出される点像の位置が略一定となるように、レンズホルダ１０２の傾きをチルト調整用の可動ステージ１３２により調整する。
【００５２】
ここで、演算ステップにおいて、演算・制御部１５０は、光位置検出素子１１８の検出結果に基づいて、レンズホルダ上端面の変位（チルトの方向）を算出しても良い。そして、測定者は、算出結果に基づいて、点像の円弧状の軌跡の半径が略ゼロとなるようにチルト調整用の可動ステージ１３２により調整を行う。
【００５３】
（シフト調整）
チルト調整の後にシフト調整を行う。シフト調整には、レンズホルダ位置設定用治具１０１を用いる。前述のように、レンズホルダ位置設定用治具１０１は、第一面１０１ａと第二面１０１ｂを有する。
【００５４】
ここでは、被検レンズのレンズホルダと直接接触する面が、下側（レンズホルダ側）に凹面のときについて説明する。このときは、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第二面１０１ｂを下側にして、レンズホルダ１０２上に載置する。この状態では、図３−１に示すように、第二面１０１ｂがレンズホルダ１０２の外側接触部１０２ｃに接触する。
【００５５】
反射心測定部１１０の対物光学系１１５の焦点距離を調整し、レンズホルダ位置設定用治具１０１の球心Ｏａ、Ｏｂと、対物光学系１１５の焦点位置とを一致させる。これにより、反射心測定部１１０からレンズホルダ１０２へ集光（収束）光Ｌ３が照射される。レンズホルダ位置設定用治具１０１は、照射された測定光を対物光学系１１５の方向へ反射する。反射された光（以下、適宜「測定光」という。）は、再度、反射心測定部１１０へ入射する。
【００５６】
対物光学系１１５と１／４波長板１１４を透過した測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３に入射する。測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射される。そして、反射された測定光は、光位置検出素子１１８に向かって進行する。測定光はレンズ系１１６、１１７により、光位置検出素子１１８の受光面上に点像として集光される。チルト調整時と同様に、表示部１５１は、光位置検出素子１１８が受光した点像の状態をモニタに表示する。
【００５７】
回転駆動部１４０の回転軸１４２に対してレンズホルダ１０２のシフトが無い状態を考える。シフトが無い状態とは、レンズホルダ位置設定用治具１０１の球心Ｏａ、Ｏｂが、回転駆動部１４０の回転軸１４２上に存在する状態をいう。シフトが無い状態では、レンズホルダ位置設定用治具１０１から偏光ビームスプリッタ１１３までの間において、測定光１１０ｂは、照射光１１０ａの光路と同じ光路を逆に戻っていく。
【００５８】
ここで、チルト調整時と同様に、回転駆動部１４０により、位置調整部１３０を回転軸１４２の周りに回転させる。これにより、レンズホルダ位置設定用治具１０１も、回転軸１４２を中心として回転する。レンズホルダ１０２にシフトが無い状態では、レンズホルダ１０２の回転中、測定光１１０ｂの光路１１０ｂは一定であり、変化しない。このため、光位置検出素子１１８における集光位置も一定である。この結果、表示部１５１に表示されている測定光の点像の位置は動かない。
【００５９】
これに対して、回転駆動部１４０の回転軸１４２に対してレンズホルダ１０２のシフトが存在する状態を考える。シフトが存在する状態とは、レンズホルダ位置設定用治具１０１の球心Ｏａ、Ｏｂの位置が、回転駆動部１４０の回転軸１４２上に存在しない状態をいう。シフトが存在する状態では、照射光１１０ａの照射範囲の中心位置（光軸１１０ｃ）は、球心Ｏａ、Ｏｂの位置と異なる。
【００６０】
この状態で、回転駆動部１４０により、位置調整部１３０を回転軸１４２の周りに回転させる。これにより、レンズホルダ１０２も、回転軸１４２を中心として回転する。レンズホルダ１０２にシフトが存在する状態では、レンズホルダ１０２回転中、測定光１１０ｂが戻る光路は、シフト量に応じて照射光１１０ａの光路と異なってくる。このため、測定光１１０ｂの中心光線と回転軸１４２とは、同軸とならない。この結果、表示部１５１に表示されている測定光の点像の位置は、円弧状の軌跡を描く。測定者は、光位置検出素子１１８の受光面において、点像の円弧状の軌跡の半径が極力小さくなるように、好ましくは略ゼロとなるようにシフト調整用の可動ステージ１３２により位置調整を行う。
【００６１】
上記のようなシフト調整を行った場合には、レンズホルダ上端面の外側接触部１０２ｃの中心と回転軸１４２とが一致する。シフト調整後に、下に凹面の被検レンズをレンズホルダ１０２に搭載すると、被検レンズのレンズホルダ１０２に接触する面の球心が回転軸１４２と一致することになる。これにより、被検レンズを測定するとき、レンズホルダ１０２で保持する部分の中心と、回転軸１４２とが高精度に一致する。このため、高精度な偏心測定ができる。
【００６２】
また、レンズホルダ１０２の外側接触部１０２ｃの加工精度が多少低いことがある。このときは、外側接触部１０２ｃの円周部のエッジは、一直線状ではなく細かな凹凸を生じてしまう。この場合、特に、レンズホルダ位置設定用治具１０１の調整用面の曲率と、被検レンズのレンズホルダ１０２と接触する面の曲率とは、できるだけ近い値であることが望ましい。これにより、被検レンズとレンズホルダ１０２との接触部と、レンズホルダ位置設定用治具１０１とレンズホルダ１０２との接触部とを近づけることができる。この結果、シフト調整後に、レンズホルダ１０２に被検レンズを載置したときに、被検レンズがレンズホルダ１０２に接触する面の球心と回転軸１４２とを一致できる。本実施例によれば、簡単な構成のレンズホルダ位置設定用治具１０１により、レンズホルダ１０２の高精度なシフト調整が可能となる。
【００６３】
なお、被検レンズのレンズホルダ１０２と直接接触する面が、下側に凸面のときもある、このときは、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第一面１０１ａを下側にしてレンズホルダ１０２上に載置する。この状態では、図３−２に示すように、第一面１０１ａがレンズホルダ１０２の内側接触部１０２ｂに接触する。この状態で、上記のような調整を行なう。このようにして、シフト調整を行った場合には、レンズホルダ上端面の内側接触部１０２ｂの中心Ｏｂと回転軸１４２とが一致する。シフト調整後に、下に凸面の被検レンズをレンズホルダ１０２に搭載すると、被検レンズのレンズホルダ１０２に接触する面の球心が回転軸１４２と一致することになる。これにより、被検レンズを測定するとき、レンズホルダ１０２で保持する部分の中心と、回転軸１４２とが高精度に一致する。このため、高精度な偏心測定ができる。
【実施例２】
【００６４】
上記実施例１では、レンズホルダ位置設定用治具１０１の球心Ｏａと球心Ｏｂとが一致している。このため、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第一面１０１ａからの反射光による点像と、第二面１０１ｂからの反射光による点像とは重複して一つの点像として検出される。これに対して、本実施例のレンズホルダ位置設定用治具１０１は、球心Ｏａと球心Ｏｂとが、それぞれ所定の離間方向θＯに離間量δＯだけ離れている。まず、離間方向θＯと離間量δＯとの測定手順を説明する。その後、レンズホルダ１０２の位置調整方法の手順を説明する。なお、実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００６５】
（離間量、離間方向の測定）
図５は、本実施例のレンズホルダ位置設定用治具１０１の概略構成を示す図である。上述したように、第一面１０１ａの球心Ｏａと第二面１０１ｂの球心Ｏｂとが、それぞれ所定の離間方向θＯに離間量δＯだけ離れている。図６は、球心Ｏａ、Ｏｂが存在するｘ−ｙ面内における位置関係を示す。例えば、球心Ｏｂを原点に設定する。このとき、球心Ｏｂから球心Ｏａまでの距離を離間量δＯとする。また、球心Ｏａ，Ｏｂどうしを結んだ線分とｘ軸とのなす角度を離間方向θＯとする。
【００６６】
レンズホルダ位置設定用治具１０１の球心Ｏａ、Ｏｂが不一致の場合、一致していない量の測定は、レンズホルダ位置設定用治具１０１ごとに、最低１回行えば良い。このため、レンズホルダ１０２の位置調整を行うごとに測定する必要はない。この測定により、第一面１０１ａの球心Ｏａと第二面１０１ｂの球心Ｏｂとが完全に一致していなくても、両球心の離間量δＯと離間方向θＯがわかる。このため、離間量δＯ、離間方向θＯの情報を用いることにより、高精度にレンズホルダ１０２の位置調整を行うことができる。第一面１０１ａの球心Ｏａと第二面１０１ｂの球心Ｏｂとの離間量δＯ、離間方向θＯは、レンズ測定装置１００を用いて、以下の手順で測定する。
【００６７】
レンズホルダ１０２の内側接触部１０２ｂの中心は、基準球を用いた調整により回転軸１４２と概略一致している状態であるとする。また、基準球の代わりに加工精度、形状が既知である別のレンズホルダ位置設定用治具１０１を用いて、内側接触部１０２ｂの中心と回転軸１４２を一致させても良い。
【００６８】
まず、図３−２に示すように、レンズホルダ位置設定用治具１０１を、レンズホルダ１０２に載置する。このとき、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第二面１０１ｂを、上（対物光学系１１５側）に向ける。また、対物光学系１１５の焦点位置と第二面１０１ｂの球心Ｏｂが一致するように、対物光学系１１５の位置を調整する。
【００６９】
対物光学系１１５からの照射光は、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第二面１０１ｂに対して垂直に入射し反射される。第二面１０１ｂで反射された光（測定光）は、再度、対物光学系１１５に入射する。対物光学系１１５を往路（照射光の光路）とは逆方向に進行した測定光は、１／４波長板１１４を透過する。測定光は、往路（照射時）と復路（反射時）とで１／４波長板１１４を２回透過する。これにより、例えばｐ偏光光はｓ偏光光へ変換される。変換されたｓ偏光光は、偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射される。偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射された光は、レンズ系１１６、１１７を透過して光位置検出素子１１８の受光面上に集光される。
【００７０】
ここで、実施例１のように、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第一面の球心Ｏａと第二面の球心Ｏｂが一致するように、レンズホルダ位置設定用治具１０１が製作されていたとする。すると、反射心測定部１１０で第二面の球心Ｏｂを観察するとき、両面の球心が一致する。このために、第一面１０１ａ、第二面１０１ｂの両面からの反射光の位置が一致する。これにより、光位置検出素子１１８上には、重複した一つのスポットが形成される。観察者は、この重なったスポットを観察できる。
【００７１】
これに対して、本実施例では、例えば、わずかな製作誤差により第一面１０１ａの球心Ｏａと第二面１０１ｂの球心Ｏｂとの位置がずれて異なっている。このとき、光位置検出素子１１８上には、異なる位置に、二つのスポットが形成される。よって、観察者は、二つのスポットを観察することができる。ここで、二つのスポットがどちらの面から反射してきた光によるのかを判断する必要がある。そのため、レンズホルダ１０２の調整は、先に位置調整を行い、その内側接触部１０２ｂの中心を回転軸１４２と一致させる。これにより、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第一面１０１ａの球心Ｏａも、回転軸１４２と一致していることになる。この状態において、エアスピンドル１４１を回転させると、第一面１０１ａからの反射によるスポット光は、光位置検出素子１１８上においてほとんど動かない、これに対して、第二面１０１ｂからの反射光によるスポット光は、光位置検出素子１１８上において円形の軌跡を描いて回転する。このようにして、第一面１０１ａと第二面１０１ｂとのいずれの面からの反射光かを判別することが可能である。
【００７２】
このように、光位置検出素子１１８上において、二つのスポットが検出されるようにして、スポット間の離間量δＯと離間方向θＯの測定を行う。このようにすれば、測定された離間量δＯ、方向θＯを使用して、後述する手順でレンズホルダ１０２の位置調整を行うことができる。なお、第一面１０１ａ、第２面１０１ｂのいずれかの面に、適宜ミラーコートや反射防止コートを施しても良い。これにより、二つのスポットの光強度に差を設けることができる。このため、二つのスポットがいずれの面からの反射光によるものかの判断がさらに容易になる。
【００７３】
なお、上述の離間量、離間方向の測定方法は、レンズホルダ位置設定用治具１０１が透明部材で構成されているときの球心位置の方法である。これに対して、レンズホルダ位置設定用治具１０１が透明部材で構成されていないときは、第一面１０１ａと第二面１０１ｂの球心の関係が直接反射心測定部１１０により観察できない。このときは、上述の方法とは異なり、接触式の三次元測定機等を用いて第一面１０１ａ、第二面１０１ｂの各球心の位置関係を求めることができる。
【００７４】
図７は、本実施例におけるレンズホルダの調整方法の大まかな手順を示すフローチャートである。ステップＳ７０１において、レンズホルダ１０２のチルト調整を行う。チルト調整の手順は、実施例１で説明した手順と同一である。次に、ステップＳ７０２において、レンズホルダ１０２にレンズホルダ位置設定用治具１０１を保持する。
【００７５】
ステップＳ７０３において、離間量δＯと離間方向θＯとを取得する。離間量δＯと離間方向θＯとは、上述の手順（離間量測定ステップ）により、測定されている。また、これに限られず、他の手段、例えば３次元形状測定機等により予め測定されている値を用いても良い。
【００７６】
ステップＳ７０３において、第一面１０１ａからの反射光に基づいて、点像の変位を検出する。ステップＳ７０４において、第１面１０１ａからの反射光による点像と、第二面１０１ｂからの反射光による点像との変位を検出する。ステップＳ７０５において、検出された変位に基づいてレンズホルダ１０２のシフト調整を行う。
【００７７】
（シフト調整）
次に、シフト調整について説明する。レンズホルダ位置設定用治具１０１の第一面１０１ａが、レンズホルダ１０２に接触するように置いた状態にする。このとき、第一面１０１ａの球心Ｏａと第二面１０１ｂの球心Ｏｂとの離間量がδＯで、その方向がθＯとする。
【００７８】
まず、被検レンズのレンズホルダと直接接触する面が、下側（レンズホルダ側）に凹面のときについて説明する。
【００７９】
この場合、シフト調整に際しては、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第二面１０１ｂが、レンズホルダ１０２の外側接触部１０２ｃと接触するように、レンズホルダ位置設定用治具１０１を載置する。次に、回転部１４０を、回転軸１４２を中心として回転させる。
【００８０】
そして、反射心測定部１１０により、レンズホルダ位置設定用治具１０１の球心の像を観察できるように、対物光学系１１５を調整する。この場合においては、第二面１０１ｂからの反射光によるスポットは、レンズホルダ１０２の上端面の外側接触部１０２ｃの中心の状態を示している。ここで、第二面１０１ｂからの測定光は、第一面１０１ａの偏心の影響を受ける。このため、第二面１０１ｂからの測定光のスポットは、光位置検出素子１１８上において停止せずに、一定の軌跡で動いてしまうことがある。
【００８１】
そこで、第一面１０１ａの球心Ｏａの偏心量とその方向を測定する。そして、偏心量と離間量δＯ、及び偏心方向と離間方向θＯとが、それぞれ対応するように、レンズホルダ１０２のシフト調整を行う。ここで、レンズホルダ位置設定用治具１０１を上下反転させた事を考慮した値となるように調整を行うことが望ましい。さらに、反射心測定部１１０のうち、光位置検出素子１１８へ至るまでの光学系の光学倍率Ｍも考慮することが必要である。特に、偏心方向については、球Ｏａ、Ｏｂ同士の離間量を測定したときとは、レンズホルダ位置設定用治具１０１の上下が反転しているので、反転を考慮した値θＯ'とする。そして、シフト調整用の可動ステージ１３２によりレンズホルダ１０２の位置調整を行う。これにより、光位置検出素子１１８上における、球心Ｏｂに対応するスポットに対する球心Ｏａに対応するスポットの偏心量とその方向を、離間量δＯとその方向θＯ'に一致させることができる。この結果、レンズホルダ１０２の上端面の外側接触部１０２ｃの円周の中心と回転軸１４２とを一致させることができる。
【００８２】
一方、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第一面１０１ａを、レンズホルダ１０２の内側接触部１０２ｂに接触するように載置してシフト調整を行う場合について説明する。レンズホルダ位置設定用治具１０１をレンズホルダ１０２に載置する。次に、回転部１４０を、回転軸１４２を中心として回転させる。
【００８３】
対物光学系１１５の焦点距離を調整する。これにより、対物光学系１１５による集光光の集光位置と、レンズホルダ位置設定用治具１０１の第一面１０１ａの球心Ｏａの位置とを一致させる。このとき、光位置検出素子１１８上における第一面１０１ａからの反射光によるスポットは、レンズホルダ１０２の上端面の内側接触部１０２ｂの中心の状態に対応している。ここで、第一面１０１ａからの反射光は、第二面１０１ｂを透過している。これにより、第一面１０１ａを測定するときは、第二面１０１ｂの偏心の影響を受ける。このため、レンズホルダ１０２を回転させると、第一面１０１ａからの反射光によるスポットは、光位置検出素子１１８上において停止せずに一定の軌跡で動いてしまうことがある。そこで、光位置検出素子１１８上における第二面の球心Ｏｂのスポットの偏心方向とその方向とが、それぞれ取得されている既知の離間量δＯと離間方向θＯとに一致するようにシフト調整用可動ステージ１３２により位置調整を行う。これにより、レンズホルダ１０２の上端面の内側接触部１０２ｂの中心と回転軸１４２とを一致できる。
【００８４】
本実施例によれば、レンズホルダ１０２の上端面の内側接触部１０２ｂと外側接触部１０２ｃとのいずれの円周の中心と回転軸１４２とを高精度に一致させることができる。このため、レンズホルダ１０２と接触する被検レンズの面形状に関わりなく、常に高精度にレンズホルダ１０２の位置調整を行うことができる。この結果、位置調整後のレンズホルダ１０２を備える偏心測定機１００により、高精度に偏心測定を行うことができる。
【００８５】
以上説明したように、本発明によれば、一つのレンズホルダ位置設定用治具を用いることで、簡単な方法で、被検面が接触するレンズホルダの内側接触部と外側接触部とのシフト調整が可能である。また、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変形例をとることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
以上のように、本発明に係るレンズホルダの調整方法は、被検レンズのレンズホルダに接触する側の面の形状に関わらず、常に高精度に位置調整するときに適している。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１−１】本発明の実施例１に係る偏心測定機の概略構成を示す図である。
【図１−２】実施例１のレンズホルダ近傍の構成を示す図である。
【図２】実施例１のレンズホルダ位置設定用治具の概略構成を示す図である。
【図３−１】レンズホルダ位置設定用治具をレンズホルダに載置した状態を示す図である。
【図３−２】レンズホルダ位置設定用治具をレンズホルダに載置した状態を示す他の図である。
【図４】実施例１のレンズホルダ調整手順を示すフローチャートである。
【図５】実施例２のレンズホルダ位置設定用治具の概略構成を示す図である。
【図６】球心の離間量と離間方向とを示す図である。
【図７】実施例２のレンズホルダ調整手順を示すフローチャートである。
【図８】従来のレンズホルダ調整手順を説明する図である。
【図９】従来のレンズホルダ調整手順を説明する他の図である。
【符号の説明】
【００８８】
１００  偏心測定機
１０１  レンズホルダ位置設定用治具
１０１ａ  第一面
１０１ｂ  第二面
１０２  レンズホルダ
１０２ａ  中心軸
１０２ｂ  外側接触部
１０２ｃ  内側接触部
１１０  反射心測定部
１１１  光源
１１２  コリメータレンズ
１１３  偏光ビームスプリッタ
１１４  １／４波長板
１１５  対物光学系
１１６、１１７  レンズ系
１１８  光位置検出素子
１３０  位置調整部
１３１、１３２  可動ステージ
１４０  回転駆動部
１４１  エアスピンドル
１４２  回転軸
１４３  モータ
１４４  エンコーダ
１５０  演算・制御部
１５１  表示部
Ｏａ、Ｏｂ  球心
ｒ１、ｒ２  曲率
８０１  偏心測定部
８０２  レンズホルダ
８０３  丸アリ
８０４  あおり摘み
８０５  あおり板
８０６  スピンドル
８０６ａ  回転軸
８０７圧縮ばね
８０８  ボールジョイント
８０９  シフト摘み
ＰＰ  平行平面板
９００  基準球
９００ａ  球心
【図１−１】
2006284411.tif 000003
【図１−２】
2006284411.tif 000004
【図２】
2006284411.tif 000005
【図３−１】
2006284411.tif 000006
【図３−２】
2006284411.tif 000007
【図４】
2006284411.tif 000008
【図５】
2006284411.tif 000009
【図６】
2006284411.tif 000010
【図７】
2006284411.tif 000011
【図８】
2006284411.tif 000012
【図９】
2006284411.tif 000013