(57)【要約】    【課題】  従来と同じ幅でありながら電子機器の増加に対応することができる電子機器収容ラックを提供する。    【解決手段】  箱型のラック本体１０の正面側及び背面側にそれぞれ複数の扉３０ａ，３０ｂを設け、ラック本体１０の正面側及び背面側からアンプユニット４０を収容できるようにした。排気口４１を有する背面４０ａ同士間に排気通路１５を形成し、ラック本体１０内の空気をラック本体１０の上面１０Ａに設けられた排出口２０を介して外部へ排出するようにした。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気口を有する背面同士が対向するように複数の電子機器の筐体を収容し得る箱型のラック本体と、
前記ラック本体内に収容された前記電子機器の筐体の背面同士間に形成される排気通路と、
前記ラック本体に設けられ、前記排気通路内の空気を外部へ排出する排出口と
を備えていることを特徴とする電子機器収容ラック。
【請求項２】
前記排気通路内の空気を前記ラック本体の上面に設けられた前記排出口へ導く整風板を備えていることを特徴とする請求項１記載の電子機器収容ラック。
【請求項３】
前記対向する電子機器の高さ方向の位置が異なることを特徴とする請求項１又は２記載の電子機器収容ラック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は電子機器収容ラックに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージには複数のモータが使用され、各モータを駆動するために複数のアンプユニットが用いられる。アンプユニットは駆動回路を内蔵する筐体を有する。
【０００３】
半導体露光装置の近傍にアンプユニットを設置する場合、アンプユニットの形状に合致する複数の収納室を有するラック（ラック本体）にアンプユニットを収納する（特開平６−６９６７５号公報参照）。
【０００４】
ラックの正面に収納室が開口しており、アンプユニットはラックの正面側から収納室に収納される。
【０００５】
他の従来技術として、正面側にだけ開口を有する箱状のラック本体と、その開口を開閉する扉とを備えたラックがある。このラックは半導体露光装置の下に置かれる。
【０００６】
ラック本体内部にはアンプユニットを載置する棚が配置されている。棚はラック本体の正面側から背面側へ水平に延びている。棚にアンプユニットを載置すると、ラック本体の容積のほぼ１／３（ラック本体の正面側スペース）がアンプユニットによって占有される。また、扉の下部中央にはラック本体内の空気を外部へ排出するための排出口が形成されている。
【０００７】
ラック本体内部の背面側には、アンプユニットの背面の排気口から排出された空気を扉の排出口へ導く排気通路が形成されている。排気通路はラック本体の容積のほぼ２／３を占める。
【特許文献１】特開平６−６９６７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
半導体露光装置のステージの数が増えると、それに伴いそれを駆動するためのアンプユニットの数を増やさなければならない。
【０００９】
しかし、アンプユニットの数を増やすと、ラック幅の大型化を招き、ラックが半導体露光装置から大きくはみ出す等、省スペース化の要請に応えられなくなる。
【００１０】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は従来と同じ幅でありながら電子機器の増加に対応することができる電子機器収容ラックを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述の課題を解決するため請求項１記載の発明は、排気口を有する背面同士が対向するように複数の電子機器の筐体を収容し得る箱型のラック本体と、前記ラック本体内に収容された前記電子機器の筐体の背面同士間に形成される排気通路と、前記ラック本体に設けられ、前記排気通路内の空気を外部へ排出する排出口とを備えていることを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の電子機器収容ラックにおいて、前記排気通路内の空気を前記ラック本体の上面に設けられた前記排出口へ導く整風板を備えていることを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の電子機器収容ラックにおいて、前記対向する電子機器の高さ方向の位置が異なることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、従来と同じ幅でありながら電子機器の増加に対応することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１６】
図１（ａ）はこの発明の第１実施形態に係る電子機器収容ラックの平面図、図１（ｂ）はその正面図である。
【００１７】
電子機器収容ラック（以下単にラックという）１はラック本体１０と扉３０ａ，３０ｂとを備えている。
【００１８】
ラック本体１０は箱型である。ラック本体１０の上面１０Ａの中央部には排気通路１５（図２参照）内の空気を外部へ排出するための円形の排出口２０が設けられている。
【００１９】
ラック本体１０の正面及び背面にはそれぞれ６つの扉３０が設けられている。
【００２０】
各扉３０ａ，３０ｂには扉３０ａ，３０ｂを開閉するためのハンドル３１と外気をラック本体１０内へ導くための吸気口３２とが設けられている。
【００２１】
図２は図１（ｂ）のII−II線に沿う断面を示す概念図である。
【００２２】
ラック本体１０内の正面側及び背面側には電子機器が１つの筐体に収められたアンプユニット４０を載置するための棚１１，１２がそれぞれ設けられている。棚１１，１２の高さは同じであり、ラック本体１０の正面側及び背面側から互いに接近するように水平方向へ延びている。
【００２３】
ラック本体１０の正面の扉３０ａを開け、棚１１及び底面１３にそれぞれ３台づつのアンプユニット４０を載置することができる。
【００２４】
同様に、ラック本体１０の背面側の扉３０ｂを開け、棚１２及び底面１４にそれぞれ３台づつのアンプユニット４０を載置することができる。
【００２５】
全てのアンプユニット４０が載置されたとき、アンプユニット４０の背面４０ａ同士が対向する（図２参照）。
【００２６】
各アンプユニット４０の筐体の背面４０ａには排気口４１が設けられている。排気口４１にはファン４２が配置されている。
【００２７】
アンプユニット４０の背面４０ａ同士間には上下方向へ延びる排気通路１５が形成されている。排気通路１５は排出口２０に連なる。棚１１，１２及び底面１３，１４にはアンプユニット４０の筐体の排気口４１から排気された高温の空気をラック本体１０の上面１０Ａへ導く整風板１６が設けられている。
【００２８】
アンプユニット４０に電力が供給されたとき、ラック本体１０内には以下に述べるように空気が流れる。
【００２９】
吸気口３２を介してラック本体１０内へ入った空気はアンプユニット４０の開口（図示せず）からアンプユニット４０内に入る。アンプユニット４０内で発生した熱せられた空気はファン４２によって排気口４１を通じて排気通路１５強制的に排出される。
【００３０】
また、吸気口３２を介してラック本体１０内へ入った空気の一部はアンプユニット４０の外側を通過して排気通路１５に流入する。
【００３１】
ファン４２によって排気口４１から強制的に排出された空気は整風板１６にぶつかってその向きが変化し、矢印で示すように排気通路１５内を上昇して矢印に示すように排出口２０から外部へ排出される。
【００３２】
この実施形態によれば、ラック本体１０を正面側及び背面側の両方からアンプユニット４０を収容できる構成としたので、正面側からしかアンプユニット４０を収容することができない従来のラックと同じ幅でありながら２倍の数のアンプユニット４０を収容することができる。また、排気通路１５に整風板１６を配置したので、アンプユニット４０の排気同士の干渉を防止できる。更に、ラック本体１０の中央部に排気通路１５を設けたので、アンプユニット４０の配線を中央部にまとめることができる。また、ファン４２と整風板１６とを用いたので、排気効率を向上させることができる。
【００３３】
図３はこの発明の第２実施形態に係る電子機器収容ラックの断面を示す概念図であり、第１実施形態と共通する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００３４】
この実施形態は背面側に収容されるアンプユニット４０の数を正面側の半分にし、背面側に収容されるアンプユニット４０の高さを正面側と異ならせた点で第１実施形態と相違する。
【００３５】
ラック本体１１０の背面側にはアンプユニット４０を載置するための棚１１１が設けられている。棚１１１は棚１１より低い位置にある。棚１１１は背面側から正面側へ向かって水平方向へ延びている。
【００３６】
アンプユニット４０の背面４０ａ同士間には上下方向へ延びる排気通路１１５が形成されている。排気通路１１５は上面１１０Ａに設けられた円形の排出口２０に連通する。棚１１，１１１及び底面１３にはアンプユニット４０の筐体の排気口４１から排出された高温の空気をラック本体１０の上面１１０Ａへ導く整風板１６が設けられている。正面側の整風板１６と背面側の整風板１６とは上下方向へ所定間隔（アンプユニット４０の高さの１／２程度の距離）だけずれている。
【００３７】
ラック本体１０の正面の扉３０ａを開け、棚１１及び底面１３にそれぞれ３台づつのアンプユニット４０を載置することができる。
【００３８】
また、ラック本体１０の背面側の扉３０ｂを開け、棚１１１に３台のアンプユニット４０を載置することができる。
【００３９】
全てのアンプユニット４０が載置されたとき、棚１１１に載置された背面側のアンプユニット４０の背面は正面側に載置された上下方向へ隣接する２つのアンプユニット４０のそれぞれの背面の一部分と対向する（図３参照）。
【００４０】
アンプユニット４０に電力が供給されたとき、ラック本体１１０内には以下に述べるように空気が流れる。
【００４１】
吸気口３２（図１参照）を介してラック本体１１０内へ入った空気はアンプユニット４０の開口（図示せず）からアンプユニット４０内に入る。アンプユニット４０内で発生した熱せられた空気はファン４２によって排気口４１を通じて排気通路１１５強制的に排出される。
【００４２】
また、吸気口３２を介してラック本体１１０内へ入った空気の一部はアンプユニット４０の外側を通過して排気通路１１５に流入する。
【００４３】
ファン４２によって排気口４１から強制的に排出された空気は整風板１６にぶつかってその向きが変化し、矢印で示すように排気通路１１５内を上昇して矢印に示すように排出口２０から外部へ排出される。
【００４４】
この実施形態によれば、ラック本体１１０を正面側及び背面側の両方からアンプユニット４０を収容する構成としたので、正面からしかアンプユニット４０を収容することができない従来のラックと同じ幅でありながら１．５倍の数のアンプユニット４０を収容することができる。また、排気通路１１５に整風板１６を配置したので、アンプユニット４０の排気同士の干渉を防止できる。更に、ラック本体１１０の中央部に排気通路１１５を設けたので、アンプユニット４０の配線を中央部にまとめることができる。また、ファン４２と整風板１６とを用い、しかも正面側と背面側とでアンプユニット４０の高さを異ならせたので、排気同士の干渉を一層抑制でき、排気通路１１５内の空気の流れが第１実施形態より円滑になり、排気効率が向上する。
【００４５】
なお、上記実施形態ではラック１に扉３０ａ，３０ｂを設けたが、扉３０ａ，３０ｂは必ずしも設ける必要はない。また、整風板１６、整風板１６を省略し、対流だけによって排気通路１５，１１５内の空気を外部へ排出するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】図１（ａ）はこの発明の第１実施形態に係る電子機器収容ラックの平面図、図１（ｂ）はその正面図である。
【図２】図２は図１（ｂ）のII−II線に沿う断面を示す概念図である。
【図３】図３はこの発明の第２実施形態に係る電子機器収容ラックの断面を示す概念図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０，１１０：ラック本体、１０Ａ，１１０Ａ：上面、１５，１１５：排気通路、１６：整風板、２０：排出口、４０：アンプユニット、４０ａ：背面、４１：排気口。
【図１】
2006351840.tif 000003
【図２】
2006351840.tif 000004
【図３】
2006351840.tif 000005