(57)【要約】      （修正有）【課題】二つの検出器グループによて生成される信号間に生じる位相角の誤差を改善する。【解決手段】  第一の検出器グループ（２．９Ａ，２．９Ｃ）に対応する格子体（Ｓ）の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ）と第二の検出器グループ（２．９Ｂ，２．９Ｄ）に対応する格子体（Ｓ）の総体（２．４Ｂ，２．４Ｄ）が、それぞれ走査構造（２．４）の支持体上で、同じ大きさの活性面をカバーするとともに、一方における第一の検出器グループ（２．９Ａ，２．９Ｃ）に対応する格子体の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ）によってカバーされる面と他方における第二の検出器グループ（２．９Ｂ，２．９Ｄ）に対応する格子体の総体（２．４Ｂ，２．４Ｄ）によってカバーされる面の面重心（Ｆ）が一致するように、走査構造（２．４）の格子体（Ｓ）が構成並びに配置されている。【選択図】  図１
2006234796.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置測定装置の測定尺を走査するための位置測定装置用走査ユニットであって、
測定尺を走査するために使用される電磁放射線と測定尺及び走査構造との相互作用によって、周期的な縞模様が生成されるように構成された、支持体上に配備された走査構造と、
順番に配置された異なる位相の多数の検出器エレメントから構成され、これらの検出器エレメントが、その位相によって表される位相変位を持つ出力信号を生成する、この縞模様を検出するための検出器配列と、
を有し、
その際異なる位相の検出器エレメントの配列は、順番に周期的な模様を成し、各検出器エレメントは、走査構造の格子体と称されるちょうど一つの領域に対応しており、検出器エレメントは、二つの検出器グループに纏められており、少なくとも同じ位相の検出器エレメントが、それぞれ同じ検出器グループに属し、一つの検出器グループ内の検出器エレメントが、一つの検出器信号を生成するように互いに接続されている、
走査ユニットにおいて、
第一の検出器グループ（２．９Ａ，２．９Ｃ）に対応する格子体（Ｓ）の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ）と第二の検出器グループ（２．９Ｂ，２．９Ｄ）に対応する格子体（Ｓ）の総体（２．４Ｂ，２．４Ｄ）が、それぞれ走査構造（２．４）の支持体上で、位置測定に関して同じ大きさの活性面をカバーするとともに、一方における第一の検出器グループ（２．９Ａ，２．９Ｃ）に対応する格子体の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ）によってカバーされる面と他方における第二の検出器グループ（２．９Ｂ，２．９Ｄ）に対応する格子体の総体（２．４Ｂ，２．４Ｄ）によってカバーされる面が、同じ面重心（Ｆ）を持つように、走査構造（２．４）の格子体（Ｓ）が構成並びに配置されていることを特徴とする走査ユニット。
【請求項２】
検出器エレメント（Ｅ）が、それぞれ四つの異なる位相（０°，９０°，１８０°，２７０°）の中の一つに対応していることと、これらの中の二つの位相（０°，１８０°）に対応する検出器エレメント（Ｅ）が、第一の検出器グループ（２．９Ａ，２．９Ｃ）を構成し、その他の二つの位相（９０°，２７０°）に対応する検出器エレメント（Ｅ）が、第二の検出器グループ（２．９Ｂ，２．９Ｄ）を構成することを特徴とする請求項１に記載の走査ユニット。
【請求項３】
異なる位相（０°，９０°，１８０°，２７０°）に対応する検出器エレメント（Ｅ）が、交番する形で順番に配置されており、その結果同じ位相の二つの検出器エレメント（Ｅ）の間に、それぞれ別の各位相の検出器エレメント（Ｅ）が一つずつ置かれていることを特徴とする請求項１又は２に記載の走査ユニット。
【請求項４】
二つの検出器グループ（２．９Ａ，２．９Ｃ；２．９Ｂ，２．９Ｄ）の中の少なくとも一つの検出器グループの検出器エレメント（Ｅ）に対応する走査構造（２．４）の格子体（Ｓ）の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ；２．４Ｂ，２．４Ｄ）が、走査構造（２．４）の展開方向（ｘ）と垂直で面重心（Ｆ）を通る軸（ｘ＝０）に関して対称的に配置されていることを特徴とする請求項１から３までのいずれか一つに記載の走査ユニット。
【請求項５】
当該の面重心（Ｆ）が、走査構造（２．４）の格子体の一つ（２．４０Ａ）内に有り、その結果この格子体（２．４０Ａ）が、走査構造（２．４）の展開方向（ｘ）と垂直で面重心（Ｆ）を通る軸（ｘ＝０）に関して対称的に構成されていることを特徴とする請求項１から４までのいずれか一つに記載の走査ユニット。
【請求項６】
その中に面重心（Ｆ）が有る一つの格子体（２．４０Ａ）が属する格子体の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ）の格子体（Ｓ）は、展開方向（ｘ）と垂直で面重心（Ｆ）を通る軸（ｘ＝０）に関して対称的に配置されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の走査ユニット。
【請求項７】
走査構造（２．４）の格子体（Ｓ）の二つの総体（２．４Ａ，２．４Ｃ；２．４Ｂ，２．４Ｄ）の中の一方が、走査構造（２．４）の格子体（Ｓ）の他方の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ；２．４Ｂ，２．４Ｄ）よりも一つの格子体を多く有することを特徴とする請求項１から６までのいずれか一つに記載の走査ユニット。
【請求項８】
格子体（Ｓ）の二つの総体（２．４Ａ，２．４Ｃ；２．４Ｂ，２．４Ｄ）が、展開方向（ｘ）と垂直で面重心（Ｆ）を通る軸（ｘ＝０）に関して対称的に配置されていることを特徴とする請求項４又は７に記載の走査ユニット。
【請求項９】
格子体（Ｓ）の他方の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ；２．４Ｂ，２．４Ｄ）よりも一つの格子体を多く有する、格子体（Ｓ）の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ；２．４Ｂ，２．４Ｄ）の中の、展開方向（ｘ）と垂直で面重心（Ｆ）を通る軸（ｘ＝０）に関して対称的に配置された少なくとも二つの格子体（２．４０Ｃ；２．４０Ｂ，２．４０Ｄ）が、走査構造（２．４）のその他の格子体（Ｓ）よりも位置測定に関して小さい活性面を有することを特徴とする請求項７又は８に記載の走査ユニット。
【請求項１０】
当該の活性面を低減された格子体（２．４０Ｃ）が、その方向に沿って格子体（Ｓ）が順番に配置されている展開方向（ｘ）と交差する方向（ｙ）に対して、それ以外の格子体（Ｓ）よりも短い長さを有することを特徴とする請求項９に記載の走査ユニット。
【請求項１１】
当該の活性面を低減された格子体（２．４０Ｃ；２．４０Ｂ，２．４０Ｄ）が、それぞれ互いに間隔を空けて配置された複数の格子体領域（Ｔ）から構成されていることを特徴とする請求項９に記載の走査ユニット。
【請求項１２】
当該の格子体領域（Ｔ）が、その方向に沿って格子体（Ｓ）が順番に配置されている展開方向（ｘ）と交差して延びる方向（ｙ）に沿って、互いに間隔を空けて配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の走査ユニット。
【請求項１３】
当該の活性面を低減された格子体（２．４０Ｃ）が、それぞれ走査構造（２．４）の展開方向（ｘ）に沿って延びる軸に関して対称的に構成されていることを特徴とする請求項１から１２までのいずれか一つに記載の走査ユニット。
【請求項１４】
当該の活性面を低減された格子体（２．４０Ｂ，２．４０Ｃ，２．４０Ｄ）が、その中に面重心（Ｆ）が有る格子体（２．４０Ａ）とは異なる位相（９０°，１８０°，２７０°）の検出器エレメント（Ｅ）に対応していることを特徴とする請求項５又は１０から１３までのいずれか一つに記載の走査ユニット。
【請求項１５】
面重心（Ｆ）を通る軸（ｘ＝０）に関して対称的に配置されている格子体（Ｓ）の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ）において、同じ位相（０°又は１８０°）を持つ検出器エレメント（Ｅ）に対応する格子体の全てが、それぞれ面重心（Ｆ）を通る軸（ｘ＝０）に関して対称的に配置されていることを特徴とする請求項２、４又は請求項４を引用している請求項５から１４までのいずれか一つに記載の走査ユニット。
【請求項１６】
その総体（２．４Ａ，２．４Ｃ）内において同じ位相（０°又は１８０°）の検出器エレメント（Ｅ）に対応するサブグループ（２．４Ａ又は２．４Ｃ）の格子体（Ｓ）の活性面の面重心が、それぞれその格子体（Ｓ）の総体（２．４Ａ，２．４Ｃ）に属する全ての格子体（Ｓ）の活性面の面重心（Ｆ）と一致することを特徴とする請求項１５に記載の走査ユニット。
【請求項１７】
それぞれ同じ位相（０°，９０°，１８０°，２７０°）の検出器エレメント（Ｅ）に対応するサブグループ（２．４Ａ，２．４Ｂ，２．４Ｃ，２．４Ｄ）全体の活性面の面重心が、それぞれ格子体（Ｓ）の二つの総体（２．４Ａ，２．４Ｃ；２．４Ｂ，２．４Ｄ）の面重心（Ｆ）と一致することを特徴とする請求項１から１６までの一つに記載の走査ユニット。
【請求項１８】
面重心（Ｆ）を通る軸（ｘ＝０）に関して対称的に構成されている格子体（２．４０Ａ）を持たない格子体（Ｓ）の各サブグループ（２．４Ｂ，２．４Ｃ，２．４Ｄ）が、その他の格子体（Ｓ）と比べて低減された活性面を持つ、少なくとも二つの格子体（２．４０Ｂ，２．４０Ｃ，２．４０Ｄ）を有することを特徴とする請求項５又は１７に記載の走査ユニット。
【請求項１９】
走査構造（２．４）が、走査板（２．３）上に形成されていることを特徴とする請求項１から１８までの一つに記載の走査ユニット。
【請求項２０】
走査構造（２．４）の格子体（Ｓ）に対応する検出器エレメント（Ｅ）が、それぞれの対応する走査構造（２．４）の格子体（Ｓ）と同じ順序で順番に配置されていることを特徴とする請求項１から１９までの一つに記載の走査ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、請求項１の上位概念にもとづく位置測定装置の測定尺（測定目盛）を走査するための位置測定装置用走査ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
このような走査ユニットは、支持体上に配備された走査構造を有し、その走査構造は、測定尺を走査するために使用される（特に光の形式の）電磁放射線を測定尺並びに走査構造と相互作用させることによって、周期的な縞模様を生成するように構成されている。更に、走査ユニットは、その縞模様を検出するための検出器配列を有し、この検出器配列は、順番に配置され、異なる位相に対応する多数の検出器エレメントから構成されており、その際この異なる位相の検出器エレメントの配列は、位相に関する周期的な模様を形成するとともに、各検出器エレメントは、走査構造の格子体と称されるちょうど一つの部分領域に対応しており、更に検出器エレメントは、二つの検出器グループに纏められて、同じ位相の検出器エレメントが、同じ検出器グループに属して、一つの検出器グループに纏められた検出器エレメントが、それぞれ検出器配列の一つの出力信号を生成するように互いに接続されている。このことは、通常第一の位相（例えば、位相０°）とこれと反対の位相（即ち、例えば、位相１８０°）の各検出器エレメントを第一の検出器グループに接続するとともに、これらと異なる別の位相（例えば、位相９０°）とこれと反対の位相（即ち、例えば、位相２７０°）の検出器エレメントを第二の検出器グループに接続する方法により行われる。一定の位相の検出器エレメントをそれと反対の位相の検出器エレメントとそれぞれ接続することは、特に差分を取る形で行われる。
【０００３】
ここで、検出器エレメントの周期的な配列とは、厳密に数学的な意味で無限の周期ということではなく、むしろ同じ位相の二つの検出器エレメントの間に、それぞれ別の各位相の検出器エレメントがちょうど一つずつ有るようにすることによって、検出器エレメントが交番する位相で順番に配置されている、異なる位相の検出器エレメントの配列であると解釈する。
【０００４】
特許文献１には、最初に述べた種類の走査ユニットを有する位置測定装置が記載されており、その検出器配列は、順番に配置された位相０°、９０°、１８０°、２７０°の多数の検出器エレメントを有し、その際位相０°と１８０°の検出器エレメント及び位相９０°と２７０°の検出器エレメントは、出力側で互いに接続されている。この検出器エレメントの配列は、対応する位相に関して周期的である、即ち、位相０°の検出器エレメントには、位相９０°の検出器エレメントが、それには又もや位相１８０°の検出器エレメントが、それには次に位相２７０°の検出器エレメントが、常に続いている。更に、この周期は、改めて位相０°の検出器エレメントから始まる形で連続している。
【０００５】
検出器エレメントの位相成分は、それぞれ四つの検出器エレメントによって構成される周期内における各検出器エレメントの位置と関連しており、この周期は、隣接する検出器エレメントによって生成される出力信号が、それぞれ互いに９０°の位相のずれを有するようになっている。この場合、互いに１８０°の位相のずれを有する各検出器エレメントは、検出器配列内において、二つ置きに隣接し合うエレメントを構成し、差分を取る形で相互接続されており、その結果これらの出力信号は、検出器配列の統合された出力信号に組み合わされている。
【０００６】
このような走査ユニットを用いて、曲がった軌道に沿って延びる測定尺、例えば、所定の半径を持つドラム上に設けられた測定尺を走査した場合、走査に使用する電磁放射線（光）と測定尺及び走査構造との相互作用によって生成されるバーニャ縞模様の位相は、厳密な鋸歯状の推移を持たないので、二つの検出器グループによって生成される信号間に位相角の誤差が生じる可能性がある。
【特許文献１】欧州特許公開明細書第１０８１４５７Ａ２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上のことから、この発明の課題は、最初に述べた種類の走査ユニットを更に改善することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題は、この発明にもとづき、請求項１の特徴を持つ走査ユニットを実現することによって解決される。
【０００９】
それによると、走査構造の格子体は、第一の検出器グループに対応する格子体の総体及び第二の検出器グループに対応する格子体の総体が、それぞれ走査構造の支持体上において同じ大きさの活性面をカバーするとともに、一方における第一の検出器グループに対応する格子体の総体によってカバーされる面の面重心と他方における第二の検出器グループに対応する格子体の総体によってカバーされる面の面重心が一致するように構成並びに配置される。第一の検出器グループに対応する格子体の総体及び第二の検出器グループに対応する格子体の総体が、それぞれ同じ面重心を有し、その際更に、前述した格子体の総体の両方が、走査構造の支持体上において同じ大きさの活性面をカバーするような方法で、走査構造の格子体を対称的に配置することによって、曲がった測定尺を走査する際の位相角の誤差の発生が防止される。
【００１０】
ここで、格子体の総体の両方が、同じ面重心を有する、或いは両方の面重心が一致するということは、走査構造の展開方向に見て、両方の（一致する）面重心が、その展開軸の方向に対して同じ位置に有ることを意味する。
【００１１】
この場合、走査構造の活性面とは、測定尺と共に、電磁放射線の一方における測定尺と、他方における走査構造との相互作用による縞模様の発生に寄与する、走査構造の面全体であると解釈する。特に、走査に使用される電磁放射線を吸収するような層は、これには数えられず、従って、ここでは非活性又は不活性層と称される。
【００１２】
この発明の具体的な実施構成では、そのような走査構造の格子体の配列は、両検出器グループの中の一つに対応する格子体の総体を、その配列の面重心を通る軸に関して対称的に配置することによって実現される。この場合、その軸は、格子体の一つを横切っており、その結果その格子体は、その軸に関して対称的である。更に、両検出器グループの中の一方に対応する格子体の総体が、両検出器グループの中の他方に対応する格子体の総体よりも一つの格子体を多く有するものと規定する。
【００１３】
この場合、その走査構造の格子体の総体の対称的な配列は、一つの同じ位相の検出器エレメントに対応する走査構造の格子体が、それぞれ面重心を通る軸の別の側に鏡面対称のパートナーを有する方法により行われる。
【００１４】
有利には、他方の総体よりも一つの格子体を多く有する格子体の総体は、走査構造の展開方向と垂直で面重心を通る軸に関して対称的に構成された格子体の総体である。
【００１５】
走査構造の他方の格子体の総体よりも一つの格子体を多く有する格子体の総体が、走査構造の支持体上で等しい活性面をカバーするようにするためには、当該の格子体の総体において、二つの互いに対称的に配置された格子体が、走査構造のそれ以外の格子体よりも小さい活性面を有するようにする。この場合、これらの両格子体は、それぞれ同じ位相の検出器エレメントに、そして有利には、面重心を通る対称軸が横切る格子体とは異なる位相の検出器エレメントに対応している。
【００１６】
格子体の活性面の低減は、例えば、その格子体が、その方向に沿って走査構造の多数の格子体が順番に配置されている方向と交差する方向に対して、それ以外の格子体よりも小さい長さを有することによって実現することができる。別の実施例では、活性面を低減された格子体が、その方向に沿って個々の格子体が順番に配置された方向と交差する方向に対して並んで置かれた複数の互いに間隔を空けて配置された格子体領域から構成されるものと規定することができる。
【００１７】
この発明の改善構成においては、一つの同じ位相の検出器エレメントに対応している走査構造の格子体全体部分の重心が、それぞれ前に定義した配列全体の面重心と一致している。
【００１８】
そのためには、一つの位相の検出器エレメントに対応しているとともに、面重心を通る軸に関して対称的に配置されていない格子体のサブグループでは、その格子体の活性面は、その部分の重心が、それでもなお配列全体の面重心と一致するように変更されなければならない。そのためには、それらの格子体において、格子体の活性面が、対称軸からの距離に依存するようにしなければならない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下における図面にもとづく実施例の記述によって、この発明の更なる詳細と利点が明らかとなる。
【００２０】
図６には、反射光型測定システムとして構成された位置測定装置が図示されており、この装置は、横断面が円形のドラムＴＲの外面を取り巻く測定ベルト１とそれに対応する走査ユニット２を有する。ドラムＴＲ上に配置された測定ベルト１と走査ユニット２は、ドラムＴＲの回転運動の際に、その回転軸又は中心軸Ｍの周りを測定方向Ｒに沿って互いに移動することが可能であり、この測定方向は、回転軸又は中心軸Ｍの周りでのドラムＴＲの回転運動によって規定される。この場合、測定ベルト１と測定ベルト１の走査用に配備された走査ユニット２は、走査間隔ｄA を空けて配置されている。
【００２１】
測定ベルト１は、測定尺１．２を有し、この測定尺は、周知の方法でインクリメンタル目盛トラックとして構成することが可能であり、測定ベルト１の支持体１．１上に配置されている。測定ベルト１の支持体１．１上には、走査ユニット２に対するドラムＴＲの測定ベルト１の相対的な動きを検出可能とするインクリメンタル信号を生成する役割を果たす測定尺１．２の他に、少なくとも一つの基準目盛１．３が配備されている。測定動作においては、基準目盛１．３を用いて、即ち、それに対応する基準パルス信号を生成することによって、周知の方法で、位置測定の際の絶対的な基準を作ることができる。
【００２２】
測定尺１．２と基準目盛１．３の両方は、測定方向Ｒに対して交番する順序の異なる光学的な反射特性を持つ部分領域、例えば、大きく反射する部分領域と反射しない部分領域から構成される。以下において、インクリメンタル測定尺１．２の目盛周期は、ＴＰで表示し、測定方向Ｒに対する大きく反射する部分領域と反射しない部分領域の幅の合計で定義される。
【００２３】
基準目盛１．３は、通常の方法では、異なる反射特性を持つ部分領域の非周期的な配列から構成される。
【００２４】
図６で図示されている位置測定装置の走査ユニット２は、光源２．１の形式の電磁放射線用放射源、コリメーターレンズ２．２、走査板２．３、検出ユニット２．８を有する。走査板２．３には、目盛構造２．４，２．６（走査構造）を持つ二つの窓領域が配備されている一方、別の二つの窓領域２．５，２．７が、透明に、即ち、目盛構造を持たない形で構成されている。第一の対の窓領域２．４，２．５は、位置測定装置の別の部品と組み合わされて、走査ユニット２に対する測定ベルト１の相対位置を求めるために使用されるインクリメンタル信号を生成する役割を果たす一方、第二の対の窓領域２．６，２．７は、一つ以上の基準パルス信号を生成する役割を果たす。一方におけるインクリメンタル信号と他方における基準パルス信号を検出するために、検出ユニット２．８には、第一の検出器配列２．９と第二の検出器配列２．１０が配備されている。この場合、インクリメンタル信号の生成と検出は、以下においてより詳しく述べる方法により行われる。
【００２５】
光源２．１、例えば、赤外線ＬＥＤから放出された光束は、コリメーターレンズ２．２によって平行にされて、目盛構造（走査構造２．４）におけるインクリメンタル信号を生成する役割を果たす第一の窓対の一つの窓領域を通り抜けて行く。次に、走査構造２．４の窓領域を通り抜けた光束は、この例では反射型測定尺として構成された、測定ベルト１の測定尺１．２上に進む。走査板２．３の走査構造とインクリメンタル目盛トラックで構成される測定ベルト１の測定尺１．２は、僅かに異なる目盛周期を有し、その結果光束の一方における走査構造と他方における測定尺１．２との相互作用によって、周期的なバーニャ縞模様が発生する。
【００２６】
更に、光束は、測定尺１．２によって、走査板２．３の第一の窓対の透明な窓領域２．５の方向に反射される。光束は、その透明な窓領域２．５を通り抜けた後、検出ユニット２．８の第一の検出器配列２．９上に到達する。検出器配列２．９は、バーニャ縞模様を検出するとともに、走査ユニット２に対する測定ベルト１の相対的な位置を表すインクリメンタル信号を生成する役割を果たす。
【００２７】
図６に図示された種類の位置測定装置の周知の構成に関する更なる詳細については、特許文献１を参照されたい。
【００２８】
また、図５には、図６の検出ユニット２．８の周知の検出器配列２．９が、模式的に図示されている。このような構造の検出器配列２．９は、多数の（長方形の）検出器エレメントＥを有し、これらの検出器エレメントは、（図６で紙面に対して垂直の方向を向く）測定方向Ｒと接して延びる展開方向ｘに沿って、順番に配置されており、この場合、それぞれ展開方向ｘと交差する方向に対して縦長に構成されている。
【００２９】
検出器配列２．９内における検出器エレメントＥの配列は、四つの検出器エレメントＥ毎に一つの周期Ｐを構成する仕方で周期的に行われている。この場合、一つの周期Ｐの個々の検出器エレメントＥは、それぞれ位相が異なっている。そのため、検出器配列２．９の各周期Ｐにおいて、第一の検出器エレメントに位相０°が、第二の検出器エレメントに位相９０°が、第三の検出器エレメントに位相１８０°が、第四の検出器エレメントに位相２７０°が対応している。この場合、検出器エレメントＥの配列の周期性とは、厳密に数学的な意味での無限の周期ということではなく、むしろ同じ位相（例えば、０°）に対応している二つの検出器エレメントＥの間に、それぞれ別の各位相（即ち、例えば、９０°、１８０°、２７０°）の検出器エレメントがちょうど一つずつ有る形で、個々の検出器エレメントＥが規則的に交番する配列であると解釈する。
【００３０】
同じ位相の検出器エレメントＥは、それぞれサブグループ２．９Ａ，２．９Ｂ，２．９Ｃ，２．９Ｄに纏まられており、その際第一のサブグループ２．９Ａには位相０°の検出器エレメントＥ全てが、第二のサブグループ２．９Ｂには位相９０°の検出器エレメントＥ全てが、第三のサブグループ２．９Ｃには位相１８０°の検出器エレメントＥ全てが、第四のサブグループ２．９Ｄには位相２７０°の検出器エレメントＥ全てが含まれている。これらのサブグループ２．９Ａ，２．９Ｂ，２．９Ｃ，２．９Ｄの中の一つに纏められている検出器エレメントＥは、それぞれ検出器配列２．９上に現れるバーニャ縞模様を検出する際に、同じ位相の出力信号ＩA ，ＩB ，ＩC ，ＩD を供給し、その際個々の出力信号ＩA ，ＩB ，ＩC ，ＩD は、それぞれ互いに９０°の位相のずれを有することを特徴とする。しかし、検出器グループ２．９Ａ，２．９Ｂ，２．９Ｃ，２．９Ｄの中のそれぞれ一つによって生成される、これら四つの出力信号ＩA ，ＩB ，ＩC ，ＩD は、個別には評価されず、むしろ一方における二つのサブグループ２．９Ａと２．９Ｃ及び他方における二つのサブグループ２．９Ｂと２．９Ｄは、それぞれ検出器グループ２．９Ａ，２．９Ｃと検出器グループ２．９Ｂ，２．９Ｄに纏められて、それぞれ一つの検出器グループに纏められたサブグループの検出器エレメントＥの出力信号は、差動増幅器を用いて、出力側で二つの検出器信号（インクリメンタル信号Ｉ1 ，Ｉ2 ）を生成するように組み合わされている（プッシュプル型接続）。
【００３１】
検出器配列の周期Ａは、バーニャ周期とも呼ばれており、線形位置測定システムの場合（即ち、図６に図示されているようなドラム表面上に曲げて配置された測定ベルト１ではなく、線形的な測定尺を走査するための検出器配列２．９を使用する場合）には、周期的なバーニャ縞模様の位相が、バーニャ周期の長さ毎にそれぞれ３６０°ずつ増えて行くことを特徴とし、このことは、鋸歯状の推移に対応するものである。
【００３２】
検出器配列２．９が、前述した形でバーニャ周期Ｐで周期的に配置された、全部でＮ＊４個の検出器エレメントＥを有する場合、バーニャ縞模様の各位相は、全部でＮ個の等間隔（検出器配列２．９の間隔Λ）の位置で読み取られる。
【００３３】
図５と６では、検出器配列２．９の各検出器エレメントＥは、走査構造２．４の格子体Ｓと称される一つの部分領域に対応している。格子体Ｓは、検出器配列２．９の検出器エレメントＥと同様に、測定方向Ｒと接して延びる展開方向ｘに沿って順番に配置されており、この場合その展開方向ｘに対して垂直に延びる方向ｙに沿って縦長に構成されている。この場合、格子体Ｓは、平面図では、検出器エレメントＥと同様に、それぞれ縦長の長方形を成す。
【００３４】
図５では、前述した関係を示すために、検出器配列２．９とそれに対応する走査構造２．４は、並べて図示されている。しかし、実際の取り付け位置は、図６に図示された位置測定装置から分かる通りである。図５に図示したものは、（以下において現れる図１から４でも同様に）単に走査構造２．４の各格子体Ｓが、検出器配列２．９のちょうど一つの検出器エレメントＥに対応していることを図解するために選定したものである。
【００３５】
この場合、走査構造２．４は、格子体Ｓに分割されており、走査構造２．４の各格子体は、検出器配列２．９の一定の検出器エレメントＥに対応する走査構造の領域を表している。言い換えると、走査構造２．４の各格子体Ｓは、検出器配列２．９を用いて生成される出力信号ＩA ，ＩB ，ＩC ，ＩD の一定の位相成分に寄与するものである。それに応じて、格子体Ｓは、サブグループ２．４Ａ，２．４Ｂ，２．４Ｃ，２．４Ｄに分割することが可能であり、格子体Ｓの各サブグループ２．４Ａ，２．４Ｂ，２．４Ｃ，２．４Ｄは、検出器配列２．９のちょうど一つのサブグループ２．９Ａ，２．９Ｂ，２．９Ｃ，２．９Ｄに対応している。そのようにして、例えば、第一のサブグループ２．４Ａの格子体Ｓは、検出器配列２．９の第一のサブグループ２．９Ａの検出器エレメントＥに対応しており、位相角０°の出力信号ＩA を生成するのに寄与する。第二のサブグループ２．４Ｂの格子体Ｓは、検出器配列２．９の第二のサブグループ２．９Ｂの検出器エレメントＥに対応しており、位相角９０°の出力信号ＩB を生成するのに寄与する。第三のサブグループ２．４Ｃの格子体Ｓは、検出器配列２．９の第三のサブグループ２．９Ｃの検出器エレメントＥに対応しており、位相角１８０°の出力信号ＩC を生成するのに寄与する。第四のサブグループ２．４Ｄの格子体Ｓは、検出器配列２．９の第四のサブグループ２．９Ｄの検出器エレメントＥに対応しており、位相角２７０°の出力信号ＩD を生成するのに寄与する。
【００３６】
検出器エレメントＥと同様に、格子体Ｓにも、所定の周期Λに対応させることが可能であり、その際一つの周期Λ内には、それぞれ四つの異なる検出器エレメントＥに対応する四つの格子体Ｓ、即ち、位相０°の検出器エレメントに対応する第一のサブグループ２．４Ａの格子体、位相９０°の検出器エレメントに対応する第二のサブグループ２．４Ｂの格子体、位相１８０°の検出器エレメントに対応する第三のサブグループ２．４Ｃの格子体、位相２７０°の検出器エレメントに対応する第四のサブグループ２．４Ｄの格子体が纏められている。
【００３７】
この場合、又もや格子体Ｓの二つのサブグループ２．４Ａと２．４Ｃ及び２．４Ｂと２．４Ｄを、それぞれ纏めることが可能であり、それぞれ検出器グループ２．９Ａ，２．９Ｃ及び２．９Ｂ，２．９Ｄに対応して、それぞれ両インクリメンタル信号Ｉ1 ，Ｉ2 の一方を生成するのに寄与する（一方における第一と第三のサブグループ２．４Ａと２．４Ｃ及び他方における第二と第四のサブグループ２．４Ｂと２．４Ｄから成る）格子体Ｓの二つの総体を構成することができる。
【００３８】
図５からは、図５に図示した検出器配列２．９の対称軸（ｘ＝０）に関して、第一のインクリメンタル信号Ｉ1 を生成するための検出器グループ２．９Ａ，２．９Ｃの面重心が、展開方向ｘに対してＰ／８、第二のインクリメンタル信号Ｉ2 を生成するための検出器グループ２．９Ｂ，２．９Ｄの面重心が、展開方向ｘに対して−Ｐ／８ずれているのが直ぐに分かる。この場合、各面重心は、各検出器グループ２．９Ａ，２．９Ｃ又は２．９Ｂ，２．９Ｄの検出器エレメントＥによってカバーされる面から算出される。
【００３９】
異なる位相のインクリメンタル信号Ｉ1 又はＩ2 が、それぞれ両検出器グループ、一方における２．９Ａ，２．９Ｃと他方における２．９Ｂ，２．９Ｄに対応しているので、この面重心は、位相重心とも呼ばれる。それに対応して、検出器配列２．９の対称軸（ｘ＝０）に関して、第一のインクリメンタル信号Ｉ1 の位相重心はＰ／８のところに、第二のインクリメンタル信号Ｉ2 の位相重心は−Ｐ／８のところに有る。
【００４０】
この場合、図５では、検出器配列２．９の対称軸（ｘ＝０）は、例えば、検出器配列が、三つの周期にグループ化された、全部で１２個の検出器エレメントＥを有するケースに対して図示されている。しかし、ここでの考察は、より多くの数の検出器エレメントＥの検出器配列、それに対応してより多くの数の周期の検出器配列に対しても成り立つものである。
【００４１】
図５に図示された検出器配列２．９が、それに対応する走査構造２．４と共に、曲がった測定尺１．２、即ち、例えば、ドラムの外周に沿って展開された測定ベルト１上に配備された測定尺１．２を走査するために使用される場合（図６と比較）、この走査によって生成されるバーニャ縞模様の位相は、もはや線形的な測定尺の走査のケースに関して前に述べたような厳密な鋸歯状の推移を持たない。そのため、検出器配列２．９の個々のサブグループ２．９Ａ，２．９Ｂ，２．９Ｃ，２．９Ｄは、もはやそれぞれＮ個の厳密に同じバーニャ縞模様の位相（Ｎは、検出器配列の周期の数を示す）を検出することはなく、これらの位相は、目標の位相の周りに拡散してしまうこととなる。このことは、両インクリメンタル信号Ｉ1 ，Ｉ2 の面重心（位相重心）が異なるために、両インクリメンタル信号間に位相角の誤差を生じさせることとなる。この問題を排除するために、それぞれ走査構造２．４の特殊な構造を特徴とする、図１〜４に図示された配列を規定するものである。それに対して、検出器配列２．９は、変更されないままであり、その結果曲がった測定尺を走査するために、特殊な検出器配列は必要ではない。
【００４２】
むしろ、各走査構造の特殊な構造だけが必要であり、それらは、典型的には、例えば当該の透明な支持基板の表面上に、例えばガラスの形式の支持基板上に目盛構造を構成することによって配備される。この場合、各目盛構造は、展開方向ｘに交番して配置された周的な振幅構造と位相構造の両方又は一方によって構成することができる。振幅構造は、例えば光を透過する目盛線と光を透過しない目盛線が周期的に交番する配列によって得られる。それに対して、周期的な位相構造は、異なる位相偏移作用を持つ目盛線の周期的な配列によって実現される。
【００４３】
この場合、個々の目盛線を走査構造２．４に適した目盛構造を生成するように構成することは、重要ではない。ここでは、目盛構造の細密な構造ではなく、走査構造のここで格子体Ｓと称される部分領域だけが重要であり、これらの部分領域は、それぞれ多くの目盛周期の細密な目盛構造を有するとともに、それぞれ一定の検出器エレメントＥに属する検出器配列２．９に対応している。
【００４４】
この場合、この発明の図１から４に図示された実施例の基本的な考えは、それぞれ走査構造２．４の格子体Ｓの両総体（この場合、第一の格子体Ｓの総体２．４Ａ，２．４Ｃは、第一のサブグループ２．４Ａと第三のサブグループ２．４Ｃによって構成され、第二の格子体Ｓの総体２．４Ｂ，２．４Ｄは、第二のサブグループ２．４Ｂと第四のサブグループ２．４Ｄによって構成される）の面重心（位相重心）が、単一の面重心又は位相重心Ｆにおいて一致するように、走査構造を構成することである。
【００４５】
ここで、格子体Ｓの総体の両方（一方の２．４Ａ，２．４Ｃと他方の２．４Ｂ，２．４Ｄ）が、同じ面重心Ｆを有する、或いはこれらの面重心Ｆの両方が一致するということは、これらの（一致する）面重心の両方が、走査構造２．４の展開方向ｘに延びるｘ軸上において同じ座標（ｘ＝０）を有するということを意味する。
【００４６】
そのために、図１から４に図示された各実施例では、走査構造２．４は、それぞれ格子体Ｓの一方の総体（例えば、２．４Ａ，２．４Ｃ）が、格子体Ｓの他方の総体（例えば、２．４Ｂ，２．４Ｄ）よりも一つの格子体を多く有するように構成されている。この場合、更に各総体２．４Ａ，２．４Ｃ又は２．４Ｂ，２．４Ｄは、それぞれこれらが、検出器配列２．９の一つの検出器グループ２．９Ａ，２．９Ｃ又は２．９Ｂ，２．９Ｄに対応しており、その結果これらが、それぞれ両インクリメンタル信号の中のちょうど一つＩ1 又はＩ2 を生成するために寄与することを特徴としている。言い換えると、格子体の一つの総体に対応する格子体Ｓは、それぞれその総体の格子体Ｓの全てが、それぞれ一つの検出器グループ又はそこから得られるインクリメンタル信号を形成するように互いに電気的に接続された検出器配列２．９の検出器エレメントＥに対応していることを特徴としている。
【００４７】
図１は、第一と第三のサブグループ２．４Ａと２．４Ｃから構成される格子体Ｓの総体が、第二と第四のサブグループ２．４Ｂと２．４Ｄから構成される格子体の総体よりも一つの格子体を多く有する走査構造２．４を図示している。ここで、格子体Ｓの総体の両方が、各インクリメンタル信号Ｉ1 又はＩ2 に対して同等の寄与を果たすことを保証するために、第三のサブグループ２．４Ｃの二つの格子体２．４０Ｃの長さが低減されており、その方法を詳しく言うと、それらの格子体は、走査構造２．４の展開方向ｘと垂直な方向ｙに関して、走査構造２．４のその他の格子体Ｓの半分の長さだけを持っている。そのように走査配列２．４の個々の格子体２．４０Ｃの長さを低減することは、より短くされた格子体２．４０Ｃにおいて、前述した方向ｙに沿って、上下の境界領域を（光学的な走査に関して）不活性化、特に光を吸収する状態に構成することによって実現される。これらの領域は、図１から４で、それぞれ斜線を付けて図示されている。
【００４８】
この場合、「光学的に不活性」という用語は、走査構造２．４を備えた走査板の光学的に活性でない、或いは不活性と称する領域が、検出器配列２．９上においてバーニャ縞模様を検出するのに寄与しない、そのためそれによってインクリメンタル信号Ｉ1 ，Ｉ2 を生成するのに寄与しないという意味に解釈する。
【００４９】
全体として、走査構造の格子体Ｓの配列が得られ、その配列では、一方の総体２．４Ａ，２．４Ｃと他方の総体２．４Ｂ，２．４Ｄの面重心Ｆが、それぞれ格子体Ｓの第一のサブグループ２．４Ａの格子体２．４０Ａ内に有る、その方法を詳しく言うと、展開方向ｘに垂直で面重心Ｆを通る軸（ｘ＝０）が、前述した格子体２．４０Ａの対称軸を構成する、即ち、正確にその中心を横切るように構成されている。長さを低減された格子体２．４０Ｃの両方は、同じ格子体の総体２．４Ａ，２．４Ｃの中のそれとは別のサブグループ（第三のサブグループ２．４Ｃ）に属しており、面重心Ｆを通る軸ｘ＝０に関して対称的に配置されている。その結果、第一と第三のサブグループ２．４Ａ，２．４Ｃから成る格子体Ｓの総体は、全体として対称軸ｘ＝０に関して鏡面対称に配置されている、即ち、同じ位相（この場合、０°又は１８０°）の検出器エレメントＥに対応する格子体Ｓは、それぞれ対称軸ｘ＝０の両側に対して、同じ変位に有る。具体的には、この場合、対称軸ｘ＝０によって横切られる格子体２．４０Ａは、位相０°の検出器エレメントに対応している一方、対称軸ｘ＝０に関して鏡面対称に配置された格子体２．４０Ｃの両方は、それぞれ対称軸ｘ＝０の両側に対して同じ間隔で配置されている。このことから、付属の基板（例えば、ガラス基板）上において、第一と第三のサブグループ２．４Ａ，２．４Ｃの格子体Ｓから構成される面の面重心Ｆは、その対称軸ｘ＝０と一致することとなる。
【００５０】
同様のことが、第二と第四のサブグループ２．４Ｂ，２．４Ｄから成る格子体Ｓの総体に関しても成り立つことが分かるが、その際ここでは、所属する各検出器エレメントＥの位相に関連した個々の格子体Ｓは、面重心Ｆを通る対称軸ｘ＝０に関して対称的に配置されていない。むしろ、ここでは、位相９０°の検出器エレメントＥに対応する格子体Ｓと位相２７０°の検出器エレメントＥに対応する格子体Ｓは、それぞれ常に対称軸ｘ＝０の両側に対して、同じ間隔で配置されている。つまり、その結果、格子体の第二の総体２．４Ｂ，２．４Ｄを全体として対称軸ｘ＝０に関して対称的に構成することになるとともに、その面重心Ｆが、同じく対称軸ｘ＝０上に有り、格子体の第一の総体２．４Ａ，２．４Ｃの面重心と一致することともなるが、第二と第四のサブグループ２．４Ｂ，２．４Ｄは、個々に見ると、対称軸ｘ＝０に関して対称的には配置されていない。
【００５１】
要約すると、第一のサブグループ２．４Ａの格子体Ｓは、それぞれｎ＊Λの位置に、第二のサブグループ２．４Ｂの格子体Ｓは、それぞれ（ｎ＋１／４）＊Λの位置に、第三のサブグループ２．４Ｃの格子体Ｓは、それぞれ（ｎ＋１／２）＊Λの位置に、そして最後に第四のサブグループ２．４Ｄの格子体Ｓは、それぞれ（ｎ＋３／４）＊Λの位置に有り、その際ｎは、０を含む正と負の整数の集合Ｚの要素である。
【００５２】
図１に図示されている実施例では、第三のサブグループ２．４Ｃに属する格子体２．４０Ｃの両方は、±１／２＊Λの位置に配備されている。しかし、この位置は、必然的なものではなく、対称軸ｘ＝０に関して、長さを低減された格子体２．４０Ｃの両方を対称的に配置することが、重要である。従って、これらの格子体２．４０Ｃの両方の位置としては、式（ｎ＋１／２）＊Λにもとづく、対称軸ｘ＝０に関して対称的に置かれた任意の位置を選定することができる。
【００５３】
走査構造２．４の前述した配列と構造によって、検出器配列２．９上においても、当該の方法にもとづき、両方の検出器グループ（即ち、一方の第一と第三のサブグループ２．９Ａ，２．９Ｃから成る第一の検出器グループと、他方の第二と第四のサブグループ２．９Ｂ，２．９Ｄから成る第二の検出器グループ）の面重心が、（位相０°の）検出器エレメントＥを横切り、これを対称的に分割する軸（ｘ＝０）上に有る点において一致することが実現されることが重要である。それに対して、第一の検出器グループ２．９Ａ，２．９Ｃに属する（位相０°又は１８０°の）検出器エレメントＥの全ては、その対称軸ｘ＝０に関して対称的に配置されている。更に、第二の検出器グループ２．９Ｂ，２．９Ｄに属する（位相９０°又は２７０°の）検出器エレメントＥは、それを総体として見て、同じく対称軸ｘ＝０に関して対称的に配置されている。しかし、このことは、それに属する両方の個々のサブグループ２．９Ｂ又は２．９Ｄを個々に見た場合には成り立たない。むしろ、第二のサブグループ２．９Ｂの（位相９０°の）検出器エレメントＥは、それぞれ常に第四のサブグループ２．９Ｄの（位相２７０°の）検出器エレメントＥとは、対称軸ｘ＝０の両側に対して同じ間隔で、反対の対称的な位置に配置されている。その限りにおいて、第二の検出器グループ２．９Ｂ，２．９Ｄの対称軸ｘ＝０に関する対称性は、同じ位相（０°又は１８０°）の検出器エレメントＥが常に対称軸ｘ＝０の両側に対して同じ間隔で配置されている第一の検出器グループ２．９Ａ，２．９Ｃの対称性よりも劣っている。
【００５４】
図１に図示した走査構造２．４の全体の長さは、（Ｎ＋１／４）＊Λであり、その際Ｎは、ここに有る周期の総数を表しており、１／４＊Λの追加的な長さは、一つの追加的な格子体Ｓにより生じており、その結果一方の格子体Ｓの総体２．４Ａ，２．４Ｃは、他方の総体２．４Ｂ，２．４Ｄよりも一つの格子体を多く有する。
【００５５】
検出器配列２．９に関して、検出器エレメントＥの配列と構成の際に、当該の通り適合させる（走査構造の特殊な構造）必要はない。何故ならば、これらは、それぞれ出力信号ＩA ，ＩB ，ＩC ，ＩD の生成とそれらによるインクリメンタル信号Ｉ1 とＩ2 の形成に関して、その大きさに寄与するだけであり、それらには、走査構造２．４上において、一定の大きさの格子体Ｓが対応しているためである。即ち、検出器配列２．９の特殊な構造は、両方の検出器グループ（一方の２．９Ａ，２．９Ｃと他方の２．９Ｂ，２．９Ｄ）の同等の寄与を保証することによる前述した対称性を実現するためには必要ではない。このことは、専ら走査構造２．４の構成によって保証される。
【００５６】
図２は、図１の実施例の変化形態を図示しており、その際対称軸ｘ＝０の両側に対して対称的に配置され、面を低減された格子体２．４０Ｃの両方が、複数の部分Ｔ（格子体領域）から構成されており、これらの部分が、走査構造２．４の展開方向ｘと垂直な方向ｙに沿って、不活性領域によって互いに分離された形で順番に配置されていることが相違している。この場合においても、その両方の格子体２．４０Ｃは、図１のケースのように、展開方向ｘに延びる走査構造２．４の中心軸に関して対称となるように構成されている。
【００５７】
図３は、図１の実施例の変化形態を図示しており、その際面を低減された第三のサブグループ２．４Ｃの格子体２．４０Ｃの両方は、（図１と２のケースのような）±１／２＊Λの位置ではなく、むしろ±３／２＊Λの位置に有る。
【００５８】
これに関連して、図１から３は、それぞれ観察している走査構造２．４又は検出器配列２．９の中心部分だけを図示していることに留意されたい。これらは、それぞれ（各対称軸ｘ＝０の両側に対して）対称的な形で任意の（技術的に意味の有る）数の周期Λ又はＰ分を連続させることができる。
【００５９】
図４では、図２と３の実施例の改善構成を図示しており、その際図１から３のように、それぞれを個々に見た第一のサブグループ２．４Ａと第三のサブグループ２．４Ｃの格子体Ｓの面重心Ｆだけでなく、それぞれを個々に見た第二のサブグループ２．４Ｂと第四のサブグループ２．４Ｄの格子体Ｓの面重心Ｆも配列全体の面重心Ｆと一致している。そのために、前述した実施例のように、面重心Ｆを通る対称軸ｘ＝０に対して対称的に配置され、第三のサブグループ２．４Ｃの面を低減された二つの格子体２．４０Ｃだけでなく、格子体の第二のサブグループ２．４Ｂと第四のサブグループ２．４Ｄの面を低減された二つの格子体２．４０Ｂと２．４０Ｄをもそれぞれ配備している。これらの各サブグループ、即ち、第二のサブグループ２．４Ｂ又は第四のサブグループ２．４Ｄに属する格子体２．４０Ｂ又は２．４０Ｄは、面重心Ｆを通る対称軸ｘ＝０に関して対称的には配置されていないので、各面重心Ｆを対称軸ｘ＝０と一致させるためには、各低減された面を有する第二及び第四のサブグループ２．４Ｂ，２．４Ｄの格子体２．４０Ｂ，２．４０Ｄが、対称軸ｘ＝０からの距離に応じて異なる大きさの面を持つことが必要である。それに対して、第二及び第四のサブグループの面を低減された各対の格子体２．４０Ｂ，２．４０Ｄに関して、対称軸ｘ＝０から遠く離れた各格子体２．４０Ｂ（ａ），２．４０Ｄ（ａ）の面は、内側の方に離れて存在する（即ち、軸ｘ＝０により近い）各パートナー２．４０Ｂ（ｉ），２．４０Ｄ（ｉ）よりも多く低減されている。図４では、内側と外側の各格子体２．４０Ｂ，２．４０Ｄをより良好に識別及び区別するために、外側の格子体は添字ａを、内側の格子体は添字ｉを追加して表示している。
【００６０】
図４に図示された実施例では、第二と第四のサブグループ２．４Ｂと２．４Ｄの格子体Ｓは、全体として第一と第三のサブグループ２．４Ａと２．４Ｃの格子体Ｓよりも大きく面を低減されているので、このケースでは、第二と第四のサブグループ２．４Ｂと２．４Ｄの格子体の総体は、第一と第三のサブグループ２．４Ａと２．４Ｃの格子体よりも一つの格子体を多く有する。こうすることにより、又もや一方における第一と第三のサブグループ２．４Ａ，２．４Ｃの格子体Ｓによってカバーされる面全体と他方における第二と第四のサブグループ２．４Ｂ，２．４Ｄの格子体Ｓによってカバーされる面全体が同じ大きさとなることが保証される。
【００６１】
更に、前述したすべての実施例において、（四つの）異なる各サブグループ２．４Ａ，２．４Ｂ，２．４Ｃ，２．４Ｄの格子体Ｓによってカバーされる活性面が、それぞれ同じ大きさであることが重要である。そのために、他のサブグループよりも多くの数の格子体Ｓを有する（特に一つの格子体が多い）サブグループでは、格子体の少なくとも一部は、相応に低減された活性面を有し、その結果格子体の各グループによってカバーされる活性面全体は、それぞれその他の（三つの）個々の各サブグループによってカバーされる活性面と同じ大きさとなる。このことは、有利には格子体の個々のサブグループに対応する出力信号の信号振幅が同じになることを保証するものである。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】位置測定装置の走査ユニットに関する走査構造及び検出器配列の第一の実施例
【図２】位置測定装置の走査ユニットに関する走査構造及び検出器配列の第二の実施例
【図３】位置測定装置の走査ユニットに関する走査構造及び検出器配列の第三の実施例
【図４】位置測定装置の走査ユニットに関する走査構造及び検出器配列の第四の実施例
【図５】位置測定装置に関する走査ユニットの周知の走査構造と検出器配列
【図６】図１から５までの走査構造と検出器配列を使用することが可能な位置測定装置
【符号の説明】
【００６３】
１    測定ベルト
１．１    支持体
１．２    測定尺
１．３    基準目盛
２    走査ユニット
２．１    電磁放射線用放射源（光源）
２．２    コリメーターレンズ
２．３    走査板
２．４，２．６    走査板２．３の走査構造（目盛構造を持つ窓領域）
２．４Ａ，２．４Ｂ，２．４Ｃ，２．４Ｄ    格子体Ｓのサブグループ
２．４０Ａ    面重心（Ｆ）が有る格子体Ｓ
２．４０Ｂ，２．４０Ｃ，２．４０Ｄ    面を低減された格子体
２．５，２．７    走査板２．３の透明な（目盛構造を持たない）窓領域
２．８    検出ユニット
２．９    第一の検出器配列
２．９Ａ，２．９Ｂ，２．９Ｃ，２．９Ｄ    検出器エレメントＥのサブグループ
２．１０    第二の検出器配列
ａ    対称軸ｘ＝０から見て外側の格子体
ｄA   走査間隔
ｉ    対称軸ｘ＝０から見て内側の格子体
ｘ    走査構造２．４の展開方向
ｙ    展開方向ｘと交差する方向
Ｅ    検出器エレメント
Ｆ    面重心
Ｉ1 ，Ｉ2     インクリメンタル信号
ＩA ，ＩB ，ＩC ，ＩD     検出器配列２．９の出力信号
Ｍ    ドラムＴＲの回転軸又は中心軸
Ｐ    検出器配列２．９／走査構造２．４の周期
Ｒ    測定方向
Ｓ    格子体
Ｔ    格子体領域
ＴＲ  ドラム
Λ    検出器配列２．９／走査構造２．４の間隔
【図１】
2006234796.tif 000003
【図２】
2006234796.tif 000004
【図３】
2006234796.tif 000005
【図４】
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【図５】
2006234796.tif 000007
【図６】
2006234796.tif 000008