(57)【要約】【課題】  磁気特性に優れ、耐摩耗性や強度面においても優れた磁気エンコーダを持つ磁気エンコーダ付き軸受、特に車輪用軸受となる磁気エンコーダ付き軸受を提供する。【解決手段】  外方部材１と内方部材２の間に転動体を介在させ、外方部材１および内方部材２のうちの回転側部材に磁気エンコーダ１０を取付ける。磁気エンコーダ１０が円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石１４で構成されて着磁表面１４ａが軸方向を向く。多極磁石１４は磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体とする。この軸受の回転中心軸Ｏに対して、多極磁石４の着磁表面１４ａを直角度で２００μｍ以内とする。【選択図】      図１
2006200566.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周に転走面を有する外方部材と、この転走面に対向する転走面を外周に有する内方部材と、対向する転走面間に介在した転動体と、前記外方部材および内方部材のうちの回転側部材に取付けられた磁気エンコーダとを備え、この磁気エンコーダが円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石で構成されて着磁表面が軸方向を向き、上記多極磁石が磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体である磁気エンコーダ付き軸受において、軸受の回転中心軸に対して、前記多極磁石の着磁表面が、直角度で２００μｍ以内であることを特徴とする磁気エンコーダ付き軸受。
【請求項２】
請求項１において、車体に対して車輪を回転自在に支持する車輪用軸受であって、前記外方部材は内周に複列の転走面を有し、前記内方部材は前記転走面に対向する複列の転走面を外周に有し、これら対向する転走面間に前記転動体を複列に介在させたものである磁気エンコーダ付き軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、回転検出に用いられる磁気エンコーダを備えた磁気エンコーダ付き軸受、例えば自動車のアンチロックブレーキシステムにおける車輪回転数の検出用の磁気エンコーダを備えた車輪用軸受等の磁気エンコーダ付き軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車のスキッドを防止するためのアンチスキッド用回転検出装置として、次のような構造が多く用いられている。すなわち、前記回転検出装置は歯付ローターと感知センサからなっており、軸受を密封するシール装置よりそれぞれ離間させて配置し、一つの独立した回転検出装置を構成しているものが一般的である。このような従来例は、回転軸に嵌合された歯付ローターを、ナックルに取付られた回転検出センサで感知検出する構造を持つ。
【０００３】
その他の例として特許文献１には、回転検出装置の装着スペースを削減せしめ感知性能を飛躍的に向上させることを目的として、車輪回転検出のための回転検出装置を有したベアリングシールにおいて、そこに使用するスリンガに、磁性粉の混入された弾性部材を周状に加硫成形接着し、交互に磁極を配置した構造が示されている。すなわち、スリンガーに、磁性粉の混入されたゴム磁石からなる多極磁石を設けて磁気エンコーダとした構造が示されている。
【０００４】
上記ゴム磁石からなる磁気エンコーダは、磁性粉の配合比率を上げることが難しく、これを改善するものとして、多極磁石を、磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体としたものが提案されている（例えば特許文献２）。この提案例ものは、磁性粉の配合比率を上げ、コンパクトな構成で安定したセンシングの行える磁力が得られる。また、ゴム磁石に比べて表面の硬度が硬く、磁気エンコーダとこれに対向する磁気センサとの間に砂粒等の異物を噛み込んだような場合に、摩耗等の損傷を生じ難い。バインダ成分となる非磁性金属粉を混合させているため、磁性粉のみを圧粉して焼結したものと異なり、割れ等の損傷も生じ難い。
【０００５】
【特許文献１】特許第２８１６７８３号公報
【特許文献２】特開２００４−８５５３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記焼結体の磁気エンコーダは、焼結過程を経て製造されるため、焼成後の反りなどの形状変形が生じることがある。そのため、軸受に組付けたときの磁石としての磁気特性、例えば精度や磁力が低下することがあった。
【０００７】
この発明の目的は、磁気特性に優れ、耐摩耗性や強度面においても優れた磁気エンコーダを持つ磁気エンコーダ付き軸受、特に車輪用軸受となる磁気エンコーダ付き軸受を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の磁気エンコーダ付き軸受は、内周に転走面を有する外方部材と、この転走面に対向する転走面を外周に有する内方部材と、対向する転走面間に介在した転動体と、前記外方部材および内方部材のうちの回転側部材に取付けられた磁気エンコーダとを備え、この磁気エンコーダが円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石で構成されて着磁表面が軸方向を向き、上記多極磁石が磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体である磁気エンコーダ付き軸受において、軸受の回転中心軸に対して、前記多極磁石の着磁表面が、直角度で２００μｍ以内であることを特徴とする。ここで言う「直角度」は、ＪＩＳ規格に定められた直角度である。
【０００９】
この構成によると、上記多極磁石が磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体であるため、焼結体の強度を確保しながら、磁性粉の配合比率を高めて、安定したセンシングの得られる磁力を確保でき、コンパクト化が図れる。
この場合に、磁気エンコーダが取付けられる軸受の回転中心軸に対して、磁気エンコーダの多極磁石の着磁表面が、直角度で２００μｍ以内であるため、精度や磁力等の磁気特性が確保された磁気エンコーダ付き軸受となる。直角度が２００μｍを超えると、最大単一ピッチ誤差で２０％を超え、最大トータルピッチ誤差で１０％を超えてしまい、軸受に利用される磁気エンコーダとしての精度が得られない。
【００１０】
この発明の磁気エンコーダ付き軸受は、車体に対して車輪を回転自在に支持する車輪用軸受であっても良い。その場合、前記外方部材は内周に複列の転走面を有し、前記内方部材は前記転走面に対向する複列の転走面を外周に有し、これら対向する転走面間に前記転動体を複列に介在させたものとされる。
車輪用軸受では、アンロックブレーキシステムや、トラクションコントロールシステム等の姿勢制御システム等において、各車輪の回転速度の検出を精度良く行うことが求められる。また、車輪用軸受は路面にさらされた厳しい環境下にあり、磁気エンコーダとこれに対向させる磁気センサとの間に砂粒等の異物を噛み込む恐れがある。そのため、この発明の磁気エンコーダ付き軸受における優れた磁気特性や、焼結体の強度を確保しながら、磁性粉の配合比率を高めて、安定したセンシングの得られる磁力を確保でき、コンパクト化が図れるという効果が、より効果的に発揮される。例えば、異物の噛み込みに対して次のように保護される。磁性粉と非磁性金属粉とからなる焼結体の多極磁石の表面高度は、従来の磁性粉や磁性粒子の含有する弾性部材やエラストマー製のコーダに比べて硬い。そのため、車両走行中に回転側の多極磁石の表面と固定側の磁気センサの表面との間隙に、砂粒などの粒子が噛み込まれても、多極磁石の摩耗損傷に大幅な低減効果がある。
【発明の効果】
【００１１】
この発明の磁気エンコーダは、磁気エンコーダが円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石で構成されて着磁表面が軸方向を向き、上記多極磁石が磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体である磁気エンコーダ付き軸受において、軸受の回転中心軸に対して、前記多極磁石の着磁表面が、直角度で２００μｍ以内であるため、磁気特性に優れ、耐摩耗性や強度面においても優れた磁気エンコーダを持つ軸受とできる。特に、車輪用軸受に適用された場合に、その各効果が有効に発揮される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
この発明の一実施形態にかかる磁気エンコーダ付き軸受を図１ないし図４と共に説明する。この実施形態は、車輪用軸受に適用した例である。この車輪用軸受１０は、第３世代型のものであって、内周に複列の転走面１ａを有する外方部材１と、これら転走面１ａに対向する転走面２ａを有する内方部材２と、対向する転走面１ａ，２ａ間に介在した複列の転動体３と、内外の部材２，１間の環状空間の両端をそれぞれ密封するシール部材８，９とを備える。
この車輪用軸受１０は、複列の転がり軸受、詳しくは複列のアンギュラ玉軸受とされていて、その内方部材２は、ハブ輪５とその軸部外周に嵌合する内輪６とでなり、各列の転走面２ａ，２ａが、ハブ輪５および内輪６の各外周に形成されている。ハブ輪５は、その外周に車輪取付用のフランジ５ａを有し、このフランジ５ａに車輪（図示せず）がボルト７で取付けられる。外方部材１は、その外周のフランジ１ｂを介して、車体の懸架装置におけるナックルに取付けられる。転動体３はボールからなり、保持器４により保持されている。
【００１３】
図２は磁気エンコーダ付きのシール装置１８を拡大して示す。このシール装置１８は、磁気エンコーダ１０またはその芯金１１がスリンガとなり、内方部材１および外方部材２のうちの回転側の部材に取付けられる。この例では、回転側の部材は内方部材１であるため、磁気エンコーダ１０は内方部材１に取付けられる。
【００１４】
このシール装置１８は、内方部材１と外方部材２に各々取付けられた第１および第２の金属板製の環状のシール板（１１），１２を有する。第１のシール板（１１）は、上記磁気エンコーダ１０における芯金１１のことであり、以下、芯金１１として説明する。この磁気エンコーダ１０における多極磁石１４に対面して、同図のように磁気センサ１５を配置することにより、車輪回転速度の検出用の回転検出装置２０が構成される。磁気エンコーダ１０については、後に図３，図４と共に説明する。
【００１５】
第２のシール板１２は、上記シール部材９（図１）を構成する部材であり、第１のシール板である芯金１１の立板部１１ｂに摺接するサイドリップ１６ａと円筒部１１ａに摺接するラジアルリップ１６ｂ，１６ｃとを一体に有する。これらリップ１６ａ〜１６ｃは、第２のシール板１２に加硫接着された弾性部材１６の一部として設けられている。これらリップ１６ａ〜１６ｃの枚数は任意で良いが、図２の例では、１枚のサイドリップ１６ａと、軸方向の内外に位置する２枚のラジアルリップ１６ｃ，１６ｂとを設けている。第２のシール板１２は、固定側部材である外方部材２との嵌合部に弾性部材１６を抱持したものとしてある。すなわち、弾性部材１６は、円筒部１２ａの内径面から先端部外径までを覆う先端覆い部１６ｄを有するものとし、この先端覆い部１６ｄが、第２のシール板１２と外方部材２との嵌合部に介在する。第２のシール板１２の円筒部１２ａと第１のシール板である芯金１１の他円筒部１１ｃとは僅かな径方向隙間をもって対峙させ、その隙間でラビリンスシール１７を構成している。
【００１６】
図３に示すように、磁気エンコーダ１０は、金属製の環状の芯金１１と、この芯金１１の表面に周方向に沿って設けられた多極磁石１４とを備える。多極磁石１４は周方向に多極に磁化され、交互に磁極Ｎ，Ｓが形成された部材であり、多極に磁化された磁気ディスクからなる。磁極Ｎ，Ｓは、ピッチ円直径ＰＣＤ（図４）において、所定のピッチｐとなるように形成されている。多極磁石１４は磁性粉と非磁性金属粉との混合粉の圧粉体を焼結させた焼結体であり、この多極磁石１４を上記芯金１１の加締によってこの芯金１１に固定する。この多極磁石１４を芯金１１に固定した焼結体芯金一体品２１、または多極磁石１４には、表面処理による防食皮膜（図示せず）を施しても良い。
【００１７】
磁気エンコーダ１０の多極磁石１４は、軸受の回転中心軸Ｏ（図１）に対して、着磁表面１４ａが、直角度で２００μｍ以内とされている。ここで言う「直角度」は、ＪＩＳ規格に定められた直角度である。
【００１８】
多極磁石１４に混入する磁性粉としては、バリウム系およびストロンチウム系などの等方性または異方性フェライト粉であっても良い。これらのフェライト粉は顆粒状粉体であっても、湿式異方性フェライトコアからなる粉砕粉であっても良い。この湿式異方性フェライトコアからなる粉砕粉を磁性粉とした場合、非磁性金属粉との混合粉を磁場中で成形された異方性のグリーン体とする必要がある。
【００１９】
上記磁性粉は、希土類系磁性材料であっても良い。例えば希土類系磁性材料であるサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉やネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉のそれぞれ単独磁性粉であっても良い。また、磁性粉はマンガンアルミ（ＭｎＡｌ）ガスアトマイズ粉であっても良い。
【００２０】
また、上記磁性粉は、サマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉、ネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉、およびマンガンアルミ（ＭｎＡｌ）ガスアトマイズ粉のいずれか２種以上を混合させたものであっても良い。例えば、上記磁性粉はサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉とネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉とを混合させたもの、マンガンアルミガスアトマイズ粉とサマリウム鉄系磁性粉とを混合させたもの、およびサマリウム鉄系磁性粉とネオジウム鉄系磁性粉とマンガンアルミガスアトマイズ粉とを混合させたもの、のいずれかであっても良い。例えば、フェライト粉だけでは磁力が足りない場合に、フェライト粉に希土類系磁性材料であるサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉や、ネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉を必要量だけ混合し、磁力向上を図りつつ安価に製作することもできる。
【００２１】
多極磁石１４を形成する非磁性金属粉には、スズ、銅、アルミ、ニッケル、亜鉛、タングステン、マンガンなどの粉体、または非磁性のステンレス系金属粉のいずれか単独（１種）の粉体、もしくは２種以上からなる混合した粉体、もしくは２種以上からなる合金粉末を使用することができる。
【００２２】
芯金１１の材質となる金属は、磁性体、特に強磁性体となる金属が好ましく、例えば磁性体でかつ防錆性を有する鋼板が用いられる。このような鋼板として、フェライト系のステンレス鋼板（ＪＩＳ規格のＳＵＳ４３０系等）や、防錆処理された圧延鋼板等を用いることができる。
【００２３】
芯金１１の材質となる金属は、磁性体、特に強磁性体となる金属が好ましく、例えば磁性体でかつ防錆性を有する鋼板が用いられる。このような鋼板として、フェライト系のステンレス鋼板（ＪＩＳ規格のＳＵＳ４３０系等）や、防錆処理された圧延鋼板等を用いることができる。
【００２４】
芯金１１の形状は、種々の円環状の形状とできるが、多極磁石１４を固定できる形状が好ましい。特に、加締固定や嵌合固定等の機械的な固定が行える形状が好ましい。加締固定の場合、芯金１１は、例えば図３（Ｂ）に示すように、嵌合側となる内径側の円筒部１１ａと、その一端から外径側へ延びる立板部１１ｂと、外径縁の他円筒部１１ｃとでなる断面概ね逆Ｚ字状の円環状とする。なお、芯金１１は断面Ｌ字状のものとしても良く、その場合は図３（Ｂ）の芯金１１において、他円筒部１１ｃが省略された形状のものとされる。芯金１１を断面Ｌ字状とした場合は、例えば爪部等を立板部１１ｂ等に設けて加締固定する。
【００２５】
図１（Ｂ）の芯金１１において、円筒部１１ａ、立板部１１ｂ、および他円筒部１１ｃは、鋼板等の金属板から一体にプレス成形されたものである。立板部１１ｂは平坦に形成されており、その平坦な立板部１１ｂの表面に重ねて多極磁石１４の未着磁の焼結体を組み込み、外周縁の他円筒部１１ｃを加締めることで、芯金１１の立板部１１ｂに重なり状態に多極磁石１４が固定されて、焼結体芯金一体品２１とされる。上記他円筒部１１ｃは、その断面における先端側部分または略全体が、加締部となる。また、この加締部は、芯金１１の円周方向の全周にわたって延び、したがって円環状となっている。なお、多極磁石１４の他円筒部１１ｃにより固定される部分は、多極磁石１４の被検出面となる表面よりも凹む凹み部１４ｂとなっていて、これにより塑性変形部１１ｃａが多極磁石１４の被検出面となる表面に突出しないように成されている。
【００２６】
この構成の磁気エンコーダ付き軸受は、磁気エンコーダ１０の多極磁石１４が磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体であるため、焼結体の強度を確保しながら、磁性粉の配合比率を高めて、安定したセンシングの得られる磁力を確保でき、コンパクト化が図れる。
この場合に、磁気エンコーダ１０が取付けられる軸受の回転中心軸Ｏに対して、磁気エンコーダ１０の多極磁石１４の着磁表面１４ａが、直角度で２００μｍ以内であるため、精度や磁力等の磁気特性が確保された磁気エンコーダ付き軸受となる。直角度が２００μｍを超えると、最大単一ピッチ誤差で２０％を超え、最大トータルピッチ誤差で１０％を超えてしまい、軸受に利用される磁気エンコーダとしての精度が得られない。
【００２７】
また、この磁気エンコーダ１０において、多極磁石１４の表面硬度は、従来の磁性粉や磁性粒子の含有する弾性部材やエラストマー製のコーダに比べて硬い。そのため、車輪回転検出のための回転検出装置２０に応用した場合に、車両走行中に回転側の多極磁石１４の表面と固定側の磁気センサ１５の表面の隙間に、砂粒などの粒子が噛み込まれても、多極磁石１４の摩耗損傷が生じ難く、従来の弾性体製としたものに比べて、摩耗の大幅な低減効果がある。
【００２８】
つぎに、上記多極磁石１４の着磁表面１４ａの直角度が多極磁石１４の磁気特性に与える影響の試験結果を、表１，表２と共に説明する。試験は、上記実施形態にかかる実施例１〜３、および比較例１となる各サンプルの車輪用軸受につき行った。各サンプルは、焼結体の多極磁石１４を構成する磁性粉として、表中に示すように、サマリウム鉄（Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ）系磁性粉を用い、バンダとなる非磁性金属粉として錫（Ｓｎ）粉を用いた。配合比は、表１，表２中にも示したように、いずれも磁性粉が６０ｗｔ％、バインダが４０ｗｔ％である。この配合割合で、φ５４ｍｍ×φ６６ｍｍ×１．５ｍｍのグリーン体（未焼結圧粉体）を加圧プレスで成形し、大気中で１時間焼成した。
各サンプルの焼結体からなる多極磁石１４および芯金１１の形状は、図３に示した形状のものである。各サンプルとなる磁気エンコーダ付き軸受は、図１に示した構成のものである。
【００２９】
これらの各サンプルに対して、最大単一ピッチ誤差、および最大トータルピッチ誤差を測定した。最大単一ピッチ誤差および最大トータルピッチ誤差は、ＳＡＥテクニカルペーパーシリーズ（ＳＡＥ  ＴＥＣＮＩＣＡＬ  ＰＡＰＥＲ  ＳＥＲＩＥＳ）１９９９−０１−３４０２「アクティブスピード計測センサシステムのマルチポールマグネチックエラストマー（Multi-Pole Magnetic Encoders for Active Speed-Measurement Systems)」に記載される定義に基づく。
表１，表２には各誤差につき、優れる順に、◎，○，△，×のマークを示した（なお、○，△は該当例なし）。この場合に、最大単一ピッチ誤差については２０％を超える場合に△とし、最大トータルピッチ誤差については１０％を超える場合に△とした。
【００３０】
【表１】
2006200566.tif 000003
【００３１】
【表２】
2006200566.tif 000004
【００３２】
表１に示すように、各実施例１〜３、つまり着磁表面１４ａの直角度が５０μｍ、１００μｍ、１８０μｍの例は、最大単一ピッチ誤差および最大トータルピッチ誤差とも◎であり、４段階評価における最も優れた評価であった。
これに対して、表２に示す比較例１、つまり着磁表面１４ａの直角度が２１０μｍの例は、最大単一ピッチ誤差および最大トータルピッチ誤差とも×であり、４段階評価における最も低い評価であった。
これより、着磁表面１４ａの直角度が２００μｍを超えると、最大単一ピッチ誤差および最大トータルピッチ誤差が共に急激に大きくなり、直角度が２００μｍ以内であると、最大単一ピッチ誤差および最大トータルピッチ誤差とも優れたものとなることが確認された。
【００３３】
図５，図６は磁気エンコーダの変形例を示す。加締固定は、図３の例のように全周に連続して行う他に、図５，図６に断面図および正面図で示すように行っても良い。この例では、芯金１１を図１の例と同じく、内径側の円筒部１１ａと、その一端から外径側へ延びる立板部１１ｂと、その外径縁の円筒状の他円筒部１１ｃとでなる断面概ね逆Ｚ字状の円環状としている。また、他円筒部１１ｃにおける周方向の複数箇所に、ステーキング等によって、内径側へ突出状態に塑性変形させた塑性変形部１１ｃａを設け、その塑性変形部１１ｃａにより多極磁石１４を芯金１１の立板部１１ｂに固定している。この例においても、多極磁石１４の塑性変形部１１ｃａにより固定される部分は、多極磁石１４の被検出面となる表面よりも凹む凹み部１４ｂとなっていて、これにより塑性変形部１１ｃａが多極磁石１４の被検出面となる表面に突出しないように成されている。凹み部１４ｂは、外径側に至るに従って表面から背面側へ近づく傾斜面１４ｂとされている。
【００３４】
図３および図５に示す各例において、芯金１１は、図７のように、立板部ｂが、内周側部分１１ｂａと外周側部分１１ｂｂとで互いに軸方向にずれた２段形状を成すものとしても良い。図７において、図示は省略するが、多極磁石１４は、図３の例と同様に立板部１１ｂにおける他円筒部１１ｃの突出側の面に配置される。
【００３５】
さらに、図８に示すように、図３の例と同様に断面概ね逆Ｚ字状とされた芯金１１において、その他円筒部１１ｃの端縁における円周方向複数箇所に舌片状の爪部１１ｃｂを設け、この舌片状爪部１１ｃｂを矢印のように内径側へ塑性変形させることにより、つまり折り曲げるように加締ることにより、多極磁石１４を芯金１１に固定しても良い。多極磁石１４は、図１などの例と同様に立板部１１ｂにおける他円筒部１１ｃの突出側の面に配置される。この例においても、図７の例と同様に、立板部１１ｂを２段形状としている。  
【００３６】
図５ないし図８のいずれの構成の場合も、多極磁石１４の着磁表面１４ａは、直角度で２００μｍ以内とする。
【００３７】
図９は、車輪用軸受の他の実施形態を示す。この車輪用軸受は、第２世代型のものであり、内方部材１が、ハブ輪５Ａと、このハブ輪５Ａの外周に嵌合した複列の内輪６Ａ，６Ｂとでなる。ハブ輪５Ａには等速ジョイント７の外輪が連結される。その他の構成は図１に示す車輪用軸受と同様である。なお、図１の例では図示を省略したが、図１の車輪用軸受も、等速ジョイントの外輪が連結される。
【００３８】
なお、上記各実施形態は、外方部材１が固定側部材となるものにつき説明したが、外方部材が回転側部材となる車輪用軸受では、外方部材に磁気エンコーダを取付ける。
また、この発明は、車輪用軸受に限らず、磁気エンコーダ付き軸受一般に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】この発明の第１の実施形態に係る磁気エンコーダ付き軸受の全体の断面図である。
【図２】同車輪用軸受の部分断面図である。
【図３】（Ａ）は同磁気エンコーダ付き軸受における磁気エンコーダの部分斜視図、（Ｂ）は同磁気エンコーダの組立過程を示す部分斜視図である。
【図４】同磁気エンコーダを正面から示す磁極の説明図である。
【図５】磁気エンコーダの変形例の部分斜視図である。
【図６】同磁気エンコーダの正面図である。
【図７】磁気エンコーダの他の変形例の部分断面図である。
【図８】同磁気エンコーダにおける芯金の他の各例を示す部分斜視図である。
【図９】この発明の他の実施形態に係る磁気エンコーダ付き軸受の断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１…内方部材
２…外方部材
３…転動体
１０…磁気エンコーダ
１１…芯金
１４…多極磁石
１４ａ…着磁表面
１５…磁気センサ
２０…回転検出装置
Ｏ…回転中心軸
【図１】
2006200566.tif 000005
【図２】
2006200566.tif 000006
【図３】
2006200566.tif 000007
【図４】
2006200566.tif 000008
【図５】
2006200566.tif 000009
【図６】
2006200566.tif 000010
【図７】
2006200566.tif 000011
【図８】
2006200566.tif 000012
【図９】
2006200566.tif 000013