(57)【要約】【課題】  高精度に測定対象物の平坦度の変化を測定することができる平坦度等の測定装置および平坦度等の測定方法を提供することを目的としている。【解決手段】  定規３で画像上にある基準線２４（図では５００μｍ）を計る。この例では１１２ピクセルとなっている。定規２３を計りたいピンの測定部位（先端）２５ｃに持って行く。対称の画像のピン間を計る。この例では３６ピクセルとなっている。先の５００μｍが１１２ピクセルであるから、比例計算を行う。このとき、対称となっているので１／２にする。５００μｍ×３６／１１２／２≒８０μｍとなる。基準面から８０μｍ浮いた状態（平坦度）である。２５０℃近くの画像から同様に測定する。この例では６３ピクセルとなっている。５００μｍ×６３／１１２／２≒１４１μｍとなる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の対象物測定部位を写す鏡面部と、
前記対象物測定部位と前記鏡面部に写った該対象物測定部位の鏡写り像測定部位とからなる向い合い像を撮影するリフロー・スコープなどの撮影手段とからなり、
前記撮影手段により前記向い合い像の時間の経過や温度変化などによる変化を撮影し、前記対象物測定部位と鏡写り像測定部位の距離を、前記向い合い像をディスプレーなどの画面に表示して測定する、プリントアウトして測定する、前記向い合い像データを解析して算出するなどにより行い、前記測定部位の時間的経過や温度変化による変化距離を得ることができるようにしてなることを特徴とする平坦度等の測定装置。
【請求項２】
測定対象物の対象物測定部位を写す鏡面部と、
前記対象物測定部位と前記鏡面部に写った該対象物測定部位の鏡写り像測定部位とからなる向い合い像を撮影するリフロー・スコープなどの撮影手段と、
この撮影手段で撮影した前記向合い像を表示するディスプレーなどの画像表示手段と、
この画像表示手段に前記向い合い像とともに表示される、マウスやキーボードなどの操作により自在に移動させることができる定規を表示する定規プログラムとからなり、
前記撮影手段により前記向い合い像の時間の経過や温度変化などによる変化を撮影し、前記対象物測定部位と鏡写り像測定部位の距離を前記定規をあてがい計り、前記測定部位の時間的経過や温度変化による変化距離を得ることができるようにしてなることを特徴とする平坦度等の測定装置。
【請求項３】
測定対象物の対象物測定部位、この対象物測定部位を鏡面に写した鏡写り像測定部位、この鏡写り像測定部位と前記対象物測定部位からなる向い合い像、温度などの条件変化前の前記向い合い像を撮影して初期映像を取込む初期映像取込み段階と、
前記初期映像をディスプレーに表示する初期映像表示段階と、
ディスプレーに表示された前記初期映像の中の前記測定対象物の対象物測定ポイントと前記鏡面上に写っている該測定対象物の鏡写り測定ポイントをオペレータがマウスやキーボードなどの操作により指定する測定ポイント指示段階と、
取込んだ前記初期映像の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を解析して境部位を特定して境部位特定データを作成する境部位特定データ作成段階と、
前記境部位特定データの前記境部位の中の前記対象物測定ポイントと前記鏡写り測定ポイントの部位にあたる測定境部位と鏡写り測定境部位を特定する測定境部位特定段階と、
この測定境部位と鏡写り測定境部位の移動に追随して移動して行く、測定境部位追随ポイントと鏡写り測定境部位追随ポイントを設定する追随ポイント設定段階と、
前記測定対象物を加熱するなどの条件変化が与えられ、この条件変化中の前記向い合い像を撮影してその条件変化映像を取込んで行く条件変化映像取込み段階と、
取込まれてくる前記条件変化映像の中の測定境部位追随ポイントと鏡写り測定境部位追随ポイントの距離を計測し記憶して行く追随ポイント間距離計測記憶段階と、
以上の段階からなる平坦度等の測定方法。
【請求項４】
測定対象物の対象物測定部位、この対象物測定部位を鏡面に写した鏡写り像測定部位、この鏡写り像測定部位と前記対象物測定部位からなる向い合い像、温度などの条件変化前の前記向い合い像を撮影して初期映像を取込む初期映像取込み段階と、
前記初期映像の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を解析して境部位を特定し、該境部位の移動に追随して移動する境部位追随ポイントが設定された境部位追随ポイント付き映像データを作成する境部位追随ポイント付き映像データ作成段階と、
前記境部位追随ポイント付き映像データをディスプレーに表示する境部位追随ポイント付き映像表示段階と、
ディスプレーに表示された前記境部位追随ポイント付き映像の前記境部位追随ポイントの中の測定ポイントとなる、前記測定対象物の対象物追随ポイントと前記鏡面上に写っている該測定対象物の鏡写り追随ポイントをオペレータがマウスやキーボードなどの操作により指定する追随ポイント指示設定段階と、
前記測定対象物を加熱するなどの条件変化が与えられ、この条件変化中の前記向い合い像を撮影してその条件変化映像を取込んで行く条件変化映像取込み段階と、
取込まれてくる前記条件変化映像の中の測定境部位追随ポイントと鏡写り測定境部位追随ポイントの距離を計測し記憶して行く追随ポイント間距離計測記憶段階と、
以上の段階からなる平坦度等の測定方法。
【請求項５】
追随ポイント間距離計測記憶段階を、条件変化映像取込み完了後に条件変化映像の中の測定境部位追随ポイントと鏡写り測定境部位追随ポイントの距離を計測し記憶するようにしてなることを特徴とする請求項３、４いずれか記載の平坦度等の測定方法。
【請求項６】
測定対象物の対象物測定部位、この対象物測定部位を鏡面に写した鏡写り像測定部位、この鏡写り像測定部位と前記対象物測定部位からなる向い合い像、温度などの条件変化前から条件変化付与後の前記向い合い像を撮影して行く映像取込み段階と、
取り込んで行く映像や取込んだ映像の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を認識する境部位認識段階と、
認識された境部位のうちの対応する対象物測定部位と鏡写り像測定部位間の距離を出す距離出し段階と、
以上の段階からなる平坦度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に電子部品のピン足等の加熱や冷却などの温度変化による変形度合い（浮き変化＝平坦度の変化）を測定するのに適した平坦度等の測定装置および平坦度等の測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電子部品のピン足の加熱温度による浮き量（平坦度）の変化の測定装置は、セラミックなどの低熱膨張材料からなる基台に電子部品を置き、リフロー・スコープにより撮影して、前記基台面を基準線にしてピン足の浮き量を、定規をあてがって目測により計測するというものであった。
【０００３】
上述した従来技術は、加熱して行くと基準面となる基台面が、例えば常温〜２６０℃の環境温度変化（条件変化）で基台面そのものが２５０μｍ程度動いてしまう。すなわち、基台面が温度のよって変動してしまう、明確な基準面が無いことから、高精度の平坦度を求めることは理論的にも、現実的にも不可能であるという欠点があった。
具体的には、今日の電子部品の温度変化による確認したい平坦度精度は、電子部品のピン足の基台面からの浮き量が５０μｍ〜１００μｍの平坦度精度である。
すなわち、従来技術では５０μｍ〜１００μｍの平坦度精度のものを得ることは理論的にも現実的にも改善不可能であるという欠点があり、５０μｍ〜１００μｍの平坦度精度を実現する平坦度の測定技術が技術課題となっているのである。
【特許文献１】特に無し
【非特許文献１】特に無し
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は以上のような従来技術の欠点に鑑み、高精度に測定対象物の平坦度の変化を測定することができる平坦度等の測定装置および平坦度等の測定方法を提供することを目的としている。
【０００５】
本発明の前記ならびのそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。
ただし、図面はもっぱら解説のためであって、本発明の技術的範囲をそれらに限定するものではない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は以下に述べるような構成となっている。
＜請求項１記載の発明＞
測定対象物の対象物測定部位を写す鏡面部と、
前記対象物測定部位と前記鏡面部に写った該対象物測定部位の鏡写り像測定部位とからなる向い合い像を撮影するリフロー・スコープなどの撮影手段とからなり、
前記撮影手段により前記向い合い像の時間の経過や温度変化などによる変化を撮影し、前記対象物測定部位と鏡写り像測定部位の距離を、前記向い合い像をディスプレーなどの画面に表示して測定する、プリントアウトして測定する、前記向い合い像データを解析して算出するなどにより行い、前記測定部位の時間的経過や温度変化による変化距離を得ることができるようにしてなる平坦度等の測定装置を構成している。
＜請求項２記載の発明＞
測定対象物の対象物測定部位を写す鏡面部と、
前記対象物測定部位と前記鏡面部に写った該対象物測定部位の鏡写り像測定部位とからなる向い合い像を撮影するリフロー・スコープなどの撮影手段と、
この撮影手段で撮影した前記向合い像を表示するディスプレーなどの画像表示手段と、
この画像表示手段に前記向い合い像とともに表示される、マウスやキーボードなどの操作により自在に移動させることができる定規を表示する定規プログラムとからなり、
前記撮影手段により前記向い合い像の時間の経過や温度変化などによる変化を撮影し、前記対象物測定部位と鏡写り像測定部位の距離を前記定規をあてがい計り、前記測定部位の時間的経過や温度変化による変化距離を得ることができるようにしてなる平坦度等の測定装置を構成している。
＜請求項３記載の発明＞
測定対象物の対象物測定部位、この対象物測定部位を鏡面に写した鏡写り像測定部位、この鏡写り像測定部位と前記対象物測定部位からなる向い合い像、温度などの条件変化前の前記向い合い像を撮影して初期映像を取込む初期映像取込み段階と、
前記初期映像をディスプレーに表示する初期映像表示段階と、
ディスプレーに表示された前記初期映像の中の前記測定対象物の対象物測定ポイントと前記鏡面上に写っている該測定対象物の鏡写り測定ポイントをオペレータがマウスやキーボードなどの操作により指定する測定ポイント指示段階と、
取込んだ前記初期映像の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を解析して境部位を特定して境部位特定データを作成する境部位特定データ作成段階と、
前記境部位特定データの前記境部位の中の前記対象物測定ポイントと前記鏡写り測定ポイントの部位にあたる測定境部位と鏡写り測定境部位を特定する測定境部位特定段階と、
この測定境部位と鏡写り測定境部位の移動に追随して移動して行く、測定境部位追随ポイントと鏡写り測定境部位追随ポイントを設定する追随ポイント設定段階と、
前記測定対象物を加熱するなどの条件変化が与えられ、この条件変化中の前記向い合い像を撮影してその条件変化映像を取込んで行く条件変化映像取込み段階と、
取込まれてくる前記条件変化映像の中の測定境部位追随ポイントと鏡写り測定境部位追随ポイントの距離を計測し記憶して行く追随ポイント間距離計測記憶段階とで平坦度等の測定方法を構成している。
＜請求項４記載の発明＞
測定対象物の対象物測定部位、この対象物測定部位を鏡面に写した鏡写り像測定部位、この鏡写り像測定部位と前記対象物測定部位からなる向い合い像、温度などの条件変化前の前記向い合い像を撮影して初期映像を取込む初期映像取込み段階と、
前記初期映像の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を解析して境部位を特定し、該境部位の移動に追随して移動する境部位追随ポイントが設定された境部位追随ポイント付き映像データを作成する境部位追随ポイント付き映像データ作成段階と、
前記境部位追随ポイント付き映像データをディスプレーに表示する境部位追随ポイント付き映像表示段階と、
ディスプレーに表示された前記境部位追随ポイント付き映像の前記境部位追随ポイントの中の測定ポイントとなる、前記測定対象物の対象物追随ポイントと前記鏡面上に写っている該測定対象物の鏡写り追随ポイントをオペレータがマウスやキーボードなどの操作により指定する追随ポイント指示設定段階と、
前記測定対象物を加熱するなどの条件変化が与えられ、この条件変化中の前記向い合い像を撮影してその条件変化映像を取込んで行く条件変化映像取込み段階と、
取込まれてくる前記条件変化映像の中の測定境部位追随ポイントと鏡写り測定境部位追随ポイントの距離を計測し記憶して行く追随ポイント間距離計測記憶段階とで平坦度等の測定方法を構成している。
＜請求項５記載の発明＞
請求項３、４いずれか記載の発明の構成において、追随ポイント間距離計測記憶段階を、条件変化映像取込み完了後に条件変化映像の中の測定境部位追随ポイントと鏡写り測定境部位追随ポイントの距離を計測し記憶するようにしてなる平坦度等の測定方法を構成している。
＜請求項６記載の発明＞
測定対象物の対象物測定部位、この対象物測定部位を鏡面に写した鏡写り像測定部位、この鏡写り像測定部位と前記対象物測定部位からなる向い合い像、温度などの条件変化前から条件変化付与後の前記向い合い像を撮影して行く映像取込み段階と、
取り込んで行く映像や取込んだ映像の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を認識する境部位認識段階と、
認識された境部位のうちの対応する対象物測定部位と鏡写り像測定部位間の距離を出す距離出し段階とで平坦度測定方法を構成している。
【発明の効果】
【０００７】
以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
【０００８】
（１）鏡面に写し出された鏡写り像と測定対象物像を撮影して、この間隔距離の変化量を測定するものである。
すなわち、鏡面を基準面にして測定対象物と鏡写り像とは常に対称配置となり、測定対象物が変化するとそれとは対称に鏡写り像も変化するものであり、それは基台面である鏡面の浮き量に影響されないものであるので、鏡面を基準面にして測定対象物と鏡写り像の距離を測定比較することにより、少なくとも浮き量が５０μｍ〜１００μｍの平坦度精度の測定を容易に実現するという効果を得ることができる。
更なる平坦度精度測定を求める場合は、撮影角度による誤差補正を行う、更に鏡面の浮き量を測定して計測値の補正演算を行う、鏡面の浮き量による撮影角度の変化を撮影手段を動かしして補正する、鏡面の浮き量分だけ鏡面を下降移動あるいは上昇移動させるなどの物理的およびソフトウエアーによる補正計算あるいはいずれか一方による補正を行うことにより容易に実現可能とできるものである。
【０００９】
（２）撮影映像データの色彩の相違点や濃淡の相違点である境部位に追随する該境部位の位置変化に追随して位置変化する境部位追随ポイントを指定設定することにより、リアルタイム解析してあるいは保存後の映像データを一気に解析して、例えば一秒単位ごとの詳細な変動データを得ることができるという効果を得ることができる。
当然、この詳細な変動データにより、変動グラフ、変動一覧表、時系列変動、温度別変動などの、詳細な分析データを得ることができるものである。
（３）また、測定対象物の対象物測定部位、この対象物測定部位を鏡面に写した鏡写り像測定部位、この鏡写り像測定部位と前記対象物測定部位からなる向い合い像、温度などの条件変化前から条件変化付与後の前記向い合い像を撮影して行く映像取込み段階と、取り込んで行く映像や取込んだ映像の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を認識する境部位認識段階と、認識された境部位のうちの対応する対象物測定部位と鏡写り像測定部位間の距離を出す距離出し段階とで平坦度測定方法を構成しているものは、向かい合い像の映像から対象物測定部位と鏡写り像測定部位間の距離を自動的に得ることができるという効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面に示す発明を実施するための最良の形態により、本発明を詳細に説明する。
【００１１】
＜第１の実施の形態＞
図１〜図３に示す本発明を実施するための最良の第１の実施の形態において１は平坦度測定装置であって、この平坦度測定装置１は測定装置本体２と、ディスプレー３と、コンピュータ４とからなっている。
測定装置本体２は半円球透明ガラス盤からなる開閉蓋５で覆われた条件変化室６と、この条件変化室６内に設けられた測定対象物７を載せ置く表面が鏡面部８とした基台９と、条件変化室６内の設けられた該６の環境温度（条件温度）を計測する温度計１０と、条件変化室６内を加熱する加熱手段１１と、条件変化室６の外から測定対象物７の対象物測定部位および鏡面部８に写った鏡写り像測定部位からなる向い合い像を撮影するリフロー・スコープからなる撮影手段１２と、条件変化室６の外から測定対象物７やその対象物測定部位（図３ではピン部分）の温度を計測する赤外線放射温度計１３と、制御部１４からなっている。
撮影手段１２は複数台（〜４台）を設けて同時に多様な方向から撮影し、それぞれの撮影データを保存できるようになっている。
【００１２】
図２において、測定装置本体２の映像情報と、この映像情報に関係する温度情報や時間情報などの関連情報（付帯情報）は、映像情報の付帯されてコンピュータ４に送信され、映像ファイル・関連情報保存部２０に保存される。
映像ファイル再生アプリケーション２１を起動して映像ファイル・関連情報保存部２０から撮影画像を呼び込むと、定規表示アプリケーション２２が自動的に呼び込まれ定規２３が表示される。
映像ファイル再生アプリケーション２１は動画再生アプリケーションであり、平坦度測定装置１により撮影さ画像は動画である。
定規２３はマウス１８でポインターを当てマウスボタンを押したままで自在に動かすことができ、定規２３を選択してキーボード１９のｃｔｒlキーを押しながら矢印キーで左右上下に微細移動させることができる。
定規表示アプリケーション２２は、フリーウェアの名称：Ｍeasure（http://ayusya.hp.infoseek.co.jp/  のアプリケーション集内で入手）を使用している。
【００１３】
図３は実際にディスプレー３に表示された撮影画像および定規２３であり（実際の画像は鮮明である）、見やすくした状態図は図４を参照。
図３において、
（１）基準を計測
定規３で画像上にある基準線２４（図では５００μｍ）を計る。この例では１１２ピクセルとなっている。
（２）平坦度の実測１（加熱開始前）
定規２３を計りたいピンの測定部位（先端）２５ｃに持って行く。
対称の画像のピン間（測定部位２５ｃと該測定部位２５ｃの鏡に映った鏡写り部位２６ｃ）を計る。この例では３６ピクセルとなっている。
先の５００μｍが１１２ピクセルであるから、比例計算を行う。このとき、対称となっているので１／２にする。
５００μｍ×３６／１１２／２≒８０μｍ  となる。
基準面から８０μｍ浮いた状態（平坦度）である。
（２）平坦度実測２（加熱後）
２５０℃近くの画像から同様に測定する。この例では６３ピクセルとなっている。
５００μｍ×６３／１１２／２≒１４１μｍ  となる。
基準面から１４１μｍ浮いた状態（平坦度）である。
（３）常温から３０１秒掛けて２４９．４℃に加熱されたピン部分の変化量（浮き量）は１４１μｍ−８０μｍ≒６１μｍである。
撮影時間、測定部位温度、条件温度は画面上に撮影画像に連動して表示されるようになっている。
【００１４】
（発明を実施するための異なる形態）
次に、図４以来に示す本発明を実施するための異なる形態について説明する。なお、これら本発明を実施するための異なる形態の説明に当たって、前述した実施の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００１５】
＜第２の実施の形態＞
図４に示す本発明を実施するための最良の第２の実施の形態において前記第１の実施の形態と主に異なる点は、映像ファイル再生アプリケーション２１を起動し、映像ファイルを呼び込むと自動的に間隔距離測定表示アプリケーションが起動し対からなる間隔距離測定小枠３０ａ、３０ｂが表示されるようにした点にある。
間隔距離測定小枠３０ａ、３０ｂはいずれかにポインターを当てマウスボタンを押したままで自在に動かすことができ、間隔距離測定小枠３０ａ、３０ｂはポインターをあてクリックして選択した側を、Shiftキーを押したまま上下矢印キーで上下に微細移動をさせることができるようになっている。
画面上には常に間隔距離測定小枠３０ａ、３０ｂに間隔距離および基準面からの計算距離が距離表示窓３１に表示されるようになっている。
間隔距離測定小枠３０ａ、３０ｂの間隔距離は向かい合う先端部分の距離であり、この先端部分を測定しようとする測定部位と鏡写り部位に合わせて測定を行う。
【００１６】
＜第３の実施の形態＞
図５に示す本発明を実施するための最良の第３の実施の形態において前記第１の実施の形態と主に異なる点は、定規２３の０位置に固定線３３を設け、この固定線３３からの距離表示を行う移動線３４を設け、固定線２３を測定部位にあて、移動線３４をシフトキーを押しながら上下キーを操作で微細移動させて鏡写り部位にあてて、距離表示窓３１に固定線３３と移動線３４の間隔距離および基準面からの計算距離がリアルタイムで常に表示されるようにした点にある。
【００１７】
＜第４の実施の形態＞
図６に示す本発明を実施するための最良の第４の実施の形態において前記第１の実施の形態と主に異なる点は、撮影画像の認識とともにリアルタイムで平坦度測定が行われるようにした点にある。
その一例を説明する。
（図６中  上図）
（１）条件変化前の測定対象物７の測定部位を撮影して初期映像を取込む初期映像取込み段階、初期映像をディスプレー３に表示する初期映像表示段階。
（２）ディスプレー３に表示された初期映像の中の測定対象物７の測定部位（対象物測定ポイント）２５ａ〜２５ｎと鏡面部８上に写っている鏡写り部位（鏡写り測定ポイント２６ａ〜２６ｎ）を対の測定ポイント指定線３７ａ、３７ｂでオペレータがマウス１８やキーボード１９などの操作により指定する測定ポイント指示段階。
（４）取込んだ初期映像の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を解析して境部位を特定して境部位特定データを作成する境部位特定データ作成段階。
（５）境部位特定データの境部位の中の対象物測定ポイントと鏡写り測定ポイントの部位にあたる測定境部位と鏡写り測定境部位を特定する測定境部位特定段階。
（６）指定した測定ポイント指定線３７ａ、３７ｂが測定境部位と鏡写り測定境部位の移動に追随して移動して行くように設定する追随ポイント設定段階。
（図６中  下図）
（７）測定対象物７を加熱する条件変化が与えられ、この条件変化中の測定部位２５ａ〜２５ｎおよび鏡写り部位２６ａ〜２６ｎを撮影してその条件変化映像を取込んで行く条件変化映像取込み段階。
（８）取込まれてくる条件変化映像の中の測定ポイント指定線（測定境部位追随ポイント）３７ａと測定ポイント指定線（鏡写り測定境部位追随ポイント）３７ｂの距離を計測し記憶して行く追随ポイント間距離計測記憶段階と。
以上のような段階で平坦度測定が行われるようにしている。
画面には測定ポイント指定線３７ａ、３７ｂの測定部位毎の基準面からの計算浮き量が浮き量表示窓３８ａ〜３８ｎに表示されるようになっている。
【００１８】
（１）初期映像の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を解析して境部位を特定し、該境部位の移動に追随して移動する境部位追随ポイントが設定された境部位追随ポイント付き映像データを作成する境部位追随ポイント付き映像データ作成段階。
境部位追随ポイント付き映像データをディスプレーに表示する境部位追随ポイント付き映像表示段階。
ディスプレーに表示された前記境部位追随ポイント付き映像の前記境部位追随ポイントの中の測定ポイントとなる、前記測定対象物の対象物追随ポイントと前記鏡面上に写っている該測定対象物の鏡写り追随ポイントをオペレータがマウスやキーボードなどの操作により指定する追随ポイント指示設定段階。
としてなるものもよい。
この場合、指定されなかった追随ポイントは無視され測定・計算がされないようにするのがよい。
（２）ディスプレィに表示された映像そのものを、外部測定器により自動的に測定するものもよい。例えば、対象物測定部位の位置と鏡写り像測定部位を自動的に認知指定して行なうものなどがある。
【００１９】
＜第５の実施の形態＞
図７、図８に示す本発明を実施するための最良の第５の実施の形態において前記第１の実施の形態と主に異なる点は、取り込まれた映像（動画）の内の境部位を認識する範囲を境部位認識範囲部４０で指定していて、境認識部４１で境部位認識範囲部４０の範囲の色彩の違いの境部位や色の濃淡の違いの境部位を解析して境部位を特定（図７では線画  小丸で表現）し、境間距離出し部４２で対応する対象物測定部位と鏡写り像測定部位間の距離を出し（図７ではＨａ＝１６０μｍ（表示は１６０／２＝８０μｍ），Ｈｂ＝２８２μｍ（表示は２８２／２＝１４１μｍ））、得られたデータをデータ作成部４４で時間ごと、温度ごと、測定部位ごとやこれらの関係データを作成し、これらの処理は統括部４３により統括管理されるようにしてなる平坦度測定装置４５を形成した点にある。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明は主に電子部品を製造する産業で利用される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の実施の形態の平坦度測定装置の概略図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の平坦度測定装置のブロック図。
【図３】本発明の第１の実施の形態の平坦度を測定している状態画面図。
【図４】本発明の第２の実施の形態の平坦度を測定している状態画面図。
【図５】本発明の第３の実施の形態の平坦度を測定している状態画面図。
【図６】本発明の第４の実施の形態の平坦度を測定している状態画面図。
【図７】本発明の第５の実施の形態の平坦度を測定している状態画面図。
【図８】本発明の第６の実施の形態の平坦度測定装置のブロック図。
【符号の説明】
【００２２】
１：平坦度測定装置、
２：測定装置本体、
３：ディスプレー、
４：コンピュータ、
５：開閉蓋、
６：条件変化室、
７：測定対象物、
８：鏡面部、
９：基台、
１０：温度計、
１１：加熱手段、
１２：撮影手段、
１３：赤外線放射温度計、
１８：マウス、
１９：キーボード、
２０：映像ファイル・関連情報保存部、
２１：映像ファイル再生アプリケーション、
２２：定規表示アプリケーション、
２３：定規、
２５ａ〜２５ｎ：測定部位、
２６ａ〜２６ｎ：鏡写り部位、
３０ａ、３０ｂ：間隔距離測定小枠、
３１：距離表示窓、
３３：固定線、
３４：移動線、
３７ａ、３７ｂ：測定ポイント指定線、
３８ａ〜３８ｎ：浮き量表示窓、
４０：境部位認識範囲部、
４１：境認識部、
４２：境間距離出し部、
４３：統括部、
４４：データ作成部、
４５：平坦度測定装置。
【図１】
2006258433.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2006258433.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006258433.tif 000008
【図７】
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【図８】
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