(57)【要約】【課題】  搬送台車側に設置した一次側交番磁界発生装置及び曲線箇所を含む搬送台車の走行路に沿って表面磁極がＮＳ交互に配置されるニ次側永久磁石からなるリニアモータにて搬送台車に推力又は制動力を与える構成において、曲線部を搬送台車が走行するに当って、曲線部における推力又は制動力の低下を抑制すること。【解決手段】  搬送台車の曲線走行路１１における曲率の中心から径方向の永久磁石の長さを、曲線走行路１１の曲率の大きさに応じて、搬送台車の走行方向と直交する方向の直線走行路における永久磁石の長さより大とし、曲線走行路においても、前記交番磁界発生装置１２の一連の磁極面が全面に亘って一連の永久磁石の表面に対面するように構成する。【選択図】図１
2006174605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の走行路に沿って走行する被搬送物搬送用台車の駆動手段であって、前記搬送台車側に備えられ、当該台車の走行方向における所定長さを有する一次側交番磁界発生装置と、
この交番磁界発生装置から発生する交番磁界との相互作用にて前記搬送台車に推力を発生させ、前記走行路に沿って所定の間隔でＮＳ交互の極性にて配置される一連の二次側永久磁石体と、
からなるリニアモータにおいて、
曲線部を含む前記搬送台車の走行路全体における何れの箇所であっても、前記一次側交番磁界発生装置の前記台車の走行方向において、略等間隔に位置する各交番磁界発生面の前記台車の走行方向と直交する方向の全長が、順次対向する各永久磁石に対して対面するように、各永久磁石における搬送台車の走行方向と直交する方向の長さを定めることを特徴とする駆動装置を有する搬送台車。
【請求項２】
被搬送物搬送用台車が所定の走行路に沿って敷設されたレールに対して走行用車輪を係合させて走行する無人搬送台車であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置を有する搬送台車。
【請求項３】
搬送台車の走行路における直線部は搬送台車の走行方向に対し直交する方向の永久磁石及び交番磁界発生面の各長さを等しくし、曲線部はこの曲率半径と、前記一次側交番磁界発生装置の搬送台車の走行方向における長さと、搬送台車の走行方向と直交する幅方向の長さと、に応じて永久磁石の搬送台車の走行方向に対し直交する方向における長さを増すように調整することを特徴とする請求項１又は２に記載の駆動装置を有する搬送台車。
【請求項４】
走行路の曲線部に於ける永久磁石を、当該永久磁石の搬送台車の走行方向と直交する方向における中心線が、曲線部の曲率の中心を通るように配置したことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の駆動装置を有する搬送台車。
【請求項５】
搬送台車の一次側交番磁界発生装置に対しては、高周波非接触給電を行い、これによって得られた高周波電圧を整流した後、搬送台車の走行速度に適合した周波数に変換するようにしたことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の駆動装置を有する搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、曲線部を含む所定の走行路に沿って走行し、半導体基板ほか各種被搬送物を異なるステーション相互間において移送させる無人搬送装置ほかの搬送台車の駆動装置に係る。
より具体的に述べると、本発明は、前記搬送台車側に設置され、搬送台車の走行方向へ進行する交番磁界発生装置と、この磁束発生面に対面し、表面磁極面の極性がＮＳ交互となるように前記走行路に配置される一連の永久磁石と、からなるリニアモータの曲線部における推力の低下を抑制する手段に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造工程における各種処理（洗浄、ＣＶＤほか）を順次行うために半導体ウエハを収納、搬送するためのキャリアほか、液晶表示パネル製造、ＦＡ等において、板状体を各種処理部に移送させるためのキャリア等の被搬送物用搬送手段は、生産性向上の観点から、近年、Ｏｖｅｒ  ｈｅａｄ  Ｓｈｕｔｔｌｅ（以下、ＯＨＳという）、Ｏｖｅｒ  ｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ（以下、ＯＨＴという）等の無人搬送装置が主流となってきている。
これら無人搬送装置に属するＯＨＳ、ＯＨＴ等におけるリニアモータ式駆動手段は、搬送台車側に備えられ、必要推力に応じた前記搬送台車の走行方向における所定長の交番磁界発生装置と、この交番磁界発生装置の搬送台車の走行方向に沿う一連の磁束発生面と対向し、所定の間隔にて搬送台車の走行方向に沿って表面の極性がＮＳ交互に配置される永久磁石とにより構成される。
【０００３】
ところで、搬送台車に所定の推力を与えるために、リニアモータの一次側としての交番磁界発生装置の搬送台車における走行方向の長さは所定値以上必要とされる。
従って、搬送台車の走行路における曲線部の曲率が一定限度を超える場合には、搬送台車側に備えられ、リニアモータの一次側をなす交番磁界発生装置の搬送台車の走行方向に並ぶ一連の磁極面において、前記搬送台車の走行路に沿って配置されている二次側永久磁石に対向しない部分が生じる。
【０００４】
この点について本願の従来技術の要部を抽出して示す図４を基に説明する。図４において、１は搬送台車（図示せず）の走行路である。２は搬送台車に設置されている交番磁界発生装置であって、磁束発生面を抽出して表示したもので、搬送台車が必要とする推力を得るにように搬送台車の進行方向（長手方向）に所定の長さを有している。  
そして、この交番磁界発生装置２の搬送台車の進行方向における中心線２ａは、走行路１の大半を占める直線部に適合するように直線をなしている。
一方、前記交番磁界発生装置２とでリニアモータを構成し、搬送台車の走行路１の中心線１ａに沿って、前記交番磁界発生装置２の磁束発生用磁極面に対向する永久磁石３の表面磁極がＮＳ交互となるように配置される。
【０００５】
この永久磁石３の搬送台車の走行方向に直交する方向の長さは、従来、分岐箇所を除き、基本的に一定であり、このため走行路の曲線部の曲率が大きくなると、搬送台車の駆動源であるリニアモータの一次側交番磁界発生装置２の磁束発生用各磁極面は図４のように二次側永久磁石３と対向しない箇所が発生する。
即ち、図４において、前記交番磁界発生装置２の磁束発生用各磁束発生面は一連の永久磁石３に対面向しない領域が走行路１の曲線部における搬送台車の走行方向であって、曲率の中心方向の中央部、及び曲率の中心方向と反対側の両端に発生する。
【０００６】
ところで、このような搬送台車側に設けられる交番磁界発生装置と、この磁束発生面に対面し、搬送台車の走行路に沿って表面極性をＮＳ交互に配置した永久磁石の配列であって、曲線部に係る先行技術として下記特許文献１、２が存在する。
先ず、特許文献１に開示の技術は、一次側交番磁界発生用コイル１ａと走行路に沿って表面磁極がＮＳ交互に配された一連の永久磁石３、３１、３２とで搬送車１駆動用リニアモータを構成し、特に、搬送車１の分岐箇所の改良を要旨としている。
具体的には、図４に示される従来構成においてはリニアモータの構成要素としての一連の永久磁石３１、３２が分岐箇所において途切れることにより、直線方向における推進力及び制動力が適切に制御不能となることを改善している。
【０００７】
このための手段として、図１に示されるように、分岐部Ｂには、円弧状の形態とされた分岐部用永久磁石４を設け、この永久磁石４により分岐部Ｂ前の走行軌道上の永久磁石３と、分岐部Ｂ後の曲線部軌道２１上の永久磁石３１、直線部軌道２２上の永久磁石３２とを夫々連続した永久磁石の列としている。
このことにより、分岐部Ｂ上においても、搬送車に対する推進力及び制動力を働かせることが可能であり、安定したシステムの運用を図るようにしている。
【０００８】
また、特許文献２に開示の技術は、リニアモータの二次側永久磁石の敷設に際しての直線部分岐軌道１の改良に係るもので、図２に開示の従来構成においては、搬送車側のコイルの軸と軌道側の永久磁石の軸とがずれることにより生じる円弧状軌道での推力の低下を改善することを要旨としている。
このための具体的手段は、図１に示されるように、直線状軌道２１と円弧状軌道１１とにより構成される軌道の分岐・合流部４で、円弧状軌道の永久磁石群１ａの表面積が直線状軌道の永久磁石群２ａより大きくなるように両永久磁石群１ａ、１ｂを敷設している。
【０００９】
前記特許文献１、２は共に搬送台車等の可動側に交番磁界発生装置を備え、搬送台車等の走行路に沿って一連の永久磁石の表面極性がＮＳ交互になるように配置したリニアモータ式搬送装置の分岐・合流箇所におけるリニアモータの推力の低下を防止することを主眼としている。
従って、特許文献１、２とも、分岐部に限定されず搬送台車の曲線部における推力低下の防止に係る本願各発明とは直接の係りはないと言えるが、リニアモータの曲線部における推力低下を防止するという点、あるいは、リニアモータにて駆動される搬送台車の曲線部の走行態様が開示されている点において先行技術として開示した。
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−１６８８０５
【特許文献２】特開２００２−３１５１１３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従来のＯＨＳ、ＯＨＴ等における搬送台車の駆動装置として用いられるリニアモータの一次側の交番磁束発生装置は、前記のように所定の推力を搬送台車に与えるために、搬送台車の走行方向に対して一定以上の長さを必要とする。
従って、搬送台車の走行路のうち、特に曲線部の曲率が大きくなるにつれて、この曲線走行路の中心線に沿って極性が表面においてＮＳ交互に配列される一連の永久磁石に対して、搬送台車側に設置される交番磁界発生装置の磁束発生面が、全面において対向できない箇所が生じ、搬送台車の推力の低下を来す。
これを改善するための手段として、搬送台車に設置される交番磁界発生装置を周知のボギー機構を用いて２分割することも考えられる。しかし、このために要する交番磁界発生装置の構造上の複雑化、コスト、保守の各観点から採用することは困難である。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、ＯＨＳ、ＯＨＴ等の搬送台車駆動用リニアモータの構成において、搬送台車側に設置され、その走行方向に直線的に延びる一次側交番磁界発生装置の各磁極面の全面が二次側永久磁石に対面できるようにし、搬送台車に対する推力を曲線走行路においても減少させないことにある。
これを実現するための具体的手段は、搬送台車の曲線走行路の曲率に応じて、リニアモータ二次側をなす永久磁石の搬送台車の走行方向に直交する方向の長さを直線走行部に比べて長く定めるようにしている。
この点における詳細は以下の説明で明らかにされる。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１３】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の搬送台車の駆動装置は、所定の走行路に沿って走行する被搬送物搬送用台車の駆動手段であって、前記搬送台車側に備えられ、当該台車の走行方向における所定長さを有する一次側交番磁界発生装置と、この交番磁界発生装置から発生する交番磁界との相互作用にて前記搬送台車に推力を発生させ、前記走行路に沿って所定の間隔でＮＳ交互の極性にて配置される一連の二次側永久磁石体と、からなる直流リニアモータにおいて、曲線部を含む前記搬送台車の走行路全体における何れの箇所であっても、前記一次側交番磁界発生装置の前記台車の走行方向において、略等間隔に位置する各交番磁界発生面の前記台車の走行方向と直交する方向の全長が、順次対向する各永久磁石に対して対面するように、各永久磁石における搬送台車の走行方向と直交する方向の長さを定めることを特徴とする。
【００１４】
この請求項１に係る発明によれば、曲線部を有する走行路を搬送台車が走行するに際して、搬送台車側に設置されるリニアモータ一次側の交番磁界発生装置の磁束発生面は、直線走行路は元より曲線走行路においても的確にリニアモータ二次側の永久磁石に対面することができる。
従って、搬送台車の走行路における曲線部での推力低下が的確に抑制され、曲線部における搬送台車の稼動率低下を来すことなく、且つ、複雑なボギー機構を用いることなくリニアモータによる搬送台車の推力を、全走行路に亘って所定値以上に維持することができる。
【００１５】
請求項２に記載の搬送台車の駆動装置は、請求項１に記載の搬送台車の駆動装置において、被搬送物搬送用台車が所定の走行路に沿って敷設されたレールに対して走行用車輪を係合させて走行する無人搬送台車であることを特徴とする。
この請求項２に係る発明によれば、引用元の請求項１に係る発明の効果に加えて、特に曲率が大きい曲線部を含む走行路を有するＯＨＳ、ＯＨＴ等の無人搬送台車等における効率向上を図ることができる。
【００１６】
請求項３に記載の搬送台車の駆動装置は、請求項１又は２に記載の搬送台車の駆動装置において、搬送台車の走行路における直線部は搬送台車の走行方向に対し直交する方向の永久磁石及び交番磁界発生面の各長さを等しくし、曲線部はこの曲率半径と、前記一次側交番磁界発生装置の搬送台車の走行方向における長さと、搬送台車の走行方向と直行する幅方向の長さと、に応じて永久磁石の搬送台車の走行方向に対し直交する方向における長さを増すように調整することを特徴とする。
この請求項３に係る発明によれば、引用元の請求項１又は２に係る発明の効果に加えて、走行路の曲線部に沿う永久磁石の搬送台車の走行方向と直交する方向の長さを必要最小限に定めることができる。
【００１７】
請求項４に記載の搬送台車の駆動装置は、請求項１乃至３の何れかに記載の搬送台車の駆動装置において、走行路の曲線部における永久磁石を、当該永久磁石の搬送台車の走行方向と直交する方向における中心線が、曲線部の曲率の中心を通るように配置配置したことを特徴とする。
この請求項４に係る発明によれば、引用元の請求項１乃至３の効果に加えて、次の効果を奏する。
即ち、リニアモータ一次側をなし、台車に設置されている交番磁界発生装置の搬送台車の進行方向に配置される各磁束発生面のうち中央部に位置する磁束発生面の搬送台車の走行方向に対して直交する方向の中心線と、対面するリニアモータ二次側をなす永久磁石の搬送台車の走行方向と直交する方向の中心線方向と、が一致する。
従って、前記リニアモータの一次側及び二次側の台車の走行方向に直交する方向の中心線同士は交番磁界発生装置の搬送台車の走行方向において中心部から両端部に向けて少しずつ方向性の誤差を生じることがあっても、この誤差は最小限に極小化でき実質的に殆ど影響なく全体として曲線部における搬送台車の推力の向上を図ることができる。
【００１８】
請求項５に記載の搬送台車の駆動装置は、請求項１乃至４の何れかに記載の搬送台車の駆動装置において、搬送台車の一次側交番磁界発生装置に対しては、高周波非接触給電を行い、これによって得られた高周波電圧を整流した後、搬送台車の走行速度に適合した周波数に変換するようにしたことを特徴とする。
この請求項５に係る発明によれば、引用元の請求項１乃至４の効果に加えて、搬送台車側に設置される交番磁界発生装置ほか搬送台車制御装置等、諸機器に対しての必要な電力を非接触にて給電可能であり、搬送台車の電源機構の簡素化、メンテナンスフリー化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、図面の概要を述べると、図１は本願各発明の適用箇所を抽出した概略平面図、図２は搬送台車の走行路のうち曲線部におけるリニアモータの一次側交番磁界発生装置とこの磁極面に対面する永久磁石との関係を示す模式図、図３は、本願各発明を実施する装置の具体例を示すＯＨＳの断面図である。
【００２０】
図１において、１１は搬送台車（図示せず）の走行路であって特に曲線箇所を示している。１２は搬送台車に設置されている交番磁界発生装置であって磁束発生面を抽出して表示したもので、搬送台車が必要とする推力を得るにように搬送台車の進行方向（長手方向）に所定の長さを有している。  
そして、この交番磁界発生装置１２の搬送台車の進行方向における中心線１２ａは、走行路１２の大半を占める直線部に適合するように直線をなしている。
一方、前記交番磁界発生装置１２とでリニアモータを構成し、搬送台車の曲線走行路１１の中心線１１ａに沿って、前記交番磁界発生装置１１の対向面がＮＳ極交互となるように永久磁石１３が配置される。
以上の基本となる構成は前記従来技術として開示した図４と均等である。
【００２１】
ところで、本願各発明の要旨をなす構成は、交番磁界発生装置１２の一連の各磁極面が全面的にリニアモータ二次側をなす永久磁石１３の磁極面に対向できるように、永久磁石の搬送台車の走行方向と直交する方向、即ち、走行路の曲線部における径方向の長さを直線部に比べて長く定めている。
このように、曲線走行路１１に沿って表面極性をＮＳ交互に配列される永久磁石１３の曲線走行路の径方向における長さの適正化を図るための手段について図２を基に説明する。
図２において、図１に表示の対応する構成要素は同一符号にて表示し、その詳細な説明は省略する。
【００２２】
今、リニアモータ用二次側永久磁石の搬送台車の曲線走行路における曲率の径方向の必要な長さの範囲を幾何学的に求めると、次の通りである。
先ず、前記曲率の径方向内側の範囲は、搬送台車の曲線走行路における曲率の中心Ｏにおいて、この曲率の中心Ｏを中心とし、交番磁界発生装置１２の一連の磁極面における曲率の中心Ｏ方向の側面に接する円弧Ｓ１で規制される。
次に、前記曲率の径方向外側の範囲は、搬送台車の曲線走行路における曲率の中心Ｏにおいて、この曲率の中心Ｏを中心とし、交番磁界発生装置１２の一連の磁極面における曲率の中心Ｏとは反対方向の側面を含む円弧Ｓ２で規制される。
【００２３】
ところで、曲線走行部１１においては、各永久磁石における搬送台車の走行方向と直交する方向の中心線は、曲線走行部における曲率の中心から径方向に向けて配置される。
従って、交番磁界発生装置１２における一連の磁極面のうち、中央部に位置する磁極面の搬送台車の走行方向と直交する方向の中心線は、前記永久磁石１３の中心線と一致するが、交番磁界発生装置１２の搬送台車の走行方向における両端部に進むにつれて、交番磁界発生装置１２の磁極面と、これに対面する永久磁石１３との各中心線同士はズレ角が増す。
【００２４】
この最大ズレ角θは、搬送台車の走行方向の前記交番磁界発生装置１２における一連の磁極面の長さが大になることに応じて増し、曲線走行路１１の曲率半径が大きくなるにつれて減少する。
ところで、この最大ズレ角θは、搬送台車に設置された交番磁界発生装置１２が曲線走行路１１のほか直線走行路においても対応する必要性から、必然的に生じることになる。
なお、この最大ズレ角θは、搬送台車の搬送効率の面から判断すると、さほど影響を来すことはないが、所定の稼動効率を維持できる限度を示すための目安として有効に利用できる。
【００２５】
本願各発明の基本となる技術は前記の通りであるが、適用の具体的構成の一例としてＯＨＳの機構について図３を参照しつつ説明する。
図３において、２１は直線部におけるレール枠体で、押し出し成形等により形成され、ＯＨＳ搬送システムにおける搬送台車２２の走行路に沿って敷設されている。そして、このレール枠体２１は鉛直方向に配置される左側面壁２１ａおよび右側面壁２１ｂと、両側面壁２１ａ・２１ｂの下端部同士を連結した底面壁２１ｃとを有している。左側面壁２１ａと右側面壁２１ｂとは、左右対称に形成されている。各側面壁２１ａ・２１ｂは、上面部２１ｄを上端位置に備えている。上面部２１ｄは、底面壁２１ｃに対して平行に配置され、内側方向に向けて形成されている。上面部２１ｄの長さは、両側壁部２１ａ・２１ｂの上面部２１ｄ・２１ｄ同士が対向されたときに、搬送台車２２の被搬送物載置台２２ａの支持部材２２ｂが通過する最小限の隙間を出現させる程度に設定されている。これにより、上面部２１ｄは、搬送台車２２がレール枠体２１内部を走行するのに伴い発生する塵埃がクリーンルーム等、外部に拡散するのを防止している。
【００２６】
また、各側壁部２１ａ・２１ｂは、ガイド部２１ｅを有している。このガイド部２１ｅは、底面壁２１ｃに対して平行に配置され、先端部が下方に曲折されている。そして、ガイド部２１ｅは、搬送径路が２方向に分岐されている場合、後述する方向規制用ガイドローラの係合により搬送台車２２を何れか所定の分岐方向に進行させるようになっている。
【００２７】
上記のガイド部２１ｅと上面部２１ｄとの間には、絶縁材料で形成された支持梁２１ｆが設けられている。この支持梁２１ｆは、２つの先端部を有するように、縦断面がＣ字形状に形成されている。また、支持梁２１ｆは、先端部が上下に位置するように取り付けられていると共に、これらの先端部間に給電機構２２ｃを位置させるように取り付けられている。さらに、支持梁２１ｆの各先端部には、一次給電線２１ｇが夫々設けられている。また、支持梁２１ｆは、一次給電線２１ｇを搬送軌道の全長に渡って一定の高さ位置に保持するように、搬送軌道方向に所定の間隔で配置されている。一次給電線２１ｇは、図示しない給電装置に接続されており、給電装置からの高周波電力を搬送台車２２の給電機構２２ｃに供給するようになっている。
【００２８】
また、レール枠体２１の底面壁２１ｃは、中心位置に配置された溝部２１ｃｘと、この溝部２１ｃｘを中心として左右対称に配置された走行部２１ｉとを有している。また、溝部２１ｃｘの中央部に沿って表面の磁極がＮＳ交互になるように永久磁石１３が配置される。この永久磁石１３は、接着剤等で溝部２１ｃｘに接着することにより固定されている。    
また、永久磁石１３は、フェライト磁石を所望のサイズに加工することにより形成されている。なお、永久磁石１３は、サマリュウムコバルト磁石やネオジュウム磁石等で形成されていてもよい。
【００２９】
２２ｄは前記給電機構２２ｃを搬送台車２２と一体的に移動するための固定部材である。２２ｅは搬送台車２２の駆動機構を支持するための基台で、前記搬送台車支持部材２２ｂ、分岐制御機構２２ｆ、交番磁界発生装置２２g等が固定される。交番磁界発生装置２２ｇには、前記永久磁石１３に対面する磁極１２が搬送台車２２の走行方向に配列されている。２２ｈは走行車輪で、基台２２ｅに回転自在に支持され、前記走行部２１ｉ上を転動する。２２ｉは案内ローラで、基台２２ｅに水平状態を保った状態で回動自在に支持され、各側壁部２１ａ・２１ｂの内面において転動する。２２ｊは方向規制用案内ローラで、搬送台車２２の分岐路の走行先に応じた前記分岐制御機構２２ｆの作用に基づいて左右一対の方向規制用案内ローラ２２ｊのうち何れか一方が対応して位置する何れかのガイド部２１ｅに係合するように構成されている。
【００３０】
前記図３に示す構成において、一次給電線２１ｇに高周波電圧が与えられると、給電機構２２ｃの二次巻線に電磁誘導により高周波電流を生成する。給電機構２２ｃは図示しない電流変換部に接続されている。この電流変換部は整流回路において高周波電流を、一旦、直流に変換し、ＰＷＭ変換回路において３相交流に変換した後、交番磁界発生装置２２ｇのコイルに通電させ、進行磁界を発生させる。この進行磁界と永久磁石１３から発生される磁束との電磁作用に基づいて搬送台車２２は推力を受け、搬送台車２２の走行路に沿って敷設されるレール枠体２１に沿って走行し、進行磁界の制御により搬送台車２２に制動力を与えることもできる。
【００３１】
なお、搬送台車２２の走行路における直線路と曲線路との境界部の直線部は搬送台車２２の方向が完全に直線方向を向くまでは、直線走行路における永久磁石１３の搬送台車の走行方向と直交する方向の長さは除々に短くすることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本願各発明の適用箇所を抽出した概略平面図である。
【図２】搬送台車の走行路のうち曲線部におけるリニアモータの一次側交番磁界発生装置とこの磁極面に対面する永久磁石との関係を示す模式図である。
【図３】本願各発明を実施する装置の具体例を示すＯＨＳの断面図である。
【図４】従来の構成を説明するための要部平面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１２・・・磁極
１３・・・永久磁石
２１・・・レール枠体
２１ｂ・・右側面壁
２１ｃ・・底面壁
２１ｃｘ・溝部
２１ｄ・・上面部
２１ｅ・・ガイド部
２１ｆ・・支持梁
２１ｇ・・一次給電線
２１ｉ・・走行部
２２・・・搬送台車
２２ａ・・被搬送物載置台
２２ｂ・・支持部材
２２ｃ・・給電機構
２２ｄ・・固定部材
２２ｅ・・基台
２２ｆ・・分岐制御機構
２２ｇ・・交番磁界発生装置
【図１】
2006174605.tif 000003
【図２】
2006174605.tif 000004
【図３】
2006174605.tif 000005
【図４】
2006174605.tif 000006