(57)【要約】【課題】  仕様の相異なる複数の被測定物を撮像対象として各被測定物上の測定対象の寸法を測定すること。【解決手段】  中型のスクリーン版２８ａを測定対象とするときには、測定機本体１２上部の測定テーブル２４上に中型のスクリーン版２８ａを配置し、Ｙ軸移動台４６をＹ軸フレーム２６に沿って移動させ、ヘッド４８をＹ軸移動台４６に沿って移動させ、カメラユニット５６、５８、６０のうちいずれかによって中型のスクリーン版２８ａ上のパターンを撮像し、大型のスクリーン版２８ｂを測定対象とするときには、大型のスクリーン版２８ｂをフレーム３８とローダ４０上に配置し、Ｙ軸移動台４６をＹ軸フレーム２６に沿って移動させるとともに、ヘッド４８をＹ軸移動台４６に沿って移動させ、上向きのカメラユニット６２によって大型のスクリーン版２８ｂ上のパターンを撮像し、各撮像結果をＰＣ５０で処理し、処理結果を表示装置５２の画面上に表示する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被測定物のうち一方の被測定物を支持する第１の支持部材と、前記一方の被測定物との間に空間部を残して前記一方の被測定物と相対向して配置される他方の被測定物を支持する第２の支持部材と、前記複数の被測定物を撮像対象として前記空間部に移動可能に配置されたヘッドと、前記一方の支持部材に連結されて前記空間部を２次元のヘッド移動領域として、前記ヘッドを前記ヘッド移動領域に亘って移動させる駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記ヘッドの撮像による画像を処理して前記各被測定物上の測定対象の寸法（座標）を測定する画像処理手段とを備え、前記ヘッドは、前記複数の被測定物上の測定対象のうち前記ヘッド移動領域に対応した領域に存在する測定対象を撮像してなる２次元座標測定機。
【請求項２】
大きさの相異なる複数の被測定物のうち大きさの小さい一方の被測定物を支持する第１の支持部材と、前記一方の被測定物との間に空間部を残して前記一方の被測定物と相対向して配置される他方の被測定物を支持する第２の支持部材と、前記複数の被測定物を撮像対象として前記空間部に移動可能に配置されたヘッドと、前記一方の支持部材に連結されて前記空間部のうち前記一方の被測定物上の測定対象の存在領域よりも広い２次元領域をヘッド移動領域として、前記ヘッドを前記ヘッド移動領域に亘って移動させる駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記ヘッドの撮像による画像を処理して前記各被測定物上の測定対象の寸法（座標）を測定する画像処理手段とを備え、前記第１の支持部材で測定機本体を構成し、前記ヘッドは、前記複数の被測定物上の測定対象のうち前記ヘッド移動領域に対応した領域に存在する測定対象を撮像してなる２次元座標測定機。
【請求項３】
請求項１または２に記載の２次元座標測定機において、前記ヘッドは、前記一方の被測定物上の測定対象を撮像する第１の撮像手段と、前記他方の被測定物上の測定対象を撮像する第２の撮像手段とを備えてなることを特徴とする２次元座標測定機。
【請求項４】
請求項１または２に記載の２次元座標測定機において、前記ヘッドは、前記複数の被測定物のうちいずれかの被測定物上の測定対象を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を回転自在に支持するとともに前記撮像手段の撮像方向を前記いずれかの被測定物の方向に切替える切替手段とを備えてなることを特徴とする２次元座標測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物を被写体として撮像し、この撮像により得られた画像を処理して被測定物の寸法を測定するように構成された２次元座標測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
２次元座標測定機としては、平行に延設されたＹ軸ガイドレール上にＹ軸ガイドレールと直交してスライド移動自在に配置されたＸ軸フレームと、このＸ軸フレームをガイドレールに沿ってＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動部と、Ｘ軸フレームの長手方向に沿ってスライド移動自在に配置された検出部と、この検出部をＸ軸フレームに沿ってＸ軸方向に移動させるＸ軸駆動部と、検出部の下方または上方から被測定物を照射する光源部とを備え、検出部を２次元方向に移動させて、被測定物上のパターンなどの寸法、座標等を測定するようにしたものが知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
一方、２次元座標測定機の被測定物としては、近年、薄型プラズマテレビの表示画面を形成するためのスクリーン版が多く用いられている。このスクリーン版としては、例えば、約１６００ｍｍ角の外形寸法を有するものがあり、このスクリーン版上には、複数個分の表示画面を形成するためのパターンが印刷されている。このパターンの線幅などを２次元座標測定機で測定することで、パターンの精度などを検査することができる。
【０００４】
また、スクリーン版としては、薄型プラズマテレビの大型化に伴って、約２５００ｍｍ角の外形寸法を有するものが製作されるようになっており、この種のスクリーン版（中型スクリーン版）を測定するために、２次元座標測定機をスクリーン版の形状に合わせて大型化することが行われている。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１２５１２号公報（第２頁〜第４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、今後さらに薄型プラズマテレビの大型化に伴って、スクリーン版として、例えば、約３５００ｍｍ角の外形寸法を有するものの出現が予想されている。この種のスクリーン版（大型スクリーン版）を測定するために、２次元座標測定機をスクリーン版の形状に合わせて構成すると、測定機本体の寸法が大きくなり過ぎ、設定スペースの増加とともに、測定機重量が増加する。
【０００７】
すなわち、２次元座標測定機は、測定機本体の上部にガラス製の測定テーブルを配置し、ガラステーブルの両側にＹ軸ガイドレールを配置し、該Ｙ軸ガイドレール上にＸ軸フレームをスライド自在に配置し、Ｘ軸フレームに測定ヘッドとしての検出部を固定し、検出部をＸ軸フレームに沿ってＸ軸方向に移動させるとともにＸ軸フレームをＹ軸ガイドレールに沿ってＹ軸方向に沿って移動させるように構成されているため、スクリーン版の大型化に伴って単に測定テーブルを大きくすると、測定機本体の寸法が大きくなり、設置スペースが増大するとともに測定機重量が増加する。この結果、製造原価が高騰するとともに、測定機を運搬することが困難になる。
【０００８】
本発明は、前記従来技術の課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、仕様の相異なる複数の被測定物を撮像対象として各被測定物上の測定対象の寸法を測定することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、請求項１に係る２次元座標測定機においては、複数の被測定物のうち一方の被測定物を支持する第１の支持部材と、前記一方の被測定物との間に空間部を残して前記一方の被測定物と相対向して配置される他方の被測定物を支持する第２の支持部材と、前記複数の被測定物を撮像対象として前記空間部に移動可能に配置されたヘッドと、前記一方の支持部材に連結されて前記空間部を２次元のヘッド移動領域として、前記ヘッドを前記ヘッド移動領域に亘って移動させる駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記ヘッドの撮像による画像を処理して前記各被測定物上の測定対象の寸法（座標）を測定する画像処理手段とを備え、前記ヘッドは、前記複数の被測定物上の測定対象のうち前記ヘッド移動領域に対応した領域に存在する測定対象を撮像してなる構成とした。
【００１０】
（作用）仕様の相異なる複数の被測定物のうち一方の被測定物を第１の支持部材で支持するとともに、他方の被測定物を第１の支持部材に連結された第２の支持部材で支持し、一方の被測定物と他方の被測定物との間の空間部を２次元のヘッド移動領域として、ヘッドをヘッド移動領域に亘って移動させるようにしたため、仕様の相異なる複数の被測定物を撮像対象としても、各被測定物上の測定対象をヘッドによって撮像することで、仕様の相異なる複数の被測定物を撮像対象として各被測定物上の測定対象の寸法（座標）を測定することができる。また、仕様の相異なる複数の被測定物に関する測定を１台の測定機によって行うことが可能になる。
【００１１】
請求項２に係る２次元座標測定機においては、大きさの相異なる複数の被測定物のうち大きさの小さい一方の被測定物を支持する第１の支持部材と、前記一方の被測定物との間に空間部を残して前記一方の被測定物と相対向して配置される他方の被測定物を支持する第２の支持部材と、前記複数の被測定物を撮像対象として前記空間部に移動可能に配置されたヘッドと、前記一方の支持部材に連結されて前記空間部のうち前記一方の被測定物上の測定対象の存在領域よりも広い２次元領域をヘッド移動領域として、前記ヘッドを前記ヘッド移動領域に亘って移動させる駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記ヘッドの撮像による画像を処理して前記各被測定物上の測定対象の寸法（座標）を測定する画像処理手段とを備え、前記第１の支持部材で測定機本体を構成し、前記ヘッドは、前記複数の被測定物上の測定対象のうち前記ヘッド移動領域に対応した領域に存在する測定対象を撮像してなる構成とした。
【００１２】
（作用）大きさの相異なる複数の被測定物のうち大きさの小さい一方の被測定物を第１の支持部材で支持するとともに、他方の被測定物を第１の支持部材に連結された第２の支持部材で支持し、一方の被測定物と他方の被測定物との間の空間部であって、一方の被測定物上の測定対象の存在領域よりも広い２次元領域をヘッド移動領域として、ヘッドをヘッド移動領域に亘って移動させるようにしたため、大きさの相異なる複数の被測定物を撮像対象としても、各被測定物上の測定対象をヘッドによって撮像することで、大きさの相異なる複数の被測定物を撮像対象として各被測定物上の測定対象の寸法（座標）を測定することができる。また、大きさの相異なる複数の被測定物に関する測定を１台の測定機によって行うことが可能になる。さらに、大きさの相異なる複数の被測定物のうち大きさの小さい一方の被測定物を支持する第１の支持部材と大きさの大きい他方の被測定物を支持する第２の支持部材とをヘッド移動領域を間にして配置し、第１の支持部材によって測定機本体を構成したため、大きさの大きい被測定物に合わせて測定機本体を構成するときよりも、被測定物の大型化に伴って設置スペースが増大したり、測定機の重量が増加したりするのを抑制することができる。
【００１３】
請求項３に係る２次元座標測定機においては、請求項１または２に記載の２次元座標測定機において、前記ヘッドは、前記一方の被測定物上の測定対象を撮像する第１の撮像手段と、前記他方の被測定物上の測定対象を撮像する第２の撮像手段とを備えて構成した。
【００１４】
（作用）測定ヘッドに第１の撮像手段と第２の撮像手段を配置することで、各被測定物上の測定対象をそれぞれ各撮像手段によって撮像することができる。
【００１５】
請求項４に係る２次元座標測定機においては、請求項１または２に記載の２次元座標測定機において、前記ヘッドは、前記複数の被測定物のうちいずれかの被測定物上の測定対象を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を回転自在に支持するとともに前記撮像手段の撮像方向を前記いずれかの被測定物の方向に切替える切替手段とを備えて構成した。
【００１６】
（作用）ヘッドに撮像手段と撮像手段の撮像方向を切り替える切替手段を配置し、撮像手段の撮像対象を複数の被測定物のうちいずれかの被測定物に切り替えることで、１台の撮像手段によって複数の被測定物を撮像することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上の説明から明らかなように、請求項１に係る２次元座標測定機によれば、仕様の相異なる複数の被測定物を撮像対象として各被測定物上の測定対象の寸法（座標）を測定することができるとともに、仕様の相異なる複数の被測定物に関する寸法（座標）の測定を１台の測定機によって行うことが可能になる。
【００１８】
請求項２に係る２次元座標測定機によれば、大きさの相異なる複数の被測定物を撮像対象として各被測定物上の測定対象の寸法（座標）を測定することができるとともに、大きさの相異なる複数の被測定物に関する寸法（座標）の測定を１台の測定機によって行うことが可能になる。さらに、大きさの大きい被測定物に合わせて測定機本体を構成するときよりも、被測定物の大型化に伴って設置スペースが増大したり、測定機の重量が増加したりするのを抑制することができる。
【００１９】
請求項３によれば、各被測定物上の測定対象をそれぞれ各撮像手段によって撮像することができる。
【００２０】
請求項４によれば、１台の撮像手段によって複数の被測定物を撮像することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。図１は、本発明に係る２次元座標測定機の一実施例を示す斜視図、図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う断面図、図３は、図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図、図４は、スクリーン版の斜視図、図５は、ヘッドの断面図である。
【００２２】
これらの図において、２次元座標測定機１０は、略箱型形状に形成された測定機本体１２を備えており、２次元測定機１０は、第１の支持部材を構成する主要素として、ベース１４と基台１６（２６）等を備えて構成されている。ベース１４は、複数本の枠体を用いて構成され、その周囲が化粧板１５で覆われている。ベース１４の底部には、ベース１４と設置面との傾きを調整するための水平調整ねじ１８が複数個固定され、ベース１４の上部には、ベース１４と基台１６（２６）との傾きを調整するための水平調整ねじ２０が複数個固定されているとともに、ベース１４とＹ軸フレーム２６（１６）との傾きを調整するための水平調整ねじ２０が複数個固定されている。そして、ベース１４上には、水平調整ねじ２０を介してＹ軸フレーム２６（１６）が載置されている。すなわち、ベース１４は、水平調整ねじ１８によって水平度が調整され、Ｙ軸フレーム２６（１６）は水平調整ねじ２０によって水平度が調整されるようになっている。
【００２３】
基台１６（２６）の上部側には一対の凸部１６ａが相対向して形成されており、各凸部１６ａ間の領域には中心駆動送りねじ１７、測定テーブル２４、Ｙ軸移動台（Ｘ軸フレーム）４６等が配置されている。中心駆動送りねじ１７は、ヘッド４８をＹ軸方向に駆動するＹ軸駆動部の一要素として、測定テーブル２４の下方の領域に配置されて、軸方向一端側が凸部１６ａ内の軸受（図示せず）に回転自在に支持され、軸方向他端側がＹ軸駆動モータ（図示せず）に連結されている。そして、中心駆動送りねじ１７には、Ｙ軸移動台（Ｘ軸フレーム）４６のねじ部（図示せず）が連結されており、Ｙ軸駆動モータの回転駆動によって中心駆動送りねじ１７が回転すると、Ｙ軸移動台（Ｘ軸フレーム）４６が中心駆動送りねじ１７と噛み合いながらＹ軸方向に沿って移動するようになっている。この場合、Ｙ軸移動台（Ｘ軸フレーム）４６の移動量がリニアスケール２１で計測され、この計測結果に従ってＹ軸駆動モータの駆動が制御され、Ｙ軸駆動モータに対する制御を基にＹ軸移動台（Ｘ軸フレーム）４６が位置決めされるようになっている。
【００２４】
一方、Ｙ軸フレーム２６（１６）の上部側には一対の凸部２６ａが相対向して形成されており、各凸部２６ａ上にはＹ軸ガイドレール１９がＹ軸（測定機本体１２におけるＸ-Ｙ座標（機械座標）のＹ軸）と平行になって配置されている。Ｙ軸ガイドレール１９上には、Ｙ軸移動台（Ｘ軸フレーム）４６の摺動部４４がＹ軸方向に沿って移動自在に配置されている。Ｙ軸移動台（Ｘ軸フレーム）４６内には、Ｘ軸駆動送りねじ２３、Ｘ軸ガイドレール２５がＸ軸（測定機本体１２におけるＸ-Ｙ座標のＸ軸）と平行になって配置されている。Ｘ軸駆動送りねじ２３は、ヘッド４８をＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動部の一要素として、測定テーブル２４の上方の領域に配置されて、軸方向一端側が軸受（図示せず）に回転自在に支持され、軸方向他端側がＸ軸駆動モータ２７に連結されている。そして、Ｘ軸駆動送りねじ２３には、Ｘ軸移動台（ヘッド本体）４８ａのねじ部（図示せず）が連結されており、Ｘ軸駆動モータ２７の回転駆動によってＸ軸駆動送りねじ２３が回転すると、Ｘ軸移動台（ヘッド本体）４８ａがＸ軸駆動送りねじ２３と噛み合いながらＸ軸ガイドレール２５に沿って移動するようになっている。この場合、Ｘ軸移動台（ヘッド本体）４８ａの移動量がリニアスケール２９で計測され、この計測結果に従ってＸ軸駆動モータ２７の駆動が制御され、Ｘ軸駆動モータ２７に対する制御を基にＸ軸移動台（ヘッド本体）４８ａが位置決めされるようになっている。なお、Ｙ軸ガイドレール１９をＹ軸フレーム２６の両側に設けているが、Ｙ軸ガイドレール１９をＹ軸フレーム２６の中心付近にも設け、Ｙ軸ガイドレール１９を３本にすることも可能である。また、Ｘ軸ガイドレール２５の代わりに、リニアモータやエアーベアリングを用いることも可能である。さらに、リニアスケール２１、２９としては、光学式のものを用いることもできる。
【００２５】
測定テーブル２４は、透明なガラスを用いて略正方形形状に形成されて、基台１６の凸部１６ａに固定されている。測定テーブル２４上には、図４に示す、中型のスクリーン版２８ａが配置されるようになっている。中型のスクリーン版２８ａは、アルミニウムを用いて矩形形状に形成されたスクリーン枠３０ａと、シルク製のスクリーン（紗）３２ａを備えて構成されており、スクリーン（紗）３２ａには、例えば、薄型プラズマテレビの表示画面を構成するパターンが３面分ほぼ中央に形成されている。測定テーブル２４上に配置されるスクリーン版２８ａとしては、スクリーン枠３０ａの大きさが、例えば、２５００ｍｍ×２５００ｍｍのものが用いられる。
【００２６】
また、大型のスクリーン版２８ｂとして、例えば、スクリーン枠３０ｂの大きさが３５００ｍｍ×３５００ｍｍのものが用いられるようになっており、スクリーン（紗）３２ｂには、例えば、薄型プラズマテレビの表示画面を構成するパターンが６面分形成されている。そして、この大型のスクリーン版２８ｂは、測定テーブル２４の上方に、中型のスクリーン版２８ａとの間に空間部を残して配置されるようになっている。
【００２７】
具体的には、測定機本体１２の上方の領域を大型のスクリーン版２８ｂを配置するための大型スクリーン版配置領域１１とするために、測定機本体１２の両側面には４本の支柱３４が鉛直方向に沿って配置され、背面には３本の支柱３４が鉛直方向に沿って配置されており、各支柱３４の底部側が基台１６の側面に固定されている。各支柱３４の上部側には、水平方向に沿って配置されたフレーム３６、３８が固定されている。各フレーム３６は相対向して配置され、各フレーム３８は相対向して配置され、各フレーム３６の両端は各フレーム３８の両端に互いに連結されている。すなわち、２本のフレーム３６と２本のフレーム３８の端部が互いに連結されて、略正方形形状の枠体が構成されており、各フレーム３６上と各フレーム３８の両端部上にはそれぞれローダ４０がスライド自在に固定されている。ローダ４０は、その断面が略Ｌ字型の枠体として構成されており、ローダ４０底部から突出されたピン４１がフレーム３８のピン孔４２内に着脱自在に挿入されている。各フレーム３８にはピン孔４２が所定の間隔を保って複数個形成されており、複数のピン孔４２の中から、各ローダ４０から突出されたピン４１を挿入するためのピン孔４２を選択し、選択したピン孔４２にローダ４０底部のピン４１を挿入することで、ローダ４０のフレーム３８における位置を選択できるようになっている。すなわち、ローダ４０上に大型のスクリーン版２８ｂを配置するに際しては、大型のスクリーン版２８ｂの大きさに応じてローダ４０の位置が選択できるようになっている。そして、ローダ４０がフレーム３８の最端部に配置されたときには、ローダ４０には大型のスクリーン版２８ｂとして、３５００ｍｍ×３５００ｍｍのものが配置されるようになっている。
【００２８】
この場合、仕様の異なる複数の被測定物として、例えば、大きさの異なるスクリーン版２８ａ、２８ｂを測定対象とするに際して、測定機本体１２は、測定テーブル２４とともに中型のスクリーン版（大きさの小さい方のスクリーン版）２８ａを支持する第１の支持部材を構成し、測定機本体１２に連結された支柱３４、フレーム３６、３８、ローダ４０は、大型のスクリーン版（大きさの大きい方のスクリーン版）２８ｂを支持する第２の支持部材を構成するようになっている。
【００２９】
一方、ヘッド４８は、Ｘ軸駆動モータ２７などを含むＸ軸駆動部とＹ軸駆動モータなどを含むＹ軸駆動部の駆動を制御するための演算などを行うパーソナルコンピュータ（以下、ＰＣと称する。）５０にケーブル（図示せず）を介して連結されており、ＰＣ５０には、ＰＣ５０の処理結果などを表示する表示装置５２、ＰＣ５０に各種の情報を入力するためのキーボード５４が接続されている。この場合、Ｘ軸駆動モータ２７やＹ軸駆動モータに対する駆動量および駆動方向をＰＣ５０によって制御することで、Ｙ軸移動台（Ｘ軸フレーム）４６をＹ軸方向に沿って移動させたり、Ｘ軸移動台（ヘッド本体）４８ａをＸ軸方向に沿って移動させることができる。
【００３０】
すなわち、ヘッド４８は、Ｘ軸駆動部とＹ軸駆動部の駆動により、中型のスクリーン版２８ａと大型のスクリーン版２８ｂとの間の空間部を２次元のヘッド移動領域として、ヘッド移動領域に亘って移動できるようになっている。この場合、Ｘ軸駆動部とＹ軸駆動部はヘッド４８を駆動する駆動手段を構成し、ＰＣ５０は、駆動手段の駆動を制御する制御手段を構成することになる。
【００３１】
さらに、ヘッド４８は、図５に示すように、中型のスクリーン版２８ａを測定対象および撮像対象とする第１の撮像手段として、３種類の下向き用カメラユニット５６、５８、６０を備えているとともに、大型のスクリーン版２８ｂを測定対象および撮像対処とする第２の撮像手段として、上向き用カメラユニット６２を備えて構成されている。カメラユニット５６は広視野用の顕微鏡５６ａと、ＣＣＤカメラ５６ｂとを備えて構成され、カメラユニット５８は中倍率用の顕微鏡５８ａとＣＣＤカメラ５８ｂとを備えて構成され、カメラユニット６０は高倍率用の顕微鏡６０ａとＣＣＤカメラ６０ｂとを備えて構成されている。一方、カメラユニット６２は、例えば、中倍率用の顕微鏡６２ａとＣＣＤカメラ６２ｂとを備えて構成されている。
【００３２】
そして、カメラユニット５６、５８、６０、６２の撮像による画像（画像データ）はケーブル（図示せず）を介してＰＣ５０に転送され、ＰＣ５０において画像が処理され、処理結果を基に中型のスクリーン版２８ａまたは大型のスクリーン版２８ｂ上の測定対象、例えば、パターンの寸法（座標）が測定され、測定結果が表示装置５２の画面上に表示されるようになっている。すなわち、ＰＣ５０は画像処理手段を構成するようになっている。
【００３３】
上記構成において、測定テーブル２４上に中型のスクリーン版２８ａが載置されたときには、ＰＣ５０の制御を基にヘッド４８がスクリーン版２８ａの上方のヘッド移動領域をＸ軸フレーム４６とともにＹ軸フレーム２６に沿って移動し、その後、ヘッド４８がＸ軸フレーム４６に沿って移動して位置決めが行われると、カメラユニット５６、５８、６０のうちいずれかのカメラユニットが選択され、選択されたカメラユニットによって測定テーブル２４上のスクリーン版２８ａに対する撮像が行われ、この撮像による画像がＰＣ５０によって処理され、この処理結果が表示装置５２の画面上に表示される。このような処理を繰り返すとともに、ヘッド４８をヘッド移動領域に亘って移動させることで、中型のスクリーン版２８ａ上の測定対象として、例えば、パターンの微小寸法やピッチ間の長さを測定する長寸法などを順次測定することができる。
【００３４】
すなわち、中型のスクリーン版２８ａ上に存在する測定対象（パターン）の存在領域は、ヘッド４８が移動可能な最大限のヘッド移動領域よりも狭いため、ヘッド４８をヘッド移動領域に亘って移動させることで、中型のスクリーン版２８ａ上のパターンの微小寸法などを順次測定することができる。
【００３５】
一方、被測定物として、中型のスクリーン版２８ａの代わりに、大型のスクリーン版２８ｂが搬入され、大型のスクリーン版２８ｂがローダ４０上に固定されたときには、ＰＣ５０の制御を基に、大型のスクリーン版２８ｂの下方の領域をヘッド４８が移動して位置決めが行われると、大型のスクリーン版２８ｂに対する撮像がカメラユニット６２によって行われる。カメラユニット６２の撮像による画像がＰＣ５０によって処理されると、この処理結果が表示装置５２の画面上に表示される。このような処理を繰り返すとともに、ヘッド４８をヘッド移動領域に亘って移動させることで、大型のスクリーン版２８ｂ上の測定対象として、例えば、パターンの微小寸法などを順次測定することができる。
【００３６】
この場合、大型のスクリーン版２８ｂ上の測定対象（パターン）は、中型のスクリーン版２８ａ上の測定対象（パターン）よりも広い領域に亘って存在しているため、ヘッド４８は、中型のスクリーン版２８ａに対する移動領域よりも広い２次元の移動領域をヘッド移動領域として、ヘッド移動領域に亘って移動することになる。そして、大型のスクリーン版２８ｂ上に存在する測定対象（パターン）の存在領域とヘッド４８が移動可能な最大限のヘッド移動領域とが対応しているときには、ヘッド４８をヘッド移動領域に亘って移動させることで、大型のスクリーン版２８ｂ上の測定対象の微小寸法などを順次測定することができる。
【００３７】
本実施例によれば、中型のスクリーン版２８ａと大型のスクリーン版２８ｂとの間の空間部であって、中型のスクリーン版２８ａ上の測定対象の存在領域よりも広い２次元領域をヘッド移動領域として、ヘッド４８をヘッド移動領域に亘って移動させるようにしたため、大きさの相異なる複数のスクリーン版２８ａ、２８ｂを撮像対象としても、スクリーン版２８ａ、２８ｂ上の測定対象の寸法を測定することができる。また、大きさの相異なる複数のスクリーン版２８ａ、２８ｂ上の測定対象の寸法を１台の２次元座標測定機１０によって測定することができる。すなわち、大きさの相異なる複数のスクリーン版２８ａ、２８ｂ上の測定対象の寸法を同時に測定することはできないが、各スクリーン版２８ａ、２８ｂを別々に搬入し、各スクリーン版２８ａ、２８ｂに対する測定時間を変えることで、１台の２次元座標測定機１０によっても各スクリーン版２８ａ、２８ｂに関する測定を行うことができる。
【００３８】
また、本実施例によれば、測定テーブル２４とともに中型のスクリーン版２８ａを支持する測定機本体１２で第１の支持部材を構成し、測定機本体１２に連結された支柱３４とフレーム３６、３８およびローダ４０で大型のスクリーン版２８ｂを支持する第２の支持部材を構成し、第１の支持部材と第２の支持部材とをヘッド移動領域を間にして相対向させて配置したため、大型のスクリーン版２８ｂの大きさに合わせて測定機本体１２を構成するときよりも、設置スペースが増大したり、測定機の重量が増加したりするのを抑制することができ、製造原価の高騰を抑制し且つ測定機の運搬を容易にすることが可能になる。
【００３９】
また、前記実施例においては、カメラユニット５６、５８、６０によって中型のスクリーン版２８ａを撮像し、カメラユニット６２によって大型のスクリーン版２８ｂを撮像するものについて述べたが、カメラユニット６２を設ける代わりに、例えば、カメラユニットとして、カメラユニット５６、５８、６０を用い、カメラユニット５６、５８、６０を回転自在に支持するとともに、カメラユニット５６、５８、６０の撮像方向をスクリーン版２８ａ、２８ｂのうちいずれかの方向に切替える切替手段を設け、カメラユニット５６、５８、６０を上向き用のカメラユニットまたは下向き用のカメラユニットとして用いる構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係る２次元座標測定機の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】スクリーン版の斜視図である。
【図５】ヘッドの断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  ２次元座標測定機
１２  測定機本体
１４  ベース
１６  基台
２４  測定テーブル
２６  Ｙ軸フレーム
２８ａ  中型のスクリーン版
２８ｂ  大型のスクリーン版
３４  支柱
３６、３８  フレーム
４０  ローダ
４２  ピン孔
４４  摺動部
４６  Ｙ軸移動台（Ｘ軸フレーム）
４８  ヘッド
４８ａ  Ｘ軸移動台（ヘッド本体）
５０  ＰＣ
５６、５８、６０、６２  カメラユニット
【図１】
2006112961.tif 000003
【図２】
2006112961.tif 000004
【図３】
2006112961.tif 000005
【図４】
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【図５】
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