(57)【要約】【課題】  本発明は冷凍機と圧縮装置が分離された構成の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置に関し、環境温度の変化に拘らず、圧縮機ユニットから冷凍機に供給するヘリウムガスの流量を安定化することを課題とする。【解決手段】  冷凍機１１と、この冷凍機１１と離間配置されており冷凍機１１に高圧作動ガスを供給すると共に冷凍機１１からの低圧作動ガスを回収する圧縮機ユニット１２と、圧縮機ユニット１２からヘリウムガスを冷凍機１１に供給するためのガス供給配管１３と、冷凍機１１からヘリウムガスを圧縮機ユニット１２に回収するためのガス回収配管１４とを設けてなる超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、ガス回収配管１４にヘリウムガスを冷却する水冷冷却器１５を設けた構成とする。【選択図】  図１
2006284062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷凍機と、
該冷凍機と離間配置されており、前記冷凍機に高圧作動ガスを供給すると共に前記冷凍機からの低圧作動ガスを回収する圧縮機ユニットと、
前記圧縮機ユニットから前記高圧作動ガスを前記冷凍機に供給するためのガス供給配管と、
前記冷凍機から前記低圧作動ガスを前記圧縮機ユニットに回収するためのガス回収配管とを設けてなる超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記ガス回収配管に前記低圧作動ガスを冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置。
【請求項２】
請求項１記載の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記圧縮機ユニットに内設された圧縮機は、水冷装置から供給される冷却水により冷却される構成とされており、
前記ガス回収配管に設けられた冷却手段は、前記水冷装置から供給される前記冷却水を利用して前記低圧作動ガスを冷却する構成としたことを特徴とする超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記冷却手段から前記圧縮機ユニットに至る間における前記ガス回収配管に断熱材を配設したことを特徴とする超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記冷凍機は、蓄冷器式ヘリウム冷凍機であることを特徴とする超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記ガス回収配管の前記冷却手段から前記圧縮機ユニットに至る距離が、前記冷却手段から前記冷凍機に至る距離に比べて短いことを特徴とする超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置に係り、特に冷凍機と圧縮装置が分離された構成の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、４Ｋ〜１０Ｋ程度の極低温を実現する極低温冷却装置は、大略すると冷凍機、圧縮機ユニット、ガス供給配管、及びガス回収配管等により構成されている。また、作動ガスとしては、ヘリウムガスを用いるのが一般的である。
【０００３】
冷凍機はＧＭサイクル冷凍機或いはＧＭ式パルス管冷凍機等であり、圧縮機ユニットからガス供給配管を介して供給される高圧ヘリウムガスは冷凍機内で膨張され、これにより寒冷が発生する。また、膨張されることにより低圧となった作動ガスは、ガス回収配管を介して圧縮機ユニットに回収され、圧縮機ユニットを構成する圧縮機により加圧され、再び冷凍機に向け供給される。この動作を繰り返し実施することにより、冷凍機は被冷却対象を極低温に冷却することができる。このように極低温冷却装置は極低温を実現できるため、研究施設や医療施設等の種々の分野において使用されている。
【０００４】
ところで、例えば研究施設等において精密測定等を実施する場合、測定精度を高める点より測定環境の振動を嫌う場合がある。このような環境下で極低温冷却装置を使用しようとした場合、圧縮ユニットは振動を発生するため、極低温冷却装置全体を精密測定機器の近傍に配置することは望ましくない。また、冷凍機と圧縮機ユニットとは離間して配置されており、冷凍機と圧縮機ユニットとの間に長くガス供給配管及びガス回収配管を配設することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−０１３８３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、冷凍機と圧縮機ユニットとを離間して配置すると、必然的にガス供給配管及びガス回収配管の配設距離が長くなる。従来では、このガス供給配管及びガス回収配管は特に断熱処理等はされておらず、また通常の部屋内に配設されていた。
【０００６】
このため、ガス供給配管及びガス回収配管が配設された環境（以下、配設環境という）の温度が変化すると、これに伴いガス供給配管及びガス回収配管の温度も変化してしまう。具体的には、夏場においてガス供給配管及びガス回収配管が配設された部屋の室温が上昇すると、ガス供給配管及びガス回収配管の温度は上昇し、よって内部を流れる作動ガス（ヘリウム）の温度も上昇する。
【０００７】
ガス供給配管の場合には、圧縮機で圧縮された高圧のヘリウムガスは、圧縮処理により温度が室温よりも高くなっており、室内の環境温度変化により大きく影響を受けるようなことはない。
【０００８】
しかしながら、ガス回収配管ではヘリウムガスが低圧であるため、ヘリウムガスの温度が上昇することにより吸入ガス量が増大し、これに伴い体積効率が低下して（即ち、薄められた状態となり）、圧縮機への実質的なヘリウムガスの流入量が減少してしまう。このため、圧縮機ユニットから冷凍機に供給するヘリウムガスの流量が減少してしまい、冷凍機において所望の寒冷を発生することができないという問題点があった。
【０００９】
更に、冷凍機の用途として超電導電力貯蔵装置（以下、ＳＭＥＳという）があり、ＳＭＥＳでは超電導コイルの冷却に冷凍機を用いている。このＳＭＥＳは、超電導コイルに電力のエネルギーを磁気エネルギーとして貯蔵している。
【００１０】
このＳＭＥＳはさまざまな工場で使用され、中でも半導体関連の製造ラインでは、０．１秒程度でも電圧が低下する事態（以下、瞬低という）が生じては品質に支障をきたすため、これを補償し、所定電圧に回復させる機能を持つ。ＳＭＥＳでは、瞬低発生時には冷却装置への熱負荷が急増するので、冷凍能力を非常に高いレベルで維持する必要がある。
【００１１】
上記したガス回収配管におけるヘリウムガスの温度上昇に起因した問題点を解決する方法として、ガス回収配管が配設された部屋を空調して一定の所定温度に保つことが考えられる。しかしながら、この方法では、部屋が大きい場合には設備的に空調することは容易ではない。また、圧縮機ユニットを機械室等に設置した場合には、部屋の機密性等の点で空調が適切でない場合が多い。ましてや、ＳＭＥＳ及び冷凍機が設置される工場の設備棟は、無人であり空調もなく、温室効果等により屋外よりも高温になるという非常に厳しい環境である。
【００１２】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、環境温度の変化に拘らず、圧縮機ユニットから冷凍機に供給するヘリウムガスの流量を安定化しうる超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項１記載の発明は、
冷凍機と、
該冷凍機と離間配置されており、前記冷凍機に高圧作動ガスを供給すると共に前記冷凍機からの低圧作動ガスを回収する圧縮機ユニットと、
前記圧縮機ユニットから前記高圧作動ガスを前記冷凍機に供給するためのガス供給配管と、
前記冷凍機から前記低圧作動ガスを前記圧縮機ユニットに回収するためのガス回収配管とを設けてなる超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記ガス回収配管に前記低圧作動ガスを冷却する冷却手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
上記発明によれば、ガス回収配管に低圧作動ガスを冷却する冷却手段を設けたことにより、ガス回収配管が配設された環境温度が高くなり、これに伴いガス回収配管内を流れる作動ガスの温度が上昇しても、冷却手段により作動ガスは冷却された上で圧縮機ユニットに回収される。よって、圧縮機の体積効率の低下を抑制でき、圧縮機ユニットから冷凍機に確実に作動ガスを供給することができるため、冷凍機において所望の寒冷を発生させることができる。
【００１６】
また、請求項２記載の発明は、
請求項１記載の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記圧縮機ユニットに内設された圧縮機は、水冷装置から供給される冷却水により冷却される構成とされており、
前記ガス回収配管に設けられた冷却手段は、前記水冷装置から供給される前記冷却水を利用して前記低圧作動ガスを冷却する構成としたことを特徴とするものである。
【００１７】
上記発明によれば、ガス回収配管に設けられた冷却手段は、水冷装置から供給される冷却水を利用して低圧作動ガスを冷却するため、冷却手段を設けても徒に装置構成が複雑化することを防止できる。
【００１８】
また、請求項３記載の発明は、
請求項１または２記載の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記冷却手段から前記圧縮機ユニットに至る間における前記ガス回収配管に断熱材を配設したことを特徴とするものである。
【００１９】
上記発明によれば、冷却手段から圧縮機ユニットに至る間におけるガス回収配管に断熱材を配設したことにより、冷却手段により冷却された作動ガスが、冷却手段から圧縮機ユニットに至る間に昇温することを防止できる。
【００２０】
また、請求項４記載の発明は、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記冷凍機は、蓄冷器式ヘリウム冷凍機であることを特徴とするものである。
【００２１】
また、請求項５記載の発明は、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置において、
前記ガス回収配管の前記冷却手段から前記圧縮機ユニットに至る距離が、前記冷却手段から前記冷凍機に至る距離に比べて短いことを特徴とするものである。
【００２２】
上記発明によれば、ガス回収配管の冷却手段から圧縮機ユニットに至る距離が冷却手段から冷凍機に至る距離に比べて短いため、冷却手段により冷却された作動ガスが、冷却手段から圧縮機ユニットに至る間に昇温することを防止できる。
【発明の効果】
【００２３】
上述の如く本発明によれば、環境温度が高くなりガス回収配管内を流れる作動ガスの温度が上昇しても、冷却手段により作動ガスは冷却された上で圧縮機ユニットに回収されるため、作動ガスの体積効率の低下を抑制でき、圧縮機ユニットから冷凍機に確実に作動ガスを供給されるため、冷凍機において所望の寒冷を発生させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。
【００２５】
図１は、本発明の第１実施例である超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置１０Ａ（以下、単に極低温冷却装置１０Ａという）を示している。極低温冷却装置１０Ａは、大略すると冷凍機１１、圧縮機ユニット１２、ガス供給配管１３、ガス回収配管１４、及び水冷冷却器１５等により構成されている。本実施例に係る極低温冷却装置１０Ａは、作動ガスとしてヘリウムガスを用いており、また振動の影響等より、冷凍機１１と圧縮機ユニット１２とを離間して配置した構成とされている。
【００２６】
冷凍機１１はＧＭ冷凍機、スターリング冷凍機、或いはパルス管冷凍機等であり、ヘリウムガスを膨張させて寒冷を発生させる構成とされている。この冷凍機１１はクライオスタット１８に配設されており、そのコールドヘッド１６がクライオスタット１８内に配設された被冷却物１７と熱的に接続された構成とされている。
【００２７】
圧縮機ユニット１２は、ヘリウムガスを圧縮する圧縮機と、ヘリウムガスを圧縮することにより圧縮機に発生する熱を除去するための熱交換器等を内設した構成とされている（いずれも図示せず）。また、圧縮機はヘリウムガスを昇圧する際に熱を発生させるため、熱交換器はこの熱を冷却する機能を奏する。このため、圧縮機ユニット１２には、熱交換器に対して冷却水を供給する冷却水注入配管１９と、熱交換により昇温した冷却水を排水する冷却水排出配管２０が設けられている。
【００２８】
ガス供給配管１３及びガス回収配管１４は、冷凍機１１と圧縮機ユニット１２との間に配設されている。各配管１３，１４は、ステンレス製の蛇腹状フレキシブルホースの内面に柔軟性のあるパイプ材を装着した構成とされている。この構成とすることにより、圧縮機ユニット１２の圧縮機が稼動し振動が発生したしても、この振動は蛇腹状フレキシブルホースが弾性を有することから各配管１３，１４で吸収され、冷凍機１１に伝達されることを防止できる。
【００２９】
ガス供給配管１３は、圧縮機ユニット１２で生成された高圧ヘリウムガスを冷凍機１１に向け供給するための配管である。これに対し、ガス回収配管１４は、冷凍機１１で膨張されたことにより低圧となった低圧ヘリウムガスを圧縮機ユニット１２に回収するための配管である。
【００３０】
ところで、本実施例のように冷凍機１１と圧縮機ユニット１２を離間して配置し、その間をガス供給配管１３及びガス回収配管１４で接続する構成では、各配管１３，１４が配設された部屋の環境温度により、各配管１３，１４内を流れるヘリウムガスが影響を受けることは前述した通りである。
【００３１】
また、特にガス回収配管１４を流れるヘリウムガスが環境温度の影響を受け易く、ヘリウムガスの温度が上昇した場合には、吸入ガス量が増大して体積効率が低下し、圧縮機への実質的なヘリウムガスの流入量が減少することにより、圧縮機ユニットから冷凍機に供給するヘリウムガスの流量が減少し、冷凍機において所望の寒冷を発生することができなくなることも前述した通りである。
【００３２】
そこで、実施例に係る極低温冷却装置１０Ａは、ガス回収配管１４に低圧のヘリウムガスを冷却する水冷冷却器１５を設けた構成とした。この水冷冷却器１５は冷却水供給装置２１が接続されており、冷却水注入配管２２を介して冷却水が供給され、冷却水排出配管２３を介して使用済みの冷却水が冷却水供給装置２１に向け排出される。
【００３３】
この水冷冷却器１５は、図１に加えて図２に示すように、４つのポートＰＷ１，ＰＷ２，ＰＧ１，ＰＧ２を有している。ポートＰＷ１とポートＰＷ２は連通されており、ポートＰＷ１からポートＰＷ２に向け冷却水が流れる構成とされている（以下、ポートＰＷ１を注水ポートＰＷ１といい、ポートＰＷ２を排水ポートＰＷ２という）。また、ポートＰＧ１とポートＰＧ２も連通されており、ポートＰＧ１からポートＰＧ２に向けヘリウムガスが流れる構成とされている（以下、ポートＰＧ１をガス注入ポートＰＧ１といい、ポートＰＧ２をガス排出ポートＰＧ２という）。
【００３４】
注水ポートＰＷ１は前記した冷却水注入配管２２に接続されており、よって冷却水供給装置２１から冷却水が供給される。また、注水ポートＰＷ２は前記した冷却水排出配管２３に接続されており、よって冷却済みの冷却水は注水ポートＰＷ２から冷却水供給装置２１に回収される。
【００３５】
一方、ガス注入ポートＰＧ１は、冷凍機１１側のガス回収配管１４に接続されている。よって、冷凍機１１で膨張することにより低圧となったヘリウムガスは、圧縮機ユニット１２に回収される前にガス注入ポートＰＧ１から水冷冷却器１５に流入する。また、ガス排出ポートＰＧ２は、圧縮機ユニット１２側のガス回収配管１４に接続されている。
【００３６】
ここで、注水ポートＰＷ１から排水ポートＰＷ２に至る冷却水の通路と、ガス注入ポートＰＧ１からガス排出ポートＰＧ２に至るヘリウムガスの通路は、水冷冷却器１５のハウジング２４内に配設された隔壁２５により画成されている。また、隔壁２５には熱交換部２６が設けられており、その表面積が大きくなるよう構成されている。
【００３７】
このため、ガス注入ポートＰＧ１から流入したヘリウムガスは、注水ポートＰＷ１から排水ポートＰＷ２に向け流れる冷却水により冷却され、その上でガス排出ポートＰＧ２から排出される。そして、水冷冷却器１５で冷却されたヘリウムガスは、排水ポートＰＷ２及びガス回収配管１４を介して圧縮機ユニット１２に回収される。
【００３８】
このように、本実施例に係る極低温冷却装置１０Ａは、ガス回収配管１４に低圧のヘリウムガスを冷却する水冷冷却器１５を設けたことにより、ガス回収配管１４が配設された環境温度が高くなり、これに伴いガス回収配管１４内を流れるヘリウムガスの温度が上昇しても、ヘリウムガスは水冷冷却器１５により冷却された上で圧縮機ユニット１２に回収される。
【００３９】
圧縮機ユニット１２の圧縮機の体積効率は、吸入ガス温度（絶対温度）に反比例するため、圧縮機ユニット１２（圧縮機）の直前でヘリウムガスを冷却することにより圧縮機流量を増大させることができる。具体的には、夏場にガス回収配管１４が配設された室温が４０℃になるとすれば、配管内部を流れるヘリウムガスの温度も室温と略同じ４０℃となる。
【００４０】
しかしながら、本実施例のようにガス回収配管１４に水冷冷却器１５を配設することにより、ガス回収配管１４内を流れるヘリウムガスは冷却されて例えば２０℃とすることができる。単純にこの温度比により流量を演算すると、２０℃におけるヘリウムガスの実質的な流量は、４０℃のときに比べて６．４％増加することとなる。また、冷凍機１１の冷凍能力は、ヘリウムガスの流量と略比例関係にある。
【００４１】
よって、本実施例のようにガス回収配管１４を流れるヘリウムガスを水冷冷却器１５で冷却することにより、圧縮機の体積効率の低下が抑制され、圧縮機ユニット１２から冷凍機１１に向け高流量のヘリウムガスを安定して供給することが可能となる。よって、ガス回収配管１４が配設された環境温度が上昇しても、冷凍機１１における冷凍能力は増大し、冷凍機１１において所望の寒冷を発生させることが可能となる。
【００４２】
尚、本実施例では、ガス回収配管１４の水冷冷却器１５から圧縮機ユニット１２に至る距離が、水冷冷却器１５から冷凍機１１に至る距離に比べて短くなるよう設定している。これにより、水冷冷却器１５により冷却されたヘリウムガスが、水冷冷却器１５から圧縮機ユニット１２に至る間に昇温することを防止できる。
【００４３】
次に、本発明の第２実施例について説明する。
【００４４】
図３は、第２実施例である極低温冷却装置１０Ｂを示している。尚、図３において、図１及び図２に示した第１実施例に係る極低温冷却装置１０Ａと同一構成については同一符号を付し、その説明を省略するものとする。また、後の第３及び第４実施例の説明に用いる図４及び図５についても同様とする。
【００４５】
第１実施例に係る極低温冷却装置１０Ａは、圧縮機ユニット１２を冷却する冷却系（チラー）と、ガス回収配管１４を冷却する水冷冷却器１５に対して冷却水を供給するチラー２７とを独立分離した構成としていた。これに対して本実施例に係る極低温冷却装置１０Ｂは、圧縮機ユニット１２を冷却する冷却水を利用して水冷冷却器１５をも冷却するよう構成としたことを特徴とするものである。
【００４６】
具体的には、圧縮機ユニット１２を冷却する構成として従来から用いられていたと同一或いは出力を増大したチラー２７を用い、このチラー２７に冷却水注入配管２２の一端を接続すると共に、他端を注水ポートＰＷ１に接続する。また、排水ポートＰＷ２には、圧縮機ユニット１２に一端が接続された冷却水注入配管１９の他端部を接続する。更に、圧縮機ユニット１２とチラー２７とを冷却水排出配管２０により接続する。
【００４７】
これにより、チラー２７から送り出された冷却水は、先ず注水ポートＰＷ１から水冷冷却器１５に供給され、水冷冷却器１５においてガス回収配管１４内を流れる低圧のヘリウムガスを冷却する。前記したように、この水冷冷却器１５においては、４０℃のヘリウムガスを２０℃に冷却するものであるため冷却水の温度上昇はさほど大きくなく、よってこの冷却水を圧縮機ユニット１２の圧縮機を冷却する冷却水として使用することが可能である。
【００４８】
このため、排水ポートＰＷ２から排出された冷却水は、冷却水注入配管１９を介して圧縮機ユニット１２に供給されるよう構成している。そして、圧縮機ユニット１２内の圧縮機を冷却し、これにより昇温した冷却水は、冷却水排出配管２０を介してチラー２７に回収される。
【００４９】
このように本実施例に係る極低温冷却装置１０Ｂによれば、ガス回収配管１４に設けられた水冷冷却器１５は、圧縮機を冷却するためのチラー２７から供給される冷却水を利用して低圧のヘリウムガスを冷却する。このため、水冷冷却器１５を設けても徒に極低温冷却装置１０Ｂの構成が複雑化することはなく、ガス回収配管１４が配設された環境温度の上昇に、簡単かつ安価な構成で確実に対応することが可能となる。
【００５０】
次に、本発明の第３実施例について説明する。
【００５１】
図４は、第３実施例である極低温冷却装置１０Ｃを示している。本実施例に係る極低温冷却装置１０Ｃは、水冷冷却器１５から圧縮機ユニット１２に至る間におけるガス回収配管１４を断熱材２８により覆った構成としたことを特徴とするものである。この断熱材２８は、外部環境の温度がガス回収配管１４内を流れるヘリウムガスに熱伝導しないものであれば、特にその材質が特定されるものではない。
【００５２】
本実施例に係る極低温冷却装置１０Ｃによれば、水冷冷却器１５から圧縮機ユニット１２に至る間におけるガス回収配管１４に断熱材２８を配設したことにより、水冷冷却器１５により冷却されたヘリウムガスが、水冷冷却器１５から圧縮機ユニット１２に至る間に昇温することを防止できる。
【００５３】
次に、本発明の第４実施例について説明する。
【００５４】
図５は、第４実施例である極低温冷却装置１０Ｄを示している。前記した各実施例に係る極低温冷却装置１０Ａ〜１０Ｃは、ガス回収配管１４にのみ水冷冷却器１５を配設した構成としていた。これに対して本実施例に係る極低温冷却装置１０Ｄは、圧縮機で昇圧されたヘリウムガスが流れるガス供給配管１３に対しても水冷冷却器３０を配設したことを特徴とするものである。
【００５５】
この水冷冷却器３０は水冷冷却器１５と同一構成であり、４つのポートＰＷ３，ＰＷ４，ＰＧ３，ＰＧ４を有している。注水ポートＰＷ３は冷却水排出配管２３を介して水冷冷却器１５の排水ポートＰＷ２に接続されており、よって水冷冷却器１５を通った冷却水が供給されるよう構成されている。また、注水ポートＰＷ４は冷却水注入配管１９を介して圧縮機ユニット１２に接続されている。
【００５６】
一方、ガス注入ポートＰＧ３は、冷凍機１１側のガス供給配管１３に接続されている。また、ガス排出ポートＰＧ４は、圧縮機ユニット１２側のガス供給配管１３に接続されている。従って、圧縮機ユニット１２内の圧縮機で加圧されたヘリウムガスは、水冷冷却器３０で冷却された後に冷凍機１１に供給される。
【００５７】
本実施例によれば、圧縮機ユニット１２から冷凍機１１に向け流れる高圧のヘリウムガスに対しても、環境温度の上昇に伴いガス供給配管１３内を流れるヘリウムガスの温度上昇を抑制することができる。よって、冷凍機１１への供給側のヘリウムガスに対しても体積効率の低下が抑制され、冷凍機１１における冷凍能力の増大を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】図１は本発明の第１実施例である超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置を示す構成図である。
【図２】図２は水冷冷却器の構成図である。
【図３】図３は本発明の第２実施例である超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置を示す構成図である。
【図４】図４は本発明の第３実施例である超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置を示す構成図である。
【図５】図５は本発明の第４実施例である超電導電力貯蔵装置冷却用極低温冷却装置を示す構成図である。
【符号の説明】
【００５９】
１０Ａ〜１０Ｄ  極低温冷却装置
１１  冷凍機
１２  圧縮機ユニット
１３  ガス供給配管
１４  ガス回収配管
１５，３０  水冷冷却器
１６  コールドヘッド
１７  被冷却物
１８  熱シールド
１９，２２  冷却水注入配管
２０，２３  冷却水排出配管
２１  冷却水供給装置
２４  ハウジング
２５  隔壁
２６  熱交換部
２７  チラー
２８  断熱材
【図１】
2006284062.tif 000003
【図２】
2006284062.tif 000004
【図３】
2006284062.tif 000005
【図４】
2006284062.tif 000006
【図５】
2006284062.tif 000007