(57)【要約】【課題】二重管構造のエキシマランプの梱包品において、内側管と側壁との接合部分にヒビ、クラックを発生させない構造を提供することである。【解決手段】  長尺の外側管（２）と内側管（３）が概略同軸的に配置された二重管構造のエキシマランプ（１）と、このエキシマランプ（１）をクッション材（５１）とともに内蔵したケーシング（５０）とよりなる梱包品において、エキシマランプ（１）は、その長手方向において、前記ケーシングに対して傾斜していることを特徴とするエキシマランプ梱包品。【選択図】    図４
2006089139.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺の外側管と内側管が概略同軸的に配置された二重管構造をなし、この外側管の外表面には一方の電極が設けられ内側管の内表面に他方の電極が設けられ、これら外側管と内側管の間に形成された放電空間の中にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されたエキシマランプと、このエキシマランプをクッション材とともに内蔵したケーシングとよりなる梱包品において、
前記エキシマランプは、その長手方向において、前記ケーシングに対して傾斜していることを特徴とするエキシマランプ梱包品。
【請求項２】
前記エキシマランプは、長手方向の大きさが８００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ梱包品。
【請求項３】
長尺の外側管と内側管が概略同軸的に配置された二重管構造をなし、これら外側管と内側管の間に形成された放電空間の中にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されたエキシマランプ用放電容器と、このエキシマランプ用放電容器をクッション材とともに内蔵したケーシングとよりなる梱包品において、
前記エキシマランプ用放電容器は、その長手方向において、前記ケーシングに対して傾斜していることを特徴とするエキシマランプ用放電容器の梱包品。
【請求項４】
前記エキシマランプ用放電容器は、長手方向の大きさが８００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項３に記載のエキシマランプ梱包品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はエキシマランプの梱包品、およびエキシマランプ用放電容器の梱包品に関し、特に、長尺の外側管と内側管が概略同軸的に配置された二重管構造のエキシマランプの梱包品、およびエキシマランプ用放電容器の梱包品に関する。
【背景技術】
【０００２】
この発明に関連した技術としては、例えば、特開平２−７３５３号があり、そこには、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、誘電体バリア放電（別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）によってエキシマ分子を形成せしめ、このエキシマ分子から放射される光を取り出す放射器、すなわちエキシマランプについて記載されている
このエキシマランプ（以下、単に「放電ランプ」ともいう）は、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプにはない種々の特長、例えば、単一の波長の真空紫外光を強く放射するなどを有している。このエキシマランプは、例えば、５０Hzから数ＭＨｚまで適用できる。
【０００３】
図６にエキシマランプの概略構造を示す。
エキシマランプ１は、全体形状が円筒状であり、材質は誘電体バリア放電によって誘電体として機能するとともに、真空紫外光を透過する合成石英ガラスから構成される。放電ランプ１は内側管３と外側管２が同軸に配置して二重円筒管を構成するとともに、両端を閉じたことから内側管３と外側管２の間に放電空間４が形成される。放電空間４には誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成するとともに、このエキシマ分子から真空紫外光を放射する放電用ガス、例えばキセノンガスが封入される。
【０００４】
外側管２の外面には網状電極５が設けられ、内側管３の内部に他方の電極である内側電極６が設けられる。網状電極５はシームレスに構成され、全体として伸縮性を有することから外側管２への密着性を良くすることができる。内側電極６はパイプ状、あるいは断面において一部に切り欠きを有する概略Ｃ字状のものであり内側管３に密着するように設けられる。放電空間４には必要に応じてゲッタが配置される。
網状電極５、内側電極６の間には、図示略の交流電源が接続され、これにより放電空間４にエキシマ分子が形成されて真空紫外光を発光する。放電用ガスとしてキセノンガスを使った場合は波長１７２ｎｍの光を放射する。
【０００５】
図７（ｂ）は外側管２、内側管３の分解図を示す。エキシマランプの製造工程においては、外側管２になるべき円筒状ガラス管２’の中に、図７（ａ）に示すように事前に両端部をラッパ状に加工した内側管３になるべき同じ長さのガラス管３’を挿入して、円筒状ガラス管２’と合わせて溶着させる。従って、内側管３は端部の加工部のみにおいて支えられることとなる。
【０００６】
ところが、この二重管構造のエキシマランプ１は、内側管３の加工部付近にヒビ、クラックが発生することがある。
これは、発光長が長いエキシマランプほど良く起こることで、特に，液晶基板の洗浄装置の光源として使うエキシマランプは、液晶基板に大型化に伴って長尺化しており、発光長８００ｍｍ以上という長いランプが求められており、このような要請に伴って上記問題の発生も顕著化している。
【特許文献１】特開２００１−１２６６６５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、この発明が解決しようとする課題は、内側管と外側管を概略同軸に配置した二重管構造のエキシマランプにおいて、内側管と側壁との接合部分にヒビ、クラックを発生させない構造を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、この発明のエキシマランプ梱包品は、上記エキシマランプをクッション材とともに内蔵するケーシングとより構成され、前記エキシマランプは、その長手方向において、前記ケーシングに対して傾斜していることを特徴とする。
さらに、エキシマランプ用放電容器の梱包品においてエキシマランプ用放電容器が傾斜していることを特徴とする。
これは、エキシマランプとしては、放電容器に対し、前記のように電極を配設することで完成するものであるが、現実には、放電容器の状態、すなわち、電極を配設することなく搬送などを行い、最終的に光源装置として組み立てる際に電極を配設する場合が多々存在する。
本発明は、このような場合を想定して、必ずしも電極を配設したランプとしての完成品ではなく、電極を配設する前の放電容器としての状態であっても、内側管や放電容器を傾斜させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
以上、説明したように、この発明に係るエキシマランプ梱包品は、エキシマランプをケーシングに対して傾斜させているので、当該梱包品を置いたときに内側管に影響を及ぼす衝撃力を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は本発明に係るエキシマランプの概略構成を示す。図６に示したエキシマランプと同一番号は同一部分を示しており、この構造は内側管３が外側管１に対して傾斜している点が相違している。
数値例をあげると、放電ランプ１は全長１１６０ｍｍ、外径４０ｍｍ、内側管３の外径は１６ｍｍ、内側管３と外側管２の肉厚はそれぞれ１mmと２ｍｍであり、定格消費電力６００Ｗで点灯させる。
また、内側管３の中心軸線は外側管２の中心軸線に対して、例えば１°傾斜している。なお、この傾斜角度は後述するが、１°でも傾斜していればよく、３°、５°、７°、１０°、２０°、３０°、４５°などさまざまな角度での傾斜が採用できる。
また、傾斜は、内側管３と設置面との距離が内側管の両端で変化するように傾斜する必要がある。
なお、図１に示す放電ランプは全体構造を概略的に示すものであって、寸法や寸法比率は考慮されていない。
【００１１】
図２は本発明の放電ランプの作用を説明するための便宜上の図面であって、従来の構造を有する放電ランプと大地の関係を示している。
放電ランプ１を大地Ｅに対して置くと、内側管３は図示のように撓み、振動する。これは前記のように内側管３は側壁との溶着部分のみで支えられているため、放電ランプの長手方向の中間部分において、大地との接触時に発生する衝撃によって撓み、振動するのである。
ここで、外側管１については、外側管の周囲、すわなち、放電ランプの周囲にクッション材を配置させるなどの工夫を施すことで保護することが可能である。しかし、内側管については、同様にクッション材を設けるようなことはできない。
【００１２】
つまり、本発明が対象とする二重管構造のエキシマランプにあっては、極めて簡易な構造でランプを構成できるという利点がある一方で、内側管３を保護できないという課題を有していたのである。
そして、内側管と側壁との接合部にヒビ、クラックを発生させる要因としては、放電ランプの製作、検査、保管、出荷、運搬などの数多くの工程の中での、作業者の不用意な取り扱いによってランプに与えられる大きな衝撃や、当該放電ランプを大地Ｅに対して置くという作業によって内側管３に与えられる小さな衝撃の積み重ねによるものであると考えられる。なお、大地というのは、文字通りの地面と言う意味ではなく、机、床、棚、輸送時のトラックの荷台やその他の全ての被配置物を意味する。
【００１３】
本発明は、このような問題を鋭意検討することで見出されたものであって、その構成は図１に示すように内側管３を外側管２に対して傾斜させることである。
図３は本発明の説明用図面であって、内側管３を外側管２に対して傾斜させることの作用を説明するものである。１１は内側管３の中心軸線を示し、放電ランプ１を大地Ｅに対して置くときに衝撃力Ｇが生じる。
ここで、内側管３が外側管２に対して傾斜していなければ、衝撃Ｇはほぼそのまま内側管３に影響を及ぼし、前記のごとく内側管を振動させることになる。ところが、図示のように内側管３が外側管２に対して傾斜していると、内側管３の振動に影響する衝撃力の成分はＧｃｏｓθになることがわかる。つまり、内側管３が傾斜するだけ本来の衝撃力Ｇが緩和されることになる。
【００１４】
ここで、角度θは内側管３の長手方向の中心軸と、外側管２の長手方向の中心軸によって形成される角度であり、その適正値の下限は、ランプが受ける衝撃の大きさ、放電ランプの長さ、内側管の外径、石英ガラスの肉厚、放電ガスの内圧、配置面の材質、クッションの材質などで異なり、それらの条件との関係で選択することができる。しかしながら、本発明においては効果のレベルこそ違うものであるが、例えば、傾斜角度が１°であったとしても、傾斜角度を設けない場合に比べて効果は十分にあることが確認されている。これは、前記のように放電ランプに当該衝撃を与える機会（回数）が大きいからである。
また、本発明は放電ランプが長尺状になるほど重要であり、例えば、１０００ｍｍ以上の場合に特に有用となる。
【００１５】
さらに、本発明は放電ランプの内側管と外側管の傾斜関係だけでなく、放電ランプとそれを収納する箱をいう梱包品の関係にも着目した。たとえば、輸送時に使う梱包箱や作業時に使う保管箱である．
図４はエキシマランプ１をケーシング４１に収納する梱包品の概略を示す。通常、ダンボール箱などのケーシング４１には放電ランプ１を保護するためにクッション材４１を配置させる。
このようなクッション材４１により、放電ランプ１の外側管を保護することができる。
そして、内側管については、エキシマランプ１をケーシング４１に対して傾斜させることで保護することができる。その原理は前記内側管と外側管の傾斜関係の場合と同様である。
ここで、傾斜の方向は、放電ランプ１の内側管と大地との距離が、内側管の両端部で相違するように傾斜させる必要がある。
【００１６】
さらに、前記内側管と外側管における傾斜関係によれば、放電ランプの端部において、図１に示すように放電空間長に大きな差を生じることになる。この放電空間長の差は放電ランプの長さが長くなればなるほど顕著になってしまう。この点において、放電ランプとケーシングにおいて傾斜関係を形成することは、放電ランプとしては、常に等しい放電空間長を形成できる安定な放電を維持することもでき、この点で特に有利な効果を有することになる。そして、放電ランプとケーシングによって傾斜関係を形成する場合は、傾斜角度も大きい角度を選択することが可能となる。
【００１７】
図５はエキシマランプを内蔵する梱包品の実施形態を示し、（ａ）（ｂ）は横断面図であって、放電ランプと大地との距離が放電ランプの一方の端部と他方の端部で相違する状態を示す。
（ａ）は図４で示した形態、すなわち、エキシマランプ１をケーシング４２に対して傾斜させた形態を示す。また、（ｂ）は、エキシマランプを直接内蔵する梱包品Ｐを、さらに、他のケーシング５０に対してクッション５１を介在して梱包した状態を示す。
（ａ）では、例えば、クッション材４１の高さを変化させて傾斜関係を形成することができる。また、（ｂ）においても、同様に、クッション材５１の高さを変化させて傾斜関係を形成することができる。（ｂ）では、エキシマランプを直接内蔵するケーシングにおいてランプを傾斜させることが困難な場合に特に有用である。
また、トラックでの輸送時に枕木５２等で梱包品自体を傾けて輸送することもできる．（図５（ｃ）参照）
【００１８】
さらに、本発明は、電極を配設していない状態の半製品にも適用できる、すなわち、図１に示す構造において、外側管２の外面に配設された外側電極５と、内側管３の内面に配設された内側電極６を有さない、ランプの半製品、すなわち、放電容器だけの状態であって内側管を外側管に対して傾斜させることになる。
この場合は、このような半製品の放電容器を運送などして、最終的な設置場所にて電極を配設、組み込む場合などが考えられる。
また、この半製品は図５に示す放電容器と梱包品との関係においても適用できる。すなわち、電極を配設していない半製品の放電容器をケーシングに対して傾斜させて梱包する場合である。
【００１９】
以上、説明したように、この発明に係るエキシマランプ梱包品は、エキシマランプをケーシングに対して傾斜させているので、当該梱包品を置いたときに内側管に影響を及ぼす衝撃力を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明のエキシマランプを示す。
【図２】本発明の作用を説明するため図を示す。
【図３】本発明の作用を説明するため図を示す。
【図４】本発明のエキシマランプを内蔵した梱包品を示す。
【図５】本発明のエキシマランプを内蔵した梱包品を示す。
【図６】エキシマランプの概略図を示す。
【図７】エキシマランプの分解図を示す。
【符号の説明】
【００２１】
１  エキシマランプ
２  外側管
３  内側管
４  側壁
５  外側電極
６  内側電極
７  放電空間
４０  ケーシング
４１  クッション
５０  ケーシング
５１  クッション
５２  枕木
Ｅ  大地
Ｐ  梱包品
【図１】
2006089139.tif 000003
【図２】
2006089139.tif 000004
【図３】
2006089139.tif 000005
【図４】
2006089139.tif 000006
【図５】
2006089139.tif 000007
【図６】
2006089139.tif 000008
【図７】
2006089139.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月1日(2005.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺の外側管と内側管が概略同軸的に配置された二重管構造をなし、この外側管の外表面には一方の電極が設けられ内側管の内表面に他方の電極が設けられ、これら外側管と内側管の間に形成された放電空間の中にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されたエキシマランプと、このエキシマランプをクッション材とともに内蔵したケーシングとよりなる梱包品において、
前記エキシマランプは、その長手方向において、前記ケーシングに対して傾斜していることを特徴とするエキシマランプ梱包品。
【請求項２】
前記エキシマランプは、長手方向の大きさが８００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ梱包品。
【請求項３】
長尺の外側管と内側管が概略同軸的に配置された二重管構造をなし、これら外側管と内側管の間に形成された放電空間の中にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されたエキシマランプ用放電容器と、このエキシマランプ用放電容器をクッション材とともに内蔵したケーシングとよりなる梱包品において、
前記エキシマランプ用放電容器は、その長手方向において、前記ケーシングに対して傾斜していることを特徴とするエキシマランプ用放電容器の梱包品。
【請求項４】
前記エキシマランプ用放電容器は、長手方向の大きさが８００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項３に記載のエキシマランプ梱包品。