(57)【要約】【課題】良品と判定されるべき被検査物の表面状態が複数種類存在する場合に容易でかつ正確な欠陥検出を行うことができる欠陥検出装置を提供すること。【解決手段】検査対象である被検査物の表面状態を撮像した前記被検査物の画像情報を処理することで被検査物の欠陥を検出する欠陥検出装置において、モード判定手段１０３は、被検査物を撮像した画像情報を周波数変換した検査周波数情報と、標準周波数情報記憶手段に記憶された表面モードごとの標準周波数情報とを対比することによって、被検査物が表面モードのいずれに該当するかを判定し、欠陥画像生成手段１０４は、検査周波数情報と、モード判定手段で判定された表面モードに対応する標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成し、欠陥判定手段１０５は、欠陥画像によって被検査物の欠陥の有無を判定する。【選択図】        図１
2006234656.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である被検査物の表面状態を撮像装置で撮像し、撮像した前記被検査物の画像情報を処理することで前記被検査物の欠陥を検出する欠陥検出装置において、
被検査物の表面状態の種類を示す表面モードと、前記表面モードごとの良品と認められる被検査物の標準的な周波数情報である標準周波数情報とを対応付けて記憶する標準周波数情報記憶手段と、
前記被検査物を撮像した画像情報を周波数変換した検査周波数情報と、前記標準周波数情報記憶手段に記憶された前記表面モードごとの前記標準周波数情報との類似度に基づいて前記被検査物が前記表面モードのいずれに該当するかを判定するモード判定手段と、
前記検査周波数情報と、前記モード判定手段で判定された前記表面モードに対応する前記標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成する欠陥画像生成手段と、
前記欠陥画像によって被検査物の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段と、
を含むことを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項２】
前記表面モードごとに良品と認められる複数の被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した複数の周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納する標準周波数情報生成手段をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検出装置。
【請求項３】
前記モード判定手段は、さらに前記画像情報をフーリエ変換した検査周波数情報と、前記標準周波数情報記憶手段に記憶された前記表面モードごとの前記標準周波数情報との類似度に基づいて前記被検査物が前記表面モードのいずれに該当するかを判定し、
前記欠陥画像生成手段は、さらに前記検査周波数情報と、前記モード判定手段で判定された前記表面モードに対応する前記標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆フーリエ変換して欠陥画像を生成することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検出装置。
【請求項４】
前記標準周波数情報生成手段は、さらに複数の前記画像情報をフーリエ変換した複数の周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納することを特徴とする請求項２に記載の欠陥検出装置。
【請求項５】
前記モード判定手段は、さらに前記画像情報を高速フーリエ変換（ＦＦＴ：Fast Fourier Transform）した検査周波数情報と、前記標準周波数情報記憶手段に記憶された前記表面モードごとの前記標準周波数情報との類似度に基づいて前記被検査物が前記表面モードのいずれに該当するかを判定し、
前記欠陥画像生成手段は、さらに前記検査周波数情報と、前記モード判定手段で判定された前記表面モードに対応する前記標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆高速フーリエ変換（ＩＦＦＴ：Inverse FFT）して欠陥画像を生成することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検出装置。
【請求項６】
前記標準周波数情報生成手段は、さらに複数の前記画像情報を高速フーリエ変換（ＦＦＴ：Fast Fourier Transform）した複数の周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納することを特徴とする請求項２に記載の欠陥検出装置。
【請求項７】
前記モード判定手段は、さらに前記検査周波数情報と、前記標準周波数情報記憶手段に記憶された前記標準周波数情報との正規化相互相関による相関値を前記表面モードごとに算出し、算出された前記表面モードごとの前記相関値のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる前記相関値に対応する前記表面モードを前記検査周波数情報の前記表面モードと判定することを特徴とする請求項１、請求項３または請求項５のいずれか一つに記載の欠陥検出装置。
【請求項８】
前記モード判定手段において前記表面モードごとの前記相関値の総てが予め定められた閾値未満であると判定された場合に、前記欠陥判定手段は被検査物について欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項７に記載の欠陥検出装置。
【請求項９】
前記モード判定手段は、さらに前記表面モードごとの良品と認められる被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した周波数情報を入力とし前記表面モードごとの相関度を出力として学習させたニューラルネットワークを用いて、前記表面モードごとの前記相関度を算出し、算出された前記表面モードごとの前記相関度のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる前記相関度に対応する前記表面モードを前記検査周波数情報の前記表面モードと判定することを特徴とする請求項１、請求項３または請求項５に記載の欠陥検出装置。
【請求項１０】
前記モード判定手段において前記表面モードごとの前記相関度の総てが予め定められた閾値未満であると判定された場合に、前記欠陥判定手段は被検査物について欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項９に記載の欠陥検出装置。
【請求項１１】
前記表面モードと、前記表面モードごとの良品と認められる被検査物の標準的な周波数情報である予備標準周波数情報とを対応付けて記憶する予備標準周波数情報記憶手段と、
前記表面モードごとに良品と認められる一定数の被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した一定数の周波数情報に基づいて前記予備標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記予備標準周波数情報を前記予備標準周波数情報記憶手段に格納する予備標準周波数情報生成手段を、さらに備え、
前記モード判定手段は、さらに前記表面モードが不明な良品と認められる被検査物を撮像して得られた画像情報を周波数変換した周波数情報と、前記予備標準周波数情報生成手段に記憶された前記予備標準周波数情報とから前記表面モードごとの相関値を算出し、算出された前記相関値のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる前記相関値に対応する前記表面モードを前記表面モードが不明な前記被検査物の前記表面モードと判定し、
前記標準周波数情報生成手段は、前記モード判定手段で判定された前記表面モードごとの前記周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納することを特徴とする請求項２、請求項４または請求項６のいずれか一つに記載の欠陥検出装置。
【請求項１２】
前記標準周波数生成手段は、さらに前記モード判定手段において前記表面モードごとの前記相関値の総てが予め定められた閾値未満であると判定された前記周波数情報を標準周波数情報の生成に用いないことを特徴とする請求項１１に記載の欠陥検出装置。
【請求項１３】
前記モード判定手段は、さらに前記表面モードごとの良品と認められる被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した周波数情報を入力とし前記表面モードごとの相関度を出力として学習させたニューラルネットワークを用いて、前記表面モードが不明な良品の前記周波数情報を入力し前記表面モードごとの前記相関度を算出し、算出された前記表面モードごとの前記相関度のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる前記相関度に対応する前記表面モードを前記周波数情報の前記表面モードと判定し、
前記標準周波数情報生成手段は、前記モード判定手段で判定された前記表面モードごとの前記周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納することを特徴とする請求項２、請求項４または請求項６のいずれか一つに記載の欠陥検出装置。
【請求項１４】
前記標準周波数生成手段は、さらに前記モード判定手段において前記表面モードごとの前記相関度の総てが予め定められた閾値未満であると判定された前記周波数情報を標準周波数情報の生成に用いないことを特徴とする請求項１３に記載の欠陥検出装置。
【請求項１５】
前記表面モードと、画像情報の領域を示す領域情報と、前記表面モードおよび前記領域ごとの良品と認められる被検査物の標準的な周波数情報である分割標準周波数情報とを対応付けて記憶する分割標準周波数情報記憶手段をさらに備え、
前記欠陥画像生成手段は、さらに検査対象である被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を所定の領域に分割し、分割された前記画像情報を周波数変換した分割検査周波数情報と、前記モード判定手段で判定された前記分割検査周波数情報の前記表面モードおよび前記領域情報に対応する前記分割標準周波数情報記憶手段に記憶された前記分割標準周波数情報との差異をとることによって抽出された前記周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成することを特徴とする請求項１、請求項３または請求項５のいずれか一つに記載の欠陥検出装置。
【請求項１６】
前記表面モードごとに複数の良品と認められる被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を所定の領域に分割し、分割された前記画像情報を周波数変換した複数の周波数情報に基づいて前記分割標準周波数情報を生成し、前記モードと前記領域情報と生成された前記分割標準周波数情報とを前記分割標準周波数情報記憶手段に格納する分割標準周波数情報生成手段をさらに備えることを特徴とする請求項１５に記載の欠陥検出装置。
【請求項１７】
検査対象である被検査物の表面状態を撮像装置で撮像し、撮像した前記被検査物の画像情報を処理することで前記被検査物の欠陥を検出する欠陥検出方法において、
前記被検査物を撮像した画像情報を周波数変換した検査周波数情報と、被検査物の表面状態の種類を示す表面モードごとの良品と認められる被検査物の標準的な周波数情報である標準周波数情報との類似度に基づいて前記被検査物が前記表面モードのいずれに該当するかを判定するモード判定ステップと、
前記検査周波数情報と、前記モード判定ステップで判定された前記表面モードに対応する前記標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成する欠陥画像生成ステップと、
前記欠陥画像によって被検査物の欠陥の有無を判定する欠陥判定ステップと、
を含むことを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項１８】
前記表面モードごとに良品と認められる複数の被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した複数の周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成する標準周波数情報生成ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１７に記載の欠陥検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の表面状態を撮像装置で撮像した画像データを処理することで被検査物の欠陥を検出する欠陥検出装置、欠陥検出方法に関するものであり、特に被検査物の表面状態を示す表面モードを判定して、その表面モードごとに良品との差異によって被検査物の欠陥を検出する欠陥検出装置、欠陥検出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査物の外観を検査する技術として、被検査物の表面にレーザビームを照射し、集光レンズにより形成される被検査物の表面に特有のフーリエ変換像を、良品の被検査物のフーリエ変換像によって作成された空間フィルタでフィルタリングすることにより異物を検出する技術が公開されている。
【０００３】
このような技術において、実際の検査場面では良品間のばらつきや外乱などの影響により、良品と判定されるべき被検査物のフーリエ変換像にばらつきが大きい場合には空間フィルタを選定することが困難であり、特定の周波数領域を対象にした空間フィルタによるフィルタリングでは適正な検査レベルを維持することが困難であるという問題があった。
【０００４】
このような問題を解決するために、予め複数の良品の表面状態を撮像した画像データをフーリエ変換することにより得られた周波数データから参照周波数データを作成し、検査時には被検査物を撮像した画像データをフーリエ変換することにより得られた周波数データを検査周波数データとし、予め作成された参照周波数データと検査周波数データを比較し、周波数特性の異なる部分を抽出し、抽出された欠陥周波数データを逆フーリエ変換して生成した欠陥画像を画像処理することにより欠陥検査を行う欠陥検査方法が開示されている（特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１２３０７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１では、検査対象である被検査物の検査周波数データと比較を行う参照周波数データは１種類のみであるため、良品と判定されるべき被検査物の表面の状態に複数の種類が存在する場合、例えば良品と判断して問題がない加工痕が製造過程によって付いたり付かなかったりする場合には、特許文献１に記載された技術では１種類の参照データしか規定できないため、両方を良品として判定することができなかった。また、特許文献１に記載された技術によって、加工痕がある製品とない製品の欠陥検出を行うには、事前に人が目視で加工痕がある製品かない製品かを判別する必要があり、多大な人的作業が必要であった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、良品と判定されるべき被検査物の表面状態が複数種類存在する場合でも容易でかつ正確な欠陥検出を行うことができる欠陥検出装置、欠陥検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１にかかる発明は、検査対象である被検査物の表面状態を撮像装置で撮像し、撮像した前記被検査物の画像情報を処理することで前記被検査物の欠陥を検出する欠陥検出装置において、被検査物の表面状態の種類を示す表面モードと、前記表面モードごとの良品と認められる被検査物の標準的な周波数情報である標準周波数情報とを対応付けて記憶する標準周波数情報記憶手段と、前記被検査物を撮像した画像情報を周波数変換した検査周波数情報と、前記標準周波数情報記憶手段に記憶された前記表面モードごとの前記標準周波数情報との類似度に基づいて前記被検査物が前記表面モードのいずれに該当するかを判定するモード判定手段と、前記検査周波数情報と、前記モード判定手段で判定された前記表面モードに対応する前記標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成する欠陥画像生成手段と、前記欠陥画像によって被検査物の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段と、を含むことを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２にかかる発明は、請求項１に記載の欠陥検出装置において、前記表面モードごとに良品と認められる複数の被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した複数の周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納する標準周波数情報生成手段をさらに含むことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３にかかる発明は、請求項１に記載の欠陥検出装置において、前記モード判定手段は、さらに前記画像情報をフーリエ変換した検査周波数情報と、前記標準周波数情報記憶手段に記憶された前記表面モードごとの前記標準周波数情報との類似度に基づいて前記被検査物が前記表面モードのいずれに該当するかを判定し、前記欠陥画像生成手段は、さらに前記検査周波数情報と、前記モード判定手段で判定された前記表面モードに対応する前記標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆フーリエ変換して欠陥画像を生成することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４にかかる発明は、請求項２に記載の欠陥検出装置において、前記標準周波数情報生成手段は、さらに複数の前記画像情報をフーリエ変換した複数の周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項５にかかる発明は、請求項１に記載の欠陥検出装置において、前記モード判定手段は、さらに前記画像情報を高速フーリエ変換（ＦＦＴ：Fast Fourier Transform）した検査周波数情報と、前記標準周波数情報記憶手段に記憶された前記表面モードごとの前記標準周波数情報との類似度に基づいて前記被検査物が前記表面モードのいずれに該当するかを判定し、前記欠陥画像生成手段は、さらに前記検査周波数情報と、前記モード判定手段で判定された前記表面モードに対応する前記標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆高速フーリエ変換（ＩＦＦＴ：Inverse FFT）して欠陥画像を生成することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項６にかかる発明は、請求項２に記載の欠陥検出装置において、前記標準周波数情報生成手段は、さらに複数の前記画像情報を高速フーリエ変換（ＦＦＴ：Fast Fourier Transform）した複数の周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納することを特徴とする。
【００１４】
また、請求項７にかかる発明は、請求項１、請求項３または請求項５のいずれか一つに記載の欠陥検出装置において、前記モード判定手段は、さらに前記検査周波数情報と、前記標準周波数情報記憶手段に記憶された前記標準周波数情報との正規化相互相関による相関値を前記表面モードごとに算出し、算出された前記表面モードごとの前記相関値のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる前記相関値に対応する前記表面モードを前記検査周波数情報の前記表面モードと判定することを特徴とする。
【００１５】
また、請求項８にかかる発明は、請求項７に記載の欠陥検出装置において、前記モード判定手段において前記表面モードごとの前記相関値の総てが予め定められた閾値未満であると判定された場合に、前記欠陥判定手段は被検査物について欠陥が有ると判定することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項９にかかる発明は、請求項１、請求項３または請求項５に記載の欠陥検出装置において、前記モード判定手段は、さらに前記表面モードごとの良品と認められる被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した周波数情報を入力とし前記表面モードごとの相関度を出力として学習させたニューラルネットワークを用いて、前記表面モードごとの前記相関度を算出し、算出された前記表面モードごとの前記相関度のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる前記相関度に対応する前記表面モードを前記検査周波数情報の前記表面モードと判定することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項１０にかかる発明は、請求項９に記載の欠陥検出装置において、前記モード判定手段において前記表面モードごとの前記相関度の総てが予め定められた閾値未満であると判定された場合に、前記欠陥判定手段は被検査物について欠陥が有ると判定することを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１１にかかる発明は、請求項２、請求項４または請求項６のいずれか一つに記載の欠陥検出装置において、前記表面モードと、前記表面モードごとの良品と認められる被検査物の標準的な周波数情報である予備標準周波数情報とを対応付けて記憶する予備標準周波数情報記憶手段と、前記表面モードごとに良品と認められる一定数の被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した一定数の周波数情報に基づいて前記予備標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記予備標準周波数情報を前記予備標準周波数情報記憶手段に格納する予備標準周波数情報生成手段を、さらに備え、前記モード判定手段は、さらに前記表面モードが不明な良品と認められる被検査物を撮像して得られた画像情報を周波数変換した周波数情報と、前記予備標準周波数情報生成手段に記憶された前記予備標準周波数情報とから前記表面モードごとの相関値を算出し、算出された前記相関値のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる前記相関度に対応する前記表面モードを前記表面モードが不明な前記被検査物の前記表面モードと判定し、前記標準周波数情報生成手段は、前記モード判定手段で判定された前記表面モードごとの前記周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納することを特徴とする。
【００１９】
また、請求項１２にかかる発明は、請求項１１に記載の欠陥検出装置において、前記標準周波数生成手段は、さらに前記モード判定手段において前記表面モードごとの前記相関値の総てが予め定められた閾値未満であると判定された前記周波数情報を標準周波数情報の生成に用いないことを特徴とする。
【００２０】
また、請求項１３にかかる発明は、請求項２、請求項４または請求項６のいずれか一つに記載の欠陥検出装置において、前記モード判定手段は、さらに前記表面モードごとの良品と認められる被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した周波数情報を入力とし前記表面モードごとの相関度を出力として学習させたニューラルネットワークを用いて、前記表面モードが不明な良品の前記周波数情報を入力し前記表面モードごとの前記相関度を算出し、算出された前記表面モードごとの前記相関度のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる前記相関度に対応する前記表面モードを前記周波数情報の前記表面モードと判定し、前記標準周波数情報生成手段は、前記モード判定手段で判定された前記表面モードごとの前記周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成し、前記表面モードと、生成された前記標準周波数情報とを前記標準周波数情報記憶手段に格納することを特徴とする。
【００２１】
また、請求項１４にかかる発明は、請求項１３に記載の欠陥検出装置において、前記標準周波数生成手段は、さらに前記モード判定手段において前記表面モードごとの前記相関度の総てが予め定められた閾値未満であると判定された前記周波数情報を標準周波数情報の生成に用いないことを特徴とする。
【００２２】
また、請求項１５にかかる発明は、請求項１、請求項３または請求項５のいずれか一つに記載の欠陥検出装置において、前記表面モードと、画像情報の領域を示す領域情報と、前記表面モードおよび前記領域ごとの良品と認められる被検査物の標準的な周波数情報である分割標準周波数情報とを対応付けて記憶する分割標準周波数情報記憶手段をさらに備え、前記欠陥画像生成手段は、さらに検査対象である被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を所定の領域に分割し、分割された前記画像情報を周波数変換した分割検査周波数情報と、前記モード判定手段で判定された前記分割検査周波数情報の前記表面モードおよび前記領域情報に対応する前記分割標準周波数情報記憶手段に記憶された前記分割標準周波数情報との差異をとることによって抽出された前記周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成することを特徴とする。
【００２３】
また、請求項１６にかかる発明は、請求項１５に記載の欠陥検出装置において、前記表面モードごとに複数の良品と認められる被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を所定の領域に分割し、分割された前記画像情報を周波数変換した複数の周波数情報に基づいて前記分割標準周波数情報を生成し、前記モードと前記領域情報と生成された前記分割標準周波数情報とを前記分割標準周波数情報記憶手段に格納する分割標準周波数情報生成手段をさらに備えることを特徴とする。
【００２４】
また、請求項１７にかかる発明は、検査対象である被検査物の表面状態を撮像装置で撮像し、撮像した前記被検査物の画像情報を処理することで前記被検査物の欠陥を検出する欠陥検出方法において、前記被検査物を撮像した画像情報を周波数変換した検査周波数情報と、被検査物の表面状態の種類を示す表面モードごとの良品と認められる被検査物の標準的な周波数情報である標準周波数情報との類似度に基づいて前記被検査物が前記表面モードのいずれに該当するかを判定するモード判定ステップと、前記検査周波数情報と、前記モード判定ステップで判定された前記表面モードに対応する前記標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成する欠陥画像生成ステップと、前記欠陥画像によって被検査物の欠陥の有無を判定する欠陥判定ステップと、を含むことを特徴とする。
【００２５】
また、請求項１８にかかる発明は、請求項１７に記載の欠陥検出方法において、前記表面モードごとに良品と認められる複数の被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した複数の周波数情報に基づいて前記標準周波数情報を生成する標準周波数情報生成ステップをさらに含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
請求項１にかかる発明によれば、モード判定手段によって、被検査物を撮像した画像情報を周波数変換した検査周波数情報と、標準周波数情報記憶手段に記憶された表面モードごとの標準周波数情報との類似度に基づいて被検査物が表面モードのいずれに該当するかを判定し、欠陥画像生成手段によって、検査周波数情報と、モード判定手段で判定された表面モードに対応する標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成し、欠陥判定手段によって、欠陥画像によって被検査物の欠陥の有無を判定することにより、複数の表面モードの中から被検査物の表面モードを判定した上で判定された表面モードに対応した欠陥判定をすることができるため、表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確に検出することができるという効果を奏する。
【００２７】
また、請求項２にかかる発明によれば、標準周波数情報生成手段によって、表面モードごとに良品と認められる複数の被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した複数の周波数情報に基づいて標準周波数情報を生成することにより、複数の表面モードと標準となるデータを登録しておくことができるため、それらのデータを用いることにより表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確に検出することができるという効果を奏する。
【００２８】
また、請求項３にかかる発明によれば、モード判定手段は、さらに画像情報をフーリエ変換した検査周波数情報と、標準周波数情報記憶手段に記憶された表面モードごとの標準周波数情報との類似度に基づいて被検査物が表面モードのいずれに該当するかを判定することにより、画像データを周波数データに変換することによって標準データと対比ができ表面モードの判定ができるため、表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確かつ容易に検出することができるという効果を奏する。
【００２９】
また、請求項４にかかる発明によれば、標準周波数情報生成手段は、さらに複数の画像情報をフーリエ変換した複数の周波数情報に基づいて標準周波数情報を生成することにより、画像データを周波数データに変換することによって被検査物の周波数データと対比ができる標準データを登録しておくことができるため、そのデータを用いることにより表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確かつ容易に検出することができるという効果を奏する。
【００３０】
また、請求項５にかかる発明によれば、モード判定手段は、さらに画像情報を高速フーリエ変換した検査周波数情報と、標準周波数情報記憶手段に記憶された表面モードごとの標準周波数情報との類似度に基づいて被検査物が表面モードのいずれに該当するかを判定することにより、画像データを周波数データに変換することによって標準データと対比ができ表面モードの判定ができるため、表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確かつ容易に検出することができるという効果を奏する。
【００３１】
また、請求項６にかかる発明によれば、標準周波数情報生成手段は、さらに複数の画像情報を高速フーリエ変換した複数の周波数情報に基づいて標準周波数情報を生成することにより、画像データを周波数データに変換することによって被検査物の周波数データと対比ができる標準データを登録しておくことができるため、そのデータを用いることにより表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確かつ容易に検出することができるという効果を奏する。
【００３２】
また、請求項７にかかる発明によれば、モード判定手段は、さらに検査周波数情報と、標準周波数情報記憶手段に記憶された標準周波数情報との正規化相互相関による相関値を表面モードごとに算出し、算出された表面モードごとの相関値のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる相関値に対応する表面モードを検査周波数情報の表面モードと判定することにより、複数の表面モードの中から被検査物の表面モードを判定した上で判定された表面モードに対応した欠陥判定をすることができるため、表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確に検出することができるという効果を奏する。
【００３３】
また、請求項８にかかる発明によれば、モード判定手段において表面モードごとの相関値の総てが予め定められた閾値未満であると判定された場合に、欠陥判定手段は被検査物について欠陥が有ると判定することにより、予め規定された表面モードの相関値が一定の閾値以上でない場合には良品と判定されることがないため、想定されていない被検査物が検査工程で検査された場合も不良品が流出することがないという効果を奏する。
【００３４】
また、請求項９にかかる発明によれば、モード判定手段は、さらに表面モードごとの良品と認められる被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した周波数情報を入力とし表面モードごとの相関度を出力として学習させたニューラルネットワークを用いて、表面モードごとの相関度を算出し、算出された表面モードごとの相関度のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる相関度に対応する表面モードを検査周波数情報の表面モードと判定することにより、複数の表面モードの中から被検査物の表面モードを判定した上で判定された表面モードに対応した欠陥判定をすることができるため、表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確に検出することができるという効果を奏する。
【００３５】
また、請求項１０にかかる発明によれば、モード判定手段において表面モードごとの相関度の総てが予め定められた閾値未満であると判定された場合に、欠陥判定手段は被検査物について欠陥が有ると判定することにより、予め規定された表面モードの相関度が一定の閾値以上でない場合には良品と判定されることがないため、想定されていない被検査物が検査工程で検査された場合も不良品が流出することがないという効果を奏する。
【００３６】
また、請求項１１にかかる発明によれば、モード判定手段は、さらに表面モードが不明な良品と認められる被検査物を撮像して得られた画像情報を周波数変換した周波数情報と、予備標準周波数情報生成手段に記憶された予備標準周波数情報とから表面モードごとの相関値を算出し、算出された相関値のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる相関値に対応する表面モードを表面モードが不明な被検査物の表面モードと判定し、標準周波数情報生成手段は、モード判定手段で判定された表面モードごとの周波数情報に基づいて標準周波数情報を生成することにより、目視に依らず良品の周波数データの表面モードを判定することができ、大量の良品の周波数データを参照して表面モードごとの標準周波数データを生成することができるため、高精度な標準周波数データを容易に作成することができ、また人的作業負担を軽減することができるという効果を奏する。
【００３７】
また、請求項１２にかかる発明によれば、標準周波数生成手段は、さらにモード判定手段において表面モードごとの相関値の総てが予め定められた閾値未満であると判定された周波数情報を標準周波数情報の生成に用いないことにより、目視で気づかなかった不良品を排除することができるため、高精度な標準周波数データを容易に作成することができるという効果を奏する。
【００３８】
また、請求項１３にかかる発明によれば、モード判定手段は、さらに表面モードごとの良品と認められる被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した周波数情報を入力とし表面モードごとの相関度を出力として学習させたニューラルネットワークを用いて、表面モードが不明な良品の周波数情報を入力し表面モードごとの相関度を算出し、算出された表面モードごとの相関度のうち、予め定められた閾値以上であり、かつ、最大値をとる相関度に対応する表面モードを周波数情報の表面モードと判定することにより、目視に依らず良品の周波数データの表面モードを判定して標準周波数データを生成することができるため、高精度な標準周波数データを容易に作成することができ、また人的作業負担を軽減することができるという効果を奏する。
【００３９】
また、請求項１４にかかる発明によれば、標準周波数生成手段は、さらにモード判定手段において表面モードごとの相関度の総てが予め定められた閾値未満であると判定された周波数情報を標準周波数情報の生成に用いないことにより、目視で気づかなかった不良品を排除することができるため、高精度な標準周波数データを容易に作成することができるという効果を奏する。
【００４０】
また、請求項１５にかかる発明によれば、欠陥画像生成手段は、さらに検査対象である被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を所定の領域に分割し、分割された画像情報を周波数変換した分割検査周波数情報と、モード判定手段で判定された分割検査周波数情報の表面モードおよび領域情報に対応する分割標準周波数情報記憶手段に記憶された分割標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成することにより、複数の表面モードの中から被検査物の表面モードを判定した上で判定された表面モードおよび分割された領域に対応した欠陥判定をすることができるため、表面モードが異なる被検査物の領域ごとの欠陥を正確に検出することができるという効果を奏する。
【００４１】
また、請求項１６にかかる発明によれば、分割標準周波数情報生成手段によって、表面モードごとに複数の良品と認められる被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を所定の領域に分割し、分割された画像情報を周波数変換した複数の周波数情報に基づいて分割標準周波数情報を生成することにより、複数の表面モードと領域データと標準となるデータを登録しておくことができるため、それらのデータを用いることにより表面モードが異なる被検査物の領域ごとの欠陥を正確に検出することができるという効果を奏する。
【００４２】
また、請求項１７にかかる発明によれば、モード判定ステップによって、被検査物を撮像した画像情報を周波数変換した検査周波数情報と、被検査物の表面状態の種類を示す表面モードごとの良品と認められる被検査物の標準的な周波数情報である標準周波数情報との類似度に基づいて被検査物が表面モードのいずれに該当するかを判定すると、欠陥画像生成ステップによって、検査周波数情報と、モード判定ステップで判定された表面モードに対応する標準周波数情報との差異をとることによって抽出された周波数成分を逆周波数変換して欠陥画像を生成すると、欠陥判定ステップによって、欠陥画像によって被検査物の欠陥の有無を判定することにより、複数の表面モードの中から被検査物の表面モードを判定した上で判定された表面モードに対応した欠陥判定をすることができるため、表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確に検出することができるという効果を奏する。
【００４３】
また、請求項１８にかかる発明によれば、標準周波数情報生成ステップによって、表面モードごとに良品と認められる複数の被検査物の表面状態を撮像して得られた画像情報を周波数変換した複数の周波数情報に基づいて標準周波数情報を生成することにより、複数の表面モードと標準となるデータを登録しておくことができるため、それらのデータを用いることにより表面モードが異なる被検査物の欠陥を正確に検出することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる欠陥検出装置、欠陥検出方法の最良な実施の形態を詳細に説明する。
【００４５】
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。第１の実施の形態にかかる欠陥検出装置は、被検査物を撮像した画像データを周波数データに変換し、変換された周波数データから被検査物の表面モードを判定し、被検査物の検査周波数データと、判定された表面モードに対応する標準周波数データとから相違する周波数成分を抽出し、抽出された周波数成分から変換した画像データによって欠陥を判定するものである。また、欠陥検出処理の事前処理として、良品と判断される複数の被検査物の周波数データから標準周波数データを生成するものである。
【００４６】
まず、本発明が適用される欠陥検出装置の構成例について説明する。図１は、第１の実施の形態にかかる欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
【００４７】
本実施の形態の欠陥検出装置１００は、画像データ入力部１０１と、周波数データ変換部１０２と、モード判定部１０３と、欠陥画像生成部１０４と、欠陥判定部１０５と、判定結果表示部１０６と、標準周波数データ生成部１０７と、標準周波数データベース１０００とから構成されている。
【００４８】
画像データ入力部１０１は、ＣＣＤ（Charge-Coupled Devices）センサなどの撮像装置で撮像された画像データの入力を受付けるものである。また、標準周波数データ生成処理では、画像データとともに、表面モードの入力を受け付けるものである。
【００４９】
周波数データ変換部１０２は、画像データ入力部１０１で入力された画像データをフーリエ変換、ＦＦＴなどを用いて周波数データに変換するものである。
【００５０】
モード判定部１０３は、周波数データ変換部１０２で変換された周波数データと後述の標準周波数データベース１０００に記録されている表面モードごとの標準周波数データとの類似度を求め、求められた類似度のうち最大の類似度をとる表面モードを選択することによって、被検査物の表面モードを判定するものである。
【００５１】
類似度とは、検査対象である被検査物の周波数データと表面モードに対応する標準周波数データとの近似の度合いを示すものである。
【００５２】
本実施の形態において具体的には類似度として検査対象である被検査物の周波数データと表面モードに対応する標準周波数データとの正規化相互相関による相関値を用いている。表面モードごとの相関値を求め、求められた相関値のうち最大の相関値をとる表面モードを選択することによって、被検査物の表面モードの判定を行う。
【００５３】
上述の通り、本実施の形態では、類似度として正規化相互相関による相関値を用いているが、検査対象である被検査物の周波数データと表面モードに対応する標準周波数データとの近似の度合いを示すものであれば、他の値を用いてもよい。
【００５４】
また、表面モードとは、被検査物の表面状態の種類をいい、具体的には、表示モードとして「標準」、「加工痕」、「文字」、「図柄」などが登録される。例えば、良品と判定される被検査物に製法上の要因などから欠陥として検出する必要のない加工痕などが発生する条件と発生しない条件とが混在する場合にはその条件により表面状態は異なるため、それぞれの表面状態ごとに良品と判定される標準的な周波数データは異なる。従って、このような周波数データの異なる被検査物についても良品と判定することが可能とするために、表面モードとして「標準」や「加工痕」を規定し、それぞれに標準周波数データを持つことにより、良品と判断することが可能となる。
【００５５】
一様な製品の表面に特定の文字や図柄などが付加される場合にも、良品と判定される標準的な周波数データは異なるため、異なる表面モードと規定して表面モード「文字」や「図柄」を規定し、それぞれに標準的な周波数データを記憶しておくことにより、良品と判定することが可能となる。
【００５６】
さらに、検査工程において複数の品種の製品が検査される場合には、品種ごとの表面モードを規定して表面モードごとの標準的な周波数データを記憶しておくことにより、複数の品種の製品についても一つの検査工程で良品または不良品を判定することが可能となる。
【００５７】
欠陥画像生成部１０４は、モード判定部１０３で判定された表面モードに対応する標準周波数データを標準周波数データベース１０００から取得し、被検査物の周波数データと標準周波数データから相違する周波数成分を抽出し、抽出された周波数成分を逆フーリエ変換することにより欠陥画像を生成するものである。
【００５８】
欠陥判定部１０５は、欠陥画像生成部１０４で生成された欠陥画像を公知の画像処理手法により被検査物の欠陥の有無を判定するものである。
【００５９】
判定結果表示部１０６は、欠陥判定部１０５で判定された被検査物に対する欠陥の有無の判定を画面などに表示するものである。なお、良品または不良品の分別を機械的に行う場合には、人が目視できない信号のようなものであってもよい。
【００６０】
標準周波数データ生成部１０７は、上述の被検査物の欠陥検出処理の事前準備として表示モードごとの標準周波数データを生成するものである。
【００６１】
標準周波数データベース１０００は、表示モードごとの標準周波数データを規定する。図２は、標準周波数データベースのデータ構成の一例を示す説明図である。標準周波数データベース１０００は、表面モードと標準周波数データとを対応付けて記憶している。標準周波数データは、さらに標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データとから構成されている。表面モードは、例えば１からｎまで規定されているものとする。また、標準周波数平均値データは、数値データまたは画像データのいずれで持ってもよい。但し、後述の正規化相互関数による相関値を求める場合には、画像データとして持ち、パターンマッチングする必要がある。
【００６２】
ここで、標準周波数データとは、表面モードごとに複数の良品と判定される被検査物の表面状態を撮像した画像データをフーリエ変換、高速フーリエ変換（Fast Fourier Transform）等することにより生成された周波数データを、同一の周波数成分の振幅の平均値と標準偏差を算出することにより求められる全周波数領域の振幅の平均値（標準周波数平均値データ）と標準偏差（標準周波数標準偏差データ）である。
【００６３】
次に、上述のように構成されている欠陥検出装置による欠陥検出処理について説明する。図３−１、図３−２は、画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部が行う欠陥検出処理手順を示すフローチャートである。
【００６４】
まず、画像データ入力部１０１は、検査対象である被検査物の画像データの入力を受付ける（ステップＳ３００１）。周波数データ変換部１０２は、画像データ入力部１０１で入力された画像データをフーリエ変換により周波数データ（以下、検査周波数データという）に変換する（ステップＳ３００２）。なお、画像データから周波数データへの変換は、ＦＦＴを用いてもよい。
【００６５】
モード判定部１０３は、表面モードｉの添字ｉをカウントアップする（ステップＳ３００３）。モード判定部１０３は、総ての表面モードに対する処理が終了したかを判断する（ステップＳ３００４）。
【００６６】
総ての表面モードに対する処理が終了していないと判断した場合には（ステップＳ３００４：Ｎｏ）、モード判定部１０３は、標準周波数データベース１０００から、表面モードｉに対応する標準周波数データを取得する（ステップＳ３００５）。標準周波数データは、上述の通り、標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データとから構成されている。
【００６７】
モード判定部１０３は、検査周波数データと、標準周波数データベース１０００から取得した表面モードｉの標準周波数平均値データとから正規化相互相関法による相関値を算出する（ステップＳ３００６）。
【００６８】
モード判定部１０３は、正規化相互相関法で算出した相関値が予め定められた閾値未満か否かを判断する（ステップＳ３００７）。これにより、どの表面モードに対しても一定の閾値を満たさない場合には、良品として判定されることがないため、想定していない被検査物を検査する場合においても不良品が良品として判定されることはない。
【００６９】
相関値が閾値未満でないと判断した場合には（ステップＳ３００７：Ｎｏ）、モード判定部１０３は、表面モードｉと相関値をメモリに格納し（ステップＳ３００８）、ステップＳ３００３へ戻る。相関値が閾値未満であると判断した場合には（ステップＳ３００７：Ｙｅｓ）、表面モードｉ等のメモリへの格納処理は行わずステップＳ３００３へ戻る。
【００７０】
ステップＳ３００４に戻り、総ての表面モードについての処理が終了したと判断した場合には（ステップＳ３００４：Ｎｏ）、モード判定部１０３は、メモリに格納されている表面モードと相関値を取得し、その中で最も相関値の高い表面モードを選択し、その表面モードを検査対象である被検査物の表面モードとする（ステップＳ３００９）。なお、メモリに表面モードと相関値が１つも格納されていない場合、すなわち、どの表面モードの相関値も閾値以上ではない場合には、表面モードは判断せずに処理を抜け、欠陥を有すると判定することとなる。
【００７１】
欠陥画像生成部１０４は、モード判定部１０３で判定された表面モードに対応する標準周波数データを標準周波数データベース１０００から取得する（ステップＳ３０１０）。
【００７２】
欠陥画像生成部１０４は、検査周波数データと標準周波数データとを対比し、異なる部分を抽出する（ステップＳ３０１１）。具体的には、検査周波数データの各周波数成分の振幅と、標準周波数データの対応する周波数成分の平均値データとの差分を算出し、その周波数比と所定の閾値とを比較して周波数比が閾値を超えない場合は、検査周波数データの該当する周波数成分を０に置き換え、周波数比が閾値または閾値を超える場合には、検査周波数データの該当する周波数成分をそのままとすることにより欠陥周波数データを作成するものである。なお、周波数比と閾値との比較により、検査周波数データの該当する周波数成分を所定比または所定量で増減させてもよい。
【００７３】
欠陥画像生成部１０４は、異なる部分の周波数データを逆フーリエ変換することにより、欠陥画像データを生成する（ステップＳＳ３０１２）。なお、逆フーリエ変換に変えてＩＦＦＴを用いてもよい。
【００７４】
欠陥判定部１０５は、欠陥画像生成部１０４で生成された欠陥画像データについて画像処理手法を用いることにより被検査物の欠陥の有無を判定する（ステップＳ３０１３）。具体的には、公知の画像処理方法であるエッジ検出、ラベリング、２値化、画像輝度の積分値の算出、フィレ径の算出などにより、被検査物の欠陥の有無を判定するものである。
【００７５】
また、ここで判定される欠陥画像データは、被検査物を撮像した画像データから、判定された表面モードに対応する良品の画像データに含まれる背景データやばらつきを排除した被検査物の特異的な画像データであるため、被検査物の良否判定が容易かつ正確に行うことができる。
【００７６】
なお、総ての周波数成分の周波数比を一定の閾値と比較するのではなく、周波数ごとに異なる閾値で比較してもよい。これにより、周波数ごとに検出感度を調整することにより、特定の欠陥についての検出感度を高めたり、検出対象の特性により欠陥とならない周波数特性を検出対象から除外することができるため、高精度な欠陥検出が可能となる。
【００７７】
判定結果表示部１０６は、欠陥判定部１０５で判断された被検査物の欠陥の有無を表示する（ステップＳ３０１４）。
【００７８】
次に、いままで説明した欠陥検出処理の事前処理である標準周波数データ生成処理について説明する。図４は、画像データ入力部、周波数データ変換部、標準周波数データ生成部が行う標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【００７９】
まず、画像データ入力部１０１は、画像データの入力が終了したか否かを判断する（ステップＳ４００１）。画像データの入力が終了していないと判断した場合には（ステップＳ４００１：Ｎｏ）、画像データ入力部１０１は、表示モードと画像データの入力を受付ける（ステップＳ４００２）。ここで入力される画像データは、表面モードが判定されている良品の被検査物の画像データである。
【００８０】
周波数データ変換部１０２は、画像データ入力部１０１で入力された画像データをフーリエ変換で周波数データに変換し、入力された表示モードと変換された周波数データとをメモリに格納し（ステップＳ４００３）、ステップＳ４００１に戻る。なお、フーリエ変換に換えて、ＦＦＴとしてもよい。
【００８１】
画像データの入力が終了したと判断した場合には（ステップＳ４００１：Ｙｅｓ）、標準周波数データ生成部１０７は、表面モードｉの添字ｉをカウントアップする（ステップＳ４００４）。標準周波数データ生成部１０７は、総ての表面モードについての処理が終了したかを判断する（ステップＳ４００５）。
【００８２】
総ての表面モードについての処理が終了していないと判断した場合には（ステップＳ４００５：Ｎｏ）、標準周波数データ生成部１０７は、メモリに格納されている複数の表面モードｉの周波数データを取得する（ステップＳ４００６）。
【００８３】
標準周波数データ生成部１０７は、複数の表面モードｉの周波数データから、標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データを生成する（ステップＳ４００７）。具体的には、複数の表面モードｉの周波数データから、同一の周波数成分の振幅の平均値と標準偏差を算出し、それを全周波数領域について算出することにより、表面モードｉの標準周波数データである標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データを生成するものである。
【００８４】
標準周波数データ生成部１０７は、生成した標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データを表面モードｉの標準周波数データとして標準周波数データベース１０００に格納し（ステップＳ４００８）、ステップＳ４００４に戻る。
【００８５】
ステップＳ４００５に戻り、総ての表面モードについての処理が終了したと判断した場合には（ステップＳ４００５：Ｙｅｓ）、処理を終了する。
【００８６】
このように、検査対象である被検査物の周波数データによって表面モードを判定し、被検査物の周波数データと、判定された表面モードに対応する標準周波数データとの差異から欠陥画像データを生成し、生成された欠陥画像データから欠陥を判定することにより、表面モードに対応した判定をすることができるため、被検査物の良否判定を容易かつ正確に行うことができるという効果を奏する。
【００８７】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。第２の実施の形態にかかる欠陥検出装置は、上述の第１の実施の形態での構成、機能に加え、標準周波数データ生成において、予め作成した予備標準周波数データを参照して表面モードが不明の良品の表面モードを判定することによって標準周波数データを生成するものである。
【００８８】
本発明が適用される欠陥検出装置の構成例について説明する。図５は、第２の実施の形態にかかる欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
【００８９】
本実施の形態の欠陥検出装置５００は、画像データ入力部１０１と、周波数データ変換部１０２と、モード判定部１０３と、欠陥画像生成部１０４と、欠陥判定部１０５と、判定結果表示部１０６と、標準周波数データ生成部１０７と、予備標準周波数データ生成部５０８と、標準周波数データベース１０００と、予備標準周波数データベース２０００から構成されている。
【００９０】
ここで、画像データ入力部１０１と、周波数データ変換部１０２と、モード判定部１０３と、欠陥画像生成部１０４と、欠陥判定部１０５と、判定結果表示部１０６と、標準周波数データ生成部１０７と、標準周波数データベース１０００の構成、機能は、第１の実施の形態と同様であるので、説明を省略する。
【００９１】
予備標準周波数データ生成部５０８は、表面モードが不明の良品の周波数データの表面モードを判定して標準周波数データを生成する標準周波数データ生成処理の事前処理として表示モードごとの予備標準周波数データを生成するものである。
【００９２】
予備標準周波数データベース２０００は、表示モードごとの予備標準周波数データを規定する。図６は、予備標準周波数データベースのデータ構成の一例を示す説明図である。予備標準周波数データベース２０００は、表面モードと予備標準周波数データとを対応付けて記憶している。予備標準周波数データは、さらに予備標準周波数平均値データと予備標準周波数標準偏差データとから構成されている。表面モードは、例えば１からｎまで規定されているものとする。
【００９３】
上述のように構成されている欠陥検出装置による欠陥検出処理は、第１の実施の形態での欠陥検出処理と同様であるので、図３−１、図３−２のフローチャートとその説明を参照し、ここでの説明は省略する。
【００９４】
次に、上述のように構成されている欠陥検出装置による予備標準周波数データ生成処理について説明する。図７は、画像データ入力部、周波数データ変換部、予備標準周波数データ生成部が行う予備標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【００９５】
まず、画像データ入力部１０１は、画像データの入力が終了したか否かを判断する（ステップＳ７００１）。画像データの入力が終了していないと判断した場合には（ステップＳ７００１：Ｎｏ）、画像データ入力部１０１は、表示モードと画像データの入力を受付ける（ステップＳ７００２）。ここで入力される画像データは、表面モードが判定されている良品の被検査物の画像データである。
【００９６】
周波数データ変換部１０２は、画像データ入力部１０１で入力された画像データをフーリエ変換で周波数データに変換し、入力された表示モードと変換された周波数データとをメモリに格納し（ステップＳ７００３）、ステップＳ７００１に戻る。なお、フーリエ変換に換えて、ＦＦＴを用いてもよい。
【００９７】
画像データの入力が終了したと判断した場合には（ステップＳ７００１：Ｙｅｓ）、予備標準周波数データ生成部５０８は、表面モードｉの添字ｉをカウントアップする（ステップＳ７００４）。予備標準周波数データ生成部５０８は、総ての表面モードについての処理が終了したかを判断する（ステップＳ７００５）。
【００９８】
総ての表面モードについての処理が終了していないと判断した場合には（ステップＳ７００５：Ｎｏ）、予備標準周波数データ生成部５０８は、メモリに格納されている表面モードｉの良品の周波数データを取得する（ステップＳ７００６）。
【００９９】
予備標準周波数データ生成部５０８は、複数の表面モードｉの周波数データから、予備標準周波数平均値データと予備標準周波数標準偏差データを生成する（ステップＳ７００７）。具体的には、複数の表面モードｉの周波数データから、同一の周波数成分の振幅の平均値と標準偏差を算出し、それを全周波数領域について算出することにより、表面モードｉの予備標準周波数データである予備標準周波数平均値データと予備標準周波数標準偏差データを生成するものである。
【０１００】
予備標準周波数データ生成部５０８は、生成した予備標準周波数平均値データと予備標準周波数標準偏差データを表面モードｉの予備標準周波数データとして予備標準周波数データベース２０００に格納し（ステップＳ７００８）、ステップＳ７００４に戻る。
【０１０１】
ステップＳ７００５に戻り、総ての表面モードについての処理が終了したと判断した場合には（ステップＳ７００５：Ｙｅｓ）、処理を終了する。
【０１０２】
さらに、上述のように生成された予備周波数データを用いて表面モードを判定する標準周波数データ生成処理について説明する。図８−１、図８−２は、画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、標準周波数データ生成部が行う標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【０１０３】
画像データ入力部１０１は、画像データの入力が終了したか否かを判断する（ステップＳ８００１）。画像データの入力が終了していないと判断した場合には（ステップＳ８００１：Ｎｏ）、画像データ入力部１０１は、表示モードが不明の良品の画像データの入力を受付ける（ステップＳ８００２）。周波数データ変換部１０２は、画像データ入力部１０１で入力された画像データをフーリエ変換で周波数データに変換する（ステップＳ８００３）。なお、フーリエ変換に換えてＦＦＴを用いてもよい。
【０１０４】
モード判定部１０３は、表面モードｉの添字ｉをカウントアップする（ステップＳ８００４）。モード判定部１０３は、総ての表面モードについての処理が終了したかを判断する（ステップＳ８００５）。
【０１０５】
総ての表面モードについての処理が終了していないと判断した場合には（ステップＳ８００５：Ｎｏ）、モード判定部１０３は、予備標準周波数データベース２０００から表面モードｉの周波数平均値データと周波数標準偏差データを取得する（ステップＳ８００６）。モード判定部１０３は、表面モード不明の良品の周波数データと表面モードｉの周波数平均値データとから正規化相互相関法による相関値を算出する（ステップＳ８００７）。
【０１０６】
モード判定部１０３は、正規化相互相関法で算出した相関値が予め定められた閾値未満か否かを判断する（ステップＳ８００８）。算出した相関値が予め定められた閾値未満でないと判断した場合には（ステップＳ８００８：Ｎｏ）、メモリに表面モードｉと相関値を格納し（ステップＳ８００９）、ステップＳ８００４に戻る。
【０１０７】
算出した相関値が予め定められた閾値未満であると判断した場合には（ステップＳ８００８：Ｙｅｓ）、メモリ格納処理は行わずステップＳ８００４に戻る。
【０１０８】
また、ステップＳ８００５に戻り、総ての表面モードについての処理が終了したと判断した場合には（ステップＳ８００５：Ｙｅｓ）、モード判定部１０３は、メモリに格納された相関値が最大値をとる表面モードを表面モードが不明な良品の表面モードと判定し、判定された表面モードと周波数データをメモリに格納する（ステップＳ８０１０）。
【０１０９】
ステップＳ８００１に戻り、画像データの入力が終了したと判断した場合には（ステップＳ８００１：Ｙｅｓ）、標準周波数データ生成部１０７は、表面モードｊの添字ｊをカウントアップする（ステップＳ８０１１）。標準周波数データ生成部１０７は、総ての表面モードについての処理が終了したかを判断する（ステップＳ８０１２）。
【０１１０】
総ての表面モードについての処理が終了していないと判断した場合には（ステップＳ８０１２：Ｎｏ）、標準周波数データ生成部１０７は、メモリに格納されている複数の表面モードｊの周波数データを取得する（ステップＳ８０１３）。
【０１１１】
標準周波数データ生成部１０７は、複数の表面モードｊの周波数データから、標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データを生成する（ステップＳ８０１４）。具体的には、複数の表面モードｊの周波数データから、同一の周波数成分の振幅の平均値と標準偏差を算出し、それを全周波数領域について算出することにより、表面モードｊの標準周波数データである標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データを生成するものである。
【０１１２】
標準周波数データ生成部１０７は、生成した標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データを表面モードｊの標準周波数データとして標準周波数データベース１０００に格納し（ステップＳ８０１５）、ステップＳ８０１１に戻る。
【０１１３】
ステップＳ８０１２に戻り、総ての表面モードについての処理が終了したと判断した場合には（ステップＳ８０１２：Ｙｅｓ）、処理を終了する。
【０１１４】
このように、表面モードが判定された一定数の周波数データを予め予備標準周波数データベース２０００に登録し、登録された予備周波数データを参照して表面モードが不明な良品の表面モードを判定して標準周波数データを生成することにより、人が目視により画像データの表面モードを判定することなく周波数データの表面モードを判定することができ、大量の良品の周波数データを参照して標準周波数データを生成することができるため、高精度な標準周波数データを容易に作成することができ、また人的作業負担を軽減することができるという効果を奏する。
【０１１５】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。第３の実施の形態にかかる欠陥検出装置は、被検査物の表面モードをニューラルネットワークにより判定し、検査対象である被検査物の周波数データと、判定された表面モードに対応する標準周波数データとから相違する周波数データを抽出し、抽出された周波数成分から変換した画像データによって欠陥を判定するものである。また、欠陥検出処理の事前処理として、表面モードが不明な良品の周波数データの表面モードをニューラルネットワークにより判定して標準周波数データを生成するものである。
【０１１６】
本発明が適用される欠陥検出装置の構成例について説明する。図９は、第３の実施の形態にかかる欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
【０１１７】
本実施の形態の欠陥検出装置９００は、画像データ入力部１０１と、周波数データ変換部１０２と、モード判定部９０３と、欠陥画像生成部１０４と、欠陥判定部１０５と、判定結果表示部１０６と、標準周波数データ生成部１０７と、標準周波数データベース１０００とから構成されている。
【０１１８】
ここで、画像データ入力部１０１と、周波数データ変換部１０２と、欠陥画像生成部１０４と、欠陥判定部１０５と、判定結果表示部１０６と、標準周波数データ生成部１０７と、標準周波数データベース１０００の構成、機能は、第１の実施の形態と同様であるので、説明を省略する。
【０１１９】
モード判定部９０３は、周波数データ変換部１０２で変換された被検査物の周波数データまたは周波数データ変換部１０２で変換された表面モードが不明な良品の周波数データと、表面モードごとの標準周波数データとの類似度を求め、求められた類似度のうち最大の類似度をとる表面モードを選択することによって、被検査物の表面モードを判定するものである。
【０１２０】
本実施の形態では、具体的には予め標準周波数平均値データ（標準周波数データの振幅の平均値データ）を入力とし、各表面モードへの相関度を出力として学習させたニューラルネットワークを用いて、周波数データ変換部１０２で変換された、被検査物の周波数データの表面モードごとの相関度を求め、求められた相関度のうち最大の相関度をとる表面モードを選択することによって、被検査物の表面モードを判定するものである。
【０１２１】
また、ニューラルネットワークを用いて、周波数データ変換部１０２で変換された、表面モードが不明な良品の周波数データの表面モードごとの相関度を求め、求められた相関度のうち最大の相関度をとる表面モードを選択することによって、表面モードが不明な良品である被検査物の表面モードを判定するものである。
【０１２２】
本実施の形態では、類似度としてニューラルネットワークが出力する相関度を用いているが、検査対象である被検査物の周波数データと表面モードに対応する標準周波数データとの近似の度合いを示すものであれば、他の値を用いてもよい。
【０１２３】
次に、上述のように構成されている欠陥検出装置による欠陥検出処理について説明する。図１０−１、図１０−２は、画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部が行う欠陥検出処理手順を示すフローチャートである。本実施の形態にかかる欠陥検出処理の手順は、図３に示すフローチャートとほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明する。ステップＳ１０００１〜ステップＳ１０００４、ステップＳ１０００９〜ステップＳ１００１３は、図３での説明を参照し、ここでの説明を省略する。
【０１２４】
モード判定部９０３は、ニューラルネットワークに検査対象である被検査物の周波数データを入力し、表面モードｉの相関度を算出する（ステップＳ１０００５）。モード判定部９０３は、算出された相関度が予め定められた閾値未満であるか否かを判断する（ステップＳ１０００６）。
【０１２５】
相関度が閾値未満でないと判断された場合には（ステップＳ１０００６：Ｎｏ）、モード判定部９０３は、表面モードｉと相関度をメモリに格納する（ステップＳ１０００７）。相関度が閾値未満であると判断された場合には（ステップＳ１０００６：Ｙｅｓ）、メモリ格納処理は行わずステップＳ１０００３へ戻る。
【０１２６】
ステップＳ１０００４に戻り、総ての表面モードについての処理が終了したと判断した場合には（ステップＳ１０００４：Ｎｏ）、モード判定部９０３は、メモリに格納されている表面モードと相関度を取得し、その中で最も相関度の高い表面モードを選択し、その表面モードを検査対象である被検査物の表面モードとする（ステップＳ１０００８）。なお、メモリに表面モードと相関値が１つも格納されていない場合、すなわち、どの表面モードの相関値も閾値以上ではない場合には、表面モードは判断せずに処理を抜け、欠陥を有すると判定することとなる。以下、図３の説明を参照する。
【０１２７】
次に、いままで説明した欠陥検出処理の事前処理である標準周波数データ生成処理について説明する。図１１−１、図１１−２は、画像データ入力部、周波数データ変換部、標準周波数データ生成部が行う標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。本実施の形態にかかる標準周波数データ生成処理の手順は、図８に示すフローチャートとほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明する。ステップＳ１１００１〜ステップＳ１１００５、ステップＳ１１０１０〜ステップＳ１１０１４は、図８での説明を参照し、ここでの説明を省略する。
【０１２８】
モード判定部９０３は、ニューラルネットワークに良品の周波数データを入力し、表面モードｉの相関度を算出する（ステップＳ１１００６）。モード判定部９０３は、算出した相関度が予め定めておいた閾値未満か否かを判断する（ステップＳ１１００７）。
【０１２９】
算出した相関度が予め定めておいた閾値未満でないと判断した場合（ステップＳ１１００７：Ｎｏ）、モード判定部９０３は、メモリに表面モードｉと相関度を格納する（ステップＳ１１００８）。算出した相関度が予め定めておいた閾値未満であると判断した場合（ステップＳ１１００７：Ｙｅｓ）、モード判定部９０３は、メモリ格納処理を行わず、ステップＳ１１００４に戻る。
【０１３０】
また、ステップＳ１１００５に戻り、総ての表面モードについての処理が終了したと判断した場合には（ステップＳ１１００５：Ｙｅｓ）、モード判定部９０３は、メモリに格納された相関度のうち、最大値をとる表面モードを表面モードが不明な良品の周波数データの表面モードと判定し、判定された表面モードと周波数データをメモリに格納し（ステップＳ１１０１０）、ステップＳ１１００１に戻る。以下、図８の説明を参照する。
【０１３１】
このように、検査対象である被検査物の周波数データについて、予め良品の周波数データを入力とし表示モードの相関度を出力として学習させたニューラルネットワークを用いて表面モードを判定し、検査周波数データと、判定された表面モードに対応する標準周波数データとの差異から欠陥を判定することにより、表面モードに対応した判定をすることができるため、被検査物の良否判定が容易でかつ正確に行うことができるという効果を奏する。
【０１３２】
また、予め入力と出力を学習させたニューラルネットワークを用いて、表面モードを判定した標準周波数データを標準周波数データベースに登録することにより、良品の表面モードを目視により判定する必要がなくなるため、標準周波数データベースの構築が容易に行うことができ、人的作業負担を制限できるという効果を奏する。
【０１３３】
（第４の実施の形態）
第４の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。第４の実施の形態にかかる欠陥検出装置は、被検査物の表面モードを判定し、被検査物の分割された領域に対応する検査周波数データと、判定された表面モードおよび領域に対応する標準周波数データとから相違する周波数成分を抽出し、欠陥を検出するものである。また、欠陥検出処理の事前処理として、良品と判断される複数の被検査物の画像データを所定の領域に分割し、分割された領域に対応する周波数データから標準周波数データを生成するものである。
【０１３４】
本発明が適用される欠陥検出装置の構成例について説明する。図１２は、第４の実施の形態にかかる欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
【０１３５】
本実施の形態の欠陥検出装置１２００は、画像データ入力部１２０１と、周波数データ変換部１０２と、モード判定部１０３と、欠陥画像生成部１０４と、欠陥判定部１０５と、判定結果表示部１０６と、標準周波数データ生成部１０７と、分割標準周波数データ生成部１２０９と、標準周波数データベース１０００と、分割標準周波数データベース３０００から構成されている。
【０１３６】
ここで、周波数データ変換部１０２と、モード判定部１０３と、欠陥判定部１０５と、判定結果表示部１０６と、標準周波数データ生成部１０７と、標準周波数データベース１０００の構成、機能は、第１の実施の形態と同様であるので、説明を省略する。
【０１３７】
画像データ入力部１２０１は、上述の第１の実施の形態の構成、機能に加え、入力された画像データを所定の領域に分割するものである。
【０１３８】
欠陥画像生成部１２０４は、上述の第１の実施の形態の構成、機能に加え、判定された表面モードおよび領域に対応する標準周波数データを分割標準周波数データベース３０００から取得し、検査対象である被検査物の周波数データと分割標準周波数データから相違する周波数成分を抽出し、抽出された周波数成分を逆フーリエ変換することにより欠陥画像を生成するものである。
【０１３９】
分割標準周波数データ生成部１２０９は、上述の被検査物の欠陥検出処理の事前処理として表示モードおよび領域ごとの標準周波数データを生成するものである。
【０１４０】
分割標準周波数データベース３０００は、表示モード、領域ごとの標準周波数データを規定する。図１３は、分割標準周波数データベースのデータ構成の一例を示す説明図である。分割標準周波数データベース３０００は、表面モードと領域情報と標準周波数データとを対応付けて記憶している。標準周波数データは、さらに標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データとから構成されている。
【０１４１】
次に、以上のように構成されている欠陥検出装置による欠陥検出処理について説明する。図１４−１、図１４−２は、画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部が行う欠陥検出処理手順を示すフローチャートである。本実施の形態にかかる欠陥検出処理の手順は、図３に示すフローチャートとほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明する。ステップＳ１４００１、ステップＳ１４００３〜ステップＳ１４０１０、ステップＳ１４０１３〜ステップＳ１４０１５は、図３での説明を参照し、ここでの説明を省略する。
【０１４２】
画像データ入力部１２００１は、入力された画像データを所定の領域に分割する（ステップＳ１４００２）。ステップＳ１４００３〜ステップＳ１４０１０は図３の説明を参照する。欠陥画像生成部１２０４は、分割標準周波数データベース３０００から判定された表面モードｉの対応する領域の標準周波数平均値データを取得する（ステップＳ１４０１１）。欠陥画像生成部１２０４は、検査対象の分割された画像データに対応する周波数データと、判定された表面モードおよび領域に対応する標準周波数平均値データとを対比して異なる部分を抽出する（ステップＳ１４０１２）。以下、図３の説明を参照する。
【０１４３】
上述のように構成されている欠陥検出装置による標準周波数データ生成処理については、第１の実施の形態と同様であるので図４の説明を参照し、ここでの説明を省略する。
【０１４４】
次に、上述のように構成されている欠陥検出装置による分割標準周波数データ生成処理について説明する。図１５は、画像データ入力部、周波数データ変換部、分割標準周波数データ生成部が行う分割標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【０１４５】
まず、画像データ入力部１２０１は、画像データの入力が終了したか否かを判断する（ステップＳ１５００１）。画像データの入力が終了していないと判断した場合には（ステップＳ１５００１：Ｎｏ）、画像データ入力部１２０１は、表示モードと画像データの入力を受付ける（ステップＳ１５００２）。ここで入力される画像データは、表面モードが判定されている良品の被検査物の画像データである。
【０１４６】
さらに、画像データ入力部１２０１は、入力された画像データを所定の領域に分割する（ステップＳ１５００３）。
【０１４７】
周波数データ変換部１０２は、画像データ入力部１０１で分割された画像データをフーリエ変換で周波数データに変換し、入力された表示モードと領域データと変換された周波数データとをメモリに格納し（ステップＳ１５００４）、ステップＳ１５００１に戻る。
【０１４８】
画像データの入力が終了したと判断した場合には（ステップＳ１５００１：Ｙｅｓ）、分割標準周波数データ生成部１２０９は、表面モードｉの添字ｉをカウントアップする（ステップＳ１５００５）。分割標準周波数データ生成部１２０９は、総ての表面モードについての処理が終了したかを判断する（ステップＳ１５００６）。
【０１４９】
総ての表面モードについての処理が終了していないと判断した場合には（ステップＳ１５００６：Ｎｏ）、標準周波数データ生成部１２０９は、メモリに格納されている表面モードｉの領域ごとの周波数データを取得する（ステップＳ１５００７）。
【０１５０】
分割標準周波数データ生成部１２０９は、複数の表面モードｉの領域ごとの周波数データから、標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データを生成する（ステップＳ１５００８）。具体的には、複数の表面モードｉの領域ごとの周波数データから、同一の周波数成分の振幅の平均値と標準偏差を算出し、それを全周波数領域について算出することにより、表面モードｉの領域ごとの標準周波数データである標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データを生成するものである。
【０１５１】
分割標準周波数データ生成部１２０９は、生成した標準周波数平均値データと標準周波数標準偏差データを表面モードｉの領域ごとの標準周波数データとして分割標準周波数データベース３０００に格納し（ステップＳ１５００９）、ステップＳ１５００５へ戻る。
【０１５２】
ステップＳ１５００６に戻り、総ての表面モードについての処理が終了したと判断した場合には（ステップＳ１５００６：Ｎｏ）、処理を終了する。
【０１５３】
このように、分割された領域で検査周波数データと標準周波数データを比較し、欠陥を検出することにより、欠陥の出現しやすい領域について欠陥検出感度を上げ重点的に検査するような高精度な欠陥検出をすることができるという効果を奏する。
【０１５４】
また、被検査物の表面モードおよび領域に対応する標準周波数データを予め分割標準周波数データベース３０００に登録しておくことにより、検査対象の被検査物を表面モードおよび領域ごとを判定して検査することができるため、欠陥検出の処理が容易でかつ正確に行うことができるという効果を奏する。
【０１５５】
なお、第１〜第４の実施形態の欠陥検出装置で実行される欠陥検出プログラム、標準周波数データ生成プログラム等は、ＲＯＭ等に予め組み込まれて提供される。
【０１５６】
第１〜第４の実施形態の欠陥検出装置で実行される欠陥検出プログラム、標準周波数データ生成プログラム等は、インストール可能な形式又は実行可能な形式のファイルでＣＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録して提供するように構成してもよい。
【０１５７】
さらに、第１〜第４の実施形態の欠陥検出装置で実行される欠陥検出プログラム、標準周波数データ生成プログラム等を、インターネット等のネットワークに接続されたコンピュータ上に格納し、ネットワーク経由でダウンロードさせることにより提供するように構成しても良い。また、第１〜第４の実施形態の欠陥検出装置で実行される欠陥検出プログラム、標準周波数データ生成プログラム等をインターネット等のネットワーク経由で提供または配布するように構成しても良い。
【０１５８】
第１〜第４の実施の形態の欠陥検出装置で実行される欠陥検出プログラム、標準周波数データ生成プログラム等は、上述した各部（画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部、標準周波数データ生成部等）を含むモジュール構成となっており、実際のハードウェアとしてはＣＰＵ（プロセッサ）が上記ＲＯＭから〜プログラムを読み出して実行することにより上記各部が主記憶装置上にロードされ、画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部、標準周波数データ生成部等が主記憶装置上に生成されるようになっている。
【図面の簡単な説明】
【０１５９】
【図１】第１の実施の形態にかかる欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
【図２】標準周波数データベースのデータ構成の一例を示す説明図である。
【図３−１】画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部が行う欠陥検出処理手順を示すフローチャートである。
【図３−２】画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部が行う欠陥検出処理手順を示すフローチャートである。
【図４】画像データ入力部、周波数データ変換部、標準周波数データ生成部が行う標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【図５】第２の実施の形態にかかる欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
【図６】予備標準周波数データベースのデータ構成の一例を示す説明図である。
【図７】画像データ入力部、周波数データ変換部、予備標準周波数データ生成部が行う予備標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【図８−１】画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、標準周波数データ生成部が行う標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【図８−２】画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、標準周波数データ生成部が行う標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【図９】第３の実施の形態にかかる欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１０−１】画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部が行う欠陥検出処理手順を示すフローチャートである。
【図１０−２】画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部が行う欠陥検出処理手順を示すフローチャートである。
【図１１−１】画像データ入力部、周波数データ変換部、標準周波数データ生成部が行う標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【図１１−２】画像データ入力部、周波数データ変換部、標準周波数データ生成部が行う標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【図１２】第４の実施の形態にかかる欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１３】分割標準周波数データベースのデータ構成の一例を示す説明図である。
【図１４−１】画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部が行う欠陥検出処理手順を示すフローチャートである。
【図１４−２】画像データ入力部、周波数データ変換部、モード判定部、欠陥画像生成部、欠陥判定部、判定結果表示部が行う欠陥検出処理手順を示すフローチャートである。
【図１５】画像データ入力部、周波数データ変換部、分割標準周波数データ生成部が行う分割標準周波数データ生成処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１６０】
１００  ５００  ９００  １２００  欠陥検出装置
１０１  １２０１  画像データ入力部
１０２  周波数データ変換部
１０３  ９０３  モード判定部
１０４  １２０４  欠陥画像生成部
１０５  欠陥判定部
１０６  判定結果表示部
１０７  標準周波数データ生成部
５０８  予備標準周波数データ生成部
１２０９  分割標準周波数データ生成部
１０００  標準周波数データベース
２０００  予備標準周波数データベース
３０００  分割標準周波数データベース
【図１】
2006234656.tif 000003
【図２】
2006234656.tif 000004
【図３−１】
2006234656.tif 000005
【図３−２】
2006234656.tif 000006
【図４】
2006234656.tif 000007
【図５】
2006234656.tif 000008
【図６】
2006234656.tif 000009
【図７】
2006234656.tif 000010
【図８−１】
2006234656.tif 000011
【図８−２】
2006234656.tif 000012
【図９】
2006234656.tif 000013
【図１０−１】
2006234656.tif 000014
【図１０−２】
2006234656.tif 000015
【図１１−１】
2006234656.tif 000016
【図１１−２】
2006234656.tif 000017
【図１２】
2006234656.tif 000018
【図１３】
2006234656.tif 000019
【図１４−１】
2006234656.tif 000020
【図１４−２】
2006234656.tif 000021
【図１５】
2006234656.tif 000022