(57)【要約】【課題】簡易な構成で、超音波モータの駆動を容易かつ確実に制御することができ、駆動効率が高く、かつ制御分解能の高い超音波モータの駆動回路およびアクチュエータを提供する。【解決手段】駆動回路５は、圧電素子を備える超音波モータ２を駆動する駆動回路であって、パルス生成手段と、単位期間設定手段と、パルス信号の単位期間内のパルス数を調節するパルス数調節手段と、前記調節されたパルス信号に対応するように、交流電圧を前記圧電素子に印加するとともに、前記交流電圧を前記圧電素子に印加している時間帯と重複しない時間帯において、前記パルス生成手段により生成されたパルス信号に対応するように、振幅の小さい交流電圧を前記圧電素子に印加し、前記超音波モータ２を駆動する駆動手段とを有し、前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記超音波モータ２の駆動を制御する。【選択図】図２
2006081236.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流電圧の印加により伸縮する圧電素子と、被駆動体に対して当接する接触部とを有する振動体を備える超音波モータを駆動する駆動回路であって、
パルス信号を周期的に生成するパルス生成手段と、
単位期間を周期的に設定する単位期間設定手段と、
前記パルス生成手段により生成されたパルス信号の周期を保持しつつ、該パルス生成手段により生成されたパルス信号の前記単位期間内のパルス数を調節するパルス数調節手段と、
前記パルス数調節手段により調節されたパルス信号に対応するように、第１の振幅の交流電圧を前記圧電素子に印加するとともに、前記第１の振幅の交流電圧を前記圧電素子に印加している時間帯と重複しない時間帯において、前記パルス生成手段により生成されたパルス信号に対応するように、前記第１の振幅の交流電圧より振幅の小さい第２の振幅の交流電圧を前記圧電素子に印加し、前記超音波モータを駆動する駆動手段とを有し、
前記パルス数調節手段によって前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記超音波モータの駆動を制御するよう構成されていることを特徴とする超音波モータの駆動回路。
【請求項２】
前記第２の振幅は、前記第１の振幅の略半分である請求項１に記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項３】
前記駆動手段は、さらに、供給される電圧を低下させる電圧低下手段を有し、前記第１の振幅の交流電圧を前記圧電素子に印加している時間帯と重複しない時間帯において、前記電圧低下手段により低下した電圧を、前記パルス生成手段により生成されたパルス信号に略同期させて前記圧電素子に印加するよう構成されており、該電圧低下手段により低下した電圧を加算してなる交流電圧が、前記第２の振幅の交流電圧とされる請求項１に記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項４】
前記電圧低下手段により低下した電圧が加算される前の交流電圧の振幅は、前記第１の振幅の略半分である請求項３に記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項５】
前記電圧低下手段は、抵抗器である請求項３または４に記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項６】
前記電圧低下手段は、抵抗値を変更し得る可変抵抗器であり、該可変抵抗器の抵抗値の変更により、前記第２の振幅を変更し得るよう構成されている請求項３または４に記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項７】
前記単位期間設定手段は、前記パルス生成手段により生成されたパルス信号の周期の複数倍の期間を前記単位期間として設定するよう構成されている請求項１ないし６のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項８】
前記単位期間を変更し得るよう構成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項９】
前記パルス数調節手段は、前記パルス生成手段により生成されたパルス信号のうちの一部のパルス信号を無効にすることにより、該パルス生成手段により生成されたパルス信号の前記単位期間内のパルス数を調節するよう構成されている請求項１ないし８のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項１０】
前記パルス数調節手段によって前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記超音波モータの電流値を調節する電流制御を行なうよう構成されている請求項１ないし９のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項１１】
前記超音波モータの電流を検出する電流検出手段と、
前記超音波モータの電流を調節する電流調節手段とを有し、
前記電流調節手段は、電流指令値と、前記電流検出手段の検出結果とに基づいて、前記パルス数調節手段を作動させて前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記超音波モータの電流を調節する電流制御を行なうよう構成されている請求項１ないし９のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項１２】
前記被駆動体は、回転可能に設けられたロータであり、
前記パルス数調節手段によって前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記ロータの回転数を調節する回転数制御を行なうよう構成されている請求項１ないし１１のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項１３】
前記被駆動体は、回転可能に設けられたロータであり、
前記ロータの回転数を検出する回転数検出手段と、
前記ロータの回転数を調節する回転数調節手段とを有し、
前記回転数調節手段は、回転数指令値と、前記回転数検出手段の検出結果とに基づいて、前記パルス数調節手段を作動させて前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記ロータの回転数を調節する回転数制御を行なうよう構成されている請求項１ないし１１のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路と、
前記駆動回路により駆動される前記超音波モータとを有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１５】
前記超音波モータの接触部に当接し、該超音波モータからの駆動力により変位する前記被駆動体を有する請求項１４に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波モータの駆動回路およびアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子を備えた振動体を振動させて、ロータ等の被駆動体を駆動する超音波モータが知られている。この超音波モータでは、駆動回路により、振動体の圧電素子に交流電圧を印加し、その振動体を振動させる。
この超音波モータの電流制御や回転数制御には、圧電素子に印加する交流電圧の振幅を調節する電圧振幅可変駆動方式や、ＰＷＭ駆動方式（チョッパ方式）が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、前記電圧振幅可変駆動方式の場合は、圧電素子に印加する電圧を直接制御（調節）するので、超音波モータの駆動効率が低下してしまい、また、路構成が複雑化するという問題がある。
また、前記ＰＷＭ駆動方式の場合は、超音波モータの駆動信号より十分に周波数の高い基準信号が必要となるので、回路電流が増加し、また、回路構成が複雑化するという問題がある。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１７０７６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、簡易な構成で、超音波モータの駆動を容易かつ確実に制御することができ、駆動効率が高く、かつ制御分解能の高い超音波モータの駆動回路およびアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の超音波モータの駆動回路は、交流電圧の印加により伸縮する圧電素子と、被駆動体に対して当接する接触部とを有する振動体を備える超音波モータを駆動する駆動回路であって、
パルス信号を周期的に生成するパルス生成手段と、
単位期間を周期的に設定する単位期間設定手段と、
前記パルス生成手段により生成されたパルス信号の周期を保持しつつ、該パルス生成手段により生成されたパルス信号の前記単位期間内のパルス数を調節するパルス数調節手段と、
前記パルス数調節手段により調節されたパルス信号に対応するように、第１の振幅の交流電圧を前記圧電素子に印加するとともに、前記第１の振幅の交流電圧を前記圧電素子に印加している時間帯と重複しない時間帯において、前記パルス生成手段により生成されたパルス信号に対応するように、前記第１の振幅の交流電圧より振幅の小さい第２の振幅の交流電圧を前記圧電素子に印加し、前記超音波モータを駆動する駆動手段とを有し、
前記パルス数調節手段によって前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記超音波モータの駆動を制御するよう構成されていることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、パルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、超音波モータの駆動を制御するので、超音波モータの電流制御や回転数制御等の駆動制御を容易かつ確実に行なうことができる。
また、パルス信号より周波数の高い信号を必要とせず、これにより、回路構成を簡易にすることができる。
また、圧電素子に印加する交流電圧の振幅を調節する電圧振幅可変駆動方式に比べ、超音波モータを高い駆動効率で駆動することができる。
【０００８】
また、調節されたパルス信号に対応する交流電圧を圧電素子に印加して超音波モータを駆動し、単位期間内に交流電圧を圧電素子に印加しない期間を設ける場合は、単位期間を長くすると、パルス信号の単位期間内のパルス数が少なくなったとき、振動体の振動の振幅が小さくなり、超音波モータの検出用の電極に誘起される電圧を検出できなくなるか、または、振動体の振動が停止してしまうという問題がある。これに対し、この発明では、単位期間内の第１の振幅の交流電圧を圧電素子に印加している時間帯と重複しない時間帯において、第２の振幅の交流電圧を圧電素子に印加して超音波モータを駆動するので、単位期間を長くしても問題がなく、これにより、単位期間を長くすることによって制御分解能を高くすることができる。
【０００９】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記第２の振幅は、前記第１の振幅の略半分であることが好ましい。
これにより、回路構成を簡易にすることができる。
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記駆動手段は、さらに、供給される電圧を低下させる電圧低下手段を有し、前記第１の振幅の交流電圧を前記圧電素子に印加している時間帯と重複しない時間帯において、前記電圧低下手段により低下した電圧を、前記パルス生成手段により生成されたパルス信号に略同期させて前記圧電素子に印加するよう構成されており、該電圧低下手段により低下した電圧を加算してなる交流電圧が、前記第２の振幅の交流電圧とされることが好ましい。
これにより、第２の振幅を、容易に、任意の値に設定することができる。
【００１０】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記電圧低下手段により低下した電圧が加算される前の交流電圧の振幅は、前記第１の振幅の略半分であることが好ましい。
これにより、回路構成を簡易にすることができる。
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記電圧低下手段は、抵抗器であることが好ましい。
これにより、回路構成を簡易にすることができる。
【００１１】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記電圧低下手段は、抵抗値を変更し得る可変抵抗器であり、該可変抵抗器の抵抗値の変更により、前記第２の振幅を変更し得るよう構成されていることが好ましい。
これにより、第２の振幅を、容易に、任意の値に変更することができる。
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記単位期間設定手段は、前記パルス生成手段により生成されたパルス信号の周期の複数倍の期間を前記単位期間として設定するよう構成されていることが好ましい。
これにより、超音波モータの駆動制御をさらに容易かつ確実に行なうことができる。
【００１２】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記単位期間を変更し得るよう構成されていることが好ましい。
これにより、目的や用途等に応じて、制御分解能を変更することができる。
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記パルス数調節手段は、前記パルス生成手段により生成されたパルス信号のうちの一部のパルス信号を無効にすることにより、該パルス生成手段により生成されたパルス信号の前記単位期間内のパルス数を調節するよう構成されていることが好ましい。
これにより、超音波モータの駆動制御をさらに容易かつ確実に行なうことができる。
【００１３】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記パルス数調節手段によって前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記超音波モータの電流値を調節する電流制御を行なうよう構成されていることが好ましい。
これにより、超音波モータの電流制御を容易かつ確実に行なうことができる。
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記超音波モータの電流を検出する電流検出手段と、
前記超音波モータの電流を調節する電流調節手段とを有し、
前記電流調節手段は、電流指令値と、前記電流検出手段の検出結果とに基づいて、前記パルス数調節手段を作動させて前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記超音波モータの電流を調節する電流制御を行なうよう構成されていることが好ましい。
これにより、超音波モータの電流制御を容易かつ確実に行なうことができる。
【００１４】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記被駆動体は、回転可能に設けられたロータであり、
前記パルス数調節手段によって前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記ロータの回転数を調節する回転数制御を行なうよう構成されていることが好ましい。
これにより、回転数制御を容易かつ確実に行なうことができる。
【００１５】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記被駆動体は、回転可能に設けられたロータであり、
前記ロータの回転数を検出する回転数検出手段と、
前記ロータの回転数を調節する回転数調節手段とを有し、
前記回転数調節手段は、回転数指令値と、前記回転数検出手段の検出結果とに基づいて、前記パルス数調節手段を作動させて前記単位期間内のパルス数を調節することにより、前記ロータの回転数を調節する回転数制御を行なうよう構成されていることが好ましい。
これにより、回転数制御を容易かつ確実に行なうことができる。
【００１６】
本発明のアクチュエータは、本発明の超音波モータの駆動回路と、
前記駆動回路により駆動される前記超音波モータとを有することを特徴とする。
この発明によれば、パルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、超音波モータの駆動を制御するので、超音波モータの電流制御や回転数制御等の駆動制御を容易かつ確実に行なうことができる。
また、パルス信号より周波数の高い信号を必要とせず、これにより、回路構成を簡易にすることができる。
【００１７】
また、圧電素子に印加する交流電圧の振幅を調節する電圧振幅可変駆動方式に比べ、超音波モータを高い駆動効率で駆動することができる。
また、単位期間内の第１の振幅の交流電圧を圧電素子に印加している時間帯と重複しない時間帯において、第２の振幅の交流電圧を圧電素子に印加して超音波モータを駆動するので、単位期間を長くしても問題がなく、これにより、単位期間を長くすることによって制御分解能を高くすることができる。
【００１８】
本発明のアクチュエータでは、前記超音波モータの接触部に当接し、該超音波モータからの駆動力により変位する前記被駆動体を有することが好ましい。
これにより、超音波モータの電流制御や回転数制御等の駆動制御を容易かつ確実に行なうことができ、これによって、被駆動体の駆動（例えば、回転、移動等の変位）を容易かつ確実に制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータを添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図（一部ブロック図）、図２は、図１に示す超音波モータの駆動回路を示すブロック図である。
【００２０】
これらの図に示すアクチュエータ１は、超音波モータ２と、超音波モータ２を駆動する駆動回路５と、超音波モータ２からの駆動力により回転（変位）するロータ（被駆動体）４とを有している。
ロータ４は、図示しないベースに対し、回転可能に設置されている。また、超音波モータ２は、そのベースに対し、後述する弾性（可撓性）を有する１対の腕部３４により固定設置されている。
【００２１】
図１に示すように、超音波モータ２は、振動体３を有している。この振動体３は、全体としては略長方形の板状形状を有し、接触部３３と、１対の腕部３４、３４とを有する。接触部３３は、短辺の一部に突出しており、丸みを帯びた頂部を有し、振動体３の短辺の中央部に位置している。各腕部３４は、それぞれ、長辺の中央部から略垂直に延出して設けられており、その先端に、孔３４１が形成された固定部３４０を有する。振動体３は、ベースに対してその平面を略平行に向けつつ、図示しないボルトが腕部３４の孔３４１に挿入され、そのボルトにより固定部３４０においてベースに固定される。このようにして、振動体３は、腕部３４によって支持され、これにより、その振動体３は自由に振動することができ、比較的大きい振幅で振動する。
【００２２】
ここで、振動体３の接触部３３の先端部は、ロータ４の半径方向からその外周面（当接部）４１に接触（当接）している。また、接触部３３は、腕部３４の弾性により、ロータ４の外周面４１に対して弾性的に付勢されている。これにより、接触面にて十分な摩擦力が得られ、振動体３の振動を確実にロータ４に伝達することができる。この振動体３の振動により、接触部３３からロータ４へ駆動力（回転力）が与えられ、そのロータ４が回転する。なお、振動体３（超音波モータ２）は、後述する駆動回路５に接続されており、駆動回路５により、その駆動が制御される。
【００２３】
前記振動体３は、略長方形の板状形状の単一の補強板（振動板）３１と、補強板３１と略合同な長方形の板状形状の１対の圧電素子３２、３２とを有している。すなわち、振動体３は、補強板３１を中心に配置し、この補強板３１を１対の圧電素子３２、３２で挟み込んでなる積層構造（厚み方向に積層した構造）を有する。各圧電素子３２は、それぞれ、交流電圧が印加されると、その長手方向（長辺の方向）に伸長・収縮する。また、各圧電素子３２には、それぞれ、図示しない電極が、その表裏（補強板３１と反対側の表面および補強板３１側の表面）の所定の位置に設けられている。なお、以下の説明では、１対の圧電素子３２、３２およびそれらに設けられた電極については、代表的に、一方について説明する。
【００２４】
前記電極としては、圧電素子３２に交流電圧（電圧）を印加する１対の駆動用の電極（駆動電極）と、振動体３の振動、すなわち、圧電素子３２に誘起された交流電圧（電圧）を検出する１対の検出用の電極（検出電極）とが設けられている。
また、前記接触部３３は、前記補強板３１と一体的に形成される（単一部材で形成される）。これにより、接触部３３を振動体３に対して強固に設置できる利点がある。特に、接触部３３は、アクチュエータ１の駆動時にて、振動体３の振動により高速かつ反復的に、高い押圧力にてロータ４に衝突する。したがって、かかる構成により、接触部３１の耐久性を高め得る利点がある。
【００２５】
また、前記各腕部３４は、補強板３１と一体的に形成される（単一部材で形成される）。これにより、各腕部３４を振動体３に対して強固に設置できる利点がある。
補強板３１の構成材料は、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム系合金、チタン、チタン系合金、銅、銅系合金、ニッケルパーマロイ等の金属や、アルミナ、ジルコニア等の酸化物や、カーボンファイバー等各種のものを用いることができる。この補強板３１は、振動体３全体を補強する機能を有し、過振幅や外力等による振動体３の損傷を防止する。
【００２６】
なお、補強板３１の構成材料として金属（導電体）を用いる場合は、補強板３１と圧電素子３２（電極）との間に、絶縁層が設けられる。
また、圧電素子３２は、電圧の印加により伸縮可能な材料で構成される。この圧電素子３２の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコニウム酸鉛（ＰＺＴ（商標））、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等各種のものを用いることができる。
【００２７】
この超音波モータ２の振動体３の接触部３３がロータ４に当接した状態で、後述する駆動回路５により、駆動用の電極に交流電圧が印加されると、振動体３の駆動用の電極に対応する部分がそれぞれ高速で繰り返し伸縮する。これにより、振動体３は、例えば、全体として略Ｓ字状に屈曲した微少振動、すなわち、縦振動（例えば、縦一次振動）および屈曲振動（例えば屈曲二次振動）の複合振動を行う。この振動により、振動体３の接触部３３は、所定方向に変位、すなわち振動（往復運動）、または、ほぼ楕円に沿って変位、すなわち楕円振動（楕円運動）する。ロータ４は、振動体３の駆動用の電極に対応する部分が伸長するときに接触部３３から摩擦力（押圧力）を受ける。
【００２８】
すなわち、接触部３３の振動変位の径方向成分（ロータ４の径方向の変位）によって、接触部３３とロータ４の外周面４１との間に大きな摩擦力が与えられ、振動変位の周方向成分（ロータ４の円周方向の変位）によって、ロータ４に所定方向の回転力が与えられる。
振動体３が振動すると、このような力がロータ４に繰り返し作用し、ロータ４は、所定方向に回転する。
なお、超音波モータ２の構成は、前述したものに限定されないことは、言うまでもない。例えば、超音波モータ２は、ロータ４を前記と逆方向に回転させるものであってもよく、また、ロータ４を正逆両方向に回転させることができるものであってもよい。
【００２９】
次に、駆動回路５について、説明する。
図２に示すように、駆動回路５は、超音波モータ２の駆動用のパルス信号（パルス）を周期的に生成し、電圧制御によりそのパルス信号の周波数を調節（可変）し得る電圧制御発振器（パルス生成手段）５１と、ＮＯＴ回路（否定回路）５２と、カウンタ回路５３と、パルス数Ｎ設定部５４と、パルス数Ｒ設定部５５と、ＮＡＮＤ回路（否定的論理積回路）５６と、デットタイム生成回路（貫通電流阻止回路）５７と、２つのゲートドライバ５８および５９と、ＮＯＴ回路（否定回路）６１と、４つのスイッチング素子（スイッチング手段）として４つのＦＥＴ（電界効果トランジスタ）６２、６３、６４および６５と、バンドパスフィルタ７１と、信号増幅器（電圧増幅器）７２と、コンパレータ（２値化回路）・インバータ（反転回路）７３と、位相シフト器７４と、位相比較器７５と、ローパスフィルタ７６とを有している。
【００３０】
電圧制御発振器５１の出力側には、ＮＯＴ回路５２を介してカウンタ回路５３が接続され、また、デットタイム生成回路５７が接続されている。
電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の周波数は、特に限定されないが、例えば、１００〜４００ｋＨｚ程度が好ましく、２３０〜２７０ｋＨｚ程度がより好ましい。
カウンタ回路５３としては、例えば、パルスダウンカウンタ等を用いることができる。
【００３１】
また、パルス数Ｒ設定部５５は、単位期間を決めるパルス数（カウンタ回路５３におけるカウンタリセットパルス数）Ｒ（但し、Ｒ≧２）を設定する手段である。
また、パルス数Ｎ設定部５４は、カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルをハイレベル（Ｈ）に保持する期間を決めるパルス数（カウンタ回路５３におけるカウンタ出力パルス数）Ｎ（但し、Ｎ≦Ｒ）を設定する手段である。
【００３２】
カウンタ回路５３では、パルス信号をＲ個（但し、Ｒ≧２）カウントするまでの期間のうち、パルス信号をＮ個（但し、Ｎ≦Ｒ）カウントするまでの期間は、出力信号の電圧レベルをハイレベル（Ｈ）に保持し、その他の期間は、出力信号の電圧レベルをローレベル（Ｌ）に保持する。
このカウンタ回路５３の出力側には、ＮＡＮＤ回路５６の一方の入力端子が接続されている。
【００３３】
また、デットタイム生成回路５７の出力側には、ゲートドライバ５８および５９が、それぞれ接続さている。
また、ゲートドライバ５８の出力側には、ＮＡＮＤ回路５６の他方の入力端子が接続され、また、ＮＯＴ回路６１が接続されている。
このＮＡＮＤ回路５６の出力側には、ＦＥＴ６２のゲートが接続され、ＮＯＴ回路６１の出力側には、ＦＥＴ６３のゲートが接続されている。
【００３４】
また、ゲートドライバ５９の出力側には、ＦＥＴ６４のゲートおよびＦＥＴ６５のゲートが接続されている。
ＦＥＴ６２、６４としては、それぞれ、ゲートに入力される信号（電圧）の電圧レベルがローレベルのとき、オン（ＯＮ）し、ハイレベルのとき、オフ（ＯＦＦ）するＰチャネルのＦＥＴを用いる。逆に、ＦＥＴ６３、６５としては、それぞれ、ゲートに入力される信号（電圧）の電圧レベルがハイレベルのとき、オン（ＯＮ）し、ローレベルのとき、オフ（ＯＦＦ）するＮチャネルのＦＥＴを用いる。
【００３５】
前記ＦＥＴ６２とＦＥＴ６３とは、互いのドレイン同士が接続されており、このＦＥＴ６２のドレインとＦＥＴ６３のドレインとの間に、超音波モータの１対の駆動用の電極の一方が接続されている。
同様に、前記ＦＥＴ６４とＦＥＴ６５とは、互いのドレイン同士が接続されており、このＦＥＴ６２のドレインとＦＥＴ６３のドレインとの間に、超音波モータの１対の駆動用の電極の他方が接続されている。
そして、ＦＥＴ６２のソースおよびＦＥＴ６４のソースには、駆動電圧ＶＤＤ（電圧値：ＶＤＤ）が印加される。
【００３６】
一方、ＦＥＴ６３のソースおよびＦＥＴ６５のソースには、０Ｖの電圧（ＶＳＳ）が印加される。なお、ＦＥＴ６３のソースおよびＦＥＴ６５のソースは、これに限らず、例えば、アース（ＧＮＤ）に接続（接地）されてもよい。以下の説明では、代表的に、ＦＥＴ６３のソースおよびＦＥＴ６５のソースに、０Ｖが印加される場合を説明する（第２〜第８実施形態も同様）。
【００３７】
また、超音波モータ２の検出用の電極には、バンドパスフィルタ７１が接続され、バンドパスフィルタ７１の出力側には、信号増幅器７２が接続され、信号増幅器７２の出力側には、コンパレータ・インバータ７３が接続され、コンパレータ７３の出力側には、位相シフト器７４が接続され、位相シフト器７４の出力側には、位相比較器７５の一方の入力端子が接続され、位相比較器７５の出力側には、ローパスフィルタ７６が接続されている。そして、ローパスフィルタ７６の出力側は、電圧制御発振器５１の入力端子に接続されている。また、電圧制御発振器５１の出力側は、位相比較器７５の他方の入力端子に接続されている。
【００３８】
次に、アクチュエータ１の作用を説明する。
図３は、図１および図２に示すアクチュエータ１のタイミングチャートである。
図３には、図２中のポイントＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、ポイントＦＥ間における電圧の経時変化（信号）が示されている。なお、ポイントＦＥ間の電圧は、ポイントＥの電圧を基準とするものであり、すなわち、ポイントＥに対するポイントＦの電圧である。
【００３９】
電圧制御発振器５１では、パルス信号が周期的に生成され（図３のＡ参照）、そのパルス信号は、ＮＯＴ回路５２、デットタイム生成回路５７および位相比較器７５に、それぞれ入力される。
ＮＯＴ回路５２では、パルス信号が反転（ハイレベルとローレベルとが逆転）し（図３のＢ参照）、その反転したパルス信号は、カウンタ回路５３に入力され、このカウンタ回路５３において、そのパルス信号のパルス数がカウント（計数）される。
【００４０】
カウンタ回路５３からは、カウントしたパルス数に応じて電圧レベルがハイレベルとローレベルとに切り換わる信号が出力され、その信号は、ＮＡＮＤ回路５６に入力される。
ここで、カウンタ回路５３では、パルス信号をＲ個（但し、Ｒ≧２）カウントするまでの期間のうち、パルス信号をＮ個（但し、Ｎ≦Ｒ）カウントするまでの期間は、出力信号の電圧レベルをハイレベルに保持し、その他の期間は、出力信号の電圧レベルをローレベルに保持する（図３のＣ参照）。すなわち、カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルは、１個目のパルス信号の立ち上がりに同期して、ハイレベルに切り換わり、Ｎ≠Ｒの場合は、Ｎ＋１個目のパルス信号の立ち上がりに同期して、ローレベルに切り換わる。なお、図３には、Ｒを８に設定（固定）し、Ｎを３、５、８に調節（変更）した例が示されている。
【００４１】
前記カウンタ回路５３においてパルス信号をＲ個カウントするまでの期間、すなわち、１個目のパルス信号の立ち上がりから、Ｒ＋１個目のパルス信号の立ち上がりまでの期間（Ｎ≠Ｒの場合は、カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがハイレベルに切り換わるときから、再びハイレベルに切り換わるときまでの期間）が、単位期間である。この単位期間は、カウンタ回路５３により、周期的かつ連続的に、次々と設定される。
【００４２】
また、電圧制御発振器５１から出力されたパルス信号は、デットタイム生成回路５７を経て、ゲートドライバ５８および５９に、それぞれ入力される。なお、デットタイム生成回路５７では、後述するＦＥＴ６２および６５がオンの期間と、ＦＥＴ６３および６４がオンの期間とが重ならないように、デットタイムが生成され、電圧制御発振器５１からの信号に付加される。
【００４３】
ゲートドライバ５８からは、デットタイム生成回路５７からの信号が出力され、そのパルス信号は、ＮＡＮＤ回路５６およびＮＯＴ回路６１に、それぞれ入力される。
ＮＡＮＤ回路５６では、ゲートドライバ５８からのパルス信号と、カウンタ回路５３からの信号との論理積の否定に対応する信号が生成され、出力される（図３のＤ参照）。すなわち、ＮＡＮＤ回路５６からは、各単位期間において、それぞれ、カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがハイレベルの期間にのみ、ゲートドライバ５８からのパルス信号を反転したパルス信号（電圧制御発振器５１により生成されたパルス信号を反転したパルス信号）が出力される。
【００４４】
このようにして、電圧制御発振器５１により生成されたパルス信号の周期およびパルス幅が保持されたままで、そのパルス信号の単位期間内のパルス数が調節される。すなわち、ＮＡＮＤ回路５６において、電圧制御発振器５１により生成されたパルス信号のうちの一部のパルス信号が無効にされることにより、電圧制御発振器５１により生成されたパルス信号の単位期間内のパルス数が調節される。
【００４５】
このパルス信号の単位期間内のパルス数は、Ｎ個となる。すなわち、パルス信号の単位期間内のパルス数は、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値の設定により設定され、そのＮの値の設定変更により、０〜Ｒ個の範囲内、好ましくは、１〜Ｒ個の範囲内の任意の値に調節することができる。
従って、カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６により、パルス数調節手段の主要部が構成される。
【００４６】
また、前述したように、単位期間は、カウンタ回路５３においてパルス信号をＲ個カウントするまでの期間、すなわち、電圧制御発振器５１により生成されたパルス信号の周期のＲ倍（複数倍）の期間である。
この単位期間は、パルス数Ｒ設定部５５におけるＲの値の設定により設定され、そのＲの値の設定変更により、変更することができる。
【００４７】
従って、カウンタ回路５３およびパルス数Ｒ設定部５５により、単位期間設定手段の主要部が構成される。
なお、例えば、目的や用途等に応じて、前記単位期間（Ｒの値）を変更することにより、制御分解能を変更することができる。
ここで、前記Ｒは、２以上であればよいが、例えば、１０〜１０２４程度が好ましく、３０〜２５６程度がより好ましい。
【００４８】
前記ＮＡＮＤ回路５６からのパルス信号は、ＦＥＴ６２のゲートに入力され、このパルス信号により、ＦＥＴ６２のオン／オフ（スイッチング動作）が制御される。
また、ＮＯＴ回路６１では、ゲートドライバ５８からのパルス信号が反転し、その反転したパルス信号は、ＦＥＴ６３のゲートに入力され、このパルス信号により、ＦＥＴ６３のオン／オフが制御される。
【００４９】
また、ゲートドライバ５９からは、デットタイム生成回路５７からの信号が出力され、そのパルス信号は、ＦＥＴ６４、６５のゲートに入力され、このパルス信号により、ＦＥＴ６４、６５のオン／オフが制御される。
例えば、ＮＡＮＤ回路５６からパルス信号が出力されている期間（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがハイレベルの期間）であって、そのパルス信号の電圧レベルがハイレベルのときは、ＦＥＴ６２がオフ、ＦＥＴ６３がオン、ＦＥＴ６４がオン、ＦＥＴ６５がオフし、ポイントＦ側の超音波モータ２の駆動用の電極に、駆動電圧ＶＤＤ（電圧値：ＶＤＤ）が印加され、ポイントＥ側の超音波モータ２の駆動用の電極には、０Ｖ（ＶＳＳ）が印加される（図３のＤ、Ｅ、Ｆ参照）。これにより、超音波モータ２の圧電素子３２（ポイントＥＦ間）に、＋ＶＤＤが印加される（図３のＦＥ間参照）。
【００５０】
一方、ＮＡＮＤ回路５６からパルス信号が出力されている期間（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがハイレベルの期間）であって、そのパルス信号の電圧レベルがローレベルのときは、ＦＥＴ６２がオン、ＦＥＴ６３がオフ、ＦＥＴ６４がオフ、ＦＥＴ６５がオンし、ポイントＥ側の超音波モータ２の駆動用の電極に、駆動電圧ＶＤＤ（電圧値：ＶＤＤ）が印加され、ポイントＦ側の超音波モータ２の駆動用の電極には、０Ｖ（ＶＳＳ）が印加される（図３のＤ、Ｅ、Ｆ参照）。これにより、超音波モータ２の圧電素子３２（ポイントＥＦ間）に、−ＶＤＤが印加される（図３のＦＥ間参照）。
【００５１】
また、ＮＡＮＤ回路５６からパルス信号が出力されていない期間（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがローレベルの期間）であって、電圧制御発振器５１からのパルス信号の電圧レベルがローレベルのときは、ＦＥＴ６２がオフ、ＦＥＴ６３がオン、ＦＥＴ６４がオン、ＦＥＴ６５がオフし、ポイントＦ側の超音波モータ２の駆動用の電極に、駆動電圧ＶＤＤ（電圧値：ＶＤＤ）が印加され、ポイントＥ側の超音波モータ２の駆動用の電極には、０Ｖ（ＶＳＳ）が印加される（図３のＤ、Ｅ、Ｆ参照）。これにより、超音波モータ２の圧電素子３２（ポイントＥＦ間）に、＋ＶＤＤが印加される（図３のＦＥ間参照）。
【００５２】
一方、ＮＡＮＤ回路５６からパルス信号が出力されていない期間（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがローレベルの期間）であって、電圧制御発振器５１からのパルス信号の電圧レベルがハイレベルのときは、ＦＥＴ６２がオフ、ＦＥＴ６３がオフ、ＦＥＴ６４がオフ、ＦＥＴ６５がオンし、ポイントＥ側の駆動用の超音波モータ２の電極に、０Ｖが印加され、ポイントＦ側の超音波モータ２の駆動用の電極には、０Ｖ（ＶＳＳ）が印加される（図３のＤ、Ｅ、Ｆ参照）。これにより、超音波モータ２の圧電素子３２（ポイントＥＦ間）には、電圧は印加されない（０Ｖが印加される）（図３のＦＥ間参照）。
【００５３】
このようにして、前記カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６等により調節されたパルス信号に対応する（同期する）第１の振幅の交流電圧９１が超音波モータ２の圧電素子３２に印加されるとともに、第１の振幅の交流電圧９１が圧電素子３２に印加されている時間帯（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがハイレベルの期間）と重複しない時間帯（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがローレベルの期間）において、電圧制御発振器５１により生成されたパルス信号に対応し（同期し）、第１の振幅の交流電圧９１より振幅の小さい第２の振幅の交流電圧９２が圧電素子３２に印加され、超音波モータ２が駆動される。すなわち、この駆動回路５では、超音波モータ２の駆動中は、常に、圧電素子３２に、第１の振幅の交流電圧９１または第２の振幅の交流電圧９２が印加される。
【００５４】
前記第１の振幅の交流電圧９１の最大値は、＋ＶＤＤ、最小値は、−ＶＤＤであり、前記第２の振幅の交流電圧９２の最大値は、＋ＶＤＤ、最小値は、０であるので、第２の振幅は、第１の振幅の半分である。
なお、ゲートドライバ５８、５９、ＮＯＴ回路６１、ＦＥＴ６２，６３、６４および６５により、駆動手段の主要部が構成される。
【００５５】
超音波モータ２の検出用の電極には、超音波モータ２の駆動（振動体３の振動）、すなわち、圧電素子３２の伸縮により、電圧が誘起される。
この誘起電圧（交流電圧）、すなわち、振動信号は、バンドパスフィルタ７１に入力され、バンドパスフィルタ７１により、その振動信号から高周波成分および低周波成分が除去される。
【００５６】
そして、前記振動信号は、信号増幅器７２で増幅され、コンパレータ・インバータ７３で２値化されてパルス信号とされるとともに、反転され（図３のＧ参照）、位相シフト器７４でその位相が所定量（所定時間）シフトされる（図３のＨ参照）。図示例では、超音波モータ２の検出用の電極に誘起される電圧の位相は、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の位相に対して、略９０°遅れている。そして、コンパレータ・インバータ７３から出力されるパルス信号の位相は、そのコンパレータ・インバータ７３でパルス信号が反転することにより、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の位相に対して、略２７０°遅れているので、この位相シフト器７４において、コンパレータ・インバータ７３からのパルス信号の位相を略９０°遅らしている。
【００５７】
位相シフト器７４から出力されたパルス信号は、位相比較器７５に入力され、また、前述したように、電圧制御発振器５１から出力されたパルス信号は、相比較器７５に入力される。
位相比較器７５においては、前記位相シフト器７４から出力されたパルス信号の位相と、前記電圧制御発振器５１から出力されたパルス信号の位相とが比較され、その位相差に相当する電圧レベルの信号が出力される。この信号は、ローパスフィルタ７６に入力され、ローパスフィルタ７６により、その信号から高周波成分が除去され、電圧制御発振器５１に入力される。電圧制御発振器５１では、前記位相差がゼロになるように、生成するパルス信号の周波数が調節（可変）され、これにより、電圧制御発振器５１から、前記位相差がゼロになるような周波数のパルス信号が出力される。
【００５８】
このように、前記位相差がゼロになるようにパルス信号の周波数の制御を行ないつ（サーボをかけて）、超音波モータ２を駆動するので、超音波モータ２をより効率良く駆動することができる。
以上のようにして、駆動回路５により超音波モータ２が駆動されると（振動体３が振動すると）、前述したように、ロータ４は、その超音波モータ２から回転力が与えられて回転する。この際、駆動回路５は、カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６によって、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、単位期間内における第１の振幅の交流電圧９１の印加時間（波形の数）と、第２の振幅の交流電圧９２の印加時間との比率を調節して、超音波モータ２の駆動を制御する。
【００５９】
この場合、例えば、駆動回路５を、カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６によって、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、超音波モータ２の電流値（超音波モータ２を流れる電流の電流値）を調節する電流制御を行なうよう構成することができる。この電流制御により、例えば、超音波モータ２のトルク（駆動力）を制御することができる。
【００６０】
図４は、図１および図２に示すアクチュエータ１における超音波モータ２の電流値と、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数（カウント数）との関係を示すグラフである。なお、図４の例では、負荷を一定にし、パルス数Ｒ設定部５５におけるＲの値を３１に設定（固定）し、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を０〜３１のそれぞれに変更した場合の超音波モータ２の電流値が示されている。
【００６１】
図４に示すように、パルス信号の単位期間内のパルス数を増加させると、超音波モータ２の電流が増大し、パルス信号の単位期間内のパルス数と、超音波モータ２の電流値とが対応することが判る。
また、駆動回路５を、カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６によって、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、ロータ４の回転数（回転速度）を調節する回転数制御（回転速度制御）を行なうよう構成することができる。
【００６２】
図５は、図１および図２に示すアクチュエータ１におけるロータ４の回転数（回転速度）と、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数（カウント数）との関係を示すグラフである。なお、図５の例では、負荷を一定にし、パルス数Ｒ設定部５５におけるＲの値を３１に設定（固定）し、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を０〜３１のそれぞれに変更した場合のロータ４の回転数が示されている。
【００６３】
図５に示すように、パルス信号の単位期間内のパルス数を増加させると、ロータ４の回転数が増大し、パルス信号の単位期間内のパルス数と、ロータ４の回転数とが対応することが判る。
また、駆動回路５を、カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６によって、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、前記回転数制御と、前記電流制御とをそれぞれ行なうよう構成することができる。
【００６４】
以上説明したように、この超音波モータ２の駆動回路５およびアクチュエータ１によれば、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、超音波モータ２の駆動を制御するので、超音波モータ２の電流制御や回転数制御等の駆動制御を容易かつ確実に行なうことができる。
また、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号より周波数の高い信号を必要とせず、これにより、回路構成を簡易にすることができる。
また、超音波モータの圧電素子に印加する交流電圧の振幅を調節する電圧振幅可変駆動方式に比べ、超音波モータ２を高い駆動効率で駆動することができる。
【００６５】
また、調節されたパルス信号に対応する交流電圧を圧電素子に印加して超音波モータを駆動し、単位期間内に交流電圧を圧電素子に印加しない期間を設ける場合は、単位期間を長くすると、パルス信号の単位期間内のパルス数が少なくなったとき、振動体の振動の振幅が小さくなり、超音波モータの検出用の電極に誘起される電圧を検出できなくなるか、または、振動体の振動が停止してしまうという問題がある。これに対し、この駆動回路５では、単位期間内の第１の振幅の交流電圧９１を圧電素子３２に印加している時間帯と重複しない時間帯において、第２の振幅の交流電圧９２を圧電素子３２に印加して超音波モータ２を駆動するので、単位期間を長くしても問題がなく、これにより、単位期間を長くすることによって制御分解能を高くすることができる。
【００６６】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図６は、第２実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図である。
以下、第２実施形態の超音波モータ２の駆動回路５およびアクチュエータ１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６７】
第２実施形態は、電流調節手段が、電流指令値と、電流検出手段の検出結果とに基づいて、パルス数調節手段を作動させてパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、超音波モータの電流を調節する電流制御を行なうよう構成されていることに特徴を有する。
すなわち、図６に示すように、第２実施形態の超音波モータ２の駆動回路５は、さらに、超音波モータ２の電流を検出する電流検出器（電流検出手段）８１と、超音波モータ２の電流を調節する電流制御器（電流調節手段）８２とを有している。
【００６８】
電流検出器８１は、ＦＥＴ６３のソースおよびＦＥＴ６５のソースと、０Ｖの電圧（ＶＳＳ）の電圧源との間に接続され、電流検出器８１の出力側には、電流制御器８２が接続され、電流制御器８２の出力側には、パルス数Ｎ設定部５４が接続されている。
この駆動回路５では、電流制御器８２に、電流指令値（超音波モータ２を流れる電流の目標値）が入力される。
一方、電流検出器８１により、超音波モータ２を流れる電流が検出され、その電流値は、電流制御器８２に入力される。
【００６９】
電流制御器８２は、前記電流指令値と、前記検出された超音波モータ２の電流値とに基づいて、前記電流指令値と前記検出された超音波モータ２の電流値との差がゼロになるように、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を調節する。これにより、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数が調節され、超音波モータ２の電流値は、目標値になる。
この第２実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
そして、この第２実施形態では、超音波モータ２の電流制御を容易かつ確実に行なうことができる。また、電流制御として、超音波モータ２の電流のフィードバック制御を行なうので、超音波モータ２の電流を正確に調節することができる。
【００７０】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータの第３実施形態について説明する。
図７は、第３実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図である。
以下、第３実施形態の超音波モータ２の駆動回路５およびアクチュエータ１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００７１】
第３実施形態は、回転数調節手段が、回転数指令値と、回転数検出手段の検出結果とに基づいて、パルス数調節手段を作動させてパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、ロータの回転数を調節する回転数制御を行なうよう構成されていることに特徴を有する。
すなわち、図７に示すように、第３実施形態の超音波モータ２の駆動回路５は、さらに、ロータ４の回転数（回転速度）を検出する回転数検出器（回転数検出手段）８３と、ロータ４の回転数を調節する回転数制御器（回転数調節手段）８４とを有している。
【００７２】
回転数検出器８３としては、例えば、光学式エンコーダ等の各種エンコーダや、ポテンショメータ等、または、これらと所定の処理回路とを含む装置等を用いることができる。
回転数検出器８３の出力側には、回転数制御器８４が接続され、回転数制御器８４の出力側には、パルス数Ｎ設定部５４が接続されている。
この駆動回路５では、回転数制御器８４に、回転数指令値（ロータ４の回転数の目標値）が入力される。
【００７３】
一方、回転数検出器８３により、ロータ４の回転数が検出され、その回転数は、回転数制御器８４に入力される。
回転数制御器８４は、前記回転数指令値と、前記検出されたロータ４の回転数とに基づいて、前記電流指令値と前記検出されたロータ４の回転数との差がゼロになるように、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を調節する。これにより、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数が調節され、ロータ４の回転数は、目標値になる。
この第３実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００７４】
そして、この第３実施形態では、ロータ４の回転数制御を容易かつ確実に行なうことができる。また、回転数制御として、ロータ４の回転数のフィードバック制御を行なうので、ロータ４の回転数を正確に調節することができる。
なお、この第３実施形態に、さらに、前記第２実施形態の構成を付加してもよい。すなわち、回転数調節手段が、回転数指令値と、回転数検出手段の検出結果とに基づいて、パルス数調節手段を作動させてパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、ロータの回転数を調節する回転数制御を行なうとともに、電流調節手段が、電流指令値と、電流検出手段の検出結果とに基づいて、パルス数調節手段を作動させてパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、超音波モータの電流を調節する電流制御を行なうよう構成してもよい。
【００７５】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータの第４実施形態について説明する。
図８は、第４実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図である。
以下、第４実施形態の超音波モータ２の駆動回路５およびアクチュエータ１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００７６】
図８に示すように、第４実施形態の超音波モータ２の駆動回路５は、さらに、超音波モータ２の電流を検出する電流検出器（電流検出手段）８１と、超音波モータ２の電流を調節する電流制御器（電流調節手段）８２と、ロータ４の回転数（回転速度）を検出する回転数検出器（回転数検出手段）８３と、ロータ４の回転数を調節する回転数制御器（回転数調節手段）８４とを有している。
【００７７】
電流検出器８１は、ＦＥＴ６３のソースおよびＦＥＴ６５のソースと、０Ｖの電圧（ＶＳＳ）の電圧源との間に接続され、電流検出器８１の出力側には、電流制御器８２が接続され、電流制御器８２の出力側には、パルス数Ｎ設定部５４が接続されている。
また、回転数検出器８３としては、例えば、光学式エンコーダ等の各種エンコーダや、ポテンショメータ等、または、これらと所定の処理回路とを含む装置等を用いることができる。
【００７８】
回転数検出器８３の出力側には、回転数制御器８４が接続され、回転数制御器８４の出力側には、電流制御器８２の入力側が接続されている。
この駆動回路５では、回転数制御器８４に、回転数指令値（ロータ４の回転数の目標値）が入力される。
一方、回転数検出器８３により、ロータ４の回転数が検出され、その回転数は、回転数制御器８４に入力される。
【００７９】
回転数制御器８４は、前記回転数指令値と、前記検出されたロータ４の回転数とに基づいて、前記電流指令値と前記検出されたロータ４の回転数との差がゼロになるように、電流制御器８２に、電流指令値（超音波モータ２を流れる電流の目標値）を入力する。
一方、電流検出器８１により、超音波モータ２を流れる電流が検出され、その電流値は、電流制御器８２に入力される。
【００８０】
電流制御器８２は、前記電流指令値と、前記検出された超音波モータ２の電流値とに基づいて、前記電流指令値と前記検出された超音波モータ２の電流値との差がゼロになるように、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を調節する。これにより、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数が調節され、ロータ４の回転数（超音波モータ２の電流値）は、目標値になる。
【００８１】
この第４実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
そして、この第４実施形態では、ロータ４の回転数制御を容易、正確かつ確実に行なうことができる。また、回転数制御として、ロータ４の回転数のフィードバック制御を行なうとともに、電流制御として、超音波モータ２の電流のフィードバック制御を行なうので、ロータ４の回転数を正確に調節することができる。
【００８２】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータの第５実施形態について説明する。
図９は、第５実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図である。
以下、第５実施形態の超音波モータ２の駆動回路５およびアクチュエータ１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００８３】
図９に示すように、第５実施形態の超音波モータ２の駆動回路５は、超音波モータ２の駆動用のパルス信号（パルス）を周期的に生成し、電圧制御によりそのパルス信号の周波数を調節（可変）し得る電圧制御発振器（パルス生成手段）５１と、ＮＯＴ回路（否定回路）５２と、カウンタ回路５３と、パルス数Ｎ設定部５４と、パルス数Ｒ設定部５５と、ＮＡＮＤ回路（否定的論理積回路）５６と、デットタイム生成回路（貫通電流阻止回路）５７と、２つのゲートドライバ５８および５９と、ＮＯＴ回路（否定回路）６１と、５つのスイッチング素子（スイッチング手段）として５つのＦＥＴ（電界効果トランジスタ）６２、６３、６４、６５および６６と、供給される電圧を低下させる抵抗器（電圧低下手段）６７と、バンドパスフィルタ７１と、信号増幅器（電圧増幅器）７２と、コンパレータ（２値化回路）・インバータ（反転回路）７３と、位相シフト器７４と、位相比較器７５と、ローパスフィルタ７６とを有している。
【００８４】
この第５実施形態と前述した第１実施形態との相違は、この第５実施形態では、第１実施形態に対して、ＦＥＴ６６および抵抗器６７が追加されていることである。
ＦＥＴ６６としては、ゲートに入力される信号（電圧）の電圧レベルがローレベルのとき、オン（ＯＮ）し、ハイレベルのとき、オフ（ＯＦＦ）するＰチャネルのＦＥＴを用いる。
【００８５】
また、抵抗器６７としては、抵抗値が固定されている抵抗器と、抵抗値を変更し得る可変抵抗器とのいずれを用いてもよい。
この駆動回路５では、ＮＯＴ回路６１の出力側（ＮＯＴ回路６１とＦＥＴ６３のゲートとの間）に、ＦＥＴ６６のゲートが接続されている。
また、ＦＥＴ６６のドレインは、抵抗器６７を介して、ＦＥＴ６２のドレインとＦＥＴ６３のドレインとの間、すなわち、超音波モータの１対の駆動用の電極の一方に接続されている。
【００８６】
また、ＦＥＴ６６のソースには、駆動電圧ＶＤＤ（電圧値：ＶＤＤ）が印加される。
次に、アクチュエータ１の作用を説明する。
図１０は、図９に示すアクチュエータ１のタイミングチャートである。
図１０には、図９中のポイントＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、ポイントＦＥ間における電圧の経時変化（信号）が示されている。なお、ポイントＦＥ間の電圧は、ポイントＥの電圧を基準とするものであり、すなわち、ポイントＥに対するポイントＦの電圧である。
【００８７】
第１実施形態との相違は、この駆動回路５では、ＮＯＴ回路６１から出力されたパルス信号が、ＦＥＴ６３のゲートおよびＦＥＴ６６のゲートに、それぞれ入力され、このパルス信号により、ＦＥＴ６３、６６のオン／オフが制御されることである。
ここで、例えば、ＮＡＮＤ回路５６からパルス信号が出力されている期間（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがハイレベルの期間）であって、そのパルス信号の電圧レベルがハイレベルのときは、ＦＥＴ６２がオフ、ＦＥＴ６３がオン、ＦＥＴ６４がオン、ＦＥＴ６５がオフ、ＦＥＴ６６がオフし、ポイントＦ側の超音波モータ２の駆動用の電極に、駆動電圧ＶＤＤ（電圧値：ＶＤＤ）が印加され、ポイントＥ側の超音波モータ２の駆動用の電極には、０Ｖ（ＶＳＳ）が印加される（図１０のＤ、Ｅ、Ｆ参照）。これにより、超音波モータ２の圧電素子３２（ポイントＥＦ間）に、＋ＶＤＤが印加される（図１０のＦＥ間参照）。
【００８８】
一方、ＮＡＮＤ回路５６からパルス信号が出力されている期間（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがハイレベルの期間）であって、そのパルス信号の電圧レベルがローレベルのときは、ＦＥＴ６２がオン、ＦＥＴ６３がオフ、ＦＥＴ６４がオフ、ＦＥＴ６５がオン、ＦＥＴ６６がオンし、ポイントＥ側の超音波モータ２の駆動用の電極に、駆動電圧ＶＤＤ（電圧値：ＶＤＤ）が印加され、ポイントＦ側の超音波モータ２の駆動用の電極には、０Ｖ（ＶＳＳ）が印加される（図１０のＤ、Ｅ、Ｆ参照）。これにより、超音波モータ２の圧電素子３２（ポイントＥＦ間）に、−ＶＤＤが印加される（図１０のＦＥ間参照）。
【００８９】
また、ＮＡＮＤ回路５６からパルス信号が出力されていない期間（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがローレベルの期間）であって、電圧制御発振器５１からのパルス信号の電圧レベルがローレベルのときは、ＦＥＴ６２がオフ、ＦＥＴ６３がオン、ＦＥＴ６４がオン、ＦＥＴ６５がオフ、ＦＥＴ６６がオンし、ポイントＦ側の超音波モータ２の駆動用の電極に、駆動電圧ＶＤＤ（電圧値：ＶＤＤ）が印加され、ポイントＥ側の超音波モータ２の駆動用の電極には、０Ｖ（ＶＳＳ）が印加される（図１０のＤ、Ｅ、Ｆ参照）。これにより、超音波モータ２の圧電素子３２（ポイントＥＦ間）に、＋ＶＤＤが印加される（図１０のＦＥ間参照）。
【００９０】
一方、ＮＡＮＤ回路５６からパルス信号が出力されていない期間（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがローレベルの期間）であって、電圧制御発振器５１からのパルス信号の電圧レベルがハイレベルのときは、ＦＥＴ６２がオフ、ＦＥＴ６３がオフ、ＦＥＴ６４がオフ、ＦＥＴ６５がオン、ＦＥＴ６６がオンし、抵抗器６７のＦＥＴ６６側に、駆動電圧ＶＤＤ（電圧値：ＶＤＤ）が印加され、ポイントＦ側の超音波モータ２の駆動用の電極には、０Ｖ（ＶＳＳ）が印加される（図１０のＤ、Ｅ、Ｆ参照）。これにより、抵抗器６７において電圧降下が生じ、駆動電圧ＶＤＤより低い電圧（低下した電圧）Ｖａ（電圧値：Ｖａ、Ｖａ＜ＶＤＤ）が、ポイントＥ側の超音波モータ２の駆動用の電極に印加される（図１０のＥ参照）。これによって、超音波モータ２の圧電素子３２（ポイントＥＦ間）に、−Ｖａが印加される（図１０のＦＥ間参照）。
【００９１】
このようにして、前記カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６等により調節されたパルス信号に対応する（同期する）第１の振幅の交流電圧９１が超音波モータ２の圧電素子３２に印加されるとともに、第１の振幅の交流電圧９１が圧電素子３２に印加されている時間帯（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがハイレベルの期間）と重複しない時間帯（カウンタ回路５３から出力される信号の電圧レベルがローレベルの期間）において、電圧制御発振器５１により生成されたパルス信号に対応し（同期し）、第１の振幅の交流電圧９１より振幅の小さい第２の振幅の交流電圧９２が圧電素子３２に印加され、超音波モータ２が駆動される。すなわち、この駆動回路５では、超音波モータ２の駆動中は、常に、圧電素子３２に、第１の振幅の交流電圧９１または第２の振幅の交流電圧９２が印加される。
【００９２】
この場合、第１の振幅の交流電圧９１が圧電素子３２に印加されている時間帯と重複しない時間帯においては、抵抗器６７により低下した電圧Ｖａが、電圧制御発振器５１により生成されたパルス信号に同期して圧電素子３２に印加される。この電圧Ｖａを加算してなる交流電圧が、第２の振幅の交流電圧９２とされる。
ここで、前記第１の振幅の交流電圧９１の最大値は、＋ＶＤＤ、最小値は、−ＶＤＤであり、前記第１の振幅の交流電圧９１が圧電素子３２に印加されている時間帯と重複しない時間帯における、前記電圧Ｖａが加算される前（加算されないとした場合）の交流電圧の最大値は、＋ＶＤＤ、最小値は、０であるので、この電圧Ｖａが加算される前の交流電圧の振幅は、第１の振幅の半分である。従って、第２の振幅は、第１の振幅の半分より大きい。
【００９３】
また、前記第２の振幅の交流電圧９２の最大値は、＋ＶＤＤ、最小値は、−Ｖａであり、抵抗器６７として可変抵抗器を用いる場合は、その抵抗値の変更により、前記電圧Ｖａを変更することができ、これにより第２の振幅を変更することができる。
なお、ゲートドライバ５８、５９、ＮＯＴ回路６１、ＦＥＴ６２，６３、６４、６５、６６および抵抗器６７により、駆動手段の主要部が構成される。
【００９４】
前述した第１実施形態と同様に、駆動回路５により超音波モータ２が駆動されると（振動体３が振動すると）、ロータ４は、その超音波モータ２から回転力が与えられて回転する。この際、駆動回路５は、カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６によって、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、単位期間内における第１の振幅の交流電圧９１の印加時間（波形の数）と、第２の振幅の交流電圧９２の印加時間との比率を調節して、超音波モータ２の駆動を制御する。
【００９５】
この場合、例えば、駆動回路５を、カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６によって、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、超音波モータ２の電流値（超音波モータ２を流れる電流の電流値）を調節する電流制御を行なうよう構成することができる。この電流制御により、例えば、超音波モータ２のトルク（駆動力）を制御することができる。
【００９６】
図１１は、図９に示すアクチュエータ１における超音波モータ２の電流値と、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数（カウント数）との関係を示すグラフである。なお、図１１の例では、負荷を一定にし、パルス数Ｒ設定部５５におけるＲの値を３１に設定（固定）し、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を０〜３１のそれぞれに変更した場合の超音波モータ２の電流値が示されている。
【００９７】
図１１に示すように、パルス信号の単位期間内のパルス数を増加させると、超音波モータ２の電流が増大し、パルス信号の単位期間内のパルス数と、超音波モータ２の電流値とが対応することが判る。
また、駆動回路５を、カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６によって、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、ロータ４の回転数（回転速度）を調節する回転数制御（回転速度制御）を行なうよう構成することができる。
【００９８】
図１２は、図９に示すアクチュエータ１におけるロータ４の回転数（回転速度）と、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数（カウント数）との関係を示すグラフである。なお、図１２の例では、負荷を一定にし、パルス数Ｒ設定部５５におけるＲの値を３１に設定（固定）し、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を０〜３１のそれぞれに変更した場合のロータ４の回転数が示されている。
【００９９】
図１２に示すように、パルス信号の単位期間内のパルス数を増加させると、ロータ４の回転数が増大し、パルス信号の単位期間内のパルス数と、ロータ４の回転数とが対応することが判る。
また、駆動回路５を、カウンタ回路５３、パルス数Ｎ設定部５４およびＮＡＮＤ回路５６によって、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、前記回転数制御と、前記電流制御とをそれぞれ行なうよう構成することができる。
【０１００】
この第５実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
そして、この第５実施形態では、抵抗器６７の抵抗値の設定により、第２の振幅（第２の振幅の交流電圧９２の振幅）を、容易に、任意の値に設定することができる。特に、抵抗器６７として可変抵抗器を用いる場合は、その抵抗値の変更により、第２の振幅を、容易に、任意の値に変更することができる。
なお、電圧低下手段は、抵抗器６７に限定されないことは、言うまでもない。
【０１０１】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータの第６実施形態について説明する。
図１３は、第６実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図である。
以下、第６実施形態の超音波モータ２の駆動回路５およびアクチュエータ１について、前述した第５実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１０２】
第６実施形態は、電流調節手段が、電流指令値と、電流検出手段の検出結果とに基づいて、パルス数調節手段を作動させてパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、超音波モータの電流を調節する電流制御を行なうよう構成されていることに特徴を有する。
すなわち、図１３に示すように、第２実施形態の超音波モータ２の駆動回路５は、さらに、超音波モータ２の電流を検出する電流検出器（電流検出手段）８１と、超音波モータ２の電流を調節する電流制御器（電流調節手段）８２とを有している。
【０１０３】
電流検出器８１は、ＦＥＴ６３のソースおよびＦＥＴ６５のソースと、０Ｖの電圧（ＶＳＳ）の電圧源との間に接続され、電流検出器８１の出力側には、電流制御器８２が接続され、電流制御器８２の出力側には、パルス数Ｎ設定部５４が接続されている。
この駆動回路５では、電流制御器８２に、電流指令値（超音波モータ２を流れる電流の目標値）が入力される。
【０１０４】
一方、電流検出器８１により、超音波モータ２を流れる電流が検出され、その電流値は、電流制御器８２に入力される。
電流制御器８２は、前記電流指令値と、前記検出された超音波モータ２の電流値とに基づいて、前記電流指令値と前記検出された超音波モータ２の電流値との差がゼロになるように、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を調節する。これにより、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数が調節され、超音波モータ２の電流値は、目標値になる。
この第６実施形態によれば、前述した第５実施形態と同様の効果が得られる。
そして、この第６実施形態では、超音波モータ２の電流制御を容易かつ確実に行なうことができる。また、電流制御として、超音波モータ２の電流のフィードバック制御を行なうので、超音波モータ２の電流を正確に調節することができる。
【０１０５】
＜第７実施形態＞
次に、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータの第７実施形態について説明する。
図１４は、第７実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図である。
以下、第７実施形態の超音波モータ２の駆動回路５およびアクチュエータ１について、前述した第５実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１０６】
第７実施形態は、回転数調節手段が、回転数指令値と、回転数検出手段の検出結果とに基づいて、パルス数調節手段を作動させてパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、ロータの回転数を調節する回転数制御を行なうよう構成されていることに特徴を有する。
すなわち、図１４に示すように、第７実施形態の超音波モータ２の駆動回路５は、さらに、ロータ４の回転数（回転速度）を検出する回転数検出器（回転数検出手段）８３と、ロータ４の回転数を調節する回転数制御器（回転数調節手段）８４とを有している。
【０１０７】
回転数検出器８３としては、例えば、光学式エンコーダ等の各種エンコーダや、ポテンショメータ等、または、これらと所定の処理回路とを含む装置等を用いることができる。
回転数検出器８３の出力側には、回転数制御器８４が接続され、回転数制御器８４の出力側には、パルス数Ｎ設定部５４が接続されている。
この駆動回路５では、回転数制御器８４に、回転数指令値（ロータ４の回転数の目標値）が入力される。
【０１０８】
一方、回転数検出器８３により、ロータ４の回転数が検出され、その回転数は、回転数制御器８４に入力される。
回転数制御器８４は、前記回転数指令値と、前記検出されたロータ４の回転数とに基づいて、前記電流指令値と前記検出されたロータ４の回転数との差がゼロになるように、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を調節する。これにより、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数が調節され、ロータ４の回転数は、目標値になる。
【０１０９】
この第７実施形態によれば、前述した第５実施形態と同様の効果が得られる。
そして、この第７実施形態では、ロータ４の回転数制御を容易かつ確実に行なうことができる。また、回転数制御として、ロータ４の回転数のフィードバック制御を行なうので、ロータ４の回転数を正確に調節することができる。
なお、この第７実施形態に、さらに、前記第６実施形態の構成を付加してもよい。すなわち、回転数調節手段が、回転数指令値と、回転数検出手段の検出結果とに基づいて、パルス数調節手段を作動させてパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、ロータの回転数を調節する回転数制御を行なうとともに、電流調節手段が、電流指令値と、電流検出手段の検出結果とに基づいて、パルス数調節手段を作動させてパルス信号の単位期間内のパルス数を調節することにより、超音波モータの電流を調節する電流制御を行なうよう構成してもよい。
【０１１０】
＜第８実施形態＞
次に、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータの第８実施形態について説明する。
図１５は、第８実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図である。
以下、第８実施形態の超音波モータ２の駆動回路５およびアクチュエータ１について、前述した第５実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１１１】
図１５に示すように、第８実施形態の超音波モータ２の駆動回路５は、さらに、超音波モータ２の電流を検出する電流検出器（電流検出手段）８１と、超音波モータ２の電流を調節する電流制御器（電流調節手段）８２と、ロータ４の回転数（回転速度）を検出する回転数検出器（回転数検出手段）８３と、ロータ４の回転数を調節する回転数制御器（回転数調節手段）８４とを有している。
【０１１２】
電流検出器８１は、ＦＥＴ６３のソースおよびＦＥＴ６５のソースと、０Ｖの電圧（ＶＳＳ）の電圧源との間に接続され、電流検出器８１の出力側には、電流制御器８２が接続され、電流制御器８２の出力側には、パルス数Ｎ設定部５４が接続されている。
また、回転数検出器８３としては、例えば、光学式エンコーダ等の各種エンコーダや、ポテンショメータ等、または、これらと所定の処理回路とを含む装置等を用いることができる。
【０１１３】
回転数検出器８３の出力側には、回転数制御器８４が接続され、回転数制御器８４の出力側には、電流制御器８２の入力側が接続されている。
この駆動回路５では、回転数制御器８４に、回転数指令値（ロータ４の回転数の目標値）が入力される。
一方、回転数検出器８３により、ロータ４の回転数が検出され、その回転数は、回転数制御器８４に入力される。
【０１１４】
回転数制御器８４は、前記回転数指令値と、前記検出されたロータ４の回転数とに基づいて、前記電流指令値と前記検出されたロータ４の回転数との差がゼロになるように、電流制御器８２に、電流指令値（超音波モータ２を流れる電流の目標値）を入力する。
一方、電流検出器８１により、超音波モータ２を流れる電流が検出され、その電流値は、電流制御器８２に入力される。
【０１１５】
電流制御器８２は、前記電流指令値と、前記検出された超音波モータ２の電流値とに基づいて、前記電流指令値と前記検出された超音波モータ２の電流値との差がゼロになるように、パルス数Ｎ設定部５４におけるＮの値を調節する。これにより、電圧制御発振器５１から出力されるパルス信号の単位期間内のパルス数が調節され、ロータ４の回転数（超音波モータ２の電流値）は、目標値になる。
【０１１６】
この第８実施形態によれば、前述した第５実施形態と同様の効果が得られる。
そして、この第８実施形態では、ロータ４の回転数制御を容易、正確かつ確実に行なうことができる。また、回転数制御として、ロータ４の回転数のフィードバック制御を行なうとともに、電流制御として、超音波モータ２の電流のフィードバック制御を行なうので、ロータ４の回転数を正確に調節することができる。
以上、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１１７】
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
また、本発明では、被駆動体は、ロータに限らず、他の回転構造物であってもよく、また、例えば、スライダのような並進構造物等であってもよい。すなわち、被駆動体の変位は、回転（回動）に限らず、例えば、リニアアクチュエータにおける被駆動体の移動のように、直線に沿った移動や曲線に沿った移動等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１８】
【図１】本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図。
【図２】図１に示す超音波モータの駆動回路を示すブロック図。
【図３】図１および図２に示すアクチュエータのタイミングチャートである。
【図４】図１および図２に示すアクチュエータにおける超音波モータの電流値と、パルス信号の単位期間内のパルス数（カウント数）との関係を示すグラフ。
【図５】図１および図２に示すアクチュエータにおけるロータの回転数（回転速度）と、パルス信号の単位期間内のパルス数（カウント数）との関係を示すグラフ。
【図６】第２実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図。
【図７】第３実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図。
【図８】第４実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図。
【図９】第５実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図。
【図１０】図９に示すアクチュエータのタイミングチャートである。
【図１１】図９に示すアクチュエータにおける超音波モータの電流値と、パルス信号の単位期間内のパルス数（カウント数）との関係を示すグラフ。
【図１２】図９に示すアクチュエータにおけるロータの回転数（回転速度）と、パルス信号の単位期間内のパルス数（カウント数）との関係を示すグラフ。
【図１３】第６実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図。
【図１４】第７実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図。
【図１５】第８実施形態における超音波モータの駆動回路を示すブロック図。
【符号の説明】
【０１１９】
１……アクチュエータ  ２……超音波モータ  ３……振動体  ３１……補強板  ３２……圧電素子  ３３……接触部  ３４……腕部  ３４０……固定部  ３４１……孔  ４……ロータ  ４１……外周面  ５……駆動回路  ５１……電圧制御発振器  ５２……ＮＯＴ回路  ５３……カウンタ回路  ５４……パルス数Ｎ設定部  ５５……パルス数Ｒ設定部  ５６……ＮＡＮＤ回路  ５７……デットタイム生成回路  ５８、５９……ゲートドライバ  ６１……ＮＯＴ回路  ６２〜６６……ＦＥＴ  ６７……抵抗器  ７１……バンドパスフィルタ  ７２……信号増幅器  ７３……コンパレータ・インバータ  ７４……位相シフト器  ７５……位相比較器  ７６……ローパスフィルタ  ８１……電流検出器  ８２……電流制御器  ８３……回転数検出器  ８４……回転数制御器  ９１……第１の振幅の交流電圧  ９２……第２の振幅の交流電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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