(57)【要約】【課題】  本発明は、コストダウンが可能であると共に、移動体を高速移動可能なアクチュエータを提供すること。【解決手段】  本発明のアクチュエータ１は、第１、第２クランプ部材２、３の一端部側には、互いに対向して２本の脚部２ａ、３ａが形成され、この２本の脚部２ａ、３ａには、クランプ用コイル１０、１２がそれぞれ巻回され、第１、第２クランプ部材２、３の振動に対応して、それぞれのクランプ用コイル１０、１２に所定パルスの電流を印可すると、２本の脚部２ａ３ａは、励磁されて可動子１８に対して交互にスリップ、またはクランプを繰り返し、可動子１８、または駆動本体部１３が、矢印Ａの一方向、または矢印Ｂの他方向に変位するようになっている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置した磁性体からなる第１、第２クランプ部材とこの第１、第２クランプ部材を互いに接離する方向に振動駆動可能な駆動部とを有する駆動本体部と、前記第１、第２クランプ部材の一端部と対向する側に配設した可動子とを備え、前記第１、第２クランプ部材の前記一端部側には、互いに対向して２本の脚部が形成され、
この２本の脚部には、クランプ用コイルがそれぞれ巻回され、前記第１、第２クランプ部材の振動に対応して、それぞれの前記クランプ用コイルに所定パルスの電流を印可すると、前記２本の脚部が励磁されて、前記可動子に対して交互にスリップ、またはクランプを繰り返し、前記可動子、または前記駆動本体部が、一方向または他方向に変位するようになっていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記第１、第２クランプ部材は、他端部側に形成した連結部に連結されて略Ｕ字状に折り曲げ形成され、前記駆動部には、駆動用コイルが配設され、この駆動用コイルに対して所定パルスの駆動電流を印加することにより、前記第１、第２クランプ部材が前記連結部を支点として互い接離する方向に振動可能になっていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記可動子は、前記２本の脚部が対向する一面側が一方の磁極となるように着磁したマグネットを有し、前記第１、第２クランプ部材の振動に対応して、前記クランプ用コイルのそれぞれに、所定パルスで互いに異なる向きのクランプ用電流を交互に印加することにより、前記２本の脚部が前記可動子に対して前記スリップ、または前記クランプを繰り返して前記可動子が一方向に前記変位し、
前記一方向に変位した前記可動子を前記他方向に変位させる時は、前記駆動用コイルに印加する前記駆動電流の向きを変えるようにしたことを特徴とする請求項２記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記マグネットの前記一面側には、対向する前記２本の脚部に対して静止／動摩擦係数の差が小さい摺動材が形成されていることを特徴とする請求項３記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記摺動材は、樹脂材料からなり、成形加工により前記マグネットの前記一面側に所定厚さで形成したことを特徴とする請求項４記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記可動子、または前記駆動本体部の変位量は、前記可動子の長さ方向の左右両端部から所定寸法内側の位置までとしたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記左右両端部から内側の位置までの寸法は、前記可動子の前記長さ寸法の８％以上としたことを特徴とする請求項６記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記駆動本体部は、外部の固定部材に支持可能なベース部材に取り付けされ、前記ベース部材は、前記連結部にダンパー部材を介して取り付けられていることを特徴とする請求項２乃至７のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記ダンパー部材は、前記第１、第２クランプ部材の振動を吸収可能なゴム部材からなることを特徴とする請求項８記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記２本の脚部は、前記可動子と対向する幅方向の端面が、大きな径の円弧状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
前記クランプ用コイルのボビンには、前記脚部に挿通可能な挿通孔と、前記可動子の幅方向をガイド可能なガイド部とが形成されていることを特徴とする請求項３乃至１０のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
前記クランプ用コイルには、前記ガイド部にガイドした前記可動子のガタ付きを防止するためのガタ付き防止部材が配設されていることを特徴とする請求項１１記載のアクチュエータ。
【請求項１３】
前記ガタ付き防止部材は、前記２本の脚部に支持したそれぞれの前記クランプ用コイル間に橋渡しされて、前記可動子を前記ガイド部に弾性付勢可能な加圧バネからなることを特徴とする請求項１２記載のアクチュエータ。
【請求項１４】
前記可動子は、前記マグネットを支持するホルダーを有し、このホルダーが前記加圧バネに前記弾性付勢されていることを特徴とする請求項１３記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２個のクランプ部材の振動に対応して、２個のクランプ部材の脚部が可動子に対してクランプとスリップとを交互に繰り返すことにより、可動子が一方向、または他方向に変位可能になっているアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のアクチュエータを、図９に基づいて説明すると、外部構造体５０にガイド孔部５１が形成され、このガイド孔部５１に磁性体シャフト５２が挿通されている。また、電磁石５３は、積層型圧電素子５４の先端部に固着され、積層型圧電素子５４の根元部分が外部構造体５０の凹部５５の側壁に固着されている。
また、電磁石５３の磁性体シャフト５２と対向する部分には、高誘電率材料薄膜５６、５７が、メッキ、または薄板の接着により形成されている。
【０００３】
このような従来のアクチュエータは、まず、積層型圧電素子５４が収縮した初期状態において、電磁石５３のコイルに電流を付与すると、発生する磁力によって電磁石５３が可動性シャフト５２を吸着する。
この状態で、初期状態の積層型圧電素子５４に電圧を印可して積層型圧電素子５４を伸長させると、磁性体シャフト５２は、圧電素子５４の伸長量だけ伸長方向に移動する。
次ぎに、電磁石５３への通電を解除した後、圧電素子５４の電圧印加を停止すれば、電磁石５３が磁性体シャフト５２から離間すると共に、圧電素子５４が初期状態まで収縮する。
【０００４】
このような動作を繰り返すことにより、外部構造体５０を固定している場合は、磁性体シャフト５２を一方向に移動でき、また、磁性体シャフト５２を固定している場合は、外部構造体５０自体が他方向に移動可能になっている。
そして、磁性体シャフト５２、または電磁石５３のヨークに磁束が残留しても、高誘電率材料薄膜５６、５７によって、残留磁束に反発する磁束を発生させることができ、電磁石５３への通電を解除すると、確実に電磁石５３を磁性体シャフト５２から離間させることができる。
【特許文献１】特開平０７−１７１７７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前述したような従来のアクチュエータは、積層型圧電素子５４および高誘電率材料薄膜５６、５７が高価なために、コストアップになる問題があった。
また、積層型圧電素子５４への通電を解除して初期状態に戻る間は、磁性体シャフト５２が停止しているために、磁性体シャフト５２を高速で移動させることができなかった。
本発明は、前述したような課題を解決するために、コストダウンが可能であると共に、移動体を高速移動可能なアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するための第１の解決手段として本発明のアクチュエータは、互いに対向配置した磁性体からなる第１、第２クランプ部材とこの第１、第２クランプ部材を互いに接離する方向に振動駆動可能な駆動部とを有する駆動本体部と、前記第１、第２クランプ部材の一端部と対向する側に配設した可動子とを備え、前記第１、第２クランプ部材の前記一端部側には、互いに対向して２本の脚部が形成され、
この２本の脚部には、クランプ用コイルがそれぞれ巻回され、前記第１、第２クランプ部材の振動に対応して、それぞれの前記クランプ用コイルに所定パルスの電流を印可すると、前記２本の脚部が励磁されて、前記可動子に対して交互にスリップ、またはクランプを繰り返し、前記可動子、または前記駆動本体部が、一方向または他方向に変位するようになっていることを特徴とする。
また、前記課題を解決するための第２の解決手段として、前記第１、第２クランプ部材は、他端部側に形成した連結部に連結されて略Ｕ字状に折り曲げ形成され、前記駆動部には、駆動用コイルが配設され、この駆動用コイルに対して所定パルスの駆動電流を印加することにより、前記第１、第２クランプ部材が前記連結部を支点として互い接離する方向に振動可能になっていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
【０００７】
また、前記課題を解決するための第３の解決手段として、前記可動子は、前記２本の脚部が対向する一面側が一方の磁極となるように着磁したマグネットを有し、前記第１、第２クランプ部材の振動に対応して、前記クランプ用コイルのそれぞれに、所定パルスで互いに異なる向きのクランプ用電流を交互に印加することにより、前記２本の脚部が前記可動子に対して前記スリップ、または前記クランプを繰り返して前記可動子が一方向に前記変位し、
前記一方向に変位した前記可動子を前記他方向に変位させる時は、前記駆動用コイルに印加する前記駆動電流の向きを変えるようにしたことを特徴とする。
また、前記課題を解決するための第４の解決手段として、  前記マグネットの前記一面側には、対向する前記２本の脚部に対して静止／動摩擦係数の差が小さい摺動材が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
また、前記課題を解決するための第５の解決手段として、前記摺動材は、樹脂材料からなり、成形加工により前記マグネットの前記一面側に所定厚さで形成したことを特徴とする。
また、前記課題を解決するための第６の解決手段として、前記可動子、または前記駆動本体部の変位量は、前記可動子の長さ方向の左右両端部から所定寸法内側の位置までとしたことを特徴とする。
【０００９】
また、前記課題を解決するための第７の解決手段として、前記左右両端部から内側の位置までの寸法は、前記可動子の前記長さ寸法の８％以上としたことを特徴とする。
また、前記課題を解決するための第８の解決手段として、前記駆動本体部は、外部の固定部材に支持可能なベース部材に取り付けされ、前記ベース部材は、前記連結部にダンパー部材を介して取り付けられていることを特徴とする。
【００１０】
また、前記課題を解決するための第９の解決手段として、前記ダンパー部材は、前記第１、第２クランプ部材の振動を吸収可能なゴム部材からなることを特徴とする。
【００１１】
また、前記課題を解決するための第１０の解決手段として、前記２本の脚部は、前記可動子と対向する幅方向の端面が、大きな径の円弧状に形成されていることを特徴とする。
また、前記課題を解決するための第１１の解決手段として、前記クランプ用コイルのボビンには、前記脚部に挿通可能な挿通孔と、前記可動子の幅方向をガイド可能なガイド部とが形成されていることを特徴とする。
【００１２】
また、前記課題を解決するための第１２の解決手段として、前記クランプ用コイルには、前記ガイド部にガイドした前記可動子のガタ付きを防止するためのガタ付き防止部材が配設されていることを特徴とする。
また、前記課題を解決するための第１３の解決手段として、前記ガタ付き防止部材は、前記２本の脚部に支持したそれぞれの前記クランプ用コイル間に橋渡しされて、前記可動子を前記ガイド部に弾性付勢可能な加圧バネからなることを特徴とする。
また、前記課題を解決するための第１４の解決手段として、前記可動子は、前記マグネットを支持するホルダーを有し、このホルダーが前記加圧バネに前記弾性付勢されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、第１、第２クランプ部材の振動に対応して、それぞれのクランプ用コイルに所定パルスの電流を印可すると、２本の脚部が励磁されて、可動子に対して交互にスリップ、またはクランプを繰り返し、可動子、または駆動本体部が、一方向または他方向に変位するようになっているので、可動子、または駆動本体部を確実で高速に移動させることができる。
また、駆動部には、駆動用コイルが配設され、この駆動用コイルに対して所定パルスの駆動電流を印加することにより、第１、第２クランプ部材が連結部を支点として互い接離する方向に振動可能になっているので、第１、第２クランプ部材を近づける方向に移動させる時だけ、駆動用コイルに通電すれば良く、低消費電力とすることができる。
【００１４】
また、第１、第２クランプ部材の振動に対応して、クランプ用コイルのそれぞれに、所定パルスで互いに異なる向きのクランプ用電流を交互に印加することにより、２本の脚部が可動子に対してスリップ、またはクランプを繰り返して可動子が一方向に変位し、一方向に変位した可動子を他方向に変位させる時は、駆動用コイルに印加する駆動電流の向きを変えるようにしたので、可動子を一方向、または他方向に変位させるときの第１、第２クランプ部材に発生する磁気回路を対称とすることができる。
そのために、可動子を一方向、および他方向に変位させるときの駆動力を同じにすることができ、一方向、または他方向に変位する可動子の速度、あるいは変位量を同じにできる。
【００１５】
前記マグネットの前記一面側には、対向する前記２本の脚部に対して静止／動摩擦係数の差が小さい摺動材が形成されているので、スティックスリップ現象等の不具合の発生を防止することができ、可動子に対する脚部のスリップとクランプとを確実に行うことができる。
【００１６】
また、摺動材は、樹脂材料からなり、成形加工によりマグネットの一面側に所定厚さで形成したので、加工が容易である。
【００１７】
また、可動子、または駆動本体部の変位量は、可動子の長さ方向の左右両端部から所定寸法内側の位置までとしたので、バラツキの小さなマグネットの磁束漏れを利用して、可動子をバラツキのない速度で移動させることができる。
また、可動子の左右両端部から内側の位置までの寸法は、可動子の長さ寸法の８％以上としたので、２本の脚部の可動子に対する吸引力のアンバランスを最小限に抑えることができる。
【００１８】
また、駆動本体部は、外部の固定部材に支持可能なベース部材に取り付けされ、ベース部材は、連結部にダンパー部材を介して取り付けられているので、ダンパー部材によって、駆動本体部の振動を吸収することができる。
また、ダンパー部材は、第１、第２クランプ部材の振動を吸収可能なゴム部材からなるので、更に確実に駆動本体部の振動を吸収することができる。
【００１９】
また、２本の脚部は、可動子と対向する幅方向の端面が、大きな径の円弧状に形成されているので、可動子が幅方向で斜めに取り付けられたとしても、可動子を確実に移動させることができる。
また、クランプ用コイルのボビンには、脚部に挿通可能な挿通孔と、可動子の幅方向をガイド可能なガイド部とが形成されているので、脚部に取り付けたボビンで、移動する可動子を確実にガイドすることができる。
【００２０】
また、クランプ用コイルには、ガイド部にガイドした可動子のガタ付きを防止するためのガタ付き防止部材が配設されているので、移動する可動子のガタ付きを無くすることができる。
また、ガタ付き防止部材は、２本の脚部に支持したそれぞれのクランプ用コイル間に橋渡しされて、可動子をガイド部に弾性付勢可能な加圧バネからなるので、ガタ付き防止部材の構造が簡単で、組立が容易である。
また、可動子は、マグネットを支持するホルダーを有し、このホルダーが加圧バネに弾性付勢されているので、ホルダーに外部装置側の移動体を移動操作可能な操作部を一体形成することができ、部品点数を削減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明のアクチュエータの実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明のアクチュエータの要部断面図であり、図２は図１の可動子側から見た斜視図であり、図３は図２の可動子を取り去った斜視図であり、図４は図３のクランプ用コイルを取り去った斜視図であり、図５は本発明に係わるダンパー部材の斜視図であり、図６は本発明に係わるクランプ用コイルのボビンの斜視図であり、図７、図８は本発明に係わる脚部先端の形状を説明する側面図である。
【００２２】
まず、本発明のアクチュエータ１は、図１、図２に示すように、所定の間隔を有して互いに対向する第１、第２クランプ部材２、３が配設され、この第１、第２クランプ部材２、３の図示右側の一端部側には、所定の間隔を有して互いに対向する２本の第１、第２脚部２ａ、３ａが形成されている。
また、第１、第２クランプ部材２、３は、鉄板等の磁性体からなり、第１、第２脚部２ａ、３ａと反対側の他端部側に形成した連結部４に連結されて略Ｕ字状に折り曲げ、互いに平行状に対向形成されている。
そして、第１、第２クランプ部材２、３は、連結部４を支点として互いに接離する方向に振動可能になっている。
【００２３】
また、第１クランプ部材２の連結部４寄りには、丸孔２ｂが貫通形成されて、後述する駆動用コイル７の棒状の駆動用ヨーク８がネジ、圧入または接着等で固着されるようになっている。
また、連結部４を含む第１、第２クランプ部材２、３の外面側には、珪素鋼板等の交流磁気特性が良好なサブヨーク５が、例えば磁性粉を練り込みした磁性体インクを印刷、または塗布等により形成されている。
また、第１クランプ部材２の連結部４寄りの丸孔２ｂ近傍には、第１、第２クランプ部材２、３を互いに接離する方向に振動駆動可能な駆動部６が配設されている。
【００２４】
前記駆動部６には、駆動用コイル７が配設され、この駆動用コイル７の空芯部７ａに磁性体からなる棒状の駆動用ヨーク８が挿通支持され、この駆動用ヨーク８の図示下方側の一端部側が、第２クランプ部材２の丸孔２ｂにネジ、圧入または接着等で固着されている。
そして、駆動用コイル７の図示上方から突出する駆動用ヨーク８の先端部と第２クランプ部材３の内面との間に所定寸法にギャップＧが形成されている。このような第１、第２クランプ部材２、３は、駆動用コイル７に対して所定パルスの電流を繰り返し印加することで、駆動用ヨーク８が励磁されて、駆動用ヨーク８に第２クランプ部材が吸着されて、第１、第２クランプ部材２、３が互いに接離する方向に振動駆動可能になっている。
【００２５】
また、駆動用コイル７への通電を解除すると、駆動用ヨーク８の励磁が解除されて、連結部４の弾性力で、第１、第２クランプ部材２、３が初期状態の平行状に自動復帰するようになっている。
前記第１、第２クランプ部材２、３を、互いの共振周波数である２ＫＨＺ〜４ＫＨＺあるいはその近傍で振動させて、後述する可動子１８を高速変位させることにより、可動子１８を第１、第２クランプ部材２、３の振動周波数に対応した速度よりも更に高速で変位させることができる。
また、第１、第２クランプ部材２、３の振動を共振周波数の半分以下で駆動することにより、可動子１８を第１、第２クランプ部材の振動周波数に対応した速度で変位させることができる。
前記第１、第２クランプ部材２、３の振幅は、略２μｍである。
【００２６】
また、第１クランプ部材２の一端部側の第１脚部２ａには、第１ボビン９が挿通支持され、この第１ボビン９に第１クランプ用コイル１０が巻回されている。
また、第２クランプ部材３の一端部側の第２脚部３ａには、第２ボビン１１が挿通支持され、この第２ボビン１１に第２クランプ用コイル１２が巻回されている。前記第１ボビン９は、樹脂材料からなり、図６に示すように、外径が略矩形状でコーナ部が円弧状の第１壁部９ａが形成されている。
【００２７】
この第１壁部９ａと基部９ｂを挟んで第２壁部９ｃが形成され、第１壁部９ａの一方側のコーナ部には、第１ガイド部９ｄと、この第１ガイド部９ｄに隣設してバネ支持部９ｅが突出形成され、第１壁部９ａと対向する他方側のコーナ部には、第２ガイド部９ｆが形成されている。
また、第２壁部９ｃには、２本のクランプガイド部９ｇが形成されて、基部９ｃ、および第１、第２壁部９ａ、９ｃの中心部には、第１ボビン９を第１脚部２ａに挿通支持可能な挿通孔９ｈが貫通形成され、第１、第２壁部９ａ、９ｃ間の基部９ｂにコイルが巻回されて、第１クランプ用コイル１０が構成されている。
【００２８】
また、第２クランプ部材３の第２脚部３ａには、図３に示すように、第１ボビン９と対称形状の第２ボビン１１が挿通支持されている。前記第２ボビン１１は、第１壁部１１ａに第２ガイド部１１ｃとバネ支持部１１ｅと第２ガイド部１１ｆと挿通孔１１ｈが形成されて基部（図示せず）にコイルが巻回されて第２クランプ用コイル１２が構成されている。
【００２９】
このような構成の第１、第２クランプ用コイル１０、１２の挿通孔９ｈ、１１ｈに挿通支持した第１、第２脚部２ａ、３ａは、それぞれの挿通孔９ｈ、１１ｈから先端部が所定寸法突出している。
そして、第１、第２クランプ部材２、３と、駆動部６と、第１、第２クランプ用コイル１０、１２とによって駆動本体部１３が構成され、この駆動本体部１３と対向する側に後述する可動子１８が配設されている。
【００３０】
前記駆動体本部１３には、図示を省略した外部のカメラ等の筐体である固定部材に支持可能な金属板等からなるベース部材１４が取り付けられている。
また、第１、第２クランプ部材２、３を連結する連結部４には、弾性を有するゴム等からなる、図５に示すようなダンパー部材１５が支持されており、ベース部材１４は、ダンパー部材１５を介して取付部材１６によって連結部４に取り付けられている。
【００３１】
また、第１、第２クランプ部材２、３の第１、第２脚部２ａ、３ａに挿通支持した第１、第２クランプ用コイル１０、１２間には、後述する可動子１８を第２ガイド部９ｆ、１１ｆに弾性付勢して、可動子１８のガタ付きを防止可能なガタ付き防止部材である板バネからなる加圧バネ１７が配設されている。
前記加圧バネ１７は、第１、第２クランプ用コイル１０、１２のバネ支持部９ｅ、１１ｅに両端部が支持されて、第１、第２クランプ用コイル１０、１２間に橋渡しされている。
【００３２】
また、第１、第２クランプ用コイル９、１１を支持した状態の２本の第１、第２脚部２ａ、３ａと対向する側には、可動子１８が配設されている。
前記可動子１８は、例えばそれぞれの脚部２ａ、３ａと対向する一面側が一方の磁極となるように単極着磁されたマグネット１９を有し、このマグネット１９の一面側には、磁性材料からなるフロントヨーク２０が接着剤等で固着されている。
【００３３】
また、脚部２ａ、３ａが対向するフロントヨーク２０の一面側には、所定厚さの摺動材（図示せず）が形成されている。
前記摺動材は、ただ単に静止摩擦係数が小さいだけの部材だと、可動子１８に対する脚部２ａ、３ａのグリップ力が低下、または第１、第２クランプ用コイル１０、１２への無通電時のマグネット１９に対する自己保持力が劣化するおそれがある。
また、静止摩擦係数の大きな部材を摺動材に用いると、スティックスリップ現象によって、可動子１８に対して脚部２ａ、３ａがスリップするときに、異音等が発生するおそれがある。
そのために、摺動材は、脚部２ａ、３ａに対して静止／動摩擦係数の差が小さい材料を用いることにより、スティックスリップ現象等が発生しないようになっている。
【００３４】
前記摺動材の材質は、静止／動摩擦係数の差が小さい樹脂材料からなり、成形加工によりフロントヨーク２０の一面側に一体形成したものでも良い。
あるいは、摺動材は、フロントヨーク２０の一面側に金メッキを施したものでも良い。前記金メッキは、薄く形成するだけで脚部２ａ、３ａに対して静止／動摩擦係数の差が小さことが実験結果から判明している。
また、摺動材は、フロントヨーク２０を無くして、マグネット１９の一面側に直接形成したものでも良い。
【００３５】
また、可動子１８は、マグネット１９の他面側に磁性材料からなるバックヨーク２１が固着され、このバックヨーク２１を介してマグネット１９がホルダー２２に取り付けられて、可動子１８が構成されている。
あるいは、マグネット１９に直接樹脂材料からなる摺動材を成形形成することにより、摺動材をホルダー２２とすることもできる。
また、ホルダー２２には、例えば外部のカメラ（図示せず）等の移動体であるレンズ鏡筒を移動操作可能な、形状が略球状の操作部２３が一体、または別体で形成されている。
【００３６】
そして、マグネット１９からの漏れ磁束を利用して、２本の脚部２ａ、３ａが可動子１８に対してスリップとクランプとを繰り返し、矢印Ａ方向、または矢印Ｂ方向に移動させるようになっている。
しかし、マグネット１９の磁束漏れは、長手方向における中央部付近と左右端部とで差が発生するので、脚部２ａ、３ａが可動子１８の長手方向の端部まで移動すると、脚部２ａ、３ａの可動子１８に対する吸引力のバランスがくずれて、脚部２ａ、３ａの単位ステップ当たりの移動量が変化する。
そのために、可動子１８を長手方向の端部まで移動させると、移動速度にバラツキが発生する。
【００３７】
その対策として、本発明のアクチュエータ１は、可動子１８の矢印Ａ方向、またはＢ方向への変位量を、可動子１８の長さ方向の両端部から所定寸法（図１に示す寸法Ｃ）内側の位置までとしている。
前記寸法Ｃは、可動子１８の長寸法の８％以上とすることにより、可動子１８に対する脚部２ａ、３ａの吸引力のアンバランスを最小限に抑えることができ、可動子１８の移動速度のバラツキを極小とすることができる。
【００３８】
また、２本の脚部２ａ、３ａは、図７に示すように、可動子１８と対向する矢印Ｄ方向における幅方向の端面２ｂ、３ｂが、半径Ｒの大きな径の円弧状に形成されている。そのために、可動子１８を外部のカメラ等のレンズ鏡筒に取り付ける場合、図８に示すように、若干斜めになったとしても、可動子１８に対する第１、第２クランプ部材２、３の吸着力が劣化するのを防止できる。
【００３９】
このような構成の本発明のアクチュエータ１の動作を説明すると、まず、駆動本体部１３側の連結部４に、ダンパー部材１５を介して取り付けたベース部材１４を、外部のカメラ側の筐体に取り付けて固定する。
その後、第１、第２クランプ用コイル１０、１２のそれぞれに、所定パルスで互いに異なる向きのクランプ用電流を交互に印可する。
そして、例えば第１クランプ用コイル１０に正側の向きの電流を印加した時は、第１脚部２ａがマグネット１９を吸着する磁束が励磁されて、可動子１８が第１脚部２ａに吸着されてクランプされる。
この時、同時に第２クランプ用コイル１２に負側の向きの電流を印加すると、第２脚部３ａがマグネット１９を反発する磁束が励磁されて、第２脚部３ａが可動子１８に対してスリップ可能となる。
【００４０】
この時、駆動用コイル７に所定パルスの電流を印可することにより、駆動用ヨーク８が励磁され、第２クランプ部材３が吸着されて、第１、第２クランプ部材２、３が互いに近づく方向の内側に振動する。
前記第１クランプ部材２の内側への振動に対応して、第１脚部２ａにクランプしている可動子１８が矢印Ａの一方向に所定寸法変位すると共に、第２クランプ部材３の第２脚部３ａが可動子１８に対してスリップする。
【００４１】
次ぎに、第１、第２クランプ部材２、３が互いに近づいた状態で、第１クランプ用コイル１０に通電していた電流の向きが負側に変わると共に、第２クランプ用コイル１１に通電していた電流の向きが正側に変わる。
このことにより、第２クランプ部材３の第２脚部３ａが可動子１８を吸着してクランプすると共に、第１クランプ部材２の第２脚部２ａが可動子に１８に対してスリップ可能となる。
【００４２】
この時、駆動用コイル７への通電を遮断して、駆動用ヨーク８の励磁を解除すると、連結部４の弾性力によって、第１、第２クランプ部材２、３が互いに離れる方向に変位する。
そして、第２クランプ部材３の外側への変位に対応して、第２クランプ部材３にクランプされている可動子１８が、更に矢印Ａの一方向に変位する。
同時に、第１クランプ部材２の第１脚部２ａが可動子１８に対してスリップして、第１、第２クランプ部材２、３が平行となった初期状態に復帰する。
このような動作を繰り返すことにより、可動子１８を矢印Ａの一方向に所定量連結して変位させることができる。
また、前述した動作と反対の動作を行うことにより、可動子１８を矢印Ｂの他方向に戻すことができる。
【００４３】
前記駆動用コイル７に印加する電流は、可動子１８を矢印Ａの一方向に変位させるときは例えば正側の向きの電流を印可し、可動子１８を矢印Ｂの他方向に変位させるときは負側の向きの電流を印可している。
即ち、第１、第２クランプ用コイル２、３に所定パルスで互いに異なる向きのクランプ用電流を交互に印可して一方向に変位させた可動子１８を他方向に変位させる時には、駆動用コイル７に印加する駆動電流の向きを変えるようにしている。
【００４４】
このようにすることにより、可動子１８を一方向、または他方向に変位させるときの第１、第２クランプ部材２、３に発生する磁気回路を対称とすることができる。そのために、可動子１８を矢印Ａ方向、および矢印Ｂ方向に変位させるときの駆動力が同じになり、可動子１８の一方向、他方向への変位を、同じ速度あるいは１サイクル当たりの変位量を同じにできる。
尚、本発明の実施の形態のアクチュエータ１の動作説明では、駆動本体部１３を固定して可動子１８を移動させることで説明したが、可動子１８を固定して、駆動本体部１３側を移動させるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のアクチュエータの要部断面図である。
【図２】図１の可動子側から見た斜視図である。
【図３】図２の可動子を取り去った斜視図である。
【図４】図３のクランプ用コイルを取り去った斜視図である。
【図５】本発明に係わるダンパー部材の斜視図である。
【図６】本発明に係わるクランプ用コイルのボビンの斜視図である。
【図７】本発明に係わる脚部先端の形状を説明する側面図である。
【図８】本発明に係わる脚部先端の形状を説明する側面図である。
【図９】従来のアクチュエータの要部断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  本発明のアクチュエータ
２  第１クランプ部材
２ａ  第１脚部
３  第２クランプ部材
３ａ  第２脚部
４  連結部
５  サブヨーク
６  駆動部
７  駆動用コイル
８  駆動用ヨーク
９  第１ボビン
９ａ  第１壁部
９ｂ  基部
９ｃ  第２壁部
１０  第１クランプ用コイル
１１  第２ボビン
１２  第２クランプ用コイル
１３  駆動本体部
１４  ベース部材
１５  ダンパー部材
１６  取付部材
１７  加圧バネ
１８  可動子
１９  マグネット
２０  フロントヨーク
２１  バックヨーク
２２  ホルダー
２３  操作部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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