(57)【要約】【課題】  第２バルブ７の円環状端面および内部にゴムモールドされたモールドゴム（例えばフッ素ゴム等のシールゴム）９と樹脂ハウジング５の弁座との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜９６の非粘着性の維持とを両立させることを課題とする。【解決手段】  樹脂ハウジング５の弁座にステンレス鋼よりなるバルブシート部８を設け、更にこのバルブシート部８の表面上に非粘着剤４７をコーティングしている。一方、厳しい低温気密性を必要とする第２バルブ７のモールドゴム９の表面上にビッカース硬さがＨｖ１００〜２００のＤＬＣ被膜９６を薄膜形成している。これにより、モールドゴム９がバルブシート部８に対して着座、離座を繰り返しても、第２バルブ７のモールドゴム９と樹脂ハウジング５の弁座との間の耐摩耗性および低温気密性が低下することはなく、圧力感応弁として機能する第２バルブ７の耐久性および信頼性を向上できる。【選択図】  図１
2006258283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）内部に流体流路が形成されたハウジングと、
（ｂ）内部に前記流体流路に連通する流路孔が形成されたバルブシートと、
（ｃ）前記ハウジングの内部に開閉自在に収容されて、前記バルブシートに対して着座、離脱して前記流路孔を閉鎖、開放するバルブと
を備え、
前記ハウジングは、前記ハウジング全体のうちで少なくとも一部が樹脂化されており、  前記バルブは、ゴム系弾性体によって形成されており、バルブ閉弁時に前記バルブシートに着座して前記流路孔を閉鎖することが可能なバルブシール部を有し、
前記バルブ表面のうちで少なくとも前記バルブシール部の表面には、ビッカース硬さがＨｖ５０以上で、且つＨｖ５００以下のダイヤモンド・ライク・カーボン被膜が薄膜形成されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載の流体制御弁において、
前記バルブシートは、前記流路孔の開口周縁部に、前記バルブのバルブシール部が密着して着座する弁座を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
（ａ）内部に流体流路が形成されたハウジングと、
（ｂ）内部に前記流体流路に連通する流路孔が形成されたバルブシートと、
（ｃ）前記ハウジングの内部に開閉自在に収容されて、前記バルブシートに対して着座、離脱して前記流路孔を閉鎖、開放するバルブと、
（ｄ）前記バルブシートと前記バルブとの間の気密保持性能を高めるためのシールゴムと
を備え、
前記ハウジングは、前記ハウジング全体のうちで少なくとも一部が樹脂化されており、  前記シールゴムは、ゴム系弾性体によって形成されており、バルブ閉弁時に前記バルブシートに着座して前記流路孔を閉鎖することが可能なゴムシール部を有し、
前記シールゴム表面のうちで少なくとも前記ゴムシール部の表面には、ビッカース硬さがＨｖ５０以上で、且つＨｖ５００以下のダイヤモンド・ライク・カーボン被膜が薄膜形成されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項４】
請求項３に記載の流体制御弁において、
前記バルブシートは、前記流路孔の開口周縁部に、前記シールゴムのゴムシール部が密着して着座する弁座を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
通電されると磁気吸引力を発生するコイルを有し、このコイルの磁気吸引力を利用して前記バルブを開弁作動方向に駆動するバルブ駆動装置と、
前記バルブを閉弁作動方向に付勢するスプリングと
を備えたことを特徴とする流体制御弁。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
２つの第１、第２圧力室の圧力差に応じて変位するダイヤフラムを有し、このダイヤフラムの変位を利用して前記バルブを開弁作動方向に駆動するバルブ駆動装置と、
前記バルブを閉弁作動方向に付勢するスプリングと
を備えたことを特徴とする流体制御弁。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記流体制御弁は、燃料タンク内で揮発した蒸発燃料を、キャニスタを経由して内燃機関の吸気管に導入する蒸発燃料処理装置に組み込まれた流体流量制御弁であることを特徴とする流体制御弁。
【請求項８】
請求項１ないし請求項６のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記流体制御弁は、燃料タンク内で揮発した蒸発燃料を、キャニスタを経由して内燃機関の吸気管に導入する蒸発燃料処理装置に組み込まれた流体圧力制御弁であることを特徴とする流体制御弁。
【請求項９】
請求項１ないし請求項６のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記流体制御弁は、燃料タンク内で揮発した蒸発燃料を、キャニスタを経由して内燃機関の吸気管に導入する蒸発燃料処理装置に組み込まれた流体圧力作動弁であることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１０】
請求項７ないし請求項９のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記ハウジング全体のうちで少なくとも一部を樹脂化するとは、前記ハウジング全体のうちで少なくとも前記流体流路の流路壁面が樹脂面となるように樹脂化することであることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１１】
（ａ）通電されると磁気吸引力を発生するコイルを有する電磁駆動部と、
（ｂ）内部に流体通過口が形成される筒状の弁座を有するハウジングと、
（ｃ）このハウジングの軸線方向に付勢力を発生するスプリングと、
（ｄ）前記ハウジング内に軸線方向に往復移動自在に収容されて、前記コイルの磁気吸引力によって軸線方向の一方側に移動して開弁する第１バルブと、
（ｅ）前記ハウジング内に軸線方向に往復移動自在に収容され、且つ前記ハウジングの弁座と前記第１バルブとの間に挟み込まれた状態で前記ハウジングの弁座に着座すると共に、前記第１バルブが開弁し、更に閉弁方向に作用する圧力が所定値まで低下した際に、前記スプリングの付勢力によって軸線方向の一方側に移動して開弁する第２バルブと
を備えた電磁弁において、
前記ハウジングは、前記ハウジング全体のうちで少なくとも一部が樹脂化されており、  前記第２バルブは、前記ハウジングの弁座に対向する端面に、前記ハウジングの弁座に着座して前記流体通過口を閉塞することが可能なシールゴムを有し、
前記シールゴムの表面には、ビッカース硬さがＨｖ５０以上で、且つＨｖ５００以下のダイヤモンド・ライク・カーボン被膜が薄膜形成されていることを特徴とする電磁弁。
【請求項１２】
請求項１１に記載の電磁弁において、
前記ハウジングの弁座は、前記第２バルブのシールゴムが着座して前記流体通過口を閉塞することが可能な金属材料よりなるバルブシート部を有し、
前記バルブシート部の表面には、耐摩耗性に優れる非粘着剤が形成されていることを特徴とする電磁弁。
【請求項１３】
請求項１２に記載の電磁弁において、
前記ハウジングは、前記電磁駆動部との間に形成されて、前記第１、第２バルブを収容するバルブ室、およびこのバルブ室よりも流体の流れ方向の下流側に流体流路を有し、
前記ハウジングの弁座は、前記バルブ室と前記流体流路とを区画する環状の区画壁の端面より前記電磁駆動部側に突出した筒状の立壁部に一体的に設けられており、
前記立壁部には、前記バルブシート部がインサート成形されていることを特徴とする電磁弁。
【請求項１４】
請求項１１ないし請求項１３のうちのいずれか１つに記載の電磁弁において、
前記第２バルブは、軸線方向に貫通する連通路を有し、且つ前記第１バルブに対向する端面に、前記第１バルブが着座して前記連通路を閉塞することが可能なシールゴムを有し、
前記シールゴムの表面には、ビッカース硬さがＨｖ５０以上で、且つＨｖ５００以下のダイヤモンド・ライク・カーボン被膜が薄膜形成されていることを特徴とする電磁弁。
【請求項１５】
請求項１１ないし請求項１４のうちのいずれか１つに記載の電磁弁において、
前記シールゴムは、少なくとも前記第２バルブの端面にゴムプリントまたはゴムモールドされていることを特徴とする電磁弁。
【請求項１６】
請求項１１ないし請求項１５のうちのいずれか１つに記載の電磁弁において、
前記電磁弁は、燃料タンク内で揮発した蒸発燃料を、キャニスタを経由して内燃機関の吸気管に導入する蒸発燃料処理装置に組み込まれた電磁式タンク密閉弁であることを特徴とする電磁弁。
【請求項１７】
請求項１６に記載の電磁弁において、
前記ハウジングの内部には、前記燃料タンクまたは前記キャニスタまたは前記内燃機関の吸気管と前記流体通過口とを連通すると共に、前記ハウジングの弁座から前記燃料タンク側または前記キャニスタ側または前記内燃機関の吸気管側に向けて延びる流体流路が形成されており、
前記ハウジング全体のうちで少なくとも一部を樹脂化するとは、前記ハウジング全体のうちで少なくとも前記流体流路の流路壁面が樹脂面となるように樹脂化することであることを特徴とする電磁弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、厳しい低温気密性を必要とする流体制御弁に関するもので、特に蒸発燃料処理装置に組み込まれて、ゴムバルブの表面またはダイヤフラムの表面、あるいはバルブのシールゴムの表面または第２バルブのシールゴムの表面に表面処理被膜を薄膜形成した電磁式タンク密閉弁等の電磁弁に係わる。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、電磁駆動部のソレノイドコイルの磁気吸引力（起磁力）によってムービングコアが軸線方向の一方側に吸引された際に、ソレノイドコイルの起磁力によって軸線方向の一方側に吸引されて開弁する第１の弁部材（以下第１バルブと呼ぶ）と、この第１バルブが開弁することで、閉弁方向に作用する圧力（背圧）が開弁圧まで低下した際に、コイルスプリングの付勢力（スプリング力）によって軸線方向の一方側に付勢されて、ハウジングの筒状の弁座より離座（離脱）して開弁する第２の弁部材（以下第２バルブと呼ぶ）とを備えた電磁弁が提案されている（例えば、特許文献１参照）。これは、第１バルブが電磁式開閉弁の弁体を構成し、第２バルブが圧力感応弁の弁体を構成している。なお、圧力感応弁とは、第２バルブの背壁面（受圧面、弁座側に対して逆側面）に作用する閉弁方向の圧力（背圧）が、コイルスプリングのスプリング力よりも低下すると、開弁する開弁特性を有する弁装置である。
【０００３】
［従来の技術の不具合］
ところが、特許文献１に記載の電磁弁の圧力感応弁においては、ハウジングの弁座に着座可能なゴム製の当接部材（以下シールゴムと呼ぶ）を第２バルブの端面に有しており、さらにハウジングが樹脂化されている。これにより、特にガソリンやガソリンベーパ雰囲気で使用する圧力感応弁の場合には、使用する樹脂材料およびゴム材料から粘着物質が析出される可能性がある。このため、この粘着物質により第２バルブのシールゴムがハウジングの弁座に粘着し、第２バルブの開弁時期が遅れたり、第２バルブが傾いたりする。さらに、最悪の場合には、第２バルブが閉弁固着故障を起こすという問題が生じている。
【０００４】
そこで、第２バルブのシールゴムのようなゴム成形品の表面に、非粘着性の表面処理被膜を形成することで、ゴム成形品の表面の粘着性（または摩擦係数）を下げることが考えられる。このようなゴム成形品の表面の粘着性（または摩擦係数）を下げる方法として、従来より、ゴム成形品の表面にフッ素樹脂コーティング、二硫化モリブデンコーティング、ダイヤモンド・ライク・カーボン（以下ＤＬＣと表記する）をコーティングする表面処理方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
ここで、第２バルブのシールゴムの表面を被覆する表面処理被膜として、フッ素樹脂被膜を採用した場合には、使用環境下が厳しい低温環境であると第２バルブのシールゴムの表面が硬くなって漏れ易く（気密漏れ量が多く）なり、しかも膜厚も厚くなることから、厳しい低温気密性を必要とする第２バルブのシールゴムには適用できないという問題がある。また、第２バルブのシールゴムの表面に塗布する表面処理被膜として、二硫化モリブデン粉末を採用した場合には、二硫化モリブデン粉末の粒子の影響により表面が凸凹になるため、前述のフッ素樹脂被膜と同様に、厳しい低温気密性を必要とする第２バルブのシールゴムには適用できないという問題がある。
【０００６】
さらに、第２バルブのシールゴムの表面に薄膜形成する表面処理被膜として、ＤＬＣ被膜を採用した場合には、フッ素樹脂被膜や二硫化モリブデン粉末と違い、表面が平滑で膜厚が薄いため、ゴムパッキン（ゴム成形品）の粘着防止の表面処理被膜としては良好であるが、膜質であるＤＬＣ被膜の硬度（Ｈｖ１０００程度）が高過ぎる。このため、第２バルブのシールゴムがハウジングの弁座に着座している時、つまり第２バルブ閉弁時に第２バルブのシールゴムとハウジングの弁座との間の低温気密性の確保が難しいという問題がある。
【０００７】
また、ペットボトル（樹脂成形品）の表面に適用されるガス透過対策に使用されるＤＬＣ被膜は、逆にＤＬＣ被膜の硬度（Ｈｖ１０程度）が低過ぎるため、第２バルブの開閉動作を繰り返すことで、すなわち、第２バルブのシールゴムがハウジングの弁座に対して着座、離座（離脱）を繰り返すことで、第２バルブのシールゴムの表面に薄膜形成（コーティング）されたＤＬＣ被膜が摩耗してしまい、ＤＬＣ被膜の耐久性または信頼性が低下し、ＤＬＣ被膜の非粘着性を維持できなくなるという問題がある。
【０００８】
ここで、第２バルブのシールゴムとして、低温環境下でも柔軟性があって弾性変形力に富むゴム材料を適用することも考えられるが、このような低温気密性に優れたゴム材料をシールゴムとして適用した場合には、長い間閉弁状態を持続すると、第２バルブのシールゴムと弁座とが強く粘着し、無理にシールゴムを弁座より剥がすと、シールゴムが傷付き、低温気密性および耐久性または信頼性を低下させてしまうという問題がある。
【特許文献１】特開２００１−２４１５６３号公報（第１−８頁、図１−図６）
【特許文献２】特開平１０−１３０４２８号公報（第１−３頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
請求項１〜請求項１０に記載の発明の目的は、バルブのバルブシール部またはシールゴムのゴムシール部とバルブシートとの間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることのできる流体制御弁を提供することにある。また、バルブのバルブシール部またはシールゴムのゴムシール部とバルブシートとの間の耐摩耗性を向上させることのできる流体制御弁を提供することにある。
請求項１１〜請求項１７に記載の発明の目的は、第２バルブのシールゴムとハウジングの弁座との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることのできる電磁弁を提供することにある。また、第２バルブのシールゴムとハウジングの弁座との間の耐摩耗性を向上させることのできる電磁弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
ここで、例えば蒸発燃料処理装置に組み込まれる流体制御弁においては、バルブおよびバルブシートを含むハウジングが樹脂製品とゴム製品とで構成されている。なお、バルブシートは、バルブシート自体がハウジングを構成する場合と、ハウジングの流体流路の流路壁面に圧入嵌合またはインサート成形される別体（環状体または筒状体）の場合とが考えられる。このため、例えばガソリンベーパ雰囲気に晒されると、使用する樹脂の低分子量成分（粘着性物質）、および樹脂に含まれる添加剤の低分子量成分（粘着性物質）が、樹脂製品の表面から抽出され易い。そして、流体制御弁の搭載方向によっては、抽出された粘着性物質が重力により流れ落ち、バルブの表面またはバルブシートの表面に付着したり、バルブのシート面がバルブシートに着座（密着）して流路孔を閉塞（閉鎖）しているバルブ閉弁時に、バルブのシート面とバルブシートとの当接部に付着して堆積したりすると、バルブがバルブシートより離座（離脱）し難くなる。
【００１１】
そこで、ゴム製品（ゴム系弾性体）よりなるゴムバルブや、バルブとバルブシートとの気密性を向上させるためにバルブ端面に設けられたシールゴム（ゴム製品、ゴム系弾性体）の表面に、非粘着性の表面処理被膜（例えばＤＬＣ被膜）を形成することで、ゴム製品の表面の粘着性（または摩擦係数）を下げることが考えられる。しかるに、ゴムバルブやシールゴムの表面に薄膜形成する表面処理被膜として、ＤＬＣ被膜を採用した場合には、膜質であるＤＬＣ被膜の硬度が高過ぎる（Ｈｖ１０００程度）と、バルブ閉弁時の低温気密性の確保が難しい。また、膜質であるＤＬＣ被膜の硬度が低過ぎる（Ｈｖ１０程度）と、バルブの開閉動作が繰り返された場合、ＤＬＣ被膜が摩耗してしまい、ＤＬＣ被膜の耐久性または信頼性が低下し、ＤＬＣ被膜の非粘着性を維持できなくなる。
【００１２】
そこで、請求項１に記載の発明によれば、ハウジング全体のうちで少なくとも一部が樹脂化され、また、バルブがゴム系弾性体によって形成されている。すなわち、ハウジングの少なくとも一部が樹脂製品とされ、また、バルブ自体がゴム製品とされている。なお、バルブシート自体が樹脂製品であっても、金属製品であっても構わない。
そして、バルブ表面のうちで少なくともバルブシール部の表面に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００のＤＬＣ被膜を薄膜形成することにより、ＤＬＣ被膜の硬度が、厳しい低温気密性を必要とするバルブとして適用可能な範囲内に収まる。これによって、バルブのバルブシール部とバルブシートとの間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることができる。また、バルブのバルブシール部とバルブシートとの間の耐摩耗性および気密性が向上し、厳しい低温気密性を必要とするバルブのバルブシール部の表面に薄膜形成されるＤＬＣ被膜の耐久性および信頼性を向上させることができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明によれば、バルブシートの流路孔の開口周縁部に、バルブのバルブシール部が気密的（または液密的）に密着して着座する弁座を設けている。
これによって、バルブのバルブシール部とバルブシートの弁座（流路孔の開口周縁部）との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることができる。また、バルブのバルブシール部とバルブシートの弁座（流路孔の開口周縁部）との間の耐摩耗性および気密性が向上し、厳しい低温気密性を必要とするバルブのバルブシール部の表面に薄膜形成されるＤＬＣ被膜の耐久性および信頼性を向上させることができる。
なお、ハウジングにバルブシートが一体的に形成されている場合には、ハウジング自身に弁座が設けられる。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、ハウジング全体のうちで少なくとも一部が樹脂化され、また、バルブに設けられたシールゴムがゴム系弾性体によって形成されている。すなわち、ハウジングの少なくとも一部が樹脂製品とされ、また、シールゴムがゴム製品とされている。なお、バルブ自体が樹脂製品であっても、金属製品であっても構わない。また、バルブシート自体が樹脂製品であっても、金属製品であっても構わない。
そして、シールゴム表面のうちで少なくともゴムシール部の表面に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００のＤＬＣ被膜を薄膜形成することにより、ＤＬＣ被膜の硬度が、厳しい低温気密性を必要とするバルブとして適用可能な範囲内に収まる。これによって、シールゴムのゴムシール部とバルブシートとの間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることができる。また、シールゴムのゴムシール部とバルブシートとの間の耐摩耗性および気密性が向上し、厳しい低温気密性を必要とするバルブに設けられたシールゴムのゴムシール部の表面に薄膜形成されるＤＬＣ被膜の耐久性および信頼性を向上させることができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、バルブシートの流路孔の開口周縁部に、シールゴムのゴムシール部が気密的（または液密的）に密着して着座する弁座を設けている。
これによって、シールゴムのゴムシール部とバルブシートの弁座（流路孔の開口周縁部）との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることができる。また、シールゴムのゴムシール部とバルブシートの弁座（流路孔の開口周縁部）との間の耐摩耗性および気密性が向上し、厳しい低温気密性を必要とするバルブのシールゴムのゴムシール部の表面に薄膜形成されるＤＬＣ被膜の耐久性および信頼性を向上させることができる。
なお、ハウジングにバルブシートが一体的に形成されている場合には、ハウジング自身に弁座が設けられる。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、バルブ駆動装置のコイルが通電されてコイルに磁気吸引力が発生すると、バルブが開弁作動方向に駆動されるため、スプリングの付勢力（スプリング荷重）に抗して、バルブのバルブシール部またはバルブのシールゴムのゴムシール部がバルブシートより離脱して流路孔が開放される。これにより、ハウジングの流体流路とバルブシートの流路孔とが連通する。
この場合には、スプリング自体が、バルブに対して、バルブのバルブシール部またはバルブのシールゴムのゴムシール部をバルブシートに押し付ける方向にスプリング荷重を与える荷重付与手段（弾性体）を構成しているが、スプリング自体が、バルブに対して、バルブのバルブシール部またはバルブのシールゴムのゴムシール部をバルブシートより引き離す方向にスプリング荷重を与える荷重付与手段（弾性体）を構成しても良い。なお、コイルの磁気吸引力を利用してバルブを閉弁作動方向に駆動するバルブ駆動装置を設けても良い。
また、バルブ駆動装置として、２つの第１、第２圧力室の圧力差に応じて変位するダイヤフラムを有し、このダイヤフラムの変位を利用してバルブを開弁作動方向または閉弁作動方向に駆動する流体圧作動式アクチュエータ（例えば負圧作動式アクチュエータ）を用いても良い。
【００１７】
請求項６に記載の発明によれば、バルブ駆動装置のダイヤフラムが２つの第１、第２圧力室の圧力差に応じて変位すると、バルブが開弁作動方向に駆動されるため、スプリングの付勢力（スプリング荷重）に抗して、バルブのバルブシール部またはバルブのシールゴムのゴムシール部がバルブシートより離脱して流路孔が開放される。これにより、ハウジングの流体流路とバルブシートの流路孔とが連通する。
この場合には、スプリング自体が、ダイヤフラムに対して、バルブのバルブシール部またはバルブのシールゴムのゴムシール部をバルブシートに押し付ける方向にスプリング荷重を与える荷重付与手段（弾性体）を構成しているが、スプリング自体が、ダイヤフラムに対して、バルブのバルブシール部またはバルブのシールゴムのゴムシール部をバルブシートより引き離す方向にスプリング荷重を与える荷重付与手段（弾性体）を構成しても良い。なお、ダイヤフラムの変位を利用してバルブを閉弁作動方向に駆動するバルブ駆動装置を設けても良い。また、ダイヤフラムがゴム系弾性体によって形成されている場合には、ダイヤフラム自体がバルブのバルブシール部またはバルブのゴムシールのゴムシール部を構成するようにしても良い。また、ダイヤフラムとバルブとを別体で製造し、その後にダイヤフラムとバルブとを結合しても良い。
【００１８】
請求項７に記載の発明によれば、流体制御弁を、燃料タンク内で揮発した蒸発燃料を、キャニスタを経由して内燃機関の吸気管に導入する蒸発燃料処理装置に組み込まれた流体流量制御弁（例えば電磁式流量制御弁等）に適用しても良い。
また、請求項８に記載の発明によれば、流体制御弁を、燃料タンク内で揮発した蒸発燃料を、キャニスタを経由して内燃機関の吸気管に導入する蒸発燃料処理装置に組み込まれた流体圧力制御弁（例えば電磁式圧力制御弁、メカ式圧力制御弁、ダイヤフラム式圧力制御弁、電磁式圧力調整弁、メカ式圧力調整弁、ダイヤフラム式圧力調整弁等）に適用しても良い。
また、請求項９に記載の発明によれば、流体制御弁を、燃料タンク内で揮発した蒸発燃料を、キャニスタを経由して内燃機関の吸気管に導入する蒸発燃料処理装置に組み込まれた流体圧力作動弁（例えば圧力作動式の圧力制御弁、圧力感応弁等）に適用しても良い。  なお、流体制御弁を、電磁弁（電磁式流路開閉弁、電磁式流路切替弁、電磁式流量制御弁、電磁式圧力制御弁等）に適用しても良い。また、電磁弁の代わりに、流体制御弁を電動モータによってバルブが開弁作動方向または閉弁作動方向に駆動される電動弁を用いても良い。
また、請求項１０に記載の発明によれば、ハウジング全体のうちで少なくとも流体流路の流路壁面が樹脂面となるようにハウジングを樹脂化しても良い。
【００１９】
ここで、図１５は、本発明に対する比較例１を示した図である。なお、比較例１は従来の技術に相当するものではなく、先行の技術に相当するものである。
先ず、第１バルブ１０１は、電磁駆動部のコイルの起磁力によって軸線方向の一方側に移動して開弁するように構成されている。また、第２バルブ１０２は、コイルの起磁力によって第１バルブ１０１が開弁し、更に閉弁方向に作用する圧力が所定値まで低下した際に、コイルスプリング１０３の付勢力によって開弁するように構成されている。また、ハウジング１０４の弁座１０５は、樹脂化（例えば熱可塑性樹脂等の樹脂材料によって形成）されている。また、第２バルブ１０２は、ハウジング１０４の弁座１０５に対向する端面に、ハウジング１０４の弁座１０５に着座、離座して流体通過口１０６を閉塞、開放することが可能なシールゴム（ゴム成形品）１０７を設けている。
【００２０】
なお、第２バルブ１０２のシールゴム１０７は、第２バルブ１０２がハウジング１０４の弁座１０５に着座している時（第２バルブ１０２の閉弁時）における、第２バルブ１０２とハウジング１０４の弁座１０５との気密性を向上させる目的で、第２バルブ１０２の端面に設けられている。ここで、例えばガソリンやガソリン雰囲気で使用する第２バルブ１０２の場合には、使用する樹脂材料およびゴム材料から粘着物質が析出される可能性がある。このため、この粘着物質により第２バルブ１０２のシールゴム１０７がハウジング１０４の弁座１０５に粘着し、第１バルブ１０１が開弁した後、閉弁方向に作用する圧力が所定値まで低下しても、第２バルブ１０２のシールゴム１０７がハウジング１０４の弁座１０５より離座し難くなる可能性がある。これにより、第２バルブ１０２の開弁時期が遅れたり、第２バルブ１０２が傾いたりする可能性があり、最悪の場合には、第２バルブ１０２が閉弁固着故障を起こす可能性がある。
【００２１】
そこで、第２バルブ１０２のシールゴム１０７の表面にＤＬＣ被膜を薄膜形成することが考えられるが、上述したように、フッ素樹脂被膜や二硫化モリブデン粉末と違い、表面が平滑で膜厚が薄いため、ゴムパッキンの粘着防止の表面処理被膜としては良好であるが、ＤＬＣ被膜の硬度（Ｈｖ１０００程度）が高過ぎるため、第２バルブ１０２のシールゴム１０７とハウジング１０４の弁座１０５との間の低温気密性の確保が難しい。また、ペットボトルの表面に適用されるガス透過対策に使用されるＤＬＣ被膜を、第２バルブ１０２のシールゴム１０７の表面処理被膜として採用することも考えられるが、逆にＤＬＣ被膜の硬度（Ｈｖ１０程度）が低過ぎるため、ハウジング１０４の弁座１０５に対するＤＬＣ被膜の耐摩耗性が劣る。
【００２２】
そこで、請求項１１に記載の発明によれば、ハウジング全体のうちで少なくとも一部が樹脂化され、また、バルブに設けられたシールゴムがゴム系弾性体によって形成されている。すなわち、ハウジングの少なくとも一部が樹脂製品とされ、また、シールゴムがゴム製品とされている。なお、バルブ自体が樹脂製品であっても、金属製品であっても構わない。
そして、第２バルブのシールゴムの表面に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００のＤＬＣ被膜を薄膜形成することにより、ＤＬＣ被膜の硬度が、厳しい低温気密性を必要とする第２バルブのシールゴムとして適用可能な範囲内に収まる。これによって、第２バルブのシールゴムとハウジングの弁座との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることができる。また、第２バルブのシールゴムとハウジングの弁座との間の耐摩耗性および気密性が向上し、厳しい低温気密性を必要とする第２バルブに設けられたシールゴムの表面に薄膜形成されるＤＬＣ被膜の耐久性および信頼性を向上させることができる。
【００２３】
請求項１２に記載の発明によれば、第２バルブのシールゴムの表面処理被膜としてＤＬＣ被膜を採用したのに対して、ハウジングの弁座に、第２バルブのシールゴムが着座することが可能なバルブシート部を設けている。このバルブシート部は、金属材料によって形成されている。そして、このバルブシート部の表面に耐摩耗性に優れる非粘着剤を形成している。これにより、第２バルブのシールゴムがハウジングの弁座のバルブシート部に対して着座および離座を繰り返しても、ハウジングのバルブシート部の表面に形成された非粘着剤の非粘着効果によって、第２バルブのシールゴムの表面に薄膜形成されたＤＬＣ被膜の摩耗量を少なくすることができる。したがって、第２バルブのシールゴムとハウジングのバルブシート部との間の耐摩耗性および気密性が向上し、厳しい低温気密性を必要とする第２バルブに設けられたシールゴムの表面に薄膜形成されるＤＬＣ被膜の耐久性および信頼性を向上させることができる。
【００２４】
請求項１３に記載の発明によれば、ハウジングの弁座は、バルブ室と流体流路とを区画する環状の区画壁の端面より電磁駆動部側に突出した筒状の立壁部に一体的に設けられている。そして、ハウジングの立壁部に、金属材料よりなるバルブシート部をインサート成形することで、組み付け作業を簡素化することができる。
【００２５】
請求項１４に記載の発明によれば、第２バルブの第１バルブ側端面に設けられたシールゴムの表面に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００のＤＬＣ被膜を薄膜形成することにより、第１バルブ（の樹脂シール部または金属シール部）と第２バルブのシールゴムとの間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることができる。また、第１バルブ（の樹脂シール部または金属シール部）と第２バルブのシールゴムとの間の耐摩耗性が向上し、第２バルブの第１バルブ側端面に設けられたシールゴムの表面に薄膜形成されるＤＬＣ被膜のシールゴムの耐久性および信頼性を向上させることができる。
【００２６】
請求項１５に記載の発明によれば、シールゴムは、少なくとも第２バルブの端面（および内部）にゴムプリントまたはゴムモールドされている。なお、第２バルブを樹脂化（樹脂材料によって形成）した場合には、射出成形金型内で第２バルブをモールド成形した後に、第２バルブを射出成形金型の一部として使用してシールゴムをゴムモールド（モールド成形）するようにしても良い。
【００２７】
請求項１６に記載の発明によれば、電磁弁を、燃料タンク内で揮発した蒸発燃料を、キャニスタを経由して内燃機関の吸気管に導入する蒸発燃料処理装置に組み込まれた電磁式タンク密閉弁に適用しても良い。また、請求項１７に記載の発明によれば、ハウジングの内部に、燃料タンクまたはキャニスタまたは内燃機関の吸気管と流体通過口とを連通すると共に、ハウジングの弁座から燃料タンク側またはキャニスタ側または内燃機関の吸気管側に向けて延びる流体流路を形成しても良い。また、ハウジング全体のうちで少なくとも流体流路の流路壁面が樹脂面となるようにハウジングを樹脂化しても良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明を実施するための最良の形態は、バルブのバルブシール部とバルブシートとの間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させるという目的を、バルブ表面のうちで少なくともバルブシール部の表面上に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００のＤＬＣ被膜を薄膜形成することで実現した。また、バルブのバルブシール部とバルブシートとの間の耐摩耗性を向上させるという目的を、バルブ表面のうちで少なくともバルブシール部の表面上に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００のＤＬＣ被膜を薄膜形成することで実現した。
また、シールゴムのゴムシール部とバルブシートとの間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させるという目的を、シールゴム表面のうちで少なくともゴムシール部の表面上に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００のＤＬＣ被膜を薄膜形成することで実現した。また、シールゴムのゴムシール部とバルブシートとの間の耐摩耗性を向上させるという目的を、シールゴム表面のうちで少なくともゴムシール部の表面上に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００のＤＬＣ被膜を薄膜形成することで実現した。
また、第２バルブのシールゴムとハウジングの弁座との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させるという目的を、第２バルブのシールゴムの表面上に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００のＤＬＣ被膜を薄膜形成することで実現した。また、第２バルブのシールゴムとハウジングの弁座との間の耐摩耗性を向上させるという目的を、ハウジングの弁座に金属材料よりなるバルブシート部を設け、このバルブシート部の表面上に耐摩耗性に優れる非粘着剤を形成することで実現した。
【実施例１】
【００２９】
［実施例１の構成］
図１ないし図７は本発明の実施例１を示したもので、図１は電磁弁の主要構造を示した図で、図２は蒸発燃料処理装置の全体構成を示した図である。
【００３０】
本実施例の電磁弁１は、本発明の流体制御弁に相当するもので、リリーフ弁１１と共に蒸発燃料処理装置に組み込まれている。この電磁弁１は、自動車等の車両の走行中および燃料を燃料タンク１２内に給油する直前、所定の期間が経過するまで開弁し、それ以外の時には閉弁する常閉型の電磁式流路開閉弁に、圧力作動式の圧力制御弁（圧力感応弁）を一体化した電磁式タンク密閉弁である。なお、蒸発燃料処理装置は、自動車等の車両の燃料タンク１２内で蒸発気化（揮発）した蒸発燃料（エバポガス）等の流体をキャニスタ１３を経由して内燃機関（例えばガソリンエンジン：以下エンジンと言う）のエンジン吸気管１４内に吸気管負圧を利用して導入（パージ）することで、蒸発燃料等の流体が大気中へ放出されることを防止する蒸発燃料蒸散防止装置である。
【００３１】
蒸発燃料処理装置は、燃料タンク１２とキャニスタ１３とが接続配管１５を介して連通し、キャニスタ１３とエンジン吸気管１４とが接続配管１６を介して連通している。燃料タンク１２には、燃料タンク１２内の圧力（タンク内圧）を検出する圧力センサ（タンク内圧センサ：図示せず）が設けられている。キャニスタ１３内には、蒸発燃料等の流体を吸着する吸着体（例えば活性炭等）が収納されている。そして、キャニスタ１３の大気開放孔には、大気に開放された大気開放配管１７が接続されている。大気開放配管１７の途中には、キャニスタ１３内に流入する空気を濾過するフィルタ１８、および必要に応じてキャニスタ１３の大気開放孔を閉塞する常開型の電磁式開閉弁であるキャニスタ制御弁（キャニスタ・コントロール・バルブ）１９が設けられている。なお、フィルタ１８は、大気開放配管１７の入口部（大気開放孔）から流入する空気は通過可能であるが、空気に混入した異物を捕捉して、エンジン吸気管１４内への異物の侵入を防止するものである。
【００３２】
また、エンジン吸気管１４内には、エンジンの各気筒の燃焼室内に連通する吸気通路内を流れる吸入空気量を調整するためのスロットルバルブ２０が設けられている。また、接続配管１５の途中には、電磁弁１およびリリーフ弁１１よりなるタンク密閉弁ユニットが設けられている。また、接続配管１６の途中には、電磁弁２１が設けられている。この電磁弁２１は、蒸発燃料等の流体のパージ量を調整するためのパージ制御弁（パージ・コントロール・バルブ）である。なお、接続配管１６は、スロットルバルブ２０よりも吸入空気流方向の下流側（エンジンの吸気ポート側）に接続されている。そして、蒸発燃料等の流体のリークチェックは次に示す順序により行われる。キャニスタ１３の大気開放孔をキャニスタ制御弁１９で閉塞する。そして、電磁弁２１を開放することにより、エンジン吸気管１４内の吸気管負圧を接続配管１５、１６に導入した後に、電磁弁２１を閉塞することで蒸発燃料等の流体を完全に遮断する。そして、一定時間が経過した後に、圧力センサによって燃料タンク１２内の圧力が上昇したか否かを測定することで、蒸発燃料等の流体のリークチェックが行われる。
【００３３】
リリーフ弁１１は、燃料タンク１２側の圧力がキャニスタ１３側の圧力に比べて十分に高圧となった場合に開弁する圧力調整弁である。このリリーフ弁１１は、電磁弁１の第１、第２バルブ６、７を迂回するバイパス流路（流体流路）２２、２３間に設けられた弁孔（図示せず）、この弁孔を開閉する弁体（図示せず）、この弁体を開弁方向に駆動するダイヤフラム（図示せず）、および弁体を閉弁方向に付勢するスプリング（図示せず）等から構成されている。なお、弁孔は、リリーフ弁１１のバルブボディ内に形成されており、また、弁体は、リリーフ弁１１のバルブボディ内をバルブシャフトの軸方向に移動可能である。また、ダイヤフラムで区画されるケーシング内の第１圧力室内には、キャニスタ１３側の圧力（基準圧力）が作用し、また、ダイヤフラムで区画されるケーシング内の第２圧力室内には、燃料タンク１２側の圧力が作用する。
【００３４】
次に、本実施例の電磁弁１の構成を図１ないし図７に基づいて説明する。ここで、図３および図４は電磁弁の全体構造を示した図で、図５（ａ）は電磁弁の樹脂ハウジングの主要構造を示した図で、図５（ｂ）は樹脂ハウジングの弁座周辺部を示した図で、図６は電磁弁の第２バルブの全体構造を示した図である。
【００３５】
電磁弁１は、電磁式アクチュエータとしての電磁駆動部２と、この電磁駆動部２の樹脂モールド部材４の結合端面にかしめ固定される樹脂ハウジング（樹脂成形品）５と、電磁駆動部２によって開弁方向に駆動される第１バルブ（樹脂成形品）６と、燃料タンク１２側の圧力が所定値（開弁圧）まで低下した場合に開弁する圧力感応弁の弁体として機能する第２バルブ（樹脂成形品）７とから構成されている。
【００３６】
電磁駆動部２は、通電されると磁気吸引力（起磁力）を発生するソレノイドコイル３を有し、このソレノイドコイル３の磁気吸引力を利用して少なくとも第１バルブ６を開弁作動方向に駆動（開弁駆動）するバルブ駆動装置を構成している。この電磁駆動部２は、導線を所定の回数だけ巻回したソレノイドコイル３と、一対の鍔状部間にソレノイドコイル３が巻装されるコイルボビン２４と、ソレノイドコイル３の通電時に磁化されるマグネチックプレート２５、ステータコア２６およびヨーク２７と、ソレノイドコイル３が通電されると磁化されて第１バルブ６およびバルブシャフト２８を伴って軸線方向に移動するムービングコア（磁性体）２９と、第１、第２バルブ６、７、バルブシャフト２８およびムービングコア２９を閉弁方向に付勢するリターンスプリング３０によって構成されている。
【００３７】
ソレノイドコイル３は、通電を受けることにより起磁力を発生して磁性材料よりなる各磁性体（マグネチックプレート２５、ステータコア２６、ヨーク２７およびムービングコア２９等）を磁化することで、第１バルブ６、バルブシャフト２８およびムービングコア２９を開弁方向に駆動すると共に、ステータコア２６とヨーク２７との間に形成される円筒状のコイル収納部に収容されたコイルボビン２４に絶縁被膜を施した導線を複数回巻装したコイルである。ソレノイドコイル３は、コイルボビン２４の外周に巻装されたコイル部、およびこのコイル部より取り出された一対の端末リード線（端末線）を有している。  
【００３８】
また、ソレノイドコイル３のコイル部の外径側は、樹脂ケースとして機能する樹脂モールド部材４により被覆されて保護されている。なお、ソレノイドコイル３の一対の端末リード線は、外部電源または電磁弁駆動回路に電気的に接続する一対の外部接続端子（ターミナル）３１に、例えばかしめまたは溶接等により電気的に接続されている。また、一対のターミナル３１の先端部は、樹脂モールド部材４のコネクタシェル（雄型コネクタ部）３２内に露出して、外部電源側または電磁弁駆動回路側の雌型コネクタ部に差し込まれて電気的な接続を成すコネクタピンとして機能する。
【００３９】
ステータコア２６は、ソレノイドコイル３が通電されると磁化されてムービングコア２９を吸引するための吸引部を有している。このステータコア２６内には、第１、第２バルブ６、７、バルブシャフト２８およびムービングコア２９の軸線方向の移動距離を規制する円筒状の規制部材（ピース）３３が嵌め合わされている。ヨーク２７は、ソレノイドコイル３、マグネチックプレート２５、ステータコア２６およびムービングコア２９と共に磁気回路を形成している。ムービングコア２９は、ソレノイドコイル３が通電されると磁化されてステータコア２６の吸引部に吸引される。このムービングコア２９の内部には、バルブシャフト２８の軸方向の一端部が嵌合している。リターンスプリング３０の一端は、ピース３３に保持され、また、リターンスプリング３０の他端は、ムービングコア２９に保持されている。
【００４０】
樹脂モールド部材４は、熱可塑性樹脂（例えばポリブチレンテレフタレート：ＰＢＴまたはポリフェニレンサルファイド：ＰＰＳまたはポリアミド樹脂：ＰＡ）等の電気絶縁性樹脂よりなり、樹脂モールド成形（２次モールド成形）される２次樹脂成形品であって、ソレノイドコイル３のコイル部の外径側およびコイルボビン２４の外径側に位置している。この樹脂モールド部材４内部には、ヨーク２７がインサート成形されており、樹脂モールド部材４の内周には、マグネチックプレート２５が保持固定されている。そして、樹脂モールド部材４の軸線方向の他端部（図示右端部）には、樹脂ハウジング５の結合端面に結合する円環状の結合端面が設けられている。また、樹脂モールド部材４には、第１バルブ６のベローズ（後記する）、バルブシャフト２８、ムービングコア２９の開閉動作（軸線方向の往復動作）を容易化するための圧力抜き孔３４を有する管状部３５が設けられている。
【００４１】
なお、圧力抜き孔３４は、ステータコア２６の内部に形成された軸線方向の小径孔、ピース３３の内部に形成された軸方向孔、ステータコア２６の内部に形成された軸線方向の大径孔、ムービングコア２９の内部に形成された軸方向孔またはステータコア２６の内周面とムービングコア２９の外周面との間に形成されたクリアランスを介して第１バルブ６のベローズの内部の円筒状空間に連通している。そして、管状部３５には、電磁駆動部２の軸線方向の一端側で開口した圧力抜き孔３４とバイパス流路２３の途中で開口した圧力抜き孔３６とを連通するホース３７が接続されている。また、樹脂モールド部材４の外周部には、燃料タンク１２の天井壁に、円筒状カラー３８の貫通孔を貫通する締結ボルト等の締結具を用いて締め付け固定される取付ステー部３９が一体的に形成されている。
【００４２】
樹脂ハウジング５は、熱可塑性樹脂（例えばポリフェニレンサルファイド：ＰＰＳまたはポリブチレンテレフタレート：ＰＢＴまたはポリアミド樹脂：ＰＡ）により所定の形状に一体的に形成されて、電磁駆動部２の軸線方向の他端面（マグネチックプレート２５の片端面およびステータコア２６の片端面）との間にバルブ室４２を形成すると共に、このバルブ室４２に略Ｌ字状に接続する流体流路４１、４４を形成する通路形成部材である。なお、本実施例では、バルブ室４２と流体流路４４とが、蒸発燃料等の流体が通過する流体通過口（弁孔、流路孔）４３を介して連通している。
【００４３】
そして、樹脂ハウジング５の上流側（図示下端部）には、接続配管１５の上流側部を介して燃料タンク１２に接続される略円管状の流体流路管（入口配管）４５が一体的に形成されており、その流体流路管４５内には、入口ポートを含む流体流路（タンク側流路）４１が形成されている。また、樹脂ハウジング５の下流側には、接続配管１５の下流側部を介してキャニスタ１３に接続される略円管状の流体流路管（出口配管）４６が一体的に形成されており、その流体流路管４６内には、出口ポートを含む流体流路（キャニスタ側流路）４４が形成されている。
【００４４】
ここで、バルブ室４２は、樹脂モールド部材４の内周に嵌め合わされる樹脂ハウジング５の凹状部（電磁駆動部２側に向かって開口した凹状部）の内部に略円柱形状に形成されて、第１、第２バルブ６、７が軸線方向に往復移動することが可能な流体流路を形成している。また、流体流路管４６は、樹脂ハウジング５の軸線方向に形成されているが、流体流路管４５は、樹脂ハウジング５の軸線方向に対して略直交する半径方向の外径側に突出するように、樹脂ハウジング５の外周部に一体的に形成されている。
【００４５】
ここで、本実施例の樹脂ハウジング５の円筒状部の内周部には、円筒状の弁座が設けられている。この樹脂ハウジング５の弁座は、第２バルブ７の後述するゴムシール部９１が密着して着座することが可能なバルブシート部（金属成形部）８を有している。このバルブシート部８は、弁孔（流路孔、流体通過口）４３の開口周縁部に相当するもので、金属材料（金属基材、例えばステンレス鋼：ＳＵＳ等）によって形成されている。そして、バルブシート部８の図示左端面は、第２バルブ７の軸線方向の動作範囲を規制する規制面として利用されている。これにより、第２バルブ７のゴムシール部９１がバルブシート部８に着座した際に第２バルブ７のこれ以上の軸線方向の他方側（閉弁作動方向）への動作が規制される。また、バルブシート部８は、バルブ室４２と流体流路４４とを区画する円環状の区画壁の端面より電磁駆動部２側に突出した円筒状の立壁部にインサート成形されている。そして、バルブシート部８の内部には、弁孔４３が形成されている。この弁孔４３は、バルブ室４２と流体流路４４とを連通すると共に、第２バルブ７により開閉される。  
【００４６】
また、バルブシート部８の表面（少なくともシート面）には、耐摩耗性に優れた非粘着剤（潤滑剤）４７がコーティング（被覆または塗布）されている。なお、非粘着剤４７としては、フッ素系樹脂（例えば四フッ化エチレン樹脂：ＰＴＦＥ、ポリ三フッ化塩化エチレン：ＰＣＴＦＥ、ポリフッ化ビニリデン：ＰＶＤＦ、ポリフッ化ビニル：ＰＶＦ、ポリ四フッ化−六フッ化エチレン：ＦＥＰ、エチレン−四フッ化エチレン樹脂：ＥＴＦＥ、四フッ化−パーフルオロアルキルビニルエーテル樹脂：ＰＦＡ等）、二硫化モリブデン：ＭｏＳ2 、ＤＬＣのうちいずれか１つ以上の非粘着剤が望ましい。非粘着剤４７の厚みは、０．４０〜１．００μｍである。
【００４７】
また、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部の外周部には、電磁駆動部２の樹脂モールド部材４の結合端面に、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部の結合端面をかしめ固定するための金属リング５１が取り付けられている。樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部の先端面（テーパ面）には、蒸発燃料等の流体が電磁弁１の外部に漏洩するのを阻止するためのＯリング（環状弾性体）５２が密着するように設けられている。これにより、電磁駆動部２と樹脂ハウジング５とが気密的に結合される。
【００４８】
そして、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部の内周面（バルブ室４２の弁座寄りの内壁面）には、第２バルブ７の最外径部の外径面（外周面）を摺動自在に支持するバルブ摺動部が設けられている。このバルブ摺動部は、複数個（本例では６個）のバルブガイド（凸状のリブ部）５３によって構成されている。これらのバルブガイド５３は、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部の内周面から所定の突出量だけ、中心軸線側に突き出すように設けられている。隣接する２つのバルブガイド５３間には、流体流路が形成されている。
【００４９】
なお、この樹脂ハウジング５の弁座よりも図示上方側には、リリーフ弁１１のバルブボディを取り付けるためのブラケット５４が一体的に形成されている。このブラケット５４には、バルブ室４２とリリーフ弁１１の弁孔および第２圧力室とを連通するバイパス流路２２が形成されており、また、流体流路４４とリリーフ弁１１の弁孔および第１圧力室とを連通するバイパス流路２３が形成されている。なお、ブラケット５４の、リリーフ弁１１を取り付けるための取付座部５５には、リリーフ弁１１のバルブボディを締め付け固定するための締結ボルトと螺合するインサートナット５６がインサート成形されている。
【００５０】
第１バルブ６は、熱可塑性樹脂（例えばフッ素系樹脂、四フッ化エチレン樹脂：ＰＴＦＥ）等の樹脂材料（樹脂基材）によって一体的に形成された樹脂成形品（樹脂成形部）であって、バルブシャフト２８を介して電磁駆動部２のムービングコア２９と駆動連結されている。この第１バルブ６は、電磁駆動部２と樹脂ハウジング５との間に形成される略円柱状のバルブ室４２内を軸線方向に往復移動するように設けられている。そして、第１バルブ６は、ソレノイドコイル３の起磁力によって軸線方向の一方側（開弁作動方向）に移動させられて開弁する（開弁状態）。この第１バルブ６の開弁時には、第２バルブ７のモールドゴム（後記する）より離座して連通路（後記する）を開放する。また、第１バルブ６は、ソレノイドコイル３の起磁力が消磁されると、リターンスプリング３０のスプリング力によって軸線方向の他方側（閉弁作動方向）に移動させられて閉弁する（閉弁状態）。この第１バルブ６の閉弁時には、第２バルブ７のモールドゴムに着座して連通路を閉塞する。
【００５１】
そして、第１バルブ６の図示右端面には、第２バルブ７のモールドゴムに着座可能な円環板状の樹脂シール部（樹脂成形部）６１が設けられている。また、第１バルブ６は、軸線方向に伸縮自在に設けられた蛇腹状のベローズ６２を一体的に設けている。このベローズ６２の軸線方向の一端側には、第１バルブ６の被固定部（取付座）を成す円環状のフランジ部６３が一体的に形成されている。このフランジ部６３は、Ｏリング５２を介して電磁駆動部２のマグネチックプレート２５の端面と樹脂ハウジング５の軸線方向の一端面（テーパ面）との間に挟み込まれている。また、ベローズ６２の軸線方向の他端側には、第１バルブ６の主要構成要素（可動部）を成す円環状部（弁本体）６４が一体的に形成されている。
【００５２】
また、第１バルブ６は、ベローズ６２の軸線方向の他端側に一体的に設けられて、バルブシャフト２８の径大部の円環状端面とバルブシャフト２８の鍔状部に係止されたウェーブワッシャ６６（図８参照）の端面との間に挟み込まれている。このウェーブワッシャ６６として、第１バルブ６の主要部を成す弁本体６４をバルブシャフト２８の径大部の円環状端面に押し付ける方向に付勢するスプリング機能を有するスナップワッシャ（または円環状の板ばね等の環状弾性体）を用いても良い。なお、第１バルブ６の、ウェーブワッシャ６６が当接する部分は、樹脂シール部６１よりも若干凹んだ円形状の凹状部６７（図８参照）とされている。また、第１バルブ６には、この弁本体６４の図示左側の円環状端面と凹状部６７の底面とを連通する軸方向孔６９（図８参照）が形成されている。この軸方向孔６９は、第１バルブ６の中心軸線を中心とする円形穴であって、この内部にはバルブシャフト２８の軸線方向の図示右端部（他端部）が圧入嵌合されている。これにより、第１バルブ６は、バルブシャフト２８およびムービングコア２９と一体的に動作可能となっている。なお、バルブシャフト２８の軸線方向の図示右端部、つまりバルブシャフト２８の径大部の円環状端面より図示右方向に突出した部分は、バルブシャフト２８の径大部よりも外径が小さい径小部である。
【００５３】
第２バルブ７は、熱可塑性樹脂（例えばポリフェニレンサルファイド：ＰＰＳ）等の樹脂材料（樹脂基材）によって一体的に形成された樹脂成形品（樹脂成形部）である。この第２バルブ７は、第１バルブ６と同様に、バルブ室４２内を軸線方向に往復移動するように設けられている。そして、第２バルブ７は、第１バルブ６が開弁し、更に燃料タンク１２側の圧力（流体流路４１およびバルブ室４２内の圧力）が所定の圧力まで低下した際に、コイルスプリング１０のスプリング力によって軸線方向の一方側（開弁作動方向）に移動させられて開弁する（開弁状態）。この第２バルブ７の開弁時には、樹脂ハウジング５の弁座より離座して弁孔４３を開放する。また、第２バルブ７は、第１バルブ６の閉弁時に、第１バルブ６と共にリターンスプリング３０のスプリング力によって軸線方向の他方側（閉弁作動方向）に移動させられて閉弁する（閉弁状態）。この第２バルブ７の閉弁時には、樹脂ハウジング５の弁座に着座して弁孔４３を閉塞する。
【００５４】
そして、第２バルブ７の図示右側部は、階段状（多段円環状）に形成されている。この第２バルブ７の図示右側部の円環状端面（第２バルブ７の開弁時に樹脂ハウジング５の弁座に所定の隙間を隔てて対向する円環状端面）には、円環状の周方向溝７１が形成されている。また、第２バルブ７の図示左側部は、円環状（単段円環状）に形成されている。この第２バルブ７の図示左側部の円環状端面（第１バルブ６の開弁時に第１バルブ６の樹脂シール部６１に所定の隙間を隔てて対向する円環状端面）には、円環状の周方向溝７２が形成されている。
【００５５】
また、第２バルブ７の中央部の内周部には、この第２バルブ７の図示左側部の円環状端面と図示右側部の円環状端面とを連通する連通路７３が形成されている。この連通路７３は、第２バルブ７の中心軸線を中心とする円形穴であって、第２バルブ７が樹脂ハウジング５のバルブシート部８より離座する前に、第１バルブ６が開弁した際（第１バルブ６の開弁時）、樹脂ハウジング５の弁座よりも流体の流れ方向の上流側に位置するバルブ室４２と、樹脂ハウジング５の弁座よりも流体の流れ方向の下流側に位置する流体流路４４とを連通する。
【００５６】
また、本実施例の連通路７３の上流端は、連通路７３よりも孔径の大きい円形状の凹状部７４の底面で開口している。この凹状部７４は、バルブシャフト２８の軸線方向の先端部（他端部）との干渉を防ぐことが可能である。さらに、第２バルブ７の内部には、周方向溝７１の底面と周方向溝７２の底面とを連通する貫通孔７５が形成されている。この貫通孔７５は、第２バルブ７の連通路７３よりも図示下方側に偏芯した位置で、第２バルブ７を軸線方向（板厚方向）に貫通している。また、第２バルブ７の外周部には、樹脂ハウジング５の複数個のバルブガイド５３に摺動自在に嵌合する嵌合部（円筒形状のリブ部）７６が一体的に形成されている。この嵌合部７６は、第２バルブ７の外周面から半径方向の外径側に突出するように略円筒状に設けられている。
【００５７】
なお、本実施例の嵌合部７６は、第２バルブ７の外周面から半径方向の外径側に突出するように設けられた円環状のフランジ部、およびこのフランジ部の外周端より軸線方向（電磁駆動部２側）に延長された円筒状の最外径部（円筒部、摺動部）等によって構成されている。そして、嵌合部７６は、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部との相対移動が可能なように、複数個のバルブガイド５３の内周面（内径面）に所定のクリアランス（摺動隙間：例えば０．３〜０．７μｍ程度、望ましくは０．５μｍ程度）を介して嵌合保持されている。これにより、第２バルブ７の嵌合部７６の最外径部の外径面は、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部のバルブ摺動部、特に複数個のバルブガイド５３の内径面に摺動自在に支持されている。
【００５８】
そして、本実施例では、第２バルブ７と樹脂ハウジング５の弁座（第２バルブシート）との間の気密保持性能を高める目的で、また、第１バルブ６と第２バルブ７の弁座（第１バルブシート）との間の気密保持性能を高める目的で、第２バルブ７の各円環状端面および内部に、耐久性および造形性に優れ、柔軟に弾性変形する特性（柔軟性があり、弾性変形力に富む特性）を有するゴム系弾性体（ゴム材料、ゴム基材：例えばフッ素ゴムまたはシリコンゴム等）よりなるモールドゴム（シールゴム、ゴム成形部）９がモールド成形されている。
【００５９】
ここで、本実施例のモールドゴム９は、第２バルブ７の図示右側部の円環状端面（受圧面に対して逆側面）に形成された周方向溝７１内にモールド成形された円環状のゴムシール部９１、第２バルブ７の図示左側部の円環状端面（受圧面）に形成された周方向溝７２内にモールド成形された円環状のゴムシート部９２、および第２バルブ７の内部に形成された貫通孔７５内に充填されたゴム充填部９３等を有している。これらは、第２バルブ７を射出成形して冷却した後に、射出成形金型内に第２バルブ７を入れて、第２バルブ７を射出成形金型の一部として使用して、樹脂化された第２バルブ７の両側の円環状端面および第２バルブ７の内部にモールドゴム９をゴムモールド（モールド成形）することで形成（保持固定または溶着固定）される。なお、ゴム充填部９３は、ゴムシール部９１とゴムシート部９２とを繋げるゴム連結部として機能する。
【００６０】
ゴムシール部９１は、樹脂ハウジング５のバルブシート部８に着座、離座して弁孔４３を閉塞、開放する弾性シール部である。なお、本実施例では、周方向溝７１内に充填（保持固定または溶着固定）されているゴムシール部９１の円環状部分（基部）の表面が第２バルブ７の図示右側部の円環状端面と同一平面上に位置しているが、ゴムシール部９１の円環状部分（基部）の表面が第２バルブ７の図示右側部の円環状端面よりも突出していても、凹んでいてもどちらでも構わない（図１参照）。
【００６１】
また、ゴムシール部９１の表面には、樹脂ハウジング５のバルブシート部８との間の気密性（密着性）を高めるための略円環状のシールリップ部９４が設けられている。このシールリップ部９４は、ゴムシール部９１の表面から所定の突出量（例えば１ｍｍ程度）だけ、樹脂ハウジング５の弁座側に突き出すように設けられている。そして、シールリップ部９４は、全方位に渡って柔軟に弾性変形する特性を有し、仮に樹脂ハウジング５のバルブシート部８の表面に細かい凸凹があっても確実に封止（シール）することが可能である。
【００６２】
ゴムシート部９２は、第１バルブ６の樹脂シール部６１が着座、離座して連通路７３を閉塞、開放する弾性シート部である。なお、本実施例では、周方向溝７２内に充填（保持固定または溶着固定）されているゴムシート部９２の円環状部分（基部）の表面が第２バルブ７の図示左側部の円環状端面と同一平面上に位置しているが、ゴムシート部９２の円環状部分（基部）の表面が第２バルブ７の図示左側部の円環状端面よりも突出していても、凹んでいてもどちらでも構わない。
【００６３】
また、ゴムシート部９２の表面には、第１バルブ６の樹脂シール部６１との間の気密性（密着性）を高めるための略円環状のシールリップ部９５が設けられている。このシールリップ部９５は、ゴムシート部９２の表面から所定の突出量（例えば１ｍｍ程度）だけ、第１バルブ６の樹脂シール部６１側に突き出すように設けられている。そして、シールリップ部９５は、全方位に渡って柔軟に弾性変形する特性を有し、仮に第１バルブ６の樹脂シール部６１の表面に細かい凸凹があっても確実に封止（シール）することが可能である。
【００６４】
ここで、本実施例のモールドゴム９のゴムシール部９１の表面（周方向溝７１より外側に露出して流体内に晒される露出面、ゴム成形部の表面）、および第２バルブ７の図示右側部の円環状端面（樹脂成形部の表面）には、表面が平滑で膜厚が薄く、しかも気密性、非粘着性に優れるＤＬＣ被膜（表面処理被膜）９６が薄膜形成されている。また、本実施例のモールドゴム９のゴムシート部９２の表面（周方向溝７２より外側に露出して流体内に晒される露出面、ゴム成形部の表面）、および第２バルブ７の図示左側部の円環状端面（樹脂成形部の表面）には、表面が平滑で膜厚が薄く、しかも気密性、非粘着性に優れるＤＬＣ被膜（表面処理被膜）９７が薄膜形成されている。ここで、ＤＬＣ被膜９６、９７は、耐摩耗性にも優れ低摩擦係数の表面処理被膜であって、メタン、エタン等の炭化水素を原料ガスとしてＣＶＤ法を用いて、第２バルブ７の両円環状端面上およびモールドゴム９の表面上に被覆（コーティング）される。
【００６５】
なお、ＣＶＤ法として、フィラメントに通電しその熱によって原料ガスを励起するフィラメント熱ＣＶＤ法、高周波または抵抗加熱ヒータによってサセプタを加熱し原料ガスを励起する熱ＣＶＤ法、高周波、直流によって電極間にプラズマを発生させプラズマによって原料ガスを励起するプラズマＣＶＤ法、マイクロ波によって原料ガスを励起するマイクロ波プラズマＣＶＤ法、ランプによって原料ガスを光励起する光ＣＶＤ法等を用いても良い。これら以外にも、原料ガスを励起する方法として、紫外線励起法、電子線励起法等を用いても良い。また、ＤＬＣ被膜９６、９７を薄膜形成法を用いて、第２バルブ７の両円環状端面上およびモールドゴム９の表面上にコーティングしても良い。なお、樹脂成形部およびゴム成形部は、高温に耐え難いので、比較的に低温で行える薄膜形成方法を用いることが望ましい。この場合には、プラズマＣＶＤ法、スパッタリング法、イオンプレーティング法を用いる。
【００６６】
また、第２バルブ７の両円環状端面およびモールドゴム９の表面とＤＬＣ被膜９６、９７との密着性を強化して、容易にＤＬＣ被膜９６、９７が剥離しないように、第２バルブ７の両円環状端面およびモールドゴム９の表面への薄膜形成を実施する前処理として、第２バルブ７の両円環状端面およびモールドゴム９の表面に紫外線照射、電子線照射、プラズマ処理を実施しても良い。そして、上記の方法で、第２バルブ７の両円環状端面およびモールドゴム９の表面上に薄膜形成されたＤＬＣ被膜９６、９７の硬度（ビッカース硬さ）は、図７のグラフに示したように、ＤＬＣ被膜９６、９７の摩耗量と気密漏れ量との両立範囲であるＨｖ５０〜５００程度とされている。また、第２バルブ７の両円環状端面およびモールドゴム９の表面上に薄膜形成されたＤＬＣ被膜９６、９７の硬度（ビッカース硬さ）は、Ｈｖ１００〜２００程度が最も望ましい。なお、ＤＬＣ被膜９６、９７の膜厚は、０．４０〜１．００μｍである。
【００６７】
コイルスプリング１０は、第２バルブ７を開弁方向、つまり軸線方向の一方側（第１バルブ６側）に付勢する付勢力（スプリング力、ばね荷重）を発生するバルブ付勢手段である。このコイルスプリング１０の軸線方向の一端は、モールドゴム９のゴムシール部９１近傍、つまり第２バルブ７のバルブ側フックに保持され、また、コイルスプリング１０の軸線方向の他端は、樹脂ハウジング５の弁座（バルブシート部８）近傍、つまり樹脂ハウジング５の立壁部（弁座）の内周部に設けられたハウジング側フックに保持されている。なお、コイルスプリング１０の軸線方向の一端側は、第２バルブ７の図示右側部の円環状端面より軸線方向の他方側（弁孔４３側）に突出した円筒状のスプリング内周ガイド部７７の外周に嵌め合わされている。
【００６８】
［実施例１の作用］
次に、本実施例の電磁弁１の作用を図１ないし図７に基づいて簡単に説明する。
【００６９】
電磁弁１の電磁駆動部２のソレノイドコイル３が通電されると、ソレノイドコイル３に起磁力が発生し、マグネチックプレート２５、ステータコア２６、ヨーク２７およびムービングコア２９が磁化される。これにより、ムービングコア２９がステータコア２６の吸引部に吸引されるため、バルブシャフト２８を介してムービングコア２９に固定された第１バルブ６が、ベローズ６２を収縮させながら、リターンスプリング３０のスプリング力に抗して軸線方向の一方側（図示左方向）に移動する。この第１バルブ６のベローズ６２が収縮する際には、第１バルブ６のベローズ６２の内部の円筒状空間内の空気が電磁駆動部２の各孔、圧力抜き孔３４、ホース３７を経由してバイパス流路２３（または流体流路４４）に抜けるため、第１バルブ６の開弁方向への移動が円滑になされる。
【００７０】
これによって、第１バルブ６の樹脂シール部６１が、第２バルブ７にモールド成形されたモールドゴム９のゴムシート部９２より離座することで、第２バルブ７内部に形成された連通路７３が開放される。すると、樹脂ハウジング５の弁座よりも蒸発燃料等の流体の流れ方向の上流側（燃料タンク１２側）に位置する流体流路４１およびバルブ室４２と、樹脂ハウジング５の弁座よりも蒸発燃料等の流体の流れ方向の下流側（キャニスタ１３側）に位置する弁孔４３および流体流路４４とが、第２バルブ７の連通路７３を介して連通状態となる。これにより、燃料タンク１２側の圧力（流体流路４１およびバルブ室４２内の圧力）が、キャニスタ１３側の圧力（弁孔４３および流体流路４４内の圧力）と等しくなるように低下して行く。
【００７１】
ここで、第２バルブ７の開弁圧は、第２バルブ７の図示左側部の円環状端面（受圧面）に作用する受圧力（シール径×閉弁方向に作用する圧力）とコイルスプリング１０のスプリング力との関係に基づいて設定されている。このため、燃料タンク１２側の圧力、あるいは流体流路４１およびバルブ室４２内の圧力が開弁圧まで低下すると、コイルスプリング１０のスプリング力によって軸線方向の一方側に移動して第２バルブ７が開弁する。これによって、第２バルブ７にモールド成形されたモールドゴム９のゴムシール部９１が、樹脂ハウジング５のバルブシート部８より離座することで、樹脂ハウジング５の弁座の内部に形成された弁孔４３が開放（全開）される。したがって、燃料タンク１２内で蒸発気化（揮発化）した蒸発燃料等の流体が接続配管１５の上流側部を通って電磁弁１内に流入する。そして、蒸発燃料等の流体は、入口ポート→流体流路４１→バルブ室４２→弁孔４３→流体流路４４→出口ポートを通って接続配管１５の下流側部に流入して、キャニスタ１３内の吸着体に吸着される。
【００７２】
一方、リリーフ弁１１は、燃料タンク１２側の圧力が所定値（キャニスタ１３側の圧力）よりも高圧となった場合に、スプリングのスプリング力に抗してダイヤフラムが変位して、ダイヤフラムと弁体とを連結するバルブシャフトが軸方向に移動して、弁体が弁座より離座して弁孔を開く。また、リリーフ弁１１は、燃料タンク１２側の圧力が所定値（キャニスタ１３側の圧力）以下の低圧となった場合に、スプリングのスプリング力によってダイヤフラムが変位して、バルブシャフトが軸方向に移動して、弁体が弁座に着座して弁孔を閉じる。これにより、電磁弁１の第１、第２バルブ６、７が弁孔４３を閉じている時に、燃料タンク１２内の液体燃料が蒸発気化して燃料タンク１２内の圧力が上昇した場合でも、電磁弁１内に流入した蒸発燃料等の流体は、入口ポート→流体流路４１→バルブ室４２→バイパス流路２２→リリーフ弁１１の弁孔→バイパス流路２３→流体流路４４→出口ポートを経てキャニスタ１３に向かうため、燃料タンク１２内の圧力の上昇に伴う配管接続部からの蒸発燃料等の流体の漏れを防止することができる。
【００７３】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例の電磁弁１においては、樹脂化された第２バルブ７の両円環状端面の周方向溝７１、７２内および貫通孔７５内にモールドゴム９をモールド成形している。そして、その第２バルブ７の両円環状端面上およびモールドゴム９の表面上に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００（望ましくはＨｖ１００〜２００）のＤＬＣ被膜９６、９７を例えばプラズマＣＶＤ法を用いて薄膜形成している。これにより、ＤＬＣ被膜９６、９７の硬度を、厳しい低温気密性を必要とする第２バルブ７のゴムシール部９１およびゴムシート部９２として適用可能な範囲内に収めることができる。
【００７４】
また、モールドゴム９のゴムシール部９１の表面処理被膜としてＤＬＣ被膜９６を採用したのに対して、樹脂ハウジング５の弁座に金属材料（例えばステンレス鋼等）よりなるバルブシート部８を設け、更にこのバルブシート部８の表面に非粘着剤４７をコーティングしている。これにより、樹脂ハウジング５のバルブシート部８に対してモールドゴム９のゴムシール部９１が着座および離座を繰り返しても、樹脂ハウジング５のバルブシート部８の表面にコーティングされた非粘着剤４７の非粘着効果（潤滑効果）によって、モールドゴム９のゴムシール部９１の表面に薄膜形成されたＤＬＣ被膜９６の摩耗量を少なくすることができる。
【００７５】
したがって、モールドゴム９のゴムシール部９１と樹脂ハウジング５のバルブシート部８との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜９６の非粘着性の維持とを両立させることができる。また、第１バルブ６の樹脂シール部６１とモールドゴム９のゴムシート部９２との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜９７の非粘着性の維持とを両立させることができる。さらに、モールドゴム９のゴムシール部９１が樹脂ハウジング５のバルブシート部８に対して着座、離座を繰り返しても、モールドゴム９のゴムシール部９１と樹脂ハウジング５の弁座との間の耐摩耗性および気密性が低下することはなく、厳しい低温気密性を必要とし、且つ圧力感応弁として機能する第２バルブ７のモールドゴム９のゴムシール部９１の表面に薄膜形成されたＤＬＣ被膜９６の耐久性および信頼性を向上させることができる。また、第１バルブ６の樹脂シール部６１がモールドゴム９のゴムシート部９２に対して着座、離座を繰り返しても、第１バルブ６の樹脂シール部６１と第２バルブ７の弁座との間の耐摩耗性および気密性が低下することはなく、第２バルブ７のモールドゴム９のゴムシート部９２の表面に薄膜形成されたＤＬＣ被膜９７の耐久性および信頼性を向上させることができる。
【００７６】
また、本実施例の電磁弁１では、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部の内周面が周方向に向かって等間隔で凸部と凹部とが繰り返されるような内歯歯車形状とされているので、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部の内周面と第２バルブ７の嵌合部７６の外周面（外径面）との接触面積を減少させることができる。したがって、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部と第２バルブ７の嵌合部７６との間の相対運動における摺動抵抗を大幅に低下させることができる。これにより、第２バルブ７を円滑に開閉動作させることができるので、第２バルブ７の動作不良の発生を防止することができる。
【実施例２】
【００７７】
図８および図９は本発明の実施例２を示したもので、図８は電磁弁の主要構造を示した図で、図９は電磁弁の第２バルブの全体構造を示した図である。
【００７８】
本実施例では、第２バルブ７の図示右側部の円環状端面にモールド成形されるモールドゴム９の、シールリップ部９４を含むゴムシール部９１の表面上に、ビッカース硬さがＨｖ１００〜２００のＤＬＣ被膜９６を例えばプラズマＣＶＤ法を用いて薄膜形成している。なお、ＤＬＣ被膜９６は、第２バルブ７の図示右側部の円環状端面の、ゴムシール部９１よりも半径方向の外径側および内径側の両方の表面（樹脂成形部の表面）にも例えばプラズマＣＶＤ法を用いて薄膜形成されている。
【００７９】
また、本実施例では、第２バルブ７の図示左側部の円環状端面にモールド成形されるモールドゴム９の、シールリップ部９５を含むゴムシート部９２の表面上に、ビッカース硬さがＨｖ１００〜２００のＤＬＣ被膜９７を例えばプラズマＣＶＤ法を用いて薄膜形成している。なお、ＤＬＣ被膜９７は、第２バルブ７の図示左側部の円環状端面の、ゴムシート部９２よりも半径方向の外径側および内径側の両方の表面（樹脂成形部の表面）にも例えばプラズマＣＶＤ法を用いて薄膜形成されている。なお、本実施例では、複数個のバルブガイド５３を廃止している。
【実施例３】
【００８０】
［実施例３の構成］
図１０ないし図１２は本発明の実施例３を示したもので、図１０は蒸発燃料処理装置の全体構成を示した図で、図１１は電磁式流量制御弁の全体構造を示した図で、図１２は電磁式流量制御弁の主要構造を示した図である。
【００８１】
本実施例の電磁弁２１は、圧力作動式（メカ式、ダイヤフラム式）の流体圧力制御弁４０と共に、自動車等の車両の燃料タンク１２内で蒸発気化（揮発）した蒸発燃料（ガソリンベーパ、エバポガス）等の流体を、キャニスタ１３を経由して、例えばガソリンエンジン等の内燃機関（以下エンジンと呼ぶ）のエンジン吸気管１４内に吸気管負圧を利用して導入（パージ）することで、蒸発燃料等の流体が大気中へ放出されることを防止する蒸発燃料処理装置に組み込まれている。この蒸発燃料処理装置は、燃料タンク１２とキャニスタ１３のエバポガスポートとが流体流路管（空気流路管）を構成する接続配管１５を介して連通し、キャニスタ１３のパージポートとエンジン吸気管１４とが流体流路管（空気流路管）を構成する接続配管１６を介して連通している。
【００８２】
接続配管１５内には、燃料タンク１２内で揮発した蒸発燃料等の流体を流体圧力制御弁４０を経由してキャニスタ１３に導くための空気流路（パージ通路、蒸発燃料流路）が形成されている。また、接続配管１６内には、キャニスタ１３に吸着された蒸発燃料等の流体を電磁弁２１を経由してエンジン吸気管１４に導くための空気流路（パージ通路、蒸発燃料流路）が形成されている。
【００８３】
電磁弁２１は、蒸発燃料処理装置の接続配管１６の途中に設置されて、蒸発燃料等の流体をキャニスタ１３からエンジン吸気管１４内に導入するパージ流量を制御する常閉型の電磁式流体流量制御弁としてのパージデューティＶＳＶ（バキューム・スイッチング・バルブ）である。この電磁弁２１は、電磁弁駆動回路を介してエンジン制御ユニット（ＥＣＵ）によって電磁弁２１のソレノイドコイル２０１を通電する時間を制御することで、蒸発燃料等の流体をキャニスタ１３からエンジン吸気管１４内に導入するパージ流量を制御している。ここで、ＥＣＵは、周知の構造のマイクロコンピュータを内蔵し、電磁弁２１のソレノイドコイル２０１を通電する時間（オン時間とオフ時間との比：デューティ比）を制御することで、蒸発燃料等の流体のパージ流量が制御される。
【００８４】
そして、電磁弁２１は、蒸発燃料処理装置の接続配管１６の途中に接続された流体流路管の一部を成すハウジング２０２と、このハウジング２０２の内部に開閉自在に収容されたゴムバルブ（弁体）２０３と、このゴムバルブ２０３に対して、ゴムバルブ２０３をハウジング２０２の弁座に押し付ける方向に付勢力（スプリング荷重）を与えるコイルスプリング（荷重付与手段）２０４とを備えている。そして、電磁弁２１は、通電されると磁気吸引力（起磁力）を発生するソレノイドコイル２０１を有し、このソレノイドコイル２０１の磁気吸引力を利用してゴムバルブ２０３を開弁作動方向に駆動するバルブ駆動装置（以下電磁駆動部と呼ぶ）２０５を備えている。
【００８５】
ハウジング２０２は、例えば熱可塑性樹脂等の樹脂材料（例えばＰＰＳまたはＰＢＴまたはＰＡ等の耐熱性樹脂）によって一体的に形成されている。このハウジング２０２は、内部にゴムバルブ２０３を開閉自在に収容すると共に、コイルスプリング２０４のスプリング荷重によってゴムバルブ２０３が押し付けられる弁座２１０を有するバルブシート２０６と、ソレノイドコイル２０１を含むコイルアッセンブリを被覆して保護するコイルケース２０７とによって構成されている。ここで、弁座２１０は、ゴムバルブ２０３の後述するゴムシール部２４２が密着して着座することが可能なバルブシート部である。そして、弁座２１０は、ゴムバルブ２０３の軸線方向の動作範囲を規制する規制面として利用されている。これにより、ゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２が弁座２１０に着座した際にゴムバルブ２０３等の可動部材のこれ以上の軸線方向の他方側（閉弁作動方向）への動作が規制される。
【００８６】
バルブシート２０６には、キャニスタ１３のパージポート側で開口する円管状のインレットポート２１１から弁座２１０で開口する流体通過口（弁孔、流路孔）２１２近傍に向けて途中で略直角に屈曲するＬ字状流路２１３を形成するインレットパイプ（入口側流体流路管）２１４と、弁孔２１２からエンジン吸気管１４の合流部側で開口するアウトレットポート２１５に向けて途中で略直角に屈曲するＬ字状流路２１６を形成する円管状のアウトレットパイプ（出口側流体流路管）２１７と、外周にソレノイドコイル２０１が巻装される円筒状のコイルボビン２１９とが一体的に形成されている。
【００８７】
なお、Ｌ字状流路２１６は、エンジン吸気管１４と弁孔２１２とを連通すると共に、弁座２１０からエンジン吸気管１４側に向けて延びる流体流路を構成している。そして、コイルケース２０７は、１次成形品であるバルブシート２０６およびソレノイドコイル２０１の外周に２次成形される２次成形品である。このコイルケース２０７の外周部には、ソレノイドコイル２０１に励磁電流を供給するための一対の外部接続端子（ターミナル）２２０を保持する筒状のコネクタシェル（雄型コネクタ部）２２１が一体的に形成されている。
【００８８】
電磁駆動部２０５は、励磁電流を供給することにより磁気吸引力（起磁力）を発生する電磁式アクチュエータであって、通電されると周囲に磁束を発生するソレノイドコイル２０１と、ソレノイドコイル２０１により励磁されるステータコア２３１、ヨーク２３２およびマグネチックプレート２３３等の固定コアと、ソレノイドコイル２０１および固定コアと共に磁気回路を形成するムービングコア（可動コア）２３４とによって構成されている。
【００８９】
ステータコア２３１は、磁性材料によって円柱状に形成されており、ソレノイドコイル２０１の通電時に磁化されて電磁石となり、そのステータコア２３１の先端部にムービングコア２３４を軸線方向の一方側に吸引するための吸引部を有している。この吸引部は、ゴムバルブ２０３およびムービングコア２３４等の可動部材の軸線方向の移動距離を規制する規制部（ストッパ）としても機能する。このストッパは、ゴムバルブ２０３およびムービングコア２３４等の可動部材の軸線方向の一方側（開弁作動方向）への移動距離（リフト量）がフルリフト量（最大リフト量）に到達した際に、ゴムバルブ２０３またはムービングコア２３４を係止して、これ以上の開弁作動方向への可動部材の移動を規制する規制面である。なお、本実施例では、固定コアを、ステータコア２３１、ヨーク２３２およびマグネチックプレート２３３等によって構成しているが、固定コアをステータコア２３１のみによって構成しても良い。また、ステータコア２３１にヨーク２３２またはマグネチックプレート２３３のいずれか一方を組み合わせて固定コアを構成しても良い。
【００９０】
ムービングコア２３４は、磁性材料によってカップ状（底付きの円筒状）に形成されており、ソレノイドコイル２０１の通電時に磁化されて電磁石となり、ステータコア２３１の吸引部に吸引される。また、ムービングコア２３４は、ソレノイドコイル２０１への励磁電流の供給が成されていない時に、コイルスプリング２０４のスプリング荷重によって、ゴムバルブ２０３をバルブシート２０６のアウトレットパイプ２１７の弁孔２１２の開口周縁部である弁座（バルブシート部）２１０に押し付ける方向にゴムバルブ２０３に荷重を与える荷重付与手段としても機能する。
【００９１】
また、ムービングコア２３４は、バルブシート２０６の内周（またはマグネチックプレート２３３の円筒状部の内周）とアウトレットパイプ２１７の外周との間に形成されるＬ字状流路２１３の一部を成す円筒状空間２２２の内部に軸線方向に移動自在に配設された円筒部を有している。そして、この円筒部の軸線方向の一方側（ステータコア側）に設けられる円環板状の底部（閉塞部）には、この閉塞部を軸線方向に貫通する貫通孔２３６が形成されている。
【００９２】
ゴムバルブ２０３は、例えばフッ素ゴムまたはシリコンゴム等のゴム系弾性体（シールゴム）よりなるゴム製品であって、電磁駆動部２０５のムービングコア２３４に一体的に組み付けられている。このゴムバルブ２０３は、ムービングコア２３４の閉塞部にゴムモールド（モールド成形）またはゴムプリントまたは焼き付けまたは圧入嵌合されている。また、ゴムバルブ２０３は、Ｌ字状流路２１３とアウトレットパイプ２１７の弁孔２１２との間に形成される円形状空間（バルブ室）２２３内を軸線方向に往復直線運動を行うように設けられている。そして、ゴムバルブ２０３は、ムービングコア２３４の閉塞部の図示左端面（軸線方向の一端面）に設けられた円板状のゴムクッション部２４１、ムービングコア２３４の閉塞部の図示右端面（軸線方向の他端面）に設けられた断面半球状のゴムシール部（弁座２１０に密着して着座可能なバルブシート部）２４２、およびムービングコア２３４の閉塞部の貫通孔２３６内に装着または充填されたゴム充填部２４３等を有している。
【００９３】
本実施例のゴムバルブ２０３のゴムクッション部２４１は、ゴムバルブ２０３がステータコア２３１のストッパ（規制面）に当接した際の衝撃を吸収するダンパー効果を有すると共に、ステータコア２３１のストッパに対してムービングコア２３４が当接した際の当接音を低減させるために設けられている。また、本実施例のゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２の表面には、表面が平滑で膜厚が薄く、しかも気密性、非粘着性に優れるＤＬＣ被膜（表面処理被膜：図示せず）が薄膜形成されている。ここで、ＤＬＣ被膜は、耐摩耗性にも優れた低摩擦係数の表面処理被膜であって、メタン、エタン等の炭化水素を原料ガスとしてＣＶＤ法を用いて、ゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２の表面上に被覆（コーティング）される。
【００９４】
また、ゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２の表面上に薄膜形成されたＤＬＣ被膜の硬度（ビッカース硬さ）は、実施例１と同様に、ＤＬＣ被膜の摩耗量と気密漏れ量との両立範囲であるＨｖ５０〜５００程度とされている。また、ゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２の表面上に薄膜形成されたＤＬＣ被膜の硬度（ビッカース硬さ）は、Ｈｖ１００〜２００程度が最も望ましい。なお、ＤＬＣ被膜の膜厚は、実施例１と同様に、０．４０〜１．００μｍである。
【００９５】
［実施例３の特徴］
本実施例の蒸発燃料処理装置に使用される電磁弁２１の開閉動作部分は、ゴム製品（ゴム系弾性体）であるゴムバルブ２０３と、樹脂製品であるハウジング２０２のバルブシート２０６（特にアウトレットパイプ２１７）とで構成されているが、ガソリンベーパ雰囲気では、樹脂材料（耐熱性樹脂）およびゴム材料に含まれる添加剤の低分子量成分（粘着性物質）または樹脂材料（耐熱性樹脂）に含まれる添加剤の低分子量成分（粘着性物質）が抽出され易く、それらの粘着性物質は電磁弁２１の車両への搭載方向によっては、重力によって流れ落ち、バルブ全閉時（バルブ閉弁時）にゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２とバルブシート２０６の弁座２１０との当接部に付着して堆積したり、ゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２とバルブシート２０６の弁座２１０との間に跨がって滞留したりして、バルブシート２０６の弁座２１０に対してゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２が粘着して動作不良や固着故障が発生し易くなる。
【００９６】
そこで、本実施例の電磁弁２１においては、ゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２の表面上にＤＬＣ被膜を薄膜形成している。また、ゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２の表面上に薄膜形成するＤＬＣ被膜のビッカース硬さを、Ｈｖ５０〜５００（望ましくはＨｖ１００〜２００）としているので、ＤＬＣ被膜の硬度が、厳しい低温気密性を必要とするゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２として適用可能な範囲内に収まる。これによって、ガソリンベーパ雰囲気環境下で、ゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２とバルブシート２０６の弁座２１０との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることができる。また、ゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２とバルブシート２０６の弁座２１０との間の耐摩耗性および気密性が向上し、厳しい低温気密性を必要とするゴムバルブ２０３のゴムシール部２４２の表面上に薄膜形成されるＤＬＣ被膜の耐久性および信頼性を向上させることができる。
なお、ゴムバルブ２０３の表面全体にＤＬＣ被膜を薄膜形成しても良い。また、ゴムバルブ２０３の表面全体にＤＬＣ被膜を薄膜形成した後にムービングコア２３４に組み付けても良い。
【実施例４】
【００９７】
［実施例４の構成］
図１３および図１４は本発明の実施例４を示したもので、図１３は流路開閉弁の全体構造を示した図で、図１４は流路開閉弁の主要構造を示した図である。
【００９８】
本実施例の流体圧力制御弁４０は、図１０に示したように、蒸発燃料処理装置の接続配管１５の途中に設置されて、燃料タンク１２の内部圧力およびキャニスタ１３の内部圧力を調整して燃料タンク１２およびキャニスタ１３を保護することで、蒸発燃料処理装置からの蒸発燃料の漏洩を防止するためのメカ式（ダイヤフラム式）の圧力作動弁である。この流体圧力制御弁４０は、常閉型の圧力作動弁であって、樹脂カバー３０１との間にダイヤフラム室を形成するハウジング３０２と、このハウジング３０２に一体的に形成された円管状のバルブシート３０３と、ハウジング３０２の内部に開閉自在に収容されたダイヤフラム一体型バルブ（以下ダイヤフラムバルブと呼ぶ）３０４と、このダイヤフラムバルブ３０４に対して、ダイヤフラムバルブ３０４をバルブシート３０３の弁座に押し付ける方向に付勢力（スプリング荷重）を与えるコイルスプリング（荷重付与手段）３０５とを備えている。
【００９９】
樹脂カバー３０１は、例えば熱可塑性樹脂等の樹脂材料（例えばＰＰＳまたはＰＢＴまたはＰＡ等の耐熱性樹脂）によって一体的に形成されている。この樹脂カバー３０１は、ハウジング３０２の開口側に気密的に結合されている。そして、樹脂カバー３０１の内部には、ダイヤフラムバルブ３０４により区画形成された第１圧力室３１１が形成されている。また、樹脂カバー３０１の天井壁には、ダイヤフラムバルブ３０４側に突出した突起部３１９が設けられている。この突起部３１９は、ダイヤフラムバルブ３０４の軸線方向（板厚方向）の移動距離を規制する規制部（ストッパ）としても機能する。このストッパは、ダイヤフラムバルブ３０４の軸線方向の一方側（図示上方、開弁作動方向）への移動距離（リフト量）がフルリフト量（最大リフト量）に到達した際に、ダイヤフラムバルブ３０４を係止して、これ以上の開弁方向へのダイヤフラムバルブ３０４の移動を規制する規制面である。
【０１００】
また、ハウジング３０２は、例えば熱可塑性樹脂等の樹脂材料（例えばＰＰＳまたはＰＢＴまたはＰＡ等の耐熱性樹脂）によって一体的に形成されている。このハウジング３０２は、外径側円筒部と、この外径側円筒部の半径方向の内径側に位置するバルブシート３０３とによって二重管を構成しており、外径側円筒部の内周とバルブシート３０３の外周との間に円筒状の第２圧力室３１２が形成されている。ここで、第１圧力室３１１は、大気中に連通しており、また、第２圧力室３１２は、円管状のインレットパイプ３１３内に形成されるインレットポート（直線状流路、流体流路）３１４を介して、燃料タンク１２の内部に連通している。また、第２圧力室３１２は、円管状の連通管３１５内に形成されるセンシングポート３１６を介して、燃料タンク１２内の圧力（タンク内圧）を検出する圧力センサ（タンク内圧センサ：図示せず）に接続されている。
【０１０１】
また、バルブシート３０３の図示上端部には、内部に流路孔（弁孔、流体通過口）３１７が形成された円環状の弁座（流路孔３１７の開口周縁部）３１０が一体的に形成されている。ここで、弁座３１０は、ダイヤフラムバルブ３０４の後述するバルブシール部３３１が密着して着座することが可能なバルブシート部である。そして、弁座３１０は、ダイヤフラムバルブ３０４の軸線方向の動作範囲を規制する規制面として利用されている。これにより、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１が弁座３１０に着座した際にダイヤフラムバルブ３０４のこれ以上の軸線方向の他方側（閉弁作動方向）への動作が規制される。そして、バルブシート３０３の内部には、流路孔３１７とキャニスタ１３のエバポガスポートとを連通すると共に、弁座３１０からキャニスタ１３のエバポガスポート側で開口したアウトレットポート３２１に向けて真っ直ぐに延びる流体流路３２０が形成されている。
【０１０２】
ここで、本実施例のバルブシート３０３の内部には、ダイヤフラムバルブ３０４によって開閉される流路孔３１７を含む流体流路３２０に並列して、第２圧力室３１２とアウトレットポート３２１とを直接連通する流体流路３２２が形成されている。そして、この流体流路３２２の開口側（図示上端側）には、キャニスタ１３側の圧力が燃料タンク１２側の圧力に比べて十分に高圧となった場合に開弁するリリーフ弁（圧力調整弁）３０６が配設されている。このリリーフ弁３０６は、内部に弁孔３２３が形成された円環板状のバルブシート３２４、このバルブシート３２４に対して着座、離脱（離座）して弁孔３２３を閉鎖（閉塞）、開放するボールバルブ（ボール弁）３２５、このボールバルブ３２５に対して、ボールバルブ３２５をバルブシート（弁孔３２３の開口周縁部）３２４に押し付ける方向に付勢力（スプリング荷重）を与えるコイルスプリング３２６、ボールバルブ３２５のフルリフト量を規制するストッパ３２７等によって構成されている。なお、ストッパ３２７には、スプリング室３２８と第２圧力室３１２とを連通する複数の連通孔３２９が形成されている。
【０１０３】
ダイヤフラムバルブ３０４は、例えばフッ素ゴムまたはシリコンゴム等のゴム系弾性体よりなるゴム製品であって、バルブシート３０３の弁座３１０に対して着座、離脱（離座）して流路孔３１７を閉鎖（閉塞）、開放するゴムバルブ（シールゴム）である。このダイヤフラムバルブ３０４には、バルブ全閉時にバルブシート３０３の弁座３１０に着座して流路孔３１７を閉鎖するためのバルブシール部３３１、およびこのバルブシール部３３１の周囲を周方向に取り囲むように配設された薄膜状のダイヤフラム部３３２が一体的に形成されている。バルブシール部３３１は、円環板状のダイヤフラム部３３２の中央部に板厚方向の両側に突出するように設けられている。ダイヤフラム部３３２の外周縁部は、樹脂カバー３０１の結合部とハウジング３０２の結合部との間に挟み込まれて組み付けられている。また、ダイヤフラムバルブ３０４は、ダイヤフラム室を２つの第１、第２圧力室３１１、３１２に気密的に区画形成している。そして、ダイヤフラムバルブ３０４の図示上端面には、コイルスプリング３０５のスプリング荷重を受け止めるスプリングガイド３３３が固定されている。
【０１０４】
本実施例のダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１の表面には、表面が平滑で膜厚が薄く、しかも気密性、非粘着性に優れるＤＬＣ被膜（表面処理被膜：図示せず）が薄膜形成されている。ここで、ＤＬＣ被膜は、耐摩耗性にも優れた低摩擦係数の表面処理被膜であって、メタン、エタン等の炭化水素を原料ガスとしてＣＶＤ法を用いて、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１の表面上に被覆（コーティング）される。また、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１の表面上に薄膜形成されたＤＬＣ被膜の硬度（ビッカース硬さ）は、実施例１と同様に、ＤＬＣ被膜の摩耗量と気密漏れ量との両立範囲であるＨｖ５０〜５００程度とされている。また、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１の表面上に薄膜形成されたＤＬＣ被膜の硬度（ビッカース硬さ）は、Ｈｖ１００〜２００程度が最も望ましい。なお、ＤＬＣ被膜の膜厚は、実施例１と同様に、０．４０〜１．００μｍである。
【０１０５】
［実施例４の作用］
次に、本実施例の電磁弁１の作用を図１０、図１３および図１４に基づいて簡単に説明する。
【０１０６】
本実施例の流体圧力制御弁４０は、燃料タンク１２側の圧力が大気圧よりも高い正圧になり、第２圧力室３１２内の圧力が大気中に連通する第１圧力室３１１内の圧力よりも十分に高くなると、コイルスプリング３０５のスプリング荷重（スプリング力）に抗してダイヤフラム部３３２およびバルブシール部３３１が変位して、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１がバルブシート３０３の弁座３１０より離座するため、流路孔３１７が開放される。これにより、燃料タンク１２とキャニスタ１３とが連通状態となる。  すなわち、例えば燃料タンク１２の周囲の温度が上昇して燃料タンク１２内の液体燃料の揮発化が促進されて、燃料タンク１２内の圧力が上昇した場合、燃料タンク１２の内部から流体圧力制御弁４０の内部に流入した蒸発燃料等の流体は、インレットポート３１４→第２圧力室３１２→流路孔３１７→流体流路３２０→アウトレットポート３２１を経由してキャニスタ１３のエバポガスポートに向かうため、燃料タンク１２内の圧力の上昇に伴う配管接続部からの蒸発燃料等の流体の漏れを防止することができる。
また、流体圧力制御弁４０は、燃料タンク１２側の圧力が大気圧よりも低い負圧になると、コイルスプリング３０５のスプリング荷重（スプリング力）によってダイヤフラム部３３２およびバルブシール部３３１が変位して、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１がバルブシート３０３の弁座３１０に密着して着座するため、流路孔３１７が閉鎖される。これにより、燃料タンク１２とキャニスタ１３との連通状態が遮断される。  
【０１０７】
一方、リリーフ弁３０６は、流体圧力制御弁４０のダイヤフラムバルブ３０４が流路孔３１７を閉じている時に、キャニスタ１３側の圧力が燃料タンク１２側の圧力（第２圧力室３１２の圧力）よりも高圧となった場合に、コイルスプリング３２６のスプリング荷重（スプリング力）に抗してボールバルブ３２５がバルブシート３２４より離座して弁孔３２３を開く。これにより、流体圧力制御弁４０のダイヤフラムバルブ３０４が流路孔３１７を閉じている時に、キャニスタ１３内の圧力が上昇した場合、キャニスタ１３側の圧力が、アウトレットポート３２１→流体流路３２２→弁孔３２３→スプリング室３２８→複数の連通孔３２９→第２圧力室３１２→インレットポート３１４を経由して燃料タンク１２側に抜けるため、キャニスタ１３内の圧力の上昇に伴う配管接続部からの蒸発燃料等の流体の漏れを防止することができる。
【０１０８】
［実施例４の特徴］
本実施例の蒸発燃料処理装置に使用される流体圧力制御弁４０の開閉動作部分は、ゴム製品（ゴム系弾性体）であるダイヤフラムバルブ３０４と、樹脂製品であるハウジング３０２のバルブシート３０３とで構成されているが、ガソリンベーパ雰囲気では、樹脂材料（耐熱性樹脂）およびゴム材料に含まれる添加剤の低分子量成分（粘着性物質）または樹脂材料（耐熱性樹脂）に含まれる添加剤の低分子量成分（粘着性物質）が抽出され易く、それらの粘着性物質は流体圧力制御弁４０の車両への搭載方向によっては、重力によって流れ落ち、バルブ全閉時（バルブ閉弁時）にダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１とバルブシート３０３の弁座３１０との当接部に付着して堆積したり、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１とバルブシート３０３の弁座３１０との間に跨がって滞留したりして、バルブシート３０３の弁座３１０に対してダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１が粘着して動作不良や固着故障が発生し易くなる。
【０１０９】
そこで、本実施例の流体圧力制御弁４０においては、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１の表面上にＤＬＣ被膜を薄膜形成している。また、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１の表面上に薄膜形成するＤＬＣ被膜のビッカース硬さを、Ｈｖ５０〜５００（望ましくはＨｖ１００〜２００）としているので、ＤＬＣ被膜の硬度が、厳しい低温気密性を必要とするダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１として適用可能な範囲内に収まる。これによって、ガソリンベーパ雰囲気環境下で、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１とバルブシート３０３の弁座３１０との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜の非粘着性の維持とを両立させることができる。また、ダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１とバルブシート３０３の弁座３１０との間の耐摩耗性および気密性が向上し、厳しい低温気密性を必要とするダイヤフラムバルブ３０４のバルブシール部３３１の表面上に薄膜形成されるＤＬＣ被膜の耐久性および信頼性を向上させることができる。
なお、ダイヤフラムバルブ３０４の表面全体にＤＬＣ被膜を薄膜形成しても良い。また、ダイヤフラムバルブ３０４の表面全体またはバルブシール部３３１の表面上にＤＬＣ被膜を薄膜形成した後に樹脂カバー３０１の結合部とハウジング３０２の結合部との間にダイヤフラム部３３２の外周縁部を挟み込むようにして組み付けても良い。
【０１１０】
［変形例］
本実施例では、本発明の電磁弁（または流体制御弁）を、自動車等の車両の蒸発燃料処理装置に組み込まれた電磁弁１、特に電磁式タンク密閉弁に適用しているが、これに限定する必要はなく、車両に搭載される補機類や空調装置に使用される電磁弁（または流体制御弁）に適用しても良い。なお、流体としては、エア（空気）や蒸発燃料等の気体だけでなく、気相冷媒等の気体、水、燃料、オイルや液相冷媒等の液体、あるいは気液二相状態の流体を使用することができる。また、本実施例では、本発明の電磁弁（または流体制御弁）を、常閉型の電磁式流路開閉弁に適用したが、常開型の電磁式流路開閉弁に適用しても良い。また、コイルへの電圧値または電流値を増加する程、第１バルブ６のリフト量が大きく、または小さくなるようにしても良い。
【０１１１】
本実施例では、樹脂ハウジング５の電磁駆動部２側の円筒状部の内周面に、第２バルブ７を軸線方向に往復移動するように誘導する複数個のバルブガイド５３を周方向に所定の間隔（例えば等間隔）で形成しているが、第２バルブ７の嵌合部７６の外周面（外径面）を、周方向に向かって等間隔で凸部と凹部とが繰り返されるような外歯歯車形状としても良い。また、複数個のバルブガイド５３の内径面と第２バルブ７の嵌合部７６の外径面との摺動部に、複数個のバルブガイド５３の内径面と第２バルブ７の嵌合部７６の外径面との間の摺動抵抗を低下させるための潤滑剤を施しても良い。この潤滑剤としては、フッ素系樹脂、二硫化モリブデン、ＤＬＣのうちいずれかを用いることが望ましい。
【０１１２】
本実施例では、第２バルブ７の両円環状端面（受圧面、この受圧面側に対して逆側面）上、およびモールドゴム９の表面上に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００（望ましくはＨｖ１００〜２００）のＤＬＣ被膜９６、９７を例えばプラズマＣＶＤ法を用いて薄膜形成しているが、第２バルブ７の全外壁面上、およびモールドゴム９の表面上に、ビッカース硬さがＨｖ５０〜５００（望ましくはＨｖ１００〜２００）のＤＬＣ被膜を例えばプラズマＣＶＤ法を用いて薄膜形成しても良い。
【０１１３】
本実施例では、樹脂ハウジング５全体を耐熱性樹脂によって樹脂化しているが、ハウジング全体のうちで少なくとも一部を樹脂化しても良い。例えばハウジングの弁座より燃料タンク１２側に向けて真っ直ぐに延びる流体流路４１およびバルブ室４２の流路壁面が樹脂面となるように樹脂化しても良い。また、ハウジングの弁座よりキャニスタ１３側に向けて真っ直ぐに延びる流体流路４４の流路壁面が樹脂面となるように樹脂化しても良い。  
【０１１４】
本実施例では、ハウジング２０２のバルブシート２０６全体を耐熱性樹脂によって樹脂化しているが、ハウジング（バルブシート）全体のうちで少なくとも一部を樹脂化しても良い。例えばバルブシート２０６の弁座２１０よりキャニスタ１３側に向けて途中で略直角に屈曲するＬ字状流路２１３の流路壁面が樹脂面となるようにインレットパイプ２１４のみを樹脂化しても良い。また、バルブシート２０６の弁座２１０よりエンジン吸気管１４側に向けて途中で略直角に屈曲するＬ字状流路２１６の流路壁面が樹脂面となるようにアウトレットパイプ２１７のみを樹脂化しても良い。
【０１１５】
本実施例では、ハウジング３０２のバルブシート３０３全体を耐熱性樹脂によって樹脂化しているが、ハウジング（バルブシート）全体のうちで少なくとも一部を樹脂化しても良い。例えばバルブシート３０３の弁座３１０から燃料タンク１２側に向けて途中で略直角に屈曲する第２圧力室３１２およびインレットポート３１４の流路壁面が樹脂面となるようにハウジング３０２の外径側円筒部のみ、またはインレットパイプ３１３のみを樹脂化しても良い。また、バルブシート３０３の弁座３１０からキャニスタ１３側に向けて真っ直ぐに延びる流体流路３２０およびアウトレットポート３２１の流路壁面が樹脂面となるようにバルブシート３０３のみを樹脂化しても良い。
【０１１６】
本実施例では、本発明の流体制御弁または電磁弁を、自動車等の車両の蒸発燃料処理装置に組み込まれた電磁弁（電磁式タンク密閉弁）１、電磁弁（常閉型の電磁式流体流量制御弁としてのパージデューティＶＳＶ）２１、流体圧力制御弁（メカ式の圧力作動弁）４０に適用しているが、これに限定する必要はなく、蒸発燃料処理装置のリーク診断装置の構成部品として蒸発燃料処理装置に組み込まれる電動エアポンプ一体型の２位置３方向切替弁に適用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】電磁弁の主要構造を示した断面図である（実施例１）。
【図２】蒸発燃料処理装置の全体構成を示した概略図である（実施例１）。
【図３】電磁弁の全体構造を示した平面図である（実施例１）。
【図４】電磁弁の全体構造を示した断面図である（実施例１）。
【図５】（ａ）は電磁弁の樹脂ハウジングの主要構造を示した断面図で、（ｂ）は樹脂ハウジングの弁座周辺部を示した断面図である（実施例１）。
【図６】電磁弁の第２バルブの全体構造を示した断面図である。
【図７】ＤＬＣ被膜のビッカース硬さに対する摩耗量と気密漏れ量との両立範囲を示した説明図である（実施例１）。
【図８】電磁弁の主要構造を示した断面図である（実施例２）。
【図９】電磁弁の第２バルブの全体構造を示した断面図である（実施例２）。
【図１０】蒸発燃料処理装置の全体構成を示した概略図である（実施例３、４）。
【図１１】電磁式流量制御弁の全体構造を示した断面図である（実施例３）。
【図１２】電磁式流量制御弁の主要構造を示した断面図である（実施例３）。
【図１３】流路開閉弁の全体構造を示した断面図である（実施例４）。
【図１４】流路開閉弁の主要構造を示した断面図である（実施例４）。
【図１５】電磁弁の主要構造を示した断面図である（比較例１）。
【符号の説明】
【０１１８】
１  電磁弁（流体制御弁）
２  電磁駆動部（バルブ駆動装置）
３  電磁駆動部のソレノイドコイル
４  電磁駆動部の樹脂モールド部材（樹脂ケース、樹脂成形部）
５  樹脂ハウジング（バルブシート）
６  第１バルブ（電磁式流路開閉弁の弁体、樹脂成形部）
７  第２バルブ（圧力感応弁の弁体、樹脂成形部）
８  樹脂ハウジングのバルブシート部（金属成形部）
９  モールドゴム（シールゴム、ゴム成形部）
１０  コイルスプリング（バルブ付勢手段）
１２  燃料タンク
１３  キャニスタ
１４  エンジン吸気管
２１  電磁弁（流体制御弁）
２２  バイパス流路（流体流路）
２３  バイパス流路（流体流路）
４０  流体圧力制御弁（流体制御弁）
４１  流体流路（流体通路）
４２  バルブ室
４３  弁孔（流体通過口、流路孔）
４４  流体流路（流体通路）
４７  非粘着剤（潤滑剤）
６１  第１バルブの樹脂シール部
６２  第１バルブのベローズ
７３  第２バルブの連通路
７５  第２バルブの貫通孔
９１  モールドゴムのゴムシール部
９２  モールドゴムのゴムシート部
９３  モールドゴムのゴム充填部
９６  ＤＬＣ被膜（表面処理被膜）
９７  ＤＬＣ被膜（表面処理被膜）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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