(57)【要約】      （修正有）【課題】被処理物が収納されている収容器内を諸望の気体雰囲気に保つことができるとともに、より少ない工程で処理装置内に被処理物を供給することができる被処理物供給装置及び被処理物供給方法を提供する。【解決手段】被処理物供給装置２０は、遮蔽壁１１を備えた処理装置１０に隣接して設けられ、搬送されてきた収容器４０を受け取って前記収容器内に収納されている被処理物を前記処理装置内に供給するものであって、前記処理装置１０に取り付け可能な本体部２１と、該本体部２１に設けられるとともに前記収容器４０を配置可能な載置台３０、３１と、該載置台３０、３１に前記収容器４０が配置されたことを検出して前記収容器内を所定の気体雰囲気に置換する気体置換機構６０を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
遮蔽壁を備えた処理装置に隣接して設けられ、搬送されてきた収容器を受け取って前記収容器内に収納されている被処理物を前記処理装置内に供給する被処理物供給装置であって、
前記処理装置に取り付け可能な本体部と、該本体部に設けられるとともに前記収容器を配置可能な載置台と、該載置台に前記収容器が配置されたことを検出して前記収容器内を所定の気体雰囲気に置換する気体置換機構と、が備えられたことを特徴とする被処理物供給装置。
【請求項２】
前記載置台に対する前記収容器の配置によって前記収容器を位置決めする嵌合部が前記載置台に設けられるとともに、
前記収容器にはパージ用の取入口と取出口とが形成され、前記載置台には前記収容器の取入口と取出口とに接続する取出用のパージポートと取入用のパージポートとが形成され、これらの接続により前記載置台上において前記収容器内を所定の気体雰囲気に置換自在とされてなることを特徴とする請求項１に記載の被処理物供給装置。
【請求項３】
前記収容器と前記載置台のどちらか一方に凸部が、他方に受け部が形成され、前記凸部の前記受け部に対する嵌合により前記収容器が位置決めされる機構とされ、
前記受け部は前記収容器または前記載置台の中心部から放射状位置に複数形成され、前記受け部に前記凸部を案内嵌合する導入斜面が形成されてなることを特徴とする請求項１または２に記載の被処理物供給装置。
【請求項４】
前記収容器の前記載置台への位置決めを検出するセンサが設けられてなることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の被処理物供給装置。
【請求項５】
前記被処理物供給装置側から前記処理装置側へ前記収容器を移動可能な搬送機構が備えられてなることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の基板供給装置。
【請求項６】
遮蔽壁を備えた処理装置に収容器内の被処理物を供給する被処理物供給方法であって、
前記処理装置に隣接して設けられた被処理物供給装置の載置台に前記被処理物が収納されている前記収容器を配置する工程と、
前記載置台に前記収容器が配置されたことを検出して前記収容器内を所定の気体雰囲気に置換する工程と、
前記収容器の一面に設けられた開閉扉を開放する工程と、
処理装置内に設けられたアーム機構によって前記収容器内の前記被処理物を前記処理装置内へ搬送する工程と、が備えられたことを特徴とする被処理物供給方法。
【請求項７】
前記載置台に前記収容器を配置する工程が、前記載置台と前記収容器のどちらか一方に設けられた凸部と他方に設けられた受け部とを嵌合する工程と、前記受け部に形成された導入斜面に沿って前記凸部を案内する工程と、からなることを特徴とする請求項６に記載の被処理物供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置内に被処理物を供給する被処理物供給装置および被処理物供給方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に被処理物の処理工程においては、被処理物が収納されている収容器は、種々の搬送手段によって搬送され、処理装置に連結される。次いで、収容器と処理装置に設けられた扉が開けられ、処理装置内のアーム機構などによって収容器内の被処理物が処理装置内に供給される。その後、被処理物には種々の処理または加工が施される。
【０００３】
ところで、処理装置内は被処理物の処理または加工に適した所定の気体雰囲気に予め設定されているが、上述のように、収容器内から処理装置内に被処理物が供給される際には収容器と処理装置とが連結されるため、収容器内の気体が処理装置内に進入して処理装置内の気体雰囲気に影響を与えることが考えられる。このような場合には、処理装置内を所定の気体雰囲気に再び置換する必要が生じるが、処理装置における処理などの効率化の観点において、この作業は好ましくない。
この問題を解決する方法として、収容器と処理装置とを連結する前に、収容器内を処理装置内と同一の気体雰囲気や真空状態にしておく方法がある。このような方法を用いれば、収容器と処理装置を連結した際に、処理装置内の気体雰囲気が汚染される虞はない。
【０００４】
しかしながら、上述の方法を用いるためには、次のように多くの工程が必要であった。
（１）気体置換機構を有する専用ステージに収容器を搬送する。
（２）収容器と専用ステージのパージポートを連結する。
（３）収容器内を諸望の気体雰囲気に設定する。
（４）専用ステージから収容器を取り外し、処理装置に隣接された被処理物供給装置に収容器を配置する。
また、これらの工程を実現するためには、収容器を専用ステージへ搬送するための機構や、収容器と専用ステージのパージポートを接続するための自動接続装置などの高価な設備が必要になるという問題があった。
【特許文献１】特開平１１−１４５２４５号公報
【特許文献２】特開２００１−２９８０６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の気体置換方法においては、被処理物供給装置に収容器が装着されるまでには、二度の接続作業と一度の取り外し作業という３つの作業が必要であった。特に専用ステージや被処理物供給装置の載置台への接続作業には高い取り付け精度が要求されるため、作業に時間を要するものであった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、被処理物が収納されている収容器内を諸望の気体雰囲気に保つことができるとともに、より少ない工程で処理装置内に被処理物を供給することができる被処理物供給装置及び被処理物供給方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の被処理物供給装置は、遮蔽壁を備えた処理装置に隣接して設けられ、搬送されてきた収容器を受け取って前記収容器内に収納されている被処理物を前記処理装置内に供給する被処理物供給装置であって、前記処理装置に取り付け可能な本体部と、該本体部に設けられるとともに前記収容器を配置可能な載置台と、該載置台に前記収容器が配置されたことを検出して前記収容器内を所定の気体雰囲気に置換する気体置換機構と、が備えられたことを特徴とする。
【０００７】
かかる構成によれば、被処理物が収納されている収容器を被処理物供給装置の載置台に配置したことを検出することによって、気体置換機構が所定の気体を収容器内に流入する。そのため、被処理物供給装置の載置台に収容器を配置することによって、収容器内を所定の気体雰囲気に容易に置換することができる。
【０００８】
本発明の被処理物供給装置は、前記載置台に対する前記収容器の配置によって前記収容器を位置決めする嵌合部が前記載置台に設けられるとともに、前記収容器にはパージ用の取入口と取出口とが形成され、前記載置台には前記収容器の取入口と取出口とに接続する取出用のパージポートと取入用のパージポートとが形成され、これらの接続により前記載置台上において前記収容器内を所定の気体雰囲気に置換自在とされてなることを特徴とする。
【０００９】
かかる構成によれば、載置台に収容器を配置すると、載置台に設けられた嵌合部によって収容器と載置台が位置決めされる。また、収容器と載置台が位置決めされることにより、載置台の取出用と取入用のパージポート上に、収容器の取入口と取出口とがそれぞれ配置され、接続される。
【００１０】
本発明の被処理物供給装置は、前記収容器と前記載置台のどちらか一方に凸部が、他方に受け部が形成され、前記凸部の前記受け部に対する嵌合により前記収容器が位置決めされる機構とされ、前記受け部は前記収容器または前記載置台の中心部から放射状位置に複数形成され、前記受け部に前記凸部を案内嵌合する導入斜面が形成されてなることを特徴とする。
【００１１】
かかる構成によれば、載置台に収容器を配置すると、収容器と載置台のどちらか一方に形成された凸部が、他方に形成された受け部に嵌合される。また、受け部に形成された導入斜面に沿って凸部が移動されるので、凸部が受け部の諸望の位置に移動され、嵌合される。そのため、凸部と受け部が高い取り付け精度で容易に嵌合される。また、受け部が収容器または載置台の中心部から放射状位置に複数形成されているので、載置台に配置される収容器は、より高い取り付け精度で嵌合される。
【００１２】
本発明の被処理物供給装置は、前記収容器の前記載置台への位置決めを検出するセンサが設けられてなることを特徴とする。
かかる構成によれば、載置台の所定位置に収容器が位置決めされたことを検出して、気体置換機構が直ちに作動する。そのため、載置台の所定の位置に収容器が位置決めされたことによって、気体置換機構が収容器内に所定の気体を注入し、収容器内の気体の置換が開始される。また、載置台に収容器が配置されたとしても、その位置が精度よく位置決めされていなければ気体置換機構は作動されないので、気体置換機構の誤作動を防止することができる。
【００１３】
本発明の被処理物供給装置は、前記被処理物供給装置側から前記処理装置側へ前記収容器を移動可能な搬送機構が備えられてなることを特徴とする。
かかる構成によれば、載置台に配置された収容器と処理装置とが離間していても、搬送機構によって収容器が処理装置側へ移動される。そのため、被処理物を処理装置内に搬入可能な状態にすることができる。また、使用済みの状態の収容器を処理装置から離間位置に移動することができる。
【００１４】
本発明の被処理物供給方法は、遮蔽壁を備えた処理装置に収容器内の被処理物を供給する被処理物供給方法であって、前記処理装置に隣接して設けられた被処理物供給装置の載置台に前記被処理物が収納されている前記収容器を配置する工程と、前記載置台に前記収容器が配置されたことを検出して前記収容器内を所定の気体雰囲気に置換する工程と、前記収容器の一面に設けられた開閉扉を開放する工程と、処理装置内に設けられたアーム機構によって前記収容器内の前記被処理物を前記処理装置内へ搬送する工程と、が備えられたことを特徴とする。
【００１５】
かかる方法によれば、被処理物を収納した収容器が載置台に配置されることによって、収容器内が所定の気体雰囲気に置換され、収容器内の被処理物が処理装置内に搬送可能な状態とされる。その後、収容器の開閉扉が開放され、処理装置内に設けられたアーム機構を作動することによって、処理装置内に被処理物が搬送される。この際、収容器は処理装置に密着されているとともに、その内部は所定の気体雰囲気に置換された状態が維持されているので、被処理物の搬送によって処理装置内の気体雰囲気が汚染されることはなく、処理装置内の気体雰囲気を維持することができる。
【００１６】
本発明の被処理物供給方法は、前記載置台に前記収容器を配置する工程が、前記載置台と前記収容器のどちらか一方に設けられた凸部と他方に設けられた受け部とを嵌合する工程と、前記受け部に形成された導入斜面に沿って前記凸部を案内する工程と、からなることを特徴とする。
【００１７】
かかる方法によれば、載置台に収容器を配置する際に、凸部が受け部に嵌合される。その後、受け部に設けられた導入斜面に沿って凸部が所定の位置に案内され、嵌合される。そのため、凸部と受け部が高い取り付け精度で容易に嵌合される。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明の被処理物供給装置によれば、載置台に収容器を配置すると、収容器と載置台のどちらか一方に形成された凸部が、他方に形成された受け部に嵌合されるとともに、受け部に形成された導入斜面に沿って凸部が案内嵌合されるので、凸部が受け部の諸望の位置に移動され、嵌合される。そのため、載置台に収容器を配置することのみによって、載置台と収容器を高い取り付け精度で容易に嵌合することができる。また、収容器と載置台が位置決めされることにより、載置台の取出用と取入用のパージポート上に、収容器の取入口と取出口とがそれぞれ配置され、接続されるので、確実に収容器内を所定の気体雰囲気に置換することができる。
本発明の被処理物供給方法によれば、収容器と載置台のどちらか一方に形成された凸部が、他方に形成された受け部に嵌合されるとともに、受け部に形成された導入斜面に沿って凸部が案内嵌合されるので、凸部が受け部の諸望の位置に移動され、嵌合される。そのため、載置台に収容器を配置することのみによって、載置台と収容器を高い取り付け精度で容易に嵌合することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の被処理物供給装置の実施形態について、図面を用いて説明する。
図１に、本実施形態の被処理物供給装置２０の側面図を示す。
本実施形態の被処理物供給装置２０は、収容器４０内を所定の気体雰囲気に置換するとともに、収容器４０内に収納されている図示略の被処理物を処理装置１０内に供給するためのものである。被処理物供給装置２０は、処理装置１０の遮蔽壁１１の外側面に密着されている本体部２１と、本体部２１に取り付けられた搬送機構２５および支持台２８と、搬送機構２５および支持台２８にそれぞれ取り付けられた第１載置台３０および第２載置台３１と、気体置換機構６０とから概略構成されている。
【００２０】
本体部２１は平板状に形成され、その一部には本体部２１を貫通する開口部２１ａが形成されている。また、その開口部２１ａを覆うように本体部２１の一方の面には枠体２２が設けられており、枠体２２の一端側には当接部２３が形成されている。一方、本体部２１の他方の面の略中央には、第１載置台３０を支持および搬送可能な搬送機構２５が延在して設けられ、搬送機構２５と離間した位置には第２載置台３１を支持する支持台２８が設けられ、端部には気体置換機構６０が設けられている。さらに、本体部２１の所定位置には、本体部２１を処理装置１０に取り付け可能な固定具２４が備えられている。
【００２１】
搬送機構２５は筐体部２６を有し、筐体部２６の一面が本体部２１に固定されており、筐体部２６内には図示略のピストン機構が設けられている。ピストン機構には複数の支持板２７が取り付けられており、筐体部２６内から突出した支持板２７の一端に第１載置台３０の底部が取り付けられている。
ピストン機構は、被処理物供給装置２０側と処理装置１０側に支持板２７を往復自在に移動するためのものである。筐体部２６内に設けられた図示略の制御部によって、第１載置台３０上に載置された収容器４０を処理装置１０に連結した状態（装着状態：図５参照）および収容器４０が処理装置１０から離間した状態（待機状態：図１参照）になるように、ピストン機構が制御される。
支持台２８は平板状に形成されており、被処理物供給装置２０の本体部２１にその一端が取り付けられている。支持台２８の上面には、図示略の固定部材によって第２載置台３１が固定されている。
【００２２】
図２に示すように、第１載置台３０は、略長方形状の平板の１部を切り欠いた略Ｌ字形状の載置板３２と、載置板３２に設けられた取入用パージポート３４と取出用パージポート３５と、嵌合部３３となる複数の凸部３６と、複数の加圧センサ４７とから構成されている。載置板３２の一辺の両端には、先端部に図示略のパッキンを有する取入用パージポート３４と取出用パージポート３５が対向した状態で配置されている。３つの凸部３６は載置版３２の仮想中心Ｃ１から等距離の位置に放射状に配置されている。載置板３２の他辺の両端には、加圧センサ４７が対向した状態で配置されている。載置板３２の底部は上述のピストン機構の支持板２７に連結されており、ピストンの可動に伴って、第１載置台３０は被処理物供給装置２０側と処理装置１０側との間においてレール２９，２９上を往復可能になっている。
第２載置台３１は、レール２９，２９を除いた構成については、第１載置台３０と同様の構成を有するように形成されており、その底部は上述の支持台２８に固定されている。
【００２３】
次に、図３に収容器４０の側面図を示し、図４に収容器４０の底面図を示す。
収容器４０は、被処理物を収容するとともに、被処理物供給装置２０側から処理装置１０側に被処理物を搬送するためのものである。収容器４０は、一面に開放面を有する略立方体状に形成されており、開放面には枠体４９と、枠体４９から取り外し可能な開閉扉４８が設けられている。収容器４０の底部５１には、取入口４３と取出口４４が下壁を貫通するように設けられている。底部５１には、その仮想中心Ｃ２から放射状の位置に３つの略楕円形の嵌合部４２が形成されている。図５に示すように、この嵌合部４２の長辺方向の中心位置には溝部５２が形成されている。嵌合部４２の受け部４５から溝部５２に向かう壁部は導入斜面４６とされていて、導入斜面４６，４６の傾斜によって溝部５２が底すぼまり状（溝の底が狭く）になっている。また、この嵌合部４２の受け部４５の長辺上には、１つまたは２つの突出部５０が形成されている。
【００２４】
気体置換機構６０は、不活性ガスを充填した図示略のガス供給装置を有しており、第１載置台３０および第２載置台３１に配置された収容器４０内に不活性ガスを供給するためのものである。図１に示すように、気体置換機構６０には、複数のガス供給口６２とガス排気口６３とが設けられており、ガス供給口６２は第１載置台３０および第２載置台３１の取入用パージポート３４に接続されており、ガス排出口６３は、第１載置台３０および第２載置台３１の取出用パージポート３５に接続されている。気体置換機構６０に設けられた図示略の制御部は、第１載置台３０または第２載置台３１に収容器４０が配置されたことを検出して、配置された収容器４０内を所定の条件（気体の濃度や圧力など）に保つように、ガス供給量および排出量を調整する。
【００２５】
処理装置１０は、収容器４０によって搬送されてきた被処理物に種々の処理または加工を施すためのものである。処理装置１０内には、収容器４０内の被処理物を処理装置１０内に搬送するロボットアームからなるアーム機構１２（図５、６参照）が設けられている。
尚、処理装置１０としては、半導体処理装置や各種製膜装置、エッチング装置などが挙げられるが、基板などの被処理物を処理または加工する装置であれば如何なる装置であってもよい。
被処理物としては、半導体基板などの各種の基板が挙げられるが、これらに限定されず、処理装置１０内で処理または加工されるものであれば、如何なるものであってもよい。
【００２６】
次に、この被処理物供給装置２０を用いて処理装置１０内に被処理物を供給する方法について説明する。なお、図５は、収容器４０を処理装置１０の遮蔽壁１１まで搬送した状態の側面図、図６は、収容器４０の開閉扉４８を開いた状態の側面図である。
内部に複数の被処理物が収納された収容器４０を図示略の搬送装置によって被処理物供給装置２０まで搬送し、第１載置台３０上に配置する。このとき、収容器４０の底部５１に設けられた嵌合部４２の受け部４５に第１載置台３０に設けられた嵌合部３３となる凸部３６を当接し、受け部４５の導入斜面４６に沿って凸部３６を移動することによって、嵌合部４２の嵌合位置に凸部３６を正確に位置決めする。これにより、収容器４０の底部５１に設けられた取入口４３と取出口４４は、第１載置台３０の取入用パージポート３４と取出用パージポート３５にそれぞれ連結された状態となる。このとき、取入用パージポート３４と取出用パージポート３５の先端部に設けられた図示略のパッキンによって、取入口４３と取出口４４との接続部が密閉状態になる。
【００２７】
また、収容器４０の底部５１の嵌合部４２に設けられた突出部５０が第１載置台３０の上部に設けられた加圧センサ４７の押圧部４７ａを押圧したことを検出すると、気体置換機構６０の制御部からの信号によって、ガス供給口６２からガスチューブ６１および第１載置台３０の取入用パージポート３４を介して、収容器４０の取入口４３に不活性ガスを供給し、収容器４０内を不活性ガスによって充填する。
【００２８】
この際、収容器４０内に充満していた空気などの気体は、収容器４０の取出口４４から第１載置台３０の取出用パージポート３５およびガスチューブ６１を介して、気体置換機構６０のガス排気口６３から排出される。その後、気体置換機構６０の制御部によって、収容器４０内を不活性ガスで充填された状態に維持し続ける。また、同様に、被処理物が収納されている他の収容器４０を第２載置台３１に載置し、収容器４０内を不活性ガスで充填された状態に保つ。
【００２９】
第１載置台３０上の収容器４０内を不活性ガスで充填した後、処理装置１０内における処理または加工の準備を完了すると、搬送機構２５の筐体部２６内に設けられたピストン機構を動作し、第１載置台３０上の収容器４０を処理装置１０側に移動する。このとき、第１載置台３０の一端部が本体部２１に設けられた当接部２３に当接される位置まで第１載置台３０を移動する（図５参照）。この状態で、処理装置１０に設けられている図示略の吸引ポンプを作動して、図示略の吸着パッドの吸引力により収容器４０の開閉扉４８と処理装置１０のポートドア１３とを接触させる。このとき、レジスタピン１４を収容器４０の開閉扉４８の穴部４８ａに挿入するとともに、ポートドア１３の表面の図示略の爪部を開閉扉４８の穴部４８ａに挿入し、開閉扉４８をポートドア１３に対して位置ずれが発生しないように固定する。開閉扉４８をポートドア１３に吸着した後、アーム機構１２のアームを縮め、両者を一体にして収容器４０から開閉扉４８を取り外し、処理装置１０内の所定の位置に移動する（図６参照）。
【００３０】
その後、収容器４０内に収納されている被処理物を処理装置１０内のロボットアームにより取り出し、処理装置１０において必要な処理または加工を施す。このとき、収容器４０の枠体４９は処理装置１０の遮蔽壁１１の壁部に密着されているので、収容器４０内および処理装置１０内に外気が進入することはない。収容器４０から諸望の数量の被処理物を取り出し、処理装置１０内での処理または加工の終了後、アーム機構１２を駆動して処理装置１０の遮蔽壁１１にポートドア１３を連結し、収容器４０の開閉扉４８を収容器４０の枠体４９に嵌合する。
【００３１】
その後、吸引ポンプによる吸引作業を停止し、収容器４０の開閉扉４８とポートドア１３を引き離す。そして、搬送機構２５により収容器４０を元の位置（待機状態の位置）に戻す。元の位置に戻された収容器４０を、図示略の搬送装置によって、第１載置台３０上から取り除く。第１載置台３０から収容器４０が取り除かれたことを第１載置台３０の加圧センサ４７が検知すると同時に、気体置換機構６０からの不活性ガスの供給を停止する。更に処理装置１０内に被処理物を供給する場合には、別途用意してある収容器４０を第１載置台３０上に配置すればよい。また、第２載置台３１に配置され、内部が不活性ガスで充満されている収容器４０を第１載置台３０に搬送してもよい。
【００３２】
この場合、第２載置台３１から収容器４０を取り外すことによって、第２載置台３１の取入用パージポート３４への不活性ガスの供給は停止する。また、気体置換機構６０によって不活性ガスを第１載置台３０の取入用パージポート３４を介して収容器４０の取入口４３に供給し、新たに第１載置台３０に配置された収容器４０内の不活性ガスの調整を行う。
尚、第２載置台３１に載置しておいた収容器４０は、第２載置台３１上において十分に不活性ガスで充満されているので、第１載置台３０上に配置後、処理装置１０に連結することによって、直ちに処理装置１０内に被処理物を供給できる状態にある。以下、上述と同様に、収容器４０内の被処理物を処理装置１０内に供給し、種々の処理または加工を行なう。
【００３３】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、本実施形態においては、収容器の底部に受け部を有する嵌合部を形成し、第１載置台に凸部からなる嵌合部を形成したが、これとは反対に、収容器の底部に嵌合部となる凸部を形成し、第１載置台に受け部を有する嵌合部を形成してもよい。
また、気体置換機構は、不活性ガスを供給するものに限られず、例えば真空装置などであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の被処理物供給装置を示す側面図である。
【図２】本発明の第１載置台を示す正面図である。
【図３】本発明の収容器を示す側面図である。
【図４】本発明の収容器を示す底面図である。
【図５】本発明の収容器を処理装置に装着した状態を示す側面図である。
【図６】本発明の収容器から開閉扉を取り外した状態を示す側面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０・・・処理装置、１１・・・遮蔽壁、１２・・・アーム機構、１３・・・ポートドア、２０・・・被処理物供給装置、２１・・・本体部、２１ａ・・・開口部、２２・・・枠体、２５・・・搬送機構、３０・・・第１載置台、３１・・・第２載置台、３３・・・嵌合部、３４・・・取入用パージポート、３５・・・取出用パージポート、３６・・・凸部、４０・・・収容器、４２・・・嵌合部、４３・・・取入口、４４・・・取出口、４５・・・受け部、４６・・・導入斜面、４７・・・センサ、４８・・・開閉扉、５０・・・突出部、５２・・・溝部、６０・・・気体置換機構、Ｃ１，Ｃ２・・・仮想中心
【図１】
2006351619.tif 000003
【図２】
2006351619.tif 000004
【図３】
2006351619.tif 000005
【図４】
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【図５】
2006351619.tif 000007
【図６】
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