(57)【要約】【課題】  任意の天板が使用でき、固体層を被覆する樹脂として活性エネルギー硬化性樹脂以外も使用可能十分なインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。【解決手段】  基板／液路／接着層／天板のエッジシューター型インクジェットヘッドにおいて液路壁部材に活性エネルギー硬化性樹脂以外の樹脂を使用可能とする。  後に除去する固体層の液路端部位に凹部を設け、液路部位上部から硬化性樹脂を塗布し凹部端部で硬化性樹脂を停止させる。【選択図】  図３
2006103093.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の基体上の少なくとも液路予定部位に溶解除去可能な固体層を設ける工程と、液路予定部位を被覆するように硬化性樹脂を被覆する工程と、前記硬化性樹脂を介して前記第一の基体に蓋板となる第二の基体を接合する工程と、前記固体層を除去することで液路を形成するインクジェットヘッドの製造方法において液路後端の共通液室との境界部の固体層に凹部が設けられ、液路予定部位にのみ硬化性樹脂を塗布することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
液路予定部位の上部より硬化性樹脂を線状に塗布することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
硬化性樹脂と第二の基体の接着を、第二の基体に塗布した接着剤を半硬化して行うことを特徴とする請求項１,２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
第二の基体に塗布した接着剤で固体層の複数の凹部を充填することを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
吐出口を精度よく作成する方法として特公平6-98755号公報に示す以下の方法がある。
【０００３】
第一の基体上の液路形成予定部位に固体層をパターン形成し、更に活性エネルギー線硬化樹脂からなる流路構成部材をその固体層を覆うようにして積層し、次に第二の基体〔天板〕をその流路構成部材の上面に重ねながら活性エネルギー線を天板側から照射することによって、その樹脂の硬化及び樹脂と天板との接着を行い、最終的に該固体層を溶解等の手段にて除去することによって流路を形成する。
【０００４】
特公平6-98755号公報の欠点は、天板を介してエネルギー線硬化樹脂に活性エネルギー線を照射するので、天板の材質としては、活性エネルギー線に対して透過性の高いものを用いる必要があることである。
【０００５】
これに対し、任意の天板を用いることを可能にしたのが、特開平2-3318号公報に示す以下の方法である。図４にこの製法によるインクジェットヘッドの斜視図が示されている。図５には、図４のAA断面の工程を示す。
【０００６】
図５（1）
吐出圧発生素子を備えた第一の基体1上に固体層2をパターニングする。
【０００７】
図５（2）
固体層2が形成された基体1の面に活性エネルギー線硬化性樹脂8aを被覆する。
【０００８】
図５（3）
活性エネルギー線硬化樹脂8aにマスク6を介し、活性エネルギーを照射する。
【０００９】
図５（4）
現像により、未露光の活性エネルギー硬化樹脂8aと共通液室予定部位の固体層2が除去される。
【００１０】
図５（5）
凹部を有する第二の基体（天板）5に接着剤8bを塗布し、第一の基体1と接着する。
【００１１】
図５（6）
中央を切断する。
【００１２】
図５（7）
液路内の固体層を除去し吐出口9を得る。共通液室10を有するヘッドが完成する。
【００１３】
図５（6）の拡大図を図6に示す。
【００１４】
固体層2を被覆する樹脂が活性エネルギー線硬化性樹脂に限定されているため、材料選択幅が小さい。
【特許文献１】特公平０６−９８７５５号公報
【特許文献２】特開平０２−３３１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
そこで本発明の目的は、任意の天板が使用でき、固体層を被覆する樹脂として活性エネルギー硬化性樹脂以外も使用可能十分なインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある
【課題を解決するための手段】
【００１６】
第一の基体上の少なくとも液路予定部位に溶解除去可能な固体層を設ける工程と、液路予定部位を被覆するように硬化性樹脂を被覆する工程と、前記硬化性樹脂を介して前記第一の基体に蓋板となる第二の基体を接合する工程と、前記固体層を除去することで液路を形成するインクジェットヘッドの製造方法において液路後端の共通液室との境界部の固体層に凹部が設けられ、液路予定部位の上部より前記硬化性樹脂を滴下し、固体層の凹部で流動を停止させる。これによって、硬化性樹脂が活性エネルギー線硬化樹脂でなくとも液路予定部位にのみ硬化性樹脂を塗布することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、任意の天板が使用でき、固体層を被覆する樹脂として活性エネルギー硬化性樹脂以外も使用可能。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図５と同様に1対2ヘッドの製造工程を以下に示す。
【実施例１】
【００２０】
図１(1)及び図３(1)
まず、アルミ基板(第1の基体１)上に液路予定部位及び液室予定部位に東京応化製ポジレジストODUR-1010（ODUR-1010は商品名）（固体層2）が20ミクロンパターニング等により選択的に形成される。
【００２１】
ここで形成するパターンの平面図を図２に示す。中央の対向する櫛歯パターンが後に吐出口となる。ここで注目するのはこの両側にある円形の凹部3のパターンである。天板の寸法は中央の厚さ0.9mm、幅2.0mm、端が厚さ1mm、幅1.1mmで、耐食処理を施している。
【００２２】
円形凹部3の間隔は中央幅2.0ｍｍより狭い1.9mmに設定している。
図２のAA断面による工程を図１及び図３に示す。（図３(1)〜(3)は図１(1)〜(3)の拡大である）
図１(2)及び図３(2)
ポジレジスト2のパターン中央に常温硬化性樹脂8bをディスペンサ4で紙面奥から手前に直線状に塗布する。
【００２３】
常温硬化性樹脂8bとしては油化シェルエポキシ(株)製エピコート828（エピコート（登録商標）828は商品名）重両部100、富士化成工業(株)製フジキュアー6010（フジキュアー（登録商標）6010は商品名）重両部50を混合したものを用いた塗布条件は基板−ニ−ドル間距離0.15mm、G22ニードル、ディスペンサの移動速度30mm／sec、塗布圧0.6kg/cm2である。この後30℃24時間の硬化を行う。
【００２４】
図１(3)及び図３(3)
塗られた常温硬化性樹脂8bは広がるが円形凹部3で停止する。この時の樹脂の高さは固体層表面を基準にして26μmであった。ここでは塗布圧を0.6kg/cm2で行ったが塗布圧を1.2kg/cm2まで上げても樹脂の高さは45μmとなり凹部の手前で樹脂が停止するのが確認された。
【００２５】
この後30℃24時間の硬化を行う。
【００２６】
図１(4)
アルミ天板(第2の基体５)の中央及び両端に常温硬化性樹脂8bをディスペンサ4で塗布する。
【００２７】
塗布条件は塗布速度30mm/sec、ニードルG22、ニードル−天板中央部間距離0.2mm、ニードル−天板端部間距離0.1mm、端部塗布圧0.3kg/cm2、中央塗布圧1.0kg/cm2である。
【００２８】
図１（5）
オーブン7で80℃1時間の硬化を行い、樹脂8bを半硬化状態とする。ここで半硬化状態とは滴下した樹脂が濡れ広がらないが固体層の凹部には充填可能な硬化状態を指す。
【００２９】
図１(6)
図１(3)の基板と(5)の天板5を真空チャンバー14内で接合する。
【００３０】
図１(7)
閉空間の共通液室10が形成される。その後70℃6時間+120℃1時間の硬化を行う。
【００３１】
図１(8)
刃幅1.0mmのダイヤモンドバイト１３で対向ヘッド中央を切断し、2ヘッドに分離する。
【００３２】
図１(9)
ポジレジスト2を除去液エチルセロソルブで除去し吐出口9を有するヘッドを得る。
【００３３】
図１(8)で分離後の吐出口面と断面を図7に示す。固体層上の常温硬化性樹脂8bの上に天板に塗布した樹脂8bが積層されている。
【００３４】
下層の被覆長さL1と上層の接着層長さL2の関係はL1<L2となった。この結果、図７(b)のように凹部3には、天板に塗られた樹脂が充填される。これはノズルへのごみの侵入を防ぐノズルフィルター11として機能する。
【００３５】
このように上部の接着層を凹部に充填させノズルフィルターとして機能させるためには、固体層凹部はこの例のようにノズル列方向には不連続であることが要求される。もし、ノズル列方向に連続した凹部でこれに接着剤が充填されてしまうと、充填された接着層でノズル側と共通液室側が分断されてしまい、インクの供給ができなくなるからである。
【実施例２】
【００３６】
実施例１と異なり、固体層の凹部を図９に示すようにノズル列方向に直線の連続した溝とした。
【００３７】
また図１（４）の中央塗布圧を1.0kg/cm2から0.7kg/cm2に下げた。
【００３８】
このときの断面形状を図８に示す。
【００３９】
この場合も硬化性樹脂は凹部端で停止する。
【００４０】
L1>L2となった。この場合にはノズルフィルターの形成はできないが、流路長が下層の被覆長さL1で与えられるため、流路長さの均一性が増す。フィルターは、別の個所に設ければよい。
【００４１】
以上の実施例はアルミ基板、アルミ天板の構成で示したが、シリコン基板、ガラス天板などの異種材料であっても本発明の範疇であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第一実施例による工程図
【図２】本発明の固体層パターン
【図３】図１(1)〜(3)の拡大図
【図４】従来法によるインクジェットヘッドの斜視図
【図５】従来例の工程図
【図６】図５(6)で中央を分離した場合の吐出口面、断面
【図７】図１(8)で中央を分離した場合の吐出口面、断面
【図８】実施例２の吐出口面、断面
【図９】実施例２の固体層パターン
【符号の説明】
【００４３】
１  第一の基体
２  第一の固体層
３  凹部
４  ディスペンサ
５  第二の基体
６  マスク
７  オーブン
８  硬化性樹脂
8a  光硬化性樹脂
8b  常温硬化性樹脂
９  吐出口
１０  共通液室
１１  ノズルフィルター
１２  切断線
１３  ダイヤモンドバイト、切断ブレード
１４  真空チャンバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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