(57)【要約】【課題】遮蔽板の小型化、装置重量の増加、装置サイズの肥大化、及び有害物質による環境への影響を最小限に抑えつつ、電磁波の漏洩量を低減する電磁波低減方法を提供する。【解決手段】保持手段により保持される被検体１０５を透過してくる電磁波透過画像を用いて検査を行う際の電磁波漏洩を減少させるための電磁波漏洩低減装置において、前記電磁波透過画像を得るための第一の電磁波発生手段１０１と、被検体１０５を透過する第一の電磁波発生手段１０１の線量を測定するために前記第一の電磁波発生手段に対向して配置される電磁波検出手段１０３と、第一の電磁波発生手段１０１の電磁波軸上で第一の電磁波検出手段１０３の延長上に配置される第二の電磁波発生手段１１１と、を備え、当該電磁波透過画像を撮像するための第一の電磁波発生手段１０１の電磁波の漏洩電磁波を第二の電磁波発生手段１１１からの電磁波を干渉させて当該漏洩電磁波を低減させる。【選択図】図１
2006177849.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持手段により保持される被検体を透過してくる電磁波透過画像を用いて検査を行う際の電磁波漏洩を減少させるための電磁波漏洩低減装置において、
前記電磁波透過画像を得るための第一の電磁波発生手段と、
前記第一の電磁波発生手段の線量を制御する手段と、
前記被検体を透過する前記第一の電磁波発生手段の線量を測定するために前記第一の電磁波発生手段に対向して配置される電磁波検出手段と、
前記第一の電磁波発生手段により発生した電磁波を前記被検体保持手段により保持された被検体に照射するように電磁波を収束する第一のコリメータと、
前記第一の電磁波発生手段の電磁波軸上で前記第一の電磁波検出手段の延長上に配置される第二の電磁波発生手段と、
前記第二の電磁波発生手段により発生した電磁波を前記第一の電磁波発生手段からの電磁波と照射範囲を一致するように収束させる第二のコリメータと、
を備え、前記電磁波透過画像を撮像するための前記第一の電磁波発生手段の電磁波の漏洩電磁波を前記第二の電磁波発生手段からの電磁波を干渉させて当該漏洩電磁波を低減させることを特徴とする電磁波漏洩低減装置。
【請求項２】
前記第一の電磁波発生手段と第二の電磁波発生手段との間に生じる干渉ポイントと当該それぞれの電磁波発生手段との間の距離を等距離とし、当該干渉ポイントでの位相を逆位相とすることを特徴とする請求項１に記載の電磁波漏洩低減装置。
【請求項３】
前記第一の電磁波発生手段の線量と位相を前記漏洩電磁波検出手段により測定し、該測定値に応じて前記第一の電磁波発生手段の線量と位相を制御することを特徴とする請求項１に記載の電磁波漏洩低減装置。
【請求項４】
前記第二の電磁波発生手段から発生するＸ線は、前記第一の電磁波発生手段から発生する電磁波と同期していることを特徴とする請求項１に記載の電磁波漏洩低減装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波漏洩低減装置に関する。特に、Ｘ線やγ線などの電磁波を用いた非破
壊検査装置に関し、その電磁波の漏洩量を低減する方法とその装置に係り、特に実装基板検査におけるＢＧＡ部品などのはんだボール検査に好適に利用できるものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のＸ線またはγ線などの電磁波を用いた非破壊検査装置において、その電磁波または電子の漏洩量を低減する方法として、図５に示すように放射線吸収率の高い物質（例えば鉛など）を用いた遮蔽板４０７を用いるのが一般的である。たとえば、出力１００keVのＸ線を遮蔽するためには鉛相当の物質で５mm、出力１６０keVであれば１２mmの厚さが必要である。そのため、装置自身の重量の増加や装置サイズの肥大化を避けられなかった。また、鉛を使うことが多く、環境への悪影響も問題であった。これらの問題を解決するために様々な技術が開発されている。
【０００３】
例えば、遮蔽壁の内壁面に凹凸を形成して散乱回数を増加させて、減衰効果を高める技術が開示されている（例えば特許文献１）。
【０００４】
また、多重反射での減衰により遮蔽効果をあげる技術（例えば特許文献２）、更に、複数の磁界発生コイルを取り付ける構成の技術（例えば特許文献３）が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−２０２２７３号公報
【特許文献２】特開２００２−４０１９１号公報
【特許文献３】特開２０００−１００３５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のような構成では、装置サイズの肥大化、装置重量の増加および環境への悪影響を解決することができない。
【０００６】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、電磁波の干渉現象を利用することにより、装置重量の増加、装置サイズの肥大化を抑え、かつ鉛など有害物質の使用量を減少させつつ、電磁波の漏洩量を抑えることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
従来の課題を解決するために、本発明の電磁波漏洩低減装置は、保持手段により保持される被検体を透過してくる電磁波透過画像を用いて検査を行う際の電磁波漏洩を減少させるための電磁波漏洩低減装置において、前記電磁波透過画像を得るための第一の電磁波発生手段と、前記第一の電磁波発生手段の線量を制御する手段と、前記被検体を透過する前記第一の電磁波発生手段の線量を測定するために前記第一の電磁波発生手段に対向して配置される電磁波検出手段と、前記第一の電磁波発生手段により発生した電磁波を前記被検体保持手段により保持された被検体に照射するように電磁波を収束する第一のコリメータと、前記第一の電磁波発生手段の電磁波軸上で前記第一の電磁波検出手段の延長上に配置される第二の電磁波発生手段と、前記第二の電磁波発生手段により発生した電磁波を前記第一の電磁波発生手段からの電磁波と照射範囲を一致するように収束させる第二のコリメータと、を備え、前記電磁波透過画像を撮像するための前記第一の電磁波発生手段の電磁波の漏洩電磁波を前記第二の電磁波発生手段からの電磁波を干渉させて当該漏洩電磁波を低減させることを特徴としたものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明における電磁波漏洩低減装置によれば、遮蔽板を最小限に抑えることが可能となり、従来の課題であった装置重量の増加、装置サイズの肥大化、及び有害物質による環境への影響を最小限に抑えつつ、電磁波の漏洩量を低減することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
電磁波のエネルギーは、その電場及び磁場の振幅に依存し、電磁波の振幅が減衰する条件を満たすような干渉を起こした後の合成波のエネルギーは合成前の各電磁波のエネルギーにくらべ小さくなる。
【００１０】
図６は平面波の干渉を模式的に表したものである。
【００１１】
図６（ａ）は同一平面上に対向する位置に配置された波発生手段６０１及び波発生手段６０２から夫々発生された波６０３及び波６０４を示している。波６０３及び波６０４共に波長はλ、振幅Ａの波であり、波発生手段６０１と波発生手段６０２の距離はｄである。
【００１２】
図６（ｂ）は、ｄ＝ｎλ（ｎ＝１，２，３・・・）を満たしている場合、すなわち波発生装置間の距離ｄが波長の正の整数倍である場合の波の干渉の様子を示している。条件より、波６０３および波６０４は逆位相となり打ち消しあうので、干渉部分における波形は振幅０の波６１０のようになる。
【００１３】
図６（ｃ）は、ｄ＝（ｎ＋１／２）λ（ｎ＝１，２，３・・・）を満たしている場合、すなわち波発生装置間の距離ｄが波長の正の整数倍に対し波長λの半分だけずれている場合の波の干渉の様子を示している。条件より、波６０３および波６０４は同位相となり増幅され、干渉部分における波形は振幅２Ａの波６２０のようになる。
【００１４】
本発明は、電磁波の干渉を利用して漏洩電磁波を低減させるものである。
【００１５】
以下に、本発明の電磁波漏洩低減装置の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１は、本発明の実施例１における電磁波漏洩低減装置の全体構成を示す。
【００１７】
図１において、第二の電磁波発生手段１１１は、第一の電磁波発生手段１０１と同じ特性の電磁波を発生する手段であり、電磁波発生装置制御手段１２１により第一の電磁波発生手段１０１と同じ出力制御が行われ、第一の電磁波発生手段１０１の電磁波軸上の対向位置に配置された電磁波検出手段１０３の中央部を結ぶ直線上の電磁波検出手段１０３側に、第一の電磁波発生手段１０１に向かって電磁波を照射する向きに配置されている。干渉ポイント１２６は、第一の電磁波発生手段１０１、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段１１１を結んだ直線上で、かつ、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段１１１の間の点である。また、干渉平面は、干渉ポイントを含み、かつ、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段１１１を結んだ直線に対し垂直である平面である。ここで、第一の電磁波発生手段１０１及び第二の電磁波発生手段１１１と、干渉ポイント１２６との各距離を夫々ｄ１、ｄ２とすると、
ｄ１＝ｄ２  ・・・(1-1)
を満たしている。
【００１８】
非破壊検査において、第一の電磁波発生手段１０１により照射された第一の電磁波１０６は、コリメータ１０２によってその方向、照射範囲などを調整され収束された後に、被検体保持手段１０４によって保持された被検体１０５に到達する。
【００１９】
また、コリメータ１０２にて電磁波を収束させる前に、第一の電磁波発生手段１０１には発生した電磁波を回折格子（図示せず）により位相を揃えている。
【００２０】
さらに、被検体１０５を透過した第一の電磁波１０６は、電磁波検出手段１０３によってその線量を検出・測定される。その測定結果が記憶手段１２３に記憶され、その測定結果に基づくデータを元に３次元形状データとして再構成手段１２４が再構成を行った後、表示手段１２５に被検体１０５の第一の電磁波であるＸ線の透過電磁波による形状を３次元画像として表示される。
【００２１】
その際、空気による散乱、あるいは被検体１０５における乱反射により生じた散乱Ｘ線や、電磁波検出手段１０３の検出範囲外、あるいは、電磁波検出手段１０３自身を透過してきた第一の電磁波１０６が漏洩電磁波となる。
【００２２】
周囲壁面などに起因する散乱Ｘ線は、装置外周を覆った電磁波吸収物質で構成される遮蔽板１０７により吸収されて減衰するため、主に被検体１０５を透過して電磁波吸収手段１０３を透過してくるＸ線及び電磁波検出手段１０３の検出範囲外の漏洩してきたＸ線即ち漏洩電磁波を低減させるために第二の電磁波発生手段１１１を配置する。そこで、問題となる電磁波検出手段１０３の検出範囲外、あるいは、電磁波検出手段１０３自身を透過してきた第一の電磁波１０６対し、第二の電磁波発生手段１１１から第二の電磁波１１６が照射される。
【００２３】
第二の電磁波１１６はコリメータ制御手段１２２によって制御されたコリメータ１１２により、その照射範囲は干渉平面１２７において、干渉平面１２７における第一の電磁波１０６の照射範囲と同じとなるように調整されている。
【００２４】
また、コリメータ１１２にて電磁波を収束させる前に、第二の電磁波発生手段１１１には発生した電磁波を回折格子（図示せず）により位相を揃えている。
【００２５】
そして、第二の電磁波発生手段１１１は、ｄ１＝ｄ２となる位置に配置され、かつ、干渉面ポイント１２６では、第二の電磁波１１６は第一の電磁波１０６と逆位相となるように調整される。
【００２６】
第二の電磁波１１６は、漏洩電磁波と干渉するが、式（１−１）により漏洩電磁波と第二の電磁波１１６は逆位相の波であるので、互いに減衰し、漏洩電磁波のエネルギーが減少する。これにより、漏洩電磁波の透過力が減少及び線量の低減を図ることができる。以上のように、漏洩電磁波のエネルギーを減少させることにより、図４における従来の遮蔽板４０７に対し、図１における遮蔽板１０７の厚みを薄くすることが可能となる。
【実施例２】
【００２７】
図２は、本発明の実施例２における電磁波漏洩低減装置の全体構成を示す。
【００２８】
図２において、第二の電磁波発生手段２１１は、第一の電磁波発生手段１０１の電磁波軸上の対向位置に配置された電磁波検出手段１０３の中央部を結ぶ直線上の電磁波検出手段１０３側に、第一の電磁波発生手段１０１に向かって電磁波を照射する向きに配置されている。干渉ポイント２２６は、第一の電磁波発生手段１０１、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段２１１を結んだ直線上で、かつ、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段２１１の間の点である。また、干渉平面は、干渉ポイント２２６を含み、かつ、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段２１１を結んだ直線に対し垂直である平面である。ここで、第一の電磁波発生手段１０１及び第二の電磁波発生手段２１１と、干渉ポイント２２６との各距離を夫々ｄ１、ｄ２とすると、
｜ｄ２−ｄ１｜＝ｎλ（λ：電磁波波長、ｎ＝１、２、３・・・）・・・  (2-1)
を満たしている。さらに、第二の電磁波発生手段制御手段２２８は、予め測定された第一の電磁波発生手段１０１から照射された第一の電磁波１０６の波長や出力などの特性にあわせ、同波長かつ、干渉平面における振幅が等しくなるように第二の電磁波発生手段２１１の出力制御を行う。
【００２９】
非破壊検査において、第一の電磁波発生手段１０１により照射された第一の電磁波１０６は、コリメータ１０２によってその方向、照射範囲などを調整された後に、被検体保持手段１０４によって保持された被検体１０５に到達する。さらに、被検体１０５を透過した第一の電磁波１０６は、電磁波検出手段１０３によってその線量が検出・測定される。その測定結果が、記憶手段１２３に記憶され、その測定結果に基づくデータを元に３次元形状データとして再構成手段１２４が再構成を行った後、表示手段１２５に被検体１０５の形状を３次元画像として表示される。
【００３０】
その際、空気による散乱、あるいは被検体１０５における乱反射により生じた散乱Ｘ線や、電磁波検出手段１０３の検出範囲外、あるいは、電磁波検出手段１０３自身を透過してきた第一の電磁波１０６が漏洩電磁波となる。
【００３１】
周囲壁面などに起因する散乱Ｘ線は、装置外周を覆った電磁波吸収物質で構成される遮蔽板１０７により吸収されて減衰するため、主に被検体１０５を透過して電磁波吸収手段１０３を透過してくるＸ線及び電磁波検出手段１０３の検出範囲外の漏洩してきたＸ線即ち漏洩電磁波を低減させるために第二の電磁波発生手段１１１を配置する。そこで、問題となる電磁波検出手段１０３の検出範囲外、あるいは、電磁波検出手段１０３自身を透過してきた第一の電磁波１０６対し、第二の電磁波発生手段２１１から第二の電磁波１１６が照射される。
【００３２】
第二の電磁波１１６はコリメータ制御手段２２２によって制御されたコリメータ２１２により、その照射範囲は干渉平面２２７において、干渉平面２２７における第一の電磁波１０６の照射範囲と同じとなるように調整されている。
【００３３】
また、コリメータ２１２にて電磁波を収束させる前に、第二の電磁波発生手段２１１には発生した電磁波を回折格子（図示せず）により位相を揃えている。
【００３４】
第二の電磁波１１６は、漏洩電磁波と干渉するが、式（２−１）により漏洩電磁波と第二の電磁波１１６は逆位相の波であるので、互いに減衰し、漏洩電磁波のエネルギーが減少する。以上のように、漏洩電磁波のエネルギーを減少させることにより、漏洩電磁波の透過力が減少及び線量の低減を図ることができる。これにより、図４における従来の遮蔽板４０７に対し、図１における遮蔽板１０７の厚みを薄くすることが可能となる。また、第一の電磁波発生手段１０１及び第二の電磁波発生手段２１１と干渉ポイント２２６の各距離が等間隔である必要が無く、実施例１で示したものに対し、装置の小型化を図ることが可能である。
【実施例３】
【００３５】
図３は、本発明の実施例３における電磁波漏洩低減装置の全体構成を示す。
【００３６】
図３において、第二の電磁波発生手段３１１は、第一の電磁波発生手段１０１とその対向位置に配置された電磁波検出手段１０３の中央部を結ぶ直線上の電磁波検出手段１０３側に、第一の電磁波発生手段１０１に向かって電磁波を照射する向きに配置されている。さらに、その延長線に対し垂直な平面上に第二の電磁波検出手段３１３ａ及び第二の電磁波検出手段３１３ｂが配置されている。第二の電磁波検出手段３１３ａ及び第二の電磁波検出手段３１３ｂは、その配置された位置における漏洩電磁波の波長及び強度を測定するものであり、装置全体としての漏洩量を計測するために複数箇所に配置されている。干渉ポイント３２６は、第一の電磁波発生手段１０１、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段３１１を結んだ直線上で、かつ、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生装手段３１１の間の点である。また、干渉平面は、干渉ポイント３２６を含み、かつ、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段３１１を結んだ直線に対し垂直である平面である。ここで、第一の電磁波発生手段１０１及び第二の電磁波発生手段３１１と、干渉ポイント３２６との各距離を夫々ｄ１、ｄ２とすると、式（２−１）を満たしている。
【００３７】
非破壊検査において、第一の電磁波発生手段１０１により照射された第一の電磁波１０６は、コリメータ１０２によってその方向、照射範囲などを調整された後に、被検体保持手段１０４によって保持された被検体１０５に到達する。さらに、被検体１０５を透過した第一の電磁波１０６は、電磁波検出手段１０３によってその線量を検出・測定される。その測定結果が記憶手段１２３に記憶され、その測定結果に基づくデータを元に３次元形状データとして再構成手段１２４が再構成を行った後、表示手段１２５に被検体１０５の形状を３次元画像として表示する。
【００３８】
周囲壁面などに起因する散乱Ｘ線は、装置外周を覆った電磁波吸収物質で構成される遮蔽板１０７により吸収されて減衰するため、主に被検体１０５を透過して電磁波吸収手段１０３を透過してくるＸ線及び電磁波検出手段１０３の検出範囲外の漏洩してきたＸ線即ち漏洩電磁波を低減させるために第二の電磁波発生手段３１１を配置する。そこで、問題となる電磁波検出手段１０３の検出範囲外、あるいは、電磁波検出手段１０３自身を透過してきた第一の電磁波１０６対し、第二の電磁波発生手段３１１から第二の電磁波１１６が照射される。
【００３９】
第二の電磁波１１６はコリメータ制御手段２２２によって制御されたコリメータ３１２により、その照射範囲は干渉平面２２７において、干渉平面３２７における第一の電磁波１０６の照射範囲と同じとなるように調整されている。
【００４０】
また、コリメータ３１２にて電磁波を収束させる前に、第二の電磁波発生手段３１１には発生した電磁波を回折格子（図示せず）により位相を揃えている。
【００４１】
そして、漏洩電磁波の線量を第二の電磁波検出手段３１３ａ及び３１３ｂが検出・測定し、その結果を漏洩電磁波計測結果演算手段３２９に通知する。複数の電磁波検出手段を用いることにより、高精度な電磁波計測ができる。
【００４２】
漏洩電磁波計測結果演算手段３２９は、その検出線量が予め定められた閾値を超えていた場合に、第二の電磁は発生手段制御手段３２８に対し第二の電磁波発生手段３１１の出力の大きさやタイミング、波長などの制御を行うよう命令を発行すると同時に、コリメータ制御手段３２２に対して照射範囲を調整するように命令を発行する。これにより、第二の電磁波発生手段３１１より照射された第二の電磁波３１６は、漏洩電磁波の線量が常に予め定められた閾値以下となるように減衰方向で干渉する。
【００４３】
したがって、漏洩電磁波と第二の電磁波３１６は互いに減衰し、漏洩電磁波のエネルギーが減少するので、漏洩電磁波の透過力が減少及び線量の低減を図ることができる。
【００４４】
以上のように、漏洩電磁波のエネルギーを減少させることにより、図５に示す従来の遮蔽板４０７に対し、図１における遮蔽板１０７の厚みを薄くすることが可能となる。また、漏洩電磁波検出手段３１３ａ及び３１３ｂを用いてリアルタイムに処理を行うことにより、第一の電磁波発生手段１０１の照射する電磁波の時間によるばらつきにも対応することが可能である。
【実施例４】
【００４５】
図４は、本発明の実施例４における電磁波漏洩低減装置の全体構成を示す。
【００４６】
図４において、第二の電磁波発生手段１１１は、第一の電磁波発生手段１０１と同じ特性の電磁波を発生する手段であり、電磁波発生装置制御手段１２１により第一の電磁波発生手段１０１と同じ出力制御が行われ、第一の電磁波発生手段１０１とその対向位置に配置された電磁波検出手段１０３の中央部を結ぶ直線上の電磁波検出手段１０３側に、第一の電磁波発生手段１０１に向かって電磁波を照射する向きに配置されている。干渉ポイント１２６は、第一の電磁波発生手段１０１、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段１１１を結んだ直線上で、かつ、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段１１１の間の点である。また、干渉平面は、干渉ポイントを含み、かつ、電磁波検出手段１０３及び第二の電磁波発生手段１１１を結んだ直線に対し垂直である平面である。ここで、第一の電磁波発生手段１０１及び第二の電磁波発生手段１１１と、干渉ポイント１２６との各距離を夫々ｄ１、ｄ２とすると、式（１−１）を満たしている。
【００４７】
非破壊検査において、第一の電磁波発生手段１０１により照射された第一の電磁波１０６は、コリメータ１０２によってその方向、照射範囲などを調整され収束された後に、被検体保持手段１０４によって保持された被検体１０５に到達する。さらに、被検体１０５を透過した第一の電磁波１０６は、電磁波検出手段１０３によってその線量を検出・測定される。その測定結果が、記憶手段１２３に記憶され、その測定結果に基づくデータを元に３次元形状データとして再構成手段１２４が再構成を行った後、表示手段１２５に被検体１０５の形状を３次元画像として表示される。
【００４８】
その際、空気による散乱、あるいは被検体における乱反射により生じた散乱Ｘ線や、電磁波検出手段１０３の検出範囲外、あるいは、電磁波検出手段１０３自身を透過してきた第一の電磁波１０６が漏洩電磁波となる。
【００４９】
周囲壁面などに起因する散乱Ｘ線は、装置外周を覆った電磁波吸収物質で構成される遮蔽板１０７により吸収されて減衰するため、主に被検体１０５を透過して電磁波吸収手段１０３を透過してくるＸ線及び電磁波検出手段１０３の検出範囲外の漏洩してきたＸ線即ち漏洩電磁波を低減させるために第二の電磁波発生手段１１１を配置する。そこで、問題となる電磁波検出手段１０３の検出範囲外、あるいは、電磁波検出手段１０３自身を透過してきた第一の電磁波１０６対し、第二の電磁波発生手段１１１から第二の電磁波１１６が照射される。
【００５０】
第二の電磁波１１６はコリメータ制御手段１２２によって制御されたコリメータ１１２により、その照射範囲は干渉平面１２７において、干渉平面１２７における第一の電磁波１０６の照射範囲と同じとなるように調整されている。
【００５１】
また、コリメータ１１２にて電磁波を収束させる前に、第二の電磁波発生手段１１１には発生した電磁波を回折格子（図示せず）により位相を揃えている。
【００５２】
また、第二の電磁波発生装置１１１は、ｄ１＝ｄ２となる位置に配置され、かつ、干渉面ポイント１２６では、第二の電磁波１１６は、第一の電磁波１０６と逆位相となるように調整される。また、第一のコリメータ制御手段１０８及び第二のコリメータ制御手段１１８は同期手段４４０によって同期されており、第一の電磁波１０６と第二の電磁波１１６は逆位相の電磁波として同期している。第二の電磁波１１６は、漏洩電磁波と干渉するが、式（１−１）により漏洩電磁波と第二の電磁波１１６は逆位相の波であるので、互いに減衰し、漏洩電磁波のエネルギーが減少する。これにより、漏洩電磁波の透過力が減少及び線量の低減を図ることができる。以上のように、漏洩電磁波のエネルギーを減少させることにより、図５における従来の遮蔽板４０７に対し、図示するように遮蔽板１０７の厚みを薄くすることが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明にかかる電磁波漏洩低減装置は、第二の電磁波発生手段３１１を第一の電磁波発生手段１０１とその対向位置に配置して漏洩電磁波の線量を低減することにより装置の小型化が図れ、実装基板検査装置等として有用である。また、漏洩電磁波の線量を抑制し、被検体の被曝量を低減することが必要な医療関係装置等の用途にも適用できる。更に、実装基板検査におけるＢＧＡ部品などのはんだボール検査に好適に利用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施例１における電磁波漏洩低減装置の全体構成図
【図２】本発明の実施例２における電磁波漏洩低減装置の全体構成図
【図３】本発明の実施例３における電磁波漏洩低減装置の全体構成図
【図４】本発明の実施例４における電磁波漏洩低減装置の全体構成図
【図５】従来の実施形態における電磁波漏洩低減装置の構成図
【図６】電磁波の干渉を説明するための模式図
【符号の説明】
【００５５】
１０１  第一の電磁波発生手段
１０２  第一のコリメータ
１０３  測定用電磁波検出手段
１０４  被検体保持手段
１０５  被検体
１０６  第一の電磁波発生手段から照射された第一の電磁波
１０７  遮蔽板
１０８  第一のコリメータ制御手段
１１１  第二の電磁波発生手段
１１２  第二のコリメータ
１１６  第二の電磁波発生手段から照射された第二の電磁波
１１８  第二のコリメータ制御手段
１２１  電磁波発生手段制御手段
１２３  記憶手段
１２４  再構成手段
１２５  結果表示手段
１２６  干渉ポイント
１２７  干渉平面
２１１  第二の電磁波発生手段
２１２  コリメータ
２１６  第二の電磁波発生手段から照射された第二の電磁波
２２１  電磁波発生手段制御手段
２２２  コリメータ制御手段
２２６  干渉ポイント
２２７  干渉平面
２２８  第二の電磁波発生手段制御手段
３１１  第二の電磁波発生手段
３１２  コリメータ
３１３ａ  漏洩電磁波検出手段ａ
３１３ｂ  漏洩電磁波検出手段ｂ
３１６  第二の電磁波発生手段から照射された第二の電磁波
３２２  コリメータ制御手段
３２６  干渉ポイント
３２７  干渉平面
３２８  第二の電磁波発生手段制御手段
３２９  漏洩電磁波計測結果演算手段
４４０  第一のコリメータ制御手段と第二のコリメータ制御手段の同期手段
５０１  第一の電磁波発生手段
５０２  コリメータ
５０３  測定用電磁波検出手段
５０４  被検体保持手段
５０５  被検体
５０６  第一の電磁波発生手段から照射された第一の電磁波
５０７  遮蔽板
５２１  電磁波発生手段制御手段
５２３  記憶手段
５２４  再構成手段
５２５  結果表示手段
６０１  波発生手段ａ
６０２  波発生手段ｂ
６０３  波発生手段ａから発生した波ａ
６０４  波発生手段ｂから発生した波ｂ
６１０（条件：d=nλ下で）波ａ及び波ｂが干渉した結果の波
６２０（条件：d=(n-1/2)λ下で）波ａ及び波ｂが干渉した結果の波
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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