(57)【要約】【課題】再生原型金型に面荒れが発生するのを防止することができ、成形用金型のコストを低くすることができるようにする。【解決手段】所定の形状に形成された母材２３と、該母材２３の先端面ｓ４上に被覆された耐エッチング層３１と、該耐エッチング層３１上に被覆され、エッチング液で除去可能な薄膜層３２と、該薄膜層３２上に被覆された離型膜３３とを有する。この場合、エッチング液によって薄膜層３２及び離型膜３３が除去されると、母材２３上に耐エッチング層３１が被覆された状態で残るが、薄膜層３２及び離型膜３３を除去するのにイオンビームを照射する必要がないので、再生原型金型に面荒れが発生するのを防止することができる。また、耐エッチング層３１がエッチング液に反応しないので、再生原型金型に面荒れが発生するのを防止することができる。【選択図】図１
2006111496.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）所定の形状に形成された母材と、
（ｂ）該母材の先端面上に被覆された耐エッチング層と、
（ｃ）該耐エッチング層上に被覆され、エッチング液で除去可能な薄膜層と、
（ｄ）該薄膜層上に被覆された離型膜とを有することを特徴とする成形用金型。
【請求項２】
（ａ）前記エッチング液が硫酸である場合、前記耐エッチング層が窒化チタン、酸化アルミニウム、炭化ほう素、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、窒化クロム、窒化クロムチタン、酸化チタン、炭化珪素、炭素、二酸化珪素又は窒化アルミニウムから成り、前記薄膜層が酸化マグネシウム又は炭化ジルコニウムから成り、
（ｂ）前記エッチング液が塩酸である場合、前記耐エッチング層が窒化チタン、酸化アルミニウム、炭化ほう素、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、窒化クロム、窒化クロムチタン、酸化チタン、炭化珪素、炭素、二酸化珪素又は窒化アルミニウムから成り、前記薄膜層が酸化ベリリウム、酸化ジルコニウム又はホウ化ジルコニウムから成り、
（ｃ）前記エッチング液が硝酸である場合、前記耐エッチング層が酸化アルミニウム、炭化ほう素、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、窒化クロム、窒化クロムチタン、酸化チタン、炭化珪素、炭素、二酸化珪素又は窒化アルミニウムから成り、前記薄膜層が酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、炭化チタン、炭化ジルコニウム又は窒化チタンから成り、
（ｄ）前記エッチング液がフッ酸である場合、前記耐エッチング層が酸化アルミニウム、炭化ほう素、炭化珪素、炭素又は窒化アルミニウムから成り、前記薄膜層が窒化チタン、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、二酸化珪素又は酸化ジルコニウムから成り、
（ｅ）前記エッチング液が硝酸及びフッ酸の混合液である場合、前記耐エッチング層が炭化ほう素、炭化珪素又は炭素から成り、前記薄膜層が酸化マグネシウム、炭化チタン、炭化ジルコニウム、窒化チタン、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、窒化クロムチタン又は窒化クロムから成る請求項１に記載の成形用金型。
【請求項３】
前記エッチング液が水酸化ナトリウム、又は水酸化ナトリウム及び過酸化水素水の混合液である場合、前記耐エッチング層が窒化クロム、窒化クロムチタン、酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、炭化ほう素、炭素又は窒化アルミニウムから成り、前記薄膜層が窒化チタン、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、酸化チタン、窒化チタン又は二酸化珪素から成る請求項１に記載の成形用金型。
【請求項４】
前記エッチング液が窒化チタン除膜液である場合、前記耐エッチング層がクロム又は窒化クロムから成り、前記薄膜層が窒化チタンから成る請求項１に記載の成形用金型。
【請求項５】
前記耐エッチング層は、前記母材の先端面上に１〔μｍ〕以下の厚さで形成される請求項１〜４のいずれか１項に記載の成形用金型。
【請求項６】
所定の形状に形成された母材、該母材の先端面上に被覆された耐エッチング層、該耐エッチング層上に被覆された薄膜層、及び該薄膜層上に被覆された離型膜を備えた成形用金型の再生方法において、
（ａ）エッチング液で薄膜層及び離型膜を除去し、
（ｂ）母材に耐エッチング層が被覆された状態で、該耐エッチング層上に薄膜層を被覆し、
（ｃ）該薄膜層上に離型膜を被覆することを特徴とする成形用金型の再生方法。
【請求項７】
（ａ）所定の形状に形成された母材、該母材の先端面上に被覆された耐エッチング層、該耐エッチング層上に被覆された薄膜層、及び該薄膜層上に被覆された離型膜を備えた成形用金型にプリフォームをセットし、
（ｂ）型開閉装置を作動させて成形用金型によって前記プリフォームを圧縮し、
（ｃ）前記成形用金型において、プリフォームをガラス転移点まで冷却して成形品を成形し、
（ｄ）前記成形用金型を開いて成形品を取り出すことを特徴とする成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形用金型、その再生方法及び成形方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、成形品として、高精度の光学素子、例えば、非球面レンズ等のレンズを成形するためにプレス成形法が提供されている。該プレス成形法においては、レンズの形状を有する成形面を備えた下型及び上型、並びに胴型を備えた成形用金型が使用され、前記下型と上型との間に成形材料としてのガラスのプリフォームがセットされる。続いて、非酸化性ガスの雰囲気下で前記成形用金型をガラス屈服点（Ａｔ）付近まで加熱し、保持し、前記上型を下型に押し付け、プリフォームを圧縮することによって加圧成形し、その状態でプリフォームをガラス転移点まで徐冷した後、更に冷却すると、レンズが成形される。その後、上型を上方に移動させ、レンズを取り出すことができる。
【０００３】
前記プレス成形法において使用されるレンズ用のガラス屈服点は、硝材、すなわち、ガラスの成分によって異なるが、約３００〜７００〔℃〕であり、比較的高温で成形が行われる。したがって、前記成形用金型において、下型、上型及び胴型について、表１に示されるような性能が要求される。
【０００４】
【表１】
2006111496.tif 000003
【０００５】
すなわち、下型、上型及び胴型について、高温下における使用に耐えられるように高温強度、耐熱性及び耐酸化性が、所望の形状、寸法精度でレンズを成形することができるように加工性が、長期間の使用に耐えられるように耐久性が要求される。また、下型及び上型について、成型時において軟化したガラスと付着することがないように離型性が、光学特性を良好にするためのレンズの面精度及び粗さを加圧成形を行うだけで得られるように鏡面性が要求される。
【０００６】
そのために、前記下型及び上型において、母材として炭化珪（けい）素（ＳｉＣ）、炭化タングステン（ＷＣ）等のセラミックス、又は超硬合金を使用し、前記母材の先端面をレンズの形状に加工し、鏡面研磨した後、離型性を確保するために、チタン（Ｔｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）等の単独の金属元素の窒化物から成る窒化物膜、又は前記窒化物を組み合わせた複窒化物から成る複窒化物膜を前記先端面に離型膜として被覆し、成形面を形成するようにしている。
【０００７】
さらに、前記先端面に、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、オスミウム（Ｏｓ）、レニウム（Ｒｅ）等の貴金属合金膜を離型膜として被覆したり、ダイヤモンド状炭素膜、硬質炭素膜等を離型膜として被覆したりすることもできる。
【０００８】
ところで、レンズ用の成形用金型においては、成形面における寸法交差は数〔μｍ〕オーダーであり、成形面の面粗さはＲａで１０〜２０〔ｎｍ〕又はそれより平滑であることが要求されるが、前記各種の離型膜は、プレス成形が繰り返し行われるうちに劣化し、面荒れ、部分的な剥（はく）離等を起こし、前記成形用金型を使用することができなくなってしまう。
【０００９】
そこで、離型膜にイオンビームを照射したり、エッチングを施したりすることによって離型膜を除去して再生原型金型を形成し、該再生原型金型上に再び離型膜を被覆することによって成形用金型を再生するようにしている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平５−３２４２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、前記従来の成形用金型の再生方法においては、離型膜にイオンビームを照射する場合、離型膜を除去する速度を高くしようとしてイオンビームの加速電圧を高くしたり、イオン電流を大きくしたりすると、再生原型金型に面荒れが発生してしまう。また、離型膜にエッチングを施す場合、母材までエッチングが行われてしまうことがあり、再生原型金型に面荒れが発生してしまう。
【００１１】
その結果、再生原型金型に対して、仕上げ加工、仕上げ研磨等を行う必要が生じ、成形用金型のコストが高くなってしまう。
【００１２】
本発明は、前記従来の成形用金型の再生方法の問題点を解決して、再生原型金型に面荒れが発生するのを防止することができ、コストを低くすることができる成形用金型、その再生方法及び成形方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そのために、本発明の成形用金型においては、所定の形状に形成された母材と、該母材の先端面上に被覆された耐エッチング層と、該耐エッチング層上に被覆され、エッチング液で除去可能な薄膜層と、該薄膜層上に被覆された離型膜とを有する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、成形用金型においては、所定の形状に形成された母材と、該母材の先端面上に被覆された耐エッチング層と、該耐エッチング層上に被覆され、エッチング液で除去可能な薄膜層と、該薄膜層上に被覆された離型膜とを有する。
【００１５】
この場合、エッチング液によって薄膜層及び離型膜が除去されると、母材上に耐エッチング層が被覆された状態で残るが、薄膜層及び離型膜を除去するのにイオンビームを照射する必要がないので、再生原型金型に面荒れが発生するのを防止することができる。また、耐エッチング層がエッチング液に反応しないので、再生原型金型に面荒れが発生するのを防止することができる。したがって、前記再生原型金型に対して、仕上げ加工、仕上げ研磨等を行う必要がないので、成形用金型のコストを低くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。この場合、成形品として、高精度の光学素子、例えば、非球面レンズ等のレンズを成形するための成形用金型及びその再生方法について説明する。
【００１７】
図１は本発明の実施の形態における下型の要部を示す断面図、図２は本発明の実施の形態におけるプレス成形法を示す第１の図、図３は本発明の実施の形態におけるプレス成形法を示す第２の図、図４は本発明の実施の形態における下型の断面図である。
【００１８】
図において、１０は成形用金型、１１は第１の成形型としての下型、１２は第２の成形型としての上型、１３は胴型である。前記下型１１は、図示されない支持部材上に配設され、フランジ部１５、及び該フランジ部１５から上方に向けて延びる第１のコア部としての下コア１６を備える。また、前記上型１２は、図示されない型開閉装置によって上下方向に移動自在に支持され、フランジ部１７、及び前記下コア１６と対向させて、かつ、フランジ部１７から下方に向けて延びる第２のコア部としての上コア１８を備える。
【００１９】
そして、前記胴型１３は、前記フランジ部１５上に載置され、下コア１６の全体、及び上コア１８の一部を包囲するように配設され、下型１１と上型１２との心合せをするとともに、上型１２を案内する。そのために、下コア１６及び上コア１８は円柱状の形状を有し、胴型１３は下コア１６及び上コア１８を緊密に覆う円筒体から成り、下コア１６及び上コア１８の外周面と胴型１３の内周面とは摺（しゅう）動させられる。
【００２０】
また、前記下コア１６の上端には、第１の成形面としての下成形面ｓ１が、上コア１８の下端には、第２の成形面としての上成形面ｓ２が形成される。
【００２１】
前記構成の成形用金型１０においてレンズを製造する方法について説明する。
【００２２】
まず、装填（てん）工程において、前記型開閉装置は、上型１２を上方に移動させ、図示されない装填装置は、前記下型１１と上型１２との間に成形材料としてのガラスから成るプリフォーム２１をセットする。そして、非酸化性ガスの雰囲気下で図示されない加熱装置は、前記成形用金型１０をガラス屈服点付近まで加熱し、保持する。
【００２３】
続いて、加圧工程において、前記型開閉装置は上型１２を下方に移動させて型閉じを行うとともに、上型１２を下型１１に押し付け、図３に示されるように、プリフォーム２１を圧縮することによって加圧成形する。このとき、上型１２と下型１１とが当接させられ、プリフォーム２１は前記下成形面ｓ１及び上成形面ｓ２の形状に合わせて変形させられる。そして、冷却工程において、プリフォーム２１をガラス転移点まで徐冷した後、更に冷却すると、レンズが成形される。その後、取出工程において、前記型開閉装置は、上型１２を上方に移動させて型開きを行い、レンズが取り出される。
【００２４】
ところで、下型１１、上型１２及び胴型１３については、高温下における使用に耐えられるように高温強度、耐熱性及び耐酸化性が、所望の形状、寸法精度でレンズを成形することができるように加工性が、長期間の使用に耐えられるように耐久性が要求される。また、下型１１及び上型１２については、成型時において軟化したガラスと付着することがないように離型性が、光学特性を良好にするためのレンズの面精度及び粗さを加圧成形を行うだけで得られるように鏡面性が要求される。
【００２５】
そのために、前記下型１１において、図１に示されるように、母材２３として炭化珪素、炭化タングステン等のセラミックス、又は超硬合金を使用し、前記母材２３の先端面ｓ４をレンズの形状に加工し、鏡面研磨した後、離型性を確保するために、離型膜構造体２４を先端面ｓ４に被覆し、前記下成形面ｓ１を形成するようにしている。
【００２６】
なお、下型１１及び上型１２は同じ構造を有するので、下型１１についてだけ説明し、上型１２については説明を省略する。
【００２７】
ところで、レンズ用の成形用金型１０においては、下成形面ｓ１における寸法公差は数〔μｍ〕オーダーであり、下成形面ｓ１の面粗さはＲａで１０〜２０〔ｎｍ〕又はそれより平滑であることが要求されるが、前記離型膜構造体２４が、プレス成形が繰り返し行われるうちに劣化し、面荒れ、部分的な剥離等を起こすと、前記成形用金型１０を使用することができなくなってしまう。
【００２８】
そこで、図１に示されるように、前記離型膜構造体２４を、前記先端面ｓ４上に被覆され、エッチング液に反応しない材料から成り、エッチング液で除去不可能な耐エッチング層３１、該耐エッチング層３１上に被覆され、エッチング液に反応する材料から成り、エッチング液で除去可能な薄膜層３２、該薄膜層３２上に被覆され、最も外側の表面、すなわち、最表面を構成する離型膜３３から成る積層構造で形成するようにしている。なお、前記離型膜３３は、エッチング液に反応する材料で形成するのが好ましいが、必ずしもエッチング液に反応する材料で形成する必要はない。
【００２９】
なお、前記耐エッチング層３１の厚さは、薄膜層３２及び離型膜３３を被覆する際に、先端面ｓ４の面粗さを損なわないように、１〔μｍ〕以下にするのが好ましい。また、薄膜層３２の厚さは、エッチング液で除去するのに時間を短くすることができるように、１〔μｍ〕以下にするのが好ましい。
【００３０】
次に、成形用金型１０の再生プロセスについて説明する。
【００３１】
図５は本発明の実施の形態における成形用金型の再生プロセスを示す図である。
【００３２】
図において、１１は下型、２３は母材、３１は耐エッチング層、３２は薄膜層、３３は離型膜である。
【００３３】
まず、エッチング工程で、下型１１がエッチング液に浸され、前記薄膜層３２及び離型膜３３が除去されて再生原型金型が形成される。これに伴い、母材２３上に耐エッチング層３１が被覆された状態で残る。続いて、第１の成膜工程で、耐エッチング層３１上に薄膜層３２が被覆され、第２の成膜工程で、薄膜層３２上に離型膜３３が被覆される。
【００３４】
ところで、前記第２の成膜工程では、薄膜層３２上に、単独の金属元素の窒化物から成る窒化物層、又は前記窒化物を組み合わせた複窒化物から成る複窒化物層を一次処理膜として被覆し、続いて、該一次処理膜に対して適当な酸化処理を施し、最表面に、酸化処理に伴う二次処理膜として前記複酸化物層を形成するとともに、該複酸化物層の内側、すなわち、複酸化物層と複窒化物層との間に、中間層として、複酸化物の金属元素の窒化化合物及び酸素から成る酸素拡散層を形成する。
【００３５】
その結果、離型膜３３は、薄膜層３２上に被覆された窒化物層又は複窒化物層、該窒化物層又は複窒化物層上に形成された酸素拡散層、及び該酸素拡散層上に形成された複酸化物層から成る３層構造になり、下成形面ｓ１が複酸化物層によって構成される。なお、前記酸素拡散層においては、内側ほど、すなわち、前記複酸化物層から窒化物層又は複窒化物層にかけて酸素の濃度が徐々に低くなる。また、前記窒化物層又は複窒化物層は、前記複酸化物の金属元素を含む窒化物又は複窒化物で形成される。
【００３６】
本実施の形態においては、第１の成膜工程で薄膜層３２が、第２の成膜工程で離型膜３３が被覆されるようになっているが、一つの成膜工程で薄膜層３２及び離型膜３３を同時に形成することができる。
【００３７】
このように、エッチング工程で、薄膜層３２及び離型膜３３が除去されると、母材２３上に耐エッチング層３１が被覆された状態で残るが、薄膜層３２及び離型膜３３を除去するのにイオンビームを照射する必要がないので、再生原型金型に面荒れが発生するのを防止することができる。また、耐エッチング層３１がエッチング液に反応しないので、再生原型金型に面荒れが発生するのを防止することができる。したがって、再生原型金型に対して、仕上げ加工、仕上げ研磨等を行う必要がないので、成形用金型１０のコストを低くすることができる。
【００３８】
また、薄膜層３２を被覆するに当たり、再生原型金型の形状、寸法精度等が維持されるような方法、例えば、物理蒸着法又は化学蒸着を行うと、エッチング工程で薄膜層３２を除去したときに、再生原型金型の形状、寸法精度等を維持することができる。
【００３９】
そして、離型膜３３の下に前記薄膜層３２が形成されるので、離型膜３３が剥離しても耐エッチング層３１がレンズと接触することがないので、耐エッチング層３１がレンズによってはぎ取られるプルアウト現象が発生するのを防止することができる。
【実施例】
【００４０】
母材２３として超硬合金を使用し、前記先端面ｓ４をレンズの形状に加工し、鏡面研磨した後、耐エッチング層３１としてクロム（Ｃｒ）又は窒化クロム（ＣｒＮ）を、薄膜層３２として窒化チタン（ＴｉＮ）を被覆した。続いて、離型膜３３として、チタン（Ｔｉ）及びアルミニウム（Ａｌ）の酸化物を含む複酸化物層、酸化拡散層、及び複窒化物層であるチタンアルミナイトライド（ＴｉＡｌＮ）層から成る３層構造を形成した。
【００４１】
前記耐エッチング層３１、薄膜層３２及び離型膜３３の厚さは、いずれも０．２〔μｍ〕とし、各耐エッチング層３１、薄膜層３２及び離型膜３３はスパッタリング法によって被覆した。また、下成形面ｓ１の面粗さはＲａで３〜４〔ｎｍ）であった。
【００４２】
前記構成の成形用金型１０を使用し、非酸化性ガスから成る雰囲気下、例えば、窒素ガス雰囲気下で、５８０〔℃〕の温度でレンズの成形を行ったところ、約２２００〔ショット〕を超えたところで離型膜３３に面荒れが発生した。そこで、窒化チタン膜だけを溶解する市販の窒化チタン徐膜液をエッチング液として使用し、エッチング工程で薄膜層３２を除去するとともに離型膜３３を除去した後、第１、第２の成膜工程で再び耐エッチング層３１上に薄膜層３２及び離型膜３３を被覆した。第１、第２の成膜工程で処理温度は２５〜３０〔℃〕、処理時間は３〜８時間とした。
【００４３】
耐エッチング層３１としての窒化クロム膜が形成された場合、及び形成されない場合、並びに耐エッチング層３１としてのクロム（Ｃｒ）膜が形成された場合、及び形成されない場合について、成形用金型１０を使用する前及び再生した後の下成形面ｓ１の面粗さを表２に示す。
【００４４】
【表２】
2006111496.tif 000004
【００４５】
耐エッチング層３１としての窒化クロム膜、クロム膜が形成された場合には、成形用金型１０を使用する前と再生した後とで面粗さがほとんど変化していないことが分かる。
【００４６】
そして、再生された成形用金型１０を使用して、同じ条件でレンズを成形したところ、成形用金型１０を再生する前と同じ寿命が得られた。
【００４７】
また、窒化クロム膜、クロム膜が形成されない場合には、母材２３が窒化チタン徐膜液によって腐食され、面荒れが発生していることが分かる。
【００４８】
なお、離型膜３３を窒化クロム等の窒化物膜で形成したり、白金−イリジウム（Ｐｒ−Ｉｒ）、白金−レニウム（Ｐｒ−Ｒｔ）、レニウム−イリジウム（Ｒｔ−Ｉｒ）等の貴金属膜で形成したりしても、母材２３及び耐エッチング層３１の形状、寸法精度等が維持され、成形用金型１０を使用する前と再生した後とで面粗さがほとんど変化しない。
【００４９】
本実施の形態においては、耐エッチング薄膜層３１がクロム又は窒化クロム、薄膜層３２が窒化チタンから成り、エッチング液として窒化チタン除膜液を使用する場合について説明したが、耐エッチング層３１に対応させてエッチング液を適宜選択することができる。使用されるエッチング液に対応する膜構造の例を表３に示す。
【００５０】
【表３】
2006111496.tif 000005
【００５１】
すなわち、前記エッチング液が硫酸である場合、前記耐エッチング層３１が窒化チタン、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）、炭化ほう素（Ｂ4 Ｃ）、炭窒化チタン（ＴｉＣＮ）、チタンアルミナイトライド、窒化クロム、窒化クロムチタン（ＴｉＣｒＮ）、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、炭化珪素、炭素（Ｃ）、二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）又は窒化アルミニウム（ＡｌＮ）から成り、前記薄膜層３２が酸化マグネシウム（ＭｇＯ）又は炭化ジルコニウム（ＺｒＣ）から成る。また、前記エッチング液が塩酸である場合、前記耐エッチング層３１が窒化チタン、酸化アルミニウム、炭化ほう素、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、窒化クロム、窒化クロムチタン、酸化チタン、炭化珪素、炭素、二酸化珪素又は窒化アルミニウムから成り、前記薄膜層３２が酸化ベリリウム（ＢｅＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）又はホウ化ジルコニウム（ＺｒＢ2 ）から成る。そして、前記エッチング液が硝酸である場合、前記耐エッチング層３１が酸化アルミニウム、炭化ほう素、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、窒化クロム、窒化クロムチタン、酸化チタン、炭化珪素、炭素、二酸化珪素又は窒化アルミニウムから成り、前記薄膜層３２が酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、炭化チタン（ＴｉＣ）、炭化ジルコニウム又は窒化チタンから成る。また、前記エッチング液がフッ酸である場合、前記耐エッチング層３１が酸化アルミニウム、炭化ほう素、炭化珪素、炭素又は窒化アルミニウムから成り、前記薄膜層３２が窒化チタン、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、二酸化珪素又は酸化ジルコニウムから成る。そして、前記エッチング液が硝酸及びフッ酸の混合液である場合、前記耐エッチング層３１が炭化ほう素、炭化珪素又は炭素から成り、前記薄膜層３２が酸化マグネシウム、炭化チタン、炭化ジルコニウム、窒化チタン、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、窒化クロムチタン又は窒化クロムから成る。
【００５２】
さらに、前記エッチング液が水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）、又は水酸化ナトリウム及び過酸化水素水（Ｈ2 Ｏ2 ）の混合液である場合、前記耐エッチング層３１が窒化クロム、窒化クロムチタン、酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、炭化ほう素、炭素又は窒化アルミニウムから成り、前記薄膜層３２が窒化チタン、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、酸化チタン、窒化チタン又は二酸化珪素から成る。
【００５３】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させることが可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態における下型の要部を示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるプレス成形法を示す第１の図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるプレス成形法を示す第２の図である。
【図４】本発明の実施の形態における下型の断面図である。
【図５】本発明の実施の形態における成形用金型の再生プロセスを示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０    成形用金型
２３    母材
３１    耐エッチング層
３２    薄膜層
３３    離型膜
ｓ４    先端面
【図１】
2006111496.tif 000006
【図２】
2006111496.tif 000007
【図３】
2006111496.tif 000008
【図４】
2006111496.tif 000009
【図５】
2006111496.tif 000010