(57)【要約】【課題】  従来装置では不可能であった磁気テープ上のスジのより精度の高い判定と仕分けが可能な磁気テープ欠陥検査装置を提供する。【解決手段】  パスロールと、該パスロール上を走行する磁気テープに平行光を照射する照射装置と、該磁気テープから反射した光を投影させるセラミックスクリーンと、該セラミックスクリーン上に結像された像を明暗信号として取り込む受光装置と、を備えたことを特徴としている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パスロール上を走行する磁気テープに平行光を照射し、反射した光をスクリーンに投影させて、そこに結像された像から欠陥を検出することを特徴とする磁気テープ欠陥検査方法。
【請求項２】
パスロールと、該パスロール上を走行する磁気テープに平行光を照射する照射装置と、該磁気テープから反射した光を投影させるスクリーンと、該スクリーン上に結像された像を明暗信号として取り込む受光装置と、を備えたことを特徴とする磁気テープ欠陥検査装置。
【請求項３】
前記スクリーンは白色系高反射率スクリーンであることを特徴とする請求項２記載の磁気テープ欠陥検査装置。
【請求項４】
前記受光装置はラインＣＣＤカメラであることを特徴とする請求項２又は３記載の磁気テープ欠陥検査装置。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか１項記載の磁気テープ欠陥検査装置を２台、前記パスロールを挟んで磁気テープの走行方向の上流と下流に分離して配置したことを特徴とする幅広用磁気テープ欠陥検査装置。
【請求項６】
請求項２〜５のいずれか１項記載の磁気テープ欠陥検査装置とパソコンとを備え、前記受光装置で受光した明暗信号を、閾値により欠陥部についての良否判定をして前記パソコンにデータを送信し、該パソコンでデータ処理することを特徴とする磁気テープ欠陥検査システム。
【請求項７】
さらにメモリを備え、前記良否判定結果を該メモリに蓄積することを特徴とする請求項６記載の磁気テープ欠陥検査システム。
【請求項８】
磁気テープにおけるスジ欠陥の位置と太さと濃度のうちの１つ以上を示すスジ欠陥データを蓄積したメモリと、該スジ欠陥データをデータ処理するパソコンと、該パソコンのデータ処理結果を表示するディスプレーと、を備えた磁気テープ欠陥状態表示装置において、前記スジ欠陥データを基に、磁気テープの幅方向と長さ方向に対応するマップ上に前記スジ欠陥の存在する位置をそのスジの濃度に対応する色で表示したことを特徴とする磁気テープ欠陥状態表示装置。
【請求項９】
磁気テープにおけるスジ欠陥の位置と太さと濃度のうちの１つ以上を示すスジ欠陥データを蓄積したメモリと、該スジ欠陥データをデータ処理するパソコンと、該パソコンのデータ処理結果を表示するディスプレーと、を備えた磁気テープ欠陥状態表示装置において、前記スジ欠陥データを基に、磁気テープの幅方向の各スリット又はアドレス毎の前記スジ欠陥の存在情報の過去から現在までの積分（合計）値を演算し、該演算結果を対応する各スリット又はアドレス毎にその積分（合計）値をそのスジの濃度に対応する色で棒グラフ表示したことを特徴とする磁気テープ欠陥状態表示装置。
【請求項１０】
磁気テープにおけるスジ欠陥の位置と太さと濃度のうちの１つ以上を示すスジ欠陥データを蓄積したメモリと、該スジ欠陥データをデータ処理するパソコンと、該パソコンのデータ処理結果を表示するディスプレーと、を備えた磁気テープ欠陥状態表示装置において、前記スジ欠陥データを基に、磁気テープの幅方向の各スリット又はアドレス毎の前記スジ欠陥の存在情報の過去から現在までの積分（合計）値を演算し、該演算結果を対応する各スリット又はアドレス毎にその積分（合計）値に相当する量だけその該当スリット又はアドレスの番号の数字をそのスジの濃度に対応する色で積み重ねて表示したことを特徴とする磁気テープ欠陥状態表示装置。
【請求項１１】
特定の位置のスジ欠陥の形状をマルチウインドウで拡大表示することを特徴とする請求項８〜１０のいずれか１項記載の磁気テープ欠陥状態表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気テープを光学的に検査して磁気テープのスジ欠陥（例えば、塗布スジ、折れ皺、未塗布部分など）を検出する磁気テープ欠陥検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気テープは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等のフィルムからなるベース層と、ベース層の一方の面に形成される磁性体層と、ベース層の他方の面に形成されるバック層等から構成されている。このような磁気テープはデータを記録する際または磁気テープからデータを再生する際に所定の安定した性能を発揮することが重要である。ところが、磁気テープの製造中に何らかの拍子に磁気テープに傷がついて未塗布部分が出たり、折れ皺ができうるのであるが、このような磁気テープの傷等はスジ欠陥と呼び、これが存在すると記録時や再生時に、記録磁力や再生出力の低下が発生し、正しくデータを記録できなかったりあるいはデータを正しく再生できなかったりし、ドロップアウトが発生する原因となる。そこで、磁気テープの状態を把握し、磁気テープの欠陥を検出する必要がある。
現在知られている、磁気テープの欠陥検査装置としては、特許文献１および２に記載のようなものがある。
【特許文献１】特開平８−５００１２号公報
【特許文献２】特開２００３−１７２７０８号公報
【０００３】
特許文献１記載の発明は、磁気テープ検査装置において微小欠陥の検出精度を向上するもので、そのために、具体的には第１欠陥検出部を、信号変化を取り出す微分回路と、それぞれしきい値が設定されて大きな欠陥を検出する第１スレッショルド回路、と中位の欠陥を検出する第２スレッショルド回路によって構成し、第２欠陥検出部を微分回路の前段に微小欠陥レベルとほぼ同等のテープの走行ノイズ、電気的ノイズ等を除去するバンドパスフィルタと、微小欠陥レベルに対応したしきい値が設定されている第３スレッショルド回路によって構成してなるものである。
【０００４】
また、特許文献２記載の発明は、本出願人の発明に係るもので、非破壊検査により磁気テープの傷の検出に加えて異物の特定もできるようにした磁気テープの欠陥検査装置を提供するもので、そのために、磁気テープを光学的に検査し、磁気テープの欠陥を検出する磁気テープの欠陥検査装置であって、磁気テープに光を投光する投光手段と、磁気テープで反射された光を受光する受光手段と、予め求めておいた欠陥で反射された光の成分と受光手段で受光した光の成分とに基づいて磁気テープの欠陥を検出する検出手段であるパーソナルコンピュータとを備えることを特徴としている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１および２記載の発明はいずれも２つのガイドロール間を走行しているテープを検査している点で共通している。
ところが、このパスロール間での検査では走行のバタツキや揺れによって、反射方向の位置が不安定になるという欠点があることが判明した。
また、パスロール間での検査では、直接磁気テープ面を捉えているので、凹凸の濃度差が得られ難いという欠点があった。
また、欠陥部（スジ）とツレ（支持体が弾性変形することによって発生した長手方向の波打ち皺で実害の全くないもの。）の見分けが付かないという欠点がある。
また、出願人は、パスロール間ではなくてパスロール上の磁気テープに直接、光を当てて、その反射する反射光を受光装置で検出することを試みたが、微妙な凹凸のスジ欠陥のようなもを欠陥として捉えることは依然として極めて困難であった。パスロール上の面を焦点距離にすると、散乱光を捉えるので、凹凸部の散乱光と正反射光のコントラストが得られにくいが、一定の間隔を離れると両者のコントラストが得られ、明暗が明確になるのである。このことに従来は気づかなかったためか、従来はパスロール上の反射光を直接観測する方法は実用化困難として断念していたのが実状である。ところがこのようにパスロール上の反射光を一旦スクリーン上に投影すると、スジ部は凹凸があるので光は散乱して暗部となるが、他の部位は正反射して明部となる。
本発明はこの点に着目してなされたものであり、実際にこのスクリーンに映った映像をＣＣＤで観察したところ、綺麗にスジの部位と他の部位との区別が出来、実用化可能となることが初めてが判った。
本発明はこれらの課題を解決するためになされたもので、走行のバタツキをなくし、欠陥部とツレの見分けができる安定した磁気テープ欠陥検査方法及びその装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明は、磁気テープ欠陥検査方法に係るもので、パスロール上を走行する磁気テープに平行光を照射し、反射した光をスクリーンに投影させて、そこに結像された像から欠陥を検出することを特徴としている。
【０００７】
請求項２記載の発明は、磁気テープ欠陥検査装置に係るもので、パスロールと、該パスロール上を走行する磁気テープに平行光を照射する照射装置と、該磁気テープから反射した光を投影させるスクリーンと、該スクリーン上に結像された像を明暗信号として取り込む受光装置と、を備えたことを特徴としている。
請求項３記載の発明は、請求項２記載の磁気テープ欠陥検査装置において、
前記スクリーンが白色系高反射率スクリーンであることを特徴としている。
請求項４記載の発明は、請求項２又は３記載の磁気テープ欠陥検査装置において、前記受光装置がラインＣＣＤカメラであることを特徴としている。
【０００８】
請求項５記載の発明は、幅広用磁気テープ欠陥検査装置に係るもので、請求項２〜４のいずれか１項記載の磁気テープ欠陥検査装置を２台、前記パスロールを挟んで磁気テープの走行方向の上流と下流に分離して配置したことを特徴としている。
【０００９】
請求項６記載の発明は、磁気テープ欠陥検査システムに係るもので、請求項２〜５のいずれか１項記載の磁気テープ欠陥検査装置とパソコンとを備え、前記受光装置で受光した明暗信号を、閾値により欠陥部についての良否判定をして前記パソコンにデータを送信し、該パソコンでデータ処理することを特徴としている。
請求項７記載の発明は、請求項６記載の磁気テープ欠陥検査システムにおいて、
さらにメモリを備え、前記良否判定結果を該メモリに蓄積することを特徴としている。
【００１０】
請求項８記載の発明は、磁気テープ欠陥状態表示装置に係り、磁気テープにおけるスジ欠陥の位置と太さと濃度のうちの１つ以上を示すスジ欠陥データを蓄積したメモリと、該スジ欠陥データをデータ処理するパソコンと、該パソコンのデータ処理結果を表示するディスプレーと、を備えた磁気テープ欠陥状態表示装置において、前記スジ欠陥データを基に、磁気テープの幅方向と長さ方向に対応するマップ上に前記スジ欠陥の存在する位置をそのスジの濃度に対応する色で表示したことを特徴としている。
請求項９記載の発明は、磁気テープ欠陥状態表示装置に係り、磁気テープにおけるスジ欠陥の位置と太さと濃度のうちの１つ以上を示すスジ欠陥データを蓄積したメモリと、該スジ欠陥データをデータ処理するパソコンと、該パソコンのデータ処理結果を表示するディスプレーと、を備えた磁気テープ欠陥状態表示装置において、前記スジ欠陥データを基に、磁気テープの幅方向の各スリット又はアドレス毎の前記スジ欠陥の存在情報の過去から現在までの積分（合計）値を演算し、該演算結果を対応する各スリット又はアドレス毎にその積分（合計）値をそのスジの濃度に対応する色で棒グラフ表示したことを特徴としている。
請求項１０記載の発明は、磁気テープ欠陥状態表示装置に係り、磁気テープにおけるスジ欠陥の位置と太さと濃度のうちの１つ以上を示すスジ欠陥データを蓄積したメモリと、該スジ欠陥データをデータ処理するパソコンと、該パソコンのデータ処理結果を表示するディスプレーと、を備えた磁気テープ欠陥状態表示装置において、前記スジ欠陥データを基に、磁気テープの幅方向の各スリット又はアドレス毎の前記スジ欠陥の存在情報の過去から現在までの積分（合計）値を演算し、該演算結果を対応する各スリット又はアドレス毎にその積分（合計）値に相当する量だけその該当スリット又はアドレスの番号の数字をそのスジの濃度に対応する色で積み重ねて表示したことを特徴としている。
請求項１１記載の発明は、請求項８〜１０のいずれか１項記載の磁気テープ欠陥状態表示装置において、特定の位置のスジ欠陥の形状をマルチウインドウで拡大表示することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のような検査の仕方であれば、外乱となるツレを除外した視認レベル以上の投影像を検査していることから、それを投影して映し、その像を見ればスジが判り、より精度の高い判定や仕分けが可能となった。
また、欠陥と判定した画像を保存することで、品質管理者が事後再判定する事や発生起因解析材料のひとつになった。
その際、スジ欠陥データを見易いように、（ａ）欠陥位置マップ、（ｂ）スジの積算、（ｃ）グラフ詳細アドレスマップ（欠陥画像を含んだアドレス）、（ｄ）スジ欠陥の状態を自由に拡大できるマルチウインドウで表示すべく、加工しているので、判定が早く正確に行うことが出来るようになる。
【００１２】
照射する光源種については特許文献１および２記載の発明は何ら触れていないが、本発明で用いる光源は平行光を作ることのできる光源装置と限定し、テープに反射させてスクリーンに投影された像を検査している。この点において特許文献１および２では共に直接走行している磁気テープを検査しており、検査手法で本発明と大きく異なっている。
【００１３】
このように、本発明のようにパスロール上を走行する磁気テープに平行光を照射すると、一定方向に磁気テープの表面状態が投影される。投影された欠陥部は凹凸により光は散乱して暗部になり、正常部とコントラストが得られる。欠陥形状は目視した像と近似しており、欠陥の良否判定は実状の伴った管理が可能になる。従来の点光源では、照射面全体を均一に照射できないので、両端と中央では検出感度が大きく異なってしまうことと、投影された像が点光源を中心に放射線状に拡がり、幅方向の位置関係が曖昧になってしまい、指向性がなく拡がりを持つ伝送ライトや蛍光灯のような光源では、欠陥部の凹凸部に生じる影を消してしまい、欠陥像は投影されない。
しかし、本発明で採用している平行光は、指向性があり、照射面全幅の照度差が２％〜３％以内と極めて小さく、同一欠陥をどの位置で検査しても同様なレベルになった。
【００１４】
次にスジ欠陥検出に大きな障害となる走行面のツレを回避しなくてはならない。パスロール間の磁気テープ面で欠陥を検査する場合、全面にツレが生じて正確な検査ができない。特に走行方向に発生しているスジ状欠陥などは、スジとツレの両者が混在して区別ができない。この改善策として、上記のようにパルスロール上を走行する面を検査することで、ツレを回避することが実現できた。
【００１５】
また、欠陥と判定した画像を保存しておくことで、事後確認することも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明に係る磁気テープ欠陥検査装置の実施の形態について説明する。
【実施例１】
【００１７】
図ｌは本発明の第１の実施例に係る磁気テープ欠陥検査装置の概念斜視図である。図において、１０は本発明の第１の実施例に係る磁気テープ欠陥検査装置、１１はパスロール、１２は点光源、１３は放物面鏡、１４はセラミックスクリーン、１５はラインＣＣＤカメラ、Ｍは磁気テープ、Ｓは磁気テープＭ上にできたスジ欠陥である。
図ｌから判るように、磁気テープＭはパスロール１１の上に到達すると、それまで波打っていたツレは引き延ばされてパスロール１１の上で完全に解消する。一方、スジ欠陥Ｓはパスロール１１の上に到達しても消えることはない。
【００１８】
そこで、点光源１２が放物面鏡１３の焦点位置に置かれ、放物面鏡１３に向けて照射される（照射光Ｌ１）と、放物面鏡１３で反射した光は平行光（Ｌ２）となり、パスロール１１上を走行する磁気テープＭを照射し、反射して（反射光Ｌ３）、反射光をスクリーン（ここでは、セラミックスクリーンを用いているが、この他、白色系で高反射率のものであれば何でも良い。）１４に投影させる。その際、磁気テープＭの正常部位は明るくセラミックスクリーン１４に投影されるが、スジ欠陥Ｓで反射した光は、セラミックスクリーン１４に暗い陰Ｓ’として映される。
したがって、このセラミックスクリーン１４に結像された像をラインＣＣＤカメラ１５（２台１５１，１５２）で捉えることにより、欠陥を正確に検出することができる。
【００１９】
ここで使用するパスロール１１のサイズはΦ５０〜Φ５００までであれば、検査に適応できることが確認された。しかし、大きいサイズでの制限はなく、大きくなれば平面に近づくので、更に適応し易くなることはいうまでもない。
【００２０】
平行光を作り出す光源１２は点光源であることが望ましいが、それが得られない場合は、なるべく縦長の短いフィラメント構成のものであれば点光源に近いので、このような縦長の短いフィラメント構成のハロゲンランプやキセノンランプであれば、実用上は問題ない。また、放物面鏡１３を介して平行光にしているので、照射面全体を均一にすることが重要であり、検査位置による感度バラツキを最小限にするためには、最大照度差を２〜３％以内に抑えなければならない。ここで照度は明るければ明るいほど欠陥部のコントラストが得られ易くなるので、光度の大きいハロゲンランプやキセノンランプを選択して用いている。
【００２１】
スクリーン１４は、光が反射し易くて見易い材質で、しかもその表面に埃の付き難い、さらに埃が付いても弱い風を吹き付けることで清掃し易い材質のものが要求され、セラミックプレートでできたセラミックスクリーンを使用した。
もちろん本装置全体は、クリーンルーム中において使用されるものである。
【００２２】
図２はスジ欠陥のイメージ写真である。
本発明によれば、パスロール上を走行する磁気テープから反射た反射光をセラミックスクリーンに投影させた図を見るため、スジ欠陥がセラミックスクリーンに暗い陰Ｓ’として見易くなっているのが判る。
【００２３】
図３は本発明の第２の実施例に係る磁気テープ欠陥検査装置である。
検出対象（磁気テープ）の幅が広くなると、検出幅を広げるために光源を遠ざければよいのであるが、明るさは距離の二乗に反比例するので、光源を遠ざけると距離の二乗で暗くなっていく。そこで、明るくするために光源を近づけると、これに必要な放物面鏡が高価となってしまう。
本発明の第２の実施例によれば、このようなトレードオフの関係にある課題を検査装置を複数台（図では２台）設けることで解決し、しかも２台の場合、磁気テープ欠陥検査装置がパスロールを挟んで前後で分担して検査するようにして幅の広い磁気テープを掃引なしでしかも干渉なく検査することができるようになる。
【００２４】
図において、磁気テープ欠陥検査装置１０−１、１０−２の２台がパスロール１１を挟んで前後で分担して検査するようにしている。磁気テープ欠陥検査装置１０−１、１０−２は図１で説明した磁気テープ欠陥検査装置１０と同一物である。
検出対象の欠陥が微細であることから分解能を高めると視野が狭くなり、ラインＣＣＤカメラを隣り合って整列することができなくなるので、このようにパスロール前後や複数パスロールに奇数偶数に分けて設置している。２台を並置すると照明装置が干渉しあい好ましくなかったが、図のようにパスロールを中心にして搬送方向の上流と下流に分離したことで干渉の課題が解決される。
【００２５】
図４は磁気テープの生産工程で発生するスジ状欠陥を検出する図１の磁気テープ欠陥検査装置を含む検査システムを示す図である。
図において、２０は検査システム、２１は制御盤、２２は検査データを処理するパーソナルコンピュータ（パソコン）、２３はプリンタ、２４はデータ切り替え装置、２５はラインドライブ制御盤である。１０は図１で説明した磁気テープ欠陥検査装置である。Ａ１は磁気テープ欠陥検査装置１０のラインＣＣＤカメラから制御部２１にスジ欠陥のビデオ信号を送るラインである。Ａ２は制御部２１から磁気テープ欠陥検査装置１０の光源装置の制御信号を送るラインである。Ａ３は制御部２１とラインドライブ制御部２５との動作信号を授受するラインである。Ａ４は制御部２１とデータ切り替え装置２４との検査データの授受をするラインである。Ａ５はラインドライブ制御部２５からデータ切り替え装置２４が管理データの受信をするラインである。Ａ６はデータ切り替え装置２４とパソコンとの間でデータの授受をするラインである。Ａ８はパソコンとプリンタとの間でデータの授受をするラインである。Ａ７はデータ切り替え装置２４から外部利用者（例えば、生産管理者）へデータを送り出すラインである。
【００２６】
当該検査システム２０によれば、図１で説明した磁気テープ欠陥検査装置１０を使用し、セラミックスクリーンに投影された像にスジ状欠陥があると、ラインＣＣＤカメラで明暗信号として取り込み、そのビデオ信号をラインＡ１を介して制御部２１に送り、制御部２１からデータ切り替え装置２４を介して検査データ処理装置（パソコン）２２に送られ、ここで検査データをスジの位置・大きさ（長さと太さ）・濃度に種別分類して、リアルタイムでディスプレーに表示する。
表示されるデータは、（ａ）欠陥位置マップ、（ｂ）スジの積算、（ｃ）グラフ詳細アドレスマップ（欠陥画像を含んだアドレス）であり、（ｄ）スジ欠陥の状態を自由に拡大できるマルチウインドウで表示する。検査が終了すると、ラインドライブから送信されたロールＮｏ．をファイルＮｏ．としてパソコン内部又は外部メモリにデータ保存される。
ここで保存された過去データは、任意のファイルＮｏ．を指定して読み出し、現在データと同様に参照できる構成になっている。
【００２７】
図５〜図９はパソコンで作成される上記各種表示例を示している。
図５は欠陥位置マップ、図６は合計グラフ、図７は詳細アドレス（現在）、図８は詳細アドレス（過去）、図９は欠陥画像を含んだアドレス詳細アドレス（現在）の各表示例である。
【００２８】
図５において、４０は機能選択ボタン群で、４１はファイルボタン、４２は（欠陥位置の）マップボタン、４３は詳細アドレスボタン、４４は合計グラフボタン、４５は現在／過去選択ボタン、４６は拡大／縮小ボタンである。
５０はファイルリストで、５１がロール番号欄、５２が品種名欄、５３が生産年月日欄で、６０はグラフ表示部である。
図５は検査データ処理パソコン２２（図４）のディスプレーに表示されているの画面を示している。図５においてマウスを使って「ファイル」ボタン４１をクリックし、「ファイル」リスト５０のＮＯ．１のロールを選択し、次ぎに、マウスを使って「マップ」ボタン４２をクリックし、「現在／過去」選択ボタン４５の「現在」をクリックすると、ＮＯ．１ロールの磁気テープの現在検査中のマップが、図５のグラフ表示部６０に示すようなグラフとして表示される。
【００２９】
グラフ表示部６０に表示されたグラフにおいて、縦軸が磁気テープの長さ方向の位置情報で、上から下に向かって０００（ｍ）〜６００（ｍ）に刻まれている。他方、上の横軸は磁気テープの幅方向のスリット情報（１０刻み目盛）で、左から右に向かって第１スリット〜第８０スリットが１０刻みで刻まれている。
ここで言う１スリットは、製品としてのカセットテープに収納するために裁断された磁気テープの横幅に等しい。また、下の横軸は磁気テープの幅方向のスリット情報（２刻み目盛）で、左から右に向かって第１スリット〜第８０スリットが２刻みで刻まれている。
【００３０】
６１はスジの濃度を３段階に区別して表示するための備考欄で、左より、赤色で「濃」、黄色で「中」、緑色で「淡」と表示されている。
【００３１】
グラフにおいて、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は赤色の線、Ｙ１は黄色の線、Ｇ１、Ｇ２は緑色の線を示しており、備考欄６１からＲ１、Ｒ２は濃いスジ、Ｙ１、Ｙ２は中位のスジ、Ｇ１、Ｇ２は淡いスジをそれぞれ示しており、それ以外の部位はスジのないことを示している。
【００３２】
そこで、例えばＲ１について見ると、第１４スリットの１１０ｍから２３０ｍにかけてＲ１が表示されているので、ここから「第１４スリットの１１０ｍから２３０ｍまで濃いスジが入っている。」ということが判る。
【００３３】
また、Ｙ１について見ると、第３７スリットの１６０ｍから４２５ｍにかけてＹ１が表示されているので、ここから「第３７スリットの１６０ｍから４２５ｍまで中位のスジが入っている。」ということが判る。
【００３４】
また、Ｇ２について見ると、第３７スリットの１６０ｍから４２５ｍにかけてＹ１が表示されているので、ここから「第５５スリットの０ｍから６００ｍまで淡スジが入っている。」ということが判る。
【００３５】
このグラフをプリンタ２３（図４）でプリントして残すことができる。
このように、検査者はグラフ表示部６０に表示されたグラフを見ながら、検査中の磁気テープのスジ欠陥の状態をリアルタイムで正確に把握することが出来る。したがって、このマップを見て、商品テープとしてどのスリットのどこからどこまでを使用するかを、簡単に決めることができる。
また、この製造装置の特徴（運転開始後、どの位置でスジが発生やすいか、等々）を理解でき、製造装置の解析をすることができる。
このマップとその時の磁気テープの処方をメモリに保存していくことで、そのマップを見て相対的な比較を行うことができ、どのような材料だとスジが出にくいか等を知ることができる。
このマップデータをサーバに収納しておくことで、遠隔地から他のクライアント（例えば、生産管理者、材料開発者、装置開発者）がこのデータを共有して使うことができるようになる。
【００３６】
図６において、図５と同じ部分は同じ機能なので重複説明は省略する。
いま、図６の画面においてマウスを使って「ファイル」ボタン４１をクリックし、ファイルリスト５０のＮＯ．１のロールを選択し、次ぎに、マウスを使って「合計グラフ」ボタン４４をクリックし、現在／過去選択ボタン４５の「現在」をクリックすると、ＮＯ．１ロールの磁気テープの現在検査中のスジの積算値が図６のグラフ表示部６０に示すようなグラフとして表示される。
【００３７】
グラフ表示部６０に表示されたグラフにおいて、縦軸が磁気テープの長さ方向の位置情報で、下から上に向かって０（ｍ）〜１２００（ｍ）に刻まれている。一方、下の横軸は磁気テープの幅方向のスリット情報（２刻み目盛）で、左から右に向かって第１スリット〜第８０スリットが２刻みで刻まれている。
【００３８】
６１はスジの濃度を３段階に区別して表示するための備考欄で、左より、赤色で「濃」、黄色で「中」、緑色で「淡」と表示されている。
グラフにおいて、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は赤色の線、Ｙ１は黄色の線、Ｇ１、Ｇ２は緑色の線を示しており、備考欄６１からＲ１、Ｒ２は濃いスジ、Ｙ１は中位のスジ、Ｇ１、Ｇ２は淡いスジの各スリットにおける積算量（合計）をそれぞれ示しており、縦線のないスリットはスジがまったくないことを示している。
【００３９】
そこで、例えばＲ１について見ると、第１４スリットの１２０ｍまでＲ１が延びているので、ここから「第１４スリットには、合計で１２０ｍの濃いスジが入っている。」ということが判る。
【００４０】
また、Ｙ１について見ると、第３７スリットの５８０までＹ１が延びているので、ここから「第３７スリットには、合計で５８０ｍの中位のスジが入っている。」ということが判る。
【００４１】
また、Ｇ２について見ると、第３７スリットの１２００までＧ２が延びているので、ここから「第３７スリットには、合計で１２００ｍの淡スジが入っている。」ということが判る。
【００４２】
検査者はグラフ表示部６０に表示されたこの合計グラフを見ながら、磁気テープ製造装置のどのスリットがスジ欠陥が多いかを正確に知ることが出来、その原因究明に大いに寄与することができる。
この積算値はメモリに記憶されているスジ欠陥データを集めることで、任意の過去から任意の過去にまで遡っての積算ができるようになり、製造装置の特性を解析するのに役立てることができる。
【００４３】
図７および図８は、スジ欠陥の生じているのが、どのアドレスの何ｍからかを数値で表示する例を示しており、図７は現在（リアルタイム）の表示、図８は過去の表示例である。
図７の画面において、マウスを使って「詳細アドレス」ボタン４３をクリックし、「現在／過去」選択ボタン４５の「現在」をクリックすると、現在検査中のＮＯ．１ロールの磁気テープのスジのアドレスが数値で表示される。
【００４４】
グラフ表示部６０に表示されたグラフにおいて、縦軸が磁気テープの長さ方向の位置情報で、上から下に向かって１００（ｍ）〜１６０（ｍ）までが表示されている。一方、上の横軸は磁気テープの幅方向のスリット情報（２刻み目盛）で、左から右に向かって第１スリット〜第８０スリットが２刻みで刻まれ、下の横軸は磁気テープの幅方向のアドレスが左から右に向かってアドレス０００からアドレス１０１０まで表示されている。
図において、Ｒ１は赤色で数字「１７３」がスジの開始部位から終了部位まで順次表示され、Ｙ１は黄色で数字「４６４」がスジの開始部位から終了部位まで順次表示され、Ｇ１は緑色で数字「６９７」スジの開始部位から終了部位まで順次表示されている。
そこで、例えばＲ１について見ると、「第１７３アドレスの１１１ｍから濃いスジが始まっている。」ということが判り、Ｙ１について見ると、「第４６４アドレスの１５９ｍから中位のスジが始まっている。」ということが判り、Ｇ１について見ると「第６９７アドレスの１１０ｍから１６０ｍまで淡いスジが続いている。」ということが判る。
【００４５】
検査者はグラフ表示部６０に表示されたこの合計グラフを見ながら、現在の磁気テープについてどのアドレスの何ｍから何ｍまでどのような濃度のスジあるかを数字で正確に知ることが出来、その原因究明等に大いに寄与することができる。
【００４６】
図８は、スジ欠陥の生じているのが、どのアドレスの何ｍからかを数値で表示する例を「過去」のデータについて示している図である。
図８の画面において図７と異なるのは、マウスを使って「現在／過去」選択ボタン」４５の「過去」をクリックし、「ファイルＮｏ．」ボタンを押して所望の品種を選択する点で、その他は同じである。
このようにすると、パソコン２２はリアルタイムの磁気テープデータではなくて、その記憶メモリにアクセスして過去の該当磁気テープのデータを読み出して、図のように表示する。
図において、Ｒ１は赤色で数字「１７３」がスジの開始部位から終了部位まで順次表示され、Ｙ１は黄色で数字「４６４」がスジの開始部位から終了部位まで順次表示され、Ｇ１は緑色で数字「６９７」スジの開始部位から終了部位まで順次表示されている。
そこで、例えばＲ１について見ると、「第１７３アドレスの１１１ｍから濃いスジが始まっている。」ということが判り、Ｙ１について見ると、「第４６４アドレスの１５９ｍから中位のスジが始まっている。」ということが判り、Ｇ１について見ると「第６９７アドレスの１１０ｍから１６０ｍまで淡いスジが続いている。」ということが、過去の磁気テープについて知ることができる。
【００４７】
検査者はグラフ表示部６０に表示されたこの合計グラフを見ながら、過去の磁気テープについて、どのアドレスの何ｍから何ｍまでどのような濃度のスジあるかを正確に知ることが出来、その原因究明等に大いに寄与することができる。
【００４８】
図９の画面において図７と異なるのは、スジ欠陥の状態をマルチウインドウで表示させている点である。この表示は、「詳細アドレス」画面で、欠陥アドレスの横に記してある黒丸印「●」の部位Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５，・・・に画像が保管されているので、詳しく見たいと思う箇所の近傍にある「●」の部位をダブルクリックすると画像が表示される。
【００４９】
この画像はメモリをたくさん必要とするので、スジの長さ方向に連続して保管することは実際に困難であり、しかもスジは所定長さに亘って徐々に変化する特性のものであることに鑑みて、所定間隔毎（図では１０ｍ毎）に保管することで実用上問題ないので、ここでは１０ｍ毎に、黒丸印「●」の部位Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５，・・・を設けている。
【００５０】
図において、マルチウインドウ部分Ｗは「幅位置：濃１７３、巻位置：１１１ｍ」と表示されると同時に、具体的な太い黒いスジが拡大図で表示されている。
そこで、検査者はグラフ表示部６０に表示されたこのマルチウインドウ部分Ｗのスジを見て、どのようなスジ（誤検出、あわスジ、折れスジ、擦りキズ、濃い太いスジでも中央部がやや薄い、など）が発生しているかを知ることができ、次の正確な対策を講じることができる。
【００５１】
なお、この図９のマルチウインドウ表示は、表示後一定時間（例えば、１０秒）の間、キーボードやマウスの操作がなされないときはこの画面は消えて現在の「詳細アドレス」画面に自動的に戻るようにすると、使い勝手がよい。
【００５２】
以上の表示画面はプリンタ２３でプリントして紙資料として残すことができる。
【００５３】
また、過去データを数ファイル集計して比較参照する機能も有しており、データ処理は多岐に渡っている。なお、検査機動作中でも検査に影響することなく、過去データを読み出して参照することにも制限はない。
【００５４】
スジ欠陥のデータの保存の仕方としては、スジ欠陥の性質上、スジが一旦発生すると連続して発生することが多いので、スジの発生点と終了点だけを記憶するようにしておけば、メモリの節約ができる。
【００５５】
また、本発明によれば、過去の図と現在の図を任意に表示させることができるが、ただいまの表示はどちらであるかが判り難いので、表示全体の色彩を現在表示と過去表示で変えるようにしておくと判り易い。
【００５６】
また、過去の図と現在の図を任意に表示させるとき、過去の図の表示になったときは所定の時間（例えば、１分後）で現在の図に自動的に戻るようにしておくと、使い勝手がよくなる。
【００５７】
以上は、磁気テープの検査の実施例について説明したが、本発明の検査対象は磁気テープに限定されるものではなく、検査対象の表面が鏡面で、反射し易い形態を形成しているシート状の検査の場合であればすべて適応することができる。具体的には表面処理された紙や鋼板の欠陥検査には、本発明の技術は容易に転用できる。
【００５８】
このように、本発明によれば、パスロール上を走行する磁気テープに平行光を照射すると、一定方向に磁気テープの表面状態が投影され、投影された欠陥部は凹凸により光は散乱して暗部になり、正常部とコントラストが得られるという現象に着目してなされたもので、従来装置では不可能であったスジのより精度の高い判定と仕分けが可能となった。
また、欠陥と判定した画像を保存することで、品質管理者が事後再判定する事や発生起因解析材料のひとつになった。
その際、スジ欠陥データを見易いように、（ａ）欠陥位置マップ、（ｂ）スジの積算、（ｃ）グラフ詳細アドレスマップ（欠陥画像を含んだアドレス）、（ｄ）スジ欠陥の状態を自由に拡大できるマルチウインドウで表示すべく、加工しているので、判定が早く正確に行うことが出来るようになる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施例に係る磁気テープ欠陥検査装置の概念斜視図である。
【図２】スジ欠陥のイメージ写真である。
【図３】本発明の第２の実施例に係る磁気テープ欠陥検査装置の概念斜視図である。
【図４】磁気テープの生産工程で発生するスジ状欠陥を検出する図１の磁気テープ欠陥検査装置を含む検査システムを示す図である。
【図５】スジ欠陥の位置・長さを表すマップ例（現在）である。
【図６】スジ欠陥の各位置（スリット）毎の過去から現在までの積算値を表すマップ例（現在）である。
【図７】スジ欠陥の位置と濃度を正確な数値で表す「現在」の表示例である。
【図８】スジ欠陥の位置と濃度を正確な数値で表す「過去」の表示例である。
【図９】特定の位置のスジ欠陥の形状をマルチウインドウで表示する例である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  本発明の第１の実施例に係る磁気テープ欠陥検査装置
１１  パスロール
１２  点光源
１３  放物面鏡
１４  セラミックスクリーン
１５  ラインＣＣＤカメラ
２０  検査システム
２１  制御部
２２  検査データを処理する装置（パソコン）
２３  プリンタ
２４  インターフェース
２５  ラインドライブ制御盤
４０  機能選択ボタン群
４１  ファイルボタン
４２  「マップ」ボタン
４３  「詳細アドレス」ボタン
４４  「合計グラフ」ボタン
４５  「現在／過去」選択ボタン
４６  「拡大／縮小」ボタン
５０  ファイルリスト
５１  ロール番号欄
５２  品種名欄
５３  生産年月日欄
６０  グラフ表示部
Ｍ  磁気テープ
Ｓ  磁気テープＭ上にできたスジ欠陥
Ｓ’セラミックスクリーン上の陰
Ｗ  マルチウインドウ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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