(57)【要約】【課題】溶質成分を揮発性溶剤に溶解した溶液を格納するための溶液保存装置において、開口部を長時間開放状態としておいても、溶質成分と揮発性溶剤とが十分に混ざり合った状態にあり、しかも揮発性溶剤が揮発しない状態にある溶液保存装置を得ること。【解決手段】溶質成分を揮発性溶剤に溶解させた溶液６１を格納するタンク１２と、タンク１２を始点および終点として溶液６１が循環するように形成される流路１５Ａ〜１５Ｃ，２１と、溶液６１を流路１５Ａ〜１５Ｃ，２１上で循環させる循環ポンプ４１と、流路１５Ａ〜１５Ｃ上の一部を冷却するペルチェ素子３１と、を備える。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶質成分を揮発性溶剤に溶解させた溶液を格納するタンクと、
前記タンクを始点および終点として前記溶液が循環するように形成される流路と、
前記溶液を前記流路上で循環させる循環ポンプと、
前記流路上の一部を冷却する冷却手段と、
を備えることを特徴とする溶液格納装置。
【請求項２】
前記冷却手段が設けられる前記流路の温度を検出する温度検出手段と、
前記冷却手段が設けられる前記流路の温度を所定の温度範囲内に収まるように前記冷却手段を制御する温度制御手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の溶液格納装置。
【請求項３】
前記冷却手段は、ペルチェ素子であり、該ペルチェ素子の冷却面が前記流路に接するように配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の溶液格納装置。
【請求項４】
筐体と、
前記筐体内下部に配置され、溶質成分を揮発性溶剤に溶解させた溶液を格納するタンクと、
前記筐体内に設けられ、前記タンクを始点および終点として前記溶液が循環するように形成される流路と、
を備え、前記溶液を格納する溶液格納装置であって、
前記筐体には、前記流路の一部が露出するように開口部が設けられ、
前記開口部に対応する前記流路上の位置に設けられる前記流路を冷却する冷却手段と、
前記流路上に配置され、前記タンク内の溶液の一部を抜き出して前記流路上を循環させる循環ポンプと、
を備えることを特徴とする溶液格納装置。
【請求項５】
前記一部が露出した流路の周辺の流路は、前記溶液を表面に流す板状の流路形成部材から構成され、
該流路形成部材は、
前記循環ポンプを介して送られてくる溶液を流出させる溶液供給口と、
前記溶液供給口から流出する溶液の前記流路形成部材における幅方向の流量を均一化する整流部と、
前記開口部に対応する前記流路形成部材上の位置における前記溶液を所定の高さにする高さ調整部と、
前記流路形成部材を流下した溶液を前記タンクに接続される管状部材へ排出する溶液排出口と、
前記流路形成部材の表面を流れる溶液を前記溶液排出口へと導くガイド部と、
を備えることを特徴とする請求項４に記載の溶液格納装置。
【請求項６】
前記冷却手段が設けられる前記流路の温度を検出する温度検出手段と、
前記冷却手段が設けられる前記流路の温度を所定の温度範囲内に収まるように前記冷却手段を制御する温度制御手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項４または５に記載の溶液格納装置。
【請求項７】
前記冷却手段は、ペルチェ素子であり、該ペルチェ素子の冷却面が前記流路に接するように配置されることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１つに記載の溶液格納装置。
【請求項８】
前記ペルチェ素子の冷却面とは反対の発熱面と面する前記筐体内の空間の大気を外部に排出する送風器をさらに備えることを特徴とする請求項７に記載の溶液格納装置。
【請求項９】
前記循環ポンプの吸入口側と前記タンクとを結ぶ前記流路は、管状部材によって構成され、該管上部材の前記タンクに接続される側の先端部は、前記タンクの底部付近に位置するように固定されることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の溶液格納装置。
【請求項１０】
前記タンク内の溶液を冷却するタンク冷却手段をさらに備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つに記載の溶液格納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揮発性溶剤に所定の溶質成分を溶解させた溶液を格納する溶液格納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
塗料や潤滑材などの溶質成分を揮発性溶剤に溶解して得られる溶液は、一般的に対象物の表面に塗布して用いるために、溶質成分と揮発性溶剤とが塗布し易い濃度比率で十分に混合された状態にあることが望ましい。しかし、このような溶液は、容器に入れて放置しておくと、塗料や潤滑材などの溶質成分と揮発性溶剤とが比重の違いによって上下に分離してしまう。また、開放された場所に放置した状態のままにしておくと、揮発性溶剤が揮発して、溶液の濃度が変化してしまう。このように、溶質成分と揮発性溶剤とが分離してしまったり、揮発性溶剤が揮発してしまったりした状態の溶液を対象物上に塗布したとしても、対象物の表面上に十分に濡れ拡がらず、所望の目的を達成することはできない。
【０００３】
そこで、溶液の成分の分離を回避する従来技術として、液体媒体中に紛体や粒体などの細粒を分散させたスラリの場合であるが、容器内のスラリを循環ポンプで抜き出して、再びその容器内に圧送して戻して生じる容器内の旋回流によってスラリを撹拌する攪拌装置が開示されている。これによって、細粒と液体媒体とが十分に混ざり合った状態として、いつでも使用可能な状態とすることができる（たとえば、特許文献１参照）。また、溶液の揮発を抑える従来技術として、ウエハ上にスピンコートで塗布されたレジスト液についてのものであるが、レジスト液が塗布されたウエハが載置される密閉された空間の温度を低下させる技術が開示されている。これによって、密閉状態中の容器（空間）内におけるウエハ上のレジスト液の溶剤の揮発を抑制することができる（たとえば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１９１９５１号公報
【特許文献２】特開２００２−３１３７１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、塗料や潤滑材などの溶質成分を揮発性溶剤に溶解した溶液を、生産ラインの中で材料として使用する場合に、その容器は作業性を考慮すると密閉状態にしておくよりも、いつでも使用可能なように開口部を開放しておくことが望ましい。このような容器に特許文献１に記載の攪拌装置を用いた場合に、容器内の溶液は十分に混ざり合った状態にあるが、容器の開口部が開放状態にあるので、揮発性溶剤が揮発してしまう。つまり、時間の経過とともに揮発性溶剤の濃度が変化し、たとえば溶液の粘性が高まって、溶液をスムーズに対象物に塗布することができなくなるなどの問題点を生じてしまう。そこで、逆に容器を密閉状態としておくと、溶液を塗布する度毎に、容器の開口部を開放し密閉する作業が必要となり、手間がかかってしまうという問題点があった。
【０００６】
また、特許文献２に記載されている溶剤の存在する空間の温度を低下させる方法を、生産ラインの中で使用する溶液を格納する容器に適用する場合に、容器を冷却しているので揮発性溶剤の揮発を防止することができるが、時間の経過とともに塗料や潤滑材などの溶質成分と揮発性溶剤とが比重の違いによって分離してしまうという問題点があった。そのため、使用者が使用する度毎に容器内の溶液を撹拌しなければならなかった。
【０００７】
このようなことから、本発明が解決しようとする課題としては、「溶質成分を揮発性溶剤に溶解した溶液を格納するための溶液保存装置において、開口部を長時間開放状態としておいても、溶質成分と揮発性溶剤とが十分に混ざり合った状態にあり、しかも揮発性溶剤が揮発しない状態にある溶液保存装置が必要である」という問題が一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、溶質成分を揮発性溶剤に溶解させた溶液を格納するタンクと、前記タンクを始点および終点として前記溶液が循環するように形成される流路と、前記溶液を前記流路上で循環させる循環ポンプと、前記流路上の一部を冷却する冷却手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項４に記載の発明は、筐体と、前記筐体内下部に配置され、溶質成分を揮発性溶剤に溶解させた溶液を格納するタンクと、前記筐体内に設けられ、前記タンクを始点および終点として前記溶液が循環するように形成される流路と、を備え、前記溶液を格納する溶液格納装置であって、前記筐体には、前記流路の一部が露出するように開口部が設けられ、前記開口部に対応する前記流路上の位置に設けられる前記流路を冷却する冷却手段と、前記流路上に配置され、前記タンク内の溶液の一部を抜き出して前記流路上を循環させる循環ポンプと、を備えることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に添付図面を参照して、本発明にかかる溶液格納装置の好適な実施例を詳細に説明する。なお、これらの実施例により本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００１１】
図１は、本発明にかかる溶液格納装置の実施例１を示す斜視図であり、図２は、図１の内部構造を示す側面断面図であり、図３は、溶液格納装置の開口部付近に配置される溶液供給部材の構造を示す平面図であり、図４は、溶液供給部材の側面図であり、図５は、冷却部の構成の一例を示すブロック図である。溶液格納装置１は、側面が五角形状を有する柱状の外形を有する筐体１０内に、溶液６１を格納するタンク１２と、外部に対して冷却した溶液６１を供給する溶液供給部材２０と、溶液６１をタンク１２と溶液供給部材２０との間で循環させるための循環ポンプ４１とが取付けられる構造を有している。
【００１２】
また、筐体１０の正面には、溶液６１を取り出すための開口部１１が設けられている。この開口部１１が設けられる面１０Ｂは、水平面とほぼ平行な筐体１０の上面１０Ａから下方向に向かって所定の角度を有するように構成される。この角度は、たとえば生産ラインにおいて、溶液を対象物に塗布するための刷毛を開口部１１に挿入する際に、刷毛が入り易い角度に設定されることが望ましい。したがって、開口部１１が設けられる面が筐体１０の上面１０Ａに対して垂直となるよりもゆるい角度を持って構成されるのが望ましい。なお、以下の説明では、筐体１０の開口部１１が設けられている面を正面側とし、この面と反対側の面を裏面側または背面側と呼ぶことにする。
【００１３】
タンク１２は、筐体１０内部の下部に配置され、固定される。この実施例１では、タンク１２は直方体状の容器から構成され、その上面には溶液６１を外部に送出するための取出口１３と、本溶液格納装置１内を循環した溶液６１が戻される流入口１４とが設けられ、それぞれの取出口１３と流入口１４にはホースなどの管１５Ａ，１５Ｃを取付けて固定するための管保持部材１６が設けられている。また、タンク１２の背面側には、タンク１２内に溶液を注入するための柱状の溶液注入口１８が設けられている。この溶液注入口１８は、筐体１０の背面側の外部に突出するように設けられており、その先端部は通常栓１９で塞がれている。取出口１３側に挿入される管１５Ａは、その先端部１５１がタンク１２の下部付近に位置するように管保持部材１６によって保持される。このようにすることで、質量の異なる成分が溶液６１に配合されている溶液６１がタンク１２に格納される場合に、質量の重い成分が下方に溜まってしまうことを防ぐことができる。また、タンク１２の流入口１４側に挿入される管１５Ｃは、その先端部１５２がタンク１２の上部付近に位置するように管保持部材１６によって保持される。
【００１４】
さらに、タンク１２の上面には、筐体１０の開口部１１の内側付近に配置される溶液供給部材２０を支持固定するための略逆Ｌ字型の支持部材１７が固定されている。この支持部材１７は、タンク１２の上面に沿って配置される固定部１７Ａと、筐体１０の正面側の面１０Ｂから所定の距離をおいて、その面１０Ｂと平行となるように形成される支持部１７Ｂとからなる。筐体１０の開口部１１に対応する支持部１７Ｂの位置付近には、後述する溶液供給部材２０の冷却手段であるペルチェ素子３１を固定するための取付口（図示せず）が設けられている。
【００１５】
溶液供給部材２０は、筐体１０の開口部１１の内側付近に、タンク１２の上面に固定された略逆Ｌ字型の支持部材１７にボルトなどの固定手段によって取付けられている。溶液供給部材２０は、表面に溶液が流れる流路の役割を果たす流路形成部材２１と、流路形成部材２１の裏面側に取付けられる冷却部材としてのペルチェ素子３１を有して構成される。流路形成部材２１は、循環ポンプ４１を介してタンク１２の取出口１３につながる管１５Ｂからの溶液が供給される溶液供給口２２と、溶液供給口２２から流れる溶液が流れる量を流路形成部材２１の幅方向に渡ってほぼ均一にする整流部２３と、筐体１０の開口部１１に対応する位置での溶液の流れの高さを所定の高さの範囲に収まるように整流部２３の下流側の端部付近に設けられる高さ調整部材２４と、溶液供給口２２側から流れてきた溶液をタンク１２の流入口１４に接続される管へと排出する溶液排出口２５と、流路形成部材２１の外部に溶液が流出しないようにするとともに溶液排出口２５に溶液が流れ込むようにガイドするガイド部２６と、を備えて構成される。
【００１６】
流路形成部材２１は熱伝導率の高い材料によって構成され、その平面形状は、図３に示されるように、溶液の流れる方向に伸びた矩形状を有している。筐体１０の開口部１１の上側の辺の位置よりも上流側と、筐体１０の開口部１１の下側の辺の位置よりも下流側では、幅方向のガイド部２６間の距離がそれぞれ溶液供給口２２と溶液排出口２５に向かって狭まるように構成されている。また、筐体１０の開口部１１付近では、ガイド部２６は流路形成部材２１の幅方向の両端部付近に形成されている。このようなガイド部２６の配置によって、溶液供給口２２から流出し流路形成部材２１を流下してきた溶液が溶液排出口２５に導かれる。整流部２３は、流路形成部材２１の長手方向に伸びる所定の高さを有する板状の部材が、溶液の流下方向と垂直な方向に所定の間隔で配置されている。この整流部２３によって、溶液供給口２２から流出した溶液の流量が流路形成部材２１の幅方向において略均一にされる。
【００１７】
高さ調整部材２４は、流路形成部材２１の上端部付近から、流路形成部材２１の整流部２３の下流側の端部と筐体１０の開口部１１の上側の辺に対応する位置との間付近で、流下する溶液の高さを制限する高さ調整部２４Ａとこの高さ調整部２４Ａを支持する支持部２４Ｂとからなる。支持部材２４Ｂは、流路形成部材２１の整流部２３の下流側の端部と筐体１０の開口部１１の上側の辺に対応する位置との間を覆うように設けられている。高さ調整部２４Ａと流路形成部材２１との間の距離は、流路形成部材２１上を溶液が薄く流れるように設定される。また、支持部２４Ｂは、筐体１０の内側の面と接触して、溶液供給部材２０の筐体１０内部での位置を固定する役目を有するので、流路形成部材２１の溶液排出口２５付近にも高さ調整部材２４の上面と同じ高さを有する位置調整部材２７が設けられている。これらの高さ調整部材２４と位置調整部材２７は、流路形成部材２１にボルトなどの固定部材によって固定される。
【００１８】
ペルチェ素子３１は、開口部１１に対応する流路形成部材２１上の位置を含むように、流路形成部材２１の裏面側に接触して取付けられる。このとき、ペルチェ素子３１の通電時に冷却される冷却面３１Ａ側が流路形成部材２１側と接するように取付けられる。このように、ペルチェ素子３１の冷却面３１Ａ側を熱伝導率の高い材料で構成された流路形成部材２１に接するように構成したので、流路形成部材２１の表面上を流れる溶液は効果的に冷却される。また、筐体１０に設けられた開口部１１の位置に対応して冷却部材としてのペルチェ素子３１が配置されているので、開口部１１を通過する溶液の揮発が抑制される。なお、この実施例１では、通電時に発熱するペルチェ素子３１の発熱面３１Ｂ側には、放熱をよくするための放熱部材３２が取付けられている。このような放熱部材３２が取付けられたペルチェ素子３１は、タンク１２の上面に固定された支持部材１７の支持部１７Ｂに形成された取付口にはめ込んで、ボルトなどの固定部材によって固定される。
【００１９】
循環ポンプ４１は、タンク１２の上部に配置されて固定される。循環ポンプ４１の吸入口とタンク１２の取出口１３とが管１５Ａで接続され、循環ポンプ４１の送出口と流路形成部材２１の溶液供給口２２とが管１５Ｂで接続される。このように循環ポンプ４１を設けることでタンク１２内の溶液６１がタンク１２の取出口１３から流路形成部材２１の表面へと供給され、その溶液はタンク１２の流入口１４を介してタンク１２へと戻り、溶液格納装置１内を循環することになる。この循環ポンプ４１は、タンク１２内の溶液６１を吸い上げることで溶液を撹拌する役割を果たすが、タンク１２の流入口１４から溶液がタンク１２内の溶液６１と混合することでもタンク１２内の溶液６１が撹拌される。以上の管１５Ａ，１５Ｂ、溶液供給部材２０、管１５Ｃがタンク１２内からポンプ４１で汲み上げられる溶液の流路を形成する。
【００２０】
筐体１０の両側面には、筐体１０内部の空気を外部に排出するための送風器３５が設けられている。この送風器３５は、筐体１０内の流路形成部材２１とタンク１２の上面とに囲まれる空間における大気を筐体１０の外部に排出する機能を有する。これは、ペルチェ素子３１の流路形成部材２１に接触して取付けられている冷却面３１Ａ側は温度が低下して冷却している状態となるが、これとは反対側の筐体１０内部の空間に接する側の面（以下、発熱面３１Ｂ側という）は温度が上昇して発熱している状態となっているので、この熱で装置内の大気の温度が上昇することを防ぐ役割を担っている。つまり、筐体１０内の流路形成部材２１とタンク１２の上面とに囲まれる空間における温められた大気を常に外部に排出して、筐体１０内の温度の上昇を抑制している。その結果、筐体１０内部に存在する溶液中の揮発性溶剤の揮発が抑制される。
【００２１】
このような構成の溶液格納装置１の動作について説明する。まず、循環ポンプ４１とペルチェ素子３１と送風器３５が駆動される。そして、循環ポンプ４１によってタンク１２の下部から溶液６１が吸い上げられる。この溶液６１は管１５Ａ，１５Ｂと循環ポンプ４１を通って流路形成部材２１の溶液供給口２２まで供給される。溶液供給口２２から流出した溶液は、流路形成部材２１の表面上を流れ落ちる。このとき、溶液は、整流部２３によって流路形成部材２１の幅方向の流量をほぼ均等化させ、さらに高さ調整部材２４によって流路形成部材２１の幅方向の各部における高さをほぼ均等化させる。これによって、筐体１０に設けられた開口部１１の全面にわたって厚さのほぼ均一な溶液の流れが実現される。また、開口部１１付近の流路形成部材２１の裏面側に取付けられたペルチェ素子３１が駆動しているので、熱伝導率の高い材料で構成された流路形成部材２１は冷却され、この流路形成部材２１上の開口部１１付近を流れ下りる溶液は冷却される。これによって、溶液中の揮発性溶剤の開口部１１付近における揮発が防止され、溶液における溶質成分と揮発性溶剤との濃度比が所定の値となるように保持される。この動作中の溶液格納装置１の開口部１１から刷毛などを挿入して刷毛に溶液を染み込ませ、対象物に塗布する作業が行われる。
【００２２】
なお、ペルチェ素子３１の流路形成部材２１に取付けられる冷却面３１Ａ側とは反対側の発熱面３１Ｂ側では、ペルチェ素子３１は発熱しており、その周囲の大気が温められてしまうので、送風器３５によってペルチェ素子３１の発熱面３１Ｂ付近の大気を強制的に筐体１０外部に排出するようにしている。これによって、筐体１０内部の温度上昇を抑えて、筐体１０内部における溶液中の揮発性溶剤の揮発を抑えている。
【００２３】
開口部１１を通過した溶液はさらに流路形成部材２１の表面上を流れ下りる。流路形成部材２１のガイド部２６は、下流に行くほど幅（流路）が狭くなるように構成され、その狭くなった部分に溶液排出口２５を形成しているので、溶液は、この溶液排出口２５からタンク１２の流入口１４につながる管１５Ｃを伝ってタンク１２内へと戻される。以上のようにして、タンク１２内の溶液の循環が行われる。
【００２４】
この溶液格納装置１における循環運転中において、タンク１２内では、循環ポンプ４１による吸引と、流路形成部材２１の溶液排出口２５からタンク１２の上部付近に戻される溶液とによって、溶液６１が撹拌される状態となる。つまり、循環ポンプ４１による溶液６１の吸引によって、タンク１２内の溶液６１に対流が生じるとともに、流路形成部材２１の溶液排出口２５からタンク１２の上部付近に戻される溶液の重さによってもタンク１２内の溶液６１に対流が生じるので、溶質成分と揮発性溶剤とが撹拌された状態とすることができる。
【００２５】
なお、上述した溶液格納装置１において、流路形成部材２１の開口部１１付近を流れる溶液の温度が所定の温度範囲に収まるように管理するようにしてもよい。この場合、図５に示されるように、冷却部材は、ペルチェ素子３１などの冷却部と、開口部１１に対応する流路形成部材２１上の位置の表面に設けられる温度センサ３３と、温度センサ３３の出力に応じて冷却部３１における冷却の度合を制御する温度制御部３４と、を備えて構成される。
【００２６】
冷却部に上述した実施例１のようにペルチェ素子３１を用いている場合には、温度制御部３４は、温度センサ３３によって出力される値が所定の温度範囲に収まるようにペルチェ素子３１に流す電流のオン／オフを行って温度制御を行う。つまり、通電時にはペルチェ素子３１の冷却面３１Ａ側は冷却状態となるが、電流をオフにすると冷却面３１Ａ側の冷却が停止されるので、これを利用して流路形成部材２１の開口部１１付近が所定の温度となるように調節することができる。なお、制御する温度は、タンク１２に格納される溶液６１の種類によって異なるものである。つまり、溶液６１の各温度による揮発しやすさによって、その溶液６１が揮発しないような温度が、制御する温度範囲として求められる。
【００２７】
この実施例１によれば、溶質成分を揮発性溶剤に溶解させた溶液６１を、タンク１２から汲み上げ、傾斜を有する冷却された流路上を流れるようにするとともに、流れ終わった溶液をタンク１２に戻すようにしたので、大気に触れる開口部１１付近では溶液が冷却されて揮発を抑えるとともに、タンク１２内で溶液６１を構成する溶質成分と揮発性溶剤とがよく混ざり合った状態を維持することができるという効果を有する。これにより、生産ラインで揮発性溶剤を含む溶液を使用することが可能となる。つまり、溶液６１が入れられた容器として本実施例１の溶液格納装置１を用いることで、生産ラインの稼動中にわたって溶液格納装置１の開口部１１を開放した状態のままとしておいても、溶質と揮発性溶剤とが所定の割合で十分に混ざり合った状態の溶液を維持して提供することができる。
【実施例２】
【００２８】
図６は、本発明にかかる溶液格納装置の実施例２の構造を示す側面断面図である。なお、この溶液格納装置１の外形などは実施例１で説明した溶液格納装置１と同一であるので、その図示を省略している。
【００２９】
この溶液格納装置１Ａは、実施例１の溶液格納装置１において、タンク１２を冷却する冷却部材としてのペルチェ素子５１と、ペルチェ素子５１の冷却面側とは反対側の発熱面側で発生する熱を効率的に逃がすための放熱部５２と、タンク１２内の溶液の温度を検出する温度センサ５３と、タンク１２内の溶液の温度を所定の温度範囲内に収まるようにペルチェ素子５１の動作を制御するタンク温度制御部５４と、をさらに備える構成を有する。タンク１２は、ペルチェ素子５１からの熱を伝え易い熱伝導率の高い材料によって構成される。なお、実施例１の溶液格納装置１と同一の構成要素については、実施例１に付した符号と同一の符号を付して、その説明を省略している。
【００３０】
ペルチェ素子５１は、冷却面側がタンク１２の側面と底面を構成する壁部の外側表面と接するように取付けられる。つまり、タンク１２の外壁の表面に冷却面が接触するようにペルチェ素子５１が取付けられる。また、放熱部５２は、熱伝導率の高い材料からなり、タンク１２の外壁の周囲に取付けられたペルチェ素子５１の発熱面側との接触面積がなるべく広くなるように取付けられる。これにより、ペルチェ素子５１の発熱面側で発生した熱を効果的に外部に逃がし、タンク１２に熱が留まってしまうことを防ぐ。
【００３１】
温度センサ５３は、溶液６１が存在するタンク１２内のいずれかの場所に配置され、溶液６１の温度を検出する機能を有する。タンク温度制御部６４は、温度センサ５３からの出力結果に基づいて、タンク１２内の溶液６１が所定の温度範囲に収まるようにペルチェ素子５１に供給する電流のオン／オフを制御する機能を有する。このタンク温度制御部５４によって制御される溶液６１の温度は、実施例１の温度制御部３４と同様に、溶液６１の種類に応じた温度が設定される。
【００３２】
この実施例２によれば、溶液６１を入れるタンク１２を冷却する冷却部材をさらに設けたので、実施例１の効果に加えて、開口部１１だけでなくタンク１２内における溶液６１の揮発を防止することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明にかかる溶液格納装置の実施例１を示す斜視図である。
【図２】図１の溶液格納装置の内部構造を示す側面断面図である。
【図３】溶液格納装置の開口部付近に配置される溶液供給部材の構造を示す平面図である。
【図４】溶液供給部材の側面図である。
【図５】冷却部の構成の一例を示すブロック図である。
【図６】本発明にかかる溶液格納装置の実施例２の構造を示す側面断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１，１Ａ  溶液格納装置
１０  筐体
１１  開口部
１２  タンク
１３  取出口
１４  流入口
１５Ａ〜１５Ｃ  管
１６  管保持部材
１７  支持部材
１８  溶液注入口
１９  栓
２０  溶液供給部材
２１  流路形成部材
２２  溶液供給口
２３  整流部
２４  高さ調整部材
２５  溶液排出口
２６  ガイド部
３１  ペルチェ素子
３２  放熱部材
３３  温度センサ
３４  温度制御部
３５  送風器
４１  循環ポンプ
５１  ペルチェ素子
５２  放熱部
５３  温度センサ
５４  タンク温度制御部
６１  溶液
【図１】
2006087975.tif 000003
【図２】
2006087975.tif 000004
【図３】
2006087975.tif 000005
【図４】
2006087975.tif 000006
【図５】
2006087975.tif 000007
【図６】
2006087975.tif 000008