(57)【要約】【課題】検査用データの検証や修正を簡単に行える実装基板の検査用データ作成方法を提供する。【解決手段】本発明は、電子部品Ｅが搭載された実装基板Ｐを撮像して得られる撮像画像を、検査用データに含まれる基準データと比較照合して検査するに際し、検査用データを作成する方法を対象とする。本発明は、基準データを、形状を示す数値データを含む人工データにより作成するデータ作成ステップと、人工データによって特定される人工画像をグラフィック表示する画像表示ステップと、グラフィック表示された人工画像に基づいて、人工データを検証し、必要に応じて修正する検証ステップと、を含む。【選択図】      図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品が搭載された実装基板を撮像して得られる画像を、検査用データに含まれる基準データと比較照合して検査するに際し、前記検査用データを作成する方法であって、
前記基準データを、形状を示す数値データを含む人工データにより作成するデータ作成ステップと、
前記人工データによって特定される人工画像をグラフィック表示する画像表示ステップと、
グラフィック表示された人工画像に基づいて、前記人工データを検証し、必要に応じて修正する検証ステップと、を含むことを特徴とする実装基板の検査用データ作成方法。
【請求項２】
前記画像表示ステップを行う前に、検査対象基板を撮像してその撮像画像を取得しておき、
前記画像表示ステップにおいて、前記撮像画像をイメージ表示するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【請求項３】
前記画像表示ステップにおいて、表示された人工画像と、表示された撮像画像とを重ね合わせるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【請求項４】
前記人工データは、検査対象の電子部品の部位に対応する人工部位データを含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【請求項５】
前記人工データは、検査対象の電子部品に対応する人工部品データを含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【請求項６】
前記人工データは、検査対象の電子部品が搭載された実装基板に対応する人工基板データを含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【請求項７】
前記検査対象基板は、電子部品が搭載された実装基板によって構成されることを特徴とする請求項２または３に記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【請求項８】
電子部品が搭載された実装基板を撮像して得られる画像を、検査用データに含まれる基準データと比較照合して検査するに際し、前記検査用データを作成する装置であって、
前記基準データを、形状を示す数値データを含む人工データにより作成するデータ作成手段と、
前記人工データによって特定される人工画像をグラフィック表示する画像表示手段と、
グラフィック表示された人工画像に基づいて、前記人工データを検証し、必要に応じて修正する検証手段と、を備えたことを特徴とする実装基板の検査用データ作成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、たとえば実装機によって電子部品が実装された実装基板を検査装置により検査するに際して、検査用データを作成するための実装基板の検査用データ作成方法及び作成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品が実装された実装基板の検査装置として、検査対象とする基板を撮像し、その撮像データに基づいて基板上の電子部品の実装状態を検査するものが周知である。
【０００３】
このような検査装置では、一般に、実装状態の比較的良好な基板をマスター基板として撮像し、その画像（マスター画像）を検査基準として、検査対象の撮像画像と比較することで、実装状態の適否判断が行われている（特許文献１〜４等）。
【特許文献１】特開平７−６３６８６号公報
【特許文献２】特許第３２５０３０９号公報
【特許文献３】特許第３３８１１２９号公報
【特許文献４】特許第２７４５４７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の検査装置においては、検査を開始する前に、検査基準としてのマスター画像を含む検査用データを作成しておく必要がある。従って従来においては、作業効率や検査精度を更に向上させるため、検査用データの作成を簡単かつ正確に行えるような技術の開発が望まれている。
【０００５】
この発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、検査用データの作成を簡単かつ正確に行うことができる実装基板の検査用データ作成方法および作成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は下記の手段を提供する。
【０００７】
［１］  電子部品が搭載された実装基板を撮像して得られる画像を、検査用データに含まれる基準データと比較照合して検査するに際し、前記検査用データを作成する方法であって、
前記基準データを、形状を示す数値データを含む人工データにより作成するデータ作成ステップと、
前記人工データによって特定される人工画像をグラフィック表示する画像表示ステップと、
グラフィック表示された人工画像に基づいて、前記人工データを検証し、必要に応じて修正する検証ステップと、を含むことを特徴とする実装基板の検査用データ作成方法。
【０００８】
［２］  前記画像表示ステップを行う前に、検査対象基板を撮像してその撮像画像を取得しておき、
前記画像表示ステップにおいて、前記撮像画像をイメージ表示するようにしたことを特徴とする前項１に記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【０００９】
［３］  前記画像表示ステップにおいて、表示された人工画像と、表示された撮像画像とを重ね合わせるようにしたことを特徴とする前項２に記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【００１０】
［４］  前記人工データは、検査対象の電子部品の部位に対応する人工部位データを含むことを特徴とする前項１〜３のいずれかに記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【００１１】
［５］  前記人工データは、検査対象の電子部品に対応する人工部品データを含むことを特徴とする前項１〜４のいずれかに記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【００１２】
［６］  前記人工データは、検査対象の電子部品が搭載された実装基板に対応する人工基板データを含むことを特徴とする前項１〜５のいずれかに記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【００１３】
［７］  前記検査対象基板は、電子部品が搭載された実装基板によって構成されることを特徴とする前項２または３に記載の実装基板の検査用データ作成方法。
【００１４】
［８］  電子部品が搭載された実装基板を撮像して得られる画像を、検査用データに含まれる基準データと比較照合して検査するに際し、前記検査用データを作成する装置であって、
前記基準データを、形状を示す数値データを含む人工データにより作成するデータ作成手段と、
前記人工データによって特定される人工画像をグラフィック表示する画像表示手段と、
グラフィック表示された人工画像に基づいて、前記人工データを検証し、必要に応じて修正する検証手段と、を備えたことを特徴とする実装基板の検査用データ作成装置。
【発明の効果】
【００１５】
上記発明［１］にかかる実装基板の検査用データ作成方法によると、検査基準となる基準データとして、数値データを元に構成された人工データを採用するものであるため、誤差のない検査基準を得ることができ、検査装置による検査精度を向上させることができる。
【００１６】
また数値データによる構成される人工データをグラフィック表示するものであるため、人工データを形状イメージで捉えることができ、人工データの作成を簡単かつ正確に行うことができ、作業効率および検査基準精度を向上させることができる。
【００１７】
上記発明［２］にかかる実装基板の検査用データ作成方法によると、表示された人工画像を、実際に撮像された画像と比較しながら作成することができ、人工データの作成を一層簡単にかつ正確に行うことができる。
【００１８】
上記発明［３］にかかる実装基板の検査用データ作成方法によると、表示された人工画像を、実際に撮像された画像に重ね合わせて比較することができ、人工データの作成をより一層簡単にかつ正確に行うことができる。
【００１９】
上記発明［４］にかかる実装基板の検査用データ作成方法によると、電子部品の部位単位で高精度の検査基準を作成することができる。
【００２０】
上記発明［５］にかかる実装基板の検査用データ作成方法によると、電子部品の部品単位で高精度の検査基準を作成することができる。
【００２１】
上記発明［６］にかかる実装基板の検査用データ作成方法によると、実装基板の基板単位で高精度の検査基準を作成することができる。
【００２２】
上記発明［７］にかかる実装基板の検査用データ作成方法によると、表示された人工画像を、実際に電子部品が搭載された実装基板の撮像画像と比較できるため、人工データの検証をより一層正確に行うことができる。
【００２３】
上記発明［８］によると、上記と同様の作用効果を奏する実装基板の検査用データ作成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
図１は本発明の一実施形態にかかる検査装置の正面図である。図２はその装置の側面断面図、図３〜５はその検査装置の内部構造を示すブロック図である。これらの図に示すように、この検査装置は、実装機によって電子部品が実装された実装基板Ｐにおける電子部品の実装状態を検査するものである。
【００２５】
この検査装置は、脚部材が支える不図示の基台となるフレームを備え、フレームにはボルトでそれぞれ脱着可能に取り付けられている複数のパネルによりハウジング１が形成されている。ハウジング１内において内部コンベア２が基板搬送ラインＸＬ（図３参照）に沿ってフレーム上に設けられている。図３〜５に示すように、内部コンベア２は、Ｙ軸移動手段２０によって、水平面内において搬送ラインＸＬに対し直交するＹ軸方向（前後方向）に沿って移動自在に構成されている。すなわち内部コンベア２は、Ｙ軸方向に沿って配置される一対のレール２２にレール長さ方向に沿ってスライド移動自在に取り付けられる。更に内部コンベア２は、Ｙ軸方向に沿って配置されるボールねじ２３に螺着されており、モータ２４の駆動によってボールねじ２３が回転駆動されることにより、内部コンベア２がＹ軸方向に移動されるよう構成されている。こうして内部コンベア２は、Ｙ軸移動手段２０によって、搬送ラインＸＬ上と、ハウジング１内の後部（奥部）との間をＹ軸方向に沿って移動できるよう構成されている。
【００２６】
また内部コンベア２の両側における搬送ラインＸＬ上には、コンベアカバー１１，１２で覆われた、それぞれ不図示の搬入コンベア、搬出コンベアが設けられている。ハウジング１には搬入コンベア、搬出コンベアがそれぞれ貫通する不図示の開口が設けられている。そして搬送ラインＸＬ上に内部コンベア２が配置された状態においては、ハウジング１の外部から実装基板Ｐが搬入コンベアによって内部コンベア２上に搬送されるとともに、内部コンベア２上の基板Ｐが内部コンベア２及び搬出コンベアによってハウジング１の外部に搬出されるよう構成されている。
【００２７】
ハウジング１内における内部コンベア２の後方（奥部）には、撮像手段としてのカメラ３が配置されている。このカメラ３は、Ｘ軸移動手段３０によって、搬送ラインＸＬと平行なＸ軸方向に沿って移動自在に構成されている。すなわちカメラ３を支持する支持部材３１は、Ｘ軸方向に沿って配置される一対のレール３２にレール長さ方向に沿ってスライド自在に取り付けられている。更にカメラ支持部材３１には、Ｘ軸方向に沿って配置されるボールねじ３３に螺着されており、モータ３４の駆動によってボールねじ３３が回転駆動されることにより、カメラ３がＸ軸方向に移動されるよう構成されている。
【００２８】
またカメラ支持部材３１には、カメラ３により撮像する領域を照明するための照明装置３５が設けられている。
【００２９】
図６は検査装置のコンピュータ等によって構成される主制御系を示すブロック図である。同図に示すように、この装置においては、ＣＰＵ５によって各駆動部等の駆動が制御されて、後に詳述する動作が自動的に実行されるものである。同図において、キーボード等の入力装置４１は検査に関連した各種の情報等を検査装置に入力するためのものであり、ＣＲＴディスプレイ等の表示装置４２は、各種の情報等を表示するものである。更に記憶装置４３は、検査に必要な各種のデータ等を記憶するものである。
【００３０】
また画像用フレームメモリ５１は、画像入力ポート５２を介して得られる分割撮像データ（分割画像）や、それを加工して得られる広域撮像データ（広域画像）、検査対象の電子部品データ（検査部品データ）等の画像データを記憶するものである。メモリ５３は、検査に必要な各種のデータを一時的に記憶するものである。更に照明コントローラ５４はカメラ３による撮像時に照明装置３５の駆動を制御するものであり、モータコントローラ５５及びモータアンプ５６は、Ｘ軸移動手段３０及びＹ軸移動手段２０の駆動を制御して、カメラ３を実装基板Ｐに対しＸＹ軸方向に相対移動させるものである。更にＣＰＵ５は各種Ｉ／Ｏポート５７を介して周辺装置とデータを送受できるよう構成されている。
【００３１】
図７はこの検査装置において検査対象の実装基板Ｐを撮像して得られた撮像画像の一例である。
【００３２】
この検査装置では、基板のサイズとカメラ視野（撮像範囲）とから、分割撮像に必要な撮像回数、撮像位置等が計算され、実装基板Ｐの検査対象領域を縦横（ＸＹ軸方向）に格子状に複数の撮像領域Ｐｇ・・・に分割して撮像が行われるようになっている。
【００３３】
この検査装置では、こうして撮像される検査対象基板の画像を、マスター基板等を撮像した得たマスター画像等ではなく、各電子部品Ｅの形状を人工的な数値データで表現した人工部品データと照合し、さらに各電子部品Ｅが搭載されるべき位置を示す搭載位置データと比較することによって、検査対象基板における電子部品Ｅの実装状態の良否を判定するようになっている。
【００３４】
なお人工部品データ（基準部品データ）や搭載位置データ等は検査用データの一部を構成するものである。
【００３５】
人工部品データは、検査対象基板を撮像して得られる撮像画像と比較・照合され、その良否判定の基準となる検査基準を構成するものである。
【００３６】
この人工部品データは、検査装置が備えるコンピュータまたは人工部品データを作成するためのプログラムを実行可能な外部のコンピュータ等において作成される。また、人工部品データを構成する各データは、検査用データの作成のためにオペレータ等によって入力するようにしても、検査装置よりも上流側の基板製造工程やマスク作成工程、クリームはんだ塗布工程、あるいは電子部品の実装工程等において使用される製造プログラムを元にして、ここから必要なデータを抽出して構成するようにしても良い。検査装置が備えるキーボードやマウス等の入力装置または上流側工程を実施する装置とのデータ通信装置は、検査用データを作成するデータ作成手段として機能する。また、検査装置や外部コンピュータが備えるディスプレイ等の表示装置は画像表示手段および検証手段として機能する。
【００３７】
人工部品データは、電子部品の検査対象部位に対応する１〜複数の人工部位データと、人工部位データの位置および角度を指定する配置データとが含まれている。配置データは、各部品中心を原点とする部品座標系での位置および角度を指定するものである。
【００３８】
また人工部位データには色データが含まれ、たとえばＲＧＢ階調等で電子部品の色調や明暗を表現することができる。
【００３９】
以上のようなデータ構成を有する人工部品データは、全て数値データを元にして構成され、全て数値入力されたデータから構成されている。このため誤差のない検査基準を得ることができる。
【００４０】
なおこのデータの数値入力は、検査用データを作成する時に限らず、上述したように上流側生産工程の生産用データや部品メーカが作成する電子カタログデータ等を利用して検査用データを作成する場合には、これらのデータ等の入力時に行っても良い。
【００４１】
検査用データには、実装基板において電子部品が搭載されるべき位置を示す搭載位置データが含まれる。
【００４２】
この検査装置では、検査対象基板を撮像して得られる撮像画像を、人工部品データと比較・照合して、各電子部品の基板の位置を検出するが、搭載位置データは、こうして検出された各電子部品の基板上の位置が許容できる正しい位置にあるか否かを判定するものである。このため、搭載位置データは人工部品データとともに電子部品の実装状態の検査基準をなしている。
【００４３】
この実施形態では、搭載位置データは、マスター基板等を撮像したマスター画像等から抽出するものではなく、人工的な数値データとして入力設定されるようになっている。このように搭載位置データも人工的な数値データを採用するため、電子部品の搭載位置についても誤差のない検査基準を得ることができる。
【００４４】
搭載位置データもまた、検査装置が備えるコンピュータまたは人工部品データを作成するためのプログラムを実行可能な外部のコンピュータ等において作成される。また、搭載位置データは、検査用データの作成のためにオペレータ等によって入力するようにしても、検査装置よりも上流側の基板製造工程やマスク作成工程、クリームはんだ塗布工程、あるいは電子部品の実装工程等において使用される製造プログラムを元にして、ここから必要なデータを抽出して構成するようにしても良い。
【００４５】
また検査用データには、基板データが含まれる。基板データは、検査対象とされる実装基板に対応するデータ単位であり、１つの基板データが１つの実装基板に対応している。
【００４６】
なお、人工部品データ、搭載位置データ、基板データ、人工部位データ、配置データ、色データ等の上記各人工データは、検査基準を構成するものであり、基準データに含まれる。
【００４７】
次に本実施形態における検査用データの作成方法について説明する。検査用データを作成するに際し、オペレータは、検査装置のコンピュータに検査用データを作成するためのプログラムを実行させて、そのプログラムに従って検査用データを作成するものである。
【００４８】
まず検査装置によって、電子部品Ｅが搭載されたサンプル基板等の実装基板Ｐの全域を、上記図７に示すように複数の撮像領域Ｐｇに分割して撮像を行う。そして撮像された各画像をメモリ上でつなぎ合わせて、実装基板Ｐ全域に対応した実装基板撮像画像を作成する。
【００４９】
次にオペレータは、検査項目に応じて、人工部品データを作成する。検査項目としては、例えば電子部品のリード部における基板への搭載状態、電子部品Ｅのボディ部の位置および向き、部品の種類等が挙げられるが、ここでは電子部品のリード部における基板への搭載状態を検査項目とする場合を例に挙げて説明する。なお以下の図８〜図１３において、Ｅｂは撮像画像における電子部品Ｅのボディ部、Ｅｌは電子部品Ｅのリード部、Ｐｅは基板上に設けられたリード部搭載用の電極を示す。更にＧｅは人工部品画像、Ｇｌは人工部位画像を示す。
【００５０】
人工部品データの作成に際して、まずオペレータは、リード搭載部に対応する人工部位データを数値データとして入力する。たとえば、形状や寸法、色に関するデータを数値データとして入力する。この入力によって、表示装置には、数値データが数字として表示される。更にその数値データがコンピュータによって合成演算処理されて、図８示すようにその数値データが示す人工画像Ｇｌが自動的に表示装置上にグラフィック表示される。なお人工画像Ｇｌは、入力されたデータをその都度表示させて、画像作成中の段階から表示させるようにしても良い、人工部位データが入力された後、部位単位（エレメント単位）で表示させるようにしても良い。
【００５１】
次に実装基板の撮像画像から、検査対象となる電子部品Ｅを切り出して、その電子部品画像を表示装置にイメージ表示する。
【００５２】
続いて図９に示すように切り出された電子部品Ｅの画像におけるリード搭載部（検査対象部）Ｅｌに、グラフィック表示された上記人工部位画像Ｇｌを重ね合わせる。
【００５３】
そして人工部位画像Ｇｌを、撮像された部位画像（Ｅｌ）に重ね合わせた状態で検証・確認し、必要に応じて修正し、微調整する。なお言うまでもなく、修正作業は数値データの変更によって行うものである。
【００５４】
このように本実施形態においては、数値データからなる検査基準部位をグラフィック表示するものであるため、オペレータは、形状、色、位置等を形状イメージで捉えることができ、数値イメージで捉える場合と比較して、基準部位の確認を簡単かつ正確に行うことができ、検査基準の精度を向上でき、ひいては検査精度を向上させることができる。さらに人為的な入力ミスも大幅に削減することができ、検査効率も格段に向上させることができる。
【００５５】
しかも本実施形態においては、検査基準部位の表示画像Ｇｌを、検査対象部位の表示画像Ｅｌに重ね合わせるものであるため、両者の比較照合を的確に行えて、不正部分を正確に把握できて、修正、確認作業を効率よく的確に行うことができる。
【００５６】
なお本実施形態においては、撮像される基板として実際に電子部品が搭載されるものを用いているが、それだけに限られず、本発明では電子部品が搭載されない空の基板を撮像し、その空基板の撮像画像と、人工部位の画像とを比較して、人工部位データの検証や修正を行うようにしても良い。すなわち空基板であっても、リード部の搭載予定位置は把握できるため、その搭載予定位置に基づいて、人工部位データの検証や確認を行うようにすれば良い。更に空基板であっても、電子部品の種類、位置、向き等は把握できるため、以下の人工部品データの形状や位置を検証する場合においても同様に、空基板の撮像画像と比較して行うことができる。もっとも実装基板を用いる方が、実際の電子部品画像と人工画像とを比較できるため、検証や修正をより一層正確に行うことができる。
【００５７】
上記人工部位データの入力修正作業に続けて、数値データの入力によって、必要な人工部位データを作成する。ここでは、上記の人工部位データが表現する形状をコピーして展開配置し、リード搭載部（検査対象部）の全てに対応する人工部位データを作成する。このときも上記と同様に、表示装置には数値データとともに、図１０に示すようにそのデータが示す画像Ｇｌがグラフィック表示される。
【００５８】
こうして作成したリード搭載部全ての人工部位データを組み合わせて、一つの検査単位としてのモジュールデータを作成する。
【００５９】
次に撮像された電子部品Ｅの画像をイメージ表示し、図１１に示すようにその画像上に上記モジュールデータが示す人工部位画像を重ね合わせて、人工部位データを検証し、必要に応じて、形状、位置、色等を調整する。
【００６０】
こうして作成された人工部位データ（モジュールデータ）が、一つの人工部品データ（モデルデータ）として構成される。
【００６１】
なお、他の検査項目、たとえばボディ位置や向き、部品の種類等を検査項目とする場合には、これらに関する基準データが入力されて、上記モジュールデータと組み合わされて、一つの人工部品データが作成される。この場合のデータ入力も、数値データの入力によって行われ、必要に応じてそのデータが示す形状等が表示装置上にグラフィック表示される。更に対応する撮像画像がイメージ表示されて、両表示画像が重ね合わされて、入力データの検証、修正等が行われる。
【００６２】
続いて上記と同様にして、検査対象の実装基板に搭載された部品種ごとに、人工部品データを作成する。
【００６３】
続いて実装基板に対応する基板データや、その基板上における各人工部品データの搭載位置を示す搭載位置データを数値データとして入力して、人工基板データを作成する。この入力時においても、上記と同様に、表示装置上に数値データが表示され、更に図１２に示すようにその数値データが表す基板と、その基板に対する位置が関連付けされた人工部品データ（人工部品画像Ｇａ）とがグラフィック表示される。なおこの搭載位置データの入力においても、人工部品データが表現する形状等をコピーして展開配置することができる。
【００６４】
こうして全ての部品の搭載位置データを入力することによって、基板上に人工部品が搭載された人工基板データが作成されて、表示装置上にそのデータに対応する画像がグラフィック表示される。
【００６５】
次に撮像された検査対象の実装基板の画像を表示装置上にイメージ表示し、図１３に示すようにその画像上に、上記人工基板画像を重ね合わせて表示する。そしてその状態で、人工基板画像の部品位置等を検証・確認し、必要に応じて修正し、微調整する。なおこの調整作業も数値データの変更によって行うものである。
【００６６】
この調整作業においても、オペレータは部品位置等を形状イメージで捉えることができ、部品位置等の基準データの確認を簡単かつ正確に行うことができ、検査精度を一層向上させることができる。
【００６７】
しかも本実施形態においては、撮像基板の画像と人工基板の画像とを重ね合わせるものであるため、両者の比較照合を的確に行えて、不正部分も正確に把握できて、確認、修正作業を効率よく行うことができる。
【００６８】
なお上記実施形態においては、全ての部品の搭載位置データを入力して人工基板データを作成した後、撮像基板の画像と比較するようにしているが、それだけに限られず、本実施形態においては、１〜複数の搭載位置データを入力する毎に、撮像基板の画像と比較して、その都度、検証、修正を行うようにしても良い。
【００６９】
本実施形態においては、上記のように作成された人工基板データ等の検査用データを用いて、以下に説明するように、検査装置により基板検査を行うものである。
【００７０】
まず人工部品データおよび搭載位置データを含む検査用データが取得される。この検査用データの取得は、上述したように、各データを入力設定することで作成しても、上流側工程で使用される生産データを加工して作成しても良い。
【００７１】
検査用データが検査装置に設定されれば、サンプル基板等を用いて、実際の検査に準拠した画像処理テストを行って検査用データを最終チェックした後、実際の検査対象とする基板に対する検査が実行される。
【００７２】
すなわち図１４に示すように、検査対象基板が撮像され、検査対象の撮像画像が取得される（ステップＳ１１）。この撮像は、上記したように基板を格子状に分割し、各エリア毎にカメラを相対移動させることによって検査対象基板全体が撮像され、分割画像を合成して基板全体の広域画像が得られる。図７はこうして得られる広域画像の一例である。
【００７３】
こうして基板が撮像されれば、分割画像を合成した広域画像から検査範囲が切り出される（ステップＳ１２）。この切り出し範囲は、予め検査用データに含まれるものである。
【００７４】
次に切り出された撮像画像と、人工部品データとして作成された人工画像（検査基準）とが画像処理によって比較照合され、電子部品の実装状態が検査される（ステップＳ１３）。この検査では、撮像画像における電子部品の検査対象部位の位置、角度姿勢、色等、更に電子部品の位置、角度姿勢等が、人工画像とのずれ量に基づいて良否が判断される。
【００７５】
続いて、検査対象基板の全ての電子部品に対し上記と同様に検査される（ステップＳ１４：Ｎｏ）。そして全ての電子部品の検査が完了すると（ステップＳ１４：Ｙｅｓ）、検査結果が出力されて、その結果が表示装置に出力されるとともに、蓄積される。
【００７６】
これにより一つの検査対象基板に対する検査が終了する。
【００７７】
なお本発明により作成された検査用データは、上記実施形態の検査装置に限られず、他の検査装置にも適用することができる。たとえば検査対象の基板に対し、電子部品毎に撮像し、その部品毎の撮像画像に対し順次画像処理を行うようにした検査装置にも、本発明の検査用データを適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】この発明の一実施形態にかかる検査装置の正面図である。
【図２】実施形態の検査装置を示す側面断面図である。
【図３】実施形態の検査装置における内部構造を概略的に示す平面図である。
【図４】実施形態の検査装置における内部構造を概略的に示す正面図である。
【図５】実施形態の検査装置における内部構造を概略的に示す側面図である。
【図６】実施形態の検査装置の主制御系を示すブロック図である。
【図７】実施形態において実装基板を撮像領域に分割して示す平面図である。
【図８】実施形態においてグラフィック表示された人工部位画像を示す平面図である。
【図９】実施形態において人工部位画像を撮像部位画像に重ね合わせて表示した状態の平面図である。
【図１０】実施形態においてグラフィック表示された人工部品画像を示す平面図である。
【図１１】実施形態において人工部品画像を撮像部品画像に重ね合わせて表示した状態の平面図である。
【図１２】実施形態においてグラフィック表示された人工基板画像を示す平面図である。
【図１３】実施形態において人工基板画像を撮像基板画像に重ね合わせて表示した状態の平面図である。
【図１４】実施形態の検査装置による検査手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７９】
Ｅ  電子部品
Ｇｅ  人工部品画像
Ｇｌ  人工部位画像
Ｐ  実装基板
【図１】
2006086432.tif 000003
【図２】
2006086432.tif 000004
【図３】
2006086432.tif 000005
【図４】
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【図５】
2006086432.tif 000007
【図６】
2006086432.tif 000008
【図８】
2006086432.tif 000009
【図９】
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【図１０】
2006086432.tif 000011
【図１１】
2006086432.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図７】
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