(57)【要約】【課題】  マクロ検査装置において、観察位置を被検体基板に沿って移動しても、マクロ操作に必要な操作を容易に行なうことができ、大型の被検体基板を効率的に検査することができるようにする。【解決手段】  照明光を照射する照明ユニット２と、ガラス基板１３をマクロ検査に適した傾斜角度に回動する基板保持部５と、観察者１２がガラス基板１３をマクロ検査するために必要な操作を行なう可動操作部１０とを備える。可動操作部１０はマクロ検査装置の正面パネル上にガラス基板１３に沿うように移動可能に設ける。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体基板に照明光を照射して欠陥検査を行なうマクロ検査装置であって、
被検体基板に照明光を照射する照明ユニットと、
前記照明光に対して、被検体基板をマクロ検査に適した傾斜角度に回動する基板保持部と、
観察者が前記基板保持部に保持された被検体基板に対してマクロ検査を行なう操作部とを備え、
該操作部が、前記被検体基板を目視観察するための開口部に沿って移動可能に設けられたことを特徴とするマクロ検査装置。
【請求項２】
前記正面パネルに形成されたマクロ観察用開口部の少なくとも下端側に沿うように配置されたガイド部材を備え、
前記操作部が該ガイド部材に沿って移動可能に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のマクロ検査装置。
【請求項３】
前記正面パネルに形成されたマクロ観察用開口部の上下端側に平行に配置された一対の水平ガイド部材と、これら水平ガイド部材に沿って移動する鉛直ガイド部材とを備え、
前記操作部が前記鉛直ガイド部材に沿って移動することを特徴とする請求項１に記載のマクロ検査装置。
【請求項４】
前記操作部が、前記マクロ検査に必要な操作として、前記基板保持部の回動操作、前記照明ユニットによる照明光の照射条件を可変する操作、および前記照明ユニットを移動制御する操作のうち少なくとも１つの操作を行なう操作入力手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のマクロ検査装置。
【請求項５】
観察者の移動位置を検出する観察者位置検知部を備え、
該観察者位置検出部の検出出力に応じて、前記操作部を前記観察者の移動に追従するように移動制御するようにしたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のマクロ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体基板に照明光を照射して欠陥検査を行なうマクロ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶ディスプレイの液晶基板などの基板を被検体として、表面に検査用の照明光を当てて欠陥検査を行なうマクロ検査装置が知られている。
例えば、特許文献１には、起立した観察者の前方に、被検体としてのガラス基板を斜めに立てかけ、検査装置の上部に固定されたマクロ検査用照明装置により上方から基板に向けて照明光を照射し、その反射光を観察者が目視で観察することでガラス基板上の欠陥を検査するマクロ検査装置が記載されている。
このような装置においては、ガラス基板を保持するマクロ検査用ホルダを前後方向に傾動制御または揺動制御する制御部に対して操作入力を行なう操作部が、制御用ＰＣやモニタが設置されている装置前面の右端、左端に設置される。
【特許文献１】特開２０００−２８５３７号公報（第２−３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来のマクロ検査装置には以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、マクロ検査用照明装置が検査装置の上部に固定され、被検体基板の前面を照明するようになっているが、被検体基板が大きくなると、視野範囲が広くなるためにガラス基板に対して観察位置を移動させながら目視で観察する必要がある。ところが近年、液晶ディスプレイのマザーガラス基板は２０００ｍｍを超える大型化のものが出現し、観察のための移動範囲が広がると、例えば被検体基板の揺動、照明条件の変更などの操作を行なう操作部が遠くなり観察しながら操作することが難しくなるという問題がある。したがって、観察者が操作部から離れた位置で観察する場合、観察位置から操作部まで移動しなければならず、作業性や検査効率が悪化するという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、観察位置を被検体基板に沿って移動しても、マクロ操作に必要な操作を容易に行なうことができ、大型の被検体基板を効率的に検査することができるマクロ検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明では、被検体基板に照明光を照射して欠陥検査を行なうマクロ検査装置であって、被検体基板に照明光を照射する照明ユニットと、前記照明光に対して、被検体基板をマクロ検査に適した傾斜角度に回動する基板保持部と、観察者が前記基板保持部に保持された被検体基板に対してマクロ検査を行なう操作部とを備え、該操作部が、前記被検体基板を目視観察するための開口部に沿って移動可能に設けられた構成とする。
【発明の効果】
【０００６】
この発明によれば、基板保持部に保持された被検体基板を制御するための操作入力が可能とされた操作部を被検体基板に対して移動可能に設けるので、観察者が被検体基板に沿って観察位置を移動しても、操作部を観察位置に移動することにより、被検体基板のマクロ観察に必要な操作を容易に行なうことができ、効率的にマクロ検査を行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下では、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
本発明の実施形態に係るマクロ検査装置について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための側面視の模式説明図である。図２は、本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための正面視（図１のＡ視）の模式説明図である。図３は、本発明の実施形態に係る操作部の概略構成を説明するための斜視説明図である。
なお、方向の参照の便宜のために各図に共通のＸＹＺ座標系を示した。Ｚ軸方向は鉛直方向、Ｘ軸方向は正面視左右方向、Ｙ軸は正面視奥行き方向であり、観察者１２は、正面位置でＹ軸正方向側を向いて装置に対している。
【０００８】
本実施形態のマクロ検査装置１は、液晶ディスプレイを複数枚製造するマザーガラス基板など、例えば１辺の長さが２ｍ以上となるような大型の被検体基板の表面欠陥を観察者が目視観察することにより検査するものである。
その概略構成は、図１に示すように、装置本体７に、照明ユニット２、基板保持部５、顕微鏡６、ベース８、顕微鏡支持部９、制御部１１、固定操作部１１Ａ、および可動操作部１０（操作部）が設けられてなる。
【０００９】
装置本体７は、各部材を所定位置に保持する骨組部、外周を覆うパネル部などからなり、図２に示すように、正面側に、中央部に観察者がガラス基板１３（被検体基板）を観察するための矩形状の開口部７ｂを有する正面パネル７ａが配置されている。
ガラス基板１３は、例えば１辺が１５００ｍｍ、２０００ｍｍを超える矩形状のマザーガラス基板であり、本実施形態ではガラス基板１３の長手方向をＸ軸方向に向けて配置される。
【００１０】
照明ユニット２は、照明光Ｌを発光する光源部２Ａ、照明光Ｌの光路を折り畳む反射ミラー２Ｂ、反射ミラー２Ｂで反射された照明光Ｌを収束光や散乱光に変換する照明光変換部２Ｃとからなる。この照明ユニット２は、大型のガラス基板の全面をマクロ照明するために、装置本体７の上部にＸ軸方向に移動可能に設けられている（図２参照）。
【００１１】
基板保持部５は、ガラス基板１３を上面側で位置決めして吸着保持するもので、ベース８上に基端部が支持軸４により回動自在に支持され、回転機構（不図示）により水平状態から所定角度まで立ち上げられる。
本実施形態の基板保持部５では、ガラス基板１３上の欠陥を目視で観察するに適した傾斜角度に回転させる回転移動機構を備える。
顕微鏡６は、ガラス基板１３の表面の拡大像を観察するためのもので、水平に位置決めされた基板保持部５の上面に平行な平面内で２次元的に移動できるようになっている。顕微鏡支持部９は、ベース８上に設けられた一対のガイドレール上をＹ方向に走行させる門柱型に形成され、この水平アーム部に顕微鏡６がＸ方向に移動可能に設けられている。この顕微鏡支持部９をＹ方向に移動させ、顕微鏡６をＸ方向に移動させることにより、基板保持部５上に保持されたガラス基板１３の全面を２次元走査することができる。
【００１２】
制御部１１は、マクロ検査装置１の全体制御を行なうためのもので、操作入力に応じて、種々の制御信号を送出できるようになっている。
例えば制御部１１は、照明ユニット２に対して照明光Ｌの光量、波長、照射位置、照射範囲などの照明条件の設定や、照明光Ｌを収束光と散乱光とに切替制御を行なう。
このうち、照射位置は、照明ユニット２全体をＸ軸方向に移動したりすることで可変できるようになっている。
また、収束光・散乱光の切替は、照明光変換部２Ｃにフレネルレンズで収束されたマクロ照明光を透過させる透明状態と散乱させる不透明状態に電気的に切換え可能な液晶散乱板を設けることにより切替可能となっている。
【００１３】
固定操作部１１Ａは、制御部１１に対して操作入力を行なうためのもので、正面パネル７ａの前面の右端に固定配置されている。
例えば、モニタに表示される操作画面に従って、観察者１２がキーボード、マウス、スイッチングボードなどの入力手段を介して操作入力を行なうことができるようになっている。
【００１４】
可動操作部１０は、観察者１２がマクロ検査を行なうために必要な操作入力を、観察者１２の移動位置で、行なえるようにしたもので、開口部７ｂの下端側にＸ軸方向に延されたガイド部材１４に沿って可動に設けられている。
すなわち、図３に示すように、可動操作部１０の筐体１０ｂから側方に延された支持アーム１０ａに可動機構１５が接続され、可動機構１５がガイド部材１４に対して移動可能に取り付けられている。
また、ガイド部材１４の近傍の正面パネル７ａ上には、Ｘ軸方向に沿って適宜間隔をおいて、観察者１２の移動位置を検知するための人体検知センサ２４…（観察者位置検知部）が設けられている。
人体検知センサ２４は、例えば、正面パネル７ａの前方（Ｙ軸負方向）の所定距離範囲に観察者１２が来たとき、検知信号を発生して制御部１１に通知する赤外線センサなどを採用することができる。
【００１５】
可動機構１５は、ガイド部材１４と組み合わせてＸ軸方向に移動するための機構である。
本実施形態では、ガイド部材１４を軌道とするリニアモータを採用している。
可動機構１５の移動は、固定操作部１１Ａからの操作により、所定位置に移動することでも行なうことができるが、その他に自動運転モードと手動モードとが切り替えられるようになっている。
自動運転モードは、人体検知センサ２４で観察者１２の位置を検知し、その検知信号により制御部１１が可動操作部１０を自動的に観察者１２の移動位置までの移動制御するモードである。
手動モードは、リニアモータの駆動制御が解除され、手動で可動操作部１０をガイド部材１４に沿う適宜位置に移動できるようにしたモードである。
自動運転モードと手動モードとの切替は、可動操作部１０および固定操作部１１Ａからそれぞれ行なうことができるようになっている。
【００１６】
筐体１０ｂの上面には、ジョイスティック１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、ボタンスイッチ群１９、２０、非常停止スイッチ２１が設けられ、前側（Ｙ軸負方向）の側面には取っ手１６、１６と固定スイッチ１７とが設けられている。
ジョイスティック１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、基板保持部５、照明ユニット２、および顕微鏡６を移動し、それぞれ所望の位置、姿勢に設定するための操作入力手段である。
ジョイスティック１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、ボタン入力、数値入力する場合に比べて感覚的に操作することができるので、本実施形態のように、観察者１２がそれらの移動を視認しながらリアルタイムに位置を操作できるため、操作性を向上することができるという利点がある。
【００１７】
ボタンスイッチ群１９、２０は、照明条件などを含む特定の機能を切替選択したり、レベルを切り替えたりすることができるように設けた操作入力手段である。
例えば、照明条件の変更としては、照明ユニット２の照度を変更したり、光源部２Ａのフィルタを切り替えて照明光Ｌの波長を変更したり、照明光変換部２Ｃを制御して収束光と散乱光とを切り替えたり、照明光変換部２Ｃの位置や絞りを切り替えて照明範囲を制限したりすることなどが挙げられる。
また、他の機能として、例えば、基板保持部５を反転移動できるようにした場合に、検査面を表面と裏面とに切り替えるために反転させたり、検査終了の際に基板保持部５の位置を初期化したり、ガラス基板１３の吸着解除、搬出を制御したりすることなどが挙げられる。
また、可動機構１５の自動運転モード、手動モードの切替も挙げることができる。
なお、ボタンスイッチ１９、２０は、観察者１２が操作容易な操作入力手段であれば、他のスイッチを採用してもよい。例えば、ダイヤルスイッチ、レバースイッチなど適宜の操作入力手段を採用できる。
【００１８】
非常停止スイッチ２１は、非常時などための安全スイッチであり、例えば、全可動部を強制停止したり、通電を停止したりできるものである。
取っ手１６は、手動モード時に、観察者１２が把持して可動操作部１０を動かすための部材である。
【００１９】
固定スイッチ１７は、可動操作部１０の位置の固定と固定解除とを切り替えるための操作入力手段である。そして、取っ手１６に手を添えた状態で容易に操作できるように、取っ手１６の近傍に配置されている。
可動操作部１０の固定手段としては、可動機構１５に対して、制御部１１が移動禁止の制御信号を送るという手段を採用できる。
また、可動操作部１０の固定手段としては、例えば、支持アーム１０ａとガイド部材１４との間に機械的なクランプ機構を設けたり、マグネット吸着したりする手段を採用してもよい。
固定スイッチ１７のスイッチの種類はどのようなものでもよいが、例えば、プッシュボタンスイッチ、トグルスイッチやレバースイッチなどが採用できる。
【００２０】
次に、本実施形態のマクロ検査装置１の動作について、可動操作部１０に関係した動作を中心に説明する。
マクロ検査装置１により、ガラス基板１３を検査するには、不図示の搬送手段によりガラス基板１３を基板保持部５上に配置して吸着保持する。
観察者１２は、正面パネル７ａの前に立ち、開口部７ｂからガラス基板１３を目視観察して、ガラス基板１３の傷、ほこり、膜ムラなど表面欠陥の有無を検査する。
微細な表面欠陥を効率よく検査するために、図１に示すように、照明ユニット２により上方からガラス基板１３に向けて照明光Ｌを照射する。
このとき、観察者１２は、可動操作部１０のジョイスティック１８ａを操作して、上方より照明された照明光Ｌによってガラス基板１３上の欠陥を良好に目視観察できる傾斜角度に基板保持部５を傾動させる。
そして、ガラス基板１３上の欠陥がより観察しやすくなるように、ガラス基板１３を目視しながら、ジョイスティック１８ａを操作して基板保持部５を上下方向に微動（揺動）させる。このとき、基板保持部５が様々な方向に揺動可能な機構を有していれば、ジョイスティック１８ａをＸＹ方向に操作することにより、ガラス基板１３に対する照明光Ｌの入射角度を様々な方向に変えながら表面欠陥を良好に観察することができる。
また、必要に応じて、ボタンスイッチ１９などを操作して照明条件を変更して、表面欠陥を探すこともできる。
【００２１】
表面欠陥を発見し詳細に観察した場合、ジョイスティック１８ａを操作して基板保持部５を水平な姿勢に戻し、顕微鏡保持部９と顕微鏡６を移動させるジョイスティック１８ｃを操作して、顕微鏡６を表面欠陥の位置まで移動し、拡大画像を見ながら表面欠陥の詳細を検査することができる（ミクロ検査）。
【００２２】
このようにして目視される範囲でマクロ検査を行なうことができるが、ガラス基板１３が大型の場合、ガラス基板１３の全範囲を視野に入れることは困難となるので、照明光の照射範囲を限定し、ガラス基板１３の表面を分割して観察していく。
本実施形態では、少なくともＸ軸方向には観察範囲を分割し、ジョイスティック１８ｃを操作して、照明ユニット２をＸ軸方向に移動させる。照明ユニット２の移動に合わせて観察者１２も観察位置をＸ軸方向に移動する。このとき、可動操作部１０をガイド部材１４に沿って移動させ、可動操作部１０上の各操作入力手段の位置が観察者１２に対して略同様の位置関係を保つようにする。
そのため、観察者１２が観察する位置に可動操作部１０を移動させることができるため、観察者１２は、移動した位置でマクロ検査に必要な操作を行なうことができ、観察位置をＸ軸方向に移動しても移動前と略同様の状態で目視観察を続けることができる。このように観察姿勢や操作性を同等に保って検査できるので、検査効率が向上するととも、観察者１２に負担をかけることなく精度よくマクロ検査を行なうことができる。
【００２３】
ここで、可動操作部１０の移動について説明する。
本実施形態では、可動操作部１０または固定操作部１１Ａから操作入力することにより、可動操作部１０を手動モードまたは自動運転モードで移動することができる。
手動モードでは、観察者１２が取っ手１６をつかんで、移動方向側に押すことで、可動操作部１０を観察位置まで移動することができる。
この場合、観察者１２が、可動操作部１０を操作に好都合な位置に自由に移動することができるので、作業効率を向上することができる。
一方、固定スイッチ１７を操作することにより、可動操作部１０の位置を固定し、検査中に可動操作部１０が不用意に移動することを防止できる。この場合、観察者１２は取っ手１６から手を離すことができるので好都合である。
移動を再開する場合は、固定スイッチ１７を操作して、固定解除を行なう。固定スイッチ１７は、取っ手１６を把持した状態で操作できるように取っ手１６の近傍に設けられているので、固定、固定解除、移動の各工程を片手で円滑に操作することができる。
【００２４】
自動運転モードでは、観察者１２が立っている位置を人体検知センサ２４のいずれかが検知して、制御部１１に検知信号を送り、制御部１１により可動操作部１０が自動的に観察者１２の近傍位置に位置移動される。このとき、制御部１１は、人体検知センサ２４の検知信号により照明ユニット２を可動操作部１０とともに移動させることも可能である。この自動運転モードによれば、可動操作部１０は観察者１２の移動に追従するから、可動操作部１０を移動するために手を添えておく必要がない。また、観察者１２が、観察位置を自由に移動しても、照明ユニット２と可動操作部１０が観察者１２に追従して移動するので、移動後ただちに基板保持部５の操作をしてマクロ検査を行なうことができるとともに、観察者１２が可動操作部１０を移動させる手間が省ける。そのため、検査効率を向上することができる。
なお、自動運転モードに設定されている場合でも固定スイッチ１７の操作入力が優先されるようになっており、必要に応じて可動操作部１０の位置を固定することができる。
【００２５】
観察者位置検出部としては、人体検知センサ２４以外にも種々の手段を採用できる。
例えば、人体検知センサ２４と同様に、観察者１２を受動的な被検知体とする方式では、装置本体７に、レーザ距離計などの測距手段を設けて、それにより観察者１２との距離を計測することで、観察者１２の位置を検出する手段を採用してもよい。
この場合、異なる２箇所からの距離を計測できるようにすれば、観察者１２の平面上での位置を特定できるから、検知誤差を低減し、誤検知を防止することができるという利点がある。
また、観察者１２を能動的な被検知体とする方式では、観察者１２が、例えば赤外線、電波、超音波などの信号発信器を身につけ、装置本体７側にそれらの受信部を設けて、位置検出する手段を採用することもできる。
【００２６】
以上に述べたように、本実施形態のマクロ検査装置１によれば、ガイド部材１４に沿って可動操作部１０を移動することができるので、ガイド部材１４を観察者１２の移動方向に合わせて配置することにより、観察者１２が観察位置を移動しても、操作しやすい位置に可動操作部１０を移動させることができる。それにより検査の作業効率を向上することができるものである。
また、ガラス基板１３を移動させなくてもよいので、移動させる場合に比べて、移動機構を削減できて簡素な装置とすることができる。また、装置の占有空間も低減できるので、比較的小型の装置とすることができる。
【００２７】
次に、本実施形態の変形例について説明する。
図４は、本発明の実施形態の変形例にかかるマクロ検査装置の概略構成について説明するための正面視の模式説明図である。
本変形例のマクロ検査装置１００は、上記実施形態のマクロ検査装置１のガイド部材１４に代えて、鉛直ガイド部材２２（ガイド部材）、水平ガイド部材２３Ａ、２３Ｂ（ガイド部材）を設けたものである。
【００２８】
水平ガイド部材２３Ａ、２３Ｂは、ガイド部材１４と同様なリニアモータのガイドレールであり、それぞれ開口部７ｂの下端部、上端部近傍に平行に配置されている。
鉛直ガイド部材２２は、両端部が水平ガイド部材２３Ａ、２３Ｂ上でそれぞれに対して直交する方向（Ｚ軸方向）に架橋され、Ｚ軸方向を保って、Ｘ軸方向に平行移動できる構成とされている。
可動操作部１０は、可動機構１５を介して、鉛直ガイド部材２２上にＺ軸方向に移動可能に取り付けられている。
【００２９】
そして、制御部１１からの制御信号により、鉛直ガイド部材２２を水平ガイド部材２３Ａ、２３Ｂ上でＸ軸方向に移動させるとともに、可動操作部１０を鉛直ガイド部材２２上でＺ軸方向に移動制御することにより、可動操作部１０の位置を開口部７ｂの内側のＺＸ平面上で２次元移動させることができるようになっている。
【００３０】
ここで、可動機構１５と鉛直ガイド部材２２との間には、可動操作部１０の自重で下降しないようにストッパ機構が設けられている。
このため、本変形例では、可動操作部１０に設けられた固定スイッチ１７は、鉛直ガイド部材２２の位置をＸ軸方向に固定するためのスイッチとなっている。
【００３１】
このような構成により、本変形例のマクロ検査装置１００は、可動操作部１０がＺＸ平面内で２次元移動できるので、観察者１２の検査姿勢や観察者１２の身長に応じて可動操作部１０を操作しやすい任意の位置に移動でき、良好な操作性を確保することができる。
例えば、ガラス基板１３を、上記実施形態の配置から水平方向に９０°回転させて配置し、Ｚ軸方向の観察範囲がＸ軸方向の観察範囲より大きくなる構成では、建屋の高さに制限されＺ軸方向へガラス基板１３を移動することが難しくなるので、観察者１２が鉛直方向に観察位置を変えることが好ましい。そのような場合に、本変形例を用いれば、可動操作部１０を観察者１２の鉛直方向の移動に合わせて容易に移動させることができ、良好な操作性を実現することができる。
なお、マクロ検査装置１の場合であっても、本変形例の２次元移動可能な構成を用いてもよいことは言うまでもない。この場合、観察者１２が鉛直方向に細かく移動して観察を行なうことができるので、高精度な検査を効率よく行なうことができる。
【００３２】
また、本変形例では、可動操作部１０がＺＸ平面内を移動するので、観察者位置検知部は、観察者１２のＺＸ平面内の２次元の位置検出を行なう構成とすれば、上記実施形態と同様に自動運転モードを実現できる。
【００３３】
なお、上記の説明では、操作部の移動が、自動運転モードと手動モードとが切替可能な例で説明したが、いずれか一方のモードのみを有する構成としてもよい。
手動モードのみの装置は、観察者位置検知部が不要となり、操作部を移動するリニアモータなどの移動機構が不要となるので簡素かつ安価な装置とすることができる。
【００３４】
また、上記の説明では、長尺でも比較的高速に駆動できるように、可動機構１５がリニアモータで構成される場合で説明したが、１軸方向に移動できれば、どのような機構を採用してもよい。
例えばガイド部材１４を、断面が台形状のガイドレールとし、可動機構１５を、ガイド部材１４に嵌合して摺動するスライダとを組み合わせた構成としてもよい。
また、操作部の移動精度は、例えば数ｍｍ程度ばらついても操作性にはあまり影響しないので、移動機構の移動精度はこの程度でもよい。例えば、安価に製造できるタイミングベルト駆動機構などを採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための側面視の模式説明図である。
【図２】本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための正面視（図１のＡ視）の模式説明図である。
【図３】本発明の実施形態に係る操作部の概略構成を説明するための斜視説明図である。
【図４】本発明の実施形態の変形例にかかるマクロ検査装置の概略構成について説明するための正面視の模式説明図である。
【符号の説明】
【００３６】
１、１００  マクロ検査装置
２  照明ユニット
５  基板保持部
７ａ  正面パネル
１０  可動操作部（操作部）
１１  制御部
１２  観察者
１３  ガラス基板（被検体基板）
１４  ガイド部材
１５  可動機構
１６  取っ手
１７  固定スイッチ
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ  ジョイスティック
１９、２０  ボタンスイッチ群
２１  非常停止スイッチ
２２  鉛直ガイド部材（ガイド部材）
２３Ａ、２３Ｂ  水平ガイド部材
２４  人体検知センサ（観察者位置検出部）
【図１】
2006250783.tif 000003
【図２】
2006250783.tif 000004
【図３】
2006250783.tif 000005
【図４】
2006250783.tif 000006