(57)【要約】【課題】  温度などの外的条件に対して安定で、十分な磁界測定精度を得ること。【解決手段】  ホール素子１と第１の電流源４とコイル２と第２の電流源５と制御回路６とから構成されている。ホール素子１は磁界強度を検出するもので、第１の電流源４はホール素子１に駆動電流Ｉｈを供給するもので、コイル２はホール素子１の近傍に配置されたもので、第２の電流源５はコイル２に励起電流Ｉｃを供給するもので、制御回路６は駆動電流Ｉｈ及び励起電流Ｉｃを制御するものである。この制御回路６は、励起電流Ｉｃがコイル２に供給されているときの、ホール素子１の出力値と、励起電流Ｉｃがコイル２に供給されていないときの、ホール素子１の出力値との差が一定になるように、駆動電流Ｉｈの電流値が制御されるように構成されている。【選択図】  図１
2006126012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁界強度を検出する磁気検出手段と、
該磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、
前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、
該磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段と、
前記駆動電流及び前記励起電流を制御する制御手段とを備え、
該制御手段は、
前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする磁電変換システム。
【請求項２】
同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第１及び第２の磁気検出手段と、
該第１及び第２の磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、
前記第１及び第２の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第１及び第２の磁界発生手段と、
該第１の磁界発生手段に励起電流を供給し、該第１の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第２の磁界発生手段が発生するように、該第２の磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段と、
前記駆動電流を制御する制御手段とを備え、
該制御手段は、
前記励起電流が前記第１及び第２の磁界発生手段に供給されているときの、前記第１の磁気検出手段の出力値と前記第２の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする磁電変換システム。
【請求項３】
前記第１の磁気検出手段の出力値と前記第２の磁気検出手段の出力値との和に基づいて被測定磁界を検出することを特徴とする請求項２に記載の磁電変換システム。
【請求項４】
前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする請求項１，２又は３に記載の磁電変換システム。
【請求項５】
前記ホール素子は、ＩＣプロセスの拡散抵抗により形成されたことを特徴とする請求項４に記載の磁電変換システム。
【請求項６】
前記磁気発生手段が、コイルであることを特徴とする請求項１，２又は３に記載の磁電変換システム。
【請求項７】
前記コイルは、ＩＣプロセスの配線層により形成されたことを特徴とする請求項６に記載の磁電変換システム。
【請求項８】
前記ホール素子及び前記コイル並びに前記制御手段は、ＩＣプロセスにより一体形成されていることを特徴とする請求項５に記載の磁電変換システム。
【請求項９】
磁界強度を検出する磁気検出手段と、
該磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、
前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、
該磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段とを備え、
前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする磁電変換装置。
【請求項１０】
同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第１及び第２の磁気検出手段と、
該第１及び第２の磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、
前記第１及び第２の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第１及び第２の磁界発生手段と、
該第１の磁界発生手段に励起電流を供給し、前記第１の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第２の磁界発生手段が発生するように、前記第２の磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段とを備え、
前記励起電流が前記第１及び第２の磁界発生手段に供給されているときの、前記第１の磁気検出手段の出力値と前記第２の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする磁電変換装置。
【請求項１１】
前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする請求項９又は１０に記載の磁電変換装置。
【請求項１２】
磁界強度を検出する磁気検出手段と、
該磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、
前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、
該磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段とを備えた磁電変換装置の制御回路であって、
前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする制御回路。
【請求項１３】
同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第１及び第２の磁気検出手段と、
該第１及び第２の磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、
前記第１及び第２の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第１及び第２の磁界発生手段と、
該第１の磁界発生手段に励起電流を供給し、前記第１の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第２の磁界発生手段が発生するように、前記第２の磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段とを備えた磁電変換装置の制御回路であって、
前記励起電流が前記第１及び第２の磁界発生手段に供給されているときの、前記第１の磁気検出手段の出力値と前記第２の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする制御回路。
【請求項１４】
前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の制御回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁電変換システム及び磁電変換装置並びにその制御回路に関し、より詳細には、温度などの外的条件に対して安定であり、十分な磁界測定精度が得られるようにした磁電変換システム及び磁電変換装置並びにその制御回路に関し、磁界強度を電気信号に変換する変換技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁界強度の検出を目的として、ホール素子がしばしば利用される。ホール素子において、出力電圧と磁界の関係は、一般に
Ｅ＝ｓＩＢ
で示される。ここで、Ｅは出力電圧、Ｉはホール素子に流す電流（ホール電流）、Ｂはホール素子に印加する磁界（被測定磁界）、ｓはホール素子の物性により決定される定数を示している。
【０００３】
しかしながら、ｓの値は、温度等の外的条件で容易に変化することから、温度が変化するような環境において、十分な磁界測定精度が得られる磁界−電圧変換回路を実現することは困難であった。
【０００４】
このため、磁界測定精度の向上を目的として、従来、以下の（１），（２）のようなことが行なわれていた。
（１）適当な温度特性をもった電圧変換回路を構成し、ホール素子の出力をこの変換回路を通すことにより、温度特性を補償する（例えば、特許文献１乃至３参照）。
（２）適当な温度特性をもった電流源を構成し、この出力をホール電流（Ｉ）としてホール素子に供給することにより、ホール素子の温度特性を補償する（例えば、特許文献４乃至６参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−７４９７５号公報
【特許文献２】特開平９−５４１４９号公報
【特許文献３】特開平１０−２３９４１０号公報
【特許文献４】特開平６−２８９１１１号公報
【特許文献５】特開平８−２０１１０６号公報
【特許文献６】特開平１０−２５３７２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような手段では、オープンループでの制御となることから、どの程度の精度が得られるのか作ってみないと分からないという問題があった。また、ホール素子の温度特性に合わせて、電圧変換回路や電流源の温度特性を調整する必要があるという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、温度などの外的条件に対して安定で、十分な磁界測定精度が得られるようにした磁電変換システム及び磁電変換装置並びにその制御回路を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、磁電変換システムであって、磁界強度を検出する磁気検出手段と、該磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、該磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段と、前記駆動電流及び前記励起電流を制御する制御手段とを備え、該制御手段は、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、磁電変換システムであって、同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第１及び第２の磁気検出手段と、該第１及び第２の磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、前記第１及び第２の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第１及び第２の磁界発生手段と、該第１の磁界発生手段に励起電流を供給し、該第１の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第２の磁界発生手段が発生するように、該第２の磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段と、前記駆動電流を制御する制御手段とを備え、該制御手段は、前記励起電流が前記第１及び第２の磁界発生手段に供給されているときの、前記第１の磁気検出手段の出力値と前記第２の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記第１の磁気検出手段の出力値と前記第２の磁気検出手段の出力値との和に基づいて被測定磁界を検出することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１，２又は３に記載の発明において、前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記ホール素子は、ＩＣプロセスの拡散抵抗により形成されたことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１，２又は３に記載の発明において、前記磁気発生手段が、コイルであることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の発明において、前記コイルは、ＩＣプロセスの配線層により形成されたことを特徴とする。
【００１５】
また、請求項８に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記ホール素子及び前記コイル並びに前記制御手段は、ＩＣプロセスにより一体形成されていることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項９に記載の発明は、磁電変換装置であった、磁界強度を検出する磁気検出手段と、該磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、該磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段とを備え、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項１０に記載の発明は、磁電変換装置であって、同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第１及び第２の磁気検出手段と、該第１及び第２の磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、前記第１及び第２の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第１及び第２の磁界発生手段と、該第１の磁界発生手段に励起電流を供給し、前記第１の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第２の磁界発生手段が発生するように、前記第２の磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段とを備え、前記励起電流が前記第１及び第２の磁界発生手段に供給されているときの、前記第１の磁気検出手段の出力値と前記第２の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１１に記載の発明は、請求項９又は１０に記載の発明において、前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項１２に記載の発明は、磁界強度を検出する磁気検出手段と、該磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、該磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段とを備えた磁電変換装置の制御回路であって、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項１３に記載の発明は、同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第１及び第２の磁気検出手段と、該第１及び第２の磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、前記第１及び第２の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第１及び第２の磁界発生手段と、該第１の磁界発生手段に励起電流を供給し、前記第１の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第２の磁界発生手段が発生するように、前記第２の磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段とを備えた磁電変換装置の制御回路であって、前記励起電流が前記第１及び第２の磁界発生手段に供給されているときの、前記第１の磁気検出手段の出力値と前記第２の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
【００２１】
また、請求項１４に記載の発明は、請求項１２又は１３に記載の発明において、前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする。
【００２２】
このように、本発明者は、上述した課題を解決するために検討を重ねた結果、ホール素子の近傍にコイルを設置し、このコイルに定電流を流して定磁界を発生させ、この磁界に対するホール素子の出力を制御に用いることが、その目的に適合することを見出し、その知見に基づいて本発明をなすに至った。
【００２３】
つまり、本発明は、ホール素子と、その近傍に設置されたコイルと、ホール素子及びコイルに電流を供給する手段と、ホール素子からの信号を受けて必要な信号を出力する制御回路とを備えたものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、磁界強度を検出する磁気検出手段と、この磁気検出手段に駆動電流を供給する第１の電流供給手段と、磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、磁界発生手段に励起電流を供給する第２の電流供給手段と、駆動電流及び前記励起電流を制御する制御手段とを備え、この制御手段は、励起電流が磁界発生手段に供給されているときの、磁気検出手段の出力値と、励起電流が磁界発生手段に供給されていないときの、磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、駆動電流の電流値が制御されるようにしたので、温度などの外的条件に対して安定であり、十分な磁界測定精度が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。  
【実施例１】
【００２６】
図１は、本発明に係る磁電変換システムの実施例１を説明するための構成図で、図中符号１はホール素子（磁気検出手段）、２はコイル（磁界発生手段）、３はスイッチ（ＳＷ）、４は電流源（第１の電流供給手段）、５は定電流源（第２の電流供給手段）、６は制御回路（制御手段）、Ａはホール電流入力端子、Ｂ，Ｄは出力端子、Ｃは接地端子を示している。
【００２７】
ホール素子１は、ＩＣプロセスによって形成された拡散抵抗で、４端子素子であり、ホール電流入力端子Ａと接地端子Ｃと出力端子Ｂ，Ｄを備えている。ホール電流入力端子Ａには、ホール電流（駆動電流）Ｉｈを供給する電流源４が接続されていて、出力端子Ｂ，Ｄには、制御回路６が接続されている。
【００２８】
ホール素子１の近傍、具体的にはホール素子１上にコイル２が設けられており、このコイル２は、ＩＣプロセスの配線層を用いて形成されている。また、このコイル２に接続されているスイッチ３には、定電流（励起電流）Ｉｃを供給する定電流源５が接続されている。また、このスイッチ３は、制御回路６によりＯＮ/ＯＦＦ制御されるように構成されている。また、制御回路６を含むその他の構成要素もＩＣプロセスにより一体形成されている。
【００２９】
次に、本実施例１における磁電変換システムの動作について説明する。  
ホール電流入力端子Ａに接続された電流源４により、ホール素子１にはホール電流Ｉｈが供給されている。このとき、コイル２に接続されたスイッチ３はＯＦＦしているものとし、また、被測定磁界Ｂｅが、図１に示した向き（紙面上から下）に、ホール素子１に印加されているものとする。その結果、ホール素子１の出力端子Ｄ−Ｂ間には、ホール電圧Ｅｈ（＝ｓＢｅＩｈ）が発生している。
【００３０】
いま、スイッチ３がＯＮとなり、コイル２に定電流源５から励起電流Ｉｃが供給されたとする。コイル２の巻き数をｎとしたとき、このコイル２によりＢｃ（＝ｋｎＩｃ）の磁界が発生し、ホール素子１には、Ｂｅ−Ｂｃの磁界が印加されることになる。
【００３１】
この結果、ホール素子１の出力端子Ｄ−Ｂ間には、ホール電圧Ｅｘ（＝ｓ（Ｂｅ−Ｂｃ）Ｉｈ）が発生する。ここで、ｋはコイル２の形状により与えられる係数であり、温度に対する感度はきわめて低いことから、Ｂｃは温度に対して一定な磁界となる。従って、Ｅｈ−Ｅｘ（＝ｓＢｃＩｈ）の値が一定になるように電流源４の駆動電流Ｉｈを調整することにより、ｓＩｈを温度によらず一定とすることができることから、温度によらず被測定磁界Ｂｅによって一意に定まるホール電圧Ｅｈ（＝ｓＢｅＩｈ）が得られることとなる。
【００３２】
本実施例１における制御回路６は、スイッチ３を周期的にＯＮ／ＯＦＦするとともに、ＯＦＦしている時の出力端子Ｄ−Ｂ間電圧からＯＮしているときのＤ−Ｂ電圧を減算し、この電圧値と設定値を比較し、この比較値が設定値よりも小さいときは、ホール電流Ｉｈを増加し、この比較値が設定値よりも大きいときは、ホール電流Ｉｈを減少させる動作を行っている。
【００３３】
このように、本実施例１の磁電変換システムは、ホール素子１と第１の電流源４とコイル２と第２の電流源５と制御回路６とから構成されている。ホール素子１は磁界強度を検出するもので、第１の電流源４はホール素子１に駆動電流Ｉｈを供給するもので、コイル２はホール素子１の近傍に配置されたもので、第２の電流源５はコイル２に励起電流Ｉｃを供給するもので、制御回路６は駆動電流Ｉｈ及び励起電流Ｉｃを制御するものである。
【００３４】
この制御回路６は、励起電流Ｉｃがコイル２に供給されていないときの、ホール素子１の出力値と、励起電流Ｉｃがコイル２に供給されているときの、ホール素子１の出力値との差が一定になるように、駆動電流Ｉｈの電流値が制御されるように構成されている。
【００３５】
なお、本実施例１の磁電変換システムの構成にともない、磁電変換装置及びその制御回路も構成されることは明らかである。
【実施例２】
【００３６】
本実施例２における構成図は、上述した実施例１における構成図と同じであり、実施例２の基本動作は、上述した実施例１と同様である。しかしながら、実施例１と実施例２における制御回路６の動作が異なり、本実施例２におけるホール電流Ｉｈは一定値である。制御回路６は、スイッチ３がＯＮしている時の出力端子Ｄ−Ｂ間電圧からＯＦＦしているときの出力端子Ｄ−Ｂ電圧を減算し、この電圧値と設定値の比を、スイッチ３がＯＦＦしているときの出力端子Ｄ−Ｂ電圧に乗じることにより、温度によらず被測定磁界Ｂｅによって一意に定まる電圧信号を得るように動作する。
【実施例３】
【００３７】
図２は、本発明に係る磁電変換システムの実施例３を説明するための構成図で、上述した実施例１との相違は、本実施例３においてホール素子が２個設けられている点である。
【００３８】
図中符号１１は第１のホール素子（第１の磁気検出手段），１２は第１のコイル（第１の磁界発生手段），１３は第２のコイル（第２の磁界発生手段）、１４，１８は電流源（第１の電流供給手段）、１５は定電流源（第２の電流供給手段）、１６は制御回路（制御手段）、１７は第２のホール素子（第２の磁気検出手段）、Ａ，Ｊはホール電流入力端子、Ｂ，Ｋは出力端子、Ｃ，Ｌは接地端子、Ｄ，Ｍは出力端子を示している。
【００３９】
ホール素子１１，１７は、ＩＣプロセスによって形成された拡散抵抗で、各ホール素子１１，１７は４端子素子であり、ホール電流入力端子Ａ，Ｊと接地端子Ｃ、Ｌと出力端子Ｂ，Ｄ及び出力端子Ｋ，Ｍを備えている。また、ホール素子１１とホール素子１７のコイル１２とコイル１３に流れる電流の向きは逆になっている。ホール電流入力端子Ａ，Ｊには、ホール電流（駆動電流）Ｉｈを供給する電流源１４，１８が接続されていて、出力端子Ｂ，Ｄと出力端子Ｋ，Ｍには、制御回路１６が接続されている。
【００４０】
ホール素子１１，１７の近傍、具体的にはホール素子１１，１７上にコイル１２，１３が設けられており、このコイル１２，１３は、ＩＣプロセスの配線層を用いて形成されている。また、このコイル１２，１３には、定電流（励起電流）Ｉｃを供給する定電流１５が接続されている。電流源１４，１８は、制御回路１６により電流量が制御されるように構成されている。また、制御回路１６を含むその他の構成要素もＩＣプロセスにより一体形成されている。
【００４１】
次に、本実施例３における磁電変換システムの動作について説明する。  
ホール電流入力端子Ａに接続された電流源１４とホール電流入力端子Ｊに接続された電流源１８により、ホール素子１１及び１７には同一のホール電流Ｉｈが供給されている。被測定磁界Ｂｅが、図２に示した向き（紙面上から下）に、ホール素子１１，１７に印加されているものとする。さらに、ホール素子１１，１７のコイル１２，１３には、定電流源１５から励起電流Ｉｃが供給されている。コイル１２，１３の巻き数をｎとした時、このコイル１２，１３によりＢｃ（＝ｋｎＩｃ）の磁界が発生することになるが、ホール素子１１とホール素子１７ではコイル１２とコイル１３に流れる電流の向きが逆であるため、ホール素子１１にはＢｅ−Ｂｃの磁界が、ホール素子１７にはＢｅ＋Ｂｃの磁界が印加されることになる。
【００４２】
その結果、ホール素子１１の出力端子Ｄ−Ｂ間にはホール電圧Ｅｈ１（＝ｓＩｈ（Ｂｅ−Ｂｃ））が、ホール素子１７の出力端子Ｍ−Ｋ間にはホール電圧Ｅｈ２（＝ｓＩｈ（Ｂｅ＋Ｂｃ））が発生している。
【００４３】
従って、Ｅｈ１，Ｅｈ２に加算または減算の処理をおこなうことで、  
Ｅｓｕｂ＝Ｅｈ２−Ｅｈ１＝ｓＩｈ（Ｂｅ＋Ｂｃ）−ｓＩｈ（Ｂｅ−Ｂｃ）
＝２ｓＩｈＢｃ
Ｅａｄｄ＝Ｅｈ２＋Ｅｈ１＝ｓＩｈ（Ｂｅ＋Ｂｃ）＋ｓＩｈ（Ｂｅ−Ｂｃ）
＝２ｓＩｈＢｅ
となる、被測定磁界にのみ依存して決まる電圧Ｅａｄｄとコイル電流によって発生される磁界のみによって決まる電圧Ｅｓｕｂ（＝２ｓＩｈＢｃ）を得ることができる。
【００４４】
Ｂｃは温度に対して一定な磁界であるから、Ｅｓｕｂが常に一定となるように駆動電流Ｉｈを制御すれば、結果としてｓＩｈが温度によらず一定となり、温度によらず被測定磁界Ｂｅによって一意に定まる、ホール電圧Ｅａｄｄ（＝２ｓＩｈＢｅ）が得られることとなる。
【００４５】
本実施例３における制御回路１６は、出力端子Ｍ−Ｋ間の電圧から出力端子Ｄ−Ｂ間の電圧を減算し、この電圧値と設定値を比較し、この比較値が設定値よりも小さいときはホール電流Ｉｈを増加し、この比較値が設定値よりも大きいときはホール電流Ｉｈを減少させる動作を行っている。
【００４６】
このように、本実施例３の磁電変換システムは、第１及び第２のホール素子１１，１７と、第１の電流源１４，１８と、第１及び第２のコイル１２，１３と、第２の電流源１５と、制御回路１６とから構成されている。第１及び第２のホール素子１１，１７は同一平面上に設置され、磁界強度を検出するもので、第１の電流源１４，１８は第１及び第２のホール素子１１，１７に駆動電流Ｉｈを供給するもので、第１及び第２のコイル１２，１３は第１及び第２のホール素子１１，１７の近傍にそれぞれ配置されたもので、第２の電流源１５は、第１のコイル１２に励起電流Ｉｃを供給し、この第１のコイル１２に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を第２のコイル１３が発生するように、この第２のコイル１３に励起電流Ｉｃを供給するもので、制御回路１６は駆動電流Ｉｈを制御するものである。
【００４７】
この制御回路１６は、励起電流Ｉｃが第１及び第２のコイル１２，１３に供給されているときの、第１のホール素子１１の出力値と第２のホール素子１７の出力値との差が一定になるように、駆動電流Ｉｈの電流値を制御するように構成されている。
【００４８】
なお、本実施例３の磁電変換システムの構成にともない、磁電変換装置及びその制御回路も構成されることは明らかである。
【００４９】
このように、上述した各実施例による磁電変換システムは、温度などの外的条件に対して安定であり、十分な磁界測定精度が得られるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に係る磁電変換システムの実施例１，２を説明するための構成図である。
【図２】本発明に係る磁電変換システムの実施例３を説明するための構成図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  ホール素子（磁気検出手段）
２  コイル（磁界発生手段）
３  スイッチ（ＳＷ）
４  電流源（第１の電流供給手段）
５  定電流源（第２の電流供給手段）
６  制御回路（制御手段）
１１  第１のホール素子（第１の磁気検出手段）
１２  第１のコイル（第１の磁界発生手段）
１３  第２のコイル（第２の磁界発生手段）
１４，１８  電流源（第１の電流供給手段）
１５  定電流源（第２の電流供給手段）
１６  制御回路（制御手段）
１７  第２のホール素子（第２の磁気検出手段）
Ａ，Ｊ  ホール電流入力端子
Ｂ，Ｄ，Ｋ，Ｍ  出力端子
Ｃ，Ｌ  接地端子
【図１】
2006126012.tif 000003
【図２】
2006126012.tif 000004