(57)【要約】  【課題】エネルギーの損失を抑えて、電磁波を効率良く受信する。  【解決手段】本発明の電磁波受信装置１０は、基板１２と、基板１２上に設けられた少なくとも２つの電極と、端部が２つの電極上に設けられたカーボンナノチューブ１８と、２つの電極に接続され、カーボンナノチューブ１８と電気閉回路を構成する発熱体２０と、カーボンナノチューブ１８の端部の少なくとも一部を覆う金属パッド２２，２４と、を有する。なお、発熱体２０での発熱を検知する熱電対２６を有していてもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カーボンナノチューブを有し、電磁波のエネルギーを吸収するアンテナと、
前記アンテナと共に電気閉回路を構成し、前記アンテナから吸収された電磁波のエネルギーに基づいて発熱する発熱体と、
を有することを特徴とする電磁波受信装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電磁波受信装置において、
前記発熱体での発熱を検知する熱電対を有することを特徴とする電磁波受信装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電磁波受信装置において、
前記発熱体で発生する熱エネルギーによって駆動する駆動部材を有することを特徴とする電磁波受信装置。
【請求項４】
カーボンナノチューブを有し、電磁波のエネルギーを吸収するアンテナと、
前記アンテナと共に電気閉回路を構成する導電体と、
を有することを特徴とする電磁波受信装置。
【請求項５】
請求項４に記載の電磁波受信装置において、
前記アンテナから吸収された電磁波のエネルギーに基づいて発生する電気エネルギーよって駆動する駆動部材を有することを特徴とする電磁波受信装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の電磁波受信装置において、
前記アンテナは、長さが異なる複数のアンテナであることを特徴とする電磁波受信装置。
【請求項７】
基板と、
前記基板上に設けられた少なくとも２つの電極と、
端部が前記２つの電極上に設けられたカーボンナノチューブと、
前記２つの電極に接続され、前記カーボンナノチューブと電気閉回路を構成する発熱体と、
前記端部の少なくとも一部を覆う金属パッドと、
を有することを特徴とする電磁波受信装置。
【請求項８】
基板と、
前記基板上に設けられた少なくとも２つの電極と、
端部が前記２つの電極上に設けられたカーボンナノチューブと、
前記２つの電極に接続され、前記カーボンナノチューブと電気閉回路を構成する導電体と、
前記端部の少なくとも一部を覆う金属パッドと、
を有することを特徴とする電磁波受信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波受信装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電磁波の受信を行うアンテナとして、マイクロストリップアンテナが用いられている。例えば、特許文献１には、誘電体基板上に、給電ストリップ路線および給電ストリップ路線から分岐する複数のアンテナ素子が設けられたマイクロストリップアンテナが開示されている。こうしたマイクロストリップアンテナは、電波の受信能力を向上させることができるとされている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３１４３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のアンテナは、電磁波の受信部となるアンテナ素子が導電性金属から構成されていた。このため、金属中の電気抵抗によって電磁波のエネルギーの損失が生じることがあった。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、電磁波のエネルギーの損失を抑えつつ電磁波を受信する電磁波受信装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の発明の電磁波受信装置は、カーボンナノチューブを有し、電磁波のエネルギーを吸収するアンテナと、前記アンテナと共に電気閉回路を構成し、前記アンテナから吸収された電磁波のエネルギーに基づいて発熱する発熱体と、を有する。カーボンナノチューブは電気伝導率が高いため、吸収した電磁波のエネルギーの損失を抑えつつ、発熱体にエネルギーを伝達することができる。
【０００６】
この電磁波受信装置において、発熱体での発熱を検知する熱電対を有していてもよい。また、この電磁波受信装置において、発熱体で発生する熱エネルギーによって駆動する駆動部材を有していてもよい。
【０００７】
第２の発明の電磁波受信装置は、カーボンナノチューブを有し、電磁波のエネルギーを吸収するアンテナと、前記アンテナと共に電気閉回路を構成する導電体と、を有する。カーボンナノチューブは電気伝導率が高いため、吸収した電磁波のエネルギーの損失を抑えつつ、導電体にエネルギーを伝達することができる。
【０００８】
この電磁波受信装置において、アンテナから吸収された電磁波のエネルギーに基づいて発生する電気エネルギーよって駆動する駆動部材を有していてもよい。
【０００９】
また、第１および第２の発明の電磁波受信装置において、アンテナは、長さが異なる複数のアンテナである構成を採用してもよい。長さが異なる複数のアンテナが、それぞれの長さに対応した波長の電磁波のエネルギーを吸収するため、受信する電磁波の波長領域を拡大することができる。
【００１０】
第３の発明の電磁波受信装置は、基板と、前記基板上に設けられた少なくとも２つの電極と、端部が前記２つの電極上に設けられたカーボンナノチューブと、前記２つの電極に接続され、前記カーボンナノチューブと電気閉回路を構成する発熱体と、前記端部の少なくとも一部を覆う金属パッドと、を有する。
【００１１】
第４の発明の電磁波受信装置は、基板と、前記基板上に設けられた少なくとも２つの電極と、端部が前記２つの電極上に設けられたカーボンナノチューブと、前記２つの電極に接続され、前記カーボンナノチューブと電気閉回路を構成する導電体と、前記端部の少なくとも一部を覆う金属パッドと、を有する。
【００１２】
第３および第４の発明の電磁波受信装置では、カーボンナノチューブの端部を覆う金属パッドを有するため、カーボンナノチューブと電極との接合部を保護することができる。また、カーボンナノチューブと電極とを強固に接合することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、電磁波のエネルギーの損失を抑えつつ電磁波を受信する電磁波受信装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０の構成を模式的に示す図である。また、図２は、図１の電磁波受信装置１０のＡ−Ａ断面図である。この電磁波受信装置１０は、基板１２と、電極１４，１６と、カーボンナノチューブ１８と、発熱体２０と、金属パッド２２，２４と、熱電対２６と、を備えている。
【００１５】
基板１２の材料として、例えば、ガラスを用いることができる。ガラス以外にも、熱伝達率が高い材料を用いることができる。熱伝達率が高い材料としては、Ｓｉ、セラミックスまたはＡｌもしくはＣｕ等の金属などが挙げられる。なお、基板１２の材料を金属とする場合、基板１２の表面に熱伝達率が高い絶縁層を形成し、その絶縁層上に電気閉回路を形成する。また、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０では基板１２を有しているが、基板１２を有しなくてもよい。
【００１６】
電極１４，１６は、図２に示すように、基板上に２つ形成されている。電極１４，１６は、カーボンナノチューブ１８と発熱体２０との電気的な接合部となっている。電極１４，１６の材料として、例えば、Ａｕ、ＰｔもしくはＴｉ等の電気抵抗の小さい金属またはＴｉＯ２などを用いることができる。また、電極１４，１６は、カーボンナノチューブ１８との接触抵抗の小さい金属から形成することができる。電極１４，１６をカーボンナノチューブ１８との接触抵抗の小さい金属から形成することによって、カーボンナノチューブ１８を主体とするアンテナから吸収した電磁波のエネルギーの損失をさらに抑えることができる。このような金属として、例えば、Ｐｄ等が挙げられる。
【００１７】
なお、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０では、基板１２上に２つの電極１４，１６が形成されているが、基板１２上に設けられる電極は、３つ以上であってもよい。また、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０では、電極１４，１６を介してカーボンナノチューブ１８と発熱体２０とを接合しているが、電極１４，１６を介さずにカーボンナノチューブ１８と発熱体２０とを直接接合してもよい。
【００１８】
カーボンナノチューブ１８は、電磁波受信装置１０に到達した電磁波を、電磁波のエネルギーとして吸収するアンテナとして機能する。カーボンナノチューブ１８は、その両方の端部がそれぞれ電極１４，１６上に設けられている。カーボンナノチューブ１８と電極１４，１６との接合方法については後述する。なお、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０ではアンテナがカーボンナノチューブ１８のみから構成されているが、アンテナはカーボンナノチューブ１８以外の部材を有していてもよい。このような部材として、例えば、複数のカーボンナノチューブ１８を管方向に接合して長くする際の接合金属部材等が挙げられる。
【００１９】
カーボンナノチューブ１８は、所定の波長の電磁波のエネルギーを吸収する。しかし、カーボンナノチューブ１８が吸収するエネルギー源の電磁波の波長には、特に制限がない。電磁波受信装置１０が受信する電磁波の波長λに対して、カーボンナノチューブ１８が、λ／２、λ／４、λ／８等のλ／２を自然数で割った値に近い長さの場合に、この電磁波のエネルギーを効率良く吸収することができる。特にこの中でも、電極１４，１６から露出しているカーボンナノチューブ１８の長さがλ／２のときに、最も電磁波のエネルギーを効率良く吸収することができる。
【００２０】
すなわち、カーボンナノチューブ１８の長さは、受信する電磁波の波長に応じて適宜選択される。例えば、０．２μｍから２０μｍまでの波長の電磁波を受信する場合には、カーボンナノチューブ１８の長さを０．１μｍから１０μｍまでとする。なお、カーボンナノチューブ１８は、単層のものであっても多層のものであってもよい。また、カーボンナノチューブ１８は、その製法に特に制限はない。
【００２１】
発熱体２０は、アンテナと共に電気閉回路を構成する部品である。第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０では、カーボンナノチューブ１８と、電極１４，１６と、発熱体２０とで電気閉回路を構成している。発熱体２０の両端は、電極１４，１６に電気的に接続されている。発熱体２０は、アンテナから吸収された電磁波のエネルギーに基づいて発熱する。
【００２２】
すなわち、アンテナ（カーボンナノチューブ１８）から吸収された電磁波のエネルギーによって、電極１４，１６を介してカーボンナノチューブ１８と電気的に接続されている発熱体２０が通電される。そして、発熱体２０を流れる電流の一部は、発熱体２０の電気抵抗によって熱となる。カーボンナノチューブ１８は高い電気伝導度を有するため、吸収した電磁波のエネルギーの損失を抑えつつ、発熱体２０に伝達することができる。発熱体２０は、例えば、Ａｌ、ＣｕもしくはＣｒ等の導電体またはドーピングしたＳｉＣ等のセラミックスなどから構成することができる。
【００２３】
金属パッド２２，２４は、カーボンナノチューブ１８と電極１４，１６との接触領域において、カーボンナノチューブ１８上に設けられている。すなわち、金属パッド２２，２４は、カーボンナノチューブ１８の端部の少なくとも一部を覆っている。電磁波受信装置１０は金属パッド２２，２４を備えていなくても良いが、金属パッド２２，２４を備えることによって、カーボンナノチューブ１８と電極１４，１６との接合部を保護することができる。金属パッド２２，２４の材料は、電極１４，１６と同様に、電気抵抗の小さい金属とすることが好ましい。また、金属パッド２２，２４の材料は、カーボンナノチューブ１８との接触抵抗の小さい金属とすることが好ましい。
【００２４】
熱電対２６は、回路２８と、２つの接合点、すなわち、第１の接合点４０および第２の接合点４２と、電流計４４とを備えている。電磁波受信装置１０が熱電対２６を有することによって、温度差によって駆動する駆動部材を利用することができる。第１の接合点４０は、発熱体２０に接触している。熱電対２６は、第１の接合点４０と第２の接合点４２との温度差を検出して、発熱体２０が発熱しているか否かを検知する。第１の接合点４０と第２の接合点４２との温度差は、回路を流れる電流を電流計で測定することによって検出される。
【００２５】
第１の接合点４０および第２の接合点４２を構成する金属材料は適宜選択することができる。例えば、ＰｔとＰｔ−Ｒｈ合金の組み合わせ等を用いることができる。このとき、Ｐｔ−Ｒｈ合金中のＲｈ含有量を、例えば、２０原子％程度とすることができる。また、第１の接合点４０および第２の接合点４２を構成する金属として、他に、クロメルまたはコンスタンタンを用いてもよい。
【００２６】
また、電流計４４で測定される電流値に基づいて、発熱体２０の発熱量を検出することも可能である。さらに、電流計４４を読み取ることによって、電磁波受信装置１０の電磁波の受信を検知することも可能である。この場合、電流に所定の閾値を定めておき、これを超える電流値が計測された状態をオンとするオン／オフ検知とすることもできる。なお、熱電対２６は、電流計４４を有していなくてもよい。
【００２７】
また、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０では、熱電対２６が設けられているが、熱電対２６は設けられていなくてもよい。この場合、例えば、発熱体２０の温度を放射温度計等で測定して、電磁波受信装置１０の電磁波の受信を検知することが可能である。
【００２８】
電磁波受信装置１０は、発熱体２０で発生する熱エネルギーによって駆動する駆動部材を有していてもよい。このような駆動部材としては、例えば、熱電対２６の第１の接合点４０と第２の接合点４２との温度差によって電流が流れるゼーベック効果を利用した腕時計、携帯電話および携帯ラジオ等が挙げられる。電磁波受信装置１０は、カーボンナノチューブ１８を利用しているため、電磁波受信装置１０の小型化が可能であると共に、効率良く電磁波を受信して、発熱体２０に接触している第１の接合点４０と発熱体２０から離れている第２の接合点４２との温度差を形成しやすい。
【００２９】
また、導電体でアンテナと共に電気閉回路を構成している電磁波受信装置では、アンテナから吸収された電磁波のエネルギーに基づいて発生する電気エネルギーよって駆動する駆動部材を有していてもよい。このような駆動部材としても、例えば、腕時計、携帯電話および携帯ラジオ等が挙げられる。
【００３０】
さらに、導電体でアンテナと共に電気閉回路を構成している電磁波受信装置では、電気閉回路（導電体）に電流計を有していてもよい。この場合、電流計を読み取ることによって、電磁波受信装置の電磁波の受信を検知することが可能である。
【００３１】
次に、図３から図８を参照しながら、電磁波受信装置１０の製造方法を説明する。
【００３２】
図３から図８は、電磁波受信装置１０の作製手順を説明する図である。まず、図３に示すように、基板１２上に電極１４，１６および発熱体２０を形成する。これらは、金属蒸着法またはスパッタリング法などを用いて形成することができる。
【００３３】
次に、図４に示すように、電極１４上に触媒金属４５を付着させる。付着方法は、例えば、蒸着法とすることができる。このとき、触媒金属４５を電極１４の表面に選択的に付着されるためには、蒸着温度、基板材料および触媒金属４５の堆積方法等を適切に調整することが有効である。触媒金属４５は、カーボンナノチューブ１８の成長の触媒となるものであれば特に制限されないが、例えば、Ｆｅ、ＣｏまたはＮｉのうち少なくとも１種を含むものが好ましく用いられる。Ｆｅ−Ｎｉ合金またはＮｉ−Ｃｏ合金などの合金を用いてもよい。
【００３４】
次に、図５に示すように、触媒金属４５を成長起点として、カーボンナノチューブ１８を基板１２の水平方向に成長させて、２つの電極１４，１６上を橋渡しさせる。カーボンナノチューブ１８の成長には、化学気相成長法（ＣＶＤ法）による成膜が好ましく用いられる。ＣＶＤ法としては、プラズマＣＶＤ法または熱ＣＶＤ法等が利用可能であるが、カーボンナノチューブ１８を比較的低温で成長させることのできるプラズマＣＶＤ法が好ましく用いられる。
【００３５】
ＣＶＤ法によってカーボンナノチューブ１８の成長を行う際の原料ガスとしては、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサンまたはシクロヘキサン等の飽和炭化水素；エチレン、アセチレンまたはプロピレン等の不飽和炭化水素；ベンゼンまたはトルエン等の芳香族炭化水素；アセトン、メタノール、エタノール、一酸化炭素または二酸化炭素等の酸素を含む原料；ベンゾニトリル等の窒素を含む原料などが例示される。これらの原料ガスを単独または二種類以上組み合わせて用いることもできる。原料ガスと共にＣＶＤ容器内に流すキャリアガスは、例えば、水素またはヘリウムを用いることができるが、その使用は必須ではない。
【００３６】
カーボンナノチューブ１８が基板１２の水平方向に成長した構造を安定的に得るためには、原料ガスの供給方向および成長温度を適切に制御することが有効である。また、磁場および／または電場を印加した状態で、カーボンナノチューブ１８を成長させる方法を採用することも有効である。
【００３７】
次に、図６に示すように、カーボンナノチューブ１８を成長させた基板１２に、マスクパターン４６を作製する。マスクパターン４６は、２つの電極１４，１６の上部が開口した形状とする。そして、図７に示すように、基板１２の上面に、金属パッド２２，２４となる金属膜４８を形成する。金属膜４８の形成は、蒸着法またはスパッタリング法により行うことができる。また、金属膜４８として、例えば、ＴｉもしくはＣｒ等の炭化物を形成しうる金属、Ａｕ、ＰｔもしくはＣｕ等の低抵抗金属、または、Ａｕ、ＰｔもしくはＣｕ等の低抵抗金属の合金（例えば、Ａｕ−Ｃｒ合金）などを用いてもよい。
【００３８】
次に、マスクパターン４６を溶解する溶液を用いてマスクパターン４６を除去する。このとき、マスクパターン４６の上に形成された金属膜４８は、マスクパターン４６と共に除去される。このため、図８に示すように、電極１４，１６の上部に金属膜４８が残存し、これが金属パッド２２，２４となる。以上のようにして基板１２に電気閉回路が形成される。この基板１２に熱電対２６を形成することによって、図１および図２に示す電磁波受信装置１０が得られる。
【００３９】
一方、電磁波受信装置１０は、あらかじめ作製したカーボンナノチューブ１８を基板１２の表面の所定の位置に配置することによって作製することも可能である。以下、この方法について説明する。
【００４０】
基板１２の表面に、上述した方法で電極１４，１６および発熱体２０を形成する。このとき、電極１４，１６の材料をＡｕとする。一方、カーボンナノチューブ１８の末端を酸化して、カルボキシル化しておく。カーボンナノチューブ１８の酸化には、例えば、９８％濃硫酸と７０％濃硝酸の混合液を用いることができる。濃硫酸と濃硝酸の容量混合比は、例えば、３：１とすることができる。
【００４１】
次に、電極１４，１６であるＡｕの表面に、チオール基およびアミノ基を有する分子を吸着または結合させる。例えば、Ａｕの表面にＨＳ−（ＣＨ2）n−ＮＨ2（ｎは自然数）等のチオール基を有する分子を金−チオール結合により吸着させる。このとき、Ａｕの表面にアミノ基が導入される。
【００４２】
次に、カーボンナノチューブ１８の末端に存在するカルボキシル基をカルボジイミド等の縮合試薬を用いて活性化し、アミノ基に対する反応性を付与する。そして、この活性化したカーボンナノチューブ１８を、マイクロピペットを用いて電極１４，１６上に滴下したり、インクジェット方式の噴出装置のノズルを用いて電極１４，１６上に噴霧したりする。この結果、電極１４，１６の上にカーボンナノチューブが仮止めされる。
【００４３】
次に、基板１２を加熱して、カーボンナノチューブ１８と電極１４，１６とを直接接触させる。この結果、カーボンナノチューブ１８と電極１４，１６とが強固に接合される。この方法では、化学結合を利用してカーボンナノチューブ１８を電極１４，１６の表面に仮止めするため、カーボンナノチューブ１８を電極１４，１６間に確実に固定化することができる。
【００４４】
なお、図１の電磁波受信装置１０では、２つの電極１４，１６の間を一本のカーボンナノチューブ１８が橋渡しする構成を例示したが、複数のカーボンナノチューブ１８によって電極１４，１６間が電気的に接続されていてもよい。こうすれば、電磁波の吸収およびその検知をより一層確実に行うことができる。
【００４５】
次に、図９および図１０を参照しながら、第２の実施の形態に係る電磁波受信装置５０について説明する。
【００４６】
図９は、第２の実施の形態に係る電磁波受信装置５０を示す図である。図９の電磁波受信装置５０の基本構成は、図１の電磁波受信装置１０と同様である。しかし、電磁波受信装置５０は、２つの電極１４，１６のうち、一方の電極１４が他方の電極１６を取り囲む円環形状である。主にこの点が電磁波受信装置１０と異なる。なお、図９の電磁波受信装置５０では、基板を不図示とした。
【００４７】
図１０は、図９の電磁波受信装置５０のＢ−Ｂ断面図である。図１０に示すように、電極１４に接続する発熱体２０が基板１２の中に形成されている。発熱体２０、電極１４、カーボンナノチューブ１８および電極１６により電気閉回路が構成されている。
【００４８】
電極１４，１６を、図９および図１０に示す形状とすることにより、カーボンナノチューブ１８の配置場所の自由度が増加する。このため、電極１４，１６間にカーボンナノチューブ１８を配置させやすくなる。また、電極１６を円環形状としているため、電極１４，１６間の距離を一定とすることができる。このため、所定の長さのカーボンナノチューブ１８を用いて、電磁波受信装置５０を安定的に作製することができる。
【００４９】
次に、図１１を参照しながら、第３の実施の形態に係る電磁波受信装置７０について説明する。
【００５０】
第３の実施の形態に係る電磁波受信装置７０は、長さが異なる複数のカーボンナノチューブ１８をアンテナとしている。図１１は、第３の実施の形態に係る電磁波受信装置７０の構成を示す上面図である。電磁波受信装置７０は、不図示の基板上に形成されている。
【００５１】
図１１の電磁波受信装置７０では、発熱体２０によりＶ字状の閉じた系が形成されている。長さの異なる複数のカーボンナノチューブ１８（図１１では５本）をＶ字の谷間の部分に段階的に配置する。発熱体２０とカーボンナノチューブ１８との接続部には、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０と同様に、電極（不図示）および金属パッド２２，２４が形成されている。発熱体２０における発熱は、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０と同様に、熱電対２６の電流計４４を用いて検知される。
【００５２】
第３の実施の形態に係る電磁波受信装置７０によれば、長さの異なる複数のカーボンナノチューブが、それぞれの長さに対応した波長の電磁波のエネルギーを吸収するため、受信する電磁波の波長領域を拡大することができる。
【００５３】
以上、本発明を各実施の形態に基づいて説明した。これらの各実施の形態は例示であり、これらの各構成要素や各処理プロセスの組み合わせにいろいろな変形例が可能なこと、また、そうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
【００５４】
図１２は、カーボンナノチューブ１８で吸収した電磁波のエネルギーを、外部に電流として取り出す電流供給装置８０の部分模式図である。この電流供給装置８０は、不図示の基板上に形成された導電体８２およびカーボンナノチューブ１８を含む。なお、導電体８２とカーボンナノチューブ１８との接続部には、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０と同様に、電極（不図示）と金属パッド２２が形成されている。
【００５５】
電流供給装置８０は、カーボンナノチューブ１８がその長さに応じて外部の電磁波のエネルギーを吸収する。そして、導電体８２を経由してこのエネルギーを他の装置に供給することができる。導電体８２としては、電気抵抗の低い金属を用いることが好ましい。導電体８２は、例えば、Ｐｔ、ＡｕまたはＣｕ等とすることができる。
【００５６】
図１３は、他の電流供給装置９０の構成を示す模式図である。電流供給装置９０は、電気回路中に複数（図１３では２本）のカーボンナノチューブ１８を備えている。電気回路の一端は接地され、インダクタ９２、カーボンナノチューブ１８、ダイオード９４、カーボンナノチューブ１８、インダクタ９６、コンデンサ９８が順次配置されている。このため、インダクタ９６の下流側から直流電流を取り出すことができる。
【００５７】
図１３に示した電流供給装置９０のように、複数のカーボンナノチューブ１８を直列に配置することにより、カーボンナノチューブ１８の長さの和に対応する波長の電磁波の受信が可能となる。また、ダイオード９４を回路中に設けることにより、カーボンナノチューブ１８で吸収した電磁波を直交変換し、直流電流として外部に供給することが可能となる。なお、図１４は、整流回路の構成の一例を示す図である。
【００５８】
また、各実施の形態に係る電磁波受信装置１０，５０，７０を、発熱体２０で発生した熱を熱電変換する発電素子として用いてもよい。また、カーボンナノチューブ１８から発熱体２０に取り出される電流は交流であるため、各実施の形態に係る電磁波受信装置１０，５０，７０に、電磁波のエネルギーの吸収によって生じる振動を吸収する振動吸収部材を設けてもよい。例えば、第１の実施の形態に係る電磁波受信装置１０において、発熱体２０の一部にバイメタルを設けることができる。
【００５９】
また、各実施の形態に係る電磁波受信装置１０，５０，７０は、表面が平坦な基板１２を用いているが、これに代えて、例えば、椀形状の凹面を有する基板を用い、この表面にアレー状に電気閉回路を配置してもよい。このようにすれば、電磁波受信装置１０，５０，７０は、宇宙からの電磁波を受信するパラボラアンテナとして用いることが可能となる。
【００６０】
また、カーボンナノチューブ１８の側面に金属をコイル状に巻回させてもよい。こうすれば、カーボンナノチューブ１８は、電磁波のエネルギーを効率良く吸収することができる。また、発熱体２０中に高抵抗領域を設け、この領域で熱電対２６の第１の接合点４０と接触する構成としてもよい。こうすれば、電磁波受信装置で受信した電磁波を確実に検知することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】第１の実施の形態に係る電磁波受信装置の構成を模式的に示す上面図である。
【図２】図１の電磁波受信装置のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１の電磁波受信装置の作製手順を説明する図である。
【図４】図１の電磁波受信装置の作製手順を説明する図である。
【図５】図１の電磁波受信装置の作製手順を説明する図である。
【図６】図１の電磁波受信装置の作製手順を説明する図である。
【図７】図１の電磁波受信装置の作製手順を説明する図である。
【図８】図１の電磁波受信装置の作製手順を説明する図である。
【図９】第２の実施の形態に係る電磁波受信装置の構成を模式的に示す上面図である。
【図１０】図１の電磁波受信装置のＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】第３の実施の形態に係る電磁波受信装置の構成を模式的に示す上面図である。
【図１２】電流供給装置の構成を模式的に示す図である。
【図１３】他の電流供給装置の構成を模式的に示す図である。
【図１４】整流回路を示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０  電磁波受信装置
１２  基板、
１４，１６  電極
１８  カーボンナノチューブ
２０  発熱体
２２，２４  金属パッド
２６  熱電対
２８  回路
４０  第１の接合点
４２  第２の接合点
４４  電流計
５０  電磁波受信装置
７０  電磁波受信装置
【図１】
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【図２】
2006086736.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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