(57)【要約】【課題】本発明の目的は、変温運転にも十分に対応することのできる精密定盤を提供することにある。【解決手段】  基準平面をワークないし機械装置１２４の載置面１２１とする中空状の筐体１２０と、前記筐体１２０の内部に設けられた略同一形状の小空間１１６の集合体であるハニカム構造体１１２と、前記ハニカム構造体１１２の各小空間１１６同士を連通し該各小空間１１６同士の熱移動を行うためにハニカム構造体１１２に設けられた熱移動手段１２２と、を備え、前記熱移動手段１２２を介して、前記ハニカム構造体１１２の各小空間１１６同士の熱移動を積極的に行うことを特徴とする精密定盤１１０。【選択図】      図１
2006315114.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準平面をワークないし機械装置の載置面とする中空状の筐体と、
前記筐体の内部に設けられた略同一形状の、実質的な密閉小空間の集合体であるハニカム構造体と、
前記ハニカム構造体の各小空間同士を連通し、該各小空間同士の熱移動を行うためにハニカム構造体に設けられた熱移動手段と、
を備え、前記熱移動手段を介して、前記ハニカム構造体の各小空間同士の熱移動を積極的に行うことを特徴とする精密定盤。
【請求項２】
請求項１記載の精密定盤において、
前記熱移動手段は、前記ハニカム構造体の各小空間同士を連通するように、前記ハニカム壁部に設けられたハニカム通気穴を含み、
前記ハニカム通気穴を介して空気が前記ハニカム構造体の各小空間同士を移動することを特徴とする精密定盤。
【請求項３】
請求項１又は２記載の精密定盤において、
前記熱移動手段は、前記ハニカム構造体の各小空間同士を連通するように、前記ハニカム壁部を貫通して設けられ、高熱伝導性を有する高熱伝導体を含み、
前記高熱伝導体を介して熱が前記ハニカム構造体の各小空間同士を移動することを特徴とする精密定盤。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の精密定盤において、
前記筐体内部のハニカム構造体の小空間と前記筐体外部とを連通するように、該筐体壁部に設けられた筐体通気穴を備え、
前記筐体内外の空気が、前記筐体通気穴を介して移動することを特徴とする精密定盤。
【請求項５】
請求項４記載の精密定盤において、
前記筐体通気穴を開閉自在とするシャッタを備え、
周囲環境の変温運転時に前記シャッタを開の状態とし、また該定盤の所望温度への変温後の定温運転時に該シャッタを閉の状態とすることを特徴とする精密定盤。
【請求項６】
請求項４又は５記載の精密定盤において、
前記筐体通気穴に連通して設けられ、前記筐体内外の空気を強制的に換気するための強制換気手段を備えたことを特徴とする精密定盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は精密定盤、特にその変温運転の対応に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ワークの加工、作業等を行うための載置面として、例えば表面が正しく平滑に仕上げられている基準平面をもつ定盤が用いられている。例えばワークの加工を行うため、定盤の載置面上にワーク、テーブルないし加工機本体が載置される。またワークの測定を行うため、定盤の載置面上にワーク、テーブルないし測定機本体が載置される。
【０００３】
このような定盤には、通常、軽量であること、比剛性の高いこと、温度安定性に優れていることが要求される。このような要望に応えるため、種々の定盤が開発されており、従来は、以下の定盤がある。従来は、例えば樹脂を炭素樹脂に含浸させて成形した炭素繊維補強複合材を用いた光学機器用定盤がある（特許文献１）。また、この光学機器用定盤においては、炭素繊維補強複合材の剛性を高めるため、二枚の炭素繊維補強複合材の間にハニカム材を接着している。
【０００４】
また最近は、変温運転の要望もある。例えば温度調節器の変温運転で作業室全体を変温し、ワークの温度特性を測定することがある。例えばチェッキングゲージ等のワークの線膨張係数等の温度特性を求めるため、異なる温度にそれぞれ変温後、各温度でのワークの寸法を測定する。また作業室の温度が基準温度よりもずれていると、温度調節器の変温運転で作業室全体の温度を基準温度に調節し、変温後、ワークの加工、測定等を行うこともある。
【０００５】
このような変温運転の際は、所望の温度に迅速に変温することが重要である。このような要望に応えるため、従来は、例えば作業室全体の変温を行うものでなく、定盤自体の変温を行うものであるが、以下の定盤がある。例えば、従来は、短時間でワークを定温にするため、熱伝導性に優れたムクの金属板からなる定盤の下部に設けられた電子クーラと、金属板の内部に設けられた温度センサと、温度センサからの温度情報に基づき金属板が設定温度となるように電子クーラの動作を制御する温度調節器と、を備える定盤がある（特許文献２）。
【特許文献１】特開平６−３３１８７０号公報
【特許文献２】実開平７−３８９０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記定盤であっても、変温運転時にワークの加工精度、ないし測定精度等の良好な作業結果が得られないことがある。
また前記定盤であっても、温度調整のため、電子クーラ、温度センサ等を必要とするため、構成が複雑であり、構成の簡略化は改善の余地が残されていた。
【０００７】
したがって、最近の定盤は、軽量であること、比剛性の高いこと、温度安定性に優れていることは勿論、さらに、簡単な構成で、変温運転への確実な対応も重要な要求性能である。
本発明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、簡単な構成で、変温運転に十分に対応することのできる精密定盤を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題について本発明者が鋭意検討を重ねた結果、簡単な構成で、変温運転に十分に対応するためには、一の定盤で、変温運転と定温運転とに対応することが非常に重要であることに気付いた。
【０００９】
ここで、作業室内の変温運転時は、精密定盤の温度が所望の温度に迅速に変温することが重要であり、一方、所望温度への変温後は、精密定盤の温度安定性が重要である。
しかしながら、従来は、このような相反する要求性能を、一の定盤で実現するのは困難であった。
【００１０】
これに対し、本発明者が、このような相反する要求性能の一の定盤での実現について鋭意検討を重ねた結果、その解決手段としては、ハニカム構造体と、ハニカム小空間同士の熱移動手段との組み合わせが最適であることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１１】
ここで、ハニカム構造体自体は、従来の定盤においても、高剛性を得るために用いられる。
すなわち、一般に、例えば図７に示されるようなハニカム定盤１０は、ハニカム構造体１２を含むので、構造的に軽量で比剛性が高い。また盤面寸法の選択性が広く、部品配置自由度の高い光学系構築が可能であるので、光学系の実験的構築から実用まで広範囲に使用される。
しかしながら、本発明者は、ハニカム定盤１０の以下の点に着目した。
すなわち、ハニカム定盤１０は構造的に内部の密閉された多数の小空間に空気を溜め込んでいるので、断熱性が高く、温度安定性に優れるという利点もある。
【００１２】
しかしながら、その反面、ハニカム定盤１０は図８に示されるような小空間同士における空気の移動を妨げる。つまりハニカム定盤１０は内部のハニカム壁部１４が小空間１６同士における空気１８の移動を妨げ、小空間１６同士の熱交換はハニカム壁部１４越しの熱伝導が主となるので、定盤１０全体の温度が周囲温度に馴染むまでには時間がかかる（熱時定数が大きい）。
【００１３】
したがって、意図的な変温を必要とする装置においては、温度変化の遅れが発生するので、機械装置としてのスループットが低下する。例えば図９（Ａ）に示されるような周囲環境温度降下の場合は、同図（Ｂ）に示されるような温度変化の遅れ、つまり室温の変化に対して、定盤上の機械装置の温度変化の遅れが生じる。
また定盤内において空間的な温度勾配が生じやすく、盤面平面度の維持が困難である。装置として、光学機器を用いると、結果的に光軸の位置偏差、角度偏差が発生するため、精密な用途には障害となる問題は深刻となる。
【００１４】
そこで、本発明者が、このような問題の解決について鋭意検討を重ねた結果、ハニカムの小空間同士に熱の移動を生じさせることが非常に重要であることに気付いた。本発明者は、ハニカムの小空間同士に熱の移動を生じさせるため、ハニカムと、通気穴ないし高電熱体等の熱移動手段という簡易な構成で、定盤の迅速な変温が行えること、クーラ等を用いた定盤よりも定盤全体を均一に変温することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１５】
すなわち、前記目的を達成するために本発明にかかる精密定盤は、中空状の筐体と、ハニカム構造体と、熱移動手段と、を備え、前記熱移動手段を介して、前記ハニカム構造体の各小空間同士の熱移動を積極的に行うことを特徴とする。
ここで、前記筐体は、基準平面をワークないし機械装置の載置面とする。
また前記ハニカム構造体は、前記筐体の内部に設けられた略同一形状の、実質的な密閉小空間の集合体である。
前記熱移動手段は、前記ハニカム構造体の各小空間同士を連通し、該各小空間同士の熱移動を行うためにハニカム構造体に設けられたものとする。
なお、ここにいう実質的な密閉小空間とは、一般的なハニカム構造体では完全に密閉された小空間であるが、本発明のようにハニカム壁部に例えばハニカム通気穴を設けたものでは、ハニカム通気穴により完全には密閉された小空間でないが、定温運転時はハニカム構造体の小空間により十分な温度安定性が得られるものを含めていう。
【００１６】
なお、本発明において、前記熱移動手段は、前記ハニカム壁部に設けられたハニカム通気穴を含み、前記ハニカム通気穴を介して空気が前記ハニカム構造体の各小空間同士を移動することが好適である。
【００１７】
また本発明において、前記熱移動手段は、前記ハニカム構造体の各小空間同士を連通するように、前記ハニカム壁部を貫通して設けられ、高熱伝導性を有する高熱伝導体を含み、前記高熱伝導体を介して熱が前記ハニカム構造体の各小空間同士を移動することが好適である。
【００１８】
また本発明において、前記筐体内部のハニカム構造体の小空間と前記筐体外部とを連通するように、該筐体壁部に設けられた筐体通気穴を備え、前記筐体内外の空気が、前記筐体通気穴を介して移動することが好適である。
【００１９】
本発明において、前記筐体通気穴を開閉自在とするシャッタを備え、周囲環境の変温時に前記シャッタを開の状態とし、また変温後に該シャッタを閉の状態とすることが好適である。
【００２０】
本発明においては、強制換気手段を備えることが好適である。
ここで、前記強制換気手段は、前記筐体通気穴に連通して設けられ、前記筐体内外の空気を強制的に換気するためのものとする。
ここにいう空気を強制的に換気するとは、例えば空気を強制的に交換ないし循環することをいう。
【発明の効果】
【００２１】
本発明にかかる精密定盤によれば、ハニカム構造体と熱移動手段とを組み合せることとしたので、簡易な構成で、周囲環境の変温運転に十分に対応することができる。
また本発明においては、熱移動手段が通気穴ないし高熱伝導体を含むことにより、定盤温度の所望温度への変温を、より良好に行うことができる。
本発明においては、筐体通気穴を備えることにより、定盤温度の所望温度への変温を、より良好に行うことができる。
本発明においては、シャッタを備えることにより、所望温度への変温後の定盤の温度安定性を、より確実に確保することができるので、周囲環境の変温運転に、より確実に対応することができる。
本発明においては、強制換気手段を備えることにより、定盤温度の所望温度への変温を、より良好に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面に基づき本発明の好適な一実施形態について説明する。
第一実施形態
（通気穴）
図１には本発明の一実施形態にかかる精密定盤の概略構成が示されている。
同図（Ａ）は全体のブロック図、同図（Ｂ）はハニカム構造体の一部拡大図である。前記図７〜図９に対応する部分には符号１００を加えて示す。
同図に示すハニカム定盤（精密定盤）１１０は、中空状の筐体１２０と、ハニカム構造体１１２と、熱移動手段１２２と、を備える。
ここで、前記筐体１２０は、基準平面を機械装置１２４の載置面１２１とする。
また前記ハニカム構造体１１２は、筐体１２０の内部に設けられた略同一形状の、実質的な密閉小空間１１６の集合体であるハニカム構造体１１２を含む。
前記熱移動手段１２２は、ハニカム構造体１１２の各小空間１１６同士を連通し、該各小空間１１６同士の熱移動を行うためにハニカム構造体１１２に設けられたものとする。
【００２３】
本実施形態においては、前記熱移動手段１２２がハニカム壁部１１４に設けられたハニカム通気穴を含み（以下、ハニカム通気穴１２２という）、空気がハニカム通気穴１２２を介してハニカム構造体１１２の各小空間１１６同士を移動する。
【００２４】
このようにして本発明の第一実施形態にかかるハニカム定盤１１０を構成することにより、変温運転と定温運転との両立に対して十分に対応することができる。
【００２５】
なお、本実施形態において、ハニカム定盤１１０及び機械装置１２４等は、作業室１３２内に入れられている。
また本実施形態において、機械装置１２４としては、例えば特開２００３−１９４５２３号公報に記載の測長装置を用いている。
また、本実施形態において、装置用ドライバ１２６と、装置用制御手段１２８を含むコンピュータ１３０と、を含む。
【００２６】
また、本実施形態において、作業室１３２は、温度調整器１３４と、温調用ドライバ１３６と、温調用制御手段１３８を含むコンピュータ１３０と、を備える。
そして、本実施形態においては、温度調整器１３４により周囲環境の変温運転を行い、作業室１３２内の周囲環境を所望温度に変温することにより、定盤１１０の温度を周囲空気の温度に基づく所望温度に変温する。また定盤１１０の所望温度への変温後は、温度調整器１３４により周囲環境の定温運転を行い、作業室１３２内の定温を確保する。
【００２７】
また本実施形態において、筐体１２０内部のハニカム構造体１１２の小空間１１６と筐体１２０外部とを連通するように、筐体１２０壁部に設けられた筐体通気穴１４０ａ，１４０ｂを備える。筐体１２０内外の空気が、筐体通気穴１４０ａ，１４０ｂを介して移動する。
【００２８】
また本実施形態において、シャッタ１４２と、シャッタ用ドライバ１４４と、シャッタ用制御手段１４６を含むコンピュータ１３０と、を備える。
シャッタ１４２は、筐体通気穴を開閉自在とする。
シャッタ用ドライバ１４４は、シャッタ１４２を駆動する。
シャッタ用制御手段１４６は、シャッタ１４２の動作制御を、シャッタ用ドライバ１４４を介して行う。例えばシャッタ用制御手段１４６は、シャッタ用ドライバ１４４を介して、温度調整器１３４の変温運転時にシャッタ１４２を開の状態とし、また変温後の温度調整器１３４の定温運転時、シャッタ１４２を閉の状態とする。
【００２９】
このようにして本実施形態にかかるハニカム定盤１１０を構成することにより、簡易な構成で、ハニカム定盤１１０の既存の長所を維持したまま、変温運転時における機械装置１２４のスループット低下、ないし精度低下を大幅に低減することができる。
すなわち、本実施形態は、ハニカム通気穴１２２を備えるため、ハニカム構造体１１２の各小空間１１６内の空気が、ハニカム通気穴１２２を介して、ハニカム構造体１１２の各小空間１１６内を移動する。
また本実施形態は、筐体通気穴１４０ａ，１４０ｂも備えるため、周囲環境の変温運転時、周囲空気が、筐体通気穴１４０ａ，１４０ｂ、ハニカム通気穴１２２を介して、ハニカム構造体１２０の各小空間１１６内を移動するので、定盤１１０内の空気を周囲空気で迅速に置換することができる。定盤１１０は全体的に及び均一に、周囲空気の温度に基づく所望温度に迅速に変温される。
このようにして本実施形態は、ハニカム通気穴１２２、筐体通気穴１４０ａ，１４０ｂ等を介して、ハニカム構造体１１２の小空間１１６同士の熱移動を積極的に行うことにより、ハニカム定盤１１０上の機械装置１２４の周囲温度への馴染み易さを、より向上させている。
一方、前述のようにして定盤１１０の温度を所望温度に変温後の、周囲環境の定温運転時も、定盤１１０は全体的に及び均一に、周囲空気の設定温度に維持される。
【００３０】
軽量、剛性、温度安定性という定盤への要求性能は、一般的なハニカム定盤においても得られたが、一方でハニカム定盤は温度安定性に優れているので、周囲環境の変温運転時、定盤の温度が周囲温度に馴染み難いという課題がある。
そこで、本発明は、軽量、高剛性、高温度安定性というハニカム定盤の持つ既存の長所は維持したまま、変温運転時におけるスループット低下、温度分布、精度低下の解消を、極力簡易な構成で実現することのできる定盤を提供することにある。
このために本実施形態では、ハニカム構造体と通気穴との組み合わせで、軽量、剛性、温度安定性と、周囲環境の変温運転に対する十分な適応との双方を実現している。
すなわち、周囲環境の変温運転と定温運転とを行うには、定温運転用の定盤と、変温運転用の定盤とをそれぞれ用いることが一般的である。すなわち、周囲環境の定温運転時ではハニカム構造体を用いた定盤を用いることも可能であるが、周囲環境の変温運転のため、ハニカム構造体に代えて、ムク材を用いた定盤にクーラ等を用いることが技術常識である。
これに対し、本発明は、ハニカム構造体と通気穴との組み合わせを採用することで、一の定盤で、変温運転時は定盤を全体的に及び均一に周囲空気に基づく所望温度に迅速に変温することができ、一方、周囲環境の定温運転時は定盤温度を所望温度に確実に維持することができることを本発明者は見出したのである。
【００３１】
すなわち、図２（Ａ）に示されるような周囲環境の変温運転時は、シャッタ１４２で、筐体通気穴１４０ａ，１４０ｂを開の状態としている。このため作業室内の周囲空気は、筐体通気穴１４０ａを介して定盤１１０内、つまり筐体内のハニカム構造体の各小空間１１６に入り、各小空間１１６を通って、筐体通気穴１４０ｂを介して定盤１１０外へ出る。
このようなハニカム構造体の各小空間１１６同士の周囲空気の流れにより、定盤１１０を全体的に及び均一に、周囲空気の温度に基づく所望温度に迅速に変温する。周囲環境の変温運転時は定盤１１０の持つ温度安定性と変温のしやすさとの内、変温のしやすさを優位とする。
一方、前述のようにして定盤１１０の温度を所望温度に変温後の、周囲環境の定温運転時は、図２（Ｂ）に示されるようにシャッタ１４２で、筐体通気穴１４０ａ，１４０ｂを閉の状態とする。この結果、定盤１１０内部の密閉された多数の小空間１１６に所望温度の空気を溜め込むので、断熱性が高くなり、定盤１１０の所望温度での温度安定性をアップさせる。定温運転時は定盤１１０の持つ温度安定性と変温のしやすさとの内、温度安定性を優位とする。
【００３２】
このように本実施形態は、周囲環境の変温運転を行っても、短時間で定盤の温度を周囲温度と等しくできる。
また、本実施形態は、周囲環境の変温運転を行っても、定盤内温度分布を小さくできる。これにより、本実施形態は、盤面平面度低下を抑えることができる。
したがって、本実施形態は、一の定盤１１０で、周囲環境の変温運転と定温運転との両方に十分に対応することができる。
【００３３】
第二実施形態
（高熱伝導体）
図３には本発明の第二実施形態にかかる精密定盤の概略構成が示されている。
同図（Ａ）は全体のブロック図、同図（Ｂ）は高熱伝導体の一部拡大図である。
図１と対応する部分には符号１００を加えて示し説明を省略する。
【００３４】
本実施形態においては、前記熱移動手段として、高熱伝導体を採用することにより、定盤上装置の周囲温度への馴染み易さを、より向上させている。
すなわち、同図に示すハニカム定盤（精密定盤）２１０において、熱移動手段２２２は、高熱伝導体を含む（以下、高熱伝導体２２２という）。
高熱伝導体２２２は、ハニカム構造体２１２の各小空間２１６同士を連通するようにハニカム壁部２１４を貫通して設けられ、高熱伝導性を有するものとする。
【００３５】
このようにして本発明の第二実施形態にかかるハニカム定盤２１０を構成することにより、周囲環境の変温運転時は定盤２１０の温度が周囲空気温度に基づく所望温度に迅速に変温され、かつ変温後の定温運転時は定盤２１０の温度安定性がより向上される。
【００３６】
すなわち、同図においては、ハニカム構造体２１２の各小空間２１６の熱が、高熱伝導体２２２を介して、該ハニカム構造体２１２の各小空間２１６同士を移動する。
また本実施形態においても、筐体通気穴２４０を備えるので、筐体２２０内外の空気が、筐体通気穴２４０を介して移動する。
さらに、本実施形態においても、筐体通気穴２４０を開閉自在とするシャッタ２４２を備え、変温時にシャッタ２４２を開の状態とし、また変温後にシャッタ２４２を閉の状態とする。
このため、変温運転時、ハニカム構造体２１２の各小空２１６間の熱が、高熱伝導体２２２を介して、ハニカム構造体２１２の各小空間２１６を移動する。
ここで、図４（Ａ）に示されるような変温運転時、シャッタ２４２を開の状態としているので、筐体通気穴２４０と対向するところに設けられた小空間２１６の空気と周囲空気との交換がスムースに行われる。このため、高熱伝導体２２２、筐体通気穴２４０を介して、定盤２１０内外の空気をスムースに交換するので、定盤２１０を全体的に及び均一に、周囲空気の温度に迅速に馴染ませることができる。
一方、前述のようにして定盤２１０を所望の温度に変温後は、同図（Ｂ）に示されるようにシャッタ２４２を閉の状態とし、定温運転時の定盤２１０の温度安定性の向上を図る。
【００３７】
このように本実施形態は、周囲環境の変温運転を行っても、前記第一実施形態と同様、短時間で、定盤２１０の温度を周囲温度と等しくできる。
また本実施形態は、前記第一実施形態と同様、定盤２１０内温度分布を小さくできる。これにより、本実施形態は、前記第一実施形態と同様、盤面平面度低下を抑えることができる。
したがって、本実施形態は、一の定盤２１０に対し、高熱伝導体２２２等の簡易な構成を設けるだけで、周囲環境の変温運転と定温運転との両立に十分に対応することができる。
【００３８】
ところで、前記第一実施形態ないし第二実施形態においては、定盤の、より良好な変温のため、さらに、以下の空気移動手段を設けることも非常に重要である。
第三実施形態
（換気ファン）
図５には本発明の第三実施形態にかかる精密定盤の概略構成が示されている。
前記第一実施形態と対応する部分には符号２００を加えて示し説明を省略する。
また前記第二実施形態と対応する部分には符号１００を加えて示し説明を省略する。
【００３９】
本実施形態では、前記図１ないし前記図２に示したハニカム定盤において、さらに、強制換気手段を設けることで、熱交換の促進を、より向上させている。
すなわち、同図に示す特殊定盤３１０は、熱交換を促進するための強制換気手段として、換気用配管３５０と、換気用ファン３５２と、換気用ドライバ３５４と、換気用制御手段３５６と、を備える。
換気用配管３５０は、定盤３１０の通気穴３４０ｂと連通する吸気穴３５８と、排気穴３６０と、を備える。
換気用ファン３５２は、換気用配管３５０内の排気穴３６０付近に設けられ、周囲気体を定盤３１０内で循環させるためものとする。
換気用ドライバ３５４は、換気用ファン３５２を駆動する。
換気用制御手段３５６は、換気用ファン３５２の動作制御を、換気用ドライバ３５４を介して行う。
なお、本実施形態において、定盤３１０は防振台３７０上に支持されている。
【００４０】
このようにして第三実施形態にかかる定盤３１０を構成することにより、つまり同図に示されるような特殊定盤３１０と、換気用ファン３５２等の強制換気手段との組み合わせにより、熱交換の促進を、より向上させている。
【００４１】
すなわち、換気用ファン３５２により、作業室３３２内の周囲空気は、定盤３１０の通気穴３４０ａから定盤３１０内に強制的に吸気され、定盤３１０内部を通って、通気穴３４０ｂから強制的に排気される。換気用ファン３５２により、通気穴３４０ｂからの空気は再度、通気穴３４０ａから、定盤３１０内に強制的に吸気され、定盤３１０内部を通って、通気穴３４０ｂから強制的に排気される。
このようにして換気ファン３５２等の強制換気手段により、作業室３３２内の周囲空気を定盤３１０内で強制的に循環させることで、空気の自然の流れを用いたものに比較し、より迅速に定盤３１０内空気と定盤３１０外空気である周囲空気との換気を行うことができるので、定盤３１０内、及び定盤３１０内外の熱交換の促進を、より図ることができる。
【００４２】
したがって、本実施形態は、第一実施形態ないし第二実施形態に対し、さらに換気ファン等の熱移動手段を備えることにより、変温運転時、第一実施形態ないし第二実施形態に比較し、より短時間で、定盤３１０の所望温度への変温を行うことができる。
【００４３】
第四実施形態
（真空エジェクタ）
図６には本発明の第三実施形態にかかる精密定盤の概略構成が示されている。
なお、前記第一実施形態と対応する部分には符号３００を加えて示し説明を省略する。
また前記第二実施形態と対応する部分には符号２００を加えて示し説明を省略する。
また前記第三実施形態と対応する部分には符号１００を加えて示し説明を省略する。
【００４４】
本実施形態では、前記図１ないし前記図２に示したハニカム定盤において、さらに、強制換気手段を設けることで、定盤内及び定盤内外の熱交換の促進を、より向上している。
すなわち、同図に示す特殊定盤４１０は、熱交換を促進するための強制換気手段として、換気配管４５０と、真空エジェクタ（換気機構）４５２と、真空エジェクタドライバ４５４と、真空エジェクタ制御手段４５６と、を備える。
換気用配管４５０は、吸気穴４５８と、中間口４７２と、室外吸気穴４７４と、室外排気穴４７６と、を有する。
真空エジェクタ（換気機構）４５２は、換気用配管４５０内の中間口４７２と対向するところに設けられ、空気を吸引する。
真空エジェクタドライバ４５４は、真空エジェクタ４５２を駆動する。
真空エジェクタ制御手段４５６は、真空エジェクタ４５２の動作制御を、制御真空エジェクタドライバ４５４を介して行う。
【００４５】
このようにして第四実施形態にかかるハニカム定盤４１０を構成することにより、つまり同図に示されるような特殊定盤（ハニカム定盤）４１０と、真空エジェクタ４５２等の強制換気手段との組み合わせにより、熱交換の促進を、より向上させている。
【００４６】
すなわち、真空エジェクタ４５２により、作業室４３２内の周囲空気は、定盤４１０の通気穴４４０ａから定盤４１０内に強制的に吸気され、定盤４１０内を通って通気穴４４０ｂから強制的に排気される。筐体通気穴４４０ｂからの空気は、中間口４７２から換気用配管４５０内に強制的に吸気され、室外吸気穴４７４からの外気と共に換気用配管４５０を通って、室外排気穴４７６から室外へ強制的に排気される。
このようにして真空エジェクタ４５２により周囲空気を定盤４１０内で強制的に換気することで、自然の空気の流れを用いたものに比較し、より迅速に定盤４１０内の換気を行うことができるので、定盤４１０内、及び定盤４１０内外の熱交換の促進を、より向上している。
【００４７】
したがって、本実施形態は、第一実施形態ないし第二実施形態に対し、さらに真空エジェクタ等の強制換気手段を備えることにより、変温運転時、第一実施形態ないし第二実施形態に比較し、より短時間で、定盤４１０の所望温度への変温を行うことができる。
【００４８】
変形例
＜定盤上の載置物＞
前記構成では、定盤上の載置物として、特開２００３−１９４５２３号公報に記載の測長装置を用いた例について説明したが、定温運転と変温運転との両立を簡易な構成で行うため、その他の測定機、加工機等の機械装置に適用することも好ましい。ここで、定盤上を直接、機械装置（測定機、加工機）のベースとして用いることもできる。また定盤上にベースを載せ、該ベース上に機械装置本体を載置することもできる。
また定盤上の載置物として、ワークを用いることも好ましい。ここで、定盤上に直接、ワークを載置することもできる。さらに、定盤上にテーブルを載せ、該テーブル上にワークを載置することもできる。
【００４９】
＜防振台への適用＞
さらに、本発明において特徴的な、ハニカム構造体と熱移動手段との組み合わせを、定盤を支持する防振台に適用することも好ましい。
【００５０】
＜ハニカム構造体の形状＞
前記構成では、ハニカム構造体として断面六角形のものを用いた例について説明したが、その他の形状を採用することもできる。
【００５１】
＜通気穴と高熱伝導体との組み合わせ＞
熱移動手段として、前記第一実施形態の通気穴と、前記第二実施形態の高熱伝導体とをそれぞれ単独で用いることも好ましいが、これらの熱移動手段を組み合わせて用いることも好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第一実施形態にかかるハニカム定盤の概略構成の説明図である。
【図２】本発明の第一実施形態にかかるハニカム定盤の作用の説明図である。
【図３】本発明の第二実施形態にかかるハニカム定盤の概略構成の説明図である。
【図４】本発明の第二実施形態にかかるハニカム定盤の作用の説明図である。
【図５】本発明の第三実施形態にかかるハニカム定盤の概略構成の説明図である。
【図６】本発明の第四実施形態にかかるハニカム定盤の概略構成の説明図である。
【図７】一般的なハニカム定盤の説明図である。
【図８】一般的なハニカム定盤の持つ問題点である、小空間同士における空気の滞留に関する説明図である。
【図９】一般的なハニカム定盤の持つ問題点である、温度変化の遅れに関する説明図である。
【符号の説明】
【００５３】
１１０，２１０，３１０，４１０  ハニカム定盤（精密定盤）
１１２，２１２  ハニカム構造体
１１４，２１４  ハニカム壁部
１１６，２１６  小空間
１２０，２２０  筐体
１２１  載置面
１２２，２２２  熱移動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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