(57)【要約】 【課題】  光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査方法を提供する。【解決手段】  液晶ライトバルブによる表示画像に存在するスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）と、スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）にて検出されたスジ状欠陥同士で連続性を有するかを判定する連続性判定工程（ＳＴ２００）と、連続性判定工程（ＳＴ２００）にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて液晶ライトバルブ１１２のランク判定を行うランク判定工程（ＳＴ３００）と、を備える。【選択図】  図３
2006250876.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査方法において、
前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出工程と、
前記スジ状欠陥検出工程にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定工程と、
前記連続性判定工程にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光学パネル検査方法において、
前記連続性判定工程は、
前記スジ状欠陥検出工程によって検出されたスジ状欠陥同士の離間距離に基づいてスジ状欠陥同士の連続性を判定する離間距離判定工程と、
連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とについて、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線に対する他方のスジ状欠陥のずれ度に基づいて前記一方と他方のスジ状欠陥同士の連続性を判定するずれ度判定工程と、を備えている
ことを特徴とする光学パネル検査方法。
【請求項３】
請求項２に記載の光学パネル検査方法において、
前記離間距離判定工程は、
前記スジ状欠陥同士の離間距離を算出する距離算出工程と、
算出された離間距離を所定閾値と比較して連続性を判定する距離比較工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。
【請求項４】
請求項３に記載の光学パネル検査方法において、
前記連続性判定工程は、
検出された各スジ状欠陥を細線化する細線化工程と、
前記細線化工程にて細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する端点検出工程と、を備え、
前記距離算出工程は、
連続性を判定されるスジ状欠陥の互いの端点同士の距離を算出する端点間距離算出工程を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。
【請求項５】
請求項４に記載の光学パネル検査方法において、
前記細線化工程は、端点を除く輪郭線上の点を検出する参照パターンをスジ状欠陥にかけた際にマッチングした点を輪郭線上の点として検出するパターンマッチング工程と、
パターンマッチング工程にて検出された前記輪郭線上の点を順次削除する輪郭削除工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。
【請求項６】
請求項２から請求項５のいずれかに記載の光学パネル検査方法において、
前記連続性判定工程は、
検出された各スジ状欠陥を細線化する細線化工程と、
前記細線化工程にて細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する端点検出工程と、を備え、
前記ずれ度判定工程は、
スジ状欠陥の端点から数画素以内の傾向を反映した近似直線を算出する近似直線算出工程と、
連続性を判定されるスジ状欠陥の前記端点同士を結ぶ端点連結線と前記近似直線とで挟まれる挟持角を算出する挟持角算出工程と、
前記挟持角を所定閾値と比較して連続性を判定する挟持角比較工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。
【請求項７】
請求項６に記載の光学パネル検査方法において、
前記近似直線算出工程は、連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とのそれぞれについて前記近似直線を算出し、
前記挟持角算出工程は、前記端点連結線と前記一方のスジ状欠陥の前記近似直線とがなす第１挟持角と、前記端点連結線と前記他方のスジ状欠陥の前記近似直線とがなす第２挟持角と、をそれぞれ算出し、
前記挟持角比較工程は、前記第１挟持角および前記第２挟持角を所定閾値と比較する
ことを特徴とする光学パネル検査方法。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の光学パネル検査方法において、
前記連続性判定工程は、
前記スジ状欠陥検出工程によって検出されたそれぞれのスジ状欠陥に異なる識別番号を付与する識別番号付与工程と、
連続性を有すると判定されたスジ状欠陥の組の前記識別番号を同一番号に書き換える識別番号書換工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査方法。
【請求項９】
光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査装置において、
前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、
前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、
前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、を備える
ことを特徴とする光学パネル検査装置。
【請求項１０】
光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、
前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、
前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、
前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、して機能させる
ことを特徴とするコンピュータ読取可能な光学パネル検査プログラム。
【請求項１１】
光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、
前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、
前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、
前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、して機能させる
光学パネル検査プログラムをコンピュータ読取可能に記録したことを特徴とする記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学パネル検査方法、光学パネル検査装置、光学パネル検査プログラムおよびこのプログラムを記録した記録媒体に関する。例えば、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像を表示する光学パネルとして、表示面上の各画素に配置された液晶セルを有し、液晶セルへの印加電圧によって表示制御が行われる液晶パネルが知られている。
このような液晶パネルにあっては、製造過程において液晶パネルに表示欠陥が生じていないか等を検査する画像表示検査が行われる。
従来、液晶パネルの画像表示検査にあっては、実際に人間が目視して欠陥の有無を判断していたが、近年では、生産量の増大や検査効率の向上のために人間の目によらない自動検査が行われるようになってきている。
【０００３】
ここで、検査の対象となる表示欠陥の一つとして、表示画面上に現れる細長いスジ状の欠陥があり、一般にスジ状欠陥と呼称されている。図２１にスジ状欠陥の一例を示す。そして、このようなスジ状欠陥７１０、７２０を検出するスジ状欠陥検出方法が従来知られている（非特許文献１、特許文献１）。
例えば、液晶パネルの表示画像をＣＣＤカメラで撮像し、この撮像データを所定のアルゴリズムで処理することによりスジ状欠陥の自動検出が行われる。
スジ状欠陥７１０、７２０が検出された場合には、スジ状欠陥７１０、７２０の長さ、太さ、コントラスト等の要素が総合的に判断されて、その液晶パネルの良／不良のランク判定、さらには良品のなかでもＡ〜Ｄのランク判定が行われる。
【０００４】
このようなランク判定は実際のユーザーが表示画面を見たときの印象に近似した判断となることが必要である。
例えば、スジ状欠陥７１０、７２０のコントラストが低くてもスジ状欠陥７１０、７２０の長さが長ければ、ユーザーの見た目には長いスジ状欠陥７１０、７２０が目立つので、このような液晶パネルは不良品であり、その一方、スジ状欠陥７１０、７２０のコントラストが多少高くてもスジ状欠陥７１０、７２０の長さが短ければスジ状欠陥７１０、７２０が目立たないので良品と判断される。
【０００５】
例えば、図２２は、このような判断閾値としてスジ状欠陥の長さとコントラストとの関係から設定された閾値曲線の一例である。
スジ状欠陥検出方法により検出されたスジ状欠陥７１０、７２０の長さおよびコントラストはグラフ（図２２）上にプロットされて検査対象である液晶パネルが良品範囲であるか、さらには、良品範囲である場合にＡランクからＤランクのどの領域に該当するかが判断される。
【０００６】
【非特許文献１】「画像解析ハンドブック」、高木幹雄、下田陽久、東京大学出版会（１９９１）、ｐ５６４〜５６７
【特許文献１】特開平１０−２４０９３３号公報（第１頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここで、一連のスジ状欠陥であるものの、途中で薄くなっていたり、途中で途切れていたりするスジ状欠陥がある。
従来のスジ状欠陥検出方法にあっては、個々のスジ状欠陥を検出できたとしても、スジ状欠陥が途中で途切れていたり、途中で薄くなっていた場合には当然のことながら別々の欠陥として検出していた。
【０００８】
しかしながら、人間が実際に目視すれば、途中で途切れていたり薄くなっていたとしても一連のスジ状欠陥であれば一連に繋がった欠陥であると認識する。
このように、スジ状欠陥の長さの判断が人間の目視と自動検査による検出とで異なってくるので、検出したスジ状欠陥に基づく良／不良判定やランク付けにおいて人間の判断と自動検査の判断とでは全く異なってくるという問題が生じる。
【０００９】
例えば、図２２に示す閾値曲線にあっても、スジ状欠陥の長さの違いでその判断は大きく変化し、同じコントラストでもスジ状欠陥の長さによっては不良品から良品のＡランクまで判断が大きくことなってくる。その結果、人間が目視すれば当然に不良品であると判定される製品であっても、自動検査では良品のＡランクに判定されるという事態も起こりうる。
その結果、自動検査によってスジ状欠陥を高精度に検出できたとしても、長さの検出が人間の目視判断とは異なるため、自動検査によって検出されたスジ状欠陥に基づく良／不良判定やランク付けに十分な信頼性がないという問題が生じていた。
【００１０】
本発明の目的は、光学パネルの検査において人間の目視判断と近似したランク判定を行うことができる光学パネル検査方法、光学パネル検査装置、光学パネル検査プログラムおよびこのプログラムを記録した記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の光学パネル検査方法は、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査方法において、前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出工程と、前記スジ状欠陥検出工程にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定工程と、前記連続性判定工程にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定工程と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
このような構成において、まず、スジ状欠陥検出工程では光学パネルの表示画像を撮像したうえでこの撮像画像にスジ状欠陥検出フィルタをかける。すると、光学パネルの表示画像に生じたスジ状欠陥が検出される。このとき、スジ状欠陥検出フィルタによる処理は機械的な処理であるので、当然のことながら、分離しているスジ状欠陥はそれぞれ別個に検出されることになる。
【００１３】
次に、連続性判定工程では、スジ状欠陥検出工程で別個に検出されたスジ状欠陥について、スジ状欠陥同士で連続性を有するかを判定する。例えば、途中で途切れていたり、薄くなったりしてはいるものの、途切れることなく延びていたと仮定した場合に自然とつながって人の目には一連のスジとして認識されるスジ状欠陥の組について連続性があると判定する。
そして、ランク判定工程において、連続性があると判定されたスジ状欠陥は連続した一連のスジ状欠陥とみなしたうえで、各スジ状欠陥の定量的評価値、例えば、長さ、幅、コントラストに基づいて光学パネルのランク判定を行う。ランク判定としては、良／不良のランク判定の他、必要に応じて良品の中におけるＡランクからＤランク等のランク判定を行う。
【００１４】
スジ状欠陥検出フィルタでは機械的にスジ状欠陥の検出処理を行うだけであるので、途中で途切れているスジ状欠陥は別個にしか検出できない。
しかしながら、人の目には途中で途切れてはいるものの一連に繋がって見えるスジ状欠陥がる。そのため、人が見て一連と認識されるスジ状欠陥を別々の短い欠陥とみなしたままランク判定処理をすると、人の見た目の印象と異なるランク判定結果になってしまうことになる。この点、本発明では、スジ状欠陥検出工程とランク判定工程との間に連続性判定工程を設けているので、検出されたスジ状欠陥のなかに連続性を有する組があるかを判定することができる。
したがって、ランク判定工程において、連続性を有するスジ状欠陥は一つの欠陥として取り扱ってランク判定を行うことができる。その結果、人が見た印象に合致するランク判定を行うことで、適切なランク判定結果を得ることができる。
【００１５】
本発明では、前記連続性判定工程は、前記スジ状欠陥検出工程によって検出されたスジ状欠陥同士の離間距離に基づいてスジ状欠陥同士の連続性を判定する離間距離判定工程と、連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とについて、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線に対する他方のスジ状欠陥のずれ度に基づいて前記一方と他方のスジ状欠陥同士の連続性を判定するずれ度判定工程と、を備えることが好ましい。
【００１６】
このような構成において、スジ状欠陥同士の連続性を判定するにあたって、スジ状欠陥同士がどの程度離間しているかを判断基準とする。
スジ状欠陥同士が大きく離間していては人の目にも連続性を見出すことはできないところ、離間距離が比較的小さければスジ状欠陥同士が連続性を有する可能性があると判断できる一方、スジ状欠陥同士の離間距離が大きければ明らかにスジ状欠陥同士に連続性は無いと判断できる。
【００１７】
このようにスジ状欠陥同士の離間距離に基づいて連続性の有無の判定を行うことで、離間距離が大きすぎるスジ状欠陥同士に連続性がないと判断して、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。さらには、連続性の判定についてさらなる詳細な判定を行う場合であっても、離間距離判定工程によって離間距離の大きい組合せについては連続性がないものとして予め排除しておくことで、後の処理を簡便にすることができる。
【００１８】
さらに、スジ状欠陥同士の連続性を判定するにあたって、連続性が判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とで、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線に対して他方のスジ状欠陥がどの程度ずれているかを判断基準とする。スジ状欠陥が途切れることなく延びていたと仮定した場合に自然とつながる状態であればスジ状欠陥同士が連続しているように人の目に映るところ、一方のスジ状欠陥を延長した線が他方のスジ状欠陥から大きくずれていては人の目にも連続性を見出すことはない。この点、本発明では、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線が他方のスジ状欠陥に対して有するずれ度が小さければスジ状欠陥同士に連続性があると判断でき、また、近似直線に対して他方のスジ状欠陥が大きくずれていれば連続性はないと判断する。例えば、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線が他方のスジ状欠陥に向けて延びていれば、両者に連続性があると判断でき、逆に、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線が他方のスジ状欠陥とは全く別の方向に延びていれば、二つのスジ状欠陥には明らかに連続性がないと判断できる。
このように、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線と他方のスジ状欠陥とのずれ度に基づいてスジ状欠陥の連続性を判定することにより、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。
【００１９】
なお、本発明では、前記離間距離判定工程における連続性の判定により連続性の可能性が示唆されたスジ状欠陥の組にのみ前記ずれ度判定工程を行うことが好ましい。
【００２０】
このような構成によれば、離間距離判定工程とずれ度判定工程との二段階の判定を行うことでより適切な連続性の判定を行うことができる。そして、まず、離間距離判定工程により連続性が明らかに無いと判断されるスジ状欠陥の組合せを排除しておくことにより、ずれ度判定工程の処理時間を短縮して、光学パネルの検査効率を向上させることができる。
【００２１】
本発明では、前記離間距離判定工程は、前記スジ状欠陥同士の離間距離を算出する距離算出工程と、算出された離間距離を所定閾値と比較して連続性を判定する距離比較工程と、を備えることが好ましい。
【００２２】
このような構成において、スジ状欠陥同士の離間距離を算出し（距離算出工程）、続いて、算出された離間距離を所定閾値と比較して（距離比較工程）、スジ状欠陥同士の連続性を判定する。
スジ状欠陥同士が大きく離間していては人の目にも連続性を見出すことはできないところ、スジ状欠陥同士の離間距離を算出して、この離間距離を所定の閾値と比較することにより、離間距離が小さいスジ状欠陥同士は連続性を有する可能性があると判定できる一方、閾値を越えて大きく離間しているスジ状欠陥同士には連続性がないと判定できる。
すなわち、スジ状欠陥同士の連続性について判定するにあたって、離間距離を求める計算処理および閾値との比較処理という演算処理によって、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。
【００２３】
本発明では、前記連続性判定工程は、検出された各スジ状欠陥を細線化する細線化工程と、前記細線化工程にて細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する端点検出工程と、を備え、前記距離算出工程は、連続性を判定されるスジ状欠陥の互いの端点同士の距離を算出する端点間距離算出工程を備えることが好ましい。
【００２４】
このような構成において、検出されたスジ状欠陥のそれぞれを細線化工程において細線化したうえで、細線化された各スジ状欠陥の端点を検出する（端点検出工程）。そして、連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とで互いの端点間距離を算出する（端点間距離算出工程）。その後、算出された端点間距離を所定閾値に比較するなどによりスジ状欠陥同士の連続性が判定される。
【００２５】
このような構成によれば、細線化によってスジ状欠陥の端点が見出しやすくなり、これにより簡便に端点間距離を算出することができる。
また、連続性を判定するに際しては、途中で途切れたスジ状欠陥同士の間の間隔の大小に基づいて判定するのが望ましいと考えられるところ、端点間距離算出工程によってスジ状欠陥同士が途切れた間隔である端点間距離を求めることができる。そして、この端点間距離を所定閾値と比較することによってスジ状欠陥同士の連続性について適切な判定を行うことができる。
【００２６】
なお、連続性を判定する閾値としては、例えば、２画素から４００画素分の長さに相当する距離に設定されることが例として挙げられる。
【００２７】
本発明では、前記細線化工程は、端点を除く輪郭線上の点を検出する参照パターンをスジ状欠陥にかけた際にマッチングした点を輪郭線上の点として検出するパターンマッチング工程と、パターンマッチング工程にて検出された前記輪郭線上の点を順次削除する輪郭削除工程と、を備えることが好ましい。
【００２８】
このような構成において、パターンマッチング工程によってスジ状欠陥の輪郭線上の点を検出し、さらに、検出された輪郭線上の点を削除していく（輪郭削除工程）。すると、輪郭線が順次削られていき、スジ状欠陥の端点と端点とを結ぶ細線が得られる。このように輪郭上の点を順次削除していくことにより、スジ状欠陥の長さおよび方向性の情報はそのままにしてスジ状欠陥の細線化を行うことができる。
【００２９】
本発明では、前記連続性判定工程は、検出された各スジ状欠陥を細線化する細線化工程と、前記細線化工程にて細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する端点検出工程と、を備え、前記ずれ度判定工程は、スジ状欠陥の端点から数画素以内の傾向を反映した近似直線を算出する近似直線算出工程と、連続性を判定されるスジ状欠陥の前記端点同士を結ぶ端点連結線と前記近似直線とで挟まれる挟持角を算出する挟持角算出工程と、前記挟持角を所定閾値と比較して連続性を判定する挟持角比較工程と、を備えることが好ましい。
【００３０】
このような構成において、まず、細線化工程によってスジ状欠陥を細線化したうえで、細線化されたスジ状欠陥の端点を検出する（端点検出工程）。
次に、一方のスジ状欠陥について端点から数画素以内の傾向を反映した近似直線を求める（近似直線算出工程）。
近似直線を求めるにあたって、端点から数画素以内の傾向を反映した直線とするので、この近似直線によりスジ状欠陥が端点からさらに伸長していたと仮定した場合の方向性が推測される。さらに、スジ状欠陥の端点同士を結ぶ端点連結線と前記近似直線とで挟持される挟持角を算出する（挟持角算出工程）。そして、この挟持角を所定の閾値と比較してスジ状欠陥同士の連続性を判定する。
【００３１】
ここで、二つのスジ状欠陥の間で端点同士を結ぶ端点連結線は、一方のスジ状欠陥から他方のスジ状欠陥を繋ぐ線であるので、仮に二つのスジ状欠陥に連続性があるとするならば、端点連結線と近似直線とは同じ方向に伸びていき、近似直線と端点連結線とはあまり離れることなく近接した位置関係になると考えられる。
そこで、近似直線と端点連結線との挟持角を所定閾値と比較して、挟持角が所定閾値以下であって近似直線と連結線との開きが大きくなければ、スジ状欠陥がそのまま伸長していた場合に自然と繋がる連続性を有すると判断できる。
その一方、挟持角が所定閾値を越えて近似直線と端点連結線との開きが大きければ、スジ状欠陥同士に連続性は無いと判断できる。閾値としては、例えば、＋３０度〜−３０度に設定されることが例として挙げられる。
スジ状欠陥同士の連続性について判定するにあたって、近似直線と端点連結線との挟持角を所定閾値と比較するという演算処理により、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。
【００３２】
なお、近似直線を算出するにあたっては、細線化されたスジ状欠陥において、端点から数画素戻った点を始点として端点を通る直線を求めてもよく、あるいは、端点から数画素以内の範囲で例えば最小二乗法による回帰直線を求めてもよい。ここで、近似直線を算出するにあたって、「端点から数画素以内」の範囲としては、スジ状欠陥の伸長方向を推測するために、例えば、端点から２０画素以内としてもよく、端点から１０画素以内としてもよく、スジ状欠陥の端点近傍の傾向を反映した近似直線を算出できる程度の所定範囲を適宜設定すればよい。
【００３３】
本発明では、前記近似直線算出工程は、連続性を判定される一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とのそれぞれについて前記近似直線を算出し、前記挟持角算出工程は、前記端点連結線と前記一方のスジ状欠陥の前記近似直線とがなす第１挟持角と、前記端点連結線と前記他方のスジ状欠陥の前記近似直線とがなす第２挟持角と、をそれぞれ算出し、前記挟持角比較工程は、前記第１挟持角および前記第２挟持角を所定閾値と比較することが好ましい。
【００３４】
このような構成において、連続性が判定されるスジ状欠陥の組の両方についてそれぞれ端点連結線と近似直線との挟持角を算出したうえで（挟持角算出工程）、挟持角比較工程においては、算出された両方の挟持角を所定閾値と比較する。
このような構成によれば、両方について挟持角の開きを調べるので、例えば連続性を有さないスジ状欠陥の組において、一方のスジ状欠陥から他方のスジ状欠陥を見たときに偶然にも挟持角が小さかったという場合を排除できる。
すなわち、両方の挟持角が揃って閾値以内の場合にのみ連続性があると判断するので、より適切に連続性を判定できる。
【００３５】
なお、ずれ度判定工程において一方のスジ状欠陥と他方のスジ状欠陥とのずれ度を判定するにあたっては、近似直線と端点連結線とによる挟持角を閾値と比較してもよく、あるいは、一方のスジ状欠陥を延長した近似直線と他方のスジ状欠陥との最短距離を閾値と比較するなどでもよい。
【００３６】
本発明では、前記連続性判定工程は、前記スジ状欠陥検出工程によって検出されたそれぞれのスジ状欠陥に異なる識別番号を付与する識別番号付与工程と、連続性を有すると判定されたスジ状欠陥の組の前記識別番号を同一番号に書き換える識別番号書換工程と、を備えることが好ましい。
【００３７】
このような構成において、識別番号付与工程では、スジ状欠陥検出工程で検出されたスジ状欠陥の個々に異なる識別番号を付与しておき、そして、連続性を有するスジ状欠陥については識別番号書換工程において改めて同一の識別番号に書き換える。
これにより、同じ識別番号のスジ状欠陥については連続性を有するスジ状欠陥であることがすぐに分かるので、例えば、ランク判定工程において識別番号を参照し、同一識別番号については一連のスジ状欠陥であるとして取り扱うのが容易となる。
【００３８】
本発明の光学パネル検査装置は、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査装置において、前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、を備えることを特徴とする。
【００３９】
このような構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができる。
すなわち、連続性判定手段を設けているので、検出されたスジ状欠陥のなかに連続性を有する組があるか判定して、連続性を有するスジ状欠陥は一つの欠陥として取り扱ってランク判定を行うことができる。その結果、人が見た印象に合致するランク判定を行うことで、より適切なランク判定結果を得ることができる。
【００４０】
本発明の光学パネル検査プログラムは、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、して機能させることを特徴とする。
【００４１】
本発明の記録媒体は、光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、前記光学パネルによる表示画像を撮像した撮像画像に対してスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出フィルタをかけてスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出手段と、前記スジ状欠陥検出手段にて検出された各スジ状欠陥についてスジ状欠陥同士が連続性を有するかを判定する連続性判定手段と、前記連続性判定手段にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて前記光学パネルのランク判定を行うランク判定手段と、して機能させる光学パネル検査プログラムをコンピュータ読取可能に記録したことを特徴とする。
【００４２】
このような構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができる。
すなわち、連続性判定手段を設けているので、検出されたスジ状欠陥のなかに連続性を有する組があるか判定することができ、連続性を有するスジ状欠陥は一つの欠陥として取り扱ってランク判定を行うことができる。その結果、人が見た印象に合致するランク判定を行うことで、より適切なランク判定結果を得ることができる。
【００４３】
なお、光学パネル検査装置にＣＰＵ（中央処理装置）およびメモリ（記憶装置）を備えたコンピュータを設け、このコンピュータに各工程を実行させるように検査プログラムをインストールしてもよい。
また、検査プログラムをインストールするには、メモリカードやＣＤ−ＲＯＭ等を検査装置に直接差し込んで行ってもよいし、これらの記憶媒体を読み取る機器を外付けで検査装置に接続してもよい。さらには、ＬＡＮケーブル、電話線等を電子機器に接続して通信によってプログラムを供給しインストールしてもよいし、無線によってプログラムを供給してインストールしてもよい。
このように検査プログラムで各手段の機能を実現させるようにすれば、各種のパラメータの変更等を簡便に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の光学パネル検査装置に係る第１実施形態について説明する。
図１は、光学パネル検査装置１００の全体構成図である。なお、以下の説明において、検査対象を液晶ライトバルブ１１２とする例について説明する。
光学パネル検査装置１００は、検査対象となる液晶ライトバルブ１１２を内蔵して画像を投影する画像投影手段１１０と、液晶ライトバルブ１１２を駆動するパターンジェネレータ１２０と、画像投影手段１１０から投射される画像を映写するスクリーン１３４を有する映写部１３０と、スクリーン１３４に映写された画像を撮像するＣＣＤカメラ（撮像手段）１４０と、ＣＣＤカメラ１４０で撮像された画像データを画像処理するとともに液晶ライトバルブ１１２のランク判定を行う演算処理部２００と、を備えている。
【００４５】
画像投影手段１１０は、光源１１１と、パターンジェネレータ１２０により駆動され光源１１１からの光を変調する液晶ライトバルブ（光学パネル）１１２と、液晶ライトバルブ１１２からの光を集光して投射する投射レンズ１１３と、投射レンズ１１３からの光をスクリーン１３４に向けて反射するミラー１１４と、を備えている。
液晶ライトバルブ１１２は、画素ごとに液晶セルを備える液晶パネルであり、液晶ライトバルブ１１２に不良があった場合、映写された画像にスジ状欠陥等の表示不良が生じることになる。
なお、この画像投影手段１１０は、例えば、プロジェクタ等の投射型画像表示デバイスを模したものである。
【００４６】
パターンジェネレータ１２０は、液晶ライトバルブ１１２の各液晶セルを駆動する各スイッチング素子に駆動信号を印加して液晶ライトバルブ１１２を所定パターンで駆動する。
ここで、画像表示検査を行うにあたっては、総ての表示画素が同じ入力レベルで同じ輝度を示すかを検査するところ、パターンジェネレータ１２０は、総ての液晶セルを同じ入力レベルで駆動する。
【００４７】
映写部１３０は、暗ボックス１３１と、この暗ボックス１３１内に設けられたスクリーン１３４と、を備える。そして、暗ボックス１３１は、画像投影手段１１０からの光が入射される開口部１３２と、ＣＣＤカメラ１４０でスクリーン１３４上の画像を撮像するための開口部１３３と、を有する。
【００４８】
ＣＣＤカメラ１４０は、スクリーン１３４上の映写された画像を撮像して、撮像した画像データを演算処理部２００に出力する。
ここで、ＣＣＤカメラ１４０にて撮像された画像データに基づいてスジ状欠陥を検出するので、ＣＣＤカメラ１４０は液晶ライトバルブ１１２の階調数を超える階調数で画像を撮像する機能を有する必要がある。
例えば、液晶ライトバルブ１１２で２５６階調が表現されるとき、ＣＣＤカメラ１４０の画像データは、黒を“０”、白を“４０９５”とする１２ビットデータの階調数を有する。
【００４９】
図２は、演算処理部の構成を示すブロック図である。
演算処理部２００は、ＣＰＵ（中央処理装置）と所定のメモリ（記憶装置）とで構成され、光学パネル検査プログラムが組み込まれることにより、図２に示されるように、スジ状欠陥検出手段３００と、連続性判定手段４００と、ランク判定手段５００と、しての各機能を実現する。
ここで、連続性判定手段４００は、細線化手段４１０と、識別番号付与手段４２０と、端点検出手段４３０、離間距離判定手段４４０と、ずれ度判定手段４５０と、識別番号書換手段４６０と、を備える。そして、離間距離判定手段４４０は、端点間距離算出手段４４１と、距離比較手段４４２と、を備え、ずれ度判定手段４５０は、近似直線算出手段４５１と、挟持角算出手段４５２と、挟持角比較手段４５３と、を備えている。
なお、これら各手段の動作については、図３、図６、図１４、図１６のフローチャートを参照して説明する。
【００５０】
次に、第１実施形態に係る光学パネル検査方法について、図３、図６、図１４、図１６のフローチャートを参照して説明する。
図３は、光学パネル検査方法の手順を示すフローチャートである。
光学パネル検査方法は、液晶ライトバルブ１１２による表示画像に存在するスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）と、スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）にて検出されたスジ状欠陥同士で連続性を有するかを判定する連続性判定工程（ＳＴ２００）と、連続性判定工程（ＳＴ２００）にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて液晶ライトバルブ１１２のランク判定を行うランク判定工程（ＳＴ３００）と、を備えている。
【００５１】
まず、スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）について簡単に説明する。
ここで、スジ状欠陥とは、表示画面上に現れる細長いスジ状の欠陥であり（図５参照）、周囲よりもスジの部分の輝度が低い黒スジ欠陥と、周囲よりもスジの部分の輝度が高い白スジ欠陥と、がある。本第１実施形態の光学パネル検査方法では、黒スジ欠陥に対しても白スジ欠陥に対しても同様に適用できるので、以下の説明においては特に必要がある場合を除いて区別しない。
【００５２】
スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）行うにあたって、まず、スジ状欠陥の検出を行う対象となる検査画像を取得する。この際、検査対象となる液晶ライトバルブ１１２を画像投影手段１１０にセットして光源１１１により液晶ライトバルブ１１２を照明する。そして、パターンジェネレータ１２０から所定の駆動電圧を液晶ライトバルブ１１２に印加する。すると、液晶ライトバルブ１１２の各液晶セルが駆動されて照明の透過率が制御される。液晶ライトバルブ１１２からの光が投射レンズ１１３およびミラー１１４を介してスクリーン１３４に投影されると、スクリーン１３４に画像が映写される。このスクリーン１３４に映写された画像がＣＣＤカメラ１４０で撮像され、検査対象の画像データが取得される。ＣＣＤカメラ１４０からの画像は演算処理部２００に送られる。取得された画像データに対し、演算処理部２００のスジ状欠陥検出手段３００においてスジ状欠陥の検出が行われる。
【００５３】
取得された画像データに対して、まず、前処理として、ＣＣＤカメラ１４０の出力値から各画素の輝度値が求められ、さらに、背景差分やエリア抽出などが行われる。続いて、スジ状欠陥検出フィルタ６００によるスジ状欠陥の検出が行われる。
【００５４】
図４にスジ状欠陥検出フィルタ６００の一例を示す。
なお、ここでは、画面内で縦方向に延びるスジ状欠陥を検出する例について説明する。
スジ状欠陥検出フィルタ６００は、着目画素の周囲において数画素×数画素（例えば７×７）の領域を有し、さらに、左側、中央部、右側で３分割されたうえで、左側の２列だけに重み付けされた左側強調フィルタ６１０と、中央部の３列だけに重みづけされた中央強調フィルタ６２０と、右側の２列だけに重み付けされた右側強調フィルタ６３０と、を備えて構成される。そして、中央強調フィルタ６２０は、左側強調フィルタ６１０および右側強調フィルタ６３０に対して２倍の重み付けがされている。
【００５５】
このようなスジ状欠陥検出フィルタ６００（左側強調フィルタ６１０、中央強調フィルタ６２０、右側強調フィルタ６３０）を画像データの７×７画素サイズにかけて、それぞれのフィルタ６１０、６２０、６３０において畳み込み演算を行う。そして、それぞれのフィルタ６１０、６２０、６３０による畳み込み演算結果が次の条件式に照合されることによりスジ状欠陥が検出される。
【００５６】
ここで、左側強調フィルタ６１０による畳み込み演算の結果をＦＶＡとし、中央強調フィルタ６２０による畳み込み演算の結果をＦＶＢとし、右側強調フィルタ６３０による畳み込み演算の結果をＦＶＣとする。
【００５７】
【数１】
2006250876.tif 000003
【００５８】
上記の条件式において、フィルタ処理の結果が条件１を満たす場合には、中央部の画素の輝度値が左右の画素の輝度値よりも高いことになるので、中央部に白スジ欠陥が存在していることになる。また、フィルタ処理結果が条件２を満たす場合には、中央部の画素の輝度値が左右の画素の輝度値よりも低いことになるので、中央部に黒スジ欠陥が存在していることになる。
【００５９】
さらに、このスジ状欠陥検出フィルタを上段、中段、下段に分割してそれぞれ重み付けしたフィルタを用いれば、横方向に延びるスジ状欠陥が検出され、また、中央強調フィルタは、左側強調フィルタおよび右側強調フィルタをそれぞれ４５度回転させたフィルタを用意すれば、斜め方向に伸びるスジ状欠陥が検出される。
【００６０】
このようなスジ状欠陥検出フィルタ処理を画像全体に行うことによって、例えば、図５に示されるスジ状欠陥７１０、７２０が検出される。欠陥部分の線幅およびコントラストを算出したうえで、欠陥部分の各画素を“１”とし、それ以外の部分の画素を“０”とする２値化処理を行い、２値化画像を得る。
【００６１】
なお、このようなスジ状欠陥検出フィルタ６００によるスジ状欠陥の検出では、図５に示される欠陥のように途中で途切れているスジ状欠陥はそれぞれ異なる欠陥７１０、７２０として検出される。
【００６２】
このようにスジ状欠陥７１０、７２０が検出されたところで、引き続いて、検出されたスジ状欠陥同士７１０、７２０で連続性を有しているか判定される（連続性判定工程ＳＴ２００）。
連続性判定工程（ＳＴ２００）の手順について図６のフローチャートを参照して説明する。
【００６３】
まず、ＳＴ２１０において、検出された各スジ状欠陥７１０、７２０を細線化する細線化工程が細線化手段４１０により行われる。
細線化の工程としては、端点を除く輪郭線上の点を検出する参照パターンをスジ状欠陥にかけてマッチングした点を輪郭点として検出するパターンマッチング工程と、パターンマッチング工程にて検出された輪郭線上の点を順次削除する輪郭削除工程と、を備える。
画像データがすでに２値化されており、スジ状欠陥の部分の画素に対して“１”の値が付与されているので、図７に示される各参照パターンを順次画像データ（２値化画像）にかけることによってスジ状欠陥７１０、７２０の輪郭線上の点が検出される（パターンマッチング工程）。
検出された輪郭線の点を削除していくことによって（輪郭削除工程）、スジ状欠陥７１０、７２０が細線化される。このとき、線幅が一画素になるまで細線化は実行される。
細線化されたスジ状欠陥７１０、７２０の例を図８に示す。
【００６４】
なお、図７中の各参照パターンにおいて、「＊」は１でも０でもよいという意味である。
【００６５】
スジ状欠陥７１０、７２０が細線化されたところで（ＳＴ２１０）、次に、ＳＴ２２０において、それぞれのスジ状欠陥７１０、７２０に識別番号を付与する識別番号付与工程が識別番号付与手段４２０により行われる。すなわち、スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）では、複数のスジ状欠陥７１０、７２０が検出されるところ、検出されたスジ状欠陥７１０、７２０にそれぞれ異なる識別番号を付与して区別する。
【００６６】
図９は、スジ状欠陥に識別番号を付与していく過程を説明するための図である。
識別番号付与工程（ＳＴ２２０）にあたって、まず、画像データ（２値化画像）に直接に識別番号を記録できないので、画像サイズと同等サイズの配列空間を識別番号付与用に用意する（図１０参照）。
このように用意された配列空間を識別番号付与空間と称する。
【００６７】
２値化画像（図９）に対して着目画素を中心とする３×３のフィルタ８００を左上から順にかけていく（図９参照）。
フィルタ８００を左上から順に走査していくと、着目画素がスジ状欠陥の画素にあたる（図９中のＡ）。
ここで、着目画素を囲む８つの画素をみて、識別番号が付与された画素がないときは未だ識別番号がないスジ状欠陥にあたったということになる。
この場合、現在着目画素が位置している画素に対して新しい番号の付与が行われる。すなわち、識別番号付与空間（図１０）において、着目画素がある画素に対応する配列座標に識別番号“１”を付与する。
【００６８】
続いてフィルタ８００による走査を継続して行うと、スジ状欠陥のなかで先ほどとは別の画素に着目画素がスジ状欠陥の画素にあたる（図９中のＢ）。
ここで、着目画素を含む８つの画素をみて、すでに識別番号が付与された画素があるかを確認する。すなわち、識別番号付与空間の対応座標を調べる。
識別番号が付与された画素が周囲にあるとき、すでに識別番号が付与されたスジ状欠陥であるので、現在着目画素が位置している画素にも同じ番号を付与する。すなわち、識別番号付与空間（図１０）において対応する配列座標に同じ識別番号として“１”を付与する。
【００６９】
このようにフィルタ８００を順にかけるとともに着目画素の周囲の画素を参照し、一つのスジ状欠陥に含まれる画素については同じ番号を付与していく。
フィルタ８００の走査を継続して、着目画素がスジ状欠陥の画素にあたったときに、周囲の画素に識別番号が無ければ、新しいスジ状欠陥にあたったことになる（図９中のＣ）。そこで、現在着目画素が位置している画素に新たな識別番号を付与することになるが、このとき、先に識別番号“１”を別のスジ状欠陥に付与しているので、区別するために別の番号として例えば識別番号“２”を付与する。
このようにして順にフィルタ走査を行ってスジ状欠陥の画素に識別番号を付与していく。
すると、図１０に示されるように、識別番号付与空間内でスジ状欠陥に対応する座標に識別番号が付与される。
【００７０】
次に、ＳＴ２３０において、細線化工程（ＳＴ２１０）にて細線化されたスジ状欠陥７１０、７２０の端点を検出する端点検出工程が端点検出手段４３０により行われる。
端点検出工程（ＳＴ２３０）おいて、図１１に示される参照パターンを細線化された２値化画像に順番にかけていく。
すると、線の端点については、図１１に示されるいずれかのパターンになるので、参照パターンに合致した点は総てスジ状欠陥７１０、７２０の端点である。
検出された端点（ＰＡ，ＰＢ、ＰＣ、ＰＤ）をすべてピックアップし（図１２参照）、端点の座標（ＰＡ，ＰＢ、ＰＣ、ＰＤ）と、その端点を有するスジ状欠陥の識別番号（“１”or“２”）とを記憶する（図１３参照）。
【００７１】
次に、ＳＴ２４０において、スジ状欠陥同士の離間距離に基づいてスジ状欠陥同士の連続性を判定する離間距離判定工程が離間距離判定手段４４０によって行われる。
離間距離判定工程（ＳＴ２４０）について、図１４のフローチャートを参照して説明する。
離間距離判定工程（ＳＴ２４０）は、スジ状欠陥７１０、７２０同士の離間距離に基づいてスジ状欠陥７１０、７２０の連続性を判定する工程であり、連続性を判定されるスジ状欠陥７１０、７２０の互いの端点同士の距離を算出する端点間距離算出工程ＳＴ２４１と、算出された端点間距離を距離閾値と比較して連続性を判定する距離比較工程ＳＴ２４２と、を備える。
【００７２】
まず、ＳＴ２４１において、端点間距離算出工程が端点間距離算出手段４４１によって行われる。
例えば、図１５に示されるように、識別番号が“１”と“２”で異なるスジ状欠陥７１０、７２０について端点間距離を算出する。端点検出工程（ＳＴ２３０）において、端点（例えば、ＰＡ、ＰＣ）の座標値は検出されているので、例えば、識別番号“１”のスジ状欠陥の端点ＰＡの座標が（ｘＡ、ｙＡ）で、識別番号“２”のスジ状欠陥の端点ＰＣの座標が（ｘＣ、ｙＣ）であるとき、端点間距離ＰＡＰＣは、次の式で算出される。
【００７３】
【数２】
2006250876.tif 000004
【００７４】
なお、計算処理上は、端点同士（ＰＡ，ＰＢ、ＰＣ、ＰＤ）の総ての組合せについて端点間距離を算出していく。
【００７５】
次に、ＳＴ２４２において、距離比較工程が距離比較手段４４２によって行われる。
距離比較手段４４２には、予め、連続性を判断するための距離閾値が設定されており、端点間距離算出工程（ＳＴ２４１）で算出された端点間距離（ＰＡＰＣ）をこの距離閾値と比較する。
ここで、連続性を有するスジ状欠陥同士では、途中で途切れていたとしても離間距離は狭いと考えられるところ、距離閾値としては、連続性を有すると考えられるスジ状欠陥の組合せを選別できる程度の長さに設定し、遠く離れすぎたスジ状欠陥の組合せは除外できるようにする。距離閾値としては、例えば、２画素から４００画素分の長さに相当する距離に設定されることが例として挙げられる。
【００７６】
そして、算出された端点間距離ＰＡＰＣを距離閾値と比較して（ＳＴ２４２）、距離閾値内となる端点間距離があるとき（ＳＴ２４３：ＹＥＳ）、その端点間距離ＰＡＰＣであるスジ状欠陥の組（７１０、７２０）については離間距離が狭いことから連続性を有する可能性があることになる。そこで、さらに次の連続性判定の工程（ずれ度判定工程ＳＴ２５０）に進む。
その一方、算出された端点間距離の総てが距離閾値を超えていた場合（ＳＴ２４３：ＮＯ）、連続性を有するスジ状欠陥の組合せはないと判断され、次の連続性判定の工程（ずれ度判定工程ＳＴ２５０）に進むことなく連続性判定工程（ＳＴ２００）を終了して、ＳＴ３００のランク判定工程に進む。
【００７７】
離間距離判定工程（ＳＴ２４０）において端点間距離ＰＡＰＣが距離閾値以内となる組があった場合（ＳＴ２４３：ＹＥＳ）、続いてその組（７１０、７２０）に対し、ずれ度判定工程（ＳＴ２５０）がずれ度判定手段４５０により行われる。
ずれ度判定工程について図１６のフローチャートを参照して説明する。
ずれ度判定工程（ＳＴ２５０）は、一方のスジ状欠陥（７２０）を延長した近似直線Ｌ２に対する他方のスジ状欠陥（７１０）のずれ度に基づいてスジ状欠陥同士（７１０、７２０）の連続性を判定する工程であり、近似直線算出工程（ＳＴ２５１）と、挟持角算出工程（ＳＴ２５２）と、挟持角比較工程（ＳＴ２５３）と、を備える。
【００７８】
まず、ＳＴ２５１において、スジ状欠陥７２０の端点ＰＣから数画素の傾向を反映した近似直線Ｌ２を算出する近似直線算出工程が近似直線算出手段４５１によって行われる。
この工程（ＳＴ２５１）において、離間距離判定工程（ＳＴ２４０）で端点間距離ＰＡＰＣが距離閾値以内であった（ＳＴ２４３：ＹＥＳ）端点（ＰＡ、ＰＣ）を有し連続性が判定されるスジ状欠陥について、端点ＰＣ近傍の傾向を反映する近似直線Ｌ２を算出するとともに、この近似直線Ｌ２を連続性が判定される相手側に向けて延長した延長線を求める（図１７参照）。
【００７９】
例えば、図１７において、識別番号“２”の端点近傍の傾向を反映した近似直線を算出するにあたって、端点検出工程（ＳＴ２３０）で検出された端点ＰＣと、この端点ＰＣから数画素（例えば５〜１０画素）分だけスジ状欠陥７２０に沿って戻った点（始点）ＰＳと、を結ぶ線を算出し、この直線を近似直線Ｌ２とする。
この近似直線Ｌ２は、スジ状欠陥７２０が途切れることなく延びていると仮定した場合の伸長方向を示すと考えられる。
【００８０】
次に、ＳＴ２５２において、端点同士（ＰＡ、ＰＣ）を結ぶ端点連結線ＬＡＣと近似直線Ｌ２とで挟まれる第２挟持角θ２を算出する挟持角算出工程が挟持角算出手段４５２により行われる。
第２挟持角θ２の算出にあたっては、次のように行う。
まず、識別番号“１”のスジ状欠陥の端点ＰＡから近似直線Ｌ２に向けて垂線を下ろす（図１８参照）。この垂線の足を点ＰＨとする。そして、ＰＡＰＨの距離を算出する。例えば、近似直線Ｌ２が次の式で表されたとする。
【００８１】
ａｘ＋ｂｙ＋ｃ＝０
【００８２】
このとき、識別番号“１”のスジ状欠陥の端点ＰＡ（ｘＡ，ｙＡ）から近似直線Ｌ２におろした垂線ＰＡＰＨの長さは、次のように求められる。
【００８３】
【数３】
2006250876.tif 000005
【００８４】
このとき、第２挟持角θ２は、次の式で求められる。
【００８５】
【数４】
2006250876.tif 000006
【００８６】
同様にして、識別番号“１”のスジ状欠陥７１０についても近似直線Ｌ１を算出したうえで、端点同士を連結する端点連結線ＬＡＣと近似直線Ｌ１とで挟持される第１挟持角θ１を算出する（図１９参照）
【００８７】
そして、次に、ＳＴ２５３において、挟持角θ１、θ２を角度閾値と比較して連続性を判定する挟持角比較工程が挟持角比較手段４５３によって行われる。
挟持角比較手段４５３には、連続性を判断するための角度閾値が予め設定されており、挟持角算出工程（ＳＴ２５２）において算出された挟持角θ１、θ２をこの角度閾値と比較する。
ここで、連続性を有するスジ状欠陥同士では、端点連結線ＬＡＣと近似直線Ｌ１、Ｌ２とのひらきが小さいと考えられるところ、角度閾値としては、連続性を有するスジ状欠陥の組合せを判断できる角度に設定され、挟持角θ１、θ２が大きくて近似直線Ｌ１、Ｌ２と端点ＰＡ、ＰＣとの距離（例えばＰＡＰＣ間距離）が離れすぎたスジ状欠陥の組合せは除外できるようにする。角度閾値としては、例えば、＋３０度〜−３０度に設定されることが例として挙げられる。
【００８８】
そして、求められた挟持角θ１、θ２を角度閾値と比較して、両方の挟持角θ１、θ２がともに角度閾値以内である場合（ＳＴ２５４：ＹＥＳ）、その組については、挟持角θ１、θ２の開きがともに小さいことから連続性を有すると判断される。
その一方、求められた挟持角θ１、θ２が角度閾値を超えていた場合、二つのスジ状欠陥７１０、７２０には連続性はなく（ＳＴ２５５）、別個の独立したスジ状欠陥７１０、７２０であると判断されるので、連続性判定工程（ＳＴ２００）を終了してＳＴ３００のランク判定に進む。
【００８９】
ずれ度判定工程（ＳＴ２５０）において、挟持角θ１、θ２が角度閾値以内となった場合（ＳＴ２５４：ＹＥＳ）、二つのスジ状欠陥７１０、７２０は連続性を有すると判断されることから、その組に対し、ＳＴ２６０において識別番号書換工程が識別番号書換手段４６０により行われる。
【００９０】
識別番号書換工程（ＳＴ２５０）は、連続性を有すると判定されたスジ状欠陥７１０、７２０の識別番号を同一番号に書き換える（図２０参照）。
すなわち、識別番号付与工程（ＳＴ２１０）では、スジ状欠陥検出フィルタ６００によって検出されたスジ状欠陥７１０、７２０のそれぞれに異なる識別番号（“１”ｏｒ“２”）を付与していたところ、離間距離判定工程ＳＴ２４０およびずれ度判定工程（ＳＴ２５０）によって連続性を有すると判断されたスジ状欠陥については識別番号書換工程（ＳＴ２５０）において同一の識別番号に書き換えて、同じ識別番号のスジ状欠陥を連続した一つのスジ状欠陥であるとみなす。
【００９１】
このように連続性判定工程（ＳＴ２００）において連続性を有するスジ状欠陥７１０、７２０の組については同一の識別番号（“１”）として、各スジ状欠陥７１０、７２０にそれぞれ識別番号を付与した後、ＳＴ３００において、ランク判定工程がランク判定手段５００により行われる。
【００９２】
ランク判定工程（ＳＴ３００）にあたっては、識別番号（“１”or“２”）に基づいて同じ識別番号のスジ状欠陥７１０、７２０は一連のスジ状欠陥として認識したうえで、スジ状欠陥検出フィルタ６００で検出されたスジ状欠陥７１０、７２０について（図５参照）、識別番号ごとにスジ状欠陥７１０、７２０のコントラスト、欠陥幅、長さを算出する。すなわち、連続性を有するスジ状欠陥については、細線化された画像上（図８あるいは図２０参照）で各々の画素数を足した総画素数を一連のスジ状欠陥の長さとする。
そして、スジ状欠陥７１０、７２０のコントラスト、欠陥幅およびスジ状欠陥の長さに基づいて、例えば図２２に示した閾値曲線により液晶ライトバルブ１１２のランク判定として、良／不良判定および良品の中におけるＡランクからＤランクのランク判定を行う。
【００９３】
ランク判定工程（ＳＴ３００）の終了により液晶ライトバルブ１１２の検査は終了し、ランク判定に応じて液晶ライトバルブ１１２は製品として出荷される。
【００９４】
このような第１実施形態によれば次の効果を奏する。
（１）スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）におけるスジ状欠陥検出フィルタ６００では途中で途切れているスジ状欠陥７１０、７２０は別個にしか検出できないが、本実施形態では、スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）とランク判定工程（ＳＴ３００）との間に連続性判定工程（ＳＴ２００）を設けているので、検出されたスジ状欠陥７１０、７２０のなかに連続性を有する組があるか判定することができる。したがって、ランク判定工程（ＳＴ３００）において、連続性を有するスジ状欠陥７１０、７２０は一つの欠陥として取り扱ってランク判定を行うことができ、人が見た印象に合致するランク判定を行うことで、適切なランク判定結果を得ることができる。
【００９５】
（２）連続性判定工程（ＳＴ２００）において、スジ状欠陥同士の離間距離に基づいて連続性の有無の判定を行う（離間距離判定工程ＳＴ２４０）ことで、離間距離が大きすぎるスジ状欠陥同士に連続性がないと判定することができる。すなわち、スジ状欠陥同士が大きく離間していては人の目にも連続性を見出すことはできないところ、スジ状欠陥同士の離間距離ＰＡＰＣを算出して（端点間距離算出工程ＳＴ２４１）、この離間距離ＰＡＰＣを距離閾値と比較することにより（距離比較工程）、距離閾値を越えて大きく離間しているスジ状欠陥同士には連続性がないと判定できる。つまり、スジ状欠陥同士の連続性について判定するにあたって、端点間距離算出工程ＳＴ２４１と距離比較工程ＳＴ２４２という演算処理によって、人の見た目の印象と同等の判定を行うことができる。
【００９６】
（３）連続性判定工程ＳＴ２００を行うにあたって、まず、細線化工程（ＳＴ２１０）によってスジ状欠陥７１０、７２０を細線化するので、スジ状欠陥７１０、７２０の端点（ＰＡ、ＰＢ、ＰＣ、ＰＤ）を端点検出工程（ＳＴ２３０）において簡便なパターンマッチング（図１１）により検出することができる。そして、細線化にあたっては、パターンマッチング（図７）によりスジ状欠陥７１０、７２０の輪郭線上の点を検出し、さらに、検出された輪郭線上の点を削除していくので、スジ状欠陥７１０、７２０の長さおよび方向性の情報はそのままにしてスジ状欠陥７１０、７２０の細線化を行うことができる。
【００９７】
（４）ずれ度判定工程（ＳＴ２５０）において、一方のスジ状欠陥７２０を延長した近似直線Ｌ２と他方のスジ状欠陥７１０とのずれ度としての挟持角θ２に基づいてスジ状欠陥７１０、７２０の連続性を判定することにより（ＳＴ２５３）、人の見た目の印象を同等の判定を行うことができる。すなわち、スジ状欠陥７１０、７２０が途切れることなく延びていたと仮定した場合に自然とつながる状態であればスジ状欠陥同士が連続しているように人の目に映るところ、一方のスジ状欠陥７２０を延長した近似直線Ｌ２が他方のスジ状欠陥７１０に対して有するずれ度が小さい場合にスジ状欠陥同士に連続性があると判断して（ＳＴ２５３、ＳＴ２５４）、人の見た目の印象を同等の判定を行うことができる。
【００９８】
（５）離間距離判定工程ＳＴ２４０とずれ度判定工程ＳＴ２５０との二段階の判定を行うので、より適切な連続性の判定を行うことができる。そして、まず、離間距離判定工程ＳＴ２４０により連続性が明らかに無いと判断されるスジ状欠陥の組合せを排除しておくことにより（ＳＴ２４２、ＳＴ２４３）、ずれ度判定工程ＳＴ２５０の処理時間を短縮して、光学パネルの検査効率を向上させることができる。
【００９９】
（６）ずれ度判定工程ＳＴ２５０において、一方だけでなく両方について挟持角θ１、θ２を算出し（ＳＴ２５２）、両方の挟持角θ１、θ２を角度閾値と比較する（ＳＴ２５３）ので、例えば一方のスジ状欠陥７２０から他方のスジ状欠陥７１０を見たときに偶然にも挟持角θ２が小さかったという場合を排除できる。すなわち、両方の挟持角θ１、θ２が揃って角度閾値以内である場合（ＳＴ２５４）にのみ、連続性があると判断するので適切に連続性を判定できる。
【０１００】
（７）識別番号付与工程ＳＴ２２０において、スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）で検出されたスジ状欠陥７１０、７２０の個々に異なる識別番号（“１”、“２”）を付与しておき、続いて、離間距離判定工程（ＳＴ２４０）およびずれ度判定工程（ＳＴ２５０）により連続性を有すると判定されたスジ状欠陥７１０、７２０については同一の識別番号（“１”）に書き換えるので、この識別番号（”１”)を参照して同じ識別番号のスジ状欠陥７１０、７２０は連続性を有するスジ状欠陥であることがすぐに分かる。その結果、ランク判定工程（ＳＴ３００）において、識別番号を参照して同一識別番号（“１”）については一連のスジ状欠陥であるとして取り扱うのが容易となる。
【０１０１】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
検査対象としての光学パネルは、液晶ライトバルブ（液晶パネル）のみならず、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬパネル、ダイレクトミラーデバイス（ＤＭＤ）などの画像表示を行う光学パネルであれば、本発明を適用してスジ状欠陥についての検査を行うことができるのはもちろんである。
【０１０２】
挟持角θ１、θ２の算出にあたっては、上記に説明した方法（サイン関数の利用）に限らず、挟持角を算出できれば算出方法は限定されない。
ずれ度判定工程においては、挟持角θ１、θ２の大きさを閾値と比較する場合を例に説明したが、例えば、図１８においてＰＡＰＣの長さに基づいてずれ度を判定してもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
本発明は、光学パネルの検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】光学パネル検査装置の全体構成図。
【図２】演算処理部の構成を示すブロック図である。
【図３】光学パネル検査方法の手順を示すフローチャート。
【図４】スジ状欠陥検出フィルタの一例を示す図。
【図５】検出されたスジ状欠陥の例を示す図。
【図６】連続性判定工程の手順を示すフローチャート。
【図７】スジ状欠陥の輪郭線上の点を検出するための参照パターン。
【図８】細線化されたスジ状欠陥の例を示す図。
【図９】スジ状欠陥に識別番号を付与していく過程を説明するための図。
【図１０】識別番号付与空間においてスジ状欠陥に識別番号を付与した状態を示す図。
【図１１】端点を検出するための参照パターンを示す図。
【図１２】スジ状欠陥の端点を検出した状態を示す図。
【図１３】スジ状欠陥の端点の座標を記録したテーブルを示す図。
【図１４】離間距離判定工程の手順を示すフローチャート。
【図１５】スジ状欠陥同士の端点間距離を算出する様子を示す図。
【図１６】ずれ度判定工程の手順を示すフローチャート。
【図１７】近似直線および挟持角を示す図。
【図１８】挟持角を算出する様子を示す図。
【図１９】両方のスジ状欠陥について挟持角を算出した様子を示す図。
【図２０】連続性を有するスジ状欠陥について識別番号を同一番号に書き換えた状態を示す図。
【図２１】スジ状欠陥の例を示す図。
【図２２】ランク判定の判断閾値としてスジ状欠陥の長さとコントラストとの関係から設定された閾値曲線の一例を示す図。
【符号の説明】
【０１０５】
１００…光学パネル検査装置、１１０…画像投影手段、１１１…光源、１１２…液晶ライトバルブ、１１３…投射レンズ、１１４…ミラー、１２０…パターンジェネレータ、１３０…映写部、１３１…暗ボックス、１３２…開口部、１３３…開口部、１３４…スクリーン、１４０…ＣＣＤカメラ、２００…演算処理部、３００…スジ状欠陥検出手段、４００…連続性判定手段、４１０…細線化手段、４２０…識別番号付与手段、４３０…端点検出手段、４４０…離間距離判定手段、４４１…端点間距離算出手段、４４２…距離比較手段、４５０…度判定手段、４５１…近似直線算出手段、４５２…挟持角算出手段、４５３…挟持角比較手段、４６０…識別番号書換手段、５００…ランク判定手段、６００…スジ状欠陥検出フィルタ、６１０…左側強調フィルタ、６２０…中央強調フィルタ、６３０…右側強調フィルタ、７１０…スジ状欠陥、７２０…スジ状欠陥、８００…フィルタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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