(57)【要約】  【課題】  バックライト光源として発光効率、色再現性に優れる発光装置を提供する。  【解決手段】  ＬＥＤ素子２から放射される青色光の励起に基づいて黄色光を生じる黄色蛍光体７Ａと、青色光の励起に基づいて黄色から黄緑色のスペクトルの光を生じる緑色蛍光体７Ｂを封止樹脂７に分散状に含有させたので、青色と黄色の補色の関係に基づいて得られる白色と比べて色域を拡大することができ、発光効率および色再現性が向上する。この発光装置１を用いたバックライト光源によれば、ＮＴＳＣ比を改善することができ、テレビジョンやムービー画像の再生に際し、明るく良質な画質が得られる。  【選択図】    図１
2006324407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子の発光に基づいて生じる第１の光を波長変換して、前記第１の光と異なる波長領域の第２の光を外部放射させる発光装置において、
発光に基づいて４８０ｎｍ〜５３０ｎｍの発光波長領域を有する第１の光を放射するＬＥＤ素子と、
前記第１の光の放射に基づいて励起されて前記第１の光と異なる５５０〜５７０ｎｍの発光波長領域を有する第２の光を放射する黄色蛍光体と、前記第１の光の放射に基づいて励起されて前記第１の光と異なる４７０〜５３０ｎｍの発光波長領域を有する第３の光を放射する緑色蛍光体とを含む波長変換部とを有することを特徴とする発光装置。
【請求項２】
前記黄色蛍光体は、ガーネット構造蛍光体のＹＡＧ蛍光体である請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記緑色蛍光体は、Ｍ’ａＭ’’ｂＭ’’’ｃＯｄの一般式で表され、Ｍ’はＭｇ、Ｃａ、Ｚｎ、Ｓｒ、ＣｄおよびＢａの少なくとも１種である２価の金属元素から選択され、Ｍ’’はＡｌ、Ｓｃ、Ｇａ、Ｙ、Ｉｎ、Ｌａ、ＧｄおよびＬｕの少なくとも１種である３価の金属元素から選択され、Ｍ’’’はＳｉ、Ｔｉ、Ｇｅ、Ｚｒ、Ｓｎ、およびＨｆの少なくとも１種である４価の金属元素から選択される化合物を母体とするガーネット構造蛍光体である請求項１に記載の発光装置。
【請求項４】
前記緑色蛍光体は、Ｍ’ａＭ’’ｂＳ４の一般式で表され、Ｍ’はＭｇ、Ｃａ、Ｓｒの少なくとも１種である２価の元素から選択され、Ｍ’’はＡｌ、Ｇａ、Ｙの少なくとも１種である３価の元素から選択される化合物を母体とするガーネット構造蛍光体である請求項１に記載の発光装置。
【請求項５】
前記ＬＥＤ素子は、前記緑色蛍光体と前記黄色蛍光体とを含む前記波長変換部としての封止材料によって封止されている請求項１に記載の発光装置。
【請求項６】
前記波長変換部は、前記ＬＥＤ素子の表面を覆って設けられる黄色蛍光体層と、前記黄色蛍光体層に積層される緑色蛍光体層とを有する請求項１に記載の発光装置。
【請求項７】
前記波長変換部は、フリップチップ型ＬＥＤ素子の基板側に前記黄色蛍光体を含む第１の蛍光体層と、第１の蛍光体層に積層される前記緑色蛍光体を含む第２の蛍光体層とを積層して設けられ、前記第２の蛍光体層が実装面に実装されている請求項１に記載の発光装置。
【請求項８】
前記波長変換部は、前記発光素子から放射される光を反射する反射鏡面に設けられて前記反射鏡面に入射した光を波長変換する請求項１に記載の発光装置。
【請求項９】
前記波長変換部は、前記発光素子から放射される光を反射する反射鏡面で放射された反射光が均一強度となる部分に積層された状態で設けられている請求項１に記載の発光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光を混合して白色光を放射する発光装置に関し、特に、バックライト光源として発光効率、色再現性に優れる発光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光源として発光ダイオード（Light Emitting Diode：ＬＥＤ）素子を用いた発光装置が提案されている。このような発光装置において、ＬＥＤ素子から放射される光を波長変換することにより、ＬＥＤ素子単体では本来実現することのできない発光色の光を放射する発光装置がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１に記載される発光装置は、発光波長のピークが約４４０ｎｍから約４７０ｎｍのＧａＮ系のＬＥＤ素子を用い、蛍光バインダ層に賦活剤としてＣｅ（セリウム）を適量添加したＹＡＧ(Yttrium Aluminum Garnet：化学式Ｙ３Ａｌ１５Ｏ１２、励起波長のピーク約４５０ｎｍ、発光波長のピーク約５４０ｎｍの黄緑色光)の単結晶を用いれば、ＬＥＤ素子の発光波長とＹＡＧ蛍光体の励起波長とがほぼ一致するため、効率よく波長変換が行われるとしている。
【０００４】
また、近年、照明等の用途に光源としてＬＥＤを用いたものが提案されている。その中でも特に白色光については、高い発光効率と、優れた演色性が要求されている。このような要求に応えるものとして、光源に青色光を放射するＬＥＤ素子を用い、ＬＥＤ素子から放射される青色光と、青色光で緑色蛍光体を励起することにより得られる緑色光と、赤色蛍光体を励起することにより得られる赤色光とを混合することにより白色光を生じる発光装置が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
また、青色光で励起される蛍光体についても、発光ピーク波長が緑色から黄色領域にかけて設けられるものを用いた発光装置が提案されている（例えば、特許文献３参照。）。
【特許文献１】特許２９４７３４４号公報（［００１０］、図１）
【特許文献２】特開２００３−１３３５９５号公報（［０００９］〜［００１１］）
【特許文献３】特開２００４−１８９９９７号公報（［００１８］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の発光装置では、発光効率の点からＹＡＧ蛍光体を青色光で励起し、その結果得られる黄色光と青色光の混合によって白色光を生成する構成が有利とされるが、青色から黄色にかけての緑色成分が不足しているため、液晶等のバックライト光源に用いようとする際に色再現性が十分でなく、その結果、ＮＴＳＣ(National TV Standards Committee)比の向上が見込めないという問題がある。
【０００７】
従って、本発明の目的は、バックライト光源として発光効率、色再現性に優れる発光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するため、発光素子の発光に基づいて生じる第１の光を波長変換して、前記第１の光と異なる波長領域の第２の光を外部放射させる発光装置において、発光に基づいて４８０ｎｍ〜５３０ｎｍの発光波長領域を有する第１の光を放射するＬＥＤ素子と、前記第１の光の放射に基づいて励起されて前記第１の光と異なる５５０〜５７０ｎｍの発光波長領域を有する第２の光を放射する黄色蛍光体と、前記第１の光の放射に基づいて励起されて前記第１の光と異なる４７０〜５３０ｎｍの発光波長領域を有する第３の光を放射する緑色蛍光体とを含む波長変換部とを有する発光装置を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によると、バックライト光源としての発光効率、色再現性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る表面実装型の発光装置を示す縦断面図である。
【００１１】
この発光装置１は、ＧａＮ系半導体からなるフリップチップ型のＬＥＤ素子２と、表面に銅箔からなる配線層３Ａ，３Ｂを有する基板４と、基板４の上面に一体的に形成されるケース５と、基板４の配線層３Ａ，３ＢとＬＥＤ素子２とを電気的に接続するＡｕバンプ６と、ＬＥＤ素子２から放射される光によって励起される黄色蛍光体７Ａおよび緑色蛍光体７Ｂを含有し、ケース５に設けられた開口部５Ｂを封止する封止樹脂７とを有する。
【００１２】
ＬＥＤ素子２は、ＭＯＣＶＤ(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)装置を用いてサファイア基板２０上にＧａＮ系半導体層２１を結晶成長させることによって形成される。ＧａＮ系半導体層２１は、サファイア基板２０側からＳｉドープのｎ−ＧａＮ層、発光層、Ｍｇドープのｐ−ＧａＮ層を順次積層させることによって形成されており、ｐ−ＧａＮ層の表面にはロジウム（Ｒｈ）からなるｐ側電極２２を有する。また、ｐ−ＧａＮ層からｎ−ＧａＮ層にかけてエッチングを施すことにより露出させたｎ−ＧａＮ層にｎ側電極２３を有する。なお、本実施の形態では、発光波長領域４５０〜４６０ｎｍで、標準サイズ（０．３ｍｍ×０．３ｍｍ）の青色ＬＥＤ素子２を用いているが、ラージサイズ（１ｍｍ×１ｍｍ）の青色ＬＥＤ素子２を用いることも可能である。
【００１３】
基板４は、Ａｌ２Ｏ３によって形成されており、その表面にＬＥＤ素子２の電極配置に応じた電極パターンを有する配線層３Ａ，３Ｂが設けられている。なお、配線層３Ａ，３Ｂは、ＬＥＤ素子２の実装面として開口部５Ｂ内に露出する部分にＮｉめっき等の光反射加工を施しても良い。
【００１４】
ケース５は、ナイロン等の樹脂材料からなり、開口部５Ｂは光取出し方向に径が大になる傾斜面５０を有するように形成されている。なお、傾斜面５０は、光反射性を高めるためにアルミニウム等の金属材料からなる光反射層を有していても良い。また、ケース５をナイロンで形成する代わりにＡｌ２Ｏ３で形成することも可能である。
【００１５】
封止樹脂７は、光透過性を有するシリコーンに黄色蛍光体７Ａおよび緑色蛍光体７Ｂを分散状に含有して構成されている。黄色蛍光体７Ａは、Ｙ３Ａｌ１５Ｏ１２の組成を有するＹＡＧ蛍光体をＣｅで賦活し、ＬＥＤ素子２から放射される青色光によって発光波長領域５５０〜５７０ｎｍの黄色光を放射する。なお、黄色蛍光体７Ａは、ガーネット構造蛍光体であるＹＡＧ蛍光体の他に、珪酸塩構造の蛍光体で黄色発光するものであっても良い。
【００１６】
緑色蛍光体７Ｂは、Ｍ’ａＭ’’ｂＭ’’’ｃＯｄの一般式で表される蛍光体であって、Ｍ’はＭｇ、Ｃａ、Ｚｎ、Ｓｒ、ＣｄおよびＢａの少なくとも１種である２価の金属元素、Ｍ’’はＡｌ、Ｓｃ、Ｇａ、Ｙ、Ｉｎ、Ｌａ、ＧｄおよびＬｕの少なくとも１種である３価の金属元素、Ｍ’’’はＳｉ、Ｔｉ、Ｇｅ、Ｚｒ、Ｓｎ、およびＨｆの少なくとも１種である４価の金属元素をそれぞれ示し、その化合物を母体とするガーネット構造蛍光体である。化合物母体内に含有される発光中心イオンは２価のＭｎ、３価のＣｅ、２〜３価のＥｕ、３価のＴｂ、または３価のＣｅであって、ＬＥＤ素子２から放射される青色光によって発光波長領域４８０ｎｍ〜５３０ｎｍの緑色光を放射する。
【００１７】
また、緑色蛍光体７Ｂは、上記したものの他に、Ｍ’ａＭ’’ｂＳ４の一般式で表される蛍光体であって、Ｍ’はＭｇ、Ｃａ、Ｓｒの少なくとも１種である２価の元素、Ｍ’’はＡｌ、Ｇａ、Ｙの少なくとも１種である３価の元素で、その化合物を母体とするガーネット構造蛍光体である。化合物母体内に含有される発光中心イオンは２価のＭｎ、３価のＣｅ、２〜３価のＥｕ、３価のＴｂ、または３価のＣｅであっても良い。このような緑色蛍光体７Ｂとしてはチオメタレート、チオガレートがある。
【００１８】
図２は、第１の実施の形態の発光装置の発光特性図を示し、（ａ）は光源スペクトル、（ｂ）は色再現範囲を示す図である。本実施の形態の発光装置１によれば、（ａ）に示されるように４８０ｎｍ〜５３０ｎｍの黄色から黄緑色にかけての波長領域における発光強度が改善されている。また、本実施の形態の発光装置１の色再現性は、ＣＲＴの色再現性Ｃよりも優れている。
【００１９】
（第１の実施の形態の効果）
上記した第１の実施の形態によると、以下の効果が得られる。
ＬＥＤ素子２から放射される青色光の励起に基づいて黄色光を生じる黄色蛍光体７Ａと、青色光の励起に基づいて黄色から黄緑色のスペクトルの光を生じる緑色蛍光体７Ｂを封止樹脂７に分散状に含有させたので、青色と黄色の補色の関係に基づいて得られる白色と比べて色域を拡大することができ、発光効率および色再現性が向上する。この発光装置１を用いたバックライト光源によれば、ＮＴＳＣ比を改善することができ、テレビジョンやムービー画像の再生に際し、明るく良質な画質が得られる。
【００２０】
なお、第１の実施の形態では、封止樹脂７中に黄色蛍光体７Ａと緑色蛍光体７Ｂとを分散状に混合させた構成を説明したが、例えば、封止樹脂７の表面に黄色蛍光体７Ａを積層し、さらにその表面に緑色蛍光体７Ｂを積層させた構成としても良い。
【００２１】
また、第１の実施の形態では、表面実装型の発光装置１に上記した黄色蛍光体７Ａと緑色蛍光体７Ｂとを適用した構成を説明したが、発光装置の構成は表面実装型以外の他の構成であっても良く、例えば、砲弾型発光装置の封止樹脂に分散状に含有させることも可能である。
【００２２】
（第２の実施の形態）
図３は、本発明の第２の実施の形態に係る表面実装型の発光装置を示す縦断面図である。
【００２３】
この発光装置１は、第１の実施の形態で説明したフリップチップ型のＬＥＤ素子２の表面を覆うように黄色蛍光体層７Ｃと緑色蛍光体層７Ｄとを設けた構成において第１の実施の形態と相違している。なお、以下の説明では、第１の実施の形態と同一の構成および機能を有する部分に同一の引用数字を付して説明している。
【００２４】
黄色蛍光体層７Ｃは、透光性を有するシリコーン等の樹脂材料に第１の実施の形態で説明した黄色蛍光体を分散状に混合されたものをＬＥＤ素子２の実装後に素子表面に塗布して設けられている。
【００２５】
緑色蛍光体層７Ｄは、黄色蛍光体層７Ｃと同様に、透光性を有するシリコーン等の樹脂材料に第１の実施の形態で説明した緑色蛍光体を分散状に混合されたものを黄色蛍光体層７Ｃの上に塗布して設けられている。
【００２６】
（第２の実施の形態の効果）
上記した第２の実施の形態によると、ＬＥＤ素子２の表面に黄色蛍光体層７Ｃと緑色蛍光体層７Ｄとを設けるので、第１の実施の形態の好ましい効果に加えて、蛍光体の沈降が生じない構成とすることができ、ＬＥＤ素子の光と蛍光体の光の分離を抑制することができる。また、ＬＥＤ素子２の表面に層状に蛍光体層を設ける構成により、蛍光体の使用量を低減でき、省コスト性に優れる。
【００２７】
（第３の実施の形態）
図４は、本発明の第３の実施の形態に係る表面実装型の発光装置を示す縦断面図である。
【００２８】
この発光装置１は、第２の実施の形態で説明した無機材料である黄色蛍光体層７Ｃ上の緑色蛍光体層７Ｄに代えて、緑色有機材料層７Ｅを設けた構成において第２の実施の形態と相違している。
【００２９】
緑色有機材料層７Ｅは、緑色変換Ｉｒ金属錯体であるトリス（２−フェニルピリジン）イリジウム（以下、「Ｉｒ（ｐｐｙ）３」という。）をシリコーンに混合することによって形成されている。
【００３０】
（第３の実施の形態の効果）
上記した第３の実施の形態によると、第２の実施の形態の好ましい効果に加えて無機材料である黄色蛍光体層７Ｃ上に緑色有機材料層７Ｅが設けられることで、ＬＥＤ素子２から放射される青色光によって緑色有機材料層７Ｅの寿命を縮めることなく長期にわたって色変化の少ない安定した白色光が得られる。また、封止樹脂７であるシリコーンに緑色有機材料を分散させて封止しても良い。
【００３１】
（第４の実施の形態）
図５は、本発明の第４の実施の形態に係る表面実装型の発光装置を示す縦断面図である。
【００３２】
この発光装置１は、第１の実施の形態で説明したＬＥＤ素子２のサファイア基板２０側を配線層３Ｂに実装しており、サファイア基板２０の直下には黄色蛍光体層７Ｃが設けられ、その直下に緑色蛍光体層７Ｄとが積層された構成において第１の実施の形態と相違している。ＬＥＤ素子２のｐ側電極２２は、Ａｕからなるワイヤ８を介して配線層３Ａに接続されており、ｎ側電極２３は、Ａｕからなるワイヤ８を介して配線層３Ｂに接続されている。なお、第４の実施の形態では、配線層３Ａ，３Ｂ、およびケース５の傾斜面５０に図示しないめっき等の反射加工が施されていることが好ましい。
【００３３】
黄色蛍光体層７Ｃおよび緑色蛍光体層７Ｄは、ＬＥＤ素子２の製造過程でサファイア基板２０の表面に層状に設けられる。緑色蛍光体層７Ｄは、黄色蛍光体層７Ｃの形成後にその表面に層状に設けられる。このようにして黄色蛍光体層７Ｃおよび緑色蛍光体層７Ｄを設けられたウエハーを予め定められた素子サイズにカットする。
【００３４】
配線層３Ａ，３Ｂを図示しない電源部に接続して電圧を印加すると、ＧａＮ系半導体層２１に設けられる発光層でキャリアとホールの再結合に基づく発光が生じて青色光が放射される。この青色光のうち、基板４方向に放射される光はサファイア基板２０を透過して黄色蛍光体層７Ｃに入射する。黄色蛍光体層７Ｃでは黄色蛍光体が青色光によって励起されて黄色光を生じる。また、黄色蛍光体層７Ｃを透過した青色光は緑色蛍光体層７Ｄに入射する。緑色蛍光体層７Ｄでは緑色蛍光体が青色光によって励起されて緑色光を生じる。このことにより、サファイア基板２０と配線層３Ｂとの間で青色光、黄色光、および緑色光の混合に基づく白色光が生じ、ケース５の傾斜面５０で反射されて外部放射される。
【００３５】
また、発光層から電極形成面方向に放射される青色光は、ｐ側電極２２によって反射されてサファイア基板２０を透過し、黄色蛍光体層７Ｃに入射する。
【００３６】
（第４の実施の形態の効果）
上記した第４の実施の形態によると、ウエハーの段階で黄色蛍光体層７Ｃと緑色蛍光体層７Ｄとを積層し、これを分割してＬＥＤ素子２としているので、白色の色変化が少ないＬＥＤ素子２の量産性に優れる。また、ＬＥＤ素子２をフェイスアップ型で実装し、その基板４側に黄色蛍光体層７Ｃと緑色蛍光体層７Ｄとを積層したので、フリップチップボンダーによる高度な位置決めを必要とせずにＬＥＤ素子２を実装でき、白色の色変化の少ない白色型発光装置が得られる。
【００３７】
なお、第４の実施の形態においても、緑色蛍光体層７Ｄに代えて、第３の実施の形態で説明したＩｒ（ｐｐｙ）３からなる緑色有機材料層７Ｅを用いても良い。また、封止樹脂７であるシリコーンに緑色有機材料を分散させて封止しても良い。
【００３８】
（第５の実施の形態）
図６は、本発明の第５の実施の形態に係る反射型の発光装置を示し、（ａ）は光出射側から見た平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ部における断面図である。この発光装置１は、光出射側に設けられて筒状をなすケース５と、ケース５の下方に設けられて半球状をなす反射鏡部１０と、ケース５に設けられる放熱板５Ａの端面に接着によって取り付けられた回路基板９と、回路基板９上に実装されるＬＥＤ素子２と、反射鏡部１０の内面に設けられてＬＥＤ素子２から放射された青色光を反射する反射鏡面１０Ａと、反射鏡面１０Ａの表面に形成される緑色蛍光体層７Ｄと、緑色蛍光体層７Ｄ上に積層される黄色蛍光体層７Ｃとを有し、ＬＥＤ素子２はシリコーンのコーティング材２Ａによってコーティングされている。また、黄色蛍光体層７Ｃと緑色蛍光体層７Ｄは層の厚さが一定となるように形成されている。
【００３９】
ケース５は、放熱性に優れるアルミニウムによって形成されており、図８（ａ）に示すように中空状の内部を長さ方向に２分するように放熱板５Ａが設けられている。放熱板５Ａは、素子搭載部となる端面が反射鏡部１０の内部に突出して構成されており、ＬＥＤ素子２の光出射面と反射鏡面１０Ａとの距離に基づいてケース５の開口部５Ｂから平行光を放射させる。
【００４０】
回路基板９は、ポリイミド等の絶縁性基板からなり、断面内に銅箔層９Ａおよび９Ｂを有する。銅箔層９Ａおよび９Ｂは、素子搭載部においてＬＥＤ素子２との電気接続が可能となるように一部が露出した構成を有する。
【００４１】
ＬＥＤ素子２から放射される光は、黄色蛍光体層７Ｃおよび緑色蛍光体層７Ｄを透過して反射鏡面１０Ａで反射される。このとき、黄色蛍光体層７Ｃでは黄色蛍光体が青色光によって励起されて黄色光を生じる。また、緑色蛍光体層７Ｄでは緑色蛍光体が青色光によって励起されて緑色光を生じる。このことにより反射鏡面１０Ａで反射される光は青色、黄色、および緑色の混合に基づく白色光となり、平行光として開口部５Ｂから外部放射される。
【００４２】
（第５の実施の形態の効果）
上記した第５の実施の形態によると、ＬＥＤ素子２から放射された青色光が反射鏡面１０Ａに入射し、黄色蛍光体層７Ｃおよび緑色蛍光体層７Ｄを励起することにより生じる黄色光および緑色光と混合されて白色を生じるので、封止樹脂等の透過に伴う光吸収を生じることなく放射性に優れる発光装置１が得られる。
【００４３】
なお、第５の実施の形態においても、緑色蛍光体層７Ｄに代えて、第３の実施の形態で説明したＩｒ（ｐｐｙ）３からなる緑色有機材料層７Ｅを用いても良い。なお、黄色蛍光体層７Ｃおよび緑色蛍光体層７Ｄについては反射鏡面１０Ａに設けず、開口部５Ｂの光出射端であるケース５上面にガラス等の光透過性部材を設け、この光透過性部材に積層状に設けて反射光を透過させる構成としても良い。第５の実施の形態の構成では、開口部５Ｂにおける反射光の強度が均一になることから、光の良好な混合性に基づく白色光が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る表面実装型の発光装置を示す縦断面図である。
【図２】第１の実施の形態の発光装置の発光特性図を示し、（ａ）は光源スペクトル、（ｂ）は色再現範囲を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る表面実装型の発光装置を示す縦断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態に係る表面実装型の発光装置を示す縦断面図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態に係る表面実装型の発光装置を示す縦断面図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態に係る反射型の発光装置を示し、（ａ）は光出射側から見た平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ部における断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１…発光装置、２…ＬＥＤ素子、２Ａ…コーティング材、３Ａ，３Ｂ…配線層、４…基板、５…ケース、５Ａ…放熱板、５Ｂ…開口部、６…バンプ、７…封止樹脂、７Ａ…黄色蛍光体、７Ｂ…緑色蛍光体、７Ｃ…黄色蛍光体層、７Ｄ…緑色蛍光体層、７Ｅ…緑色有機材料層、８…ワイヤ、９…回路基板、９Ａ，９Ｂ…銅箔層、１０…反射鏡部、１０Ａ…反射鏡面、２０…サファイア基板、２１…ＧａＮ系半導体層、２２…ｐ側電極、２３…ｎ側電極、５０…傾斜面
【図１】
2006324407.tif 000003
【図２】
2006324407.tif 000004
【図３】
2006324407.tif 000005
【図４】
2006324407.tif 000006
【図５】
2006324407.tif 000007
【図６】
2006324407.tif 000008