(57)【要約】【課題】研削装置における研削ホイールを回転可能なホイールマウントに装着する場合において、研削ホイールの回転中心とホイールマウントの回転中心とを合致させ、研削ホイールの震動を防止して被加工物にダメージを与えないようにする。【解決手段】砥石部３３１がホイールベース３３２に支持された構成の研削ホイール３３をホイールマウント３２に対して着脱自在に装着する研削ホイール装着機構において、ホイールマウント３２に少なくとも３個の係合突起３２１を形成し、ホイールベース３３２には、係合突起３２１に係合しホイールマウント３２と研削ホイール３３との相対的な回動により係合突起３２１を締結する被係合長穴３３４を形成し、係合突起３２１の締結により研削ホイール３３の回転中心とホイールマウント３２の回転中心とが合致するようにする。【選択図】図２
2006055963.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールがホイールマウントに対して着脱自在に構成される研削手段とを少なくとも備えた研削装置における研削ホイール装着機構であって、
該研削手段は、砥石部と該砥石部を支持するホイールベースとから構成される研削ホイールと、該研削ホイールが装着されるホイールマウントと、該ホイールマウントを回転駆動する回転駆動部とから構成され、
該ホイールマウントには少なくとも３個の係合突起が形成され、
該ホイールベースは、該ホイールマウントに装着される被装着部を有し、
該被装着部には、該係合突起に係合し、該ホイールマウントと該研削ホイールとの相対的な回動により該係合突起を締結する被係合長穴が形成され、該締結により該研削ホイールの回転中心と該ホイールマウントの回転中心とが合致する
研削ホイール装着機構。
【請求項２】
前記係合突起は、その先端部が前記ホイールマウントの外周側に向くように傾斜して形成されており、
前記被係合長穴は、該係合突起の該傾斜に対応した形状に形成され、
前記ホイールマウントと前記研削ホイールとの相対的な回動によって該係合突起が該被係合長穴に締結された際に、該ホイールマウントの端部と該研削ホイールの前記被装着部とが密着する
請求項１に記載の研削ホイール装着機構。
【請求項３】
前記係合突起は３個形成され、該３個の係合突起が正三角形を形成する
請求項１または２に記載の研削ホイール装着機構。
【請求項４】
前記被装着部にはボルトが螺合する雌ねじが形成され、
前記ホイールマウントには、該雌ねじに螺着させるボルトが貫通するボルト挿入長孔が形成される
請求項１、２または３に記載の研削ホイール装着機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、砥石を備えた研削ホイールをホイールマウントに装着するための機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種被加工物の面を平坦化する際には、砥石を用いた研削が行われる。例えば表面にデバイスが形成されたウェーハの裏面を研削して所望の厚さに仕上げようとする際には、図７に示すような研削手段５を備えた研削装置が用いられる。
【０００３】
この研削手段５は、スピンドル５０の先端に形成されたホイールマウント５１と、ホイールマウント５１に装着される研削ホイール５２とを備えている。研削ホイール５２は、環状のホイールベース５２０の下面に砥石部５２１が固着された構成となっており、ホイールマウント５１に形成された貫通孔５１ａに挿入されたボルト５３がホイールベース５２０に形成された雌ねじ５２０ａに螺着されることにより、研削ホイール５２がホイールマウント５１に固定される。そして、スピンドル５０の回転に伴い研削ホイール５２が回転し、回転する砥石部５２１がウェーハの裏面に接触することにより当該裏面が研削される（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−８９０６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ボルト５３の締結状態によっては、研削ホイール５２の回転中心とホイールマウント５１の回転中心とが合致しない状態で研削ホイール５２がホイールマウント５１に装着される場合がある。かかる場合には、研削ホイール５２が、研削時に例えば４０００ｒｐｍ〜６０００ｒｐｍ程度で回転すると、ホイールバランスが崩れて震動し、その震動が被加工物に伝わり、被加工物にダメージを与えて抗折強度を低下させるという問題がある。
【０００６】
そこで本発明が解決しようとする課題は、研削ホイールをホイールマウントに装着する場合において、研削ホイールの回転中心とホイールマウントの回転中心とを合致させ、研削ホイールに震動が生じないようにして被加工物にダメージを与えないようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールがホイールマウントに対して着脱自在に構成される研削手段とを少なくとも備えた研削装置における研削ホイール装着機構に関するものであり、研削手段は、砥石部と砥石部を支持するホイールベースとから構成される研削ホイールと、研削ホイールが装着されるホイールマウントと、ホイールマウントを回転駆動する回転駆動部とから構成され、ホイールマウントには少なくとも３個の係合突起が形成され、ホイールベースは、ホイールマウントに装着される被装着部を有し、被装着部には、係合突起に係合し、ホイールマウントと研削ホイールとの相対的な回動により係合突起を締結する被係合長穴が形成され、当該締結により研削ホイールの回転中心とホイールマウントの回転中心とが合致するように構成される。
【０００８】
係合突起は、その先端部がホイールマウントの外周側に向くように傾斜して形成されており、被係合長穴は、係合突起の該傾斜に対応した形状に形成され、ホイールマウントと研削ホイールとの相対的な回動によって係合突起が該被係合長穴に締結された際に、ホイールマウントの端部と研削ホイールの被装着部とが密着するように構成することが好ましい。
【０００９】
また、係合突起は３個形成され、その３個の係合突起が正三角形を形成するように構成することが好ましい。
【００１０】
更に、被装着部にはボルトが螺合する雌ねじが形成され、ホイールマウントには、雌ねじに螺着させるボルトが貫通するボルト挿入長孔が形成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明においては、ホイールマウントに形成された係合突起を被係合長孔に挿入し、ホイールマウントと研削ホイールとを相対的に回動させると係合突起が被係合長孔に締結され、ホイールマウントの回転中心と研削ホイールの回転中心とが合致する。したがって、研削ホイールが回転しても振動しなくなり、研削時に被加工物にダメージを与えることがない。
【００１２】
また、係合突起の先端部がホイールマウントの外周側に向けて傾斜して形成され、被係合長穴が係合突起の傾斜に対応した形状に形成されている場合は、ホイールマウントと研削ホイールとの相対的な回動によって係合突起が被係合長穴に締結された際に、ホイールマウントの端部と研削ホイールの被装着部とが密着するため、研削ホイールが更に安定して回転時の震動が少なくなる。
【００１３】
更に、係合突起が３個形成され、３個の係合突起が正三角形を形成する場合には、研削ホイールが３点支持によって、より安定的に固定される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１に示す研削装置１は、板状物の面を研削して所望の厚みに仕上げる装置であり、回転可能であると共に水平方向に移動可能なチャックテーブル２と、チャックテーブル２に保持された被加工物に研削加工を施す研削手段３と、研削手段３を駆動する垂直方向に駆動する研削手段駆動部４とを備えている。
【００１５】
研削手段駆動部４は、壁部４０に垂直方向に配設された一対のガイドレール４１と、ガイドレール４１と平行に配設されたボールネジ４２と、ボールネジ４２の一端に連結されたパルスモータ４３と、ガイドレール４１に摺動可能に係合すると共に内部のナットがボールネジ４２に螺合した支持部４４とから構成されており、パルスモータ４３に駆動されてボールネジ４２が回動するのに伴い、支持部４４がガイドレール４１にガイドされて昇降し、支持部４４に支持された研削手段３も昇降する構成となっている。
【００１６】
研削手段３は、垂直方向の軸心を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転駆動する駆動源３１と、スピンドル３０の下端に形成され駆動源３１によって回転駆動されるホイールマウント３２と、ホイールマウント３２に固定される研削ホイール３３とを備えている。
【００１７】
図２に示すように、研削手段３を構成するホイールマウント３２には、研削ホイール３３を固定するためのボルト３４を貫通させるボルト挿入長孔３２０を複数（３個）備えている。また、ホイールマウント３２の端部からは、少なくとも３個の係合突起３２１（図２においては１個のみ図示している）が下方に突出して形成されている。
【００１８】
一方、研削ホイール３３は、被加工物に対して研削加工を施すものであり、ホイールマウント３２に対して着脱自在となっている。この研削ホイール３３は、リング状のホイールベース３３０と、ホイールベース３３０の端部に固着されてホイールベース３３０によって支持された砥石部３３１とから構成されている。
【００１９】
ホイールベース３３０の上面側は、ホイールマウント３２に装着される被装着部３３２を構成している。被装着部３３２には、ホイールマウント３２のボルト挿入長孔３２０を貫通したボルト３４が螺合する雌ねじ３３３がボルト挿入長孔３２０と同数形成されている。また、隣り合う雌ねじ３３３の間には、ホイールマウント３２に形成された係合突起３２１が係合する被係合長穴３３４が形成されている。被係合長孔３３４は、係合突起３２１を余裕をもって挿入できるように係合突起３２１の直径より大きな幅を有する遊嵌部３３４ａと、係合突起３２１の直径と同様の幅を有して係合突起３２１を締結する固定部３３４ｂとを備えている。
【００２０】
図３に示すように、係合突起３２１は、その先端部３２１ａがホイールマウント３２の外周側に向くように傾斜して形成されており、ホイールベース３３０に形成された被係合長穴３３４は、係合突起３２１の傾斜に対応し、傾斜して形成されている。係合突起３２１を遊嵌部３３４ａに挿入し、ホイールマウント３２と研削ホイール３３とを相対的に回転させることにより、図４に示すように、係合突起３２１が被係合長穴３３４の固定部３３４ｂに締結され、研削ホイール３３がホイールマウント３２に固定され、ホイールマウント３２の端部３２２と研削ホイール３３の被装着部３３２とが密着する。
【００２１】
そして、図５に示すように、すべての係合突起３２１が、対応するそれぞれの被係合長孔３３４の固定部３３４ｂに締結されることにより、ホイールマウント３２の回転中心と研削ホイール３３の回転中心とが合致する。そして、ボルト３４によって固定することにより、ホイールマウント３２の回転中心と研削ホイール３３の回転中心とが合致した状態が維持される。ホイールマウント３２に形成されたボルト挿入長孔３２０が長孔として形成されているため、ホイールベース３３０に形成された雌ねじ３３３の位置に対応してボルト３４を締結することができる。また、図示の例では３個の係合突起３２１が正三角形を形成するように配置されているため、３点支持により研削ホイール３３がより安定的に固定される。
【００２２】
研削対象の被加工物は、図１に示したチャックテーブルに保持される。そして、チャックテーブル２に保持された被加工物は、チャックテーブル２の水平方向の移動により研削手段３の直下に移動する。次に、駆動源３１による駆動によりスピンドル３０が回転すると共にホイールマウント３２が回転し、これに伴い研削ホイール３３も回転する。更に、図６に示すように、研削ホイール３３が回転した状態で、研削手段駆動部４による駆動により研削手段３が下降すると、研削ホイール３３のホイールベース３３０の下面に固着された砥石部３３１が回転しながら被加工物Ｗに接触して研削が行われる。このとき、ホイールマウント３２の回転中心と研削ホイール３３の回転中心とが中心線３００において合致しており、研削ホイール３３が震動しないため、被加工物にダメージを与えることがなく、抗折強度を低下させない。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明が適用される研削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】ホイールマウント及び研削ホイールの一例を示す斜視図である。
【図３】係合突起と被係合長孔との係合状態を示す略示的断面図である。
【図４】研削ホイールがホイールマウントに固定された状態を示す略示的断面図である。
【図５】研削ホイールがホイールマウントに固定された状態を示す平面図である。
【図６】被加工物を研削する様子を示す正面図である。
【図７】従来の研削ホイール装着機構を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２４】
１：研削装置
２：チャックテーブル
３：研削手段
３０：スピンドル  ３１：駆動源
３２：ホイールマウント
３２０：ボルト挿入長孔  ３２１：係合突起
３３：研削ホイール
３３０：ホイールベース  ３３１：砥石部  ３３２：被装着部
３３３：雌ねじ  ３３４：被係合長孔
３４：ボルト
４：研削手段駆動部
４０：壁部  ４１：ガイドレール  ４２：ボールネジ  ４３：パルスモータ
４４：支持部
【図１】
2006055963.tif 000003
【図２】
2006055963.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006055963.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2006055963.tif 000009