(57)【要約】【課題】  平面を有する対象物に異物などが混入した欠陥、特に異物による平面上の膜厚変動の欠陥を自動的に検出することのできる、欠陥検査方法を提供する。【解決手段】  検査光を検査対象物に照射し、検査対象物において偏光分離された反射光を受光し、受光した反射光の光成分を光電変換して各偏光成分の値を示す干渉データを生成し、干渉データに基づいて、検査対象物の表面の欠陥を検出する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物に検査光を照射し前記検査対象物からの反射光を受光して前記検査対象物の表面の欠陥を検査する欠陥検査装置の欠陥検査方法であって、
検査光を前記検査対象物に照射し、
前記検査対象物において偏光分離された反射光を受光し、
前記受光した反射光の光成分を光電変換して各偏光成分の値を示す干渉データを生成し、
前記干渉データに基づいて、前記検査対象物の表面の欠陥を検出する
ことを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項２】
前記検査対象物に対して垂直に前記検査光を照射することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査方法。
【請求項３】
前記検査光は指向性光であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の欠陥検査方法。
【請求項４】
前記検査光は拡散光であることを特徴とする請求項２に記載の欠陥検査方法。
【請求項５】
前記検査対象物の垂線から所定の角度を成す２つの対称位置の一方に前記欠陥検査装置を配置し、他方に前記検査光の光源を配置することを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の欠陥検査方法。
【請求項６】
前記検査光は、蛍光灯またはメタルハライド灯または、希ガス、ハロゲンガス、水銀ガスのいずれかまたは全てのガスを用いた紫外光灯のいずれかの光源によって発せられる光であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の欠陥検査方法。
【請求項７】
前記紫外光灯から発せられる、検査光となる紫外線は、２００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長帯域であることを特徴とする請求項６に記載の欠陥検査方法。
【請求項８】
前記欠陥検査装置を複数並べて前記検査対象物の表面の欠陥を検査することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の欠陥検査方法。
【請求項９】
前記欠陥検査装置が前記検査対象物の表面に欠陥があると検出した場合には、当該検査対象物の欠陥部分にマークを付することを特徴とする請求項１から請求項８に記載の欠陥検査方法。
【請求項１０】
検査対象物に検査光を照射し前記検査対象物からの反射光を受光して前記検査対象物の表面の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
検査光を前記検査対象物に照射する手段と、
前記検査対象物において偏光分離された反射光を受光する手段と、
前記受光した反射光の光成分を光電変換して各偏光成分の値を示す干渉データを生成する手段と、
前記干渉データに基づいて、前記検査対象物の表面の欠陥を検出する手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面を有する対象物に異物などが混入した欠陥、特に異物による膜厚変動の欠陥を自動的に検出することのできる、欠陥検査方法および欠陥検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）や液晶などを用いた表示デバイスでは、画面の表面に反射防止膜を貼り、反射を防止または軽減させる工夫を行なっている。そして表示デバイスでは“見易さ”は最も重要な品質特性の１つであり、当該表示デバイスにおける光の反射を防止する反射防止膜の重要は年々高まっている。
【０００３】
前記反射防止膜は大きく分類すると、ＡＲ（Anti-Refrection）とＬＲ（Low-Refrection）の２種類がある。ＡＲは、多層膜で形成されており比較的高価であるが、反射防止効果は最も高い。一般にＡＲ表面での反射率は、可視光範囲の平均で０．５〜１．０％程度である。一方ＬＲは、炭層膜で形成されており、ＡＲと比較して反射防止効果はやや劣るものの、安価である。一般にＬＲ表面での反射率は、可視広範囲の平均で１．０〜２．０％程度である。
【０００４】
ＡＲは、基材フィルム上に光学干渉膜を多層蒸着した反射防止フィルム、ＬＲは、基材フィルム上に光学干渉膜を塗布した反射防止フィルムとして製品化されている。表示デバイスでは該反射防止フィルムを気泡が混入されないように表面に密着した状態で貼り付けることにより、反射防止膜としての効果を発揮する。
【０００５】
反射防止フィルムは、光学干渉効果を利用する為、光学干渉膜の膜厚の誤差が問題になることが多い。一般に膜厚は可視光の１／４波長前後の厚みとなり、膜厚により干渉波長を決定する。従って、反射防止フィルム面上で局所的に膜厚が微小変動すると、その部位のみ表示デバイスから透過されてくる映像が歪んだり、僅かに色相が変化したりする。これが反射防止フィルムにおける代表的な欠陥である。
【０００６】
他に、反射防止フィルムにおける欠陥としてはフィルム表面のキズやコスレなどがある。また、基材フィルム自体のキズ、ヘコミ、段上のムラ等の欠陥もある。
【０００７】
前記膜厚が変動する要因は多々あるが、代表的な要因として異物混入がある。光学干渉膜を蒸着（または塗布）する前、あるいは蒸着（または塗布）中に異物が付着することにより、異物付着部におけるフィルム面にピンホール状の突起が生じる。加えて異物付着部を頂点として、その周辺部に裾野の如く膜厚が変化する現象を引き起こしている。
【０００８】
前記異物は、非常に微小な物体であり、黒色であったり透明色であったりと一定の色相を有していない。現在、入手可能なフィルム欠陥検査装置では、異物が大きく、かつ黒色である場合は識別できるが、１００μｍ以下のような微小な異物の場合は識別できない。なお、このような欠陥を検出する関連技術として、塗工物表面の凹凸の欠陥を検査する技術が公開されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平０５−２９６９４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ここで、上述の反射防止フィルムにおける欠陥において、特に異物による膜厚変動の欠陥は、熟練者を以ってしても確認することが容易ではなく、反射防止フィルムの低価格化、量産化を行なう為に１００μｍ以下のようなフィルムの検査は困難であった。また通常、反射防止フィルムの欠陥の確認は、自動検査することが困難であり、また上述したように大量の反射防止フィルムを全て検査することは量的に困難な為、全てのフィルムの中から幾つかのサンプルを取り出して確認することとなる。従って、出荷される反射防止フィルムの中には欠陥のあるフィルムが少なからず含まれてしまうこととなり、これにより反射防止フィルムの欠陥率を下げることができないという問題があった。また、上述の反射防止フィルムに係わらず、他のフィルムやシートなどの平面に、異物が混入していないか否かを検査する際にも上述の同様の課題が存在する。
【００１０】
そこでこの発明は、平面を有する対象物に異物などが混入した欠陥、特に異物による平面上の膜厚変動の欠陥を自動的に検出することのできる、欠陥検査方法に関する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上述の課題を解決すべくなされたもので、検査対象物に検査光を照射し前記検査対象物からの反射光を受光して前記検査対象物の表面の欠陥を検査する欠陥検査装置の欠陥検査方法であって、検査光を前記検査対象物に照射し、前記検査対象物において偏光分離された反射光を受光し、前記受光した反射光の光成分を光電変換して各偏光成分の値を示す干渉データを生成し、前記干渉データに基づいて、前記検査対象物の表面の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法である。
【００１２】
また本発明は、上記欠陥検査方法において、前記検査対象物に対して垂直に前記検査光を照射することを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、上記欠陥検査方法において、前記検査光は指向性光であることを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、上記欠陥検査方法において、前記検査光は拡散光であることを特徴とする。
【００１５】
また本発明は、上記欠陥検査方法において、前記検査対象物の垂線から所定の角度を成す２つの対称位置の一方に前記欠陥検査装置を配置し、他方に前記検査光の光源を配置することを特徴とする。
【００１６】
また本発明は、上記欠陥検査方法において、前記検査光は、蛍光灯またはメタルハライド灯または、希ガス、ハロゲンガス、水銀ガスのいずれかまたは全てのガスを用いた紫外光灯のいずれかの光源によって発せられる光であることを特徴とする。
【００１７】
また本発明は、上記欠陥検査方法において、前記紫外光灯から発せられる、検査光となる紫外線は、２００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長帯域であることを特徴とする。
【００１８】
また本発明は、上記欠陥検査方法において、前記欠陥検査装置を複数並べて前記検査対象物の表面の欠陥を検査することを特徴とする。
【００１９】
また本発明は、上記欠陥検査方法において、前記欠陥検査装置が前記検査対象物の表面に欠陥があると検出した場合には、当該検査対象物の欠陥部分にマークを付することを特徴とする。
【００２０】
また本発明は、検査対象物に検査光を照射し前記検査対象物からの反射光を受光して前記検査対象物の表面の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、検査光を前記検査対象物に照射する手段と、前記検査対象物において偏光分離された反射光を受光する手段と、前記受光した反射光の光成分を光電変換して各偏光成分の値を示す干渉データを生成する手段と、前記干渉データに基づいて、前記検査対象物の表面の欠陥を検出する手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の欠陥検査方法によれば、検査光を検査対象物に照射し、検査対象物において偏光分離された反射光を受光し、受光した反射光の光成分を光電変換して各偏光成分の値を示す干渉データを生成し、干渉データに基づいて、前記検査対象物の表面の欠陥を検出する。これにより、平面を有する検査対象物に異物などが混入した欠陥、特に異物による平面上の膜厚変動の欠陥を自動的に検出することができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の一実施形態による欠陥検査装置を図面を参照して説明する。なお、本実施形態において検査対象は反射防止フィルムとするが、他のフィルムやシートなどでもよい。
【００２３】
図１は同実施形態の欠陥検査装置の構成を示す図である。
この図が示すように、欠陥検査装置は主に光源部１、光抽出部２、撮像部３，４、処理部５から構成される。撮像対象となる反射防止フィルム２０は、背面版６上に配置される。
【００２４】
光源部１では、レーザ光源などコヒーレント光源７から出力されたコヒーレント光を、変更フィルタ８によりＰ偏光にし、ミラー９を介した上で、スキャニングミラー１０に入力する。スキャニングミラー１０は、光を紙面に対して垂直方向に振っている。これをｆθレンズ１１により平行にし、ハーフミラー１２を介して、被写体２０に照射する。以上が光路ａである。
【００２５】
光抽出部２では光路ｂの経路となる被写体２０からの反射光を、フィルタ１３を介して適度な光強度にした後に、テレセントリック光学系１４により平行光のみ取り出す。次に偏光ビームスプリッタ１５によりＰ偏光成分とＳ偏光成分に分離し、それぞれ結像レンズ１６，１８を介して、受光器１７，１９に像を結ばせる。スキャニングミラー１０と同期して受光器１７，１９で光電変換する。なお、光抽出部２を包んでいる鏡筒の内面は艶消し黒塗装、もしくは黒毛を使用したブラシ構造にするなどの迷光処理を施してあることが望ましい。
【００２６】
受光器１７，１９は、ＣＣＤなどの撮像デバイスでも良いが、スキャニングミラー１０と同期させる上では、フォトダイオード（フォトトランジスタを含む）を使用するのが一番容易である。また、結像系の簡単な工夫を追加することにより、フォトダイオードをアレイ状にしても良い。
【００２７】
背面板６は、反射防止フィルム２０などの被写体を載せるためのものである。なお、図示していないが背面板６は反射防止フィルム２０が弛まないように固定する機構を備えている。
【００２８】
反射防止フィルムの構造と特性について、図２を用いて説明する。この図はＬＲフィルムの構造を示しているが、ＬＲフィルムは、厚さ数μｍ程度の基材フィルム６２上にＬＲ層６１が塗布されている。ＬＲ層６１の膜厚は使用する光の１／４波長近辺になるため、およそ数十〜数百ｎｍになる。ＬＲ層６１の屈折率ｎ１は低屈折率のほうが望ましく、複合材料により、１．２〜１．４前後となる（波長特性を持ち、紫外光では屈折率が大きくなる傾向がある）。基材フィルム６２の屈折率ｎ２は、一般にＬＲ層６１の屈折率ｎ１に対して、その２乗値にすることが多い。
【００２９】
以上、反射防止フィルムとなるＬＲフィルムについて説明したが、反射防止フィルムは屈折率界面７７の部分で、反射光（反射率）を落とすべきターゲットと密着接合することにより、反射防止フィルムとしての効力を発揮する。
【００３０】
次に、ＬＲフィルムにインコヒーレントな光である入射ビーム光６４を、入射光軸６３に対して、入射ビーム入射角６５（θ１）の角度で照射した場合についての干渉現象について説明する。まず屈折率界面７５により、入射ビーム光６４はＬＲ表面反射光６６とＬＲ入射光６７に分離する。両者の方向は以下に示すスネル（デカルト）の法則に従う。
【００３１】
【数１】
2006098090.tif 000003
【００３２】
ＬＲ表面反射光６６とＬＲ入射光６７の強度は以下の式により得られる。
【００３３】
【数２】
2006098090.tif 000004
【００３４】
【数３】
2006098090.tif 000005
【００３５】
ここで、Ｉｐは入射ビーム光強度、Ｒｐは反射光強度、Ｔｐは透過光強度、Ａｐはフィルム内面における光吸収成分の強度、Ｄｐは光散乱成分の強度、ｎ０は空気の屈折率(＝１．０)とする。
【００３６】
ＬＲ入射光６７はＬＲ層６１を通過し、屈折率界面７６により、ＬＲ裏面反射光６９と基材入射光７１に分離される。なお、屈折と反射は界面に当たるたびに再屈折し、１〜ｎ次光を生じる。２次光である２次反射光７０のみ図示してあるが、説明を簡略するため、本実施形態においては２次光以降は無視し、１次光の成分のみ考えることとする。
【００３７】
反射防止効果は、ＬＲ表面反射光６６とＬＲ裏面反射光６９の干渉により発生する。ＬＲ層の膜厚をｄとすると、光学的膜厚Ｄは以下の式で表される。
【００３８】
【数４】
2006098090.tif 000006
【００３９】
ここで、θ１を十分に小さくとり、
【００４０】
【数５】
2006098090.tif 000007
【００４１】
と近似する。Ｄ＝（２ｍ−１）・λ／４を満たす場合、反射光は干渉により弱め合う。この時の反射率Ｒｍｉｎは、入射光の波長をλとすると、以下の式により求められる。
【００４２】
【数６】
2006098090.tif 000008
【００４３】
Ｄ＝（２ｍ）・λ／４を満たす場合、反射光は干渉により強め合う。この時の反射率Ｕｍａｘは、以下の式により求められる。
【００４４】
【数７】
2006098090.tif 000009
【００４５】
上式において、ｎ１＝１．３，ｎ２＝１．６９，ｄ＝１００［ｎｍ］とすると、波長λ＝５２０ｎｍ，１７３ｎｍ，１０４ｎｍの波長の光に対しては、反射率Ｒ＝０．０１７（１．７％）まで弱め合い、波長λ＝２６０ｎｍ，１３０ｎｍ、７５ｎｍの波長の光に対しては、反射率Ｒ＝０．０６６（６．６％）まで強め合う。反射防止フィルムと接合させるターゲット媒体の屈折率をｎｐとすると、この媒体自体の反射率Ｒ０は、以下の式により求められる。
【００４６】
【数８】
2006098090.tif 000010
【００４７】
ｎｐ＝１．５とすると、Ｒ０＝０．０４（４％）となり、Ｄの値を選択してＲｍｉｎの値をとるようにすれば、反射率を約２．４分の１に改善することができる。通常、波長λは人間の最大比視感度である５５０ｎｍを基準にとることが多い。
【００４８】
次に、反射防止フィルムにコヒーレント光を入射した場合を説明する。
インコヒーレント光を入射した場合の相違は、ＬＲ表面反射光６６とＬＲ裏面反射光６９の偏光面が異なることにある。コヒーレント光に対してＰ偏光させた入射ビーム光６４を反射防止フィルムに照射させた場合、ＬＲ表面反射光６６はＰ偏光、ＬＲ裏面反射光６９はＳ偏光となる。これは、ＬＲ層６１が前記光学膜厚Ｄであることから、１／４波長板と同等の機能を果たしているとみなしてよい。なお、コヒーレント光に対してＳ偏光させた入射ビーム光６４を反射防止フィルムに照射させた場合、ＬＲ表面反射光６６はＳ偏光、ＬＲ裏面反射光６９はＰ偏光となる。入射ビーム光６４は、Ｐ偏光、またはＳ偏光どちらでも構わない。
【００４９】
光路ｂを通過する光は、ＬＲ表面反射光６６とＬＲ裏面反射光６９のベクトル和をとる。該光束に対して、Ｐ偏光、Ｓ偏光それぞれの成分をとることになるが、Ｐ偏光成分はＬＲ層６１表面からの反射光、Ｓ偏光成分は基材層６２表面からの反射光となる。このことから、ＬＲ層６１と基材層６２それぞれ独立した反射特性が得られる。
【００５０】
次に、反射防止フィルムの欠陥について、図３を用いて説明する。該欠陥は、大別してＬＲ層６１の欠陥であるカテゴリＡと、基材フィルム６２の欠陥であるカテゴリＢがある。図３は、１０系統の欠陥をモデル化した図である。なお、図では説明のため高さ方向を引き伸ばして表示している。
【００５１】
まず、カテゴリＡとして、ＬＲ層の高低の変化と現れてくる欠陥の例について説明する。欠陥９１は、基材フィルム６２の凹部１１０がそのままＬＲ層６１に現れた欠陥例である。欠陥９２は、基材フィルム６２は問題ないが、ＬＲ層６１に凹部が生じた欠陥例である。欠陥９３は、基材フィルム６２の凸部１１１がそのままＬＲ層６１に現れた欠陥例である。欠陥９４は、基材フィルム６２は問題ないが、ＬＲ層６１に凸部が生じた欠陥例である。欠陥９５は、基材フィルム６２は問題ないが、異物１１２が混入した結果、ＬＲ層６１に凸部が生じた欠陥例である。欠陥９６は、ＬＲ層６１上にキズやコスレが生じている欠陥例である。
【００５２】
次に、カテゴリＢとして、基材層（基材フィルム）に欠陥があるが、ＬＲ層の高低の変化として現れてこない欠陥の例について説明する。欠陥９７は、基材フィルム６２上に異物１１２が混入しているが、ＬＲ層６１上に凹凸が生じていない欠陥例である。欠陥９８は、基材フィルム６２に凹部１１０が生じているが、ＬＲ層６１上に凹凸が生じていない欠陥例である。欠陥９９は、基材フィルム６２に凸部１１１が生じているが、ＬＲ層６１上に凹凸が生じていない欠陥例である。欠陥１００は、基材フィルム上に６２にキズやコスレが生じているが、ＬＲ層６１上に凹凸が生じていない欠陥例である。
【００５３】
欠陥の形状の第一例として、欠陥９５の形状を図４に示す。また、図４における点線位置の断面図を図５に示す。異物欠陥１１２は非常に小さく、欠陥範囲１１５の範囲で相対的に膜厚の変化が大きく出ている傾向がある。ただし、欠陥範囲１１５の範囲は、滑らかな形状をしているわけではなく、不規則な形状になっていることが多い。このため、この部分で散乱が生じたり、予期せぬ角度で正反射をしたり、反射光の光路予測が困難になる。また、異物欠陥１１２の周辺部では、比較的大きな欠陥範囲１１４の範囲で相対的に微小な膜厚の変化を引き起こしている。これが等高線での裾野を形成している。
【００５４】
欠陥の形状の第２の断面図として、欠陥９３，９４の形状を図６に示す。ＬＲ層６１の表面に対して欠陥部がΔθ（ｘ，ｙ）を生じ、非常に緩やかな裾野を形成している。なお、欠陥９１，９２は、高さ方向に対して裾野を形成する向きが異なるだけであるため、図示はしない。
【００５５】
欠陥９１〜９５は、ＬＲ層６１の表面上にΔθ（ｘ，ｙ）の微小な角度変化１２５を生じている。そのため、正反射光１２４は光軸１２２、または照射光１２３に対して２Δθ（ｘ，ｙ）の角度１２６をなすことになる。この様子を図７に示す。テレセントリック光学系１２の絞り角を２Δθ（ｘ，ｙ）以下にすることにより、前記反射光１２４は結像されない。ＬＲ層６１表面の形状変化に対しては、前記相違に対してＰ偏光成分の差により検出する。なお、欠陥９１，９３，９５は、基材層６２の表面形状が変化するため、Ｓ偏光成分の差により検出可能である。
【００５６】
欠陥９６は、前記欠陥９１〜９５での方法で同様な検出が可能である。ＬＲ層６１表面の形状変化ではあるが、散乱光が入射する点が異なる。ある閥値を設けて、散乱光の入否判断をすればよい。
【００５７】
欠陥９７〜１００は、ＬＲ層６１の表面に異常は生じないが、基材層６２から反射されたＳ偏光光成分の差により検出可能である。
【００５８】
なお、上述したように、欠陥検査装置は、反射防止フィルムに対して垂直に光を投射して正反射した光のＰ偏光成分とＳ偏光成分によって表面形状の変化を検出する方法（同軸落射の場合）でもよいし、また、図８に示すように反射防止フィルムの検査対象点における垂線を軸にして対称な角度の２つの方向の一方に光源があり、他方に欠陥検査装置が設置された場合の、前記光源から投射された光が反射防止フィルムで傾斜反射した光のＰ偏光成分とＳ偏光成分によって表面形状の変化を検出す方法（傾斜正反射の場合）でもよい。ここで傾斜正反射によって反射防止フィルムの表面形状の変化を検出する場合には、反射防止フィルムにおける検査対象点における垂線と光源の方向との成す角度が０〜１０°（好ましくは５°）であり、また当該垂線と欠陥検査装置の方向の成す角度が０〜１０°（好ましくは５°）であると、欠陥検査装置で撮像する画像の片側の干渉反射光が散乱し、当該画像が不鮮明あるいは消失することを防ぐことができる。
【００５９】
また上記反射防止フィルムの表面形状の変化を検出する際の光源は、指向性光（並行光）を用いる。この指向性光（並行光）は反射防止フィルムなどの検査対象物と光源との間にスリット版（アパチャー）を設けることにより得る方法や、半球、半円状レンズ、フレネルレンズなどを設けることにより得る方法でも良い。そして光源としては、一般の蛍光灯、メタルハライド灯、希ガス、ハロゲンガス、水銀ガス、およびこれらの混合ガスを用いた紫外光灯などが使用できる。なお紫外光灯を用いる場合２００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長の紫外線を用いるようにし、特に検査対象の安全性や変色や劣化を抑える為には、３８ｎｍ付近をピークとする３６０ｎｍから３８０ｎｍの波長を発生する紫外光灯を用いる。
【００６０】
そして、反射防止フィルムの表面形状の変化を検出する場合、図９に示すように欠陥検査装置を複数台並べて検査を行うことで、一度に反射防止フィルムの幅全域の表面形状の変化を検出することができる。そして欠陥検査装置において表面形状の変化が検出できた場合には、処理部５が、欠陥検査装置に備えられた欠陥チェック部などに、検出箇所にインクなどを用いて、チェックするよう指示し、欠陥チェック部がインクを用いてチェックマークをつけるようにしても良い。
【００６１】
上述の欠陥検査装置の処理部は、内部にコンピュータシステムを有している。そして、上述した表面形状の変化の検出処理などの過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって、上記処理が行われる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしても良い。
【００６２】
また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の一実施形態の欠陥検査装置の構成を示す図である。
【図２】反射防止フィルムの構造と特性を示す図である。
【図３】反射防止フィルムの欠陥の例を示す図である。
【図４】欠陥の形状の第一例を示す図である。
【図５】欠陥の形状の第１の断面図である。
【図６】欠陥の形状の第２の断面図である。
【図７】微小な角度変化が表面に生じている場合の正反射光を示す図である。
【図８】傾斜正反射の例を示す図である。
【図９】欠陥検査装置を複数台並べた場合の様子を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１・・・光源部、２・・・光抽出部、３，４・・・撮像部、５・・・処理部、６・・・背面板、２０・・・反射防止フィルム
【図１】
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【図２】
2006098090.tif 000012
【図３】
2006098090.tif 000013
【図４】
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【図５】
2006098090.tif 000015
【図６】
2006098090.tif 000016
【図７】
2006098090.tif 000017
【図８】
2006098090.tif 000018
【図９】
2006098090.tif 000019