(57)【要約】【課題】  出発棒の軟化を防ぎつつ、出発棒を長さ方向にわたって良好に清浄化して高品質なガラス微粒子堆積体を製造する。【解決手段】  本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法は、出発棒１３をその軸回りに回転させつつ、出発棒１３の外周を清浄用バーナ４１の火炎によって軸方向に清浄化しながら、ガラス生成用バーナ２１により生成したガラス微粒子を出発棒１３の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体１４を出発棒１３の軸方向に成長させる方法であって、出発棒１３の引き上げ速度Ｖ及び清浄用バーナ４１により加熱されている部分の出発棒１３の表面温度Ｔに基づいて、清浄用バーナ４１の水素のガス流量Ｇを調節して清浄用バーナ４１の火炎の熱量を制御する。【選択図】      図４
2006111511.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
出発棒をその軸回りに回転させつつ、前記出発棒の外周を清浄用バーナの火炎によって軸方向に清浄化しながら、ガラス生成用バーナにより生成したガラス微粒子を前記出発棒の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体を前記出発棒の軸方向に成長させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記清浄用バーナと前記出発棒との相対速度に対し前記清浄用バーナの火炎の熱量を設定し、前記清浄用バーナと前記出発棒との相対速度に基づいて前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項２】
出発棒をその軸回りに回転させつつ、前記出発棒の外周を清浄用バーナの火炎によって軸方向に清浄化しながら、ガラス生成用バーナにより生成したガラス微粒子を前記出発棒の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体を前記出発棒の軸方向に成長させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記清浄用バーナにより加熱される部分の前記出発棒の所定の表面温度を時間帯毎に設定し、前記清浄用バーナにより加熱されている部分の前記出発棒の表面温度を測定しながら、その測定温度が所定の表面温度になるように前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項３】
出発棒をその軸回りに回転させつつ、前記出発棒の外周を清浄用バーナの火炎によって軸方向に清浄化しながら、ガラス生成用バーナにより生成したガラス微粒子を前記出発棒の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体を前記出発棒の軸方向に成長させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記清浄用バーナと前記出発棒との相対速度に基づいて前記清浄用バーナにより加熱される部分の前記出発棒の所定の表面温度を設定し、前記清浄用バーナにより加熱されている部分の前記出発棒の表面温度を測定しながら、その測定温度が所定の表面温度となるように前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項４】
前記清浄用バーナにより加熱されている部分の前記出発棒の表面温度が長手方向にわたって一定となるように、前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項５】
前記清浄用バーナと前記出発棒との相対速度の上昇に伴って前記清浄用バーナにより加熱されている部分の前記出発棒の表面温度が上がるように、前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項６】
前記清浄用バーナへ供給する燃焼ガス及び助燃ガスの一方または両方の流量を調節することにより、前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項７】
前記清浄用バーナへ供給するシールガスの流量を調節することにより、前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、出発棒をその軸回りに回転させつつ、ガラス生成用バーナにより生成したガラス微粒子を出発棒の外周に堆積させてガラス微粒子堆積体を形成するガラス微粒子堆積体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバを得るための光ファイバ母材は、石英ガラスからなる出発棒にガラス微粒子（これをススと呼ぶ）を堆積させてガラス微粒子堆積体を形成し、これを脱水及び焼結させて透明ガラス化することにより得られる。このガラス微粒子堆積体を形成する方法としては、図６に示すように、長尺状の出発棒１０１を軸回りに回転させながら引き上げつつ、ガラス生成用バーナ１０２により生成したガラス微粒子を反応容器４内で出発棒１０１の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体１０３を出発棒１０１の軸方向に成長させるＶＡＤ法が知られている。
【０００３】
そして、このＶＡＤ法によりガラス微粒子堆積体１０３を製造する場合、ガラス生成用バーナ１０２によりガラス微粒子を堆積させる直前に、出発棒１０１を清浄用バーナ１０５の酸水素火炎によって加熱することにより、出発棒１０１の表面に付着した塵などの付着物を除去して清浄化することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−６１８３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記ＶＡＤ法では、ガラス生成用バーナ１０２によりガラス微粒子が堆積しつつあるガラス微粒子堆積部１０３ａの位置を検出する位置検出装置１０６の測定結果に基づき、ガラス微粒子堆積体１０３の外径が一定になるように、出発棒１０１の引き上げ速度を制御している。このため、図７に示すように、出発棒１０１の引き上げ速度Ｖは一定でなく、長さ方向で変動することとなる。特に、堆積開始時には、出発棒１０１にガラス微粒子が径方向に堆積するまで時間がかかるため、引き上げ速度が遅い。
【０００６】
一方、清浄用バーナ１０５の燃焼ガスのガス流量Ｇは一定であるため、引き上げ速度Ｖの変動により清浄用バーナ１０５による出発棒１０１の加熱時間が長さ方向で異なってしまい、出発棒１０１の表面温度Ｔが変動する。特に、引き上げ速度が遅い堆積開始時では、加熱時間が長くなり、出発棒１０１が軟化してしまうことがある。また、出発棒１０１が軟化しないように、清浄用バーナ１０５の燃焼ガスのガス流量Ｇを下げて表面温度Ｔを低くしておくと、引き上げ速度が速い領域では、出発棒１０１の表面の清浄化効果が薄れてしまう。
また、出発棒１０１は、その外径がロット間で微妙に異なるため、清浄用バーナ１０５による出発棒１０１の加熱温度がロット間でばらつき、清浄化効果に差が生じることもある。
【０００７】
本発明は、出発棒の軟化を防ぎつつ、出発棒を長さ方向にわたって良好に清浄化して高品質なガラス微粒子堆積体を製造することが可能なガラス微粒子堆積体の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決することのできる本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法は、出発棒をその軸回りに回転させつつ、前記出発棒の外周を清浄用バーナの火炎によって軸方向に清浄化しながら、ガラス生成用バーナにより生成したガラス微粒子を前記出発棒の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体を前記出発棒の軸方向に成長させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記清浄用バーナと前記出発棒との相対速度に対し前記清浄用バーナの火炎の熱量を設定し、前記清浄用バーナと前記出発棒との相対速度に基づいて前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴としている。
なお、清浄用バーナの火炎の熱量は、表面温度が一定になるように、常時一定に設定する、時間帯毎に設定する、速度帯毎に設定する、のいずれでも良く、適宜設定して良い。
【０００９】
また、上記課題を解決することのできる本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法は、出発棒をその軸回りに回転させつつ、前記出発棒の外周を清浄用バーナの火炎によって軸方向に清浄化しながら、ガラス生成用バーナにより生成したガラス微粒子を前記出発棒の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体を前記出発棒の軸方向に成長させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記清浄用バーナにより加熱される部分の前記出発棒の所定の表面温度を時間帯毎に設定し、前記清浄用バーナにより加熱されている部分の前記出発棒の表面温度を測定しながら、その測定温度が所定の表面温度になるように前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴としている。
【００１０】
また、上記課題を解決することのできる本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法は、出発棒をその軸回りに回転させつつ、前記出発棒の外周を清浄用バーナの火炎によって軸方向に清浄化しながら、ガラス生成用バーナにより生成したガラス微粒子を前記出発棒の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体を前記出発棒の軸方向に成長させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記清浄用バーナと前記出発棒との相対速度に基づいて前記清浄用バーナにより加熱される部分の前記出発棒の所定の表面温度を設定し、前記清浄用バーナにより加熱されている部分の前記出発棒の表面温度を測定しながら、その測定温度が所定の表面温度となるように前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することを特徴としている。
【００１１】
また、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法において、前記清浄用バーナにより加熱されている部分の前記出発棒の表面温度が長手方向に渡って一定となるように前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することが好ましい。
または、前記清浄用バーナと前記出発棒との相対速度の上昇に伴って前記清浄用バーナにより加熱されている部分の前記出発棒の表面温度が上がるように、前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することが好ましい。
【００１２】
また、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法において、前記清浄用バーナへ供給する燃焼ガス及び助燃ガスの一方または両方の流量を調節することにより、前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することが好ましい。
または、前記清浄用バーナへ供給するシールガスの流量を調節することにより、前記清浄用バーナの火炎の熱量を制御することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法によれば、出発棒の外周を清浄用バーナの火炎によって軸方向に清浄化しながら、ガラス生成用バーナにより生成したガラス微粒子を出発棒の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体を出発棒の軸方向に成長させる際に、清浄用バーナによる出発棒の清浄化を、出発棒の軟化を防ぎつつ長さ方向にわたって良好に行うことができ、高品質なガラス微粒子堆積体を製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法の実施の形態について、図面を参照して説明する。
（第１実施形態）
図１に、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法の第１実施形態を実施することのできる製造装置を示す。
図１に示すガラス微粒子堆積体の製造装置１０は、所謂ＶＡＤ法により、反応容器１２の内側の空間内で出発棒１３に対してガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体１４を形成するものである。
反応容器１２は、ガラス微粒子を生成して堆積させる際の高温の環境条件においても、塩素ガス等による腐食が極めて起こりにくい、二酸化ケイ素、炭化ケイ素、ニッケル、ニッケル合金等の材料を用いて形成されている。
【００１５】
反応容器１２の中には、垂直方向に昇降可能な把持具１５が収容されている。この把持具１５は、長尺状の出発棒１３の上端を把持して、出発棒１３を垂直方向に支持している。また、把持具１５は、その上方で回転昇降装置１６に接続されている。回転昇降装置１６は、把持具１５及び把持した出発棒１３を、その軸回りに回転させることができる。なお、出発棒１３は、石英ガラスにより形成されたガラス棒である。
【００１６】
反応容器１２の中には、ガラス微粒子を生成するためのガラス生成用バーナ２１が設けられている。このガラス生成用バーナ２１は、ガスを吹き出す複数のポートを有しており、そのポートからそれぞれ燃焼ガス、助燃ガス、及びガラス原料ガスを吹き出し、燃焼ガスの燃焼により生じる酸水素火炎中において、ガラス原料を加水分解反応させて、ガラス微粒子を生成するものである。なお、燃焼ガスには、水素（Ｈ２）が含まれ、助燃ガスには酸素（Ｏ２）が含まれ、ガラス原料ガスには四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ４）が含まれる。また、ガラス生成用バーナ２１は、生成したガラス微粒子を出発棒１３に堆積させるように、出発棒１３に向けて斜め上方に傾けて配置されている。なお、ガラス生成用バーナ２１は複数用いても良い。
【００１７】
ガラス生成用バーナ２１は、ガス供給装置２２からガスを導入するガス管２３に接続されている。また、ガス供給装置２２とガラス生成用バーナ２１との間のガス管２３には、流量調節器２４が設けられている。この流量調節器２４により、ガラス生成用バーナ２１に供給されるガスの流量は、適宜調整される。
さらに、反応容器１２は、側壁部分に排気口２５を備えており、出発棒１３に堆積されなかった余剰のガラス微粒子を含む内部の排気ガスが排気口２５から送り出される。
【００１８】
また、反応容器１２の内側には、非接触式の位置検出器３１が設けられており、ガラス微粒子が堆積しつつあるガラス微粒子堆積部１４ａの位置を検出できるようになっている。位置検出器３１としては、レーザ投受光装置やＣＣＤカメラを使用することができる。また、位置検出器３１は、制御用コンピュータ３２と接続されており、ガラス微粒子堆積部１４ａの位置データがこのコンピュータ３２に送られる。
【００１９】
また、コンピュータ３２は、出発棒１３の回転速度及び引き上げ速度を調節する回転昇降装置１６と接続されている。そして、このコンピュータ３２は、出発棒１３にガラス微粒子を一定または所望の堆積量で堆積させるべく、位置検出器３１からの位置データに基づいて回転昇降装置１６の昇降動作を制御する。
【００２０】
また、反応容器１２の中には、ガラス微粒子を生成するためのガラス生成用バーナ２１の下方に、出発棒１３へ酸水素火炎を当て、火炎研磨を行って、表面に付着した塵などの付着物を除去する清浄用バーナ４１が設けられている。この清浄用バーナ４１は、図２に示すように、複数のポートＰ１，Ｐ２，Ｐ３を有する多重管構造となっている。そして、この清浄用バーナ４１では、中心のポートＰ１から燃焼ガスを構成する水素（Ｈ２）が吹き出され、外周側のポートＰ３から助燃ガスである酸素（Ｏ２）が吹き出される。また、ポートＰ１，Ｐ３間のポートＰ２から、例えば、アルゴン（Ａｒ）あるいは窒素（Ｎ２）などの不活性ガスからなるシールガスが吹き出される。なお、Ｐ２を省略した構造のバーナでシールガスを用いなくても良い。
【００２１】
この清浄用バーナ４１は、ガス供給装置４２からガスを導入するガス管４３に接続されている。また、ガス供給装置４２と清浄用バーナ４１との間のガス管４３には、流量調節器４４が設けられており、この流量調節器４４により、清浄用バーナ４１に供給されるガスの流量が調整される。流量調節器４４は、各ポートＰ１，Ｐ２，Ｐ３に供給するガスの量をそれぞれ独立して調節することが可能である。
流量調節器４４には、ガス流量制御部４５が接続されている。このガス流量制御部４５には、コンピュータ３２が接続されており、このコンピュータ３２から、位置検出器３１からの位置データが送信される。
そして、このガス流量制御部４５は、コンピュータ３２から送信される位置データに基づいて、流量調節器４４を制御し、出発棒１３を加熱する清浄用バーナ４１の火炎の熱量を制御する。また、ガス流量制御部４５には、出発棒１３の引き上げ速度に対して清浄用バーナ４１の火炎の熱量を予め設定しておく。
【００２２】
次に、上記構成のガラス微粒子堆積体の製造装置１０によるガラス微粒子堆積体１４の製造方法について説明する。
まず、把持具１５によって反応容器１２内に吊り下げた出発棒１３を、回転昇降装置１６の動作により所定のスス付け開始位置に配置して、軸回りに回転させる。
この状態において、清浄用バーナ４１から酸水素火炎を出発棒１３に当てて、出発棒１３の表面のガラスが気化する程度に加熱し、出発棒１３の表面を火炎研磨して清浄化させる。
そして、出発棒１３をその軸回りに回転させながら、上方向に徐々に引き上げ、出発棒１３の表面が清浄化された部分に、ガラス生成用バーナ２１によってガラス微粒子を吹き付ける。
【００２３】
ここで、コンピュータ３２は、ガラス微粒子が出発棒１３の外周に堆積してガラス微粒子堆積体１４が出発棒１３の軸方向に成長していく際に、ガラス微粒子堆積体１４の外径が一定となるように、もしくはガラス微粒子堆積体１４が所望の外形プロファイルとなるように、位置検出器３１からの位置データに基づいて出発棒１３の回転速度及び引き上げ速度を制御する。
したがって、図３に示すように、出発棒１３の引き上げ速度Ｖは一定でなく、長さ方向で変動することとなり、特に、堆積開始時は引き上げ速度Ｖが遅い。
【００２４】
このため、本実施形態では、ガス流量制御部４５が、コンピュータ３２から送信される位置データにより出発棒１３の引き上げ速度Ｖを監視しながら、引き上げ速度Ｖの変動に応じて流量調節器４４を制御し、出発棒１３へ当てる清浄用バーナ４１の火炎の熱量を調節する。例えば、図３に示すように、ガス流量制御部４５は、清浄用バーナ４１に供給する燃焼ガスである水素のガス流量Ｇを、出発棒１３の引き上げ速度Ｖが遅い時間帯では少なくし、引き上げ速度Ｖが速い時間帯では多くする。
これにより、清浄用バーナ４１により加熱している部分の出発棒１３の表面温度Ｔは、出発棒１３の引き上げ速度Ｖによらず、出発棒１３の長手方向にわたって所定のほぼ一定な状態に安定化される。
【００２５】
このように、上記第１実施形態のガラス微粒子堆積体の製造方法によれば、清浄用バーナ４１による出発棒１３の表面温度Ｔを、清浄用バーナ４１との相対速度である出発棒１３の引き上げ速度Ｖによらず、ほぼ一定に維持することができる。これにより、出発棒１３の過剰加熱による軟化や加熱不足による清浄不足をなくして長さ方向にわたって良好に清浄化することができ、各製造ロット間においても高品質なガラス微粒子堆積体１４を製造することができる。
そして、この製造方法によって製造されたガラス微粒子堆積体１４では、光ファイバ母材とすべく脱水・焼結して透明ガラス化した際に、従来の場合に平均２３カ所生じていた気泡などの異常が９カ所以下となり、異常発生頻度が大幅に抑えられることが確認できた。
【００２６】
（第２実施形態）
次に、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法の第２実施形態について説明する。
なお、上記第１実施形態と同一構造部分には、同一符号を付して説明を省略する。
図４に、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法の第２実施形態を実施することのできる製造装置を示す。
図４に示すガラス微粒子堆積体の製造装置５０は、清浄用バーナ４１による出発棒１３の加熱箇所の温度を検出する温度センサ５２を備えている。温度センサ５２は、コンピュータ３２に接続されており、温度センサ５２により測定された温度データがコンピュータ３２に送信される。
【００２７】
そして、この製造装置５０では、コンピュータ３２から、温度センサ５２からの温度データがガス流量制御部４５へ送信される。
これにより、ガス流量制御部４５は、コンピュータ３２から送信される温度データに基づいて、流量調節器４４を制御し、出発棒１３を加熱する清浄用バーナ４１の火炎の熱量を制御する。また、ガス流量制御部４５には、清浄用バーナ４１により加熱される部分の出発棒１３の所定の表面温度を時間帯毎に予め設定しておく。
【００２８】
次に、上記構成のガラス微粒子堆積体の製造装置５０によるガラス微粒子堆積体１４の製造方法について説明する。
まず、把持具１５によって反応容器１２内に吊り下げた出発棒１３を、回転昇降装置１６の動作により所定のスス付け開始位置に配置して、軸回りに回転させる。
この状態において、清浄用バーナ４１から酸水素火炎を出発棒１３に当てて、出発棒１３の表面のガラスが気化する程度に加熱し、出発棒１３の表面を火炎研磨して清浄化させる。
そして、出発棒１３をその軸回りに回転させながら、上方向に徐々に引き上げ、出発棒１３の表面が清浄化された部分に、ガラス生成用バーナ２１によってガラス微粒子を吹き付ける。
【００２９】
ここで、コンピュータ３２は、ガラス微粒子が出発棒１３の外周に堆積してガラス微粒子堆積体１４が出発棒１３の軸方向に成長していく際に、ガラス微粒子堆積体１４の外径が一定となるように、もしくはガラス微粒子堆積体１４が所望の外形プロファイルとなるように、位置検出器３１からの位置データに基づいて出発棒１３の回転速度及び引き上げ速度を制御する。
このため、上述した第１実施形態と同様、図３に示すように、出発棒１３の引き上げ速度Ｖは一定でなく、長さ方向で変動することとなり、特に、堆積開始時は引き上げ速度Ｖが遅い。
【００３０】
ここで、第２実施形態では、ガス流量制御部４５が、コンピュータ３２から送信される温度データにより清浄用バーナ４１による出発棒１３の表面温度Ｔを監視しながら、表面温度Ｔの変動に応じて流量調節器４４を制御し、出発棒１３へ当てる清浄用バーナ４１の火炎の熱量を調節する。
【００３１】
例えば、図３に示すように、ガス流量制御部４５により、清浄用バーナ４１に供給する燃焼ガスである水素のガス流量Ｇを、出発棒１３の引き上げ速度Ｖが遅いために表面温度Ｔが高くなる時間帯では少なくし、引き上げ速度Ｖが速いために表面温度Ｔが低くなる時間帯では多くする。
これにより、清浄用バーナ４１により加熱されている部分における出発棒１３の表面温度Ｔは、出発棒１３の引き上げ速度Ｖによらず、出発棒１３の長手方向にわたって所定のほぼ一定な状態に安定化される。
【００３２】
このように、第２実施形態の場合も、清浄用バーナ４１による出発棒１３の表面温度Ｔを、清浄用バーナ４１との相対速度である出発棒１３の引き上げ速度Ｖによらず、ほぼ一定に維持することができる。これにより、出発棒１３の過剰加熱による軟化や加熱不足による清浄不足をなくして長さ方向にわたって良好に清浄化することができ、各製造ロット間においても高品質なガラス微粒子堆積体１４を製造することができる。
そして、この第２実施形態の製造方法によって製造されたガラス微粒子堆積体１４の場合も、第１実施形態と同様に、光ファイバ母材とすべく脱水・焼結して透明ガラス化した際に、気泡などの異常が９カ所以下となり、異常発生頻度が大幅に抑えられることが確認できた。
【００３３】
（第３実施形態）
次に、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法の第３実施形態について説明する。
なお、上記第１、第２実施形態と同一構造部分には、同一符号を付して説明を省略する。
第３実施形態のガラス微粒子堆積体の製造方法を実施する装置は、上記第２実施形態と同じ図４に示したものを用いることができる。
【００３４】
第３実施形態においても、清浄用バーナ４１により出発棒１３の表面を清浄化させながら、ガラス生成用バーナ２１によって生成したガラス微粒子を出発棒１３の外周に堆積させ、ガラス微粒子堆積体１４を軸方向に成長させていく。
【００３５】
その際、第３実施形態では、ガス流量制御部４５が、コンピュータ３２から送信される位置データによる出発棒１３の引き上げ速度Ｖとともに温度データによる出発棒１３の表面温度Ｔを監視しながら、流量調節器４４を制御し、出発棒１３へ当てる清浄用バーナ４１の火炎の熱量を調節する。また、ガス流量制御部４５には、出発棒１３の引き上げ速度Ｖに基づいて清浄用バーナ４１により加熱される部分の出発棒１３の所定の表面温度を予め設定しておく。
【００３６】
例えば、図５に示すように、ガス流量制御部４５により、清浄用バーナ４１に供給する燃焼ガスである水素のガス流量Ｇを、出発棒１３の引き上げ速度Ｖが遅いため表面温度Ｔが高くなる時間帯では少なくし、引き上げ速度Ｖが速いため表面温度Ｔが低くなる時間帯では多くする。
特に、この第３実施形態では、引き上げ速度Ｖが上がったときには、その引き上げ速度Ｖの上昇に伴って水素のガス流量Ｇを増加させて表面温度Ｔを高くする。
これにより、清浄用バーナ４１による出発棒１３の表面温度Ｔは、清浄に十分な温度を確保しつつ出発棒１３の引き上げ速度Ｖに応じて所定の温度に安定化される。
【００３７】
このように、上記第３実施形態のガラス微粒子堆積体の製造方法によれば、清浄用バーナ４１による出発棒１３の表面温度Ｔを、十分な温度を確保しつつ清浄用バーナ４１との相対速度である出発棒１３の引き上げ速度Ｖに応じて安定化させることができる。これにより、出発棒１３の過剰加熱による軟化や加熱不足による清浄不足をなくして長さ方向にわたって良好に清浄化することができ、各製造ロット間においても高品質なガラス微粒子堆積体１４を製造することができる。
そして、この第３実施形態の製造方法によって製造されたガラス微粒子堆積体１４の場合は、光ファイバ母材とすべく脱水・焼結して透明ガラス化した際に、気泡などの異常が１カ所となり、異常発生頻度がさらに大幅に抑えられることが確認できた。
【００３８】
なお、上記第１〜第３実施形態のガラス微粒子堆積体の製造方法では、清浄用バーナ４１の火炎の熱量を、燃焼ガスである水素ガスの流量を調節することにより制御したが、清浄用バーナ４１の火炎の熱量を制御する方法は、水素ガスの流量調節によるものでなくても良い。水素ガスの流量調節以外に清浄用バーナ４１の火炎の熱量を制御する方法としては、清浄用バーナ４１のポートＰ２から吹き出させるアルゴン（Ａｒ）あるいは窒素（Ｎ２）等のシールガス、或いは、助燃ガスの酸素（Ｏ２）の流量を調節する方法がある。
【００３９】
シールガスの調節により火炎の熱量を制御する方法では、シールガスの流量を増加させることにより清浄用バーナ４１の火炎の熱量が抑えられ、シールガスの流量を減少させることにより清浄用バーナ４１の火炎の熱量が増える。
そして、上記第１〜第３実施形態において水素ガスの流量を調節する代わりにシールガスの流量を調節して火炎の熱量を制御した場合も、高品質なガラス微粒子堆積体１４を製造することができた。
【００４０】
なお、清浄用バーナ４１の火炎が当たっている部分の出発棒１３の表面温度Ｔや清浄用バーナ４１と出発棒１３の相対速度に応じて清浄用バーナ４１の火炎の熱量を変化させる本発明に係る上記制御は、スス付け開始部分及びスス付け終了部分（所謂ガラス微粒子堆積体のテーパ部分）においては行わなくても良く、例えば光ファイバ母材とした状態の少なくとも有効部を構成する部分のスス付けについて適用すれば良い。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法を実施することのできる製造装置の概略構成図である。
【図２】図１に示した清浄用バーナの概略正面図である。
【図３】出発棒の引き上げ速度に対するガス流量と加熱温度の関係を示すグラフ図である。
【図４】本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法を実施することのできる他の製造装置の概略構成図である。
【図５】出発棒の引き上げ速度に対するガス流量と加熱温度の他の関係を示すグラフ図である。
【図６】従来のガラス微粒子堆積体の製造方法を実施する製造装置の概略構成図である。
【図７】従来のガラス微粒子堆積体の製造方法における出発棒の引き上げ速度に対するガス流量と加熱温度の関係を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０，５０  ガラス微粒子堆積体の製造装置
１２  反応容器
１３  出発棒
１４  ガラス微粒子堆積体
１５  把持具
１６  回転昇降装置
２１  ガラス生成用バーナ
２４，４４  流量調節器
３２  コンピュータ
４５  ガス流量制御部
４１  清浄用バーナ
【図１】
2006111511.tif 000003
【図２】
2006111511.tif 000004
【図３】
2006111511.tif 000005
【図４】
2006111511.tif 000006
【図５】
2006111511.tif 000007
【図６】
2006111511.tif 000008
【図７】
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