(57)【要約】【課題】  塗布針の塗布回数の履歴管理が容易で、摩耗による不具合を未然に防止でき、塗布修正の品質を維持することができる微細パターン修正装置および修正用塗布針を提供する。【解決手段】  この微細パターン修正装置は、平面基板上に設けた微細パターンのパターン欠陥部に塗布針１３によって修正液を塗布して修正するものである。前記塗布針１３のベース部１５にＩＣタグ１７を設ける。また、このＩＣタグ１７と交信可能な位置に、前記ＩＣタグ１７に対してデータを読み書きするヘッド１８を設ける。このヘッド１８を介して上記ＩＣタグ１７に塗布針１３の塗布回数を記録させる塗布回数書込手段４１を設ける。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面基板上に設けた微細パターンのパターン欠陥部に塗布針によって修正液を塗布して修正する微細パターン修正装置において、非接触で交信が可能なＩＣタグを前記塗布針のベース部に設け、このＩＣタグと交信可能な位置に、前記ＩＣタグに対してデータを読み書きするヘッドを設け、このヘッドを介して上記ＩＣタグに塗布針の塗布回数を記録させる塗布回数書込手段を設けたことを特徴とする微細パターン修正装置。
【請求項２】
請求項１に記載の微細パターン修正装置において、修正装置の全体を制御する修正装置制御手段またはこの修正装置制御手段の指令により塗布ユニットを制御する塗布制御手段に塗布回数記憶手段を設け、塗布針の取付け時に塗布針のＩＣタグから読み取った塗布回数データを前記塗布回数記憶手段に記憶させる取付時塗布回数転記手段を設け、塗布動作毎に前記塗布回数記憶手段に記憶された塗布回数に１を加える塗布回数加算手段を設け、前記塗布回数書込手段は、前記塗布針の取り外し時に前記塗布回数記憶手段の塗布回数データをその取り外される塗布針のＩＣタグに書き込むものとした微細パターン修正装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の微細パターン修正装置において、修正装置の全体を制御する修正装置制御手段またはこの修正装置制御手段の指令により塗布ユニットを制御する塗布制御手段に、上限塗布回数を設定する上限塗布回数記憶手段と、塗布針の塗布回数を上限塗布回数と比較する塗布針寿命判定手段と、塗布回数が上限塗布回数を上回ったときに警告を行う警告表示手段とを設けた微細パターン修正装置。
【請求項４】
平面基板上に設けた微細パターンのパターン欠陥部に修正液を塗布して修正する微細パターン修正装置に使用される修正用塗布針であって、ベース部と、このベース部に設けられた針部とを有し、非接触で交信が可能なＩＣタグを前記ベース部に設け、このＩＣタグは、この修正用塗布針の塗布回数が交信により記録されるものとしたことを特徴とする修正用塗布針。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、平面表示装置の基板などの平面基板上に設けた微細パターンの欠陥を修正する微細パターン修正装置、および同装置に用いられる修正用塗布針に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の微細パターン修正装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）用カラーフィルタの色抜け欠陥部に、塗布針で修正液を塗布して修正するものが提案されている。また、カラーフィルタの黒欠陥部をレーザでカットすることによって色抜け欠陥部に変え、この色抜け欠陥部を前記塗布針による修正液の塗布で修正する処理を行う（例えば、特許文献１，２）。
【０００３】
このような微細パターン修正装置は、カラーフィルタ基板だけでなく、ＬＣＤやプラズマ表示装置（ＰＤＰ）基板の配線パターンの修正など、平面基板上に設けた微細パターンのパターンが欠落した欠陥部を修正するのに広く使用されている。
【特許文献１】特開２００１−１７４６２５号公報
【特許文献２】特開平９−２３６９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような微細パターン修正装置で用いられる塗布針は、塗布のたびにガラス等の基板に接触させて使用されるため、塗布回数が増加すると先端部が磨耗して先端形状が変化し、修正液の塗布形状や塗布寸法が変化して正確な塗布ができなくなる。そのため、塗布針による修正では、塗布回数を管理して一定回数を越えたら新品の塗布針に交換する必要がある。
また、微細パターンや欠陥のサイズに応じて塗布径を変える場合にも、塗布針を交換する必要がある。さらに、ある修正装置で用いた塗布針を、他の修正装置で使用する可能性もある。しかし、このように塗布針を交換して使用する場合、従来の微細パターン修正装置では、塗布針の履歴（塗布回数）管理が困難であり、適正なパターン修正を行えないという問題が有る。
【０００５】
この発明の目的は、塗布針の塗布回数の履歴管理が容易で、摩耗による不具合を未然に防止でき、塗布修正の品質を維持することができる微細パターン修正装置および修正用塗布針を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の微細パターン修正装置は、平面基板上に設けた微細パターンのパターン欠陥部に塗布針（１３）によって修正液を塗布して修正する微細パターン修正装置において、非接触で交信が可能なＩＣタグ（１７）を塗布針（１３）のベース部（１５）に設け、このＩＣタグ（１７）と交信可能な位置に、前記ＩＣタグ（１７）に対してデータを読み書きするヘッド（１８）を設け、このヘッド（１８）を介して上記ＩＣタグ（１７）に塗布針（１３）の塗布回数を記録させる塗布回数書込手段を設けたことを特徴とする。
この構成によると、塗布針（１３）が修正液の塗布を行った回数を、塗布針（１３）に設けられたＩＣタグ（１７）に塗布回数書込手段によって記録させる。このため、塗布針（１３）のＩＣタグ（１７）を読むことで、塗布針（１３）の塗布回数の履歴管理が行える。塗布針（１３）に設けられたＩＣタグ（１７）に塗布回数を記録するため、各塗布針（１３）の塗布回数を個々に管理することができ、寿命に達する前に新品に交換する等の対応が可能になる。これにより、塗布針（１３）の摩耗による不具合を未然に防止して、塗布修正の品質を維持することができる。
塗布針（１３）は、その取付けを行うためのベース部（１５）を有しているため、このベース部（１５）を利用することで、ＩＣタグ（１７）の取付け場所が確保できる。
【０００７】
この発明において、修正装置の全体を制御する修正装置制御手段（１１）またはこの修正装置制御手段（１１）の指令により塗布ユニット（４）を制御する塗布制御手段（１２）に塗布回数記憶手段（４２）を設け、塗布針（１３）の取付け時に塗布針（１３）のＩＣタグ（１７）から読み取った塗布回数データを前記塗布回数記憶手段（４２）に記憶させる取付時塗布回数転記手段（４３）を設けても良い。また、塗布動作毎に前記塗布回数記憶手段（４２）に記憶された塗布回数に１を加える塗布回数加算手段（４４）を設け、前記塗布回数書込手段（４１）は、前記塗布針（１３）の取り外し時に前記塗布回数記憶手段（４２）の塗布回数データをその取り外される塗布針（１３）のＩＣタグ（１７）に書き込むものとしても良い。
この構成の場合、塗布ユニットに塗布針（１３）が取付けられる時に、取付時塗布回数転記手段（４３）が塗布針（１３）のＩＣタグ（１７）から読み取った塗布回数データを塗布回数記憶手段（４２）に記憶させる。塗布針（１３）による修正液の塗布が繰り返されると、塗布回数加算手段（４４）がその都度、前記塗布回数記憶手段（４２）に記憶された塗布回数に１を加える。塗布ユニット（４）から塗布針（１３）が取り外されるときに、塗布回数書込手段（４１）は、塗布回数記憶手段（４２）の塗布回数データを、取り外される塗布針（１３）のＩＣタグ（１７）に書き込む。このときＩＣタグ（１７）に書き込まれる塗布回数は、取り付け前の塗布回数に、取り付け後の塗布回数を加算したものとなる。そのため、塗布針（１３）の交換が繰り返されても、塗布針（１３）のＩＣタグ（１７）に書き込まれた塗布回数を読み出すことにより、その塗布針（１３）の塗布回数の履歴を正確に管理できることになる。
【０００８】
この発明において、修正装置の全体を制御する修正装置制御手段（１１）またはこの修正装置制御手段（１１）の指令により塗布ユニット（４）を制御する塗布制御手段（１２）に、上限塗布回数を設定する上限塗布回数記憶手段（４５）と、塗布針（１３）の塗布回数を上限塗布回数と比較する塗布針寿命判定手段（４６）と、塗布回数が上限塗布回数を上回ったときに警告を行う警告表示手段（４７）とを設けても良い。
この構成の場合、塗布針寿命判定手段（４６）が、塗布回数記憶手段（４２）に記憶された塗布回数データと上限塗布回数記憶手段（４５）に設定された上限塗布回数と比較し、塗布回数が上限塗布回数を上回ったときに警告表示手段（４７）が画像や音声等で警告を行う。この警告により、設定塗布回数に達したことがオペレータ等に分かり、寿命を越えた塗布針（１３）の使用による修正不良をより確実に防止することができる。
【０００９】
この発明の修正用塗布針（１３）は、平面基板上に設けた微細パターンのパターン欠陥部に修正液を塗布して修正する微細パターン修正装置に使用される修正用塗布針（１３）であって、ベース部（１５）と、このベース部（１５）に設けられた針部（１６）とを有し、非接触で交信が可能なＩＣタグ（１７）を前記ベース部（１５）に設けたものである。このＩＣタグ（１７）は、この修正用塗布針（１３）の塗布回数が交信により記録されるものとする。
この構成によると、塗布針（１３）自体にＩＣタグ（１７）を設けて塗布回数を記録するため、個々の塗布針（１３）の塗布回数の管理が容易に行える。
【発明の効果】
【００１０】
この発明の微細パターン修正装置は、非接触で交信が可能なＩＣタグを塗布針のベース部に設け、このＩＣタグと交信可能な位置に、前記ＩＣタグに対してデータを読み書きするヘッドを設け、このヘッドを介して上記ＩＣタグに塗布針の塗布回数を記録させる塗布回数書込手段を設けたため、個々の塗布針の塗布回数の履歴管理が容易に行え、塗布針の摩耗による不具合を未然に防止して、塗布修正の品質を維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
この発明の一実施形態を図１ないし図５と共に説明する。この実施形態の微細パターン修正装置は、図１にその全体構成を斜視図で示すように、レーザ装置１，観察光学系２，対物レンズ３，および塗布ユニット４が、Ｚ軸テーブル５に搭載されている。Ｚ軸テーブル５は、ベッド８上にＹ軸テーブル７およびＸ軸テーブル６を介して設置され、これらＹ軸テーブル７、Ｘ軸テーブル６、およびＺ軸テーブル５の各軸方向の移動により、塗布ユニット４等が直交３軸方向（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸方向）に移動させられる。すなわち、Ｚ軸テーブル５は、Ｘ軸テーブル６に上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に搭載され、Ｘ軸テーブル６はＹ軸テーブル７に左右方向（Ｘ軸方向）に移動自在に搭載され、Ｙ軸テーブル７はベッド８に前後方向（Ｙ軸方向）に移動自在に搭載されている。
【００１２】
ベッド８上には、平面基板である修正対象ガラス基板９を搭載するガラス定盤１０が設けられている。ガラス定盤１０には、リフタピン孔１０ａと真空吸着溝１０ｂとが形成されている。リフタピン孔１０ａは、修正対象ガラス基板９を搬入搬出する際にリフトアップするリフトアップ機構におけるリフタピン（図示せず）を通すための孔である。真空吸着溝１０ｂは、修正対象ガラス基板９をガラス定盤１０の上面に固定するための真空吸着を行う溝である。真空吸着用溝１０ｂの数箇所には、真空に引くための真空吸着孔（図示せず）が形成されている。
【００１３】
レーザ装置１は、修正対象ガラス基板９上に設けられた微細パターンのパターン欠陥部に塗布した修正液のうち、不要部分にレーザ光を照射して、その熱エネルギーで不要部分を除去する手段である。この場合の微細パターンは、例えばカラーフィルタであり、修正液はそのカラーフィルタの欠陥部に塗布するインクである。微細パターンが電極である場合、修正液は前記電極の欠陥部に塗布する導電性ペーストとされる。観察光学系２は、微細パターンの欠陥部を撮像し、撮像した画面をテレビモニタ（図示せず）に表示するものである。リング照明器３は、修正対象ガラス基板９およびガラス定盤１０に光を照射する手段である。塗布ユニット４は、修正対象ガラス基板９上に設けた微細パターンのパターン欠陥部に修正液（例えばインクあるいは導電性ペースト）を塗布する機構である。
【００１４】
Ｘ軸テーブル６の左右方向の移動、およびＹ軸テーブルの前後方向の移動によって、Ｚ軸テーブル５に搭載されたレーザ装置１，観察光学系２，リング照明器３，および塗布ユニット４は、修正対象ガラス基板９の平面座標であるＸＹ座標の任意の位置に移動可能である。また、Ｚ軸テーブル５の移動によって、レーザ装置１，観察光学系２，対物レンズ３，および塗布ユニット４は、修正対象ガラス基板９の上の任意の高さ位置に設定できる。
【００１５】
この微細パターン修正装置の全体の動作は修正装置制御手段１１によって制御され、レーザ装置１，観察光学系２，リング照明器３，および塗布ユニット４の個別の動作は、個別の制御手段で制御される。
修正装置制御手段１１に付随した操作盤部１１ａは、オペレータに対して各種のデータを表示し、オペレータの操作によって修正装置制御手段１１に対する各種の指令信号を発生する手段である。
上記個別の制御手段の一つとして、図１には塗布ユニット４を制御する塗布制御手段１２を示す。塗布制御手段１２は独立して塗布ユニット４を制御してもよいが、前記修正装置制御手段１１の指令によって塗布ユニット４を制御するようにしてもよい。
【００１６】
塗布ユニット４は、図２に示すように、修正用塗布針１３と、この塗布針１３を上下方向（Ｚ軸方向）に駆動させるアクチュエータ１４とを備える。塗布ユニット４は、水平に設けられた回転テーブル１９と、この回転テーブル１９上に周方向に並べて配置された複数の修正液タンク２１〜２４、洗浄装置２５、およびエアーパージ装置２６とを備える。回転テーブル１９の中心には回転軸２０が立設され、回転テーブル１９の一部は、修正液塗布時に前記塗布針１３を通過させる切欠部２７とされている。修正液タンク２１〜２４には、例えばＲＧＢおよび黒の各色のインクやインクの固着を防ぐ溶剤が適宜注入されている。洗浄装置２５は、塗布針１３の針部１６を洗浄液に浸して洗浄するものである。エアーパージ装置２６は、塗布針１３の針部１６に付着した洗浄液などをエアーで噴射して除去するものである。
【００１７】
また、塗布ユニット４は、回転軸２０を介して回転テーブル１９を回転させるインデックス用モータ２８と、回転軸２０と共に回転するインデックス板２９と、このインデックス板２９を介して回転テーブル１９の回転位置を検出するインデックス用センサ３０と、インデックス板２９を介して回転テーブル１９の回転位置が原点位置に復帰したことを検出する原点復帰用センサ３１とを備える。モータ２８は、センサ３０，３１の出力に基づいて制御され、回転テーブル１９を回転させて修正液タンク２１〜２４、洗浄装置２５、エアーパージ装置２６、切欠部２７のいずれかを塗布針１３の下方に位置させる。
【００１８】
修正用塗布針１３は、図３に拡大して示すように、ベース部１５の下端に針部１６を設けてなり、そのベース部１５がアクチュエータ１４の駆動軸１４ａの下端部に取付けられる。
塗布針１３のベース部１５にはＩＣタグ１７が設けられている。また、このＩＣタグ１７に対してデータを読み書きするヘッド１８が、塗布ユニット４に設けられている。ヘッド１８は、塗布針１３のＩＣタグ１７と交信可能な位置とされる。ここでは、前記アクチュエータ１４の下端にヘッド１８が設けられている。
【００１９】
ヘッド１８は、図４のように、タグリーダ／ライタ３２と、ＩＣタグ１７に対向させるアンテナ３３とを有している。ＩＣタグ１７は、非接触で情報の記録および読取りが可能なものであり、ＩＣチップ（集積回路のチップ）３４と、アンテナ３５とで構成される。これらＩＣチップ３４とアンテナ３５は、例えば樹脂（図示せず）で一体に包装される。ＩＣタグは種々の形式，形状，大きさのものがあり、短冊状や板状の物のほか、例えば１mm未満の大きさの角状や球状のものなどがある。また、対象物に直接に印刷等で形成されるＩＣタグもある。記憶容量も種々異なるものがあるが、用途や取付対象の大きさ，種類等に応じて適宜選択すれば良い。
【００２０】
ＩＣタグ１７としては、例えばＲＦＩＤ（無線周波数認識：Radio Frequency Identification）技術を応用したＲＦＩＤタグが利用できる。ＲＦＩＤ形式のＩＣタグは、伝送方式として静電結合、電磁結合、電磁誘導、マイクロ波、光などを用いる形式のものがあり、このうちいずれの形式のものを用いても良い。例えば電磁誘導形式のもの、またはマイクロ波のものが用いられる。
【００２１】
図５はＩＣタグ１７の具体的回路例を示す。このＩＣタグ１７のＩＣチップ３４は、中央処理装置（ＣＰＵ）３６、メモリ３７、送受信回路３８、および電源回路３９を有しており、電源回路３９はアンテナ３５から電源を得るものとされている。メモリ３７は、情報の記憶に電源が不要なものが用いられる。
【００２２】
図２に示すように、塗布ユニット４を制御する塗布制御手段１２は、塗布回数書込手段４１、塗布回数記憶手段４２、取付時塗布回数転記手段４３、塗布回数加算手段４４、上限塗布回数記憶手段４５、塗布針寿命判定手段４６、及び警告表示手段４７を有する。
【００２３】
塗布回数書込手段４１は、ヘッド１８を介してＩＣタグ１７に塗布針１３の塗布回数を記録させるものである。
取付時塗布回数転記手段４３は、塗布針１３の取付け時に塗布針１３のＩＣタグ１７から読み取った塗布回数データを前記塗布回数記憶手段４２に記憶させる手段である。取付時塗布回数転記手段４３において、塗布針１３が取付けられたことの認識は、例えば塗布ユニット４における塗布針１３の取付部に設けられた塗布針検出スイッチ（図示せず）によって行うものとしても良く、また塗布ユニット４において塗布針１３を取付けたときに必ず行う何らの動作や制御系の処理によって認識するものとしても良い。
塗布回数加算手段４４は、塗布動作毎に前記塗布回数記憶手段４２に記憶された塗布回数に１を加える手段である。塗布動作は、例えば、修正装置制御手段１１における塗布指令により認識できる。
【００２４】
前記塗布回数書込手段４１は、塗布針１３の取り外し時に前記塗布回数記憶手段４３の塗布回数データを、その取り外される塗布針１３のＩＣタグ１７に書き込む。塗布回数書込手段４１において、塗布針１３の取り外し時であることの認識は、例えば装置制御部１１から塗布制御部１２に塗布針交換指令信号が送られたときに、その信号で認識を行うようにする。また、塗布ユニット４における塗布針取付部等に設けられた塗布針検出スイッチ（図示せず）によって塗布針１３の取り外しの認識を行うものとしても良い。ＩＣタグ１７への書き込み処理は瞬時に行えるため、塗布針１３が塗布ユニット４から外れる瞬間等に書き込み処理を行っても、塗布針１３は上記ヘッド１８の近くにあり、塗布回数データの書き込みが可能である。
【００２５】
上限塗布回数記憶手段４５は、塗布針１３に許容される上限の塗布回数を設定する手段である。塗布針寿命判定手段４６は、塗布針１３の塗布回数を上限塗布回数と比較する手段である。警告表示手段４７は、塗布回数が上限塗布回数を上回ったときに警告を表示する手段である。警告の表示は、例えば修正装置制御手段１１（図１）に付属する操作盤部１１ａの有する液晶表示装置（図示せず）等の画面に、画像や文字等により行うものとしても良く、また音声等によって行うものとしても良い。
【００２６】
次に、この微細パターン修正装置の動作について説明する。先ず、Ｘ軸テーブル６，Ｙ軸テーブル７およびＺ軸テーブル５を移動させて、塗布ユニット４の修正用塗布針１３を修正対象ガラス基板９の上の微細パターン（例えばカラーフィルタ）の欠陥部の上方の所定位置に位置させる。上記欠陥部は、微細パターンの欠落した部分である。次いで、回転テーブル１９を回転させて、欠陥部に塗布すべき修正液（ここではインク）が蓄えられた修正液タンク２１〜２４を塗布針１３の下方に位置させ、アクチュエータ１４によって塗布針１３を上下させ塗布針１３の針部１６（図３）に修正液を付着させる。
【００２７】
次に、回転テーブル１９を回転させて切欠部２７を塗布針１３の下方に位置させ、アクチュエータ１４によって塗布針１３を下降させて、針部１６で微細パターンの欠陥部に修正液を塗布する。修正液の塗布終了後、アクチュエータ１４によって塗布針１３を元の位置に上昇させ、回転テーブル１９を回転させて洗浄装置２５を塗布針１３の下方に位置させる。次いで、アクチュエータ１４によって塗布針１３を下降させ、その針部１６を洗浄装置２５で洗浄する。洗浄終了後、アクチュエータ１４によって塗布針１３を元の位置に上昇させ、回転テーブル１９を回転させてエアーパージ装置２６を塗布針１３の下方に位置させる。この後、アクチュエータ１４によって塗布針１３を下降させ、針部１６に付着した洗浄液をエアーの噴射で除去する。エアーパージ終了後、アクチュエータ１４によって塗布針１３を元の位置に上昇させる。これにより、塗布針１３による１回の修正が終了する。
【００２８】
塗布針１３の交換等に際して、塗布針１３を塗布ユニット４に取付けた時は、取付時塗布回数転記手段４３は、ヘッド１８を介して、塗布針１３のＩＣタグ１７から塗布針１３の履歴である塗布回数データを読み取り、塗布回数記憶手段４２に記憶させる。この後、上記した塗布動作が１回行われる毎に、塗布回数加算手段４４は塗布回数記憶手段４２の記憶する塗布回数に１を加える。したがって、塗布回数記憶手段４２は、現在使用している塗布針１３の履歴となる塗布回数を記憶することになる。
【００２９】
塗布針１３を塗布ユニット４から取り外すときは、塗布回数書込手段４１は、塗布回数記憶手段４２が記憶している塗布回数データを、取り外される塗布針１３のＩＣタグ１７に書き込む。このとき書き込まれる塗布回数データは、塗布ユニット４への取付け時にＩＣタグ１７に記録されていた塗布回数に、取り外し時までに行った塗布回数を加算したものとなる。
【００３０】
このようにして、塗布針１３のＩＣタグ１７には、塗布ユニット４への取付け・取外しが繰り返されても、塗布回数についての履歴が正確に更新して記録される。その結果、ＩＣタグ１７に記録されている塗布回数を管理することで、寿命を越えた塗布針１３の使用による修正不良を防止できる。
また、この実施形態では、塗布ユニット４から塗布針１３を取り外すときだけ、ＩＣタグ１７に塗布回数を更新して書き込むようにしているので、ＩＣタグ１７のデータ書換え回数に制限がある場合に有効である。ＩＣタグ１７がデータ書換え回数に制限がないものである場合は、微細パターン修正装置全体の動きを制御する修正装置制御手段１１（図１）から塗布制御手段１２に塗布指令信号が送られる毎に、塗布回数書込手段４１から塗布針１３のＩＣタグ１７に塗布回数を加算して記録するようにしても良い。
【００３１】
また、この実施形態では、塗布針寿命判定手段４６が、前記塗布回数記憶手段４２の塗布回数データを上限塗布回数記憶手段４５の記憶する上限塗布回数と比較し、塗布回数が上限塗布回数を上回ったときに警告表示手段４７が警告を表示するようにしているので、寿命を越えた塗布針１３の使用による修正不良をより確実に防止できる。
【００３２】
また、塗布針１３は、ベース部１５と、このベース部１５に設けられた針部１６とを有し、前記ベース部１５にＩＣタグ１７を設けているので、ＩＣタグ１７の取付箇所が塗布針１３に確保でき、またＩＣタグ１７が塗布針１３の動作の妨げになることがない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】この発明の一実施形態にかかる微細パターン修正装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】同微細パターン修正装置における塗布ユニットの構成を示す説明図である。
【図３】同塗布ユニットにおける塗布針の拡大斜視図である。
【図４】同塗布ユニットにおける塗布針のＩＣタグとヘッドとの関係を示すブロック図である。
【図５】ＩＣタグの概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００３４】
４…塗布ユニット
１１…修正装置制御手段
１２…塗布制御手段
１３…修正用塗布針
１５…ベース部
１６…針部
１７…ＩＣタグ
１８…ヘッド
４１…塗布回数書込手段
４２…塗布回数記憶手段
４３…取付時塗布回数転記手段
４４…塗布回数加算手段
４５…上限塗布回数記憶手段
４６…塗布針寿命判定手段
４７…警告表示手段
【図１】
2006039356.tif 000003
【図２】
2006039356.tif 000004
【図３】
2006039356.tif 000005
【図４】
2006039356.tif 000006
【図５】
2006039356.tif 000007