(57)【要約】【課題】搬送経路と処理装置との間で板状ワークを損傷することなく移載できる搬送システムを提供することを目的とする。【解決手段】液晶ガラス２を１枚ずつトレイ２０に載置して搬送経路３に沿って搬送させる搬送システム１であって、該液晶ガラス２を非接触で保持しつつ該搬送経路３と処理装置４との間で該液晶ガラス２を移載する移載装置５を設けた。この移載装置５は、ベルヌーイ効果の負圧を利用して前記液晶ガラス２を非接触状態で懸垂保持するワーク吸着装置５０を備えてなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを１枚ずつトレイに載置して搬送経路に沿って搬送させる搬送システムであって、該板状ワークを非接触で保持しつつ該搬送経路と処理装置との間で該板状ワークを移載する移載手段を設けたことを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記移載手段は、ベルヌーイ効果の負圧を利用して前記板状ワークを非接触状態で懸垂保持するワーク吸着装置を備えてなることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記移載手段は、前記搬送経路若しくは処理装置まで前記板状ワークを搬送するコンベアを備え、該コンベアは、板状ワークを載置面より浮上させて搬送するものとしたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システムに関し、より詳細には、搬送ラインを搬送される板状ワークをトレイより取り出して処理装置に供給する板状ワークの移載技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）などの電子ディスプレイに用いられる液晶ガラス等の板状ワークを搬送経路に沿って搬送する搬送システムとして、板状ワークを載置したトレイ（搬送容器）を、ローラコンベア等のコンベアが施設された搬送経路に沿って順に搬送し、搬送経路中に設けられた移載装置によって、板状ワークをトレイから処理装置へ移載する搬送システムが公知である。
【０００３】
このような搬送システムにおいて、板状ワークを損傷させずに移載して作業効率を向上させるように構成した移載装置を備えたものが提案されている。例えば、特許文献１に、搬送経路に穿設された通過孔より上下方向に突出・退避する移載ローラを備え、この移載ローラが通過孔より搬送経路の上方に突出するように上昇することによって、トレイに載置された板状ワークが、搬送経路から処理装置まで施設された連絡コンベアに移載されて、処理装置まで供給されるように構成された移載装置を備えてなる搬送システムが開示されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１６８４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
なるほど、上記特許文献１に開示される搬送システムでは、トレイに板状ワークが載置されて搬送されるため、板状ワークが直接搬送経路と接触せず、損傷を防止できる。しかし、板状ワークが搬送経路から処理装置に移載される際に、板状ワークが移載ローラによって下方から当接され、この移載ローラが回転駆動されて連結コンベアへと搬送されるように構成されているため、移載ローラとの接触部において板状ワークに傷が付いてしまう恐れがあった。また、移載ローラが上昇して板状ワークが一旦搬送経路より高い位置に持ち上げられるため、連絡コンベアに移載される際の衝撃で板状ワークが破損する可能性があった。さらに、近年、液晶ディスプレイ等の大型化に伴って、多きなサイズの板状ワークが製造され始めているところであり、このような大きなサイズの板状ワークは特に損傷し易くなっている。
【０００５】
そこで、本発明は、搬送システムに関し、上記従来の課題を解決するもので、搬送経路と処理装置との間で板状ワークを損傷することなく移載できる搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００７】
すなわち、請求項１においては、板状ワークを１枚ずつトレイに載置して搬送経路に沿って搬送させる搬送システムであって、該板状ワークを非接触で保持しつつ該搬送経路と処理装置との間で該板状ワークを移載する移載手段を設けたものである。
【０００８】
請求項２においては、前記移載手段は、ベルヌーイ効果の負圧を利用して前記板状ワークを非接触状態で懸垂保持するワーク吸着装置を備えてなるものである。
【０００９】
請求項３においては、前記搬送経路若しくは処理装置まで前記板状ワークを搬送するコンベアを備え、該コンベアは、板状ワークを載置面より浮上させて搬送するものとしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１１】
請求項１に示す構成としたので、板状ワークを他の部材と当接させないため傷が付くことがなく、また搬送経路（処理装置）から取り上げられて処理装置（搬送経路）に載置される際の衝撃を低減でき、搬送経路と処理装置との間で板状ワークを移載する際に、板状ワークが損傷するのを防止できる。
【００１２】
請求項２に示す構成としたので、板状ワークの上面の損傷を防止するとともに、大きな板状ワークであっても確実に保持できる。また、板状ワークを確実に保持したまま、水平・上下・左右方向に容易に移動させることができる。さらに、板状ワークをトレイの上方から保持することができるので、トレイに通過孔等を形成する必要がない。
【００１３】
請求項３に示す構成としたので、板状ワークを非接触に保持してコンベアまで移動させ、このコンベアによって板状ワークを浮上させて非接触で処理装置まで搬送させることができ、板状ワークの損傷をより確実に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は本発明の一実施例に係る搬送システムの全体的な構成を示した平面図、図２は移載装置の正面図、図３はベルヌーイ効果を説明した平面図及び正面図、図４は浮上搬送装置の浮上用ユニットの平面図及び正面断面図、図５は浮上搬送装置の推進用ユニットの平面図及び正面断面図、図６は浮上搬送装置の各ユニットを配置した連絡コンベアの平面図、図７はワーク吸着装置の動作を示す正面図、図８は別実施例に係る搬送システムの全体的な構成を示した平面図である。
【００１５】
＜全体構成＞
図１に示すように、本実施例に係る搬送システム１は、液晶ガラス２を一枚ずつトレイ２０に載置して、トレイ２０を搬送経路３に沿って搬送するように構成されている。そして、搬送経路３には、搬送方向に対して略垂直方向に所定の処理装置４が延設され、この搬送経路３上のトレイ２０と処理装置４との間で液晶ガラス２を移動させる液晶ガラス２の移載手段としての移載装置５が配設されている。以下、搬送経路３におけるトレイ２０の搬送方向をＸ方向とする（図１における上方向）。
【００１６】
トレイ２０に載置されて搬送・格納される板状ワークとして、例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）などの電子ディスプレイに用いられるガラス基板等が挙げられる。液晶ディスプレイ用のガラス基板である液晶ガラス２とは、ガラス基板単体や、ガラス基板をアレイ化するアレイ製造工程及びガラス基板上にカラーフィルタを積層させるカラーフィルタ製造工程等における各ガラス基板や、これらを組み合わせたガラス基板等の総称をいう。本実施例においては、板状ワークとしてこの液晶ガラス２を用いる場合について説明するが、板状ワークとしては特にこれに限定されるものではない。
【００１７】
液晶ガラス２は、平面視略矩形に形成されたトレイ２０に一枚ずつ載置された状態で搬送される（枚葉搬送）。このトレイ２０は、中央上面に液晶ガラス２を水平に載置可能な平滑面２１が形成されており、液晶ガラス２は、この平滑面２１に対して略平行状態を保ったままトレイ２０に載置され又は持ち上げられ、液晶ガラス２の下面に傷が付かないように取り扱われる。
【００１８】
＜搬送経路３＞
図１及び図２に示すように、搬送経路３には、トレイ２０を載置して一定方向（Ｘ方向）に連続搬送するコンベア３０が施設されている。本実施例におけるコンベア３０は、ローラコンベアとして、モータ等の駆動装置（図略）によって各ローラが一方向に回転駆動され、トレイ２０が一方向（Ｘ方向）に搬送されるように構成されている（図２参照）。コンベア３０は、ローラコンベアの他に、ベルトコンベア及びチェーンコンベアや、重力を利用したグラビティコンベアや、空気を媒体としたニューマチックコンベアなどを用いることができる。また、コンベア３０は、トレイ２０を位置固定させてこれを連続搬送するように構成してもよい。
【００１９】
搬送経路３の中途部には、トレイ２０から液晶ガラス２を取り出すステーション３１と、液晶ガラス２を載置しない状態の空のトレイ２０に液晶ガラス２を載置するステーション３２とが構成されている。ステーション３１・３２は、搬送経路３に連設される処理装置４への入出口とされており、ステーション３１・３２を介して、搬送経路３と処理装置４との間を液晶ガラス２のみが移載される。このステーション３１・３２は、搬送経路３と同様にコンベア３３・３４が施設され、コンベア３３・３４が前記搬送経路３のコンベア３０と連動してトレイ２０の搬送・停止が繰り返して行われるように構成されている。その際、コンベア３０・３３・３４は、それぞれ別個に図示せぬ制御装置によって駆動制御される。なお、ステーション３１・３２は、搬送経路３に一体的に構成され、搬送経路３及びステーション３１・３２にコンベア３０が連続して施設されるように構成してもよく、かかる場合には、コンベア３０が駆動制御されることで、ステーション３１・３２の配設位置でトレイ２０が停止される。
【００２０】
ステーション３１・３２の間には、空のトレイ２０を収納するバッファステーション（図略）を設けてもよい。バッファステーションでは、複数の空のトレイ２０を一時保管収納し、順次一枚ずつステーション３２へと出庫するように構成される。バッファステーションを設けることで、ステーション３１・３２間に空のトレイ２０を滞留させずスムーズなトレイ２０の搬送が可能となり、処理装置４に搬送される液晶ガラス２の数を増大でき、搬送システム１のコンパクト化及び作業効率を向上できる。
【００２１】
搬送システム１は、搬送経路３が環状に構成されてもよく又は直線状に構成されてもよい。また、ステーション３１よりも上流側であって搬送経路３の一端部に、スタッカクレーン・軌道台車・無人走向車（ＡＧＶ）等によって別の搬送システムからトレイ２０が供給れるように構成したり、ステーション３２の下流側の一端部に、スタッカクレーン等によって別の搬送システムにトレイ２０を供給するように構成したりしてもよい。
【００２２】
＜処理装置４＞
図１に示すように、処理装置４は、例えば、液晶ガラス２を用いた液晶ディスプレイの製造工程において、アレイ製造装置や、カラーフィルタ製造装置や、検査装置等が配設される。本実施例では、液晶ガラス２とトレイ２０とが分離して搬送され、液晶ガラス２のみが搬送経路３のステーション３１から処理装置４へと連続して搬送され、やがてステーション３１よりも下流側に位置されるステーション３２に搬送されるように構成されている。処理装置４内における液晶ガラス２の搬送経路の詳細は、特に限定するものではない。本実施例では、搬送経路３と処理装置４との間に連絡コンベア５１が施設されるとともに、ステーション３１から移載された液晶ガラス２が、処理装置４内を搬送された後ステーション３２まで連続して搬送されるように構成されている。
【００２３】
＜移載装置５＞
図１及び図２に示すように、移載装置５は、搬送経路３と処理装置４との間で液晶ガラス２を移載する移載手段として構成されており、本実施例における移載装置５は、搬送経路３若しくは処理装置４から液晶ガラス２を非接触で取り出して、液晶ガラス２を搬送経路３及び処理装置４間で移載させるワーク吸着装置５０と、液晶ガラス２を処理装置４まで搬送する連絡コンベア５１等とで構成されている。具体的には、搬送経路３のステーション３１・３２の同側方に、略同一に構成されたワーク吸着装置５０が配置されるとともに、ワーク吸着装置５０よりも側方であって、搬送経路３と処理装置４との間を連絡するように搬送方向に対して略垂直方向に延設された連絡コンベア５１が配置される。
【００２４】
ワーク吸着装置５０は、搬送経路３上のトレイ２０から液晶ガラス２を非接触に保持して取り出し、搬送経路３から連絡コンベア５１まで移動させ、保持された液晶ガラス２を連絡コンベア５１上に移載させるとともに、連絡コンベア５１上の液晶ガラス２を非接触に保持して取り出して、連絡コンベア５１から搬送経路３まで移動させ、搬送経路３上のトレイ２０に移載させるように構成されている。具体的には、床上に設置された基台５２と、基台５２の上面に上下方向に伸縮自在かつ円周方向に回動自在に構成された昇降装置５３と、昇降装置５３に一端が枢支されて略水平方向に伸縮自在に操作されるアーム５４と、アーム５４の他端に配設されるベルヌーイアーム５５と、ベルヌーイアーム５５の下面に配設された複数のベルヌーイチャック５６等とで構成されている。
【００２５】
基台５２は、床上に駆動不能に固設されても、駆動装置によって床上を走行可能に構成されてもよい。走行可能に構成される場合として、例えば、ステーション３１・３２のいずれか一側方に１個のワーク吸着装置５０が配設され、ステーション３１・３２間を往復移動可能となるように構成される。かかる場合には、基台５２は、自動走行式や床上・天井部に施設された軌道上を走行する軌道式等に構成される。
【００２６】
昇降装置５３は、略円柱状に形成され、基台５２に対して上下方向に伸縮自在に構成される。昇降装置５３は、正面視においてアーム５４及びベルヌーイアーム５５が搬送経路３及び連絡コンベア５１の上方に位置するように上下方向に伸長され、一方で、このアーム５４によって保持された液晶ガラス２を搬送経路３上のトレイ２０及び連絡コンベア５１に載置するように上下方向に収縮される。また、昇降装置５３は、円周方向に回動自在に構成され、アーム５４及びベルヌーイアーム５５が搬送経路３と連絡コンベア５１との間を回動して液晶ガラス２が移載される。本実施例においては、搬送経路３のステーション３１・３２と連絡コンベア５１の端部（搬入部５１ａ及び搬出部５１ｂ）とが、搬送方向（Ｘ方向）に対して略直交する位置に配設されるため、少なくとも基台５２を中心としてアーム５４及びベルヌーイアーム５５が略１８０度以上の回動角で回動されるように構成される。
【００２７】
アーム５４は、昇降装置５３の円周方向であって略水平方向に伸縮自在に構成され、平面視において略直線状に伸長される状態と、略「く」字状に収縮される状態とを連続して切り換え可能に構成されている。このアーム５４は、図示せぬギア等によって伸縮制御される。このように構成されることで、アーム５４の端部に取り付けられたベルヌーイアーム５５を装置本体に近づけたり遠ざけたりして、液晶ガラス２を水平方向に自在に移動させることができる。本実施例では、アーム５４は、二つのアーム部５４ａ・５４ａが端部を回動自在に枢結され、アーム５４が伸縮されるように形成されているが、その構成は限定されない。例えば、アーム部５４ａの構成数を増やしてもよく、また各アーム部５４ａが略平行に摺動してアーム５４を伸縮させるように構成してもよい。
【００２８】
ベルヌーイアーム５５は、平面視長板状に形成され、アーム５４の端部から略水平方向に延設される。ベルヌーイチャック５６は、ベルヌーイアーム５５の下面に、略等間隔に複数個（本実施例では３個）配設され、液晶ガラス２と対向する吸引面５６ａがそれぞれ略水平となるように取り付けられている。ベルヌーイチャック５６は、下方に開口した吸引面５６ａからエアーが噴き出されることによって、ベルヌーイチャック５６と液晶ガラス２との間の空間で負圧作用が働いて、液晶ガラス２が吸引面５６ａ方向に吸引されるベルヌーイ効果の負圧の作用によって、液晶ガラス２を非接触状態で懸垂保持するものである。すなわち、ワーク吸着装置５０は、ベルヌーイチャック５６によって液晶ガラス２を非接触に懸垂保持することができるように構成されている。
【００２９】
図３を用いて、ベルヌーイ効果の負圧の原理をより詳細に説明すると、液晶ガラス２の上面（ベルヌーイチャック５６の吸引面５６ａと対向する面）とベルヌーイチャックの吸引面５６ａ（液晶ガラス２と対向する面）の間に、ベルヌーイチャック５６の吸引面５６ａに穿設された噴出孔（図略）から液晶ガラス２の上面に向けて高速で気体５７が噴き出される。この噴き出された気体５７は、液晶ガラス２の上面に沿って放射状又は旋回成分を持って周縁へ流れ、一方で吸引面５６ａの下方には気流がないので、吸引面５６ａと液晶ガラス２の上面とで囲繞される空間に負圧が発生し、液晶ガラス２の上面は吸引面５６ａに対して負圧になる。その結果、液晶ガラス２は、ベルヌーイチャック５６との間に空間を有した状態、すなわち、非接触状態で懸垂保持されるのである。
【００３０】
ベルヌーイアーム５５におけるベルヌーイチャック５６の取り付け位置や個数は、上述した構成に限定されず、大型の液晶ガラス２であっても確実に懸垂保持できるように構成されればよい。特に、本実施例に示すように、ベルヌーイチャック５６を複数個設けることで、液晶ガラス２の上面に満遍なく気体を噴き出すことができ、これを確実に保持することができる。また、ベルヌーイアーム５５を、平面視において液晶ガラス２の形状と略一致するか若しくは僅かに大きくなるように形成して、ベルヌーイアーム５５の下面にベルヌーイチャック５６を適宜配置するように構成してもよい。かかる場合には、大きな液晶ガラス２であっても、中央部と四隅とで撓みなどを防止でき、液晶ガラス２をより確実に保持することができる。
【００３１】
このように、本実施例に係るワーク吸着装置５０は、液晶ガラス２の取り出し部（チャック）であるベルヌーイチャック５６の姿勢を変えないで、水平・上下・左右方向に自在に移動させるように構成される。このように構成することで、搬送経路３及び処理装置４の離間や配設位置を問わず、液晶ガラス２をベルヌーイチャック５６によって略水平に懸垂保持されたまま移載させることができ、トレイ２０や連絡コンベア５１等に確実に載置できるとともに、かかる移載作業中における液晶ガラス２の損傷を防止できる。
【００３２】
なお、搬送経路３のステーション３１・３２に、トレイ２０の載置面の下方位置にファンやブロアを設けて、ファン若しくはブロアからの送気がトレイ２０の載置面に向けて吹き出されるように構成してもよい。かかる場合には、トレイ２０には、液晶ガラス２の載置面に通風口が開口される。このように構成することで、ファン等からの送気によって液晶ガラス２が上方に浮上して、ベルヌーイチャック５６によって容易に吸引できるとともに、トレイ２０に載置する際の衝撃を和らげることができる。同様に、連絡コンベア５１の両端部（搬入部５１ａ及び搬出部５１ｂ）において、液晶ガラス２が載置される載置面の下方位置にファン等を設けてもよい。
【００３３】
＜連絡コンベア５１＞
図１に示すように、連絡コンベア５１は、ワーク吸着装置５０によって搬送経路３上のトレイ２０から取り出された液晶ガラス２が移載されて、この液晶ガラス２を処理装置４まで搬送するとともに、処理装置４によって処理された液晶ガラス２をワーク吸着装置５０まで搬送するように構成されている。なお、連絡コンベア５１は、搬送経路３と処理装置４との間に施設されるものであって、かかる連絡コンベア５１を介さずに、ワーク吸着装置５０によって搬送経路３と処理装置４との間で直接液晶ガラス２を移載させるように構成してもよい。本実施例では、連絡コンベア５１が処理装置４内へと延設され、処理装置４の搬送経路を兼ねるように構成されている。
【００３４】
連絡コンベア５１として、液晶ガラス２の搬送手段は特に限定されず、ローラコンベアやベルトコンベア等のように液晶ガラス２と連絡コンベア５１とが直に接触するように構成してもよいが、本実施例では、連絡コンベア５１に、液晶ガラス２を浮上搬送させる浮上搬送装置６０が設けられ、液晶ガラス２を非接触の状態で搬送可能に構成されている。
【００３５】
ここで、浮上搬送装置６０の構成について、以下に詳述する。
図４乃至図６に示すように、浮上搬送装置６０は、連絡コンベア５１に載置された液晶ガラス２をファンやブロアによって載置面より浮上させた状態で、搬送方向に非接触の状態で搬送可能に構成されている。具体的には、浮上搬送装置６０は、浮上用ユニット６１や推進用ユニット６２等のユニットが複数配列されて構成されている。ユニット６１・６２には、それぞれファン６３が内蔵され、筐体６４・６５の上部に吹出口６６・６７が形成されている。浮上用ユニット６１の場合には、空気の吹き出し方向は直上である。推進用ユニット６２の場合には、空気の吹き出し方向は斜め上方であって、そのためにルーバ６８・６９が取り付けられている。
【００３６】
ユニット６１・６２は、推進用ユニット６２に取り付けられたルーバ６８・６９による吹き出し方向に調整以外は、ファン６３からの送気が真っ直ぐに吹出口６６・６７に達するように構成されている。そのため、筐体６４・６５とファン６３との間に送気路の曲げはなく、ルーバ６８・６９によるものを除けばファン６３の出口からの圧損がないように構成される。ファン６３は、ユニット６１・６２毎に１個ずつ設けられ、風量を独立して制御できるように構成されている。ファン６３からの送気は、ユニット６１・６２の下側の空気を上側へと送り出されるため、コンプレッサや、高圧空気のタンクや、ノズルなどが不要となる。
【００３７】
ユニット６１・６２は、連絡コンベア５１の搬送方向の左右方向（搬送方向と水平面内で直角方向）に沿って複数個配列され、本実施例では、５〜４０個程度配列される。配列される個数は、ファン６３の出力や液晶ガラス２の大きさ等に応じて適宜変更できる。そして、連絡コンベア５１に配列されるユニットは、その作用目的に応じて分類され、液晶ガラス２の搬送位置に従ってファン６３のＯＮ／ＯＦＦや風量が制御されて、液晶ガラス２の姿勢や速度などが微調整される。各ユニット６１のファン６３は、ユニット毎に独立して制御可能とされるが、すべてのユニット６１等を別々に制御する必要はなく、例えば搬送方向の略同じ位置に左右に並ぶ浮上用ユニット６１は、１つの群として同じタイミングでＯＮ／ＯＦＦ制御される。
【００３８】
具体的には、各ユニット６１等は、搬送方向に沿って直線状に配列され、搬送方向に直角な方向には、例えば、交互に配置される等して千鳥状に配置される。搬送方向に平行なユニットの列と列との間隙にガイド通路７０が形成され、図示せぬガイド部材によって液晶ガラス２をガイドする場合には、このガイド通路７０に沿ってガイド部材が移動される。また、搬送方向と直交するユニットの列と列とに間隙７１が形成され、ユニット６１等の設定やメンテナンスなどを容易にするために設けられる。ガイド通路７０や間隙７１の底面を塞いで、ユニット６１等から吹き出された空気が逃げないようにしてもよい。あるいは、ガイド通路７０や間隙７１の底面を塞ぐことなく、ユニット６１等から吹き出された空気を、図示せぬファンユニットに還流させて、液晶ガラス２の浮上等に用いられる空気として循環させるようにしてもよい。
【００３９】
図６を用いて、連絡コンベア５１におけるユニット６１等の配置例を説明する。連絡コンベア５１の中央部には高速推進用ユニット６２ａが配設され、その両側に低速推進用ユニット６２ｂ・６２ｂが配設される。本実施例では、推進用ユニット６２として、高速推進用ユニット６２ａ及び低速推進用ユニット６２ｂが合計３列配設されるが、１列あるいは５列配設されてもよい。３列以上配設させる場合には、中央部に高速推進用ユニット６２ａが１列乃至３列程度配設され、その両側に低速推進用ユニット６２ｂが１列乃至３列程度配設される。低速推進用ユニット６２ｂの両外側には、浮上用ユニット６１が複数列配設され、さらにその外側にセンタリングユニット７３が配設される。センタリングユニット７３は、空気を連絡コンベア５１の内側斜め上方へと吹き出すように構成され、常時液晶ガラス２よりも左右方向外側に位置するように、液晶ガラス２を連絡コンベア５１の略中央方向に押圧する。
【００４０】
複数列の推進用ユニット６２を配設した場合、各列からの推進力がアンバランスであると搬送される液晶ガラス２が回転してしまうが、連絡コンベア５１の中央部に高速推進用ユニット６２ａを配設するとともに、その両側に低速推進用ユニット６２ｂ・６２ｂを配設することで、これら推進用ユニット６２（６２ａ・６２ｂ）による液晶ガラス２の姿勢変化を防止できる。また、センタリングユニット７３を備えることで、液晶ガラス２の搬送姿勢を矯正することができ、特に液晶ガラス２の四隅が連絡コンベア５１の側壁等に衝突して損傷するのを防ぐことができる。
【００４１】
高速推進用ユニット６２ａの列と低速推進用ユニット６２ｂの列との間に、浮上用ユニット６１の列を配設させてもよく、また高速推進用ユニット６２ａの列や低速推進用ユニット６２ｂの列の中に浮上用ユニット６１を混在させてもよい。さらに、連絡コンベア５１には、側壁の内側面に衝撃を吸収するクッション素材により形成された衝撃吸収部材等を施設してもよい。
【００４２】
連絡コンベア５１には、搬送経路３側の端部に液晶ガラス２の搬入部５１ａと搬出部５１ｂとが形成されており、搬入部５１ａではワーク吸着装置５０によって保持された液晶ガラス２が連絡コンベア５１上に載置され、搬出部５１ｂでは処理装置４によって処理された液晶ガラス２が停止されてワーク吸着装置５０によって取り出される。そのため、上述した浮上搬送装置６０のユニット６１等の配設を組み合わせて、液晶ガラス２の搬送を開始し、一時停止できるように構成されている。
【００４３】
このように、連絡コンベア５１に浮上搬送装置６０を設けることで、液晶ガラス２を処理装置４まで非接触の状態で搬送できる。そのため、移載装置５において、液晶ガラス２を、上述したワーク吸着装置５０によって非接触に保持されて連絡コンベア５１まで移動させ、さらには連絡コンベア５１によって液晶ガラス２を浮上させて非接触で処理装置４まで搬送させることができ、液晶ガラス２の損傷をより確実に防止できる。また、搬送経路３と処理装置４とが離れて連絡コンベア５１による搬送距離が長くなっても、液晶ガラス２の損傷を効果的に防止できるため、搬送システム１の多様なレイアウトが可能となる。例えば、液晶ガラス２を非接触の状態のまま移載させたい場合に、搬送経路３から処理装置４までの距離が離れて配設されていても、搬送経路３と処理装置４との間をワーク吸着装置５０が往復移動して液晶ガラス２を移載させるのではなく、ワーク吸着装置５０を移動不能に固定するとともに、ワーク吸着装置５０から処理装置４まで連絡コンベア５１を施設すればよい。なお、液晶ガラス２を処理装置４から搬送経路３まで移載させる場合も同様である。
【００４４】
＜移載装置５の作動例＞
図１及び図７を用いて、移載装置５の作動の一例を、以下に説明する。
搬送経路３から処理装置４に液晶ガラス２を移載する場合について説明すると、搬送方向の上流にからコンベア３０によって、液晶ガラス２が載置されたトレイ２０がＸ方向に搬送され、ステーション３１に停止される。ワーク吸着装置５０の昇降装置５３とアーム５４とが駆動されて、トレイ２０（液晶ガラス２）の略直上にベルヌーイアーム５５が位置される（図７（ａ）参照）。このとき、ワーク吸着装置５０は、液晶ガラス２の上面とベルヌーイチャック５６の吸引面５６ａとが略平行となる状態で停止される。次いで、アーム５４は固定されて昇降装置５３のみが収縮されて、ベルヌーイ効果が作用される位置までベルヌーイチャック５６が液晶ガラス２の上面に近接される（図７（ｂ）参照）。かかる状態で、ベルヌーイチャック５６の吸引面５６ａから気体５７が噴き出されて、液晶ガラス２がベルヌーイチャック５６との空間を有して浮上された非接触で保持される。液晶ガラス２が保持された状態で、昇降装置５３が伸長されて液晶ガラス２が持ち上げられ（図７（ｃ）参照）、アーム５４が回動されて液晶ガラス２が連絡コンベア５１の搬入部５１ａの直上方にまで移動される（図１参照）。
【００４５】
液晶ガラス２を連絡コンベア５１の搬入部５１ａに載置する際には、液晶ガラス２を搬送経路３から取り出す場合とは逆の順序で、まず液晶ガラス２が連絡コンベア５１の上面に当接するまで昇降装置５３が収縮され、次いでベルヌーイチャック５６の吸引面５６ａからの気体５７の噴き出しが停止されて、ワーク吸着装置５０に液晶ガラス２が保持された状態が解除される。連絡コンベア５１に載置された液晶ガラス２は、処理装置４内へと移載され、やがて搬出部５１ｂにまで搬送される。液晶ガラス２が連絡コンベア５１の搬入部５１ａに載置されると、連絡コンベア５１によって液晶ガラス２が処理装置４方向に搬送される。なお、ステーション３１でワーク吸着装置５０によって液晶ガラス２が取り出されたトレイ２０は、そのまま搬送経路３をＸ方向に搬送されて、ステーション３２において再び液晶ガラス２が載置される。
このようにして、液晶ガラス２は搬送経路３から処理装置４へと移載される。
【００４６】
一方、処理装置４から搬送経路３に液晶ガラス２を移載する場合は、処理装置４にて処理された液晶ガラス２は、連絡コンベア５１によって搬出部５１ｂにまで搬送されて停止される。ワーク吸着装置５０の昇降装置５３とアーム５４が駆動されて、液晶ガラス２の上面とベルヌーイチャック５６の吸引面５６ａとが略平行となるように、液晶ガラス２の略直上にベルヌーイアーム５５が位置される。次いで、昇降装置５３のみが収縮されて、ベルヌーイチャック５６が液晶ガラス２の上面に近接され、ベルヌーイチャック５６の吸引面５６ａから気体５７が噴き出されて、液晶ガラス２がベルヌーイチャック５６との空間を有して浮上された非接触で保持される。液晶ガラス２が保持された状態で、昇降装置５３が伸長されて液晶ガラス２が持ち上げられ、アーム５４が回動されて、ステーション３２に待機されたトレイ２０の直上方にまで移動される。そして、液晶ガラス２がトレイ２０の上面に当接するまで昇降装置５３が収縮され、ベルヌーイチャック５６の吸引面５６ａからの気体５７の噴き出しが停止されて、ワーク吸着装置５０に液晶ガラス２が保持された状態が解除される（図１参照）。
このようにして、液晶ガラス２は処理装置４から搬送経路３へと移載される。
【００４７】
以上のように、本実施例に係る搬送システム１は、移載装置５によって液晶ガラス２を非接触で保持しつつ搬送経路３と処理装置４の間を移載するように構成するため、搬送経路３と処理装置４との間で液晶ガラス２を移載する際に、液晶ガラス２が損傷するのを防止できる。すなわち、液晶ガラス２はコンベア等の他の部材と当接しないので、当接部において液晶ガラス２に傷が付くことがなく、また搬送経路３（連絡コンベア５１）から取り上げられて連絡コンベア５１（搬送経路３）に載置される際の衝撃を低減できる。
【００４８】
特に、移載装置５にベルヌーイチャック５６を配設して、このベルヌーイチャック５６によって液晶ガラス２を非接触で懸垂支持するように構成することで、液晶ガラス２の上面の損傷を防止するとともに、大きな液晶ガラス２であっても確実に保持できる。また、液晶ガラス２を保持したまま、水平・上下・左右方向に自在にかつ容易に移動させることができ、ひいては搬送システム１の配置構成を自在に変更できる。さらに、液晶ガラス２をトレイ２０の上方から保持することができるので、トレイ２０に通過孔等を形成する必要がない。
【００４９】
また、図８に示すように、搬送システム１の構成は、上述したものに限定されず、例えば、搬送経路３の一側方にワーク吸着装置５０が配置されるとともに、このワーク吸着装置５０を配置した側とは反対側であって搬送経路３のステーション３１・３２から連絡コンベア５１が直角方向に処理装置４まで延設されるように構成されてもよい。そして、搬送経路３と処理装置４との間で液晶ガラス２が移載される場合には、上述のように、ワーク吸着装置５０によって非接触で保持されて移載される。その際、ワーク吸着装置５０において、アーム５４は昇降装置５３に対して処理装置４側へ屈伸されて、連絡コンベア５１の搬送方向に沿ってベルヌーイアーム５５が前後動されるように駆動される。また、一つの処理装置４に対して一つのワーク吸着装置５０によって液晶ガラス２の移載が行われるように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施例に係る搬送システムの全体的な構成を示した平面図。
【図２】移載装置の正面図。
【図３】ベルヌーイ効果を説明した平面図及び正面図。
【図４】浮上搬送装置の浮上用ユニットの平面図及び正面断面図。
【図５】浮上搬送装置の推進用ユニットの平面図及び正面断面図。
【図６】浮上搬送装置の各ユニットを配置した連絡コンベアの平面図。
【図７】ワーク吸着装置の動作を示す正面図。
【図８】別実施例に係る搬送システムの全体的な構成を示した平面図。
【符号の説明】
【００５１】
１    搬送システム
２    液晶ガラス（板状ワーク）
３    搬送経路
４    処理装置
５    移載装置（移載手段）
５０    ワーク吸着装置
５１    連絡コンベア（コンベア）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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