(57)【要約】【課題】  本発明は、着色層に生じた欠陥を高精細に修正してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法、および製造時に着色層に生じた欠陥が修正された、混色等のない高品質なカラーフィルタを提供することを主目的としている。【解決手段】  上記目的を達成するために、本発明は、無機物からなる基材上の着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成する着色層形成工程と、  前記着色層が有する開口部の周辺部に、フッ素化合物を導入ガスとして用い、プラズマを照射するプラズマ照射工程と、  前記開口部に前記着色層形成用塗工液を塗布して修正着色層を形成し、欠陥を修正する欠陥修正工程と  を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。【選択図】  図１
2006098555.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機物からなる基材上の着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成する着色層形成工程と、
前記着色層が有する開口部の周辺部に、フッ素化合物を導入ガスとして用い、プラズマを照射するプラズマ照射工程と、
前記開口部に前記着色層形成用塗工液を塗布して修正着色層を形成し、欠陥を修正する欠陥修正工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記開口部が、前記着色層の欠陥部分の着色層を除去することにより生じたものであることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
無機物からなる基材と、前記基材上の着色層形成用領域に形成された着色層とを有し、前記着色層が未修正着色層と、前記未修正着色層の開口部に形成された修正着色層とを有するカラーフィルタであって、
前記未修正着色層の開口部の周辺部が、フッ素を含有していることを特徴とするカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置に使用可能な、欠陥が修正された高品質なカラーフィルタおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶表示装置、とりわけカラー液晶表示装置の需要が増加する傾向にある。このカラー液晶表示装置には、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色層とこれを仕切るブラックマトリックスを備えたカラーフィルタが設けられており、このカラーフィルタのＲ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われる。
【０００３】
ここで、このようなカラーフィルタの着色層を形成する際、不純物が付着すること等により、着色層中に突起が生じ、欠陥となる場合や、着色層を形成する着色層形成用塗工液が濡れ広がらず白抜けが発生する場合、着色層中に異物が混入し、欠陥となる場合等がある。着色層がこのような欠陥を有する場合には、カラーフィルタを液晶表示装置に用いた際、カラーフィルタ上に形成される液晶の配向性を乱したり、高品質な表示ができない等の問題がある。
【０００４】
そこで、従来より、このような欠陥を修正する方法として、例えば欠陥部分をレーザー光の照射や、テープによる研磨等で除去した後、着色層を形成する着色層形成用塗工液を再度塗布する方法等が用いられている。しかしながら、このような方法により着色層を修正する場合、着色層形成用塗工液を、目的とする領域のみに塗布することが困難であり、混色等の原因となる場合があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、着色層に生じた欠陥を高精細に修正してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法、および製造時に着色層に生じた欠陥が修正された、混色等のない高品質なカラーフィルタの提供が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、無機物からなる基材上の着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成する着色層形成工程と、上記着色層が有する開口部の周辺部に、フッ素化合物を導入ガスとして用い、プラズマを照射するプラズマ照射工程と、上記開口部に上記着色層形成用塗工液を塗布して修正着色層を形成し、欠陥を修正する欠陥修正工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【０００７】
フッ素化合物を導入ガスとして用い、プラズマを照射した場合、有機物にフッ素を導入して表面を撥液性とすることができる。本発明においては、上記プラズマ照射工程においてプラズマ照射することにより、無機物からなる基材が露出している開口部の濡れ性を変化させることなく、上記開口部の周辺部のみを撥液性とすることができる。これにより、上記欠陥修正工程において、着色層形成用塗工液を塗布した際、上記開口部の周辺部には着色層形成用塗工液が付着することのないものとすることができ、上記開口部にのみ高精細に着色層形成用塗工液を塗布することができる。したがって、本発明によれば、混色等のない、高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。
【０００８】
上記発明においては、上記開口部が、上記着色層の欠陥部分の着色層を除去することにより生じたものであってもよい。着色層形成工程において、例えば混色や異物が付着すること等により欠陥が生じた場合、その部分の着色層を除去して、上記修正工程を行うことが好ましいからである。
【０００９】
また、本発明は、無機物からなる基材と、上記基材上の着色層形成用領域に形成された着色層とを有し、上記着色層が未修正着色層と、上記未修正着色層の開口部に形成された修正着色層とを有するカラーフィルタであって、上記未修正着色層の開口部の周辺部が、フッ素を含有していることを特徴とするカラーフィルタを提供する。
【００１０】
本発明によれば、上記未修正着色層の開口部の周辺部がフッ素を含有していることから、上記修正着色層を、上記未修正着色層の開口部の撥液性を利用して、上記開口部のみに高精細に形成されたものとすることができ、混色等のない高品質なカラーフィルタとすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、着色層の開口部の濡れ性は変化させることなく、上記開口部の周辺部のみにフッ素を導入して撥液性とすることができることから、上記開口部にのみ着色層形成用塗工液を塗布することができ、着色層の混色等のない、高品質なカラーフィルタを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明は、着色層に生じた欠陥を高精細に修正してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法、および製造時に着色層に生じた欠陥が修正された、混色等のない高品質なカラーフィルタに関するものである。以下、それぞれについてわけて説明する。
【００１３】
Ａ．カラーフィルタの製造方法
まず、本発明のカラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、無機物からなる基材上の着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成する着色層形成工程と、上記着色層が有する開口部の周辺部に、フッ素化合物を導入ガスとして用い、プラズマを照射するプラズマ照射工程と、上記開口部に上記着色層形成用塗工液を塗布して修正着色層を形成し、欠陥を修正する欠陥修正工程とを有することを特徴とするものである。
【００１４】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、例えば図１に示すように、基材１の着色層形成用領域（図中、ａで示される領域）に着色層形成用塗工液を塗布し、着色層２を形成する着色層形成工程（図１（ａ））と、その着色層２に例えば白抜け等によって生じた開口部４の周辺部（例えば図中、ｂで示される領域）にプラズマ６を照射するプラズマ照射工程（図１（ｂ））と、その開口部４に着色層形成用塗工液を塗布して修正着色層７を形成し、欠陥を修正する欠陥修正工程（図１（ｃ））とを有するものである。
【００１５】
フッ素化合物を導入ガスとして用いてプラズマを照射した場合、有機物にフッ素を導入することができ、表面を撥液性とすることができることから、上記プラズマ照射工程において上記プラズマ照射を行うことにより、上記開口部の周辺部を撥液性とすることができるのである。また、上記開口部ついては、無機物からなる基材が露出していることから、プラズマ照射された場合であっても、有機物としてのフッ素が導入されず、表面の濡れ性が変化しないものとすることができる。これにより、上記欠陥修正工程において、上記開口部の周辺部には着色層形成用塗工液が付着しないものとすることができ、上記開口部にのみ高精細に着色層形成用塗工液を塗布することができる。
【００１６】
したがって、本発明によれば、目的とする領域のみに修正着色層を形成することができ、着色層の混色等のない、高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。
【００１７】
ここで、本発明において上記着色層形成工程において生じた欠陥が、例えば異物混入や混色等である場合には、上記開口部が、上記欠陥部分を除去することにより形成されたものであってもよい。また、本発明により製造されるカラーフィルタにおいては、例えば図１に示すように、基材１上に遮光部３が形成されているものであってもよい。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程ごとに説明する。
【００１８】
１．着色層形成工程
まず、本発明の着色層形成工程について説明する。本発明の着色層形成工程は、無機物からなる基材上の着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成する工程である。ここで、上記着色層形成用領域とは、本発明により製造されるカラーフィルタにおいて着色層が形成される領域であり、例えばストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の形状とすることができる。また、上記着色層形成用領域の面積は、任意に設定することができる。通常、本工程により形成される着色層は赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３色で形成される。
【００１９】
また、上記着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成する方法としては特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられる方法を用いることができる。このような方法としては、例えば顔料分散法や、基材上に形成された親疎水のパターンを利用してインクジェット法により形成する方法等が挙げられる。
【００２０】
なお、本工程において用いられる着色層形成用塗工液は、上記着色層の形成方法により適宜選択されるものであり、一般的なカラーフィルタの着色層の形成の際に用いられるものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００２１】
また、本工程に用いられる基材としては、無機材料からなるものであり、かつ上記着色層を形成可能なものであれば、特に限定されるものではなく従来よりカラーフィルタに用いられているもの等を用いることができる。具体的には石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材等を挙げることができる。この中で特にコーニング社製７０５９ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、また、ガラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスであるため、アクティブマトリックス方式によるカラー液晶表示装置用のカラーフィルタに適している。本発明において、基材は通常透明なものを用いるが、反射性の基板や白色に着色した基板でも用いることは可能である。また、基材は、必要に応じてアルカリ溶出防止用やガスバリア性付与その他の目的の表面処理を施したものを用いてもよい。また、上記着色層形成用領域を親液性とするために、酸素ガスを導入ガスとして、着色層形成用領域上に上述したプラズマ等を照射する処理を行ったもの等であってよい。
【００２２】
なお、上述したように、上記基材上の着色層形成用領域以外の領域には、遮光部が形成されていてもよい。このような遮光部としては、一般的なカラーフィルタに用いられる遮光部と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００２３】
２．プラズマ照射工程
次に、本発明のプラズマ照射工程について説明する。本発明におけるプラズマ照射工程は、上記着色層が有する開口部の周辺部に、フッ素化合物を導入ガスとして用い、プラズマを照射する工程である。本工程におけるプラズマの照射方法は、フッ素化合物を導入ガスとして用いてプラズマを照射し、上記開口部の周辺部を撥液性とすることが可能であれば、特に限定されるものではなく、減圧下でプラズマ照射してもよく、また大気圧下でプラズマ照射してもよい。
【００２４】
また、本発明でいう上記開口部とは、着色層形成用領域において、着色層が形成されておらず、基材が露出している領域をいうこととする。この開口部は、上記着色層形成工程において着色層が形成された際の白抜け等により生じたものであってもよい。また、上記着色層形成工程により着色層に生じた、例えば混色や異物混入等の欠陥部分の着色層を除去することにより形成されたものであってもよい。上記欠陥が生じた部分の着色層を除去する方法としては、例えばＹＡＧレーザ等のレーザーを照射する方法、研磨による方法等が挙げられる。
【００２５】
ここで、本工程においては、上記プラズマが上記開口部の周辺部に照射されることとなるが、上記周辺部とは、上記着色層形成用領域内において上記開口部の周囲を囲む領域をいうこととする。本発明においては、上記開口部の端部からの距離が１０μｍ以上、中でも２０μｍ以上離れた領域までを含む部分が周辺部とされることが好ましい。
【００２６】
また、上記プラズマの照射は、上記開口部の周辺部を含む領域に照射するものであれば、その照射面積等は特に限定されるものではなく、例えば上記開口部の周辺部にのみ部分的にプラズマを照射するものであってもよく、また例えば上記着色層全面にプラズマを照射するものであってもよい。
【００２７】
ここで、上記プラズマを照射する際に用いられる導入ガスのフッ素化合物としては、例えばフッ化炭素（ＣＦ４）、窒化フッ素（ＮＦ３）、フッ化硫黄（ＳＦ６）、Ｃ２Ｃｌ３Ｆ３、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ６等が挙げられる。また、照射されるプラズマの照射条件としては、照射装置等により適宜選択されるものである。
【００２８】
ここで、本発明においては、上記プラズマ照射が大気圧中でのプラズマ照射であることが好ましい。これにより、減圧用の装置等が必要なく、コストや製造効率等の面から好ましいものとすることができるからである。このような大気圧プラズマの照射条件としては、以下のようなものとすることができる。例えば、電源出力としては、一般的な大気圧プラズマの照射装置に用いられるものと同様とすることができる。また、この際、照射されるプラズマの電極と、上記遮光部との距離は、０．２ｍｍ〜２０ｍｍ程度、中でも１ｍｍ〜５ｍｍ程度とされることが好ましい。またさらに、上記導入ガスとして用いられるフッ素化合物の流量は１Ｌ／ｍｉｎ〜１００Ｌ／ｍｉｎ程度、中でも５Ｌ／ｍｉｎ〜５０Ｌ／ｍｉｎ程度であることが好ましく、この際の基板搬送速度が０．１ｍ／ｍｉｎ〜１０ｍ／ｍｉｎ程度、中でも０．５ｍ／ｍｉｎ〜５ｍ／ｍｉｎ程度が好ましい。
【００２９】
本工程において、上記プラズマ照射は、開口部の周辺部の液体との接触角が、上記開口部の液体との接触角より１°以上高くなるように行われることが好ましい。これにより、後述する欠陥修正工程において、上記周辺部の撥液性を利用して、開口部にのみ着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。
【００３０】
また、本発明においては特に、上記開口部の周辺部の液体との接触角が４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、１０°以上、中でも表面張力３０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上、特に表面張力２０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上となるようにプラズマ照射されることが好ましい。これは、上記周辺部において上記液体との接触角が小さい場合は、撥液性が十分でなく、後述する欠陥修正工程において、着色層形成用塗工液が塗布された際、上記周辺部上に付着する可能性があるからである。
【００３１】
また、上記開口部においては、４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が９°未満、好ましくは表面張力５０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下、特に表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下であることが好ましく、このような液体との接触角を有する基材が用いられることが好ましい。開口部における液体との接触角が高い場合は、上記着色層形成用塗工液を、親液性領域においてもはじいてしまう可能性があり、着色層形成用塗工液が十分に塗れ広がらない等、後述する欠陥修正工程において、修正着色層を形成することが難しくなる可能性があるからである。
【００３２】
なお、ここでいう液体との接触角は、種々の表面張力を有する液体との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定（マイクロシリンジから液滴を滴下して３０秒後）し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得たものである。また、この測定に際して、種々の表面張力を有する液体としては、純正化学株式会社製のぬれ指数標準液を用いた。
【００３３】
３．欠陥修正工程
次に、本発明における欠陥修正工程について説明する。本発明における欠陥修正工程は、上記開口部に上記着色層形成用塗工液を塗布して修正着色層を形成し、欠陥を修正する工程である。本発明においては、上記プラズマ照射工程により、上記開口部の周辺部にフッ素が導入されて撥液性とされていることから、上記周辺部上には着色層形成用塗工液が付着することなく、上記開口部にのみ上記修正着色層を形成することができるのである。
【００３４】
ここで、上記着色層形成用塗工液を上記開口部上に塗布する方法としては、上記開口部のみに着色層形成用塗工液を塗布することが可能であれば特に限定されるものではないが、本発明においては特にインクジェット法により塗布することが好ましい。これにより、上記開口部に高精細に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。
【００３５】
なお、本工程において用いられる着色層形成用塗工液としては、上記着色層形成工程において用いられる着色層形成用塗工液と同一のものであってもよく、また異なるものが用いられてもよい。このような着色層形成用塗工液としては、一般的なカラーフィルタの形成の際に用いられるものと同様のものを用いることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００３６】
Ｂ．カラーフィルタ
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、無機物からなる基材と、上記基材上の着色層形成用領域に形成された着色層とを有し、上記着色層が未修正着色層と、上記未修正着色層の開口部に形成された修正着色層とを有するカラーフィルタであって、上記未修正着色層の開口部の周辺部が、フッ素を含有していることを特徴とするものである。
【００３７】
本発明のカラーフィルタは、例えば図２に示すように、基材１と、その基材１の着色層形成用領域（図中、ａで示される部分）に形成された着色層２とを有しており、その着色層２は、未修正の未修正着色層８と、未修正着色層８の開口部４に形成された修正着色層７とを有するものであって、上記未修正着色層８の開口部４の周辺部（例えば図中、ｂで示される領域）が、フッ素を含有しているものである。なお、本発明のカラーフィルタにおいては、遮光部が形成されていないものであってもよいが、例えば図２に示すように、上記着色層形成用領域以外の領域に遮光部３が形成されているものであってもよい。
【００３８】
本発明によれば、上記未修正着色層の開口部の周辺部がフッ素を含有しており、表面が撥液性とされている。これにより、上記修正着色層が、上記未修正着色層の開口部の周辺部の撥液性を利用して形成されたものとすることができ、修正着色層が高精細に形成されたものとすることができるのである。したがって、本発明によれば、例えば混色等の欠陥のない、高品質なカラーフィルタとすることができるのである。以下、本発明のカラーフィルタの各構成ごとに説明する。
【００３９】
１．着色層
まず、本発明に用いられる着色層について説明する。本発明のカラーフィルタに用いられる着色層は、上記基材上の着色層形成用領域に形成されたものであり、未修正着色層と、その未修正着色層の開口部に形成された修正着色層とを有するものであって、上記未修正着色層の開口部の周辺部がフッ素を含有しているものである。
【００４０】
ここで、上記未修正着色層とは、カラーフィルタの製造の際に修正されていない着色層をいうこととし、上記修正着色層とは、カラーフィルタの製造の際に修正のため、新たに形成された着色層をいうこととする。また、未修正着色層の開口部とは、着色層形成用領域において未修正着色層が除去されている部分、または未修正着色層形成時の白抜け等により、未修正着色層が形成されていない部分をいうこととする。またさらに、上記未修正着色層の開口部の周辺部とは、上記着色層形成用領域内で上記開口部の周囲を囲む領域をいうこととする。本発明においては、上記開口部の端部からの距離が１０μｍ以上、中でも２０μｍ以上離れた領域までを含む部分が周辺部とされることが好ましい。
【００４１】
本発明においては、上記未修正着色層の開口部の周辺部が、フッ素を含有しているものであることから、修正着色層が混色等することなく、高精細に形成されたものとすることができるのである。ここで、周辺部には、上記周辺部の液体との接触角が、後述する基材の液体との接触角より１°以上高くなるようにフッ素が含有されていることが好ましい。これにより、開口部と周辺部との濡れ性の差を利用して、上記修正着色層が形成されたものとすることができるからである。
【００４２】
また本発明においては特に、上記開口部の周辺部に、液体との接触角が４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、１０°以上、中でも表面張力３０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上、特に表面張力２０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上となるようにフッ素が含有されていることが好ましい。これにより、上記修正着色層が形成される際、着色層形成用塗工液が、上記周辺部に付着することのないものとすることができ、混色等のない高品質なカラーフィルタとすることができるからである。なお、ここでいう液体との接触角は、上述した方法により測定された値である。
【００４３】
ここで、本発明において上記開口部の周辺部におけるフッ素の存在は、Ｘ線光電子分光分析装置（XPS：ESCALAB  220i-XL）による分析において、開口部周辺部の表面より検出される全元素中のフッ素元素の割合を測定することにより確認することができる。また、この際上記フッ素の割合としては、10％以上とされることが好ましい。
【００４４】
なお、上記未修正着色層や修正着色層の形成方法、上記フッ素の導入方法等については、上述した「Ａ．カラーフィルタの製造方法」の項で説明したものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００４５】
２．基材
次に、本発明に用いられる基材について説明する。本発明に用いられる基材は、無機物からなるものであり、上記着色層を形成することができるものであれば、特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタに用いられる基材と同様のものとすることができ、上述した「Ａ．カラーフィルタの製造方法」の項で説明したものと同様とすることができる。
【００４６】
ここで、本発明においては特に、上記基材として、４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が９°未満、好ましくは表面張力５０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下、特に表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下となるようなものが用いられていることが好ましい。本発明のカラーフィルタを製造する際、上記未修正着色層の開口部においては、基材が露出することとなることから、この基材の液体との接触角を上記範囲内とすることにより、上述した未修正着色層の開口部の周辺部の液体との接触角、および基材の液体との接触角の差を利用して、容易に修正着色層が形成されたものとすることができるからである。なお、ここでいう液体との接触角は、上述した方法により測定された値である。
【００４７】
３．カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、上述した基材と、その基材上に形成された着色層とを有するものであれば特に限定されるものではなく、必要に応じて、保護層や透明電極層等が形成されたものであってもよい。
【００４８】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００４９】
以下、本発明について、実施例を通じてさらに詳述する。
【００５０】
［実施例１］
１．遮光部の形成
下記組成の混合物を９０℃に加熱して溶解し、１２０００ｒｐｍで遠心分離を行い、その後、１μｍのグラスフィルタでろ過した。得られた水性着色樹脂溶液に、架橋剤として重クロム酸アンモニウムを１重量％添加して、遮光部用塗料を調製した。
・カーボンブラック（三菱化学（株）製＃９５０）      …    ４重量部
・ポリビニルアルコール                             …０．７重量部
（日本合成化学（株）製ゴーセノールＡＨ−２６）
・イオン交換水                                   …９５．３重量部
【００５１】
得られた遮光部用塗料を用いて、以下の如く遮光膜（レジスト）パターンを形成し、評価を行った。まず、上記遮光部用塗料をスピンコーターにてソーダガラス製の透明な基材上に塗布し、ホットプレートで８０℃、１分間乾燥した。乾燥後のレジストの膜厚を触針式膜厚計（α−ステップ、テンコール社製）で測定したところ１μｍであった。次に、このサンプルをマスクを通して水銀ランプで像露光した。続いて、温度２５℃、濃度０．０５％の水酸化カリウム及び０．１％のノニオン系界面活性剤（エマルゲンＡ−６０  花王社製）を含有する現像液に浸漬現像し、遮光パターンを得た。その後、６０℃、３分間の乾燥を行い、水銀ランプで露光することにより、遮光部用塗料を硬化させ、さらに、１５０℃、３０分間の加熱処理を施して遮光部を形成した。
【００５２】
２．着色層の形成
次に、インクジェット装置を用いて、顔料５重量部、溶剤２０重量部、重合開始剤５重量部、ＵＶ硬化樹脂７０重量部を含むＲＧＢ各色のＵＶ硬化型多官能アクリレートモノマーインク（着色層形成用塗工液）を、上記開口部に付着させ着色し、これにＵＶ処理を行い硬化させてカラーフィルタとした。ここで、赤色、緑色、および青色の各インクについて、溶剤としてはポリエチレングリコールモノメチルエチルアセテート、重合開始剤としてはイルガキュア３６９（商品名、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ（株）製）、ＵＶ硬化樹脂としてはＤＰＨＡ（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬（株）製）を用いた。また、顔料としては、赤色インクについてはC. I. Pigment Red 177、緑色インクについてはC. I. Pigment Green 36、青色インクについてはC. I. Pigment Blue 15 + C. I. Pigment Violet 23をそれぞれ用いた。
得られたカラーフィルタを光学顕微鏡で観察したところ、着色層の端部で着色層形成用塗工液がきれいに濡れ広がらず、白抜けによる開口部が生じ、無機物からなる上記基材が露出している箇所があった。
【００５３】
３．大気圧プラズマ照射
上記無機物が露出している開口部とその周辺の着色層１００μｍを含む領域に、下記の条件で大気圧プラズマを照射した。
（大気圧プラズマ照射条件）
・導入ガス  ：  CF4      …15（ｌ／min.）
・電極と基板の間隔  ：  2ｍｍ
・電源出力  ：  200V‐5A
【００５４】
このカラーフィルタの大気圧プラズマ処理領域を下記の条件でＸ線光電子分光分析装置（XPS：ESCALAB  220i-XL）にて表面解析した結果、大気圧プラズマ処理された周辺着色層領域には多量の有機フッ素系成分（ＣＦ3−ＣＦ2−ＣＦ2−、ＣＦ2−ＣＦ2−、ＣＦ2−ＣＨ2−）が３６％検出され、無機物が露出している白抜け部には、有機フッ素系成分が検出されなかった。
【００５５】
（測定条件）
・Ｘ線源：Monochromated   Ａｌ   Ka（単色化Ｘ線）
・Ｘ線出力：10ｋV・18ｍA
・使用レンズ：Small   Area  XL150
・帯電中和：電子中和銃＋４(V)・0.05(ｍA)
・光電子脱出角度：90度
【００５６】
４．大気圧プラズマ照射部の撥液性領域形成の確認
上記基材と同様のガラス基板上に、一部ガラス基板が露出するように上記と同様の着色層を形成した。その後、上述した大気圧プラズマ照射と同条件により、上記着色層上およびガラス基板上に大気圧プラズマを照射したところ、大気圧プラズマが照射された着色層上のみが撥液性（表面張力３０ｍＮ／ｍの液体（純正化学株式会社製、ぬれ指数標準液）との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）により測定した結果、２８度）を示し、上記ガラス基板上は親液性（表面張力５０ｍＮ／ｍの液体（純正化学株式会社製、ぬれ指数標準液）との接触角を同様に測定した結果、５度）であった。このように、着色層上は、撥液性領域となることから、上記基材が露出した領域を親液性領域として用いることが可能であり、上記開口部とその周辺部との濡れ性の差を利用して、修正着色層の形成が可能なことが確認された。
【００５７】
５．修正着色層の形成
続いて、上記大気圧プラズマが照射されたカラーフィルタに、周辺部の撥液性と開口部の親液性とを利用して、上記開口部のみにインクジェット装置を用いて、顔料５重量部、溶剤２０重量部、重合開始剤５重量部、ＵＶ硬化樹脂７０重量部を含むＲＧＢ各色のＵＶ硬化型多官能アクリレートモノマーインク（着色層形成用塗工液）付着させ着色し、これにＵＶ処理を行い硬化させ、修正着色層を形成した。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。
【図２】本発明のカラーフィルタの一例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  …基材
２  …着色層
４  …開口部
６  …プラズマ
７  …修正着色層
８  …未修正着色層
ａ  …着色層形成用領域
ｂ  …周辺部
【図１】
2006098555.tif 000003
【図２】
2006098555.tif 000004