(57)【要約】【課題】  信頼性の高い異常検出システムを提供する。【解決手段】  マスフローコントローラ１１ｂの検出情報を２重に検出し，当該各検出情報毎に，入力部や判定部を有する回路Ｃ１，Ｃ２が備えられる。入力部６０，７０は，入力したアナログの検出情報をデジタル化できる。各判定部６３，７３は，同じ回路の入力部から出力された検出情報に基づき，マスフローコントローラ１１ｂで制御されているガス流量の適否を判定できる。また，各判定部６３，７３は，同じ回路の入力部から出力された検出情報と，異なる回路の入力部から出力された検出情報との整合の適否を判定できる。【選択図】  図３
2006086190.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御器の異常を検出する異常検出システムであって，
前記制御器の異常を検出するための検出情報を多重に検出し，
前記検出情報を入力する入力部と，前記入力部から出力された検出情報と予め設定されている設定比較情報とを比較して当該検出情報についての適否を判定する判定部とを有する回路を，前記多重に検出された各検出情報毎に備え，
一の回路の判定部は，他の回路内の入力部に入力された検出情報を取得し，前記一の回路内の入力部から出力された検出情報と前記他の回路内の入力部から取得した検出情報との整合の適否をさらに判定できることを特徴とする，異常検出システム。
【請求項２】
前記入力部は，アナログの検出情報をデジタル情報に変換できることを特徴とする，請求項１に記載の異常検出システム。
【請求項３】
前記設定比較情報を書き込み可能な設定部をさらに備え，
前記判定部は，前記設定部から前記設定比較情報を取得できることを特徴とする，請求項２に記載の異常検出システム。
【請求項４】
前記判定部の判定により異常が検出された場合に，その異常検出信号を出力する出力部をさらに備えたことを特徴とする，請求項１〜３のいずれかに記載の異常検出システム。
【請求項５】
前記制御器は，流量制御器であることを特徴とする，請求項１〜４のいずれかに記載の異常検出システム。
【請求項６】
前記制御器は複数設けられ，当該各制御器は，混合ガスのガス混合比を調整するために，混合される前の各々のガス流量を制御するものであり，
前記一の回路と他の回路は，前記複数の制御器間で共用され，
前記判定部は，各制御器から一の回路内に入力されたガス流量に関する検出情報から混合ガスの混合比の適否を判定し，一の回路内の入力部から出力されたガス流量に関する検出情報と他の回路内の他の入力部から取得したガス流量に関する検出情報との整合の適否を判定できることを特徴とする，請求項５に記載の異常検出システム。
【請求項７】
前記制御器は，流量センサと，流量調節弁と，前記流量センサによる検出結果に基づき前記流量調節弁を調節する流量制御部とを備えており，
目標流量設定を行う設定装置から前記流量制御部に入力される情報と流量センサから前記流量制御部に出力される情報を前記検出情報として検出することを特徴とする，請求項５又は６のいずれかに記載の異常検出システム。
【請求項８】
基板を処理する基板処理装置であって，
請求項１〜６のいずれかに記載の異常検出システムを備えたことを特徴とする，基板処理装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の異常検出システムにおける前記回路内の機能を実現させて，前記制御部の異常を検出させるためのプログラム。
【請求項１０】
請求項９に記載のプログラムを記録した記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，異常検出システムと，当該異常検出システムを備えた基板処理装置，前記異常検出システムの回路の機能を実現するためのプログラム及び当該プログラムを記録した記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体デバイスの製造工程において膜形成やアニールなどを行うための熱処理では，基板に供給する処理ガスのガス量を厳密に管理するために，ガス供給系のガス流量を制御するマスフローコントローラなどの制御器が用いられている。そして，このマスフローコントローラには，通常安全基準を満たすために，マスフローコントローラの故障などの異常を検出する異常検出システムが設けられている。このように異常検出システムを設けることによって，マスフローコントローラが故障したときに，爆発などの危険がある危険な処理ガスや有毒な処理ガスが処理容器内に過剰に供給されることを防止できる。また，マスフローコントローラが故障したときに，基板に過剰な量の処理ガスが供給されて例えば基板上に不良の膜が形成されることを防止できる。
【０００３】
従来，異常検出システムでは，例えばマスフローコントローラの流量センサからのアナログ信号を増幅回路で増幅し，比較回路を用いて設定値と比較することによって，異常の検出を行っていた（例えば，特許文献１参照。）。
【０００４】
しかしながら，上述の異常検出システムは，単一のアナログ回路で構成されていたため，例えばそのアナログ回路自身の一部に不具合が発生したような場合には，その不具合の把握が難しく，システムの信頼性に問題があった。また，システム自体の不具合が把握されても，そのシステム内のどの部分に不具合があるのかを特定することは難しく，システムの回復に多大な時間を要していた。
【０００５】
【特許文献１】特開平５-２４１６６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は，かかる点に鑑みてなされたものであり，信頼性が高く，不具合部分をより簡単に特定できる異常検出システムとそれを用いた基板処理装置，異常検出システムの回路の機能を実現するプログラム及び当該プログラムを記録した記録媒体を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために，本発明は，制御器の異常を検出する異常検出システムであって，前記制御器の異常を検出するための検出情報を多重に検出し，前記検出情報を入力する入力部と，前記入力部から出力された検出情報と予め設定されている設定比較情報とを比較して当該検出情報についての適否を判定する判定部とを有する回路を，前記多重に検出された各検出情報毎に備え，一の回路の判定部は，他の回路内の入力部に入力された検出情報を取得し，前記一の回路内の入力部から出力された検出情報と前記他の回路内の入力部から取得した検出情報との整合の適否を判定できることを特徴とする。なお，「検出情報を多重に検出」とは，同種，異種にかかわらず，制御器の異常を検出できる情報を複数検出することをいう。例えば検出情報には，制御器のセンサによって検出される制御量の検出値などが含まれる。また，制御器の異常には，制御器の内部の異常のみならず，制御器に対する情報の入出力の異常も含まれる。
【０００８】
本発明によれば，制御器の検出情報を多重に検出し，検出情報毎に異なる回路を用いて検出情報の適否が判定されるので，制御器の異常の検出が多重化され，異常検出システムの信頼性が向上する。また，一の回路の判定部が当該一の回路の検出情報と他の回路の検出情報を取得しその整合を判定できるので，回路間の検出情報の違いを検出して例えばいずれかの回路の不具合を検出できる。これにより，異常検出システムの信頼性をさらに向上できる。また，例えば不具合のある回路を特定することができるので，不具合部分の特定をより簡単に行うことができる。
【０００９】
前記入力部は，アナログの検出情報をデジタル情報に変換できてもよい。従来，異常検出システムにおける異常判定の設定変更は，アナログの増幅回路における可変抵抗を手動で変更することによって行われていたため，例えば設定が変更される度に長時間を要していた。また，作業員の熟練度によって設定変更の精度にばらつきがあった。本発明によれば，入力部において検出情報がデジタル化され，判定部における判定がデジタル信号で行われるので，例えば異常判定の設定変更を例えば設定比較情報を変更するだけで行うことができ，設定変更を迅速かつ正確に行うことができる。
【００１０】
前記異常検出システムは，前記設定比較情報を書き込み可能な設定部をさらに備え，前記判定部は，前記設定部から前記設定比較情報を取得できてもよい。かかる場合，設定部に設定比較情報を設定することにより，判定部が設定比較情報を取得するので，例えば設定比較情報の設定変更を簡単に行うことができる。
【００１１】
上記異常検出システムは，前記判定部の判定により異常が検出された場合に，その異常検出信号を出力する出力部をさらに備えていてもよい。
【００１２】
前記制御器は，流量制御器であってもよい。また，前記制御器は複数設けられ，当該各制御器は，混合ガスのガス混合比を調整するために，混合される前の各々のガス流量を制御するものであり，前記一の回路と他の回路は，前記複数の制御器間で共用され，前記判定部は，各制御器から一の回路内に入力されたガス流量に関する検出情報から混合ガスの混合比の適否を判定し，前記一の回路内の入力部から出力されたガス流量に関する検出情報と他の回路内の他の入力部から取得したガス流量に関する検出情報との整合の適否を判定できてもよい。さらに，前記制御器は，流量センサと，流量調節弁と，前記流量センサによる検出結果に基づき前記流量調節弁を調節する流量制御部とを備えており，目標流量設定を行う設定装置から前記流量制御部に入力される情報と流量センサから前記流量制御部に出力される情報を前記検出情報として検出するようにしてもよい。
【００１３】
なお，本発明は，基板を処理する基板処理装置であって，請求項１〜６のいずれかに記載の異常検出システムを備えたものであってもよい。また，別の観点による本発明は，コンピュータに，請求項１〜８のいずれかに記載の異常検出システムにおける前記回路内の機能を実現させて，前記制御部の異常を検出させるためのプログラムであってもよい。なお，回路内の機能には，例えば判定部の判定機能や入力部の入力機能などが含まれる。さらに，別の観点による本発明は，前記プログラムを記録した記録媒体であってもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば，異常検出システムの信頼性が向上し，異常検出システム内の不具合部分の特定も簡単になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下，本発明の好ましい実施の形態について説明する。先ず，本実施の形態にかかる異常検出システムが適用される基板処理装置としての熱処理装置の構成について説明する。図１は，かかる熱処理装置１の構成の概略を示す説明図である。
【００１６】
熱処理装置１は，例えば基板Ｗを高温の状態で処理ガス雰囲気内に曝すことにより基板Ｗ上の膜をアニールするアニール装置である。例えば熱処理装置１は，水平方向に固定された基台２に鉛直方向に支持された略円筒形状の反応管３を備えている。反応管３は，上面が閉鎖され，下面が開口している。反応管３の下面は，昇降機構４によって昇降する略円盤状の蓋体５により閉鎖可能である。蓋体５上には，保温筒６が載置されている。当該保温筒６上には，複数枚の基板Ｗを上下方向に並べて保持できるウェハボート７が支持されている。昇降機構４により蓋体５を昇降させることにより，ウェハボート７を反応管３内に出し入れし，またウェハボード７が収容された際に蓋体５により反応管３の下面を閉鎖できる。
【００１７】
反応管３の底部には，反応管３内の上部まで延びるガス導入管１０が接続されている。このガス導入管１０には，例えばガス供給系１１がバルブ１２を介して接続されている。ガス供給系１１は，例えば管路によって，開閉バルブ１１ａ，制御器としてのマスフローコントローラ１１ｂを介して，ガス供給源１１ｃに連通している。本実施の形態においては，ガス供給源１１ｃには，不活性ガスが添加された処理ガスとなる水素ガスが密封されており，ガス供給系１１から反応管３に所定量の水素ガスを供給できる。この水素ガスにより反応管３内の基板表面をアニールできる。
【００１８】
図２に示すようにマスフローコントローラ１１ｂは，例えば管路内に設けられた流量センサ１１ｄと流量制御弁１１ｅ，及び流量センサ１１ｄの検出結果に基づいて流量制御弁１１ｅの開閉度を制御する流量制御部１１ｆを備えている。流量制御部１１ｆは，例えば管内のガス流量が後述する装置制御装置３０により設定された設定流量になるように，流量センサ１１ｄの検出結果に基づいて流量制御弁１１ｅを制御できる。
【００１９】
図１に示すように反応管３の底部には，真空ポンプ２０に連通する排気管２１が接続されている。この排気管２１を通じて，反応管３内を排気したり，所定の圧力に減圧できる。
【００２０】
前記ガス供給管１０のバルブ１２，ガス供給系１１の開閉バルブ１１ａ，マスフローコントローラ１１ｂ及び真空ポンプ２０は，設定装置としての装置制御装置３０によりその動作が制御されている。つまり，装置制御装置３０により，バルブ１２，開閉バルブ１１ａの動作が制御され，所定のタイミングで反応管３にガスを供給できる。また，装置制御装置３０により，マスフローコントローラ１１ｂが制御され，ガス供給系１１から反応管３に供給されるガス流量を調整できる。さらに，装置制御装置３０により，真空ポンプ２０の動作が制御され，所定のタイミングで反応管３内の雰囲気を排気できる。
【００２１】
以上のように構成された熱処理装置１で行われるアニール処理は，先ず，複数枚の基板Ｗが多段に保持されたウェハボート７が昇降機構４により上昇され，反応管３に収容される。このとき，蓋体５により反応管３が密閉される。次いでガス供給系１１から所定流量の水素ガスが反応管３内に供給されるとともに，真空ポンプ２０により反応管３内の雰囲気が排気される。この水素ガスの供給により，基板Ｗの表面がアニールされる。
【００２２】
基板Ｗのアニールが終了すると，水素ガスの供給と排気が停止され，基板Ｗを保持したウェハボード７が反応管３内から取り出されて一連のアニール処理が終了する。
【００２３】
次に，上記熱処理装置１に適用される異常検出システム４０について説明する。本実施の形態における異常検出システム４０は，例えば熱処理装置１のマスフローコントローラ１１ｂの異常を検出するものである。
【００２４】
異常検出システム４０は，マスフローコントローラ１１ｂの異常を検出するためのガス流量に関する検出情報を多重に取得できる。例えば異常検出システム４０は，図２に示すように装置制御装置３０からマスフローコントローラ１１ｂの流量制御部１１ｆにアナログ信号で設定流量として入力されるガス流量入力情報Ｘ１と，流量センサ１１ｄから流量制御部１１ｆに出力されるガス流量出力情報Ｘ２を取得できる。ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２は，両方とも管路内を流れているガス流量を示す情報であり，マスフローコントローラ１１ｂは，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２が一致するように制御するので，マスフローコントローラ１１ｂの正常稼動時には，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２は，適正なガス流量を示し，一致している。したがって，本実施の形態では，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２を取得することにより，異常を検出のためのガス流量に関する検出情報が２重に取得される。なお，マスフローコントローラ１１ｂにおけるガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２は，マスフローコントローラ１１ｂを通過するガス流量に関する情報なので，ガス流量に相当するアナログの電圧値になっている。
【００２５】
異常検出システム４０は，例えば図３に示すようにボード５０内に，２つの回路Ｃ１，Ｃ２と，回路Ｃ１，Ｃ２に共通の出力部５１を備えている。
【００２６】
回路Ｃ１は，例えばガス流量入力情報Ｘ１を入力する第１入力部６０と，異常か否かの基準となる設定比較情報を外部から書き込み可能な第１設定部６１と，第１入力部６０や第１設定部６１の情報を記憶する第１記憶部６２と，第１記憶部６２の情報を読み込んで異常か否かの判定を行う第１判定部６３を備えている。
【００２７】
また回路Ｃ２は，回路Ｃ１と同様に例えばガス流量出力情報Ｘ２を入力する第２入力部７０と，異常か否かの基準となる設定比較情報を外部から書き込み可能な第２設定部７１と，第２入力部７０や第２設定部７１の情報を記憶する第２記憶部７２と，第２記憶部７２の情報を読み込んで異常か否かの判定を行う第２判定部７３を備えている。
【００２８】
第１入力部６０及び第２入力部７０は，例えば入力されたガス流量入力出力情報Ｘ１，ガス流量出力情報Ｘ２などのアナログ情報をデジタル情報に変換するＡ/Ｄ変換器を備えている。
【００２９】
第１設定部６１及び第２設定部７１は，例えばＥＰＲＯＭで構成され，外部から入力された設定比較情報を格納できる。本実施の形態においては，第１設定部６１には，装置制御装置３０から流量制御部１１ｆに入力されるガス流量入力情報Ｘ１の適否の判定の基準となるガス流量比較情報Ｓ１と，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２との整合の適否を判定するための差異比較情報Ｓ２が格納される。なお，ここで言うガス流量比較情報Ｓ１は，例えば管内を流れるガス流量の許容範囲のしきい値を示す情報であり，差異比較情報Ｓ２は，例えばガス流量入力情報Ｘ１の示すガス流量とガス流量出力情報Ｘ２の示すガス流量との差の最大許容値を示す情報である。第２設定部７１には，流量制御部１１ｆに出力されるガス流量出力情報Ｘ２の適否の判定の基準となるガス流量比較情報Ｓ３と，前記差異比較情報Ｓ２が格納される。
【００３０】
第１記憶部６２は，第１入力部６０からのガス流量入力情報Ｘ１と，第１設定部６１からのガス流量比較情報Ｓ１及び差異比較情報Ｓ２を記憶できる。また，第２記憶部７２は，第２入力部７０からのガス流量出力情報Ｘ２と，第２設定部７２からのガス流量比較情報Ｓ３及び差異比較情報Ｓ２を記憶できる。
【００３１】
さらに，第１記憶部６２は，第２入力部７０から出力されたガス流量出力情報Ｘ２を取得して記憶でき，第２記憶部７２は，第１入力部６０から出力されたガス流量入力情報Ｘ１を取得して記憶できる。このように第１記憶部６２及び第２記憶部７２は，異なる回路の入力部に入力された情報を互いに取得できる。
【００３２】
第１判定部６３及び第２判定部７３は，例えばファームウェア（Field  Programmable  Gate  Array）で構成され，同じ回路の第１記憶部６２又は第２記憶部７２に記憶された情報を取得し，比較し，異常の判定を行うことができる。例えば，第１判定部６３は，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量比較情報Ｓ１とを比較し，例えばガス流量入力情報Ｘ１が示すガス流量が許容範囲外にある場合に異常の判定を行う。また，第１判定部６３は，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２との差（｜Ｘ１−Ｘ２｜）と差異比較情報Ｓ２と比較し，例えばガス流量入力情報Ｘ１が示すガス流量とガス流量出力情報Ｘ２が示すガス流量との差が最大許容値を超えた場合に異常の判定を行う。
【００３３】
第２判定部７３も第１判定部６３と同様に，ガス流量出力情報Ｘ２とガス流量比較情報Ｓ３とを比較し，例えばガス流量出力情報Ｘ２が示すガス流量が許容範囲外にある場合に異常の判定を行う。また，第２判定部７３は，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２との差（｜Ｘ１−Ｘ２｜）と差異比較情報Ｓ２と比較し，例えばガス流量入力情報Ｘ１が示すガス流量とガス流量出力情報Ｘ２が示すガス流量との差が最大許容値を超えた場合に異常の判定を行う。
【００３４】
出力部５１は，例えば第１判定部６３又は第２判定部７３において異常の判定が行われた場合にその異常検出情報を装置制御装置３０に出力できる。なお，以上の実施の形態で記載した異常検出システム１における回路Ｃ１，Ｃ２の異常を検出するための機能は，具体的にはプログラムで実現されるものであり，その機能を実現するためのプログラムは，例えば記録媒体で提供され，例えば異常検出システム１として用いられるコンピュータにインストールされてメモリ上で動作することで，マスフローコントローラの異常を検出できる。異常検出システム１は，例えば回路Ｃ１，Ｃ２の内部，若しくは回路Ｃ１，Ｃ２とは別に，プログラムを実行するためのＣＰＵ，メモリ，ディスクドライブなどを備えている。
【００３５】
次に，以上のように構成された異常検出システム４０の動作について説明する。図４は，異常検出システム４０で行われる異常検出プロセスのフローである。
【００３６】
先ず，図３に示すように第１設定部６１にガス流量比較情報Ｓ１と差異比較情報Ｓ２が設定され，当該比較情報が第１記憶部６２に記憶される。第２設定部７１にはガス流量比較情報Ｓ３と差異比較情報Ｓ２が設定され，当該比較情報が第２記憶部７２に記憶される（図４の工程Ｇ１）。そして，熱処理装置１においてガス供給系１１によりガス供給源１１ｃから反応管３に水素ガスが供給され，マスフローコントローラ１１ｂにより管路内の水素ガスの流量が制御されているときに，例えば装置制御装置３０から流量制御部１１ｆにアナログの制御信号として入力されるガス流量入力情報Ｘ１が検出され，第１入力部６０に入力される。第１入力部６０において，ガス流量入力情報Ｘ１は，デジタル情報に変換される（図４の工程Ｇ２）。また，流量センサ１１ｄから装置制御装置３０及び流量制御部１１ｆにアナログの制御信号として出力されるガス流量出力情報Ｘ２が第２入力部７０に入力され，デジタル情報に変換される（図４の工程Ｇ２）。
【００３７】
第１入力部６０でデジタル化されたガス流量入力情報Ｘ１は，同じ回路Ｃ１内の第１記憶部６２と異なる回路Ｃ２の第２記憶部７２に入力され，記憶される。また，第２入力部７０でデジタル化されたガス流量出力情報Ｘ２も，同じ回路Ｃ２の第２記憶部７２と異なる回路Ｃ１の第２記憶部７２に入力され，記憶される（図４の工程Ｇ３）。このように，回路Ｃ１，Ｃ２の情報が相互に受け渡される。
【００３８】
次に，第１記憶部６２に記憶されたガス流量入力情報Ｘ１とガス流量比較情報Ｓ１が，第１判定部６３に読み出され，比較される。例えば管路内を流れる水素ガス流量を示すガス流量入力情報Ｘ１とその許容範囲のしきい値を示すガス流量比較情報Ｓ１とが比較され，ガス流量入力情報Ｘ１が示す水素ガス流量が許容範囲内である場合には，第１判定部６３において正常の判定が行われる。一方，ガス流量入力情報Ｘ１が示す水素ガス流量が許容範囲外にある場合には，異常の判定が行われる（図４の工程Ｇ４）。この比較，判定により，例えば装置制御装置３０からマスフローコントローラ１１ｂへの制御情報の入力に異常があることが確認できるので，マスフローコントローラ１１ｂにより水素ガス流量が適正に制御されていないことが確認されて，マスフローコントローラ１１ｂの異常を検出できる。
【００３９】
また，第１判定部６３では，第１記憶部６２に記憶されたガス流量入力情報Ｘ１及び差異比較情報Ｓ２と，第２記憶部７２に記憶されたガス流量出力情報Ｘ２が読み出され，比較される。例えば水素ガスのガス流量を示す２つのガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２との差（｜Ｘ１−Ｘ２｜）と，その最大許容値を示す差異比較情報Ｓ２とが比較され，例えばガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２との差が，最大許容値を超えていない場合には，正常の判定が行われ，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２との差が最大許容値を超えている場合には，異常の判定が行われる（図４の工程Ｇ４）。この比較，判定により，マスフローコントローラ１１ｂにおける入力側の検出情報と出力側の検出情報とのずれを検出できるので，マスフローコントローラ１１ｂ内部の例えば流量センサ１１ｄ，流量制御弁１１ｅ及び流量制御部１１ｆの不具合を検出できる。また，マスフローコントローラ１１ｂの正常稼動時には，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２は一致するので，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２のずれの検出により，情報が処理されたいずれかの回路の不具合も検出することができる。
【００４０】
第２判定部７３では，第２記憶部７２に記憶されたガス流量出力情報Ｘ２とガス流量比較情報Ｓ３が読み出され，比較される。例えば管路内を流れる水素ガス流量を示すガス流量出力情報Ｘ２がその許容範囲のしきい値を示すガス流量比較情報Ｓ３を超えていない場合には，第２判定部７３において正常の判定が行われ，ガス流量出力情報Ｘ２がガス流量比較情報Ｓ３を超えている場合には，異常の判定が行われる（図４の工程Ｇ５）。この比較，判定により，例えば装置制御装置３０からマスフローコントローラ１１ｂへの制御情報の入力異常や流量センサ１１ｄの故障を確認できるので，第２判定部７３側においてもマスフローコントローラ１１ｂの異常を検出できる。
【００４１】
また，第２判定部７３においても第１判定部６３と同様に，第１記憶部６２のガス流量入力情報Ｘ１と第２記憶部７２のガス流量出力情報Ｘ２の差（｜Ｘ１−Ｘ２｜）と，差異比較情報Ｓ２とが比較される。そして，例えば管路内を流れる水素ガス流量を示すガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２との差が，その最大許容値を示す差異比較情報Ｓ２を超えていない場合には，正常の判定が行われ，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２との差が差異比較情報Ｓ２を超えている場合には，異常の判定が行われる（図４の工程Ｇ５）。この比較，判定により，マスフローコントローラ１１ｂにおける入力側の検出情報と出力側の検出情報とのずれを検出し，マスフローコントローラ１１ｂ内部の例えば流量センサ１１ｄ，流量制御弁１１ｅ及び流量制御部１１ｆの不具合を検出できる。また，情報が処理された回路Ｃ１，Ｃ２のいずれかの不具合も検出できる。
【００４２】
第１判定部６３又は第２判定部７３において判定が行われると，その判定結果の信号が出力部５１から装置制御装置３０に出力される（図４の工程Ｇ６）。装置制御装置３０は，例えば異常検出信号を受信すると，アラーム信号を発し，例えばガス供給系１１の開閉バルブ１１ａを閉鎖して水素ガスの供給を停止する。
【００４３】
第１判定部６３及び第２判定部７３の判定が終了し，判定結果が装置制御装置３０に出力されると，再び第１入力部６０及び第２入力部７０に新しいガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２がそれぞれ入力され，再び第１判定部６３，第２判定部７３において比較と判定が行われる。
【００４４】
以上の実施の形態によれば，異常検出システム４０が，マスフローコントローラ１１ｂの同種の２つの検出情報であるガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２を多重に取得し，別個の回路Ｃ１，Ｃ２を用いて，そのガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２が示すガス流量の適否をそれぞれ判定するようにしたので，異常を検出するための回路が２重化し，異常検出システム４０の信頼性が向上する。
【００４５】
また，第１判定部６３や第２判定部７３が他の回路の情報を取得し，ガス流量入力情報Ｘ１とガス流量出力情報Ｘ２との整合の適否を判定したので，例えば情報が通過した回路Ｃ１，Ｃ２のいずれかの不具合を把握できる。さらに，マスフローコントローラ１１ｂへの入力信号側のガス流量入力情報Ｘ１と出力信号側のガス流量出力情報Ｘ２とを比較したので，例えばマスフローコントローラ１１ｂ内部の流量センサ１１ｄ，流量調節弁１１ｅ，流量制御部１１ｆなどの不具合も把握できる。
【００４６】
第１入力部６０及び第２入力部７０においてアナログ情報をデジタル情報に変換してその後の比較や判定をデジタル情報で行うようにしたので，回路Ｃ１，Ｃ２の構成の簡略化や，回路Ｃ１，Ｃ２の小型化が図られる。また，それに伴い第１設定部６１及び第２設定部７１にガス流量比較情報を設定できるようにしたので，設定時間の短縮化，設定精度の均一化が図られる。
【００４７】
以上の実施の形態では，異常検出システム４０が，単一のガス供給系１１とそのマスフローコントローラ１１ｂを有する熱処理装置１に適用されていたが，複数のガス供給系とマスフローコントローラを有し，反応管に複数のガスを所定の混合比で供給する膜形成装置としての熱処理装置にも適用できる。以下，かかる場合を第２の実施の形態として説明する。なお，第２の実施の形態において，上記実施の形態と実質的に同一の構成については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００４８】
図５に示すように第２の実施の形態における熱処理装置６０は，複数，例えば２つの第１，第２のガス供給系１００，１０１を備えている。各ガス供給系１００，１０１は，それぞれの開閉バルブ１００ａ，１０１ａ，マスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂを介して，各々のガス供給源１００ｃ，１０１ｃに連通している。本実施の形態においては，ガス供給源１００ｃには，酸素ガスが密封されており，第１のガス供給系１００から反応管３に酸素ガスが供給できる。ガス供給源１０１ｃには，水素ガスが密封されており，第２のガス供給系１０１から反応管３に水素ガスが供給できる。
【００４９】
マスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂは，図６に示すように上記マスフローコントローラ１１ｂと同様に，流量センサ１００ｄ，１０１ｄと，流量制御弁１００ｅ，１０１ｅ及び流量制御部１００ｆ，１０１ｆをそれぞれ備えている。
【００５０】
次に，図７に示す第２の実施の形態における異常検出システム１２０について説明する。異常検出システム１２０の基本構成は，上記実施の形態の異常検出システム４０と同様であるので，重複する部分は同じ符号を用い，説明を省略する。
【００５１】
異常検出システム１２０は，各マスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂの異常を検出するためのガス流量に関する検出情報を多重に取得できる。例えば第１入力部６０には，装置制御装置３０からマスフローコントローラ１００ｂの流量制御部１００ｆに酸素ガスの設定流量として入力される酸素ガス流量入力情報Ｙ１と，装置制御装置３０からマスフローコントローラ１０１ｂの流量制御部１０１ｆに水素ガスの設定流量として入力される水素ガス流量入力情報Ｚ１が入力できる。第２入力部７０には，流量センサ１００ｄから流量制御部１００ｆに酸素ガス流量として出力される酸素ガス流量出力情報Ｙ２と，流量センサ１０１ｄから流量制御部１０１ｆに水素ガス流量として出力される水素ガス流量出力情報Ｚ２が入力できる。なお，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２は，両方とも管路内を流れているガス流量を示す情報であり，マスフローコントローラ１００ｂは，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２が一致するように制御するので，マスフローコントローラ１００ｂの正常稼動時には，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２は，適正なガス流量を示し，一致する。したがって，本実施の形態では，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２を取得することにより，マスフローコントローラ１００ｂの異常を検出のためのガス流量に関する検出情報が２重に取得される。同様に，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２も両方とも管路内を流れている水素ガス流量を示す情報であり，マスフローコントローラ１０１ｂは，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２が一致するように制御するので，マスフローコントローラ１０１ｂの正常稼動時には，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２は，適正なガス流量を示し，一致する。したがって，本実施の形態では，例えば水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２を取得することにより，マスフローコントローラ１０１ｂの異常を検出のためのガス流量に関する検出情報が２重に取得される。
【００５２】
第１設定部６１には，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と水素ガス流量入力情報Ｚ１との比の適否の基準となる混合比比較情報Ｓ４が格納できる。なお，ここで言う混合比比較情報Ｓ４は，例えば酸素ガス流量入力情報Ｙ１が示す酸素ガス流量と水素ガス流量入力情報Ｚ１が示す水素ガス流量との比の許容範囲のしきい値を示す情報である。また，第１設定部６１には，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との整合の適否の基準となる差異比較情報Ｓ５と，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との整合の適否の基準となる差異比較情報Ｓ６が格納できる。なお，ここで言う差異比較情報Ｓ５は，例えば酸素ガス流量入力情報Ｙ１の示すガス流量と酸素ガス流量出力情報Ｙ２の示すガス流量との差の最大許容値を示す情報である。また，差異比較情報Ｓ６は，例えば水素ガス流量入力情報Ｚ１の示すガス流量と水素ガス流量出力情報Ｚ２の示すガス流量との差の最大許容値を示す情報である。
【００５３】
第２設定部７１には，酸素ガス流量入力情報Ｙ２と水素ガス流量入力情報Ｚ２との比の適否の基準となる混合比比較情報Ｓ７が格納できる。ここで言う混合比比較情報Ｓ７は，例えば酸素ガス流量入力情報Ｙ２が示す酸素ガス流量と水素ガス流量入力情報Ｚ２が示す水素ガス流量との比の許容範囲のしきい値を示す情報である。また，第２設定部７１には，前記第１設定部６１と同様に差異比較情報Ｓ５，Ｓ６が格納できる。
【００５４】
第１記憶部６２は，同じ回路Ｃ１の第１入力部６０及び第１設定部６１の情報と異なる回路Ｃ２の第２入力部７０の情報を取得し，記憶できる。つまり，第１記憶部６２は，酸素ガス流量入力情報Ｙ１，酸素ガス流量出力情報Ｙ２，水素ガス流量入力情報Ｚ１，水素ガス流量出力情報Ｚ２，混合比比較情報Ｓ４及び差異比較情報Ｓ５，Ｓ６を記憶できる。第２記憶部７２は，同じ回路Ｃ２の第２入力部７０及び第２設定部７１の情報と異なる回路Ｃ１の第１入力部６０の情報を取得し，記憶できる。つまり，第２記憶部７２は，酸素ガス流量入力情報Ｙ１，酸素ガス流量出力情報Ｙ２，水素ガス流量入力情報Ｚ１，水素ガス流量出力情報Ｚ２，混合比比較情報Ｓ７及び差異比較情報Ｓ５，Ｓ６を記憶できる。
【００５５】
第１判定部６３は，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と水素ガス流量入力情報Ｚ１との比（Ｙ１/Ｚ１）と，混合比比較情報Ｓ４とを比較し，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と水素ガス流量入力情報Ｚ１の比が許容範囲内にあるか否かを判定できる。第１判定部６３は，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との差（｜Ｙ１−Ｙ２｜）と，差異比較情報Ｓ５とを比較し，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との差が許容範囲内か否かを判定できる。さらに，第１判定部６３は，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との差（｜Ｚ１−Ｚ２｜）と，差異比較情報Ｓ６とを比較し，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との差が許容範囲内か否かを判定できる。
【００５６】
第２判定部７３は，酸素ガス流量入力情報Ｙ２と水素ガス流量入力情報Ｚ２との比（Ｙ２/Ｚ２）と，混合比比較情報Ｓ７とを比較し，酸素ガス流量入力情報Ｙ２と水素ガス流量入力情報Ｚ２の比の適否を判定できる。第２判定部７３は，第１判定部６３と同様に酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との差（｜Ｙ１−Ｙ２｜）と，差異比較情報Ｓ５とを比較し，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との整合の適否を判定できる。さらに，第２判定部７３は，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との差（｜Ｚ１−Ｚ２｜）と，差異比較情報Ｓ６とを比較し，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との整合の適否を判定できる。
【００５７】
次に，以上のように構成された異常検出システム１２０の動作について説明する。図８は，かかる異常検出プロセスのフローである。
【００５８】
先ず，図７に示すように第１設定部６１に混合比比較情報Ｓ４，差異比較情報Ｓ５，Ｓ６が設定され，各情報が第１記憶部６２に記憶される。第２設定部７１に混合比比較情報Ｓ７，差異比較情報Ｓ５，Ｓ６が設定され，各情報が第２記憶部７２に記憶される（図８の工程Ｈ１）。そして，熱処理装置１においてガス供給系１００，１０１により反応管３に酸素ガスと水素ガスが供給され，各マスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂにより酸素ガスと水素ガスの混合比が制御されているときに，マスフローコントローラ１００ｂの流量制御部１００ｆにアナログの制御信号として入力される酸素ガス流量入力情報Ｙ１と，マスフローコントローラ１０１ｂの流量制御部１０１ｆにアナログの制御信号として入力される水素ガス流量入力情報Ｚ１が，第１入力部６０に入力され，デジタル情報に変換される（図８の工程Ｈ２）。また，流量センサ１００ｄから流量制御部１００ｆにアナログの制御信号として出力される酸素ガス流量出力情報Ｙ２と，流量センサ１０１ｄから流量制御部１０１ｆにアナログの制御信号として出力される水素ガス流量出力情報Ｚ２が，第２入力部７０に入力され，デジタル情報に変換される（図８の工程Ｈ２）。
【００５９】
続いて，第１入力部６０でデジタル化された酸素ガス流量入力情報Ｙ１と水素ガス流量入力情報Ｚ１が第１記憶部６２と第２記憶部７２に出力され，記憶される（図８の工程Ｈ３）。また，第２入力部７０でデジタル化された酸素ガス流量出力情報Ｙ２と水素ガス流量出力情報Ｚ２が第２記憶部７２と第１記憶部６２に出力され，記憶される（図８の工程Ｈ３）。ここで各回路Ｃ１，Ｃ２の情報が相互に受け渡される。
【００６０】
次に，第１記憶部６２に記憶された酸素ガス流量入力情報Ｙ１，水素ガス流量入力情報Ｚ１及び混合比比較情報Ｓ４は，第１判定部６３に読み出され，第１判定部６３において，例えば反応管３内に供給される処理ガスの混合比を表す酸素ガス流量入力情報Ｙ１と水素ガス流量入力情報Ｚ１との比（Ｙ１/Ｚ１）と，処理ガスの混合比の許容範囲のしきい値を表す混合比比較情報Ｓ４とが比較される（図８の工程Ｈ４）。そして，ガス混合比を示す酸素ガス流量入力情報Ｙ１と水素ガス流量入力情報Ｚ１との比（Ｙ１/Ｚ１）が，混合比比較情報Ｓ４が示すしきい値を超えていない場合には，第１判定部６３において正常の判定が行われる。酸素ガス流量入力情報Ｙ１と水素ガス流量入力情報Ｚ１との比（Ｙ１/Ｚ１）が混合比比較情報Ｓ４が示すしきい値を超えている場合には，異常の判定が行われる。この比較，判定により，例えば装置制御装置３０からマスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂへの入力の異常が確認できるので，マスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂにより酸素ガス流量又は水素ガス流量のいずれかが適正に制御されていないことが確認され，混合される前の各ガス流量を制御しているマスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂの異常を検出できる。
【００６１】
また，第１判定部６３では，第１記憶部６２に記憶された酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との差（Ｙ１−Ｙ２）と差異比較情報Ｓ５とが比較される。そして，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との差が，その差の最大許容値を示す差異比較情報Ｓ５を超えていない場合には，正常の判定が行われ，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との差が差異比較情報Ｓ５を超えている場合には，異常の判定が行われる。この比較，判定により，マスフローコントローラ１００ｂにおける入力側の検出情報と出力側の検出情報とのずれを検出できるので，マスフローコントローラ１００ｂの内部の例えば流量センサ１００ｄ，流量制御弁１００ｅ及び流量制御部１００ｆの不具合を検出できる。また，異なる回路を通ることによる情報のずれを検出できるので，情報を取り入れたいずれかの回路Ｃ１，Ｃ２の不具合を検出することができる。
【００６２】
同様に第１判定部６３では，第１記憶部６２に記憶された水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との差（Ｚ１−Ｚ２）と差異比較情報Ｓ６とが比較される。そして，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との差（Ｚ１−Ｚ２）が，その差の最大許容値を示す差異比較情報Ｓ６を超えていない場合には，正常の判定が行われ，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との差（Ｚ１−Ｚ２）が差異比較情報Ｓ６を超えている場合には，異常の判定が行われる。この比較，判定により，マスフローコントローラ１０１ｂにおける入力側の検出情報と出力側の検出情報とのずれを検出できるので，マスフローコントローラ１０１ｂ内部の流量センサ１０１ｄ，流量制御弁１０１ｅ及び流量制御部１００ｆなどの不具合を検出できる。また，情報を取り入れたいずれかの回路Ｃ１，Ｃ２の不具合も検出できる。
【００６３】
第２記憶部７２に記憶された酸素ガス流量出力情報Ｙ２，水素ガス流量出力情報Ｚ２及び混合比比較情報Ｓ７は，第２判定部７３に読み出され，第２判定部７３において，例えば反応管３内に供給される処理ガスの混合比を示す酸素ガス流量出力情報Ｙ２と水素ガス流量出力情報Ｚ２との比（Ｙ２/Ｚ２）と，処理ガスの混合比の許容範囲のしきい値を示す混合比比較情報Ｓ７とが比較される（図８の工程Ｈ５）。そして，酸素ガス流量出力情報Ｙ２と水素ガス流量出力情報Ｚ２との比（Ｙ２/Ｚ２）がしきい値である混合比比較情報Ｓ７を超えている場合には，第２判定部７３において正常の判定が行われる。酸素ガス流量出力情報Ｙ２と水素ガス流量出力情報Ｚ２との比（Ｙ２/Ｚ２）が混合比比較情報Ｓ７を超えている場合には，異常の判定が行われる。この比較，判定により，例えば装置制御装置３０からマスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂへの制御情報の入力異常や流量センサ１００ｄ，１０１ｄの故障を確認できるので，混合される前の各ガス流量を制御しているマスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂの異常を検出できる。
【００６４】
また，第２判定部７３では，前記第１判定部６３と同様に，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との差（Ｙ１−Ｙ２）と差異比較情報Ｓ５とが比較され，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との差（Ｚ１−Ｚ２）と差異比較情報Ｓ６とが比較され，その整合の適否が判定される。
【００６５】
第１判定部６３又は第２判定部７３において判定が行われた場合には，その判定結果が出力部５１から装置制御装置３０に出力される（図８の工程Ｈ６）。装置制御装置３０は，例えば異常検出信号を受信すると，アラーム信号を発し，例えばガス供給系１００，１０１の開閉バルブ１００ａ，１０１ａを閉じて酸素ガス及び水素ガスの供給を停止する。
【００６６】
第１判定部６３及び第２判定部７３の判定が終了し，判定結果が装置制御装置３０に出力されると，再び第１入力部６０及び第２入力部７０に新しい酸素ガス流量入力情報Ｙ１，酸素ガス流量出力情報Ｙ２，水素ガス流量入力情報Ｚ１及び水素ガス流量出力情報Ｚ２がそれぞれ入力され，再び第１判定部６３，第２判定部７３において比較と判定が行われる。
【００６７】
本実施の形態によれば，異常検出システム１２０が，マスフローコントローラ１００ｂにおける同種の２つの検出情報の酸素ガス流量入力情報Ｙ１，酸素ガス流量出力情報Ｙ２を多重に検出し，マスフローコントローラ１０１ｂにおける同種の２つの検出情報の水素ガス流量入力情報Ｚ１及び水素ガス流量出力情報Ｚ２を多重に検出し，別個の回路Ｃ１，Ｃ２を用いて，その酸素ガス流量入力情報Ｙ１と水素ガス流量入力情報Ｚ１の比と酸素ガス流量出力情報Ｙ２と水素ガス流量出力情報Ｚ２の比が示す処理ガスの混合比の適否をそれぞれ判定するようにしたので，異常を検出するための回路が２重化し，異常検出システム１２０の信頼性が向上する。
【００６８】
また，第１判定部６３や第２判定部７３が他の回路の情報を取得し，酸素ガス流量入力情報Ｙ１と酸素ガス流量出力情報Ｙ２との整合と，水素ガス流量入力情報Ｚ１と水素ガス流量出力情報Ｚ２との整合の適否を判定したので，例えば同じ種類の情報が通過した回路Ｃ１，Ｃ２のいずれかの不具合を検出できる。さらに，マスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂへの入力信号側のガス流量入力情報と出力信号側のガス流量出力情報とを比較したので，例えばマスフローコントローラ１００ｂ，１０１ｂ内部の流量センサ１００ｄ，１０１ｄなどの不具合も検出できる。
【００６９】
前記第２の実施の形態では，反応管３に混合ガスが２種類のガスから生成されるものであったので，ガス供給系が２系統で，各ガス供給系に備えられたマスフローコントローラが２つであったが，本発明は，混合ガスが３種類以上のガスから生成され，ガス供給系とそのガス供給系に備えられたマスフローコントローラが３以上のものにも適用できる。
【００７０】
以上の実施の形態では，マスフローコントローラの出力側の検出情報と入力側の検出情報を取得して，マスフローコントローラの異常を検出するための検出情報を多重に取得していたが，他の方法でマスフローコントローラの検出情報を多重に取得してもよい。例えば図９に示すようにマスフローコントローラ１５０の流量センサ１５１とは別に，管路に流量センサ１５２を設け，マスフローコントローラ１５０の流量センサ１５１と流量センサ１５２との２つのセンサによって検出情報を多重に取得してもよい。なお，マスフローコントローラ１５０は，例えば流量センサ１５１の他に，流量制御弁１５３と，流量センサ１５１の検出結果に基づいて流量制御弁１５３の開閉度を調整する流量制御部１５４を備えている。各流量センサ１５１，１５２から流量制御部１５４に出力される流量情報は，上記実施の形態と同様に異なる回路Ｃ１，Ｃ２において異常の判定に用いられる。かかる場合も，検出情報が多重に検出され，異なる回路で異常か否かの判定が行われるので，異常検出システムの信頼性を向上できる。なお，検出情報が検出されるセンサの位置や数は，マスフローコントローラの構成などに応じて適宜変更できる。
【００７１】
以上，本発明の実施の形態の一例について説明したが，本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。例えば上記実施の形態では，異常検出システムが，水素ガスのガス流量を制御するマスフローコントローラに適用されていたが，供給量を厳密に制御する必要がある他の処理ガス，例えばＰＨ３（ホスフィン），ＮＨ３，Ｎ２などの危険ガス，有毒ガスのガス流量を制御するマスフローコントローラに適用されてもよい。また，上記実施の形態では，異常が検出される制御器がマスフローコントローラであったが，本発明は，温度制御器などの他の制御器の異常の検出にも適用できる。さらに，上記実施の形態では，異常検出システムが，アニール処理や酸化膜を形成する熱処理装置１に適用されていたが，本発明は，例えば金属膜，絶縁膜などの他の種類の膜を形成する他の熱処理装置や，熱処理装置以外で制御器を有する他の基板処理装置にも適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は，制御器の異常を検出する異常検出システムの信頼性を向上する際に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本実施の形態における熱処理装置の構成の概略を示す縦断面の説明図である。
【図２】マスフローコントローラの構成の概略を示す説明図である。
【図３】異常検出システムの構成の概略を示すブロック図である。
【図４】異常検出プロセスのフロー図である。
【図５】第２の実施の形態における熱処理装置の構成の概略を示す縦断面の説明図である。
【図６】第２の実施の形態におけるマスフローコントローラの構成の概略を示す説明図である。
【図７】第２の実施の形態にかかる異常検出システムの構成の概略を示すブロック図である。
【図８】第２の実施の形態における異常検出プロセスのフロー図である。
【図９】マスフローコントローラの他の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００７４】
１    熱処理装置
１１  ガス供給系
１１ｂ  マスフローコントローラ
４０  異常検出システム
６０  第1入力部
６３  第1判定部
７０  第２入力部
７３  第２判定部
Ｃ１，Ｃ２  回路
Ｗ    基板
【図１】
2006086190.tif 000003
【図２】
2006086190.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006086190.tif 000009
【図８】
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【図９】
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