(57)【要約】【課題】  多数の微少な開口部を有するマスク部２を複数個配置したメタルマスク１を枠状のフレームに固定するに際し、各マスク部の位置を正確に位置決めする技術を提供する。【解決手段】  メタルマスク１の各辺を、複数のテンションユニット１３で把持して引っ張り、メタルマスク１にテンションを加えると共に、そのメタルマスク１にガラススケール２５を重ね合わせ、メタルマスク１に形成している十字マーク６が、ガラススケール２５の基準ライン２７の対応する交差点に一致するように、各テンションユニット１３が付与するテンションを調整することで各マスク部２の位置を正確に位置決めする構成とする。【選択図】  図１
2006111941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
あらかじめ複数箇所にアラインメント用マークを付したメタルマスクの４辺のそれぞれを、複数のクランプで把持し、各クランプによって前記メタルマスクにテンションを加える張り工程と、前記メタルマスクに付与している複数のアラインメント用マークに対する基準位置を示す基準マークを有するガラススケールを前記メタルマスク上面に近接した計測位置に配置する工程と、前記メタルマスクの複数箇所に形成されているアラインメント用マークを前記ガラススケールの基準マークに合わせ込むように前記複数のクランプによるテンションを調整するテンション調整工程とを有するメタルマスク位置アラインメント方法。
【請求項２】
前記テンション調整工程に先立って、前記メタルマスクとガラススケールの少なくとも一方を縦横方向並びに回転方向に移動させて粗位置決めする工程を有することを特徴とする請求項１記載のメタルマスク位置アラインメント方法。
【請求項３】
前記アラインメント用マークが、前記メタルマスクの有効領域の四隅近傍にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のメタルマスク位置アラインメント方法。
【請求項４】
あらかじめ複数箇所にアラインメント用マークを付したメタルマスクの４辺の各々の複数箇所を把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニットと、前記メタルマスクに付与している複数のアラインメント用マークに対する基準位置を示す基準マークを有するガラススケールと、該ガラススケールを保持し、前記複数のテンションユニットに保持されている前記メタルマスクの上方に離れた待機位置とメタルマスク上面に近接した計測位置とに昇降させるガラススケール保持昇降手段と、前記メタルマスクの複数箇所に形成されているアラインメント用マークと前記ガラススケールの基準マークの重なり部分を撮像する撮像手段と、前記複数のテンションユニットが付与するテンションを個々に調整可能な調整手段とを有するメタルマスク位置アラインメント装置。
【請求項５】
前記複数のテンションユニットがＸ、Ｙ、θステージに搭載されていることを特徴とする請求項４記載のメタルマスク位置アラインメント装置。
【請求項６】
前記メタルマスクにアラインメント用マークが４箇所に設けられており、前記撮像手段が、４箇所のアラインメント用マークに対応して４個設けられていることを特徴とする請求項４又は５記載のメタルマスク位置アラインメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、有機ＥＬ素子製造工程で使われる蒸着マスクに使用される、多数の微少な開口部を備えたマスク部を有するメタルマスクのような、極く薄い且つ剛性の異なる領域を備えたメタルマスクをゆがみのない平坦な状態で枠状のフレームに固定する技術に関し、特に、メタルマスクをフレームに固定するに当たってメタルマスクの位置アラインメントを取る方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ素子製造において真空蒸着が行われており、その蒸着マスクとして、蒸着を許容する多数の細長い微少なスリットを平行に並べた構造のマスク部を有するメタルマスクが使用されている。そして蒸着に当たってはそのメタルマスクを、前記マスク部よりも大きい開口を備えた剛性の大きい枠状のフレームに磁石等によって取り付けていた。しかしながら、近年、パターニングの微細化が進み、マスク部に形成しているスリットが微細になり且つメタルマスクの板厚自体も薄くなってくると、メタルマスクを単に枠に磁石等を用いて固定しただけでは、マスク部にゆがみやたるみが生じ、スリット精度が維持できなくなるという問題が生じた。そこで、本出願人は先に、メタルマスクを枠状のフレームに取り付けた状態で、そのメタルマスクをマスク部のスリット方向に引張った状態に保持することの可能なメタルマスクの保持治具を開発した（特許文献１参照）。この保持治具を用いると、マスク部のスリットを構成する細線部分を長手方向に引っ張った状態に保持できるので、スリットを直線状に且つ一定ピッチに保持でき、高精細パターニングが可能であるという利点が得られる。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載のメタルマスクは、１枚のメタルマスクに１個のマスク部を形成しているのみであるので、生産性が悪いという問題点があった。生産性を上げるには、１枚のメタルマスクに複数個のマスク部を形成した多面付けメタルマスクを用いればよいが、多面付けメタルマスクでは、単にその両端をつかんで引っ張っただけでは、メタルマスクの全幅を均等に引っ張っても、マスク部と非マスク部とで剛性が異なるため、マスク部にゆがみやたるみが生じ、所望のスリットパターンが得られず、しかも、各マスク部の位置精度も悪くなるということが判明した。例えば、有機ＥＬ素子製造に用いる蒸着用の多面付けマスクの場合、各マスク部の位置に関して±１０μｍ以下のトータルピッチが求められることがあるが、そのような寸法精度を達成することは困難である。
【０００４】
そこで、この問題を解決すべく検討した結果、メタルマスクの４辺のそれぞれを、複数のクランプで把持し、各クランプによって前記メタルマスクにテンションを加え、かつそのテンションを各クランプごとに調整することで、メタルマスクをしわやたるみの無い平坦な状態とし、各マスク部のスリットを直線状に且つ一定ピッチに保持できることを見出した。また、メタルマスクにテンションを加えて平坦な状態とし、その状態で枠状のフレームにスポット溶接等によって固定することで、クランプを外した後においてもメタルマスクをテンションが掛けられ平坦となった状態に保持でき、従って、単純な構造のフレームを用いて多面付けマスクをゆがみやたるみの無い状態に保持できることを見出した。
【０００５】
ところで、このようにメタルマスクの４辺のそれぞれにテンションを加えてフレームに固定する際、単にメタルマスクにしわやたるみが無いようにテンションを調整しただけでは、メタルマスクに生じる伸びが必ずしも均一とはならず、そのためメタルマスクに形成している複数のマスク部の位置が適正な位置からずれてしまうことがあった。すなわち、複数のマスク部は縦方向、横方向にそれぞれ所定のピッチで正確に位置決めしておく必要があるが、そのピッチの誤差が大きくなるとか、全体的にねじれたような配置になることがあった。これを防ぐには、メタルマスクにテンションを加えた状態で、いくつかのマスク部の位置を、Ｘ−Ｙ方向（縦横方向）の位置を高精度（ミクロンオーダー）で測定可能な測長装置を用いて測定し、適正な位置となるようにテンションを調整するという方法を採ればよい。しかしながら、この方法には、（１）測長装置は高価である、（２）測長に時間を要するため、作業効率が悪い、（３）一度に複数箇所の位置管理ができない等の問題があった。
【特許文献１】特開２００３−６８４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はかかる状況に鑑みてなされたもので、蒸着用の多面付けマスクのようなメタルマスクにテンションを加えて、ゆがみやたるみの無い状態とした際において、測長装置に比べて安価な設備を用い且つ測長装置を用いる場合よりも短時間で、そのメタルマスク内の複数箇所の位置を高精度で適正な位置となるように管理することの可能なメタルマスク位置アラインメント方法及び装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決すべくなされた本願請求項１に係る発明は、あらかじめ複数箇所にアラインメント用マークを付したメタルマスクの４辺のそれぞれを、複数のクランプで把持し、各クランプによって前記メタルマスクにテンションを加える張り工程と、前記メタルマスクに付与している複数のアラインメント用マークに対する基準位置を示す基準マークを有するガラススケールを前記メタルマスク上面に近接した計測位置に配置する工程と、前記メタルマスクの複数箇所に形成されているアラインメント用マークを前記ガラススケールの基準マークに合わせ込むように前記複数のクランプによるテンションを調整するテンション調整工程とを有するメタルマスク位置アラインメント方法を要旨とする。
【０００８】
請求項２に係る発明は、上記請求項１に係るメタルマスク位置アラインメント方法において、前記テンション調整工程に先立って、前記メタルマスクとガラススケールの少なくとも一方を縦横方向並びに回転方向に移動させて粗位置決めする工程を有する構成としたものである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、上記請求項１又は２記載のメタルマスク位置アラインメント方法において、前記アラインメント用マークを、前記メタルマスクの有効領域の四隅近傍にそれぞれ形成しておくという構成としたものである。
【００１０】
請求項４に係る発明は、あらかじめ複数箇所にアラインメント用マークを付したメタルマスクの４辺の各々の複数箇所を把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニットと、前記メタルマスクに付与している複数のアラインメント用マークに対する基準位置を示す基準マークを有するガラススケールと、該ガラススケールを保持し、前記複数のテンションユニットに保持されている前記メタルマスクの上方に離れた待機位置とメタルマスク上面に近接した計測位置とに昇降させるガラススケール保持昇降手段と、前記メタルマスクの複数箇所に形成されているアラインメント用マークと前記ガラススケールの基準マークの重なり部分を撮像する撮像手段と、前記複数のテンションユニットが付与するテンションを個々に調整可能な調整手段とを有するメタルマスク位置アラインメント装置を要旨とする。
【００１１】
請求項５に係る発明は、上記請求項４記載のメタルマスク位置アラインメント装置において、前記複数のテンションユニットをＸ、Ｙ、θステージに搭載しておき、Ｘ、Ｙ、θステージによってメタルマスクとガラススケールとの粗位置決めを行なうことができる構成としたものである。
【００１２】
請求項６に係る発明は、上記請求項４又は５記載のメタルマスク位置アラインメント装置において、前記メタルマスクにアラインメント用マークを４箇所に設けておき、その４箇所のアラインメント用マークに対応して前記撮像手段を４個設け、同時に各アラインメント用マークを撮像可能な構成としたものである。
【発明の効果】
【００１３】
上記した本発明の方法及び装置によれば、メタルマスクの４辺にテンションを加えた状態でその上面にガラススケールを近接して位置させ、メタルマスクの複数箇所のアラインメント用マークとガラススケールの基準マークの重ね合わせ状態を見ることでメタルマスクのアラインメント用マークを付した位置が所定の適正な位置となっているか否かを見ることができ、メタルマスクのアラインメント用マークにガラススケールの基準マークを合わせ込むようにメタルマスクに付与するテンションを調整することで、メタルマスク内の位置を高精度で適正となる位置に合わせ、アラインメントを取ることができ、例えば、メタルマスクに複数のマスク部が形成されている場合において各マスク部の位置を高精度で所定の位置に位置決めすることができる。このアラインメントを行なうに際しては、メタルマスクのアラインメント用マークとガラススケールの基準マークを合わせればよいので、判断が容易であり、メタルマスクのテンション調整を容易に行なうことができ、短時間での調整が可能である。更に、測長装置が不要なため、安価な装置で機能を満足でき、経済的に有利である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は、ゆがみやたるみのない平坦な状態に保持する必要がある任意のメタルマスクに対して適用可能であるが、特に精密さを要求される有機ＥＬ素子製造用の蒸着用多面付けマスクとして使用するメタルマスクに適用することが好ましい。以下、有機ＥＬ素子製造における蒸着用多面付けマスクとして使用するメタルマスクを例にとって本発明の好適な実施の形態を説明する。図１は本発明の実施の形態に係るメタルマスク位置アラインメント装置（以下アラインメント装置と略称する）の主要部分の概略斜視図、図２、図３はそのアラインメント装置を異なる作動状態で示す概略断面図、図４はそのアラインメント装置に設けている複数のテンションユニット及びそれに保持されているメタルマスクを示す概略平面図、図５はテンションユニットの概略側面図、図６は、このアラインメント装置で取り扱うメタルマスク及びそれを固定する枠状のフレームを示す概略斜視図、図７は枠貼り後のメタルマスクとフレームとを示す概略斜視図である。
【００１５】
図６において、１は蒸着マスクとして使用する直角四辺形状のメタルマスクであり、複数のマスク部２を縦横に並べて形成している。各マスク部２は、蒸着を許容する多数の微少な開口部を備えたものである。各マスク部２における開口部の形状、配列は任意であり、例えば、細長いスリット状の開口部を平行に並べたもの、短い開口部を縦方向に並べると共に平行にも並べたもの等を挙げることができる。３はメタルマスク１を取り付けるための剛性の大きいフレームであり、メタルマスク１の多数のマスク部２を形成した領域（有効領域という）を包含する大きさの開口４を備えている。メタルマスク１は、フレーム３よりも縦横両方向ともに大きいサイズに作られており、フレーム３の外周縁にほぼ対応する位置に、折り曲げることで容易に切断可能な易切断線５を形成している。なお、易切断線５は、メタルマスク１に加える引張力には耐え得る強度を備えたものである。更に、メタルマスク１には、複数のマスク部２を形成している有効領域の四隅の近傍にアラインメント用マークとして、十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄを形成している。この十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの詳細は後述する。メタルマスク１の厚さ、マスク部２の寸法、それに形成した多数の微少な開口部の寸法等は特に限定するものではないが、代表的なものとして、メタルマスク１の厚さは３０〜２００μｍ、マスク部２の寸法は長さが５０〜７０ｍｍ、幅が３０〜５０ｍｍ、開口部の幅が４０〜１００μｍ、平行に配列された開口部間の無孔部分の幅が８０〜１５０μｍ等を例示できる。
【００１６】
図１〜図４において、全体を参照符号１０で示すアラインメント装置は、支持台１１と、その支持台１１に、上面１２ａが水平となるように保持されたＸ、Ｙ、θステージ１２と、そのＸ、Ｙ、θステージ１２の上面１２ａに、メタルマスク１の４辺の各々の複数箇所を把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニット１３を備えている。Ｘ、Ｙ、θステージ１２は、水平な上面１２ａを、水平面内で縦方向（Ｘ方向）、横方向（Ｙ方向）に位置調整することができると共に中心の垂直な軸線を中心として回転方向（θ方向）にも位置調整することができるものである。
【００１７】
各テンションユニット１３は、図５に拡大して示すように、ベース部材１５と、そのベース部材１５に直動案内１６を介して移動可能に保持されたクランプ１７と、クランプ１７を往復動させる駆動手段１８等を備えている。ここで、駆動手段１８にはエアシリンダが用いられているが、エアシリンダに代えて、油圧シリンダ、サーボモータ等を用いてもよい。クランプ１７は、固定爪１７ａと、可動爪１７ｂと、可動爪１７ｂを固定爪１７ａに強く押し付けて両者の間にメタルマスク１を把持するよう可動爪１７ｂを旋回させ且つ閉位置に保持するトグル機構及びエアシリンダ（共に図示せず）等を備えている。各テンションユニット１３は、図４から良く分かるように、メタルマスク１の各辺をそれぞれ複数のテンションユニット１３で把持してその辺に直角方向にテンションを加えることができるように配置されている。更に、メタルマスク１の各辺を把持するように配置されている複数のテンションユニット１３のクランプ１７は、メタルマスク１のマスク部２と非マスク部に合わせて配置されており、従って、メタルマスク１のマスク部２を形成した縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域と、マスク部の無い縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域とを、それぞれ別個のクランプ１７で引っ張ってテンションを付与することが可能である。
【００１８】
複数のテンションユニット１３にそれぞれ設けられている駆動手段１８には、メタルマスク１に付与するテンションを個々に調整できるよう、その駆動手段による駆動力を個々に調整する調整手段（図示せず）が設けられている。更に具体的には、駆動手段１８を構成するエアシリンダにはエア供給配管が接続されており、そのエア供給配管に、各エアシリンダへの供給圧力を個々に調整可能なレギュレータが調整手段として設けられている。なお、全部のテンションユニット１３の駆動手段（エアシリンダ）１８を同時に作動させることができるよう、これらのエアシリンダに連結されているエア供給配管には共通の開閉弁を介してエアが供給されるようになっており、且つ各エアシリンダの作動タイミングを調整することができるよう各エアシリンダへのエア供給配管にスピードコントローラも設けられている。
【００１９】
図２、図５において、テンションユニット１３のベース部材１５には、フレーム３を支持するフレーム支え２０が設けられている。このフレーム支え２０は、その上にフレーム３を乗せることで、フレーム３を水平面内の所定位置に位置決めすると共にフレーム３の上面が、クランプ１７に把持されてテンションを付与されているメタルマスク１にほぼ接する位置となるように上下方向にも位置決めすることができるように配置されている。
【００２０】
図１〜図４において、アラインメント装置１０は更に、支持台１１に固定されている側枠２２に水平に移動可能に保持された移動台２３と、その移動台２３を、テンションユニット１３に保持されているメタルマスク１の上方の所定位置と、メタルマスク１の上方を離れる待機位置とに往復動させる移動装置（図示せず）と、その移動台２３に保持されたガラススケール保持昇降手段２４と、該ガラススケール保持昇降手段２４に保持されたガラススケール２５と、移動台２３に保持された４個の撮像手段２６等を備えている。
【００２１】
ガラススケール２５は、図８及び図９（ａ）に示すように、透明なガラス基板の表面に多数の基準ライン２７を縦横に一定ピッチで（例えば１０ｍｍピッチで）形成し、且つ基準ライン間に縦横に一定ピッチで十字マーク２８を形成したものである。基準ライン２７の線幅は、特に限定するものではないが、２０μｍ程度に定められている。縦横に形成されている基準ライン２７は、メタルマスク１に形成されているアラインメント用マークである十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの基準位置を示す基準マークとして作用するものである。すなわち、メタルマスク１の４箇所の十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄを、ガラススケール２５の基準ライン２７の交差点（この実施の形態では、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄで示す領域にある交差点）に合わせることで、メタルマスク１の４個の十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの位置を所定位置に位置決めし、メタルマスク１の有効領域を所定位置に位置決めできるものである。換言すれば、メタルマスク１の４箇所の十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの形成位置は、メタルマスク１に加えるテンションを調整して十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄをガラススケール２５の領域Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄにある基準ライン２７の交差点に合わせた時に、メタルマスク１がゆがみやたわみの無い状態に張られ且つ各マスク部２が所定の位置に位置決めされるように、定められている。ここで、十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの形成位置は、図８に示すように、多数のマスク部２を形成している有効領域の四隅近傍とすることが、有効領域全体の伸び及び位置を高精度で適正に調整でき、且つ各マスク部２の位置も適正に調整できるので好ましいが、この位置に限定されるものではない。また、メタルマスク１に形成する十字マークの個数も適宜増減可能である。
【００２２】
メタルマスク１に形成する十字マーク６（十字マークの設置場所に関係のない一般的な説明の場合には符号６で示す）の形成手段は特に限定するものではないが、好ましくはハーフエッチングで形成する。この十字マーク６は、図９に示すように、ガラススケール２５の基準ライン２７の線幅よりも広い線幅となるように形成されており、図９（ｃ）に示すように、十字マーク６に縦横の基準ライン２７が正しく重なった状態を撮像してモニター３０に拡大して表示した時、基準ライン２７の両側に十字マーク６の線が現れ、これを目視により或いは画像処理することにより認識できるようにしている。十字マーク６の線幅としては、基準ライン２７の線幅を２０μｍとした時に、５０μｍ程度に選定すればよい。また十字マーク６の長さは、モニター３０での目視或いは画像処理で認識できる長さがあればよく、例えば、２５０μｍ程度でよい。
【００２３】
図１〜図３において、ガラススケール保持昇降手段２４はガラススケール２５を、その下方に張られているメタルマスク１に平行になるように且つガラススケール２５に形成している基準ライン２７がメタルマスク１に面する側となるように、保持している。更に、このガラススケール保持昇降手段２４は、ガラススケール２５をメタルマスク１の上方に離れた待機位置（図２に示す位置）とメタルマスク１の上面に近接した計測位置（図３に示す位置）に昇降させる機能を備えている。ここで、ガラススケール２５を計測位置に降下させた時、そのガラススケール２５がメタルマスク１に接触してトラブルを生じることがないよう、非接触な位置とするが、ガラススケール２５の基準ライン２７とメタルマスク１の十字マーク６を撮像手段２６で撮像可能なように、極力近づけておくことが好ましい。このため、計測位置に降下したガラススケール２５とメタルマスク１の間隔は５０〜２００μｍ程度に、好ましくは５０〜１００μｍ程度に設定しておく。
【００２４】
撮像手段２６は、ガラススケール２５の基準ライン２７とメタルマスク１の十字マーク６を撮像可能なものであり、この実施の形態ではＣＣＤカメラが用いられている。ＣＣＤカメラ２６は、４箇所の十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄに対応するガラススケール２５の基準ライン２７の交差点（図８に示す領域Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの交差点）を撮像することができる位置にそれぞれ設けられており、且つ、その焦点深度は、メタルマスク１の十字マーク６と計測位置にあるガラススケール２５の基準ライン２７を同時に撮像できるように定められている。
【００２５】
次に、上記構成のアラインメント装置１０によるアラインメント動作を説明する。ガラススケール２５を保持している移動台２３がＸ、Ｙ、θステージ１２の上方を外れた待機位置にある状態で、複数のテンションユニット１３のフレーム支え２０にフレーム３を保持させ、次いで、その上にメタルマスク１を乗せ、その４辺を複数のテンションユニット１３のクランプ１７で把持させる。この状態が図４に示す状態である。この際、複数の位置決めピン（図示せず）を用いてフレーム３に対してメタルマスク１を位置決めしておく。次に、移動台２３がＸ、Ｙ、θステージ１２の上方に移動してきて、所定位置に停止する（図２参照）。次に、各クランプ１７に連結している駆動手段（エアシリンダ）１８に加圧エアを送って各クランプ１７をメタルマスク１から離れる方向に移動させ、メタルマスク１に多数のクランプによって縦横両方向に小さいテンションを加え、メタルマスク１を張った状態とする。その後、位置決めピンを外してメタルマスク１に大きいテンションを支障なく加えることができるようにする。なお、メタルマスク１から位置決めピンを外しても、フレーム３に対するメタルマスク１の位置はあまり変動することはなく、メタルマスク１のフレーム３に対する所望の位置決め精度は保たれる。
【００２６】
次に、ガラススケール保持昇降装置２４がガラススケール２５をメタルマスク１の上面に近接した計測位置に降下させ、その位置に停止させる。次いで、ＣＣＤカメラ２６で撮像を開始し、モニター３０に画像を表示する。オペレータはそれを確認しながら、Ｘ、Ｙ、θステージ１２を調整してメタルマスク１の位置をＸ方向、Ｙ方向、θ方向に移動させ、メタルマスク１の十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄを、ガラススケール２５の基準ライン２７の対応する交差点に粗位置決めする。粗位置決めした後は、Ｘ、Ｙ、θステージ１２をその位置に固定し、モニター３０で確認しながら、メタルマスク１にテンションを加えている複数のテンションユニット１３の駆動手段１８の駆動力を個々に調整してメタルマスク１に加えるテンションを調整し、各十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄを対応する基準ライン２７の交差点に一致させてゆく。そして、全部の十字マーク６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄが対応する基準ライン２７の交差点に一致すると、メタルマスク１に形成されている複数のマスク部２がそれぞれ所定の位置に位置決めされたこととなる。また、メタルマスク１はゆがみやたるみのない平坦な状態で且つマスク部２の多数の開口部が平行に引き揃えられた状態となる。すなわち、メタルマスク位置アラインメントが完成する。
【００２７】
その後は、メタルマスク１にテンションを加えた状態で、ガラススケール２５を上方の待機位置に戻し、且つ移動台２３もメタルマスク１の上方を外れた待機位置に戻し、メタルマスク１をフレーム３にレーザ等（図示せず）を用いてスポット溶接（図４の符号３３参照）し、固定する。その後、メタルマスク１をクランプ１７から外し、メタルマスク１の周縁部分を易切断線５を利用して除去する。以上により、図７に示すように、フレーム３にメタルマスク１を固定した構成の蒸着マスク装置８を製造できる。
【００２８】
得られた蒸着マスク装置８では、メタルマスク１がゆがみやたるみの無い状態で且つマスク部２の多数の開口部が正確に平行に揃った状態に保たれており、且つ各マスク部の位置も所定の寸法精度内に保たれている。かくして、この蒸着マスク装置８を用いて蒸着を行うことにより、微細なパターンの蒸着を多面付けで正確に行うことができる。
【００２９】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載の範囲内で適宜変更可能である。例えば、上記した実施の形態では、メタルマスク１に付加するテンション調整の際に、メタルマスク１の十字マーク６とガラススケール２５の基準ライン２７の交差点の重なりが一致しているか否かの判断をモニター３０を目視して行なっているが、目視による代わりにＣＣＤカメラ２６からの信号を画像処理して判定する構成としてもよい。また、上記実施の形態では、ＣＣＤカメラ２６を各十字マーク６に対応して設けているが、これに限らず、１個或いは２個のＣＣＤカメラ２６を用い、そのＣＣＤカメラ２６を撮像すべき位置に移動させて用いる方法を採っても良い。ただし、図示の実施の形態のように、各十字マーク６に対応してＣＣＤカメラ２６を設けておくと、全部の十字マーク６を監視しながらテンション調整を行なうことができ、テンション調整を容易に且つ敏速に行なうことができる利点が得られる。
【００３０】
更に、上記した実施の形態では、メタルマスク１に形成するアラインメント用マークとして十字マーク６を用いているが、アラインメント用マークは十字マークに限らず、ガラススケール２５に形成する基準マーク（例えば、基準ライン２７）に合わせて位置決め可能なものであれば任意であり、例えば、正方形のマークを用いてもよい。また、アラインメント用マークは、十字マークや正方形のマークのように、一つのマークで縦方向及び横方向の位置を示すことができるものに限らず、単に横方向の直線或いは縦方向の直線のように、縦方向の位置のみを示すもの或いは横方向の位置のみを示すものを、適当に組み合わせて用いてもよい。更に、上記した実施の形態では、ガラススケール２５に、基準マークとして多数の基準ライン２７を格子状に形成しているが、ガラススケール２５に設ける基準ライン２７はこのように多数設ける必要はなく、図８のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの領域のみを通る基準ライン２７を設けたものを用いても良く、更には、図８のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの領域に十字マークを形成して基準マークとしてもよい。なお、図示したガラススケール２５のように、多数の基準ライン２７を格子状に形成したものを用いると、種々なサイズのメタルマスクに対応できる利点が得れらる。
【００３１】
更に、上記した実施の形態では、メタルマスク１の４箇所にアラインメント用マーク（十字マーク６）を形成しているが、アラインメント用マークの形成箇所は適宜増減可能であり、例えば、メタルマスクの縦方向のみ、或いは横方向のみの位置決めで十分な場合には、縦方向に離れた２箇所のみ、或いは横方向に離れた２箇所のみにアラインメント用マークを形成するように変更してもよい。
【００３２】
更に上記した実施の形態では、メタルマスク１とガラススケール２５の粗位置決めを行なうために、メタルマスク１を支持するテンションユニット１３をＸ、Ｙ、θステージ１２に保持させているが、この代わりに、ガラススケール２５を保持したガラススケール保持昇降装置２４をＸ、Ｙ、θステージに保持させるようにしてもよい。また、場合によっては粗位置決めを省略し、テンション調整のみで十字マークと基準ラインの位置合わせを行なうようにしてもよい。ただし、実施の形態で説明したように、粗位置合わせを行なっておくと、十字マークと基準ラインの位置合わせのためのテンション調整が容易となる利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態に係るアラインメント装置の主要部分の概略斜視図
【図２】図１に示すアラインメント装置を、ガラススケールを上方の待機位置とした状態で示す概略断面図
【図３】図１に示すアラインメント装置を、ガラススケールをメタルマスク上面に近接した計測位置とした状態で示す概略断面図
【図４】図１に示すアラインメント装置に設けている複数のテンションユニット及びそれに保持されているメタルマスクを示す概略平面図
【図５】テンションユニットの概略側面図
【図６】図１に示すアラインメント装置で取り扱うメタルマスク及びそれを固定する枠状のフレームを示す概略斜視図
【図７】メタルマスクをフレームに固定して形成した蒸着マスク装置の概略斜視図
【図８】メタルマスクとガラススケールの概略平面図
【図９】（ａ）はガラススケールに形成している基準ラインの交差点領域を拡大して示す概略平面図、（ｂ）はメタルマスクに形成している十字マークを拡大して示す概略平面図、（ｃ）は基準ラミネートの交差点の十字マークの重なり領域を撮像してモニターに表示した状態を示す概略正面図
【符号の説明】
【００３４】
１  メタルマスク
２  マスク部
３  フレーム
４  開口
５  易切断線
６、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ  十字マーク（アラインメント用マーク）
８  蒸着マスク装置
１０  アラインメント装置
１１  支持台
１２  Ｘ、Ｙ、θステージ
１３  テンションユニット
１５  ベース部材
１６  直動案内
１７  クランプ
１７ａ  固定爪
１７ｂ  可動爪
１８  駆動手段（エアシリンダ）
２０  フレーム支え
２２  側枠
２３  移動台
２４  ガラススケール保持昇降手段
２５  ガラススケール
２６  撮像手段（ＣＣＤカメラ）
２７  基準ライン（基準マーク）
３０  モニター
３３  スポット溶接
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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