(57)【要約】【課題】共振型光偏向器などの揺動体装置において、走査角ないし回転角速度の補正を行なうのに、正確な調律作業を不要とすることである。【解決手段】共振型光偏向器などを構成する揺動体装置は、揺動体１０１を略所定の回転軸周りに中立位置を中心とする範囲で回転可能に支持する支持手段１０２、１０３と、揺動体１０１を中立位置に戻す方向に復元トルクＴを発生する復元トルク発生手段１０２、１０４、１０５、１０８と、揺動体１０１を回転軸周りに中立位置を中心に回転して振動する様に駆動する駆動手段１０６、１０７、１０８を有する。復元トルクＴが、揺動体１０１の中立位置からの変位角θに対して単調減少し、かつ変位角θの絶対値が大きくなるとｄＴ／ｄθが小さくなる非線形特性を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
揺動体を略所定の回転軸周りに中立位置を中心とする範囲で回転可能に支持する支持手段と、揺動体を中立位置に戻す方向に復元トルクＴを発生する復元トルク発生手段と、揺動体を回転軸周りに中立位置を中心に回転して振動する様に駆動する駆動手段を有し、該復元トルクＴが、揺動体の中立位置からの変位角θに対して単調減少し、かつ変位角θの絶対値が大きくなるとｄＴ／ｄθが小さくなる非線形特性を有することを特徴とする揺動体装置。
【請求項２】
前記復元トルク発生手段が、前記揺動体と一体に動くように取り付けられた可動永久磁石と、可動永久磁石に対して静磁界を発生する静磁界発生手段と、前記揺動体に取り付けられた前記支持手段を構成するトーションバーからなり、可動永久磁石は、トーションバーの前記回転軸を規定するねじりの軸に略直交し且つ揺動体の面に略平行な方向に磁化されており、静磁界発生手段の発生する磁界は、可動永久磁石の磁化方向と略平行で向きが逆であることを特徴とする請求項１に記載の揺動体装置。
【請求項３】
前記揺動体がカンチレバー式に回転して振動する弾性体の揺動体であり、前記復元トルク発生手段が、前記揺動体と一体に動くように取り付けられた可動永久磁石と、可動永久磁石に対して静磁界を発生する静磁界発生手段と、前記支持手段を構成する揺動体の固定端付近の撓み可能な根元部からなり、可動永久磁石は、前記回転軸を規定する根元部の伸長方向に略直交し且つ揺動体の面に略平行な方向に磁化されており、静磁界発生手段の発生する磁界は、可動永久磁石の磁化方向と略平行で向きが逆であることを特徴とする請求項１に記載の揺動体装置。
【請求項４】
前記静磁界発生手段が、永久磁石を有することを特徴とする請求項２または３に記載の揺動体装置。
【請求項５】
前記静磁界発生手段が、コイルを有することを特徴とする請求項２または３に記載の揺動体装置。
【請求項６】
前記駆動手段が、前記可動永久磁石に対して磁化方向に略垂直に交番磁界を印加する交番磁界発生手段を有することを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載の揺動体装置。
【請求項７】
前記駆動手段が圧電素子を有することを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載の揺動体装置。
【請求項８】
前記駆動手段が、前記揺動体を前記回転軸周りに加振する加振手段であり、共振型揺動体装置を構成可能であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の揺動体装置。
【請求項９】
前記揺動体が偏向ミラーであり、光偏向器を構成することを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の揺動体装置。
【請求項１０】
光源と、光源を変調する光源変調手段と、請求項９に記載の光偏向器と、光源変調手段と光偏向器を制御する制御手段を有することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動体を略回転軸周りに回転して振動（回転振動）させる揺動体装置、それを用いた光偏向器などに関し、特に、機械共振を用いた共振型光偏向器の技術分野に関連する技術、この共振型光偏向器を使用した走査型ディスプレイやレーザービームプリンタやデジタル複写機等の画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ミラーが共振駆動される共振型光偏向器が色々と提案されている。共振型光偏向器は、ポリゴンミラー等の回転多面鏡を使用した光走査光学系に比べて、以下の様な特徴がある。すなわち、大幅に小型化が可能であること、消費電力が少ないこと、面倒れが理論的に存在しないこと、特に半導体プロセスによって製造されるＳｉ単結晶からなる共振型光偏向器は理論上金属疲労が無く耐久性にも優れていること等の特徴がある（特許文献１参照）。
【０００３】
一方、ミラーが回転軸周りに回転振動する共振型光偏向器は、原理的にミラーの走査角（回転角）が正弦波的に変化するため、角速度が一定でないという特性がある。この特性を補正するために、以下の手法が提案されている（特許文献２参照）。
【０００４】
特許文献２においては、基本周波数とその３倍の周波数の振動モードを有する共振型偏向器を用い、基本波と３倍波を重ね合わせることで、略三角波駆動（回転振動における往路、復路の広い領域においてそれぞれ角速度が略一定の駆動）を実現している。この方法は、２つの振動モードを光偏向器作製時に正確に調律し、駆動時にそれら振動モードを利用することで角速度補正を行なうものである。
【特許文献１】特開昭５７−８５２０号公報
【特許文献２】米国特許４，８５９，８４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に開示の方法は正確な調律作業を必要とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題に鑑み、本発明の共振型光偏向器などを構成する揺動体装置は、揺動体を略所定の回転軸周りに中立位置を中心とする範囲で回転可能に支持する支持手段と、揺動体を中立位置に戻す方向に復元トルクＴを発生する復元トルク発生手段と、揺動体を回転軸周りに中立位置を中心に回転して振動する様に駆動する駆動手段を有し、該復元トルクＴが、揺動体の中立位置からの変位角θに対して単調減少し、かつ変位角θの絶対値が大きくなるとｄＴ／ｄθが小さくなる非線形特性を有することを特徴とする。この非線形特性は、言い換えれば、揺動体の中立位置からの角度（絶対値）が大きくなるにつれ揺動体を中立位置方向に戻そうとするトルクが大きくなり、かつ中立位置からの角度（絶対値）が大きくなるにつれ中立位置方向に戻そうとするトルクの大きくなる変化率が大きくなるという特性である。ただし、復元トルクＴやその変化率は常に変化する必要はなくて、略変化しない領域があってもよく、全体的に見て上記の様な変化をしていればよい。その設計は、所望される三角波駆動への補正程度などに応じて行えばよい。
【０００７】
また、上記課題に鑑み、本発明の画像形成装置は、光源と、光源を変調する光源変調手段と、光偏向器として構成された上記構成の揺動体装置と、光源変調手段と光偏向器を制御する制御手段を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、共振型光偏向器などの揺動体装置の走査角ないし回転角速度の補正を行なうのに、正確な調律作業が不要になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の揺動体装置の原理を図面を用いて説明しつつ、本発明の実施形態を説明する。なお、トーションバーの周りでねじり回転振動する偏向ミラーを持つ共振型光偏向器の原理として説明するが、この原理は、揺動体を略回転軸周りに回転振動させる揺動体装置の駆動にも一般的に当てはまるものである。
【００１０】
図８は、本発明の共振型光偏向器などの揺動体装置の原理を示すためのその一実施形態の模式図である。９０１は偏向ミラー、９０２はトーションバーである。偏向ミラー９０１は、２本のトーションバー９０２で弾性的に支持されており、２本のトーションバー９０２の他端は固定されている。共振型光偏向器は、偏向ミラー９０１に外部から加振力（共振のときは加振力というが、共振以外の駆動では駆動力という）を加えることで、共振を起こさせ、偏向ミラー９０１の駆動を行なう。ここでは、図９に示すように、偏向ミラー９０１の中立位置（トーションバーにねじれが生じていない位置であって、この位置を中心とする範囲で偏向ミラー９０１は回転振動する）からの変位角（回転角）をθ、軸周りに作用する復元トルクをＴで表し、図中で右回りを正とする（逆でもよい）。本発明の共振型光偏向器などの揺動体装置においては、偏向ミラー９０１に作用する復元トルクＴが、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すような特性を有することが特徴である。すなわち、復元トルクＴは変位角θに対して単調減少し（途中にＴが略一定となる様な所謂不感帯があってもよい）、変位角θの絶対値が大きくなるとｄＴ／ｄθが小さく（その程度は問わなく、場合に応じて設定すればよい）なる非線形特性を持っている。この特性をバネとして考えると、中立位置からの変位角θの絶対値が大きくなるとバネ定数が増加するような非線形バネに相当する。
【００１１】
ここで、偏向ミラー９０１の慣性モーメントをＩとし、減衰を無視すると、本共振型光偏向器などの揺動体装置の運動方程式は、
Ｉ・ｄ２θ／ｄｔ２＝Ｔ（θ）      （式１）
となる。図１１（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、式１の運動方程式を満たすθ（ｔ）、ｄθ（ｔ）／ｄｔを時間ｔに対してプロットしたものである。図１１より、変位角θの絶対値が小さな中立位置付近では、復元トルクＴが相対的に小さいため角速度変動（ｄθ／ｄｔの変化）が少なくなり、また、変位角θの絶対値が大きい領域では、復元トルクＴが相対的に大きくなるため角速度変動（ｄθ／ｄｔの変化）が大きくなる様子が見て取れる。従って、復元トルクＴに上記した様な非線形特性を持たせることで、揺動体装置の回転角速度を所望するように補正できることが分かる。
【００１２】
以上のように、本発明においては、上述した様に、変位角をθ、復元トルクをＴとすると、復元トルクＴは変位角θに対して単調減少し、変位角θの絶対値が大きくなるとｄＴ／ｄθが小さくなる（その絶対値は大きくなる）非線形特性をもっている。この非線形特性を利用することで、中立付近で角速度変動の小さな（すなわち三角波駆動に近づいた）共振型光偏向器などの揺動体装置を実現している。
【００１３】
特に、本発明の共振型光偏向器などの共振型揺動体装置は、復元トルクＴの非線形特性により、振幅が大きくなると共振周波数が高くなる傾向がある。この特性を利用すれば、振幅を制御することで、駆動周波数を制御することが可能な共振型光偏向器などの共振型揺動体装置を実現できる。
【００１４】
次に、上記の如き特性の復元トルクを発生する本発明の復元トルク発生手段の原理について一実施形態を用いて説明する。図１２は本発明の共振型光偏向器などの揺動体装置の一実施形態を回転軸の方向から見たときの概略図である（カンチレバー式の揺動体装置などでも原理は同じである）。９０５は偏向ミラー、９０６はトーションバー、９０７は可動永久磁石、９０８は静磁界Ｈである。
【００１５】
図１２に示すように、偏向ミラー９０５と可動永久磁石９０７の中立位置（図中水平方向）からの変位角をθとする。簡単のため、９０８の静磁界Ｈが一様であるとすると（実際には、例えば、周辺で弱くなっていてもよい）、可動永久磁石９０７に働くトルクＴｍは、
Ｔｍ＝ＨＭｓｉｎθ      （式２）
で表される（図１３（Ａ）参照）。ここで、Ｍは可動永久磁石９０７の磁気モーメントである（この種のトルクは、磁気モーメント以外でも発生可能である）。
【００１６】
一方、トーションバー９０６の復元力Ｔｓは、
Ｔｓ＝−ｋθ      （式３）
で表される（図１３（Ｂ）参照）。ここで、ｋはトーションバー９０６のねじりのバネ定数である（この種のトルクは、ねじり力以外でも発生可能である）。
【００１７】
偏向ミラー９０５に作用する復元トルクＴは、ＴｍとＴｓの和であるから、
Ｔ（θ）＝Ｔｍ＋Ｔｓ＝−ｋθ＋ＨＭｓｉｎθ      （式４）
となる（図１３（Ｃ）参照）。これより、復元トルクＴは、変位角θの関数であり、変位角θに対して単調減少し、変位角θの絶対値が大きくなるとｄＴ／ｄθが小さくなる非線形特性を持っていることが分かる。つまり、この復元トルクＴは、変位角が大きくなるとバネ定数が大きくなるようなトーションバー、弾性バネなどのバネと等価な性質を持つことが読み取れる。また、式４より分かるように、静磁界Ｈを変化させることで、復元トルクＴの非線形特性を制御することが可能になる。もちろん、バネ定数ｋを変化させても特性曲線を制御することができる。これらの設計は、所望する回転振動の周期、周波数、振幅、三角波駆動への接近程度などに応じて行えばよい。
【００１８】
既に触れた様に、図１０の如き復元トルクを生成する方法は上記の例に限らず、種々の方法が可能である。例えば、カンチレバー式揺動体における弾性バネによるトルクと上記の如き磁気モーメントによるトルクの組み合わせや、回転振動範囲の端付近で揺動体に当たってこれに復元トルクを与える板バネの如き付勢手段によるトルクと揺動体を殆ど自由に回転振動可能に支持する支持手段（例えば、非常に弱いねじりのバネ定数を持つトーションバー）によるトルクの組み合わせなどが可能である。後者の組み合わせの場合、図１３（Ａ）の復元力（この場合は磁気モーメントを利用していない）は、中立位置付近の変位角の領域では殆どゼロで、回転振動範囲の端付近の変位角の所で急に立ち上がる形となる（θがプラス側ではマイナスの方向に立ち上がり、θがマイナス側ではプラスの方向に立ち上がって、図１３（Ｃ）の形をプラス側とマイナス側でもっと急峻に変化させた様な形となる）。一方、図１３（Ｂ）の支持手段による復元力は殆どゼロで、変位角の横軸にほぼ沿った形となる。
【００１９】
以上のようにして、本発明においては、可動永久磁石などに作用するトルクとトーションバーなどの復元トルクを用いることで、中立付近で角速度変動の小さな共振型光偏向器などの揺動体装置を実現することができる。揺動体を回転軸周りに回転振動する様に駆動する駆動手段ないし加振手段については、下記実施例で説明する手段や、揺動体に着けた駆動電極と支持基板側の駆動電極に交互に電圧を印加することで揺動体に静電引力を作用させてこれを回転軸の周りに回転振動させる手段などがある。
【実施例】
【００２０】
以下、具体的な実施例を図に沿って説明する。
【００２１】
［実施例１］
図１（Ａ）は、実施例１の共振型光偏向器の上面図、図１（Ｂ）はＡ−Ａ’における断面図を表している。図１において、１０１は揺動体である偏向ミラー、１０２は偏向ミラーを支えるトーションバー（ここでは偏向ミラー１０１の両側に２つ用いているが、片側に１つ用いるのみでもよい）、１０３は支持部（トーションバー１０２と共に、偏向ミラー１０１を回転可能に支持する支持手段を構成する）、１０４は磁性材料からなる磁極、１０５は固定永久磁石、１０６は駆動コイル、１０７は磁性材料からなるコイル用磁心、１０８は偏向ミラーに着けられた可動永久磁石、１１０は基台、１１１はスペーサである。１０１〜１０３の要素は単結晶シリコン基盤をエッチングすることで一体に形成されており、偏向ミラー１０１の表面には光反射膜がコーティングされている。また、基台１１０とスペーサ１１１も金属材料から一体に形成されている。可動永久磁石１０８と固定永久磁石１０５は、Ｎ極とＳ極が図１中で示した方向になるように磁化されている。すなわち、可動永久磁石１０８はトーションバー１０２の回転軸を規定するねじりの軸に略直交し且つ揺動体の面に略平行な方向に磁化されており、固定永久磁石１０５により発生する磁界は、可動永久磁石１０８の磁化方向と略平行で向きが逆である。
【００２２】
まず、本実施例の復元力（トルク）発生手段（トーションバー１０２、磁性材料からなる磁極１０４、固定永久磁石１０５、可動永久磁石１０８からなる）について説明を行なう。図２は、磁極１０４と固定永久磁石１０５が空間に作る磁界の磁力線１９１を示している。図２より、可動永久磁石１０８の近傍では、図２中で左から右へ略水平な磁界が生じていることが分かる。ただし、この空間の磁界は一様でなく、周囲に行くほど弱くなる。この空間に作られる磁界により、可動永久磁石１０８には図１３（Ａ）と同様な特性のトルクが働く。また、トーションバー１０２の弾性復元トルクは、図１３（Ｂ）に示したような特性を示すので、結局、偏向ミラー１０１には、図１３（Ｃ）に示すような復元トルクが作用する。それゆえ、本実施例の共振型光偏向器は、図１１に示したような、中立位置を中心とした領域で角速度の変動が少ない回転振動運動を行なうことが分かる。
【００２３】
次に、本実施例の加振ないし駆動手段（共振のときは加振手段というが、共振以外の駆動では駆動手段という）について説明する。図３（Ａ）は、コイル用磁心１０７の先端がＳ極になるようにコイル１０６に電流を流した場合の概略図である。図に示すように、磁力線はコイル用磁心１０７の底部から出て、その先端部に入るような形になり、可動永久磁石１０８には図中左回りにトルクが作用する（本実施例では、可動永久磁石１０８は復元トルク発生手段の構成要素であると共に駆動手段の構成要素でもある）。他方、図３（Ｂ）に示すように、コイル用磁心１０７の先端がＮ極になる向きにコイル１０６に電流を流すと、可動永久磁石１０８には図中右回りにトルクが作用することになる。つまり、コイル１０６に交番電流を流すことで、可動永久磁石１０８に対して磁化方向に略垂直に交番磁界を印加できて、可動永久磁石１０８を着けた偏向ミラー１０１を駆動できることが分かる。この際の駆動周波数を、偏向ミラー１０１の共振周波数と略等しくすることで、本実施例の共振型光偏向器を共振駆動することができる。
【００２４】
以上説明したように、本実施例によれば、中立付近の角速度変動が小さい共振型光偏向器を実現できる。また、共振振動の振幅を制御することで（これは、例えば、コイル１０６に流す電流の強度の制御で行なう）、駆動周波数を制御することが可能な共振型光偏向器を実現できる。本実施例の共振型光偏向器においては、複数の共振周波数を合わせる必要が無いので正確な調律作業が不要である。また、複数の振動モードを同時に励振する必要が無いので、消費電力が少なくなる。また、構造が単純なため小型化が容易で、コストが安くなる。
【００２５】
［実施例２］
図４（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ実施例２の共振型光偏向器の上面図と正面図を表している。図４において、２０１は偏向ミラー、２０２は偏向ミラーを支えるトーションバー、２０３は支持部、２０４は磁性材料からなる磁極、２０６Ａ、２０６Ｂは静磁界発生コイル、２１０は基台である。２２０は加振アクチュエータであり、変形部材２２１と積層型圧電素子２２２Ａ、２２２Ｂから構成されている。２０１〜２０３の要素は単結晶シリコン基盤をエッチングすることで一体に形成されており、偏向ミラー２０１の表面には光反射膜がコーティングされている。実施例１と同様に、偏向ミラー２０１の裏側には、可動永久磁石が配置されている（図４では不図示）。
【００２６】
まず、本実施例の復元力発生手段（トーションバー２０２、磁性材料からなる磁極２０４、静磁界発生コイル２０６Ａ、２０６Ｂ、可動永久磁石（不図示）からなる）について説明を行なう。静磁界発生コイル２０６Ａ、２０６Ｂに、磁極２０４の右側がＳ極、左側がＮ極になるように電流を流すと、可動永久磁石（不図示）の着いた偏向ミラー２０１には、実施例１と同様な復元トルクが作用する。それゆえ、本実施例の共振型光偏向器は、実施例１と同様に中立位置を中心とした領域で角速度の変動が少ない回転振動運動を行なうことが分かる。
【００２７】
次に、本実施例の加振手段について説明を行なう。図５は、本実施例の加振アクチュエータ２２０の動作を説明する図である。積層型圧電素子２２２Ａが縮み、２２２Ｂが伸びる向きに電圧を印加すると、変形部材２２１は図５で示したように変形し、支持部２０３を回転させる。積層型圧電素子２２２Ａ、２２２Ｂの伸縮を逆にすれば、支持部２０３のトーションバー２０２の周りの回転方向は逆になる。これらのことから、２つの積層型圧電素子２２２Ａ、２２２Ｂに交番電圧を印加することで、偏向ミラー２０１を駆動できることが分かる。この際の駆動周波数を、偏向ミラー２０１の共振周波数と略等しくすることで、本実施例の共振型光偏向器を共振駆動することができる。
【００２８】
本実施例の共振型光偏向器においては、静磁界発生コイル２０６Ａ、２０６Ｂに電流を流すことで、中立付近の角速度変動が小さい共振駆動を行なうことができる。また、静磁界発生コイル２０６Ａ、２０６Ｂに電流を流さなければ、通常の共振型光偏向器として用いることもでき、流す電流量で角速度変動の度合いと共振周波数を制御することができる。また、振幅を制御することで（これは、例えば、積層型圧電素子２２２Ａ、２２２Ｂへの印加電圧の強度を制御することで行なう）、駆動周波数を制御することも可能である。また、本実施例の共振型光偏向器においても、複数の共振周波数を合わせる必要が無いので正確な調律作業が不要である。その他の点は実施例１と同じである。
【００２９】
［実施例３］
実施例１及び実施例２では、揺動体をトーションバーのねじりの軸の周りで回転振動させていたが、揺動体を弾性体からなるカンチレバー式揺動体として、この振動体を固定端付近の根元部の撓みで回転振動させることもできる。図６は、こうした構成の実施例３の共振型光偏向器を示す断面図である。本実施例を示す図６において、５０１はカンチレバー式振動体である偏向ミラー、５０６は駆動コイル、５０８は偏向ミラーに着けられた可動永久磁石、５１０は基台、５１１は偏向ミラーの一端部を固定・支持するスペーサである。この構成では、復元トルク発生手段が、偏向ミラー５０１と一体に動くように取り付けられた可動永久磁石５０８と、可動永久磁石５０８に対して静磁界１９１を発生する静磁界発生手段と、支持手段の一部を構成する偏向ミラー５０１の固定端付近の撓み可能な根元部５０１ａからなる。また、可動永久磁石５０８は、回転軸を規定するこの根元部５０１ａの伸長方向（図６紙面に垂直な方向）に略直交し且つ偏向ミラー５０１の面に略平行な方向に磁化されており、静磁界発生手段の発生する磁界１９１は、可動永久磁石５０８の磁化方向と略平行で向きが逆である。
【００３０】
本実施例のカンチレバー式偏向ミラー５０１の図６の矢印で示す回転振動も、加振ないし駆動手段である駆動コイル５０６と可動永久磁石５０８により、実施例１と同様に行われる。磁力線１９１の作用により中立位置を中心とした領域で角速度の変動が少ない回転振動運動が達成されることも、実施例１でほぼ述べた通りである。駆動コイル５０６の代わりに、実施例２で説明した積層型圧電素子を、偏向ミラー５０１の一端部を固定・支持するスペーサ５１１の所に用いて、実施例２の駆動方式にすることもできる。
【００３１】
この様な固定端付近の根元部５０１ａの撓みを利用したカンチレバー式振動体を用いる実施例３でも、上記実施例と同様な効果を奏することができる。
【００３２】
［実施例４］
図７は、本発明の共振型光偏向器を用いた実施例４の光走査型ディスプレイを説明するための概略図である。レーザー光源３０３から射出されたレーザー光３１０は、本発明の第１光偏向器３０１で水平方向に走査され、次に第２光偏向器３０２で垂直方向に走査されて、スクリーン３２０上に画像を形成する。光偏向器３０１、３０２の駆動とレーザー光源３０３の変調発振は、制御装置３０４により同期して制御される。すなわち、制御装置３０４は、光源３０３を画像信号に基づいて変調する光源変調手段と、この光源変調手段と光偏向器３０１、３０２を制御する制御手段を含んでいる。
【００３３】
水平方向走査手段として略三角波駆動が可能な本発明の第１光偏向器３０１を用いる本実施例の光走査型ディスプレイでは、ｆθレンズなどを用いることで水平方向に関して走査中央部と周辺部で走査速度の違いを少なくでき、良好な画像形成を実現することができる。また、本発明による光偏向器を用いているので、より小型で消費電力が小さく低コストの画像形成装置を提供できる。なお、本発明の揺動体装置は、その略三角波駆動を必要とするどの様な装置においても用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】（Ａ）は実施例１の共振型光偏向器の上面図であり、（Ｂ）は実施例１の共振型光偏向器の断面図である。
【図２】実施例１の共振型光偏向器の静磁界発生手段を説明する図である。
【図３】実施例１の共振型光偏向器の加振ないし駆動手段を説明する断面図である。
【図４】（Ａ）は実施例２の共振型光偏向器の上面図であり、（Ｂ）は実施例２の共振型光偏向器の正面図である。
【図５】実施例２の共振型光偏向器の加振ないし駆動手段を説明する図である。
【図６】実施例３の共振型光偏向器の断面図である。
【図７】実施例４の光走査型ディスプレイを説明する図である。
【図８】本発明の一実施形態の構成を説明する図である。
【図９】本発明の原理説明に用いる記号を説明する図である。
【図１０】本発明の復元トルクＴを説明するグラフである。
【図１１】本発明の変位角θを説明するグラフである。
【図１２】本発明（一実施形態で代表する）の復元トルクの発生原理を説明する図である。
【図１３】本発明の復元トルクの発生原理を説明するグラフである。
【符号の説明】
【００３５】
１０１、２０１、５０１、９０１、９０５      揺動体（偏向ミラー）
１０２、２０２、９０２、９０６      トーションバー（支持手段、復元トルク発生手段）
１０３、２０３        支持部（支持手段）
１０４、２０４        磁極（復元トルク発生手段）
１０５        固定永久磁石（復元トルク発生手段）
１０６、５０６        駆動コイル（駆動手段）
１０７        コイル用磁心（駆動手段）
１０８、２０８、５０８、９０７        可動永久磁石（駆動手段、復元トルク発生手段）
１９１、９０８              静磁界Ｈ（復元トルク発生手段）
２０６Ａ、２０６Ｂ        静磁界発生コイル（復元トルク発生手段）
２２０        加振アクチュエータ（駆動手段）
２２１        変形部材（駆動手段）
２２２Ａ、２２２Ｂ        積層型圧電素子（駆動手段）
３０１        第１光偏向器（本発明の揺動体装置）
３０３        光源（レーザー光源）
３０４        制御装置（制御手段、光源変調手段）
５０６ａ        揺動体の根元部（支持手段、復元トルク発生手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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