(57)【要約】【課題】  簡易かつ廉価に、電子−電子−イオンコインシデンス分光、電子−電子コインシデンス分光及び電子−イオンコインシデンス分光を高効率で測定し得る新規な電子−電子−イオンコインシデンス分光器と、電子−電子−イオンコインシデンス分光法、電子−電子コインシデンス分光法及び電子−イオンコインシデンス分光法とを提供する。【解決手段】  同軸対称形状外電極２２、同軸対称形状内電極２１、ピンホール２３、電子検出器２４及び補助電飾２５を含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０内に、円筒形状外電極３２、円筒形状内電極３１、ピンホール３３及び電子検出器３４を含む円筒鏡電子エネルギー分析器３０を配置し、円筒鏡電子エネルギー分析器３０内に、イオン加速電極４１、イオンドリフト電極４２及びイオン検出器４３を含む飛行時間型イオン質量分析器４０を配置して、電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０を構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同軸対称形状外電極と、この同軸対称形状外電極の内側に中心軸を合わせて配置された同軸対称形状内電極と、前記同軸対称形状外電極及び前記同軸対称形状内電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置されたピンホール及び電子検出器とを含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器と、
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器の前記同軸対称形状内電極内に配置された円筒形状外電極と、前記円筒形状外電極の内側に中心軸を合わせて配置された円筒形状内電極と、前記円筒形状外電極及び前記円筒形状内電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置されたピンホール及び電子検出器とを含む円筒鏡電子エネルギー分析器と、
前記円筒鏡電子エネルギー分析器の前記円筒形状内電極内に配置されたイオン加速電極と、前記イオン加速電極の後方の中心軸上に配置されたイオンドリフト電極と、前記イオンドリフト電極の後方の中心軸上に配置されたイオン検出器とを含む飛行時間型イオン質量分析器と、
を具えることを特徴とする、電子−電子−イオンコインシデンス分光器。
【請求項２】
前記同軸対称形状内電極及び前記同軸対称形状外電極の少なくとも一方の端部において、補正電極を含むことを特徴とする、請求項１に記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器。
【請求項３】
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器、前記円筒鏡電子エネルギー分析器及び前記飛行時間型イオン質量分析器のいずれか２つ以上を同焦点で配置したことを特徴とする、請求項１または２に記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器。
【請求項４】
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器、前記円筒鏡電子エネルギー分析器及び前記飛行時間型イオン質量分析器のいずれか２つ以上を同軸上に配置したことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器。
【請求項５】
フランジを具え、前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器、前記円筒鏡電子エネルギー分析器及び前記飛行時間型イオン質量分析器が、フランジ上で一体的に組み立てられたことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器。
【請求項６】
三軸位置調整機構を具えることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器。
【請求項７】
傾き調整機構を具えることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器。
【請求項８】
磁気シールドを具えることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の前方に設けられた試料に対して放射光あるいはＸ線、軟Ｘ線、真空紫外光、電子、イオンのいずれか１つを入射させ、得られた電子あるいはイオンを前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られた電子あるいはイオンを前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られた電子あるいはイオンを飛行時間型イオン質量分析器で検出する一連の工程を具えることを特徴とする、電子−電子−イオンコインシデンス分光法。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の前方に設けられた試料に対して放射光あるいはＸ線あるいは軟Ｘ線あるいは真空紫外光あるいは電子あるいはイオンのいずれか１つを入射させ、得られた電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られた電子を前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出する一連の工程を具えることを特徴とする、電子−電子コインシデンス分光法。
【請求項１１】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の前方に設けられた試料に対して放射光あるいはＸ線あるいは軟Ｘ線あるいは真空紫外光あるいは電子あるいはイオンのいずれか１つを入射させ、得られた電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器あるいは前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られたイオンを飛行時間型イオン質量分析器で検出する一連の工程を具えることを特徴とする、電子−イオンコインシデンス分光法。
【請求項１２】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の前方に設けられた試料に対して放射光あるいはＸ線あるいは軟Ｘ線あるいは真空紫外光あるいは電子あるいはイオンのいずれか１つを入射させ、得られた電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器あるいは前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られたイオンを前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器あるいは前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出する一連の工程を具えることを特徴とする、電子−イオンコインシデンス分光法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子−電子−イオンコインシデンス分光器、電子−電子−イオンコインシデンス分光法、電子−電子コインシデンス分光法及び電子−イオンコインシデンス分光法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子−電子コインシデンス分光器としては、同軸対称鏡電子エネルギー分析器と円筒鏡電子エネルギー分析器とを組み合わせたもの（例えば特許文献１参照）が提案されている。また、電子−イオンコインシデンス分光器としては、同軸対称鏡電子エネルギー分析器と飛行時間型イオン質量分析器とを組み合わせたもの（例えば非特許文献１参照）、円筒鏡電子エネルギー分析器と飛行時間型イオン質量分析器を組み合わせたもの（例えば非特許文献２参照）が提案されている
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−８５５４０号公報
【非特許文献１】Surf. Sci. 528, 261 (2003)
【非特許文献２】K. Mase, et al., Bull. Chem. Soc. Jpn. 69, 1829 (1996)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、１台で電子−電子−イオンコインシデンス分光、電子−電子コインシデンス分光、電子−イオンコインシデンス分光を測定できる電子−電子−イオンコインシデンス分光器はこれまで提案されていない。
【０００５】
本発明は、簡易かつ廉価に、電子−電子−イオンコインシデンス分光、電子−電子コインシデンス分光および電子−イオンコインシデンス分光の内の少なくとも２つの分光を高効率で測定することができる、新規な電子−電子−イオンコインシデンス分光器を提供することを第１の目的とする。
本発明は、電子−電子−イオンコインシデンス分光法、電子−電子コインシデンス分光法および電子−イオンコインシデンス分光法の内の少なくとも２つの分光法を簡易かつ廉価に提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記第１の目的を達成すべく、本発明の電子−電子−イオンコインシデンス分光器は、
同軸対称形状外電極と、この同軸対称形状外電極の内側に中心軸を合わせて配置された同軸対称形状内電極と、前記同軸対称形状外電極及び前記同軸対称形状内電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置されたピンホール及び電子検出器とを含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器と、
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器の前記同軸対称形状内電極内に配置された円筒形状外電極と、前記円筒形状外電極の内側に中心軸を合わせて配置された円筒形状内電極と、前記円筒形状外電極及び前記円筒形状内電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置されたピンホール及び電子検出器とを含む円筒鏡電子エネルギー分析器と、
前記円筒鏡電子エネルギー分析器の前記円筒形状内電極内に配置されたイオン加速電極と、前記イオン加速電極の後方の中心軸上に配置されたイオンドリフト電極と、前記イオンドリフト電極の後方の中心軸上に配置されたイオン検出器とを含む飛行時間型イオン質量分析器と、
を具えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の好適例としては、
前記同軸対称形状内電極及び前記同軸対称形状外電極の少なくとも一方の端部において、補正電極を含むこと、
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器、前記円筒鏡電子エネルギー分析器及び前記飛行時間型イオン質量分析器のいずれか２つ以上を同焦点で配置したこと、
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器、前記円筒鏡電子エネルギー分析器及び前記飛行時間型イオン質量分析器のいずれか２つ以上を同軸上に配置したこと、
フランジを具え、前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器、前記円筒鏡電子エネルギー分析器及び前記飛行時間型イオン質量分析器が、フランジ上で一体的に組み立てられたこと、
三軸位置調整機構を具えること、
傾き調整機構を具えること、及び、
磁気シールドを具えること、
がある。
【０００８】
上記第２の目的を達成すべく、本発明の電子−電子−イオンコインシデンス分光法は、
上記本発明の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の前方に設けられた試料に対して放射光あるいはＸ線、軟Ｘ線、真空紫外光、電子、イオンのいずれか１つを入射させ、得られた電子あるいはイオンを前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られた電子あるいはイオンを前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られた電子あるいはイオンを飛行時間型イオン質量分析器で検出する一連の工程を具えることを特徴とする。
上記第２の目的を達成すべく、本発明の電子−電子−コインシデンス分光法は、
上記本発明の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の前方に設けられた試料に対して放射光あるいはＸ線あるいは軟Ｘ線あるいは真空紫外光あるいは電子あるいはイオンのいずれか１つを入射させ、得られた電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られた電子を前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出する一連の工程を具えることを特徴とする。
上記第２の目的を達成すべく、本発明の電子−イオンコインシデンス分光法は、
上記本発明の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の前方に設けられた試料に対して放射光あるいはＸ線あるいは軟Ｘ線あるいは真空紫外光あるいは電子あるいはイオンのいずれか１つを入射させ、得られた電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器あるいは前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られたイオンを飛行時間型イオン質量分析器で検出する一連の工程を具えることを特徴とする。
上記第２の目的を達成すべく、本発明の電子−イオンコインシデンス分光法は、
上記本発明の記載の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の前方に設けられた試料に対して放射光あるいはＸ線あるいは軟Ｘ線あるいは真空紫外光あるいは電子あるいはイオンのいずれか１つを入射させ、得られた電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器あるいは前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られたイオンを前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器あるいは前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出する一連の工程を具えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の構成要素である、同軸対称鏡電子エネルギー分析器、円筒鏡電子エネルギー分析器及び飛行時間型イオン質量分析器は、例えば下記（１）〜（４）のように構成することができる（その理由は、後述する「発明の実施の形態」において具体的な数値を挙げて説明する構成例を参照のこと）。
（１）同軸対称鏡電子エネルギー分析器は、全体の外径を例えば１３８ｍｍ以下（特許文献１記載のものとほぼ同一）とすることができるので、内部の空間の内径を特許文献１記載のものよりも拡大して例えば４１ｍｍ以上とすることができる。したがって、全体の外径が例えば１４０ｍｍの磁気シールドを同軸対称鏡電子エネルギー分析器に取り付けることができる。
（２）円筒鏡電子エネルギー分析器は、全体の外径を例えば４１ｍｍ以下とすることができるので、内部の空間の内径を例えば１９ｍｍ以上とすることができる。したがって、前記円筒鏡電子エネルギー分析器を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器の内部に設置することができる。
（３）飛行時間型イオン質量分析器は、全体の外径を例えば１８ｍｍ以下とすることができる。すなわち、前記飛行時間型イオン質量分析器は、従来最小とされていた、２６ｍｍの外径を有する飛行時間型イオン質量分析器（真空 47 (2004) 14.） よりも小型化することができる。したがって、前記飛行時間型イオン質量分析器を前記円筒鏡電子エネルギー分析器の内部に設置することができる。
（４）したがって、前記磁気シールド、前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器、前記円筒鏡電子エネルギー分析器及び前記飛行時間型イオン質量分析器を同焦点同軸状に組み合わせて、例えば呼び径１６０ｍｍのフランジ上に組み立てることができる。そのため、前記電子−電子−イオンコインシデンス分光器を例えば呼び径１６０ｍｍのフランジポートを備える多目的超高真空槽内に取り付けることができる。さらに、前記電子−電子−イオンコインシデンス分光器全体の構成が簡易化される。その結果、前記電子−電子−イオンコインシデンス分光器全体の製作コストを低減することができる。
【００１０】
以上説明したように、本発明によれば、簡易かつ廉価に、電子−電子−イオンコインシデンス分光、電子−電子コインシデンス分光および電子−イオンコインシデンス分光を高効率で測定することができる、新規な電子−電子−イオンコインシデンス分光器を提供することができる。
なお、三軸位置調整機構や傾き調整機構を具えるようにすることにより、前記電子−電子−イオンコインシデンス分光器の位置調整を簡易に行うことができるようになる。
【００１１】
また、本発明によれば、上記電子−電子−イオンコインシデンス分光器を用いて、その前方に設けられた試料に対して放射光あるいはＸ線あるいは軟Ｘ線あるいは真空紫外光あるいは電子あるいはイオンのいずれか１つを入射させ、
（ａ）得られた電子あるいはイオンを前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られた電子あるいはイオンを前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られた電子あるいはイオンを飛行時間型イオン質量分析器で検出することにより、電子−電子−イオンコインシデンス分光法を提供することができ、
（ｂ）得られた電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られた電子を前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出することにより、電子−電子コインシデンス分光法を提供することができ、
（ｃ）得られた電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器あるいは前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られたイオンを飛行時間型イオン質量分析器で検出することにより、電子−イオンコインシデンス分光法を提供することができ、
（ｄ）得られた電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器あるいは前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られたイオンを前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器あるいは前記円筒鏡電子エネルギー分析器で検出することにより、電子−イオンコインシデンス分光法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００１３】
図１は本発明の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の一実施形態を示す構成図である。図１に示す電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０は、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０と、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０の内部に同焦点同軸状に組み込まれた円筒鏡電子エネルギー分析器３０と、円筒鏡電子エネルギー分析器３０の内部に同焦点同軸状に組み込まれた飛行時間型イオン質量分析器４０とを具えている。
【００１４】
上記同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０は、同軸対称形状内電極２１及び同軸対称形状外電極２２を含んでいる。これら同軸対称形状内電極２１及び同軸対称形状外電極２２は、これらの電極が形成する内部空間を通る同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０の中心軸Ａ−Ａ線上において同軸となるように配置されている。また、同軸対称形状内電極２１及び同軸対称形状外電極２２の後方（図中右方）には、中心軸Ａ−Ａ線上にピンホール２３及び電子検出器２４が配置されている。また、同軸対称形状内電極２１及び同軸対称形状外電極２２の前方（図中左方）及び後方には、中心部を除く端部を覆うようにして、円板状の合計４枚２組の補正電極２５が設けられている。同軸対称形状内電極２１の電子透過部にはメッシュを張ってある。上記電子検出器２４は、例えばマイクロチャンネルプレート（浜松ホトニクス、Ｆ４６５５）などから構成する。なお、電子検出器２４は、イオン検出器としても利用可能である。
【００１５】
上記円筒鏡電子エネルギー分析器３０は、円筒形状内電極３１及び円筒形状外電極３２を含んでいる。これら円筒形状内電極３１及び円筒形状外電極３２は、中心軸Ａ−Ａ線上において同軸となるように配置されており、その結果、上述したように、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０及び円筒鏡電子エネルギー分析器３０は、互いに同軸状に配置されている。また、円筒形状内電極３１及び円筒形状外電極３２の後方（図中右方）には、中心軸Ａ−Ａ線上にピンホール３３及び電子検出器３４が配置されている。円筒形状内電極３１の電子透過部にはメッシュを張ってある。上記電子検出器３４は、例えばマイクロチャンネルプレート（浜松ホトニクス、Ｆ４６５５）などから構成する。なお、電子検出器３４は、イオン検出器としても利用可能である。
【００１６】
上記飛行時間型イオン質量分析器４０は、イオン加速電極４１及びイオンドリフト電極４２を含んでいる。イオン加速電極４１の先端及びイオンドリフト電極４２の両端にはメッシュが張ってある。これらイオン加速電極４１及びイオンドリフト電極４２は、中心軸Ａ−Ａ線上において同軸となるように配置されており、この結果、上述したように、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０、円筒鏡電子エネルギー分析器３０及び飛行時間型イオン質量分析器４０は、互いに同焦点同軸状に配置されている。また、イオン加速電極４１及びイオンドリフト電極４２の後方（図中右方）には、中心軸Ａ−Ａ線上にイオン検出器４３が配置されている。上記イオン検出器４３は、例えばマイクロチャンネルプレート（浜松ホトニクス、Ｆ４６５５）などから構成する。なお、イオン検出器４３は、電子検出器としても利用可能である。
【００１７】
上記同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０，円筒鏡電子エネルギー分析器３０及び飛行時間型イオン質量分析器４０の前方（図中左方）の、中心軸Ａ−Ａ線上には、計測すべき試料Ｓが配置されている。
【００１８】
図１に示す電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０では、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０の同軸対称形状内電極２１の電位は、０Ｖに保持されている。そして、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０の同軸対称形状外電極２２及び補正電極２５は、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０内に同軸対称状の電場を形成して、計測すべき電子がピンホール２３を透過して効率よく電子検出器２４に到達できるように、所定の電圧を印加できるように構成されている。
【００１９】
また、図１に示す電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０では、円筒鏡電子エネルギー分析器３０の円筒形状内電極３１の電位は、０Ｖに保持されている。そして、円筒鏡電子エネルギー分析器３０の円筒形状外電極３２は、同軸対称鏡電子エネルギー分析器３０内に円筒状の電場を形成して、計測すべき電子がピンホール３３を透過して効率よく電子検出器３４に到達できるように、所定の電圧を印加できるように構成されている。
【００２０】
また、図１に示す電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０では、飛行時間型イオン質量分析器４０のイオン加速電極４１及びイオンドリフト電極４２は、計測すべきイオンがイオン検出器４３に効率よく到達するように、所定の電圧を印加できるように構成されている。
【００２１】
上記同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０の全体の外径は１３８ｍｍ以下であり（例えば同軸対称形状外電極２２の最大径部分の外径は１３７．５ｍｍであり）、内部の空間の内径は４１ｍｍ以上である。したがって、図１に示すような最大径部分の外径が１４０ｍｍの磁気シールド２６で同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０を覆うことができる。
【００２２】
上記円筒鏡電子エネルギー分析器３０の全体の外径は４１ｍｍであり、内部の空間の内径は１９ｍｍである。したがって、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０の内部に円筒鏡電子エネルギー分析器３０を設置することができる。また、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０及び円筒鏡電子エネルギー分析器３０の焦点を合わせることができる。
【００２３】
上記飛行時間型イオン質量分析器４０の全体の外径は１８ｍｍである。すなわち、飛行時間型イオン質量分析器４０は、従来最小とされていた、２６ｍｍの外径を有する飛行時間型イオン質量分析器（真空 47 (2004) 14.）よりも小型化されている。したがって、円筒鏡電子エネルギー分析器３０の内部に飛行時間型イオン質量分析器４０を内蔵することができる。また、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０、円筒鏡電子エネルギー分析器３０及び飛行時間型イオン質量分析器４０の焦点を合わせることができる。
【００２４】
上記電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０は、図示しない三軸（ＸＹＺ）位置調整機構及び図示しない傾き調整機構を介して、例えば呼び径１６０ｍｍのコンフラットフランジに取り付けられている。上記ＸＹＺ位置調整機構及び傾き調整機構を調整することによって、電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０の焦点位置を試料Ｓ上に簡易に設定することができる。
【００２５】
本実施形態の電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０は、呼び径１６０ｍｍのコンフラットフランジポートを有する多目的超高真空槽に取り付けることができる。その結果、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０、円筒鏡電子エネルギー分析器３０及び飛行時間型イオン質量分析器４０を一体化して、特許文献１記載の電子−電子コインシデンス分光器とほぼ同等の大きさの電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０を実現することができる。さらに、本実施形態の電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０は、同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０、円筒鏡電子エネルギー分析器３０及び飛行時間型イオン質量分析器４０が小型化されているため、電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０全体の構成が簡易化されている。その結果、電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０全体の製作コストを低減することができる。
【００２６】
次に、本実施形態の電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０を用いて実施することができる各種分光法について説明する。
本実施形態の電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０の前方（図１中左方）に設けられた試料Ｓに対して放射光あるいはＸ線あるいは軟Ｘ線あるいは真空紫外光あるいは電子あるいはイオンのいずれか１つを入射させたとき、
（ａ）試料Ｓからの電子あるいはイオンを同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０で検出し、試料Ｓからの電子あるいはイオンを円筒鏡電子エネルギー分析器３０で検出し、試料Ｓからの電子あるいはイオンを飛行時間型イオン質量分析器４０で検出し、検出した電子シグナルおよびイオンシグナルを利用して、電子−電子−イオンコインシデンス分光を高効率で行うことができ、
（ｂ）試料Ｓからの電子を同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０で検出し、試料Ｓからの電子を円筒鏡電子エネルギー分析器３０で検出し、検出した電子シグナルを利用して、電子−電子コインシデンス分光を高効率で行うことができ、
（ｃ）試料Ｓからの電子を同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０あるいは円筒鏡電子エネルギー分析器３０で検出し、試料Ｓからのイオンを飛行時間型イオン質量分析器４０で検出し、検出した電子シグナルおよびイオンシグナルを利用して、電子−イオンコインシデンス分光を高効率で行うことができ、
（ｄ）試料Ｓからの電子を同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０あるいは円筒鏡電子エネルギー分析器３０で検出し、試料Ｓからのイオンを同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０あるいは円筒鏡電子エネルギー分析器３０で検出し、検出した電子シグナルおよびイオンシグナルを利用して、電子−イオンコインシデンス分光を高効率で行うことができる。
【００２７】
以上、具体例を挙げながら本発明を詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の電子−電子−イオンコインシデンス分光器の一実施形態を示す構成図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０  電子−電子−イオンコインシデンス分光器
２０  同軸対称鏡電子エネルギー分析器
２１  同軸対称形状内電極
２２  同軸対称形状外電極
２３  ピンホール
２４  電子検出器
２５  補正電極
３０  円筒鏡電子エネルギー分析器
３１  円筒形状内電極
３２  円筒形状外電極
３３  ピンホール
３４  電子検出器
４０  飛行時間型イオン質量分析器
４１  イオン加速電極
４２  イオンドリフト電極
４３  イオン検出器
【図１】
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