(57)【要約】【課題】  メンテナンス作業を短時間で容易に行うことができる成膜装置及び蒸着装置を提供する。【解決手段】  本発明に係る成膜装置は、チャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂを有する外部チャンバー１と、前記外部チャンバー１内に配置され、前記チャンバー下部１ｂに取り付けられた内部チャンバー６と、前記内部チャンバー６内に配置され、被成膜基板１６が保持される基板保持部４ａと、具備し、前記チャンバー上部１ａと前記チャンバー下部１ｂは分離自在に形成されていることを特徴とする。【選択図】      図１
2006176867.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバー上部とチャンバー下部を有する外部チャンバーと、
前記外部チャンバー内に配置され、前記チャンバー下部に取り付けられた内部チャンバーと、
前記内部チャンバー内に配置され、被成膜基板が保持される基板保持部と、
を具備し、
前記チャンバー上部と前記チャンバー下部は分離自在に形成されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
請求項１において、前記内部チャンバーは、前記チャンバー下部からワンタッチで取り外すことができるように、前記チャンバー下部に載置又ははめ込まれて取り付けられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記チャンバー下部を上下方向に移動させる上下移動機構をさらに具備することを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
請求項３において、前記チャンバー下部を上下方向と略直角方向に移動させる移動機構をさらに具備することを特徴とする成膜装置。
【請求項５】
チャンバー上部、チャンバー下部及びチャンバー底部を有する外部チャンバーと、
前記外部チャンバー内に配置され、前記チャンバー下部に取り付けられた内部チャンバーと、
前記内部チャンバー内に配置され、前記チャンバー底部に取り付けられた蒸発源と、
前記内部チャンバー内に配置され、前記蒸発源に対向する位置に被成膜基板が保持される基板保持部と、
を具備し、
前記チャンバー上部と前記チャンバー下部は分離自在に形成されており、
前記チャンバー下部と前記チャンバー底部は分離自在に形成されていることを特徴とする蒸着装置。
【請求項６】
請求項５において、前記内部チャンバーは、前記チャンバー下部からワンタッチで取り外すことができるように、前記チャンバー下部に載置又ははめ込まれて取り付けられていることを特徴とする蒸着装置。
【請求項７】
請求項５又は６において、前記チャンバー下部及び前記チャンバー底部を上下方向に移動させる上下移動機構をさらに具備することを特徴とする蒸着装置。
【請求項８】
請求項５乃至７のいずれか一項において、前記チャンバー底部を上下方向に移動させる上下移動機構をさらに具備することを特徴とする蒸着装置。
【請求項９】
請求項７において、前記チャンバー下部及び前記チャンバー底部を上下方向と略直角方向に移動させる移動機構をさらに具備することを特徴とする蒸着装置。
【請求項１０】
請求項８において、前記チャンバー底部を上下方向と略直角方向に移動させる移動機構をさらに具備することを特徴とする蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置及び蒸着装置に係わり、特に、メンテナンス作業を短時間で容易に行うことができる成膜装置及び蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等の透明基板に有機ＥＬ薄膜を形成した有機ＥＬディスプレイは、次世代のフラットパネルディスプレイの有力候補の一つである。透明基板に有機ＥＬ薄膜を形成する技術の一つとして、蒸着装置によって有機ＥＬ薄膜を透明基板に蒸着する方法がある。
【０００３】
蒸着装置は、蒸発材料又は昇華材料を蒸発又は昇華させ、この蒸発又は昇華した蒸着物質を基板上に成膜することにより、基板上に蒸着膜を形成するものである。この蒸着過程で、チャンバーの内部に設けられた内カバー（防着板）等にも蒸着膜が付着する。この付着した蒸着膜の厚さが厚くなると、その蒸着膜が剥離してしまい、剥離した蒸着物が基板上に成膜した蒸着膜に付着してコンタミ（異物）となることがある。このため、定期的に防着板の交換又は掃除を行うメンテナンス作業が必要となる（特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１０４９７１号公報（２〜４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したメンテナンス作業は、作業者が蒸着装置のチャンバーの上蓋を開けて、チャンバー内に頭を入れて防着板のネジを外し、全ての防着板を取り外して交換又は掃除を行い、その後、チャンバーに防着板をネジで取り付け、蒸着装置を組み立てて装置の調整を行うというものである。このメンテナンス作業には長時間を要していた。
【０００６】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、メンテナンス作業を短時間で容易に行うことができる成膜装置及び蒸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明に係る成膜装置は、チャンバー上部とチャンバー下部を有する外部チャンバーと、
前記外部チャンバー内に配置され、前記チャンバー下部に取り付けられた内部チャンバーと、
前記内部チャンバー内に配置され、被成膜基板が保持される基板保持部と、
を具備し、
前記チャンバー上部と前記チャンバー下部は分離自在に形成されていることを特徴とする。
【０００８】
上記本発明に係る成膜装置によれば、チャンバー上部とチャンバー下部を分離できる構成とすることにより、チャンバー下部に取り付けられた内部チャンバーを短時間で容易に取り外すことができ、また内部チャンバーをチャンバー下部に短時間で容易に取り付けることができる。これにより、メンテナンス作業を短時間で容易に行うことができる。
【０００９】
また、本発明に係る成膜装置において、前記内部チャンバーは、前記チャンバー下部からワンタッチで取り外すことができるように、前記チャンバー下部に載置又ははめ込まれて取り付けられていることが好ましい。これにより、チャンバー下部に取り付けられた内部チャンバーを短時間で容易に取り外すことができ、また内部チャンバーをチャンバー下部に短時間で容易に取り付けることができる。
【００１０】
また、本発明に係る成膜装置において、前記チャンバー下部を上下方向に移動させる上下移動機構をさらに具備することも可能である。
また、本発明に係る成膜装置において、前記チャンバー下部を上下方向と略直角方向に移動させる移動機構をさらに具備することも可能である。
【００１１】
本発明に係る蒸着装置は、チャンバー上部、チャンバー下部及びチャンバー底部を有する外部チャンバーと、
前記外部チャンバー内に配置され、前記チャンバー下部に取り付けられた内部チャンバーと、
前記内部チャンバー内に配置され、前記チャンバー底部に取り付けられた蒸発源と、
前記内部チャンバー内に配置され、前記蒸発源に対向する位置に被成膜基板が保持される基板保持部と、
を具備し、
前記チャンバー上部と前記チャンバー下部は分離自在に形成されており、
前記チャンバー下部と前記チャンバー底部は分離自在に形成されていることを特徴とする。
【００１２】
上記本発明に係る蒸着装置によれば、チャンバー上部とチャンバー下部を分離できる構成とすることにより、チャンバー下部に取り付けられた内部チャンバーを短時間で容易に取り外すことができ、また内部チャンバーをチャンバー下部に短時間で容易に取り付けることができる。これにより、メンテナンス作業を短時間で容易に行うことができる。また、チャンバー下部とチャンバー底部を分離できる構成とすることにより、蒸発源のメンテナンス作業を短時間で容易に行うことができる。
【００１３】
また、本発明に係る蒸着装置において、前記内部チャンバーは、前記チャンバー下部からワンタッチで取り外すことができるように、前記チャンバー下部に載置又ははめ込まれて取り付けられていることが好ましい。
【００１４】
また、本発明に係る蒸着装置において、前記チャンバー下部及び前記チャンバー底部を上下方向に移動させる上下移動機構をさらに具備することも可能である。
また、本発明に係る蒸着装置において、前記チャンバー底部を上下方向に移動させる上下移動機構をさらに具備することも可能である。
【００１５】
また、本発明に係る蒸着装置において、前記チャンバー下部及び前記チャンバー底部を上下方向と略直角方向に移動させる移動機構をさらに具備することも可能である。
また、本発明に係る蒸着装置において、前記チャンバー底部を上下方向と略直角方向に移動させる移動機構をさらに具備することも可能である。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように本発明によれば、メンテナンス作業を短時間で容易に行うことができる成膜装置及び蒸着装置を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１８】
(実施の形態１)
図１（Ａ）は、本発明の実施の形態１による有機ＥＬ蒸着装置の構成を示す断面図である。この有機ＥＬ蒸着装置は、フラットディスプレイパネルとなるガラス基板に有機ＥＬ膜を蒸着するためのものである。
【００１９】
有機ＥＬ蒸着装置は外部チャンバー１を備えており、外部チャンバー１はチャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂを有している。チャンバー上部１ａ及びチャンバー下部１ｂによって外部チャンバーの側面部が構成されており、チャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂは互いに分離可能となっている。チャンバー上部１ａの上には蓋部２が配置されており、チャンバー下部１ｂの下にはベースフランジ（チャンバー底部）３が配置されている。外部チャンバー１、蓋部２及びベースフランジ３によって気密性を保持できるチャンバーが形成されている。
【００２０】
外部チャンバー１内には内部チャンバー６が配置されており、この内部チャンバー６はチャンバー下部１ｂに取り付けられている。内部チャンバー６の下部には蒸発源７が配置されており、この蒸発源７は保持部材８によって保持されている。この保持部材８はベースフランジ３に取り付けられている。また、蒸発源７には、蒸発材料又は昇華材料を加熱する加熱機構（図示せず）が設けられている。
【００２１】
また、有機ＥＬ蒸着装置は基板保持機構４を備えており、この基板保持機構４は基板保持部４ａと回転軸４ｂを有している。前記基板保持部４ａは、ガラス基板などの被成膜基板１６を保持するものであって、この被成膜基板１６に対向するように蒸発源７の上方且つ内部チャンバー６の上部に配置されている。前記回転軸４ｂは、基板保持部４ａを支持し且つ回転力を加えるものである。この回転軸４ｂは蓋部２を介してモーター５に接続されており、このモーター５によって回転軸４ｂに回転力を加えて基板保持部４を回転させるようになっている。
【００２２】
上記有機ＥＬ蒸着装置では、内部チャンバー６内を所定の真空状態とし、モーター５によって基板保持部４ａを回転させながら、蒸発源７を加熱して蒸発材料又は昇華材料を上方に放出させることにより、基板１６の全面に蒸着膜を成膜するようになっている。このように基板保持部４ａを回転させるのは、基板１６が回転することにより、基板１６に面内均一性良く蒸着膜を成膜するためである。
【００２３】
上記有機ＥＬ蒸着装置において、上述したように蒸発材料又は昇華材料を蒸発又は昇華させ、この蒸発又は昇華した蒸着物質を基板１６上に成膜することにより基板１６上に蒸着膜を形成する過程で、内部チャンバー６にも蒸着膜が付着する。この付着した蒸着膜の厚さが厚くなると、その蒸着膜が剥離してしまい、剥離した蒸着物が基板１６上に成膜した蒸着膜に付着してコンタミ（異物）となることがある。このため、内部チャンバー６に付着した蒸着膜の厚さが厚くなる前に内部チャンバー６を交換する作業を行う。
【００２４】
この交換作業は、蒸着膜が付着した内部チャンバー６を有機ＥＬ蒸着装置から取り外し、新しい内部チャンバー又は付着した蒸着膜を除去する掃除を行った内部チャンバーを有機ＥＬ蒸着装置に取り付けるものである。取り外した内部チャンバー６は有機ＥＬ蒸着装置を可動中に蒸着膜を除去する掃除を行い、次に内部チャンバーを交換する際に、この掃除を行った内部チャンバーを有機ＥＬ蒸着装置に取り付けるようにするのが好ましい。
【００２５】
次に、上記交換作業について図１（Ｂ）を参照しつつ説明する。
図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す有機ＥＬ蒸着装置においてチャンバー上部とチャンバー下部を分離した状態を示す断面図である。
【００２６】
図１（Ｂ）に示すように、有機ＥＬ蒸着装置はチャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂを分離できるようになっており、チャンバー下部１及びベースフランジ３は移動機構（図示せず）により上下に移動可能に構成されている。チャンバー下部１ｂ及びベースフランジ３を下方に移動させることにより、チャンバー下部１ｂに取り付けられた内部チャンバー６及びベースフランジ３に取り付けられた保持部材８も下方に移動する。この状態では内部チャンバー６はチャンバー下部１ｂから容易に又はワンタッチで取り外すことができる。
【００２７】
つまり、チャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂを分離した状態では、内部チャンバー６はチャンバー下部１ｂの上部に載置又ははめ込まれた状態となり、チャンバー上部１ａにチャンバー下部１ｂを取り付けた図１（Ａ）の状態では、内部チャンバー６はチャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂに挟まれた状態となる。従って、チャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂを分離した状態では、内部チャンバー６をチャンバー下部１ｂから容易に又はワンタッチで取り外すことができる。
【００２８】
上記実施の形態１によれば、チャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂを分離できる構成とすることにより、内部チャンバー６を短時間で容易に取り外すことができ、また内部チャンバーを短時間で容易に取り付けることができる。これにより、内部チャンバーを交換するメンテナンス作業を短時間で容易に行うことができる。従って、有機ＥＬ蒸着装置の稼働率を向上させることができる。
【００２９】
また、内部チャンバーを短時間で交換することにより、外部チャンバー１を大気開放する時間を短くすることができる。
【００３０】
また、内部チャンバー６を取り外した状態では、保持部材８はベースフランジ３に取り付けられ、蒸発源７は保持部材８に取り付けられた状態となる。この状態で蒸発源７を掃除し、蒸発源７に蒸発材料又は昇華材料を補充することは容易である。
【００３１】
尚、本実施の形態では、内部チャンバー６をチャンバー下部１ｂの上部に載置する構成としているが、内部チャンバーをチャンバー下部に固定手段（例えばネジ等）で固定する構成とすることも可能である。
【００３２】
（実施の形態２）
図２（Ａ）は、本発明の実施の形態２による有機ＥＬ蒸着装置の構成を示す断面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示す有機ＥＬ蒸着装置のチャンバー下部とベースフランジを分離した状態を示す断面図である。図２において、図１と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
【００３３】
図２（Ａ）に示す有機ＥＬ蒸着装置は、実施の形態１による有機ＥＬ蒸着装置と同様にチャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂが分離可能に構成されており、更に、図２（Ｂ）に示すようにチャンバー下部とベースフランジも分離可能に構成されている。このベースフランジ３は移動機構（図示せず）により上下に移動可能に構成されている。
【００３４】
図２（Ｂ）に示すように、ベースフランジ３を下方に移動させることにより、ベースフランジ３に取り付けられた保持部材８及びこの保持部材８に保持された蒸発源７も下方に移動する。この状態では蒸発源７は保持部材８から容易に取り外すことができる。
【００３５】
上記実施の形態２においても実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００３６】
また、本実施の形態では、チャンバー下部１ｂとベースフランジ３を分離できる構成とすることにより、蒸発源７のメンテナンス作業（蒸発材料又は昇華材料の補充、蒸発源の掃除、蒸発源の不具合の解消など）を短時間で容易に行うことができる。従って、有機ＥＬ蒸着装置の稼働率を向上させることができる。
【００３７】
（実施の形態３）
図３は、本発明の実施の形態３による有機ＥＬ蒸着装置を示す構成図である。図４は、図３に示す有機ＥＬ蒸着装置においてチャンバー上部とチャンバー下部を分離した状態を示す構成図である。図５は、図３に示す有機ＥＬ蒸着装置においてチャンバー下部を横移動（スライド）させた状態を示す構成図である。図３において、図１と同一部分には同一符号を付し、同一部分の説明は省略する。
【００３８】
図３に示す有機ＥＬ蒸着装置における外部チャンバー１、蓋部２、ベースフランジ３、基板保持機構４、内部チャンバー６、蒸発源７及び保持部材８の構成は実施の形態１，２と同様である。
【００３９】
ベースフランジ３は、スライド用ガイド部材９に取り付けられており、スライド用ガイド部材９上を横方向（上下方向と略直角方向）にスライドさせることができるようになっている。スライド用ガイド部材９は第１のマウントプレート１０に保持されている。第１のマウントプレート１０にはスライド用モーター１１が取り付けられており、このスライド用モーター１１の回転駆動力によってベースフランジ３及びチャンバー下部１ｂをスライド用ガイド部材９上で横移動（スライド）させることができるようになっている。
【００４０】
第１のマウントプレート１０には昇降用ガイド部材である昇降ボールネジ１２ａ，１２ｂを介して第２のマウントプレート１３が連結されている。第２のマウントプレート１３には昇降駆動力伝達用ジョイント１４ａ，１４ｂ，１４ｃが取り付けられている。昇降ボールネジ１２ａの基端は昇降駆動力伝達用ジョイント１４ａに接続されており、昇降ボールネジ１２ｂの基端は昇降駆動力伝達用ジョイント１４ｂに接続されている。昇降駆動力伝達用ジョイント１４ａ〜１４ｃはボールネジによって互いに連結されている。昇降駆動力伝達用ジョイント１４ｃは昇降用モーター１５に接続されている。この昇降用モーター１５の回転駆動力は昇降駆動力伝達用ジョイント１４ａ〜１４ｃを介して昇降ボールネジ１２ａ，１２ｂに伝達される。そして、これら昇降ボールネジ１２ａ，１２ｂを回転させることによって第１のマウントプレート１０を上下に移動させることができるようになっている。
【００４１】
図３に示す状態の有機ＥＬ蒸着装置で基板１６上に蒸着膜を成膜した後、内部チャンバー６の交換作業を行う。この交換作業について図４及び図５を参照しつつ説明する。
【００４２】
まず、図４に示すように、昇降用モーター１５の回転駆動力を、昇降駆動力伝達用ジョイント１４ａ〜１４ｃを介して昇降ボールネジ１２ａ，１２ｂに伝達することによって昇降ボールネジを回転させる。これにより、第１のマウントプレート１０と共にチャンバー下部１ｂ、ベースフランジ３、内部チャンバー６、蒸発源７及び保持機構８を下降させ、チャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂを分離させる。
【００４３】
次に、図５に示すように、スライド用モーター１１の回転駆動力によってベースフランジ３及びチャンバー下部１ｂをスライド用ガイド部材９上で横移動（スライド）させる。これにより、内部チャンバー６及び蒸発源７をチャンバー上部１ａの下方から移動させる。つまり、内部チャンバー６及び蒸発源７の上方にスペース（空間）を設ける。
【００４４】
次いで、内部チャンバー６をチャンバー下部１ｂからワンタッチで取り外し、新しい内部チャンバー又は付着した蒸着膜を除去する掃除を行った内部チャンバーをチャンバー下部１ｂに取り付ける。取り外した内部チャンバー６は有機ＥＬ蒸着装置を可動中に蒸着膜を除去する掃除を行うことが好ましい。
【００４５】
次いで、スライド用モーター１１の回転駆動力によってベースフランジ３及びチャンバー下部１ｂをスライド用ガイド部材９上でスライドさせてチャンバー上部１ａの下方に移動させる。次いで、昇降用モーター１５の回転駆動力を、昇降駆動力伝達用ジョイント１４ａ〜１４ｃを介して昇降ボールネジ１２ａ，１２ｂに伝達することによって昇降ボールネジを回転させる。これにより、第１のマウントプレート１０と共にチャンバー下部１ｂ、ベースフランジ３、内部チャンバー６、蒸発源７及び保持機構８を上昇させ、チャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂとを連結して一体化する。
【００４６】
上述したような方法で内部チャンバーの交換作業を行うことにより、メンテナンス作業を短時間で容易に行うことができる。従って、有機ＥＬ蒸着装置の稼働率を向上させることができる。また、内部チャンバーを短時間で交換することにより、外部チャンバー１を大気開放する時間を短くすることができる。また、内部チャンバー６を取り外した状態では、保持部材８はベースフランジ３に取り付けられ、蒸発源７は保持部材８に取り付けられた状態となる。この状態で蒸発源７を掃除し、蒸発源７に蒸発材料又は昇華材料を補充することも容易となる。
【００４７】
また、図３に示す有機ＥＬ蒸着装置はチャンバー下部１ｂとベースフランジ３も分離可能に構成されている。従って、チャンバー上部１ａとチャンバー下部１ｂを分離する場合と同様の方法でチャンバー下部１ｂとベースフランジ３を分離することができる。以下、これについて説明する。
【００４８】
まず、昇降用モーター１５によって昇降ボールネジ１２ａ，１２ｂを回転させ、第１のマウントプレート１０と共にベースフランジ３、蒸発源７及び保持機構８を下降させ、ベースフランジ３とチャンバー下部１ｂを分離させる。次いで、スライド用モーター１１によってベースフランジ３をスライド用ガイド部材９上で横移動（スライド）させ、蒸発源７をチャンバー上部１ａの下方から移動させる。つまり、蒸発源７の上方にスペース（空間）を設ける。次いで、蒸発源７を保持部材８から取り外し、蒸発源７のメンテナンス作業（蒸発材料又は昇華材料の補充、蒸発源の掃除、蒸発源の不具合の解消など）を行う。
【００４９】
次いで、スライド用モーター１１によってベースフランジ３をスライド用ガイド部材９上でスライドさせてチャンバー下部１ｂの下方に移動させる。次いで、昇降用モーター１５によって昇降ボールネジ１２ａ，１２ｂを回転させ、第１のマウントプレート１０と共にベースフランジ３、蒸発源７及び保持機構８を上昇させ、チャンバー下部１ｂとベースフランジ３とを連結して一体化する。
【００５０】
上述したような方法でメンテナンス作業を行うことにより、作業を短時間で容易に行うことができる。従って、有機ＥＬ蒸着装置の稼働率を向上させることができる。また、メンテナンス作業を短時間で行うことにより、外部チャンバー１を大気開放する時間を短くすることができる。
【００５１】
尚、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態１〜３では、本発明を有機ＥＬ蒸着装置に適用しているが、本発明を他の成膜装置、例えばスパッタリング装置、ＣＶＤ（chemical vapor deposition）装置等に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】（Ａ）は、本発明の実施の形態１による有機ＥＬ蒸着装置の構成を示す断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示す有機ＥＬ蒸着装置においてチャンバー上部とチャンバー下部を分離した状態を示す断面図である。
【図２】（Ａ）は、本発明の実施の形態２による有機ＥＬ蒸着装置の構成を示す断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示す有機ＥＬ蒸着装置のチャンバー下部とベースフランジを分離した状態を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態３による有機ＥＬ蒸着装置を示す構成図である。
【図４】図３に示す有機ＥＬ蒸着装置においてチャンバー上部とチャンバー下部を分離した状態を示す構成図である。
【図５】図３に示す有機ＥＬ蒸着装置においてチャンバー下部を横移動（スライド）させた状態を示す構成図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…外部チャンバー
１ａ…チャンバー上部
１ｂ…チャンバー下部
２…蓋部
３…ベースフランジ（チャンバー底部）
４…基板保持機構
４ａ…基板保持部
４ｂ…回転軸
５…モーター
６…内部チャンバー
７…蒸発源
８…保持部材
９…スライド用ガイド部材
１０…第１のマウントプレート
１１…スライド用モーター
１２ａ，１２ｂ…昇降ボールネジ
１３…第２のマウントプレート
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ…昇降駆動力伝達用ジョイント
１５…昇降用モーター
１６…被成膜基板
【図１】
2006176867.tif 000003
【図２】
2006176867.tif 000004
【図３】
2006176867.tif 000005
【図４】
2006176867.tif 000006
【図５】
2006176867.tif 000007