(57)【要約】      （修正有）【課題】  ＡＣＦテープの位置決め精度を向上させつつ、ＡＣＦテープの搬送、圧着後のカバーテープの剥離、及びＡＣＦテープの自動接合等に伴って生じる各種の問題を回避することができる接着膜貼付装置を提供する。【解決手段】  テープ搬送機構の搬送経路上には供給側テンション機構３１及び回収側テンション機構３２が配置されており、テープ搬送機構により搬送されるＡＣＦテープ５１にテンションをかけることができるようになっている。テンション機構３１，３２はいずれも、可動ローラガイド機構３１ａ，３２ａによりガイドされた可動ローラ２３，２６に対して駆動力を与える駆動力付与装置６１と、ＡＣＦの貼付過程の各段階で必要とされるＡＣＦテープ５１のテンションに応じて可動ローラ２３，２６に対して与えられる駆動力を調整するよう駆動力付与装置６１を制御する制御装置６７とを有している。【選択図】  図２
2006176279.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着膜とカバーテープとからなる接着膜テープを供給する供給機構と、
前記供給機構から供給された接着膜テープを所定の搬送経路に沿って搬送するテープ搬送機構と、
前記テープ搬送機構により搬送される接着膜テープのうち貼り付け対象となる接着膜の一部を接着対象部材上に圧着するテープ圧着機構と、
前記テープ圧着機構により接着膜の一部が圧着されることで残された使用済みの接着膜テープを回収する回収機構と、
前記テープ搬送機構の前記所定の搬送経路上に配置され、前記テープ搬送機構により搬送される接着膜テープにテンションをかけるテンション機構とを備え、
前記テンション機構は、前記テープ搬送機構により搬送される接着膜テープを転がり接触状態で支持する可動ローラと、前記可動ローラにより支持された接着膜テープに対してテンションを付与した状態で前記可動ローラを移動自在にガイドするガイド機構と、前記ガイド機構によりガイドされた前記可動ローラに対して駆動力を与える駆動力付与装置と、接着膜の貼付過程の各段階で必要とされる前記接着膜テープのテンションに応じて、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を調整するよう、前記駆動力付与装置を制御する制御装置とを有することを特徴とする接着膜貼付装置。
【請求項２】
前記テンション機構の前記制御装置は、前記テープ搬送機構により前記接着膜テープが搬送されている段階において、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を小さくして前記接着膜テープに比較的低いテンションを付与することを特徴とする、請求項１に記載の接着膜貼付装置。
【請求項３】
前記テープ搬送機構により前記テープ圧着機構まで搬送された接着膜テープを前記接着対象部材へ向けて押し付けて当該接着膜テープの位置決めを行うテープ位置決め機構をさらに備え、
前記テンション機構の前記制御装置は、前記テープ位置決め機構により前記接着膜テープの位置決めが行われる段階において、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を大きくして前記接着膜テープに比較的高いテンションを付与することを特徴とする、請求項１に記載の接着膜貼付装置。
【請求項４】
前記テープ圧着機構により前記接着対象部材上に圧着された接着膜からカバーテープを剥離するテープ剥離機構をさらに備え、
前記テンション機構の前記制御装置は、前記テープ剥離機構により前記接着膜から前記カバーテープが剥離される段階において、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を小さくして前記接着膜テープに比較的低いテンションを付与することを特徴とする、請求項１に記載の接着膜貼付装置。
【請求項５】
前記供給機構から供給されている接着膜テープの終端部を、予備の供給機構から供給される接着膜テープの始端部に自動接合するテープ自動接合機構をさらに備え、
前記テンション機構の前記制御装置は、前記テープ自動接合機構により接着膜テープが自動接合される段階において、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を小さくして前記接着膜テープに比較的低いテンションを付与することを特徴とする、請求項１に記載の接着膜貼付装置。
【請求項６】
前記接着膜テープは、テープ状の異方性導電膜を前記接着膜として含む異方性導電膜テープであることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の接着膜貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装装置で用いられる接着膜貼付装置に係り、とりわけ、パネル基板や電子部品等の接着対象部材上に異方性導電膜（ＡＣＦ）等の接着膜を貼り付ける接着膜貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、この種の接着膜貼付装置として、ＡＣＦとカバーテープとからなる異方性導電膜（ＡＣＦ）テープが収容された供給リールから、ＡＣＦテープを所要の長さ（接着対象部材上に貼り付けられるべき長さ）分だけ引き出し、このようにして引き出された所要の長さ分のＡＣＦテープのうち貼り付け対象となるＡＣＦの一部を接着対象部材であるパネル基板又は電子部品上に位置付けて圧着するＡＣＦ貼付装置が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
このような従来のＡＣＦ貼付装置においては、ＡＣＦテープの搬送経路上にテンション機構が配置され、ＡＣＦテープに一定のテンションをかけた状態でＡＣＦの貼付過程の各段階の動作（ＡＣＦテープの搬送、ＡＣＦテープの位置決め、圧着後のカバーテープの剥離、及びＡＣＦテープの自動接合といった動作）が行われる。
【０００４】
なお、従来のＡＣＦ貼付装置におけるテンション機構としては、例えば図６に示すような機構が用いられている。図６に示すテンション機構７０において、ＡＣＦテープ５１は、可動ローラ７１に掛け回されて当該可動ローラ７１により転がり接触状態で支持されている。また、可動ローラ７１は、ガイド機構７２により上下方向に移動自在にガイドされている。ここで、可動ローラ７１には、固定ローラ７３，７４に掛け回された駆動力伝達用ロープ７５を介して錘７６が連結されており、可動ローラ７１が常に一定の方向（図６では上方向）に引っ張られることにより、可動ローラ７１に掛け回されたＡＣＦテープ５１に対して常に一定の大きさのテンションが付与される。
【０００５】
また、従来のテンション機構としては、例えば図７に示すような機構も用いられている。図７に示すテンション機構８０において、固定ローラ９１，９２等に掛け回されて搬送されるＡＣＦテープ５１は、可動ローラ８１に掛け回されて当該可動ローラ８１により転がり接触状態で支持されている。ここで、可動ローラ８１は、連結棒８２を介して錘８３に連結されており、可動ローラ８１が回転軸８４を介して一定の向き（図７では反時計回り）に回転することにより、可動ローラ８１に掛け回されたＡＣＦテープ５１に対して常に一定の大きさのテンションが付与されている。
【０００６】
すなわち、上述した従来のＡＣＦ貼付装置においては、図６及び図７に示すようなテンション機構７０，８０により、錘７６，８３が重力に引かれる力等を利用してＡＣＦテープ５１に対して常に一定の大きさのテンションを付与している。
【０００７】
ところで、上述した従来のＡＣＦ貼付装置においては、ＡＣＦの貼付過程の各段階の動作（ＡＣＦテープの搬送、ＡＣＦテープの位置決め、圧着後のカバーテープの剥離、及びＡＣＦテープの自動接合といった動作）時に必要とされるテンションの大きさが異なり、例えばＡＣＦテープの位置決めの際には比較的高いテンションが必要であり、ＡＣＦテープの搬送、圧着後のカバーテープの剥離、及びＡＣＦテープの自動接合の際には比較的低いテンションが必要であることが知られている。
【特許文献１】特開２００３−１０３４９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した従来のＡＣＦ貼付装置では、図６及び図７に示すようなテンション機構７０，８０により、ＡＣＦテープ５１に対して常に一定の大きさのテンションが付与されているので、ＡＣＦテープ５１に対して、ＡＣＦの貼付過程の各段階の動作（ＡＣＦテープの搬送、ＡＣＦテープの位置決め、圧着後のカバーテープの剥離、及びＡＣＦテープの自動接合といった動作）に適したテンションを付与することができないという問題がある。
【０００９】
この場合、例えば、ＡＣＦテープに対して付与されるテンションを、ＡＣＦの位置決めの際に必要とされる比較的高いテンションに合わせて設定した場合には、ＡＣＦテープの搬送を高速に行うことが困難となり、また、圧着後のカバーテープの剥離時にＡＣＦに対するカバーテープの剥離角度が鋭角となってＡＣＦのめくれが発生しやすくなり、さらに、ＡＣＦテープの自動接合時に多大なストレスがかかるためＡＣＦテープの自動接合部で切れが発生しやすくなるという問題がある。また、ＡＣＦテープに対して常に高いテンションが付与されることとなるので、ＡＣＦテープの供給及び回収が行われるＡＣＦリールに対して多大なストレスがかかるという問題もある。
【００１０】
逆に、ＡＣＦテープに対して付与されるテンションを、ＡＣＦテープの搬送、圧着後のカバーテープの剥離、及びＡＣＦテープの自動接合の際に必要とされる比較的低いテンションに合わせて設定した場合には、位置決め精度を向上させることができないという問題がある。
【００１１】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ＡＣＦテープの位置決め精度を向上させつつ、ＡＣＦテープの搬送、圧着後のカバーテープの剥離、及びＡＣＦテープの自動接合等に伴って生じる各種の問題を回避することができる接着膜貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、接着膜とカバーテープとからなる接着膜テープを供給する供給機構と、前記供給機構から供給された接着膜テープを所定の搬送経路に沿って搬送するテープ搬送機構と、前記テープ搬送機構により搬送される接着膜テープのうち貼り付け対象となる接着膜の一部を接着対象部材上に圧着するテープ圧着機構と、前記テープ圧着機構により接着膜の一部が圧着されることで残された使用済みの接着膜テープを回収する回収機構と、前記テープ搬送機構の前記所定の搬送経路上に配置され、前記テープ搬送機構により搬送される接着膜テープにテンションをかけるテンション機構とを備え、前記テンション機構は、前記テープ搬送機構により搬送される接着膜テープを転がり接触状態で支持する可動ローラと、前記可動ローラにより支持された接着膜テープに対してテンションを付与した状態で前記可動ローラを移動自在にガイドするガイド機構と、前記ガイド機構によりガイドされた前記可動ローラに対して駆動力を与える駆動力付与装置と、接着膜の貼付過程の各段階で必要とされる前記接着膜テープのテンションに応じて、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を調整するよう、前記駆動力付与装置を制御する制御装置とを有することを特徴とする接着膜貼付装置を提供する。
【００１３】
なお、本発明において、前記テンション機構の前記制御装置は、前記テープ搬送機構により前記接着膜テープが搬送されている段階において、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を小さくして前記接着膜テープに比較的低いテンションを付与することが好ましい。
【００１４】
また、本発明においては、前記テープ搬送機構により前記テープ圧着機構まで搬送された接着膜テープを前記接着対象部材へ向けて押し付けて当該接着膜テープの位置決めを行うテープ位置決め機構をさらに備え、前記テンション機構の前記制御装置は、前記テープ位置決め機構により前記接着膜テープの位置決めが行われる段階において、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を大きくして前記接着膜テープに比較的高いテンションを付与することが好ましい。
【００１５】
さらに、本発明においては、前記テープ圧着機構により前記接着対象部材上に圧着された接着膜からカバーテープを剥離するテープ剥離機構をさらに備え、前記テンション機構の前記制御装置は、前記テープ剥離機構により前記接着膜から前記カバーテープが剥離される段階において、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を小さくして前記接着膜テープに比較的低いテンションを付与することが好ましい。
【００１６】
さらに、本発明においては、前記供給機構から供給されている接着膜テープの終端部を、予備の供給機構から供給される接着膜テープの始端部に自動接合するテープ自動接合機構をさらに備え、前記テンション機構の前記制御装置は、前記テープ自動接合機構により接着膜テープが自動接合される段階において、前記可動ローラに対して与えられる駆動力を小さくして前記接着膜テープに比較的低いテンションを付与することが好ましい。
【００１７】
なお、本発明において、前記接着膜テープは、テープ状の異方性導電膜を前記接着膜として含む異方性導電膜テープであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、テープ搬送機構の搬送経路上に配置されたテンション機構が、ガイド機構によりガイドされた可動ローラに対して駆動力を与える駆動力付与装置を有し、制御装置による制御の下で、接着膜の貼付過程の各段階で必要とされる接着膜テープのテンションに応じて可動ローラに対して与えられる駆動力を調整するようにしている。このため、例えば、テープ搬送機構による接着膜テープの搬送時、テープ剥離機構による圧着後のカバーテープの剥離時、及び自動接合機構による接着膜テープの自動接合時には、接着膜テープに付与されるテンションを比較的低く保ちつつ、接着膜テープの位置決め時には、接着膜テープに付与されるテンションを比較的高く保つことが可能となる。これにより、接着膜テープの位置決め精度を向上させる一方で、接着膜テープの搬送、圧着後のカバーテープの剥離、及び接着膜テープの自動接合等に伴って生じる各種の問題を回避することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００２０】
図１に示すように、本実施の形態に係るＡＣＦ貼付装置（接着膜貼付装置）１０は、接着膜である異方性導電膜（ＡＣＦ）をパネル基板や電子部品等の接着対象部材上に貼り付けるものであり、ＡＣＦとカバーテープとからなるＡＣＦテープ（接着膜テープ）５１を供給する供給機構１１と、供給機構１１から供給されたＡＣＦテープ５１を所定の搬送経路に沿って搬送するテープ搬送機構１５と、テープ搬送機構１５により搬送されるＡＣＦテープ５１のうち貼り付け対象となるＡＣＦの一部を接着対象部材５２上に圧着するテープ圧着機構３３と、テープ圧着機構３３によりＡＣＦの一部が圧着されることで主としてカバーテープのみが残された使用済みのＡＣＦテープ５１を回収する自動回収機構４０とを備えている。
【００２１】
このうち、供給機構１１は、ＡＣＦテープ５１が巻き回されて収容された供給リール１２と、供給リール１２からＡＣＦテープ５１が巻き出されるよう供給リール１２を回転駆動する供給側駆動軸１３とを有している。なお、供給機構１１の供給リール１２の近傍には、供給リール１２から供給されているＡＣＦテープ５１の終端部を、予備の供給リール（図示せず）から供給されるＡＣＦテープ（図示せず）の始端部に自動接合する自動接合機構３８が設けられている。
【００２２】
テープ搬送機構１５は、ＡＣＦテープ５１を転がり接触状態で支持するローラとして、固定ローラ１６，１７、供給側立体搬送機構１８、固定ローラ２４，２５及び回収側立体搬送機構２７を有しており、この順番で、供給機構１１から供給されたＡＣＦテープ５１が引き回されている。
【００２３】
ここで、このようなテープ搬送機構１５の搬送経路上には供給側テンション機構３１及び回収側テンション機構３２が配置されており、テープ搬送機構１５により搬送されるＡＣＦテープ５１にテンションをかけることができるようになっている。
【００２４】
具体的には、図１及び図２に示すように、供給側テンション機構３１は、テープ搬送機構１５により搬送されるＡＣＦテープ５１を転がり接触状態で支持する供給側可動ローラ２３と、供給側可動ローラ２３により支持されたＡＣＦテープ５１に対してテンションを付与した状態で供給側可動ローラ２３を移動自在にガイドする供給側可動ローラガイド機構３１ａとを有している。
【００２５】
また、回収側テンション機構３２は、テープ搬送機構１５により搬送されるＡＣＦテープ５１を転がり接触状態で支持する回収側可動ローラ２６と、回収側可動ローラ２６により支持されたＡＣＦテープ５１に対してテンションを付与した状態で回収側可動ローラ２６を移動自在にガイドする回収側可動ローラガイド機構３２ａとを有している。
【００２６】
なお、供給側テンション機構３１及び回収側テンション機構３２はいずれも、図２に示すように、供給側可動ローラガイド機構３１ａ（又は回収側可動ローラガイド機構３２ａ）によりガイドされた供給側可動ローラ２３（又は回収側可動ローラ２６）に対して駆動力を与える駆動力付与装置６１と、ＡＣＦの貼付過程の各段階で必要とされるＡＣＦテープ５１のテンションに応じて、供給側可動ローラ２３（又は回収側可動ローラ２６）に対して与えられる駆動力を調整するよう、駆動力付与装置６１を制御する制御装置６７とを有している。なお、駆動力付与装置６１は、供給側可動ローラ２３（又は回収側可動ローラ２６）に接続された駆動力伝達用ベルト６４と、駆動力伝達用ベルト６４が掛け回される従動ローラ６２及び駆動ローラ６３と、駆動ローラ６３にトルクを与えて駆動するトルク付与装置６５及び駆動モータ６６と、駆動モータ６６を制御する制御装置６７とを有している。
【００２７】
図１に戻って説明を続けると、テープ搬送機構１５に含まれる供給側立体搬送機構１８は、供給側立体搬送用固定ローラ１９，２０，２１，２２を有し、ＡＣＦテープ５１が搬送される平面を変えながらＡＣＦテープ５１を立体的に搬送することができるように構成されている。さらに、回収側立体搬送機構２７は、回収側立体搬送用固定ローラ２８，２９，３０を有し、ＡＣＦテープ５１が搬送される平面を変えながらＡＣＦテープ５１を立体的に搬送することができるように構成されている。
【００２８】
テープ圧着機構３３は、接着対象部材５２を載置するバックアップ３４と、バックアップ３４上に載置された接着対象部材５２へ向けて、テープ搬送機構１５により搬送されるＡＣＦテープ５１を押し付けることにより、ＡＣＦテープ５１のうち貼り付け対象となるＡＣＦ（図３の符号５１ａ参照）の一部を接着対象部材５２上に圧着するＡＣＦ付着機構３５とを有している。
【００２９】
ここで、テープ圧着機構３３の近傍には、図１及び図３に示すように、ＡＣＦテープ５１のＡＣＦ５１ａのうち接着対象部材５２上に貼り付けられる部分の両端位置に切り込み５１ｃを入れるテープ切断機構３６と、テープ搬送機構１５により搬送されるＡＣＦテープ５１を、接着対象部材５２上に貼り付けられるべき所要の長さ分だけ引き出して、接着対象部材５２上に位置付けるテープ引出機構３７とが設けられている。なお、図３に示すように、テープ切断機構３６によるＡＣＦテープ５１の切断はＡＣＦ５１ａに対してのみ行われ、カバーテープ５１ｂに対しては行われない。
【００３０】
また、テープ圧着機構３３の近傍には、図１及び図３に示すように、テープ搬送機構１５によりテープ圧着機構３３まで搬送されたＡＣＦテープ５１を接着対象部材５２へ向けて押し付けて当該ＡＣＦテープ５１の位置決めを行うテープ位置決め機構３９，３９が設けられている。
【００３１】
さらに、テープ圧着機構３３の近傍には、図４に示すように、テープ圧着機構３３により接着対象部材５２上に圧着されたＡＣＦ５１ａからカバーテープ５１ｂを剥離するテープ剥離機構４５が設けられている。
【００３２】
図１に戻ってさらに説明を続けると、自動回収機構４０は、使用済みのＡＣＦテープ５１がその外周溝４１ａの一部に巻き回された状態で当該ＡＣＦテープ５１を搬送する回収リール４１と、回収リール４１を回転駆動する回収側駆動軸４２と、回収リール４１により搬送された使用済みのＡＣＦテープ５１を回収する回収箱４４とを有している。ここで、回収リール４１のうちＡＣＦテープ５１が巻き回される外周溝４１ａには複数の真空吸引孔が設けられており、回収リール４１の回転に連動して各真空吸引孔の吸引状態が切り替えられることにより外周溝４１ａのうち回収リール４１の上半分に位置する部分のみが常に吸引状態にあるように構成されている。
【００３３】
次に、このような構成からなるＡＣＦ貼付装置１０の動作について説明する。
【００３４】
図１に示すＡＣＦ貼付装置１０において、ＡＣＦテープ５１は、供給機構１１にて供給側駆動軸１３により回転駆動される供給リール１２から巻き出され、固定ローラ１６，１７、供給側立体搬送機構１８、供給側可動ローラ２３（供給側テンション機構３１）及び固定ローラ２４を経由してテープ圧着機構３３のバックアップ３４上に載置された接着対象部材５２上に位置付けられるように搬送される。
【００３５】
より具体的には、テープクランプ機構（図示せず）によりＡＣＦテープ５１がクランプされた状態で、供給側駆動軸１３の回転駆動に伴って供給リール１２を図示の方向に回転させると、供給リール１２からＡＣＦテープ５１が巻き出されるとともに当該ＡＣＦテープ５１がテープ搬送機構１５（特に固定ローラ１６，１７、供給側立体搬送機構１８及び供給側可動ローラ２３）を経由して搬送されることとなり、当該ＡＣＦテープ５１に弛みが生じる。ここで、供給側テンション機構３１においては、制御装置６７による制御の下で、駆動モータ６６及びトルク付与装置６５により駆動ローラ６３を駆動させ、駆動力伝達用ベルト６４を図２の実線の矢印方向に移動させることにより、ＡＣＦテープ５１に一定のテンションが与えられた状態で供給側可動ローラガイド機構３１ａによりガイドされた供給側可動ローラ２３を上昇させる。なおこのとき、供給側テンション機構３１の制御装置６７は、供給側可動ローラ２３に対して与えられる駆動力を小さくするよう駆動モータ６６を制御しており、これにより、テープ搬送機構１５によりＡＣＦテープ５１が搬送されている段階において、ＡＣＦテープ５１に比較的低いテンションが付与されるようにしている。
【００３６】
そして、供給側可動ローラ２３が上昇して上限位置に到達すると、供給側駆動軸１３の回転駆動及び駆動モータ６６の駆動が停止する。これにより、接着対象部材５２上に貼り付けられるべき所要の長さ分のＡＣＦテープ５１が供給機構１１の供給リール１２から仮に巻き出されて、供給リール１２と固定ローラ２４との間に蓄えられた状態となっている。
【００３７】
この状態で、テープクランプ機構（図示せず）を開放することによりＡＣＦテープ５１のクランプを解除し、かつ、供給側駆動軸１３の回転駆動が停止した状態で、テープ引出機構３７によりＡＣＦテープ５１を図示の方向に引き出すと、供給側テンション機構３１の供給側可動ローラガイド機構３１ａにより保持された供給側可動ローラ２３は下降を開始し、供給リール１２と固定ローラ２４との間に蓄えられたＡＣＦテープ５１が図示の方向に移動する。ここで、供給側テンション機構３１においては、制御装置６７による制御の下で、駆動モータ６６及びトルク付与装置６５により駆動ローラ６３を駆動させ、駆動力伝達用ベルト６４を図２の点線の矢印方向に移動させることにより、ＡＣＦテープ５１に一定のテンションが与えられた状態で供給側可動ローラガイド機構３１ａによりガイドされた供給側可動ローラ２３を下降させる。なおこのとき、供給側テンション機構３１の制御装置６７は、供給側可動ローラ２３に対して与えられる駆動力を小さくするよう駆動モータ６６を制御しており、テープ搬送機構１５によりＡＣＦテープ５１が搬送されている段階において、ＡＣＦテープ５１に比較的低いテンションが付与されるようにしている。これにより、供給側可動ローラ２３が下降して下限位置に到達した時点で、ＡＣＦテープ５１のうち接着対象部材５２上に貼り付けられるべきＡＣＦが接着対象部材５２上に位置付けられる。
【００３８】
その後、テープ圧着機構３３の近傍に設けられたテープ位置決め機構３９，３９により、図３に示すように、テープ搬送機構１５によりテープ圧着機構３３まで搬送されたＡＣＦテープ５１を接着対象部材５２へ向けて押し付けて当該ＡＣＦテープ５１の位置決めを行う。このとき、供給側テンション機構３１においては、制御装置６７による制御の下で、駆動モータ６６及びトルク付与装置６５により駆動ローラ６３を駆動させ、駆動力伝達用ベルト６４を図２の実線の矢印方向に移動させて供給側可動ローラ２３を所定の距離だけ上昇させる。これにより、テープ位置決め機構３９，３９によりＡＣＦテープ５１の位置決めが行われる段階においては、供給側可動ローラ２３に対して与えられる駆動力が大きくされてＡＣＦテープ５１に比較的高いテンションが付与される。
【００３９】
そして、テープ圧着機構３３において、バックアップ３４上に載置された接着対象部材５２へ向けてＡＣＦ付着機構３５を移動させ、テープ位置決め機構３９，３９により接着対象部材５２上に位置決めされたＡＣＦテープ５１を押し付けることにより、ＡＣＦテープ５１のうち貼り付け対象となるＡＣＦ（図３の符号５１ａ）の一部が接着対象部材５２上に圧着される。なおこのとき、ＡＣＦテープ５１のＡＣＦ５１ａのうち接着対象部材５２上に貼り付けられる部分の両端位置には、テープ切断機構３６により所定のタイミングで切り込み５１ｃが入れられている。
【００４０】
その後、テープ圧着機構３３の近傍に設けられたテープ剥離機構４５により、図４に示すように、テープ圧着機構３３により接着対象部材５２上に圧着されたＡＣＦ５１ａからカバーテープ５１ｂを剥離する。このとき、供給側テンション機構３１においては、制御装置６７による制御の下で、駆動モータ６６及びトルク付与装置６５により駆動ローラ６３を駆動させ、駆動力伝達用ベルト６４を図２の点線の矢印方向に移動させて供給側可動ローラ２３を所定の距離だけ下降させる。これにより、テープ剥離機構４５によりカバーテープ５１ｂの剥離が行われる段階においては、供給側可動ローラ２３に対して与えられる駆動力が小さくされてＡＣＦテープ５１に比較的低いテンションが付与される。
【００４１】
そして最終的に、このようにしてＡＣＦ５１ａが圧着されることで主としてカバーテープ５１ｂのみが残された使用済みのＡＣＦテープ５１は、固定ローラ２５、回収側可動ローラ２６（回収側テンション機構３２）及び回収側立体搬送機構２７を経由して搬送され、最終的に、自動回収機構４０により回収される。
【００４２】
より具体的には、テープクランプ機構（図示せず）によりＡＣＦテープ５１がクランプされた状態で、回収側駆動軸４２の回転駆動に伴って回収リール４１を図示の方向に回転させると、回収リール４１は、使用済みのＡＣＦテープ５１がその外周溝４１ａの一部に巻き回された状態で当該ＡＣＦテープ５１を搬送する。すなわち、回収リール４１は、その回転に連動して各真空吸引孔の吸引状態が切り替えられることにより外周溝４１ａのうち回収リール４１の上半分に位置する部分のみが常に吸引状態にあるようにされており、回収リール４１の外周溝４１ａに上流側で引き付けられて固定された使用済みのＡＣＦテープ５１が一周に満たない所定の長さだけ搬送された後に下流側の所定の引離位置にて引き離される。これにより、回収リール４１から外周溝４１ａの引離位置にて引き離された使用済みのＡＣＦテープ５１は、その自重により上下方向（可動ローラ２６の移動方向）に垂れた状態で搬送され、最終的に、回収箱４４により回収される。なお、回収リール４１に巻き回される使用済みのＡＣＦテープ５１は、当該ＡＣＦテープ５１に含まれるカバーテープ５１ｂのうちＡＣＦ５１ａが付着されない側の面（図３に示すカバーテープ５１ｂであればその上面）が回収リール４１の外周溝４１ａに接触した状態で巻き回されている。
【００４３】
なお、以上のようにして使用済みのＡＣＦテープ５１が自動回収機構４０により回収される過程で、回収側テンション機構３２においては、使用済みのＡＣＦテープ５１に下方向への引っ張り力が生じる。ここで、回収側テンション機構３２においては、制御装置６７による制御の下で、駆動モータ６６及びトルク付与装置６５により駆動ローラ６３を駆動させ、駆動力伝達用ベルト６４を図２の点線の矢印方向に移動させることにより、ＡＣＦテープ５１に一定のテンションが与えられた状態で回収側可動ローラガイド機構３２ａによりガイドされた供給側可動ローラ２６を下降させる。なおこのとき、回収側テンション機構３２の制御装置６７は、回収側可動ローラ２６に対して与えられる駆動力を小さくするよう駆動モータ６６を制御しており、このようにしてテープ搬送機構１５によりＡＣＦテープ５１が搬送されている段階において、ＡＣＦテープ５１に比較的低いテンションが付与されるようにしている。
【００４４】
そして、回収側可動ローラ２６が下降して下限位置に到達すると、回収側駆動軸４２の回転駆動及び駆動モータ６６の駆動が停止する。
【００４５】
この状態で、テープクランプ機構（図示せず）を開放することによりＡＣＦテープ５１のクランプを解除し、かつ、回収側駆動軸４２の回転駆動を停止した状態で、テープ引出機構３７によりＡＣＦテープ５１を図示の方向に引き出すと、自動回収機構４０により回収されるべき使用済みのＡＣＦテープ５１に弛みが生じる。ここで、回収側テンション機構３２においては、制御装置６７による制御の下で、駆動モータ６６及びトルク付与装置６５により駆動ローラ６３を駆動させ、駆動力伝達用ベルト６４を図２の実線の矢印方向に移動させることにより、ＡＣＦテープ５１に一定のテンションが与えられた状態で回収側可動ローラガイド機構３２ａによりガイドされた供給側可動ローラ２３を上昇させる。なおこのとき、回収側テンション機構３２の制御装置６７は、回収側可動ローラ２６に対して与えられる駆動力を小さくするよう駆動モータ６６を制御しており、このようにしてテープ搬送機構１５によりＡＣＦテープ５１が搬送されている段階において、ＡＣＦテープ５１に比較的低いテンションが付与されるようにしている。そして、テープ引出機構３７により、接着対象部材５２上に貼り付けられるべき所要の長さ分のＡＣＦテープ５１が引き出されると、回収側可動ローラ２６が上昇して上限位置に到達するので、この時点で、回収側駆動軸４２の回転駆動及び駆動モータ６６の駆動が停止する。
【００４６】
このように本実施の形態によれば、テープ搬送機構１５の搬送経路上に配置された供給側テンション機構３１及び回収側テンション機構３２が、供給側可動ローラガイド機構３１ａ（又は回収側可動ローラガイド機構３２ａ）によりガイドされた供給側可動ローラ２３（又は回収側可動ローラ２６）に対して駆動力を与える駆動力付与装置６１を有し、制御装置６７による制御の下で、ＡＣＦの貼付過程の各段階で必要とされるＡＣＦテープ５１のテンションに応じて、供給側可動ローラ２３（又は回収側可動ローラ２６）に対して与えられる駆動力を調整するようにしている。このため、例えば、テープ搬送機構１５によるＡＣＦテープ５１の搬送時、テープ剥離機構４５による圧着後のカバーテープ５１ｂの剥離時、及び自動接合機構３８によるＡＣＦテープ５１の自動接合時には、ＡＣＦテープ５１に付与されるテンションを比較的低く保ちつつ、ＡＣＦテープ５１の位置決め時には、ＡＣＦテープ５１に付与されるテンションを比較的高く保つことが可能となる。これにより、ＡＣＦテープ５１の位置決め精度を向上させる一方で、ＡＣＦテープ５１の搬送、圧着後のカバーテープ５１ｂの剥離、及びＡＣＦテープ５１の自動接合等に伴って生じる各種の問題を回避することができる。具体的には、テープ搬送機構１５によるＡＣＦテープ５１の搬送時にはＡＣＦテープ５１に対して付与されるテンションが低いので、ＡＣＦテープ５１の搬送を高速に行うことが可能となる。また、圧着後のカバーテープ５１ｂの剥離時にもＡＣＦテープ５１に対して付与されるテンションが低いので、ＡＣＦ５１ａに対するカバーテープ５１ｂの剥離角度が鋭角となってＡＣＦ５１ａのめくれの発生頻度を低減させることが可能となる。さらに、ＡＣＦテープ５１の自動接合時にもＡＣＦテープ５１に対して付与されるテンションが低いので、ＡＣＦテープ５１に多大なストレスがかからず、ＡＣＦテープ５１の自動接合部での切れの発生頻度を低減させることが可能となる。さらにまた、ＡＣＦテープ５１に対して常に高いテンションが付与されることがないので、ＡＣＦテープ５１の供給及び回収が行われる供給リール１２及び回収リール４１に対して多大なストレスがかからないという利点もある。
【００４７】
なお、上述した実施の形態においては、図１に示すＡＣＦ貼付装置１０のように、自動接合機構３８及び自動回収機構４０が設けられ、供給側立体搬送機構１８及び回収側立体搬送機構２７によりＡＣＦテープ５１が立体的に搬送される場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、図５に示すＡＣＦ貼付装置１０′のように、自動接合機構３８及び自動回収機構４０設けられておらず、供給機構１１の供給リール１２から巻き出されたＡＣＦテープ５１が一つの平面内を搬送されて、通常の回収機構４６の回収リール４７により巻き取られて回収されるような場合にも同様にして適用することができる。
【００４８】
また、上述した実施の形態においては、供給側テンション機構３１及び回収側テンション機構３２のそれぞれに制御装置６７が設けられているが、これに限らず、制御装置６７として、供給側テンション機構３１及び回収側テンション機構３２の両方を統合的に制御する一つの制御装置が設けられていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施の形態に係る接着膜貼付装置を示す概略図。
【図２】図１に示す接着膜貼付装置で用いられるテンション機構の詳細を説明するための図。
【図３】図１に示す接着膜貼付装置で用いられるテープ位置決め機構の詳細を説明するための図。
【図４】図１に示す接着膜貼付装置で用いられるテープ剥離機構の詳細を説明するための図。
【図５】本発明の他の実施の形態に係る接着膜貼付装置を示す概略図。
【図６】従来のテンション機構の一例を示す図。
【図７】従来のテンション機構の他の例を示す図。
【符号の説明】
【００５０】
１０，１０′  ＡＣＦ貼付装置（接着膜貼付装置）
１１  供給機構
１２  供給リール
１３  供給側駆動軸
１５  テープ搬送機構
１６，１７  固定ローラ
１８  供給側立体搬送機構
１９，２０，２１，２２  供給側立体搬送用固定ローラ
２３  供給側可動ローラ
２４，２５  固定ローラ
２６  回収側可動ローラ
２７  回収側立体搬送機構
２８，２９，３０  回収側立体搬送用固定ローラ
３１  供給側テンション機構
３１ａ  供給側可動ローラガイド機構
３２  回収側テンション機構
３２ａ  回収側可動ローラガイド機構
３３  テープ圧着機構
３４  バックアップ
３５  ＡＣＦ付着機構
３６  テープ切断機構
３７  テープ引出機構
３８  自動接合機構
３９  テープ位置決め機構
４０  自動回収機構
４１  回収リール
４１ａ  外周溝
４２  回収側駆動軸
４４  回収箱
４５  テープ剥離機構
４６  通常の回収機構
４７  回収リール
５１  ＡＣＦテープ（接着膜テープ）
５１ａ  ＡＣＦ
５１ｂ  カバーテープ
５１ｃ  切り込み
５２  接着対象部材
６１  駆動力付与装置
６２  従動ローラ
６３  駆動ローラ
６４  駆動力伝達用ベルト
６５  トルク付与装置
６６  駆動モータ
６７  制御装置
７０  テンション機構
７１  可動ローラ
７２  ガイド機構
７３，７４  固定ローラ
７５  駆動力伝達用ロープ
７６  錘
８０  テンション機構
８１  可動ローラ
８２  連結棒
８３  錘
８４  回転軸
９１，９２  固定ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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