(57)【要約】【課題】ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供する。【解決手段】ガイドレール１２の上面部１２１に向けて静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置において、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール側に突出するようにパッド取付面１４１の両端部に逃げ面１８を設けた。【選択図】図２
2006250318.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドの気体噴出面から噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、
前記静圧気体軸受パッドの前記気体噴出面が前記可動体の前記パッド取付面よりもガイドレール側に突出するように前記パッド取付面の両端部に逃げ加工部を設けたことを特徴とするエアースライド装置。
【請求項２】
前記静圧気体軸受パッドはカーボングラファイト等の多孔質材からなることを特徴とする請求項１記載のエアースライド装置。
【請求項３】
前記静圧気体軸受パッドは円形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のエアースライド装置。
【請求項４】
ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドから噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、
前記静圧気体軸受パッドの一部が前記パッド取付面からはみ出るように前記静圧気体軸受パッドを前記パッド取付面に埋設したことを特徴とするエアースライド装置。
【請求項５】
請求項４記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドを摺動特性に優れた多孔質材で形成したことを特徴とするエアースライド装置。
【請求項６】
前記多孔質材はカーボングラファイトであることを特徴とする請求項５記載のエアースライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械等の産業機械においてワークテーブル等の移動体をスライド可能に支持する装置として用いられるエアースライド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークテーブル等の移動体をスライド可能に支持する装置として、たとえば、図８に示すようなエアースライド装置が知られている（特許文献１参照）。図８において、符号１０はエアースライド装置を示し、このエアースライド装置１０は、ガイドレール１２及び可動体１４を備えている。
ガイドレール１２は鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面形状が矩形状に形成されている。可動体１４はガイドレール１２と同様に鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面がほぼコ字状に形成されている。また、可動体１４はガイドレール１２の上面部１２１と対向する矩形状のパッド取付面１４１（図９参照）を有しており、このパッド取付面１４１には、円形状に形成された複数の静圧気体軸受パッド１６が埋設されている。
【０００３】
静圧気体軸受パッド１６は、カーボングラファイト等の多孔質材から形成されている。また、静圧気体軸受パッド１６はガイドレール１２の上面部１２１に向けて圧縮空気等の気体を噴出する気体噴出面１６１（図１０参照）を有しており、従って、可動体１４は静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体によりスライド可能に支持されるようになっている。
【０００４】
このようなエアースライド装置では、気体噴出パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１と面一になるように、気体噴出パッド１６を可動体１４のパッド取付面１４１を埋設することによって可動体１４の負荷能力を高めている。
【特許文献１】実公平６−４７１３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、気体噴出パッド１６の気体噴出面１６１を可動体１４のパッド取付面１４１と面一にすると、可動体１４の上面部１４１に加わる偏荷重等により可動体１４がガイドレール１２に対して大きく傾斜した場合には、図１１に示すように、可動体１４のパッド取付面１４１がガイドレール１２に接触し、ガイドレール１２と可動体１４との間に焼付きが発生するおそれがあった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明は、ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドの気体噴出面から噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドの前記気体噴出面が前記可動体の前記パッド取付面よりもガイドレール側に突出するように前記パッド取付面の両端部に逃げ加工部を設けたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドがカーボングラファイト等の多孔質材からなることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１又は２記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドが円形状に形成されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項４の発明は、ガイドレールと、このガイドレールの上面部と対向するパッド取付面を有する可動体と、この可動体の前記パッド取付面に埋設された複数の静圧気体軸受パッドとを備え、前記ガイドレールの上面部に向けて前記静圧気体軸受パッドから噴出する気体により前記可動体をスライド可能に支持するエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドの一部が前記パッド取付面からはみ出るように前記静圧気体軸受パッドを前記パッド取付面に埋設したことを特徴とする。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項４記載のエアースライド装置において、前記静圧気体軸受パッドを摺動特性に優れた多孔質材で形成したことを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項５記載のエアースライド装置において、前記多孔質材がカーボングラファイトであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１〜４の発明に係るエアースライド装置によれば、可動体がガイドレールに対して傾斜すると、可動体よりも先に静圧気体軸受パッドがガイドレールに接触する。したがって、可動体の上面部に偏荷重等が作用しても可動体がガイドレールに接触することがないので、ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することができる。
請求項５及び６の発明に係るエアースライド装置によれば、静圧気体軸受パッドをカーボングラファイト等の摺動特性に優れた多孔質材で形成したことにより、静圧気体軸受パッドがガイドレールに接触しても摩擦熱の発生を抑制できるので、ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図１〜図３を参照して本発明の第１の実施形態について説明する。なお、図８〜図１０に示したものと同一の部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は割愛する。
図１は本発明の第１の実施形態に係るエアースライド装置の側面図、図２は図１のII−II断面図であり、これらの図に示されるように、可動体１４のパッド取付面１４１の両端部には、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール１２側に突出するように、逃げ加工部としての逃げ面１８が設けられている。
【００１２】
このように構成されるエアースライド装置では、可動体１４の上面部に加わる偏荷重等により可動体１４がガイドレール１２に対して傾斜すると、図３に示すように、可動体１４のパッド取付面１４１よりも先に静圧気体軸受パッド１６がガイドレール１２に接触する。したがって、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール１２側に突出するように、パッド取付面１４１の両端部に逃げ加工部としての逃げ面１８を設けたことにより、可動体１４の上面部に偏荷重等が作用しても可動体１４のパッド取付面１４１がガイドレール１２に接触することがないので、ガイドレール１２と可動体１４との間に焼付きが発生することを防止することができる。
【００１３】
次に、図４〜図７を参照して本発明の第２の実施形態について説明する。
図４は本発明の第２の実施形態に係るエアースライド装置の断面図であり、同図に示されるように、第２の実施形態に係るエアースライド装置２０は、ガイドレール２２及び可動体２４を備えている。ガイドレール２２は鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面形状が矩形状に形成されている。可動体２４はガイドレール２２と同様に鋼等の金属材料からなり、その幅方向に沿う断面が矩形状に形成されている。また、可動体１４はガイドレール１２の上面部１２１と対向する矩形状のパッド取付面１４１（図５参照）を有しており、このパッド取付面１５１には、円形状に形成された複数の静圧気体軸受パッド２６が埋設されている。
【００１４】
静圧気体軸受パッド２６は、摺動特性に優れた多孔質材（例えばカーボングラファイト）で形成されている。また、静圧気体軸受パッド２６はガイドレール２２の上面部２２１に向けて圧縮空気等の気体を噴出する気体噴出面２６１（図６参照）を有しており、可動体２４は静圧気体軸受パッド２６の気体噴出面２６１から噴出する気体によりスライド可能に支持されるようになっている。さらに、静圧気体軸受パッド２６は、図５に示すように、その一部が可動体２４のパッド取付面１４１からはみ出るようにパッド取付面１４１に配設されている。
【００１５】
このように構成されるエアースライド装置２０では、可動体２４に加わる偏荷重等により可動体２４がガイドレール２２に対して傾斜すると、図７に示すように、可動体２４よりも先に静圧気体軸受パッド２６がガイドレール２２に接触する。したがって、静圧気体軸受パッド２６の一部が可動体２４のパッド取付面２４１からはみ出るように静圧気体軸受パッド２６を可動体２４のパッド取付面２４１に配設したことにより、可動体２４の上面部に偏荷重等が作用しても可動体２４がガイドレール１２に接触することがないので、ガイドレール２２と可動体２４との間に焼付きが発生することを防止することができる。
【００１６】
また、上述した第２の実施形態では、静圧気体軸受パッド２６を摺動特性に優れた多孔質材（例えばカーボングラファイト）で形成したことにより、静圧気体軸受パッド２６がガイドレール２２に接触しても摩擦熱の発生を抑制できるので、ガイドレール２２と可動体２４との間に焼付きが発生することを確実に防止することができる。
なお、本発明は上述した第１及び第２の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が実施可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るエアースライド装置の側面図である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】図１に示すエアースライド装置の作用を説明するための図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係るエアースライド装置の断面図である。
【図５】図４のV−V断面図である。
【図６】図４のVI−VI断面図である。
【図７】図４に示すエアースライド装置の作用を説明するための図である。
【図８】従来のエアースライド装置の一例を示す断面図である。
【図９】図８のIX−IX断面図である。
【図１０】図８のX−X断面図である。
【図１１】図８に示すエアースライド装置の可動体がガイドレールに対して傾いた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００１８】
１２，２２  ガイドレール
１４，２４  可動体
１４１，２４１  パッド取付面
１６，２６  静圧気体軸受パッド
１６１，２６１  気体噴出面
１８  逃げ面
【図１】
2006250318.tif 000003
【図２】
2006250318.tif 000004
【図３】
2006250318.tif 000005
【図４】
2006250318.tif 000006
【図５】
2006250318.tif 000007
【図６】
2006250318.tif 000008
【図７】
2006250318.tif 000009
【図８】
2006250318.tif 000010
【図９】
2006250318.tif 000011
【図１０】
2006250318.tif 000012
【図１１】
2006250318.tif 000013