(57)【要約】      （修正有）【課題】  青色発光ＬＥＤ、特に高出力の青色発光ＬＥＤを使用し、高信頼性、長寿命の白色ＬＥＤ及びその製造方法を提供することである。【解決手段】  青色発光ダイオードの上に、青色光を黄色光と赤色光に変換する蛍光体層を有する白色発光ダイオードであって、前記蛍光体層が蛍光体のみからなることを特徴とする白色発光ダイオード。【選択図】        図３
2006313829.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
青色発光ダイオードの上に、青色光を黄色光と赤色光に変換する蛍光体層を有する白色発光ダイオードであって、前記蛍光体層が蛍光体のみからなることを特徴とする白色発光ダイオード。
【請求項２】
青色発光ダイオードの上に、青色光を黄色光と赤色光に変換する蛍光体層を有する白色発光ダイオードであって、前記蛍光体層が蛍光体と透明無機酸化物からなることを特徴とする白色発光ダイオード。
【請求項３】
請求項１または２に記載の白色発光ダイオードの製造方法であって、前記蛍光体層は、蛍光体粒子を青色発光ダイオードの上にエアロゾルデポジション法を用いて設けることを特徴とする白色発光ダイオードの製造方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載の白色発光ダイオードの製造方法であって、前記蛍光体層は、蛍光体粒子を青色発光ダイオードの上にプラズマ溶射法を用いて設けることを特徴とする白色発光ダイオードの製造方法。
【請求項５】
請求項３または４に記載の白色発光ダイオードの製造方法により作製されたことを特徴とする白色発光ダイオード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、青色発光ダイオード（ＬＥＤ）素子からの光を白色に変換する白色ＬＥＤ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
白色ＬＥＤは、近年、高効率、高信頼性の白色照明光源として注目され、一部が微小電力小型光源として既に使用に供されている。この種のＬＥＤは、青色ＬＥＤ素子を、黄色蛍光体と透明樹脂との混合物で被覆されたものが一般的である。この方式の白色発光ダイオード及び白色発光ダイオード用蛍光体が開示されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００３】
しかしながら、この方式で得られる白色光をバックライトに使用した場合、色調調整が難しく、また一般照明用光源として使用した場合には青白く冷たい光となって不適当である等、多くの課題を有する。これに対して上記方式に赤色蛍光体を加えた白色発光ダイオードは上記欠点がないため近年着目されている。しかし、従来の樹脂にモールドされたタイプのダイオードの場合、発光によるエネルギーが強いので樹脂を劣化させやすい。それゆえ、このような構造の白色ＬＥＤは、長時間使用していると樹脂が変色して色調が変化する。また最近では、高出力ＬＥＤ素子を使用して白色照明光源を開発する動きがあるが、この場合限られた部分に極めて強い光が照射されるので樹脂の劣化が著しく、発光色の変化が極めて短期間に起こる。また樹脂モールドされた素子からの熱放熱性が悪いため、温度が上昇しやすく、温度上昇に伴って発光色の色調が経時変化するという問題がある。
【特許文献１】特開平１０−１６３５３５号公報
【特許文献２】国際公開第９８／０５０７８号パンフレット
【特許文献３】特開２００２−４３６２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記の如き状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、青色発光ＬＥＤ、特に高出力の青色発光ＬＥＤを使用し、高信頼性、長寿命の白色ＬＥＤ及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の上記課題は、以下の構成により達成される。
【０００６】
（請求項１）
青色発光ダイオードの上に、青色光を黄色光と赤色光に変換する蛍光体層を有する白色発光ダイオードであって、前記蛍光体層が蛍光体のみからなることを特徴とする白色発光ダイオード。
【０００７】
（請求項２）
青色発光ダイオードの上に、青色光を黄色光と赤色光に変換する蛍光体層を有する白色発光ダイオードであって、前記蛍光体層が蛍光体と透明無機酸化物からなることを特徴とする白色発光ダイオード。
【０００８】
（請求項３）
請求項１または２に記載の白色発光ダイオードの製造方法であって、前記蛍光体層は、蛍光体粒子を青色発光ダイオードの上にエアロゾルデポジション法を用いて設けることを特徴とする白色発光ダイオードの製造方法。
【０００９】
（請求項４）
請求項１または２に記載の白色発光ダイオードの製造方法であって、前記蛍光体層は、蛍光体粒子を青色発光ダイオードの上にプラズマ溶射法を用いて設けることを特徴とする白色発光ダイオードの製造方法。
【００１０】
（請求項５）
請求項３または４に記載の白色発光ダイオードの製造方法により作製されたことを特徴とする白色発光ダイオード。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により、青色発光ＬＥＤ、特に高出力の青色発光ＬＥＤを使用し、高信頼性、長寿命の白色ＬＥＤ及びその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明者は鋭意研究の結果、青色発光ダイオードの上に、青色光を黄色光と赤色光に変換する蛍光体層を有する白色発光ダイオードであって、前記蛍光体層が蛍光体のみからなる白色発光ダイオード、または蛍光体と透明無機酸化物からなる白色発光ダイオードにより、高信頼性、長寿命の白色発光ダイオードが得られることを見出した。
【００１３】
また、これらの白色発光ダイオードは、青色発光ダイオードの上に蛍光体粒子をエアロゾルデポジション法で成膜し、またはプラズマ溶射法を用いて融着し、蛍光体層を設けることにより得られることを見出した。
【００１４】
以下、本発明について詳細に説明する。
【００１５】
図３は、本発明の白色ＬＥＤ４１の断面構成の１例を示す図である。青色ＬＥＤチップ４４は表面にバンプ４５を形成した後、裏返して基板４２上の電極４３と接続する、いわゆるフリップチップ接続されている。さらに、青色ＬＥＤ上に、蛍光体粒子をエアロゾルデポジション法やプラズマ溶射法で成膜し、蛍光体層４６が形成される。図３に示すように、蛍光体層４６の上に、さらに透明無機酸化物による封止層４７が形成されている態様であってもよい。
【００１６】
（発光ダイオード）
本発明で使用できる青色ＬＥＤとしては、ＧａＮ、ＩｎxＧａ1-xＮ、ＳｉＣをはじめ既存のあらゆるものを使用することができる。青色ＬＥＤの発光ピーク波長は４４０〜４８０ｎｍのものが好ましい。
【００１７】
（蛍光体）
本発明で使用する蛍光体としては、青色ＬＥＤから発せられる光を黄色系の光と赤色系の光に変換可能なものであり、一般的に市中で入手できるものであれば使用できる。例えば、以下に挙げられる蛍光体を用いてもよい。
【００１８】
黄色系：（Ｙ，Ｇｄ，Ｃｅ）3Ａｌ5Ｏ12
赤色系：ＣａＡｌＳｉＮ3：Ｅｕ、Ｙ2Ｏ3Ｓ：Ｅｕ3+、ＣａＳ：Ｅｕ、３．５ＭｇＯ・０．５ＭｇＦ2・ＧｅＯ2：Ｍｎ
本発明の蛍光体層には、前記蛍光体の他に透明無機酸化物を混合してもよい。本発明で使用可能な透明無機酸化物としては、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＺｎＯ、ＭｇＯ等が挙げられる。
【００１９】
（蛍光体層の形成方法）
本発明の蛍光体層は、以下に示す２つの方法により形成することができる。
（１）エアロゾルデポジション法
エアロゾル・デポジション法による成膜装置としては、応用物理，６８巻，１号，４４ページ、特開２００３−２１５２５６号公報等に開示されている構成が利用できる。
【００２０】
図１は本発明に用いられるエアロゾル・デポジション成膜装置の概略構成図である。エアロゾル・デポジション成膜装置は基板１０を保持するホルダー９、ホルダーをＸＹＺθで３次元に作動させるＸＹＺθステージ１１、基板に原料を噴出させる細い開口を備えたノズル８、ノズルをエアロゾル化室４とつなぐ配管６を備えたチャンバー７、さらに、搬送ガスを貯留する高圧ガスボンベ１、微粒子原料とキャリアガスが攪拌・混合されるエアロゾル化室４、及びこれらをつなぐ配管２によって構成される。ステージの裏面にはペルチェ素子による温度制御機構が設置され、基板を最適な温度に保つことができる。
【００２１】
さらに、エアロゾル化室内の微粒子原料は、以下のような手順によって基板である青色ＬＥＤ上に形成される。
【００２２】
エアロゾル化室内に充填された、好ましくは０．０２〜５μｍ、より好ましくは０．１〜２μｍの粒径の微粒子原料は、キャリアガスを貯留する高圧ガスボンベより配管を通ってエアロゾル化室に導入され、キャリアガスとともに、振動・撹拌されてエアロゾル化される。
【００２３】
エアロゾル化した微粒子原料は配管を通り、チャンバー内の細い開口を備えたノズルから基板にキャリアガスとともに吹き付けられ塗膜を形成する。チャンバーは真空ポンプ等で排気され、チャンバー内の真空度は必要に応じて調整されている。本発明では真空度は０．１〜１０００Ｐａが好ましい。さらに、基板のホルダーはＸＹＺθステージにより３次元に動くことができるため、基板の所定の部分に必要な厚みの蛍光体層が形成できる。基板に形成された蛍光体層上には必要に応じて蛍光体保護層を設ける。
【００２４】
エアロゾル化された原料粒子は、好ましくは流速１００〜４００ｍ／ｓｅｃのキャリアガスにより衝突することによって基板上に堆積することができる。キャリアガスにより衝突した粒子は、互いに衝突の衝撃によって接合し膜を形成する。
【００２５】
本発明の製造方法において、原料粒子を加速・噴出するためのキャリアガスとしては、窒素ガスやＨｅガス等の不活性ガスが好ましい。窒素ガスは特に好ましく用いることができる。
【００２６】
また、原料微粒子を衝突させる基板の温度は、−１００〜２００℃に保持することが好ましい。基板温度を３００℃以上に加熱した時には膜が白濁化し、光が取り出せず白色ＬＥＤの輝度が低下する場合がある。
【００２７】
蛍光体層の形成には、少なくとも前記蛍光体の微粒子が必要であり、さらに必要に応じ前記透明無機酸化物の微粒子を混合してもよい。前記成膜装置のエアロゾル化室を、蛍光体用と透明無機酸化物用に併設し、適宜供給原料を切り替えること等により、蛍光体層中の蛍光体分布を制御できる。透明無機酸化物は、蛍光体と適宜混合することにより、蛍光体層中の蛍光体濃度を制御できる。最表面に透明無機酸化物だけの層を形成した場合には、透明封止層として用いることができる。これとは逆に紫外発光ＬＥＤ表面に透明無機酸化物だけの層を形成してもよい。また、透明無機酸化物を用いずに蛍光体だけからなる層を形成することも可能である。
【００２８】
（２）プラズマ溶射法
本発明の蛍光体層は、プラズマ溶射法により形成することができる。原料である蛍光体の微粒子や透明無機酸化物の微粒子をプラズマによって溶融、射出し、基板である青色ＬＥＤの上に融着する所謂プラズマ溶射法を用いることができる。
【００２９】
プラズマ溶射法による製膜は、他の製膜方法であるスパッタ法、蒸着法と比較して製膜速度が早く、生産性が高いことが特徴である。
【００３０】
プラズマ溶射装置としては、エアロプラズマ社製ＡＰＳ−７０００、ＴＡＦＡ社製Ｐｌａｚｊｅｔ、スルザーメテコ社製ＴＲＩＰＬＥＸ  II等が好ましく使用できる。
【００３１】
以下、本発明に好ましく用いられるプラズマ溶射装置について説明する。
【００３２】
図２は、プラズマ溶射装置の縦断面の概略図である。
【００３３】
このプラズマ溶射装置は、溶射すべき方向に延びる軸線Ｃに沿って溶射用粉末原料を投入する原料投入ノズル３０と、該軸線の周りに配置されたプラズマ形成手段２０と、これらを一体的に支持するフレーム２３と、該フレームに支持され原料及びプラズマＰをフレーム外へ噴出させる噴射ノズル２４とを備えている。
【００３４】
原料投入ノズル３０は、内管３１と外管３２とを備えた同軸の２重管であり、内管３１から搬送ガスと共に粉末原料を噴出し、内管３１と外管３２との間からアルゴン、アルゴン−水素混合ガス、空気、酸素、窒素等のプラズマガスを噴出するように構成されている。このプラズマガスは、粉末原料がノズルから噴射された後に、その飛行パターンが広がるのを防止する。
【００３５】
プラズマ形成手段２０は、陰極を備えたカソードトーチ２１と、陽極を備えたアノードトーチ２２とのプラズマトーチ対を２以上備え、これらカソードトーチ２１及びアノードトーチ２２は、これらの陰極及び陽極間に軸線Ｃに沿うプラズマ流を形成するように該軸線を囲んで、かつ相互の位置関係が原料投入方向の上流側及び下流側となるように配置されている。
【００３６】
カソードトーチ２１は、軸線Ｃからの距離及び隣り合うトーチとの距離を等間隔にして２〜７台配置されている。各カソードトーチ２１からのプラズマ噴出方向は、前記原料投入方向に向く斜め方向とされている。その傾斜角度は、軸線Ｃに対し、５〜４５度とするのが望ましい。傾斜角が５度より小さいと、プラズマの合流点が遠くなりすぎ温度低下を招き、４５度より大きいと、噴射ノズル２４でのプラズマジェットの速度が大きく低下するからである。この観点から傾斜角は、１０〜３０度とするのがより望ましい。カソードトーチ２１は、中心が円錐状の陰極２１ａ、その周りに延びるノズルが該陰極との間にアークを発生させるための点火用の補助陽極２１ｂとなっており、その間隙からアルゴン及び２次ガス（水素、ヘリウム等）が投入可能となっている。
【００３７】
また、アノードトーチ２２は、カソードトーチより前記原料投入方向の下流側において、軸線Ｃからの距離及び隣り合うトーチとの距離を等間隔にしてカソードトーチ２１と同じ台数配置されており、１台のカソードトーチ及びアノードトーチがプラズマトーチ対をなして主電源Ｍに接続され、各々のアーク用電極間に電圧が印加されるようになっている。アノードトーチ２２は、各々プラズマ流を軸線Ｃに向かって噴出し、該軸線上でカソードトーチ２１からのプラズマ流と連続させるように配設されている。各アノードトーチ２２からのプラズマ噴出方向は、軸線Ｃ（前記原料投入方向）に対し、ほぼ垂直とされている。アノードトーチ２２は、中心が円錐状の陽極２２ａ、その周りに延びるノズルが該陽極との間にアークを発生させるための点火用の補助陰極２２ｂとなっており、その間隙からアルゴンガスが投入可能となっている。
【００３８】
各カソードトーチ２１の陰極２１ａと補助陽極２１ｂとの間、及びアノードトーチ２２の陽極２２ａと補助陰極２２ｂとの間には、点火用の補助電源Ｓが接続されている。
【００３９】
この実施形態では、このようにカソードトーチ２１及びアノードトーチ２２のプラズマトーチ対を１グループ備えているが、より多くのプラズマトーチ対のグループを備えることができる。ただし、最も原料投入ノズル３０に近いプラズマトーチは、プラズマ噴出方向が、原料投入方向に向く斜め方向とされるのが、原料搬送上望ましい。また、これ以外のプラズマトーチのプラズマ噴出方向を原料投入方向に向く斜め方向とすることもできる。
【００４０】
１台のカソードトーチ及びアノードトーチからなるプラズマトーチ対は、少なくとも２対設けられるのが好ましい。これは、軸線Ｃ上で合流したプラズマ流を軸線Ｃに沿う流れとするためである。
【００４１】
このプラズマ溶射装置の各所の寸法は以下の通りである。
【００４２】
原料投入ノズル３０
内管３１の内径：１〜５ｍｍ、外管３２の内径：２〜７ｍｍ
カソードトーチ２１
軸線Ｃに対する傾斜角：１５度、円錐状の陰極の最大径：５ｍｍ
ノズル状陽極の最大径及び先端孔径：３０ｍｍ及び５ｍｍ
アノードトーチ２２
軸線Ｃに対する傾斜角：６０〜９０度、円錐状の陰極の最大径：５ｍｍ
ノズル状陽極の最大径及び先端孔径：３０ｍｍ及び５ｍｍ
噴射ノズル２４
ノズル最小径：７ｍｍ
このプラズマ溶射装置は、以下のようにして使用される。
【００４３】
カソードトーチ２１の陰極２１ａと補助陽極２１ｂとの間隙、及びアノードトーチ２２の陽極２２ａと補助陰極２２ｂとの間隙をガス噴出路として、アルゴンガスを流量数リットル毎分で流しながら、各プラズマトーチの陽極及び陰極間に接続された補助電源Ｓにより両極間に数十ボルトの直流電圧をかけておき、陽極−陰極間に高周波を瞬問的に印加してアルゴンガスを電離させ、直流アークプラズマを発生させる。
【００４４】
この状態で上記アルゴンガス流量を調整して、カソードトーチ２１からのプラズマとアノードトーチ２２からのプラズマをトーチ前方へ延ばして接触させるようにする。この接触状態で、カソードトーチ２１の陰極２１ａとアノードトーチ２２の陽極２２ａの間に主電源Ｍにより百数十ボルト、数十から数百アンペアの直流電流を流すと、カソードトーチ２１の陰極２１ａとアノードトーチ２２の陽極２２ａの間のアーク放電によりメインのプラズマＰが発生する。
【００４５】
補助電源Ｓを切り、必要に応じてカソードトーチ２２の電極間の間隙または原料投入ノズル３０の内管３１及び外管３２の間隙、あるいはその両方から、アルゴンガス、水素ガス、へリウムガス、窒素ガス、圧縮空気、酸素ガスまたはこれらの混合ガス等によりプラズマのエンタルピーを増大させる作動ガスを投入し、さらに各カソードトーチ２２の陰極２１ａとアノードトーチ２２の陽極２２ａとの間の電流・電圧を調整して、所定の出力のプラズマＰを安定させる。なお、図２では、プラズマＰの形成状態をその中心部により概略的に示している。
【００４６】
このプラズマ後方から軸線Ｃに沿って、搬送ガスにより運ばれてきた原料粉末を、原料投入ノズル３０を通して投入し、溶融・加速して噴射ノズル２４から噴出させ、溶融した液滴Ｒを被覆対象物に吹き付ける。液滴Ｐは被覆対象物表面で急速に凝固し、皮膜を形成する。
【００４７】
通常パラメータの好ましい範囲は以下の通りである。
【００４８】
粉体の粒径：１０〜１００μｍ
プラズマガス流量：１〜２００Ｌ／ｍｉｎ
プラズマ出力：１０〜２００ｋＷ
キャリアガス流量：１〜２０Ｌ／ｍｉｎ
溶射距離：１０〜２００ｍｍ
粉体供給速度：１〜１００ｇ／ｍｉｎ
予熱（溶射前基板温度）：１０〜５００℃
原料粒子の粒径測定方法としては、一般的なレーザー回折式粒径測定装置が挙げられ、具体的には、ＨＥＬＯＳ（ＪＥＯＬ社製）、Ｍｉｃｒｏｔｒａｃ  ＨＲＡ（日機装社製）、ＳＡＬＤ−１１００（島津製作所社製）、コールターカウンター（ベックマン・コールタール社製）等が挙げられる。特に好ましくはＭｉｃｒｏｔｒａｃ  ＨＲＡである。
【００４９】
（原材料、層構成等）
蛍光体層の形成には、少なくとも前記蛍光体の微粒子が必要であり、さらに必要に応じ前記透明無機酸化物の微粒子を混合してもよい。前記成膜装置の原料粉体フィーダーを、蛍光体用と透明無機酸化物用を併設し、適宜供給原料を切り替えること等により、蛍光体層中の蛍光体分布を制御できる。透明無機酸化物は、蛍光体と適宜混合されることにより、蛍光体層中の蛍光体濃度を制御できる。最表面に透明無機酸化物だけの層を形成し、透明封止層として用いることができる。これとは逆に青色ＬＥＤ表面に透明無機酸化物だけの層を形成してもよい。また、透明無機酸化物を用いずに蛍光体だけからなる層を形成することも可能である。
【００５０】
以上の２つの方法により蛍光体層を形成したＬＥＤチップは、シリコーン樹脂等の透明樹脂またはガラス製キャップを発光チップの蛍光体成膜部分に取り付けて白色ＬＥＤを完成する。
【００５１】
本発明の白色ＬＥＤには、最大５Ｖ、３０ｍＡまでの定格直流負荷を加え発光させて白色発光を得ることができる。
【実施例】
【００５２】
以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
【００５３】
実施例
（白色発光ダイオード１の作製）
図１に示すエアロゾル・デポジション成膜装置を用いて、青色発光ダイオードＧａＮ上に黄色蛍光体と赤色蛍光体からなる蛍光体層を形成し、白色発光ダイオード１を作製した。
【００５４】
成膜手順は以下の通りとした。
【００５５】
（Ｙ，Ｇｄ，Ｃｅ）3Ａｌ5Ｏ12とＹ2Ｏ3Ｓ：Ｅｕ3+をエアロゾル化室に充填し、キャリアガスとして流速２００ｍ／ｓのＮ2ガスを用い、チャンバーの真空度は１００Ｐａ、基板温度を２０℃として、４６０ｎｍに発光ピークを有する青色発光ダイオードチップ（０．４ｍｍ角）上に吹き付けて１０μｍの成膜を行なった。さらに半円形の透明なエポキシ樹脂キャップで被覆し、白色発光ダイオード１を得た。
【００５６】
（白色発光ダイオード２の作製）
エアロプラズマ社製ＡＰＳ−７０００プラズマ溶射装置を用いて、青色発光ダイオードＧａＮ上に黄色蛍光体と赤色蛍光体からなる蛍光体層を形成し、白色発光ダイオード２を作製した。
【００５７】
成膜手順は以下の通りとした。
【００５８】
（Ｙ，Ｇｄ，Ｃｅ）3Ａｌ5Ｏ12とＹ2Ｏ3Ｓ：Ｅｕ3+をプラズマ溶射装置に充填し、酸素プラズマガス流量５０Ｌ／ｍｉｎ、プラズマ出力６０ｋＷ、粉体キャリアガス流量６Ｌ／ｍｉｎ、溶射距離６０ｍｍ、粉体供給速度２０ｇ／ｍｉｎ、予熱温度１５０℃の溶射条件で、４６０ｎｍに発光ピークを有する青色発光ダイオードチップ（０．４ｍｍ角）上に成膜した後、半円形の透明なエポキシ樹脂キャップで被覆し、白色発光ダイオード２を得た。
【００５９】
（白色発光ダイオード３の作製）
図１に示すエアロゾル・デポジション成膜装置を用いて、青色発光ダイオードＧａＮ上に黄色蛍光体と赤色蛍光体からなる蛍光体層を形成した。
【００６０】
成膜手順は以下の通りとした。
【００６１】
（Ｙ，Ｇｄ，Ｃｅ）3Ａｌ5Ｏ12とＹ2Ｏ3Ｓ：Ｅｕ3+をエアロゾル化室に充填し、キャリアガスとして流速２００ｍ／ｓのＮ2ガスを用い、チャンバーの真空度は１００Ｐａ、基板温度を２０℃として、４６０ｎｍに発光ピークを有する青色発光ダイオードチップ（０．４ｍｍ角）上に吹き付けて１０μｍの成膜を行なった。
【００６２】
次に、ＳｉＯ2をエアロゾル化室に充填し、キャリアガスとして流速３００ｍ／ｓのＮ2ガスを用い、チャンバーの真空度は１００Ｐａ、基板温度を２０℃として、前記青色ダイオードチップ上に吹き付けて５μｍの成膜を行なった。さらに半円形の透明なエポキシ樹脂キャップで被覆し、白色発光ダイオード３を得た。
【００６３】
（白色発光ダイオード４の作製）
（Ｙ，Ｇｄ，Ｃｅ）3Ａｌ5Ｏ12、Ｙ2Ｏ3Ｓ：Ｅｕ3+、エポキシ樹脂（日東電工社製、ＮＴ８０１４）及び酸無水物系硬化剤の混合液を調製した。
【００６４】
この混合液を注射器を用いて、４６０ｎｍに発光ピークを有する青色発光ダイオードＧａＮ（０．４ｍｍ角）上に５０μＬ滴下し、乾燥した後、さらに半円形の透明なエポキシ樹脂キャップで被覆して白色発光ダイオード４を得た。
【００６５】
（評価）
作製した白色発光ダイオードについて、下記のようにして半減時間及び温度特性を評価した。
【００６６】
〈半減時間〉
白色発光ダイオードを、大塚電子製ＬＥ−３４００を用いて５０℃、２０ｍＡで駆動し、初期光束の半減時間を調べた。
【００６７】
〈温度特性〉
一般に使用される白色発光ダイオードは１００〜１５０℃の温度範囲まで温度上昇する。信頼性の指標として温度特性を評価した。温度特性の評価は１００℃における初期光束を１００とした時の２００℃、３００℃における輝度を示す。
【００６８】
得られた評価の結果を表１に示す。
【００６９】
【表１】
2006313829.tif 000003
【００７０】
表より、本発明の白色発光ダイオードは比較例に比べ、長寿命で、かつ高温における輝度低下が少ないことが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明に用いられるエアロゾル・デポジション成膜装置の概略構成図である。
【図２】本発明に用いられるプラズマ溶射装置の縦断面の概略図である。
【図３】本発明の白色ＬＥＤの断面構成の１例を示す。
【符号の説明】
【００７２】
１  高圧ボンベ
２、６  配管
３、５  バルブ
４  エアロゾル化室
７  チャンバー
８  ノズル
９  ホルダー
１０、４２  基板
１１  ＸＹＺθステージ
２０  プラズマ形成手段
２１  カソードトーチ
２１ａ  陰極
２２ａ  陽極
２１ｂ、２２ｂ  補助電極
２２  アノードトーチ
２３  フレーム
２４  噴出ノズル
３０  原料投入ノズル
３１  内管
３２  外管
４１  白色ＬＥＤ
４３  電極
４４  青色ＬＥＤチップ
４５  バンプ
４６  蛍光体層
４７  封止層
Ｃ  軸線
Ｍ  主電源
Ｓ  補助電源
Ｐ  プラズマ
Ｒ  液滴
【図１】
2006313829.tif 000004
【図２】
2006313829.tif 000005
【図３】
2006313829.tif 000006