(57)【要約】 【課題】キャリア載置台にキャリアが載置される場合、正常な位置に載置されないと、キャリアの搬送ロボットや、基板搬送ロボットが正常な搬送を行えなくなるおそれがある。【解決手段】そこで本発明のキャリア載置装置１では、キャリアＣが有するピン穴６に対して嵌合するピン５を有する載置台３と、キャリアＣの所定の底面領域が上下方向において基準位置にあるかどうかを検出する第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂを有し、前記所定の底面領域が基準位置にあるとき、キャリアＣはピン５に嵌合しているとして正常に載置されている旨を報知する報知部２０を有する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
底部に凹部又は凸部からなる厳令部を有する基板収納用のキャリアを載置するキャリア載置装置において、
キャリアを載置させる載置部と、
前記載置部に設けられ、キャリア底部の凹部又は凸部に対応して厳合し、キャリアを位置決めする凸部又は凹部を有する位置決め手段と、
前記載置部にキャリアが載置された場合、キャリアが占める空間に物体があるか否かを検出する有無センサと、
前記有無センサによる検出後に、前記載置部に載置されたキャリアの上下方向における位置を検出する検出センサと、
前記検出センサの検出結果に基づいて、情報を報知する報知部とを備え、
前記報知部は、キャリアが前記載置部に載置されたときの上下方向におけるキャリアの位置を基準位置として、前記検出センサの検出結果からキャリアが上下方向において前記基準位置にあるか否かを判断し、前記有無センサが有と判断した場合、キャリアが上下方向において前記基準位置にあると前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていると正常報知し、キャリアが上下方向において前記基準位置にないと前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていないと異常報知することを特徴とするキャリア載置装置。
【請求項２】
請求項１に記載のキャリア載置装置において、
前記報知部は、前記有無センサが無と判断した場合、キャリアが上下方向において前記基準位置にあると前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていないと異常報知し、キャリアが上下方向において前記基準位置にないと前記検出センサが判断したとき、キャリアが載置されていないと報知するキャリア載置装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のキャリア載置装置において、
前記有無センサは、キャリアが占める空間に検出光を発射する投光部と、前記検出光を受光する受光部とを備えるキャリア載置装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板を収容するキャリアが載置されるキャリア載置装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を収容するキャリアとしては従来のように基板の主面を垂直にして、複数の基板を水平方向に一列に配列した状態で基板を収容する水平配列キャリアに加え、近年では基板の主面を水平にして複数の基板を垂直方向に一列に配列した状態で基板を収容する垂直配列キャリアが使用されるようになった。
【０００３】
垂直配列キャリア（以下、単にキャリアという。）を図６に示す。
【０００４】
このキャリアＣは不図示のキャリア搬送装置によって載置台９００に載置され、また持ち去られる。キャリアＣは底部に図示せぬ３つのピン穴を有し、載置台９００が有する３本のピン９０１と嵌合する。そして、前記ピン穴とピン９０１とが嵌合することでキャリアＣは載置台９００上の所定の位置に位置決めされる。
【０００５】
また、位置決めされたキャリアＣに対しては基板搬送ロボット９０２が基板Ｗを搬入、搬出する。このようにキャリアＣが載置台９００上の所定の位置に位置決めされることによって、前記キャリア搬送装置は正確にキャリアＣを保持して搬送することができる。また、基板搬送ロボット９０２も正確に基板Ｗを搬送できる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、キャリアＣが何らかの理由で正確にピン９０１に嵌合しない状態で載置台９００に載置されることがある。
【０００７】
この場合、載置台９００上でキャリアＣは所定の位置に無いので、例えばキャリア搬送装置でキャリアＣを搬出しようとしても該キャリア搬送装置はキャリアＣを正確に保持できない。
【０００８】
また、基板搬送ロボット９０２で基板を搬入または搬出する場合、該基板搬送ロボット９０２は正確に基板を搬入または搬出を行うことができず、最悪の場合は搬送ロボット９０２がキャリアＣに衝突したり、基板Ｗが破損する虞がある。
【０００９】
本発明の目的は載置台に載置されたキャリアが正常に載置されているかどうかが正確に確認できるキャリア載置装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、底部に凹部又は凸部からなる厳令部を有する基板収納用のキャリアを載置するキャリア載置装置において、キャリアを載置させる載置部と、前記載置部に設けられ、キャリア底部の凹部又は凸部に対応して厳合し、キャリアを位置決めする凸部又は凹部を有する位置決め手段と、前記載置部にキャリアが載置された場合、キャリアが占める空間に物体があるか否かを検出する有無センサと、前記有無センサによる検出後に、前記載置部に載置されたキャリアの上下方向における位置を検出する検出センサと、前記検出センサの検出結果に基づいて、情報を報知する報知部とを備え、前記報知部は、キャリアが前記載置部に載置されたときの上下方向におけるキャリアの位置を基準位置として、前記検出センサの検出結果からキャリアが上下方向において前記基準位置にあるか否かを判断し、前記有無センサが有と判断した場合、キャリアが上下方向において前記基準位置にあると前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていると正常報知し、キャリアが上下方向において前記基準位置にないと前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていないと異常報知することを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記報知部は、前記有無センサが無と判断した場合、キャリアが上下方向において前記基準位置にあると前記検出センサが判断したとき、キャリアが前記載置部に正常に載置されていないと異常報知し、キャリアが上下方向において前記基準位置にないと前記検出センサが判断したとき、キャリアが載置されていないと報知する。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、前記有無センサは、キャリアが占める空間に検出光を発射する投光部と、前記検出光を受光する受光部とを備える。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１のキャリア載置装置では、キャリア底部の凹または凸部と載置部の位置決め手段とが嵌合するように、キャリアが載置部に載置され位置決めされる。
【００１４】
キャリアが載置部に正常に載置されている場合、キャリア底部の凹部または凸部と載置部の位置決め手段とが嵌合するので、キャリアは上下方向において所定の基準位置に位置する。一方、キャリアが載置部に正常に載置されなかった場合、キャリア底部の凹部または凸部と載置部の位置決め手段とが嵌合しないので、キャリアは上下方向において所定の基準位置から外れた位置に位置する。
【００１５】
そして、有無センサは、載置部にキャリアが載置された場合、キャリアが占める空間に物体があるか否かを検出する。また、検出センサは、有無センサによる検出後に、載置部に載置されたキャリアの上下方向における位置を検出し、報知部は、この検出センサの検出結果に基づいて、情報を報知する。
【００１６】
すなわち、報知部は、有無センサが有と判断した場合、キャリアが上下方向において基準位置にあると検出センサが判断したとき、キャリアが載置部に正常に載置されていると正常報知でき、基準位置にないと検出センサが判断したとき、キャリアが載置部に正常に載置されていないと異常報知できる。これによって、載置部の載されたキャリアが正常に載置されたか否かを正確に検出できる。
【００１７】
また、請求項１のキャリア載置装置では、有無センサと検出センサと２つのセンサを備えているので、キャリアが載置部に存在しているにもかかわらず、基準位置にないと検出センサが判断しても、キャリアが載置部上にあると検出できる。これによって、少なくとも、キャリアが載置部に正常に載置されていないことを検出できる。
【００１８】
また、請求項２のキャリア載置装置では、報知部は、有無センサが無と判断した場合、キャリアが上下方向において基準位置にあると検出センサが判断したとき、キャリアが載置部に正常に載置されていないと異常報知でき、基準位置にないと検出センサが判断したとき、キャリアが載置部に載置されていないと報知できる。
【００１９】
さらに、請求項３のキャリア載置装置では、有無センサは、投光部及び受光部を備えているので、非接触でキャリアの有無を検出でき、その結果、有無センサとキャリアとの接触がなく、接触によって生じる汚染物質の発生が防止できる。また、有無センサとキャリアとが磨耗することによる有無センサの損耗を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は本発明のキャリア載置装置１を示す。
【００２１】
キャリア載置装置１はキャリアＣを載置する載置台３を有し、載置台３上の所定位置に第１ピン５ａ、第２ピン５ｂ、第３ピン５ｃが突出している。（以下、第１ピン５ａ、第２ピン５ｂ、第３ピン５ｃを総称してピン５という。）
ピン５はそれぞれ、キャリアＣの底部に設けられた第１ピン穴６ａ、第２ピン穴６ｂ、第３ピン穴６ｃと嵌合可能であって、該ピン穴と嵌合することによって、キャリアＣを位置決めする（図１では第３ピン穴６ｃのみ図示。）。なお、以下、第１ピン穴６ａ、第２ピン穴６ｂ、第３ピン穴６ｃを総称してピン穴６という。
【００２２】
また、図１のようにキャリアＣがピン５によって位置決めされたときのキャリアＣの上下方向における位置を基準位置という。さらに、基準位置にあるキャリアＣの底面の上下方向における位置を基準底面位置という。本実施形態では基準底面位置は載置台３の上面ＵＳの位置と同じである。
【００２３】
なお、キャリアＣの前面Ｆには図示はしないが基板を出し入れする開口が設けられている。
【００２４】
次に、載置台３には第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂが設けられており、キャリアＣの底面ＢＳ（後述）の上下方向の位置を検出する。
【００２５】
また、載置台３には載置台３上のキャリアＣの有無を検出する有無センサ９の投光部９ａが設けられている。投光部９ａは載置台３の上面ＵＳよりも低い位置に設けられており、キャリアＣとは非接触である。そして、投光部９ａは斜め上方に向かって検出光ＤＬ１を発射している。検出光ＤＬ１はキャリアＣが載置台３上でピン５によって位置決めされたとき、キャリアＣが占める空間ＳＰを通過している。そして、検出光ＤＬ１の延長上で、キャリアＣが占める空間ＳＰよりも外には有無センサ９の受光部９ｂが設けられている。本実施形態の有無センサ９は検出光ＤＬ１が遮られたときＯＮになる設定である。
【００２６】
次に図２に従い、ピン５について説明する。ここでは第１ピン５ａを例にして説明する。図２は図１のＳ−Ｓ断面の一部を示している。
【００２７】
図２のように第１ピン５ａは頂部が円錐状である略円柱状部材で、載置台３において鉛直方向に立設されている。そして、該第１ピン５ａはキャリアＣの底部の第１ピン穴６ａと嵌合可能となっている。
【００２８】
なお、第２ピン５ｂ、および、第３ピン５ｃは上記第１ピン５ａと同様の構造で、また、第２ピン穴６ｂ、および、第３ピン穴６ｃは第１ピン穴６ａと、同様の構造をしている。
【００２９】
次に同じく図２に従い第１正常センサ７ａについて説明する。なお、便宜上、第１正常センサ７ａのハッチングは省略している。
【００３０】
第１正常センサ７ａは上部が平面形状で、投光素子７１と受光素子７２とを有している。そして、第１正常センサ７ａはその上部の平面が載置台３の上面ＵＳよりも低い位置に配されている。投光素子７１は斜め上方に検出光ＤＬ２を発射する。また受光素子７２は投光素子７１から発射され、物体にあたって反射した検出光ＤＬ２を検出するが、特に所定距離に存在する物体から反射した検出光のみを検出するよう設定されている。
【００３１】
ここでは、基準底面位置にある底面ＢＳで反射した検出光ＤＬ２を検出したとき、第１正常センサ７ａがＯＮになるよう設定されている。
【００３２】
逆に、例えばキャリアＣが正常に置かれなかった場合、キャリアＣは第１ピン５ａと正常に嵌合しないので底面ＢＳは基準底面位置に至らず、基準底面位置よりも上方に位置してしまう。このときは前記受光素子７２は検出光ＤＬ２を検出しないので、第１正常センサ７ａはＯＦＦになる。
【００３３】
なお、後述するがキャリアＣが基準位置に到来するのは全てのピン穴６にピン５が嵌合したときであり、このとき、底面ＢＳも基準底面位置に到来する。従って、底面ＢＳが基準底面位置にあることが検出できれば、キャリアＣが載置台３上に正常に載置されていると言える。
【００３４】
なお、第２正常センサ７ｂは第１正常センサ７ａと同様の構成であって、同じく底面ＢＳが基準底面位置にあるときＯＮになるように設定されている。
【００３５】
このように第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂは検出光によって非接触でキャリアＣの底面ＢＳの上下方向の位置を検出している。このため、発塵を抑制することができ、周囲に基板に対する汚染物質を飛散させることを防止できる。
【００３６】
また、第１正常センサ７ａおよび第２正常センサ７ｂとキャリアＣとは接触しないので、第１正常センサ７ａおよび第２正常センサ７ｂの上面に傷が付いたり損耗することがない。このため検出光が良好に投光、受光される期間が非常に長くなり、第１正常センサ７ａおよび第２正常センサ７ｂの誤動作は長期にわたって抑制され、交換頻度を少なくできる。
【００３７】
次に、図３に従って第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂの載置台３における配置について説明する。図３は、載置台３の上面図である。
【００３８】
図のように第１ピン５ａ、第２ピン５ｂ、第３ピン５ｃが載置台３に設けられている。そして、第１ピン５ａ、第２ピン５ｂ、第３ピン５ｃによって位置決めされたときのキャリアＣの底面ＢＳの輪郭ＬＳが２点鎖線で示されている。
【００３９】
なお、説明の便宜上、本図では底面ＢＳを上方から透視した状態で図示している。
【００４０】
キャリアＣの底面ＢＳは輪郭ＬＳが示すように略長方形であって、基板が出し入れされる前面Ｆ側に位置する辺ＳＤ１と平行で、かつ、底面の中央ＣＰを通る第１直線Ｌ１と、該第１直線Ｌ１と直交し、かつ底面の中央ＣＰを通る第２直線Ｌ２とで４つの領域に区切ることができる。なお、ここで底面の中央ＣＰとは底面の略重心に対応する。
【００４１】
そして、前記４つの領域を、図面左上の領域を始まりに反時計回りに底面領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４と定義すると、第１正常センサ７ａは底面領域Ｒ１の上下方向の位置を検出する位置に配置され、第２正常センサ７ｂは底面領域Ｒ１とは底面の中央ＣＰに関して対称な位置にある底面領域Ｒ３の上下方向の位置を検出する位置に配置される。（領域Ｒ１，Ｒ３にはハッチングを施してある。）
具体的には第１正常センサ７ａおよび、第２正常センサ７ｂのそれぞれが発射する検出光が、底面ＢＳが基準底面位置にあるときの底面領域Ｒ１、底面領域Ｒ３に到達するよう、該第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂが配置される。
【００４２】
また、キャリアＣは底面の中央ＣＰを囲んで略二等辺３角形の頂点に配された第１ピン穴６ａ、第２ピン穴６ｂ、第３ピン穴６ｃを有し、それぞれに第１ピン５ａ、第２ピン５ｂ、第３ピン５ｃが嵌合することによって３点で位置決めされるので、第１ピン５ａ、第２ピン５ｂ、第３ピン５ｃの何れか２つが嵌合すれば残りの１つも嵌合する。これら３つのピン５が３つのピン穴６に嵌合することによってキャリアＣは基準位置に位置決めされるとともにその底面ＢＳは基準底面位置に到来する。
【００４３】
本実施形態では略四角形の底面ＢＳの中央ＣＰを挟んで対角に位置する底面領域が基準底面位置にあるかどうかを検出している。これによって、底面ＢＳ全体が基準底面位置にあるかどうかを検出でき、ひいてはキャリアＣが基準位置にあるかどうか検出できる。
【００４４】
本実施形態では第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂを、それぞれ底面領域Ｒ１、Ｒ３を検出するように配置しているが、底面領域Ｒ２，Ｒ４を検出するように配置してもよく、要は底面の中央ＣＰを中心に対角に位置する底面領域を検出すればよい。
【００４５】
なお、第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂはそれぞれ第１ピン穴６ａ、第２ピン穴６ｂ、が存在する部分以外であれば底面領域Ｒ１、Ｒ３の領域内のどの部分の上下方向の位置を検出するようにも配置できるが、本実施形態のように第１ピン穴６ａ、第２ピン穴６ｂ近傍の底面を検出する位置に配置するのが好ましい。これは、キャリアＣが正常に載置されなかった場合、ピン穴付近の底面ＢＳは他の底面ＢＳの部分に比べて基準底面位置から外れる量が多いからである。
【００４６】
次に図４に従いキャリア載置装置１のハード構成を説明する。
【００４７】
図のように第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂ、有無センサ９が報知部２０に接続されている。報知部２０は、ＣＰＵやＲＡＭ、ＲＯＭを有して各種情報を処理する情報処理部１１と、情報処理部１１からの情報を表示するディスプレイ１２と、前記情報処理部１１と外部装置１４とを接続するインターフェース１３とを有する。なお、外部装置１４としては例えば基板処理装置や基板搬送装置、キャリア搬送装置、などがある。
【００４８】
次に図５のフローチャートを用いてキャリア載置装置１の動作の一例を説明する。
【００４９】
キャリア載置装置１は起動直後、即ち図のスタートＳＳでは第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂそれぞれは検出光を発射している状態になる。また、有無センサ９も検出光ＤＬ１を発射している状態である。
【００５０】
その後、図５のステップ１に入る。ステップＳ１では外部装置１４がインターフェース１３を通じてキャリアＣの載置状態を照会してきたかどうか、情報処理部１１が判断する。照会が無い場合はステップＳ１を繰り返す。照会があった場合はステップＳ２に進む。
【００５１】
ステップＳ２では有無センサ９がＯＮになっているかどうか情報処理部１１が判断する。有無センサ９がＯＮになっていれば、載置台３にキャリアＣもしくはそれ以外の物体が存在すると判断してステップＳ３に進む。
【００５２】
ステップＳ３では第１正常センサ７ａ、および、第２正常センサ７ｂが共にＯＮかどうか判断し、ＯＮの場合はキャリアＣが正常に載置台３に載置されているものと判断してステップＳ４に進む。
【００５３】
ステップＳ４ではキャリアＣが正常に載置されたことをディスプレイ１２に表示するとともにインターフェース１３を通じてキャリアＣが正常に載置されていることを外部装置１４に報知する。
【００５４】
ステップＳ３に戻り、第１正常センサ７ａ、および、第２正常センサ７ｂが共にＯＮでは無かった場合キャリアＣが正常に載置台３に載置されていないと判断し、ステップＳ５に進む。
【００５５】
ステップＳ５での状態とは有無センサ９がＯＮになっているにもかかわらず、第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂのいずれかまたは両方がＯＦＦになっている状態であるので、載置台３上に何らかの物体が存在し、その物体が仮にキャリアＣであっても当該キャリアＣは正常に載置されているわけではないという状態であると推定される。
【００５６】
よって、キャリアＣが正常に載置されていないことをディスプレイ１２に表示し、オペレータにこの旨、報知すると共に、インターフェース１３を通じてキャリアＣが正常に載置されていないことを外部装置１４に報知する。
【００５７】
ステップＳ２に戻って、有無センサ９がＯＦＦの場合はステップＳ６に進む。ステップＳ６では第１正常センサ７ａ、および、第２正常センサ７ｂの何れかがＯＮになっているかどうか判断する。何れかがＯＮになっている場合はステップＳ７に進む。
【００５８】
ステップＳ７での状態とは、有無センサ９がＯＦＦでかつ、第１正常センサ７ａ、および、第２正常センサ７ｂの何れかがＯＮの状態である。すなわち、キャリアＣが正常に載置されていれば少なくとも有無センサ９はＯＮになるはずであるにもかかわらず、有無センサ９はＯＦＦで、第１正常センサ７ａ、および、第２正常センサ７ｂの何れかがＯＮになっているということである。従って、ここでは有無センサ９では検出できなかった物体が第１正常センサ７ａ、および、第２正常センサ７ｂの何れかで検出されていることになる。
【００５９】
よって、ステップＳ５同様、キャリアＣは正常に載置されていないことをディスプレイ１２に表示し、オペレータにこの旨、報知すると共に、インターフェース１３を通じてキャリアＣが正常に載置されていないことを外部装置１４に報知する。
【００６０】
再びステップＳ６に戻って、第１正常センサ７ａ、および、第２正常センサ７ｂの何れもＯＮになっていない場合は載置台３上に何も無い状態であるのでステップＳ８に進み外部装置１４に対してキャリアＣが載置されていないことを報知する。
【００６１】
本実施形態では第１正常センサ７ａ、第２正常センサ７ｂ、有無センサ９のすべてがＯＮとなって初めてキャリアＣが正常に載置されたと判断する。このため、キャリアＣが正常に載置されているか否かを正確に報知することができる。
【００６２】
以上、本実施形態では底部に凹部としてピン穴を有するキャリアＣを対象としているが、底部に凸部を有するキャリアの場合、載置台に該凸部と嵌合する凹部を設けて上下方向におけるキャリアの底面の位置が基準底面位置にあるかどうかを検出すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】実施の形態であるキャリア載置装置の構成を示す図である。
【図２】図１におけるＳ−Ｓ断面図である。
【図３】載置台３の上面図である。
【図４】キャリア載置装置のハード構成を示す図である。
【図５】キャリア載置装置の動作の一例を示すフロー図である。
【図６】従来のキャリア載置装置を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１    キャリア載置装置
３    載置台
５ａ  第１ピン
５ｂ  第２ピン
５ｃ  第３ピン
６ａ  第１ピン穴
６ｂ  第２ピン穴
６ｃ  第３ピン穴
７ａ  第１正常センサ
７ｂ  第２正常センサ
９    有無センサ
９ａ  投光部
９ｂ  受光部
２０  報知部
７１  投光素子
７２  受光素子
Ｌ１  第１直線
Ｌ２  第２直線
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４  底面領域
ＵＳ  上面
【図１】
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【図２】
2006313942.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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