(57)【要約】  【課題】    比較的簡素且つ低コストでありながら、例えば高画質な画像を形成できる画像形成装置を実現できるレーザビーム走査装置を提供する。  【解決手段】  圧電アクチュエータＰＺの駆動によって、円柱面状レンズ２０を副走査方向に移動させることによりポリゴンミラー６０の反射面６０ａへのレーザ光の入射位置を変化させ、それにより結像位置の変化を補正できるので、例えば画像形成装置に用いることによって高画質な画像を形成することができる。【選択図】      図１
2006113451.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、該レーザ光源からのレーザ光を感光体面上に主走査方向に走査させるポリゴンミラーと、前記レーザ光源及び前記ポリゴンミラー間に配置されレーザ光を副走査方向に集光させる円柱面状レンズと、前記ポリゴンミラー及び前記感光体面間に配置されレーザ光を前記感光体面上に集光させる走査レンズ系とを有し、前記ポリゴンミラーに対して前記走査レンズ系の光軸方向の斜め又は垂直方向からレーザ光が入射するレーザビーム走査装置において、
前記円柱面状レンズを前記ポリゴンミラーの回転に同期して副走査方向に移動させることにより、レーザ光の像面における副走査方向の光線位置を変化させる駆動手段を有することを特徴とするレーザビーム走査装置。
【請求項２】
前記駆動手段は、電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の一端に固定された駆動部材と、前記円柱面状レンズに連結され且つ前記駆動部材上に移動可能に保持された可動部材と、を有し、前記電気機械変換素子を、伸び方向と縮み方向とで速度を変えて繰り返し伸縮させることで、前記可動部材を移動させるようになっていることを特徴とする請求項１に記載のレーザビーム走査装置。
【請求項３】
前記ポリゴンミラーの回転位置を検出する検出手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザビーム走査装置。
【請求項４】
前記駆動手段は、前記ポリゴンミラーの前記レーザ光を反射する複数の面の各々に応じて、前記円柱面状レンズを所定の位置に移動させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレーザビーム走査装置。
【請求項５】
前記駆動手段は、前記ポリゴンミラーの前記レーザ光を反射する面の形状に応じて、前記円柱面状レンズを移動させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のレーザビーム走査装置。
【請求項６】
前記円柱面状レンズは複数設けられ、前記駆動手段は、複数の前記円柱面状レンズを独立して移動させることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のレーザビーム走査装置。
【請求項７】
前記レーザビーム走査装置はカラー画像形成装置に用いられることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のレーザビーム走査装置。
【請求項８】
前記円柱面状レンズをガイドするガイド部材を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のレーザビーム走査装置。
【請求項９】
前記円柱面状レンズの位置を検出する検出器を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のレーザビーム走査装置。
【請求項１０】
前記電気機械変換素子を冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項２〜９のいずれかに記載のレーザビーム走査装置。
【請求項１１】
前記電気機械変換素子を遮蔽する遮蔽部材を有することを特徴とする請求項２〜１０のいずれかに記載のレーザビーム走査装置。
【請求項１２】
前記電気機械変換素子は、圧電素子であることを特徴とする請求項２〜１１のいずれかに記載のレーザビーム走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光源からのレーザビームを走査するレーザビーム走査装置に関し、特にポリゴンミラーの倒れなどに起因した走査線曲がりを補正することができるレーザビーム走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真画像形成装置等に用いられる光走査装置では、レーザビーム走査装置を用いて、レーザ光を、回転するポリゴンミラーの各反射面で反射させて、副走査方向に移動する感光面体上で主走査方向に走査させることにより、画像の形成を行うようになっている。ここで、ポリゴンミラーは、複数の反射面を外周に有しているが、感光面体上の適切な位置にレーザ光を集光させるためには、ポリゴンミラーの各反射面を、その回転軸に対して精度良く平行に配置する必要がある。ところが、各反射面を精度良く作り込むことは極めて困難であり、そのためポリゴンミラーのコストが大きく増大する。
【０００３】
これに対し、特許文献１に開示された技術によれば、光学系を、副走査方向に関して幾何学的にほぼ共役となるようにすることで、回転多面鏡の倒れ角誤差による走査ピッチむらの発生を防止することができる。
【特許文献１】特開昭５８−１７９８１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかるに、特許文献１の技術では、光学的作用によって、レーザ光が斜め入射した場合でもビームスポット径を適切にしているが、かかる補正手法では限界があり、従ってある程度のポリゴンミラーの高精度な作り込みや、高精度の組立が必要となって、コストを抑えることができないという問題がある。
【０００５】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、比較的簡素且つ低コストでありながら、例えば高画質な画像を形成できる画像形成装置を実現できるレーザビーム走査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のレーザビーム走査装置は、レーザ光源と、該レーザ光源からのレーザ光を感光体面上に主走査方向に走査させるポリゴンミラーと、前記レーザ光源及び前記ポリゴンミラー間に配置されレーザ光を副走査方向に集光させる円柱面状レンズと、前記ポリゴンミラー及び前記感光体面間に配置されレーザ光を前記感光体面上に集光させる走査レンズ系とを有し、前記ポリゴンミラーに対して前記走査レンズ系の光軸方向の斜め又は垂直方向からレーザ光が入射するレーザビーム走査装置において、
前記円柱面状レンズを前記ポリゴンミラーの回転に同期して副走査方向に移動させることにより、レーザ光の像面における副走査方向の光線位置を変化させる駆動手段を有することを特徴とする。
【０００７】
前記ポリゴンミラーの反射面に倒れが生じていたり、その反射面の平面度が悪い場合、反射面から反射したレーザ光の集光位置は、その反射面に応じて個々に異なるものの再現性がある。そこで、本発明による前記駆動手段により、前記円柱面状レンズを前記ポリゴンミラーの回転に同期して副走査方向に移動させれば、前記円柱面状レンズを移動させない場合と比較して、レーザ光の像面における副走査方向の光線位置を変化させることができ、それにより集光位置の補正を行うことができる。従って、極めて高精度に形成されたポリゴンミラーを用いる必要はなくなりコスト低減を図ることができ、前記走査レンズ系だけでは補正しきれない走査線曲がりなどの不具合を回避できる。又、前記ポリゴンミラーの反射面の倒れなどを考慮することなく、光学系の設計を行えるので、設計の自由度が高まる。更に、レーザビーム走査装置の組立調整工程が比較的ラフでも、適切な位置へのビームスポットの集光を行えるので、組立誤差の許容度が広がり組立調整工程を容易に且つ簡略化できる。特に、カラー画像形成装置の場合、複数本のレーザ光を感光面体に照射するので、それらの結像位置ずれは直ちに色ずれを引き起こすことが多いため、組み付け誤差の低減は重要であったが、本発明のように、前記駆動手段を用いて前記円柱面状レンズを前記ポリゴンミラーの回転に同期して副走査方向に移動させることで、色ずれなどの問題を容易に解消できる。尚、「副走査方向」とは、前記ポリゴンミラーの回転によって反射したレーザ光が移動する主走査方向に交差する方向をいうものとし、ここでは前記ポリゴンミラーの回転軸線の方向をいう。
【０００８】
請求項２に記載のレーザビーム走査装置は、請求項１の発明において、前記駆動手段は、電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の一端に固定された駆動部材と、前記円柱面状レンズに連結され且つ前記駆動部材上に移動可能に保持された可動部材と、を有し、前記電気機械変換素子を、伸び方向と縮み方向とで速度を変えて繰り返し伸縮させることで、前記可動部材を移動させるようになっていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の前記駆動手段によれば、前記電気機械変換素子に対して例えば鋸歯状の波形をしたパルスなどの駆動電圧をごく短時間印加することで、前記電気機械変換素子を微少に伸長または収縮するように変形させることができるが、そのパルスの形状により伸長又は収縮の速度を変えることができる。ここで、前記電気機械変換素子を伸長または収縮方向へ速い速度で変形したとき、前記可動部材は、その質量の慣性により、前記駆動部材の動作に追随せず、そのままの位置に留まる。一方、前記電気機械変換素子がそれよりも遅い速度で反対方向へと変形したとき、前記可動部材は、その間に作用する摩擦力で駆動部材の動作に追随して移動する。したがって、前記電気機械変換素子が伸縮を繰り返すことにより、前記可動部材は一方向へ連続して移動することができる。即ち、高い応答性を有する本発明の駆動手段を用いることで、前記可動部材に連結した円柱面状レンズを高速に移動させることもでき、且つ微小量移動させることもできるので、前記ポリゴンミラーの回転に追従させることができるのである。加えて、前記円柱面状レンズは、通常の形状で足り、特に大きな加工を必要としないため、低コストで製造できる。
【００１０】
請求項３に記載のレーザビーム走査装置は、請求項１又は２に記載の発明において、前記ポリゴンミラーの回転位置を検出する検出手段を有することを特徴とするので、前記検出手段によって検出された回転位置より特定できる前記ポリゴンミラーの反射する面に応じて、前記円柱面状レンズを移動させることによって、最適な位置へとビームスポットを集光できる。
【００１１】
請求項４に記載のレーザビーム走査装置は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記駆動手段は、前記ポリゴンミラーの前記レーザ光を反射する複数の面の各々に応じて、前記円柱面状レンズを所定の位置に移動させることを特徴とするので、前記ポリゴンミラーに設けられた複数の反射する面の倒れがバラバラであったとしても、各々の倒れに応じて前記円柱面状レンズを移動させることによって、最適な位置へとビームスポットを集光できる。又、前記ポリゴンミラーに設けられた反射する面の数を任意に変更した場合も、容易に対応できる。
【００１２】
請求項５に記載のレーザビーム走査装置は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、前記駆動手段は、前記ポリゴンミラーの前記レーザ光を反射する面の形状に応じて、前記円柱面状レンズを移動させることを特徴とするので、前記ポリゴンミラーに設けられた反射する面に歪みがあった場合でも、かかる面にレーザ光が反射している間に、前記円柱面状レンズを移動させることによって、最適な位置へとビームスポットを集光できる。
【００１３】
請求項６に記載のレーザビーム走査装置は、請求項１〜５のいずれかに記載の発明において、前記円柱面状レンズは複数設けられ、前記駆動手段は、複数の前記円柱面状レンズを独立して移動させることを特徴とするので、より高精度な補正が可能となり、また画像形成速度の高速化を図ることができる。
【００１４】
請求項７に記載のレーザビーム走査装置は、請求項１〜６のいずれかに記載の発明において、前記レーザビーム走査装置はカラー画像形成装置に用いられることを特徴とする。本発明によれば、カラー画像形成装置に用いた場合、調整が容易でありながら、色ずれを効果的に抑制できる。
【００１５】
請求項８に記載のレーザビーム走査装置は、請求項１〜７のいずれかに記載の発明において、前記円柱面状レンズをガイドするガイド部材を有することを特徴とするので、前記円柱面状レンズの駆動を円滑に行うことができる。
【００１６】
請求項９に記載のレーザビーム走査装置は、請求項１〜８のいずれかに記載の発明において、前記円柱面状レンズの位置を検出する検出器を有することを特徴とするので、サーボ制御等を用いて前記円柱面状レンズを所定の位置に高精度に位置決めできる。
【００１７】
請求項１０に記載のレーザビーム走査装置は、請求項２〜９のいずれかに記載の発明において、前記電気機械変換素子を冷却する冷却手段を有することを特徴とするので、前記電気機械変換素子が発熱した場合でも、前記レーザ光源や前記走査レンズ系が熱の影響を受けることを防止できる。尚、冷却手段は、併せて前記ポリゴンミラーの駆動手段（例えばモータ）を冷却すると好ましい。
【００１８】
請求項１１に記載のレーザビーム走査装置は、請求項２〜１０のいずれかに記載の発明において、前記電気機械変換素子を遮蔽する遮蔽部材を有することを特徴とするので、前記電気機械変換素子が発熱した場合でも、前記レーザ光源や前記走査レンズ系が熱の影響を受けることを防止でき、また駆動部からの塵埃などの飛散付着を回避できる。尚、遮蔽部材は、併せて前記ポリゴンミラーの駆動手段（例えばモータ）を遮蔽すると好ましい。ここで、遮蔽とは、完全に遮蔽する場合に限らず部分的に遮蔽する場合も含む。
【００１９】
請求項１２に記載のレーザビーム走査装置は、請求項２〜１１のいずれかに記載の発明において、前記電気機械変換素子は、圧電素子であることを特徴とするので、動作精度が高く、作動音を低くでき、更にコンパクトな駆動手段を提供できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、比較的簡素且つ低コストでありながら、例えば高画質な画像を形成できる画像形成装置を実現できるレーザビーム走査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図を用いて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。図１は、画像形成装置に組み込まれると好適な、本実施の形態にかかるレーザビーム走査装置の走査光学系を示す平面図であるが、一部は簡略化して図示している。図１において、感光面体９０の面に沿った上下方向を主走査方向とし、紙面垂直方向を副走査方向とする。レーザ光源１、レーザ光源１から出射される光束の発散角を変更するコリメートレンズ１０、レーザ光を副走査方向に集光させるための円柱面状レンズ２０が光軸上に配置され、その光軸上に反射面が位置するようにポリゴンミラー６０が配置されている。更にポリゴンミラー６０とその結像面である感光体面９０との間の光軸上に、レーザ光を感光体面９０上に集光させるための走査レンズ系としてｆθレンズ７０が配置されている。尚、ｆθレンズ７０と感光体面９０との間に、第２の円柱面状レンズ（長尺レンズともいう）８０を設けることもできるが、その場合はｆθレンズ７０と長尺レンズ８０とで走査レンズ系を構成する。
【００２２】
図２は、図１に示すレーザビーム走査装置の主要部の概略斜視図である。図２において、上下に延在するハウジングＨの両端に、壁Ｗ１，Ｗ２が水平に平行して連結されている。壁Ｗ１，Ｗ２に掛け渡されるようにしてガイド軸ＧＳが、コリメートレンズ１０の光軸直交方向（ポリゴンミラー６０の回転軸線方向：副走査方向）に延在している。
【００２３】
不図示のモータにより回転駆動されるポリゴンミラー６０は、６つの（３つ以上であれば、これに限られない）反射面６０ａを有しており、また磁気パターンが形成された円盤６０ｂを同軸に取り付けている。円盤６０ｂの磁気パターンに対向して、ポリゴンミラー６０の回転位置を検出する磁気検出器５２が配置されている。検出手段としての磁気検出器５２の出力信号は、駆動回路５０Ａに入力されるようになっている。
【００２４】
一方、円柱面状レンズ２０は、レンズホルダＨＤにより外周を保持されている。可動部材となるレンズホルダＨＤは、ガイド部材であるガイド軸ＧＳに係合する係合部ＨＤａと、駆動力を受ける連結部ＨＤｂとを有している。
【００２５】
連結部ＨＤｂは駆動軸ＤＳと接するＶ溝を設けてあり、それとの間に駆動軸ＤＳを挟むようにして板ばねＳＧが取り付けられている。連結部ＨＤｂと板ばねＳＧとの間には、駆動部材である駆動軸ＤＳがガイド軸ＧＳに平行に配置され、板ばねＳＧの付勢力で適度に押圧されている。駆動軸ＤＳの一端は自由端であり、その他端は、電気機械変換素子である圧電アクチュエータＰＺに連結されている。圧電アクチュエータＰＺは、固定部Ｂｈを有し、壁Ｗ１に接着などにより固定されている。
【００２６】
ハウジングＨ上には、レンズホルダＨＤの移動量を磁気的に（又は光学的に）検出するエンコーダＥＮ（円柱面状レンズ２０の位置を検出する検出器であり、例えばガイド軸ＧＳに磁気情報を配置し、係合部ＨＤａに読み取りヘッドなどでも良い）が配置され、そこから円柱面状レンズ２０の位置に関する信号を受けた駆動回路５０Ａが、圧電アクチュエータＰＺを駆動制御するために、配線を介して電圧を印加するようになっている。圧電アクチュエータＰＺと、駆動軸ＤＳと、連結部ＨＤｂと、板ばねＳＧとで駆動手段を構成する。
【００２７】
圧電アクチュエータＰＺは、ＰＺＴ(ジルコン・チタン酸鉛)などで形成された圧電セラミックスを積層してなる。圧電セラミックスは、その結晶格子内の正電荷の重心と負電荷の重心とが一致しておらず、それ自体分極していて、その分極方向に電圧を印加すると伸びる性質を有している。しかし、圧電セラミックスのこの方向への歪みは微小であり、この歪み量により被駆動部材を駆動することは困難であるため、図３に示すように、複数の圧電セラミックスＰＥを積み重ねてその間に電極Ｃを並列接続した構造の積層型圧電アクチュエータＰＺが実用可能なものとして提供されている。本実施の形態では、この積層型圧電アクチュエータＰＺを駆動源として用いている。
【００２８】
次に、この円柱面状レンズ２０の駆動方法について説明する。一般に、積層型圧電アクチュエータＰＺは、電圧印加時の変位量は小さいが、発生力は大でその応答性も鋭い。したがって、図４（ａ）に示すように立ち上がりが鋭く立ち下がりがゆっくりとした略鋸歯状波形のパルス電圧を印加すると、圧電アクチュエータＰＺは、パルスの立ち上がり時に急激に伸び、立ち下がり時にそれよりもゆっくりと縮む。したがって、圧電アクチュエータＰＺの伸長時には、その衝撃力で駆動軸ＤＳが図２の上側（壁Ｗ２側）へ押し出されるが、円柱面状レンズ２０を保持したレンズホルダＨＤの連結部ＨＤｂと板ばねＳＧは、その慣性により、駆動軸ＤＳと一緒には移動せず、駆動軸ＤＳとの間で滑りを生じてその位置に留まる（わずかに移動する場合もある）。一方、パルスの立ち下がり時には立ち上がり時に比較して駆動軸ＤＳがゆっくりと戻るので、連結部ＨＤｂと板ばねＳＧが駆動軸ＤＳに対して滑らずに、駆動軸ＤＳと一体的に図２の下側（壁Ｗ１側）へ移動する。即ち、周波数が数百から数万ヘルツに設定されたパルスを印加することにより、レンズホルダＨＤを所望の速度で連続的に移動させることができる。尚、以上より明らかであるが、図４（ｂ）に示すように電圧の立ち上がりがゆっくりで、立ち下がりが鋭いパルスを印加すれば、レンズホルダＨＤを逆の方向へ移動させることができる。特に、ガイド軸ＧＳがまっすぐであれば、レンズホルダＨＤは光軸方向に精度良く移動することとなり、ガイド軸ＧＳを設けない場合と比較すると、円柱面状レンズ２０のティルトやシフトを抑えることができる。円柱面状レンズ２０がティルトすると、レーザビームを所望の径に絞ることができなくなったり、所望の走査位置に集光させることができなくなったり、走査線が湾曲したりする恐れがある。一方、円柱面状レンズ２０がシフトすると、所望の走査位置に集光させることができなくなったり、走査線が湾曲したりする恐れがある。ガイド軸ＧＳを設けることで、かかる不具合を効果的に抑制できる。
【００２９】
本実施の形態のレーザビーム走査装置の動作を説明すると、レーザ光源１からのレーザビームは、コリメートレンズ１０により平行光にされ、円柱面状レンズ２０によって副走査方向に集光され、回転するポリゴンミラー６０の反射面６０ａ近傍に結像され、反射面６０ａから反射したレーザ光を感光体面９０上に主走査方向に走査させる。
【００３０】
ここで、ポリゴンミラー６０の精度上の問題から、例えばポリゴンミラー６０の回転軸線に対する各反射面６０ａの倒れや、各反射面６０ａに固有の歪みなどが生じていた場合、かかる倒れや歪みは、感光体面９０上において走査線曲がりを生じさせ画質の低下を招くことになる。しかるに、このような倒れや歪みは各反射面６０ａに固有のものであり、従ってそこから反射されたレーザ光の結像位置には再現性があるから、各反射面６０ａの倒れや歪みに合わせて、反射面６０ａへの入射位置を変化させれば、走査線曲がりが生じないようにレーザ光を走査できることとなる。
【００３１】
そこで、本実施の形態では、例えば組立時に、各反射面６０ａの倒れや歪みのデータを駆動回路５０Ａ内のメモリに記憶しておくようにする。かかるレーザビーム走査装置を画像形成装置に組み込んで画像を形成する際に、図１に示すように、ポリゴンミラー６０の回転位置（角度）をセンサ５２で検出し、その回転位置信号を入力した駆動回路５０Ａが、その位置における反射面６０ａの倒れや歪みのデータに基づいて、反射したレーザ光が最適な位置に結像するように、反射面６０ａのレーザ光の入射位置を決定し、決定された入射位置にレーザ光が入射するように（すなわちポリゴンミラー６０に同期させて）、圧電アクチュエータＰＺを駆動し、レンズホルダＨＤごと円柱面状レンズ２０を適切な副走査方向位置へと平行移動させるようにしている。駆動回路５０Ａは、エンコーダＥＮからの信号を入力することで、円柱面状レンズ２０の実際の位置を検出してサーボ制御できる。
【００３２】
尚、円柱面状レンズ２０の駆動ストロークが不足する場合、或いは高速画像形成を行うような場合は、走査光学系の副走査倍率を高くすることで、円柱面状レンズ２０の単位ストローク当たりの結像位置の変化の補正効果を高めることができ、それにより発熱や騒音を抑えることができる。一方、超高画質画像を形成するような場合には、走査光学系の副走査倍率を低くすることで、円柱面状レンズ２０による結像位置の変化の補正における分解能をあげることにより、高精度な結像位置の変化の補正を実現できる。尚、同様な駆動機構を持つ円柱面状レンズ２０を２つ以上設けて、光軸方向に直列に配置し、独立して副走査方向に移動させることでも、長い駆動ストロークや高分解能の確保に有効である。
【００３３】
本実施の形態によれば、ポリゴンミラー６０の反射面６０ａの倒れや歪みに関わらず、感光面体９０上の所定位置にレーザ光を照射させることができるため、反射面６０ａの倒れや平面度に関する部品精度の許容度が広がり、ポリゴンミラー６０を低コストで製造できる。又、特許文献１のように特殊な走査光学系を必要としないので、光学設計の自由度が広がる。更に、従来においては、光学系とポリゴンミラー６０との相対位置の許容度が小さく、組み付けに手間がかかっていたが、本実施の形態によれば、ポリゴンミラー６０の組み付け誤差の許容度が大きくなり、より容易な組立が可能となる。
【００３４】
特に、カラー化のために複数の走査光学系を同時に使用したり、高速化のために複数の光源を設けるような場合、走査光学系と光源との配置関係が副走査方向にシフトする場合があるが、互いに固定した状態ではそのシフト量を適切に調整することは困難である。これに対し、駆動手段を用いて、円柱面状レンズ２０を光軸直交方向に駆動することで、副走査方向のシフト量を精度良く制御可能となる。
【００３５】
更に、本実施の形態の変形例によれば、同様な駆動手段を用いて、ポリゴンミラー６０の回転に同期して、コリメートレンズ１０を光軸方向に駆動することができ、それにより主走査方向における結像位置の変化を補正することもできる。
【００３６】
図５は、別な変形例にかかる駆動手段の概略構成図である。図５において、圧電アクチュエータＰＺは、遮蔽部材Ｓにより遮蔽されている。遮蔽部材Ｓは、吸気口ＩＮと排気口ＯＴとを有しており、吸気口ＩＮにはモータＦＭにより駆動されるファンＦが配置されている。
【００３７】
又、圧電アクチュエータＰＺを一端側で巻回するようにしてヒートパイプＨＰが設けられている。ヒートパイプＨＰの他端は、遮蔽部材Ｓの外側でペルチェ素子ＰＥＬに接触している。
【００３８】
圧電アクチュエータＰＺは駆動により発熱するが、本変形例によれば、圧電アクチュエータＰＺから生じた熱や塵埃は、遮蔽部材Ｓにより遮蔽され、例えばレーザ光源１やｆθレンズ７０（図１）に熱による悪影響を与えないようになっている。更に、吸気口ＩＮに設けられたファンＦを、モータＦＭにより駆動することで、吸気口ＩＮから取り入れた空気により、圧電アクチュエータＰＺを強制空冷することができる。遮蔽部材Ｓの内部で熱せられた空気は、排気口ＯＴより外部へ排出されるが、レーザ光源１やｆθレンズ７０から離れた位置に排出することが望ましい。尚、ポリゴンミラー６０駆動用のモータ（不図示）を一緒に遮蔽するとより好ましい。
【００３９】
又、ヒートパイプＨＰの内部の冷媒は、圧電アクチュエータＰＺ近傍でそれから加熱されると、ヒートパイプＨＰ内を通ってペルチェ素子ＰＥＬ側へと移動する。ペルチェ素子ＰＥＬによって冷却された冷媒は、再びヒートパイプＨＰ内を圧電アクチュエータＰＺ側へと移動し、そこで再加熱される。このサイクルによって、圧電アクチュエータＰＺの冷却ができる。圧電アクチュエータＰＺを支持する固定部Ｂｈを、ペルチェ素子ＰＥＬより直接冷却しても良い。尚、ファンＦと、ヒートパイプＨＰ、ペルチェ素子ＰＥＬが冷却手段を構成するが、これらは少なくとも１つが設けられていれば足り、又ポリゴンミラー６０駆動用のモータ（不図示）を一緒に冷却するとより好ましい。
【００４０】
円柱面状レンズ２０は、温度変化に対する屈折力変化が小さいガラス素材やプラスチック素材で形成すると望ましい。又、レンズホルダＨＤの素材は、その熱伝導性を考慮して選定すると好ましい。
【００４１】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、本実施の形態の駆動手段を用いて、走査レンズ系を移動させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本実施の形態にかかるレーザビーム走査装置の走査光学系を示す平面図である。
【図２】図１に示すレーザビーム走査装置の主要部の概略斜視図である。
【図３】複数の圧電セラミックスＰＥを積み重ねてその間に電極Ｃを並列接続した構造の積層型圧電アクチュエータＰＺを示す斜視図である。
【図４】圧電アクチュエータＰＺに印加される電圧パルスの波形を示す図である。
【図５】別な変形例にかかる駆動手段の概略構成図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０ コリメートレンズ
２０ 円柱面状レンズ
６０ ポリゴンミラー
７０ ｆθレンズ
８０ 長尺レンズ
９０ 感光体面
Ｂｈ 固定部
Ｃ 電極
ＤＳ 駆動軸
ＥＮ エンコーダ
Ｆ ファン
ＦＭ モータ
ＧＳ ガイド軸
ＨＤ レンズホルダ
ＨＤａ 係合部
ＨＤｂ 連結部
ＨＰ ヒートパイプ
ＩＮ 吸気口
ＯＴ 排気口
ＰＥＬ ペルチェ素子
ＰＥ 圧電セラミックス
ＰＺ 圧電アクチュエータ
Ｒ 曲率半径
Ｓ 遮蔽部材
ＳＧ 板ばね
Ｗ１，Ｗ２ 壁
【図１】
2006113451.tif 000003
【図２】
2006113451.tif 000004
【図３】
2006113451.tif 000005
【図４】
2006113451.tif 000006
【図５】
2006113451.tif 000007