(57)【要約】【課題】  発光素子パッケージ及びその製造方法を提供する。【解決手段】  ワイヤボンディングを使用せず発光素子を他の素子と電気的に連結することにより、ワイヤボンディングのための空間を縮められてパッケージのサイズを減少することができる。  また、本発明は導電性インターコネクション部を用いて、発光素子にワイヤが存在しなくて、蛍光体の均一な塗布が容易であり、垂直発光光を吸収する面積を縮めて素子の光抽出を向上させることができる。【選択図】図４
2006324667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性パッドが上部に形成された基板と、
前記基板に実装され、上部及び下部の少なくとも一つに電極パッドが形成されている発光素子と、
前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜と、
前記導電性パッドの露出された一部から前記発光素子の電極パッドの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された導電性ラインとを含んで構成された発光素子パッケージ。
【請求項２】
前記基板は非伝導性基板であり、
前記導電性パッドから離隔された非伝導性基板の上部領域に他の導電性パッドが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項３】
前記基板は伝導性基板であり、
前記導電性パッドと前記伝導性基板との間には絶縁膜がさらに介されていることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項４】
前記発光素子は、
赤色光または赤外線光を発光する素子であることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項５】
一対の導電性パッドが上部に形成された基板と、
前記基板の上部に実装され、上部に一対の電極パッドが形成されている発光素子と、
前記一対の導電性パッドそれぞれの一部及び該一対の電極パッドそれぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜と、
前記一対の導電性パッドそれぞれの露出された一部から前記一対の電極パッドそれぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された一対の導電性ラインとを含んで構成される発光素子パッケージ。
【請求項６】
前記発光素子は、
緑色または青色発光素子であることを特徴とする請求項５に記載の発光素子パッケージ。
【請求項７】
前記光透過用物質膜は、
光透過の可能な感光物質よりなることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の発光素子パッケージ。
【請求項８】
前記光透過用物質膜の内部には、
前記発光素子から放出される光を波長転換させる蛍光体が分散されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の発光素子パッケージ。
【請求項９】
前記光透過用物質膜は、
導電性パッド及び発光素子の形状に沿って形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１０】
前記光透過用物質膜は、
前記導電性パッド及び発光素子を包み、上部が平坦化されており、
前記導電性ラインは、
前記光透過用物質膜の上部から導電性パッド及び発光素子の電極パッドまでの光透過用物質膜がそれぞれ除去され形成された一対のトレンチに充填された導電性物質と、
前記一対のトレンチに充填された導電性物質を連結するように前記光透過用物質膜の上部に形成された導電層で構成されることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１１】
前記光透過用物質膜は、
前記導電性パッドから電極パッドまで最短距離に位置する領域に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１２】
前記光透過用物質膜は、
前記発光素子の一部領域にだけ形成されており、 
前記光透過用物質膜及び発光素子を包む蛍光体膜がさらに具備されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１３】
発光素子と、
前記発光素子の外部に配置され、外部電源と電気的に連結された導電性パッドと、
前記発光素子の一面または両面と前記導電性パッドとを連結する一つ以上のインターコネクション部とを含んで具備した発光素子パッケージ。
【請求項１４】
前記インターコネクション部は薄膜蒸着パターニングされることを特徴とする請求項１３に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１５】
前記インターコネクション部は、
Ag、Cu、Au、Al、Ti、Ni、Cr、Rh、Ir、Mo、W、Co、Zn、Cd、Ru、In、Os、Fe及びSnで構成された群から選択された１種以上の金属で製造されることを特徴とする請求項１３または１４に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１６】
前記インターコネクション部により発光ダイオード部の表面と導電性パッド部が連結される連結経路上に絶縁膜が形成され、前記絶縁膜上に前記インターコネクション部が形成され、インターコネクション部と連結される発光ダイオード部のコンタクト部は電気的に連結されることを特徴とする請求項１３または１４に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１７】
導電性パッドが上部に形成された基板に、上部及び下部の少なくとも一つに電極パッドが形成されている発光素子を実装する段階と、
前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包む光透過用物質膜を形成する段階と、
前記導電性パッドの露出された一部から前記発光素子の電極パッドの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って導電性ラインを形成する段階とを含んで構成される発光素子パッケージの製造方法。
【請求項１８】
前記光透過用物質膜は、
光透過用物質を前記導電性パッド及び発光素子にコーティングして膜を形成し、前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部が露出されるように、前記膜を選択的に除去する工程を行なって形成することを特徴とする請求項１７に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項１９】
前記膜は、
スプレイコーティング法で形成することを特徴とする請求項１８に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項２０】
前記光透過用物質膜を形成することは、
前記導電性パッド及び発光素子を包み、上部が平坦化された平坦膜を形成する工程と、
前記平坦膜の上部から導電性パッド及び発光素子の電極パッドまでの平坦膜がそれぞれ除去され形成された一対のトレンチを形成する工程と、
前記一対のトレンチに導電性物質を充填し、充填された導電性物質を連結する導電層を形成する工程を行なうことを特徴とする請求項１７に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項２１】
一対の導電性パッドが上部に形成された基板上部に一対の電極パッドが形成されている発光素子を接合する段階と、
前記一対の導電性パッドそれぞれの一部及び前記一対の電極パッドそれぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜を形成する段階と、
前記一対の導電性パッドそれぞれの露出された一部から前記一対の電極パッドそれぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された一対の導電性ラインを形成する段階を含んで構成される発光素子パッケージの製造方法。
【請求項２２】
前記光透過用物質膜は、
光透過の可能な感光物質よりなることを特徴とする請求項１７または２１に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項２３】
前記光透過用物質膜の内部には、 
前記発光素子から放出される光を波長転換させる蛍光体が分散されていることを特徴とする請求項１７または２１に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項２４】
前記伝導性ラインは、  
リフトオフ工程またはハードマスク工程を行なって形成することを特徴とする請求項１７または２１に記載の発光素子パッケージの製造方法。。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は発光素子パッケージ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、発光素子は基本的にｐ型とｎ型半導体の接合よりなっており、電圧を印加すれば電子と正孔の結合により半導体のバンドギャップに該当するエネルギーを光の形態に放出する一種の光電子素子(Optoelectronic device)である。 
【０００３】
前記発光素子から出力される光の量は素子に流れる電流に比例して増加する。 
【０００４】
このような発光素子は電力消費が少なく、公害物質を使用せず、色再現性に優れ寿命が数万時間以上に延び、安全性に優れた長所から研究が盛んである。
【０００５】
直接遷移型化合物半導体の３〜５族化合物または２〜６族化合物半導体物質を用いた発光ダイオードやレーザダイオードのような発光素子は薄膜成長技術及び素子材料の開発により赤色、緑色、青色及び紫外線など多様な色を具現することができる。  
【０００６】
そして、発光素子は蛍光物質を用いたり光を組み合わせて高効率の白色光源の具現が可能である。
【０００７】
このような技術の発達に背負って発光素子はディスプレイ用素子だけではなく、光通信手段の送信モジュール、ＬＣＤ(Liquid Crystal  Display)のバックライト、蛍光灯や白熱電球に置き換えられる照明装置、電光板、交通信号灯、自動車計器盤など多くの分野で使用されている。 
【０００８】
一方、発光素子のうち赤色または赤外線発光素子は使用する基板がｎ型である場合、基板上部面にｎ型層、活性層、ｐ型層が順次に積層され、基板の下部面にｎ型電極層が形成され、前記ｐ型層の上面にはｐ型電極層が形成される。 
【０００９】
前記赤色発光素子はｎ型電極層とｐ型電極層との間に順方向電圧が印加されればｎ型層を通じて電子が活性層に注入され、ｐ型層を通じて正孔が活性層に注入される。 
【００１０】
この際、前記活性層に注入された電子と正孔は互いに再結合しつつ活性層のバンドギャップまたはエネルギーレベル差に該当する光を発光するようになる。
【００１１】
前述したように赤色または赤外線発光素子はｐ型電極層とｎ型電極層が基板に対向している構造である。 
【００１２】
これによりサブマウント(Submount)やＰＣＢ(Printed Circuit Board)に接触して他の素子と電気的に連結されるためには、従来は少なくとも一つの電極はワイヤボンディングすべきであった。 
【００１３】
従って、サブマウントやＰＣＢ基板にワイヤボンディングのための一定空間を設けるべきなのでパッケージサイズが増加し、ワイヤのショート(Short)や断線によってパッケージの信頼性が低下した。 
【００１４】
このような従来の技術を図１を参照して説明する。 
【００１５】
図１は従来のワイヤボンディングを用いた発光素子パッケージの断面図であって、基板１００の上面に第１導電性パッド１１０及び第２導電性パッド１１１が相互離隔され形成されている。
【００１６】
そして、前記第１導電性パッド１１０の上面に発光素子１２０の下面に形成された第２電極層１２３がボンディングされており、前記発光素子１２０の上面に形成された第１電極層１２２と第２導電性パッド１１１がワイヤボンディングされ電気的に連結されている。
【００１７】
前記基板１００はシリコン(Si)やセラミックで製作したサブマウントを使用したり、ＰＣＢを使用する。 
【００１８】
前記第１導電性パッド１１０は前記基板１００の上面に形成される。 
【００１９】
そして、 前記第１導電性パッド１１０は前記発光素子１２０の下面に形成される第２電極層１２３と同じ極性を有する。 
【００２０】
例えば、前記発光素子１２０の下面に形成される第２電極層１２３がｎ型なら第１導電性パッド１１０はｎ型であり、発光素子１２０の下面に形成される第２電極層１２３がｐ型であれば第１導電性パッド１１０はｐ型になる。 
【００２１】
前記第２導電性パッド１１１は前記第１導電性パッド１１０と離隔されるよう前記基板１００の上面に形成される。 
【００２２】
前記発光素子１２０は前記第１導電性パッド１１０の上面にボンディングされる。 
【００２３】
図２は従来の技術により発光素子をアレイしてパッケージングした状態の断面図であって、発光素子パッケージの基板１００の上部に複数個の導電性パッド１１２a、１１２b、１１２ｃ、１１２ｄ、１１２ｅ、１１２ｆが形成されている。
【００２４】
そして、赤色発光素子１３０の下部電極１３１は導電性パッド１１２aの上部に導電性接着剤１３５でボンディングされており、前記赤色発光素子１３０の上部電極１３２は他の導電性パッド１１２ｂとワイヤボンディングされている。
【００２５】
また、緑色発光素子１４０は前記基板１００に接着剤１４５で接合されており、前記緑色発光素子１４０の上部の二つの電極１４１、１４２は二つの導電性パッド１１２ｃ、１１２ｄにワイヤボンディングされている。
【００２６】
さらに、青色発光素子１５０も前記基板１００に接着剤１５５で接合されており、前記青色発光素子１５０の上部の二つの電極１５１、１５２は二つの導電性パッド１１２ｅ、１１２ｆにワイヤボンディングされている。
【００２７】
このような発光素子パッケージは赤色、緑色と青色発光素子を基板に実装して、白色光を放出するパッケージを具現するが、ワイヤボンディングを多数回行なうようになる。
【００２８】
前述したように従来の技術の発光素子パッケージは発光素子をワイヤボンディングするための空間がさらに必要とするようになってパッケージサイズが大きくなる短所があった。
【００２９】
また、ボンディングされたワイヤが短絡される場合や断線する場合があるため、素子間の連結において信頼性が低下する。 
【００３０】
また、ワイヤボンディングを施す場合は大量生産に不向きである。 
【００３１】
一方、白色発光ダイオードを製造する方法は２種類に大別される。第１に、単一チップ形態の方法であって青色ＬＥＤチップまたはＵＶ ＬＥＤチップ上に蛍光物質を結合して白色を得る方法であり、第２に、マルチチップ形態であって２ないし３のＬＥＤチップを互いに組み合わせて白色を得る方法である。この際、単一チップ形態を用いる場合、製作された発光ダイオード上に蛍光体を塗布することが必須に求められる。 
【００３２】
図３ａ及び図３ｂは従来の技術による発光素子パッケージに蛍光体が塗布された状態を概略的に示した断面図であって、ｐ型層１５７と活性層１５６とｎ型層１５５とこの順次に積層された発光ダイオードがｐ-オーミック接触金属層１６２を介しサブマウント１６０に接合されており、前記ｎ型層１５５の上部にはｎ-オーミック接触金属層１６３が形成されている。
【００３３】
ここで、前記ｎ-オーミック接触金属層１６３には発光ダイオードに電流を提供するためのワイヤ１５９がボンディングされている。
【００３４】
この際、図３ａ及び図３ｂのように、蛍光体は発光ダイオードとワイヤ１５９の一部を包みながら塗布される。 
【００３５】
一般に、蛍光体薄膜を形成するためには塗布する素子の上部に凹凸部分のないのが望ましいが、前述した従来の技術の図３ａ及び図３ｂのような発光素子パッケージは発光ダイオードの上部にワイヤがボンディングされていて、ワイヤに損傷を与えず蛍光体を塗布するのが容易でない。 
【００３６】
また、ワイヤボンディングするためにはボンディングパッドのパターン面積を考慮して素子を製作するが、このようなボンディングパッドとワイヤで構成されるワイヤボンディング部を発光ダイオードの上部に配置されれば、垂直発光面積を遮るようになる短所がある。 
【００３７】
すなわち、ワイヤボンディングのためには約０．１×０．１ｍｍ２の面積が求められるが、０．３×０．３ｍｍ２チップでは発光面積の１/９との面積を遮るようになる。
【００３８】
さらに、高出力発光ダイオードに行くほどチップ全面積を大きく製作する傾向であり、必要に応じては電気的抵抗を減らすためにオーミック金属パッドの数を増加させることもできる。 
【００３９】
勿論、高出力発光ダイオードは高い電流で駆動されるため熱蓄積を防ぐためには直列抵抗が小さくなるべきであり、またオーミック接触金属の厚さを厚くすることによって電圧降下を防止して発光効率を向上させることができる。 
【００４０】
しかし、金属を厚く蒸着するのに限界があるのみならず、オーミック接触金属内における電圧降下による発光ダイオードの性能低下を防止するためには発光ダイオードの上部に配置されるワイヤボンディングパッド面積が増加するので、結局発光ダイオードの垂直発光面積を減少させるようになる問題点が発生する。 
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００４１】
本発明は前述した問題点を解決するための案出されたもので、その目的は、ワイヤボンディングを使用せず発光素子を他の素子と電気的に連結することにより、ワイヤボンディングのための空間を縮められてパッケージのサイズを縮めることができ、ワイヤボンディングにより招かれる断線や短絡を防止してパッケージの信頼性を向上させられる発光素子パッケージ及びその製造方法を提供するところにある。
【００４２】
本発明の他の目的は、発光素子が実装された基板に光透過用物質膜がコーティングされ、発光素子を保護できる追加のパッシベーション(Passivation)膜を必要とせず、ワイヤボンディングを必要としなくて製造コストを節減することができ、大量生産の可能な発光素子パッケージ及びその製造方法を提供するところにある。
【００４３】
本発明のさらに他の目的は、導電性インターコネクション部を用いて、発光素子にワイヤが存在しなくて、蛍光体の均一な塗布が容易であり、垂直発光光を吸収する面積を縮めて素子の光抽出を向上させられる発光素子パッケージ及びその製造方法を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【００４４】
前述した本発明の目的を達成するための望ましい第１様態は、導電性パッドが上部に形成された基板と、前記基板に実装され、上部及び下部の少なくとも一つに電極パッドが形成されている発光素子と、前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜と、前記導電性パッドの露出された一部から前記発光素子の電極パッドの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された導電性ラインを含んで構成された発光素子パッケージが提供される。
【００４５】
前述した本発明の目的を達成するための望ましい第２様態は、一対の導電性パッドが上部に形成された基板と、前記基板の上部に実装され、上部に一対の電極パッドが形成されている発光素子と、前記一対の導電性パッドそれぞれの一部及び前記一対の電極パッドそれぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜と、前記一対の導電性パッドそれぞれの露出された一部から前記一対の電極パッドそれぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された一対の導電性ラインを含んで構成された発光素子パッケージが提供される。
【００４６】
前述した本発明の目的を達成するための望ましい第３様態は、発光素子と、該発光素子の外部に配置され、外部電源と電気的に連結された導電性パッドと、前記発光素子の一面または両面と前記導電性パッドを連結する一つ以上のインターコネクション部とを含んで具備した発光素子パッケージが提供される。
【００４７】
前述した本発明の目的を達成するための望ましい第４様態は、導電性パッドが上部に形成された基板に、上部及び下部の少なくとも一つに電極パッドが形成されている発光素子を実装する段階と、前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包む光透過用物質膜を形成する段階と、前記導電性パッドの露出された一部から前記発光素子の電極パッドの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って導電性ラインを形成する段階とを含んで構成される発光素子パッケージの製造方法が提供される。
【００４８】
前述した本発明の目的を達成するための望ましい第５様態は、一対の導電性パッドが上部に形成された基板の上部に一対の電極パッドが形成されている発光素子を接合する段階と、前記一対の導電性パッドそれぞれの一部及び前記一対の電極パッドそれぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜を形成する段階と、前記一対の導電性パッドそれぞれの露出された一部から前記一対の電極パッドそれぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された一対の導電性ラインを形成する段階とを含んで構成される発光素子パッケージの製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００４９】
以上述べたように、本発明はワイヤボンディングを使用せず発光素子を他の素子と電気的に連結することによって、ワイヤボンディングのための空間を縮めてパッケージのサイズを縮小することができる。
【００５０】
また、本発明はワイヤボンディングにより招かれる断線や短絡を防止してパッケージの信頼性を向上させられる。
【００５１】
さらに、発光素子が実装された基板に光透過用物質膜がコーティングされ、発光素子を保護することができる追加のパッシベーション膜を必要とせず、ワイヤボンディングを不要として製造コストを節減することができ、大量生産が可能な効果を奏でる。
【００５２】
かつ、本発明は導電性インターコネクション部を用いて発光素子にワイヤが存在しなくて、蛍光体の均一な塗布が容易であり、垂直発光光を吸収する面積を縮めて素子の光抽出をアップすることができる。            
【発明を実施するための最良の形態】
【００５３】
以下、添付した図面に基づき本発明の望ましい実施例を詳述する。
【００５４】
図４は本発明の第１実施例による発光素子パッケージの概略的な断面図であって、発光素子パッケージは導電性パッド２１０が上部に形成された基板２００と、該基板２００に実装され、上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００と、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出させ、前記導電性パッド２１０及び発光素子３００を包んでいる光透過用物質膜４００と、前記導電性パッド２１０の露出された一部から前記発光素子３００の電極パッド３０１の露出された一部まで前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成された導電性ライン５００とを含んで構成される。
【００５５】
ここで、前記光透過用物質膜４００は光が透過できる感光物質よりなることが望ましい。
【００５６】
この感光物質は赤色または赤外線を吸収せず、ほとんど全ての光を透過する感光物質が望ましく、この感光物質は耐熱性及び耐化学性に優れたＳＵ-８ポリマーを使用するのが望ましい。
【００５７】
そして、前記光透過用物質膜４００の内部には前記発光素子３００から放出される光を波長転換させる蛍光体を分散させることもできる。
【００５８】
この場合、前記発光素子から放出される光と蛍光体で波長転換された光を混色させ白色光源を具現できるようになる。
【００５９】
また、前記上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００は赤色または赤外線発光素子が望ましい。
【００６０】
一方、前記発光素子３００は前記基板２００に接着剤３１０で実装されており、その接着剤は導電性ペーストまたはソルダ金属が望ましい。
【００６１】
そして、前記基板２００はシリコン(Si)物質のような半導体よりなる半導体基板、非伝導性基板と金属のような伝導性物質よりなる伝導性基板を使う。 
【００６２】
また、発光素子３００は第１極性を有する半導体層、活性層と第１極性と逆極性を有する半導体層を含んで構成された発光ダイオードが望ましい。
【００６３】
また、前記光透過用物質膜４００は前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出させ、図４に示したように、前記導電性パッド２１０及び発光素子３００を完全に包む構造で形成でき、または前記導電性パッド２１０から電極パッド３０１まで最短距離に位置する領域にだけ形成されうる。
【００６４】
両者はそれぞれ長所を有するので自由自在に設計が可能である。
【００６５】
さらに、前記光透過用物質膜４００は前記発光素子３００の一部領域にだけ形成され、前記光透過用物質膜４００及び発光素子３００を包む蛍光体膜がさらに具備されることも望ましい。 
【００６６】
図５は本発明の第１実施例により非伝導性基板が適用された発光素子パッケージの断面図であって、図４の構造において基板を図５のような非伝導性基板２０１で構成すれば、発光素子パッケージは前記発光素子３００の電極パッド３０１と導電性ライン５００で連結されている導電性パッド２１０から離隔された非伝導性基板２０１の上部領域に他の導電性パッド２１１が形成されており、この他の導電性パッド２１１に前記発光素子３００の下部に形成された電極パッド３０２が導電性接着剤３１１で接着されている構造になる。
【００６７】
図６は本発明の第１実施例により伝導性基板が適用された発光素子パッケージの断面図であって、図４の構造において基板を伝導性基板２０２で構成すれば、発光素子パッケージは発光素子３００の電極パッド３０１と導電性ライン５００で連結された導電性パッド２１０と伝導性基板２０２との間に絶縁膜２５０が介されており、前記発光素子３００の下部に形成された電極パッド３０２が導電性接着剤３１１で伝導性基板２０２に接着されている構造になる。
【００６８】
図７ａないし図７ｃは本発明の第１実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図であって、まず導電性パッド２１０が上部に形成された基板２００に、上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００を実装する(図７ａ)。
【００６９】
その後、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出させ、前記導電性パッド２１０及び発光素子３００を包む光透過用物質膜４００を形成する(図７ｂ)。
【００７０】
後述したように、前記光透過用物質膜４００は光透過用物質を前記導電性パッド２１０及び発光素子３００にコーティングして膜(Film)を形成し、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部が露出されるように、前記膜を選択的に除去する工程を行なって形成する。
【００７１】
引き続き、前記導電性パッド２１０の露出された一部から前記発光素子３００の電極パッド３０１の露出された一部まで前記光透過用物質膜４００の表面に沿って導電性ライン５００を形成する(図７ｃ)。  
【００７２】
ここで、前記導電性パッド２１０の露出された一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の露出された一部を導電性物質を用いて連結すれば、導電性ライン５００が形成される。
【００７３】
前記導電性ライン５００は均一な厚さを有し連結されてこそ内部抵抗などの面で誤差を減少させることができる。 
【００７４】
従って、リフトオフ(Lift-off)方式やハードマスク(Hard mask)方式を使用して導電性パッド２１０と発光素子３００の電極パッド３０１を導電性物質に連結する。 
【００７５】
前記リフトオフ方式は光透過用物質膜４００が感光物質の場合、導電性物質を光透過用物質膜４００に蒸着した後、適宜な液体溶媒を使って光透過用物質膜を選択的に食刻させると、光透過用物質膜が食刻された導電性物質がリフトオフされ除去される。 
【００７６】
従って、前記リフトオフ方式によって、導電性パッド２１０と発光素子３００の電極パッド３０１は導電性物質で連結される。  
【００７７】
また、前記ハードマスク方式は導電性パッド２１０と発光素子３００の電極パッド３０１を導電性物質で連結できるように一定した型を形成した後、前記形成された型に導電性物質を噴射する。 
【００７８】
前記噴射によって、導電性パッド２１０と発光素子３００の電極パッド３０１は導電性物質に連結される。  
【００７９】
図８ａ及び図８ｂは本発明により光透過用物質膜を形成するための一例の工程断面図であって、前述した図７ｂのような光透過用物質膜４００を形成するためには、まず前記導電性パッド２１０及び発光素子３００を包み基板２００の上部に光透過用物質をコーティングする。
【００８０】
前記光透過用物質がコーティングされた膜をコーティング膜４１０と定義する。
【００８１】
そして、光透過用物質をコーティングする時、図８ａに示したようなスプレイコーティング法を使う。
【００８２】
前記スプレイコーティング法は基板の段差が高い場合に均一にコーティングできる方法である。
【００８３】
すなわち、基板２００に発光素子３００がボンディングされれば、発光素子３００がボンディングされた部分は発光素子３００がボンディングされない部分に比べて高さの差が著しく高い。 
【００８４】
従って、基板２００の前面に光透過用物質を均一にコーティングすることは相当に困難であるが、スプレイコーティング法は段差の差が著しい構造に光透過用物質を均一な厚さでコーティングできて内部抵抗などの面で誤差を減少させることができる。
【００８５】
その後、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出されるように、前記コーティング膜４１０をパターニングする(図８ｂ)。
【００８６】
従って、図８ａ及び図８ｂの工程において、図７ｂのような光透過用物質膜４００が形成される。
【００８７】
一方、前記パターニングは写真食刻工程を用いることが望ましい。
【００８８】
この際、前記光透過用物質膜４００が感光物質なら、写真食刻工程をさらに容易に行なえる。 
【００８９】
例えば、感光物質の上面にマスク(Mask)を形成して光を投射させた後、感光物質の特性により光が投射された部分または光が投射されない部分をアセトンなどの物質を用いると容易に除去できるようになる。 
【００９０】
すなわち、食刻により、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出される。
【００９１】
図９ａ及び図９ｂは本発明により光透過用物質膜を形成するための他の例の工程断面図であって、前述された図８ａのように導電性パッド及び発光素子の形状に沿って光透過用物質膜を形成することができるが、他の方法として、導電性パッド２１０及び発光素子３００を包み、上部が平坦化された平坦膜を形成すれば導電性ラインを形成し易い。
【００９２】
すなわち、この方法はまず図７ａの工程後、導電性パッド２１０及び発光素子３００を包み、上部が平坦化された光透過用物質膜４００を形成する(図９ａ)。
【００９３】
その後、前記光透過用物質膜４００の上部から導電性パッド２１０及び発光素子３００の電極パッド３０１までの光透過用物質膜４００がそれぞれ除去され形成された一対のトレンチ４０１、４０２を形成した後、前記一対のトレンチ４０１、４０２に導電性物質５１１、５１２を充填し、充填された導電性物質５１１、５１２を連結する導電層５１３を形成する工程を行なう(図９ｂ)。
【００９４】
従って、前記導電性ラインは、光透過用物質膜４００の上部から導電性パッド２１０及び発光素子３００の電極パッド３０１までの光透過用物質膜４００がそれぞれ除去され形成された一対のトレンチ(Trench)４０１、４０２に充填された導電性物質５１１、５１２と、前記一対のトレンチ４０１、４０２に充填された導電性物質５１１、５１２を連結するように前記光透過用物質膜４００の上部に形成された導電層５１３で構成される。
【００９５】
図１０は本発明の第２実施例による発光素子パッケージの概略的な断面図であって、第２実施例における発光素子パッケージは一対の導電性パッド２１０が上部に形成された基板２００と、前記基板２００の上部に実装され、上部に一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている発光素子３５０と、前記一対の導電性パッド２１０、２１１それぞれの一部及び前記一対の電極パッド３５１、３５２それぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド２１０、２１１及び発光素子３００を包んでいる光透過用物質膜４００と、前記一対の導電性パッド２１０、２１１それぞれの露出された一部から前記一対の電極パッド３５１、３５２それぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成された一対の導電性ライン５００を含んで構成される。
【００９６】
ここで、前記基板２００が導電性基板なら、前記導電性パッド２１０、２１１と基板２００との間には絶縁膜が介される。
【００９７】
そして、前記発光素子は緑色または青色発光素子であることが望ましい。
【００９８】
図１１ａないし図１１ｃは本発明の第２実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図であって、図１１aに示したように、一対の導電性パッド２１０が上部に形成された基板２００の上部に一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている発光素子３５０を接合する。
【００９９】
その後、前記一対の導電性パッド２１０、２１１それぞれの一部及び前記一対の電極パッド３５１、３５２それぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド２１０、２１１及び発光素子３００を包んでいる光透過用物質膜４００を形成する(図１１ｂ)。
【０１００】
最後に、前記一対の導電性パッド２１０、２１１それぞれの露出された一部から前記一対の電極パッド３５１、３５２それぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成された一対の導電性ライン５００を形成する(図１１ｃ)
図１２は本発明により発光素子をアレイしてパッケージングした状態の断面図であって、上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている複数個の発光素子３００ａ、３００ｂが基板２００の上部に存する複数個の導電性パッド２１３ｂ、２１３ｃに対応して接合されている。
【０１０１】
この際、一つの導電性パッド２１３ａでは発光素子３００が接合されておらず、導電性パッド２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃの一部と発光素子３００それぞれの上部に存する電極パッド３０１、３０５の一部を露出させる光透過用物質膜４００が導電性パッド２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃと発光素子３００を包んでいる。
【０１０２】
そして、発光素子３００が接合されていない導電性パッド２１３ａで隣り合う発光素子３００ａの電極パッド３０１を連結する導電性ライン５２１が前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成されており、前記発光素子３００ａが接合された電極パッド２１３ｂで他の発光素子３００ｂの電極パッド３０５を連結する導電性ライン５２２が前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成されている。
【０１０３】
従って、二つの発光素子がワイヤボンディング方式を使用せず、直列に連結されているパッケージを具現することができる。
【０１０４】
図１３は本発明により発光素子をアレイして白色光源を具現したパッケージの断面図であって、基板２００の上部に、上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている一つの発光素子３００を第１実施例のようにパッケージングする。
【０１０５】
そして、上部に一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている二つの発光素子３５０を第２実施例のようにパッケージングする。
【０１０６】
前記上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００は赤色発光素子であり、上部に一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている発光素子３５０は緑色と青色発光素子である。
【０１０７】
したがって、基板上部に赤色、緑色と青色発光素子を実装し、これら発光素子をワイヤボンディングせず電気的に連結させ白色光を放出させられるパッケージを具現できる。 
【０１０８】
図１４は本発明により発光素子をアレイして白色光源を具現したパッケージの他の断面図であって、基板２００の上部に六つの導電性パッド２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆが形成されており、二つの導電性パッド２１４ａ、２１４ｂを用いて、基板２００の上部に上部及び下部のそれぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００を実装しワイヤボンディングせずパッケージングする。
【０１０９】
残り４つの導電性パッド２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆに一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている二つの発光素子３５２、３６０をフリップチップ(Flip chip)ボンディングする。
【０１１０】
従って、三つの発光素子はワイヤを使用せずパッケージングされており、フリップチップボンディングされた二つの発光素子３５２、３６０それぞれが緑色と青色発光素子であり、フリップチップボンディングされない発光素子３００が赤色発光素子なら、白色光を放出させられるパッケージを具現することができる。
【０１１１】
後述する実施例は本発明の第３実施例であって、発光素子と、該発光素子の外部に配置され、外部電源と電気的に連結された導電性パッドと、前記発光素子の一面または両面と前記導電性パッドとを連結する一つ以上のインターコネクション部を含んで具備した発光素子パッケージ及びその製造方法について説明する。
【０１１２】
勿論、本発明の第３実施例もワイヤボンディングなしにパッケージが製造されるものである。
【０１１３】
図１５は本発明の第３実施例による発光素子パッケージに蛍光体をスクリーンプリンティングする状態を示した概略的な断面図であって、基板に複数個の発光素子が実装されており、この発光素子と導電性パッドをインターコネクション部７１７に連結したパッケージを構成すれば、図１５に示したように蛍光体７１８をスクリーンプリンティングして一気に塗布可能なので製作コストを節減することができ、大量生産が可能な長所がある。
【０１１４】
そして、図１５の符号‘７１９’は透明絶縁膜であって、本発明の第１実施例及び第２実施例において記載された光透過用物質膜と同一な物質であるか、あるいは別の物質で作る。
【０１１５】
また、本発明の第３実施例における透明絶縁膜で、実際肉眼で透明で光が透過できる絶縁物質で形成することが望ましい。
【０１１６】
さらに、本発明の第３実施例では、図１５に示したように、透明絶縁膜が発光素子の上部電極であるｎ-オーミック接触金属７１３の一部から基板７１０の上部に存するｎ型導電性パッド７１５まで発光素子の側面と基板７１０の上部に存する絶縁膜７２０の形状に沿って形成されている。
【０１１７】
図１６は本発明の第３実施例による他の発光素子パッケージの断面図であって、基板である基板７３０の一平面上に形成された絶縁膜７２０上に一対の導電性パッド、例えばｎ型導電性パッド７１５とｐ型導電性パッド７１６が存在し、前記ｐ型導電性パッド７１６上には発光ダイオードのｐ型層、活性層、ｎ型層が順次にスタック構造で形成される。 
【０１１８】
この際、ｐ型層に隣接した面にはｐ-オーミック接触金属７１２層が接合される。 
【０１１９】
前記発光ダイオードを搭載する基板としては当業界によく知られている通常の基板７３０が使用可能であり、この基板の材料はＣｕＷ、Ｓi、ＡｌＮセラミック、Ａｌ２Ｏ３セラミックなどで構成することができる。 
【０１２０】
基板のサイズは発光ダイオードより大きいか発光ダイオードがサファイア基板上に成長された場合、サファイア基板より大きいか等しいものが適用可能である。
【０１２１】
前記発光ダイオードは当業界における公知の通常のIII-Ｖ族化合物を使って、図１５に示したように、ｐ型層７０７、活性層７０６とｎ型層７０５を順次に積層して形成でき、これらの非制限的な例としてはGaAs、GaP、GaN、InP、InAs、InSb、GaAIN、InGaN、InAlGaNまたはこれらの混合物などがある。 
【０１２２】
前記ｐ型層及びｎ型層はそれぞれｐ型及びｎ型ドーパントがドーピングされていなくても良いが、可能ならドーピングされているのが望ましい。 
【０１２３】
また、活性層は単一量子ウェル構造または多重量子ウェル構造(multiple quantum well:MQW)でありうる。 
【０１２４】
前述したｐ型層、活性層、ｎ型層以外に、他のバッファ層を含むこともできる。 
【０１２５】
前記III-Ｖ族化合物の成分を調節することにより長波長から単波長までの発光ダイオードを自由に製作でき、これを通じて４６０ｎｍを有する青色窒化物系発光ダイオードに限らず全ての発光ダイオードに適用できる。 
【０１２６】
発光ダイオードの最上層に蒸着されたｎ-オーミック接触金属７１３と発光ダイオードの外部に位置したｎ型導電性パッド７１５の連結経路には絶縁膜を形成し、この絶縁膜の上層にはｎ-オーミック接触金属７１３とｎ型導電性パッド７１５を電気的に連結するインターコネクション部が形成される。 
【０１２７】
このような一対の導電性パッド７１５、７１６は全て外部電源であるリードフレームと電気的に連結される。
【０１２８】
前述したように構成された発光素子パッケージは下記のような原理により作動できる。
【０１２９】
すなわち、外部電源と連結されたワイヤ７０９を介して一対の導電性パッド７１５、７１６の間に特定電圧が印加されると、オーミック接触金属７１３、ｎ型層を通じて陰極が連結され、ｐ型導電性パッド７１６、ｐ-型オーミック接触金属７１２、ｐ型層を通じて陽極が連結され電流が注入される。 
【０１３０】
これにより活性層では電子と正孔が互いに再結合しつつ活性層のバンドギャップまたはエネルギーレベル差に該当するほどのエネルギーを有する光を発光するようになる。 
【０１３１】
一方、図１７、図１８ａないし図１８ｄを参照して本発明に係る発光ダイオードにおけるインターコネクション部７１７と前記インターコネクション部と連結される接続部分、例えばｎ-オーミック接触金属７１３、ｎ型導電性パッド７１５、ｐ型導電性パッド７１６の配置を具体的に説明する。 
【０１３２】
図１７はワイヤ７１９ボンディング部が発光ダイオードの上部に存在する従来の発光ダイオードの平面図である。 
【０１３３】
前述したように発光ダイオードの上部に存在するワイヤボンディング部によって垂直発光面積が一部遮られる問題点を示すことが分かる。 
【０１３４】
一方、図１８ａないし図１８ｄは本発明に係る導電性パッドと発光ダイオードの表面、望ましくは導電性パッドと発光ダイオードの上部のオーミック接触金属７１３層がインターコネクション部７１７を通じて電気的に連結されたことを示した図である。 
【０１３５】
実際に、導電性パッドが発光ダイオードの外部に位置することによって垂直発光面積の最小化を図ることができ、またインターコネクション部の個数、位置などを調節して製造工程上の容易性及び光抽出効率の増大などを具現できると予測可能である。これらに対する詳細な説明は下記の通りである。 
【０１３６】
図１８ａは本発明の第３実施例により導電性パッド部が発光ダイオードの外部に配置された場合を示す発光ダイオード素子の上部平面図であって、互いに連結されない二つのパターンでオーミック接触金属をｎ型層７０５の上部に蒸着した後、オーミック接触金属と導電性パッドとを連結するインターコネクション部７１７の連結経路上に透明絶縁膜７１９を載置し、その上に各パターンのオーミック接触金属にインターコネクション部７１７を両側にインターコネクション部７１７を配置した場合を示す。  
【０１３７】
ここで、前記インターコネクション部７１７に連結される導電性パッドは図１８ａのｎ型導電性パッドであり、図１８ａの７１０は基板であり、７１６はｐ型導電性パッドである。
【０１３８】
この際、ワイヤ７０９の幅が２５μｍ程度であり、ワイヤボンディング時生成されるボール(ball)直径が１００μｍ程度なら、前記ボールが生成される導電性パッド、例えばｎ-パッド７１５のサイズは少なくとも１００×１００μｍになるべきである。 
【０１３９】
もし、従来の技術のように、ワイヤボンディング部が発光ダイオードの 上部に存在するとすれば、最小１００×１００μｍ程度の面積が垂直発光を遮断するようになることに比べ、本発明のインターコネクション部７１７を用いた発光ダイオードはそれより遥かに小さい面積が消耗されるので遮光する領域も減少するようになる。 
【０１４０】
図１８ｂは本発明の変形例であって、互いに連結されない二つのパターンでオーミック接触金属をｎ型層７０５の上部に蒸着した後、前記オーミック接触金属層と導電性パッドとを連結するインターコネクション部７１７の連結経路上に透明絶縁膜７１９を載置し、その上に各パターンのオーミック接触金属層に一方にインターコネクション部７１７を配置した場合の平面図である。 
【０１４１】
前述したように導電性パッドを両側ではなく一方に配置すれば、導電性パッドと単位チップ配置工程において空間上マージン(margin)を大幅に縮めることができるので作業を容易化が可能である。 
【０１４２】
また、一つのインターコネクション部７１７を使うと、ｎ-オーミック接触金属７１３の抵抗が大きい場合電圧降下によって光が不均一に分布されることに比べて、多数個のインターコネクション部７１７を使用することによって、これを防止する効果を奏でる。 
【０１４３】
図１８ｃは本発明の他の変形例であって、一つのパターンでオーミック接触金属層をｎ型層７０５の上部に形成し、前記オーミック接触金属層と一つのインターコネクション部７１７だけを形成する場合の上部平面図である。
【０１４４】
発光ダイオードの上部面積が小さい場合はインターコネクション部７１７の個数を減らして遮る面積を縮めることが有利なので、ｎ-オーミック接触金属７１３を十分厚く蒸着して素子を駆動すべきである。 
【０１４５】
そのため、ｎ-オーミック接触金属７１３が全て連結されているべきである。
【０１４６】
また金属自体の抵抗が小さい時電圧降下が小さく、よって所望の電流で素子を駆動できるためｎ-オーミック接触金属７１３は十分に厚く蒸着されるべきである。 
【０１４７】
しかし、高出力発光ダイオードにいくほど上部面積が大きくなるため、ｎ-オーミック接触金属７１３を幾ら厚く蒸着しても一つのインターコネクション部７１７だけを用いて駆動するには電圧降下の防止に限界がある。 
【０１４８】
従って、インターコネクション部７１７の個数を二つ以上に形成し、上部面積を最大限小さく遮るようにインターコネクション部７１７とｎ-オーミック接触金属７１３を配置するのが望ましい。
【０１４９】
図１８ｄは本発明のさらに他の変形例であって、オーミック接触金属蒸着前に前記オーミック接触金属層と導電性パッドを連結するインターコネクション部の連結経路上に透明絶縁膜７１９を載置した後インターコネクション部７１７とオーミック接触金属層を同時に形成させた場合の平面図である。このようにインターコネクション部７１７とオーミック接触金属層を同時に形成させると、工程段階を簡素化できるため費用節減の効果を奏でる。
【０１５０】
ここで、前記オーミック接触金属層は図１８ｄにおいてｎ型オーミック接触金属である７１３を意味する。
【０１５１】
本発明の第３実施例による発光素子パッケージは製造方式、出力方式、発光波長範囲に限られない。 
【０１５２】
従って、本発明の発光素子パッケージは多様な方式により製造できるが、本発明の第３実施例による発光素子パッケージの製造方法は、(ａ)基板上に一つ以上の導電性パッドを形成する段階と、(ｂ) 前記基板上に製作された発光ダイオードを接合する段階と、(ｃ)前記発光ダイオードの一面または両面と導電性パッドを電気的に連結させる導電性インターコネクション部を一つ以上形成する段階を含むことができる。
【０１５３】
まず、１)サブマウントなどのような基板上に一つ以上、望ましくは二つ以上の導電性パッドを適切な位置を選定して接合または蒸着させる。 
【０１５４】
２) その後、サファイア基板などのような第１基板上にｎ型層、活性層、ｐ型層が積層された発光ダイオードを前記第２基板上に接合させる。 
【０１５５】
この際、低出力用発光ダイオードの場合第１基板が第２基板と隣接して前記発光ダイオード部の積層順序のまま接合される。
【０１５６】
そして、高出力用またはレーザリフトオフ方式の発光ダイオード素子の場合発光ダイオード部をひっくり返した状態、すなわち発光ダイオード面を第２基板の前面に接合するようになる。
【０１５７】
また、低出力用発光ダイオード素子の場合前記発光ダイオード部が第１基板、例えばサファイア基板上に成長された状態に接合され、レーザリフトオフ方式の発光ダイオード素子の場合サファイア基板上に成長された発光ダイオード部が逆順に接合された後レーザ照射により前記サファイア基板が分離された。 
【０１５８】
従って、最終発光ダイオード素子内にはサファイア基板が存在しなくなる。
【０１５９】
発光ダイオードを第２基板に接合時使用可能な物質はそれを通じて発光ダイオードに電流を供給し発光ダイオードから発生する熱を容易に放出すべきなので、３００℃以下の低温で接合が容易な物質を制限なく使用することができる。その非制限的な例としてはＡｕＳｎ、ＡｇＳｎ、ＰｂＳｎ、Ｓｎはペースト(silver paste)などがある。 
【０１６０】
３) 前述したように第２基板の同一平面上に存在する発光ダイオードの一面または両面、望ましは発光ダイオードの表面に形成されたオーミック接触金属層と導電性パッドを電気的に連結させるため、薄膜蒸着パターニングにより伝導性金属よりなる一つ以上のインターコネクション部を形成する。 
【０１６１】
参考に、前記インターコネクション部を形成する前、インターコネクション部と同一な連結経路上に透明性絶縁膜を形成し、この絶縁膜の幅はインターコネクション部の幅以上であることが適切である。 
【０１６２】
この際、前記発光ダイオードの表面は全反射角度を高めて多量の光が脱出できるように表面に凹凸を形成させることもできる。 
【０１６３】
また、前記発光ダイオードの表面上にオーミック接触金属が蒸着された場合、前述した図１８ａないし図１８ｄに示したように一つまたは二つ以上の分離されたパターンを形成することができる。 
【０１６４】
かつ、前記オーミック接触金属はフォトリソグラフィ工程だけではなく、シャドウマスク(shadow mask)を使って具現することができ、これらの具現方式は導線の幅によって適宜に選択可能である。 
【０１６５】
本発明の第３実施例により一つ以上のインターコネクション部が具備される発光素子パッケージは導電性パッド部を外部電源、例えばリードフレームと連結させるワイヤボンディングを行い、その後蛍光体単独または蛍光体とモールディング材が混合された混合物を塗布する段階を順序に従ってまたは逆順で実施することができる。 
【０１６６】
また、前記段階後第２基板上に接合された発光ダイオードを単位チップに分離することができ、または単位チップに分離された発光ダイオードを第２基板に接合することもできる。 
【０１６７】
このような単位チップ分離段階は前述したことにより限定されず、ユーザの目的または製造工程の容易性を考慮して適宜に配置することができる。
【０１６８】
一方、本発明の第３実施例によりインターコネクション部を用いる発光素子パッケージの他の製造方法として、レーザリフトオフ方式(Laser Lift-Off: LLO)が挙げられる。 
【０１６９】
その一例として、(ａ)第１基板上に成長された発光ダイオードのｐ型層上にｐ-オーミック接触金属を蒸着させる段階と、(ｂ)前記第１基板の背面を加工する段階と、(ｃ)前記発光ダイオードが成長された第１基板を単位チップに分離する段階と、(ｄ)前記単位チップに分離された第１基板のｐ-オーミック接触金属層面を第２基板上に形成された２個以上の導電性パッドのうち第１導電性パッド上に接合させる段階と、(ｅ)前記第２基板に接合された単位チップの基板面にレーザを照射して第１基板を除去する段階と、(ｆ)前記第１基板が除去されながら露出された発光ダイオードのｎ型層上にｎ-オーミック接触金属を蒸着させる段階と、(ｇ)前記ｎ-オーミック接触金属面と第２基板上に位置した第２導電性パッドを連結する経路上に絶縁膜を形成した後、ｎ-オーミック接触金属面と導電性パッドを連結する導電性インターコネクション部を一つ以上形成する段階、及び、(ｈ)前記段階第１導電性パッドとと第２導電性パッドをそれぞれ外部電源とワイヤボンディングした後蛍光体塗布または蛍光体が混合されたモールディング材処理を行なう段階とを含むことができる。 
【０１７０】
この際、図１９は前記レーザリフトオフ発光ダイオードの製作工程の一部を示した図であり、第１基板、例えばサファイア基板全体を第２基板に接合させた後レーザ照射によりサファイア基板を除去する方式により、各工程は下記のように構成される。 
【０１７１】
(１) ｐ-型オーミック接触形成段階(図１９ａ参照)
サファイア基板７０８に発光ダイオード、例えば窒化ガリウム系発光ダイオード結晶構造が成長されたウェーハを処理洗浄した後ウェーハの上部ｐ-型ＧａＮ表面に真空蒸着でp-型オーミック接触金属を形成させた後熱処理を行なってｐ-型オーミック接触を完成する。 
【０１７２】
(２) サファイア基板面のポリシング処理 
レーザ光がサファイア基板を容易に透過できるようにする鏡面を形成するため、４３０μｍ程度の厚さを有するサファイア基板面をポリシングしてサファイア基板の厚さを約８０ないし１００μｍ程度に薄くする。 
【０１７３】
(３) 単位チップ形成段階 
サブマウント基板に接合する前、それからサファイア基板を分離する前の段階でスクライビング/ブレーキング処理を通じて単位チップに分離する。
【０１７４】
(４) サブマウント基板接合処理 (図１９b参照)
高出力発光ダイオードの場合は熱放出効率を向上させるため、サブマウント基板を使用する。この際、基板７１０の上部にはショートを防止するために絶縁膜７２０が蒸着されており、その上に導電性パッド、例えばｎ型導電性パッド７１５とｐ型導電性パッド７１６を形成する。 
【０１７５】
ポリシング処理されたサファイア基板をサブマウント基板にポリシング処理されたサファイア基板が上になるようひっくり返して、接合材を使用して発光ダイオードのｐ-型オーミック接触金属面をサブマウント基板または前記基板上のｐ型導電性パッド７１６に接合させる。  
【０１７６】
基板７１０に単位チップを貼付ける場合は追って行われる基板７１０の基板のダイシング(dicing)工程を考慮してチップとチップとの間隔を数百μｍ程度の一定間隔を隔てて周期的に配列するのが望ましい(図１９ｂ参照)。 
【０１７７】
(５) レーザ照射(図１９ｃ参照)
チップのサファイア面をレーザで照射してサファイア基板を除去する。        
【０１７８】
レーザが照射されれば、サファイア基板を透過したレーザ光が発光部、例えば窒化ガリウムに吸収されサファイアと窒化ガリウムの界面領域の窒化ガリウムが分解され金属ガリウムと窒素ガスが生成されることによってサファイア基板は発光ダイオード結晶構造と分離された。 
【０１７９】
(６) n-型オーミック接触金属形成段階(図１９ｄ参照)
サファイア基板が除去されながら露出されたｎ型層、望ましくはｎ-窒化ガリウム表面を、必要な場合ポリシング工程や乾式(または湿式)食刻工程を行なった後、ｎ-型オーミック接触金属７１３を蒸着させる。 
【０１８０】
この際、露出されたＧａｎの表面にはＧａＮの分解時生成された金属ガリウムが存在する。
【０１８１】
このような表面の金属ガリウム層は発光ダイオードから放出される光を減少させるのでこれを塩酸で除去した後、必要に応じて乾式(または湿式)食刻工程でドーピングされない
ＧａＮ(undoped-GaN)層を食刻してｎ+-ＧａＮ層を露出させ、必要な場合ｎ-オーミック接触形成のための金属(例えば、Ｔi/Ａｌ系の金属)を真空蒸着させることもできる。 
【０１８２】
(７) インターコネクション部の形成
発光ダイオードの最上部である露出されたｎ型層と導電性基板上に位置したｎ-導電性パッド、望ましくはｎ-オーミック接触金属層とｎ-導電性パッドの連結経路上に透明性絶縁膜を形成させた後導電性金属を用いた蒸着薄膜パターニングを通じて一つ以上のインターコネクション部を形成させる。 
【０１８３】
(８) ワイヤ ボンディング及びモールディング処理(蛍光体塗布)段階 
ｎ-導電性パッドを外部電源、例えばリードフレームと連結させるため、金(gold)ワイヤボンディングを行ない、同様にp-導電性パッドもワイヤボンディングを通じて外部電源と連結させる。 
【０１８４】
この際、ｎ-導電性パッドと外部電源との連結は薄膜蒸着パターニングによっても行なわれる。 
【０１８５】
(９) 蛍光体塗布、モールディング処理段階 
その後、エポキシのようなモールディングまたは蛍光体が混合されたモールディングを塗布して発光ダイオード製作を完了する。前記段階(８)と(９)は必要に応じて順序を変更して実施可能である。 
【０１８６】
前述した説明は高出力の場合を想定したものであるが、低出力の場合も本発明が適用できる。このような低出力発光ダイオードを適用した発光素子パッケージの製造方法の一実施例を挙げると、 
(ａ)第１基板上に成長された発光ダイオードを食刻してｎ型層を露出させた後ｎ-オーミック接触金属を蒸着させる段階、(ｂ)前記発光ダイオードの上部であるｐ型層上にｐ-オーミック接触金属を蒸着させる段階、(ｃ) 前記第１基板の基板面を加工した後単位チップに分離する段階、(ｄ)前記分離された単位チップの第１基板面を導電性パッド部が形成された第２基板上に接合する段階、(ｅ) 前記ｐ-オーミック接触金属面と第２基板上に位置した導電性パッド部を連結する経路上に絶縁膜を形成した後ｐ-オーミック接触金属面と導電性パッドを連結する導電性インターコネクション部を一つ以上形成する段階、及び(ｇ)前記導電性パッド部を外部電源とワイヤボンディングした後蛍光体塗布または蛍光体が混合されたモールディング材処理を行なう段階を含むことができる。 
【０１８７】
この際、単位チップに分離する段階は製作工程の容易性及び工程の単純化を図るために適宜に順序を変更して実施することができる。 
【０１８８】
前記提示された本発明の第３実施例の発光素子パッケージを製造する方法は望ましい製造例を挙げたことに過ぎず、これにより本発明が限られない。 
【０１８９】
本発明の発光素子は当業界に公知の通常の発光ダイオード、例えば青色窒化物系発光ダイオードだけではなく、他の全ての波長の発光ダイオード素子を含み、特に蛍光体(phosphor)塗布が求められる白色発光ダイオード素子が望ましい。 
【０１９０】
また、低出力用、高出力フリップ型、レーザリフトオフ方式またはその他の方式によって製造される発光ダイオード素子を問わず全て適用可能である。
【０１９１】
そして、本発明は前述したような構造または前述したような方法によって製造される発光ダイオード素子を具備する発光装置を提供する。 
【０１９２】
前記発光装置は発光ダイオード素子を備える全発光装置を含み、一例として照明装置、表示部、殺菌ランプ、ディスプレイ部などがある。
【０１９３】
図２０はチップ面積変化に伴うワイヤ ボンディングパッドの面積が占める比率を示したグラフであって、ワイヤボンディングパッドが発光ダイオードの上部に存在する時垂直に出射される光をどれぐらい遮光するのかを計算したことをグラフで示したものである。      
【０１９４】
図２０では発光ダイオードの上部に直接にワイヤボンディングを施す方式であって、ワイヤが垂直に出射される光を遮蔽する面積とインターコネクション部構造を用いる方式でインターコネクション部が遮断する面積の差が大きくないため、二つの要因の差は考慮しなかった。 
【０１９５】
ワイヤボンディングパッド(導電性パッド)の個数は１から１０に変らせたし、全面積においてパッドが遮る面積比が３％未満になる条件と高出力発光ダイオードに一般的に適用される１×１ｍｍ以上の面積になる条件を考慮してみた。 
【０１９６】
１×１ｍｍ２チップではパッドが３個以下になれば面積比３％未満を満たし、４個以上から３%以上を占める。 
【０１９７】
実際に、１×１ｍｍチップでは図１８ａのようなオーミック接触金属配列でボンディングパッド２個で電流駆動が十分であり、面積比３％未満の条件も三つ以下で済むのでボンディングパッド２〜３個で素子駆動が可能である。 
【０１９８】
しかし、チップ面積が４ｍｍ以上ならばボンディングパッドを１０個にしてもボンディングパッドが占める面積比が３％未満になって垂直に出射される光を遮断する効果が著しくない。もし３％よりさらに狭い面積を遮るためには図２０によりボンディングパッドの個数を形成すれば良い。
【０１９９】
前述したように、本発明の第３実施例の発光素子パッケージは発光ダイオードの上部に位置するオーミック接触金属層に直接ワイヤボンディングを行なう従来の技術とは違って、ワイヤボンディングのための導電性パッドを発光ダイオードの外部に配置させた後この導電性パッド部と発光ダイオード部の一面または両面を電気的に連結させる。 
【０２００】
このような連結構造を前述したように本発明の第３実施例では‘インターコネクション
(interconnection)部’と称し、このインターコネクション部は前述した第１及び第２実施例の導電性ラインの一種である。 
【０２０１】
前述したような本発明の第３実施例の発光素子パッケージの構造的特徴によって奏でられる効果は下記の通りである。
【０２０２】
１) 従来の発光ダイオードは発光ダイオードの上部に存在するオーミック接触金属層に直接にワイヤボンディングを行なうことによって、図３ａ及び図３ｂに示されたようにワイヤボンディング部が発光ダイオードの上部に存在する構造で最終製作された。 
【０２０３】
このように発光ダイオードの上部に存在するワイヤボンディング部によって追って進まれる薄くて均一な蛍光体塗布作業が困難でのみならず、エポキシまたはシリコンの表面張力により球形のような形態が形成されることにより蛍光体を通る光の移動距離の差が発生するようになる。従って、蛍光体に吸収される光の程度が相違になるため、色相の不均一性及び光出力低下が招かれる。 
【０２０４】
また、図３ｂに示したように蛍光体を薄膜で塗布して蛍光体による吸収差を縮められるが、ワイヤボンディングパッドの位置が根本的に変更されず発光ダイオード部の上部にそのまま位置するため蛍光体塗布が依然として容易でないのみならず、塗布にかかる費用アップ及び過程の困難も増加するようになる。
【０２０５】
一方、本発明ではワイヤボンディング部の位置自体を根本的に発光ダイオード部の外部に変更することによって、発光ダイオード部の上部に均一かつ薄い蛍光体塗布が容易になされるのみならず、よって蛍光体における光損失を最小化することができる。
【０２０６】
２) また、ワイヤボンディングによる立体的障害が発光ダイオードの表面上から除去されることによって、基板上に規則的に配列される単位チップをスクリーンプリンティングなどのような方法によって一気に塗布できるため、製作コスト節減及び大量生産を通じて経済性の向上が図れる。
【０２０７】
３) さらに、本発明の第３実施例では垂直発光光を吸収する面積を縮めて発光ダイオードの光抽出効率を根本的に向上させられる。
【０２０８】
そして、本発明の第３実施例のインターコネクション部は電気的に連結させる配線のような役割を果たし、パターニングにより蒸着された薄膜形態であることが望ましい。前記インターコネクション部を構成する材料は導電性を有する物質なら別に制限がなく、その具体的な例としてはAg、Cu、Au、Al、Ti、Ni、Cr、Rh、Ir、Mo、W、Co、Zn、Cd、Ru、In、Os、Fe、Sn、またはこれらの混合形態(合金)などがある。
【０２０９】
前記インターコネクション部は発光ダイオード内に存在する電気的連結ライン(line)の一部分であって、その一端部(end)は発光ダイオードの外部に位置した導電性パッドに連結され、他の一端部は発光ダイオードの一面または両面、望ましくは発光ダイオードの上部に連結される。 
【０２１０】
また、本発明の第３実施例によるインターコネクション部と連結される導電性パッドはワイヤを介して外部電源、例えばリードフレームなどに連結されうる。そして、 ワイヤのほかインターコネクション部と同一な形態、すなわち蒸着された薄膜パターニング形態に外部電源と連結されることも本発明の範疇に属する。 
【０２１１】
さらに、導電性パッドは発光ダイオードの外部、例えば発光ダイオードが接合される同一な基板上に存在でき、一つ以上、可能なら二つ以上存在するのが望ましい。前記導電性パッドを構成する材料も導電性を有する物質なら別に限られず、特にＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔi、Ｎi、Ｉｎ、Ｐｔまたはこれらの混合形態で構成されるのが望ましい。      
【０２１２】
そして、導電性パッドが位置する基板は導電性であり、前記導電性パッドは基板上に形成された絶縁膜を通じて前記導電性基板と電気的に絶縁される。 
【０２１３】
発光ダイオードの一面は前述したインターコネクション部を通じて導電性パッドと電気的に連結でき、基板上に接合される発光ダイオードの他の一面は外部電源と電気的に連結されうるが、この際発光ダイオードの他の一面は発光ダイオードの下部に隣接したさらに他の導電性パッドを通じてワイヤと連結され外部電源と電気的に連結されうる。 
【０２１４】
インターコネクション部により発光ダイオードの表面と導電性パッドが連結される連結経路上には電気的ショートを防止するために絶縁膜(insulation layer)を形成させるべきであり、前記絶縁膜上にインターコネクション部を形成し、インターコネクション部と発光ダイオードとの電気的連結のため、前記インターコネクション部と連結される発光ダイオードのコンタクト(contact)部は絶縁膜を形成しないのが適切である。 
【０２１５】
そして、本発明の第３実施例による絶縁膜は発光ダイオードの側面及び上部に出射される光の吸収を最小化するために、透明性を有するのが望ましい。使用可能な絶縁膜の成分としては非伝導性と透明性を有すれば制限なく使用可能であり、一例にケイ素酸化物(SiO２)、シリコン窒化物(SiNx)などがある。 
【０２１６】
また、絶縁膜とインターコネクション部の幅(width)は別に制限がないが、前記絶縁膜の幅はインターコネクション部の幅より広いのが良く、インターコネクション部の幅はワイヤの幅より狭いのが望ましい。 
【０２１７】
本発明の第３実施例によるインターコネクション部を通じて連結される発光ダイオードの一面または両面、望ましくは表面は発光ダイオードが基板上に搭載されている時基板と隣接しない表面であることが望ましい。 
【０２１８】
特に、抵抗減少を通じた発光効率増大のため、発光ダイオード表面はオーミック接触金属層と連結されることが望ましい。    
【０２１９】
この際、オーミック接触金属層は発光ダイオードの製造方式、例えば低・中出力用、高出力用、レーザリフトオフ方式などによってｎ-オーミック接触金属層またはｐ-オーミック接触金属層でありうる。また、前記オーミック接触金属は一つまたは２以上の分離されたパターンに形成でき、各パターンは一つ以上のインターコネクション部と連結されうる。
【０２２０】
オーミック接触金属としては当業界に知られている通常の金属、例えばＮi、Ａｕ、Ｐｔなどを使用することができ、光の反射のためにさらにＡｇ、Ａｌ、Ｃｒなどの金属層が用いられる。必要な場合、接合を改善するための金属層が追加されうる。 
【０２２１】
また、本発明の第３実施例による導電性インターコネクション部を一つ以上含む発光 ダイオードは発光ダイオードとインターコネクション部の表面の一部または全部に蛍光体単独層またはモルディング材と蛍光体の混合層が形成されうる。 
【０２２２】
また、導電性パッド表面の一部または全部にも前記蛍光体層が形成されウルが、外部電源との容易なワイヤボンディングのために導電性パッド表面の一部に蛍光体層が形成されることが望ましい。もし導電性パッド表面の全部に蛍光体層が形成される場合孔を開けてワイヤボンディングを行なうこともできる。 
【０２２３】
本発明は具体的な例について詳述されたが、本発明の技術思想の範囲内で多様な変形及び修正が可能なことは当業者にとって明らかであり、このような変形及び修正が特許請求の範囲に属することは当然である。
【図面の簡単な説明】
【０２２４】
【図１】従来のワイヤボンディングを用いた発光素子パッケージの断面図
【図２】従来の技術により発光素子をアレイしてパッケージングした状態の断面図
【図３ａ】従来の技術に係る発光素子パッケージに蛍光体が塗布された状態を概略的に示した断面図
【図３ｂ】従来の技術に係る発光素子パッケージに蛍光体が塗布された状態を概略的に示した断面図
【図４】本発明の第１実施例による発光素子パッケージの概略的な断面図
【図５】本発明の第１実施例により非伝導性基板が適用された発光素子パッケージの断面図
【図６】本発明の第１実施例により伝導性基板が適用された発光素子パッケージの断面図
【図７ａ】本発明の第１実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図７ｂ】本発明の第１実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図７ｃ】本発明の第１実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図８ａ】本発明により光透過用物質膜を形成するための一例の工程断面図
【図８ｂ】本発明により光透過用物質膜を形成するための一例の工程断面図
【図９ａ】本発明により光透過用物質膜を形成するための他の例の工程断面図
【図９ｂ】本発明により光透過用物質膜を形成するための他の例の工程断面図
【図１０】本発明の第２実施例による発光素子パッケージの概略的な断面図
【図１１ａ】本発明の第２実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図１１ｂ】本発明の第２実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図１１ｃ】本発明の第２実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図１２】本発明により発光素子をアレイしてパッケージングした状態の断面図
【図１３】本発明により発光素子をアレイして白色光源を具現したパッケージの断面図
【図１４】本発明により発光素子をアレイして白色光源を具現したパッケージの他の断面図
【図１５】本発明の第３実施例による発光素子パッケージに蛍光体をスクリーンプリンティングする状態を示した概略的な断面図
【図１６】本発明の第３実施例による他の発光素子パッケージの断面図
【図１７】ワイヤボンディング部が発光ダイオードの上部に存在する従来のレーザリフトオフ窒化ガリウム系発光ダイオードの平面図
【図１８ａ】本発明の第３実施例により導電性パッドが発光ダイオード部の外部に配置された状態を示した平面図
【図１８ｂ】本発明の第３実施例により導電性パッドが発光ダイオード部の外部に配置された状態を示した平面図
【図１８ｃ】本発明の第３実施例により導電性パッドが発光ダイオード部の外部に配置された状態を示した平面図
【図１８ｄ】本発明の第３実施例により導電性パッドが発光ダイオード部の外部に配置された状態を示した平面図
【図１９ａ】本発明の第３実施例によりインターコネクション部を備えた高出力用レーザリフトオフ発光素子パッケージの製造工程を示した概略図
【図１９ｂ】本発明の第３実施例によりインターコネクション部を備えた高出力用レーザリフトオフ発光素子パッケージの製造工程を示した概略図
【図１９ｃ】本発明の第３実施例によりインターコネクション部を備えた高出力用レーザリフトオフ発光素子パッケージの製造工程を示した概略図
【図１９ｄ】本発明の第３実施例によりインターコネクション部を備えた高出力用レーザリフトオフ発光素子パッケージの製造工程を示した概略図
【図２０】単位チップ全面積に対する導電性パッド部の面積比を示したグラフ
【符号の説明】
【０２２５】
２００ : 基板                       ２０２ : 伝導性基板
２１０、２１１、２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆ : 導電性パッド
３００、３００ａ、３００ｂ、３５０: 発光素子      
３０１、３０２、３０５、３５１、３５２、３６０ : 電極パッド
３１０ : 接着剤                     ３１１ : 導電性接着剤
４００ : 光透過用物質膜            ４０１、４０２ : トレンチ(Trench)
４１０ : コーティング膜             ４２０ : 平坦膜
５００、５２１ : 導電性ライン       ５１１、５１２ : 導電性物質
５１３ : 導電層                     ７０５ : ｎ型層
７０６ : 活性層                     ７０７ : ｐ型層
７０８ : サファイア基板             ７０９ : ワイヤ
７１０ : サブマウント               ７１２ : ｐ-型オーミック接触金属
７１３ : ｎ-型オーミック接触金属        ７１５ : ｎ型導電性パッド
７１６ : ｐ型導電性パッド           ７１７ : インターコネクション部
７１８ : 蛍光体                     ７１９ : 透明絶縁膜 
７２０ : 絶縁膜
【図１】
2006324667.tif 000003
【図２】
2006324667.tif 000004
【図３ａ】
2006324667.tif 000005
【図３ｂ】
2006324667.tif 000006
【図４】
2006324667.tif 000007
【図５】
2006324667.tif 000008
【図６】
2006324667.tif 000009
【図７ａ】
2006324667.tif 000010
【図７ｂ】
2006324667.tif 000011
【図７ｃ】
2006324667.tif 000012
【図８ａ】
2006324667.tif 000013
【図８ｂ】
2006324667.tif 000014
【図９ａ】
2006324667.tif 000015
【図９ｂ】
2006324667.tif 000016
【図１０】
2006324667.tif 000017
【図１１ａ】
2006324667.tif 000018
【図１１ｂ】
2006324667.tif 000019
【図１１ｃ】
2006324667.tif 000020
【図１２】
2006324667.tif 000021
【図１３】
2006324667.tif 000022
【図１４】
2006324667.tif 000023
【図１５】
2006324667.tif 000024
【図１６】
2006324667.tif 000025
【図１７】
2006324667.tif 000026
【図１８ａ】
2006324667.tif 000027
【図１８ｂ】
2006324667.tif 000028
【図１８ｃ】
2006324667.tif 000029
【図１８ｄ】
2006324667.tif 000030
【図１９ａ】
2006324667.tif 000031
【図１９ｂ】
2006324667.tif 000032
【図１９ｃ】
2006324667.tif 000033
【図１９ｄ】
2006324667.tif 000034
【図２０】
2006324667.tif 000035
【手続補正書】
【提出日】平成18年8月30日(2006.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性パッドが上部に形成された基板と、
前記基板に実装され、上部及び下部の少なくとも一つに電極パッドが形成されている発
光素子と、
前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部を露出
させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜と、
前記導電性パッドの露出された一部から前記発光素子の電極パッドの露出された一部ま
で前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された導電性ラインとを含んで構成された発光
素子パッケージ。
【請求項２】
前記基板は非伝導性基板であり、
前記導電性パッドから離隔された非伝導性基板の上部領域に他の導電性パッドが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項３】
前記基板は伝導性基板であり、
前記導電性パッドと前記伝導性基板との間には絶縁膜がさらに介されていることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項４】
前記発光素子は、
赤色光または赤外線光を発光する素子であることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項５】
一対の導電性パッドが上部に形成された基板と、
前記基板の上部に実装され、上部に一対の電極パッドが形成されている発光素子と、  前記一対の導電性パッドそれぞれの一部及び該一対の電極パッドそれぞれの一部を露出
させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜と、
前記一対の導電性パッドそれぞれの露出された一部から前記一対の電極パッドそれぞれ
の露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された一対の導電性ライン
とを含んで構成される発光素子パッケージ。
【請求項６】
前記発光素子は、
緑色または青色発光素子であることを特徴とする請求項５に記載の発光素子パッケージ。
【請求項７】
前記光透過用物質膜は、
光透過の可能な感光物質よりなることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の発光素子パッケージ。
【請求項８】
前記光透過用物質膜の内部には、
前記発光素子から放出される光を波長転換させる蛍光体が分散されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の発光素子パッケージ。
【請求項９】
前記光透過用物質膜は、
導電性パッド及び発光素子の形状に沿って形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１０】
前記光透過用物質膜は、
前記導電性パッド及び発光素子を包み、上部が平坦化されており、
前記導電性ラインは、
前記光透過用物質膜の上部から導電性パッド及び発光素子の電極パッドまでの光透過用物質膜がそれぞれ除去され形成された一対のトレンチに充填された導電性物質と、
前記一対のトレンチに充填された導電性物質を連結するように前記光透過用物質膜の上部に形成された導電層で構成されることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１１】
前記光透過用物質膜は、
前記導電性パッドから電極パッドまで最短距離に位置する領域に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１２】
前記光透過用物質膜は、
前記発光素子の一部領域にだけ形成されており、 
前記光透過用物質膜及び発光素子を包む蛍光体膜がさらに具備されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の発光素子パッケージ。
【請求項１３】
導電性パッドが上部に形成された基板に、上部及び下部の少なくとも一つに電極パッドが形成されている発光素子を実装する段階と、
前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包む光透過用物質膜を形成する段階と、
前記導電性パッドの露出された一部から前記発光素子の電極パッドの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って導電性ラインを形成する段階とを含んで構成される発光素子パッケージの製造方法。
【請求項１４】
前記光透過用物質膜は、
光透過用物質を前記導電性パッド及び発光素子にコーティングして膜を形成し、前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部が露出されるように、前記膜を選択的に除去する工程を行なって形成することを特徴とする請求項１３に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項１５】
前記膜は、
スプレイコーティング法で形成することを特徴とする請求項１４に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項１６】
前記光透過用物質膜を形成することは、
前記導電性パッド及び発光素子を包み、上部が平坦化された平坦膜を形成する工程と、  前記平坦膜の上部から導電性パッド及び発光素子の電極パッドまでの平坦膜がそれぞれ除去され形成された一対のトレンチを形成する工程と、
前記一対のトレンチに導電性物質を充填し、充填された導電性物質を連結する導電層を形成する工程を行なうことを特徴とする請求項１３に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項１７】
一対の導電性パッドが上部に形成された基板上部に一対の電極パッドが形成されている発光素子を接合する段階と、
前記一対の導電性パッドそれぞれの一部及び前記一対の電極パッドそれぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜を形成する段階と、
前記一対の導電性パッドそれぞれの露出された一部から前記一対の電極パッドそれぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された一対の導電性ラインを形成する段階を含んで構成される発光素子パッケージの製造方法。
【請求項１８】
前記光透過用物質膜は、
光透過の可能な感光物質よりなることを特徴とする請求項１３又は１７に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項１９】
前記光透過用物質膜の内部には、 
前記発光素子から放出される光を波長転換させる蛍光体が分散されていることを特徴とする請求項１３又は１７に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【請求項２０】
前記伝導性ラインは、  
リフトオフ工程またはハードマスク工程を行なって形成することを特徴とする請求項１３又は１７に記載の発光素子パッケージの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は発光素子パッケージ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、発光素子は基本的にｐ型とｎ型半導体の接合よりなっており、電圧を印加すれば電子と正孔の結合により半導体のバンドギャップに該当するエネルギーを光の形態に放出する一種の光電子素子(Optoelectronic device)である。 
【０００３】
前記発光素子から出力される光の量は素子に流れる電流に比例して増加する。 
【０００４】
このような発光素子は電力消費が少なく、公害物質を使用せず、色再現性に優れ寿命が数万時間以上に延び、安全性に優れた長所から研究が盛んである。
【０００５】
直接遷移型化合物半導体の３〜５族化合物または２〜６族化合物半導体物質を用いた発光ダイオードやレーザダイオードのような発光素子は薄膜成長技術及び素子材料の開発により赤色、緑色、青色及び紫外線など多様な色を具現することができる。  
【０００６】
そして、発光素子は蛍光物質を用いたり光を組み合わせて高効率の白色光源の具現が可能である。
【０００７】
このような技術の発達に背負って発光素子はディスプレイ用素子だけではなく、光通信手段の送信モジュール、ＬＣＤ(Liquid Crystal  Display)のバックライト、蛍光灯や白熱電球に置き換えられる照明装置、電光板、交通信号灯、自動車計器盤など多くの分野で使用されている。 
【０００８】
一方、発光素子のうち赤色または赤外線発光素子は使用する基板がｎ型である場合、基板上部面にｎ型層、活性層、ｐ型層が順次に積層され、基板の下部面にｎ型電極層が形成され、前記ｐ型層の上面にはｐ型電極層が形成される。 
【０００９】
前記赤色発光素子はｎ型電極層とｐ型電極層との間に順方向電圧が印加されればｎ型層を通じて電子が活性層に注入され、ｐ型層を通じて正孔が活性層に注入される。 
【００１０】
この際、前記活性層に注入された電子と正孔は互いに再結合しつつ活性層のバンドギャップまたはエネルギーレベル差に該当する光を発光するようになる。
【００１１】
前述したように赤色または赤外線発光素子はｐ型電極層とｎ型電極層が基板に対向している構造である。 
【００１２】
これによりサブマウント(Submount)やＰＣＢ(Printed Circuit Board)に接触して他の素子と電気的に連結されるためには、従来は少なくとも一つの電極はワイヤボンディングすべきであった。 
【００１３】
従って、サブマウントやＰＣＢ基板にワイヤボンディングのための一定空間を設けるべきなのでパッケージサイズが増加し、ワイヤのショート(Short)や断線によってパッケージの信頼性が低下した。 
【００１４】
このような従来の技術を図１を参照して説明する。 
【００１５】
図１は従来のワイヤボンディングを用いた発光素子パッケージの断面図であって、基板１００の上面に第１導電性パッド１１０及び第２導電性パッド１１１が相互離隔され形成されている。
【００１６】
そして、前記第１導電性パッド１１０の上面に発光素子１２０の下面に形成された第２電極層１２３がボンディングされており、前記発光素子１２０の上面に形成された第１電極層１２２と第２導電性パッド１１１がワイヤボンディングされ電気的に連結されている。
【００１７】
前記基板１００はシリコン(Si)やセラミックで製作したサブマウントを使用したり、ＰＣＢを使用する。 
【００１８】
前記第１導電性パッド１１０は前記基板１００の上面に形成される。 
【００１９】
そして、 前記第１導電性パッド１１０は前記発光素子１２０の下面に形成される第２電極層１２３と同じ極性を有する。 
【００２０】
例えば、前記発光素子１２０の下面に形成される第２電極層１２３がｎ型なら第１導電性パッド１１０はｎ型であり、発光素子１２０の下面に形成される第２電極層１２３がｐ型であれば第１導電性パッド１１０はｐ型になる。 
【００２１】
前記第２導電性パッド１１１は前記第１導電性パッド１１０と離隔されるよう前記基板１００の上面に形成される。 
【００２２】
前記発光素子１２０は前記第１導電性パッド１１０の上面にボンディングされる。 
【００２３】
図２は従来の技術により発光素子をアレイしてパッケージングした状態の断面図であって、発光素子パッケージの基板１００の上部に複数個の導電性パッド１１２a、１１２b、１１２ｃ、１１２ｄ、１１２ｅ、１１２ｆが形成されている。
【００２４】
そして、赤色発光素子１３０の下部電極１３１は導電性パッド１１２aの上部に導電性接着剤１３５でボンディングされており、前記赤色発光素子１３０の上部電極１３２は他の導電性パッド１１２ｂとワイヤボンディングされている。
【００２５】
また、緑色発光素子１４０は前記基板１００に接着剤１４５で接合されており、前記緑色発光素子１４０の上部の二つの電極１４１、１４２は二つの導電性パッド１１２ｃ、１１２ｄにワイヤボンディングされている。
【００２６】
さらに、青色発光素子１５０も前記基板１００に接着剤１５５で接合されており、前記青色発光素子１５０の上部の二つの電極１５１、１５２は二つの導電性パッド１１２ｅ、１１２ｆにワイヤボンディングされている。
【００２７】
このような発光素子パッケージは赤色、緑色と青色発光素子を基板に実装して、白色光を放出するパッケージを具現するが、ワイヤボンディングを多数回行なうようになる。
【００２８】
前述したように従来の技術の発光素子パッケージは発光素子をワイヤボンディングするための空間がさらに必要とするようになってパッケージサイズが大きくなる短所があった。
【００２９】
また、ボンディングされたワイヤが短絡される場合や断線する場合があるため、素子間の連結において信頼性が低下する。 
【００３０】
また、ワイヤボンディングを施す場合は大量生産に不向きである。 
【００３１】
一方、白色発光ダイオードを製造する方法は２種類に大別される。第１に、単一チップ形態の方法であって青色ＬＥＤチップまたはＵＶ ＬＥＤチップ上に蛍光物質を結合して白色を得る方法であり、第２に、マルチチップ形態であって２ないし３のＬＥＤチップを互いに組み合わせて白色を得る方法である。この際、単一チップ形態を用いる場合、製作された発光ダイオード上に蛍光体を塗布することが必須に求められる。 
【００３２】
図３ａ及び図３ｂは従来の技術による発光素子パッケージに蛍光体が塗布された状態を概略的に示した断面図であって、ｐ型層１５７と活性層１５６とｎ型層１５５とこの順次に積層された発光ダイオードがｐ-オーミック接触金属層１６２を介しサブマウント１６０に接合されており、前記ｎ型層１５５の上部にはｎ-オーミック接触金属層１６３が形成されている。
【００３３】
ここで、前記ｎ-オーミック接触金属層１６３には発光ダイオードに電流を提供するためのワイヤ１５９がボンディングされている。
【００３４】
この際、図３ａ及び図３ｂのように、蛍光体は発光ダイオードとワイヤ１５９の一部を包みながら塗布される。 
【００３５】
一般に、蛍光体薄膜を形成するためには塗布する素子の上部に凹凸部分のないのが望ましいが、前述した従来の技術の図３ａ及び図３ｂのような発光素子パッケージは発光ダイオードの上部にワイヤがボンディングされていて、ワイヤに損傷を与えず蛍光体を塗布するのが容易でない。 
【００３６】
また、ワイヤボンディングするためにはボンディングパッドのパターン面積を考慮して素子を製作するが、このようなボンディングパッドとワイヤで構成されるワイヤボンディング部を発光ダイオードの上部に配置されれば、垂直発光面積を遮るようになる短所がある。 
【００３７】
すなわち、ワイヤボンディングのためには約０．１×０．１ｍｍ２の面積が求められるが、０．３×０．３ｍｍ２チップでは発光面積の１/９との面積を遮るようになる。
【００３８】
さらに、高出力発光ダイオードに行くほどチップ全面積を大きく製作する傾向であり、必要に応じては電気的抵抗を減らすためにオーミック金属パッドの数を増加させることもできる。 
【００３９】
勿論、高出力発光ダイオードは高い電流で駆動されるため熱蓄積を防ぐためには直列抵抗が小さくなるべきであり、またオーミック接触金属の厚さを厚くすることによって電圧降下を防止して発光効率を向上させることができる。 
【００４０】
しかし、金属を厚く蒸着するのに限界があるのみならず、オーミック接触金属内における電圧降下による発光ダイオードの性能低下を防止するためには発光ダイオードの上部に配置されるワイヤボンディングパッド面積が増加するので、結局発光ダイオードの垂直発光面積を減少させるようになる問題点が発生する。 
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００４１】
本発明は前述した問題点を解決するための案出されたもので、その目的は、ワイヤボンディングを使用せず発光素子を他の素子と電気的に連結することにより、ワイヤボンディングのための空間を縮められてパッケージのサイズを縮めることができ、ワイヤボンディングにより招かれる断線や短絡を防止してパッケージの信頼性を向上させられる発光素子パッケージ及びその製造方法を提供するところにある。
【００４２】
本発明の他の目的は、発光素子が実装された基板に光透過用物質膜がコーティングされ、発光素子を保護できる追加のパッシベーション(Passivation)膜を必要とせず、ワイヤボンディングを必要としなくて製造コストを節減することができ、大量生産の可能な発光素子パッケージ及びその製造方法を提供するところにある。
【００４３】
本発明のさらに他の目的は、導電性インターコネクション部を用いて、発光素子にワイヤが存在しなくて、蛍光体の均一な塗布が容易であり、垂直発光光を吸収する面積を縮めて素子の光抽出を向上させられる発光素子パッケージ及びその製造方法を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【００４４】
前述した本発明の目的を達成するための望ましい第１様態は、導電性パッドが上部に形成された基板と、前記基板に実装され、上部及び下部の少なくとも一つに電極パッドが形成されている発光素子と、前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜と、前記導電性パッドの露出された一部から前記発光素子の電極パッドの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された導電性ラインを含んで構成された発光素子パッケージが提供される。
【００４５】
前述した本発明の目的を達成するための望ましい第２様態は、一対の導電性パッドが上部に形成された基板と、前記基板の上部に実装され、上部に一対の電極パッドが形成されている発光素子と、前記一対の導電性パッドそれぞれの一部及び前記一対の電極パッドそれぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜と、前記一対の導電性パッドそれぞれの露出された一部から前記一対の電極パッドそれぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された一対の導電性ラインを含んで構成された発光素子パッケージが提供される。
【００４６】
前述した本発明の目的を達成するための望ましい第３様態は、導電性パッドが上部に形成された基板に、上部及び下部の少なくとも一つに電極パッドが形成されている発光素子を実装する段階と、前記導電性パッドの一部及び前記発光素子の上部に形成された電極パッドの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包む光透過用物質膜を形成する段階と、前記導電性パッドの露出された一部から前記発光素子の電極パッドの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って導電性ラインを形成する段階とを含んで構成される発光素子パッケージの製造方法が提供される。
【００４７】
前述した本発明の目的を達成するための望ましい第４様態は、一対の導電性パッドが上部に形成された基板の上部に一対の電極パッドが形成されている発光素子を接合する段階と、前記一対の導電性パッドそれぞれの一部及び前記一対の電極パッドそれぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド及び発光素子を包んでいる光透過用物質膜を形成する段階と、前記一対の導電性パッドそれぞれの露出された一部から前記一対の電極パッドそれぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜の表面に沿って形成された一対の導電性ラインを形成する段階とを含んで構成される発光素子パッケージの製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００４８】
以上述べたように、本発明はワイヤボンディングを使用せず発光素子を他の素子と電気的に連結することによって、ワイヤボンディングのための空間を縮めてパッケージのサイズを縮小することができる。
【００４９】
また、本発明はワイヤボンディングにより招かれる断線や短絡を防止してパッケージの信頼性を向上させられる。
【００５０】
さらに、発光素子が実装された基板に光透過用物質膜がコーティングされ、発光素子を保護することができる追加のパッシベーション膜を必要とせず、ワイヤボンディングを不要として製造コストを節減することができ、大量生産が可能な効果を奏でる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５１】
以下、添付した図面に基づき本発明の望ましい実施例を詳述する。
【００５２】
図４は本発明の第１実施例による発光素子パッケージの概略的な断面図であって、発光素子パッケージは導電性パッド２１０が上部に形成された基板２００と、該基板２００に実装され、上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００と、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出させ、前記導電性パッド２１０及び発光素子３００を包んでいる光透過用物質膜４００と、前記導電性パッド２１０の露出された一部から前記発光素子３００の電極パッド３０１の露出された一部まで前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成された導電性ライン５００とを含んで構成される。
【００５３】
ここで、前記光透過用物質膜４００は光が透過できる感光物質よりなることが望ましい。
【００５４】
この感光物質は赤色または赤外線を吸収せず、ほとんど全ての光を透過する感光物質が望ましく、この感光物質は耐熱性及び耐化学性に優れたＳＵ-８ポリマーを使用するのが望ましい。
【００５５】
そして、前記光透過用物質膜４００の内部には前記発光素子３００から放出される光を波長転換させる蛍光体を分散させることもできる。
【００５６】
この場合、前記発光素子から放出される光と蛍光体で波長転換された光を混色させ白色光源を具現できるようになる。
【００５７】
また、前記上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００は赤色または赤外線発光素子が望ましい。
【００５８】
一方、前記発光素子３００は前記基板２００に接着剤３１０で実装されており、その接着剤は導電性ペーストまたはソルダ金属が望ましい。
【００５９】
そして、前記基板２００はシリコン(Si)物質のような半導体よりなる半導体基板、非伝導性基板と金属のような伝導性物質よりなる伝導性基板を使う。 
【００６０】
また、発光素子３００は第１極性を有する半導体層、活性層と第１極性と逆極性を有する半導体層を含んで構成された発光ダイオードが望ましい。
【００６１】
また、前記光透過用物質膜４００は前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出させ、図４に示したように、前記導電性パッド２１０及び発光素子３００を完全に包む構造で形成でき、または前記導電性パッド２１０から電極パッド３０１まで最短距離に位置する領域にだけ形成されうる。
【００６２】
両者はそれぞれ長所を有するので自由自在に設計が可能である。
【００６３】
さらに、前記光透過用物質膜４００は前記発光素子３００の一部領域にだけ形成され、前記光透過用物質膜４００及び発光素子３００を包む蛍光体膜がさらに具備されることも望ましい。 
【００６４】
図５は本発明の第１実施例により非伝導性基板が適用された発光素子パッケージの断面図であって、図４の構造において基板を図５のような非伝導性基板２０１で構成すれば、発光素子パッケージは前記発光素子３００の電極パッド３０１と導電性ライン５００で連結されている導電性パッド２１０から離隔された非伝導性基板２０１の上部領域に他の導電性パッド２１１が形成されており、この他の導電性パッド２１１に前記発光素子３００の下部に形成された電極パッド３０２が導電性接着剤３１１で接着されている構造になる
。
【００６５】
図６は本発明の第１実施例により伝導性基板が適用された発光素子パッケージの断面図であって、図４の構造において基板を伝導性基板２０２で構成すれば、発光素子パッケージは発光素子３００の電極パッド３０１と導電性ライン５００で連結された導電性パッド２１０と伝導性基板２０２との間に絶縁膜２５０が介されており、前記発光素子３００の下部に形成された電極パッド３０２が導電性接着剤３１１で伝導性基板２０２に接着され
ている構造になる。
【００６６】
図７ａないし図７ｃは本発明の第１実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図であって、まず導電性パッド２１０が上部に形成された基板２００に、上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００を実装する(図７ａ)。
【００６７】
その後、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出させ、前記導電性パッド２１０及び発光素子３００を包む光透過用物質膜４００を形成する(図７ｂ)。
【００６８】
後述したように、前記光透過用物質膜４００は光透過用物質を前記導電性パッド２１０及び発光素子３００にコーティングして膜(Film)を形成し、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部が露出されるように、前記膜を選択的に除去する工程を行なって形成する。
【００６９】
引き続き、前記導電性パッド２１０の露出された一部から前記発光素子３００の電極パッド３０１の露出された一部まで前記光透過用物質膜４００の表面に沿って導電性ライン５００を形成する(図７ｃ)。  
【００７０】
ここで、前記導電性パッド２１０の露出された一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の露出された一部を導電性物質を用いて連結すれば、導電性ライン５００が形成される。
【００７１】
前記導電性ライン５００は均一な厚さを有し連結されてこそ内部抵抗などの面で誤差を減少させることができる。 
【００７２】
従って、リフトオフ(Lift-off)方式やハードマスク(Hard mask)方式を使用して導電性パッド２１０と発光素子３００の電極パッド３０１を導電性物質に連結する。 
【００７３】
前記リフトオフ方式は光透過用物質膜４００が感光物質の場合、導電性物質を光透過用物質膜４００に蒸着した後、適宜な液体溶媒を使って光透過用物質膜を選択的に食刻させると、光透過用物質膜が食刻された導電性物質がリフトオフされ除去される。 
【００７４】
従って、前記リフトオフ方式によって、導電性パッド２１０と発光素子３００の電極パッド３０１は導電性物質で連結される。  
【００７５】
また、前記ハードマスク方式は導電性パッド２１０と発光素子３００の電極パッド３０１を導電性物質で連結できるように一定した型を形成した後、前記形成された型に導電性物質を噴射する。 
【００７６】
前記噴射によって、導電性パッド２１０と発光素子３００の電極パッド３０１は導電性物質に連結される。  
【００７７】
図８ａ及び図８ｂは本発明により光透過用物質膜を形成するための一例の工程断面図であって、前述した図７ｂのような光透過用物質膜４００を形成するためには、まず前記導電性パッド２１０及び発光素子３００を包み基板２００の上部に光透過用物質をコーティングする。
【００７８】
前記光透過用物質がコーティングされた膜をコーティング膜４１０と定義する。
【００７９】
そして、光透過用物質をコーティングする時、図８ａに示したようなスプレイコーティング法を使う。
【００８０】
前記スプレイコーティング法は基板の段差が高い場合に均一にコーティングできる方法である。
【００８１】
すなわち、基板２００に発光素子３００がボンディングされれば、発光素子３００がボンディングされた部分は発光素子３００がボンディングされない部分に比べて高さの差が著しく高い。 
【００８２】
従って、基板２００の前面に光透過用物質を均一にコーティングすることは相当に困難であるが、スプレイコーティング法は段差の差が著しい構造に光透過用物質を均一な厚さでコーティングできて内部抵抗などの面で誤差を減少させることができる。
【００８３】
その後、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出されるように、前記コーティング膜４１０をパターニングする(図８ｂ)。
【００８４】
従って、図８ａ及び図８ｂの工程において、図７ｂのような光透過用物質膜４００が形成される。
【００８５】
一方、前記パターニングは写真食刻工程を用いることが望ましい。
【００８６】
この際、前記光透過用物質膜４００が感光物質なら、写真食刻工程をさらに容易に行なえる。 
【００８７】
例えば、感光物質の上面にマスク(Mask)を形成して光を投射させた後、感光物質の特性により光が投射された部分または光が投射されない部分をアセトンなどの物質を用いると容易に除去できるようになる。 
【００８８】
すなわち、食刻により、前記導電性パッド２１０の一部及び前記発光素子３００の上部に形成された電極パッド３０１の一部を露出される。
【００８９】
図９ａ及び図９ｂは本発明により光透過用物質膜を形成するための他の例の工程断面図であって、前述された図８ａのように導電性パッド及び発光素子の形状に沿って光透過用物質膜を形成することができるが、他の方法として、導電性パッド２１０及び発光素子３００を包み、上部が平坦化された平坦膜を形成すれば導電性ラインを形成し易い。
【００９０】
すなわち、この方法はまず図７ａの工程後、導電性パッド２１０及び発光素子３００を包み、上部が平坦化された光透過用物質膜４００を形成する(図９ａ)。
【００９１】
その後、前記光透過用物質膜４００の上部から導電性パッド２１０及び発光素子３００の電極パッド３０１までの光透過用物質膜４００がそれぞれ除去され形成された一対のトレンチ４０１、４０２を形成した後、前記一対のトレンチ４０１、４０２に導電性物質５１１、５１２を充填し、充填された導電性物質５１１、５１２を連結する導電層５１３を形成する工程を行なう(図９ｂ)。
【００９２】
従って、前記導電性ラインは、光透過用物質膜４００の上部から導電性パッド２１０及び発光素子３００の電極パッド３０１までの光透過用物質膜４００がそれぞれ除去され形成された一対のトレンチ(Trench)４０１、４０２に充填された導電性物質５１１、５１２と、前記一対のトレンチ４０１、４０２に充填された導電性物質５１１、５１２を連結するように前記光透過用物質膜４００の上部に形成された導電層５１３で構成される。
【００９３】
図１０は本発明の第２実施例による発光素子パッケージの概略的な断面図であって、第２実施例における発光素子パッケージは一対の導電性パッド２１０が上部に形成された基板２００と、前記基板２００の上部に実装され、上部に一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている発光素子３５０と、前記一対の導電性パッド２１０、２１１それぞれの一部及び前記一対の電極パッド３５１、３５２それぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド２１０、２１１及び発光素子３００を包んでいる光透過用物質膜４００と、前記一対の導電性パッド２１０、２１１それぞれの露出された一部から前記一対の電極パッド３５１、３５２それぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成された一対の導電性ライン５００を含んで構成される。
【００９４】
ここで、前記基板２００が導電性基板なら、前記導電性パッド２１０、２１１と基板２００との間には絶縁膜が介される。
【００９５】
そして、前記発光素子は緑色または青色発光素子であることが望ましい。
【００９６】
図１１ａないし図１１ｃは本発明の第２実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図であって、図１１aに示したように、一対の導電性パッド２１０が上部に形成された基板２００の上部に一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている発光素子３５０を接合する。
【００９７】
その後、前記一対の導電性パッド２１０、２１１それぞれの一部及び前記一対の電極パッド３５１、３５２それぞれの一部を露出させ、前記導電性パッド２１０、２１１及び発光素子３００を包んでいる光透過用物質膜４００を形成する(図１１ｂ)。
【００９８】
最後に、前記一対の導電性パッド２１０、２１１それぞれの露出された一部から前記一対の電極パッド３５１、３５２それぞれの露出された一部まで前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成された一対の導電性ライン５００を形成する(図１１ｃ)  図１２は本発明により発光素子をアレイしてパッケージングした状態の断面図であって、上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている複数個の発光素子３００ａ、３００ｂが基板２００の上部に存する複数個の導電性パッド２１３ｂ、２１３ｃに対応して接合されている。
【００９９】
この際、一つの導電性パッド２１３ａでは発光素子３００が接合されておらず、導電性パッド２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃの一部と発光素子３００それぞれの上部に存する電極パッド３０１、３０５の一部を露出させる光透過用物質膜４００が導電性パッド２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃと発光素子３００を包んでいる。
【０１００】
そして、発光素子３００が接合されていない導電性パッド２１３ａで隣り合う発光素子３００ａの電極パッド３０１を連結する導電性ライン５２１が前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成されており、前記発光素子３００ａが接合された電極パッド２１３ｂで他の発光素子３００ｂの電極パッド３０５を連結する導電性ライン５２２が前記光透過用物質膜４００の表面に沿って形成されている。
【０１０１】
従って、二つの発光素子がワイヤボンディング方式を使用せず、直列に連結されているパッケージを具現することができる。
【０１０２】
図１３は本発明により発光素子をアレイして白色光源を具現したパッケージの断面図であって、基板２００の上部に、上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている一つの発光素子３００を第１実施例のようにパッケージングする。
【０１０３】
そして、上部に一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている二つの発光素子３５０を第２実施例のようにパッケージングする。
【０１０４】
前記上部及び下部それぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００は赤色発光素子であり、上部に一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている発光素子３５０は緑色と青色発光素子である。
【０１０５】
したがって、基板上部に赤色、緑色と青色発光素子を実装し、これら発光素子をワイヤボンディングせず電気的に連結させ白色光を放出させられるパッケージを具現できる。 
【０１０６】
図１４は本発明により発光素子をアレイして白色光源を具現したパッケージの他の断面図であって、基板２００の上部に六つの導電性パッド２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆが形成されており、二つの導電性パッド２１４ａ、２１４ｂを用いて、基板２００の上部に上部及び下部のそれぞれに電極パッド３０１、３０２が形成されている発光素子３００を実装しワイヤボンディングせずパッケージングする。
【０１０７】
残り４つの導電性パッド２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆに一対の電極パッド３５１、３５２が形成されている二つの発光素子３５２、３６０をフリップチップ(Flip chip)ボンディングする。
【０１０８】
本発明は具体的な例について詳述されたが、本発明の技術思想の範囲内で多様な変形及び修正が可能なことは当業者にとって明らかであり、このような変形及び修正が特許請求の範囲に属することは当然である。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】従来のワイヤボンディングを用いた発光素子パッケージの断面図
【図２】従来の技術により発光素子をアレイしてパッケージングした状態の断面図
【図３ａ】従来の技術に係る発光素子パッケージに蛍光体が塗布された状態を概略的に示した断面図
【図３ｂ】従来の技術に係る発光素子パッケージに蛍光体が塗布された状態を概略的に示した断面図
【図４】本発明の第１実施例による発光素子パッケージの概略的な断面図
【図５】本発明の第１実施例により非伝導性基板が適用された発光素子パッケージの断面図
【図６】本発明の第１実施例により伝導性基板が適用された発光素子パッケージの断面図
【図７ａ】本発明の第１実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図７ｂ】本発明の第１実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図７ｃ】本発明の第１実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図８ａ】本発明により光透過用物質膜を形成するための一例の工程断面図
【図８ｂ】本発明により光透過用物質膜を形成するための一例の工程断面図
【図９ａ】本発明により光透過用物質膜を形成するための他の例の工程断面図
【図９ｂ】本発明により光透過用物質膜を形成するための他の例の工程断面図
【図１０】本発明の第２実施例による発光素子パッケージの概略的な断面図
【図１１ａ】本発明の第２実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図１１ｂ】本発明の第２実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図１１ｃ】本発明の第２実施例により発光素子パッケージの製造工程を説明するための断面図
【図１２】本発明により発光素子をアレイしてパッケージングした状態の断面図
【図１３】本発明により発光素子をアレイして白色光源を具現したパッケージの断面図
【図１４】本発明により発光素子をアレイして白色光源を具現したパッケージの他の断面図
【符号の説明】
【０１１０】
２００ : 基板                       ２０２ : 伝導性基板
２１０、２１１、２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１
４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆ : 導電性パッド
３００、３００ａ、３００ｂ、３５０: 発光素子      
３０１、３０２、３０５、３５１、３５２、３６０ : 電極パッド
３１０ : 接着剤                     ３１１ : 導電性接着剤
４００ : 光透過用物質膜            ４０１、４０２ : トレンチ(Trench)
４１０ : コーティング膜             ４２０ : 平坦膜
５００、５２１ : 導電性ライン       ５１１、５１２ : 導電性物質
５１３ : 導電層                     ７０５ : ｎ型層
７０６ : 活性層                     ７０７ : ｐ型層
７０８ : サファイア基板             ７０９ : ワイヤ
７１０ : サブマウント               ７１２ : ｐ-型オーミック接触金属
７１３ : ｎ-型オーミック接触金属        ７１５ : ｎ型導電性パッド
７１６ : ｐ型導電性パッド           ７１７ : インターコネクション部
７１８ : 蛍光体                     ７１９ : 透明絶縁膜 
７２０ : 絶縁膜
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８ａ
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８ｂ
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８ｃ
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８ｄ
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９ａ
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９ｂ
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９ｃ
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９ｄ
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２０
【補正方法】削除
【補正の内容】