(57)【要約】【課題】  板状ワークをエア噴出によって浮上させるエア浮上装置において、ワーク浮上用のエアにより発生する静電気を除去する除電装置の設置空間を削減する。【解決手段】  板状ワーク６を浮上させるワーク浮上面２ａに複数のエア噴出孔３を設け、そのワーク６をエア噴出によって浮上させる装置において、上記ワーク浮上用のエアの供給流路に、該エアをイオン化するためのイオン化装置５を設置し、噴出するワーク浮上用のエアにより発生する静電気を除去する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを浮上させるワーク浮上面に複数のエア噴出孔を設け、そのワークをエア噴出によって浮上させる装置において、
上記ワーク浮上用のエアの供給流路に、該エアをイオン化するためのイオン化装置を設置し、噴出するワーク浮上用のエアにより発生するワーク上の静電気を除電する、
ことを特徴とする除電装置付きエア浮上装置。
【請求項２】
上記エア浮上装置が、上記板状ワークをエア噴出によって浮上させながらその板状ワークを搬送する装置であり、上記ワーク浮上面が、上記エア浮上装置におけるエアタンク部の上壁面により構成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の除電装置付きエア浮上装置。
【請求項３】
上記エアタンク部内に上記イオン化装置が設置されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の除電装置付きエア浮上装置。
【請求項４】
上記エア噴出孔またはそこに至る流路の一部が、流路壁に設けた第１の貫通孔の内周壁を絶縁体で覆うことにより形成した第２の貫通孔で構成され、
該第２の貫通孔内に上記イオン化装置における放電針が設けられている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の除電装置付きエア浮上装置。
【請求項５】
上記エア噴出孔が、上記ワーク浮上面を構成する壁に設けられた貫通孔と、該貫通孔内の上方部分に該貫通孔を塞ぐように設けられた多孔質材とで構成され、
上記多孔質材のエア流入側または該多孔質材中に、上記イオン化装置における放電針が設けられている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の除電装置付きエア浮上装置。
【請求項６】
板状ワークをワーク浮上面からのエア噴出によって浮上させるエア浮上装置における除電方法であって、
上記板状ワークとワーク浮上面との間にイオン化したワーク浮上用のエアを流すことにより、ワーク浮上用のエアによって発生するワークの静電気を除電する、
ことを特徴とするエア浮上装置における除電方法。
【請求項７】
上記ワーク浮上用のエアを、エア供給流路に設けたイオン化装置によりイオン化してから、上記ワーク浮上面に設けた複数のエア噴出孔から噴出して、上記板状ワークとワーク浮上面との間に流す、
ことを特徴とする請求項６に記載のエア浮上装置における除電方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークをエア噴出によって浮上させるエア浮上装置に除電装置を付設した除電装置付きエア浮上装置及び該浮上装置における除電方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ワークを浮上させる面にエア噴出孔を設け、該噴出孔からのエアの噴出によってワークを浮上させたり、ワークを浮上させながらそのワークを搬送するエア浮上装置は、従来から知られており、そのような装置においては、吹き付けるエアとの摩擦によってワークに静電気が発生するため、静電気除去装置を設置することが多い。
【０００３】
例えば、図５に示す、板状のワーク５６を浮上させながらそのワーク５６を搬送する従来のエア浮上装置５１では、ワーク浮上面５２に設けた複数のエア噴出孔５３から噴出するエアがワーク５６とワーク浮上面５２との間の隙間を流れる際に、摩擦によってワーク５６に静電気が発生するため、ワーク５６の搬送路の途中のワーク５６の上下に静電気を除去するための除電装置５４を設置し、該除電装置５４からイオン化された除電エア５５をワーク５６の上面及び下面に吹き付けてワーク５６の除電を行っている。
【０００４】
しかし、ワーク５６の上面及び下面に除電エア５５を吹き付けて除電するコロナ放電方式の除電装置５４は、ワーク５６と除電装置５４との距離を極端に接近させるとイオンバランスの悪化が懸念されるため、ワーク５６と除電装置５４の間にある程度の距離が必要となり、薄板のワーク５６を搬送するにもかかわらず、エア浮上装置内にはある程度の除電装置設置空間Ｈを必要としていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の技術的課題は、ワーク浮上用のエアにより発生するワークの静電気を除電するに際し、搬送路の上下の除電装置の設置空間を削減できるようにした除電装置付きエア浮上装置及びその除電方法を提供することにある。
また、本発明の他の技術的課題は、板状ワークの全体をムラなく除電できるようにした除電装置付きエア浮上装置及びその除電方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の除電装置付きエア浮上装置は、板状ワークを浮上させるワーク浮上面に複数のエア噴出孔を設け、そのワークをエア噴出によって浮上させる装置において、上記ワーク浮上用のエアの供給流路に、該エアをイオン化するためのイオン化装置を設置し、噴出するワーク浮上用のエアにより発生するワーク上の静電気を除電することを特徴とするものである。
【０００７】
上記除電装置付きエア浮上装置の好ましい実施形態においては、上記エア浮上装置が、上記板状ワークをエア噴出によって浮上させながらその板状ワークを搬送する装置であり、上記ワーク浮上面が、上記エア浮上装置におけるエアタンク部の上壁面により構成される。この場合、上記エアタンク部内に上記イオン化装置が設置されるのが望ましい。
【０００８】
また、上記装置の他の好ましい実施形態においては、上記エア噴出孔またはそこに至る流路の一部が、流路壁に設けた第１の貫通孔の内周壁を絶縁体で覆うことにより形成した第２の貫通孔で構成され、該第２の貫通孔内に上記イオン化装置における放電針が設けられる。
更に、上記エア噴出孔が、上記ワーク浮上面を構成する壁に設けられた貫通孔と、該貫通孔内の上方部分に該貫通孔を塞ぐように設けられた多孔質材とで構成され、上記多孔質材のエア流入側または該多孔質材中に、上記イオン化装置における放電針を設けることができる。
【０００９】
一方、上記課題を解決するための本発明のエア浮上装置における除電方法は、板状ワークをワーク浮上面からのエア噴出によって浮上させるに際し、上記板状ワークとワーク浮上面との間にイオン化したワーク浮上用のエアを流すことにより、ワーク浮上用のエアによって発生するワークの静電気を除電することを特徴とするものである。
上記除電方法においては、上記ワーク浮上用のエアを、エア供給流路に設けたイオン化装置によりイオン化してから、上記ワーク浮上面に設けた複数のエア噴出孔から噴出して、上記板状ワークとワーク浮上面との間に流すのが望ましい。
【発明の効果】
【００１０】
以上に詳述した本発明によれば、ワーク浮上用のエアにより発生するワークの静電気を除電するに際し、ワークの搬送路の上下の除電装置設置空間を削減することができ、板状ワークとワーク浮上面との間にイオン化したエアを流すことにより、ワークの全体をムラなく除電することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、本発明に係る除電装置付きエア浮上装置の一実施例を示している。
このエア浮上装置１は、板状ワーク６を浮上させるワーク浮上面２ａに複数のエア噴出孔３を設け、該板状ワーク６を該噴出孔３からのエア噴出によって浮上させながら、該板状ワーク６を搬送する装置であり、上記板状ワーク６を浮上させるワーク浮上面２ａは、上記エア浮上装置１におけるエアタンク部２の上壁２ｂ上に形成されている。
なお、本発明のエア浮上装置は、板状ワーク６を浮上させながら搬送する場合に限るものではなく、単純にワークをエア浮上させて保持する装置についても本発明を適用することができる。
【００１２】
上記エアタンク部２は、上記板状ワーク６の搬送方向に延びる長尺の直方体状をなし、上壁２ｂ、側壁２ｃ、底壁２ｄで囲まれた高さが低い空間部４を内部に有し、該上壁２ｂを貫通して上記複数のエア噴出孔３が設けられている。
上記エアタンク部２は、管路を介してエア供給源（図示せず）に接続され、該管路及び上記空間部４により上記エア供給源から上記エア噴出孔３に至るエア供給流路が構成され、上記エア供給源からワーク浮上用のエアが供給される空間部４内に上記ワーク浮上用のエアをイオン化するためのイオン化装置５が設置されている。
【００１３】
上記イオン化装置５は、従来の除電装置におけるイオン化された除電エアを得るためのイオン発生装置と同様のものであり、図示していないが、給電回路に接続された放電電極備え、コロナ放電によるイオンを発生させるものである。
【００１４】
上記除電装置付きエア浮上装置１においては、ワーク浮上面２ａに設けた複数のエア噴出孔３から噴出するエアが板状ワーク６とワーク浮上面２ａとの間の隙間を流れる際に、摩擦によって板状ワーク６に静電気が発生するが、それにより板状ワーク６が帯電する極性と逆極性の噴出エア中のイオンが板状ワーク６の表面に接触し、該ワークの帯電を電気的に中和させる。
この場合、上記除電装置付きエア浮上装置１は、ワーク浮上面２ａに設けた複数のエア噴出孔３から、板状ワーク６を浮上させるためのイオン化したエアを噴出しているため、該イオン化したエアを板状ワーク６とワーク浮上面２ａとの間に流すことができ、噴出エア中の正または負のイオンにより該板状ワーク６をムラなく除電することができる。
【００１５】
また、上記除電装置付きエア浮上装置１は、ワーク浮上面２ａから噴出するイオン化したワーク浮上用のエアを板状ワーク６とワーク浮上面２ａとの間に流すことにより除電するため、図５に示す従来の除電装置付きエア浮上装置５１のように、ワーク５６の搬送路の途中のワーク５６の上方及び下方位置に静電気を除去するための除電装置５４を設置する必要がなく、そのため、除電装置を設置するための空間を削減することができる。
【００１６】
図２〜図４は、本発明に係る除電装置付きエア浮上装置のそれぞれ別の実施例を示す概念図である。
図２〜図４に示す実施例は、ここでは、板状ワーク６を浮上させるワーク浮上面２ａに設けるエア噴出孔として説明するが、図１のエアタンク部２内の空間部４にイオン化したエアを供給するイオン化装置として使用することもできる。いずれにしても、ワークをエア噴出によって浮上させながら搬送する装置において、上記ワーク浮上用のエアの供給流路に、該エアをイオン化するためのイオン化装置を設置する点では変わるところがなく、また、上記の点で図１に示す実施例とも基本的に共通している。そのため、図１に示す実施例とは相違するエア噴出孔とイオン化装置の具体的構成について説明し、その他については省略する。
【００１７】
図２に示す実施例では、複数のエア噴出孔２１が、ワーク浮上面２ａを構成する壁２ｂに設けた第１の貫通孔２２の内周壁を絶縁体２３で覆うことにより形成した第２の貫通孔２４で構成され、該第２の貫通孔２４内にイオン化装置における放電針２５が設けられている。したがって、該第２の貫通孔２４と放電針２５との間の隙間を通ってイオン化したワーク浮上用のエアが板状ワーク６とワーク浮上面２ａとの間に流れ、該噴出エア中の正または負のイオンにより該板状ワーク６がムラなく除電される。
【００１８】
図３に示す実施例では、エア噴出孔３１が、上記ワーク浮上面２ａを構成する壁２ｂに設けられた貫通孔３２と、該貫通孔３２のエア流出側である上方部分に該貫通孔３２を塞ぐように設けられた多孔質材３４とで構成され、上記貫通孔３２のエア流入側である上記多孔質材３４より下方部分に、上記イオン化装置における複数の放電針３５が設けられている。
【００１９】
上記貫通孔３２は、エア流入側からエア流出側に行くに従い径３２ａ，３２ｂ，３２ｃが階段状に拡径する段付き貫通孔３２とすることができ、上方に位置する径３２ｃの部分を塞ぐように上記多孔質材３４を設け、上記多孔質材３４より下方の段部３２ｄに上記イオン化装置における複数の放電針３５を設けることができる。
上記複数の放電針３５によってイオン化したワーク浮上用のエアは、上記貫通孔３２の上方部分を塞ぐように設けられた上記多孔質材３４内の多数の孔を通って上方へ噴出し、上記板状ワーク６とワーク浮上面２ａとの間に流れ、該噴出エア中の正及び負のイオンにより上記板状ワーク６がムラなく除電される。
【００２０】
また、図４に示す実施例では、上記エア噴出孔４１が、上記ワーク浮上面２ａを構成する壁２ｂに設けられた貫通孔４２と、該貫通孔４２のエア流出側である上方部分に該貫通孔４２を塞ぐように設けられた中央部付近に貫通孔４４ａを有する多孔質材４４とで構成され、該多孔質材４４の貫通孔４４ａ内に上記イオン化装置における放電針４５が設けられている。
【００２１】
上記貫通孔４２は、エア流入側からエア流出側に行くに従い径４２ａ，４２ｂ，４２ｃが階段状に拡径する段付き貫通孔４２とすることができ、上方に位置する径４２ｃの部分を塞ぐように上記多孔質材４４を設けることができる。
上記放電針４５によってイオン化したワーク浮上用のエアは、該多孔質材４４の貫通孔４４ａと放電針４５との間の隙間を通って上方へ噴出し、上記貫通孔４２の上方部分を塞ぐよう設けられた上記多孔質材４４内の多数の孔を通って上方へ噴出するワーク浮上用のエアと共に、上記板状ワーク６とワーク浮上面２ａとの間に流れ、該噴出エア中の正または負のイオンにより上記板状ワーク６がムラなく除電される。
【００２２】
上述したエア浮上装置における除電の方法は、図１の実施例で説明した除電装置付きエア浮上装置１の作用によって明らかであるから、ここではその説明を省略する。
【００２３】
以上において、本発明に係る除電装置付きエア浮上装置及び該浮上装置における除電方法について詳述したが、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載の発明の精神を逸脱しない範囲で、設計において種々の変更ができるものである。
例えば、図１に示す実施例では、ワーク浮上用のエアをイオン化するためのイオン化装置５をエアタンク部２の空間部４内に設置したが、必ずしもこの実施例に限定されるものではなく、エア供給源とエアタンク部２とを接続する管路の途中にイオン化装置５を設けてもよい。
【００２４】
また、図１に示す実施例では、エアタンク部２の上壁面をワーク浮上面２ａとしているが、ワーク浮上面２ａを必ずしもエアタンク部２の上壁面に限定する必要はない。
更に、板状ワーク６の上面についても除電する必要がある場合には、ワーク浮上装置のエア噴出による板状ワーク６の浮上を妨げない範囲内において、イオン化したエアを板状ワーク６の上面に接触させるようにすればよい。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る除電装置付きエア浮上装置の一実施例を示す概念図である。
【図２】除電装置の他の実施例を示す概念図である。
【図３】除電装置の更に他の実施例を示す概念図である。
【図４】除電装置の更に他の実施例を示す概念図である。
【図５】従来の除電装置付きエア浮上装置を示す概念図である。
【符号の説明】
【００２６】
１      除電装置付きエア浮上装置
２      エアタンク部
２ａ    ワーク浮上面
３，２１，３１，４１      エア噴出孔
４      空間部
５      イオン化装置
６      板状ワーク
２２，３２，４２    貫通孔
２３    絶縁体
２４    第２の貫通孔
２５，３５，４５    放電針
３４，４４          多孔質材
４４ａ    貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2006176289.tif 000006
【図５】
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