(57)【要約】【課題】電子管装置の大きさおよび重量を低減し、しかも製造コストも低減可能な電子管およびその電子管を含む電子管装置ならびに電子管装置の製造方法を提供する。【解決手段】この発明によれば、電子管本体２１を保持するハウジング１１と電子管本体との間に、冷媒１３が満たされた状態で、ハウジング外部に位置された電子管の外囲器の終端部１２ｄを用いて電子管内が所定真空度まで排気可能で、しかも終端部１２ｄを封止した際の封止部がハウジングの外部に突出することが抑止できる。これにより、電子管装置１を組み立てる際の組立時間が低減され、さらに電子管本体を覆うハウジングの大きさおよび電子管装置全体の重量が低減される。【選択図】図１
2006086081.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが固定され、これを支持する回転体であって、回転力を発生する回転駆動部を有する回転体と、この回転体を回転可能に支持する固定体と、ターゲットに対向して配置される陰極と、少なくとも前記陽極ターゲット、前記回転体、前記固定体および前記陰極を収納した状態で前記電子管を真空排気するための排気口および排気口を封止可能な封止部を有する外囲器と、を具備した電子管と、
前記回転駆動部に磁界を与えるコイルと、
前記電子管と前記コイルが収納されるハウジングと、
前記電子管と前記ハウジングとの間に供給される冷媒と、
を具備した電子管装置において、
前記電子管の前記封止部は、前記ハウジングの開口部を通じて、前記ハウジング外部に配置されていることを特徴とする電子管装置。
【請求項２】
前記封止部には、前記ハウジングに対して外部から装着される排気装置により供給される蓋部材が溶着されることを特徴とする請求項１記載の電子管装置。
【請求項３】
前記蓋部材には、加熱により拡散接合を促進する接合助剤がコーティングされていることを特徴とする請求項１または２記載の電子管装置。
【請求項４】
前記拡散接合を促進する接合助剤は、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｉｎ，Ｐｂ，Ｓｎのいずれかを含むことを特徴とする請求項３記載の電子管装置。
【請求項５】
前記ハウジングの前記開口部をカバーするカバー部材をさらに含むことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の電子管装置。
【請求項６】
陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが固定され、これを支持する回転体であって、回転力を発生する回転駆動部を有する回転体と、この回転体を回転可能に支持する固定体と、ターゲットに対向して配置される陰極と、少なくとも前記陽極ターゲット、前記回転体、前記固定体および前記陰極を収納した状態で前記電子管を真空排気するための排気口および排気口を封止可能な封止部を有する外囲器と、を具備した電子管と、
前記回転駆動部に磁界を与えるコイルと、
前記電子管と前記コイルが収納されるハウジングと、
を具備した電子管装置の製造方法において、
電子管を排気するに先だってハウジング内に電子管およびコイルを収納し、
電子管とハウジングとの間に冷媒を満たし、
ハウジングに明けられた開口部からハウジング外部に位置された排気口を用いて電子管を所定真空度まで排気し、
電子管内が所定真空度に達した時点で排気口を封止する、    
ことを特徴とする電子管装置の製造方法。
【請求項７】
排気口には、ハウジングおよび排気口に装着される排気装置により供給される蓋部材が溶着されることを特徴とする請求項６記載の電子管装置の製造方法。
【請求項８】
蓋部材には、加熱により拡散接合を促進する接合助剤がコーティングされていることを特徴とする請求項６または７記載の電子管装置。
【請求項９】
拡散接合を促進する接合助剤は、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｉｎ，Ｐｂ，Ｓｎのいずれかを含むことを特徴とする請求項８記載の電子管装置。
【請求項１０】
排気口の封止後に、ハウジングの開口部を覆うカバー部材がハウジングに取りられることを特徴とする請求項６ないし９のいずれかに記載の電子管装置の製造方法。
【請求項１１】
内部を所定真空度に維持可能な外囲器と、この外囲器に取り付けられるとともに同外囲器内を所定真空度まで排気するための開口部と、開口部を直接または間接的に封止可能な蓋部材とを具備し、
前記蓋部材は、前記開口部と拡散接合金属組織により密着されることを特徴とする電子管。
【請求項１２】
前記蓋部材は、前記外囲器を覆うハウジングとの間に冷却媒体が供給された後に、前記開口部に密着されることを特徴とする請求項１１記載の電子管。
【請求項１３】
前記蓋部材は、前記ハウジングから外部に突出する突出部を生じないことを特徴とする請求項１１または１２記載の電子管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばＸ線管、Ｘ線イメージ管、送信管（電力増幅管）、マグネトロン、ジャイロトロン、陰極線管等に代表され、真空容器内に、所定波長の電子線あるいは放射線を放出可能な構造が設けられる非開放型の電子管に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、医療用Ｘ線撮像装置や非破壊検査装置の分野では、検査対象すなわち被写体の透視撮影に、Ｘ線が広く利用されている。このため、長時間に亘って、安定にＸ線を放出可能なＸ線源としてのＸ線管装置や、被写体を透過したＸ線（Ｘ線濃度分布）を検出して可視像を出力するＸ線イメージ管等が既に実用化されている。
【０００３】
また、公衆向けの音声ならびに映像の送信あるいは通信衛星に信号を伝送するための、例えば電力増幅管に代表される送信管も広く利用されている。
【０００４】
さらに、レーダー用のパルス状マイクロ波発生源や電子レンジ用連続マイクロ波発生源として利用されるマグネトロンや、核融合におけるプラズマの加熱や大型の粒子加速器等に利用されるジャイロトロン等も既に多くの実績がある。
【０００５】
なお、上述したさまざまな電子管においては、製造工程で、真空排気装置により管内が所定の真空度まで真空排気され、真空排気装置と切り離される。
【０００６】
そのため、真空外囲器に一体的に取り付けられた銅管もしくはガラス管である排気管を切断（チップオフ）した際に、排気管が突出することが知られている。
【０００７】
また、チップオフ後に、真空外囲器から突出する排気管の長さは、多くの場合、真空外囲器の外径よりも突出する長さであり、電子管が組み込まれる装置に電子管を固定するために真空外囲器の外部に設けられるハウジングの大きさが増大することが知られている。
【０００８】
さらに、電子管、例えばＸ線管を製造する場合には、Ｘ線管単体で真空外囲器内を排気する工程と、排気が終了したＸ線管をエージングする工程と、Ｘ線管を絶縁油等の冷媒とともにハウジングに収納して高電圧を印加する試験工程の３つの工程と、が必要である。
【０００９】
なお、チップオフ（封止）の後、突出する長さに関しては言及されていないが、チップオフの前の真空排気後において、真空外囲器の開口部を封止する封止片を用いる例がある（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開昭６２−７６１３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に記載された封止片を用いて真空外囲器の開口部を封止した場合であっても、排気管が突出することは避けられず、結果的に、電子管を収納する容器（ハウジング）が大きくなる問題がある。
【００１１】
また、電子管の製造時には、排気工程とエージング工程と試験工程が必要であり、製造コストが増大する問題がある。
【００１２】
この発明の目的は、ハウジングを含む電子管装置の大きさおよび重量を低減し、しかも製造コストも低減可能な電子管およびその電子管を含む電子管装置ならびに電子管装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが固定され、これを支持する回転体であって、回転力を発生する回転駆動部を有する回転体と、この回転体を回転可能に支持する固定体と、ターゲットに対向して配置される陰極と、少なくとも前記陽極ターゲット、前記回転体、前記固定体および前記陰極を収納した状態で前記電子管を真空排気するための排気口および排気口を封止可能な封止部を有する外囲器と、を具備した電子管と、
前記回転駆動部に磁界を与えるコイルと、前記電子管と前記コイルが収納されるハウジングと、前記電子管と前記ハウジングとの間に供給される冷媒と、を具備した電子管装置において、前記電子管の前記封止部は、前記ハウジングの開口部を通じて、前記ハウジング外部に配置されていることを特徴とする電子管装置を提供するものである。
【００１４】
また、この発明は、陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが固定され、これを支持する回転体であって、回転力を発生する回転駆動部を有する回転体と、この回転体を回転可能に支持する固定体と、ターゲットに対向して配置される陰極と、少なくとも前記陽極ターゲット、前記回転体、前記固定体および前記陰極を収納した状態で前記電子管を真空排気するための排気口および排気口を封止可能な封止部を有する外囲器と、を具備した電子管と、前記回転駆動部に磁界を与えるコイルと、前記電子管と前記コイルが収納されるハウジングと、を具備した電子管装置の製造方法において、電子管を排気するに先だってハウジング内に電子管およびコイルを収納し、電子管とハウジングとの間に冷媒を満たし、ハウジングに明けられた開口部からハウジング外部に位置された排気口を用いて電子管を所定真空度まで排気し、電子管内が所定真空度に達した時点で排気口を封止する、ことを特徴とする電子管装置の製造方法である。
【００１５】
また、この発明は、内部を所定真空度に維持可能な外囲器と、この外囲器に取り付けられるとともに同外囲器内を所定真空度まで排気するための開口部と、開口部を直接または間接的に封止可能な蓋部材とを具備し、前記蓋部材は、前記開口部と拡散接合金属組織により密着されることを特徴とする電子管を提供するものである。
【発明の効果】
【００１６】
この発明によれば、電子管装置を組み立てる際の組立時間が低減され、さらに電子管を覆うハウジングの大きさおよび電子管装置全体の重量が低減される。
【００１７】
これにより、電子管装置が小型化され、しかも製造コストが低減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１９】
図１は、この発明の実施の形態が適用可能な電子管の構成の一例を説明する概略図である。なお、図１に示す電子管は、例えば医療用のＸ線撮像装置等において、Ｘ線透視像を得るためのＸ線源として利用されるＸ線管であり、特に陽極が回転される回転陽極型Ｘ線管である。
【００２０】
Ｘ線管装置１は、ハウジング１１とハウジング１１内の所定の位置に固定された外囲器１２内に収容されたＸ線管本体（Ｘ線発生器）２１を有している。なお、ハウジング１１と外囲器１２との間には、詳述しないが、Ｘ線管本体２１により発生される熱、すなわち外囲器１２を冷却するための冷媒、例えば絶縁油１３が満たされている。また、必要に応じて、外囲器１２内にもＸ線管本体２１そのものを冷却するために、詳述しない絶縁油が満たされてもよい。この場合、Ｘ線管本体２１内に満たされる絶縁油とハウジング１１内に満たされる絶縁油が循環されてもよく、さらにハウジング１１の外側に、絶縁油を冷却する冷却機構が設けられてもよい。なお、ハウジング１１に満たされる絶縁油は、シール部材により密閉（液密）されることはいうまでもない。
【００２１】
Ｘ線管本体２１は、電子源から電子が供給されることで所定波長および所定強度のＸ線を放出する陽極２２、陽極２２に対して電子を供給する陰極２３、陽極２２を所定速度で回転させる回転機構２４、回転機構２４に推力（回転力）を発生させるために、回転機構２４に所定の位置に磁界を提供するステータコイル２５等を有している。
【００２２】
外囲器１２の所定の位置およびハウジング１１の対応する位置には、陽極２２から放出されたＸ線を所定方向すなわち照射対象に向けて出力する窓１２ａ，１１ａが設けられている。なお、窓１２ａ，１１ａには、例えばベリリウム等が用いられる。
【００２３】
陽極２２は、円盤状に形成された回転体２２ａと回転体２２ａの所定位置に環状に形成された陽極ターゲット２２ｂとからなる。なお、陽極ターゲット２２ｂは、目的とされるＸ線の線質すなわち波長と線量とにより任意に選択されるが、例えばＷ（タングステン）が利用される。また、回転体２２ａの中央すなわち回転中心には、回転機構２４の支持軸２４ａが接続される中心穴２２ｃが設けられている。
【００２４】
回転機構２４は、例えば本願発明者による先願である特開２０００−１７３５１７（特願平１０−３７４２１２）等に詳しく記載されているので詳細な説明は省略するが、陽極２２の中心穴２２ｃに接続されることで回転体２２ａを保持する支持軸２４ａが、固定軸２４ｂの外側を回転される外輪回転型である。また、支持軸２４ａと固定軸２４ｂとの間には、液体金属潤滑剤ＬＭ、例えばＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金が供給されることにより、動圧式すべり軸受２４ｃとして機能する。
【００２５】
図２は、図１に示したＸ線管装置のＸ線管封止部およびＸ線管とハウジングとの固定部の近傍を拡大した状態を示している。
【００２６】
図２（ａ）および図２（ｂ）に示される通り、Ｘ線管本体２１を収容した外囲器１２の端部すなわち固定軸２４ｂの近傍においては、外囲器１２の周りにハウジング１１が所定間隔をおいて設けられ、両者の間の隙間（所定間隔部分）に、図１により説明した絶縁油１３が満たされている。
【００２７】
外囲器１２の所定位置には、所定内径が与えられた排気管１２ｂが接続されている。
【００２８】
排気管１２ｂの周囲には、後段に説明するＸ線管装置１を組み立てる際の排気工程やＸ線管装置１の移動に際して、ハウジング１１内で外囲器１２が膨張したり僅かに変位することを許容するためのベローズを設けてもよい。その場合は、ハウジング１１には、ベローズが固定されるための接続部が予め接続され、Ｘ線管本体２１を収容した外囲器１２とハウジング１１とが、ベローズにより接続される。
【００２９】
ハウジング１１の所定位置すなわち外囲器１２の排気管１２ｂが外部に案内されるための開口部分１２ｃの近傍に規定される（ハウジングの）開口１１ｃには、Ｘ線管本体２１および外囲器１２内部における内部反射等により外囲器１２からＸ線が洩れることを防止するための鉛部材１４が所定の厚さに形成されている。この構造により、外囲器１２内を排気した後、排気管１２ｂをチップオフ（封止）する位置をＸ線管本体２１が回転される際の回転中心の延長線上に設けることに起因してＸ線管本体２１および外囲器１２内部における内部反射等により外囲器１２からＸ線が不所望に外部に洩れることが防止される。
【００３０】
図２（ｂ）に示すように、チップオフされた排気管１２ｂの周囲には、ハウジング１１に接続可能で、チップオフ部すなわち排気管１２ｂの突出部分を覆う、カバー１５が固定される。なお、カバー１５の所定位置すなわちハウジング１１の開口１１ｃの周囲および排気管１２ｂの周囲の周囲に相対的に対応される部分には、外囲器１２の開口部分１２ｃおよび排気管１２ｂの周囲からＸ線が不所望に外部に洩れることを防止するための鉛部材１６が所定の厚さに形成されている。この構造により、排気管１２ｂを、ハウジング１１の開口１１ｃから外部に突出させたことに起因して、Ｘ線が不所望に外部に洩れることが防止される。また、カバー１５は、ハウジング１１すなわちＸ線管装置１をＸ線管装置１が組み込まれるべき装置、例えばＸ線撮像装置等の任意位置に固定可能とするための管球取り付けプレートとしても利用可能であり、排気管１２ｂをハウジング１１の開口１１ｃから外部に突出させる構成によっても、部品点数や部品コストが増大されることはない。
【００３１】
なお、図２（ａ）および図２（ｂ）に示した構成は、Ｘ線管装置１を真空排気する工程に先だって、ハウジング１１内に、Ｘ線管本体２１とステータコイル２５等を収納させることを可能とする。また、この構成は、ハウジング１１に予め開けられた開口１１ｃに、外囲器１２の排気管１２ｂを案内することにより、真空排気に先だって、ハウジング１１と外囲器１２との間に絶縁油１３等の冷媒を満たすことが可能となる。この場合、絶縁油（冷媒）１３は、シール部材により密閉（液密）されることはいうまでもない。従って、電子管の一般的な組立工程において最も時間を要する排気工程の後になる工程を低減可能である。これにより、電子管の製造コストが低減される。なお、絶縁油等の冷媒をベーキング工程よりも前にハウジング１１と外囲器１２との間の隙間に満たすことは、ベーキング工程において要求される最大温度に上限を与えることになるが、このことは、例えば放電洗浄等に代表される上限温度の低い別の工程により代替え可能である。
【００３２】
図３（ａ）ないし図３（ｃ）は、図１、図２（ａ）および図２（ｂ）に示したチップオフ（排気管封止）部の別の実施の形態を示している。なお、図３は、Ｘ線管（電子管）を収納するハウジングの大きさがＸ線管の外囲器の排気管（チップオフ部）の突出量の分だけ増加されることを考慮して、チップオフ部（図２（ａ）および図２（ｂ）で説明した排気管１２ｂ）が外囲器１２内に収容される構造の一例を示している。
【００３３】
図３（ａ）に示すように、外囲器１２の終端部１２ｄに、終端部１２ｄに対して気密に接続可能な排気治具１０１を接続する。
【００３４】
排気治具１０１は、外囲器１２の終端部１２ｄと接続される排気用流路１１１と、図示しない排気装置と排気用流路１１１を接続する排気用接続管１１２と、排気工程において外囲器１２内の真空度が高められることで排気用流路１１１が閉鎖（吸引）されることを防止するスペーサ１１３と、排気用流路１１１にスペーサ１１３を配置可能に排気用流路１１１の長さを維持するベローズ１１４と、外囲器１２の終端部１２ｄに、封止部材すなわち開口部１２ｃを封止する蓋３１を案内する蓋案内部材１１５を含む。なお、蓋３１が接続される外囲器１２の終端部１２ｄには、蓋３１が固定される段差（蓋収容部）１２ｅが設けられてもよい。
【００３５】
以下、排気工程について説明する。
【００３６】
初めに、蓋案内部材１１５に蓋３１をセットし、排気用接続管１１２と図示しない排気装置とを接続して排気装置を動作させる。このとき、スペーサ１１３は、ベローズ１１４の近傍にセットされたままである。
【００３７】
図示しない真空計により外囲器１２内の真空度をモニタしながら、外囲器１２内が所定真空度になるまで排気し、外囲器１２内の真空度が所定真空度に達した時点で、スペーサ１１３を取り外すと、図３（ｂ）に示すように、蓋案内部材１１５が、外囲器１２の内圧により、ハウジング１１の開口１１ｃに沿って外囲器１２の終端部１２ｄ側に引き寄せられる。従って、蓋３１が外囲器１２の終端部１２ｄ（蓋収容部１２ｅが用意されている場合には蓋収容部１２ｅ）に密着される。なお、この時点では、蓋３１は、蓋収容部１２ｅ（または終端部１２ｄ）に見かけ上密着している状態である。
【００３８】
次に、蓋案内部材１１５に設けられているヒータ挿入部（蓋案内部材１１５の中空部）１１５ａに、ヒータ１１６をセットし、図示しない電源装置から所定電力をヒータに供給する。これにより、蓋３１に設けられている図示しない接合助剤、例えばＡｕを媒介とした拡散接合により、蓋収容部１２ｅ（または終端部１２ｄ）と強固に接着される。なお、蓋３１には、例えばＣｕが用いられる。このときの接合（加熱）条件は、例えば７００℃×１０分である。
【００３９】
このようにして、外囲器１２が封止される。なお、蓋案内部材１１５は、図示しない発熱部材（ヒータ）が予め一体的に組み込まれてもよい。また、蓋案内部材１１５が発熱体で形成されてもよいことはいうまでもない。
【００４０】
以下、排気治具１０１を外囲器１２の終端部１２ｄから取り外すことで、図３（ｃ）に示すように、外囲器１２またはハウジング１１から実質的に突出する領域を残すことなく外囲器１２が封止される。
【００４１】
なお、図３（ａ）ないし図３（ｃ）に示した排気構造および排気工程を、図１ならびに図２（ａ）および図２（ｂ）により前に説明したように、Ｘ線管（電子管）とハウジングとを組み立て、絶縁油を満たした後に排気するＸ線管の製造方法と同時に実施することにより、製造コストを低減しながら、Ｘ線管（電子管）の大きさおよび重量を低減できる。
【００４２】
図４（ａ）ないし図４（ｃ）は、図３（ａ）ないし図３（ｃ）に示したチップオフ（排気管封止）部のまたさらに別の実施の形態を示している。
【００４３】
図４（ａ）に示すように、外囲器１２の終端部１２ｄに、終端部１２ｄに対して気密に接続可能な排気治具２０１を接続する。
【００４４】
排気治具２０１は、外囲器１２の終端部１２ｄと接続される排気用流路１１１と、図示しない排気装置と排気用流路１１１を接続する排気用接続管１１２と、排気工程において外囲器１２内の真空度が高められることで排気用流路１１１が閉鎖（吸引）されることを防止するスペーサ１１３と、排気用流路１１１にスペーサ１１３を配置可能に排気用流路１１１の長さを維持するベローズ１１４と、外囲器１２の終端部１２ｄに、封止部材すなわち開口部１２ｃを封止する蓋３１を案内する蓋案内部材１１５を含む。また、蓋３１と外囲器１２の終端部１２ｄとの間には、蓋３１を蓋案内部材１１５に押しつけるバネ２１１が設けられる。すなわち、蓋３１を蓋案内部材１１５にバネ２１１により押しつけた状態で排気作業が実行可能であり、排気時の外囲器１２（Ｘ線管装置１）の向きに関連する制約が除去される。なお、蓋３１が接続される外囲器１２の終端部１２ｄには、蓋３１が固定される段差（蓋収容部）１２ｅが設けられてもよい。
【００４５】
以下、排気工程について説明する。
【００４６】
初めに、蓋案内部材１１５に蓋３１をセットし、排気用接続管１１２と図示しない排気装置とを接続して排気装置を動作させる。このとき、バネ３１３は、伸びた状態にある。すなわち、蓋３１と外囲器１２の終端部１２ｄとの位置関係がずれることや、外囲器１２の内圧が所定真空度に達する前に蓋３１が外囲器１２の終端部１２ｄに密着されることが防止される。
【００４７】
図示しない真空計により外囲器１２内の真空度をモニタしながら、外囲器１２内が所定真空度になるまで排気し、外囲器１２内の真空度が所定真空度に達した時点で、スペーサ１１３を取り外すと、図４（ｂ）に示すように、蓋案内部材１１５が、外囲器１２の内圧により、ハウジング１１の開口１１ｃに沿って外囲器１２の終端部１２ｄ側に引き寄せられる。従って、蓋３１が外囲器１２の終端部１２ｄ（蓋収容部１２ｅが用意されている場合には蓋収容部１２ｅ）に密着される。なお、この時点では、蓋３１は、蓋収容部１２ｅ（または終端部１２ｄ）に見かけ上密着している状態である。
【００４８】
次に、蓋案内部材１１５に設けられているヒータ挿入部（蓋案内部材１１５の中空部）１１５ａに、ヒータ１１６をセットし、図示しない電源装置から所定電力をヒータに供給する。これにより、蓋３１に設けられている図示しない接合助剤、例えばＡｕを媒介とした拡散接合により、蓋収容部１２ｅ（または終端部１２ｄ）と強固に接着される。なお、蓋３１には、例えばＣｕが用いられる。蓋３１の材質としてＣｕ以外の例えばＦｅ合金を使う場合には拡散助剤としてＣｕを用いることもできる。このときの接合（加熱）条件は、例えば７００℃×１０分である。
【００４９】
このようにして、外囲器１２が封止される。なお、蓋案内部材１１５は、図示しない発熱部材（ヒータ）が予め一体的に組み込まれてもよい。また、蓋案内部材１１５が発熱体で形成されてもよいことはいうまでもない。
【００５０】
以下、排気治具２０１を外囲器１２の終端部１２ｄから取り外すことで、図４（ｃ）に示すように、外囲器１２またはハウジング１１から実質的に突出する領域を残すことなく外囲器１２が封止される。
【００５１】
なお、図４（ａ）ないし図４（ｃ）に示した排気構造および排気工程を、図１ならびに図２（ａ）および図２（ｂ）により前に説明したように、Ｘ線管（電子管）とハウジングとを組み立て、絶縁油を満たした後に排気するＸ線管の製造方法と同時に実施することにより、製造コストを低減しながら、Ｘ線管（電子管）の大きさおよび重量を低減できる。
【００５２】
以上説明したように、図３（ａ）ないし図３（ｃ）または図４（ａ）ないし図４（ｂ）に示した排気治具を用いる排気工程により、外囲器１２またはハウジング１１から実質的に突出する領域を残すことなく外囲器１２を所定真空度に封止できる。
【００５３】
なお、外囲器１２の終端部１２ｄすなわちフランジ部や蓋３１の材質は、Ｃｕ以外に、ＣｕとＦｅの合金等も利用可能である。
【００５４】
また、排気治具を外力により加圧することで、蓋３１と外囲器１２の終端部１２ｄとの間に、一定の圧力を印加してもよい。
【００５５】
またさらに、蓋３１と外囲器１２の終端部１２ｄとの間に、例えばメタルＯ−リングやメタルガスケット等の中間材を追加しても同様の効果が得られる。
【００５６】
さらにまた、排気工程において外囲器１２の開口部１２ｃすなわち終端部１２ｄ付近の温度を１５０℃以上に加熱する場合は、終端部（フランジ）１２ｄや蓋３１（中間材）をＡｕやＡｇ又はＣｕでコーティングすることが好ましい。なお、排気工程において終端部１２ｄ付近の温度を１５０℃程度に維持する場合には、終端部（フランジ）１２ｄや蓋３１（中間材）をＩｎ又はＰｂ又はＳｎでコーティングすることも可能である。この場合、中間材そのものを、Ｉｎ又はＰｂ又はＳｎとしても同様の効果が得られる。接合助剤は、純金属のみならず、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｉｎ，Ｐｂ，Ｓｎのいずれかを含む合金を使用することも可能である。
【００５７】
なお、この発明は上記した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を種々変形して具体化することができる。また、上記した実施の形態に開示されている複数の構成要素を適宜に組み合わせることにより、種々の発明を形成することができる。例えば、実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】この発明の実施の形態が適用可能な電子管の構成の一例を説明する概略図。
【図２】図１に示したＸ線管装置の回転機構側の端部すなわちＸ線管封止部およびＸ線管とハウジングとの固定部の近傍を拡大して示した概略図。
【図３】図１および図２に示した排気管封止部の別の実施の形態および排気治具の一例を示す概略図。
【図４】図１および図２に示した排気管封止部のさらに別の実施の形態および排気治具の一例を示す概略図。
【符号の説明】
【００５９】
１…Ｘ線管装置（電子管装置）１１…ハウジング、１１ａ…窓、１１ｂ…接続部、１１ｃ…開口、１２…外囲器、１２ａ…窓、１２ｂ…排気管、１２ｃ…開口部分、１２ｄ…終端部、１２ｅ…段差（蓋収容部）、１３…絶縁油、１４…カバー、１５…鉛部材、２１…Ｘ線管本体、２２…陽極、２２ａ…回転体、２２ｂ…陽極ターゲット、２２ｃ…中心穴、２３…陰極、２４…回転機構、２４ａ…支持軸、２４ｂ…固定軸、２４ｃ…、２５…ステータコイル、３１…蓋、１０１，２０１…排気治具、１１１…排気用流路、１１２…排気用接続管、１１３…スペーサ、１１４…ベローズ、１１５…蓋案内部材、１１５ａ…ヒータ挿入部、１１６…ヒータ。
【図１】
2006086081.tif 000003
【図２】
2006086081.tif 000004
【図３】
2006086081.tif 000005
【図４】
2006086081.tif 000006