(57)【要約】【課題】  短時間かつ単純な作業でモニタウェーハの移載位置を振り分けることのできる縦型拡散／ＣＶＤ装置及びウェーハ移載方法を提供する。【解決手段】  コントローラには、モニタウェーハの枚数別にボート上でのモニタウェーハの移載位置を算出するよう複数の演算処理をもつ処理手段が備えられる。この処理手段がモニタウェーハの枚数のパラメータに応じ複数の演算処理の中の１つの演算処理を選択し、該選択した演算処理によりボート上でのモニタウェーハの移載位置を算出する演算処理を行い、この演算処理結果を基に移載データを作成する。該作成された移載データに基づいてコントローラがモニタウェーハを移載するようウェーハ移載機を制御する縦型拡散／ＣＶＤ装置及びウェーハ移載方法である。【選択図】        図１
2006339660.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセットからボートへウェーハを移載するウェーハ移載機の動作を移載データに従って制御するコントローラを備えた半導体製造装置において、前記コントローラには、モニタウェーハの枚数別に前記ボート上での該モニタウェーハの移載位置を算出するよう複数の演算処理をもつ処理手段が備えられ、該処理手段が前記モニタウェーハの枚数のパラメータに応じ前記複数の演算処理の中の１つの演算処理を選択し該選択した演算処理により前記ボート上での前記モニタウェーハの移載位置を算出する演算処理を行い、該演算処理結果を基に前記移載データを作成し、該移載データに基づいて前記コントローラが前記モニタウェーハを移載するよう前記ウェーハ移載機を制御することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
モニタウェーハの枚数別に前記ボート上での該モニタウェーハの移載位置を算出するよう複数の演算処理をもつ処理手段を備えるコントローラが、カセットからボートへウェーハを移載するウェーハ移載機動作を移載データに従って制御するウェーハ移載方法であって、前記処理手段が前記モニタウェーハの枚数のパラメータに応じ前記複数の演算処理の中の１つの演算処理を選択し該選択した演算処理により前記ボート上での前記モニタウェーハの移載位置を算出する演算処理を行い、該演算処理結果を基に前記移載データを作成し、該移載データに基づいて前記コントローラが前記モニタウェーハを移載するよう前記ウェーハ移載機を制御することを特徴とするウェーハ移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の属する技術分野）
本発明は、半導体製造に使用される縦型拡散／ＣＶＤ装置に係り、特に自動的にモニタウェーハ移載位置を算出してウェーハ移載データを作成し、移載作業を行うことができる縦型拡散／ＣＶＤ装置及びウェーハ移載方法に関する。
【０００２】
（従来の技術）
まず、従来のウェーハ移載動作制御装置について図３を使って説明する。図３は、従来のウェーハ移載動作制御装置の構成図である。従来のウェーハ移載動作制御装置は、図３に示すように、ウェーハを格納するカセット１と、ウェーハが移載されるボート２と、カセット１からボート２にウェーハを移載するウェーハ移載機３と、ウェーハ移載機３を制御するメカコントローラ４と、装置全体を制御するメインコントローラ５と、操作パネル６とから構成されている。
【０００３】
次に、各部の構成について具体的に説明すると、カセット１は製品となるプロセスウェーハやテスト用のモニタウェーハやプロセスウェーハの上下にダミーとして移載するサイドダミーウェーハ等を収納するもので、作業者が、操作パネル６から全ウェーハの移載データを入力すると、移載データに従ってメインコントローラ５の制御の下で、メカコントローラ４がウェーハ移載機３を制御して各種ウェーハをカセット１からボート２に移載するようになっている。
【０００４】
次に、従来のウェーハ移載動作制御装置におけるモニタウェーハ移載位置算出方式について説明する。従来のウェーハ移載動作制御装置では、ボートの総溝数，移載する上下サイドダミーウェーハの枚数，移載する「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の枚数，及び移載するモニタウェーハの枚数からボート内にモニタウェーハが均等に振り分けられるように、作業者がモニタウェーハの移載位置を算出し、算出した移載位置に従って使用する装置に合ったデータ形式で全ウェーハの移載データを作成し、操作パネル６から移載データを入力するようになっていた。そして、入力された移載データに従ってメインコントローラ５の制御の下で、メカコントローラ４がウェーハ移載機３を制御して各種ウェーハをカセット１からボート２に移載するようになっていた。
【０００５】
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記従来のウェーハ移載動作制御装置及びそれにおけるモニタウェーハ移載位置振り分け方式では、モニタウェーハ移載位置の算出、移載データの作成、移載データの入力をすべて作業者の手で行うため、作業が複雑で、各作業過程で計算ミスや操作ミスといった人為的なミスが発生する可能性が高く、更に移載準備に時間が掛かるという問題点があった。
【０００６】
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、短時間でかつ単純な作業でモニタウェーハの移載位置を均等に振り分けることのできる縦型拡散／ＣＶＤ装置及びウェーハ移載方法を提供することを目的とする。
【０００７】
（課題を解決するための手段）
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、カセットからボートへウェーハを移載するウェーハ移載機の動作を移載データに従って制御する縦型拡散／ＣＶＤ装置において、モニタウェーハは３枚とし、全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下及び全プロセス＋フィルダミーウェーハの真ん中にモニタウェーハが移載されるようにモニタウェーハの移載位置を決める縦型拡散／ＣＶＤ装置としており、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる。
【０００８】
また、本発明は、カセットからボートへウェーハを移載するウェーハ移載機の動作を移載データに従って制御する縦型拡散／ＣＶＤ装置において、少なくとも全プロセス＋フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数のパラメータを用い、ボート上でのモニタウェーハが、全プロセス＋フィルダミーウェーハの間に均等に配置されるようにモニタウェーハの移載位置を決める縦型拡散／ＣＶＤ装置としており、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる。
【０００９】
また、本発明は、カセットからボートへウェーハを移載するウェーハ移載機の動作を移載データに従って制御する縦型拡散／ＣＶＤ装置において、少なくとも全プロセス＋フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数のパラメータを用い、ボート上でのモニタウェーハの移載位置を決める縦型拡散／ＣＶＤ装置としており、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる。
【００１０】
また、本発明は、ウェーハ移載方法において、カセットからボートへウェーハを移載する際に、モニタウェーハは３枚とし、全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下及び全プロセス＋フィルダミーウェーハの真ん中にモニタウェーハが移載されるようにモニタウェーハの移載位置を決めるウェーハ移載方法としており、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる。
【００１１】
また、本発明は、ウェーハ移載方法において、カセットからボートへウェーハを移載する際に、少なくともボートに移載される全プロセス＋フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数に基づき、ボート上でのモニタウェーハが、全プロセス＋フィルダミーウェーハの間に均等に配置されるようにモニタウェーハの移載位置を決めるウェーハ移載方法としており、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる。
【００１２】
また、本発明は、ウェーハ移載方法において、カセットからボートへウェーハを移載する際に、少なくともボートに移載される全プロセス＋フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数に基づき、前記ボート上での前記モニタウェーハの移載位置を決めるウェーハ移載方法としており、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる。
【００１３】
（発明の実施の形態）
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
本発明の実施の形態に係るウェーハ移載動作制御装置の構成は、従来のウェーハ移載動作制御装置とほぼ同様で、図３に示すように、ウェーハを格納するカセット１と、ウェーハを積み上げるボート２と、カセット１からボート２にウェーハを移載するウェーハ移載機３と、ウェーハ移載機３を制御するメカコントローラ４と、装置全体を制御するメインコントローラ５と、操作パネル６とから構成され、本実施例の特徴部分としては、メカコントローラ４の内部にモニタウェーハ移載位置を算出し、全ウェーハの移載データを作成する処理手段が設けられている。
【００１４】
尚、本実施例のウェーハ移載動作制御装置ではメカコントローラ４内部に処理手段を設けるようにしているが、モニタウェーハ移載位置を算出し、全ウェーハの移載データを作成する処理手段をメインコントローラ５内部に設けても構わない。
【００１５】
次に、各部の動作について具体的に説明すると、作業者が操作パネル６からモニタウェーハの枚数を入力すると、入力された枚数データはメインコントローラ５を経由してメカコントローラ４に送られる。メカコントローラ４の処理手段では、モニタウェーハの移載位置を算出する演算処理を行い、その結果を基にして全ウェーハの移載データを作成し、作成した移載データをウェーハ移載機３に送る。ウェーハ移載機３は、移載データに従ってサイドダミーウェーハとプロセスウェーハとフィルダミーウェーハとモニタウェーハを順次カセット１からボート２に移載するようになっている。
【００１６】
次に、本実施例のウェーハ移載動作制御装置におけるモニタウェーハ移載位置振り分け方式について説明する。まず、モニタウェーハを「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の間に均等に配置する方法について、図１を使って説明する。図１は、本実施例におけるモニタウェーハの枚数別に移載位置を示すボートの状態図である。
【００１７】
本実施例のモニタウェーハ移載位置振り分け方式では、モニタウェーハを「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の間に均等に配置して移載するために、移載するモニタウェーハが１枚の場合と、２枚の場合と、３枚以上の場合とに分けて考えることにする。
【００１８】
移載するモニタウェーハが１枚の場合は、図１（ａ）に示すように、「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の真ん中にモニタウェーハを挿入するように移載し、ボートの状態は、ボート上部から上側サイドダミーウェーハ，プロセス＋フィルダミーウェーハ，モニタウェーハ，プロセス＋フィルダミーウェーハ，下側サイドダミーウェーハの順で移載されるものである。
【００１９】
移載するモニタウェーハが２枚の場合は、図１（ｂ）に示すように、「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の両側にモニタウェーハを挿入するように移載し、ボートの状態は、ボート上部から上側サイドダミーウェーハ，モニタウェーハ，プロセス＋フィルダミーウェーハ，モニタウェーハ，下側サイドダミーウェーハの順で移載されるものである。
【００２０】
移載するモニタウェーハが３枚以上の場合は、図１（ｃ）に示すように、「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の両側と、残りのモニタウェーハを「プロセス＋フィルダミーウェーハ」を均等に分けた間に挿入するように移載し、ボートの状態は、ボート上部から上側サイドダミーウェーハ，モニタウェーハ，プロセス＋フィルダミーウェーハ，モニタウェーハ，・・・，プロセス＋フィルダミーウェーハ，モニタウェーハ，下側サイドダミーウェーハの順で移載されるものである。
【００２１】
次に、本実施例のモニタウェーハ移載位置の算出方法について説明する。本実施例では、メカコントローラ４で自動的にモニタウェーハの移載位置を算出するために、次の５つの値をパラメータとして、予め作業者が操作パネル６から設定しておく。５つのパラメータとは、ボートの総溝数（Ｂ），上側サイドダミーウェーハの枚数（Ｓ１），下側サイドダミーウェーハの枚数（Ｓ２），「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の枚数（Ｐt ），モニタウェーハの枚数（Ｍ）である。
【００２２】
移載するモニタウェーハが１枚の場合は、図１（ａ）に示したように、「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の真ん中にモニタウェーハを挿入するため、モニタウェーハの上及び下に移載される「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の数Ｐ1 ，Ｐ2 の算出は、
Ｐt ÷２
式によって求められる商をａとし、余りをｂとすると、
Ｐ1 ＝ａ＋ｂ
Ｐ2 ＝ａ
求められる。そこで、ボート上でのモニタウェーハ移載位置（Ｍ1 ）は、
Ｍ1 ＝Ｂ−Ｓ１−Ｐ1
式で求めることができる。
【００２３】
移載するモニタウェーハが２枚の場合は、図１（ｂ）に示したように、「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の両側にモニタウェーハを挿入するため、ボート上でのモニタウェーハ移載位置（Ｍ1 ，Ｍ2 ）は、
Ｍ1 ＝Ｂ−Ｓ１
Ｍ2 ＝Ｍ1 −１−Ｐt
式で求めることができる。
【００２４】
移載するモニタウェーハが３枚以上の場合は、図１（ｃ）に示したように、「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の両側と、残りのモニタウェーハを「プロセス＋フィルダミーウェーハ」を均等に分けた間に挿入するように移載するため、まず、モニタウェーハによって等分される「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の枚数Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・，Ｐm （ｍ＝Ｍ−１）を求める。
Ｐt ÷（Ｍ−１）
の式によって求められる商をａとし、余りをｂとすると、ｎ（１≦ｎ≦ｍ）番目の「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の振り分け枚数Ｐn は、余りｂが０でない場合、
Ｐn ＝ａ＋ｃ    ｃの値はｎ≦ｂならば１，ｎ＞ｂならば０  
但し、余りｂが０の場合の振り分け枚数Ｐn は、  
Ｐn ＝ａ
の式で求められる。  
【００２５】
そこで、ボート上でのモニタウェーハ１枚目，２枚目，・・・，ｍ＋１枚目の移載位置Ｍ1 ，Ｍ2 ，・・・Ｍm+1 は、  
Ｍ1 ＝Ｂ−Ｓ１  
Ｍ2 ＝Ｍ1−１−Ｐ1  
：  
Ｍn ＝Ｍn-1−１−Ｐn-1  
：  
Ｍm+1 ＝Ｍm−１−Ｐm
の式で求めることができる。
【００２６】
次に、本実施例のモニタウェーハ移載位置の算出方法を実現するための動作について、図２を使って説明する。図２は、本実施例のモニタウェーハ移載位置の演算処理のフローチャート図である。尚、パラメータであるボートの総溝数（Ｂ），上側サイドダミーウェーハの枚数（Ｓ１），下側サイドダミーウェーハの枚数（Ｓ２），「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の枚数（Ｐt ），モニタウェーハの枚数（Ｍ）はすでに設定されているものとする。  
【００２７】
まず、モニタウェーハの位置を記憶するためにモニタウェーハの枚数（Ｍ）分のテーブルＭＰ（Ｍ）を確保し（１００）、モニタウェーハの枚数（Ｍ）を調べ（１０１）、Ｍ＝１ならばモニタウェーハ１枚の処理に移り、Ｍ＝２ならばモニタウェーハ２枚の処理に移り、Ｍ≧３であればモニタウェーハ３枚以上の処理に移る。  
【００２８】
モニタウェーハ１枚の処理では、Ｐt ÷２の商ａと余りｂを求め（１１０）、第１番目の「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の枚数Ｐ1 ＝ａ＋ｂを求め（１１１）、モニタウェーハ移載位置ＭＰ（１）＝Ｂ−Ｓ１−Ｐ1 を求め（１１２）、処理を終了する。
【００２９】
モニタウェーハ２枚の処理では、１枚目のモニタウェーハ移載位置ＭＰ（１）＝Ｂ−Ｓ１を求め（１２０）、２枚目のモニタウェーハ移載位置ＭＰ（２）＝ＭＰ（１）−Ｐt を求め（１２１）、処理を終了する。  
【００３０】
モニタウェーハ３枚以上の処理では、まず１枚目のモニタウェーハ移載位置ＭＰ（１）＝Ｂ−Ｓ１を求め（１３０）、次にＰt ÷（Ｍ−１）の商ａと余りｂを求める（１３１）。そして、カウンタｎを１にして（１３２）、カウンタｎが余りｂより大きいか否かを判断し（１３３）、ｂより大きければ（ｎ＞ｂ）ｃに０を入れ（１３４）、ｂより大きくなければ（ｎ≦ｂ）ｃに１を入れる（１３５）。    
【００３１】
次に、「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の枚数Ｐ＝ａ＋ｃを求め（１３６）、（ｎ＋１）番目のモニタウェーハ移載位置ＭＰ（ｎ＋１）＝ＭＰ（ｎ）−１−Ｐを求め（１３７）、カウンタｎに１加え（１３８）、カウンタｎがＭより小さい（ｎ＜Ｍ）か判断し（１３９）、小さければ処理１３３に戻り、さもなければ処理を終了する。
【００３２】
上記のような方式により、作業者が関与する作業は、５つのパラメータを設定することのみであり、作業者の負担が軽減し、その結果、操作ミスの可能性も少なくなり、装置の信頼性を向上させることができる効果がある。
【００３３】
更に、モニタウェーハの移載位置の算出や全ウェーハの移載データの作成を自動化したために、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置及び作業全体の信頼性及び効率を向上させることができる効果がある。
【００３４】
（発明の効果）
本発明によれば、モニタウェーハは３枚とし、全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下及び全プロセス＋フィルダミーウェーハの真ん中にモニタウェーハが移載されるようにモニタウェーハの移載位置を決める縦型拡散／ＣＶＤ装置としているので、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる効果がある。  
【００３５】
また、本発明によれば、少なくとも全プロセス＋フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数のパラメータを用い、ボート上でのモニタウェーハが、全プロセス＋フィルダミーウェーハの間に均等に配置されるようにモニタウェーハの移載位置を決める縦型拡散／ＣＶＤ装置としているので、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる効果がある。
【００３６】
また、本発明によれば、少なくとも全プロセス＋フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数のパラメータを用い、ボート上でのモニタウェーハの移載位置を決めるようにした縦型拡散／ＣＶＤ装置としているので、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる効果がある。
【００３７】
また、本発明によれば、カセットからボートへウェーハを移載する際に、モニタウェーハは３枚とし、全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下及び全プロセス＋フィルダミーウェーハの真ん中にモニタウェーハが移載されるようにモニタウェーハの移載位置を決めるウェーハ移載方法としているので、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる効果がある。  
【００３８】
また、本発明によれば、カセットからボートへウェーハを移載する際に、少なくともボートに移載される全プロセス＋フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数に基づき、ボート上でのモニタウェーハが、全プロセス＋フィルダミーウェーハの間に均等に配置されるようにモニタウェーハの移載位置を決めるウェーハ移載方法としているので、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる効果がある。
【００３９】
また、本発明によれば、カセットからボートへウェーハを移載する際に、少なくともボートに移載される全プロセス＋フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数に基づき、前記ボート上での前記モニタウェーハの移載位置を決めるウェーハ移載方法としているので、複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及び効率を向上させることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態に係る縦型拡散／ＣＶＤ装置及びウェーハ移載方法によるモニタウェーハの枚数別に移載位置を示すボートの状態図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る縦型拡散／ＣＶＤ装置及びウェーハ移載方法の演算処理のフローチャート図である。
【図３】従来のウェーハ移載動作制御装置の構成図である。
【符号の説明】
【００４１】
１・・・カセット、  ２・・・ボート、  ３・・・ウェーハ移載機、  ４・・・メカコントローラ、  ５・・・メインコントローラ、  ６・・・操作パネル
【図１】
2006339660.tif 000003
【図２】
2006339660.tif 000004
【図３】
2006339660.tif 000005