(57)【要約】【課題】  目標指令とモータ出力との偏差を最小とする最適なフィードフォワードゲインを自動で設定できるようにする。【解決手段】  目標指令とモータ２の出力との偏差絶対値の最大値を最小とするようなフィードフォワード制御器におけるフィードフォワードゲインを自動で設定できるフィードフォワードゲイン変更手段５を備える。フィードバック制御器４は目標指令とモータ２の出力とを一致させるような制御入力をモータ制御器３に与え、フィードバック制御器６は、目標指令を入力として加減速度一定時、及び速度一定時の偏差が零となるような複数の補償信号にフィードフォワードゲイン変更手段５において設定されたフィードフォワードゲインを乗じた複数のフィードフォワード信号をモータ制御器３に与え、モータ制御器３はモータ２を制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
目標指令にモータ出力を一致させるように制御するサーボ制御装置であって、モータを制御するモータ制御器と、前記目標指令と前記モータ出力と複数のフィードフォワード信号とを入力し、前記目標指令と前記モータ出力とを一致させるように制御入力を前記モータ制御器に出力するフィードバック制御器と、前記目標指令を入力して加減速度一定時および速度一定時における前記目標指令と前記モータ出力との偏差が零となるように複数の補償信号を生成して前記補償信号にフィードフォワードゲインを乗じた複数の前記フィードフォワード信号を前記モータ制御器と前記フィードバック制御器とに出力するフィードフォワード制御器とを備えたサーボ制御装置において、
前記目標指令と前記モータ出力との偏差を入力し、前記フィードフォワード制御器の前記フィードフォワードゲインを変更するフィードフォワードゲイン変更手段を備えたことを特徴とするサーボ制御装置。
【請求項２】
前記フィードフォワードゲイン変更手段は、絶対値出力器とメモリを備え、
前記絶対値出力器は前記偏差の絶対値を演算し、
前記メモリは前記偏差絶対値に対応した速度フィードフォワードゲインおよびトルクフィードフォワードゲインを記憶し、
前記フィードフォワード制御器には、前記速度フィードフォワードゲインと、前記トルクフィードフォワードゲインとを設定して、複数のフィードフォワード信号を作成し、
前記フィードバック制御器と、前記モータ制御器とには、前記フィードフォワード制御器から出力される複数の前記フィードフォワード信号を入力するようにしたことを特徴とする請求項１記載のサーボ制御装置。
【請求項３】
前記フィードフォワードゲイン変更手段は、絶対値出力器と積分器とメモリを備え、
前記絶対値出力器は前記偏差の絶対値を演算し、
前記積分器は前記偏差の絶対値を積分して第１積分補償値を演算し、
前記メモリは前記第１積分補償値に対応した速度フィードフォワードゲインおよびトルクフィードフォワードゲインを記憶し、
前記フィードフォワード制御器には、前記速度フィードフォワードゲインと、前記トルクフィードフォワードゲインとを設定して、複数のフィードフォワード信号を作成し、
前記フィードバック制御器と、前記モータ制御器とには、前記フィードフォワード制御器から出力される複数の前記フィードフォワード信号を入力するようにしたことを特徴とする請求項１記載のサーボ制御装置。
【請求項４】
前記フィードフォワードゲイン変更手段は二乗値出力器とメモリとを備え、
前記二乗値出力器は前記偏差の二乗値を演算し、
前記メモリは前記偏差二乗値に対応した速度フィードフォワードゲインおよびトルクフィードフォワードゲインを記憶し、
前記フィードフォワード制御器には、前記速度フィードフォワードゲインと、前記トルクフィードフォワードゲインとを設定して、複数のフィードフォワード信号を作成し、
前記フィードバック制御器と、前記モータ制御器とには、前記フィードフォワード制御器から出力される複数の前記フィードフォワード信号を入力するようにしたことを特徴とする請求項１記載のサーボ制御装置。
【請求項５】
前記フィードフォワードゲイン変更手段は二乗値出力器と積分器とメモリとを備え、
前記二乗値出力器は前記偏差の二乗値を演算し、
前記積分器は前記偏差二乗値を積分して第２積分補償値を演算し、
前記メモリは前記偏差二乗値に対応した速度フィードフォワードゲインおよびトルクフィードフォワードゲインを記憶し、
前記フィードバック制御器には、前記偏差に対応した速度フィードフォワードゲインを設定し、
前記モータ制御器には、前記偏差に対応したトルクフィードフォワードゲインを設定するようにしたことを特徴とする請求項１記載のサーボ制御装置。
【請求項６】
前記フィードフォワードゲイン変更手段は、ゼロ出力器とスイッチと絶対値出力器とメモリを備え、
前記スイッチは前記偏差と前記ゼロ出力器のゼロ出力値を加速度変化検出手段の加速度変化信号により切替え、
前記加速度変化時信号がオンの時に前記偏差を入力し、オフの時は０を入力することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のサーボ制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、指令追従精度を必要とする工作機、半導体製造装置、実装機等を駆動するサーボ制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のサーボ制御装置は目標指令にモータ出力を一致させるように、モータ制御器に制御入力を与えるサーボ制御装置として、様々な構成が提案されている。（例えば、特許文献１を参照。）
図８は特許文献１に開示された従来のサーボ制御装置を代表する予測制御装置の構成を示すブロック図である。予測制御装置は制御対象の出力を目標指令に一致させるように動作する。図８に示すように予測制御装置は、制御対象１’、予測制御装置４’、フィードフォワード信号作成指令フィルタ６’で構成され、制御対象１’はモータ制御器３’とモータ２’で構成される。
図９は特許文献１に開示された予測制御装置のフィードフォワード信号作成指令フィルタの構成を示すブロック図である。図９に示されるように、フィードフォワード信号作成指令フィルタはフィルタ２４、メモリ２５、フィードフォワード信号演算器２６で構成される。
【０００３】
次に動作について説明する。フィルタは未来の目標指令に関する情報を入力として、その入力した信号、あるいは、その入力した信号を内部のディジタルフィルタ（不図示）でフィルタリングした信号のＭサンプリング未来におけるサンプリング周期の間の増分とを指令Δｒ（ｉ＋Ｍ）として出力する。ディジタルフィルタは目標指令をフィルタリングする目的で用いられる。メモリはフィルタからの出力された指令増分値を順次記憶して現在時刻ｉからＭサンプリング未来までの指令値Δｒ（ｉ）、Δｒ（ｉ＋１）、・・・、Δｒ（ｉ＋Ｍ）を出力する。フィードフォワード演算器はメモリから出力された指令増分値Δｒ（ｉ）、Δｒ（ｉ＋１）、・・・、Δｒ（ｉ＋Ｍ）からフィードフォワード信号を求め、トルクフィードフォワード信号Ｔｆｆ（ｉ）、速度フィードフォワード信号Ｖｆｆ（ｉ）を生成する。予測制御器はフィードフォワード信号Ｔｆｆ（ｉ）、Ｖｆｆ（ｉ）と指令増分値Δｒ（ｉ＋１）、・・・、Δｒ（ｉ＋Ｍ）、制御対象の出力を入力として、フィードフォワード信号および制御入力からの出力までの伝達関数モデルを用いて未来の偏差予測値をもとめ、その未来偏差予測値と制御入力ｕ（ｉ）に関する評価関数が最小となるように制御入力ｕ（ｉ）を決定し、制御対象に出力する。制御対象はモータ制御器とモータから構成されており、モータ制御器は制御入力ｕ（ｉ）とフィードフォワード信号を入力して制御演算をし、モータを駆動する。図８の構成により、従来の予測制御装置は偏差を最小とするフィードフォワード制御器のフィードフォワードゲインを設定することにより加減速度一定時、および速度一定時の偏差を零とし、加速度変化時の偏差を小さくすることができるのである。
【特許文献１】特開２００２−６２９０６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の予測制御装置は最適なフィードフォワードゲインを設定するために偏差をモニタし、フィードフォワードゲインを手動で設定するため、加減速度一定時、および速度一定時の偏差を零とし、加減速度変化時の偏差を小さくすることができるが、調整が煩雑であるという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、フィードフォワードゲイン変更手段を用いて自動で偏差を最小とするようなフィードフォワードゲインを設定することができるサーボ制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の本発明は、目標指令にモータ出力を一致させるように制御するサーボ制御装置であって、モータを制御するモータ制御器と、目標指令とモータ出力と複数のフィードフォワード信号とを入力し、目標指令とモータ出力とを一致させるように制御入力をモータ制御器に出力するフィードバック制御器と、目標指令を入力して加減速度一定時、および速度一定時における目標指令と前記モータ出力との偏差が零となるように複数の補償信号を生成して補償信号にフィードフォワードゲインを乗じた複数のフィードフォワード信号をモータ制御器とフィードバック制御器とに出力するフィードフォワード制御器とを備えたサーボ制御装置において、目標指令とモータ出力との偏差を入力し、フィードフォワード制御器のフィードフォワードゲインを変更するフィードフォワードゲイン変更手段を備えるようにしたものである。
請求項２記載の本発明は、請求項１記載のサーボ制御装置において、フィードフォワードゲイン変更手段は、絶対値出力器とメモリを備え、絶対値出力器は前記偏差の絶対値を演算し、メモリは偏差絶対値に対応した速度フィードフォワードゲインおよびトルクフィードフォワードゲインを記憶し、フィードフォワード制御器には、速度フィードフォワードゲインと、トルクフィードフォワードゲインとを設定して、複数のフィードフォワード信号を作成し、
フィードバック制御器と、モータ制御器とには、フィードフォワード制御器から出力される複数のフィードフォワード信号を入力するようにしたものである。
請求項３記載の本発明は、請求項１記載の本発明において、フィードフォワードゲイン変更手段は、絶対値出力器と積分器とメモリを備え、絶対値出力器は前記偏差の絶対値を演算し、積分器は偏差の絶対値を積分して第１積分補償値を演算し、メモリは第１積分補償値に対応した速度フィードフォワードゲインおよびトルクフィードフォワードゲインを記憶し、フィードフォワード制御器には、速度フィードフォワードゲインと、トルクフィードフォワードゲインとを設定して、複数のフィードフォワード信号を作成し、
フィードバック制御器と、モータ制御器とには、フィードフォワード制御器から出力される複数のフィードフォワード信号を入力するようにしたものである。
請求項４記載の本発明は、請求項１記載のサーボ制御装置において、フィードフォワードゲイン変更手段は二乗値出力器とメモリとを備え、二乗値出力器は偏差の二乗値を演算し、メモリは偏差二乗値に対応した速度フィードフォワードゲインおよびトルクフィードフォワードゲインを記憶し、フィードフォワード制御器には、速度フィードフォワードゲインと、トルクフィードフォワードゲインとを設定して、複数のフィードフォワード信号を作成し、
フィードバック制御器と、モータ制御器とには、フィードフォワード制御器から出力される複数のフィードフォワード信号を入力するようにしたものである。
請求項５記載の本発明は、請求項１記載のサーボ制御装置において、フィードフォワードゲイン変更手段は二乗値出力器と積分器とメモリとを備え、二乗値出力器は偏差の二乗値を演算し、積分器は偏差二乗値を積分して第２積分補償値を演算し、メモリは偏差二乗値に対応した速度フィードフォワードゲインおよびトルクフィードフォワードゲインを記憶し、フィードバック制御器には、偏差に対応した速度フィードフォワードゲインを設定し、モータ制御器には、偏差に対応したトルクフィードフォワードゲインを設定するようにしたものである。
請求項６記載の本発明は、請求項１乃至５のいずれかに記載のサーボ制御装置において、フィードフォワードゲイン変更手段は、ゼロ出力器とスイッチと絶対値出力器とメモリを備え、スイッチは偏差とゼロ出力器のゼロ出力値を加速度変化検出手段の加速度変化信号により切替え、加速度変化時信号がＯＮの時に偏差を入力し、ゼロフィードフォワードの時は０を入力するようにしたものである。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１の発明によると、目標指令とモータ出力との偏差を最小とするフィードフォワードゲインを自動で設定できる。
請求項２の発明によると、モータ動作時の偏差絶対値の最大値を記憶し、フィードフォワードゲインを自動で変更するので、目標指令とモータ出力との偏差を最小にすることができる。
請求項３の発明によると、モータ動作時の偏差絶対値の積分値を記憶し、フィードフォワードゲインを自動で変更するので、目標指令とモータ出力との偏差を最小にすることができる。
請求項４の発明によると、モータ動作時の偏差２乗値の最大値を記憶し、フィードフォワードゲインを自動で変更するので、目標指令とモータ出力との偏差を最小にすることができる。
請求項５の発明によると、モータ動作時の偏差２乗値の積分値を記憶し、フィードフォワードゲインを自動で変更するので、目標指令とモータ出力との偏差を最小にすることができる。
請求項６の発明によると、加速度変化時信号がＯＮした時のみ目標指令とモータ出力との偏差を請求項１〜請求項５の手段を用いて記憶し、フィードフォワードゲインを変更するので加速度変化時信号がＯＮした時の目標指令とモータ出力との偏差を最小にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００８】
図１は、本発明の第１の実施例を示すサーボ制御装置の構成を示すブロック図である。図において、フィードフォワードゲイン変更手段５は、目標指令からモータ２の出力を減算器８により減算した偏差を入力し、フィードフォワード制御器６内の複数のフィードフォワードゲインを変更することができる。実施例１における目標指令は目標位置指令、モータ２の出力はモータ位置とする。ただし、目標指令は目標速度指令、モータ２の出力はモータ速度としてもよい。
【０００９】
フィードバック制御器４は、目標指令とフィードフォワード制御器６の出力である複数のフィードフォワード信号とモータ２の出力とを入力し、モータ２の出力を目標指令に一致させるように制御入力をモータ制御器３に与え、フィードフォワード制御器６は、目標指令を入力し、加減速度一定時、及び速度一定時の偏差が零となるように複数の補償信号を生成して、該信号にフィードフォワードゲイン変更手段５で変更したフィードフォワードゲインである速度フィードフォワードゲイン、及びトルクフィードフォワードゲインを乗じた複数のフィードフォワード信号を生成してモータ制御器３と、フィードバック制御器４とに与える。図１におけるフィードフォワード信号は、速度フィードフォワード信号、及びトルクフィードフォワード信号である。
モータ制御器３はフィードバック制御器４から与えられる制御入力と、モータ２の出力と、フィードフォワード制御器６から与えられる速度フィードフォワード信号、及びトルクフィードフォワード信号とを入力し、モータ２を駆動する。
本発明の第１の実施例を示すサーボ制御装置が従来のサーボ制御装置と異なる部分は、目標指令とモータ２の出力との偏差を入力し、フィードフォワード制御器６における速度フィードフォワードゲイン、及びトルクフィードフォワードゲインを変更することができるフィードフォワードゲイン変更手段５を備えた部分である。
本発明の第１の実施例に示すサーボ制御装置におけるフィードフォワードゲイン変更手段５の動作の例を図２に示す。
【００１０】
図２において、絶対値出力器１４は目標指令とモータ２の出力との差である偏差の絶対値を出力する。メモリ１１は絶対値出力器１４から出力される値を記憶する。速度フィードフォワードゲイン１２と、トルクフィードフォワードゲイン１３と、は、メモリ１１の値を比較し、モータ２の動作後にフィードフォワード制御器６の速度フィードフォワードゲインとトルクフィードフォワードゲインとを変更することができる。
まず、速度フィードフォワードゲイン、トルクフィードフォワードゲイン、の初期値をそれぞれ０として、モータ２を動作させ、偏差絶対値をメモリ１１にて記憶する。
次に速度フィードフォワードゲイン＝０．１、トルクフィードフォワードゲイン＝０に設定し、モータ２を動作させ、前回の偏差絶対値と今回の偏差絶対値とを比較する。
もし、前回の偏差絶対値よりも今回の偏差絶対値の方が小さければ、速度フィードフォワードゲイン＝０．２と設定して同様の処理を繰り返す。
もし、前回の偏差絶対値よりも今回の偏差絶対値の方が大きければ、速度フィードフォワードゲイン＝０．０１と設定して同様の処理を繰り返す。
この動作を繰り返し、偏差絶対値が最小となる速度フィードフォワードゲイン１２を見つける。
トルクフィードフォワードゲイン１３も速度フィードフォワードゲイン１２と同様の手順で偏差絶対値が最小となるトルクフィードフォワードゲイン１３を見つけ設定することにより、自動で偏差絶対値の最大値が最小となるフィードフォワードゲインを設定することができる。
【００１１】
本発明の第１の実施例に示すサーボ制御装置におけるフィードフォワードゲイン変更手段５は他の構成も可能である。フィードフォワードゲイン変更手段５の動作の第２の例を図３に示す。図３において、モータ２動作時の目標指令とモータ２の出力との偏差を入力し、偏差絶対値を絶対値出力器１４により出力し、該信号の値を積分器１５により積分し、該信号をメモリ１１により記憶する。メモリ１１はモータ２動作後、フィードフォワード制御器６の速度フィードフォワードゲイン１２とトルクフィードフォワードゲイン１３を変更し、再度モータ２を動作させ、メモリ１１に記憶される偏差絶対値の積分値が最小となるような速度フィードフォワードゲイン１２とトルクフィードフォワードゲイン１３を見つけ設定することにより、自動で偏差絶対値の積分値が最小となるフィードフォワードゲインを設定することができる。
【００１２】
本発明の第１の実施例に示すサーボ制御装置におけるフィードフォワードゲイン変更手段５はさらに他の構成も可能である。フィードフォワードゲイン変更手段５の動作の第３の例を図４に示す。図４において、モータ２動作時の目標指令とモータ２の出力との偏差を入力し、その２乗値を２乗値出力器１６により出力し、該信号の最大値をメモリ１１により記憶する。メモリ１１はモータ２動作後、フィードフォワード制御器６の速度フィードフォワードゲイン１２とトルクフィードフォワードゲイン１３を変更し、再度モータ２を動作させ、メモリ１１に記憶される偏差２乗値の最大値が最小となるような速度フィードフォワードゲイン１２とトルクフィードフォワードゲイン１３を見つけ設定することにより、自動で偏差２乗値の最大値が最小となるフィードフォワードゲインを設定することができる。
【００１３】
本発明の第１の実施例に示すサーボ制御装置におけるフィードフォワードゲイン変更手段５はさらに他の構成も可能である。フィードフォワードゲイン変更手段５の動作の第４の例を図５に示す。図５において、モータ２動作時の目標指令とモータ２の出力との偏差を入力し、偏差２乗値を２乗値出力器１６により出力し、該信号の値を積分器１５により積分し、該信号をメモリ１１により記憶する。メモリ１１はモータ２動作後、フィードフォワード制御器６の速度フィードフォワードゲイン１２とトルクフィードフォワードゲイン１３を変更し、再度モータ２を動作させ、メモリ１１に記憶される偏差２乗値の積分値が最小となるような速度フィードフォワードゲイン１２とトルクフィードフォワードゲイン１３を見つけ設定することにより、自動で偏差２乗値の積分値が最小となるフィードフォワードゲインを設定することができる。
【００１４】
図９はフィードフォワード制御器６の一例を示すブロック図である。図９は目標指令を入力し、速度フィードフォワード信号、及びトルクフィードフォワード信号を出力するために、フィードフォワードゲイン演算器２２により演算された信号をフィードフォワードゲイン変更手段５により変更された速度フィードフォワードゲイン１２を乗じて出力する。さらに、フィードフォワードゲイン演算器２１により演算された信号を速度フィードフォワードゲイン１２から自動計算される位相調整ゲイン２０を乗じて出力する。速度フィードフォワードゲイン１２を乗じた出力と、位相調整ゲイン２０を乗じた出力の加算値を速度フィードフォワード信号として出力する。
そして、フィードフォワードゲイン演算器２３により演算された信号をフィードフォワードゲイン変更手段５により変更されたトルクフィードフォワードゲイン１３を乗じ、トルクフィードフォーワード信号として出力する。
【実施例２】
【００１５】
図６は、本発明の第２の実施例を示すサーボ制御装置の構成を示すブロック図である。図において、加速度変化検出手段１０は目標指令を入力し、加減速度が変化した時のみＯＮする信号である。
フィードフォワードゲイン変更手段５´は、加速度変化検出手段１０の出力である加速度変化時信号と、目標指令からモータ２の出力を減算器８により減算した偏差とを入力し、フィードフォワード制御器６内の複数のフィードフォワードゲインを変更することができる。実施例２における目標指令は目標位置指令、モータ２の出力はモータ位置とする。
ただし、目標指令は目標速度指令、モータ２の出力はモータ速度としてもよい。
フィードバック制御器４は、目標指令とフィードフォワード制御器６の出力である複数のフィードフォワード信号とモータ２の出力とを入力し、モータ２の出力を目標指令に一致させるように制御入力をモータ制御器３に与え、フィードフォワード制御器６は、目標指令を入力し、加減速度一定時、及び速度一定時の偏差が零となるように複数の補償信号を生成して、該信号にフィードフォワードゲイン変更手段５´で変更したフィードフォワードゲインである速度フィードフォワードゲイン、及びトルクフィードフォワードゲインを乗じた複数のフィードフォワード信号を生成してモータ制御器３と、フィードバック制御器４とに与える。図６におけるフィードフォワード信号は、速度フィードフォワード信号、及びトルクフィードフォワード信号である。
モータ制御器３はフィードバック制御器４から与えられる制御入力と、モータ２の出力と、フィードフォワード制御器６から与えられる速度フィードフォワード信号、及びトルクフィードフォワード信号とを入力し、モータ２を駆動する。
【００１６】
本発明の第２の実施例を示すサーボ制御装置が従来のサーボ制御装置と異なる部分は、加減速度が変化した時のみＯＮする加速度変化時信号を出力する加速度変化検出手段１０と、目標指令とモータ２の出力との偏差を入力し、加速度変化時信号がＯＮになった時のみ偏差を記憶して、フィードフォワード制御器６における速度フィードフォワードゲイン、及びトルクフィードフォワードゲインを変更することができるフィードフォワードゲイン変更手段５とを備えた部分である。
本発明の第２の実施例に示すサーボ制御装置におけるフィードフォワードゲイン変更手段５´の動作の例を図７に示す。図７において、スイッチ１７は加速度変化時信号がＯフィードフォワードの時はゼロ出力器１８から０を出力し、ＯＮの時はモータ２動作時の目標指令とモータ２の出力との偏差を出力する。該信号の絶対値を絶対値出力器１４により出力し、該信号の最大値をメモリ１１により記憶する。メモリ１１はモータ２動作後、フィードフォワード制御器６の速度フィードフォワードゲイン１２とトルクフィードフォワードゲイン１３を変更し、再度モータ２を動作させ、メモリ１１に記憶される偏差絶対値の最大値が最小となるような速度フィードフォワードゲイン１２とトルクフィードフォワードゲイン１３を見つけ設定することにより、自動で偏差絶対値の最大値が最小となるフィードフォワードゲインを設定することができる。
【００１７】
本発明の第２の実施例に示すサーボ制御装置におけるフィードフォワードゲイン変更手段５´は図７におけるスイッチ１７の出力を図３、４、及び５に入力して、フィードフォワードゲインを設定する他の構成も可能である。
このように、フィードフォワードゲイン変更手段５´を用いて、フィードフォワード制御器６における複数のフィードフォワードゲインを自動で設定することで、煩雑な調整を容易にすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
モータ動作中の偏差を最小とすることで追従精度を改善することができるので、同期制御を行うような機械にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施例を示すサーボ制御装置の構成を示すブロック図
【図２】本発明の第１実施例の第１のフィードフォワード信号変更手段の構成を示すブロック図
【図３】本発明の第１実施例の第２のフィードフォワード信号変更手段の構成を示すブロック図
【図４】本発明の第１実施例の第３のフィードフォワード信号変更手段の構成を示すブロック図
【図５】本発明の第１実施例の第４のフィードフォワード信号変更手段の構成を示すブロック図
【図６】本発明の第２の実施例を示すサーボ制御装置の構成を示すブロック図
【図７】本発明の第２実施例のフィードフォワード信号変更手段の構成を示すブロック図
【図８】従来のサーボ制御装置の構成を示すブロック図
【図９】従来のサーボ制御装置の構成を示すブロック図
【図１０】本発明のサーボ制御装置のフィードフォワード制御器の構成の一例を示すブロック図
【符号の説明】
【００２０】
２  モータ
３  モータ制御器
４  フィードバック制御器
５  フィードフォワードゲイン変更手段
６  フィードフォワード制御器
８  減算器
１０  加速度変化検出手段
１１  メモリ
１２  速度フィードフォワードゲイン
１３  トルクフィードフォワードゲイン
１４  絶対値出力器
１５  積分器
１６  ２乗値出力器
１７  スイッチ
１８  ゼロ出力器
２０  位相調整ゲイン
２１  フィードフォワードゲイン演算器
２２  フィードフォワードゲイン演算器
２３  フィードフォワードゲイン演算器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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