(57)【要約】【課題】  開閉し得る２つの部材の一方の部材に取り付け、該２つの部材が閉状態の時に該２つの部材間を密閉するシールにおいて、２つの部材の開動作によって、シールゴムの離脱や破断が起らず、安定したシール性能が得られ、しかも、大型のシールを構成する場合も、シールゴムの装着が簡単なシールを提供する。【解決手段】  略平板状の本体金具１の一方の主面１Ａに設けた第１周溝部２にシールゴム３を装着し、本体金具１の他方の主面１Ｂには第２周溝部４と、第２周溝部４と第１周溝部２との間を連通させる複数の連通孔５を設け、第２の周溝部４に配置した止めゴム６と、シールゴム３と、連通孔５内に配置したブリッジゴム７とを一体化する。第１の周溝部２はあり溝とし、第２の周溝部４はその溝開口側から溝底面側へと順次溝幅が減少する内側面が傾斜した形状で、かつ、溝底面の溝幅D4−2を連通孔５の内径D3と実質的に同じにする。【選択図】  図４
2006097736.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉し得る２つの部材の一方の部材に取り付けて、該２つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該２つの部材間を密閉するシールであって、
略平板状の本体金具の一方の主面に設けられた第１の周溝部にシールゴムが装着され、前記本体金具は、他方の主面に設けられた第２の周溝部と、該第２の周溝部と前記第１の周溝部とを連通させる複数の連通孔とを有し、該第２の周溝部には止めゴムが配置され、かつ、該止めゴムと前記シールゴムとが前記複数の連通孔内に配置されるブリッジゴムとともに一体化されており、
前記第１の周溝部があり溝であり、
前記第２の周溝部が溝開口側から溝底面側へと順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝であり、かつ、該溝底面の溝幅と連通孔の内径が実質的に同一であり、
前記シールゴムが前記第１の周溝部に該溝内の略全域を充填するように装着されていることを特徴とする、シール。
【請求項２】
開閉し得る２つの部材の一方の部材に取り付けて、該２つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該２つの部材間を密閉するシールであって、
略平板状の本体金具の一方の主面に設けられた第１の周溝部にシールゴムが装着され、前記本体金具は、他方の主面に設けられた第２の周溝部と、該第２の周溝部と前記第１の周溝部とを連通させる複数の連通孔とを有し、該第２の周溝部には止めゴムが配置され、かつ、該止めゴムと前記シールゴムとが前記複数の連通孔内に配置されるブリッジゴムとともに一体化されており、
前記第１の周溝部が少なくとも最底の溝があり溝からなる多段溝であり、
前記第２の周溝部が溝開口側から溝底面側へと順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝であり、かつ、該溝底面の溝幅と連通孔の内径が実質的に同一であり、
前記シールゴムが前記第１の周溝部に該溝内の略全域を充填するように装着されていることを特徴とする、シール。
【請求項３】
多段溝が２段溝である、請求項２記載のシール。
【請求項４】
２段溝がともにあり溝である、請求項３記載のシール。
【請求項５】
シールゴム、止めゴム及びブリッジゴムが、本体金具の第２の周溝部を注入口として、該第２の周溝部、連通孔及び第１の周溝部へとゴム材料を注入、成形して一体に形成された単一のゴム成形体からなる、請求項１〜４のいずれか一項記載のシール。
【請求項６】
シールゴム、止めゴム及びブリッジゴムがフッ素ゴム系のゴム材料からなる、請求項１〜５のいずれか一項記載のシール。
【請求項７】
略平板状の本体金具の主面が長方形又は正方形の四隅を湾曲線に置き換えた形状であり、
第１及び第２の周溝部は、それぞれ、本体金具の主面の直線状の辺に沿う直線溝部と、湾曲状の辺に沿う曲線溝部とを有し、第１及び第２の周溝部の直線溝部を連通させる連通孔の形成ピッチが、第１及び第２の周溝部の曲線溝部を連通させる連通孔の形成ピッチよりも小さいことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項記載のシール。
【請求項８】
半導体製造装置または液晶製造装置のチャンバゲート部で使用されるゲートシール用である、請求項１〜７のいずれか一項記載のシール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は開閉し得る２つの部材の一方の部材に取り付けて、該２つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該２つの部材間を密閉するシールに関し、詳しくは、特にゲートシール用として好適な、シールゴムの本体金具からの離脱や破断が生じ難く、長期間安定したシール性能が持続するシールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置や液晶製造装置等のチャンバゲート部、すなわち、チャンバーの開閉部（弁体と弁座）のシール構造において、シールゴムであるＯリングを弁体に設けたあり溝に装着した構造のシールが知られている。これは、弁体と弁座間を開いてシールゴム（Ｏリング）が露出した場合でも、Ｏリングがあり溝から浮き上がったり脱落したりし難く、再び蓋などを閉めたときに、Ｏリングが不適切な位置や姿勢になり難くくするためである（例えば、特許文献１）。
【０００３】
しかしながら、近時、液晶パネル、半導体ウエハー等の大型化に伴って、この種のシールも大型化しており、あり溝へのシールゴムの装着作業が煩雑なものとなっている。また、弁体と弁座間の閉状態が長く続くと、シールゴムのシールリップ（先端の突出部）が相手部材である弁座に膠着するため、開動作の際にシールゴムがあり溝から外れるという問題が生じている。
【０００４】
一方、本出願人は、以前、金具の主面に形成した周溝にシールゴムを装着した構造のシールを提案した（下記特許文献２）。このシールは、図７〜図９に示されるように、断面が略矩形状を呈する環状リテーナ（金具）１０の一面に断面形状が略コ字状の周溝部１１を形成し、該周溝部１１にシールゴム１２を配置する一方、リテーナ１０の周溝部１１の形成面と反対側の面１７の複数箇所に座ぐり穴１４を設けるとともに、各座ぐり穴１４と前記周溝部１１との間を連通する連通孔１３を設け、各座ぐり穴１４に配置した各止めゴム１５と前記シールゴム１２とを連通孔１３内に配置されるブリッジゴム１６で一体化することで、シールゴム１２を周溝部１１に固定したものである。このシールはガスケットとして使用されるもので、上記のゲートシールのような開閉動作をする２つの部材の一方側に設けるものではなく、これを相手部材に物理的に締め付けることでシールする対象物の流体（液体）が漏れなければよいものである。
【０００５】
しかし、本発明者は該特許文献２に記載されたシールはシールゴムが金具の溝から離脱しにくい構造であるので、ゲートシールへも適用できるのではないかと考え、その適用を試みた。しかしながら、前記のように、ゲートシールにおける弁体と弁座間の閉状態が長く続き、シールゴムのシールリップ（先端の突出部）が相手部材である弁座に膠着した場合、開動作の際にシールゴムと止めゴムを繋ぐブリッジゴムが破断してしまうという問題を生じた。
【特許文献１】特開２００３−１４１２６号公報
【特許文献２】特開平２−２５３０６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記事情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、開閉し得る２つの部材の一方の部材に取り付けて、該２つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該２つの部材間を密閉するシールにおいて、シールゴムが相手部材（他方の部材）に膠着しても、開動作によって、シールゴムがあり溝から離脱したり、ゴムの破談が生じたりすることなく、相手部材から分離することができ、長期間安定したシール性能が得られ、しかも、大型のシールを構成する場合にも、シールゴムのあり溝への装着作業を簡単に行うことができる、特に半導体製造装置や液晶製造装置等のチャンバゲート部で使用するゲートシール用として好適なシールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成を採用した。
すなわち、本発明は、
（１）開閉し得る２つの部材の一方の部材に取り付けて、該２つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該２つの部材間を密閉するシールであって、
略平板状の本体金具の一方の主面に設けられた第１の周溝部にシールゴムが装着され、前記本体金具は、他方の主面に設けられた第２の周溝部と、該第２の周溝部と前記第１の周溝部とを連通させる複数の連通孔とを有し、該第２の周溝部には止めゴムが配置され、かつ、該止めゴムと前記シールゴムとが前記複数の連通孔内に配置されるブリッジゴムとともに一体化されており、
前記第１の周溝部があり溝であり、
前記第２の周溝部が溝開口側から溝底面側へと順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝であり、かつ、該溝底面の溝幅と連通孔の内径が実質的に同一であり、
前記シールゴムが前記第１の周溝部に該溝内の略全域を充填するように装着されていることを特徴とする、シール、
（２）開閉し得る２つの部材の一方の部材に取り付けて、該２つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該２つの部材間を密閉するシールであって、
略平板状の本体金具の一方の主面に設けられた第１の周溝部にシールゴムが装着され、前記本体金具は、他方の主面に設けられた第２の周溝部と、該第２の周溝部と前記第１の周溝部とを連通させる複数の連通孔とを有し、該第２の周溝部には止めゴムが配置され、かつ、該止めゴムと前記シールゴムとが前記複数の連通孔内に配置されるブリッジゴムとともに一体化されており、
前記第１の周溝部が少なくとも最底の溝があり溝からなる多段溝であり、
前記第２の周溝部が溝開口側から溝底面側へと順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝であり、かつ、該溝底面の溝幅と連通孔の内径が実質的に同一であり、
前記シールゴムが前記第１の周溝部に該溝内の略全域を充填するように装着されていることを特徴とする、シール、
（３）多段溝が２段溝である、上記（２）請求項２記載のシール、
（４）２段溝がともにあり溝である、上記（３）記載のシール、
（５）シールゴム、止めゴム及びブリッジゴムが、本体金具の第２の周溝部を注入口として、該第２の周溝部、連通孔及び第１の周溝部へとゴム材料を注入、成形して一体に形成された単一のゴム成形体からなる、上記（１）〜（４）のいずれか一つに記載のシール、
（６）シールゴム、止めゴム及びブリッジゴムがフッ素ゴム系のゴム材料からなる、上記（１）〜（５）のいずれか一つに記載のシール、
（７）略平板状の本体金具の主面が長方形又は正方形の四隅を湾曲線に置き換えた形状であり、
第１及び第２の周溝部は、それぞれ、本体金具の主面の直線状の辺に沿う直線溝部と、湾曲状の辺に沿う曲線溝部とを有し、第１及び第２の周溝部の直線溝部を連通させる連通孔の形成ピッチが、第１及び第２の周溝部の曲線溝部を連通させる連通孔の形成ピッチよりも小さいことを特徴とする、上記（１）〜（６）のいずれか一項記載のシール、及び
（８）半導体製造装置または液晶製造装置のチャンバゲート部で使用されるゲートシール用である、上記（１）〜（７）のいずれか一つに記載のシール、に関する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のシールによれば、シールゴムが本体金具の一方の主面に設けたあり溝を有する第１の周溝部に該溝内の略全域を充填するように装着されていることから、開閉し得る２つの部材が閉状態のときにシールゴムが相手部材に膠着しても、開閉し得る２つの部材が開状態になるときに、シールゴムはあり溝から離脱することなく相手部材から分離され、また、開閉し得る２つの部材の繰り返しの開閉動作による負荷が加わってもシールゴムを含むゴム成形体が破断したりすることなく、優れたシール性能が長期間持続する。
また、本体金具の他方の主面に設けた止めゴム装着用の第２の周溝部を注入口にして第２の周溝部、連通孔、第１の周溝部へとゴム材料を注入し、該ゴム材料を成形してシールゴムとブリッジゴムとこれらを繋ぐ止めゴムとが一体となった単一のゴム成形体を形成することによってシールゴムを第１の周溝部に装着するため、大型のシールを構成する場合や第１の周溝部のあり溝が複雑な形状である場合にも、シールゴムをあり溝を有する第１の周溝部に比較的簡単に装着することができる。
また、本発明のシールは、第１の周溝部を少なくとも最底の溝があり溝からなる多段溝で構成することによって、シールゴムの第１の周溝部からの離脱、シールゴムの変形等がより高いレベルで抑制され、また、溝全体の深さを大きくできることから、第１の周溝部に装着されるシールゴムはゴム弾性に富み、相手部材に対してより良好な密着性を示すため、優れたシール性能がより長期間維持されるシールを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を図面を参照してより詳しく説明する。
図１〜５は本発明のシールの第１の例を示し、図１及び図５はその平面図、図２は図１中のII−II線における断面図、図３（ａ）は図１中のIIIa−IIIａ線における断面図、図３（ｂ）は図１中のIIIｂ−IIIｂ線における断面図、図４は図３（ａ）中の要部（一点鎖線で囲んだ部分）の拡大図である。なお、図１はシールゴムの装着側の平面図であり、図５は止めゴム装着側の平面図である。
【００１０】
本発明のシールは、該一例のシール１００に示されるように、略平板状の本体金具（弁体）１の一方の主面１Ａに周溝部（第１の周溝部）２を形成し、該周溝部２にシールゴム３を装着した構造のシールであり、開閉し得る２つの部材の一方の部材（図示せず）に取り付けて使用され、該２つの部材が閉状態のときにシールゴム３が他方の部材（図示せず）に圧接することによって該２つの部材間を密閉するものである。
【００１１】
本発明のシールにおいて、略平板状の本体金具１は、一方の主面（以下、「第１主面」ともいう。）１Ａに対して裏面となる他方の主面（以下、「第２主面」ともいう。）１Ｂにも周溝部（第２の周溝部）４を有し、さらに該周溝部４と前記周溝部２とを連通させる複数の連通孔５を有している。そして、かかる第２の周溝部４内に止めゴム６を配置し、該止めゴム６と前記第１の周溝部２に装着されたシールゴム３とを複数の連通孔５内に配置したブリッジゴム７とともに一体化して、シールゴム３を本体金属１に固定している。すなわち、シールゴム３、止めゴム６及びブリッジゴム７は、図４に示すように、これら３者が一体に成形された単一のゴム成形体で構成されている。
【００１２】
本発明のシールにおいて、第１の周溝部２に装着されるシールゴム３にはその軸線Ｘ１に沿って凸状のシールリップ部３Ａが全周にわたって形成され、該凸状のシールリップ部３Ａが相手部材に密接する。
【００１３】
本発明のシールは、該一例のシール１００に示されるように、第１の周溝部２があり溝Ｚを有する溝であり、かつ、第２の周溝部４が溝開口側から溝底面側へ（図４中の矢印Ｙ１の方向へ）順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝からなり、第２の周溝部４の溝底面の幅（Ｄ４−２）を連通孔の内径（Ｄ３）と実質的に同一にしている。そして、かかる特定の溝形状及び寸法関係に設定した第１の周溝部２、第２の周溝部４及び複数の連通孔６内の略全域にゴム材料Ｒが充填された状態となるように、該ゴム材料Ｒによってシールゴム３、止めゴム６及びブリッジゴム７を一体に成形した単一のゴム成形体を形成している。
【００１４】
よって、シールゴム３は本体金具１のあり溝Ｚを有する第１の周溝部２に該溝内の略全域に充填するように装着されていることから、開閉し得る２つの部材（図示せず）の一方の部材に本発明のシールを取り付け、該２つの部材の閉状態が長く続き、シールゴムが相手部材に膠着してしまった場合でも、開閉し得る２つの部材が開状態になるとき、シールゴムはあり溝Ｚを有する第１の周溝部２から離脱することなく相手部材から分離され、また、開閉し得る２つの部材の繰り返しの開閉動作によって負荷が加わってもゴムの破断が生じず、優れたシール性能が長期間持続する。
【００１５】
図６は本発明のシールの第２の例の要部断面図である。該第２の例のシール２００は、該図６に示すように、本体金具１の一方の主面１Ａに設けた第１の周溝部２を底側の溝をあり溝Ｚにした２段溝にしたものであり、その他の構成は、前記第１の例のシール１００と同じである。すなわち、該第２の例のシール２００は、シールゴムが装着される第１の周溝部２を底側の溝をあり溝Ｚにした２段溝で構成し、前記第１の例のシール１００と同様に、第１の周溝部２、第２の周溝部４及び複数の連通孔６内の略全域にゴム材料Ｒが充填された状態となるように、該ゴム材料Ｒによってシールゴム３、止めゴム６及びブリッジゴム７を一体に成形した単一のゴム成形体を形成して構成されたものである。
【００１６】
該第２の例のシール２００では、シールゴム３が装着される第１の周溝部２を底側の溝２ｂをあり溝Ｚにした２段溝にしていることから、該第１の周溝部２内に充填されたシールゴム３のうち、底側のあり溝Ｚ（２ｂ）内に充填されている部分３ｂは、開口側の溝２ａ内に充填されている部分３ａのアンカーとなり、シールゴム３の第１の周溝部２からの離脱や変形がより高いレベルで抑制される。また、第１の周溝部２を２段溝とすることで、１段の溝よりも溝全体の深さを大きくすることができ、このような第１の周溝部２に装着されるシールゴム３はゴム弾性に富むため、シールゴム３の相手部材への密着性がより向上する。
【００１７】
該第２の例のシール２００は、シールゴム３が装着される第１の周溝部２を底側の溝２ｂをあり溝Ｚにした２段溝にしているが、本発明において、シールゴム３が装着される第１の周溝部２は、開口側の溝２ａと底側の溝２ｂの両方をあり溝にした２段溝にしてもよく、また、３段溝以上の多段溝にしてもよい。このような開口側と底側の溝の両方をあり溝にした２段溝や３段溝以上の多段溝にすることで、第１の周溝部２内でのシールゴム３の移動や変形の抑制効果がより一層向上する。なお、３段以上の多段溝にする場合も、少なくとも最底の溝をあり溝にする。
【００１８】
本発明のシールにおいて、本体金具（弁体）１の厚みは、シールの具体的用途等に応じて決定されるが、例えば、半導体製造装置や液晶製造装置等のチャンバゲート部で使用されるゲートシールに使用する場合、本体金具（弁体）の厚み（Ｔ）は、一般的には１０〜１５ｍｍである。
【００１９】
また、本体金具１の第１の主面における第１の周溝部２の開口幅（Ｄ２）は、シールの具体的用途等に応じて決定されるが、例えば、半導体製造装置や液晶製造装置等のチャンバゲート部で使用されるゲートシールに使用する場合、５〜８ｍｍ程度が好ましく、また、シールゴム３のシールリップ部３Ａの幅（Ｄ１）は、一般的には４〜７ｍｍの範囲であるのが好ましい。また、シールリップ部３Ａの本体金具１の第１の主面１ａからの突出量（Ｄ５）は、一般的には０．５〜２．０ｍｍであるのが好ましい。
【００２０】
本発明のシールでは、第１の周溝部２の全体の深さ（Ｗ１）は、該第１の周溝部２が１個のあり溝からなる場合（図１〜５に示す第１の例の場合）、３〜６ｍｍ程度が好適であり、また、図６に示すような２段溝で構成される場合、５〜８ｍｍ程度が好適である。
【００２１】
本発明のシールにおいて、ブリッジゴム７は、通常、一定の太さの柱状体であり、円柱状、角柱状等が挙げられるが、ブリッジゴム７の収縮が等方的になって、シールゴム３のシールリップのうねり（波うち）軽減に有利に働く点から、円柱状が特に好ましい。
【００２２】
ブリッジゴム７の太さ（＝連通孔５の内径）（Ｄ３）は特に限定されないが、シールゴム３のシールリップ３Ａが相手部材に膠着した際、これらを両者間を分離する際に要する力に対して、該ブリッジゴムが破断しない程度の太さを有する必要があり、連通孔５の数、使用するゴム材料の強度等に応じて決定されるが、一般的には、１〜３ｍｍ程度である。なお、ブリッジゴム７の太さ（＝連通孔５の内径）（Ｄ３）は、ブリッジゴム７が円柱状である場合はその断面（軸線と直交する断面）の直径を意味し、角柱状等の円柱以外の形状である場合、その断面と等しい面積の円を想定した時の該円の直径を意味する。
【００２３】
本発明のシールでは、前記したように、本体金具１の第２の主面１Ｂに設ける第２の周溝部４を溝開口側から溝底面側へ（図４中の矢印Ｙ１の方向へ）と順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝とし、該第２の周溝部の溝底面の溝幅（Ｄ４−２）を連通孔の内径（Ｄ３）と実質的に同じにすることが重要である。本発明のシールにおいて、シールゴム３、止めゴム６及びブリッジゴム７は、これら３者が一体化した単一のゴム成形体によって構成されるが、通常、後述するように、本体金具１の他方の主面１Ｂに設けた第２の周溝部４を注入口にして、該第２の周溝部４から、連通孔５、第１の周溝部２へとゴム材料を注入して、これらの３者の内部空間の略全域をゴム材料で満たし、さらに該ゴム材料を成形することによって形成される。よって、第２の周溝部４を溝開口側から溝底面側へ（図４中の矢印Ｙ１の方向へ）と順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝とし、該第２の周溝部の溝底面の溝幅（Ｄ４−２）を連通孔の内径（Ｄ３）と実質的に同じにすることによって、第２の周溝部４から第１の周溝部２までゴム材料が安定した圧力で流れるので、第１の周溝部２があり溝を有する溝であっても、シールゴム３が第１の周溝部２に該溝の内部の略全域に充填された状態で装着された構成を確実に得ることができる。なお、第２の２の周溝部４の開口部の溝幅（Ｄ４−１）は、溝底面の溝幅（Ｄ４−２）を基準に設定され、好ましくは、溝の側面の傾斜角度（図４中のθ３）が１〜１０°の範囲となるように、設定するのが好ましい。
【００２４】
本発明のシールにおいて、シールゴム３及び止めゴム６とともに一体化されるブリッジゴム７の形成ピッチ（すなわち、連通孔５の形成ピッチ）は、ブリッジゴム７の材質、外径（＝連通孔５の内径）等を考慮して決定されるが、一般的には、１０〜１５ｍｍ程度である。なお、ここでのブリッジゴム７の形成ピッチ（＝連通孔５の形成ピッチ）とは、シールゴム３の軸線Ｘ１方向での隣り隣合うブリッジゴム７の軸線間距離である。
【００２５】
本発明のシールにおいて、あり溝Ｚにおける側面の傾斜角度（図４中のθ１、図６中のθ２）は一般的には１０〜２４°である。
【００２６】
本発明のシールは、上記第１の例のシール１００（図１〜５）のように、本体金具１の主面１Ａ、１Ｂが、長方形の四隅を湾曲線に置き換えた形状であったり、また、正方形の四隅を湾曲線に置き換えた形状等の直線状の辺と湾曲線状の辺とを有する平面である場合、本体金具１の両主面１Ａ、１Ｂに設ける第１の周溝部２と第２の周溝部４は、それぞれ、直線状の辺に沿う直線溝部２Ａ、４Ａと、湾曲線状の辺に沿う曲線溝部２Ｂ、４Ｂとで構成されるが、このような本体金具１の主面に設ける周溝部が直線溝部と曲線溝部とを含む周溝部である場合、シールゴム３を本体金具１から取外す際の作業性の観点からは、本体金具の両主面１Ａ、１Ｂの直線溝部２Ａ、４Ａに連通する連通孔５の形成ピッチを、曲線溝部２Ｂ、４Ｂに連通する連通孔５の形成ピッチよりも小さくするのが好ましい。
【００２７】
本発明のシールにおいて、略平板状の本体金具（弁体）１の大きさ（主面の大きさ）は、シールの具体的用途に応じて適宜決定される。
【００２８】
本発明のシールにおいて、略平板状の本体金具（弁体）１の構成材料としては、例えば、鉄、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス（ＳＵＳ）、鋼（炭素鋼、特殊鋼）等などが挙げられるが、中でも、アルミニウムやアルミニウム合金は軽量であるという点、リサイクル性という点で好ましいが、これらを使用する際には、表面を硬質化処理（アルマイト処理）するのが好ましく、また、ＳＵＳ等は防錆性の点から好ましい。また、前記具体例のシールは、本体金具１の主面は、長方形の四隅を湾曲線に置き換えた形状であるが、該形状以外に、例えば、正方形等の長方形以外の四角形（四隅を湾曲線に置き換えた形状を含む）、四角形以外の多角形（三又は五以上の隅を湾曲線に置き換えた形状を含む）、円形、長円形、楕円形等が挙げられる。
【００２９】
本発明のシールにおいて、シールゴムの構成材料には、シールに使用されている公知のゴム材料を使用できる。中でも、フッ素ゴム系、シリコンゴム系、接着剤を介して接着させることが困難なゴム（例えば、パーフロロエラストマー）が好適である。本発明のシールは半導体製造装置や液晶製造装置等のチャンバゲート部、すなわち、チャンバーの開閉部（弁体と弁座）に適用するシール（ゲートシール）として特に好適であり、該ゲートシール用とする場合、耐酸素プラズマ性の点から、フッ素ゴム系のゴム材料が特に好適であるが、中でも、フッ化ビニリデン−六フッ化プロピレン共重合体又は／及びフッ化ビニリデン−六フッ化プロピレン−四フッ化エチレン共重合体１００重量部に対して、酸バリウム３０〜１００重量部を配合してなる組成物をポリオール加硫したフッ素ゴム組成物や該組成物に対してさらに四フッ化エチレン樹脂０．５〜３０重量部を配合してなるフッ素ゴム組成物が特に好適である。ポリオール加硫剤としては、公知のものが適用でき、例えばビスフェノールＡＦが用いられる。 ポリオール加硫剤は、共重合体１００重量部に対して、０．５〜５重量部、好ましくは１〜２重量部配合すればよい。また、促進剤、受酸剤としては、４級ホスホニウム塩、４級アンモニウム塩、水酸化カルシウム、酸化マグネシウムなどが用いられる。四フッ化エチレン樹脂の配合量が０．５重量部未満であると、耐酸素プラズマ性の改善効果が少なく、３０重量部を越えると、引張強さ、伸びなどの機械的特性が低下する傾向にある。したがって、好ましい配合量は、１〜２０重量部である。
【００３０】
ゴム材料には、充填剤を配合してもよく、該充填材としては、カーボンブラック；シリカ、酸化チタン、酸化鉛、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、珪藻土、アルミナ、酸化カルシウム、酸化鉄、酸化スズ、酸化アンチモン、フェライト類等の酸化物；水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、水酸化カルシウム等の水酸化物；塩基性炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸バリウム、炭酸マグネシウム、炭酸亜鉛、ドーソナイト、ハイドロタルサイト等の炭酸塩；硫酸バリウム、硫酸カルシウム等の硫酸塩；ケイ酸アルミニウム（クレー、カリオナイト、パイロフィライト）、ケイ酸マグネシウム（タルク）、ケイ酸カルシウム（ウオラストナイト、ゾノトライト）、クレー、モンモリロナイト、ベントナイト、活性白土およびマイカ等のケイ酸塩；窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素等の窒化物が挙げられる。これらは１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３１】
本発明のシールは、第１の周溝部２、第２の周溝部４及び連通孔５を設けた本体金具（弁体）１を金型内に配置し、本体金具（弁体）１の他方の主面の第２の周溝部をから連通孔５及び第１の周溝部２へと、ゴム材料を注入、成形して、シールゴム３、止めゴム６及びブリッジゴム７を含む単一のゴム成形体（ゴム部材）を形成することによって製造するのが好ましい。
【００３２】
上記のゴム材料は、予めベース成分であるゴム又は／及びエラストマーに架橋材（加硫剤）、充填剤等の添加剤を添加して、ロール混合、ニーダ混合、バンバリ混合等の公知の混合（混練）方法で混合して成形用組成物を調製し、該組成物を第２の周溝部４を注入口として、第２の周溝部４、連通孔５、第１の周溝部２へと注入し、成形する。かかる成形過程でポリマー（ゴム又は／及びエラストマー）は架橋（１次架橋（加硫））する。成形後に更に架橋（二次架橋（加硫））をしてもよい。成形条件等はこの種のゴム又は／及びエラストマーによる成形材料の公知の装置、条件に従って行えばよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の第１の例のシールのシールゴム配置側の平面図である。
【図２】図１中のII−II線における断面図である。
【図３】図１中のIII−III線における断面図である。
【図４】図３中の二点鎖線で囲んだ部分の拡大図である。
【図５】本発明の第１の例のシールの止めゴム配置側の平面図である。
【図６】本発明の第２の例のシールの要部断面図である。
【図７】従来のシールにおけるリテーナの一部断面を含む斜視図である。
【図８】従来のシールの一部断面を含む斜視図である。
【図９】従来のシールの止めゴム装着側の平面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  略平板状の本体金具
１Ａ、１Ｂ  主面
２  第１の周溝部
３  シールゴム
３Ａ  シールリップ部
４  第２の周溝部
５  連通孔
６  止めゴム
７  ブリッジゴム
１００  シール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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