(57)【要約】      （修正有）【課題】平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、通過帯域内において現れる所望でないリップルを効果的に抑圧することが可能とされている構造を得る。【解決手段】第１，第３及び第５のＩＤＴ１１，１３，１５の一端が不平衡信号端子５に、第２，第４のＩＤＴ１２，１４がそれぞれ第１，第２の平衡信号端子６，７に接続され、第２のＩＤＴ１２の両側の最外側電極指と、第１，第３のＩＤＴ１１，１３の最外側電極指と、第４のＩＤＴ１４の最外側電極指とがア−スに接続される電極指またはシグナル電極指とされ、ＩＤＴ１３，１５の最外側電極指がシグナル電極指またはアース電位に接続される電極指とされ、ＩＤＴ１３，１４同士が隣接する部分において、最外側電極指１４ａに直列重み付けが施され、ＩＤＴ１４，１５同士が隣接する部分において、最外側電極指１４ｂに直列重み付が施されている、弾性表面波フィルタ装置。【選択図】図１
2006254410.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴと、
前記第１〜第５のＩＤＴが設けられている部分の弾性波伝搬方向両側に配置された第１，第２の反射器とを備え、
前記第１，第３及び第５のＩＤＴの一端が不平衡信号端子に接続されており、前記第２のＩＤＴの一端が第１の平衡信号端子に、前記第４のＩＤＴの一端が第２の平衡信号端子に接続されており、平衡−不平衡変換機能を有する弾性波フィルタにおいて、
前記第２のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側に位置している最外側電極指と、第１，第３のＩＤＴの第２のＩＤＴと隣り合う最外側電極指とがアース電位に接続される電極指とされており、前記第４のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側に位置する最外側電極指がアース電位に接続される電極指またはシグナル電極指とされており、前記第３，第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う最外側電極指がシグナル電極指またはアース電位に接続される電極指とされており、
前記第４のＩＤＴの前記第３のＩＤＴと隣り合っている最外側電極指、及び第３のＩＤＴの前記第４のＩＤＴと隣り合っている側の最外側電極指の内の一方に直列重み付けが施されており、前記第４のＩＤＴの前記第５のＩＤＴと隣り合っている最外側電極指及び前記第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合っている最外側電極指の内の一方において直列重み付けが施されていることを特徴とする、弾性波フィルタ。
【請求項２】
圧電基板と、
前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴと、
前記第１〜第５のＩＤＴが設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に沿って配置された反射器とを備え、
前記第２，第４のＩＤＴの一端が不平衡信号端子に接続されており、前記第３のＩＤＴの一端が２分割されて、第１，第２の分割ＩＤＴ部が形成されており、第１のＩＤＴの一端及び第３のＩＤＴの第１の分割ＩＤＴ部が第１の平衡信号端子に接続されており、前記第５のＩＤＴの一端及び前記第３のＩＤＴの第２の分割ＩＤＴ部が第２の平衡信号端子に接続されており、平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型の弾性波フィルタにおいて、
前記第２のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側に位置している最外側電極指と、第１，第３のＩＤＴの第２のＩＤＴと隣り合う側に位置している最外側電極指とがアース電位に接続される電極指とされており、前記第４のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側の最外側電極指がシグナル電極指またはアース電位に接続される電極指とされており、第３，第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指がアース電位に接続される電極指またはシグナル電極指とされており、
第４のＩＤＴの第３のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指及び第３のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指の内の一方が直列重み付けされており、かつ第４のＩＤＴの第５のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指及び第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指の内の一方に直列重み付けが施されていることを特徴とする、弾性波フィルタ。
【請求項３】
前記不平衡信号端子と、前記第１，第３，第５のＩＤＴとの間に接続された１ポート型弾性波共振子をさらに備える、請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
前記弾性波として弾性表面波が用いられ、従って弾性表面波フィルタである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
【請求項５】
前記弾性波として弾性境界波が用いられ、従って弾性境界波フィルタが構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波を用いた、平衡−不平衡変換機能を有するバランス型弾性波フィルタに関し、より詳細には、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型のバランス型弾性波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機の小型化に伴って、携帯電話機のＲＦ段に使用される帯域フィルタとして、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタが求められている。それに伴って、高周波化に対応でき、かつ平衡−不平衡変換機能の要求に容易に対応し得るため、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタがＲＦ段の帯域フィルタとして広く用いられてきている。
【０００３】
このような平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタの一例として、下記の特許文献１には、５個のＩＤＴが表面波伝搬方向に配置されている縦結合共振子型の弾性表面波フィルタが開示されている。
【０００４】
図１４は、特許文献１に記載の弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。弾性表面波フィルタ２０１では、圧電基板上に図示の電極構造が形成されている。すなわち、不平衡信号端子２０２に接続されるように、１ポ−ト型ＳＡＷ共振子２１１が配置されている。１ポ−ト型ＳＡＷ共振子２１１は、ＩＤＴ２１２と、ＩＤＴ２１２の表面波伝搬方向両側に配置された反射器２１３，２１４とを有する。
【０００５】
ＩＤＴ２１２の不平衡信号端子２０２と接続されている側とは反対側の端部が、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２２０に接続されている。弾性表面波フィルタ部２２０は、表面波伝搬方向に配置された第１〜第５のＩＤＴ２２１〜２２５を有する。ＩＤＴ２２１〜２２５が配置されている領域の表面波伝搬方向両側に第１，第２の反射器２２６，２２７が配置されている。
【０００６】
第１，第３，第５のＩＤＴ２２１，２２３，２２５の一端が、ＳＡＷ共振子２１１のＩＤＴ２１２にそれぞれ接続されている。ＩＤＴ２２１，２２３，２２５の他端はア−ス電位に接続されている。また、第２，第４のＩＤＴ２２２，２２４の一端が第１，第２の平衡端子２０３，２０４にそれぞれ接続されている。ＩＤＴ２２２，２２４の他端はア−ス電位に接続されている。
【０００７】
ここでは、第２のＩＤＴ２２２の位相と、第４のＩＤＴ２２４の位相とが反転されており、従って、平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部２２０が構成されている。
【特許文献１】特開２００１−３１３５４０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の弾性表面波フィルタ２０１は、通過帯域内における挿入損失が小さく、終端インピ−ダンスの構成が容易であるという利点を有する。しかしながら、弾性表面波フィルタ２０１では、設計パラメ−タによっては、通過帯域内に無視できないリップルが現れるという問題があった。
【０００９】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、平衡−不平衡変換機能を有する５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタであって、通過帯域内のリップルを低減することが可能とされている弾性波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願の第１の発明は、圧電基板と、前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴと、前記第１〜第５のＩＤＴが設けられている部分の弾性波伝搬方向両側に配置された第１，第２の反射器とを備え、前記第１，第３及び第５のＩＤＴの一端が不平衡信号端子に接続されており、前記第２のＩＤＴの一端が第１の平衡信号端子に、前記第４のＩＤＴの一端が第２の平衡信号端子に接続されており、平衡−不平衡変換機能を有する弾性波フィルタにおいて、前記第２のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側に位置している最外側電極指と、第１，第３のＩＤＴの第２のＩＤＴと隣り合う最外側電極指とがアース電位に接続される電極指とされており、前記第４のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側に位置する最外側電極指がアース電位に接続される電極指またはシグナル電極指とされており、前記第３，第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う最外側電極指がシグナル電極指またはアース電位に接続される電極指とされており、前記第４のＩＤＴの前記第３のＩＤＴと隣り合っている最外側電極指、及び第３のＩＤＴの前記第４のＩＤＴと隣り合っている側の最外側電極指の内の一方に直列重み付けが施されており、前記第４のＩＤＴの前記第５のＩＤＴと隣り合っている最外側電極指及び前記第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合っている最外側電極指の内の一方において直列重み付けが施されていることを特徴とする。
【００１１】
本願の第２の発明は、圧電基板と、前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された第１〜第５のＩＤＴと、前記第１〜第５のＩＤＴが設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に沿って配置された反射器とを備え、前記第２，第４のＩＤＴの一端が不平衡信号端子に接続されており、前記第３のＩＤＴの一端が２分割されて、第１，第２の分割ＩＤＴ部が形成されており、第１のＩＤＴの一端及び第３のＩＤＴの第１の分割ＩＤＴ部が第１の平衡信号端子に接続されており、前記第５のＩＤＴの一端及び前記第３のＩＤＴの第２の分割ＩＤＴ部が第２の平衡信号端子に接続されており、平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型の弾性波フィルタにおいて、前記第２のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側に位置している最外側電極指と、第１，第３のＩＤＴの第２のＩＤＴと隣り合う側に位置している最外側電極指とがアース電位に接続される電極指とされており、前記第４のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側の最外側電極指がシグナル電極指またはアース電位に接続される電極指とされており、第３，第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指がアース電位に接続される電極指またはシグナル電極指とされており、第４のＩＤＴの第３のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指及び第３のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指の内の一方が直列重み付けされており、かつ第４のＩＤＴの第５のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指及び第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指の内の一方に直列重み付けが施されていることを特徴とする。
【００１２】
第１，第２の発明、すなわち、本発明のある特定の局面では、前記不平衡信号端子と、前記第１，第３，第５のＩＤＴとの間に接続された１ポート型弾性波共振子がさらに備えられている。
【００１３】
また、本発明に係る弾性波フィルタの他の特定の局面では、上記弾性波として弾性表面波が用いられ、それによって本発明に従った弾性表面波フィルタが構成される。
【００１４】
本発明のさらに他の特定の局面では、弾性波として弾性境界波が用いられ、それによって、本発明に従った弾性境界波フィルタが提供される。
【発明の効果】
【００１５】
第１の発明では、第１〜第５のＩＤＴが弾性波伝搬方向に配置された５ＩＤＴ型の縦結合共振子型の弾性波フィルタにおいて、第２のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側に位置している最外側電極指と、第２のＩＤＴと隣り合っている、第１，第３のＩＤＴの最外側電極指とがア−ス電位に接続される電極指とされており、第４のＩＤＴの両側の最外側電極指がア−ス電位に接続される電極指またはシグナル電極指とされており、第３，第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う最外側電極指がシグナル電極指またはアース電位に接続される電極指とされている。すなわち、２つのＩＤＴが弾性波伝搬方向に隣接する部分において、一方のＩＤＴの該隣接する部分に臨む最外側電極子と、他方のＩＤＴの該隣接する部分に臨む最外側電極指の双方がシグナル電極指とならないように、第１〜第５のＩＤＴの電極指の本数が決定されている。
【００１６】
そして、第４のＩＤＴの第３のＩＤＴと隣り合っている最外側電極指、及び第３のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合っている側の最外側電極指の内の一方に直列重み付けが施されており、第４のＩＤＴの第５のＩＤＴと隣り合っている最外側電極指及び第５のＩＤＴと第４のＩＤＴと隣り合っている最外側電極指の内の一方において直列重み付けが施されている。すなわち、ＩＤＴ同士が隣接する部分において、シグナル電極指またはアース電位に接続される電極指である最外側電極指と、ア−ス電極指またはシグナル電極指である最外側電極指とが隣接し合っている部分において、一方の最外側電極指に直列重み付けが施されている。
【００１７】
従って、後述の具体的な実施例から明らかように、通過帯域内におけるリップルを効果的に低減することができ、良好なフィルタ特性を得ることができる。
【００１８】
第２の発明に係る弾性波フィルタでは、第１〜第５のＩＤＴが弾性波伝搬方向に沿って配置されており、第２，第４のＩＤＴの一方の端子が不平衡信号端子に接続されており、第３のＩＤＴが弾性波伝播方向に２分割された第１，第２の分割ＩＤＴ部を有し、第１のＩＤＴの一端及び第３のＩＤＴの第１の分割ＩＤＴ部が第１の平衡信号端子に、第５のＩＤＴ及び第３のＩＤＴの第２の分割ＩＤＴ部が第２の平衡信号端子に接続されている、平衡−不平衡変換機能を有する５ＩＤＴ型の縦結合共振子型の弾性波フィルタにおいて、第２のＩＤＴの弾性波伝搬方向両側に位置している最外側電極指と、第１，第３のＩＤＴの第２のＩＤＴと隣り合う側に位置している最外側電極指とがア−ス電位に接続される電極指とされており、第４のＩＤＴの両側の最外側電極指がシグナル電極指またはアース電位に接続される電極指とされており、第３，第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指がア−ス電位に接続される電極指またはシグナル電極指とされている。従って、第２の発明においても、ＩＤＴ同士が隣接する部分において、該隣接する部分に臨む最外側電極指の双方がシグナル電極指とならないように第１〜第５のＩＤＴの電極指の本数が決定されている。
【００１９】
また、第４のＩＤＴの第３のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指及び第３のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指の内の一方が直列重み付けされており、かつ第４のＩＤＴの第５のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指及び第５のＩＤＴの第４のＩＤＴと隣り合う側の最外側電極指の一方に直列重み付けが施されているため、すなわち、ＩＤＴ同士が隣接する部分であって、隣り合う最外側電極指の組み合わせがシグナル電極指とア−ス電極指となる部分において、一方のＩＤＴの該最外側電極指に直列重み付けが施されている。
【００２０】
よって、第２の発明においても、通過帯域内におけるリップルを効果的に低減することができ、良好なフィルタ特性を得ることができる。
【００２１】
本発明において、不平衡信号端子との間に接続された１ポ−ト型弾性波共振子をさらに備える場合には、通過帯域高域側ごく近傍の減衰量を大きくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２３】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図である。
【００２４】
本実施形態及び後述の第２の実施形態では、不平衡信号端子のインピ−ダンスが５０Ω、平衡信号端子におけるインピ−ダンスが１５０ΩであるＥＧＳＭ受信用帯域フィルタとして用いられる弾性表面波フィルタ装置を例にとり説明する。
【００２５】
弾性表面波フィルタ装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、適宜の圧電材料から構成され得るが、本実施形態では、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝播ＬｉＴａＯ3基板が用いられている。
【００２６】
圧電基板２上に、図示の電極構造を形成することにより、１ポ−ト型ＳＡＷ共振子３，４及び縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０が構成されている。
【００２７】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０では、表面波伝搬方向に沿って第１〜第５のＩＤＴ１１〜１５が配置されている。ＩＤＴ１１〜１５が設けられている領域の表面波伝搬方向両側には第１，第２の反射器１６，１７が配置されている。
【００２８】
第１，第３，第５のＩＤＴ１１，１３，１５の各一端が接続点１８において共通接続されている。接続点１８は、１ポ−ト型ＳＡＷ共振子３を介して不平衡信号端子５に接続されている。すなわち、１ポ−ト型ＳＡＷ共振子３は、不平衡信号端子５と縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０との間に直列に接続されている。また、不平衡信号端子５とア−ス電位との間に、１ポ−ト型ＳＡＷ共振子４が接続されている。
【００２９】
１ポ−ト型ＳＡＷ共振子３は、ＩＤＴ３ａと、ＩＤＴ３ａの表面波伝搬方向両側に配置された反射器３ｂ，３ｃとを有する。１ポ−ト型ＳＡＷ共振子４も同様に、ＩＤＴ４ａと、ＩＤＴ４ａの表面波伝搬方向両側に配置された反射器４ｂ，４ｃとを有する。
【００３０】
他方、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０では共通接続点１８と接続されている側と反対側の第１，第３，第５のＩＤＴ１１，１３，１５の端部はア−ス電位に接続されている。また、第２，第４のＩＤＴ１２，１４の一端が、それぞれ、第１，第２の平衡信号端子，６，７に接続されており、各他端がア−ス電位に接続されている。
【００３１】
なお、ＳＡＷ共振子３，４及び縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０の各ＩＤＴや反射器の電極指の本数は、実際の数よりは少なく、模式的に図示していることを指摘しておく。
【００３２】
また、上記電極構造は、Ａｌにより形成されているが、本発明の弾性波フィルタにおける電極は、Ａｌ合金やＡｌ以外の金属もしくは合金を用いて形成されてもよく、また、複数の金属膜を積層した構造であってもよい。
【００３３】
なお、本実施形態では、ＩＤＴ１１〜１５の電極構造は模式的に示されているが、実際には、ＩＤＴ１１〜１５において、ＩＤＴ同士が隣り合っている部分に臨む複数本の電極指が、当該ＩＤＴの残りの中央部分の電極指よりも電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部を構成するように形成されている。狭ピッチ電極指部は、例えば、特開２００２−９５８８に開示されているように、本願出願前より公知の構成であり、狭ピッチ電極指部をＩＤＴ同士が隣り合っている部分に設けることにより、ＩＤＴ間の不連続性を小さくすることができる。そのため、狭ピッチ電極指部を設けることにより、挿入損失を小さくすることが可能となる。
【００３４】
本実施形態の弾性表面波フィルタ装置１の特徴は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０において、ＩＤＴ同士の隣り合っている部分において、隣接し合っている最外側電極指の双方がシグナル電極とはならないようにＩＤＴ１１〜１５が配置されており、かつＩＤＴ同士が隣接する部分において、該隣接する部分に臨む最外側電極指の一方がシグナル電極指、他方がア−ス電極指となる部分において、一方の最外側電極指に直列重み付けが施されていることにある。そして、このような構成を備えるため、弾性表面波フィルタ装置１では、通過帯域内に現れるリップルを効果的に低減することができる。これを、図１と、図２〜図４を参照して説明する。
【００３５】
図１に示すように、本実施形態では、第２のＩＤＴ１２の表面波伝播方向両側に位置している最外側電極指１２ａ，１２ｂと、第１，第３のＩＤＴの第２のＩＤＴと隣り合う最外側電極指１１ａ，１３ａとがア−ス電位に接続される電極指とされている。また、第４のＩＤＴ１４の両側の最外側電極指１４ａ，１４ｂがア−ス電位に接続される電極指とされており、第３，第５のＩＤＴの第４のＩＤＴ１４と隣り合う最外側電極指１３ａ，１５ａがシグナル電極指とされている。よって、上述したように、ＩＤＴ同士が隣接する部分において、隣接し合っているＩＤＴの最外側電極指の双方がシグナル電極指とはならないように、ＩＤＴ１１〜１５の電極指の本数が選ばれている。
【００３６】
他方、図１に示すように、第４のＩＤＴ１４においては、最外側電極指１４ａ，１４ｂに直列重み付けが施されている。すなわち、浮き電極指１４ｃ，１４ｄを有するように最外側電極指が直列重み付けされている。言い換えれば、第３のＩＤＴ１３と第４のＩＤＴ１４とが隣接する部分においては、ＩＤＴ１３の電極指１３ｂとＩＤＴ１４の電極指１４ａとが隣り合っており、これらの内一方の最外側電極指１４ａに直列重み付けが施されている。なお、電極指１４ａではなく、電極指１３ｂに直列重み付けが施されてもよい。さらに、ＩＤＴ１４，１５が隣り合っている部分では、ＩＤＴ１４の外側電極指１４ｂではなく、ＩＤＴ１５の最外側電極指１５ａに直列重み付けが施されてもよい。
【００３７】
上記弾性表面波フィルタ装置１を、電極構造を以下の仕様となるようにして形成し、その周波数特性を測定した。結果を図２に示す。
【００３８】
電極指交差幅：１３５μｍ
ＩＤＴの電極指の本数（ＩＤＴ１１〜１５の順）：２５（６）／（８）５５（６）／（４）５６（４）／（６）５５（８）／（６）２５
なお、（）内の電極指の本数は狭ピッチ電極指部の本数を示し、（）外の電極指の本数は、狭ピッチ電極指部以外の本数を示す。第２のＩＤＴ２０５を例にとると、（８）５５（６）は、第１のＩＤＴ１１側の狭ピッチ電極指の電極指の本数が８本であり、第３のＩＤＴ側の狭ピッチ電極指の電極指の本数が６本であり、中央の狭ピッチ電極指部以外の電極指の本数が５５本であることを意味する。
【００３９】
各反射器の電極指の本数：７０本
メタライゼ−ションレシオ：０．７０
電極膜厚：０．０９２λＩ(λＩは、電極指のピッチで定まる波長。)
〔弾性表面波共振子３の仕様〕
電極指交差幅：４５μｍ
ＩＤＴの電極指の本数：１６１本
各反射器の電極指の本数：３０本
メタライゼ−ションレシオ：０．６０
〔弾性表面波共振子４の仕様〕
電極指交差幅：４０μｍ
ＩＤＴの電極指の本数：１６１本
各反射器における電極指の本数：３０本
メタライゼ−ションレシオ：０．６０
比較のために、図３に示す比較例の弾性表面波フィルタ装置３０１を作成した。弾性表面波フィルタ装置３０１では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部３１０において、第４のＩＤＴ３１４において直列重み付けを施さなかったこと、また隣り合うＩＤＴの隣り合っている最外側電極指の極性がいずれもシグナル電極となるようにＩＤＴ３１１，３１２が配置されていることを除いては、上記実施形態の弾性表面波フィルタ装置１０と同様に構成した。この比較例の弾性表面波フィルタ装置３０１のフィルタ特性を図４に示す。
【００４０】
さらに、第２の比較例として、図５に示す弾性表面波フィルタ装置４０１を用意した。弾性表面波フィルタ装置４０１では、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部４１０において、第４のＩＤＴ４１４と、第３，第５のＩＤＴ４１３，４１５とが隣り合っている部分において直列重み付けを施さなかったことを除いては、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置１０と同様に構成した。なお、本比較例では、隣り合うＩＤＴ間において、シグナル電極である最外側電極指同士が隣り合っている部分が存在しない。
【００４１】
第２の比較例の弾性表面波フィルタ装置４０１のフィルタ特性を測定した。結果を図６に示す。
【００４２】
図７は、第３の比較例の弾性表面波フィルタ装置５０１の電極構造を示す模式的平面図である。第３の比較例の弾性表面波フィルタ装置５０１では、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５１０において、第１，第２のＩＤＴ５１１，５１２が隣り合っている部分では、隣り合っている最外側電極指がいずれもシグナル電極とされている。その他の構成については、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置１と同様とされている。第３の比較例の弾性表面波フィルタ装置５０１のフィルタ特性を図８に示す。
【００４３】
図４，図６，図８から明らかように、第１〜第３の比較例の弾性表面波フィルタ装置３０１，４０１，５０１では、通過帯域内に矢印Ａ１，Ａ２で示す位置に大きなリップルが現れていることがわかる。
【００４４】
これに対して、図２から明らかなように、本実施形態の弾性表面波フィルタ装置１では、通過帯域内に上記のような大きなリップルが現れておらず、良好なフィルタ特性を得られることがわかる。
【００４５】
上記図１〜図８の結果から明らかなように、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部を有する弾性表面波フィルタ装置では、通過帯域内において上記リップルを抑制するには、隣り合うＩＤＴの隣り合っている最外側電極指の極性がいずれもシグナル電極とはならないようにＩＤＴを配置すること、並びに隣り合うＩＤＴの隣り合っている最外側電極指の一方がシグナル電極、他方がア−ス電極となる部分において、一方の最外側電極指に直列重み付けを施すことが必要であることがわかる。
【００４６】
図９は、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置１の変形例の弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図である。図９に示す弾性表面波フィルタ装置２１では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部３０において、第１〜第５のＩＤＴ３１〜３５が表面波伝搬方向に配置されている。ここでは、第３，第４のＩＤＴ３３，３４が隣り合っている部分において、第３のＩＤＴ３３の第４のＩＤＴ側の最外側電極指３３ｂに直列重み付けが施されており、第４，第５のＩＤＴ３４，３５が隣り合っている部分では、第５のＩＤＴ３５の第４のＩＤＴ３４側の最外側電極指３５ａにおいて直列重み付けが施されている。このように、ＩＤＴ３３，３５の第４のＩＤＴ３４側の最外側電極指３３ｂ，３５ａを直列重み付けしてもよい。すなわち、２つのＩＤＴが隣接する部分において、一方の最外側電極指がア−ス電極、他方の最外側電極指がシグナル電極とされている部分においては、いずれの電極指側において直列重み付けを施してもよい。その場合においても、第１の実施形態の場合と同様に、通過帯域内におけるリップルを効果的に低減することができる。
【００４７】
第１の実施形態では、第４のＩＤＴの最外側電極指、すなわち、平衡端子７に接続される最外側電極指１４ａ，１４ｂに直列重み付けが施されていた。また、上記比較例の弾性表面波フィルタ装置２１では、不平衡信号端子５に接続される側のＩＤＴ３３，３５の最外側電極指３３ｂ，３５ａに直列重み付けが施されていた。これに対して、図１０に示す変形例の弾性表面波フィルタ装置４１のように、第１〜第５のＩＤＴ５１〜５５が配置されている弾性表面波フィルタ部５０において、第３のＩＤＴ５３の最外側電極指５３ｂに直列重み付けを施し、第４のＩＤＴ５４の第５のＩＤＴ５５と隣り合っている側の最外側電極指５４ｂに直列重み付けを施してもよい。すなわち、不平衡信号端子５に接続されているＩＤＴ５３において直列重み付けを施し、かつ平衡端子７に接続されているＩＤＴ５４においてもう１つの直列重み付けを施してもよい。
【００４８】
図１１は、本発明の第２の実施形態にかかる弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図である。弾性表面波フィルタ装置７１では、圧電基板７２上に図示の電極が形成されている。すなわち、第１〜第５のＩＤＴ８１〜８５を有するＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部８０が構成されている。ＩＤＴ８１〜８５が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に第１，第２の反射器８６，８７が配置されている。
【００４９】
ここでは、第２，第４のＩＤＴ８２，８４の一端が接続点８８により共通接続されている。接続点８８と不平衡信号端子５との間に１ポ−ト型ＳＡＷ共振子３が接続されている。また、ＩＤＴ８２，８４の他端はア−ス電位に接続されている。
【００５０】
他方、第３のＩＤＴ８３の一方端子側が表面波伝搬方向に２分割されており、それによって第１，第２の分割ＩＤＴ部８３Ａ，８３Ｂが形成されている。本実施形態では、第１のＩＤＴ８１及び第１の分割ＩＤＴ部８３Ａが共通接続されて、第１の平衡信号端子６に接続されている。第１のＩＤＴ８１の他端はア−ス電位に接続されている。また、第５のＩＤＴ８５と、第２の分割ＩＤＴ部８３Ｂとが共通接続され、第２の平衡信号端子７に接続されている。第５のＩＤＴ８５の他端はア−ス電位に接続されている。
【００５１】
第１の平衡信号端子６と第２の平衡信号端子７との間には１ポ−ト型ＳＡＷ共振子４が接続されている。
【００５２】
そして、第２のＩＤＴ８２の位相と、第４のＩＤＴ８４の位相とが反転されており、それによって平衡−不平衡変換機能が実現されている。このように、平衡−不平衡変換機能を有する５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける５つのＩＤＴの構造については特に限定されない。
【００５３】
第２の実施形態においても、２つのＩＤＴ同士が隣接する部分において、該隣接する部分に臨む隣り合っている最外側電極指の双方がシグナル電極指とならないようにＩＤＴ８１〜８５が配置されている。そして、このような状態となるように、ＩＤＴ８１〜８５の電極指の本数が選ばれている。
【００５４】
また、２つのＩＤＴ同士が隣接する部分において、一方の最外側電極指がア−ス電極指、他方の最外側電極指がシグナル電極指とされている部分においては、一方の最外側電極指に直列重み付けが施される。すなわち、ＩＤＴ８３と８４とが隣接する部分においては、ＩＤＴ８４の最外側電極指８４ａが、浮き電極指を有するように直列重み付けが施されている。同様にＩＤＴ８４，８５が隣接する部分においては、ＩＤＴ８４のＩＤＴ８５側の最外側電極指８４ｂに直列重み付けが施されている。従って、第１の実施形態の場合と同様に、通過帯域内におけるリップルを効果的に抑圧することができる。
【００５５】
第２の実施形態においても、第１の実施形態の変形例の弾性表面波フィルタ装置の場合と同様に、直列重み付けは、第３，第５のＩＤＴ８３，８５の第４のＩＤＴ８４側の最外側電極指に行われてもよい。
【００５６】
図１２は、第２の実施形態の弾性表面波フィルタ装置の変形例を示す模式的平面図である。第２の実施形態では、ＩＤＴ８３が、第１，第２の分割ＩＤＴ部８３Ａ，８３Ｂを有していたが、本変形例においても、第３のＩＤＴ９３が、表面波伝搬方向に分割することにより設けられた第１，第２の分割ＩＤＴ部９３Ａ，９３Ｂを有する。もっとも、異なるところは、第３のＩＤＴ９３では、第４のＩＤＴ９４側に位置している最外側の電極指９３ａがシグナル電極指である。また、第４のＩＤＴ９４において、第３のＩＤＴ９３側に位置している最外側の電極指９４ａが、アース電位に接続される電極指とされている。第４のＩＤＴ９４の第５のＩＤＴ９５側の最外側の電極指９５ｂも、アース電位に接続される電極指とされている。他方、第５のＩＤＴ９５の第４のＩＤＴ９４側の最外側の電極指９５ａは、シグナル電極指とされている。その他の点については、弾性表面波フィルタ装置７１と同様に構成されているため、同一の部分については同一の参照番号を付することにより、その説明を省略する。
【００５７】
弾性表面波フィルタ装置９１から明らかなように、第３，第４のＩＤＴ９３，９４が隣り合う部分において、第３のＩＤＴ９３の最外側の電極指９３ａがシグナル電極指、第４のＩＤＴ９４の最外側の電極指９４ａがアース電位に接続される電極指であってもよく、第４のＩＤＴ９４及び第５のＩＤＴ９５が隣り合う部分において、最外側の電極指９４ｂがアース電位に接続される電極指、第５のＩＤＴ９５の最外側の電極指９５ａがシグナル電極指であってもよい。
【００５８】
なお、上述した第１，第２の実施形態では、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝播ＬｉＴａＯ3基板を用いたが、６４〜７２°ＹｃｕｔＸ伝播ＬｉＮｂＯ3基板、４１°ＹｃｕｔＸ伝播ＬｉＮｂＯ3基板などの様々なｃｕｔ角及び様々な圧電単結晶からなる圧電基板を用いることができる。
【００５９】
また、上述した第１，第２の実施形態は弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタ装置であるが、本発明は、弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタにも適用することができる。すなわち、図１３に模式的に示すように、弾性境界波フィルタ１７１は、第１，第２の媒質１７２，１７３間の境界にＩＤＴ１７４を配置した構造を有する。ここでは、媒質１７２，１７３の少なくとも一方を圧電材料とし、両者の境界を伝播する弾性境界波を用いてフィルタ特性が得られる。弾性境界波フィルタ１７１においても、上述した実施形態における弾性表面波フィルタと同様に、電極構造を形成することにより、通過帯域内におけるリップルを効果的に抑圧することができ、良好なフィルタ特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図。
【図２】第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置のフィルタ特性を示す。
【図３】第１の比較例の弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。
【図４】第１の比較例の弾性表面波フィルタ装置のフィルタ特性を示す。
【図５】第２の比較例の弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。
【図６】第２の比較例の弾性表面波フィルタ装置のフィルタ特性を示す。
【図７】第３の比較例の弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。
【図８】第３の比較例の弾性表面波フィルタ装置のフィルタ特性を示す。
【図９】第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置の第１の変形例を説明するための模式的平面図。
【図１０】第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置の第２の変形例を説明するための模式的平面図。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。
【図１２】第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の変形例を説明するための模式的平面図。
【図１３】本発明が適用される弾性境界波フィルタの構造を模式的に示す正面断面図。
【図１４】従来の弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図。
【符号の説明】
【００６１】
１…弾性表面波フィルタ装置
２…圧電基板
３…１ポ−ト型ＳＡＷ共振子
３ａ…ＩＤＴ
３ｂ，３ｃ…反射器
４…１ポ−ト型ＳＡＷ共振子
４ａ…ＩＤＴ
４ｂ，４ｃ…反射器
５…不平衡信号端子
６，７…第１，第２の平衡信号端子
１０…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
１１〜１５…第１〜第５のＩＤＴ
１３ａ…電極指
１４ａ，１４ｂ…電極指
１４ｃ，１４ｄ…浮き電極指
１５ａ…電極指
１６，１７…第１，第２の反射器
２１…弾性表面波フィルタ装置
３０…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
３１〜３５…第１〜第５のＩＤＴ
３３ｂ…電極指
３５ａ…電極指
４１…弾性表面波フィルタ装置
５０…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
５１〜５５…第１〜第５のＩＤＴ
５３ｂ…電極指
５４ｂ…電極指
７１…弾性表面波フィルタ装置
７２…圧電基板
８０…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
８１〜８５…第１〜第５のＩＤＴ
８３Ａ，８３Ｂ…第１，第２の分割ＩＤＴ部
８４ａ，８４ｂ…電極指
８６，８７…第１，第２の反射器
９１…弾性表面波フィルタ装置
９３〜９５…第３〜第５のＩＤＴ
９３Ａ，９３Ｂ…第１，第２の分割ＩＤＴ部
９３ａ，９４ａ，９４ｂ，９５ａ…電極指
１７１…弾性境界波フィルタ
１７２，１７３…媒質層
１７４…ＩＤＴ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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