(57)【要約】【課題】  標準試料の測定を減らすことできる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供する。【解決手段】  試験治具と基準治具とに実装した状態で、対応する少なくとも１つのポート（以下、「特定ポート」という。）について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料５０，５２，５４をそれぞれ測定し、特定ポートについて試験治具及び基準治具の測定値を関係付ける第１の数式を決定する。試験治具と基準治具とに実装した状態で、特定ポートと他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイス４６，４８をそれぞれ測定し、他のポートについて試験治具及び基準治具の測定値を関係付ける第２の数式を決定する。任意の電子部品を試験治具に実装した状態で測定し、第１の数式と第２の数式とを用いて、当該電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電子部品の電気特性の推定値を算出する。【選択図】図６
2006126144.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法であって、
前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態で、対応する少なくとも１つのポート（以下、「特定ポート」という。）について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定する第１のステップと、
前記第１のステップで得られた測定結果から、前記特定ポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第１の数式を決定する第２のステップと、
前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態で、前記特定ポートと前記特定ポート以外の他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定する第３のステップと、
前記第２のステップで得られた前記第１の数式を用いて、前記第３のステップで得られた測定結果から、前記他のポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第２の数式を決定する第４のステップと、
任意の電子部品を前記試験治具に実装した状態で測定する第５のステップと、
前記第５のステップで得られた測定結果に基づいて、前記第２のステップで決定した前記第１の数式と前記第４のステップで決定した前記第２の数式とを用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装して測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する第６のステップとを含むことを特徴とする、測定誤差の補正方法。
【請求項２】
前記第４のステップで決定される前記第２の数式は、
前記特定ポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における左手側のポート（以下、「Ｌポート」という。）であり、前記他のポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における右手側のポート（以下、「Ｒポート」という。）であるとき、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Ｔｃ２２，Ｔｃ２３，Ｔｃ３２，Ｔｃ３３は、
前記第３のステップで得られた測定結果から、前記第２のステップで決定された前記第１の数式を用いて算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ，Ｔ１２Ｉ，Ｔ２１Ｉ，Ｔ２２Ｉと、
前記第３のステップで得られた測定結果から算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ，Ｔ１２Ｄ，Ｔ２１Ｄ，Ｔ２２Ｄとを用いて、
【数１】
2006126144.tif 000011
のように表され、
前記特定ポートがＲポートであり、前記他のポートがＬポートであるとき、前記基準治具の前記他のポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Ｔｃ００，Ｔｃ０１，Ｔｃ１０，Ｔｃ１１は、
前記第３のステップで得られた測定結果から、前記第２のステップで決定された前記第１の数式を用いて算出した、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ'，Ｔ１２Ｉ'，Ｔ２１Ｉ'，Ｔ２２Ｉ'と、
前記第３のステップで得られた測定結果から算出した、前記基準治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ'，Ｔ１２Ｄ'，Ｔ２１Ｄ'，Ｔ２２Ｄ'とを用いて、
【数２】
2006126144.tif 000012
のように表されることを特徴とする、請求項１に記載の測定誤差の補正方法。
【請求項３】
前記第３のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記特定ポートと前記他のポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の測定誤差の補正方法。
【請求項４】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記試験治具に実装した状態で前記電子部品を測定する測定手段と、
前記基準治具に実装した状態で、少なくとも１つのポート（以下、「特定ポート」という。）について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第１の測定結果と、前記基準治具に実装した状態で、前記特定ポートと前記特定ポート以外の他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイスを測定した第２の測定結果とを格納する記憶手段と、
前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記特定ポートについて、少なくとも３種類の前記補正データ取得用試料をそれぞれ測定した測定結果とから、前記特定ポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第１の数式を決定する第１の数式決定手段と、
前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記補正データ取得用スルーデバイスを測定した測定結果とから、前記他のポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第２の数式を決定する第２の数式決定手段と、
前記測定手段により、任意の電子部品を前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づいて、前記第１の数式決定手段が決定した前記第１の数式と前記第２の数式決定手段が決定した前記第２の数式とを用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装して測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性推定手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項５】
前記第２の数式決定手段が決定する前記第２の数式は、
前記特定ポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における左手側のポート（以下、「Ｌポート」という。）であり、前記他のポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における右手側のポート（以下、「Ｒポート」という。）であるとき、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Ｔｃ２２，Ｔｃ２３，Ｔｃ３２，Ｔｃ３３は、
前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果とから、前記第１の数式決定手段が決定した前記第１の数式を用いて算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ，Ｔ１２Ｉ，Ｔ２１Ｉ，Ｔ２２Ｉと、
前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果である、前記基準治具の前記特定ポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ，Ｔ１２Ｄ，Ｔ２１Ｄ，Ｔ２２Ｄとを用いて、
【数１】
2006126144.tif 000013
のように表され、
前記特定ポートがＲポートであり、前記他のポートがＬポートであるとき、前記基準治具の前記他のポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Ｔｃ００，Ｔｃ０１，Ｔｃ１０，Ｔｃ１１は、
前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果とから、前記第１の数式決定手段が決定した前記第１の数式を用いて算出した、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ'，Ｔ１２Ｉ'，Ｔ２１Ｉ'，Ｔ２２Ｉ'と、
前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果である、前記基準治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ'，Ｔ１２Ｄ'，Ｔ２１Ｄ'，Ｔ２２Ｄ'とを用いて、
【数２】
2006126144.tif 000014
のように表されることを特徴とする、請求項４に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項６】
前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記特定ポートと前記他のポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上であることを特徴とする、請求項４又は５に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項７】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記試験治具に実装した状態で前記電子部品を測定する測定手段と、
前記基準治具に実装した状態で、少なくとも１つのポート（以下、「特定ポート」という。）について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第１の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記特定ポートについて、少なくとも３種類の前記補正データ取得用試料をそれぞれ測定した測定結果とから決定された、前記特定ポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第１の数式と、前記基準治具に実装した状態で、前記特定ポートと前記特定ポート以外の他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイスを測定した第２の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記補正データ取得用スルーデバイスを測定した測定結果とから決定された、前記他のポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第２の数式とを記憶する数式記憶手段と、
前記測定手段により、任意の電子部品を前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づいて、前記数式記憶手段に記憶された前記第１の数式及び前記第２の数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装して測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性推定手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項８】
前記数式記憶手段が記憶する前記第２の数式は、
前記特定ポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における左手側のポート（以下、「Ｌポート」という。）であり、前記他のポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における右手側のポート（以下、「Ｒポート」という。）であるとき、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Ｔｃ２２，Ｔｃ２３，Ｔｃ３２，Ｔｃ３３は、
前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果から、前記数式記憶手段が記憶している前記第１の数式を用いて算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ，Ｔ１２Ｉ，Ｔ２１Ｉ，Ｔ２２Ｉと、
前記第２の測定結果である、前記基準治具の前記特定ポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ，Ｔ１２Ｄ，Ｔ２１Ｄ，Ｔ２２Ｄとを用いて、
【数１】
2006126144.tif 000015
のように表され、
前記特定ポートがＲポートであり、前記他のポートがＬポートであるとき、前記基準治具の前記他のポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Ｔｃ００，Ｔｃ０１，Ｔｃ１０，Ｔｃ１１は、
前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果から、前記第１の数式を用いて算出した、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ'，Ｔ１２Ｉ'，Ｔ２１Ｉ'，Ｔ２２Ｉ'と、
前記第２の測定結果である、前記基準治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ'，Ｔ１２Ｄ'，Ｔ２１Ｄ'，Ｔ２２Ｄ'とを用いて、
【数２】
2006126144.tif 000016
のように表されることを特徴とする、請求項７に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項９】
前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記特定ポートと前記他のポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上であることを特徴とする、請求項７又は８に記載の電子部品特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関し、詳しくは、電子部品の電気特性を、試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面実装型電子部品などの同軸コネクタを有しない電子部品は、同軸コネクタを有する治具に実装し、治具と測定装置の間を同軸ケーブルを介して接続して、電気特性が測定されることがある。このような測定においては、個々の治具の特性のばらつきや、個々の同軸ケーブル及び測定装置の特性のばらつきが、測定誤差の原因となる。
【０００３】
同軸ケーブル及び測定装置については、基準特性を有する標準器を同軸ケーブルを介して測定装置に接続して測定することにより、標準器を接続した同軸ケーブル先端よりも測定装置側の誤差を同定することができる。
【０００４】
しかし、治具については、電子部品を実装する部分の接続端子と同軸ケーブルに接続するための同軸コネクタとの間の電気特性の誤差を精度よく同定することができない。また、治具間の特性が一致するように調整することは容易ではない。特に広い帯域幅で、治具間の特性が一致するように治具を調整することは、極めて困難である。
【０００５】
そこで、標準試料を複数の治具に実装して測定し、治具間における測定値のばらつきから、ある治具（以下、「基準治具」という。）と他の治具（以下、「試験治具」という。）との間の相対的な誤差を補正する数式を予め導出しておき、この数式を用いて、任意の電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出することが提案されている。例えば、基準治具はユーザに対して電気特性を保証するために用い、試験治具は電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。具体的には、各ポートについて、試験治具誤差を除去する散乱行列と基準治具誤差の散乱行列を合成した散乱行列（これを、「相対補正アダプタ」という。）をそれぞれ導出する。その相対補正アダプタを、試験治具測定値の散乱行列に対し合成することで基準治具測定値を推定する。相対補正アダプタは、各ポートについて、それぞれ少なくとも３つの標準試料を、基準治具と試験治具の両方で測定し、この測定結果から計算できる（例えば、非特許文献１、２参照）。
【非特許文献１】ＧＡＫＵ  ＫＡＭＩＴＡＮＩ（Ｍｕｒａｔａ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ．）  "Ａ  ＭＥＴＨＯＤ  ＴＯ  ＣＯＲＲＥＣＴ  ＤＩＦＦＥＲＥＮＣＥ  ＯＦ  ＩＮ−ＦＩＸＴＵＲＥ  ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ  ＡＭＯＮＧ  ＦＩＸＴＵＲＥＳ  ＯＮ  ＲＦ  ＤＥＶＩＣＥＳ"  ＡＰＭＣ  Ｖｏｌ．２，  ｐ１０９４−１０９７，  ２００３
【非特許文献２】Ｊ．Ｐ．ＤＵＮＳＭＯＲＥ，  Ｌ．ＢＥＴＴＳ  （Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）  "ＮＥＷ  ＭＥＴＨＯＤＳ  ＦＯＲ  ＣＯＲＲＥＬＡＴＩＮＧ  ＦＩＸＴＵＲＥＤ  ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ"  ＡＰＭＣ  Ｖｏｌ．１，  ｐ５６８−５７１，  ２００３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
相対補正アダプタを導出するために、基本的には、１ポートに対して少なくとも３つの標準試料を用意する必要がある。２ポート系では６つ、３ポート系では９つ、・・・Ｎポート系ではＮ×３つの標準試料が必要となる。ただし、対象デバイスが大きい場合には、標準試料の各ポートのアイソレーションが取れるため、標準試料のそれぞれのポートに対して特性を割り振ることができ、標準試料の個数を削減することができる。例えば図１（ａ）に示すように、３ポート系に対して、３つの標準試料２，３，４まで削減することができる。
【０００７】
しかし、対象デバイスの小型化、多ポート化により、各ポート電極間の距離が狭くなると、標準試料は、標準試料における各ポートのアイソレーションを確保するため、測定を行うポート以外のポートについてすべてシールドを施すなどの工夫が必要となる。ＳＨＯＲＴ、ＬＯＡＤ、ＯＰＥＮのアイソレーションの確保は容易でないので、例えば図１（ｂ）に示すように、３ポート系では、９つの標準試料２ａ，２ｂ，２ｃ，３ａ，３ｂ，３ｃ，４ａ，４ｂ，４ｃを用意する必要がある。
【０００８】
対象デバイスの小型化、多ポート化が進むと、ＯＰＥＮのアイソレーションも確保できなくなるため、最悪、標準試料は（ポート数×３）個必要となる。つまり、対象デバイスの小型化、多ポート化が進むにつれて、測定すべき標準試料の個数が激増し、標準試料の管理が煩雑になり、標準試料の測定に要する工数が増大する。
【０００９】
本発明は、上記実情に鑑み、標準試料の測定を減らすことできる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。
【００１１】
測定誤差の補正方法は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプの測定誤差の補正方法である。前記測定誤差の補正方法は、第１〜第６のステップを含む。前記第１のステップでは、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態で、対応する少なくとも１つのポート（以下、「特定ポート」という。）について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第２のステップでは、前記第１のステップで得られた測定結果から、前記特定ポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第１の数式を決定する。前記第３のステップでは、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態で、前記特定ポートと前記特定ポート以外の他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定する。前記第４のステップでは、前記第２のステップで得られた前記第１の数式を用いて、前記第３のステップで得られた測定結果から、前記他のポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第２の数式を決定する。前記第５のステップでは、任意の電子部品を前記試験治具に実装した状態で測定する。前記第６のステップでは、前記第５のステップで得られた測定結果に基づいて、前記第２のステップで決定した前記第１の数式と前記第４のステップで決定した前記第２の数式とを用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装して測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する。
【００１２】
上記方法によれば、特定ポートについては、従来と同様に、少なくとも３種類の標準試料（補正データ取得用試料）を測定し、試験治具実装状態での測定値と基準治具実装状態での測定値とを関係付ける第１の数式を導出する。他のポートについては、従来と異なり、１つの標準試料（補正データ取得用スルーデバイス）のみを測定するだけで、試験治具実装状態での測定値と基準治具実装状態での測定値とを関係付ける第２の数式を導出することができる。つまり、他のポート（２以上でもよい）について、従来は１ポートごとに少なくとも３種類の標準試料を測定する必要があったが、上記方法では特定ポート以外は１ポートごとに１つの標準試料を測定するだけでよい。
【００１３】
好ましくは、前記第４のステップで決定される前記第２の数式は、前記特定ポートが補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における左手側のポート（以下、「Ｌポート」という。）であり、前記他のポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における右手側のポート（以下、「Ｒポート」という。）であるとき、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができる。該伝送行列の係数Ｔｃ２２，Ｔｃ２３，Ｔｃ３２，Ｔｃ３３は、前記第３のステップで得られた測定結果から、前記第２のステップで決定された前記第１の数式を用いて算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ，Ｔ１２Ｉ，Ｔ２１Ｉ，Ｔ２２Ｉと、前記第３のステップで得られた測定結果から算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ，Ｔ１２Ｄ，Ｔ２１Ｄ，Ｔ２２Ｄとを用いて、
【数１】
2006126144.tif 000003
のように表される。前記特定ポートがＲポートであり、前記他のポートがＬポートであるとき、前記基準治具の前記他のポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができる。該伝送行列の係数Ｔｃ００，Ｔｃ０１，Ｔｃ１０，Ｔｃ１１は、前記第３のステップで得られた測定結果から、前記第２のステップで決定された前記第１の数式を用いて算出した、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ'，Ｔ１２Ｉ'，Ｔ２１Ｉ'，Ｔ２２Ｉ'と、前記第３のステップで得られた測定結果から算出した、前記基準治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ'，Ｔ１２Ｄ'，Ｔ２１Ｄ'，Ｔ２２Ｄ'とを用いて、
【数２】
2006126144.tif 000004
のように表される。
【００１４】
試験治具と基準治具の対応するポート間に相対補正アダプタが配置された誤差モデルを考えると、特定ポートがＬポートであり、前記他のポートがＲポートであるとき、基準治具の特定ポートから試験治具の他のポートへの伝送行列ＴＩと試験治具の他のポートから基準治具の他のポートへの伝送行列Ｔｃとの積が、基準治具の特定ポートから基準治具の他のポートへの伝送行列ＴＤに等しいので、次式（２ａ）のようになる。
ＴＤ＝ＴＩ・ＴＣ  ・・・（２ａ）
この式（２ａ）の両辺に左から、伝送行列ＴＩの逆行列ＴＩ−１をかけると、次式（３ａ）のようになり、上記式（１ａ）が導出される。
ＴＩ−１・ＴＤ＝ＴＩ−１・ＴＩ・ＴＣ＝ＴＣ    ・・・（３ａ）
【００１５】
一方、特定ポートがＲポートであり、前記他のポートがＬポートであるとき、基準治具の他のポートから試験治具の他のポートへの伝送行列Ｔｃと基準治具の他のポートから試験治具の他のポートへの伝送行列ＴＩ'との積が、基準治具の他のポートから基準治具の特定ポートへの伝送行列ＴＤ'に等しいので、次式（２ｂ）のようになる。
ＴＤ'＝ＴＣ'・ＴＩ'・・・（２ｂ）
この式（２ｂ）の両辺に右から、伝送行列ＴＩ'の逆行列ＴＩ'−１をかけると、次式（３ｂ）のようになり、上記式（１ｂ）が導出される。
ＴＤ'・ＴＩ−１＝ＴＣ'・ＴＩ'・ＴＩ'−１＝ＴＣ'    ・・・（３ａ）
【００１６】
好ましくは、前記第３のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記特定ポートと前記他のポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上である。
【００１７】
この場合、ポート間で出力信号は入力信号より１桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。
【００１８】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００１９】
電子部品特性測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。前記電子部品特性測定装置は、前記試験治具に実装した状態で前記電子部品を測定する測定手段と、前記基準治具に実装した状態で、少なくとも１つのポート（以下、「特定ポート」という。）について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第１の測定結果と、前記基準治具に実装した状態で、前記特定ポートと前記特定ポート以外の他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイスを測定した第２の測定結果とを格納する記憶手段と、前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記特定ポートについて、少なくとも３種類の前記補正データ取得用試料をそれぞれ測定した測定結果とから、前記特定ポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第１の数式を決定する第１の数式決定手段と、前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記補正データ取得用スルーデバイスを測定した測定結果とから、前記他のポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第２の数式を決定する第２の数式決定手段と、前記測定手段により、任意の電子部品を前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づいて、前記第１の数式決定手段が決定した前記第１の数式と前記第２の数式決定手段が決定した前記第２の数式とを用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装して測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性推定手段とを備える。
【００２０】
上記構成によれば、特定ポートについては、従来と同様に、少なくとも３種類の標準試料（補正データ取得用試料）を測定し、試験治具実装状態での測定値と基準治具実装状態での測定値とを関係付ける第１の数式を導出する。他のポートについては、従来と異なり、１つの標準試料（補正データ取得用スルーデバイス）のみを測定するだけで、試験治具実装状態での測定値と基準治具実装状態での測定値とを関係付ける第２の数式を導出することができる。つまり、他のポート（２以上でもよい）について、従来は１ポートごとに少なくとも３種類の標準試料を測定する必要があったが、上記構成によれば、１ポートごとに１つの標準試料（補正データ取得用スルーデバイス）を測定するだけでよい。
【００２１】
好ましくは、前記第２の数式決定手段が決定する前記第２の数式は、前記特定ポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における左手側のポート（以下、「Ｌポート」という。）であり、前記他のポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における右手側のポート（以下、「Ｒポート」という。）であるとき、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができる。このとき、該伝送行列の係数Ｔｃ２２，Ｔｃ２３，Ｔｃ３２，Ｔｃ３３は、前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果とから、前記第１の数式決定手段が決定した前記第１の数式を用いて算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ，Ｔ１２Ｉ，Ｔ２１Ｉ，Ｔ２２Ｉと、前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果である、前記基準治具の前記特定ポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ，Ｔ１２Ｄ，Ｔ２１Ｄ，Ｔ２２Ｄとを用いて、
【数１】
2006126144.tif 000005
のように表される。一方、前記特定ポートがＲポートであり、前記他のポートがＬポートであるとき、前記基準治具の前記他のポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができる。このとき、該伝送行列の係数Ｔｃ００，Ｔｃ０１，Ｔｃ１０，Ｔｃ１１は、前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果とから、前記第１の数式決定手段が決定した前記第１の数式を用いて算出した、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ'，Ｔ１２Ｉ'，Ｔ２１Ｉ'，Ｔ２２Ｉ'と、前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果である、前記基準治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ'，Ｔ１２Ｄ'，Ｔ２１Ｄ'，Ｔ２２Ｄ'とを用いて、
【数２】
2006126144.tif 000006
のように表される。
【００２２】
好ましくは、前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記特定ポートと前記他のポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上である。
【００２３】
また、本発明は、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００２４】
電子部品特性測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するものである。電子部品特性測定装置は、前記試験治具に実装した状態で前記電子部品を測定する測定手段と、前記基準治具に実装した状態で、少なくとも１つのポート（以下、「特定ポート」という。）について、少なくとも３種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第１の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記特定ポートについて、少なくとも３種類の前記補正データ取得用試料をそれぞれ測定した測定結果とから決定された、前記特定ポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第１の数式と、前記基準治具に実装した状態で、前記特定ポートと前記特定ポート以外の他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイスを測定した第２の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記補正データ取得用スルーデバイスを測定した測定結果とから決定された、前記他のポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第２の数式とを記憶する数式記憶手段と、前記測定手段により、任意の電子部品を前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づいて、前記数式記憶手段に記憶された前記第１の数式及び前記第２の数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装して測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性推定手段とを備える。
【００２５】
好ましくは、前記数式記憶手段が記憶する前記第２の数式は、前記特定ポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における左手側のポート（以下、「Ｌポート」という。）であり、前記他のポートが補正データ取得用スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における右手側のポート（以下、「Ｒポート」という。）であるとき、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができる。このとき、該伝送行列の係数Ｔｃ２２，Ｔｃ２３，Ｔｃ３２，Ｔｃ３３は、前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果から、前記数式記憶手段が記憶している前記第１の数式を用いて算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ，Ｔ１２Ｉ，Ｔ２１Ｉ，Ｔ２２Ｉと、前記第２の測定結果である、前記基準治具の前記特定ポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ，Ｔ１２Ｄ，Ｔ２１Ｄ，Ｔ２２Ｄとを用いて、
【数１】
2006126144.tif 000007
のように表される。一方、前記特定ポートがＲポートであり、前記他のポートがＬポートであるとき、前記基準治具の前記他のポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができる。このとき、該伝送行列の係数Ｔｃ００，Ｔｃ０１，Ｔｃ１０，Ｔｃ１１は、前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果から、前記第１の数式を用いて算出した、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定のポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｉ'，Ｔ１２Ｉ'，Ｔ２１Ｉ'，Ｔ２２Ｉ'と、前記第２の測定結果である、前記基準治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数Ｔ１１Ｄ'，Ｔ１２Ｄ'，Ｔ２１Ｄ'，Ｔ２２Ｄ'とを用いて、
【数２】
2006126144.tif 000008
のように表される。
【００２６】
好ましくは、前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記特定ポートと前記他のポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置は、標準試料の測定を減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態について、図２〜図１０を参照しながら説明する。
【００２９】
図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、電子部品は、異なる測定系１０，２０で測定する。いずれの測定系１０，２０においても、治具１６，２６の実装部１８，２８に電子部品を実装した状態で、測定装置１２，２２を用いて電気特性の測定を行う。測定時には、治具１６，２６に設けられた同軸コネクタ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ；２７ａ，２７ｂ，２７ｃに、測定装置１２，２２に接続された同軸ケーブル１３ａ，１３ｂ，１３ｃ；２３ａ，２３ｂ，２３ｃの先端に設けられた同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃを接続する。
【００３０】
図示していないが、治具１６，２６の実装部１８，２８には、電子部品の各端子にそれぞれ圧接する接続端子が設けられ、その接続端子が同軸コネクタ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ；２７ａ，２７ｂ，２７ｃにそれぞれ電気的に接続されている。
【００３１】
測定装置１２，２２は、予め、同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃに、既知の電気特性を有する標準器（例えば、同軸形状の電子部品）を接続してキャリブレーションを行う。
【００３２】
測定装置１２，２２には、例えばベクトル・ネットワーク・アナライザ（ＶＮＡ）を用いる。ＶＮＡは、複数のポートを有し高周波で用いられる電子部品の電気特性を単に測定するだけでなく、測定した生データを任意に設定したプログラムにより演算して出力する機能も備えている。
【００３３】
一方の測定系１０の治具１６（以下、「基準治具１６」と言う。）は、例えばユーザに対して電気特性を保証するために用いる。他方の測定系２０の治具２６（以下、「試験治具２６」と言う。）は、例えば電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。
【００３４】
基準治具１６に実装して測定系１０で測定したとき（以下、「基準状態」ともいう。）の電子部品の電気特性の測定結果と、試験治具２６に実装して測定系２０で測定したとき（以下、「試験状態」ともいう。）の電子部品の電気特性の測定結果とは、それぞれ測定誤差を含む。同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃよりも測定装置１２，２２側は、予めキャリブレーションを行っているので、治具１６，２６の測定誤差を相対補正法によって補正する。すなわち、予め、治具１６，２６間の相対的な測定誤差を補正する数式を導出しておく。そして、任意の電子部品について、試験治具２６に実装して測定した結果から、導出した数式を用いて、その電子部品を基準治具１６に実装して測定したならば得られるであろう電気特性を推定する。
【００３５】
次に、電子部品を試験治具２６に実装した試験状態の測定結果から、基準治具１６に実装した基準状態の電気特性を推定する方法の基本原理について、説明する。
【００３６】
以下では、簡単のため、２ポート間の電気特性について２端子対回路を例に説明するが、ｎ端子対回路（ｎは、１、又は３以上の整数）に対しても拡張することができる。
【００３７】
図３（ａ）は、２ポートの電子部品（以下、「試料ＤＵＴ」と言う。）を実装した基準治具１６の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（ＳＤＵＴ）で表している。基準治具１６における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（ＥＤ１），（ＥＤ２）で表している。回路の両側の端子において、基準治具に試料ＤＵＴを実装した基準状態での測定値Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄが得られる。
【００３８】
図３（ｂ）は、試料ＤＵＴを実装した試験治具２６の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（ＳＤＵＴ）で表している。試験治具２６における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（ＥＴ１），（ＥＴ２）で表している。回路の両側の端子において、試験治具に試料ＤＵＴを実装した基準状態での測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔが得られる。
【００３９】
図３（ｃ）は、図３（ｂ）の回路の両側に、誤差特性（ＥＴ１），（ＥＴ２）を中和するアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１を接続した状態を示す。このアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１は、理論上は、誤差特性の散乱行列（ＥＴ１），（ＥＴ２）を伝送行列に変換し、その逆行列を求め、再度散乱行列に変換することにより得られる。誤差特性（ＥＴ１），（ＥＴ２）とアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１との間の境界部分３０，３２において、試験治具２６に試料ＤＵＴを実装した試験状態の測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔが得られる。図３（ｃ）の回路は、試験治具２６の誤差が除去され、回路の両側の端子において、試料ＤＵＴそのものの測定値Ｓ１１ＤＵＴ，Ｓ２１ＤＵＴが得られる。
【００４０】
図３（ｃ）の回路は試料ＤＵＴのみと等価であるので、図３（ａ）と同様に、両側に、基準治具１６の誤差特性の散乱行列（ＥＤ１），（ＥＤ２）を接続すると、図４（ａ）のようになる。
【００４１】
図４（ａ）において符号３４で示した（ＥＤ１），（ＥＴ１）−１を合成した散乱行列を（ＣＡ１）とし、符号３６で示した（ＥＴ２）−１，（ＥＤ２）を合成した散乱行列を（ＣＡ２）とすると、図４（ｂ）のようになる。これらの散乱行列（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、いわゆる「相対補正アダプタ」であり、試験状態の測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔと基準状態の測定値Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄとを関係付ける。したがって、相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）が決まれば、任意の電子部品を試験治具に実装した状態での測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔから、相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）を用いて、基準治具に実装した状態の測定値Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄを算出（推定）することができる。
【００４２】
各相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、それぞれ、４つの係数ｃ００，ｃ０１，ｃ１０，ｃ１１；ｃ２２，ｃ２３，ｃ３２，ｃ３３を含むが、相反定理により、ｃ０１＝ｃ１０、ｃ２３＝ｃ３２となる。したがって、従来は、各ポートについて、特性の異なった３種類の１ポート標準試料を基準治具１６と基準治具２６とに実装して測定し、各係数ｃ００，ｃ０１，ｃ１０，ｃ１１；ｃ２２，ｃ２３，ｃ３２，ｃ３３を決定していた。
【００４３】
これに対し、本発明では、一つのポート（以下、「特定ポート」という。）の相対補正アダプタについては、従来と同様に、３種類の標準試料を基準治具１６と基準治具２６とに実装して測定し、各係数を決定する。他のポートの相対補正アダプタは、１つの標準試料（特定ポートと他のポートとの間を接続するスルーデバイス）を、基準治具１６と基準治具２６とに実装して測定することにより、求める。
【００４４】
すなわち、スルーデバイスの測定時には、図４（ｂ）に対応する回路は、図５ａ、図５ｂに示すようになる。図中、（ＳＴＨ）はスルーデバイスの散乱行列である。以下では、スルーデバイスの測定を４端子網で表した場合における左手側のポートを「Ｌポート」、右手側のポートを「Ｒポート」という。
【００４５】
Ｌポートが特定ポートである場合、図５ａに示すように、スルーデバイスを試験治具に実装したときの測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔと、特定ポートの相対補正アダプタ（ＣＡ１）とから、基準治具のＬポートから試験治具のＲポートへの伝送行列ＴＩの各係数Ｔ１１Ｉ，Ｔ１２Ｉ，Ｔ２１Ｉ，Ｔ２２Ｉを求めることができる。また、基準治具にスルーデバイスを実装したときの測定値から、基準治具のＬポートから基準治具のＲポートへの伝送行列ＴＤの各係数Ｔ１１Ｄ，Ｔ１２Ｄ，Ｔ２１Ｄ，Ｔ２２Ｄを求めることができる。試験治具のＲポートから基準治具のＲポートへの伝送行列Ｔｃの各係数をＴｃ２２，Ｔｃ２３，Ｔｃ３２，Ｔｃ３３とする。
【００４６】
基準治具のＬポートから試験治具のＲポートへの伝送行列ＴＩと、試験治具のＲポートから基準治具のＲポートへの伝送行列Ｔｃとの積は、基準治具のＬポートから基準治具のＲポートへの伝送行列ＴＤに等しいので、次式（４）のようになる。
ＴＩ・ＴＣ＝ＴＤ    ・・・（４）
この式（４）の両辺に左から、伝送行列ＴＩの逆行列ＴＩ−１をかけると、次式（５）のようになる。
ＴＣ＝ＴＩ−１・ＴＤ    ・・・（５）
【００４７】
つまり、次式（６）のようになる。
【数３】
2006126144.tif 000009
【００４８】
この式（６）から伝送行列Ｔｃを求めて散乱行列に変換することにより、補正アダプタ（ＣＡ２）を求めることができる。補正アダプタ（ＣＡ２）は、特定ポートの補正アダプタ（ＣＡ１）と同様に、標準試料やスルーデバイスの真値が不明であっても、求めることができる。
【００４９】
スルーデバイスにて相対補正アダプタを導出するＲポートについては、治具誤差要因に方向性（ｃ２３≠ｃ３２）があっても問題とならない。具体的には、治具にアンプが実装されている場合等にも相対補正法が実施できる。
【００５０】
一方、Ｒポートが特定ポートである場合、図５ｂに示すように、スルーデバイスを試験治具に実装したときの測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔと、特定ポートの相対補正アダプタ（ＣＡ２）とから、試験治具のＬポートから基準治具のＲポートへの伝送行列ＴＩ'の各係数Ｔ１１Ｉ'，Ｔ１２Ｉ'，Ｔ２１Ｉ'，Ｔ２２Ｉ'を求めることができる。また、基準治具にスルーデバイスを実装したときの測定値から、基準治具のＬポートから基準治具のＲポートへの伝送行列ＴＤの各係数Ｔ１１Ｄ，Ｔ１２Ｄ，Ｔ２１Ｄ，Ｔ２２Ｄを求めることができる。基準治具のＬポートから基準治具のＲポートへの伝送行列ＴＤの各係数をＴｃ００，Ｔｃ０１，Ｔｃ１０，Ｔｃ１１とする。
【００５１】
基準治具のＬポートから試験治具のＬポートへの伝送行列Ｔｃ'と試験治具のＬポートから基準治具のＲポートへの伝送行列ＴＩ'との積は、基準治具のＬポートから基準治具のＲポートへの伝送行列ＴＤに等しいので、次式（７）のようになる。
ＴＣ'・ＴＩ'＝ＴＤ    ・・・（７）
この式（４）の両辺に右から、伝送行列ＴＩ'の逆行列ＴＩ'−１をかけると、次式（８）のようになる。
ＴＣ'＝ＴＤ・ＴＩ'−１    ・・・（８）
【００５２】
つまり、次式（９）のようになる。
【数４】
2006126144.tif 000010
【００５３】
この式（９）から伝送行列Ｔｃ'を求めて散乱行列に変換することにより、補正アダプタ（ＣＡ１）を求めることができる。補正アダプタ（ＣＡ１）は、特定ポートの補正アダプタ（ＣＡ２）と同様に、標準試料やスルーデバイスの真値が不明であっても、求めることができる。
【００５４】
スルーデバイスにて相対補正アダプタを導出するＬポートについては、治具誤差要因に方向性（ｃ０１≠ｃ１０）があっても問題とならない。具体的には、治具にアンプが実装されている場合等にも相対補正法が実施できる。
【００５５】
以上、２ポートを例に説明したが、３ポート以上の場合も同様の手順により、相対アダプタを求め、その相対アダプタを用いて、任意の電子部品について、試験治具に実装した状態での測定値から、基準治具に実装したならば得られるであろう測定値を算出（推定）することができる。
【００５６】
例えば３ポートの場合、図６に示したように、ポート１については、３種類の標準試料４０，４２，４４について、試験治具と基準治具にそれぞれ実装して測定し、相対補正アダプタを算出する。ポート２については、ポート１，２間を接続する１種類の標準試料、すなわちスルーデバイス４６について、試験治具と基準治具にそれぞれ実装して測定し、相対補正アダプタを算出する。ポート３については、ポート１，３間を接続する１種類の標準試料４８について、試験治具と基準治具にそれぞれ実装して測定し、相対補正アダプタを算出する。なお、ポート２についての相対補正アダプタが求まれば、ポート３については、ポート２，３間を接続するスルーデバイスを用いても、相対補正アダプタを求めることができる。この場合、ポート１，３間を接続するスルーデバイス４６を用いる場合よりも誤差が累積する。
【００５７】
次に、測定装置１２，２２の構成について、図１０のブロック図を参照しながら説明する。
【００５８】
測定装置１２，２２は、表示部５２と、操作部５４と、測定部５６と、制御部５８と、記憶部６０と、演算部６２と、インターフェース部６４とを備える。
【００５９】
表示部５２は、表示パネル等を含み、測定装置１２，２２の動作状況や操作指示などを表示する。操作部５４は、ボタンやスイッチなどを含み、オペレータからの電子部品測定装置１２，２２に対する操作を受け付ける。測定部５６は、同軸ケーブル１３ａ〜１３ｃ；２３ａ〜２３ｃ及び治具１６，２６を介して電子部品の端子に接続され、電子部品の端子を適宜に選択して信号を入力し出力信号を測定する。制御部５８は、測定装置１２，２２全体の制御を統括する。記憶部６０には、制御部５８や演算部６２を動作させるためのプログラム、測定部５６からの測定データ、演算部６２の演算結果データなどが格納される。演算部６２は、測定部５６からのデータや記憶部６０に格納されたデータを用い、所定のプログラムに従って演算を行う。インターフェース部６４は、外部機器とデータを送受信するためのインターフェースであり、記憶部６０に格納するためのデータやプログラムや、演算部６２からの演算結果データなどを受け付け、入出力を行う。
【００６０】
測定装置１２，２２は、記憶部６０に格納されたプログラムに従って動作する。測定装置１２，２２は、校正モードと測定モードを含む複数の動作モードで動作させることができる。
【００６１】
校正モードでは、基準治具１６と試験治具２６との間の相対的な測定誤差を補正するためのデータを取得し、電気特性を推定するための数式を決定する。すなわち、測定部５６は、基準治具１６や試験治具２６に標準試料やスルーデバイスが実装された状態で、順次、電気特性の測定を行う。このとき、例えば表示部５２に測定対象が表示される。オペレータは、表示された測定対象の準備が完了すると、操作部５４を操作する。この操作を操作部５４が受け付けると、測定部５６は測定を開始し、測定データは記憶部６０に格納される。演算部６２は、記憶部６０に格納された測定データを、適宜なタイミングで読み出して、補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）などについて演算し、電気特性を推定するための数式を決定する。このようにして決定されて数式は、記憶部６０に格納される。
【００６２】
測定モードでは、試験治具２６を用いた試験状態の測定データから、基準治具１６を用いた基準状態での電気特性を推定する。すなわち、測定部５６は、試験治具２６に任意の電子部品が実装された状態で測定を行う。演算部６２は、測定部５６からの測定データから、その電子部品の電気特性の推定値を算出する。このとき、演算部６２は、校正モードで決定された数式を記憶部６０から読み出し、その数式を用いて、電子部品の電気特性の推定値を算出する。算出された推定値は、表示部５２に表示されたり、インターフェース部６４から外部機器に出力されたりする。
【００６３】
なお、標準試料やスルーデバイスを基準治具１６に実装して測定したデータは、試験治具２６を含む測定系２０の測定装置２２の記憶部６０に記憶しておくようにしてもよい。この場合、校正モードにおいて、標準試料やスルーデバイスを試験治具２６に実装したときの測定値は測定装置２２を用いて測定し、基準治具１６に実装したときの測定値については、記憶部６０に記憶されているデータを用いる。個々の測定装置２２で標準試料やスルーデバイスを基準治具１６に実装して測定する必要がないので、測定装置２２の台数を容易に増やすことができる。
【００６４】
次に、本発明の実施例について説明する。
【００６５】
図７に示した３ポートの試料４０を試験治具及び基準治具に実装し、ポート１に正弦波信号を印加し、ポート１の反射波Ｓ１１と、ポート２の伝送波Ｓ２１とを測定し、試験治具に実装したときの測定値を基準治具に実装したときの測定値に補正した結果を、試験治具に実装したときの実測値と比較した。実験結果を図８に示す。
【００６６】
実験条件は、以下の通りである。
（試料）        不平衡−平衡出力２．４ＧＨｚ帯ＬＣフィルタ
（測定装置）    Ｅ８３６４Ｂ（Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ製  ５０ＧＨｚ  ネットワークアナライザ）
（周波数範囲）  ５００ＭＨｚ〜３．５ＧＨｚ
（データ点数）  ８０１点
（ＩＦ帯域幅）  １ｋＨｚ
（基準治具）    ２ポート系で測定するために、ポート３にＯＰＥＮを取り付けたもの。（試験治具）    基準治具に対し、治具間差異として、ポート１及びポート２にそれぞれ３ｄＢのＡＴＴを接続したもの。
（標準試料）    ポート１は、ＯＰＥＮ、ＳＨＯＲＴ、ＬＯＡＤの３種類の１ポート標準試料。ポート２は、ポート１とポート２を接続したスルーデバイス標準試料。
【００６７】
比較例として、図９に、従来の方法による補正結果を示す。比較例では、６つの標準試料、すなわち、ポート１及びポート２についてそれぞれ３種類の１ポート標準試料を測定して相対補正アダプタを求め、それを用いて、試験治具に実装したときの測定値を基準治具に実装したときの測定値に補正した。
【００６８】
ポート１，２とも標準試料を３つずつ使用する従来法と、ポート１は３つの標準試料、ポート２は１つの標準試料を使用する本発明の方法とを比較すると、図８及び図９から、同程度の補正結果であることがわかる。これにより、本発明の方法によっても、補正アダプタが導出可能であることが確認できた。
【００６９】
以上に説明したように、本発明の測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置は、標準試料の測定を減らすことできるので、デバイスが小型化、多ポート化しても、測定準備に要する工数を減らし、標準試料を管理する手間を軽減することができる。
【００７０】
なお、本発明は、上記実施形態や実施例に限定されるものではなく、種々の変形を加えて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】標準試料の説明図である。（従来例）
【図２】測定系の構成図である。（実施例）
【図３】誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。（実施例）
【図４】誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。（実施例）
【図５ａ】誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。（実施例）
【図５ｂ】誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。（実施例）
【図６】標準試料の説明図である。（実施例）
【図７】試料の端子配置図である。（実施例）
【図８】電子部品の特性図である。（実施例）
【図９】電子部品の特性図である。（比較例）
【図１０】測定装置のブロック図である。（実施例）
【符号の説明】
【００７２】
１２  測定装置（電子部品特性測定装置）
１６  基準治具
２６  基準治具
４０，４２，４４  標準試料（補正データ取得用試料）
４６，４８  スルーデバイス（補正データ取得用スルーデバイス）
５２  表示部
５４  操作部
５６  測定部（測定手段）
５８  制御部
６０  記憶部（記憶手段）
６２  演算部（第１の数式決定手段、第２の数式決定手段、電気特性推定手段）
６４  インターフェース部
【図１】
2006126144.tif 000017
【図２】
2006126144.tif 000018
【図３】
2006126144.tif 000019
【図４】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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