(57)【要約】      （修正有）【課題】把持の際に基板の載置位置がずれることを防止し、基板に対する処理精度を向上させる。また、この載置位置のずれの防止及び処理精度の向上を図りつつ、複数の基板を同時に搬送して処理速度を向上させ、基板のエッジ部又はエッジ部の近傍を把持してパーティクル等による汚染を防止する基板保持装置の提供。【解決手段】５枚のエンドエフェクタ２１のそれぞれに配置され、往復移動して基板Ｐの端縁に当接、離間することで基板Ｐの端縁を把持する爪部２１Ａ〜２１Ｃと、一端のそれぞれが爪部２１Ａ〜２１Ｃに接続され、他端のそれぞれが支持部２２２Ａ〜２２２Ｃに接続されたスチールテープ２２１Ａ〜２２１Ｃと、支持部２２２Ａ〜２２２Ｃを往復移動させる駆動シリンダ２２４Ａ，２２４Ｃとを備え、駆動シリンダ２２４Ａ，２２４Ｃを駆動してスチールテープ２２１Ａ〜２２１Ｃを往復移動させることで爪部２１Ａ〜２１Ｃを同期して往復移動させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形薄型基板の端縁を把持する３以上の爪部を有する基板保持部と、
前記３以上の爪部のそれぞれを同期して前記円形薄型基板の端縁から中心部に向かう移動方向に往復移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】
前記基板保持部は、該基板保持部に対向した前記円形薄型基板の裏面を頂点部分又は該頂点部分よりも前記基板の中心部側の傾斜面において支持する３以上の凸部を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板保持装置。
【請求項３】
それぞれ単一の前記円形薄型基板を保持する前記基板保持部を複数有し、
把持された複数の前記円形薄型基板の中心軸が同軸上に位置し、且つ、前記複数の円形薄型基板のそれぞれの間の前記中心軸方向の間隔が全て同一となるように複数の前記基板保持部を支持するピッチ変換機構部であって、前記複数の基板保持部のそれぞれを前記中心軸方向に移動させて前記間隔を変更するピッチ変換機構部と、
前記中心軸に直交する軸を中心に前記ピッチ変換機構部を回転させて所定の角度位置で停止させる反転機構部と、を備えたことを特徴とする請求項１〜２の何れかに記載の基板保持装置。
【請求項４】
前記複数の基板保持部における前記３以上の爪部のそれぞれの前記中心軸方向の移動を規制する３以上のガイドを備えたことを特徴とする請求項３に記載の基板保持機構。
【請求項５】
前記移動手段は、一端のそれぞれが前記複数の基板保持部における前記３以上の爪部に接続された３以上の引張部材と、前記３以上の引張部材の他端のそれぞれに接続され、該３以上の引張部材を前記移動方向に往復移動させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする請求項３に記載の基板保持装置。
【請求項６】
前記３以上の引張部材のそれぞれは、一部又は全部に弾性部を備えたことを特徴とする請求項５に記載の基板保持装置。
【請求項７】
前記３以上の引張部材のそれぞれは、前記他端が前記中心軸方向における前記一端の往復移動範囲の中間に位置することを特徴とする請求項５に記載の基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、シリコンウェハ等の円形薄型基板を把持する基板保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造に用いられるシリコンウェハ等の円形薄型基板（以下、単に基板という。）は、複数が収納されたカセットケースから、ロボットアームによって取り出されて所定の場所へ搬送される。
【０００３】
この時、基板は、端縁がロボットアームに備えられた複数の爪部によって把持された状態で搬送される。基板の端縁の把持は、複数の爪部のうちの１つが基板の端縁から中心軸に向かう方向に移動して基板の端縁に当接することで、複数の爪部全体で行う（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１の構成では、複数の爪部のうちの１つを構成するピストンロッドが移動して基板の端縁に当接する。
【特許文献１】米国特許第６６１８６４５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の特許文献１の構成では、基板を把持する際に複数の爪部のうち単一の爪部のみを移動させて基板に当接する構成であるため、この当接によって基板の載置位置がずれてしまっていた。この載置位置のずれは、従来は誤差範囲内であるとして問題とならなかったが、近年においては基板に対する処理精度の向上の観点から載置位置の精度向上が求められているため、この爪部の当接による載置位置のずれが問題となっている。
【０００５】
この発明の目的は、把持の際に基板の載置位置がずれることを防止し、基板に対する処理精度を向上させることができ、また載置位置のずれの防止及び処理精度の向上を図りつつ、複数の基板を同時に搬送して処理速度を向上させることができ、基板のエッジ部又はエッジ部の近傍を把持してパーティクル等による汚染を防止することができる基板把持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）基板の端縁を把持する３以上の爪部を有する基板保持部と、
前記３以上の爪部のそれぞれを同期して前記基板の端縁から中心部に向かう移動方向に往復移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成においては、基板を把持、開放する際に、基板保持部に備えられた３以上の爪部が同期して移動方向に往復移動する。したがって、３以上の爪部が同時に基板の端縁に当接、離間する。
【０００８】
（２）前記基板保持部は、該基板保持部に対向した前記基板の裏面を頂点部分又は該頂点部分よりも前記基板の中心部側の傾斜面において支持する３以上の凸部を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成においては、基板保持部に備えられた３以上の凸部の頂点部分又は該頂点部分よりも基板の中心部側の傾斜面が基板の裏面を支持している。したがって、頂点部分において基板の裏面を支持する場合、把持状態を開放する際に各爪部との接触箇所における摩擦によって基板には各爪部が基板の端縁から離間する方向に引っ張られる力が発生するが、３以上の凸部との接触箇所における摩擦力が発生しているので、この引っ張られる力によって基板の載置位置が移動することが防止される。
【００１０】
一方、頂点部分よりも基板の中心部側の傾斜面が基板の裏面を支持する場合は、基板の端縁部分の裏面を支持し、頂点部分が基板の裏面に対向せず開放された状態となるので、高さ位置が基板の裏面よりも高くなる。そのため、基板が各爪部が基板の端縁から離間する方向に引っ張られても、各凸部の頂点部分によって基板の上記離間する方向の移動が規制されるので、基板の載置位置が移動することが防止される。
【００１１】
さらに、いずれの場合においても凸部は基板の裏面に対して点接触又は線接触するので、基板の裏面との接触面積が最小限に抑えられる。したがって、凸部に付着したパーティクル等の汚染物質の基板の裏面への転写による汚染が最小限に抑制される。
【００１２】
（３）それぞれ単一の前記基板を保持する前記基板保持部を複数有し、
把持された複数の前記基板の中心軸が同軸上に位置し、且つ、前記複数の基板のそれぞれの間の前記中心軸方向の間隔が全て同一となるように複数の前記基板保持部を支持するピッチ変換機構部であって、前記複数の基板保持部のそれぞれを前記中心軸方向に移動させて前記間隔を変更するピッチ変換機構部と、
前記中心軸に直交する軸を中心に前記ピッチ変換機構部を回転させて所定の角度位置で停止させる反転機構部と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成においては、ピッチ変換機構部によって複数の基板が中心軸が同軸上に位置し且つそれぞれの間の中心軸方向の間隔が同一となるように複数の基板保持部を介して支持されている。また、ピッチ変換機構部の駆動によって複数の基板保持部が中心軸方向に移動して上記間隔が変化する。さらにピッチ変換機構部が回転して複数の基板が中心軸に直交する軸を中心に回転する。
【００１４】
これにより、基板の中心軸に直交する方向の角度が互いに異なる角度位置に配置され、基板の配置間隔の異なるカセットケース間において基板の移載が行われる。したがって、基板の載置位置のずれが防止されつつ、間隔の変更や移載等の基板に対する複数の処理が行われる。また、複数の基板が一度に把持されるので、基板の搬送速度が向上する。
【００１５】
（４）前記複数の基板保持部における前記３以上の爪部のそれぞれの前記中心軸方向の移動を規制する３以上のガイドを備えたことを特徴とする。
【００１６】
この構成においては、３以上のガイドによって、３以上の爪部の基板の中心軸方向の移動が規制されている。したがって、反転機構部の駆動によって基板保持部が回転した際に、自重による各爪部の脱落、配置位置のずれ等の発生が防止される。
【００１７】
（５）前記移動手段は、一端のそれぞれが前記複数の基板保持部における前記３以上の爪部に接続された３以上の引張部材と、前記３以上の引張部材の他端のそれぞれに接続され、該３以上の引張部材を前記移動方向に往復移動させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成においては、３以上の引張部材における一端のそれぞれが複数の基板保持部における３以上の爪部に接続され、他端が駆動手段に接続されている。この駆動手段の駆動によって引張部材が往復移動するとともに爪部が移動方向に往復移動する。したがって、引張部材を用いるいてるので、単一の駆動手段の駆動によって複数の基板保持部に備えられた３以上の爪部が同期して往復移動する。
【００１９】
（６）前記３以上の引張部材のそれぞれは、一部又は全部に弾性部を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成においては、３以上の引張部材のそれぞれの一部又は全部に弾性部が備えられている。また、複数の基板における中心軸方向の間隔を変更する時、複数の基板保持部を基板の中心軸方向に移動させるが、引張部材の一端及び他端は固定されているので、この時に引張部材の一端が中心軸方向に移動し、引張部材の一端と他端との配置位置の距離が変化する。この距離が短くなると引張部材が撓むことになるが、一部又は全部が弾性部を備えているので、この撓みが吸収される。
【００２１】
（７）前記３以上の引張部材のそれぞれは、前記他端が前記中心軸方向における前記一端の往復移動範囲の中間に位置することを特徴とする。
【００２２】
この構成においては、引張部材のそれぞれの一端における基板の中心軸方向の往復移動範囲の中間に、引張部材の他端のそれぞれが位置している。引張部材の一端の基板の中心軸方向の移動による引張部材の一端と他端との配置位置の距離の変化量が最も低減される。
【発明の効果】
【００２３】
（１）基板保持部に備えられた３以上の爪部を同期して移動方向に往復移動させることによって、３以上の爪部の基板の端縁の当接、離間を同時に行うことができるので、爪部の当接の際に基板の載置位置がずれることを防止でき、基板に対する処理精度を向上させることができる。
【００２４】
（２）基板保持部に備えられた３以上の凸部の頂点部分又は頂点部分以外の箇所を基板の裏面に接触させることによって、把持していた基板を開放する際に基板の載置位置がずれるのを防止することができ、基板に対する処理精度を向上させることができる。
【００２５】
また、凸部を基板の裏面に対して点接触又は線接触させているので、基板の裏面との接触面積を最小限に抑えられ、凸部に付着したパーティクル等の汚染物質の基板の裏面への転写による汚染を最小限に抑制することができる。
【００２６】
（３）複数の基板保持部、ピッチ変換機構部及び反転機構部を備えることによって、基板の載置位置がずれるのを防止しつつ、基板に対する複数の処理を精度よく実行することができる。また、複数の基板を一度に把持できるので、基板の搬送速度も向上させることができる。
【００２７】
（４）３以上のガイドによって、３以上の爪部の基板の中心軸方向の移動を規制することによって、反転機構部の駆動により基板保持部を回転させた際に各爪部の脱落、配置位置のずれ等の発生を防止できるので、基板に対する把持力を維持することができる。これにより、基板を回転させる構成であっても基板を把持し続けることができる。
【００２８】
（５）３以上の引張部材における一端のそれぞれを複数の基板保持部における３以上の爪部に接続し、他端を駆動手段に接続することによって、単一の駆動手段で複数の基板保持部のそれぞれにおける基板の把持を同期して行うことができる。これにより、省スペース化を図ることができる。
【００２９】
（６）３以上の引張部材のそれぞれの一部又は全部に弾性部を備えたことによって、複数の基板の間隔を変更する際に生じる引張部材の撓みを吸収できるので、基板に対する把持力を一定に保持することができ、基板の載置位置がずれることを防止できる。
【００３０】
（７）引張部材のそれぞれの一端における基板の中心軸方向の移動範囲の中間に引張部材の他端のそれぞれを配置することによって、引張部材の一端と他端との配置位置の距離の変化量を低減することができるので、基板の把持力を一定に保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１は、この発明の実施形態に係るロボットアームの一部の構成を示す斜視図である。この発明の基板保持装置であるロボットアーム１は、一方のカセットケースに同一の間隔を設けて収納されている基板を、一方のカセットケースとは間隔が異なる他方のカセットケースに搬送し、または基板を反転させた状態で他方のカセットケースに搬送する等の処理を行う。ロボットアーム１は、ハンドエッジクリップフィンガ部２、ピッチ変換機構部３、反転機構部４等から構成されている。
【００３２】
ハンドエッジクリップフィンガ部２は、図１及び図２に示すように５枚のエンドエフェクタ２１、移動手段２２等から構成され、５枚の基板Ｐを同時に把持できる。この発明の基板保持部であるエンドエフェクタ２１は、３つの爪部２１Ａ〜２１Ｃを有し、一端がエンドエフェクタ取付用板を介してピッチ変換機構部３に支持されている。
【００３３】
爪部２１Ａ〜２１Ｃのそれぞれは、基板Ｐの端縁から中心部に向かう図２に示す矢印方向に往復移動自在であり、図３に示すように移動によってエンドエフェクタ２１に載置された基板Ｐの端縁に当接し、全体で基板Ｐを把持する。また、爪部２１Ａ〜２１Ｃのそれぞれは、図４に示すようにガイド２３Ａ〜２３Ｃにガイドされて移動方向に往復移動する。このガイド２３Ａ〜２３Ｃは、３つの爪部２１Ａ〜２１Ｃの基板Ｐの中心軸方向に移動することも規制している。
【００３４】
移動手段２２は、図２に示すようにスチールテープ２２１Ａ〜２２１Ｃ、及び、ピッチ変換機構部３に位置する支持部材２２２Ａ〜２２２Ｃ、ガイド２２３Ａ〜２２３Ｃ、駆動シリンダ２２４Ａ，２２４Ｃ、連結部材２２５等から構成され、爪部２１Ａ〜２１Ｃを移動方向に往復移動させる。
【００３５】
この発明の引張部材であるスチールテープ２２１は、５枚のエンドエフェクタ２１のそれぞれの内部に各エンドエフェクタ２１の爪部２１Ａ〜２１Ｃの数だけ備えられ、一端のそれぞれが爪部２１Ａ〜２１Ｃに接続され、他端が支持部材２２２Ａ〜２２２Ｃに接続されている。また、スチールテープ２２１は、支持部材２２２Ａ〜２２２Ｃの往復移動によって往復移動して爪部２１Ａ〜２１Ｃを往復移動させる。
【００３６】
支持部材２２２Ａ〜２２２Ｃは、移動ガイド２２３Ａ〜２２３Ｃによって各爪部２１Ａ〜２１Ｃの移動方向に往復移動自在に支持されている。また、支持部材２２２Ａ，２２２Ｂは、連結部材２２５を介して駆動シリンダ２２４Ａに接続され、駆動シリンダ２２４Ａの駆動によって往復移動する。さらに、支持部材２２２Ｃは、駆動シリンダ２２４Ｃに接続され、駆動シリンダ２２４Ｃの駆動によって往復移動する。駆動シリンダ２２４Ａ，２２４Ｃは、空圧により駆動される。
【００３７】
エンドエフェクタ２１のそれぞれは、図３に示すように凸部２２６Ａ〜２２６Ｃを備えている。凸部２２６Ａ〜２２６Ｃは、爪部２１Ａ〜２１Ｃの移動方向上に位置し、頂点部分ではない傾斜面で基板Ｐの裏面を支持している。また、凸部２２６Ａ〜２２６Ｃは、爪部２１Ａ〜２１Ｃが基板Ｐの端縁から離間する際に、基板Ｐの載置位置がずれるのを防止する。
【００３８】
例えば、カセットケースにおいて、支持部によって端縁の２点が支持された状態で中心軸方向に所定の間隔を設けて収納されている複数の基板Ｐを把持して取り出すには、まずエンドエフェクタ２１のそれぞれが、取り出すべき５枚の基板Ｐの下方に位置するようにカセットケース内にハンドエッジクリップフィンガ部２を移動させる。次に、エンドエフェクタ２１が各基板Ｐを支持する位置までハンドエッジクリップフィンガ部２を上昇させる。
【００３９】
その後、駆動シリンダ２２４Ａ，２２４Ｃを駆動して爪部２１Ａ〜２１Ｃを同期して基板Ｐの端縁に当接する位置にまで移動させる。これにより、５枚の基板Ｐを把持できる。次に、エッジクリップフィンガ部２をカセットケース内から外部に移動させることで５枚の基板Ｐを取り出すことができる。
【００４０】
一方、取り出した５枚の基板Ｐを他のカセットケースに収納するには、まずカセットケースにおける載置すべき支持部の配置位置よりも各基板Ｐが上方に位置するように、エッジクリップフィンガ部２をカセットケース内に移動させる。
【００４１】
次に、駆動シリンダ２２４Ａ，２２４Ｃを駆動して爪部２１Ａ〜２１Ｃを同期して基板Ｐの端縁から離間させる。この時、基板Ｐには各爪部２１Ａ〜２１Ｃとの接触部分における摩擦によって爪部２１Ａ〜２１Ｃの移動方向（基板Ｐの端縁から離間する方向）に引っ張られる力が発生し、各爪部２１Ａ〜２１Ｃの移動方向の関係から、基板Ｐがピッチ変換機構部３から基板Ｐに向かう方向に引っ張られる力が発生するが、凸部２２６Ａ〜２２６Ｃの傾斜面によって基板Ｐの移動が規制されるので、載置位置がずれることが防止される。しかも、凸部２２６Ａ〜２２６Ｃは基板Ｐの裏面に対して線接触するので、基板Ｐの裏面との接触面積が最小限に抑えられる。したがって、凸部２２６Ａ〜２２６Ｃに付着したパーティクル等の汚染物質の基板Ｐの裏面への転写による汚染が最小限に抑制される。
【００４２】
なお、基板Ｐがピッチ変換機構部３から基板Ｐに向かう方向に引っ張られる力は、ピッチ変換機構部３から基板Ｐに向かう方向の爪部２１Ａ，２１Ｂにより引っ張られる力の合力の方が、基板Ｐからピッチ変換機構部３に向かう方向の爪部２１Ｃにより引っ張られる力よりも強いため発生する。また、凸部２２６Ａ〜２２６Ｃの配置位置は、特にこれに限定されるものではなく、基板Ｐの端縁であればよい。
【００４３】
その後、エッジクリップフィンガ部２を下降させてカセットケース内から外部に移動させる。これにより、５枚の基板Ｐは、支持部に支持された状態でカセットケースに収納される。
【００４４】
なお、本実施形態では、傾斜面が基板Ｐの裏面を支持するように凸部２２６Ａ〜２２６Ｃを配置しているが、凸部の頂点部分で基板Ｐの裏面を支持してもよい。これにより、凸部の頂点部分との接触箇所において発生した摩擦力によって、上述と同様に基板Ｐの載置位置が移動することが防止される。また、凸部の頂点部分が基板Ｐの裏面に対して点接触するので基板Ｐの裏面との接触面積が最小限に抑えられ、上述と同様に汚染物質の基板Ｐの裏面への転写による汚染が最小限に抑制される。
【００４５】
支持部材２２２Ａ〜２２２Ｃ、ガイド２２３Ａ〜２２３Ｃ、駆動シリンダ２２４Ａ，２２４Ｃ、連結部材２２５は、この発明の駆動手段に相当する。
【００４６】
ピッチ変換機構部３は、図５（Ａ），（Ｂ）に示すようにエンドエフェクタ取付用板３１、ピッチ変換用ガイド３２、ピッチ変換用シリンダ３３等から構成され、５枚の基板Ｐの中心軸方向の間隔Ｗを変更する。エンドエフェクタ取付用板３１のそれぞれは、エンドエフェクタ２１の一端を支持している。また、エンドエフェクタ取付用板３１のそれぞれは、ピッチ変換用シリンダ３３に支持され、ピッチ変換用ガイド３２にガイドされて基板Ｐの中心軸方向に往復移動する。ピッチ変換用シリンダ３３は、空圧によって駆動してエンドエフェクタ取付用板３１を往復移動させる。
【００４７】
本実施形態に係るピッチ変換機構部３は、広ピッチモード及び狭ピッチモードにおいて５枚の基板Ｐの中心軸方向の間隔Ｗを２段階に変更することができる。図５（Ａ）に示す状態は、広ピッチモードであり、５枚の基板Ｐの間隔Ｗが狭ピッチモードよりも大きい。図５（Ｂ）に示す状態は、狭ピッチモードである。
【００４８】
図６（Ａ），（Ｂ）は、広ピッチモード時及び狭ピッチモード時におけるスチールテープ２２１Ａ〜２２１Ｃの他端の変化を示す側面断面図である。なお、図６（Ａ），（Ｂ）は、スチールテープ２２１Ｂについてのみ示しているが、他のスチールテープ２２１Ａ，２２１Ｃも同様の構成である。スチールテープ２２１Ｂは、図６（Ａ），（Ｂ）に示すように他端側において弾性部Ｔを形成している。弾性部Ｔは、スチールテープ２２１Ｂの一部を屈折した箇所である。弾性部Ｔは、スチールテープ２２１Ｂの移動方向に弾性力を発生させる。したがって、５枚の基板Ｐの間隔Ｗが変化した場合にスチールテープ２２１Ｂの一端と他端との配置位置の距離が変化してスチールテープ２２１Ｂが撓むが、弾性部Ｔの弾性力によってこの撓みが吸収される。そのため、５枚の基板Ｐを把持した状態において間隔Ｗが変化した場合であっても、各基板Ｐの把持力を一定に保持することができる。
【００４９】
なお、本実施形態では、弾性部Ｔをスチールテープ２２１Ａ〜２２１Ｃの一部に設けているが特にこれに限定されず、全体に弾性部Ｔを形成してもよい。
【００５０】
また、スチールテープ２２１Ｂの他端は、基板Ｐの中心軸方向において一端の往復移動範囲Ｑの中間に位置している。これは、上述したように５枚の基板Ｐの間隔Ｗが変化した場合にスチールテープ２２１Ｂの一端と他端との配置位置の距離が変化するので、この変化量を最小限に抑えるためである。これによって、上述と同様に各基板Ｐの把持力を一定に保持することができる。
【００５１】
なお、図６（Ａ），（Ｂ）に示す最も下位に位置するエンドエフェクタ２１は、ピッチモードが変わっても移動しないので、上記のように弾性部Ｔを設け、他端を固定しなくてもよい。
【００５２】
上記構成を備えることで、例えば載置されている複数の基板Ｐの中心軸方向の配置間隔が異なるカセットケース間の搬送を単一のロボットアーム１によって行うことができる。
【００５３】
反転機構部４は、図示しないモータ等から構成され、ピッチ変換機構部３の一端を回転自在に支持している。モータの駆動によって基板Ｐの中心軸に直交する軸を中心として図１に示す矢印方向にピッチ変換機構部３が回転するとともに、把持された５枚の基板Ｐも回転する。本実施形態における反転機構部４は、５枚の基板Ｐを任意の角度に回転させることができる。これにより、基板Ｐの中心軸に直交する方向の角度が互いに異なる角度位置に配置され、基板Ｐの配置間隔の異なるカセットケース間において基板Ｐの移載を行うことができる。
【００５４】
なお、５枚の基板Ｐが反転しても、爪部２１Ａ〜２１Ｃはガイド２３Ａ〜２３Ｃによって基板Ｐの中心軸方向の移動が規制されているので、基板Ｐを回転させた際に各爪部２１Ａ〜２１Ｃの脱落、配置位置のずれ等の発生を防止でき、基板Ｐに対する把持力を維持することができる。したがって、５枚の基板Ｐが脱落することなく、表裏面を反転させて搬送することができる。
【００５５】
以上の構成によって、３つの爪部２１Ａ〜２１Ｃの基板Ｐの端縁の当接、離間を同時に行うことができるので、爪部２１Ａ〜２１Ｃの当接の際に基板Ｐの載置位置がずれることを防止でき、基板Ｐに対する処理精度を向上させることができる。また、複数の基板Ｐを一度に把持できるので、基板Ｐの搬送速度も向上させることができる。
【００５６】
さらに、複数のエンドエフェクタ２１、ピッチ変換機構部３及び反転機構部４を備えているので、基板Ｐの載置位置がずれるのを防止しつつ、間隔の変更及び移載等の基板Ｐに対する複数の処理を精度よく実行することができる。
【００５７】
しかも、スチールテープ２２１Ａ〜２２１Ｃにおける一端のそれぞれを各爪部２１Ａ〜２１Ｃに接続し、他端を駆動手段に含まれる支持部材２２２Ａ〜２２２Ｃに接続することによって、単一の駆動手段で複数のエンドエフェクタ２１のそれぞれにおける基板Ｐの把持を同期して行うことができる。これにより、省スペース化を図ることができる。
【００５８】
なお、本実施形態では、５枚の基板Ｐを把持する構成であるが、特にこれに限定されるものではなく１枚の基板Ｐを把持する構成でも、複数の基板Ｐを把持する構成でもよい。また、ピッチ変換機構部３及び反転機構部４を備えた構成でいなくてもよい。
【００５９】
さらに、本実施形態では、ロボットアーム１について説明したが、基板を把持する機構を備えた装置であれば全ての装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】この発明の実施形態に係るロボットアームの一部の構成を示す斜視図である。
【図２】同ロボットアームの一部の構成を示す上面断面図である。
【図３】同ロボットアームに備えられたエンドエフェクタの構成を示す側面断面図である。
【図４】同ロボットアームに備えられた爪部の周辺の構成を示す説明図である。
【図５】同ロボットアームに備えられたピッチ変換機構部の側面断面図である。
【図６】同ロボットアームにおける狭ピッチモード時及び広ピッチモード時におけるスチールテープの他端の変化を示す側面断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  ロボットアーム
２  ハンドエッジクリップフィンガ部
３  ピッチ変換機構部
４  反転機構部
２１  エンドエフェクタ
２１Ａ〜２１Ｃ  爪部
２２  移動手段
２３Ａ〜２３Ｃ  ガイド
２２１Ａ〜２２１Ｃ  スチールテープ
２２２Ａ〜２２２Ｃ  支持部材
２２３Ａ〜２２２Ｃ  移動ガイド
２２４Ａ，２２４Ｃ  駆動シリンダ
Ｔ  弾性部
Ｐ  基板
Ｑ  往復移動範囲
Ｗ  間隔
【図１】
2006313865.tif 000003
【図２】
2006313865.tif 000004
【図３】
2006313865.tif 000005
【図４】
2006313865.tif 000006
【図５】
2006313865.tif 000007
【図６】
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