(57)【要約】【課題】電気光学装置等を製造する工場等の工程において、製造装置個々並びに複数の製造装置につき、開始前、処理時、停止前及び停止などの処理モードごとの異常状態の検出及び電力消費量の省エネルギー及び解析を行うことが可能な電気光学装置の製造装置及びこれを用いた製造方法、電力解析システムを提供すること。【解決手段】製造装置本体の稼動状態に応じた複数の処理モードを有する電気光学装置の製造装置であって、製造装置本体１１の電力量を計測する電力計１２と、製造装置本体の現在の処理モードを検出する検出手段１４と、検出された処理モードごとに異なった閾値が設定されて、前記電力計で計測した電力量の異常を処理モードごとに判定する判定手段１５と、を備えている。【選択図】  図１
2006254551.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置本体の稼動状態に応じた複数の処理モードを有する電気光学装置の製造装置であ
って、
前記製造装置本体の電力量を計測する電力計と、
前記製造装置本体の現在の処理モードを検出する検出手段と、
検出された処理モードごとに異なった閾値が設定されて、前記電力計で計測した電力量
の異常を前記処理モードごとに前記閾値との比較により判定する判定手段と、
を具備したことを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項２】
前記判定手段による異常判定は、前記複数の処理モードのうち同一処理モード内を所定間
隔に刻まれた時間ｔ0，ｔ1，ｔ2，ｔ3…，ｔn-1，ｔn…（nは自然数）について、ｔn-1〜
ｔnまでの間隔時間での電力量をＡｔnとし、それよりも時間的に前のｔn-2〜ｔn-1までの
間隔時間での電力量をＡｔn-1とし、前記同一処理モードの前記閾値をEとした場合、
｜Ａｔn-1−Ａｔn｜≧Ｅ
であれば、ｔn-1〜ｔnの間隔時間での電力量Ａｔnが異常値であると判定することを特徴
とする請求項１に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項３】
前記計測した電力量のうち異常値だけを前記処理モードごとに時系列に記録する記憶手段
を、さらに具備したことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項４】
前記判定手段が異常判定したとき、再度、前記電力計で計測した電力量が異常であるか確
認した後、省エネルギーモードに移行し、前記製造装置本体の電源電圧を低減させること
を特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項５】
前記判定手段が異常判定したとき、再度、前記電力計で計測した電力量が異常であるか確
認した後、前記製造装置本体を停止させる、或いは警報を出して停止モードに入らせるこ
とを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項６】
製造装置本体の稼動状態に応じた複数の処理モードを有する電気光学装置の製造装置を用
いた製造方法であって、
前記製造装置本体の電力量を計測する計測ステップと、
前記製造装置本体の現在の処理モードを検出する検出ステップと、
検出された処理モードごとに異なった閾値が設定されて、前記計測ステップで計測した
電力量の異常を前記処理モードごとに前記閾値との比較により判定する判定ステップと、
を具備したことを特徴とする電気光学装置の製造装置を用いた製造方法。
【請求項７】
前記判定ステップによる異常判定は、前記複数の処理モードのうち同一処理モード内を所
定間隔に刻まれた時間ｔ0，ｔ1，ｔ2，ｔ3…，ｔn-1，ｔn…（nは自然数）について、ｔn
-1〜ｔnまでの間隔時間での電力量をＡｔnとし、それよりも時間的に前のｔn-2〜ｔn-1ま
での間隔時間での電力量をＡｔn-1とし、前記同一処理モードの前記閾値をEとした場合、
｜Ａｔn-1−Ａｔn｜≧Ｅ
であれば、ｔn-1〜ｔnの間隔時間での電力量Ａｔnが異常値であると判定することを特徴
とする請求項６に記載の電気光学装置の製造装置を用いた製造方法。
【請求項８】
前記計測した電力量のうち異常値だけを前記処理モードごとに時系列に記録する記憶ステ
ップを、さらに具備したことを特徴とする請求項６又は７に記載の電気光学装置の製造装
置を用いた製造方法。
【請求項９】
前記判定ステップが異常判定したとき、再度、前記計測ステップで計測した電力量が異常
であるか確認した後、省エネルギーモードに移行し、前記製造装置本体の電源電圧を低減
させることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造装置を
用いた製造方法。
【請求項１０】
前記判定ステップが異常判定したとき、再度、前記計測ステップで計測した電力量が異常
であるか確認した後、前記製造装置本体を停止させる、或いは警報を出して停止モードに
入らせることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造装置
。
【請求項１１】
複数の製造装置本体のそれぞれに設けられた複数の電力計と、
前記複数の電力計より処理モードごとに取得される前記複数の製造装置本体の電力量デ
ータを集計する手段と、
前記処理モードごとに集計された電力量データを、前記処理モードごとのエネルギー消
費パターンと比較して省エネルギー実績を算出する手段と、
を具備したことを特徴とする電力解析システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置等を製造する工場等の製造工程において、製造装置個々及び複
数の製造装置につき消費電力量の省エネルギー及び解析を行う電気光学装置の製造装置及
びこれを用いた製造方法、電力解析システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、節電及び省エネルギーに関する先行技術として例えば特許文献１〜４に示すもの
が提案されている。
【０００３】
特許文献１は、節電装置に省エネルギー電力量算出部分を取り付け、エネルギー削減効
果を常時管理できるシステムを実現するもので、特に、節電装置の１次側および２次側電
圧、消費電力を測定し、積算演算部で省エネルギー電力量を算出し、表示器に表示または
ネットワークへ信号出力し、エネルギー管理を行う。
【０００４】
特許文献２は、節電動作状態と非節電動作状態における電気設備の消費電力量のデータ
を検証データ処理装置に取り込む一方、中央監視センタに必要に応じて吸い上げることに
より、遠隔地にある電気設備の省エネルギー量を確実に検証可能とする。
【０００５】
特許文献３は、商用電源と負荷の間に出力電圧を段階的に切替可能とした変圧器を設置
して、負荷に供給する電圧を低下させ、負荷の消費電力を抑制する節電装置を負荷系に接
続して、節電量を計測する。
【０００６】
特許文献４は、時計装置において、時刻復帰する際に要する消費電力を抑制し、若しく
は、復帰時間の要しない運針方法（運針方向）を決定し、時刻復帰を行う。
【特許文献１】特開２０００−１０６４２号公報
【特許文献２】特開２０００−３５４３３７号公報
【特許文献３】特許第２８６６６１５号
【特許文献４】特許第３５５１８６１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、電気光学装置等を製造する工場等の製造工程においては、個々の製造装
置は装置の稼動状況に応じて電力消費量が異なっているものの、稼動状況に応じた閾値で
異常を検出し消費電力量の省エネルギーを考慮したものではなかった。
【０００８】
そこで、本発明は上記の問題に鑑み、電気光学装置等を製造する工場等の工程において
、製造装置個々並びに複数の製造装置につき、開始前、処理時、停止前及び停止などの処
理モードごとの異常状態の検出及び電力消費量の省エネルギー及び解析を行うことが可能
な電気光学装置の製造装置及びこれを用いた製造方法、電力解析システムを提供すること
を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による電気光学装置の製造装置は、製造装置本体の稼動状態に応じた複数の処理
モードを有する電気光学装置の製造装置であって、
前記製造装置本体の電力量を計測する電力計と、
前記製造装置本体の現在の処理モードを検出する検出手段と、
検出された処理モードごとに異なった閾値が設定されて、前記電力計で計測した電力量
の異常を前記処理モードごとに前記閾値との比較により判定する判定手段と、を具備した
ものである。
【００１０】
本発明において、前記判定手段による異常判定は、前記複数の処理モードのうち同一処
理モード内を所定間隔に刻まれた時間ｔ0，ｔ1，ｔ2，ｔ3…，ｔn-1，ｔn…（nは自然数
）について、ｔn-1〜ｔnまでの間隔時間での電力量をＡｔnとし、それよりも時間的に前
のｔn-2〜ｔn-1までの間隔時間での電力量をＡｔn-1とし、前記同一処理モードの前記閾
値をEとした場合、
｜Ａｔn-1−Ａｔn｜≧Ｅ
であれば、ｔn-1〜ｔnの間隔時間での電力量Ａｔnが異常値であると判定することが好ま
しい。
【００１１】
本発明において、前記計測した電力量のうち異常値だけを前記処理モードごとに時系列
に記録する記憶手段を、さらに具備することが好ましい。
【００１２】
本発明において、前記判定手段が異常判定したとき、再度、前記電力計で計測した電力
量が異常であるか確認した後、省エネルギーモードに移行し、前記製造装置本体の電源電
圧を低減させることが好ましい。
【００１３】
本発明において、前記判定手段が異常判定したとき、再度、前記電力計で計測した電力
量が異常であるか確認した後、前記製造装置本体を停止させる、或いは警報を出して停止
モードに入らせることが好ましい。
【００１４】
本発明による電気光学装置の製造装置を用いた製造方法は、製造装置本体の稼動状態に
応じた複数の処理モードを有する電気光学装置の製造装置を用いた製造方法であって、
前記製造装置本体の電力量を計測する計測ステップと、
前記製造装置本体の現在の処理モードを検出する検出ステップと、
検出された処理モードごとに異なった閾値が設定されて、前記計測ステップで計測した
電力量の異常を前記処理モードごとに前記閾値との比較により判定する判定ステップと、
を具備したものである。
【００１５】
本発明の方法において、前記判定ステップによる異常判定は、前記複数の処理モードの
うち同一処理モード内を所定間隔に刻まれた時間ｔ0，ｔ1，ｔ2，ｔ3…，ｔn-1，ｔn…（
nは自然数）について、ｔn-1〜ｔnまでの間隔時間での電力量をＡｔnとし、それよりも時
間的に前のｔn-2〜ｔn-1までの間隔時間での電力量をＡｔn-1とし、前記同一処理モード
の前記閾値をEとした場合、
｜Ａｔn-1−Ａｔn｜≧Ｅ
であれば、ｔn-1〜ｔnの間隔時間での電力量Ａｔnが異常値であると判定することが好ま
しい。
【００１６】
本発明の方法において、前記計測した電力量のうち異常値だけを前記処理モードごとに
時系列に記録する記憶ステップを、さらに具備したものである。
【００１７】
本発明の方法において、前記判定ステップが異常判定したとき、再度、前記計測ステッ
プで計測した電力量が異常であるか確認した後、省エネルギーモードに移行し、前記製造
装置本体の電源電圧を低減させることが好ましい。
【００１８】
本発明の方法において、前記判定ステップが異常判定したとき、再度、前記計測ステッ
プで計測した電力量が異常であるか確認した後、前記製造装置本体を停止させる、或いは
警報を出して停止モードに入らせることが好ましい。
【００１９】
本発明による電力解析システムは、複数の製造装置本体のそれぞれに設けられた複数の
電力計と、
前記複数の電力計より処理モードごとに取得される前記複数の製造装置本体の電力量デ
ータを集計する手段と、
前記処理モードごとに集計された電力量データを、前記処理モードごとのエネルギー消
費パターンと比較して省エネルギー実績を算出する手段と、を具備したものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２１】
本発明の実施の形態においては、製造工程ごとに、或いはレシピ（製造装置本体で行う
処理の方法であって、ある電力で所定時間処理してその後徐々に電力をクールダウンする
といった製造条件を示すもの）ごとに電力推移パターンを取得していく。そして、取得し
た電力に異常があれば異常検出し、異常値を記録する。さらに、その異常値出力を製造装
置本体にフィードバックして、電力が大き過ぎる場合は、例えば電源電圧を低減させる制
御を行う。
【００２２】
製造装置本体は複数の処理モード（開始準備、処理中、停止準備、停止などのモード）
を有しており、電力をモニターする場合は、処理モードによって異常値として判定するレ
ベルは異なってくるので、ます処理モードを検出してそのモードでの異常データを検出し
て格納手段（メモリ）に時系列に保存する。
【実施例１】
【００２３】
図１は本発明に係る電力解析システムの構成を示すブロック図である。
【００２４】
図１に示す電力解析システム１００は、複数の製造装置１０，２０，３０…が商用電源
ライン４０に接続し、商用電源から電気的エネルギー（電力）を得てそれぞれの製造装置
１０，２０，３０…が稼動される。各製造装置、例えば製造装置１０は、製造装置本体１
１と、この製造装置本体１１の消費電力量（電力×時間、以下単に電力量という）を計測
する電力計１２と、複数（図では４つ）の処理モードごとに異なった閾値Ｅ1，Ｅ2，Ｅ3
，Ｅ4が設定されて、電力計１２で計測した電力量を現在の処理モードの閾値（例えば開
始準備モードであればＥ1）を用いて一定時間間隔で監視し、電力計１２で計測した電力
量の異常を処理モードごとに判定し、その判定結果に基づいて処理モードごとの製造装置
本体１１の電力量を正常な状態となるように制御し、製造装置本体１１に正常処理に必要
なかつ省エネルギーな電力量を供給するように製造装置本体１１の稼動電力を制御する制
御手段１３とを備えている。制御手段１３は、後述するように処理モードを検出するモー
ド検出部１４と、異常判定を行う判定部１５と、処理モードごとの閾値Ｅ1，Ｅ2，Ｅ3，
Ｅ4の設定部と、処理モードごとの異常値を記録するメモリ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１
６ｄと、稼動電力の制御部と、メモリへの書込み・読出しの制御部とを少なくとも備えて
いる。モード検出部１４は、製造装置本体１１の制御データの中に立っている処理モード
に対応したフラグを検出することによって検出することができる。
【００２５】
他の製造装置２０，３０…についても同様な構成となっている。
【００２６】
製造装置２０は、製造装置本体２１と、この製造装置本体２１の電力量を計測する電力
計２２と、複数（図では４つ）の処理モードごとに異なった閾値Ｆ1，Ｆ2，Ｆ3，Ｆ4が設
定されて、電力計２２で計測した電力量を現在の処理モードの閾値（例えば開始準備モー
ドであればＦ1）を用いて一定時間間隔で監視し、電力計２２で計測した電力量の異常を
処理モードごとに判定し、その判定結果に基づいて処理モードごとの製造装置本体２１の
電力量を正常な状態となるように制御し、製造装置本体２１に正常処理に必要なかつ省エ
ネルギーな電力量を供給するように製造装置本体２１の稼動電力を制御する制御手段２３
とを備えている。制御手段２３は、処理モードを検出するモード検出部２４と、異常判定
を行う判定部２５と、処理モードごとの閾値Ｆ1，Ｆ2，Ｆ3，Ｆ4の設定部と、処理モード
ごとの異常値を記録するメモリ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄと、稼動電力の制御部と
、メモリへの書込み・読出しの制御部とを少なくとも備えている。
【００２７】
製造装置３０は、製造装置本体３１と、この製造装置本体３１の電力量を計測する電力
計３２と、複数（図では４つ）の処理モードごとに異なった閾値Ｇ1，Ｇ2，Ｇ3，Ｇ4が設
定されて、電力計３２で計測した電力量を現在の処理モードの閾値（例えば開始準備モー
ドであればＧ1）を用いて一定時間間隔で監視し、電力計３２で計測した電力量の異常を
処理モードごとに判定し、その判定結果に基づいて処理モードごとの製造装置本体３１の
電力量を正常な状態となるように制御し、製造装置本体３１に正常処理に必要なかつ省エ
ネルギーな電力量を供給するように製造装置本体３１の稼動電力を制御する制御手段３３
とを備えている。制御手段３３は、処理モードを検出するモード検出部３４と、異常判定
を行う判定部３５と、処理モードごとの閾値Ｇ1，Ｇ2，Ｇ3，Ｇ4の設定部と、処理モード
ごとの異常値を記録するメモリ３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄと、稼動電力の制御部と
、メモリへの書込み・読出しの制御部とを少なくとも備えている。
【００２８】
ここで、複数の製造装置１０，２０，３０…は、例えば液晶装置の製造工程では、絶縁
膜や金属膜などの形成に必要なＣＶＤ（化学的気相成長）装置や、熱処理（アニール）を
行うための熱処理装置などの製造に必要な装置を指している。また、処理モードとは、例
えば、開始準備（プレランニング）モード、処理中モード、停止準備モード、停止モード
の４つのモード等を代表例とするような装置の動作状態を指している。例えば熱処理装置
について言えば、開始準備モードでは炉のアニール時の温度１０００℃まで数時間かけて
温度を上昇させ、処理中モードではアニールに必要な温度１０００℃を所定時間維持し、
停止準備モードでは１０００℃を２００℃まで数時間かけて下降させ、停止モードでは２
００℃を常に維持するように供給電力を制御する。停止モードでは、停止状態であるにも
関わらずアニール時の供給電力の２０％位の電力を必要とするものである。
【００２９】
各製造装置本体１１，２１，３１…で一定時間ごとに消費される電力量は電力計１２，
２２，３２…で計測され、それらの計測値は当該計測値を選択的にコンピュータ６０に出
力するためのインターフェース回路５０を介して、コンピュータ６０に供給される。
【００３０】
インターフェース回路５０は、コンピュータ６０の管理の下、各製造装置１０，２０，
３０…で取得した電力量を一定の時間間隔で（例えば１分ごとに）コンピュータ６０に受
け渡す機能を有している。
【００３１】
コンピュータ６０は、複数の電力計１２，２２，３２…より処理モードごとに取得され
る複数の製造装置本体１１，２１，３１…の電力量データを集計し、その集計された処理
モードごとの電力量データを、全ての製造装置本体についての処理モードごとの平均的な
エネルギー消費パターンと比較して省エネルギー実績（実際に省エネルギーとなった電力
量）を算出し、表示装置７０にその実績値を表形式又はグラフにして表示する。或いは、
個々の製造装置本体についての処理モードごとの平均的なエネルギー消費パターンと比較
して省エネルギー実績（実際に省エネルギーとなった電力量）を算出し、表示装置７０に
その実績値を表形式又はグラフにして表示
例えば、製造装置１０について更に詳しく説明する。この説明は他の製造装置２０，３
０…についても同様である。
【００３２】
製造装置１０は、製造装置本体１１の稼動状態に応じた、上述したような例えば開始準
備モード、処理中モード、停止準備モード、停止モードの４つの処理モードを有している
。製造装置１０は、製造装置本体１１と、電力量を計測する電力計２２と、異常判定機能
及びフィードバック制御機能を含む制御手段１３とを備えている。
【００３３】
制御手段１３は、製造装置本体１１の複数の処理モードのうち現在の処理モードを検出
する検出手段としてのモード検出部１４と、検出された処理モードごとに異なった閾値Ｅ
1，Ｅ2，Ｅ3，Ｅ4が設定されて、電力計１２で計測した電力量の異常を処理モードごとに
判定する判定手段としての判定部１５と、処理モードごとの閾値Ｅ1，Ｅ2，Ｅ3，Ｅ4の設
定部と、判定された結果に基づいて製造装置本体１１の処理モードごとの電力量を制御し
、製造装置本体１１にその処理モードでの正常処理の電力量となるように製造装置本体１
１の稼動電力を制御する第１の制御部と、判定部１５による閾値を用いた異常判定の結果
、異常と判定されたとき、電力計１２で計測した電力量のうち異常値だけを処理モードご
とに時系列に記録する複数（図では４つ）の格納手段としてのメモリ１６ａ〜１６ｄと、
メモリ１６ａ〜１６ｄに対する書込み及び読出しの制御を行う第２の制御部と、を備えて
いる。メモリ１６ａ〜１６ｄについては１つのメモリで構成し、４つの記憶領域を設ける
構成としてもよい。
【００３４】
モード検出部１４は、製造装置本体１１の制御データの中に立っている処理モードに対
応したフラグを検出することによって検出する。
【００３５】
閾値Ｅ1，Ｅ2，Ｅ3，Ｅ4は上記の４つの処理モードのそれぞれに対応した異常検出のた
めの閾値であり、所定の間隔時間に消費される電力量の正常時の最大範囲（許容範囲）に
対応する。メモリ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄは異常検出時の上記４つの処理モード
のそれぞれで電力量の異常値だけを処理モードごとに時系列に記憶するものである。
【００３６】
判定部１５では、ある処理モードにおいて電力計１２で計測した電力量のうち、ある時
点からある時点までの所定間隔時間に消費する第１の電力量と、それよりも時間的に前の
ある時点からある時点までの同じ間隔時間に消費する第２の電力量とを比較し、第１の電
力量と第２の電力量の差が上記で説明した閾値（例えばＥ1）以上である場合、第１の電
力量を異常と判定し、該第１の電力量を異常値としてメモリに記録する。
【００３７】
次に、図２〜図４を参照して、本実施例の動作を説明する。
【００３８】
図２及び図３は、製造装置１０のある処理モードでの電力量の推移と、その処理モード
での電力量の閾値による異常値の検出及びメモリ記録の様子を示したものである。図２は
電力量が閾値範囲の上限を越えた場合、図３は電力量が閾値範囲の下限を越えた場合であ
る。
【００３９】
各図で、(a)は電力量の推移、(b)は閾値による異常値の検出、(c)は検出した異常値だ
けをメモリに時系列に記憶した状態、を示している。
【００４０】
処理モードが例えば開始準備モード（このモードの異常判定時の閾値はＥ1である）の
場合に、電力量の異常判定は、一定間隔（例えば１分間隔）に刻まれた時間ｔ0，ｔ1，ｔ
2，ｔ3…，ｔn-1，ｔn…（ｎは自然数）について、例えばｔn-1〜ｔnまでの間隔時間での
電力量をＡｔnとし、それよりも時間的に前のｔn-2〜ｔn-1までの間隔時間での電力量を
Ａｔn-1とした場合、
｜Ａｔn-1−Ａｔn｜≧Ｅ1
であれば、ｔn-1〜ｔnの間隔時間での電力量Ａｔnが異常値であると判定して、電力量Ａ
ｔnをメモリ１６ａに記録する。異常値の電力量Ａｔnをメモリ１６ａに記録する際には、
異常値が発生した日時も同時に記録する。これにより、同じ処理モードについては、メモ
リ１６ａ〜１６ｄのうちのその処理モードに対応した同じメモリに異常値が発生した日時
と共に異常値の電力量が時系列的に記録されることになる。
【００４１】
図４は、製造装置において、電力量に異常が有った場合の正常状態への復帰動作を説明
するブロック図である。
【００４２】
製造装置１０において、電力計１２にて製造装置本体１１の電力量を計測し、制御手段
１３の判定部１５にて電力量に異常が検出された場合に、その電力量を正常に近づけるよ
うに製造装置本体１１に供給する電源電圧を所定のパーセンテージだけ低減（図２の異常
発生の場合）或いは増加（図３の異常発生の場合）させる。すなわち、図２のように電力
量が高過ぎる異常発生の場合には、電源電圧を所定の割合だけ低減させ、図３のように電
力量が低過ぎる異常発生の場合には、電源電圧を所定の割合だけ増加させる。
【００４３】
製造装置１０がプラズマＣＶＤ装置の場合、例えば薄膜の堆積（Deposition）の速さが
非常に速すぎる状態となり、結果として電力量に異常が検出された場合には、ＣＶＤ装置
本体に供給する電源電圧を所定の割合だけ低減させ、正常な状態に近づけることが可能と
なる。
【００４４】
なお、制御手段１３の判定部１５が異常判定したとき、再度、電力計１２の計測値が異
常であるか確認した後、省エネルギーモードに移行させ、製造装置本体１１の電源電圧を
低減させるようにしてもよい。ここで、省エネルギーモードとは、製造装置本体の電力量
が正常動作する最大範囲（閾値範囲）内の下限付近にくるように電力制御するモードをい
う。
【００４５】
また、制御手段１３の判定部１５が異常判定したとき、再度、電力計１２の計測値が異
常であるか確認した後、異常状態を回避すべく製造装置本体１１を停止させる、或いは警
報を出して停止モードに入らせるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読
み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変
更を伴う電気光学装置の製造装置及びこれを用いた製造方法、電力解析システムもまた、
本発明の技術的範囲に含まれるものである。電気光学装置としては、液晶装置、電気泳動
装置、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置、プラズマディスプレイ装置、電子放出を
用いた装置（Field Emission Display 及び Surface-Conduction Electron-Emitter Disp
lay 等）、ＤＬＰ（Digital Light Processing）（別名ＤＭＤ：Digital Micromirror De
vice）等の各種の電気光学装置に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る電力解析システムの構成を示すブロック図。
【図２】製造装置のある処理モードでの電力量の推移と、その処理モードでの電力量の閾値による異常値の検出及びメモリ記録の様子を示した説明図。
【図３】製造装置のある処理モードでの電力量の推移と、その処理モードでの電力量の閾値による異常値の検出及びメモリ記録の様子を示した説明図。
【図４】本発明に係る電気光学装置の製造装置を示すブロック図。
【符号の説明】
【００４８】
１０，２０，３０…製造装置、１１，２１，３１…製造装置本体、１２，２２，３２…
電力計、１３，２３，３３…制御手段、１４，２４，３４…モード検出部（検出手段）、
１５，２５，３５…判定部（判定手段）、１６ａ〜１６ｄ，２６ａ〜２６ｄ，３６ａ〜３
６ｄ…メモリ（記憶手段）、６０…コンピュータ（集計手段、実績算出手段）。
【図１】
2006254551.tif 000003
【図２】
2006254551.tif 000004
【図３】
2006254551.tif 000005
【図４】
2006254551.tif 000006