(57)【要約】【課題】  ＥＨＤポンプ内の流体流路における電極の構成を改良し、ＥＨＤポンプの流路抵抗を減少させると共に電極配置構造を簡素化して製作コストを低減させる。【解決手段】  金属製の線状の内側電極を金属製の筒状の外側電極の内部長手方向に架設してその外側電極内に露出させ、その外側電極の外部に延びた液体送出流路管で上記内側電極の外周を囲って流体送出流路を形成すると共に、内側電極の上記露出部分を外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を外側電極内に導入して外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、上記内側電極と外側電極の間に直流高電圧を印加する。【選択図】  図２
2006158169.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を露出状態で架設し、前記外側電極の外部に延びた流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加することを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項２】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた円筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を同軸状に露出状態で架設し、前記外側電極の外部に延びた流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加することを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項３】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を露出状態で架設し、前記外側電極の外部に互に反対方向へ延びた２本の流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加することを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項４】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた円筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を同軸状に露出状態で架設し、前記外側電極の外部に互に反対方向へ延びた２本の流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加することを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項５】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を露出状態で架設し、前記外側電極の外部に延びた流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ前記外側電極を複数個、前記流体送出流路管、ならびに前記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して直列に連結したことを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項６】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた円筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を同軸状に露出状態で架設し、前記外側電極の外部に延びた流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ前記外側電極を複数個、前記流体送出流路管、ならびに前記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して直列に連結したことすることを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項７】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を露出状態で架設し、前記外側電極の外部に互に反対方向へ延びた２本の流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ前記外側電極を複数個、前記流体送出流路管、ならびに前記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して直列に連結したことすることを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項８】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた円筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を同軸状に露出状態で架設し、前記外側電極の外部に互に反対方向へ延びた２本の流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ前記外側電極を複数個、前記流体送出流路管、ならびに前記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して直列に連結したことすることを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項９】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を露出状態で架設し、前記外側電極の外部に延びた流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ前記外側電極を複数個、前記流体送出流路管、ならびに前記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して並列に結合したことすることを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項１０】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた円筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を同軸状に露出状態で架設し、前記外側電極の外部に延びた流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ前記外側電極を複数個、前記流体送出流路管、ならびに前記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して並列に結合したことすることを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項１１】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を露出状態で架設し、前記外側電極の外部に互に反対方向へ延びた２本の流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ前記外側電極を複数個、前記流体送出流路管、ならびに前記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して並列に結合したことすることを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項１２】
流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた円筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を同軸状に露出状態で架設し、前記外側電極の外部に互に反対方向へ延びた２本の流体送出流路管で前記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、前記内側電極の露出部分を前記外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して前記外側電極と内側電極の間に前記流体を満たし、前記内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ前記外側電極を複数個、前記流体送出流路管、ならびに前記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して並列に結合したことすることを特徴とする電気流体力学ポンプ。
【請求項１３】
内側電極の露出部分の長さＬを少なくとも０．７ｍｍに設定したことを特徴とする請求項１ないし請求項１２のいずれが１項に記載の電気流体力学ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、電界を作用させることにより解離イオンが生成される流体を、直流高電圧が印加された一対の電極の間を圧送する電気流体力学ポンプに関するもので、特にそのポンプ内の流体流路の構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  古くから使用されてきた機械式ポンプ、すなわち回転羽根あるいは往復動ピストンを用いて流体を送り出すポンプは、羽根やピストンの動きに伴う摩擦熱や振動や摩擦音・振動音が生じ、それらを低減するためのメンテナンスを要することから、機械的ポンプに替わる電気流体力学ポンプ（ｅｌｅｃｔｒｏ−ｈｙｄｒｏ−ｄｙｎａｍｉｃｓ  ｐｕｍｐ）（「ＥＨＤポンプ」と略す）の実用化に向けた研究開発が進んでいる。そして特開２００３−２８４３１６号公開特許公報（特許文献１）に示されるようなＥＨＤポンプが提案されている。【０００３】  上記特許文献１に示されるＥＨＤポンプの概略構造は図８に示す通りで、ポンプケース７０内に、リング状電極７１と、リング状電極７１の外径より小さい外径の柱状電極７２を同軸状で長手方向にずらせて対向させ、その対をなすリング状電極７１と柱状電極７２の間に、電界が作用すると解離イオンが生ずる流体７３（電界が加わると流体中にプラス・イオンとマイナス・イオンに分かれて現われる性質の流体）を充填し、そのリング状電極７１と柱状電極７２に間に電源７４から直流高電圧を印加するものである。そしてリング状電極７１と柱状電極７２に間に直流高電圧が印加されると、リング状電極７１と柱状電極７２の間の電界によって、リング状電極７１および柱状電極７２の近傍にある流体７３に解離イオンが生じ、電極界面にヘテロチャージ層が形成され、その結果、この層内のイオンと電極との間のクーロン力により、流体３は矢印Ｍ７に示すような流れとなって圧送される。しかし、このような従来のＥＨＤポンプでは、リング状電極７１と柱状電極７２を同軸状で長手方向にずらせて対向させた電極群塊をポンプ内の流体流路中に置いていることから、ポンプ内に形成される流体流路の流路抵抗が大きくなる難点があり、またリング状電極７１と柱状電極７２を同軸状で長手方向にずらせて対向させる構造では、電極配置を構成する製作コストが嵩む難点があった。
【特許文献１】  特開２００３−２８４３１６号公開特許公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  この発明は、上記のような従来のＥＨＤポンプにおける難点に鑑み、ポンプ内の流体流路における電極の構成を改良することにより、ＥＨＤポンプの流路抵抗を減少させると共に電極配置構造を簡素化して製作コストを低減させようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  この課題を解決するために、この発明では、流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を露出状態で架設し、その外側電極の外部に延びた流体送出流路管で上記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、内側電極の上記露出部分を外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を上記外側電極内に導入して外側電極と内側電極の間にその流体を満たし、上記の内側電極と外側電極との間に直流高電圧を印加して電気流体力学ポンプを構成する。【０００６】  そして実用的に好ましい手段として、流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた円筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を同軸状に露出状態で架設し、その外側電極の外部に延びた流体送出流路管で上記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、その内側電極の露出部分を外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を上記外側電極内に導入して外側電極と内側電極の間にその流体を満たし、上記の内側電極と前記外側電極との間に直流高電圧を印加して電気流体力学ポンプを構成する。【０００７】  また流体送出流路管を複数設けることも有効であり、流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を露出状態で架設し、その外側電極の外部に互に反対方向へ延びた２本の流体送出流路管で上記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、その内側電極の露出部分を外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を上記外側電極内に導入して外側電極と内側電極の間にその流体を満たし、上記の内側電極と外側電極との間に直流高電圧を印加して電気流体力学ポンプを構成する。【０００８】  さらにまた、流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた筒状の外側電極の内部の長手方向に、線状の内側電極を露出状態で架設し、その外側電極の外部に延びた流体送出流路管で内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、上記の内側電極の露出部分を外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を前記外側電極内に導入して上記の外側電極と内側電極の間にその流体を満たして内側電極と外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ上記の外側電極を複数個、上記の流体送出流路管、ならびに上記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して並列または直列に連結してポンプ能力の拡大を図る。
【発明の効果】
【０００９】  上記のように、この発明に係る電気流体力学ポンプの構成では、可動機構がない上にポンプ内の流路内に、流体の流れ方向に大きな流路抵抗となる電極群を配設しないことから、摩擦音や振動音が生ずることなく大きな圧力ヘッドが得られ、また電極配置構造が極めて単純であることから、製造コストも低く抑えることができる。さらに原理上、従来のポンプのような電磁誘導現象を利用していないので電気的ノイズが一切発生しないという大きな特長がある。したがって、例えば精密電子機器等のクーリングユニットなどにこの発明に係る電気瘤多雨力学ポンプを利用すれば極めて大きな効果を期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】    この発明の望ましい実施形態は、流体帰還孔を設けた電気絶縁性端板で両端を封じた円筒状の外側電極の内部を長手方向に貫通するように線状の内側電極を同軸状に露出状態で架設し、その外側電極の外部に互いに反対方向へ延びた２本の流体送出流路管が上記内側電極を囲って流体送出流路を形成すると共に、少なくとも長さＬ＝０．７ｍｍに設定した上記内側電極の露出部分を外側電極の内周面と対向させ、電界が作用すると解離イオンが生成される流体を上記外側電極内に導入して上記の外側電極と内側電極の間にその流体を満たし、上記の内側電極と外側電極との間に直流高電圧を印加し、且つ上記の外側電極を少なくとも２個、上記の流体送出流路管、ならびに上記流体帰還孔に通ずる流体帰還流路管を介して並列または直列に連結した電気流体力学ンプである。なお、前記内側電極の露出部分の長さＬが０．７ｍｍ以下では十分な圧力ヘッドが得られない。一方、ポンプを設置する対象に応じて長さＬをｍｍ以上に大きくすることは全く問題はないが、圧力ヘッドはそれ以上増大せず飽和傾向を示す。
【実施例１】
【００１１】  以下、この発明の実施例を説明する。図１はこの発明の一実施例を示す電気流体力学ポンプの縦断面図、図２は図１に示す電気流体力学ポンプのＡ−Ａ′線断面図である。図１、図２において、１は、外径ａの線状の内側電極で、内側電極１の露出部分１ａの長さはＬである。２は、内径ｂの円筒状の外側電極で、外側電極２の長さはＮである。また、内側電極１と外側電極２の材質はステンレススチールで、内側電極１と外側電極２は同軸状に配置されている。３，４は電気絶縁性の流体送出流路管で、３ａ，４ａはそれぞれ流体送出流路管３，４の送出口である。５，６は電気絶縁性端板で、外側電極２の両端面はそれぞれ電気絶縁性端板５，６で封じられている。７は電界が作用すると解離イオンが生成される流体、８は直流高圧電源である。９，１０はそれぞれ電気絶縁性の流体帰還流路で、９ａ，１０ａはそれぞれ流体帰還流路９，１０の流体還流口である。そして各絶縁性端板５，６の中心部にはそれぞれ流体送出流路管３，４のが接続され、外側電極２の内面近傍に流体帰還流路管９，１０の流体還流口９ａ，１０ａが接続されている。また、外側電極２は接地線１１を通じて常に接地電位に保たれており、線状の内側電極１と円筒状の外側電極２の間に直流高圧電圧を印加すると、内側電極１と外側電極２の間に強い電界が形成される。そして内側電極１と外側電極２が同軸電極配置となっているので、不平等電界が形成され、特に内側電極１の表面近傍に強電界が形成される結果となる。そこで解離性イオンとして負のイオンが生成され易い弱導電性流体の場合、内側電極１に（＋）の電位、外側電極２に（−）の電位を与えると、「純伝導ポンピング」（前記特許文献１参照）の機構に基づき内側電極１の周囲に形成されたヘテロチャージ層と内側電極１との間で、層内イオンの当該電極表面法線方向に押す力により軸中心へ向こう圧力が発生する。この圧力は、露出している内側電極表面全体に及びベクトル的に相殺し合ってその積分値は零となるが、しかし流体送出流路管３，４の送出口３ａ，４ａ付近では当該圧力が無くなる結果、流体送出流路管３，４の送出口３ａ，４ａへ向かう軸方向に新たな圧力差が生じて、これがポンピングの駆動源となる。【００１２】  上記のように、内側電極１と外側電極２の間に直流高電圧を印加して内側電極露出部分１ａの表面電界強度が５〜１２ＭＶ／ｍ程度の高い電界強度になると、円筒状の外側電極２から線状の内側電極１の露出部分１ａに向かう強い電界が流体７に作用し、前記のように内側電極露出部分１ａの表面近傍で流体７に大きな圧力が作用し、その内側電極露出部分１ａと流体送出流路管３，４の内部を軸方向に沿って流体７が流動してポンプ機能が生じ、流体送出流路管３，４から吐出した流体７は、外部管路を経て流体帰還流路管９，１０からそれぞれ流体帰還口９ａ，１０ａに流れ込んで循環する。
【実施例２】
【００１３】  この発明に係るＥＨＤポンプの他の実施例として、上記実施例１に示したＥＨＤポンプを基にその構成を変え、電気絶縁性端板５，６のそれぞれに直径５ｍｍの流体流流通孔を新たに設けると共に流体送出流路管３，４を大気中へ開放した内径４ｍｍのガラス管とし、線状の内側電極１として外径（直径／線径）ａ＝１．５ｍｍの金属線を用い、円筒状の外側電極２の長さＮ＝５０ｍｍとし、そのポンプ構造体を、電界が作用すると解離イオンが生成される流体７を満たしたタンク内に浸漬してポンピング特性を測定した。流体７として、２，３−ジヒドロデカフルオロペンテン（２，３−Ｄｉｈｙｄｒｏｄｅｃａｆｌｕｏｒｏｐｅｎｔｅｎ）（「ＨＦＣ４３−１０」と略す）（商品名：バートレル）を用いた上で、円筒状の外側電極２の内径ｂ、内側電極１の露出部分１ａ露出部長さＬ、内側電極１と外側電極２の間に印加する印加電圧（直流高電圧）Ｖ０をそれぞれ変化させて、ポンピング圧力ＰＥＨＤを測定した結果、それぞれ図３および図４に示す特性が認められた。【００１４】  図３は、外側電極２の内径ｂ（＝Ｒ０）をパラメータとして、印加電圧Ｖ０に対するポンピング圧力ＰＥＨＤの関係を示している。すなわち、外側電極２の内径ｂが小さくなるほど、内側電極１と外側電極２の間の電界が強くなるため、ポンピング圧力が２次曲線的に増大する特性が認められた。他方、図４は、外側電極２の内径ｂ（＝Ｒ０）をパラメータとして、内側電極１の露出部長さＬを変化させた場合のポンピング圧力ＰＥＨＤの変化を示している。なお図４において、白抜き記号は印加電圧Ｖ０＝１０ｋＶの場合を示し、黒塗りつぶし記号は印加電圧Ｖ０＝１４ｋＶの場合を示している。当然ながら印加電圧Ｖ０が高い方がより大きなポンピング圧力ＰＥＨＤが得られるが、一方で印加電圧Ｖ０に関わらず、内側電極１の露出部長さＬ＝０．７ｍｍを境に、内側電極１の露出部長さＬをより長くしてもポンピング圧力ＰＥＨＤが増大せず飽和傾向になることが認められた。したがって内側電極１の露出部長さＬの最小値は０．７ｍｍであるという結果が得られた。
【実施例３】
【００１５】    次に、この発明に係る電気流体力学ポンプをクーリングユニットとして使用した実施例を、図５を参考に説明する。図５において、２０はこの発明に係る前述と同様の電気流体力学ポンプ部（ＥＨＤポンプ部）で、１ａは内側電極の露出部分、２は外側電極、３，４は流体送出流路管、５，６は電気絶縁性端板、７は解離イオンが生成される流体、８は直流高圧電源、９，１０は流体帰還流路管、１１は接地線である。２１はペルチェ電子冷却素子で、ペルチェ電子冷却素子２１は外側電極２の更に外側に密着して取り付けられている。２２，２３はアルミニウム製の冷却ユニットで、各冷却ユニット２２，２３には、それぞれ流体送出流路管３，４と流体帰還流路管９，１０が接続されている。２４，２５はそれぞれ冷却ユニット２２，２３の吸熱面（被冷却面）であり、２６，２７はそれぞれ冷却ユニット２２，２３における流体流れ方向制御仕切り板である。そしてこの実施例では、外側電極２の長さＮ＝２０ｍｍとし、直流高圧電源８を８ｋＶに設定し、冷媒となる流体７にＨＦＣ４３−１０（商品名：バートレル）を用い、ペルチェ電子冷却素子２１を−１０℃に設定し、流体７をＥＨＤポンプ部２０により循環させた結果、約２０分間で冷却ユニット２２，２３の吸熱面（被冷却面）２４，２５の温度が略−１０℃に到達した。なお、この実施例では２箇所に吸熱面（被冷却面）２４，２５を設けたが、吸熱面（被冷却面）を１箇所として運転しても何ら支障は生じなかった。またペルチェ電子冷却素子２１の冷却能力に応じて外側電極２の長さＮを０．７ｍｍ以上にすれば、種々変えてもポンプ性能には問題生じなかった。さらにポンプの設置状況によって流体帰還流路管９，１０の接続を入れ替えて用いることも可能であった。また、電界が作用すると解離イオンが生成される流体７としては、ＨＦＣ４３−１０のほか、２，２−ジクロロ−１，１，１トリフルオロエタン（２，２−Ｄｉｃｈｌｏｒｏ−１，１，１−Ｔｒｉｆｌｕｏｒｏｅｔｈａｎｅ）（「ＨＣＦＣ１２３」と略す）、ジエチルグリコールモノブチルエーテルアセテート（「ＢＣＲＡ」と略す）、ドデカン二酸−ｎブチル（「ＤＢＤＮ」と略す）、フッ素変成シリコーン油、等を用いても良く、あるいは電気絶縁性液体にアルコールを微量添加したり、フッ素を添加して解離イオンの生成能力を高めて使用することは何ら差し支えない。
【実施例４】
【００１６】  さらにこの発明に係るＥＨＤポンプの他の実施例として、図６に示すように、２台の電気流体力学ポンプを流体送出流路管３と流体帰還流路管９を介して直列に連結して駆動することもできた。この場合、ポンプの外径寸法は実施例３と同一とし、流体７はＨＦＣ４３−１０（商品名：バートレル）を採用し、両方のポンプとも印加電圧Ｖ０直流を８ｋＶに設定して、流体７を  流体送出流路管３−流体帰還流路管９−流体送出流路管３  と循環させた。その結果、外部管路に設置した圧力計によれば最大４ｋＰａが得られた。
【実施例５】
【００１７】さらにまた、図７に示すように、２台の電気流体力学ポンプを流体送出流路管３と流体帰還流路管９を介して並列に結合して駆動することもできた。ここでの流体７や駆動条件は実施例４におけると同一としたが、一方のぽんぷ送出流体が他方のポンプの出口（流体送出管路）へ逆流することを防止するために逆止弁３１を配設した。その結果、その結果、外部管路に設置した圧力計によれば最大２ｋＰａが得られ、流量は２倍に達した。
【産業上の利用可能性】
【００１８】  この発明に係る電気流体力学ポンプは、可動機構がない上に流体の流れ方向に大きな流路抵抗となる電極群が存在しないことから摩擦音や振動音が生ずることなく大きな圧力ヘッドが得られ、また電極配置構造が極めて単純であることから製造コストも低く抑えることができるのできる。さらに原理上、従来のポンプのような電磁誘導現象を利用していないので電気的ノイズが一切発生せず、したがって、例えば精密電子回路部品などのクーリングユニットなど、極めて幅広い分野・用途に、この発明に係る電気流体力学ポンプを活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】  この発明の一実施例を示す電気流体力学ポンプの正面図。
【図２】  図１のＡ−Ａ′線断面図。
【図３】  同電気流体力学ポンプの印加電圧に対するポンピング圧力の関係図。
【図４】  同電気流体力学ポンプの内側電極の露出部分長さに対するポンピング圧力の関係図。
【図５】  同電気流体力学ポンプをクーリングユニットに利用した概略構成図。
【図６】  同電気流体力学ポンプを２台直列接続して用いる概略構成図。
【図７】  同電気流体力学ポンプを２台並列接続して用いる概略構成図。
【図８】  従来の電気流体力学ポンプの断面図。
【符号の説明】
【００２０】１：内側電極
１ａ：内側電極の露出部分
２：外側電極
３，４：流体送出流路管
３ａ，４ａ：流体送出流路管の送出口
５，６：電気絶縁性端板
５ａ，６ａ：流体帰還孔
７：解離イオンが生成される流体
８：直流高圧電源
９，１０：流体帰還流路管
９ａ，１０ａ：流体帰還流路管の帰還口
１１：接地線
２０：電気流体力学ポンプ部分
２１：ペルチェ電子冷却素子
２２，２３：冷却ユニット
２４，２５：吸熱面
２６，２７：流体流れ方向制御仕切り板
３１：逆止弁
ａ：内側電極の外径
ｂ：外側電極の内径
Ｌ：内側電極の露出部長さ
Ｎ：外側電極の長さ
ＰＥＨＤ：ポンピング圧力
Ｒ０：外側電極の内径（半径）
Ｖ０：印加電圧
【図１】
2006158169.tif 000003
【図２】
2006158169.tif 000004
【図３】
2006158169.tif 000005
【図４】
2006158169.tif 000006
【図５】
2006158169.tif 000007
【図６】
2006158169.tif 000008
【図７】
2006158169.tif 000009
【図８】
2006158169.tif 000010