(57)【要約】【課題】  ショック特性を向上させながらＴ１周波数，スウェイ周波数を高め、Ｔ１ウインデージを改善するヘッド・サスペンションを提供する場合に、その円滑な供給を可能とする。【解決手段】  剛体部１１を連設した剛体部連鎖品７１を形成する剛体部連鎖品製造工程Ａと、補強部を一体に有しばね部を構成するためのばね部材３６を連設したばね部材連鎖品７３を形成するばね部材連鎖品製造工程Ｂと、フレキシャ７を形成するフレキシャ製造工程Ｃと、ベース・プレート５を形成するベース部製造工程Ｄと、剛体部連鎖品７１とばね部材連鎖品７３と各ベース・プレート５と各フレキシャ７との重合セット８１を結合形成する重合結合工程Ｅ，Ｆと、重合セット８１から各ヘッド・サスペンション１をカット分離する切断工程Ｇ，Ｋとを備えたことを特徴とする。【選択図】  図３５
2006313604.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、
剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
前記ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備え、
前記ばね部を、前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、
前記剛体部に、前記ばね部材に結合するばね結合部を設けると共に該ばね結合部の両端部を剛体部の幅方向両側に突設し、
前記ばね結合部の両端部及び剛体部間を橋渡す補強部を設けたヘッド・サスペンションであって、
前記補強部を一体に有したばね部材を形成するばね部材製造工程を備えた
ことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
【請求項２】
キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、
剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
前記ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備え、
前記ばね部を、前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、
前記剛体部に、前記ばね部材に結合するばね結合部を設けると共に該ばね結合部の両端部を剛体部の幅方向両側に突設し、
前記ばね結合部の両端部及び剛体部間を橋渡す補強部を設けたヘッド・サスペンションであって、
前記剛体部を連設した剛体部連鎖品を形成する剛体部連鎖品製造工程と、
前記補強部を一体に有するばね部材を連設したばね部材連鎖品を形成するばね部材連鎖品製造工程と、
前記フレキシャを形成するフレキシャ製造工程と、
前記ベース部を形成するベース部製造工程と、
前記剛体部連鎖品とばね部材連鎖品とベース部とフレキシャとの重合セットを結合形成する重合結合工程と、
前記重合セットから各ヘッド・サスペンションをカット分離する切断工程と
を備えたことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
【請求項３】
請求項２記載のヘッド・サスペンションの製造方法であって、
前記重合結合工程は、前記剛体部連鎖品とばね部連鎖品とベース部との適所を熔着して半重合セットを形成する半重合熔着工程と、
前記半重合セットに前記フレキシャを熔着して重合セットを形成する重合熔着工程と
を備えたことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
【請求項４】
請求項２記載のヘッド・サスペンションの製造方法であって、
前記重合結合工程は、前記剛体部連鎖品とばね部連鎖品とベース部とフレキシャとを重ね合わせる重合工程と、
前記重合工程後に熔着して重合セットを形成する熔着工程と
を備えたことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
【請求項５】
キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、
剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
前記ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備え、
前記ばね部を、前記フレキシャの一部で形成し、
前記剛体部に、前記フレキシャのばね部側に結合するばね結合部を設けると共に該ばね結合部の両端部を剛体部の幅方向両側に突設し、
前記ばね結合部の両端部及び剛体部間を橋渡す補強部を設けたヘッド・サスペンションであって、
前記補強部を一体に有したフレキシャを形成するフレキシャ製造工程を備えた
ことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
【請求項６】
キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、
剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
前記ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備え、
前記ばね部を、前記フレキシャで形成し、
前記剛体部に、前記フレキシャのばね部側に結合するばね結合部を設けると共に該ばね結合部の両端部を剛体部の幅方向両側に突設し、
前記ばね結合部の両端部及び剛体部間を橋渡す補強部を設けたヘッド・サスペンションであって、
前記剛体部を連設した剛体部連鎖品を形成する剛体部連鎖品製造工程と、
前記補強部を一体に有したフレキシャを形成するフレキシャ製造工程と、
前記ベース部を形成するベース部製造工程と、
前記剛体部連鎖品とばね部材連鎖品とベース部とフレキシャとの重合セットを結合形成する重合結合工程と、
前記重合セットから各ヘッド・サスペンションをカット分離する切断工程と
を備えたことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
【請求項７】
請求項６記載のヘッド・サスペンションの製造方法であって、
前記重合結合工程は、前記剛体部連鎖品とベース部とフレキシャとを重ね合わせる重合工程と、
前記重合工程後に熔着して重合セットを形成する熔着工程と
を備えたことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ「Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ」）のヘッド・サスペンションの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のヘッド・サスペンションとしては、例えば図４９に示すようなものがある。図４９は、ハード・ディスク・ドライブに装備されるヘッド・サスペンション１０１の平面図であり、このヘッド・サスペンション１０１は、ベース部１０３とロード・ビーム１０５とフレキシャ１０７とを備えている。ロード・ビーム１０５は、剛体部１０９及びばね部１１１を含んでいる。剛体部１０９の幅方向両縁には、レール部１１３が立ち上げ形成されている。
【０００３】
図５０は、ヘッド・サスペンション取付の一例を示すハード・ディスク・ドライブの一部断面図である。図５０のように、前記ヘッド・サスペンション１０１は、キャリッジ１１５のアーム１１７にベース部１０３がスウェージング等により取り付けられている。
【０００４】
キャリッジ１１５は、ボイスコイルモータなどのポジショニング用モータ１１９によって、軸１２１を中心に旋回駆動される。キャリッジ１１５が軸１２１を中心に旋回することによって、ヘッド・サスペンション１０１のヘッド部１２３がディスク１２５の所望トラックまで移動する。
【０００５】
前記ディスク１２５が高速回転したとき、ヘッド部１２３は、グラム・ロードに抗してディスク１２５から僅かに浮上する。
【０００６】
ところで、近年では、ＨＤＤの用途が、モバイル用小型パソコンや携帯電話へとますます広がりを見せ、より過酷な条件で使用されるようになっている。従って、ショック入力に対する対策が次第に重要性を増している。
【０００７】
ここで、ヘッド・サスペンションのヘッド部のスライダが、ショック入力時にディスクに対してリフトするか否か（ショック特性）は、ロード・ビームの自重が影響する。
【０００８】
一例として、厚さｔ＝５１μｍ、長さｌＬ＝７ｍｍ、グラム・ロード（Ｇｒａｍ  ｌｏａｄ）：２．５ｇｆのロード・ビームを備えた第１のヘッド・サスペンションと、厚さｔ＝３０μｍ、長さｌＬ＝５．５ｍｍ、グラム・ロード（Ｇｒａｍ  ｌｏａｄ）：２．５ｇｆのロード・ビームを備えた第２のヘッド・サスペンションとに１ｍｓｅｃデュレーション（ｄｕｒａｔｉｏｎ）（半波長が１ｍｓｅｃ）のショックを入力したとき、第１のヘッド・サスペンションは、６２８Ｇの発生加速度でスライダがリフトし（Ｇリフト・オフ）、第２のヘッド・サスペンションは、１１０３Ｇの発生加速度でスライダがリフトした。
【０００９】
これより、ショック特性の良いヘッド・サスペンションは、ロード・ビームを薄く、短く、グラム・ロードを大きくするのが得策である。
【００１０】
このため、ショック特性を高めることが要求されている２．５インチ等、小型ＨＤＤ用のヘッド・サスペンションでは、ロード・ビーム１０５の厚みを薄くする等の対策をしている。
【００１１】
しかし、ロード・ビーム１０５を薄くしたため、Ｔ１周波数（１次ねじれモード「１ｓｔ  Ｔｏｒｓｉｏｎ  Ｍｏｄｅ」での共振周波数）で風乱によるヘッド・サスペンションに揺れ（Ｔ１ウインデージ「Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ」）が出ており、トラックに対する位置決め精度の向上に限界を招くことになった。
【００１２】
一方において、今後、ハード・ディスクの記録密度の増大によりＴＰＩ（Ｔｒａｃｋ  Ｐｅｒ  Ｉｎｃｈ）が益々上昇してトラック・ピッチが狭くなり、トラックに対するヘッド部の位置ずれ（オフ・トラック）許容範囲がさらに狭くなり、位置決め精度のさらなる向上が要求されてもいる。
【００１３】
すなわち、ショック特性とＴ１ウインデージとは、二律背反の関係にあるものの、今後その両立が小型化の重要な鍵となっている。
【００１４】
また、発生したオフ・トラックを、制御系によって抑圧している。しかし、抑圧できる周波数は、０．８〜１．３ｋＨｚ程度であるので、サスペンションの風乱による外乱を抑圧あることはできない。また、制御系は、キャリッジの主モードによってほぼ決定され、そのモードは、３．５インチＨＤＤで５ｋＨｚ、２．５インチＨＤＤで６ｋＨｚ程度である。従って、この周波数より低いところにヘッド・サスペンションのＴ１周波数、スウェイ周波数（Ｓｗａｙ周波数）があると制御系の安定性に支障をきたすことになる。
【００１５】
さらに、ヘッド・サスペンション１０１のＢ１周波数（１次曲げモード（１ｓｔ  Ｂｅｎｄｉｎｇ  Ｍｏｄｅ）での共振周波数）は、キャリッジ１１５のモード等と絡んで制御系の安定性に支障をきたすこともある。また、Ｂ１周波数が低いとショック特性も劣化する。
【００１６】
そこで、以上の各種課題を考慮したヘッド・サスペンションを提供するが、これをどのように製造するかも新たなヘッド・サスペンションを円滑に供給するために重大な課題となる。
【００１７】
【特許文献１】特開平９−２８２６２４号公報
【特許文献２】ＵＳ６７６５７５９Ｂ２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
解決しようとする問題点は、ショック特性とＴ１ウインデージとは、二律背反の関係にあり、ショック特性を向上させながらＴ１周波数，スウェイ周波数を高め、Ｔ１ウインデージを改善することには限界があり、これを考慮したヘッド・サスペンションを提供する場合に、その円滑な供給をいかにするかの点である。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、ショック特性を向上させながらＴ１周波数，スウェイ周波数を高め、Ｔ１ウインデージを改善するヘッド・サスペンションを提供する場合に、その円滑な供給を可能とするため、補強部を一体に有したばね部材を形成するばね部材製造工程或いは補強部を一体に有したフレキシャを形成するフレキシャ製造工程を備えたことを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のヘッド・サスペンションの製造方法は、補強部を一体に有しばね部を構成するためのばね部材を形成するばね部材製造工程或いは補強部を一体に有したフレキシャを形成するフレキシャ製造工程を備えたため、ばね結合部の両端部及び剛体部間を橋渡す補強部を備えたヘッド・サスペンションを特別な工程を設けることなく、簡単に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
ショック特性を向上させながらＴ１周波数，スウェイ周波数を高め、Ｔ１ウインデージを改善するヘッド・サスペンションを提供する場合に、特別な工程を増加することなく実現した。
【実施例１】
【００２２】
［ヘッド・サスペンションの構造］
図１、図２は、本発明実施例１の製造方法により製造されるヘッド・サスペンションに係り、図１は、反ディスク側の斜視図、図２は、ディスク側の斜視図である。
【００２３】
図１、図２で示すヘッド・サスペンション１は、例えば２．５インチ用のものであり、ロード・ビーム３と、ベース部としてのベース・プレート５と、フレキシャ７とを備えている。
【００２４】
前記ロード・ビーム３は、情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部９に負荷荷重を与えるもので、剛体部１１とばね部１３とを含んでいる。
【００２５】
前記剛体部１１は、例えばステンレス鋼薄板により形成され、ばね部１３の幅に比較して先端側１５から基端側１７まで全体的に細く、且つ基端側１７から先端側１５へ漸次僅かに細くなっている。本実施例では、剛体部１１の先端側１５の端部の幅Ｈ１＝０．４ｍｍ、同基端側１７の付け根の幅Ｈ２＝０．９６ｍｍに設定されている。
【００２６】
前記剛体部１１の基端に、ばね結合部１９が設けられている。ばね結合部１９の両端部２１，２３は、剛体部１１の幅方向両側に突設され、剛体部１１は、全体的にＴ字状を呈している。
【００２７】
この剛体部１１は、ばね結合部１９を前記ばね部１３側に重ね、レーザー熔接等の２箇所の熔着部２５により結合され、基端側１７は前記ばね部１３側の後述する延長部２７に重ねられ、延長方向前後各２箇所の計４箇所の熔着部２９により固着されている。なお、熔着部２５，２９の熔着箇所数は限定されるものではなく、その数の選定は自由である。
【００２８】
前記剛体部１１の幅方向両縁には、レール部３１が箱曲げにより剛体部１１の厚み方向に立ち上げ形成されている。レール部３１は、剛体部１１の先端側１５から前記ばね部１３の延長部２７上に渡り、ばね結合部１９の直前まで剛体部１１のほぼ全体に渡って設けられている。レール部３１の厚みは、剛体部１１の一般部の厚みと同一に形成されている。但し、レール部３１の厚みは、パーシャルエッチング等によりレール部３１全体或いはその一部を剛体部１１の一般部の厚みよりも薄く形成することもできる。
【００２９】
前記剛体部１１の先端には、ロード・アンロード用のタブ３３が設けられ、同先端側１５にディンプル３５が設けられている。
【００３０】
前記ばね部１３は、前記剛体部１１とは別体のばね部材３６によって形成されている。ばね部材３６は、例えば、ばね性のある薄いステンレス鋼圧延板からなっている。このばね部材３６は、一側がベース・プレート５に向かって二股状に形成され、ばね脚部３７，３９を備えている。ばね脚部３７，３９は、剛体部１１のばね結合部１９上で幅方向に一体に連続している。ばね脚部３７，３９には、多数連接したばね部材３６の半製品を切断して単体のばね部材３６とする切断部４１が残存している。ばね部材３６は、各ばね脚部３７，３９の端部がベース・プレート５の端部に重ねられ、それぞれレーザー熔接等の２箇所の熔着部４３により結合されている。
【００３１】
前記ばね部材３６には、前記延長部２７が前記ばね結合部１９から前記剛体部１１の基端側１７に渡って設けられている。延長部２７の長さは、本実施例において前記剛体部１１の長さのほぼ１／３である。但し、延長部２７の長さは、前記剛体部１１の長さの１／４〜１／２の範囲で設定することができる。
【００３２】
前記延長部２７の両側には、前記ばね結合部１９の両端部２１，２３及び前記剛体部１１間を橋渡す補強部４５，４７が設けられている。補強部４５，４７は、前記ばね結合部１９の両端部２１，２３と前記延長部２７の延長方向先端４９との間に渡って設けられている。前記補強部４５，４７は、前記剛体部１１の先端側１５からばね結合部１９側へ向かう方向で漸次幅を拡大する翼形状を呈している。実施例において、翼形状は、三角翼形状を呈しているが、補強部としての機能を有する限り台形翼形状等、その形状は自由に設定することができる。この補強部４５，４７により、ばね結合部１９の両端部２１，２３及び前記剛体部１１の基端側１７間が、特別な部材を追加することなく筋交い状に補強されている。
【００３３】
前記ベース・プレート５は、ボス部５１を備え、ボス部５１においてキャリッジ側のアームにスウェージング等により取り付けられ、軸回りに回転駆動可能となっている。なお、ベース・プレート５は、ベース部としてアーム先端に一体に形成されてキャリッジ側に支持される構成にすることもできる。
【００３４】
前記フレキシャ７は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板（ＳＳＴ）などの導電性薄板であり、電気絶縁層を介して配線パターンを形成している。フレキシャ７は、レーザ溶接等の熔着部５３によって剛体部１１に固着され、同熔着部５５によってばね部材３６に固着され、同熔着部５７によってベース・プレート５に固着されている。フレキシャ配線パターンの一端は、ヘッド部９のスライダ５９に支持された書き込み用の端子、読み取り用の端子に導通接続されている。
【００３５】
［ヘッド・サスペンションの作用効果］
前記ヘッド・サスペンション１は、図３８と同様に、キャリッジ側に取り付けられる。この場合、１枚のディスクに対し取り付けられることもある。
【００３６】
ディスクが高速回転したとき、ヘッド・サスペンション１のヘッド部９は、グラム・ロードに抗してディスクから僅かに浮上する。キャリッジのアームが旋回することによって、ヘッド部９がディスクの所望トラックまで移動する。
【００３７】
前記ヘッド・サスペンション１は、剛体部１１及びばね部１３を、ばね部材３６によって別体に形成し、前記剛体部１１の基端に、ばね結合部１９を設けると共に該ばね結合部１９の両端部２１，２３を剛体部１１の幅方向両側に突設し、前記ばね結合部１９を、前記ばね部材３６に結合し、前記ばね結合部１９の両端部２１，２３及び前記剛体部１１の基端側１７間を橋渡す補強部４５，４７を設けたため、細い剛体部１１によりＧリフト・オフを高めてショック特性を向上させながら、ロード・ビーム３のスウェイ方向の剛性を高めることで、スウェイ周波数を高めることができる。
【００３８】
また、剛体部１１の幅方向両縁に、該剛体部１１の先端側１５から前記ばね部材３６の延長部２７上に渡りばね結合部１９の直前までほぼ全体に渡ってレール部３１を形成したため、剛体部１１を薄く軽量化しながら縦剛性を確保することができ、高いＴ１周波数とＢ１周波数とを得ることができる。
【００３９】
これにより、他の特性を劣化させることなくＴ１ウインデージを改善することができる。
【００４０】
前記補強部４５，４７は、前記剛体部１１の先端側１５からばね結合部１９へ向かう方向で漸次幅を拡大する三角翼形状であるため、ばね結合部１９の両端部２１，２３及び前記剛体部１１の基端側１７間を、特別な部材を追加することなく筋交い状に確実に補強することができる。
【００４１】
前記延長部２７は、前記剛体部１１の長さの１／４〜１／２、実施例ではほぼ１／３であるため、ばね部材３６により剛体部１１を補強しながらロード・ビーム３の重量軽減を確実に図ることができる。
【００４２】
［ショック特性及びＴ１ウインデージの両立等の根拠］
前記のようにヘッド・サスペンションにおいて、ショック特性を向上させるためにロード・ビームを薄くしたとき、ヘッド・サスペンションの風乱での揺れが問題となる。
【００４３】
そこで、ヘッド・サスペンションの風乱による揺れであるＴ１ウインデージから説明する。
【００４４】
図３は、Ｔ１ウインデージを測定するための方法を示した概略斜視図である。この図３のように、レーザ・ドップラ速度計（図中ＬＤＶ）とＦＦＴアナライザとを使用してスライダのトラック方向変位（ウインデージ）とロード・ビーム振幅とを測定した。なお、図３において、Ｚハイト（Ｚ−ｈｅｉｇｈｔ）とは、組み付け状態のヘッド部のＺ方向の高さである。
【００４５】
一般に、トラック・ピッチの±５％以内のポジション・エラーを設定しており、これ以上は確実な読み書きのために許容されない。例えば、１００ｋＴＰＩの場合、トラック・ピッチは２５４ｎｍであり、ポジション・エラーは、その５％の±１２．７ｎｍ以内に抑える必要がある。
【００４６】
かかるヘッド・サスペンションの振動を制御系により抑圧する場合、０．８〜１．３ｋＨｚまでが限界であり、高い周波数領域は抑圧することができない。
【００４７】
また、ディスク回転数５４００ｒｐｍと１００００ｒｐｍとでは、ヘッド・サスペンションの揺れが数倍異なっている。この揺れをどのようにして抑えるかが課題となり、ヘッド・サスペンションそのものの改良が必要となる。
【００４８】
図４は、ヘッド・サスペンションの風乱を示すグラフであり、図５は、ディスクの回転数に応じたヘッド・サスペンションのオフ・トラックの総和を示すグラフである。図５では、ディスクの回転速度に対するオフ・トラックを、Ｚハイトの異なる数種類測定した。
【００４９】
図４からＴ１のピークが大きく、オフ・トラックの主原因となっていることが分かる。
【００５０】
図５のように、横軸で示すディスクの回転速度が、例えば５０００ｒｐｍから１００００ｒｐｍへの２倍になると、オフ・トラックは４倍となっている。このことより、ディスクの回転速度が２倍になると図４の風乱の影響は４倍になる。
【００５１】
図６，図７は、Ｔ１ウインデージによるＺハイトに対するロード・ビームの揺れ角（ＤＴＡ「Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｔ１  Ａｎｇｌｅ」）及び同Ｔ１スライダ変位（Ｓｌｉｄｅｒ Ｔ１ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ, Ｔ１ Ｆｌｕｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ）の測定結果である。図６は１枚ディスクの結果、図７は２枚のディスク間での結果である。
【００５２】
図６，図７のように、ディスク間でのロード・ビームの揺れ角及びスライダの横変位は、共に１枚ディスクの５倍強となっている。従って、ディスク間では風乱が増大し、スライダのオフ・トラックのＺハイト感度が大きくなる。
【００５３】
ここで、一般に、剛体を揺らす風には、種々存在し、代表的なものとしてカルマン渦とバフェッティング流とが上げられる。
【００５４】
カルマン渦（Ｋａｒｍａｎ  Ｖｏｒｔｅｘ）は、ある特定の周波数での剥離流であり、バフェッティング流（Ｂｕｆｆｅｔｉｎｇ）は、風速の二乗でに比例する非定常な圧力変動を持った流れである。従って、ＨＤＤのヘッド・サスペンションに関係するのは、このバフェッティング流であり、非常に高い周波数まで構造体が加振されることになる。
【００５５】
そこで、バフェッティング流に対し、システム全体では風速を落とす対策を採り、構造体、すなわちヘッド・サスペンションでは、圧力変動があっても揺れがないように構造体として強くすることが必要となる。
【００５６】
次に、構造体としてのヘッド・サスペンションを強めるために、スタティック・トーション・アングル（ＳＴＡ「Ｓｔａｔｉｃ  Ｔｏｒｓｉｏｎ  Ａｎｇｌｅ」）を考慮した。
【００５７】
図８は、ロード・ビーム形状関数のグラフ、図９は、ロード・ビームねじれ剛性を示すグラフである。
【００５８】
図８において、ロード・ビームのある一点ｘ位置の剛体部に働くモーメントＭ（ｘ）は、次式となる。
【００５９】
【数１】
2006313604.tif 000003
【００６０】
ねじれ剛性Ｓ（ｘ）は、図９に示すように、ｘの関数として計算することができる。従って、上記（１）式と、Ｓ（ｘ）から、ディンプル部でのねじれ角θは次式で表すことができる。
【００６１】
【数２】
2006313604.tif 000004
【００６２】
非定常流体力Ｆ（ｔ）＝１（Ｎ／ｍ２）とすると、上記（２）式は次式となる。
【００６３】
【数３】
2006313604.tif 000005
【００６４】
すなわち、ＳＴＡは、常に１という流体力がサスペンションの投影面積に加わるときに、ヘッド・サスペンションがどのくらいの角度θ捻れるかを考える強度である。ロード・ビームのある面積のあるポイントのモーメントに対してこの部分の捻れ剛性は分かる。そこで、（２）式のように割り算すればこの部分に力が加わったときの捻れ角θを求めることができる。これを全てプラスするとｘ＝０からディンプルまで静的な力が加わったときの捻れ角θを求めることができ、Ｆ（ｔ）＝１（Ｎ／ｍ２）として（３）式とし、これをＳＴＡと称している。このＳＴＡが小さければ、ヘッド・サスペンションは、同じ風であまり揺れないことになる。
【００６５】
図１０〜図１３は、ＳＴＡの異なる種々のヘッド・サスペンションのＴ１ウインデージによるＺハイトに対するロード・ビームの揺れ角（ＤＴＡ）及び同Ｔ１スライダ変位（Ｓｌｉｄｅｒ Ｔ１ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ, Ｔ１ Ｆｌｕｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ）の測定結果のグラフである。
【００６６】
図１０は、ＳＴＡ＝１４．１２×１０−５、図１１は、ＳＴＡ＝９．２４×１０−５、図１２は、ＳＴＡ＝５．８１×１０−５、図１３は、ＳＴＡ＝２．４２×１０−５である。図１０〜図１３において、▲のプロットは、ロード・ビームの揺れ角であり、●のプロットは、Ｔ１スライダ変位、すなわち、スライダのオフ・トラックのＺハイトに対する感度である。
【００６７】
図１０〜図１３のように、ＳＴＡが小さくなると、ロード・ビームの揺れ角がどんどん小さくなるのが分かる。これに従ってＴ１スライダ変位の変化もフラットな形態となった。
【００６８】
これら図１０〜図１３の測定値に対し、図１４は、ＳＴＡの計算値と測定したＤＴＡとの関係を示すグラフである。
【００６９】
図１４から分かるように、計算値ＳＴＡと実際のＤＴＡとは、比例関係にあるが、比例関係の直線は、０を通らない。計算値ＳＴＡを小さくすれば、Ｔ１ウインデージに対して良好なヘッド・サスペンションになることがわかる。
【００７０】
図１５は、計算値ＳＴＡとＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフ、図１６は、測定値ＤＴＡとＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフ、図１７は、複数種のヘッド・サスペンションでプロットした測定値ＤＴＡとＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフである。
【００７１】
図１５〜図１７のように何れも比例関係にあり、Ｔ１ウインデージに対しては、ＳＴＡを小さくすれば良いことが分かる。Ｔ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）は、図１０〜図１３の●のプロットで示されるとおりであり、ＳＴＡを小さくすると言うことは、Ｔ１スライダ変位を表す折れ線をフラットにすることになる。
【００７２】
実際はヘッド・サスペンションの動きは動的であるため、ヘッド・サスペンションの揺れにはイナーシャが関係していると考えられる。ＳＴＡの計算では、イナーシャは考慮されていない。従って、実際には、イナーシャを考慮した考察が必要となる。そこで、周波数で考え、周波数でプロットしたのが図１８〜図２１である。
【００７３】
図１８は、Ｔ１周波数と測定値ＤＴＡとの関係のグラフ、図１９は、Ｔ１周波数とＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフ、図２０は、種々のヘッド・サスペンションについてプロットしたＴ１周波数と測定値ＤＴＡとの関係のグラフ、図２１は、種々のヘッド・サスペンションについてプロットしたＴ１周波数とＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフである。
【００７４】
図１８〜図２１より明らかなように、Ｔ１周波数が高くなると測定値ＤＴＡ、Ｔ１スライダ変位共に、二乗的に小さくなる。
【００７５】
要するにＴ１周波数が高いと言うことは、捻れ剛性が高く、イナーシャも小さいため、前記のように測定値ＤＴＡ、Ｔ１スライダ変位共に二乗的に小さくなる。但し、種々のヘッド・サスペンションで測定すると、図２０，図２１のようにばらつきがでている。特に周波数の低い領域で顕著である。
【００７６】
そこで、ＳＴＡ、Ｔ１周波数Ｆ、イナーシャＩの次元式からどのような関係があるのかを考察した。
【００７７】
ロード・ビームの厚み：Ｔ、同長さ：Ｌ、同幅：Ｗとすると、次元式はそれぞれ次式のようになる。
【００７８】
ＳＴＡ∝Ｗ×Ｌ２×Ｔ３
Ｆ∝Ｔ／Ｌ／Ｗ
Ｉ∝Ｔ×Ｌ×Ｗ３
図２２は、イナーシャをパラメータにしたＴ１周波数とＳＴＡ次元との関係のグラフである。ロード・ビームの長さは、Ｌ＝７ｍｍ、厚みは、Ｔ＝０．０２ｍｍから０．１ｍｍまで変化させた。例えば、Ｌ＝７ｍｍ、Ｔ＝０．０２ｍｍに固定してイナーシャをパラメータに決めるとロード・ビームの幅Ｗが計算でき、ＳＴＡ及びＦを計算してプロットした。
【００７９】
図２２のように、ＳＴＡをＴ１ウインデージと見立てるとＴ１周波数に対して変化は非線形になり、特にＴ１周波数の低い領域でイナーシャの影響が大きいことが分かる。このことは、図２３と一致する。
【００８０】
以上の計算から、厚くて細いロード・ビームは、Ｔ１周波数が高くＳＴＡも小さく良好であることが分かる。すなわち、ロード・ビームは、イナーシャが小さく、ねじれ剛性が高い、厚くて細いものがよい。実測値を見ると、Ｔ１周波数が８ｋＨｚ以上のものが良いことが分かる。
【００８１】
［比較結果］
結果を比較したのが、図２４〜図３０である。
【００８２】
図２４は、前記ヘッド・サスペンション（実施例１）、図２５は、剛体部は細いが、補強部を有しないヘッド・サスペンション（比較例１）、図２６は、剛体部が太いヘッド・サスペンション（比較例２）を示し、それぞれ比較した。それぞれボスからディンプルまでの距離は１１ｍｍ、ロード・ビームの長さ６．２５ｍｍ、同厚さ３８μｍ、ばね部の厚さ３０μｍとした。
【００８３】
図２７〜図２９は、周波数とゲインとの関係を示すグラフであり、図２７は、実施例１、図２８は、比較例１、図２９は、比較例２の結果のグラフである。
【００８４】
図３０は、Ｂ１周波数、Ｔ１周波数、スウェイ（Ｓｗａｙ）周波数、スウェイ（Ｓｗａｙ）剛性、Ｇリフト・オフについて実施例１、比較例１，比較例２の結果をそれぞれ数値で示した結果の図表である。
【００８５】
Ｂ１周波数：実施例１及び比較例１は、縦剛性があり軽量であるため５．９９ｋＨｚ、６．０８ｋＨｚとあまり変わらなかった。比較例２は、太く重いため、５．６１ｋＨｚと下がった。
【００８６】
Ｔ１周波数：実施例１及び比較例１は、縦剛性があり軽量であるため９．０９ｋＨｚ、９．１８ｋＨｚとあまり変わらなかった。比較例２は、太くイナーシャが大きいため、７．７６ｋＨｚと下がった。
【００８７】
スウェイ周波数：実施例１及び比較例２は、スウェイ方向の剛性があるため、１４．５４ｋＨｚ、１４．８９ｋＨｚとあまり変わらなかった。比較例１は、スウェイ方向の剛性が低く、１２．２７ｋＨｚと下がった。
【００８８】
ＳＴＡ：本実施例１及び比較例１は、細いため、２．３１×１０−５、１．５３×１０−５低かったが、比較例２は、太いため３．２３×１０−５と高くなって悪化した。
【００８９】
スウェイ（Ｓｗａｙ）剛性（ディンプルの部分を押したときの横剛性）：実施例１は、１９９２０．２１Ｎ／ｍ、比較例２は、１９９９７．６２Ｎ／ｍであり、比較例１は、１４５０２．６７Ｎ／ｍと低かった。
【００９０】
Ｇリフト・オフ：実施例１及び比較例１は、軽いため、３０２．３８Ｇ／ｇｆ、３１１．８６Ｇ／ｇｆと高く、比較例２は、２４６．１９Ｇ／ｇｆと低かった。
【００９１】
このように、本実施例１の構造によれば、剛体部１１を細く軽量にしてショック特性を向上させ、且つＴ１周波数，Ｂ１周波数，スウェイ周波数の高周波数化を図ることができ、Ｔ１ウインデージの改善を図ることもできる。
【００９２】
図３１，図３２は、実施例１においてロード・ビームの厚さを２０，２５，３０，３８，５１μｍと変化させた場合のＳＴＡ等の結果であり、図３１は、グラフ、図３２は、図表である。ボス部５１の中心からディンプル３５の中心までの距離は１１ｍｍ、ロード・ビーム３の長さは６．２５ｍｍ、ばね部１３の厚さは３０μｍとした。
【００９３】
図３１，図３２のように、ロード・ビームが厚くなると重いので、Ｇリフト・オフは落ちた。一方、剛性は増すのでＢ１周波数、Ｔ１周波数、スウェイ周波数は増した。
【００９４】
１インチＨＤＤなどのように、Ｔ１ウインデージが問題となり難い場合は、さらに薄くし、軽量化することでＧリフト・オフを高めることができる。
【００９５】
かかるヘッド・サスペンションは、ディスクトップでも使用することができることは勿論である。
【００９６】
［ヘッド・サスペンションの変形例］
図３３、図３４は、本発明実施例１の製造方法により製造されるヘッド・サスペンションの変形例に係り、図３３は、反ディスク側の斜視図、図３４は、ディスク側の斜視図である。なお、基本的な構成は図１，図２と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＡを付して説明する。
【００９７】
本変形例のヘッド・サスペンション１Ａでは、ばね部材３６Ａ及びフレキシャ７Ａの形態を若干変更した。
【００９８】
ばね部材３６Ａは、一側が二股状に形成されてばね脚部３７Ａ，３９Ａを備え、ベース・プレート５上においてばね脚部３７Ａ，３９Ａは、対向側６１，６３がフレキシャ７Ａ側へ若干突出している。
【００９９】
フレキシャ７Ａは、剛体部１１及び延長部２７間の熔着部２９Ａにより共に熔着されている。
【０１００】
そして、本変形例においても、ばね部材３６Ａの延長部２７に補強部４５，４７を備えており、ヘッド・サスペンション１とほぼ同様な作用効果を奏することができる。
【０１０１】
また、本変形例では、フレキシャ７Ａをばね部材３６Ａの延長部２７により確実に固着することができ、フレキシャ７Ａのばた付き等を確実に抑制することができる。
【０１０２】
［その他］
補強部４５，４７は、ばね結合部１９の両端部２１，２３及び前記剛体部１１間を全体的に埋めるように橋渡すことなく、棒状に橋渡して筋交い状に補強する構造にすることもできる。
【０１０３】
補強部４５，４７及び延長部２７の形状、大きさの設定は自由であり、より小さく、或いは軽量化が損なわれなければより拡大することも可能である。
【０１０４】
上記実施例では、補強部４５，４７は、ばね部１３，１３Ａの延長部２７両側に形成するようにしたが、補強部４５，４７が存在すれば良く、延長部２７を省略することも可能である。
【０１０５】
補強部４５，４７の外縁に、箱曲げ等によるレール部を設けることもできる。レール部により、延長部２７の縦剛性及び横剛性を高め、Ｔ１周波数，Ｂ１周波数，スウェイ周波数を確実に高めることもでき、また、延長部２７のより薄板化も可能である。補強部４５，４７に設けるレール部の付け根外面をアール状に形成することで、複数同時に組み付けるときに使用する治具であるいわゆるコムを、前記アール状を利用してヘッド・サスペンション間に差し込みやすくすることもできる。
【０１０６】
補強部４５，４７は、ばね部１３，１３Ａに対して別体に形成することもできる。
【０１０７】
補強部４５，４７を、フレキシャ７，７Ａの一部で形成することもできる。
【０１０８】
剛体部１１のレール部３１は、剛体部１１の縦剛性が保持できれば省略することも可能である。
【０１０９】
［ヘッド・サスペンションの製造方法］
図３５は、本発明実施例１に係るヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である。図３６は、剛体部連鎖品の拡大図、図３７は、ばね部連鎖品の拡大図、図３８は、フレキシャ連鎖品の拡大図、図３９は、ベース・プレートの拡大図、図４０は、半重合セットの拡大図、図４１は、重合セットの拡大図、図４２は、第１カット工程の拡大図、図４３は、カット後のヘッド・サスペンションの拡大図である。
【０１１０】
図３５，図３６において、（１）は、剛体部連鎖品製造工程Ａであり、この剛体部連鎖品製造工程Ａでは、剛体部１１を連設した剛体部連鎖品７１が形成される。剛体部１１には、プレスなどにより前記ディンプル３５、タブ３３、レール部３１等が形成される。
【０１１１】
図３５，図３７において、（２）は、ばね部材製造工程に含まれるばね部材連鎖品製造工程Ｂであり、このばね部材連鎖品製造工程Ｂでは、ばね部１３を構成するためのばね部材３６を連設したばね部材連鎖品７３が形成される。このばね部材連鎖品７３のばね部材３６は、三角翼形状の補強部４５，４７を延長部２７の両側に一体に有している。ばね部材連鎖品７３の各ばね部材３６は、後述のようにカットされて分離されることになる。
【０１１２】
図３５，図３８において、（３）は、フレキシャ製造工程Ｃであり、このフレキシャ製造工程Ｃでは、フレキシャ７を連設したフレキシャ連鎖品７５が形成される。このフレキシャ連鎖品７５の各フレキシャ７は、薄板のカット、配線部の形成、アウト・リガーの形成等が行われている。
【０１１３】
図３５、図３９において、（４）は、ベース部製造工程Ｄであり、このベース部製造工程Ｄでは、ベース部として必要な個数のベース・プレート５が形成される。ベース・プレート５には、プレスなどにより前記ボス部５１が形成されている。
【０１１４】
図３５において、（５）（６）は、重合結合工程Ｅ，Ｆであり、（５）の半重合熔着工程Ｅと、（６）の重合熔着工程Ｆとを備えている。
【０１１５】
図３５，図４０において、（５）の半重合熔着工程Ｅでは、前記剛体部連鎖品７１とばね部材連鎖品７３とベース・プレート５との適所をレーザー溶接などにより熔着して半重合セット７９が形成される。
【０１１６】
図３５，図４１において、（６）の重合熔着工程Ｆでは、前記フレキシャ連鎖品７５から、フレキシャ７がそれぞれカットされ、各フレキシャ７が半重合セット７９の所定位置に重ねられ、レーザー溶接などにより熔着して重合セット８１が形成される。半重合セット７９に対する各フレキシャ７の位置決めは、位置決めタブにより行われている。
【０１１７】
図３５，図４２において、（７）の第１カット工程Ｇでは、重合セット８１から剛体部１１に結合していたフレームの一部分８３がカットされると共に各フレキシャ７の位置決めタブがカットされる。
【０１１８】
図３５において、（８）は、洗浄工程Ｈであり、第１カット工程Ｇ後の半製品が洗浄される。（９）は、ショート・チェック工程Ｉであり、電気的なチェックが行われる。（１０）は、ＧＬ工程Ｊであり、曲げ荷重の測定及び過負荷の付与によるへたり防止を図る。（１１）は、第２カット工程Ｋであり、図３５，図４３のように最終的に個々のヘッド・サスペンション１としてカットする。この第２カット工程Ｋ及び前記第１カット工程Ｇは、重合セット８１から各ヘッド・サスペンション１をカット分離する切断工程を構成している。
【０１１９】
かかる製造方法により、ヘッド・サスペンション１を円滑且つ確実に提供することができる。
【０１２０】
しかも、ばね結合部１９の両端部２１，２３及び剛体部１１間を橋渡す補強部４５，４７を備えたヘッド・サスペンション１を特別な工程を設けることなく、簡単に製造することができる。
【０１２１】
ヘッド・サスペンション１Ａについても、同様の工程により製造することができる。
【実施例２】
【０１２２】
図４４は、本発明実施例２に係るヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である。なお、基本的には図３５の製造工程と同様であり、対応する構成部分には同符号を付して説明する。
【０１２３】
本実施例の製造方法では、（５）（６）の重合結合工程Ｅ１，Ｆ１が、（５）の重合工程Ｅ１と、（６）の熔着工程Ｆ１とを備えたものである。
【０１２４】
（５）の重合工程Ｅ１では、剛体部連鎖品７１とばね部材連鎖品７３と各ベース・プレート５と各フレキシャ７とを重ね合わせて位置決められる。フレキシャ７は、前記同様にフレキシャ連鎖品７５からそれぞれカットされる。
【０１２５】
（６）の熔着工程Ｆ１では、重合工程Ｅ１後に各部をレーザー溶接などにより熔着して重合セット８１を形成する。
【０１２６】
他の工程は、実施例１と同様である。
【０１２７】
従って、本実施例においても、実施例１と同様な効果を奏することができる。
【実施例３】
【０１２８】
［ヘッド・サスペンションの構造］
図４５、図４６は、本発明実施例３の製造方法により製造されるヘッド・サスペンションに係り、図４５は、反ディスク側の斜視図、図４６は、ディスク側の斜視図である。なお、基本的な構成は図１，図２と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＢを付して説明する。
【０１２９】
ヘッド・サスペンション１Ｂでは、ばね部１３Ｂをフレキシャ７Ｂのばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板（ＳＳＴ）などの薄板７Ｂａにより一体に形成した。ばね部１３Ｂは、薄板７Ｂａに孔８５を設けることで孔８５の両側に構成されている。すなわち、孔８５は、導体及び絶縁層でなる配線パターン８７の下側に幅方向に渡って形成され、且つベース・プレート５上からばね結合部１９上に渡って長く形成されている。
【０１３０】
補強部４５Ｂ，４７Ｂは、前記薄板７Ｂａに一体に形成されている。補強部４５Ｂ，４７Ｂは、上記補強部４５，４７が剛体部３に対して三角翼形状であるのに対し、同台形翼形状となっている。フレキシャ７Ｂは、熔着部２５Ｂにより剛体部１１のばね結合部１９に、熔着部２９Ｂにより剛体部１１に、熔着部４３Ｂによりベース・プレート５に熔着され、その他の箇所も前記同様に熔着されている。
【０１３１】
かかるヘッド・サスペンション１Ｂにおいても、補強部４５Ｂ，４７Ｂの存在により、ヘッド・サスペンション１と同様な作用効果を奏することができる。また、フレキシャ７Ｂに、ばね部１３Ｂ、補強部４５Ｂ，４７Ｂが一体に形成されているので、部品点数が大幅に削減され、組立、部品管理が極めて容易なものとなる。
【０１３２】
［ヘッド・サスペンションの製造方法］
図４７は、本発明実施例３に係るヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である。図４８は、フレキシャの平面図である。なお、基本的には図４４の製造工程と同様であり、対応する構成部分には同符号又は同符号にＢを付して説明する。
【０１３３】
本実施例の製造方法では、ばね部１３Ｂをフレキシャ７Ｂの一部で形成するため、図４４のばね部材連鎖品製造工程Ｂが省略され、（１）の剛体部連鎖品製造工程Ａ、（２）のフレキシャ製造工程Ｃ２、（３）のベース部製造工程Ｄ、（４）の重合工程Ｅ２及び（５）の熔着工程Ｆ２の重合結合工程、（６）の第１カット工程Ｇ、（７）の洗浄工程Ｈ、（８）のショート・チェック工程Ｉ、（９）のＧＬ工程Ｊ、（１０）の第２カット工程Ｋからなっている。
【０１３４】
本実施例では、特に、前記フレキシャ製造工程Ｃ２において、図４７，図４８のように、フレキシャ７Ｂの薄板７Ｂａに補強部４５Ｂ，４７Ｂが一体に形成される。薄板７Ｂａには、その他、孔８５、タング８９等が形成され、薄板７Ｂａ上に配線パターン８７が設けられる。こうしてフレキシャ製造工程Ｃ２では、フレキシャ７Ｂを連設したフレキシャ連鎖品７５Ｂが形成される。
【０１３５】
前記重合工程Ｅ２では、剛体部連鎖品７１と各ベース・プレート５と各フレキシャ７Ｂとを重ね合わせて位置決められる。フレキシャ７Ｂは、前記同様にフレキシャ連鎖品７５Ｂからそれぞれカットされる。
【０１３６】
前記熔着工程Ｆ２では、重合工程Ｅ２後に各部をレーザー溶接などにより熔着して重合セット８１Ｂを形成する。
【０１３７】
他の工程は、実施例１とほぼ同様である。
【０１３８】
従って、本実施例においても、実施例１と同様な効果を奏することができる。
【０１３９】
また、本実施例では、ばね部材連鎖品製造工程Ｂを省略できるため、ヘッド・サスペンションの製造をより簡素化することができる。さらに、切断工程も簡素化することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４０】
【図１】ヘッド・サスペンションの反ディスク側の斜視図である（実施例１）。
【図２】ヘッド・サスペンションのディスク側の斜視図である（実施例１）。
【図３】Ｔ１ウインデージを測定するための方法を示した概略斜視図である（実施例１）。
【図４】（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）の増大とゲイン（Ｇａｉｎ）との関係を示すグラフである（実施例１）。
【図５】ヘッド・サスペンションのＴ１ウインデージを示すグラフである（実施例１）。
【図６】Ｔ１ウインデージによるＺハイトに対するロード・ビームの揺れ角（ＤＴＡ）及び同Ｔ１スライダ変位（Ｓｌｉｄｅｒ Ｔ１ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ, Ｔ１ Ｆｌｕｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ）の１枚ディスクの測定結果である（実施例１）。
【図７】Ｔ１ウインデージによるＺハイトに対するロード・ビームの揺れ角（ＤＴＡ）及び同Ｔ１スライダ変位（Ｓｌｉｄｅｒ Ｔ１ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ, Ｔ１ Ｆｌｕｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ）の２枚ディスクの測定結果である（実施例１）。
【図８】ロード・ビーム形状関数のグラフである（実施例１）。
【図９】ロード・ビームねじれ剛性を示すグラフである（実施例１）。
【図１０】あるＳＴＡのヘッド・サスペンションのＴ１ウインデージによるＺハイトに対するロード・ビームの揺れ角（ＤＴＡ）及び同Ｔ１スライダ変位（Ｓｌｉｄｅｒ Ｔ１ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ, Ｔ１ Ｆｌｕｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ）の測定結果のグラフである（実施例１）。
【図１１】あるＳＴＡのヘッド・サスペンションのＴ１ウインデージによるＺハイトに対するロード・ビームの揺れ角（ＤＴＡ）及び同Ｔ１スライダ変位（Ｓｌｉｄｅｒ Ｔ１ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ, Ｔ１ Ｆｌｕｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ）の測定結果のグラフである（実施例１）。
【図１２】あるＳＴＡのヘッド・サスペンションのＴ１ウインデージによるＺハイトに対するロード・ビームの揺れ角（ＤＴＡ）及び同Ｔ１スライダ変位（Ｓｌｉｄｅｒ Ｔ１ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ, Ｔ１ Ｆｌｕｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ）の測定結果のグラフである（実施例１）。
【図１３】あるＳＴＡのヘッド・サスペンションのＴ１ウインデージによるＺハイトに対するロード・ビームの揺れ角（ＤＴＡ）及び同Ｔ１スライダ変位（Ｓｌｉｄｅｒ Ｔ１ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ, Ｔ１ Ｆｌｕｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ）の測定結果のグラフである（実施例１）。
【図１４】ＳＴＡの計算値と測定したＤＴＡとの関係を示すグラフである（実施例１）。
【図１５】計算値ＳＴＡとＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフである（実施例１）。
【図１６】測定値ＤＴＡとＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフである（実施例１）。
【図１７】複数種のヘッド・サスペンションでプロットした測定値ＤＴＡとＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフである（実施例１）。
【図１８】Ｔ１周波数と測定値ＤＴＡとの関係のグラフである（実施例１）。
【図１９】Ｔ１周波数とＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフである（実施例１）。
【図２０】種々のヘッド・サスペンションについてプロットしたＴ１周波数と測定値ＤＴＡとの関係のグラフである（実施例１）。
【図２１】種々のヘッド・サスペンションについてプロットしたＴ１周波数とＴ１スライダ変位（Ｔ１Ｗｉｎｄａｇｅ  ＺＨ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ）との関係のグラフである（実施例１）。
【図２２】イナーシャをパラメータにしたＴ１周波数とＳＴＡ次元との関係のグラフである（実施例１）。
【図２３】種々のヘッド・サスペンションについてプロットしたＴ１周波数と測定値ＤＴＡとの関係のグラフである（実施例１）。
【図２４】剛体部が薄く細く補強部を有したヘッド・サスペンションである（実施例１）。
【図２５】剛体部は細いが、補強部を有しないヘッド・サスペンションである（比較例１）。
【図２６】剛体部が太いヘッド・サスペンションである（比較例２）。
【図２７】周波数とゲインとの関係を示すグラフである（実施例１）。
【図２８】周波数とゲインとの関係を示すグラフである（比較例１）。
【図２９】周波数とゲインとの関係を示すグラフである（比較例２）。
【図３０】Ｂ１周波数、Ｔ１周波数、スウェイ（Ｓｗａｙ）周波数、スウェイ（Ｓｗａｙ）剛性、Ｇリフト・オフについて実施例１、比較例１，比較例２の結果をそれぞれ数値で示した結果の図表である（実施例１）。
【図３１】ロード・ビームの厚さを２０，２５，３０，３８，５１μｍと変化させたＳＴＡ等の結果を示すグラフである（実施例１）。
【図３２】ロード・ビームの厚さを２０，２５，３０，３８，５１μｍと変化させたＳＴＡ等の結果を示す図表である（実施例１）。
【図３３】ヘッド・サスペンションの反ディスク側の斜視図である（変形例）。
【図３４】ヘッド・サスペンションのディスク側の斜視図である（変形例）。
【図３５】ヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である（実施例１）。
【図３６】剛体部連鎖品の拡大図である（実施例１）。
【図３７】ばね部材連鎖品の拡大図である（実施例１）。
【図３８】フレキシャ連鎖品の拡大図である（実施例１）。
【図３９】ベース・プレート半製品の拡大図である（実施例１）。
【図４０】半重合セットの拡大図である（実施例１）。
【図４１】重合セットの拡大図である（実施例１）。
【図４２】第１カット工程の拡大図である（実施例１）。
【図４３】カット後のヘッド・サスペンションの拡大図である（実施例１）。
【図４４】ヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である（実施例２）。
【図４５】ヘッド・サスペンションの反ディスク側の斜視図である（実施例３）。
【図４６】ヘッド・サスペンションのディスク側の斜視図である（実施例３）。
【図４７】ヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である（実施例３）。
【図４８】フレキシャの斜視図である（実施例３）。
【図４９】ヘッド・サスペンションの平面図である（従来例）。
【図５０】ヘッド・サスペンション取付の一例を示すハード・ディスク・ドライブの一部断面図である（従来例）。
【符号の説明】
【０１４１】
１，１Ａ，１Ｂ  ヘッド・サスペンション
３  ロード・ビーム
５  ベース・プレート（ベース部）
７，７Ａ，７Ｂ  フレキシャ
９  ヘッド部
１１  剛体部
１３，１３Ａ，１３Ｂ  ばね部
１５  先端側
１７  基端側
１９  ばね結合部
２１，２３  ばね結合部の端部
２７  延長部
３１  レール部
４５，４５Ｂ，４７，４７Ｂ  補強部
７１  剛体部連鎖品
７３  ばね部材連鎖品
７９  半重合セット
８１，８１Ｂ  重合セット
Ａ  剛体部連鎖品製造工程
Ｂ  ばね部材連鎖品製造工程（ばね部材製造工程）
Ｃ，Ｃ２  フレキシャ製造工程
Ｄ  ベース部製造工程
Ｅ  半重合熔着工程（重合結合工程）
Ｅ１，Ｅ２  重合工程（重合結合工程）
Ｆ  重合熔着工程（重合結合工程）
Ｆ１，Ｆ２  熔着工程（重合結合工程）
Ｇ  第１カット工程（切断工程）
Ｋ  第２カット工程（切断工程）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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