(57)【要約】【課題】  誤ってハンドルに接触した場合に弁が開閉することを防止できる開閉弁を提供する。【解決手段】  開閉弁１１は、弁体３１を開閉させるスピンドル１２と、スピンドル１２を回動させるハンドル１３と、弁体３１を保護するためのハウジング１４とを有する。ハンドル１３を反時計方向に９０°回動させることにより流路３２を全開状態にし、ハンドル１３を基の位置に戻すことにより流路３２を全閉状態にする。ハウジング１４の上面には、嵌合凸部２１が４つ形成されている。ハンドル１３の下面には、前記嵌合凸部２１と嵌合する嵌合凹部１８が形成されている。流路３２の全開状態及び全閉状態で、嵌合凸部２１と嵌合凹部１８とを嵌め合わせることにより、気づかずにハンドル１３に触れたとしても、ハンドル１３が回動することを回避する。【選択図】      図１
2006250228.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を流すための流路と、
前記流路を開閉するための弁体と、
前記流路を固定的に支持するためのハウジングと、
前記ハウジングに対する回動により、前記流路に対する前記弁体の位置を変えるためのハンドルと、
前記ハウジング及び前記ハンドルの一方に設けられた第１嵌合部及び他方に設けられた第２嵌合部であって、相互間の嵌合により前記ハウジングに対する前記ハンドルの位置を固定する前記第１嵌合部及び前記第２嵌合部とを含むことを特徴とする開閉弁。
【請求項２】
請求項１に記載の開閉弁であって、
前記第１嵌合部は、凸部又は凹部のうち一方が形成されており、
前記第２嵌合部は、前記凸部又は前記凹部のうち他方が形成されていることを特徴とする開閉弁。
【請求項３】
請求項１に記載の開閉弁であって、
前記ハンドルは、前記回動可能な角度が９０°であり、前記ハンドルを時計方向に回し切ることにより前記流路が全開状態又は全閉状態のうち一方の状態になり、前記ハンドルを反時計方向に回し切ることにより前記流路が前記全開状態又は前記全閉状態のうち他方の状態になることを特徴とする開閉弁。
【請求項４】
請求項１に記載の開閉弁であって、
前記第１嵌合部及び前記第２嵌合部は、弾性部材の付勢力によって前記相互間の嵌合が行われることを特徴とする開閉弁。
【請求項５】
請求項１に記載の開閉弁であって、
前記ハンドルは、略ひし形状に形成されていることを特徴とする開閉弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ドライエッチング装置に用いられるガスや、ウエットエッチング装置に用いられる液体等の流体の流路を開閉するための開閉弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記した開閉弁は、流体の流路を開閉するためのハンドルを有する。例えば、ハンドルを９０°回動させることにより流路が全開状態になり、ハンドルを元の位置に戻すことにより流路が全閉状態となる。流路の全開状態及び全閉状態を固定する目的のため、特許文献１に記載のように、回動可能なハンドルに加えられた摩擦抵抗により、任意の位置でハンドルを停止させている。摩擦抵抗を利用するので、ハンドルに外部からの力が加わらなければ任意の位置を維持することが可能となる。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３７３４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、気づかずにハンドルに触れてしまったときにハンドルが回動し、全開状態の流路が狭くなって流量が減少したり、全閉状態の流路が開いてガス漏れが発生したりするという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、誤ってハンドルに接触した場合に弁の開閉を防止することができる開閉弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係る開閉弁は、流体を流すための流路と、前記流路を開閉するための弁体と、前記流路を固定的に支持するためのハウジングと、前記ハウジングに対する回動により、前記流路に対する前記弁体の位置を変えるためのハンドルと、前記ハウジング及び前記ハンドルの一方に設けられた第１嵌合部及び他方に設けられた第２嵌合部であって、相互間の嵌合により前記ハウジングに対する前記ハンドルの位置を固定する前記第１嵌合部及び前記第２嵌合部とを含む。
【０００７】
この構成によれば、第１嵌合部及び第２嵌合部の嵌合により、ハウジングに対するハンドルの位置を固定し、流路に対する弁体の位置を固定することにより、気づかずにハンドルに触れたとしてもハンドルが回動することを抑えることが可能となる。これにより、本来あるべき流路の状態が維持されるので、流路が狭くなって流体の流量が減少したり、流路が開いて流体漏れが発生したりすることを低減することができる。
【０００８】
本発明に係る開閉弁は、前記第１嵌合部は、凸部又は凹部のうち一方が形成されており、前記第２嵌合部は、前記凸部又は前記凹部のうち他方が形成されるようにしてもよい。
【０００９】
この構成によれば、凸部と凹部との嵌合によって、ハウジングに対するハンドルの位置を固定し、流路に対する弁体の位置を固定することにより、気づかずにハンドルに触れたとしてもハンドルが回動することを抑えることができる。
【００１０】
本発明に係る開閉弁は、前記ハンドルは、前記回動可能な角度が９０°であり、前記ハンドルを時計方向に回し切ることにより前記流路が全開状態又は全閉状態のうち一方の状態になり、前記ハンドルを反時計方向に回し切ることにより前記流路が前記全開状態又は前記全閉状態のうち他方の状態になる。
【００１１】
この構成によれば、ハンドルを時計方向又は反時計方向に９０°回動させて、流路の全開状態と全閉状態とを切り替えるので、ハンドルが指す向きによって前記状態を判断することが可能となり、流路の状態を一目で確認することができる。加えて、本来あるべき流路の状態が維持されるので、全開状態であるべき流路が狭くなって流体の流量が減少したり、全閉状態であるべき流路が開いて流体漏れが発生したりすることを低減することができる。
【００１２】
本発明に係る開閉弁は、前記第１嵌合部及び前記第２嵌合部は、弾性部材の付勢力によって前記相互間の嵌合が行われることが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、弾性部材によって相互間が嵌合されるので、第１嵌合部と第２嵌合部とが外れにくく、これにより、気づかずにハンドルに触れたとしてもハンドルが回動することをより抑えることが可能となる。
【００１４】
本発明に係る開閉弁は、前記ハンドルは、略ひし形状に形成されていることが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、ハンドルがひし形状に形成されているので、ハンドルを回動させたとき、ひし形の長手方向が指す向きによって流路の状態を判断することが可能となり、一目で確認することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る開閉弁の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１は、開閉弁の構造を示す模式図である。同図（ａ）は、開閉弁を上方からみた模式平面図であり、同図（ｂ）は、開閉弁の構造を示す模式断面図である。以下、開閉弁の構造を、図１を参照しながら説明する。
【００１８】
図１に示すように、開閉弁１１は、スピンドル１２と、ハンドル１３と、ハウジング１４とを有し、例えば、ドライエッチング装置やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置などの流体である高圧ガスを使用する場所に用いられる。
【００１９】
スピンドル１２は、弁体３１に接続されており、摺動突起部１５と、ツバ１６とを有する。スピンドル１２を回動させることにより、スピンドルに形成された図示しないネジによってスピンドル１２が上下し、弁体３１の開閉が行われる。スピンドル１２は、例えば、９０°の範囲で回動することが可能となっている。例えば、スピンドル１２を時計方向に回し切ることによりスピンドル１２が下降して流路３２が全閉状態になる。一方、スピンドル１２を反時計方向に回し切ることによりスピンドル１２が上昇して流路３２が全開状態になる。
【００２０】
摺動突起部１５は、スピンドル１２の側面に等間隔で４つ形成されている。摺動突起部１５は、略台形形状（又は円弧状）からなり、スピンドル１２の長手方向をハンドル１３が上下にスライドする長さ分に形成されている。
【００２１】
ツバ１６は、円板状からなり、スピンドル１２の上側に設けられている。ツバ１６は、スピンドル１２に沿って上方にスライド移動したハンドル１３が、スピンドル１２から外れないようにするために用いられる。
【００２２】
ハンドル１３は、ハンドル１３に連動させてスピンドル１２を回動し、弁体３１を開閉させるために用いられる。ハンドル１３は、スピンドル１２を中心に９０°の範囲で回動させることが可能となっている。例えば、上記したように、ハンドル１３を時計方向に回し切ることで流路３２が全閉状態になる。一方、ハンドル１３を反時計方向に回し切ることで流路３２が全開状態になる。
【００２３】
ハンドル１３は、流路３２の全開状態と全閉状態を視認しやすくするために、略ひし形状に形成されている（図１（ａ）参照）。例えば、ひし形状の長手方向が指す向き（矢印）をみて、全開状態及び全閉状態を判断している。ハンドル１３には、摺動孔１７と、第２嵌合部である嵌合凹部１８と、ザグリ穴１９とを有する。
【００２４】
摺動孔１７は、スピンドル１２と嵌合させるために設けられており、ハンドル１３の中心に形成されている。摺動孔１７には、ハンドル１３の高さ方向に等間隔をおいて摺動溝部２０が４つ形成されている。ハンドル１３は、摺動孔１７にスピンドル１２を、及び、摺動溝部２０に摺動突起部１５を挿入することにより、スピンドル１２を追従させて動作させることが可能となっている。詳述すると、ハンドル１３は、スピンドル１２に対し上下方向にスライド移動させることができるとともに、スピンドル１２を回動させて弁体３１の開閉を行うことが可能となっている。
【００２５】
嵌合凹部１８は、凹状からなり、ハンドル１３の下面端部に等間隔で４つ形成されている。嵌合凹部１８は、第１嵌合部である嵌合凸部２１に嵌ることにより、ハンドル１３の回動動作を固定させて、流路３２の全開状態及び全閉状態を維持するために設けられている。
【００２６】
ザグリ穴１９は、ハンドル１３中心に形成されている。ザグリ穴１９は、スピンドル１２に設けられたツバ１６との間でハンドル１３を上下方向にスライド移動させるために形成されている。また、ザグリ穴１９は、ザグリ穴１９の底部がツバ１６に当たることにより、スピンドル１２から外れないようにするために用いられる。
【００２７】
ハウジング（ケース）１４は、スピンドル１２に接続されている、弁体３１を外部環境から保護するために設けられている。ハウジング１４の上面には、ハンドル１３に形成された嵌合凹部１８と係合するための第１嵌合部である嵌合凸部２１が、端部に等間隔で４つ設けられている。嵌合凸部２１は、凸状に形成されている。嵌合凸部２１と嵌合凹部１８とが合わさることにより、ハンドル１３の回動が固定（規制）される。
【００２８】
図２は、ハンドルの操作方法を示す模式断面図である。以下、ハンドルの操作方法を、図２を参照しながら説明する。
【００２９】
図２に示すように、工程１１では、弁体３１を閉めた状態で待機する。このとき、ハンドル１３に形成された２つの嵌合凹部１８と、ハウジング１４に形成された２つの嵌合凸部２１ａとが合わさった（嵌った）状態になっている。これにより、ハンドル１３に誤って接触した場合であっても、ハンドル１３を上昇させて嵌合凹部１８と嵌合凸部２１ａとを外さなければハンドル１３の回動動作を規制しているので、ハンドル１３が回動することを抑え、弁体３１が開くことを低減できる。よって、例えば、高圧ガスが漏れることを低減できる。
【００３０】
工程１２では、ハンドル１３を「開」方向に回動する。まず、ハンドル１３をスピンドル１２の上方位置まで上昇させる。これにより、ハウジング１４の嵌合凸部２１ａからハンドル１３の嵌合凹部１８が離れ、ハンドル１３を回動させることが可能な状態となる。次に、スピンドル１２の上方位置において、ハンドル１３を反時計方向（「開」方向）に９０°回動させる。ハンドル１３の回動動作に連動して、スピンドル１２が９０°回動する。これにより、弁体３１が全開状態になり、例えば、高圧ガスが流れる。
【００３１】
工程１３では、ハンドル１３が回動しないように固定する。まず、ハンドル１３を下降させて、ハンドル１３に形成された嵌合凹部１８を、ハウジング１４に形成された嵌合凸部２１ｂに嵌め合わせる。これにより、ハンドル１３の回動動作が規制され、ハンドル１３を持ち上げて嵌合凸部２１ｂから嵌合凹部１８を外さない状態であれば、弁体３１の全開状態を維持することができる。よって、誤ってハンドル１３に触れたとしても、流路３２の全開状態から流路３２が狭められることを低減できる。
【００３２】
以上詳述したように、本実施形態の開閉弁１１によれば、以下に示す効果が得られる。
（１）本実施形態によれば、ハンドル１３に形成された嵌合凹部１８がハウジング１４に形成された嵌合凸部２１ａ，２１ｂに嵌ることにより、ハウジング１４に対するハンドル１３の位置を固定し、流路３２に対する弁体３１の位置を固定することにより、気づかずにハンドル１３に触れたとしても、ハンドル１３が回動することを抑えることが可能となる。これにより、本来あるべき流路３２の状態が維持されるので、全開状態であるべき流路３２が狭くなって高圧ガスの流量が減少したり、全閉状態であるべき流路３２が開いて高圧ガスが漏れることを低減することができる。
【００３３】
（２）本実施形態によれば、ハンドル１３の形状が略ひし形状であり、９０°の範囲で全開状態と全閉状態とを切り替えるので、ハンドル１３が指す向き（矢印）によって流路３２の状態を簡単に視認することができる。よって、本来あるべき流路３２の状態を維持できる効果に加えて、全開状態又は全閉状態の判断を簡単に行うことができる。
また、ハウジング１４の嵌合凸部２１ａ，２１ｂにハンドル１３の嵌合凹部１８を嵌め合わせるだけの機構なので、開閉弁１１の構造を比較的簡単にすることができ、開閉弁１１を小型化することが可能となる。よって、開閉弁１１を含む半導体製造装置を集積することが可能となり、生産性を向上させることができる。
【００３４】
（変形例１）上記したように、ハウジング１４の嵌合凸部２１とハンドル１３の嵌合凹部１８とは、ハンドル１３をハウジング１４側へ押えることで、嵌合凸部２１に嵌合凹部１８を嵌め合わせている。これを、図３に示すように、弾性部材であるスプリング５２によって、ハンドル１３をハウジング１４側に付勢させることで、嵌合凸部２１に嵌合凹部１８を嵌め合わせるようにしてもよい。変形例１の開閉弁５１は、スピンドル１２における、ハンドル１３のザグリ穴１９とツバ１６との間にスプリング５２が挿入されている点が、上記した開閉弁１１と異なる。以下、開閉弁５１の使用方法を、図３を参照しながら説明する。
【００３５】
まず、工程２１では、図示しない弁体３１を閉じた状態で待機する。このとき、スプリング５２によってハンドル１３がハウジング１４側に付勢されているので、ハウジング１４の嵌合凸部２１ａからハンドル１３の嵌合凹部１８が外れにくくなっている。これにより、ハンドル１３に誤って接触した場合であっても、ハンドル１３が回動することによる弁体３１の状態が変化することを、より低減できる。
【００３６】
工程２２では、ハンドル１３を「開」方向（反時計回り）に回動する。まず、ハンドル１３を上昇させることにより、スプリング５２を撓ませ、嵌合凹部１８と嵌合凸部２１ａとを引き離す。次に、スピンドル１２の上方位置において、ハンドル１３を反時計方向（「開」方向）に回動させて、流路３２を全開状態にする。これにより、例えば、高圧ガスが流れる。
【００３７】
工程２３では、ハンドル１３が回動しないように固定する。まず、スプリング５２によってハウジング１４側に付勢されたハンドル１３を、ハンドル１３の嵌合凹部１８とハウジング１４の嵌合凸部２１ｂとが嵌るように下降させる。これにより、ハンドル１３の回動動作が規制される。更に、スプリング５２によって、ハンドル１３がハウジング１４側に付勢されていることにより、誤ってハンドル１３に触れたとしても、ハンドル１３が回動することをより低減させることができる。
【００３８】
（変形例２）上記したように、開閉弁１１は、ハンドル１３を時計方向に回し切ることで全閉状態にし、反時計方向に回し切ることで全開状態にしている。これを、全開状態と全閉状態との方向が逆になるような設定であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】一実施形態における、開閉弁の構造を示す模式図。同図（ａ）は、開閉弁を上方からみた模式平面図、同図（ｂ）は、開閉弁の構造を示す模式断面図。
【図２】開閉弁の操作方法を示す模式断面図。
【図３】開閉弁の変形例を示す模式断面図。
【符号の説明】
【００４０】
１１…開閉弁、１２…開閉弁を構成するスピンドル、１３…ハンドル、１４…ハウジング、１５…スピンドルを構成する摺動突起部、１６…スピンドルを構成するツバ、１７…ハンドルを構成する摺動孔、１８…第２嵌合部である嵌合凹部、１９…ハンドルを構成するザグリ穴、２０…ハンドルを構成する摺動溝部、２１…第１嵌合部である嵌合凸部、３１…弁体、３２…流路、５２…弾性部材であるスプリング。
【図１】
2006250228.tif 000003
【図２】
2006250228.tif 000004
【図３】
2006250228.tif 000005