(57)【要約】【課題】  被検査体の検査のためのセッティングが容易でしかも精度よく検出することができる非破壊検査装置の検査方法及び非破壊検査装置を提供する。【解決手段】  ミリ波送信部４のホーン３４に対してそのミリ波の出射方向（Ｘ軸線方向）に対する被検査載置部３の被検査体Ｓとミリ波受信部５の受信アンテナ６１との位置を位置決めする。ホーン３４から出射されるミリ波をシリンドリカルレンズ４１にてその出射方向と直交するＺ軸線方向にのびるライン状のミリ波にして被検査体Ｓに入射させる。そして、ミリ波送信部４を静止させた状態で、ミリ波受信部５の受信アンテナ６１を、被検査体Ｓに入射させたライン状のミリ波ののびるＺ軸線方向に移動させて、被検査体Ｓを透過したミリ波をミリ波受信部５の受信アンテナ６１にて受信する。【選択図】  図１
2006098347.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を載置する被検査載置部と、
ミリ波発振器、導波管及びホーンを備え、前記被検査体にミリ波を出射するためのミリ波送信部と、
受信アンテナ及びミリ波受信器を備え、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するためのミリ波受信部と、
前記ミリ波受信部が受信したミリ波に基づく検出信号を入力し、その検出信号に基づいて前記被検査体を解析する解析手段と、
を備えた非破壊検査装置の検査方法において、
前記ミリ波送信部に対してそのミリ波の出射方向に対する前記被検査載置部と前記ミリ波受信部との位置を位置決めした後、
前記ミリ波送信部を静止させた状態で、前記被検査載置部又は前記ミリ波受信部のいずれか一方を、前記ミリ波の出射方向と直交する方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を前記ミリ波受信部にて受信するようにしたことを特徴とする非破壊検査装置の検査方法。
【請求項２】
被検査体を載置する被検査載置部と、
ミリ波発振器、導波管及びホーンを備え、前記被検査体にミリ波を出射するためのミリ波送信部と、
受信アンテナ及びミリ波受信器を備え、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するためのミリ波受信部と、
前記ミリ波受信部が受信したミリ波に基づく検出信号を入力し、その検出信号に基づいて前記被検査体を解析する解析手段と、
を備えた非破壊検査装置の検査方法において、
前記ミリ波送信部に対してそのミリ波の出射方向に対する前記被検査載置部と前記ミリ波受信部との位置を位置決めした後、
前記ホーンから出射されるミリ波をその出射方向と直交する方向にのびるライン状のミリ波にして前記被検査体に入射させるとともに、前記ミリ波送信部を静止させた状態で、前記ミリ波受信部を、前記被検査体に入射させたライン状のミリ波ののびる方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を前記ミリ波受信部にて受信するようにしたことを特徴とする非破壊検査装置の検査方法。
【請求項３】
請求項２に記載の非破壊検査装置の検査方法において、
前記ミリ波受信部を、前記被検査体に入射させたライン状のミリ波ののびる方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信した後、
前記被検査体を、前記ミリ波受信部の移動方向及び前記ミリ波の出射方向と直交する方向に移動させて前記被検査体の新たな部分にライン状のミリ波を入射させ、再び前記ミリ波受信部を、前記被検査体に入射させたライン状のミリ波ののびる方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するようにしたことを特徴とする非破壊検査装置の検査方法。
【請求項４】
被検査体を載置し、その被検査体をＹ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第１の移動手段を備えた被検査載置部と、
ミリ波発振器、導波管及びホーンを備えるとともに、そのミリ波発振器、導波管及びホーンをＸ軸線方向、Ｙ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第２の移動手段を備え、前記ホーンに対して前記Ｘ軸線方向に配置された前記被検査体にミリ波を出射するためのミリ波送信部と、
受信アンテナ及びミリ波受信器を備えるとともに、その受信アンテナ及びミリ波受信器をＸ軸線方向、Ｙ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第３の移動手段を備え、前記被検査
体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するためのミリ波受信部と、
前記ミリ波受信部が受信したミリ波に基づく検出信号を入力し、その検出信号に基づいて前記被検査体を解析する解析手段と、
を備えた非破壊検査装置において、
前記ミリ波送信部を静止させた状態で前記ホーンから前記被検査体にミリ波を入射してその被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を前記ミリ波受信部の受信アンテナにて受信させるために前記被検査体又は前記受信アンテナのいずれか一方を、前記Ｙ軸線又はＺ軸線方向に移動させるための制御手段を設けたことを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項５】
被検査体を載置し、その被検査体をＹ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第１の移動手段を備えた被検査載置部と、
ミリ波発振器、導波管及びホーンを備えるとともに、そのミリ波発振器、導波管及びホーンをＸ軸線方向、Ｙ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第２の移動手段を備え、前記ホーンに対して前記Ｘ軸線方向に配置された前記被検査体にミリ波を出射するためのミリ波送信部と、
受信アンテナ及びミリ波受信器を備えるとともに、その受信アンテナ及びミリ波受信器をＸ軸線方向、Ｙ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第３の移動手段を備え、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するためのミリ波受信部と、
前記ミリ波受信部が受信したミリ波に基づく検出信号を入力し、その検出信号に基づいて前記被検査体を解析する解析手段と、
を備えた非破壊検査装置において、
前記ホーンから出射されるミリ波をその出射方向と直交するＹ軸線方向又はＺ軸線方向にのびるライン状のミリ波にして前記被検査体に入射させるミリ波整形手段と、
前記ミリ波送信部を静止させた状態で前記ホーンから前記被検査体にミリ波を入射してその被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を前記ミリ波受信部の受信アンテナにて受信させるために前記受信アンテナを、前記被検査体に入射されたライン状にのびるミリ波のそののびるＹ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させるための制御手段を設けたことを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の非破壊検査装置において、
前記制御手段は、前記受信アンテナを、前記被検査体に入射させたライン状にのびるミリ波ののびるＹ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信した後、前記被検査体を、Ｙ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させ、再び受信アンテナを、前記被検査体に新たに入射させたライン状のミリ波ののびるＹ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させることを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載の非破壊検査装置において、
前記ミリ波整形手段は、シリンドリカルレンズであることを特徴とする非破壊検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査媒体としてミリ波を用いる非破壊検査装置の検査方法及び非破壊検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被検査体を非破壊で検査する装置としては、可視光線、Ｘ線を検査媒体として被検査体に照射し、被検査体からの反射波、散乱波、又は透過波を解析することで評価する非破壊検査装置が知られている。
【０００３】
ところで、検査媒体として被検査体に照射される可視光線は、物体に対する透過性が弱いため、被検査体の内部を正確に評価する場合には適さない。一方、Ｘ線は、物体の透過性を有しているが、被爆の危険性を伴っている。
【０００４】
そこで、可視光線とＸ線の利点を併せ持つミリ波が検査媒体として注目されている。ミリ波は３０ＧＨｚから３００ＧＨｚまでの周波数域の電磁波であり、物体に対する透過性があり、被爆の恐れが無いことから、ミリ波を使った非破壊検査装置が種々提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２）。
【特許文献１】特開平７−２６０９４４号公報
【特許文献２】特開平１１−８３９９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、検査媒体が可視光線やＸ線のように、波長がナノメートル単位以下であれば、検査に使用する検査媒体の周波数に応じて波長が変化したとしても、その変化はナノメートル単位以下であるため装置のサイズを調節することなく検査が可能である。ところが、ミリ波の場合は、周波数に応じてミリメートル単位で波長が変化するため、その変化を無視することはできず、波長に合わせて構成部材を最適なサイズに調整する必要がある。
【０００６】
従って、上記の非破壊検査装置では、被検査体に対するミリ波送信手段の位置調整及び被検査体に対するミリ波受信手段の位置合わせは、非常に難しく容易に行えなかった。また、上記の非破壊検査装置では、検査中の位置合わせに限界があり精度の高い検査は行えなかった。
【０００７】
また、例えば検査の前段階において被検査体の特性に適した周波数を調べる場合、ミリ波の周波数を切り換える際には、ミリ波が波長によって広がり角度が異なるため、効率的にミリ波を送信するために、ミリ波送信手段を最適なサイズに交換する必要がある。さらに、導波管はミリ波の位相ずれを防ぐために、波長の整数倍の長さにする必要があり、さらに、導波管は直線状の伝搬通路を有する金属製部材であるため、ミリ波送信手段の光軸位置に応じて発振器への取付位置を変動させる必要が生じる。
【０００８】
以上のように、非破壊検査装置においてミリ波を利用することで、様々な利点が得られるものの、周波数に応じて装置構成部材を交換する必要がある。事実、被検査体の誘電体特性はミリ波周波数によって大きく異なるため、正確な検査を実施する目的で、被検査体の特性に応じた最適なミリ波周波数を評価する場合にはそのセッティングに多大な手間がかかっていた。
【０００９】
本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は被検査体の検査のための
セッティングが容易でしかも精度よく検出することができる非破壊検査装置の検査方法及び非破壊検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１の発明は、被検査体を載置する被検査載置部と、ミリ波発振器、導波管及びホーンを備え、前記被検査体にミリ波を出射するためのミリ波送信部と、受信アンテナ及びミリ波受信器を備え、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するためのミリ波受信部と、前記ミリ波受信部が受信したミリ波に基づく検出信号を入力し、その検出信号に基づいて前記被検査体を解析する解析手段とを備えた非破壊検査装置の検査方法において、前記ミリ波送信部に対してそのミリ波の出射方向に対する前記被検査載置部と前記ミリ波受信部との位置を位置決めした後、前記ミリ波送信部を静止させた状態で、前記被検査載置部又は前記ミリ波受信部のいずれか一方を、前記ミリ波の出射方向と直交する方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を前記ミリ波受信部にて受信するようにした。
【００１１】
請求項２の発明は、被検査体を載置する被検査載置部と、ミリ波発振器、導波管及びホーンを備え、前記被検査体にミリ波を出射するためのミリ波送信部と、受信アンテナ及びミリ波受信器を備え、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するためのミリ波受信部と、前記ミリ波受信部が受信したミリ波に基づく検出信号を入力し、その検出信号に基づいて前記被検査体を解析する解析手段とを備えた非破壊検査装置の検査方法において、前記ミリ波送信部に対してそのミリ波の出射方向に対する前記被検査載置部と前記ミリ波受信部との位置を位置決めした後、前記ホーンから出射されるミリ波をその出射方向と直交する方向にのびるライン状のミリ波にして前記被検査体に入射させるとともに、前記ミリ波送信部を静止させた状態で、前記ミリ波受信部を、前記被検査体に入射させたライン状のミリ波がのびる方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を前記ミリ波受信部にて受信するようにした。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項２に記載の非破壊検査装置の検査方法において、前記ミリ波受信部を、前記被検査体に入射させたライン状のミリ波がのびる方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信した後、前記被検査体を、前記ミリ波受信部の移動方向及び前記ミリ波の出射方向と直交する方向に移動させて前記被検査体の新たな部分にライン状のミリ波を入射させ、再び前記ミリ波受信部を、前記被検査体に入射させたライン状のミリ波がのびる方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するようにした。
【００１３】
請求項４の発明は、被検査体を載置し、その被検査体をＹ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第１の移動手段を備えた被検査載置部と、ミリ波発振器、導波管及びホーンを備えるとともに、そのミリ波発振器、導波管及びホーンをＸ軸線方向、Ｙ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第２の移動手段を備え、前記ホーンに対して前記Ｘ軸線方向に配置された前記被検査体にミリ波を出射するためのミリ波送信部と、受信アンテナ及びミリ波受信器を備えるとともに、その受信アンテナ及びミリ波受信器をＸ軸線方向、Ｙ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第３の移動手段を備え、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するためのミリ波受信部と、前記ミリ波受信部が受信したミリ波に基づく検出信号を入力し、その検出信号に基づいて前記被検査体を解析する解析手段とを備えた非破壊検査装置において、前記ミリ波送信部を静止させた状態で前記ホーンから前記被検査体にミリ波を入射してその被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を前記ミリ波受信部の受信アンテナにて受信させるために前記被検査体又は前記受信アンテナのいずれか一方を、前記Ｙ軸線又はＺ軸線方向に移動させるための制御手段を設けた。
【００１４】
請求項５の発明は、被検査体を載置し、その被検査体をＹ軸線方向及びＺ軸線方向に移
動する第１の移動手段を備えた被検査載置部と、ミリ波発振器、導波管及びホーンを備えるとともに、そのミリ波発振器、導波管及びホーンをＸ軸線方向、Ｙ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第２の移動手段を備え、前記ホーンに対して前記Ｘ軸線方向に配置された前記被検査体にミリ波を出射するためのミリ波送信部と、受信アンテナ及びミリ波受信器を備えるとともに、その受信アンテナ及びミリ波受信器をＸ軸線方向、Ｙ軸線方向及びＺ軸線方向に移動する第３の移動手段を備え、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信するためのミリ波受信部と、前記ミリ波受信部が受信したミリ波に基づく検出信号を入力し、その検出信号に基づいて前記被検査体を解析する解析手段とを備えた非破壊検査装置において、前記ホーンから出射されるミリ波をその出射方向と直交するＹ軸線方向又はＺ軸線方向にのびるライン状のミリ波にして前記被検査体に入射させるミリ波整形手段と、前記ミリ波送信部を静止させた状態で前記ホーンから前記被検査体にミリ波を入射してその被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を前記ミリ波受信部の受信アンテナにて受信させるために前記受信アンテナを、前記被検査体に入射されたライン状にのびるミリ波のそののびるＹ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させるための制御手段を設けた。
【００１５】
請求項６の発明は、請求項５に記載の非破壊検査装置において、前記制御手段は、前記受信アンテナを、前記被検査体に入射させたライン状にのびるミリ波ののびるＹ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させて、前記被検査体を透過、反射、又は散乱したミリ波を受信した後、前記被検査体を、Ｙ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させ、再び受信アンテナを、前記被検査体に新たに入射させたライン状のミリ波ののびるＹ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させるようにした。
【００１６】
請求項７の発明は、請求項５又は請求項６に記載の非破壊検査装置において、前記ミリ波整形手段を、シリンドリカルレンズとした。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１の発明によれば、予め、ミリ波送信部に対する被検査載置部とミリ波受信部との位置決めをしておき、ミリ波送信部を静止させた状態のまま、被検査載置部又はミリ波受信手段のいずれか一方のみを動かすだけで非破壊検査を行えるため、被検査体の検査のためのセッティングが容易となり、さらに、被検査載置部又はミリ波受信手段のいずれか一方は、ミリ波の出射方向に直行する方向に移動させるため、位相等のずれが無く、精度の高い検査を行うことができる。
【００１８】
請求項２の発明によれば、予め、ミリ波送信部に対する被検査載置部とミリ波受信部との位置決めをしておき、ミリ波送信部を静止させた状態のまま、ミリ波の出射方向に直行する方向にのびるライン状のミリ波にしてから、被検査体に出射するようにしたので、被検査体を移動させずに、ライン状にのびたミリ波が透過される範囲内で受信アンテナのみを移動させるだけで、被検査体のミリ波が入射された範囲を連続して検査できるため、被検査体の検査のためのセッティングが容易となり、かつ検査スピードを速くすることができる。また、静止されたミリ波送信部と被検査体に対して、受信アンテナは、ミリ波の出射方向に直行する方向に移動させるため、位相等のずれが無く、精度の高い検査を行うことができる。さらに、ミリ波の出射方向に直行する方向にのびるライン状にミリ波を収束させることで、ミリ波受信部では高値で安定した検出信号を得ることが可能となる。
【００１９】
請求項３の発明によれば、予め、ミリ波送信部に対する被検査載置部とミリ波受信部との位置決めをしておき、ミリ波送信部を静止させた状態のまま、ミリ波の出射方向に直行する方向にのびるライン状のミリ波にしてから、被検査体に出射するようにしたので、被検査体を移動させずに、ライン状にのびたミリ波が透過される範囲内でミリ波受信部のみを移動させるだけで、被検査体のミリ波が入射された範囲を連続して検査できる。この範
囲での検査が終了した時点で、被検査体を、ミリ波が出射される方向と直行する方向に移動させることで、被検査体における新たな範囲を検査することができる。被検査体は、ミリ波が出射される方向と垂直な方向に移動するので、ミリ波送信部からミリ波が出射される方向で、ミリ波がライン状に収束される位置を保持したまま検査することができる。また、静止されたミリ波送信部と被検査体に対して、ミリ波受信部は、ミリ波の出射方向に直行する方向に移動させるため、位相等のずれが無く、精度の高い検査を行うことができる。さらに、ミリ波の出射方向に直行する方向にのびるライン状にミリ波を収束させることで、ミリ波受信部では高値で安定した検出信号を得ることが可能となる。
【００２０】
請求項４の発明によれば、ホーンを静止した状態のままで非破壊検査を行う装置であるため、被検査体又は受信アンテナのいずれか一方をＹ軸線方向又はＺ軸線方向へ移動させるだけで被検査体の検査を行うことができ、制御を容易とすることができる。また、被検査体及び受信アンテナはＸ軸線方向へ移動されないため、位相等がずれることはなく、精度の高い検査が行われる。
【００２１】
請求項５の発明によれば、ホーンを静止させた状態のまま、Ｙ軸線方向又はＺ軸線方向にのびるライン状のミリ波にしてから、被検査体に入射するようにしたので、被検査体を移動させずに、ライン状にのびたミリ波が透過される範囲内で受信アンテナのみを移動させるだけで、被検査体のミリ波が入射された範囲を連続して検査できるため、被検査体の検査のためのセッティングが容易となり、かつ検査スピードを速くすることができる。また、静止されたホーンと被検査体に対して、受信アンテナは、Ｙ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させるため、位相等のずれが無く、精度の高い検査を行うことができる。さらに、ミリ波をライン状に収束させることで、解析手段には、高値で安定した検出信号を入力することが可能となる。
【００２２】
請求項６の発明によれば、ホーンを静止させた状態のまま、Ｙ軸線方向又はＺ軸線方向にのびるライン状のミリ波にしてから、被検査体に入射するようにしたので、被検査体を移動させずに、ライン状にのびたミリ波が透過される範囲内で受信アンテナのみを移動させるだけで、被検査体のミリ波が出射された範囲を連続して検査できる。この範囲での検査が終了した時点で、被検査体を、Ｙ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させることで、被検査体における新たな範囲を検査することができる。被検査体は、Ｙ軸線方向又はＺ軸線方向に移動するので、Ｘ軸線方向で、ミリ波がライン状に収束される位置を保持したまま検査することができる。また、静止されたホーンと被検査体に対して、受信アンテナは、Ｙ軸線方向又はＺ軸線方向に移動させるため、位相等のずれが無く、精度の高い検査を行うことができる。さらに、Ｙ軸線方向又はＺ軸線方向にのびるライン状にミリ波を収束させることで、解析手段には、高値で安定した検出信号を入力することが可能となる。
【００２３】
請求項７の発明によれば、ミリ波整形手段をシリンドリカルレンズにしたことによって、簡単な構成によって、ミリ波の出射方向と直交するＹ軸線方向又はＺ軸線方向にのびるライン状にミリ波を整形することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施形態に係る非破壊検査装置について、図面に従って説明する。
図１は、非破壊検査装置の構成を説明するための要部全体斜視図を示す。図１において、非破壊検査装置（以下、単に検査装置という）１は、そのテーブル２上に、大きく分けて、被検査体Ｓを載置する被検査載置部３、被検査体Ｓにミリ波を照射するミリ波送信部４と及び被検査体Ｓによって反射された反射波や、散乱された散乱波、又は透過した透過波を受信するミリ波受信部５がＸ軸線方向に併設されている。
【００２５】
（被検査載置部３）
被検査載置部３は、その基台１１がテーブル２に固定されている。基台１１は、枠体であって、その枠内であってＸ軸線方向と直交するＹ軸線方向に第１のスクリュウネジ１２を回転可能に支持している。第１のスクリュウネジ１２は、基台１１の外側に取着した第１のモータＭ１によって正逆回転する。前記基台１１には、第１の支持台１３がＹ軸線方向にのみ移動可能に載置されている。第１の支持台１３の基端部は、基台１１の枠内に嵌合するとともに、前記第１のスクリュウネジ１２に螺合している。従って、第１のスクリュウネジ１２が第１のモータＭ１によって正逆回転すると、第１の支持台１３は、基台１１に対してＹ軸線方向に往復移動する。
【００２６】
第１の支持台１３は、Ｚ軸線方向（Ｘ軸線とＹ軸線とで形成される面に対して垂直な軸線）に延びた枠体であって、その枠内であってＺ軸線方向に第２のスクリュウネジ１４を回転可能に支持している。第２のスクリュウネジ１４は、第１の支持台１３の上面に取着した第２のモータＭ２によって正逆回転する。第１の支持台１３には、第１の昇降ブロック１５がＺ軸線方向にのみ移動可能に取着されている。第１の昇降ブロック１５の基端部は、第１の支持台１３の枠内に嵌合するとともに、前記第２のスクリュウネジ１４に螺合している。従って、第２のスクリュウネジ１４が第２のモータＭ２によって正逆回転すると、第１の昇降ブロック１５は、第１の支持台１３に対してＺ軸線方向に往復移動する。
【００２７】
第１の昇降ブロック１５には、載置台１６が固着されている。載置台１６は、Ｌ字状に折り曲げた板よりなり、Ｘ軸線とＹ軸線とで形成される面と平行な部分を載置部１６ａとしその載置部１６ａに被検査体Ｓが載置される。従って、載置部１６ａに載置された被検査体Ｓは予め定めた範囲内で、Ｙ，Ｚ軸線方向に位置調整されることになる。即ち、基台１１、第１及び第２のスクリュウネジ１２，１４、第１の支持台１３、第１の昇降ブロック１５、第１及び第２のモータＭ１，Ｍ２は、第１の移動手段を構成するようになっている。
【００２８】
（ミリ波送信部４）
被検査載置部３の一側にはミリ波送信部４が設けられている。ミリ波送信部４は、前記テーブル２に固定されたレール２１を備えている。レール２１は、Ｘ軸線方向に延び、そのレール２１上に第１のレールキャリア２２が同レール２１に沿って（Ｘ軸線方向に）往復移動可能に載置されている。第１のレールキャリア２２上には基台２３が固着されている。
【００２９】
基台２３には、その上面中央からＺ軸線方向に突出した第３のスクリュウネジ２４が回転可能に支持されている。第３のスクリュウネジ２４は、基台２３の側面に設けた調整つまみ２５によって正逆回転する。また、基台２３には、その上面一側に第３のスクリュウネジ２４と平行にガイドバー２６が突出形成されている。
【００３０】
前記ガイドバー２６は、Ｚ軸方向移動台２７を貫通支持している。Ｚ軸方向移動台２７は、ガイドバー２６に沿って上下方向（Ｚ軸線方向）に往復移動可能に支持されている。また、Ｚ軸方向移動台２７は、第３のスクリュウネジ２４が螺合されている。従って、第３のスクリュウネジ２４が調整つまみ２５によって正逆回転すると、Ｚ軸方向移動台２７は、第３のスクリュウネジ２４に連れ回りされることなくガイドバー２６に沿って上下方向（Ｚ軸線方向）に往復移動する。
【００３１】
Ｚ軸方向移動台２７の上面には、Ｙ軸線方向に溝が形成されており、Ｚ軸方向移動台２７の側面には、調整つまみ２８が設けられている。Ｚ軸方向移動台２７の上面には、その溝に沿ってＹ軸方向移動台２９がＹ軸線方向に往復移動可能に載置されている。Ｙ軸方向移動台２９は、その下面にはＹ軸方向にのびた凸部がＺ軸方向移動台２７に形成した溝に嵌合している。そして、Ｙ軸方向移動台２９は、Ｚ軸方向移動台２７の側面に設けた調整
つまみ２８によって、Ｚ軸方向移動台２７とＹ軸方向移動台２９との間に設けた図示しない駆動機構を介してＹ軸線方向に往復移動する。Ｙ軸方向移動台２９の上面には、第２の支持台３０が固定されて、その第２の支持台３０の上側にはミリ波送信部ステージ３１が支持固定されている。従って、ミリ波送信部ステージ３１は、予め定めた範囲内で、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸線方向に位置調整されることになる。
【００３２】
ミリ波送信部ステージ３１には、ミリ波発振器３２が載置されている。ミリ波発振器３２は、ミリ波送信部ステージ３１に立設した８個の固定部材３５に取着したミリ波発振器用固定冶具３６によってミリ波送信部ステージ３１に対して位置決め固定されている。固定部材３５は、ミリ波発振器用固定冶具３６をミリ波送信部ステージ３１に対して平行に固定するために、２個一組としてミリ波送信部ステージ３１にそれぞれ立設されている。
【００３３】
また、ミリ波送信部ステージ３１であって前記被検査載置部３側には、ホーン３４が被検査載置部３の被検査体Ｓと対峙するように載置されている。ホーン３４は、ミリ波送信部ステージ３１に立設した２個の固定部材３５に取着したホーン用固定冶具３７によってミリ波送信部ステージ３１に対して位置決め固定されている。ホーン３４は、導波管３３を介してミリ波発振器３２と連結されている。従って、ミリ波送信部ステージ３１に対して位置決め固定されたミリ波発振器３２、導波管３３及びホーン３４は、予め定めた範囲内で、Ｘ、Ｙ，Ｚ軸線方向に位置調整されることになる。即ち、レール２１、第１のレールキャリア２２、基台２３、第３のスクリュウネジ２４、調整つまみ２５，２８、ガイドバー２６、Ｚ軸方向移動台２７、Ｙ軸方向移動台２９は、第２の移動手段を構成するようになっている。
【００３４】
そして、ミリ波発振器３２が出力するミリ波は、導波管３３を介してホーン３４に送信され、ホーン３４から被検査体Ｓに向かって出射する。ミリ波は、Ｘ軸線に対して特定の広がり角度をもって発散されて伝播するが、ホーン３４によって出射することで、Ｘ軸線とほぼ平行な形状を維持したまま指向性良く伝播させることが可能となる。ホーン３４によってＸ軸線とほぼ平行で指向性を持った状態で出射されたミリ波を、ガウシアンビームと呼ぶ。
【００３５】
前記レール２１であって前記第１のレールキャリア２２の被検査載置部３側には、第２のレールキャリア３８が、同レール２１に沿って（Ｘ軸線方向に）往復移動可能に載置されている。第２のレールキャリア３８上には、Ｚ軸線方向にのびたスタンド３９が固定されている。スタンド３９の上部には、リング（円環状の支持枠）４０がＺ軸線方向に往復移動可能に取着されている。リング（円環状の支持枠）４０は、スタンド３９に設けた図示しない調整つまみによってＺ軸線方向に移動調整可能になっている。リング（円環状の支持枠）４０には、その枠内にミリ波整形手段としてのシリンドリカルレンズ４１が支持固定されている。
【００３６】
シリンドリカルレンズ４１は、ホーン３４と前記被検査載置部３の被検査体Ｓとの間に配置されるようになっている。シリンドリカルレンズ４１は、ホーン３４から出射されたミリ波をＺ軸線方向にのびたライン状に収束整形する。
【００３７】
詳述すると、シリンドリカルレンズ４１は、ホーン３４から出射されたミリ波をＺ軸線方向にのびた線上に収束されたミリ波を被検査体Ｓに出射する。従って、シリンドリカルレンズ４１と対峙した被検査体Ｓの面（照射面）には、Ｚ軸線方向にのびた線上に収束されたミリ波が、シリンドリカルレンズ４１から照射される。ミリ波は、シリンドリカルレンズ４１の形状や、又は、Ｘ軸線方向でのホーン３４とシリンドリカルレンズ４１との距離を調整することによって、Ｘ軸線方向で任意の距離だけ収束部が維持されるよう整形することが可能である。従って、ミリ波が、Ｚ軸線方向にのびたライン状の形状を維持した
まま被検査体Ｓの内部を透過するよう収束整形することができる。なお、Ｚ軸線方向にのびた線上に収束されたミリ波の、Ｚ軸線方向での長さは、シリンドリカルレンズ４１の形状又はホーン３４とシリンドリカルレンズ４１のＸ軸線方向での距離によって調節可能となっている。
【００３８】
（ミリ波受信部５）
被検査載置部３の他側にはミリ波受信部５が設けられている。ミリ波受信部５は、その基台５１がテーブル２に固定されている。基台５１は、枠体であって、その枠内であってＸ軸線方向と直交するＹ軸線方向に第４のスクリュウネジ５２を回転可能に支持している。第４のスクリュウネジ５２は、基台５１の外側に取着した第３のモータＭ３によって正逆回転する。前記基台５１には、第３の支持台５４がＹ軸線方向にのみ移動可能に載置されている。第３の支持台５４の基端部５３は、基台５１の枠内に嵌合するとともに、前記第４のスクリュウネジ５２に螺合している。従って、第４のスクリュウネジ５２が第３のモータＭ３によって正逆回転すると、第３の支持台５４は、基台５１に対してＹ軸線方向に往復移動する。
【００３９】
第３の支持台５４は、枠体であって、その枠内であってＸ軸線方向に第５のスクリュウネジ５５を回転可能に支持している。第５のスクリュウネジ５５は、第３の支持台５４の外側に取着した第４のモータＭ４によって正逆回転する。第３の支持台５４には、第４の支持台５６がＸ軸線方向にのみ移動可能に載置されている。第４の支持台５６の基端部は、第３の支持台５４の枠内に嵌合するとともに、前記第５のスクリュウネジ５５に螺合している。従って、第５のスクリュウネジ５５が第４のモータＭ４によって正逆回転すると、第４の支持台５６は、第３の支持台５４に対してＸ軸線方向に往復移動する。
【００４０】
第４の支持台５６は、Ｚ軸線方向にのびた枠体であって、その枠内であってＺ軸線方向に第６のスクリュウネジ５７を回転可能に支持している。第６のスクリュウネジ５７は、第４の支持台５６の外側に取着した第５のモータＭ５によって正逆回転する。第４の支持台５６には、第２の昇降ブロック５８がＺ軸線方向にのみ移動可能に取着されている。第２の昇降ブロック５８の基端部は、第４の支持台５６の枠内に嵌合するとともに、第６のスクリュウネジ５７に螺合している。従って、第６のスクリュウネジ５７が第５のモータＭ５によって正逆回転すると、第２の昇降ブロック５８は、第４の支持台５６に対してＺ軸線方向に往復移動する。
【００４１】
第２の昇降ブロック５８には、Ｘ軸線とＹ軸線とで形成される面と平行なミリ波受信部ステージ５９が固着されている。従って、ミリ波受信部ステージ５９は、予め定めた範囲内で、Ｘ、Ｙ，Ｚ軸線方向に位置調整されることになる。即ち、基台５１，第４のスクリュウネジ５２，第３の支持台５４、第５のスクリュウネジ５５、第４の支持台５６、第６のスクリュウネジ５７、第２の昇降ブロック５８、第３〜第５のモータＭ３〜Ｍ５は、第３の移動手段を構成するようになっている。
【００４２】
ミリ波受信部ステージ５９には、ミリ波受信器６０が固定されている。ミリ波受信器６０の被検査載置部３側の側面には、ミリ波を受信する受信アンテナ６１がＸ軸線方向に延出形成されている。
【００４３】
次に、上記のように構成した非破壊検査装置１の電気的構成を図２に従って説明する。
図２において、非破壊検査装置１は、制御手段及び解析手段としてのコンピュータ７０を備え、コンピュータ７０は、ミリ波発振器３２及びミリ波受信器６０と電気的に接続している。コンピュータ７０は、ミリ波発振器３２を予め定めたプログラムに基づいて駆動制御する。コンピュータ７０は、受信アンテナ６１を介してミリ波受信器６０が受信した情報を入力する。詳述すると、ミリ波受信器６０は、検波器とＡＤ変換器を備え、検波器
にて受信アンテナ６１を介して受信したミリ波を検波し、検波して抽出したミリ波の電力値をＡＤ変換器にてデジタル値に変換する。ミリ波受信器６０は、そのデジタル値をコンピュータ７０に出力する。コンピュータ７０は、このミリ波受信器６０（ＡＤ変換器）からのデジタル値に基づいて被検査体Ｓの解析評価を行う。
【００４４】
また、コンピュータ７０は、制御手段を構成する第１〜第５モータ駆動回路７１〜７５と電気的に接続されている。コンピュータ７０は、第１〜第５モータ駆動回路７１〜７５を介してそれぞれ対応する第１〜第５のモータＭ１〜Ｍ５を回転制御する。コンピュータ７０は、位置調整のためのプログラムに従って第１〜第５のモータＭ１〜Ｍ５を適宜回転制御するとともに、検査のためのプログラムに従って第１〜第５のモータＭ１〜Ｍ５を適宜回転制御するようになっている。
【００４５】
次に上記のように構成した被検査載置部３、ミリ波送信部４及びミリ波受信部５の位置調整について説明する。
【００４６】
（ミリ波送信部４）
ミリ波送信部４から出射されたミリ波が、Ｘ軸線上の被検査体Ｓの位置で収束整形されるよう、ホーン３４及びシリンドリカルレンズ４１の位置調整をする。まず、シリンドリカルレンズ４１のＺ軸線方向の位置を任意に決定する。シリンドリカルレンズ４１はＹ軸線方向では移動不可能であるため、この時点でシリンドリカルレンズ４１のＹ軸線方向とＺ軸線方向の位置が確定する。
【００４７】
次に、確定したシリンドリカルレンズ４１の位置に対するホーン３４の位置合わせを行う。基台２３の調節つまみ２５とＹ軸方向移動台の調節つまみ２８を回転操作することによって、ミリ波送信部ステージ３１をＹ軸線方向及びＺ軸線方向に移動調節し、ホーン３４のＹ軸線方向とＺ軸線方向の位置を確定する。Ｙ軸線方向とＺ軸線方向の位置が確定することで、ホーン３４から出射されるミリ波は、Ｘ軸線にほぼ平行なガウシアンビームとして、シリンドリカルレンズ４１に入射される。
【００４８】
最後に、シリンドリカルレンズ４１をＸ軸線方向に対して位置調整する。つまり、第２のレールキャリア３８をレール２１上でＸ軸線方向に摺動操作することによって、シリンドリカルレンズ４１と被検査体Ｓとの距離を調節して、被検査体Ｓの入射面においてＺ軸線方向にのびたライン状のミリ波が入射されるように収束整形されるように設定する。
【００４９】
なお、ミリ波は空気による影響を受けて減衰しやすいため、伝播経路は短い方が好ましい。従って、ホーン３４とシリンドリカルレンズ４１の距離が近づくよう、レール２１上の第１のレールキャリア２２をＸ軸線方向で移動する。ただし、ホーン３４とシリンドリカルレンズ４１の距離に応じて、ミリ波の収束部が維持されるＸ軸線方向における距離が変化するため、ミリ波の収束整形の状態を考慮して移動させる必要がある。以上の操作によって、ミリ波送信部４の位置調整が終了する。また、ミリ波送信部４においては、被検査載置部３の載置部１６ａに載置された被検査体Ｓに対してその入射面においてＺ軸線方向にのびたライン状のミリ波となるように収束整形されるように調整できればよいのであって、各々の位置調整は、なんら上記の手順に限定されるものではない。
【００５０】
（被検査載置部３）
被検査載置部３では、被検査体Ｓの初期位置を定める。まず、被検査体ＳのＹ軸線方向の端部に、Ｚ軸線方向にのびたライン状のミリ波が照射されるように、基台１１に設けた第１のモータＭ１を回転させ、第１の支持台１３をＹ軸線方向に移動させる。次に、被検査体Ｓの上端部とＺ軸線方向にのびたライン状のミリ波の上端部とが一致するか、又は、被検査体Ｓの下端部とライン状のミリ波の下端部とが一致するように、第１の支持台１３
に設けた第２のモータＭ２を回転させて、第１の昇降ブロック１５を移動させる。以上の操作で被検査体Ｓの初期位置合わせが終了する。なお、被検査体Ｓの初期位置の位置合わせ操作は、Ｙ，Ｚ軸線方向で被検査体Ｓを意図する位置に位置合わせできればよく、操作する順序は上記に限定されるものではない。
【００５１】
（ミリ波受信部５）
次に、ミリ波受信部５の位置調整を行う。ミリ波受信部５では、受信アンテナ６１の初期位置を定める。受信アンテナ６１のＹ軸線方向の位置が、ホーン３４から出射されるミリ波のＹ軸線方向で中央、つまり、シリンドリカルレンズ４１によってＺ軸線上に収束整形されるライン状のミリ波と対峙するＹ軸線上に来るよう、基台５１に設けた第３のモータＭ３を回転させる。さらに、受信アンテナ６１のＺ軸線方向の位置が、Ｚ軸線上に収束整形されたライン状のミリ波の上端部又は下端部と一致するよう、第４の支持台５６に設けた第５のモータＭ５を回転させ、第２の昇降ブロック５８をＺ軸線方向に移動させる。
【００５２】
次いで、受信アンテナ６１で受信する際に、位相ずれが生じないように、使用するミリ波の周波数に応じて、第３の支持台５４に設けた第４のモータＭ４を回転し、第４の支持台５６をＸ軸線方向に移動させる。以上の操作で受信アンテナ６１の位置合わせが終了する。なお、受信アンテナ６１の初期位置の位置合わせ操作は、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸線上で受信アンテナ６１を意図する位置に位置合わせできればよく、操作する順序は上記に限定されるものではない。
【００５３】
次に、非破壊検査の動作について説明する。
上記に示した位置調整が終了すると、コンピュータ７０は、非破壊検査のプログラムに基づいて被破壊検査処理動作を実行する。
【００５４】
まず、コンピュータ７０は、ミリ波発振器３２を駆動しホーン３４からミリ波を出射させる。ホーン３４から出射されたミリ波は、シリンドリカルレンズ４１でＺ軸線上に収束整形されて被検査体Ｓに入射され、被検査体Ｓ中を透過していく。被検査体Ｓを透過したミリ波は、透過波として対峙している受信アンテナ６１を介してミリ波受信器６０で受信され非破壊検査を開始する。
【００５５】
非破壊検査は、図３（ｂ）に示すように、受信アンテナ６１は、透過してくるＺ軸線方向にのびるライン状のミリ波のうちの所定の範囲（スポット）しか受信できないことから、本実施形態では、受信アンテナ６１（ミリ波受信器６０）をＺ軸線方向に移動させる。そして、被検査体Ｓに出射されて、被検査体ＳからＸ軸線方向に透過するＺ軸線方向にのびるライン状のミリ波を受信アンテナ６１にて受信させる。これによって、被検査体Ｓは、Ｚ軸線方向にのびるライン状のミリ波が入射した部分が非破壊検査される。
【００５６】
また、非破壊検査は、図３（ｃ）に示すように、受信アンテナ６１は所定の範囲（スポット）から透過してくるミリ波しか受信できないことから、被検査体ＳをＹ軸線方向に移動させる。そして、Ｚ軸線方向にのびるライン状のミリ波を被検査体Ｓの新たな部分に入射させる。この状態から、前記と同様に、受信アンテナ６１（ミリ波受信器６０）をＺ軸線方向に移動させて、Ｚ軸線上に収束されたミリ波が、新たに入射された部分の非破壊検査を行う。
【００５７】
この動作を繰返すことによって、被検査体Ｓの全ての部分について非破壊検査が行われる。図３（ａ）は、非破壊検査を説明するための模式図である。図３（ａ）において、まず、被検査体Ｓの最も手前のＺ軸線方向にのびる部分（第１領域Ｄ１）から透過するライン状のミリ波を、受信アンテナ６１（ミリ波受信器６０）をＺ軸線方向に移動させて受信アンテナ６１にて受信させる。次に、被検査体Ｓを手前に移動させて、第１領域Ｄ１の隣
のＺ軸線方向にのびる部分（第２領域Ｄ２）から透過するライン状のミリ波を受信アンテナ６１（ミリ波受信器６０）をＺ軸線方向に移動させて受信アンテナ６１にて受信させる。
【００５８】
続いて、被検査体Ｓを手前に移動させて、第２領域Ｄ２の隣のＺ軸線方向にのびる部分（第３領域Ｄ３）から透過するライン状のミリ波を受信アンテナ６１（ミリ波受信器６０）をＺ軸線方向に移動させて受信アンテナ６１にて受信させる。そして、最後に、被検査体Ｓを手前に移動させて、第３領域Ｄ３の隣のＺ軸線方向にのびる部分（第４領域Ｄ４）から透過するライン状のミリ波を受信アンテナ６１（ミリ波受信器６０）をＺ軸線方向に移動させて受信アンテナ６１にて受信させる。
【００５９】
そして、本実施形態は、図３（ａ）において、第１領域Ｄ１を第５のモータＭ５を制御して、受信アンテナ６１（ミリ波受信器６０）を下から上に移動して非破壊検査を行なった後、第１のモータＭ１を制御して被検査体Ｓを手前に移動させる。続いて、第２領域Ｄ２を第５のモータＭ５を制御して、受信アンテナ６１（ミリ波受信器６０）を上から下に移動して非破壊検査を行なった後、第１のモータＭ１を制御して被検査体Ｓを手前に移動させる。以後同様な動作を行って第３及び第４領域Ｄ３，Ｄ４ついても第５及び第１のモータＭ５，Ｍ１を回転制御することによって、被検査体Ｓの全ての部分について非破壊検査が行われる。
【００６０】
従って、被検査載置部３（被検査体Ｓ）、ミリ波送信部４及びミリ波受信部５の位置調整（セッティング）を一度した後は、被検査載置部３をＹ軸線方向及びミリ波受信部５をＺ軸線方向にのみ移動制御するだけで、非破壊検査が行われる。つまり、ミリ波送信部４は、非破壊検査中は、静止した状態のままでセッティングを変更する必要がない。詳述すると、ミリ波送信部４とミリ波受信部５を互いに同期をとって移動制御させるのにくらべ、制御は被検査載置部３又はミリ波受信部５のみなので、簡単かつ高精度に非破壊検査を行うことができる。しかも、被検査載置部３、ミリ波送信部４及びミリ波受信部５は、検査中は、Ｘ軸線方向の移動は行わないので、位相等がずれることはなく、精度の高い検査が行える。
【００６１】
ミリ波受信器６０は、被検査体Ｓを透過してきたミリ波を受信すると、その受信したミリ波の電力値のデータ（デジタル値）をコンピュータ７０に出力する。
図４（ａ）は、ミリ波受信器６０が受信したある領域（例えば、第３領域Ｄ３）の電力値を示す。コンピュータ７０は、ミリ波受信器６０から出力される電力値のデータ（デジタル値）に基づいて各領域Ｄ１〜Ｄ４毎に、図４（ａ）に示すような電力値の分布を作成する。そして、その各領域Ｄ１〜Ｄ４線上の偏差を求め、被検査体Ｓの内部の状態を評価する。
【００６２】
詳述すると、図４（ａ）に示すような電力値の分布では、領域線上の電力値は一様で、領域線上の電力値間の偏差は小さい。従って、コンピュータ７０は、被検査体Ｓにおいてこの領域部分の内部は、一様になっていると判断する。反対に、図４（ｂ）に示すような電力値の分布では、領域線上の途中で電力値が著しく小さくなり、領域線上の電力値間の偏差が大きい。従って、コンピュータ７０は、被検査体Ｓにおいてこの電力値が著しく小さくなる領域部分の内部は、他の領域と異なる状態になっていると判断する。被検査体Ｓの内部状態によっては、他の領域と異なる状態になっている部分で、電力値が著しく大きくなる場合もある。ようするに、コンピュータ７０は、領域線上において、電力値間の偏差が大きい部位を、被検査体Ｓにおいて他の領域と異なる状態になっていると判断する。
【００６３】
次に、上記のように構成した非破壊検査装置の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態では、被検査載置部３（被検査体Ｓ）、ミリ波送信部４及びミリ波受
信部５の位置調整（セッティング）を一度した後は、被検査載置部３をＹ軸線方向及びミリ波受信部５をＺ軸線方向にのみ移動制御するだけで、被検査体Ｓの全ての部分について非破壊検査を行うようにした。従って、ミリ波送信部４は、非破壊検査中は、静止した状態のままでセッティングを変更する必要がなく制御が容易となる。
しかも、被検査載置部３、ミリ波送信部４及びミリ波受信部５は、検査中は、Ｘ軸線方向の移動は行わないので、位相等がずれることはなく、精度の高い検査が行える。
さらに、被検査載置部３（被検査体Ｓ）を静止させて被検査体Ｓの各部分について非破壊検査をする際は、ミリ波送信部４及びミリ波受信部５を互いに同期をとって移動制御させるために高度でかつ高精度の制御を要求されていた。しかしながら、本実施形態では、ミリ波受信部５を移動させるだけなので、高度でかつ高精度の制御を必要としないで簡単かつ高精度に非破壊検査を行うことができる。
【００６４】
（２）上記実施形態では、シリンドリカルレンズ４１で被検査体Ｓの入射面に対してＺ軸線方向にのびたライン状のミリ波を入射させ、その被検査体Ｓを透過するミリ波をライン状のミリ波にした。そして、ミリ波受信部５をＺ軸線方向のみ移動させて、ライン状のミリ波が入射されている被検査体Ｓの部分を連続して非破壊検査をするようにした。従って、被検査体Ｓの一定の範囲（ライン状のミリ波が入射されている部分）を連続して検査できるため、検査スピードが速くしかも位置の変動も無いため精度の高い検査が行える。
しかも、被検査体Ｓの入射されるミリ波は、シリンドリカルレンズ４１にてＺ軸線方向にのびたライン状に収束されたミリ波なので、ミリ波受信器６０では、高レベル（高値）で安定した検出信号を得ることができる。
【００６５】
（３）上記実施形態では、ミリ波送信部４において、ホーン３４とシリンドリカルレンズ４１は、それぞれ独立にＸ軸線方向に対して移動可能にした。従って、ホーン３４とともにシリンドリカルレンズ４１をミリ波送信部ステージ３１にセッティングする場合に、ホーン３４に対するシリンドリカルレンズ４１の位置決めをミリ波送信部ステージ３１上で行うのにくらべ、位置調整が非常に容易となる。特に、ミリ波は、周波数によって伝播する際の広がり角度が異なるため、任意の周波数のミリ波をガウシアンビームとして効率的に送信するためにミリ波の周波数に応じてホーン３４の形状を変更する際に、そのホーン３４に対するシリンドリカルレンズ４１の位置調整が必要となる。また、導波管３３は使用するミリ波の波長の整数倍の長さに変更する必要があるが、ホーン３４はまず導波管３３に対して位置調整した後に、シリンドリカルレンズ４１との位置調整をすればよいので位置調整が非常に容易となる。
【００６６】
発明の実施形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
○前記実施形態では、検査中にミリ波受信部５をＺ軸線方向に移動させたが、ミリ波送信部４及びミリ波受信部５を静止状態にし、被検査載置部３（被検査体Ｓ）のみをＺ軸線及びＹ軸線方向に移動させ、検査を行うようにしてもよい。この場合、前記と同様な効果を奏するとともに、被検査体Ｓに入射するミリ波は、ライン状でなくてもスポット状でもよい。
○前記実施形態では、パラメータとしてミリ波の電力値のデータ（デジタル値）を検出して非破壊検査を行ったが、透過したミリ波の位相情報をパラメータとして非破壊検査を行う検査装置に応用してもよい。
○前記実施形態では、初期位置を定める場合の手順として、ミリ波送信部４を基準にして被検査載置部３（被検査体Ｓ）及びミリ波受信部５（受信アンテナ６１）の初期位置を順次決定するようにした。しかし、ミリ波送信部４を固定したまま、同じ材質，形状の被検査体Ｓを連続して検査する場合は、次のように初期位置を決定することもできる。すなわち、最初にセッティングした初期位置に関する情報を、初期位置情報としてコンピュータ７０に記憶させておき、被検査体Ｓを交換して新たな検査を始める際には、記憶された初
期位置情報に基いて第１〜３のモータＭ１〜Ｍ３、及び、第５のモータＭ５を同時に駆動制御する。この駆動制御により、被検査体Ｓと受信アンテナ６１を、ミリ波の出射方向と直交する方向に同時に移動させて初期位置を合わせることができる。この場合は、同じ被検査体Ｓを立て続けに検査する場合に、初期位置合わせを簡単かつ高速に行うことができる。さらに、第４のモータＭ４を駆動させないので、位相等がずれることはなく、継続して高精度の検査を行うことができる。
○被検査体Ｓの各部位に対してライン状のミリ波が入射される順序は、上記に限定されるものでなく、最終的に被検査体Ｓの全面を検波できれば良い。
○ライン状のミリ波のＺ軸線方向での長さと同じ長さとなるように、受信アンテナ６１をＺ軸線方向に複数連設し、各受信アンテナ６１ごとにミリ波受信器６０を対応させて設置して実施してもよい。この場合、被検査載置部３（被検査体Ｓ）だけをＹ軸線方向にのみ移動させるだけで被検査体Ｓの全ての領域において電力値データを得る事ができる。さらに、ミリ波が透過される各領域の電力値データは、連接した受信アンテナ６１及びミリ波受信器６０の個数分だけ分割して得られるため、検査速度を速くすることができ、かつ詳細な検査結果を得ることができる。
○ライン状のミリ波のZ軸線方向での長さと同じ長さとなるように、受信アンテナ６１の
開口面をZ軸線方向に長く伸ばした形状にして実施してもよい。詳述すると、被検査体Ｓ
における、Ｚ軸線方向にのびた線上に収束されたミリ波が透過される領域から得られる電力値データを１つのデータとして受信し、次いで、被検査体ＳをＹ軸線方向で移動し、Ｚ軸線方向にのびた線上に収束されたミリ波が新たに透過される領域について、再び電力値データを１つのデータとして受信する。この手順を繰り返し、ミリ波の電力値データを、ミリ波が透過した領域ごとに受信する。受信された電力値データは、上記の実施例と同様に評価される。この場合、被検査載置部３（被検査体Ｓ）だけをY軸方向にのみ移動させ
るだけで、被検査体Ｓの全ての領域において電力値データを得る事ができる。さらに、ミリ波が透過される各領域の電力値データを１つのデータとみなして評価するため、部材数を増やすことなく、検査速度を極めて速くすることができる。
○Ｚ軸線方向にのびるライン状のミリ波に替えて、Ｙ軸線方向にのびるライン状のミリ波を被検査体Ｓに入射させて実施してもよい。要は、Ｙ軸線とＺ軸線で形成される面に対してライン状のミリ波が入射されればよい。
○ホーン３４から出射されたミリ波を収束整形するミリ波整形手段において、複数のレンズによって、ミリ波がＺ軸線方向にのびる線上に収束されるＸ軸線方向での位置を調整することで、ミリ波送信部４と被検査載置部３（被検査体Ｓ）との距離を短縮するように実施してもよい。この場合、ミリ波送信部４と被検査載置部３（被検査体Ｓ）との距離を短縮できるため、ミリ波の減衰を防ぐと共に装置を小型化させることが可能となる。この応用例では、予めミリ波の発散角度を拡大した後に収束整形することによって、ミリ波の焦点距離が短くなるというガウシアンビームの特性を利用したものである。従って、ここでいう複数のレンズとしては、凹レンズ、凸レンズ、シリンドリカル凹レンズ、シリンドリカル凸レンズなどのレンズが挙げられるが、これらに限定されるものではなく、ミリ波送信部４と被検査載置部３（被検査体Ｓ）との距離を短縮できるよう、ミリ波がＺ軸線方向にのびた線上に収束するＸ軸線方向での位置を調整できればよい。
○ホーン３４から出射されたミリ波を収束整形するミリ波整形手段において、複数のレンズによって、被検査体Sでのミリ波の入射面でZ軸線方向にのびた線上に収束されたミリ波のZ軸線方向での長さを調整できるようにして実施してもよい。この場合、Ｚ軸線方向に
のびる線上に収束されたミリ波が、被検査体ＳのＺ軸線方向の長さに対して、Ｚ軸線方向で長すぎることにより、被検査体Ｓに入射されることなく伝播される領域が生じることを防ぐことが可能となる。また、Ｚ軸線方向にのびる線上に収束されたミリ波が、被検査体ＳのＺ軸線方向の長さに対して、Ｚ軸線方向で短すぎることにより、検査工程が増えることを防止することが可能となる。ここでいう複数のレンズとしては、凹レンズ、凸レンズ、シリンドリカル凹レンズ、シリンドリカル凸レンズなどのレンズが挙げられるが、これらに限定されるものではなく、被検査体ＳのＺ軸線方向での距離に応じて、Ｚ軸線方向に
のびた線上に収束されたミリ波のＺ軸線方向での距離を調節できればよい。
○ホーン３４から出射されたミリ波を収束整形するミリ波整形手段において、複数のレンズによって、被検査体ＳのＸ軸線方向での距離に合わせて、ミリ波の収束部をX軸線方向
で任意の距離だけ維持調整するように実施してもよい。この場合、ミリ波は、収束部を維持した状態で被検査体Ｓを透過させることができるため、精度の高い検査を実行することができる。この応用例では、複数のレンズによってミリ波の焦点距離を変化させた場合に、ミリ波の収束部が維持されるＸ軸線方向での距離も変化するというガウシアンビームの特性を利用したものである。従って、ここでいう複数のレンズとしては、凹レンズ、凸レンズ、シリンドリカル凹レンズ、シリンドリカル凸レンズなどのレンズが挙げられるが、これらに限定されるものではなく、ミリ波の収束部を任意の距離だけ維持調整できればよい。
○前記実施形態では、被検査体Ｓを透過するミリ波を受信するようにしたが、被検査体Ｓに対して反射するミリ波、又は、被検査体Ｓに対して散乱するミリ波を受信して非破壊検査する場合にも応用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の非破壊検査装置の要部全体斜視図。
【図２】同非破壊検査装置の電気的構成を説明するブロック図。
【図３】（ａ）同非破壊検査を説明するための模式図、（ｂ）同非破壊検査を説明するための模式図、（ｃ）同非破壊検査を説明するための模式図。
【図４】（ａ）ミリ波受信器から出力される電力値の分布を示すグラフ、（ｂ）同ミリ波受信器から出力される電力値の分布を示すグラフ。
【符号の説明】
【００６８】
１…非破壊検査装置、３…被検査載置部、４…ミリ波送信部、５…ミリ波受信部、１１…第１の移動手段を構成する基台、１２…第１の移動手段を構成する第１のスクリュウネジ、１３…第１の移動手段を構成する第１の支持台、１４…第１の移動手段を構成する第２のスクリュウネジ、１５…第１の移動手段を構成する第１の昇降ブロック、１６…第１の移動手段を構成する載置台、２２…第２の移動手段を構成する第１のレールキャリア、２４…第２の移動手段を構成する第３のスクリュウネジ、２５…第２の移動手段を構成する調整つまみ、２６…第２の移動手段を構成するガイドバー、２７…第２の移動手段を構成するＺ軸方向移動台、２８…第２の移動手段を構成する調整つまみ、２９…第２の移動手段を構成するＹ軸方向移動台、３２…ミリ波発振器、３３…導波管、３４…ホーン、４１…ミリ波整形手段としてのシリンドリカルレンズ、５１…第３の移動手段を構成する基台、５２…第３の移動手段を構成する第４のスクリュウネジ、５４…第３の移動手段を構成する第３の支持台、５５…第３の移動手段を構成する第５のスクリュウネジ、５６…第３の移動手段を構成する第４の支持台、５７…第３の移動手段を構成する第６のスクリュウネジ、５８…第３の移動手段を構成する第２の昇降ブロック、５９…第３の移動手段を構成するミリ波受信部ステージ、６０…ミリ波受信器、６１…受信アンテナ、７０…解析手段及び制御手段としてのコンピュータ、７１…制御手段を構成する第１モータ駆動回路、７２…制御移動手段を構成する第２モータ駆動回路、７３…制御手段を構成する第３モータ駆動回路、７４…制御手段を構成する第４モータ駆動回路、７５…制御手段を構成する第５モータ駆動回路、Ｍ１…第１の移動手段を構成する第１のモータ、Ｍ２…第１の移動手段を構成する第２のモータ、Ｍ３…第３の移動手段を構成する第３のモータ、Ｍ４…第３の移動手段を構成する第４のモータ、Ｍ５…第３の移動手段を構成する第５のモータ、Ｓ…被検査体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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