(57)【要約】      （修正有）【課題】評価画像の表面状態や評価画像照明光等の外乱が存在する場合でも、評価画像と撮像装置との距離計測を安定して行い焦点調整が可能な画像入力装置およびこれを用いた画像評価装置を提供する。【解決手段】半導体レーザー２８から照射されたレーザー光はポリゴンミラー２０により２次元の面状に変換し評価画像に照射され、反射光は２次元ＣＣＤである受光素子２９で受光される。その反射光位置から三角測量方式を用いて評価画像２５までの距離が算出される。算出結果に基づいて図示しない駆動装置により撮影時の焦点距離が適正に保持される。レーザー光Ｌが評価画像２５の所望の領域を２次元で走査するように、ポリゴンミラー２０のミラー面には面倒れや面ゆがみを意図的に設けてある。【選択図】図４
2006254373.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被撮像物を撮像する撮像手段と、
前記被撮像物を照明する照明手段と、
前記被撮像物と前記撮像手段との距離を計測する距離計測手段と、
前記距離計測手段の計測結果に基づいて前記被撮像物と前記撮像手段との距離を調節する距離調節手段と、を有する画像入力装置であって、
前記距離計測手段は前記被撮像物にレーザー光を二次元的に走査するレーザー光走査手段と、
前記被撮像物で拡散反射したレーザー光を受光する受光手段と、を備え
前記受光手段上における受光位置情報から前記被撮像物の表面までの距離を測定することを特徴とする画像入力装置。
【請求項２】
前記被撮像物は評価画像であることを特徴とする請求項１に記載の画像入力装置。
【請求項３】
前記受光手段の受光素子はＣＣＤ素子であることを特徴とする請求項１乃至請求項２の何れかに記載の画像入力装置。
【請求項４】
前記受光手段の受光素子は光位置検出素子であることを特徴とする請求項１乃至請求項２の何れかに記載の画像入力装置。
【請求項５】
前記レーザー光走査手段は、レーザー光を発するレーザー光源と、ポリゴンミラーまたはガルバノミラーまたは振動装置を用いたことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の画像入力装置。
【請求項６】
前記ポリゴンミラーのミラー形状は平面でないことを特徴とする請求項５に記載の画像入力装置。
【請求項７】
前記レーザー光走査手段は、面発光レーザーであることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の画像入力装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の何れかに記載の画像入力装置を用いた画像評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は２次元画像を評価するための画像入力装置およびこれを用いた画像評価装置に関し、特にモノクロコピーやカラーハードコピー等の画像出力装置などによって出力されたモノクロ画像やカラー画像情報を評価するための画像入力装置およびこれを用いた画像評価装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像品質を評価する場合、人間が感じる画像品質の程度を数量化する心理評価と画像自体の持つ物理特性を測定機により評価する物理特性とがある。心理評価は製品の最終検査などに広く用いられているが、検査者が異なったり、検査者の疲労などによって検査結果が変化するなどの欠点がある。
【０００３】
一方、画像品質の評価法としては、たとえば特許文献１に記載された画像評価方法および装置がある。この画像評価装置は、２次元的な位置情報と光学的情報を含む被画像情報を色彩情報に変換し、その変換された２次元情報を周波数解析により２次元空間周波数情報に変換し、２次元空間周波数情報を１次元化した後、人間の視覚の空間周波数特性に対応した補正を加えるものであり、濃度（明度）情報だけでなく色彩情報である彩度情報、色相情報も検出することができる。
【０００４】
従来はフォトマルや分光フィルター等を用いて検査画像の画像情報を定量化していたが、測定時間を要するために最近ではラインセンサーやエリアセンサーを用いて画像情報を定量化する方法が考案されている。
【０００５】
近年の画像出力装置の高画質化に伴い、画像評価を行う際の撮像解像度も高解像度が要求されている。評価画像を高解像度に撮像するためには高解像度レンズを用いるが、レンズの高解像度化に伴って、焦点深度が浅くなるという欠点があり、十分な光学調整を実施しないと所詮撮像像ぼけが生じてしまうという問題があった。たとえば、画質測定装置は高解像度で画像を観察するため、微小面積をＣＣＤ等を用いて画像信号に変換しているが、一例として光学分解能として１０μｍを有する場合、レンズにて１０μｍ角の面積がＣＣＤの１画素に結像するよう構成されており、１０μｍ角の面積に十分な解像度で撮像するためレンズの焦点深度が浅く、測定対象とレンズ間の距離を一定に保持する必要があった。
【０００６】
これに対し評価画像との距離を計測しフィードバックを行う方法がある。たとえば評価画像にレーザー光を照射し、反射光の受光位置の変化やレーザー光の位相差やレーザー光の反射時間等々方法を用いて評価画像との距離を測定することは可能である。たとえばスキャナにおいては高ＭＴＦ特性にて撮像するため、原稿台に置かれた原稿との距離を測定し、その測定結果に応じて焦点調整を行う方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
しかしながら画像評価装置では評価画像を高解像・高階調にて撮像する必要があるため撮像素子の１画素に評価画像からの反射光が所望の光量必要となり、微小領域においても十分な光量を与えるためには評価画像の照明を行う光源には大光量が要求される。このため評価画像の照明下において、レーザーを用いた距離測定を行うと照明光が外乱となり距離測定が不安定となることがある。
【０００８】
この現象の発生頻度は評価画像の内容にも依存している。すなわち評価画像内の高濃度画像等の特異な部分が存在するが、たとえば高濃度部分はからレーザー反射光が少ないため距離計測の誤検知が発生しやすくなったり、評価画像の凹凸や評価画像に付着したごみ等により距離センシングエラーが発するという問題があった。この現象について図7を用いて説明する。
【０００９】
まず図7aに画像評価に用いられる評価画像の全体図の一例を示す。画像評価には線画像品質や面画像品質の画像測定を行うため、各種の評価画像２０６が配置されている。図7bに図7aの部分拡大図を示す。評価画像２０６までの距離を発光素子２０８と受光素子２０９を用いて三角測量方式にて距離測定する際に、レーザー光が評価画像の濃度の濃い部分の測定を行う場合には、レーザー光の反射光が少なくなる。一方評価画像には、評価画像を微細な面積毎に撮像素子で量子化するために強い照明光が照射されており、照明光の反射光も距離測定用の受光素子２０９に入射しているため、受光素子２０９として受光位置検出のためにもうけられたＣＣＤ上の光強度分布はレーザー光以外に照明光の入射しレーザー光の反射光の受光位置を正確に算出できなくなる。
【００１０】
これに対し、図7cに示すように受光素子２０９の前面にはレーザー光の波長のみを透過させる狭帯域干渉フィルター２１０等を設けて照明光による外乱を抑える方法が一般的に用いられるが、照明光の強度が強く、画像評価に使用する照明光自体にレーザー光の波長を含まれている場合には、照明光が干渉フィルター２１０を透過するため効果が限定されてしまいレーザー光の受光位置を正確に算出することが不可能となる。勿論、受光素子２０９の感度・積分時間変更やレーザー強度・照射時間変更等の距離測定系の発光・受光部分にて検出レベルを上げる方法も知られているが、確実な距離検出には至らない。すなわち、距離測定に用いるレーザー光の評価画像からの反射光よりも照明光の強度が大きい場合には距離測定が不安定となる。
【００１１】
上述した問題は、一例として三角測量方式での説明を行ったが、三角測量方式に限定して発生する問題ではなく、レーザー光の位相差やレーザー光の反射時間等々方法を用いた方法でも発生することは言うまでも無く、レーザー光を用いる距離計測法すべてで起こりうる問題である。この問題に対してはシリンドリカルレンズやロッドレンズ等のレーザーラインジェネレーターを使用して距離計測用のレーザー光をライン状に変換して距離測定を行う反射面積を広げて照射し反射光をシリンドリカルレンズ等を用いて受光素子上に結像させることで反射光の弱い部分と強い部分等を平滑化が行われ、その受光位置変化から測定する方法が提案されている。
【００１２】
シリンドリカルレンズ等を用いてレーザー光をライン状に変換する例を図8aに示す。半導体レーザー２０８からのレーザー光をシリンドリカルレンズ２１２等のレーザーラインジェネレーターを用いてレーザー光をライン状に変換し距離測定を行う評価画像に照射する。評価画像からのライン状反射光はシリンドリカルレンズ２１２に入射し、受光素子２０９であるＣＣＤ素子面上に結像し、図示しない制御回路を用いて反射光位置が算出され反射光位置から三角測量方式を用いて距離が算出される。
【００１３】
しかしながら、レーザー放射角に限界があるため評価画像内の撮像画像と比較すると小さく、特にライン画像評価等を行うときにレーザーラインジェネレーターで変換した方向と評価を行うラインの角度が合致した場合にはまったく効果が得られない。さらにレーザー光をライン状に変換しているので評価画像の所望領域の平滑化が可能となり距離計測安定性に対しては効果があるが、評価画像の単位面積あたりのレーザー強度は低下しているため反射光そのままでは反射光強度が少なく外乱に対して弱い、また反射光をシリンドリカルレンズ等を用いて集光させても外乱も集光されてしまうためやはり効果が得られない。もちろん外乱光となる照明光を評価画像に照射しない状態で距離計測を行いその距離計測結果を記憶手段に保存しておき、その結果に基づいて画像評価を行うことが考えられるが画像評価時間を非常に要するという問題がある。
【００１４】
また図8bに示す通り、レーザーをライン状に変換する代わりに複数の半導体レーザー２０８とレーザーと対を成す受光素子２０９を設けることで多点距離計測を行うことも可能であるが、装置自体が高価なものとなり実用上問題がある。ここでレーザー光をビームスプリッタ等でスプリットして用いることも考えられるが、上述した理由によりレーザー光強度が低下するため照明光の外乱の影響をうけてしまう、また受光素子２０９を大面積なＣＣＤを用いることでＣＣＤ点数を減らすことは可能であるが、大面積ＣＣＤは高価であるためコスト的な問題が残る。
【００１５】
本発明の目的は、評価画像の表面状態や評価画像照明光等の外乱が存在する場合でも、評価画像と撮像装置との距離計測を安定して行い焦点調整が可能な画像入力装置およびこれを用いた画像評価装置を提供することを目的とする。
【特許文献１】特開平５  −２８４２６０号公報
【特許文献２】特開平４  −  ５６５６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は上記事実を考慮し、評価画像の表面状態や評価画像照明光等の外乱が存在する場合でも、評価画像と撮像装置との距離計測を安定して行い焦点調整が可能な画像入力装置およびこれを用いた画像評価装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
請求項１に記載の画像入力装置は、被撮像物を撮像する撮像手段と、前記被撮像物を照明する照明手段と、前記被撮像物と前記撮像手段との距離を計測する距離計測手段と、前記距離計測手段の計測結果に基づいて前記被撮像物と前記撮像手段との距離を調節する距離調節手段と、を有する画像入力装置であって、前記距離計測手段は前記被撮像物にレーザー光を二次元的に走査するレーザー光走査手段と、前記被撮像物で拡散反射したレーザー光を受光する受光手段と、を備え、前記受光手段上における受光位置情報から前記被撮像物の表面までの距離を測定することを特徴とする。
【００１８】
上記構成の発明では、測距に用いるレーザ光で撮像対象を二次元に走査することで撮像対象の内容によらず確実な距離計測が可能となり、鮮明な画像による撮像が可能となる。
【００１９】
請求項２に記載の画像入力装置は、前記被撮像物は評価画像であることを特徴とする。
【００２０】
上記構成の発明では、測距に用いるレーザ光を二次元に走査することで評価画像の内容によらず確実な距離計測が可能となり、画像評価に必要な鮮明な画像による撮像が可能となる。
【００２１】
請求項３に記載の画像入力装置は、前記受光手段の受光素子はＣＣＤ素子であることを特徴とする。
【００２２】
上記構成の発明では、受光手段に一般的なＣＣＤを用いることで、高精度で低コストな画像入力装置とすることができる。
【００２３】
請求項４に記載の画像入力装置は、前記受光手段の受光素子は光位置検出素子であることを特徴とする。
【００２４】
上記構成の発明では、受光素子に光位置検出素子を用いることで、位置分解能、応答性に優れた高精度な画像入力装置とすることができる。
【００２５】
請求項５に記載の画像入力装置は、前記レーザー光走査手段は、レーザー光を発するレーザー光源と、ポリゴンミラーまたはガルバノミラーまたは振動装置を用いたことを特徴とする。
【００２６】
上記構成の発明では、ポリゴンミラーまたはガルバノミラーまたは振動装置を用いてレーザー光を偏向することで、通常のレーザー光源を使用して確実な距離計測が可能となり、画像評価に必要な鮮明な画像による撮像が可能となる。
【００２７】
請求項６に記載の画像入力装置は、前記ポリゴンミラーのミラー形状は平面でないことを特徴とする。
【００２８】
上記構成の発明では、平面でない形状の反射面を用いてレーザー光を偏向することで、二次元にレーザー光を走査可能となり確実な距離計測によって画像評価に必要な鮮明な画像による撮像が可能となる。
【００２９】
請求項７に記載の画像入力装置は、前記レーザー光走査手段は、面発光レーザーであることを特徴とする。
【００３０】
上記構成の発明では、面発光レーザーを用いることで偏向装置を不要とし、簡単な構成で確実な距離計測が可能となり、鮮明な画像による撮像が可能となる。
【００３１】
請求項８に記載の画像評価装置は、請求項１乃至請求項７の何れかに記載の画像入力装置を用いたことを特徴とする。
【００３２】
上記構成の発明では、測距に用いるレーザ光にて評価画像を二次元的に走査することで評価画像の内容によらず確実な距離計測が可能となり、画像評価に必要な鮮明な画像による撮像が可能となる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明は上記構成としたので、評価画像の表面状態や評価画像照明光等の外乱が存在する場合でも、評価画像と撮像装置との距離計測を安定して行い焦点調整が可能な画像入力装置およびこれを用いた画像評価装置とすることができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、図面に基づき本発明に係る画像評価装置について説明する。
【００３５】
＜第１の実施の形態＞
図１には本発明の第１実施形態に係る画像評価装置のハード構成例を示すブロック図が示されている。
【００３６】
本実施形態の画像評価装置１０は、図１に示すように、駆動装置１１と、照明装置１２と、距離測定装置１３と、撮像素子２１とレンズ２２からなる撮像装置１４と、制御装置１５と、演算装置１６から構成され、評価画像２５の撮像、評価を行う。駆動装置１１は撮像装置１４と評価画像２５との相対位置関係を変化させ、照明装置１２は評価画像を所望の照度で照明するものである。撮像装置１４は撮像素子２１を含み評価画像２５等の撮像を行う。距離測定装置１３は評価画像２５と撮像装置１４等の距離の測定を行うものである。制御装置１５は演算装置１６の結果に基づき、駆動装置１１および照明装置１２および撮像装置１３の制御を行い、特に距離測定装置１３の測定結果から駆動装置１１を駆動させ撮像装置１４での評価画像２５の撮像時に焦点調整をおこなうものである。
【００３７】
次に、以上のように構成した本実施形態の画像評価装置の作用について、図２に示すフロー図を用いて説明する。
【００３８】
初めにステップＳ１０１では、画像評価装置１０内部での位置関係を把握するため画像評価装置をイニシャライズし原点復帰を行う。次にステップＳ１０２では評価画像２５の画像入力に必要な光量を得るために照明装置１２が点灯する。次にステップＳ１０３では、照明装置１２の光量安定後に撮像素子２１のゲイン調整を行うため予め設けられた白基準版や遮光状態信号等の入力を行う。
【００３９】
次にステップＳ１０４では、ステップＳ１０３で得られた結果を基に撮像素子２１のシェーディング補正係数等を決定する。シェーディング補正方法については、様々な補正方法が一般的に知られているための詳細説明は省略するが、特に限定しないシェーディング補正により撮像素子２１の補正係数等が決定される。次にステップＳ１０５では、評価画像２５をステージ２３に配置しステージ２１３を一方向に駆動する。次にステップＳ１０６では、評価画像２５までの距離を２次元情報で取り込みを行う。
【００４０】
次にステップＳ１０７では、１次元ラインセンサである撮像素子２１で画像を取り込むため、結像されている位置までの距離をステップＳ１０６の結果から２次元位置情報の補間により算出する。補間法についての詳細説明については省くが、スプライン等の一般的に知られている補間法を用いればよく、特に補間方法は限定されるものではない。
【００４１】
次にステップＳ１０８では、ステップＳ１０７で補間により求めた距離測定結果に基づき焦点距離調節を行う。次にステップＳ１０９では、ステージ２３を駆動する駆動装置１１と連動するリニアスケールからの信号を入力し、ステージ２３が撮像素子２１で撮像する場所まで移動したか否かの判定を行い、撮像位置に至っていない場合には撮像位置に至るまで更にステージ２３を駆動する。
【００４２】
本実施形態ではステージ２３に併設されたリニアスケールからの信号よりステージ２３の位置の検出を行い、撮像位置か否かの判定を行っているが、信号処理速度やステージ２３駆動時の安定性を考慮して、リニアスケールの信号と非同期でステージ駆動速度から撮像タイミングを算出しても良い。
【００４３】
次にステップＳ１１０では、評価画像２５の撮像を行う。次にステップＳ１１１では、ステップＳ１０４で算出したシェーディング補正係数により、撮像して取り込んだ画像信号の補正を行う。本実施形態においてはシェーディング補正をステップＳ１１０の次に行っているが、処理速度が追従しない等の場合には評価画像データすべてを取り込んだ後にシェーディング補正を行っても良い。
【００４４】
次にステップＳ１１２では、評価画像２５の所望領域すべての撮像が終了したか否かの判定を行い、終了していない場合にはステップＳ１０５に戻り、終了するまで評価画像２５の撮像を継続する。次にステップＳ１１３では、照明装置１２をＯＦＦする。
【００４５】
次にステップＳ１１４では、撮像した画像の評価を行う。評価方法の詳細については省略するが、例えば先鋭性、粒状性、階調性等の評価を行う。画像評価項目、評価アルゴリズム等に関する詳細説明は省くが、一般的な画像評価アルゴリズムを用いればよく、特に画像評価方法、内容に関して限定されない。
【００４６】
次にステップＳ１１５では画像評価結果の保存を行う。ここで評価結果以外に評価画像２５の撮像データや撮像日時等の項目も付随して保存しても良い。
【００４７】
図３には本実施形態に係る画像評価装置の構成が示されている。
【００４８】
図３に示すように画像評価装置１０は原稿台２３の上に評価画像２５を配置し、照明装置１２aおよび１２ｂで評価画像２５の照明を行い、反射光をレンズ２２を介して撮像素子２１に結像させ、評価画像２５を撮像する構成となっている。
【００４９】
撮像素子２１はラインＣＣＤであるため、撮像素子２１、レンズ２２、照明装置１２ａおよび１２ｂをラインＣＣＤのＣＣＤ配列とは略垂直方向（図中矢印）に駆動しながら評価画像の撮像を行い、所望の領域の撮像が終了するまで撮像を繰り返す。このとき、前述のように距離測定装置１３にて測距を行う。
【００５０】
図４には本実施形態に係る距離測定装置の詳細が示されている。
【００５１】
図４に示すように半導体レーザー２８から照射されたレーザー光はポリゴンミラー２０により２次元の面状に偏向されたのち評価画像に照射され、その反射光を２次元ＣＣＤである受光素子２９で受光する。
【００５２】
このとき図示しない制御回路を用いて受光素子２９上での反射光位置が算出され、反射光位置から三角測量方式を用いて評価画像２５までの距離が算出される。算出結果に基づいて図示しない駆動装置により撮影時の焦点距離が適正に保持される。
【００５３】
ここでポリゴンミラーによる２次元面へのレーザー照射方法について図５ａを用いて説明する。
【００５４】
図５には本実施形態に係る距離測定方法が示されている。
【００５５】
図５に示すようにポリゴンミラー２０の回転に伴いレーザー光Ｌは評価画像２５の所望の領域を２次元で走査するように、ポリゴンミラー２０のミラー面２０ａには面倒れや面ゆがみを意図的に設けてある。これによりポリゴンミラー２０の回転に伴いレーザー光Ｌを距離測定が必要な範囲内に二次元的に照射することが可能となり、距離測定が不安定な部分を避けて距離測定が可能となる。
【００５６】
図５ｂに評価画像２５上へのレーザー光の軌跡を示す。ここではレーザー光Ｌの軌跡の一例として、４面ミラーによるレーザー光Ｌの軌跡の一例を示す。ポリゴンミラー２０のミラー面２０ａにより反射されたレーザー光Ｌは図５ｂに示すように評価画像２５の表面内を縦横に照射することで、評価画像を２次元で照射している。
【００５７】
２次元面に照射したレーザー光Ｌを受光することで評価画像２５の距離計測を２次元で行うことが可能となり、評価画像２５内の高濃度部分や埃等の外乱に影響を受けずに確実に評価画像２５と撮像装置１４等の距離を測定することが可能となる。またレーザー光Ｌをスプリットやライン状に変換していないため、十分なレーザー強度を確保することが可能となり照明光等の外乱が存在する環境下でも安定した距離計測が可能となる。
【００５８】
上記実施例ではポリゴンミラー２０からのレーザー光Ｌを直接評価画像２５に照射したが、より正確な距離測定を行うためにポリゴンミラー２０通過後にレーザー光Ｌをコリメータレンズ等によりコリメートしても良い。また上記実施例ではレーザー光Ｌの２次元面への照射方法としてミラー面２０ａを歪めたポリゴンミラー２０を用いたが、レーザ光Ｌの偏向方法はポリゴンミラー２０に限定されるものではなく、例えばガルバノミラーを用いても良いし、半導体レーザー自体を圧電素子等の振動装置で２次元に振動させてもよく、レーザー光の変更方法について限定するものではないことは言うまでも無い。
【００５９】
＜第２の実施の形態＞
本発明に係る第２の実施について、図６を用いて説明する。
【００６０】
図６には本発明の第２実施形態に係る距離測定装置が示されている。
【００６１】
本実施形態では評価画像２５との距離測定用の半導体レーザーとして面発光レーザー３５を用いている。一例として１００ｘ１００の２次元アレイから構成される面発光レーザー３５からのレーザ光Ｌを評価画像２５に照射し、その反射光を受光素子２９で受光し、レーザー光Ｌの受光位置の算出結果から評価画像２５までの距離計測を行い、第１の実施例同等に撮像系の焦点制御を実施している。
【００６２】
これにより評価画像２５の２次元面に照射したレーザー光Ｌを受光することで評価画像２５までの距離計測を２次元で行うことが可能となり、評価画像２５内の高濃度部分や埃等の外乱に影響を受けずに確実に評価画像２５と撮像装置１４等の距離を測定することが可能となる。
【００６３】
以上説明したように、本発明の各実施形態に係る画像評価装置によれば、照明光強度や評価画像部分の濃度や評価画像の凹凸や評価画像に付着したごみ等の外乱が存在しても、評価画像との距離を正確に測定することが可能となり、焦点のあった鮮明な画像を撮像することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１実施形態例に係る画像評価装置のハード構成例を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１実施形態例に係る画像評価装置の処理フローチャートである。
【図３】本発明の第１実施形態例に係る画像評価装置の構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態例に係る距離測定装置の構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態例に係る距離測定装置の動作を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態例に係る距離測定装置の構成を示す斜視図である。
【図７】従来の距離測定装置の動作を示す図である。
【図８】従来の距離測定装置の動作を示す図である。
【符号の説明】
【００６５】
１０      画像評価装置
１１      駆動装置
１２      照明装置
１３      距離測定装置
１４      撮像装置
１５      制御装置
１６      演算装置
２０      ポリゴンミラー
２１      撮像素子
２２      レンズ
２３      ステージ
２５      評価画像
２８      半導体レーザー
２９      受光素子
３５      面発光レーザー
【図１】
2006254373.tif 000003
【図２】
2006254373.tif 000004
【図３】
2006254373.tif 000005
【図４】
2006254373.tif 000006
【図５】
2006254373.tif 000007
【図６】
2006254373.tif 000008
【図７】
2006254373.tif 000009
【図８】
2006254373.tif 000010