(57)【要約】【課題】  マスクシートの開口面積等の具体的な事情に応じてより適切なアタック角度で印刷処理を行い得るようにし、印刷状態の良好な基板を安定して生産する。【解決手段】  スクリーン印刷装置は、ヘッドをマスクシートに沿って移動させながらスキージによりペーストを拡張し、スキージの回転によりアタック角度の切換えを行うように構成される。このスクリーン印刷装置は、主制御部５１１、角度設定部５１２および記憶部５１３等を含む制御部本体５１を有する。角度設定部５１２は、マスクシートの開口面積、ペースト量およびヘッドの移動速度等の印刷条件に基づいてタック角度を設定し、主制御部５１１は、印刷動作中、角度設定部５１２により設定された設定角度に基づいてスキージを駆動制御するように構成される。【選択図】      図６
2006315329.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクシートに対して相対的に移動可能なヘッドにスキージが回転可能に設けられ、この回転よりスキージの傾き角度であるアタック角度が切換可能に構成され、前記ヘッドの移動に伴い所定のアタック角度でスキージをマスクシートに沿って摺動させながらはんだ等のペーストをマスクシートの開口を介して基板に塗布するスクリーン印刷装置において、
マスクシートに関する情報、ペーストに関する情報、ヘッドの駆動に関する情報および印刷結果に関する状態のうち少なくとも一つの情報に基づいてアタック角度を設定する設定手段と、
この設定手段により設定された設定角度で印刷動作を実施すべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御する制御手段とを備えている
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
請求項１に記載のスクリーン印刷装置において、
前記マスクシートに関する情報はマスク開口面積であり、前記ペーストに関する情報は印刷時のペースト量であり、ヘッドの駆動に関する情報は印刷時のヘッド移動速度又はマスクシートを介して前スキージを基板に押圧する際の押圧荷重の少なくとも一方であり、印刷結果に関する情報は印刷済み基板の印刷部分の印刷面積である
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスクリーン印刷装置において、
印刷処理が終了した基板の印刷面を撮像する撮像手段と、
この撮像手段により撮像された印刷面の画像に基づいて印刷部分の印刷面積を認識する認識手段とを有し、
前記設定手段は、印刷結果に関する情報として前記認識手段の認識結果に基づいて前記アタック角度を設定する
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載のスクリーン印刷装置において、
前記設定手段は、マスクシートに対して印刷時のヘッドの移動方向に並ぶ複数のエリアを設定するとともにエリア毎にアタック角度を設定し、
前記制御手段は、前記エリア毎にそのエリアに対応するアタック角度で印刷を行うべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項５】
請求項４に記載のスクリーン印刷装置において、
前記制御手段は、エリア間でアタック角度を変更する際には、マスクシートにスキージが圧接した状態を維持しながら前記アタック角度を切換えるべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載のスクリーン印刷装置において、
前記制御手段は、エリア間でアタック角度を変更する際には、ヘッドをマスクシートに摺動させながらアタック角度を切換える第１切換動作と、ヘッドの移動を一旦停止させてアタック角度を切換えた後に再度移動を開始する第２切換動作とを選択的に実行する
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項７】
請求項２に記載のスクリーン印刷装置において、
前記設定手段は、アタック角度に加えてヘッド移動速度を設定するものであって、マスクシートに関する情報、ペーストに関する情報、押圧荷重および印刷結果に関する状態のうち少なくとも一つの情報に基づいてアタック角度およびヘッド移動速度をそれぞれ設定するように構成され、前記制御手段は、設定手段よる設定角度および設定速度で印刷動作を実施すべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御する
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項８】
請求項２に記載のスクリーン印刷装置において、
前記設定手段は、アタック角度に加えて前記押圧荷重を設定するものであって、マスクシートに関する情報、ペーストに関する情報、ヘッド移動速度および印刷結果に関する状態のうち少なくとも一つの情報に基づいてアタック角度および押圧荷重をそれぞれ設定するように構成され、前記制御手段は、設定手段よる設定角度および設定荷重で印刷動作を実施すべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御する
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項９】
マスクシートに対して相対的に移動可能なヘッドにスキージが回転可能に設けられ、この回転よりスキージの傾き角度であるアタック角度が切換可能に構成され、前記ヘッドの移動に伴い所定のアタック角度でスキージをマスクシートに沿って摺動させながらはんだ等のペーストをマスクシートの開口を介して基板に塗布するスクリーン印刷装置における印刷方法であって、
所定のアタック角度に前記スキージを配置して基板に印刷を施した後、この印刷状態を画像認識し、この認識結果に基づいてアタック角度を補正し、この補正後のアタック角度で次回の印刷を行うことを特徴とする印刷方法。
【請求項１０】
マスクシートに対して相対的に移動可能なヘッドにスキージが回転可能に設けられ、この回転よりスキージの傾き角度であるアタック角度が切換可能に構成され、前記ヘッドの移動に伴い所定のアタック角度でスキージをマスクシートに沿って摺動させながらはんだ等のペーストをマスクシートの開口を介して基板に塗布するスクリーン印刷装置における印刷方法であって、
マスクシートに対して印刷時のヘッドの移動方向に並ぶ複数のエリアを設定するとともにエリア毎にアタック角度を設定し、前記アタック角度を、前記エリア毎にそのエリアに対応するアタック角度に切換えながら印刷を行うことを特徴とする印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板等の基板にクリーム半田等のペーストを塗布するスクリーン印刷装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ステージ上にセットした基板にマスクシートを重装し、マスクシート上に供給されるクリームはんだ、導電ペースト等のペーストをスキージで拡張することにより、マスクシートに形成された開口（マスク開口）を介して基板上の所定位置にペーストを塗布（印刷）するようにしたスクリーン印刷装置が一般に知られている。
【０００３】
この種のスクリーン印刷装置として、近年では、例えば特許文献１又は特許文献２に開示されるように、ヘッドに対してスキージをその長手方向と平行な軸回りに回転（揺動）可能に支持したスクリーン印刷装置が提案されている。これらの装置は、スキージを前記軸回りに駆動するだけでマスクシートに対するスキージの傾き角度（アタック角度）を任意に設定でき、また単一の機構でスキージを昇降駆動できるため往時と復時の印刷荷重を均一に保ち易くなるという特徴を有している。
【特許文献１】特開平１０−３２３９６４号公報
【特許文献２】特開２００３−４８３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなスクリーン印刷装置において、アタック角度の設定は、従来、基板の生産前に印刷試験を行うことにより作業者がその経験に基づいて最適と思われるアタック角度を決定していた。そのため、作業者毎に最適なアタック角度が異なる場合もあり、基板の品質（印刷状態）を一定に保つ上で改善の余地がある。
【０００５】
また、一旦印刷作業が開始されると、同じロットの基板は全て同じアタック角度で作業が進められており、印刷後の検査で印刷不良が発生しない限り印刷動作中にアタック角度が変更されることは殆どない。そのため、実際には、印刷不良が発生するまでの間、印刷不良に近い印刷状態の基板が多数生産されている場合も考えられ、この点を改善して、印刷状態の良好な基板を安定して生産できるようにすることが望まれる。
【０００６】
さらに、マスク開口の数、大きさ及び配置はマスクシートの部分によって異なるが、従来のように一律に同じアタック角度で印刷処理を行う場合には、同じ基板でもマスク開口面積等の違いにより基板の印刷状態が部分的に異なる場合がある。従って、この点を改善することも望まれる。
【０００７】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであって、マスクシートの開口面積等の具体的な事情に応じてより適切なアタック角度で印刷処理を行い得るようにすること、より好ましくは、適切なアタック角度に加え、適切なヘッド移動速度又は押圧荷重で印刷処理を行い得るようにし、これを通じてより印刷状態の良好な基板を安定して生産できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のスクリーン印刷装置は、マスクシートに対して相対的に移動可能なヘッドにスキージが回転可能に設けられ、この回転よりスキージの傾き角度であるアタック角度が切換可能に構成され、前記ヘッドの移動に伴い所定のアタック角度でスキージをマスクシートに沿って摺動させながらはんだ等のペーストをマスクシートの開口を介して基板に塗布するスクリーン印刷装置において、マスクシートに関する情報、ペーストに関する情報、ヘッドの駆動に関する情報および印刷結果に関する状態のうち少なくとも一つの情報に基づいてアタック角度を設定する設定手段と、この設定手段により設定された設定角度で印刷動作を実施すべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御する制御手段とを備えているものである（請求項１）。
【０００９】
例えば、前記マスクシートに関する情報としてマスク開口面積、前記ペーストに関する情報として印刷時のペースト量、ヘッドの駆動に関する情報として印刷時のヘッド移動速度又はマスクシートを介して前スキージを基板に押圧する際の押圧荷重の少なくとも一方、印刷結果に関する情報としては印刷済み基板の印刷部分の印刷面積（請求項２）などを用いることができる。
【００１０】
このスクリーン印刷装置によると、マスクシートに関する情報をはじめとする各種情報に基づき設定手段においてスキージの最適なアタック角度が設定され、この設定角度に基づき制御手段によりスキージ等が駆動制御される。そのため、信頼性の高いアタック角度を設定して印刷動作を進めることが可能となる。
【００１１】
このスクリーン印刷装置においては、印刷処理が終了した基板の印刷面を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像された印刷面の画像に基づいて印刷部分の印刷面積を認識する認識手段とをさらに有し、印刷結果に関する情報として前記認識手段の認識結果に基づいて前記アタック角度を設定するように設定手段が構成されているのが好ましい（請求項３）。
【００１２】
この装置によると、例えば前回の印刷状態（印刷部分の印刷面積）に基づいて次回印刷時のアタック角度が設定手段により設定される。そのため、例えば前回の印刷状態が悪い場合には、この印刷状態が改善されるようにアタック角度が補正されることとなる。
【００１３】
また、上記のスクリーン印刷装置において、前記設定手段は、マスクシートに対して印刷時のヘッドの移動方向に並ぶ複数のエリアを設定するとともにエリア毎にアタック角度を設定し、前記制御手段は、前記エリア毎にそのエリアに対応するアタック角度で印刷を行うべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御するように構成されているのが好ましい（請求項４）。
【００１４】
このスクリーン印刷装置によると、一枚の基板の印刷動作中、マスクシートに沿って摺動するスキージのアタック角度がエリア毎にそのエリアに対応したアタック角度に切換えられる。そのため、マスクシートのマスク開口の数、大きさ、配置といった具体的な事情に応じたエリアを設定するようにしておくことにより、そのエリア毎に最適なアタック角度で印刷が行われることとなる。
【００１５】
この場合、前記制御手段は、エリア間でアタック角度を変更する際には、マスクシートにスキージが圧接した状態を維持しながら前記アタック角度を切換えるべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御するように構成されているのが好ましい（請求項５）。
【００１６】
すなわち、スキージをマスクシートから一旦引き離して角度変更を行うようにしてもよいが、この場合、ペーストの性状によっては後側（スキージの進行方向後側）にペーストが流動して印刷不良を誘発することが考えられる。これに対して上記の構成によると、角度切換中もマスクシートに対してスキージが接触した状態が維持されるため、上記のようなトラブルの発生が未然に防止される。
【００１７】
また、前記制御手段は、エリア間でアタック角度を変更する際には、ヘッドをマスクシートに摺動させながらアタック角度を切換える第１切換動作と、ヘッドの移動を一旦停止させてアタック角度を切換えた後に再度移動を開始する第２切換動作とを選択的に実行し得るように構成されているのが好ましい（請求項６）。
【００１８】
この構成によると、隣設されるエリアの間隔等の具体的な状況に応じて応じて第１又は第２切換動作の何れかの切換え動作が選択的に実行される。これによりエリア毎にアタック角度を切換えるようにする一方で、印刷動作が適切に、かつ可及的速やかに進められる。
【００１９】
なお、上記（請求項２）に係るスクリーン印刷装置において、前記設定手段は、アタック角度に加えてヘッド移動速度を設定するものであって、マスクシートに関する情報、ペーストに関する情報、押圧荷重および印刷結果に関する状態のうち少なくとも一つの情報に基づいてアタック角度およびヘッド移動速度をそれぞれ設定するように構成され、前記制御手段は、設定手段よる設定角度および設定速度で印刷動作を実施すべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御するように構成されるものであってもよい（請求項７）。また、前記設定手段は、アタック角度に加えて前記押圧荷重を設定するものであって、マスクシートに関する情報、ペーストに関する情報、ヘッド移動速度および印刷結果に関する状態のうち少なくとも一つの情報に基づいてアタック角度および押圧荷重をそれぞれ設定するように構成され、前記制御手段は、設定手段よる設定角度および設定荷重で印刷動作を実施すべく前記ヘッドおよびスキージを駆動制御するように構成されるものであってもよい（請求項８）。
【００２０】
これらの構成によると、アタック角度に加えてヘッド移動速度、あるいは押圧荷重についても信頼性の高い設定が可能となる。
【００２１】
一方、本発明に係る印刷方法は、マスクシートに対して相対的に移動可能なヘッドにスキージが回転可能に設けられ、この回転よりスキージの傾き角度であるアタック角度が切換可能に構成され、前記ヘッドの移動に伴い所定のアタック角度でスキージをマスクシートに沿って摺動させながらはんだ等のペーストをマスクシートの開口を介して基板に塗布するスクリーン印刷装置における印刷方法であって、所定のアタック角度に前記スキージを配置して基板に印刷を施した後、この印刷状態を画像認識し、この認識結果に基づいてアタック角度を補正し、この補正後のアタック角度で次回の印刷を行うようにしたものである（請求項９）。
【００２２】
このように一旦設定したアタック角度を実際の印刷状態に応じて補正することにより、アタック角度の信頼性が向上する。
【００２３】
また、本発明に係る印刷方法は、マスクシートに対して相対的に移動可能なヘッドにスキージが回転可能に設けられ、この回転よりスキージの傾き角度であるアタック角度が切換可能に構成され、前記ヘッドの移動に伴い所定のアタック角度でスキージをマスクシートに沿って摺動させながらはんだ等のペーストをマスクシートの開口を介して基板に塗布するスクリーン印刷装置における印刷方法であって、マスクシートに対して印刷時のヘッドの移動方向に並ぶ複数のエリアを設定するとともにエリア毎にアタック角度を設定し、前記アタック角度を、前記エリア毎にそのエリアに対応するアタック角度に切換えながら印刷を行うようにしたものである（請求項１０）。
【００２４】
この印刷方法によると、例えばマスクシートのマスク開口の数、大きさ、配置といった具体的な事情に応じてマスクシートに複数のエリアを設定し、エリア毎にアタック角度を切換えることにより、エリア毎にそのエリアに属するマスク開口等に応じたより最適なアタック角度で印刷を進めることが可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る請求項１〜８に係るスクリーン印刷装置によると、マスクシートに関する情報等の具体的な条件に基づいてアタック角度の設定を自動的に行うことが可能となるので、アタック角度の設定を作業者の経験に依存していた従来のこの種のスクリーン印刷装置に比べると、アタック角度設定の信頼性を高めることができる。従って、常に適切なアタック角度で印刷処理を行うことができ、その結果、印刷状態の良好な基板を安定して生産できるようになる。特に、請求項３に係るスクリーン印刷装置（又は請求項９に係る印刷方法）によると、前回の印刷状態が悪い場合には、その印刷状態に基づいて次回印刷時のアタック角度を修正（変更）することが可能となるため、より適切に印刷処理を進めることができるようになる。
【００２６】
また、請求項４〜６に係るスクリーン印刷装置（又は請求項１０に係る印刷方法）によると、マスクシートのエリア毎にアタック角度が切換可能なため、エリア毎に最適なアタック角度でもって印刷処理を行うことにより、基板の全体に対して適切に印刷処理を施すことができるようになる。
【００２７】
さらに、請求項７，８に係るスクリーン印刷装置によると、アタック角度に加えてヘッド移動速度、あるいはスキージの押圧荷重の設定についてもその信頼性を高めることができるため、印刷状態の良好な基板をより一層安定して生産できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２９】
図１及び図２は、本発明に係るスクリーン印刷装置（本発明に係る印刷方法が使用されるスクリーン印刷装置）を概略的に示しており、図１は側面図（印刷済み基板搬出側から見た側面図）で、図２は正面図でそれぞれスクリーン印刷装置を示している。
【００３０】
これらの図に示すように、スクリーン印刷装置の基台１上には、搬入用コンベア２ａと搬出用コンベア２ｂとが印刷ステージ３Ａを挟んで配設されており、プリント基板Ｗ（以下、基板Ｗと略す）が搬入用コンベア２ａにより印刷ステージ３Ａに搬入され、ここで印刷処理に施された後、搬出用コンベア２ｂにより搬出されるように構成されている。
【００３１】
なお、以下の説明では、これらコンベア２ａ，２ｂによる基板Ｗの搬送方向をＹ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＸ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めるものとする。
【００３２】
印刷ステージ３Ａには４軸ユニット１０が配設されている。
【００３３】
この４軸ユニット１０は、基板Ｗを支持して後記マスクシート４トに対してその下側から位置決めするもので、搬入用コンベア２ａにより搬入された基板Ｗを水平に、かつＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸およびＲ軸（Ｚ軸回りの回転）に変位可能に支持する。
【００３４】
すなわち、この４軸ユニット１０は、前記基台１上に固定される固定テーブル１１と、この固定テーブル１１に対して相対的にＸ軸方向に移動可能に支持されてサーボモータにより駆動されるＸ軸テーブル１２と、このＸ軸テーブル１２に対して相対的にＹ軸方向に移動可能に設けられてサーボモータにより駆動されるＹ軸テーブル１３と、このＹ軸テーブル１３に対して相対的に回転可能に設けられてサーボモータにより駆動されるＲ軸テーブル１４と、このＲ軸テーブル１４に対して昇降可能に設けられてサーボモータにより駆動される昇降テーブル１５とを階層的に備えている。そしてこの昇降テーブル１５に設けられた支持ユニット１６により基板Ｗを支持することにより、各テーブル１２，１３，１４，１５の駆動に応じて基板ＷをＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸およびＲ軸（Ｚ軸回りの回転）方向の任意の位置に移動し得るようになっている。
【００３５】
支持ユニット１６は、Ｚ軸方向に出没可能な複数の支持ピンを備え、基板Ｗを直接支持する基板支持機構１７と基板ＷをＸ軸方向両側からクランプするクランプ機構１８とから構成されており、搬入用コンベア２ａから支持ユニット１６上に基板Ｗが搬入されると基板支持機構１７の各支持ピンが突出して基板Ｗをその下側（裏面側）から支持するとともにクランプ機構１８により基板ＷをＸ軸方向両側からクランプし、これにより基板Ｗを支持ユニット１６に対して位置決め固定するようになっている。
【００３６】
なお、基台１上において印刷ステージ３ＡのＸ軸方向側方（図１の右側）には検査ステージ３Ｂが設けられており、前記Ｘ軸テーブル１２の駆動により４軸ユニット１０が印刷ステージ３Ａと検査ステージ３Ｂとの間を移動できるように構成されている。
【００３７】
この検査ステージ３Ｂには、その上方に撮像ユニット８が配設されている。この撮像ユニット８は、ＣＣＤエリアセンサ等の撮像素子をもつカメラ８ａおよびＬＥＤ等の照明光源からなる照明装置８ｂ（何れも図５に示す）等からなり、撮像方向を下向きにした状態で検査ステージ３Ｂの上方に配置されており、支持ユニット１６に支持された基板Ｗの印刷面をその上側から撮像しその画像信号を後記制御装置５０に出力するようになっている。
【００３８】
印刷ステージ３Ａの上方にはマスクシート４が張設されており、このマスクシート４の上方に、該シート４上に供給されるクリームはんだ、導電ペースト等のペーストを拡張するスキージ６ａを備えた印刷用ヘッド６が配設されている。
【００３９】
ヘッド６はＸ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に支持されておりサーボモータにより駆動されるようになっている。すなわち、マスクシート４の上方にはＸ軸方向に延びる一対の固定レール７が設けられ、ヘッド支持部材５がこれら固定レール７に横架された状態で装着されるとともにサーボモータにより駆動されるボールねじ（共に図示省略）に対して連結されている。また、ヘッド６がヘッド支持部材５に設けられたＺ軸方向の固定レール２２に装着されるとともにサーボモータ２３に回転駆動されるボールねじ２４に連結されている。これにより、前記２つのサーボモータのうち図外のサーボモータの駆動によりヘッド６がヘッド支持部材５と一体的にＸ軸方向に所定の設定速度で移動する一方、残りのサーボモータ２３の駆動によりヘッド６がヘッド支持部材５に対してＺ軸方向に移動し、この移動によりスキージ６ａがマスクシート４を介して基板Ｗに所定の設定荷重で押圧される。そして、上記のヘッド６のＸ軸方向の移動に伴いスキージ６ａがマスクシート４に沿って摺動し、この摺動によりマスクシート４上でペーストが拡張されるようになっている。
【００４０】
図３，図４はヘッド６の具体的な構成を示しており、図３は斜視図で、図４は正面図（図３のＡ方向矢視図）でそれぞれヘッド６を示している。
【００４１】
これらの図に示すように、ヘッド６は板状のメインフレーム２０を有しており、このフレーム２０を介して前記ヘッド支持部材５に支持されている。このフレーム２０には、断面逆Ｌ字型のアーム部材２５が図外のばね部材を介して接続されており、さらにロードセル等の圧力センサ２６が介装された支持部２８がこのアーム部材２５に垂設され、前記支持部２８にサブフレーム３０が揺動自在に支持されている。具体的には、Ｙ軸方向に延びる第１支持軸２９が支持部２８に突設され、この第１支持軸２９にベアリング等を介してサブフレーム３０が支持されることにより、当該サブフレーム３０がこの第１支持軸２９回りに揺動自在に支持されている。
【００４２】
なお、圧力センサ２６には不図示のばね部材が上下直列に設けられており、印刷開始時には、上記の通りヘッド６を下降させてスキージ６ａを接触ポイントに接触させ、さらに前記ばね部材の弾性力に抗してヘッド６を下降させつつ、圧力センサ２６による出力値が所定値（押付荷重）となる高さ位置でヘッド６を停止させるように後記制御装置５０によりサーボモータ２３が駆動制御される。これによりスキージ６ａが所定の設定荷重でマスクシート４に圧接させるようになっている。
【００４３】
サブフレーム３０には、後記スキージユニット４５が着脱可能に組付けられるユニット組付部材３２が回転可能に支持されるとともにこのユニット組付部材３２を駆動する駆動機構が搭載されている。
【００４４】
ユニット組付部材３２は、Ｙ軸方向に細長い長方形の板状の部材であって、その長手方向途中分部に突設されるアーム部３２ａを介してサブフレーム３０に回転可能に支持されている。具体的には、前記サブフレーム３０にＹ軸方向に延びる第２支持軸３４がその軸回りに回転可能な状態で支持され、この第２支持軸３４に対して前記アーム部３２ａが固定（キー結合）されることにより、サブフレーム３０に対してユニット組付部材３２が揺動自在に支持されている。
【００４５】
ユニット組付部材３２を支持する上記第２支持軸３４は、サブフレーム３０を貫通して反対側に突出しておりこの突出部分にはギア４４が固定（キー結合）されている。そして、サブフレーム３０に駆動源としてのサーボモータ４０が固定され、このモータ４０の出力軸に駆動ギア４１が装着されるとともに、この駆動ギア４１と前記ギア４４との間にアイドルギア４２，４３が介装されている。つまり、サーボモータ４０、ギア４１〜４４及び第２支持軸３４等により上記駆動機構が構成されており、サーボモータ４０が作動すると、その回転駆動力がギア４１〜４４を介して第２支持軸３４に伝達され、これによってユニット組付部材３２が第２支持軸３４回りに回転駆動されるようになっている。なお、アイドルギア４２，４３は、サブフレーム３０に対して回転自在に軸支されている。
【００４６】
ユニット組付部材３２には、スキージユニット４５が着脱自在に組付けられている。このスキージユニット４５は、スキージ６ａとこれを保持するスキージホルダ４６とから構成されており、スキージホルダ４６に設けられた一対のねじ軸をユニット組付部材３２に形成された案内溝３２ｂに通し、さらにスキージホルダ４６をユニット組付部材３２に重ね合わせた状態で、前記各ねじ軸にナット部材４８が螺合装着されることにより、ユニット組付部材３２に対して固定されている。なお、図４では便宜上ナット部材４８は図示を省略している。
【００４７】
スキージ６ａは、例えば硬質ウレタン、あるいはステンレスからなるＹ軸方向に細長い長方形の板状部材で、同図に示すように、同様にＹ軸方向に細長い前記スキージホルダ４６に重ね合わされた状態で当該ホルダ４６に固定されている。スキージホルダ４６の長手方向両端には、横漏れ防止板４７がそれぞれ設けられており、印刷作業時には、スキージ６ａ側方（Ｙ軸方向外側方）へのペーストの流動による漏洩がこの横漏れ防止板４７により防止されるようになっている。なお、各横漏れ防止板４７はスキージホルダ４６に対してＹ軸回りに回転可能で、かつスキージ６ａに対して中立の位置（図４に示す位置）に弾性的に保持されており、この構成により印刷動作中はマスクシート４に対するスキージ６ａの傾き角度（以下、アタック角度という）に拘わらず横漏れ防止板４７がマスクシート４に隙間無く摺接し得るようになっている。
【００４８】
なお、このスクリーン印刷装置には、前記ヘッド６、４軸ユニット１０および撮像ユニット８等の駆動を統括的に制御する図５に示すような制御装置５０が設けられている。
【００４９】
この制御装置５０は、制御部本体５１、キーボード・マウス等の入力手段５８、ＬＣＤモニタ等の表示手段５９、モータ制御回路６１、画像処理回路６２、照明制御回路６３および光磁気ディスクなどの外部記憶装置５７等を備えている。
【００５０】
制御部本体５１は、論理演算を実行する周知のＣＰＵ５２、そのＣＰＵ５２を制御する種々のプログラムなどを予め記憶するＲＯＭ５３、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ５４、種々のプログラムやＯＳ、さらに各種データを記憶するＨＤＤ５５およびＩ／Ｏコントローラ（ＩＯＣ）５６等を備え、これらＣＰＵ６２等が互いに内部バスにより接続された構成となっている。
【００５１】
ＩＯＣ５６には、前記入力手段５８および表示手段５９が接続されるとともに、サーボモータ２３，４０等のモータ制御回路６１、カメラ８ａの画像処理回路６２、照明装置８ｂの照明制御回路６３等が接続されている。そして、入力手段５８により入力される所定の入力情報に基づくＣＰＵ５２からの指令に従い、制御回路６１等と制御部本体５１との間の各種制御信号および各種データの入力がこのＩＯＣ５６により制御され、これによりヘッド６および４軸ユニット１０の動作等が制御部本体５１により制御されるようになっている。
【００５２】
なお、同図では、サーボモータとして便宜上２つのモータ２３，４０のみ図示しているが、ここにはこれ以外の各種サーボモータ、例えば４軸ユニット１０の各テーブル駆動用のサーボモータ、ヘッド支持部材駆動用のサーボモータ等も含まれている。
【００５３】
図６は、制御部本体５１に含まれる機能構成のうちアタック角度の制御に関する部分をブロック図で概略的に示している。同図に示すように、制御部本体５１は、主制御部５１１、角度設定部５１２（本発明に係る設定手段に相当）および記憶部５１３を含んでいる。
【００５４】
主制御部５１１は、予め記憶されたプログラムに従って所定の印刷処理および検査処理を実行すべくモータ制御回路６１を介してサーボモータ４０等を統括的に制御するとともに、これら印刷処理および検査処理に必要な各種演算を行うものである。検査処理においては撮像ユニット８から出力される基板Ｗ（印刷面）の画像データに基づき印刷状態、具体的には各印刷ポイントのペースト塗布量（印刷面積）とその塗布状態とを認識し、これに基づき印刷処理の合否を判定する。
【００５５】
角度設定部５１２は、印刷時のマスクシート４に対するスキージ６ａのアタック角度を設定するもので、記憶部５１３に記憶されているマスクシートデータ、ペーストデータ等の各種データおよび印刷プログラムに基づきアタック角度を設定する。例えば角度設定部５１２には、図７に示すような複数のパラメータ、具体的にはマスク開口面積（アスペクト比）、ペースト量、スキージ６ａの移動速度（印刷速度）、スキージ６ａの押圧荷重（図示せず）および印刷面積等のパラメータとアタック角度（最適値）との相関関係を予め試験的に調べた相関データが記憶されており、角度設定部５１２は、印刷処理における各パラメータと前記相関データとからパラメータ毎の最適なアタック角度を求め、これらの最適値に基づき最終的なアタック角度を設定するようになっている。なお、印刷面積については、被処理基板と共通の基板Ｗについて既に検査処理が実施されて検査データが取得されている場合にのみアタック角度の設定パラメータとして用いる。
【００５６】
なお、角度設定部５１２は、マスクシート４のマスク開口の位置、数、大きさ等に基づき、必要に応じて、マスクシート４に対して複数の印刷エリアを設定し、そのエリア毎にアタック角度を設定するようになっている。具体的には、記憶部５１３に記憶されているマスクシートデータに基づき、例えば図１０に示すようにマスクシート４に形成されるマスク開口４ａ〜４ｃのうち略同サイズのマスク開口４ａ〜４ｃが共通のエリアに属するように、マスクシート４に対してヘッド６の移動方向（Ｘ軸方向）に複数のエリアＰ１〜Ｐ３を設定し、エリアＰ１〜Ｐ３毎にアタック角度を設定する。
【００５７】
記憶部５１３は、上記の通りマスクシート４、ペーストおよび基板Ｗ等に関する各種データを格納するものである。
【００５８】
次に、上記制御装置５０による基板Ｗの印刷動作制御について図１０、図１１を参照しつつ図８、図９のフローチャートに基づいて説明する。
【００５９】
４軸ユニット１０の前記支持ユニット１６に基板Ｗが搬入され、マスクシート４に対して基板Ｗが重装されると図８のフローチャートがスタートする。
【００６０】
まず、ステップＳ１において、印刷に用いるマスクシート４のマスクシートデータを読込むことによりこのデータに基づきマスクシート４に対して印刷エリアの設定（マスクエリアの分割）を行う。この際、図１０に示すようにマスクシート４にサイズが異なる複数のマスク開口４ａ〜４ｃが形成されているような場合には、上述したように、略同サイズのマスク開口がそれぞれ共通のエリアに属するようにマスクシート４にエリアＰ１〜Ｐ３を設定する。図示の例ではマスクシート４を３つのエリアＰ１〜Ｐ３（分割数Ｎ=３）を設定する。なお、マスク開口４ａ〜４ｃの大きさが１種類、あるいは複数サイズのマスク開口がマスクシート４全体に入り乱れた状態で略均等に存在するような場合にはマスクシート４全体を１つのエリアとして設定する（分割数Ｎ=１）。
【００６１】
次いで、エリアのカウンタ値ｉに初期値「１」をセットし、スキージ６ａをマスクシート４上の所定の初期位置に配置するとともに、必要であればペースト供給装置（図示せず）によりマスクシート４上にペーストを供給する。具体的には、予め定められたアタック角度の初期値（初期角度という）にスキージ６ａをセットした後、ヘッド６をヘッド支持部材５に対して下降させ、これによりスキージ６ａのエッジ部分を所定圧でマスクシート４に圧接させ、この状態で、スキージ６ａの前方、すなわち印刷時のヘッド６の進行方向前方であってマスクシート４のうちマスク開口４ａ〜４ｃが存在しない部分に予め定められた量のペーストを供給する。これにより印刷待機状態となる。
【００６２】
印刷待機状態に入ると、次にマスクシート４の最初のエリアＰ１、すなわち印刷時にヘッド６が最初に通過するエリアのアタック角度を求める（ステップＳ２，Ｓ３）。
【００６３】
図９はアタック角度を求める処理のサブルーチンを示している。この処理では、今回の印刷処理に関するマスクシートデータ、ペースト量データ、印刷速度データおよび印刷結果データを順次角度設定部５１２に読込み、これらデータと前記相関データとに基づいてアタック角度を求める（ステップＳ２１〜Ｓ２５）。
【００６４】
ここで、ペースト量データは、主制御部５１１において演算により求める。具体的にはマスクシート４上に供給されるペーストの初期投入量から消費量（基板１枚当りの消費量×印刷済み枚数）を減算することにより求める。また、印刷速度データとしては、予め記憶されている印刷プログラムの設定値を用い、印刷結果データは主制御部５１１による検査結果を用いる。なお、印刷結果データは、例えば同一ロット内で直前に印刷及び検査処理が行われた基板Ｗのデータを用いる。
【００６５】
図８に戻って、最初のエリアＰ１のアタック角度が求まると、スキージ６ａの現在位置とエリアＰ１の印刷開始位置Ｐ１ｓ（図１０参照）とに基づき、当該印刷開始位置Ｐ１ｓまでにアタック角度の変更が可能か否かを判断する（ステップＳ４）。
【００６６】
ここで、ＹＥＳと判断した場合には、スキージ６ａを駆動してアタック角度の変更を開始するとともにヘッド支持部材５を駆動してヘッド６の移動を開始し、これによりエリアＰ１に対してスキージ６ａをステップＳ３で求められたアタック角度で摺動させる（ステップＳ５〜Ｓ７）。このようにスキージ６ａを摺動させることにより、マスクシート４上のペーストがスキージ６ａにより拡張されつつエリアＰ１に形成されたマスク開口４ａを介して基板Ｗ上に塗布されることとなる。
【００６７】
なお、スキージ６ａのアタック角度を変更すると、図１１に示すように、スキージ６ａのエッジ部分、つまりマスクシート４に対する圧接部分はＹ軸方向にΔＹ、Ｚ軸方向にΔＺだけ変位することとなる。そのため、ステップＳ６のヘッド６の移動時には、主制御部５１１において初期角度（現在のアタック角度）と変更後のアタック角度との偏差から上記変位量ΔＹ，ΔＺを求め、スキージ６ａのエッジ部分が常に設定圧でマスクシート４に圧接した状態が維持されるように、主制御部５１１によりヘッド６のＸ軸方向の移動速度およびＺ軸方向の位置を制御する。
【００６８】
これに対してステップＳ４でＮＯと判断した場合には、ヘッド６の移動を停止させ（ヘッド６が停止している場合には停止状態を維持し）、この状態でスキージ６ａを駆動してアタック角度を変更する（ステップＳ１０〜Ｓ１２）。この場合も、初期角度（現在のアタック角度）と変更後のアタック角度との偏差から上記変位量ΔＹ，ΔＺを求め、アタック角度の変更中、スキージ６ａのエッジ部分がマスクシート４の定位置に、設定圧で圧接するように主制御部５１１によりヘッド６を駆動制御する。
【００６９】
アタック角度の変更が完了すると（ステップＳ１２でＹＥＳ）、ヘッド支持部材５を駆動してヘッド６の移動を再開し（ステップＳ１３）、これによりスキージ６ａをステップＳ３で求められたアタック角度でエリアＰ１に対して摺動させ、基板Ｗに対してペーストを塗布する（ステップＳ８）。
【００７０】
そして、スキージ６ａがエリアＰ１の印刷終了位置Ｐ１ｅに到達すると、印刷エリアのカウンタ値ｉが設定数（分割数Ｎ）以上か否かを判断し（ステップＳ９）、ここでＮＯと判断した場合には、ステップＳ１４に移行してエリアのカウンタ値ｉをインクリメントした後、ステップＳ３に移行し、次のエリアＰ２のアタック角度を求めてスキージ６ａ等を駆動制御する。
【００７１】
このようにして最終的にステップＳ９でＹＥＳと判断すると、すなわちマスクシート４の全てのエリアＰ１〜Ｐ３に亘ってスキージ６ａが移動したと判断すると、基板Ｗに対する印刷処理を終了し、４軸ユニット１０を駆動して基板Ｗをマスクシート４から離間させ、これにより本フローチャートを終了する。
【００７２】
ここで、図１０に示すマスクシート４を用いる場合のヘッド６（スキージ６ａ）の動作を簡単にまとめると次のようになる。まず、スキージ６ａは、初期角度の状態でマスクシート４ａ（初期位置）に圧接され、その後、アタック角度がエリアＰ１に対応したアタック角度に切換えられる。
【００７３】
そして、エリアＰ１の印刷開始位置Ｐ１ｓから印刷終了位置Ｐ１ｅまでスキージ６ａが摺動すると、アタック角度が次のエリアＰ２に対応したアタック角度に切換えられる。この際、エリアＰ１の印刷終了位置Ｐ１ｅからエリアＰ２の印刷開始位置Ｐ２ｓまでは同図に示すように離間しており余裕があるため、終了位置Ｐ１ｅから開始位置Ｐ２ｓまでスキージ６ａが移動する間にアタック角度の切換えが行われる。このとき、マスクシート４ａに対してスキージ６ａを摺動させながらアタック角度の切換えが行われることにより（本発明の第１切換動作に相当）、スキージ６ａの後側（進行方向後側）にペーストが漏れ出すことが防止される。
【００７４】
そして、切換え後のアタック角度でエリアＰ２の印刷開始位置Ｐ２ｓから印刷終了位置Ｐ２ｅまでスキージ６ａが移動すると、スキージ６ａのアタック角度がさらに次のエリアＰ３に対応したアタック角度に切換えられる。この場合、図示の例では、エリアＰ２の印刷終了位置Ｐ２ｅとエリアＰ３の印刷開始位置Ｐ３ｓとが同位置であるため、スキージ６ａが終了位置Ｐ２ｅで一旦停止し、この停止状態でアタック角度の切換えが行われる（本発明の第２切換動作に相当）。このときにも、印刷終了位置Ｐ２ｅにスキージ６ａを圧接させた状態でアタック角度の切換えが行われることにより、スキージ６ａの進行方向後側へのペーストの漏出が防止される。
【００７５】
こうしてアタック角度の切換えが終了すると、スキージ６ａが切換え後のアタック角度でエリアＰ３の印刷開始位置Ｐ３ｓ（＝Ｐ２ｅ）から印刷終了位置Ｐ３ｅまで移動し、これにより印刷が完了することとなる。
【００７６】
以上のようなスクリーン印刷装置によると、マスクシート４の開口面積やペースト量等の具体的な情報に基づいて角度設定部５１２により自動的にアタック角度を設定し、この設定アタック角度に基づいてスキージ６ａを主制御部５１１により駆動制御するように構成されているので、このようなアタック角度の設定を作業者の経験に基づいて行っていた従来のこの種のスクリーン印刷装置に比べるとアタック角度のバラツキが少なく信頼性が高い。従って、常に適切なアタック角度で印刷処理を行うことができ、これによって印刷状態の良好な基板を安定して生産できるようになる。
【００７７】
特に、この装置では、印刷処理が施された基板Ｗの印刷面を撮像ユニット８により撮像し、その画像に基づき印刷状態（特に印刷面積）を検査する一方、その検査結果データを角度設定部５１２にフィードバックし、この結果をさらに踏まえて次回処理時のアタック角度を求めるように構成されているので、例えば前回の基板Ｗの印刷状態が悪い場合には、その印刷状態に基づいて次回のアタック角度が補正（変更）されることにより印刷状態が早期に改善されることとなる。そのため、同じアタック角度で継続的に作業が進められる従来のスクリーン印刷装置のように、印刷不良が発生するまでの間、印刷不良には至らないがそれに極めて近い印刷状態の基板が多数生産されるといった事態の発生を有効に防止することができ、その結果、印刷状態の良好な基板をより安定して生産できるようになる。
【００７８】
しかも、この装置では、マスク開口の位置、大きさ、数等のマスクシート４の具体的な形状に基づき略同サイズのマスク開口が共通のエリアに属するようにマスクシート４に複数の印刷エリアを設定するとともにエリア毎に最適なアタック角度を設定し、印刷動作中は、エリア毎にそのエリアに対応するアタック角度でスキージ６ａを駆動するように構成されているので、マスクシート４の具体的な開口状態に応じて合理的に印刷処理を行うことができる。すなわち、マスクシートの開口面積とアタック角度とは印刷状態に密接な関係があることは周知であるが、マスク開口の位置、大きさ、数等はマスクシートの部分によって異なるため、従来のように一律に同じアタック角度で印刷処理を行う場合には、同じ基板でもマスク開口の大きさ等の違いに起因して印刷状態が部分的に異なる場合が生じる。これに対して上記装置によると、部分的にサイズの異なるマスク開口を有するマスクシート４については、その部分と他の部分を別の印刷エリアに設定してエリア毎に最適なアタック角度でもって印刷処理を進めることができるため、基板Ｗの何れの印刷ポイントについても良好に印刷処理を施すことができるようになる。従って、基板Ｗの全体に亘ってより良好に印刷処理を施すことができるようになる。
【００７９】
その上、エリア間でアタック角度を切換える際には、マスクシート４ａに対して常にスキージ６ａを設定圧で圧接させた状態でアタック角度を切換えるように構成されているので、アタック角度の切換時に、スキージ６ａの後側、すなわち進行方向後側にペーストが漏出し印刷不良を招くことが一切ない。そのため、上記のように複数のエリアを設定してエリア毎にアタック角度を切換えるようにしながらも、ペーストの漏出による印刷不良の発生を未然に防止することができる。
【００８０】
さらに、エリア間でのアタック角度の切換えは、上記のようにスキージ６ａをマスクシート４に沿って摺動させつつその移動途中でアタック角度を切換えることを基本とし（図７のステップＳ４参照）、隣接する印刷エリア同士が重複している（すなわち先のエリアの印刷終了位置と次のエリアの印刷開始位置とが同じ）ような場合にのみ、スキージ６ａを停止させた状態でアタック角度の切換えを行うように構成されているので、上記のようにエリア毎にスキージ６ａのアタック角度を切換えるといった印刷動作を可及的速やかに行いながら効率的に印刷処理を進めることができる。
【００８１】
ところで、上述したスクリーン印刷装置は、本発明に係るスクリーン印刷装置（本発明に係る印刷方法）の実施形態の一例であって、その具体的な構成および印刷方法は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば以下のような態様を採用することもできる。
【００８２】
（１）実施形態のスクリーン印刷装置は、印刷後の基板Ｗを撮像ユニット８により撮像して印刷状態を検査し得るように構成されているが、すなわちスクリーン印刷装置が検査装置としての機能を兼ね備えた構成となっているが、勿論、検査機能を備えていない構成であってもよい。なお、このような場合には、スクリーン印刷装置に別体の印刷検査装置が隣設されるのが一般的であるため、角度設定部５１２によるアタック角度の設定に際しては、この印刷検査装置の検査データ（印刷面積）を取得するようにすればよい。
【００８３】
（２）実施形態では、アタック角度を設定するための設定パラメータとしてマスクシート４の開口面積、ペースト量、スキージ６ａの移動速度（印刷速度）、スキージ６ａの押圧荷重および印刷面積（検査結果）を用いているが、必ずしもこれら全てのパラメータを用いてアタック角度を設定する必要はなく、いずれか１つのパラメータ、例えばマスクシート４の開口面積のみに基づいてアタック角度を設定するようにしてもよい。
【００８４】
なお、実施形態では、角度設定部５１２によるアタック角度の設定に際し、マスクシート４の開口面積についてはマスクシートデータ、すなわちマスク製作時のＣＡＤデータ等を用いるが、例えばマスクシート４を撮像するマスク撮像手段を設け、このマスク撮像手段によりマスクシート４を実際に撮像することによりその画像データに基づいてマスク開口面積を求め、そのデータを用いるようにしてもよい。
【００８５】
また、ペースト量については、実施形態のように主制御部５１１により演算に基づいて求めたデータを用いる代わりに、実際のペースト量をセンサにより検出し、その検出データを用いるようにしてもよい。
【００８６】
また、印刷速度については、印刷プログラムの設定値を用いる代わりに、例えば前回印刷時の印刷速度データを記憶しておき、その印刷速度データを用いるようにしてもよい。
【００８７】
勿論、マスク開口面積、ペースト量及び印刷速度をそれぞれ入力手段５８の操作に基づきオペレータが数値入力することにより、この入力データに基づいてアタック角度を求めるように構成してもよい。
【００８８】
また、マスクシート４に関する情報として開口面積以外の情報（例えばマスク開口の位置、配列等）、ペーストに関する情報としてペースト量以外の情報（例えばペーストの種類等）、ヘッドの駆動に関する情報としてスキージ６ａの移動速度以外の情報（例えばヘッドの加減速度等）、印刷結果に関する情報として印刷面積以外の情報（例えば印刷位置ずれ、体積、にじみ、欠け等）に基づいてアタック角度を設定するようにしてもよい。また、実施形態では、マスクシート４の開口面積等のパラメータと最適なアタック角度との相関データを取得しておき、この相関データを使ってアタック角度を設定しているが、勿論、これ以外の方法で角度設定部５１２においてアタック角度を設定するようにしてもよい。
【００８９】
（３）実施形態では、エリア間のアタック角度の切換えの際には、スキージ６ａをマスクシート４に圧接させた状態で切換えを行うようにしているが、例えばペーストの流動性が低い場合等、可能な場合には、スキージ６ａを一旦マスクシート４ａから離した状態（上昇させた状態）でアタック角度の切換えを行うようにしてもよい。
【００９０】
（４）実施形態では、スキージ６ａの回転半径方向に対してスキージ６ａの作業面（つまりペーストを拡張させる（押圧する）ための面）が直交するように構成されたスクリーン印刷装置の例であるが、勿論、従来技術の特許文献１に開示されるように、スキージの作業面が回転半径方向とほぼ平行となるようにスキージが設けられるスクリーン印刷装置についても本発明は適用可能である。
【００９１】
なお、上記の実施形態においては、本発明の設定手段として、マスクシートの開口面積、ペースト量、スキージ６ａの移動速度（印刷速度）、スキージ６ａの押圧荷重および印刷面積（検査結果）等に基づいてアタック角度を設定する角度設定部５１２を設けているが、例えば、上記のようなアタック角度の設定機能に加え、スキージ６ａの移動速度（印刷速度）又は押圧荷重の少なくとも一方の設定機能を兼ね備えた設定手段を設けるようにしてもよい。この場合、制御負担を軽減するために、印刷速度を設定する場合には設定パラメータから印刷速度を外し、同様に、押圧荷重を設定する場合には設定パラメータから押圧荷重を外すようにする。印刷速度および押圧荷重の双方を設定する場合も同様である。なお、アタック角度の設定に関しては印刷速度および設定荷重の何れのパラメータも使用可能であることは言うまでもない。
【００９２】
定性的には、アタック角度を小さくすると、マスクシート４の開口から基板Ｗ上にペーストが移動し易くなるので、印刷済み基板Ｗにおいては印刷範囲からペーストがはみ出し易くなり、これに対してアタック角度を大きくすると、印刷済み基板Ｗにおいては逆に印刷範囲に対してペースト不足（欠け）が発生し易くなる。また、押圧荷重を大きくすればアタック角度を大きくできるが、印刷速度を速くすればアタック角度を小さくする必要がある。さらに、押圧荷重と印刷速度との関係で言えば、印刷速度を速くすれば印刷の効率化を図ることができるが押圧荷重を大きくする必要があり、押圧荷重を大きくすることは、スキージ６ａやマスクシート４の耐久性低下につながる。
【００９３】
すなわち、パラメータとして印刷速度が速い場合には、アタック角度を小さく設定する。この際、押圧荷重は大きく設定するとよい。これによれば印刷効率を高めつつ印刷品質の適正化を図ることができる。逆に、印刷速度が遅い場合には、アタック角度を大きく設定し、押圧荷重を小さく設定するとよい。これによれば印刷品質の適正化を図りつつスキージ６ａやマスクシート４の耐久性を向上させることができる。
【００９４】
また、パラメータとして押圧荷重が小さい場合には、アタック角度を大きく設定する。これにより印刷品質の適正化を図ることができる。この際、印刷速度は遅く設定するのがよい。これによれば摩擦を軽減してスキージ６ａやマスクシート４の耐久性を向上させることができる。
【００９５】
また、印刷結果においてにじみがある場合には、アタック角度を大きく設定することによりにじみの発生を解消することができる。この場合には、押圧荷重を小さくすることも可能なため、これによりスキージ６ａやマスクシート４の耐久性を向上させることができ、あるいは印刷速度を高かめて印刷効率を向上させることもできる。
【００９６】
また、印刷結果において欠けがある場合には、アタック角度を小さく設定することにより欠けの発生を解消することができる。この場合には、同時に印刷速度を遅く設定することによりアタック角度の変化量を抑える（小さくする）ことができる。あるいは、押圧荷重を大きく設定することにより、スキージ６ａの浮き上がりを防止することができ、より確実に欠けの発生を防止することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明に係るスクリーン印刷装置（本発明に係る印刷方法が使用されるスクリーン印刷装置）を示す側面概略図（印刷済み基板搬出側から見た側面図）である。
【図２】スクリーン印刷装置を示す正面概略図である。
【図３】スクリーン印刷装置のヘッドの具体的な構成を示す斜視図である。
【図４】ヘッドの具体的な構成を示す正面図（図３のＡ矢視図である）。
【図５】スクリーン印刷装置の制御系を示すブロック図である。
【図６】制御部本体の機能構成を示すブロック図である。
【図７】各種パラメータとアタック角度との関係（相関データ）を示す図である。
【図８】制御装置による印刷動作制御の一例を示すフローチャートである。
【図９】アタック角度算出処理を示すフローチャート（図８のステップＳ３のサブルーチン）である。
【図１０】印刷エリアの設定例を示すマスクシートの平面模式図である。
【図１１】アタック角度の変更に伴うエッジ部分の変位を説明するためのスキージの模式図である。
【符号の説明】
【００９８】
３Ａ  印刷ステージ
３Ｂ  検査ステージ
４  マスクシート
５  ヘッド支持部材
６  ヘッド
６ａ  スキージ
１０  ４軸ユニット
１６  支持ユニット
５０  制御装置
５１  制御部本体
５１１  主制御部
５１２  角度設定部
５１３  記憶部
【図１】
2006315329.tif 000003
【図２】
2006315329.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006315329.tif 000009
【図８】
2006315329.tif 000010
【図９】
2006315329.tif 000011
【図１０】
2006315329.tif 000012
【図１１】
2006315329.tif 000013