(57)【要約】【課題】  フロート法によりガラスリボンを形成する場合に使用されるトップロール装置の駆動源からロール軸に回転駆動力を伝達するに際して、滑りの発生や結合の困難性を回避した上で、トップロールに生じる回転変動を適切に小さくし、ガラスリボンに対する幅方向への引っ張り動作を適正化する。【解決手段】  駆動源９からロール軸３に回転駆動力を伝達する駆動力伝達機構１０が、ノンバックラッシギヤ減速機１１を有すると共に、当該減速機１１の入力要素１２に駆動源９の回転駆動力が直接伝達され、且つ当該減速機１１の出力要素１３の回転駆動力がロール軸３に直接伝達されるように構成する。【選択図】図２
2006176354.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フロートバス内で溶融スズ上に溶融ガラスを浮かせて形成されるガラスリボンの側縁部表面に接触して回転するトップロールと、該トップロールが先端に一体回転可能に取付けられたロール軸と、該ロール軸に駆動源からの回転駆動力を伝達する駆動力伝達機構とを備えたトップロール装置において、
前記駆動力伝達機構は、ノンバックラッシギヤ減速機を有すると共に、前記駆動源の回転駆動力が前記ノンバックラッシギヤ減速機の入力要素に直接伝達され、且つ該ノンバックラッシギヤ減速機の出力要素の回転駆動力が前記ロール軸に直接伝達されるように構成したことを特徴とするトップロール装置。
【請求項２】
前記ノンバックラッシギヤ減速機は、その入力要素が、ウォームからなると共に、その出力要素が、前記ウォームの螺旋状歯面に転がり接触する複数のローラを周方向に等間隔おきに有する回転体からなることを特徴とする請求項１に記載のトップロール装置。
【請求項３】
前記ロール軸の外周は、軸受を有する筒状の覆設体で覆われていることを特徴とする請求項１または２に記載のトップロール装置。
【請求項４】
前記覆設体は、冷却流体の流通路を形成する少なくとも３つの筒状部材を備えていることを特徴とする請求項３に記載のトップロール装置。
【請求項５】
前記覆設体は、前記トップロールの回転に伴って生じる振動の振動周波数が該覆設体の固有振動数の整数倍または略整数倍である共振領域に入らないようにするための固有振動数調整体を有していることを特徴とする請求項４に記載のトップロール装置。
【請求項６】
前記覆設体の固有振動数調整体は、前記冷却流体の流通路に位置するように前記筒状部材に取付けられていることを特徴とするトップロール装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フロート法によりガラス板を製造する際に使用されるトップロール装置に係り、詳しくは、フロートバス内で形成されるガラスリボンの側縁部表面に接触して回転するトップロールに、駆動源からの回転駆動力を適正に伝達するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどの各種画像表示機器用のガラスパネルの製作や、建造物用の窓ガラスの製作に際しては、複数枚のガラスパネルや窓ガラスが一枚の素板ガラスから作り出される手法が採用されるに至っている。そして、これに伴ってガラスメーカー等で製造される素板ガラスは、大板化が推進されているのが現状である。
【０００３】
これらの素板ガラスの製造方法としては、生産効率の向上等を目的として、フロート法が広く採用されている。このフロート法は、基本的には、フロートバス内に貯留されている溶融スズの上面に、タンク窯から流し込まれた溶融ガラスを浮かべて略均一な厚さに広がらせると共に、フロートバスの下流側に配設されたレヤーロールの回転に連係させてその溶融ガラスを引っ張ることによりガラスリボンを形成し、これを更にレヤーロールで下流側に搬送して冷却することにより所定厚みのガラス板を得るものである。
【０００４】
この場合、レヤーロールは回転速度の調整が可能であるから、薄肉のガラス板を製造するには、その回転速度を高めてガラスリボンの引延し率を大きくすればよいのであるが、このような手法のみでは、レヤーロールの搬送速度が不当に速くなるばかりでなく、ガラスリボンの板幅が適切値以下に狭くなるという不具合を招く。
【０００５】
そこで、この種の薄肉のガラス板をフロート法で製造する場合には、フロートバスの両側壁にそれぞれ複数台のトップロール装置を配設し、これらの装置の先端に存するトップロールをガラスリボンの両側縁部の表面にそれぞれ接触させた状態で回転させて、ガラスリボンを幅が広がる方向に引っ張ることにより、その厚みを薄くすることが行われる。
【０００６】
ところで、上記のトップロール装置には、モータ（駆動源）からの回転駆動力をトップロールと一体回転するロール軸に伝達するための駆動力伝達機構が設けられている。この駆動力伝達機構としては、例えば下記の特許文献１に、モータが結合されたギヤ減速機からベルトを介してロール軸（トップロール）に回転駆動力を伝達する構成が開示されている。また、例えば下記の特許文献２には、この駆動力伝達機構として、ギヤ減速機を除くダイレクトドライブ機構、フリクションドライブ機構、ベルトドライブ機構、及び遊星ローラドライブ機構を採用することが開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平８−２６７５５号公報
【特許文献２】特開平１１−２３６２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記の特許文献１に開示されているように、駆動力伝達機構の構成要素としてベルトを有していると、当該ベルトに弛みや巻掛位置ズレが生じて、トップロールに不当な回転変動が生じ、その正確な回転制御が困難となる。このため、ガラスリボンとトップロールとの間に滑りが生じて、ガラスリボンを幅方向に適切に引っ張ることが困難となり、ガラスリボンの厚みを均一化する上で支障が生じると共に、当該ベルトが損傷或いは切断するなどして、耐久性の低下をも招く。しかも、このベルトは、歯付きベルトからなるのが通例であって（特許文献２のベルトドライブ機構参照）、この歯付きベルトは、歯付きプーリと噛み合っていることから、噛み合いによる微妙な回転変動が生じ、これによっても回転制御の困難性及び滑りの発生等に起因する上記と同様の不具合を招く。
【０００９】
これに対して、上記の特許文献２に開示された駆動力伝達機構のうち、ギヤ減速機を除くダイレクトドライブ機構、フリクションドライブ機構、及び遊星ローラドライブ機構は、ベルトを有していないことから、上記のような不具合を回避することが期待できるものの、以下に示す理由により、完全な問題解決には至らない。
【００１０】
即ち、ダイレクトドライブ機構は、回転駆動力の伝達時に減速されないことから、モータに大きな負荷が作用し、高負荷に耐え得る高価なモータが必要になると共に、モータの駆動軸とロール軸との芯合わせやその両軸の結合に狂いが生じる確率が高いことから、トップロールの回転ムラ或いは回転変動が生じ、この回転変動に起因する上述の問題が依然として残存する。
【００１１】
また、フリクションドライブ機構は、２つのローラを圧接させた際の摩擦により回転駆動力を伝達するものであるから、両ローラ間に滑りが生じることを免れ得ず、これによってもトップロールに不当な回転変動が生じるため、同様に上述の問題が依然として残存する。
【００１２】
更に、遊星ローラドライブ機構は、上述のフリクションドライブ機構に減速機構の機能を持たせたものであるから、この場合にも各ローラの相互間に滑りが発生することによりトップロールに不当な回転変動が生じ、同様に上述の問題が依然として残存する。
【００１３】
従って、上記列挙したモータからロール軸への駆動力の伝達手段は何れも、滑りが発生し或いは結合が困難であることに起因して、トップロールに不当な回転変動が生じ、ガラスリボンを適切に幅方向に引っ張ることが困難になるという問題を有していることになる。
【００１４】
そこで、本発明者等は、上記の滑りの発生や結合の困難性を回避し得る駆動力伝達機構として、ギヤ減速機のみを使用し、ベルトの併用等を廃止することを案出するに至り、従来よりこの種の分野で使用されていたギヤ減速機のみを、上記の駆動力伝達機構として使用することを試みた。しかしながら、この対策によっても、トップロールに生じる不当な回転変動を適切に小さくすることが困難であった。
【００１５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、駆動源からロール軸に回転駆動力を伝達する機構として、滑りの発生や結合の困難性を回避した上で、トップロールに生じる回転変動を適切に小さくできる機構を実現し、もってガラスリボンに対する幅方向への引っ張り動作を適正化することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明者等は、鋭意研究を重ねた結果、上記の如く、この種の分野で従来より使用されていたギヤ減速機のみを、駆動源からロール軸に至る回転駆動力伝達経路に介設するという手段を採用した場合であっても、トップロールに不当な回転変動が生じるのは、当該ギヤ減速機が有しているバクラッシに由来していることを知見した。詳述すると、上記のギヤ減速機における各構成要素の噛み合いによる相互間の接触圧は、バックラッシによって周期的に変動し、これが原因となって、トップロールに回転変動が生じることを知見するに至った。
【００１７】
このような知見に基づいて創案された本発明は、フロートバス内で溶融スズ上に溶融ガラスを浮かせて形成されるガラスリボンの側縁部表面に接触して回転するトップロールと、該トップロールが先端に一体回転可能に取付けられたロール軸と、該ロール軸に駆動源からの回転駆動力を伝達する駆動力伝達機構とを備えたトップロール装置において、前記駆動力伝達機構は、ノンバックラッシギヤ減速機を有すると共に、前記駆動源の回転駆動力が前記ノンバックラッシギヤ減速機の入力要素に直接伝達され、且つ該ノンバックラッシギヤ減速機の出力要素の回転駆動力が前記ロール軸に直接伝達されるように構成したことを特徴とするものである。
【００１８】
ここで、上記の「ギヤ減速機」とは、構成要素が歯車である減速機に限らず、歯車以外のものが構成要素であっても、それらが歯車に準じるものであって且つ相互に噛み合う構造とされた減速機であればそれをも含む。
【００１９】
このような構成によれば、バックラッシを有しないギヤ減速機の入力要素に駆動源の回転駆動力が直接伝達され、更に当該ギヤ減速機の出力要素の回転駆動力がロール軸に直接伝達されることから、駆動源からロール軸に回転駆動力が伝達される間に、バクラッシによる影響を受ける余地がなくなる。しかも、ベルト伝達機構を併用した場合や、フリクションドライブ機構である場合のように、滑りが生じる余地もなくなる共に、減速機を介在させないダイレクトドライブ機構である場合のように、芯合わせ或いは結合の狂いによる影響も受け難くなる。従って、既に述べた従来における各種の駆動力伝達機構を使用した場合にトップロールに回転変動を生じさせていた主たる原因を全て排除することが可能となる。この結果、トップロールに生じる回転変動を適切に小さくすることが可能となって、トップロールによるガラスリボンの幅方向への引っ張り動作が適正になされ、高品質のガラスリボン及びガラス板が得られる。因みに、本発明に係る上記のトップロール装置を使用して製造したガラス板の偏肉（当該ガラス板の肉厚の最大値と最小値との差）は、５μｍ程度であって、従来（ノンバクラッシではないギヤ減速機を使用した場合）に比して約１０μｍ程度小さくなっていた。また、そのガラス板の平坦度も改善されていた。
【００２０】
上記の構成において、ノンバックラッシギヤ減速機は、その入力要素が、ウォームからなると共に、その出力要素が、前記ウォームの螺旋状歯面に転がり接触する複数のローラを周方向に等間隔おきに有する回転体からなるように構成することができる。
【００２１】
このようにすれば、駆動源の回転駆動力は、ウォームに直接伝達されると共に、該ウォームが回転することにより、その螺旋状歯面に転がり接触しているローラが周方向に旋回移動し、このローラの旋回移動と共に回転体が回転する。そして、この回転体の回転駆動力は、ロール軸に直接伝達され、これに伴ってトップロールが回転する。この場合、ウォームの螺旋状歯面には、回転体のローラが転がり接触していることから、ウォームから回転体に回転駆動力が伝達される際の摩擦抵抗が大幅に低減されて、不当な駆動損失等を生じることなく円滑且つ軽やかに回転伝達がなされる。
【００２２】
上記の構成において、ロール軸の外周は、軸受を有する筒状の覆設体で覆われていることが好ましい。
【００２３】
このようにすれば、ロール軸は、覆設体に設けられている軸受により回転自在に保持されると共に、ロール軸の外周側は、覆設体により的確に保護され得ることになる。
【００２４】
上記の構成において、覆設体は、冷却流体の流通路を形成する少なくとも３つの筒状部材を備えていることが好ましい。
【００２５】
このようにすれば、高温状態にあるフロートバスの内部空間に突出して配置されているトップロール及びロール軸先端部に対して、覆設体の流通路を流れる冷却流体（例えば冷却水）の作用により、好適な冷却を施すことが可能となる。
【００２６】
上記の構成において、覆設体は、トップロールの回転に伴って生じる振動の振動周波数が該覆設体の固有振動数の整数倍または略整数倍である共振領域に入らないようにするための固有振動数調整体を有していることが好ましい。
【００２７】
即ち、トップロールがガラスリボンに接触して回転する際には、トップロールに振動が生じるが、この振動が生じるのは、ガラスリボンに対する引っ張り動作を確実にすることを目的としてトップロールの外周面に複数の歯が刻設されていることに主として由来する。そして、このトップロールの振動は、ロール軸から軸受を通じて覆設体に伝播されるが、従来においては、この覆設体は強度及び剛性のみを考慮して肉厚等の設定がなされていたことから、トップロールの振動が覆設体に伝播されることにより共振が発生するという事態を招来していた。そして、このような共振が発生すると、トップロールに不当な揺れが生じ、ガラスリボンに対する円滑な引っ張り動作が阻害される。そこで、本発明者等は、トップロールの回転に伴って生じる振動の周波数が、トップロール外周に刻設された歯の数と回転数とから概ね算出できることを知見し、覆設体に、トップロールの振動周波数が覆設体の固有振動数の整数倍または略整数倍である共振領域に入らないようにするための固有振動数調整体を付設して、トップロールの不当な揺れを防止することとした。これにより、共振の発生が確実に防止されることから、トップロールのロール軸は覆設体の軸受によって不当な揺れを生じることなく適正に支持され、トップロールによるガラスリボンに対する引っ張り動作が、より一層確実且つ良好なものとなる。しかも、覆設体の強度及び剛性が適切となるようにその肉厚等を維持した上で、固有振動数調整体の質量や配設位置を可変設定すれば良いことになるので、覆設体の強度及び剛性が不当に高くなり或いは低くなることを阻止することができる。
【００２８】
この場合、覆設体の固有振動数調整体は、冷却流体の流通路に位置するように前記筒状部材に取付けることが好ましい。
【００２９】
このようにすれば、固有振動数調整体は、冷却流体の流通路つまり覆設体の内部に位置することになるため、覆設体の外方に突出することはなく、従って固有振動数調整体の存在により覆設体が部分的に大径となることによる設置上の不具合等が生じ難くなる。
【発明の効果】
【００３０】
以上のように本発明に係るトップロール装置によれば、駆動源の回転駆動力がノンバックラッシギヤ減速機の入力要素に直接伝達され、且つ当該ギヤ減速機の出力要素の回転駆動力がロール軸に直接伝達されることから、駆動源からロール軸に回転駆動力が伝達される間に、バクラッシによる影響を受ける余地がなくなる。しかも、ベルト伝達機構を併用した場合や、フリクションドライブ機構である場合のように、滑りの生じる余地がなくなる共に、減速機を介在させないダイレクトドライブ機構である場合のように、芯合わせ或いは結合の狂いによる影響も受け難くなる。この結果、トップロールに生じる回転変動を適切に小さくすることが可能となって、トップロールによるガラスリボンの幅方向への引っ張り動作が適正になされ、高品質のガラスリボン及びガラス板が得られることになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。
【００３２】
先ず、図１に基づいて、本発明の実施形態に係るトップロール装置を使用してフロート法によりガラス板を製造する装置の概略構成を説明する。同図に示すように、このガラス板製造装置は、溶融スズを貯留すると共にその溶融スズの上面に溶融ガラスを浮かべて略均一な厚さに広がらせる役目を果たすフロートバスＦと、このフロートバスＦの下流側に配設された複数のレヤーロールＲとを有し、フロートバスＦの両側壁Ｆａには、複数台のトップロール装置１がそれぞれ配設されている。そして、レヤーロールＲの回転によって上記の溶融ガラスが引っ張られ、これによりガラスリボンＧが形成されると共に、このガラスリボンＧは、更にレヤーロールＲで下流側に搬送され且つ冷却されることにより所定厚みのガラス板となる。
【００３３】
この場合、図示例のように、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイ用などの薄肉のガラス板を製造する際には、レヤーロールＲの回転速度を高めてガラスリボンＧの搬送方向に対する引延し率を大きくすると同時に、各トップロール装置１の先端にそれぞれ存するトップロール２により、ガラスリボンＧが幅の広がる方向に引っ張られる。このような動作が行われている間は、各トップロール２は、回転駆動力を付与されてガラスリボンＧの両側縁部の表面にそれぞれ接触した状態で回転する。
【００３４】
次に、トップロール装置１の詳細構造を説明する。図２及び図３に示すように、トップロール２（ナールとも称される）は、ロール軸３の先端に固定されて該ロール軸３と一体回転可能とされると共に、その外周には三列で複数の歯２ａが刻設されている。また、ロール軸３は、同軸上に相互隙間を介して配置された二本の筒体３ａ、３ｂから構成され、その長さは約４ｍとされると共に、その先端部３ｘ及び後端部３ｙを除外した部位の外周側が、基台に対して固定された筒状の覆設体４により覆われている。この覆設体４の先端及び後端の内面には、ロール軸３を回転自在に支持する軸受（すべり軸受）５ａ、５ｂがそれぞれ配設されている。
【００３５】
図４に示すように、覆設体４は、同軸上に配置された内筒４ａ、中間筒４ｂ、及び外筒４ｃを有し、内筒４ａと中間筒４ｂとの相互隙間が、冷却流体（冷却水）の流入口６ａに通じる流入通路６とされると共に、外筒４ｃと中間筒４ｂとの相互隙間が、冷却流体の流出口７ａに通じる帰還通路７とされている。そして、流入通路６と帰還通路７とは、各筒４ａ、４ｂ、４ｃの先端側部位４ｘを通じて連通している。
【００３６】
更に、図４及び図５に示すように、覆設体４の内筒４ａと中間筒４ｂとの間（流入通路６）、及び外筒４ｃと中間筒４ｂとの間（帰還通路７）には、周方向の複数箇所（９０°間隔毎）に固有振動数調整体８がそれぞれ等間隔おきに取付けられている。この固有振動数調整体８は、流入通路６及び帰還通路７を流れる冷却流体の流通を阻害しない程度の大きさとされている。そして、覆設体４は、固有振動数調整体８を有していることにより、トップロール２の回転に伴って生じる振動の振動周波数が、覆設体４の固有振動数の整数倍または略整数倍である共振領域に入らないように設定がなされている。
【００３７】
而して、図２に示すように、トップロール装置１の後端部には、駆動源となるモータ（ＡＣサーボモータ）９と、このモータ９の回転駆動力をトップロール２のロール軸３に伝達する駆動力伝達機構１０とが配設されている。この駆動力伝達機構１０は、モータ９からロール軸３の後端部に至る駆動力伝達経路に、ノンバックラッシギヤ減速機１１を介在させてなる。
【００３８】
詳述すると、このノンバックラッシギヤ減速機１１は、図６に示すように、モータ９の駆動軸に直結または一体化される軸部１２ａを有するウォーム１２と、ロール軸３に直結または一体化される軸部１３ａを有する回転体１３とから構成される。この回転体１３は、軸直角断面が円形を呈する基体１３ｂの外周に、等間隔おきに配設され且つ径方向に延びる複数の軸１３ｃ廻りに回動自在に保持された複数のローラ１３ｄを有する。そして、これらのローラ１３ｄは、ウォーム１２の螺旋状歯面１２ｂに転がり接触し、詳しくはウォーム１２の凸条１２ｃの両側に存する２つの螺旋状歯面１２ｂに２個のローラ１３ｄが隙間なく挟持するように転がり接触している。尚、この実施形態で使用されるノンバックラッシギヤ減速機１１は、ハイポイド減速機：ＨＭＴＡＯ７５−４５Ｈ１２０ＰＩＫ（株式会社椿本チエイン製）である。
【００３９】
以上の構成を備えたトップロール装置１によれば、モータ９の回転駆動力は、ノンバックラッシギヤ減速機１１の入力要素であるウォーム１２に直接伝達されると共に、ウォーム１２からバックラッシの影響を受けることなく回転体１３に伝達された回転駆動力は、ロール軸３に直接伝達される。これにより、ロール軸３の先端のトップロール２が、フロートバスＦ内のガラスリボンＧの側縁部表面に接触した状態で回転して、ガラスリボンＧを幅が広がる方向に引っ張る。この場合、ガラスリボンＧに接触しているトップロール２にモータ９からの回転駆動力が伝達されている間に、トップロール２の回転が，減速機１１のバクラッシによる影響を受ける余地はなくなる。この結果、トップロール２に生じる回転変動が適切に小さくなり、トップロール２によるガラスリボンＧの幅方向への引っ張り動作が適正になされて、高品質のガラスリボンＧひいてはガラス板が得られる。
【００４０】
一方、トップロール２がガラスリボンＧに接触して回転する際には、トップロール２の外周面に複数の歯２ａが刻設されていることに起因して、該トップロール２に振動が生じ、この振動は、ロール軸３から軸受５ａ、５ｂを通じて覆設体４に伝播される。尚、このトップロール２の振動の振動周波数は、トップロール２の歯２ａの数と回転数とから概ね算出することでき、本発明者等によりその算出結果として得られた上記の振動周波数は、５〜２３Ｈｚであった。
【００４１】
この場合、トップロール２の振動の振動周波数が、覆設体４の固有振動数と一致もしくは略一致し、或いはその整数倍もしくは略整数倍となった時には、共振が発生してトップロール２に不当な揺れが生じる。しかしながら、覆設体４には、固有振動数調整体８が付設されて、そのような共振が発生しないように構成されている。因みに、上記の固有振動数調整体８を有する覆設体４の固有振動数は、５９Ｈｚとされている。従って、トップロール２に生じる振動の振動周波数が上述のように５〜２３Ｈｚであることを勘案すれば、共振の発生は有り得ないことになる。この結果、トップロール２は、覆設体４の軸受５ａ、５ｂによって不当な揺れを生じることなく適正に支持され、トップロール２によるガラスリボンＧに対する引っ張り動作が、一層良好なものとなる。しかも、覆設体４の強度及び剛性が適切となるようにその肉厚等を維持した上で、固有振動数調整体８の質量や配設位置が設定されているので、覆設体４の不当な重量増や強度及び剛性の不当な低下等を招くことはない。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明に係るトップロール装置は、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等の各種画像表示機器用のガラスパネルの製作に用いられるガラス板や、各種電子表示機能素子や薄膜を形成するための基材として用いられるガラス板、或いは建造物用の窓ガラスとして用いられるガラス板などのフロート法による製造工程で使用されるのが好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態に係るトップロール装置を使用してフロート法によりガラス板を製造する装置を示す概略平面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るトップロール装置を示す平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るトップロール装置を示す縦断側面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るトップロール装置の要部を示す縦断側面図である。
【図５】図４のＩ−Ｉ線にしたがって切断した断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係るトップロール装置の構成要素であるノンバックラッシギヤ減速機を示す概略図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  トップロール装置
２  トップロール
３  ロール軸
４  覆設体
６  流入通路（冷却流体の流通路）
７  帰還通路（冷却流体の流通路）
８  固有振動数調整体
９  モータ（駆動源）
１０  駆動力伝達機構
１１  ノンバックラッシギヤ減速機
１２  ウォーム（入力要素）
１３  回転体（出力要素）
１３ｄ  回転体のローラ
【図１】
2006176354.tif 000003
【図２】
2006176354.tif 000004
【図３】
2006176354.tif 000005
【図４】
2006176354.tif 000006
【図５】
2006176354.tif 000007
【図６】
2006176354.tif 000008