(57)【要約】 【課題】  本発明では、基準線を仮想的に設けることにより、高い精度の基準線の作成技術を必要とせずに、高精度の形状測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】  本発明に係る形状計測装置は、被測定物の形状を計測する形状計測装置において、該被測定物の形状を撮像する撮像部と、該撮像部において撮像した撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成部と、該被測定物の形状と該基準線との距離を計測し、計測した距離から該被測定物の形状を計測する撮像画像処理部とを有することを特徴とする。【選択図】  図３
2006098366.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の形状を計測する形状計測装置において、
該被測定物の形状を撮像する撮像部と、
該撮像部において撮像した撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成部と、
該被測定物の形状と該基準線との距離を計測し、計測した距離から該被測定物の形状を計測する撮像画像処理部と、  
を有することを特徴とする形状計測装置。
【請求項２】
被測定物の形状を計測する形状計測装置において、
該被測定物の一部の形状を撮像する撮像部と、
該撮像部において撮像した撮像領域内に基準線を生成する仮想基準線生成部と、
該被測定物の形状と該基準線との距離を計測し、計測した距離から該被測定物の形状を計測する撮像画像処理部と、
該撮像領域内の被測定物の一部の形状計測が終了した後、該被測定物の未撮像部分を撮像するために、該被測定物の撮像した一部から未撮像部分を該撮像領域に移動する被測定物移動手段と、  
を有することを特徴とする形状計測装置。
【請求項３】
該仮想基準線生成部において、
撮像領域内に複数の基準点を設け、該基準点から最小二乗法により仮想的な基準線を生成することを特徴とする請求項１又は２に記載の形状計測装置。
【請求項４】
被測定物の形状を計測する形状計測プログラムにおいて、
該被測定物の形状を撮像する撮像ステップと、
該撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成ステップと、
該被測定物の形状と該基準線との距離を計測する距離計測ステップと、
計測した該距離を画像処理して該被測定物の形状を計測する撮像画像処理ステップと、  
をコンピュータに実行させることを特徴とする形状計測プログラム。    
【請求項５】
被測定物の形状を計測する形状計測方法において、
該被測定物の形状を撮像する撮像手順と、
該撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成手順と、
該被測定物の形状と該基準線との距離を計測する距離計測手順と、
計測した該距離を画像処理して該被測定物の形状を計測する撮像画像処理手順と、  
からなることを特徴とする形状計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高い精度で作製される微細加工製品等の被測定物の形状計測に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から微細加工技術を用いて作成された製品等（以下、被測定物と呼ぶ。）は、それらの検査等をするために、それらの形状、外観計測においても高い精度での測定が求められている。
【０００３】
例えば、被測定物の形状計測精度を高める方法として、以下の方法がある。
【０００４】
図１は形状計測装置に搭載された撮像部において撮像する撮像領域の図である。撮像部は例えばカメラ等である。１は被測定物であり、２は撮像領域である。例えば、撮像領域の左上端を原点（０，０）とし、横軸方向をＸ軸方向、下方向をＹ軸方向とし、撮像領域を位置座標として表す。
【０００５】
まずカメラ等によって撮像する撮像領域２を決定し、被測定物が撮像領域に写るようにする。ここでは簡単のため、被測定物の曲線形状のエッジ３を測定するものとし、エッジ３はすべて撮像領域２内に写っているとする。形状計測装置は、エッジ３を撮像領域において指定した位置座標として検出し、位置座標が入る画素を特定することにより被測定物のエッジ３を測定する。
【０００６】
そして形状測定の精度を高くするには、カメラ等において撮像する解像度を上げる必要がある。
【０００７】
図２は計測精度をより高くして被測定物を測定する場合の撮像領域の図である。そのため、カメラの撮像領域は小さくなり、撮像領域２から２１へと撮像領域が小さくなる。撮像領域２１にはエッジ３の一部分しか写らないため、エッジ３の形状を測定するために撮像領域２１を撮像領域２２、２３へとＸ軸方向に移動させ、エッジ３を計測する。
【０００８】
しかし、上記の場合カメラをＸ軸方向に移動する移動手段の精度が形状計測の計測精度に影響を及ぼすため、例えばカメラをＸ軸方向に平行に移動できずに、カメラがＹ軸方向あるいは回転方向にずれ、計測精度が上がらないといった問題がある。
【０００９】
この問題を解決する１つの手段としては、カメラのＸ軸方向への移動手段の精度を高くすることである。
【００１０】
例えば計測精度≦１μmのためには、少なくとも真直度仕様0.2μmの移動手段が必要になるが、これを実現するためには、コストが１０倍以上かかる場合等があるといった問題が別途発生する。ここで真直度とは理想直線からの距離で定義され、図１１に示す。軌跡１１３が理想的には理想直線１１２である場合に図１１に示される１１１が真直度である。
【００１１】
上記の問題を解決する従来の形状計測装置に関するものとして特許文献１が存在する。
【特許文献１】特開平８−２４７７４２号公報  特許文献１には基準線を形成した形状計測装置において、基準線とほぼ平行に被測定物を載置し、被測定物の基準線からの相対的な位置座標を求めることにより、被測定物の形状を測定する形状計測装置が開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、上記従来の形状計測装置においては、基準線を高い精度によって形成しなければならないといった問題がある。
【００１３】
本発明では、基準線を仮想的に設けることにより、高い精度の基準線の作成技術を必要とせずに、高精度の形状測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る形状計測装置は、被測定物の形状を計測する形状計測装置において、該被測定物の形状を撮像する撮像部と、該撮像部において撮像した撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成部と、該被測定物の形状と該基準線との距離を計測し、計測した距離から該被測定物の形状を計測する撮像画像処理部とを有することを特徴とする。
【００１５】
また本発明に係る形状計測装置は、被測定物の形状を計測する形状計測装置において、該被測定物の一部の形状を撮像する撮像部と、該撮像部において撮像した撮像領域内に基準線を生成する仮想基準線生成部と、該被測定物の形状と該基準線との距離を計測し、計測した距離から該被測定物の形状を計測する撮像画像処理部と、該撮像領域内の被測定物の一部の形状計測が終了した後、該被測定物の未撮像部分を撮像するために、該被測定物の撮像した一部から未撮像部分を該撮像領域に移動する被測定物移動手段と、を有することを特徴とする形状計測装置。  
【００１６】
また本発明に係る形状計測装置は、該仮想基準線生成部において、撮像領域内に複数の基準点を設け、該基準点から最小二乗法により仮想的な基準線を生成することを特徴とする。
【００１７】
また本発明に係る形状計測プログラムは、被測定物の形状を計測する形状計測プログラムにおいて、該被測定物の形状を撮像する撮像ステップと、該撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成ステップと、該被測定物の形状と該基準線との距離を計測する距離計測ステップと、計測した該距離を画像処理して該被測定物の形状を計測する撮像画像処理ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする。    
【００１８】
また本発明に係る形状計測方法は、被測定物の形状を計測する形状計測方法において、該被測定物の形状を撮像する撮像手順と、該撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成手順と、該被測定物の形状と該基準線との距離を計測する距離計測手順と、計測した該距離を画像処理して該被測定物の形状を計測する撮像画像処理手順とからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明による形状計測装置によれば、解析的に求めた仮想基準線から被測定物の形状までの距離を測定することにより、撮像領域の移動手段の精度に依存することなく、さらには基準線の形成精度を必要とせずに、高い解像度での被測定物の形状を計測することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図３は本発明に係る形状計測装置に係るブロック図である。３０１は被測定物と基準治具、３０２は撮像部、３０３は光学レンズ、３０４は焦点調整部、３０５は移動テーブル、３０６は固定テーブル、３０７は照明部、３０８は画像処理部、３０９は制御部、３１０は記憶部、３１１は出力部である。
【００２１】
３０１の基準治具は被測定物の形状を計測するために移動テーブル上に配置されるものである。
【００２２】
撮像部３０２はＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄｄｅｖｉｃｅ）等の撮像素子により構成されており、光学レンズ３０３を通して結像させた被測定物と基準治具の画像を電気信号に変換して出力する。
【００２３】
画像処理部３０８はＡ／Ｄ（Ａｎａｌｏｇ  ｔｏ  Ｄｉｇｉｔａｌ）変換部とＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）等から構成されている。
【００２４】
Ａ／Ｄ変換部は、撮像部３０２から出力される電気的なアナログ信号をデジタル信号に変換する。そしてＤＳＰは、画像処理プログラム等を格納するＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）等を備えており、例えば、画像の取込み処理、画像表示出力処理等を行い、さらには仮想基準線の生成処理、仮想基準線と被測定物のエッジ３との距離等を計測する距離計測処理等も行う。請求の範囲に記載の仮想基準線生成部及び撮像画像処理部は画像処理部３０８に含まれるものとする。
【００２５】
制御部３０９はＣＰＵ等により構成されており、光学レンズ３０３の焦点制御を行うために、焦点調整部３０４への制御信号を発生する。また撮像部３０２に結像している画像を記憶部３１０に記憶する。ここで記憶部３１０はハードディスクやフラッシュメモリ等である。また画像処理部３０８における画像取込処理の開始や画像出力処理の開始命令信号等も発生する。また本実施例では焦点調整部３０４の移動制御は制御部３０９か直接行っているが、画像処理部３０８を構成するＤＳＰ等から制御するものであってもよい。
【００２６】
また出力部３１１は撮像した被測定物と基準治具の画像を表示するものであり、ディスプレイ等であり、以下でディスプレイとする。
【００２７】
図４（a）は撮像部３０２側から見た基準治具と被測定物の配置図であり、図４（a）において、１は被測定物、４１は基準治具、３０５は移動テーブルである。被測定物を固定部３０５１，３０５２を用いて移動テーブルに固定する。基準治具は移動テーブル３０５に予め固定されている構成になっているとする。
【００２８】
ここで計測する被測定物は、例えば数mmオーダーの素子等であり、形状の計測精度として数μmオーダーの精度を要求するものである。
【００２９】
そして撮像部３０２より被測定物と基準治具を撮像する。光学レンズ３０３を焦点調整部３０４を用いてZ軸方向に移動させることにより、焦点距離を変化させ撮像する解像度を調整する。
【００３０】
そして撮像する解像度を大きくして、より精度の高い被測定物の形状計測を行う。本発明では撮像した基準治具の画像より画像処理部３０８を用いて基準治具の一辺に対する理想的な基準線を形成する。これは被測定物の形状を計測するために用いる基準治具は加工精度によっては、凹凸やゆがみ等が生じてしまうため、基準治具の一辺上に複数の治具点を取り、その治具点から例えば最小二乗法により理想的な仮想基準線を形成する。
【００３１】
ここで最小二乗法とは、頻繁に計測データの整理に用いられる手法であり、測定値と理想直線から得られる理論値の差の二乗和が最小となるような理想直線を決定する手法のことである。
【００３２】
ｎ個の計測データ（X1,Y1）,（X2,Y2）・・・（Xn,Yn）が得られたとする。これらn個の計測データに最もフィットする直線をy=ax+bとすると、
【数１】
2006098366.tif 000003
【数２】
2006098366.tif 000004
と求めることができる。
【００３３】
そしてディスプレイに出力される撮像領域において、算出した仮想基準線を例えば、被測定物側に平行移動して、基準治具と被測定物の間に仮想基準線を配置する。
【００３４】
画像処理部３０８は、基準治具と被測定物のエッジ３との距離と仮想基準線と基準治具との距離を、設定した解像度で計測し、それぞれ距離の差をとることにより、仮想基準線と被測定物の相対距離を算出する。
【００３５】
仮想基準線は、基準治具の治具点の位置座標データから最小二乗法を用いて算出しているため、仮想基準線上の位置座標は設定した解像度で計測可能である。従って、仮想基準線の位置座標データと基準治具と被測定物のエッジ３との相対距離から、基準治具の加工精度によらず、高い精度で被測定物の形状を計測することができる。
【００３６】
さらに被測定物のエッジ３が撮像領域にすべて収まらない場合、撮像領域を移動して、仮想基準線とエッジ３の相対距離を算出することによりエッジ３の位置座標を計測することができ、撮像領域の移動手段の精度が悪い場合でも、エッジ３と仮想基準線の相対距離から撮像領域の移動手段の精度によらず、高い精度でエッジ３の形状計測をすることができる。
【００３７】
被測定物１の形状を計測する場合、基準治具４１と被測定物１の距離を計測することによって、被測定物の形状を計測する。今は被測定物１のエッジ３を計測するとし、エッジ３と基準治具４１の治具辺４４との距離を計測する。
【００３８】
図４（b）は、基準治具と被測定物の拡大配置図である。
【００３９】
図４（b）において、１は被測定物、４１は基準治具である。基準治具４１はマーキング４２、治具点４３、治具辺４４が設けられている。マーキング４２は、治具辺４４の位置を識別するものとして設けられており、治具辺４４とマーキング４２の交点を治具点４３として設けている。
【００４０】
治具辺４４は理想的には一次式により表現できればよいが、加工精度により実際にはひずみや欠け等があり、理想的な直線になっていない。そのため、治具辺の真直度の影響により被測定物の形状計測精度が下がってしまうため、治具辺上に設けられた治具点のデータを最小二乗法を用いて仮想基準線４５を形成する。そして仮想基準線４５と被測定物１との垂直距離を算出することにより被測定物の形状を計測する。
【００４１】
今、被測定物のエッジ３を計測し、撮像部によって撮像する撮像領域はエッジ３全体を写すことはできず撮像領域２１になっている。
【００４２】
撮像領域２１に含まれる治具点４３の位置座標を測定し、仮想基準線は最小二乗法により算出した直線を平行移動したものである。仮想基準線と新たな撮像領域に含まれる被測定物のエッジ３を計測する。
【００４３】
そして撮像領域を移動させ、エッジ３の形状全体を計測終了したら、撮像領域の移動も終了し、形状計測を終了する。本実施例では撮像領域はX軸方向へ移動させ、被測定物のエッジ３を計測する。
【００４４】
撮像領域の移動は、被測定物と基準治具を固定した移動テーブルをX軸方向に移動させることにより実現する。これは被測定物と基準治具とを固定した移動テーブルは動かすことはなく、撮像部をX軸方向に移動して、撮像領域を移動させる構成であってもよい。
【００４５】
図５は、被測定物と基準治具を撮像して計測する撮像領域図である。
【００４６】
図５（a）は撮像領域をX軸方向へ移動した場合に回転方向のずれがない場合の撮像領域図であり、図５（b）は撮像領域の回転方向のずれがある場合の撮像領域図である。
【００４７】
撮像部において撮像される撮像領域には被測定物と基準治具の一部が撮像される。撮像領域２１は長方形であり、左上端の頂点を原点として横軸方向をX軸、下軸方向をY軸として座標が設定される。ここで撮像領域は特に長方形に限定されることはなく、例えば距離と角度で表すような座標系をとってもよい。
【００４８】
画像処理部の座標読取処理を動作させて、撮像領域に含まれる基準治具の治具点の座標（Ax,Ay）を読み取る。ここで撮像領域に含まれる治具点すべての座標を読み取るとする。これは治具点の全ての位置座標を読み取ることに限定されることはなく、撮像領域に含まれる治具点の中から座標を読み取る治具点を選択してもよい。そして読み取った治具点の位置座標データは記憶部に記憶しておく。
【００４９】
また予め、治具点の位置座標データを用いて最小二乗法により読み取った治具点に関する仮想基準線４５を数値解析して算出し、撮像領域に形成する。
【００５０】
仮想基準線４５に対しての垂直方向を検出し、仮想基準線の垂直直線であって座標を読み取った治具点を通る垂直直線を被測定物との交点の座標（Bx,By）を読み取る。今、被測定物のエッジ３の形状を計測するとする。またそれに対する仮想基準線と垂直直線との交点の座標（Cx,Cy）も読み取る。
【００５１】
そして（Ax,Ay）と（Bx,By）と距離５１を計測し、また（Ax,Ay）と（Cx,Cy）との距離５２を計測し、距離５１と距離５２の差を算出することにより仮想基準線４５と被測定物のエッジ３との距離を計測することができる。同様にして、他の治具辺上の位置座標とその位置座標を通る仮想基準線に対する垂直直線と被測定物のエッジ３との交点、仮想基準線との交点を計測して、仮想基準線とエッジ３の相対距離を計測する。
【００５２】
これにより仮想基準線からの相対距離からエッジ３の形状を計測することができる。
【００５３】
更に、図５（ｂ）のように回転方向へ撮像領域がずれた場合においても、治具辺と被測定物の距離５１と治具辺と仮想基準線との距離５１を計測し、距離５１と距離５２の差をとることにより、仮想基準線と被測定物のエッジ３との距離を計測するため、撮像領域の移動精度には完全に依存することなく、精度の高い形状計測を実現することができる。ここで図５（a）、（ｂ）中において、距離５１と距離５２は図中ではずらして描いているが、これら距離５１と距離５２は同一直線上にあるものである。
【００５４】
図６は、仮想基準線４５と基準治具と被測定物の図である。
【００５５】
撮像領域２１での被測定物の形状計測を終了した後、撮像領域２１を撮像領域２２、２３と移動する。撮像領域２３での被測定物のエッジ３の計測は仮想基準線４５を用いて行うことにより、撮像領域の移動精度によらず、精度の高い形状計測を実現することができる。
【００５６】
図７（a）は基準治具４１にゴミが付着している場合の図であり、図７（b）は基準治具が破損している場合の図である。
【００５７】
図７（a）において、ゴミ７１が基準治具４１に付着しており、治具点７２が見えない状態になっている。被測定物の形状計測を行う場合、隠れている治具点７２をマーキングと治具辺４４との交点として求めて、他の治具点４４等と共に最小二乗法を用いて仮想基準線４５を算出する。そして算出した仮想基準線４５からの被測定物の相対距離を計測することにより被測定物の形状を計測することができる。ここで被測定物は図示しなかった。
【００５８】
また図７（b）の基準治具が欠けている場合においても、仮想基準線を求めるのに用いる治具点７４の替わりに、欠けた部分７６のマーキング上の点７５を用いて仮想基準線４５を求め、仮想基準線と被測定物の相対距離を計測することによって、被測定物を形状を計測することができる。
【００５９】
図８は、凹凸形状である基準治具の図である。
【００６０】
凹凸形状の基準治具を被測定物の形状計測に適用する場合、突起８１を治具点の替わりに用いることにより、仮想基準線を算出することができる。これにより算出した仮想基準線と被測定物の相対距離を求めることにより、被測定物の形状を計測することができる。      
【００６１】
図９は撮像領域２１に治具点が２点含まれる場合の図である。
【００６２】
仮想基準線４５を算出して求める。
【００６３】
基準線の法線方向での被測定物の相対距離を計測し、記憶手段によって記憶しておく。
【００６４】
撮像領域の被測定物の形状計測が終了したら、撮像領域を移動し、同様にして被測定物の形状を計測する。
【００６５】
これにより被測定物の形状を高精度で計測することができる。
【００６６】
図１０は、本発明に係る被測定物形状計測のフローチャートである。
【００６７】
まず撮像部において撮像する撮像領域を解像度等を設定して、撮像する（ステップＳ１，２）。撮像領域には被測定物と基準治具の一部が撮像されている。また撮像領域は四角形状であって、左上端を原点としてX軸、Y軸を指定する。具体的には図４中の撮像領域２１である。
【００６８】
撮像領域に含まれる基準治具の治具点の座標（Ax,Ay）を読み取る（ステップＳ３）。ここで撮像領域に含まれる治具点すべての座標を読み取るとするが、これに限定されることはなく、撮像領域に含まれる治具点の中から座標を読み取る治具点を選択してもよい。治具点の座標データを記憶部に記憶しておく。
【００６９】
仮想基準線に対しての垂直方向を検出し（ステップＳ４）、仮想基準線の垂直直線であって座標を読み取った治具点を通る垂直直線を被測定物との交点の座標（Bx,By）を読み取る（ステップＳ５）。
【００７０】
そして（Ax,Ay）と（Bx,By）と距離を計測し（ステップＳ６）、また予め求めていた（Ax,Ay）と（Cx,Cy）との距離を計測し（ステップＳ７）、その差を算出することにより仮想基準線と被測定物との距離を計測することができ、これにより仮想基準線からの相対距離から被測定物の形状を計測することができる（ステップＳ８）。
【００７１】
撮像領域に含まれる被測定物の形状計測が終了した後、形状計測が終了位置か判断し、（ステップＳ９）被測定物の形状計測が未終了の場合には、撮像領域を移動する（ステップＳ１０）。同様にして仮想基準線と被測定物の相対距離を計測して、撮像領域に含まれる被測定物の形状を計測する。ここで仮想基準線は撮像領域を移動させても同一の仮想基準線である。
【００７２】
撮像領域を移動させていき、被測定物が撮像領域に含まれないと判断した場合には、形状計測を終了する（ステップＳ９）。
【００７３】
次に、以上述べた本発明の形状計測装置の実施形態の変形例、その他の技術的な拡張事項等を以下に列挙する。
【００７４】
上記実施形態では、被測定物と基準治具を配置した移動テーブルを移動させ、撮像領域を移動させたが、これは撮像部を移動させることにより、撮像領域を移動させてもよい。
【００７５】
上記実施形態では、光学系を用いた形状計測装置を説明したがこれに限定されることはなく、ＳＴＭ（走査型トンネル顕微鏡）やＡＦＭ（原子間力顕微鏡）などの計測装置であってもよい。
【００７６】
上記実施形態では、被測定物の形状計測は二次元の撮像領域を計測したが、撮像領域は二次元に限られることはなく、三次元で空間的に形状計測を行なう構成であってもよい。
【００７７】
上記実施形態では、基準治具の治具点の位置座標データ等を用いて最小二乗法により仮想基準線を算出していたが、これに限定されるものではなく、任意に仮想基準線を撮像領域に形成する構成であってもよい。
【００７８】
次に、以上述べた形状計測装置の実施形態から抽出される技術的思想を請求項の記載形式に準じて付記として列挙する。本発明に係る技術的思想は上位概念から下位概念まで、様々なレベルやバリエーションにより把握できるものであり、以下の付記に本発明が限定されるものではない。
【００７９】
（付記１）
被測定物の形状を計測する形状計測装置において、
該被測定物の形状を撮像する撮像部と、
該撮像部において撮像した撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成部と、
該被測定物の形状と該基準線との距離を計測し、計測した距離から該被測定物の形状を計測する撮像画像処理部と、  
を有することを特徴とする形状計測装置。
【００８０】
（付記２）
被測定物の形状を計測する形状計測装置において、
該被測定物の一部の形状を撮像する撮像部と、
該撮像部において撮像した撮像領域内に基準線を生成する仮想基準線生成部と、
該被測定物の形状と該基準線との距離を計測し、計測した距離から該被測定物の形状を計測する撮像画像処理部と、
該撮像領域内の被測定物の一部の形状計測が終了した後、該被測定物の未撮像部分を撮像するために、該被測定物の撮像した一部から未撮像部分を該撮像領域に移動する被測定物移動手段と、  
を有することを特徴とする形状計測装置。
【００８１】
（付記３）  
該仮想基準線生成部において、
撮像領域内に複数の基準点を設け、該基準点から最小二乗法により仮想的な基準線を生成することを特徴とする付記１又は２に記載の形状計測装置。
【００８２】
（付記４）
該撮像部において、
該基準線を生成するための基準点を有する基準治具を被測定物と共に撮像することを特徴とする付記１又は２に記載の形状計測装置。
【００８３】
（付記５）
該基準治具は、該基準線を生成するための突起部を有することを特徴とする付記１乃至４に記載の形状計測装置。
【００８４】
（付記６）
該撮像画像処理部において、
該基準治具と該基準線の距離と該基準治具と該被測定物の形状の距離を計測し、その差を算出することにより、該被測定物の形状と該基準線との距離を計測することを特徴とする付記５に記載の形状計測装置。
【００８５】
（付記７）
被測定物の形状を計測する形状計測プログラムにおいて、
該被測定物の形状を撮像する撮像ステップと、
該撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成ステップと、
該被測定物の形状と該基準線との距離を計測する距離計測ステップと、
計測した該距離を画像処理して該被測定物の形状を計測する撮像画像処理ステップと、  
をコンピュータに実行させることを特徴とする形状計測プログラム。    
【００８６】
（付記８）
被測定物の形状を計測する形状計測方法において、
該被測定物の形状を撮像する撮像手順と、
該撮像領域内に仮想的な基準線を生成する仮想基準線生成手順と、
該被測定物の形状と該基準線との距離を計測する距離計測手順と、
計測した該距離を画像処理して該被測定物の形状を計測する撮像画像処理手順と、  
からなることを特徴とする形状計測方法。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】撮像部において撮像する撮像領域図
【図２】撮像部において高解像度で撮像する撮像領域図
【図３】本発明に係る形状計測装置のブロック図
【図４】基準治具と被測定物の図
【図５】本発明に係る被測定物と基準治具を撮像した撮像領域図
【図６】本発明に係る被測定物と基準治具を撮像した撮像領域図
【図７】不具合がある基準治具の図
【図８】凹凸形状である基準治具の図
【図９】撮像領域に治具点が２点含まれる図
【図１０】本発明に係る被測定物形状計測に係るフローチャート
【図１１】軌跡の真直度を示す図
【符号の説明】
【００８８】
１…被測定物
２…撮像領域
２１…撮像領域
２２…撮像領域
２３…撮像領域
３０１…被測定物と基準治具
３０２…撮像部
３０３…光学レンズ
３０４…焦点調整部
３０５…移動テーブル
３０６…固定テーブル
３０７…照明部
３０８…画像処理部
３０９…制御部
３１０…記憶部
３１１…出力部
４１…基準治具
４２…マーキング
４３…治具点
４４…治具辺
４５…仮想基準線
１１１…真直度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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