(57)【要約】【課題】連続的に液位を検出して精度を向上するとともに、液位センサから離れた場所でも液位情報を検出することができる液位検出システムを提供することを目的としている。【解決手段】液位検出用サーミスタ２１の端部に液体温度検出用サーミスタ２０および気体温度検出用サーミスタ１９を結合して形成した液位センサを備え、検出した液位情報を無線送信部１２を介して発信し、無線受信部１３を介して受信し、無線受信部１３に接続された表示装置１１に伝達して視覚情報として表示させる構成である。【選択図】図１
2006126031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の液位を検出する液位センサを備え、前記液位センサは液位を連続して検出し、検出した液位を液位情報として前記液位センサから発信するとともに、前記液位センサから前記液位情報を受信する発信受信システムを設けた液位検出システム。
【請求項２】
前記液位情報に基づき、液位変化率を連続して検出し、検出した液位変化率の液位変化率情報を前記液位情報として前記液位センサから発信するとともに、前記液位変化率情報を前記液位情報として受信する発信受信システムを設けた請求項１記載の液位検出システム。
【請求項３】
前記液位情報に基づき、液位変化率が所定値よりも低下または上昇すると、警告情報として警告する警告システムを設けた請求項１記載の液位検出システム。
【請求項４】
前記液位変化率情報に基づき、液位が所定変化率よりも低下または上昇すると、警告情報として警告する警告システムを設けた請求項２記載の液位検出システム。
【請求項５】
前記液位センサは、熱を伝導する媒体を介して気体のみに接する気体温度検出用のサーミスタと、熱を伝導する媒体を介して液体のみに接する液体温度検出用のサーミスタと、液面を境に熱を伝導する媒体を介して気体と液体の両方に接する液位検出用のサーミスタとを備え、気体温度検出用の前記サーミスタと液体温度検出用の前記サーミスタの抵抗値の違い、または、抵抗値変化率の違いに基づき、液位検出用の前記サーミスタの抵抗値または抵抗値変化率を比較して、液位を連続して検出する請求項１記載の液位検出システム。
【請求項６】
前記サーミスタを昇温するためのヒータ部を設け、前記ヒータ部の発熱量は、気体温度検出用の前記サーミスタの抵抗値と液体温度検出用の前記サーミスタの抵抗値の差または比によって制御する、あるいは、抵抗値変化率の差または比によって制御するヒータ制御部を設けた請求項５記載の液位検出システム。
【請求項７】
前記液位センサには、前記サーミスタの抵抗値または抵抗値変化率を算出する演算部と、前記サーミスタの抵抗値または抵抗値変化率から液位を算出する演算部とを有する処理回路を設け、さらに前記サーミスタへの給電手段として、前記処理回路に定電流源を設けた請求項５記載の液位検出システム。
【請求項８】
前記サーミスタを昇温するためのヒータ部を設け、前記ヒータ部への通電の前後における、前記サーミスタと前記定電流源との接続部の電位の差分に基づいて、前記サーミスタの抵抗値変化率を算出し、液位を算出する請求項７記載の液位検出システム。
【請求項９】
前記サーミスタを昇温するためのヒータ部を設けるとともに、前記ヒータ部への通電の前後における、前記サーミスタの抵抗値と、前記サーミスタと前記定電流源との接続部の電位に基づいて、前記サーミスタの温度に対する感度バラツキを補正する補正値を設定する演算部を設けた請求項７記載の液位検出システム。
【請求項１０】
前記サーミスタを昇温するためのヒータ部を設けるとともに、前記ヒータ部への通電の前において、前記サーミスタの抵抗値と、前記サーミスタと前記定電流源との接続部の電位とを所定値になるように前記定電流源の電流値を調整し、前記ヒータ部への通電の後における、前記サーミスタの抵抗値と、前記サーミスタと前記定電流源との接続部の電位と、前記ヒータ部への通電の前における前記所定値に基づいて、前記サーミスタの温度に対する感度バラツキを補正する補正値を設定する演算部を設けた請求項７記載の液位検出システム。
【請求項１１】
前記液位センサは、基板と、前記基板に配置したサーミスタと、前記サーミスタに電気的に接続された電極とを備え、前記サーミスタは、熱を伝導する媒体を介して気体のみに接する気体温度検出用の前記サーミスタと、熱を伝導する媒体を介して液体のみに接する液体温度検出用の前記サーミスタと、液面を境に熱を伝導する媒体を介して気体と液体の両方に接する液位検出用の前記サーミスタとを有し、液位検出用の前記サーミスタの端部に液体温度検出用の前記サーミスタおよび気体温度検出用の前記サーミスタを結合するとともに、前記サーミスタを昇温するヒータ部を設けた液位検出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体の液位を検出する液位検出システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の液位センサについて図面を参照しながら説明する。
【０００３】
図９は従来の液位センサの正面図、図１０は使用時における同液位センサのＡ部を拡大した拡大正面図である。
【０００４】
図９において、１は絶縁基板で、この絶縁基板１は長手方向に略垂直に立設させるとともに、この絶縁基板１の一側面には上側に位置して電源電極２、中間電極３およびＧＮＤ電極４を並列に設けている。また、絶縁基板１の一側面には、第１の回路パターン５を介してＧＮＤ電極４と一端を電気的に接続するように、複数のサーミスタ６を上側から下側に渡って設けている。そして、サーミスタ６は温度が上昇するとその抵抗値が急激に下がる特性を有している。そしてまた、絶縁基板１の一側面にはサーミスタ６と同じ高さに位置して複数の固定抵抗体７を設けており、この固定抵抗体７は一端を第２の回路パターン８を介して電源電極２に電気的に接続している。さらに、絶縁基板１の一側面には複数の第３の回路パターン９を設けており、この第３の回路パターン９により、サーミスタ６の他端と固定抵抗体７の他端を電気的に接続している。
【０００５】
この液位センサは、例えば、液体を貯留した容器の内側に略垂直に立設する、または、点滴袋のような液体を貯留した容器の外側に略垂直に立設する等して用いる。立設に当たっては、接着剤で接着したり、容器そのものに埋設したりする等すれば良い。
【０００６】
この電源電極２とＧＮＤ電極４との間には直流電圧を印加する。この場合、液面上に位置するサーミスタ６は通電によって発熱し、また、液面下に位置するサーミスタ６は液体によって冷却される。そして、サーミスタ６は温度上昇すると抵抗値が急激に下がる特性を有しているため、液面上に位置するサーミスタ６の抵抗値は液面下に位置するサーミスタ６の抵抗値に比べて十分に小さな値となる。すなわち、液面上に位置するサーミスタ６に流れる電流は、液面下に位置するサーミスタ６に流れる電流に比べて十分に大きな値となる。
【０００７】
よって、電源電極２およびＧＮＤ電極４に直列に電流計を接続すると、電源電極２とＧＮＤ電極４との間に流れる電流は液面上に位置するサーミスタ６の個数に応じて、増加した値となるため、液面の高さを知ることができるものである。
【０００８】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開昭６２−１０２１２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記構成では、複数のサーミスタ６を順次、上側から下側に渡って設けているため、図１０に示すように、互いに隣り合うサーミスタ６の間に液体１０の液面が位置する場合に液面の変化が検出できなくなる。すなわち、液面の変化に応じて、連続的に出力信号を変化させることができず、液位を精度良く検出することができないという問題点を有していた。
【００１０】
また、液位センサで検出された液位、すなわち、液位情報は液位センサにのみ保持されているので、液位センサから離れた場所で、液位情報を検出することができないという問題点を有していた。
【００１１】
本発明は上記問題点を解決するもので、連続的に液位を検出して精度を向上するとともに、液位センサから離れた場所でも液位情報を検出することができる液位検出システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために本発明は、液体の液位を検出する液位センサを備え、前記液位センサは液位を連続して検出し、検出した液位を液位情報として前記液位センサから発信するとともに、前記液位センサから前記液位情報を受信する発信受信システムを設けた構成である。
【発明の効果】
【００１３】
上記構成により、液位センサは、液位を連続して検出するので、液面の変化に応じて、連続的に精度良く液位を検出できる。
【００１４】
また、検出した液位は液位情報として、液位センサから発信するとともに受信する発信受信システムを設けているので、液位センサから離れた場所で、液位情報を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、実施の形態を用いて、本発明の全請求項に記載の発明について、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は本発明の一実施の形態における液位検出システムのブロック図、図２は同液位検出システムに用いる液位センサの分解斜視図、図３は同液位センサの一部透視平面図である。
【００１７】
図１から図３において、本発明の一実施の形態における液位検出システムは、液体の液位を検出する液位センサを備え、この液位センサは液位を連続して検出し、検出した液位を液位情報として液位センサから発信するとともに、液位センサから液位情報を受信する発信受信システムを設けている。発信受信システムは、液位センサで検出された液位情報を無線や有線により、表示装置１１に伝達して視覚情報として表示させたり、音響装置に伝達して音情報として音を発生させたりするものである。無線を使う場合は、無線送信部１２と無線受信部１３を組み合わせて用い、液位情報は無線送信部１２を介して発信され、無線受信部１３を介して受信され、無線受信部１３に接続された表示装置１１や音響装置で表示されたり、音を発生させたりする。
【００１８】
この液位検出システムに用いる液位センサは、絶縁性の基板１４に、サーミスタ１５を昇温するヒータ部１６、絶縁層１７、サーミスタ１５に電気的に接続させる電極１８、サーミスタ１５を順に積層している。
【００１９】
ここで、液位センサを例えば、点滴袋（図示せず）に添付して点滴袋（図示せず）液位を検出する場合を考える。
【００２０】
このサーミスタ１５は、前述の点滴袋（図示せず）の媒体を介して気体のみに接する気体温度検出用サーミスタ１９と、点滴袋（図示せず）の媒体を介して液体のみに接する液体温度検出用サーミスタ２０と、液面を境に気体と液体の両方に接する液位検出用サーミスタ２１とを有し、液位検出用サーミスタ２１の端部の一端側で液体温度検出用サーミスタ２０と結合し、他端側で気体温度検出用サーミスタ１９と結合している。
【００２１】
また、液位センサには、各サーミスタ１５の抵抗値または抵抗値変化率（基準温度から抵抗値が変化する変化率）を算出する演算部２２と、各サーミスタ１５の抵抗値または抵抗値変化率から液位を算出する演算部２２とを有する処理回路２３を接続している。これらの処理回路２３はマイコンで構成することができる。
【００２２】
さらに、この処理回路２３には、各サーミスタ１５への給電手段として定電流源２４を設けるとともに、ヒータ部１６の制御手段としてヒータ制御部２５を設けており、このヒータ制御部２５の演算によるデジタル信号からなる出力信号を３つのＤＡＣ２６によりアナログ信号からなる出力信号に変換している。そしてまた、前記処理回路２３におけるＤＡＣ２６のデジタル信号からなる出力信号により、気体温度検出用サーミスタ１９、液体温度検出用サーミスタ２０および液位検出用サーミスタ２１と各々、直列に電気的に接続された３つの定電流源２４の電流値を所定の値に設定する。
【００２３】
また、前記処理回路２３には３つの増幅器２７を設けており、この増幅器２７により、気体温度検出用サーミスタ１９、液体温度検出用サーミスタ２０および液位検出用サーミスタ２１からの出力信号を増幅するとともに、この３つの増幅器２７には、各々ＡＤＣ２８を設けており、このＡＤＣ２８により、増幅器２７の出力信号をデジタル信号からなる出力信号に変換するものである。
【００２４】
そして、前記ヒータ部１６の発熱量は、気体温度検出用サーミスタ１９の抵抗値と液体温度検出用サーミスタ２０の抵抗値の差または比によって制御する、あるいは、抵抗値変化率の差または比によって制御している。
【００２５】
ここで、液位センサによる液位の検出について説明する。
【００２６】
液位は、気体温度検出用サーミスタ１９と液体温度検出用サーミスタ２０の抵抗値の違い、または、抵抗値変化率（基準温度から抵抗値が変化する変化率）の違いに基づき、液位検出用サーミスタ２１の抵抗値または抵抗値変化率を比較して、液位を連続して検出する。
【００２７】
これは、気体温度検出用サーミスタ１９と液体温度検出用サーミスタ２０の抵抗値または抵抗値変化率が既知であれば、気体と液体の熱放散定数が相違するので、液位検出用サーミスタ２１の抵抗値または抵抗値変化率によって、液位検出用サーミスタ２１における液面の位置が一意的に定まることを検出原理としている。
【００２８】
具体的な検出原理として、例えば、次のようなものがある。
【００２９】
図４は気体温度検出用サーミスタ１９に相当する斜視図、図５は液体温度検出用サーミスタ２０に相当する斜視図と、図６は液位検出用サーミスタ２１に相当する斜視図である。
【００３０】
図４から図６において、基準温度時の抵抗率をρ0とし、温度上昇時における気体温度検出用サーミスタ１９の抵抗率をρAとし、液体温度検出用サーミスタ２０の抵抗率をρBとする。
【００３１】
気体温度検出用サーミスタ１９の長さをＬAとし、幅をＷAとし、厚みをｔAとすると、基準温度における抵抗値ＲA0と、温度上昇時における抵抗値ＲAは次の通りである。
【００３２】
ＲA0＝ρ0ＷA／ＬAｔA                                            ・・・（式１）
ＲA ＝ρAＷA／ＬAｔA                                            ・・・（式２）
また、液体温度検出用サーミスタの長さをＬBとし、幅をＷBとし、厚みをｔBとすると、基準温度における抵抗値ＲB0と、温度上昇時における抵抗値ＲBは次の通りである。
【００３３】
ＲB0＝ρ0ＷB／ＬBｔB                                            ・・・（式３）
ＲB ＝ρBＷB／ＬBｔB                                            ・・・（式４）
液位検出用サーミスタの長さをＬXとし、幅をＷXとし、厚みをｔXとし、液面を境にして、気体側の長さを（ＬX−Ｘ）、液体側の長さをＸとすると、温度上昇時における抵抗値ＲXは次の通りである。
【００３４】
ＲX＝（ρAρBＷX／ｔX）／｛ρAＸ＋ρB（ＬX−Ｘ）｝
このとき、Ｘ／ＬXは次の通りである。
【００３５】
Ｘ／ＬX＝｛ρAρBＷX／（ｔXＬX）−ＲXρB｝／ＲX
ここで、ＲXA＝ρAＷX／ＬXｔXなので、これを代入すると、次の通りである。
【００３６】
Ｘ／ＬX＝（１−ＲXA／ＲX）／（１−ρA／ρB）                    ・・・（式５）
また、上記の（式１）と（式２）より、
ρA＝ρ0（ＲA／ＲA0）                                            ・・・（式６）
同様に、上記の（式３）と（式４）より、
ρB＝ρ0（ＲB／ＲB0）                                            ・・・（式７）
すなわち、
ρB／ρA＝（ＲB／ＲB0）／（ＲA／ＲA0）                            ・・・（式８）
また、ＲXA／ＲX＝（ＲXA／ＲX0）／（ＲX／ＲX0）において、ＲXA／ＲX0は次の通りである。
【００３７】
ＲXA／ＲX0＝（ρAＷX／ＬXｔX）／（ρ0ＷX／ＬXｔX）
つまり、ＲXA／ＲX0＝ρA／ρ0＝ＲA／ＲA0となる。
【００３８】
したがって、（式５）は次のように変形できる。
【００３９】
Ｘ／ＬX＝｛１−（ＲA／ＲA0）／（ＲX／ＲX0）｝／｛１−（ＲA／ＲA0）／（ＲB／ＲB0）｝
よって、ρ0の時の各抵抗値ＲX0とＲA0とＲB0からの変化率が分かれば、Ｘ／ＬXを求めることができる。
【００４０】
また、この抵抗値の変化率を求める手段として、例えば、次のようなものがある。
【００４１】
ヒータ部１６への通電の前後における、各サーミスタ１５と定電流源２４との接続部の電位の差分に基づいて、各サーミスタ１５の抵抗値変化率を算出し、液位を算出するものである。
【００４２】
図７において、ＶX＝Ａ｛（Ｖcc−ｉＲ）−ＶS｝＋ＶSである。
【００４３】
つまり、Ｒ＝｛（１−Ａ）ＶS＋ＡＶcc−ＶX｝／ｉＡとなる。
【００４４】
ＲとＶRとＶXについて、初期状態をＲ0とＶR0とＶX0とすると、Ｒ0とＶR0とＶX0は次の通りである。
【００４５】
ＶX0＝Ａ｛（Ｖcc−ｉＲ0）−ＶS｝＋ＶSである。
【００４６】
Ｒ0＝｛（１−Ａ）ＶS＋ＡＶcc−ＶX0｝／ｉＡ                      ・・・（式９）
Ｒが変化したときの状態をＲ1とＶR1とＶX1とすると、Ｒ1とＶR1とＶX1の関係は次の通りである。
【００４７】
Ｒ1＝｛（１−Ａ）ＶS＋ＡＶcc−ＶX1｝／ｉＡ                    ・・・（式１０）
（式１）と（式２）より、Ｒ1／Ｒ0は次の通りである。
【００４８】
Ｒ1／Ｒ0＝｛（１−Ａ）ＶS＋ＡＶcc−ＶX1｝／｛（１−Ａ）ＶS＋ＡＶcc−ＶX0｝                                                                    ・・・（式１１）
すなわち、定電流値ｉが分からなくても、ＶX0が既知であれば、Ｒの変化率を求めることができる。
【００４９】
図７は図１におけるＢ部と同様な等価回路図であり、上記の検出原理を本発明に適用すれば、各サーミスタ１５の抵抗値変化率を求めることができる。
【００５０】
また図８（ａ）はＲA、ＲB、ＲXの温度と抵抗値の特性を示したものであり、図８（ｂ）はＲA、ＲB、ＲXの温度と抵抗値変化率を示したものであるが、ＲA、ＲB、ＲXが同一のサーミスタ材料で形成されていれば理想的には点線で示すように温度変化による抵抗値変化率は同一特性を示すが、実際には製造上のバラツキにより実線で示したようにＲA、ＲB、ＲXそれぞれが異なった温度特性を生じる場合がある。これにより液位の演算結果に誤差を生じることになるため温度に対する感度バラツキを補正する補正値を設定して演算を行っても良い。
【００５１】
具体的な補正原理として、例えば次のようなものがある。
【００５２】
ＲA、ＲBの温度に対する感度をＲXに合わせる補正係数を導入する。
【００５３】
まず、ヒータ部１６を通電する前の温度を基準温度Ｔ０としてＲA、ＲB、ＲXのそれぞれの初期抵抗値をＲA0、ＲB0、ＲX0とする。
【００５４】
次に、ヒータ通電後、任意の温度Ｔ１に上昇した時点でのＲA、ＲB、ＲXそれぞれの抵抗値をＲA1、ＲB1、ＲX1とする。このときＲAの温度に対する感度をＲXの温度に対する感度に補正する係数をＫAとするとＫA（ＲA1−ＲA0）／ＲA0＝（ＲX1−ＲX0）／ＲX0とあらわすことができる。したがってＫA＝（ＲX1／ＲX0−１）／（ＲA1−ＲA0−１）となる。同様にＲBの温度に対する感度をＲXの温度に対する感度に補正する係数をＫBとするとＫB＝（ＲX1／ＲX0−１）／（ＲB1／ＲB0−１）となる。この補正係数を抵抗値変化率の演算結果に反映するためには補正係数をＫとすると（式１１）のかわりに
Ｒ1／Ｒ0＝Ｋ［｛（１−Ａ）ＶS＋ＡＶcc−ＶX1｝／｛（１−Ａ）ＶS＋ＡＶcc−ＶX0｝−１］＋１                                                        ・・・（式１２）
を用いればよい。この補正を行うことにより各サーミスタ１５の感度バラツキを低減することができることから液位検出を精度良く行うことができる。
【００５５】
また製造上のバラツキによって各サーミスタ１５の抵抗値が大きくばらついた場合、定電流源による定電流ｉとサーミスタ抵抗Ｒを掛け合わせた値が電源電圧Ｖccを上回る（ｉＲ＞Ｖcc）と原理的に抵抗値または抵抗値変化率の検出が不可能となってしまう。このような状態を避けるため、マイコンからＤＡＣ２６を介して、初期状態における各ヒータと定電流源の接続部の電位が所定の電位になるように定電流源の電流値を調整する機能を設けても良い。
【００５６】
上記構成によれば、液位センサは、液位を連続して検出するので、液面の変化に応じて、連続的に精度良く液位を検出できる。
【００５７】
また、検出した液位は液位情報として、液位センサから発信するとともに受信する発信受信システムを設けているので、液位センサから離れた場所で、液位情報を検出することができる。
【００５８】
特に、液位センサは、気体温度検出用サーミスタ１９と液体温度検出用サーミスタ２０の抵抗値の違い、または、抵抗値変化率の違いに基づき、液位検出用サーミスタ２１の抵抗値または抵抗値変化率を比較するので、液位を連続して検出することができる。
【００５９】
この際、サーミスタ１５を昇温するためのヒータ部１６を設けているので、各サーミスタ１５の感度を向上させ、液位センサとしての精度を向上できる。
【００６０】
また、このヒータ部１６の発熱量は、気体温度検出用サーミスタ１９の抵抗値と液体温度検出用サーミスタ２０の抵抗値の差または比によって制御する、あるいは、抵抗値変化率の差または比によって制御するヒータ制御部２５を設けているので、より精度を向上できる。
【００６１】
さらに、各サーミスタ１５の抵抗値または抵抗値変化率を算出する演算部２２と、各サーミスタ１５の抵抗値または抵抗値変化率から液位を算出する演算部２２とを有する処理回路２３を接続し、各サーミスタ１５への給電手段として、処理回路２３に定電流源２４を設けているので、比較的簡単に演算が可能である。
【００６２】
そして、液位センサは、液位検出用サーミスタ２１の端部に液体温度検出用サーミスタ２０および気体温度検出用サーミスタ１９を結合するとともに、サーミスタ１５を昇温するヒータ部１６を設け、絶縁性の基板１４に、ヒータ部１６、絶縁層１７、サーミスタ１５に電気的に接続させる電極１８、サーミスタ１５を順に積層しているので、容易に形成できる。
【００６３】
なお、液位情報に基づき、液位変化率を連続して検出し、検出した液位変化率の液位変化率情報を液位情報として液位センサから発信するとともに、液位変化率情報を液位情報として受信する発信受信システムを設けても良い。
【００６４】
この場合、液位の変化スピードを確認できる。
【００６５】
また、液位情報に基づき、液位が所定値よりも低下または上昇すると、警告情報として警告するシステムを設けたり、液位変化率情報に基づき、液位変化率が所定変化率よりも低下または上昇すると、警告情報として警告するシステムを設けたりしてもよい。
【００６６】
特に、上記のような警告システムは、これらの液位検出システムを医療用として用いた場合に効果がある。例えば、液位センサを医療用の点滴袋に設置して、液位の量や液位の変化率が所定値よりも低下したり上昇したりした場合に警告すれば、点滴袋から薬剤を注入される患者に対して医療信頼性を向上できる。
【００６７】
この警告システムでは、患者の近くに医療スタッフがいなくても、医療スタッフに対して警告情報を発信し、その警告情報を端末等によって医療スタッフが受信することを可能にするものである。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
以上のように本発明は、液体の液位を検出する液位検出システムとして多用途に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の一実施の形態における液位検出システムのブロック図
【図２】同液位検出システムに用いる液位センサの分解斜視図
【図３】同液位センサの一部透視平面図
【図４】気体温度検出用サーミスタに相当する斜視図
【図５】液体温度検出用サーミスタに相当する斜視図
【図６】液位検出用サーミスタに相当する斜視図
【図７】図１におけるＡ部と同様な等価回路図
【図８】各サーミスタの温度に対する抵抗値の変化率と比を示す波形図
【図９】従来の液位センサの正面図
【図１０】使用時における同液位センサのＡ部を拡大した拡大正面図
【符号の説明】
【００７０】
１１  表示装置
１２  無線送信部
１３  無線受信部
１４  基板
１５  サーミスタ
１６  ヒータ部
１７  絶縁層
１８  電極
１９  気体温度検出用サーミスタ
２０  液体温度検出用サーミスタ
２１  液位検出用サーミスタ
２２  演算部
２３  処理回路
２４  定電流源
２５  ヒータ制御部
【図１】
2006126031.tif 000003
【図２】
2006126031.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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