(57)【要約】【課題】  基板の接合のための真空空間を形成するようにシャッター組立体を備えた基板接合装置を提供する。【解決手段】  本発明は、一対の基板を接合するための基板接合装置において、前記各基板を支持する第１加圧板及び第２加圧板と、前記第１及び第２加圧板のうちの少なくとも一つを移送可能なように設けられた移送部と、前記第１及び第２加圧板と密閉空間を形成するように前記第１及び第２加圧板に対して密着可能に設けられた複数のシャッターと前記シャッターを前記第１及び第２加圧板に対して密着可能に駆動するシャッター駆動部とを有するシャッター組立体と、前記第１及び第２加圧板と前記シャッター組立体によって形成された密閉空間の気体を排気する排気部と、を含むことを特徴とする。これによって、基板の間の離隔間隔を適切に調節することができ、真空作業時の真空効率を向上させることができる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板を接合するための基板接合装置において、
前記各基板を支持する第１加圧板及び第２加圧板と、
前記第１及び第２加圧板のうちの少なくとも一つを移送可能なように設けられた移送部と、
前記第１及び第２加圧板と密閉空間を形成するように前記第１及び第２加圧板に対して密着可能に設けられた複数のシャッターと、前記シャッターを前記第１及び第２加圧板に対して密着可能に駆動するシャッター駆動部とを有するシャッター組立体と、
前記第１及び第２加圧板と前記シャッター組立体によって形成された密閉空間の気体を排気する排気部と、を含むことを特徴とする基板接合装置。
【請求項２】
前記シャッター組立体は、前記第１及び第２加圧板と前記複数のシャッターとの間に設けられた密封部材をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の基板接合装置。
【請求項３】
前記密封部材は、前記第１及び第２加圧板と前記シャッターとの間に設けられた加圧板密封部材と、前記複数のシャッターの間に設けられたシャッター密封部材とを含むことを特徴とする請求項２に記載の基板接合装置。
【請求項４】
前記複数のシャッターは前記第１加圧板の側面に対して移動可能に接触し、前記第２加圧板の板面に対して移動可能に接触することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の基板接合装置。
【請求項５】
前記複数のシャッターは、前記第１加圧板の左側及び右側に設けられた左右シャッターと、前記第１加圧板の前側及び後側に設けられた前後シャッターとを含むことを特徴とする請求項４に記載の基板接合装置。
【請求項６】
前記シャッター組立体は前記複数のシャッターの間に相互スライディング可能に設けられたガイドユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の基板接合装置。
【請求項７】
前記ガイドユニットは、前記複数のシャッターのうちの少なくとも一つに設けられたガイドと、前記ガイドに対してスライディング移動可能に前記複数のシャッターのうちの少なくとも他の一つに設けられたスライダーとを含むことを特徴とする請求項６に記載の基板接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板接合装置(SUBSTRATE LAMINATION APPARATUS)に係り、より詳しくは基板の接合のための真空空間を形成するようにシャッター組立体を備えた基板接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、基板接合装置は、ＬＣＤ(Liquid Crystal Display)用パネルを製作する過程で一対のパネル用基板のうちのいずれか一つの基板に塗布された接着剤を利用して一対の基板を接合する装置である。このような基板接合装置は一対のパネル用基板を真空空間に収容して接合するように設けられる。そして、このような基板接合装置は真空空間を形成する方式によって、特許文献１に記載されたように、一対の基板を収容し真空のための真空チャンバーユニットを有する方式と、真空を形成するための別途のチャンバーを設けず各基板を支持する一対の加圧板を密封する密封手段を有する方式とがある。
【０００３】
以下、真空を形成するためのチャンバーを備えないチャンバーレス(chamberless)方式の基板接合装置について説明する。
【０００４】
このようなチャンバーレス方式の基板接合装置は特許文献２の液晶パネル用基板接合装置に開示されている。このような従来の基板接合装置は一対の基板を支持する一対の加圧板の周縁を密封するＯ−リング(Ｏ-Ring)のような密封手段と、密封手段によって密閉された閉空間で気体を吸入して所定の真空度の真空状態に作るための真空ポンプのような吸気手段などを設けて、パネル用基板の接合前に閉空間を真空状態とすることができる。
【特許文献１】韓国特許出願第10-2000-15984号明細書
【特許文献２】韓国特許出願第10-2001-66606号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このような従来の基板接合装置は閉空間を真空状態にするためにＯ−リング(Ｏ-Ring)のような密封手段に隙間が発生しないように加圧板を密着しなければならず、このような場合、各加圧板に付着された基板の間の間隔が狭くなり、狭くなった基板の間には吸気手段による吸気時に気体の流れが層流化され真空効率が低いという問題点がある。
【０００６】
そこで、本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、真空効率を向上させることができる基板接合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明による基板接合装置は、一対の基板を接合するための基板接合装置において、前記各基板を支持する第１加圧板及び第２加圧板と、前記第１及び第２加圧板のうちの少なくとも一つを移送可能なように設けられた移送部と、前記第１及び第２加圧板と密閉空間を形成するように前記第１及び第２加圧板に対して密着可能に設けられた複数のシャッターと前記シャッターを前記第１及び第２加圧板に対して密着可能に駆動するシャッター駆動部とを有するシャッター組立体と、前記第１及び第２加圧板と前記シャッター組立体によって形成された密閉空間の気体を排気する排気部と、を含むことを特徴とする。
【０００８】
ここで、前記シャッター組立体は、前記第１及び第２加圧板と前記複数のシャッターとの間に設けられた密封部材をさらに含むことができる。
【０００９】
前記密封部材は、前記第１及び第２加圧板と前記シャッターとの間に設けられた加圧板密封部材と、前記複数のシャッターの間に設けられたシャッター密封部材とを含むことができる。
【００１０】
前記複数のシャッターは前記第１加圧板の側面に対して移動可能に接触し、前記第２加圧板の板面に対して移動可能に接触することができる。
【００１１】
前記複数のシャッターは、前記第１加圧板の左側及び右側に設けられた左右シャッターと、前記第１加圧板の前側及び後側に設けられた前後シャッターとを含むことができる。
【００１２】
前記シャッター組立体は前記複数のシャッターの間に相互スライディング可能に設けられたガイドユニットをさらに含むことができる。
【００１３】
前記ガイドユニットは、前記複数のシャッターのうちの少なくとも一つに設けられたガイドと、前記ガイドに対してスライディング移動可能に前記複数のシャッターのうちの少なくとも他の一つに設けられたスライダーとを含むことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、基板の間の離隔間隔を適切に調節することができ、真空作業時に真空効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して本発明について詳細に説明する。
【００１６】
図１ないし図６に示されているように、本発明による基板接合装置１は、一対の基板３,５を各々支持する第１加圧板１０及び第２加圧板２０と、第１及び第２加圧板１０,２０のうちの少なくとも一つを移送可能なように設けられた移送部１５と、第１及び第２加圧板１０,２０と密閉空間４９を形成するように設けられたシャッター組立体３０と、第１及び第２加圧板１０,２０とシャッター組立体３０とによって形成された密閉空間４９の気体を排気する排気部２５とを含む。基板接合装置１は、第１及び第２加圧板１０,２０の下側に設けられて第１及び第２加圧板１０,２０を支持するベース５０をさらに含むことができる。
【００１７】
基板３,５は本発明の一例としてＬＣＤ(Liquid Crystal Display)パネルを製作するための基板であって、一対が設けられる。しかし、本発明による基板３,５はＬＣＤ(Liquid Crystal Display)パネル用に限定されず、積層して接合できる多様な形態の基板であり得る。一対の基板３,５は上側に設けられた第１基板３と、第１基板３の下側に設けられた第２基板５とを含む。
【００１８】
第１加圧板１０は第２加圧板２０の上側に四角板形状に設けられる。第１加圧板１０は移送部１５と結合されて上下に乗降可能に設けられる。第１加圧板１０にはその下部面に第１基板３の上側と接触可能に設けられた第１基板支持部１１と、第１基板３の上部面を吸着するように第１基板支持部１１に形成された複数の第１吸着孔１３とが設けられる。
【００１９】
移送部１５は第１加圧板１０と結合されて第１加圧板１０を上下方向に昇降させる。しかし、移送部１５は第２加圧板２０と結合されて第２加圧板２０を上下方向に昇降させることもできる。
【００２０】
第２加圧板２０は第１加圧板１０の下側に四角板形状に設けられベース５０に支持可能に結合される。第２加圧板２０にはその上部面に第２基板５の下側と接触可能に形成されたステージ２１と、第２基板５の下部面を吸着するようにステージ２１に形成された複数の第２吸着孔２３とが設けられる。第２加圧板２０はその板面に後述のシャッター３１,３３と密着可能なように第１加圧板１０より大きく設けられる。しかし、第２加圧板２０は第１加圧板１０の板面に後述のシャッター３１,３３が密着可能なように第１加圧板１０より小さく設けられることもできる。
【００２１】
ステージ２１は第２基板５を移動可能に支持する。つまり、ステージ２１は図示されていないステージ駆動手段によって第２加圧板２０に対して３軸(Ｘ,Ｙ,θ)方向に移動可能に設けられることができる。
【００２２】
排気部２５は第２加圧板２０に結合され第１及び第２加圧板１０,２０とシャッター組立体３０によって形成された密閉空間４９の気体を排気する。排気部２５は密閉空間４９と連通するように第２加圧板２０に形成された排気孔２６と、排気孔２６に連結されて密閉空間４９の気体を排出させる真空ポンプ２７とを含む。しかし、排気部２５は第１加圧板１０に設けられることもできるのはもちろんである。
【００２３】
シャッター組立体３０は第１及び第２加圧板１０,２０に対して密着可能に設けられた複数のシャッター３１,３３と、シャッター３１,３３を第１及び第２加圧板１０,２０に対して密着可能に駆動するシャッター駆動部３５とを含む。シャッター組立体３０は第１及び第２加圧板１０,２０と複数のシャッター３１,３３との間に設けられた密封部材４１,４５をさらに含むことができる。シャッター組立体３０は複数のシャッター３１,３３の間に相互スライディング可能に設けられたガイドユニット３６をさらに含むことができる。
【００２４】
シャッター３１,３３は第１及び第２加圧板１０,２０に対して密着可能に四角板形状に設けられる。シャッター３１,３３は第１加圧板１０の側面に対して移動可能に接触し、第２加圧板２０の板面に対して移動可能に接触するように設けられることができる。しかし、シャッター３１,３３は第２加圧板２０の側面に対して移動可能に接触し、第１加圧板１０の板面に対して移動可能に接触するように設けられることもできる。シャッター３１,３３は本発明の一例として第１加圧板１０の左側及び右側に設けられた一対の左右シャッター３１と、第１加圧板１０の前側及び後側に設けられた一対の前後シャッター３３とを含む。しかし、シャッター３１,３３は一対の左右シャッター３１及び一対の前後シャッター３３が設けられて総計４つを含むことに限定されず、第１加圧板１０の前側及び左側に配置された一つのシャッターと右側及び後側に配置された一つのシャッターが設けられて総計２つを含むなど多様な形態に設けられることができる。本明細書は図２に示された基板接合装置の斜視図を基準にＸ方向を前方とし、Ｙ方向を左側方向とし、Ｚ方向を上側方向として説明する。
【００２５】
左右シャッター３１は第１加圧板１０の左右断面に対してシャッター駆動部３５によって上下方向に移動可能なように一対が設けられる。左右シャッター３１は各内側面が第１加圧板１０の左右断面に接触可能に設けられ、前後端部が前後シャッター３３の内側面の両側周縁と接触可能に設けられることができる。
【００２６】
前後シャッター３３は第１加圧板１０の前後断面に対してシャッター駆動部３５によって上下方向に移動可能なように一対が設けられる。前後シャッター３３は各内側面が第１加圧板１０の前後断面に接触可能に設けられ、内側面の両側周縁が左右シャッター３１の前後断面と接触可能に設けられることができる。
【００２７】
シャッター駆動部３５はシャッター３１,３３に結合されてシャッター３１,３３を第１加圧板１０及び第２加圧板２０に密着させる役割を果たす。シャッター駆動部３５はシャッター３１,３３を昇降させることができるようにシリンダー装置(図示せず)や駆動モータ(図示せず)など多様な方法で設けられることができる。
【００２８】
密封部材４１,４５は第１及び第２加圧板１０,２０とシャッター３１,３３との間に設けられた加圧板密封部材４１と、複数のシャッター３１,３３の間に設けられたシャッター密封部材４５とを含む。密封部材４１,４５にはＯ−リング(Ｏ-Ring)が使用されるが、第１及び第２加圧板１０,２０とシャッター３１,３３との間に気密を維持させることができるゴムや繊維材質などの多様な部材を使用することができる。
【００２９】
加圧板密封部材４１は前後シャッター３３及び左右シャッター３１と密着可能に第１加圧板１０の前後端部及び左右端部に設けられた第１加圧板密封部材４２と、第２加圧板２０と密着可能に前後シャッター３３及び左右シャッター３１の下側端部に設けられた第２加圧板密封部材４３とを含む。第１加圧板密封部材４２は第１加圧板１０の前後端部及び左右端部に沿って前後シャッター３３及び左右シャッター３１の長さ方向に長く設けられる。第２加圧板密封部材４３は第２加圧板２０の周縁に対応して前後シャッター３３及び左右シャッター３１の下側端部にシャッター３１,３３の長さ方向に沿って長く形成される。
【００３０】
シャッター密封部材４５は左右シャッター３１と前後シャッター３３との間に上下方向に長く設けられる。シャッター密封部材４５は本発明の一例として前後シャッター３３の両側板面の周縁に接触可能に左右シャッター３１の前後端部に設けられる。しかし、シャッター密封部材４５は左右シャッター３１と前後シャッター３３とが交差する地点に気密を維持できるように左右シャッター３１と接触可能に前後シャッター３３に設けられることもできる。
【００３１】
ガイドユニット３６は前後シャッター３３と左右シャッター３１との間に設けられ前後シャッター３３及び左右シャッター３１が相互スライディング移動可能なように支持する役割を果たす。ガイドユニット３６は複数のシャッター３１,３３のうちの少なくとも一つに設けられたガイド３７と、ガイド３７に対してスライディング移動可能に複数のシャッター３１,３３のうちの少なくとも他の一つに設けられたスライダー３９とを含む。
【００３２】
ガイド３７は本発明の一例として前後シャッター３３の両側板面の周縁に対応して左右シャッター３１の前後端部に上下方向に長く設けられる。しかし、ガイド３７は左右シャッター３１と前後シャッター３３とが交差する地点に相互スライディング可能に左右シャッター３１の前後端部に対応して前後シャッター３３に設けられることもできる。ガイド３７はスライダー３９を収容してスライダー３９が外側に離脱することを防止するようにスロット形状に設けられることができる。
【００３３】
スライダー３９は本発明の一例として左右シャッター３１に設けられたガイド３７に結合されて案内されるように前後シャッター３３の両側板面の周縁に上下方向に長く設けられる。スライダー３９はガイド３７に収容されてスライディング移動する。
【００３４】
このような構成によって、本発明による基板接合装置１のシャッター組立体３０の作動過程を説明すると次の通りである。
【００３５】
まず、左右シャッター３１及び前後シャッター３３はシャッター駆動部３５によって第２加圧板２０から昇降して離隔される。そして、第１加圧板１０は移送部１５によって第２加圧板２０から昇降して離隔され、第１及び第２基板５は基板移送装置(図示せず)によって第１基板支持部１１及びステージ２１に吸着される(図１及び図２参照)。この時、真空作業を考慮して移送部１５によって第１加圧板１０を昇降させることによって第１基板３及び第２基板５の離隔間隔を適切に調節することができる。その後、一対の左右シャッター３１はシャッター駆動部３５によって下降して第２加圧板２０に圧着される(図４参照)。この時、左右シャッター３１は前後シャッター３３のスライダー３９によって案内されて下降し、第１加圧板密封部材４２及び第２加圧板密封部材４３を介して第１加圧板１０及び第２加圧板２０に気密に密着される。そして、一対の前後シャッター３３はシャッター駆動部３５によって第２加圧板２０に圧着される(図５参照)。この時、前後シャッター３３は左右シャッター３１のガイド３７によって案内されて下降し、第１加圧板密封部材４２及び第２加圧板密封部材４３を介して第１加圧板１０及び第２加圧板２０に気密に密着される。従って、第１及び第２加圧板１０,２０と左右シャッター及び前後シャッター３３によって第１基板３及び第２基板５が吸着された密閉空間４９を形成する。そして、排気部２５の真空ポンプ２７を作動させて密閉空間４９を所定の真空度を有する真空状態にすることができる。この場合、第１基板３と第２基板５の間の離隔間隔を適切に調節できるので、真空作業時に真空効率を向上させることができる。そして、第１加圧板１０が移送部１５によって下降して真空状態で第１基板３及び第２基板５を接合させることができる(図６参照)。
【００３６】
このように、本発明による基板接合装置は第１及び第２加圧板と密閉空間を形成するように第１及び第２加圧板に対して密着可能に設けられた複数のシャッターと、複数のシャッターを第１及び第２加圧板に対して密着可能に駆動するシャッター駆動部とを有するシャッター組立体を設けることによって基板の間の離隔間隔を適切に調節することができ、真空作業時に真空効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明による基板接合装置の概略的な断面図である。
【図２】本発明による基板接合装置の斜視図である。
【図３】本発明による基板接合装置のシャッター組立体の分解斜視図である。
【図４】本発明による基板接合装置のシャッター組立体の左右シャッターが閉鎖された斜視図である。
【図５】本発明による基板接合装置のシャッター組立体が完全に閉鎖された状態での斜視図である。
【図６】本発明による基板接合装置に設けられた基板が接合された状態での断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  基板接合装置
３  第１基板
５  第２基板
１０  第１加圧板
１１  第１基板支持部
１５  移送部
２０  第２加圧板
２１  ステージ
２５  排気部
２７  真空ポンプ
３０  シャッター組立体
３１  左右シャッター
３３  前後シャッター
３５  シャッター駆動部
３６  ガイドユニット
４１  加圧板密封部材
４５  シャッター密封部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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