(57)【要約】【課題】  マイクロ装置を、試薬の分析又は検査のために用いられるマクロ機器に実装し、組み込むための装置及び方法を提供すること。【解決手段】  互いに積層又は焼結された複数のグリーンシートを含む、結果として得られるマイクロウェルプレート及びこれを製造する方法であり、これにより、これらのグリーンシートは、複数の垂直方向のマイクロウェル反応チャンバ開口部を内部に有し、任意に、選択されたウェル反応チャンバ開口部に接続する複数の水平方向チャネルを有する。垂直方向のマイクロウェル反応チャンバ開口部は、該垂直方向のマイクロウェル反応チャンバ開口部に位置合わせされた複数の光学的マイクロプラグを、その一端に、少なくともその一端に有する。複数の光学的マイクロプラグは、マイクロウェルプレートを、垂直方向のマイクロウェル反応チャンバ開口部内に準備された化学物質、試薬又はサンプルを分析し、調べ、及び／又は検査するためのマクロ分析機器と組み込むことを可能にする。【選択図】      図１
2006055843.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック製マイクロウェルプレートであって、
第１のセラミック製グリーンシートと、
前記マイクロウェルプレートの反応チャンバとなる、前記第１のセラミック製グリーンシート内の少なくとも１つの垂直方向開口部と、
第２のセラミック製グリーンシートと、
前記第１のセラミック製グリーンシート内の前記少なくとも１つの垂直方向開口部と位置合わせされた、前記第２のセラミック製グリーンシート内の少なくとも１つの垂直方向開口部と、
前記第２のセラミック製グリーンシート内の前記少なくとも１つの垂直方向開口部にある光学的マイクロプラグと、
を備え、
前記光学的マイクロプラグが前記マイクロウェルプレートの前記反応チャンバの観察を可能にすることを特徴とするセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項２】
前記第１及び第２のセラミック製グリーンシートが互いに積層されている、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項３】
前記第１及び第２のセラミック製グリーンシートが焼結されたグリーンシートである、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項４】
前記光マイクロウェルプラグが、ＰＤＭＳ、低濃度の捕獲分子を加えたＰＤＭＳ、ガラス、シリカ、セラミック、ポリマー、及びこれらの組み合わせから成る群から選択された光学的有効材料を備える、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項５】
前記光学的マイクロプラグがレンズを含む、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項６】
前記光学的マイクロプラグが磁石を含む、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項７】
前記光学的マイクロプラグがセンサを含む、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項８】
前記光学的マイクロプラグが、ターゲットの同定及び定量化のために前記ターゲットに対して高い親和性を有する、内部にあるマーカー分子を含む、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項９】
前記光学的マイクロプラグが導電性光学的マイクロプラグを含む、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項１０】
前記光学的マイクロプラグが非導電性光学的マイクロプラグを含む、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項１１】
前記光学的マイクロプラグが加熱装置を含む、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項１２】
前記光学的マイクロプラグが冷却装置を含む、請求項１に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項１３】
第１のセラミック製グリーンシートと、
複数の反応チャンバとなる、前記第１のセラミック製グリーンシート内の第１の複数の垂直方向開口部と、
第２のセラミック製グリーンシートと、
選択されたものが前記第１の複数の垂直方向開口部の選択されたものに接続している、前記第２のセラミック製グリーンシート内の複数の水平方向開口部と、
第３のセラミック製グリーンシートと、
前記第１のセラミック製グリーンシート内の前記第１の複数の垂直方向開口部と位置合わせされた前記第３のセラミック製グリーンシート内の第２の複数の垂直方向開口部と、
前記マイクロウェルプレートの前記反応チャンバの観察を可能にするように、前記第１の複数の垂直方向開口部と位置合わせされた、前記第２の複数の垂直方向開口部内の複数の光学的マイクロプラグと、
を備えることを特徴とするセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項１４】
前記複数の光学的マイクロプラグが、ＰＤＭＳ、捕獲分子と組み合わせたＰＤＭＳ、ガラス、シリカ、セラミック、ポリマー、及びこれらの組み合わせから成る群から選択された透過性材料を備える、請求項１３に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項１５】
前記複数の光学的マイクロプラグが、光学的マイクロプラグレンズ、光導電性マイクロプラグ、光非導電性マイクロプラグ、光学的マイクロプラグ加熱装置、光学的マイクロプラグ冷却装置、光学的マイクロプラグ磁石、光学的マイクロプラグセンサ、及びこれらの組み合わせから成る群から選択される、請求項１３に記載のセラミック製マイクロウェルプレート。
【請求項１６】
セラミック製マイクロウェルプレートを形成する方法であって、
第１のセラミック製グリーンシートを準備するステップと、
各々が前記マイクロウェルプレートの反応チャンバとなる、前記第１のセラミック製グリーンシート内の第１の複数の垂直方向開口部を形成するステップと、
第２のセラミック製グリーンシートを準備するステップと、
前記第２のセラミック製グリーンシート内の第２の複数の垂直方向開口部を形成するステップと、
前記第１のセラミック製グリーンシート内の前記第１の複数の垂直方向開口部を、前記第１のセラミック製グリーンシート内の前記第２の複数の垂直方向開口部と位置合わせするステップと、
光学的有効材料を前記第２のセラミック製グリーンシート内の前記第２の複数の垂直方向開口内に堆積させて複数の光学的マイクロプラグを形成し、これにより前記光学的マイクロプラグが前記マイクロウェルプレートの前記反応チャンバの観察を可能にするステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１７】
第３のセラミック製グリーンシートを準備するステップと、
前記第３のセラミック製グリーンシート内に複数の水平方向開口部を形成するステップと、
前記複数の水平方向開口部の選択されたものが前記第１の複数の垂直方向開口部の選択されたものに接続し、前記複数の光学的マイクロプラグが、前記反応チャンバとなる該第１の複数の垂直方向開口部と位置合わせされるように、前記第３のセラミック製グリーンシートを前記第１のセラミック製グリーンシートと前記第２のセラミック製グリーンシートとの間に位置決めするステップと、
をさらに含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記複数の光学的マイクロプラグを有する前記マイクロウェルプレートを形成するために、前記第１及び第２のグリーンシートを積層するステップをさらに含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記複数の光学的マイクロプラグを有する前記マイクロウェルプレートを形成するために、前記積層された第１及び第２のグリーンシートを焼結するステップをさらに含む、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記形成された複数の光学的マイクロプラグが、光学的マイクロプラグレンズ、光導電性マイクロプラグ、光非導電性マイクロプラグ、光学的マイクロプラグ加熱装置、光学的マイクロプラグ冷却装置、光学的マイクロプラグ磁石、光学的マイクロプラグセンサ、及びこれらの組み合わせから成る群から選択される、請求項１６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、薬物相互作用（ｄｒｕｇ  ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｓ）の多数の組み合わせを検査するための、医療産業及び製薬産業において用いることができる装置に関し、特定的には、高速のサンプル検査及び分析に用いるために、多層セラミック（ＭＬＣ）バイオチップ内にマイクロプラグを形成する構造及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
医療産業及び製薬業界の重要な側面は、例えば、免疫学的検定法によるような、化学サンプル、生体サンプル（ｂｉｏｌｏｇｉｃａｌ  ｓａｍｐｌｅｓ）、薬物相互作用、薬物活性の研究、検査、及び分析である。これらのタイプの研究、検査、及び分析は、多くの場合、化学物質Ｂ１‐Ｂｎに対する化学物質Ａの反応（生物活性（ｂｉｏｌｏｇｉｃａｌ  ａｃｔｉｖｉｔｙ）を含む）を必要とする。ここで、ｎは、百万のオーダーの大きい数とすることができる。
【０００３】
種々の化学物質及び生体サンプルを内部に供給するためにプラスチック製ウェルプレートを用いることは、医療産業及び製薬産業において公知である。その際に、ウェル内でこれらの物質を接触させ、相互作用させるために、物質Ａ及びＢ１‐Ｂｎのアレイが、通常ピペットを介して、プラスチック製プレートのウェル開口部内に与えられる。市販のプラスチック製プレートは、典型的には約３ｍｍから約４ｍｍまでの直径及び約０．５インチの深さを有する９６及び３８４ウェル開口部のアレイを含む。
【０００４】
医療産業及び製薬産業においては、現在のところ、新しい医療検査及び創薬の両方の不断の研究及び開発に伴い、多数の医療検査が存在する。こうした新旧両方の医療検査に対する需要も、新薬又は新しい治療に対する必要性も増えているので、多数のサンプリング処理量の要求は高いままである。また、新薬、治療、及び医療検査の研究及び開発においては、無限の組み合わせの可能性を網羅するために検査すべき何百万もの化学物質及び反応物があるので、研究及び開発に携わっている会社が、薬物、治療、或いは臨床実験又はポイント・オブ・ケア検査のいずれかを市場にもたらすのに何年もかかることが多い。
【０００５】
コンピュータを用いたマイクロ流体走査装置（ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ａｓｓｉｓｔｅｄ  ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃ  ｓｃａｎｎｉｎｇ  ｄｅｖｉｃｅｓ）の現在の速度を用いる場合、同時に、即ち単一の動作において走査され、処理されるサンプル数を増加させることなどによって、バルクサンプルが分析又は検査される速度を増大させることが可能である。マイクロ流体走査装置は、ウェルプレート（ｗｅｌｌ  ｐｌａｔｅ）の所定容積内のウェル開口部数を増加させることによって、多数の実験室プロセスを単一の従来のチップサイズの装置内に組み込み、小型化することを可能にする。すなわち、小さいマイクロ孔及びチャネルの数を増加させることにより、化学物質及び反応物の無限の組み合わせの可能性を研究し、分析し、検査するプロセスが加速される。このようにウェルプレートの所定容積内で多数のウェル開口部を用いることにより、分析又は検査中に使用される高価な化学物質／試薬の消費が有利に減少され（ウェルのサイズが小さいために）、製造費用が低くなり、サンプルの処理量が増加され、迅速な分析のために最終結果が迅速に提供され、高い性能と成功がもたらされ、膨大な範囲を組み込むこと、及び自動化を容易にすることが可能になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のプラスチック製ウェルプレートは、通常、押出し成形によって形成され、正確な精度のウェル開口部直径が与えられず、該プラスチック製ウェルプレート内に形成されたウェルのアレイ内に所望の位置のウェル開口部が提供されないという点で非常に制限的なものである。プラスチック製ウェルプレート内により多数の小さいウェル開口部（ウェル孔及びチャネル（ｗｅｌｌ  ｈｏｌｅｓ  ａｎｄ  ｃｈａｎｎｅｌｓ）を形成する場合のように、ウェル開口部の直径及び位置が、正確な寸法でない場合には、該ウェル開口部内に化学物質及び試薬を導入する際に用いられる分析機器、及び該ウェル開口部を走査するための機器の両方の精度が、不正確なものになる。このように、プラスチック製ウェルプレートを用いることは、小さいマイクロ孔及びチャネルから構成される多数のウェル開口部を製造するのに適切ではなく、これによりこの分野のプラスチックの拡張性が制限される。
【０００７】
医療産業及び製薬産業では、１００ミクロンのオーダーの直径とアレイ内の様々なレベルにおいて選択的ウェルに接続するチャネルとをもつ何千ものウェルを有する、サイズが減少したマイクロ装置を絶えず探している。しかし、これらのマイクロ装置が利用可能になると、こうしたマイクロ装置を、試薬を分析又は検査するために用いられるマクロ機器の残りの部分に実装し、組み込むことに対する、当該産業における必要性が依然として残っている。
【０００８】
【特許文献１】「Ｍｕｌｔｉｃｈａｎｎｅｌ  ａｎｄ  Ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ  Ｐｈａｒｍａｃｅｕｔｉｃａｌ  Ｄｅｖｉｃｅ」という名称の米国特許出願番号第１０／３３８，０９３号明細書
【課題を解決するための手段】
【０００９】
したがって、従来技術の問題及び欠点を念頭に置き、本発明の目的は、マイクロウェル及びマイクロチャネルを有するマイクロ装置を実験室機器のマクロ分野に組み込む方法を提供することである。
【００１０】
本発明の別の目的は、マイクロウェル内に装填される種々の試薬の組み合わせを分析し、検査するために用いられるマクロ機器に組み込むために、少なくとも光学的マイクロプラグを備えたマイクロウェルを有するセラミック製マイクロ装置を製造するための方法、及び結果として得られるセラミック製マイクロ装置を提供することである。
【００１１】
本発明の更に別の目的は、マイクロウェルと、選択されたマイクロウェルを接続するマイクロチャネルとを有し、マクロ機器に一体化するための光学的マイクロプラグをもつ、セラミック製マイクロ装置を製造するための方法、及び結果として得られるセラミック製マイクロ装置を提供することである。
【００１２】
本発明の別の目的は、光学的マイクロプラグを備えたマイクロウェルを少なくとも有し、積層体として構成されたセラミック製マイクロ装置を製造するための方法、及び結果として得られるセラミック製マイクロ装置を提供することである。
【００１３】
本発明の更に別の目的は、光学的マイクロプラグを備えたマイクロウェルを少なくとも有し、焼結体であるセラミック製マイクロ装置を製造するための方法、及び結果として得られるセラミック製マイクロ装置を提供することである。
【００１４】
本発明の別の目的は、レンズ、導電性マイクロプラグ、非導電性マイクロプラグ、加熱装置、冷却装置、磁石、センサ、及びこれらの組み合わせとして構成できる光学的マイクロプラグを備えたマイクロウェルを少なくとも有するセラミック製マイクロ装置を製造するための方法、及び結果として得られるセラミック製マイクロ装置を提供することである。
【００１５】
本発明の更に他の目的及び利点の一部は明白であり、一部は明細書から明らかになるであろう。
【００１６】
上記の目的及び他の目的は当業者には明らかであり、これらの目的は、少なくとも１つの垂直方向開口部を内部に有する第１のセラミック製グリーンシート（ｇｒｅｅｎｓｈｅｅｔ）を含むセラミック製マイクロウェルプレートに向けられる本発明において達成される。この垂直方向開口部は、マイクロウェルプレートの反応チャンバとなる。第２のセラミック製グリーンシートはまた、少なくとも１つの垂直方向開口部を内部に有し、この垂直方向開口部は、第１のセラミック製グリーンシート内の垂直方向開口部と位置合わせされる。さらに、セラミック製マイクロウェルプレートは、第２のセラミック製グリーンシートの垂直方向開口部内に光学的マイクロプラグを含み、これによりこの光学的マイクロプラグがマイクロウェルプレートの反応チャンバの観察を可能にする。
【００１７】
本発明のこの態様において、第１及び第２のセラミック製グリーンシートは、積層されても、焼結されてもよい。光学的マイクロプラグは、例えば、ＰＤＭＳ、低濃度の捕獲分子を加えたＰＤＭＳ、ガラス、シリカ、セラミック、ポリマー、及びこれらの組み合わせを含む光学的有効材料から構成される。
【００１８】
光学的マイクロプラグを製造するために選択される材料に応じて、こうした光学的マイクロプラグを、レンズ、磁石（永久磁石又は非永久磁石のいずれか）、センサ（例えば、温度センサ、蛍光センサなど）、加熱装置、冷却装置、導電性又は非導電性光学的マイクロプラグとすることができ、或いは内部にあるマーカー分子を含むことさえできる。
【００１９】
別の態様においては、本発明は、第１の複数の垂直方向開口部を内部に備えた第１のセラミック製グリーンシートを有するセラミック製マイクロウェルプレートに向けられる。第１のグリーンシート内のこれらの複数の垂直方向開口部は、セラミック製マイクロウェルプレートの複数の反応チャンバとなる。セラミック製マイクロウェルプレートは、複数の水平方向開口部を有する第２のセラミック製グリーンシートも含み、これにより水平方向開口部の選択されたものが、第１のグリーンシート内の垂直方向開口部の選択されたものに接続される。セラミック製マイクロウェルプレートは、第１のセラミック製グリーンシート内の第１の複数の垂直方向開口部と位置合わせされた複数の垂直方向開口部を内部に有する第３のセラミック製グリーンシートも含む。複数の光学的マイクロプラグが、第３のグリーンシート内の垂直方向開口部内にある。これらの複数の光学的マイクロプラグは、第１のグリーンシート（すなわち、反応チャンバ）内の第１の複数の垂直方向開口部と位置合わせされ、マイクロウェルプレートの反応チャンバの観察を可能にする。
【００２０】
さらに別の態様においては、本発明は、セラミック製マイクロウェルプレートの形成方法に向けられる。この方法は、第１のセラミック製グリーンシートを設けるステップと、次いで、該第１のセラミック製グリーンシート内に第１の複数の垂直方向開口部を形成するステップとを含む。第１のセラミック製グリーンシート内のこれらの複数の垂直方向開口部の各々が、マイクロウェルプレートの反応チャンバとなる。次に、第２のセラミック製グリーンシートが設けられ、第２の複数の垂直方向開口部が内部に形成される。次に、第１のセラミック製グリーンシート内の第１の複数の垂直方向開口部が、該第１のセラミック製グリーンシート内の第２の複数の垂直方向開口部と位置合わせされる。位置合わせされると、光学的有効材料が、第２のセラミック製グリーンシート内の第２の複数の垂直方向開口部内に堆積され、複数の光学的マイクロプラグを形成し、これにより光学的マイクロプラグがマイクロウェルプレートの反応チャンバの観察を可能にする。任意に、第３のセラミック製グリーンシートを設け、複数の水平方向開口部を内部に形成することができる。第３のセラミック製グリーンシートが、第１のセラミック製グリーンシートと第２のセラミック製グリーンシートとの間に配置され、複数の水平方向開口部の選択されたものが、第１の複数の垂直方向開口部の選択されたものに接続し、光学的マイクロプラグは、反応チャンバとなる第１の複数の垂直方向開口部と位置合わせされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
新規であると考えられる本発明の特徴及び本発明の要素特性は、添付の特許請求の範囲に具体的に述べられている。図面は単に例示のためのものであり、縮尺通りに描かれたものではない。しかしながら、本発明自体は、構成及び動作の方法の両方に関して、添付の図面と併せて以下の詳細な説明を参照することにより、最も良く理解することができる。
【００２２】
本発明の好ましい実施形態の説明において、同じ番号が同じ本発明の特徴を指す図面の図１−図９について言及する。
【００２３】
本発明は、微小規模の反応チャンバすなわち微小規模のウェルを備えたマイクロアレイを有する小型のセラミック製マイクロ流体装置を、種々の試薬の分析及び／又は検査、並びに診断用途のために用いられる大規模分析機器に組み込むことに向けられる。これは、このような組み込みを可能にするマイクロプラグ、好ましくは光学的マイクロプラグ又はウィンドウを有するマイクロ反応チャンバの各々を提供することによって達成される。例えば、本発明のマイクロプラグは、この特許の主題が引用により組み入れられる関連する同時係属中の特許文献１に開示される小型セラミック製マイクロ流体装置のような、１００ミクロンのオーダーの直径とアレイ内の種々のレベルで選択的ウェルに接続するチャネルとを備えた何千ものウェルを有する小型セラミック製マイクロ流体装置内に設けることができる。
【００２４】
光学的マイクロプラグを備えたマイクロ反応チャンバを有するこのマイクロ流体装置の形成において、複数のグリーンシートが準備される。例えば、図１−図３に示されるように、グリーンシート１０、１２、１４、１６、及び１８を準備することができる。これらのグリーンシートは、これらに限られるものではないが、酸化アルミニウム、ガラス、セラミック、窒化アルミニウム、ホウケイ酸ガラス、及びこれらの混合物を含む材料から構成することができる。
【００２５】
選択されたグリーンシートには、垂直方向開口部２１及び２３を有するグリーンシート１０、１２、１４、及び１８のような多数の垂直方向開口部が設けられ、他の選択されたグリーンシートには、水平方向開口部２７を有するグリーンシート１６のような水平方向開口部が設けられる。複数のグリーンシートに、何らかの所望の構成で幾つでも垂直方向開口部及び水平方向開口部を設けることができ、垂直方向開口部が、選択された垂直方向開口部に選択的に接続及び連結することを可能にすることを理解すべきである。すなわち、グリーンシートには、何千もの開口部のアレイを設けることができ、これにより選択された垂直方向開口部が互いに接続されるか、又は何千もの水平方向開口部を介して連結される。
【００２６】
好ましい実施形態において、垂直方向開口部の各々の直径は、約２０ミクロン又はそれ以上にすることができ、水平方向開口部は、約２０ミクロン又はそれ以上の幅及び最低約２０ミクロンの長さを有することができる。如何なる方法によっても本発明を制限するためではなく単なる例示のために、グリーンシート１６内の開口部２７が、グリーンシート１０、１２、１４、及び１８内の垂直方向開口部２１及び２３の直径の２倍より長い長さを有するように示される。しかしながら、製造に用いられる直径は、最終的には特定の用途と、こうした微小規模のウェル内に提供される化学物質／試薬の粘度、こうした化学物質／試薬の表面張力／活性、化学物質／試薬の所望の量、及び所望の流量、毛管作用、及び／又は強制流量などのような技術的変数によって決まることを理解すべきである。
【００２７】
垂直方向開口部及び水平方向開口部は、これらに限られるものではないが、機械的穿孔、レーザドリル、ｅビームドリル、サンドブラスト、及び高圧液体ジェットによってグリーンシートの材料を穿孔するなどの周知の技術を用いて、複数のグリーンシート内に設けることができる。しかしながら、材料を側部に押し付け、グリーンシートを歪ませることによるマイクロ成形は、結果として生じる所望のウェル及び互いに対するチャネル位置精度が、例えば数ミクロンのように非常に小さく、材料変位技術によって導入される歪みが所望の精度を提供するための大きな障害になるときに、望ましいものでない。水平方向開口部は、グリーンシート内のほぼ矩形の開口部であり、垂直方向開口部は、グリーンシート内のほぼ円形の開口部である。
【００２８】
図１に示されるように、全てのグリーンシート内の垂直方向開口部２１及び２３、並びに水平方向開口部２７が充填されないままとすることができる。処理中の圧力又は他の操作により歪められる心配がない場合に、垂直方向開口部及び水平方向開口部が充填されないままとすることができる。代替的に、図２に示されるように、グリーンシート１０、１２、１４、及び１６内の垂直方向開口部２１及び２３、並びに水平方向開口部２７が充填されないままであり、グリーンシート１８内の垂直方向開口部２１及び２３に光学的有効材料が与えられてもよい。さらに、図３に示されるように、グリーンシート１０、１２、１４、及び１６内の垂直方向開口部２１及び２３、並びに水平方向開口部２７が一時的材料で充填され、グリーンシート１８内の垂直方向開口部２１及び２３に光学的有効材料が与えられてもよい。この一時的材料は、開口部及びグリーンシート内の開口部のような、積層中又は積層後に焼き取られるか又は除去される材料とすることができる。開口部を充填する際、一時的材料はグリーンシートの材料によって決まる。
【００２９】
例えば、一時的材料は、これらに限られるものではないが、テレフタル酸、炭素、又は他の有機材料を含む有機材料のような、これを放置した後に残留物を残さない何らかの適合性材料とすることができる。一時的材料は沸点又は昇華温度を超えて加熱することによって除去されるので、該材料は周囲に蒸発する。代替的に、一時的材料を燃焼させ、すなわち反応ガスと接触させ、周囲に放散されるガス状物質を形成することによって、該一時的材料を除去することができる。
【００３０】
代替的に、垂直方向開口部及び／又は水平方向開口部の内部で焼結する際に、多孔性材料を形成するために、一時的材料をマトリクス材と組み合わせることができる。このマトリクス材は、これらに限られるものではないが、酸化アルミニウムのようなセラミック、ガラスセラミック、窒化アルミニウム、ホウケイ酸ガラスを含むことができる。垂直方向のウェル開口部及び水平方向チャネルが形成される、垂直方向開口部、水平方向開口部、又はその両方のいずれかが、焼結前に一時的材料及びマトリクス材の混合物である充填材料で充填され、焼結時に開口孔を有する多孔性マトリックスが形成され、これにより該多孔性マトリクスが、これを通して垂直方向開口部２１から垂直方向開口部２３まで液体を通すことが可能になる。したがって、焼結後、連続的な開口構造が、開口孔マトリクス内に残り、このマイクロ流体ウェルプレート５０の一方の側から他方の側に孔を通して検査材料を通すことを可能にする。水平チャンネル開口部内の焼結されていない多孔性体が、制御された開口容積及びチャネル寸法の形成を可能にすることも理解すべきである。また、焼結プロセス中、チャネル内の焼結されていない多孔性体により、チャネルが潰れないように助けられる。一時的材料は、例えば、グリーンシート１８内の垂直方向開口部２１及び２３のような、光学的マイクロプラグが形成される垂直方向開口部内に形成されないことが好ましい。
【００３１】
図７−図９に示される、結果として得られるマイクロ流体ウェルプレートを形成するプロセスにおいて、グリーンシートが、まず積み重ねられ、積層される。図４−図６を参照すると、グリーンシート１０、１２、１４、及び１６が積み重ねられ、対応するグリーンシート１０、１２、及び１４内にある垂直方向開口部２１及び２３が、まず互いに位置合わせされる。これらの位置合わせされた垂直方向開口部２１及び２３は、位置合わせされたグリーンシート１０、１２、及び１４の堆積を通る垂直方向開口部３１及び３２を形成する。グリーンシート１６内の水平方向開口部２７が、位置合わせされた垂直方向開口部３１及び３２の両方と接触するように設けられ、該水平方向開口部２７は、垂直方向開口部３１を垂直方向開口部３２に連結させ、各々の垂直方向開口部３１及び３２の長さを拡張する。次に、グリーンシート１８がグリーンシート１６の下に配置され、該グリーンシート１８内の垂直方向開口部２１及び２３が、水平方向開口部２７の裏側になる。図４及び図５に示されるように、グリーンシート１８内のこれらの垂直方向開口部２１及び２３は、垂直方向開口部３１及び３２と位置合わせされた状態にある。
【００３２】
任意に、セラミック製マイクロ流体ウェルプレートに、水平方向開口部２７が設けられなくてもよい。この態様において、グリーンシート１８はグリーンシート１４の下に配置され、該グリーンシート１８内の垂直方向開口部２１及び２３が、それぞれ垂直方向開口部３１及び３２と位置合わせされ、接触した状態になる。
【００３３】
次に、位置合わせされたグリーンシート１０、１２、１４、１６、及び１８が、互いに積層される。本発明の積層プロセスは、熱、圧力、及び時間を含む。好ましい積層圧力は、８００ｐｓｉより下であり、温度は９０℃より下であり、積層時間は約５分より短い。積層圧力は約３００ｐｓｉから約２０００ｐｓｉまでの範囲わたり、温度は約６０℃から約９０℃の範囲にわたり、積層時間は約１分から約５分までの範囲にわたることがより好ましい。
【００３４】
グリーンシートのスタックの積層が完了すると、次に、積層されたグリーンシートが、従来の方法で焼結され、図７−図９に示されるセラミック製マイクロ流体ウェルプレートを形成する。焼結方法及び条件は、材料の選択、及びグリーンシートの形成に用いられる結合剤システムに依存することを認識し、理解すべきである。図７−図９を参照すると、焼結されたセラミック製マイクロ流体ウェルプレートは、垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２（垂直方向開口部３１及び３２から形成された）及び任意の水平方向チャネル４７（水平方向開口部２７から形成された）を含むことができる。水平方向チャネル４７は、垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２を互いに接続し、連結させる。しかしながら、積層されたグリーンシートのスタックがチャネル開口部２７（図示せず）を有するグリーンシートを含まない場合には、セラミック製マイクロ流体ウェルプレートに、水平方向チャネル４７が設けられない。上記に詳細に説明されるように、垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２、及び／又は水平方向チャネル４７は、図９に示される一時的材料のような材料で充填することができ、或いは図７−図８に示されるように、空の（充填されない）ままとすることができる。
【００３５】
本発明の重要な特徴は、結果として得られるセラミック製マイクロ流体ウェルプレートにおいて、ウェル開口部及び／又はチャネルが充填されても、充填されなくても、水平方向チャネル４７の裏側に又は垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２の裏側に配置された残りの垂直方向開口部２１及び２３（先のグリーンシート１８内にある）が、複数の光学的マイクロプラグ又はウィンドウ５０の形成のために光学的有効材料で完全に充填されるという点である。この材料は、透過性光学的マイクロプラグを形成するために透過性材料であることが好ましい。好ましい材料は、これらに限られるものではないが、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）、低濃度の捕獲分子を加えたＰＤＭＳ、ガラス、シリカ、ポリマーなどを含むことができる。捕獲分子は、ここでは、同定及び定量化のためにターゲットに対して高い親和性を示す多数の高度特異分子として定義される。これらの捕獲分子は、例えば、これらに限られるものではないが、タンパク質の同定のためのバイオマーカー及びマーカー、並びに化学的錯体分子を混合するための高度特異分子の捕獲分子などを含むことができる。ＰＤＭＳは、実質的に透過性であり、優れた成形特性及び収縮特性（通常は０．５％より小さい）を有し、十分な付着特性を有するので、開口部２１及び２３内では、内部及びグリーンシート材料に十分に強く付着するため、該ＰＤＭＳは好ましいものである。ＰＤＭＳは、定温放置サイクル中にも役に立ち、該ＰＤＭＳが最小の背景ノイズ（例えば、ほぼゼロに近い）を発するので、その背景蛍光特性は、製薬の用途に望ましい。本発明の本質的な特徴は、複数の光学的マイクロプラグ又はウィンドウが、マイクロウェル開口部内のサンプルの分析のためのマクロ分析計測機器を用いて、結果として得られるセラミック製マイクロ流体ウェルプレートを組み込む又は実装することを可能にする点である。
【００３６】
焼結されたセラミック製プレートが水平方向チャネル４７を含む場合には、複数のマイクロプラグは、垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２と位置合わせされた位置において該水平方向チャネル４７の裏側に形成される。代替的に、焼結されたセラミック製プレートが水平方向チャネル４７を含まない場合には、複数のマイクロプラグは、垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２の裏側に、該垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２と直接接触し、該垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２に位置合わせされた状態で形成される。両方の態様において、複数のマイクロプラグが、複数の垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２の各々と位置合わせされた状態で形成され、マクロ分析機器が、該垂直方向のマイクロウェル開口部４１及び４２内に導入されるサンプルを処理し、検査し、及び／又は分析するのを可能にすることが重要である。
【００３７】
マイクロウェル開口部４１及び４２のようなマイクロウェル開口部は、物質Ａ１−Ａｎ、Ｂ１−Ｂｎなどのアレイが内部に導入される、マイクロウェルプレートのマイクロ反応チャンバであり、これらの物質は、該マイクロ反応チャンバ内で互いに混合し、相互作用する。これらのマイクロ反応チャンバの各々は、本光学的マイクロプラグに、少なくても該光学的マイクロプラグの一端に配置され、マクロ分析機器がこうしたマイクロ反応チャンバの各々の内部で起こる反応を分析し、検査し、又は観察することを可能にする。
【００３８】
本発明によると、光学的マイクロプラグ５０を形成するために選択された材料によって、光学的マイクロプラグは、ガラス製マイクロプラグ、例えばプラスチック製マイクロプラグのようなポリマー製マイクロプラグ、セラミックなどにすることができる。さらに、光学的マイクロプラグ５０の最終的な最終用途と併せて選択された材料によって、光学的マイクロプラグは、レンズ、導電性マイクロプラグ、非導電性マイクロプラグ、加熱装置、冷却装置、永久磁石、非永久磁石、センサ（バイオマーカー又は捕獲分子を有するプラグを含むことができる）、又はこれらの組み合わせを含むことができる。
【００３９】
例えば、光学的マイクロプラグ５０は、拡大するために、個々のマイクロウェル反応チャンバ開口部をマクロ機器に組み込み、或いは光又は熱エネルギーをこうした反応チャンバに供給するためのレンズとすることができる。光学的マイクロプラグレンズは、これらに限られるものではないが、ガラス粉末、ガラス・フリット、レンズ材料を形成できる有機体（ポリカーボネート樹脂のような）、又はこれらの組み合わせのような、レンズを形成できる所望の材料を提供し、必要に応じて、任意にこうした材料を除去可能な結合剤と混合することによって、形成することができる。これらの材料は、マイクロ開口部内にスクリーニングできるペーストとして提供することができる。内部にスクリーニングされると、ペーストの表面は、周知の成形技術によって所望のレンズパターンに形成され、次に、熱処理又はＵＶ処理、或いは焼結のような周知の技術によって、それぞれ所望の特性に硬化又は緻密にすることによって、固体レンズが形成される。例えば、プラスチック又は低融点ガラスを個々のプラグ５０の上に堆積させることによって、或いは代替的に、該プラグ５０に、少なくともレンズ形成のためのこうした材料が設けられるように、グリーンシート層１８の露出された面全体をプラスチック又は低融点ガラスで被覆することによって、共焼結されたガラスプラグの形成後、光学的マイクロプラグレンズを形成することができる。
【００４０】
光学的マイクロプラグ５０が光学的マイクロプラグ磁石（永久磁石又は非永久磁石のいずれか）であることが望まれる場合には、そのような光学的マイクロプラグ磁石を形成するために用いられる材料は、これらに限られるものではないが、バリウム、ストロンチウム・フェライトその他のこうしたセラミック磁性材料を含むことができる。選択されたセラミック磁性材料は、適切な添加物を用いて、ガラスセラミックのようなセラミック材料と共焼結できることが好ましい。磁性材料は、ペーストの形態であってもよく、垂直方向及び／又は水平方向開口部（それぞれバイア及び／又はチャネル開口部）内に配置され、光マイクロ磁石プラグを形成する。例えば、光学的マイクロプラグ５０は、グリーンシート１８内にスクリーニングされ、緻密な磁石を形成するために焼結されるセラミック磁石材料から構成することができる。しかしながら、上記の例は、本発明の光マイクロ磁石プラグを形成するための多数の手法の１つにすぎず、前記の説明に照らして当業者には明らかなものであることを理解すべきである。
【００４１】
光学的マイクロプラグ５０は、プラグ材料の熱伝導率によって、加熱装置又は冷却装置として形成することもできる。これらの光加熱装置／冷却装置マイクロプラグは、積層後、共焼結又は形成することができる。その際に、所望の加熱及び冷却効果を達成するために、高熱伝導率のマイクロプラグを用いて、外部の加熱装置及び／又は冷却装置を組み込むことができる。光加熱／冷却用マイクロプラグを形成するために用いられる材料は、高熱伝導率で知られており、セラミック製プレートと共焼結され得る金属、高熱伝導率の有機物、金属粒子を有する高熱伝導率の複合体などを含むことができる。さらに、これらの加熱装置／冷却装置マイクロプラグは、こうした加熱装置／冷却装置マイクロプラグに付加的な制御を提供するためのセラミックプレート（図示せず）の表面から突出することができる。
【００４２】
代替的に又は上記のいずれかに加えて、光学的マイクロプラグ５０をセンサとして形成することができる。これらの光マイクロセンサプラグは、温度制御、化学的同定、タンパク質の同定、バイオマーカーの同定、電気応答、磁気応答などのためのものにできる。マイクロプラグの材料選択は、特定のセンサ用途によって決まる。例えば、化学的同定の場合には、プラグを予めドープし、ポリジメチルシロキサンと混合された特定の捕獲分子のような特定の化学物質又は化学反応を感知し、蛍光によって結合した生体分子を感知するための光センサ・マイクロプラグを形成することができる。
【００４３】
光学的マイクロプラグ５０は、垂直方向開口部２１及び２３を完全に充填する固形物とすることができ、これにより各々のプラグがマクロ機器に直接組み込まれる。代替的に、光学的マイクロプラグ５０は、垂直方向開口部２１及び２３内の微細な多孔性媒体とすることができる。各々の光学的マイクロプラグが微細な多孔性媒体である場合には、光学的マイクロプラグ５０をマクロ機器に組み込む前に、その露出した側部において、化学成分が各々の光学的マイクロプラグ内に堆積される。その際に、この化学成分は、微細な多孔性媒体の材料と反応し、次に組み込まれるマクロ機器が、マイクロ反応チャンバ開口部内の反応又は化学物質を調べることを可能にする。例えば、光学的マイクロプラグ５０が、多孔性本体を有する光センサ・マイクロプラグである場合には、結合した生体分子を感知するためのドープされた捕獲分子が、マイクロプラグ内に均一に分散され、露出される。このことは、光センサ・マイクロプラグと共に組み込まれた分析マイクロ機器（例えば、質量分析）が、バイオアッセイ反応の定量的及び定性的測定の両方をリアルタイムで感知（又は評価）することを可能にする。代替的に、多孔性マイクロプラグは、結果として得られる分析を、マクロ機器が次に分析するサンプルのアレイとして、（交差汚染していない全てのマイクロプラグと直接接触している）基板上に堆積させることができる。
【００４４】
再び図面を参照すると、図２及び図３に示されるような積層前に、図５及び図６に示されるような焼結前であるが積層後に、或いは図７及び図８の実例によって示されるような焼結後でさえ、複数の光学的マイクロプラグ５０を形成することができる。すなわち、図７は、残りの垂直方向開口部２１及び２３における光学的有効材料で充填され、図８に示される光学的マイクロプラグ５０を形成する、充填されていない焼結セラミックプレートである。これらの光学的マイクロプラグは、スクリーニング、押し出し成形などによって形成することができる。上記の手法の全てにおいて、複数の光学的マイクロプラグは、スクリーニング（化学的結合）、押し出し成形（機械的結合）などによって形成することができる。例えば、グリーンシートは材料Ａから構成することができ、マイクロプラグの光学的有効材料は材料Ｂである。材料Ｂをグリーンシート内の開口部内にスクリーニングすると、これらの材料Ａ及びＢが互いに反応するので、該材料Ａ及び材料Ｂは互いに化学的に結合し、これにより光学的マイクロプラグがグリーンシートに化学的に結合される。
【００４５】
焼結前に光学的マイクロプラグ５０を形成する際に、グリーンシート１８内の垂直方向開口部２１及び２３は、積層前又は積層後のいずれかに、光学的有効材料で完全に充填することができる。光学的有効材料は、垂直方向開口部２１及び２３内にスクリーニングするか又は押し出し成形することができる。マイクロプラグ５０を形成する焼結プロセスに耐えることができる光学的有効材料は、これらに限られるものではないが、ガラス、セラミックなどを含む。焼結が完了すると、グリーンシート１８内の垂直方向開口部２１及び２３内の光学的有効材料は、こうした垂直方向開口部を完全に充填し、光学的マイクロプラグ５０を形成する緻密材料となる。
【００４６】
代替的に、焼結後に光学的マイクロプラグ５０を形成する際に、グリーンシート１８内に充填されていない垂直方向開口部２１及び２３を有する積層されたグリーンシートが、焼結され、空の垂直方向開口部２１及び２３（グリーンシート１８の）を有する図７の焼結されたセラミック製ウェルプレートを形成する。次いで、図８に示されるように、グリーンシート１８内のこれらの残りの垂直方向開口部２１及び２３が、光学的有効材料で完全に充填され、複数の光学的マイクロプラグ５０を形成する。光学的有効材料は、これらに限られるものではないが、低融点ガラス、ポリマー（例えば、ＰＤＭＳ）などを含むことができる。この光学的有効材料は、スクリーニング、押し出し成形などによって、焼結されたセラミック製ウェルプレートの垂直方向開口部２１及び２３内に提供することができる。光学的有効材料は、セラミック製ウェルプレートに化学的に結合させることも、該セラミック製ウェルプレートに機械的に結合させることもできる。
【００４７】
さらに、本の新規な概念から逸脱することなく、図５及び図６に示される積層された非多孔性シートは、光学的マイクロプラグ５０が既に内部に形成され、互いに十分緊密に付着するので、垂直方向開口部３１及び３２内に導入されるサンプルの漏れが生じず、これにより積層されたスタックの焼結が必要とされない場合には、この積層セラミックプレートを、結果として得られるセラミック製マイクロウェルプレートとして用いることができる。すなわち、垂直方向開口部３１及び３２は、物質Ａ１−Ａｎ、Ｂ１−Ｂｎなどがその混合及び相互作用のために内部に導入されるセラミックプレートのマイクロウェル開口部反応チャンバとして用いられる。各々の垂直方向のマイクロウェル開口部３１及び３２（マイクロ反応チャンバ）は、本光学的マイクロプラグに、少なくともその一端に配置され、マクロ分析機器が、こうしたマイクロ反応チャンバの各々の中で起こる反応を分析、検査、又は観察するのを可能にする。
【００４８】
マイクロウェル開口部反応チャンバが、焼結前（図５−図６）に提供されても、焼結後（図８−図９）に提供されても、各々のマイクロウェル開口部は、約２０ミクロン又はそれより大きく、好ましくは約５０ミクロンから２５０ミクロンまでにすることができ、水平方向チャネルは、約２０ミクロン又はそれより大きい幅、及び最低約２０ミクロンの長さを有することができる。物質を露出するマイクロウェル開口部の形状は、円形、矩形、滑らか、粗い、又はこれらの組み合わせとすることができる。光学的マイクロプラグ５０を有する結果として得られるセラミック製マイクロウェルプレートの全体の厚さは、いずれの所望の量とすることができるが、１ｍｍより少ないことが好ましい。各々のグリーンシートの厚さは用途によって決まるが、約５０ミクロンから５００ミクロンまでの範囲であることが好ましい。
【００４９】
このように、本発明によると、ウィンドウ又は光学的マイクロプラグが、セラミックウェルプレートのマイクロ反応チャンバ開口部と組み込まれ、マイクロ分野の実験室機器が、ミクロ反応チャンバ開口部内の反応又は化学物質が調べることを可能にする。例えば、分子Ａのようなターゲット特異分子が、反応チャンバ内の混合反応溶液内のターゲット分子Ｂ、Ｃなどに対して親和性を有する光学的マイクロプラグ内に完全に組み込まれている場合には、本発明の光学的マイクロプラグは、センサ、又は該光学的マイクロプラグをマクロ機器（例えば、蛍光）などに連通させる手段として用いることができる。この例においては、光学的マイクロプラグを介してウェルプレートを組み込むことができるマクロ機器は、透過性光学的マイクロプラグを通して反応チャンバ内の溶液内で、蛍光すなわち蛍光マーカーを観察し、検知するための倒立光学顕微鏡（ｉｎｖｅｒｔｅｄ  ｏｐｔｉｃａｌ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）とすることができる。さらに、低蛍光背景ガラスプラグ（ｌｏｗ  ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ  ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ  ｇｌａｓｓ  ｐｌｕｇ）は、共焦画像分析（ｃｏｎｆｏｃａｌ  ｉｍａｇｅ  ａｎａｌｙｓｉｓ）、蛍光分極化（ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ  ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ）、蛍光相関分光法（ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ  ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ  ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）などに適している。
【００５０】
任意に、本発明の光学的マイクロプラグ５０は、結果として得られるマイクロウェルプレート内の選択されたマイクロウェル反応チャンバ開口部の上面及び底面に形成することができる。すなわち、光学的マイクロプラグ５０を有するグリーンシート１８に加えて、別のグリーンシートが、例えば、（グリーンシート１２に対向する側部上の）グリーンシート１０の露出された表面にわたって設けられるので、垂直方向開口部をこの付加的なグリーンシート内に設けることができ、次に、これらの垂直方向開口部の選択されたものの中に本発明の光学的マイクロプラグ５０を形成することができる。その際に、垂直方向のウェル開口部（反応チャンバ）の選択されたものは、その上面及び底面に光学的マイクロプラグを有し、垂直方向のウェル開口部（反応チャンバ）の他のものは、その底面にだけ光学的マイクロプラグを有する。種々のサンプル、化学物質、試薬などを内部に導入し、垂直方向のウェル開口部内で反応させるために、垂直方向のウェル開口部の少なくとも１つを開口したままにすることが重要である。
【００５１】
光学的マイクロプラグを有するセラミックウェルプレートを形成する別の方法は、グリーンシートに緻密にすることが可能な材料を用い、こうした開口部の寸法を保持するために緻密にすることができない材料で該開口部を充填することを含む。例えば、マトリクス材(グリーンシート)は、緻密化のためにガラス・フリットと混合される酸化アルミニウムのような無機相とすることができ、開口部（垂直方向開口部及び水平方向開口部を含む）内の緻密にすることができない相は、酸化アルミニウムのような大きいセラミック粒子とすることができるだけである。
【００５２】
さらに、開口部内の材料は、焼結される際に非多孔性の鞘を形成するものとすることができるので、該開口部はライナーを収容する。この態様において、鞘は、セラミックウェルプレートの本体とは別の表面エネルギー／活性を有する。鞘のための材料は、有機体、無機体、金属、又は複合物とすることができる。この鞘形成は、積層物内の第１の材料と充填材又は周囲ガス内の第２の材料との間の化学析出によるものであってもよく、及び／又は、該鞘形成は、気相蒸着によるものであってもよい。別の選択肢として、壁上に堆積する又は積層物内に含まれる材料と反応する充填材の材料によって放出される蒸気によって、ライナーを生成することができる。
【００５３】
本発明は特定の好ましい実施形態と共に特に説明されたが、当業者であれば、上記の説明に照らして多くの代替物、修正物、及び変形物が明らかであることが明白である。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明の真の範囲及び精神に含まれるものとして、こうした如何なる代替物、修正物、及び変形物をも包含すると考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】積層及び焼結プロセスの前又は後に光学的マイクロプラグを形成することができる、セラミック製ウェルプレートをマクロ分析機器と組み込むことができる、複数の光学的マイクロプラグを有するセラミック製マイクロ流体ウェルプレートを形成するための、垂直方向及び水平方向開口部を有する複数のグリーンシートを示す、本発明の別の実施形態の断面図である。
【図２】積層及び焼結プロセスの前又は後に光学的マイクロプラグを形成することができる、セラミック製ウェルプレートをマクロ分析機器と組み込むことができる、複数の光学的マイクロプラグを有するセラミック製マイクロ流体ウェルプレートを形成するための、垂直方向及び水平方向開口部を有する複数のグリーンシートを示す、本発明の別の実施形態の断面図である。
【図３】積層及び焼結プロセスの前又は後に光学的マイクロプラグを形成することができる、セラミック製ウェルプレートをマクロ分析機器と組み込むことができる、複数の光学的マイクロプラグを有するセラミック製マイクロ流体ウェルプレートを形成するための、垂直方向及び水平方向開口部を有する複数のグリーンシートを示す、本発明の別の実施形態の断面図である。
【図４】互いに積層されたこうした代替的な実施形態の複数のグリーンシートを示す、図１の代替的な実施形態の断面図である。
【図５】互いに積層されたこうした代替的な実施形態の複数のグリーンシートを示す、図２の代替的な実施形態の断面図である。
【図６】互いに積層されたこうした代替的な実施形態の複数のグリーンシートを示す、図３の別の実施形態の断面図である。
【図７】焼結後の複数の積層されたグリーンシートを示す図４の代替的な実施形態の断面図である。
【図８】焼結後の複数の積層されたグリーンシートを示す図５の代替的な実施形態の断面図である。
【図９】焼結後の複数の積層されたグリーンシートを示す図６の代替的な実施形態の断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０、１２、１４、１６、１８：グリーンシート
２１、２３、３１、３２：垂直方向開口部
２７：水平方向開口部
５０：光学的マイクロプラグ
【図１】
2006055843.tif 000003
【図２】
2006055843.tif 000004
【図３】
2006055843.tif 000005
【図４】
2006055843.tif 000006
【図５】
2006055843.tif 000007
【図６】
2006055843.tif 000008
【図７】
2006055843.tif 000009
【図８】
2006055843.tif 000010
【図９】
2006055843.tif 000011