(57)【要約】【課題】複数のレーザダイオードを光源とするマルチビーム走査光学系や光学式記録再生装置に用いるのに適した、像面湾曲のよく補正されたコリメータレンズを有した光学系を得る。【解決手段】マルチビーム走査光学系において光源側に向かって凹の屈折面を有した光学系とする。また、光学式記録再生装置において凹の屈折面を有した光学系とする。【選択図】図１
2006126856.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレーザダイオードを光源に用いる光学系であって、光源側に向かって凹の屈折面を有するコリメータレンズを有することを特徴とする光学系。
【請求項２】
単玉のコリメータレンズであって、光源側の屈折面が同じ近軸曲率半径を有する球面よりも、周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たすコリメータレンズを有することを特徴とする請求項１記載の光学系。
０．３０＜ｒ2／ｆ＜２．０                     （１）
０．２０＜ｄ／ｆ＜１．５                     （２）
ｒ2：光源側の屈折面の曲率半径
ｆ ：焦点距離
ｄ ：中心厚
【請求項３】
光源側に向かって凹の屈折面を有する２枚のメニスカスレンズからなり、上記凹の屈折面の少なくとも１面が同じ近軸曲率半径を有する球面よりも周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たすコリメータレンズを有することを特徴とする請求項１記載の光学系。
０．２０＜（ｄ1＋ｄ3）／ｆ＜１．８             （３）
ｄ1：長い共役側に配置されたレンズの中心厚
ｄ3：短い共役側に配置されたレンズの中心厚
ｆ ：焦点距離
【請求項４】
長い共役側から順に１枚ないし２枚の正レンズ、負レンズ、正レンズからなり次の条件を満たすコリメータレンズを有することを特徴とする請求項１記載の光学系。
０．１５＜ｒx／ｆ＜０．７０                     （４）
０．１５＜ｄx／ｆ＜０．７０                     （５）
ｒx：負レンズの光源側の屈折面の曲率半径
ｄx：負レンズと最も光源側の正レンズとの軸上間隔
ｆ ：焦点距離
【請求項５】
前記コリメータレンズは前置絞りであることを特徴とする請求項１記載の光学系。
【請求項６】
近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、光源の反対側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする光学系。
【請求項７】
前記の光学系は、光源側から順に第１レンズ系と第２レンズ系とからなり、第１レンズ系は光源の反対側に向かって凹の屈折面を有し、第２レンズ系は単レンズであって近接場現象を利用するソリッド・イマージョン・レンズ（Ｓｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎｓ）であることを特徴とする請求項６記載の光学系。
【請求項８】
前記第１レンズ系は、複数のレンズからなり、最も光源から遠いレンズが光源の反対側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする請求項７記載の光学系。
【請求項９】
前記凹の屈折面が、同じ近軸曲率を有する球面よりも、周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たす請求項８記載の光学系。
０．２０≦ｒP／ｆP≦２．０                     （６）
０．２０≦ｄP／ｆP≦２．０                     （７）
ｒP：前記凹の屈折面の曲率半径
ｆP：第１レンズ系の合成焦点距離
ｄP：第１レンズ系中、最も光源から遠いレンズの中心厚
【請求項１０】
近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、光源側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする光学系。
【請求項１１】
前記光学系は、光源側から順に第１レンズ系と第２レンズ系とからなり、第１レンズ系は光源側に向かって凹の屈折面を有し、第２レンズ系は単レンズであって、近接場現象を利用するソリッド・イマージョン・レンズ（Ｓｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎｓ）であることを特徴とする請求項１０記載の光学系。
【請求項１２】
前記光学系は複数のレンズからなり、最も光源側のレンズが光源側に向かって凹の屈折面を有する正レンズであることを特徴とする請求項１０記載の光学系。
【請求項１３】
前記の凹の屈折面が、同じ近軸曲率を有する球面よりも、周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たすことを特徴とする請求項１２記載の光学系。
０．３０≦｜ｒQ／ｆQ｜≦３．０（ｒQ＜０）       （８）
０．２０≦ｄQ／ｆQ≦２．０                     （９）
ｒQ：この凹面の曲率半径
ｆQ：最も光源側のレンズの焦点距離
ｄQ：最も光源側のレンズの中心厚。
【請求項１４】
平面上に配置された近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、この複数のレーザダイオードの近くに、次の条件を満たす負レンズを有することを特徴とする光学系。
０．２≦｜ｆS／ｆT｜≦５．０                 （１０）
０≦｜ｄS／ｆS｜≦１．０                     （１１）
ｆS：この負レンズの焦点距離
ｆT：この負レンズを除く全系の焦点距離
ｄS：この光源とこの負レンズとの間隔
【請求項１５】
近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、前記複数のレーザダイオードが、像側に凹な凹面上に配置されており、次の条件を満たすことを特徴とする光学系。
０＜ｅ／（ｈ2ｆW）≦２０                     （１２）
ｅ：光軸方向に測ったこの凹面の湾曲量であって、光源の中心と光源の最周辺との光軸方向の位置の差
ｆW：全系の焦点距離
ｈ：光軸から垂直方向に測った、光源の最大サイズの半分すなわち対角サイズの半分。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
複数のレーザダイオードを線上又は面上近接して配置したレーザダイオードアレイを光源として用いる光学系に関する。
【０００２】
特にマルチビーム走査光学系に用いられ、半導体レーザからの発散光束をほぼ平行光束にするコリメータレンズを有する光学系や複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系に関する。
【背景技術】
【０００３】
デジタル複写機やレーザビームプリンタなどの書き込みを行うレーザビーム走査光学において、レーザダイオードから放射された光束をコリメートし、後続の光学系に導くためにコリメータレンズが用いられる。
【０００４】
このコリメータレンズに要求される像面特性は、光源として１つのレーザダイオードしか用いない場合は、かなり緩いものである。すなわち光源の大きさは数μｍ程度と小さいので、画角としてはレーザダイオードやコリメータレンズの取り付け誤差あるいは取り付け調整誤差に相当する程度の画角を満たせばよく、例えば画角２ω＝２°程度のものが設計されているが、この場合２°の画角全域が同時に使用されることはないので、取り付け誤差等により使用される画角に応じてベストのフォーカス位置にレンズ位置を合わせて使用すればよい。従って像面湾曲が多少あっても非点収差が小さければ実用上問題ない。
【０００５】
一方複数のレーザビームによって書き込みを行うマルチビーム走査光学系においては、その光源として、２つまたはそれ以上の複数のレーザダイオードを近接して副走査方向に一列に配置したマルチビームレーザダイオードアレイを用い、射出された複数の光束を１つのコリメータレンズによってそれぞれ平行光とし、後続の光学系に導く構成が知られている。
【０００６】
この方式に用いられるコリメータレンズは、複数のレーザダイオードに対して同時に用いられるので、光源全体の大きさに相当する画角を有すると共に、１つのフォーカス位置で画角全体に対して良好な収差を有することが要求される。従って１つのレーザダイオードを用いる場合に要求される性能に加えて、像面湾曲も小さいことが必要である。
【０００７】
また、光ディスクなどを媒体とした光学式記録再生装置の光学系においても、記録再生の高速化を図るため複数のレーザダイオードを平面上に近接して配置したレーザダイオードアレイが光源として提案されている。
【０００８】
この光学系に対しても前述のコリメータレンズと同様に、光源全体の大きさをカバーする画角を有し、１つのフォーカス位置で画角全体に対して良好な収差を有することが要求される。従って１つのレーザダイオードを用いる場合に要求される性能に加えて像面湾曲も小さいことが必要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記方式のコリメータレンズの画角は、例えば発光部が０．１ｍｍ間隔で１８個並んだマルチビームレーザダイオードアレイを焦点距離１０ｍｍのコリメータレンズでカバーするなら約１０°の画角が必要となる。また、発光部が４個で焦点距離が２０ｍｍのコリメータレンズなら画角は約１°でよい。
【００１０】
この発明の目的は、２ω＝１°〜１０°程度の画角を有し、像面湾曲のよく補正されたコリメータレンズ、特に複数のレーザダイオードを光源とするマルチビーム走査光学系に用いるのに適した開口数ＮＡ０．１５〜０．３５程度のコリメータレンズを有する光学系を提供することである。
【００１１】
またこの発明の別の目的は、近接した複数のレーザダイオードを光源とし、光ディスクなどを媒体とする光学式記録再生装置に用いるのに適した、画面湾曲のよく補正された光学系を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的は、複数のレーザダイオードを光源に用いる光学系であって、光源側に向かって凹の屈折面を有するコリメータレンズを有することを特徴とする光学系（請求項１に係わる発明）により達成される。
【００１３】
上記別の目的は、近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、光源の反対側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする光学系。（請求項６に係わる発明）近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、光源側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする光学系。（請求項１０に係わる発明）平面上に配置された近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、この複数のレーザダイオードの近くに、次の条件を満たす負レンズを有することを特徴とする光学系。（請求項１４に係わる発明）
０．２≦｜ｆS／ｆT｜≦５．０                   （１０）
０≦｜ｄS／ｆS｜≦１．０                       （１１）
ｆS：この負レンズの焦点距離
ｆT：この負レンズを除く全系の焦点距離
ｄS：この光源とこの負レンズとの間隔
近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、前記複数のレーザダイオードが、像側に凹な凹面上に配置されており、次の条件を満たすことを特徴とする光学系。（請求項１５に係わる発明）
０＜ｅ／（ｈ2ｆW）≦２０                       （１２）
ｅ：光軸方向に測ったこの凹面の湾曲量であって、光源の中心と光源の最周辺との光軸方向の位置の差
ｆW：全系の焦点距離
ｈ：光軸から垂直方向に測った、光源の最大サイズの半分すなわち対角サイズの半分。
により達成される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明（請求項１）により像面湾曲のよく補正されたコリメータレンズを有する光学系を得ることができ、従って複数のレーザダイオードを光源に用いるのに適したコリメータレンズ有する光学系を得ることができる。
【００１５】
また本発明により、近接した複数のレーザダイオードを光源に用いる光学式記録再生装置に適した、像面湾曲の良く補正された光学系を得ることができる。
【００１６】
請求項２のコリメータレンズでは単玉構成でよくその機能を果たし、請求項３のコリメータレンズでは像面湾曲の補正に加えてテレセン性が良くなり、請求項４のコリメータレンズでは像面湾曲の補正に加えて色収差の補正もなされている。
【００１７】
本発明（請求項６）により、近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、図１３に示す配置関係とすることにより効果的にペッツバール和が減少し、望ましいサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
【００１８】
請求項７のレンズ系ではＳＩＬを用いたときにＳＩＬの半球面によって増加するペッツバール和を減少させるのに有効で、請求項８の構成によって像側の開口数ＮＡの大きい光学系を得るのに有効で、請求項９では凹の屈折面に光源側に変位する非球面を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正している。
【００１９】
本発明（請求項１０）により、近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、図１５に示す配置関係とすることにより効果的にペッツバール和が減少し、望ましいサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
【００２０】
請求項１１のレンズ系ではＳＩＬを用いたときにＳＩＬの半球面によって増加するペッツバール和を減少させるのに有効で、請求項１２の構成によって像側の開口数ＮＡの大きい光学系を得るのに有効で、請求項１３では凹の屈折面に光源側に変位する非球面を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正している。
【００２１】
本発明（請求項１４）により、近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、図１７に示す配置関係とすることにより、良い像面特性が得られる。
【００２２】
本発明（請求項１５）により、近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、図１９に示す配置関係とすることにより、良い像面特性が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の光学系は下記の構成と作用を有している。
（請求項１の構成と作用）
本発明の光学系は複数のレーザダイオードを光源に用いる光学系であって、光源側に向かって凹の屈折面を有するコリメータレンズを有している。
【００２４】
本発明においては、光源側に向かって凹の屈折面を有するコリメータレンズを配することにより、光源を射出してこの面を透過した光束が発散光束であって、後続の正パワーの屈折面によってコリメート光とするレンズ構成を得ることができる。その結果、この凹の屈折面により、ペッツバール和が減少し、望ましいサジタル，メリディオナル両像面を得るのに有効である。
（請求項２の構成と作用）
本実施形態のコリメータレンズは、光源側に向かって凹の屈折面を有する単玉のコリメータレンズであって、光源側の屈折面が同じ近軸曲率半径を有する球面よりも、周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たしている。
【００２５】
０．３０＜ｒ2／ｆ＜２．０                     （１）
０．２０＜ｄ／ｆ＜１．５                     （２）
ｒ2：光源側の屈折面の曲率半径
ｆ ：焦点距離
ｄ ：中心厚
上記構成において、条件式（１）（２）について更に望ましい条件は下記の通りである。
【００２６】
０．５０＜ｒ2／ｆ＜１．５０                   （１）′
０．５０＜ｄ／ｆ＜１．２０                   （２）′
本実施形態においては、単玉という簡易な構成で目的とするコリメータレンズを得られる。光源側の屈折面に光源側に変位する非球面成分を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正し、良好なサジタル，メリディオナル両像面を得ることができる。
【００２７】
条件式（１），（２）：ともに適切なペッツバール和を得るための条件であって（１）の上限あるいは（２）の下限を外れるとペッツバール和が大きくなる。（１）の下限を外れるとテレセン性が劣化し、マルチビームレーザダイオードアレイに用いるのに望ましくない。（２）の上限を外れるとレンズが厚くなりすぎガラスまたは樹脂でモールド成形する時コスト高となり望ましくない。
（請求項３の構成と作用）
本実施形態のコリメータレンズは、光源側に向かって凹の屈折面を有するコリメータレンズで、光源側に向かって凹の屈折面を有する２枚のメニスカスレンズからなり、上記凹の屈折面の少なくとも１面が同じ近軸曲率半径を有する球面よりも周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たしている。
【００２８】
０．２０＜（ｄ1＋ｄ3）／ｆ＜１．８             （３）
ｄ1：長い共役側に配置されたレンズの中心厚
ｄ3：短い共役側に配置されたレンズの中心厚
ｆ ：焦点距離
上記構成において、条件式（３）について更に望ましい条件は下記の通りである。
【００２９】
０．４０＜（ｄ1＋ｄ3）／ｆ＜１．２０           （３）′
本実施形態においては、請求項２の単玉の場合に較べ、正レンズを２つ設けることにより、光源側の正レンズによってテレセン性を良くすることができる。光源側の屈折面に、光源側に変位する非球面成分を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正し、良好なサジタル，メリディオナル両像面を得ることができる。
【００３０】
条件式（３）：適切なペッツバール和を得るための条件であって（３）の下限を外れるとペッツバール和が大きくなり、（３）の上限を外れるとレンズが厚くなりすぎ、ガラス又は樹脂でモールド成形する時コスト高となり望ましくない。
（請求項４の構成と作用）
本実施形態のコリメータレンズは、光源側に向かって凹の屈折面を有するコリメータレンズで、長い共役側から順に１枚ないし２枚の正レンズ，負レンズ，正レンズからなり次の条件を満たしている。
【００３１】
０．１５＜ｒx／ｆ＜０．７０                   （４）
０．１５＜ｄx／ｆ＜０．７０                   （５）
ｒx：負レンズの光源側の屈折面の曲率半径
ｄx：負レンズの最も光源側の正レンズとの軸上間隔
ｆ ：焦点距離
上記構成において、条件式（４）（５）について更に望ましい条件は下記の通りである。
【００３２】
０．２０＜ｒx／ｆ＜０．３３                   （４）′
０．２０＜ｄx／ｆ＜０．５０                   （５）′
本実施形態においては、目的のコリメータレンズの色消しがなされて、レーザダイオードの波長差や波長変化に影響されないコリメータレンズを得ることができる。
【００３３】
条件式（４）：適切なペッツバール和を得るための条件で、上限を外れるとペッツバール和が大きくなる。下限を外れると、この負レンズの偏芯誤差感度が大きくなり製造上望ましくない。
【００３４】
条件式（５）：テレセン性を得るために負レンズと最も光源側の正レンズとの間隔を適切な範囲に定める条件で、上限，下限を外れるとそれぞれテレセン性を得にくくなる。
（請求項５の構成と作用）
本実施形態のコリメータレンズは、長い共役側の空間に絞りを配置する前置絞りであることを特徴としている。
【００３５】
本実施形態によるときはテレセン性が良くなる。
（請求項６の構成と作用）
本実施形態の光学系においては近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、光源の反対側寄りの位置で収束光束が、光源の反対側に向かって凹の屈折面を通過するよう配置することにより、効果的にペッツバール和が減少し、望ましいサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
（請求項７の構成と作用）
本実施形態の光学系は請求項６の光学系にソリッド・イマージョン・レンズ（Ｓｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎｓ）（固浸レンズ）を用いるものである。最近光の近接場現象を光記録に用いる方法としてＳｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎｓ（以下ＳＩＬと称す）が開発されている。
【００３６】
このようなＳＩＬは例えば「Ｏ ｐｌｕｓ Ｅ Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．２」（株）新技術コミュニケーション発行の第１８７頁〜１９２頁に記載されている。ＳＩＬは近接場現象によって波長をＳＩＬ中の波長のまま、即ち光源の波長をＳＩＬの屈折率で割った値のまま像面に伝幡せしめ、これによって分解能を向上させるものである。
【００３７】
ＳＩＬとしては、半球レンズと超半球レンズ（ｓｕｐｅｒｓｐｈｅｒｅ）と呼ばれる形状のレンズが提案されており、何れも像側は、近接場現象を生じるよう像面に近接した平面であり、光源側は球面収差とコマを生じないように半球を配置するものである。
【００３８】
本実施形態のレンズ系にあっては、ＳＩＬを用いたときにＳＩＬの半球面によって増加するペッツバール和を減少させるのに有効である。
（請求項８の構成と作用）
本実施形態の構成により像側の開口数ＮＡの大きい光学系を得るのに有効である。
（請求項９の構成と作用）
本実施形態のレンズ系において、この凹の屈折面に光源側に変位する非球面を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正し、良好なサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
【００３９】
（６），（７）式ともに適切なペッツバール和を得るための条件であって、（６）の上限又は（７）の下限を外れるとペッツバール和が大きくなる。（６）の下限を外れるとこのレンズ面の偏心誤差感度が大きくなり製造上望ましくない。（７）の条件を外れるとコンパクト性を損なう。
（請求項１０の構成と作用）
本実施形態のレンズにあっては、近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、光源寄りの位置で発散光束が光源に向かって凹の屈折面を通過するよう配置することにより効果的にペッツバール和が減少し、望ましいサジタル、メリディオナル像面を得ることができる。
（請求項１１の構成と作用）
本実施形態のレンズ系はＳＩＬを用いたときにＳＩＬの半球面によって増加するペッツバール和を減少させるのに有効である。
（請求項１２の構成と作用）
本実施形態の構成により像側の開口数ＮＡの大きい光学系を得るのに有効である。
（請求項１３の構成と作用）
本実施形態のレンズ系において、この凹の屈折面に光源側に変位する非球面を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正し、良好なサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
【００４０】
（８），（９）式ともに適切なペッツバール和を得るための条件であって、（８）の上限又は（９）の下限を外れるとペッツバール和が大きくなる。（８）の下限を外れるとこのレンズ面の偏心誤差感度が大きくなり製造上望ましくない。（９）の上限を外れるとコンパクト性を損なう。
（請求項１４，１５の構成と作用）
本実施形態のレンズ系はともに近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、光源或いは光源近傍を良い像面特性を得る構成とするものである。
【００４１】
請求項１４のレンズ系では光源の近くにフィールドフラットナの役割を果たす負レンズを設ける。（１０）式の上限下限は適切なペッツバール和を得るための範囲を示す。（１１）式はこの負レンズがフィールドフラットナとして良好に働くための条件で、この上限を外れると球面収差などへの影響が大きくなり望ましくない。
【００４２】
請求項１５のレンズ系では光源自体を像側に凹な凹面上に配置する。（１２）式はこの凹面の湾曲量の上限を、定めるもので上限を外れると像面湾曲が補正過剰になる。
【００４３】
次式は全系のペッツバール和を良好に相殺するための望ましい範囲である。
【００４４】
０．３≦ｅ／（ｈ2ｆW）≦８．０
【実施例】
【００４５】
以下に本発明の実施例を示す。以下に示す実施例１〜６は何れも複数のレーザダイオードを光源に用いる光学系のコリメータレンズであって、光源側に向かって凹の屈折面を有している。
【００４６】
実施例１，２は単玉の構成で、請求項２の実施例である。
【００４７】
実施例３，４はテレセン性を良くした２枚玉の構成で、請求項３の実施例である。
【００４８】
実施例５，６は色収差を補正したそれぞれ３枚，４枚構成で、請求項４の実施例である。
【００４９】
以下に示す実施例１〜６は焦点距離１００で記しているが５ｍｍないし３０ｍｍ程度での使用を想定している。そして各面は長い共役側から順に記している。また、カバーガラスは光源のカバーガラスである。
【００５０】
非球面については光軸方向をｘ軸，光軸に垂直な方向をｙ軸とするとき、次式で表す。
【００５１】
【数１】
2006126856.tif 000003
Ｋ：円錐係数
Ａｉ：非球面係数
Ｐｉ：非球面係数のベキ係数
（実施例１）
【００５２】
【表１】
2006126856.tif 000004
図１のレンズ断面図に示す実施例１のコリメータレンズは、
ｒ2／ｆ＝０．６３
ｄ ／ｆ＝１．００
となり、請求項２における条件式（１），（２）を満たし、更に条件式（１）′，（２）′も満たしている。図２は実施例１の収差図を示している。単玉であるが、像面湾曲がよく補正されている。
（実施例２）
【００５３】
【表２】
2006126856.tif 000005
図３のレンズ断面図に示す実施例２のコリメータレンズは、
ｒ2／ｆ＝１．４５
ｄ ／ｆ＝１．１１
となり、請求項２における条件式（１），（２）を満たし、更に条件式（１）′，（２）′も満たしている。図４は実施例２の収差図を示している。単玉であるが、像面湾曲がよく補正されている。
（実施例３）
【００５４】
【表３】
2006126856.tif 000006
図５のレンズ断面図に示す実施例３のコリメータレンズは、
（ｄ1＋ｄ3）／ｆ＝０．４７
となり、請求項３における条件式（３）を満たし、更に条件式（３）′も満たしている。図６は実施例３の収差図を示している。テレセン性が良く、像面湾曲がよく補正されている。
（実施例４）
【００５５】
【表４】
2006126856.tif 000007
図７のレンズ断面図に示す実施例４のコリメータレンズは、
（ｄ1＋ｄ3）／ｆ＝０．７１
となり、請求項３における条件式（３）を満たし、更に条件式（３）′も満たしている。図８は実施例４の収差図を示している。テレセン性が良く、像面湾曲がよく補正されている。
（実施例５）
【００５６】
【表５】
2006126856.tif 000008
図９のレンズ断面図に示す実施例５のコリメータレンズは、
ｒx／ｆ＝０．２７
ｄx／ｆ＝０．４２
となり、請求項４における条件式（４），（５）を満たし、更に条件式（４）′，（５）′も満たしている。図１０は実施例５の収差図を示している。色収差の補正がなされ、像面湾曲がよく補正されている。
（実施例６）
【００５７】
【表６】
2006126856.tif 000009
図１１のレンズ断面図に示す実施例６のコリメータレンズは、
ｒx／ｆ＝０．２５
ｄx／ｆ＝０．３６
となり、請求項４における条件式（４），（５）を満たし、更に条件式（４）′，（５）′も満たしている。図１２は実施例６の収差図を示している。色収差の補正がなされ、像面湾曲がよく補正されている。
（実施例７）
【００５８】
【表７】
2006126856.tif 000010
実施例７は請求項６，７，８，９に対応する実施例である。
【００５９】
図１３，図１４はそれぞれレンズ断面図、収差図を示す。
【００６０】
この実施例を含めて以下の実施例では物体面に複数のレーザダイオードが配置される。
【００６１】
この実施例では最も像側に超半球レンズ（スーパースフィアレンズ）が置かれ、近接場現象を生じるよう像面が近接して配置されるが、レンズデータ表ではスーパースフィアレンズの像側面と像面とを、まとめて像面として表した。また収差図も像界がスーパースフィアレンズの媒質で満たされている場合の収差図を示した。
【００６２】
この実施例では物体側から２番目のレンズに像側に凹な凹面が設けられている。この凹面には収束光束が入射し、凹面の位置は物体と像との中間よりも像寄りである。
【００６３】
条件式の値は以下の通り。
【００６４】
ｒP／ｆP＝０．３３ （ｆP＝０．４２５）
ｄP／ｆP＝０．９３
（実施例８）
【００６５】
【表８】
2006126856.tif 000011
実施例８は請求項１０，１１，１２，１３に対応する実施例である。
【００６６】
図１５，図１６はそれぞれレンズ断面図、収差図を示す。
【００６７】
この実施例では最も像側に半球レンズがおかれ、実施例７と同様に近接場現象を生じるよう像面が近接して配置されるがレンズデータ表では半球レンズの像側面と像面とをまとめて像面として表した。また収差図も像界が半球レンズの媒質で満たされている場合の収差図を示した。
【００６８】
この実施例では最も物体側のレンズに、物体側に凹な凹面が設けられている。この凹面には発散光束が入射し、凹面の位置は物体と像との中間よりも物体寄りである。
【００６９】
条件式の値は以下の通り。
【００７０】
｜ｒQ／ｆQ｜＝０．６２ （ｒQ＜０） （ｆQ＝０．７２１）
ｄQ／ｆQ＝０．９９
（実施例９）
【００７１】
【表９】
2006126856.tif 000012
実施例９は請求項１４に対応する実施例である。
【００７２】
図１７，図１８はそれぞれレンズ断面図、収差図を示す。
【００７３】
この実施例では物体面に近接してフィールドフラットナの役割を果たす負レンズが配置されている。
【００７４】
条件式の値は次の通り。
【００７５】
ｆS／ｆT＝１．０２ （ｆS＝−０．２９５、ｆT＝０．２８９）
ｄS／ｆS＝０．１７
（実施例１０）
【００７６】
【表１０】
2006126856.tif 000013
実施例１０は請求項１５に対応する実施例である。
【００７７】
図１９，図２０はそれぞれレンズ断面図、収差図を示す。
【００７８】
この実施例では物体面が像側に凹な凹面である。
【００７９】
条件式の値は次の通り。
【００８０】
ｅ／（ｈ2ｆW）＝５．２
（ｅ＝０．０１５７，ｈ＝０．１０，ｆW＝０．３０）
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】実施例１のレンズ断面図。
【図２】実施例１の収差図。
【図３】実施例２のレンズ断面図。
【図４】実施例２の収差図。
【図５】実施例３のレンズ断面図。
【図６】実施例３の収差図。
【図７】実施例４のレンズ断面図。
【図８】実施例４の収差図。
【図９】実施例５のレンズ断面図。
【図１０】実施例５の収差図。
【図１１】実施例６のレンズ断面図。
【図１２】実施例６の収差図。
【図１３】実施例７のレンズ断面図。
【図１４】実施例７の収差図。
【図１５】実施例８のレンズ断面図。
【図１６】実施例８の収差図。
【図１７】実施例９のレンズ断面図。
【図１８】実施例９の収差図。
【図１９】実施例１０のレンズ断面図。
【図２０】実施例１０の収差図。
【図１】
2006126856.tif 000014
【図２】
2006126856.tif 000015
【図３】
2006126856.tif 000016
【図４】
2006126856.tif 000017
【図５】
2006126856.tif 000018
【図６】
2006126856.tif 000019
【図７】
2006126856.tif 000020
【図８】
2006126856.tif 000021
【図９】
2006126856.tif 000022
【図１０】
2006126856.tif 000023
【図１１】
2006126856.tif 000024
【図１２】
2006126856.tif 000025
【図１３】
2006126856.tif 000026
【図１４】
2006126856.tif 000027
【図１５】
2006126856.tif 000028
【図１６】
2006126856.tif 000029
【図１７】
2006126856.tif 000030
【図１８】
2006126856.tif 000031
【図１９】
2006126856.tif 000032
【図２０】
2006126856.tif 000033
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月21日(2005.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、光源の反対側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする光学系。
【請求項２】
前記の光学系は、光源側から順に第１レンズ系と第２レンズ系とからなり、第１レンズ系は光源の反対側に向かって凹の屈折面を有し、第２レンズ系は単レンズであって近接場現象を利用するソリッド・イマージョン・レンズ（Ｓｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎｓ）であることを特徴とする請求項１記載の光学系。
【請求項３】
前記第１レンズ系は、複数のレンズからなり、最も光源から遠いレンズが光源の反対側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする請求項３記載の光学系。
【請求項４】
前記凹の屈折面が、同じ近軸曲率を有する球面よりも、周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たす請求項３記載の光学系。
０．２０≦ｒP／ｆP≦２．０                     （１）
０．２０≦ｄP／ｆP≦２．０                     （２）
ｒP：前記凹の屈折面の曲率半径
ｆP：第１レンズ系の合成焦点距離
ｄP：第１レンズ系中、最も光源から遠いレンズの中心厚
【請求項５】
近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、光源側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする光学系。
【請求項６】
前記光学系は、光源側から順に第１レンズ系と第２レンズ系とからなり、第１レンズ系は光源側に向かって凹の屈折面を有し、第２レンズ系は単レンズであって、近接場現象を利用するソリッド・イマージョン・レンズ（Ｓｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎｓ）であることを特徴とする請求項５記載の光学系。
【請求項７】
前記光学系は複数のレンズからなり、最も光源側のレンズが光源側に向かって凹の屈折面を有する正レンズであることを特徴とする請求項５記載の光学系。
【請求項８】
前記の凹の屈折面が、同じ近軸曲率を有する球面よりも、周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たすことを特徴とする請求項７記載の光学系。
０．３０≦｜ｒQ／ｆQ｜≦３．０（ｒQ＜０）       （３）
０．２０≦ｄQ／ｆQ≦２．０                     （４）
ｒQ：この凹面の曲率半径
ｆQ：最も光源側のレンズの焦点距離
ｄQ：最も光源側のレンズの中心厚。
【請求項９】
平面上に配置された近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、この複数のレーザダイオードの近くに、次の条件を満たす負レンズを有することを特徴とする光学系。
０．２≦｜ｆS／ｆT｜≦５．０                 （５）
０≦｜ｄS／ｆS｜≦１．０                     （６）
ｆS：この負レンズの焦点距離
ｆT：この負レンズを除く全系の焦点距離
ｄS：この光源とこの負レンズとの間隔
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
複数のレーザダイオードを線上又は面上近接して配置したレーザダイオードアレイを光源として用いる光学系に関する。
【０００２】
特にマルチビーム走査光学系に用いられ、半導体レーザからの発散光束をほぼ平行光束にするコリメータレンズを有する光学系や複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系に関する。
【背景技術】
【０００３】
デジタル複写機やレーザビームプリンタなどの書き込みを行うレーザビーム走査光学において、レーザダイオードから放射された光束をコリメートし、後続の光学系に導くためにコリメータレンズが用いられる。
【０００４】
このコリメータレンズに要求される像面特性は、光源として１つのレーザダイオードしか用いない場合は、かなり緩いものである。すなわち光源の大きさは数μｍ程度と小さいので、画角としてはレーザダイオードやコリメータレンズの取り付け誤差あるいは取り付け調整誤差に相当する程度の画角を満たせばよく、例えば画角２ω＝２°程度のものが設計されているが、この場合２°の画角全域が同時に使用されることはないので、取り付け誤差等により使用される画角に応じてベストのフォーカス位置にレンズ位置を合わせて使用すればよい。従って像面湾曲が多少あっても非点収差が小さければ実用上問題ない。
【０００５】
一方複数のレーザビームによって書き込みを行うマルチビーム走査光学系においては、その光源として、２つまたはそれ以上の複数のレーザダイオードを近接して副走査方向に一列に配置したマルチビームレーザダイオードアレイを用い、射出された複数の光束を１つのコリメータレンズによってそれぞれ平行光とし、後続の光学系に導く構成が知られている。
【０００６】
この方式に用いられるコリメータレンズは、複数のレーザダイオードに対して同時に用いられるので、光源全体の大きさに相当する画角を有すると共に、１つのフォーカス位置で画角全体に対して良好な収差を有することが要求される。従って１つのレーザダイオードを用いる場合に要求される性能に加えて、像面湾曲も小さいことが必要である。
【０００７】
また、光ディスクなどを媒体とした光学式記録再生装置の光学系においても、記録再生の高速化を図るため複数のレーザダイオードを平面上に近接して配置したレーザダイオードアレイが光源として提案されている。
【０００８】
この光学系に対しても前述のコリメータレンズと同様に、光源全体の大きさをカバーする画角を有し、１つのフォーカス位置で画角全体に対して良好な収差を有することが要求される。従って１つのレーザダイオードを用いる場合に要求される性能に加えて像面湾曲も小さいことが必要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記方式のコリメータレンズの画角は、例えば発光部が０．１ｍｍ間隔で１８個並んだマルチビームレーザダイオードアレイを焦点距離１０ｍｍのコリメータレンズでカバーするなら約１０°の画角が必要となる。また、発光部が４個で焦点距離が２０ｍｍのコリメータレンズなら画角は約１°でよい。
【００１０】
この発明の目的は、２ω＝１°〜１０°程度の画角を有し、像面湾曲のよく補正されたコリメータレンズ、特に複数のレーザダイオードを光源とするマルチビーム走査光学系に用いるのに適した開口数ＮＡ０．１５〜０．３５程度のコリメータレンズを有する光学系を提供することである。
【００１１】
またこの発明の別の目的は、近接した複数のレーザダイオードを光源とし、光ディスクなどを媒体とする光学式記録再生装置に用いるのに適した、画面湾曲のよく補正された光学系を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的は、近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、光源の反対側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする光学系（請求項１に係わる発明）により達成される。
【００１３】
また、上記目的は、近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、光源側に向かって凹の屈折面を有することを特徴とする光学系（請求項５に係わる発明）により達成される。
【００１４】
また、上記目的は、平面上に配置された近接した複数のレーザダイオードを光源に用い、この光源の像を結像させる光学式記録再生装置の光学系であって、この複数のレーザダイオードの近くに、次の条件を満たす負レンズを有することを特徴とする光学系（請求項９に係わる発明）により達成される。
【００１５】
０．２≦｜ｆS／ｆT｜≦５．０                   （５）
０≦｜ｄS／ｆS｜≦１．０                       （６）
ｆS：この負レンズの焦点距離
ｆT：この負レンズを除く全系の焦点距離
ｄS：この光源とこの負レンズとの間隔
【発明の効果】
【００１６】
本発明（請求項１）により、近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、図１に示す配置関係とすることにより効果的にペッツバール和が減少し、望ましいサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
【００１７】
請求項２のレンズ系ではＳＩＬを用いたときにＳＩＬの半球面によって増加するペッツバール和を減少させるのに有効で、請求項３の構成によって像側の開口数ＮＡの大きい光学系を得るのに有効で、請求項４では凹の屈折面に光源側に変位する非球面を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正している。
【００１８】
本発明（請求項５）により、近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、図３に示す配置関係とすることにより効果的にペッツバール和が減少し、望ましいサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
【００１９】
請求項６のレンズ系ではＳＩＬを用いたときにＳＩＬの半球面によって増加するペッツバール和を減少させるのに有効で、請求項７の構成によって像側の開口数ＮＡの大きい光学系を得るのに有効で、請求項８では凹の屈折面に光源側に変位する非球面を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正している。
【００２０】
本発明（請求項９）により、近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、図５に示す配置関係とすることにより、良い像面特性が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の光学系は下記の構成と作用を有している。
（請求項１の構成と作用）
本実施形態の光学系においては近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、光源の反対側寄りの位置で収束光束が、光源の反対側に向かって凹の屈折面を通過するよう配置することにより、効果的にペッツバール和が減少し、望ましいサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
（請求項２の構成と作用）
本実施形態の光学系は請求項１の光学系にソリッド・イマージョン・レンズ（Ｓｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎｓ）（固浸レンズ）を用いるものである。最近光の近接場現象を光記録に用いる方法としてＳｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎｓ（以下ＳＩＬと称す）が開発されている。
【００２２】
このようなＳＩＬは例えば「Ｏ ｐｌｕｓ Ｅ Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．２」（株）新技術コミュニケーション発行の第１８７頁〜１９２頁に記載されている。ＳＩＬは近接場現象によって波長をＳＩＬ中の波長のまま、即ち光源の波長をＳＩＬの屈折率で割った値のまま像面に伝幡せしめ、これによって分解能を向上させるものである。
【００２３】
ＳＩＬとしては、半球レンズと超半球レンズ（ｓｕｐｅｒｓｐｈｅｒｅ）と呼ばれる形状のレンズが提案されており、何れも像側は、近接場現象を生じるよう像面に近接した平面であり、光源側は球面収差とコマを生じないように半球を配置するものである。
【００２４】
本実施形態のレンズ系にあっては、ＳＩＬを用いたときにＳＩＬの半球面によって増加するペッツバール和を減少させるのに有効である。
（請求項３の構成と作用）
本実施形態の構成により像側の開口数ＮＡの大きい光学系を得るのに有効である。
（請求項４の構成と作用）
本実施形態の光学系は、請求項３の光学系において凹の屈折面が、同じ近軸曲率を有する球面よりも、周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たしている。
【００２５】
０．２０≦ｒP／ｆP≦２．０                     （１）
０．２０≦ｄP／ｆP≦２．０                     （２）
ｒP：前記凹の屈折面の曲率半径
ｆP：第１レンズ系の合成焦点距離
ｄP：第１レンズ系中、最も光源から遠いレンズの中心厚
この構成において、この凹の屈折面に光源側に変位する非球面を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正し、良好なサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
【００２６】
また、（１），（２）式ともに適切なペッツバール和を得るための条件であって、（１）の上限又は（２）の下限を外れるとペッツバール和が大きくなる。（１）の下限を外れるとこのレンズ面の偏心誤差感度が大きくなり製造上望ましくない。（２）の条件を外れるとコンパクト性を損なう。
（請求項５の構成と作用）
本実施形態のレンズにあっては、近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、光源寄りの位置で発散光束が光源に向かって凹の屈折面を通過するよう配置することにより効果的にペッツバール和が減少し、望ましいサジタル、メリディオナル像面を得ることができる。
（請求項６の構成と作用）
本実施形態のレンズ系はＳＩＬを用いたときにＳＩＬの半球面によって増加するペッツバール和を減少させるのに有効である。
（請求項７の構成と作用）
本実施形態の構成により像側の開口数ＮＡの大きい光学系を得るのに有効である。
（請求項８の構成と作用）
本実施形態の光学系は、請求項７の光学系において凹の屈折面が、同じ近軸曲率を有する球面よりも、周辺で光源に近づく方向に変位する非球面を有し、以下の条件を満たしている。
【００２７】
０．３０≦｜ｒQ／ｆQ｜≦３．０（ｒQ＜０）       （３）
０．２０≦ｄQ／ｆQ≦２．０                     （４）
ｒQ：この凹面の曲率半径
ｆQ：最も光源側のレンズの焦点距離
ｄQ：最も光源側のレンズの中心厚。
【００２８】
この構成において、この凹の屈折面に光源側に変位する非球面を設けることにより反対側の面で発生する非点収差を補正し、良好なサジタル、メリディオナル両像面を得ることができる。
【００２９】
また、（３），（４）式ともに適切なペッツバール和を得るための条件であって、（３）の上限又は（４）の下限を外れるとペッツバール和が大きくなる。（３）の下限を外れるとこのレンズ面の偏心誤差感度が大きくなり製造上望ましくない。（４）の上限を外れるとコンパクト性を損なう。
（請求項９の構成と作用）
本実施形態のレンズ系は近接した複数のレーザダイオードを光源とする光学式記録再生装置の光学系において、光源或いは光源近傍を良い像面特性を得る構成とするものである。
【００３０】
このレンズ系では光源の近くにフィールドフラットナの役割を果たす負レンズを設ける。負レンズは次の条件を満たしている。
【００３１】
０．２≦｜ｆS／ｆT｜≦５．０                 （５）
０≦｜ｄS／ｆS｜≦１．０                     （６）
ｆS：この負レンズの焦点距離
ｆT：この負レンズを除く全系の焦点距離
ｄS：この光源とこの負レンズとの間隔
（５）式の上限下限は適切なペッツバール和を得るための範囲を示す。（６）式はこの負レンズがフィールドフラットナとして良好に働くための条件で、この上限を外れると球面収差などへの影響が大きくなり望ましくない。
【実施例】
【００３２】
以下に本発明の実施例を示す。
【００３３】
非球面については光軸方向をｘ軸，光軸に垂直な方向をｙ軸とするとき、次式で表す。
【００３４】
【数１】
2006126856.tif 000034
【００３５】
Ｋ：円錐係数
Ａｉ：非球面係数
Ｐｉ：非球面係数のベキ係数
（実施例１）
【００３６】
【表１】
2006126856.tif 000035
【００３７】
実施例１は請求項１，２，３，４に対応する実施例である。
【００３８】
図１，図２はそれぞれレンズ断面図、収差図を示す。
【００３９】
この実施例を含めて以下の実施例では物体面に複数のレーザダイオードが配置される。
【００４０】
この実施例では最も像側に超半球レンズ（スーパースフィアレンズ）が置かれ、近接場現象を生じるよう像面が近接して配置されるが、レンズデータ表ではスーパースフィアレンズの像側面と像面とを、まとめて像面として表した。また収差図も像界がスーパースフィアレンズの媒質で満たされている場合の収差図を示した。
【００４１】
この実施例では物体側から２番目のレンズに像側に凹な凹面が設けられている。この凹面には収束光束が入射し、凹面の位置は物体と像との中間よりも像寄りである。
【００４２】
条件式の値は以下の通り。
【００４３】
ｒP／ｆP＝０．３３ （ｆP＝０．４２５）
ｄP／ｆP＝０．９３
（実施例２）
【００４４】
【表２】
2006126856.tif 000036
【００４５】
実施例２は請求項５，６，７，８に対応する実施例である。
【００４６】
図３，図４はそれぞれレンズ断面図、収差図を示す。
【００４７】
この実施例では最も像側に半球レンズがおかれ、実施例１と同様に近接場現象を生じるよう像面が近接して配置されるがレンズデータ表では半球レンズの像側面と像面とをまとめて像面として表した。また収差図も像界が半球レンズの媒質で満たされている場合の収差図を示した。
【００４８】
この実施例では最も物体側のレンズに、物体側に凹な凹面が設けられている。この凹面には発散光束が入射し、凹面の位置は物体と像との中間よりも物体寄りである。
【００４９】
条件式の値は以下の通り。
【００５０】
｜ｒQ／ｆQ｜＝０．６２ （ｒQ＜０） （ｆQ＝０．７２１）
ｄQ／ｆQ＝０．９９
（実施例３）
【００５１】
【表３】
2006126856.tif 000037
【００５２】
実施例３は請求項９に対応する実施例である。
【００５３】
図５，図６はそれぞれレンズ断面図、収差図を示す。
【００５４】
この実施例では物体面に近接してフィールドフラットナの役割を果たす負レンズが配置されている。
【００５５】
条件式の値は次の通り。
【００５６】
ｆS／ｆT＝１．０２ （ｆS＝−０．２９５、ｆT＝０．２８９）
ｄS／ｆS＝０．１７
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】実施例１のレンズ断面図。
【図２】実施例１の収差図。
【図３】実施例２のレンズ断面図。
【図４】実施例２の収差図。
【図５】実施例３のレンズ断面図。
【図６】実施例３の収差図。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2006126856.tif 000038
【図２】
2006126856.tif 000039
【図３】
2006126856.tif 000040
【図４】
2006126856.tif 000041
【図５】
2006126856.tif 000042
【図６】
2006126856.tif 000043