(57)【要約】【課題】パーティクルの発生を防止してワークを位置決めする。【解決手段】ワーク規制台の複数のポケット３４にそれぞれ配置されたガラス板３１を同時に位置決めするワークの位置決め装置で、前記ポケット３４の側面に位置決め用のＸ軸基準面３４ｘとＹ軸基準面３４ｙを形成し、前記ポケット３４の底面に形成されたエア吹き出し孔３５からのエアによりガラス板３１を浮上させ、前記ポケット３４の底面に形成された真空吸着孔３６からエアを吸引してガラス板３１を位置固定し、ワーク規制台をＸ軸基準面３４ｘとＹ軸基準面３４ｙが下位となるように傾斜させ浮上状態のガラス板３１をＸ軸基準面３４ｘとＹ軸基準面３４ｙ側に移動させ当接させる規制台傾斜装置を設けた。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク規制台の複数の収容部にそれぞれ配置されたワークを同時に位置決めするに際し、
前記収容部の側部に位置決めの基準位置となる基準部を形成しておき、
前記収容部の底面側からエアを吹き出してワークを浮上させ、
前記ワーク規制台を、収容部の基準部が下位となるように傾斜させてワークを前記基準部に当接させ、
エアの噴出しを停止した後、ワーク収容部の底面側にワークを吸着してワークを位置決めする
ことを特徴とするワークの位置決め方法。
【請求項２】
前記収容部の底面側からワークに吹き付けるエアを、ワーク重心の前記基準部の反対側に向って吹き付ける
ことを特徴とする請求項１記載のワークの位置決め方法。
【請求項３】
前記収容部の底面側からワークに対して吹き付けるエアを、前記基準部側上方に傾斜させて吹き出す
ことを特徴とする請求項１または２記載のワークの位置決め方法。
【請求項４】
ワーク規制台の複数の収容部にそれぞれ配置されたワークを同時に位置決めするワークの位置決め装置であって、
前記収容部の側部に位置決めの基準位置となる基準部を形成し、
前記収容部の底面に、エア吹き出し孔および真空吸着孔と、エア吹き出しおよび真空吸着兼用のエア給排出孔の一方を設けて、ワークを浮上させるとともに、真空吸着孔またはエア給排出孔からエアを吸着してワークを位置固定可能に構成し、
ガラス規制台を基準部側が下位となるように傾斜させ浮上状態のワークを基準部側に移動させて基準部に当接させる規制台傾斜装置を設けた
ことを特徴とするワークの位置決め装置。
【請求項５】
前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアがワークの重心より基準部の反対側に吹き出されるように形成して、浮上状態のワークを基準部側に移動させて基準部に当接させるように構成した
ことを特徴とする請求項４記載のワークの位置決め装置。
【請求項６】
前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアが基準部側上方に向って吹き出されるように形成した
ことを特徴とする請求項４または５記載のワークの位置決め装置。
【請求項７】
ワーク規制台の複数の収容部にそれぞれ配置されたワークを同時に位置決めするワークの位置決め装置であって、
前記収容部の側部に位置決めの基準位置となる基準部を形成し、
前記収容部の底面に、エア吹き出し孔および真空吸着孔と、エア吹き出しおよび真空吸着兼用のエア給排出孔の一方を設けて、ワークを浮上させるとともに、真空吸着孔またはエア給排出孔からエアを吸着してワークを位置固定可能に構成し、
前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアがワークの重心より基準部の反対側に吹き出されるように形成して、浮上状態のワークを基準部側に移動させて基準部に当接させるように構成した
ことを特徴とする請求項４記載のワークの位置決め装置。
【請求項８】
前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアが基準部側上方に向って吹き出されるように形成した
ことを特徴とする請求項７記載のワークの位置決め装置。
【請求項９】
ワーク規制台の複数の収容部にそれぞれ配置されたワークを同時に位置決めするワークの位置決め装置であって、
前記収容部の側部に位置決めの基準位置となる基準部を形成し、
前記収容部の底面に、エア吹き出し孔および真空吸着孔と、エア吹き出しおよび真空吸着兼用のエア給排出孔の一方を設けて、ワークを浮上させるとともに、真空吸着孔またはエア給排出孔からエアを吸着してワークを位置固定可能に構成し、
前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアが基準部側上方に向って吹き出されるように形成して、浮上状態のワークを基準部側に移動させて基準部に当接させるように構成した
ことを特徴とするワークの位置決め装置。
【請求項１０】
前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔から噴出されるエアの吹き出し量を制御してガラス板の移動速度を制御可能な速度コントローラを設けた
ことを特徴とする請求項４乃至９のいずれかに記載のワークの位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス片などのような小さなワーク、たとえば固体撮像素子のガラスを整列させるための位置決め方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のガラス片などのような小さなワークを所定位置に位置決めするものとして、たとえば特許文献１に示すものがある。これは、図１０，図１１に示すように、昇降自在で複数のワーク１を同時に吸着・保持することが出来る吸着コレット２と、ワーク１がそれぞれ収容される複数のポケット３が所定の位置に配置されたトレー４と、ワーク１を吸着コレット２に吸着保持した状態で、トレー４を平面方向に移動させる移動手段５とを具備し、ポケット３の内周面のうち、隣接する２面が位置決め用の基準面３ｘ，３ｙに構成されている。使用に際しては、吸着コレット２にポケット３内に収容された複数のワーク１を一括して保持した状態で、移動手段５によりトレー４を平面方向に移動させ、ポケット３の基準面３ｘ，３ｙにワーク１を当接させて各ワーク１をそれぞれ同時に位置決めしていた。
【特許文献１】特開２０００−１００９０５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の技術では、位置決めを行うための移動手段として、基準面に接近するＸ方向とＹ方向の移動機構５がそれぞれ必要になる。また、吸着状態のワーク１をスライドさせてポケット３の基準面に当接させることにより位置決めを行っていたため、ワーク１が基準面に当接する際に、ワーク１が吸着コレット２の吸着面を摺動して摩擦が発生しパーティクル（微粉塵）が発生する。
【０００４】
パーティクルが発生した場合、ワーク１がたとえば固体撮像素子のガラス板であった時には、図１２に示すような不都合が生じる。すなわち、図１２は固体撮像素子のパッケージに光が入るイメージ図であり、基板１３の上に固体撮像素子１４が設置され、ボンディングワイヤ１５によって接続され、上面は透過光１６が入るようにワークであるガラス板１が設置されている。この時にガラス板１にパーティクル１８が付着していると、透過光１６が反射光１７となってしまい、サブミクロンのパーティクルが発生する従来の技術では、固体撮像素子１４の能力を低下させてしまう。
本発明は、上記問題点を解決して、パーティクルが発生することなく、高精度でワークを位置決めできるワークの位置決め方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前述した目的を達成するために、請求項１記載のワークの位置決め方法は、ワーク規制台の複数の収容部にそれぞれ配置されたワークを同時に位置決めするに際し、前記収容部の側部に位置決めの基準位置となる基準部を形成しておき、前記収容部の底面側からエアを吹き出してワークを浮上させ、前記ワーク規制台を、収容部の基準部が下位となるように傾斜させてワークを前記基準部に当接させ、エアの噴出しを停止した後、ワーク収容部の底面側にワークを吸着してワークを位置決めするものである。
【０００６】
請求項２記載のワークの位置決め方法は、前記収容部の底面側からワークに吹き付けるエアを、ワーク重心の前記基準部の反対側に向って吹き付けるものである。
請求項３記載の発明は、前記収容部の底面側からワークに対して吹き付けるエアを、前記基準部側上方に傾斜させて吹き出すものである。
【０００７】
請求項４記載の発明は、ワーク規制台の複数の収容部にそれぞれ配置されたワークを同時に位置決めするワークの位置決め装置であって、前記収容部の側部に位置決めの基準位置となる基準部を形成し、前記収容部の底面に、エア吹き出し孔および真空吸着孔と、エア吹き出しおよび真空吸着兼用のエア給排出孔の一方を設けて、ワークを浮上させるとともに、真空吸着孔またはエア給排出孔からエアを吸着してワークを位置固定可能に構成し、ワーク規制台を基準部側が下位となるように傾斜させ浮上状態のワークを基準部側に移動させて基準部に当接させる規制台傾斜装置を設けたものである。
【０００８】
請求項５記載の発明は、前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアがワークの重心より基準部の反対側に吹き出されるように形成して、浮上状態のワークを基準部側に移動させて基準部に当接させるように構成したものである。
【０００９】
請求項６記載の発明は、前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアが基準部側上方に向って吹き出されるように形成したものである。
請求項７記載の発明は、ワーク規制台の複数の収容部にそれぞれ配置されたワークを同時に位置決めするワークの位置決め装置であって、前記収容部の側部に位置決めの基準位置となる基準部を形成し、前記収容部の底面に、エア吹き出し孔および真空吸着孔と、エア吹き出しおよび真空吸着兼用のエア給排出孔の一方を設けて、ワークを浮上させるとともに、真空吸着孔またはエア給排出孔からエアを吸着してワークを位置固定可能に構成し、前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアがワークの重心より基準部の反対側に吹き出されるように形成して、浮上状態のワークを基準部側に移動させて基準部に当接させるように構成したものである。
【００１０】
請求項８記載の発明は、前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアが基準部側上方に向って吹き出されるように形成したものである。
請求項９記載の発明は、ワーク規制台の複数の収容部にそれぞれ配置されたワークを同時に位置決めするワークの位置決め装置であって、前記収容部の側部に位置決めの基準位置となる基準部を形成し、前記収容部の底面に、エア吹き出し孔および真空吸着孔と、エア吹き出しおよび真空吸着兼用のエア給排出孔の一方を設けて、ワークを浮上させるとともに、真空吸着孔またはエア給排出孔からエアを吸着してワークを位置固定可能に構成し、前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔を、エアが基準部側上方に向って吹き出されるように形成して、浮上状態のワークを基準部側に移動させて基準部に当接させるように構成したものである。
【００１１】
請求項１０記載の発明は、前記エア吹き出し孔またはエア給排出孔から噴出されるエアの吹き出し量を制御してガラス板の移動速度を制御可能な速度コントローラを設けたものである。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１または４記載の発明によれば、規制台を傾斜させるとともに、エア吹き出し孔またはエア給排出孔からエアを吹き出してワークを浮上させることで、ワークを基準部側に移動させて当接させ、エアの吹き出しを停止するとともに真空吸着孔またはエア給排出孔から吸着してワークを位置決め固定するので、位置決め動作によりパーティクルを発生させることが殆どなくなり、ワークにパーティクルが付着するのを未然に防止することができる。
【００１３】
請求項７記載の発明によれば、エア吹き出し孔またはエア給排出孔からエアを吹き出してワークを浮上させるとともに、エアをワークの重心に対して基準部の反対側に吹き付けることで、浮上したワークを基準部側下位となるように傾斜させて自重により基準部側に移動させて当接させ、エアの吹き出しを停止するとともに真空吸着孔またはエア給排出孔から吸着してワークを位置決め固定するので、位置決め動作によりパーティクルを発生させることが殆どなくなり、ワークにパーティクルが付着するのを未然に防止することができる。
【００１４】
請求項９記載の発明によれば、エア吹き出し孔またはエア給排出孔からエアを吹き出してワークを浮上させるとともに、エアを基準部側上方に傾斜して吹き出すことで、エアの水平方向の分力によりワークを基準部側に移動させて基準部に当接させ、エアの吹き出しを停止するとともに真空吸着孔またはエア給排出孔から吸着してワークを位置決め固定するので、位置決め動作によりパーティクルを発生させることが殆どなくなり、ワークにパーティクルが付着するのを未然に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
［実施の形態１］
本発明の位置決め方法及び位置決め装置について図１〜図５を用いて説明する。図１はワークの位置決め装置の概略構成を示す斜視図、図２は図１に示すＡ部の拡大分解斜視図、図３はポケットの平面図、図４は図３に示すＢ−Ｂ断面図、図５（ａ）は位置決め前の状態を示す平面図、図５（ｂ）は位置決め後の状態を示す平面図である。
【００１６】
板状ワークの一例である透明のガラス板３１は、たとえば基板に設けられた固体撮像素子の透光部を保護するための極めて小型のもので、複数個の矩形のガラス板３１がワーク規制台（規制台）３２の上面に整列されて配置され、ガラス板３１が位置決めされた後、コレット移動装置４０により昇降移動自在な吸着コレット（吸着具）３３によりガラス板３１が吸着保持されて次の組立装置などに搬送される。
【００１７】
前記ワーク規制台３２の上面には、ガラス板３１を収容する複数のポケット（収容部）３４がＸ軸方向およびＹ軸方向に所定ピッチで形成されている。これらポケット３４は、搬入用のクリアランスＣ１〜Ｃ４を有してガラス板３１よりも少し大きい矩形凹状に形成され、底面３４ａが平坦面に構成されている。またポケット３４の４つの側面のうち、Ｘ軸方向に直交する一方の面にＸ軸基準面（基準部）３４Ｘが形成されるとともに、Ｙ軸方向に直交する一方の面にＹ軸基準面（基準部）３４Ｙが形成され、Ｘ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙはその交線３４ｚを介して隣接されている。
【００１８】
これらポケット３４の底面３４ａには、エア吹き出し孔３５と真空吸着孔３６が形成されている。真空吸着孔３５は底面３４ａの中央部近傍でＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ寄りに開口され、またエア吹き出し孔３６は底面３４ａの中央部近傍でＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙと反対側に形成されている。正確には、ポケットに収容されるすべての位置のガラス板３１に対しても、ガラス板３１の重心Ｇに対してＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側にエアを吹き付けられるように、図３に仮想線で示すＦの範囲であり、単数では交線３４ｚを含む対角線上に、または複数では交線３４ｚを含む対角線の対象位置にそれぞれ設定されてガラス板３１をバランスよく浮上させるように構成されている。
【００１９】
前記エア吹き出し孔３５は、エア供給パイプ４１を介して送風ポンプに接続され、エア供給配管４１には浮上用開閉弁４２と流量調整弁（速度コントローラ）４３が介装されている。この流量調整弁４３は、ガラス板３１の浮上状態や位置決めのための移動速度などに応じて操作される。前記真空吸着孔３６は、吸着用開閉弁４４を有する真空配管４５を介して真空ポンプに接続されている。したがって、浮上用開閉弁４２が開けられてエア吹き出し孔３５からエアが吹き出されると、ガラス板３１は底面３４ａから浮上されて底面３４ａとの間に隙間ができ摩擦が生じることがない。
【００２０】
前記ワーク規制台３２には、浮上されたガラス板３１を位置決め移動させる移動手段である規制台傾斜装置３７が設けられている。この規制台傾斜装置３７は、電動アクチュエータやシリンダなどを駆動原とし、交線３４ｚを含む一方の対角線方向で交線３４ｚ側が下位となるようにワーク規制台３２を所定角度α°傾斜させ、浮上されたガラス板３１を重力により交線３４ｚ（Ｘ，Ｙ軸基準面３４Ｘ,３４Ｙ）側に移動させてＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ,３４Ｙにそれぞれ当接させ、位置決めすることができる。
【００２１】
また、このエア吹き出し孔３５から吹き出されたエアにより浮上されるガラス板３１は、重心Ｇに対してＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側にずらせたＦの範囲に形成されていることからガラス板３１のＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙが下位となるように僅かに傾き、ガラス板３１をＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側にスライドしやすくしたり、スライドさせることができる。さらに、エア吹き出し孔３５は、ポケット３４の底面３４ａに垂直に形成されて直上に向ってエアを噴出すように形成されているが、交線３４ｚに沿うＺ軸方向上方に向って噴射させるように構成することもできる。これによりエアの水平面上の分力を利用してガラス板３１をＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側にスライドさせたり、スライドしやすくすることができる。
【００２２】
ここで、規制台傾斜装置３７によりワーク規制台３２を水平姿勢に復帰させた後、浮上用開閉弁４２を閉じてエア吹き出し孔３５からのエアを停止し、吸着用開閉弁４４を開けて真空吸着孔３６から吸着しガラス板３１を位置決め固定してもよいが、ワーク規制台３２が傾斜された状態で、エア吹き出し孔３５からのエアを停止し真空吸着孔３６からガラス板３１を吸着して位置決め固定することで、ガラス板３１が自重によりＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ,３４Ｙに当て付けた状態に保持されているので、位置ずれすることがなく位置決め精度をさらに向上させることができる。
【００２３】
前記吸着コレット３３には、各ポケット３４にそれぞれ対応してガラス板３１を保持可能な吸着孔（図示せず）がそれぞれ形成され、ポケット３４内で位置決めされたガラス板３１を精度よく吸着保持し、次の工程の組立装置などに搬送することができる。
【００２４】
次に、ポケット３４内にガラス板３１を位置決めする手順を説明する。
１）ポケット３４にガラス板３１が置かれた状態では、ポケット３４の側面とガラス板３１との間には、双方にクリアランスＣ１〜Ｃ４があるため、ガラス板３１をＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙに位置合せする必要がある。
【００２５】
２）規制台傾斜装置３７によりＸ基準面３４ＸとＹ基準面３４Ｙが下位となるように傾動中心Ｈ周りにワーク規制台３２をα°傾斜させる。
３）浮上用開閉弁４２を開けてエア吹き出し孔３５からエアを吹き出し、ガラス３１板のＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側（隅側）が上位となるように僅かに傾斜させて浮上させ、ガラス３１を傾斜に沿ってＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側に浮上滑空させてＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙにそれぞれ当接させ、位置合せする。
【００２６】
４）浮上用開閉弁４２を閉じるとともに、真空用開閉弁４４を開けて真空吸着孔３６により真空吸着しガラス板３１を位置固定する。
５）規制台傾斜装置３７によりワーク規制台８を水平に戻す。
【００２７】
６）その後、吸着コレット移動装置４０により吸着コレット３３を下降させる。
７）そして吸着コレット３３の真空吸着をＯＮしてガラス板３１を一括に吸着する。
８）最後に、ポケット３４の真空吸着をＯＦＦして吸着コレット移動手段４０で吸着コレット３３をガラス板３１を真空吸着した状態で上昇させる。
【００２８】
上記実施の形態１によれば、規制台傾斜装置３７によりポケット３４のＸ基準面３４ＸとＹ基準面３４Ｙが下位となるようにワーク規制台３２を傾斜させ、ポケット３４の底面３４ａに形成したエア吹き出し穴３５からエアを吹き出して、収容されたガラス板３１を浮上させ、傾斜に沿ってガラス板３１をスライドさせてＸ基準面３４ＸとＹ基準面３４Ｙに当接させることにより、摩擦が発生してサブミクロンのパーティクルが発生することなく、ガラス板３１を高精度で位置決めすることができる。また規制台傾斜装置３７のみで、従来のようにワーク規制台３２をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する移動機構が不要となり、設備コストの削減が可能となる。
【００２９】
またエア吹き出し孔３５を、ポケット３４内でエアがガラス板３１の重心Ｇに対してＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側にずらせて吹き付けられるように構成したので、浮上したガラス板３１はＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側が下位となるように僅かに傾き、ガラス板３１がＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側にスライドさせたり、スライドを促進させることができる。
【００３０】
さらに上記構成において、エア吹き出し孔３５からのエアを、ポケット３４の底面３４ａに垂直に吹き出すのではなく、Ｘ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの交線に沿うＺ軸上方位置に向って傾斜するように吹き出すことで、エアの水平面上の分力を利用してガラス板３１をＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側にスライドさせたり、スライドしやすくすることができる。
【００３１】
［変形例１］
実施の形態１の変形例１は、実施の形態１における規制台傾斜装置３７を削除したもので、図６を参照して説明する。なお、他は同一構成であるため、同一符号を付して説明を省略する。
【００３２】
ワーク規制台３２のポケット３４には、エア吹き出し孔３５’と真空吸着孔３６がそれぞれ形成されている。前記エア吹き出し孔３５’は、エアをガラス板３１の重心Ｇに対してＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側にずらせて吹付けるように構成されるとともに、エアをＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの交線の上方側に傾斜して吹き出すように構成されている。
【００３３】
上記構成によれば、実施の形態２のようにワーク規制台３２を傾斜させることなく、エア吹き出し孔３５’からエアを、ガラス板３１の重心Ｇに対してＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側に吹き付け、かつエアの吹き出し方向がＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの交線の上方側に傾斜されるので、ガラス板３１のＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側（隅側）が上位となるように僅かに傾斜されて浮上され、さらにエアの水平面上の分力を利用してガラス板３１が空中をＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側にスライドされＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙにそれぞれ当接されてガラス板３１を高精度で位置決めすることができる。
【００３４】
［変形例２］
変形例２は変形例１において、エア吹き出し孔３５をエアの噴出し方向を傾斜させず、ガラス板３１の重心Ｇに対してＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側となるＦの範囲となるように構成したものである。
【００３５】
すなわち、図７に示すように、浮上状態のガラス板３１をＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側にスライドさせる手段をエアを、ガラス板３１の重心Ｇに対してＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側に吹き付けるように、エア吹き出し孔３５の位置を設定したものである。
【００３６】
上記構成によれば、エア吹き出し孔３５からエアを、ガラス板３１の重心Ｇに対してＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側に吹き付け、ガラス板３１のＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側（隅側）が上位となるように僅かに傾斜されて浮上される。これにより、ガラス板３１の自重で傾斜方向下位となるＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側に空中をスライドされ、Ｘ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙにそれぞれ当接されることで、ガラス板３１を高精度で位置決めすることができる。
【００３７】
［変形例３］
変形例３は、変形例２において、浮上状態のガラス板３１をＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側にスライドさせる手段は、エアの吹き出し方向がＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの交線の上方側に傾斜するように設定されたエア吹き出し孔３５’により構成される。
【００３８】
上記構成によれば、エア吹き出し孔３５からエアを、Ｘ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの交線の上方側に傾斜させるので、ガラス板３１は、浮上されるとともにエアの水平面上の分力により、ガラス板３１が空中をＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙ側にスライドされ、Ｘ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙにそれぞれ当接されてガラス板３１を高精度で位置決めすることができる。
【００３９】
［実施の形態２］
実施の形態１では、ポケット３４の底面３４ａにエア吹き出し孔３５と真空吸着孔３６とをそれぞれ形成したが、図９のポケットの断面図に示すように、ポケット３４の底面３４ａにエア吹き出しおよび真空吸着兼用のエア給排出孔５１を設けたものである。なお、同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
【００４０】
すなわち、このエア給排出孔５１に給排出配管５２が接続され、電磁切換弁５３を介してエア供給管５４からエアポンプに接続されるとともに、前記電磁切換弁５３を介して真空配管５５から真空ポンプにそれぞれ接続されている。また前記給排出配管５２には流量調整弁５６が介在される。
【００４１】
ここでエア給排出孔５１は、エアをガラス板３１の重心Ｇに対してＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの反対側のＦの範囲にずらせて吹付けるように構成されるとともに、エアをＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙの交線３４ｚに沿うＺ軸の上方側に傾斜して吹き出すように構成されている。
【００４２】
上記実施の形態２によれば、実施の形態１の作用効果に加えて、ポケット３４に開口する孔を少なくできて製造コストを低減することができる。
なお、上記実施の形態１の変形例３以外は、それぞれポケット３４の底面３４ａにエア吹き出し孔３５と真空吸着孔３６とをそれぞれ１個ずつ、または兼用で１個を設けたが、それぞれ複数個であってもよく、多数の微細孔を形成することもできる。
【００４３】
また、ポケット３４内で位置決めするために、互いに直交して隣接するＸ，Ｙ軸基準面３４Ｘ，３４Ｙを設けたが、基準部はこれに限るものではなく、ガラス板３１が当接されて一定位置に一定姿勢で位置決めされるものであれば、ガラス板３１の形状などに対応して、複数の突起部やコーナー部、またはこれらと面との組合せなどのように任意に選択することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係るワークの位置決め装置の実施の形態１を示し、概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示すＡ部の拡大斜視図である。
【図３】同ポケットの拡大平面図である。
【図４】図３に示すＢ−Ｂ断面図である。
【図５】（ａ）（ｂ）はそれぞれポケットの平面図を示し、（ａ）はガラス板の位置決め前の状態を示す平面図、（ｂ）はガラス板の位置決め後の状態を示す平面図である。
【図６】上記実施の形態１における変形例１を示すＢ−Ｂ断面図である。
【図７】上記実施の形態１における変形例２を示すＢ−Ｂ断面図である。
【図８】本発明に係るワークの位置決め装置の実施の形態２を示し、ポケットの構成図である。
【図９】同ポケットの断面図である。
【図１０】従来のワークの位置決め装置の概略構成を説明する斜視図である。
【図１１】図１０に示すＣ部拡大図である。
【図１２】同従来の位置決め装置により位置決めされたガラス板の問題点を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
３１    ガラス板（ワーク）
３２    ワーク規制台
３３    吸着コレット
３４    ポケット（収納部）
３４ａ  底面
３４Ｘ  Ｘ軸基準面（基準部）
３４Ｙ  Ｙ軸基準面（基準部）
３５    エア吹き出し孔
３６    真空吸着孔
３７    規制台傾斜装置
４０    コレット移動装置
４１    エア供給配管
４２    浮上用開閉弁
４３    流量調整弁
４４    吸着用開閉弁
４５    真空配管
Ｃ１〜Ｃ４  クリアランス
Ｇ    ガラス板重心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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