(57)【要約】【課題】  出力電流にノイズやビートがないＰＷＭ駆動アンプ、それを用いたステージ装置、及び露光装置を提供する【解決手段】  電源回路３０のクロック発生器ＣＬＫから出力されるクロック信号が、ドライバＤＲに入力され、この周波数に基づいて、ＦＥＴ１とＦＥＴを交互にオン／オフし、三相交流２００Ｖから直流電圧５６０Ｖを得る。Ｕ相回路４０、Ｖ相回路５０、Ｗ相回路６０は、前記クロック信号をＤ型フリップフロップＤＦＦで１／２分周した周波数に基づいて、電源回路の出力を各相の指令値に適合するように、出力を制御する。したがって、電源回路におけるクロック信号の周波数と、Ｕ相回路４０等において基準となるクロック信号の周波数との間に、比例関係があるため、互いの高調波の影響によって、電源を介するノイズやビートを抑制することができる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スイッチング素子と電荷蓄積手段とから成る昇圧回路を用いた電源と、前記電源の出力を外部から与えられる司令値に相当する値に変換する出力変換手段とから構成されるモータ駆動用のＰＷＭ駆動アンプにおいて、
前記電源回路において前記昇圧回路を駆動するクロック信号の周波数と、前記出力変換手段において前記電源の出力を外部から与えられる司令値に応じた値に変換する際に基準となるクロック信号の周波数との間に、比例関係を与える周波数変換手段を備えたことを特徴とするＰＷＭ駆動アンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のＰＷＭ駆動アンプにおいて、
前記周波数変換手段は、前記昇圧回路を駆動するクロック信号を分周する分周回路であることを特徴とするＰＷＭ駆動アンプ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のＰＷＭ駆動アンプにおいて、
前記昇圧回路を構成する電荷蓄積手段は、電荷を蓄積する第１蓄積部と、前記第１蓄積部から転送された電荷を蓄積する第２蓄積部とから構成され、
前記第１蓄積部と前記第２蓄積部は、各々複数のコンデンサから構成されていることを特徴とするＰＷＭ駆動アンプ。
【請求項４】
モータでステージを駆動するステージ装置において、
請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載のＰＷＭ駆動アンプを前記モータ駆動用のアンプとして備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項５】
請求項４に記載のステージ装置を備えたことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は露光装置のステージ用モータを駆動するＰＷＭ駆動アンプに関するものであり、特にＰＷＭ駆動アンプの出力電流に含まれるノイズを低減するのに好適なＰＷＭ駆動アンプ、それを用いたステージ装置及び露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術において、露光装置のステージ用モータを駆動するＰＷＭ駆動アンプは、スイッチングレギュレータを用いたものを使用している。しかし、スイッチングレギュレータをステージ用モータの電源に用いて高電力を発生可能にすると、電源の形状と重量がともに増大し、高価格化する。例えば、スイッチングレギュレータを用いた電源としては、電源の出力が１．５ＫＷ程度であっても、質量（重量）が６Ｋｇであると記載されている（非特許文献１参照）。
【０００３】
また、最近の露光装置には、高い露光精度と共に、高いスループットが要求されている。そのため、露光装置のステージは、高速かつ正確に走行する必要がある。したがって、ステージを移動させる三相リニアモータの出力は増大し、電源に対する要求が大変厳しいものになっている。
さらに、ステージ用モータを駆動するＰＷＭ駆動アンプは、高出力になると出力電流にノイズを多く含む。特に、スイッチングレギュレータにおけるスイッチング周波数とＰＷＭ駆動アンプのクロック周波数とが相違すると、互いの高調波の影響によって、電源を介してビートを生じ、三相リニアモータの駆動状態の安定性を乱し、ステージの移動精度に影響を与える。
【非特許文献１】ティーディーケイ株式会社ホームページ（http://www.tdk.co.jp/tjfx01/ja111_rkw.pdfの33、34頁：平成16年 8月9日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記したように、ＰＷＭ駆動アンプは、電源を介してビートを生じ、ノイズを含むため、三相リニアモータの駆動を乱し、ステージ移動の精度に影響を与えるという問題点がある。
本発明は、前記した従来技術に鑑み成されたもので、出力電流にノイズがないＰＷＭ駆動アンプ、それを用いたステージ装置、及び露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の発明は、スイッチング素子と電荷蓄積手段とから成る昇圧回路を用いた電源と、前記電源の出力を外部から与えられる司令値に相当する値に変換する出力変換手段とから構成されるモータ駆動用のＰＷＭ駆動アンプにおいて、前記電源回路において前記昇圧回路を駆動するクロック信号の周波数と、前記出力変換手段において前記電源の出力を外部から与えられる司令値に応じた値に変換する際に基準となるクロック信号の周波数との間に、比例関係を与える周波数変換手段を備えたことを特徴とする。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のＰＷＭ駆動アンプにおいて、前記周波数変換手段は、前記昇圧回路を駆動するクロック信号を分周する分周回路であることを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のＰＷＭ駆動アンプにおいて、前記昇圧回路を構成する電荷蓄積手段は、電荷を蓄積する第１蓄積部と、前記第１蓄積部から転送された電荷を蓄積する第２蓄積部とから構成され、前記第１蓄積部と前記第２蓄積部は、各々複数のコンデンサから構成されていることを特徴とする。
【０００７】
請求項４に記載の発明は、モータでステージを駆動するステージ装置において、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載のＰＷＭ駆動アンプを前記モータ駆動用のアンプとして備えたことを特徴とする。
請求項５に記載の発明は、露光装置であって、請求項４に記載のステージ装置を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、電源回路におけるクロック信号の周波数と、前記出力変換回路における基準となるクロック信号の周波数との間に、比例関係があるため、互いの高調波の影響によって、電源を介するビートが発生しない。したがって、ＰＷＭ駆動アンプの出力に含まれるノイズが低減してステージの移動精度が向上し、露光装置における露光精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。
この実施形態では、ＰＷＭ駆動アンプの電源として，三相交流２００Ｖを整流し（約２６０Ｖ）、その後、昇圧回路を用いて直流電圧（約５８０Ｖ）を得る方式の電源を例にして説明する。
まず、ＰＷＭ駆動アンプについて説明する前に、ＰＷＭ駆動アンプを組み込んだステージ装置及び露光装置の全体構成について説明する。
【００１０】
図１は、本発明のＰＷＭ駆動アンプによって動作するモータを複数備えたステージ装置、及び露光装置である。また、図２は、ＰＷＭ駆動アンプの回路図である。
以下の説明では、モータの例として三相モータを挙げるが、本発明はこれに限定されるものではない。また、この実施形態は、特許請求の範囲に記載する全ての請求項に対応する。
【００１１】
図１はステージ装置を備えた露光装置の概略構成を示す図であり、具体的にはレチクルのパターンの縮小像をウエハの各ショット領域に露光するステッパー型（ステップアンドリピート型）の露光装置である。
なお、この実施の形態の説明ではレチクルという用語を使用するが、本明細書では、レチクルもマスクもウエハ上に投影すべきパターンが形成されたものとして同義のものとして扱う。
【００１２】
図１において、照明光学系１からの露光光ＩＬが、ダイクロイックミラー２により反射されてレチクルＲのパターン領域を照明する。ダイクロイックミラー２により反射された後の露光光ＩＬの光軸に平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な２次元平面内で、図１の紙面に平行な方向にＸ軸、図１の紙面に垂直な方向にＹ軸を取る。
レチクルＲは、レチクル側Ｙステージ３Ｙ及びレチクル側Ｘステージ３Ｘを介して、レチクルベース４上に搭載される。レチクル側Ｘステージ３Ｘは、レチクルベース４に対して、固定子５Ａ及び可動子５Ｂからなるリニアモータ（以下、「リニアモータ５」と呼ぶ）によりＸ方向に駆動される。レチクル側Ｙステージ３Ｙは、レチクル側Ｘステージ３Ｘに対して、不図示のリニアモータによりＹ方向に駆動される。
【００１３】
また、レチクル側Ｙステージ３Ｙ上に、Ｘ軸用の移動鏡６Ｘ及び不図示のＹ軸用の移動鏡が固定されている。移動鏡６Ｘ、及び外部に設置されたＸ軸用のレチクル側のレーザ干渉計（以下、「レチクル干渉計」という）７Ｘにより、レチクル側Ｘステージ３ＸのＸ座標ＸＲが計測される。不図示のＹ軸用の移動鏡、及びＹ軸用のレチクル干渉計７Ｙにより、レチクル側Ｙステージ３ＹのＹ座標ＹＲが計測される。計測されたＸ座標ＸＲ及びＹ座標ＹＲは、装置全体の動作を統括制御する中央制御系８に、コネクタ１７，１８を介して供給される。レチクル側Ｙステージ３Ｙ、レチクル側Ｘステージ３Ｘ、レチクルベース４、Ｘ軸用のリニアモータ５、及びＹ軸用のリニアモータからなるステージ系を、レチクルステージ装置３と呼ぶ。
【００１４】
露光光ＩＬのもとで、レチクルＲのパターンの像は、投影倍率β（βは例えば１／５）の投影光学系ＰＬを介して縮小されて、ウエハＷの各ショット領域に投影露光される。ウエハＷは、ウエハ側Ｙステージ１０Ｙ及びウエハ側Ｘステージ１０Ｘを介して、ウエハベース１１上に搭載されている。ウエハ側Ｘステージ１０Ｘは、ウエハベース１１に対して、固定子１２Ａ及び可動子１２Ｂからなるリニアモータ（以下、「リニアモータ１２」と呼ぶ）を介してＸ方向に駆動される。ウエハ側Ｙステージ１０Ｙは、ウエハ側Ｘステージ１０Ｘに対して、不図示のリニアモータによりＹ方向に駆動される。
【００１５】
また、ウエハ側Ｙステージ１０Ｙ上に、Ｘ軸用の移動鏡１３Ｘ及び不図示のＹ軸用の移動鏡が固定されている。移動鏡１３Ｘ、及び外部に設置されたＸ軸用のウエハ側のレーザ干渉計（以下、「ウエハ干渉計」という）１４Ｘにより、ウエハ側Ｘステージ１０ＸのＸ座標ＸＷが計測される。不図示のＹ軸用の移動鏡、及びＹ軸用のウエハ干渉計１４Ｙにより、ウエハ側Ｙステージ１０ＹのＹ座標ＹＷが計測される。計測されたＸ座標ＸＷ及びＹ座標ＹＷは、中央制御系８にコネクタ１９，２０を介して供給される。ウエハ側Ｙステージ１０Ｙ、ウエハ側Ｘステージ１０Ｘ、ウエハベース１１、Ｘ軸用のリニアモータ１２、及びＹ軸用のリニアモータ、並びにウエハＷのＺ方向への位置及び傾斜角を制御するＺレベリングステージ（図示せず）からなるステージ系を、ウエハステージ装置１０と呼ぶ。
【００１６】
この実施の形態では、リニアモータとして三相リニアモータを使用する。例えばリニアモータ１２を例に説明する。リニアモータ１２は、固定子１２Ａと可動子１２Ｂとで構成され、固定子１２Ａは三相の電機子巻線（図示せず）からなり、可動子１２Ｂはウエハ側Ｘステージ１０Ｘの側面に極性が順次反転してＸ方向に並べて固定された４個の永久磁石（図示せず）からなる。すなわち、リニアモータ１２は、ムービング・マグネット型のリニア同期モータである。なお、可動子側の電機子巻線を収納したムービング・コイル型のリニアモータを使用してもよい。
【００１７】
中央制御系８は、レチクルステージ駆動系１５を介してレチクル側のＸ軸用のリニアモータ５及びＹ軸用のリニアモータの動作を制御して、レチクルＲの位置決めを行うとともに、ウエハステージ駆動系１６を介してウエハ側のＸ軸用のリニアモータ１２及びＹ軸用のリニアモータの動作を制御して、ウエハＷの位置決めを行う。このような制御により、レチクルＲのパターンは、ウエハＷの各ショット領域に縮小されて露光される。
【００１８】
なお、上述のリニアモータにおいて、露光装置及びステージ装置は処理能力を向上させるために移動速度の高速化が求められており、それに応じるために、各リニアモータに供給される電圧も高くなっている。そのため、高電圧で駆動するアンプや電源が要求される。
そこで、レチクルステージ駆動系１５及びウエハステージ駆動系１６は、単電源を駆動電源として各リニアモータをそれぞれ駆動する高電圧な電力を供給可能なＰＷＭ駆動アンプを搭載する。次に、そのＰＷＭ駆動アンプについて説明する。
【００１９】
図２は、ＰＷＭ駆動アンプの一実施形態を示す回路図である。
図２に示すように、ＰＷＭ駆動アンプは、電源回路３０とＵ相回路４０とＶ相回路５０とＷ相回路６０とから構成されている。ここで、Ｕ相回路４０とＶ相回路５０とＷ相回路６０は同一構成であるので、各回路４０、５０、６０の共通の同一構成要素には同一符号を付している。
【００２０】
電源回路３０は、ヒューズＦＵ１〜ＦＵ３と、ダイオードＤ１〜Ｄ６から成る三相全波整流回路と、力率改善用のコイルＬ１と、平滑用のコンデンサＣ１と、サイリスタＳａと抵抗Ｒａからなる突入電流防止回路と、クロック発生器ＣＬＫと、電界効果型トランジスタＦＥＴ１、ＦＥＴ２（以下、単にＦＥＴ１とＦＥＴ２と称する）を交互にオン／オフさせるドライバＤＲと、コンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６、Ｃ７とダイオードＤ７、Ｄ８とから構成されている。
【００２１】
なお、請求項に記載する昇圧回路は、クロック発生器ＣＬＫと、ＦＥＴ１、ＦＥＴ２と、コンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６、Ｃ７等が相当する。また、請求項に記載する出力変換手段は、Ｕ相回路４０とＶ相回路５０とＷ相回路６０が相当する。また、請求項に記載する第１蓄積部はコンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４が相当し、第２蓄積部はコンデンサＣ５、Ｃ６、Ｃ７が相当する。
【００２２】
図２に示す電源回路３０の動作を図３に示す波形図を用いて説明する。
ヒューズＦＵ１〜ＦＵ３を介して入力された商用２００Ｖの三相交流は、ダイオードＤ１〜Ｄ６から成る三相全波整流回路によって整流され、その後、コイルＬ１によって力率が改善され、コンデンサＣ１において平滑化される。
突入電流防止回路は、図２に示す電源回路３０が始動するとき、コンデンサＣ１〜Ｃ７に充電するための突入電源が流れ、各素子が破壊されるのを防止するものである。すなわち、始動後の所定時間はサイリスタＳａが非導通状態になり、抵抗Ｒａに電流が流れて、始動時の突入電流を制限する。前記所定期間が経過した後は、サイリスタＳａに図示しない制御回路からトリガ信号が入力され、サイリスタＳａが導通状態になる。これによって、抵抗Ｒａに電流が流れなくなり、電源回路３０は通常の動作に移行する。
【００２３】
図２に示す電源回路３０が始動されると、コンデンサＣ１の両端に直流２８０Ｖの電圧が発生し、図２に示す点Ａの電圧が約２８０Ｖになる。
クロック発生器ＣＬＫは、４０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚの高周波のクロック信号を出力し、ドライバＤＲに出力する。図３（ａ）は、クロック発生器ＣＬＫから出力されるクロック信号の一例を示す図である。
【００２４】
図２に示すドライバＤＲは、クロック発生器ＣＬＫから出力される前記クロック信号を受けて、ＦＥＴ１、ＦＥＴ２を交互にオン／オフさせる。図３（ｂ）は、ＦＥＴ１、ＦＥＴ２の出力（点Ｂ：図２参照）の電位変化を示す図である。点Ｂの電位は、ＦＥＴ２がオン（ＦＥＴ１がオフ）のときほぼ０Ｖになり、ＦＥＴ１がオン（ＦＥＴ２がオフ）のとき２８０Ｖになる。
【００２５】
すなわち、ＦＥＴ２がオン（ＦＥＴ１がオフ）されたタイミングでは、Ｂ点の電圧（コンデンサＣ１の２８０Ｖの電圧）に基づいて、ダイオードＤ７→コンデンサＣ５、Ｃ６、Ｃ７→ＦＥＴ２の経路で電流が流れ、コンデンサＣ５、Ｃ６、Ｃ７に電荷が蓄積される。
逆に、ＦＥＴ１がオン（ＦＥＴ２がオフ）されたタイミングでは、コンデンサＣ５、Ｃ６、Ｃ７に蓄積された電荷が、コンデンサＣ５、Ｃ６、Ｃ７→ダイオードＤ８→コンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４の経路でコンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４に蓄積される。したがって、ＦＥＴ１とＦＥＴ２がオン／オフを繰り返す毎に、コンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４の両端の電圧は上昇する。
【００２６】
図３（ｃ）は、コンデンサＣ５、Ｃ６、Ｃ７に電荷が蓄積され、蓄積された電荷がコンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４に転送されることによって、電源回路３０の出力電圧が上昇して行く過程を示す図である。
図示するように、図２の点Ａの電圧は約２８０Ｖであり、この２８０ＶにコンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４の両端の電圧が加わるため、電源回路３０の出力電圧は最終的には２８０Ｖの２倍、すなわち約５６０Ｖまで上昇する。したがって、高電圧・高電流の電源を得ることができる。
【００２７】
ここで、前記したように、クロック発生器ＣＬＫは、高周波（４０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚ）のクロック信号を出力するため、図３（ｃ）に示す出力電圧の上昇は短時間で生じる。
同様に、クロック発生器ＣＬＫが高周波（４０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚ）のクロック信号を出力するため、コンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６、Ｃ７は容量の小さいもので足りる。
【００２８】
本実施形態によれば、ＦＥＴ１とＦＥＴ２を高い周波数でオン／オフするので、コンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６、Ｃ７の容量が小さくて済み、高出力な電源回路３０であっても、小型で安価なものを提供できる。
なお、電源回路３０の出力電圧は図３（ｃ）に示すように、クロック信号の１サイクルにおいて、前半部分では傾きを持って上昇し、後半部分では傾きを持って下降する。前半部分において傾きを持って上昇するのは、ＦＥＴ１の抵抗成分等の影響によるものである。また、後半部分において傾きを持って下降するのは、電源回路３０に接続された負荷の影響等によるものである。
【００２９】
なお、図２において、力率改善用のコイルＬ１は、力率を改善する上で設けることが好ましいが、必ずしも設ける必要はない。
また、図２に示す実施形態では、商用の三相交流電源を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、単相の交流電源を用いることも可能である。
すなわち、図２に示す電源回路３０によれば、全波整流回路により三相２００Ｖの交流電源が全波整流され、コイルＬ１を介して力率が改善され、平滑コンデンサＣ１により平滑され、出力端子間に高電圧・高電流を出力することが可能な電源装置を得ることができる。
【００３０】
また、昇圧用のコンデンサを並列に複数設けたので、コンデンサ１個当たりの容量が小さくて済み、回路設計上、コンデンサによる発熱を効率よく放熱することが可能になる。すなわち、コンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６、Ｃ７には大電流が流れるため、高耐圧のアルミ電解コンデンサが用いられる。アルミ電解コンデンサには大電流が流れ発熱量も多いため、冷却が必要になる。複数のコンデンサに分割することにより、スペースの関係から空冷しやすくなるという利点がある。また、１個のコンデンサが壊れても、他のコンデンサが肩代わりしてくれるという利点がある。
【００３１】
なお、言うまでもなく、コンデンサＣ２、Ｃ３、Ｃ４を一つのコンデンサで構成してもよく、コンデンサＣ５、Ｃ６、Ｃ７を一つのコンデンサで構成してもよい。すなわち、並列に接続されるコンデンサの数は任意でよい。
次に、図２に示すＵ相回路４０とＶ相回路５０とＷ相回路６０について説明する。前記したように、Ｕ相回路４０とＶ相回路５０とＷ相回路６０は、同一構成を有しているので、Ｕ相回路４０について説明し、Ｖ相回路５０とＷ相回路６０の説明は省略する。
【００３２】
図２に示すように、クロック発生器ＣＬＫが出力する高周波（４０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚ）のクロック信号はＤ型フリップフロップＤＦＦに入力され、Ｄ型フリップフロップＤＦＦは前記クロック信号を１／２分周してデューティが５０パーセントの矩形波に変換する。ここで、請求項に記載する分周回路は、Ｄ型フリップフロップＤＦＦが相当する。
Ｕ相回路４０は、コンデンサＣ８、Ｃ９、Ｃ１０と、抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４と、オペアンプＯＰ１、ＯＰ２と、コンパレータＣＰ１と、インバータＩＮＶと、レベルシフト回路ＬＳと、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタＩＧＢＴ１，ＩＧＢＴ２（以下、単にＩＧＢＴ１，ＩＧＢＴ２と称する）とから構成されている。
【００３３】
Ｄ型フリップフロップＤＦＦから出力される矩形波は、コンデンサＣ８において直流成分がカットされ、抵抗Ｒ１、Ｒ２とコンデンサＣ９とオペアンプＯＰ２とから構成される三角波形成回路に入力される。ここで、抵抗Ｒ１とコンデンサＣ９は、積分時定数を定める役割を有している。また、抵抗Ｒ２は直流電圧を維持するための抵抗である。これによって、オペアンプＯＰ２の出力は、クロック発生器ＣＬＫが出力するクロック信号の１／２の周波数の三角波となる。ここで、オペアンプＯＰ２の他方の入力（図２に矢印で示す）は、グランド電位である。なお、この矢印の意味は、この明細書において共通である。
【００３４】
三角波形成回路から出力された三角波は、コンパレータＣＰ１の一方の端子に入力される。
コンパレータＣＰ１の他方の端子には、抵抗Ｒ３、Ｒ４とコンデンサＣ１０とオペアンプＯＰ１から構成される差分増幅器の出力が入力されている。差分増幅器は、Ｕ相指令電圧と電流検出器ＣＳが検出した出力電流とを比較し、その差分を増幅して出力するものである。これにより、コンパレータＣＰ１は、Ｕ相指令電圧が指示している出力電流と実際の出力電流の差を求め、この差を矩形波の幅に変換して出力する。
【００３５】
コンパレータＣＰ１の出力は、レベルシフト回路ＬＳとインバータＩＮＶとに入力される。
レベルシフト回路ＬＳは、入力される前記矩形波をＩＧＢＴ１をオンする電圧レベルまで上昇させる回路である。また、インバータＩＮＶは、入力される前記矩形波を反転して出力する回路である。したがって、ＩＧＢＴ１とＩＧＢＴ２は、交互にオン／オフを繰り返す。このときの繰り返し周波数は、電源回路３０内のクロック発生器ＣＬＫが出力するクロック信号の周波数の１／２倍である。その理由は、Ｄ型フリップフロップＤＦＦが、クロック発生器ＣＬＫの出力したクロック信号を１／２に分周しているからである。そして、Ｕ相回路４０は、図示しないステージ用モータのＵ相コイルに、Ｕ相指令電圧が指示している出力電流を供給する。
【００３６】
同様に、Ｖ相回路５０は図示しないステージ用モータのＶ相コイルに出力電流を供給し、Ｗ相回路６０の出力はステージ用モータのＷ相コイルに出力電流を供給する。
以上の説明から明らかなように、この実施形態によれば、三相交流２００Ｖから直流電圧約５８０Ｖを発生させるクロック信号の周波数と、Ｕ相回路４０等から成るＰＷＭ駆動アンプのスイッチング周波数とが、整数倍の関係（１：２の関係）にあり、かつ同期しているため、ビートが発生しない。したがって、この実施形態によれば、出力電流のノイズを低減することができ、電源回路３０を介してビートやノイズが発生することを防止できる。また、同時に昇圧された高電力の電力をリニアモータに供給することができるので、その結果、高速かつ高精度でステージを移動することが可能になる。
【００３７】
また、前記した実施形態では、電源回路３０のＦＥＴ１とＦＥＴ２をオン／オフする周波数と、Ｕ相回路４０とＶ相回路５０とＷ相回路６０とにおいてＩＧＢＴ１とＩＧＢＴ２をオン／オフする周波数とが、２倍の関係になるように設定した。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、３倍、４倍、等倍、１／２倍等でもよく、両者に同期した関係があればよい。これによって、電源回路３０と、Ｕ相回路４０、Ｖ相回路５０及びＷ相回路６０との間で、高調波によるノイズ及びビートが低減されるからである。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、ＰＷＭ駆動アンプ、ステージ装置、露光装置等の各分野で、産業上大いに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明のＰＷＭ駆動アンプによって動作するモータを複数備えたステージ装置及び露光装置である。
【図２】ＰＷＭ駆動アンプの一実施形態を示す回路図である。
【図３】図２に示すＰＷＭ駆動アンプの動作を説明するための波形図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  照明光学系
２  ダイクロイックミラー
３  レチクルステージ装置
３Ｘ  レチクル側Ｘステージ
３Ｙ  レチクル側Ｙステージ
４  レチクルベース
５  リニアモータ（Ｘ軸用）
５Ａ  固定子
５Ｂ  可動子
６Ｘ  移動鏡
７Ｘ、７Ｙ  レチクル干渉計
８  中央制御系
１０  ウエハステージ装置
１０Ｘ  ウエハ側Ｘステージ
１０Ｙ  ウエハ側Ｙステージ
１１  ウエハベース
１２  リニアモータ（Ｘ軸用）
１２Ａ  固定子
１２Ｂ  可動子
１３Ｘ  移動鏡
１４Ｘ  ウエハ干渉計
１４Ｙ  ウエハ干渉計
１５  レチクルステージ駆動系
１６  ウエハステージ駆動系
１７〜２０  コネクタ
３０  電源回路
４０  Ｕ相回路
５０  Ｖ相回路
６０  Ｗ相回路
ＣＬＫ  クロック発生器
Ｃ１〜Ｃ１０  コンデンサ
ＣＰ１  コンパレータ
ＤＲ  ドライバ
Ｄ１〜Ｄ８  ダイオード
ＤＦＦ  Ｄ型フリップフロップ
ＦＥＴ１、ＦＥＴ２  電界効果型トランジスタ
ＦＵ１〜ＦＵ３  ヒューズ
ＩＮＶ  インバータ
ＩＧＢＴ１、ＩＧＢＴ２  絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ
Ｌ１  コイル
ＬＳ  レベルシフト回路
ＯＰ１、ＯＰ２  オペアンプ
Ｒａ、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４  抵抗
Ｒ  レチクル
Ｓａ  サイリスタ
Ｗ  ウエハ
【図１】
2006087201.tif 000003
【図２】
2006087201.tif 000004
【図３】
2006087201.tif 000005