(57)【要約】【課題】  液滴におけるスペーサ粒子の分散安定性を向上させ、基板表面に吐出して付着させた液滴の乾燥後に、スペーサ粒子の周囲に発生するシミを防止する。【解決手段】  スペーサ粒子と分散媒とを含む分散液を用いてインクジェット法によって基板上に前記スペーサ粒子を配置させるための分散液を提供する。分散媒が、エチレングリコール９５〜７４重量部と水５〜２６重量部（エチレングリコールと水との合計量を１００重量部とする）との混合物を含むことを特徴とする。【選択図】        図１
2006113331.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スペーサ粒子と分散媒とを含む分散液を用いてインクジェット法によって基板上に前記スペーサ粒子を配置させるための分散液であって、
前記分散媒が、エチレングリコール９５〜７４重量部と水５〜２６重量部（エチレングリコールと水との合計量を１００重量部とする）との混合物を含むことを特徴とする、スペーサ形成用分散液。
【請求項２】
スペーサ粒子と分散媒とを含む分散液を用いてインクジェット法によって基板上に前記分散液を塗布し、前記分散媒を乾燥させることによって前記スペーサ粒子を前記基板上に配置させる方法であって、
前記分散媒が、エチレングリコール９５〜７４重量部と水５〜２６重量部（エチレングリコールと水との合計量を１００重量部とする）との混合物を含むことを特徴とする、スペーサの形成方法。
【請求項３】
スペーサ粒子と分散媒とを含む分散液を用いてインクジェット法によって液晶表示素子用基板上に前記分散液を塗布し、前記分散媒を乾燥させることによって前記スペーサ粒子を前記基板上に配置させる方法であって、
前記分散媒が、エチレングリコール９５〜７４重量部と水５〜２６重量部（エチレングリコールと水との合計量を１００重量部とする）との混合物を含むことを特徴とする、液晶表示素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スペーサ形成用分散液、スペーサの形成方法および液晶表示素子の製造方法に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
対向面に透明電極が被着形成された透光性電極基板間の間隙部に、スペーサ及び液晶を介在させた液晶表示素子において、スペーサをインクジェットプリント装置を用いて電極基板上に分散配置することが知られている。たとえば特許文献１によれば、インクジェット装置を用いて基板上にスペーサ粒子を吐出するのに際して、沸点１００℃以上かつ表面張力３５〜５０ｄｙｎ／ｃｍの溶媒とスペーサ粒子とを混合してインクとし、基板を６０℃以上の温度に加熱しながらこのインクを基板上に吐出し、スペーサ粒子を散布している。
【特許文献１】特開平11-281985号公報
【０００３】
また、特許文献２によれば、インクジェット装置を用いて基板上にスペーサ粒子を吐出するのに際して、表面張力２５〜４５ｍＮ／ｍの溶媒とスペーサ粒子とを混合してインクとし、このインクを基板上に吐出し、スペーサ粒子を散布している。
【特許文献２】特開2003-295198号公報
【０００４】
また、特許文献３によれば、インクジェット装置を用いて基板上にスペーサ粒子を吐出するのに際して、スペーサ粒子の帯電保持率を規定し、溶媒の表面張力を２０〜６０ｍＮ／ｍとし、また、スペーサ粒子の帯電保持率を規定し、溶媒の溶解度パラメータを２０〜３０（Ｊ／ｃｍ３）１／２に規定している。
【特許文献３】特開2003-302643号公報
【０００５】
特許文献４によれば，粒子と溶媒の比重比を規定し、且つ溶媒の粘度が１〜３０ｍＰａ・ｓまたは、粒子と溶媒の比重比を規定し、かつ溶媒の表面張力を２０〜６０ｍＮ／ｍと規定することが記載されている。
【特許文献４】特開2004-13116号公報
【０００６】
特許文献５、６によれば、インクジェット装置を用いて基板上にスペーサ粒子を吐出するのに際して、溶媒の沸点を１５０〜２５０℃且つ溶媒の粘度を１０〜４０ｍＰａ・ｓとすることが記載されている。
【特許文献５】特開2004-94193号公報
【特許文献６】特開2004-94194号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１記載の発明は、スペーサを吐出する際に、６０℃以上に基板を加熱しておく必要があり、複雑な設備を必要とするため、現実的ではない。また、インクは基本的には水をベースとすることが好ましいと記載されており、すなわち水と有機溶媒との重量比率は、水／有機溶媒＝９５／５：５０／５０程度の範囲内で考慮して実験的に定めるべきことが記載されている（００４０）。
【０００８】
しかし、本発明者が検討を加えたところ、このような水−親水性有機溶媒の混合溶媒を使用すると、溶媒を乾燥した後に基板表面にシミが発生することが判明した。例えば、図１の電子顕微鏡写真は、基板を乾燥した後の基板の表面状態を示すものである。各液滴において、乾燥後にスペーサの周囲に円形のシミが残留し、白く光っているのがわかる。これを拡大すると、図２に示すように、スペーサ粒子１の周囲に円形のシミ２が残留していた。このシミ２の外形輪郭は、基板上に吐出されて付着した液滴の外形輪郭とほぼ一致している。このようなシミが基板表面に発生すると、表示ムラの原因となる。
【０００９】
特許文献２に記載された発明の実施例は、すべてＩＰＡのような沸点が低く乾燥速度が早い溶剤を使用している。しかし、乾燥が速いと高い位置精度が得られない。
【００１０】
特許文献３のたとえば実施例２では、分散媒としてエチレングリコールを使用している。しかし、これではインクの粘度が高くなり、ノズル部の流動抵抗が大きくなり、液滴の吐出量が少なくなる。一般に、粘度の高い液体は温度変化に対応して粘度が大きく変わるので、特に周囲温度が変化したときに液滴の吐出状態が変化し、所望のスペーサを形成することが難しくなった。例えば、基板上に液滴を吐出したときに、液滴中にスペーサ粒子が見いだされず、乾燥後にスペーサが形成されないことが多くなり、スペーサを所望位置に配置することができなくなった。
【００１１】
本発明の課題は、液滴におけるスペーサ粒子の分散安定性を向上させ、スペーサ粒子の散布時の位置精度を向上させることである。
また、本発明の課題は、基板表面に吐出して付着させた液滴の乾燥後に、スペーサ粒子の周囲に発生するシミを防止することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、スペーサ粒子と分散媒とを含む分散液を用いてインクジェット法によって基板上にスペーサ粒子を配置させるための分散液であって、分散媒が、エチレングリコール９５〜７４重量部と水５〜２６重量部（エチレングリコールと水との合計量を１００重量部とする）との混合物を含むことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、スペーサ粒子と分散媒とを含む分散液を用いてインクジェット法によって基板上に分散液を塗布し、分散媒を乾燥させることによってスペーサ粒子を基板上に配置させる方法であって、分散媒が、エチレングリコール９５〜７４重量部と水５〜２６重量部（エチレングリコールと水との合計量を１００重量部とする）との混合物を含むことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、スペーサ粒子と分散媒とを含む分散液を用いてインクジェット法によって液晶表示素子用基板上に分散液を塗布し、分散媒を乾燥させることによってスペーサ粒子を基板上に配置させるのに際して、分散媒が、エチレングリコール９５〜７４重量部と水５〜２６重量部（エチレングリコールと水との合計量を１００重量部とする）との混合物を含むことを特徴とする、液晶表示素子の製造方法に係るものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明者は、スペーサ粒子を分散液中に分散させたインクをインクジェット法によって基板上に吐出し、分散液を乾燥させてスペーサ粒子を基板上に配置するのに際して、例えばエチレングリコールを分散媒として用いると、スペーサ粒子が配置されない液滴が多数発生しやすいことを見いだした。この発見に基づき、エチレングリコールに水を混合することによって、吐出安定性を高め、スペーサ粒子が配置されない液滴の割合を低減可能なことを見いだした。
【００１６】
しかし、本発明者がさらに検討を進めると、エチレングリコールに水を混合すると、基板上にシミが発生しやすいことを発見した。この理由は明らかではないが、基板乾燥時の分散液の乾燥、蒸発速度が早いことが関係しているものと思われた。このため、エチレングリコール−水混合溶媒中における水の割合を２６重量部以下まで低下させることによって、乾燥後の基板表面における液滴輪郭状のシミを防止できることを見いだし、本発明に到達した。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明においては、スペーサ粒子の分散液が、エチレングリコール９５〜７４重量部と水５〜２６重量部（エチレングリコールと水との合計量を１００重量部とする）との混合物を含む。この混合物の表面張力はほぼ４５ｍＮ／ｍ以上、６０ｍＮ／ｍ以下である。ここで、エチレングリコールの割合を９５重量部以下とすることによって、液滴の吐出安定性を高め、スペーサ粒子が配置されない液滴の割合を低減できる。この観点からは、エチレングリコールの割合を９０重量部以下とすることがさらに好ましい。なお、分散液中の水分量はカールフィッシャー法により測定する。
【００１８】
また、エチレングリコールの割合を７４重量部以上とすることによって、乾燥後の基板表面における液滴輪郭状のシミを防止できる。この観点からは、エチレングリコールの割合を８０重量部以上とすることがさらに好ましい。
【００１９】
本発明の分散液に含有される分散液は、実質的に水−エチレングリコールの混合物からなることが好ましいが、ほかの溶媒も本発明の効果を損なわない範囲内で含有されていてもよい。このような他の溶媒としては以下を例示できる。
エタノール、ｎ−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール、２−ブタノール、１−メトキシ−２−プロパノール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール等のモノアルコール類等が挙げられる。
また、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール等のエチレングリコールの多量体；これらのモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノイソプロピルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテル等の低級モノアルキルエーテル類；ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジプロピルエーテル等の低級ジアルキルエーテル類；モノアセテート、ジアセテート等のアルキルエステル類等が挙げられる。
また、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、テトラプロピレングリコール等のプロピレングリコールの多量体；もしくはこれらのモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノイソプロピルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテル等の低級モノアルキルエーテル類；ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジプロピルエーテル等の低級ジアルキルエーテル類；モノアセテート、ジアセテート等のアルキルエステル類等が挙げられる。
また、１，３−プロパンジオール、１，２−ブタンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、３−ヘキセン−２，５−ジオール、１，５−ペンタンジオール、２，４−ペンタンジオール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、２，５−ヘキサンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール等のジオール類、ジオール類のエーテル誘導体、ジオール類のアセテート誘導体、グリセリン、１，２，４−ブタントリオール、１，２，６−ヘキサントリオール、１，２，５−ペンタントリオール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、ペンタエリスリトール等の多価アルコール類もしくはそのエーテル誘導体、アセテート誘導体等が挙げられる。
更に、ジメチルスルホキシド、チオジグリコール、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジン、スルフォラン、ホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、アセトアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、α−テルピネオール、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、ビス−α−ヒドロキシエチルスルフォン、ビス−α−ヒドロキシエチルウレア、Ｎ，Ｎ−ジエチルエタノールアミン、アビエチノール、ジアセトンアルコール、尿素等が挙げられる。
こうした「他の溶媒」は、沸点が１００℃未満の液体を含まないことが好ましい。
【００２０】
また、このような他の溶媒は、分散液中に含有されている場合には、水−エチレングリコールの合計重量１００重量部にたいして３０重量部以下であることが好ましい。
【００２１】
次にスペーサ粒子について述べる。
スペーサ粒子の材質は特に限定されず、例えば、樹脂、有機物、無機物、これらの化合物や混合物等が挙げられる。上記樹脂としては特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール等の線状又は架橋高分子重合体；エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジビニルベンゼン重合体、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体、ジビニルベンゼン−アクリル酸エステル共重合体、ジアリルフタレート重合体、トリアリルイソシアヌレート重合体等の架橋構造を有する樹脂等が挙げられる。また、無機物としてはシリカ等があげられる。
【００２２】
また、スペーサ粒子の被覆物質としては特に限定されず、例えば、樹脂、低融点金属等が挙げられる。被覆樹脂としては特に限定されず、例えば、ポリエチレン、エチレン／酢酸ビニル共重合体、エチレン／アクリル酸エステル共重合体等のポリオレフィン類；ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリエチル（メタ）アクリレート、ポリブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート重合体又は共重合体；ポリスチレン、スチレン／アクリル酸エステル共重合体、ＳＢ型スチレン／ブタジエンブロック共重合体、ＳＢＳ型スチレン／ブタジエンブロック共重合体、これらの水添加物等のブロックポリマー；ビニル系重合体又は共重合体等の熱可塑性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂等の熱硬化性樹脂、これらの混合物等が挙げられるが、単に物理的に接着しているのではなく、化学的に結合しているのが好ましい。
【００２３】
好適な実施形態においては、スペーサ粒子において、粒子表面と、付着層を構成する重合体とを共有結合によって結合せしめる。その方法としてはグラフト重合法、および高分子反応法を例示できる。グラフト重合法においては、粒子表面に重合可能なビニル基を導入し、該ビニル基を出発点として上記単量体を重合する方法、粒子表面に重合開始剤を導入し、該開始剤により上記単量体を重合する方法の二つが考えられる。
【００２４】
本発明のスペーサ分散液中におけるスペーサの固形分濃度は、特に限定されないが、例えば分散液全体の０．０５〜５重量％であることが好ましく、０．１〜２重量％であることがさらに好ましい。
【００２５】
スペーサ分散液中におけるスペーサ粒子の固形分濃度が０．０５重量％未満であると、吐出されたスペーサ分散液の液滴中にスペーサ粒子が含まれなくなり易い。スペーサ分散液中におけるスペーサ粒子の固形分濃度が５重量％を超えると、インクジェット装置のノズルが閉塞しやすくなったり、吐出されたスペーサ分散液やインクジェットインクの液滴中のスペーサの含有量が過剰となり易く、スペーサ粒子の位置精度が低下する傾向がある。
【００２６】
本発明のスペーサ分散液においては、スペーサ粒子が分散媒中に単粒子状に分散していることが好ましい。
本発明のスペーサ分散液には、その効果を阻害しない範囲で、各種添加剤、例えば、粘接着性付与剤、粘性調整剤、ｐＨ調整剤、界面活性剤、消泡剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、着色剤が添加されていても良い。
【００２７】
例えば粘接着性付与剤として、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、活性エネルギー線硬化性樹脂などを例示できる。
【００２８】
本発明のスペーサ分散液をインクジェット方式によって基板上に吐出する。
インクジェット方式は、インクとして用いるスペーサー分散液の液滴生成原理による定着方法であり、連続ジェット方式とドロップ・オン・デマンド方式の２方式に分類されるがいずれも本発明において使用できる。
【００２９】
連続ジェット方式は、液滴を連続して生成させ、記録信号に応じて液滴を選択して記録を行う方式である。連続ジェット方式には、Ｓｗｅｅｔ型、マイクロドット型、Ｈｅｒｚ型、ＩＲＩＳ型などがあるが、いずれも本発明で使用できる。
【００３０】
ドロップ・オン・デマンド方式は、記録信号に応じてスペーサー分散液を噴出させる方式である。ドロップ・オン・デマンド方式には、圧力パルス方式、サーマルジェット方式、ＥＲＦ方式などがあるが、いずれも本発明で使用できる。
【００３１】
また、好ましくは、ピエゾ素子の振動によって分散液をノズルから吐出させるピエゾ方式、急激な加熱による液体の膨張を利用して液体をノズルから吐出させるサーマル方式、発熱素子の急激な加熱によって液体をノズルから吐出させるバブルジェット（登録商標）方式等が挙げられる。
【００３２】
インクジェット装置のノズル口径は、特に限定されるものではないが、例えば１０〜１００μｍであってよい。
ノズルから吐出される液滴の径は、特に限定されるものではないが、１０〜１００μｍであることが好ましい。
基板上に吐出された液滴の径は、特に限定されるものではないが、１０〜１５０μｍであることが好ましい。
【００３３】
本発明は、スペーサ粒子を散布する用途に用いられ、各種表示素子やタッチスイッチ等に使用可能であるが、液晶表示素子に好適である。特に、画素間に遮光膜を配置した液晶表示素子の製造に好適である。
【００３４】
この基板は、特に限定されるものではなく、ガラス板や樹脂板等の一般的に液晶表示装置のパネル基板として用いられているものであってよい。
【００３５】
液晶表示素子は２枚の基板を重ね合わせて形成される。このため、通常は一方の基板に本発明のスペーサがインクジェット法で配置される。そして他方の基板と重ね合わせて液晶表示素子を作製する。スペーサを吐出する基板は、位置合わせの点からは、遮光膜が形成された側の基板とすることが好ましい。
【００３６】
基板上におけるスペーサ粒子の配置は、特に限定されるものではなく、ランダム配置であっても良いし、特定の位置にパターン化して配置したパターン配置であってもよい。スペーサ粒子に起因する光抜けなどの表示品質の低下を抑制するという観点からは、パネルの非表示部分にスペーサ粒子を配置することが好ましい。
【００３７】
非表示部分とは、一般に、画素の周囲に形成されたブラックマトリクスと呼ばれる遮光層のことであり、例えばＴＦＴ液晶表示装置においては、ＴＦＴ素子が位置する部分が存在するが、スペーサはＴＦＴ素子を破壊することがないようにブラックマトリクス下に配置することが好ましい。
【００３８】
基板上におけるスペーサの粒子密度は、特に限定されるものではないが、通常１ｍｍ平方の領域に５０〜４００個であることが好ましい。上記好ましい粒子密度が満たされる限り、スペーサはブラックマトリクス下のどのような部分にどのようなパターンで配置されても良い。
【００３９】
基板上に吐出されたスペーサ分散液の液滴中の媒体を乾燥する方法は、特に限定されない。
例えば、乾燥に当たっては、インクジェット装置のノズルから基板上に吐出されたスペーサ分散液を乾燥させた後にスペーサ粒子が、基板上に吐出された直後の液滴径より小さい径の円内に存在するように、乾燥させる。
【００４０】
スペーサ分散液が基板上に吐出された時点での基板表面温度は、特に限定されないが、分散媒の急激な乾燥によるシミの発生を防止するという観点からは、９０℃以下であることが好ましい。また、乾燥を適度に進行させるためには、基板表面温度は２０℃以上とすることが好ましい。
【実施例】
【００４１】
以下、本発明を更に詳しく説明するため以下に実施例を挙げるが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
【００４２】
（スペーサ粒子の製造）
特開２００３−３１７５４６号公報に記載の実施例（架橋重合体粒子Ｂ）と同様にして粒子（Ｂ）を得た。すなわち、２L セパラブルフラスコにポリビニルピロリドン３．５％メタノール溶液４００ｇ、スチレン４２ｇ、ｐ−トリメトキシシリルスチレン６３ｇを充填し、窒素気流下において緩やかに攪拌しつつ６０℃に加温する。アゾビスイソブチロニトリル４ｇを加え、１２時間反応させる。反応終了後室温に冷却した後、水酸化カリウムの５％水溶液２００ｇを追加し、２時間６０℃で攪拌して加水分解及び架橋反応せしめた。得られた粒子を洗浄し、粒子Ａを得た。粒子Ａ２０ｇに対して、相互侵入高分子網目形成化合物（２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン）１０ｇを溶解させたトルエン溶液２０ｇを加えてエポキシを含浸させた。次いで、該エポキシ含浸粒子を２００℃で１６時間加熱した後、洗浄することにより、粒子表面にエポキシ基由来の水酸基を有する架橋重合体粒子（Ｂ）を得た。粒子（Ｂ）の平均粒子径は５．２０μｍであり、変動係数は３％であった。
【００４３】
（実施例１の分散液の製造）
粒子（Ｂ）を、エチレングリコール（ＥＧ）／水＝８５／１５（重量比）の混合溶媒に、粒子（Ｂ）／混合溶媒＝０．２％／９９．８％（重量百分率比）となるように分散させ、目開き１０μｍのステンレスメッシュで濾過し、実施例１の分散液を得た。分散には超音波を使用した。エチレングリコールは吸湿によって水分を取り込むので、調合時及び保管時は低湿度環境下で行った。得られた分散液の水分量をカールフィッシャー法で測定したところ、１５．６％であった。得られた分散液の粘度を測定したところ、１０．６ｍＰａ・ｓ（２５℃）であった。
【００４４】
この分散液を使用してスペーサ形成実験を行った。すなわち、実施例１の分散液を低湿度環境下で循環させながら、ピエゾ型インクジェットノズルが並んだヘッドから同時に基板に吐出させた。基板としては、ポリイミド配向膜（商品名「ＳＥ−１２１１」日産化学社製）でコートされた基板を使用した。吐出された液滴の大きさは基板上で直径約８０μｍであった。液滴吐出後、基板を１５０℃で加熱乾燥した。
【００４５】
（吐出安定性評価）
液滴を基板上に吐出した後、基板上の液滴中のスペーサ粒子の有無を各液滴について光学顕微鏡で観察した。観察は基板上の任意の３領域で行い、各領域の理論液滴個数１００個分、総数理論液滴個数３００個分について行った。
「○」・・・吐出された液滴に対してスペーサ粒子のない液滴が半数以下しか確認できなかった。
「×」・・・吐出された液滴に対してスペーサ粒子のない液滴が半数以上確認できた。
【００４６】
（シミの発生評価）
液滴を基板上に吐出し、液滴を乾燥した後、基板上のシミ発生の有無を電子顕微鏡で観察した。
「○」・・・シミの発生を確認できなかった。
「×」・・・シミの発生を確認できた。
【００４７】
（実施例２、３、比較例１、２）
実施例１においては、エチレングリコールと水との混合比率を、表１、表２に示すように変更した。他は実施例１と同様に実験を行った。この結果を表１、表２に示す。
【００４８】
【表１】
2006113331.tif 000003
【００４９】
【表２】
2006113331.tif 000004
【００５０】
実施例１、２、３においては、分散液中のエチレングリコールの比率が９５〜７４重量部であるが、吐出安定性が良好であって、スペーサ粒子のない液滴が少なく、また乾燥後の基板にシミが見られなかった。比較例１においては、エチレングリコールの比率が１００重量部であるが、吐安定性が低く、スペーサ粒子のない液滴が多く見られた。比較例２においては、エチレングリコールの比率が７０重量部であるが、乾燥後の基板にシミが発生していることがわかった。ただし、図１は、比較例２における乾燥後の液滴表面の電子顕微鏡写真であり、球状のスペーサ粒子１を取り囲むように略円形の白く光る領域（シミ）２が見える。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】比較例２において、乾燥後の基板表面を示す電子顕微鏡写真である。
【図２】乾燥後の基板表面に残留するシミを説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  スペーサ粒子              ２  シミ
【図１】
2006113331.tif 000005
【図２】
2006113331.tif 000006