(57)【要約】  【課題】複数の水平ＣＣＤ分割領域を構成する全ての転送電極に対して、電荷転送パルスを効果的に供給するための構造を形成し、駆動パルスの遅延を抑え高速駆動を可能とする。  【解決手段】撮像領域と、撮像領域から得られた信号電荷を転送する水平電荷転送部と、水平電荷転送部に駆動パルスを供給する複数の配線とを備える。複数の配線は、水平電荷転送部における電荷転送方向に沿って延びる並行部１０ａと、並行部から電荷転送方向とは異なる方向に延びる第１導入部１０ｂとを備えた第１の配線１０と、電荷転送方向に沿って延びる並行部１１ａと、並行部から電荷転送方向とは異なる方向に延びる第２導入部とを備えた第２の配線とを含む。第２の配線は電荷転送方向に沿って離間して複数設けられ、第１導入部は、複数の第２の配線の各離間部を通って延びている。【選択図】図１
2006339518.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像領域と、前記撮像領域から得られた信号電荷を転送する水平電荷転送部と、前記水平電荷転送部に駆動パルスを供給する複数の配線とを備えた固体撮像素子であって、
前記複数の配線は、
前記水平電荷転送部における電荷転送方向に沿って延びる並行部と、前記並行部から前記電荷転送方向とは異なる方向に沿って延びる第１導入部とを備えた第１の配線と、前記電荷転送方向に沿って延びる並行部と、前記並行部から前記電荷転送方向とは異なる方向に沿って延びる第２導入部とを備えた第２の配線とを含み、
前記第２の配線は前記電荷転送方向に沿って離間して複数設けられ、
前記第１の配線における前記第１導入部は、前記複数の第２の配線の各離間部を通って延びていることを特徴とする固体撮像素子。
【請求項２】
前記第２の配線は、前記第１の配線よりも前記撮像領域から離れた側に配置されている請求項１記載の固体撮像素子。
【請求項３】
前記第１の配線の前記第１導入部は所定の間隔で複数設けられている請求項１または２に記載の固体撮像素子。
【請求項４】
前記水平電荷転送部は、前記撮像領域で発生した信号電荷を転送する転送チャネルと前記転送チャネルの上に設けられた複数の転送電極群とを有し、
前記第１の配線及び前記第２の配線は前記複数の転送電極群の上方に設けられ、かつ導電体を介して前記複数の転送電極群と電気的に接続されている請求項１ないし３のいずれかに記載の固体撮像素子。
【請求項５】
前記第２の配線は、前記転送電極群と当該第２の配線との間に設けられた導電層を介して前記転送電極群と電気的に接続されている請求項４記載の固体撮像素子。
【請求項６】
一の前記第２の配線とそれと隣接する他の前記第２の配線とは、前記導電層及び前記導電体を介して電気的に接続されている請求項５記載の固体撮像素子。
【請求項７】
前記撮像領域は、マトリックス状に配列形成された複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部の間に配列され、前記水平電荷転送部と電気的に接続される複数の垂直電荷転送部とを備え、
前記導電層は前記垂直電荷転送部への光の入射を遮る遮光膜と同一の層により構成されている請求項５または６に記載の固体撮像素子。
【請求項８】
前記遮光膜が前記垂直電荷転送部における配線を兼ねている請求項７に記載の固体撮像素子。
【請求項９】
前記第１導入部は前記複数の第２の配線の離間部でその幅が変化しており、その幅の変化に応じて、当該部分に対向する前記第２の配線の形状が変化している請求項１ないし３のいずれかに記載の固体撮像素子。
【請求項１０】
前記水平電荷転送部は、前記撮像領域で発生した信号電荷を転送する転送チャネルと、前記転送チャネルの上に設けられた複数の転送電極群とを有し、
前記第１の配線及び前記第２の配線は前記複数の転送電極群の上方に設けられ、かつ前記複数の転送電極群と前記第２の配線とは前記導電体を介して直接接続されている請求項９に記載の固体撮像素子。
【請求項１１】
一の前記第２の配線とそれと隣接する他の前記第２の配線とは、前記導電層及び前記導電体を介して電気的に接続されている請求項１０記載の固体撮像素子。
【請求項１２】
前記第２の配線のうち少なくとも一つは、隣接する他の前記第２の配線と電気的に接続されていない請求項１ないし３のいずれかに記載の固体撮像素子。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の固体撮像素子と、
駆動パルスを前記第１導入部を介して前記第１の配線に供給する第１のドライバと、
駆動パルスを前記第２導入部を介して前記第２の配線に供給する第２のドライバとを備え、
前記第１のドライバが前記第１導入部の数に対応し、前記第２のドライバが前記第２導入部の数に対応してそれぞれ独立に設けられていることを特徴とする撮像装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の固体撮像素子と、
駆動パルスを前記第１の配線に供給する第１のドライバと、駆動パルスを前記第２の配線に供給する第２のドライバとを備え、
前記第１のドライバが前記第１導入部の数に対応し、前記第２のドライバが前記第２導入部の数に対応してそれぞれ独立に設けられており、
前記第２のドライバの個数が前記第１のドライバの個数よりも多いことを特徴とする撮像装置。
【請求項１５】
複数の前記ドライバに駆動パルスを供給するパルス発生回路をさらに備えた請求項１３または１４に記載の撮像装置。
【請求項１６】
前記第１導入部及び前記第２導入部にはそれぞれ位相の異なる駆動パルスが供給される請求項１３ないし１５のいずれかに記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電荷結合素子を用いた固体撮像素子、及びそれを用いた撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体撮像素子は、光を信号電荷に変換する光電変換部、信号電荷を転送する垂直及び水平電荷転送部、信号電荷を電圧信号に変換し増幅して出力する出力アンプ、バイアス発生回路などの内蔵回路から構成される。
【０００３】
近年のデジタルカメラにおいては、小型軽量化、高信頼性に加え、高感度、高ダイナミックレンジ、さらに高解像度が求められている。解像度を向上するためには画素数を増大する必要があるが、それにより処理されるデータ量も増大するため、電荷転送パルスの周波数が高くなる。したがって、出力信号のデータレートが高くなり、水平電荷転送部の駆動の高速化が必要となる。
【０００４】
図１１は、従来の技術における撮像装置の平面模式図である。インターラインＣＣＤタイプの固体撮像素子１の撮像領域２に入射した光は、フォトダイオード３によって光電変換され、信号電荷が発生する。信号電荷はフォトダイオード３から、読み出しトランジスタ等(図示せず)によって垂直ＣＣＤ領域４に読み出される。その後信号電荷は、垂直ＣＣＤ領域４により転送されて水平ＣＣＤ領域５に到達する。水平ＣＣＤ領域５には、位相が１８０度異なる電荷駆動パルスφＨ１、φＨ２が、パルス発生回路６からドライバ７ａ、７ｂを介して入力される。信号電荷は、駆動パルスφＨ１、φＨ２の周波数に従って水平ＣＣＤ領域５内で転送され、出力アンプ８で電圧に変換されて出力される。
【０００５】
図１２は、図１１のＤ部の拡大図であり、水平ＣＣＤ領域５に設けられた配線に駆動パルスを供給するパルス供給部の構造を示す。また、図１３は、そのパルス供給部の詳細を示した図であり、図１４は、図１３のＯ−Ｏ'線に沿った断面図である。但し、Ｏ−Ｏ'線に沿った領域のうち、領域ＯＡ、ＯＢの断面のみが図示され、他の部分は省略されている。図１２に示すように、水平ＣＣＤ転送領域９と平行に、第１の配線１０および第２の配線１１が設けられ、それらの一端から駆動パルスφＨ１、φＨ２がそれぞれ供給される。
【０００６】
また、図１３、図１４に示すように、第１の配線１０の下には、第１の転送電極１３、および第１の転送電極１３と一部がオーバーラップするように形成された第２の転送電極１４が配置されている。第１の配線１０と、第１の転送電極１３および第２の転送電極１４とは、コンタクト１５を介して電気的に接続されている。また、第２の配線１１の下には、第１の転送電極２０、および第１の転送電極２０と一部がオーバーラップするように形成された第２の転送電極２１が配置されている。第２の配線１１と、第１の転送電極２０および第２の転送電極２１とは、コンタクト２２を介して電気的に接続されている。
【０００７】
第１の転送電極１３、２０および第２の転送電極１４、２１は、水平ＣＣＤ転送領域９（図１２参照）上に延在させて配置されている。第１および第２の配線１０、１１からそれぞれ駆動パルスが、第１の転送電極１３、２０および第２の転送電極１４、２１に対して交互に供給される。それにより、撮像領域で得られた信号電荷が水平ＣＣＤ転送領域９内で転送され、出力アンプ８に送られる。
【０００８】
上述の通り、水平ＣＣＤの駆動パルスφＨ１、φＨ２を供給する第１および第２の配線１０、１１は、互いに交わらないような構造となっており、水平ＣＣＤ領域の両端のどちらか一方からのみ駆動パルスが供給される。
【０００９】
しかし、水平ＣＣＤは電荷転送用トランジスタを多数備え、これらによる何千段もの負荷容量を寄生容量として有している。このような構成では、駆動パルスの供給端に対して反対側の端部においては、大きな負荷容量により時定数が長くなることに起因するパルス遅延が起こり、パルス波形の鈍りに起因する転送劣化が起こり易かった。
【００１０】
パルス遅延を改善するため特許文献１には、図１５に示す平面模式図のような構成を用いることが記載されている。この撮像装置においては、転送電極と配線を含む水平ＣＣＤ領域５が、複数の水平ＣＣＤ分割領域５ａ〜５ｄに分割され、各々の水平ＣＣＤ分割領域５ａ〜５ｄに対してドライバ７ａ、７ｂによる駆動が行われる。従って、水平ＣＣＤ分割領域５ａ〜５ｄに対してそれぞれ、駆動パルスφＨ１、φＨ２を供給するドライバ７ａ、７ｂが電気的に接続されている。各ドライバ７ａ、７ｂには共通のパルス発生回路６から一定の周期のパルスが供給される。
【特許文献１】特公平７−８３１０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、特許文献１に開示された構成では、以下の問題を生じる。図１２に示したように駆動パルスが供給される配線１０、１１は、水平ＣＣＤ転送領域９に沿って互いに平行に配置されている。水平ＣＣＤ領域を各領域に分割した場合、ドライバ７ａ、７ｂと配線１０、１１とを接続するには、例えば図１６に示す構造とする必要がある。
【００１２】
しかし、同図から判るように図中の破線Ｐで囲んだ部分では、転送パルスφＨ２を供給する第２の配線１１が不連続となってしまう。また、図１３に示したように配線１０、１１の下には、第１の転送電極１３、２０および第２の転送電極１４、２１が配置されているが、図１６に示した第２の配線１１の不連続箇所では、その下の転送電極とコンタクトを取り、転送電極へ電荷転送パルスを供給するための構造を形成することが困難である。
【００１３】
本発明は上記課題に鑑み、複数の水平ＣＣＤ分割領域を構成する全ての転送電極に対して、電荷転送パルスを効果的に供給するための構造を形成し、駆動パルスの遅延を抑え高速駆動を可能とする固体撮像素子及び撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の目的を達成するために本発明の固体撮像素子は、撮像領域と、前記撮像領域から得られた信号電荷を転送する水平電荷転送部と、前記水平電荷転送部に駆動パルスを供給する複数の配線とを備えた固体撮像素子であって、前記複数の配線は、前記水平電荷転送部における電荷転送方向に沿って延びる並行部と、前記並行部から前記電荷転送方向とは異なる方向に沿って延びる第１導入部とを備えた第１の配線と、前記電荷転送方向に沿って延びる並行部と、前記並行部から前記電荷転送方向とは異なる方向に沿って延びる第２導入部とを備えた第２の配線とを含む。前記第２の配線は前記電荷転送方向に沿って離間して複数設けられ、前記第１の配線における前記第１導入部は、前記複数の第２の配線の各離間部を通って延びていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の固体撮像素子によれば、複数の水平ＣＣＤ分割領域を構成する全ての転送電極に対して、電荷転送パルスを効果的に供給することができる。それにより、駆動パルスの遅延を抑え高速駆動を可能とし、高画素で高フレームレートの固体撮像素子において高解像度の画像を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の固体撮像素子において、前記第２の配線は、前記第１の配線よりも前記撮像領域から離れた側に配置されている構成とすることができる。
【００１７】
また、前記第１の配線の前記第１導入部は所定の間隔で複数設けられていることが好ましい。
【００１８】
また、前記水平電荷転送部は、前記撮像領域で発生した信号電荷を転送する転送チャネルと前記転送チャネルの上に設けられた複数の転送電極群とを有し、前記第１の配線及び前記第２の配線は前記複数の転送電極群の上方に設けられ、かつ導電体を介して前記複数の転送電極群と電気的に接続されている構成とすることができる。
【００１９】
また、前記第２の配線は、前記転送電極群と当該第２の配線との間に設けられた導電層を介して前記転送電極群と電気的に接続されている構成とすることができる。
【００２０】
また、一の前記第２の配線とそれと隣接する他の前記第２の配線とは、前記導電層及び前記導電体を介して電気的に接続されている構成とすることができる。
【００２１】
また、前記撮像領域は、マトリックス状に配列形成された複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部の間に配列され、前記水平電荷転送部と電気的に接続される複数の垂直電荷転送部とを備え、前記導電層は前記垂直電荷転送部への光の入射を遮る遮光膜と同一の層により構成されることが好ましい。
【００２２】
また、前記遮光膜が前記垂直電荷転送部における配線を兼ねている構成とすることができる。
【００２３】
また、前記第１導入部は前記複数の第２の配線の離間部でその幅が変化しており、その幅の変化に応じて、当該部分に対向する前記第２の配線の形状が変化している構成とすることができる。
【００２４】
また、前記水平電荷転送部は、前記撮像領域で発生した信号電荷を転送する転送チャネルと、前記転送チャネルの上に設けられた複数の転送電極群とを有し、前記第１の配線及び前記第２の配線は前記複数の転送電極群の上方に設けられ、かつ前記複数の転送電極群と前記第２の配線とは前記導電体を介して直接接続されている構成とすることができる。
【００２５】
また、一の前記第２の配線とそれと隣接する他の前記第２の配線とは、前記導電層及び前記導電体を介して電気的に接続されている構成とすることができる。
【００２６】
本発明の撮像装置は、上記いずれかの構成の固体撮像素子と、駆動パルスを前記第１導入部を介して前記第１の配線に供給する第１のドライバと、駆動パルスを前記第２導入部を介して前記第２の配線に供給する第２のドライバとを備え、前記第１のドライバが前記第１導入部の数に対応し、前記第２のドライバが前記第２導入部の数に対応してそれぞれ独立に設けられている構成とすることができる。
【００２７】
また、本発明の固体撮像素子において、前記第２の配線のうち少なくとも一つは、隣接する他の前記第２の配線と電気的に接続されていない構成とすることができる。
【００２８】
本発明の他の構成の撮像装置は、上記構成の固体撮像素子と、駆動パルスを前記第１の配線に供給する第１のドライバと、駆動パルスを前記第２の配線に供給する第２のドライバとを備え、前記第１のドライバが前記第１導入部の数に対応し、前記第２のドライバが前記第２導入部の数に対応してそれぞれ独立に設けられており、前記第２のドライバの個数が前記第１のドライバの個数よりも多い構成とすることができる。
【００２９】
また、上記構成の固体撮像装置において、複数の前記ドライバに駆動パルスを供給するパルス発生回路をさらに備えた構成とすることができる。
【００３０】
また、前記第１導入部及び前記第２導入部にはそれぞれ位相の異なる駆動パルスが供給される構成とすることができる。
【００３１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して具体的に説明する。
【００３２】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施形態における撮像装置の平面模式図である。固体撮像素子１の撮像領域２に入射した光はフォトダイオード３によって光電変換され、信号電荷が発生する。信号電荷はフォトダイオード３から、読み出しトランジスタ等(図示せず)によって垂直ＣＣＤ領域４に読み出される。その後、垂直ＣＣＤ領域４で転送されて水平ＣＣＤ領域５に到達する。水平ＣＣＤ領域５には、位相が１８０度異なる電荷駆動パルスφＨ１、φＨ２が、パルス発生回路６からドライバ７ａ、７ｂを介して入力されている。駆動パルスφＨ１、φＨ２の周波数に従って、信号電荷が水平ＣＣＤ領域内で転送され、出力アンプ８で電圧に変換されて出力される。なお、本実施形態では、２相駆動水平ＣＣＤであって、水平ＣＣＤに駆動パルスを伝達する配線が２本設けられた構造を例として説明を行う。
【００３３】
図２は、図１のＡ部の拡大平面図であり、配線に駆動パルスを供給する部分の構造を示す。水平ＣＣＤ転送領域９に並行して、第１の配線１０と第２の配線１１が設けられている。水平ＣＣＤ転送領域９には信号電荷を転送するための転送チャネル（図示せず）が形成され、その上にゲート絶縁膜を介して後述する転送電極群が設けられている。
【００３４】
第１の配線１０及び第２の配線１１はそれぞれ、水平ＣＣＤ転送領域９に沿って延びる並行部１０ａ、１１ａと、それにほぼ直交してドライバ７ａ、７ｂ（図１参照）が配置された領域に向かって延びる第１導入部１０ｂ、及び第２導入部１１ｂとで構成されている。第２の配線１１は複数に分割されて、各々の第２の配線１１に、並行部１１ａ及び第２導入部１１ｂが設けられている。分割された複数の各領域の第２の配線１１は、互いに離間して配置されている。各第２の配線１１間を通って、第１の配線１０の第１導入部１０ｂが配置されている。また、第２の配線１１の離間部の下方には、導電層１２が設けられている。
【００３５】
図２に示したパルス供給部における、第２の配線１１が離間した部分の詳細を図３に示す。図４は、図３のＭ−Ｍ'線に沿った断面図である。但し、Ｍ−Ｍ'線に沿った領域のうち、領域ＭＡ、ＭＢの断面のみが図示され、他の部分は省略されている。
【００３６】
第１の配線１０の下方には、上述した転送電極群が設けられている。第１の配線１０の並行部１０ａの下方では、コンタクト１５を介して、第１の配線１０と、第１および第２の転送電極１３、１４とがそれぞれ接続されている。
【００３７】
一方、第１の配線１０の第１導入部１０ｂの下方には導電層１２が、さらにその下方には第１の転送電極１６および第２の転送電極１７が設けられている。
【００３８】
第１の配線１０の並行部１０ａの下方では、第１および第２の転送電極１３、１４の積層構造からなる転送電極群と、第１および第２の転送電極１６、１７の積層構造からなる転送電極群とは、交互に配置されている。また、前者の転送電極群は、第１の配線１０の並行部１０ａと第１導入部１０ｂの境界近傍下で終端されている。一方、後者の転送電極群、すなわち第１および第２の転送電極１６、１７は、第１の配線１０の第１導入部１０ｂの下方に亘って延びている。これらの電極は、以下に説明するようにして、第２の配線１１と電気的に接続されている。
【００３９】
第２の配線１１は、まずコンタクト１９を介して導電層１２と接続される。従って、隣接する第２の配線１１同士は、コンタクト１９および導電層１２を介して相互に電気的に接続される。そして、導電層１２と、第１および第２の転送電極１６、１７とはそれぞれ、コンタクト１８を介して電気的に接続される。
【００４０】
以上のとおり本実施形態では、並行して配置された駆動パルス伝達用の第１および第２の配線１０、１１のうち、少なくとも撮像領域から離れた側に位置する第２の配線１１を分割して、各分割領域の間に第１の配線１０における駆動パルスの取り込み経路を設け、かつ第２の配線１１を形成する各分割領域を、その下方に設けた導電層１２で相互に接続する構造とする。それにより、第１の配線１０及び第２の配線１１ともに、駆動パルスを複数の取り込み経路から供給することが可能となる。
【００４１】
従って、水平ＣＣＤ領域を複数分割して各領域にそれぞれ駆動パルスを供給することが可能となり、配線抵抗の影響によるパルスの立上り・立下りの鈍りを防止でき、その結果、信号電荷の転送劣化を改善することができる。
【００４２】
また、第２の配線１１を離間した複数の領域に分割し、各領域を下方に設けた導電層１２で相互に接続した構造とすることで、第２の配線１１の下に延ばして設けられた転送電極群に対して確実に駆動パルスが供給できるとともに、第１の配線１０に対してその途中にパルス取り込み経路を複数設けることが可能となる。
【００４３】
なお、導電層１２は、撮像領域の垂直ＣＣＤ領域４を遮光している遮光膜（図示せず）と同じ膜で形成することができるので、製造工程を増加させずに済む。また、この遮光膜を配線として用いるシャント配線構造とすれば、導電層１２と転送電極１６、１７とを接続するコンタクト１８は、遮光膜と転送電極群とを接続するコンタクトと兼用できるため、製造工程を増加させずに済む。
【００４４】
なお、コンタクト１５、１８、１９は、アルミやタングステン等の導電体がコンタクトホールに埋め込まれて形成される。また、導電層１２は遮光性能等を考慮して、タングステン等の金属層を用いるのが好ましい。
【００４５】
（第２の実施形態）
図５は、本発明の第２の実施形態における撮像装置の平面模式図である。図６は、図５のＢ部の拡大図であり、配線に駆動パルスを供給する部分の構造を示す。
【００４６】
本実施の形態では、各部の基本的な構成等は第１の実施形態と変わらないが、図５におけるＢ部の構造が第１の実施形態と異なる。具体的には図６に示すように、第１の配線１０におけるドライバ７ａ、７ｂの方向に延びる第１導入部１０ｂで、幅が段階的に異なるように構成されている。また、その部分に近接する第２の配線１１の形状も、それに合わせて変形している。
【００４７】
図６に示したパルス供給部における、第２の配線１１が離間した部分の詳細を図７に示す。図８は、図７のＮ−Ｎ'線に沿った断面図である。但し、Ｎ−Ｎ'線に沿った領域のうち、領域ＮＡ、ＮＢの断面のみが図示され、他の部分は省略されている。
【００４８】
図７に示すように、第１の配線１０と、第１および第２の転送電極１３、１４との接続は第１の実施形態と同様であるが、第２の配線１１と転送電極群２０、２１との接続構造が、第１の実施形態と異なっている。
【００４９】
第１の実施形態では、転送電極群１６、１７と第２の配線１１とは、導電層１２を介して接続されており、また転送電極群１６、１７におけるコンタクト１８との接続部は、第１の配線１０における第１導入部１０ｂの下方に設けられている。
【００５０】
一方、本実施形態では、第２の配線１１と転送電極群１６、１７とは、コンタクト２２を介して直接接続されている。すなわち、転送電極群１６、１７は、図７に示すように、第１の配線１０における並行部１０ａから第１導入部１０ｂに移行する境界部において、第１導入部１０ｂの下方から離れるように屈曲して、第２の配線１１の下方に至るまで延びている。それにより、転送電極群１６、１７におけるコンタクト２２との接続部は、第２の配線１１の下方に設けることが可能となっている。第１の配線１０における第１導入部１０ｂは、第２の配線１１と隣接する部分でその幅が狭くなっており、その狭くなった分、第２の配線１１が転送電極群１６、１７と確実に接続可能となるように拡がって形成されている。
【００５１】
本実施形態によれば、導電層１２を介さずに、第２の配線１１から第１の転送電極２０及び第２の転送電極２１に駆動パルスを供給できるため、抵抗成分を減らすことができ、第１の実施形態に示した効果に加えて、パルス波形の鈍り、および信号電荷の転送劣化をより低減することができる。
【００５２】
また、本実施形態の構造によれば、遮光膜を配線と兼用する構造でない場合でも、コンタクト１５とコンタクト１８とは同じ工程で形成できるため、製造工程を増加させずに済む。
【００５３】
（第３の実施形態）
図９は、本発明の第３の実施形態における撮像装置の平面模式図である。図１０は、図９のＣ部の拡大図であり、配線に駆動パルスを供給する部分の構造を示す。
【００５４】
本実施形態では、各部の基本的な構成等は第１および第２の実施形態と大きくは変わらないが、図１０に示したＣ部の構造が異なる。また、図９に示すように、第２の配線１１に駆動パルスφＨ２を供給するドライバ７ｂが、第１の配線１０に駆動パルスφＨ１を供給するドライバ７ａよりも多く設けられている点で、上述した実施形態とは異なる。
【００５５】
具体的には、図１０に示すように、第１の配線１０における駆動パルスの取り込み経路である第１導入部１０ｂの間に、並行部１１’ａ及び第２導入部１１’ｂを有する第２の配線１１'が設けられ、第２導入部１１’ｂに、ドライバ７ｂから駆動パルスφＨ２が供給される。
【００５６】
また、第２の配線１１、１１'間を接続する導電層が設けられていない。さらに詳細は示していないが、第２の配線１１、１１'と接続された転送電極群の端部は、図７に示したように、第１の配線１０における第１導入部１０ｂの下方を通らず、第２の配線１１および１１'の下方に向かうよう屈曲して配置されている。
【００５７】
本実施形態によれば、第２の配線１１の間を導電層で相互に接続する構造の代わりに、第２の配線１１の間に位置する第２の配線１１'に単独で駆動パルスを供給する構成としたので、導電層が不用となる。
【００５８】
導電層を用いないことにより、第１の配線１０と導電層とのカップリング容量を無くし、第１の配線１０に伝達される駆動パルスφＨ１と第２の配線１１、１１'に伝達される駆動パルスφＨ２との実効的な相互干渉を低減でき、信号電荷の転送劣化をより確実に低減できる。
【００５９】
なお、本実施形態では第２の配線１１'を１箇所のみ設けた例を示したが、第２の配線１１'を複数設けてもよい。
【００６０】
また、本発明は、上記第１〜第３の実施形態に例示した構成に限定されるのもではない。例えば、水平ＣＣＤ駆動相数は３相駆動や４相駆動あるいはそれ以上であってもよく、水平転送パルスの入力位置も特に限定されることはない。また、水平ＣＣＤに駆動パルスを供給する配線の本数や、材質等も任意に設定可能である。コンタクト数、転送電極数等についても、制限されることはない。
【００６１】
なお、上記第１〜第３の実施形態では、光電変換部と、垂直及び水平電荷転送部を備えたインターラインＣＣＤについて例示したが、垂直電荷転送部が光電変換部を兼ねているフレームトランスファーＣＣＤ、あるいは、フルフレームトランスファーＣＣＤに本発明の技術を適用しても、同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明の固体撮像素子は、駆動パルスの遅延を抑え高速駆動を可能とし、高解像度が要求される動作周波数が高い固体撮像素子に対して有用である。特にＨＤ（Ｈｉｇｈ  Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）ＴＶ用放送業務用等の高フレームレートかつチップサイズが大きい固体撮像素子に対して有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施形態における撮像装置の平面模式図
【図２】同撮像装置におけるパルス供給部を示した平面図
【図３】同パルス供給部の詳細を示した平面図
【図４】図３におけるＭ−Ｍ’線に沿った断面図
【図５】本発明の第２の実施形態における撮像装置の平面模式図
【図６】同撮像装置におけるパルス供給部を示した平面図
【図７】同パルス供給部の詳細を示した平面図
【図８】図７におけるＮ−Ｎ’線に沿った断面図
【図９】本発明の第３の実施形態における撮像装置の平面模式図
【図１０】同撮像装置におけるパルス供給部を示した平面図
【図１１】従来例における撮像装置の平面模式図
【図１２】同撮像装置におけるパルス供給部を示した平面図
【図１３】同パルス供給部の詳細を示した平面図
【図１４】図１３におけるＯ−Ｏ’線に沿った断面図
【図１５】他の従来例における撮像装置の平面模式図
【図１６】同撮像装置におけるパルス供給部を示した平面図
【符号の説明】
【００６４】
１  固体撮像素子
２  撮像領域
３  フォトダイオード
４  垂直ＣＣＤ領域
５  水平ＣＣＤ領域
６  パルス発生回路
７ａ、７ｂ  ドライバ
８  出力アンプ
９  水平ＣＣＤ転送領域
１０  第１の配線
１０ａ、１１ａ、１１’ａ  並行部
１０ｂ  第１導入部
１１、１１'  第２の配線
１１ｂ、１１’ｂ  第２導入部
１２  導電層
１３、１６、２０  第１の転送電極
１４、１７、２１  第２の転送電極
１５、１８、１９、２２  コンタクト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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