(57)【要約】【課題】  プリント配線板等を製造する際に使用するフォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性を有する一方、粘着剤層上に積層した剥離材の剥離性に優れ、粘着剤層から剥離材を剥離した際にストップマークが発生することのないフォトマスク保護用粘着テープを提供する。【解決手段】  透明基材、前記透明基材の片面に形成された粘着剤層、及び、前記粘着剤層の前記基材とは反対側の面を保護する保護フィルムとからなるフォトマスク保護用粘着テープであって、前記粘着剤層は、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して、剥離速度５００ｍｍ／ｍｉｎの条件で測定したＳＵＳ板に対する粘着力が２〜５Ｎ／２５ｍｍであり、前記保護フィルムは、前記粘着剤層と接する側の面にヘキサデカンの接触角が２５〜６０°であるシリコーン系離型層を有するフォトマスク保護用粘着テープ。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基材、前記透明基材の片面に形成された粘着剤層、及び、前記粘着剤層の前記基材とは反対側の面を保護する保護フィルムとからなるフォトマスク保護用粘着テープであって、
前記粘着剤層は、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して、剥離速度５００ｍｍ／ｍｉｎの条件で測定したＳＵＳ板に対する粘着力が２〜５Ｎ／２５ｍｍであり、
前記保護フィルムは、前記粘着剤層と接する側の面にヘキサデカンの接触角が２５〜６０°であるシリコーン系離型層を有する
ことを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板等を製造する際に使用するフォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性を有する一方、粘着剤層上に積層した保護フィルムの剥離性に優れ、粘着剤層から保護フィルムを剥離した際にストップマークが発生することのないフォトマスク保護用粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント配線板の作製は、液状フォトレジスト等の粘着性を有するフォトレジストに、露光用原稿（フォトマスク）を密着させ、フォトマスクの上から光を照射することでフォトレジストを露光し硬化させる工程を有する。
この工程において、フォトマスクのフォトレジストに対向する面（以下、画像面ともいう）を直接フォトレジストに密着させると、露光終了後にフォトマスクを剥がす際にフォトレジストの一部がフォトマスクの画像面に転着されて汚れを生じてしまい、フォトマスクの再使用ができなくなることがあった。そこで、フォトマスクの画像面にフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けてフォトマスクの画像面を汚染やキズ等から保護していた。
【０００３】
フォトマスク保護用粘着テープは、通常、基材上に粘着剤層が形成された構造であり、フォトマスクに貼着する前は、粘着剤層を保護し、取り扱い性を向上させる目的で粘着剤層の表面に離型性のある保護フィルムが積層されている。
【０００４】
このようなフォトマスク保護用粘着テープには、一般的に、再剥離性（フォトマスク保護用粘着テープを剥した場合にフォトマスクの画像面に糊残りが生じない性能）、帯電防止性、基材の耐久性、及び、光透過性等の様々な性能が要求される。なかでも、近年、露光回数の増加に伴い高耐久性を目的として、高粘着力が重要視されるようになってきており、テープに用いる粘着剤の粘着力を向上させる方法が種々検討されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、単に粘着剤の粘着力を高くした場合には、粘着剤層と保護フィルムとの間の粘着力も高くなるため、フォトマスク保護用粘着テープを使用する際に保護フィルムを剥離するのに要する強度（剥離強度）が高くなって剥離することが困難となり、また、保護フィルムを剥離した際の痕跡（以下、ストップマークともいう）が発生してしまうという問題があった。
【特許文献１】特開平７−２１６３２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記現状に鑑み、プリント配線板等を製造する際に使用するフォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性を有する一方、粘着剤層上に積層した保護フィルムの剥離性に優れ、粘着剤層から保護フィルムを剥離した際にストップマークが発生することのないフォトマスク保護用粘着テープを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、透明基材、前記透明基材の片面に形成された粘着剤層、及び、前記粘着剤層の前記基材とは反対側の面を保護する保護フィルムとからなるフォトマスク保護用粘着テープであって、前記粘着剤層は、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して、剥離速度５００ｍｍ／ｍｉｎの条件で測定したＳＵＳ板に対する粘着力が２〜５Ｎ／２５ｍｍであり、前記保護フィルムは、前記粘着剤層と接する側の面にヘキサデカンの接触角が２５〜６０°であるシリコーン系離型層を有するフォトマスク保護用粘着テープである。
以下に本発明を詳述する。
【０００８】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープ（以下、本発明の粘着テープともいう）は、透明基材と該透明基材の片面に形成された粘着剤層とを有する。
上記透明基材としては、紫外線を含む光透過性の高いものであれば特に限定されず、例えば、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン等の樹脂からなるもの等が挙げられる。
【０００９】
上記透明基材の厚さとしては特に限定されないが、好ましい下限は５μｍ、好ましい上限は５０μｍである。５μｍ未満であると、本発明の粘着テープの強度が不足して取り扱いが困難となったり、フォトマスクの画像面へ貼り付ける際にシワになったりすることがある。５０μｍを超えると、充分な光透過性が得られないことがある。
【００１０】
上記透明基材は、少なくとも片面に適度な滑り性が付与されていることが好ましい。上記透明基材は、ロール状に巻き回され形態で取り扱われることがあり、このようにロール状に巻き回された透明基材を巻き戻す際に、透明基材同士が合着してしまうことを防止するためである。
上記透明基材の少なくとも片面に適度な滑り性を付与する方法としては特に限定されず、例えば、透明基材中に微粒子を含有させ、その表面に微細な突起を形成させる方法等が挙げられる。
【００１１】
上記透明基材に含有させる微粒子としては特に限定されないが、二酸化珪素が最も好ましく用いられる。
【００１２】
上記透明基材に含有させる微粒子の平均粒径としては特に限定されないが、透明基材の光透過性に影響を与えにくいように、好ましい下限は０．０１μｍであり、好ましい上限は３．０μｍである。
【００１３】
また、上記透明基材に含有させる微粒子は、上記透明基材の全体に存在するのではなく上記基材の表層にのみ存在することが好ましく、少なくとも上記透明基材の片側の表層にのみ含まれていることが好ましい。更に、上記透明基材に含有させる微粒子が透明基材の片側の表層にのみ含まれている場合、上記微粒子が含まれている側の透明基材の表面に後述する粘着剤層が形成されていることが好ましい。これにより、上記微粒子により形成された微細な凹凸面が粘着剤で埋まり、透明基材のヘイズ値を低減させることができる。従って、場合によっては本発明の粘着テープ全体のヘイズ値を透明基材自体のヘイズ値よりも低くすることも可能である。
【００１４】
本発明の粘着テープにおいて、上記粘着剤層は、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して、剥離速度５００ｍｍ／ｍｉｎの条件で測定したＳＵＳ板に対する粘着力の下限が２Ｎ／２５ｍｍ、上限が５Ｎ／２５ｍｍである。２Ｎ／２５ｍｍ未満であると、本発明の粘着テープをフォトマスクに貼着して繰返し露光を行った場合に、耐久性が不足し、シワや破れ等の不具合が生じる。５Ｎ／２５ｍｍを超えると、一旦フォトマスクに貼着した本発明の粘着テープを貼り直すことが困難となり、また、剥した際にフォトマスクに糊残りの問題が生じてしまう。好ましい下限は２．１Ｎ／２５ｍｍ、好ましい上限は３．５Ｎ／２５ｍｍである。
【００１５】
上記粘着剤層の粘着力は、上記粘着剤層を構成する粘着剤の組成を調整したり、後述する粘着付与樹脂成分の配合量等を調整したりすることで、上記範囲内とすることができる。
【００１６】
また、上記透明基材の片面に粘着剤層が形成された積層体は、波長３５０ｎｍにおけるヘイズ値が３％以下となることが好ましい。波長３５０ｎｍにおけるヘイズ値が３％を超えると、本発明の粘着テープを微細な回路が描かれたフォトマスクの保護に用いた場合に、通常の照射量の紫外線を照射してもフォトレジストに充分な紫外線が到達せずにフォトレジストが硬化しないことがある。更に、高照射量の紫外線を照射すればフォトレジストの硬化は可能であるものの、光散乱、干渉、屈折等の影響が増大するため未硬化であるべき部分まで硬化してしまうことから、複雑で、線が細く、線の間隔も狭い回路を有するプリント配線板等を得ることができなくなることがある。
なお、上記ヘイズ値とは、材料の曇りの程度を示す値であって、ＪＩＳ  Ｋ ７１０５に準じて求めることができる。波長３５０ｎｍにおけるヘイズ値が小さいことは、この波長における平行光線の透過性が高いことを意味する。
【００１７】
上記粘着剤層を構成する材料としては、上述した粘着力及びヘイズを満たすものであれば特に限定されないが、架橋された２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分を主成分とするものであることが好ましい。上記粘着剤成分は、高い粘着力と透明性とを併せ持ち、フォトマスク保護用粘着テープの粘着剤層を構成する粘着剤として優れた特性を有するものである。
【００１８】
上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分単独でのトルエン可溶分の上限は４０重量％であることが好ましい。上記トルエン可溶分とは、上記粘着剤成分中の非架橋部分の量を現すものである。即ち、本発明の粘着テープにおいて、上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分は、架橋構造を有する部分の量が多いことが好ましい。
なお、本明細書において、上記「トルエン可溶分」は、下記方法により測定される値をいう。
即ち、上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分を約１００ｍｇサンプル瓶に秤取し、これにトルエンを３０ｍＬ入れ、常温にて２４時間振とうさせ、その後２００メッシュ金網にて濾過し、不溶分を秤量し、下記式（１）により算出する。
トルエン可溶分（％）＝１００−（（Ｃ）／（Ａ）×（Ｂ）×１００）      （１）
式（１）中、（Ａ）は、最初の粘着剤成分の重量を表し、（Ｂ）は、粘着剤層中の粘着剤成分含有率を表し、（Ｃ）は、不溶分重量を表す。
【００１９】
なお、上記式（１）中（Ｂ）で表される粘着剤成分含有率は、通常１００％であるが、後述する粘着性付与樹脂成分等のいわゆる粘着性付与剤を含有する場合には、これらを除いた値である。
【００２０】
上記粘着剤層に含有される上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分のトルエン可溶分の上限が４０重量％であることにより、上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分の架橋部分の割合が高くなり、上記粘着剤層の凝集力が高められるので、本発明の粘着テープの再剥離性が高くなる。また、上記粘着剤層の常温弾性率が向上するため、本発明の粘着テープを画像面に貼着したフォトマスクを繰り返しフォトレジストの露光に用いた場合に、本発明の粘着テープにシワや凹み等の不具合が生じることがなくなる。
【００２１】
上記トルエン可溶分が４０重量％を超えると、高い粘着力は得られるが、本発明の粘着テープを一旦フォトマスクに粘着した後、再剥離するときに糊残りが発生することがある。上記トルエン可溶分の好ましい下限は５重量％である。５重量％未満であると、上記粘着剤層の粘着力が不充分となることがあり、本発明の粘着テープの性能が低下することがある。より好ましい上限は３０重量％、より好ましい下限は８重量％である。
【００２２】
上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分のトルエン可溶分の上限を４０重量％とする方法としては特に限定されず、例えば、本発明の粘着テープを作製する際に、未架橋状態の上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分に架橋剤を適量添加する方法等が挙げられる。
上記架橋剤としては特に限定されず、例えば、イソシアネート系、エポキシ系、金属塩キレート剤系、メラミン系、過酸化物系等が挙げられる。また、このような架橋剤としては、市販されているものも使用することができ、市販されている架橋剤としては、例えば、綜研化学社製の「Ｌ−４５」等が挙げられる。
【００２３】
上記粘着剤層は、更に、粘着性付与樹脂成分を含有することが好ましい。上記粘着性付与樹脂成分とは、エラストマーに配合されて粘着性の機能を向上させる物資であり、分子量が数百〜数千の無定形オリゴマーで、常温で液状又は固体状の熱可塑性樹脂等が挙げられる。
【００２４】
上記粘着性付与樹脂成分としては、具体的には、例えば、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂等に代表される天然樹脂系や、脂肪族系、芳香族系、共重合系等の石油樹脂、フェノール系樹脂、キシレン樹脂等の合成樹脂等が挙げられる。これらは単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００２５】
また、通常、上記粘着性付与樹脂成分は、光の透過を阻害するものであるため、上記粘着剤層のヘイズ値を大きくさせず、かつ、好適な粘着性能を達成するためには、ロジン系樹脂、及び、テルペンフェノール系樹脂を併用して用いることが好ましい。
【００２６】
上記粘着性付与樹脂成分の配合量としては特に限定されないが、上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分を使用する場合、上記粘着剤成分１００重量部に対して、好ましい下限は５重量部、好ましい上限は８０重量部である。５重量部未満であると、上記粘着剤層に必要な粘着力が得られず、８０重量部を超えると、上記粘着剤層の粘着力が強くなりすぎ、製造した本発明の粘着テープを再剥離した際に、基材とともに粘着剤層が剥れない、即ち、再剥離性が低下し、被貼着体の表面に糊残りの問題が生じやすくなり事実上使用することが困難になる。より好ましい下限は８重量部、より好ましい上限は５０重量部である。
【００２７】
上記粘着剤層の厚さとしては特に限定されないが、好ましい下限は３μｍ、好ましい上限は２０μｍである。３μｍ未満であると、フォトマスクへの接着強度が不足することがあったり、フォトマスクの画像面の凹凸に対して接着時に気泡を巻き込んだりすることがあり、２０μｍを超えると、充分な光透過性が得られなくなることがある。
【００２８】
本発明の粘着テープは、上記粘着剤層の上記基材層とは反対側の面を保護する保護フィルムを有する。
上記保護フィルムは、本発明の粘着テープの粘着剤層を覆うように形成されており、このような保護フィルムが形成された本発明の粘着テープは、フォトマスクに貼着する前の粘着材層を保護することができ、また、取り扱い性に優れたものとなる。
【００２９】
上記保護フィルムは、上記粘着剤層と接する側の面にヘキサデカンの接触角の下限が２５°、上限が６０°であるシリコーン系離型層を有する。２５°未満であると、上記シリコーン系離型層の粘着剤層に対する濡れ性高くなりすぎて剥離性が不充分となり、上記保護フィルムを剥離した際に粘着剤層に衝撃が伝わりやすくなってストップマークが発生してしまう。６０°を超えると、上記シリコーン系離型層の粘着剤層に対する濡れ性が低くなりすぎて粘着剤層上に形成した保護フィルムがすぐに剥れてしまう。上記シリコーン系離型のヘキサデカンの接触角の好ましい下限は３０°、好ましい上限は５０°である。
【００３０】
上記シリコーン系離型層のヘキサデカンの接触角を上記範囲とする方法としては特に限定されないが、シリコーン層中のケイ素−ケイ素結合数を増加させる、いわゆる架橋度を向上させる方法や、ケイ素−ケイ素結合間に酸素原子を導入する方法、又は、ＰＥＴフィルム内のフィラー数を調整する方法等が挙げられる。これらの方法は、単独で用いてもよく、２種類以上を併用して用いてもよい。
【００３１】
上記シリコーン系離型層は、基材フィルムの片面に形成されていることが好ましい。
上記基材フィルムとしては、適度な強度と可撓性とを併せ持つものであれば特に限定されないが、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好適に用いられる。
【００３２】
このようなシリコーン系離型層が粘着剤層と接する側の面に形成された保護フィルムとしては、市販されているものを使用することもできる。市販されている上記保護フィルムとしては、例えば、帝人社製「Ｓ３１」、リンテック社製「２５１１」等が挙げられる。
【００３３】
上記保護フィルムは、本発明の粘着テープをフォトマスクに貼着する前に上記粘着剤層から剥離される。上述のように、本発明の粘着テープの粘着剤層は優れた粘着性を有するものであるため、該粘着剤層の上記透明基材とは反対側の面に積層した保護フィルムとの間の粘着力も高いものとなる。しかし、上記保護フィルムは、上記粘着材層と接する側の面に上述した範囲の濡れ性を有するシリコーン系離型層が形成されているため、上記粘着力の高い粘着剤層に対しても優れた離型性を示す。そのため、上記保護フィルムを剥離した後の粘着剤層にストップマークが発生することがない。
【００３４】
本発明の粘着テープは、上記透明基材の粘着剤層が形成された面とは反対側の面に、光透過性に影響しない限りにおいて、帯電防止層及び／又は離型層を有することが好ましい。上記帯電防止層は、テープが帯電して空気中のゴミ等を引き寄せることを防止する役割を有する。上記離型層は、フォトレジストが粘着テープに転着され汚れが生じるのを防止する役割を有する。
【００３５】
上記帯電防止層としては特に限定されず、例えば、４級アンモニウム塩を含む塗膜やアクリル等の樹脂に導電性微粒子を分散させたもの等が挙げられる。上記導電性微粒子としては特に限定されないが、例えば、酸化スズ微粒子等の透明な導電性微粒子が光透過性に影響を与えにくいことから好ましい。
【００３６】
上記離型層としては離型性を有するものであれば特に限定されず、例えば、上述した保護フィルムの離型層と同様のもの等が挙げられる。
【００３７】
このような本発明の粘着テープを製造する方法としては特に限定されず、例えば、上記透明基材の片面に粘着剤層となる樹脂組成物を従来公知の塗工機等を用いて塗工し、乾燥させた後、基材フィルム上にシリコーン系離型層を形成した保護フィルムを、シリコーン系離型層が粘着剤層と接するように積層する方法等が挙げられる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、プリント配線板等を製造する際に使用するフォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性を有する一方、粘着剤層上に積層した保護フィルムの剥離性に優れ、粘着剤層から保護フィルムを剥離した際にストップマークが発生することのないフォトマスク保護用粘着テープとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
【００４０】
（実施例１）
ポリエチレンテレフタレートからなる厚さ１２μｍの透明基材（三菱化学ポリエステルフィルム社製：グレードＭ３１０）の片面に、トルエンで３０％濃度に希釈し、粘着性付与樹脂成分（ロジン系樹脂、ペンセルＤ１２５）２５重量部と、架橋剤としてＬ−４５（綜研化学社製）０．４重量部とを配合したイソシアネート架橋タイプのアクリル系粘着剤（綜研化学社製、ＳＫダイン１４２５）を乾燥後の厚さが１０μｍになるように塗布した。その後、１２０℃、３０秒間加熱して乾燥させた。
乾燥後、粘着剤層側にシリコーン系離型剤が塗布形成されたＰＥＴフィルムからなる保護フィルム（帝人社製、Ａ３１、ヘキサデカン接触角３６°）を積層してフォトマスク保護用粘着テープを作製した。
なお、アクリル系粘着剤のトルエン可溶分の割合は、２２重量％であった。
【００４１】
（実施例２）
保護フィルムをリンテック社製「２５１１」（ヘキサデカン接触角４５°）とした以外は、実施例１と同様の方法でフォトマスク保護用粘着テープを作製した。
【００４２】
（比較例１）
粘着性付与樹脂成分を配合しなかった以外は、実施例１と同様の方法でフォトマスク保護用粘着テープを作製した。
【００４３】
（比較例２）
保護フィルムを帝人社製「Ａ３０」（ヘキサデカン接触角９．５°）とした以外は、実施例１と同様の方法でフォトマスク保護用粘着テープを作製した。
【００４４】
（評価）
実施例１、２及び比較例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープについて、以下の方法により評価を行った。
【００４５】
（ヘイズ値）
実施例１、２及び比較例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープから保護フィルムを剥離したものについて、スガ試験機社製のヘイズメーター（ＨＧＭ−２Ｋ）を用いてヘイズを測定した。その結果を表１に示した。なお、表１中、ヘイズ値が３以下であるものを○、３〜５のものを△、５以上のものを×とした。○又は△であると実使用上問題のないレベルであった。
【００４６】
（粘着力試験）
実施例１、２及び比較例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープの粘着力をＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して、２５ｍｍ幅にカットし、ＳＵＳ板に２Ｎの荷重で添付させたものを、剥離試験機（東洋精機社製、形式スタログラフＥ−Ｌ）を用いて、５００ｍｍ／ｍｉｎの速度で剥離させて測定した。その結果を表１に示した。
【００４７】
（ストップマーク）
実施例１、２及び比較例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープの保護フィルムを１０００ｍｍ／ｍｉｎの速度で剥離し、一旦剥離をストップさせた後に、再び１０００ｍｍ／ｍｉｎの速度で完全に剥離させた。
保護フィルムの剥離をストップした際の粘着剤層表面に線（ストップマーク）が残存しているか否かを目視で確認した。その結果を表１に示した。なお、表１中、目視で確認できた場合を×、できなかった場合を○とした。
【００４８】
【表１】
2006313282.tif 000002
【００４９】
表１に示したように、実施例１及び２で得られたフォトマスク保護用粘着テープは、ヘイズ値及び粘着力に優れるものであり、ストップマークも確認できなかった。
一方、比較例１で得られたフォトマスク保護用粘着テープは、ヘイズ値が優れ、ストップマークも確認できなかったが、粘着力が低く、フォトマスクに貼着してもすぐに剥れてしまった。また、比較例２で得られたフォトマスク保護用粘着テープは、ヘイズ値及び粘着力には優れるものの、ストップマークが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明によれば、プリント配線板等を製造する際に使用するフォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性を有する一方、粘着剤層上に積層した保護フィルムの剥離性に優れ、粘着剤層から保護フィルムを剥離した際にストップマークが発生することのないフォトマスク保護用粘着テープを提供できる。