(57)【要約】      （修正有）【課題】発塵によるパーティクルの問題を解消し、一般的に知られている自動機ではなく、全て容易な手動操作によって行う安価で、かつ手軽に使用できるＦＯＵＰオプナーを提供する。【解決手段】レバー操作により作動させる吸着パッド６と、ＦＯＵＰ１の蓋２のロックを外すラッチキー７とをドアプレート８に取り付け、吸着パッド６とラッチキー７をドアプレート８の回転によりＦＯＵＰドア２をＦＯＵＰ１の手前に引き出せるように構成し、かつ前記の機構の全てを前後に移動できるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レバー操作により作動させる吸着パッドと、ＦＯＵＰドアのロックを外すラッチキーとをドアプレートに取り付け、前記吸着パッドとラッチキーを前記ドアプレートの回転によりＦＯＵＰドアを手前に引き出せるように構成し、かつ前記の機構の全てを前後に移動できるようにしたＦＯＵＰオプナー。
【請求項２】
請求項１に記載のＦＯＵＰオプナーを旋回プレート３上に設置し、ＦＯＵＰを前後に反転してＦＯＵＰを着脱できるＦＯＵＰオプナー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、半導体ウエハーを周囲の汚染源から汚染されるのを防止し、所定の間隔で、収納して搬送する密閉可能な半導体ウエハーの収納容器ＦＯＵＰ  （Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）を開閉するための容器開閉装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  ＬＳＩ等の半導体装置は集積度が年々増大し、それと供に回路パターンもサブミクロン例えば０．１ミクロンまたはそれ以下へと微細化も進み、それに対応して半導体装置の製造環境のクリーン度も益々要求されている。従って半導体装置を製造するための半導体ウエハーは高いクリーン度に保持することが必要な製品であり、クリーンルームまたは最近ではウエハー周りを局部的にクリーン度を維持するクリーントンネルが実用化されている。ウエハーを搬送したり処理したりする場合には、その周囲をクリーン度の高い環境に維持することが重要である。【０００３】  またウエハーのサイズもますます大口径化され、現在、一般的に半導体製造ラインに流されているウエハーの直径が３００ｍｍにも達する。半導体製造にあたり各工程のライン間、または工場間のウエハーの搬送に際し、ＦＯＵＰは雰囲気がどのような環境であれクリーン度を維持できる密閉された容器で、ウエハーの搬送には欠かせない補助的ではあるが重要な働きを担う容器である。【０００４】  従来の一般的な手動式ＦＯＵＰオプナーの実施例１を図３に示す。
ベースプレート４上にキネマピン５が設けられており、そのキネマピン５上にＦＯＵＰ本体１を載せる。ドアプレート８を回転させ、ドアプレート８に取り付けられているラッチキー７をＦＯＵＰドア２に密着させる。ラッチキー７を廻してＦＯＵＰドア２のロックを外す。ドアプレート８にＦＯＵＰドア２を保持させたまま、ドアプレート８を回転させてＦＯＵＰドア２を開ける。ＦＯＵＰ本体１からウエハーを抜き取り、検査等の作業を行う。【０００５】  しかし、この従来の手動式ＦＯＵＰオプナーでは以下の問題点がある。ＦＯＵＰドア２のロックを外した後、このラッチキー７のみによる保持ではＦＯＵＰドア２の保持が不十分なためＦＯＵＰシェル開口とＦＯＵＰドア２周辺の摩擦が大きいためゴミが発生し、ＦＯＵＰ本体１内のウエハーを汚染させるおそれもある。また、ＦＯＵＰオプナーは回転台がなく、ＦＯＵＰ本体１が旋回できない場合はＦＯＵＰ本体１の載せ下ろしも不便である。【０００６】  以下関連の特許文献の一覧を掲載する。
【特許文献１】特開２００２−０７６０９３
【特許文献２】特開２００２−１６４４１１
【特許文献３】特開２００２−１８４８３１
【０００７】  特開２００２−０７６０９３によるＦＯＵＰオプナーは、半導体ウエハーを所定の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯＵＰと、前記ＦＯＵＰを載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを、ＦＯＵＰドアが着脱される位置の近傍まで移動させるドック移動機構と、前記ＦＯＵＰドアを着脱する着脱機構と前記ＦＯＵＰドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとからなる（特許文献１）。【０００８】  特開２００２−１６４４１１によるＦＯＵＰオプナーは、ＦＯＵＰオプナーが、少なくとも、ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドアと、ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構とを備えてなり、ポートドア昇降機構の昇降基部材には、センサ進退機構が設けられ、センサ進退機構には、センサ取付部材が上方に向けて延設され、センサ取付部材の上部に、ＦＯＵＰ内収納ウェハの有無、収納状態、収納位置（高さ）等を検出するための光学式の透過型センサもしくはマッピングセンサが取り付けられている。これはポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構を備え、ポートドア昇降機構の昇降基部材には、センサ進退機構が設けられとあるように自動式オプナーである（特許文献２）。【０００９】  特開２００２−１８４８３１によるＦＯＵＰオプナーは、ＦＯＵＰオプナーが、閉塞した内部に半導体ウェハを複数枚収納してなるＦＯＵＰのＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドアを備えてなり、ポートドアには、ＦＯＵＰドアの外壁を封止する封止手段が設けられている。封止手段は、ポートドアの外周縁に沿って設けられ、ＦＯＵＰドア側に凸の形状をなし、ＦＯＵＰドアの全周を蓋うようにされている。封止手段は、パッキング手段を備えることができる。また、ＦＯＵＰドアの外壁の封止空間から汚染雰囲気を排気する排気手段が設けられてもよい。ポートドアには、ＦＯＵＰドアの外壁を封止する封止手段が設けられていることが特徴である（特許文献３）。【００１２】  前記ポートドアの前記ＦＯＵＰドアとの係合面が、前記ポートプレートの開口部を貫通して突出させられ、前記ドック移動機構の作動に伴い、前記ＦＯＵＰが前進して、前記ＦＯＵＰドアが前記ポートドアの係合面に衝突するようにされ、衝突した前記ＦＯＵＰドアと前記ポートドアとを所定の位置まで追従して移動させることができる追従移動手段が設けられたことを特徴とする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】特開２００３−２４９５３７によるＦＯＵＰオプナーは、構造が簡単で低価格であるものの、ＦＯＵＰ蓋の開閉時に、ＦＯＵＰシェル開口とＦＯＵＰドア周辺の摩擦が大きくＦＯＵＰ蓋をＦＯＵＰ本体の開口部付近で回転させるため回転部より発生する発塵の問題がある。【００１４】  特開２００２−０７６０９３によるＦＯＵＰオプナーは、ＦＯＵＰドアを自動的に開閉させられるものの、手動運用に比較し、製作コストが高く、導入も困難であり、普及にもブレーキがかかっていた。
本発明によるＦＯＵＰオプナー手動操作によりＦＯＵＰの蓋を簡便に開閉できるようにし、かつ上記の問題をも併せて解決した手動開閉オプナーである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【００１５】  レバー操作により作動させる吸着パッドと、ＦＯＵＰの蓋のロックを外すラッチキーとをドアプレートに取り付け、前記吸着パッドとラッチキーを前記ドアプレートの回転によりＦＯＵＰドアをＦＯＵＰの手前に引き出せるように構成し、かつ前記の機構の全てを前後に移動できるようにした。
【００１６】この方式を採用することにより、ＦＯＵＰドアをＦＯＵＰの開口部に平行に最初に手前に引き出し、それからＦＯＵＰドアを回転させてＦＯＵＰドアを開けるためＦＯＵＰドアの回転時にＦＯＵＰドアがウエハーに擦れることはなく発塵によるゴミの低減を行うことができる。また、個人差を解消し、操作の安定化を図ることができる。
【００１７】  特に扉回転時のＦＯＵＰ本体とＦＯＵＰドアの回転ヒンジ部分での摩擦による発塵を解消することができる。
上記のＦＯＵＰオプナーを旋回プレートに設置し、ＦＯＵＰを前後に反転してＦＯＵＰを着脱できる。この方式を採用することのより手前にあるＦＯＵＰオプナーがＦＯＵＰの後側に移動するため旋回プレート上のＦＯＵＰの着脱が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】  本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明に関わる手動式ＦＯＵＰオプナーの平面図である。
ＦＯＵＰ開閉手順を以下に説明する。ベースプレート４上に旋回プレート３があり、旋回プレート３上にはキネマピン５が３本立てられている。旋回プレート３上のほぼ中央に位置する２本のキネマピン５Ａが奥側にあるポジションが旋回プレート３の初期位置である。そのキネマピン５上にＦＯＵＰ本体１を載せ、ほぼ中央に位置する２本のキネマピン５が手前側となるポジションまで旋回させる。【００１９】  次に、ドアプレート８を搭載したドッキングプレート９をＦＯＵＰ本体１に向かって前進させ、ドアプレート８に取付けられているラッチキー７および吸着パッド６をＦＯＵＰドア２に密着させる。吸着パッド６によりＦＯＵＰドア２を吸着させてラッチキー７を廻しＦＯＵＰドア２のロックを外す。【００２０】ドアプレート８にＦＯＵＰドア２を保持させたままドッキングプレート９を後退させてＦＯＵＰドア２を開ける。その後ドアプレート８を回転させてＦＯＵＰ前面のウエハー作業空間を確保する。【００２１】  ＦＯＵＰ本体１からウエハーを抜き取り、検査等の作業を行う。ＦＯＵＰ本体１からウエハーを抜き取り後、ドアプレート８を回転させてＦＯＵＰ前面に平行になるように合わせる。ドッキングプレート９をＦＯＵＰ本体１に向かって前進させる。ドアプレート８に取付けられているラッチキー７によりＦＯＵＰ本体１にＦＯＵＰドア２をロックし、吸着パッド６を解除して、ＦＯＵＰを閉める。旋回プレート３上のほぼ中央に位置する２本のキネマピン５が奥側にくるように旋回プレート３を旋回させる。
それからＦＯＵＰドア２とともにＦＯＵＰ本体１を旋回プレート３から取り除く。
【産業上の利用可能性】
【００２２】  本願発明によるＦＯＵＰオプナーはＦＯＵＰドアを開閉するにあたり発塵によるＦＯＵＰ及びＦＯＵＰ内に収納された半導体ウエハーを汚染させることなく、また、ＦＯＵＰ本体のＦＯＵＰオプナーからの着脱も手動で容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に関わるＦＯＵＰオプナーの平面図。
【図２】本発明に関わるＦＯＵＰオプナーの吸着パッド部の側面図。
【図３】従来の実施例１のＦＯＵＰオプナーの平面図。
【図４】従来の他の実施例２のＦＯＵＰオプナーの平面図（扉閉）。
【図５】従来の他の実施例２のＦＯＵＰオプナーの平面図（扉開）。
【符号の説明】
【００２４】    １          ＦＯＵＰ本体
２          ＦＯＵＰドア
３          旋回プレート
４          ベースプレート
５Ａ，５Ｂ  キネマピン
６          吸着パッド
７          ラッチキー
８          ドアプレート
９          ドッキングプレート
【図１】
2006339618.tif 000003
【図２】
2006339618.tif 000004
【図３】
2006339618.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月15日(2005.8.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【図１】本発明に関わるＦＯＵＰオプナーの平面図。
【図２】本発明に関わるＦＯＵＰオプナーの吸着パッド部の側面図。
【図３】従来の実施例１のＦＯＵＰオプナーの平面図。