(57)【要約】 【課題】  測定誤差の少ない変位センサを提供することを目的とする。【解決手段】  変位センサは検出光を出射するレーザダイオード１１と、検出光を収束させて被測定対象物Ｗに照射させる光学部２１と、被測定対象物Ｗからの反射光を受光するためのフォトダイオード２５並びに、検出光の焦点位置を光軸方向に振動させるための加振部３１並びにＣＰＵ３５を主体として構成され、これら全体が合焦装置を構成している。そして、ＣＰＵ３５は対物レンズ２３の振動の周期Ｔ、振幅Ａから対物レンズ２３の振動曲線Ｓｏを特定するとともに、主としてフォトダイオード２５の受光信号Ｓｄから振動曲線の位相を決定する。その後、位相の調整を行って正規位相の振動曲線Ｓを算出し、これから合焦時における対物レンズ２３の位置を算出することとしている。このように、対物レンズ２３の位相を受光信号Ｓｄに基づいて決定すれば応答遅れの排除可能で、測定誤差の少ない変位センサを提供することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出光を出射する投光手段と、
少なくとも１つの光学部品を備え、前記投光手段からの検出光を収束させて被測定対象物に照射させる光学手段と、
前記光学手段により収束された検出光の焦点位置を同検出光の光軸方向に予め設定された振幅・周期で往復移動させるべく、前記光学部品を振動させる加振手段と、
その振動によって変化する前記光学部品の位置変位に応じた位置信号を出力する位置センサと、
被測定対象物で反射される反射検出光を受光し、その受光量に応じた受光信号を出力する受光手段と、
前記受光手段からの受光信号を一定の周期でＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、
前記Ａ／Ｄ変換手段により変換されたディジタル信号が記憶される記憶手段と、
前記予め設定された振幅・周期から前記光学部品の振動の変化の様子（振動曲線）を特定するとともに、特定された振動曲線と前記記憶手段に記憶されたディジタル信号の信号値の大きさが最大となる最大受光量時点とから前記被測定対象物の光軸方向における変位を決定する変位決定手段とを備える変位センサであって、
前記位置センサからの位置信号を同位置信号の振幅範囲内のしきい値と比較して、同信号がしきい値以上であるか、否かに基づいて２値化信号を出力する２値化手段と、
前記ディジタル信号の信号値の大きさが最大となる第１の最大受光量時点、並びにこの第１の最大受光量時点以降の第２の最大受光量時点とからその中間時間を基準時ｔｏとして決定する基準時決定手段とを備え、
前記変位決定手段は決定された前記基準時ｔｏ並びに前記２値化信号に基づいて同基準時ｔｏにおいて振動幅が最大となるように前記振動曲線の位相を決定するとともに、この基準時ｔｏから前記最大受光時点までの時間ｔｘを決定し、
決定された時間ｔｘにおける前記振動曲線上の位置に基づいて前記被測定対象物の光軸方向に関する変位が決定されるように構成されていることを特徴とする変位センサ。
【請求項２】
前記基準時決定手段は前記第１並びに第２の最大受光時点以降における前記ディジタル信号の信号値の大きさが最大となる第３の最大受光量時点並びに、この第３の最大受光量時点以降の第４の最大受光量時点とからその中間時間ｔｄを算出し、得られた中間時間ｔｄから前記基準時ｔｏを減算することで前記光学部品の振動周期を決定することを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
【請求項３】
前記記憶手段に対して信号読み込み開始用の動作クロックを与えるクロック手段を備え、
前記記憶手段は前記動作クロックの入力がなされる度に、前記Ａ／Ｄ変換手段からの出力信号並びに前記２値化手段からの出力信号を読み込むように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の変位センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変位センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、合焦装置を備えた変位センサとして、特許文献１に示されるものがある。この変位センサは、投光部からの検出光を収束させる対物レンズと、収束された光の集光点が被測定対象物上と一致するときに、その反射光による受光量が最大受光量となるように構成された合焦点光学系を備えている。対物レンズは加振手段により光軸方向に所定周期で往復移動され、その位置変位が振幅検出器により検出される。一方、反射光はホトダイオードによって受光され、ホトダイオードからは受光量に応じた大きさの受光信号が出力されるようになっている。そして、振幅検出器から得られる対物レンズの位置情報と、受光信号から得られる合焦タイミング（最大受光量となる時点）とに基づいて被測定対象物の光軸方向における変位を測定するように構成されている。
【特許文献１】特許第３３００８０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記構成のものでは、被測定対象物の変位を計測するのに、最大受光量となる時点での対物レンズの位置を求める必要がある。一方、振幅検出器は例えば磁気センサが用いられるが、この磁気センサからの位置信号は実際の対物レンズの位置に対して応答の遅れがるため、図８に示すように対物レンズに位置を算出するに際し、応答の遅れ分の誤差ｒが生じてしまうという問題があった。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、測定誤差の少ない変位センサ提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、検出光を出射する投光手段と、少なくとも１つの光学部品を備え、前記投光手段からの検出光を収束させて被測定対象物に照射させる光学手段と、前記光学手段により収束された検出光の焦点位置を同検出光の光軸方向に予め設定された振幅・周期で往復移動させるべく、前記光学部品を振動させる加振手段と、その振動によって変化する前記光学部品の位置変位に応じた位置信号を出力する位置センサと、被測定対象物で反射される反射検出光を受光し、その受光量に応じた受光信号を出力する受光手段と、 前記受光手段からの受光信号を一定の周期でＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、前記Ａ／Ｄ変換手段により変換されたディジタル信号が記憶される記憶手段と、前記予め設定された振幅・周期から前記光学部品の振動の変化の様子（振動曲線）を特定するとともに、特定された振動曲線と前記記憶手段に記憶されたディジタル信号の信号値の大きさが最大となる最大受光量時点とから前記被測定対象物の光軸方向における変位を決定する変位決定手段とを備える変位センサであって、前記位置センサからの位置信号を同位置信号の振幅範囲内のしきい値と比較して、同信号がしきい値以上であるか、否かに基づいて２値化信号を出力する２値化手段と、前記ディジタル信号の信号値の大きさが最大となる第１の最大受光量時点、並びにこの第１の最大受光量時点以降の第２の最大受光量時点とからその中間時間を基準時ｔｏとして決定する基準時決定手段とを備え、前記変位決定手段は決定された前記基準時ｔｏ並びに前記２値化信号に基づいて同基準時ｔｏにおいて振動幅が最大となるように前記振動曲線の位相を決定するとともに、この基準時ｔｏから前記最大受光時点までの時間ｔｘを決定し、決定された時間ｔｘにおける前記振動曲線上の位置に基づいて前記被測定対象物の光軸方向に関する変位が決定されるように構成されているところに特徴を有する。
尚、ここでいう、振動の変化の様子を特定するとは、振動の様子を波形によって表すこと、或いは同波形を数式によって表すことをいう。
【０００５】
請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記基準時決定手段は前記第１並びに第２の最大受光時点以降における前記ディジタル信号の信号値の大きさが最大となる第３の最大受光量時点並びに、この第３の最大受光量時点以降の第４の最大受光量時点とからその中間時間ｔｄを算出し、得られた中間時間ｔｄから前記基準時ｔｏを減算することで前記光学部品の振動周期を決定するところに特徴を有する。
【０００６】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載のものにおいて、前記記憶手段に対して信号読み込み開始用の動作クロックを与えるクロック手段を備え、前記記憶手段は前記動作クロックの入力がなされる度に、前記Ａ／Ｄ変換手段からの出力信号並びに前記２値化手段からの出力信号を読み込むように構成されているところに特徴を有する。
【発明の効果】
【０００７】
＜請求項１の発明＞
請求項１の発明によれば、光学部品の振動曲線の位相、すなわち基準時ｔｏを受光手段からの受光信号に基づいて決定することとしている。このように、検出反射光（応答速度の極めて速いもの）の光量を基準としてやれば、位置センサの位置信号に基準とする場合に比べて応答遅れが少なくて済む。また、位相の特定を受光信号を主体として行うことで、位置信号側の信号処理が大幅に単純化されている（従来におけるゼロクロス検出回路やカウンターの廃止）。これにより、電気回路の構成が簡略化されるから、その分、低コスト化が図られる。
【０００８】
＜請求項２の発明＞
請求項２の発明によれば、光学部品の振動周期を受光信号に基づいて決定しているから、振動周期を予め設定された固定値とする場合に比べて光学部品の固体差による振動周期のばらつきを排除することが可能で、光学部品の正確な振動曲線が得られる。
【０００９】
＜請求項３の発明＞
請求項３の発明によれば、記憶手段には動作クロックが入力される度に、Ａ／Ｄ変換手段からの出力信号並びに前記２値化手段からの出力信号が読み込まれる。そのため、両出力信号を容易に対応付け、すなわち最大受光量時点の信号が光学部品のピーク点のうち極大と対応するものであるか、極小と対応するものであるかが容易に判断可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態を図１ないし図６によって説明する。
変位センサ１０は検出光を出射するレーザダイオード（本発明の投光手段に相当する）１１と、レーザダイオード１１からの検出光を収束させて被測定対象物Ｗに照射させる光学部（本発明の光学手段に相当する）２１と、被測定対象物Ｗからの反射光を受光するためのフォトダイオード（本発明の受光手段に相当する）２５と、検出光の焦点位置を光軸方向に振動させるための加振部（本発明の加振手段に相当する）３１並びにＣＰＵ（本発明の基準時決定手段、変位決定手段に相当する）３５を主体として構成されるとともに、これら全体が合焦装置、すなわち検出光の焦点が被測定対象物Ｗ上に生じた場合（以下、合焦時とする）に、フォトダイオード２５の受光量が最大となるような光学系を形成し、合焦時における対物レンズ２３の位置（振動中心Ｌｏからの距離）から被測定対象物Ｗの光軸Ｃ１方向に沿った変位を決定することができる。
【００１１】
光学部２１はコリメータレンズ２２、及び対物レンズ（本発明の光学部品に相当）２３から構成されるとともに、レーザダイオード１１とコリメータレンズ２２との間に位置して偏光ビームスプリッタ２４が配置されている。この偏光ビームスプリッタ２４はＰ偏光を反射しＳ偏光を透過させる。また、フォトダイオード２５前方にはピンホール２６Ａを有する光絞り部２６が配置されている。
【００１２】
ＣＰＵ３５から制御信号Ｓａが送られると、レーザ駆動制御回路１２から駆動電流が流され、レーザダイオード１１からＳ偏光の検出光（レーザ光）が出射される。すると、検出光は偏光ビームスプリッタ２４を通過した後、コリメータレンズ２２で平行光に変換される。コリメータレンズ２２で変換された平行光は、対物レンズ２３に入射することにより被測定対象物Ｗに集光状態で投射される。
【００１３】
被測定対象物Ｗからの検出反射光（以下、単に反射光とする）は、対物レンズ２３、コリメータレンズ２２を通過して偏光ビームスプリッタ２４で反射することにより、光絞り部２６のピンホール２６Ａを通過してフォトダイオード２５へ入射するようになっている。入射した光はフォトダイオード２５内で光電変換された後、受光信号Ｓｄとして出力される。
なお、図１には示していないが、偏光ビームスプリッタ２４を通過したレーザ光が被測定対象物Ｗで反射して偏光ビームスプリッタ２４に戻った際に光の振動方向を９０°回転させる振動方向変換手段としての１／４波長板が設けられており（例えば、対物レンズ２３と被測定対象物Ｗとの間に配置）、これにより、偏光ビームスプリッタ２４に戻ったレーザ光がレーザダイオード１１の光軸Ｃ１の直交方向に反射されるようになっている。
【００１４】
加振部３１は一対の振動片３２Ａ、３２Ｂを有する音叉３２、音叉駆動用のソレノイド３３並びに音叉振幅制御回路３４よりなる。音叉３２はレーザダイオード１１の光軸Ｃ１に対して直交する方向を指向するように配設され、その一方側の振動片３２Ａの先端には先に述べた対物レンズ２３の周縁部が連結されている。ソレノイド３３は音叉３２の他方側の振動片３２Ｂの側方（図１における上方）に配置されている。また、対物レンズ２３が連結された振動片３２Ａの側方（図１における下側）には対物レンズ２３の位置検出を行うための位置センサ４１が配置されている。
【００１５】
本実施形態において、位置センサ４１には高周波発振型の磁気センサが使用されており（図２参照）、同磁気センサは検出コイル４１Ｄ、発振回路４１Ａ、発振状態検出回路４１Ｂ、出力回路４１Ｃから構成されている。検出コイル４１Ｄからは高周波磁界が発生しており、これが検出体たる被測定対象物Ｗに近接すると、被測定対象物Ｗに誘導電流が流れる。これにより検出コイル４１Ｄに相互誘導が生ずるため検出コイル４１Ｄのインピーダンスが変化し、これが発振振幅（位置信号Ｓｃ）の変化となって現れる。
【００１６】
ＣＰＵ３５から制御信号Ｓｂが送られると、音叉振幅制御回路３４からソレノイド３３に所定周波数のパルス電流または交流電流が供給される。これにより、ソレノイド３３には交番磁界が発生する。この交番磁界により音叉３２、ひいては対物レンズ２３はレーザダイオード１１の光軸Ｃ１に沿って振動される。そして、位置センサ４１は対物レンズ２３の光軸Ｃ１方向に関する位置変位を検出し、それに応じた位置信号（交流波形に直流成分が含まれた脈流の信号）Ｓｃを出力する。尚、位置センサ（磁気センサ）においては、一般に検出体（被測定対象物Ｗ）の位置変位に対して数十μｓｅｃ程度の応答の遅れがある。
【００１７】
また、本実施形態において、音叉振幅制御回路３４には帰還路４３を通って出力の一部が帰還する構成とされており、対物レンズ２３は予め設定された一定の角速度、周期Ｔ並びに振幅Ａで振動するようにフィードバック制御されている。
【００１８】
次に、フォトダイオード２５からの受光信号Ｓｄ、位置センサ４１からの位置信号Ｓｃの信号処理について説明し、その後、合焦時における対物レンズ２３を決定するための具体的な算出手順を説明する。
図１に示すように、フォトダイオード２５からの受光信号（アナログ信号）ＳｄはＡ／Ｄ変換器（本発明のＡ／Ｄ変換手段に相当する）３７に入力される。Ａ／Ｄ変換器３７はクロック回路（本発明のクロック手段に相当する）３８から与えられる動作クロックの周期で受光信号Ｓｄをディジタル信号に変換するとともに、変換されたディジタル信号Ｓｄをメモリ（本発明の記憶手段に相当する）３６に出力するよう構成されている。
【００１９】
一方、位置センサ４１からの位置信号（アナログ信号）Ｓｃはコンパレータ（本発明の２値化手段に相当する）５１に対して入力されるようになっている。このコンパレータ５１には位置センサ４１の位置信号Ｓｃの振幅内のレベルに設定された基準電圧Ｖｒが与えられており２値化信号、すなわち位置センサ４１からの位置信号Ｓｃが基準電圧Ｖｒ以上の期間だけＨレベルの信号をメモリ３６に対して出力し、それ以外の場合にはＬレベルの信号を出力する。
【００２０】
そして、メモリ３６はコンパレータ５１からの出力信号並びにＡ／Ｄ変換器３７からの出力信号をクロック回路３８からの動作クロックが入力される度に、読み込むように構成されている。以上のことから、メモリ３６にはディジタル信号化された受光信号Ｓｄと、２値化された位置信号Ｓｃが対応付けされた状態で記憶されることとなる。
【００２１】
次に、合焦時における対物レンズ２３の位置を決定するためＣＰＵ３５の処理について説明する。まず、大まかな処理手順を説明すると、ＣＰＵ３５は予め設定（フィードバック制御の目標値）された振動の周期Ｔ並びに振幅Ａから対物レンズ２３の振動曲線（位相を考慮しないもの）Ｓｏを特定する。そして、フォトダイオード２５の受光信号Ｓｄから対物レンズ２３の位相を決定（基準時ｔｏの算出）する。その後、決定された位相に基づいて振動曲線Ｓｏに対して位相の調整を行って正規位相の振動曲線Ｓを算出し、これから合焦時における対物レンズ２３の位置を算出することとしている。
【００２２】
１.振動曲線Ｓｏの特定
ＣＰＵ３５は（１）〜（２）式から対物レンズ２３の振動曲線Ｓｏを決定する（図５におけるＳ１０参照）。
【００２３】
Ｓｏ＝Ａ×ＳＩＮωｔ・・・・・・・・・・・・・（１）
ω＝２π/Ｔ・・・・・・・・・・・・・・・・・（２）
なお、Ａは対物レンズ２３の振幅、Ｔは対物レンズ２３の振動の周期である。
【００２４】
２．位相の特定
本実施形態では振動曲線Ｓｏの位相を特定するため、現実の振動曲線上の構成点から図４における極大点（振動中心Ｌｏからの距離が最大となる点であって、本発明の振幅幅が最大に相当）Ｒを基点として抽出し、その座標を求めることとしている。極大点ＲのＹ座標はＡ／２であるから、この極大点ＲのＸ座標（以下、基準時ｔｏとする）を算出してやれば、基点の座標を決定することが出来る。
先に述べたように、対物レンズ２３は一定の角速度で振動するようにフィードバック制御されているから対物レンズ２３の波形は、図４に示すように極大点Ｒを通る中心軸Ｄ１を基準とした場合に中心軸Ｄ１の左側と右側とで左右対称となる。そのため、フォトダイオード２５から検出される受光信号Ｓｄがピークとなる第１の最大受光量時点ｔ１から基準時ｔｏまでの時間と、基準時ｔｏから次のピークとなる第２の最大受光量時点ｔ２までの時間は等しくなる（下記（３）式参照）。
【００２５】
ｔｏ−ｔ１＝ｔ２−ｔｏ・・・・・・（３）
【００２６】
従って、メモリ３６に入力されたディジタル信号値の大きさ変化の度合い（傾きの反転）から受光信号Ｓｄの受光レベルがピークとなる第１・第２の最大受光量時点ｔ１、ｔ２を決定するとともに、得られた最大受光量時点ｔ１、ｔ２からその中間時間をＣＰＵ３５によって演算処理により算出することで、基準時ｔｏが得られる。
【００２７】
ｔｏ＝（ｔ１+ｔ２）/２・・・・・（４）
【００２８】
このような算出手順をとることで、基準時ｔｏを対物レンズ２３の現実の位置変位に対して正確に特定することが可能となる。というのも、最大受光量時点ｔ１、ｔ２はいずれも受光信号Ｓｄに基づくものであるが、受光信号Ｓｄは反射光（伝達速度は毎秒約３０万km）を光電変換したものであるためである。
【００２９】
また、ＣＰＵ３５は基準時ｔｏを演算処理により算出したときに、その基準時ｔｏにおいて対物レンズ２３が、振動の中心Ｌｏを基準とした場合に位置センサ４１に近接した側にあるのか（極大）、あるいは位置センサ４１から遠い側にあるのか（極小）をコンパレータ５１からの２値化信号によって判定するようになっている（Ｓ３０参照）。これは、先の説明においては最大受光時点ｔ１、ｔ２が極大点付近で現れる場合を例にとって説明したが、被測定対象物Ｗの位置によっては受光信号Ｓｄの最大受光量時点ｔ１、ｔ２が極小点側に現れる場合もあり、ＣＰＵ３５は受光信号Ｓｄからでは対物レンズ２３が極大側に振れた状態にあるのか、極小側に振れた状態にあるのかを判定することができないからである。尚、具体的な判定基準としてはコンパレータ５１からの出力がｔ１並びにｔ２の両時点においてＨレベルであれば、基準時ｔｏは極大時点であると判定され、コンパレータ５１からの出力がｔ１並びにｔ２の両時点においてＬレベルであれば、基準時ｔｏは極小時点であると判定される。本実施形態では、コンパレータ５１からの出力はｔ１並びにｔ２のいずれの時点においても、Ｈレベルである。
【００３０】
３．位相調整
基準時ｔｏが算出されたら、ＣＰＵ３５は基準時ｔｏで振動中心Ｌｏからの距離が最大となるように振動曲線Ｓｏの位相調整を行い（Ｓ４０参照）、下記の（５）式によって表される正規位相の振動曲線Ｓを得る。
【００３１】
Ｓ＝Ａ×ＣＯＳ（ωｔ−θ１）・・・・・・・・・（５）
θ１＝２π×ｔｏ/Ｔ・・・・・・・・・・・・・・（６）
【００３２】
４．合焦時点の対物レンズ２３の位置の算出
そして、ＣＰＵ３５は基準時ｔｏからピーク値が検出されるまでの時間ｔｘ、すなわち合焦時を決定する。そして、得られた合焦時ｔｘにおける正規位相の振動曲線Ｓ上の位置に基づいて対物レンズ２３の位置、すなわち振動中心Ｌｏからの距離が算出される。たとえば、合焦時がｔａであった場合には、対物レンズ２３の振動の中心Ｌｏからの距離Ｌａは次の（７）式となる（図６参照）。
【００３３】
Ｌａ＝Ａ×ＣＯＳ（ω×（ｔｏ＋ｔａ）−θ１））・・・（７）
【００３４】
合焦時における対物レンズ２３の振動の中心Ｌｏからの距離Ｌａが得られれば、この距離Ｌａに被測定対象物Ｗの変位量は比例するから被測定対象物Ｗの変位量は簡単な演算処理等によって算出が可能である。
【００３５】
続いて、本実施形態の作用効果について説明する。
本実施形態によれば、対物レンズ２３の振動曲線Ｓの位相を受光信号Ｓｄに基づいて決定しているから（位置信号Ｓｃは極大あるいは極小の判定にのみ使用）、例えば位置センサ４１からの位置信号Ｓｃに基づいて位相を決定する場合に比べて、対物レンズ２３の現実の変位に対する応答の遅れが少なくて済む。従って、合焦時における対物レンズ２３の位置、ひいては被測定対象物Ｗの変位の測定精度が高まる。
尚、現実には受光回路においても応答の遅れ（Δｔ）があるが、これは上述した第１・第２の最大受光量時点ｔ１、ｔ２並びに基準時ｔｏのいずれにも等しく含まれる。従って、正規位相の振動曲線Ｓ並びに最大受光量時点の双方の遅れが等しくなり、被測定対象物Ｗの変位算出上、応答の遅れは相殺されることとなる。
【００３６】
また、位相の特定を受光信号Ｓｄを主体として行うことで、位置信号Ｓｃ側の信号処理が大幅に単純化されている（従来におけるゼロクロス検出回路やカウンターの廃止）。これにより、電気回路の構成が簡略化されるから、その分、低コスト化が図られる。
【００３７】
＜実施形態２＞
次に、本発明の実施形態２について説明する。
実施形態１では対物レンズ２３の振動曲線Ｓｏを算出する際に使用する振動の周期Ｔを、予め定められた制御目標値（フィードバック制御する際の目標値）を使用したが、実施形態２ではフォトダイオード２５の受光信号に基づいて算出することとしている。
具体的には、図３に示すように受光信号Ｓｄからの出力のうちの第３の最大受光量時点ｔ３、第４の最大受光量時点ｔ４とからその中間時間ｔｄを算出し、得られた中間時間ｔｄから実施形態１で算出された基準時ｔｏを減算することで周期Ｔの算出を行っている。
【００３８】
Ｔ＝ｔｄ−ｔｏ・・・・・・・・・・（８）
【００３９】
このように、実施形態２においては、対物レンズ２３の周期Ｔをフォトダイオード２５からの受光信号Ｓｄに基づいて算出しているから、より一層正確な対物レンズ２３の振動特性、ひいては被測定対象物Ｗの変位量が得られる。
＜実施形態３＞
本発明の実施形態３を図７を参照して説明する。
実施形態１では光学部２１をコリメータレンズ２２並びに対物レンズ２３から構成したが、実施形態３ではこれらの構成に、発散レンズ６１を追加している。そして、発散レンズ６１の周縁部に音叉３２を連結することで発散レンズ６１を光軸方向に振動させて、焦点位置を往復移動させている。その他の構成は第１実施形態と同一であるため、同一部品には同一符号を付して説明は省略するものとする。
【００４０】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００４１】
（１）上記実施形態では位置センサは磁気センサにより構成したが、対物レンズの位置変位に応じた出力を行うものであれば適用可能であり（応答遅れがあってもよい）、たとえば、静電容量式のセンサであってもよい。
【００４２】
（２）上記実施形態ではいずれもレンズを振動させたが、振動の対象となる光学部品についてはレンズに限るものではなく、投光経路上の他の部品であってもよい。すなわち、自身の振動によって検出光の焦点位置が光軸Ｃ１に沿って移動する構成であればよく、たとえばミラーやピンホールを振動させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態にかかる変位センサの構成を示す図
【図２】位置センサの構成を示す図
【図３】コンパレータからの出力を示す図
【図４】対物レンズの位置変位と受光信号の関係を示す図
【図５】正規位相の振動曲線の算出手順をあらわすフローチャート図
【図６】正規位相の振動曲線並びに、受光信号を示す図
【図７】実施形態３における変位センサの構成を示す図
【図８】従来例を示す図
【符号の説明】
【００４４】
１１…レーザダイオード
２１…光学部
２３…対物レンズ
２５…フォトダイオード
３１…加振部
３５…ＣＰＵ
４１…位置センサ
５１…コンパレータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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