(57)【要約】【課題】  吐出口の高密度化及び高粘度インクの吐出を実現すると共に、駆動用配線を含む構成部材の生産性を向上し、駆動用配線に対する確実な絶縁処理を可能とする。【解決手段】  液体を吐出する複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、圧力室の吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、圧力室を変形する圧電素子と、圧力室の吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が共通液室内を立ち上がるように形成された圧電素子を駆動するための電極を有する配線部材と、共通液室の圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁に配置され、圧電素子を駆動するための駆動回路とを備え、電極及び駆動回路が樹脂で覆われるようにして一体的に構成される液体吐出ヘッドを提供することにより、前記課題を解決する。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数の吐出口と、
前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、
前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、
前記圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように形成された、前記圧電素子を駆動するための電極を有する配線部材と、
前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁に配置され、前記圧電素子を駆動するための駆動回路と、を備え、
前記電極及び前記駆動回路は、樹脂で覆われるようにして一体的に構成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記配線部材は、前記圧電素子又は前記圧電素子の近傍から立ち上がるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の吐出口は、２次元的に配列され、
前記複数の配線部材は、前記圧電素子が配置される面に対して２次元的に配列されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項５】
液体を吐出する複数の吐出口と、
前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、
前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、
前記圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように形成された、前記圧電素子を駆動するための電極を有する配線部材と、
前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁に配置され、前記圧電素子を駆動するための駆動回路と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁の一部に相当する金属層に対して、前記電極に相当する凸状の複数の導電部材を形成する導電部材形成工程と、
前記金属層の前記複数の導電部材が形成される側の面を樹脂で成型して、前記複数の導電部材の側面を樹脂で覆う第１の樹脂成型工程と、
前記金属層を加工して、前記複数の導電部材を電気的に個別分離する分離工程と、
前記駆動回路を前記金属層の所定の位置に取り付ける駆動回路取付工程と、
電気的に個別分離された前記複数の導電部材の夫々と前記駆動回路を電気的に接続する駆動回路接続工程と、
前記金属層の前記複数の導電部材が形成される側とは反対側の面を樹脂で成型して、前記金属層及び前記駆動回路の表面を樹脂で覆う第２の樹脂成型工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
液体を吐出する複数の吐出口と、
前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、
前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、
前記圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように形成された、前記圧電素子を駆動するための電極を有する配線部材と、
前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁に配置され、前記圧電素子を駆動するための駆動回路と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁の一部に相当する所定の配線パターンが形成される金属層に対して、前記駆動回路を前記金属層の所定の位置に取り付ける駆動回路取付工程と、
前記金属層に対して、前記電極に相当する凸状の複数の導電部材を形成する導電部材形成工程と、
前記金属層の両面を樹脂で成型して、前記金属層及び前記導電部材の表面と前記駆動回路の側面を樹脂で覆う樹脂成型工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、画像形成装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に係り、特に、液体吐出ヘッドに備えられる圧電素子の駆動用配線の配設技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式の画像形成装置には、ノズルをマトリクス状に配列した印字ヘッド（液体吐出ヘッド）を備えたものがある（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。特許文献１及び特許文献２に開示された印字ヘッドは、圧力室のノズルが形成される側と同じ側に共通液室が形成されている。この印字ヘッドでは、圧電素子を駆動するための駆動用配線を振動板上に配設する場合、駆動用配線の配線スペースが不足し、ノズルの高密度化が困難となってしまう恐れがある。また共通液室のサイズに対する制約や共通液室と圧力室の間の流路の複雑化により、リフィル性能を向上させることが難しい構造となっている。
【０００３】
そこで、上記印字ヘッドと異なる構成が様々提案されている（例えば、特許文献３乃至特許文献７参照）。特許文献３乃至特許文献６には、圧力室のノズルが形成される側とは反対側に共通液室及び圧電素子が配置された構成が記載されており、特許文献７には、圧力室のノズルが形成される側と同一側に共通液室及び圧電素子が配置された構成が記載されている。各印字ヘッドの具体的な構成は以下の通りである。
【０００４】
特許文献３には、圧力室の上面を形成する振動板に、インクを圧力室へ供給するインク供給路を設けるとともに、振動板の裏面にリザーバ（共通液室）を形成し、圧力室にリザーバよりインク供給路を介してインクを供給するようにした構成が開示されている。
【０００５】
また特許文献４には、振動板に供給絞りを設け、圧電素子の圧力室とは反対側にインク供給部としてのインク供給タンクを設け、インク供給タンクから振動板を貫いて圧力室に連通するインク供給口を備えた構成が開示されている。インク供給部には、圧電素子に対する絶縁性を確保するための密閉カバーや、圧力室の圧力変動を吸収する薄肉部が形成されている。
【０００６】
また特許文献５には、圧力室のノズルが設けられた面とは反対側の面に圧電素子を設け、さらに圧電素子側にインク供給用のリザーバの一部を配置し、また圧電素子には覆いを設け、ワイヤボンドや薄膜で電極を取り出すようにした構成が開示されている。
【０００７】
また特許文献６には、焼結ステンレス鋼などの多数の小さな内部接続された孔を有する多孔質材をインク供給層に適用した構成が開示されている。
【０００８】
また特許文献７には、圧力室のノズルが形成される側と同一側に、共通液室及び圧電素子が配置された構成を有する印字ヘッドが開示されており、圧力室に対してノズル面側に配置された圧電素子とその反対側に配置された駆動回路とを積層を貫通するアルミプラグにより電気的に接続している。
【特許文献１】特開２００１−３３４６６１号公報
【特許文献２】特開２００２−１６６５４３号公報
【特許文献３】特開平９−２２６１１４号公報
【特許文献４】特開２００１−１７９９７３号公報
【特許文献５】特開２０００−１２７３７９号公報
【特許文献６】特表２００３−５１２２１１号公報
【特許文献７】特開２０００−２８９２０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献３に開示された印字ヘッドでは、圧電素子の駆動用配線の配設方法を振動板上に配設する場合、ノズル数の増加により振動板上の圧電素子の数が増加すると、駆動用配線の配線スペースが不足する恐れがある。
【００１０】
また特許文献４に開示された印字ヘッドでは、振動板の延在部分にフレキシブルケーブルが接続される構成であるため、圧電素子の駆動用配線は振動板上に配設しなければならず、特許文献３と同様に、駆動用配線の配線スペースが不足する恐れがある。
【００１１】
また特許文献５に開示された印字ヘッドでは、ノズル配置がマトリクス構造でなく、１つのノズル列の構成であるため、ノズルの高密度化に適さない。
【００１２】
また特許文献６に開示された印字ヘッドでは、圧電素子の駆動用配線が振動板に対して略垂直方向に立ち上がるように配線層まで形成されており、この配線層の上方に共通液室が設けられている。このため共通液室から圧力室に対してインクを供給する流路が長くなり、しかもインク供給層が多孔質部材により構成されているため流路抵抗が大きく、リフィル性能が良くないという問題がある。そのため高粘度インクの吐出やノズルの高周波駆動を行うことは困難である。
【００１３】
また特許文献７に開示された印字ヘッドでは、圧力室のノズルが形成される側と同一側に共通液室が配置されるため、特許文献１及び特許文献２の印字ヘッドと同様に共通液室のサイズに制約が伴い、リフィル性能を向上させることが困難な構成となっている。また圧力室のノズルが形成される側と同一側に配置される圧電素子の駆動回路は、圧力室のノズルが形成される側と反対側に設けられているため、圧力室を構成する積層板を貫通するようにして、圧電素子の駆動用配線を配設しなければならない。従って、ノズルの高密度化に伴って圧力室の数が増加すると、このような駆動用配線の配線スペースが不足する恐れがある。
【００１４】
このように従来の印字ヘッドでは、駆動用配線の配線スペースを確保したり、リフィル性能を向上させたりすることが難しく、ノズルの高密度化や高粘度インクの吐出を実現することは困難であった。またノズルの高密度化を行うと駆動用配線数が多くなるため、駆動用配線の配線スペースを確保するだけでなく、駆動用配線を含む構成部材の生産性を向上させることも要求される。さらに、これらの駆動用配線の配置構成によっては駆動用配線に対する絶縁処理を確実に行うことも要求される。
【００１５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ノズルの高密度化及び高粘度インクの吐出を実現すると共に、駆動用配線を含む構成部材の生産性を向上し、駆動用配線に対する確実な絶縁処理を可能とする液体吐出ヘッド、画像形成装置及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、液体を吐出する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、前記圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように形成された、前記圧電素子を駆動するための電極を有する配線部材と、前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁に配置され、前記圧電素子を駆動するための駆動回路と、を備え、前記電極及び前記駆動回路は、樹脂で覆われるようにして一体的に構成されていることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
【００１７】
本発明によれば、圧力室の吐出口（ノズル）が形成される側とは反対側に共通液室を設け、共通液室を立ち上がるように圧電素子を駆動するための電極を有する配線部材を設けたことにより、共通液室の圧電素子が形成される側とは反対側の隔壁に駆動用配線の配線スペースを確保することができると共に、リフィル性能が向上する。これにより、ノズルの高密度化及び高粘度インクの吐出が可能となる。特に本発明では、配線部材の電極と駆動回路が樹脂で覆われるようにして一体的に構成することによって、電極に対する絶縁処理を確実に行うことができ、液体吐出ヘッドの生産性が向上すると共に、液体吐出ヘッドの高集積化を図ることができ、液体吐出ヘッドの小型化を実現することができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、前記配線部材は、前記圧電素子又は前記圧電素子の近傍から立ち上がるように形成されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項２の態様によれば、吐出口（ノズル）の高密度化が可能となる。
【００２０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッドであって、前記複数の吐出口は、２次元的に配列され、前記複数の配線部材は、前記圧電素子が配置される面に対して２次元的に配列されていることを特徴とする。
【００２１】
請求項３の態様によれば、さらなる吐出口（ノズル）の高密度化が可能となると共に、配線部材の配置確保と共通液室内の流体抵抗が低減する。
【００２２】
また前記目的を達成するために、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を提供する。
【００２３】
また前記目的を達成するために、請求項５に記載の発明は、液体を吐出する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、前記圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように形成された、前記圧電素子を駆動するための電極を有する配線部材と、前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁に配置され、前記圧電素子を駆動するための駆動回路と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁の一部に相当する金属層に対して、前記電極に相当する凸状の複数の導電部材を形成する導電部材形成工程と、前記金属層の前記複数の導電部材が形成される側の面を樹脂で成型して、前記複数の導電部材の側面を樹脂で覆う第１の樹脂成型工程と、前記金属層を加工して、前記複数の導電部材を電気的に個別分離する分離工程と、前記駆動回路を前記金属層の所定の位置に取り付ける駆動回路取付工程と、電気的に個別分離された前記複数の導電部材の夫々と前記駆動回路を電気的に接続する駆動回路接続工程と、前記金属層の前記複数の導電部材が形成される側とは反対側の面を樹脂で成型して、前記金属層及び前記駆動回路の表面を樹脂で覆う第２の樹脂成型工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【００２４】
さらに前記目的を達成するために、請求項６に記載の発明は、液体を吐出する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、前記圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように形成された、前記圧電素子を駆動するための電極を有する配線部材と、前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁に配置され、前記圧電素子を駆動するための駆動回路と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記共通液室の前記圧電素子が配置される側とは反対側の隔壁の一部に相当する所定の配線パターンが形成される金属層に対して、前記駆動回路を前記金属層の所定の位置に取り付ける駆動回路取付工程と、前記金属層に対して、前記電極に相当する凸状の複数の導電部材を形成する導電部材形成工程と、前記金属層の両面を樹脂で成型して、前記金属層及び前記導電部材の表面と前記駆動回路の側面を樹脂で覆う樹脂成型工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、圧力室の吐出口（ノズル）が形成される側とは反対側に共通液室を設け、共通液室を立ち上がるように圧電素子を駆動するための電極を有する配線部材を設けたことにより、共通液室の圧電素子が形成される側とは反対側の隔壁に駆動用配線の配線スペースを確保することができると共に、リフィル性能が向上する。これにより、ノズルの高密度化及び高粘度インクの吐出が可能となる。特に本発明では、配線部材の電極と駆動回路が樹脂で覆われるようにして一体的に構成することによって、電極に対する絶縁処理を確実に行うことができ、液体吐出ヘッドの生産性が向上すると共に、液体吐出ヘッドの高集積化を図ることができ、液体吐出ヘッドの小型化を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２７】
〔第１の実施形態〕
図１は、本発明が適用される画像形成装置の一実施形態であるインクジェット記録装置の全体概略図である。図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。
【００２８】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００２９】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００３０】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００３１】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００３２】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が平面（フラット面）をなすように構成されている。
【００３３】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー３４が設けられており、この吸着チャンバー３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。
【００３４】
ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。
【００３５】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００３６】
なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００３７】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００３８】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。
【００３９】
すなわち、印字部１２を構成する各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインクの吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００４０】
記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００４１】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００４２】
なお、ここで主走査方向及び副走査方向とは、次に言うような意味で用いる。すなわち、記録紙の全幅に対応したノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時、（１）全ノズルを同時に駆動するか、（２）ノズルを片方から他方に向かって順次駆動するか、（３）ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動するか、等のいずれかのノズルの駆動が行われ、用紙の幅方向（記録紙の搬送方向と直交する方向）に１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字をするようなノズルの駆動を主走査と定義する。そして、この主走査によって記録される１ライン（帯状領域の長手方向）の示す方向を主走査方向という。
【００４３】
一方、上述したフルラインヘッドと記録紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。そして、副走査を行う方向を副走査方向という。結局、記録紙の搬送方向が副走査方向であり、それに直交する方向が主走査方向ということになる。
【００４４】
また本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。
【００４５】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００４６】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
【００４７】
本例の印字検出部２４は、少なくとも各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
【００４８】
印字検出部２４は、各色の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
【００４９】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
【００５０】
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００５１】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００５２】
このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（不図示）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。
【００５３】
また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
【００５４】
図２は、インクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１０は、通信インターフェース７０、システムコントローラ７２、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８、プリント制御部８０、画像バッファメモリ８２、ヘッドドライバ８４等を備えている。
【００５５】
通信インターフェース７０は、ホストコンピュータ８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース７０にはＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。ホストコンピュータ８６から送出された画像データは通信インターフェース７０を介してインクジェット記録装置１０に取り込まれ、一旦画像メモリ７４に記憶される。画像メモリ７４は、通信インターフェース７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ７２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなどの磁気媒体を用いてもよい。
【００５６】
システムコントローラ７２は、通信インターフェース７０、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ８６との間の通信制御、画像メモリ７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ８８やヒーター８９を制御する制御信号を生成する。
【００５７】
モータドライバ７６は、システムコントローラ７２からの指示に従ってモータ８８を駆動するドライバである。ヒータドライバ７８は、システムコントローラ７２からの指示にしたがって後乾燥部４２等のヒーター８９を駆動するドライバである。
【００５８】
プリント制御部８０は、システムコントローラ７２の制御に従い、画像メモリ７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号（印字データ）をヘッドドライバ８４に供給する制御部である。プリント制御部８０において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ８４を介して印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙのインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
【００５９】
プリント制御部８０には画像バッファメモリ８２が備えられており、プリント制御部８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ８２に一時的に格納される。なお、図２において画像バッファメモリ８２はプリント制御部８０に付随する態様で示されているが、画像メモリ７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部８０とシステムコントローラ７２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。
【００６０】
ヘッドドライバ８４はプリント制御部８０から与えられる印字データに基づいて各色の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの圧電素子（図２中不図示、図４中符号５８として記載）を駆動する。ヘッドドライバ８４にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
【００６１】
印字検出部２４は、図１で説明したように、ラインセンサー（不図示）を含むブロックであり、記録紙１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部８０に提供するものである。
【００６２】
プリント制御部８０は、必要に応じて印字検出部２４から得られる情報に基づいて印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対する各種補正を行うようになっている。
【００６３】
次に、印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造について説明する。図３は、印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。同図では、印字ヘッドの基本的な配置構成の理解を容易にするため、後述する圧電素子や配線部材等の図示を省略している。なおインク色毎に設けられている各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを表すものとする。
【００６４】
図３に示すように、印字ヘッド５０は、インク滴を吐出するノズル５１、各ノズル５１に対応する圧力室５２及びインク供給口５３から成る複数の圧力室ユニット５４を千鳥でマトリクス状に配列させた構造となっている。圧力室５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル５１とインク供給口５３が設けられている。このようなマトリクス構造によって、ノズルピッチの高密度化が可能となり、記録媒体上に印字されるドットピッチの高密度化が実現される。
【００６５】
図４は、印字ヘッド５０の内部の概略構成の一部を表す斜視透視図である。同図には、４つの圧力室ユニット５４を含んだ構成が示されている。ノズル面５０Ａにはノズル５１が形成され、略直方体状の圧力室５２はノズル５１と連通している。圧力室５２のノズル５１が形成される側とは反対側の面は振動板５６によって構成されている。そして振動板５６上には、各圧力室５２に対応する位置に圧電素子５８が設けられている。
【００６６】
圧電素子５８上方に形成される空間は、各圧力室５２に供給するインクを貯留する共通液室５５である。共通液室５５は、各圧力室５２毎に設けられるインク供給口５３を介して連通しており、共通液室５５に貯留されるインクが各圧力室５２に分配供給される。
【００６７】
共通液室５５には、図４中下側から上側に向かって拡がるテーパ柱状の配線部材９０が設けられている。すなわち、配線部材９０は、圧電素子５８が配置される面である振動板５６に対して略垂直方向に、共通液室５５内を立ち上がるようにして形成されている。配線部材９０は、各圧電素子５８に対応して設けられており、それぞれ内部に電極（図４中不図示、図６中符号９２として記載）を有している。配線部材９０の上側は、共通液室５５の上壁を構成する配線基板９６に接続されている。
【００６８】
図５は、圧電素子５８と配線部材９０の平面配置関係を示す説明図であり、図４に示した印字ヘッド５０を上方から見た場合を表している。図５に示すように、各圧電素子５８は、圧力室５２と略同様の概略正方形の平面形状を有し、各圧力室５２に重なるようにして配置されている。また各圧電素子５８の図５中左下の隅部には、圧電素子５８の個別電極５７を外側に引き出した電極パッド５７ａが形成されており、配線部材９０は電極パッド５７ａに重なるようにして配置されている。
【００６９】
図６は、図５中６−６線に沿う断面図である。同図に示すように、印字ヘッド５０は、ノズル５１が形成されるノズルプレート６０、圧力室５２が形成される流路プレート６２及び振動板５６が積層状に接合された構成を有する。また振動板５６上には、圧力室５２に対応する位置に圧電素子５８が設けられると共に、圧電素子５８及び振動板５６の表面を覆うように構成されるプレート状の絶縁カバー６４が積層されている。絶縁カバー６４は、圧電素子５８上方に形成される共通液室５５に貯留されるインクから絶縁するための圧電素子５８の保護手段として設けられている。絶縁カバー６４は本例のようにプレート状に限らず、例えば膜状であってもよい。なお印字ヘッド５０を構成する各プレート部材（６０、６２、５６、６４）は、説明の便宜上、それぞれ１枚のプレートから成る構成を例示したが、複数枚から構成されていもよい。また印字ヘッド５０は、各プレート部材（６０、６２、５６、６４）の積層構造に限定されず、樹脂により一体的に構成されていてもよい。
【００７０】
振動板５６及び絶縁カバー６４には、共通液室５５と圧力室５２を連通するインク供給口５３に相当する貫通孔が形成されている。共通液室５５に貯留されるインクは、インク供給口５３を通って、圧力室５２に供給される。
【００７１】
振動板５６はＳＵＳ等の導電性部材から構成され、圧電素子５８の共通電極となっている。そのため圧電素子５８の個別電極５７を外側に引き出した電極パッド５７ａと振動板５６との間には、絶縁層６８が設けられている。
【００７２】
電極パッド５７ａ上方には、電極９２の側面が樹脂９４で覆われた構造体である配線部材９０が設けられている。配線部材９０は、図４において説明したように図４中下側から上側に向かって拡がるテーパ柱状であり、振動板５６に対して略垂直方向に共通液室５５内を立ち上がるように形成されている。また配線部材９０の先端部（図６中下側）は、電極９２が剥き出し状態となっている。
【００７３】
配線部材９０は、接着剤１２０によって電極パッド５７ａと接合されている。接着剤１２０は、導電性粒子１２２を含む非導電性樹脂１２４から構成されるものが使用され、例えば、非導電性樹脂１２４としてエポキシ接着剤がある。エポキシ接着剤は耐薬品性が高いため、インクに濡れる部分の接合に適している。
【００７４】
このような接着剤１２０を使用して配線部材９０と電極パッド５７ａを接合することにより、接着剤１２０に含まれる導電性粒子１２２を介して、配線部材９０の電極９２と電極パッド５７ａとが電気的に接続される。電極パッド５７ａは個別電極５７と一体的に構成されているため、上記接合によって配線部材９０の電極９２と個別電極５７の電気的導通が確保される。また配線部材９０と電極パッド５７ａの接合部周辺は図６の如く非導電性樹脂１２４で覆われるので、インクに対する絶縁性を上記接合と同時に確保できる。
【００７５】
本実施形態では、接着剤１２０の導電性粒子１２２は弾性を有することが好ましく、導電性粒子１２２のヤング率は配線部材９０のヤング率より小さいことがより好ましい。さらに、導電性粒子１２２は弾性体の表面を金属薄膜でコートした構造であることがより一層好ましい。弾性体の表面を金属薄膜でコートした構造を有する導電性粒子１２２として、例えばポリスチレン球の周りにＮｉ−Ａｕ無電界メッキをしたものがある。このように導電性粒子１２２が構成される場合、配線部材９０と電極パッド５７ａとの接合時に配線部材９０等の製造ばらつきを吸収することができる。また接合時に導電性粒子１２２が変形しやすくなるので、配線部材９０の変形や断線等を防止することができる。
【００７６】
共通液室５５の上壁を構成する配線基板９６は、樹脂で配線部材９０と一体的に構成されている。配線基板９６には不図示の配線パターンが形成されており、配線部材９０の電極９２は、配線基板９６に形成される各配線と電気的に接続されている。
【００７７】
かかる構造を有する印字ヘッド５０の作用について説明する。共通液室５５に貯留されたインクは、インク供給口５３を通って、各圧力室５２に分配供給される。図２に示したヘッドドライバ８４から、配線基板９６及び配線部材９０を介して、圧電素子５８に対して駆動信号が供給され、圧電素子５８が変形する。これにより振動板５６は変形し、圧力室５２に充填されているインクは加圧され、ノズル５１からインク滴として吐出される。ノズル５１からインク滴が吐出されると、共通液室５５からインク供給口５３を通って新しいインクが圧力室５２に供給され、次のインク吐出が行われる。
【００７８】
本実施形態では、圧力室５２のノズル５１が形成される側とは反対側に共通液室５５を配置すると共に、圧電素子５８を駆動するための電極９２を有する配線部材９０を振動板５６に対して略垂直方向に共通液室５５内を立ち上がるように配置することにより、圧電素子５８を駆動するための駆動用配線の配線スペースを共通液室５５の上壁を構成する配線基板９６に十分確保することができる。また共通液室５５と各圧力室５２を連通する流路が複雑にならず、リフィル性能が向上する。従って、ノズル５１の高密度化及び高粘度インクの吐出が可能となる。
【００７９】
次に、樹脂で配線部材９０と一体的に構成される配線基板９６の製造方法について説明する。図７（ａ）〜（ｆ）は、配線基板９６の製造工程を表す説明図である。まず図７（ａ）に示すように、１枚の金属層１００に対して略垂直方向に延びる柱状の導電部材（電極）９２を複数形成する。導電部材９２は、公知の電鋳法を用いて形成され、例えばＮｉ等から構成される。このとき各導電部材９２は、金属層１００を介して電気的に接続された状態となっている。なお電鋳法を用いないで、Ｃｕ、Ｎｉ，Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ又はこれらを含む合金等から成る導電性ピンを、導電部材９２と同様な配置になるように仮置きしておいてもよい。
【００８０】
次に、図７（ｂ）に示すように、金属層１００の導電部材９２が形成される側の面に対して電気絶縁性を有する樹脂９４で成型（モールド）して、導電部材９２の側面を樹脂９４で覆う。樹脂９４は、熱硬化性樹脂であることが好ましく、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、メラニン樹脂等がある。導電部材９２の側面を樹脂９４で覆った構造体は、図６に示した配線部材９０に相当する。
【００８１】
次に、図７（ｃ）に示すように、金属層１００の導電部材９２が形成される側と反対側に不図示のマスクをして、エッチング又はレーザーにより、各導電部材９２が電気的に分離するように金属層１００を加工して、個別金属層１００’を形成する。そして、マスクを剥離する。これにより、各導電部材９２は電気的に分離された状態となる。
【００８２】
次に、図７（ｄ）に示すように、個別金属層１００’の間に形成された隙間に樹脂９５をスクリーン印刷で充填する。尚、樹脂９５は、個別金属層１００’と略同じ高さとなるように形成される。また、樹脂９５は、樹脂９４と同一の材料であることが好ましい。
【００８３】
次に、図７（ｅ）に示すように、各個別金属層１００’とスイッチングＩＣチップ１０８をそれぞれ電気的に接続する個別配線１０６をメッキ等で形成する。なお各個別金属層１００’とスイッチングＩＣチップ１０８の接続構成については、図８を用いて後述する。スイッチングＩＣチップ１０８は金属層１００上に、個別配線１０６を形成する前に取り付けておいてもよいし、個別配線１０６を形成した後に取り付けてもよい。スイッチングＩＣチップ１０８の取り付けは、化学的に安定で耐熱性の高いエポキシ樹脂等を用いることが好ましく、これらはハンダリフローやＡＣＦ（異方性導電膜）等で熱的に接続する場合に適している。
【００８４】
次に、図７（ｆ）に示すように、個別金属層１００’、樹脂９５及び個別配線１０６、さらにスイッチングＩＣチップ１０８の表面を覆うように樹脂１０４で成型する。樹脂１０４は、樹脂９４と同一材料であることが好ましく、異なる材料で成型した場合に発生するような線膨張差による応力が作用しないことや、異なる材料を接着剤によって接合した場合に接着剤による接着力が十分に得られない等の接合の不安定さがないというメリットがある。そして最後に、スイッチングＩＣチップ１０８にフレキシブルケーブル（図７（ｆ）中不図示、図８中符号１１０として記載）を接続する。
【００８５】
次に、各個別金属層１００’とスイッチングＩＣチップ１０８の接続構成について説明する。図８は、配線基板９６の一部を表した平面透視図である。同図では、個別金属層１００’とスイッチングＩＣチップ１０８との接続関係を模式的に表している。
【００８６】
図８に示すように、配線基板９６の副走査方向両端部を除いた内側領域は、図３に示した圧力室ユニット５４が形成される領域に相当する領域である。各個別金属層１００’は、圧力室ユニット５４と同様に、マトリクス状に配置されている。各個別金属層１００’には、配線基板９６の両端部に取付けられているスイッチングＩＣチップ１０８（１０８Ａ、１０８Ｂ）のいずれか一方と接続する個別配線１０６がそれぞれ設けられている。スイッチングＩＣチップ１０８の一方には、個別配線１０６が複数接続され、他方にはフレキシブルケーブル１１０が接続される。フレキシブルケーブル１１０は、図２に示したヘッドドライバ８４に接続される。なお、個別金属層１００’、個別配線１０６及びスイッチングＩＣチップ１０８の表面は、樹脂（図８中不図示、図７（ｆ）中符号１０４として記載）で覆われている。
【００８７】
このようにして樹脂で配線部材９０と一体的に構成される配線基板９６を製造することができる。このとき、図６に示した印字ヘッド５０の下半身を構成する各プレート部材（６０、６２、５６、６４）はあらかじめ公知の方法により製造しておく。そして、図６において説明したように、配線部材９０の先端部（図６中下側）と個別電極５７の電極パッド５７ａを接着剤１２０により接合することにより、印字ヘッド５０を製造することができる。
【００８８】
本実施形態では、配線部材９０の電極（導電部材）９２とスイッチングＩＣチップ１０８が樹脂９４、９５、１０４で覆われるようにして一体的に構成されているため、配線部材９０と配線基板９６との親和性が高くなり、構造体として安定した印字ヘッド５０を得ることができる。また印字ヘッド５０の高集積化を図ることができ、印字ヘッド５０の小型化を実現することが可能となる。
【００８９】
また本実施形態では、金属層１００に形成された導電部材９２の側面を電気絶縁性を有する樹脂９４で成型することによって、一度に多くの導電部材９２に対する絶縁処理を確実に行うことができる。従って、配線基板９６を効率的に生産することができ、印字ヘッド５０の生産性が向上する。
【００９０】
また本実施形態では、スイッチングＩＣチップ１０８によって、ヘッドドライバ８４に接続されるフレキシブルケーブル１１０側の配線数を個別金属層１００’に接続される個別配線１０６の数に比べて少なくすることができるので、印字ヘッド５０における電気的接続の信頼性が向上する。
【００９１】
また本実施形態では、スイッチングＩＣチップ１０８は配線基板９６の両端部に取付けられる構成を例示したが、これに限定されず、配線基板９６の内側領域であってもよい。この場合、印字ヘッド５０を小型化することができるメリットがある。
【００９２】
〔第２の実施形態〕
図９（ａ）〜（ｅ）は、本発明の第２の実施形態における配線部材９０と一体的に構成される配線基板９６の製造工程を表す説明図である。
【００９３】
まず、図９（ａ）に示すように、所定の配線パターンが形成された基板１１２を用意する。基板１１２上には、図７で示した個別配線１０６に相当する個別配線１１４が形成されており、各個別配線１１４は、後述するスイッチングＩＣチップ１０８と導電部材９２を電気的に接続するように構成されている。
【００９４】
次に、図９（ｂ）に示すように、基板１１２の所定位置にスイッチングＩＣチップ１０８を取り付ける。本実施形態では、第１の実施形態（図８参照）と同様に、基板１１２の両端部にスイッチングＩＣチップ１０８が配置される。
【００９５】
次に、図９（ｃ）に示すように、基板１１２の個別配線１１４に対応する位置に孔部（スルーホール）１１５をレーザー等により加工する。なお、孔部１１５があらかじめ形成された基板１１２に個別配線１１４を形成するようにしてもよい。続いて、基板１１２の個別配線１１４とは反対側の面に不図示のレジストを形成して、公知の電鋳法を用いて、図９（ｄ）に示すように、基板１１２に対して略垂直方向に延びる柱状の導電部材９２を形成する。導電部材９２は、例えばＮｉ等から構成される。また、レジストは、導電部材９２の形成後に現像処理により除去される。なお、感光性ペーストの塗布後にエッチングを行うことによって導電部材９２を形成してもよいし、ドライフィルムを現像後にペーストを塗布することによって導電部材９２を形成してもよい。
【００９６】
最後に、図９（ｅ）に示すように、基板１１２の両面を樹脂１０５で成型して、導電部材１０２の側面を樹脂１０５で覆うと共に、個別配線１１４及びスイッチングＩＣチップ１０８の表面を覆う。樹脂１０５は、第１の実施形態における樹脂９４、１０４と同一材料である。そして、スイッチングＩＣチップ１０８に対してフレキシブルケーブルを接続する。このようにして一体的なモールド構造を有する配線基板９６を製造することができる。なお、その他の構成については第１の実施形態と共通するので、その説明は省略する。
【００９７】
第２の実施形態では、第１の実施形態と同様の効果を奏すると共に、以下のような効果を奏する。すなわち第２の実施形態では、あらかじめ所定の配線パターンが形成された基板１１２を利用するため、第１の実施形態のような各導電部材９２を電気的に分離するために金属層１００を加工する工程（図６（ｃ）参照）は、配線基板９６の製造段階では不要となる。従って、配線基板９６を効率的に製造することができ、印字ヘッド５０の生産性が向上する。
【００９８】
以上、本発明の液体吐出ヘッド、画像形成装置及び液体吐出ヘッドの製造方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】第１の実施形態のおけるインクジェット記録装置の全体概略図である。
【図２】インクジェット記録装置のシステム構成を示す要部ブロック図である。
【図３】印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。
【図４】印字ヘッドの内部の概略構成の一部を表す斜視透視図である。
【図５】圧電素子と配線部材の平面配置関係を示す説明図である。
【図６】図５中６−６線に沿う断面図である
【図７】（ａ）〜（ｆ）は、配線基板の製造工程を表す説明図である。
【図８】配線基板の一部を表した平面透視図である。
【図９】（ａ）〜（ｅ）は、第２の実施形態における配線基板の製造工程を表す説明図である。
【符号の説明】
【０１００】
１０…インクジェット記録装置、５０…印字ヘッド、５０Ａ…ノズル面、５１…ノズル、５２…圧力室、５３…インク供給口、５５…共通液室、５６…振動板（共通電極）、５７…個別電極、５８…圧電素子、９０…配線部材、９２…電極（導電部材）、９４…樹脂、９６…配線基板、１００…金属層、１０４、１０５…樹脂、１０６…個別配線、１０８…スイッチングＩＣチップ、１１０…フレキシブルケーブル、１１２…基板、１１４…個別配線
【図１】
2006256145.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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