(57)【要約】【課題】被検物体の反射光の光量を撮像素子の検出範囲内に調整することのできる表面検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】光源からの光を色分解光学系で複数の色光に色分解し、複数の色光の光路にそれぞれ配置された調光手段で光強度を調整する。調光手段で調光された複数の色光は色合成光学系で色合成された後、被検物に照明される。被検物で反射された光の一部は、反射光検出器で複数の色光毎に光強度が検出され、残りの反射光は、撮像部で被検物の反射像が撮像される。反射光検出器で検出された複数の色光の各色光の強度が、所定の値になるように調光手段は制御部によって制御される。【選択図】  図１
2006250759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を複数の色光に色分解する色分解光学系と、
前記複数の色光の光路にそれぞれ配置された調光手段と、
前記調光手段で調光された前記複数の色光を色合成する色合成光学系と、
前記色合成された光を被検物に照明し、前記被検物で反射された光を集光する光学系と、
前記被検物で反射された光を前記複数の色光毎に検出する反射光検出器と、
前記反射光検出器で検出された前記複数の色光の各色光の強度が所定の値になるように前記調光手段を制御する制御部とを有すること、
を特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
光源からの光を複数の色光に色分解する色分解光学系と、
前記複数の色光の光路にそれぞれ配置された調光手段と、
前記調光手段で調光された前記複数の色光を色合成する色合成光学系と、
前記色合成された光を被検物に照明し、前記被検物で反射された光を集光する光学系と、
前記色合成された光を前記複数の色光毎に検出する照明光検出器と、
前記照明光検出器で検出された前記複数の色光の各色光の強度が所定の値になるように前記調光手段を制御する制御部とを有すること、
を特徴とする表面検査装置。
【請求項３】
複数の色光をそれぞれ射出する複数の光源と、
前記複数の色光の強度を調整する光調整手段と、
前記光調整手段で調整された前記複数の色光を色合成する色合成光学系と、
前記色合成された光を被検物に照明し、前記被検物で反射された光を集光する光学系と、
前記被検物で反射された光を前記複数の色光毎に検出する反射光検出器と、
前記反射光検出器で検出された前記複数の色光の各色光の強度が所定の値になるように前記光調整手段を制御する制御部とを有すること、
を特徴とする表面検査装置。
【請求項４】
複数の色光をそれぞれ射出する複数の光源と、
前記複数の色光の強度を調整する光調整手段と、
前記光調整手段で調整された前記複数の色光を色合成する色合成光学系と、
前記色合成された光を被検物に照明し、前記被検物で反射された光を集光する光学系と、
前記色合成された光を前記複数の色光毎に検出する照明光検出器と、
前記照明光検出器で検出された前記複数の色光の各色光の強度が所定の値になるように前記光調整手段を制御する制御部とを有すること、
を特徴とする表面検査装置。
【請求項５】
前記色合成された光を前記複数の色光毎に検出する照明光検出器を有すること
を特徴とする請求項１または請求項３に記載の表面検査装置。
【請求項６】
前記被検物で反射された光を前記複数の色光毎に検出する反射光検出器を有すること
を特徴とする請求項２または請求項４に記載の表面検査装置。
【請求項７】
前記調光手段または前記光調整手段は、連続的に透過光の光量を変化させるＮＤフィルターであること
を特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の表面検査装置。
【請求項８】
前記複数の光源は、それぞれ発光ダイオードからなること
を特徴とする請求項３または請求項４に記載の表面検査装置。
【請求項９】
前記被検物の反射像を撮像する撮像部を有すること
を特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の表面検査装置。
【請求項１０】
前記複数の色光は、それぞれ赤色光、緑色光、青色光であること
を特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の表面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハや液晶ガラス基板の表面検査装置では、被検物体に照明光を照射して検出した被検物体の像から被検物体の色座標を検出し、正常な被検物体の像と比較し、被検物体の欠陥を検出するものが知られている。
【特許文献１】特開平１０−２７２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の表面検査装置では照射光の色座標が一定であるため、被検物体の表面の状態によって反射光のＲ、Ｇ、Ｂの強度が異なり、被検物体の反射光のＲ、Ｇ、Ｂそれぞれの光量で撮像素子の検出の下限を下回ったり、上限を上回ってしまう場合があった。この場合、被検物体の欠陥によって色座標が変化した場合でも、その変化を検出することができないと言う問題があった。
本発明は、被検物体の反射光のＲ、Ｇ、Ｂそれぞれの光量を撮像素子の検出範囲内に調整することのできる表面検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
請求項１に係る発明は、光源からの光を複数の色光に色分解する色分解光学系と、前記複数の色光の光路にそれぞれ配置された調光手段と、前記調光手段で調光された前記複数の色光を色合成する色合成光学系と、前記色合成された光を被検物に照明し、前記被検物で反射された光を集光する光学系と、前記被検物で反射された光を前記複数の色光毎に検出する反射光検出器と、前記反射光検出器で検出された前記複数の色光の各色光の強度が所定の値になるように前記調光手段を制御する制御部とを有することを特徴とする表面検査装置を提供する。
【０００５】
請求項２に係る発明は、光源からの光を複数の色光に色分解する色分解光学系と、前記複数の色光の光路にそれぞれ配置された調光手段と、前記調光手段で調光された前記複数の色光を色合成する色合成光学系と、前記色合成された光を被検物に照明し、前記被検物で反射された光を集光する光学系と、前記色合成された光を前記複数の色光毎に検出する照明光検出器と、前記照明光検出器で検出された前記複数の色光の各色光の強度が所定の値になるように前記調光手段を制御する制御部とを有することを特徴とする表面検査装置を提供する。
【０００６】
請求項３に係る発明は、複数の色光をそれぞれ射出する複数の光源と、前記複数の色光の強度を調整する光調整手段と、前記光調整手段で調整された前記複数の色光を色合成する色合成光学系と、前記色合成された光を被検物に照明し、前記被検物で反射された光を集光する光学系と、前記被検物で反射された光を前記複数の色光毎に検出する反射光検出器と、前記反射光検出器で検出された前記複数の色光の各色光の強度が所定の値になるように前記光調整手段を制御する制御部とを有することを特徴とする表面検査装置を提供する。
【０００７】
請求項４に係る発明は、複数の色光をそれぞれ射出する複数の光源と、前記複数の色光の強度を調整する光調整手段と、前記光調整手段で調整された前記複数の色光を色合成する色合成光学系と、前記色合成された光を被検物に照明し、前記被検物で反射された光を集光する光学系と、前記色合成された光を前記複数の色光毎に検出する照明光検出器と、前記照明光検出器で検出された前記複数の色光の各色光の強度が所定の値になるように前記光調整手段を制御する制御部とを有することを特徴とする表面検査装置を提供する。
【０００８】
請求項５に係る発明は、前記色合成された光を前記複数の色光毎に検出する照明光検出器を有することを特徴とする請求項１または請求項３に記載の表面検査装置を提供する。
請求項６に係る発明は、前記被検物で反射された光を前記複数の色光毎に検出する反射光検出器を有することを特徴とする請求項２または請求項４に記載の表面検査装置を提供する。
【０００９】
請求項７に係る発明は、前記調光手段または前記光調整手段は、連続的に透過光の光量を変化させるＮＤフィルターであることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の表面検査装置を提供する。
【００１０】
請求項８に係る発明は、前記複数の光源は、それぞれ発光ダイオードからなることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の表面検査装置を提供する。
請求項９に係る発明は、前記被検物の反射像を撮像する撮像部を有すること
を特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の表面検査装置を提供する。
【００１１】
請求項１０に係る発明は、前記複数の色光は、それぞれ赤色光、緑色光、青色光であることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の表面検査装置を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、被検物体の反射光のＲ、Ｇ、Ｂそれぞれの光量を撮像素子の検出範囲内に調整することのできる表面検査装置を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
（第１実施形態）
図１に本実施形態の表面検査装置５０の構成を示す。ランプと凹面鏡とから構成される光源１から射出された光は、レンズ２によってほぼ平行な光に変換される。光源１としてはキセノンランプやハロゲンランプなどが使用される。
【００１４】
レンズ２で平行にされた光は、ダイクロイックミラー３に入射する。ダイクロイックミラー３は、Ｂ（青）光を透過し、Ｒ（赤）光とＧ（緑）光とを反射する特性を有している。光源１から射出された白色光がダイクロイックミラー３に入射すると、Ｂ光はダイクロミラー３を透過して直進し、Ｇ光とＲ光はダイクロイックミラー３で反射されて、進行方向が９０度偏向される。従ってダイクロイックミラー３に入射した光はＧ光とＲ光との混合光と、Ｂ光とに色分解される。
【００１５】
ダイクロイックミラー３を透過し直進したＢ光は、全反射ミラー４で９０度偏向され、ウエッジフィルタ８に入射する。一方ダイクロイックミラー３で反射されたＧ光とＲ光との混合光は、ダイクロイックミラー５に入射する。ダイクロイックミラー５は、Ｒ光を透過し、Ｇ光を反射する特性を有している。ダイクロイックミラー５で反射されたＧ光は９０度偏向され、ウエッジフィルタ９に入射する。一方ダイクロイックミラー５を透過したＲ光は、全反射ミラー６と全反射ミラー９で偏向され、１８０度進行方向を変えてウエッジフィルタ１０に入射する。
【００１６】
ウエッジフィルタ８、９、１０にそれぞれ入射したＢ光、Ｇ光、Ｒ光は、その光強度が所定の強度に調整（減光）される。本実施形態で使用するウエッジフィルタは、透過率を連続的に変化させることのできる可変式のＮＤフィルタで、円盤状のガラスの円周方向に連続的に厚さを変えたクロム膜を形成したものである。クロム膜を形成したＮＤフィルタは、入射光の一部を透過し、残りの光の大部分をクロム膜で反射するため、熱などの影響を受けにくいと言う特徴がある。円盤の中心部には、貫通穴が形成されており、ここに円盤を回転させる不図示の回転機構の回転軸が挿入され、円盤は回転可能になっている。クロム膜の厚さが円周方向で連続的に変化しているので、円盤を回転させることによって透過率を０％から１００％まで連続的に変えることができる。なお可変式ＮＤフィルタとしては、円盤状のもの以外に長方形の可変式ＮＤフィルターを用いることもできる。なおウエッジフィルタ８、９、１０は後述する制御部３１によって制御される。
【００１７】
またウエッジフィルタ以外にも、透過率が固定されている固定式ＮＤフィルタを使用しても構わない。その場合には、円盤状の基板の同一円周上に、互いにクロム膜の厚さが異なる（透過率の異なる）複数の円形のＮＤフィルタを並べたものを使用する。なおＮＤフィルタとしては、入射光を吸収して減光するＮＤフィルタを使用しても構わない。複数のＮＤフィルタが円周上に配置された円盤の中心部には、貫通穴が形成されており、ここに円盤を回転させる不図示の回転機構の回転軸が挿入され、円盤は回転可能になっている。円盤を回転させることによって、光軸に配置するＮＤフィルタを切替え、透過する光量を変化させることができる。
【００１８】
ウエッジフィルタ８、９、１０で所定の光量に調整されたＢ光、Ｇ光、Ｒ光は、それぞれ直進して色合成光学系であるクロスダイクロイックプリズム１１に入射する。クロスダイクロイックプリズム１１は、４個の直角二等辺プリズムをその直角部を合わせて接合したプリズムで、それぞれのプリズムの接合面には、Ｂ光を反射し、Ｒ光とＧ光とを透過する特性のダイクロイック膜１１Ｂと、Ｒ光を反射し、Ｇ光とＢ光を透過する特性のダイクロイック膜１１Ｒが形成されており、４個のプリズムを接合すると、ダイクロイック膜１１Ｂとダイクロイック膜１１Ｒが互いに直交するように配置される。
クロスダイクロイックプリズム１１に入射したＧ光は、ダイクロイック膜１１Ｂ、１１Ｒを透過して直進する。クロスダイクロイックプリズム１１に入射したＢ光は、ダイクロイック膜１１Ｂで反射され９０度偏向される。クロスダイクロイックプリズム１１に入射したＲ光はダイクロイック膜１１Ｒで反射され、９０度偏向される。これによりＲ光、Ｇ光、Ｂ光はクロスダイクロイックプリズム１１で色合成され、射出面１１Ｓから色合成された光が射出される。
【００１９】
クロスダイクロイックプリズム１１から射出された光は、ハーフミラー１６に入射し、入射した光のうち５０％は透過して直進し、残りの５０％は反射されて９０度偏向される。ハーフミラー１４で反射、偏向された光は、対物レンズ１４によって、被検査物体であるウエハ１５に照射される。
【００２０】
一方ハーフミラー１６を透過した光は、直進し色分解プリズム１７に入射する。色分解プリズム１７は、断面が正三角形の三角柱プリズム１７Ｃと、断面が二等辺三角形で直角の頂角に相対する斜辺の長さが三角柱プリズム１７Ｃの一辺と同じ長さの三角柱プリズム１７Ｄを接合した複合プリズムである。色分解プリズム１７の入射面１７Ｓには、Ｂ光を反射し、Ｇ光とＲ光を透過する特性を有するダイクロイック膜１７Ｂが形成されている。三角柱プリズム１７Ｃの三角柱プリズム１７Ｄとの接合面にはＧ光を反射し、Ｒ光を透過する特性を有するダイクロイック膜１７Ｒが形成されている。なお三角柱プリズム１７Ｃと三角柱プリズム１７Ｄはダイクロイック膜１７Ｒを介して接着剤で接合されている。
【００２１】
ハーフミラー１６を透過した光は、色分解プリズム１７の入射面１７Ｓに入射する。入射面１７に入射した光のうちＢ光は、入射面１７Ｓに形成されているダイクロイック膜１７Ｂで反射され、受光素子１８Ｃに入射する。入射面１７Ｓに入射した光のうちＲ光とＧ光は、ダイクロイック膜１７Ｂを透過し三角柱プリズム１７Ｃに入射する。三角柱プリズム１７Ｃに入射したＲ光とＧ光は、ダイクロイック膜１７Ｒに入射し、反射されるＧ光と透過するＲ光とに色分解される。反射されたＧ光は、三角柱プリズム１７Ｃのダイクロイック膜が形成されていない面から射出し、受光素子１８ｂに入射する。一方ダイクロイック膜１７Ｒを透過したＲ光は、三角柱プリズム１７Ｄに入射し、三角柱プリズム１７Ｄの他の面から射出し受光素子１８ａに入射する。
【００２２】
受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで検出された各色光の光強度信号は、ＣＰＵ３０に入力され、受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで検出された光強度の和から、ウエハ１５に照明される光の強度を算出し、各受光素子で検出された光信号の相対的な比率から、光源の色座標を算出する。
【００２３】
ＣＵＰ３０は、予めコントローラ３２から入力されているウエハ１５に照射する光の強度及び色座標と、受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで検出された光から算出された光の強度及び色座標とを比較する。予め設定した光強度及び色座標と、ＣＰＵ３０で算出された光強度及び色座標とが異なっている場合には、ＣＰＵ３０は制御部３０を制御して、ウエッジフィルタ８、９、１０を回転させてＢ光、Ｇ光、Ｒ光の各色の光強度を調整し、予め設定した光強度及び色座標とＣＰＵ３０で算出したウエハ１５に照射する照明光の光強度及び色座標を一致させる。
【００２４】
ウエハ１５に照射され、ウエハ１５で反射された光は、対物レンズ１４で集光され、再度ハーフミラー１６に入射し、５０％の光が透過し、残りの５０％の光は反射される。ハーフミラー１６を透過した光は、ハーフミラー１９に入射し、同様に５０％の光が透過し、残りの５０％の光は反射される。
ハーフミラー１９を透過したウエハ１５で反射された光は、結像レンズ１２によってカラーの撮像素子である撮像素子１３上に結像され、ウエハ１５の反射像が撮像される。撮像素子１３としてはカラーＣＣＤなどが使用される。撮像素子１３で撮像したウエハ１５の反射像は不図示の解析装置で解析され、色座標が算出され、ウエハ１５の欠陥の有無が検査される。
【００２５】
ハーフミラー１９で反射された光は、色分解プリズム２０に入射する。色分解プリズム２０は、色分解プリズム１７と同じ構造であり、Ｒ光、Ｇ光、Ｂ光はそれぞれ受光素子２１ａ、２１ｂ、２１ｃに入射し、それぞれの色光の光強度が検出される。受光素子２１ａ、２１ｂ、２１ｃで検出された各色光の光強度信号は、ＣＰＵ３０に入力され、受光素子２１ａ、２１ｂ、２１ｃで検出された光強度の和から、ウエハ１５で反射された光の強度を算出し、各受光素子で検出された光信号の相対的な比率から、色座標を算出する。
【００２６】
ＣＵＰ３０は、予めコントローラ３２から入力されている撮像素子１３で撮像するのに適したウエハ１５の反射光の光強度及び色座標と、受光素子２１ａ、２１ｂ、２１ｃで検出された光から算出された各色光の強度及び色座標とを比較する。予め設定した光強度及び色座標と、ＣＰＵ３０で算出された光強度及び色座標とが異なっていた場合には、ＣＰＵ３０は制御部３１を介してウエッジフィルタ８、９、１０を回転させてＢ光、Ｇ光、Ｒ光の各色の光強度を調整し、予め設定した光強度及び色座標とＣＰＵ３０で算出したウエハ１５からの反射光の光強度及び色座標を一致させる。
次に、本実施形態の表面検査装置でウエハを検査する手順について説明する。まず検査用のウエハを測定する前に、リファレンス用のウエハの測定を行う。
【００２７】
リファレンス用のウエハ１５の調光手順について説明する。まず不図示のウエハ搬送保持装置により、ウエハ収容部からリファレンス用のウエハ１５が取り出されて所定の検査領域内に移動する。
【００２８】
次に、コントローラ３２でリファレンス用のウエハ１５に照射する光の強度及び色座標と、リファレンス用のウエハ１５で反射される反射光の強度及び色座標を設定する。コントローラ３２で設定された光強度及び色座標と、リファレンス用のウエハ１５で反射される反射光の強度及び色座標は、ＣＰＵ３０に出力される。
【００２９】
次に光源から光を射出させる。光源から射出された光はＲ光、Ｇ光、Ｂ光に色分解されたのち、色合成され、受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで各色の光が検出される。検出された光から算出された光強度、色座標と、設定値を比較し、所定の設定値になるようにウエッジフィルタ８、９、１０が制御される。
【００３０】
リファレンス用のウエハ１５に照明する光の強度及び色座標が所定の値に設定された後、照明光をリファレンス用のウエハ１５に照明する。リファレンス用のウエハ１５で反射された各色光は、受光素子２１ａ、２１ｂ、２１ｃで検出される。検出された反射光から、光強度、色座標を算出する。算出した反射光の光強度及び色座標が、所定の設定値になるようにウエッジフィルタ８、９、１０を制御して照明光の各色の強度を調整し、Ｒ光、Ｇ光、Ｂ光の各色光が撮像素子１３の検出の下限を下回ったり、上限を上回ったりしないようにする。なお反射光を撮像素子１３で検出し、反射光の光強度、色座標を撮像素子１３で検出したリファレンス用ウエハ１５の像から算出しても構わない。反射光を基に照明光を調整した後、リファレンス用のウエハ１５の画像を撮像素子１３で撮像する。
【００３１】
このようにリファレンス用のウエハ１５の照明光の条件を設定した後、最終的に設定した照明光の光強度および色座標を受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで検出した各色の光から算出し、コントローラ３２に登録し、検査用のウエハ１５に照明する光の光強度及び色座標とする。本実施形態では、リファレンス用のウエハ１５で照明光の光強度および色座標を設定した後に、検査用のウエハ１５を測定するが、予め複数の種類のリファレンス用のウエハ１５で設定した照明光の光強度および色座標をコントローラ３２に登録し、検査用のウエハ１５の種類によって、コントローラ３２に記憶された照明光の光強度および色座標を読み出して照明光を設定しても構わない。
【００３２】
次に検査用のウエハ１５の調光手順について説明する。まず不図示のウエハ搬送保持装置により、ウエハ収容部から検査用のウエハ１５が取り出されて所定の検査領域内に移動する。次にコントローラ３２でリファレンス用のウエハ１５で登録した照明光の光強度及び色座標に照明光を設定する。コントローラ３２で設定された光強度及び色座標は、ＣＰＵ３０に出力され、制御部３１を介してウエッジフィルタ８、９、１０を制御する。
【００３３】
次に光源から光を射出させる。光源から射出された光はＲ光、Ｇ光、Ｂ光に色分解された後、色合成され、受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで各色の光が検出される。検出された光から算出した照明光の光強度及び色座標をリファレンス用のウエハ１５で登録した値と比較し、所定の設定値となるようにウエッジフィルタ８、９、１０が制御される。これにより検査用のウエハ１５の照明光で、リファレンス用のウエハ１５で調光された照明光が再現される。照明光を調光した後、検査用のウエハ１５の画像を撮像素子１３で撮像する。
【００３４】
撮像素子１３で撮像したリファレンス用のウエハ１５の画像と、検査用のウエハ１５の画像を不図示の解析装置で解析し、検査用のウエハ１５の欠陥（リファレンスのウエハ１５と相違する部分など）を検出する。
【００３５】
本実施形態の表面検査装置では、ウエハ１５に照射する光量を各色で任意に調整するので、光源のホワイトバランス、及び照射光量を調整することができる。従ってウエハの色の微妙な変化を検出することができる。
【００３６】
またウエハ１５で反射された各色光の強度を検出し、ウエハ１５の反射光の光量をウエッジフィルタを使用して各色で任意に調整することができるので、撮像素子１３で撮像する各色光の光量を適正値にすることができる。従って反射光のＲＧＢのバランスが悪いウエハを検査する場合でも、安定してウエハ１５の色の変化を検出することができる。
【００３７】
なお本実施形態では光源１からの光をＲ光、Ｇ光、Ｂ光の３色に色分解したが、色分解する色光の数はこれに限られず、複数の色光であれば４色以上または２色でも構わない。例えば４色以上であれば、Ｒ光、Ｇ光、Ｂ光に加えて青緑色光や、橙色（オレンジ）光などを加えても構わない。４色以上の色光に分解すると、３色に色分解した場合に比べてより微妙な調整をすることができる。また２色であればＲ光、Ｇ光、Ｂ光のうちから２色を選んでも、その他の色から２色を選んでも構わない。
（第２実施形態）
第２実施形態のＣＣＤ検査装置の構成を図２に示す。第１実施形態と同じ部材には同じ番号を付し、説明は省略する。本実施形態は、光源として白色光源ではなく、Ｒ光を射出するＬＥＤ、Ｇ光を射出するＬＥＤ、Ｂ光を射出するＬＥＤの３種類のＬＥＤを使用する点が、第１実施形態と異なる。
【００３８】
Ｒ光を射出するＬＥＤ２４から射出したＲ光は、レンズ２７で平行光に変換された後、クロスダイクロイックプリズム１１に入射する。Ｇ光用ＬＥＤ２３、Ｂ光用ＬＥＤ２２からそれぞれ射出したＧ光、Ｂ光もレンズ２６、２５でそれぞれ平行光に変換された後、クロスダイクロイックプリズム１１に入射する。Ｒ光、Ｇ光、Ｂ光は第１実施形態と同様にクロスダイクロイックプリズムで色合成される。
色合成された光は、第１実施形態と同様にハーフミラー１６で分岐され、一方の光は受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで光強度が検出される。受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで検出された各色光の光強度信号は、ＣＰＵ３０に入力され、検出された光強度の和から、ウエハ１５に照明される光の強度を算出し、各受光素子で検出された光信号の相対的な比率から、光源の色座標を算出する。
【００３９】
ＣＵＰ３０は、予め設定されているウエハ１５に照射する光の強度及び色座標と、受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで検出された光から算出された光の強度及び色座標とを比較する。予め設定した光強度及び色座標と、ＣＰＵ３０で算出された光強度及び色座標とが異なっていた場合には、ＣＰＵ３０はＬＥＤ制御部３３を制御し、Ｂ光用ＬＥＤ２２、Ｇ光用ＬＥＤ２３、Ｒ光用ＬＥＤ２４に流す電流値を制御することによって、Ｂ光用ＬＥＤ２２、Ｇ光用ＬＥＤ２３、Ｒ光用ＬＥＤ２４から射出されるＢ光、Ｇ光、Ｒ光の各色の光強度を調整して、予め設定した光強度及び色座標とＣＰＵ３０で算出したウエハ１５に照射する照明光の光強度及び色座標を一致させる。なおＢ光用ＬＥＤ２２、Ｇ光用ＬＥＤ２３、Ｒ光用ＬＥＤ２４に流す電流値を変えずに、ＬＥＤをパルス点灯して、そのパルス幅を変えること（ＰＷＭ制御）によって各ＬＥＤから射出される光強度を調整しても構わない。
【００４０】
ハーフミラー１６で反射された光は、ウエハ１５に照射される。ウエハ１５で反射された照明光は、ハーフミラー１９で分岐され、ハーフミラー１９で反射された光は、受光素子２１ａ、２１ｂ、２１ｃで検出される。受光素子２１ａ、２１ｂ、２１ｃで検出された各色光の光強度信号は、受光素子１８ａ、１８ｂ、１８ｃで検出した場合と同様にＣＰＵ３０に出力され、撮像素子１３で撮像する光の強度、色座標等が予め設定した値の範囲内になるようにＬＥＤの出力を制御する。
【００４１】
本実施形態においてもウエハ１５に照明する光及びウエハ１５から反射される光の各色光の強度を調整することができるので、第１実施形態と同様の効果を奏する。また本実施形態では光源としてＬＥＤを使用しているので、光源部を安価でコンパクトにすることができる。また可動部分であるウエッジフィルターを使用せずに各色の光強度を調整することができるので、光強度を迅速に所定の値に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】第１実施形態の表面検査装置の構成図。
【図２】第２実施形態の表面検査装置の構成図。
【符号の説明】
【００４３】
１  光源
２  レンズ
３、５  ダイクロイックミラー
４、６、７  全反射ミラー
８、９、１０  ウエッジフィルタ
１１  クロスダイクロイックプリズム
１２  結像レンズ
１３  撮像素子
１４  対物レンズ
１５  ウエハ
１６、１９  ハーフミラー
１７  色分解プリズム
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ  受光素子
２２  Ｂ光用ＬＥＤ
２４  Ｇ光用ＬＥＤ
２５  Ｒ光用ＬＥＤ
２５、２６、１７  レンズ
３０  ＣＰＵ
３１  制御部
３２  コントローラ
３３  ＬＥＤ制御部
５０  表面検査装置
【図１】
2006250759.tif 000003
【図２】
2006250759.tif 000004