(57)【要約】【課題】ウェーハとの接触面積を最小化できるウェーハキャリヤ及びこれを用いたウェーハ洗浄方法を提供する。【解決手段】ウェーハキャリヤは、複数の開口部１７０を備え、複数枚のウェーハを受容し得る保管維持部材１００と、保管維持部材１００の前後両端にそれぞれ配置され、複数枚のウェーハのうち少なくとも一枚のウェーハの一面と対向し得る前端固体板１５０及び後端固定板１６０と、を含み、保管維持部材１００にウェーハが受容された場合のウェーハの左右両側の周縁部は、複数の開口部１７０から露出させられることを特徴とする。【選択図】図２
2006270105.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部を備え、複数枚のウェーハを受容し得る保管維持部材と、
前記保管維持部材の前後両端にそれぞれ配置され、前記複数枚のウェーハのうち少なくとも一枚のウェーハの一面とおのおの対向し得る前端固定板及び後端固定板と、を含み、
前記保管維持部材にウェーハが受容された場合に、当該複数枚のウェーハの左右両側の周縁部は、前記複数の開口部から露出させられることを特徴とするウェーハキャリヤ。
【請求項２】
前記保管維持部材は、
前記ウェーハの中間部における左右両側の周縁部を支持するための側部支持部と、
前記ウェーハの下部における左右両側の周縁部を支持するための下部支持部と、
前記側部支持部、及び前記下部支持部を構造的に結合させる連結部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項３】
前記前端固定板及び前記後端固定板のそれぞれは、前記保管維持部材の内側の最前列及び最後列にそれぞれウェーハが受容された場合に、当該ウェーハの表面の一部を露出させることを特徴とする請求項１に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項４】
前記前端固定板及び前記後端固定板のそれぞれは、開口部と切欠部のうちの少なくともいずれか一つを有することを特徴とする請求項３に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項５】
前記保管維持部材は、前記保管維持部材の内側にウェーハが受容された場合の当該ウェーハの中心の高さと同一であるか、またはそれより大きい高さを有することを特徴とする請求項１に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項６】
複数枚のウェーハを直立させた状態で受容し得る保管維持部材と、
前記保管維持部材の前端部に配置され、前記保管維持部材の最前列にウェーハが受容された場合に、当該ウェーハの表面と対向する前端固定板と、
前記保管維持部材の後端部に配置され、前記保管維持部材の最後列にウェーハが受容された場合に、当該ウェーハの表面と対向する後端固定板と、を含み、
前記保管維持部材は、
前記複数枚のウェーハの中間部の左右両側の周縁部を支持するための側部支持部と、
前記複数枚のウェーハの下部の左右両側の周縁部を支持するための下部支持部と、を備え、
前記側部支持部及び前記下部支持部は、上下方向に延長された連結部によって構造的に連結され、前記側部支持部、前記下部支持部、及び各々の前記連結部の間に前記ウェーハの左右両側の周縁部を露出させるための複数の開口部が形成されたことを特徴とするウェーハキャリヤ。
【請求項７】
前記保管維持部材は、前記保管維持部材の内側にウェーハが受容された場合の当該ウェーハの上端と同じ高さを有することを特徴とする請求項６に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項８】
前記前端固定板及び前記後端固定板は、前記保管維持部材の内側にウェーハが受容された場合の当該ウェーハの上端と同じ高さを有することを特徴とする請求項７に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項９】
前記前端固定板及び前記後端固定板は、前記ウェーハの表面の一部を露出させるための開口部がさらに形成されていることを特徴とする請求項８に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項１０】
前記前端固定板及び前記後端固定板は、それぞれの上端の一部が除去されて形成された、前記ウェーハの表面の一部を露出させるための切欠部をさらに有することを特徴とする請求項８に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項１１】
前記開口部は、前記ウェーハの左右両側の周縁部を露出させるのに適した幅を有することを特徴とする請求項６に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項１２】
前記保管維持部材は、前記保管維持部材の内側にウェーハが受容された場合の当該ウェーハの中央の高さと同一な高さを有することを特徴とする請求項６に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項１３】
前記前端固定板及び前記後端固定板は、前記保管維持部材の内側にウェーハが受容された場合の当該ウェーハの中央の高さと同一な高さを有することを特徴とする請求項１２に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項１４】
前記前端固定板及び前記後端固定板には、前記ウェーハの表面の一部を露出させるための開口部がさらに形成されていることを特徴とする請求項１３に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項１５】
前記前端固定板及び前記後端固定板は、それぞれの上端の一部が除去されて形成された、前記ウェーハの表面の一部を露出させるための切欠部をさらに有することを特徴とする請求項１３に記載のウェーハキャリヤ。
【請求項１６】
複数の開口部を備え、複数枚のウェーハを受容し得る保管維持部材と、前記保管維持部材の前後両端にそれぞれ配置され、前記複数枚のウェーハのうち少なくとも一枚のウェーハの一面とおのおの対向し得る前端固定板及び後端固定板と、を含み、前記保管維持部材にウェーハが受容された場合に、当該ウェーハの左右両側の周縁部を前記複数の開口部から露出させるウェーハキャリヤを提供する段階と、
前記複数枚のウェーハのうち少なくとも一枚を前記ウェーハキャリヤの保管維持部材に収容する段階と、
前記複数枚のウェーハのうち少なくとも一枚を受容したウェーハキャリヤを洗浄装置内に浸す段階と、を含むことを特徴とするウェーハキャリヤを用いたウェーハ洗浄方法。
【請求項１７】
前記洗浄装置は、洗浄槽であることを特徴とする請求項１６に記載のウェーハキャリヤを用いたウェーハ洗浄方法。
【請求項１８】
前記保管維持部材は、
前記ウェーハの中間部における左右両側の周縁部を支持するための側部支持部と、
前記ウェーハの下部における左右両側の周縁部を支持するための下部支持部と、
前記側部支持部及び前記下部支持部を構造的に結合させる連結部と、を含むことを特徴とする請求項１６に記載のウェーハキャリヤを用いたウェーハ洗浄方法。
【請求項１９】
前記前端固定板及び前記後端固定板のそれぞれは、開口部と切欠部のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１６に記載のウェーハキャリヤを用いたウェーハ洗浄方法。
【請求項２０】
前記保管維持部材は、前記保管維持部材の内側にウェーハが受容された場合の当該ウェーハの中央の高さと同一であるか、または前記中央の高さより大きい高さを有することを特徴とする請求項１６に記載のウェーハキャリヤを用いたウェーハ洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハキャリヤに関し、より詳しくは、異物の発生を最小化させることができるウェーハキャリヤに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハキャリヤは、半導体ウェーハを収納した状態で工程の間の移動及び洗浄などに典型的に使用される。特に、従来の半導体ウェーハキャリヤは、多数のウェーハが挿入される複数のスロットを有して形成されていることが通常である。
【０００３】
ところで、図１に示されているように、従来のキャリヤ１０にウェーハ（Ｗ）を収納する場合、ウェーハ（Ｗ）とキャリヤ１０との接触面積が非常に広くなる。すなわち、ウェーハ（Ｗ）とキャリヤ１０との接触面がウェーハ（Ｗ）の上部から下部まで広い部分にかけて存在する。これにより、キャリヤ１０に異物が既に存在する場合、このような異物がウェーハ（Ｗ）を汚染させる現象が発生する。また、キャリヤ１０とウェーハ（Ｗ）の間の接触面が広いため、静電気または摩擦による異物が発生し、発生した異物がウェーハ（Ｗ）に再吸着する現象も発生するようになる。さらに、異物がウェーハに吸着すれば、最終的に半導体製造工程の収率が落ちるという問題点があった。
【０００４】
そのため、従来は、ウェーハとキャリヤの間の接触による異物発生と収率下落を防止するために、ウェーハとキャリヤとの接触面積を狭めようとする多くの試みが行われた。その一例が特許文献１に開示されている。この特許文献１に開示された半導体ウェーハのキャリヤは、ウェーハの上部と下部にのみ接触するようにスロットの形態を変更した。これは、ウェーハの中間部がスロットと直接的に接触しないため、その分だけウェーハとキャリヤとの接触面積を縮小させて、静電気または摩擦による異物発生及び収率下落を防ごうとするものであった。
【０００５】
しかしながら、前述した改善された半導体ウェーハのキャリヤには問題点があった。例えば、前述したキャリヤは、スロットが形成される側面が塞がれている構造である。このように側面が塞がれている構造のキャリヤにウェーハを収納してウェーハを洗浄する場合、洗浄効率が減少し、ウェーハまたはキャリヤの内側の側面に異物が残存する可能性がある。すなわち、従来のキャリヤでウェーハを洗浄する場合、異物の完全な除去が困難なので、残留した異物がウェーハに再吸着してウェーハを汚染し、汚染されたウェーハによって収率が下落するという問題点がある。
【０００６】
従って、従来のウェーハキャリヤに比べて異物の発生を減らし、異物の吸着を抑制できるウェーハキャリヤの必要性がある。
【特許文献１】韓国公開実用新案第２０００−０００２７９１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明目的は、異物の発生を減らしてウェーハの汚染を防止できるウェーハキャリヤを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述した目的を達成するための本発明の実施形態によるウェーハキャリヤが以下に開示される。本発明のウェーハキャリヤは、複数枚の開口部を備え、複数枚のウェーハを受容し得る保管維持部材を含む。本実施形態のウェーハキャリヤは、保管維持部材の前後両端にそれぞれ配置された前端固定板と後端固定板とを含む。前端固定板及び後端固定板のそれぞれは、複数枚のウェーハのうちの少なくとも一枚のウェーハの一面と対向し得る。さらに、保管維持部材にウェーハが受容された場合、ウェーハの左右両側の周縁部は、複数の開口部から露出される。
【０００９】
本実施形態において、保管維持部材は、ウェーハの中間部の左右両側の周縁部を維持するための側部支持部と、ウェーハの下部の左右両側の周縁部を支持するための下部支持部と、側部支持部及び下部支持部を構造的に結合させる連結部と、をさらに含む。従って、複数の開口部は、側部支持部と下部支持部と連結部との間に形成される空間からなる。
【００１０】
本実施形態において、前端固定板と後端固定板のそれぞれは、保管維持部材の最前列及び最後列にそれぞれウェーハが受容された場合に、ウェーハの表面の一部を露出させる構造でありうる。ここで、前端固定板と後端固定板のそれぞれは、開口部と切欠部のうちの少なくともいずれか一つを有することができる。
【００１１】
本実施形態において、保管維持部材は、その内側にウェーハが受容された場合のウェーハの中央の高さと同一であるか、またはそれより大きい高さを有することができる。
【００１２】
前述した目的を達成するための本発明の他の実施形態によるウェーハキャリヤは、複数枚のウェーハを直立させた状態で受容し得る保管維持部材と、保管維持部材の前端部に配置され、保管維持部材の最前列に受容されたウェーハの表面と対向し得る前端固定板と、保管維持部材の後端部に配置され、保管維持部材の最後列に受容されたウェーハの表面と対向し得る後端固定板と、を含んで構成されることを特徴とする。
【００１３】
本実施形態において、保管維持部材は、複数枚のウェーハの中間部の左右両側の周縁部を支持するための側部支持部と、複数枚のウェーハの下部の左右両側の周縁部を支持するための下部支持部と、を備える。側部支持部と下部支持部とは、上下方向に延長された連結部によって構造的に連結され、側部支持部、下部支持部、及び連結部に囲まれた空間のそれぞれにはウェーハの左右両側の周縁部を露出させるための開口部が形成されたことを特徴とする。
【００１４】
本実施形態において、保管維持部材は、保管維持部材にウェーハが受容された場合のウェーハの上端と同じ高さを有することができる。また、前端固定板と後端固定板は、保管維持部材にウェーハが受容された場合のウェーハの上端と同じ高さを有することができる。
【００１５】
本実施形態において、前端固定板と後端固定板には、ウェーハの表面の一部を露出させるための開口部がさらに形成されていることができる。または、前端固定板と後端固定板には、それぞれその上部の一部分が除去されてウェーハの表面の一部を露出させるための切欠部がさらに形成されていることができる。
【００１６】
本実施形態において、保管維持部材の側面に形成された開口部は、保管維持部にウェーハが受容された場合に、ウェーハの左右両側の周縁部が露出されるのに適した幅を有することを特徴とする。保管維持部材は、保管維持部材にウェーハが受容された場合のウェーハの中央の高さと同一な高さを有することができる。
【００１７】
本実施形態において、前端固定板と後端固定板は、保管維持部にウェーハが受容された場合のウェーハの中央の高さと同一な高さを有することができる。前端固定板と後端固定板には、ウェーハの表面の一部を露出させるための開口部がさらに形成されていることができる。または、前端固定板と後端固定板には、それぞれその上部の一部分が除去されてウェーハの表面の一部を露出させるための切欠部がさらに形成されていることができる。
【００１８】
前述した目的を達成するための本発明の更に他の実施形態によれば、ウェーハキャリヤを用いたウェーハ洗浄方法が開示される。そのウェーハ洗浄方法は、複数の開口部を備え、複数枚のウェーハを受容し得る保管維持部材と、保管維持部材の前後両端にそれぞれ配置され、複数枚のウェーハのうち少なくとも一枚のウェーハの一面とおのおの対向し得る前端固定板と後端固定板とを含み、保管維持部材にウェーハが受容された場合に、ウェーハの左右両側の周縁部を複数の開口部から露出させるためのウェーハキャリヤを提供する段階と、複数枚のウェーハのうち少なくとも一つをウェーハキャリヤの保管維持部材に収容する段階と、複数枚のウェーハのうち少なくとも一つを受容したウェーハキャリヤを洗浄装置内に浸す段階と、を含む。
【００１９】
以上のように、本発明の実施形態によれば、ウェーハは、ウェーハキャリヤに受容された場合に、左右両側の周縁部と下端の周縁部のみでウェーハキャリヤと接触し、ウェーハキャリヤにより直立状態に支持されるため、ウェーハキャリヤとウェーハとの直接的な接触面積が縮小される。接触面積の縮小によって、接触により惹起される異物発生現象が低減されるようになる。特に本実施形態のウェーハキャリヤを用いてウェーハを洗浄する工程を採用すると、ウェーハ周縁部を始めたウェーハの洗浄効率が高くなる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によるウェーハキャリヤ及びこれを用いたウェーハ洗浄方法は、ウェーハキャリヤ内にウェーハが受容される場合のウェーハキャリアとウェーハとの接触面積を最小化でき、接触による異物発生または異物のウェーハへの吸着を減らすことができる。このように、本発明のウェーハを使用すれば、半導体素子の生産性や収率が向上するという効果がある。また、ウェーハキャリヤの重量を減らすことができるため、簡便かつ容易な取り扱いが可能になるという付加的な効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付した図面を参照して本発明による好適なウェーハキャリヤの実施形態を詳細に説明する。
【００２２】
図２は、本発明の実施形態によるウェーハキャリヤを示した側面図であり、図３は図２のウェーハキャリヤの平面図であり、図４は図２のウェーハキャリヤの正面図である。
【００２３】
図２〜図４を参照すれば、本実施形態のウェーハキャリヤは複数枚の半導体ウェーハ（Ｗ）を適当な間隔を空けて直立させた状態で並列に受容し得る保管維持部材１００を有する。そして、ウェーハキャリヤは、保管維持部材１００の軸線（Ｉ）方向の前後両端部に配置された前端固定板１５０と後端固定板１６０とを備える。ウェーハキャリヤの上部及び下部は開放されている。
【００２４】
保管維持部材１００は、ウェーハ（Ｗ）中間部における左右両側の周縁部を受け入れるために左右両側に設けられた一対の側部支持部１３０を有する。また、保管維持部材１００は、ウェーハ（Ｗ）下部における左右両側の周縁部を受け入れるために左右両側に設けられた一対の下部支持部１４０を有する。下部支持部１４０は、側部支持部１３０の（軸線（Ｉ）を含む鉛直面に向かって）内側に、そしてその下部に設置される。側部支持部１３０は、ウェーハ（Ｗ）が保管維持部材１００に受容された場合のウェーハ（Ｗ）の中心と大略同一の高さに配置される。
【００２５】
側部支持部１３０と下部支持部１４０は、保管維持部材１００の軸線（Ｉ）方向に沿って延長される。さらに、側部支持部１３０及び下部支持部１４０の間には、軸線（Ｉ）方向と直交する方向に延長され、軸線（Ｉ）方向に沿って複数配列された下方連結部１８０が設けられる。また、下方連結部１８０は、側部支持部１３０から軸線（Ｉ）方向と直交する方向に、ウェーハ（Ｗ）の上端部の高さまで延長され、軸線（Ｉ）方向に沿って複数配列された上方連結部１８５に、連結される構造を有する。このような構造によって、側部支持部１３０、下部支持部１４０、及び上下方連結部１８０、１８５の間にできる空間は開口部１７０のみとなる。これにより、保管維持部材１００は、その内側にウェーハ（Ｗ）が受容された場合のウェーハ（Ｗ）の左右両側に、ウェーハ（Ｗ）の直径方向に延長された形態の開口部１７０を有することになり、保管維持部材１００の内側にウェーハが受容された場合に、ウェーハ（Ｗ）の左右両側の周縁部が開口部１７０から外部に露出される。
【００２６】
保管維持部１００にウェーハ（Ｗ）が受容された場合、開口部１７０からウェーハ（Ｗ）の左右両側の周縁部が外部に露出されるが、開口部１７０の幅は、少なくともウェーハ（Ｗ）の厚さより若干広くされることが、ウェーハの周縁部との接触を避けるために好ましい。そして、開口部１７０は、ウェーハキャリヤの内側に受容され得るウェーハ（Ｗ）の最大枚数と同じ数だけ軸線（Ｉ）方向に複数配列される。保管維持部材１００にウェーハ（Ｗ）が受容された様子を側方から見ると、ウェーハ（Ｗ）の中間部及び下部における周縁部を除外した大部分のウェーハ（Ｗ）の周縁部が外部に露出される。
【００２７】
一方、保管維持部材１００は、複数の開口部１７０を有する形態なので、本実施形態のウェーハキャリヤは、従来のウェーハキャリヤに比べて、他の構造的な条件（例、大きさ、材質など）が同じであれば、その重量が軽いので取り扱いが容易であるという利点を有する。
【００２８】
ウェーハキャリヤ内にウェーハ（Ｗ）が受容される場合の最前列のウェーハ（Ｗ）と対向する前端固定板１５０は、その高さがウェーハ（Ｗ）の高さと殆ど同じになるように設計されることができる。同様に、ウェーハキャリヤ内にウェーハ（Ｗ）が受容される場合の最後列のウェーハ（Ｗ）と対向する後端固定板１６０も、その高さがウェーハ（Ｗ）の高さと殆ど同じになるように設計されることができる。前端固定板１５０及び後端固定板１６０の高さが、保護維持部材１００にウェーハ（Ｗ）が受容される場合のウェーハ（Ｗ）の高さと殆ど同一に設定されれば、特に最前列及び最後列のウェーハ（Ｗ）を損傷から保護できる。例えば、ウェーハキャリヤにウェーハ（Ｗ）が受容された状態にある場合に、外部からのウェーハ（Ｗ）に対する化学薬品や固体異物質の攻撃から保護できるようになり、ウェーハ損傷を防ぐことができる。
【００２９】
図５及び図６は、図２に示されたウェーハキャリヤにおける固定板の他の例を示した正面図である。図５を参照すれば、ウェーハキャリヤの前端部に配置された前端固定板１５０には、保護維持部材１００にウェーハ（Ｗ）が受容された場合に、ウェーハ（Ｗ）の前面が露出されるように、開口部１９０がさらに形成されていることができる。開口部１９０が前端固定板１５０に形成されていれば、特に後述するようにウェーハキャリヤを洗浄用として用いる場合、洗浄液が最前列のウェーハ（Ｗ）と、それに対向する前端固定板１５０の内側の面との間に残留することによって発生する異物の発生比率を相対的に減少させることができる。また、発生した異物が洗浄液の流れに混ざって開口部１９０からウェーハキャリヤ外へ排出されることができ、異物がウェーハ（Ｗ）の表面に再付着する虞が少なくなる。最後列のウェーハ（Ｗ）と対向する後端固定板１６０もこれと同様である。
【００３０】
図６を参照すれば、ウェーハキャリヤ内にウェーハが受容された場合の最前列のウェーハ（Ｗ）の表面と対向して配置された前端固定板１５０の上部が任意の形、例えば梯形状に除去された切欠部１９５を有する。上部に切欠部１９５が形成された前端固定板１５０は、前述したように異物の発生や異物の再吸着の虞を減らすことができるという利点を有する。後端固定板１６０もこれと同様である。
【００３１】
図２〜４を参照すれば、ウェーハキャリヤ内にウェーハ（Ｗ）が受容される場合、ウェーハ（Ｗ）の中間部における左右両側の周縁部と、下部における周縁部のみが保管維持部材１００との間の接触面積に寄与する。そして、残りのウェーハ（Ｗ）の周縁部は、保管維持部材１００と接触しないため、ウェーハキャリヤとウェーハ（Ｗ）の間の接触面積が最小化される。これにより、ウェーハキャリヤとウェーハ（Ｗ）との直接接触による摩擦または静電気によって発生する異物発生現象が最小化される。そのため、たとえ、ウェーハ（Ｗ）に異物が吸着していたとしても、異物が直接接触によってウェーハ（Ｗ）からウェーハキャリヤに転移し、転移した異物が他のウェーハに吸着する虞が最小化される。
【００３２】
本実施形態のウェーハキャリヤは、ウェーハ洗浄用に応用できる。ウェーハ洗浄工程において、ウェーハ（Ｗ）を受容したウェーハキャリヤが、洗浄液が循環する洗浄槽内に浸される場合、洗浄液が例えば、左側の開口部１７０に流入し、右側の開口部１７０から流出する。この際、洗浄液が開口部１７０を通って流入及び流出するので、洗浄液がウェーハ（Ｗ）どうしの間を流れることができ、従来の側面が塞がられているウェーハキャリヤに比べて異物除去効率が高くなる。本実施形態のウェーハキャリヤは、その側面が開放されているものの、洗浄液は狭い幅を有する開口部１７０を通って流れる構造となっている。従って、ウェーハ（Ｗ）どうしの間を流れる洗浄液の流速が大きくなり、ウェーハ（Ｗ）の前面及び後面から異物が容易に除去され、除去された異物がウェーハ（Ｗ）の近傍に留まらないため異物の再吸着現象が起こる余地が少なくなる。これとは違って、洗浄液がウェーハキャリヤの下部から上部に流れる場合、洗浄液は下部から流入して左右の開口部１７０を通って流れ出ることができる。本ウェーハキャリヤを使用すれば、洗浄液は下部から上部及び左右のどちらにも流れることができるようになるため洗浄効率がさらに高くなる。また、ウェーハ（Ｗ）の周縁部の殆ど全てが開口部１７０から露出されているため、熱処理工程においてウェーハ（Ｗ）の周縁部に累積し得る異物を効率的に除去できる。
【００３３】
図７及び図８は、本発明の他の実施形態によるウェーハキャリヤを示した図である。本実施形態のウェーハキャリヤの構造は、図２に示されたウェーハキャリヤの構造と僅かに異なるのみである。
【００３４】
図７及び図８を参照すれば、本実施形態のウェーハキャリヤは、その内側にウェーハ（Ｗ）が受容される場合のウェーハ（Ｗ）の下部における左右両側の周縁部を露出させるための複数の開口部２７０が形成された保管維持部材２００を有する。この保管維持部材２００の上端の高さは、ウェーハキャリアの内側にウェーハ（Ｗ）が受容された場合のウェーハ（Ｗ）の中央の高さと大略一致する。また、ウェーハキャリヤの前後端部にそれぞれ設けられる固定板２５０、２６０の高さも、ウェーハキャリヤにウェーハ（Ｗ）受容される場合のウェーハ（Ｗ）の中央の高さと大略一致する。なお、側部支持部２３０、下部支持部２４０、前端固定板２５０、及び後端固定板２６０は、前述した側部支持部１３０、下部支持部１４０、前端固定板１５０、及び後端固定板１６０とそれぞれ同様の構成を有する。
【００３５】
保管維持部材２００にウェーハ（Ｗ）の下部における左右両側の周縁部を露出させるための開口部２７０が備えられていることによって、保管維持部材２００とウェーハ（Ｗ）とが直接的に接触する部分の面積が最小化されて、異物発生の虞を低減させることができることは勿論である。さらに、保管維持部材２００の高さが小さくなることによって、ウェーハキャリヤにおいてウェーハ（Ｗ）をローディングするか、またはアンローディングする際の、ウェーハ（Ｗ）とウェーハキャリヤとの衝突の虞を最小化できるという利点も併せ持っている。また、前後端固定板２５０、２６０の高さが小さくなることによって、ウェーハ（Ｗ）のローディング時及びアンローディング時の、前後端固定板２５０、２６０とウェーハ（Ｗ）との衝突の虞を最小化できるのは勿論、前述したように洗浄液による異物除去に優れ、残留異物の発生を減らすことができるという利点を有する。
【００３６】
本実施形態においても、図５及び図６に示されているように、前後端固定板２５０、２６０には、開口部または切欠部がさらに形成されることができる。それぞれの固定板２５０、２６０による利点は既に説明した通りである。
【００３７】
以上の詳細な説明は、本発明を例示するものである。また、前述した内容は、本発明の好適な実施形態を説明することに過ぎず、本発明は多様な異なる組合せ、変更及び環境で使用できる。そして、本明細書に開示された発明の概念の範囲、前述した開示内容と均等な範囲及び／または当業者の技術または知識の範囲内で変更または修正が可能である。前述した実施形態は、本発明を実施するための最善の形態を説明するためのものであり、本発明の属する技術分野において当業者に知られた他の形態での実施、そして発明の具体的な利用分野及び用途のために要求される多様な変更も可能である。従って、以上の発明の詳細な説明は、本発明を開示された実施形態に制限しようと意図されたものではない。また、特許請求の範囲は、他の実施形態も含むことと解釈しなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】従来技術によるウェーハキャリヤの前面を示した断面図である。
【図２】本発明の一実施形態によるウェーハキャリヤを示した側面図である。
【図３】本発明の一実施形態によるウェーハキャリヤを示した平面図である。
【図４】本発明の一実施形態によるウェーハキャリヤを示した正面図である。
【図５】本発明の一実施形態によるウェーハキャリヤにおける固定板の他の例を示した正面図である。
【図６】本発明の一実施形態によるウェーハキャリヤにおける固定板の他の例を示した正面図である。
【図７】本発明の他の実施形態によるウェーハキャリヤを示した側面図である。
【図８】本発明の他の実施形態によるウェーハキャリヤを示した正面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１００    保管維持部材、
１３０    側部支持部、
１４０    下部支持部、
１５０    前端固定板、
１６０    後端固定板、
１７０、１９０    開口部、
１８０    下方連結部、
１８５    上方連結部、
１９５    切欠部。
【図１】
2006270105.tif 000003
【図２】
2006270105.tif 000004
【図３】
2006270105.tif 000005
【図４】
2006270105.tif 000006
【図５】
2006270105.tif 000007
【図６】
2006270105.tif 000008
【図７】
2006270105.tif 000009
【図８】
2006270105.tif 000010