(57)【要約】【課題】  クリーンルーム内での設置条件を緩和し得るエゼクタを提供する。【解決手段】  ノズル７からディフューザー８に加圧空気を吐出することにより、負圧を生成するエゼクタにおいて、中空糸膜を濾過材２３とした排気クリーナー２１を備えた。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルからディフューザーに加圧空気を吐出することにより、負圧を生成するエゼクタにおいて、
中空糸膜を濾過材とした排気クリーナーを備えたことを特徴とするエゼクタ。
【請求項２】
前記排気クリーナーは、ケース内に前記濾過材を充填し、前記ケースを排気ポートに取着したことを特徴とする請求項１記載のエゼクタ。
【請求項３】
前記排気クリーナーは、前記エゼクタのチューブ内の排気側端部に前記濾過材を充填して構成したことを特徴とする請求項１記載のエゼクタ。
【請求項４】
前記濾過材は、多数本の糸状の中空糸膜を二つ折りにして束ね、該中空糸膜の切断端部側を樹脂で固め、排気を該中空糸膜の表面から空芯部に透過させることを特徴とする請求項２又は３記載のエゼクタ。
【請求項５】
前記濾過材は、疎水性を備えた多数本の糸状の中空糸膜を直線状として束ね、該中空糸膜の両端部を樹脂で固め、排気を該中空糸膜の空芯部から表面に透過させ、排気中の水分は前記空芯部内を通過させることを特徴とする請求項３記載のエゼクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、圧縮流体の供給に基づいて負圧を生成するエゼクタに関するものであり、特にクリーンルーム内で使用するエゼクタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
エゼクタは、供給ポートに供給された圧縮流体を吸気ポートから吸引した外気とともに排気ポートから排出することにより、吸気ポートに負圧を発生させるものである。
上記のようなエゼクタは、特許文献１及び特許文献２に開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１９４０００号公報
【特許文献２】特開２００３−３５３００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のようなエゼクタを、クリーンルーム内で使用する場合には、排気ポートから排出される排気をクリーンルーム内に排出することができないため、配管を介してクリーンルーム外へ排出する必要がある。
【０００４】
従って、配管を設置するためのスペースが必要となるとともに、配管を接続するための排気ポートの開口方向に制約が生じるため、エゼクタの設置作業が煩雑となるという問題点がある。
【０００５】
この発明の目的は、クリーンルーム内での設置条件を緩和し得るエゼクタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的は、中空糸膜を濾過材とした排気クリーナーを備えたエゼクタにより達成される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、クリーンルーム内での設置条件を緩和し得るエゼクタを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を具体化したエゼクタの一実施の形態を図面に従って説明する。図１に示すエゼクタは、ボディ１の上面にカバー２が取着され、そのカバー２には加圧ポート３が設けられている。
【０００９】
前記カバー２の上面には電磁弁４が取着され、その電磁弁４により前記加圧ポート３への加圧空気の供給が制御される。前記ボディ１の側面には、加圧空気が供給される供給ポート５と、吸気ポート６がそれぞれ設けられている。前記供給ポート５に供給される加圧空気は、カバー２に設けられる連通孔（図示しない）を介して前記電磁弁４に供給され、電磁弁４の開閉動作に基づいて前記加圧ポート３に供給される。
【００１０】
前記吸気ポート６は、フィルター、レギュレータ等の他の空気圧機器を介して吸着搬送装置等に接続される。
前記ボディ１の上面には前記加圧ポート３の下方位置にノズル７が取着され、そのノズル７の下方に形成された空間は、前記吸気ポート６に連通されるとともに下方へ開口されている。
【００１１】
前記ノズル７の開口部の下方には、第一のディフューザー８が配設され、その第一のディフューザー８の下方に第二のディフューザー９が配設されている。前記第一及び第二のディフューザー８，９は、前記ボディ１の下部に嵌着される円筒状のチューブ１０により、各周縁部がボディ１に固定される。
【００１２】
そして、前記第一のディフューザー８は前記ボディ１内の空間を上下に区画し、第二のディフューザー９はボディ１とチューブ１０内の空間とを区画している。
前記第一のディフューザー８はほぼ円錐状に形成され、その中央に第一のスロート部１１が形成されている。前記第一のスロート部１１は一定の径で延設される。そして、前記ノズル７から第一のスロート部１１に加圧空気が噴出されると、第一のディフューザー８の上方の空間内の空気が第一のスロート部１１内に巻き込まれる。この動作により、第一のディフューザー８の上方の空間に負圧が発生し、第一の真空室１２が生成される。
【００１３】
前記第一のスロート部１１の下方において、前記第二のディフューザー９には前記チューブ１０内に突出する第二のスロート部１３が形成されている。そして、第一のスロート部１１から第二のスロート部１３に加圧空気が噴出されると、第二のディフューザー９の上方の空間内の空気が第二のスロート部１３内に巻き込まれる。この動作により、第二のディフューザー９の上方の空間に負圧が発生し、第二の真空室１４が生成される。
【００１４】
前記第一のディフューザー８の第一のスロート部１１の周囲には、前記第一及び第二の真空室１２，１４を連通する複数の連通孔１５が形成され、前記第一のスロート部１１の周囲には、その連通孔１５を第二の真空室１４側から覆うゴム板状のチェックバルブ１６が取着されている。
【００１５】
前記チェックバルブ１６の下方において、前記第一のスロート部１１の外周にはバルブストッパ１７が嵌着され、前記チェックバルブ１６を位置決めしている。このような構成により、第二の真空室１４の気圧が第一の真空室１２の気圧より低くなったとき、チェックバルブ１６が開いて、第一及び第二の真空室１２，１４が等圧となるようになっている。
【００１６】
前記第二のスロート部１３の下端部は、加圧空気を効率よく排出するために、その内径が所定の角度で徐々に拡径されている。
前記チューブ１０の下端にはボトムカバー１８が嵌着され、そのボトムカバー１８の中央部には排気ポート１９が形成されている。そして、前記第二のディフューザー９から排出される空気が排気ポート１９から排出される。前記第二のディフューザー９の先端部と排気ポート１９との間には、筒状の消音器２０が設けられる。
【００１７】
前記排気ポート１９にはクリーンルーム用排気クリーナー２１が取着されている。そのクリーンルーム用排気クリーナー２１は、ケース２２とそのケース２２内に充填される濾過材２３とで構成される。
【００１８】
前記ケース２２は、先端を開口した円筒状の収容部２４と、前記排気ポート１９に取着可能に形成された基端部２５とが一体に形成され、基端部２５に形成された連通孔２６により前記収容部２４が前記排気ポート１９に連通している。
【００１９】
前記収容部２４内には、ポリプロピレン多孔質中空糸膜で構成される濾過材２３が充填されている。すなわち、前記濾過材２３は所定長さに切断された多数本の糸状の中空糸膜を二つ折りにして束ねられ、その切断端部側にウレタン樹脂が含浸されることにより、各中空糸膜間が密封された状態で固められた固形部２７が形成されている。そして、固形部２７側をケース２２の開口端側として、同ケース２２内に嵌着されている。
【００２０】
各中空糸膜の空芯部は、ケース２２の開口端に開口されているため、排気ポート１９に排出された空気は、各中空糸膜をその外表面側から空芯部に向かって通過し、空芯部からケース２２の開口端に排出される。このようにして、空気が中空糸膜を通過する際に、パーティクル等が濾過される。
【００２１】
次に、上記のように構成されたエゼクタの作用を説明する。加圧ポート３に加圧空気が供給された状態で電磁弁４が開路されると、その加圧空気がノズル７から高速の空気流が噴出される。
【００２２】
ノズル７から吐出される空気は、第一のスロート部１１に流入し、このときその空気流により第一の真空室１２内の空気が第一のスロート部１１に巻き込まれ、第一の真空室１２内に負圧が生成される。そして、その負圧により、吸気ポート６から外気が吸入される。
【００２３】
第一のスロート部１１から吐出される空気は、第二のスロート部１３に流入する。すると、第二の真空室１４内の空気が第二のスロート部１３に巻き込まれ、第二の真空室１４内に負圧が生成される。そして、第二の真空室１４内の気圧が第一の真空室１２内の気圧より低くなると、チェックバルブ１６が開いて、第一の真空室１２から第二の真空室１４に空気が引き込まれる。
【００２４】
第二のスロート部１３に流入した空気は、消音器２０を経て、クリーンルーム用排気クリーナー２１から排出される。
このような動作により、第一のディフューザー８により第一の真空室１２内に負圧が生成され、その負圧が吸気ポート６に供給される。また、第二のディフューザー９により、第一の真空室１２からチェックバルブ１６を経て第二の真空室１４に空気が引き込まれ、吸気ポート６から吸入する外気の吸入容量が確保される。
【００２５】
上記のように構成されたエゼクタでは、次に示す作用効果を得ることができる。
（１）加圧ポート３に加圧空気を供給することにより、吸気ポート６に負圧を発生させ、吸気ポート６に外気を吸入することができる。
（２）排気ポート１９から排出される排気をクリーンルーム用排気クリーナー２１で濾過することができる。従って、排気をクリーンルーム内に排出することができる。
（３）排気をクリーンルーム内に排出することができるので、エゼクタに排気用の配管を接続する必要がない。従って、クリーンルーム内でのエゼクタの設置位置の自由度を向上させることができる。
（４）クリーンルーム用排気クリーナー２１により、排気音をさらに消音することができる。
（５）排気ポート１９にクリーンルーム用排気クリーナー２１を取着すればよいので、きわめて簡単に構成することができる。
（第二の実施の形態）
図２は、第二の実施の形態を示す。この実施の形態のエゼクタの構成は、前記第一の実施の形態とほぼ同様であり、同一構成部分は同一符号を付してその説明を省略する。
【００２６】
チューブ１０の下端部すなわち排気側端部には、第一の実施の形態のボトムカバー１８を取着することなく、濾過材２８がクリーンルーム用排気クリーナーとして充填されている。この濾過材２８は、前記第一の実施の形態と同様な構成であり、固形部２９がチューブ１０の開口端側に位置するように嵌着されている。
【００２７】
このような構成により、エゼクタの排気は濾過材２８で濾過されて排出されるので、第一の実施の形態と同様な作用効果を得ることができる。
（第三の実施の形態）
図３は、第三の実施の形態を示す。この実施の形態のエゼクタの構成は、前記第一の実施の形態とほぼ同様であり、同一構成部分は同一符号を付してその説明を省略する。
【００２８】
チューブ１０の下端部には筒状のクリーナーケース３０の一端が取着され、そのクリーナーケース３０内には濾過材３１が充填されて、クリーンルーム用排気クリーナーが構成される。前記クリーナーケース３０の側面には排気孔３２が開口されている。
【００２９】
前記クリーナーケース３０の他端にはボトムカバー３３が取着され、そのボトムカバー３３には排水孔３４が形成され、その排水孔３４に図示しない配水管が接続される。
前記濾過材３１は、直線状の中空糸膜を多数本束ね、その両端部に前記ウレタン樹脂が含浸されて固形部３５ａ，３５ｂが形成され、各中空糸膜の端部に空芯が開口されている。そして、各中空糸膜は疎水性を備えた膜で構成され、水分を透過させないようになっている。
【００３０】
このように構成されたエゼクタでは、第二のディフューザー９から排出される排気は、濾過材３１の中空糸膜を透過して濾過され、排気孔３２から排出される。また、排気内に含まれる水分は、中空糸膜を透過することなく、各中空糸膜の空芯内を通過して排水孔３４から排出される。
【００３１】
このように構成されたエゼクタでは、前記第一及び第二のエゼクタと同様な作用効果を得ることができるとともに、排気中に含まれる水分を除去することができる。
上記実施の形態は、以下の態様で実施してもよい。
・濾過材は、ポリプロピレン以外の多孔質中空糸膜で構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】第一の実施の形態を示す断面図である。
【図２】第二の実施の形態を示す断面図である。
【図３】第三の実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１        ボディ
５        供給ポート
６        吸気ポート
７        ノズル
８，９      ディフューザー
１０      チューブ
１９      排気ポート
２１      排気クリーナー
２３，２８，３１        濾過材
２７      固形部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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