(57)【要約】【課題】  半導体レーザー光源の照度偏差にかかわらず均一な線幅のパターンを形成することができ、３５０〜４１０ｎｍ領域の半導体ダイオードレーザーを用いた直接露光に適するだけでなく、同時にアルカリ水溶液での現像が可能であり、感度、解像度、基板に対する密着性、および保管安定性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】  本発明の感光性樹脂組成物は、ａ）イミダゾール二量体系光開始剤、ｂ）トリアリールメタン系光増感剤、およびｃ）チオール官能基を含むヘテロ芳香族系光増感剤を含有する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）イミダゾール二量体系光開始剤、
ｂ）トリアリールメタン系光増感剤、および
ｃ）チオール官能基を含むヘテロ芳香族系光増感剤
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記感光性樹脂組成物が、イミダゾール二量体系光開始剤１〜１０重量％、トリアリールメタン系光増感剤０．０５〜２重量％およびチオール官能基を含むヘテロ芳香族系光増感剤０．０５〜２重量％を含む請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記イミダゾール二量体系光開始剤が下記の式（１）
【化１】
2006313347.tif 000007
（式中、Ｒ1はそれぞれ独立的にｏ−クロロフェニル基、ｏ−フルオロフェニル基、ｏ−メトキシフェニル基、ｐ−メトキシフェニル基、２，４−ジメトキシフェニル基またはｐ−メチルメルカプトフェニル基であり、
Ｒ2はそれぞれ独立的にフェニル基、ｍ−メトキシフェニル基またはｐ−メトキシフェニル基であり、
Ｒ3はそれぞれ独立的にフェニル基またはｍ−メトキシフェニル基である。）
で示される化合物である請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記トリアリールメタン系光増感剤が下記の式（２）
【化２】
2006313347.tif 000008
（式中、Ｒ4はそれぞれ独立的にジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、アセチルアミノ基、エチルアミノ基またはメチルアミノ基である。）
で示される化合物である請求項１〜３のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記チオール官能基を含むヘテロ芳香族系光増感剤が下記の式（３）
【化３】
2006313347.tif 000009
（式中、Ｒ5は硫黄（Ｓ）、酸素（Ｏ）、またはセレニウム（Ｓｅ）であり、
Ｒ6は窒素（Ｎ）であり、
Ｒ7は水素またはメチルである。）
で示される化合物である請求項１〜４のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記感光性樹脂組成物が、イミダゾール二量体系光開始剤１〜１０重量％、トリアリールメタン系光増感剤０．０５〜２重量％、チオール官能基を含むヘテロ芳香族系光増感剤０．０５〜２重量％、アルカリ可溶性アクリレート樹脂１５〜３０重量％、少なくとも２つ以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマー５〜３０重量％および残量の溶剤を含む請求項１〜５のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記アルカリ可溶性アクリレート樹脂が、不飽和カルボン酸２０〜５０重量％、芳香族単量体１５〜４５重量％、リン酸エステルを含む単量体１〜１５重量％、およびアクリル単量体１０〜６０重量％を溶媒下で重合して製造される請求項６に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記不飽和カルボン酸が、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、およびこれらの酸無水物からなる群より選択される１種以上である請求項７に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記芳香族単量体が、スチレン、ベンジルメタクリレート、ベンジルアクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２−ニトロフェニルアクリレート、４−ニトロフェニルアクリレート、２−ニトロフェニルメタクリレート、４−ニトロフェニルメタクリレート、２−ニトロベンジルメタクリレート、４−ニトロベンジルメタクリレート、２−クロロフェニルアクリレート、４−クロロフェニルアクリレート、２−クロロフェニルメタクリレート、および４−クロロフェニルメタクリレートからなる群より選択される１種以上である請求項７又は８に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記リン酸エステルを含む単量体が、ペンタエチレングリコールモノメタクリレート、ペンタプロピレングリコールモノメタクリレート、およびヘキサエチレングリコールモノメタクリレートからなる群より選択される１種以上である請求項７〜９のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
前記アクリル単量体が、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、およびｎ−ブチルアクリレートからなる群より選択される１種以上である請求項７〜１０のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
前記アルカリ可溶性アクリレート樹脂の分子量が２０，０００〜１００，０００であり、ガラス転移温度が少なくとも１００℃である請求項６〜１１のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１３】
前記の少なくとも２つ以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーが、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート誘導体、トリメチルプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、およびそのメタクリレート類からなる群より選択される１種以上である請求項６〜１２のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１４】
前記感光性樹脂組成物が染料または発色剤の添加剤をさらに含む請求項１〜１３のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１５】
請求項１〜１４のうちのいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物を支持フィルム上にコーティングして乾燥させた感光性ドライフィルム。
【請求項１６】
前記感光性ドライフィルムは保護フィルムをさらに含む請求項１５に記載の感光性ドライフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の高集積化と新規回路の適用周期が短くなることにより、基板に感光性樹脂組成物を利用して微細なパターンを短時間で形成する技術に対する要求が増大している。
これによって、従来フォトマスクを製作して製品を評価する工程なしに、半導体ダイオードを光源として用いてパターンを直接形成する方法が研究されている。なかでも、そのような光源として、４０５ｎｍ領域のレーザが最も有力な技術として評価されている。
しかし、従来のレーザー直接露光は、半導体ダイオードレーザーの発光波長が４００〜４１０ｎｍの領域で一定でない最大照度を示すので、感光剤の光反応領域において、用いる発光領域のレーザーで均一な光分布を得られない場合に、形成されたパターンの線幅で偏差が発生したり、形成されたイメージの均一性が劣る場合があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来の技術の問題点を解決しようと、本発明は、半導体レーザー光源の照度偏差にかかわらず、均一な線幅のパターンを形成することができ、３５０〜４１０ｎｍ領域の半導体ダイオードレーザーを用いた直接露光に適した感光性樹脂組成物およびこれを利用した感光性ドライフィルムを提供することを目的とする。
【０００４】
本発明の他の目的は、アルカリ水溶液での現像が可能であり、感度、解像度、基板に対する密着性、および保管安定性に優れた感光性樹脂組成物、およびこれを利用した感光性ドライフィルムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、ａ）イミダゾール二量体系光開始剤、ｂ）トリアリールメタン系光増感剤、およびｃ）チオール官能基を含むヘテロ芳香族系光増感剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物を提供する。
また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を支持フィルム上にコーティングして乾燥した感光性ドライフィルムを提供する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、用いる露光光源の種類にかかわらず、均一な線幅のパターンを形成することができる。特に、半導体レーザー光源を用いる場合においても、その照度偏差にかかわらず、均一な線幅のパターンを形成することができ、さらに、３５０〜４１０ｎｍ領域の半導体ダイオードレーザーを利用した直接露光に好適に用いることができる。加えて、アルカリ水溶液での現像が可能であり、感度、解像度、基板に対する密着性、および保管安定性に優れているという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、ａ）イミダゾール二量体系光開始剤、ｂ）トリアリールメタン系光増感剤、およびｃ）チオール官能基を含むヘテロ芳香族系光増感剤を含有する。
本発明に使用されるイミダゾール二量体系光開始剤は、その種類は特に限定されないが、下記の化学式（１）で示される化合物を使用するのが好ましい。
【０００８】
【化１】
2006313347.tif 000002
【０００９】
（式中、Ｒ1はそれぞれ独立的にｏ−クロロフェニル基、ｏ−フルオロフェニル基、ｏ−メトキシフェニル基、ｐ−メトキシフェニル基、２，４−ジメトキシフェニル基またはｐ−メチルメルカプトフェニル基であり、
Ｒ2はそれぞれ独立的にフェニル基、ｍ−メトキシフェニル基またはｐ−メトキシフェニル基であり、
Ｒ3はそれぞれ独立的にフェニル基またはｍ−メトキシフェニル基である。）
式（１）で示される化合物は、例えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、または２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体などの２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体が挙げられる。これらは単独または２種以上混合して使用することができる。
【００１０】
イミダゾール二量体系光開始剤は、感度を良好に保ち、正常なパターンを実現し、パターンの直線性（直進性）を得るとともに、保存安定性を向上し、適切な硬化度を維持して、現像時にパターンの過度の剥離を防止するという観点から、感光性樹脂組成物に１〜１０重量％で含まれることが好ましく、２〜５重量％で含まれることがさらに好ましい。
また、本発明に使用されるｂ）のトリアリールメタン系光増感剤は、レーザー光に対する光増感作用をし、式（２）で示される化合物を使用するのが好ましい。
【００１１】
【化２】
2006313347.tif 000003
【００１２】
（式中、Ｒ4はそれぞれ独立的にジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、アセチルアミノ基、エチルアミノ基またはメチルアミノ基である。）
式（２）で示される化合物は、例えば、トリジメチルアミノフェニルメタン、トリジエチルアミノフェニルメタン、トリ（４−ジエチルアミノフェニル）メタン、トリアセチルアミノフェニルメタン、トリエチルアミノフェニルメタン、またはトリメチルアミノフェニルメタンなどが挙げられる。これらは単独または２種以上混合して使用することができる。
【００１３】
トリアリールメタン系光増感剤は、光増感の効果を向上させるという観点から、本発明の感光性樹脂組成物に対して０．０５〜２重量％で含まれるのが好ましい。
また、本発明に使用されるｃ）チオール官能基を含むヘテロ芳香族系光増感剤は、式（３）で示される化合物を使用するのが好ましい。
【００１４】
【化３】
2006313347.tif 000004
【００１５】
（式中、Ｒ5は硫黄（Ｓ）、酸素（Ｏ）、またはセレニウム（Ｓｅ）であり、
Ｒ6は窒素（Ｎ）であり、
Ｒ7は水素またはメチルである。）
式（３）で示される化合物は、例えば、メルカプトベンゾキサゾール、２−メルカプトベンゾキサゾール、メルカプト−５−メチルベンゾキサゾール、メルカプトイミダゾール、メルカプト−５−メチルイミダゾール、メルカプトチアゾール、メルカプト−５−メチルチアゾール、メルカプトセレナゾール（mercapto selenazole）、またはメルカプト−５−メチルセレナゾールなどが挙げられる。
【００１６】
チオール官能基を含むヘテロ芳香族系光増感剤は、光増感の効果を向上させるという観点から、本発明の感光性樹脂組成物に対して０．０５〜２重量％で含まれるのが好ましい。
【００１７】
本発明の感光性樹脂組成物は、上述した成分以外に、ｄ）アルカリ可溶性アクリレート樹脂、ｅ）少なくとも２つ以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマー、およびｆ）溶剤をさらに含むことが好ましい。
【００１８】
本発明に使用されるｄ）アルカリ可溶性アクリレート樹脂は、アルカリ現像液に現像可能なアクリレート樹脂である。この樹脂は、例えば、不飽和カルボン酸、芳香族単量体、リン酸エステルを含む単量体、およびアクリル単量体を重合して製造することができる。
【００１９】
不飽和カルボン酸は、アルカリ可溶性を向上させる作用をする。具体的にはアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれらの酸無水物を使用することができる。
【００２０】
不飽和カルボン酸は、現像工程時に現像時間を短縮化させ、重合時におけるゲル化を防止して、重合度調節を容易とし、保存安定性を改善するという観点から、アクリレート樹脂に２０〜５０重量％で含まれるのが好ましい。
【００２１】
芳香族単量体は、現像時に基板との密着性と安定したパターンを形成できるようにする作用をする。具体的にスチレン、ベンジルメタクリレート、ベンジルアクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２−ニトロフェニルアクリレート、４−ニトロフェニルアクリレート、２−ニトロフェニルメタクリレート、４−ニトロフェニルメタクリレート、２−ニトロベンジルメタクリレート、４−ニトロベンジルメタクリレート、２−クロロフェニルアクリレート、４−クロロフェニルアクリレート、２−クロロフェニルメタクリレート、または４−クロロフェニルメタクリレートなどを使用することができる。
【００２２】
前記芳香族単量体は、現像工程時にガラス面との密着性を向上してパターンの剥離を防止し、形成されたパターンの直線性を改善し、安定したパターン実現するとともに、現像工程時における現像時間を短縮化し、組成物を良好な状態に維持し、耐熱性を改善して、焼成工程時に感光性樹脂が短時間で除去することができるという観点から、アクリレート樹脂に１５〜４５重量％で含まれるのが好ましく、さらに好ましくは、２０〜４０重量％である。
【００２３】
前記リン酸エステルを含む単量体は、微量で使用して高分子の接着力を向上させ酸価を調節する作用をする。前記リン酸エステルを含む単量体は二重結合を含んでいるメタクリレートの末端官能基によって多様な形態を用いることができる。例えば、ペンタエチレングリコールモノメタクリレート、ペンタプロピレングリコールモノメタクリレート、またはヘキサエチレングリコールモノメタクリレートなどを使用することができる。
【００２４】
前記リン酸エステルを含む単量体は、フィルムの密着性を向上させ、重合時におけるゲル化を防止し、耐アルカリ性を向上し、現像工程時にパターンの剥離を防止して、形成されたパターンの直線性を向上させるという観点から、アクリレート樹脂に１〜１５重量％で含まれるのが好ましく、さらに好ましくは、５〜１０重量％で含まれる。
【００２５】
前記アクリル単量体は、アクリレート樹脂のガラス転移温度と極性を調節する作用をする。具体的に、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、またはｎ−ブチルアクリレートなどを使用することができる。
【００２６】
前記アクリル単量体は、アクリレート樹脂に１０〜３０重量％で含まれるのが好ましい。その含量が前記範囲内である場合には、耐熱性向上と現像液との親水性向上においてさらによい。
【００２７】
このような不飽和カルボン酸、芳香族単量体、リン酸エステルを含む単量体、およびアクリル単量体は、ゲル化を防止できる適切な極性を有する溶媒下で重合してアクリレート樹脂として製造されることができる。溶媒としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジメチルアミノホルムアルデヒド、メチルエチルケトン、ガムビトール、またはガンマブチロラクトンなどを使用することができる。
【００２８】
このように製造された本発明のアルカリ可溶性アクリレート樹脂は、分子量が２０，０００〜１００，０００であるのが好ましく、さらに好ましくは、３０，０００〜７０，０００である。また、アルカリ可溶性アクリレート樹脂のガラス転移温度は、ドライフィルム状態で組成物が漏れ出る現象（cold flow）を防止するという観点から、１００℃以上であるのが好ましい。
【００２９】
このようなアルカリ可溶性アクリレート樹脂は、パターン形成を容易にし、感光性樹脂組成物の軟化点を抑えてドライフィルムを製造する際の軟性を確保するという観点から、感光性樹脂組成物に１５〜３０重量％で含まれるのが好ましい。
【００３０】
本発明に使用されるｅ）の少なくとも２つ以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーは、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート誘導体、トリメチルプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、またはそのメタクリレート類などが挙げられる。これらは単独または２種以上混合して使用することができる。
【００３１】
この少なくとも２つ以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーは、感光性樹脂の適当な硬化度を確保してパターンの実現を容易にし、現像時のおけるパターンの剥離現象を防止して、パターンの直線性を確保するという観点から、感光性樹脂組成物に５〜３０重量％で含まれるのが好ましく、さらに好ましくは、５〜２０重量％で含まれる。
【００３２】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、残量のｆ）溶剤を含むことができる。溶剤は溶解性およびコーティング性によって適切な溶剤を選択して使用することができる。具体的に、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、メチルエチルケトン、イソプロピルアルコール、エタノール、またはメタノールなどが挙げられる。これらは、単独または２種以上混合して使用することができる。
【００３３】
このような成分からなる本発明の感光性樹脂組成物は、必要によって染料、発色剤などの添加剤を、０．１〜５重量％追加的に含むことができる。
また、本発明の感光性トライフィルムは、上述した本発明の感光性樹脂組成物を、基材フィルムにコーティングして乾燥させたものであるが、本発明の感光性樹脂組成物を使用することを除いては、通常の感光性ドライフィルムの製造方法を適用することができる。一例として、本発明の感光性ドライフィルムは、１０〜１５０μｍ厚さの支持フィルム（例えば、ＰＥＴフィルム）上に本発明の感光性樹脂組成物を、アプリケータを用いて１０〜１５０μｍの厚さでコーティングし、これを６０〜１００℃の温度で乾燥して有機溶剤を揮発乾燥し、支持フィルム上に乾燥皮膜層を有する形態に製造することができる。好ましくは、本発明の感光性ドライフィルムは、乾燥皮膜層上に保護フィルムをさらに含むことができる。保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）フィルムまたはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが好ましい。
【００３４】
本発明による感光性樹脂組成物および感光性ドライフィルムは、イミダゾール二量体系光開始剤の吸収領域を４１０ｎｍ以上まで移動させることにより、半導体レーザー光源の照度偏差にかかわらず、３５０〜４１０ｎｍ、特に３５５〜４０５ｎｍのレーザー露光にも一様の光感度を示して、均一な線幅のパターンを形成することができる。さらに、アルカリ水溶液での現像が可能であり、解像度、基板に対する密着性、および保管安定性を向上させることができる。
【００３５】
以下、本発明の理解のために好ましい実施例を提示するが、下記の実施例は本発明を例示するものに過ぎず、本発明の範囲が下記の実施例に限定されるわけではない。
実施例１
（アクリレート樹脂の製造）
ベンジルメタクリレート２２重量％、メタクリル酸２５重量％、リン酸エステルを含むメタクリレート（ＰＡＭ−１００、ＲＨＯＤＩＡ社製造）７重量％、２−ヒドロキシエチルメタクリレート２０重量％、メチルメタクリレート２６重量％をプロピレングリコールモノメチルエーテルに低温開始剤を使用して４５℃で重合して、アクリレート樹脂を製造した。
【００３６】
（感光性樹脂の製造）
得られたアクリレート樹脂２４重量％、架橋性モノマーとしてエチレンオキシド変性トリメチロプロパントリアクリレート（ＴＭＰ（ＥＯ）3ＴＡ、modified with ethylene oxide、（株）日本化薬）６重量％、およびエチレンオキシド変性ビスフェノールＡジアクリレート（ＢＰＡ（ＥＯ）10ＤＡ、modified with ethylene oxide、（株）日本化薬）１２重量％、光開始剤として２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体（ＨＡＢＩ−１３１１、（株）大林化学製造）４重量％、光増感剤としてトリジエチルアミノフェニルメタン（Ａ−ＤＡＭ、保土谷化学工業株式会社製造）０．４重量％、光増感剤として２−メルカプトベンゾキサゾール、塩基性染料としてダイヤモンドグリーン（保土谷化学工業株式会社製造）０．５重量％、および残量のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）を混合した。
【００３７】
その後、前記混合物を２時間常温で攪拌して感光性樹脂を収得した後、これを５００メッシュの濾過器に通して不純物を除去し、最終感光性樹脂を製造した。
実施例２〜３および比較例１〜３
表１の組成で各成分を使用したことを除いては、実施例１と同様の方法で感光性樹脂を製造した。表１の単位は重量％である。
【００３８】
【表１】
2006313347.tif 000005
【００３９】
実施例１〜３および比較例１〜３で製造した感光性樹脂を乾燥した後に、膜厚が２０μｍになるように、２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上にアプリケータを用いて塗布した。その後、乾燥して感光性樹脂層を形成した。乾燥した感光性樹脂層上に２０μｍのポリエチレンフィルムを気泡が残らないようにゴムローラで被着して感光性ドライフィルムレジスト（厚さ２０μｍ）を製造した。
【００４０】
得られた感光性ドライフィルムを利用して、３３５ｎｍ  Ｎｄ：ＹＶＯ4固体レーザーと４０５ｎｍの半導体レーザーを用いて下記のような方法で感度、解像度、耐酸性、および剥離性を測定した。その結果を表２に示した。
【００４１】
イ）感度−３３５ｎｍ  Ｎｄ：ＹＶＯ4固体レーザーと４０５ｎｍの半導体レーザーを用いて２５段ステップタブレットマスクを利用して評価した。
ロ）解像度−１０ｍＪで露光した後、Ｎａ2ＣＯ3  ０．４％溶液を使用して３０℃で６０秒間現像した後に評価した。
ハ）耐酸性−王水を利用して６０℃で６０秒間さらした後に評価した。
ニ）剥離性−ＭＥＡ  ５．０％溶液を利用して５５℃で４０秒間さらした後に評価した。
【００４２】
【表２】
2006313347.tif 000006
【００４３】
表２に示されているように、実施例１〜３で製造した感光性樹脂組成物を利用して形成した感光性ドライフィルムでは、比較例１〜３に比べて、低い露光量でも優れた解像度を示し、解像度、耐酸性、および剥離性が全て優れた効果を示した。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の感光性樹脂組成物は、携帯電話、ノートブックパソコン、モニター、ＴＶなどのＬＣＤの製造工程、ＴＦＴ及びＳＴＮ方式等の方式にかかわらず、透過型、反射型または半透過型等のすべてのＬＣＤの製造に利用することができる。また、液晶表示装置のみならず、半導体プロセスの全てに利用することができる。