(57)【要約】【課題】振動バランスを改善し、ＣＩ値を低く抑えることができるようにした圧電振動片と圧電デバイスならびに圧電デバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】圧電材料で形成した基部５１と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる複数の振動腕３４，３５と、前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝５６，５７および長溝に形成された駆動用電極とを備え、前記各長溝には、前記圧電材料と密度および／または重量が近似した充填材料６１が充填されている。【選択図】  図３
2006086996.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料で形成した基部と、
この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる複数の振動腕と、
前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝および長溝に形成された駆動用電極と
を備え、
前記各長溝には、前記圧電材料と密度および／または重量が近似した充填材料が充填されている
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記充填材料が導体金属であることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記充填材料が前記圧電材料と線膨張係数が近似したものであることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記充填材料がＳｉＯ２であることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記充填材料が導電性ガラスであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項６】
収容容器内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
前記圧電振動片が、
圧電材料で形成した基部と、
この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる複数の振動腕と、
前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝および長溝に形成された駆動用電極と
を備え、
前記各長溝には、前記圧電材料と密度および／または重量が近似した充填材料が充填されている
ことを特徴とする圧電デバイス。
【請求項７】
収容容器内に圧電振動片を収容した圧電デバイスの製造方法であって、
圧電基板に音叉型圧電振動片の振動腕の位置に対応して長溝を形成する溝形成工程と、
前記長溝内に駆動電極を形成する電極形成工程と、
前記長溝内に所定の充填材料を充填する充填工程と、
エッチングにより、前記音叉型圧電振動片の外形を形成する外形形成工程と
を含んでいることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
【請求項８】
前記充填工程が、前記長溝内に前記充填材料としてのＳｉＯ２をスパッタリングにより充填することを特徴とする請求項７に記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項９】
前記充填工程が、前記長溝内に前記充填材料としてのＳｉＯ２をＳＯＧ（スピンオングラス）により充填することを特徴とする請求項７に記載の圧電デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッケージまたはケースに収容するための圧電振動片と、この圧電振動片をパッケージやケースに収容した圧電デバイスならびにその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器やジャイロセンサなどの計測機器において、パッケージなどの内部に圧電振動片を収容した圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
図９は、このような圧電デバイスに使用される圧電振動片の公知の構成例（特許文献１参照）を簡略化して示す概略平面図である。
【０００３】
図において、圧電振動片１は、例えば水晶の単結晶から形成されており、幅広の基部２と、この基部から同じ方向に平行に延びる２本の振動腕３，４とを備えている。図１０は図９のＡ−Ａ線切断端面図であり、振動腕３，４には、それぞれ、表裏面に長さ方向に延びる溝５，６が形成されている。この溝５，６には、図示しない駆動電極としての励振電極が形成されている。
これにより、外部から励振電極に駆動電圧が印加されることで、振動腕３，４内に効率よく電界が発生し、各振動腕３，４は、図９に示すように、その先端部を互いに接近・離間されるように屈曲振動するようになっている。そして、このような振動に基づく振動周波数を取り出すことにより、制御用のクロック信号等の基準信号に利用されるようになっている。
【０００４】
この圧電振動片１の各振動腕３，４と、これら振動腕３，４の溝５，６は、ウエハ状にした圧電材料でなる基板をエッチングすることにより形成されている。すなわち、一般的には、まず、ウエハ基板をエッチングして、図９のような音叉状の外形を形成し、その後図１０で説明した溝５，６をハーフエッチングすることにより形成される。
【特許文献１】特開２００２―７６８０６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、このような圧電振動片１においては、その外形エッチング工程でのウエットエッチングでは、図９、図１０に示した電気軸Ｘ、機械軸Ｙ、光学軸Ｚに関して、エッチングの進行スピードに相違が見られ、このようなエッチング異方性により、長溝５，６内には、平らな底面を形成することができない。
この結果、例えば、振動腕３について見ると、長溝５を挟んだ両側壁部の厚みが左右で相違し、この結果、振動腕３は図１０に示す仮想の中心線ＣＥに関して、左右の側壁の剛性が相違する。すなわち、左側壁が剛性が高く、右側壁の剛性はこれより低くなる。
【０００６】
このため、図９のように各振動腕３，４が屈曲振動している状態では、それぞれ、水平方向に左右に屈曲する際の変形度が異なるため、左右の振動腕３，４の屈曲バランスが崩れてしまう。これにより、各振動腕３，４の変形によって基部２に伝えられる応力もＦ１，Ｆ２が均衡することがないので、打ち消すことができず、Ｚ方向変位や、Ｙ方向変位の原因となり、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値の増大を招くと考えられる。
【０００７】
この発明は、振動バランスを改善し、ＣＩ値を低く抑えることができるようにした圧電振動片と圧電デバイスならびに圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的は、第１の発明によれば、圧電材料で形成した基部と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる複数の振動腕と、前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝および長溝に形成された駆動用電極とを備え、前記各長溝には、前記圧電材料と密度および／または重量が近似した充填材料が充填されている圧電振動片により、達成される。
第１の発明の構成によれば、振動腕の各長溝内に充填材料が配置されていて、この充填材料は前記圧電材料と密度および／または重量が近似していることから、振動腕を構成する圧電材料と充填材料が一体となって、前記圧電材料で中実に形成した振動腕とほぼ同じ構造となるため、振動腕の左右の合成バランスが改善される。これにより、振動腕の屈曲振動が、その屈曲バランスの点で改善されるので、Ｚ方向変位や、Ｙ方向変位を抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
これにより、本発明では、振動バランスを改善し、ＣＩ値を低く抑えることができるようにした圧電振動片を提供することができる。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、前記充填材料が導体金属であることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、振動腕の長溝に配置される前記充填材料が導体金属であると、振動腕の長溝内に設けられる駆動用の電極を兼ねることができる。
【００１０】
第３の発明は、第１または第２の発明の構成において、前記充填材料が前記圧電材料と線膨張係数が近似したものであることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、周囲の温度環境の変化に対して、振動腕と前記充填材料が同様に体積変化するので、破損などを有効に防止できる。
【００１１】
第４の発明は、第１または３のいずれかの発明の構成において、前記充填材料がＳｉＯ２であることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、前記圧電材料として、多く使用される水晶に対して、付着性がよく、密度、重量、線膨張係数が近似しているので、好ましい。
【００１２】
第５の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記充填材料が導電性ガラスであることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、前記充填材料として、導電性ガラスが使用されると、長溝に設けられる駆動電極と兼用できるだけでなく、多く使用される水晶に対して、付着性がよく、密度、重量、線膨張係数が近似しているので、好ましい。
【００１３】
また、上記目的は、第６の発明にあっては、収容容器内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、前記圧電振動片が、圧電材料で形成した基部と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる複数の振動腕と、前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝および長溝に形成された駆動用電極とを備え、前記各長溝には、前記圧電材料と密度および／または重量が近似した充填材料が充填されている圧電デバイスにより、達成される。
第６の発明によれば、第１の発明について説明したのと同じ原理により、振動バランスを改善し、ＣＩ値を低く抑えることができるようにした圧電デバイスを提供することができる。
【００１４】
また、上記目的は、第７の発明にあっては、収容容器内に圧電振動片を収容した圧電デバイスの製造方法であって、圧電基板に音叉型圧電振動片の振動腕の位置に対応して長溝を形成する溝形成工程と、前記長溝内に駆動電極を形成する電極形成工程と、前記長溝内に所定の充填材料を充填する充填工程と、エッチングにより、前記音叉型圧電振動片の外形を形成する外形形成工程とを含んでいる圧電デバイスの製造方法により、達成される。
第７の発明の構成によれば、前記外形形成工程に先行して、長溝の形成工程、電極の形成工程を行うようにしている。このため、複数もしくは多数の長溝が形成されている状態において、その全ての長溝内に一度で充填材料を成膜できるので、個々に圧電振動片として外形形成を行ったものについて、きわめて細幅の振動腕に形成したさらに細幅の長溝内に個々に充填材料を成膜する場合と比べると、製造がきわめて容易となる。
【００１５】
第８の発明は、第７の発明の構成において、前記充填工程が、前記長溝内に前記充填材料としてのＳｉＯ２をスパッタリングにより充填することを特徴とする。
第８の発明の構成によれば、圧電材料として一般的に使用される水晶に対して、前記充填材料として、シリカを用いると、シリカは密度や重量が近似しており、付着性もよく、スパッタリングで成膜する手法も確立しているので、好ましい。
【００１６】
第９の発明は、第７の発明の構成において、前記充填工程が、前記長溝内に前記充填材料としてのＳｉＯ２をＳＯＧ（スピンオングラス）により充填することを特徴とする。
第９の発明の構成によれば、長溝内に充填するシリカに関して、長溝の溝深さ寸法が大きい場合には、ＳＯＧの手法を用いると十分な厚みに成膜することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１及び図２は、本発明の圧電デバイスの第１の実施の形態を示しており、図１はその概略平面図、図２は図１のＢ−Ｂ線概略断面図である。
図において、圧電デバイス３０は、水晶振動子を構成した例を示しており、この圧電デバイス３０は、収容容器としてのパッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。パッケージ３６は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層した後、焼結して形成されている。複数の各基板は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した場合に内側に所定の内部空間Ｓ２を形成するようにされている。この内部空間Ｓ２が圧電振動片３２を収容するための収容空間である。
【００１８】
このパッケージ３６の内部に圧電振動片３２をマウントし、蓋体３９で気密に封止するようにされている。ここで、蓋体３９は、セラミック、金属、ガラスなどの材質を選択して形成されている。
蓋体３９が、例えば、金属の場合には、一般に他の材料よりも強度が高い利点がある。パッケージ３６との熱膨張率が近似したものが適しており、例えば、コバールなどを使用することができる。
また、蓋封止後の周波数調整を可能にするために、蓋体３９は、例えばガラスなどの光透過材料で形成される。例えば、硼珪酸ガラスなどの板体を使用することができる。
【００１９】
パッケージ３６の内部空間Ｓ２内の図において左端部付近において、内部空間Ｓ２に露出して内側底部を構成する積層基板には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成した電極部３１，３１が設けられている。この電極部３１，３１は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものである。この各電極部３１，３１の上に導電性接着剤４３，４３が塗布され、この導電性接着剤４３，４３の上に圧電振動片３２の基部５１が載置されて、導電性接着剤４３，４３が硬化されるようになっている。尚、導電性接着剤４３，４３としては、接合力を発揮する接着剤成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたものが使用でき、シリコーン系、エポキシ系またはポリイミド系導電性接着剤等を利用することができる。
【００２０】
圧電振動片３２は、後述する製造工程により、圧電材料として、例えば水晶をエッチングして形成されており、本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図３の概略斜視図および図４で示す図３のＣ−Ｃ線切断端面図で示す構造とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、パッケージ３６側と固定される基部５１と、この基部５１を基端として、図において斜め右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
【００２１】
圧電振動片３２の各振動腕３４，３５には、図３および図４を参照して理解されるように、それぞれ長さ方向に延びる長い有底の溝５６，５７が形成されている。この各長溝５６，５７は、図３のＣ−Ｃ線切断端面図である図４に示されているように、各振動腕３４，３５の表裏両面に形成されている。
さらに、図３において、圧電振動片３２の基部５１の端部（図３では下端部）の幅方向両端付近には、引き出し電極５２，５３が形成されている。各引き出し電極５２，５３は、圧電振動片３２の基部５１の図示しない裏面にも同様に形成されている。
【００２２】
これらの各引き出し電極５２，５３は、上述したように図１に示されているパッケージ側の電極部３１，３１と導電性接着剤４３，４３により接続される部分である。そして、各引き出し電極５２，５３は、図３および図４に示されているように、各振動腕３４，３５の溝５６，５７内に設けた励振電極５４，５５とそれぞれ一体に接続されている。また、各励振電極５４，５５は、図４に示されているように各振動腕３４，３５の両側面にも形成されており、例えば、振動腕３４に関しては、長溝５６内の励振電極５４と、その側面部の励振電極５５とは互いに異極となるようにされている。また、振動腕３５に関しては、長溝５７内の励振電極５５と、その側面部の励振電極５４とは互いに異極となるようにされている。
【００２３】
圧電振動片３２の基部５１と振動腕３４，３５との間には、基部５１の幅方向に縮幅して設けた切欠き部もしくはくびれ部（図示せず）を設けてもよい。
これにより、基部５１側への圧電振動片３２の振動の漏れを防止して、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値を低減することができる。
しかも、圧電振動片３２は、全体として、きわめて小型に形成されていて、図３において、例えば、全長が、１３００μｍ程度、振動腕の長さが１０４０μｍ程度、腕幅が４０μｍないし５５μｍ程度とされている。
【００２４】
さらに、図４に示すように、各振動腕３４，３５の長溝５６，５７は、符号６１で示す充填材料６１により埋められている。充填材料６１は、各長溝５６，５７に図示のように充填されることにより、図９，図１０で説明した不都合を回避するものである。
すなわち、各振動腕３４，３５に長溝５６，５７を形成する際に、長溝内の底部が平らに形成されず、長溝を挟む両側の壁の厚みが相違することにより、振動腕３４，３５がそれぞれ左右の剛性バランスが悪くなることを改善することができる。
【００２５】
このため、充填材料６１として選択される材料としては、これを充填することにより、振動腕の圧電材料と一体となって、左右の剛性バランスを改善できることが必要であり、そのためには、例えば、上記圧電材料、この実施形態の場合には、水晶と密度および／または重量が近似したものが好ましい。また、充填材料６１について、水晶と線膨張係数が近似したものが好ましい。これにより熱応力による破壊を防止できる。あるいは充填材料６１としては、導体金属が選択されると、長溝内に設けるべき励振電極を兼ねる構成とすることができて、好ましい。また、水晶と密度や重量が近似していて、かつ導体であることを条件とすると、導電性ガラスを選択することもできる。
この実施形態では、導体ではないが、水晶と密度および重量が近似していて、後述する製造工程において有利な充填材料６１としてＳｉＯ２（シリカ）が選択される。
【００２６】
本実施形態の圧電デバイス３０は以上のように構成されており、振動腕３４，３５の各長溝５６，５７内に充填材料６１が配置されていて、この充填材料６１は圧電材料と密度および／または重量が近似していることから、振動腕３４，３５を構成する圧電材料と充填材料６１が一体となって、上記圧電材料で中実に形成した振動腕とほぼ同じ構造となるため、各振動腕３４，３５の左右の合成バランスが改善される。これにより、振動腕３４，３５の屈曲振動が、その屈曲バランスの点で改善されるので、Ｚ方向変位や、Ｙ方向変位を抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
これにより、振動バランスを改善し、ＣＩ値を低く抑えることができるようにした圧電デバイス３０を提供することができる。
【００２７】
（圧電デバイスの製造方法）
（蓋体およびパッケージの製造方法）
次に、圧電デバイス３０の製造方法の実施形態を説明する。
図５は、本実施形態の圧電デバイス３０の製造方法の第１の実施形態を説明するための簡単なフローチャートである。
圧電デバイス３０の圧電振動片３２と、パッケージ３６と、蓋体３９は、それぞれ別々に製造される。
蓋体３９は、例えば、所定の大きさのガラス板を切断し、パッケージ３６を封止するのに適合する大きさの蓋体として用意される。
パッケージ３６は、上述したように、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層した後、焼結して形成されている。成形の際には、複数の各基板は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した場合に内側に所定の内部空間Ｓ２を形成する。
【００２８】
（圧電振動片の製造方法）
図６は、本実施形態の圧電振動片３２の製造方法の第１の実施形態の主要な工程を示す工程図である。主として図５および図６を参照して以下説明する。
【００２９】
基板７１は、圧電材料のうち、例えば、圧電振動片３２を複数もしくは多数分離することができる大きさの水晶ウエハが使用される（ＳＴ１１）。この基板７１は工程の進行により音叉型の圧電振動片３２とした際には、図３に示すＸ軸が電気軸、Ｙ軸が機械軸及びＺ軸が光軸となるように、圧電材料、例えば水晶の単結晶から切り出されることになる。また、水晶の単結晶から切り出す際、上述のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる直交座標系において、Ｚ軸を中心に時計回りに０度ないし２度の範囲で回転して切り出した水晶Ｚ板を所定の厚みに切断研磨して得られる。
【００３０】
（溝形成工程）
図６（ａ）において、基板７１の表面（表裏面）に必要な耐蝕膜（図示せず）を設けて、マスクとし、フッ酸溶液等を用いて、振動腕の長溝５６，５７の部分をハーフエッチングで形成する（ＳＴ１２）。
この場合、水晶のエッチング異方性により、図示されているように、各長溝５６，５７の底部は水平にならない。
【００３１】
（電極形成工程）
次に、駆動電極としての励振電極を形成する（ＳＴ１３）。
すなわち、図６（ｂ）に示すように、基板７１の表裏両面に電極となる金属膜を成膜する。この金属膜７２は、例えば、クロムを下地として金を蒸着またはスパッタリング等の手法により形成する。
その後フォトリソグラフィの手法により、図３で説明したような各電極を形成する。
【００３２】
（充填工程）
次に、図６（ｃ）に示すように、上記金属膜７２の上に充填材料７３としての酸化膜を形成する。具体的には、スパッタリングの手法により、ＳｉＯ２の酸化膜を形成する（ＳＴ１４）。
次いで、化学機械研磨（ＣＭＰ）の手法により、表面研磨することにより、充填材料７３を各長溝５６，５７内だけに配置する（ＳＴ１５）。
【００３３】
（外形形成工程）
次に、図６（ｄ）に示されているように、各振動腕および基部を含む外形に適合するようにマスクパターン７４を、例えば耐蝕膜により形成し、フッ酸溶液等を用いたウエットエッチングにより、音叉型圧電振動片としての圧電振動片３２の外形を形成する（図３参照）。続いて、図３の圧電振動片３２の振動腕３４，３５の各側面に、フォトリソグラフィの手法により、励振電極を形成することにより、圧電振動片３２が完成する（ＳＴ１６）。
【００３４】
（接合工程など）
完成した圧電振動片３２は、図１および図２に示すように、導電性接着剤４３を用いて、電極部３１，３１に接合される（ＳＴ１７）。次いで、真空雰囲気下において、蓋体３９を所定のロウ材によりパッケージ３６の上端に気密に接合することにより封止し（ＳＴ１８）、必要な検査を実行する（ＳＴ１９）ことにより、圧電デバイス３０が完成する。
このように、上述の製造方法によれば、外形形成工程に先行して、長溝の形成工程、電極の形成工程を行うようにしている。このため、複数もしくは多数の長溝が形成されている状態において、その全ての長溝内に一度で充填材料を成膜できるので、個々に圧電振動片として外形形成を行ったものについて、きわめて細幅の振動腕に形成したさらに細幅の長溝内に個々に充填材料を成膜する場合と比べると、製造がきわめて容易となる。
【００３５】
（第２の実施形態）
図７は、本実施形態の圧電デバイス３０の製造方法の第２の実施形態を説明するための簡単なフローチャートである。
圧電デバイス３０の圧電振動片３２と、パッケージ３６と、蓋体３９は、それぞれ別々に製造され、その内容は第１の実施形態と同じであるから、重複する説明は省略する。
【００３６】
（圧電振動片の製造方法）
図８は、本実施形態の圧電振動片３２の製造方法の第２の実施形態の主要な工程を示す工程図である。
図７において、ＳＴ２１、ＳＴ２２、ＳＴ２３は、それぞれ図５のＳＴ１１，ＳＴ１２、ＳＴ１３と同じであるから、重複する説明は省略する。
図８は圧電デバイス３０の製造工程中、充填工程を示している。
【００３７】
図８（ａ）に示すように、基板７１の表面にＳＯＧ（スピンオングラス）の手法により、充填材料７３を充填する。
すなわち、基板７１の表面には液体状ガラスの状態でＳｉＯ２等の充填材料７３が供給され、加熱される（ＳＴ２４）。液体状ガラスの塗布とプリベイクによるドライエッチング（ＳＴ２６）を繰り返して、長溝５６，５７を埋めるのに十分な程度に充填材料７３が形成される。
【００３８】
続くＳＴ２７、ＳＴ２８、ＳＴ２９、ＳＴ３０は、それぞれ図５のＳＴ１６、ＳＴ１７、ＳＴ１８、ＳＴ１９と同じであるから重複する説明は省略する。
かくして、この実施形態の製造方法では、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮できるとともに、長溝内に充填する充填材料に関して、長溝の溝深さ寸法が大きい場合においても、本実施形態の手法を用いると十分な厚みに成膜することができる。
【００３９】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明は、パッケージ内に圧電振動片を収容するものであれば、水晶振動子、水晶発振器、ジャイロ、角度センサ等の名称にかかわらず、全ての圧電振動片とこれを利用した圧電デバイスに適用することができる。
また、上述の実施形態では、パッケージにセラミックを使用した箱状のものを利用しているが、このような形態に限らず、金属製のシリンダー状のケース等のパッケージと同等の収容容器に圧電振動片を収容するものであれば、いかなるパッケージやケースを伴うものについても本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施形態に係る圧電デバイスの製造方法により得られる圧電デバイスの概略平面図。
【図２】図１の圧電デバイスのＢ−Ｂ線における概略断面図。
【図３】図１の圧電デバイスに使用される圧電振動片の概略斜視図。
【図４】図３の圧電振動片のＣ−Ｃ線切断端面図。
【図５】図１の圧電デバイスの製造方法の第１の実施形態を示すフローチャート。
【図６】図３の圧電振動片の製造方法の第１の実施形態の要部を示す工程図。
【図７】図１の圧電デバイスの製造方法の第２の実施形態を示すフローチャート。
【図８】図３の圧電振動片の製造方法の第２の実施形態の要部を示す工程図。
【図９】従来の圧電振動片の概略平面図。
【図１０】図９のＡ−Ａ線切断端面図。
【符号の説明】
【００４１】
３０・・・圧電デバイス、３６・・・パッケージ、３２・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、５１・・・基部、５４，５５・・・励振電極、５６，５７・・・長溝、６１・・・充填材料
【図１】
2006086996.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006086996.tif 000009
【図８】
2006086996.tif 000010
【図９】
2006086996.tif 000011
【図１０】
2006086996.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月6日(2005.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料で形成した基部と、
この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる複数の振動腕と、
前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝および長溝に形成された駆動用電極と
を備え、
前記各長溝には、前記圧電材料と密度および／または重量が近似した充填材料が充填されている
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記充填材料が導体金属であることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記充填材料が前記圧電材料と線膨張係数が近似したものであることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記充填材料がＳｉＯ２であることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記充填材料が導電性ガラスであることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項６】
収容容器内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
前記圧電振動片が、
圧電材料で形成した基部と、
この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる複数の振動腕と、
前記各振動腕に形成された長さ方向に延びる長溝および長溝に形成された駆動用電極と
を備え、
前記各長溝には、前記圧電材料と密度および／または重量が近似した充填材料が充填されている
ことを特徴とする圧電デバイス。
【請求項７】
収容容器内に圧電振動片を収容した圧電デバイスの製造方法であって、
圧電基板に音叉型圧電振動片の振動腕の位置に対応して長溝を形成する溝形成工程と、
前記長溝内に駆動電極を形成する電極形成工程と、
前記長溝内に所定の充填材料を充填する充填工程と、
エッチングにより、前記音叉型圧電振動片の外形を形成する外形形成工程と
を含んでいることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
【請求項８】
前記充填工程が、前記長溝内に前記充填材料としてのＳｉＯ２をスパッタリングにより充填することを特徴とする請求項７に記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項９】
前記充填工程が、前記長溝内に前記充填材料としてのＳｉＯ２をＳＯＧ（スピンオングラス）により充填することを特徴とする請求項７に記載の圧電デバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第５の発明は、第１または第３の発明の構成において、前記充填材料が導電性ガラスであることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、前記充填材料として、導電性ガラスが使用されると、長溝に設けられる駆動電極と兼用できるだけでなく、多く使用される水晶に対して、付着性がよく、密度、重量、線膨張係数が近似しているので、好ましい。