(57)【要約】【課題】  ディスペンサのニードルの吐出口及びシリンジを上向きにして塗布しようとすると、塗布量がばらつき、またニードル先端から気泡が侵入する。【解決手段】  制御装置４１はシリンジ３に供給するエア圧と時間で塗布量を制御し、塗布回数のカウン値から現在のシリンジ３内の塗布液自重を演算し、温度センサ４２の検出結果に基づいて得られる温度データから塗布液２の粘度を演算し、これらの演算した塗布液自重及び粘度より、あらかじめ実験で求めてある塗布液下降防止用の正圧力値を導き出し、電空レギュレータ２２へ指令すると同時に、バルブ３３をクローズし、バルブ２３をオープンにして、シリンジ３に塗布液下降防止用の正圧を印加して、ニードル６及びシリンジ３内の塗布液の下降を防止する。【選択図】  図１
2006055782.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を入れるシリンジと、前記塗布液を塗布対象物に供給する吐出口を形成したニードルとを有するディスペンサを使用し、前記塗布液が充填されたシリンジ内へ加圧エアを供給し、前記塗布対象物に対して吐出口を上向きにして塗布液の吐出を行う塗布方法であって、塗布量を前記シリンジへのエア圧と時間とで制御する塗布エア圧制御工程と、塗布後の前記シリンジへのエア圧を正圧に制御する塗布後エア圧制御工程とを含むことを特徴とする塗布方法。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布方法において、前記塗布後エア圧制御工程は、ニードル先端からの塗布液だれを防止する負圧制御工程と、塗布液自重によるシリンジ及びニードル内の塗布液位置の下降を防止する正圧制御工程とを含むことを特徴とする塗布方法。
【請求項３】
請求項２に記載の塗布方法において、前記正圧制御工程は、正圧を印加する正圧印加工程と、正圧力のレベルを調整する正圧調整工程とを含むことを特徴とする塗布方法。
【請求項４】
請求項３に記載の塗布方法において、前記正圧調整工程では、塗布回数を計測し、計測した塗布回数に基づいて自重を演算し、この演算結果に基づいて正圧力値を調整することを特徴とする塗布方法。
【請求項５】
請求項３に記載の塗布方法において、前記正圧調整工程では、シリンジ周囲温度を計測し、計測したシリンジ周囲温度に基づいて塗布液粘度を演算し、この演算結果に基づいて正圧力値を調整することを特徴とする塗布方法。
【請求項６】
請求項１に記載の塗布方法において、シリンジへの風量計測工程と、この工程で一定風量以上の風量が計測されたときにシリンジ内が空になっていると判定する検査工程を備えることを特徴とする塗布方法。
【請求項７】
塗布液が充填されたシリンジ内へ加圧エアを供給し、塗布対象物に対して吐出口上向きに塗布液の吐出を行うディスペンサを用いる塗布装置であって、塗布量をシリンジへのエア圧と時間とで制御する塗布エア圧制御手段と、塗布後のシリンジへのエア圧を正圧に制御する塗布後エア圧制御手段を備え、塗布後エア圧制御手段が正圧制御手段と塗布後設定時間負圧を印加する負圧制御手段とを備え、前記正圧制御手段が正圧を印加する正圧印加手段と、印加する正圧を調整する正圧調整手段を備えていることを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
記録液の液滴を吐出する液体吐出ヘッドにおいて、このヘッドの構成部品は請求項７に記載の塗布装置で吐出口上向きにして接着剤が塗布されて接合されたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８の液体吐出ヘッドにおいて、この液体吐出ヘッドはエッジシュータ方式又はサイドシュータ方式で液滴を吐出することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布方法、塗布装置及び液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ装置、複写装置、プリンタ／ファックス／コピア複合機等の画像形成装置として、記録液の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド（画像形成手段）を用いて、用紙を搬送しながら、記録液の液滴（以下、インク滴ともいう。）を用紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写も同義語で用いる。）を行なうインクジェット記録装置が知られている。
【０００３】
液体吐出ヘッドとしては、圧電素子などの電気機械変換素子を用いるピエゾ型のもの、吐出内に配設した発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いてインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出させるサーマル型のもの、吐出室の壁面を形成する振動板を静電力で変形させることでインク滴を吐出させる静電型のものなどが用いられるが、いずれにしても、流路を形成する流路板や吐出口を形成したノズル板などの微細なヘッド構成部品を接着剤で接合して組み立てられている。
【０００４】
このような微細部品の接着剤接合に使用する接着剤の塗布装置としては、例えば特許文献１に記載されているものがある。これは、液体定量吐出装置であって、液体を充填されるシリンジと、このシリンジに加圧エアを供給するエア供給源とを設けるとともに、シリンジからの液体の吐出に際して、シリンジとエア供給源との連通をもたらすべく、シリンジに第１の配管によって、また、エア供給源に第２の配管によって、それぞれ接続した吐出用電磁切換弁を設け、その第２の配管にアキュムレータを配設し、そして、第１および第２の配管のそれぞれに、それらの内圧を測定する第１および第２の圧力センサをそれぞれ接続し、さらに、これら第１および第２の圧力センサから測定圧力を入力する一方、吐出用電磁切換弁に、第１の配管と第２の配管とを連通させる電圧信号を出力するとともに、第１の配管と第２の配管とが連通された後、第１の圧力センサによる測定圧力が、予め設定した圧力に達するまでの時間の変化によって、電圧信号の出力時間を制御する制御部とを設けたものであり、また、これに加えて、吐出用電磁切換弁に、第３の配管によってエア吸引源を接続し、その第３の配管にアキュムレータを配設したものである。
【特許文献１】特許第２５１１１１７号公報
【０００５】
また、特許文献２に記載されているものがある。この塗布方法及び塗布装置は、塗布量をシリンジへのエア圧と時間とで制御する塗布制御部と、ディスペンサの塗布対象物への移動タイミングとシリンジへのエアの供給タイミングとをそれぞれ制御するタイミング制御部とを備え、塗布制御部は、塗布回数を計測するとともに、この塗布回数に基づいてシリンジ内の液量を演算し、この結果よりエア圧と塗布時間を制御して塗布させ、タイミング制御部は、ノズルが最下降点に達する前に、シリンジにエアを供給してノズルから塗布液の排出を開始させるように制御するものである。
【特許文献２】特開２００１−１０４８５５号公報
【０００６】
さらに、特許文献３に記載されているものがある。この塗布装置は、垂直シリンジがディスペンサに接続され、シリンジ固定用のブランケットにより装置に固定され、垂直ニードルは垂直シリンジに取り付けられており、該垂直ニードルの先端は垂直ニードル固定用ブラケットにより固定されている。また、斜めニードルはＣＣＤカメラの撮影視野に収まるように、斜めニードル固定用ブラケットにより固定されている。そして、シリンジ固定用ブラケットにシリンジを固定する際に、これらシリンジの有無を確認するセンサを設けて、垂直シリンジ用のセンサと斜めシリンジ用のセンサの２つのセンサを、シリンジ固定用ブラケットに設置して、シリンジの取り付け状態を確認するようにしたものである。
【特許文献３】特開平１０−５６５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように、従来のディスペンサを使用した塗布方法或いは塗布装置は、ニードルの吐出口及びシリンジを下向きにして塗布剤を吐出し、塗布対象物に塗布剤を塗布するものである。この場合、ディスペンサは、一般に、吐出圧力／吐出時間／吸引圧力／吸引時間を設定して吐出口を下向きに材料を定量吐出するようになっている。
【０００８】
ところが、塗布対象物の構成や塗布時の配置等により、吐出口及びシリンジ上向きにして塗布したい場合がある。このように、吐出口及びシリンジを上向きにして塗布を行うと、塗布後に、ニードル及びシリンジ内の塗布液が自重により下降する。更に、吐出作業の進行に伴ってシリンジ内の塗布液が減少することや、時間の経過とともに塗布液の粘土が変化すること等により、ニードル及びシリンジ内の塗布液下降量がばらつくため、塗布量がばらつくだけでなく、ニードル先端から気泡が侵入する等の課題がある。
【０００９】
図１１はこの状態を模式的説明するもので、同図（ａ）に示すように、エア配管５０１が接続されたシリンジ５０２内に塗布液５０３を充填した状態で、ニードル５０４の吐出口側が上向きになる状態にしたとき、同図（ｂ）に示すように、ニードル５０４及びシリンジ５０２内の塗布液５０３が自重により下降する。
【００１０】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、吐出口及びシリンジ上向きにディスペンサ塗布する場合の塗布量の繰り返し精度を向上させ、かつニードル先端からの気泡の侵入を防止する塗布方法及び塗布装置を提供するとともに、この塗布装置を用いて接着剤が塗布された液体吐出ヘッドを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するため、本発明に係る塗布方法は、塗布液を入れるシリンジと、塗布液を塗布対象物に供給する吐出口を形成したニードルとを有するディスペンサを使用し、塗布液が充填されたシリンジ内へ加圧エアを供給し、塗布対象物に対して吐出口を上向きにして塗布液の吐出を行う塗布方法であって、塗布量をシリンジへのエア圧と時間とで制御する塗布エア圧制御工程と、塗布後のシリンジへのエア圧を正圧に制御する塗布後エア圧制御工程とを含む構成とした。
【００１２】
ここで、塗布後エア圧制御工程は、ニードル先端からの塗布液だれを防止する負圧制御工程と、塗布液自重によるシリンジ及びニードル内の塗布液位置の下降を防止する正圧制御工程とを含むことが好ましく、この場合、正圧制御工程は、正圧を印加する正圧印加工程と、正圧力のレベルを調整する正圧調整工程とを含むことが好ましく、この場合、正圧調整工程では、塗布回数を計測し、計測した塗布回数に基づいて自重を演算し、この演算結果に基づいて正圧力値を調整する、或いは、正圧調整工程では、シリンジ周囲温度を計測し、計測したシリンジ周囲温度に基づいて塗布液粘度を演算し、この演算結果に基づいて正圧力値を調整することが好ましい。また、シリンジへの風量計測工程と、この工程で一定風量以上の風量が計測されたときにシリンジ内が空になっていると判定する検査工程を備えることが好ましい。
【００１３】
本発明に係る塗布装置は、塗布液が充填されたシリンジ内へ加圧エアを供給し、塗布対象物に対して吐出口上向きに塗布液の吐出を行うディスペンサを用いる塗布装置であって、塗布量をシリンジへのエア圧と時間とで制御する塗布エア圧制御手段と、塗布後のシリンジへのエア圧を正圧に制御する塗布後エア圧制御手段を備え、塗布後エア圧制御手段が正圧制御手段と塗布後設定時間負圧を印加する負圧制御手段とを備え、正圧制御手段が正圧を印加する正圧印加手段と、印加する正圧を調整する正圧調整手段を備えている構成としたものである。
【００１４】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、ヘッド構成部品が本発明に係る塗布装置で吐出口上向きにして接着剤が塗布されて接合された構成としたものである。
【００１５】
ここで、この液体吐出ヘッドはエッジシュータ方式又はサイドシュータ方式で液滴を吐出することが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る塗布方法及び塗布装置によれば、塗布対象物に対して吐出口を上向きにして塗布液の吐出を行うとき、塗布後のシリンジへのエア圧を正圧に制御するので、塗布後のニードル内部での塗布液上端位置を適切に維持することにより塗布量を安定させることができ、また、ニードル及びシリンジ内への気泡侵入を防止することができる。
【００１７】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、本発明に係る塗布装置で接着剤を塗布してヘッド構成部品を接合したので、ヘッド構成部品が高精度に接合されたヘッドが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。図１は本発明に係る塗布方法を実施する本発明に係る塗布装置の模式的構成図である。
この塗布装置は、ディスペンサ１は、塗布液２を入れるシリンジ３と、このシリンジ３と一体的であって、塗布対象物Ｗに塗布液２を供給する吐出口（ノズル）５を有するニードル６を有し、シリンジ３がロボット１０の可動子に固定されている。
【００１９】
一方、圧空源２１は電空レギュレータ２２、バルブ２３を介してエア配管２８Ａでジョイント２４に接続され、真空源３１は電空レギュレータ３２、バルブ３３を介してエア配管２８Ｂでジョイント２４に接続され、更に、このジョイント２４から風速計（流量計）２９を介してエア配管２８Ｃでシリンジ３に接続されている。
【００２０】
また、制御装置４１は、バルブ２３とバルブ３３に接続され、それぞれのオープン／クローズを切り換える。また、電空レギュレータ２２と電空レギュレータ３２に接続され、それぞれの指令値の出力と、出力時間を制御する。さらに、ロボット１０に接続され、ロボット１０を位置制御する。また、制御装置４１は、シリンジ３の近傍に配置した温度センサ４２からの検知信号が入力され、温度データから塗布液２の粘度を演算する。
【００２１】
この制御装置４１は、塗布回数をカウントし、このカウンタ値より塗布液自重を演算する。これら塗布液粘度及び自重に対して、塗布後のニードル６及びシリンジ３内の塗布液上端位置が適切に維持されるシリンジ３への正圧力値のテーブルデータを予め実験により求めておき、この制御装置４１内部の記憶手段に記憶させている。  
【００２２】
この塗布装置においては、塗布量をシリンジへのエア圧と時間とで制御する塗布エア圧制御手段と、塗布後のシリンジへのエア圧を正圧に制御する塗布後エア圧制御手段、塗布後エア圧制御手段を構成する正圧制御手段と塗布後設定時間負圧を印加する負圧制御手段、正圧制御手段を構成する正圧を印加する正圧印加手段及び印加する正圧を調整する正圧調整手段は、制御装置４１とバルブ２３、３３、電空レギュレータ２２、３２とで構成している。
【００２３】
次に、この塗布装置の塗布動作の概略について図２及び図３をも参照して説明する。
図２及び図３に示すように、塗布動作前の初期状態（タイミングＴ１）では、バルブ３３はクローズし、バルブ２３はオープンしている。制御装置４１の電空レギュレータ３２への指令値は、予め設定してある塗布後塗布液だれ防止用の負圧であり、また、電空レギュレータ２２への指令値は、予め設定してあるニードル６及びシリンジ３内塗布液下降防止用の正圧である。
【００２４】
塗布動作は、制御装置４１がロボット１０を位置制御し、ニードル６先端を塗布対象物Ｗの塗布位置へ移動させる。移動後のタイミングＴ２で、予め設定してある塗布用の正圧を指令し、それと同時に塗布正圧指令開始からの時間カウントをスタートする。圧空源２１からエア配管２８Ａ、２８Ｂにより供給された圧空は、電空レギュレータ２２により塗布用の正圧に一定圧力に減圧される。
【００２５】
減圧された圧空はオープンしているバルブ２３をスルーしてシリンジ３に供給され、シリンジ３内の塗布液２をニードル６先端の吐出口５から押し出す。そして、制御装置４１は、塗布正圧の印加時間カウントが予め設定してある時間になったタイミングＴ３で、バルブ２３をクローズし、同時にバルブ３３をオープンし、更に吸引開始からの時間カウントをスタートする。
【００２６】
これにより、真空源３１からエア配管２８Ｂ、２８Ｃにより供給された負圧が、電空レギュレータ３２により一定圧力の負圧に調整され、オープンしているバルブ３３をスルーしてシリンジ３へ印加される。
【００２７】
制御装置４１は、塗布後吸引時間の時間カウントが予め設定してある時間になったタイミングＴ４で、塗布回数のカウントをインクリメント（＋１）し、このカウント値より現在のシリンジ内の塗布液自重を演算する。また、温度センサ４２の検出結果に基づいて得られる温度データから塗布液２の粘度を演算する。
【００２８】
そして、これらの演算した塗布液自重及び粘度より、あらかじめ実験で求めてある塗布液下降防止用の正圧力値を導き出し、電空レギュレータ２２へ指令すると同時に、バルブ３３をクローズし、バルブ２３をオープンにする。これにより、シリンジ３に塗布液下降防止用の正圧が印加され、ニードル６及びシリンジ３内の塗布液の下降を防止する。また、流量計２９により一定以上の流量が計測された場合には、シリンジ３内塗布液が無くなっていると判断する。
【００２９】
このように、塗布量をシリンジへのエア圧と時間とで制御する塗布エア圧制御工程と、塗布後のシリンジへのエア圧を正圧に制御する塗布後エア圧制御工程とを含むことで、塗布液が充填されたシリンジ内へ加圧エアを供給し、塗布対象物に対して吐出口を上向きにして塗布液の吐出を行った場合でも、塗布後にシリンジ及びニードル内の塗布液自重による塗布液の下降がないようにシリンジに正圧を印加して、塗布後のニードル内部での塗布液上端位置を適切に維持することができ、塗布量が安定するとともに、ニードルやシリンジ内への気泡侵入を防止することができる。
【００３０】
また、塗布後エア圧制御工程では、ニードル先端からの塗布液だれを防止する負圧制御工程と、塗布液自重によるシリンジ及びニードル内の塗布液位置の下降を防止する正圧制御工程とを含むことにより、塗布後のニードル先端からの塗布液だれを防止でき、塗布液の切れが良くなるとともに、ニードルやシリンジ内への気泡進入を防止することができる。
【００３１】
さらに、この正圧制御工程は、正圧を印加する正圧印加工程と、正圧力のレベルを調整する正圧調整工程とを含むにより、塗布液自重によるニードル及びシリンジ内での塗布液の下向きにかかる力に応じて正圧力のレベルを適切に調整し正圧力を印加することができて、塗布後のニードル内部での塗布液上端位置を適切に維持することができ、塗布量が安定し、また、ニードルやシリンジ内への気泡侵入が防止できる。
【００３２】
また、正圧調整工程では、塗布回数を計測し、計測した塗布回数に基づいて自重を演算し、この演算結果に基づいて正圧力値を調整することで、シリンジ及びニードル内の塗布液自重による塗布液に下向きにかかる力にバランスするように正圧力を印加することが可能となり、塗布後のニードル内部での塗布液上端位置を適切に維持することにより塗布量が安定し、また、ニードル及びシリンジ内への気泡侵入が防止できる。
【００３３】
あるいは、正圧調整工程では、シリンジ周囲温度を計測し、計測したシリンジ周囲温度に基づいて塗布液粘度を演算し、この演算結果に基づいて正圧力値を調整することで、塗布液の粘度変化によるシリンジ及びニードル内壁への付着力に応じて、塗布液自重による塗布液に下向きにかかる力と、シリンジへの正圧力がバランスするように正圧力を印加することが可能となり、塗布後のニードル内部での塗布液上端位置を適切に維持することにより塗布量が安定し、また、ニードル及びシリンジ内への気泡侵入が防止できる。
【００３４】
また、シリンジへの風量計測工程と、この工程で一定風量以上の風量が計測されたときにシリンジ内が空になっていると判定する検査工程を備えることで、シリンジ内塗布液の空検知が可能になるという効果が得られる。
【００３５】
次に、本発明に係る塗布装置でヘッド構成部品に接着剤を塗布して接合した液体吐出ヘッドの一例について図４ないし図６を参照して説明する。なお、図４は同ヘッドの模式的説明図、図５は同ヘッドの流路板の平面説明図、図６は同ヘッドのノズル板の平面説明図である。
この液体吐出ヘッド１０１は、圧電型ヘッドであり、駆動ユニット１０２と、この駆動ユニットに接合した液室ユニット１０３とを備えている。
【００３６】
駆動ユニット１０２は、基板１１１上に複数の積層型圧電素子１１２及び支柱部１１３を交互に配設してなり、これらの圧電素子１１２及び支柱部１１３は所定の間隔を置いて基板１１１上に接合される。
【００３７】
液室ユニット１０３は、記録液の液滴を吐出する複数のノズル１２１を有するノズル板１２２と、ノズル１２１に対応した液室１２３が形成されている流路板１２４と、液室１２３に対応し、かつ駆動ユニット１０２の圧電素子１１２の振動を液室１２３に伝える振動板１２５から構成されている。
【００３８】
ここで、液室ユニット１０３を構成するノズル板１２１、流路板１２４及び振動板１２５は、流路板１２４上面に塗布した接着剤１３１、１３１を介して高い精度で接合している。また、液室ユニット１０３の振動板１２５と駆動ユニット１０２の圧電素子１１２及び支柱部１１３も接着剤１３１を介して高い精度で接着接合している。
【００３９】
このヘッド１０１においては、液室ユニット１０３には図示しない記録液供給機構により液室１２３内に記録液が供給され、圧電素子１１２を選択的に駆動することにより、ノズル板１２２のノズル１２１から液滴が吐出される。
【００４０】
ここで、ノズル板１２１と流路板１２４の位置調整及び接合方法について図７をも参照して説明する。なお、図７は同説明に供する平面説明図である。
まず、流路板１２４は、図示しない塗布装置によって予めノズル板１２２との接合面（ノズル面側）に接着剤１３１が塗布される。この流路板１２４の両端には、図５に示すように、位置検出用基準マーク１４１が形成されている。一方、ノズル板１２２の両端には、図６に示すように、貫通穴からなる位置検出用基準マーク１４２が形成されている。なお、振動板１２５の両端にも、図４に示すように、貫通穴からなる位置検出用基準マーク１４３が形成されている。
【００４１】
そこで、これら２つのマークを検出した後、画像処理演算によりそれぞれのマ−クについて重心を算出し、これらの重心が合致する様に位置誤差量を補正する。具体的には、ノズル板１２２のマ−ク重心をタ−ゲット座標とし流路板１２４の重心位置をＸＹθ方向に移動させ両マ−クの重心位置を合致させる。その後、流路板１２４の保持ステ−ジをＺ軸方向に移動させ、対向配置され、上ステ−ジに保持されたノズル板１２２と流路板１２４を加圧し、接着剤１３１を圧接する。
【００４２】
次に、仮接合工程について説明する。流路板１２４のノズル板接合面の端部の複数個所に設定した仮接合領域１４４ａ〜１４４ｄに、予め仮接合接着剤１４５ａ〜１４５ｄを塗布する。このとき、流路板１２４のノズル板接合面を鉛直下向きに配置し、流路板１２４にニードルの吐出口を上向きにした本発明に係る塗布装置により微量に仮接合接着剤１４５ａ〜１４５ｄを塗布する。
【００４３】
その後、上述した位置検出工程、位置調整工程を行った後、ノズル板１２２と流路板１２４を加圧接合した状態で紫外線硬化型接着剤を露光し硬化させる。接合後は、図６に示すように、ノズル板１２２の両端の位置検出用基準マーク１４２の中に、流路板１２４の位置検出用基準マーク１４１が高精度に位置合わせされることになる。
【００４４】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、圧電素子に電圧を印加して圧電素子を変形させることで液滴を吐出する圧電型に限らず、電熱変換素子に電流を流すことで発熱させて、発熱により記録液を発泡させることで液滴を吐出するサーマル型のものなどでも良い。
【００４５】
圧電型ヘッドの場合には、圧電素子を肥大させたり縮小したり、圧電素子の変形量を調整するように、駆動波形を調整することで、様々な大きさの液滴を吐出させることができ、階調性が良好な画像を形成するのに有利である。一方、サーマル型ヘッドの場合には、ノズルの高集積化が容易であるため、多ノズルヘッドの作製に向いていることから、解像度が高い画像を高速で印刷するのに有利である。
【００４６】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドは、流路から吐出口にかけての形状が直線的であるエッジシュータ方式であっても良いし、流路の向きと吐出口の向きが異なるサイドシュータ方式であっても良い。
【００４７】
エッジシュータ方式の液体吐出ヘッドについて図８及び図９を参照して説明する。
この液体吐出ヘッドは、基板２０１上に流路２０２の側壁および吐出口（オリフィス）２０３を形成する壁材２０４及び流路２０２の覆いとなる天板２０５を積層し、流路２０２内に吐出エネルギー発生体２０７（この発生体２０７に吐出信号を印加する電極および該発生体に必要に応じて設けられる保護層などは省略してある）を配置したものである。
【００４８】
この液体吐出ヘッドにおいては、図示しない共通液室から流路２０２に記録液が充填された状態で、図示しない電極を介して記録信号を吐出エネルギー発生体２０７に印加すると、この吐出エネルギー発生体２０７から発生した吐出エネルギーが流路２０２内の記録液に吐出エネルギー発生体２０７上方（吐出エネルギー作用部）で作用し、その結果、記録液がオリフィス２０３から液滴として吐出される。吐出された液滴はオリフィス２０３前方に送り込まれた紙などの被記録媒体に着弾する。
【００４９】
このエッジシュータ方式のヘッドにおいては、各部分の精度良い微細化やオリフィス（吐出口）のマルチ化、あるいは小型化が極めて容易であり、また、量産性に富むという利点を有する。その一方で、液滴吐出の際の応答周波数や液滴の飛翔速度に限界がある。また、吐出エネルギー発生体が発熱することで記録液中に気泡が発生するが、この気泡が温度低下により収縮し、吐出エネルギー発生体近辺で消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体が徐々に破壊されるいわゆるキャビテーション現象が顕著に発生し、相対的に寿命が比較的短くなる。
【００５０】
次に、サイドシュータ方式の液体吐出ヘッドについて図１０を参照して説明する。
この液体吐出ヘッドは、基板３０１上に流路３０２の側壁を形成する壁材２０４を積層し、その上に流路３０２に連通する吐出口（オリフィス）３０３を形成する天板３０５を積層し、流路３０２内に吐出エネルギー発生体３０７（この発生体３０７に吐出信号を印加する電極および該発生体に必要に応じて設けられる保護層などは省略してある）を配置したものである。
【００５１】
これにより、一点鎖線３０７で示すように、流路３０２内の吐出エネルギー作用部への記録液の流れ方向とオリフィス３０３の開口中心軸とが直角となる。
【００５２】
このような構成とすることによって、吐出エネルギー発生体３０７からのエネルギーをより効率良く液滴の形成とその飛翔の運動エネルギーへと変換でき、また、記録液の供給によるメニスカスの復帰も速いという構造上の利点を有し、吐出エネルギー発生体に発熱素子を用いた場合に特に効果的である。また、エッジシュータ方式において問題となる気泡が消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体３０７が徐々に破壊する、いわゆるキャビテーション現象もサイドシュータ方式であれば回避することができる。つまり、サイドシュータ方式では、気泡が成長し、その気泡がオリフィス１０５に達すれば気泡が大気に通じることになり、温度低下による気泡の収縮が起こらない。そのため、ヘッドの寿命が長いという長所を有する。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係る塗布装置の模式的説明図である。
【図２】同塗布装置の動作説明に供するシリンジ印加エア圧力の模式的説明図である。
【図３】同塗布装置の動作説明に供するフロー図である。
【図４】液体吐出ヘッドの一例を示す模式的説明図である。
【図５】同ヘッドの流路板の平面説明図である。
【図６】同ヘッドのノズル板の平面説明図である。
【図７】同ヘッドの接合工程の説明に供する説明図である。
【図８】エッジシュータ方式の液体吐出ヘッドの説明に供する要部斜視説明図である。
【図９】同じく断面説明図である。
【図１０】サイドシュータ方式の液体吐出ヘッドの説明に供する断面説明図である。
【図１１】従来の塗布装置の説明に供する要部模式的説明図である。
【符号の説明】
【００５４】
１…ディスペンサ
２…塗布液
３…シリンジ
５…吐出口
６…ニードル
１０…ロボット
２１…圧空源
２２、３２…電空
２３、３３…バルブ
２４…ジョイント
２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ…エア配管
２９…風速計
４１…制御装置
１０１…液体吐出ヘッド
１０２…駆動ユニット
１０３…液室ユニット
１２２…ノズル板
１２４…流路板
１２５…振動板
１３１…接着剤
１４５ａ〜１４５ｄ…仮接合接着剤
【図１】
2006055782.tif 000003
【図２】
2006055782.tif 000004
【図３】
2006055782.tif 000005
【図４】
2006055782.tif 000006
【図５】
2006055782.tif 000007
【図６】
2006055782.tif 000008
【図７】
2006055782.tif 000009
【図８】
2006055782.tif 000010
【図９】
2006055782.tif 000011
【図１０】
2006055782.tif 000012
【図１１】
2006055782.tif 000013