(57)【要約】【課題】凹版転写型の所定の凹部に所定の色材インキを充填する低コストかつ実用性の高い凹版転写型とこの凹版転写型を用いた低コストかつ実用性の高いカラーフィルタの製造方法が望まれていた。【解決手段】隣接する着色部間に間隙を備えた複数の着色部に相当する凹部を有する凹版転写型において、凹版転写型が支持基板、凹部底面材、凸部形成材よりなり、凹部底面材の表面が、色材インキが液状であるときにはインキ受容性であるとともに色材インキが固化した場合であるときにはインキ非受容性であり、凸部の表面が色材インキが感光硬化した場合であるときにはインキ非受容性であり、凸部の上部表面が接着剤非受容性である凹版転写型を提供する。【選択図】図１
2006098465.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隣接する着色部間に間隙を備えた複数の着色部に相当する凹部を有する凹版転写型において、
該凹版転写型が支持基板、凹部底面材、凸部形成材よりなり、
凹部底面材の表面が、色材インキが液状であるときにはインキ受容性であるとともに色材インキが固化した場合であるときにはインキ非受容性であり、
凸部の表面が色材インキが感光硬化した場合であるときにはインキ非受容性であり、
凸部の上部表面が接着剤非受容性である、
ことを特徴とする凹版転写型。
【請求項２】
凸部上面表面が色材インキが液状であるときにはインキ非受容性であることを特徴とする請求項１に記載の凹版転写型。
【請求項３】
透明基板上に、複数の着色部と、隣接する着色部間に遮光層を備えたカラーフィルタの製造方法のうち、現像可能な感光硬化性のカラーフィルタ用色材インキと所望の全着色部を形成するための凹部を有する凹版転写型を使用する方法に用いる凹版転写型であることを特徴とする請求項１または２記載の凹版転写型。
【請求項４】
支持基板が熱伸縮、加圧伸縮の少なく、可撓性であることを特徴とする請求項１から３何れか記載の凹版転写型。
【請求項５】
（１）  カラーフィルタの１色の感光性色材インキの層を請求項１から５何れか記載の凹版転写型の対応する凹部全部を含む領域に供給する工程。
（２）  該１色の色材インキパターンに対応する個々のパターンが所望の凹部より広く、かつ隣接する凹部に掛からないパターンのフォトマスクを用いて露光し、該色材インキを硬化する工程。
（３）  現像して未露光部分の該１色の色材インキを除去し、必要ならば凸部上表面に残った該色材インキ硬化物を除去し、所望の凹部だけに１色の色材インキ硬化物を残す工程。
以上（１）（２）（３）の工程を色毎に繰り返したのち、
接着剤を介して凹部に充填されている色材インキ硬化物を全て一括してカラーフィルタ基板へ転写する工程と、
感光性遮光材を全面に供給する工程と、
裏面から露光し色材インキ硬化物が形成されていない領域の感光性遮光材を硬化する工程と、
からなるカラーフィルターの製造方法。
【請求項６】
請求項５の各（２）の工程の後に、粘着ロールを用いて凹版転写型の凸部上面にある色材インキ硬化物を除去する工程を行うことを特徴とする請求項５のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
液晶テレビ等に使用されるカラーフィルタの製造方法であって、転写方式とよばれる製法に関する凹版転写型とそれを用いたカラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶テレビに使用されるカラーフィルタの製造方法は、画面の大型化や使用するガラス基板サイズの大型化に対応することと、大幅な低コスト化が要求されている。画面サイズは少なくとも３０インチ、望ましくは４０インチが要求されている。また使用するガラス基板サイズは１８００×１５００ｍｍから２０００ｍｍ角以上のものが計画されている。一方、低コスト化については、従来の製造方法であるフォトリソグラフ法では、高価な高精度のアライメント露光機を使用する上に工程温度の管理が厳しいので、低コスト化が難しい。
【０００３】
すなわち、図５に示したカラーフィルタの断面形状のモデル図において、（ａ）は好ましい形状であって、色材層（Ｒ）（Ｇ）（Ｂ）と遮光層（ブラックマトリックス）が同一の厚さであって、それらの間に重なりもなく、隙間もないものである。一方、フォトリソ法によって作成された現在通常に使用されているカラーフィルタの断面形状は図５（ｂ）に示したように、遮光部の上に色材層が重なっている。その理由は、基本的には色材層とブラックマトリックスの間に隙間ができることが最悪なので、それを避けるためであり、フォトリソ法では精度の点で（ａ）に示した構造とすることができない。
【０００４】
次に、（ｃ）に示した断面形状は、フォトマスクとして寸法精度が低いものを使用したり、露光機として、アライメント精度や解像力が低いものを使用した場合に発生する断面形状の例であって、遮光層の上で２色の色材層が重なっている状態（イ）であったり、１色が遮光部にぎりぎりで接している状態（ロ）であったり、逆に隣接する画素部にはみ出しそうになった部分がある状態（ハ）であったりである。実際には、（ｂ）の場合において色材層が重なることはなくても、遮光層にぎりぎりで接するようになってしまうこともあり得る。
【０００５】
図５（ｃ）の（イ）に示したように遮光層の上で２種の色材層がかさなることは、凹凸が大きくなりすぎるので仕様上禁止されている。従って、フォトリソグラフ工程に必要な精度は、大略ブラックマトリックスの幅の半分以下である。ブラックマトリックスの幅は通常６〜２０μｍであるので、工程温度の問題がないとして、必要な寸法精度は±１．５〜５μｍである。一方、現状の寸法精度は、石英ガラス製フォトマスク＜±２μｍ、露光機のアライメント精度＜±３μｍである。
【０００６】
工程温度管理は、露光時のカラーフィルタ基板の温度伸縮が一番問題であり、基板の熱膨張係数が、通常使用されているガラス基板で４×１０-6／℃程度であり、１ｍにつき１℃の温度変化で４μｍ変化する。従って例えば±０．５℃の温度管理を行うと、±２μｍ／ｍのズレが発生する。２ｍ角のガラス基板では±０．２℃の温度管理でも±１．６μｍのずれが発生するので、それだけで許容範囲ぎりぎりになってしまう。このような厳しい温度管理は、経費がかさむだけでなく、スループットを高くする際の障害でもある。
【０００７】
従って、寸法精度に対する要求が少しでも低下する工程が望まれている。
【０００８】
一方、低コスト化の方法として、転写法によるカラーフィルタの製法が検討されている。なかでも、印刷における凹版に相当するものを使用し、図５に示すように凹部へカラー
フィルタの各色を充填し、カラーフィルタ基板へ転写する方法が有望である。この方法では、遮光層は、色材層部を形成した後に、いわゆる後露光法によって形成する。その方法の利点は、色材層中の白抜けを塞ぐことができると共に、図５の（ａ）に近い形状のカラーフィルタをうることができる点である。例えば、特許文献１はこのような方法を開示している。
【０００９】
凹版の凹部へ各色のカラーフィルタ用色材インキを充填する方法について、開示されている方法がいくつかある。
【００１０】
特許文献２では図６に示すように、各凹部の周囲に一種のカラーフィルタを設けている。そのカラーフィルタはその凹部に所定の色の色材インキを硬化する波長の光だけを透過するものである。すべての凹部へある色の色材インキを充填し、凹版の背面から露光すると、所定の部分の凹部の色材インキが硬化し、他は硬化しない。硬化してない色材インキを溶解除去し、次に別の色の色材インキを用いて、同様にして２色目、３色目を凹部に充填する。次に硬化した全色材インキをカラーフィルタ基板へ接着剤を用いて転写し、カラーフィルタが完成する。この方法の問題点は各凹部にカラーフィルタを形成することが難しい点であった。
【００１１】
特許文献３は上記の方法を改良したものであって、図７に示すように、凹版を使用するが、凹部にカラーフィルタ層を形成するのではなく、マスキング背面露光する。この方法の問題点は、裏面からの露光では、カラーフィルタ基板の厚さが０．７ｍｍとかなり厚いので、光が回り込み、硬化してはならない部分まで硬化してしまう点であった。
【００１２】
別のインキング方法として特許文献４ではフェルトペン類似のインキング治具を使用して、各凹部に所要の色剤インキを供給（充填）する方法を開示している。この方法の問題点は所定のインキ量を供給することが難しい点であった。カラーフィルタなので、色材層の厚さムラの仕様は厳しく、膜厚所定値±数％以下である。
【００１３】
さらにインクジェットインキングによる方法が、特許文献５、特許文献６で開示されている。この２件においては、転写型の凹部へのインキングではなく、カラーフィルタ基板への直接インキングである。すなわち、カラーフィルタ用ガラス基板へまず画素の境界となる土手部をフォトリソ法使用して作成する。その土手内に所定の色材インキをインクジェット法で充填する。しかし、所定の凹部へ３色のインキを充填する点では同類の技術である。
【００１４】
また、ノズルインキングによる方法が、特許文献７等に開示され、スクリーン印刷による方法が特許文献８に開示されている。さらに、１本の凹版ロールの上にカラーフィルタの３色を盛りつける方法が特許文献９に記載されている。
【００１５】
これら、所定の凹部単位でインキを充填する方法は実際のカラーフィルタの生産方法としては実用化されていない。その理由は、いくつかあるが主な理由は充填するインキの量の精度がカラーフィルタの特性に直結するため非常に厳しく、前記の充填方法ではまだ達成することができない点である。例えば、カラーフィルタとしての仕様は分光特性で規定されているが、膜厚精度としては＜±２〜３％程度である。この膜厚精度は、現状では上記のインキング法のうちインクジェット法、ノズル法以外では達成されていない。しかし、インクジェットインキング、ノズルインキング法はスループットが低い点や大サイズ対応が難しい点があり、実用になっていない。
【００１６】
特許文献は以下の通り。
【特許文献１】特願２００３−３７３７１１号公報
【特許文献２】特開平６−３１７７７４号公報
【特許文献３】特開平７−５３２１号公報
【特許文献４】特開２００３−１０７２３６号公報
【特許文献５】特開平１１−３０９８３６号公報
【特許文献６】特開平１１−３１１７０７号公報
【特許文献７】特開２００２−４８９１０公報
【特許文献８】特開平８−１２２５１８号公報
【特許文献９】特開２００３−１０７２３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明の課題は、凹版転写型の所定の凹部に所定の色材インキを充填する低コストかつ実用性の高い凹版転写型を提供することである。また、カラーフィルタ作成に使用することができる凹版転写型の構造を提供すること、およびこの凹版転写型を用いた低コストかつ実用性の高いカラーフィルタの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記の課題を解決するために、請求項１に係る発明は、隣接する着色部間に間隙を備えた複数の着色部に相当する凹部を有する凹版転写型において、
該凹版転写型が支持基板、凹部底面材、凸部形成材よりなり、
凹部底面材の表面が、色材インキが液状であるときにはインキ受容性であるとともに色材インキが固化した場合であるときにはインキ非受容性であり、
凸部の表面が色材インキが感光硬化した場合であるときにはインキ非受容性であり、
凸部の上部表面が接着剤非受容性である、
ことを特徴とする凹版転写型である。
【００１９】
このときの非受容性とは、反発性や、非接着性、易離型性などの固着しない各状態の総称である。
【００２０】
また、請求項２に係る発明は、凸部上面表面が色材インキが液状であるときにはインキ非受容性であることを特徴とする請求項１に記載の凹版転写型である。
【００２１】
また、請求項３に係る発明は、透明基板上に、複数の着色部と、隣接する着色部間に遮光層を備えたカラーフィルタの製造方法のうち、現像可能な感光硬化性のカラーフィルタ用色材インキと所望の全着色部を形成するための凹部を有する凹版転写型を使用する方法に用いる凹版転写型であることを特徴とする請求項１または２記載の凹版転写型である。
【００２２】
また、請求項４に係る発明は、支持基板が熱伸縮、加圧伸縮の少なく、可撓性であることを特徴とする請求項１から３何れか記載の凹版転写型である。
【００２３】
また、請求項５に係る発明は、
（１）  カラーフィルタの１色の感光性色材インキの層を請求項１から５何れか記載の凹版転写型の対応する凹部全部を含む領域に供給する工程。
（２）  該１色の色材インキパターンに対応する個々のパターンが所望の凹部より広く、かつ隣接する凹部に掛からないパターンのフォトマスクを用いて露光し、該色材インキを硬化する工程。
（３）  現像して未露光部分の該１色の色材インキを除去し、必要ならば凸部上表面に残った該色材インキ硬化物を除去し、所望の凹部だけに１色の色材インキ硬化物を残す工程。
【００２４】
以上（１）（２）（３）の工程を色毎に繰り返したのち、
接着剤を介して凹部に充填されている色材インキ硬化物を全て一括してカラーフィルタ基板へ転写する工程と、
感光性遮光材を全面に供給する工程と、
裏面から露光し色材インキ硬化物が形成されていない領域の感光性遮光材を硬化する工程と、
からなるカラーフィルターの製造方法である。
【００２５】
この場合の凹版転写型の対応する凹部全部を含む領域は、凹部のみでも構わないが、凹部の周囲を含むものでも構わないし、逆に版全域の様な場合でも構わない。
【００２６】
また、請求項６に係る発明は、請求項５の各（２）の工程の後に、粘着ロールを用いて凹版転写型の凸部上面にある色材インキ硬化物を除去する工程を行うことを特徴とする請求項５のカラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の凹版転写型の寸法精度はフォトリソ法の寸法精度とほぼ同等なので、作成したカラーフィルタの寸法精度もフォトリソ法並みである。しかも、露光機やフォトマスクの寸法精度や解像力が低くて通常のフォトリソ法の半分程度のものであっても使用することができる。また、工程中のカラーフィルタ基板の温度管理が楽になる。このために、設備費、工程管理費を低くすることができる。
【００２８】
解像度が多少悪いマスクや露光機を使用することができる利点については、凹部によってカラーフィルタの範囲は限定されているので、露光部が凹部を含んでいて、しかも隣接する凹部に掛からなければ、露光部と非露光部の境界（エッジ）がしっかりしていない結果、硬化した部分と未硬化の部分の境界がぼやけていても、問題ないという点である。従って、光学系の精度が低いものでもよく、安価な露光機を使用することができる。実際には、このような精度の低い露光機はこれまで要求が無かったので安価になるとともに製造が容易になり、収率も向上する。
【００２９】
また、従来法ではブラックマトリクスと呼ばれる遮光パターンを高寸法精度で形成する必要があり、露光装置、工程管理費がカラーフィルタの画素部以上に高コストであった。本発明の方法ではブラックマトリックスは裏面露光法で形成するので、はるかに低コストで形成することができる。
【００３０】
また、本発明の方法によれば、カラーフィルタとして、高さが均一であり、遮光膜との重なりがないという好ましい品質のものを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
本発明の転写型は、可撓性の支持基板、凹部底部の液状インキ受容性かつ硬化インキ離型性材、凸部形成材、凸部表面よりなる。
【００３２】
可撓性の支持基板としては、熱膨張がほとんどない石英ガラス、インバー合金がある。また、カラーフィルタ用ガラス基板と同一組成のもの、および熱膨張率がほぼおなじ４２鉄−ニッケル合金の板も使用することができる。その厚さは、サイズにもよるが、石英ガラスやカラーフィルタ用ガラス基板では０．７〜１０ｍｍ程度が好ましい。中でも、１．５ｍｍ〜５ｍｍが５５０×６５０ｍｍ〜１５００×１８００ｍｍの基板へカラーフィルタを形成する際には好ましい。大サイズになるほど厚いものが好ましい。一方、インバーや４２鉄−ニッケル合金では、０．２〜２ｍｍ程度の厚さが強度と取り扱いの便の面から好ましい。なお、表面の平坦度が低い場合には研磨して平坦度を向上させたものを使用する。
【００３３】
転写型が可撓性であることの利点は、接着剤を介してカラーフィルタ基板と貼り合わせる際に、カラーフィルタ基板の厚さムラにある程度追従した状態で貼り合わせることができるのでガラスに厚さムラがあってもよい点。その後、転写型とカラーフィルタ基板を引き剥がす際に引き剥がし易い点、シリンダーに巻き付けてインキングや接着剤塗布や貼り合わせを行うことができる点である。ただし、貼り合わせの工程では、その後直ぐに引き剥がしの工程になるので、貼り合わせと同時に接着剤を硬化させることが好ましい。
【００３４】
転写型は支持基板が可撓性であり、その上の凹部も可撓性の材料を使用する。その結果、全体として可撓性である。可撓であることの利点は、第一に転写型とカラーフィルタ基板を引き剥がす際、端部より徐々に引き剥がすことができる点であり、第２に接着剤を挟み込む際にも徐々に挟み込むことが可能になり、気泡の混入を少なくすることができる点である。また、カラーフィルタ基板の反り、うねりにも追従することができる点である。
【００３５】
凹部底面の材料は、インキ反発性が強すぎると、インキングすることが難しくなり、逆にインキ受容性が高い場合には、硬化したインキの離型性が低くなって転写性が低下する。インキが液状であるときにはインキがはじかれることなく、インキが感光硬化した時には、インキ離型性である材料であることが必要である。具体的な材料としては、ポリエチエン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、メラミン樹脂、アクリルメラミン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリシクロオレフィン樹脂、およびこれらを変性した樹脂例えば塩素化ポリエチレン樹脂、塩素化ポリポロピレン樹脂およびそれらを混合した樹脂系がある。底面材の厚さには格別の制限はないが、金属板の場合で表面の平坦度が不足している場合には、その凸凹を埋めて、平坦な面になる厚さがよい。また、可撓性がそこなわれない厚さである必要がある。通常は１〜２００μｍでよい。さらに、底面材の厚さはあまり制限がないが、厚すぎると変形で寸法精度が不足する場合がある。通常は１０〜２０００μｍが好ましい。樹脂系の場合、基板と接着するには、接着剤を使用したり、加熱溶融接着したりする。
【００３６】
凸部側面は凸部形成材が剥き出しになっているのが一番簡単な構造で作成しやすいので好ましい。その場合の凸部形成材としては、第一に凹部底面材と同じものが使用できる。
【００３７】
凸部形成方法としては、高位置精度が必要なので、フォトリソ法が好ましい。実際の製法としては、凹部底面材と同一の材料の場合には、モールド法を使用することができる。すなわち、高精度のフォトリソ法で形成した逆型（モールド）に溶融した材料を注入し、冷えて硬化した後に、支持基板を貼り付けて、逆型から剥がし取る方法で作成する。
【００３８】
凹部底面材と凸部形成材が異なる場合には、凸部形成材が溶液状態にすることができるものならば、いわゆるリフトオフ法で作成する。また、ポリビニルアルコールのように感光性にすることができる材料の場合には、単純にフォトリソ法で形成することができる。
【００３９】
凸部上面材に、液状インキ反撥性であり、かつ接着剤に接着しない層を形成する場合にはシリコーン樹脂、フッ素樹脂を使用する。シリコーン樹脂としては、離型用シリコーン、剥離紙用シリコーン、型取り用シリコーンが好ましい。たとえば、東芝シリコーン社製のＹＳＲ６２０９，ＴＳＭ６２８１、ＴＰＲ６５００，ＴＳＥ３５４０等がある。また、フッ素樹脂としては、例えば住友３Ｍ社製のＮｏｖｅｃＥＧＣ−１７２０、旭硝子社製のルミフロンがある。液状の原材料を塗布し、硬化して層を形成する。層の厚さは、後工程において接着剤を介して転写する工程があるが、その際接着剤が入る部分まであれば、凸部側面に接着剤離型性がなくてもよい。一方、凸部形成材が例えば、ポリエチレン等の接着剤離型性があるものの場合には、表面の撥インキ性をうることができる厚さであればよく、例えば０．１μｍであってもよい。
【００４０】
凸部上面が撥インキ性である転写型に一面に塗布された色材インキは、塗布量が適正ならば凸部には載らず、凹部にのみ入る。凸部の高さはカラーフィルタの厚さと同じ、あるいは若干高い程度である。この状態に上記の露光が施されると、所定の凹部の色材インキが硬化し、隣接している凹部の色材インキは硬化しない。この転写型を通常のフォトリソグラフ法と同じ方法で現像すると、硬化していない凹部にある色材インキは溶解除去される。また、万一凸部上に色材インキがあり硬化したとしても、現像時、あるいはその後の除去工程、例えば粘着ロール剥離工程、によって除去される。
【００４１】
本方式に使用するカラーフィルタ用色材インキとしては、感光硬化性があり、未露光部を現像によって除去することが可能で、凹部に充填する塗布方法があるものならよい。例えば通常の顔料分散型カラーフィルタに使用されている感光性の色材インキを使用することができる。また、オフセット印刷用のＵＶ硬化型カラーフィルタインキも使用することができる。
【００４２】
色材インキの層を形成するため方法としては、第一に通常のカラーフィルタの製造に使用される塗布方法を使用することができる。例えば、スピンコート法、ダイコート法、ナイフコート法、ロールコート法等があり、溶剤分が多い色材インキに使用する。第２に、溶剤分が少ない色材インキ例えば特開平０７−９７５４３号公報に開示されているインキや、溶剤分が多い色材インキを上記の塗布方法やスクリーン印刷等で余分に塗布し、溶剤を揮散させて溶剤分を減少させてから、余分なインキをドクターやスキージで掻き取る方法がある。掻き取る方法で、凸部上面の色材インキは大部分除去されるが、完全ではない。また、現像にスプレー現像法を使用すると、ほとんど除去されるが、それでも残ることがある。従って、別の方法で除去することが必要になる。別の方法としては、ゴミ取り用粘着ロールで除去する方法がよい。
【００４３】
また、色材インキの層を転写型の表面に形成する別法として、色材インキの層を箔状の転写層とした転写フィルムを使用する方法がある。例えば、富士写真フィルム社製のトランサー（商品名）を使用することができる。このトランサーの色材インキ層を転写型に転写することによって、転写型上に感光性色材インキの層を形成することができる。
【００４４】
図１に溶剤分が少ない色材インキを転写型の凹部へ充填する方法を示す。図１（１）の転写型にインキを塗布する（図１（２））。このときの凸部（撥感光性色材インキ材）は、塗布された感光性色材インキをはじく。感光硬化したインキとは接着性ない。さらに、凹版底部はＵＶ硬化した感光性色材インキ材に対して離型性を有する。そして、支持基板は熱伸縮のないアンバー、石英ガラス、カラーフィルタ基板と熱膨張率が等しい鉄−ニッケル合金材、カラーフィルタ基板と同質のガラス板等である。
【００４５】
塗布方法は例えば、ドクターリング、スキージング、スクリーン印刷、ロールインキング等がある。塗布すると、凹版の凸部にもインキが残ることが多い。
【００４６】
次に図１（３）に示したようにパターン露光する。露光する部分は基本的には所定の画素部であり、隣接する画素部へ光が当たらなければよく、隣接する凸部へは当たっても構わない。露光時のアライメント精度はブラックマトリックス幅の半分程度で充分である。ブラックマトリックス幅２０μｍなら±５μｍで充分である。
【００４７】
現像すると、図１（４）のように未露光部と凸部上面の色材インキは現像時に除去される。
【００４８】
同様にして、緑のインキを充填する（図１（５）（６））。なお、すでに赤インキが充填してある転写型に塗布した場合の厚さ均一性は、フォトリソの場合と同じで問題にならない。
【００４９】
さらに同様にして青インキを充填する（図１（７）（８））。
【００５０】
その後、接着剤を使用してカラーフィルタ基板へ転写する（図１（９））。接着剤を使用して転写するので、各色や凸部の高さが少し異なっていても転写される。ブラックマトリックスを裏面露光で形成してカラーフィルタ完成する。なお、この工程については、実施例４で示す。
【００５１】
一方、色材インキが溶剤分を多量に含む場合には、図２のようにして転写型の凹部へ充填する。
【００５２】
転写型の構造は、図２（１）のようであり、凸部は（硬化色材インキ離型性＋色材インキ反撥性）で、凹版底部はＵＶ硬化した色材インキに対して低接着性である。
【００５３】
溶剤分が多いので塗布する量も多く、図２（２）のようになる。塗布方法は、スピンコート、スロットコート、ナイフコート、ロールコート等の低粘度インキの塗布に適した方法である。溶剤が蒸発すると厚さは大幅に減少し、図２（３）のようになる。凸部表面には撥インキ材であるが、かなりの部分の凸部にインキが残る。
【００５４】
次に、露光して硬化した（図２（４））。露光部の最大は、隣接する画素部にかからない範囲であれば、最小は所定の充填すべき画素のサイズでよい。また、ブラックマトリックス幅２０μｍなら最大±１０μｍのばらつきが許容される。
【００５５】
その後、凸部上のインキを粘着ロールを転がして除去する（図２（５））。これは凸部上のインキを粘着ロールで除去する工程（２）のあとでもよい。ただし、凸部上面を固化インキに対して離型性にしておくことが必要である。また、（５）のあとでもよい。
【００５６】
現像して１色目の充填を完了する（図２（６））。同様にして、２色目を充填する（図２（７）（８））。同様にして３色目を充填し（図２（８））、充填を完了する。
【００５７】
カラーフィルタ基板へ転写する際に使用する接着剤としては、まず透明であって、色材インキのカラーフィルタ特性を損なわないものであることが必要である。また、カラーフィルタの耐久性を維持することができるものであることが必要である。さらに、無溶剤型が好ましく、その中で加熱溶融型のものも使用することができるが、最初液状であって、硬化の方法がＵＶ硬化、熱硬化、２液硬化するものがロールラミネート法によって容易に気泡の混入を防ぐことができるので好ましい。中でも紫外線（ＵＶ）硬化、電子線（ＥＢ）硬化するものが、ラミネート直後に短時間で硬化することができるので一番好ましい。
【００５８】
実際の材料の組成としては、アクリル系の樹脂が好ましい。なかでも、使用する光硬化型のカラーフィルタ用色材インキから色材成分を除いた成分、またはそれに近い成分にすることが、相性の点で好ましい。しかし、通常のカラーフィルタ用色材インキは溶剤を含み、溶剤が揮発してから貼り合わせる必要があるが、溶剤が揮発すると、固体状になり接着性を示さない場合が多い。その場合は、加熱して接着性が発現するものは、加熱接着する。加熱しても接着性を示さない場合には、樹脂成分を同一組成であっても低分子量のものに変更するか、低分子成分の量を増やして、ガラス転移点を室温以下にする。それではガラス基板への接着力が不足する場合には、官能基を含む成分の割合を増やして接着力を向上させる。
【００５９】
また、カラーフィルタの製造方法のうち転写法に使用されている接着剤を使用することができる。例えば特開２０００−１３６３５４号公報に記載されている接着剤を使用することができる。
【００６０】
裏面露光法によるブラックマトリクスの形成方法としては、通常のフォトリソグラフ法で形成した三色パターンを有するカラーフィルタ部材に使用する材料、方法を使用することができる。例えば特開２００３−１５２９４号公報に記載されているように下記の方法、材料を使用することができる。
【００６１】
ブラックマトリクスとなるブラックマトリクス用黒色感光性樹脂組成物（感光性のブラックマトリクス材）は、樹脂系材料と架橋剤と光酸発生剤とポリマ−グラフト化されたカーボンブラックとからなる黒色感光性樹脂組成物である。前記組成物には、ヒドロキシスチレンを３９モル％、（メタ）アクリル酸エステルを４９モル％、アクリル酸を１２モル％の共重合体が用いられ、この共重合体は、化学式（１）で表されるヒドロキシスチレン、化学式（２）で表される（メタ）アクリル酸エステル、化学式（３）で表わされるアクリル酸とを共重合することにより得ることができる。
【００６２】
上記共重合体は通常のラジカル重合法により容易に製造することができる。共重合体組成における化学式（１）のヒドロキシスチレンの含有率は５０モル％以下が好ましく、５０モル％より多いと溶解性が高く、オーバー現像にて露光部も溶解してしまう。また化学式（２）の（メタ）アクリル酸エステルの含有率は４０〜６０モル％が好ましく、４０モル％より少ないと溶解性が高すぎて現像時に溶解してしまう。反対に６０モル％より多いと現像時に剥離しない。また、化学式（３）のアクリル酸の含有率は５〜４０モル％が好ましく、５モル％より少ないと耐湿試験後の密着性が十分でなく、反対に４０モル％より多いと溶解性が高すぎて現像時に溶解してしまうという問題点がある。
【００６３】
【化１】
2006098465.tif 000003
【００６４】
【化２】
2006098465.tif 000004
【００６５】
【化３】
2006098465.tif 000005
また、上記化学式（２）で表されるモノマーとしては、具体的にはメタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ｎ−プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸ＳｅＣ−ブチル、メタクリル酸ｔ−ブチル、メタクリル酸ｎ−ペンチル、メタクリル酸イソペンチル、メタクリル酸ｎ−ヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸フェニル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ｎ−プロピル、アクリル酸イソプロピル、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ＳｅＣ−ブチル、アクリル酸ｔ−ブチル、アクリル酸ｎ−ペンチル、アクリル酸イソペンチル、アクリル酸ｎ−ヘキシル、ア
クリル酸シクロヘキシル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリル酸フェニル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、スチレン等が
挙げられる。
【００６６】
架橋剤としては、Ｎ−アルコキジメチル化合物が使用でき、具体的にはＮ−メトキジメチル尿素、Ｎ−ブトキジメチル尿素、Ｎ−メトキシメチルメラミン、Ｎ−ブトキシメチルメラミン、Ｎ−メトキシメチルグアテミン、Ｎ−ブトキシメチルグアテミン等が挙げられ、解像度や安定性の点からＮ−アルコキジメチルの導入率はできるだけ高い方が好ましい。また、架橋剤の添加量は樹脂に対して１０〜８０重量％が好ましい。添加量が１０重量％より少ないと架橋不足のために十分な感度が得られず、反対に８０重量％より多いと未反応の架橋剤が多く残っているため、露光部の溶解性が高く、やはり感度が低下し、またカーボン以外の割合が増加し十分な遮光性が得られなくなる。
【００６７】
光酸発生剤としては、吸収波長が３４０ｎｍ以下にある光酸発生剤として、例えば、トリバロメチル基含有トリアジン誘導体としては、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキジフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−クロロフェニル）−４，６ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどを挙げることができる。
【００６８】
また、オニウム塩類としては、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスホネート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、ジフェニルヨードニウム−ｐ−トルエンスルホナート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスホネート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、４−メトキシフェニルヨードニウム−ｐ−トルエンスルホナート、ビス（４−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムテトラフルオロボレート、ビス（４−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスホネート、ビス（４−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（４−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、ビス（４−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウムトリフルオロアセテート、ビス（４−ｔｅｒｔブチルフェニル）ヨードニウム−ｐ−トルエンスルホナート等のジアリールヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、トリフェニルスルホニウム−ｐ−トルエンスルホナート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム−ｐ−トリエンスルホナート、４−フェニルチオフェニルジフェニルテトラフルオロボレート、４−フェニルチオフェニルジフェニルヘキサフルオロホスホネート、４−フェニルチオフェニルジフェニルヘキサフルオロアルセネート、４−フェニルチオフェニルジフェニルトリフルオロメタンスルホナート、４−フェニルチオフェニルジフェニルトリフルオロアセテート、４−フェニルチオフェニルジフェニル−ｐ−トルエンスルホナート等のトリアールスルホニウム塩等が挙げられ
る。
【００６９】
これらの光酸発生剤は単独で、あるいは混合して使用しても良く、その添加量は樹脂と架橋剤の合計量に対して１〜４０重量％が好ましい。これは、４０重量％を越えて添加した場合は、酸発生量が多すぎ露光後の加熱によって未露光部にも酸が拡散し架橋反応を起こし解像性が低下してしまう。また、１重量％より少ない添加では酸発生量が乏しく架橋反応が十分進まず、パターンが形成できない。
【００７０】
以上の材料を２本ロールミル、３本ロールミル、サンドミル、ペイントコンディショナー等の分散機を用いて混練し黒色感光性樹脂組成物とする。更に分散時の作業性を向上させるため希釈溶剤として、エチルセロソルブ、エチルセロゾルブアセテート、ブチルセロソルブ、ブチルセロゾルブアセテート、エチルカルビトール、エチルカルビトールアセテート、ジグライム、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エステル類等の有機溶剤を用いてもよい。
【００７１】
以下、本発明によるブラックマトリックス用黒色感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリックスの形成法を説明する。
【００７２】
図４（ａ）（ａ′）に示すカラーフィルタ基板６のフィルタパターン形成部分を覆うように前記ブラックマトリックス用黒色感光性樹脂組成物２２をスピンナー法、ロールコート法、カーテンコート法等を用いて均一に塗布し黒色樹脂層２３を形成する（図４（ｂ））。なお、図４（ａ′）は図４（ａ）のＸ−Ｘ線部に沿った断面を、図４（ｂ′）は図４（ｂ）のＸ−Ｘ線部に沿った断面を、図４（ｅ′）は図４（ｅ）のＸ−Ｘ線部に沿った断面を示している。
【００７３】
次に図４（ｃ）に示すようにカラーフィルタ基板６の裏面側からマスク２４を介して紫外光２５を照射し黒色樹脂層２３に酸を発生させる。この照射に用いる光源としては超高圧水銀灯等を用いる。次に図４（ｄ）に示すように、ホットプレートでカラーフィルタパターンの各色材２６と黒色樹脂層２３を配したカラーフィルタ基板６を９０℃〜１１０℃の温度で加熱し、酸の触媒反応を利用して黒色樹脂層に架橋反応を起こさせる。温度が８０℃より低いと反応が進行せず十分な感度が得られない、また反対に１２０℃以上では色材２６上の黒色樹脂層２３も硬化してしまう。なお、図４（ｃ）（ｄ）はＸ−Ｘ線部と同部の断面を示している。なお、マスク２４は黒色樹脂層が不用な部分が感光硬化しないようにするためのものである。
【００７４】
次に図４（ｅ）に示すように、アルカリ現像液を用いて着色画素上の、アルカリ現像液の浸透した黒色樹脂層を剥離除去して、画素部間にブラックマトリックス２７を有するカラーフィルタを得る。このアルカリ現像液としては水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウムなどの無機アルカリ、またはトリエチルアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイドなどの有機アルカリを用いることができる。さらに、上記アルカリ現像液に必要に応じて他の添加剤、例えば、界面活性剤、湿潤剤、有機溶剤などを添加しても良い。
【実施例１】
【００７５】
転写型をモールド法で以下のようにして作成した。表面を研磨したインバー合金の板（１０００×１ｍｍ、厚さ３ｍｍ）に東京応化製フォトレジストＰＭＥＲ  Ｐ−ＲＺ３００を乾燥厚さ２．５μｍに塗布し、所望のカラーフィルタパターンを有するフォトマスクで露光、現像して、ブラックマトリックス部分が凹部となる母型（モールド型）を作成した。離型剤としてシリコーンオイルを塗布した後、ポリプロピレンを流し込み、さらに転写
型の支持基板として、厚さ０．３ｍｍのインバー合金板を重ね、平プレス機でプレスした状態で冷却した。冷却後、両側のインバー材を引き剥がして、シリコーンオイル離型剤を溶剤で除去して、転写型を得た。ポリプロピレン層の厚さは凸部上面までで約１ｍｍ、凹部の深さは２．５μｍであり、寸法精度は＜±３μｍ／ｍであった。
【実施例２】
【００７６】
実施例１で作成した転写型を使用し、サイズ５５０×６５０ｍｍのガラス基板へ転写してカラーフィルタを形成した例について以下に記す。
【００７７】
カラーフィルタの形状はストライプ状で、一定間隔に対向ガラス基板上のＴＦＴ部への遮光用部分がストライプ部へ切り欠き状に入っているものであった。遮光部（ブラックマトリックス）の幅は２０μｍであった。従って、露光部分のサイズは最大±１０μｍ変化していても構わない。実際には、カラーフィルタ基板の熱伸縮がないとしても、アライメント精度を差し引いて考える必要があり、例えばアライメント精度が±５μｍならば、サイズの変化に許される値は最大±５μｍとなる。
【００７８】
特開平８−１７９１１１に開示されている感光性の赤色の色材インキを、転写型へスロットコータを使用し、凹部の乾燥後の厚さ１．８μｍとなるように塗布した。インキング方法としては、個々の凹部にインキを充填するのではなく、転写用型全面に感光性色材インキングした。凸部の上面にも色材インキが載った。７０℃で１０分間乾燥した後、ポリビニルアルコール（国産化学社製：分子量約５００）の５％水溶液を乾燥膜厚が１μｍとなるように  塗布し、７０℃で２０分間乾燥した。次にフォトマスクを介して所定部分（カラーフィルタとして赤色に色材インキが充填される場所）を紫外線硬化した。紫外線硬化する方法は通常のカラーフィルタの製造方法であるフォトリソグラフ法を使用した。だたし、光硬化する領域は、所定の凹部だけでなく、周囲の凸部に掛かっていてもよく、隣接する画素部に掛からなければよい。そのため、その際に要求されるフォトマスクのパターン精度およびアライメント精度はブラックマトリクスの幅の程度の誤差が許される低精度のものを使用することができる。
【００７９】
２％の炭酸ナトリウム水溶液に５０秒間浸漬し、水洗すると、硬化したインキは、所定の凹部全部にのこり、また少なくとも隣接した画素部にはインキが残っていなかった。凸部上面にあったインキは大部分は現像時に剥離していたが、一部残存していた。これを、ゴミ取り用のウレタンゴム製の粘着ロールを用い、ゴミをとる要領で除去した。
【００８０】
同様にして２色目の緑色の色材インキの層、３色目の青色の色材インキの層を転写型の所定の凹部に形成した。
【実施例３】
【００８１】
凸部上面に撥インキ層を有する転写型を以下のようにして作成した。
実施例１と同様にしてモールド型を作成し、シリコーンオイルの剥離剤を塗布した。そこへ硬化してアクリル・メラミン樹脂となる神東塗料社製のオーデックス＃１００を流し込み、一度減圧状態にした後、常圧に戻し、１４０度で２５分間加熱し、硬化した。その上に、実施例１と同様にしてインバー合金板の支持基板を箔押し加工の金型を基板に接着する加熱硬化型の接着剤で貼り付けた。加圧状態で、１５０℃で１０分間加熱して接着を完了させた。次にモールド型と支持基板を引き剥がすと、モールド型の逆版となったアクリル・メラミン樹脂層が支持基板に接着した状態で得られた。次にこれの凸部上面表面に、フッ素樹脂系表面コート剤（３Ｍ社製  ＮｏｖｅｃＥＧＣ−１７２０）を塗布し所定の温度で３０分加熱硬化して、凸部上面にフッ素樹脂系の撥インキ性、硬化インキ離型性、固化インキ離型性の層を有する転写型を得た。アクリル・メラミン樹脂の厚さは約１００μｍであり、凹部の深さは２．５μｍ、寸法精度は±３μｍであった。
【００８２】
この転写型に特開平８−１７９１１１に開示されているカラーフィルタ色材インキをスピンコータで塗布したところ、凸部上表面にはインキはほとんど載らず、また載ったものも、溶剤が揮散してインキが固化した状態では、粘着ロールで簡単に除去することができた。
【００８３】
次に、実施例２と同様にして露光し、現像して、３色の色材インキの層が凹部に形成された転写型を得た。
【実施例４】
【００８４】
図３（ａ）に示した方法で、実施例２、３で凹部に各色の色材インキの層を形成した転写型と、カラーフィルタ基板用のガラス基板を接着剤を介して重ね合わせ、ロールプレス機で３ｋｇ／ｃｍの圧力で端部より押圧して接着剤を均一に広げた。接着剤は特開２０００−１３６３５４に開示されている大阪有機化学社製の無溶剤のＵＶ硬化型のものを使用した。そして、図８（ｂ）に示したようにして、ガラス基板側からＵＶを所定量露光して接着剤を硬化した。その際、カラーフィルタ部と周辺遮光部以外を遮光するフォトマスクを使用した。次に図８（ｃ）に示したようにして、カラーフィルタ用ガラス基板と転写型を引き離すと、接着剤と転写型凹部の色材層はカラーフィルタ用ガラス基板のほうへ転写した。接着剤の厚さは１．０μｍであった。不要部の接着剤をアルカリ性の現像液（Ｎａ2ＣＯ3  ５重量部、ＮａＯＨ  １重量部、Ｈ2Ｏ  ２００重量部）に浸漬して除去した。水洗、乾燥してカラーフィルタを得た。
【実施例５】
【００８５】
ブラックストライプを以下の様にして形成した。
〔黒色感光性樹脂組成物の作製〕
酸により架橋するヒドロキシスチレン系高分子化合物樹脂（共重合体：共重合比はｐ−ヒドロキシスチレン／メタクリル酸ｎ−ブチル／アクリル酸＝３９／４９／１２）１２ｇをバインダー樹脂に用いて、架橋剤としてヘキサ（Ｎ−メトキジメチル）−メラミン（三和ケミカル社製：ニッカラックＭＷ−３０Ｍ）を５ｇ、光酸発生剤として、みどり化学社製「ＴＡＺ−１０４」を５ｇ、顔料（カーボンブラックが高分子化合物によりグラフト化されているグラフト化カーボン分散溶液）を３００ｇ、溶剤としてＰＧＭ−Ａｃを１７２ｇ、さらにガラスビーズを５００ｇをガラス瓶に入れ、ペイントシェーカーにより２時間分散し黒色感光性樹脂組成物を作製した。
〔黒色樹脂層の形成〕
図４（ａ）（ａ′）に示すブラックマトリクスのない三色ＲＧＢカラーフィルタの画素部の膜厚は１．３μｍであった。この画素部上に、この黒色感光性樹脂組成物をスピンナーにより６００ｒｐｍ、５秒で塗布、乾燥し、図４（ｂ）（ｂ′）に示すように黒色樹脂層を形成した。
【００８６】
次に、図４（ｃ）に示すように、３ｋＷ超高圧水銀灯により５００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で前記画素部をマスクとしてガラスの裏面側より所定のマスクを介して全面露光した。露光後、図４（ｄ）に示すように、ホットプレートを用いて１００℃で１分間加熱した。続いて、１％水酸化ナトリウム水溶液を用いて、基板をコンベアーで搬送させながらシャワーを噴霧する方式で９０秒間現像し、複数色の着色画素上、および非露光部の黒色樹脂層を剥離除去した。最後にオーブン中にて２３０℃で１時間加熱し、図４（ｅ）（ｅ′）に示すように複数色の印刷パターン２６間にブラックマトリックス２７を有するカラーフィルタを得た。
【００８７】
このようにして作製したカラーフィルタは、その画素部上には黒色樹脂層の残留は見られず、ブラックマトリクスと複数色の画素部との重なりによる突起のないものであった。
また、このカラーフィルタをプレッシャークッカー試験器に入れ、１２０℃、１００％ＲＨ、２気圧の条件にて５０時間放置後、「ＪＩＳ−Ｋ５４００」記載の碁盤目付着性試験法にて密着性の評価を行った結果、カラーフィルタ部、ブラックマトリックス部の剥離個数はいずれも０／１００であり密着性に全く問題ないものであった。
【００８８】
なお、説明の都合上、色フィルタとして赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三色系の構成のものを取り上げたが、黄（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）の３色系の構成のカラーフィルタやその他特別な色や色数のカラーフィルタを製造する際にも、ブラックマトリクスを有するものであれば、本願発明の方法を使用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
液晶テレビ等に使用されるカラーフィルタの製造方法に用いられる転写型およびこの様な転写型を用いた液晶テレビ等に使用されるカラーフィルタの製造方法に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明における凹版転写型使用の低アライメント精度露光によるカラーフィルタの形成工程を順に示す概念断面図である。
【図２】本発明における色材インキの溶剤分が多い場合の色材インキ充填工程を順に示す概念断面図である。
【図３】本発明における接着剤を介して転写型からカラーフィルタ基板へ色材インキ層を転写する工程を順に示す概念断面図である。
【図４】本発明におけるブラックマトリックス用黒色感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリックスの形成を説明する断面図と平面図であり、（ａ）（ａ′）に示すカラーフィルタ基板のフィルタパターン形成部分を覆うように前記ブラックマトリックス用黒色感光性樹脂組成物をスピンナー法、ロールコート法、カーテンコート法等を用いて均一に塗布し黒色樹脂層を形成する（ｂ）場合を示す。なお、（ａ′）は（ａ）のＸ−Ｘ線部に沿った断面を、（ｂ′）は（ｂ）のＸ−Ｘ線部に沿った断面を、（ｅ′）は（ｅ）のＸ−Ｘ線部に沿った断面ダイによるスリット方向の吐出分布の数値解析結果である。
【図５】（ａ）背景技術を説明するための、理想とするカラーフィルタの断面図と、（ｂ）通常に使用されるフォトリソ法によるカラーフィルタの断面図と、（ｃ）寸法精度が低いフォトマスクやアライメント精度や解像度が低い露光機を使用した場合のカラーフィルタの断面図である。
【図６】特許文献１の製造方法を説明する概念断面図である。
【図７】特許文献２の製造方法を説明する概念断面図である。
【符号の説明】
【００９１】
イ・・・遮光層の上で２色の色材層が重なっている状態
ロ・・・１色が遮光部にぎりぎりで接している状態
ハ・・・隣接する画素部にはみ出しそうになった部分がある状態
３０・・・カラーフィルタ用ガラス基板
３１・・・遮光膜（ブラックマトリックス）
３２・・・カラーフィルタ用色材層（Ｒ、Ｇ、Ｂ）
６・・・カラーフィルタ基板
２２・・・黒色感光性樹脂組成物
２３・・・黒色樹脂層
２４・・・マスク
２６・・・色材（Ｒ、Ｇ、Ｂ）
６・・・カラーフィルタ基板
２８・・・印刷パターン
２９・・・ブラックマトリックス
２８・・・印刷パターン
５３・・・各色
５２・・・溝部
５１・・・透明凹版
６２・・・スキージ
６３・・・照射光
８１・・・支持基板
８２・・・低接着力層
８３・・・凸部（撥感光性色材インキ材）
８４・・・感光性色材インキ材（Ｒ、Ｇ、Ｂ）
８５・・・マスク
８６・・・露光光
８７・・・カラーフィルタ用接着剤
８８・・・カラーフィルタ基板
８９・・・粘着ロール
９１・・・３色を所定の場所へ充填した凹版転写型
９２・・・加圧ロール
９３・・・ＵＶランプ
【図１】
2006098465.tif 000006
【図２】
2006098465.tif 000007
【図３】
2006098465.tif 000008
【図４】
2006098465.tif 000009
【図５】
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【図６】
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【図７】
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