(57)【要約】      （修正有）【課題】マイクを円弧状に移動させる第２段アームの計測物に対する面を楕円にすることにより、被計測物からの反射音の悪影響をなくす。また１台のマイクで複数点の計測が可能で、複数マイクを設置する場合に比べて小規模な計測装置となり、マイクを計測点ごとに位置と向きを調整することにより計測を短時間に出来る。【解決手段】マイクを支持する第２段アームの形状を楕円にし音波を散乱させるようにした。  また、マイク位置を計測床上の計測中心を原点とする固定半径の半円球面の任意の面の位置に移動可能とし、且つ、マイクの向きを常に計測中心に向けることで、被計測物からの騒音を等距離で各種方向から計測できる。  更に、マイク移動機構を追加することにより、マイクの位置を三次元位置に設定できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円弧状の第２段アーム（３）、マイク（６）を搭載するキャリヤ（４）、キャリヤ（４）は第２段アーム（３）の上を円弧に沿って移動する構成にて、第２段アーム（３）の円弧は、計測中心（７８）を原点とする円弧とし、内径側（被計測物側）の断面形状を楕円（５０１）とし被計測物体からの音波を発散させるようにした騒音計測装置。
【請求項２】
回転機構部（１）、第１段アーム（２）、円弧状の第２段アーム（３）、キャリヤ（４）、キャリヤ移動機構（３７）から構成され、回転機構部（１）の回転出力軸（１２）は第１段アーム（２）の一端に固定してあり、第１段アーム（２）の他端は円弧状の第２段アーム（３）の一端に固定してあり、円弧状の第２段アーム（３）を正面から見ると計測中心（７８）を原点とする円弧状で、キャリヤ（４）は、第２段アーム（３）上に設置され第２段アーム（２）の円弧に沿って移動し、キャリヤ（４）にはマイク（６）を取り付ける構造となっており、マイク（６）が最上点の位置にきたときにマイク中心軸は垂直になり回転出力軸（１２）の軸心と一致するようにしてあり、上方から見ると第２段アーム（３）は、回転出力軸（１２）に対して偏心した位置関係に取り付けて、マイク（６）を最上点の位置に移動させたときに第２段アーム（３）が邪魔にならないようにし、回転機構（１）により第１段アーム（２）および第２段アーム（３）を水面平面内で回転させ、キャリヤ移動機構（３７）によりキャリヤ（４）を第２段アーム（３）上の円弧に沿って移動させて、マイク（６）を同一半径の半円球面の任意の位置に移動させるとともにマイク（６）の向きを計測中心（７８）に常に向けるようにした騒音計測装置。
【請求項３】
請求項２において、マイク移動機構（７０）を追加することにより、回転機構部（１）により第１段アーム（２）および第２段アーム（３）を水平面内で回転させ、キャリヤ移動機構（３７）によりキャリヤ（４）を第２段アーム上の円弧に沿って移動させ、更にマイク移動機構（７０）によりマイクを移動させることにより、マイクを任意半径の半円球面の位置に移動するとともに、マイクの向きを計測中心（７８）に常に向けるような特徴を有する騒音計測装置。
【請求項４】
円弧状の第２段アーム（３）、マイク（６）を搭載するキャリヤ（４）、キャリヤ（４）は第２段アーム（３）の上を円弧に沿って移動する構成にて、第２段アーム（３）の円弧は、計測中心（７８）を原点とする円弧とし、内径側（被計測物側）の断面形状を楕円（５０１）とし被計測物体からの音波を発散させるようにした騒音を計測する方法。
【請求項５】
回転機構部（１）、第１段アーム（２）、円弧状の第２段アーム（３）、キャリヤ（４）、キャリヤ移動機構（３７）から構成され、回転機構部（１）の回転出力軸（１２）は第１段アーム（２）の一端に固定してあり、第１段アーム（２）の他端は円弧状の第２段アーム（３）の一端に固定してあり、円弧状の第２段アーム（３）を正面から見ると計測中心（７８）を中心とする円弧状で、キャリヤ（４）は、第２段アーム（３）上に設置され第２段アーム（２）の円弧に沿って移動し、キャリヤ（４）にはマイク（６）を取り付ける構造となっており、マイク（６）が最上点の位置にきたときにマイク中心軸は垂直になり回転出力軸（１２）の軸心と一致するようにしてあり、上方から見ると第２段アーム（３）は、回転出力軸（１２）に対して偏心した位置関係に取り付けて、マイク（６）を最上点の位置に移動させたときに第２段アーム（３）が邪魔にならないようにし、回転機構（１）により第１段アーム（２）および第２段アーム（３）を水面平面内で回転させ、キャリヤ移動機構（３７）によりキャリヤ（４）を第２段アーム（３）上の円弧に沿って移動させて、マイク（６）を同一半径の半円球面の任意の位置に移動させるとともにマイク（６）の向きを計測中心（７８）に常に向けるようにした騒音を計測する方法。
【請求項６】
請求項５において、マイク移動機構（７０）を追加することにより、回転機構部（１）により第１段アーム（２）および第２段アーム（３）を水平面内で回転させ、キャリヤ移動機構（３７）によりキャリヤ（４）を第２段アーム上の円弧に沿って移動させ、更にマイク移動機構（７０）によりマイクを移動させることにより、マイクを任意半径の半円球面の位置に移動するとともに、マイクの向きを計測中心（７８）に常に向けるような特徴を有する騒音を計測する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】    電子部品や小型機械品等から発生する騒音を被計測物とマイク間の位置関係を順次に変えながら複数の計測点の騒音データ採取するための装置又は方法に関する。
【背景技術】
【０００５】    計測点数だけのマイクを固定設置する方法、計測点毎にマイクの位置を手動でその都度再設置する方法が従来多くとられていたが、前者は設備費が莫大となり、後者は効率が極めて悪いため、２次元座標上を移動できる伸縮ポールの先端にマイクを取り付け、マイクの移動を行う方法が採用されるようになった。【００１０】
【技術文献】
特開２００３−１０６３９５
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】    電子部品や小型機械品出荷の際の騒音検査は、被計測物周辺でマイクの設置位置を種々変えて騒音データを多数取り込み計測する必要があり、計測点の数は１０点〜２０点と多い。計測時間が問題となる場合には、計測点毎に複数のマイクを前もって固定して、同時計測している。この場合、マイクを数多く準備する必要があり測定装置が大規模になり設備費が莫大となる欠点があった。
【００２０】  そこで、設備の大規模化を避けるために、マイクは２次元座標上に移動可能な伸縮ポールの先端に取り付け三次元移動位置決めできるようにすることにより１台のマイクで複数点を計測できる方法が採用さるようになってきた。
【００２５】  しかし、この方法でも伸縮ポールの高速化が難しく計測点への移動に時間がかかることと、計測点ごとにマイクを被計測点の方向に向ける操作を必要とするなどの解決すべき問題点が残っていた。
【００３０】  また、マイクを支持する部材をマイクの付近に設置すると音の反射や空気の気流に影響し騒音計測に悪影響がある等の問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００３５】  電子部品等小物の騒音検査の際、固定マイクロホン配列の基本的考え方は、ＪＩＳ８７３２：２０００（附属図Ｄ．１及び附属書表Ｄ．１）等に示されている。
【００４０】  それによると半径ｒの半球面上の等面積に対応する点に計測点を置く方法が示されている。もちろん半球面の中心に被計測物が置かれるものとしている。このような考え方から複数の計測点を半径ｒの半球面上に設置することを基本とするのが合理的であるといえる。
【００４５】（１）発明の実施形態１の場合（請求項１および４）
マイクを計測中心から等距離に保持しながら移動するための円弧状の第２段アーム３の断面を図１（ｂ）に示すように、被計測物体２０５に面する部分５０１を楕円にする。このようにすることにより被計測物方向からの音の反射が散乱するので、円弧状の第２段アーム３が計測結果に影響をしないようにする。
【００５０】（２）発明の実施形態２の場合（請求項２および５）
図１８に本発明の基本概念を示す。図１８（ａ）は、装置を上方から見た概念図である。図１８（ｂ）は、その側面から見たＴＴ矢視図である。以下、座標軸を図示のように、ｚ軸を垂直にｘ，ｙを水平面内にとり、ｚ軸を第１アーム（２）および第２段アーム（３）の回転中心および計測中心７８と一致させてある。
【００５５】  マイク６とキャリヤ４は固定されており、マイク６はキャリヤ４と共に移動する。第２段アーム３は、図１８（ｂ）に示すように側面から見ると原点７８を中心とする円弧である。原点７８は計測中心でもある。
【００６０】  図１８（ａ）において、マイクの移動軌道２０３と第２段アーム（３）とはδだけずらしてあり、これにより、マイクの移動軌跡２０３が回転中心７８（計測中心でもある）を通過することを可能としている。
【００６５】  本装置では、モータ４２を駆動することにより第２段アーム３はｚ軸を中心に水平面内で回転できマイクの軌跡の傾斜角φを任意に変化できるようにしてある。
【００７０】  また、キャリヤ４は、モータ４３を駆動することにより第２段アーム３の円弧に沿って移動するようにしてある。従って、マイク６は、点７８を中心とし半径ｒの円弧２０４上を移動すると共に、マイクの取り付け角θを変化させると共に、ｚ軸を中心とする水平面内の回転角φも変化させることができることになる。
【００７５】  このようになっているのでマイクを固定半径ｒの半円球上の指定された点に順次移動し、且つ、常にマイクを被計測物の方向（点７８の方向）に向けながら騒音を計測することができるのである。
【００８０】  マイクは半円球の中心７８の方向を常に向けておくことができるのでマイクの方向の調整が不要であるというメリットがある。
【００８５】  このように同一半径の半円球上にマイクが常にあるようにするためには、第２段アーム３の向きφの制御とキャリヤの取り付け角θを制御することにより目的を果たすことができるのである。
【００９０】（３）発明の実施形態３の場合（請求項３および６）
上述のφとθの制御に加えて、モータ４４を追加することにより計測中心とマイク間の距離（半径ｒの大きさ）を制御するようにする。
【００９５】  半径ｒの大きさを制御することにより任意の三次元空間にマイクを移動できるようになる。この場合もマイクの向きは常に計測中心７８の方向を向いているという特徴を有する。
【発明の実施形態１】
【０１００】  本実施形態について図１（ａ）および（ｂ）により詳細に説明する。本発明の実施形態１は、円弧状の第２段アーム（３）、マイク（６）を搭載するキャリヤ（４）、キャリヤ（４）は第２段アーム（３）の上を円弧に沿って移動する構成にて、第２段アーム（３）の円弧は、計測中心（７８）を中心とする円弧とし、内径側（被計測物側）の断面形状を楕円（５０１）とし被計測物体からの音波を発散させるようにした騒音計測装置および方法である。計測中心７８に騒音発生源である被計測物２０５が置かれており、発生する騒音を計測するマイク６を騒音発生源から一定距離において各種方向から計測したいという要請がある。そのため、計測中心７８を原点とする円弧状の第２段アーム３を設置し、第２段アーム３にキャリヤ４を搭載し円弧に沿って移動させ、キャリヤ４にはマイク６が固定されているのでマイクも計測中心から等距離で移動する。第２段アーム３は計測付近の空間に設置されるので騒音の反射や気流の流れに影響し騒音計測の計測結果になるべく影響しないようにする必要がある。そこで、第２段アームの円弧の内径部５０１（被計測物２０５に面した側）の形状を楕円にすることにより影響を低減できる。
【０１０５】  図１（ｂ）示すように騒音発生源からの音波５０２は、円弧部形状５０１で反射された音波５０３は散乱し計測結果に与える影響を少なくできるのである。ここで、楕円と記述したのは正確な楕円形状でなくてもよく楕円に類似のものでもよいのである。音を発散させる曲面、たとえば、真円、各種円や直線を組み合わせたものを含むものとする。
【発明の実施形態２】
【０１１０】    以下図１〜図１３により本発明の詳細について記述する。図１（ａ）は、騒音計測装置を正面から見たものである。図２は上面図（Ｘ１Ｘ１矢視図）で、図３はＸ４Ｘ４矢視図で、回転機構部１と第１段アーム２の関係を示している。回転機構部１の上部９は固定架７に固定されている。回転機構部１の回転出力軸１２は部材１９等を介して第１段アーム２の一端に固定されている。第１段アーム２の他端は第２段アーム３の一端に固定されている。第２段アーム３の他端はフリーで、第１段アーム２と第２段アーム３は回転出力軸１２により平面内を回転させられるようになっている。第２段アーム３は垂直面内で、計測中心７８を中心とする円弧状をしている。第２段アーム３にはキャリヤ４が搭載されており円弧に沿って移動できるようになっている。また、キャリヤ４にはマイク６を固定できるようになっている。マイク６はキャリヤ４と共に第２段アーム上を円弧に沿って移動できる。マイク６の軸心が垂直な位置にきたときに回転機構の回転出力軸１２の軸心と一致するようにしてある。第２段アーム３はマイクの位置関係を上述のような関係にするために回転出力軸１２と偏心した位置に取り付けてある。モータ４２の回転は、カップリング２１、ウォーム２４、ウオームホイール２３を介して減速機構１０の回転入力軸１１に伝えられ、更に、減速機１０を介して出力軸１２に伝えられる。
【０１１５】  図４〜図７によりキャリヤ移動機構について記述する。キャリヤ４は、第２アーム３に搭載されている。キャリヤ４は、２組の上部ガイドローラ４５と２組の下部ガイドローラ４８により第２アーム３の円弧に沿って移動できるようにしてある。
【０１２０】  キャリヤ移動機構３７では、モータ４３の回転はカップリング４０、ウォーム３６、ウオームホイール３５を介してピニオン３３に伝えられる。第２段アーム３の上面にはラック３２が取り付けられており、このラック３２とピニオン３３の噛み合わせ効果によりピニオンが回転するとキャリヤ４は第２段アーム上を移動することとなる。キャリヤ４には部材６７、６８，６９を介してマイク６が取り付けられる。
【０１２５】  図８および図９は、第２段アーム３の円弧位置の原点７８に対する調整機構を示している。尚、原点７８は、回転出力軸１２の軸心と計測床９８との交点であり、計測中心７８でもある。図８は、Ｘ３部詳細（座標軸調整機後部５）である。図９はＸ９−Ｘ９矢視図である。座板６５と第１段アーム２は一体構造であり、座板６５の側面をボルト６４で両側から押し付けているが、この左右のボルトのねじ込み量を調整することにより座板６５と下側のブロックの上面の板６２の相対位置を微調整できる構造となっている。微調整したい時は、締結ボルト６６を緩めて行い、調整を終えると締結ボルト６６を強く締めればよい。このようにして、第２段アームの円弧の中心と計測床９８上の計測中心７８の左右のずれを微調整できるようにしてある。上板６２と側板５２は一体構造であり、側板にはピン５５が設けてあり、第２段アーム３は、このピン５５を中心に振れるようになっている。通常は左右のボルト５３、５４により第２段アーム３の突起部５１を左右から押さえて固定し、更にボルト５６により強く締め突けることとする。このようであるから第１段アーム２と第２段アーム３の相対取り付け角度を微調整したいときには、ボルト５６を緩めて、左右のボルト５３，５４の出入り量を調整することにより微調整できるのである。このようにすることにより第２段アームの円弧の中心と計測床９８上の計測中心７８がずれたときに微調整できるのである。
【０１３０】  次に、図１０から図１２により本装置の制御機構について説明する。図１０は制御機構の構成図である。図１１から図１３は制御機構に搭載する制御処理プログラムの処理内容を流れ図で示す。７９は全体を統括するための計算機であり、中央処理装置８７、主記憶装置８８、システムバス８６、外部インターフェース機構８９、外部記憶装置９３等からなる。中央処理装置８７、外部インターフェース機構８９、外部記憶装置９３等は、システムバス８６に直結されている。通常は、処理用プログラムやデータ類は外部記憶装置９３に記憶してある。計算機の電源を投入しシステムを立ち上げ時にこれらのプログラムやデータは、主記憶装置８８に転記する。高速にアクセスできるようにするためである。モータ４２やモータ４３を計算機７９側から制御したいときには、制御情報は外部インターフェース機構８９を介してモータ制御機構８０ａや８０ｂに出力するように構成してある。
【０１３５】  図１１から図１３により処理プログラムの内容について説明する。処理プログラムには、作業準備段階の処理プログラムと実際の作業時に使う処理プログラムがある。図１１は、オフラインの処理プログラムの内容をフローで示す。ボックスＡ１は、必要な前処理でありシステムの環境を整えるための処理でその時々の装置の環境によって変わるものであり、ここでは記述しない。ボックスＢ１は計測点の設定に必要な処理であり詳細を図１２に示す。ボックスＣ１は後処理でボックスＡ１と同様の理由でここでは省略する。図１２で、ボックスＡ１−１０は最初の計測点を決定するのに必要な情報である。たとえば、三次元空間の（ｘ、ｙ、ｚ）座標等である。極座標で与える場合もある。入力したデータをＡ１−２０で記憶装置のテーブル等に書き込む。計測点の全データを入力するまでこの作業を続ける（ボックスＡ１−３０からＡ１−４０）。図１３にオンライン時の処理内容を示す。まず、最初の計測点座標を記憶装置９３より読み取る（ボックスＡ２）。計測点へマイク６を移動するための制御情報を作成し外部インターフェース８９を介してモータ制御機構８０ａ、８０ｂに転送し、モータ４２及びモータ４３の制御を行う（ボックスＢ２）。情報の送信後に必要なときには計測時に本装置のモータ４２、４３の発する騒音が計測の邪魔になる場合があるのでそのようなときには、邪魔になる部分の電源を一時的に遮断する処理を行う（ボックスＣ２）。次にマイク６から騒音を取り込み当該点の騒音を計測させる（ボックスＤ２）。次の計測点がある場合には、同上の処理を継続する（ボックスＥ２〜ボックスＧ２）。計測点がないときには、必要に応じて計測結果を表示し又はデータ転送を行う（ボックスＨ２）。
【０１４０】  以下、半径ｒ０の半球面上の２点間のマイク移動の制御手順を以下に記述する。移動前のマイクの位置を（ｒ０、θ１、φ１）とし、移動後のマイクの位置を（ｒ０、θ２、φ２）とする。マイクを移動させるときの制御については以下の手順をとるとよい。
【０１４５】  ２点間の角度差の計算
Δθ１２＝θ２−θ１
Δφ１２＝φ２−φ１
【０１５０】  モータの制御量の算出
モータ４２の制御量ε１＝Ｋ１＊Δφ１２
モータ４３の制御量ε１＝Ｋ２＊Δθ１２
但し、Ｋ１は、モータへのパルス数と角度φの変化量の比率
Ｋ２は、モータへのパルス数と角度θの変化量の比率
とする。
【０１５５】  上記制御量ε１、ε２をモータ制御機構８０ａ、８０ｂに送出することによりマイクの２点間の移動は可能となる。
【発明の実施形態３】
【０１６０】  上記実施形態２にマイク移動機構７０を加えたものが本発明である。回転機構部（１）により第１段アーム（２）および第２段アーム（３）を水平面内で回転させ、キャリヤ移動機構（３７）によりキャリヤ（４）を第２段アーム上の円弧に沿って移動させ、更にマイク移動機構（７０）によりマイクを移動させることにより、マイクを任意半径の半円球面の位置に移動するとともに、マイクの向きを計測中心（７８）に常に向けるような特徴を有する騒音計測装置および方法である。
【０１６５】  詳細を図１４から図１７により説明する。図１４は図１に対応し、本発明の装置を正面から見た外観と全体構成を示す。
【０１７０】  図１５はＸ１０−Ｘ１０矢視図、図１６はＸ１１−Ｘ１１矢視図である。７０はマイク移動機構で、詳細を図１５及び図１６で説明する。実施例１との違いはモータ４４によるマイク支持用のラック軸７１のマイク移動機構７０を追加したところである。この装置では、マイク６のラック軸７１をモータ４４により上下移動可能とした。モータ４４の回転はカップリング７７を介してウォーム軸７５に伝達され、ウォーム軸７５の回転はウオームホイール７４に、更に、ピニオン７２に伝達される。ピニオン７２とラック７１ａとの噛み合い効果によりラック軸７１は、モータ４４の回転により上下に移動する。図１７に示すように制御機構７９にモータ４４の制御機能を追加することによりマイクの位置を三次元に制御できるようになる。
【０１７５】  以下、任意の２点間でマイクを移動させる制御手順を以下に記述する。
移動前のマイクの位置を（Ｘ１、Ｙ１、Ｚ１）とし、移動後のマイクの位置を（Ｘ２、Ｙ２、Ｚ２）とする。
【０１８０】移動前の座標系の変換は
ｒ１＝（Ｘ１２＋Ｙ１２＋Ｚ１２）１／２
θ１＝ｃｏｓ−１Ｚ１／ｒ１
φ１＝ｔａｎ−１  Ｙ１／Ｘ１
【０１８５】移動後の座標系の変換は
ｒ２＝（Ｘ２２＋Ｙ２２＋Ｚ２２）１／２
θ２＝ｃｏｓ−１Ｚ２／ｒ２
φ２＝ｔａｎ−１  Ｙ２／Ｘ２
【０１９０】２点間の半径と角度の前後の差の計算
Δｒ１２＝ｒ２−ｒ１
Δθ１２＝θ２−θ１
Δφ１２＝φ２−φ１
【０１９５】モータの制御量を算出する。
モータ４２の制御量ε１＝Ｋ１＊Δφ１２
モータ４３の制御量ε２＝Ｋ２＊Δθ１２
モータ４４の制御量ε３＝Ｋ３＊Δｒ１２
但し、Ｋ１は、モータへのパルス数と角度φの変化量の比率
Ｋ２は、モータへのパルス数と角度θの変化量の比率
Ｋ３は、モータへのパルス数と半径ｒの変化量の比率
とする。
【０２００】  上記制御量ε１、ε２、ε３をモータ制御機構８０ａ，８０ｂ，８０ｃに送出することによりマイクの２点間の移動は可能となる。
【発明の効果】
（１）実施例１
１）  マイクを円弧状に移動させるに必須である第２段アームの計測物体に面するところを楕円にすることにより騒音発生源（被計測物）からの音波は、楕円面の効果により発散され反射音が計測に悪影響を及ぼすことがなくなった。
（２）実施例２
１）  １台のマイクで複数点の計測が可能で、複数マイクを設置する場合に比べて小規模な計測装置となる。
２）  マイクを計測点ごとに位置と向きを調整する場合に比較して計測を短時間に出来る。
３）  マイクの向きを自動的に計測中心に設置できるメリットがある。
４）  同一半径の半円球に分布する計測点に最も効率よく移動できる構成である。
（３）実施例３
実施例２に加えて以下の効果がある。
計測位置データとして三次元のマイクの位置データを与えることによりきめの細かな計測中心とマイクの距離を考慮した計測を容易に行うことができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の装置を側面から見た図と全体構成図で、（ｂ）は、ＹＹ断面矢視図である。
【図２】上方から見た図面（Ｘ１〜Ｘ１矢視図）
【図３】回転駆動部詳細（Ｘ４〜Ｘ４矢視図）
【図４】キャリヤ細（Ｘ２〜Ｘ２矢視図）
【図５】キャリヤ細（Ｘ５〜Ｘ５矢視図）
【図６】キャリヤ細（Ｘ７〜Ｘ７矢視図）
【図７】キャリヤ細（Ｘ６〜Ｘ６矢視図）
【図８】座標調整機構の詳細（Ｘ３部詳細）
【図９】座標調整機構の詳細（Ｘ９〜Ｘ９矢視図）
【図１０】装置の制御機構の一例
【図１１】オフライン処理におけるプログラムのフローの一例
【図１２】オフライン処理におけるプログラムの詳細（ボックスＡ１の詳細）
【図１３】オンライン処理におけるプログラムのフローの一例
【図１４】実施形態２（本発明の装置を側面から見た図と全体構成図）
【図１５】実施形態２（Ｘ１０〜Ｘ１０矢視図）
【図１６】実施形態２（Ｘ１１〜Ｘ１１矢視図）
【図１７】実施形態２（装置の制御機構の一例）
【図１８】本発明の概念図
【符号の説明】
１…回転駆動部、２…第１段アーム部、３…第２段アーム部、４…キャリヤ、５…座標軸調整部、６…マイク、７…固定架、８…入力部減速機構、９…座板、１０…減速機、１１…減速機入力軸、１２…減速機出力軸、１３…取り付けボルト、１５…クロスベアリング、１９…回転板、３７…キャリヤ移動機構、４２…モータ、４３…モータ、４４…モータ、７０…マイク移動機構、７９…制御機構、９６…オフライン処理のフロー、９７…オンライン処理のフロー、５０１…円弧状アームの本発明の特徴ある断面形状。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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