(57)【要約】【課題】簡単な制御で安価に貼り付け制御を行なえる貼付制御装置、貼付制御方法を提供する。【解決手段】ＯＮ／ＯＦＦセンサ２１、２２により保持ローラ２の外周面をポイントで監視し、その保持ローラ２に保持されているウエハＷが監視ポイントに進入するとＯＮ／ＯＦＦセンサ２１、２２からＯＮ信号が出力され、監視ポイントを当該ウエハＷが通過するとＯＮ／ＯＦＦセンサ２１、２２からＯＦＦ信号が出力され、これらの出力が制御装置２３に入力される。制御装置２３では前記センサからの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されているウエハＷの保持ローラ回転軸方向のずれ量（Ｘ軸方向ずれ量）と円弧方向の中心のずれ角（貼付後のＹ軸方向ずれ量）とを補正し、この補正後に前記ウエハＷの貼付動作が行なわれるものとする。【選択図】図２
2006339608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送手段が第１の支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送する動作に同期して、保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記板状部材に当接して当該板状部材を剥離保持し、剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に前記搬送手段が第２の支持部材を搬送する動作に同期して、前記保持ローラがその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記第２の支持部材に貼り付ける装置に適用される貼付制御装置であって、
前記貼付制御装置は、
前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてＯＮ又はＯＦＦの信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサと、
前記ＯＮ／ＯＦＦセンサからの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を補正する補正手段とを具備し、
前記補正後に、前記貼り付け動作を開始すること
を特徴とする貼付制御装置。
【請求項２】
前記第１の支持部材はガラス板であり、
前記第２の支持部材はリングフレームであって、
前記板状部材は半導体ウエハであり、
前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記半導体ウエハに当接することによってその接着力により当該半導体ウエハを保持し、前記ガラス板から剥離し、
当該半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けること
を特徴とする請求項１に記載の貼付制御装置。
【請求項３】
搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記被着体に貼り付ける装置に適用される貼付制御装置であって、
前記貼付制御装置は、
前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてＯＮ又はＯＦＦの信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサと、
前記ＯＮ／ＯＦＦセンサからの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を補正する補正手段とを具備し、
前記補正後に、前記貼り付け動作を開始すること
を特徴とする貼付制御装置。
【請求項４】
前記被着体は、予め接着シートが貼り付けられたリングフレームであり、
前記板状部材は半導体ウエハであって、
前記保持ローラに保持されている前記半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けること
を特徴とする請求項３に記載の貼付制御装置。
【請求項５】
搬送手段が第１の支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送する動作に同期して、保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記板状部材に当接して当該板状部材を剥離保持し、剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に前記搬送手段が第２の支持部材を搬送する動作に同期して、前記保持ローラがその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記第２の支持部材に貼り付ける装置に適用される貼付制御方法であって、
前記貼付制御方法は、
前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてＯＮ又はＯＦＦの信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサを用い、
前記ＯＮ／ＯＦＦセンサからの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を補正し、
前記補正後に、前記貼り付け動作を開始すること
を特徴とする貼付制御方法。
【請求項６】
前記第１の支持部材はガラス板であり、
前記第２の支持部材はリングフレームであって、
前記板状部材は半導体ウエハであり、
前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記半導体ウエハに当接することによってその接着力により前記半導体ウエハを保持し、前記ガラス板から剥離し、
当該半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けること
を特徴とする請求項５に記載の貼付制御方法。
【請求項７】
搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記被着体に貼り付ける装置に適用される貼付制御方法であって、
前記貼付制御方法は、
前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてＯＮ又はＯＦＦの信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサを用い、
前記ＯＮ／ＯＦＦセンサからの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を補正し、
前記補正後に、前記貼り付け動作を開始すること
を特徴とする貼付制御方法。
【請求項８】
前記被着体は、予め接着シートが貼り付けられたリングフレームであり、
前記板状部材は半導体ウエハであって、
前記保持ローラに保持されている前記半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けること
を特徴とする請求項７に記載の貼付制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の板状部材を貼り付ける装置に適用される貼付制御装置、貼付制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の貼付制御装置としては、例えば、特許文献１の構造のものが知られている。同文献１の貼付制御装置は、貼付テーブル（６）上の半導体基板（Ｗ）に粘着フイルム（Ｔｆ）を貼り付ける前に、ＣＣＤカメラ（４３）で粘着フイルム（Ｔｆ）のＸ方向位置ずれを検出し、またＣＣＤカメラ（４４）で粘着フイルム（Ｔｆ）の角度ずれを検出し、その検出結果に基づいて半導体基板（Ｗ）の位置を修正するように制御している。尚、上記カッコ内の符号は特許文献１で用いられている符号である。以下も同様である。
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の貼付制御装置にあっては、ＣＣＤカメラ（４３、４４）を用いる方式を採用しているため、装置全体が高価なものとなる。また、ＣＣＤカメラ（４３、４４）で粘着フイルム（Ｔｆ）のＸ方向位置ずれ及び角度ずれを検出する構成を採っているので、そのずれの検出にあたり、ＣＣＤカメラ（４３、４４）で撮像した画像の解析処理等も行なわなければならず、位置修正の制御が煩雑で複雑なものとなる。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１９５５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、簡単な制御で安価に貼り付け制御を行なえる貼付制御装置、貼付制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の貼付制御装置は、搬送手段が第１の支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送する動作に同期して、保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記板状部材に当接して当該板状部材を剥離保持し、剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に前記搬送手段が第２の支持部材を搬送する動作に同期して、前記保持ローラがその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記第２の支持部材に貼り付ける装置に適用される貼付制御装置であって、前記貼付制御装置は、前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてＯＮ又はＯＦＦの信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサと、前記ＯＮ／ＯＦＦセンサからの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を補正する補正手段とを具備し、前記補正後に、前記貼り付け動作を開始することを特徴とするものである。
【０００７】
上記本発明の貼付制御装置において、前記第１の支持部材はガラス板であり、前記第２の支持部材はリングフレームであって、前記板状部材は半導体ウエハであり、前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記半導体ウエハに当接することによってその接着力により当該半導体ウエハを保持し、前記ガラス板から剥離し、当該半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けるものでもよい。
【０００８】
本発明の貼付制御装置は、搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記被着体に貼り付ける装置に適用される貼付制御装置であって、前記貼付制御装置は、前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてＯＮ又はＯＦＦの信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサと、前記ＯＮ／ＯＦＦセンサからの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を補正する補正手段とを具備し、前記補正後に、前記貼り付け動作を開始することを特徴とするものである。
【０００９】
前記本発明の貼付制御装置において、前記被着体は、予め接着シートが貼り付けられたリングフレームであり、前記板状部材は半導体ウエハであって、前記保持ローラに保持されている前記半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けるようにしてもよい。
【００１０】
本発明の貼付制御方法は、搬送手段が第１の支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送する動作に同期して、保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記板状部材に当接して当該板状部材を剥離保持し、剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に前記搬送手段が第２の支持部材を搬送する動作に同期して、前記保持ローラがその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記第２の支持部材に貼り付ける装置に適用される貼付制御方法であって、前記貼付制御方法は、前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてＯＮ又はＯＦＦの信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサを用い、前記ＯＮ／ＯＦＦセンサからの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向の中心のずれ角を補正し、前記補正後に、前記貼り付け動作を開始することを特徴とする。
【００１１】
上記本発明の貼付制御方法において、前記第１の支持部材はガラス板であり、前記第２の支持部材はリングフレームであって、前記板状部材は半導体ウエハであり、前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記半導体ウエハに当接することによってその接着力により前記半導体ウエハを保持し、前記ガラス板から剥離し、当該半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けるものとしてよい。
【００１２】
本発明の貼付制御方法は、搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記被着体に貼り付ける装置に適用される貼付制御方法であって、前記貼付制御方法は、前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてＯＮ又はＯＦＦの信号を出力するＯＮ／ＯＦＦセンサを用い、前記ＯＮ／ＯＦＦセンサからの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向の中心のずれ角を補正し、前記補正後に、前記貼り付け動作を開始することを特徴とするものである。
【００１３】
上記本発明の貼付制御方法において、前記被着体は、予め接着シートが貼り付けられたリングフレームであり、前記板状部材は半導体ウエハであって、前記保持ローラに保持されている前記半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けるものとしてよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にあっては、ＯＮ／ＯＦＦセンサからの出力信号に基づいて、保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向の中心のずれ角を補正する構成を採用したので、ＣＣＤカメラを用いる方式のように画像の解析処理等も必要とせず、簡単な制御で安価に貼り付け制御を行なえる画像処理装置を提供しうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明を適用した転写装置の平面図、図２は図１の転写装置に設けられている保持ローラ付近の右側面図である。
【００１７】
図１の転写装置１は、図２のようにガラス板Ｇ（第１の支持部材）に貼り付けられた半導体ウエハ（板状部材）Ｗ（以後、単に「ウエハＷ」と称す）を剥離してリングフレーム（第２の支持部材）Ｆに貼り付ける転写装置である。
【００１８】
転写装置１は保持ローラとしてのサクションローラ２を備えている。サクションローラ２はその軸心がＸ軸と平行となるように回転可能に支持されている。また、サクションローラ２は、そのローラ外周面に微小な多数の吸引口（図示省略）が開口する構造になっていて、その吸引力でダイシングテープＴ２（接着シート）を吸引保持する。その際、ダイシングテープＴ２の非接着剤面がサクションローラ２外周面に貼り付き、ダイシングテープＴ２の接着剤面Ｔ２−１は表に露出した状態でウエハＷを保持する構成となっている。
【００１９】
また、前記サクションローラ２は、プーリ５とベルト６とを介してサクションローラ駆動用サーボモータ７により回転駆動される。このようなサクションローラ駆動系５、６、７およびサクションローラ２は、図２に示されるようにフレームＦ１を介して昇降手段Ｘ１によって、ダイシングテープＴ２を吸引保持する位置と、ウエハＷを剥離又は貼り付ける位置とでＺ軸方向に上下動可能に構成されている。尚、前記サクションローラ２は、具体的には図９に示したように、サクションローラ２外周面全体のうち、ウエハＷの外径より少し小さな面積エリア２Ａに多数の吸引口を有し、その面積エリア２ＡでダイシングテープＴ２を吸引吸着する構造になっている。
【００２０】
サクションローラ２の下方には搬送テーブル（搬送手段）８が設けられている。この搬送テーブル８は、Ｙ軸テーブル８０１とＸ軸テーブル８０２の２段重ね構造であって、かつ、Ｙ軸方向すなわちサクションローラ２の外周接線方向への移動と、Ｘ軸方向すなわちサクションローラ２の外周接線方向と直交する方向への移動が可能に構成されている。この搬送テーブル８は、Ｙ軸方向への移動により、サクションローラ２前方のスタンバイ位置Ｓ１とサクションローラ２の下面を通過してサクションローラ２後方の作業エリアＳ２間とで進退可能となっている。尚、Ｙ軸方向への搬送テーブル８の移動はＹ軸レール８０３とＹ軸スライダ８０４並びに図示しないＹ軸方向単軸ロボットを介して行なわれ、またＸ軸方向への搬送テーブル８の移動はＸ軸レール８０５とＸ軸スライダ８０６並びにＸ軸方向単軸ロボット８０７を介して行なわれる。
【００２１】
搬送テーブル８のスタンバイ位置Ｓ１前方には多関節ロボット９が設けられている。多関節ロボット９は、その最先端の関節より先のアーム部分が、ウエハ吸着用アーム９０１とリングフレーム吸着用アーム９０２によって構成されており、この多関節ロボット９の作業内容は以下の通りである。
【００２２】
（１）ウエハ吸着用アーム９０１により、Ｚ軸方向へ移動可能な昇降テーブル１０上のウエハカセット１１内から図示しない紫外線硬化型の両面粘着テープを介して、ガラス板Ｇに貼り付けられたウエハＷ（以後、「ガラス板Ｇ付きウエハＷ」と称す）を取り出してアライメント装置１２のアライメントテーブル１２０上にセットする。
（２）ウエハ吸着用アーム９０１により、アライメント完了後のガラス板Ｇ付きウエハＷをアライメント装置１２から取り出して紫外線照射装置１３の搬送テーブル１３０上にセットする。
（３）ウエハ吸着用アーム９０１により、紫外線照射後のガラス板Ｇ付きウエハＷを紫外線照射装置１３から取り出して搬送テーブル８上にセットする。
（４）リングフレーム吸着用アーム９０２により、リングフレームＦにマウント済みウエハＷを昇降テーブル１４上のウエハカセット１５内に移送し装填する。
【００２３】
前記アライメント装置１２では、アライメントテーブル１２０上にガラス板Ｇ付きウエハＷがセットされると、ウエハＷのオリエンテーションフラットまたはＶノッチ等をカメラ１２１で検出し、ガラス板Ｇ付きウエハＷを適正な姿勢に修正し、その中心位置を検出する。
【００２４】
前記紫外線照射装置１３においては、同装置内の搬送テーブル１３０上にガラス板Ｇ付きウエハＷがセットされ、紫外線ランプ１３１の下方を通過することにより、ガラス板Ｇを透過してガラス板ＧとウエハＷとの間の前記両面粘着テープに紫外線が照射され、両面粘着テープの粘着力が低下される。
【００２５】
また、転写装置１にはカッタ刃１６が設けられている。このカッタ刃１６は、ガラス板ＧからウエハＷを剥離する際の剥離の切っ掛けを形成する手段として設けたものであり、移動する搬送テーブル８と干渉しないように上方から吊り下げられる形式で上下動可能に設置されている。
【００２６】
前記サクションローラ２の後方斜め上部にはダイシングテープ繰出し装置１７が設けられている。このダイシングテープ繰出し装置１７は、ドライブローラ１７０の回転駆動により、ダイシングテープ原反ロールＲからピールプレート１７１の方向に向かって掛け回わされたダイシングテープ原反Ｔをピールプレート方向へ走行させ、ピールプレート１７１での鋭角な折り曲げにより、ダイシングテープＴ２を剥離シートＴ１から剥離してサクションローラ２へ供給する構成になっている。尚、ダイシングテープ剥離済みの剥離シートＴ１はロール状に巻き取られて回収される。また、前記ダイシングテープＴ２は、ウエハＷより大径に形成されて、剥離シートＴ１上に接着剤層（図示省略）を介して仮着されているものである。
【００２７】
サクションローラ２後方の作業エリアＳ２では、搬送テーブル８へのリングフレームＦのセット作業と、搬送テーブル８からのガラス板Ｇの取り除き作業とが同時並列的に行なわれる。これらの作業を行なう手段として、作業エリアＳ２にはリングフレーム吸着パッド１８０とガラス板吸着パッド１８１を有する搬送ロボット１８が設けられている。搬送ロボット１８は、Ｘ軸方向へ移動可能なＸ軸スライダ１８２を有する単軸ロボットからなり、Ｘ軸スライダ１８２の左右両側に上下用シリンダ１８３、１８４を具備する構造になっている。図１中左側の上下用シリンダ１８３はリングフレーム吸着パッド１８０をＺ軸方向に上下動させる手段であり、また、同図中右側の上下用シリンダ１８４はガラス板吸着パッド１８１をＺ軸方向に上下動させる手段である。以上の構造からなる搬送ロボット１８の作業内容は以下の通りである。
【００２８】
（１）  リングフレーム吸着パッド１８０により、リングフレームストッカ１９からリングフレームＦを取り出して搬送テーブル８上にセットする。
（２）  ガラス板吸着パッド１８１により、搬送テーブル８上にあるウエハ剥離済みのガラス板Ｇをガラスストッカテーブル２０へ移動する。
【００２９】
サクションローラ２の外周面と所定の間隔を隔てて対向する位置には、一対のＯＮ／ＯＦＦセンサ２１、２２が設けられている。これら一対のＯＮ／ＯＦＦセンサ２１、２２は、図３に示したように、搬送テーブル８上のウエハＷの中心線Ｃ１を基準にウエハＷの直径より短い配置間隔Ｄで、左右等間隔に並列に配置されている。また、この両ＯＮ／ＯＦＦセンサ２１、２２は、作業エリアＳ２側からサクションローラ２外周面をポイントで監視し（図２参照）、サクションローラ２に保持されているウエハＷの監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてＯＮ又はＯＦＦの信号を出力する。具体的には、サクションローラ２に保持されているウエハＷが監視ポイントに進入するとＯＮ信号を出力し、監視ポイントを当該ウエハＷが通過するとＯＦＦ信号を出力する。また、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２１、２２からの出力信号（ＯＮ信号、ＯＦＦ信号）は、パーソナルコンピュータ等からなる図２に示す制御装置２３に入力される。
【００３０】
制御装置２３は、ウエハの剥離から貼付までの一連の動作を制御する装置（剥離および貼付制御装置）であって、サクションローラ駆動用サーボモータ７に対し回転指令信号を出力したり、搬送テーブル８に対し移動指令信号を出力したりする等、本転写装置の各種構成機器に指令信号を出力する機能を有するほか、図１２のようにパルスカウント機能、弦長演算機能、ずれ量演算機能、補正機能（補正手段）を有している。
【００３１】
前記制御装置２３のパルスカウント機能は、一対のセンサ２１、２２ごとに、各センサの出力信号がＯＮ信号からＯＦＦ信号になるまでのサクションローラ駆動用サーボモータ７の回転パルスをカウントする機能である。
【００３２】
前記制御装置２３の弦長演算機能は、前記回転パルスのカウント値分に相当するサクションローラ２の回転角度を求め、その回転角度を基に、図３に示すようにサクションローラ２に保持されているウエハＷの弦の長さａ、ｂを算出する機能である。尚、図３中のａは図中左側のセンサ２１からの出力信号に基づき算出される弦の長さ、図３中のｂは図中右側のセンサ２２からの出力信号に基づき算出される弦の長さである。
【００３３】
前記制御装置２３のずれ量演算機能は、下記の式（１）、（２）に基づき図３中のＡとＢの長さを算出し、式（３）によって前記Ａ、Ｂの差の半分をウエハＷの中心線Ｃ２のＸ軸方向ずれ量Ｃと特定して記憶する機能である。尚、下記の式（１）、（２）のｒはウエハＷの半径であり、ウエハＷの半径が変わればそれに応じて式内のｒの値も適宜変更される。
【００３４】
Ａ＝（ｒ２−（ａ／２）２）１／２                  …（１）
Ｂ＝（ｒ２−（ｂ／２）２）１／２                  …（２）
Ｃ＝（Ａ−Ｂ）／２                            …（３）
また、ウエハＷのＸ軸方向ずれ量Ｃは、ＯＮ／ＯＦＦセンサ２１、２２の配置間隔Ｄを用いて下記の式（４）でも算出することもできる。
Ｃ＝Ｄ−Ａ  又は  Ｃ＝Ｄ−Ｂ                  …（４）
【００３５】
前記制御装置２３のずれ量演算機能は、更に図４に示すようにａ／２またはｂ／２という計算式より、ウエハＷの中心位置が、サクションローラ２の円弧方向に、貼付中心からどれだけずれているか（以下「中心ずれ角θ」という）を特定して記憶するという機能も含んでいる。ここで、貼付中心とは、剥離したウエハＷをリングフレームＦへ貼り付ける際の基準位置であり、当該貼付中心が前記リングフレームＦの中心と合致するように貼り付ける所定の位置を意味する。本実施形態では、Ｙ軸と平行な位置を貼付中心と設定しているため、ａ／２またはｂ／２で算出されたウエハＷの中心がＹ軸からサクションローラ２の円弧方向にどれだけずれているかが中心ずれの角θとなる。中心ずれ角θはサクションローラ駆動用サーボモータ７の回転パルス数に換算して記憶されるものとする。
【００３６】
前記制御装置２３の補正機能は、上記Ｘ軸方向ずれ量を補正する機能と、前記中心ずれ角を補正する機能とに大別される。これらの補正機能は以下のようなものである。
【００３７】
Ｘ軸方向ずれ量の補正機能は、ガラス板ＧからのウエハＷの剥離時にＸ軸方向ずれが生じた場合、そのＸ軸方向ずれ量をなくして転写するため、Ｘ軸方向ずれ量Ｃを算出してその分だけ移動するようにＸ軸方向単軸ロボット８０７に指令し、搬送テーブル８を移動させ、補正して貼り付けるものである。Ｘ軸方向にずれが生じたままダイシングテープＴ２を介してリングフレームＦにウエハＷが貼り付けられてしまうと、後で行なわれるウエハＷのダイシング作業に支障が生じるが、本実施形態ではＸ軸方向ずれ量を補正するため、かかる支障は生じない。
【００３８】
中心ずれ角の補正機能は、上記同様に、ガラス板ＧからのウエハＷの剥離時にサクションローラ２の所定位置（本実施形態では、Ｙ軸と平行な位置）とウエハＷとの中心にずれが生じた場合、そのずれをなくして転写するため、中心ずれ角θを算出して補正するものである。つまり、リングフレームＦへの貼付後のウエハＷのＹ軸方向へのずれ量を補正する。この補正は、中心ずれ角θを考慮に入れて、リングフレームＦへの貼付開始位置を前後させるものである。また、サクションローラ２が貼付動作に入る前に、ウエハＷの中心をＹ軸と平行となるように中心ずれ角θを進角または退角させてからリングフレームＦに貼り付けるようにしてもよい。中心ずれ角θを無視してウエハＷの貼り付けが行なわれると、リングフレームＦとウエハＷの中心位置にＹ軸方向のずれが生じ、後で行なわれるウエハＷのダイシング作業に支障が生じるが、本実施形態ではリングフレームＦに貼付後Ｙ軸方向への補正を行なうため、かかる支障は生じない。
【００３９】
次に、前記の如く構成された図１の転写装置の動作について、図１乃至図８を用いて説明する。
【００４０】
＜ガラス板付きウエハのアライメント＞
図１の転写装置１においては、最初に、図１に示すウエハカセット１１からガラス板Ｇ付きウエハＷが取り出されアライメント装置１２内に移送され、同装置１２で当該ウエハＷのアライメントが行なわれる。
【００４１】
＜紫外線照射＞
前記アライメントが終了すると、ガラス板Ｇ付きウエハＷが紫外線照射装置１３内に移送され、同装置１３内でガラス板ＧとウエハＷとの間の紫外線硬化型の両面粘着テープに紫外線が照射される。これにより当該両面粘着テープの粘着力が低下し、ウエハＷが簡単に剥離可能な状態になる。
【００４２】
＜剥離の切っ掛け形成＞
また、ウエハＷの剥離準備の一環として、剥離の切っ掛けを形成する動作も行なわれる。すなわち、紫外線照射が完了すると、ガラス板Ｇ付きウエハＷはスタンバイ位置Ｓ１にある搬送テーブル８上に吸着セットされる。この状態でカッタ刃１６が図示しない移動機構によってガラス板Ｇ付きウエハＷの外周面側から、ウエハＷと紫外線硬化型の両面粘着テープとの間に刃先が入り込み、剥離の切っ掛けとなる切り込みが形成される（詳しくは特願２００４−２３７３３２号参照）。
【００４３】
＜ダイシングテープのセット＞
さらに、ウエハＷの剥離準備の一環として、サクションローラ２にダイシングテープＴ２をセットする動作も行なわれる。すなわち、サクションローラ２が図２のようにダイシングテープＴ２を吸引保持する位置で同図矢印イの方向に所定の回転角回転し、この回転動作に同期してダイシングテープ繰出し装置１７からサクションローラ２の外周面にダイシングテープＴ２が一枚繰出される。このとき、サクションローラの吸引力でダイシングテープＴ２がその外周面に吸引されて保持される。尚、サクションローラ２外周面に当接するのはダイシングテープＴ２の非接着面であり、ダイシングテープＴ２の接着剤面Ｔ２−１は表に露出することとなる。
【００４４】
＜ウエハの剥離＞
上記の剥離準備が完了すると、ガラス板Ｇ付きウエハＷからウエハＷを剥離する動作が行なわれる。すなわち、図５のようにスタンバイ位置Ｓ１にある搬送テーブル８がガラス板Ｇ付きウエハＷをサクションローラ２の方向に搬送する。搬送テーブル８が所定位置に達したことを図示しないセンサが検知して、昇降手段Ｘ１によってサクションローラ２が下降し、搬送テーブル８の搬送と同期してサクションローラ２が図５中矢印イで示す方向に回転し、ダイシングテープＴ２の接着剤面Ｔ２−１でウエハＷを徐々に剥離し保持する。つまり、ここではダイシングテープＴ２の接着剤面Ｔ２−１がウエハＷに当接することによってその接着力により当該ウエハＷを保持する。剥離が完了し、所定角度回転した位置でサクションローラ２の回転は停止し、昇降手段Ｘ１によってサクションローラ２は上昇して待機する。このときの状態を示したものが図６である。
【００４５】
＜リングフレームのセット＞
以上のようにしてウエハＷの剥離が完了すると、ウエハＷをリングフレームＦに貼り付ける準備に入る。すなわち、図７に示したように、搬送テーブル８が作業エリアＳ２まで更に前進し、搬送ロボット１８が搬送テーブル８上からのガラス板Ｇの除去と、リングフレームＦのセットとを同時に行なう。
【００４６】
＜ウエハのアライメント＞
また、ウエハＷの貼付準備の一環として、サクションローラ２に保持されているウエハＷについてアライメントが行なわれる。このアライメントは前述の通り、ウエハＷのＸ軸方向ずれ量と、ウエハＷの中心ずれ角θを特定するものである。
【００４７】
＜ウエハの貼付＞
上記のアライメントが完了すると、その後、ダイシングテープＴ２を介してウエハＷをリングフレームＦに貼り付ける動作が行なわれる。すなわち、図８に示したように作業エリアＳ２にある搬送テーブル８がリングフレームＦを前記剥離時とは逆の方向に搬送する。この搬送の動作に同期してサクションローラ２が前記剥離時とは逆の方向（図中矢印ハで示す方向）に回転する。これらの動作により、サクションローラ２に保持されているウエハＷがダイシングテープＴ２を介してリングフレームＦに貼り付けられていく。尚、この貼り付けに際して、前記ウエハのアライメントで特定されたウエハＷのＸ軸方向のずれ量と、ウエハＷの中心ずれ角θの補正が行われる。すなわち、Ｘ軸方向単軸ロボット８０７によってＸ軸方向のズレ量が補正され、昇降手段Ｘ１の下降による貼付け開始位置を前後させることによってＹ軸方向のズレ量が補正される。これにより、リングフレームＦ内に正確にウエハＷが貼り付けられることとなる。この貼付の動作はサクションローラ２の回転角度に応じて進行し、リングフレームＦにウエハＷが貼り付けマウントされ、所定角進んだ位置で、サクションローラ２の回転は停止し、昇降手段Ｘ１が上昇し、初期位置に復帰する。その後、次の転写のため前述したダイシングテープのセット動作が行なわれる。
【００４８】
リングフレームＦにマウントされたウエハＷはリングフレームＦとともにウエハカセット１５内に収容される。以上で一枚のウエハＷについての剥離から貼付という一連の転写動作が完結する。
【００４９】
図１０は本発明を適用した他の転写装置の説明図である。同図の転写装置１は、剥離シート（第１の支持部材）Ｋに貼り付けられた粘着ラベル（板状部材）Ｌを剥離してラベル貼付対象物（第２の支持部材）Ｍに貼り付ける装置である。この装置の基本的な構成は図１の転写装置と同様なため、それと同一部材には同一の符号を付し、その詳細説明は省略する。図１０の転写装置が図１の転写装置と異なるところは以下の点である。
【００５０】
すなわち、図１０の転写装置においては、サクションローラ２外周面そのもので剥離シートＫ付き粘着ラベルＬから粘着ラベルＬを剥離し、保持するようになっている。尚、剥離シートＫ付き粘着ラベルＬは、その粘着剤層（図示省略）を介して剥離シートＫに仮着されたものである。
【００５１】
図１０の転写装置において、上記のような剥離シートＫ付き粘着ラベルＬから粘着ラベルＬを剥離する動作や、その剥離した粘着ラベルＬをラベル貼付対象物Ｍに貼り付ける動作については、図１の転写装置と基本的に同様であるが、これらの動作を以下に簡単に説明する。
【００５２】
剥離の動作は、搬送テーブル８が剥離シートＫ付き粘着ラベルＬを搬送し、所定の位置でサクションローラが下降し、搬送テーブル８の搬送と同期してサクションローラ２がその軸心回りに回動し、所定角度回転した位置で停止することにより、ラベルＬを剥離し保持するものである。
【００５３】
貼付の動作は、剥離時とは逆方向に前記搬送テーブル８がラベル貼付対象物Ｍを搬送し、所定の位置でサクションローラが下降し、搬送テーブル８の搬送と同期してサクションローラ２がその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、そのサクションローラ２に保持されている粘着ラベルＬがラベル貼付対象物Ｍに貼り付けられるものである。
【００５４】
図１１は図１０の転写装置で採用したサクションローラの説明図であり、このサクションローラ２は、サクションローラ２外周面全体のうち、粘着ラベルＬの外形より少し小さな面積エリア２Ａに多数の吸引口が開口し、その面積エリア２Ａで粘着ラベルＬを吸引吸着する構造になっている。また、図１１のサクションローラ２においては、前記面積エリア２Ａ内の小面積部分２Ａ−１を他の部分とは別個独立の吸引系とすることにより、粘着ラベルＬの剥がし始めに十分な吸引力が当該粘着ラベルＬに作用しうる構成を採っている。
【００５５】
図１の転写装置では、ダイシングテープＴ２を貼り付けていないリングフレームＦが搬送テーブル８により搬送される構成を採用したが、これに代えて、図１３のように予めダイシングテープＴ２が貼り付けられているリングフレームＦを搬送テーブル８が搬送する構成も採用できる。この場合、搬送ロボット１８がリングフレームＦを搬送テーブル８にセットする前段で、ダイシングテープ貼付装置によってそのリングフレームＦにダイシングテープＴ２を貼り付け、接着剤面Ｔ２−１が上面となる状態で、リングフレームＦが搬送テーブル８上にセットされるようにし、また、サクションローラ２によるウエハＷの保持は、図１０に示す粘着ラベルＬと同様に、図１３のようにサクションローラ２外周面そのもので直接ウエハＷを保持するように構成すればよい。そして、そのように保持されたウエハＷは、図１の転写装置と類似の動作、すなわち搬送テーブル８がダイシングテープＴ２付きリングフレームＦを搬送する動作に同期してサクションローラ２がその軸心回りに回動することにより、保持されているウエハＷが、ダイシングテープＴ２を介してリングフレームＦに貼り付けられる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明を適用した転写装置の平面図。
【図２】図１の転写装置に設けられているサクションローラ付近の右側面図。
【図３】図１の転写装置におけるＸ軸方向ずれ量の補正の説明図。
【図４】図１の転写装置における中心ずれ角の補正の説明図。
【図５】図１の転写装置の動作説明図。
【図６】図１の転写装置の動作説明図。
【図７】図１の転写装置の動作説明図。
【図８】図１の転写装置の動作説明図。
【図９】図１の転写装置で採用したサクションローラの説明図。
【図１０】本発明を適用した他の転写装置の説明図。
【図１１】図１０の転写装置で採用したサクションローラの説明図。
【図１２】制御装置のブロック図。
【図１３】本発明を適用した他の転写装置の説明図。
【符号の説明】
【００５７】
１  転写装置
２  サクションローラ（保持ローラ）
８  搬送テーブル（搬送手段）
２１、２２  ＯＮ／ＯＦＦセンサ
２３  制御装置
Ｆ  リングフレーム（第２の支持部材）
Ｇ  ガラス板（第１の支持部材）
Ｋ  剥離シート（第１の支持部材）
Ｌ  粘着ラベル（板状部材）
Ｍ  ラベル貼付対象物（第２の支持部材）
Ｔ２  ダイシングテープ（接着シート）
Ｔ２−１  ダイシングテープの接着剤面
Ｗ  ウエハ（板状部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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