(57)【要約】【課題】  バインダーポリマー、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を少なくとも含有し、その中のバインダーポリマーの含有比率を高くした場合であっても、優れた流動性を有する感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】  （Ａ）少なくとも一種のバインダーポリマーと、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤とを少なくとも含有し、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００重量部に対して（Ａ）成分を７０重量部以上含有し、（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーが、９０℃以下のガラス転移温度を有し且つ２００００〜２０００００の重量平均分子量を有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）少なくとも一種のバインダーポリマーと、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、を少なくとも含有する感光性樹脂組成物であって、
前記（Ａ）成分と前記（Ｂ）成分との総量１００重量部に対して前記（Ａ）成分を７０重量部以上含有し、
前記（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーが、９０℃以下の下記式（１）；
Ｔｇ＝１／〔Σ（Ｗi／Ｔｇi）〕−２７３  …（１）
（式中、ｉは（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーの原料に含有される重合性単量体混合物中の各重合性単量体成分を示す添え字である。また、Ｔｇは（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーのガラス転移温度（単位：℃）を、Ｗiは重合性単量体ｉの重量分率を、及びＴｇiは重合性単量体ｉの単独重合体のガラス転移温度（単位：Ｋ）をそれぞれ示す。）
で定義されるＴｇを有し且つ２００００〜２０００００の重量平均分子量を有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
（Ｄ）少なくとも一種のバインダーポリマーと、（Ｅ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記（Ｄ）成分と前記（Ｅ）成分との総量１００重量部に対して前記（Ｄ）成分を７０重量部以上含有し、
前記（Ｅ）成分が、常温で液体の状態であり且つ２５℃において１００ｍＰａ・ｓ以下の粘度を有する化合物を（Ｅ）成分全量に対して２０重量％以上含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記（Ｂ）成分が、２５℃において１００ｍＰａ・ｓ以下の粘度を有し且つ常温で液体の状態である化合物を（Ｂ）成分全量に対して２０重量％以上含有することを特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
少なくとも、支持体と、該支持体上に形成された請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備えることを特徴とする積層体。
【請求項５】
支持体上に、請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を塗布し乾燥することによって積層体を得ることを特徴とする積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、これを用いた積層体及び積層体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、感光性樹脂組成物として、バインダーポリマー、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を少なくとも含有する感光性樹脂組成物が広く知られている。この種の感光性樹脂組成物は、例えばプリント配線板の感光性フィルム等に用いるために、その多くがフィルム状に加工されて用いられている。より具体的には、該感光性樹脂組成物は、例えば、プリント配線板等の基板上にラミネートされ、光を照射されて硬化することによりレジストを形成する。このレジストは、その膜厚が厚すぎるとプリント配線板を備える電子機器等の小型化を達成し難くなる等の理由により、ある程度薄い膜厚を有することが要求されているので、感光性樹脂組成物を薄くラミネートする必要がある。さらには、増加傾向にあるプリント配線板上の回路の高密度化等に応えるためは、このフィルムと配線板との密着性を高める必要もある。したがって、かかる要求を満足させるためには、その感光性樹脂組成物に適度な流動性が備えられる必要がある。
【０００３】
一方、近年においては、特に、安価で入手容易な感光性樹脂組成物が要求されている。この要求に答えるための方法の一つとして、感光性樹脂組成物の製造コストを削減することが考えられる。該感光性樹脂組成物に含有される上記成分のうち、バインダーポリマーは、その他の成分と比較して極めて安価に入手できる。そこで、このバインダーポリマーの感光性樹脂組成物中の含有比率を多くすれば、感光性樹脂組成物の製造コストを削減することができる。
【０００４】
例えば特許文献１では、光重合可能な不飽和化合物、カルボキシル基を有するバインダーポリマー及び光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物中のバインダーポリマーの配合量が、光重合可能な不飽和化合物及びカルボキシル基を有するバインダーポリマーの総重量１００重量部に対して５〜９３重量部である感光性樹脂組成物が提案されている。
【０００５】
また特許文献２では、着色剤、バインダーポリマー、光重合性化合物および光重合開始剤を含有し、バインダーポリマーと光重合性化合物との合計量１００質量部あたりのバインダーポリマーの含有量が５５質量部以上であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物が提案されている。
【特許文献１】特開２００２−３１８８８号公報
【特許文献２】特開２００２−３６５７９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、本発明者が、特許文献１，２に記載されている感光性樹脂組成物について詳細に検討を行ったところ、いずれのものも優れた流動性を有しないことが判明した。すなわち、特許文献１，２に記載されている感光性樹脂組成物は、７０重量部以上の高い含有量のバインダーポリマーを含む場合では、流動性が低下するため、結果として、電子機器等の小型化及びプリント配線板上の回路の高密度化などの要求に対応することができない。
【０００７】
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、バインダーポリマー、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を少なくとも含有し、その中のバインダーポリマーの含有比率を高くした場合であっても、優れた流動性を有する感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、バインダーポリマーの特性を調整することによって、若しくは分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物の特性を調整することによって、感光性樹脂組成物の流動性を高くすることができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）少なくとも一種のバインダーポリマーと、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤とを少なくとも含有する感光性樹脂組成物であって、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００重量部に対して（Ａ）成分を７０重量部以上含有し、（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーが、９０℃以下の下記式（１）；
Ｔｇ＝１／〔Σ（Ｗi／Ｔｇi）〕−２７３  …（１）
で定義されるＴｇを有し且つ２００００〜２０００００の重量平均分子量を有することを特徴とする。なお、式中、ｉは（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーの原料に含有される重合性単量体混合物中の各重合性単量体成分を示す添え字である。また、Ｔｇは（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーのガラス転移温度（単位：℃）を、Ｗiは重合性単量体ｉの重量分率を、及びＴｇiは重合性単量体ｉの単独重合体のガラス転移温度（単位：Ｋ）をそれぞれ示す。
【００１０】
この感光性樹脂組成物は、バインダーポリマーを多く含有するにも関わらず、優れた流動性を備えることができる。その要因は、現在のところ詳細には明らかにされていないが、本発明者は以下のように考えている。すなわち、従来の感光性樹脂組成物に含有されるバインダーポリマーは、それ自体が優れた流動性を有していなかったために、感光性樹脂組成物中に多く含まれると、その感光性樹脂組成物の流動性をも低下させていたと考えられる。一方、本発明の感光性樹脂組成物中の上述したようなガラス転移温度Ｔｇを有するバインダーポリマーは、他の成分のいわば潤滑剤の役割を果たすため、たとえ感光性樹脂組成物中に多く含有されても、該感光性樹脂組成物の流動性を低下させないと考えられる。しかし、バインダーポリマーの分子量が大きすぎると感光性樹脂組成物に含まれるその他の成分を捕捉してしまい、その感光性樹脂組成物全体の流動性を低下させてしまうと考えられる。そこで、上述したようなガラス転移温度及び分子量を有するバインダーポリマーであれば、たとえ感光性樹脂組成物中に多く含まれても、その流動性を低下させないと考えられる。なお、バインダポリマーの分子量が小さすぎると、絶縁性、耐現像液性等を抑制してしまうため、そのようなバインダポリマーを含有する感光性樹脂組成物は、そもそも感光性樹脂組成物としての用途が制限されてしまう。
【００１１】
また、本発明の別の感光性樹脂組成物は、（Ｄ）少なくとも一種のバインダーポリマーと、（Ｅ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物であって、（Ｄ）成分と（Ｅ）成分との総量１００重量部に対して（Ｄ）成分を７０重量部以上含有し、（Ｅ）成分が、常温で液体の状態であり且つ２５℃において１００ｍＰａ・ｓ以下の粘度を有する化合物を（Ｅ）成分全量に対して２０重量％以上含有することを特徴とする。この感光性樹脂組成物も、バインダーポリマーを多く含有するにも関わらず、優れた流動性を備えることができる。その要因は、現在のところ詳細には明らかにされていないが、本発明者は以下のように考えている。すなわち、この感光性樹脂組成物においては、１００ｍＰａ・ｓ以下の粘度を有する分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物が他の成分の潤滑剤の役割を果たすと考えられる。この際、その潤滑剤としての効果は（Ｅ）成分中に２０重量％以上含有されることで有効に発揮されるものと考えられる。なお、本明細書での「重量％」、「重量部」及び「重量分率」は質量基準と同等とする（以下同様）。
【００１２】
本発明の感光性樹脂組成物は、上述した二つの特徴を併せて有すると、更に流動性が向上するので好ましい。
【００１３】
また、本発明の積層体は、少なくとも、支持体と、該支持体上に形成された上述したような感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層とを備えることを特徴とする。この積層体は、流動性に優れた感光性樹脂組成物を備えることにより、その厚みを薄くすることができ、高密度回路にも対応できるものとなる。
【００１４】
さらに、本発明の積層体の製造方法は、支持体上に、上述したような感光性樹脂組成物を塗布し乾燥することによって積層体を得ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明によれば、バインダーポリマー、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を少なくとも含有し、その中の比較的安価なバインダーポリマーの含有比率を高くした場合であっても、優れた流動性を有する感光性樹脂組成物を提供することができる。したがって、この感光性樹脂組成物を含有する積層体を配線板に用いれば、廉価な配線板を製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１７】
なお、本発明における（メタ）アクリル酸とはアクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、（メタ）アクリレートとはアクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、（メタ）アクリロイル基とはアクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル基を意味する。
【００１８】
本発明の第一の感光性樹脂組成物は、上述したように、（Ａ）少なくとも一種のバインダーポリマーと、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤とを少なくとも含有する感光性樹脂組成物であって、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００重量部に対して（Ａ）成分を７０重量部以上含有し、（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーが、９０℃以下の下記式（１）；
Ｔｇ＝１／〔Σ（Ｗi／Ｔｇi）〕−２７３  …（１）
で定義されるＴｇを有し且つ２００００〜２０００００の重量平均分子量を有するものである。なお、式中、ｉは（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーの原料に含有される重合性単量体混合物中の各重合性単量体成分を示す添え字である。また、Ｔｇは（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーのガラス転移温度（単位：℃）を、Ｗiは重合性単量体ｉの重量分率を、及びＴｇiは重合性単量体ｉの単独重合体のガラス転移温度（単位：Ｋ）をそれぞれ示す。
【００１９】
（（Ａ）成分）
（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーとしては、そのうちの一種が上述したような特性を有していれば、特に限定されない。具体例としては、例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等を（Ａ）成分として用いることができる。これらは１種類を単独で或いは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００２０】
バインダーポリマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を有した単量体を重合（ラジカル重合等）して得られたものであることが好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有した単量体としては、例えば、スチレン；ビニルトルエン、α−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｐ−クロロスチレン等のスチレン誘導体；ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド；アクリロニトリル；ビニル−ｎ−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類；（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、α−ブロモ（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル酸等の（メタ）アクリル酸系単量体；マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、等のマレイン酸系単量体が挙げられ、これら以外にも、フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸が例示可能である。これらは単独で又は２種類以上を組合せて用いることができる。
【００２１】
これらのうち、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル及びこれらの構造異性体等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組合せて用いることができる。
【００２２】
バインダーポリマーは、アルカリ溶液を用いてアルカリ現像を行う場合の現像性の見地から、カルボキシル基を有するポリマーの１種又は２種以上からなることが好ましい。したがって、例えば、カルボキシル基を有する重合性単量体と、他の重合性単量体とを、ラジカル重合させて生成することもできる。
【００２３】
また、可撓性の見地からは、上記のカルボキシル基を有するポリマーは、（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸アルキルエステルとこれらと共重合し得るモノマー（以下「共重合モノマー」という。）との共重合体であることが好ましい。
【００２４】
また、（Ａ）成分の酸価は、３０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、６０〜１９０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましい。酸価が３０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では現像時間が長くなる傾向があり、２００ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると光硬化した感光性樹脂組成物の耐現像液性が低下する傾向がある。また、感光性樹脂組成物を用いてレジストを形成する場合であって、現像工程として溶剤現像を行う場合は、バインダーポリマーの原料である重合性単量体にカルボキシル基を有する重合性単量体を少量含有させることが好ましい。
【００２５】
本発明の第一の感光性樹脂組成物は、少なくとも一種のバインダーポリマーが有する上述した一般式（１）で定義したガラス転移温度（Ｔｇ）が、９０℃以下である必要がある。このＴｇが９０℃を越えると流動性が著しく低下してしまい、（Ａ）成分を感光性樹脂組成物に多く添加することができなくなるため、結果として安価な感光性樹脂組成物を得ることが困難になる。また、より安価な感光性樹脂組成物を得るためには、Ｔｇが７５℃以下であることがより好ましい。
【００２６】
なお、一般式（１）における単独重合体（ホモポリマー）のガラス転移温度は、例えば、「Encyclopedia of Polymer Science and Technology」、Interscience Publishers、a division of John Wiley & Sons, Inc.、１、ｐ２４７，２７２，２７３に記載されているものを用いればよい。具体的には、単独重合体を生成する重合性単量体がメタクリル酸の場合は４５８Ｋ、メタクリル酸メチルでは３７８Ｋ、メタクリル酸エチルでは３３８Ｋ、メタクリル酸ブチルでは２９３Ｋ、メタクリル酸２−エチルヘキシルでは２６３Ｋ、アクリル酸では３９３Ｋ、アクリル酸メチルでは２８１Ｋ、アクリル酸エチルでは２５１Ｋ、アクリル酸ブチルでは２１９Ｋ、アクリル酸２−エチルヘキシルでは２１８Ｋ、スチレンでは３７３Ｋなどとなる。
【００２７】
ここで、一般式（１）の計算例を示す。例えば、バインダーポリマーの原料である重合性単量体が、メタクリル酸２５重量部、メタクリル酸メチル２５重量部及びアクリル酸エチル５０重量部からなる場合を仮定する。メタクリル酸の単独重合体のガラス転移温度は４５８Ｋ、メタクリル酸メチルの単独重合体のガラス転移温度は３７８Ｋ、アクリル酸エチルの単独重合体のガラス転移温度は２５１Ｋである。したがって、重合性単量体のＷi／Ｔｇiは、それぞれ０．０００５４６、０．０００６６１、０．００１９９となる。Σ（Ｗi／Ｔｇi）は、０．０００５４６＋０．０００６６１＋０．００１９９＝０．００３１９７となり、１／Σ（Ｗi／Ｔｇi）は、３１３となる。よって、Ｔｇ＝３１３−２７３＝４０（℃）となる。
【００２８】
該バインダーポリマーの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定されるものである（標準ポリスチレンを用いた検量線による換算）。本発明の第一の感光性樹脂組成物においては、該バインダーポリマーの重量平均分子量は、上述したように２００００〜２０００００である必要がある。重量平均分子量が２００００未満では耐現像液性が低下する傾向にある。また、重量平均分子量が２０００００を越えると、少なくとも一種のバインダーポリマーのＴｇが９０℃以下であっても感光性樹脂組成物の流動性を高く維持することはできなくなると共に、現像時間が長くなる傾向にある。これらの観点より、該バインダーポリマーの重量平均分子量は、２５０００〜１５００００であることが好ましい。
【００２９】
以上説明した（Ａ）成分に含まれるバインダーポリマーは、１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。また、少なくとも一種類のバインダーポリマーが上述した特徴を有していれば、その他のバインダーポリマーは従来感光性樹脂組成物に用いられているものであれば、特に限定されることなく用いることができる。
【００３０】
２種類以上を組み合わせて使用する場合のバインダーポリマーとしては、例えば、異なる共重合成分からなる２種類以上のバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の２種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度の２種類以上のバインダーポリマーなどが挙げられる。また、特開平１１−３２７１３７号公報に記載されているいわゆるマルチモード分子量分布を有するポリマーをバインダーポリマーとして用いることもできる。さらに、これらのバインダーポリマーは感光性基を有してもよい。
【００３１】
（（Ｂ）成分）
（Ｂ）成分は、上述のように、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物であれば、特に限定されることなく本発明の第一の感光性樹脂組成物に含有される。したがって、（Ｂ）成分として含有される光重合性化合物は、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物；グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；分子内にウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマーが挙げられ、これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート；γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物；（メタ）アクリル酸アルキルエステル等が挙げられる。これらのなかで、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物などが好ましい。これらは１種類を単独で或いは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３２】
ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物としては、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは１種類を単独で或いは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３３】
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）等が挙げられる。これらの化合物は１種類を単独で或いは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３４】
２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは１種類を単独で或いは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３５】
多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４であり、プロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは１種類を単独で或いは２種類以上を組み合わせて用いることができる。ここで「ＥＯ」とは「エチレンオキシド」のことをいい、「ＰＯ」とは「プロピレンオキシド」のことをいう。そして「ＥＯ変性」とはエチレンオキシドユニット（−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味し、「ＰＯ変性」とはプロピレンオキシドユニット（−ＣＨ2−ＣＨ（ＣＨ3）−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味する。
【００３６】
分子内にウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（(メタ)アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは１種類を単独で或いは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３７】
そして、上記のノニルフェノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは１種類を単独で或いは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３８】
（（Ｃ）成分）
（Ｃ）成分の光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン；Ｎ，Ｎ’−テトラアルキル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン；２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン；アルキルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物等が挙げられる。これらは１種類を単独で或いは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３９】
なお、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体は、アリール基の置換基が同一であって対称な化合物を与えてもよく、アリール基の置換基が非同一であって非対称な化合物を与えてもよい。
【００４０】
また、Ｎ，Ｎ’−テトラアルキル−４，４’−ジアミノベンゾフェノンとしては、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン等も挙げられる。
【００４１】
次に、本発明の第二の感光性樹脂組成物は、上述したように、（Ｄ）少なくとも一種のバインダーポリマーと、（Ｅ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物であって、（Ｄ）成分と（Ｅ）成分との総量１００重量部に対して（Ｄ）成分を７０重量部以上含有し、（Ｅ）成分が、常温で液体の状態であり且つ２５℃において１００ｍＰａ・ｓ以下の粘度を有する化合物を２０重量％以上含有するものである。
【００４２】
（（Ｄ）成分）
（Ｄ）成分に含有されるバインダポリマーとしては、従来の感光性樹脂組成物に用いられているものであれば、特に限定されることなく用いることができる。したがって、本発明の第一の感光性樹脂組成物とは異なり、バインダポリマーのガラス転移温度及び重量平均分子量についても特に限定されることなく用いることができる。その具体例としては、本発明の第一の感光性樹脂組成物において（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーとして例示したものが同様に挙げられる。
【００４３】
（（Ｅ）成分）
本発明の第二の感光性樹脂組成物において、（Ｅ）成分は、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物であって、常温で液体の状態であり、２５℃において１００ｍＰａ・ｓ以下の粘度を有する化合物を、（Ｅ）成分全量に対して２０重量％以上含有するものである必要がある。このような特性を有することにより、該感光性樹脂組成物は、バインダーポリマーを多く含有する場合、すなわち、（Ｄ）成分と（Ｅ）成分との総量１００重量部に対して（Ｄ）成分を７０重量部以上含有する場合であっても、流動性が低下することはない。したがって、該感光性樹脂組成物は安価に製造することができる。
【００４４】
このような特性を有する化合物としては、例えば、エチレンオキシド基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００４５】
これらの光重合性化合物は、流動性向上機能を発揮できるように、（Ｂ）成分全量に対して２０重量％以上含有される必要があるが、５０重量％以上含有されるとより好ましい。
【００４６】
また、（Ｅ）成分に含有される上述したもの以外の光重合性化合物は、従来の感光性樹脂組成物に用いられているものであれば、特に限定されることなく用いることができる。したがって、この光重合性化合物としては、本発明の第一の感光性樹脂組成物に（Ｂ）成分として含有される光重合性化合物と同様のものを用いることができる。
【００４７】
また、本発明の感光性樹脂組成物が、上述した（Ａ），（Ｃ）及び（Ｅ）成分を含有するものであれば、更に流動性が向上するので好ましい。
【００４８】
また、本発明の感光性樹脂組成物中の各成分の含有量は、（Ａ）又は（Ｄ）成分と（Ｂ）又は（Ｅ）成分との総量１００重量部に対して（Ａ）又は（Ｄ）成分を７０重量部以上含有すれば、この感光性樹脂組成物を安価に製造することができる。また、（Ｃ）成分は、（Ａ）又は（Ｄ）成分と（Ｂ）又は（Ｅ）成分との総量１００重量部に対して０．１〜２０重量部であることが好ましく、０．２〜１０重量部であることがより好ましい。（Ｃ）成分の含有量が０．１重量部未満では光感度が不十分となる傾向があり、２０重量部を超えると露光の際に組成物の表面での吸収が増大して内部の光硬化が不充分となる傾向がある。
【００４９】
なお、感光性樹脂組成物には、（Ａ）〜（Ｃ）又は（Ｄ）〜（Ｆ）成分以外の成分として、必要に応じて、分子内に少なくとも１つのカチオン重合可能な環状エーテル基を有する光重合性化合物（オキセタン化合物等）、カチオン重合開始剤、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、ｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、はく離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤などを更に含有することができる。
【００５０】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解する。その際、固形分３０〜６０％程度の溶液とすることもできる。
【００５１】
本発明の感光性樹脂組成物は、その形状を特に制限されることはないが、例えば、支持体上に、この感光性樹脂組成物を塗布し乾燥し、更に必要に応じてその上に保護フィルムを被覆して得られる積層体の形態で用いられることが好ましい。
【００５２】
この場合の感光性樹脂組成物層の厚さは、適用されるプリント配線板の用途により適宜設定されるが、乾燥後の厚さで、１〜１００μｍであることが好ましい。この厚さが１μｍ未満では工業的に塗工困難となり、１００μｍを超えると接着力、解像度が低下する傾向がある。
【００５３】
この積層体は、より具体的には以下のようにして得られる。
【００５４】
感光性樹脂組成物層は、本発明の感光性樹脂組成物を上述したような溶剤に溶解して固形分３０〜６０重量％程度の溶液とした後に、係る溶液を支持体上に塗布して乾燥することにより形成することが好ましい。塗布は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができ、乾燥は７０〜１５０℃、５〜３０分間程度で行うことができる。また、感光性樹脂組成物中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、２重量％以下とすることが好ましい。
【００５５】
支持体は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。厚さは１〜１００μｍであることが好ましい。厚さが１μｍ未満では現像前の支持体剥離の際に、支持体が破れやすくなる傾向があり、１００μｍを超えると解像度が低下する傾向がある。
【００５６】
保護フィルムは、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。厚さは５〜５０μｍであることが好ましい。厚さが上記下限未満ではラミネートの際、保護フィルムが破れやすくなる傾向があり、上記上限を超えると廉価性に劣る傾向がある。
【００５７】
また、この保護フィルムに支持体と同様のフィルムを用いることもできる。保護フィルムには、その剥離性の観点より、感光性樹脂組成物の層と支持体との接着力よりも、感光性樹脂組成物層と保護フィルムとの接着力の方が小さいものが好ましく、また、低フィッシュアイのフィルムが好ましい。これらの重合体フィルムの一種を感光性樹脂組成物層の支持体として用い、異なる一種を感光性樹脂組成物の保護フィルムとして用い、感光性樹脂組成物層の両面に重合体フィルムを積層し、感光性樹脂組成物の積層体を形成することもできる。
【００５８】
この積層体は、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層等を更に有していてもよい。また、シート状、又は巻芯にロール状に巻き取って保管することもできる。
【００５９】
感光性樹脂組成物の積層体は、例えば、シート状、又は保護フィルムを介在させた上で巻芯（ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂等）にロール状に巻きとって保管することができる。ロール状に巻き取った該積層体の端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。なお、感光性樹脂組成物を保護する観点から、保管時には支持体が最外層になるように巻きとることが好ましい。梱包方法として、透湿性の低いブラックシートに包んで包装することが好ましい。
【００６０】
次に、本発明の積層体を感光性エレメントとして用いる場合の、レジストパターンの形成方法について説明する。このレジストパターンの形成方法は、回路形成用基板上に、感光性樹脂組成物層を該回路形成用基板に接しめるように上記感光性エレメントを積層し、該感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して光硬化部を形成せしめ、次いで、該光硬化部以外の感光層を除去するものである。なお、回路形成用基板とは、絶縁層と絶縁層上に形成された導体層（銅、銅系合金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金からなる）とを備えた基板をいい、多層プリント配線板であってもよく、小径スルーホールを有していてもよい。
【００６１】
積層方法としては、感光性エレメントが保護フィルムを有している場合には、当該フィルムを除去後、感光性樹脂組成物層を加熱しながら回路形成用基板に圧着することにより積層する方法などが挙げられる。積層される表面は、通常、回路形成用基板の導体層の面であるが、係る面以外の面であってもよい。感光性樹脂組成物層の加熱温度は７０〜１３０℃とすることが好ましく、圧着圧力は、０．１〜１．０ＭＰａ程度とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光性樹脂組成物層を上記のように７０〜１３０℃に加熱すれば、予め回路形成用基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性をさらに向上させるためには、回路形成用基板の予熱処理を行うこともできる。
【００６２】
このようにして積層が完了した後、感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して光硬化部を形成せしめる。光硬化部を形成せしめる方法としては、フォトマスクと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する方法が挙げられる。この際、感光性樹脂組成物層上に存在する支持体が活性光線に対して透明の場合には、支持体を通して活性光線を照射することができる。
【００６３】
活性光線の光源としては、例えば、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用いられる。さらに露光法としては、レーザー直接描画露光法も挙げることができる。
【００６４】
次いで、露光後、感光性樹脂組成物層上に支持体が存在している場合には、支持体を除去した後、ウエット現像、ドライ現像等で光硬化部以外の感光層を現像除去し、レジストパターンを形成させる。ウエット現像の場合は、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤系現像液等の感光性樹脂組成物に対応した現像液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。
【００６５】
現像液としては、アルカリ性水溶液等の安全かつ安定であり、操作性が良好なものが用いられる。アルカリ性水溶液の塩基としては、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられる。また、現像に用いるアルカリ性水溶液としては、０．１〜５重量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％水酸化ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が好ましい。また、現像に用いるアルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、界面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。
【００６６】
上述した現像方法は、必要に応じて、２種以上のものを併用してもよい。現像の方式には、ディップ方式、バトル方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等がある。
【００６７】
感光性樹脂組成物パターンは、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液よりさらに強アルカリ性の水溶液で剥離することができる。上記の強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜１０質量％水酸化ナトリウム水溶液、１〜１０質量％水酸化カリウム水溶等が用いられる。上記の剥離方式としては、例えば、浸漬方式、スプレー方式等が挙げられる。また、感光性樹脂組成物パターンが形成されたプリント配線板は、多層プリント配線板でもよく、小径スルーホールを有することができる。
【実施例】
【００６８】
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００６９】
（合成例１）
撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、メチルセロソルブ対トルエンが重量比３：２の混合溶液（以下、溶液Ａという。）１４００ｇを加え、窒素ガスを吹き込みながら、撹拌し、８５℃まで加熱した。温度８５℃の溶液Ａに、メタクリル酸２３０ｇ、メタクリル酸メチル４９０ｇ、アクリル酸エチル２８０ｇ及びアゾビスイソブチロニトリル５.０ｇを予め混合した液を、４時間かけて滴下し、その後、８５℃で撹拌しながら２時間保温した。次いで、溶液Ａ６０ｇをとり、アゾビスイソブチロニトリル０．７５ｇを溶解し、この溶液を、１０分かけてフラスコ内に滴下した。その後、得られた溶液を、撹拌しながら、８５℃で５時間保温した後、冷却して、合成例１のバインダーポリマーを得た。合成に用いた重合性単量体及び重合開始剤の分量及び得られたバインダーポリマーの特性を表１に示す。
【００７０】
【表１】
2006313173.tif 000002
【００７１】
（合成例２）
重合性単量体及び重合開始剤を表１に示した分量で用いた以外は、合成例１と同様にして合成例２のバインダーポリマーを得た。合成に用いた重合性単量体及び重合開始剤の分量及び得られたバインダーポリマーの特性を表１に示す。
【００７２】
（比較合成例１）
重合性単量体及び重合開始剤を表１に示した分量で用いた以外は、合成例１と同様にして比較合成例１のバインダーポリマーを得た。合成に用いた重合性単量体及び重合開始剤の分量及び得られたバインダーポリマーの特性を表１に示す。
【００７３】
（実施例１）
まず、合成例１で得られた溶液を用い、表２に示す材料を配合して、感光性樹脂組成物溶液を得た。次いで、寸法（幅３８０mm×厚さ２０μm）のポリエチレンテレフタレートフィルム（以下、ＰＥＴという。）上に、先の工程で得られた感光性樹脂組成物溶液を、乾燥後の膜厚が３０μmとなるように塗工した。そして、乾燥炉長が６ｍである熱風対流式乾燥機を用いて、乾燥炉の最高温度１００℃、塗工速度２.０ｍ/分の条件で乾燥させ、その上に、厚さ２０μmのポリエチレンフィルムを載せ、ロールで加圧しながら、被覆して、実施例１の感光性樹脂組成物の積層体を得た。
【００７４】
【表２】
2006313173.tif 000003
ここで、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンとしては、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業株式会社製、製品名、粘度：４００ｍＰａ・ｓ（２５℃））、ポリプロピレングリコールジアクリレートとしては、ＡＰＧ−４００（新中村化学工業株式会社製、製品名、プロピレングリコール鎖の数：７、粘度：２７ｍＰａ・ｓ（２５℃））、ポリエチレングリコールジメタクリレートとしては、４Ｇ（新中村化学工業株式会社製、製品名、エチレングリコール鎖の数：４、粘度：１４ｍＰａ・ｓ（２５℃））、ポリエチレングリコールジアクリレートとしては、Ａ−２００（新中村化学工業株式会社製、製品名、エチレングリコール鎖の数：４、粘度：２２ｍＰａ・ｓ（２５℃））をそれぞれ用いた。
【００７５】
また、表中「光重合性化合物」とは、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物のことをいう。さらに、光重合性化合物の粘度については、２５℃における１００ｍＰａ・ｓを境界として、この値以下のものを低粘度、この値を越えるものを高粘度としている。また、「低粘度光重合性化合物割合」とは、光重合性化合物全体のうちの低粘度を有する光重合性化合物の重量％をいう。さらに、表中の数値は「低粘度光重合性化合物割合」を除いて、重量部で示されている。
【００７６】
（実施例２〜７）
用いた材料の配合量を表２に示したようにした以外は、実施例１と同様にして、実施例２〜７の感光性樹脂組成物の積層体を得た。
【００７７】
（比較例１）
用いた材料の配合量を表２に示したようにした以外は、実施例１と同様にして、比較例１の感光性樹脂組成物の積層体を得た。
【００７８】
［流動性の評価］
上記実施例及び比較例で得られた感光性樹脂組成物の積層体の感光性樹脂組成物層の流動性を評価するために、流動性指標を測定した。流動性指標は、以下の測定方法により、試料の厚み変化量の値として得られる。
【００７９】
まず、感光性樹脂組成物層のみを積層し、その厚みが２.０ｍｍ±０.１ｍｍになるように調整し、直径２０.０ｍｍφに打ち抜き測定試料を作製する。そして、３０℃に保った恒温槽中のプラストメ−タを用いて、測定試料全体に５Ｋｇの荷重をかけ、荷重をかける直前の測定試料の厚みと荷重をかけた状態で９００秒経過した後の測定試料の厚みとをそれぞれ測定し、その間の変化量（μｍ）を算出した。結果を表３に示す。
【００８０】
【表３】
2006313173.tif 000004
【００８１】
［光感度の評価］
上記実施例及び比較例で得られた感光性樹脂組成物の積層体の感光性樹脂組成物層の光感度を評価するために、以下の方法により活性光線の照射エネルギー量を求めた。
【００８２】
上記の感光性樹脂組成物の積層体を、銅張積層板に、１１０℃に加熱しながら、圧力０．４ＭＰａ、ラミネ−ト速度１.５ｍ／分で加熱圧着した。続いて、高圧水銀灯ランプを有する露光機（(株)オーク製作所製、ＨＭＷ−５９０）を用いて、ストーファー２１段ステップタブレット（濃度領域０.０５〜３.０５、濃度ステップ０.１５、ステップタブレットの大きさ２０ｍｍ×１７５ｍｍ、各ステップの大きさ５ｍｍ×１４ｍｍ）のステップ段数が８（濃度１.１０）となるエネルギー量を決定した。
【００８３】
具体的には、まず、銅張積層板上に積層された該感光性樹脂組成物層の全面に１重量％炭酸ナトリウム水溶液を０.１５ＭＰａの圧力でスプレ−噴射し、その際に該感光性樹脂組成物の層が完全に除去された時間を最小現像時間とする。そして、別の銅張積層板上に積層された感光性樹脂組成物層を上記２１段ステップタブレットを通して活性光線（高圧水銀灯全波長）を照射し、その後、このレジスト層全面に３０℃の１重量％炭酸ナトリウム水溶液を０.１５ＭＰａの圧力、最小現像時間の２倍長さの時間でスプレ−噴射し、その際にステップ段数が８（濃度１.１０）に該当するレジストの基板上の残存面積が基板面積（５ｍｍ×１４ｍｍ）に対して９０％以上となるように、上記活性光線の照射エネルギー量（ｍＪ/ｃｍ２）を決定する。感光性樹脂組成物層の光感度が高いほど、この照射エネルギー量は小さくなる。結果を表３に示す。
【００８４】
［解像度の評価］
解像度を調べるため、感光性樹脂組成物の積層体上に、ライン幅／スペース幅が１０／１０〜２００／２００（単位：μｍ）のパターンを有するネガ型フォトマスクを密着させた。次いで、そのフォトマスクを密着させた状態の感光性樹脂組成物の積層体に表３に示す照射エネルギー量で露光した後、感光性樹脂組成物層上の支持体フィルムを剥離した。そして、１重量％炭酸ナトリウム水溶液を０．１５ＭＰａの圧力でスプレー噴射し、最小現像時間の２倍長さの時間で現像した。ここで、解像度は、現像処理によって光硬化されていない部分をきれいに除去することができたライン幅／スペース幅の最も小さい値（単位：μｍ）により評価した。解像度の評価は数値が小さいほど良好な値である。結果を表３に示す。
【００８５】
［密着性の評価］
密着性を調べるため、感光性樹脂組成物の積層体上に、ライン幅／スペース幅が１０／４００〜２００／４００（単位：μｍ）のパターンを有するネガ型フォトマスクを密着させた。次いで、そのフォトマスクを密着させた状態の感光性樹脂組成物の積層体に表３に示す照射エネルギー量で露光した後、感光性樹脂組成物層上の支持体フィルムを剥離した。そして、１重量％炭酸ナトリウム水溶液を０．１５ＭＰａの圧力でスプレー噴射し、最小現像時間の２倍長さの時間で現像した。ここで密着性は、現像後ラインを形成しているレジストが基板にしっかりと密着し剥離している箇所がなく、また、ラインが蛇行していたり、曲がったりしていないライン幅の最も小さい値（単位：μｍ）により評価した。密着性の評価は数値が小さいほど良好な値である。結果を表３に示す。
【００８６】
［剥離性の評価］
剥離性の評価は以下の方法で行った。まず、銅張積層板上に形成した感光性樹脂組成物の積層体に剥離用ネガマスクを使用して表３に示す照射エネルギー量で露光現像し、６０ｍｍ×４５ｍｍの光硬化部を有する剥離性評価基板を作製し、次に、５０℃に加熱した３重量％水酸化ナトリウム水溶液に該基板を浸漬し、光硬化部が完全に剥離するまでの所要時間（剥離時間）を測定した。剥離時間が短いほど、剥離性に優れていることを示す。結果を表３に示す。
【００８７】
表３から明らかなように、実施例１〜７にかかる感光性樹脂組成物は、バインダーポリマー（不揮発分）をバインダーポリマーと光重合性化合物との総量に対して７０重量部以上含有するにもかかわらず、比較例１と比較して、流動性が高くなることが認められた。
【００８８】
特に、９０℃以下のガラス転移温度を有するバインダーポリマーを含有し、且つ、低粘度の光重合性化合物を光重合性化合物の全量に対して２０重量％以上含有する実施例１〜４にかかる感光性樹脂組成物は、流動性が極めて良好になると共に、最小現像時間、光感度、解像度、密着性及び剥離性にも優れるものであることが確認された。