(57)【要約】  【課題】緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態で、モータが有するブレーキの作動を解除することができる基板搬送装置および基板処理装置を提供する。  【解決手段】サーボモータ１２には、主電源１７から給電経路１８を介して電力が入力されるようになっている。給電経路１８上には、緊急遮断スイッチ９の押操作に応答して、主電源１７からサーボモータ１２への電力の供給を許容する導通状態からその電力の供給を遮断する遮断状態に切り替わる緊急遮断回路１９が設けられている。緊急遮断回路１９が遮断状態であっても、ブレーキリリースユニット１０を接続部１１に接続すれば、ブレーキリリースユニット１０の充電池２１に蓄えられている電力が、サーボモータ１２のブレーキリリース電流入力端子１４に入力されて、サーボモータ１２のブレーキの作動が解除される。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送するための搬送ロボットと、
この搬送ロボットの駆動源として用いられ、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するモータと、
上記搬送ロボットの動作を緊急停止させるために操作される緊急操作部と、
この緊急操作部の操作に応答して、主電源から上記モータへの電力の供給を遮断する緊急遮断回路と、
この緊急遮断回路によって上記主電源から上記モータへの電力の供給が遮断されている状態で、上記ブレーキの作動を解除すべきときに、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を上記モータに供給するためのブレーキリリースユニットが接続される接続部とを含むことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
基板を搬送するための搬送ロボットと、
この搬送ロボットの駆動源として用いられ、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するモータと、
上記搬送ロボットの動作を緊急停止させるために操作される緊急操作部と、
この緊急操作部の操作に応答して、主電源から上記モータへの電力の供給を遮断する緊急遮断回路と、
上記ブレーキの作動を解除可能な電力を上記モータに供給するためのブレーキリリースユニットと、
上記緊急遮断回路によって上記主電源から上記モータへの電力の供給が遮断されている状態で、上記ブレーキの作動を解除すべきときに、上記ブレーキリリースユニットと上記モータとを接続するために操作されるブレーキリリース操作部とを含むことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
上記ブレーキリリースユニットは、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を蓄えておくための充電池と、この充電池を充電するための充電回路とを備えていることを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
基板を処理するための処理室と、
請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置とを含み、
上記搬送ロボットは、上記処理室に対して基板を搬送するための主搬送ロボットであることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
基板を収容可能なカセットが載置されるカセット載置部と、
請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置とを含み、
上記搬送ロボットは、上記カセット載置部に載置されたカセットに対して基板を搬送するためのインデクサロボットであることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するモータと、
このモータの駆動力により動作する可動部材と、
この可動部材の動作を緊急停止させるために操作される緊急操作部と、
この緊急操作部の操作に応答して、主電源から上記モータへの電力の供給を遮断する緊急遮断回路と、
この緊急遮断回路によって上記主電源から上記モータへの電力の供給が遮断されている状態で、上記ブレーキの作動を解除すべきときに、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を上記モータに供給するためのブレーキリリースユニットが接続される接続部とを含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
基板を処理するための処理室と、
この処理室内に配置され、基板を保持するための基板保持機構とをさらに含み、
上記可動部材は、上記基板保持機構の上方に配置され、上記基板保持機構に保持された基板に近接および離間可能に設けられた遮断板であることを特徴とする請求項６記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板を処理するための基板処理装置およびこれに備えられる基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示装置用ガラス基板などの基板を処理（たとえば、洗浄処理やエッチング処理）する基板処理装置が用いられる。
たとえば、基板を１枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置は、処理チャンバと、基板を搬送するための搬送ロボットとを備えている。基板に対する処理に際しては、搬送ロボットによって、未処理の基板が１枚ずつ処理チャンバに搬入される。処理チャンバに未処理の基板が搬入されると、その処理チャンバにおいて、基板に対する所定の処理が実行される。そして、処理チャンバにおける処理が終了すると、搬送ロボットによって、処理済みの基板が処理チャンバから搬出される。
【０００３】
このような基板処理装置では、搬送ロボットによる基板の高精度な搬送を実現するために、搬送ロボットに対して、その搬送ロボットによって基板が搬送されるべき位置（たとえば、処理チャンバ内における基板の受け渡し位置）の正確な情報を教示（ティーチング）するための作業が行われる。この作業では、作業者による操作によって、搬送ロボットのハンドがホームポジションから基板が搬送されるべき位置へと導かれ、そのときのハンドの移動量が搬送ロボットの動作を制御するための制御装置に入力される。
【０００４】
作業者による搬送ロボットの操作は、搬送ロボットのハンドの位置を目視するために、作業者が基板処理装置内に入った状態で行われる。そのため、作業者が搬送ロボットの操作を誤ると、搬送ロボットが作業者に接触したり、作業者が搬送ロボットと装置フレームとの間に挟まれたりする事故が起きるおそれがある。
そこで、搬送ロボットを操作するための操作ボックスに緊急遮断スイッチが設けられるとともに、搬送ロボットの駆動源であるモータへの給電経路上に緊急遮断回路が設けられている。そして、緊急遮断スイッチが押されると、緊急遮断回路が導通状態から遮断状態に切り替わることにより、モータへの通電（電力の供給）が停止されて、搬送ロボットの動作が緊急停止されるようになっている。
【０００５】
緊急遮断回路は、遮断状態に切り替わると、基板処理装置が再起動されない限り、その遮断状態から導通状態に復帰しない構成となっている。また、搬送ロボットのモータには、ブレーキ付きのモータが用いられており、このモータへの通電が停止されている間、モータにブレーキがかかることによって、搬送ロボットは不動な状態となる。したがって、そのブレーキの作動を解除して、不動状態の搬送ロボットを再び動作させるには、基板処理装置を再起動させる必要がある。
【特許文献１】特開２００１−１５６１５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、基板処理装置の再起動に時間がかかるため、搬送ロボットの再動作が可能となるまでに長い時間を要してしまう。そのため、作業者が搬送ロボットと装置フレームとの間に挟まれる事故が起きて、緊急遮断スイッチが押された場合には、搬送ロボットの動作停止から再動作が可能となるまでの長い時間、その作業者の身動きが取れない状態が続くことになる。
【０００７】
このような問題は、搬送ロボットに限らず、基板処理装置内において、ブレーキ付きのモータの駆動力により動作する他の可動部材についても生じうる。たとえば、処理チャンバ内に、基板をほぼ水平に保持するスピンチャックと、スピンチャックに保持された基板の表面に対して近接配置される遮断板とが備えられ、この遮断板がブレーキ付きのモータの駆動力により基板に対して近接および離間する構成では、遮断板などのメンテナンスのための作業中に、その作業者の手などがスピンチャックと遮断板との間に挟まれる事故が起きるおそれがある。そのため、緊急遮断スイッチが設けられ、この緊急遮断スイッチが押されると、モータへの通電が停止されて、遮断板の動作が緊急停止されるようになっている。しかし、緊急遮断スイッチが押された場合に、遮断板の動作停止から再動作が可能となるまでの長い時間、作業者の身動きが取れない状態が続くことになる。
【０００８】
モータの駆動力がベルトを介して可動部材に伝達される構成の場合には、緊急遮断スイッチが押されて、可動部材の動作が緊急停止した後、ベルトを切断して、可動部材をモータから切り離すことにより、可動部材の不動状態を解除することが考えられる。しかし、基板処理装置を再起動させるためには、ベルトの装着および調整をしなければならず、再起動までにかなりの時間を要する。したがって、ベルトの切断は、好ましい手法ではない。
【０００９】
また、緊急停止時に、可動部材をモータのブレーキ力に抗して動かすためのハンドルを設けることも考えられるが、そのためのスペースが必要になり、基板処理装置の小型化の妨げとなってしまう。
そこで、この発明の目的は、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態で、モータが有するブレーキの作動を解除することができる基板搬送装置および基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板（Ｗ）を搬送するための搬送ロボット（５，８）と、この搬送ロボットの駆動源として用いられ、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するモータ（１２）と、上記搬送ロボットの動作を緊急停止させるために操作される緊急操作部（９）と、この緊急操作部の操作に応答して、主電源から上記モータへの電力の供給を遮断する緊急遮断回路（１９）と、この緊急遮断回路によって上記主電源から上記モータへの電力の供給が遮断されている状態で、上記ブレーキの作動を解除すべきときに、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を上記モータに供給するためのブレーキリリースユニット（１０）が接続される接続部（１１）とを含むことを特徴とする基板搬送装置である。
【００１１】
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
この構成によれば、緊急操作部が操作されると、この操作に応答して、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断される。主電源からモータへの電力の供給が遮断されると、搬送ロボットの動作が緊急停止されるとともに、モータのブレーキが作動して、搬送ロボットが緊急停止した状態で不動に保持される。そして、その状態でブレーキリリースユニットが接続部に接続されると、ブレーキリリースユニットからモータに電力が供給され、この電力供給によってモータのブレーキの作動が解除される。そのため、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。
【００１２】
これにより、たとえば、搬送ロボットと装置フレームとの間に作業者が挟まれた場合に、緊急操作部が操作されて、搬送ロボットが不動状態となり、その作業者の身動きが取れない状態となっても、搬送ロボットの不動状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。
請求項２記載の発明は、基板（Ｗ）を搬送するための搬送ロボット（５，８）と、この搬送ロボットの駆動源として用いられ、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するモータ（１２）と、上記搬送ロボットの動作を緊急停止させるために操作される緊急操作部（９）と、この緊急操作部の操作に応答して、主電源から上記モータへの電力の供給を遮断する緊急遮断回路（１９）と、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を上記モータに供給するためのブレーキリリースユニット（１０）と、上記緊急遮断回路によって上記主電源から上記モータへの電力の供給が遮断されている状態で、上記ブレーキの作動を解除すべきときに、上記ブレーキリリースユニットと上記モータとを接続するために操作されるブレーキリリース操作部（２３）とを含むことを特徴とする基板搬送装置である。
【００１３】
この構成によれば、緊急操作部が操作されると、この操作に応答して、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断される。主電源からモータへの電力の供給が遮断されると、搬送ロボットの動作が緊急停止されるとともに、モータのブレーキが作動して、搬送ロボットが緊急停止した状態で不動に保持される。そして、その状態でブレーキリリース操作部が操作されると、ブレーキリリースユニットがモータに接続されて、ブレーキリリースユニットからモータに電力が供給され、この電力供給によってモータのブレーキの作動が解除される。そのため、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。
【００１４】
これにより、たとえば、搬送ロボットと装置フレームとの間に作業者が挟まれた場合に、緊急操作部が操作されて、搬送ロボットが不動状態となり、その作業者の身動きが取れない状態となっても、搬送ロボットの不動状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。
上記ブレーキリリースユニットは、充電不可能な電池を備えていてもよいが、請求項３に記載のように、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を蓄えておくための充電池（２１）と、この充電池を充電するための充電回路（２２）とを備えていることが好ましい。この場合、ブレーキリリースユニットの使用によって、充電池に蓄えられている電力が消費されても、充電回路によって充電池を充電することができる。そのため、ブレーキリリースユニットを繰り返し使用することができる。
【００１５】
請求項４記載の発明は、基板を処理するための処理室（７）と、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置とを含み、上記搬送ロボットは、上記処理室に対して基板を搬送するための主搬送ロボット（８）であることを特徴とする基板処理装置である。
この構成によれば、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置が備えられているので、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、主搬送ロボットと装置フレームとの間に作業者が挟まれた場合に、緊急操作部が操作されて、主搬送ロボットが不動状態となり、その作業者の身動きが取れない状態となっても、主搬送ロボットの不動状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。
【００１６】
請求項５記載の発明は、基板を収容可能なカセット（Ｃ）が載置されるカセット載置部（３）と、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置とを含み、上記搬送ロボットは、上記カセット載置部に載置されたカセットに対して基板を搬送するためのインデクサロボット（５）であることを特徴とする基板処理装置である。
この構成によれば、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置が備えられているので、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、インデクサロボットと装置フレームとの間に作業者が挟まれた場合に、緊急操作部が操作されて、インデクサロボットが不動状態となり、その作業者の身動きが取れない状態となっても、インデクサロボットの不動な状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。
【００１７】
請求項６記載の発明は、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するモータ（１２；３９）と、このモータの駆動力により動作する可動部材（５，８；３２；４１）と、この可動部材の動作を緊急停止させるために操作される緊急操作部（９）と、この緊急操作部の操作に応答して、主電源から上記モータへの電力の供給を遮断する緊急遮断回路（１９；４７）と、この緊急遮断回路によって上記主電源から上記モータへの電力の供給が遮断されている状態で、上記ブレーキの作動を解除すべきときに、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を上記モータに供給するためのブレーキリリースユニット（１０）が接続される接続部（１１）とを含むことを特徴とする基板処理装置である。
【００１８】
この構成によれば、緊急操作部が操作されると、この操作に応答して、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断される。主電源からモータへの電力の供給が遮断されると、可動部材の動作が緊急停止されるとともに、モータのブレーキが作動して、可動部材が緊急停止した状態で不動に保持される。そして、その状態でブレーキリリースユニットが接続部に接続されると、ブレーキリリースユニットからモータに電力が供給され、この電力供給によってモータのブレーキの作動が解除される。そのため、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、可動部材の不動状態を即座に解除することができる。
【００１９】
また、緊急停止時に可動部材を動かすためのハンドルを設ける構成と異なり、基板処理装置の大型化を招くこともない。
請求項７記載の発明は、基板を処理するための処理室（７）と、この処理室内に配置され、基板を保持するための基板保持機構（３１）とをさらに含み、上記可動部材は、上記基板保持機構の上方に配置され、上記基板保持機構に保持された基板に近接および離間可能に設けられた遮断板（３２）であることを特徴とする請求項６記載の基板処理装置である。
【００２０】
この構成では、作業者の操作ミスによって、遮断板と基板保持機構との間に作業者の手が挟まれる事故が起きるおそれがある。このような事故が起きた場合に、緊急操作部が操作されて、遮断板が不動状態となり、その手を抜くことができない状態となっても、ブレーキリリースユニットが接続部に接続することにより、遮断板の不動状態を即座に解除することができるので、遮断板と基板保持機構との間から手を抜くことができない状態が長時間続くのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。この基板処理装置は、基板の一例としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）Ｗを１枚ずつ処理する枚葉式の装置であり、インデクサ部１と、このインデクサ部１の一方側に結合された基板処理部２と、インデクサ部１の他方側（基板処理部２と反対側）に並べて配置された複数のカセット載置台３とを備えている。各カセット載置台３には、複数枚のウエハＷを多段に積層した状態で収容して保持するカセットＣが載置される。
【００２２】
なお、この基板処理装置の処理対象となる基板は、ウエハＷに限らず、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディプレイパネル用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板および磁気／光ディスク用基板などの他の種類の基板であってもよい。
インデクサ部１には、カセット載置台３の配列方向に延びる直線搬送路４が形成されている。
【００２３】
直線搬送路４には、インデクサロボット５が配置されている。インデクサロボット５は、直線搬送路４に沿って往復移動可能に設けられており、各カセット載置台３に載置されたカセットＣに対向することができる。また、インデクサロボット５は、ウエハＷを保持するためのハンド（図示せず）を備えており、カセットＣに対向した状態で、そのカセットＣにハンドをアクセスさせて、カセットＣから未処理のウエハＷを取り出したり、処理済みのウエハＷをカセットＣに収容したりすることができる。さらに、インデクサロボット５は、直線搬送路４の中央部に位置した状態で、基板処理部２に対してハンドをアクセスさせて、後述する主搬送ロボット８にウエハＷを受け渡したり、主搬送ロボット８からウエハＷを受け取ったりすることができる。
【００２４】
基板処理部２には、インデクサ部１の直線搬送路４の中央部から直線搬送路４と直交する方向に延びる搬送室６が形成されている。また、この搬送室６に対してその長手方向と直交する方向の両側には、それぞれ複数（この実施形態では、４つ）の処理室７が搬送室６に沿って並べて形成されている。
搬送室６の中央には、主搬送ロボット８が配置されている。この主搬送ロボット８は、ウエハＷを保持するハンド（図示せず）を備えており、このハンドを各処理室７にアクセスさせて、各処理室７にウエハＷを搬入および搬出することができる。また、主搬送ロボット８は、インデクサロボット５との間でウエハＷの受け渡しを行うことができる。
【００２５】
インデクサロボット５によってカセットＣから取り出された未処理のウエハＷは、インデクサロボット５から主搬送ロボット８に受け渡されて、この主搬送ロボット８によって処理室７のいずれかに搬入される。各処理室７では、ウエハＷに対して所定の処理が行われる。処理室７で処理を受けたウエハＷは、主搬送ロボット８によって処理室７から搬出される。そして、その主搬送ロボット８からインデクサロボット５へと受け渡されて、インデクサロボット５によって所定のカセットＣ（処理済みのウエハＷを搬送するためのカセットＣ）に収容される。
【００２６】
なお、処理室７で行われる処理は、たとえば、フッ酸、硫酸、硝酸、塩酸、リン酸、酢酸、アンモニア、クエン酸、蓚酸、ＴＭＡＨ（テトラ・メチル・アンモニウム・ハイドロオキサイド）などの薬液を用いてウエハＷの表面を洗浄（エッチング）する処理であってもよいし、純水、イオン水、オゾン水、炭酸水、還元水（水素水）、磁気水などのリンス液を用いてウエハＷの表面を洗浄する処理であってもよい。また、硫酸および過酸化水素水の混合液を用いてウエハＷの表面に形成されている不要なレジスト膜を剥離するレジスト剥離処理であってもよいし、ポリマー除去液を用いてウエハＷの表面に付着しているポリマーを除去するポリマー除去処理であってもよい。
【００２７】
このような構成の基板処理装置では、インデクサロボット５および主搬送ロボット８によるウエハＷの高精度な搬送を実現するために、基板処理装置の組み立て後に、インデクサロボット５および主搬送ロボット８に対して、それぞれインデクサロボット５および主搬送ロボット８によるウエハＷの搬送位置の正確な情報をティーチングするための作業が行われる。
【００２８】
たとえば、主搬送ロボット８に対して、処理室７におけるウエハＷの受け渡し位置をティーチングするための作業（ティーチング作業）では、作業者による操作によって、主搬送ロボット８のハンドがホームポジションから受け渡し位置へと導かれ、そのときのハンドの移動量が主搬送ロボット８の動作を制御するための制御装置に入力される。作業者による主搬送ロボット８の操作は、主搬送ロボット８のハンドの位置を目視するために、作業者が搬送室６内に入った状態で行われる。そのため、作業者が主搬送ロボット８の操作を誤ると、主搬送ロボット８が作業者に接触したり、作業者が主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間に挟まれたりする事故が起きるおそれがある。
【００２９】
そこで、この基板処理装置の外側面に設けられた操作パネルＰには、インデクサロボット５および主搬送ロボット８の動作を緊急停止させるための緊急遮断スイッチ９が配置されている。
また、インデクサロボット５と主搬送ロボット８との間の所定位置には、ブレーキリリースユニット１０が備えられている。このブレーキリリースユニット１０は、後述するサーボモータ１２のブレーキの作動を解除するためのものであり、インデクサロボット５および主搬送ロボット８に付随して設けられている接続部１１に選択的に接続可能に構成されている。
【００３０】
なお、緊急遮断スイッチ９は、操作パネルＰだけでなく、基板処理装置内で作業を行う作業者がインデクサロボット５および主搬送ロボット８を操作するために所持する操作ボックス（図示せず）に配置されていてもよい。
図２は、インデクサロボット５および主搬送ロボット８の給電系の構成を示すブロック図である。インデクサロボット５および主搬送ロボット８は、それぞれサーボモータ１２を駆動源として備えている。
【００３１】
なお、インデクサロボット５の給電系と主搬送ロボット８の給電系とは同様な構成を有しているため、以下では、主搬送ロボット８の給電系を取り上げて説明し、インデクサロボット５の給電系については説明を省略する。
サーボモータ１２は、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを内蔵している。このブレーキが作動すると、サーボモータ１２のロータが不動になり、主搬送ロボット８が不動な状態で保持される。また、サーボモータ１２は、駆動電流入力端子１３とブレーキリリース電流入力端子１４とを備えており、ブレーキの作動は、ブレーキリリース電流入力端子１４に所定のブレーキリリース電流が入力されると解除される。そして、ブレーキの作動が解除された状態で、駆動電流入力端子１３に駆動電流が入力されると、サーボモータ１２は、主搬送ロボット８を動作させるための駆動力を発生する。
【００３２】
また、サーボモータ１２には、ロータの回転位置に応じたパルス信号を出力するエンコーダ１５が付設されている。
さらにまた、サーボモータ１２には、マイクロコンピュータや各種回路を備えるモータコントローラ１６が接続されている。このモータコントローラ１６には、交流２００ボルト（ＡＣ２００Ｖ）の電源電圧を有する主電源１７から給電経路１８を介して電力が入力されるようになっている。また、モータコントローラ１６には、エンコーダ１５から出力されるパルス信号が与えられるようになっている。
【００３３】
モータコントローラ１６は、エンコーダ１５から入力されるパルス信号に基づいて、サーボモータ１２のロータの位置を検出し、それに応じた駆動電流をサーボモータ１２の駆動電流入力端子１３に入力する。また、モータコントローラ１６は、駆動電流入力端子１３に駆動電流を入力するときに、ブレーキリリース電流入力端子１４に所定のブレーキリリース電流を入力する。
【００３４】
給電経路１８上には、緊急遮断スイッチ（ＥＭＯスイッチ）９の押操作に応答して、主電源１７からサーボモータ１２への電力の供給を許容する導通状態からその電力の供給を遮断する遮断状態に切り替わる緊急遮断回路（ＥＭＯ回路）１９が設けられている。この緊急遮断回路１９は、プログラム処理によって主電源１７からサーボモータ１２への電力の供給を遮断する構成のものではなく、緊急遮断スイッチ９の押操作に応答してオンからオフに切り替わるリレーなどを備えるハードウエア回路であり、導通状態から遮断状態に切り替わると、この基板処理装置が再起動されない限り、その遮断状態から導通状態に復帰しない。
【００３５】
また、給電経路１８には、緊急遮断回路１９とモータコントローラ１６との間において、ブレーキリリースユニット１０に電力を供給するための充電経路２０が分岐接続されている。
ブレーキリリースユニット１０は、サーボモータ１２のブレーキの作動を解除可能な電力を蓄えておくための充電池２１と、この充電池２１を充電するための充電回路２２とを備えている。このブレーキリリースユニット１０は、ティーチング作業中以外は、インデクサロボット５と主搬送ロボット８との間の所定位置にセットされて、充電回路２２が充電経路２０に接続される。これにより、主電源１７から給電経路１８および充電経路２０を介して充電回路２２に電力が供給され、充電回路２２の働きによって、その電力が充電池２１に蓄えられる。
【００３６】
ティーチング作業の開始に際して、基板処理装置内で作業する作業者は、インデクサロボット５と主搬送ロボット８との間の所定位置からブレーキリリースユニット１０を取り外す。そして、基板処理装置内で作業する作業者は、ティーチング作業が終了するまで、ブレーキリリースユニット１０を所持しておく。
ティーチング作業中に、たとえば、作業者の操作ミスによって、その作業者が主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間に挟まれた場合には、まず、緊急遮断スイッチ９が押される。緊急遮断スイッチ９が押されると、緊急遮断回路１９が導通状態から遮断状態に切り替わり、主電源１７からサーボモータ１２への電力の供給が停止されることによって、主搬送ロボット８の動作が緊急停止される。また、サーボモータ１２のブレーキが作動して、主搬送ロボット８が緊急停止した状態で不動に保持される。主搬送ロボット８が不動となることにより、主搬送ロボット８のハンドなどの昇降駆動される部材が重力で下降することを防止でき、そのような部材が作業者に接触するといった二次的な事故の発生を防止することができる。
【００３７】
そして、作業者は、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間から抜け出せない場合には、ブレーキリリースユニット１０を主搬送ロボット８に付随して設けられている接続部１１に接続する。ブレーキリリースユニット１０が接続部１１に接続されると、ブレーキリリースユニット１０の充電池２１に蓄えられている電力が、モータコントローラ１６を介して、サーボモータ１２のブレーキリリース電流入力端子１４に入力される。すると、サーボモータ１２のブレーキの作動が解除され、主搬送ロボット８の不動状態が解除される。したがって、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間に挟まっている作業者は、主搬送ロボット８を手動で動かして、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間から抜け出すことができる。
【００３８】
以上のように、この実施形態によれば、緊急遮断回路１９が遮断状態に切り替えられたままでも、サーボモータ１２が有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路１９を遮断状態から導通状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間またはインデクサロボット５と直線搬送路４の隔壁との間に作業者が挟まれた場合に、緊急遮断スイッチ９が押されて、主搬送ロボット８またはインデクサロボット５が不動状態となり、作業者の身動きが取れない状態となっても、主搬送ロボット８またはインデクサロボット５の不動な状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。
【００３９】
図３は、この発明の他の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。また、図４は、その基板処理装置に備えられているインデクサロボット５および主搬送ロボット８の給電系の構成を示すブロック図である。
図３において、上述した図１に示す各部に相当する部分には、図１の場合と同一の参照符号を付し、図４において、上述した図２に示す各部に相当する部分には、図２の場合と同一の参照符号を付している。
【００４０】
この基板処理装置では、インデクサロボット５の近傍に、ブレーキリリーススイッチ２３が配置されている。また、インデクサロボット５に関連づけて、ブレーキリリースユニット１０が固定的に設けられている。そして、ブレーキリリーススイッチ２３が押されると、ブレーキリリースユニット１０の充電池２１に蓄えられている電力が、モータコントローラ１６を介して、インデクサロボット５のサーボモータ１２のブレーキリリース電流入力端子１４に入力されるようになっている。ブレーキリリース電流入力端子１４にブレーキリリースユニット１０からの電力が入力されることにより、サーボモータ１２のブレーキの作動が解除され、インデクサロボット５の不動状態が解除される。
【００４１】
また、主搬送ロボット８の近傍にも、ブレーキリリーススイッチ２３が配置されている。また、主搬送ロボット８に関連づけて、ブレーキリリースユニット１０が固定的に設けられている。そして、ブレーキリリーススイッチ２３が押されると、ブレーキリリースユニット１０の充電池２１に蓄えられている電力が、モータコントローラ１６を介して、主搬送ロボット８のサーボモータ１２のブレーキリリース電流入力端子１４に入力されるようになっている。ブレーキリリース電流入力端子１４にブレーキリリースユニット１０からの電力が入力されることにより、サーボモータ１２のブレーキの作動が解除され、主搬送ロボット８の不動状態が解除される。
【００４２】
この実施形態の構成によっても、緊急遮断回路１９が遮断状態に切り替えられたままでも、サーボモータ１２が有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路１９を遮断状態から導通状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間またはインデクサロボット５と直線搬送路４の隔壁との間に作業者が挟まれた場合に、緊急遮断スイッチ９が押されて、主搬送ロボット８またはインデクサロボット５が不動状態となり、作業者の身動きが取れない状態となっても、主搬送ロボット８またはインデクサロボット５の不動な状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。
【００４３】
図５は、この発明のさらに他の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。この図５以降の各図において、上述の各部に相当する部分には、その各部と同一の参照符号を付している。また、その同一の参照符号を付した部分については、以下での詳細な説明は省略する。
図５に示す基板処理装置は、図１に示す構成に加えて、２個の緊急遮断スイッチ９と、ブレーキリリースユニット１０をそれぞれ接続可能な４個の接続部１１とを備えている。
【００４４】
すなわち、図５に示す基板処理装置は、合計で３個の緊急遮断スイッチ９を備えており、これらの緊急遮断スイッチ９は、基板処理装置の外側面において、操作パネルＰと、搬送室６の両側で隣接する処理室７の各間とに配置されている。また、図５に示す基板処理装置は、合計で６個の接続部１１を備えており、これらの接続部１１は、インデクサロボット５、主搬送ロボット８および各処理室７に付随して設けられている。
【００４５】
なお、緊急遮断スイッチ９は、さらに多く設けられていてもよく、基板処理装置の周囲で作業する作業者の手の届く範囲内（たとえば、３メートル以内）に少なくとも１つ配置されていることが好ましい。
図６は、処理室７の内部およびその下方の部分の構成を示す図解的な断面図である。
処理室７内には、ウエハＷをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック３１と、スピンチャック３１に保持されたウエハＷの表面付近の雰囲気を制御するための遮断板３２とが備えられている。
【００４６】
スピンチャック３１としては、たとえば、ウエハＷの端面を複数個の挟持部材で挟持することにより、ウエハＷをほぼ水平な姿勢で保持し、さらにその状態でほぼ鉛直な軸線まわりに回転することにより、その保持したウエハＷを回転させることができる構成のものや、ウエハＷの下面を真空吸着することにより、ウエハＷを水平な姿勢で保持し、さらにその状態で鉛直な軸線まわりに回転することにより、その保持したウエハＷを回転させることができるものを採用することができる。
【００４７】
遮断板３２は、スピンチャック３１の上方でほぼ水平に配置され、スピンチャック３１の上方に大きく退避する退避位置と、スピンチャック３１に保持されたウエハＷの表面（上面）に近接して対向する近接位置とに昇降可能に設けられている。
より具体的には、スピンチャック３１の上方には、ほぼ水平に延びるアーム３３が設けられている。遮断板３２は、そのアーム３３の先端部から垂下する遮断板軸３４の下端に取り付けられて、ほぼ水平に配置されている。一方、アーム３３の基端部は、鉛直方向に延びる昇降軸３５の上端に結合されている。昇降軸３５は、処理室７の底壁を貫通して、処理室７の下方へと延びており、その下端部には、昇降駆動機構３６が結合されている。遮断板３２は、昇降駆動機構３６による昇降軸３５の鉛直方向の直動（昇降）によって、退避位置と近接位置との間で昇降する。
【００４８】
昇降駆動機構３５は、外周面にねじが切られたねじ軸３７と、このねじ軸３７に螺合可能なねじが内周面に切られたナットプーリ３８と、昇降用モータ３９と、この昇降用モータ３９の出力軸に固定されたモータプーリ４０と、ナットプーリ３８およびモータプーリ４０に巻き回されたベルト４１とを備えている。これにより、昇降用モータ３９の駆動力が、モータプーリ４０およびベルト４１を介してナットプーリ３８に入力されると、ナットプーリ３８が回転し、このナットプーリ３８の回転がねじ軸３７の直線運動に変換され、ねじ軸３７が鉛直方向に直動する。このねじ軸３７の直動に伴って、昇降軸３５が鉛直方向に直動する。
【００４９】
昇降用モータ３９としては、たとえば、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを内蔵したサーボモータが採用されている。したがって、ブレーキが作動すると、サーボモータのロータが不動になり、遮断板３２が不動状態で停止する。
遮断板３２は、ウエハＷの搬入出の際には、退避位置に配置されており、ウエハＷを高速回転させて乾燥させる処理の際に、退避位置から近接位置に下降される。高速回転しているウエハＷの表面に対して遮断板３２が近接して配置され、たとえば、その遮断板３２とウエハＷとの間に窒素ガスなどの不活性ガスが供給される。これにより、遮断板３２とウエハＷとの間の空間を窒素ガス雰囲気に制御することができ、ウエハＷの表面に乾燥跡などを生じない良好な乾燥処理を実現することができる。
【００５０】
このような基板処理装置では、たとえば、近接位置における遮断板３２とウエハＷとの間の間隔を適正な間隔とするための調整が行われる。通常、処理室７内のメンテナンスは、基板処理装置の電源をオフにした状態で行われるが、遮断板３２の近接位置の調整は、遮断板３２を動かす必要があるため、基板処理装置の電源をオンにしたままで行われる。そのため、作業者が遮断板３２の操作を誤ると、調整作業のために処理室７内に入れられている作業者の手に遮断板３２が接触したり、その手が遮断板３２とスピンチャック３１との間に挟まれたりする事故が起きるおそれがある。
【００５１】
図７は、昇降用モータ３９の給電系の構成を示すブロック図である。
昇降用モータ３９は、駆動電流入力端子４２とブレーキリリース電流入力端子４３とを備えており、ブレーキの作動は、ブレーキリリース電流入力端子４３に所定のブレーキリリース電流が入力されると解除される。そして、ブレーキの作動が解除された状態で、駆動電流入力端子４２に駆動電流が入力されると、昇降用モータ３９は、遮断板３２を昇降させるための駆動力を発生する。
【００５２】
また、昇降用モータ３９には、ロータの回転位置に応じたパルス信号を出力するエンコーダ４４が付設されている。
さらにまた、昇降用モータ３９には、マイクロコンピュータや各種回路を備えるモータコントローラ４５が接続されている。このモータコントローラ４５には、交流２００ボルト（ＡＣ２００Ｖ）の電源電圧を有する主電源１７から給電経路４６を介して電力が入力されるようになっている。また、モータコントローラ４５には、エンコーダ４４から出力されるパルス信号が与えられるようになっている。
【００５３】
モータコントローラ４５は、エンコーダ４４から入力されるパルス信号に基づいて、昇降用モータ３９のロータの位置を検出し、それに応じた駆動電流を昇降用モータ３９の駆動電流入力端子４２に入力する。また、モータコントローラ４５は、駆動電流入力端子４２に駆動電流を入力するときに、ブレーキリリース電流入力端子４３に所定のブレーキリリース電流を入力する。
【００５４】
給電経路４６上には、緊急遮断スイッチ（ＥＭＯスイッチ）９の押操作に応答して、主電源１７から昇降用モータ３９への電力の供給を許容する導通状態からその電力の供給を遮断する遮断状態に切り替わる緊急遮断回路（ＥＭＯ回路）４７が設けられている。この緊急遮断回路４７は、上述の緊急遮断回路１９と同じ構成のものであり、導通状態から遮断状態に切り替わると、この基板処理装置が再起動されない限り、その遮断状態から導通状態に復帰しない。
【００５５】
また、ブレーキリリース電流入力端子４３には、処理室７に付随した接続部１１が接続されている。通常、接続部１１には、図６に示すように、基板処理装置の起動時に電力を供給するためのコネクタ４８が接続されている。
遮断板３２の調整作業中、処理室７内に手を入れて作業する作業者は、その作業が終了するまで、ブレーキリリースユニット１０を所持しておく。
【００５６】
調整作業中に、たとえば、作業者の操作ミスによって、その作業者の手が遮断板３２とスピンチャック３１との間に挟まれた場合には、まず、緊急遮断スイッチ９が押される。緊急遮断スイッチ９が押されると、緊急遮断回路４７が導通状態から遮断状態に切り替わり、主電源１７から昇降用モータ３９への電力の供給が停止されることによって、遮断板３２の動作が緊急停止する。また、昇降用モータ３９のブレーキが作動して、遮断板３２が緊急停止した状態で不動となる。
【００５７】
そして、遮断板３２とスピンチャック３１との間から手を抜くことができない場合には、ブレーキリリースユニット１０が接続部１１に接続される。ブレーキリリースユニット１０が接続部１１に接続されると、ブレーキリリースユニット１０の充電池２１に蓄えられている電力が、昇降用モータ３９のブレーキリリース電流入力端子４３に入力される。すると、昇降用モータ３９のブレーキの作動が解除され、遮断板３２の不動状態が解除される。したがって、作業者は、主搬送ロボット８を手動で動かして、遮断板３２とスピンチャック１との間から手を抜くことができる。
【００５８】
以上のように、この実施形態によれば、緊急遮断回路４７が遮断状態に切り替えられたままでも、昇降用モータ３９が有するブレーキの作動を解除することができる。したがって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路４７を遮断状態から導通状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。そのため、緊急遮断スイッチ９が押された後の遮断板３１の不動状態を即座に解除することができる。よって、遮断板３２とスピンチャック３１との間に作業者の手が挟まれた事故が起きた場合に、遮断板３２とスピンチャック３１との間から手を抜くことができない状態が長時間続くのを防止することができる。
【００５９】
また、緊急停止時に遮断板３２を動かすためのハンドルを設ける構成と異なり、基板処理装置の大型化を招くこともない。
以上、この発明の３つの実施形態を説明したが、この発明は、さらに他の形態で実施することもできる。たとえば、上記の各実施形態では、インデクサロボット５および主搬送ロボット８の駆動源としてサーボモータ１２が適用され、また、遮断板３２を昇降させるための昇降用モータ３９としてサーボモータが適用された場合を取り上げたが、これらのサーボモータに代えて、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するステッピングモータが適用されてもよい。
【００６０】
また、ブレーキリリースユニット１０は、充電池２１および充電回路２２を備えているとしたが、これらに代えて、充電不可能な電池を備えていてもよい。ただし、充電池２１および充電回路２２を備えている場合、ブレーキリリースユニット１０の使用によって、充電池２１に蓄えられている電力が消費されても、充電回路２２によって充電池２１を充電することができる。そのため、ブレーキリリースユニット１０を繰り返し使用することができる。また、少なくともティーチング作業が行われていない間は、充電池２１への充電が行われるから、ティーチング作業時に、ブレーキリリースユニット１０（充電池２１）に蓄えられている電力が不足しているといったことがなく、常にブレーキリリースユニット１０を使用できる状態にしておくことができる。
【００６１】
また、基板処理装置内においてブレーキ付きのモータの駆動力により動作する可動部材として、インデクサロボット５、主搬送ロボット８および遮断板３２を例にとって、この発明の実施形態を説明したが、そのような可動部材としては、図６に示すベルト４１、処理室７内で水平方向に揺動するスキャンノズル、処理室７内で水平方向に揺動するスキャンブラシ、処理室７の隔壁に形成されたウエハ搬入出口を開閉するためのモータ駆動式のシャッタなどを例示することができる。
【００６２】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】この発明の一実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。
【図２】図１に示す基板処理装置に備えられているインデクサロボットおよび主搬送ロボットの給電系の構成を示すブロック図である。
【図３】この発明の他の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。
【図４】図３に示す基板処理装置に備えられているインデクサロボットおよび主搬送ロボットの給電系の構成を示すブロック図である。
【図５】この発明のさらに他の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。
【図６】図５に示す基板処理装置に備えられている処理室の内部およびその下方の部分の図解的な断面図である。
【図７】図６に示す昇降用モータの給電系の構成を説明するためのブロック図である。
【符号の説明】
【００６４】
３      カセット載置台
５      インデクサロボット
７      処理室
８      主搬送ロボット
９      緊急遮断スイッチ
１０    ブレーキリリースユニット
１１    接続部
１２    サーボモータ
１７    主電源
１９    緊急遮断回路
２１    充電池
２２    充電回路
２３    ブレーキリリーススイッチ
３１    スピンチャック
３２    遮断板
３９    昇降用モータ
４１    ベルト
４７    緊急遮断回路
Ｃ      カセット
Ｗ      ウエハ
【図１】
2006270092.tif 000003
【図２】
2006270092.tif 000004
【図３】
2006270092.tif 000005
【図４】
2006270092.tif 000006
【図５】
2006270092.tif 000007
【図６】
2006270092.tif 000008
【図７】
2006270092.tif 000009