(57)【要約】【課題】  設備のコンパクト化を図ることができると共に水処理コストも抑制しつつ、難分解性有機物質等を分解処理することのできる、紫外光とオゾンを併用した水処理装置を提供する。【解決手段】  この発明の紫外光とオゾンを併用した水処理装置は、水処理用外槽２と、前記外槽２の内部に配置された内槽３と、前記内槽３内に配置された紫外線ランプ６と、一端が前記内槽と前記紫外線ランプの間のオゾン生成用空間４に連通接続され、他端が前記外槽と内槽の間の通水用空間５に連通接続された吸気管７と、前記吸気管７内の気体を前記オゾン生成用空間４側から通水用空間５側に向けて送気する送気装置８と、を備えることを特徴とする。【選択図】  図１
2006158986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オゾンを添加した被処理水に紫外線ランプからの紫外光を照射することによって、被処理水に含有される有機物質等を分解処理する水処理方法において、
前記添加オゾンとして、前記紫外線ランプの周囲に存在する酸素に対して該ランプからの紫外光が照射されることによって生成したオゾンを用いることを特徴とする紫外光とオゾンを併用した水処理方法。
【請求項２】
水処理用外槽と、
前記外槽の内部に配置された内槽と、
前記内槽内に配置された紫外線ランプと、
一端が前記内槽と前記紫外線ランプの間のオゾン生成用空間に連通接続され、他端が前記外槽と内槽の間の通水用空間に連通接続された吸気管と、
前記吸気管内の気体を前記オゾン生成用空間側から通水用空間側に向けて送気する送気装置とを備えることを特徴とする紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【請求項３】
水処理用外槽と、
前記外槽の内部に配置された内槽と、
前記内槽内に配置された紫外線ランプと、
一端が前記内槽と前記紫外線ランプの間のオゾン生成用空間に連通接続され、他端が前記外槽と内槽の間の通水用空間に連通接続された吸気管と、
前記吸気管の途中位置に取り付けられたアスピレーターとを備えることを特徴とする紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【請求項４】
前記吸気管におけるアスピレーターから通水用空間までの位置の少なくとも一部が螺旋状に形成されている請求項３に記載の紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【請求項５】
前記外槽が、内方側に紫外光を反射する反射板で構成されている請求項２〜４のいずれか１項に記載の紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【請求項６】
前記外槽の外側または内側に、内方側に紫外光を反射する反射板が配置されている請求項２〜４のいずれか１項に記載の紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば生活排水、産業排水等の水に含有される有機物質等を紫外光とオゾンを利用して分解処理する水処理方法及び水処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、化学製造業等における製造物の高度化等にともない、従来の生物処理や凝集沈殿処理では完全に除去できない難分解性の有機物質が増加してきており、工場排水等が十分に浄化されないまま環境中に排出されていることが多くなってきている。このような現状に対して排水の高度処理の要求が急速に高まってきている中、紫外光、オゾン、酸化力の強い物質（酸化チタン、過酸化水素等）を利用した水処理方法の技術開発が進められており、その中でも紫外線処理とオゾン処理を組み合わせた促進酸化処理法（Advanced Oxidation Process）が注目されている。
【０００３】
例えば、被処理水にオゾンを溶解せしめた後、この被処理水に紫外線を照射することによってオゾンよりも酸化力の強いラジカル種（ヒドロキシラジカル等）を生成させて難分解性有機物質等を分解処理する方法が種々提案されている（特許文献１〜４参照）。これらいずれの方法でも、効果の差はあるものの、被処理水中の難分解性有機物質の分解処理を行うことができる。
【特許文献１】特開２００４−２７５９６９号公報
【特許文献２】特開２００３−２６６０８８号公報
【特許文献３】特開２００２−１５３８９１号公報
【特許文献４】特開２０００−５１８７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１〜４に記載の水処理装置では、いずれもオゾンをオゾン発生装置（オゾナイザー）を用いて発生させているが、このオゾン発生装置は、装置として大型のものとなるし、高価であることから、上記特許文献１〜４の水処理装置では、コンパクト化を図ることは到底困難であるし、設備コストも高くなって水処理のコストが高くなるという問題があった。
【０００５】
この発明は、かかる技術的背景に鑑みてなされたものであって、設備のコンパクト化を図ることができると共に水処理コストも抑制しつつ、難分解性有機物質等を分解処理することのできる、紫外光とオゾンを併用した水処理方法及び水処理装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
【０００７】
［１］オゾンを添加した被処理水に紫外線ランプからの紫外光を照射することによって、被処理水に含有される有機物質等を分解処理する水処理方法において、
前記添加オゾンとして、前記紫外線ランプの周囲に存在する酸素に対して該ランプからの紫外光が照射されることによって生成したオゾンを用いることを特徴とする紫外光とオゾンを併用した水処理方法。
【０００８】
［２］水処理用外槽と、前記外槽の内部に配置された内槽と、前記内槽内に配置された紫外線ランプと、一端が前記内槽と前記紫外線ランプの間のオゾン生成用空間に連通接続され、他端が前記外槽と内槽の間の通水用空間に連通接続された吸気管と、前記吸気管内の気体を前記オゾン生成用空間側から通水用空間側に向けて送気する送気装置とを備えることを特徴とする紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【０００９】
［３］水処理用外槽と、前記外槽の内部に配置された内槽と、前記内槽内に配置された紫外線ランプと、一端が前記内槽と前記紫外線ランプの間のオゾン生成用空間に連通接続され、他端が前記外槽と内槽の間の通水用空間に連通接続された吸気管と、前記吸気管の途中位置に取り付けられたアスピレーターとを備えることを特徴とする紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【００１０】
［４］前記吸気管におけるアスピレーターから通水用空間までの位置の少なくとも一部が螺旋状に形成されている前項３に記載の紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【００１１】
［５］前記外槽が、内方側に紫外光を反射する反射板で構成されている前項２〜４のいずれか１項に記載の紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【００１２】
［６］前記外槽の外側または内側に、内方側に紫外光を反射する反射板が配置されている前項２〜４のいずれか１項に記載の紫外光とオゾンを併用した水処理装置。
【発明の効果】
【００１３】
［１］の発明では、紫外光とオゾンを併用して、被処理水に含有される有機物質等を分解処理するものであるから、易分解性有機物質のみならず、難分解性有機物質等も分解処理することができる。更に、被処理水に添加するオゾンとして、紫外光を発生させるのに用いる紫外線ランプの周囲に存在する酸素に対して該ランプからの紫外光が照射されることによって生成したオゾンを用いており、オゾン発生のために別途オゾン発生装置等の専用設備を設けなくて済むので、装置のコンパクト化を図ることができるし、水処理コストも抑制することができる。
【００１４】
［２］の発明では、紫外線ランプの紫外光が、外槽と内槽の間の通水用空間を通過する被処理水に照射されるから、被処理水中の有機物質等が分解処理される。また、内槽と紫外線ランプの間のオゾン生成用空間の酸素にランプからの紫外光が照射されることによって生成したオゾンは、送気装置によって吸気管を介して外槽と内槽の間の通水用空間に送流される。この通水用空間では、オゾンの作用によって被処理水中の有機物質等が分解処理されると共に、このオゾンの一部は、ランプからの紫外光照射により酸化力の強いラジカル種（ヒドロキシラジカル等）になり該ラジカル種によって被処理水中の難分解性有機物質も分解処理される。この水処理装置では、オゾン発生のために別途オゾン発生装置等の専用設備を設けなくて済むので、装置のコンパクト化を図ることができると共に、水処理コストも抑制することができる。
【００１５】
［３］の発明では、紫外線ランプの紫外光が、外槽と内槽の間の通水用空間を通過する被処理水に照射されるから、被処理水中の有機物質等が分解処理される。また、内槽と紫外線ランプの間のオゾン生成用空間の酸素に対してランプからの紫外光が照射されることによって生成したオゾンは、被処理水がアスピレーターを通過することによって生じた減圧による吸引作用により吸気管を介して外槽と内槽の間の通水用空間に送流される。この通水用空間では、オゾンの作用によって被処理水中の有機物質等が分解処理されると共に、このオゾンの一部は、ランプからの紫外光照射により酸化力の強いラジカル種（ヒドロキシラジカル等）になり該ラジカル種によって被処理水中の難分解性有機物質も分解処理される。この水処理装置では、オゾン発生のために別途オゾン発生装置等の専用設備を設けなくて済むので、装置のコンパクト化を図ることができると共に、水処理コストも抑制することができる。また、オゾン生成用空間で生成したオゾンの通水用空間への送気は、簡易なアスピレーターを利用して行うことができ、別途専用の設備を設けなくて済むから、装置全体をよりコンパクト化できる利点がある。
【００１６】
［４］の発明では、前記吸気管におけるアスピレーターから通水用空間までの位置の少なくとも一部が螺旋状に形成されているから、この螺旋状部を被処理水及びオゾンが通過する際に被処理水とオゾンが十分に混合されるものとなり、オゾンが被処理水中に十分に溶解するので、分解作用をより向上させることができる利点がある。
【００１７】
［５］の発明では、外槽が、内方側に紫外光を反射する反射板で構成されているから、外槽に到達した紫外光を外に逃がすことなく内側に戻して再利用に供することができ、これにより有機物質等の分解効率を一層向上させることができる。
【００１８】
［６］の発明でも、［５］の発明と同様に、外槽の方に到達した紫外光を外に逃がすことなく内側に戻して再利用に供することができ、これにより有機物質等の分解効率を一層向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
この発明に係る紫外光とオゾンを併用した水処理装置（１）の一実施形態を図１〜３に示す。これらの図において、（２）は水処理用外槽、（３）は内槽、（６）は紫外線ランプ、（７）は吸気管、（８）はアスピレーターである。
【００２０】
前記水処理用外槽（２）は石英ガラス製の透明な筒状体で形成され、この外槽（２）の内部に内槽（３）が配置されており、該内槽（３）も石英ガラス製の透明な筒状体で形成されている。前記外槽（２）の内径は、前記内槽（３）の外径よりも大きく設計され、これにより前記外槽（２）と前記内槽（３）の間に通水用空間（５）が確保されている（図２、３参照）。前記外槽（２）と前記内槽（３）の上端には上蓋部（１３）が接合される一方、前記外槽（２）と前記内槽（３）の下端には底蓋部（１４）が接合されている。前記上蓋部（１３）の送出口（２２）に、処理後の水を送出するための処理水送出管（１１）が接続固定されている。なお、本実施形態では、前記外槽（２）の外周面に、内方側に紫外光を反射する筒状の鏡面紫外光反射板（図示しない）が積層一体化されている。
【００２１】
前記内槽（３）の内部には紫外線ランプ（６）が配置されており、この紫外線ランプ（６）と前記内槽（３）との間にオゾン生成用空間（４）が形成されている（図２、３参照）。本実施形態では、前記紫外線ランプ（６）として低圧水銀ランプを用いている。なお、図１において、（１０）は紫外線ランプの電源部である。
【００２２】
前記オゾン生成用空間（４）には吸気管（７）の一端が配置されている。本実施形態では、吸気管（７）の一端が前記オゾン生成用空間（４）の高さの２等分位置より下の位置になるように配置されている（図１、３参照）。前記吸気管（７）の他端は、前記底蓋部（１４）の導入口（２１）に接続固定されることによって前記通水用空間（５）に連通接続されている。
【００２３】
また、前記吸気管（７）の途中位置にアスピレーター（水流ポンプ）（８）が取り付けられている。そして、前記吸気管（７）におけるアスピレーター（８）から通水用空間（５）までの位置の大部分が螺旋状に捲回されて吸気用螺旋管部（７Ｘ）が構成されている。図１に示すように、前記アスピレーター（８）の三方接続口のうちの１つ（上端接続口）には前記吸気管（７）が接続され、左端接続口には吸気用螺旋管部（７Ｘ）の一端が接続され、残る右端接続口に送水管（１２）が接続されている。この送水管（１２）には送水機（９）が取り付けられており、この送水機（９）の駆動によって被処理水が、送水管（１２）、アスピレーター（８）、吸気用螺旋管部（７Ｘ）、底蓋部の導入口（２１）を順に通過して前記通水用空間（５）内に送流される。そして、被処理水がアスピレーター（８）内を通過した際にアスピレーター（８）内に減圧が生じ、この減圧によって前記吸気管（７）から管（７）内の気体が吸気用螺旋管部（７Ｘ）に取り込まれる、即ち前記オゾン生成用空間（４）で発生したオゾンが前記吸気管（７）経由で前記吸気用螺旋管部（７Ｘ）に取り込まれて、オゾンが前記通水用空間（５）内に送流されるものとなる。なお、本実施形態では、前記送水機（９）としてポンプを用いている。また、図３において、（１５）は酸素導入用開口部であり、本実施形態では、大気（空気）がこの酸素導入用開口部（１５）を介してオゾン生成用空間（４）内に取り込まれる。
【００２４】
しかして、前記電源部（１０）のスイッチを入れて紫外線ランプ（６）を点灯すると共に前記送水機（９）を駆動させて水処理装置（１）を運転状態にすると、被処理水が送水管（１２）、アスピレーター（８）、吸気用螺旋管部（７Ｘ）、底蓋部（１４）の導入口（２１）を順に通過して前記通水用空間（５）内に送流される。また、被処理水がアスピレーター（８）内を通過した際に生じたアスピレーター（８）内の減圧によって、即ち吸引作用によって、前記オゾン生成用空間（４）で発生したオゾンが吸気管（７）を経由してアスピレーター（８）内に取り込まれ、ここでオゾンが前記被処理水に混合されつつ吸気用螺旋管部（７Ｘ）、底蓋部（１４）の導入口（２１）を順に通過して前記通水用空間（５）内に送流される。この時、被処理水及びオゾンが吸気用螺旋管部（７Ｘ）を通過することによって被処理水とオゾンが十分に混合されるから、オゾンは被処理水中に十分に溶解する。こうして前記通水用空間（５）内にオゾンが十分に溶解した被処理水が送流される。
【００２５】
前記通水用空間（５）内では、オゾンが十分に溶解した被処理水に対して紫外線ランプ（６）からの紫外光が照射されるので、被処理水中の有機物質等が分解処理される。また、オゾンの作用によって被処理水中の有機物質等が分解処理されると共に、このオゾンの一部は、紫外線ランプ（６）からの紫外光照射により酸化力の強いラジカル種（ヒドロキシラジカル等）になり該ラジカル種によって被処理水中の難分解性有機物質も分解処理される。このようにして分解処理された処理水は、上昇移動して前記上蓋部（１３）の送出口（２２）を介して処理水送出管（１１）に送出される。送出された処理水は、紫外光の作用、オゾンの酸化作用及びオゾンへの紫外光照射により生成したラジカル種による酸化作用等によって易分解性有機物質は勿論のこと難分解性有機物質も十分に分解処理されたものとなっている。
【００２６】
前記水処理装置（１）によれば、オゾン発生のために別途オゾン発生装置等の専用設備を設けなくて済むので、装置（１）のコンパクト化を図ることができると共に、水処理コストも低減することができる。
【００２７】
なお、前記実施形態では、前記外槽（２）の外周面に、内方側に紫外光を反射する反射板を積層一体化した構成を採用しているが、このような紫外光反射板を設けない構成を採用しても良い。また、紫外光反射板を設ける構成を採用する場合に、例えば、前記外槽（２）の内周面に、内方側に紫外光を反射する反射板を積層一体化した構成を採用しても良いし、或いは前記外槽（２）そのものを内方側に紫外光を反射する反射板で構成しても良い。
【００２８】
また、前記実施形態では、吸気管（７）におけるアスピレーター（８）から通水用空間（５）までの位置の一部が螺旋状に形成された吸気用螺旋管部（７Ｘ）が設けられているが、特にこのような螺旋管部を設けない構成を採用しても良い。ただ、オゾンを被処理水中に十分に溶解せしめて分解作用をより向上させる観点から、吸気管（７）におけるアスピレーター（８）から通水用空間（５）までの位置の少なくとも一部が螺旋状に形成された構成を採用するのが好ましい。
【００２９】
また、前記実施形態では、内槽（３）は、石英ガラスで構成されているが、特にこのような素材に限定されるものではなく、紫外光を透過できる素材（紫外光透過性素材）であればどのようなものでも良い。また、内槽（３）は、その一部が紫外光を内方に反射する反射材で構成されていても良く、この場合にはオゾン生成用空間（４）におけるオゾン生成効率をより向上させることができる利点がある。或いはまた、内槽（３）は、例えば紫外光を５０％透過し、残りの５０％を内方側に反射する材料で構成されていても良い。
【００３０】
また、前記実施形態では、吸気管（７）にアスピレーター（８）を取り付けることによって、吸気用螺旋管部（７Ｘ）において被処理水とオゾンを十分に混合せしめて、この吸気用螺旋管部（７Ｘ）から被処理水とオゾンの両方（即ちオゾンが十分に溶解した被処理水）を通水用空間（５）に送流するようにしているが、特にこのような構成（被処理水とオゾンの両方を同一の管から通水用空間に供給する構成）に限定されるものではなく、例えば図６に示すように、一端がオゾン生成用空間（４）に連通接続された吸気管（７）の他端を底蓋部（１４）の吸気口（２３）を介して通水用空間（５）に連通接続する一方、送水機（９）が取り付けられた送水管（１２）を底蓋部（１４）の吸水口（２４）を介して通水用空間（５）に連通接続し、前記吸気管（７）に送気装置（８）を取り付けた構成を採用しても良い。この図６の構成では、被処理水は、底蓋部（１４）の吸水口（２４）から通水用空間（５）内に送水される一方、オゾンは、底蓋部（１４）の吸気口（２３）から通水用空間（５）内に送気される。
【００３１】
また、前記実施形態では、前記オゾン生成用空間（４）で生成したオゾンが吸気管（７）内に吸気されるのに伴い、上蓋部（１３）の酸素導入用開口部（１５）から大気（空気）が前記オゾン生成用空間（４）内に取り込まれるものとなされているが、例えば図４に示すように、酸素ボンベ等の酸素供給器（３１）から延ばされた酸素供給管（３２）を前記オゾン生成用空間（４）内に配置せしめた構成を採用することによって、前記オゾン生成用空間（４）で生成したオゾンが吸気管（７）内に吸気されるのに伴い、前記オゾン生成用空間（４）内に新たに酸素が導入（供給）されるようにしても良い。
【００３２】
また、本発明の水処理装置（１）の複数個を直列に連結した構成を採用することもできる。例えば、図５に示すように、一方の水処理装置（１Ａ）の処理水送出管（１１）を他方の水処理装置（１Ｂ）のアスピレーター（８）に接続した構成を採用することもできる。
【００３３】
この発明に係る、紫外光とオゾンを併用した水処理方法及び水処理装置は、特に限定されるものではないが、例えば難分解性有機物質を含む排水の分解処理、着色排水の脱色処理、ＢＯＤ（生物化学的酸素要求量）削減、ＣＯＤ（化学的酸素要求量）削減などに用いられ、またこれら以外の多様な分野への応用が可能である。前記難分解性有機物質としては、例えばフェノール、ｐ−クレゾール、ｐ−クロロフェノール等を例示できる。
【実施例】
【００３４】
次に、この発明の具体的実施例について説明する。
【００３５】
＜実施例１＞
図１〜３に示す構成の水処理装置（１）を用いて、フェノール、ｐ−クレゾール、ｐ−クロロフェノールを微量含有した被処理水の分解処理を行った。即ち、フェノール１５３ｍｇ／ｄｍ3、ｐ−クレゾール１５６ｍｇ／ｄｍ3、ｐ−クロロフェノール１１２ｍｇ／ｄｍ3を含有した被処理水を１Ｌ容量のタンク内に入れ、このタンクの内部空間の底部付近に送水管（１２）の先端を配置する一方、前記タンクの内部空間の上部付近に処理水送出管（１１）の先端を配置せしめ、この状態で電源部（１０）のスイッチを入れて紫外線ランプ（６）を点灯すると共に送水機（９）を駆動させて水処理装置（１）を１５０分間運転状態にすることによって、前記被処理水を一定流量でタンクと水処理装置（１）内を順に循環させた。
【００３６】
なお、外槽（２）の外周面に積層する紫外光反射板としては、アルミニウム箔を用いた。また、外槽（２）と内槽（３）の間の通水用空間（５）の容積は２３０ｃｍ3であり、通水用空間（５）へのオゾン供給量は８．４ｍｇ／ｈであった。また紫外線ランプ（６）として用いた低圧水銀ランプの主波長は１８５ｎｍと２５４ｎｍであった。こうして水処理装置（１）を１５０分間運転した後にタンク内の水を採取し、キャピラリーガスクロマトグラフ（ＧＣ−１７Ａ、島津製作所製）を用いて定量分析を行い、水処理前後の物質収支から、フェノール、ｐ−クレゾール、ｐ−クロロフェノールそれぞれの分解率を算出した。
【００３７】
＜実施例２＞
水処理装置（１）として、図１〜３に示す構成の水処理装置であって紫外光反射板を省略した構成（紫外光反射板がない構成）のものを用いた以外は、実施例１と同様にして被処理水の分解処理を行った。
【００３８】
＜実施例３＞
水処理装置（１）として、図１〜３に示す構成の水処理装置であって吸気用螺旋管部（７Ｘ）を直管に置き換えた構成（螺旋管部がない構成）のものを用いた以外は、実施例１と同様にして被処理水の分解処理を行った。
【００３９】
＜実施例４＞
水処理装置（１）として、図１〜３に示す構成の水処理装置であって紫外光反射板を省略し（紫外光反射板がない）且つ吸気用螺旋管部（７Ｘ）を省略した（直管に置き換えた）ものを用いた以外は、実施例１と同様にして被処理水の分解処理を行った。
【００４０】
＜比較例１＞
水処理装置（１）として、図１〜３に示す構成の水処理装置であって吸気管を省略した構成（吸気管がない構成）のものを用いた以外は、実施例１と同様にして被処理水の分解処理を行った（紫外光照射のみ、オゾン利用なし）。
【００４１】
＜比較例２＞
水処理装置（１）として、図１〜３に示す構成の水処理装置であって内槽の内面にアルミニウム箔を貼着した構成のものを用いた以外は、実施例１と同様にして被処理水の分解処理を行った（オゾン生成用空間への紫外光照射により生じたオゾン利用のみ、通水用空間への紫外光照射はなし）。
【００４２】
【表１】
2006158986.tif 000003
【００４３】
表から明らかなように、この発明の処理装置を用いた処理方法で処理された実施例１〜４の処理水は、フェノール、ｐ−クレゾール、ｐ−クロロフェノールのいずれも十分に分解処理されていた。また、実施例１〜４における分解率は、フェノール、ｐ−クレゾール、ｐ−クロロフェノールのいずれにおいても、紫外光のみにより処理された比較例１での分解率とオゾンのみにより処理された比較例２での分解率との和よりも高い数値を示していた。これは、オゾンに紫外光が照射されてヒドロキシラジカルが生成し、このヒドロキシラジカルによって分解反応がより促進されたものと考えられる。
【００４４】
また、外槽の外周面に紫外光反射板を積層した実施例３の分解率は、紫外光反射板を設けていない実施例４の分解率よりも高い数値であった。また、螺旋管部を設けた実施例２の分解率は、螺旋管部を設けていない実施例４の分解率よりも高い数値であった。更に、外槽の外周面に紫外光反射板を積層し且つ螺旋管部を設けた実施例１の分解率は、紫外光反射板及び螺旋管部を設けていない実施例４の分解率よりも顕著に高い数値であった。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】この発明の水処理装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の水処理装置の横断面図である。
【図３】図１の水処理装置の縦断面図である。
【図４】この発明の水処理装置の他の実施形態を示す斜視図である。
【図５】この発明の水処理装置の他の実施形態を示す斜視図である。
【図６】この発明の水処理装置のさらに他の実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４６】
１…水処理装置
２…外槽
３…内槽
４…オゾン生成用空間
５…通水用空間
６…紫外線ランプ
７…吸気管
７Ａ…吸気用螺旋管部
８…アスピレーター（送気装置）
９…送水機
【図１】
2006158986.tif 000004
【図２】
2006158986.tif 000005
【図３】
2006158986.tif 000006
【図４】
2006158986.tif 000007
【図５】
2006158986.tif 000008
【図６】
2006158986.tif 000009