(57)【要約】      （修正有）【課題】  残留するコンタミを効果的に除去する事が出きるダイシング装置を提供すること。【解決手段】  ダイシング装置１０において、スピンドル２２下部側面に配置され、ワークＷへ向かって洗浄水を供給する噴射部材６０を設けた。これにより、ブレード２１よりスピンドル２２側にコンタミＡが残留しているワークＷに対して洗浄水を効果的に供給することが可能になる。【選択図】図２
2006086202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルにより高速に回転されるブレードと、ワークを載置して前記ブレードと相対的な運動を行うワークテーブルとを有し、前記ブレードによりワークの溝加工や切断を行うダイシング装置において、
前記スピンドル下部側面に配置され、前記ワークへ向かって洗浄水を供給する噴射部材が設けられていることを特徴とするダイシング装置。
【請求項２】
前記噴射部材から噴射される洗浄水が、前記ブレードよりスピンドル側のワーク面上に残留する研削屑等の汚染物をブレード側へ押し流すことを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
【請求項３】
前記噴射部材には、複数の洗浄水噴射口が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のダイシング装置。
【請求項４】
前記複数の噴射口が、前記ブレードに対して平行に設けられていることを特徴とする請求項３に記載のダイシング装置。
【請求項５】
前記噴射部材には、噴射位置を調整する位置調整機構が設けられていることを特徴とする請求項１、２、３、又は４のうちいずれか１項に記載のダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置に関するもので、特にワーク上面のコンタミ残留を低減させたダイシング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークを個々のチップに分割するダイシング装置には、少なくともスピンドルによって高速に回転されるブレードと、ワークを載置するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸とが設けられており、これらの各移動軸の動作によってワークに対して溝入れや切断加工を施す。
【０００３】
そして、この加工においてはワークから研削屑等の汚染物(コンタミ又はコンタミネーションと呼ばれる)が発生する為、ダイシング装置にはコンタミを除去する為に加工部横に設けられ、切削点向かって洗浄水を噴射するノズル等、各種噴射部材が取付けられている（例えば、特許文献1参照。）。
【特許文献１】特開２００２−２２４９２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ワークを加工する時に発生するコンタミは加工部周辺に残留するが、加工方法やワークの種類によっては、コンタミがブレードよりスピンドル側のワーク面上に多く滞留する場合がある。しかし、そのような残留をした場合、前述の特許文献１に記載されたような噴射部材ではブレード横方向からのみ切削点に向かって洗浄水を噴射している為、ブレードよりスピンドル側のワーク面上には洗浄水が噴射されず、その部分に残留したコンタミを除去する事が出来ない。その為、加工後のワークにコンタミの残留が発生し加工品質を下げてしまう問題があった。
【０００５】
本発明はこのような問題に対してなされたもので、前記ダイシング装置において、ブレードよりスピンドル側のワーク面上に残留するコンタミを効果的に除去する事が出きるダイシング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、スピンドルにより高速に回転されるブレードと、ワークを載置して前記ブレードと相対的な運動を行うワークテーブルとを有し、前記ブレードによりワークの溝加工や切断を行うダイシング装置において、前記スピンドル下部側面に配置され、前記ワークへ向かって洗浄水を供給する噴射部材が設けられていることを特徴としている。
【０００７】
請求項１の発明によれば、ブレードよりスピンドル側にコンタミが残留しているワークに対して洗浄水を効果的に供給することが可能になる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１の発明において、前記噴射部材から噴射される洗浄水が、前記ブレードよりスピンドル側のワーク面上に残留する研削屑等の汚染物をブレード側へ押し流すことを特徴としている。
【０００９】
請求項２の発明によれば、ブレードよりスピンドル側のワーク面上に残留しているコンタミをブレード側へ押し流すことにより、ブレード横方向から切削点付近に噴射される洗浄水によってコンタミを除去する事ができるので、ワーク面上のコンタミの残留を軽減させる事が可能になる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２の発明において、前記噴射部材には、複数の洗浄水噴射口が設けられていることを特徴としている。
【００１１】
請求項３の発明によれば、ブレードよりスピンドル側のワーク面上の広い範囲に洗浄水を噴射することができる為、残留しているコンタミを効果的に除去することが可能になる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項３の発明において、前記複数の噴射口が、前記ブレードに対して平行に設けられていることを特徴としている。
【００１３】
請求項４の発明によれば、洗浄水を均一にワーク面上へ噴射することができる為、残留しているコンタミを効果的に除去することが可能になる。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１、２、３又は４の発明において、前記噴射部材には、噴射位置を調整する位置調整機構が設けられていることを特徴としている。
【００１５】
請求項５の発明によれば、洗浄水が噴射されているワーク面上の噴射位置を変更することができる為、コンタミが残留している場所へ効果的に洗浄水を供給することが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように本発明のダイシング装置によれば、ブレードよりスピンドル側のワーク面上に残留するコンタミを効果的に除去する事ができる為、コンタミの残留が抑えられて加工品質を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下添付図面に従って本発明に係るダイシング装置について好ましい実施の形態について詳説する。尚、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
【００１８】
最初に、ダイシング装置の構成について説明する。図１は、本発明に係るダイシング装置の外観を表わす斜視図である。ダイシング装置１０は、図１に示すように、加工部２０、操作・表示部１１、撮像手段１２、モニターテレビ１３、表示灯１４、コントローラ１５等から構成されている。
【００１９】
加工部２０では、高周波モータ内臓のエアーベアリングで支持されたスピンドルの先端に回転刃であるブレードが取付けられ、３０，０００ｒｐｍ〜６０，０００ｒｐｍの高速で回転されると共に、図のＺ方向の切り込み送りとＹ方向のインデックス送りとがなされる。また、加工されるワークを載置するワークテーブルが、θ回転されると共にＸ方向に研削送りされる。
【００２０】
ワークを加工するブレードは、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ砥粒をニッケルで電着した電着ブレードや、金属粉末を混入した樹脂で結合したメタルレジンボンドのブレード等が用いられる。また、ブレードの寸法は、加工内容によって種々選択されるが、通常の半導体ウエーハをダイシングする時は直径５０ｍｍ、厚さ３０μｍ前後のものが用いられる。
【００２１】
ワークの表面を撮像したり、ワークテーブル上面の傷を撮像したりする撮像手段１２は、顕微鏡とＣＣＤカメラとからなり、撮像された画像はモニターテレビ１３に写し出される。操作・表示部１１には、ダイシング装置１０の各操作を行うスイッチや表示装置が組込まれている。
【００２２】
表示灯１４は、ダイシング装置１０の動作中、動作終了、異常警報を表示するもので、離れた位置からでも認識できるように高い位置に設けられている。また、ダイシング装置１０の各部の動作を制御するコントローラ１５は、ＣＰＵ、メモリ、入出力回路部、各種制御回路部、等からなり、ダイシング装置１０の架台内部に組込まれている。
【００２３】
次に、図２、３、及び４にて、本発明に係るダイシング装置の主要部分について説明する。
【００２４】
図２は加工部２０の側面図、図３は加工部２０の平面図、図４はスピンドル２２正面図である。前述の通り、ダイシング装置１０は先端にブレード２１が取付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル２２を有している。ブレード２１はフランジ２３によってスピンドル２２の回転軸２４に固定され、ワークテーブル３１に対して相対的に移動される。
【００２５】
そして、スピンドル２２の側面には、噴射部材６０としてブロック６２とノズル６１とが取付けられている。本実施形態においては、ノズル６１は一部を曲げてＬ字型にされたパイプであり、パイプ側面には図４に示すように、洗浄水噴射口６１Ａ、６１Ａ・・・がブレード２１に対し平行且つ斜め下方に向けて一直線上に複数形成されている。
【００２６】
ブロック６２には、継手６３を介してチューブ６４が取付けられており、チューブ６４からは洗浄水が供給される。供給された洗浄水はブロック６２を通りノズル６１に供給され、洗浄水噴射口６１Ａ、６１Ａ・・・から噴射される。
【００２７】
また、ブロック６２には位置調整機構７０として、長穴７１Ａと調整ネジ７１Ｂとが取付けられており、これによりノズル６１の位置を前後させて噴射位置を調整することが可能となる。
【００２８】
これらの構成により、本発明ではブレード２１よりスピンドル２２側のワーク面上(図２又は図３のＡ部分付近)に残留するコンタミをブレード２１側へ効果的に除去することが可能となり、コンタミの残留を低減させて加工品質を向上させる。
【００２９】
なお、本発明に係る実施の形態では、ノズルの形状は一部を曲げてＬ字型にされたパイプとしているが、複数の小型噴射部材を並べて形成することでも実施可能である。
【００３０】
次に、以上のように構成された本発明に係るダイシング装置１０の作用を説明する。まず、ワークテーブル３１を図１に示す撮像手段１２の下付近までＸ方向に移動させ、その位置でワークＷをワークテーブル３１へ吸着載置する。吸着載置後は撮像手段１２を使用してワークＷ上の基準となる印やワークＷの周縁部等を観察し、加工位置の調整を行う。
【００３１】
加工位置調整が完了し、加工動作を開始するとブレード２１付近に設けられた図示しないノズルより、ブレード横方向から切削点付近に向けて切削水、洗浄水の供給が始まり、ノズル６１からも洗浄水の噴射が始まる。そして、ワークＷはワークテーブル３１と共にＸ方向へ送られ、１ライン目の加工を行う。
【００３２】
また、加工の際にはコンタミが発生する為、前記ノズルから噴射される洗浄水でワークＷ面上に残留するコンタミの除去を行う。本発明においては、ブレード２１よりスピンドル２２側のワーク面上(図２又は図３のＡ部分付近)に残留するコンタミをノズル６１で除去する。これにより、ブレード横方向からのみ切削点付近へ洗浄水を噴射するノズルでは除去しにくい前記Ａ部分付近に残留するコンタミを除去する事が可能となり、コンタミの残留を低減させ加工品質を向上させる。
【００３３】
そして、１ラインの加工が終了するとブレード２１はスピンドル２２と共にＹ方向へインデックス送りされ、２ライン目の加工を行う。この動作を繰り返しワークＷの１方向全ラインの加工が終了すると、ワークテーブル３１は回転して次の加工方向へ角度を変える。加工方向は、初めに加工を行った方向と９０度に直交した方向との２方向のみが一般的である。
【００３４】
その方向で同じように１ライン毎に加工を行い、必要なすべての方向にあるラインの加工が終了すると、洗浄、乾燥等を行って加工動作は終了する。以上がダイシング装置１０で加工されるワークＷの流れである。
【００３５】
以上説明したように、本発明によれば、ブレードよりスピンドル側にコンタミが残留しているワークに対して洗浄水を効果的に供給することが可能となり、コンタミの残留が抑えられて加工品質を向上させることが可能となる
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態に係るダイシング装置外観を表す斜視図
【図２】本発明の実施の形態に係るダイシング装置の加工部を表す側面図
【図３】本発明の実施の形態に係るダイシング装置の加工部を表す平面図
【図４】スピンドルの正面図
【符号の説明】
【００３７】
１０…ダイシング装置
１５…コントローラ
２１…ブレード
２２…スピンドル
３１…ワークテーブル
６０…噴射部材
６１…ノズル
６１Ａ…洗浄水噴射口
６２…ブロック
７０…位置調整機構
７１Ａ…長穴
７１Ｂ…調整ネジ
Ａ…コンタミ残留部分
Ｗ…ワーク
【図１】
2006086202.tif 000003
【図２】
2006086202.tif 000004
【図３】
2006086202.tif 000005
【図４】
2006086202.tif 000006