(57)【要約】【課題】基板サイズが大きくなっても、基板面積に比例したエア噴出量を必要とすることなく、基板上で斜めに配されたエア噴出手段とほぼ平行になるように基板上の洗浄液や処理液の液際を移動させることができる基板乾燥方法を提供すること。【解決手段】エア噴出手段４に設けられたスリット状のエア噴出口４ｃが、基板３の前端又は後端の一辺に対して所定の角度を有するように配置されると共に、このエア噴出口４ｃにおける、基板３の前端３ａに遠い方の部位から噴出されるエアの流量が、基板３の前端３ａに近い方の部位から噴出されるエアの流量よりも多くなるように設定されている。【選択図】図１
2006324481.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送させる搬送手段と、この搬送手段により搬送される前記基板に対しエアを噴出して前記基板を乾燥させるエア噴出手段とを備えた基板乾燥装置を用いて基板を乾燥する方法であって、前記エア噴出手段に設けられたスリット状のエア噴出口が、前記基板の前端又は後端の一辺に対して所定の角度を有するように配置されると共に、このエア噴出口における、前記基板の前端に遠い方の部位から噴出されるエアの流量が、前記基板の前端に近い方の部位から噴出されるエアの流量よりも多くなるように設定されていることを特徴とする基板乾燥方法。
【請求項２】
基板を搬送させる搬送手段と、この搬送手段により搬送される前記基板に対しエアを噴出して前記基板を乾燥させるエア噴出手段とを備えた基板乾燥装置において、前記エア噴出手段に設けられたスリット状のエア噴出口が、前記基板の前端又は後端の一辺に対して所定の角度を有するように配置されると共に、このエア噴出口における、前記基板の前端に遠い方の部位から噴出されるエアの流量が、前記基板の前端に近い方の部位から噴出されるエアの流量よりも多くなるように設定されていることを特徴とする基板乾燥装置。
【請求項３】
前記エア噴出手段は、外部からエアが供給されるエア供給口に連通されたエア収容室と、このエア収容室に連通された前記スリット状のエア噴出口とを備えており、前記エア収容室は複数の収容室に分割されずに長手方向に亘って一体で形成される共に、このエア収容室の前記基板の前端に近い方の部位にのみ前記エア供給口が設けられていることを特徴とする請求２に記載の基板乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル用のガラス基板などの基板の表面処理工程や洗浄工程等において、処理後や洗浄後等に基板表面の処理液や洗浄液を除去する基板乾燥方法及び基板乾燥装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルの製造工程において、例えばＴＦＴ側基板を製造するに当たっては、成膜、レジスト膜形成、露光、現像、エッチング、レジスト膜の剥離等の工程を順次経ることにより基板表面にＴＦＴ素子を形成するが、これらの工程において、各工程の前や後に繰り返し洗浄が行われている。この基板洗浄工程においては、純水などの洗浄液を用いた洗浄の後に、高圧のエアを噴出させて基板上の洗浄液を除去するエア噴出手段を用いた基板乾燥が行われている。
【０００３】
図４は、従来用いられてきた基板乾燥装置２０の概略構成を示した図である。図示される基板乾燥装置２０の乾燥処理室２１内の空間には、搬送される基板２２に対し清浄エアを噴出して基板２２を乾燥させる長尺形状のエア噴出手段２３が、搬送される基板２２の上下に各々配置されている。
【０００４】
図示されるようにエア噴出手段２３は、基板２２の搬送方向と直交する方向に対して例えば２０°前後傾斜設定させて設置されている。このようにエア噴出手段２３を所定角度斜めに配置することにより基板２２上の洗浄液２４の液際２４ａは、基板２２の搬送方向に直交する方向に移動するのではなく、図示されるように斜めに配されたエア噴出手段２３とほぼ平行になるようには移動し、最後は基板２２の乾燥最後尾となる角部２２ａとなる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１６１５７８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年、液晶テレビなどに用いられる液晶表示装置の大画面化に伴い、用いられるガラス基板のサイズも大きくなってきており、上述した基板乾燥方法では十分な乾燥が行えない場合が発生しているという問題があった。
【０００７】
例えば、図５に示される基板乾燥装置３０は、上述した図４の基板２２の縦横各々２倍のサイズの基板３１用のもので、乾燥に用いられるエア噴出手段３２も長さが上述したエア噴出手段２３の２倍の長さを有している。この場合、基板３１上の洗浄液３３の液際３３ａは、図示されるように斜めに配されたエア噴出手段３２とほぼ平行になるようには移動せず、図中の基板３１の上部に偏った状態で移動してしまうことがある。
【０００８】
これは、図４の場合と比べて基板３１の面積が４倍、つまり基板３１上の洗浄液３３の量が４倍になっているにもかかわらず、エア噴出手段３２の長さは２倍にしかなっていないためによるエア噴出量の不足が原因と、基板３１上の洗浄液３３の量が増えたことにより、洗浄液３３が図中の基板３１の上部で溜まってしまい、溜まった液がエア噴出手段方向へう逆流することが原因であると思われる。洗浄液３３の液際３３ａがこのように湾曲してしまうと、不十分な乾燥による乾燥ムラが発生していた。
【０００９】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、基板サイズが大きくなっても、基板面積に比例したエア噴出量を必要とすることなく、基板上で斜めに配されたエア噴出手段とほぼ平行になるように基板上の洗浄液や処理液の液際を移動させることができる基板乾燥方法及び基板乾燥装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明に係る基板乾燥方法は、基板を搬送させる搬送手段と、この搬送手段により搬送される前記基板に対しエアを噴出して前記基板を乾燥させるエア噴出手段とを備えた基板乾燥装置を用いて基板を乾燥する方法であって、前記エア噴出手段に設けられたスリット状のエア噴出口が、前記基板の前端又は後端の一辺に対して所定の角度を有するように配置されると共に、このエア噴出口における、前記基板の前端に遠い方の部位から噴出されるエアの流量が、前記基板の前端に近い方の部位から噴出されるエアの流量よりも多くなるように設定されていることを要旨とするものである。
【００１１】
また、本発明に係る基板乾燥装置は、基板を搬送させる搬送手段と、この搬送手段により搬送される前記基板に対しエアを噴出して前記基板を乾燥させるエア噴出手段とを備えた基板乾燥装置において、前記エア噴出手段に設けられたスリット状のエア噴出口が、前記基板の前端又は後端の一辺に対して所定の角度を有するように配置されると共に、このエア噴出口における、前記基板の前端に遠い方の部位から噴出されるエアの流量が、前記基板の前端に近い方の部位から噴出されるエアの流量よりも多くなるように設定されていることを要旨とするものである。
【００１２】
この場合、上記の基板乾燥装置においては、前記エア噴出手段は、外部からエアが供給されるエア供給口に連通されたエア収容室と、このエア収容室に連通された前記スリット状のエア噴出口とを備えており、前記エア収容室は複数の収容室に分割されずに長手方向に亘って一体で形成される共に、このエア収容室の前記基板の前端に近い方の部位にのみ前記エア供給口が設けられている構成にすると良い。
【発明の効果】
【００１３】
上記構成を有する基板乾燥方法及び基板乾燥装置によれば、エア噴出手段に設けられたスリット状のエア噴出口が、基板の前端又は後端の一辺に対して所定の角度を有するように配置されると共に、このエア噴出口における、基板の前端に遠い方の部位から噴出されるエアの流量が、前記基板の前端に近い方の部位から噴出されるエアの流量よりも多くなるように設定されているので、上述した従来技術の図５に示されるような洗浄液３３が図中の基板３１の上部で溜まってしまう現象の発生を抑えることができ、斜めに配されたエア噴出手段とほぼ平行になるように洗浄液の液際を移動させて十分な乾燥を行なうことが可能になる。
【００１４】
この場合、上記構成を有する基板乾燥装置において、前記エア噴出手段は、外部からエアが供給されるエア供給口に連通されたエア収容室と、このエア収容室に連通された前記スリット状のエア噴出口とを備えており、前記エア収容室は複数の収容室に分割されずに長手方向に亘って一体で形成される共に、このエア収容室の前記基板の前端に近い方の部位にのみ前記エア供給口が設けられている構成にすれば、エア噴出口における、基板の前端に遠い方の部位から噴出されるエアの流量が、基板の前端に近い方の部位から噴出されるエアの流量よりも多くなる機能を有するエア噴出手段を簡易な構成で実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明に係る基板乾燥装置の実施の形態ついて、図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に係る基板乾燥装置の概略構成を示した図である。図２は図１の基板乾燥装置が備えるエア噴出手段の概略構成を示した図である。
【００１６】
図示される基板乾燥装置１の乾燥処理室２内の空間には、搬送される基板３に対し清浄エアを噴出して基板３を乾燥させる長尺形状のエア噴出手段４が、搬送される基板３の上下に各々配置されている。この場合、基板３を図中の左方向に搬送する搬送ローラー６には、その軸心部材の一端に複数の歯車７ａが取り付けられ、これらの歯車７ａにそれぞれ噛合する歯車７ｂが軸部材８にそれぞれ取り付けられている。この軸部材８は、モータ９の駆動により回転するようになっており、モータ９の駆動により搬送ローラー６が回転し基板３を搬送するようになっている。
【００１７】
エア噴出手段４は、図示されるように基板３の搬送方向と直交する方向に対して例えば２０°前後傾斜設定させて設置されている。図２はこのエア噴出手段４の概略構成とその内部構造を示しており、内部にエア供給口４ａから供給されたエアを一旦滞留させるエア収容室４ｂを有し、このエア収容室４ｂに連通すると共に、基板３に対して線状にエアを噴出するためのスリット状のエア噴出口４ｃが形成されている。
【００１８】
この場合、エア収容室４ｂは複数の収容室に分割されずに長手方向に亘って一体の構成で形成されており、エア供給口４ａは、このエア収容室４ｂの左端部４ｄに連通して設けられている。このような構成のエア噴出手段４にエアを供給すると、エア収容室４ｂ内のエア圧力は、エア供給口４ａがある左端部４ｄよりも右端部４ｅの方が高くなるため、エア噴出口４ｃから噴出されるエアの流量は、図示されるように、右側の方が多くなるようになっている。
【００１９】
図１に示されるエア噴出手段４は、噴出されるエアの流量が多い側が図中の基板３の上部になるように配置されている。つまり、エア噴出口４ｃにおける、基板３の前端３ａに遠い方の部位から噴出されるエアの流量が、基板３の前端３ａに近い方の部位から噴出される流量よりも多くなるように設定されているので、上述した従来技術の図５に示されるような洗浄液３３が図中の基板３１の上部で溜まってしまう現象の発生を抑えることができる。これにより、図１に示されるように斜めに配されたエア噴出手段４とほぼ平行になるように洗浄液５の液際５ａを移動させることが可能となり、乾燥ムラのない十分な乾燥を行うことができる。
【００２０】
図２に示したエア噴出口４ａの一方の端部から噴出されるエアの流量を他方の端部から噴出されるエアの流量よりも多くなるように構成されたエア噴出手段４の他の実施の形態としては、図３に示すようなものがある。
【００２１】
図３（ａ）に示されるエア噴出手段１０は、この場合も、エア収容室１０ａは複数の収容室に分割されずに長手方向に亘って一体の構成で形成されており、このエア収容室１０ａに連通する４つのエア供給口１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅは、エア収容室１０ａに対して均等になるように配されて設けられている。
【００２２】
また、これらエア供給口１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅのそれぞれにはエア流量調整バルブ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが取り付けられており、それぞれ独自にエアの流量を調整することができるようになっている。この場合、右端の流量調整バルブ１１ｄのバルブ開度が大きく、左の流量調整バルブ１１ｃ，１１ｂ，１１ａにいくにつれてバルブ開度が小さくなるように調整されている。このような構成のエア噴出手段１０にエアを供給すると、エア噴出口１０ｆから噴出されるエアの流量は、図示されるように、右側の方が多くなるようになっている。
【００２３】
また、図３（ｂ）に示されるエア噴出手段１２も、エア収容室１２ａは複数の収容室に分割されずに長手方向に亘って一体の構成で形成されており、このエア収容室１２ａに連通する４つのエア供給口１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅは、エア収容室１０ａに対して均等になるように配されて設けられている。また、スリット状のエア噴出口１２ｆの間隙は、図中のＣ−Ｃ断面及びＤ−Ｄ断面に示されるように右端部から左端部にいくにつれて狭くなるように形成されている。このような構成のエア噴出手段１２にエアを供給すると、エア噴出口１０ｆから噴出されるエアの流量は、図示されるように、右側の方が多くなるようになっている。
【００２４】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。例えば、図３（ａ），（ｂ）に示したエア噴出手段１０，１２においては、エア収容室を複数のエア収容室に分割した構成にしても良く、上記実施の形態には限定されない。また、図３（ａ）のエア噴出手段１０においては、エア流量調整バルブ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの代わりに、供給口１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅへのエア供給管の管径をそれぞれ異ならせる構成にしても良く、上記実施の形態には限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板乾燥装置の概略構成を示した図である。
【図２】本発明の基板乾燥装置に用いられるエア噴出手段の概略構成を示した図である。
【図３】図２に示したエア噴出手段の他の実施の形態を示した図である。
【図４】従来用いられてきた基板乾燥装置の概略構成を示した図である。
【図５】図４に示した基板乾燥装置を基板サイズの大きなものに適用した場合の構成を示した図である。
【符号の説明】
【００２６】
１  基板乾燥装置
２  乾燥処理室
３  基板
３ａ  基板前端
４  エア噴出手段
４ａ  エア供給口
４ｂ  エア収容室
４ｃ  エア噴出口
４ｄ  エア収容室左端部
４ｅ  エア収容室右端部
５  洗浄液
５ａ  液際
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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