(57)【要約】【課題】  小型でシンプルで、タクトタイムが短く印刷の位置精度が高い転写印刷版用実装金型及び転写印刷方法を提供する。【解決手段】  凹凸が形成された転写印刷版２４を被印刷部材２５に真空下で押し付けて被印刷部材２４に転写印刷版２５の凹凸形状を転写する転写印刷版用実装金型において、転写印刷版２４と被印刷部材２５とのいずれかを保持する上型１６と下型１８に、その上型１６と下型１８を合わせたときに真空減圧室１９を形成したものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹凸が形成された転写印刷版を被印刷部材に真空下で押し付けて被印刷部材に転写印刷版の凹凸形状を転写する転写印刷版用実装金型において、転写印刷版と被印刷部材とのいずれかを保持する上型と下型に、その上型と下型を合わせたときに真空減圧室を形成したことを特徴とする転写印刷版用実装金型。
【請求項２】
下型に、被印刷部材を保持する基板載置台が設けられ、上型に転写印刷版が保持され、下型と上型の合わせ面にＯリングなどのシール部材が設けられ、下型と上型とが合わされたとき、そのシール部材により上型と下型内に真空減圧室が形成される請求項１記載の転写印刷版用実装金型。
【請求項３】
シール部材で上型と下型とがシールされて真空減圧室が形成された後、上型と下型がさらに合わされた時に転写印刷版が被印刷部材に着版される請求項２記載の転写印刷版用実装金型。
【請求項４】
上型には、変形可能な転写印刷版が保持され、上型に、その転写印刷版を被印刷部材に押し付ける加圧室が形成される請求項３記載の転写印刷版用実装金型。
【請求項５】
上型には、剛性のある転写印刷版が保持され、転写印刷版が被印刷部材に着版される請求項３記載の転写印刷版用実装金型。
【請求項６】
凹凸が形成された転写印刷版を被印刷部材に真空下で押し付けて被印刷部材に転写印刷版の凹凸形状を転写する転写印刷方法において、転写印刷版と被印刷部材とのいずれかを保持する上型と下型を合わせたときに密閉空間を形成し、その密閉空間を真空排気した後、転写印刷版を被印刷部材に着版させることを特徴とする転写印刷方法。
【請求項７】
着版後、転写印刷版の背面を空気圧で加圧して、転写印刷版を被印刷部材に押し付ける請求項６記載の転写印刷方法。
【請求項８】
着版して転写印刷版の凹凸を被印刷部材に転写した後、密閉空間の真空状態を解除させ、その後転写印刷版を被印刷部材から離版させる請求項６記載の転写印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に微細な凹凸を有する転写印刷板によって、被印刷部材に熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、光硬化樹脂などを用いて印刷するインプリント印刷方式において、これに用いる転写版を実装する金属金型に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭなどの光ディスクは、現在フォトリソグラフィー法で作製した金属製の樹脂成型用金型を用いた、ドットパターンの樹脂成型法によって作られている。この光ディスクには映像、音楽などのデータがドットパターンとして記録されており、これをレーザー光で読み取り再生される。
【０００３】
またＭＯなどの光磁気ディスクでは、同じく金属金型によるドットパターンの形成後に、磁性体薄膜が記録薄膜として形成されている。ＭＯではこの記録薄膜データをレーザー光で読み出したりできるほか、消去、書き込みなども可能で、繰り返し記録（消去、書き込み）が可能な記録媒体として市販されている。
【０００４】
最近、これらの記録媒体は小型軽量化、携帯性、保管性、管理性、大容量化などの高い市場要求から、年々記録密度の向上が求められている。このため、高密度ドットパターン形成法の技術開発競争が盛んに行われている。このなかで、インプリント法と呼ばれる方法では、パターン形成用樹脂に熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、または光硬化型の感光性の樹脂などを用いて、凹凸を有する金型と称する印刷板による転写印刷方式でドットパターンなどを印刷する方法である。またパターン形成用の転写印刷用金型には主にシリコン、石英などの基板を用い、この基板にＥＢ法（電子ビーム法）で微細なパターンを形成する。インプリントでは金型の材質は金属でない場合でも、慣例的に金型と呼んでいる。ＥＢ法では１００ナノメーター以下のドットパターンの形成が容易であり、これを金型として用いることにより、高密度記録媒体の形成が可能になる。また記録媒体用樹脂に光硬化型を用いる場合は、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂を用いる場合と比較して低温でのドットパターンの形成が可能になり、熱によるパターンの歪みなどを考慮することなく、高密度な記録が可能となる特徴がある。
【０００５】
従来のＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯなどの場合、通常のドットパターンである形状は、幅０．４μｍ、深さ０．９〜３．３μｍである。これに対して、インプリント法では、この１／１０サイズのドットパターンの形成が可能であり、１０倍の記録密度が達成できる。この光ナノプリント技術の開発によって将来の１００ＧＢの記録媒体が可能となると期待されている。
【０００６】
このインプリント技術は、１９９５年Ｃｈｏｕによって初めて紹介され日が浅いため、学会論文はまだ少ないが、例えば、砥粒学会誌、第４６巻、第６号、ｐ２８２，（２００２）（非特許文献１）にナノプリントの技術の現状として紹介されている。このなかでは金型にはＥＢでパターン形成したサファイアを用いている。
【０００７】
この装置では熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いて、熱転写印刷することができるが、光転写方式の感光性樹脂を用いることもできる。感光性樹脂を用いる場合には、上部から紫外線を照射して樹脂を硬化させる。また熱転写方式では、被印刷部材（非特許文献１では基板ホルダー）の下に設けられたヒータで被印刷部材を加熱することにより行える。
【０００８】
この非特許文献１における転写印刷版となるサファイア製の金型は、非特許文献１の中ではモールドと称しており、モールド上にはサファイア製の紫外線照射レンズが配置されている。この紫外線照射レンズは上下移動可能なベローズを持った台座に取り付けられている。さらに照射レンズとモールド間、およびその周囲を真空状態あるいは減圧状態にするために、全体を密閉構造とし、その一部がロータリーポンプに繋がっている。非特許文献１では光ナノプリントリソグラフィ装置として、印刷装置の図面が記載されている。
【０００９】
この非特許文献１に掲載されている図を用いて、従来技術をさらに詳細に説明する。非特許文献１に掲載された図を図５に示す。
【００１０】
サファイア製のモールド１の下には基板（被印刷部材）２が配置されている。光ナノインプリントでは、上部から紫外線を照射するために、モールド１の上部を光を通さない材料で保持すると、紫外線などの光を遮断することになり、このためにモールド（金型）１の端部のみを保持して、モールド１の面は広い面積で紫外線が照射できるよう、出来る限り広く開放することが重要である。下にはステージ１２が配置されていて、ステージ１２はステージ上昇矢印１３の方向に上昇して、サファイア製のモールド１に押圧される。この時ステージ１２の上に配置された基板（被印刷部材）２も上昇し、ステージ１２に設けられた隔壁部１２ａが台座６ａに取り付けられたベローズ６に接触して加圧されても、縮むことによって、室Ｒの真空減圧状態の構成が可能である。また同時に基板（被印刷部材）２もモールド１に押圧されるので、転写印刷が可能になる。真空減圧状態が構成されたら、その後、ロータリーポンプ接続口８から、減圧が開始され、真空または減圧状態が形成される。サファイア（紫外線照射板）３の上部には照射レンズ４が取り付けられており、照射レンズ４には光ファイバー５から紫外線が導光される。ステージ１２の下には、ロードセル１０があり、印刷圧力を記録したり調節することができる。ロードセル１０の下にはボールネジ１１があり、ボールネジ１１を介してステージ１２がステッピングモーター７で上に押し上げられる。印刷終了後は、ステッピングモーター７が逆回転して、ステージ１２は下に下がる。
【００１１】
以上が従来方式の転写印刷機であるが、光硬化型に限らず、熱転写方式も含めたインプリントにおける転写印刷用実装金型の要求特性としては、その機能から、１）真空あるいは減圧条件を維持する転写印刷室はできる限りシンプルで小型であること、２）真空あるいは減圧条件が短時間で得られること、３）全体の印刷タクトタイムが短いこと、４）印刷機が安価であること、５）印刷の位置精度が高いこと、６）転写印刷板と被印刷部材が常に平行な状態で印刷されること、などがあげられる。
【００１２】
転写印刷機は、これらの課題を解決し、印刷の生産性に優れていることが重要であるが、従来技術では、その工夫がまだ見出されていない。
【００１３】
【非特許文献１】谷口淳、他３名、「ナノインプリント技術の現状」、砥粒加工学会誌、砥粒加工学会、２００２年６月、４６巻６号、ｐ．２８２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
従来技術の中で記述したように、特に重要な点は、１）真空あるいは減圧条件を維持する転写印刷室はできる限りシンプルで小型であること、２）真空あるいは減圧条件が短時間で得られること、３）全体の印刷タクトタイムが短いこと、４）印刷機が安価であること、５）印刷の位置精度が高いこと、６）転写印刷板と被印刷部材が常に平行な状態で印刷されることである。
【００１５】
本発明の目的は、上記の課題を解決するために小型でシンプルで、タクトタイムが短く印刷の位置精度が高い転写印刷版用実装金型及び転写印刷方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の目的を達成するために請求項１の発明は、凹凸が形成された転写印刷版を被印刷部材に真空下で押し付けて被印刷部材に転写印刷版の凹凸形状を転写する転写印刷版用実装金型において、転写印刷版と被印刷部材とのいずれかを保持する上型と下型に、その上型と下型を合わせたときに真空減圧室を形成した転写印刷版用実装金型である。
【００１７】
請求項２の発明は、下型に、被印刷部材を保持する基板載置台が設けられ、上型に転写印刷版が保持され、下型と上型の合わせ面にＯリングなどのシール部材が設けられ、下型と上型とが合わされたとき、そのシール部材により上型と下型内に真空減圧室が形成される請求項１記載の転写印刷版用実装金型である。
【００１８】
請求項３の発明は、シール部材で上型と下型とがシールされて真空減圧室が形成された後、上型と下型がさらに合わされた時に転写印刷版が被印刷部材に着版される請求項２記載の転写印刷版用実装金型である。
【００１９】
請求項４の発明は、上型には、変形可能な転写印刷版が保持され、上型に、その転写印刷版を被印刷部材に押し付ける加圧室が形成される請求項３記載の転写印刷版用実装金型である。
【００２０】
請求項５の発明は、上型には、剛性のある転写印刷版が保持され、転写印刷版が被印刷部材に着版される請求項３記載の転写印刷版用実装金型である。
【００２１】
請求項６の発明は、凹凸が形成された転写印刷版を被印刷部材に真空下で押し付けて被印刷部材に転写印刷版の凹凸形状を転写する転写印刷方法において、転写印刷版と被印刷部材とのいずれかを保持する上型と下型を合わせたときに密閉空間を形成し、その密閉空間を真空排気した後、転写印刷版を被印刷部材に着版させることを特徴とする転写印刷方法である。
【００２２】
請求項７の発明は、着版後、転写印刷版の背面を空気圧で加圧して、転写印刷版を被印刷部材に押し付ける請求項６記載の転写印刷方法である。
【００２３】
請求項８の発明は、着版して転写印刷版の凹凸を被印刷部材に転写した後、密閉空間の真空状態を解除させ、その後転写印刷版を被印刷部材から離版させる請求項６記載の転写印刷方法である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明は以下のような効果を奏する。
（１）ベローズなどを用いることがなく、構造がシンプルで小型である。
（２）真空減圧室を構造上小さくできるので、真空減圧に要する時間を短縮できる。また真空ポンプは小型化のものが使用できる。
（３）加圧室を形成することで、転写印刷版に対して均一な圧力がかけられ、転写印刷むらがなくなる。
（４）気体による加圧室を形成することで、転写印刷版の押圧および引き剥がし（離版）を加圧室の解除によって行える。
（５）気体による加圧式なので、転写印刷版を薄くすることが可能で、人工石英などの材料費が低減でき、転写印刷版をやすく製作できる。
（６）上型、下型構造で、上下移動距離が短いので、全体のタクトタイムを短くできる。
（７）構造が簡単で、かつ小型なので、装置コストを安くできる。
（８）金型の精度で実装金型を製作でき、印刷の精度を高くできる。
（９）Ｏリングなどの弾性体からなるシール部材を用いており、被印刷部材と転写印刷版の平行度を常に維持しながら印刷できる。
（１０）汎用の簡単なプレスを用いて印刷でき、インフラを応用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下本発明の実施形態を添付図面により説明する。
【００２６】
図１は、本実施の形態の転写印刷用実装金型を説明するための断面図である。図２は実装金型の上部金型（以下、上型と称す）と下部金型（以下、下型）を合体させたときの断面図である。
【００２７】
図において、基台１４上に支柱１５が立設され、その支柱１５に上下移動自在にステージ１２が設けられ、詳細は省略するが、ステージ１２がボールネジ１１の回転で図示の矢印１３のように上昇したり、或いは降下するようになっており、そのボールネジ１１の回転をステッピングモータ７で制御して、ステージ１２の上昇速度と降下速度を自在に制御できるようになっていると共にボールネジ１１とステージ１２間にロードセル１０が設けられ、後述するが転写印刷版２１と被印刷部材２２との接触圧が検出できるようになっている。
【００２８】
このステージ１２上には、断面凹形状の下型１８が設けられ、その凹部１８ａに被印刷部材２５を真空吸引方式で保持する基板載置台２６が取り付けられる。
【００２９】
下型１８には、ロータリーポンプ接続口８が設けられ、その上面には、弾性体からなるシール部材としてのＯリング１７が設けられ、その外周に位置決めピン２１が立設される。このＯリング１７は、図示例では、内外２個設ける例を示したが１個でもよい。
【００３０】
支柱１５の上部には、アーム１６ａを介して上型１６が取り付けられ、その上型１６の内周に形成した溝に転写印刷版２４が取り付けられる。上型１６の上部にはサファイア（紫外線照射板）３を保持する上蓋２２が設けられ、転写印刷版２４と上蓋２２間に加圧室２８が形成される。
【００３１】
上型１６には、加圧室２８に空気等を供給して、着版時に転写印刷版２５を下向きに湾曲するよう、また離版時に加圧室２８を徐々に減圧するロータリーポンプ或いはコンプレッサー接続口２３が設けられる。上型１６の下面には、下型１８に立設した位置決めピン２１を嵌合する位置決め受け穴２０が形成される。
【００３２】
また、サファイア３上には照射レンズ４、光ファイバ５が配置され、光ファイバ５からの紫外線が、これらを通し、転写印刷版２４を通して、被印刷部材２５上に塗布された紫外線硬化樹脂等に照射できるようになっている。
【００３３】
この転写印刷版用実装金型において、ステージ１２が上昇され、被印刷部材２５が転写印刷版２５に着版する際に、上型１６と下型１８間がＯリング１７にてシールされて密閉空間が形成され、その空間内の空気がロータリーポンプ接続口８から吸引排気されることで、真空減圧室１９が形成され、その状態で、転写印刷版２４が被印刷部材２５に着版する。この着版時には、被印刷部材２５上に塗布された紫外線硬化樹脂中に気泡が混入することが防止される。
【００３４】
Ｏリング１７はゴムなどの弾性体なので、上型１６と下型１８の降下あるいは上昇時の押し付け圧力によって歪み変形でき、印刷圧力の調整も同時に可能である。下型１８には位置決めピン２１が、また上型１６には位置決めピン２１が挿入できる位置決め用受け穴２０が設けられているため、上型１８と下型１６の位置精度は、この位置決めピン２１と位置決め受け穴２０により高い精度で位置合わせされながら合体される。
【００３５】
真空減圧室１９が形成された後に、上型１６に下型１８をさらに押し付けることで、転写印刷版２４が被印刷部材２５に着版する。この着版時に、加圧室２８にロータリーポンプ接続口８から加圧空気を供給することで、転写印刷版２４と被印刷部材２５の接触圧を均一にすることができる。
【００３６】
この場合、転写印刷版２４を着版の際に、加圧室２８の圧力で若干下方に湾曲させるようにすることで、被印刷部材２５の中央が転写印刷版２４と接触し、その後、徐々に外周側が接触する。これによりより完全に気泡の巻き込みを無くすことが可能となる。
【００３７】
着版後は、光ファイバ４からの紫外線を被印刷部材２１上の紫外線硬化樹脂に照射して硬化させる。
【００３８】
離版時には、加圧室２８内を徐々に減圧して排気すると共に、ステージ１２を降下させることで、転写印刷版２４は、被印刷部材２５から剥がれる。この際、転写印刷版２４は、その周囲から徐々に被印刷版２５から剥がれていくために、容易に剥離することができる。また、加圧室２８は、最終的には大気圧まで開放（或いは減圧状態まで）される。
【００３９】
このように、上型１６と下型１８とを合わせたときに真空状態とすることが、出来るため、装置がシンプルとなる。
【００４０】
次に、図３，図４により本発明の他の実施の形態を説明する。
【００４１】
図３，図４は、上型１６と下型１８のみを示しているが、図１，２と同様に下型１８はステージ１２に、上型１６は、支持アーム１６ａを介して支柱１５に保持されるようになっている。
【００４２】
本実施の形態においては、転写印刷版２４ａを厚板で形成し、この転写印刷版２４ａで直接被印刷部材２５に着版させるようにしたものである。この例においては、図１、図２に示した加圧室２８がないため、よりシンプルな装置とすることが可能となる。
【実施例】
【００４３】
（実施例１）
図１、図２に示した転写印刷版実装金型を用い、上型１８および下型１６に超硬を用い、Ｏリング１７にはシリコーンゴムを用いた。また転写印刷板２４には人工石英を用い、この転写印刷板２４には幅５０ナノメートル、長さ５０〜１００ナノメータの凸型のドットパターンが形成されている。転写印刷版用人工石英は、直径４インチφ（１００ｍｍφ）で厚さが０．５０ｍｍである。シリコーンゴム製Ｏリング１７は断面円形で、厚さは直径で８．０ｍｍ、またシリコーンゴムの硬度はショア硬度で７０である。この転写印刷版用実装金型を用いて、被印刷部材２５である、厚さ１．０ｍｍ、直径３インチφ（７５ｍｍφ）のナノガラスに転写印刷を行った。感光性樹脂には、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）系の溶剤希釈型感光樹脂を用い、この感光性樹脂をナノガラス上に１０μｍの厚さで塗布し、溶剤を乾燥させてから基板載置台１２に配置した。ナノガラスを配置後、下型１８を上昇させて、真空減圧室１９を形成させた。上型１６と下型８は図２に示すように位置決めピン２１が位置決め受け穴２０に挿入され、金型の加工精度で合体された。位置決めピン２１の位置決め受け穴２０に対する繰り返し位置合わせ精度は５μｍである。
【００４４】
実施例１では下型上昇型の印刷機を用いて印刷を行った。下型１８を上昇させて真空減圧室１９を形成後、ロータリー真空ポンプによって、真空減圧室１９と加圧室２８を０．１ａｔｍ（０．１Ｋｇｆ／ｃｍ2 ）まで減圧し、転写印刷版２４とナノガラス間および感光樹脂中の内蔵気体を排除した。この状態では、被印刷部材２５であるナノガラスと転写印刷版２４は接触しておらず、０．０５ｍｍのギャップに保持されている。真空減圧室１９と加圧室２８の間には圧力差はないので、転写印刷版が下に押されて変形することはない。その後加圧室のみ減圧を解除して転写印刷版２４を被印刷部材２５に押圧した。転写印刷版２４は０．５ｍｍと薄いので、変形が可能であり、ナノガラスに転写印刷版２４が押し当てられて転写印刷が可能な状態になる。押圧した後、波長３６５ｎｍの紫外線ランプを用いて、光量１０ｍＪで５秒間紫外線を照射した。照射完了後、真空減圧室１９の減圧を解除して転写印刷版２４をナノガラスから剥がし、その後下型１８を降下させて印刷を完了した。真空減圧室１９の減圧の解除によって、転写印刷版２４とガラス間は０．０５ｍｍのギャップに復元するので、転写印刷版２４のドットパターンがナノガラスに転写され、良好な印刷結果が得られた。
【００４５】
（実施例２）
実施例１のシリコーンゴムＯリングに代わりＰＴＦＥ（フッ素ゴム）製Ｏリングを用いた。ＰＴＦＥは耐紫外線材料として知られている。実施例１と同じく良好な印刷結果が得られた。
【００４６】
（実施例３）
実施例３では、上型１６と下型１８の金型材料にＳＵＳ３０４のステンレスを用いた。ＳＵＳ３０４ステンレスは金型材料としては通常用いられないが、転写印刷版用金型では、切断曲げ、冷間鍛造のように金属を直接加工するものではない。このため機械加工性に優れたステンレスを試験的に採用したが、実施例と同じく良好な結果が得られた。
【００４７】
（実施例４）
実施例１において、真空減圧室１９の減圧も加圧室２８と同時に解除して印刷を行った。この場合、加圧室は減圧解除の後、コンプレッサーで２．０ａｔｍ（２．０Ｋｇｆ／ｃｍ２）まで内圧を上げて、転写印刷版２４をナノガラスに押圧した。紫外線を照射した後、電磁バルブを開き加圧室２８の加圧を解除して、ナノガラスから転写印刷版２４を剥がして印刷を終了した。実施例１と同じく良好な印刷結果が得られた。
【００４８】
（実施例５）
図３，図４に示した実装金型を用い、上型１６および下型１８に超硬を用い、Ｏリング１７にはシリコーンゴムを用いた。また転写印刷板２４ａには人工石英を用い、この転写印刷板２４ａには幅５０ナノメートル、長さ５０〜１００ナノメータの凸型のドットパターンが形成されている。転写印刷版用人工石英は、直径４インチφ（１００ｍｍφ）で厚さが５．０ｍｍである。シリコーンゴム製Ｏリング１７は断面円形であり、厚さは直径で８．０ｍｍ、またシリコーンゴムの硬度はショア硬度で７０である。この転写印刷版用実装金型を用いて、被印刷部材２５である、厚さ１．０ｍｍ、直径３インチφ（７５ｍｍφ）のナノガラスに転写印刷を行った。感光性樹脂には、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）系の溶剤希釈型感光樹脂を用い、この感光性樹脂をナノガラス上に１０μｍの厚さで塗布し、溶剤を乾燥させてから基板載置台２６に配置した。ナノガラスを配置後、下型１８を上昇させて、真空減圧室１９を形成させた。上型１６と下型１８は図４に示すように位置決めピン２１が位置決め受け穴２０に挿入され、金型の加工精度で合体された。位置決めピン２１の位置決め受け穴２０に対する繰り返し位置合わせ精度は５μｍである。
【００４９】
実施例５では下型上昇型の印刷機を用いて印刷を行った。下型１８を上昇させて真空減圧室１９を形成後、ロータリー真空ポンプによって、０．１ａｔｍ（０．１Ｋｇｆ／ｃｍ2 ）まで減圧した。この状態では、被印刷部材であるナノガラスと転写印刷版２４ａは接触しておらす、０．３ｍｍの距離に保持されている。転写印刷版の厚さは５ｍｍなので大気圧との圧力差で転写印刷版２４ａが下に押されて変形することはない。この減圧状態によって、転写印刷版２４ａとナノガラス間、及び感光性樹脂中の微小な内蔵気体が排除される。その後、下型１８をさらに上昇させて、ナノガラスを転写印刷版２４ａが押圧した。押圧した後、波長３６５ｎｍの紫外線ランプを用いて、光量１０ｍＪで５秒間紫外線を照射した。印刷時のステージによる上昇押し圧力は、常時加圧で０．２ＭＰａである。この圧力はおよそ大気圧の２倍に等しく、約２．０Ｋｇｆ／ｃｍ2 である。上型１６と下型１８の基板載置台２６を含めた全体の平坦度は、実測で３μｍで加工されており、従って、そのまま上型１６と下型１８が合体したときの最大ギャップは６μｍであるが、下型１８を上昇させる駆動軸は、下型１８の台座との間で機械的にμｍオーダで稼働でき、さらに上型下型間にはＯリング１７があるため、Ｏリング１７が傾き補正の緩衝材として働き、ナノガラスと転写印刷版２４ａは常に並行に押圧される。紫外線照射の後、真空減圧室１９の減圧を解除し、下型１８を降下させてナノガラスを取り出し確認した。人工石英の転写印刷版２４ａのドットパターンがナノガラスに転写され、良好な印刷結果が得られた。
【００５０】
（実施例６）
実施例５のシリコーンゴムＯリングに代わりＰＴＦＥ（フッ素ゴム）製Ｏリング１７を用いた。ＰＴＦＥは耐紫外線材料として知られている。実施例５と同じく良好な印刷結果が得られた。
【００５１】
（実施例７）
実施例７では、上型１６と下型１８の金型材料にＳＵＳ３０４のステンレスを用いた。ＳＵＳ３０４ステンレスは金型材料としては通常用いられないが、転写印刷版用金型では、切断曲げ、冷間鍛造のように金属を直接加工するものではない。このため機械加工性に優れたステンレスを試験的に採用したが、実施例５と同じく良好な結果が得られた。
【００５２】
（実施例８）
実施例５において、紫外線照射後、すぐに減圧状態を解除せずに、減圧状態を維持しながら、ステッピングモータで下型を０．１ｍｍ降下させ、転写印刷版から被印刷部材２５であるナノガラスを剥がした。この状態では、まだシリコーンゴムリング１７は上型１６と下型１８の間で加圧されているので、減圧状態は維持されている。この条件では減圧状態で転写印刷版２４ａをナノガラスから剥がすことになるが、実施例５に同じく良好な印刷結果が得られた。
【００５３】
（実施例９）
実施例５において、真空減圧室１９の減圧状態を解除してから紫外線照射を行った。この状態でも実施例５と同じく良好な印刷結果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の転写印刷用実装金型の一実施の形態を示す断面図である。
【図２】図１において、実装金型の上部金型と下部金型を合体させたときの断面図である。
【図３】本発明の転写印刷用実装金型の他の実施の形態を示す要部断面図である
【図４】図３において、実装金型の上部金型と下部金型を合体させたときの断面図である。
【図５】従来の転写印刷用実装金型の断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１６  上型
１７  Ｏリング（シール部材）
１８  下型
１９  真空減圧室
２４  転写印刷版
２５  被印刷部材
【図１】
2006018977.tif 000003
【図２】
2006018977.tif 000004
【図３】
2006018977.tif 000005
【図４】
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【図５】
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