(57)【要約】【課題】  撮像装置の起動時間が短く、使用感が改善された静電アクチュエータおよび撮像装置を提供する。【解決手段】  可動子が固定子へ付勢可能となる様に、付勢手段を設ける。付勢手段が付勢している状態、していない状態を切り替えるための切り替え手段を設ける。撮像装置に電源が供給されていない状態では、付勢手段が可動子を固定子へ付勢し、可動子が自由に動いてしまう事を抑制する。【選択図】  図２
2006254591.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子と、
前記固定子に設けられ、前記固定子に案内されて所定方向に移動可能に設けられた可動子と、
前記固定子に設けられた２つの基板と、
一方の前記基板に設けられ、前記可動子を吸引保持するための保持用電極と、
他方の前記基板に設けられ、前記可動子を駆動するために前記所定方向に複数並べて設けられた駆動用電極と、
前記可動子の前記駆動用電極と対向する位置に、前記可動子を駆動するために前記所定方向に複数並べて設けられた可動子側駆動用電極と、
前記可動子を前記固定子へ付勢するための付勢手段と、
前記付勢手段が前記可動子を付勢している状態と前記付勢手段が前記可動子を付勢していない状態とを切り替えるための切り替え手段と、
を有し、
前記切り替え手段は、前記可動子が駆動かつ吸引保持されない時には付勢している状態、前記可動子が駆動される時には付勢していない状態に切り替えることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記付勢手段は、前記可動子を前記固定子へ付勢するための弾性部材を有していることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
前記切り替え手段は、前記付勢手段が前記可動子を付勢していない状態となるように、前記付勢手段を吸引するための可動子固定用電極を有することを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
固定子と、
前記固定子に設けられ、前記固定子に案内されて所定方向に移動可能に設けられた可動子と、
前記固定子に設けられた２つの基板と、
一方の前記基板に設けられ、前記可動子を吸引保持するための保持用電極と、
他方の前記基板に設けられ、前記可動子を駆動するために前記所定方向に複数並べて設けられた駆動用電極と、
前記可動子の前記駆動用電極と対向する位置に、前記可動子を駆動するために前記所定方向に複数並べて設けられた可動子側駆動用電極と、
前記可動子を前記固定子へ付勢するための付勢手段と、
前記付勢手段が前記可動子を付勢している状態と前記付勢手段が前記可動子を付勢していない状態とを切り替えるための切り替え手段と、
前記可動子に設けられ、被写体の像を結像させるためのレンズと、
前記レンズによって結像された被写体の像を検出するための撮像素子部と、
を有し、
前記切り替え手段は、前記可動子が駆動かつ吸引保持されない時には付勢している状態、前記可動子が駆動される時には付勢していない状態に切り替えることを特徴とする撮像装置。
【請求項５】
前記付勢手段は、前記可動子を前記固定子へ付勢するための弾性部材を有していることを特徴とする請求項４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記切り替え手段は、前記付勢手段が前記可動子を付勢していない状態となるように、前記付勢手段を吸引するための可動子固定用電極を有することを特徴とする請求項５に記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電アクチュエータおよび静電アクチュエータを用いてレンズを駆動する撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話等のモバイル機器にズーム機能やオートフォーカス機能を有する撮像装置を組み込むことが検討されている。このような撮像装置ではレンズを駆動することで、ピントを調節して最終的にセンサに結像させる。このようにレンズを光軸方向に駆動する駆動源としては、静電アクチュエータが用いられる場合がある。
【０００３】
撮像装置は、レンズを駆動することでズーム倍率やピントを調整するものである。静電アクチュエータは、固定子と可動子とを備えており、可動子はレンズを保持している。
【０００４】
固定子は、固定子枠の上下内壁にそれぞれ取付けられた駆動用電極基板と保持用電極基板とを備えている。また、可動子は、一対の電極基板の間を数μｍのギャップをもってレンズの軸方向に沿って往復動可能となるように配置されている。駆動用電極基板には、可動子を駆動するための駆動用電極を有している。また、保持用電極基板には、可動子を保持するための保持用電極を有している。
【０００５】
このような構成をした撮像装置においては、固定子の電極基板の電極にスイッチング回路を用いて所定の順序で電圧を供給することで、可動子を静電気力で駆動するようにしている。（特許文献１）
【特許文献１】特開２００３−９５５０公報  図３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の撮像装置は、例えば撮像装置の電源がオフとなっている場合など、保持用電極基板の保持用電極に電圧が供給されない状況では、可動子はレンズの軸方向に沿って自由に動くことができてしまう。
【０００７】
すなわち、例えば撮像装置の電源がオフとなっている際に、撮像装置に加速度が加わった場合、可動子が移動してしまって再度撮像装置の電源をオンにした後、可動子の位置を一旦基準位置に移動するなどの初期化動作が必要となり、起動に時間がかかるという問題がある。
【０００８】
また、例えば撮像装置の電源がオフとなっている際にユーザが取り扱った場合、可動子が内部で移動し「カタカタ」と音がしてしまうため、使用感が良くないという問題もある。
【０００９】
本発明は、このような事情を鑑みてされたもので、撮像装置の起動時間が短く、使用感が改善された静電アクチュエータおよび撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の静電アクチュエータは、固定子と、前記固定子に設けられ、前記固定子に案内されて所定方向に移動可能に設けられた可動子と、前記固定子に設けられた２つの基板と、一方の前記基板に設けられ、前記可動子を吸引保持するための保持用電極と、他方の前記基板に設けられ、前記可動子を駆動するために前記所定方向に複数並べて設けられた駆動用電極と、前記可動子の前記駆動用電極と対向する位置に、前記可動子を駆動するために前記所定方向に複数並べて設けられた可動子側駆動用電極と、前記可動子を前記固定子へ付勢するための付勢手段と、前記付勢手段が前記可動子を付勢している状態と前記付勢手段が前記可動子を付勢していない状態とを切り替えるための切り替え手段と、を有し、前記切り替え手段は、前記可動子が駆動かつ吸引保持されない時には付勢している状態、前記可動子が駆動される時には付勢していない状態に切り替えることを特徴とする。
【００１１】
また、上記目的を達成するために、本発明の撮像装置は、固定子と、前記固定子に設けられ、前記固定子に案内されて所定方向に移動可能に設けられた可動子と、前記固定子に設けられた２つの基板と、一方の前記基板に設けられ、前記可動子を吸引保持するための保持用電極と、他方の前記基板に設けられ、前記可動子を駆動するために前記所定方向に複数並べて設けられた駆動用電極と、前記可動子の前記駆動用電極と対向する位置に、前記可動子を駆動するために前記所定方向に複数並べて設けられた可動子側駆動用電極と、前記可動子を前記固定子へ付勢するための付勢手段と、前記付勢手段が前記可動子を付勢している状態と前記付勢手段が前記可動子を付勢していない状態とを切り替えるための切り替え手段と、前記可動子に設けられ、被写体の像を結像させるためのレンズと、前記レンズによって結像された被写体の像を検出するための撮像素子部と、を有し、前記切り替え手段は、前記可動子が駆動かつ吸引保持されない時には付勢している状態、前記可動子が駆動される時には付勢していない状態に切り替えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
撮像装置の起動時間が短く、使用感が改善された静電アクチュエータおよび撮像装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１４】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態に係る静電アクチュエータを用いた撮像装置１０を一部切欠して示す斜視図、図２は撮像装置１０を示す分解斜視図、図３はズームレンズユニット（静電アクチュエータ）３０を模式的に示す断面図、図４は後述する付勢手段の動作を説明する模式図である。これらの図中矢印ＸＹＺは互いに直交する三方向を示しており、特に矢印Ｘは貫通部の貫通方向（所定方向）であり、すなわち第１及び第２の可動子５０、６０の移動方向（光軸方向）である。また、実施の形態の説明において、図１に示すＺの矢印方向を仮に上方向として説明する。
【００１５】
撮像装置１０は、ズームレンズユニット３０に設けられた後述するレンズ５４、６４によって結像された被写体の像を検出する。撮像装置１０は、撮像素子部２０と、ズームレンズユニット３０とを備えている。撮像素子部２０は、基板２１と、この基板２１上に配置されたＣＣＤ等のセンサ２２及び制御用の電子部品２３とを備えている。電子部品２３には、駆動制御回路２４が組み込まれている。
【００１６】
ズームレンズユニット３０は、筒状のカバー３１と、固定子４０と、第１の可動子５０と、第２の可動子６０とを備えている。第１の可動子５０、第２の可動子６０は、互いに離間して光軸方向Ｘに沿って移動可能に固定子枠４１（後述）内に挿入されている。
【００１７】
固定子４０は、貫通部を有する中空の直方体形状の枠体なる固定子枠４１を備えている。この固定子枠４１は、上方内面４１ａおよび下方内面４１ｂを有している。上方内面４１ａには、第１の可動子５０、第２の可動子６０を駆動するための駆動用電極基板４２が取付けられている。さらに、下方内面４１ｂには、可動子５０、６０をその位置に保持するための保持用電極基板４３が取付けられている。
【００１８】
駆動用電極基板４２は、絶縁性材料基板表面に所望の形状にパターニングして形成され、図３に示すように移動方向Ｘに対して直交するＹ方向に延伸する複数の電極群からなる駆動用電極４２ａ〜４２ｄが並列されている。絶縁性材料基板には、例えばガラス板や、表面に熱酸化膜が形成されたシリコンウェーハ、アラミドやガラスエポキシなどのプリント配線板用の絶縁基板を用いることができる。なお、各電極の幅は数μｍから数十μｍ程度であり、各電極間の間隔は数μｍから数十μｍ程度であり、電極は、一定のピッチで配列されている。ここで一定のピッチとは、加工の際に生じる加工誤差を含んでいる。
【００１９】
駆動用電極４２ａ〜４２ｄは、電子部品２３の駆動制御回路２４に接続され、駆動制御回路２４からの制御電圧信号が入力されて駆動される。すなわち、電圧信号は、各グループの駆動用電極４２ａ〜４２ｄに独立して印加される。例えば、駆動用電極４２ａに電圧が印加される場合には、駆動用電極基板４２上の全てのグループの駆動用電極４２ａに対応する凸部に電圧信号が印加される。ここで駆動用電極４２ａはチャンネル１（ｃｈ１）、駆動用電極４２ｂはチャンネル２（ｃｈ２）、駆動用電極４２ｃはチャンネル３（ｃｈ３）、駆動用電極４２ｄはチャンネル４（ｃｈ４）に該当する。
【００２０】
保持用電極基板４３は、絶縁性材料基板表面に所望の形状にパターニングして形成され、図３に示すように第１の可動子５０の第１可動子電極５３（後述）に対応するストライプ電極４３ａ（第１の保持用電極）と、第２の可動子６０の第２可動子電極６３（後述）に対応するストライプ電極４３ｂ（第２の保持用電極）が並行に形成されている。例えばガラス板や、表面に熱酸化膜が形成されたシリコンウェーハ、アラミドやガラスエポキシなどのプリント配線板用の絶縁基板を用いることができる。ここで第２可動子用ストライプ電極４３ｂはチャンネル５（ｃｈ５）、第１可動子用ストライプ電極４３ａはチャンネル６（ｃｈ６）に該当する。また、これらストライプ電極４３ａ、４３ｂは、第１及び第２の可動子５０、６０を独立して制御されるように電気的に独立して配置される。
【００２１】
第１の可動子５０は、中空部を有する導電材料で形成された略直方体の支持体５１とを備えている。支持体５１は、例えば導電性材料を物理的な研削により、または化学的なエッチングにより形成することができる。また、導電性樹脂を射出成型して成型して形成することもできる。この支持体５１の上面には可動子側駆動用電極５２が形成され、下面には第１可動子電極５３が形成されている。さらに、中空部にはレンズ５４が固定されている。
【００２２】
可動子側駆動用電極５２は、第１の可動子５０の移動方向Ｘに直交するように突起状の複数のストライプが延出され、移動方向Ｘに並列されて凹凸部が形成されている。その間隔は例えば３２μｍ程度であり、凸部の高さは凹部の底面から高さ１０μｍ程度を有している。この高さは最低１０μｍあればよく、それ以上深くても構わない。可動子側駆動用電極５２の凸の幅は、駆動用電極基板４２ａ〜４２ｄのピッチの倍に等しく、また、可動子側駆動用電極５２の凹の底面は、駆動用電極基板４２ａ〜４２ｄのピッチの倍と等しい幅を有している。例えば、駆動用電極基板４２に表面に熱酸化膜が形成されたシリコンウェーハを用いる場合、可動子側駆動用電極５２の凹或いは凸は、ほぼ６４μｍのピッチで配列されている。
【００２３】
第１可動子電極５３は、第１の可動子５０の移動方向Ｘに延出され、Ｙ方向に並列されるようにエッチングにより突起状の複数のストライプが形成されている。ここで第１可動子電極５３はチャンネル７（ｃｈ７）に該当する。
【００２４】
第２の可動子６０は、中空部を有する導電材料で形成された略直方体の支持体６１とを備えている。支持体６１は、例えば導電性材料を物理的な研削により、または化学的なエッチングにより形成することができる。また、導電性樹脂を射出成型して成型して形成することもできる。この支持体６１の上面には可動子側駆動用電極６２が形成され、下面には第２可動子電極６３が形成されている。さらに、中空部にはレンズ６４が固定されている。
【００２５】
可動子側駆動用電極６２は、第２の可動子６０の移動方向Ｘに直交するようにエッチングにより突起状の複数のストライプが延出され、移動方向Ｘに並列されて凹凸部が形成されている。その間隔は例えば３２μｍ程度であり、凸部の高さは凹部の底面から高さ１０μｍ程度を有している。この高さは最低１０μｍあればよく、それ以上深くても構わない。可動子側駆動用電極６２の凸の幅は、駆動用電極基板４２ａ〜４２ｄのピッチの倍に等しく、また、可動子側駆動用電極６２の凹の底面は、駆動用電極基板４２ａ〜４２ｄのピッチの倍と等しい幅を有している。例えば、駆動用電極基板４２に表面に熱酸化膜が形成されたシリコンウェーハを用いる場合、可動子側駆動用電極６２の凹或いは凸は、ほぼ６４μｍのピッチで配列されている。
【００２６】
第２可動子電極６３は、第１の可動子５０の移動方向Ｘに延出され、Ｙ方向に並列されるようにエッチングにより突起状の複数のストライプが形成されている。ここで第２可動子電極６３はチャンネル８（ｃｈ８）に該当する。
【００２７】
上述した第１の可動子５０のレンズ５４及び第２の可動子６０のレンズ６４の配置が変えられることによって両者で構成されるレンズ系は、ワイド及びテレ間でズームされ、また被写体に対してピントが合わせられる。
【００２８】
この固定子枠４１には、可動子固定手段７０が取付けられている。可動子固定手段７０には、可動子固定基板７１に付勢手段７２ａ、７２ｂと切り替え手段７３ａ、７３ｂが設けられている。
【００２９】
可動子固定基板７１は、絶縁性材料基板表面に所望の形状にパターニングして形成され、付勢手段７２ａ、７２ｂを吸引するための電極である切り替え手段７３ａ、７３ｂが設けられている。
【００３０】
可動子固定基板７１には、付勢手段７２ａ、７２ｂが設けられている。付勢手段７２ａ、７２ｂは、例えば表面が絶縁樹脂にてコーティングされたベリリウム銅やステンレス鋼などの弾性部材を用いることができる。また、付勢手段７２ａ、７２ｂは可動子固定基板７１に設けられた図示しない配線パターンと電気的に接続されている。
【００３１】
付勢手段７２ａは第１の可動子５０を固定子枠４１に付勢するために設けられており、付勢手段７２ａの有する弾性力によって第１の可動子５０を固定子枠４１に押し付け可能な位置に設けられている。同様に付勢手段７２ｂは第２の可動子６０を固定子枠４１に付勢するために設けられており、付勢手段７２ｂの有する弾性力によって第２の可動子６０を固定子枠４１に押し付け可能な位置に設けられている。
【００３２】
可動子固定基板７１には、切り替え手段７３ａ、７３ｂが設けられている。切り替え手段７３ａ、７３ｂは、第１の可動子５０、第２の可動子６０が固定子枠４１に付勢されるか否かを切り替えるために設けられている。具体的には、付勢手段７２ａ、７２ｂに可動子固定基板７１側へ吸着する方向へと吸着力を発生するための電極が、切り替え手段７３ａ、７３ｂには設けられている。
【００３３】
このように構成された撮像装置１０は、次のようにして第１及び第２の可動子５０、６０の駆動が行われる。
【００３４】
第１の可動子５０は、駆動用電極４２ａ〜４２ｄと可動子側電極５２の間に、またストライプ電極４３ａと第１可動子電極５３との間に電位差を設ける。すると駆動用電極４２ａ〜４２ｄと可動子側電極５２の間に、またストライプ電極４３ａと第１可動子電極５３との間に静電気力により吸引方向の力が生じる。公知の手順（例えば特開２００４−１２６００９号公報  段落００３７乃至００４９）にて、電位差を設ける駆動用電極４２ａ〜４２ｄ、ストライプ電極４３ａを切り替えることにより、第１の可動子５０の位置を移動させることができる。
【００３５】
一方、第２の可動子６０は、駆動用電極４２ａ〜４２ｄと可動子側電極６２の間に、またストライプ電極４３ｂと第２可動子電極６３との間に電位差を設ける。すると駆動用電極４２ａ〜４２ｄと可動子側電極６２の間に、またストライプ電極４３ｂと第２可動子電極６３との間に静電気力により吸引方向の力が生じる。第１の可動子５０と同様、公知の手順にて、電位差を設ける駆動用電極４２ａ〜４２ｄ、ストライプ電極４３ｂを切り替えることにより、第２の可動子６０の位置を移動させることができる。
【００３６】
また、第１の可動子５０を保持する場合、ストライプ電極４３ａと第１可動子電極５３との間に電位差を設ける。ストライプ電極４３ａと第１可動子電極５３との間に静電気力により吸引方向の力が生じ、第１の可動子５０を保持することができる。第２の可動子６０を保持する場合、第１の可動子５０と同様にストライプ電極４３ｂと第２可動子電極６３との間に電位差を設ける。
【００３７】
このように第１及び第２の可動子５０、６０の駆動が行われる撮像装置１０は、次のようにして第１及び第２の可動子５０、６０が付勢されている状態と付勢されていない状態とが切り替えられる。
【００３８】
付勢手段７２ａ、７２ｂと切り替え手段７３ａ、７３ｂとの間に電位差を設けると、付勢手段７２ａ、７２ｂと切り替え手段７３ａ、７３ｂとの間に静電気力による吸引力が生じる。この静電気力により、付勢手段７２ａ、７２ｂは可動子固定基板７１側へと吸引される。
【００３９】
付勢手段７２ａ、７２ｂを可動子固定基板７１側へと吸引することによって、付勢手段７２ａ、７２ｂの付勢力は弱まる。すわなち、付勢手段７２ａ、７２ｂの付勢力がゼロとなるために必要な電位差以上の電位差を付勢手段７２ａ、７２ｂと切り替え手段７３ａ、７３ｂとの間に設ければ、第１及び第２の可動子５０，６０の駆動を行うことができる。
【００４０】
一方、付勢手段７２ａ、７２ｂの付勢力がゼロとなるために必要な電位差未満の電位差を付勢手段７２ａ、７２ｂと切り替え手段７３ａ、７３ｂとの間に設ければ、第１及び第２の可動子５０，６０の駆動には抵抗が生じ、駆動が困難となる。具体的には、付勢手段７２ａ、７２ｂと切り替え手段７３ａ、７３ｂとの間に電位差が生じないように、付勢手段７２ａ、７２ｂと切り替え手段７３ａ、７３ｂとを接地（グランド電位）する。
【００４１】
このようにしてできた撮像装置１０およびズームレンズユニット３０は、撮像装置１０の電源がオフとなっている場合など、保持用電極基板の保持用電極に電圧が供給されない状況では、第１及び第２の可動子５０、６０は付勢手段７２ａ、７２ｂによって固定子枠４１へ付勢されているので、レンズの軸方向に沿って自由に動くことができない。
【００４２】
すなわち、例えば撮像装置１０の電源がオフとなっている際に、撮像装置１０に加速度が加わった場合、第１及び第２の可動子５０、６０が移動してしまう可能性が非常に少ない。従って例えば撮像装置１０を地面に落下させた場合等の特段の事情がある場合を除き、再度撮像装置の電源をオンにした際の、第１及び第２の可動子５０、６０の位置を一旦基準位置に移動するなどの初期化動作が不用となり、起動時間を短縮することができる。
【００４３】
また、例えば撮像装置１０の電源がオフとなっている際にユーザが取り扱った場合、第１及び第２の可動子５０、６０が内部で移動し「カタカタ」と音がしてしまうことがなく、使用感が心地よい。
【００４４】
なお、本実施の形態では、第１の可動子５０を付勢するために付勢手段７２ａ、第２の可動子６０を付勢するために付勢手段７２ｂと２つの付勢手段を用いる撮像装置１０について説明した。しかし、図５に示す様に１つの付勢手段７２にて、第１及び第２の可動子５０、６０を付勢し、１つの切り替え手段７３にて付勢手段７２を吸着可能に設けても良い。
【００４５】
さらに、図６に示す様に、２つの付勢手段７２ａ、７２ｂにてそれぞれ第１及び第２の可動子５０、６０を付勢し、一つの切り替え手段７３にて付勢手段７２ａ、７２ｂを吸着可能に設けても良い。
【００４６】
この時、付勢手段７２ａ、７２ｂのＸ方向の長さを長く設計すると、付勢手段７２ａ、７２ｂと第１及び第２の可動子５０、６０との接触面積を広く取ることができ、より第１及び第２の可動子５０、６０が移動してしまう可能性が非常に少ない。また、付勢手段７２ａ、７２ｂのばね定数を小さく設計することができるため、第１及び第２の可動子５０、６０が固定子枠４１に付勢されている際の付勢力、すなわち付勢手段７２ａ、７２ｂのプリロード量で決まる力の設計が容易になる。
【００４７】
（第２の実施の形態）
図７は本発明の第２の実施の形態に係る静電アクチュエータを用いた撮像装置１０を模式的に示す図である。なお、図１乃至６に示す第１の実施の形態の各部と同一部分は、同一符号で示し、その説明を省略する。
【００４８】
付勢手段７２ａ、７２ｂには板状部材７４が設けられている。板状部材７４はその一部が導電性を有する材料を用いて形成されており、例えば表面が絶縁樹脂でコーティングされた金属板を用いることができる。
【００４９】
板状部材７４と付勢手段７２ａ、７２ｂの少なくとも一方は電気的に接続されており、さらに可動子固定基板７１に設けられた図示しない配線パターンと電気的に接続されている。切り替え手段７３と板状部材７４との間に、電位差を設けることが可能となるように、切り替え手段７３と板状部材７４は設けられている。付勢手段７２ａ、７２ｂは、板状部材７４を介して第１及び第２の可動子４０、５０を固定子枠４１へ付勢する。
【００５０】
このようにしてできた撮像装置１０およびズームレンズユニット３０は、撮像装置１０の電源がオフとなっている場合など、保持用電極基板の保持用電極に電圧が供給されない状況では、第１及び第２の可動子５０、６０は付勢手段７２ａ、７２ｂによって固定子枠４１へ付勢されているので、レンズの軸方向に沿って自由に動くことができない。
【００５１】
すなわち、例えば撮像装置１０の電源がオフとなっている際に、撮像装置１０に加速度が加わった場合、第１及び第２の可動子５０、６０が移動してしまう可能性が非常に少ない。従って例えば撮像装置１０を地面に落下させた場合等の特段の事情がある場合を除き、再度撮像装置の電源をオンにした際の、第１及び第２の可動子５０、６０の位置を一旦基準位置に移動するなどの初期化動作が不用となり、起動時間を短縮することができる。
【００５２】
また、例えば撮像装置１０の電源がオフとなっている際にユーザが取り扱った場合、第１及び第２の可動子５０、６０が内部で移動し「カタカタ」と音がしてしまうことがなく、使用感が心地よい。
【００５３】
さらに、第１及び第２の可動子５０、６０は板状部材４１を介して付勢手段７２ａ、７２ｂによって固定子枠４１へ付勢されているので、第１及び第２の可動子５０、６０と板状部材４１との接触面積が広い。すなわち、付勢手段７２ａ、７２ｂと第１及び第２の可動子５０、６０との摩擦力を大きく設計することができ、より第１及び第２の可動子５０、６０が移動してしまう可能性が非常に少ない。
【００５４】
（第３の実施の形態）
図８は本発明の第３の実施の形態に係る静電アクチュエータを用いた撮像装置１０を模式的に示す図である。なお、図１乃至６に示す第１の実施の形態、図７に示す第２の実施の形態の各部と同一部分は、同一符号で示し、その説明を省略する。
【００５５】
可動子固定手段７０には、付勢手段７２ｃと付勢手段取り付け部７２ｄが設けられている。付勢手段７２ｃは、例えばコイルスプリングの様な、ねじり方向に対して弾性力を有する部材にて形成されている。付勢手段７２ｃは、２つの付勢手段取り付け部７２ｄの間に設けられ、その両端は付勢手段取付け部７２ｄに固定されている。
【００５６】
付勢手段７２ｃには、クランプ７５が設けられている。クランプ７５は、第１及び第２の可動子５０、６０を付勢するために設けられている（図８は第１の可動子５０を付勢する場合を図示）。クランプ７５は、付勢手段７２ｃの弾性力にて第１の可動子５０、６０を付勢する。クランプ７５の少なくとも一部は金属等の導電性を有する材料で構成されており、可動子固定基板７１に設けられた図示しない配線パターンと電気的に接続されている。
【００５７】
このような撮像装置１０は、次のようにして第１及び第２の可動子５０、６０が付勢されている状態と付勢されていない状態とが切り替えられる。
【００５８】
クランプ７５と切り替え手段７３との間に電位差を設けると、クランプ７５と切り替え手段７３との間に静電気力による吸引力が生じる。この静電気力により、クランプ７５は可動子固定基板７１側へと吸引される。
【００５９】
クランプ７５を可動子固定基板７１側へと吸引することによって、クランプ７５の付勢力は弱まる。すわなち、クランプ７５の付勢力がゼロとなるために必要な十分な電位差以上の電位差をクランプ７５と切り替え手段７３との間に設ければ、第１及び第２の可動子５０，６０の駆動を行うことができる。
【００６０】
一方、クランプ７５の付勢力がゼロとなるために必要な十分な電位差未満の電位差をクランプ７５と切り替え手段７３との間に設ければ、第１及び第２の可動子５０，６０の駆動には抵抗が生じ、駆動が困難となる。具体的には、クランプ７５と切り替え手段７３との間に電位差が生じないように、クランプ７５と切り替え手段７３とを接地（グランド電位）する。
【００６１】
このようにしてできた撮像装置１０およびズームレンズユニット３０は、撮像装置１０の電源がオフとなっている場合など、保持用電極基板の保持用電極に電圧が供給されない状況では、第１及び第２の可動子５０、６０はクランプ７５によって固定子枠４１へ付勢されているので、レンズの軸方向に沿って自由に動くことができない。
【００６２】
すなわち、例えば撮像装置１０の電源がオフとなっている際に、撮像装置１０に加速度が加わった場合、第１及び第２の可動子５０、６０が移動してしまう可能性が非常に少ない。従って例えば撮像装置１０を地面に落下させた場合等の特段の事情がある場合を除き、再度撮像装置の電源をオンにした際の、第１及び第２の可動子５０、６０の位置を一旦基準位置に移動するなどの初期化動作が不用となり、起動時間を短縮することができる。
【００６３】
また、例えば撮像装置１０の電源がオフとなっている際にユーザが取り扱った場合、第１及び第２の可動子５０、６０が内部で移動し「カタカタ」と音がしてしまうことがなく、使用感が心地よい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る静電アクチュエータを用いた撮像装置の斜視図
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る静電アクチュエータを用いた撮像装置の分解斜視図
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る静電アクチュエータの断面図
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る静電アクチュエータの付勢手段の動作を示す図
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る静電アクチュエータの変形例を示す図
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る静電アクチュエータの変形例を示す図
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る静電アクチュエータを示す断面図
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る静電アクチュエータを示す図
【符号の説明】
【００６５】
１０  撮像装置
２０  撮像素子部
２１  基板
２２  センサ
２３  電子部品
２４  駆動制御回路
３０  ズームレンズユニット
３１  カバー
４０  固定子
４１  固定子枠
４１ａ  上方内面
４１ｂ  下方内面
４２  駆動用電極基板
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ  駆動用電極
４３  保持用電極基板
４３ａ、４３ｂ  ストライプ電極
５０  第１の可動子
５１  支持体
５２  可動子側駆動用電極
５３  第１可動子電極
５４  レンズ
６０  第２の可動子
６１  支持体
６２  可動子側駆動用電極
６３  第２可動子電極
６４  レンズ
７０  可動子固定手段
７１  可動子固定基板
７２、７２ａ、７２ｂ、７２ｃ  付勢手段
７２ｄ  付勢手段取り付け部
７３、７３ａ、７３ｂ  切り替え手段
７４  板状部材
７５  クランプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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