(57)【要約】  【解決課題】  本発明の課題は、除湿剤の寿命が長く、ハニカムローターの交換頻度が少ない除湿装置を提供することにある。  【解決手段】  遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で５％以上、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で１〜１０％であり、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が１５％以下のホージャサイト型ゼオライトが担持されているハニカムローターを有する除湿装置。【選択図】        図２
2006055725.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホージャサイト型ゼオライトが担持され、回転軸方向に通気空洞が形成されている多孔質ハニカム構造体により構成されるハニカムローター、該ハニカムローターを回転させるための回転手段、該ハニカムローターの一方の開孔面を除湿ゾーン及び再生ゾーンに分割する第一分割部材、該ハニカムローターの他方の開孔面を除湿ゾーン及び再生ゾーンに分割する第二分割部材、該除湿ゾーンに被処理空気を供給するための第一供給手段、該再生ゾーンに乾燥用空気を供給するための第二供給手段、該再生ゾーンの前段に設けられ、該乾燥用空気を加熱するための加熱手段を有する除湿装置であって、該ホージャサイト型ゼオライトが、遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で５％以上、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で１〜１０％であり、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が１５％以下のホージャサイト型ゼオライトであることを特徴とする除湿装置。
【請求項２】
前記ホージャサイト型ゼオライトが、水素イオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第１イオン交換工程と、該遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、残存水素イオンの全部又は一部がアルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第２イオン交換工程を行い製造されるホージャサイト型ゼオライトであることを特徴とする請求項１記載の除湿装置。
【請求項３】
ホージャサイト型ゼオライトが担持され、回転軸方向に通気空洞が形成されている多孔質ハニカム構造体により構成されるハニカムローター、該ハニカムローターを回転させるための回転手段、該ハニカムローターの一方の開孔面を除湿ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンに３分割する第一分割部材、該ハニカムローターの他方の開孔面を除湿ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンに３分割する第二分割部材、該除湿ゾーンに被処理空気を供給するための第一供給手段、該再生ゾーンに乾燥用空気を供給するための第二供給手段、該冷却ゾーンに冷却用空気を供給するための第三供給手段、該再生ゾーンの前段に設けられ、該乾燥用空気を加熱するための加熱手段を有する除湿装置であって、該ホージャサイト型ゼオライトが、遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で５％以上、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で１〜１０％であり、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が１５％以下のホージャサイト型ゼオライトであることを特徴とする除湿装置。
【請求項４】
前記ホージャサイト型ゼオライトが、水素イオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第１イオン交換工程と、該遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、残存水素イオンの全部又は一部がアルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第２イオン交換工程を行い製造されるホージャサイト型ゼオライトであることを特徴とする請求項３記載の除湿装置。
【請求項５】
ホージャサイト型ゼオライトが担持され、回転軸方向に通気空洞が形成されている多孔質ハニカム構造体により構成されるハニカムローター、該ハニカムローターを回転させるための回転手段、除湿ゾーンに被処理空気を供給するための第一供給手段、再生ゾーンに乾燥用空気を供給するための第二供給手段、該再生ゾーンの前段に設けられ、該乾燥用空気を加熱するための加熱手段を有する除湿装置であって、該ホージャサイト型ゼオライトが、遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で５％以上、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で１〜１０％であり、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が１５％以下のホージャサイト型ゼオライトであることを特徴とする除湿装置。
【請求項６】
前記ホージャサイト型ゼオライトが、水素イオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第１イオン交換工程と、該遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、残存水素イオンの全部又は一部がアルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第２イオン交換工程を行い製造されるホージャサイト型ゼオライトであることを特徴とする請求項５記載の除湿装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、エレクトロニクス等の製造における製造装置室内、搬送装置室内の空気の除湿等に用いられる除湿装置、又は家庭用の除湿装置に関し、より具体的には、除湿剤が担持されているハニカムローターを備え、該ハニカムローターが回転し、除湿剤による水分を含む被処理空気の除湿と、水分を吸湿した該除湿剤の再生を同時に行ない、連続的に該被処理空気の除湿を行なう除湿装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場におけるシリコンウエハー等の製造工程において、酸化膜の生成が製品の不良原因となるが、該酸化膜の生成には、水分が大きな影響を与えるということが近年わかってきた。そのため、製品の不良を減らすために、製造装置室内等の空気中の水分を除去することが必要となってきた。
【０００３】
該製造装置内の空気中の水分を除去する方法としては、主に、乾燥した窒素ガスでパージする方法と除湿する方法がある。該窒素ガスでパージする方法では、装置室内の水分を装置室外に追い出すので、水分量が非常に低くなるが、ランニングコスト（乾燥した窒素ガスの費用及びＮ２  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｗｉｎｇ  Ａｄｏｓｏｒｐｔｉｏｎ（ＰＡＳ；窒素発生機）の運転費用）が高く、更に装置室内の酸素ガス濃度を管理する必要がある。一方、除湿する方法では、乾燥した窒素ガスは必要とせず、また、酸素ガス濃度を管理する必要もないので、該乾燥した窒素ガスでパージする方法に比べ、ランニングコストが低い。
【０００４】
そこで、近年、半導体製造装置室内等の除湿を目的とする除湿装置の研究が進められている。該除湿装置として、例えば、特許文献１の特開２００４−０００８２４号公報には、親水性ゼオライト中のナトリウムの一部をＬａ、Ｎｄ、Ｃｅ、Ｐｒから選ばれた一種又は複数種の元素で置換したアルミノシリケートからなる吸着剤が担持され、回転手段を備えるローター有し、該ローターの回転域が吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画され、被処理気体を該吸着ゾーンに供給する経路と、該吸着ゾーンで処理された気体を目的空間に供給する経路と、該再生ゾーンに再生用気体を供給する経路とを備える減湿装置が開示されている。
【０００５】
また、家庭用の除湿装置は、室内での洗濯物の乾燥や、冬場の室内の結露の防止に使用される。特に、該除湿装置には、冬場の空気のように絶対湿度が低い空気を良好に除湿できることが要求されている。
【０００６】
該家庭用の除湿装置としては、特許文献２の特開２００４−３８４４号公報には、水分を吸収する吸湿剤が充填されたローターを有し、該ローターが吸湿部と再生部に分割され、吸湿用空気から水分を吸収する吸湿経路と、吸湿剤を再生する再生経路と、再生用空気を昇温する再生用ヒーターと、再生用空気内の水分を凝縮させて除去する凝縮器とを備える除湿機が開示されている。
【特許文献１】特開２００４−０００８２４号公報
【特許文献２】特開２００４−００３８４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記除湿装置においては、連続的に該被処理空気の除湿を行なうため、除湿剤による水分を含む被処理空気の除湿と、水分を吸湿した該除湿剤の再生が同時に行なわれている。そのため、該除湿装置の運転中、該除湿剤は、常に被処理空気中の水分の吸湿及び該水分の脱湿を繰り返す。そして、該繰り返しにより、該除湿剤の吸湿性能が徐々に低下し、ついには、脱湿を行なっても除湿剤として必要な吸湿性能を回復することができなくなる場合がある。
【０００８】
除湿剤が吸湿性能を回復することができなくなった時は、該除湿剤を新たな除湿剤と交換しなければならない。ところが、該除湿剤は、通常ハニカムローターを構成するハニカム構造体等に担持されているため、該除湿剤のみを交換することはできず、ハニカムローターごと交換する必要がある。そのため、半導体製造装置室内等の除湿用の除湿装置の場合、ハニカムローターの交換に、多大なコストがかかるので、該交換の頻度が多いと、該除湿装置の維持費用が上昇することとなる。そこで、該交換の頻度が少ない除湿装置が望まれている。
【０００９】
また、家庭用の除湿装置の場合、該除湿装置の商品の性質上、商品寿命が来るまで、該ハニカムローターについては、メンテナンスフリーであることが要求されている。そこで、該ハニカムローターの交換が必要ない除湿装置が望まれている。
【００１０】
従って、本発明の課題は、ハニカムローターに担持されている除湿剤の寿命が長く、該ハニカムローターの交換頻度が少ないか、又は該ハニカムローターを交換しなくても長期間に亘って優れた除湿性能を維持することができる除湿装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、上記従来技術における課題を解決すべく、鋭意研究を重ねた結果、（１）特定の性状を有するホージャサイト型ゼオライトは、水分の吸脱着を繰り返した時の吸湿性の維持性能に優れること、（２）該ホージャサイト型ゼオライトは、除湿装置の除湿剤として必要な水分の吸着性及び該水分の脱着性を有していること、（３）そのため、該ホージャサイト型ゼオライトが除湿剤として担持されているハニカムローターを有する除湿装置は、長期間に亘って優れた除湿性能を維持すること等を見出し、本発明を完成させるに至った。なお、本発明において、水分の吸脱着を繰り返した時の吸湿性の維持性能を、乾湿繰り返し耐久性と記載する。
【００１２】
すなわち、本発明（１）は、ホージャサイト型ゼオライトが担持され、回転軸方向に通気空洞が形成されている多孔質ハニカム構造体により構成されるハニカムローター、該ハニカムローターを回転させるための回転手段、該ハニカムローターの一方の開孔面を除湿ゾーン及び再生ゾーンに分割する第一分割部材、該ハニカムローターの他方の開孔面を除湿ゾーン及び再生ゾーンに分割する第二分割部材、該除湿ゾーンに被処理空気を供給するための第一供給手段、該再生ゾーンに乾燥用空気を供給するための第二供給手段、該再生ゾーンの前段に設けられ、該乾燥用空気を加熱するための加熱手段を有する除湿装置であって、該ホージャサイト型ゼオライトが、遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で５％以上、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で１〜１０％であり、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が１５％以下のホージャサイト型ゼオライトである除湿装置を提供するものである。
【００１３】
また、本発明（２）は、前記ホージャサイト型ゼオライトが、水素イオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第１イオン交換工程と、該遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、残存水素イオンの全部又は一部がアルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第２イオン交換工程を行い製造されるホージャサイト型ゼオライトである前記本発明（１）記載の除湿装置を提供するものである。
【００１４】
また、本発明（３）は、ホージャサイト型ゼオライトが担持され、回転軸方向に通気空洞が形成されている多孔質ハニカム構造体により構成されるハニカムローター、該ハニカムローターを回転させるための回転手段、該ハニカムローターの一方の開孔面を除湿ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンに３分割する第一分割部材、該ハニカムローターの他方の開孔面を除湿ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンに３分割する第二分割部材、該除湿ゾーンに被処理空気を供給するための第一供給手段、該再生ゾーンに乾燥用空気を供給するための第二供給手段、該冷却ゾーンに冷却用空気を供給するための第三供給手段、該再生ゾーンの前段に設けられ、該乾燥用空気を加熱するための加熱手段を有する除湿装置であって、該ホージャサイト型ゼオライトが、遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で５％以上、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で１〜１０％であり、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が１５％以下のホージャサイト型ゼオライトである除湿装置を提供するものである。
【００１５】
また、本発明（４）は、前記ホージャサイト型ゼオライトが、水素イオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第１イオン交換工程と、該遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、残存水素イオンの全部又は一部がアルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第２イオン交換工程を行い製造されるホージャサイト型ゼオライトである前記本発明（３）記載の除湿装置を提供するものである。
【００１６】
また、本発明（５）は、ホージャサイト型ゼオライトが担持され、回転軸方向に通気空洞が形成されている多孔質ハニカム構造体により構成されるハニカムローター、該ハニカムローターを回転させるための回転手段、除湿ゾーンに被処理空気を供給するための第一供給手段、再生ゾーンに乾燥用空気を供給するための第二供給手段、該再生ゾーンの前段に設けられ、該乾燥用空気を加熱するための加熱手段を有する除湿装置であって、該ホージャサイト型ゼオライトが、遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で５％以上、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で１〜１０％であり、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が１５％以下のホージャサイト型ゼオライトである除湿装置を提供するものである。
【００１７】
また、本発明（６）は、前記ホージャサイト型ゼオライトが、水素イオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第１イオン交換工程と、該遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、残存水素イオンの全部又は一部がアルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第２イオン交換工程を行い製造されるホージャサイト型ゼオライトである前記本発明（５）記載の除湿装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の除湿装置は、ハニカムローターに担持されている除湿剤の寿命が長いので、長期間に亘って優れた除湿性能を維持することができ、そのため、半導体製造装置室内等の除湿に用いられる場合、ハニカムローターの交換頻度が少なく、ランニングコストを低く抑えることができ、また、家庭用の除湿装置として用いられる場合、商品寿命が来るまで、ハニカムローターについては、メンテナンスフリーとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の第一の実施の形態に係る除湿装置（以下、第一の形態の除湿装置とも記載する。）を、図１及び図２を参照して説明する。図１は、第一の実施の形態例の除湿装置に設置されるハニカムローターを示す図である。また、図２は、第一の実施の形態例の除湿装置を示す図である。図１中、ハニカムローター１は、ローター軸６及びハニカム構造体７により構成されている。該ハニカム構造体７には、ホージャサイト型ゼオライトが担持されており、且つ回転軸方向に通気空洞が形成されている。従って、該ハニカム構造体７の一方の開孔面２ａ及び他方の開孔面２ｂが、該ハニカムローターに通気される空気の出入り口となり、該通気空洞が空気の流路となる。そして、該通気空洞内で、通気される空気と該ホージャサイト型ゼオライトが接触することによって、該通気される空気及び該ホージャサイト型ゼオライト間で水分が移動する。そして、該開孔面２ａが第一分割部材３ａ及び３ｂで、該開孔面２ｂが図示しない第二分割部材で分割されることにより、該ハニカムローター１は、被処理空気中の水分を該ホージャサイト型ゼオライトが吸湿し、該被処理空気の除湿が行なわれる除湿ゾーン４及び該水分を吸湿した該ホージャサイト型ゼオライトが脱湿し、該ホージャサイト型ゼオライトの吸湿性能の再生が行われる再生ゾーン５に分割されている。なお、該第一分割部材３ａ及び３ｂ、並びに該第二分割部材は、図２中、除湿装置１０のローターケース１１に固定されており、該ハニカムローター１の回転を妨害しない程度に、該ハニカムローター１に近接している。そして、該ハニカムローター１は、ローター軸６を介して、該除湿装置１０の該ローターケース１１に、回転ができるように設置される。
【００２０】
該ハニカム構造体７は、多孔質の平坦状繊維基紙及び該平坦状繊維基紙をコルゲート加工して得られる波型状繊維基紙を、無機接着剤又は有機接着剤を用いて、該波型状繊維基紙の山部で接着し、積層して製造される。この時、該平坦状繊維基紙及び該波型状繊維基紙は、両者の間に形成される略半円柱形状の空洞が、空気の流路となるので、該空洞が該ハニカムローター１の回転軸方向に形成されるように積層される。該積層を行う方法としては、例えば、該ハニカムローター１の厚み８と同じ長さに成形された、一対の該波型状繊維基紙及び該平坦状繊維基紙を重ね、ロール状に巻き上げ、積層する方法が挙げられる。
【００２１】
該繊維基紙は、繊維から形成される織布又は不織布である。該繊維としては、特に制限されず、Ｅガラス繊維、ＮＣＲガラス繊維、ＡＲＧ繊維、ＥＣＧ繊維、Ｓガラス繊維、Ａガラス繊維などのガラス繊維やそのチョップドストランド、セラミック繊維、アルミナ繊維、ムライト繊維、シリカ繊維、ロックウール繊維、炭素繊維等の無機繊維及び有機繊維が挙げられる。有機繊維とては、アラミド繊維、ナイロン繊維、ポリエチレンテレフタレート繊維等を用いることができる。該繊維基紙の繊維として、無機繊維を用いることが、ハニカムローターの強度を高めることができる点で、好ましい。
【００２２】
また、該繊維基紙は、該繊維基紙中の繊維間に、多数の空隙を有している多孔質体である。該繊維基紙の繊維間空隙率は、通常８０〜９５％であり、該繊維基紙の厚さは、通常０．１〜１ｍｍである。該繊維間空隙率とは、繊維基紙の見かけの体積から、該繊維基紙中の繊維の体積を引いた部分（以下、繊維間空隙とも記載する。）が、該繊維基紙の見かけ体積中に占める割合をいう。
【００２３】
該ハニカム構造体７に担持されているホージャサイト型ゼオライトは、該ハニカムローター１が回転することにより、該除湿ゾーン４及び該再生ゾーン５へ交互に移動し、水分の吸湿及び脱湿を繰り返す。従って、該ホージャサイト型ゼオライトには、乾湿繰り返し耐久性に優れていることが要求される。
【００２４】
該ホージャサイト型ゼオライトは、遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で５％以上、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計が酸化物換算で１〜１０％であり、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が１５％以下である。
【００２５】
該ホージャサイト型ゼオライトは、一般にホージャサイト型と呼ばれている骨格構造を有するゼオライトである。また、該ホージャサイト型ゼオライトは、一般式（１）；
ａＭｘＯｙ・ｂＬｐＯｑ・Ａｌ２Ｏ３・ｃＳｉＯ２          （１）
で表すことができ、該一般式（１）中、Ｍは、遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属であり、Ｌは、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属である。また、ｘ及びｙの値はＭの価数により異なり、ｐ及びｑの値はＬの価数より異なる。例えば、Ｍが１価の場合は、ｘの値は２、ｙの値は１であり、Ｍが２価の場合は、ｘの値は１、ｙの値は１であり、Ｍが３価の場合は、ｘの値は２、ｙの値は３である。Ｌとｐ及びｑの関係も同様である。また、ａｘ＋ｂｐの値は、概ね１．４〜５．０である。また、該ゼオライトのＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３モル比（ｃの値）は３〜６である。
【００２６】
また、ゼオライトがホージャサイト型であることは、ハニカム構造体に担持されているゼオライトを取り出し、該ゼオライトのＸ線回折分析を行なって得られる回折パターンにより確認することができる。
【００２７】
本発明のホージャサイト型ゼオライトは、好ましくは、Ｙ型と呼ばれる骨格構造を有するゼオライトである。
【００２８】
該遷移金属は、長周期表の第３〜１１族の金属であれば特に制限されず、好ましくはバナジウム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、ジルコニウム、モリブデン、タングステン、ランタン、セリウム、プラセオジム及びネオジムであり、特に好ましくはマンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、ジルコニウム、ランタン及びセリウムある。また、該遷移金属は、１種又は２種以上のいずれでもよい。
【００２９】
該ホージャサイト型ゼオライトは、該遷移金属、亜鉛又はスズを含有することにより、該ホージャサイト型ゼオライトの吸湿速度と脱湿速度のバランスが良くなる。
【００３０】
該遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計は、酸化物換算で５％以上であり、好ましくは７％以上である。該合計が５％未満だと、ホージャサイト型ゼオライトの除湿量が低下するか、又は吸湿速度及び脱湿速度のバランスが悪くなる。
【００３１】
該アルカリ金属又はアルカリ土類金属としては、特に制限されないが、好ましくは、リチウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウムである。
【００３２】
また、該アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属の含有量の合計は、酸化物換算で１〜１０％、好ましくは２〜８％である。該合計が、１％未満だと、対イオンが水素イオンである酸点が多くなり、水分の吸脱着の繰り返しにより、脱水又脱アルミニウムを起こし易くなるので、ゼオライトの骨格構造が弱くなる。また、該合計が、１０％を超えると、脱湿がし難くなり、吸湿速度と脱湿速度のバランスが悪くなる。
【００３３】
ゼオライト中のシリカアルミナにより構成される酸点は、対イオンとして陽イオンを有しているが、それらのうち、対イオンが水素イオンである酸点は、水分の吸脱着を繰り返すと、ゼオライト骨格からの脱水又は脱アルミニウムを起こし易く、ゼオライト骨格の収縮の原因となる。そのため、対イオンが水素イオンである酸点が多いゼオライトは、骨格収縮に起因するゼオライトの比表面積又は細孔容積の低下を起こし易く、乾湿繰り返し耐久性が悪い。言い換えると、対イオンが水素イオンである酸点が少ないゼオライトは、乾湿繰り返し耐久性が良い。
【００３４】
該ゼオライト中のシリカアルミナより構成される酸点に、対イオンとして結合している水素イオンの数は、直接測定され難くいが、該水素イオンが少ないことは、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が低いことにより、把握することがきる。
【００３５】
該ホージャサイト型ゼオライトの乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率は、１５％以下である。該比表面積の低下率が、１５％を超えると、水分の吸脱着を繰り返した時に吸湿性が低下する。なお、該乾湿繰り返し試験とは、該ホージャサイト型ゼオライトを８００℃で１０分間加熱後、乾燥剤が入れられているデシケーター中で２５℃まで冷却し、次いで、２５℃、５０％ＲＨのデシケーター中に１０分間放置するという操作を、１００回繰り返す試験である。そして、該乾湿繰り返し試験前及び試験後の該ホージャサイト型ゼオライトの比表面積を測定し、その低下率を求める。そして、該ホージャサイト型ゼオライトは、乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率が１５％以下と低いことから、該ホージャサイト型ゼオライト中のシリカアルミナより構成される酸点に結合している水素イオンが少ないことがわかる。
【００３６】
このように、該ホージャサイト型ゼオライト中、シリカアルミナより構成される酸点に結合している対イオンは、大部分が該遷移金属、亜鉛及びスズの中から選ばれる１種又は２種以上の金属のイオン、又は該アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの中から選ばれる１種又は２種以上の金属のイオンであり、水素イオンは極めて少ない。従って、本発明に係るホージャサイト型ゼオライトは、乾湿繰り返し耐久性に優れる。
【００３７】
本発明のホージャサイト型ゼオライトは、シリカアルミナにより構成される酸点に結合している対イオンの全部又は一部が水素イオンであるホージャサイト型ゼオライトを、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第１イオン交換工程と、該遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンの存在する水溶液又はスラリーに浸漬して、イオン交換反応を行い、残存水素イオンの全部又は一部がアルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトを得る第２イオン交換工程を行い製造することができる。
【００３８】
該第１イオン交換工程において、イオン交換されるホージャサイト型ゼオライトは、シリカアルミナにより構成される酸点に結合している対イオンの全部又は一部が水素イオンであるホージャサイト型ゼオライト（以下、Ｈ−ホージャサイト型ゼオライトと記載する。）である。通常、ホージャサイト型ゼオライトは、酸点の対イオンがナトリウムイオンであるナトリウムホージャサイト型ゼオライト（以下、Ｎａ−ホージャサイト型ゼオライトと記載する。）として合成される。そして、該Ｎａ−ホージャサイト型ゼオライトを、例えば、塩化アンモニウム水溶液に浸漬し、ナトリウムイオンとアンモニウムイオンのイオン交換を行った後、乾燥、更に焼成することにより、Ｈ−ホージャサイト型ゼオライトを得ることができる。
【００３９】
該Ｈ−ホージャサイト型ゼオライトは、Ｎａ−ホージャサイト型ゼオライトから製造される場合、ナトリウム含有量が、酸化物換算で０〜５％であり、ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３モル比が３〜６である。また、該Ｈ−ホージャサイト型ゼオライトが、シリカアルミナにより構成される酸点に結合している対イオンがナトリウム以外の金属であるホージャサイト型ゼオライトから製造される場合、該ナトリウム以外の金属の含有量が酸化物換算で０〜１０％であり、ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３モル比が３〜６である。また、該Ｈ−ホージャサイト型ゼオライトは、金属以外に、硫黄原子を含有してもよい。この場合の硫黄原子の含有量は、ＳＯ３換算で１％以下である。
【００４０】
該第１イオン交換工程において、イオン交換を行なう金属イオンは、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンのうちの１種又は２種以上のいずれでもよい。また、該遷移金属イオンは、前記した本発明のホージャサイト型ゼオライトに含有される遷移金属と同じ金属のイオンである。
【００４１】
該第１イオン交換工程において、イオン交換反応は、遷移金属塩、亜鉛化合物塩又はスズ化合物塩、例えば、水酸化物塩、塩化物塩、硫酸塩、硫酸水素塩、炭酸塩、炭酸水素塩、硝酸塩等を水に添加し、該金属イオンの存在する水溶液又はスラリーを調製し、該水溶液又はスラリーに、前記Ｈ−ホージャサイト型ゼオライトを浸漬することにより行う。該遷移金属塩、亜鉛化合物塩又はスズ化合物塩は、１種又は２種以上のいずれであってもよく、２種以上の場合は、同じ種類の金属の塩であっても、異なる種類の金属の塩であってもよい。該水溶液又はスラリーの濃度は、特に制限されないが、０．０１〜１０ｍｏｌ／Ｌが、イオン交換反応が速やかに起こる点で好ましい。該イオン交換反応におけるｐＨは、特に制限されないが、３以上の弱酸性又はアルカリ性が好ましい。該ｐＨが３未満だと、酸による結晶構造の破壊が起こり易くなる。また、反応温度は、室温〜１００℃である。室温未満だと、イオン交換反応の反応速度が遅く、１００℃を超えると、水の沸点以上なので、圧力容器等を用いなければならず、反応が煩雑になる。反応時間は、反応温度により異なるが、概ね１０分〜２４時間である。また、イオン交換を行った後、必要に応じて、水洗、乾燥、焼成を行うことができる。該乾燥を行う温度は、通常９０〜２００℃であり、焼成を行う温度は、通常４００〜６００℃である。また、第１イオン交換工程は、複数回繰り返すことができ、各回同じ金属イオンでイオン交換してもよいし、異なる金属イオンでイオン交換してもよい。
【００４２】
該第１イオン交換工程を行うことにより、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライト（以下、第１イオン交換ホージャサイト型ゼオライトと記載する。）を得ることができる。
【００４３】
該第２イオン交換工程は、Ｈ−ホージャサイト型ゼオライトに代えて、前記第１イオン交換ホージャサイト型ゼオライトとし、イオン交換する金属イオンを遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンに代えて、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンとすること以外は、第１イオン交換工程と同様であるので、第１イオン交換工程と同様の部分については説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。また、該アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンは、１種又は２種以上のいずれであってもよい。
【００４４】
該第２イオン交換工程において、イオン交換を行なう金属イオンは、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンであれば特に制限されないが、リチウムイオン、ナトリウムイオン、カリウムイオン、マグネシウムイオン、カルシウムイオンが、半径が小さいので、遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンでイオン交換されずに残存している水素イオン（以下、残存水素イオンと記載する。）が存在する酸点へ入り込み易く、該残存水素イオンとイオン交換し易い点で好ましい。
【００４５】
該第２イオン交換工程において、イオン交換反応に用いるアルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩又はマグネシウム化合物塩は、例えば、水酸化物塩、塩化物塩、硫酸塩、硫酸水素塩、炭酸塩、炭酸水素塩、硝酸塩等であり、具体的には、水酸化ナトリウム、塩化ナトリウム、硫酸ナトリウム、硫酸水素ナトリウム、硝酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化カリウム、塩化カリウム、硫酸カリウム、硫酸水素カリウム、硝酸カリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、硫酸マグネシウム、硫酸水素マグネシウム、硝酸マグネシウム、炭酸マグネシウム、炭酸水素マグネシウム、硫酸リチウム、硫酸水素リチウム、硝酸リチウム、炭酸リチウム、炭酸水素リチウム、硫酸カルシウム、硫酸水素カルシウム、硝酸カルシウム、炭酸カルシウム、炭酸水素カルシウム、硫酸ストロンチウム、硫酸水素ストロンチウム、硝酸ストロンチウム、炭酸ストロンチウム、炭酸水素ストロンチウム等が挙げられる。
【００４６】
当該第２イオン交換工程を行うことにより、第１イオン交換ホージャサイト型ゼオライト中に存在する残存水素イオンの全部又は一部が、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンで交換されたホージャサイト型ゼオライト（以下、第２イオン交換ホージャサイト型ゼオライトと記載する。）を得ることができる。
【００４７】
該第２イオン交換ホージャサイト型ゼオライトの遷移金属、亜鉛及びスズの含有量の合計は、酸化物換算で５％以上であり、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びマグネシウムの含有量の合計は、酸化物換算で１〜１０％である。また、該ホージャサイト型ゼオライトの乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率は１５％以下である。
【００４８】
該第２イオン交換工程は、該第１イオン交換工程で遷移金属イオン、亜鉛イオン又はスズイオンに交換されなかった残存水素イオンを、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン又はマグネシウムイオンでイオン交換することができるので、対イオンが水素である酸点を極めて少なくすることができる。従って、第１イオン交換工程及び第２イオン交換工程を行い製造されるホージャサイト型ゼオライトは、水分の吸脱着を繰り繰り返しても、脱水又は脱アルミニウムによる骨格収縮が少なく、比表面積又は細孔容積が低下し難く、乾湿繰り返し耐久性に優れている。
【００４９】
該ホージャサイト型ゼオライトを該ハニカム構造体７に担持する方法としては、特に制限されず、常法により行うことができる。例えば、該ホージャサイト型ゼオライトを、シリカゾル、アルミナゾル又はチタニアゾル等の無機質結合剤と共に水に懸濁させた懸濁液を調製し、該懸濁液に該ハニカム構造体７を浸漬するか、あるいは該ハニカム構造体７に該懸濁液を塗工することにより、該ホージャサイト型ゼオライトを該ハニカム構造体７に十分に吸収させ、過剰の懸濁液を除去した後、乾燥して、固定させ、該ホージャサイト型ゼオライトをハニカム構造体７に担持させる。この時、使用する無機質結合剤の量は、該ハニカム構造体７の表面に固定するのに必要最小限度とすることが、該無機質結合剤の硬化物が該ホージャサイト型ゼオライトの表面を覆うことによる該ホージャサイト型ゼオライトの吸湿性能の低下を少なくできる点で好ましい。
【００５０】
また、成形されていない該繊維基紙に、該ホージャサイト型ゼオライトを担持し、ホージャサイト型ゼオライトが担持された繊維基紙を得、次いで、該ゼオライトが担持された繊維基紙を成形して、該ホージャサイト型ゼオライトが担持されているハニカム構造体７を得ることもできる。
【００５１】
また、該Ｎａ−ホージャサイト型ゼオライトを、該ハニカム構造体７に担持し、続いて、得られたＮａ−ホージャサイト型ゼオライトが担持されているハニカム構造体７を、塩化アンモニウム等のアンモニウム塩の水溶液に浸漬して、ナトリウムイオンをアンモニウムイオンにイオン交換し、水洗、乾燥後、焼成してアンモニアを除去することにより、Ｈ−ホージャサイト型ゼオライトが担持されているハニカム構造体７を得、次いで、該第１イオン交換工程及び第２イオン交換工程を行うことによっても、該ホージャサイト型ゼオライト担持されているハニカム構造体７を得ることができる。
【００５２】
該除湿ゾーン４及び該再生ゾーン５の比は、特に制限されないが、該開孔面２ａ又は２ｂにおける面積比で、概ね７：１〜１：１、好ましくは５：１〜２：１である。また、該開孔面２ａ又は２ｂ中の該再生ゾーン５の形状は、通常扇形であり、該扇形の中心角は、概ね４５〜１８０度、好ましくは６０〜１２０度である。
【００５３】
該第一分割部材及び該第二分割部材の形態としては、ハニカムローターを除湿ゾーン及び再生ゾーンに分割することができるものであれば、特に制限されず、例えば、ハニカムローターの回転中心から円周に向かって放射状に設けられ、ローターケースに固定される仕切り板（図１中の第一分割部材３ａ及び３ｂ）が挙げられる。
【００５４】
また、該ローターケースに繋がる配管を、該ローターケースの内部まで伸ばし、該配管の出口を該ハニカムローターに近接させることによって、該ハニカムローターを該除湿ゾーン及び脱湿ゾーンに分割することもできる。この場合、該配管のうち、該ローターケースの内部に位置する部分が、分割部材である。
【００５５】
図２中、除湿装置１０は、図１に示す該ハニカムローター１が回転自在に設置されるローターケース１１、第一分割部材３ａ及び３ｂ、図示していない第二分割部材、第一供給機１５、第二供給機１６、加熱装置１７、並びに図示していない該ハニカムローター１を回転させるためのモーターにより構成される。また、該第一供給機１５と該ローターケース１１を繋ぐ被処理空気供給管１８、除湿ゾーン４から除湿空気を排気するための除湿空気排気管１９、該第二供給機１６と該加熱装置１７を繋ぐ第一乾燥用空気供給管２０、該加熱装置１７と該ローターケース１１を繋ぐ第二乾燥用空気供給管２１及び再生ゾーン５から吸湿空気を排気する乾燥用空気排気管２２を備える。
【００５６】
本発明の第一の形態の除湿装置に係る第一供給手段又は第二供給手段としては、特に制限されず、一般に気体を供給するために用いられる装置を使用することができ、送気ファン、ブローアー、コンプレッサー等が挙げられる。
【００５７】
また、該第一供給手段又は第二供給手段の設置位置は、除湿装置１０では、ハニカムローター１の前段であるが、本発明の第一の形態の除湿装置においては、ハニカムローター１の後段であってもよい。この場合、該第一供給手段又は第二供給手段は、被処理空気Ａ又は乾燥用空気Ｃを、ハニカムローター１の反対側からの吸引により、ハニカムローター１内に供給する装置であり、例えば、吸引ファン等が挙げられる。
【００５８】
本発明の第一の形態の除湿装置に係る加熱手段としては、特に制限されず、例えば、電熱ヒーター等が挙げられ、一般に気体を加熱するために用いられる装置を適宜使用することができる。
【００５９】
該除湿装置１０の運転は、次のようにして行う。まず、水分を含むクリーンルーム等内の被処理空気Ａが、該第一供給機１５を用いて、該ハニカムローター１の該除湿ゾーン４に供給される。そして、該被処理空気Ａが、該ハニカムローター１内を通過する際にホージャサイト型ゼオライトと接触することにより、該被処理空気Ａ中の水分が該ホージャサイト型ゼオライトに移動するので、該被処理空気Ａは除湿される。水分が除去された除湿空気Ｂは、ハニカムローター１の除湿ゾーン４から、除湿空気排気管１９を通って排出され、クリーンルーム等へ返送される。
【００６０】
次に、該除湿ゾーン４で水分を吸湿したホージャサイト型ゼオライトは、該ハニカムローター１が回転することにより、再生ゾーン５へと移動する。そして、乾燥用空気Ｃが、該第二供給機１６を用いて、該加熱装置１７に供給され、該加熱装置１７により加熱された後、該ハニカムローター１の再生ゾーン４に供給される。該乾燥用空気Ｃが、該ホージャサイト型ゼオライトと接触することにより、該ホージャサイト型ゼオライト中の水分が該乾燥用空気Ｃに移動するので、該ホージャサイト型ゼオライトは脱湿される。水分を吸湿した吸湿空気Ｄは、ハニカムローター１の再生ゾーン５から、乾燥用空気排気管２２を通って外部へと放出される。また、該乾燥用空気Ｃとしては、特に制限されず、外気、クリーンルーム等内の空気又は該除湿空気Ａ等が挙げられる。該乾燥用空気Ｃとして、該除湿空気Ａを用いることが、該ホージャサイト型ゼオライトの再生効率が高まる点で、好ましい。
【００６１】
次に、該再生ゾーン５で脱湿されたホージャサイト型ゼオライトは、該ハニカムローター１が回転することにより、該除湿ゾーン４へと移動し、再び該被処理空気Ａの除湿に使用される。
【００６２】
そして、該ハニカムローター１に該被処理空気Ａ及び該乾燥用空気Ｃが供給されると共に、該ハニカムローター１が、回転することにより、被処理空気Ａの除湿が、連続的に行われる。
【００６３】
該ハニカムローター１の回転は、連続的であっても、間欠的であってもよい。連続的に該ハニカムローター１が回転する場合、回転速度としては、特に制限されないが、概ね１〜３０回転／時間、好ましくは５〜２０回転／時間である。また、間欠的に該ハニカムローター１が回転する場合、１回当りの該ハニカムローター１の回転量は、１／１２〜１／３回転であり、回転間隔は、定期又は不定期のいずれでもよい。該ハニカムローター１を連続的に回転させることが、常に、一定量の再生されたホージャサイト型ゼオライトが、該除湿ゾーン４に供給されるので、除湿効率が高く且つ除湿性能が安定する点で、好ましい。
【００６４】
次に、本発明の第二の実施の形態に係る除湿装置（以下、第二の形態の除湿装置とも記載する。）を、図３及び図４を参照して説明する。図３は、第二の実施の形態例に係る除湿装置に設置されるハニカムローターを示す図である。また、図４は、第二の実施の形態例に係る除湿装置を示す図である。該第二の形態の除湿装置については、該第一の形態の除湿装置と主に異なる点のみ説明し、該第一の形態の除湿装置と同様な点については、その説明を省略する。すなわち、該第二の形態の除湿装置が、該第一の形態の除湿装置と主に異なる点は、ハニカムローターが、除湿ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンに３分割されている点にある。図３中、ハニカムローター３１は、ローター軸３７及び前記ホージャサイト型ゼオライトが担持されているハニカム構造体３８により構成されている。該ハニカム構造体３８の一方の開孔面３２ａ及び他方の開孔面３２ｂが、第一分割部材３３ａ、３３ｂ及び３３ｃ並びに図示していない第二分割部材により分割されることにより、該ハニカムローター３１は、除湿ゾーン３４、再生ゾーン３５及び冷却ゾーン３６に分割されている。そして、該ハニカムローター３１は、該ローター軸３７を介して、図４中、除湿装置４０のローターケース４１に設置される。
【００６５】
該除湿ゾーン３４及び該再生ゾーン３５の比は、特に制限されないが、該開孔面３２ａ又は３２ｂにおける面積比で、概ね６：１〜１：１、好ましくは４：１〜０．８：１であり、該除湿ゾーン３４及び該冷却ゾーン３６の比は、特に制限されないが、該開孔面３２ａ又は３２ｂにおける面積比で、概ね６：１〜１：１、好ましくは４：１〜１．６：１である。また、該開孔面３２ａ又は３２ｂ中の該再生ゾーン３５の形状は、通常扇形であり、該扇形の中心角は、概ね４５〜１２０度、好ましくは６０〜１００度であり、該冷却ゾーン３６の形状も同様であり、中心角は概ね４５〜１２０度、好ましくは６０〜１００度である。
【００６６】
図４中、除湿装置４０は、図３に示す該ハニカムローター３１が回転自在に設置されるローターケース４１、第一分割部材３３ａ、３３ｂ及び３３ｃ、図示していない第二分割部材、第一供給機４６、第二供給機４７、第三供給機４８、加熱装置４９、及び図示していない該ハニカムローター１を回転させるためのモーターにより構成される。また、該第一供給機４６と該ローターケース４１を繋ぐ被処理空気供給管５０、除湿ゾーン４２から除湿空気を排気するための除湿空気排気管５１、該第二供給機４７と該加熱装置４９を繋ぐ第一乾燥用空気供給管５２、該加熱装置４９と該ローターケース４１を繋ぐ第二乾燥用空気供給管５３、再生ゾーン４３から吸湿空気を排気する乾燥用空気排気管５４、該第三供給機４８と該ローターケース４１を繋ぐ冷却用空気供給管５５及び冷却ゾーン４４から吸熱空気を排気するための冷却用空気排気管５６を備える。
【００６７】
また、該第一供給手段、第二供給手段又は第三供給手段の設置位置は、除湿装置４０では、ハニカムローター３１の前段であるが、本発明の第二の形態の除湿装置においては、ハニカムローター３１の後段であってもよい。この場合、該第一供給手段、第二供給手段又は第三供給手段は、被処理空気Ｅ、乾燥用空気Ｇ又は冷却用空気Ｉを、ハニカムローター３１の反対側からの吸引により、ハニカムローター３１内に供給する装置であり、例えば、吸引ファン等が挙げられる。
【００６８】
該除湿装置４０の運転は、次のようにして行う。まず、水分を含むクリーンルーム等内の被処理空気Ｅが、該第一供給機４６を用いて、該ハニカムローター３１の該除湿ゾーン３４に供給される。そして、該被処理空気Ｅが、該ハニカムローター３１内を通過する際に該ホージャサイト型ゼオライトと接触することにより、該被処理空気Ｅ中の水分が該ホージャサイト型ゼオライトに移動するので、該被処理空気Ｅは除湿される。水分が除去された除湿空気Ｆは、ハニカムローター３１の除湿ゾーン３４から、除湿空気排気管５１を通って排出され、クリーンルーム等へ返送される。
【００６９】
次に、該除湿ゾーン３４で水分を吸湿したホージャサイト型ゼオライトは、該ハニカムローター３１が回転することにより、再生ゾーン３５へと移動する。そして、乾燥用空気Ｇが、該第二供給機４７を用いて、該加熱装置４９に供給され、該加熱装置４９により加熱された後、該ハニカムローター３１の再生ゾーン３５に供給される。そして、該乾燥用空気Ｇが、該ホージャサイト型ゼオライトと接触することにより、該ホージャサイト型ゼオライト中の水分が該乾燥用空気Ｇに移動するので、該ホージャサイト型ゼオライトは脱湿される。水分を吸湿した吸湿空気Ｈは、ハニカムローター３１の再生ゾーン３５から、乾燥用空気排気管５４を通って外部へと放出される。
【００７０】
更に、該再生ゾーン３５で脱湿されたホージャサイト型ゼオライトは、該ハニカムローター３１が回転することにより、該冷却ゾーン３６へと移動する。そして、冷却用空気Ｉが、該第三供給機４８を用いて、該ハニカムローター３１の該の冷却ゾーン３６に供給される。該冷却用空気Ｉが、該脱湿されたホージャサイト型ゼオライトと接触することにより、該ホージャサイト型ゼオライトの熱が該冷却用空気Ｉに移動するので、該ホージャサイト型ゼオライトは冷却される。該ホージャサイト型ゼオライトの熱を吸収した吸熱空気Ｊは、ハニカムローター３１の冷却ゾーン３６から、冷却用空気排気管５６を通って外部へと放出される。
【００７１】
また、該乾燥用空気Ｇ又は冷却用空気Ｉとしては、特に制限されず、外気、クリーンルーム等内の空気又は該除湿空気Ｆ等が挙げられる。該乾燥用空気Ｇ又は冷却用空気Ｉとして、該除湿空気Ｆを用いることが、該ホージャサイト型ゼオライトの再生効率が高まる点で、好ましい。
【００７２】
次に、該冷却ゾーン３６で冷却されたホージャサイト型ゼオライトは、該ハニカムローター３１が回転することにより、該除湿ゾーン３４へと移動し、再び該被処理空気Ｅの除湿に使用される。
【００７３】
そして、該ハニカムローター３１に該被処理空気Ｅ、該乾燥用空気Ｇ及び冷却用空気Ｉが供給されると共に、該ハニカムローター３１が、連続的又は間欠的に回転することにより、被処理空気Ｅの除湿が、連続的に行われる。
【００７４】
また、該第二の形態の除湿装置において、乾燥用空気として、吸熱空気を用いることができる。乾燥用空気として吸熱空気を用いる形態としては、図５に示す除湿装置６０が挙げられる。図５中、除湿装置６０は、図４中の該第二供給機４７が設置されておらず、代わりに該冷却用空気排気管５６と該第一乾燥空気供給装置５２を繋ぐ連結管６１が設けられている以外は、図４中の除湿装置４０と同様である。すなわち、図５に示す除湿装置６０においては、連結管６１が第二供給手段である。乾燥用空気として、吸熱空気を用いることが、該冷却ゾーンで吸熱空気が吸収した熱を利用でき、加熱装置の負担を低減できる点で好ましい。
【００７５】
次に、本発明の第三の実施の形態に係る除湿装置（以下、第三の形態の除湿装置とも記載する。）を、図６〜９を参照して説明する。図６は、第三の実施の形態例に係る除湿装置のローターケース内の部材の構成を示す図であり、図７は、第三の実施の形態例に係る除湿装置のローターケース内の部材の配置位置を示す断面図であり、図８は、第三の実施の形態例に係る除湿装置の斜視図であり、図９は、第三の実施の形態例に係る除湿装置をハニカムローターの開孔面７８ｂ側から見た図である。
【００７６】
図６に示すように、該第三の形態の除湿装置のローターケース内は、ローター軸７２及び前記ホージャサイト型ゼオライトが担持されているハニカム構造体７３により構成されているハニカムローター７１、第一供給機７７、第二供給機７４、加熱装置７５並びに吸湿空気排気ダクト７６により構成され、各構成部材のローターケース内での配置位置は、図７に示すとおりである。
【００７７】
そして、図８及び図９中の除湿装置８０は、該ハニカムローター７１の開孔面７８ａ、７８ｂ側が放射状リブ８４で構成されているローターケース８２、該ローターケース８２内に設置される該ハニカムローター７１、該第一供給機７７、該第二供給機７４、該加熱装置７５及び該吸湿空気排気ダクト７６、並びに乾燥空気吸入ダクト８１、ドレン配管８６が付設され内部に冷却フィンが設置されている凝縮機８５、及び図示していない該ハニカムローター７１を回転させるためのモーターにより構成される。なお、該第二供給機７４及び該加熱装置７５は、該乾燥空気吸入ダクト８１内に設置されている。
【００７８】
該ハニカムローター７１は、図１に示すハニカムローター１と同様なので、その説明を省略する。
【００７９】
該吸湿空気排気ダクト７６は、図７に示すように、吸湿空気Ｌを該ローターケース８２外へ排気するための排気ダクトであると共に、該第一供給機７７によってハニカムローター８２内に供給される被処理空気Ｍを、該ハニカムローター７１中の再生ゾーンに流入させないための遮断壁でもある。
【００８０】
該第三の形態の除湿装置に係る第一供給手段及び第二供給手段は、除湿装置８０においては、送気ファンであるが、それに限定されず、コンプレッサー等であってもよい。
【００８１】
また、該第一供給手段は、除湿装置８０においては、該ハニカムローター７１の開孔面７８ｂのほぼ全体に、被処理空気Ｍを供給することができる程度の大きさであるであるが、それに制限されず、該開孔面７８ｂの一部分に被処理空気Ｍを供給することができる大きさのものであってもよい。これらのうち、該ハニカムローター７１の開孔面７８ｂのほぼ全体に、被処理空気Ｍを供給することができる程度の大きさの送気ファンであることが、除湿効率が高い点で好ましい。
【００８２】
また、該第二供給手段の設置位置は、該除湿装置８０では、ハニカムローター７１の前段であるが、本発明の第三の形態の除湿装置においては、ハニカムローター７１の後段であってもよい。この場合、該第二供給手段は、乾燥用空気Ｋを、ハニカムローター７１の反対側からの吸引により、ハニカムローター７１内に供給する装置であり、例えば、吸引ファン等が挙げられる。
【００８３】
図６中の加熱装置７５は、渦巻き状にニクロム線が設置されている加熱装置であるが、該第三の形態の除湿装置に係る加熱手段としては、特に制限されず、電熱ヒーター等、一般に気体を加熱するために用いられる装置を適宜使用することができる。それらのうち、電熱ヒーターであることが、除湿装置を小さくできる点で好ましい。
【００８４】
該除湿装置８０には、分割部材が設置されていないため、該第一供給機７７及び該第二供給機７４により供給される空気の流れによって、該ハニカムローター７１内に、除湿ゾーン及び再生ゾーンが形成される。すなわち、該ハニカムローター７１内の被処理空気Ｍが流れている部分が除湿ゾーンであり、乾燥用空気Ｋが流れている部分が再生ゾーンである。また、開孔面７８ａ中、該第二供給機７４により乾燥用空気Ｋの供給を受ける面が再生ゾーンであり、該開孔面７８ｂ中、該吸湿空気排気ダクト７６によってハニカムローター７１への被処理空気Ｍの供給が遮断されている面以外が除湿ゾーンである。
【００８５】
該開孔面７８ａに占める該再生ゾーンの面積は、７．６〜２５％、好ましくは９．１〜２０％である。
【００８６】
該凝縮機８５は、吸湿空気Ｌを除湿対象空間外へ排出するための配管等が設置されている場合には必要ではないが、該配管等が設置されない場合は、該吸湿空気排気ダクト７６の後段に設置され、該凝縮機８５の内部に設置されている冷却フィンにより、該吸湿空気Ｌ中の水分が除去される。そして、水分が除去された空気Ｐが、周辺に放出される。また、この時除去された水分は、ドレン配管８６から、抜き取ることができる。
【００８７】
該除湿装置８０の運転は、次のようにして行う。該除湿装置８０は、被処理空気Ｍが存在する半導体製造装置室内等に設置される。そして、該第一供給機７７により、周辺に存在する被処理空気Ｍが、該ハニカムローター７１内に供給され、該被処理空気Ｍが、該ハニカムローター７１内を通過する際にホージャサイト型ゼオライトと接触することにより、該被処理空気Ｍ中の水分が該ホージャサイト型ゼオライトに移動するので、該被処理空気Ｍが除湿される。水分が除去された除湿空気Ｎは、ハニカムローター７１の開孔面７８ａから、周辺に排出される。
【００８８】
次に、該除湿ゾーンで水分を吸湿したホージャサイト型ゼオライトは、該ハニカムローター７１が回転することにより、再生ゾーンへと移動する。そして、該第二供給機７４を用いて、該加熱装置７５を通過させ、加熱された乾燥用空気Ｋが、該ハニカムローター７１に供給される。該乾燥用空気Ｋが、該ホージャサイト型ゼオライトと接触することにより、該ホージャサイト型ゼオライト中の水分が該乾燥用空気Ｋに移動するので、該ホージャサイト型ゼオライトは脱湿される。水分を吸湿した吸湿空気Ｌは、吸湿空気排気ダクト７６からハニカムローター７１の外へ排出され、該吸湿空気Ｌは、凝縮機８５内で冷却フィンに接触することにより、水分が該吸湿空気Ｌから凝縮により除去され、水分が除去された空気Ｐは、周辺に放出される。
【００８９】
次に、該再生ゾーンで脱湿されたホージャサイト型ゼオライトは、該ハニカムローター７１が回転することにより、該除湿ゾーンへと移動し、再び該被処理空気Ｍの除湿に使用される。
【００９０】
該ハニカムローター７１の回転は、連続的であっても、間欠的であってもよい。連続的に該ハニカムローター７１が回転する場合、回転速度としては、特に制限されないが、概ね１０〜１２０回転／時間、好ましくは２０〜８０回転／時間である。また、間欠的に該ハニカムローター７１が回転する場合、１回当りの該ハニカムローター７１の回転量は、１／１２〜１／３回転であり、回転間隔は、定期又は不定期のいずれでもよい。該ハニカムローター７１を連続的に回転させることが、常に、一定量の再生されたホージャサイト型ゼオライトが、該除湿ゾーンに供給させるので、除湿効率が高く且つ除湿性能が安定する点で、好ましい。
【００９１】
該第三の形態の除湿装置は、主に被処理空気が存在する室内で使用される除湿装置であり、特に家庭用の除湿装置の形態としてよく用いられている。従って、該被処理空気Ｍ及び乾燥用空気Ｋは、同一の空間から供給され、該除湿空気Ｎ及び該水分が除去された空気Ｐは、同一の空間へ放出される。
【００９２】
本発明に係る除湿装置は、除湿剤として乾湿繰り返し耐久性に優れる前記ホージャサイト型ゼオライトを用いているので、ハニカムローター又はハニカム構造体を交換する頻度を、極めて少なくすることができる。従って、該除湿装置は、維持費用を極めて低くすることができる。
【００９３】
次に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。
【実施例】
【００９４】
（実施例１）
１．ホージャサイト型ゼオライトの製造
（水素イオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトの調製）
Ｙ型ゼオライトの酸点の対陽イオンがナトリウムイオンであり、ＳｉＯ２含有率が６３％、Ａｌ２Ｏ３含有率が２４％、Ｎａ２Ｏ含有率が１３％である合成Ｙ型ゼオライト（以下、Ｎａ−Ｙ型ゼオライトＡと記載する。）を、１０％の塩化アンモニウム水溶液に、室温で２時間浸漬した。該Ｙ型ゼオライトをろ別後、１１０℃で１時間乾燥し、更に５００℃で１時間焼成した。この塩化アンモニウム水溶液への浸漬から５００℃での焼成までの工程を更に２回行い、水素イオン交換されたＹ型ゼオライト（以下、Ｈ−Ｙ型ゼオライトＢと記載する。）を得た。
【００９５】
（第１イオン交換工程）
上記のようにして得たＨ−Ｙ型ゼオライトＢを、０．２ｍｏｌ／Ｌの塩化ランタン水溶液に、８０℃で２時間浸漬した。該Ｙ型ゼオライトをろ別及び水洗し、１１０℃で１時間乾燥し、更に５００℃で１時間焼成し、ランタンイオンでイオン交換されたＹ型ゼオライト（以下、第１イオン交換Ｙ型ゼオライトＣと記載する。）を得た。
【００９６】
（第２イオン交換工程）
第１イオン交換工程により得た第１イオン交換Ｙ型ゼオライトＣを、０．５ｍｏｌ／Ｌの塩化リチウム水溶液に、８０℃で１２時間浸漬した。該Ｙ型ゼオライトをろ別及び水洗後、２００℃で２時間乾燥し、ランタンイオン及びリチウムイオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライト（以下、第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤと記載する。）を得た。得られた第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤの組成は、ＳｉＯ２含有率が６３％、Ａｌ２Ｏ３含有率が２４％、Ｎａ２Ｏ含有率が３％、Ｌａ２Ｏ３含有率が８％、Ｌｉ２Ｏ含有率が２％であった。従って、Ｓｉ含有率が２９．５％、Ａｌ含有率が１２．７％、Ｎａ含有率が２．２％、Ｌａ含有率が６．８％、Ｌｉ含有率が０．９％であった。
【００９７】
（乾湿繰り返し試験による比表面積の低下率の測定）
第２イオン交換工程により得た第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤを８００℃で１０分間加熱後、乾燥剤が入れられているデシケーター中で冷却し、次いで、２５℃、５０％ＲＨに制御されたデシケーター中に１０分間放置するという操作を、１００回繰り返し、乾湿繰り返し試験を行った。その結果、第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤの比表面積は、試験前が７５３ｍ２／ｇであり、試験後は６８１ｍ２／ｇであった。この時、比表面積の低下率は、９．６％であった。
【００９８】
（ホージャサイト型ゼオライトの乾湿繰り返し耐久性の評価）
該乾湿繰り返し試験前及び試験後の第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤの吸湿速度を測定した。該吸湿速度の測定は、２００℃で１時間加熱後、乾燥剤が入れられているデシケーター中で冷却した該第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤ  １ｇを、２５℃、５０％ＲＨに制御されている室内に設置された天秤に載せる。５秒に１回重量を測定し、該重量測定を１０分間行う。次に、５秒間隔で行う重量測定ごとに、前の重量測定からの重量の増加量を計算し、測定間隔（５秒）で除して、単位時間当たりの重量変化量（ｍｇ／秒）を算出する。１０分間に行った全ての重量測定毎に重量変化量を算出し、それらの平均値（ｍｇ／秒）を求める。そして、該平均値を、該第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤの重量  １ｇで除して、１ｇ当りの吸湿速度（ｍｇ／秒）とする。該第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤの吸湿速度は、試験前は、２５℃、５０％ＲＨの空気中で、１ｇ当り０．２６ｍｇ／秒であり、試験後も０．２６ｍｇ／秒と変化がなかった。
【００９９】
２．ホージャサイト型ゼオライトが担持されたハニカム構造体の製造
シリカアルミナ繊維製紙（厚さ０．２ｍｍ、空隙率９０％）により構成され、幅３．０ｍｍ、高さ１．６ｍｍのセルを有するのハニカム構造担体（ニチアス株式会社製、商品名：ハニクル）を直径２７０ｍｍ、厚さ１７ｍｍの円筒状に切り出し、担体とした。
次に、上記のようにして得られた第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤを９０重量部、シリカゾル（「商品名：スノーテックス」（固形分３０重量％、日産化学社製））３０重量部、及び水１３０重量部を混合し、スラリーを調製した。得られたスラリー中に、上記ハニカム構造担体を浸漬した後、過剰のスラリーの除去、乾燥を行い、第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤが担持されたハニカム構造体Ｅを得た。
【０１００】
３．除湿装置の作製
該ハニカム構造体Ｅの回転中心に、ローター軸を取付けてハニカムローターＦを作成し、該ハニカムローターＦ、第一供給機、第二供給機、加熱装置、及び吸湿空気排気ダクトが、図７に示すように配置された、図８に示す除湿装置８０を製作した。
・第一供給機７７
送気ファンの大きさ；直径１７５ｍｍ、羽の枚数；４５枚
・第二供給機７４
送気ファンの大きさ；直径６０ｍｍ、羽の枚数；２４枚
【０１０１】
４．除湿耐久試験
該除湿装置８０を２５℃、５０％ＲＨに制御した恒温恒湿室内に設置し、以下の運転条件で１００時間除湿運転を行った。そして、試験開始１時間後から１時間（１時間目〜２時間目の間）の除湿量及び９９時間後から１時間（９９時間目〜１００時間目）の除湿量を測定し、除湿耐久性を求めた。その結果を表１に示す。なお、除湿量は、電子天秤の上に除湿装置を載せて運転し、１分ごとに重量増を記録して、１時間の総重量増を測定することにより求めた。また、除湿量の低下率は、１時間目〜２時間目の間の除湿量をＧｇ／時間、９９時間目〜１００時間目の除湿量をＨｇ／時間とすると、次式（１）により求められる値である。
除湿量の低下率（％）＝｛（Ｇ−Ｈ）／Ｇ｝×１００        （１）
（試験条件）
・加熱装置側のハニカムローターの表面温度；８００℃
・凝縮機８５を通過後の空気の温度；８０℃
・ハニカムローター１の回転速度；０．５回転／分
【０１０２】
（比較例１）
１．ゼオライトの製造
ＳｉＯ２含有量が６３重量％、Ａｌ２Ｏ３含有量が２４重量％、Ｎａ２Ｏ含有量が１３重量％（ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３モル比が４．４６、Ｎａ２Ｏ／Ａｌ２Ｏ３モル比が０．８９）のナトリウムＹ型ゼオライトを、０．３ｍｏｌ／Ｌの塩化ランタン（ＬａＣｌ３）水溶液に、８０℃で１２時間浸漬した。該Ｙ型ゼオライトをろ別及び水洗後、２００℃で２時間乾燥し、ランタンイオンでイオン交換されたＹ型ゼオライト（以下、ランタンＹ型ゼオライトＪと記載する。）を得た。得られたランタンＹ型ゼオライトＪの組成は、ＳｉＯ２含有率が６０．６重量％、Ａｌ２Ｏ３含有率が２０．８重量％、Ｌａ２Ｏ３含有率が１４．７重量％、Ｎａ２Ｏ含有率が３．７重量％（ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３モル比が５．０、Ｎａ２Ｏ／Ａｌ２Ｏ３モル比が０．３）であった。
【０１０３】
２．ホージャサイト型ゼオライトが担持されたハニカム構造体の製造
第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤを９０重量部に代え、該ランタンＹ型ゼオライトＪを９０重量部とする以外は、実施例１と同様の方法で行い、該ランタンＹ型ゼオライトＪが担持されたハニカム構造体Ｋを得た。
【０１０４】
３．除湿装置の作製及び４．除湿耐久試験
第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤが担持されたハニカム構造体Ｅに代え、ランタンＹ型ゼオライトＪが担持されたハニカム構造体Ｋとする以外は、実施例１と同様の方法で行った。その結果を表１に示す。
【０１０５】
【表１】
2006055725.tif 000003
【０１０６】
このように、実施例１の除湿装置は、１００時間の除湿耐久試験を行っても、除湿性の低下が極めて低く、耐久性に優れていた。
【０１０７】
（実施例２）
１．ホージャサイト型ゼオライトの製造
実施例１と同様の方法で、水素イオンでイオン交換されたホージャサイト型ゼオライトの調製、第１イオン交換工程、第２イオン交換工程を行い、第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤを得た。
【０１０８】
２．ホージャサイト型ゼオライトが担持されたハニカム構造体の製造
（ハニカム構造体の製造）
実施例１で用いたハニカム構造担体（厚さ０．２ｍｍ、空隙率９０％、セル幅３．０ｍｍ、セル高さ１．６ｍｍ）を、直径４００ｍｍ、厚さ４２０ｍｍの円筒状に切り出し、ハニカム構造体Ｐを得た。
【０１０９】
（ホージャサイト型ゼオライトの担持）
上記第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤを９０重量部、シリカゾル（固形分３０重量％、日産化学社製、商品名スノーテックス）３０重量部、及び水１３０重量部を混合し、スラリーを調製した。得られたスラリー中に、上記ハニカム構造体Ｐを浸漬した後、過剰のスラリーの除去、乾燥を行い、ホージャサイト型ゼオライトが担持されたハニカム構造体Ｑを得た。
【０１１０】
３．除湿装置
該ハニカム構造体Ｑの回転中心に、ローター軸を取付けてハニカムローターＲを作成し、該ハニカムローターＲをローターケースに設置し、更に該ローター軸にモーターを取付け、図１に示す除湿装置１０を製作した。
・除湿ゾーン
開孔面２ａ中の除湿ゾーン４の扇形の中心角；２７０度
・再生ゾーン
開孔面２ａ中の再生ゾーン５の扇形の中心角；９０度
【０１１１】
４．除湿耐久試験
上記のようにして製作した除湿装置１０を用いて、表２に示す条件で、１００時間除湿耐久試験を行った。その結果を、表２に示す。
【０１１２】
（比較例２）
１．ホージャサイト型ゼオライトの製造
比較例１と同様の方法で、ランタンＹ型ゼオライトＪを得た。
【０１１３】
２．ホージャサイト型ゼオライトが担持されたハニカム構造体の製造、３．除湿装置の製作、４．除湿耐久試験
第２イオン交換Ｙ型ゼオライトＤを９０重量部とすることに代えて、ランタン−Ｙ型ゼオライトＪを９０重量部とすること以外は、実施例２と同様の方法で行った。その結果、表２に示す。
【０１１４】
【表２】
2006055725.tif 000004
【０１１５】
実施例２の除湿装置の場合は、除湿空気の露点は、試験開始時も、１００時間経過後も、いずれも−４．２℃と変化がなく、該除湿装置のハニカムローターに除湿性能の低下は見られなかった。一方、比較例２の除湿装置の場合は、除湿空気の露点は、試験開始時が−４．４℃であったのに対し、１００時間経過後は−４．２℃と、０．２℃高くなっており、該除湿装置のハニカムローターに除湿性能の低下が見られた。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明の第一の実施の形態例の除湿装置に設置されるハニカムローターを示す図である。
【図２】本発明の第一の実施の形態例の除湿装置を示す図である。
【図３】本発明の第二の実施の形態例の除湿装置に設置されるハニカムローターを示す図である。
【図４】本発明の第二の実施の形態例の除湿装置を示す図である。
【図５】連結管を有する本発明の第二の実施の形態例の除湿装置を示す図である。
【図６】第三の実施の形態例に係る除湿装置のローターケース内の部材の構成を示す図である。
【図７】第三の実施の形態例に係る除湿装置のローターケース内の部材の配置位置を示す断面図である。
【図８】第三の実施の形態例に係る除湿装置の斜視図である。
【図９】第三の実施の形態例に係る除湿装置をハニカムローターの開孔面７８ｂ側から見た図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１、３１、７１      ハニカムローター
２ａ、２ｂ、３２ａ、３２ｂ、７８ａ、７８ｂ      開孔面
３ａ、３ｂ、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ    第一分割部材
４、３４        除湿ゾーン
５、３５        再生ゾーン
６、３７、７２        ローター軸
１０、４０、６０、８０    除湿装置
１１、４１、８２      ローターケース
１５、４６、７７      第一供給機
１６、４７、７４      第二供給機
１７、４９、７５      加熱装置
１８、５０      被処理空気供給管
１９、５１      除湿空気排気管
２０、５２      第一乾燥用空気供給管
２１、５３      第二乾燥用空気供給管
２２、５４      乾燥用空気排気管
３６            冷却ゾーン
４８            第三供給機
５５            冷却用空気供給管
５６            冷却用空気排気管
６１            連結管
７６            吸湿空気排気ダクト
８１            乾燥用空気吸入ダクト
８４            放射状リブ
８５            凝縮機
８６            ドレン配管
Ａ、Ｅ、Ｍ      被処理空気
Ｂ、Ｆ、Ｎ      除湿空気  
Ｃ、Ｇ、Ｋ      乾燥用空気
Ｄ、Ｈ、Ｌ      吸湿空気
Ｉ              冷却用空気
Ｊ              吸熱空気
Ｐ              水分が除去された空気
【図１】
2006055725.tif 000005
【図２】
2006055725.tif 000006
【図３】
2006055725.tif 000007
【図４】
2006055725.tif 000008
【図５】
2006055725.tif 000009
【図６】
2006055725.tif 000010
【図７】
2006055725.tif 000011
【図８】
2006055725.tif 000012
【図９】
2006055725.tif 000013