(57)【要約】【課題】１つの自動倉庫システムに複数工程の処理を行う処理装置を接続した場合でも、自動倉庫システムの処理能力に影響されることがない製造ラインを構築できる自動倉庫システムを提供する。【解決手段】処理装置によって処理される被処理物（基板）を収納したカセット５を保管する複数の棚１１と、処理装置２への被処理物の搬送時および処理装置からの被処理物の回収時に被処理物の受け渡しを行う装置ポート１２と、複数の棚１１と装置ポート１２との間で被処理物またはカセットの搬送を行うスタッカクレーン１５とを備えるとともに、装置ポート１２の上部に可動棚１３が配置されており、この可動棚１３に保管されている被処理物またはカセットを上下に移動させる昇降装置１７と、この昇降装置１７の動作を制御する可動棚制御部とをさらに備えてなる自動倉庫を複数備えている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理装置によって処理される被処理物、または少なくとも１個の被処理物を収納したカセットを保管する複数の棚と、前記処理装置への被処理物の搬送時および処理装置からの被処理物の回収時に被処理物の受け渡しを行う装置ポートと、前記複数の棚と前記装置ポートとの間で被処理物またはカセットの搬送を行う搬送手段とを備えた自動倉庫システムにおいて、
前記装置ポートの上部にも棚が配置されており、この棚に保管されている被処理物またはカセットを上下に移動させる移動手段と、
前記移動手段の動作を制御する制御手段とをさらに備えたことを特徴とする自動倉庫システム。
【請求項２】
前記装置ポートが前記移動手段を備えている請求項１記載の自動倉庫システム。
【請求項３】
前記移動手段によって、前記装置ポートの上部に配置されている棚に保管されている処理前の被処理物またはカセットを前記装置ポートへ移動させる請求項１記載の自動倉庫システム。
【請求項４】
前記移動手段によって、装置ポートに配置されている処理後の被処理物またはカセットを、当該装置ポートの上部に配置されている棚に移動させる請求項１記載の自動倉庫システム。
【請求項５】
前記処理装置への被処理物の搬送時、前記制御手段は、処理前の被処理物が前記装置ポートの上部に配置された棚に保管されている場合には、前記移動手段によって当該棚に保管されている処理前の被処理物またはカセットを前記装置ポートへ移動させる請求項１に記載の自動倉庫システム。
【請求項６】
前記処理装置からの前記装置ポートへの被処理物の回収時、前記制御手段は、前記装置ポートの上部に配置された棚に被処理物またはカセットが保管されていない場合には、回収した被処理物を前記移動手段によって前記装置ポートから上部の棚に移動させる請求項１に記載の自動倉庫システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動倉庫に保管されている被処理物、または少なくとも1個の被処理物を収納したカセットを処理装置に搬送する自動倉庫システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体や液晶基板の製造工程では、同一種類の処理装置で複数工程の処理が行なわれ、更に複数種類の処理装置による処理が必要である。このため、処理装置間での被処理物の搬送は、複数の基板を収納したカセット単位で実施されている。
【０００３】
このような処理装置間での搬送を効率的に行うことを目的とした自動倉庫システムや搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１，２等参照）。
【０００４】
これらの自動倉庫システムや搬送装置においては、中央にスタッカクレーンが走行する搬送路があり、搬送路の両側に複数の基板を収納したカセットを保管する棚が設置されている自動倉庫を複数備えている。さらに、棚の外側には、基板に処理を施すための処理装置が複数設置されており、棚の内部には、前記処理装置と自動倉庫との間で基板を受け渡しするための装置ポートが設けられている。また、棚の外側には１つの自動倉庫と他の自動倉庫との間でカセットを搬送するための搬送機構と、棚の内部には、前記搬送機構と前記１つの自動倉庫との間でカセットを受け渡しするための搬入出ポートとが設けられている。前記スタッカクレーンは、棚と装置ポートまたは搬入出ポートとの間でカセットを搬送する。
【０００５】
これらの自動倉庫システムや搬送装置では、処理前の基板を収納したカセットを、処理装置が接続されている自動倉庫の棚に保管しておき、処理装置からの要求があれば、直ちに、棚から処理装置にカセットを供給している。これによって、カセットの搬送時間を短縮し、製造工程の効率化を実施している。また、自動倉庫および処理装置間の搬送に自動倉庫内のスタッカクレーンを利用しているため、専用の搬送手段を設置する必要が無い。これにより、設置面積が小さい製造装置を構築していた。
【特許文献１】特開２００１−１３０７０８号公報（１〜８頁、図３、図４参照）
【特許文献２】特開平１１−３３４８１０号公報（１〜２７頁、図１、図２参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記従来の自動倉庫システムおよび搬送装置によれば、自動倉庫のスタッカクレーンの使用回数は、１カセットを１工程処理するために４回の搬送が必要となる。即ち、スタッカクレーンの使用回数は、１：搬入出ポートから棚までの搬送、２：棚から装置ポートまでの搬送、３：装置ポートから棚までの搬送および４：棚から搬入出ポートまでの搬送の合計４回である。
【０００７】
一方、半導体や液晶基板の製造工程では、同一種類の処理装置で複数工程の処理が行なわれるのが一般的であるため、１つの自動倉庫内において複数工程分のカセットを搬送する必要がある。
【０００８】
このため、生産能力の高い製造ラインを構築する場合、同一種類の処理装置を１つの自動倉庫システムに接続すると、自動倉庫システムの処理能力が原因となって所定の生産能力を得られない可能性がある。この対策として、同一種類の処理装置を複数の自動倉庫システムに分散して接続した場合、製造ライン内で必要な自動倉庫システムが増加するため、製造ラインの設置面積が増大するといった問題があった。また、処理装置が分散して設置されることにより、処理装置で必要な薬液やガス、およびクリーンエアなどを供給するための配管も分散して設置する必要があるため、自動倉庫システムを備えた工場建設時の投資額の増大につながるといった問題があった。
【０００９】
本発明は係る実情に鑑みてなされたもので、その目的は、処理能力を向上させた自動倉庫システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明の自動倉庫システムは、図１および図２に示すように、処理装置２によって処理される複数の被処理物を収納したカセット５を保管する複数の棚１１と、処理装置２へのカセット５の搬送時および処理装置２からのカセット５の回収時に被処理物の受け渡しを行う装置ポート１２と、複数の棚１１と装置ポート１２との間でカセット５の搬送を行う搬送手段としてのスタッカクレーン１５とを備えている。また、装置ポート１２の上部には可動棚１３が配置されており、この可動棚１３に保管されているカセット５を上下に移動させる移動手段としての昇降装置１７と、この昇降装置１７の動作を制御する制御手段としての可動棚制御部４８（図４参照）とをさらに備えており、このような構成の自動倉庫が複数配置されている。
【００１１】
なお、ここでは、複数の被処理物をカセットに保管した状態で被処理物を搬送しているが、被処理物を、カセットに保管することなく、個々に保管および搬送していてもよい。
【００１２】
このような自動倉庫システムにおいて、前記装置ポート１２が昇降装置１７を備えていてもよい。この場合には、装置ポート１２と装置ポート１２上部の可動棚１３との間で、スタッカクレーン１５を使用することなく、カセット５を搬送することができる。
【００１３】
すなわち、昇降装置１７によって、装置ポート１２の上部に配置されている可動棚１３に保管されている処理前の被処理物またはカセットを装置ポート１２へ移動させ、装置ポート１２に回収されている処理後の被処理物またはカセットを、当該装置ポート１２の上部に配置されている可動棚１３に移動させるようにすればよい。これにより、装置ポート１２と装置ポート１２の上部に配置されている可動棚１３との間では、スタッカクレーン１５を使用することなく、カセット５を搬送することができる。
【００１４】
また、処理装置２への被処理物の搬送時、可動棚制御部４８は、処理前の被処理物が装置ポート１２の上部に配置された可動棚１３に保管されている場合には、昇降装置１７によって当該可動棚１３に保管されている処理前の被処理物またはカセットを装置ポート１２へ移動させるように制御する。また、処理装置２からの装置ポート１２への被処理物の回収時、可動棚制御部４８は、装置ポート１２の上部に配置された可動棚１３に被処理物またはカセットが保管されていない場合には、回収した被処理物を昇降装置１７によって装置ポート１２から上部の可動棚１３に移動させる。すなわち、処理装置２への被処理物の搬送時、および処理装置２からの装置ポート１２への被処理物の回収時のいずれにおいても、可動棚１３を優先的に使用するように制御することで、スタッカクレーン１５の使用回数をより低減することが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の自動倉庫システムは、処理装置によって処理される被処理物、または少なくとも１個の被処理物を収納したカセットを保管する複数の棚と、前記処理装置への被処理物の搬送時および処理装置からの被処理物の回収時に被処理物の受け渡しを行う装置ポートと、前記複数の棚と前記装置ポートとの間で被処理物またはカセットの搬送を行う搬送手段とを備えるとともに、前記装置ポートの上部にも棚が配置されており、この棚に保管されている被処理物またはカセットを上下に移動させる移動手段と、前記移動手段の動作を制御する制御手段とをさらに備えた構成としたので、装置ポートとその上部に配置されている棚との間でのカセットの移動に際して、スタッカクレーンを使用しないため、スタッカクレーンの使用回数を低減することができる。また、スタッカクレーンへの搬送要求が少ないときに搬送を実施できるため、１つの自動倉庫に複数工程の処理を行う処理装置を接続した場合でも、自動倉庫の処理能力に影響されることがない自動倉庫システムを構築できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１７】
図１は、本発明の自動倉庫システムの一実施の形態を示す説明図であり、図２は、図１に示す自動倉庫自動倉庫のＡ−Ａ線断面図である。なお、図１は、自動倉庫システムを上方から見た状態を示すものであり、実際は棚内部は棚の天板等によって見えない状態になっているが、分かりやすくするために、棚内部についても実線を用いて図示している。
【００１８】
この自動倉庫システムは、複数の自動倉庫１と、複数の処理装置２と、倉庫間搬送装置３と、後に図４を参照して説明する生産コントローラ４とにより構成される。
【００１９】
前記自動倉庫１は、処理装置２において処理される基板（被処理物）を複数枚収納したカセット５を保管する棚１１と、カセット５内の基板を、自動倉庫１と処理装置２との間で受け渡しするための装置ポート１２と、この装置ポート１２上部に配置されている可動棚１３と、自動倉庫１と倉庫間搬送装置３との間でカセット５の受け渡しを行う搬入出ポート１４と、棚１１、可動棚１３および搬入出ポート１４の間でカセット５を搬送するスタッカクレーン１５とを備えている。
【００２０】
例えば、走行路２５上を走行するスタッカクレーン１５の左側には、棚１１のみが複数段・複数列で配列されてなる第１棚群１０ａが配置されており、スタッカクレーン１５の右側には、棚１１、装置ポート１２、可動棚１３および搬入出ポート１４が複数段・複数列で配列されてなる第２棚群１０ｂが配置されており、第２棚群１０ｂの右側には、装置ポート１２に対向する位置に、移載ロボット２３が配置されている。そして、この移載ロボット２３を介して、第２棚群１０ｂの右側には処理装置２が配置されており、倉庫間搬送装置３は搬入出ポート１４に並設されている。
【００２１】
さらに、第２棚群１０ｂの最上段は、一端部側（図１においては下側）から、搬入出ポート１４、棚１１、可動棚１３、可動棚１３および棚１１（以降、図示されていない）となっている。
【００２２】
また、この自動倉庫１は装置ポート１２を２個備えているが、装置ポート１２の数はこれに限定されるものではなく、処理装置２における処理時間や同時処理可能な基板枚数によって、装置ポート１２の数は適宜変更可能であるが、いずれの場合においても装置ポート１２の上部には可動棚１３が配置されている。
【００２３】
また、前記可動棚１３は、カセット５を支持するための支持装置１６と、装置ポート１２と可動棚１３との間でカセット５を昇降するための昇降装置１７とを備えている。
【００２４】
これら支持装置１６および昇降装置１７の一例について、図３を参照しつつ説明する。
【００２５】
図３は、図１に示す自動倉庫システムを構成する支持装置および昇降装置の一例を示す斜視図であり、同図（ａ）は支持状態の支持装置および昇降装置を示しており、同図（ｂ）は解除状態の支持装置および昇降装置を示している。
【００２６】
本明細書においては、支持装置１６でカセット５を支持している状態（ａ）を支持状態とし、支持装置１６による支持を解除して昇降装置１７によってカセット５を移動している状態（ｂ）を解除状態とする。
【００２７】
支持装置１６は、カセット５底面の少なくとも対向する側縁部の中央部分をそれぞれ下方から支持するための一対の支持体１６１（ただし、図３では１個のみ図示している。）を備えている。この支持体１６１は、矩形の平板形状に形成されており、その一側縁部には、水平方向に延設された回転軸１６２が形成されている。この回転軸１６１は、図示は省略しているが、水平を保った状態で回転可能に支持されているとともに、図示しない駆動装置によって回転動作が制御されるようになっている。このような構成の支持装置１６は、各支持体１６１を水平状態に保持することで、カセット５の底面両側縁部を下方からそれぞれ支持する一方、回転軸１６２を回転させて各支持体１６１を垂下状態にすることで、カセット５の支持を解除するようになっている。すなわち、支持装置１６は、駆動装置による制御によって回転軸１６２を回転させることで、支持体１６１を上記の支持状態と解除状態との間で移行させるようになっている。なお、支持体１６１については、上記の一対に限定されるものではなく、カセット５底面の４辺すべてを支持するように、４箇所に配置されていてもよい。
【００２８】
昇降装置１７は、カセット５底面の４隅部をそれぞれ下方から支持する４つの昇降体１７１（ただし、図３では１個のみ図示している。）を備えている。この昇降体１７１は、矩形の平板形状に形成されており、その一隅角部に貫通穴１７１ａが形成されている。この貫通穴１７１ａには、上下方向に配置固定された支柱１７２が挿通されており、昇降体１７１は、この支柱１７２に沿って上下方向にスライド移動可能に設けられている。また、この昇降体１７１は、図示しない駆動装置によって上下の移動動作が制御されるようになっている。
【００２９】
処理装置２は、処理前の基板を受け入れる搬入口２１と処理後の基板を搬出する搬出口２２とを備えており、移載ロボット２３は、装置ポート１２上のカセット５から搬入口２１へ、または搬出口２２から装置ポート１２上のカセット５へ基板を搬送するものである。
【００３０】
倉庫間搬送装置３は、複数の自動倉庫間でカセット５を搬送するための搬送装置であり、各自動倉庫間を結ぶ搬送レール３１と、カセット５を積載して搬送レール３１上を自走可能な搬送車３２とから構成されている。
【００３１】
次いで、本発明の自動倉庫システムを構成する生産コントローラの一例について説明する。
【００３２】
図４は、生産コントローラの構成の一例を示すブロック図である。
【００３３】
生産コントローラ４は、自動倉庫システム内を管理する進捗管理装置４１と、自動倉庫システム内の全処理装置を管理する装置管理装置４２と、倉庫間搬送装置３を制御する倉庫間搬送制御装置４３と、自動倉庫１を制御する自動倉庫制御４４とを備えている。
【００３４】
自動倉庫制御部４４は、自動倉庫システム内の自動倉庫ごとに存在しており、自動倉庫１内の棚１１の使用状況・予約状況を管理する棚管理部４５と、スタッカクレーン１５の動作を制御するクレーン制御部４６と、搬入出ポート１４の動作を制御するポート制御部４７と、支持装置１６や昇降装置１７の動作を制御する可動棚制御部４８とにより構成されている。
【００３５】
次に、本発明の自動倉庫システムによるカセットの搬送方法の一例について説明する。
【００３６】
まず、前処理装置による処理が完了し、他の１つの自動倉庫から１つの自動倉庫にカセット５が運ばれてきた時点から、カセット５内の所望の基板に対する処理が開始されるまでの動作について説明する。
【００３７】
図５は、図１に示す自動倉庫システムによるカセットの搬送方法のうち、他の１つの自動倉庫から１つの自動倉庫にカセットが運ばれてきた時点から、カセット内の所望の基板に対する処理が開始されるまでの手順の一例を示すフローチャートである。
【００３８】
ステップＳ１では、自動倉庫システム内の他の処理装置での処理が完了したカセット５が、倉庫間搬送装置３の搬送車３１によって、自動倉庫１の搬入出ポート１４まで搬送され、この時、搬入出ポート１４に到着したことを示す情報が、倉庫間搬送制御装置４３より自動倉庫制御装置４４のポート制御部４７に送信される。その結果、ポート制御部４７が搬入出ポート１４を動作させて搬送車３２からカセット５を受け取る。
【００３９】
次に、ステップＳ２に移行し、進捗管理装置４１によりカセット５の自動倉庫１内での行き先を判定する。ここで、カセット５の行き先が可動棚１３の場合（ステップＳ２での判断結果が可動棚の場合）はステップＳ３へ移行し、カセット５の行き先が棚１１の場合（ステップＳ２での判断結果が棚である場合）はステップＳ２１へ移行する。
【００４０】
ステップＳ３では、進捗管理装置４１より自動倉庫制御装置４４のクレーン制御部４６にカセット５の搬送を指示する。その結果、クレーン制御部４６がスタッカクレーン１５を動作させてカセット５を可動棚１３へ搬送する。但し、スタッカクレーン１５が稼動中、または他の搬送指示がある場合、この搬送指示は搬送待ち行列に保管される。また、スタッカクレーン１５は、搬送待ち行列内に保管された搬送指示のうち、時間的に最も古い搬送指示から順に搬送を実行する。
【００４１】
なお、本実施の形態においては、搬送指示が出た順に搬送処理を実行するように制御しているが、必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、入庫のための搬送指示を優先するような制御、出庫のための搬送指示を優先するような制御、装置ポートへの搬送を優先するような制御、装置ポートからの搬送を優先するような制御、または装置ポートごとの搬送待ち行列の個数が多い順に搬送処理を実行するような制御としてもよい。また、スタッカクレーン１５の稼働率によって、これらの制御を選択的に切替えて使用することも可能である。
【００４２】
次に、ステップＳ４へ移行し、可動棚１３に到着したカセット５は、処理装置２で現在処理されているカセット５の処理が完了するまで、可動棚１３で待機する。
【００４３】
次に、ステップＳ５に移行し、処理装置２で処理中のカセット５の処理を完了すると、装置ポート１２からの搬出完了が、クレーン制御部４６から、または可動棚制御部４８から進捗管理装置４１へ報告される。続いて、進捗管理装置４１において、処理装置２で処理するカセット５の選択を行なう。
【００４４】
例えば、処理装置２で処理するカセット５の選択方法は次のとおりである。
【００４５】
まず、搬出が完了した装置ポート１２の上部の可動棚１３の在庫状況を調べる。可動棚１３に処理可能なカセット５が存在する場合は、可動棚１３に保管されているカセット５を選択する。
【００４６】
一方、存在しない場合は、自動倉庫１の棚１１の在庫状況を調べる。そして、棚１１に処理可能なカセット５が存在すれば、棚１１に保管されているカセット５を選択する。
【００４７】
この時、処理可能なカセット５が複数存在する場合、前工程の処理完了時刻が最も古いカセット５を選択する。なお、本実施の形態においては、前工程の処理完了順に選択するように制御しているが、必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、カセット５ごとに優先度を設定し、優先度の高いカセット５から選択するように制御しても良い。
【００４８】
一方、棚１１に処理可能なカセット５が存在しない場合は、搬出が完了した装置ポート１２の上部以外の可動棚１３の在庫状況を調べる。そして、処理装置２で処理可能なカセット５であり、かつこのカセット５が保管されている可動棚１３下部の装置ポート１２が接続している処理装置が故障、または保守作業により停止している場合には、このカセット５が選択される。この時、選択可能なカセット５が存在しない場合には、進捗管理装置４１は一定時間経過後に、再度、処理装置２で処理するカセット５の選択を実施する。
【００４９】
本実施の形態においては、例えば、可動棚１３で待機中のカセット５が存在するため、ステップＳ５では、可動棚１３で待機中のカセット５の処理開始を決定し、自動倉庫制御装置４４の可動棚制御部４８へカセット５の搬送を指示するものとする。指示を受けた可動棚制御部４８は、昇降装置１７をカセット５の下部まで移動させる。さらに少しだけ上昇させてカセット５を持ち上げる。次に、支持装置１６を解除状態へ移行させ、昇降装置１７を装置ポート１２の位置まで下降させる。カセット５が装置ポート１２に到着すると可動棚制御部４８から進捗管理装置４１へ搬送完了が報告され、ステップＳ６へ移行する。
【００５０】
ステップＳ６では、進捗管理装置４１から装置管理装置４２にカセット５の処理開始が指示される。装置管理装置４２によって処理装置２にカセット５の処理開始が指示されると、処理装置２は移載ロボット２３にカセット５から基板の搬入を指示し、基板の処理が開始される。
【００５１】
また、ステップＳ２１に移行した場合、進捗管理装置４１より自動倉庫制御装置４４のクレーン制御部４６にカセット５の搬送を指示する。指示を受けたクレーン制御部４６がスタッカクレーン１５を動作させてカセット５を所定の棚１１へ搬送する。
【００５２】
次に、ステップＳ２２へ移行し、棚１１に到着したカセット５は処理装置２で現在処理されているカセット５の処理が完了するまで棚１１で待機する。
【００５３】
次に、ステップＳ２３に移行し、処理装置２で処理中のカセット５の処理を完了すると、装置ポート１２からの搬出完了が、クレーン制御部４６、または可動棚制御部４８から進捗管理装置４１へ報告される。続いて、進捗管理装置４１において、処理装置２で処理するカセット５の選択を行なう。本実施の形態では、例えば、可動棚１３で待機中のカセット５が存在せず、棚１１で待機中のカセット５が存在するため、棚１１で待機中のカセット５の処理開始を決定するものとする。処理装置２で処理するカセット５が決定すると、自動倉庫制御装置４４のクレーン制御部４６へカセット５の搬送が指示される。指示を受けたクレーン制御部４６が、スタッカクレーン１５を動作させて、カセット５を装置ポート１２へ搬送する。カセット５が装置ポート１２に到着すると、クレーン制御部４６から進捗管理装置４１へ搬送完了が報告され、前述したステップＳ６へ移行する。
【００５４】
続いて、処理装置での処理が完了した時点から、カセット５を次の処理のために異なる自動倉庫へ搬送するまでの動作について説明する。
【００５５】
図６は、図１に示す自動倉庫システムによるカセットの搬送方法のうち、処理装置での処理が完了した時点からカセットを次の処理のために異なる自動倉庫へ搬送するまでの手順の一例を示すフローチャートである。
【００５６】
ステップＳ７では、カセット５に収納された全ての基板、または処理が必要な基板への処理が完了すると、処理装置２より、装置管理装置４２を経由して、進捗管理装置４１へ処理完了が報告される。進捗管理装置４１では、カセット５が次に処理すべき工程を決定し、該当工程を処理可能な処理装置の一覧から可動棚１３に空きがある処理装置の検索を行い、可動棚１３の空きが多い処理装置を選択し、この処理装置に接続されている自動倉庫をカセット５の行き先とする。この時、カセット５の行き先となっている可動棚に空きがない場合は、次に処理すべき工程を処理可能な処理装置に接続されている自動倉庫の棚が行き先となる。
【００５７】
次に、ステップＳ８へ移行し、現在地の装置ポート１２の上部の可動棚１３の状況を調べる。この結果、可動棚１３にカセット５が存在せず、かつ可動棚１３に向かっているカセット５も存在しない場合（ステップＳ８での判断結果が使用可能である場合）はステップＳ９へ移行する。一方、その他の場合（ステップＳ８での判断結果が使用不可能である場合）はステップＳ３１へ移行する。
【００５８】
ステップＳ９では、進捗管理装置４１から自動倉庫制御装置４４の可動棚制御部４８へカセット５の搬送を指示する。指示を受けた可動棚制御部４８は、昇降装置１７をカセット５の下部まで移動させ、支持装置１６が支持状態であれば、解除状態へ移行させる。次に、昇降装置１７を可動棚１３の位置まで上昇させる。続いて、支持装置１６を支持状態に移行してカセット５を支持する。一連の動作が完了すると、可動棚制御部４８から進捗管理装置４１へ搬送完了が報告される。
【００５９】
次に、ステップＳ１０に移行し、カセット５の行き先が現在地と異なる自動倉庫である場合、進捗管理装置４１により倉庫間搬送装置３への搬入出ポート１４の状況を調査する。この時、搬入出ポート１４が使用中の場合、または予約待ちのカセットが存在する場合は、予約待ち行列に保管される。予約待ち行列のうち、最も時間的に古い予約待ちのカセット５から順に搬入出ポート１４を使用する。
【００６０】
続いて、ステップＳ１１に移行し、搬入出ポート１４を予約すると、ステップＳ１２に移行する。
【００６１】
ステップＳ１２では、進捗管理装置４１より自動倉庫制御装置４４のクレーン制御部４６に、カセット５の搬送を指示する。指示を受けたクレーン制御部４６が、スタッカクレーン１５を動作させてカセット５を搬入出ポート１２へ搬送する。カセット５が搬入出ポート１４に到着すると、クレーン制御部４６から進捗管理装置４１へ搬送完了が報告される。
【００６２】
次に、ステップＳ１３に移行し、進捗管理装置４１から倉庫間搬送制御装置４３へカセット５の搬送を指示し、搬送車３２によってカセット５が次の自動倉庫へ搬送される。
【００６３】
一方、ステップＳ３１へ移行した場合、進捗管理装置４１が自動倉庫制御装置４４の棚管理部４５を参照して、カセット５が出庫待ちをするための棚１１を選択する。
【００６４】
続いて、ステップＳ３２へ移行し、進捗管理装置４１より自動倉庫制御装置４４内のクレーン制御部４６に、カセット５の搬送を指示する。指示を受けたクレーン制御部４６がスタッカクレーン１５を動作させて、カセット５を所定の棚１１へ搬送する。搬送が完了すると、クレーン制御部４６から進捗管理装置４１へ搬送完了が報告される。
次に、ステップＳ３３に移行し、カセット５の行き先が現在地と異なる自動倉庫１である場合、進捗管理装置４１により、倉庫間搬送装置３への搬入出ポート１４の状況を調査し、ステップＳ１１へ移行する。この時、搬入出ポート１４が使用中の場合、または予約待ちのカセットが存在する場合は、予約待ち行列に保管される。予約待ち行列のうち、最も時間的に古い予約待ちのカセット５から順に搬入出ポート１４を使用する。
【００６５】
本発明の自動倉庫システムによれば、可動棚１３がカセット５を保管する機能と装置ポート１２との間でカセット５を搬送する機能とをもつため、スタッカクレーン１５の使用回数を低減することができる。これにより、自動倉庫１の処理能力に影響されない製造工場を構築することができる。
【００６６】
なお、ここまでは、装置ポート１２上の可動棚１３が１つの場合について説明したが、可動棚１３の数はこれに限定されるものではない。
【００６７】
図７は、本発明の自動倉庫システムの他の実施の形態を示す断面図である。
【００６８】
ここでは、可動棚１３を縦方向に複数設置し、そのうちの１つを可動棚と装置ポートとを兼用した可動ポート１８として利用している。この可動ポート１８を備えた第２棚群１０ｂの少なくとも一部分において、最下段に棚１１が配置されており、この棚１１上部に可動ポート１８が配置されており、この可動ポート１８上部に可動棚１３が配置されている。
【００６９】
この場合、可動ポート１８上部の可動棚１３を処理前のカセット５を保管するために使用し、可動ポート１８下部の棚１１を処理完了後のカセット５を保管するために使用する。
【００７０】
このような構成である場合には、スタッカクレーン１５の使用回数をさらに低減することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明の自動倉庫システムは、半導体装置や液晶基板の製造工場での使用に活用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の自動倉庫システムの一実施の形態を示す説明図である。
【図２】図１に示す自動倉庫自動倉庫のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示す自動倉庫システムを構成する支持装置および昇降装置の一例を示す斜視図である。
【図４】生産コントローラの構成の一例を示すブロック図である。
【図５】図１に示す自動倉庫システムによるカセットの搬送方法のうち、自動倉庫システムにカセットが運ばれてきた時点からカセット内の所望の基板に対する処理が開始されるまでの手順の一例を示すフローチャートである。
【図６】図１に示す自動倉庫システムによるカセットの搬送方法のうち、処理装置での処理が完了した時点からカセットを次の処理のために異なる自動倉庫へ搬送するまでの手順の一例を示すフローチャートである。
【図７】本発明の自動倉庫システムの他の実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１    自動倉庫
２    処理装置
３    倉庫間搬送装置
４    生産コントローラ
５    カセット
１１  棚
１２  装置ポート
１３  可動棚
１４  搬入出ポート
１５  スタッカクレーン
１６  支持装置
１７  昇降装置
１８  可動ポート
【図１】
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【図２】
2006256844.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006256844.tif 000006
【図５】
2006256844.tif 000007
【図６】
2006256844.tif 000008
【図７】
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