(57)【要約】【課題】  検査装置を大型化せずに液晶パネル等の大型化に対応する。【解決手段】  本体側に固定されたプローブベース２３と、プローブベース２３に取り付けられた状態でプローブ針８０を正確な位置に支持するプローブブロック２４と、プローブブロック２４の位置を調整してプローブ針８０の位置決めをする横方向位置調整機構３４とを備えたプローブユニット２１である。横方向位置調整機構３４が、回転することで頭部６１Ｂがずれて、プローブベース２３に対するプローブブロック２４の位置を調整する偏芯ピン６１を備えて構成した。プローブベース２３に取り付けられた断面台形状の横レール３６と、プローブブロック２４のサスペンションベース２６に取り付けられて横レール３６が嵌合するレール溝３７と、レール溝３７の一側に取り付けられて上記横レール３６の傾斜面に圧接されるプランジャ３８とを有する横スライド機構３１を備えた。【選択図】  図１
2006098121.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体側に固定されたプローブベースと、当該プローブベースに取り付けられた状態でプローブ針を正確な位置に支持するプローブブロックと、当該プローブブロックの位置を調整して上記プローブ針の位置決めをする位置調整機構とを備えたプローブユニットであって、
上記位置調整機構が、回転することで頭部がずれて、上記プローブベースに対する上記プローブブロックの位置を調整する偏芯ピンを備えて構成されたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
上記プローブベース側又はプローブブロック側のいずれか一方に取り付けられた断面台形状のレールと、他方に取り付けられて上記レールが嵌合するレール溝と、当該レール溝の一側に取り付けられて上記断面台形状のレールの傾斜面に圧接されるプランジャとを有するスライド機構を備えたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項３】
請求項２に記載のプローブユニットにおいて、
上記レールが、上記プローブベースの下側面に取り付けられると共に、その一側面を垂直に、他側面をその上側の幅が狭くなるように傾斜させて形成され、
上記レールの垂直な一側面が上記プランジャに押されて上記レール溝に当接することで上記プローブブロックの正確な位置が決まり、傾斜した他側面に上記プランジャが圧接することで、上記プローブブロックが上記プローブベースの下側面に、レールに沿う方向の移動を許容して吊り下げられることを特徴とするプローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状被検査体の周辺部に配置された多数の電極にプローブ針を接触させて平板状被検査体を検査するプローブユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等の検査に用いるプローブユニットは一般に知られている。このプローブユニットは、検査装置内に組み込まれ、液晶パネル等に臨ませて設けられている。このプローブユニットの一例を図２に、このプローブユニットに取り付けられるプローブブロックの一例を図３にそれぞれ示す。
【０００３】
プローブユニット１は、図２に示すように主に、矩形の枠状のプローブベース２と、プローブブロック３とから構成されている。プローブベース２は、その中央に矩形状の穴が空いていて、複数のプローブブロック３が中央の穴に臨ませた状態で、正確に位置決めされてネジ(図示せず)で固定されている。
【０００４】
プローブブロック３の先端には、液晶パネル４の電極（ＴＡＢパッド）に接触するための多数のプローブ針(図示せず)が設けられている。このプローブ針は、ＴＡＢ単位にグループ化されていて、各グループが一つのプローブブロック３に取り付けられている。このプローブブロック３は、後述するＦＰＣ（フレキシブル配線板）８を介してテスター(図示せず)に接続される。
【０００５】
プローブブロック３は、図３に示すように主に、固定ブロック５と、スライドブロック６と、ＦＰＣブロック７と、ＦＰＣ８と、プローブ針ブロック９とから構成されている。
【０００６】
固定ブロック５は、プローブベース２に固定されてプローブブロック３全体を支えるためのブロックである。固定ブロック５には２つのボルト穴１１が設けられ、この２つのボルト穴１１に固定ボルト１２をそれぞれねじ込むことによって固定ブロック５の基端側がプローブベース２に固定されている。固定ブロック５は、その基端側がプローブベース２に固定された状態で、先端側でスライドブロック６等を支持している。スライドブロック６は、その基端側が固定ブロック５にスライド可能に支持され、その先端側がプローブ針ブロック９を支持して上下にスライドさせるためのブロックである。ＦＰＣブロック７は、ＦＰＣ８を支持して、プローブ針ブロック９のプローブ針と電気的に接続するためのブロックである。プローブ針ブロック９は、その先端で多数のプローブ針を支持して、各プローブ針を液晶パネル等の電極に正確に接触させるためのブロックである。
【０００７】
上記スライドブロック６、ＦＰＣブロック７及びプローブ針ブロック９は、プローブベース２に固定された固定ブロック５の先端から延出するように取り付けられている。
【０００８】
上記プローブブロック３には、プローブ針の先端を液晶パネルの電極に正確に位置合わせするための位置調節機構１４が設けられている。この位置調節機構１４は、Ｚツマミ１５と、調整用バー１６とから構成されている。Ｚツマミ１５は、プローブ針ブロック９を上下方向（Ｚ方向）に移動させるための部材である。このＺツマミ１５を左右へ回すことで、プローブ針ブロック９を上下方向（Ｚ方向）に移動できるようになっている。調整用バー１６は、使用に際して固定ブロック５にＺツマミ１５と共に取り付けられて、プローブ針の左右方向の位置を調整するための治具である。この調整用バー１６は、先端側（図３中の右側）へ延長した状態で固定ブロック５に取り付けられる。この調整用バー１６を左右に回すことで、固定ブロック５が僅かに回動してプローブ針の左右方向の位置を微調整できるようになっている。
【０００９】
この位置調節機構１４は、次のようにして、プローブ針の取り付け位置を正確に微調整する。
【００１０】
まず、調整用バー１６をＺツマミ１５と共に固定ブロック５に取り付けて、Ｚツマミ１５を回してプローブ針ブロック９を上方へ引き上げる。次いで、２つの固定ボルト１２を六角レンチ１８で弛め、調整用バー１６を左右へ回す。これにより、プローブブロック３全体が回動して、プローブ針の位置を微調整する。次いで、２つの固定ボルト１２を締め込んで、プローブブロック３をプローブベース２に固定し、調整用バー１６を取り外す。 
【特許文献１】特開平１０−１８５９５６号公報
【特許文献２】特開２００１−１４１７４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
液晶パネル等は技術の進歩に伴って次第に大型化してきている。この液晶パネル等の大型化に伴って、それに対応できる検査装置が必要になるが、その対応が容易ではない。平板状被検査体の大型化に伴って検査装置も大型化することは技術的には容易であるが、設置スペース等の関係で検査装置の大型化は難しいためである。このため、現状の大きさの検査装置で平板状被検査体の大型化に対応する必要がある。この場合、検査装置の大きさをそのままにして液晶パネル等の設置スペースを大きくすると、必然的にその周囲の部材を小型化する必要がある。そして、周囲の部材の１つとしてプローブユニットがある。
【００１２】
しかしながら、プローブブロック３の場合、固定ブロック５がプローブベース２に固定され、この固定ブロック５に上記スライドブロック６、ＦＰＣブロック７及びプローブ針ブロック９が取り付けられて、固定ブロック５の先端から延出しているため、プローブブロック３の全長が長くなり、嵩張ってしまう。このため、プローブユニットの小型化が難しく、液晶パネル等の設置スペースを大きくすることが難しい。この結果、現状の検査装置では平板状被検査体の大型化に対応することができないという問題点がある。
【００１３】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、検査装置を大型せずに液晶パネル等の大型化に対応できるプローブユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係るプローブユニットは、本体側に固定されたプローブベースと、当該プローブベースに取り付けられた状態でプローブ針を正確な位置に支持するプローブブロックと、当該プローブブロックの位置を調整して上記プローブ針の位置決めをする位置調整機構とを備えたプローブユニットであって、上記位置調整機構が、回転することで頭部がずれて、上記プローブベースに対する上記プローブブロックの位置を調整する偏芯ピンを備えて構成されたことを特徴とする。
【００１５】
上記偏芯ピンを回転させることで、その頭部がずれて、上記プローブブロックを上記プローブベースに対してずらす。このとき、偏芯ピンの回転角度を微調整することで、プローブブロックの位置を正確に調整することができる。
【００１６】
上記プローブユニットにおいては、上記プローブベース側又はプローブブロック側のいずれか一方に取り付けられた断面台形状のレールと、他方に取り付けられて上記レールが嵌合するレール溝と、当該レール溝の一側に取り付けられて上記断面台形状のレールの傾斜面に圧接されるプランジャとを有するスライド機構を備えることが望ましい。
【００１７】
これにより、プランジャをレールの傾斜面に圧接させることで、プローブベースとプローブブロックとを互いに連結させ、プランジャを弛めることで、プローブベースとプローブブロックとを相対的に軽い力でずらすことができる。プランジャを締め付けた状態でも、上記偏芯ピンによってプローブベースとプローブブロックとを正確にずらすことができる。このスライド機構に案内された状態で、上記偏芯ピンを回転させて、プローブブロックの位置調整をする。
【００１８】
上記レールは、上記プローブベースの下側面に取り付けられると共に、その一側面を垂直に、他側面をその上側の幅が狭くなるように傾斜させて形成されることが望ましい。
【００１９】
これにより、上記レールの垂直な一側面が上記プランジャに押されて上記レール溝に当接することで、上記プローブベースに対する上記プローブブロックの上記レールに直交する方向に正確な位置が決まる。さらに、傾斜した他側面に上記プランジャが圧接することで、上記プローブブロックが上記プローブベースの下側面に、レールに沿う方向の移動を許容して吊り下げられる。そして、上記位置調整機構でレールに沿う方向の位置が正確に調整される。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００２１】
上記位置調整機構が偏芯ピンを備えて構成され、上記偏芯ピンを回転させることで、プローブブロックの位置を正確に調整することができるため、上記位置調整機構をコンパクトにすることができ、プローブユニットの小型化を図ることができる。
【００２２】
このため、平板状被検査体の設置位置の周辺に多数配置されるプローブユニットが小型化することで、平板状被検査体の設置スペースを拡大することができ、平板状被検査体の大型化に対して、検査装置を大型化せずに対応することができる。
【００２３】
上記位置調整機構のプランジャを弛めることで、プローブブロックをプローブベースに対して軽い力で容易にずらすことができ、締め付けることで正確にずらすことができ、位置調整作業の効率化を図ることができる。
【００２４】
また、上記プローブブロックが上記プローブベースの下側面に吊り下げて設けられる構成にすることで、上記位置調整機構をコンパクトにして、プローブユニットの小型化を図ることができると共に、位置調整作業の効率化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態に係るプローブユニットについて、添付図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態に係るプローブユニットが組み込まれる検査装置は、従来の検査装置と同様である。図１は本実施形態に係るプローブユニットを示す側面断面図（図６中のＡ−Ａ線矢視断面図）、図４は本実施形態に係るプローブユニットが液晶パネルの周囲に配設された状態を示す平面図、図５は本実施形態に係るプローブユニットを示す斜視図、図６は本実施形態に係るプローブユニットを示す平面図、図７は本実施形態に係るプローブユニットを示す側面断面図（図６中のＢ−Ｂ線矢視断面図）、図８は本実施形態に係るプローブユニットのガイドブロックを示す断面図、図９は本実施形態に係るプローブユニットを示す分解斜視図である。
【００２６】
本実施形態のプローブユニット２１は、図４に示すように、液晶パネル２２の周囲に配設されたプローブベース２３と、このプローブベース２３に取り付けられたプローブブロック２４とから構成されている。
【００２７】
プローブベース２３は、検査装置の本体側に一体的に取り付けられて、プローブブロック２４を支持するための部材である。プローブベース２３は、データ側とゲート側に４分割されて、液晶パネル２２の四辺に臨む位置にそれぞれ配設されている。
【００２８】
プローブブロック２４は、後述するプローブ針８０を正確な位置に支持して液晶パネル２２の電極に接触させるための部材である。このプローブブロック２４は、プローブベース２３に支持されている。具体的には、ゲート側のプローブベース２３に３つプローブブロック２４が、データ側のプローブベース２３に４つのプローブブロック２４がそれぞれ支持されている。
【００２９】
このプローブブロック２４は、図１、図５〜図８に示すように、プローブベース２３にサスペンション構造によって取り付けられている。プローブブロック２４は、具体的には、サスペンションベース２６と、スライドベース２７と、ＦＰＣブロック２８と、プローブ針ブロック２９とから構成されている。
【００３０】
サスペンションベース２６は、プローブベース２３に直接的に固定される部材である。サスペンションベース２６は、プローブベース２３に固定された状態で、スライドベース２７を支持している。サスペンションベース２６には、直接的にスライドベース２７を支持し、間接的にプローブ針ブロック２９のプローブ針８０を正確に位置決めして支持するために、横スライド機構３１と、縦スライド機構３２と、スライドベース支持板部３３と、横方向位置調整機構３４とが設けられている。
【００３１】
横スライド機構３１は、サスペンションベース２６の横方向（図１の紙面に垂直な方向）への移動を許容するための機構である。横スライド機構３１は、横レール３６と、レール溝３７と、プランジャ３８とから構成されている。
【００３２】
横レール３６は、サスペンションベース２６の横方向の移動を案内するための部材である。横レール３６は、プローブベース２３の下側面に、横方向へ延ばして取り付けられている。この横レール３６は、プローブベース２３の横方向全長に亘る長さの１本のレールとして構成してもよく、各プローブブロック２４毎にサスペンションベース２６の横幅とほぼ同じ程度の長さに設定してもよい。横レール３６は、レール固定ネジ３９でプローブベース２３の下側面に固定されている。横レール３６は断面台形状に形成されている。横レール３６のうち、内側面３６Ａ（図１中の左側面）は垂直に形成され、サスペンションベース２６の位置決めに寄与する。外側面３６Ｂは、上方へ向けて内側（図１中の左側）に傾斜させて形成され、プランジャ３８の先端が圧接することで、サスペンションベース２６を引き上げてプローブベース２３の下側面に当接させている。この状態で、サスペンションベース２６が横レール３６に支持されて、横方向に移動可能に吊り下げられている。
【００３３】
レール溝３７は、横レール３６が嵌合するための溝である。レール溝３７は、サスペンションベース２６の上側面に、横レール３６に整合する位置に設けられている。このレール溝３７は、横レール３６の幅よりも僅かに大きく設定されている。
【００３４】
プランジャ３８は、その先端部が横レール３６の外側面３６Ｂに当接することで、サスペンションベース２６をプローブベース２３に、その横方向の移動を許容した状態で吊り下げるための部材である。プランジャ３８は、レール溝３７の外側に複数設けられている。このプランジャ３８は、ネジ棒部３８Ａと、ネジ頭部３８Ｂと、先端当接部３８Ｃとから構成されている。ネジ棒部３８Ａは、サスペンションベース２６に形成されたネジ穴４１にねじ込まれる部分である。ネジ頭部３８Ｂは、作業者が工具等で回すための頭部である。先端当接部３８Ｃは、横レール３６の外側面３６Ｂに直接に当接する部分である。先端当接部３８Ｃは、回転自在に組み込まれた球体によって形成され、横レール３６の外側面３６Ｂで滑らかに転がるようになっている。これにより、レール溝３７に横レール３６が嵌合した状態で、プランジャ３８の先端当接部３８Ｃが横レール３６の外側面３６Ｂに圧接されることで、サスペンションベース２６をプローブベース２３の下側に、その横方向の移動を許容した状態で吊り上げて支持している。
【００３５】
サスペンションベース２６の上側面には、３カ所にネジ穴４３が設けられ、このネジ穴４３にサスペンションベース固定用ボルト４４がねじ込まれることで、サスペンションベース２６がプローブベース２３の下側面に固定される。ネジ穴４３は、ボルト穴部４３Ａと、頭部穴部４３Ｂとから構成されている。ボルト穴部４３Ａは、サスペンションベース固定用ボルト４４のネジ棒部４４Ａの外径よりも大きく設定されて、それらの間に隙間が設けられている。頭部穴部４３Ｂは、サスペンションベース固定用ボルト４４の頭部４４Ｂの外径よりも大きく設定されて、それらの間に隙間が設けられている。これにより、サスペンションベース固定用ボルト４４を弛めた状態では、サスペンションベース２６がプローブベース２３に対して、その隙間の範囲で左右にずらすことができるようになっている。この隙間は、サスペンションベース２６のずれ量よりも僅かに大きい程度である。サスペンションベース２６をずらす量は５００ミクロン程度であるため、上記隙間も上記ずらす量５００ミクロンよりも少し大きい程度に設定する。
【００３６】
サスペンションベース２６の内側端には、後述するＦＰＣブロック固定ネジ６７を回動させる六角レンチ１８(図３参照)を通すための通し穴４６が設けられている。プローブベース２３にも、上記通し穴４６と対向する位置に通し穴４７が設けられている。さらに、スライドベース２７にも、上記通し穴４７と対向する位置に後述する通し穴７０が設けられている。
【００３７】
縦スライド機構３２は、スライドベース２７をサスペンションベース２６に対して上下にスライド可能に支持するための部材である。縦スライド機構３２は、サスペンションベース２６に縦方向に向けて配設された凹レール部４９と、スライドベース２７に縦方向に向けて配設されて凹レール部４９に嵌合する凸レール部５０とから構成されている。スライドベース２７は、この縦スライド機構３２を介してサスペンションベース２６に支持された状態で、サスペンションベース２６に対して上下方向にスライドする。
【００３８】
スライドベース支持板部３３は、縦スライド機構３２によって上下方向にスライド可能に支持されたスライドベース２７を、その上下方向の位置を調整した状態で支持するための板材である。スライドベース支持板部３３は、サスペンションベース２６の内側（図１中の左側）へ張り出して形成されている。スライドベース支持板部３３には、高さ調整ボルト５１と、スライドベース固定ネジ５２と、付勢機構５３とが設けられている。
【００３９】
高さ調整ボルト５１は、液晶パネル２２の電極に対する後述のプローブ針８０の高さを調整するためのボルトである。高さ調整ボルト５１は、スライドベース支持板部３３に回動可能に支持されている。この高さ調整ボルト５１を回動させることで、高さ調整ボルト５１自体はスライドベース支持板部３３に支持されて移動することはなく、スライドベース２７に設けられたネジ穴５４に対してねじ込まれたり弛められたりして、スライドベース２７の上下に移動させる。
【００４０】
スライドベース固定ネジ５２は、スライドベース２７をスライドベース支持板部３３側に固定するためのネジである。このスライドベース固定ネジ５２は、高さ調整ボルト５１の両側にそれぞれ設けられている。高さ調整ボルト５１をそのままにして、その両側のスライドベース固定ネジ５２をねじ込むことで、高さ調整ボルト５１がスライドベース２７を押し下げる力と、スライドベース固定ネジ５２がスライドベース２７を引き上げる力とのバランスで、スライドベース２７を固定する。
【００４１】
付勢機構５３は、スライドベース２７をその内側先端で下方へ付勢するための部材である。この付勢機構５３によって、高さ調整ボルト５１でスライドベース２７を上下動させるときのバランスをとっている。付勢機構５３は、スライドベース支持板部３３の内側端に２カ所設けられ、高さ調整ボルト５１を中心にして、外側端の縦スライド機構３２とのバランスをとっている。付勢機構５３は具体的には、スプリング５５と、スプリング押さえ５６と、スプリングカバー５７と、スプリングカバー固定ネジ５８とから構成されている。
【００４２】
スプリング５５は、スライドベース２７に設けられたスプリング穴５９に嵌合されてスライドベース２７を下方へ付勢している。スプリング押さえ５６は、スプリング５５に嵌合した状態で、スライドベース支持板部３３に上下方向へスライド可能に支持されている。スプリングカバー５７は、２つのスプリング押さえ５６を同時に覆って支持している。スプリングカバー固定ネジ５８はスプリングカバー５７を固定している。
【００４３】
横方向位置調整機構３４は、プローブブロック２４をプローブベース２３に対して左右方向の位置を微調整するための機構である。この横方向位置調整機構３４は、偏芯ピン６１と、頭部嵌合部６２とから構成されている。偏芯ピン６１は、支持軸部６１Ａと、偏芯頭部６１Ｂとから構成されている。支持軸部６１Ａは、円形棒状に形成され、サスペンションベース２６に設けられた嵌合穴６３に回動可能に嵌合されている。偏芯頭部６１Ｂは、肉厚円盤状に形成され、支持軸部６１Ａに対して偏させて設けられている。これにより、偏芯ピン６１を回動させると、偏芯頭部６１Ｂが偏芯しながら回動するようになっている。偏芯頭部６１Ｂの上側面には六角レンチ１８が嵌合するための六角穴６１Ｃが設けられている。
【００４４】
頭部嵌合部６２は、上記偏芯ピン６１の偏芯頭部６１Ｂに嵌合して、偏芯頭部６１Ｂの偏芯による移動を受け止めるための空間である。この頭部嵌合部６２は、プローブベース２３の下側面に上記偏芯ピン６１の偏芯頭部６１Ｂを覆うように設けられている。頭部嵌合部６２の平面形状は、左右方向が狭くなるように、前後方向（図１中の左右方向）に長い楕円形状に形成されている。これにより、上記偏芯ピン６１を回動させると、その偏芯頭部６１Ｂは頭部嵌合部６２に、楕円の長径方向で接触せずに短径方向で接触する。頭部嵌合部６２の上側には、レンチ挿入穴６４が設けられ、六角レンチ１８がこのレンチ挿入穴６４から挿入されて、上記偏芯ピン６１に嵌合する。これにより、六角レンチ１８で偏芯ピン６１が回動されると、短径方向で偏芯頭部６１Ｂが頭部嵌合部６２に接触して支持軸部６１Ａが押されて横方向に移動するようになっている。
【００４５】
スライドベース２７は、上下へのスライド機構を備えて、ＦＰＣブロック２８及びプローブ針ブロック２９を支持するための部材である。このスライドベース２７は、サスペンションベース２６に、縦スライド機構３２と、高さ調整ボルト５１と、スライドベース固定ネジ５２と、付勢機構５３とで支持されて取り付けられている。スライドベース２７には、ガイドブロック６６と、ＦＰＣブロック固定ネジ６７と、プローブ針ブロック固定ネジ６８とが設けられている。
【００４６】
ガイドブロック６６は、スライドベース２７の下側面に取り付けられて、ＦＰＣブロック２８とプローブ針ブロック２９とを、その左右方向の位置決めをするための部材である。ガイドブロック６６は、前後方向（図１中の左右方向）へ溝部６６Ａを備えて、断面形状が下方へ開口したコ字状に形成されている。この溝部６６Ａに、ＦＰＣブロック２８の嵌合凸部２８Ａと、プローブ針ブロック２９の嵌合凸部２９Ａとが嵌合されて、左右方向の位置決めがなされる。ガイドブロック６６の一側面には、４つのプランジャ６６Ｂが設けられている。このプランジャ６６Ｂは、球状のローラ６６Ｃと、このローラ６６Ｃを付勢するスプリング６６Ｄと、このスプリング６６Ｄの基端部を押さえるスプリング押さえ６６Ｅとから構成されている。このプランジャ６６Ｂにより、溝部６６Ａに嵌合したＦＰＣブロック２８とプローブ針ブロック２９を他側面に押しつけられることで、ＦＰＣブロック２８とプローブ針ブロック２９とをスライドベース２７に対して、正確に位置決めするようになっている。
【００４７】
ＦＰＣブロック固定ネジ６７は、ＦＰＣブロック２８をスライドベース２７の下側面に固定するためのネジである。ＦＰＣブロック固定ネジ６７は、ネジ棒部６７Ａと、ネジ頭部６７Ｂとから構成されている。ネジ棒部６７Ａは、ＦＰＣブロック２８の嵌合凸部２８Ａに設けられたネジ穴２８Ｂにねじ込まれる。ネジ頭部６７Ｂは、スライドベース２７の下側面に設けられた頭部嵌合穴６９に嵌合され、その下側をガイドブロック６６で支持されている。これにより、ネジ頭部６７Ｂは、回動のみが許容された状態で支持されている。ネジ頭部６７Ｂの上側面には、六角穴６７Ｃが設けられている。頭部嵌合穴６９の上部には、六角レンチ１８を通すための通し穴７０が設けられている。この通し穴７０は、サスペンションベース２６の通し穴４６及びプローブベース２３の通し穴４７と整合する位置に設けられ、プローブベース２３の上側面から六角レンチ１８を通すことができるようになっている。
【００４８】
プローブ針ブロック固定ネジ６８は、プローブ針ブロック２９をスライドベース２７の下側面に固定するためのネジである。プローブ針ブロック固定ネジ６８は、ネジ棒部６８Ａと、ネジ頭部６８Ｂと、六角穴部６８Ｃとから構成されている。ネジ棒部６８Ａは、プローブ針ブロック２９の嵌合凸部２９Ａに設けられたネジ穴２９Ｂにねじ込まれる。ネジ頭部６８Ｂは、スライドベース２７の下側面に設けられた頭部嵌合穴７１に嵌合され、その下側をガイドブロック６６で支持されている。これにより、ネジ頭部６８Ｂは、回動のみが許容された状態で支持されている。六角穴部６８Ｃは、六角穴６８Ｄの位置を上方へ移動させるための部材である。六角穴部６８Ｃは、ネジ頭部６８Ｂから上側へ延した棒部材によって構成され、その棒部材の上側面に六角穴６８Ｄが設けられている。
【００４９】
頭部嵌合穴７１の上部には、六角レンチ１８を通すための通し穴７２が設けられている。この通し穴７２には、ブッシュ７３が設けられ、六角穴部６８Ｃを回動可能に支持している。
【００５０】
通し穴７２は、サスペンションベース２６のスライドベース支持板部３３の通し穴７４と整合する位置に設けられ、プローブベース２３の上側面から六角レンチ１８を通すことができるようになっている。
【００５１】
ＦＰＣブロック２８は、ＦＰＣ７７を支持してプローブ針ブロック２９のプローブ針８０と電気的に接続させるためのブロックである。ＦＰＣ７７はプローブ針８０とテスター(図示せず)とを電気的に接続するためのケーブルである。ＦＰＣ７７は、ＦＰＣブロック２８の下側面に貼り付けられている。なお、７８は駆動ＩＣである。
【００５２】
プローブ針ブロック２９は、プローブ針８０を正確に支持して液晶パネル２２の電極に接触させるための部材である。プローブ針８０は、プローブ針ブロック２９の下側面の前方端部に設けられている。プローブ針ブロック２９の下側面には、プローブ針８０からの配線８１が後方まで配設されている。プローブ針ブロック２９の下側の後方端部には配設接触用張り出し部２９Ｃが設けられている。この配設接触用張り出し部２９Ｃは、ＦＰＣブロック２８の下側へ入り込んで、ＦＰＣブロック２８と下側面で接触する。配設接触用張り出し部２９Ｃの先端には円柱状の弾性体８２が設けられている。配線８１は、配設接触用張り出し部２９Ｃにおいて、弾性体８２を覆うように折り返して設けられている。これにより、ＦＰＣブロック２８とプローブ針ブロック２９がスライドベース２７に固定された状態で、ＦＰＣ７７に配線８１が接触して、弾性体８２が弾性的に押して、プローブ針８０とＦＰＣ７７とを電気的に接続している。
【００５３】
プローブ針ブロック２９の内側端部には、プローブ針ブロック装着用係止部８３が設けられている。このプローブ針ブロック装着用係止部８３は、プローブ針ブロック２９をスライドベース２７に着脱する場合に、着脱用取っ手８５が嵌合するための部材である。プローブ針ブロック装着用係止部８３は、嵌合凸部２９Ａの内側端部から内側に張り出したブロックによって構成されている。プローブ針ブロック装着用係止部８３には、上下に貫通した嵌合穴８４が設けられ、この嵌合穴８４に着脱用取っ手８５が嵌合される。
【００５４】
嵌合穴８４が設けられたプローブ針ブロック装着用係止部８３は、プローブ針ブロック２９の重心よりも高い位置に設けられている。これにより、着脱用取っ手８５が嵌合穴８４に嵌合した状態で、この着脱用取っ手８５によってプローブ針ブロック２９が持ち上げられるときに安定するようになっている。即ち、着脱用取っ手８５をプローブ針ブロック装着用係止部８３の嵌合穴８４に嵌合した状態で、着脱用取っ手８５を掴んで持ち上げると、プローブ針ブロック２９を安定して支持することができるようになっている。
【００５５】
着脱用取っ手８５は、嵌合穴８４に嵌合する縦棒部８５Ａと、作業者が手で掴む横棒部８５Ｂと、これら縦棒部８５Ａと横棒部８５Ｂとを連結すると共に、プローブ針ブロック装着用係止部８３に下側から当接して支持する連結部８５Ｃとから構成されている。
【００５６】
プローブ針ブロック装着用係止部８３の上側面にはストッパ８６が設けられている。このストッパ８６は、プローブ針ブロック２９をスライドベース２７のガイドブロック６６に挿入するときに、ガイドブロック６６に当接して前後方向に位置決めを行うようになっている。即ち、ガイドブロック６６のプランジャ６６Ｂがプローブ針ブロック２９の左右方向に位置決めを行い、ストッパ８６が前後方向の位置決めを行うようになっている。
【００５７】
以上のように構成されたプローブユニット２１では、次のようにしてプローブ針８０の位置調整が行われる。
【００５８】
まず、３つのサスペンションベース固定用ボルト４４を弛めて、横スライド機構３１でプローブブロック２４の左右方向の移動を自由な状態にする。次いで、レンチ挿入穴６４から六角レンチ１８を挿入して、偏芯ピン６１の六角穴６１Ｃに嵌合し、六角レンチ１８で偏芯ピン６１を回転させる。
【００５９】
これにより、偏芯頭部６１Ｂが頭部嵌合部６２内で回転し、頭部嵌合部６２の短径方向で偏芯頭部６１Ｂが頭部嵌合部６２の内壁に接触する。これにより、偏芯頭部６１Ｂが頭部嵌合部６２の内壁を押し、その反動でプローブブロック２４がプローブベース２３に対して左右方向に移動する。このとき、プローブブロック２４は横スライド機構３１で支持されているため、前後方向の位置が正確に支持された状態で、左右へ移動される。そして、六角レンチ１８の回転角度を微調整しながら、プローブブロック２４の偏芯ピン６１の偏芯頭部６１Ｂの偏芯量を調整して、プローブ針８０を設定位置に合わせる。
【００６０】
その後、サスペンションベース固定用ボルト４４を締めてプローブブロック２４をプローブベース２３に固定する。
【００６１】
これにより、プローブ針８０が液晶パネル２２の電極と整合され、液晶パネル２２の検査が行われる。
【００６２】
以上のように、プローブブロック２４の位置を正確に調整するために、コンパクトな構成の横方向位置調整機構３４を備えたため、プローブユニット２１の小型化を図ることができる。
【００６３】
このため、液晶パネル２２の設置位置の周辺に多数配置されるプローブユニット２１が小型化した分だけ、液晶パネル２２の設置スペースが拡大し、この拡大した分で液晶パネル２２の大型化を吸収することができる。この結果、検査装置を大型化せずに、液晶パネル２２の大型化に対応することができる。
【００６４】
また、横方向位置調整機構３４のプランジャ３８を必要に応じて弛めることで、プローブブロック２４をプローブベース２３に対して軽い力で容易にずらすことができ、また締め付けた状態で正確にずらすことができるため、状況に応じてプランジャ３８を調整することで、位置調整作業の効率化を図ることができる。
【００６５】
また、プローブブロック２４がプローブベース２３の下側面に吊り下げて設けられる構成にすることで、横方向位置調整機構３４の小型化と相まって、プローブユニット２１の小型化を図ることができる。
【００６６】
［変形例］
上記実施形態では、液晶パネル２２を被検査体の例として説明したが、プローブユニット２１を用いて検査することができるすべての被検査体に対して適用できることは言うまでもない。
【００６７】
上記実施形態では、偏芯ピンを備えた位置調整機構として横方向位置調整機構３４を例に説明したが、縦方向等の他の方向の調整をする位置調整機構であってもよい。この場合も上記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す側面断面図（図６中のＡ−Ａ線矢視断面図）である。
【図２】従来のプローブユニットを示す平面図である。
【図３】従来のプローブユニットを示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係るプローブユニットが液晶パネルの周囲に配設された状態を示す平面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す側面断面図（図６中のＢ−Ｂ線矢視断面図）である。
【図８】本発明の実施形態に係るプローブユニットのガイドブロックを示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００６９】
２１：プローブユニット、２２：液晶パネル、２３：プローブベース、２４：プローブブロック、２６：サスペンションベース、２７：スライドベース、２８：ＦＰＣブロック、２９：プローブ針ブロック、２８Ａ，２９Ａ：嵌合凸部、２９Ｂ：ネジ穴、２９Ｃ：配設接触用張り出し部、３１：横スライド機構、３２：縦スライド機構、３３：スライドベース支持板部、３４：横方向位置調整機構、３６：横レール、３６Ａ：内側面、３６Ｂ：外側面、３７：レール溝、３８：プランジャ、３８Ａ：ネジ棒部、３８Ｂ：ネジ頭部、３８Ｃ：先端当接部、４１：ネジ穴、４３：ネジ穴、４３Ａ：ボルト穴部、４３Ｂ：頭部穴部、４４：サスペンションベース固定用ボルト、４４Ａ：ネジ棒部、４４Ｂ：頭部、４６，４７：通し穴、４９：凹レール部、５０：凸レール部、５１：高さ調整ボルト、５２：スライドベース固定ネジ、５３：付勢機構、５４：ネジ穴、５５：スプリング、５６：スプリング押さえ、５７：スプリングカバー、５８：スプリングカバー固定ネジ、５９：スプリング穴、６１：偏芯ピン、６１Ａ：支持軸部、６１Ｂ：偏芯頭部、６１Ｃ：六角穴、６２：頭部嵌合部、６４：レンチ挿入穴、６６：ガイドブロック、６６Ａ：溝部、６６Ｂ：プランジャ、６６Ｃ：ローラ、６６Ｄ：スプリング、６６Ｅ：スプリング押さえ、６７：ＦＰＣブロック固定ネジ、６７Ａ：ネジ棒部、６７Ｂ：ネジ頭部、６７Ｃ：六角穴、６８：プローブ針ブロック固定ネジ、６８Ａ：ネジ棒部、６８Ｂ：ネジ頭部、６８Ｃ：六角穴部、６８Ｄ：六角穴、６９：頭部嵌合穴、７０：通し穴、７１：頭部嵌合穴、７２：通し穴、７３：ブッシュ、７４：通し穴、７７：ＦＰＣ、７８：駆動ＩＣ、８０：プローブ針、８１：配線、８２：弾性体、８３：プローブ針ブロック装着用係止部、８４：嵌合穴、８５：着脱用取っ手、８６：ストッパ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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