(57)【要約】【課題】  気体の流通状態を制御するための経路開閉手段の調整を容易に行うことのできる流路切替ユニット、並びに、これを用いた吸着保持ユニット及び気圧作動ユニットを提供する。【解決手段】  本発明の流路切替ユニットは、気体が流通可能に構成され、経路途中に中途開口部１１Ｐを備えた通気経路１１Ｓを備えた本体１１と、通気経路における中途開口部より下流側にて通気経路の少なくとも一部を開閉可能とする経路開閉手段１３とを備えたものであり、経路開閉手段は、通気経路の端部開口１１Ｓｂに外側から臨み、所定の動作方向に移動可能に構成されて通気経路の開閉動作を実現する動作部１３ｂと、動作部を本体に支持された所定の基準部位１３ａに対して動作方向に駆動する駆動機構１３ｃとを備え、基準部位を本体に対して動作方向に位置調整可能に構成する位置調整手段１２，１８，１１ｃをさらに有する。【選択図】図２
2006250221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体が流通可能に構成され、経路途中に中途開口部を備えた通気経路を備えた本体と、該通気経路における前記中途開口部より下流側にて前記通気経路の少なくとも一部を開閉可能とする経路開閉手段とを備えた流路切替ユニットにおいて、
前記経路開閉手段は、前記通気経路の端部開口に外側から臨み、所定の動作方向に移動可能に構成されて前記通気経路の開閉動作を実現する動作部と、該動作部を前記本体に支持された所定の基準部位に対して前記動作方向に駆動する駆動機構とを備え、
前記基準部位を前記本体に対して前記動作方向に位置調整可能に構成する位置調整手段をさらに有することを特徴とする流路切替ユニット。
【請求項２】
前記位置調整手段は、前記本体と前記基準部位との間を弾性変形させつつ、前記基準部位の前記動作方向の位置を規制する規制部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の流路切替ユニット。
【請求項３】
前記位置調整手段は、前記本体と前記基準部位とを接続し、弾性変形により前記基準部位の前記動作方向の位置を変化させる支持体を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の流路切替ユニット。
【請求項４】
前記駆動機構は、圧電作用により撓み変形して前記動作部を前記動作方向に移動させる圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の流路切替ユニット。
【請求項５】
前記経路開閉手段の動作状態を表示する表示手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の流路切替ユニット。
【請求項６】
前記通気経路に対する気体の流入量を調整する気流調整手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の流路切替ユニット。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の流路切替ユニットに対して、前記中途開口部に連通した分岐経路に臨み、先端に吸引口を備えたノズルをさらに設けてなることを特徴とする吸着保持ユニット。
【請求項８】
前記ノズルは前記分岐経路の経路方向に移動可能に取り付けられ、前記ノズルを先端側に付勢する付勢手段をさらに有することを特徴とする請求項７に記載の吸着保持ユニット。
【請求項９】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の流路切替ユニットに対して、前記中途開口部に連通した分岐経路に臨むシリンダと、該シリンダ内において前記分岐経路の経路方向に移動可能に配置されたピストン部及び該ピストン部に接続されて前記シリンダから突出する作動部を有する作動体とをさらに設けてなることを特徴とする気圧作動ユニット。
【請求項１０】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の流路切替ユニットを有し、該流路切替ユニットの前記中途開口部を部品の処理部に接続してなることを特徴とする部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流路切替ユニット、吸着保持ユニット、及び、気圧作動ユニットに係り、特に、気体の流通状態を切り替えることによって所定の動作を実現するための流路切替ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、各種製品の製造現場では、圧縮空気を用いて各所を制御する空気圧制御技術が盛んに用いられている。典型的には、例えば、コンプレッサ等の圧縮空気の供給源に対して流通状態の切替・制御を行う電磁弁、逆止弁、レギュレータなどを含む空気圧制御系が接続され、この空気圧制御系によって空気圧シリンダ等の出力機器が駆動される。
【０００３】
上記の空気圧制御系では、通常、通気経路中に開閉弁や切替弁を配置することによって空気の供給や停止を制御するようにしているが、空気は圧縮性流体であるため、制御部から作用部までの距離が長くなると応答時間が長くなり、高速な切替動作ができないという問題点がある。
【０００４】
そこで、本発明者らは、部品の搬送方向に臨む処理用開口部を備えた通気経路の途中に中途開口部を設け、この中途開口部の開閉状態を開閉手段により制御することによって処理用開口部の気圧を高速に制御することのできる部品処理機構を実現した（以下の特許文献１参照）。また、上記と同じ原理を用いて、高速動作を可能とする流体圧アクチュエータを提供している（以下の特許文献２参照）。
【０００５】
上記の開閉手段としては、弾性基板の表面に圧電体を貼着してなる圧電アクチュエータが用いられている。この圧電アクチュエータは、その基端部が固定された状態とされ、圧電体に電圧を印加することにより弾性基板が弾性変形することにより、その先端部が動作して開閉機能を実現するようになっている。
【特許文献１】特開２００４−２２４４４９号公報
【特許文献２】特開２００５−９５２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述の部品処理機構の構成では、中途開口部の開閉手段の開閉状態によって処理用開口部における給気状態や吸引状態が大きく影響されるため、開閉手段の動作態様を微妙に調整する必要があり、処理用開口部の作用を最適化することが難しいという問題点がある。通常、開閉手段の動作態様を調整する場合には、通気経路の閉鎖時と開放時におけるクリアランス調整を行うが、このクリアランスが微妙に異なるだけで開閉切替時の通気状態が変動し、処理用開口部への給気状態や吸引状態が大きく変わる。したがって、現場の状況に応じて開閉手段の取り付け部や開閉手段の動作態様を感に頼って調整していたため、調整作業には熟練した技能が要求され、しかも、試行錯誤により長い調整時間が必要とされていた。
【０００７】
また、流体圧アクチュエータの場合でも、シリンダ内で動作するピストンの出没動作を調整するには開閉手段による流通経路の開口状態の制御態様を微妙に調整する必要があり、開閉手段による開閉状態が最適化されていないと、ピストンが正常に動作しなかったり、ピストンの駆動力が確保できなかったりする場合がある。
【０００８】
上記の開閉手段による開閉状態の調整は、開閉手段の動作態様そのもの、すなわち、開閉手段の駆動態様自体を調整することにより行うことも可能であるが、このようにすると、開閉手段の制御が複雑になるとともに、開閉手段と通気経路との位置関係によっては開閉手段の動作性能を充分に発揮できない状況、例えば、開閉手段の動作ストロークを有効に利用できなかったり、開閉手段の駆動力を確保できなかったりする可能性がある。
【０００９】
そこで、本発明は、気体の流通状態を制御するための経路開閉手段の調整を容易に行うことのできる流路切替ユニット、並びに、これを用いた吸着保持ユニット及び気圧作動ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
斯かる実情に鑑み、本発明の流路切替ユニットは、気体が流通可能に構成され、経路途中に中途開口部を備えた通気経路を備えた本体と、該通気経路における前記中途開口部より下流側にて前記通気経路の少なくとも一部を開閉可能とする経路開閉手段とを備えた流路切替ユニットにおいて、前記経路開閉手段は、前記通気経路の端部開口に外側から臨み、所定の動作方向に移動可能に構成されて前記通気経路の開閉動作を実現する動作部と、該動作部を前記本体に支持された所定の基準部位に対して動作方向に駆動する駆動機構とを備え、前記基準部位を前記本体に対して前記動作方向に位置調整可能に構成する位置調整手段をさらに有することを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、位置調整手段により経路開閉手段の基準部位を本体に対して動作部の動作方向に位置調整することが可能になることにより、動作機構の動作態様を変更しなくても本体に対する動作部の動作範囲を変更することができるため、経路開閉手段による通気経路の開閉態様を調整することが可能になる。また、経路開閉手段の動作部と本体の通気経路との間の開閉態様によっては、駆動機構の動作態様を変更しても経路開閉手段による通気経路の開閉態様を最適化できない場合が考えられるが、本発明では、位置調整手段によって動作部と本体の位置関係を調整することができるため、駆動機構の動作態様そのもの（駆動態様自体）と、動作部と本体の位置関係との双方を調整することによって開閉態様の最適化を図ることが可能になる。
【００１２】
本発明において、前記位置調整手段は、前記本体と前記基準部位との間を弾性変形させつつ、前記基準部位の前記動作方向の位置を規制する規制部材を含むことが好ましい。これによれば、規制部材によって本体と基準部位との間を弾性変形させることで基準部位を動作方向に移動させることにより、変形部分の弾性力と規制部材の規制力のバランスで位置決めを行うため、別途の位置決め手段が不要になるなど構造を簡易に構成できるとともに、位置調整量が僅かでも安定した位置決めができるので微調整が可能になる。ここで、上記規制部材は、上記本体に螺合するとともに前記基準部位若しくはその近傍部分に対して上記動作方向に当接する規制ねじであることがさらに望ましい。
【００１３】
本発明において、前記位置調整手段は、前記本体と前記基準部位とを接続し、弾性変形により前記基準部位の前記動作方向の位置を変化させる支持体を含むことが好ましい。これによれば、本体と基準部位との間に支持体が接続され、この支持体の弾性変形によって基準部位を動作方向に移動させることができるため、経路開閉手段の構造とは別個にその弾性率や剛性を位置調整に適合するように自由に設定することができる。特に、この支持体に対して上記規制部材が当接することで弾性変形が生ずるようにすると、経路開閉手段への規制力の影響を回避しつつ、基準部位の位置調整を確実に行うことができる。
【００１４】
本発明において、前記駆動機構は、圧電作用により撓み変形して前記動作部を前記動作方向に移動させる圧電アクチュエータであることが好ましい。圧電作用により撓み変形する圧電アクチュエータを用いることにより、動作部の位置制御を電気的に行うことができ、また、微小な変形量でも精度よく実現できるため高精度の位置制御が可能になり、さらに、高速に動作させることも可能になる。ここで、上記圧電アクチュエータは、前記基準位置から前記動作部まで伸びる弾性部材と、この弾性部材に積層された圧電体とを有することが望ましい。
【００１５】
本発明において、前記経路開閉手段の動作状態を表示する表示手段をさらに有することが好ましい。これによれば、表示手段によって経路開閉手段の動作状態が表示されるので、表示手段を見て動作状態を確認しながら位置調整手段による位置調整作業、或いは、その他の調整作業を容易に行うことができる。ここで、上記表示手段としては、経路開閉手段の開動作と閉動作をその点灯状態で識別可能とする表示灯であることが望ましい。例えば、開動作時には消灯、閉動作時には点灯するＬＥＤ等の表示灯が挙げられる。
【００１６】
本発明において、前記通気経路に対する気体の流入量を調整する気流調整手段をさらに有することが好ましい。これによれば、気流調整手段により通気経路に対する気体の流入量を調整することができることにより、流路切替ユニットの動作態様をさらに詳細に調整することができる。ここで、気流調整手段としては、ニードル弁等の流量調整弁（レギュレータ）等が挙げられる。
【００１７】
次に、本発明の吸着保持ユニットは、上記のいずれかに記載の流路切替ユニットに対して、前記中途開口部に連通した分岐経路に臨み、先端に吸引口を備えたノズルをさらに設けてなることを特徴とする。
【００１８】
この場合に、前記ノズルは前記分岐経路の経路方向に移動可能に取り付けられ、前記ノズルを先端側に付勢する付勢手段をさらに有することが好ましい。
【００１９】
また、本発明の気圧作動ユニットは、上記のいずれかに記載の流路切替ユニットに対して、前記中途開口部に連通した分岐経路に臨むシリンダと、該シリンダ内において前記分岐経路の経路方向に移動可能に配置されたピストン部及び該ピストン部に接続され前記シリンダから突出する作動部を有する作動体とをさらに設けてなることを特徴とする。
【００２０】
なお、上記各発明において、通気経路は少なくとも前記中途開口部の近傍で直線状に構成されていることが望ましい。これによれば、中途開口部の近傍の通気経路の気体の流通抵抗を低減することができるため、通気経路の開放時における中途開口部からの気体の漏出を低減できる。特に、中途開口部の形成部位における通気経路の経路方向と、中途開口部の開口方向とが直交することがより望ましい。
【００２１】
また、上記動作部の動作方向は、通気経路の端部開口に対して接近・離反する方向であることが望ましい。動作部の動作方向としては、端部開口の開口面と平行な方向とすること（すなわち、端部開口上を動作部がスライドすることによって開閉動作を行うこと）も考えられるが、上記のように構成すると、動作部の駆動力をそのまま通気経路の閉鎖力として利用できるので、気体の放出圧の影響を受けにくくなり、その結果、経路開閉手段の構造を簡易なものとすることができる。
【００２２】
さらに、本発明の部品搬送装置は、上記のいずれかに記載の流路切替ユニットを有し、該流路切替ユニットの前記中途開口部を部品の処理部に接続してなることを特徴とする。これによれば、部品搬送装置の部品搬送経路上に設けられた部品の処理部に接続し、経路開閉手段を動作させることで、流路切替による気体効果を処理部に及ぼすことができるので、部品の排除や部品の吸着保持などの種々の処理を施すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
［第１実施形態］
以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。図１は第１実施形態の流路切替ユニット１０の概略斜視図、図２は同実施形態の概略縦断面図である。本実施形態の流路切替ユニット１０は、本体１１と、この本体１１に接続固定された支持体１２と、支持体１２に接続固定された経路開閉手段１３とを備えている。
【００２４】
本体１１は、導入部材１１Ａと、これに接続された主部材１１Ｂとを有する。導入部材１１Ａは端部に継手１４が接続され、内部には軸孔が構成されている。この軸孔は途中で直角に屈折して主部材１１Ｂの内部に連通している。導入部材１１Ａには流量制御用のニードル弁などで構成される流量調整手段１５が設けられている。なお、本体１１は一体部品で構成されていてもよい。
【００２５】
本体１１の内部には、図２に示すように、上記軸孔を含む通気経路１１Ｓが構成されている。この通気経路１１Ｓの導入口１１Ｓａは上記継手１４が接続された部分に設けられ、ここから通気経路１１Ｓは導入部材１１Ａ内を伸び、上記流量調整手段１５による流量調整部で屈折した後、直線状に伸びてそのまま主部材１１Ｂ内に入り、さらに直線状に進み、その終端に端部開口１１Ｓｂが形成されている。
【００２６】
通気経路１１Ｓの途中には、中途開口部１１Ｐが開口している。この中途開口部１１Ｐは、通気経路１１Ｓの直線状に伸びる部分において側方へ開口している。具体的に述べると、主部材１１Ｂの内部には、通気経路１１Ｓと交差（図示例の場合には直交）する分岐経路１１Ｑが設けられ、この分岐経路１１Ｑと通気経路１１Ｓの交差部が上記中途開口部１１Ｐとなっている。そして、分岐経路１１Ｑの出口は継手１６に連通している。
【００２７】
本体１１には、上記支持体１２が固定ねじ１２ｘにより接続固定され、この支持体１２には、固定ねじ１３ｘによりスペーサ１３ｙとの間に上記経路開閉手段１３が接続固定されている。経路開閉手段１３は、金属板等で構成される弾性板の表面に圧電体１３ｃが固着（貼着）された圧電アクチュエータを有し、弾性板の基端には上記支持体１２に接続固定される固定部（固定端）１３ａが設けられ、弾性板の先端には上記端部開口１１Ｓｂに外側から臨む動作部（自由端）１３ｂが設けられている。
【００２８】
なお、圧電アクチュエータとしては、図示例のように弾性板の表裏両面に圧電体１３ｃが固着されたバイモルフ型構造を有するものに限らず、弾性板の片面のみに圧電体が固着されたユニモルフ型構造を有するものであってもよい。さらに、上記固定部１３ａ及び動作部１３ｂをも一体に備えた圧電体そのもので構成されていてもよい。
【００２９】
経路開閉手段１３は、外部から供給される制御信号により上記固定部１３ａと動作部１３ｂの間を撓み変形させることができ、これによって固定部１３ａを基準部位として、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂに対して接近したり離反したりする方向（図示上下方向、以下、単に「動作方向」という。）に移動するように構成されている。動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂに向けて移動すると、端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗が増大し、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂに当接すると、通気経路１１Ｓは閉鎖される。逆に、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂから離間すると端部開口１１Ｓｂが開放され、動作部１１Ｓｂが端部開口１１Ｓｂに対して遠ざかるに従って端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗は減少する。
【００３０】
動作部１３ｂの端部開口１１Ｓｂ側の表面にはシリコーンゴム等で構成される緩衝材（密閉材、或いはゴム材）１９が固定され、動作部１３ｂと端部開口１１Ｓｂの当接時における損傷の発生を防止し、また、通気経路１１Ｓの完全閉鎖時における動作部１３ｂと端部開口１１Ｓの開口縁との間の密閉性を高めるようになっている。なお、上記緩衝材１９の代わりに、端部開口１１Ｓｂの外縁に環状の緩衝材が固定されていてもよい。
【００３１】
上記経路開閉手段１３はカバー部材１７によって被覆されている。カバー部材１７は、上記固定ねじ１３ｘとスペーサ１３ｙとの間に挟持された状態で固定され、その結果、経路開閉手段１３とカバー部材１７との間にはスペーサ１７ｙの厚さ分のすき間が形成される。
【００３２】
本体１１には、上記動作部１３ｂの動作方向に貫通するねじ孔１１ｃが設けられ、このねじ孔１１ｃには規制ねじ１８が螺合している。規制ねじ１８は、その下端部を図示下方からドライバー工具等で回転操作することにより、本体１１に対して上記動作方向に進退可能に構成される。そして、規制ねじ１８の上端部を上記支持体１２に当接させることにより、支持体１２を動作方向に規制することができる。すなわち、規制ねじ１８が操作されて上方に移動すると、規制ねじ１８の上端部により支持体１２は上方に弾性変形し、その結果、経路開閉手段１３の固定部１３ａの位置が上方へ移動する。
【００３３】
ただし、本実施形態の場合、規制ねじ１８により経路開閉手段１３の固定部１３ａ、すなわち基準部位の位置が動作方向に移動するだけではなく、経路開閉手段１３が本体１１と支持体１２の接続固定部位を中心として回動するので、厳密に言えば、経路開閉手段１３の姿勢、すなわち、固定部１３ａから動作部１３ｂに向かう方向も変化させることができるようになっている。
【００３４】
カバー部材１７には開口１７ａが設けられ、この開口１７ａを通して経路開閉手段１３の動作状態が表示される表示手段ＤＰが視認できるように構成されている。図示例の場合、表示手段ＤＰはＬＥＤ（発光ダイオード）などの表示灯であり、経路開閉手段１３である圧電アクチュエータの駆動電圧の有・無、或いは、駆動電圧の正・負に応じて点灯・消灯するように構成されている。すなわち、表示手段ＤＰは、経路開閉手段１３の開放動作時と閉鎖動作時とを識別できる態様で、その動作状態を表示する。
【００３５】
以上説明した本実施形態では、継手１４を図示しない給気系に接続することにより、気体（圧縮空気）を導入口１１Ｓａから通気経路１１Ｓ内に導入すると、経路開閉手段１３により通気経路１１Ｓが閉鎖されていない場合、気体は通気経路１１Ｓを通って端部開口１１Ｓｂから放出される。このとき、中途開口部１１Ｐは通気経路１１Ｓの直線状に伸びる部分の側面に設けられているので、通気経路１１Ｓの端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗と、中途開口部１１Ｐの外側（分岐経路１１Ｑ）の外部圧力との関係で、中途開口部１１Ｐを通して分岐経路１１Ｑに流れる気体の流量が決定される。上記の気流放出抵抗が充分に低く、上記の外部圧力が充分に高い場合、中途開口部１１Ｐからは気体が流出しない。なお、このときの気流放出抵抗や外部圧力は、通気経路１１Ｓへの気体の流入量によっても変化する。
【００３６】
一方、経路開閉手段１３の動作部１３ｂにより端部開口１１Ｓｂを閉鎖すると、通気経路１１Ｓに導入された気体は中途開口部１１Ｐを通って分岐経路１１Ｑに流れる。例えば、継手１６を用いて外部機器に接続した場合には、気体は分岐経路１１Ｑから外部機器へと供給される。
【００３７】
本実施形態において、経路開閉手段１３の動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂを完全に閉鎖していない場合、動作部１３ｂが動作方向に移動すると、動作部１３ｂと端部開口１１Ｓｂの距離に応じて端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗が増減し、この増減に応じて中途開口部１１Ｐを介した分岐経路への気体の流出量も増減する。すなわち、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂに接近するに従って、気流放出抵抗が増大し、中途開口部１１Ｐを通した流出量が増大する。逆に、動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂから離間するに従って、気流放出抵抗が減少し、中途開口部１１Ｐを通した流出量が減少する。
【００３８】
本実施形態の流路切替ユニット１０は、経路開閉手段１３を動作させることによって気体の流路を切り替える切替弁、或いは、分岐経路へ気体を供給・停止することができる開閉弁としての機能を有する。この場合、上述のように、通気経路１１Ｓが閉鎖されていない状態では、気体の流入量や、端部開口１１Ｓｂと動作部１３ｂの距離に関係する気流放出抵抗によって中途開口部１１Ｐからの気体の漏出量が変化する。このとき、気体の流入量は上記の流量調整手段１５によって調整できるが、これにより通気経路の閉鎖時における分岐経路１１Ｑへ供給される気体の流出量も変化するので、一般的には自由に調整することは難しい。また、経路開閉手段１３の動作ストロークを調整することによって気流放出抵抗を調整することも可能であるが、この場合には、経路開閉手段１３の駆動電圧を変える必要があるため、制御部の複雑化を招きやすく、また、圧電体の駆動特性にも関連するので調整が困難である。さらに、本体１１に対する経路開閉手段１３の取付位置次第では、上記動作ストロークを有効に利用できない場合が生ずる。
【００３９】
そこで、本実施形態では、経路開閉手段１３の固定部１３ａ、すなわち基準部位の位置を動作方向に位置調整手段で調整することで、通気経路１１Ｑの形成された本体１１と経路開閉手段１３との位置関係を適宜に設定できるようにしている。このようにすると、端部開口１１Ｓｂに対する動作部１３ｂの位置を調整することができるので、動作部１３ｂと端部開口１１Ｓｂとの間のクリアランスを調整し、通気経路１１Ｓの閉鎖状態や開放状態を最適化できる。本実施形態の位置調整手段では、動作部１３ｂの動作の基準となる基準部位（固定部１３ａ）の位置を調整することにより、上記の開閉状態の調整を可能としている。
【００４０】
本実施形態では、規制ねじ１８を回転操作すると支持体１２が弾性変形し、その結果、固定部１３ａの位置が動作部１３ｂの動作方向に移動する。したがって、支持体１２と規制ねじ１８の当接状態が支持体１２の弾性力によって常に保持され、経路開閉手段１３の固定部１３ａが安定的に位置決めされる。特に、支持体１２が弾性変形している限りガタは発生しないため、微小な調整量でも確実に調整でき、また、きわめて高い調整精度を得ることができる。
【００４１】
また、規制ねじ１８による規制力で支持体１２を弾性変形させることにより固定部１３ａの位置を設定しているので、固定部１３ａに対する複雑な位置決め手段が不要となり、位置調整手段をきわめて簡単な構造で構成できる。そして、このような簡単な構成で経路開閉手段１３の位置調整が可能となるので、製造コストの増加を防止でき、また、ユニットの小型化を妨げることもない。
【００４２】
さらに、本実施形態の場合、支持体１２が本体１１に対して片持ばり状に接続固定され、支持体１２の本体１１に対する支点が固定部１３ａに対して動作部１３ｂとは反対側に配置されているので、支持体１２の弾性変形によって経路開閉手段１３が上記支点を中心に回動し、これによって、固定部１３ａの動作方向の移動量よりも、動作部１３ｂの動作方向の移動量の方が大きくなるように構成されている。したがって、規制ねじ１８による支持体１２の弾性変形量が微小であっても動作部１３ｂの位置を大きく変化させることが可能である。
【００４３】
本実施形態の経路開閉手段１３においては、例えば、圧電アクチュエータに正電圧（例えば＋６０Ｖ）を印加すると、弾性板が図示下方に撓んで動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂを閉鎖し、負電圧（例えば−６０Ｖ）を印加すると、弾性板が図示上方に撓んで動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂから離間するように設定することができる。そして、上記正電圧と負電圧を切り替えて経路開閉手段１３をオンオフ制御する。このようにすると、圧電アクチュエータの動作ストロークを最も有効に利用できる。なお、上記の正電圧と負電圧の符号関係は逆でも構わない。すなわち、負電圧を印加すると閉鎖し、正電圧を印加したときに開放してもよい。要は、閉鎖時と開放時の印加電圧の符号が逆となっていればよい。
【００４４】
上記のように設定した場合の調整方法は例えば以下の通りである。まず、上記の流量調整手段１５によって気体の流量を供給先（継手１６を接続する側）において必要な流量に設定する。次に、上記の位置調整手段を用いて、すなわち、規制ねじ１８を操作することにより、経路開閉手段１３に上記の正電圧を印加したときに動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂを完全に閉鎖し、分岐経路１１Ｑへ流れる流量が導入流量と等しくなるように設定するとともに、上記の負電圧を印加したときに動作部１３ｂが端部開口１１Ｓｂから充分に離間して、分岐経路１１Ｑへ流れる流量が０となるように設定する。
【００４５】
このとき、上記の表示手段ＤＰは、その点灯の有無によって経路開閉手段１３の動作状態が閉動作と開動作のいずれであるかを知ることができるように構成され、上記の場合には、例えば、正電圧が印加されているときは点灯し、負電圧が印加されているときは消灯する。これによって経路開閉手段１３による通気経路１１Ｓの開閉動作状態を簡単に知ることができるため、表示手段ＤＰを見ながら気体の流通状態を確認することにより、きわめて容易に上記の調整作業を行なうことができる。つまり、表示手段ＤＰが点灯しているときは通気経路１１Ｓが閉鎖されているはずであり、表示手段ＤＰが消灯しているときは通気経路１１Ｓが開放されているはずであるので、例えば、表示手段ＤＰの表示態様を見ながら、実際の分岐経路１１Ｑへ流れる気体の流量や圧力等を確認することができる。
【００４６】
実際には、動作ストロークが充分に確保されていれば、正電圧が印加されている状態で完全な閉鎖状態（すなわち分岐経路１１Ｑの流量が導入される流量と等しい状態）が得られる位置調整範囲を或る程度広く確保することができるため、この位置調整範囲内において、負電圧が印加されたときに分岐経路１１Ｑの流量が０となる位置、すなわち、分岐経路１１Ｑが正圧にも負圧にもならない位置を発見すればよい。
【００４７】
本実施形態では、上記の位置調整手段を設けることによって、経路開閉手段１３による流路切替態様の調整・最適化をきわめて容易に実施できる。特に、流路切替ユニット１０は、本来的にタイムラグの発生しやすいエア制御系やエア駆動系において、常にエアを流し続け、エアの滞留をなくすことで、エアの供給速度やエア圧力の伝達速度に関連する応答速度の高速化を図ることができるという効果を有するものであり、このような高速応答性の代償として微妙で繊細なセッティングを要求するが、本実施形態では、上記の調整作業の容易化により、当該ユニットの効果を充分に引き出すことが可能になる。
【００４８】
また、上記位置調整手段はきわめて簡易に構成できるため、製造コストの上昇を抑制することができるとともに、ユニットの小型化を妨げないという利点がある。特に、本実施形態には、経路開閉手段の駆動機構として圧電アクチュエータを用いることによりユニットの小型化が容易であるという利点があるので、位置調整手段を簡易に構成することは極めて重要である。
【００４９】
なお、本実施形態の流路切替ユニット１０は、気体の導入量や端部開口１１Ｓｂの気流放出抵抗を調整することにより、中途開口部１１Ｐの先の分岐経路１１Ｑに負圧を発生させ、経路開閉手段１３によって分岐経路１１Ｑにおける負圧と正圧の切替動作を行うことも可能である。
【００５０】
また、本実施形態の流路切替ユニット１０では、上記通気経路１１Ｓの導入側を図示しない真空排気装置に接続することで、中途開口部１１Ｐを介して分岐経路１１Ｑ内に負圧を誘導し、経路開閉手段１３を動作させることにより、分岐経路１１Ｑ内の負圧の有無若しくは負圧の強弱を切り替えることも可能である。すなわち、経路開閉手段１３により端部開口１１Ｓｂを閉鎖すると、真空排気装置による減圧作用を中途開口部１１Ｐを介して分岐経路１１Ｑに及ぼし、分岐経路１１Ｑを排気経路とすることができる。また、端部開口１１Ｓｂを開放すると、端部開口１１Ｓｂから空気が流入して通気経路１１Ｓに沿って流れるので、中途開口部１１Ｐを介して分岐経路１１Ｑの負圧を低下させることができる。
【００５１】
［第２実施形態］
次に、本発明に係る第２実施形態の吸着保持ユニット２０について説明する。この吸着保持ユニット２０は、上記第１実施形態の流路切替ユニット１０と同様の主部材２１Ｂ、ねじ孔２１ｃ、支持体２２、固定ねじ２２ｘ、経路開閉手段２３、固定部２３ａ、動作部２３ｂ、圧電体２３ｃ、固定ねじ２３ｘ、スペーサ２３ｙ、カバー部材２７、開口２７ａ、表示手段ＤＰ、規制ねじ２８、及び、緩衝材２９を備えているので、これらの説明は省略する。
【００５２】
本実施形態には、導入部材２１Ａ及び主部材２１Ｂに直線状の通気経路２１Ｓが形成され、この通気経路２１Ｓには導入口２１Ｓａ及び端部開口２１Ｓｂが設けられている。また、通気経路２１Ｓの途中には中途開口部２１Ｐが設けられている。通気経路２１Ｓが全体的に直線状に構成されている点を除けば、端部開口２１Ｓｂや中途開口部２１Ｐの通気経路２１Ｓに対する形成位置及び方向は第１実施形態と同様である。
【００５３】
また、本実施形態の本体２１には、中途開口部２１Ｐの外側に中途開口部２１Ｐに連通する軸孔を備えた連結部材２１Ｄが接続され、この連結部材２１Ｄはさらに連結部材２１Ｄの軸孔に連通する軸孔を備えたガイド部材２１Ｅに接続されている。ガイド部材２１Ｅの軸孔にはノズル２６Ａの基部が軸線方向に摺動可能に挿入されている。ノズル２６Ａはガイド部材２１Ｅの軸孔に連通する軸孔を有し、ノズル２６Ａの先端はガイド部材２１Ｅから突出している。ノズル２６Ａは所定範囲内でガイド部材２１Ｅに対して出没自在に構成されているが、ノズル２６Ａの基部がガイド部材２１Ｅの内部の段差部に係合することにより、ガイド部材２１Ｅから抜け出ないように構成されている。
【００５４】
ノズル２６Ａには長孔状のガイド孔２６ｘが形成され、このガイド孔２６ｘにガイド部材２１Ｅに固定されたガイドピン２６Ｂが挿通されることによって、ノズル２６Ａがガイド部材２１Ｅに対して軸線周りに回転しないように規制されている。また、ガイド部材２１Ｅの内部において、上記連結部材２１Ｄとノズル２６Ａとの間には弾性部材２６Ｃが介挿されている。この弾性部材２６Ｃは、ノズル２６Ａを常にガイド部材２１Ｅから突出する方向に付勢している。弾性部材２６Ｃは図示例の場合、コイルばねとなっている。
【００５５】
上記の連結部材２１Ｄ、ガイド部材２１Ｅ及びノズル２６Ａの軸孔は分岐経路２１Ｑを構成し、中途開口部２１Ｐを介して上記通気経路２１Ｓに連通している。すなわち、ノズル２６Ａは分岐経路２１Ｑに臨むように構成されている。そして、この分岐経路２１Ｑは、ノズル２６Ａの先端に設けられた吸引口２６ｙにて外部に開口している。
【００５６】
以上のように構成された本実施形態の吸着保持ユニット２０は、基本的に上記第１実施形態の流路切替ユニット１０と同様の構成により同様の作用効果を奏するので、これらについては説明を省略する。ただし、この吸着保持ユニット２０では、経路開閉手段２３により通気経路２１Ｓが開放されたときにノズル２６Ａの吸引口２６ｙに図示しないワークを吸着保持することができ、また、通気経路２１Ｓが閉鎖されたときに吸着保持された図示しないワークをノズル２６Ａの吸引口２６ｙから離間させることができる。
【００５７】
より詳しく説明すると、本実施形態の場合、経路開閉手段２３の動作部２３ｂが端部開口２１Ｓｂから離間して通気経路２１Ｓが開放された状態では、導入口２１Ｓａから流入した気体が通気経路２１Ｓに流通することによって中途開口部２１Ｐを介して分岐経路２１Ｑ内に負圧が発生し、これによってノズル２６Ａによってワーク等を吸着保持できるようになっている。上記の負圧は、導入口２１Ｓａから導入される気体の流入量を充分に大きくするとともに、動作部２３ｂと端部開口２１Ｓｂとの距離によって決定される気流放出抵抗を充分に低くすることによって発生する。すなわち、上記第１実施形態の流路切替ユニット１０では、通気経路１１Ｓが開放されている状態で分岐経路１１Ｑへ流体が流れないように調整しているが、本実施形態では、通気経路２１Ｓが開放されている状態で分岐経路２１Ｑが負圧になるように、動作部２３ｂと端部開口２１Ｓｂの距離を大きくすることにより、通気経路２１Ｓ内の気体の流速を高くし、或いは、端部開口２１Ｓｂの気流放出抵抗を低くしている。
【００５８】
本実施形態の調整作業は、第１実施形態と同様に制御信号が供給されるとすると、負電圧を印加したときに分岐経路２１Ｑの圧力が最も低くなる（負圧が最大になる）ように、また、正電圧を印加したときに端部開口２１Ｓｂが完全に閉鎖されるように、規制ねじ１８を調整する。その後、制御部の制御信号の正電圧を低下させ、後述する真空破壊のためのエア量を最適な値に設定する。これによって、当該エア量を小さくすると、圧電アクチュエータに正電圧が印加されたときでも、通気経路２１Ｓの端部開口２１Ｓｂが完全に閉鎖されない状況になる。
【００５９】
本実施形態では、ノズル２６Ａの吸引口２６ｙに図示しないワークが吸着されると、吸引口２６ｙが閉鎖されることによって分岐経路２１Ｑの内圧と外圧との間に差圧が発生し、この差圧によってノズル２６Ａがワークを保持する保持力が生ずる。
【００６０】
ここで、上記の弾性部材２６Ｃは、ノズル２６Ａとワークが接触したときの衝撃を吸収するとともに、ワークを別の場所へ載置したときの衝撃を吸収する。したがって、本実施形態の吸着保持ユニット２０は、ハンドリング装置のワーク把持部として用いることができる。
【００６１】
また、経路開閉手段２３で通気経路２１Ｓを閉鎖したときには、分岐経路２１Ｑ内の圧力が上昇するため、ノズル２６Ａのワーク吸着力を解除することができる。このときのワークの離反力（真空破壊圧力）の適正値はワークの大きさなどによって変化する。例えば、小さく軽いワークを把持する場合には、ワークに損傷を与えないように真空破壊のための上記エア量を小さくする。
【００６２】
［第３実施形態］
次に、本発明に係る第３実施形態の気圧作動ユニット３０について説明する。この気圧作動ユニット３０は、上記第１実施形態の流路切替ユニット１０と同様の主部材３１Ｂ、ねじ孔３１ｃ、支持体３２、固定ねじ３２ｘ、経路開閉手段３３、固定部３３ａ、動作部３３ｂ、圧電体３３ｃ、固定ねじ３３ｘ、スペーサ３３ｙ、カバー部材３７、開口３７ａ、表示手段ＤＰ、規制ねじ３８、及び、緩衝材３９を備えているので、これらの説明は省略する。
【００６３】
本実施形態には、導入部材３１Ａ及び主部材３１Ｂに直線状の通気経路３１Ｓが形成され、この通気経路３１Ｓには導入口３１Ｓａ及び端部開口３１Ｓｂが設けられている。また、通気経路３１Ｓの途中には中途開口部３１Ｐが設けられている。これらの構成は、基本的に上記第２実施形態の構成と同一である。
【００６４】
本実施形態では、本体３１の中途開口部３１Ｐの外側に中途開口部３１Ｐに連通する軸孔を備えた連結部材３６Ｃが接続され、この連結部材３６Ｃの内部に、ピストン部材３６Ａが摺動可能に挿入され、このピストン部材３６Ａの内部に作動部材３６Ｂが固定されている。作動部材３６Ｂの先端はピストン部材３６Ａの前方に突き出している。シリンダ３６Ａの内部には作動体３６Ｂが軸線方向に摺動可能に挿入されている。
【００６５】
また、連結部材３６Ｃにはガイド部材３６Ｄ及び止めナット３６Ｅが螺合により取り付けられている。ここで、連結部材３６Ｃ及びガイド部材３６Ｄはシリンダを構成し、この内部に、上記ピストン部材３６Ａ及び作動部材３６Ｂで構成される作動体が軸線方向に摺動可能に配置されている。作動部材３６Ｂの先端はガイド部材３６Ｃの先端のガイド孔３６ｄを通過して前方へ突出している。
【００６６】
ガイド部材３６Ｄにはピストン部材３６Ａに対して軸線方向前方から係合する段差面３６ｅを備え、ガイド部材３６Ｄの連結部材３６Ｃに対する螺合深さを調整して段差面３６ｅの位置を変えることにより、ピストン部材３６Ａの軸線方向前方の移動限界を調整することができるようになっている。このとき、止めナット３６Ｅは、連結部材３６Ｃに対してガイド部材３６Ｄを任意の位置で固定する機能を有している。
【００６７】
上記構成において、中途開口部３１Ｐからピストン部材３６Ａ及び作動部材３６Ｂまでの上記シリンダを構成する連結部材３６Ｃの内部空間が分岐経路３１Ｑを構成し、この分岐経路３１Ｑは上記作動部を構成する作動部材３６Ｄによって閉鎖されている。作動部材３６Ｂは上記ピストン部材３６Ａとともに分岐経路３１Ｑの内圧の変化に応じて軸線方向に出没動作するようになっている。
【００６８】
例えば、本実施形態では、上記第２実施形態と同様に、経路開閉手段３３により通気経路３１Ｓが開放されているときには、中途開口部３１Ｐを介して分岐経路３１Ｑ内が負圧となり、これによってシリンダの内圧が外圧より低くなると、差圧によって作動部材３６Ｂは中途開口部３１Ｐ側に吸引され、その先端部３６ｘは引き込まれる。また、経路開閉手段３３により通気経路３１Ｓが閉鎖されているときには、中途開口部３１Ｐから気体が分岐経路３１Ｑ内に流出するので、シリンダの内圧は上昇し、これが外圧より高くなると、差圧によって作動部材３６Ｂはシリンダから押し出され、その先端部３６ｘは突出する。
【００６９】
本実施形態の調整作業は、第１実施形態と同様に制御信号が供給されるとすると、負電圧を印加したときに分岐経路３１Ｑの圧力が最も低くなる（負圧が最大になる）ように、また、正電圧を印加したときに端部開口２１Ｓｂが完全に閉鎖されるように、規制ねじ１８を調整する。これによって、作動体の駆動力は最大になる。
【００７０】
上記のようにして、本実施形態では、上記第１実施形態に記載した構成に基づいて、ピストン部材３６Ａ及び作動部材３６Ｂで構成される作動体が出没する気圧作動ユニット（エアシリンダユニット）として動作することになる。この場合、気圧作動ユニット３０は、上記のようにきわめて簡単な構造であるにも拘わらず、流路切替ユニットの基本構造によりシリンダの内圧を負圧と正圧との間で瞬時に切り替えることができるため、応答が早く、高速動作も可能である。
【００７１】
［第４実施形態］
次に、図７を参照して、上記流路切替ユニット１０を用いた部品供給装置（部品搬送装置）１００の構成について説明する。図７（ａ）は装置の概略平面図、図７（ｂ）は装置の概略側面図である。この部品供給装置１００は、基台１０１上に防振ゴム等の緩衝材を介して支持台１０２が固定され、この支持台１０２上に搭載された、ボウルフィーダ１１０、及び、このボウルフィーダ１１０に接続されたリニアフィーダ１２０を備えている。
【００７２】
ボウルフィーダ１１０には、振動源１１１と、この振動源１１１により軸線周りに振動するボウル型の振動体１１２が設けられている。振動体１１２の内部には螺旋状のトラック１１２ｘが形成され、底部に収容された微細な部品（図示せず）が振動によりトラック１１２ｘに沿って徐々に上昇していくようになっている。
【００７３】
また、リニアフィーダ１２０は、振動源１２１と、この振動源１２１により長手方向に振動する直線状の振動体１２２を備えている。振動体１２２には、上記ボウルフィーダ１２０のトラック１１２ｘに接続された直線状のトラック１２２ｘが設けられている。このトラック１２２ｘは上記部品を整列状態にして図示しない装置へと供給する。
【００７４】
ボウルフィーダ１１０の振動体１１２の外周部には、部品検出部１１３が取り付けられ、トラック１１２ｘに沿って搬送されてくる図示しない部品の検査を行う。例えば、部品検出部１１３には、部品が正常であるか異常であるか、部品の姿勢が正規の姿勢であるか否か、などを検出するためのフォトセンサ等の検出手段が設けられ、この検出手段によりトラック１１２ｘ上の部品の良否を判断するように構成されている。
【００７５】
この部品検出部１１３の近傍には上記トラック１１２ｘ上で部品を選別するための処理部（例えば部品の選別部）が設けられている。この処理部には、トラック１１２ｘの側方に開口する図示しない細孔が設けられ、この細孔は、振動体１１２に接続されたエアチューブ１１４に連通している。エアチューブ１１４は、支持台１０２に取り付けられた支持部材１０３に支持固定された上記の流路切替ユニット１０の出力側の継手１６に接続されている。この流路切替ユニット１０の導入側の継手１４には図示しないエアチューブ等を介して図示しないエア供給源に接続されている。
【００７６】
上記の部品検出部１１３及び流路切替ユニット１０は図示しない制御コントローラ等の制御部に接続され、部品検出部１１３で検出した結果が制御部に送られるとともに、制御部から制御信号が流路切替ユニット１０に送出されるようになっている。
【００７７】
流路切替ユニット１０は、常時は経路開閉手段により通気経路が開放され、その結果、エアチューブ１１４には空気が送られていない。しかし、上記部品検出部１１３によってトラック１１２ｘ上の部品が不良であると判断されると、制御部が流路切替ユニット１０に送る制御信号を切り替える。これによって上記の経路開閉手段が動作し、流路切替ユニット１０からエアチューブ１１４にエアが送られるので、上記処理部の細孔からエアが噴出し、トラック１１２ｘ上の上記の不良と判断された部品がエアによってトラック１１２ｘから排除され、振動体１１２の底部に落下する。その後、当該部品の排除に必要な所定の処理時間が経過すると、制御部は制御信号を再び切り替えて流路切替ユニット１０の通気経路を開放するので、エアチューブ１１４に供給されていたエアが停止する。
【００７８】
この実施形態では、流路切替ユニット１０において図示しないエア供給源から供給されるエアが常に通気経路の導入口から導入されて端部開口から放出された状態にあるので、導入側でエアが滞留することがないことから、経路開閉手段を動作させることにより、エア供給が必要となった時点で直ちにエアがエアチューブ１１４へ送られる。すなわち、エア供給のタイムラグをほとんどなくすことができる。したがって、エア供給の切り替えが迅速に行われるので、部品の選別能力を高めることができ、これによって部品供給装置１００の部品供給速度を高めて部品供給能力を向上させることが可能になる。
【００７９】
なお、上記流路切替ユニット１０の通気経路の導入側を図示しない真空排気装置に接続することで、上記処理部の細孔にトラック１１２ｘ上の部品を吸着させて一時的に保持することが可能になる。このようにすると、トラック１１２ｘ上の部品を処理部において一時的に停止させ、部品の詳細な検出を行ったり、或いは、その下流側に存在する他の部品との間のトラック１１２ｘ上の間隔を調整したりすることが可能になる。
【００８０】
［第５実施形態］
最後に、図８を参照して、本発明の流路切替ユニット１０を備えた第５実施形態の部品供給装置（部品搬送装置）２００について説明する。図８（ａ）は装置の概略平面図、図８（ｂ）は装置の概略側面図である。この部品供給装置２００は、基台２０１の上に防止ばねを介して支持された支持台２０２を有し、この支持台２０２上に上昇フィーダ２１０、供給用リニアフィーダ２２０及び回収用リニアフィーダ２３０が搭載されてなる。
【００８１】
上昇フィーダ２１０は、振動源２１１と、外周に螺旋状のトラック２１２ｘを備えた振動体２１２を備え、振動により下端部に設けられた導入部から上端部に設けられた導出部まで部品をトラック２１２ｘに沿って上昇させるように構成されている。
【００８２】
また、供給用リニアフィーダ２２０は、振動源２２１と、直線状のトラック２２２ｘを備えた振動体２２２とを有し、上昇フィーダ２１０の導出部から部品を受け取って振動によりトラック２２２ｘに沿って部品を整列させつつ供給する。
【００８３】
さらに、回収用リニアフィーダ２３０は、図示しない振動源２３１と、直線状のトラック２３２ｘを備えた振動体２３２とを有し、トラック２２２ｘから排除された部品を受け取り、振動により上昇フィーダ２１０の導入部へ向けて供給方向とは逆方向に部品をトラック２３２ｘに沿って回収する。
【００８４】
本実施形態では、供給用リニアフィーダ２２０のトラック２２２ｘに沿って部品検出部２２３，２２５が取り付けられ、これらの部品検出部２２３，２２５の近傍の振動体２２２には、第４実施形態と同様に、それぞれ流路切替ユニット１０，１０に接続されたエアチューブ２２４，２２６が接続され、これらのエアチューブ２２４，２２６は、それぞれ振動体２２２の処理部に形成された、トラック２２２ｘの側方に開口する細孔（図示せず）に連通している。
【００８５】
流路切替ユニット１０，１０は、それぞれ支持台２０２に対して取り付けられた支持部材２０３，２０４によって支持されている。また、流路切替ユニット１０，１０に対しては上記第４実施形態と同様に、図示しないエア供給源から圧縮空気が供給されている。
【００８６】
本実施形態では、上昇フィーダ２１０のトラック２１２ｘに沿って持上げられた部品（図示せず）は導出部から供給用リニアフィーダ２２０へ送られ、トラック２２２ｘに沿って搬送されながら整列される。整列途中で排除された部品は回収用リニアフィーダ２３０のトラック２３２ｘに落下し、トラック２３２ｘに沿って逆方向に搬送され、やがて上昇フィーダ２１０の導入部に供給される。このように、部品は上昇フィーダ２１０のトラック２１２ｘから供給用リニアフィーダ２２０のトラック２２２ｘに供給され、トラック２２２ｘに沿って搬送されながら整列されて供給されるが、この途中で排除された部品は回収用リニアフィーダ２３０のトラック２３２ｘに回収されて再び上昇フィーダ２１０に戻る。すなわち、部品の一部が循環しながら、部品の供給が行われていく。
【００８７】
この実施形態では、供給用リニアフィーダ２２０のトラック２２２ｘと、回収用リニアフィーダ２３０のトラック２３２ｘとが上方から見て平行に配設され、しかも、供給用のトラック２２２ｘの下方に回収用のトラック２３２ｘが存在するように構成されているので、トラック２３２ｘが併設されている範囲であれば、トラック２２２ｘのどこであっても部品を選別することができるという利点がある。
【００８８】
本実施形態の部品供給装置２００は部品の供給速度を高めることが容易であるという利点があるが、流路切替ユニット１０を用いることによって部品の選別能力も高めることができるため、全体として装置の部品供給能力と部品選別能力とをさらに高いレベルでバランスさせることが可能である。
【００８９】
なお、本実施形態でも、上記流路切替ユニット１０の通気経路の導入側を図示しない真空排気装置に接続することで、上記処理部の細孔にトラック２２２ｘ上の部品を吸着させて一時的に保持することが可能になる。このようにすると、トラック２２２ｘ上の部品を処理部において一時的に停止させ、部品の詳細な検出を行ったり、或いは、その下流側に存在する他の部品との間のトラック２２２ｘ上の間隔を調整したりすることが可能になる。
【００９０】
以上説明した各実施形態では、流路切替ユニット、吸着保持ユニット、気圧作動ユニットが独立して構成され、これらが搭載される図示しない各種装置と別体に構成されている例について説明したが、これらのユニットは、部品搬送装置その他の各種の装置と一体化されたものであっても構わない。例えば、上記各ユニットの本体が上記装置を構成する部材と一体に構成されたものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】第１実施形態の概略斜視図。
【図２】第１実施形態の概略縦断面図。
【図３】第２実施形態の概略斜視図。
【図４】第２実施形態の概略縦断面図。
【図５】第３実施形態の概略斜視図。
【図６】第３実施形態の概略縦断面図。
【図７】第４実施形態の概略平面図（ａ）及び概略側面図（ｂ）。
【図８】第５実施形態の概略平面図（ａ）及び概略側面図（ｂ）。
【符号の説明】
【００９２】
１０…流路切替ユニット、１１…本体、１１Ｓ…通気経路、１１Ｓａ…導入口、１１Ｓｂ…端部開口、１１Ｐ…中途開口部、１１Ｑ…分岐経路、１２…支持体、１３…経路開閉手段、１３ａ…固定部、１３ｂ…動作部、１４…継手、１５…流量調整手段、１６…継手、１７…カバー部材、１８…規制ねじ、１９…緩衝材、２０…吸着保持ユニット、２６Ａ…ノズル、２６Ｃ…弾性部材、３０…気圧作動ユニット、３６Ａ…ピストン部材、３６Ｂ…作動部材、３６Ｃ…連結部材、３６Ｄ…ガイド部材
【図１】
2006250221.tif 000003
【図２】
2006250221.tif 000004
【図３】
2006250221.tif 000005
【図４】
2006250221.tif 000006
【図５】
2006250221.tif 000007
【図６】
2006250221.tif 000008
【図７】
2006250221.tif 000009
【図８】
2006250221.tif 000010