(57)【要約】【課題】  圧電素子を焼成したときに発生するうねりによって、振動板に加圧して接合する際に、圧電素子のうねりの部分に応力が部分的に集中して過大になるのを防止することを目的とする。【解決手段】  焼成後の圧電プレート７８のうねりを矯正した後に、圧電プレート７８から圧電素子５８を切り出して振動板３４に接合する。すなわち、圧電プレート７８のうねりを矯正することで、圧電プレート７８の見掛け上の曲率が大きくなる。このため、圧電プレート７８から切り出した圧電素子５８を加圧して振動板３４に接合しても、圧電素子５８にかかる応力が部分的に集中して過大になることがないので、圧電素子５８に割れやクラックが生じることがない。【選択図】    図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、圧電素子で前記振動板を変位させて前記圧力室に連通するノズルから記録媒体にインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドであって、
前記圧電素子は、うねりを矯正する処理が施された後、前記振動板に接合されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
インクが充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、圧電素子で前記振動板を変位させて前記圧力室に連通するノズルから記録媒体にインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
圧電材料をシート状に薄く伸ばして形成した圧電素子を焼成する圧電素子形成工程と、
前記圧電素子のうねりを矯正するうねり処理工程と、
うねりが矯正された圧電素子を前記振動板に接合する接合工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記うねり処理工程は、前記圧電素子を塑性変形させて、見掛け上の曲率を大きくすることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記うねり処理工程は、焼成後の圧電素子を機械的に押圧するものであることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記うねり処理工程は、チャンバーの開口部を焼成後の圧電素子で閉塞し、前記チャンバー内に吸引力を発生させて前記圧電素子を吸引することを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記うねり処理工程は、両面に電極を形成し、該電極に電圧を印加して分極応力による反りを与えることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体へインクを吐出するインクジェット記録ヘッド、並びにインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、インクジェット記録ヘッドを主走査方向に往復させ、また、記録紙を副走査方向に搬送させて、複数のノズルから選択的にインク滴を吐出することで記録紙に文字や画像を記録する。インクジェット記録ヘッドは、圧電素子を振動板に接合したアクチュエータで圧力室を加圧することで、圧力室に連通するノズルからインク滴を吐出する方法が知られている。このようなインクジェット記録ヘッドでは、薄く加工した圧電素子が用いられている。
【０００３】
従来は、圧電素子をある程度の厚さで焼成した後、ラップ加工等によって薄く加工し、その後スパッタ等により電極形成を行っていた（特許文献１参照）。このように、厚い圧電素子を焼成することで、焼成後の反りやうねりを抑制することができる。しかし、厚い圧電素子をラップ加工等によって薄くする方法は、ラップ加工で削る分、余分な圧電材料が必要であり材料コストが高くなる。また、スパッタ等の方法で電極を形成することも、コストアップの要因となっている。
【０００４】
そこで、グリーンシート法では、圧電材料をＰＥＴフィルム上へシート状に薄く伸ばし、薄い圧電素子を焼成している。しかし、薄い圧電素子を焼成すると、反りやうねりが発生する。そして、図１０に示すように、反りやうねりがある圧電素子１０２をプレス機１０４で一度に加圧して振動板１０６に接合すると、反りやうねりの部分にかかる応力が過大となり、圧電素子１０２に割れやクラックが発生する。
【特許文献１】特開２００３−０９４６５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記問題を考慮し、圧電素子を焼成したときに発生するうねりによって、振動板に加圧して接合する際に、圧電素子のうねりの部分に応力が部分的に集中して過大になるのを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の本発明は、インクが充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、圧電素子で前記振動板を変位させて前記圧力室に連通するノズルから記録媒体にインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドであって、前記圧電素子は、うねりを矯正する処理が施された後、前記振動板に接合されていることを特徴としている。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、圧電素子のうねりを矯正した後に振動板に接合する。すなわち、圧電素子のうねりを矯正することで、圧電素子の見掛け上の曲率が大きくなる。このため、圧電素子を加圧して振動板に接合しても、圧電素子にかかる応力が部分的に集中して過大になることがないので、圧電素子に割れやクラックが生じることがない。
【０００８】
請求項２に記載の本発明は、インクが充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、圧電素子で前記振動板を変位させて前記圧力室に連通するノズルから記録媒体にインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、圧電材料をシート状に薄く伸ばして形成した圧電素子を焼成する圧電素子形成工程と、前記圧電素子のうねりを矯正するうねり処理工程と、うねりが矯正された圧電素子を前記振動板に接合する接合工程と、を有することを特徴としている。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、グリーンシートから形成したシート状の圧電素子を焼成し、この圧電素子のうねりを矯正することで、焼成後に発生するうねりが矯正される。すなわち、焼成後にうねりが発生した圧電素子の見掛け上の曲率を大きくする。これにより、圧電素子に割れやクラックを発生させることなく、圧電素子を加圧して振動板に接合することができる。
【００１０】
請求項３に記載の本発明は、前記うねり処理工程は、前記圧電素子を塑性変形させて、見掛け上の曲率を大きくすることを特徴としている。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、うねり処理工程によって圧電素子を塑性変形させ、圧電素子の見掛け上の曲率を大きくする。これにより、塑性領域まで圧電素子を変形させるので、弾性復元してうねりが戻ることがない。
【００１２】
請求項４に記載の本発明は、前記うねり処理工程は、焼成後の圧電素子を機械的に押圧するものであることを特徴としている。
【００１３】
請求項４に記載の発明によれば、圧電素子を焼成した後、機械的に押圧することにより、うねりを矯正する。つまり、圧電素子を焼成したときに発生するうねりを、機械的に押圧することによって塑性変形させ、圧電素子の見掛け上の曲率を大きくする。これにより、圧電素子を振動板に加圧して接合する際に、圧電素子にかかる応力が集中して部分的に過大になることがないので、圧電素子に割れやクラックが生じることがない。
【００１４】
請求項５に記載の本発明は、前記うねり処理工程は、チャンバーの開口部を焼成後の圧電素子で閉塞し、前記チャンバー内に吸引力を発生させて前記圧電素子を吸引することを特徴としている。
【００１５】
請求項５に記載の発明によれば、チャンバー内に吸引力を発生させ、チャンバーの開口部を閉塞した圧電素子を吸引する。これにより、開口部の全面に渡り均等に圧電素子へ吸引力が発生するので、押圧処理と比較して、うねり処理工程においてクラックが発生しにくい。
【００１６】
請求項６に記載の本発明は、前記うねり処理工程は、両面に電極を形成し、該電極に電圧を印加して分極応力による反りを与えることを特徴としている。
【００１７】
請求項６に記載の発明によれば、圧電素子の両面に電極を形成し、この電極に電圧を印加する。これにより、圧電素子を構成する粒子に分極が生じ、粒子の配列が変わって反りが生じる。つまり、圧電素子に反りを与えることになり、これによって、圧電素子の見掛け上の曲率を大きくしてうねりを矯正することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は上記構成としたので、圧電素子を焼成したときに発生するうねりによって、振動板に加圧して接合する際に、圧電素子のうねりの部分に応力が部分的に集中して過大になるのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第１実施形態を図面に基づき説明する。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッド１２を備えたインクジェット記録装置１０が示されている。
【００２１】
インクジェット記録装置１０には、キャリッジ１４が設けられており、キャリッジ１４には、ノズル３６（図２参照）を有するインクジェット記録ヘッド１２が、ノズル３６が用紙Ｐと対向するようにして搭載されている。キャリッジ１４は、走査位置信号に基づき主走査機構１８によって主走査方向（矢印Ｘで示す）に移動される。これにより、インクジェット記録ヘッド１２は、副走査機構２０によって副走査方向（矢印Ｙで示す）へ搬送される用紙Ｐへ、画像情報に応じてインク滴を吐出することにより、用紙Ｐの全面に画像の記録を行う。
（インクジェット記録ヘッドの概略説明）
図２に示すように、インクジェット記録ヘッド１２は、ノズルプレート２２、連通孔プレート２４、２６、供給路プレート２８、３０、圧力室プレート３２、および振動板３４の合計７枚のプレートを位置合わせして積層し、接着剤等の接合手段によって接合することにより形成されている。
【００２２】
ノズルプレート２２には、インクを吐出するノズル３６が設けられており、連通孔プレート２４、２６には、連通孔３８、４０がそれぞれ形成されている。また、供給路プレート２８、３０には供給孔４２、４４が形成されている。これらのノズル３６、連通孔３８、４０、供給孔４２、４４は連通孔プレート２４、２６、供給路プレート２８、３０が積層された状態で連通し、圧力室プレート３２に形成された圧力室４８に繋がっている。
【００２３】
一方、連通孔プレート２４、２６には、それぞれインクプール５１、５２が形成され、図示しないインク供給孔から供給されたインクが貯留されている。また、供給路プレート２８には、このインクプール５２と連結するように供給孔５４が形成されている。さらに、供給路プレート３０には供給溝５６が形成されて、連通孔プレート２４、２６、供給路プレート２８、３０が積層された状態で、インクプール５１、５２と圧力室４８とを連通させている。
【００２４】
圧力室プレート３２上には振動板３４が積層され、振動板３４の上には圧電素子５８が取り付けられている。圧電素子５８は、圧力室４８に相当する領域に接着されており、ハンダ６２を介して配線基板６０と接続されている。
【００２５】
この構成により、駆動電圧波形が圧電素子５８に印加されると、圧電素子５８と共に振動板３４が点線で示すようにたわみ変形して圧力室４８のインクを加圧し、ノズル３６からインク滴を吐出させる構成となっている。
（インクジェット記録ヘッドの製造方法）
次に、このインクジェット記録ヘッド１２の製造方法について説明する。
【００２６】
図３（Ａ）に示すように、ノズルプレート２２の一方の面（裏面）に連通孔プレート２４を接合する。そして、この連通孔プレート２４に、連通孔プレート２６、供給路プレート２８、供給路プレート３０、圧力室プレート３２を接合する。
【００２７】
次に、ノズルプレート２２の他方の面（表面）に、スピンコート法を用いて撥水膜（図示省略）を成膜すると共に、図３（Ｂ）に示すように、エキシマレーザＢでノズル３６を穿設する。そして、図３（Ｃ）に示すように、圧力室プレート３２の開口を覆うようにして振動板３４を接合する。
【００２８】
次に、図３（Ｄ）に示すように、圧電素子５８が形成された中間保持部材８２を、圧電素子５８の接合面５８Ａを下側に向けて、振動板３４に接着する。なお、圧電素子５８の作成方法については後述する。
【００２９】
中間保持部材８２と圧電素子５８は、所定の温度で加熱したとき、発泡して接着力が大幅に低下する性質を有する熱発泡性接着フィルムを用いて接着されている。また、圧電素子５８の両面には電極膜７６（図６（Ａ）参照）が予め形成されており、共通電極として兼用する振動板３４と導電性接着剤で接着することで、圧電素子５８と振動板３４とは電気的に接続される。
【００３０】
そして、図３（Ｅ）に示すように、中間保持部材８２を加熱して熱発泡性接着フィルムの接着力を低減させて中間保持部材８２を剥離し、図３（Ｆ）に示すように、各圧電素子５８毎にハンダ６２を介して配線基板６０を接合する。
【００３１】
最後に、図示しないインク供給装置等を取付けることにより、本実施形態のインクジェット記録ヘッド１２が完成する。
【００３２】
ここで、圧電素子５８の作成方法について説明する。
【００３３】
図４（Ａ）に示すように、粉末、バインダ、溶剤を混合して、スラリー６６とする。次に、図４（Ｂ）に示すように、ＰＥＴフィルム６８上にローラコーター７０を用いてスラリー６６を塗布してシート状とする。そして、ヒーター７２でシート状のスラリー６６を加熱する。これにより、スラリー６６の溶剤が蒸発して、ＰＥＴフィルム６８上にグリーンシート７４が形成される。そして、ＰＥＴフィルム６８からグリーンシート７４を剥離する。
【００３４】
次に、グリーンシート７４の両面に電極膜７６を形成する。そして、この電極膜７６が形成されたグリーンシート７４を、図５（Ａ）に示すように、直径Ｄ（最大長）が約１２ｍｍ、厚さｔが約３５μｍの円形状に打ち抜き、焼成して圧電プレート７８を作成する。このように、円形状に打ち抜いて焼成することで、反りが小さく安定した形状の圧電プレート７８が作成できる。なお、図５（Ａ）では、圧電プレート７８及び電極膜７６は判り易くするために、厚く描いている。また、図５（Ａ）以外では、電極膜７６は図示を省略している。
【００３５】
圧電プレート７８を焼成すると、焼成後の収縮によって圧電プレートに反りやうねりが発生する。そこで、図６（Ａ）に示すように、吸引装置９０を用いて、圧電プレート７８の反りやうねりを矯正し、圧電プレート７８見掛け上の曲率を大きくすることを行う。
【００３６】
ここで、吸引装置９０の構成について説明する。
【００３７】
吸引装置９０は、上方が開口した円筒形状のチャンバー９２を有している。チャンバー９２の外径は、圧電プレート７８の直径よりも若干大きく、チャンバー９２の内径は、圧電プレート７８の直径よりも若干小さくされている。これにより、圧電プレート７８の外周部がチャンバー９２の開口縁９２Ａに載置され、圧電プレート７８でチャンバー９２の開口縁９２Ａが塞がれるようになっている。開口縁９２Ａには保持部材９４が設けられており、圧電プレート７８は、この保持部材９４上に載置される。なお、保持部材９４としては、Ｏリング等のゴム状の部材が用いられる。
【００３８】
チャンバー９２の底部９２Ｂには、吸引口９６が形成されている。吸引口９６は、チューブ９７を介して真空ポンプ９８に接続されている。これにより、吸引装置９０を駆動させると、チャンバー９２の内部が減圧されるようになっている。
【００３９】
このような構成の吸引装置９０を用いて、圧電プレート７８の反り、うねりを矯正する。ここで、吸引装置９０で圧電プレート７８の反り、うねりを矯正する方法について説明する。
【００４０】
図６（Ｂ）に示すように、圧電プレート７８を吸引装置９０の保持部材９４の上に載置して、開口縁９２Ａを圧電プレート７８で閉塞する。このとき、圧電プレート７８の反っている側、またはうねりの凸の部分が上に向くようにする。
【００４１】
そして、真空ポンプ９８を駆動させて、チャンバー９２の内部を減圧する。このとき、吸引装置９０は圧電プレート７８によって内部が密閉された状態になっており、吸引装置９０内が減圧されると、圧電プレート７８が吸引装置９０内部に向かって引っ張られる。これにより、圧電プレート７８の反り又はうねりの部分が吸引装置９０内へ向かって塑性変形して、圧電プレート７８の見掛け上の曲率が大きくなる。
【００４２】
このように、吸引装置９０を用いることで、開口縁９２Ａを塞いだ圧電プレート７８の全面に渡って均等に吸引力を発生させることができるので、例えば圧電プレート７８を押圧して、圧電素子７８の反り、うねりを矯正する場合と比較して、圧電素子７８にクラックが発生しにくい。
【００４３】
なお、真空ポンプ９８の減圧量は、圧電プレート７８が逆に反らないように設定されている。
【００４４】
次に、うねりが矯正された圧電プレート７８を、図５（Ｂ）に示すように、一辺Ｈが約７．０ｍｍの正方形状に切り出して（この切り出したものを圧電プレート７８Ａとする）、中間保持部材８２に接着する。このとき、圧電プレート７８Ａと中間保持部材８２を接着する部材として、所定の温度で加熱すると発砲して接着力が大幅に低下する性質を有する熱発泡性接着フィルム８４が用いられる。
【００４５】
本実施形態の場合は、図５（Ｃ）に示すように、４列×２行、合計８枚の圧電プレート７８Ａを中間保持部材８２に並べて接着している。
【００４６】
次に、図５（Ｄ）に示すように、サンドブラスト加工で、各圧電プレート７８Ａを、圧力室４８（図２参照）に対応させて分断し、複数の圧電素子５８とする。なお、本実施形態では、サンドブラスト加工等の機械的加工で圧電プレート７８Ａを分断したが、エッチング加工等の化学的加工で圧電プレート７８Ａを複数の圧電素子５８に分割しても良い。
【００４７】
そして、圧電素子５８の表面に、フィラーや導電粒子等の微粒子を一切含有しない熱硬化性のエポキシ接着剤を２〜５μｍの厚さで塗布し、図３（Ｄ）に示すように、振動板３４に接合して加圧加熱して、圧電素子５８と振動板３４を接着固定する。
【００４８】
このとき、圧電素子５８の反り、うねりは矯正されており、見掛け上の曲率が大きくなっているので、この圧電素子５８を振動板３４に接合する際に圧電素子５８を加圧しても、圧電素子５８にかかる応力が部分的に集中して過大になることがなく、割れやクラックが発生することがない。
【００４９】
なお、本実施形態では、吸引装置９０を用いて、電極膜７６が形成された圧電プレート７８のうねりを矯正したが、グリーンシートから切り出して焼成し、うねりを矯正してから電極膜を形成してもよい。
【００５０】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分についての説明は割愛する。
【００５１】
図７（Ａ）に示すよう、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電プレート７８の両面に電極膜７６を形成し、ＳＵＳからなる支持板７１に圧電プレート７８を載置して、電極膜７６と支持板７１に１００Ｖの高電圧を印加する。これにより、圧電プレート７８を構成する粒子に分極が生じて、粒子間に電界が発生する。そして、粒子の配列が変わり、図７（Ｂ）に示すように、圧電プレート７８が塑性変形する。なお、本実施形態では、ＳＵＳからなる支持板７１を用いたが、支持板７１の材質としては、アルミ等の導電性を持つ材質であれば特に限定されるものではない。
【００５２】
このように、圧電プレート７８に高電圧を印加して反りを与えることで、焼成した際に発生した反り、うねりを矯正し、見掛け上の曲率を大きくすることができる。また、圧電素子５８の塑性領域まで圧電素子を変形させることで、弾性復元して反り、うねりが戻ることがない。
【００５３】
この圧電プレート７８から、第１の実施形態と同様にして圧電素子５８を形成して、図５（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、中間保持部材８２に接合した後、図７（Ｃ）に示すように、ローラ８６で振動板３４に加圧接合したときに、圧電素子５８の反り、うねりは矯正されているため、圧電素子５８にかかる応力が部分的に集中して過大になることがない。従って、図７（Ｄ）に示すように、圧電素子５８に割れやクラックが発生することがなく振動板３４に接合される。
【００５４】
なお、圧電プレートの反り、うねりを矯正する方法は、上記形態に限られるものではない。例えば、図８に示すように、反り、うねりを矯正していない圧電プレート７８から圧電素子５８を形成し、ローラ８６によって複数に渡って加圧することで、圧電素子５８のうねりを矯正してもよい。
【００５５】
具体的には、図８（Ａ）に示すように、振動板３４に圧電素子５８を接合して、振動板３４からの距離が、圧電素子５８のうねり幅Ｍよりも少し小さくなる位置にローラ８６をセットする。そして、ローラ８６で圧電素子５８を加圧して、図８（Ｂ）に示すように、圧電素子５８の見掛け上の曲率を大きくする。次に、図８（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、再度圧電素子５８をローラ８６で加圧して、圧電素子５８を振動板３４に密着させる。このように、加圧する位置（振動板３４とローラ８６の間の距離）を変えながらローラ８６で複数に渡って圧電素子５８を加圧して、圧電素子５８の見掛け上の曲率を大きくしながら加圧することで、圧電素子５８にかかる応力が集中して部分的に過大になることがないので、圧電素子５８が破損したりクラックが生じたりすることがない。
【００５６】
また、図９（Ａ）に示すように、反り、うねりが矯正される前の状態の圧電素子５８を振動板３４に載置し、図９（Ｂ）に示すように、振動板３４と加圧部材８８との距離が、圧電素子５８のうねり幅Ｍよりも少し小さい位置で加圧する。これにより、圧電素子５８の見掛け上の曲率を大きくすることができる。
【００５７】
そして、図９（Ｃ）に示すように、再度加圧部材８８で圧電素子５８を加圧して、圧電素子５８を振動板３４に密着させる。このように、圧電素子５８を加圧する位置（振動板３４と加圧部材８８の間の距離）を変えながら複数に渡って圧電素子５８を加圧することで反り、うねりを矯正し、圧電素子５８の見掛け上の曲率を大きくしながら、振動板３４に接合される。従って、圧電素子５８にかかる応力が集中して部分的に過大になることがないので、破損したりクラックが発生したりすることがない。
【００５８】
また、本実施形態では、インクジェット記録ヘッド１２をキャリッジ１４で走査しながら用紙Ｐに記録を行うタイプのインクジェット記録装置１０を用いて説明したが、本発明のインクジェット記録ヘッドは、このインクジェット記録装置１０に限定されて使用されるものではない。例えば、用紙Ｐの幅方向（主走査方向）に渡ってノズルが配置されたインクジェット記録ヘッドを固定して、用紙Ｐのみを搬送しながら用紙Ｐに記録を行う、いわゆるＦＷＡ（Ｆｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ）方式のインクジェット記録装置に、本発明のインクジェット記録ヘッドを搭載してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を（Ａ）から（Ｆ）へと順番に模式的に示した図である。
【図４】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電プレートの製造工程、中間保持部材に接合する工程を（Ａ）から（Ｂ）へと順番に模式的に示した図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電プレートの製造工程、中間保持部材に接合する工程を（Ａ）から（Ｄ）へと順番に模式的に示した図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電プレートのうねり処理工程を（Ａ）から（Ｃ）へと順番に模式的に示した図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電プレートのうねり処理工程を（Ａ）から（Ｄ）へと順番に模式的に示した図である。
【図８】本発明のその他の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電プレートのうねり処理工程を（Ａ）から（Ｄ）へと順番に模式的に示した図である。
【図９】本発明のその他の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電プレートのうねり処理工程を（Ａ）から（Ｃ）へと順番に模式的に示した図である。
【図１０】従来の方法で、圧電素子を振動板に加圧した状態を示した図である。
【符号の説明】
【００６０】
１２   インクジェット記録ヘッド
３４   振動板
３６   ノズル
４８   圧力室
５８   圧電素子
７６   電極膜（電極）
９２   チャンバー
【図１】
2006086171.tif 000003
【図２】
2006086171.tif 000004
【図３】
2006086171.tif 000005
【図４】
2006086171.tif 000006
【図５】
2006086171.tif 000007
【図６】
2006086171.tif 000008
【図７】
2006086171.tif 000009
【図８】
2006086171.tif 000010
【図９】
2006086171.tif 000011
【図１０】
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