(57)【要約】【課題】本発明は、ドライバのパワー素子が発生するアラーム信号の後に、ゲートに駆動信号を印加し、アラーム信号発生後に再駆動させて装置の停止を防止することを目的とする。【解決手段】本発明によるドライバの駆動方法は、アラーム発生機能を有するパワー素子が発生するアラーム信号(1)が発生された後に、自動的に前記パワー素子のゲートに駆動信号(2)を印加してサーボモータ(3)を駆動し、設定された回数を越えてアラーム信号(1)が発生した場合はパワー素子をオフとする方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部雑音に対してアラーム信号(1)を発生するアラーム発生機能を有するパワー素子を備えたドライバを用いてサーボモータ(3)を駆動するようにしたドライバの駆動方法において、
前記パワー素子が発生する前記アラーム信号(1)が発生された後に自動的に前記パワー素子のゲートに駆動信号(2)を印加して前記サーボモータ(3)を駆動することを特徴とするドライバの駆動方法。
【請求項２】
前記アラーム信号(1)が複数回発生後に、前記サーボモータ(3)を駆動することを特徴とする請求項１記載のドライバの駆動方法。
【請求項３】
予め設定された回数の前記アラーム信号(1)が発生した場合、前記ゲートへの駆動信号(2)の印加を停止し、前記サーボモータ(3)の駆動を停止することを特徴とする請求項１記載のドライバの駆動方法。
【請求項４】
前記サーボモータ(3)は、半導体製造装置の真空ポンプを駆動することを特徴とする請求項１記載のドライバの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドライバの駆動方法に関し、特に、ドライバを構成するパワー素子からのアラーム信号の発生後に休止期間をあけてゲートに駆動信号を印加して再起動（リトライ）動作を自動的に行うことにより、サーボモータの駆動を可能なかぎり継続させるようにするための新規な改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、用いられていたこの種のドライバの駆動方法としては、特許文献等を示していないが、アラーム発生機能を有するパワー素子（当業者では、インテリジェント・パワーモジュール、すなわち、略称でＩＰＭと云う）からなるパワーモジュールを用いたドライバを用いて、半導体製造装置の真空ポンプのサーボモータの駆動を行っており、ドライバ動作中に、外部からの大きいノイズ等によって前記パワー素子がアラームを発生した場合は、ドライバの動作が停止していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のドライバの駆動方法は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、前記パワー素子がアラームを発生して停止した場合には、人手又は上位コントローラが、ドライバのパワー素子のアラームをリセットし、再起動をかけるようにしていた。そのため、例えば、半導体製造装置等が停止すると、短時間でも相当の損失となっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明によるドライバの駆動方法は、外部雑音に対してアラーム信号を発生するアラーム発生機能を有するパワー素子を備えたドライバを用いてサーボモータを駆動するようにしたドライバの駆動方法において、前記パワー素子が発生する前記アラーム信号が発生された後に自動的に前記パワー素子のゲートに駆動信号を印加して前記サーボモータを駆動する方法であり、また、前記アラーム信号が複数回発生後に、前記サーボモータを駆動する方法であり、また、予め設定された回数の前記アラーム信号が発生した場合、前記ゲートへの駆動信号の印加を停止し、前記サーボモータの駆動を停止する方法であり、また、前記サーボモータは、半導体製造装置の真空ポンプを駆動する方法である。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によるドライバの駆動方法は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、パワー素子が発生するアラーム信号が発生された後に、休止期間をおいて自動的にパワー素子のゲートに駆動信号を印加して再起動（リトライ）動作をするため、アラーム信号の発生によるドライバの停止をできるだけ回避し、真空ポンプ等の稼働を継続させて稼動中の装置の稼働停止を避けることができる。
また、予め設定された回数のアラーム信号を判断して、ドライバの再起動を行うか、又は、再起動を停止させるかとしているため、ドライバの損傷も防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明は、ドライバを構成するパワー素子からのアラーム信号の発生後に休止期間をあけてゲートに駆動信号を印加して再起動（リトライ）動作を自動的に行うことにより、サーボモータの駆動を可能な限り継続させるようにしたドライバの駆動方法を提供することを目的とする。
【実施例】
【０００７】
以下、図面と共に本発明によるドライバの駆動方法の好適な実施の形態について説明する。
図１は図示しない周知のパワー素子を用いたドライバによって、例えば、図示しない半導体製造装置の真空ポンプのサーボモータの駆動を行う場合を示している。
尚、前記ドライバをなすパワー素子は、周知のように、パワー素子自体が外部等からのノイズ等を受けた場合に、誤動作等を防ぐためにアラーム信号１を発生してドライバが駆動オフ状態となるように構成され、インテリジェント・パワーモジュール（ＩＰＭ）として市販されているものを採用している。
【０００８】
図１のタイミングチャートにおいて、（Ａ）はアラーム信号１の発生状態を示すパルス波形、（Ｂ）はこのアラーム信号１の有無を図示しないＣＰＵ１０で読み込む状態、（Ｃ）は一定時間（１秒）以内のアラーム信号１の発生回数を示すカウント数、（Ｄ）はパワー素子（ＩＰＭ）のゲートを駆動するための駆動信号２のＯＮ／ＯＦＦ状態、（Ｅ）は前記真空ポンプ等の駆動を行うためのサーボモータ３のＯＮ／ＯＦＦ状態、（Ｆ）は前記アラーム信号１に基づくアラーム出力４のＯＮ／ＯＦＦ状態を示している。
【０００９】
尚、図１の中心部分に形成された仕切線Ｇは、前述の（Ａ）〜（Ｆ）の各波形の動作状態を仕切って示すもので、左側のＧ１は自動再起動（リトライ）によりアラーム停止を回避してドライバの運転を継続する場合を示し、右側のＧ２は自動再起動（リトライ）を行ったがドライバ保護の為、サーボモータの運転を停止する場合を示している。
【００１０】
次に、図１のタイミングチャートに従ってドライバの駆動を行う場合について述べる。
まず、前述のＧ１の場合、前記アラーム信号１がパワー素子から発生されると、ＣＰＵ１０による読み込みが行われ、この時、ＣＰＵ１０によりゲートに対する駆動信号２はＯＮからＯＦＦになると共にサーボモータ３もＯＮからＯＦＦになるが、わずかな休止時間Ｔをおいて、前記ＣＰＵ１０によってパワー素子のゲートへの駆動信号２の印加が行われてサーボモータ３の駆動が行われる。
【００１１】
前記アラーム信号１の発生毎に、前述のゲートへの駆動信号２の印加を繰り返すことにより、サーボモータ３の駆動が行われ、アラーム出力４はＯＦＦ状態が継続されると共に、前述の状態ではアラーム信号１の発生が４回続いた後は、サーボモータ３の駆動が継続されている。
【００１２】
前述のアラーム信号１の発生回数が多くなった場合は、ドライバすなわち前記パワー素子にとって損傷を受ける可能性があるため、その状態を加味して損傷を受ける恐れのある回数を５回と設定し、５回に達するとサーボモータ３の運転を停止する場合（前述のＧ２）について以下に説明する。
【００１３】
まず、前述のＧ１の時のアラーム信号１が４回発生した状態よりもさらに進んで５回発生すると、ゲートに印加する駆動信号２がＯＦＦ継続状態となり、サーボモータ３もＯＦＦ継続状態となってアラーム出力４もアラーム発報状態となると同時に、真空ポンプの運転も停止状態となる。
尚、前述の運転停止によって、ドライバのパワー素子の損傷は回避される。また、アラーム信号１の発生回数は、この形態では予め４回に設定し、この設定回数を越えたか否かとしているが、設定回数は自在に設定できるものである。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
本発明は、ドライバに限らず、他の制御回路等の回路素子に対する保護等に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明によるドライバの駆動方法を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００１６】
１    アラーム信号
２    駆動信号
３    サーボモータ
４    アラーム出力
１０    ＣＰＵ
【図１】
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