(57)【要約】【課題】  吐出不良ノズル毎に吐出不良から回復させるインクジェットヘッドクリーニング装置を提供する。【解決手段】  インクジェットヘッドクリーニング装置５０は、ＣＣＤカメラ５６によりインクジェットヘッド２２に形成されている複数のノズルの状態を撮影し、撮影された画像を出力部６２に出力する。出力された画像に基づいて確認された吐出不良ノズルの位置を示す位置情報を、入力部６４を介して入力し、入力された位置情報に基づいて制御部６０を介してＸ軸駆動部６６、Ｙ軸駆動部６８を駆動させて吐出不良ノズルに対向する位置に小型吸引キャップ５２を移動させる。そして、Ｚ軸駆動部７０を駆動させ、小型吸引キャップ５２を吐出不良ノズルに密着させ、吸引を行う。【選択図】  図２
2006055684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を吐出する複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング装置であって、
前記ノズルに密着した際に、該密着したノズルに隣接する他のノズルに接しない大きさの開口部を有する吸引キャップと、
前記複数のノズルの中から吐出不良ノズルを検出する吐出不良ノズル検出手段と、
前記吐出不良ノズル検出手段により検出された吐出不良ノズル内の機能液を、前記吸引キャップを介して吸引する吸引手段と
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドクリーニング装置。
【請求項２】
前記吐出不良ノズル検出手段により検出された吐出不良ノズルに対向する位置に、前記吸引キャップを移動させる吸引キャップ移動手段を更に備えることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドクリーニング装置。
【請求項３】
機能液を吐出する複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング装置であって、
前記インクジェットヘッドに密着し、前記ノズル内の機能液を吸引する第１吸引キャップと、
前記ノズルに密着した際に、該密着したノズルに隣接する他のノズルに接しない大きさの開口部を有する第２吸引キャップと、
前記複数のノズルの中から吐出不良ノズルを検出する吐出不良ノズル検出手段と、
前記吐出不良ノズル検出手段により検出された吐出不良ノズルに対向する位置に、前記第２吸引キャップを移動させる第２吸引キャップ移動手段と、
前記第２吸引キャップ移動手段により移動させられた前記第２吸引キャップに対応する位置に、前記第１吸引キャップを移動させる第１吸引キャップ移動手段と、
前記第２吸引キャップ移動手段により移動させられ前記吐出不良ノズルに密着した前記第２吸引キャップと、前記第１吸引キャップ移動手段により移動させられ、前記第２吸引キャップに接着した第１吸引キャップとを介して該吐出不良ノズル内の機能液を吸引する吸引手段と
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドクリーニング装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドクリーニング装置を具備することを特徴とする機能液吐出装置。
【請求項５】
機能液を吐出する複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング方法であって、
前記インクジェットヘッドに密着し、前記ノズル内の機能液を吸引する第１吸引キャップを介して前記インクジェットヘッドが備える複数のノズル内の機能液を吸引する第１吸引ステップと、
前記第１吸引ステップにおいて吸引が行われた複数のノズルの中から、吐出不良ノズルを検出する吐出不良ノズル検出ステップと、
前記吐出不良ノズル検出ステップにおいて検出された吐出不良ノズル内の機能液を、前記吐出不良ノズルに密着した際に、該吐出不良ノズルに隣接する他のノズルに接しない大きさの開口部を有する第２吸引キャップを介して吸引する第２吸引ステップと
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドクリーニング方法。
【請求項６】
前記吐出不良ノズル検出ステップにおいて検出された吐出不良ノズルに対向する位置に、前記第２吸引キャップを移動させる第２吸引キャップ移動ステップを更に含むことを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッドクリーニング方法。
【請求項７】
機能液を吐出する複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング方法であって、
前記インクジェットヘッドに密着し、前記ノズル内の機能液を第１吸引キャップを介して吸引する第１吸引ステップと、
前記第１吸引ステップにおいて吸引された複数のノズルの中から、吐出不良ノズルを検出する吐出不良ノズル検出ステップと、
前記吐出不良ノズル検出ステップにおいて検出された吐出不良ノズルに対向する位置に、前記吐出不良ノズルに密着した際に、該吐出不良ノズルに隣接する他のノズルに接しない大きさの開口部を有する第２吸引キャップを移動させる第２吸引キャップ移動ステップと、
前記第２吸引キャップ移動ステップにおいて移動させられた前記第２吸引キャップに対応する位置に、前記第１吸引キャップを移動させる第１吸引キャップ移動ステップと、
前記第２吸引キャップ移動ステップにおいて移動させられ前記吐出不良ノズルに密着した前記第２吸引キャップと、前記第１吸引キャップ移動ステップにおいて移動させられ、前記第２吸引キャップに接着した第１吸引キャップとを介して該吐出不良ノズル内の機能液を吸引する吸引ステップと
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェットヘッドの中で吐出不良を起こしたノズルのクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング装置、該インクジェットヘッドクリーニング装置を備えた機能液吐出装置及びインクジェットヘッドクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットヘッドが備える複数のノズルの中で、何れかのノズルが吐出不良を起こした場合には、吸引キャップによりインクジェットヘッドを覆い、吸引キャップによりインクジェットヘッドに設けられている全てのノズルを一括して吸引し吐出不良を回復させていた。即ち、吸引キャップをインクジェットヘッドに密着させて、吸引キャップに接続されているポンプ等を用いて負圧を発生させ、全ノズルに対して一括してインクや気泡の吸出しを行うことにより、インクジェットヘッドのクリーニングを行い、吐出不良から回復させていた。
【０００３】
なお、インクジェットヘッドの全ノズルから一括して吸引を行うメインヘッドキャップ（メイン吸引キャップ）に加えて、インクジェットヘッドが備える個々のノズルを順次覆いノズル毎に吸引を行うサブヘッドキャップ（サブ吸引キャップ）を備えたインクジェットプリンタが提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−２０６３２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、インクジェットヘッドを吸引キャップ等によって覆い、全ノズルから一括して吸引を行う場合、吐出不良を起こしているノズル（吐出不良ノズル）を吐出不良から回復させる一方で、吐出不良を起こしていないノズル（正常なノズル）が吐出不良ノズルとなる場合があった。即ち、気泡の存在により吐出不良を起こしている場合、吐出不良ノズル部分に存在していた気泡がインクジェットヘッド内で移動することによって、正常なノズル部分に存在するようになってしまい、正常なノズルが吐出不良ノズルになってしまうという問題があった。また、インクジェットヘッドが備える多数のノズルの各々を順次覆うことによって吸引を行っている場合には、効率が悪いという問題があった。即ち、上述の特許文献１に記載されているインクジェットプリンタのように、インクジェットヘッドが備えるノズルを、吐出不良となっているか否かに拘わらず、順次覆うことによって吸引を行う場合には、正常なノズルからも個別に機能液の吸引を行うため、インクジェットヘッドのクリーニングに多くの時間が必要になると共に、不必要に多くの機能液が吸引されてしまい、効率が悪いという問題があった。
【０００６】
この発明の課題は、吐出不良を起こしているノズル毎に吸引を行うことができるインクジェットヘッドクリーニング装置、該インクジェットヘッドクリーニング装置を備えた機能液吐出装置及びインクジェットヘッドクリーニング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係るインクジェットヘッドクリーニング装置は、機能液を吐出する複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング装置であって、前記ノズルに密着した際に、該密着したノズルに隣接する他のノズルに接しない大きさの開口部を有する吸引キャップと、前記複数のノズルの中から吐出不良ノズルを検出する吐出不良ノズル検出手段と、前記吐出不良ノズル検出手段により検出された吐出不良ノズル内の機能液を、前記吸引キャップを介して吸引する吸引手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
このインクジェットヘッドクリーニング装置によれば、検出された吐出不良ノズルから、その吐出不良ノズル内の機能液を吸引している。従って、吐出不良を起こしているノズルからのみ吸引を行うことにより、確実に吐出不良ノズルを吐出不良から回復させることができる。
【０００９】
また、この発明に係るインクジェットヘッドクリーニング装置は、前記吐出不良ノズル検出手段により検出された吐出不良ノズルに対向する位置に、前記吸引キャップを移動させる吸引キャップ移動手段を更に備えることを特徴とする。
【００１０】
このインクジェットヘッドクリーニング装置によれば、検出された吐出不良ノズルに対向する位置に吸引キャップを移動させて吸引を行っているため、効率的にインクジェットヘッドのクリーニングを行うことができる。
【００１１】
また、この発明に係るインクジェットヘッドクリーニング装置は、機能液を吐出する複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング装置であって、前記インクジェットヘッドに密着し、前記ノズル内の機能液を吸引する第１吸引キャップと、前記ノズルに密着した際に、該密着したノズルに隣接する他のノズルに接しない大きさの開口部を有する第２吸引キャップと、前記複数のノズルの中から吐出不良ノズルを検出する吐出不良ノズル検出手段と、前記吐出不良ノズル検出手段により検出された吐出不良ノズルに対向する位置に、前記第２吸引キャップを移動させる第２吸引キャップ移動手段と、前記第２吸引キャップ移動手段により移動させられた前記第２吸引キャップに対応する位置に、前記第１吸引キャップを移動させる第１吸引キャップ移動手段と、前記第２吸引キャップ移動手段により移動させられ前記吐出不良ノズルに密着した前記第２吸引キャップと、前記第１吸引キャップ移動手段により移動させられ、前記第２吸引キャップに接着した第１吸引キャップとを介して該吐出不良ノズル内の機能液を吸引する吸引手段とを備えることを特徴とする。
【００１２】
このインクジェットヘッドクリーニング装置によれば、吐出不良ノズルに第２吸引キャップを密着させ、第２吸引キャップに第１吸引キャップを密着させて吐出不良ノズル内の機能液を吸引している。即ち、吐出不良ノズルを備えるインクジェットヘッドと第１吸引キャップとの間に第２吸引キャップを挟んだ状態で吐出不良ノズルから機能液を吸引している。従って、吐出不良を起こしているノズルからのみ吸引を行うことにより、確実に吐出不良ノズルを吐出不良から回復させることができる。
【００１３】
また、この発明に係る機能液吐出装置は、請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドクリーニング装置を具備することを特徴とする。この機能液吐出装置によれば、インクジェットヘッドクリーニング装置を備えているため、円滑に機能液を吐出することができ、例えば、機能液吐出装置を用いた液晶表示装置等の製造を効率的に行うことができる。
【００１４】
また、この発明に係るインクジェットヘッドクリーニング方法は、機能液を吐出する複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング方法であって、前記インクジェットヘッドに密着し、前記ノズル内の機能液を吸引する第１吸引キャップを介して前記インクジェットヘッドが備える複数のノズル内の機能液を吸引する第１吸引ステップと、前記第１吸引ステップにおいて吸引が行われた複数のノズルの中から、吐出不良ノズルを検出する吐出不良ノズル検出ステップと、前記吐出不良ノズル検出ステップにおいて検出された吐出不良ノズル内の機能液を、前記吐出不良ノズルに密着した際に、該吐出不良ノズルに隣接する他のノズルに接しない大きさの開口部を有する第２吸引キャップを介して吸引する第２吸引ステップとを含むことを特徴とする。
【００１５】
このインクジェットヘッドクリーニング方法によれば、検出された吐出不良ノズルから、その吐出不良ノズル内の機能液を吸引しているため、吐出不良を起こしているノズルからのみ吸引を行うことにより、確実に吐出不良ノズルを吐出不良から回復させることができる。
【００１６】
また、この発明に係るインクジェットヘッドクリーニング方法は、前記吐出不良ノズル検出ステップにおいて検出された吐出不良ノズルに対向する位置に、前記第２吸引キャップを移動させる第２吸引キャップ移動ステップを更に含むことを特徴とする。
【００１７】
このインクジェットヘッドクリーニング方法によれば、検出された吐出不良ノズルに対向する位置に第２吸引キャップを移動させて吸引を行っているため、効率的にインクジェットヘッドのクリーニングを行うことができる。
【００１８】
また、この発明に係るインクジェットヘッドクリーニング方法は、機能液を吐出する複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング方法であって、前記インクジェットヘッドに密着し、前記ノズル内の機能液を第１吸引キャップを介して吸引する第１吸引ステップと、前記第１吸引ステップにおいて吸引された複数のノズルの中から、吐出不良ノズルを検出する吐出不良ノズル検出ステップと、前記吐出不良ノズル検出ステップにおいて検出された吐出不良ノズルに対向する位置に、前記吐出不良ノズルに密着した際に、該吐出不良ノズルに隣接する他のノズルに接しない大きさの開口部を有する第２吸引キャップを移動させる第２吸引キャップ移動ステップと、前記第２吸引キャップ移動ステップにおいて移動させられた前記第２吸引キャップに対応する位置に、前記第１吸引キャップを移動させる第１吸引キャップ移動ステップと、前記第２吸引キャップ移動ステップにおいて移動させられ前記吐出不良ノズルに密着した前記第２吸引キャップと、前記第１吸引キャップ移動ステップにおいて移動させられ、前記第２吸引キャップに接着した第１吸引キャップとを介して該吐出不良ノズル内の機能液を吸引する吸引ステップとを含むことを特徴とする。
【００１９】
このインクジェットヘッドクリーニング方法によれば、検出された吐出不良ノズルから、その吐出不良ノズル内の機能液を吸引しているため、確実に吐出不良ノズルを吐出不良から回復させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置について説明する。
【００２１】
図１は、この発明の第１の実施の形態に係るインクジェット式吐出装置の構成を示す図である。この吐出装置２は、所定の基板上等に機能液を吐出するインクジェットヘッド２２を備えている。このインクジェットヘッド２２は、ヘッド本体２４及び機能液を吐出する多数のノズルが形成されているノズル形成面２６を備えている。ノズル形成面２６には、複数のノズルが配置されたノズル列が複数形成されており、各ノズルから機能液、例えば、基板上に所定の機能膜を形成するための材料を含むインクや、レジスト等が吐出される。また、吐出装置２は、基板を載置するテーブル２８を備えている。このテーブル２８は、所定の方向、例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設置されている。
【００２２】
また、インクジェットヘッド２２には、ノズル形成面２６に形成されているノズルから吐出される機能液を収容しているタンク３０が接続されている。即ち、タンク３０とインクジェットヘッド２２とは、機能液を搬送する機能液搬送管３２によって接続されている。また、この機能液搬送管３２は、機能液搬送管３２の流路内の帯電を防止するための機能液流路部アース継手３２ａとヘッド部気泡排除弁３２ｂとを備えている。このヘッド部気泡排除弁３２ｂは、吸引キャップ４０（第１吸引キャップ）により、インクジェットヘッド２２内の機能液を吸引する場合に用いられる。即ち、吸引キャップ４０によりインクジェットヘッド２２内の機能液を吸引するときは、このヘッド部気泡排除弁３２ｂを閉状態にし、タンク３０側から機能液が流入しない状態にする。そして、吸引キャップ４０で吸引すると、吸引される機能液の流速が上がり、インクジェットヘッド２２内の気泡が速やかに排出されることになる。
【００２３】
また、吐出装置２は、タンク３０内に収容されている機能液の収容量、即ち、タンク３０内に収容されている機能液の液面３４ａの高さを制御するための液面制御センサ３６を備えている。この液面制御センサ３６は、インクジェットヘッド２２が備えるノズル形成面２６の先端部２６ａとタンク３０内の液面３４ａとの高さの差ｈ（以下、水頭値という）を所定の範囲内に保つ制御を行う。液面３４ａの高さを制御することで、タンク３０内の機能液３４が所定の範囲内の圧力でインクジェットヘッド２２に送られることになる。そして、所定の範囲内の圧力で機能液３４を送ることで、インクジェットヘッド２２から安定的に機能液３４を吐出することができる。
【００２４】
また、インクジェットヘッド２２のノズル形成面２６に対向して一定の距離を隔てて、インクジェットヘッド２２のノズル内の機能液を吸引する吸引キャップ４０が配置されている。この吸引キャップ４０は、図１中に矢印で示すＺ軸に沿った方向に移動可能に構成されており、ノズル形成面２６に形成された複数のノズルを囲むようにノズル形成面２６に密着し、ノズル形成面２６との間に密閉空間を形成してノズルを外気から遮断できる構成となっている。なお、吸引キャップ４０によるインクジェットヘッド２２のノズル内の機能液の吸引は、インクジェットヘッド２２が機能液３４を吐出していない状態、例えば、インクジェットヘッド２２が、退避位置等に退避しており、テーブル２８が破線で示す位置に退避しているときに行われる。
【００２５】
また、この吸引キャップ４０の下方には、流路が設けられており、この流路には、吸引バルブ４２、吸引異常を検出する吸引圧検出センサ４４及びチューブポンプ等からなる吸引ポンプ４６が配置されている。また、この吸引ポンプ４６等で吸引され、流路を搬送されてきた機能液３４は、廃液タンク４８内に収容される。
【００２６】
また、吐出装置２は、インクジェットヘッド２２のクリーニングを行うインクジェットヘッドクリーニング装置５０を備えている。このインクジェットヘッドクリーニング装置５０は、例えば、気泡の発生等により吐出不良を起こしているノズル（吐出不良ノズル）にクリーニング処理を施すことにより、ノズルを吐出不良から回復させる装置である。
【００２７】
図２は、この発明の第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置５０の構成の概略を示す図である。インクジェットヘッドクリーニング装置５０は、図２に示すように、小型吸引キャップ（第２吸引キャップ）５２、インクジェットヘッド２２が備えるノズルの状態を撮影するＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ５６及び小型吸引キャップ５２を介してノズルから吸引された機能液を搬送する流路５８を備えている。ここで、小型吸引キャップ５２は、上端部に開口部５２ａを有する円筒形状を有し、インクジェットヘッド２２に形成されているノズルの中の一つに密着した際に、開口部５２ａが隣接するノズルに接しない大きさを有している。また、小型吸引キャップ５２の上部、即ち、吸引対象となっているノズルと接する部分は、吸引時における密着性の向上及びインク漏れを防止すべく、例えば、シールゴム等の素材により形成されている。なお、流路５８は、図１に示す吸引バルブ４２、吸引異常を検出する吸引圧検出センサ４４及びチューブポンプ等からなる吸引ポンプ４６に接続されており、吸引ポンプ４６等で吸引され、流路５８内を搬送されてきたノズル内の機能液は、廃液タンク４８内に収容される（図示省略）。
【００２８】
また、インクジェットヘッドクリーニング装置５０は、インクジェットヘッド２２のクリーニング処理を制御する制御部６０を備え、制御部６０には、ＣＣＤカメラ５６により撮影された画像を出力する出力部６２及び吐出不良ノズルの位置を示す位置情報等を入力する入力部６４が接続されている。また、制御部６０には、小型吸引キャップ５２及びＣＣＤカメラ５６を図中の座標において示すＸ軸方向に移動させるＸ軸駆動部６６、Ｙ軸方向に移動させるＹ軸駆動部６８及びＺ軸方向に移動させるＺ軸駆動部７０が接続されている。なお、インクジェットヘッドクリーニング装置５０は、テーブル２８が図１において示す破線の位置に退避している場合等に、インクジェットヘッド２２に対向する位置に移動し、インクジェットヘッド２２に対してクリーニング処理を施す。
【００２９】
次に、図３のフローチャートを参照して、この発明の第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置によるインクジェットヘッドのクリーニング処理について説明する。
【００３０】
まず、インクジェットヘッド２２が備えるノズルを、ＣＣＤカメラ５６を用いて端から順に撮影する（ステップＳ１０）。即ち、制御部６０からの制御信号に基づいて、Ｘ軸駆動部６６及びＹ軸駆動部６８を駆動させてＣＣＤカメラ５６によりインクジェットヘッド２２を端から順に走査し、インクジェットヘッド２２のノズル形成面２６に形成されているノズルを撮影する。なお、ＣＣＤカメラ５６により撮影された画像は、制御部６０に送信される。
【００３１】
次に、ＣＣＤカメラ５６により撮影された画像を出力部６２において出力する（ステップＳ１１）。ここで、出力部６２に出力されたノズルの状態を示す画像に基づいて、吐出不良を起こしているノズル（吐出不良ノズル）が確認される。即ち、例えば、インクジェットヘッドのクリーニング処理担当者等や作業責任者等が出力部６２に出力されている画像に基づいてノズルの状態を確認し、機能液が正常に吐出されていないノズル等、何れのノズルが吐出不良ノズルとなっているかを確認する。
【００３２】
次に、吐出不良ノズルの位置を示す位置情報を入力部６４を介して入力する（ステップＳ１２）。例えば、吐出不良ノズルを確認した作業責任者等が、キーボード等により構成されている入力部６４を介して、吐出不良ノズルの位置情報を入力する。なお、位置情報として、例えば、ノズル形成面２６のＸ−Ｙ平面上における吐出不良ノズルの座標や、吐出不良ノズルに付されている所定の番号等、吐出不良ノズルの位置を特定するための情報が入力される。また、吐出不良ノズルが複数存在する場合には、各吐出不良ノズルの位置情報がそれぞれ入力部６４を介して入力される。
【００３３】
次に、入力部６４を介して入力された位置情報に基づいて、小型吸引キャップ５２を吐出不良ノズルに対向する位置に移動させる（ステップＳ１３）。即ち、入力された位置情報に基づいて、Ｘ軸駆動部６６及びＹ軸駆動部６８を駆動させることによって、小型吸引キャップ５２を吐出不良ノズルに対向する位置に移動させる。
【００３４】
次に、小型吸引キャップ５２を介して吐出不良ノズル内の機能液を吸引する（ステップＳ１４）。即ち、Ｚ軸駆動部７０を駆動させることによって、小型吸引キャップ５２をＺ軸方向に移動させて吐出不良ノズルに開口部５２ａを密着させ、吐出不良ノズル内の機能液を吸引する。
【００３５】
吸引が行われていない吐出不良ノズルが存在する場合には（ステップＳ１５）、ステップＳ１３に戻り、他の吐出不良ノズルに対向する位置に小型吸引キャップ５２を移動させ、その吐出不良ノズル内の機能液を吸引する（ステップＳ１４）。一方、全ての吐出不良ノズルから機能液の吸引が行われた場合には（ステップＳ１５）、インクジェットヘッド２２のクリーニング処理を終了する。
【００３６】
この発明の第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置によれば、吐出不良を起こしているノズル（吐出不良ノズル）毎に吸引を行うことができる。即ち、気泡により機能液の吐出が妨げられている吐出不良ノズルからのみ吸引を行うことができ、吐出不良ノズルを確実に吐出不良から回復させることができる。
【００３７】
また、この発明の第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置によれば、インクジェットヘッドに形成されている複数のノズルの状態を撮影し、ノズル毎にクリーニング処理を施すことができる、即ち、ノズル形成面に形成されているノズルの中で、吐出不良ノズルからのみ機能液を吸引することができる。従って、他の正常なノズルに対して処理を行うことがないため、正常なノズルの状態を保持したままでクリーニングの処理を行うことができ、確実にインクジェットヘッドを吐出不良から回復させることができる。
【００３８】
また、この発明の第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置によれば、吐出不良ノズル毎にクリーニングの処理を行うことができるため、効率的にインクジェットヘッドのクリーニングを行うことができる。また、正常なノズルからは機能液の吸引を行わないため、回復動作に使用される機能液の量を低減させることができる。
【００３９】
次に、図４を参照して、この発明の第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置におけるインクジェットヘッドのクリーニング処理について説明する。なお、第２の実施の形態に係るインクジェット式の吐出装置は、吸引キャップ４０が図１中に矢印で示したＺ軸に沿った方向のみならず、Ｘ軸及びＹ軸に沿った方向に移動可能に構成されている。また、その他の構成については、第１の実施の形態に係る吐出装置の構成と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。
【００４０】
図４は、この発明の第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置の構成を示す図である。なお、第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置の構成において、第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置の構成と同様の部分については、同一の符号を用い、詳細な説明を省略する。
【００４１】
第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置５１は、図４に示すように、個々のノズルから機能液を吸引するノズル吸引キャップ（第２吸引キャップ）７２を備えている。このノズル吸引キャップ７２は、上端部に開口部７４ａを有する円筒形状の吸引部７４を有し、開口部７４ａは、インクジェットヘッド２２に形成されているノズルの中の一つに密着した際に、隣接するノズルに接しない大きさを有している。また、吸引部７４の上部、即ち、吸引対象となっているノズルと接する部分は、吸引時における密着性の向上及びインク漏れを防止すべく、例えば、シールゴム等の素材により形成されている。
【００４２】
また、インクジェットヘッドクリーニング装置５１は、インクジェットヘッド２２のクリーニング処理を制御する制御部６０を備え、制御部６０には、ＣＣＤカメラ５６により撮影された画像を出力する出力部６２及び吐出不良ノズルの位置を示す位置情報等を入力する入力部６４が接続されている。また、制御部６０には、ノズル吸引キャップ７２及びＣＣＤカメラ５６を図中の座標において示すＸ軸方向に移動させるＸ軸駆動部６６、Ｙ軸方向に移動させるＹ軸駆動部６８及びＺ軸方向に移動させるＺ軸駆動部７０が接続されている。なお、インクジェットヘッドクリーニング装置５１は、テーブル２８が図１において示す破線の位置に退避している場合等に、インクジェットヘッド２２に対向する位置に移動し、インクジェットヘッド２２に対してクリーニング処理を施す。
【００４３】
この第２の実施の形態に係るインクジェットクリーニング装置においては、第１の実施の形態に係るインクジェットクリーニング装置によるクリーニングの処理と同様に、まず、ＣＣＤカメラ５６によりインクジェットヘッド２２を端から順に走査し、インクジェットヘッドが備えるノズルの状態を撮影する。なお、ＣＣＤカメラ５６によるインクジェットヘッド２２の走査は、制御部６０からの信号に基づいて、Ｘ軸駆動部６６及びＹ軸駆動部６８を駆動させることによって行われる。
【００４４】
次に、撮影された画像を出力部６２を介して出力し、出力された画像に基づいて吐出不良ノズルを確認して、吐出不良ノズルの位置を示す位置情報を入力部６４を介して入力する。上述の処理は、図４のフローチャートに示すステップＳ１１及びステップＳ１２の処理と同様の処理であるため、詳細な説明は省略する。
【００４５】
次に、入力された位置情報に基づいてインクジェットヘッド２２のノズル形成面に形成されているノズルの中で、吐出不良ノズルに対向する位置に吸引部７４が位置するように、ノズル吸引キャップ７２を移動させる。即ち、制御部６０からの信号に基づいて、Ｘ軸駆動部６６及びＹ軸駆動部６８を駆動させることによりノズル吸引キャップ７２を移動させる。なお、ノズル吸引キャップ７２を移動させた場合には、ノズル吸引キャップ７２に対応する位置に、吸引キャップ４０も併せて移動させる。
【００４６】
そして、ノズル吸引キャップ７２及び吸引キャップ４０をＺ軸方向に移動させることによって、吸引部７４を吐出不良ノズルに密着させ、吐出不良ノズル内の機能液を吸引する。即ち、ノズル吸引キャップ７２をインクジェットヘッド２２と吸引キャップ４０との間に挟んだ状態にし、吐出不良ノズルにノズル吸引キャップ７２を密着させると共に、ノズル吸引キャップ７２に吸引キャップ４０を密着させて、吐出不良ノズル内の機能液を吸引する。
【００４７】
ここで、吸引が行われていない吐出不良ノズルが存在する場合には他の吐出不良ノズルに対向する位置に吸引部７４が位置するようにノズル吸引キャップ７２を移動させ、ノズル吸引キャップ７２に対応する位置に吸引キャップ４０を移動させる。そして、インクジェットヘッド２２と吸引キャップ４０との間にノズル吸引キャップ７２を挟んだ状態で、吐出不良ノズル内の機能液を吸引する。一方、全ての吐出不良ノズルから機能液の吸引が行われた場合には、インクジェットヘッド２２のクリーニング処理を終了する。なお、これらの処理は、図３のフローチャートに示すステップＳ１４及びステップＳ１５における処理と同様の処理であるため、詳細な説明は省略する。
【００４８】
この発明の第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置は、個々のノズルから吸引を行うノズル吸引キャップを、インクジェットヘッドと吸引キャップとの間に挟んだ状態で吐出不良ノズル内の機能液を吸引している。即ち、ノズル吸引キャップをインクジェットヘッドと吸引キャップとの間に挟むことによって、個々のノズルから吸引を行うことができるため、ノズル吸引キャップにより吸引された機能液の流路等を別途設ける必要がなく、低コストの改良により従来の吐出装置にインクジェットヘッドクリーニング装置を設置することができる。
【００４９】
この発明の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置によれば、吐出不良ノズルからのみ吸引を行っている。従って、正常なノズルからは吸引を行うことがないため、インクジェットヘッドが多数のノズルを備える場合であっても、吐出不良ノズルからのみ吸引を行うことによって効率的にインクジェットヘッドのクリーニングを行うことができる。
【００５０】
また、この発明の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置によれば、吐出不良ノズルからのみ吸引を行っているため、クリーニング処理に用いられる機能液の量を低減させることができる。従って、例えば、半導体素子の製造、燃料電池の製造、有機ＥＬディスプレイの製造及び液晶表示装置の製造等において吐出装置が用いられている場合には、半導体等を製造する際に用いられる所定の材料を含む機能液の使用量を低減させ、半導体等の製造コストそのものを低減させることができる。
【００５１】
なお、上述の実施の形態に形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置においては、ＣＣＤカメラにより撮影された映像に基づいて吐出不良ノズルを確認しているが、その他の方法により吐出不良ノズルを確認するようにしてもよい。例えば、ガラス基板上に蛍光塗料等を含む機能液を吐出するテストを行い、基板上に吐出された機能液を確認することによって、何れのノズルが吐出不良を起こしているかを確認するようにしてもよい。
【００５２】
また、上述の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置においては、吸引キャップ（第２吸引キャップ）を吐出不良ノズルに対向する位置に移動させているが、吸引キャップを所定の位置に固定してもよい。この場合には、インクジェットヘッドをＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動させることによって、吸引キャップに密着させ吸引を行うようにすることができる。
【００５３】
また、上述の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置においては、ノズル吸引キャップをインクジェットヘッドと吸引キャップとの間に挟んだ状態でノズル内の機能液を吸引しているが、吸引キャップにキャップカバーを被せてノズル内の機能液を吸引するようにしてもよい。例えば、ノズル吸引キャップと同様に、所定の開口部を有する円筒形状の吸引部を備えたキャップカバーを吸引キャップに被せ、吸引キャップをノズル吸引キャップとして用いるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】実施の形態に係るインクジェット式吐出装置の概略図。
【図２】第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置の概略図。
【図３】第１の実施の形態に係るクリーニング処理のフローチャート。
【図４】第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドクリーニング装置の概略図。
【符号の説明】
【００５５】
２…吐出装置、５０、５１…インクジェットヘッドクリーニング装置、５２…小型吸引キャップ、５２ａ…開口部、５６…ＣＣＤカメラ、６０…制御部、６２…出力部、６４…入力部、６６…Ｘ軸駆動部、６８…Ｙ軸駆動部、７０…Ｚ軸駆動部、７２…ノズル吸引キャップ、７４…吸引部、７４ａ…開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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