(57)【要約】      （修正有）【課題】放電ランプに供給するために利用される充電コンデンサの高速充電装置を提供することである。これにより、充電コンデンサを、高速且つ時間及び量とも正確に充電する。【解決手段】本発明の装置は、少なくとも１つのコイル５及び充電コンデンサ６を有する共振回路及び直流電源１を有する。直流電源１の１つの電極は、共振回路に充電スイッチ２を経由して接続される。フリーホイールダイオード４は、充電スイッチ２が開けられた時に電流を導通するために共振回路内に直流電源と並列に配される。前記装置は、入力変数及び１つ以上の設定点の変数に応じて、設定点の変数にリアルタイムに従うよう、充電スイッチ２の切り替え時間を計算し、充電スイッチ２を計算された切り替え時間に作動させる制御手段２０を特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
特に放電ランプに供給するための充電コンデンサの高速充電装置であって、
入力電圧を供給する直流電源、
少なくとも１つのコイル及び充電コンデンサを有する共振回路、及び
入力変数及び１つ以上の設定点の変数に応じて、設定点の変数にリアルタイムに従うよう、スイッチの切り替え時間を計算し、前記スイッチを前記計算された切り替え時間に作動させる制御手段
を有し、
前記共振回路の出力で、出力電圧は、前記装置の出力を経由して取り出され、
前記直流電源の１つの電極は、前記共振回路に前記スイッチを経由して接続され、フリーホイールダイオードは、前記スイッチが開けられた時に電流を導通するために前記共振回路内に前記直流電源と並列に配される、
装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記切り替え時間を、入力変数として、入力電圧の瞬時値、充電コンデンサの電圧瞬時値、共振回路及び／又は前記スイッチを流れる電流瞬時値に基づき計算することを特徴とする、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記切り替え時間を、設定点の変数としてパルスエネルギー又は予め設定されたランプ出力及び／又は前記出力に負荷として接続された放電ランプの予め設定された点灯時間に従い計算することを特徴とする、請求項１又は２記載の装置。
【請求項４】
前記制御手段は、切り替え時間を計算する時に、入力変数として外乱変数瞬時値を受信及び考慮することを特徴とする、請求項１乃至３の何れか記載の装置。
【請求項５】
前記制御手段は、静電容量の温度依存を考慮し、前記装置の１つ以上の構成要素の温度瞬時値を入力として受信することを特徴とする、請求項４記載の装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記計算の近似アルゴリズムを有することを特徴とする、請求項１乃至５の何れか記載の装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記計算のための
ルックアップテーブルを有することを特徴とする、請求項１乃至５の何れか記載の装置。
【請求項８】
前記制御手段は、デジタル制御手段であることを特徴とする、請求項１乃至７の何れか記載の装置。
【請求項９】
少なくとも１つの抵抗及び前記制御手段を経由して作動される更に１つのスイッチの直列接続は、前記出力と並列に接続され、これらは前記充電コンデンサの放電回路を形成することを特徴とする、請求項１乃至８の何れか記載の装置。
【請求項１０】
前記充電コンデンサの放電を加速する追加電源は、前記直列接続に設けられることを特徴とする、請求項９記載の装置。
【請求項１１】
補助回路は、前記スイッチを作動し保護するために設けられ、前記回路を経由して、前記制御手段は前記スイッチを作動することを特徴とする、請求項１乃至１０の何れか記載の装置。
【請求項１２】
スナバ回路は、前記スイッチを前記スイッチの開放時に保護するため、及び／又は前記フリーホイールダイオードを前記ダイオード回路がオフに切り替えられる時に保護するために設けられることを特徴とする、請求項１乃至１１の何れか記載の装置。
【請求項１３】
ダイオードは、前記直流電源及び前記共振回路の間の前記スイッチと直列に接続されることを特徴とする、請求項１乃至１２の何れか記載の装置。
【請求項１４】
逆方向ダイオードは、前記直流電源及び前記共振回路の間の前記スイッチと並列に接続されることを特徴とする、請求項１乃至１２の何れか記載の装置。
【請求項１５】
上位の閉ループ制御回路が設けられ、前記上位の閉ループ制御回路は、比較器により決定される、前記充電コンデンサの放電時間に近い前記共振回路のゼロ電流の時間を、予め設定された放電時間と比較し、前記制御手段により計算された前記切り替え時間を、ずれが生じた時に前記ずれを補償するために変化することを特徴とする、請求項１乃至１４の何れか記載の装置。
【請求項１６】
請求項１乃至１５の１つ以上に記載の装置の利用方法であって、EUV又は軟X線の放電ランプを動作する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、充電コンデンサの高速充電装置、特に、放電ランプを動作する高電圧パルスを生成する装置に関連する。前記装置は、入力電圧を供給する直流電源、少なくとも１つのコイル及び充電コンデンサを有する共振回路を有し、前記共振回路の出力で、出力電圧は、前記装置の出力を経由して取り出され、前記直流電源の１つの電極は、前記共振回路に前記スイッチを経由して接続され、フリーホイールダイオードは、前記スイッチが開けられた時に電流を導通するために前記共振回路内に前記直流電源を並列に配される。
【０００２】
放電ランプに供給するため、例えば短波長EUV光又は軟X線を生成するために用いられるので、１ｋVから１０ｋVの範囲の高電圧が必要とされる。放電に必要とされるパルスエネルギーは、コンデンサに蓄えられる。ランプで放電されると、コンデンサに蓄えられたエネルギーで電離気体が生成される。この電離気体は、光パルスを放出する。コンデンサは従って放電される。更に光パルスを放出するために、コンデンサは再充電されなければならない。多くの用途で、高い繰り返し周波数で充電及び放電処理が行われる必要がある。従って、可能な限り高光出力を達成するために、素早い連続した処理が必要である。従って、コンデンサの充電処理は可能な限り高速であることが有利である。一方、ランプから放出されるパルス当たりの光量は、非常に厳しい制限に保たれる。例えば所望の設定点から１％以内に抑えられる。コンデンサの電圧の所定値、従って蓄えられるエネルギーの所定量の精度に関する要件は、同様に厳しい。更に、ランプの特定の利用分野では、パルス当たりの光エネルギー出力は、パルス間で非常に正確に変化しなければならない。このエネルギーの精密な水準は、利用要件により放出前に簡単に設定される。例えば５０μｓである。充電装置は従って、非常に正確な時間制限内にコンデンサの目標電圧を達成しなければならない。更に充電装置は、可能な限り最も簡単且つ最も強靱な構造であり、確実に動作し安価に製造できなければならい。
【背景技術】
【０００３】
コンデンサを充電する種々の装置が、文献から既知である。充電コンデンサは、例えば抵抗を経由して電源と接続されて良い。この抵抗は、電源とコンデンサの間の電流を制限し、コンデンサに接続された放電ランプが放電する間、電源部品の破壊を防ぐ。所望の電圧に達すると、充電コンデンサの充電は、電気回路のスイッチを開放することにより終了する。しかしながら、この充電方法は、充電抵抗で重大な損失を生じるので、多くの用途において非経済的である。
【０００４】
更に、所謂、装置充電コンデンサが知られている。このコンデンサは、充電コンデンサを定電流により所望の点灯電圧まで充電する。定電流なので、コンデンサの電圧は線形に増加する。所望の電圧に到達すると、装置充電コンデンサの出力電流は、電気回路のスイッチを経由して短絡される。従ってコンデンサの充電は、終了する。ダイオードは、スイッチを経由してコンデンサの放電を防ぐ。しかしながら、このような充電装置の場合、スイッチは最大出力電圧及び最大充電電流及びスイッチのために非常に高速に設計されなければならない。このようなスイッチは、特注部品としてのみ入手可能であり、従って標準的用途には適切でない。
【０００５】
以上の２つの方法では、充電過程は比較的長時間、例えば１００μｓを要する。一般に、このような装置では、充電時間はもっと長く、コンデンサの電圧の所定値の精度に関する要件は、更に厳しい。放電ランプを動作させる場合、光出力の増加は、時間周期当たりの光パルス数の増加により達せられる。しかしながら、これはまた、充電コンデンサを充電可能な時間を減少させ、このような充電装置と共に動作するランプの最大出力を制限する。
【非特許文献１】モハン、アンデランド、ロビンズ（Mohan、Undeland、Robbins）、パワー・エレクトロニクス（Power  Electronics）、（米国）、ジョン・ウィリー・アンド・ソンズ（John  Wiley  and  Sons）、１９８９年
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、放電ランプに供給するために利用される充電コンデンサの高速充電装置を提供することである。これにより、充電コンデンサを、高速且つ時間及び量とも正確に充電する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の目的は、請求項１に記載の装置を用い達成される。本装置の有利な展開は、従属請求項に記載され、以下の説明及び例である実施例により明らかにされる。
【０００８】
本発明の装置は、共振回路及び入力電圧を供給する直流電源を有する。共振回路は、少なくとも１つのコイル及び充電コンデンサを有する。共振回路の出力で、出力電圧が、前記装置の出力を経由して取り出される。充電コンデンサは、前記装置を供給に利用する間、又は放電ランプが動作する間、ランプコンデンサに相当する。直流電源の１つの電極は、共振回路にスイッチを経由して接続される。このスイッチは、以後、充電スイッチと称される。更に、フリーホイールダイオードは、充電スイッチが開けられた時に電流を導通するために共振回路内に直流電源と並列に配される。前記装置の特徴は、特に、入力変数及び１つ以上の設定点の変数に応じて、設定点の変数にリアルタイムに従うよう、充電スイッチの切り替え時間を計算し、充電スイッチを計算された切り替え時間に作動させる制御手段である。
【０００９】
望ましくはデジタル制御手段及び前記装置の共振設計を用い、所与の電圧又は所与のエネルギーは、充電コンデンサに所与の時間にオンオフ時間の特別な制御を通じて蓄えられる。この蓄えられる電圧又はエネルギーは、出力に設けられた負荷を経由して放電されて良い。この負荷は、オンに切り替え可能で、散逸性の部品、例えば作動したガス放電であり、充電コンデンサと並列に接続される。放電は、時間周期内の正確に定義された、共振充電期間より比較的短い時間に行われて良い。高い繰り返し周波数においてさえ、前記装置は、パルス間の充電コンデンサの電圧又はエネルギーを制御して良い。これは、前記装置の共振構造だけでなく、望ましくはデジタルのリアルタイム制御手段により、可能になる。デジタルのリアルタイム制御手段は、開又は閉ループ制御過程で用いられる部品の外乱又は欠点を有しても良い。
【００１０】
制御手段の入力変数は、設定点の変数、例えばパルスエネルギー、ランプ出力及び／又は出力に負荷として接続された放電ランプの点灯時間、及び前記装置の測定された変数の瞬時値、特に入力電圧の瞬時値、充電コンデンサの電圧瞬時値、及び共振回路及び／又はスイッチ時間の計算に必要な充電スイッチを流れる電流瞬時値である。更に追加の外乱変数、例えば１つ以上の部品の温度が測定され、そして、前記装置の充電動作に影響する場合、同様に制御手段の入力変数として用いられて良い。従って、制御手段は、所望の設定点変数に必要な切り替え時間を計算する時、それぞれの場合に取得される値を入力変数として考慮するよう設計される。
【００１１】
全ての信号又は入力変数は、評価され稼働中、つまりリアルタイムに考慮されなければならないので、出力計算に関する制御手段の要件は、非常に厳しい。しかしながら、このような制御手段は、ランプ機能の動作、制御及び監視の間、多くの用途で必要とされる。計算を行う時、制御手段のデジタル計算機器は、例えば近似アルゴリズムを用い、又は以前の計算結果を参照しテーブル（ルックアップテーブル）を用い可能な限り迅速に切り替え時間を決定して良い。
【００１２】
本発明の望ましい展開では、前記装置は、出力と並列に接続される、少なくとも１つの抵抗及び制御手段を経由して作動される更に１つのスイッチの直列接続を有し、この直列接続は充電コンデンサの放電回路を形成する。この場合、充電コンデンサは、各放電の後に放電回路を利用する負荷を経由して時間をかけて完全に放電させられて良い。こうして、制御手段の所定の初期条件を次の充電過程のために提供する。この完全な放電過程を加速するため、追加電源を放電回路に組み込んでも良い。
【００１３】
前記装置は、１つ以上のスナバ回路又はスナバ回路網を有し、充電スイッチの開放時に充電スイッチを保護し、及び／又はダイオードの電流がオフに切り替わった時にフリーホイールダイオードを保護することが望ましい。適切なスナバ回路又は回路網は、それぞれの場合に、保護されるべき部品と並列に配されるもので、当業者に既知である。
【００１４】
ダイオードは、直流電源及び共振回路の間の充電スイッチと直列に接続されることが望ましい。前記ダイオードは、共振回路へ電流を流入させるが、充電スイッチに電流が流れるのを防ぐ。代案として、このダイオードは、電荷を直流電源へ戻す逆方向ダイオードをスイッチと並列に挿入することにより省略して良い。充電コンデンサの電荷は直流電源へ戻されるので、このような構成は、出力に接続された放電ランプの非点灯に影響しない。この例では、充電曲線は、充電コンデンサの電圧の電圧安定期を示さないので、ランプの点灯時間は非常に小さいジッタしか示さない。
【００１５】
本発明の更に別の実施例では、上位の閉ループ制御回路が設けられる。上位の閉ループ制御回路は、制御手段を作動し、切り替え時間が所望の設定点変数からずれている場合に、そのずれを最小化するよう切り替え時間を変化させる。閉ループ制御回路の入力変数として、比較器は、前記充電コンデンサの放電時間に近い前記共振回路のゼロ電流の時間を決定し、設定点変数として予め設定された放電時間と比較する。
【実施例】
【００１６】
本発明は、図示された実施例を参照し更に説明されるが、本発明は、これらの図に限定されるものではない。
【００１７】
本装置は、放電ランプ７を点灯する電源装置としての用途を参照して詳細に説明される。充電コンデンサ６は、直流電圧を出力する電源により出力電圧Ｕ１を供給される。直流電圧の時間安定性に関する要件は厳しくなく、電圧は、充電コンデンサ６の充電時間より有意に長時間をかけて変化するとする。従って、例えば、直流電圧は三相変圧器及び整流器を用いて生成されて良い。更に、直流電源１は、充電コンデンサ６から例えば１０ｍ以上の充分な距離を置いて良い。従って、電源装置又は充電装置の実際の電力部分のために、ランプ部分に必要とされる空間は少ない。
【００１８】
直流電源１の１つの電極は、充電スイッチ２（Ｓ１）と接続される。充電スイッチ２（Ｓ１）は、状況に応じてダイオード３（Ｄ１）と直列に接続される。充電スイッチ２は、例えば、電界効果トランジスター（ＭＯＳＦＥＴ）又はＩＧＢＴ（絶縁ゲート・バイポーラ・トランジスター）で良い。充電スイッチ２は、補助回路１４によりオンとオフを切り替えられる。補助回路１４はまた、例えば過大電流又は高温から素子を保護する。付加回路１２は、電流がオフに切り替わる時に、充電スイッチ２を保護するよう機能する。このようなスナバ回路は、例えば非特許文献１に記述されている。
【００１９】
直列接続の次に共振回路が接続され、共振回路の第２の端子は直流電源１の第２の電極に接続される。共振回路は、コイル５（Ｌｒ）及び充電コンデンサであるコンデンサ６（Ｃｒ）を有する。フリーホイールダイオード４（ＤＦ）は、充電スイッチ２が開いている時に電流を流すよう機能する。フリーホイールダイオード４と並列に、スナバ回路１３が配される。スナバ回路１３は、ダイオードの電流がオフに切り替わる時に、ダイオード４を保護するよう機能する。
【００２０】
放電ランプ７は、充電コンデンサ６と並列に接続される。放電ランプ７は、内部電気抵抗及び内部インダクタンスを有する。これら２つの量は、放電の間、時間とともに変化する。放電ランプ７は、放電が行われる少なくとも２つの電極の間に、ガス又は混合ガス、例えばアルゴン又はキセノンで満たされた、又は金属蒸気で満たされた室を有する。放電ランプ７は、決められた時間に外部装置１０を経由して点灯される。ランプ又は充電コンデンサ６と並列に、抵抗８（ＲＥ）及びスイッチ９（ＳＥ）が直列に配される。抵抗８及びスイッチ９の直列接続は、充電コンデンサ６を完全に放電するための放電回路を形成する。
【００２１】
制御手段２０は、例えば直流電源１の出力電圧Ｕ１又は放電ランプ７の電圧Ｕ２の電圧の瞬時値、及び回路内の電流、例えば共振回路の電流及び／又は充電スイッチ２を流れる電流の瞬時値を検出する。更に、制御手段２０は、充電動作に影響する場合、装置の種々の素子の温度を測定できる。これら全ての変数及びこの用途における所定の値（Ｕ１＊）、例えばパルスエネルギー、ランプ出力及び又は点灯時間に基づき、スイッチ２、９は、制御手段２０により作動させられる。
【００２２】
この電源装置の動作モードは、図２を参照して説明される。時刻ｔ０において、電圧Ｕ１は、直流電源１により与えられた初期値を示す。充電スイッチ２は、時刻ｔ１で閉じられる。そして共振回路素子Ｌｒ及びＣｒで、共振が生じる。共振期間は、素子Ｌｒ及びＣｒの値から決まる。正弦波電流は理想的に充電スイッチ２を流れる。この電流の最大値は印加電圧Ｕ１、共振回路のインピーダンス及び時刻ｔ１におけるコンデンサ６（Ｃｒ）の電圧により決まる。時刻ｔ２において、充電スイッチ２はオフに切り替わる。時刻ｔ２において、充電コンデンサ６の電圧は、０ボルトと最大で入力電圧Ｕ１の２倍の間の値であると想定される。電流が転流する間、コンデンサの電圧Ｕ２は更に上昇する。コイル５（Ｌｒ）に流れる電流が０になると、充電過程は終了する。スイッチ２（Ｓ１）を開け、更なる共振を止める。
【００２３】
充電コンデンサ６の電圧Ｕ２が最終値まで上昇すると、時刻ｔ３において、点灯手段１０により放電ランプ７が点灯される。点灯は、補助電極を通じて又はレーザーインパルスにより電気的に作動されて良い。充電コンデンサ６が放電される間、放電ランプ７内の気体は電離し、これにより短波長の光が生成される。生成された光の波長は、電離した気体の成分、圧力及びランプ本体の温度により影響されて良い。
【００２４】
充電回路の電流が０の時、つまり最大電圧の時、ランプを経由し放電されることが望ましい。従って回路にはエネルギーが殆ど残らないので、次の充電過程を妨げたり気体放電特性を低下させたりしない。この切り替え時間は、本発明によると、リアルタイム制御手段により決定される。リアルタイム制御手段は、事前にｔ１及びｔ２の適切な値を計算し、充電スイッチ２を作動できる。このように、充電コンデンサ６の電圧は、正確に所望の点灯時刻ｔ３において最大値に達することが保証される。またこの最大値は所望の設定値に相当する。
【００２５】
放電段階の後、充電コンデンサ６の電圧は、小さい残留電圧を示す。続く充電過程で、この残留電圧の値は、コンデンサ６に充電される電圧に影響する。従って、この電圧値は、次の充電過程の前に所定の量であることが有用である。本発明によると、これは放電回路の形式の付加回路により保証される。この放電回路は図１に例として示される。この放電回路は、抵抗８（ＲＥ）及びスイッチ９（ＳＥ）を有する。スイッチ９（ＳＥ）には、例えばＭＯＳＦＥＴ又はＩＧＢＴを用いて良い。直列接続された抵抗８は、電流を制限する。以上に説明された放電回路が、放電段階の直後にランプを経由してスイッチ９をオンに切り替えることにより時刻ｔ４及びｔ５の間で作動された場合、充電コンデンサ６（Ｃｒ）の残留電圧は、制御手段２０により所定の値に放電される。このように、続く充電段階の開始時に、初期条件が整う。
【００２６】
電源装置のこの動作モードは、図２の左側部分を参照し理解される。図２の左側部分は、充電スイッチ２を流れる電流Ｉ１の特性及び充電コンデンサ６の電圧Ｕ２の特性を、対応する時刻ｔ１乃至ｔ５と共に示す。
【００２７】
付加回路又は放電回路はまた、さらに高速放電を達成するよう拡張されても良い。これは、例えば、放電が追加電源によりスイッチ９と放電ランプ７の間で加速される場合に有効である。ランプの放電動作が充電コンデンサに如何なる残留電圧も生じない又は僅かな残留電圧しか生じない場合、上述の付加回路又は放電回路は、勿論省略することも可能である。残留電圧は、例えば時刻ｔ０において測定されて良く、切り替え時刻ｔ１及びｔ２を計算するリアルタイム制御手段により利用されて良い。
【００２８】
放電ランプ７及び共振回路の電気特性の構成に依存して、動作中にランプ電流の極性反転が生じても良い。ランプの適切な電極系構造を通じて、比較的広い電極表面に電流が分布できる間は、電極で強く局部的に電流の極性反転が生じた後に、しばしば電流が上昇する。このように、電極表面の出力密度は非常に高く、電極材料の溶解が生じ、ランプの故障に繋がるかも知れない。ランプ電流の極性反転は、適切な共振回路素子の利用及び点灯時間における適切な電圧Ｕ２の供給により防ぐことができる。
【００２９】
本発明の更に別の実施例では、共振回路は従って、ランプ電流が非周期的な共振に対応する放電段階の特性に適応するよう構成される。この場合、充電コンデンサに蓄えられるエネルギーは、理想的に完全にランプで変換される。
【００３０】
当業者は、この目的のために、共振回路を改良して良い。つまり、共振回路を誘導性及び容量性素子に分け、並列及び直列に接続される素子を有する回路を形成するようにして良い。この接続により、長時間に亘り放電ランプ内の気体を電離させるよう、電流パルスの形状を変化させる。同時に、例えばランプの寿命に好ましくない影響を与える電流の不要な電極反転のような、ランプ内の混乱を防止する。また、時間経過に伴い電流特性に影響する電気回路素子を充電コンデンサとランプの間に更に接続できる。例えば、電離気体を形成するエネルギーをより適切に供給するために、磁気飽和素子を用い、電流の増加を容易に遅延できる。
【００３１】
望ましくは、デジタル制御手段２０は、本発明の電源装置の基本的な構成要素である。制御手段２０は、上位の制御装置から、次の点灯パルスの正確な時刻ｔ３及び光量に関する所定の値を受信する。これらの所定の値に基づき、制御手段２０は、スイッチＳ１及びＳＥの切り替え時刻ｔ１、ｔ２、ｔ４及びｔ５を決定し、これらの時刻を充電装置の切り替え素子へ送り、又はこれらの時刻にスイッチを作動する。図２の右側部分から明らかなように、ランプ電圧は、充電期間ｔＬ＝ｔ１−ｔ２を短縮することにより制御されて良い。充電コンデンサ６の充電時間を短縮すると、充電コンデンサ６に印加される電圧は、放電の開始時点で降下する。充電コンデンサ６に必要な電圧又はエネルギーが設定されると、制御手段２０内のデジタル電子計算機器は、リアルタイムに各スイッチが次のパルスまでにオン及びオフに切り替わる時間を決定する。このタイムクリティカルな計算は、近似アルゴリズム、例えば線形又は二次近似を用い、又は計算され及びこの電源装置の前に適用された表を用いて実行されて良い。計算及びそれに基づく充電過程の間、例えばリアクタンス又はランプの残留伝導率の変化のような妨げとなる変化量が考慮され、これらの影響は補償される。従って、例えば、充電コンデンサ６の温度Ｃ（Ｔ）における容量の変化が考慮されて良い。充電特性（電圧及び電流又は電荷）のような電気的変化量を測定することにより、共振回路の特性の変化量Ｌ及びＣが決定され、充電時間又は切り替え時間が最適化される。充電コンデンサ６の電荷を決定するために、積算電流計が用いられる。例えば、容量は、充電コンデンサ６の電圧を測定することにより決定される。
【００３２】
直流電源１は、非常に安定している必要はない。変圧器からの整流された三相電流は、例えば、本発明の目的には充分であろう。これにより本発明の電源装置は、コスト効率良く実施できる。充電コンデンサ６の充電時間を用い測定される電圧Ｕ１は、比較的ゆっくりと変化する。電圧Ｕ１は、例えば、制御手段２０により実行される計算の開始時、例えば時刻ｔ０に、アナログ・デジタル変圧器を用い直接測定されて良い。また、デジタル電子計算機器に、切り替え時間の計算を考慮するようにする。
【００３３】
本発明の電源装置はまた、上位の閉ループ制御回路により修正動作を拡張する。修正動作では、比較器は放電時間に近いゼロ電流を検出し、制御アルゴリズムに供給する。前のパルスのゼロ電流が放電時間の前に生じた場合、制御アルゴリズムは、制御手段２０により計算された切り替え時間を戻す。また前のパルスのゼロ電流が放電時間の後に生じた場合、制御アルゴリズムは、切り替え時間を先に進める。このように、インダクタンスの変化は、例えば温度の上昇から生じ、補償される。
【００３４】
図１に示される電源装置の構成を参照し、本発明の実施例を説明したが、当業者は、電源装置の個々の要素の構成は、個別に又は本発明の構成と異なるが本発明に基づく電源装置の中で組み合わせて用いられて良いことを理解するだろう。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に従い構成された充電装置の例を示す。
【図２】装置の２つの異なる動作モードにおける、電流及び電圧波形の２つの例を示す。
【符号の説明】
【００３６】
１  直流電源
２  充電スイッチＳ１
３  ダイオードＤ１
４  フリーホイールダイオードＤＦ
５  コイルＬｒ
６  充電コンデンサＣｒ
７  放電ランプ
８  放電回路の抵抗ＲＥ
９  放電回路のスイッチＳＥ
１０  放電ランプの点灯手段
１２  放電スイッチのスナバ回路
１３  フリーホイールダイオードのスナバ回路
１４  充電スイッチを作動する補助回路
２０  制御手段
【図１】
2006339149.tif 000003
【図２】
2006339149.tif 000004