(57)【要約】      （修正有）【課題】窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜を形成するための、セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板及び該単結晶薄膜が形成されている薄膜基板を実現し、さらに発光効率に優れた発光素子などの電子素子を提供する。【解決手段】基板としてセラミック材料を主成分とする焼結体、特に光透過性の焼結体を用いることでその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性の高い単結晶薄膜が形成され、また、結晶性の高い単結晶薄膜が形成された薄膜基板を製造する。さらに、この薄膜基板を用いることにより発光効率に優れた発光素子などの電子素子を製造することができる。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、及び窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも１種を主成分とする薄膜が形成される電子素子であって、前記薄膜は単結晶薄膜を少なくとも含みかつ無定形薄膜、多結晶薄膜、及び配向性多結晶薄膜から選ばれた少なくともいずれかを含むものであることを特徴とする電子素子。
【請求項２】
前記薄膜は、無定形薄膜、多結晶薄膜、及び配向性多結晶薄膜から選ばれた少なくともいずれかの上に単結晶薄膜が形成されるものであることを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項３】
前記薄膜は、単結晶薄膜の上に単結晶薄膜が形成され上に形成される単結晶薄膜の結晶性はその下の単結晶薄膜の結晶性と同等あるいはそれ以上に優れているものであることを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項４】
前記単結晶薄膜は、ロッキングカーブの半値幅が３６００秒以下であることを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項５】
前記配向性多結晶薄膜は、ロッキングカーブの半値幅が３６００秒以上であることを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項６】
前記無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜、及び単結晶薄膜から選ばれた少なくともいずれかの上に形成される単結晶薄膜は、ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下であることを特徴とする請求項２又は３に記載された電子素子。
【請求項７】
前記ロッキングカーブの半値幅は、ωスキャンあるいは２θ／θスキャンのうち少なくともいずれかにより測定されるものであることを特徴とする請求項４、５又は６に記載された電子素子。
【請求項８】
前記スキャンは、（００２）面での回折を用いて行われることを特徴とする請求項７に記載された電子素子。
【請求項９】
前記焼結体は、光透過性を有するものであることを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項１０】
前記焼結体は、窒化アルミニウムを主成分とするものであることを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項１１】
前記焼結体は、六方晶系又は三方晶系から選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有するセラミック材料を主成分とするものであることを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項１２】
前記セラミック材料は、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、炭化珪素、窒化珪素、及び窒化ガリウムから選ばれた少なくとも１種を有することを特徴とする請求項１１に記載された電子素子。
【請求項１３】
前記焼結体は、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、酸化硼素、及び酸化珪素から選ばれた少なくとも１種のセラミック材料を主成分とするものであることを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項１４】
前記焼結体は、結晶質又は非晶質から選ばれた少なくともいずれかの状態のセラミック材料を主成分とするものであることを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項１５】
窒化ガリウム、窒化インジウム、及び窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも１種を主成分とする薄膜が、窒化ガリウム、窒化インジウム、及び窒化アルミニウムから選ばれた成分を合計５０モル％以上含有することを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項１６】
窒化ガリウム、窒化インジウム、及び窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも１種を主成分とする薄膜が、マグネシウム、ベリリウム、カルシウム、亜鉛、カドミウム、炭素、珪素、ゲルマニウム、酸素、セレン、及びテルルから選ばれた少なくとも１種の成分を含有することを特徴とする請求項１に記載された電子素子。
【請求項１７】
マグネシウム、ベリリウム、カルシウム、亜鉛、カドミウム、炭素、珪素、ゲルマニウム、酸素、セレン、及びテルルから選ばれた少なくとも１種の成分の含有量が０．００００１モル％〜１０モル％の範囲であることを特徴とする請求項１６に記載された電子素子。
【請求項１８】
セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、及び窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも１種を主成分とする薄膜が形成される薄膜基板であって、前記薄膜は単結晶薄膜を少なくとも含みかつ無定形薄膜、多結晶薄膜、及び配向性多結晶薄膜から選ばれた少なくともいずれかを含むものであることを特徴とする薄膜基板。
【請求項１９】
前記薄膜は、無定形薄膜、多結晶薄膜、及び配向性多結晶薄膜から選ばれた少なくともいずれかの上に単結晶薄膜が形成されるものであることを特徴とする請求項１８に記載された薄膜基板。
【請求項２０】
前記薄膜は、単結晶薄膜の上に単結晶薄膜が形成され上に形成される単結晶薄膜の結晶性はその下の単結晶薄膜の結晶性と同等あるいはそれ以上に優れているものであることを特徴とする請求項１８に記載された薄膜基板。
【請求項２１】
前記無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜、及び単結晶薄膜から選ばれた少なくともいずれかの上に形成される単結晶薄膜は、ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下であることを特徴とする請求項１９又は２０に記載された薄膜基板。
【請求項２２】
前記薄膜は、単結晶薄膜を少なくとも１層含む少なくとも２以上の層からなることを特徴とする請求項１８に記載された薄膜基板。
【請求項２３】
単結晶薄膜を表面に有することを特徴とする請求項１８に記載された薄膜基板。
【請求項２４】
窒化ガリウム、窒化インジウム、及び窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも１種を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板であって、前記基板は窒化ガリウム、窒化インジウム、及び窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも１種を主成分とする無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜、及び単結晶薄膜から選ばれた少なくともいずれかを形成するセラミック材料を主成分とする焼結体であることを特徴とする基板。
【請求項２５】
前記窒化ガリウム、窒化インジウム、及び窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも１種を主成分とする無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜、及び単結晶薄膜から選ばれた少なくともいずれかを形成するセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される単結晶薄膜は、ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下であることを特徴とする請求項２４に記載された基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜を形成するためのセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、前記薄膜が形成されている薄膜基板、及びこのような基板を用いて作製される電子素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、発光ダイオード（ＬＥＤ）あるいはレーザーダイオード（ＬＤ）などさまざまな半導体素子がディスプレイ、照明装置、光通信、記憶装置用などの光源に用いられるようになった。このような半導体素子の中で窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とし、該成分をドーピングによりＰ及びＮ型半導体化したIII−Ｖ族窒化物単結晶薄膜層及び量子井戸構造などの発光層の少なくとも３層以上からなるIII−Ｖ族窒化物薄膜を例えばサファイアなどの基板上に主にエピタキシャル成長させた緑青色〜青色〜青紫色〜紫外線を発光する素子が開発されて来ている。上記の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなり少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体により構成される発光素子（以下本発明において特に断らない限り単に“発光素子”という）は信号機、液晶用バックライト、白熱電球や蛍光灯に代わる一般照明用などの光源や、高容量光ディスク装置のレーザー光源などに使用されている。用途によって発光素子からの光をそのまま使用するか、蛍光体を用いて相互作用により白色光に変換して用いられる。該発光素子は通常上記各窒化物あるいは各窒化物混晶のＰ型半導体及びＮ型半導体と発光層とから形成された二端子素子（ダイオード）構造で直流電力を印加することで駆動する。    
【０００３】
このような発光素子を高出力レーザーの光源として用いたり、一般照明の光源として用いるなど発光素子の高出力化が始まっている。発光素子をこのような用途に用いようとするとき発光素子を形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル膜を主体とする薄膜を形成するための基板が問題となってきている。すなわち従来から用いられているサファイア基板は単結晶ではあっても発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムとは結晶構造や熱膨張率などが異なりそのためサファイア基板の上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が良好な結晶性を有するものになりにくく、ようやく近年の研究で高い結晶性の単結晶薄膜として形成できるようになった。しかしながらたとえ高い結晶性の単結晶薄膜であってもサファイア基板と該薄膜との間の結晶格子不整合性や熱膨張率の違いによって該薄膜中には結晶転位やひずみが生じ易いのでこのような薄膜を用いて製造される発光素子は製造歩留まりが低下に結びつき易く、発光素子の発光効率向上あるいはレーザー発振の高出力化や長寿命化などの特性向上の達成も困難である。また、サファイア基板は単結晶であるので製造コストも高くその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が広範な用途に使用できにくいという問題もある。
【０００４】
また一方では本発明による発光素子あるいは従来からのレーザーダイオード及び発光ダイオードからの光を所望の強さ、距離、位置に導くための光導波路も従来からさまざまなものが提案されてきている。通常ＬｉＮｂＯ３、シリコンなどの結晶基板、あるいは石英ガラスなどのガラス基板に高屈折率部を形成することで得られる。従来からの光導波路は青色光、紫外線などの波長の短い光に対する透過性が低かったり、基板の電気絶縁性が小さいために光導波路が形成されている基板上に電気回路を同時に形成しにくかったり、あるいは基板の熱伝導率が低いために光導波路が形成されている基板上に高出力の発光素子を同時に搭載できにくい、などの問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように従来からのサファイア基板を用いその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は近年比較的高い結晶性の単結晶薄膜として形成できるようになってきた。しかしながらサファイア基板を用いその上に形成される薄膜により構成される発光素子の発光効率は低く通常２％〜８％程度であり素子を駆動させるために加えられる電力の９２％〜９８％が光に変換されず例えば熱などとなって無駄に消費されており本来のIII−Ｖ族窒化物半導体の有する発光特性が十分に発現されていない。その原因は発光素子を構成する薄膜がサファイア基板上にたとえ高い結晶性の単結晶薄膜として形成できたとしてもサファイア基板と該薄膜との間の結晶格子不整合性や熱膨張率の違いによって該薄膜中には結晶転位やひずみが生じ易く、さらにサファイア基板は薄膜状の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムと比べても屈折率が小さく、また透明で均質なバルク単結晶であるため発光素子から発した光の多くはサファイア基板と上記薄膜との界面やサファイア基板の表面で反射されて発光素子内部に戻り閉じ込められ易いためであろうと思われる。
そのため窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル膜を含む薄膜を形成し発光素子を製造するための基板材料に関して従来のサファイアに代わって炭化珪素、シリコンなどを主成分とする単結晶基板材料が提案されている。炭化珪素単結晶を基板として用いる例として例えば特開平１０−２７９４７あるいは特開平１１−４０８８４などの方法が提案されている。シリコン基板としては例えば特開平１０−２１４９５９などの方法が提案されている。しかしながらこれらの基板を用いてもやはり窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜と結晶構造や格子定数が異なるなどの理由で該基板上に良好な単結晶薄膜が形成されにくい。さらに特開平９−１７２１９９には従来からの単結晶基板の持つ問題点を解決すべく単結晶基板に代わって石英ガラスなどのガラス基板、多結晶シリコンなど焼結法により作製した基板を用いる方法が提案されている。しかしながらこの方法は基板上に窒化ガリウム系化合物半導体層を形成する前に酸化亜鉛や酸化水銀などのII族元素の酸化物からなる膜材料を形成しなければならないがその効果は必ずしも明確にされていない。このようなII族元素の酸化物を形成した基板を用いた場合そこに形成される窒化ガリウム系化合物半導体を構成する薄膜の結晶性は必ずしも明確でなく作製される半導体素子の発光効率などの特性に関しても明確でなく結局問題解決には至っていない。上記のように従来からのサファイアや炭化珪素などの単結晶基板に代わり窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする良質な単結晶薄膜が形成できる基板が求められているが実現できていない。また、上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする良質な単結晶薄膜を形成した薄膜基板が求められているが実現できていない。
このように従来からのサファイア基板を用いて作製される発光素子は発光効率が低く本来のIII−Ｖ族窒化物半導体の有する発光特性を十分に発現できているとは云いがたく、少なくともサファイア基板を用いて作製される発光素子の発光効率と同等以上のものが求められているが上記のようにサファイア基板に代わりその欠点を改善するために提案されてきた基板を用いて作製される発光素子もサファイア基板を用いて作製される発光素子より発光効率が向上しているとはいえず本来のIII−Ｖ族窒化物半導体の有する発光特性が十分に実現できていないという問題があった。
【０００６】
また、一方発光素子からの青色光、紫外線などの波長の短い光を所望の強さ、距離、位置に導くための光導波路として例えば特許第３１１９９６５に記載される方法が提案されている。この提案はシリコン、サファイアなどからなる単結晶基板に窒化アルミニウム薄膜による光導波路を形成する方法が開示されているが、青色光、紫外線などの波長の短い光の伝送性を得るために酸窒化アルミニウムやサイアロンなどからなるバッファ層を設ける必要がある。このような工夫はおそらく基板材料のシリコン、サファイアと窒化アルミニウムとの間に結晶格子不整合性や熱膨張率の違いがありその結果高い結晶性の窒化アルミニウム薄膜の形成が困難であり導波路の伝送損失が大きくなるためであろうと推測される。また、格子不整合性や熱膨張率の違い以外にもシリコン基板を用いた場合直接形成された窒化アルミニウム薄膜の屈折率がシリコンに比べて小さいため窒化アルミニウム薄膜中で光の全反射が生じないため導波路として機能しないことも大きな原因であろうと推測される。さらに、基板にシリコンを用いた場合電気絶縁性が小さくかつ誘電率が高いので直接基板上に電気回路が形成できにくく、発光素子が基板上に一体となって搭載できにくいという問題がある。また、基板にサファイアを使用する場合熱伝導率が小さいので高出力発光素子を搭載した場合放熱性に問題が生じる。
したがって、発光素子からの青色光、紫外線などの波長の短い光を透過し、素子駆動用などの電気回路が形成され、高出力発光素子が搭載可能な光導波路は満足なものが得られていないという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記に示したような課題を解決するためになされたものである。本発明者は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を中心に各種セラミック材料を主成分とする焼結体を検討し該セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜がクラックや剥離などがなく強固に固着した状態で直接形成できることを見出し特願２００２−３６２７８３、特願２００３−１８６１７５、特願２００３−２９４２５９等にて提案してきた。また今回上記のように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る窒化アルミニウムなどのセラミック材料を主成分とする焼結体には無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜など必ずしもエピタキシャル成長した単結晶薄膜ではない窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜であってもクラックや剥離などがなく強固に固着した状態で直接形成できることを見出した。さらにこのような各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成したセラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いこの基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を成長させた時クラックや剥離などがなく強固に固着した状態で形成でき、得られる該単結晶薄膜は窒化アルミニウムなどのセラミック材料を主成分とする焼結体に直接形成した単結晶薄膜より結晶性が優れていること、などを見出した。
また本発明において光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体にはより結晶性の優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得ることが見出された。光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体には無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜など必ずしもエピタキシャル成長した単結晶薄膜ではない窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜も形成し得る。このような各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成した光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いればその上にはさらに結晶性の優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得ることが見出された。
このように本発明においてセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜を形成できることが見出され、またセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いることで上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜を形成した薄膜基板が得られることが見出された。
上記の薄膜を形成していないセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体、あるいは上記セラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板を用いることで従来からのサファイア基板を用いて作製される発光素子と比較して少なくとも同等以上、最大４〜５倍以上の発光効率を有する発光素子が製造できる。さらに上記薄膜基板を用いることで伝送損失が小さくかつ紫外光の伝送が低損失で可能な光導波路が製造できることが明らかとなった。また本発明において表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体にはエピタキシャル成長した単結晶薄膜及び無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜など各種結晶状態の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成し得ることが見出された。このような表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体を用いることで従来からのサファイア基板を用いて作製される発光素子と比較して少なくとも同等以上の発光効率を有する発光素子が作製し得ることも見出された。
本発明において、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜状の単結晶とセラミック材料を主成分とする焼結体とは強固に一体化し、単結晶及びセラミック材料を主成分とする焼結体のそれぞれ単独ではなし得ない相乗効果を有する薄膜基板が実現し得ることが見出された。またこのようにセラミック材料を主成分とする焼結体と一体化された薄膜状の単結晶であっても従来からのサファイアや炭化珪素などの塊状やバルク状単結晶と同等かそれに近い高い結晶性を有するものが作製できることが見出された。
本発明において、発光素子などの電子素子、あるいは回路基板などの電子部品を作製する上で従来からのサファイアや炭化珪素などの塊状やバルク状などそれ自体独立で単結晶として存在し使用される材料では実現が困難であった特性を有する基板が窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた薄膜状の単結晶とセラミック材料を主成分とする焼結体とを強固に一体化し、単結晶及びセラミック材料を主成分とする焼結体のそれぞれ単独ではなし得ない相乗効果を引き出すことにより実現し得ることが見出された。
【０００８】
本発明者はその他に、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、窒化ガリウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体には酸化水銀などのII族元素の酸化物膜材料などを介在させなくとも窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成し得ること、特に特定の表面状態あるいは表面粗さのものを用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性の高い単結晶薄膜を形成できることを見出した。また、上記六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したものはその上により結晶性のすぐれた単結晶薄膜が形成できることを見出した。
また、上記六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体のなかで特定の組成を有する酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、窒化ガリウムを主成分とするものは単結晶薄膜を形成するために優れていることを見出した。また光透過性に優れたものが得られるので発光素子を作製するための基板として好ましいことを見出した。上記酸化亜鉛を主成分とする焼結体としてアルミニウム成分を含むもの、及び窒化ガリウムを主成分とする焼結体は導電性でかつ光透過性を有するのでこのような酸化亜鉛を主成分とする焼結体及び窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いれば発光効率の優れた発光素子が簡易な製造工程で作製し得ることを見出した。
本発明は上記のような炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなることを特徴とする薄膜形成用基板を含み、さらに六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板も含む。
また、本発明者はこのような炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体、あるいは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜があらかじめ形成された炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子を含み、該発光素子の発光効率は少なくともサファイア基板を用いて作製される発光素子と比較して少なくとも同等以上、最大３〜４倍以上のものが製造できることを見出した。
【０００９】
また本発明者はその他に、例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したものはその上により結晶性のすぐれた単結晶薄膜が形成できることを見出した。上記の酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したものはその上に結晶性のすぐれた単結晶薄膜が形成できることを見出した。また、これらの各種セラミック材料を主成分とする焼結体は比較的容易に光透過性を有するものが作製できることも見出した。
また、本発明者は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体だけでなく例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などのセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子の発光効率は少なくともサファイア基板を用いて作製される発光素子と比較して少なくとも同等以上、最大２〜３倍以上のものが製造できることを見出した。
その他にも本発明者は比較的凹凸の多い表面状態のセラミック材料を主成分とする焼結体、言い換えれば表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子は同じセラミックを主成分とする材料であっても表面粗さの小さいものを用いて作製される発光素子に比べて発光効率が向上し易いことを見出した。
本発明は上記のようにセラミック材料を主成分とする焼結体からなることを特徴とする窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための薄膜形成用基板を含み、さらにセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板も含む。
また、本発明は上記のように光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなることを特徴とする窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための薄膜形成用基板を含み、さらに光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板も含む。
また、本発明は上記のように窒化アルミニウム及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するものだけでなく例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などのセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子も含む。
【００１０】
このように本発明は窒化アルミニウム及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するものだけでなく例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などのセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子も含む。
また、本発明は上記のように窒化アルミニウム及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するものだけでなく例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子も含む。
また、本発明は上記のように窒化アルミニウム及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するものだけでなく例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子も含む。
また、本発明は上記のように窒化アルミニウム及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するものだけでなく例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されたセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子も含む。
また、本発明は上記のように窒化アルミニウム及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するものだけでなく例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子も含む。
【００１１】
本発明は上記のように単結晶あるいは特定の結晶方位を有する配向性多結晶に比べて不均質であるセラミック材料を主成分とする焼結体であっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成でき、その結果該単結晶薄膜が形成された薄膜基板が比較的容易に製造できることを見出すことによってなされた。なお、各種セラミック材料を主成分とする焼結体にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したものを用いても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする同様に単結晶薄膜が形成でき、その結果該単結晶薄膜が形成された薄膜基板が比較的容易に製造できる。
さらに、本発明者は上記のように単結晶あるいは特定の結晶方位を有する配向性多結晶に比べて不均質であるセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される発光素子であってもその発光効率は従来からのサファイアなどのバルク状単結晶基板を用いて作製される発光素子と比較して少なくとも同等以上、最大４〜５倍以上のものが製造できることを見出した。セラミック材料を主成分とする焼結体にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたものを用いて作製される発光素子であってもその発光効率はサファイア基板を用いて作製される発光素子と比較して少なくとも同等以上、最大４〜５倍以上のものが製造できることを見出した。
本発明者は上記のように鋭意研究した結果本発明を完成させるに至った。
【００１２】
すなわち本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板であって、該基板がセラミック材料を主成分とする焼結体からなることを特徴とする薄膜形成用基板、である。
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板であって、該基板が光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなることを特徴とする薄膜形成用基板、である。
また本発明は、上記薄膜形成用基板に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であることを特徴とする薄膜形成用基板、である。
また本発明は、上記薄膜形成用基板に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体であることを特徴とする薄膜形成用基板、である。
また本発明は、上記薄膜形成用基板に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする焼結体であることを特徴とする薄膜形成用基板、である。
また本発明は、上記薄膜形成用基板に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラスのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする焼結体であることを特徴とする薄膜形成用基板、である。
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板の製造方法であって、該基板が原料として酸化アルミニウムの還元法によるもの及び金属アルミニウムの直接窒化法によるもののなかから選ばれたいずれかをそれぞれ単独で用いるかあるいは酸化アルミニウムの還元法によるもの及び金属アルミニウムの直接窒化法によるものを混合して用いるか少なくともいずれかの原料を用いて製造される窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなることを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法、である。
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板の製造方法であって、該基板が窒化アルミニウムを主成分とする粉末成形体又は焼結体を非酸化性雰囲気中１５００℃以上の温度で１０分間以上焼成することで得られる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなることを特徴とする薄膜形成用基板の製造方法、である。
また本発明は、希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が元素換算で合計０．５重量％以下、酸素含有量が元素換算で０．９重量％以下、結晶相としてＡｌＮを９５％以上、窒化アルミニウム粒子の大きさが５μｍ以上、かつ光透過性を有することを特徴とする窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、である。
また本発明は、少なくともアルミニウム成分を含みかつ光透過性を有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体、である。
また本発明は、光透過性を有することを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする焼結体、である。
また本発明は、導電性を有することを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする焼結体、である。
また本発明は、光透過性を有しかつ導電性を有することを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする焼結体、である。
また本発明は、アルカリ土類金属及び希土類元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有することを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする焼結体、である。
また本発明は、亜鉛、カドミウム、ベリリウム、マグネシウム、炭素、珪素、ゲルマニウム、セレン、及びテルルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有することを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする焼結体、である。
また本発明は、アルミニウム、インジウム、及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有することを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする焼結体、である。
また本発明は、遷移金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有することを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする焼結体、である。
また本発明は、酸素含有量１０重量％以下の窒化ガリウムを主成分とする粉末、である。
また本発明は、平均粒径１０μｍ以下の窒化ガリウムを主成分とする粉末、である。
また本発明は、金属ガリウムと窒素含有物質とを窒化反応せしめることを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする粉末の製造方法、である。
また本発明は、酸化ガリウムを還元剤及び窒素含有物質とを用いて窒化反応せしめることを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする粉末の製造方法、である。
また本発明は、気体状のガリウム化合物を窒素含有物質と窒化反応せしめることを特徴とする窒化ガリウムを主成分とする粉末の製造方法、である。
また本発明は、セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、である。
また本発明は、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、である。
また本発明は、上記薄膜基板に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であることを特徴とする薄膜基板、である。
また本発明は、上記薄膜基板に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体であることを特徴とする薄膜基板、である。
また本発明は、上記薄膜基板に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする焼結体であることを特徴とする薄膜基板、である。
また本発明は、上記薄膜基板に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラスのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする焼結体であることを特徴とする薄膜基板、である。
また本発明は、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により光導波路が形成されていることを特徴とする薄膜基板、である。
また本発明は、セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成した薄膜基板の製造方法であって、該薄膜がガリウム、インジウム、アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む有機化合物を主原料としアンモニア、窒素、水素のうちから選ばれた少なくとも１種以上を反応ガスとして形成されるものであることを特徴とする薄膜基板の製造方法、である。
また本発明は、セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成した薄膜基板の製造方法であって、該薄膜がガリウム、インジウム、アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むハロゲン化物を主原料としアンモニア、窒素、水素のうちから選ばれた少なくとも１種以上を反応ガスとして形成されるものであることを特徴とする薄膜基板の製造方法、である。
また本発明は、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成した薄膜基板の製造方法であって、該薄膜がガリウム、インジウム、アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含む有機化合物を主原料としアンモニア、窒素、水素のうちから選ばれた少なくとも１種以上を反応ガスとして形成されるものであることを特徴とする薄膜基板の製造方法、である。
また本発明は、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成した薄膜基板の製造方法であって、該薄膜がガリウム、インジウム、アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むハロゲン化物を主原料としアンモニア、窒素、水素のうちから選ばれた少なくとも１種以上を反応ガスとして形成されるものであることを特徴とする薄膜基板の製造方法、である。
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分としさらにニオブ及びタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むことを特徴とする光導波路、である。
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体により構成される発光素子であって、該Ｎ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層の積層体がセラミック材料を主成分とする焼結体に形成されていることを特徴とする発光素子、である。
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体により構成される発光素子であって、該Ｎ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層の積層体が光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成されていることを特徴とする発光素子、である。
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体により構成される発光素子であって、該Ｎ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層の積層体が表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体に形成されていることを特徴とする発光素子、である。
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体により構成される発光素子であって、該Ｎ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層の積層体が窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたセラミック材料を主成分とする焼結体に形成されていることを特徴とする発光素子、である。
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体により構成される発光素子であって、該Ｎ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層の積層体が窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されたセラミック材料を主成分とする焼結体に形成されていることを特徴とする発光素子、である。
また本発明は、上記発光素子に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であることを特徴とする発光素子、である。
また本発明は、上記発光素子に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体であることを特徴とする発光素子、である。
また本発明は、上記発光素子に用いられる六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体であり該六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体が酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする焼結体であることを特徴とする発光素子、である。
また本発明は、上記発光素子に用いられるセラミック材料を主成分とする焼結体が酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラスのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする焼結体であることを特徴とする発光素子、である。
上記本発明について項１〜項１７２７において詳細を説明した。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜あるいは各種結晶状態の薄膜が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、あるいは各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の上に形成できることが示された。この単結晶薄膜は発光素子の一部として使用、あるいは光導波路として使用できる程度の高い結晶性を有する。このような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及び該基板に単結晶薄膜あるいは各種結晶状態の薄膜が形成された薄膜基板は、いずれの基板を用いてもその上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする窒化物半導体からなる発光素子が作製可能となった。この発光素子の発光効率は従来からのサファイアなどのバルク状単結晶基板を用いて作製される発光素子と比較して発光効率が少なくとも同等か、最大４〜５倍以上と大きく向上できた。したがって従来困難と考えられていた家庭用の照明などの一般照明に発光素子が用いられる道が実質的に開かれた。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成された窒化アルミニウムを主成分とする薄膜を用いることにより紫外光を低損失で伝送できる光導波路が作製できるようになった。このように本発明による窒化アルミニウムをはじめとする各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及び該基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜あるいは各種結晶状態の薄膜が形成された薄膜基板は、上記のような発光素子あるいは光導波路をはじめその他に薄膜をフィールドエミッション材料として用いたディスプレイ、表面弾性波素子、あるいは回路基板など広範な用途に応用できるので産業上に与える効果は大きい。
また、本発明による基板を用いて発光素子を製造する場合の効果をまとめるとは次の通りである。
１）基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が高いため発光素子の発光効率が高まる。
２）基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶方位を制御できる。
３）光透過率の高い基板を用いることができるので発光素子からの光が基板にあまり吸収されることなく素子外部に効率よく放出でき発光素子の発光効率が向上する。
４）基板の熱伝導率が高いので発光素子に高い電力が印加でき発光素子の発光出力を高めることができる。
５）基板の熱膨張率が窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜と近いので該単結晶薄膜に熱膨張率差による転位や亀裂などの発生が少なくなり発光素子の発光効率が高まる。
６）基板に上下面を電気的に接続するための導通ビアを設けることができ、さらに導電性の酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いることができるので発光素子のＰ及びＮ電極を素子の片面だけでなく素子の上下面に配置できる。したがって電極を形成するために素子の一部をエッチングする必要がなく、基板を切断するだけでそのまま素子が作製でき製造工程が簡略化される上にエッチング中に生じやすい素子のダメージの恐れが減少する。
７）窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする窒化物半導体からなる発光素子の発光効率が従来からのサファイアなどの単結晶基板を用いたものと少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に向上した上、基板がセラミック材料を主成分とする焼結体であるためより従来からのサファイアなどの単結晶基板を用いたものより安いコストで製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の意義と目的は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた薄膜状の単結晶とセラミック材料を主成分とする焼結体とを一体化することで単結晶及びセラミック材料を主成分とする焼結体それぞれ単独ではなし得ない相乗効果を引き出し、従来からのサファイアや炭化珪素などの塊状やバルク状などそれ自体独立で単結晶として存在し使用される材料では実現が困難であった優れた機能を有する基板及び該基板を用いた発光素子などの電子素子、あるいは回路基板などの電子部品を提供することにある。またこのような効果をもたらすセラミック材料を主成分とする焼結体を提供することにある。
本発明は大きく見ればセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた薄膜基板及び該基板を用いた電子素子に関するものであるがより詳しく見れば、１．窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板、２．上記単結晶薄膜形成用基板の材料、３．窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜が形成された薄膜基板、４．窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜により構成される光導波路、５．窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜により構成される発光素子、に関するものであり基板の材料として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体など各種セラミック材料を主成分とする焼結体を用いた点に特徴がある。
さらに本発明は、６．窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜を形成するための基板、７．上記薄膜形成用基板の材料、８．窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜が形成された薄膜基板、９．窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜により構成される光導波路、１０．窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜により構成される発光素子、に関するものであり基板の材料として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体など光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた点に特徴がある。
すなわち、上記１．〜１０．に関する発明は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体など各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜が形成できるという現象を見出すことによって実現され、さらに窒化アルミニウムを主成分とする焼結体など各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜を形成していく検討の過程で新たに見出された現象に基づいて完成されたものである。以下、上記１．〜１０．に示された本発明について詳細に説明していく。
【００１５】
上記のように本発明において薄膜形成用基板は、セラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなるが、さらに１）窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたセラミック材料を主成分とする焼結体、２）窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体、が含まれる。より具体的に言えば、３）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体をそのまま基板として用いたもの、４）六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体をそのまま基板として用いたもの、だけではなく５）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたものをさらに薄膜形成用基板として用いたもの、あるいは６）六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたものをさらに薄膜形成用基板として用いたもの、その他にも７）例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体をそのまま薄膜形成用基板として用いたもの、また８）例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたものをさらに薄膜形成用基板として用いたもの、なども含まれる。
本発明による薄膜形成用基板は上記のように、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板であって、該基板がセラミック材料を主成分とする焼結体からなるもの、及び窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板であって、該基板が光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなるもの、である。そのうちセラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されるものであるが、該セラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板には単結晶の他に無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものも形成し得る。
【００１６】
上記本発明による薄膜基板は、セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されていることを特徴とするもの、及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とするものであるがより具体的に言えば、１）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されたもの、あるいは２）六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されたもの、その他に３）例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されたもの、４）光透過性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたもの、あるいは５）光透過性を有する六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたもの、その他にも６）例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などを主成分とする光透過性を有する焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板を含む。
上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体、あるいは酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などのセラミック材料を主成分とする焼結体に形成されている窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は通常単結晶であるが、その他にも無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態のものも形成し得る。また、上記薄膜は単一層だけでなく例えば単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態のものをあらかじめセラミック材料を主成分とする焼結体に形成しさらにその上に単結晶薄膜を形成するといった２以上の層からなる薄膜も用いることができる。通常単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態のものをあらかじめ形成しさらにその上に形成した単結晶薄膜の結晶性はセラミック材料を主成分とする焼結体に直接形成したものより向上し易いので好ましい。
本発明において、上記薄膜基板を窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための薄膜形成用基板として用いることができる。
なお、上記セラミック材料を主成分とする焼結体として用いる結晶化ガラスとは例えば硼珪酸ガラス（通常ＳｉＯ２及びＢ２Ｏ３を主成分とし、その他にＡｌ２Ｏ３、ＣａＯ、ＢａＯ、ＰｂＯなどの成分を含む）などのガラス母体（ガラスマトリックス）中にコージエライト、アノールサイト（灰長石）、コランダム（Ａｌ２Ｏ３）、ムライト（３Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２）、ウォラストナイト（ＣａＯ・ＳｉＯ２）、珪酸マグネシウム（ＭｇＯ・ＳｉＯ２）などの結晶成分が存在している構造を有しているものである。結晶化ガラスは通常ガラス粉末に適宜アルミナ粉末、シリカ粉末、マグネシア粉末、炭酸カルシウム粉末、炭酸バリウム粉末、酸化硼素粉末、酸化鉛粉末などを加え、さらに要すればＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＳｎＯ２、ＺｎＯ、Ｌｉ２Ｏなどの成分を加えて混合し、一軸プレス法やシート成形法などで粉末成形体となし、その後焼成して上記粉末成形体を焼き固める方法により作製される。製造の際上記ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＳｎＯ２、ＺｎＯ、Ｌｉ２Ｏなどの成分を適宜加えたものを焼成すれば結晶化が促進される場合が多い。その他に結晶化ガラスは溶融して成形したガラス成形体を熱処理し、該ガラス成形体中に結晶を析出させる方法などによっても作製し得る。
【００１７】
本発明による薄膜形成用基板及び薄膜基板に用いるセラミック材料を主成分とする焼結体あるいは光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体における「セラミック材料」とは焼結体を構成する材料が無機材料を主成分とするものであることを意味する。該無機材料は通常金属元素及び半金属元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素と非金属元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素との組成物あるいは化合物、あるいは金属元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素と半金属元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素との組成物あるいは化合物、あるいは半金属元素のうちから選ばれた少なくともいずれか２種以上の元素との組成物あるいは化合物を主成分とするものからなる。上記非金属元素としては通常窒素、りん、酸素、硫黄、ハロゲン元素（フッ素、塩素、臭素、沃素、アスタチン）などが好適に用いられる。半金属元素としては通常ほう素、炭素、珪素、ゲルマニウム、ヒ素、アンチモン、ビスマス、セレン、テルル、ポロニウムなどが好適に用いられる。上記セラミック材料は通常無機化合物を主成分とするものであり、これらのセラミック材料は結晶質のものであってもよいしあるいは例えばガラスなどの非晶質状態のものであってもよいしあるいは結晶質のものと非晶質のものとが混在したものであってもよい。上記セラミック材料は通常窒化物、炭化物、酸化物、硼化物、珪化物などの化合物あるいは組成物を主成分とするものである。これらの化合物あるいは組成物をより具体的に示せば例えば窒化アルミニウム、六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有する化合物（例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなど）、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などである。
なお、本発明において上記セラミック材料としては主成分である無機材料以外に金属、合金、金属間化合物、有機物質、有機化合物、有機樹脂、その他に例えばハロゲン元素あるいはカルコゲン元素などの非金属などを含有するもの含まれる。
本発明において、上記セラミック材料を主成分とする焼結体は光透過性を有するものが好ましく、該セラミック材料を主成分とする焼結体に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が向上し易くなるので好ましい。
【００１８】
上記で示した本発明による薄膜形成用基板及び薄膜基板はその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した薄膜を形成して発光素子を作製するための基板として用いることができる。またそれ以外にも上記エピタキシャル成長した薄膜をフィールドエミッション材料として作製するための基板としても用いられる。上記薄膜基板はその上にさらに薄膜や単結晶薄膜を形成せずもともと形成されている薄膜を適宜加工して光導波路や表面弾性波素子用などの圧電膜や電気回路基板用の絶縁膜や誘電膜などにも用い得る。
【００１９】
本発明による窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板は窒化アルミニウムなどセラミック材料を主成分とする焼結体であってバルク状単結晶や配向性多結晶体ではない。なおバルク状単結晶とは基板など他の材料に形成された状態でしか単結晶として存在し得ないものではなく自己だけの状態で単結晶として存在し得るものを意味する。したがって大きさには関係なく薄い膜状や小さな粒状であっても仮に基板に形成されるなど他の材料と共存している状態のものであっても自己だけの状態で存在し得るものであればバルク状単結晶である。また、配向性多結晶とは構成材料の結晶が特定の結晶軸方位に向きかつそれ以外の結晶軸方位に対してはでたらめな方向を向いている多結晶であり、バルク状単結晶とは異なる。また、例えば焼結体など構成材料の結晶がでたらめな結晶方位を向いている通常の多結晶とも異なる。
本発明による窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板は焼結体であるため主成分の窒化アルミニウム結晶の方位はでたらめでありあらゆる結晶軸方位の窒化アルミニウム微結晶粒子からなっている。また、本発明による薄膜形成用基板は上記窒化アルミニウム以外に例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化ベリリウムなどの六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料、あるいはその他に例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体であるためその結晶方位はでたらめでありあらゆる結晶軸方位の微結晶粒子からなっている。したがって上記本発明による基板に単一波長の特性Ｘ線を照射しＸ線回折を行うとバルク状単結晶や配向性多結晶であれば特定の結晶格子面からの回折線だけしか出現しないが本発明による基板は消滅則によってもともとは出現し得ない回折線を除いてあらゆる回折線が出現するので明らかに区別できる。
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化ベリリウムなどの六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料、あるいはその他に例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体はＸ線回折を行うと上記のような特性を示す多結晶体であるが、このような焼結体は窒化アルミニウム、あるいは例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化ベリリウムなどの六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料、あるいはその他に例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする原料粉末とその他必要に応じて焼結助剤や有機バインダーあるいは溶媒などとを混合しその後金型プレス、ラバープレス、鋳込み成形、シート成形、などの方法で目的に応じた形状に成形し必要に応じて脱バインダーなどの予備焼成を行い最後に高温焼成することにより製造され、その結果原料粉末同士が焼き固められて緻密化し微細な窒化アルミニウム結晶粒子、あるいは例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化ベリリウムなどの六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有するセラミック材料の微細な結晶粒子、あるいはその他に例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料の微細な結晶粒子、を主成分に構成された多結晶体となしたものである。
【００２０】
本発明による単結晶薄膜はセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成され基板と膜の状態で固着一体化したものであって２次元的な面状の広がりを有しそれ自体単独ではなく基板と一体化した状態で存在し機能を発現し得る点に特徴があり、３次元的な寸法を有しそれ自体で独立して存在し機能を発現し得るバルク状単結晶とは異なる。
従来から塊状やバルク状といった比較的大型で３次元の寸法で表わされ得る単結晶を例えば昇華法などによって基板上に成長させる場合は基板の組成や材質あるいは基板の内部組織あるいは表面状態などの影響をあまり受けずに比較的容易に結晶性に優れたものが作製できる場合が多い。また基板に形成されていたとしても形成された該塊状やバルク状単結晶は基板から切り離し得るものであり、それ自体で独立して存在しそして機能し得る。
それに対して本発明による面状の２次元的な広がりを持った膜状の単結晶はセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に固着した状態で存在しそして機能するものであるが、このようなセラミック材料を主成分とする焼結体と固着した薄膜状の単結晶を形成しようという試みは少なく、仮に有ったとしても通常薄膜の厚みは３００μｍ未満通常は１００μｍ〜２００μｍ以下程度と薄く多結晶体であるセラミック材料を主成分とする焼結体の組成や材質あるいは不均質な内部組織あるいは表面状態などの影響を受け易く結晶方位の不揃いなすなわち結晶性の低い例えば無定形あるいは多結晶薄膜あるいは配向性多結晶薄膜となり易いので単結晶の薄膜が形成されにくい。
また膜状の単結晶の内部構造とセラミック材料を主成分とする焼結体の内部組織が異なるなどの理由で形成された単結晶薄膜にクラックや欠陥が生じたり、該単結晶薄膜とセラミック材料を主成分とする焼結体との界面で剥離などが生じ易かった。また、例えば上記昇華法などの方法は塊状やバルク状など単独で大型の単結晶を得る方法としては適していると思われるが結晶成長が高温で行われるため歪みが生じ易く基板に薄膜状の単結晶を成長させたとき該薄膜状の単結晶及び基板にクラックや剥離などの不具合が生じ易いという欠点がある。したがって基板と一体化した状態の薄膜状の単結晶を作製することは困難であった。
そのような状況において本発明によりセラミック材料を主成分とする焼結体に対して直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が該焼結体に強固に固着、一体化され上記クラックや欠陥あるいは剥離など無い状態で形成し得ることが可能となった。このように本発明により薄い膜状の単結晶であってもセラミック材料を主成分とする焼結体と強固に固着し一体化が行われ得ることが明らかとなった。
さらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする例えば単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成したセラミック材料を主成分とする焼結体を用いることでその上にはさらに優れた結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が強固に一体化され上記クラックや欠陥あるいは剥離など無い状態で形成し得ることが明らかとなった。
またこのようにして形成される単結晶薄膜は比較的厚みの厚い例えば１００μｍ〜２００μｍより厚いものであっても結晶性に優れたものが形成し得る。このような単結晶薄膜の結晶性の向上が見られるのはおそらくあらかじめ上記各種結晶状態の薄膜を形成しておくことで多結晶体であるセラミック材料を主成分とする焼結体の組成や材質あるいは内部組織あるいは表面状態などの影響を受けにくくなり従ってより結晶性に優れた単結晶薄膜が成長し易くなるものと思われる。
本発明はこのようなセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた薄膜形成用基板を提供するものである。また本発明は、セラミック材料を主成分とする焼結体と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするより結晶性の高い単結晶薄膜とが強固に一体化した薄膜基板をも提供するものである。
本発明において、光透過性の窒化アルミニウムなど各種セラミック材料を主成分とする焼結体にはより結晶性の優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得る場合が多く、また比較的厚みの厚い例えば１００μｍ〜２００μｍより厚い薄膜であっても比較的高い結晶性のものが形成し得る場合が多い。通常光透過性の窒化アルミニウムなど各種セラミック材料を主成分とする焼結体は光透過性を有しないものに比べて比較的純度が高く焼結体内部組織は比較的均質である場合が多いことからも上記の推察が間接的に成り立つのではないかと思われる。すなわち多結晶体である窒化アルミニウムなど各種セラミック材料を主成分とする焼結体に強固に固着し一体となった窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜状の単結晶は塊状やバルク状の単結晶を作製する場合と異なり該焼結体の組成や材質あるいは内部組織あるいは表面状態などの影響を受け易いと思われる。
本発明においては光透過性のセラミック材料を主成分とする焼結体を用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするより結晶性の高い面状の単結晶薄膜が該焼結体に強固に一体化した状態で提供できる。さらに、より結晶性の高い単結晶薄膜を得るために窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成した光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体も好適に用いることができる。
本発明はこのような光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた薄膜形成用基板を提供するものである。また本発明は、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするより結晶性の高い単結晶薄膜とが強固に一体化した薄膜基板をも提供するものである。
上記のように塊状やバルク状といった比較的大型で３次元の寸法で表わされ得る単結晶は、例えば通常昇華法などのように雰囲気の圧力やガス組成などを制御しながら比較的高温で素材の融点や分解温度に近い温度（例えば炭化珪素を主成分とするバルク状単結晶の場合は２０００℃〜２６００℃程度、窒化アルミニウムを主成分とするバルク状単結晶の場合１７００℃〜２２００℃程度）のおそらく平衡に近い状態で単結晶素材そのものを含む原料（例えば炭化珪素を主成分とするバルク状単結晶の場合は炭化珪素粉末、窒化アルミニウムを主成分とするバルク状単結晶を作製する場合は窒化アルミニウム粉末）を加熱し素材そのものを昇華した後単結晶として析出させるといった方法で作製される場合が多く、基板の材質や基板の内部組織あるいは表面状態などの影響をあまり受けずに比較的容易に単独で結晶性に優れた大型の単結晶が作製できる場合が多い。これは恐らく上記塊状やバルク状の単結晶を昇華法で基板上に成長させる場合平衡に近い状態で単結晶の成長が行われるため昇華物質そのものが種結晶となり易いので基板の影響をあまり受けずに結晶性の高い単結晶が成長するものと思われる。また例えば引き上げ法などでサファイアを作製する場合などは原料のアルミナを溶融して単結晶を育成するため平衡に近い状態で該単結晶が作製される。
一方本発明による２次元的な広がりを持った薄膜状の単結晶をセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に固着し一体化した状態で形成する場合、該薄膜状の単結晶の結晶性をより高め易くするためにＭＯＣＶＤ（有機金属化学気相分解成長）法やＭＯＶＰＥ（有機金属気相エピタキシャル成長）法あるいはハライドＶＰＥ（ハロゲン化物気相エピタキシャル成長）法などで通常作製される。このような方法において通常基板温度は最高１５００℃程度であり該形成法や単結晶組成によって単結晶化し易い基板温度範囲があり、さらに単結晶薄膜形成用の原料も目的とする組成の中の金属成分を含む化合物（窒化ガリウムの場合はガリウム成分を含む化合物、例えばトリメチルガリウムなど、あるいは窒化インジウムの場合はインジウム成分を含む化合物、例えばトリメチルインジウムなど、あるいは窒化アルミニウムの場合はアルミニウム成分を含む化合物、例えばトリメチルアルミニウムなど）が用いられる場合が多くこのような化合物は一旦分解されてその後窒化反応により目的とする組成となし単結晶薄膜を得るという過程を経るため非平衡状態で単結晶薄膜の形成が行われ易いので条件により結晶性の低い例えば無定形あるいは多結晶薄膜あるいは配向性多結晶薄膜となる場合がある。また、スパッタリング法やイオンプレーティング法あるいは蒸着法などが薄膜形成用の原料として分解・反応などの過程を経ない薄膜組成そのものを用いて薄膜形成を行う方法として使用し得るが通常基板温度は６００℃〜７００℃以下程度の低温で行われるなど、薄膜形成が非平衡状態で行われるため形成される薄膜は単結晶とはなりにくく結晶性の低い例えば無定形あるいは多結晶薄膜あるいは配向性多結晶薄膜となり易い。
上記のように基板に形成される薄膜状の単結晶は３次元的な大きさを有する塊状やバルク状の単結晶と比較して結晶性が小さくなり易い。またクラックや剥離など欠陥が生じ易い。本発明は上記で示したように結晶性が小さくなり易く、欠陥などが生じ易い傾向を有する薄膜状の単結晶であっても塊状やバルク状の単結晶と同等に近い比較的高い結晶性を有しさらにクラックや基板との間の剥離などの欠陥の少ないものを提供し得る方法を提示したものである。本発明により例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜として厚み３００μｍ未満通常２００μｍ程度のものだけでなく０．１ｎｍ程度の薄いものであっても好適に形成し得るようになった。
【００２１】
上記のように本発明において、セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成し得る。さらにより結晶性の高い単結晶薄膜をセラミック材料を主成分とする焼結体に形成しようとする場合は、例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体を用いる、あるいは光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いる、あるいは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成した光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いる、といった方法などを用いることが好ましい。
より詳しく言えば、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体を用いる方法の場合、該窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜として無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものを好適に用いることができる。これらの結晶状態を有する薄膜のうち少なくとも一部が単結晶であるものが好ましい。
また、これらの薄膜として１層だけからなるものを用いることができる。
また、これらの薄膜として少なくとも２以上の層からなるものも用いることができる。また、この２以上の層からなる薄膜において各層がそれぞれ無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを好適に用いることができる。また、この２以上の層からなる薄膜においてセラミック材料を主成分とする焼結体に直接形成された薄膜層が無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを用いることができる。また、この２以上の層からなる薄膜においてセラミック材料を主成分とする焼結体に直接形成された薄膜層が無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを用いることができる。また、この２以上の層からなる薄膜においてセラミック材料を主成分とする焼結体に直接形成された薄膜層が配向性多結晶であるものを用いることができる。また、この２以上の層からなる薄膜において少なくとも１層が単結晶であるものを用いることができる。また、この２以上の層からなる薄膜において最上層の薄膜が単結晶であるものが好ましい。最上層の薄膜が単結晶であればその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性の優れた薄膜が形成し得る。
また、セラミック材料を主成分とする焼結体に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が少なくとも単結晶薄膜層を有し該単結晶薄膜層の厚みが３００μｍ未満通常は２００μｍ以下であるものを用いることが好ましい。セラミック材料を主成分とする焼結体に形成された該単結晶薄膜層のより好ましい厚みは１００μｍ以下である。また、セラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜として少なくとも０．１ｎｍ以上の厚みを有するものを用いることが好ましい。これは薄膜にピンホールや結晶の乱れなどに起因する欠陥を防止する上で好ましい。薄膜が２以上の層の薄膜層からなる場合各薄膜層の厚みがそれぞれ０．１ｎｍより薄い場合であってもすべての薄膜層を合計した厚みが０．１ｎｍ以上であれば上記の欠陥が生じにくい。より好ましい厚みは０．５ｎｍ以上であり０．３μｍ以上の厚みのものがさらに好ましい。また厚み３．５μｍ以上、あるいは１０μｍ以上、あるいは５０μｍ以上の薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体も薄膜形成用基板として好適に用いることができる。また、セラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜として少なくとも窒化ガリウムを含むものを用いることができる。より具体的には、セラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜として少なくとも窒化ガリウムを含むかあるいは窒化ガリウムを主成分とする薄膜を有するものを用いることができる。さらに、セラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜として窒化ガリウムを主成分とするものを用いることができる。例えば上記の少なくとも窒化ガリウムを含む薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた場合その上には結晶の優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し易くなり、上記の少なくとも窒化ガリウムを含む薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて発光素子を作製すればより発光効率の高いものが作製し得るようになる。窒化ガリウムを含むかあるいは窒化ガリウムを主成分とする薄膜には窒化ガリウム成分の他に例えば窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分やＳｉやＭｇなどのドーピング成分が含まれている薄膜であってもよい。なお、上記の「少なくとも窒化ガリウムを含む薄膜」についてより具体的に説明すれば、本発明によるセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするものであるがこれを例えば化学式ＡｌｘＧａｙＩｎ１−ｘ−ｙＮで表わしたとき「少なくとも窒化ガリウムを含む薄膜」とは０＜ｙ≦１の組成を有するもの（すなわち０≦ｘ＜１、０≦１−ｘ−ｙ＜１）を意味する。通常窒化ガリウムを主成分とする薄膜とは窒化ガリウム成分を５０モル％以上含むものである。また、セラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜として少なくとも単結晶を含むものを用いる場合該単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３６０���秒以下の結晶性であることが好ましく、３００秒以下であることがより好ましい。また２４０秒以下のもの、あるいは２００秒以下、あるいは１５０秒以下、あるいは１３０秒以下のものがさらに好ましく、１００秒以下のものが最も好ましい。
【００２２】
また、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いる方法の場合、通常光透過率１％以上のセラミック材料を主成分とする焼結体を用いることができる。また、光透過率１０％以上、２０％以上、３０％以上、４０％以上、５０％以上、６０％以上、さらに光透過率８０％以上及び８５％以上のものも用いることができる。
また、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成した光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いる方法の場合、該窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜として無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものを好適に用いることができる。これらの結晶状態を有する薄膜のうち少なくとも一部が単結晶であるものが好ましい。また、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜は少なくとも窒化ガリウムを含むかあるいは窒化ガリウムを主成分とする薄膜を有するものを用いることができる。
また、これらの薄膜として１層だけからなるものを用いることができる。
また、これらの薄膜として少なくとも２以上の層からなるものも用いることができる。
また、この２以上の層からなる薄膜において各層がそれぞれ無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを好適に用いることができる。
また、この２以上の層からなる薄膜において光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に直接形成された薄膜層が無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを用いることができる。
また、この２以上の層からなる薄膜において光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に直接形成された薄膜層が無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを用いることができる。
また、この２以上の層からなる薄膜において光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に直接形成された薄膜層が配向性多結晶であるものを用いることができる。また、この２以上の層からなる薄膜において少なくとも１層が単結晶であるものを用いることができる。
また、この２以上の層からなる薄膜において最上層の薄膜が単結晶であるものが好ましい。最上層の薄膜が単結晶であればその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性の優れた薄膜が形成し得る。
また、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が少なくとも単結晶薄膜層を有し該単結晶薄膜層の厚みが３００μｍ未満通常は２００μｍ以下であるものを用いることが好ましい。光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された該単結晶薄膜層のより好ましい厚みは１００μｍ以下である。
また、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜として少なくとも０．１ｎｍ以上の厚みを有するものを用いることが好ましい。これは薄膜にピンホールや結晶の乱れなどに起因する欠陥を防止する上で好ましい。薄膜が２以上の層の薄膜層からなる場合各薄膜層の厚みがそれぞれ０．１ｎｍより薄い場合であってもすべての薄膜層を合計した厚みが０．１ｎｍ以上であれば上記の欠陥が生じにくい。より好ましい厚みは０．５ｎｍ以上であり０．３μｍ以上の厚みのものがさらに好ましい。
また厚み３．５μｍ以上、あるいは１０μｍ以上、あるいは５０μｍ以上の薄膜を形成した光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体も薄膜形成用基板として好適に用いることができる。
光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜として少なくとも窒化ガリウムを含むものを用いることができる。より具体的には、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜は少なくとも窒化ガリウムを含むかあるいは窒化ガリウムを主成分とする薄膜を有するものを用いることができる。さらに、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜として窒化ガリウムを主成分とするものを用いることができる。
例えば上記の少なくとも窒化ガリウムを含む薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた場合その上には結晶の優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し易くなり、上記の少なくとも窒化ガリウムを含む薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて発光素子を作製すればより発光効率の高いものが作製し得るようになる。窒化ガリウムを含むかあるいは窒化ガリウムを主成分とする薄膜には窒化ガリウム成分の他に例えば窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分やＳｉやＭｇなどのドーピング成分が含まれている薄膜であってもよい。
なお、上記の「少なくとも窒化ガリウムを含む薄膜」についてより具体的に説明すれば、本発明による光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするものであるがこれを例えば化学式ＡｌｘＧａｙＩｎ１−ｘ−ｙＮで表わしたとき「少なくとも窒化ガリウムを含む薄膜」とは０＜ｙ≦１の組成を有するもの（すなわち０≦ｘ＜１、０≦１−ｘ−ｙ＜１）を意味する。通常窒化ガリウムを主成分とする薄膜とは窒化ガリウム成分を５０モル％以上含むものである。
また光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜として少なくとも単結晶を含むものを用いる場合該単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３６００秒以下の結晶性であることが好ましく、３００秒以下であることがより好ましい。また２４０秒以下のもの、あるいは２００秒以下、あるいは１５０秒以下、あるいは１３０秒以下のものがさらに好ましく、１００秒以下のものが最も好ましい。
【００２３】
なお本発明においては、たとえ光透過性の小さいセラミック材料を主成分とする焼結体、例えば光透過率が１％より小さいセラミック材料を主成分とする焼結体あるいは光透過率０％のセラミック材料を主成分とする焼結体であっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成し得る。例えばこのような光透過性の小さいセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成することによりより結晶性の高い単結晶薄膜を形成し得る。
【００２４】
上記のように本発明による薄膜形成用基板はセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなるが、さらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたセラミック材料を主成分とする焼結体及び窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体、が含まれる。また、薄膜基板はセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したもの、及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したものである。上記セラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体は少なくとも窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体、あるいは酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、のうちから選ばれた少なくとも１種以上の材料からなる焼結体、などが少なくとも含まれる。また、上記六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体には酸化亜鉛を主成分とする焼結体、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体、炭化珪素を主成分とする焼結体、窒化珪素を主成分とする焼結体、窒化ガリウムを主成分とする焼結体、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体を含む。
【００２５】
上記説明した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板において、形成された薄膜は単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものが用い得るが、これらの薄膜は単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態がそれぞれ単独で存在しているものだけでなく各結晶状態のものが少なくとも２以上同時に存在しているものであってもよい。すなわち例えば各結晶状態の薄膜が明確な層を形成せず２以上の結晶状態で混在しているものようなものであってもよい。より具体的に言えば例えば無定形と配向性多結晶、あるいは配向性多結晶と単結晶、あるいは無定形と単結晶、あるいは無定形と多結晶、など明確な層を形成せずあたかも単一の層として存在しているようなものであってもよい。又例えばセラミック材料を主成分とする焼結体に形成された薄膜が単一層あるいは少なくとも２以上の層からなる場合、該薄膜の少なくとも１以上の層が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれか２以上の結晶状態が同時に混在しているものであってもよい。
【００２６】
また、上記薄膜基板においてセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体のうちから選ばれた少なくともいずれかの焼結体に形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものが用い得るが、これらの薄膜は単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態がそれぞれ単独で存在しているものだけでなく各結晶状態のものが少なくとも２以上同時に存在しているものであってもよい。すなわち例えば各結晶状態の薄膜が明確な層を形成せず２以上の結晶状態で混在しているものようなものであってもよい。より具体的に言えば例えば無定形と配向性多結晶、あるいは配向性多結晶と単結晶、あるいは無定形と単結晶、あるいは無定形と多結晶、など明確な層を形成せずあたかも単一の層として存在しているようなものであってもよい。
【００２７】
本発明において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みとして例えば２００μｍより厚いものであってもセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成し得るが薄膜の厚みを厚く形成すれば該単結晶薄膜の結晶性は小さくなり易い傾向があるためセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成する場合は厚みとして例えば３００μｍ未満通常は２００μｍ以下と薄い状態で形成することが結晶性に優れた単結晶薄膜を得る上では好ましい。セラミック材料を主成分とする焼結体に上記のような例えば２００μｍより厚みの厚い単結晶薄膜を形成しようとする場合は、上記で示したように例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体を用いるか、あるいは光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いるか、あるいは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成した光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いる、といった方法などを用いることが好ましい。
【００２８】
本発明においてセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体を形成して発光素子を作製すれば、従来からのサファイアなどのバルク状単結晶を用いて作製した発光素子に比べて少なくとも同等かより優れた発光効率を有する発光素子が提供し得る。さらに、該セラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したものを用いればより優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。また、上記薄膜の中で少なくとも窒化ガリウムを含むかあるいは窒化ガリウムを主成分とするものを形成した該セラミック材料を主成分とする焼結体あるいは光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いることによりさらに優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。
本発明において上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて発光素子を作製する方法において、薄膜として単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものが用い得るが、通常表面の（最上層の）薄膜すなわち上記発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体を直接形成する薄膜は単結晶であることが好ましく、より優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。
【００２９】
また、セラミック材料を主成分とする焼結体として通常平均表面粗さＲａ２０００ｎｍ以下の表面状態を有するものを用いることで比較的結晶性に優れた単結晶薄膜を形成することができる。このような表面状態は通常セラミック材料を主成分とする焼結体の焼成されたそのままの表面〔焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）表面〕、ラップ研磨された表面、ブラスト研磨された表面、鏡面研磨された表面、化学腐食された表面及びプラズマガスにより腐食された表面、あるいは溝切りなど機械的な加工が施された表面などにおいて得ることができる。本発明において上記表面状態を有するセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いその上に発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体を形成して発光素子を作製することにより、従来からのサファイアなどのバルク状単結晶を用いて作製した発光素子に比べて少なくとも同等かより優れた発光効率を有する発光素子が提供し得る。
また、本発明においてはセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体として表面粗さの大きいものであっても比較的結晶性に優れた単結晶薄膜を形成することができる。例えば表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体としては平均表面粗さＲａ７０ｎｍ以上のものであっても該焼結体には比較的結晶性に優れた単結晶薄膜を形成することができる。さらにＲａ２０００ｎｍより大きい平均表面粗さを有するセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体であっても比較的結晶性に優れた単結晶薄膜を形成することができる。このような表面状態は通常セラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体の焼成されたそのままの表面〔焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）表面〕、ラップ研磨された表面、ブラスト研磨された表面、化学腐食された表面及びプラズマガスにより腐食された表面、あるいは溝切りなど機械的な加工が施された表面などにおいて得ることができる。本発明においてセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いその上に発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体を形成して発光素子を作製する場合、該セラミック材料を主成分とする焼結体あるいは光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体としては上記で例示した表面粗さの大きいものを用いることにより該発光素子の発光効率をより高め得る。通常表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体として平均表面粗さがＲａ７０ｎｍ以上のものを用いることが好ましい。また、平均表面粗さがＲａ１０００ｎｍより大きいものさらにＲａ１０００ｎｍより大きいものも用い得、発光効率のより高い発光素子が作製し得る。
本発明において上記平均表面粗さＲａ２０００ｎｍ以下あるいは表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする比較的結晶性に優れた単結晶薄膜が直接形成し得るが、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したものを用いその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すればより結晶性に優れたものが作製し得る。本発明においては上記平均表面粗さＲａ２０００ｎｍ以下あるいは表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体を直接形成して発光素子を作製することも可能であるが、通常上記平均表面粗さＲａ２０００ｎｍ以下あるいは表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体及び光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成したものを用いその上に上記積層体を形成することによって発光効率のより高い発光素子が作製し得る。
本発明は上記のようにセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた発光素子を提供する。また本発明は、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた発光素子を提供する。また本発明は、表面粗さの大きいセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた発光素子を提供する。また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた発光素子を提供する。また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されたセラミック材料を主成分とする焼結体を用いた発光素子を提供する。
【００３０】
なお、本発明における発光効率とは、発光素子を駆動させるために素子に加えられた電力（電気エネルギー）と実際発光素子によって光に変換され発光素子の外部へ放出された光出力（光エネルギー）との百分率比を意味する。例えば発光効率が１０％ということは、電圧３．６ボルト、電流５００ｍＡを注入して発光素子を駆動させたとき光出力として１８０ｍＷが得られるということである。光出力は例えば発光素子を積分球に装填して発光させ発せられたすべての光を集め、分光光度計などを用いて測定することができる。なお、照明分野で一般的に用いられている発光効率は単位時間当りの光エネルギー（Ｗ）に対する光の量（光束：ｌｍ）であるが（すなわちｌｍ／Ｗで表わされる）、本発明の発光効率は照明分野で一般的に使用されている発光効率とは異なる。
【００３１】
通常結晶性など素材としての特性は塊状やバルク状単結晶の方がセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に固着、一体化された薄膜状の単結晶より優れている場合が多かった。しかしながら上記のように本発明により塊状やバルク状の単結晶と同等に近い結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜がセラミック材料を主成分とする焼結体に形成できるようになった。その結果、該単結晶薄膜とセラミック材料を主成分とする焼結体とが一体化した状態のものは従来の塊状やバルク状単結晶ではなし得なかった特性が発現し得ることが見出された。例えばセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製した発光素子であっても従来からのサファイアなどのバルク状単結晶を用いて作製した発光素子に比べて少なくとも同等かより優れた発光効率を有する発光素子が提供し得るようになった。仮に上記セラミック材料を主成分とする焼結体に形成される薄膜状の単結晶の結晶性が塊状やバルク状などの単結晶より劣っているとしても発光素子や光導波路あるいは回路基板などの電子素子や電子部品を作製する場合、セラミック材料を主成分とする焼結体と単結晶薄膜とが固着、一体化された薄膜基板及び単結晶薄膜が形成し得るセラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を用いる方が塊状やバルク状単結晶など単独で単結晶であるものを基板として用いたものより優れた特性を有するものが得られ易い。
すなわち素材の特性がよいからといってそれを電子素子あるいは電子部品を作製するための基板に用いたとしても作製される該電子素子あるいは電子部品の特性が優れているとは限らない。
本発明で示すようにセラミック材料を主成分とする焼結体と薄膜状の単結晶とが一体となったものを用いることで初めて従来からの塊状やバルク状単結晶だけ用いたものではなし得なかった優れた特性の電子素子あるいは電子部品が作製し得る。すなわち例えば、発光素子を作製する場合、塊状やバルク状などの単結晶だけを基板として用いて作製したものに比べ本発明によるセラミック材料を主成分とする焼結体に固着、一体化された薄膜状の単結晶を有する薄膜基板及びこのような薄膜が形成し得るセラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を用いて作製されたものは発光効率の面でより優れている。すなわち低消費電力で大きな発光エネルギーが得られる。これは塊状やバルク状などの単結晶だけを基板として用いた場合、発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体は良好な結晶性のものが形成できるが、該塊状やバルク状の単結晶の有する均一性などの影響で該発光素子を構成する積層体と基板との界面で光の反射が生じ易くなり発光層からの光が発光素子を構成する該積層体の内部に閉じ込められ易くなるためであると考えられる。それに対して本発明による上記薄膜基板あるいは薄膜形成用基板を用いた場合、上記発光素子を構成する積層体は比較的高い結晶性のものが形成できるということと、さらにセラミック材料を主成分とする焼結体が微粒子からなる多結晶体であるため積層体と基板との界面で光の反射が生じにくくなり発光層からの光が発光素子を構成する該積層体の内部に閉じ込められず素子外部に放出され易くなる、という塊状やバルク状などの単結晶だけを基板として用いたものでは実現し得ない２つの機能の相乗効果を有するためと考えられる。
また、その他例えば光導波路や回路基板などの電子素子や電子部品を作製する場合も本発明による上記薄膜基板あるいは薄膜形成用基板を用いれば、セラミック材料を主成分とする焼結体内部に電気回路が形成し得るので小型化や配線の引き回しが少ないため電気特性の向上など塊状やバルク状などの単結晶だけを基板として用いたものでは実現し得ない優れた機能を有するものが実現できる。
すなわち本発明により、例えば発光素子、光導波路、音響光学素子、フィールドエミッションディスプレイなど、III−Ｖ族窒化物半導体が元来有する電気特性、光学特性、圧電特性などの特性を利用して優れた機能を有する電子素子が提供し得る。
【００３２】
本発明の意義と目的は上記のように、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶を薄膜状となしセラミック材料を主成分とする焼結体と一体化することで単結晶及びセラミック材料を主成分とする焼結体それぞれ単独ではなし得ない相乗効果を引き出し、従来からのサファイアや炭化珪素などの塊状やバルク状などそれ自体独立で単結晶として存在し使用される材料では実現が困難であった優れた機能を有する基板及び該基板を用いた発光素子などの電子素子、あるいは回路基板などの電子部品を提供することにある。またこのような効果をもたらすセラミック材料を主成分とする焼結体を提供することにある。
以下本発明に付いてさらに詳しく説明する。
【００３３】
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板は直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜をその表面に形成でき、薄膜として少なくともエピタキシャル成長した単結晶が直接形成できる。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときそこには窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜としては上記のような単結晶状態のものだけに限らずその他無定形状態のもの、多結晶状態のもの、あるいは配向性多結晶状態のもの、など各種結晶状態の薄膜が直接形成できる。本発明において上記の単結晶状態及び無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態など各種結晶状態の薄膜が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用い、この基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を成長させた時、得られる該単結晶薄膜は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接形成した単結晶薄膜より結晶性が向上したものが形成され易い。本発明において「直接」という意味は文字通り窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に他の材料や介在物などを介することなく直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するということである。上記薄膜を形成するために窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板表面に特別な材料や介在物や介在材料などは必要としない。このように本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜を形成できる。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接形成される薄膜は単結晶のものが形成できるがそれだけに限らず無定形状態のもの、多結晶状態のもの、あるいは配向性多結晶状態のもの、など各種結晶状態のものが形成できる。さらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶の薄膜を形成しようとする場合、本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など上記各種結晶状態の薄膜があらかじめ形成された薄膜基板を用いその上に単結晶薄膜を形成することでより高い結晶性の単結晶薄膜が得られる。この窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶あるいは無定形を始めとする各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成しさらにその上に単結晶薄膜を形成することで得られる薄膜基板の効果は、この単結晶薄膜が形成された薄膜基板を発光素子形成用基板として用いた場合さらに大きいものとなる。発光素子は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分としてＰ型半導体層、Ｎ型半導体層、発光層など複数の薄膜層をエピタキシャル成長させ積層することで製造されるが、このような発光素子の特性はエピタキシャル成長させた薄膜、すなわち単結晶薄膜の結晶性が高いほど優れている。このように発光素子を製造する場合など、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜をより高い結晶性を有する単結晶薄膜として形成することが求められる場合は、上記のように本発明による単結晶薄膜が形成された薄膜基板を用いることがより効果的となる。なお、本発明による単結晶薄膜が形成された薄膜基板の中には上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成しさらにその上に単結晶薄膜を形成することで得られる薄膜基板だけでなく、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成することにより得られる薄膜基板も含まれる。このように本発明による薄膜は自立したバルク材料とは異なり各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に固着され一体化された状態で存在し得るものである。
【００３４】
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板には上記のように単結晶だけに限らず無定形状態のもの、多結晶状態のもの、あるいは配向性多結晶状態のものなど各種結晶状態の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を直接形成できる。本発明において重要なことは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶の薄膜を形成するということであり、たとえ各種結晶状態の薄膜が形成できたとしても単結晶状態のものが形成し得ない基板を用いることは好ましくない。すなわち本発明は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成し得る基板を提供すること、及び窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする少なくとも単結晶薄膜が形成された薄膜基板を提供すること、が大きな目的である。上記のように本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板には少なくとも単結晶状態の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が直接形成できる。このように本発明による薄膜形成用基板は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る優れたものである。しかしながら本発明による薄膜形成用基板を用いた実際の使用形態において、必ずしも上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板としてだけに限定されるものではない。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板には単結晶以外に無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜も直接形成し得る。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶状態の薄膜を形成するためだけでなく、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分と薄膜を形成するための基板としても実際使用できる。
【００３５】
上記のように本発明による単結晶薄膜を形成し得る窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は単結晶薄膜が形成できるだけでなく、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成できる。具体的にいえば本発明は、１）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されたもの、２）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形薄膜が形成されたもの、３）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする多結晶薄膜が形成されたもの、４）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜が形成されたもの、など窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に単結晶薄膜が形成された薄膜基板以外の無定形薄膜あるいは多結晶薄膜あるいは配向性多結晶薄膜など各種結晶状態の薄膜が形成された薄膜基板を提供することができる。
すなわち本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分と薄膜を形成するための基板であって、該基板は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板、を含む。さらに本発明は、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、も含む。
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は薄膜形成用基板及び薄膜基板のどちらの用途にも等しく用いることができる。
【００３６】
本発明において、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成するにあたって特別な成膜技術は必要とせず前記のように通常のＭＯＣＶＤ（有機金属化学気相分解成長）法、ＭＯＶＰＥ（有機金属気相エピタキシャル成長）法、ハイドライドＶＰＥ（水素化物気相エピタキシャル成長）法、クロライドＶＰＥ（塩化物気相エピタキシャル成長）法などを含むハライドＶＰＥ（ハロゲン化物気相エピタキシャル成長）法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ（化学気相分解成長）法、ＭＢＥ（分子線エピタキシー）法など、あるいはあらかじめ形成した目的成分を含む固体材料を原料としエキシマレーザーなどを用いたレーザーアブレーション法、ＰＬＤ（パルスレーザーデポジション：パルスレーザー分解）法、あるいはスパッタリング法、イオンプレーティング法、蒸着法など目的とする化学成分の少なくとも一部を含有する化合物や単体を化学的物理的に分解しあるいは分解せずそのままの状態で気体、イオンあるいは分子線とし適宜前記以外の化合物と反応させあるいは反応させずいったん目的とする化学成分を含む成分を気相とした後目的とする組成の薄膜を成長させる方法であればどのようなものでも任意に適用できる。単結晶状態、無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態など各種結晶状態の薄膜作製用の原料としてはトリメチルガリウム、トリエチルガリウム、トリイソブチルガリウム、トリメチルインジウム、トリエチルインジウム、トリイソブチルインジウム、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムなどの有機金属化合物、塩化ガリウム、塩化インジウム、塩化アルミニウムなどの塩化物や臭化ガリウム、臭化インジウム、臭化アルミニウムなどの臭化物を含むガリウム、インジウム、アルミニウムのハロゲン化物、ジエチルガリウムクロライド、ジエチルインジウムクロライド、ジエチルアルミニウムクロライドなどのハロゲン元素を含むガリウム、インジウム、アルミニウムの有機化合物、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムなどの窒化物、ガリウム、インジウム、アルミニウムなどの純金属、その他ドーピング元素用としてＳｉ、あるいはＳｉＨ４、ＳｉＨＣｌ３、Ｓｉ（Ｃ２Ｈ５）４などのシラン化合物、ＳｉＣｌ４、ＳｉＢｒ４などシリコンのハロゲン化物、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＣなどのシリコン化合物、マグネシウム、ベリリウム、カルシウム、亜鉛、カドミウム、ゲルマニウムなどの金属及びジアルキルベリリウム（例えばジメチルベリリウムなど）、ジアルキルマグネシウム（例えばジメチルマグネシウムなど）やビス−シクロペンタジエニルマグネシウム（ＭｇＣｐ２）、ビス−シクロペンタジエニルカルシウム（ＣａＣｐ２）、ジエチル亜鉛、ジメチルカドミウム、テトラメチルゲルマン、ＢｅＣｌ２、ＢｅＢｒ２、ＭｇＣｌ２、ＭｇＢｒ２、ＣａＣｌ２、ＣａＢｒ２、ＺｎＣｌ２、ＺｎＢｒ２、ＣｄＣｌ２、ＣｄＢｒ２、ＧｅＣｌ４、ＧｅＢｒ４など該金属を含む有機金属化合物やハロゲン化物などの化合物、あるいは炭素、シリコン、セレン、テルル、酸素などの非金属及び該非金属を含む化合物、など各種化合物が使用できる。ＭＯＣＶＤ法、ＭＯＶＰＥ法では例えばトリメチルガリウム、トリメチルインジウム、トリメチルアルミニウムなどの有機化合物が主原料として用いられる。また、クロライドＶＰＥ、ハライドＶＰＥ法では例えば塩化ガリウム、塩化インジウム、塩化アルミニウムなどのハロゲン化物が主原料として用いられる。上記ＭＯＣＶＤ法、ＭＯＶＰＥ法、ハイドライドＶＰＥ法、クロライドＶＰＥ法などを含むハライドＶＰＥ法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ法、ＭＢＥ法など、原料を気体状態として薄膜を形成する方法において原料との反応ガスとしては通常アンモニアあるいは窒素が単独であるいは混合された状態で使用される。また反応ガスとしてアンモニアあるいは窒素の他に水素を含むものを用いることが結晶性の優れた単結晶薄膜を形成する上で好ましい。原料を気体状態とし反応部に搬送するキャリアガスとしては水素、アルゴンあるいは窒素などが単独であるいは混合された状態で使用される。結晶性の優れた単結晶薄膜を形成するためには前記キャリアガスとしては少なくとも水素を含むものを用いることがより好ましい。薄膜形成チャンバー内の雰囲気としては通常アンモニア、水素、アルゴン、窒素などが常圧下あるいは減圧下で用いられる。また、スパッタリング法により薄膜を形成する場合は上記各種原料をターゲットとして形成したものが用いられる。このような方法により窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態で任意に得ることができる。
なお、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成する場合は、例えばＭＯＣＶＤ法あるいはハライドＶＰＥ法などのように原料としては目的とする組成の金属成分を含む化合物（窒化ガリウムの場合はガリウム成分を含む化合物、例えばトリメチルガリウム、三塩化ガリウムなど、あるいは窒化インジウムの場合はインジウム成分を含む化合物、例えばトリメチルインジウム、三塩化インジウムなど、あるいは窒化アルミニウムの場合はアルミニウム成分を含む化合物、例えばトリメチルアルミニウム、塩化アルミニウムなど）を用い、該化合物は一旦分解されてその後アンモニアなどの反応ガスと窒化反応して目的とする組成のものが形成されるという過程を経て単結晶薄膜の形成を行うという方法を用いることが好ましい。セラミック材料を主成分とする焼結体に薄膜状の単結晶を形成する場合は、バルク状や塊状の単結晶を作製するときのように昇華法などにより目的とする組成の原料をそのまま用い単に該原料を高温で昇華させ平衡に近い状態で単結晶を作製するという方法よりも前記のように目的とする組成の金属成分を含む化合物を用い該化合物を一旦分解しその後窒化反応させて目的とする組成を得るという方法のほうがより結晶性の高い単結晶が作製し得る。その理由は、セラミック材料を主成分とする焼結体はあらゆる方向を向いた微結晶粒子から構成されているので２次元的な広がりを有する薄膜状の単結晶を形成しようとしたとき、原料となる材料や化合物の選定の範囲が広くさらにセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に対する原料や反応ガスなどの供給方向や供給量あるいは基板温度などの制御が容易なため、セラミック材料を主成分とする焼結体中に存在するあらゆる方向を向いた微結晶粒子の結晶方向にしたがった自発的な結晶成長でなく目的とする方向に単結晶が成長するよう制御することが可能であるためと思われる（すなわち、例えば基板面に対してＣ軸が垂直な方向にだけ成長するように制御できる）。一方、昇華法などのように目的とする組成の原料をそのまま用いて高温で昇華させて単結晶を作製する方法では大量の原料が昇華できそのためバルク状や塊状などのように大型の単結晶を短時間で得る場合には適していると思われる。しかしながらセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に薄膜状の単結晶を得るには原料の選定範囲が狭く原料の供給方向や供給量などの制御が困難となり易いので本発明による単結晶薄膜を作製する方法としては必ずしも適した方法であるとは言えない。
また上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成する場合の基板温度として薄膜の組成や薄膜形成法の相違などにより適宜選択し得る。薄膜として単結晶を形成する場合は無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態を有するものよりも通常基板温度を高めることが好ましく、基板温度が低い場合は単結晶薄膜が形成しにくくなる場合がある。例えば、通常基板温度として窒化ガリウムを主成分とする薄膜を形成する場合４００℃〜１２００℃、窒化インジウムを主成分とする薄膜を形成する場合４００℃〜１０００℃、窒化アルミニウムを主成分とする場合は５００℃〜１５００℃で行うことが望ましい。上記各薄膜において窒化ガリウムを主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶など単結晶以外の結晶状態の薄膜を形成する場合基板温度として４００℃〜９００℃、単結晶薄膜を形成する場合は７００℃〜１２００℃と基板温度を高めて行うことが望ましい。また、窒化インジウムを主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶など単結晶以外の結晶状態の薄膜を形成する場合基板温度として４００℃〜７００℃、単結晶薄膜を形成する場合は５００℃〜９００℃と基板温度を高めて行うことが望ましい。また、窒化アルミニウムを主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶など単結晶以外の結晶状態の薄膜を形成する場合基板温度として５００℃〜１２００℃、単結晶薄膜を形成する場合は６００℃〜１５００℃と基板温度を高めて行うことが望ましい。より具体的には例えばＭＯＣＶＤ法、ＭＯＶＰＥ法により単結晶薄膜を形成する場合の基板温度として窒化ガリウムを主成分とする薄膜では９００℃〜１１００℃、窒化インジウムを主成分とする薄膜では６００℃〜９００℃、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜では９００℃〜１２００℃の範囲とすることが好ましい。クロライドＶＰＥ法あるいはハライドＶＰＥ法により単結晶薄膜を形成する場合の基板温度として窒化ガリウム（ＧａＮ）を主成分とする薄膜では９００℃〜１２５０℃、窒化インジウム（ＩｎＮ）を主成分とする薄膜では７００℃〜１０００℃、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）薄膜では１０００℃〜１５００℃とすることが好ましく、１１００℃以上とすることが結晶性の高い単結晶薄膜が形成し得るのでより好ましい。基板温度が上記例示した温度より低い場合は通常単結晶薄膜が形成しにくくなり易い。このように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成する場合基板温度を高めることが好ましく、無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態のものを形成する場合基板温度を低くすることが好ましい場合が多い。
基板の加熱は各種ヒーターを用いた抵抗加熱、高周波電源を用いた高周波加熱、赤外線ランプによる加熱、など、どのような方法でも用いることができる。
本発明においてどのような薄膜形成法を用いたとしても基板温度としては上記の範囲にだけ限定されず、窒化ガリウムを主成分とする薄膜を基板温度として室温〜４００℃、窒化インジウムを主成分とする薄膜を基板温度として室温〜４００℃、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜を基板温度として室温〜５００℃、といった比較的低温で形成できる。このような方法の例として例えばスパッタリング法、イオンプレーティング法、蒸着法などの方法を用いることで上記の比較的低温で薄膜が形成できる。また、例えば気体状態の原料と反応ガスとにより薄膜を形成する方法においても、例えばアンモニアあるいは窒素などの反応ガスとして高周波（例えば周波数２．４５ＧＨｚのマイクロ波、あるいは周波数１３．５６ＭＨｚのラジオ波、など）や磁力などによりプラズマ化された状態のものを用いれば基板温度が上記のように低温であっても良好な薄膜を得ることができる。
【００３７】
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上に成長する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜はその結晶系が六方晶（Ｈｅｘａｇｏｎａｌ）で表わされる。上記ＣＶＤ法などを用いた場合形成される単結晶薄膜は通常基板面に対して該六方晶のＣ軸方位でエピタキシャル成長しやすい傾向を有する。言い換えれば上記単結晶薄膜は基板面とＣ面とが平行な方位でエピタキシャル成長しやすい傾向を有する。これは基板上に形成した上記単結晶薄膜のＸ線回折を行うと六方晶のミラー指数（００２）の格子面からの強い回折線が観測されるので、上記単結晶薄膜は基板面に対してＣ軸方向にエピタキシャル成長していることが観測されることから説明できる。言い換えれば上記単結晶薄膜は基板面とＣ面とが平行にエピタキシャル成長していることが観測されることから説明できる。図１にこの様子を示す。図１において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜２が形成されている。また、図１のように単結晶薄膜２が基板面に対してＣ軸が垂直な方向に形成された基板において該単結晶薄膜２の表面にＸ線を照射すれば六方晶ウルツ鉱型結晶構造を有する窒化アルミニウム結晶のミラー指数（００２）の格子面からの回折線だけが得られる。図２にこの様子を示す。もし基板1の上に形成された薄膜が単結晶でなく多結晶化した状態であれば図２に示すような六方晶のミラー指数（００２）の格子面以外の例えば（１００）格子面からの回折など複数の回折線が観察されるので明確に区別できる。なお、配向性多結晶は結晶粒子が特定の結晶軸の方向に揃った特殊な状態の多結晶体である。このような配向性多結晶であっても単結晶とは比較的容易に区別することができる。より具体的に言えば、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜はウルツ鉱型の結晶構造を有し、例えば基板面に対してＣ軸が垂直な方向に形成された単結晶薄膜は通常のＸ線回折２θ／θスキャンを行えばミラー指数（００２）の格子面からの回折線だけしか出現しない。一方薄膜が例えば基板面に対してＣ軸が垂直な方向に形成された配向性多結晶の場合もＸ線回折の２θ／θスキャンではミラー指数（００２）の格子面からの回折線だけしか出現しない。しかし、単結晶薄膜の場合Ｃ軸に平行なミラー指数（１００）の格子面を固定して２θ／φスキャンを行えばミラー指数（１００）の格子面からの回折線しか出現しないが配向性多結晶薄膜の場合はＣ軸に平行な他の格子面例えばミラー指数（１１０）格子面からの回折線も出現するので形成された薄膜が単結晶かあるいは配向性多結晶かの相違は容易に判定できる。すなわち単結晶にはＣ面内回転が見られないのに対して配向性多結晶薄膜の場合はＣ面内で結晶の回転が見られる。これは単結晶の場合均質で一体化しており結晶粒子としての境界がないのに対して配向性多結晶は結晶粒子の集合体でありそれぞれの結晶粒子において特定方向には結晶軸（例えばＣ軸）が揃っているが他��結晶軸（例えばＡ軸）はそれぞれの結晶粒子間で異なる方位を取っているためと思われる。このように配向性多結晶は結晶粒子が特定の結晶軸の方向に揃った特殊な状態の多結晶体とも云える。通常の多結晶薄膜は前記のようにＸ線回折２θ／θスキャンを行えばミラー指数（００２）の格子面からだけでなく例えば（１００）の格子面からの回折線も出現するので通常の多結晶薄膜と配向性多結晶薄膜とは容易に区別することができる。またもし基板1の上に形成された薄膜が単結晶あるいは多結晶でなく無定形状態であれば明確なピークを持った回折線が得られず回折線はブロードなパターンとなるので単結晶あるいは多結晶あるいは配向性多結晶と明確に区別できる。図１において該単結晶薄膜２はＣ軸方向に成長し易くその成長方向は基板面に対して垂直な方向であり、それはすなわち基板面と水平な方向が該単結晶薄膜２のＣ面方向となる。本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のＣ軸は基板面に対して垂直な方向に自発的に成長し易い。しかしながら上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を使用した場合でも薄膜の成長方法を適宜工夫すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のＣ軸を基板面に対して水平な方向に形成し得る。例えば上記基板温度を最初低めに設定し徐々に温度を上げながら薄膜形成用の原料ガスを基板に対して水平な方向から供給するなどの工夫を行えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のＣ軸を基板面に対して水平な方向に形成し得る。この様子を図４に示す。図４は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜２のＣ軸が基板面に対して水平な方向に形成されている（すなわちＣ面が基板面に対して垂直な方向に形成されている）ことを示す。本発明においてＸ線ロッキングカーブによる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性の評価は特に断らない限り図１に示すような基板面に対してＣ軸が垂直な方向に成長したものを用いて行った。なお、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１だけで表面のＸ線回折を行えばＪＣＰＤＳ（Ｊｏｉｎｔ  Ｃｏｍｍｉｔｔｅｅ  ｏｎ  Ｐｏｗｄｅｒ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ  Ｓｔａｎｄａｒｄｓ）ファイル番号２５−１１３４に記された粉末状ＡｌＮに相当する回折線が得られ焼結体中の窒化アルミニウム粒子は特定の方向でなくあらゆる方向を向いた多結晶状態であることを示している。なお、図１、図２及び図４において例示された基板の形状は円形であるが本発明において使用できる基板の形状は円形だけでなく正方形、長方形、あるいはその他多角形など任意の形状のものが使用できる。また、図1、図２及び図４に例示された本発明による窒化アルミニウムを���成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板及び窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いることで作製される薄膜基板は焼結体および薄膜作製において通常用いられている方法を用いることで任意の大きさのものが作製できる。すなわち焼結体の場合例えば外形０．０１ｍｍ〜１０００ｍｍ、厚み1μｍ〜２０ｍｍ程度のものは容易に作製できる。
【００３８】
また本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜と窒化アルミニウムを主成分とする焼結体とは強固に接合し、形成された薄膜内のクラックや該薄膜と窒化アルミニウムを主成分とする焼結体との接合界面での剥離などは見られない。接合性については例えば形成した上記薄膜に粘着テープを接着し引き剥がしテストを行っても該薄膜と窒化アルミニウムを主成分とする焼結体との接合界面での剥離や破壊は見られない。また窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜と窒化アルミニウムを主成分とする焼結体との間の接合性は通常垂直引張り強度で２Ｋｇ／ｍｍ２以上でありさらに垂直引張り強度４Ｋｇ／ｍｍ２以上の接合のものも得られる。
【００３９】
窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のうち窒化ガリウムおよび窒化インジウムを主成分とする単結晶薄膜において含まれる単結晶状態の薄膜の結晶性を上記のようにＸ線回折により判定する場合は六方晶ウルツ鉱型結晶構造を有する該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面からの回折線と下地の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の六方晶のミラー指数（００２）の格子面からの回折線とは明確に区別できるので形成した該単結晶薄膜のほとんどすべての厚みのものにＸ線回折法が結晶性の判定に使用できる。これは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムは同じ六方晶に属するウルツ鉱型の結晶構造をもっていても格子定数が少しずつ異なるためＸ線回折による六方晶のミラー指数（００２）の格子面からの回折線の位置が容易に判別できる程度に異なるからである。特性Ｘ線としてＣｕＫα線（波長１．５４２Å）を用いたとき下地窒化アルミニウム焼結体製基板のミラー指数（００２）の格子面からの回折線は回折角θ＝１７．６５°〜１８．４５°、窒化ガリウム単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面からの回折線は回折角θ＝１７．２０°〜１７．５３°、窒化インジウム単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面からの回折線は回折角θ＝１５．５５°〜１５．８８°付近の範囲で現れるからであり、これらの回折線どうし判定を不可能にするような重なり合いが生じることは実質的にない。一方、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面からの回折線は回折角θ＝１７．８８°〜１８．２０°の範囲にある。したがって上記単結晶薄膜のうち窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜の結晶性をＸ線回折により判定する場合形成されている該単結晶薄膜の厚みが薄くなればＸ線が該単結晶薄膜を透過し下にある窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からの回折線と重なり合いその影響が見られるようになる。本発明においては使用した特性Ｘ線は透過エネルギーを小さく抑えるために波長の比較的長いＣｒＫα線（波長２．２９１Å）、あるいはＣｕＫαを用い、Ｘ線発生管球への加速電圧をできるだけ小さくすることで対応した。Ｘ線回折により窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜の結晶性を判定する場合、上記のような工夫によって下地の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からの回折の影響が排除できる限界の単結晶薄膜厚みは５００ｎｍ程度である。５００ｎｍ以下、５ｎｍ程度までの厚みの窒化アルミニウムを主成分とする薄膜の単結晶性の判定には例えばＲＨＥＥＤ（反射高速電子線回折）などの電子線回折を併用し、基板である窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からの影響が無いように考慮した。したがって本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上へ形成する窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅による結晶性の評価は通常該単結晶薄膜の厚み５００ｎｍ以上好ましくは１０００ｎｍ以上にて行った。
【００４０】
本発明により形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は０．５ｎｍ程度の厚みのものが形成できるがこのような少なくとも０．５ｎｍ程度の厚みのものでも単結晶として形成されているものと考えられる。本発明において上記の薄膜は単結晶だけでなく無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態のものも形成できる。これら薄膜においてその厚みは０．１ｎｍ〜０．２ｎｍ程度の厚みのものも形成し得る。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を薄膜形成用基板として使用し上記の薄膜を直接該基板に形成した場合は薄膜の厚みは０．５ｎｍ以上であることが好ましい。
【００４１】
本発明において、窒化アルミニウムなど各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を用いることにより窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜が形成し得る。また上記薄膜形成用基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成された薄膜基板、及び窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜があらかじめ形成された薄膜基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜をさらに形成した薄膜基板を得ることができる。さらに前記薄膜基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜が形成し得る。本発明において上記薄膜のうち単結晶が形成し得る基板には通常無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜も比較的容易に形成できる。本発明においては上記薄膜形成用基板及び薄膜基板が優れているかどうかの判定を該基板に単結晶薄膜を形成しこの単結晶薄膜の結晶性を評価することにより行った。
本発明において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の結晶状態は前記のようにＸ線回折により分析することで容易に判定できる。すなわち上記薄膜が単結晶であれば該単結晶薄膜のＣ軸が基板面に対して垂直な方位に形成されている場合六方晶ウルツ鉱型結晶のミラー指数（００２）の格子面からの回折線しか検出されない。また該単結晶薄膜のＣ軸が基板面に対して水平な方位に形成されている場合六方晶ウルツ鉱型結晶のミラー指数（１００）の格子面からの回折線しか検出されない。上記薄膜が多結晶であればミラー指数（００２）、あるいは（１００）などの格子面からの複数の回折線が検出されるので容易に判別できる。また上記薄膜が無定形であれば明確な回折ピークは検出されずブロードな回折パターンとなるので容易に判別できる。なお本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を薄膜形成用基板として用いた場合窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜はＣ軸が基板面に対して垂直な方位に形成されやすいので通常は六方晶ウルツ鉱型結晶のミラー指数（００２）の格子面からの回折線しか検出されない。
本発明において該単結晶薄膜の結晶性評価は通常特に断らない限り該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅を測定して行った。使用した特性Ｘ線はＣｕＫα線（波長１．５４２Å）である。また、本発明においては特に断らない限りミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は通常のωスキャンによって測定されたものであり、単位として秒（ａｒｃｓｅｃａｎｔ）で示す。なおこのような結晶性の評価を行うにあたり、該単結晶薄膜形成用の基板として用いられる窒化アルミニウムなど各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板表面は特に断らない限り平均表面粗さＲａ＝３０ｎｍ前後の鏡面状態としたものを使用した。
【００４２】
本発明による薄膜形成用基板は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であればよいのであって基板に直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶を含む各種結晶状態の薄膜が形成できる。また、上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において光透過性を有するものを用いることが基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性を高め易い。このような焼結体の中でも少なくとも可視光領域において光透光性が高いものほど形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が高まるので好ましい。可視光領域における光透光性は波長３８０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲において、直径２５．４ｍｍ厚み０．５ｍｍの円盤状で表面を平均粗さＲａ＝３０ｎｍ程度の鏡面に研磨した焼結体で光透過率１％以上のものが好ましい。光透過率１％以上の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いることで直接その上に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下と良好なものが得られ易い。光透過率が５％以上の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いることで上記Ｘ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下とより良好なものが得られ易い。さらに光透過率が１０％以上の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いることで上記Ｘ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下とさらに良好なものが得られ易くさらに好ましい。本発明において可視光領域における光透過率とは上記波長３８０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光における光透過率のことであり、本発明においては通常特に断らない限り波長６０５ｎｍの光で測定された光透過率の値を用いた。また本発明による上記のような可視光領域における光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外領域の光においても同様な光透過率を有し、その光透過率は１％以上のものが得られる。すなわち本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の中でも少なくとも波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対する光透過性が高いものほど形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が高まるので好ましい。また本発明による可視光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は波長２５０〜３８０ｎｍの範囲の紫外光においては５％以上の光透過率を有するものが得られ、波長３００〜３８０ｎｍの範囲の紫外光においては１０％以上の光透過率を有するものが得られる。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は上記波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外領域において４０％以上の光透過率を有するものが得られ、さらに最大６０〜８０％あるいは８０％以上の光透過率のものも得られる。上記のように本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板は紫外光に対する透過性も有するので前記本発明による基板に例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を用いて紫外線発光の素子を形成すれば素子から発光された紫外線が基板部分で吸収されることが少ないので発光素子の発光効率が高まるという効果が得られ好ましい。
【００４３】
このように本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板は２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光において少なくとも１％以上の光透過率を有しこのような光透過率を有する基板を用いることでより優れた結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できることが明らかにされた。また本発明において、少なくとも１％以上の光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶以外の無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜も形成できる。
【００４４】
以下本発明において特に断らない限り光透過率は波長６０５ｎｍの光において測定されたものである。本発明による光透過性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は通常少なくとも波長３８０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の可視光領域においてはどのような波長の光に対しても波長６０５ｎｍの光で測定された光透過率とほぼ同様の光透過率を示す。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は波長２００ｎｍ〜８００ｎｍのすべての波長範囲の光において波長６０５ｎｍ以外で波長６０５ｎｍと同様の光透過率を有するとは限らないが波長６０５ｎｍの光において測定された光透過率を用いるだけで本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の性能例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したときの結晶性などを代表して判別できる。すなわち光透過性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の基板としての特性を上記波長６０５ｎｍの光において測定した光透過率で代表して判定し得る。
本発明において、光透過性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は通常波長２００ｎｍ以上の光に対して光透過性を示す場合が多い。すなわち、波長２００ｎｍ〜２５０ｎｍの範囲の光に対して光透過性を示し始め、波長２５０ｎｍ〜３５０ｎｍの範囲の光に対して急激に光透過性が上昇し紫外光から可視光領域に入る境界領域にある波長３５０ｎｍ〜４００ｎｍ以上の光に対してはほぼ一定の光透過率を有する傾向がある。本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率とは特に断らない限り波長６０５ｎｍの光に対して測定された光透過率を意味する。通常本発明において光透過性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体では波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外光で測定された光透過率より波長３８０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の可視光における光透過率の方が大きい。具体的には通常本発明において光透過性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外光で測定された光透過率が１％以上であれば波長３８０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の可視光における光透過率は１％より大きなものとなる。したがって波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外光で測定された光透過率が１％以上の光透過性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときさらに優れた結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。このように光透過率として波長６０５ｎｍ以外の光に対する測定値を用いなくても波長６０５ｎｍの光に対する光透過率を把握しておけば本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の性能すなわち窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したときの結晶性を代表して判別することが容易となり、さらに例えば発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる少なくともＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を含む積層体を形成するための基板（以下、特に断らない限り単に「発光素子作製用基板」と言う）として用いたとき作製される発光素子の発光効率を判定し得る。
【００４５】
本発明において、波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲の紫外光における光透過率とは波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲におけるいずれか特定の波長に対する光透過率を意味する。また、本発明において特に断らない限り可視光とは波長３８０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光であり、紫外光とは波長３８０ｎｍ以下の光をいう。
本発明における光透過率の測定値は特に断らない限り直径２５．４ｍｍ厚み０．５ｍｍの円盤状で表面を鏡面に研磨した（通常は、平均表面粗さＲａ＝３０ｎｍ程度）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体（例えば六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体、及び酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラスのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする焼結体、など）を試料として用い、通常分光光度計などを用いて所定の波長の光を上記焼結体試料に当て、入射した光の強度と透過した光の強度を測定しその比を百分率で表わしたものである。波長としては通常特に断らない限り６０５ｎｍのものを用いて測定されたものである。本発明における光透過率は上記測定用試料を積分球の内部にセットして全透過光を集めこの全透過光と入射光との強度比を百分率で表した全透過率として求めたものである。
ガラスなどの透明体の光透過率は通常直線透過率として求められるが、一般に窒化アルミニウムを主成分とする焼結体などのセラミック材料の光透過は入射光が焼結体内部で散乱され直線的に透過されず、散乱された状態であらゆる方向へ透過される。したがって透過光の強度はこのような方向性のない散乱光をすべて集めたものとなる。本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の光透過率はこのような全透過率として測定されたものであり、ガラスなどの透明体の直線透過率とは異なる。
光透過率は試料の厚みによって変化し本発明による上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体（例えば六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体、及び酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラスのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする焼結体、など）を薄膜形成用基板、薄膜基板、あるいは発光素子作製用基板などに用いる場合該基板の厚みを薄くして光透過率を高めることは例えば発光素子の発光効率を高める上で有効である。通常薄膜形成用基板、薄膜基板、あるいは発光素子作製用基板などとしては厚み０．０１ｍｍ以上のものを用いることが取り扱い上の強度の点からは好ましい。又厚みが厚くなると光透過率が低下し易いので通常薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用基板などとしては厚み８．０ｍｍ以下のものを用いることが好ましい。本発明において上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体はその厚みが少なくとも０．０１ｍｍ〜８．０ｍｍの範囲において実際に使用される状態の薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用基板などが光透過性を有していれば有効である。すなわち、上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体はその厚みが少なくとも０．０１ｍｍ〜８．０ｍｍの範囲あるいはそれ以外であっても実際に使用される状態での光透過率が少なくとも１％以上であればよいのであって、例えば発光素子作製用基板として実際に厚み０．１ｍｍあるいは２．０ｍｍなど厚みが必ずしも０．５ｍｍではないものであっても光透過性を有し光透過率が少なくとも１％以上であれば作製される発光素子の発光効率は向上し易い。
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体（例えば六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体、及び酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラスのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする焼結体、など）の光透過性は厚みには関係無い。厚い状態では光透過性を有しないものであっても薄くすることで光透過性を有するものは本発明に含まれる。すなわち、例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍのとき光透過性を有しないものであっても厚みを薄くすることで光透過性が発現するものは本発明に含まれる。また、例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍより厚いとき光透過性を有しないものであっても厚みを０．５ｍｍとすることで光透過性が発現するものは本発明に含まれる。光透過性を別の言葉で表現すれば、本発明の光透過率として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の厚みには関係無く、該焼結体の光透過率が１％以上であれば本発明に含まれる。すなわち、例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍのとき光透過率が１％より小さいものであっても厚みを薄くすることで光透過率が１％以上であるものは本発明に含まれる。また、例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍより厚いとき光透過率が１％より小さいものであっても厚みを０．５ｍｍとすることで光透過率が１％以上であるものは本発明に含まれる。
上記のように本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の光透過性としては実際該焼結体が用いられている状態での光透過性が重要である。したがって窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体として実際該焼結体が用いられている状態で光透過性を有していれば本発明に含まれる。別の表現をすれば、本発明の光透過率としては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の厚みには関係無く、該焼結体の実使用状態での光透過率が１％以上であれば本発明に含まれる。すなわち、例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが実使用状態で０．５ｍｍ以下あるいは０．５ｍｍより大きいとき光透過率が１％以上であるものは本発明に含まれる。
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが実使用状態で０．５ｍｍより薄い場合あるいは０．５ｍｍより厚い場合は基板厚み０．５ｍｍのとき測定した光透過率と異なり、光透過率は０．５ｍｍより薄い場合は０．５ｍｍのとき測定したより高くなり易く０．５ｍｍより厚い場合は０．５ｍｍのとき測定した光透過率より低くなり易い。本発明においては上記のように実際に使用される状態で光透過率が少なくとも１％以上の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及びその他のセラミック材料を主成分とする焼結体を用いることが好ましい。
【００４６】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下である必要性は必ずしもない。例えば上記Ｘ線回折ロッキングカーブの半値幅がブロードな結晶性のものでも表面弾性波素子用などの圧電膜や回路基板用の絶縁膜や誘電膜、あるいは光導波路用材料などの用途には問題なく使用できる。このような用途には上記Ｘ線回折ロッキングカーブの半値幅が３６００秒以下程度であれば問題なく使用できる。また上記用途において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の結晶性は場合によっては必ずしも単結晶でない無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態のものであっても使用し得る。しかしながら窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いそこに形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の上に発光素子を形成する場合、あるいは該単結晶薄膜を直接発光素子構成層の一部として用いる場合、あるいは該単結晶薄膜をフィールドエミッションディスプレイ（電界放出によるディスプレイ）の冷陰極材料として用いる場合などは該単結晶薄膜の結晶性は上記ミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下のシャープなものであることが好ましい。
【００４７】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶を含む各種結晶状態の薄膜が形成できる。さらに本発明において上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶を含む各種結晶状態の薄膜を例えば発光素子を製造する場合などのように２以上の層構成として形成できる。この２以上の層で形成された薄膜は各層において結晶状態、組成、あるいは厚みなどそれぞれ異なる状態で形成できる。本発明による２層以上の薄膜層からなる薄膜基板は２層以上の薄膜層のうち少なくとも１層以上は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜からなる。本発明による薄膜基板を発光素子形成用基板などのように、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するために用いる場合など薄膜基板表面の薄膜は通常単結晶であることが好ましい。本発明においては２層以上から構成されている窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶を含む各種結晶状態の薄膜においても形成されている単結晶薄膜においてそのミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下と、シャープで結晶性の高いものが得られ易い。
【００４８】
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の可視光あるいは紫外光に対する光透過率は１）焼結密度、２）焼結体内部の気孔の有無や大きさ、３）焼結助剤含有量、４）酸素含有量、５）焼結助剤及び酸素以外の不純物含有量、６）焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさ、あるいは７）焼結体中の窒化アルミニウム粒子の形状、などといったセラミック特有の複雑な要因で変化する。通常は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板において１）焼結密度が高く、２）焼結体内部の気孔が少なくもしあったとしてもサイズが小さく、３）焼結助剤量が必要最小量であるかもしくは焼結助剤を含まない、４）酸素含有量が少ないこと、５）焼結助剤以外の不純物含有量が少ないかもしくは含まない、６）焼結体中の窒化アルミニウム粒子が小さいか又は大きさが均一である、あるいは７）焼結体中の窒化アルミニウム粒子の角が取れた丸いものより多角形でお互いの粒子同士多角形の面や稜線、あるいは多角形の頂点での重なりが隙間なく緊密であるもの、あるいは８）焼結体中の窒化アルミニウム粒子が大きくても焼結助剤などのＡｌＮ以外の成分が少なくＡｌＮとしての純度が高いもの、９）焼結体中の焼結助剤などＡｌＮ以外の成分が多くても窒化アルミニウム粒子が大きく成長したもの、などの性状を有する窒化アルミニウム焼結体であれば可視光に対する光透過率が１％以上と高くなる傾向を有する。したがってこのような性状の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の膜質、結晶性は向上し易い。
【００４９】
元来窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は焼結助剤や含有酸素量あるいはその他の不純物量を制御することで熱伝導率が室温において少なくとも５０Ｗ／ｍＫ以上であり、通常は１００Ｗ／ｍＫ以上と高いものが得られる。そのため窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基材として用いて作製される発光素子はそこに加えられる電力を基材がサファイアの場合に比べて大きくできるので発光素子の発光出力が高まるという利点を有する。上記の焼結助剤や酸素あるいはその他の不純物を含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の場合は室温における熱伝導率が１５０Ｗ／ｍＫ以上のものが容易に得られ、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基材として製造される発光素子への投入電力をより高めることができるので好ましい。また、上記の焼結助剤や酸素あるいはその他の不純物を含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の場合は室温における熱伝導率が１７０Ｗ／ｍＫ以上のものも容易に得られ、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基材として製造される発光素子への投入電力をさらに高めることができるのでより好ましい。
【００５０】
本願発明者は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶を含む各種結晶状態の薄膜を直接形成するための基板として窒化アルミニウム（ＡｌＮ）以外で炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化ガリウム（ＧａＮ）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ベリリウム（ＢｅＯ）、アルミン酸マグネシウム（ＭｇＡｌ２Ｏ４：スピネル）などを主成分とする焼結体を検討してきた。そのなかで炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶（Ｈｅｘａｇｏｎａｌ）結晶構造を有するか三方晶（Ｔｒｉｇｏｎａｌ）結晶構造の酸化アルミニウムを主成分とする焼結体が窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を単結晶化できる。各炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム基板、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体製基板においてその上に形成される該単結晶薄膜の六方晶及び三方晶のミラー指数（００２）格子面のロッキングカーブの半値幅は３６００秒以下という結晶性を示し易い。一方酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、スピネルを主成分とする焼結体からなる基板上に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は多結晶の状態であり単結晶化しにくい。これは酸化ジルコニウムの結晶系は正方晶（Ｔｅｔｒａｇｏｎａｌ）もしくは立方晶（Ｃｕｂｉｃ）もしくは単斜晶（Ｍｏｎｏｃｌｉｎｉｃ）であり、酸化マグネシウムとスピネルはそれぞれ立方晶（Ｃｕｂｉｃ）であるためと思われる。酸化アルミニウムの結晶系は三方晶であるが六方晶としての分類も可能であるのでその上に直接形成される薄膜が単結晶化できる焼結体は結局本質的には結晶系が六方晶及び六方晶として分類できる材料を主成分とする基板だけであろうと本願発明者は考えている。その理由は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウム各薄膜の有する結晶構造はウルツ鉱型結晶であり該ウルツ鉱型結晶の属する結晶系は六方晶であり基板となる焼結体の主成分が六方晶系あるいは三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有していれば上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が自発的に単結晶化し易いためと思われる。
本発明において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する材料を主成分とする焼結体を用いた基板に直接形成する場合、図１、図２、図４に示したような基板１の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に代わって上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム及び酸化アルミニウムなどの焼結体からなる基板を用いることで実現できる。この場合該単結晶薄膜の成長方位は基板面に対して垂直な方向が該薄膜結晶の属する六方晶のＣ軸として成長し易い。又Ｘ線を照射すれば図２に示したのと同様該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面からの回折線だけが検出される。なお、上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム及び酸化アルミニウムなどを主成分とする焼結体からなる基板の形状は本発明において円形だけでなく正方形、長方形、あるいはその他多角形など任意の形状のものが使用できる。また、上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム及び酸化アルミニウムなどを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム及び酸化アルミニウムなどを主成分とする焼結体を用いることで作製される薄膜基板は焼結体および薄膜作製において通常用いられている方法を用いることで任意の大きさのものが作製できる。すなわち焼結体の場合例えば外形０．０１ｍｍ〜１０００ｍｍ、厚み1μｍ〜２０ｍｍ程度のものは容易に作製できる。
【００５１】
本発明において検討してきた各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の中で窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板は特に優れている。上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成された殆どすべての窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜において該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下とシャープで特に結晶性に優れている。したがって本発明が完成に至ったのもこのような知見が得られたことが背景の大きな一つである。おそらく窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は結晶系だけでなく熱膨張率も窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜と極めて近いことも優れている原因の一つと本発明者は推測している。すなわち窒化ガリウムが５．５９×１０−６（℃−１）であり、窒化インジウムが５．７０×１０−６（℃−１）であり、窒化アルミニウムが５．６４×１０−６（℃−１）である。例えば本発明による薄膜形成用基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いて窒化ガリウムの単結晶薄膜を１０００℃程度の温度で形成し室温まで冷却した後窒化ガリウム単結晶薄膜に生じる応力はわずかで窒化ガリウム単結晶薄膜に不具合が生じにくい。またこの組み合わせの場合窒化ガリウム単結晶薄膜に生じる応力は圧縮応力となり、そのためさらに窒化ガリウム単結晶薄膜に不具合が生じにくくなるものと推測される。上記のように基板の熱膨張率が窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜と近いことの利点としてはその他、基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜の膜厚を厚くする必要がある場合該単結晶薄膜に生じる応力が小さくさらにその応力も圧縮応力であることが多いので例えば１０μｍ以上といった厚い膜厚の前記該単結晶薄膜及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜に転位や亀裂などの不具合が生じることが少ない、ということが挙げられる。このように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を薄膜形成用基板として用いたとき該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜の厚みは任意の厚みのものが形成できるが少なくとも０．５ｎｍ以上のものが形成できさらに１０μｍｍ以上の厚いものも容易に形成できる。このように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を薄膜形成用基板として用いたとき該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は単結晶だけに限ら��無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶性のものも任意の厚みで形成でき少なくとも０．５ｎｍ以上のものが形成できさらに１０μｍｍ以上の厚いもの、又必要に応じて５０μｍ以上のものも容易に形成できる。本発明において上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成された殆どすべての窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが０．５ｎｍ以上の場合（１０μｍ以上、あるいは５０μｍ以上の単結晶薄膜であっても）、該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は３００秒以下とシャープで特に結晶性に優れている。したがって本発明による基板を用いて窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜の積層によって発光素子を形成したとき素子中の転位が少なく、発光素子を形成するにあたって必要な単結晶薄膜及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜の厚み及び発光素子全体の厚みが任意に設定できるので発光素子の設計が容易となり発光効率の高い素子が製造できる。
【００５２】
このように、基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いれば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム及び酸化アルミニウムなどを主成分とする焼結体に比べて基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜はより高品質のものが得られやすいという特徴を有する。その他、基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いる場合の副次的な利点は波長３８０ｎｍ以下の紫外光に対する光透過率の高さである。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体以外の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛などを主成分とする焼結体の場合波長３８０ｎｍ以下の紫外光に対する光透過率は殆ど無く実質的に０％である。したがって基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いる場合炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛などを主成分とする焼結体に比べて発光素子からの紫外光が基板で吸収される割合が減るので発光素子の発光効率が高まるという利点がある。
【００５３】
基板にサファイアや炭化珪素単結晶あるいはシリコンといった単結晶材料を用い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したときこれらの基板材料は単結晶であるにもかかわらず得られる該単結晶薄膜には反りや亀裂あるいは転位の増大が生じ易くさらに場合によっては該単結晶薄膜が厚く形成できない場合があるが、その原因として該単結晶薄膜と熱膨張率が異なることもその一つであると推察される。例えば上記単結晶基板の中で炭化珪素単結晶及びシリコンの熱膨張率は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜より小さくそのため該薄膜中には引張り応力が働き該薄膜を例えば０．５μｍといった比較的薄い厚みで形成しても該薄膜には亀裂や転位が生じやすい。
【００５４】
上記に述べたように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板として必ずしも単結晶が優れている訳ではなく、本発明者が示したように基板としてセラミック材料を用いても優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できる。セラミック材料の中でも窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が優れており従来からの問題点を解決できる。
【００５５】
本発明による薄膜形成用基板及び薄膜基板は図１、図２及び図４で例示されたような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成したものだけではない。本発明による薄膜形成用基板としては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板だけでなく、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムなど六方晶系又は三方晶系の結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、その他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板も使用でき、該基板には単結晶を含め無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が直接形成し得る。
図５は、本発明による薄膜形成用基板、及び薄膜基板の１例を示す斜視図である。図５において符号４で示したものが本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板であり薄膜形成用基板として用いられる。該基板４には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜５が形成され該基板４及び薄膜５により薄膜基板６が構成されている。該基板４には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とし単結晶あるいは無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜５が形成されている。薄膜５は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする２層以上から構成される薄膜としても形成できる。本発明において２層以上からなる薄膜のうち通常少なくとも１層以上は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶状態の薄膜が形成されたものが発光素子形成用基板、あるいはフィールドエミッション用基板、あるいは回路基板用誘電体材料、あるいは光導波路材料、など各種電子素子及び電子部品用途に使用していく上では好ましい。上記の２層以上で構成された薄膜のうち基板表面の薄膜は単結晶であることがより好ましい。２層以上に形成された薄膜５は各層において単結晶状態を含め無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態などの各種結晶状態、組成、あるいは厚みなどそれぞれ異なる状態で形成できる。すなわち、例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、などを含めた各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形状態あるいは配向性多結晶状態の薄膜があらかじめ形成されさらにその上に単結晶状態の薄膜が形成されている場合、などである。本発明において同じ結晶状態で組成がそれぞれ異なる２層の薄膜としても形成できる。すなわち、例えば形成される薄膜がそれぞれ同じく単結晶で組成がそれぞれ異なる２層の薄膜として形成できる。
なお、図３６に窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板だけの図を例示し、該基板を符号４で示した。図３６に例示した基板４は薄膜形成用基板として用いられ、該基板の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成される。
本発明による上記の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、などを含めた各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板４には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする少なくとも単結晶状態の薄膜が直接形成でき、その他に無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態など各種結晶状態の薄膜も直接形成できる。本発明における実施形態として上記基板４には必ずしも窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする少なくとも単結晶状態の薄膜が直接形成されたものでなくてもよく、無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態の薄膜が直接形成されているものであってもよい。
本発明において図５に示したような薄膜基板を用いその上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成することができる。その場合該薄膜基板は薄膜形成用基板としての機能を果たすことになる。
図５に例示した本発明による薄膜形成用基板、及び薄膜基板を用いて発光素子、あるいはフィールドエミッションディスプレイ、あるいは回路基板、あるいは光導波路など、各種電子素子及び電子部品を作製することができる。
【００５６】
図６は、図５に示した薄膜が２層で構成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。図６において、符号４で示したものが本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、などを含めた各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板であり薄膜形成用基板として用いられる。該薄膜形成用基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜５及び薄膜８がそれぞれ１層合計２層の薄膜が形成され薄膜基板６が構成されている。
図６に例示した薄膜５及び薄膜８は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とし単結晶状態の薄膜、あるいは必要に応じて、無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものである。図６に示した薄膜５及び薄膜８は各層において単結晶を含め無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態、組成、あるいは厚みなどそれぞれ異なる状態で形成できる。図６に示した薄膜構成において薄膜５を単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態で形成し、薄膜８をエピタキシャル成長した単結晶として形成すれば該薄膜８の結晶性は基板４に直接形成した単結晶薄膜の結晶性よりも向上し易いので好ましい。このような薄膜構成の薄膜基板は例えば発光素子、あるいはフィールドエミッション、あるいは回路基板、あるいは光導波路など、各種電子素子及び電子部品の作製用に使用していく上で好ましい。上記のように薄膜８をエピタキシャル成長した単結晶として形成していく場合、薄膜５は無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態で形成されたものが該薄膜８の結晶性などの特性面で優れたものが得られ易いので好ましく、薄膜５が配向性多結晶として形成されたものがより好ましい。
また、本発明において、図６に示すような薄膜を２層形成したものだけでなくさらに３層以上に形成された薄膜基板も容易に提供することができる。
【００５７】
上記のように図５及び図６に示した薄膜はすべてが単結晶であるとは限らない。また単一の層であるとは限らない。図５及び図６に示した薄膜は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶状態、無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態など各種結晶状態のものを用いることができる。また、図５及び図６に示した薄膜は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする２層以上から構成される薄膜としても形成できる。２層以上からなる薄膜は各層において単結晶状態を含め無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態などの結晶状態、組成、あるいは厚みなどそれぞれ異なる状態で形成できるが、本発明において２層以上で構成された薄膜のうち少なくとも１層以上は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶であることが好ましい。本発明による薄膜基板を発光素子形成用基板、あるいはフィールドエミッション用基板、あるいは回路基板用誘電体材料、あるいは光導波路用材料、などのように、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜をはじめとする各種結晶状態の薄膜を形成するために用いる場合など本発明による薄膜基板の表面は通常単結晶状態であることが好ましい。
本発明による薄膜基板とは、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、その他各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用い、該基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された基板であって、要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の少なくとも一部がエピタキシャル成長した単結晶状態である基板である。本発明による薄膜基板において表面に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を有するものの場合窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、などを含めた各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶状態、無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態のうちから選ばれる少なくともいすれかの結晶状態の薄膜をあらかじめ形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した薄膜を形成したものが望ましい。そうすることで窒化アルミニウムなど各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶を直接形成したものより単結晶薄膜の結晶性が向上するので好ましい。
本発明による上記図５で示した薄膜基板６及び図６で示した薄膜基板８には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする少なくとも一部が単結晶状態である薄膜が形成でき、その他無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜も形成できる。
【００５８】
本発明による薄膜形成用基板としては図５で示した窒化アルミニウムなど各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板だけでなく、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された基板も用いることができる。このような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された基板は図６で示した薄膜基板と同質であり、本発明による薄膜基板は発光素子作製用基板、あるいはフィールドエミッション用基板、あるいは回路基板用誘電体材料、あるいは光導波路用材料、などの電子素子及び電子部品だけでなく本発明による薄膜形成用基板としても用いることができる。
【００５９】
本発明による薄膜基板において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するために用いる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は通常基板状で用いられる。該基板状の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は本発明による薄膜形成用基板として用いる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板と同質である。すなわち本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板は本発明による薄膜基板を構成する基板としても用いることができる。
【００６０】
図５及び図６に記載されている薄膜形成用基板及び薄膜基板は円盤状であり、薄膜は基板の１面だけに形成されているように描かれているが、本発明において上記薄膜は基板の１面だけでなくその他の面にも必要に応じて形成され得る。また、薄膜形成用基板及び薄膜基板として例えば四角い板状（直方体）のものを用いた場合窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は必要に応じて上記薄膜形成用基板及び薄膜基板の１面だけ、あるいは２面だけ、あるいは３面だけ、あるいは４面だけ、あるいは５面だけ、あるいは６面すべて、に形成できる。
【００６１】
図１、図２、図４、図５、図６で示された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜５は少なくとも単結晶状態を含み必要に応じて、さらに無定形状態、多結晶状態、配向性多結晶状態など各種結晶状態を含むものとして形成でき、さらに該薄膜５は単一の層だけでなく組成や結晶状態あるいは厚みの異なる複数の層としても形成し得る。
【００６２】
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の製造は従来からの方法を用いることができる。すなわち窒化アルミニウムを主成分とする粉末成形体をヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素などの少なくとも１種以上を主体とする中性雰囲気あるいは水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などの少なくとも１種以上を含む還元性雰囲気といった非酸化性雰囲気の常圧下で、あるいは減圧下で、あるいは加圧下で通常１５００〜２４００℃程度の温度範囲で加熱し製造される。焼成時間は通常１０分〜３時間程度の範囲が用いられる。又真空中での焼成によっても製造され得る。さらにホットプレス法あるいはＨＩＰ（熱間静水圧加圧焼結）によっても製造される。ホットプレス法による焼成条件としては上記非酸化性雰囲気中あるいは真空中通常１５００〜２４００℃程度の焼成温度範囲及び１０分〜３時間程度の範囲の焼成時間及び１０Ｋｇ／ｃｍ２〜１０００Ｋｇ／ｃｍ２程度の圧力範囲が用いられる。またＨＩＰ法による焼成条件としては上記非酸化性雰囲気を５００Ｋｇ／ｃｍ２〜１００００Ｋｇ／ｃｍ２程度の範囲に加圧し通常１５００〜２４００℃程度の焼成温度範囲及び１０分〜１０時間程度の範囲の焼成時間が用いられる。上記の焼成に際して窒化アルミニウム成分が焼成雰囲気中に存在するような工夫を行うことでより光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が得やすい。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする蒸気が焼成雰囲気中に存在することで光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体がより得易くなる。窒化アルミニウム成分を焼成雰囲気中に存在させる方法としては例えば被焼成物である窒化アルミニウムを主成分とする粉末成形体あるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の焼成中に該被焼成物自体からの蒸発によって雰囲気中に供給するか、あるいは該被焼成物以外から供給する方法がある。具体的には例えば、被焼成物自体から窒化アルミニウム成分を焼成雰囲気中に供給する方法として、該被焼成物を窒化ほう素あるいはタングステン、モリブデンなどできるだけカーボンを含まない材料で作製された「さや」や「こう鉢」などの焼成容器あるいは「セッター」などの焼成治具に収納し焼成するか、あるいはカーボンを含んだ焼成容器あるいは焼成治具を用いたとしてもその表面を窒化ほう素などでコーティングしたものを用いるなど効果がある。焼成容器あるいは焼成治具などに収納後さらに密閉度を高めた状態で被焼成物を焼成することにより光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を作製することもできる。被焼成物以外から窒化アルミニウム成分を焼成雰囲気中に供給する方法として、被焼成物を窒化アルミニウムを主成分とする材料で作製された「さや」や「こう鉢」などの焼成容器あるいは「セッター」などの焼成治具に収納し焼成することで光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を作製することができる。また、被焼成物を窒化アルミニウムを主成分とする粉末中に埋設して焼成する方法は光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が得やすい。上記焼成容器あるいは焼成治具内に被焼成物以外の窒化アルミニウムを主成分とする粉末あるいは窒化アルミニウムを主成分とする粉末成形体あるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のうちから選ばれた少なくともいずれか１以上のものを被焼成物とともに同時に存在させて焼成しても光透過率に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を作製することができる。この方法では被焼成物をフリーな状態で焼成することができるので製品の大量処理や複雑な形状のものを焼成する場合に好適である。なお、上記焼成容器あるいは焼成治具のうち窒化アルミニウムを主成分とする材料で作製された焼成容器あるいは焼成治具を用い、被焼成物以外の窒化アルミニウムを主成分とする粉末あるいは窒化アルミニウムを主成分とする粉末成形体あるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のうちから選ばれた少なくともいずれか１以上のものを被焼成物とともに同時に存在させて焼成しても光透過率に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を作製することができる。上記窒化アルミニウム成分を焼成雰囲気中に存在させ光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を作製する方法のなかで、通常該窒化アルミニウム成分を被焼成物自体からの蒸発によって雰囲気中に供給するよりも被焼成物以外から供給する方がより光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が作製し得る。なお、上記窒化アルミニウム成分を焼成雰囲気中に存在させ光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を作製する方法は、通常焼結助剤などの添加物や原料中に含まれる酸素あるいは不可避不純物などの成分が焼成中に揮散しないので粉末成形体とほとんど同じ組成の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を作製することができる。
その他、ホットプレス法やＨＩＰ法による焼成に際しては窒化アルミニウムを主成分とする粉末成形体をそのまま加圧焼成するよりも該粉末成形体をいったん焼成して窒化アルミニウムを主成分とする焼結体となし、該焼結体をあらためて加圧焼成する方がより光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が得やすい。また、ホットプレス法やＨＩＰ法による焼成においても、上記焼成容器や焼成治具を用いるなど各種方法により焼成雰囲気中に窒化アルミニウ成分を存在させて焼成することがより光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を作製する上で好ましい。
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の化学的純度を向上させるときは必要に応じて上記以外の条件も選択できる。例えば１７５０℃以上の温度で３時間以上の比較的長い時間をかけ要すれば還元性雰囲気中で焼成を行えば含まれる酸素や焼結助剤として用いられる希土類元素化合物やアルカリ土類金属化合物などの成分あるいは焼成温度低減化剤として用いられるアルカリ金属や珪素などの成分あるいは黒色化剤として用いられるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分やカーボンあるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分などを飛散・除去し減少化できるのでＡＬＯＮや上記アルミニウム以外の金属成分や珪素あるいはカーボンを含む化合物の含有量が低減化されてＡｌＮ純度が高まりその結果光透過性が向上した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を製造することが可能となる。上記のように１７５０℃以上の温度で３時間以上の比較的長い時間をかけ要すれば還元性雰囲気中で焼成を行うことで窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性をより高めることができるが、該焼成により窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の窒化アルミニウム粒子が成長し易くその結果粒子境界が減少することも光透過性が高まり易くなることの要因の１つではないかと本願発明者は推測している。
【００６３】
上記のようにＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いて窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶の薄膜を形成したとき該単結晶薄膜はより結晶性の高いものが形成でき易くなるので好ましい。また、例えば１７５０℃以上の温度で３時間以上の比較的長い時間をかけて焼成を行うことで窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の窒化アルミニウム粒子を大きく成長させることができる。窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いて窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶の薄膜を形成したとき該単結晶薄膜はより結晶性の高いものが形成でき易くなるので好ましい。本発明においてはこのように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板としてＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体だけでなく、窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体も有効である。上記のようなＡｌＮ純度の高い窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を製造するときの焼成温度として焼成時間を短縮する上で１９００℃以上がより好ましく、２０５０℃以上がさらに好ましく、２１００℃以上が最も好ましい。２０５０℃以上はもちろんさらに２１００℃以上の高温であってもＡｌＮ成分自体は殆ど昇華することなく焼成できる。ＡｌＮの純度を高めるためあるいは窒化アルミニウム粒子を成長させるために焼成温度１７５０℃〜１９００℃の範囲では焼成時間は通常１０時間以上とすることが好ましくさらに２４時間以上でより大きな効果が得られる。焼成温度１９００℃以上では焼成時間６時間以上で十分ＡｌＮ純度を高める、あるいは窒化アルミニウム粒子を成長させる効果が得られさらに１０時間以上でＡｌＮの純度を高める、あるいは窒化アルミニウム粒子を成長させるためのより大きな効果が得られる。焼成温度２０５０℃以上では焼成時間４時間以上で十分ＡｌＮ純度を高める、あるいは窒化アルミニウム粒子を成長させる効果が得られさらに６時間以上でＡｌＮの純度を高める、あるいは窒化アルミニウム粒子を成長させるためのより大きな効果が得られる。また焼成温度２１００℃以上では焼成時間３時間以上で十分ＡｌＮ純度を高める、あるいは窒化アルミニウム粒子を成長させる効果が得られさらに４時間以上でＡｌＮの純度を高める、あるいは窒化アルミニウム粒子を成長させるためのより大きな効果が得られる。上記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のＡｌＮ純度を高める、あるいは窒化アルミニウム粒子を成長させる上では焼成温度を高めれば焼成時間を短くでき焼成温度を低くすれば焼成時間が長くなるという関係にあり、焼成温度と焼成時間は任意の条件のものを用いることができる。上記のようなＡｌＮ純度の高い窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を製造するときの焼成雰囲気は不純物をより揮散させ易くするために例えば水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などの少なくとも１種以上を含む還元性雰囲気を用いることが好ましい。還元性雰囲気としては水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などのうち少なくとも１種以上を主体とするものでも良いが窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴンなどのうち少なくとも１種以上を主成分とする雰囲気中に水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などのうち少なくとも１種以上を例えば０．１ｐｐｍ程度の微量含む雰囲気であっても良い。還元性雰囲気が窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴンなどのうち少なくとも１種以上を主体とする雰囲気中に水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などのうち少なくとも１種以上を微量含む雰囲気である場合水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などのうち少なくとも１種以上を１０ｐｐｍ以上含むものが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を高純度化する上でより好ましい。また前記還元性雰囲気において水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などのうち少なくとも１種以上を１００ｐｐｍ以上含むものが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を高純度化する上でさらに好ましい。窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を製造する時の雰囲気は特に還元雰囲気を用いる必要性はなく非酸化性の雰囲気であれば十分である。上記のような比較的長い時間焼成を行いＡｌＮ純度の高い窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を製造するとき、窒化アルミニウム原料粉末を主成分とする粉末成形体を用いて焼成してもよいし、前記粉末成形体をいったん焼成し焼結体としたものを用いても良い。また、主成分である窒化アルミニウム以外に希土類元素化合物あるいはアルカリ土類金属化合物のうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む窒化アルミニウムを主成分とする粉末成形体や焼結体を用いることも好ましい。
【００６４】
ＡｌＮ純度の高い窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を製造するときには特に焼結助剤を使用せず原料粉末をそのまま使った粉末成形体や焼結体を用い好ましくは前記のような還元性雰囲気中１７５０℃以上の温度で３時間以上加熱して含まれる成分を揮散・除去してもよいが、上記のように希土類元素化合物あるいはアルカリ土類金属化合物のうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む窒化アルミニウムを主成分とする粉末成形体や焼結体を用いることがＡｌＮ以外の成分を揮散・除去、低減化し高純度化が達成され易いのでより好ましい。また、希土類元素化合物から選ばれた化合物を少なくとも１種以上及びアルカリ土類金属化合物から選ばれた化合物を少なくとも１種以上同時に含んだ窒化アルミニウムを主成分とする粉末成形体あるいは粉末成形体をいったん焼成して焼結体としたものを用いることで、希土類元素化合物あるいはアルカリ土類金属化合物をそれぞれ単独で用いた場合に比べて焼成温度を５０℃〜３００℃程度低下することが可能となり効率的に窒化アルミニウム以外の成分を揮散・除去、低減化し高純度化が達成され易くなるのでより好ましい。このような方法によりＸ線回折などの方法を用いた分析で実質的にＡｌＮ単一相からなる窒化アルミニウム焼結体も製造できる。
【００６５】
本願発明において薄膜形成用基板として用いる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のＡｌＮ純度を高めることはこの基板に形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の質を向上させるためには有効である。その理由として焼結体中で粒界相の占める面積が減少しＡｌＮ粒子だけの影響しか受けにくくなるためであろうと思われる。
【００６６】
しかしながら一方で窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることも有効である。すなわち例えば前記粉末成形体や焼結体を１７５０℃以上の温度で３時間以上の比較的長い時間をかけて焼成を行って得られる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は窒化アルミニウム粒子は大きく成長している一方で希土類元素化合物やアルカリ土類金属化合物などの焼結助剤、あるいは酸素、あるいは焼成温度低減化剤として用いられるアルカリ金属や珪素などの成分、あるいは黒色化剤として用いられるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分やカーボン、あるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分、あるいはＡＬＯＮや上記アルミニウム以外の金属成分や珪素あるいはカーボンを含む化合物、などの成分が比較的多く残存している場合がある。このような焼結体を基板として用いてもこの基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が向上するなど薄膜の質は向上する。すなわち本発明において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板として用いられる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は必ずしもＡｌＮ純度の高いものでなくても焼結体中の窒化アルミニウム粒子を大きくすることが有効であることを示している。その理由として焼結体中の窒化アルミニウム結晶粒子の大きさが増大化すれば粒界が減少するので粒界の影響が少なくなりこの大きく増大したＡｌＮ粒子が単結晶に近い性質を発現し易くなるためであろうと推測される。上記のように高い温度で長時間焼成すれば焼結体中の窒化アルミニウム結晶粒子の大きさが増大化するが通常それと同時に窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中のＡｌＮ純度が高まり易い。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の窒化アルミニウム結晶粒子の大きさを増大化させるだけでＡｌＮ純度の向上を抑制するためには焼成雰囲気を水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などの還元性成分の比較的少ない窒素やアルゴンなどの非酸化性雰囲気を用いることが好ましい。又焼成炉もカーボン発熱体を用いる方式のものあるいは電磁誘導でカーボンを発熱させる方式あるいはカーボン製の炉材を用いたものなど以外、例えばタングステン、モリブデンなどの高融点金属を発熱体とする方式のものあるいは電磁誘導でタングステン、モリブデンなどの高融点金属を発熱させる方式あるいはタングステン、モリブデンなどの高融点金属製の炉材を用いたものなどを用いることが有効である。また水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などを含む還元性雰囲気中で焼成してもあるいはカーボン発熱体を用いる方式のものや電磁誘導でカーボンを発熱させる方式の焼成炉を用いても、前記粉末成形体や焼結体を窒化アルミニウムや窒化ほう素あるいはタングステンなどできるだけカーボンを含まないセッターや治具あるいはさや内に収納するか、あるいは窒化アルミニウム粉末中に埋設するか、あるいはカーボンを含んだセッターや治具あるいはさやを用いたとしても窒化アルミニウム粉末中に埋設するか、あるいは上記セッターや治具あるいはさや内に収納しさらに窒化アルミニウム粉末中に埋設するなど、できるだけ還元性雰囲気と隔絶した状態で焼成することも有効である。
上記のような焼結体の高純度化を抑制するような焼成法でなくカーボン発熱体を用いる方式のものあるいは電磁誘導でカーボンを発熱させる方式のものあるいはカーボン製の炉材を用いた焼成炉などを用いるか、カーボン製のセッターや治具あるいはさやを用いて前記粉末成形体あるいは焼結体を焼成すれば自発的に一酸化炭素や炭素を含む還元雰囲気が形成され易いのでＡｌＮ以外の成分が揮散・除去され易くなりＡｌＮ純度が高くかつ窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を容易に得ることができるので好ましい。通常カーボン発熱体を用いる方式のものあるいは電磁誘導でカーボンを発熱させる方式のものあるいはカーボン製の炉材を用いた焼成炉などを用い、同時にカーボン製のセッターや治具あるいはさやを用いて前記粉末成形体あるいは焼結体を焼成することがＡｌＮ純度が高くかつ窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を製造する上で好ましい。
また、上記のような還元性が弱いかあるいは還元性成分を含まない非酸化性雰囲気中で３時間以下と比較的短い時間、又は還元性が弱いかあるいは還元性成分を含まない非酸化性雰囲気中で例えば１９００℃以下と比較的低温で焼成を行ない、窒化アルミニウム結晶粒子の大きさの増大が比較的少なく、不純物や焼結助剤などが比較的多く残存した状態の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体も窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板として問題なく用いられる。すなわち、このようにして作製される窒化アルミニウムを主成分とする焼結体には原料粉末中の不純物酸素や粉末成形体に添加したＡｌ２Ｏ３に起因する酸素、あるいは添加した希土類元素化合物及びアルカリ土類金属化合物などの焼結助剤中の金属成分や酸素成分など、あるいは添加したアルカリ金属化合物及び珪素含有化合物中の金属成分、珪素成分、酸素成分など、あるいは添加したＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉの各遷移金属を含む化合物及びカーボンを含む化合物中の金属成分やカーボン成分など、あるいは添加したＦｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｚｎなどの不可避不純物を含む化合物中の金属成分や酸素成分などは焼成により殆ど揮散・除去されないで粉末成形体中と殆ど同じ量存在する場合が多い。一方、本発明においては特に断らない限り粉末成形体及び窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含まれる不純物あるいは加えられた各種添加物の量は実際含まれる不純物あるいは加えられる焼結助剤などの化合物を酸化物換算あるいは元素換算した量で示しており、前記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の酸素成分や金属成分あるいは珪素成分の量は通常特に断らない限り酸化物換算あるいは元素換算によるものである。
【００６７】
上記のようにＡｌＮ純度が高くかつ窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は薄膜形成用基板として好ましいが、必ずしもＡｌＮの純度が高くなくても、すなわち希土類元素化合物やアルカリ土類金属化合物などの焼結助剤、あるいは酸素、あるいは焼成温度低減化剤として用いられるアルカリ金属や珪素などの成分、あるいは黒色化剤として用いられるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分やカーボン、あるいはＦｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｃｏ、Ｃｕ、ＺｎなどＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分、あるいはＡＬＯＮや上記アルミニウム以外の金属成分や珪素あるいはカーボンを含む化合物、などの成分が比較的多く残存している窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であっても窒化アルミニウム粒子が成長したものであれば結晶性の高い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得る基板となり得る。上記のような不純物が残存している一方で窒化アルミニウム粒子が成長している窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は必ずしも光透過性がなかったりあるいは小さいものではなく、光透過率６０％〜８０％の高いものが得られる。このような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は結晶性の高い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成し得る優れた基板となり得る。
【００６８】
このようなＡｌＮ純度の高い窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいはＡｌＮ純度が高くかつ窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は可視光あるいは紫外光透過率が高まる。さらに、熱伝導率も例えば室温において２００Ｗ／ｍＫ以上あるいは２２０Ｗ／ｍＫ以上に向上できるという副次的な効果をもたらす。元来窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は熱伝導率が室温において少なくとも５０Ｗ／ｍＫ以上、通常は１００Ｗ／ｍＫ以上と高くそのため窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基材として用いて作製される発光素子はそこに加えられる電力を基板がサファイアの場合に比べて大きくできるので発光素子の発光出力が高まるという利点を有するが、さらに例えば上記のような方法で熱伝導率を室温において２００Ｗ／ｍＫ以上に高めることでさらに発光素子の発光出力を高めることができより好ましい。
【００６９】
さらに上記ＡｌＮ純度の高い窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は可視光及び／又は波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲の紫外光における光透過率が高まり２０〜４０％以上と比較的高いものが得られ易いので発光素子からの光が基板で吸収される割合が減り発光素子の発光効率が高まるという別の利点もある。
【００７０】
上記の高純度化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性を高めるためには焼成に供する粉末成形体や焼結体の形状はどのようなものでも用いることができるが同じ体積であれば立方体や直方体あるいは円柱状などのブロック状よりも例えば板状などより表面積の大きなものを用いることが好ましい。また上記焼成に供する粉末成形体や焼結体の形状でその１辺の大きさが８ｍｍ以下のものを用いることが高純度化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性を高める上で好ましい。さらに上記の１辺の大きさが５ｍｍ以下のものを用いることがより好ましく、上記の１辺の大きさが２．５ｍｍ以下のものを用いることがさらに好ましく、１辺の大きさが１ｍｍ以下のものを用いることが最も好ましい。上記焼成に供する粉末成形体や焼結体の形状が板状のときその厚みは８ｍｍ以下のものを用いることが高純度化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性を高める上で好ましい。さらに上記板状の粉末成形体や焼結体の厚みは５ｍｍ以下のものを用いることがより好ましく、厚み２．５ｍｍ以下のものを用いることがさらに好ましく、厚み１ｍｍ以下のものを用いることが最も好ましい。上記に示したことを具体的に述べれば例えば、組成が実質的に同じで実質的にＡｌＮ単一相の焼結体であっても上記立方体や直方体あるいは円柱状などのブロック状のものあるいは１辺が５ｍｍを越える粉末成形体や焼結体を用いて製造した高純度化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体では板状あるいは１辺が８ｍｍ以下の成形体や焼結体を用いて製造したものに比べて光透過率が低減化し、場合によっては黒色化して光透過率がゼロに近いものとなる場合がある。その理由は必ずしも明確ではないが、焼成の過程でＡｌＮ以外の成分が揮散・除去されるに際して該揮散成分の圧力が高まり焼結体から急激な抜け方をしたり、例えば焼結助剤のＹ２Ｏ３など揮散中にＸ線回折や化学分析では判別できにくい微量成分が窒化物や炭化物などの還元生成物に変質するためではないかと推測される。
【００７１】
上記例示した方法などを適宜用いることで窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の、１）緻密度、２）気孔の量や大きさ、３）焼結助剤などの量や分布、４）酸素の含有量や存在状態、５）焼結助剤以外の不純物の量や分布、６）窒化アルミニウム粒子の大きさや粒度分布、７）窒化アルミニウム粒子の形状、などを制御できる。
【００７２】
また、上記のように含まれるアルミニウム及び窒素以外の成分を飛散・除去し減少化させる焼成法により製造された焼結体は通常の焼成法（上記した減圧下、常圧下、雰囲気加圧下、ホットプレス、ＨＩＰなどの方法を含む）により製造されたものに比べて光透過性が高くなり、ＡｌＮ純度も高くなり、窒化アルミニウム粒子の大きさも大きくなる、といった特徴がある。このような焼結体は多結晶体ではあるが粒界の影響が少なくなるので単結晶の性状に近づくため該焼結体を基板として用いたものに形成される単結晶薄膜の結晶性が高まるなど窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の品質が向上し易い。本発明はこのような高純度化を目的とした焼成法により製造されるＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは窒化アルミニウム粒子の大きさを成長させた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいはＡｌＮ純度を高め窒化アルミニウム粒子の大きさを成長させた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体も提供する。
【００７３】
上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の製造に用いる原料粉末は酸化アルミニウムをカーボンで還元し、窒化する酸化物還元法によるもの、あるいは金属アルミニウムを直接窒化する直接窒化法によるもの、塩化アルミニウム、トリメチルアルミニウム、アルミニウムアルコキシドなどのアルミニウム化合物を分解し気相中でアンモニアなどを用いて窒化するＣＶＤ法、といった方法で作製されたものが使用される。焼結体の光透過性を高めるためには均一なサブミクロンの一次粒子を有し化学的な純度の高い酸化物還元法により作製された原料を用いることが好ましい。そのため上記方法による原料のうち酸化アルミニウムをカーボンで還元し、窒化する酸化物還元法によるもの、あるいは金属アルミニウムを直接窒化する直接窒化法によるものを単独で用いるか混合して用いることが好ましい。
【００７４】
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率は上記製造法を適宜用いることで６０〜８０％程度あるいは８０〜９０％以上のものが得られる。４０％以上の光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで該基板に直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下と良好なものが得られ易く好ましい。また６０％以上の高い光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下と良好なものが得られ易く特に好ましい。また８０％以上の高い光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下と良好なものが得られ易く最も好ましい。上記光透過率は通常波長６０５ｎｍの単色光で測定されたものであるが前記方法により測定された光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は波長３８０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の全可視光領域でも同様な光透過率を有する。またこのような可視光に対する光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲の紫外領域の光においても高い光透過率を有し、この紫外領域の光の中で波長２５０ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲の光においてはより高い光透過率を有する。
【００７５】
本発明において基板は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であるため焼結体中の窒化アルミニウム粒子の結晶方位はランダムな方向を向いている。したがって該上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の窒化アルミニウム粒子は窒化ガリウムや窒化インジウムと同じウルツ鉱型の結晶構造であり格子定数も殆ど同じであるが窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜と基板とは従来から言われている理論的な考え方において格子整合するとは言い得ない。このように理論的には基板と格子整合し得ないと思われるにもかかわらず基板上に形成される薄膜は単結晶である。実際本願発明者は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を０．５〜５ｎｍ程度の比較的薄い厚みで形成してみたが少なくとも窒化ガリウム、窒化インジウムを主成分とする薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の良好な結晶性を有する単結晶薄膜である。また窒化アルミニウムを主成分とする上記厚み０．５〜５ｎｍの薄膜も電子線回折で単結晶であると判定される。上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の厚みを３〜６μｍ及び１０μｍ以上と厚く形成したものでもミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下と良好な結晶性のものが得られる。さらに可視光に対する光透過率以外に下記に示すような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の特性により基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性をミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒〜１５０秒以下のより良好なものとすることもできる。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体という多結晶体からなる基板を用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜がなぜ形成できるのかその原因については現時点では必ずしも明確ではない。おそらく窒化アルミニウムという化学成分とそれが有する結晶構造のために焼結体内で窒化アルミニウム微粒子がまったくランダムな方向性であっても、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする気体成分が気体から固体に変化し核成長が始まるとき一斉に例えばＣ軸方向に整列し単結晶化し易い性状をもともと有しているのではないかと推測される。すなわち窒化アルミニウムという焼結体中の主成分そのものが、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする成分が気体から固体へ変化し窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上へ薄膜が形成される過程において薄膜の単結晶化を手助けするような性質をもともと強く持っているためではないかと推測される。基板が窒化アルミニウムと同じ��方晶あるいは三方晶の結晶系に属する炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、などを主成分とする焼結体でも該薄膜の単結晶化は達成できるが形成された薄膜の結晶性において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体をもちいた基板上に直接形成されたものが優れていることからも上記推察の妥当性が間接的ながらも説明できる。また薄膜がいったん窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を形成しうる成分を含む気体、イオン、単分子あるいは分子線などを経てその後窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする固体膜へと変換される過程を経た薄膜は単結晶化したものが得られ易い。
【００７６】
本発明において基板としては窒化アルミニウムを５０体積％以上含む焼結体を用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接基板上に形成され易くなるので好ましい。なお窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板中の窒化アルミニウムの含有量は焼結体に含まれる希土類元素化合物、アルカリ土類金属化合物、酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分、カーボン、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分、ＡＬＯＮ、上記アルミニウム以外の金属成分、などアルミニウム以外の成分の含有量をそれぞれ元素換算として求めることにより容易に算定できる。なお酸素は酸化アルミニウムとして換算したものである。
【００７７】
上記推測は実際窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性と基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性とに相関が見られることからもある程度は説明されうる。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性は、１）焼結体の密度、２）焼結体内部の気孔の有無や大きさ、３）焼結体の焼結助剤や黒色化剤の含有量、４）焼結体の酸素含有量、５）焼結体の焼結助剤及び酸素以外の不純物含有量、６）焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさ、７）焼結体中の窒化アルミニウム粒子の形状、といった要因で変化するが、これら焼結体の光透過性に影響を与える要因は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の生成に対しても何らかの影響を与えている可能性が高いと思えるからである。
【００７８】
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性と該焼結体からなる基板上の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の生成との間には上記のように相関が認められるが、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の可視光に対する光透過率あるいは紫外光に対する光透過率がそれぞれ１％より低いかあるいは実質的に光を透過しないものであっても窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の生成は可能である。例えばモリブデン、タングステン、カーボンなどの黒色化元素を含むものや鉄、ニッケル、クロム、マンガンなどの不可避金属不純物を含むものあるいはリチウムなどのアルカリ金属や珪素化合物などの焼成温度低減化剤を含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率は１％より低いかあるいは実質的に光透過率はゼロの場合が多い。このような焼結体からなる基板であってもその上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成でき、さらにその結晶性は上記ミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下と良好なものも得られる。このことはやはり前記のように、窒化アルミニウムという焼結体中の主成分そのものが窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする成分が気相や分子線を経て窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上へ薄膜として形成される過程で容易に単結晶化されるのを手助けするような性質をもともと持っているためと推測される。
【００７９】
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の密度であるが、窒化アルミニウムや焼結助剤などが密に詰まった状態でないと単結晶薄膜は形成できないであろうことは容易に推測できる。実際本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の相対密度９５％以上であることが好ましくこのような基板には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できる。実際本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の相対密度９８％以上で該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下のものが形成され易い。焼結体の相対密度９９％以上で該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線ロッキングカーブの半値幅として２４０秒以下のものが形成され易くより好ましい。また、焼結体の相対密度９９．５％以上で該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線ロッキングカーブの半値幅として２００秒以下のものが形成され易くさらに好ましい。なお、本発明において相対密度は焼結助剤や黒色化剤などの添加物を加えないで作製した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の窒化アルミニウムの理論密度（３．２６１ｇ／ｃｍ３）に対するものであるが、焼結助剤や黒色化剤などの添加物を加えて作製した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は窒化アルミニウムの理論密度に対するものではなく窒化アルミニウムと焼結助剤などの成分が単に混合していていると見なしたとき計算上の密度に対する値で示した。したがって窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の相対密度は焼結体組成に依存する。具体的に言えば例えば窒化アルミニウム（ＡｌＮ）を９５重量％、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）を５重量％含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において、ＡｌＮの密度は３．２６１ｇ／ｃｍ３であり、Ｙ２Ｏ３の密度は５．０３ｇ／ｃｍ３であるからこの組成の焼結体が完全に緻密化したときの密度は３．３１９ｇ／ｃｍ３であると算定されるので、実際得られた焼結体の密度と前記計算上の密度との百分率が本発明で言う相対密度となる。さらに具体例を示せば窒化アルミニウム（ＡｌＮ）を９０重量％、酸化エルビウム（Ｅｒ２Ｏ３）を１０重量％含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において、Ｅｒ２Ｏ３の密度は８．６４ｇ／ｃｍ３であるからこの組成の焼結体が完全に緻密化したときの密度は３．４７７ｇ／ｃｍ３であると算定されるので、実際得られた焼結体の密度と前記計算上の密度との百分率が本発明で言う相対密度となる。また窒化アルミニウム（ＡｌＮ）を９９．５重量％、酸化カルシウム（ＣａＯ）を０．５重量％含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において、ＣａＯの密度は３．２５ｇ／ｃｍ３であるからこの組成の焼結体が完全に緻密化したときの密度は３．２６１ｇ／ｃｍ３であると算定されるので、実際得られた焼結体の密度とこの計算上の密度との百分率が本発明で言う相対密度となる。
【００８０】
また窒化アルミニウムを主成分とする焼結体内部の気孔の大きさも小さいほうが良質な単結晶薄膜が形成できるであろうことも容易に推測できる。実際本発明において焼結体中の気孔の大きさが平均１μｍ以下で該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下のものが形成され易い。また、気孔の大きさが平均０．７μｍ以下で該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線ロッキングカーブの半値幅として２４０秒以下のものが形成され易くより好ましい。また、気孔の大きさが平均０．５μｍ以下で該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線ロッキングカーブの半値幅として２００秒以下のものが形成され易い。
【００８１】
上記焼結体密度の向上、及び焼結体内部気孔の減少あるいは内部気孔の大きさを小さくするためには例えば以下の方法が有効である。すなわち、１．焼結体製造用原料として一次粒子がサブミクロンで粒子サイズの分布が均一なものを使用する、２．焼成温度を低減化し粒子成長を抑制する、３．雰囲気加圧焼成やホットプレスあるいはＨＩＰなど焼成を１気圧より高い状態で行う、４．焼成において保持温度を多段階に行う、５．減圧焼成あるいは常圧焼成と雰囲気加圧焼成やホットプレスあるいはＨＩＰなどの１気圧より高い雰囲気下での焼成とを組み合わせて行う、などである。また、上記方法を２以上組み合わせて行うことも有効である。
【００８２】
また本発明による基板は主成分である窒化アルミニウム以外に焼結助剤として例えばＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３、などの希土類元素酸化物あるいはその他Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素成分、あるいはその他Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどを含む炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、塩化物などの無機希土類化合物、酢酸塩、蓚酸塩、クエン酸塩などの有機希土類化合物などの各種希土類元素化合物、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属酸化物やＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａなどのアルカリ土類金属元素成分、あるいはその他Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａなどを含む炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、塩化物などの無機アルカリ土類金属化合物、酢酸塩、蓚酸塩、クエン酸塩などの有機アルカリ土類金属化合物などの各種アルカリ土類金属化合物、焼成温度低減化のために希土類元素化合物とアルカリ土類金属化合物を同時併用で用いることやＬｉ２Ｏ、Ｌｉ２ＣＯ３、ＬｉＦ、ＬｉＯＨ、Ｎａ２Ｏ、Ｎａ２ＣＯ３、ＮａＦ、ＮａＯＨ、Ｋ２Ｏ、Ｋ２ＣＯ３、ＫＦ、ＫＯＨなどのアルカリ金属化合物やＳｉＯ２、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＣなどの珪素化合物、黒色化をはかるためにＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどを含む金属、合金及び金属化合物やカーボンなどの成分を含んだものも用いることができる。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体には上記のように希土類元素成分及びアルカリ土類金属成分、アルカリ金属成分、珪素成分、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンなどの成分を含むものを用いることができる。これら焼結助剤や焼成温度低減化剤、黒色化剤も焼結体の光透過性に影響を与えることは容易に推測できる。
実際本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板において、上記主成分である窒化アルミニウム以外の成分の含有量は希土類元素及びアルカリ土類金属の場合は酸化物換算で合計２５体積％以下、アルカリ金属及び珪素の場合は酸化物換算で合計１０体積％以下、上記黒色化をはかるための成分は元素換算で合計２５体積％以下の焼結体を用いることで、基板上には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成され易い。このとき基板上に直接形成された該単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において３００秒以下と良好なものが得られ易い。また、アルカリ金属成分及び珪素成分を酸化物換算で合計５体積％以下含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで、基板上には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成され易い。このとき基板上に直接形成された該単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において２４０秒以下と良好なものが得られ易い。アルカリ金属成分及び珪素成分はそれぞれ単独で含有されたものであってもよいしアルカリ金属成分及び珪素成分を同時に含有された状態であってもよい。上記焼結助剤や焼成温度低減化剤、黒色化剤は窒化アルミニウムと異なる化合物や結晶相を焼結体内部に生じ易い。上記焼結助剤や焼成温度低減化剤、黒色化剤により生成した化合物や結晶相の結晶構造は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムなどのウルツ鉱型と異なるので上記焼結助剤や焼成温度低減化剤、黒色化剤により生成した化合物や結晶相が多量に存在している基板上では結晶核成長の方向が不規則となり易く良好な結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は得られにくいものとも推測される。
本発明で言う上記基板を構成する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に含まれる希土類元素及びアルカリ土類金属の含有量とは含まれる希土類及びアルカリ土類金属を希土類元素及びアルカリ土類金属元素として重量百分率（重量％）で求めその後希土類元素酸化物及びアルカリ土類金属酸化物に換算し、さらにこれら酸化物の密度から体積百分率（体積％）に算定し直して求めたものである。換算に用いる希土類元素酸化物はＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３であり、アルカリ土類金属酸化物はＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯである。また、基板を構成する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に含まれるアルカリ金属及び珪素の含有量とは含まれるアルカリ金属及び珪素の含有量をアルカリ金属元素及び珪素として重量百分率（重量％）で求めその後アルカリ金属酸化物及び珪素酸化物に換算し、さらにこれら酸化物の密度から体積百分率（体積％）に算定し直して求めたものである。換算に用いるアルカリ金属酸化物はＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｒｂ２Ｏ、Ｃｓ２Ｏであり、珪素酸化物はＳｉＯ２（密度：２．６５ｇ／ｃｍ３）、である。また、基板を構成する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に含まれるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどを含む金属、合金及び金属化合物やカーボンなどを含む化合物の含有量とは、含まれるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボン各成分の含有量を元素として重量百分率（重量％）で求め、さらにこれら元素の密度から体積百分率（体積％）に算定し直して求めたものである。
本発明において特に断らない限りアルカリ土類金属にはカルシウム（Ｃａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、バリウム（Ｂａ）、ラジウム（Ｒａ）だけでなくベリリウム（Ｂｅ）及びマグネシウム（Ｍｇ）を含む。
【００８３】
なお上記体積％（体積百分率）とは基板に含まれる窒化アルミニウム以外の各元素成分を酸化物に換算しこの酸化物の密度と重量百分率とから算定したものである。例えば前記基板に含まれる窒化アルミニウム以外の各元素成分がお互いにあるいは酸素や遷移金属などの不可避混入成分と反応して実際生じる反応物の体積百分率を意味するものではないが焼結体の緻密さを測る尺度になり得る。
具体的に言えば例えば窒化アルミニウム（ＡｌＮ）を９５重量％、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）を５重量％含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において、ＡｌＮの密度は３．２６１ｇ／ｃｍ３であり、Ｙ２Ｏ３の密度は５．０３ｇ／ｃｍ３であるから希土類元素化合物の含有量は３．３０体積％であると算定される。また窒化アルミニウム（ＡｌＮ）を９０重量％、酸化エルビウム（Ｅｒ２Ｏ３）を１０重量％含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において、Ｅｒ２Ｏ３の密度は８．６４ｇ／ｃｍ３であるから希土類元素化合物の含有量は４．０２体積％であると算定される。また窒化アルミニウム（ＡｌＮ）を９９．５重量％、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）を酸化カルシウム（ＣａＯ）換算で０．５重量％含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において、ＣａＯの密度は３．２５ｇ／ｃｍ３であるからアルカリ土類金属化合物の含有量は０．５０体積％であると算定される。
【００８４】
また、本発明による基板は主成分である窒化アルミニウム以外に上記焼結助剤としての成分、黒色化をはかるための成分、焼成温度の低減化を図るための成分だけでなく焼結体製造用原料に含まれさらに製造工程から混入し易い遷移金属の不可避不純物成分を含有する。このような不可避不純物は希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属例えば鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛などの成分を含むものである。本発明において上記「遷移金属の不可避不純物成分を含有する」とは上記鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛などの成分のうちの少なくとも１種以上を含むことを意味する。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に含まれる上記遷移金属などの不可避不純物成分の混入量は通常１重量％以下である場合が多く０．５重量％以下、あるいは０．２重量％以下、好ましくは０．０５重量％以下である。勿論このような不可避不純物の混入はできるだけ少ない方が好ましいが本発明においては上記鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛などの遷移金属成分を比較的多く含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であっても基板には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できる。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の上記鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛などの遷移金属成分の含有量は元素換算で３０重量％以下であることが好ましく基板上には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成でき、このとき窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上に形成された該単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において３００秒以下と良好なものが得られ易い。又不可避不純物を含む成分の含有量が元素換算で２０重量％以下の基板を用いることで基板上に直接形成された該単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において２４０秒以下と良好なものが得られ易いので、基板としてはより好ましく、１０重量％以下であることが基板上に直接形成された該単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において２００秒以下と良好なものが得られ易いのでより好ましい。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の製造に際して高純度原料を使用しグリーンシートや粉末プレス用顆粒製造あるいは焼成などの製造工程でセラミックが接触する部分に使用する部材の高純度化をはかるなどの工夫で不可避不純物の混入を減少することができる。
【００８５】
また、本発明による基板は主成分である窒化アルミニウム以外に上記焼結助剤としての成分、黒色化をはかるための成分、焼成温度の低減化を図るための成分、不可避金属不純物成分だけでなく焼結体製造用原料に含まれさらに製造工程から混入する酸素を含有する。焼結体製造用原料には通常酸素が０．０１〜５．０重量％程度含まれ、焼成中に一部揮散するが殆どこのまま焼結体中に取り込まれることが多く焼結助剤などを用いないで製造された焼結体中にはスピネル型結晶構造のＡＬＯＮ（酸窒化アルミニウム：ＡｌＮとＡｌ２Ｏ３との化合物）が生成されることが多い。このＡＬＯＮは通常ＪＣＰＤＳファイル番号３６−５０に示される回折線を示す。酸素は又焼結体中にＡＬＯＮを生成するよう積極的にＡｌ２Ｏ３を添加することにより含有される。さらに、焼結助剤や黒色化剤が酸化物や複合酸化物など酸素を含む化合物である場合はこれらの分も含有される。焼結体中の酸素量が１０重量％より多いと焼結体内部でＡＬＯＮあるいは焼結助剤と酸素、黒色化剤と酸素、焼成温度低減化剤と酸素、などの化合物の生成が多くなり単結晶薄膜の結晶性の低下をもたらし易い。焼結体中でのＡＬＯＮの生成量は酸素量と希土類元素化合物やアルカリ土類金属化合物などの焼結助剤量で制御できるが、焼結助剤を用いない場合は焼結体中の酸素量だけに依存する。上記ＡＬＯＮの結晶構造は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムなどのウルツ鉱型と異なるがＡＬＯＮ量が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中で１２％以下であれば該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性として該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅２４０秒以下のものが形成され易く結晶性の向上が見られるので好ましい。また、ＡＬＯＮの量が７％以下の焼結体を基板として用いることで上記Ｘ線回折ロッキングカーブの半値幅において２００秒以下のものが形成され易くより結晶性の向上が見られるので好ましい。なおＡＬＯＮの含有量は基板表面のＸ線回折によりＡＬＯＮのミラー指数（３１１）格子面からの回折線強度とＡｌＮのミラー指数（１００）格子面からの回折線強度との比を百分率で求めたものである。焼結体中において１２％以下のＡＬＯＮの量は焼結助剤などの添加剤を用いずに窒化アルミニウム原料粉末だけあるいは該原料粉末とＡｌ２Ｏ３との混合粉末とだけで焼成された焼結体において酸素量５．０重量％以下のもので形成され易い。７％以下のＡＬＯＮの量は焼結助剤などの添加剤を用いずに窒化アルミニウム原料粉末だけあるいは該原料粉末とＡｌ２Ｏ３との混合粉末とだけで焼成された焼結体において酸素量３．０重量％以下のもので形成され易い。また焼結体中のＡＬＯＮの量が２０％以下の基板を用いることで基板上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において３００秒以下のものが形成され易い。２０％以下のＡＬＯＮの含有量は焼結助剤などの添加剤を用いずに窒化アルミニウム原料粉末だけあるいは該原料粉末とＡｌ２Ｏ３との混合粉末とだけで焼成された焼結体において酸素量１０．０重量％以下のもので形成され易い。焼結体中にＡＬＯＮが２０％より多く生成している基板上ではミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において３００秒以下の良好な結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は形成しにくくなる。それはウルツ鉱型と異なるＡＬＯＮ結晶が多くなることで該単結晶薄膜の結晶成長がもともと有しているできるだけＣ軸方向に向かおうとする力が阻害され不規則な方向となり易くなるためであろうと推測される。
なお、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中のＡＬＯＮ含有量は上記のようにＸ線回折によってＡＬＯＮのミラー指数（３１１）格子面からの回折線強度とＡｌＮのミラー指数（１００）格子面からの回折線強度との比の百分率で求めたものであるが、該焼結体に含まれる酸素含有量と上記ＪＣＰＤＳファイル番号３６−５０に記載されているＡＬＯＮの密度３．８３７ｇ／ｃｍ３とを比較してみて近似的に体積分率と見なし得る。
また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中にＡｌＮ及びＡＬＯＮ以外の化合物が生成している場合ＡＬＯＮの含有量はＸ線回折による該化合物の最強線とＡｌＮ及びＡＬＯＮの最強線を合計しＡＬＯＮの最強線との比を百分率で求めたものである。
【００８６】
また、本発明において酸素の含有量、及び鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛などのＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属の含有量はそれぞれの元素換算による重量百分率（重量％）で示したが、これら成分を体積百分率で表示し直すことは上記方法により容易に行うことができる。鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛などの含有量を体積百分率に算定しなおす場合はこれら鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛などの各成分の含有量を元素として重量百分率（重量％）で求め、さらにこれら元素の密度から体積百分率（体積％）に算定し直して求めることができる。また、酸素の含有量を体積百分率で算定し直す場合、該酸素含有量を市販の酸素・窒素分析装置などを用いて元素として重量百分率で求めた後Ａｌ２Ｏ３に換算し直して、すなわちＡｌ２Ｏ３の体積百分率として求めることができる。Ａｌ２Ｏ３に換算し直す理由は該酸素は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中でアルミニウム成分あるいは窒化アルミニウム成分あるいは希土類元素やアルカリ土類金属などの焼結助剤と反応してＡｌ２Ｏ３として、あるいはＡＬＯＮとして、あるいは希土類元素やアルカリ土類金属との複合酸化物として存在している場合が多く、該ＡＬＯＮはＡｌＮとＡｌ２Ｏ３との化合物であり該希土類元素やアルカリ土類金属との複合酸化物は希土類元素の酸化物やアルカリ土類金属の酸化物とＡｌ２Ｏ３との化合物であるため結局含まれる酸素成分はＡｌ２Ｏ３として見なし得る場合が多いためである。Ａｌ２Ｏ３の密度は３．９８７ｇ／ｃｍ３でありこれに基き容易に算定し直すことができる。
例えば酸素を５重量％含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体においてＡｌＮの密度が３．２６１ｇ／ｃｍ３であるので該酸素の含有量は８．８６体積％であると算定される。また鉄を元素換算で１重量％含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において鉄の密度が７．８６ｇ／ｃｍ３であるので鉄の含有量は元素換算で０．４１７体積％であると算定される。
また、本発明においてＡＬＯＮの含有量を体積百分率に算定し直す場合はＸ線回折によりＡＬＯＮの含有量を求めた後、ＡＬＯＮの密度３．８３７ｇ／ｃｍ３及びＡｌＮの密度さらにＡＬＯＮ及びＡｌＮ以外が含まれる場合はその成分の含有量と密度を求めることにより行うことができる。なお、検量線の作成結果Ｘ線回折による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含まれるＡＬＯＮの含有量は近似的には重量分率であると見なし得る。例えばＡＬＯＮを１０％含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体においてＡＬＯＮの含有量は８．６３体積％であると算定できる。
【００８７】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板において焼結体中の窒化アルミニウム粒子を例えば平均０．５μｍ程度と成長させずに、すなわち原料粉末の粒子の大きさと同じ状態で焼結したものも使用できる。一方、本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板において焼結体内部に含まれる窒化アルミニウム粒子の大きさが増大化すれば該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の結晶性が向上し易い。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を単結晶で形成し該単結晶薄膜の結晶性により薄膜の品質を評価したとき窒化アルミニウムを主成分とする焼結体内部に含まれる窒化アルミニウム粒子の大きさが平均１μｍ以上であれば該焼結体からなる基板上に直接形成される単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下のものが形成され易い。窒化アルミニウム粒子の大きさが平均５μｍ以上の焼結体では基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下と良好な結晶性のものが得られ易い。窒化アルミニウム粒子の大きさが平均８μｍ以上の焼結体では上記単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下とより良好な結晶性のものが得られ易い。窒化アルミニウム粒子の大きさが平均１５μｍ以上の焼結体では上記単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下とさらに良好な結晶性のものが得られ易い。窒化アルミニウム粒子の大きさが平均２５μｍ以上の焼結体では上記単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下とさらに良好な結晶性のものが得られ易い。これは焼結体内部の窒化アルミニウム粒子の大きさが大きくなれば窒化アルミニウム結晶粒子の粒界の面積が減少し粒界の影響が減じるので窒化アルミニウム結晶粒子自体の性質が反映され易くなり窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の核成長の方向をより規則的なものにし易いためであろうと推測される。
上記のような窒化アルミニウム粒子を大きくすることの効果は通常どのような組成の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板であっても見られる。このような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の例としては前記した酸素、あるいは焼結助剤として用いられる希土類元素化合物やアルカリ土類金属化合物などの成分、あるいは焼成温度低減化剤として用いられるアルカリ金属や珪素などの成分、あるいは黒色化剤として用いられるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分、あるいはカーボンあるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分など、さらに結晶相としてＡＬＯＮなどを含むものである。また、このような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の例としては原料粉末に焼結助剤を加えないで製造され実質的に希土類元素化合物あるいはアルカリ土類金属化合物などの焼結助剤を含まない焼結体も含まれる。上記で例示した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板において、窒化アルミニウム粒子の大きさを増大することで該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の品質が向上し易くなる。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさを増大化させる効果はあとでも述べるが、窒化アルミニウム粒子の大きさを増大化させさらにＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を薄膜形成用基板として用いれば、これら基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の品質が向上し易くなる。上記のような窒化アルミニウム粒子を大きくすることの効果は通常どのような組成の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板であっても見られが、焼結体中のＡｌＮの含有量が少なくなるにつれて効果の程度は少なくなる傾向はある。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板におけるＡｌＮの含有量は５０体積％以上であれば該基板を用いて窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できる。ＡｌＮの含有量が５０体積％以上の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において該焼結体に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３６００秒以下のものが得られ易い。上記のような窒化アルミニウム粒子を大きくすることの効果を発現し易くするためには窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板におけるＡｌＮの含有量は８０体積％以上であることが望ましい。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のＡｌＮの含有量が８０体積％以上のものでは該焼結体に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下のものが得られ易い。
なお、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体内部に含まれる結晶粒子の大きさは平均の大きさであって含まれる結晶粒子が均等に近い大きさに揃っている状態のものだけでなく結晶粒子の大きさが不揃いのものや結晶粒子の形状がいびつで針状あるいは板状など一辺が小さく他の一辺が大きい形状の結晶粒子、例えばポリタイプＡｌＮ粒子など一辺が数μｍで他の一辺が１０数μｍ以上に大きく成長した針状あるいは板状などの結晶粒子を含むものであっても本発明においては問題なく用いることができる。
【００８８】
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさを増大化させるために通常焼成温度を高めるか焼成時間を長くすることが効果的である。窒化アルミニウム粒子の大きさを制御するためには窒化アルミニウムの原料粉末の由来や粒度、あるいは成形体や焼結体の組成にも依存しやすいが本発明によれば１７５０℃以上の温度で３時間以上比較的長い時間焼成することで平均５μｍ以上の窒化アルミニウム粒子を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が得られ易い。平均８μｍ以上を有する窒化アルミニウム粒子の焼結体を得るために１７５０℃以上の温度で１０時間以上、１９００℃以上の温度では３時間以上の焼成を行うことが好ましい。平均１５μｍ以上を有する窒化アルミニウム粒子の焼結体を得るためには１９００℃以上の温度で６時間以上、２０５０℃以上の温度で３時間以上の焼成を行うことが好ましい。平均２５μｍ以上を有する窒化アルミニウム粒子の焼結体を得るためには２０５０℃以上の温度で４時間以、２１００℃以上の温度で３時間以上の焼成を行うことが好ましい。このような焼成において窒化アルミニウム粒子の大きさが増大しているだけで酸素、あるいは焼結助剤として用いられる希土類元素化合物やアルカリ土類金属化合物などの成分、あるいは焼成温度低減化剤として用いられるアルカリ金属や珪素などの成分、あるいは黒色化剤として用いられるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分、あるいはカーボンあるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分など、の成分の揮散・除去を抑制しさらに含まれる結晶相としてＡＬＯＮなどを含有した状態の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を得るためには前記したように還元性成分の比較的少ない窒素やアルゴンなどの非酸化性雰囲気を用いることが好ましい。一方窒化アルミニウム粒子の大きさが増大しかつＡｌＮ純度が向上した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を得るためには水素、一酸化炭素、炭素、炭化水素などの還元性成分を含む非酸化性雰囲気中で焼成することが好ましい。
【００８９】
また、本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板において焼結体内部に含まれる窒化アルミニウム粒子の形状は粒子の角が取れた丸いものより多角形でお互いの面や稜線、多角形の頂点での重なりが緊密なものであることが焼結体の光透過率を１％以上に高め、基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が形成されたミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において３００秒以下と良好なものが得られ易いので、基板としては好ましい。これは窒化アルミニウム粒子の形状が角が取れた丸いものであれば焼結体内部において焼結体粒子同士が隙間なく合体できず窒化アルミニウム以外の成分からなる粒界相が介在し易く、これら粒界相によって焼結体の光透過性は低下しさらに成長し始めている窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の核成長の方向を不規則なものとするためであろうと推測される。焼結体粒子が丸みを帯びたものは通常前記焼結助剤や焼成温度低減化剤が過剰に含まれる場合に見られる。すなわち焼成中過剰な焼結助剤によって過剰な液相が生成されその液相の中で焼結体粒子が成長するので丸みを帯び易い。本発明において焼結体粒子が丸みを帯び易くなるのは前記の希土類元素化合物やアルカリ土類金属元素化合物などの焼結助剤、アルカリ金属元素化合物、珪素化合物などの焼成温度低減化剤などが前記に示した範囲より多く含まれる場合に生じやすいということを意味する。
【００９０】
なお上記薄膜形成用基板として用いられる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を製造するための原料粉末中には通常ＡｌＮ成分以外に酸素を０．０１重量％〜５．０重量％程度含む。本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含まれる希土類元素の含有量は前記のように酸化物換算で５０体積％以下のものを用いることが好ましい。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含まれる希土類元素の含有量は酸化物換算で２５体積％以下であることがさらに好ましい。上記希土類元素の好ましい含有量は酸化物換算で１２．０体積％以下である。より好ましい含有量は酸化物換算で７．０体積％以下である。上記希土類元素は窒化アルミニウム粉末成形体の緻密化を促進しながら原料中に含まれる酸素をトラップし粒界相として析出させ焼結体中の窒化アルミニウム結晶粒子を高純度化させる作用をするので、全体として得られた基板の熱伝導率を向上させる。そのため焼成後得られた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体における希土類元素の存在形態はアルミニウムとの複合酸化物あるいは希土類元素単独の酸化物である場合が多い。複合酸化物としての存在はＸ線回折により容易に同定出来る。該複合酸化物は希土類元素をＬｎで表した時、ガーネット型結晶構造の３Ｌｎ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、ぺロブスカイト型結晶構造のＬｎ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、単斜晶結晶構造２Ｌｎ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、など３種類の結晶形のものである。これら複合酸化物のうちの一又は二以上を同時に含む。上記複合酸化物は焼結体内部において主に窒化アルミニウム粒子間の粒界相として存在している。本発明の基板はこれら複合酸化物が形成されたものを含む。これら複合酸化物は窒化アルミニウム粒子のウルツ鉱型と異なる結晶構造を有している。本発明による薄膜形成用基板及び薄膜基板において希土類元素の含有量が酸化物換算で５０体積％以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３６００秒以下のものが得られ易い。また、場合によっては希土類元素の含有量が酸化物換算で５０体積％以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下のものが得られることがある。本発明による薄膜形成用基板及び薄膜基板において希土類元素の含有量が酸化物換算で２５体積％以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下と結晶性に優れたものが得られ易い。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の希土類元素含有量が前記に示したように酸化物換算で２５体積％より多いと形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下のものが場合によっては得られなくなるのは、おそらくこのような結晶構造の異なる複合酸化物が多く生成したため単結晶薄膜の核成長の方向を一定にする制御力が限界を超えその結果核成長が不規則なものとなるのではないかと推測される。本発明において希土類元素を含む基板においてもともと焼結体中の窒化アルミニウム粒子の形状は角が取れた丸いものではなく多角形でお互いの粒子同士面や稜線、あるいは多角形の頂点での重なりが隙間なく緊密なものとなり易い。また、希土類元素の含有量が酸化物換算で１２．０体積％以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いることで該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下とより結晶性に優れたものが得られ易い。また希土類元素の含有量が酸化物換算で７．０体積％以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体では該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下とさらに結晶性に優れたものが得られ易い。この窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性の向上はおそらく主として粒界相として存在する上記ガーネット型結晶構造の３Ｌｎ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３（例えば３Ｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｄｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｈｏ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｅｒ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｙｂ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、など）、ぺロブスカイト型結晶構造のＬｎ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（例えばＹＡｌＯ３、ＬａＡｌＯ３、ＰｒＡｌＯ３、ＮｄＡｌＯ３、ＳｍＡｌＯ３、ＥｕＡｌＯ３、ＧｄＡｌＯ３、ＤｙＡｌＯ３、ＨｏＡｌＯ３、ＥｒＡｌＯ３、ＹｂＡｌＯ３、など）、単斜晶結晶構造２Ｌｎ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（例えば２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｓｍ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｅｕ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｇｄ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｄｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｈｏ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｅｒ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｙｂ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、など）の生成量の減少に伴うものであろうと推測される。
【００９１】
本発明の基板において上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含まれるアルカリ土類金属の含有量も前記の通り酸化物換算で２５体積％以下であることが好ましい。好ましい含有量は酸化物換算で５．０体積％以下である。より好ましい含有量は酸化物換算で３．０体積％以下である。アルカリ土類金属は窒化アルミニウム粉末成形体の緻密化を促進しながら原料中に含まれる酸素をトラップし粒界相として析出させ窒化アルミニウムセラミック中のＡｌＮ結晶粒子を高純度化させる作用をするので、全体として得られた基板の熱伝導率を向上させる。そのため焼成後得られた窒化アルミニウム基板におけるアルカリ土類元素の存在形態はアルミニウムとの複合酸化物あるいはアルカリ土類金属単独の酸化物である場合が多い。複合酸化物としての存在はＸ線回折により容易に同定出来る。該複合酸化物はアルカリ土類金属元素をＡｅで表した時、３ＡｅＯ・Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・２Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・６Ａｌ２Ｏ３、などの結晶形のものである。これら複合酸化物のうちの一又は二以上を同時に含む。上記アルカリ土類金属元素を含む複合酸化物は焼結体内部において主に窒化アルミニウム粒子間の粒界相として存在している。本発明の基板はこれら複合酸化物が形成されたものを含む。これら複合酸化物は窒化アルミニウム粒子のウルツ鉱型と異なる結晶構造を有している。本発明の基板において焼結体中のアルカリ土類金属の含有量が酸化物換算で２５体積％以下のもので窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下と結晶性に優れたものが得られ易い。本発明の基板においてアルカリ土類金属が前記に示したように酸化物換算で２５体積％より多いと形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下と結晶性に優れたものが得られにくくなる傾向を有するのは、おそらくこのような結晶構造の異なる複合酸化物が多く生成したため単結晶薄膜の核成長の方向を一定にする制御力が限界を超えその結果核成長が不規則なものとなるのではないかと推測される。本発明における窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板においてアルカリ土類金属の含有量が酸化物換算で５．０体積％以下のものは焼結体中の窒化アルミニウム粒子の形状は多角形のものが多く粒子同士お互いの面や稜線、あるいは多角形粒子の頂点での重なりが緊密なものとなり易い。この組成範囲のアルカリ土類金属を含む基板を用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下とより結晶性に優れたものが得られ易い。またアルカリ土類金属の含有量が酸化物換算で３．０体積％以下の基板では窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下とさらに結晶性に優れたものが得られ易い。この窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性の向上はおそらく主として粒界相として存在する上記３ＡｅＯ・Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・２Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・６Ａｌ２Ｏ３、などウルツ鉱型と異なる結晶構造を有する複合酸化物の生成量の減少に伴うものであろうと推測される。
【００９２】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含まれるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量は前記のように元素換算で２５体積％以下であることが好ましい。このような組成の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成され易く該単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において３００秒以下と良好なものが得られ易い。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が元素換算で１０体積％以下の基板においては形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性がミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において２４０秒以下とより良好なものが得られ易い。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が元素換算で５体積％以下の基板においては形成される上記単結晶薄膜の結晶性がミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅において２００秒以下とさらに良好なものが得られ易い。
【００９３】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含まれる酸素は主成分のＡｌＮと反応してＡＬＯＮとして存在するかあるいは焼結助剤の希土類元素化合物やアルカリ土類金属化合物と反応して粒界相として存在するかあるいは焼結体中のＡｌＮ結晶粒子の結晶格子に固溶するかいずれかで存在していると思われる。本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含まれる全酸素量は１０重量％以下が好ましい。全酸素量が１０重量％以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板においてその上に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下と結晶性に優れたものが得られ易い。全酸素量が５．０重量％以下の焼結体で窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下のより優れた結晶性を有する単結晶薄膜が形成し易い。また全酸素量が３．０重量％以下の焼結体で窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下のさらに優れた結晶性を有する単結晶薄膜が形成し易い。
【００９４】
本願発明者は前記１７５０℃以上の温度で３時間以上要すれば還元性雰囲気中で焼成を行い含まれる酸素、希土類元素化合物及びアルカリ土類金属化合物など焼結助剤として用いられる成分、あるいは焼成温度低減化剤として用いられるアルカリ金属や珪素などの成分あるいは黒色化剤として用いられるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分やカーボンあるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分などを飛散・除去し、減少させ、結晶相としてのＡＬＯＮや上記アルミニウム以外の金属成分や珪素あるいはカーボンを含む化合物の含有量が低減化されたＡｌＮ純度の高い窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を直接形成するための基板として使用ときの基板特性についてさらに検討した。また、上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体としての特性及び該焼結体に直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成した薄膜基板の特性を調べた。
【００９５】
上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体においてＡｌＮ純度は焼成温度が高くなるほど又焼成時間を長くするほど高くなる傾向がある。焼成温度としては１９００℃以上がより好ましく、２０５０℃以上がさらに好ましく、２１００℃以上が最も好ましい。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のＡｌＮ純度を高める上では焼成温度を高めれば焼成時間を短くでき焼成温度を低くすれば焼成時間が長くなるという関係にあり、どちらでも効果は殆ど同じである。ＡｌＮの純度を高めるために焼成温度１７５０℃〜１９００℃の範囲では焼成時間は通常１０時間以上とすることが好ましい。焼成温度１９００℃以上では焼成時間６時間以上、焼成温度２０５０℃以上では焼成時間４時間以上、焼成温度２１００℃以上では焼成時間３時間以上とすることが好ましい。
このような方法により本発明によるＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．５重量％（５０００ｐｐｍ）以下かつ酸素含有量が０．９重量％以下の組成のものを得ることができる。このような組成のＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いこの基板に直接形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は結晶性の優れたものが得られる。本発明においてこのＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．２重量％（２０００ｐｐｍ）以下かつ酸素含有量が０．５重量％以下の組成を有するものを得ることができ好ましい。また本発明においてＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．０５重量％（５００ｐｐｍ）以下かつ酸素含有量が０．２重量％以下の組成を有するものを得ることができより好ましい。また、このＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．０２重量％（２００ｐｐｍ）以下かつ酸素含有量が０．１重量％以下の組成を有するものを得ることができさらに好ましい。また、このＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．００５重量％（５０ｐｐｍ）以下かつ酸素量が０．０５重量％以下の組成を有するものを得ることができ最も好ましい。
本発明者はこのＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板に用いこの基板に直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を成長させて製造される薄膜の品質を調べた。なお形成された薄膜は単結晶であり薄膜の品質としてはこの単結晶薄膜の結晶性で評価した。その結果ＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．５重量％以下かつ酸素含有量が０．９重量％以下の組成を有するものを基板として用いたときそこに直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下と良好な結晶性を有するものが得られ易い。また、ＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．２重量％以下かつ酸素含有量が０．５重量％以下の組成を有するものを基板として用いたときそこに直接形成される上記単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下とより良好な結晶性を有するものが得られ易く好ましい。また、ＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．０５重量％以下かつ酸素含有量が０．２重量％以下の組成を有するものを基板として用いたときそこに直接形成される上記単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下とより良好な結晶性を有するものが得られ易くより好ましい。また、ＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．０２重量％以下かつ酸素含有量が０．１重量％以下の組成を有するものを基板として用いたときそこに直接形成される上記単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下とより良好な結晶性を有するものが得られ易くさらに好ましい。ＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が元素換算で合計０．００５重量％以下かつ酸素含有量が０．０５重量％以下の組成を有するものを基板として用いたときそこに直接形成される上記単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下とより良好な結晶性を有するものが得られ易く最も好ましい。
【００９６】
上記ＡｌＮ純度を高めた組成を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に含まれる結晶相はＡｌＮが９５〜９８％以上であり、ＡＬＯＮや希土類元素化合物あるいはアルカリ土類金属化合物などの結晶相は２〜５％以下であり、実質的にＡｌＮ単一相のものも得られる。また、光透過性を有するものが得られ易く例えば光透過率１％以上のものが得られ易く、さらに５％以上、１０％以上、２０％以上、３０％以上、４０％以上、６０％以上、８０％以上のものも得られ最大８５％以上の光透過率を有するものも得られる。なお、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の結晶相はＸ線回折による得られた各結晶相の示す回折ピークの最強線を相対比較することで容易に計測できる。
【００９７】
また、上記の方法により酸素あるいは希土類元素やアルカリ土類金属以外にも焼成温度低減化剤として用いられるアルカリ金属や珪素などの成分あるいは黒色化剤として用いられるＭｏ、Ｗ、Ｖ（バナジウム）、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンなどの成分あるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の窒化アルミニウム粉末原料や焼結体製造工程から混入するＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｃｕ、Ｚｎなどの遷移金属不純物が揮散・除去、低減化できるのでＡｌＮ純度の高い窒化アルミニウム焼結体を製造できる。ＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として含まれるアルカリ金属や珪素成分が元素換算で合計０．２重量％以下かつ酸素量が０．９重量％以下の組成を有するものを基板に用いたときそこに直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下と良好な結晶性を有するものが得られ易い。ＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体としてＭｏ、Ｗ、Ｖ（バナジウム）、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンが元素換算で合計０．２重量％以下かつ酸素量が０．９重量％以下の組成を有するものを基板に用いたときそこに直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下と良好な結晶性を有するものが得られ易い。また、ＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体としてＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｃｕ、Ｚｎが元素換算で合計０．２重量％以下かつ酸素量が０．９重量％以下の組成を有するものを基板に用いたときそこに直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下と良好な結晶性を有するものが得られ易い。
【００９８】
なお上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含まれる希土類元素化合物とはＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３、などの希土類元素酸化物あるいはその他Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、などを含む炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、塩化物などの無機希土類化合物、酢酸塩、蓚酸塩、クエン酸塩などの有機希土類化合物などの各種希土類元素化合物であり、さらにＬｎを希土類元素として表したときガーネット型結晶構造の３Ｌｎ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３（例えば３Ｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｄｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｈｏ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｅｒ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｙｂ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、など）、ぺロブスカイト型結晶構造のＬｎ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（例えばＹＡｌＯ３、ＬａＡｌＯ３、ＰｒＡｌＯ３、ＮｄＡｌＯ３、ＳｍＡｌＯ３、ＥｕＡｌＯ３、ＧｄＡｌＯ３、ＤｙＡｌＯ３、ＨｏＡｌＯ３、ＥｒＡｌＯ３、ＹｂＡｌＯ３、など）、単斜晶結晶構造２Ｌｎ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（例えば２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｓｍ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｅｕ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｇｄ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｄｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｈｏ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｅｒ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｙｂ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、など）などの各種希土類元素を含む複合酸化物、などである。また上記窒化アルミニウム焼結体中に含まれるアルカリ土類金属化合物とはＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａなどのアルカリ土類金属、及びＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属酸化物やその他Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａなどを含む炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、塩化物などの無機アルカリ土類金属化合物、酢酸塩、蓚酸塩、クエン酸塩などの有機アルカリ土類金属化合物などの各種アルカリ土類金属化合物であり、さらにＡｅをアルカリ土類金属として表したとき３ＡｅＯ・Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・２Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・６Ａｌ２Ｏ３などのアルカリ土類金属を含む複合酸化物、などである。
【００９９】
上記還元性雰囲気中１７５０℃以上の温度で３時間以上といった比較的長い時間加熱する方法により得られる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の特徴は室温における熱伝導率が室温において２００Ｗ／ｍＫ以上と高いものが得られ易い。又窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において不純物含有量が少ないものやＡｌＮ単一相からなるものの場合にはさらに室温における熱伝導率が２２０Ｗ／ｍＫ以上のものが得られ易い。このような特徴に加えて上記ＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は光透過性の高いものが得られ易い。これは希土類元素やアルカリ土類金属以外にも焼成温度低減化剤として用いられるアルカリ金属や珪素などの成分あるいは黒色化剤として用いられるＭｏ、Ｗ、Ｖ（バナジウム）、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンなどの成分あるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の窒化アルミニウム粉末原料や焼結体製造工程から混入するＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎなどの遷移金属不純物が揮散・除去、低減化されるためであろうと推測される。また、上記遷移金属などの不純物や焼結助剤が残留している焼結体であっても室温における熱伝導率が２００Ｗ／ｍＫ以上さらに２２０Ｗ／ｍＫ以上の高熱伝導率を有するもの、あるいは光透過性に優れた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が得られる。これはおそらく長時間加熱することで焼結体中の窒化アルミニウム粒子が大きく成長し粒界の影響が少なくなるためにＡｌＮ本来の単結晶としての性質がより発現し易くなるためであろうと本願発明者は推測している。
【０１００】
本発明によれば上記高純度化を行う焼成過程で窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさが通常増大化する。上記高純度化されＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさが増大化することが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性を増大化させ、さらに高い光透過率を与える大きな要因であると思われる。焼成温度を高めるか焼成時間を長くすることで窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の焼結助剤などＡｌＮ以外の成分が揮散・除去減少し焼結体中の窒化アルミニウム粒子内部や窒化アルミニウム粒子の粒界にＡｌＮ以外の成分が少なくなるかあるいは実質的にゼロに近くなるということに加えて焼結体中の窒化アルミニウム結晶粒子の大きさが増大化する。これは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において窒化アルミニウム粒子内部や窒化アルミニウム粒子の粒界にＡｌＮ以外の成分が少なくなるかあるいは実質的にゼロに近くなるということに加えて焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさが増大化すれば窒化アルミニウム粒子境界（粒界）が減少するので粒界の影響が少なくなりこの大きく増大した窒化アルミニウム粒子自体も高純度化されさらに結晶性も高まり純度の高い単結晶の窒化アルミニウムに近い性質を発現し易くなるためであろうと推測される。すなわち純度の高い単結晶に近い状態の大きな結晶粒子からなる焼結体であるため光透過性も窒化アルミニウム単結晶の吸収端の波長２００ｎｍ付近から長波長側で単結晶に匹敵する高い光透過率を有するようになる。またこの焼結体を基板に使用すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が窒化アルミニウムの単結晶を基板として用いたのと同程度の高い結晶性で形成され易くなる。本発明において焼成温度を高めあるいは焼成時間を長くすることでＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が製造されるがこの焼結体の窒化アルミニウム粒子の大きさは通常平均５μｍ以上である。通常焼成温度を高めていくかあるいは焼成時間を長くすれば焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさも平均２５μｍ以上に増大する。また実験上では窒化アルミニウム粒子の大きさ平均１００μｍ程度のものが得られている。このように増大化した窒化アルミニウム粒子はＡｌＮ純度も高まることから単結晶に近い状態であろうと思われる。上記方法により高純度化されＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたとき焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさが平均５μｍ以上では該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下と良好なものが得られる。窒化アルミニウム粒子の大きさが平均８μｍ以上の基板を用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうち��ら選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下と良好なものが得られる。また、窒化アルミニウム粒子の大きさが平均１５μｍ以上の基板を用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下と良好なものが得られる。また、窒化アルミニウム粒子の大きさが平均２５μｍ以上の基板を用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下と良好なものが得られる。このように焼結助剤などＡｌＮ以外の成分を揮散・除去、減少することで製造される高純度化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の窒化アルミニウム粒子の大きさは重要である。本発明においては上記のように焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさが平均５μｍ以上の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を提供でき、該焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさ平均１００μｍ程度のものは比較的容易に製造できる。
【０１０１】
例えば平均粒径１μｍ、酸素を１重量％含む高純度窒化アルミニウム粉末を原料とし焼結助剤としてＹ２Ｏ３を３．３体積％（Ｙとして３．９重量％、酸素として１．１重量％を含む）混合した大きさ外形６０×６０ｍｍ、厚み０．８ｍｍの板状正方形とした粉末成形体を１８００℃１時間焼成して得られる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は室温における熱伝導率１５０Ｗ／ｍＫ〜１８０Ｗ／ｍＫの範囲であり、焼結助剤として用いられたＹ２Ｏ３中のイットリウム成分は殆どそのままの量焼結体中に残り５〜２０％程度の量のＹ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、ＹＡｌＯ３、２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３などの希土類元素化合物を主体とする粒界相がＸ線回折により存在することが認められる。また原料の酸素及び焼結助剤として用いられたＹ２Ｏ３中の酸素も殆どそのままの量焼結体中に残り、該焼結体の光透過率は１０％程度あるいはそれ以下の場合もある。上記焼結体において窒化アルミニウム粒子の大きさは平均２〜４μｍ程度である。この焼結体をさらに例えば一酸化炭素を１ｐｐｍ〜１０００ｐｐｍの範囲で含む窒素雰囲気中で２０５０℃〜２２００℃３時間〜２４時間焼成すれば用いた原料及び焼結助剤に含まれていた酸素は０．５量％以下に減少し最も少ないもので０．０１４重量％のものが得られた。Ｙ２Ｏ３は殆ど揮散・除去され含有量は０．２重量％以下となり最も少ないもので０．００００５重量％（０．５ｐｐｍ）以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が得られた。波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光において光透過率は最低でも１０％以上多くのものが２０％〜６０％以上であり最大８８％のものが得られた。焼結体の相構成はＡｌＮ９８％以上であり実質的にＡｌＮ単一相のものも容易に得られた。室温における熱伝導率は２００Ｗ／ｍＫ〜２２０Ｗ／ｍＫ以上となり最大２３７Ｗ／ｍＫのものが得られた。この焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさは最低平均５〜８μｍ以上多くのものは平均１５μｍ〜２５μｍ以上に大きく成長しており最大で平均７４μｍのものが得られた。上記例示したＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いこの基板に直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下の良好な結晶性を示すものが得られ、最も結晶性のよいもので１００秒以下のものが得られる。上記例示した焼成条件で焼結助剤を揮散・除去し減少化する方法により作製し高純度化されＡｌＮ純度が高められた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を厚み０．５ｍｍに研削及び鏡面研磨して光透過率を測定したところ波長６０５ｎｍにおいて８８％の高いものであった。その結果を図９に示す。なおこの光透過率測定に用いた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のＹ（イットリウム）含有量は０．０００５重量％以下、酸素含有量０．０３４重量％、構成相は実質的にＡｌＮ単一相であり、窒化アルミニウム粒子の大きさは平均２９ｍμである。
【０１０２】
この窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率は図９から明らかなように波長２１０〜２２０ｎｍの光に対して１％以上の光透過率を示し、波長２２０ｎｍ〜２３０ｎｍの光において５％以上の光透過率であり、波長２５０ｎｍの光において光透過率は３０％以上であり、波長３００ｎｍの光において光透過率は６０％以上であり、波長３３０ｎｍの光で８０％以上の光透過率を示すようになり、波長３３０ｎｍ以上のすべての波長の光において８０％以上の光透過率を示す。又光透過率の最大値は波長４８０ｎｍ〜６５０ｎｍの範囲の光において８５〜８８％と８５％以上の高いものである。この窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いこの基板に直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下と良好なものが得られた。
【０１０３】
上記のＡｌＮ純度を高めた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いた時の主な有効性をまとめると、１）基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は高い結晶性のものが得られやすいのでこの単結晶薄膜を用いて製造される発光素子内部からの発光効率は高いものとなる、２）基板の熱伝導率が室温において２００Ｗ／ｍＫ以上と高いものが得られ易くこのような基板に形成される発光素子には大きな電力の印加が可能となり発光出力を高めることができる、３）基板の波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光において光透過率が高いので基板からの光吸収が少なく発光素子から出た光は大部分素子外部へ放出される、などの点である。すなわち高効率、高出力、かつ低コストの発光素子の製造が可能となり産業に与える影響は大である。
【０１０４】
本発明において、光透過性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は通常波長２００ｎｍ以上の光において光透過性を示す。図９に例示したように波長２００ｎｍ〜２５０ｎｍの範囲の光において光透過性を示し始め、波長２５０ｎｍ〜３５０ｎｍの範囲の光において急激に光透過性が上昇し波長３５０ｎｍ〜４００ｎｍ以上の光においてはほぼ一定の光透過率を有する傾向があることが確認された。本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率は特に断らない限り波長６０５ｎｍの光において測定された光透過率を意味しているが、波長６０５ｎｍの光における光透過率を用いても本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の性能すなわち窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成したときの結晶性を代表して判別できる。より具体的にいえば本発明において特に断らない限り１％以上の光透過率とは波長６０５ｎｍの光に対する光透過率である。このような１％以上の光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光において波長６０５ｎｍ以外でも１％以上の光透過率を有するとは限らないがこの窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることでより優れた結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できる。本発明において、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板として用いる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光においてどの波長の光に対しても１％以上の光透過率を有するものが望ましいが、仮にすべての波長に対して１％以上の光透過率を有さないとしても少なくとも波長６０５ｎｍの光に対して１％以上の光透過率を有するものが望ましい。また本発明において、１％以上の光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶以外の無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜も形成できる。
【０１０５】
本発明においてＡｌＮ純度が高くかつ窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は単結晶薄膜を形成するための基板として好ましいが、必ずしもＡｌＮの純度が高くなくても、すなわち希土類元素化合物やアルカリ土類金属化合物などの焼結助剤、あるいは酸素、あるいは焼成温度低減化剤として用いられるアルカリ金属や珪素などの成分、あるいは黒色化剤として用いられるＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分やカーボン、あるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分、あるいはＡＬＯＮや上記アルミニウム以外の金属成分や珪素あるいはカーボンを含む化合物、などの成分が比較的多く残存している窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であっても窒化アルミニウム粒子が成長したものであれば結晶性の高い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得る基板となり得る。このような窒化アルミニウム以外の成分を比較的多く含み窒化アルミニウム粒子が成長した窒化アルミニウムを主成分とした焼結体は前述のようにできるだけ還元性成分を含まない非酸化性雰囲気中で１７５０℃以上で３時間以上の比較的高温、かつ長時間焼成することにより作製できる。即ち、上記のような希土類元素、アルカリ土類金属、酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分、カーボン、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分、ＡＬＯＮ、上記アルミニウム以外の金属成分、などの成分を比較的多く含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体内部に含まれる窒化アルミニウム粒子の大きさが平均１μｍ以上であれば該焼結体からなる基板上に直接形成される単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下のものが形成され易い。窒化アルミニウム粒子の大きさが平均５μｍ以上に成長した焼結体では該基板上に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下と良好な結晶性のものが得られ易い。窒化アルミニウム粒子の大きさが平均８μｍ以上に成長した焼結体では該基板上に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下とより良好な結晶性のものが得られ易い。窒化アルミニウム粒子の大きさが平均１５μｍ以上に成長した焼結体では該基板上に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下とさらに良好な結晶性のものが得られ易い。窒化アルミニウム粒子の大きさが平均２５μｍ以上に成長した焼結体では該基板上に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数��００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下とさらに良好な結晶性のものが得られ易い。これは焼結体内部の窒化アルミニウム粒子の大きさが大きくなれば窒化アルミニウム結晶粒子の粒界の面積が減少し粒界の影響が減じるので窒化アルミニウム結晶粒子自体の性質が反映され易くなり窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の核成長の方向をより規則的なものにし易いためであろうと推測される。本発明において上記のようにできるだけ還元性成分を含まない非酸化性雰囲気中焼成温度を高めあるいは焼成時間を長くすることで希土類元素、アルカリ土類金属、酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分、カーボン、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分、ＡＬＯＮ、上記アルミニウム以外の金属成分、などの成分を比較的多く含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体においても窒化アルミニウム粒子が成長したものが製造されるが、この焼結体の成長した窒化アルミニウム粒子の大きさは通常平均５μｍ以上である。通常焼成温度を高めていくかあるいは焼成時間を長くすれば焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさも平均８μｍ以上、さらに平均１５μｍ以上、さらに平均２５μｍ以上に増大し、実験上では窒化アルミニウム粒子の大きさ平均１００μｍ程度のものも得られる。
本発明において上記のようにできるだけ還元性成分を含まない非酸化性雰囲気中焼成温度を高めあるいは焼成時間を長くすることで窒化アルミニウム粒子が成長し、希土類元素、アルカリ土類金属、酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分、カーボン、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分、ＡＬＯＮ、上記アルミニウム以外の金属成分、などの成分を比較的多く含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体としては窒化アルミニウムを主成分とする（例えばＡｌＮとして５０％体積以上含む）ものであればどのような組成のものでも使用できるが、その中で希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が酸化物換算で２５体積％以下、酸素含有量１０重量％以下、アルカリ金属あるいは珪素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が酸化物換算で１０体積％以下、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む成分の含有量が元素換算で２５体積％以下、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛など希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属を含む成分の含有量が元素換算で合計３０重量％以下、ＡＬＯＮ含有量２０％以下、の組成のものを用いることが好ましい。上記のような組成であれば必ずしもＡｌＮの純度が高くない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であっても窒化アルミニウムの粒子が成長したものは優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜形成用の基板として使用し得る。このような組成を有し窒化アルミニウムの粒子が成長した基板には上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶状態の薄膜が直接形成でき、さらに単結晶以外の無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜も形成できる。また、上記のような組成であれば必ずしもＡｌＮの純度が高くない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であっても窒化アルミニウムの粒子が成長したものを基板として用い該基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成された優れた薄膜基板が製造し得る。このような単結晶薄膜が形成された薄膜基板にはさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶状態の薄膜が形成でき、さらに単結晶以外の無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜も形成できる。
上記のように焼成温度を高めあるいは焼成時間を長くすることで窒化アルミニウム粒子が成長し、希土類元素、アルカリ土類金属、酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉなどの金属成分、カーボン、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の不可避金属成分、ＡＬＯＮ、上記アルミニウム以外の金属成分、などの成分を比較的多く含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体はできるだけ水素や一酸化炭素、炭素、炭化水素などの還元性成分を含まない焼成雰囲気で焼成することにより得られ易い。
【０１０６】
本発明において上記のように薄膜形成用基板として用いられる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が酸化物換算で２５体積％以下、酸素含有量１０重量％以下、アルカリ金属あるいは珪素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が酸化物換算で１０体積％以下、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む成分の含有量が元素換算で２５体積％以下、希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属を含む成分の含有量が元素換算で３０重量％以下、ＡＬＯＮ含有量２０％以下、の組成のものを用いることが好ましい。このような組成の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を薄膜形成用基板として用いることで窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性のものが得られ易い。
本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の窒化アルミニウム成分の含有量は５０体積％以上であることが好ましいが、該焼結体の希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上の含有量が酸化物換算で５０体積％以下、酸素含有量２５重量％以下、アルカリ金属あるいは珪素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が酸化物換算で２０体積％以下、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む成分の含有量が元素換算で５０体積％以下、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛など希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属を含む成分の含有量が元素換算で５０重量％以下、ＡＬＯＮ含有量５０％以下、の窒化アルミニウム以外の成分を比較的多く含むものを薄膜形成用基板として用いた場合でも、該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜としてミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３６００秒以下の結晶性のものが得られ易く、該半値幅が３００秒以下の結晶性のものも得られる。
さらに上記窒化アルミニウム以外の成分を比較的多く含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において、該焼結体中に含有される希土類元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上とアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種の成分を同時に酸化物換算で５０体積％以下含むもの、該焼結体の酸素含有量が２５重量％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を含むもの、該焼結体のアルカリ金属あるいは珪素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が酸化物換算で２０体積％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を含むもの、該焼結体のＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む成分の含有量が元素換算で５０体積％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を含むもの、該焼結体の鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛など希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属を含む成分の含有量が元素換算で５０重量％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を含むもの、該焼結体のＡＬＯＮ含有量が５０％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を含むもの、を薄膜形成用基板として用いたとき、該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下の結晶性のものがより一層得られ易くなる。すなわち、希土類元素とアルカリ土類金属成分を同時に含む、あるいは酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボン、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛、ＡＬＯＮなどの成分と同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を薄膜形成用基板として用いたとき、希土類元素、アルカリ土類金属、酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボン、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛、ＡＬＯＮなどの成分をそれぞれ単独に含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を薄膜形成用基板として用いた場合に比べて該基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が向上し易い。
なお上記のように希土類元素とアルカリ土類金属成分を同時に含む、あるいは酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボン、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛、ＡＬＯＮなどの成分と同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体においても窒化アルミニウム成分の含有量は５０体積％以上であることが好ましい。窒化アルミニウム成分の含有量が５０体積％より少なければ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の形成が困難になり易いので好ましくない。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が希土類元素とアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を同時に合計５０体積％以下含むもの、該焼結体のアルカリ金属あるいは珪素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が酸化物換算で２０体積％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を合計５０体積％以下含むもの、該焼結体のＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む成分の含有量が元素換算で５０体積％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を合計５０体積％以下含むもの、該焼結体の鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛など希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属を含む成分の含有量が元素換算で５０重量％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を合計５０体積％以下含むもの、該焼結体のＡＬＯＮ含有量が５０％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を合計５０体積％以下含むもの、該焼結体の酸素含有量が２５重量％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を合計５０体積％以下含むもの、といった組成を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いることが好ましい。
このように希土類元素とアルカリ土類金属成分を同時に含む、あるいは酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボン、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛、ＡＬＯＮなどの成分と同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上の成分を含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を単結晶薄膜を形成するための基板として用いたとき、希土類元素、アルカリ土類金属、酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボン、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛、ＡＬＯＮなどの成分をそれぞれ単独に含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を単結晶薄膜を形成するための基板として用いた場合に比べて該基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性は向上し易いが、その理由については必ずしも明確ではない。本願発明者は、希土類元素とアルカリ土類金属を同時に含む場合あるいは酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボン、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛、ＡＬＯＮなどの成分と同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含む場合は各成分をそれぞれ単独で含む場合に比べて５０℃〜３００℃程度低い焼成温度で緻密化が可能となることから液相が比較的多量に生成し易く、そのため上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を構成する窒化アルミニウム粒子の結晶子が該液相中で自発的に発達して結晶性が向上し、その結果上記単結晶薄膜が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体上に形成される過程で該単結晶薄膜の結晶整列が促進されるのではないかと推測している。
【０１０７】
上記希土類元素とアルカリ土類金属を同時に含む、あるいは酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボン、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛、ＡＬＯＮなどの成分と同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を単結晶薄膜を形成するための基板として用いたとき、希土類元素、アルカリ土類金属、酸素、アルカリ金属、珪素、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボン、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛、ＡＬＯＮなどの成分をそれぞれ単独に含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を単結晶薄膜を形成するための基板として用いた場合に比べて該基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が向上し易いのは、上記各成分を比較的多量に含む場合だけに限らない。
本発明においては、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含有される希土類元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上とアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上とを同時に酸化物換算で２５体積％以下含むもの、該焼結体の酸素含有量が１０重量％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、該焼結体のアルカリ金属あるいは珪素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が酸化物換算で１０体積％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、該焼結体のＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む成分の含有量が元素換算で２５体積％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、該焼結体の鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛など希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属を含む成分の含有量が元素換算で３０重量％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、該焼結体のＡＬＯＮ含有量が２０％以下で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、を単結晶薄膜を形成するための基板として用いたとき該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性は向上し易く該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として少なくとも２４０秒以下のものが得られ易い。
また、本発明においては、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に含有される希土類元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上とアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも１種以上とを同時に酸化物換算で２５体積％以上含むもの、該焼結体の酸素含有量が１０重量％以上で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、該焼結体のアルカリ金属あるいは珪素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が酸化物換算で１０体積％以上で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、該焼結体のＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む成分の含有量が元素換算で２５体積％以上で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、該焼結体の鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛など希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属を含む成分の含有量が元素換算で３０重量％以上で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、該焼結体のＡＬＯＮ含有量が２０％以上で同時に希土類元素あるいはアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくとも1種以上を含むもの、を単結晶薄膜を形成するための基板として用いたとき該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性は向上し易く該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として少なくとも３００秒以下のものが得られ易い。
【０１０８】
本発明において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板を製造するとき上記の高純度化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性を高めるためには焼成に供する粉末成形体や焼結体の形状は例えば立方体や直方体あるいは円柱状などどのようなものでも用いることができるが基板状に加工し易いあらかじめ板状のものを用いることが好ましい。同じ体積であれば立方体や直方体あるいは円柱状などのブロック状よりも表面積の大きなものを用いることが好ましい。また上記焼成に供する粉末成形体や焼結体の形状でその1辺の大きさが８ｍｍ以下のものを用いることが高純度化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性を高める上で好ましい。さらに上記の１辺の大きさが５ｍｍ以下のものを用いることがより好ましく、１辺の大きさが２．５ｍｍ以下のものを用いることがさらに好ましく、１辺の大きさが１ｍｍ以下のものを用いることが最も好ましい。上記焼成に供する粉末成形体や焼結体の形状が板状のときその厚みは８ｍｍ以下のものを用いることが高純度化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性を高める上で好ましい。さらに上記板状の粉末成形体や焼結体の厚みは５ｍｍ以下のものを用いることがより好ましく、厚み２．５ｍｍ以下のものを用いることがさらに好ましく、厚み１ｍｍ以下のものを用いることが最も好ましい。上記に示したことを具体的に述べれば例えば、組成が実質的に同じで実質的にＡｌＮ単一相の焼結体であっても上記立方体や直方体あるいは円柱状などのブロック状のものあるいは１辺が８ｍｍを越える粉末成形体や焼結体を用いて製造した高純度化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体では板状あるいは１辺が８ｍｍ以下の成形体や焼結体を用いて製造したものに比べて光透過率が低減化し、場合によっては黒色化が高まって光透過率がさらに低下する場合がある。
【０１０９】
窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するために本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板（すなわち薄膜形成用基板）表面あるいは該単結晶薄膜が形成された薄膜基板表面の平滑度は平均表面粗さＲａが２０００ｎｍ以下であることが好ましい。このような基板の表面平滑性を有することが上記単結晶薄膜を形成するためには望ましい。したがって本発明においては上記薄膜形成用基板及び薄膜基板の少なくとも１つ以上の面が上記のような平滑度を有することが望ましい。本発明においてはＲａ２０００ｎｍ以下の平均表面粗さを有する基板は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）表面やラップ研削された表面、あるいはサンドブラストなどにより研磨された表面、あるいは鏡面研磨された表面、あるいは化学的にエッチング（腐食）された表面、あるいは機械的に溝切り加工などが施された表面などにおいて得ることができる。化学的なエッチングは例えば薬液などを用いたウェット方式やフッ素などの成分を含有するプラズマガスなどによるドライ方式などが好適に使用し得る。Ｒａ２０００ｎｍ以下の平均表面粗さを有する基板には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３６００秒以下のものが得られ易い。より好ましくい基板の平均表面粗さＲａは１０００ｎｍ以下である。Ｒａ１０００ｎｍ以下の平均表面粗さを有する基板は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）表面やラップ研削された表面、あるいはブラスト研磨された表面、あるいは鏡面研磨された表面、あるいは化学的にエッチング（腐食）された表面、あるいは機械的に溝切り加工などが施された表面などにおいて得ることができる。Ｒａ１０００ｎｍ以下の平均表面粗さを有する基板には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１０００秒以下のものが得られ易い。また基板の平均表面粗さＲａは１００ｎｍ以下であることがさらに好ましい。Ｒａ１００ｎｍ以下の平均表面粗さＲａを有する基板は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）表面や鏡面研磨された表面などにおいて得ることができる。Ｒａ１００ｎｍ以下の平均表面粗さを有する基板には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下のものが得られ易い。１００ｎｍ以下の平均表面粗さＲａを有する基板において通常はＲａ６０ｎｍ以下より好ましくはＲａ３０ｎｍ以下さらに好ましくはＲａ２０ｎｍ以下の鏡面状態としたものが好ましい。鏡面状態とすることで形成される単結晶薄膜の結晶性が向上し易くなる。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板において平均表面粗さＲａ６０ｎｍ以下のものには窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２４０秒以下のものが得られ易い。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いた基板の中で平均表面粗さＲａ３０ｎｍ以下のものには窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２００秒以下のものが得られ易い。また窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いた基板の中で平均表面粗さＲａ２０ｎｍ以下のものには窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１５０秒以下のものが得られ易い。
上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）面を用いるときは、ブラシ掛けあるいはアルミナ粉末などを用いたホーニングにより基板表面の付着物、異物、突起などを取り除いた状態のものを用いることが好ましい。ラップ研磨は通常用いられているラップ研削機によりアルミナ砥粒、炭化珪素砥粒、ダイヤモンド砥粒などを用いた方法が問題なく使用できる。ブラスト研磨はアルミナ砥粒、炭化珪素砥粒などを用いて通常のサンドブラスト機などにより問題なく行うことができる。また、鏡面研磨は通常の布製パッドやポリウレタンパッドなどの工具（ポリシャー）を有する研磨機により微粒のアルミナ、酸化セリウム、ダイヤモンド、酸化珪素あるいは酸化クロムなどを主成分とする研磨剤を適宜用いた方法が問題なく使用できる。
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで作製される薄膜基板においては窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成する場合その基板の表面状態、表面平滑性が特に重要である。この表面状態、表面平滑性は例えば１７５０℃以上の温度で３時間以上の比較的長い時間焼成することなどで得られるＡｌＮ純度が高められた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは窒化アルミニウム粒子が大きく成長した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは光透過率が高められた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、などを基板とした場合も同様に重要である。また、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が基板の１面しか形成されない場合、該薄膜が形成されていない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板の面、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで作製される薄膜基板の面の表面状態、表面平滑性は必要に応じて任意の状態が選択でき該薄膜が形成される表面状態と異なっていても良い。本発明による上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の表面状態としては鏡面に研磨した状態のものが基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が高い傾向がある。焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）状態のものとラップ研磨した状態のものを比較すると焼き放し状態の基板表面の方が基板に直接形成される上記単結晶薄膜の結晶性が高い傾向がある。このような現象はおそらく基板表面の平滑度すなわち基板表面の粗さの程度により窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の成長時における核成長の方向を一定にする度合いが異なるためであろうと推測される。
上記焼き放し状態、あるいはラップ研磨、ブラスト研磨、鏡面研磨、機械的な溝切り加工などの表面加工を施した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板をさらに例えばフッ化水素酸（ＨＦ）、フッ硝酸（ＨＦ＋ＨＮＯ３の混合酸）、硝酸（ＨＮＯ３）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸（Ｈ２ＳＯ４）などの酸に浸漬したり、アセトン、イソプロピルアルコール、塩化メチレン、フルオロカーボンなどの有機溶剤に浸漬したり、Ｈ２、Ｎ２、Ａｒなどを含む非酸化性雰囲気中あるいは減圧中で加熱アニールする、あるいはこれらを複数組み合わせて行う、などの処理を施すことにより基板に形成される単結晶薄膜の結晶性の改善をはかることが可能であり有効となり得る。このような処理を施すことで形成される単結晶薄膜の結晶性が改善され易くなる理由は基板表面の異物、突起、傷、くぼみなどの欠陥あるいは研削・研磨などにより生じるひずみが除去されたり軽減されるためであろうと本願発明者は推測している。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板は窒化アルミニウム微粒子の集合した多結晶体であるので基板表面に微粒子脱落や微粒子の欠けなどによる欠陥や研削・研磨ひずみが生じ易いと思われるのでこのような処理を施すことで平均表面粗さを例えばＲａ１０ｎｍ以下とより小さくできる効果があると思われる。
【０１１０】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されている薄膜基板の表面平滑性は通常基板として使用する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の表面状態と同等かあるいは向上する。すなわち窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板表面の平滑度が例えば平均表面粗さＲａ＝３０ｎｍであれば本発明による薄膜基板の表面平滑度はＲａ３０ｎｍあるいはそれ以下となる。したがって本発明による窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板表面の平滑性は、平均表面粗さＲａ＝２０００ｎｍ以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合は２０００ｎｍ以下、平均表面粗さＲａ＝１０００ｎｍ以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合はＲａ１０００ｎｍ以下、平均表面粗さＲａ＝１００ｎｍ以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合はＲａ１００ｎｍ以下、平均表面粗さＲａ＝２０ｎｍ以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合はＲａ２０ｎｍ以下である。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板表面の平滑性は平均表面粗さＲａ１０ｎｍ以下あるいはＲａ３ｎｍ〜５ｎｍ以下さらにＲａ１ｎｍ〜３ｎｍ以下のもの得られる。本発明による薄膜基板において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性と同等あるいはそれ以上に向上した表面平滑性を与える薄膜は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜だけに限らない。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成された本発明による薄膜基板の場合も上記単結晶薄膜と同様に、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性と同等かそれ以上に向上し、平滑性の程度も平均表面粗さＲａ２０ｎｍ以下、あるいはＲａ１０ｎｍ以下、あるいはＲａ３ｎｍ〜５ｎｍ以下、さらにＲａ１ｎｍ〜３ｎｍ以下のもの得られる。
【０１１１】
このような表面平滑性を有する薄膜基板にはさらに優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成できる。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されている薄膜基板に対して、あるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とし単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成されている薄膜基板に対して、さらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成した場合、上記薄膜基板の表面平滑性がＲａ５０ｎｍ以下では該薄膜基板に形成される上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下の単結晶薄膜が得られ易い。また、上記薄膜基板の表面平滑性がＲａ２０ｎｍ以下では該薄膜基板に形成される上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の単結晶薄膜が得られ易い。上記薄膜基板の表面平滑性がＲａ１０ｎｍ以下では該薄膜基板に形成される上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下の単結晶薄膜が得られ易い。上記本薄膜基板の表面平滑性がＲａ５ｎｍ以下では該薄膜基板に形成される上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下の単結晶薄膜が得られ易い。さらに上記薄膜基板の表面平滑性がＲａ３ｎｍ以下では該薄膜基板に形成される上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下の単結晶薄膜が得られ易い。本発明によるこのような平滑性を有する薄膜基板には上記例示したような窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜だけでなく、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜も形成できる。
【０１１２】
また、本発明による上記薄膜基板において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成され該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性と同等あるいはそれ以上に向上した表面平滑性を与える薄膜は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とし単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものであるが、この薄膜の厚みは０．５ｎｍ以上であれば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性と同等あるいはそれ以上に向上した表面平滑性の薄膜基板が得られる。
【０１１３】
上記のように、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜が形成された基板の表面平滑性は、薄膜が形成されていない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板よりも向上し易い。また、上記の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜があらかじめ形成された基板の上にさらに単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成することにより（薄膜を多層に形成することにより）基板の表面粗さが小さくなり表面平滑性がさらに改善され得る。該基板の平均表面粗さＲａは通常１０ｎｍ以下のものが比較的容易に得られる。このような多層の薄膜を形成することで基板の表面平滑性を改善する場合、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ最初に形成される単結晶薄膜、無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜の中では無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜のなかから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成した基板を用いることが好ましく、平均表面粗さＲａが３ｎｍ以下の薄膜基板が作製し得る。また、上記多層の薄膜を形成することで基板の表面平滑性を改善する場合、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ最初に形成される単結晶薄膜、無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜の中では配向性多結晶薄膜を形成した基板を用いることが好ましい。まず窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接配向性多結晶薄膜を形成し、その後さらに単結晶薄膜、無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜を形成した基板の平均表面粗さは少なくともＲａ２ｎｍ以下さらにはＲａ１ｎｍ以下のものが得られ易い。上記のような配向性多結晶薄膜形成による効果がなぜ生じるのかその理由は必ずしも明確でないが、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に薄膜を直接形成する時に生じる表面平滑性の違いがそのままその上に形成される薄膜にも影響を与えることが大きな要因ではないかと本願発明者は推測している。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成される配向性多結晶薄膜の表面粗さは通常単結晶薄膜、無定形薄膜及び多結晶薄膜より小さい場合が多い。このような元々の表面粗さの違いがそのままその上に形成される薄膜の表面粗さの違いとして反映されるのではないかと思われる。元々の表面粗さの違いは、例えば単結晶薄膜を形成する時は比較的高温を要することが多いので薄膜中で局部的な結晶成長の相違により、あるいは無定形薄膜及び多結晶薄膜では薄膜の緻密さが低くミクロな欠陥が多く存在することにより、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に存在するミクロな空孔、突起、窒化アルミニウム粒子の欠けなど焼結体に起因する欠陥を補う程度が配向性多結晶薄膜より小さい結果生じるのではないかと本願発明者は推測している。
【０１１４】
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成された薄膜によるこのような表面平滑性は自発的に生じ得るが、前記で例示したような研削及び研磨装置、研磨剤を用いてメカノケミカルな（機械的化学的な操作による）研削あるいは鏡面研磨を行うことによっても達成される。メカノケミカルな研削あるいは鏡面研磨により薄膜基板の平均表面粗さＲａは少なくとも１０ｎｍ以下のものが作製し得る。また、平均表面粗さＲａが３ｎｍ以下、あるいは２ｎｍ以下、さらには１ｎｍ以下の薄膜基板が作製し得る。上記メカノケミカルな研削あるいは研磨により窒化アルミニウムを主成分とする焼結体と同等かそれ以上の優れた平滑性が得られる理由は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成された薄膜は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に比べてより微細な粒子からなるかあるいは微粒子などからでなく均質で連続し一体化した構造（モノリシック構造）であるためｎｍレベルの欠陥が少ないためであろうと推測される。
また、上記のような薄膜が形成された基板をさらに例えばフッ化水素酸（ＨＦ）、フッ硝酸（ＨＦ＋ＨＮＯ３の混合酸）、硝酸（ＨＮＯ３）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸（Ｈ２ＳＯ４）などの酸に浸漬したり、Ｈ２、Ｎ２、Ａｒなどを含む非酸化性雰囲気中あるいは減圧中で加熱アニールする、あるいはこれらを複数組み合わせて行う、などの処理を施すことにより基板表面に形成される単結晶薄膜の結晶性の改善をはかることが可能であり有効となり得る。
このような表面平滑性を有する薄膜基板を用いて、発光素子、光導波路、回路基板、表面弾性波素子などの電子素子あるいは電子部品を作製すればより優れた特性のものが得られ易い。特に発光効率の優れた発光素子が作製し得る。
【０１１５】
窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶をはじめ各種結晶状態の薄膜を形成するために本発明において炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料からなる焼結体を用いた基板（すなわち薄膜形成用基板）表面あるいは前記薄膜形成用基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板表面の平滑度は平均表面粗さＲａが１０００ｎｍ以下であることが好ましい。このような基板の表面平滑性を有することが前記単結晶薄膜を形成するためには望ましい。したがって本発明においては前記薄膜形成用基板を用いて作製される薄膜基板の少なくとも１つの面が上記のような平滑度を有することが望ましい。Ｒａ１０００ｎｍ以下の平均表面粗さを有する基板は炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体の焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）表面やラップ研削された表面、あるいはブラスト研磨された表面、あるいは鏡面研磨された表面、あるいは化学的にエッチング（腐食）された表面、あるいは機械的に溝切り加工などが施された表面、あるいは前記薄膜形成用基板を用いて作製される薄膜基板の表面などにおいて得ることができる。化学的なエッチングは例えば薬液などを用いたウェット方式やフッ素などの成分を含有するプラズマガスなどによるドライ方式などが好適に使用し得る。Ｒａ１０００ｎｍ以下の平均表面粗さを有するこれら基板には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３６００秒以下のものが得られ易い。前記薄膜形成用基板を用いて作製される薄膜基板の表面平滑性は通常はＲａ１００ｎｍ以下、より好ましくはＲａ３０ｎｍ以下の鏡面状態のものが好ましい。鏡面状態とすることで形成される単結晶薄膜の結晶性が向上し易くなる。炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体を用いた基板の中で平均表面粗さＲａが１００ｎｍ以下のものには窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１０００秒以下のものが得られ易い。またこれら基板の平均表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることがより好ましい。Ｒａ１０ｎｍ以下の平均表面粗さを有するこれらの基板は炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体の鏡面研磨された前記薄膜形成用基板を用いて作製される薄膜基板の表面などにおいて得ることができる。Ｒａ１０ｎｍ以下の平均表面粗さを有する基板には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下のものが得られ易い。またこれら基板の平均表面粗さＲａは５ｎｍ以下であることがさらに好ましい。Ｒａ５ｎｍ以下の平均表面粗さを有する基板は炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体の鏡面研磨された前記薄膜形成用基板を用いて作製される薄膜基板の表面などにおいて得ることができる。Ｒａ５ｎｍ以下の平均表面粗さを有する基板には直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶化した薄膜が形成でき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２４０秒以下のものが得られ易い。
上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板の焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）面を用いるときは、ブラシやアルミナ粉末などを用いたホーニングにより基板表面の付着物、異物、突起などを取り除いた状態のものを用いることが好ましい。ラップ研磨は通常行われているようなラップ研削機によりアルミナ砥粒、炭化珪素砥粒、ダイヤモンド砥粒を用いた方法が問題なく使用できる。また、鏡面研磨は通常の布製パッドやポリウレタンパッドなどの工具を有する研磨機により微粒のアルミナ、酸化セリウム、ダイヤモンド、酸化珪素あるいは酸化クロムなどを主成分とする研磨剤を適宜用いた方法が問題なく使用できる。
本発明において炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を用いて作製される薄膜基板においてその表面状態は薄膜が形成される面が特に重要である。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が基板の１面しか形成されない場合、該薄膜が形成されない炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を用いて作製される薄膜基板の表面状態は必要に応じて任意の状態が選択でき窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成される表面状態と異なっていても良い。本発明による上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板の表面状態としては鏡面に研磨した状態のものが基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が高い傾向がある。焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）状態のものとラップ研磨した状態のものを比較すると焼き放し状態の基板表面の方が基板に直接形成される上記単結晶薄膜の結晶性が高い傾向がある。このような現象はおそらく基板表面の平滑度すなわち基板表面の粗さの程度により窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の成長時における核成長の方向を一定にする度合いが異なるためであろうと推測される。また、このような現象は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いた基板の場合に比べより基板表面の平滑度が高いものが求められるという違いはあるが、おそらく基板表面の平滑度すなわち基板表面の粗さの程度により窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の成長時における核成長の方向を一定にする度合いが異なるためであろうと推測される。
【０１１６】
本発明において炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体を基板として用い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成される薄膜基板の表面平滑性は通常基板として使用する炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体の表面状態と同等かあるいは向上する。すなわち炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板表面の平滑度が例えば平均表面粗さＲａ＝３０ｎｍであれば本発明による薄膜基板の表面平滑度はＲａ３０ｎｍあるいはそれ以下となる。したがって本発明による窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成された薄膜基板表面の平滑性は、平均表面粗さＲａ＝１０００ｎｍ以下の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合はＲａ１０００ｎｍ以下、平均表面粗さＲａ＝１００ｎｍ以下の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合はＲａ１００ｎｍ以下、平均表面粗さＲａ＝３０ｎｍ以下の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合はＲａ３０ｎｍ以下、平均表面粗さＲａ＝１０ｎｍ以下の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合はＲａ１０ｎｍ以下、平均表面粗さＲａ＝５ｎｍ以下の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合はＲａ５ｎｍ以下である。
【０１１７】
本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体を基板として用い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板表面の平滑性はＲａ１０ｎｍ以下あるいはＲａ３ｎｍ〜５ｎｍ以下さらにＲａ１ｎｍ〜３ｎｍ以下のもの得られる。本発明による薄膜基板において、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性と同等あるいはそれ以上に向上した表面平滑性を与える薄膜は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とし単結晶薄膜だけに限らない。炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板を用い窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成された本発明による薄膜基板の場合も上記単結晶薄膜と同様に、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性と同等かそれ以上に向上し、平滑性の程度もＲａ２０ｎｍ以下、あるいはＲａ１０ｎｍ以下、あるいはＲａ３ｎｍ〜５ｎｍ以下、さらにＲａ１ｎｍ〜３ｎｍ以下のもの得られる。
【０１１８】
また、本発明による上記薄膜基板において、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性と同等あるいはそれ以上に向上した表面平滑性を与える薄膜は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とし単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものであるが、この薄膜の厚みは０．５ｎｍ以上であれば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性と同等あるいはそれ以上に向上した表面平滑性の薄膜基板が得られる。
【０１１９】
上記のように、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜が形成された基板の表面平滑性は、薄膜が形成されていない炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板よりも向上し易い。また、上記の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板に単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜があらかじめ形成された基板の上にさらに単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成することにより（薄膜を多層に形成することにより）基板の表面粗さが小さくなり表面平滑性がさらに改善され得る。このような多層の薄膜を形成することで基板の表面平滑性を改善する場合、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板に最初に直接形成される単結晶薄膜、無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜の中では配向性多結晶薄膜を形成した基板を用いることが好ましい。まず炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接配向性多結晶薄膜を形成し、その後さらに単結晶薄膜、無定形薄膜、多結晶薄膜、配向性多結晶薄膜を形成した基板の表面粗さは少なくとも２ｎｍ以下さらには１ｎｍ以下のものが得られ易い。上記のような配向性多結晶薄膜形成による効果がなぜ生じるのかその理由は必ずしも明確でないが、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板に薄膜を直接形成する時に生じる表面平滑性の違いがそのままその上に形成される薄膜にも影響を与えることが大きな要因ではないかと本願発明者は推測している。すなわち、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される配向性多結晶薄膜の表面粗さは通常単結晶薄膜、無定形薄膜及び多結晶薄膜より小さい場合が多い。このような元々の表面粗さの違いがそのままその上に形成される薄膜の表面粗さの違いとして反映されるのではないかと思われる。元々の表面粗さの違いは、例えば単結晶薄膜を形成する時は比較的高温を要することが多いので薄膜中で局部的な結晶成長の相違により、あるいは無定形薄膜及び多結晶薄膜では薄膜の緻密さが低くミクロな欠陥が多く存在することにより、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板に存在するミクロな空孔、突起、焼結体粒子の欠けなど焼結体に起因する欠陥を補う程度が配向性多結晶薄膜より小さい結果生じるのではないかと本願発明者は推測している。
【０１２０】
炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成された薄膜によるこのような平滑性は自発的に生じ得るが、メカノケミカルな（機械的化学的な操作による）研削あるいは研磨を行うことによっても達成される。上記メカノケミカルな研削あるいは研磨により炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体と同等かそれ以上の優れた平滑性が得られる理由は各焼結体に形成された薄膜は炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体に比べてより微細な粒子からなるかあるいは微粒子などからでなく均質で連続し一体化した構造（モノリシック構造）であるためｎｍレベルの欠陥が少ないためであろうと推測される。上記のように薄膜が形成された基板をさらに例えばフッ化水素酸（ＨＦ）、フッ硝酸（ＨＦ＋ＨＮＯ３の混合酸）、硝酸（ＨＮＯ３）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸（Ｈ２ＳＯ４）などの酸に浸漬したり、Ｈ２、Ｎ２、Ａｒなどを含む非酸化性雰囲気中あるいは減圧中で加熱アニールする、あるいはこれらを複数組み合わせて行う、などの処理を施すことにより基板表面に形成される単結晶薄膜の結晶性の改善をはかることが可能であり有効となり得る。
【０１２１】
なお、上記の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の表面状態及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体の表面状態とその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性及び単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜の表面状態との関係は、これら焼結体以外の例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体を用いた場合であってもその表面状態とその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性及び単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜の表面状態との関係においても同様の傾向を有する。
【０１２２】
本願発明者は、基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いる場合可視光及び／又は波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲の紫外光における光透過率と基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性とは相関があることを示した。さらに光透過率が高い場合の利点として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成される発光素子、あるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いて窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成した基板に形成される発光素子からの光を基板で吸収する割合が小さくでき素子の外部に放出される光の割合を高めることができるので発光素子の発光効率を高めることができる。上記のような特徴や利点を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の光透過率を高めるためには焼結体の化学組成や微構造などの焼結体そのものの特性を改善する以外に基板の厚みを薄くすることも有効である。基板の厚みが８．０ｍｍ以下であれば波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対して光透過性を維持し得る。透過性を維持できるということは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の厚みが８．０ｍｍであっても光透過率が１％以上であるということを意味する。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の厚みが０．５ｍｍのものを用いて測定した時の光透過率が例えば波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光において６０〜８０％の範囲の高い光透過率を有するものでも基板の厚みが厚くなれば光透過率は減少していく。基板の厚みが０．５ｍｍのものを用いて測定した時の波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光における光透過率が例えば８０％の基板の場合その厚みが８．０ｍｍであっても波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光において光透過率は１％以上である。基板の厚みが５．０ｍｍ以下であれば光透過率は５％以上のものが得られる。基板の厚みが２．５ｍｍ以下であれば光透過率は１０％以上のものが得られる。さらに基板の厚みが１．０ｍｍ以下であれば光透過率は６０％以上のものが得られる。基板の厚みが０．２ｍｍ以下と薄くなれば光透過率は９０％以上のものが得られる。基板の厚みが０．０５ｍｍ以下の場合光透過率は９５％以上のものが得られる。また基板の厚みが０．５ｍｍのものを用いて測定した時の波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対する光透過率が例えば１．０％の基板の場合その厚みが０．２ｍｍと薄くなれば光透過率１０％以上のものが得られる。基板の厚みが０．１ｍｍ以下の場合光透過率は２０％以上のものが得られる。また基板の厚みが０．０５ｍｍ以下の場合光透過率は４０％以上のものが得られる。このように波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光において６０％以上の高い光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板において厚み１．０ｍｍ以下では基板の厚みにあまり影響されず高い光透過性を有し、０．２ｍｍ以下の厚みでは９０％以上と殆ど透明に近い光透過率となる。実質的に１００％に近い光透過率を有するものも得られる。通常基板の厚みは薄いほど光透過率は高まる傾向を有するが機械的強度が小さくなるので基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成する場合の作業時にクラックや欠けが生じ始めるという欠点があるので基板の厚みは０．０１ｍｍ以上であることが好ましく、０．０２ｍｍ以上であることがより好ましく、０．０５ｍｍ以上であることがさらに好ましい。上記のように本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板として用いる場合光透過性の観点からみて（すなわち本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に発光素子を形成した時の優位性）基板の厚みは８ｍｍ以下であることが好ましく、５．０ｍｍ以下であることがより好ましい。また基板の厚みは２．５ｍｍ以下であることがさらに好ましく、基板の厚みは１．０ｍｍ以下であることが最も好ましい。このような厚みの基板において機械的強度の観点からは０．０１ｍｍ以上であることが好ましく、０．０２ｍｍ以上であることがより好ましく、０．０５ｍｍ以上であることがさらに好ましい。
【０１２３】
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板には導通ビアを設けることができる。導通ビアが設けられた窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板は単結晶薄膜を形成するためだけでなく各種結晶状態の薄膜形成用基板としても同等に用いることができる。導通ビアは通常窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板の内部に設けられる。該導通ビアは通常基板の上下表面（すなわち単結晶薄膜、あるいは無定形薄膜、あるいは多結晶薄膜、あるいは配向性多結晶薄膜などの各種結晶状態の薄膜が形成される側の基板面と、その反対側の基板面）を電気的に接続するために形成される。該導通ビアは例えば窒化アルミニウムを主成分とするグリーンシートなどのセラミック粉末成形体にスルーホール（貫通孔）を形成してそこにあらかじめ金属などを主成分とする導電性粉末を入れ同時焼成する、スルーホールが形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を溶融金属に含浸し該スルーホール部分に溶融金属を導入する、基板のスルーホールに導電性ペーストを導入し加熱あるいは焼成する、などの方法で容易に形成できる。上記導通ビアは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の内部だけでなく、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料からなる焼結体にも形成することができる。
図３には内部に導通ビア３（斜線で示された部分）を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板９の様子が例示されている。該導通ビア３を有する基板９は薄膜形成用基板として用いることができる。
【０１２４】
また、該薄膜形成用基板の上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成できる。
図７には導通ビア３が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板９の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成された薄膜基板の１例が示されている。
図７において、導通ビア３が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板９が薄膜形成用基板として用いられ、該薄膜形成用基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜５が形成され該基板９及び薄膜５により薄膜基板７が構成されている。
このような導通ビアが形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムあるいは酸化アルミニウムなどの各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜が形成できるが、導通ビアにも直接上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜が形成できる。
図７で例示された導通ビアを有する薄膜基板に形成されている薄膜５はエピタキシャル成長した単結晶薄膜として形成できるが該薄膜５はすべてが単結晶でなくその他に無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜も形成できる。また単一層としてだけでなく２層以上の多層化された薄膜構成のものも形成できる。すなわち、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しその上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜が形成された２層構成の薄膜が形成できる。このような構成で形成された単結晶薄膜の結晶性は基板に直接形成された単結晶薄膜よりも優れたものが得られ易いので好ましい。また例えば、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成でき、単結晶を含まない構成の薄膜も形成し得る。また上記の構成に限らず薄膜５は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする２層以上から構成される薄膜として形成できる。２層以上に形成された薄膜５は各層において単結晶を含め無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態、組成、あるいは厚みなどそれぞれ異なる状態で形成でき、本発明において２層以上の薄膜層のすべてが単結晶でない薄膜構成であっても形成出来る。２層以上の薄膜層で構成されている薄膜層すべてが窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜からなるものも形成出来る。本発明による薄膜基板を発光素子、あるいはフィールドエミッションディスプレイ、あるいは回路基板、あるいは光導波路など、各種電子素子及び電子部品の作製用として用いる場合など、薄膜基板表面に形成される薄膜は通常エピタキシャル成長した単結晶であることが好ましい。
図７で例示された薄膜基板７にはさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成できる。その場合該薄膜基板は薄膜形成用基板としての機能を果たすことになる。
【０１２５】
図８には薄膜を２層形成した導通ビアを有する薄膜基板の１例を示す。図８において、薄膜形成用基板として導通ビア３が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板９が用いられ、該基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜５及び薄膜８が形成され導通ビアを有する薄膜基板７が形成されている。
図８で例示された薄膜基板に形成されている薄膜５及び薄膜８はエピタキシャル成長した単結晶薄膜として形成できるが該薄膜すべてが単結晶でなくその他に無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜も形成できる。例えば、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態を有する薄膜を形成でき、単結晶を含まない構成の薄膜も形成し得る。また例えば、薄膜５として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを形成し、その上に薄膜８として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜を形成すれば該薄膜８の結晶性は基板９に直接形成した単結晶薄膜の結晶性よりも向上し易いので好ましい。このような薄膜構成の薄膜基板は例えば発光素子、あるいはフィールドエミッション、あるいは回路基板、あるいは光導波路など、各種電子素子及び電子部品の作製用に使用していく上で好ましい。また上記の構成に限らず薄膜５及び薄膜８をそれぞれ２層以上に多層化し窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする合計３層以上の薄膜で構成することもできる。それぞれ２層以上に形成された薄膜５及び薄膜８は各層において単結晶を含め無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態、組成、あるいは厚みなどそれぞれ異なる状態で形成でき、本発明において薄膜層のすべてが単結晶でない窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の構成であっても形成出来る。
図８に例示された薄膜層２層で構成された薄膜基板だけでなく薄膜層が３層以上形成された薄膜基板であっても該薄膜層すべてが窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜からなるものも形成出来る。
図８で例示された薄膜基板７にはさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成できる。その場合該薄膜基板は薄膜形成用基板としての機能を果たすことになる。
また、図８に例示された薄膜基板において導通ビア３には上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態を有する薄膜５が直接形成し得る。
図８に例示された薄膜２層あるいは３層以上が形成された薄膜基板を発光素子、あるいはフィールドエミッションディスプレイ、あるいは回路基板、あるいは光導波路など、各種電子素子及び電子部品の作製用として用いる場合など、薄膜基板表面に形成される薄膜は通常エピタキシャル成長した単結晶であることが好ましい。
【０１２６】
本発明による導通ビアを有する薄膜基板とは、導通ビアを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された基板である。
本発明による導通ビアを有する薄膜基板に形成される薄膜として、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ形成し、要すればさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成した構成とすることで該単結晶薄膜の結晶性はよりすぐれたものが得られ易いので好ましい。
図３、図７及び図８において示された導通ビアを有する基板の形状は円盤状であるが本発明において使用できる導通ビアを内部に形成した基板の形状は円盤状だけでなく正方形、長方形、あるいはその他多角形状など任意の形状のものが使用できる。又、図３、図７、図８において導通ビアは１個しか示されていないが基板中には適宜複数個の導通ビアを設けることができる。例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を構成成分とする発光素子１個の大きさは０．０５〜１０．０ｍｍ程度であるので直径２５．４ｍｍの円盤状基板では切断しろを考慮して２〜１００００個程度の導通ビアを設けることができる。この導通ビアを有する基板上に発光素子を形成後発光素子を１個ずつ基板から切り離すことで素子の上下面にＰＮ電極配置を有する発光素子が形成できる。このような上下面配置の電極が形成され発光素子はサファイア基板を用いた場合のように素子の片面にだけＰＮ電極が形成されたものと違い電極を形成するために素子の一部をエッチングする必要がなく、基板から切り離すだけでそのまま素子が形成できるのでエッチング中に生じやすい素子のダメージの恐れがなくまた素子の製造コストの低減化がはかれるので好ましい。また、本発明による導通ビアを形成した基板を用いることでＰＮの電極を素子の片面だけでなく素子の上下面に電極を配置した素子が設計できるので設計に自由度も向上するという特徴もある。
【０１２７】
導通ビアに用いられる導電性材料は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体と一体化し易くさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接合性が高く該薄膜を導通ビアに対して形成したときにクラックや導通ビアとの界面における剥離などの不具合が生じることがなくさらに要すれば電気的にも薄膜との接続性が高いものであればどのような材料でも用いることができる。このような材料は例えば金、銀、銅、アルミニウム、鉄、コバルト、ニッケル、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金、タングステン、モリブデン、クロム、チタン、窒化チタン及び窒化ジルコニウムなどのうちから選ばれた少なくとも1種以上を主成分とするものである。このような材料からなる導通ビアは上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板材料と一体化し易いだけでなく、基板に形成される薄膜との接合性が高く導通ビアには直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成できる。また、上記材料からなる導通ビアは電気的にも窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接続性が高い。通常上記材料からなる導通ビアに直接形成される単結晶薄膜は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３６００秒以下の結晶性のものが得られ易い。またビアの材料として上記の主成分に窒化アルミニウム、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、希土類元素化合物、アルカリ土類金属化合物などのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を加えたものは窒化アルミニウム焼結体を始めとする基板材料とより一体化し易いだけでなく、基板に形成される薄膜との接合性がさらに高く導通ビアには直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できその結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅１０００秒以下のものが得られ易い。また、上記材料からなる導通ビアは電気的にも窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接続性も高い。上記の導通ビアの材料の中でモリブデン、タングステン、銅、窒化チタン、窒化ジルコニウムの中から選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするものは基板の窒化アルミニウム焼結体を始めとする材料��より一体化し易いだけでなく、基板に形成される薄膜を介してあるいは導通ビアに直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できその結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３００秒以下のものが得られ易いのでより好ましい。また、モリブデン、タングステン、銅、窒化チタン、窒化ジルコニウムの中から選ばれた少なくとも１種以上の成分を主成分としさらに窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、希土類元素化合物、アルカリ土類金属化合物のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むものは基板の窒化アルミニウム焼結体を始めとする材料とより一体化し易いだけでなく、基板に形成される薄膜を介してあるいは導通ビアに直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できその結晶性はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅２４０秒以下のものが得られ易いのでさらに好ましい。この導通ビアを形成する材料に含まれる窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、希土類元素化合物、アルカリ土類金属化合物のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量は合計で３０重量％以下であることが好ましく上記材料により構成される導通ビアの室温における抵抗率が１×１０−３Ω・ｃｍ以下となる。３０重量％より多いと上記材料により構成される導通ビアの室温における抵抗率が１×１０−３Ω・ｃｍより高いものとなり易いので好ましくない。より好ましい含有量は１０重量％以下であり、上記材料により構成される導通ビアの室温における抵抗率は１×１０−４Ω・ｃｍ以下となり易いのでより好ましい。さらに好ましい含有量は５重量％以下であり、上記材料により構成される導通ビアの室温における抵抗率は１×１０−５Ω・ｃｍ以下となり易いのでより好ましい。なお、上記導通ビアの主成分として用いられるモリブデン及びタングステンは金属だけでなく炭化物や窒化物としても用いることができる。このように導通ビアの材料の中でモリブデン、タングステン、銅、窒化チタン、窒化ジルコニウムの中から選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするものや、モリブデン、タングステン、銅、窒化チタン、窒化ジルコニウムの中から選ばれた少なくとも１種以上の成分を主成分としさらに窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、希土類元素化合物、アルカリ土類金属化合物のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むものが基板に形成される薄膜を介してあるいは導通ビアに直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が高い結晶性を有する理由は必ずしも明確でない。本願発明者はおそらく上記モリブデン、タングステン、銅、窒化チタン、窒化ジルコニウムの中から選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする材料の熱膨張率は比較的小さく窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に近くまた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の熱膨張率に近いため、あるいは銅の場合比較的���質であるためエピタキシャル成長した該単結晶薄膜に大きなひずみや応力が生じにくいと推測しており、また導通ビアに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜形成されるとき窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が導通ビア付近で該薄膜の単結晶化が阻害されないように働くのではないかと推測している。
【０１２８】
なお、上記導通ビアに用いられる希土類元素化合物とはＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３、などの希土類元素酸化物あるいはその他Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｌｕ、などを含む炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、塩化物などの無機希土類化合物、酢酸塩、蓚酸塩、クエン酸塩などの有機希土類化合物などの各種希土類元素化合物などであり、さらにＬｎを希土類元素として表したときガーネット型結晶構造の３Ｌｎ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３（例えば３Ｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｄｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｈｏ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｅｒ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、３Ｙｂ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３、など）、ぺロブスカイト型結晶構造のＬｎ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（例えばＹＡｌＯ３、ＬａＡｌＯ３、ＰｒＡｌＯ３、ＮｄＡｌＯ３、ＳｍＡｌＯ３、ＥｕＡｌＯ３、ＧｄＡｌＯ３、ＤｙＡｌＯ３、ＨｏＡｌＯ３、ＥｒＡｌＯ３、ＹｂＡｌＯ３、など）、単斜晶結晶構造２Ｌｎ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（例えば２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｓｍ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｅｕ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｇｄ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｄｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｈｏ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｅｒ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、２Ｙｂ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、など）などの希土類元素を含む複合酸化物、などである。また上記導通ビアに用いられるアルカリ土類金属化合物とはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａなどのアルカリ土類金属、及びＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属酸化物やその他Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａなどを含む炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、塩化物などの無機アルカリ土類金属化合物、酢酸塩、蓚酸塩、クエン酸塩などの有機アルカリ土類金属化合物などの各種アルカリ土類金属化合物であり、さらにＡｅをアルカリ土類金属として表したとき３ＡｅＯ・Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・２Ａｌ２Ｏ３、Ａｅ・６Ａｌ２Ｏ３などのアルカリ土類金属を含む複合酸化物、である。
【０１２９】
本発明において、導通ビアに用いられる前記モリブデン、タングステン、銅、窒化チタン、窒化ジルコニウムの中から選ばれた少なくとも１種以上の成分を主成分としさらに窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、希土類元素化合物、アルカリ土類金属化合物のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むもの以外の各材料においてもその室温における抵抗率は１×１０−３Ω・ｃｍ以下程度の導電性があれば好ましく室温における抵抗率が１×１０−４Ω・ｃｍ以下であることがより好ましくまた室温における抵抗率が１×１０−５Ω・ｃｍ以下であることがさらに好ましい。
【０１３０】
本発明において上記導通ビアが形成される基板が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体である場合焼結助剤、焼成温度低減化剤、黒色化剤、不可避不純物、ＡＬＯＮなどのうち少なくとも１種以上を含むものであっても良いし、高純度化され結晶相としてＡｌＮを９５％以上含むものあるいはＡｌＮを９８％以上含むものあるいは実質的にＡｌＮ単一相からなるものであってもよく、いずれの窒化アルミニウムを主成分とする焼結体も用いることができる。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成される導通ビアの材料がモリブデン、タングステン、銅、窒化チタン、窒化ジルコニウムの中から選ばれた少なくとも１種以上の成分を主成分とするもの、あるいはモリブデン、タングステン、銅、窒化チタン、窒化ジルコニウムの中から選ばれた少なくとも１種以上の成分を主成分としさらに窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、希土類元素化合物、アルカリ土類金属化合物のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むものを用いれば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を高純度化し光透過性を高めるために行われる高温で長時間の熱処理中にも揮散されることが殆どないので導通ビアを有する基板が容易に製造可能となり、高熱伝導率で光透過性を有し熱膨張率が窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜に近くさらに基板の上下面を電気的に接続できる優れた基板が低コストで提供でき産業界に与える影響はさらに大きい。
【０１３１】
本発明において導通ビアの大きさ及び形状は適宜選定でき、どのような大きさのものであっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜が直接形成し得要すれば単結晶薄膜が形成し得るものであればよい。又形状もどのようなものでも選択でき窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜が直接形成し得要すれば単結晶薄膜が形成し得るものであればよい。通常導通ビアの大きさは２５０μｍより大きいものであっても該導通ビアに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。すなわち導通ビアの大きさが２５０μｍより大きい場合でも導通ビアに直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜として該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３６００秒以下の結晶性のものが得られ易い。例えば導通ビアの大きさが５００μｍといった比較的大きいものであっても該導通ビアに形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜として該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３６００秒以下の結晶性のものが得られる。通常導通ビアの大きさは２５０μｍ以下であることが好ましい。導通ビアの大きさが２５０μｍ以下であれば導通ビアに直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下と結晶性に優れたものが得られ易い。好ましい導通ビアの大きさは１００μｍ以下である。導通ビアの大きさが１００μｍ以下であれば導通ビアに直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下とより結晶性に優れたものが得られ易い。さらに好ましくは５０μｍ以下である。導通ビアの大きさが５０μｍ以下であれば導通ビアに直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下とさらに結晶性に優れたものが得られ易い。さらに好ましくは２５μｍ以下である。導通ビアの大きさが２５μｍ以下であれば導通ビアに直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下とさらに結晶性に優れたものが得られ易い。導通ビアの大きさにより基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性に相違が生じ易いのは、導通ビアは基板の主成分である窒化アルミニウムとは異な��材料であるためその大きさにより基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の成長時における核成長の方向を一定にする度合いに違いが生じるためであろうと推測される。なお、本発明において導通ビアの大きさとは断面の最大寸法で示す。すなわち断面が直径２００μｍの円形の場合導通ビアの大きさはそのまま２００μｍであり、一辺１５０μｍの正方形の場合導通ビアの大きさは２１２μｍである。
また導通ビアの断面形状は任意のものが使用できるが加工性の点から断面が円形のものを用いることが好ましくこのような形状であれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得る。
【０１３２】
導通ビアを形成するために上記のように窒化アルミニウムを主成分とするグリーンシートなどのセラミック粉末成形体にスルーホールを形成する方法として通常行われているニードルを用いたパンチング法以外に例えば炭酸ガスレーザーやＹＡＧレーザーあるいはエキシマレーザーなどによるレーザー加工法が微細な穴あけ加工法としては好ましい。上記レーザー加工法は焼成後の焼結体への穿孔にも適する。レーザー加工法を用いることで５０μｍ以下、１μｍ程度までの導通ビアが形成できる。グリーンシートを焼成することにより得られる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成された導通ビアの大きさが５０μｍからさらに小さくなり１μｍに近づくにつれ導通ビアに直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が本来有していると思われる１５０秒以下と結晶性に優れたものが得られ易くなり特に好ましい。
【０１３３】
また、本発明において導通ビアの形態として導電性材料がスルーホール内に密に充填されたものやスルーホールの側壁に導電性材料を形成したものなど各種形態のものが使用できる。その中でスルーホール内に導電性材料が緻密な状態で形成されたいわゆる充填ビアの形態のものが好ましく、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が容易に形成できる利点がある。
【０１３４】
導通ビアを設けることで元来電気的には絶縁体である窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板の表裏面を電気的に接続できるので、素子の電極を上下面からとすることができる。導通ビアを設けない場合発光素子の電極は基板上に形成された発光素子側だけの面にしか設けられないが、基板に導通ビアを形成することで発光素子の実装を行う場合の自由度が高まり有利となる。
【０１３５】
本発明者は各種金属、合金、金属窒化物、金属炭化物、金属珪化物などの材料を主成分とする導電性を有する薄膜が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体について窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜形成について検討を行なった。その結果上記各種金属、合金、金属窒化物、金属炭化物、金属珪化物などを主成分とする薄膜導電性材料が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は該薄膜導電性材料が形成されていない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体と同等に薄膜形成用基板として用いることができることが明らかになった。
このような薄膜導電性材料は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体との接合性が高く窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接合性が高くさらに要すれば電気的な接続性が高いものあるいは光反射率の高いものであればどのようなものでも用いることができる。すなわち、例えば金、銀、銅、アルミニウム、鉄、コバルト、ニッケル、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金、タンタル、モリブデン、タングステン、クロム、チタン、ニッケル−クロム合金、窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化タンタル、などのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする導電性材料を用いスパッタリング、イオンプレーティング、蒸着、ＭＯＣＶＤ（有機金属化学気相分解成長）法、ＭＯＶＰＥ（有機金属気相エピタキシャル成長）法、ハイドライドＶＰＥ（水素化物気相エピタキシャル成長）法、クロライドＶＰＥ（塩化物気相エピタキシャル成長）法などのハライドＶＰＥ（ハロゲン化物気相エピタキシャル成長）法、、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ（化学気相分解成長）法、ＭＢＥ（分子線エピタキシー）法、あるいはエキシマレーザーなどを用いたレーザーアブレーション法、ＰＬＤ（パルスレーザーデポジション：パルスレーザー分解）法などの方法により目的成分を含む有機化合物、無機化合物、窒化物などの各種化合物、金属、合金などからなる材料を原料とし本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に該導電性材料を主成分とする薄膜を形成して薄膜導電性材料を得、該薄膜導電性材料の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成できる。
通常上記薄膜導電性材料は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の表面に形成される。前記薄膜導電性材料が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体には適宜成膜条件を選択することにより単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成することができる。
なおスパッタリング法の条件として上記金、銀、銅、アルミニウム、鉄、コバルト、ニッケル、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金、タンタル、モリブデン、タングステン、クロム、チタン、ニッケル−クロム合金、窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化タンタル、などのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする導電性材料をターゲットとして用い基板温度を適宜室温〜３００℃としさらに基板温度を適宜３００℃以上とし減圧下例えばＡｒガスを圧力０．２〜２．０Ｐａで１０〜２００ｃｃ／ｍｉｎ．の流量で流し０．３〜３ＫＷの直流電力あるいは高周波電力をかけて成膜を行う。高周波（ＲＦ）電力の周波数は通常２．４５ＧＨｚのマイクロ波あるいは１３．５６ＭＨｚのラジオ波などが用いられる。また薄膜導電性材料が窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化タンタルなどの金属化合物である場合など雰囲気ガスとして適宜例えばＮ２ガスやＮＨ３ガスなどの反応性ガスを単独であるいはＡｒガス、Ｈ２ガスなどのキャリアガスに加えて用い反応性スパッタリングにより該薄膜導電性材料を形成することも有効である。
イオンプレーティング法の条件として上記金、銀、銅、アルミニウム、鉄、コバルト、ニッケル、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金、タンタル、モリブデン、タングステン、クロム、チタン、ニッケル−クロム合金、などのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする導電性材料を溶融原料として用い基板温度を適宜室温〜３００℃としあるいは基板温度を適宜３００℃以上とし成膜チャンバー内の真空度を２×１０−３Ｐａ以下の真空度としてイオン化電圧１０〜２００Ｖ、基板への印加電圧３００〜５０００Ｖにて成膜を行う。あるいは印加電力として高周波を用いて行うこともできる。高周波（ＲＦ）電力の周波数は通常２．４５ＧＨｚのマイクロ波あるいは１３．５６ＭＨｚなどが用いられる。また薄膜導電性材料が窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化タンタルなどの金属化合物である場合など溶融材料にチタン、ジルコニウム、タンタルなどの金属を用いてチャンバー内に適宜例えばＮ２ガスやＮＨ３ガスなどの反応性ガスを単独であるいはＡｒガス、Ｈ２ガス、Ｎ２ガスなどのキャリアガスに加えて導入して反応性イオンプレーティング法により該薄膜導電性材料を形成することも有効に実施できる。
真空蒸着法の条件として上記金、銀、銅、アルミニウム、鉄、コバルト、ニッケル、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金、タンタル、モリブデン、タングステン、クロム、チタン、ニッケル−クロム合金、などのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする導電性材料を溶融原料として用い基板温度を適宜室温〜３００℃としさらに基板温度を適宜３００℃以上とし成膜チャンバー内の真空度を２×１０−３Ｐａ以下の真空度として成膜を行う。
上記スパッタリング法、イオンプレーティング法あるいは蒸着法は薄膜導電性材料の形成だけでなくＭＯＣＶＤ法、クロライドＶＰＥ法、ハライドＶＰＥ法、ハイドライドＶＰＥ法あるいはＭＢＥ法などともに本発明による窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜、及びＳｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｏ、Ｍｇ、Ｂｅ、Ｃａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃなどのドーピング成分を含む窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成する方法としても用いることができる。
これらの薄膜形成に際してスパッタリング法では窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とするターゲットを用いて目的とする組成の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜を得る、あるいは金属ガリウム、金属インジウム、金属アルミニウムをターゲットとして用い上記Ｎ２ガスやＮＨ３ガスなどと反応させることで目的とする組成の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜を得ることができる。また、イオンプレーティング法及び蒸着法では金属ガリウム、金属インジウム、金属アルミニウムなどを原料として用い上記Ｎ２ガスやＮＨ３ガスなどと反応させることで目的とする組成の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする薄膜を得ることができる。
薄膜導電性材料を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜にはクラックは見られず、該薄膜導電性材料と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との間に剥離などの不具合は見られにくい。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に上記導電性材料を主成分とする薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３６００秒以下の結晶性のものが得られ易い。また、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接合性も高く垂直引っ張り強度２Ｋｇ／ｍｍ２以上のものが得られ易いので好ましい。また、上記薄膜導電性材料を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に粘着テープを接着し引き剥がしテストを行っても、該薄膜導電性材料と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との間に剥離は見られない。
上記の接合性は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶などどのような結晶状態であっても同様に得ることができる。
このように本発明による薄膜導電性材料は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との間に高い接合性を有しているが、上記の接合性評価の結果から見て本発明による薄膜導電性材料は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に対しても垂直引張り強度２Ｋｇ／ｍｍ２以上と薄膜と少なくとも同等の接合性を有しているものと思われる。
通常上記薄膜導電性材料はその厚みが２０μｍ以下のものを使用することがその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の品質を高め該薄膜との接合性を高める上で好ましい。すなわち上記薄膜導電性材料の厚みが２０μｍ以下であれば該薄膜導電性材料の上に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３００秒以下の結晶性のものが得られ易く、また該薄膜が無定形や多結晶など必ずしも単結晶でない結晶状態であっても該薄膜との接合性も垂直引っ張り強度２Ｋｇ／ｍｍ２以上のものが得られ易いのでより好ましい。また上記薄膜導電性材料の厚みが５μｍ以下であれば該薄膜導電性材料の上に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅２４０秒以下の結晶性のものが得られ易く、また該薄膜が無定形や多結晶など必ずしも単結晶でない結晶状態であっても該薄膜との接合性も垂直引っ張り強度２Ｋｇ／ｍｍ２以上のものが得られ易いのでより好ましい。上記薄膜導電性材料の厚みが１μｍ以下であれば該薄膜導電性材料の上に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅２００秒以下の比較的結晶性の高いものが得られ易く、また該薄膜が無定形や多結晶など必ずしも単結晶でない結晶状態であっても該薄膜との接合性も垂直引っ張り強度２Ｋｇ／ｍｍ２以上のものが得られ易いのでより好ましい。
【０１３６】
上記の結果、薄膜導電性材料が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板を製造することができることが確認された。
【０１３７】
また、上記薄膜導電性材料が形成された炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の上にはさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成できる。該薄膜は単一層としてだけでなく結晶状態、組成などが異なる２層以上の薄膜層として形成できる。
薄膜導電性材料が形成されている窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜が形成できるがすべてが単結晶でなくその他に無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜も形成できる。また単一層としてだけでなく２層以上の多層化された薄膜構成のものも形成できる。すなわち、あらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態からなる薄膜を形成しその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜が形成された２層構成の薄膜が形成できる。このような構成で形成された単結晶薄膜の結晶性は薄膜導電性材料が形成されている窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接形成された単結晶薄膜よりも優れたものが得られ易いので好ましい。また例えば、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、その上に単結晶を含まない無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態からなる薄膜が形成された２層構成の薄膜も形成できる。２層以上で形成された薄膜は各層において単結晶を含め無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態、組成、あるいは厚みなどそれぞれ異なる状態で形成でき、本発明においては２層以上の薄膜層のすべてが単結晶でない薄膜構成であっても形成出来る。２層以上の薄膜層で構成されている薄膜層すべてが窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜からなるものも形成出来る。２層以上で構成されている薄膜層のうち少なくとも１層以上要すれば表面の薄膜層は単結晶であることが好ましい。特に、本発明によるあらかじめ薄膜導電性材料が形成された基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板を発光素子、あるいはフィールドエミッションディスプレイ、あるいは回路基板、あるいは光導波路など、各種電子素子及び電子部品の作製に用いる場合など、基板表面に形成される薄膜は通常エピタキシャル成長した単結晶であることが好ましい。
【０１３８】
本発明において上記薄膜導電性材料は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板にも形成することができる。すなわち、上記薄膜導電性材料は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体にあらかじめ形成されている窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に形成でき十分な接合性を有している。上記薄膜導電性材料が形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜にはクラックは見られず、該窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜と上記薄膜導電性材料と間に剥離などの不具合は見られにくい。また、接合強度も垂直引っ張り法で２Ｋｇ／ｍｍ２以上のものが得られ易い。このような良好な接合性が得られる理由として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成されているため格子不整合や熱膨張率の相違などによる内部応力が少なく、さらに薄膜導電性材料を形成したときに生じる歪や引っ張り応力は脆性材料である該薄膜にではなく比較的柔らかくあるいは熱膨張率のより大きい薄膜導電性材料により多くあるいは薄膜導電性材料にだけ生じやすいことが大きな要因ではないかと本願発明者は推測している。
なお、上記の接合性は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶などどのような結晶状態であっても同様に得ることができる。
上記薄膜導電性材料のうち金あるいは銅のようにはんだ付けが可能な材料を形成しはんだを用いて接合強度を測定すれば４Ｋｇ／ｍｍ２以上の垂直引張り強度のものが得られやすい。これは本発明による薄膜導電性材料と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接合が高いということだけでなく、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体と薄膜導電性材料との接合性及び窒化アルミニウムを主成分とする焼結体と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接合性も本来高いものであることを示している。
【０１３９】
本発明による上記薄膜導電性材料は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の表面だけでなく該薄膜の内部にも形成することができる。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体にあらかじめ形成されている窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に対して薄膜導電性材料を形成しさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を被覆して窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の内部に薄膜導電性材料を形成したとき、該薄膜導電性材料と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接合界面の剥離や窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜内部にクラックやなどの不具合が生じにくい。
【０１４０】
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板であって、該基板は薄膜導電性材料が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなることを特徴とする薄膜形成用基板を含む。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板であって、さらに薄膜導電性材料が形成されていることを特徴とする薄膜基板を含む。
【０１４１】
このように本発明においては、１）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に薄膜導電性材料が形成された薄膜形成用基板、２）あらかじめ薄膜導電性材料が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板、３）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の上にさらに薄膜導電性材料を形成した薄膜基板、４）あらかじめ薄膜導電性材料が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成しその上にさらに薄膜導電性材料を形成した薄膜基板、など各種薄膜形成用基板及び薄膜基板を提供することができる。また、上記２）、３）、４）のそれぞれの薄膜基板において、形成されている窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の内部に薄膜導電性材料が形成された薄膜基板も提供することができる。
【０１４２】
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に上記薄膜導電性材料が形成された薄膜形成用基板及び薄膜基板を用いる効果は、該薄膜形成用基板及び該薄膜基板を単に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板としてだけでなく、例えば上記薄膜導電性材料を回路パターン状に加工するなどして該薄膜導電性材料が形成された薄膜形成用基板及び薄膜基板上に形成される発光素子を電気的に駆動させるための電気回路機能が付加された基板として用いることができることである。さらに導通ビアを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に上記薄膜導電性材料が形成された薄膜形成用基板及び薄膜基板を用いれば該薄膜導電性材料が形成されていない導通ビアを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いる場合に比べて基板の上下表面の電気的接続性が向上するという効果が得られる。
すなわち、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が導電性を有するものであれば導通ビアを介して該導電性を有する薄膜と該薄膜が形成されている反対側の基板面とを電気的に接続することができる。また、本発明による上記薄膜導電性材料を形成した薄膜形成用基板あるいは薄膜基板を用いて発光素子をその上に形成する場合上記薄膜導電性材料を該発光素子から発せられる光の反射部材として用いることができるので発光素子から発せられる光を効率よく集光したり特定の方向へ放出することが可能になるという効果がある。
すなわち、発光素子の発光層から発せられる光を素子外部へ窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板側でなくその反対側のほうから放出したい場合や反対側の特定の方向に集光したい場合など、反射部材として上記薄膜導電性材料を基板に形成しておくことにより比較的容易に実現することができる。特定の方向に発光素子からの光を制御することが望まれるのは例えば面発光レーザーダイオード（ＬＤ）や平板状表示装置などに使用される発光ダイオード（ＬＥＤ）などである。上記薄膜導電性材料を形成していない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合、該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の少なくとも波長２００ｎｍあるいは２００ｎｍより長い波長の光に対する反射率は通常１５％以下と低いので仮に基板側からの光透過を防止する目的で光透過性の小さい窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたとしても効率よく目的とする発光素子からの光の方向制御や集光制御することが困難となることが多い。
上記薄膜導電性材料を反射部材として形成した基板を用いて作製した発光素子であってもその発光効率が従来からのサファイアなどの基板を用いた場合と比べて大きく低下することは少なく、少なくとも同等以上の発光効率を有する発光素子が提供し得る。上記薄膜導電性材料を反射部材としても形成した基板を用いて作製した発光素子は通常少なくとも８％以上の発光効率を有するものが作製し得る。
【０１４３】
このような薄膜導電性材料のうち例えば室温における抵抗率が１×１０−３Ω・ｃｍ以下の低抵抗のものは電気回路の導体として用いることが好ましい。また、１×１０−３Ω・ｃｍ以上の抵抗率の高いものは電気回路の抵抗体として用いることが好ましい。
また、上記薄膜導電性材料を発光素子作製用の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成し反射部材として用いる場合通常基板の表面に形成される。また、該薄膜導電性材料を反射部材として用いる場合は発光素子からの発光に対する反射率は１５％以上のものを用いることが好ましい。また発光素子からの発光に対する反射率が５０％以上の材料を用いることがより好ましい。また発光素子からの発光に対する反射率が７０％以上の材料を用いることがさらに好ましい。また発光素子からの発光に対する反射率が８０％以上の材料を用いることが最も好ましい。なお、上記発光素子からの発光に対する反射率とは少なくとも波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対する反射率である。また、波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対する反射率とは波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲のいずれか特定の波長の光で測定された反射率を意味する。本発明においては特に断らない限り通常波長６０５ｎｍの光に対する反射率を用いた。
【０１４４】
上記薄膜導電性材料は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に対して例えば金、銀、銅、アルミニウム、鉄、コバルト、ニッケル、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金、タンタル、モリブデン、タングステン、クロム、チタン、ニッケル−クロム合金、窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化タンタルなどのうちから選ばれた単一の材料だけを用いた１層構造のメタライズとして形成されたもの、などを用いることができる。またその他にクロム、チタン、ジルコニウム、窒化チタン、窒化ジルコニウムなどを窒化アルミニウムを主成分とする焼結体との密着材料として用い、その上に鉄、コバルト、ニッケル、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金、モリブデン、タングステン、窒化チタン、窒化ジルコニウムなどを適宜バリア材料として形成し、さらに金、銀、銅、アルミニウムなどの低抵抗材料を適宜形成した例えばクロム／銅、チタン／モリブデン／金、チタン／タングステン／ニッケル、チタン／タングステン／金、チタン／白金／金、チタン／ニッケル／金、ジルコニウム／タングステン／金、ジルコニウム／白金／金、など薄膜多層構造のものも用いることができる。上記薄膜導電性材料のうち金、銀、銅、アルミニウムなどの低抵抗材料を主成分として用いた１層構造あるいは多層構造のものは電気回路の導体として用いることが好ましい。また窒化タンタルやニッケル−クロム合金など抵抗率の高い材料は電気回路の抵抗体として用いることが好ましい。なお上記窒化タンタルとしてはＴａ及びＴａとＮとの化合物（例えばＴａＮ、Ｔａ２Ｎ等）及びアモルファス状のＴａ−Ｎ組成系の薄膜などを使用することができる。
また、該薄膜導電性材料を反射部材として用いる場合、例えば適宜ベリリウム（Ｂｅ）、マグネシウム（Ｍｇ）、スカンジウム（Ｓｃ）、イットリウム（Ｙ）、希土類金属、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、バナジウム（Ｖ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、マンガン（Ｍｎ）、レニウム（Ｒｅ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、亜鉛（Ｚｎ）、硼素（Ｂ）、アルミニウム（Ａｌ）、ガリウム（Ｇａ）、インジウム（Ｉｎ）、珪素（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、錫（Ｓｎ）、鉛（Ｐｂ）、アンチモン（Ｓｂ）、ビスマス（Ｂｉ）、などのうちから１種以上を主成分とする金属あるいは合金を使用できる。合金としてはこれらの金属あるいは合金の波長６０５ｎｍの光に対する反射率は通常１５％以上であり、基板の表面に形成されることで十分反射部材として使用し得る。また、上記例示された材料の中でＣｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔのうちから選ばれた１種以上を主成分とする金属あるいは合金は波長６０５ｎｍの光に対する反射率が５０％以上と高いものが得やすく損失が小さいので好ましい。また、上記金属材料あるいは合金材料のうちＣｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔのうちから選ばれた１種以上を主成分とする金属あるいは合金が波長６０５ｎｍの光に対する反射率が７０％以上とより高いものが得やすく損失がより小さいので好ましい。これら金属あるいは合金のなかで銅／タングステン、銅／モリブデン、銀／タングステン、銀／モリブデン、金／タングステン、金／モリブデンなどＣｕ、Ａｇ、ＡｕとＷ、Ｍｏとの合金なども波長６０５ｎｍの光に対する反射率が５０％以上と高いものが得易くさらに組成によっては反射率が７０％以上とより高いものも得られるので反射部材として好適に用いることができる。上記例示した反射率７０％以上の１４種類の金属あるいは合金のうちＲｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔなどの白金族のうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする金属又は合金は作製条件により反射率８０％以上のものが得られるので好ましい。また、これら反射率７０％以上の金属あるいは合金材料のうちＣｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌを主成分とする金属あるいは合金は波長６０５ｎｍの光に対する反射率８０％以上の高いものが得やすく損失が最も小さいので好ましい。
このように上記で例示した各種金属あるいは合金からなる薄膜導電性材料を本発明による発光素子作製用基板に形成して用いた場合、該薄膜導電性材料は発光素子からの発光に対する良好な反射部材としての機能を有する。
なお、薄膜導電性材料の反射率は分光光度計（Ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）などの光学機器を用いて容易に行うことができる。
【０１４５】
本発明において、上記薄膜導電性材料は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体だけでなく、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にも形成することができる。また、該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体として導通ビアを有するものも用いることができる。
上記薄膜導電性材料が形成された炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の上にはさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成できる。該薄膜は単一層としてだけでなく結晶状態、組成などが異なる２層以上の薄膜層として形成できる。
薄膜導電性材料が形成されている炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜が形成できるがすべてが単結晶でなくその他に無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜も形成できる。また単一層としてだけでなく２層以上の多層化された薄膜構成のものも形成できる。すなわち、あらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態からなる薄膜を形成しその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜が形成された２層構成の薄膜が形成できる。このような構成で形成された単結晶薄膜の結晶性は薄膜導電性材料が形成されている窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接形成された単結晶薄膜よりも優れたものが得られ易いので好ましい。また例えば、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、その上に単結晶を含まない無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態からなる薄膜が形成された２層構成の薄膜も形成できる。２層以上で形成された薄膜は各層において単結晶を含め無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態、組成、あるいは厚みなどそれぞれ異なる状態で形成でき、本発明においては２層以上の薄膜層のすべてが単結晶でない薄膜構成であっても形成出来る。２層以上の薄膜層で構成されている薄膜層すべてが窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜からなるものも形成出来る。２層以上で構成されている薄膜層のうち少なくとも１層以上要すれば表面の薄膜層は単結晶であることが好ましい。特に、本発明によるあらかじめ薄膜導電性材料が形成された基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板を発光素子、あるいはフィールドエミッションディスプレイ、あるいは回路基板、あるいは光導波路など、各種電子素子及び電子部品の作製に用いる場合など、基板表面に形成される薄膜は通常エピタキシャル成長した単結晶であることが好ましい。
また、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の上には薄膜導電性材料が形成できるが、本発明においては上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板だけでなく窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成された炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の上にも薄膜導電性材料が形成できる。
上記のように本発明において薄膜導電性材料が形成された炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いて発光素子、あるいはフィールドエミッションディスプレイ、あるいは回路基板、あるいは光導波路、など各種電子素子及び電子部品を作製していくことができる。
【０１４６】
以下、図１０〜図２０、及び図３７〜図３８で本発明による薄膜導電性材料が形成された薄膜形成用基板、及び薄膜基板の例を示す。図６９〜図７０は薄膜導電性材料の１例を示す。図１０〜図２０、及び図３７〜図３８は斜視図で記載し、図６９〜図７０は正面図で記載した。
図１０は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１３に薄膜導電性材料１１が形成された薄膜形成用基板の１例を示す図である。
図１１は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１３の両面に薄膜導電性材料１１が形成された薄膜形成用基板の１例を示す図である。
図１２は導通ビアを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１０の両面に薄膜導電性材料１１が形成された薄膜形成用基板の１例を示す図である。導通ビアにより基板両面に形成された薄膜導電性材料１１どうしが電気的に接続される。
図１３は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１３に回路パターン状の薄膜導電性材料１２が形成された薄膜形成用基板の１例を示す図である。本発明においてはこれら回路パターンに直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成することができる。あるいはこれら回路パターンを避け回路パターンが形成されていない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の部分に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成することもできる。また本発明による薄膜導電性材料を電気回路パターンとして形成した薄膜形成用基板を用いて例えば該薄膜形成用基板上に発光素子などの機能素子を形成すれば、発光素子を搭載するための回路基板あるいはパッケージ一体型の基板としても機能する。したがって通常であれば発光素子などの機能素子を搭載するための回路基板あるいはパッケージが必要であるが本発明による機能一体型の基板を用いることで回路基板あるいはパッケージを別に用意する必要がなくなるという効果が得られる。
図１４はあらかじめ薄膜導電性材料が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成されている薄膜基板の１例を示す図である。図１４において薄膜導電性材料１１が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１３に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成されることで薄膜基板１５が構成されている。
図１５はあらかじめ薄膜導電性材料が形成された導通ビアを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されている薄膜基板の１例を示す図である。図１５においてあらかじめ薄膜導電性材料１１が基板の片面に形成された導通ビア３を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１０の該薄膜導電性材料１１が形成されていない方の面に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成されることで薄膜基板１６が構成されている。図１５において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が導電性を有するものであれば該導電性を有する薄膜５と導通ビア３を介して該薄膜５が形成されている反対側の基板面とを電気的に接続することができる。
図１６はあらかじめ薄膜導電性材料が両面に形成された導通ビアを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成されている薄膜基板の１例を示す図である。図１６においてあらかじめ薄膜導電性材料１１が両面に形成された導通ビア３を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１０に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成されることで薄膜基板１７が構成されている。図１６において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が導電性を有するものであれば該導電性を有する薄膜５と導通ビア３を介して該薄膜５が形成されている反対側の基板面とより高い信頼性で電気的に接続することができる。
【０１４７】
図１７は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の上にさらに薄膜導電性材料を形成した薄膜基板の１例を示す。図１７において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１３に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成されその上に薄膜導電性材料１１が形成された薄膜基板１８の様子が示されている。
図１８はあらかじめ薄膜導電性材料が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されその上にさらに薄膜導電性材料が形成された薄膜基板の1例を示す。図１８においてあらかじめ薄膜導電性材料１１が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１３に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成されさらに薄膜５の表面上に薄膜導電性材料１１が形成された薄膜基板１９の様子が示されている。
図１９はあらかじめ薄膜導電性材料が形成された導通ビアを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されその上にさらに薄膜導電性材料が形成された薄膜基板の1例を示す。図１９においてあらかじめ薄膜導電性材料１１が形成された導通ビア３を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１０に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成されさらに薄膜５の表面上に薄膜導電性材料１１が形成された薄膜基板２０の様子が示されている。
図２０は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ薄膜導電性材料が形成されその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成され該薄膜表面にさらに薄膜導電性材料による電気回路パターンが形成された薄膜基板の1例を示す。図２０においてあらかじめ薄膜導電性材料１１が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１３に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成されさらに薄膜５の表面上に回路パターン形状の薄膜導電性材料１２が形成された薄膜基板２１の様子が示されている。
図３７はあらかじめ薄膜導電性材料が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が２層形成された薄膜基板の1例を示す。図３７においてあらかじめ薄膜導電性材料１１が形成された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１３に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成され、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８が形成された構成の薄膜基板が符号２２で示されている。例えば、薄膜５として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを形成し、その上に薄膜８として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜を形成すれば該薄膜８の結晶性は基板１３に直接形成した単結晶薄膜の結晶性よりも向上し易いので好ましい。このような薄膜構成の薄膜基板は例えば発光素子、あるいはフィールドエミッション、あるいは回路基板、あるいは光導波路など、各種電子素子及び電子部品の作製用に使用していく上で好ましい。
図３８はあらかじめ薄膜導電性材料が形成された導通ビアを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が２層形成された薄膜基板の1例を示す。図３８においてあらかじめ薄膜導電性材料１１が形成された導通ビア３を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１０に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜５が形成され、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８が形成された構成の薄膜基板が符号２３で示されている。例えば、薄膜５として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを形成し、その上に薄膜８として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜を形成すれば該薄膜８の結晶性は基板１０に直接形成した単結晶薄膜の結晶性よりも向上し易いので好ましい。このような薄膜構成の薄膜基板は例えば発光素子、あるいはフィールドエミッション、あるいは回路基板、あるいは光導波路など、各種電子素子及び電子部品の作製用に使用していく上で好ましい。
図６９及び図７０は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成する薄膜導電性材料の例を示す正面図である。図６９及び図７０において薄膜導電性材料１１の内部に空間２４が形成されている。該空間は本発明による薄膜導電性材料が形成された基板を例えば発光素子作製用基板として用いる場合など、発光素子から発せられた光が薄膜導電性材料に遮断され基板外部に放出されにくくなることを防止するために設けられる。薄膜導電性材料に空間を設けることで発光素子から発せられた光は薄膜導電性材料に遮断されることなく該空間を通過して基板外部に放出され易くなり、発光素子の発光効率が高められるので好ましい。図６９は空間が円形であるものを示す。空間は円形に限らず例えば図７０に示すような四角形などどのような形状のものであってもよく、このような空間を設けることにより発光素子の発光効率の向上が可能となり易いので好ましい。  
【０１４８】
図１０〜図２０、及び図３７〜図３８で示された薄膜導電性材料が形成された基板には窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いた例が示されているが、本発明においては上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板（すなわちそれぞれ、図１０の符号１３で示される基板、図１１の符号１３で示される基板、図１２の符号１０で示される基板、図１３の符号１３で示される基板、図１４の符号１３で示される基板、図１５の符号１０で示される基板、図１６の符号１０で示される基板、図１７の符号１３で示される基板、図１８の符号１３で示される基板、図１９の符号１０で示される基板、図２０の符号１３で示される基板）に代えて、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いて上記薄膜導電性材料が形成された図１０〜図２０で例示されたものと同じ態様の薄膜形成用基板及び薄膜基板を作製することができる。
【０１４９】
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には上記のように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成できる。本願発明者は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための実験を行ってきたが、その過程で新たに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする必ずしも単結晶ではない薄膜が形成できることを見出した。すなわちこの薄膜は単結晶状態だけではなく無定形状態や多結晶状態あるいは配向性多結晶状態など各種結晶状態のものであり、これら各種結晶状態の薄膜も窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成できる。なお、配向性多結晶とは特定の一方向に結晶が成長した多結晶を意味する。例えば基板表面に対し垂直の方向にＣ軸が成長した多結晶で、基板面に対して水平の方向にある結晶軸は単結晶と異なりあらゆる方向を向いている。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜であれば基板面に対し垂直な方向にＣ軸が成長した場合Ａ軸は基板面に水平の方向に成長しかつその方向は一定であるが、配向性多結晶では基板面に対し垂直な方向にＣ軸が成長していても基板と水平な方向Ａ軸は一定の方向性がない。なお、上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板及び各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には導通ビアを有する基板も含まれる。
【０１５０】
本発明は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得る窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形状態など必ずしも単結晶だけではない薄膜も直接形成し得るという知見に基づいてなされたものである。上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形薄膜や多結晶薄膜あるいは配向性多結晶薄膜は単結晶薄膜と同様比較的容易に形成できる。すなわち上記単結晶以外の薄膜はＭＯＣＶＤ（有機金属化学気相分解成長）法、ＭＯＶＰＥ（有機金属気相エピタキシャル成長）法、ハイドライドＶＰＥ（水素化物気相エピタキシャル成長）法、クロライドＶＰＥ（塩化物気相エピタキシャル成長）法などのハライドＶＰＥ（ハロゲン化物気相エピタキシャル成長）法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ（化学気相分解成長）法、ＭＢＥ（分子線エピタキシー）法など、あるいはあらかじめ形成した目的成分を含む固体材料を原料としエキシマレーザーなどを用いたレーザーアブレーション法、ＰＬＤ（パルスレーザーデポジション：パルスレーザー分解）法など通常はエピタキシャル成長に用い得る方法、あるいはスパッタリング法、イオンプレーティング法、蒸着法、などの方法で形成できる。単結晶あるいは単結晶以外の薄膜を形成する場合は前記成膜法を用いたとき、例えば基板の温度を低く設定するか、薄膜原料ガスの濃度を高めにするなど成膜条件の変更などで容易に行うことができる。例えば上記ＭＯＣＶＤ、ハイドライドＶＰＥ法、クロライドＶＰＥ法、ハライドＶＰＥ法などの各種ＣＶＤ、あるいはスパッタリング法やイオンプレーティング法を用いて窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成する場合、単結晶薄膜の場合は該基板の温度を例えば６００℃〜７００℃以上と比較的高めとし、単結晶以外の薄膜を形成する場合は該基板の温度を６００℃〜７００℃以下例えば５００℃以下さらに４００℃以下に低く設定することで比較的容易に単結晶薄膜と単結晶以外の薄膜とを作り分けることが可能である。例えば窒化ガリウムの薄膜をトリメチルガリウムを原料としてＭＯＣＶＤ法で形成する場合単結晶薄膜は７００℃〜８００℃以上、好ましくは９００℃〜１１００℃で形成できる。無定形状態や多結晶状態あるいは配向性多結晶状態の薄膜は８００℃以下の例えば６００℃以下の温度で形成できる。
また、上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜形成を行うに際して単一の方法を用いるだけでなく、例えばＭＯＣＶＤ法とスパッタリング法を組み合わせて行う、あるいはクロライドＶＰＥ法とスパッタリング法を組み合わせて行う、あるいはＭＯＣＶＤ法とクロライドＶＰＥ法及びスパッタリング法の３つの方法を組み合わせて行う、など複数の方法を組み合わせて上記薄膜を形成することができる。このような組み合わせにより、例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にまずあらかじめスパッタリング法で窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする基板面に対して垂直方向に結晶Ｃ軸が成長した配向性多結晶状態の薄膜あるいは無定形状態の薄膜を形成し、その上にＭＯＣＶＤ法あるいはクロライドＶＰＥ法などにより窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶状態の薄膜を形成するといったことなどを任意に実施できる。さらに単結晶以外の薄膜はイオンプレーティング法あるいは蒸着法など通常は単結晶薄膜が形成できにくい薄膜形成法を用いても窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に比較的容易に直接形成できるという特徴がある。このような単結晶以外の薄膜をイオンプレーティング法、あるいは蒸着法を用いて形成する場合窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板温度は６００℃以下、通常４００℃以下で行われる。
【０１５１】
上記薄膜がどのような結晶状態であるかはＸ線回折により容易に判別できることは前に述べた。すなわち、無定形であればブロードな回折パターンとなり特定の回折角度の位置に回折線が出現しない。多結晶であれば回折パターンはブロードな図形となり易く1本の特定の回折線（例えばミラー指数（００２）の回折線だけあるいは（１００）の回折線）だけでなく複数の回折線が出現するので容易に単結晶であるかどうかの判別ができる。配向性多結晶の場合Ｘ線回折により結晶配向方向に従って特定の回折線が出現する。前記のように例えば基板面に対してＣ軸が垂直な方向に配向した多結晶薄膜では出現する回折線は２θ／θスキャンではミラー指数（００２）面の回折線だけである。また、基板面に対してＣ軸が垂直な方向に形成された単結晶薄膜においても２θ／θスキャンのＸ線回折を行えば出現する回折線はミラー指数（００２）面の回折線だけである。本発明において単結晶薄膜の場合ミラー指数（００２）の格子面の回折線はシャープであり、該ミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は３６００秒以下のものが容易に得られる。一方配向性多結晶薄膜ではミラー指数（００２）の格子面の回折線は単結晶と比較してブロードなものとなり易く、該ミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は３６００秒以上となり易い。配向性多結晶薄膜が上記のようなミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブがブロードになる理由は必ずしも明確でないが、単結晶薄膜が均質で連続し一体化した構造であるのに対して配向性多結晶薄膜はＣ軸方向だけが垂直な方向に揃った窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする微粒子からなるためであろうと推測される。したがってＸ線回折の２θ／θスキャン及び２θ／φスキャンの二つを組み合わせて結晶のＣ面内回転の有無を確認する方法だけでなく上記２θ／θスキャンＸ線回折だけ行いロッキングカーブの半値幅を測定することによっても配向性多結晶薄膜と単結晶薄膜との区別を容易に行うことができる。またＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）、ＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）などによる薄膜の微構造観察、あるいはＲＨＥＥＤ（反射高速電子線回折）を併用することでも比較的容易に多結晶薄膜と単結晶薄膜との区別をつけることができる。
【０１５２】
窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするＣ軸が垂直な方向に配向した配向性多結晶薄膜を上記各方法により窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成する場合、通常形成される配向性多結晶のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３６０００秒以下の結晶性を有するものが形成し得る。また上記各種方法のうちＭＯＣＶＤ法、ＭＯＶＰＥ法、ハイドライドＶＰＥ法、クロライドＶＰＥ法、ハライドＶＰＥ法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ法、ＭＢＥ法、エキシマレーザーなどを用いたレーザーアブレーション法、ＰＬＤ法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、蒸着法を用いて形成した配向性多結晶薄膜は該薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２１０００秒以下の結晶性を有するものが形成し得る。
上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のうち配向性多結晶薄膜を窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成する場合通常ＭＯＣＶＤ法、ＭＯＶＰＥ法、ハイドライドＶＰＥ法、クロライドＶＰＥ法、ハライドＶＰＥ法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ法、ＭＢＥ法などの方法を用いる方が、スパッタリング法、イオンプレーティング法、あるいは蒸着法を用いるよりも結晶性の優れた配向性多結晶薄膜が得られ易い。例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜を形成する場合、ＭＯＣＶＤ法、ＭＯＶＰＥ法、ハイドライドＶＰＥ法、クロライドＶＰＥ法、ハライドＶＰＥ法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ法、ＭＢＥ法などの方法を用いて形成したものはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として５０００秒以下のものが形成し得る。
上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のうち配向性多結晶薄膜をＭＯＣＶＤ法、ＭＯＶＰＥ法、ハイドライドＶＰＥ法、クロライドＶＰＥ法、ハライドＶＰＥ法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ法、ＭＢＥ法などの方法を用いて形成する場合、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いる方がより結晶性に優れた配向性多結晶薄膜が形成し得る。炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に上記ＭＯＣＶＤ法、ＭＯＶＰＥ法、ハイドライドＶＰＥ法、クロライドＶＰＥ法、ハライドＶＰＥ法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ法、ＭＢＥ法などの方法を用いて直接形成する場合得られる配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として５０００秒より大きいものになり易い。
【０１５３】
なお、本発明によるミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅による薄膜の結晶性評価法において、形成される薄膜の結晶性は、該薄膜内部の結晶がどの程度乱れているかという指標で評価が行われると言い換えることもできる。一般的に従来から実在の結晶は単結晶と見なされるものであっても不完全であり、微細な完全結晶（結晶子）の集合体であるモザイク構造から成ると云われている。モザイク構造は方位が少しずつ異なる微細な完全結晶（結晶子）が集合した構造であり、実在の単結晶はこのように乱れたモザイク構造から成ると云われている。本発明において例えば形成される薄膜が単結晶であれば該薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は通常３６００秒以下である。従って本発明において単結晶薄膜はその内部においておよそ±３６００秒以内すなわちおよそ±１度以内の角度でお互いのＣ軸方位が異なる結晶子から成るものであるとも推測される。さらに具体的に言えば、例えば形成される薄膜がミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒の単結晶であれば該薄膜はその内部においておよそ±３００秒以内すなわち±５分以内の角度でお互いのＣ軸方位が異なる結晶子から成るものであるとも推測される。本発明による薄膜は自立したバルク材料とは異なり各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板上に形成された状態のものである。従って別の表現をすれば、薄膜中の結晶子が基板面に対してどの程度の傾きを有しているかということで、形成される薄膜の結晶性が評価され得るものと見なすことも可能であると思われる。例えば薄膜のＣ軸を基板面に対して垂直になるよう形成する場合、形成される薄膜がミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３６００秒の単結晶であれば該薄膜はそのＣ軸が基板面に対しておよそ８９度〜９０度の角度範囲（すなわち基板面の垂線に対しておよそ１度以内の角度範囲）にある結晶子から成っているとも見なし得る。また、例えば形成される単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒であれば該薄膜はそのＣ軸が基板面に対しておよそ８９度５５分〜９０度の角度範囲（すなわち基板面の垂線に対しておよそ５分以内の角度範囲）にある微結晶から成っているとも見なし得る。
一方、例えば形成される薄膜が配向性多結晶の場合該薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は３６００秒以上となり易いので配向性多結晶から成る薄膜は単結晶薄膜に比べてさらに結晶方位が乱れた結晶子あるいは微粒子から成るものと推測される。すなわち本発明において配向性多結晶薄膜はその内部において±３６００秒以上すなわち±１度以上の角度でお互いのＣ軸方位が異なる結晶子あるいは微粒子が相当数存在するものであると推測される。さらに具体的に言えば、例えば形成される薄膜がミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２１０００秒の配向性多結晶であれば該薄膜はその内部においておよそ±２１０００秒以内すなわち±７度以内の角度でお互いのＣ軸方位が異なる結晶子あるいは微粒子から成るものであるとも推測される。別の表現をすれば薄膜のＣ軸を基板面に対して垂直になるよう形成するとき形成される該薄膜がミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２１０００秒の配向性多結晶であれば該薄膜はそのＣ軸が基板面に対しておよそ８３度以上の角度範囲（すなわち基板面の垂線に対しておよそ７度以内の角度範囲）にある結晶子から成っているとも見なし得る。
【０１５４】
このような単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる薄膜を窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成することの意味は大きい。すなわち窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる上記単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しても、該各種結晶状態の薄膜の上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が比較的容易に形成でき、このようにして形成された該単結晶薄膜の結晶性は向上し易くなり、さらに該単結晶薄膜の結晶方位の制御ができ易くなるという利点が生じるためである。
本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には高い結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜がもともと直接形成できる。
すなわち、本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜を直接形成することができ該単結晶薄膜の結晶性は高いものが形成し得る。しかしながら、上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性よりも、上記のようにあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いることで、上記各種結晶状態の薄膜の上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜の結晶性はさらに向上し易くなる。本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、さらに該薄膜の上から窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜の結晶性をさらに高めることが可能となる。このような薄膜構成は、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ形成し、該薄膜の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するという、少なくとも３層構成の薄膜において２層目あるいは３層目以上に形成されるそれぞれの単結晶薄膜の結晶性を高めることができる。
また、本発明において単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶などの各種結晶状態の薄膜を形成した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜の結晶方位が制御でき易くなる。
【０１５５】
本発明において上記のように、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、さらに該薄膜の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成することで、上記各種セラミック材料からなる基板に直接形成するよりも優れた結晶性を有する単結晶薄膜が形成された薄膜基板を作製し得る。このような薄膜構成からなる薄膜基板を用いて作製される発光素子、光導波路、回路基板、音響光学素子などの電子素子あるいは電子部品などの特性が向上し易い。例えば上記薄膜基板の上に新たに発光素子、光導波路、回路基板、音響光学素子などの電子素子あるいは電子部品を形成していく場合、あるいは上記薄膜基板を構成している各種薄膜の一部を発光素子、光導波路、回路基板、音響光学素子などの電子素子あるいは電子部品を構成する部材の少なくとも１部として用いる場合、など該発光素子、光導波路、回路基板、音響光学素子などの電子素子あるいは電子部品特性の向上がはかり易くなるので好ましい。
【０１５６】
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜は、該薄膜を単一層として形成したものだけでなくそれぞれ異なる２以上の結晶状態のものからなる２層以上の多層薄膜層として形成したもの、あるいは同じ結晶状態であってもそれぞれ異なる２以上の組成からなる２層以上の多層薄膜層として形成したもの、など組成及び／又は結晶状態が異なる２層以上の多層構成のものも用いることができる。また、さらに上記各種結晶状態の薄膜の上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜も同じ組成ではあっても異なる結晶性を有するもの、あるいは異なる組成を有するもの、など２以上の薄膜層を積層して多層構成としたものも用いることができる。また上記２以上の薄膜層を積層して多層構成としたもののなかで少なくとも１以上の薄膜層は単結晶状態であり残りの薄膜層は無定形、多結晶、配向性多結晶など単結晶状態でない構成としたものも用いることができる。また、同じ組成でかつ同じ結晶状態のものを２回以上に分けて２以上の薄膜層として形成することもできる。
【０１５７】
また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜の厚みは任意のものが形成できる。また、さらにその上に形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みも任意のものが形成できる。上記あらかじめ形成される単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜及びさらにその上に形成される単結晶薄膜はそれぞれ任意の厚みの単一層あるいは２以上の薄膜層で構成される多層構造のものが作製し得る。上記あらかじめ形成される薄膜及びさらにその上に形成される単結晶薄膜の各薄膜層の膜厚は通常それぞれ０．５ｎｍ〜１０００μｍの範囲もの、好ましくは０．５ｎｍ〜２００μｍの範囲のものを適宜組み合わせて用いることが好ましい。
【０１５８】
より具体的に述べれば、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき、該単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下のものが形成できるだけでなくさらに１００秒以下と高い結晶性のものが形成し得る。また、このような薄膜構成は、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、合計２層の薄膜が形成された基板にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜を形成した場合でも、２層目あるいは３層目に形成される単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下のものが形成できるだけでなくさらに１００秒以下と高い結晶性のものが形成し得る。このような効果は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ１層あるいは２層形成した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板だけでなくあらかじめ３層以上形成したものを基板として用いた場合でも同様に得られる。すなわち窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ合計３層以上形成した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき、該単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下のものが形成できるだけでなくさらに１００秒以下と高い結晶性のものが形成し得る。
【０１５９】
前記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下の高い結晶性の単結晶薄膜を直接形成しようとすれば、焼結体の光透過性を向上させたり、焼結体製造時の焼成を高温で長時間行い焼結体中の窒化アルミニウム粒子を増大化させたり、焼結助剤を揮散させ焼結体の純度を高めるなど、焼結体材質の改善が必要な場合が多い。また、基板の厚みや表面平滑性などによっても形成される単結晶薄膜の結晶性は影響を受け易い。
しかしながら本発明においては、上記のように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成し、さらに該単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態からなる薄膜の上から窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜を形成することで、該単結晶薄膜は基板として用いる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性、焼結体粒子の大きさ、該焼結体の組成や純度、など該焼結体の材質、あるいは基板の厚み、基板の表面平滑性、基板中の導通ビアの有無、などに余り影響を受けずにあるいは影響を受けたとしてもより高い結晶性のものが得られ易い。すなわち本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体としてはその材質や製造条件などにあまり影響を受けることなくあるいは影響を受けたとしてもより高い結晶性の単結晶薄膜を形成するための基板として用いることが可能である。また言い換えれば、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成することは、該無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態からなる薄膜の上からさらに形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性を向上させる効果があると云える。このような効果は基板として用いる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性、該焼結体粒子の大きさ、該焼結体の組成や純度、など焼結体の材質、あるいは基板の厚み、基板の表面平滑性、基板中の導通ビアの有無、などに余り影響されずに発現され得る。
もちろん上記のように例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が高い光透過率を有するもの、該焼結体製造時の焼成を高温で長時間行い焼結体中の窒化アルミニウム粒子の大きさが増大化したもの、焼結助剤を揮散させ該焼結体の純度を高めたもの、などを基板として用いた場合などもともと該基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下を有する単結晶薄膜が直接形成できるが、このような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合でも該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき、該単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は少なくとも１００秒以下のものが形成し得る。
別の見方をすれば、もともと窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも１００秒以下の結晶性で直接形成し得る窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は、あらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しなくても、どのような方法であっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする上記のような結晶性に優れた単結晶薄膜を形成し得るので単結晶薄膜を形成するための基板として優れた特性を有していると云える。
【０１６０】
上記のように、本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成することができ形成された該単結晶薄膜の結晶性は高いが、上記のように該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し該単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜の上からさらに単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜の結晶性はさらに向上し易くなる。
【０１６１】
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の中で単結晶よりも無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を用いる方がその上に形成される単結晶薄膜の結晶性をより向上させる効果が大きい。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、さらに該結晶状態を有する薄膜の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は容易に１００秒以下の高い結晶性のものが得られ易い。一方、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶状態の薄膜を形成し、さらに該単結晶状態の薄膜の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は１００秒以下のものが得られる場合もあるが必ずしも１００秒以下の高い結晶性のものが得られるとは限らず、条件によっては１００秒以上ものが形成される場合がある。その理由は必ずしも明確でないが、通常窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接形成した状態の単結晶薄膜の表面平滑性は基板に直接形成した状態の無定形、多結晶、配向性多結晶の結晶状態を有する薄膜より小さい（表面粗さが大きい）場合が多いので、おそらくこのような基板表面に存在する微細な凹凸が生じ易くそのため形成条件によってはその上に成長する単結晶薄膜の結晶方位に歪みが生じ易くなるためではないかと本願発明者は推測している。
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜のうち無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、該薄膜の上からさらに単結晶薄膜を形成すれば表面平滑性により優れた単結晶薄膜が得られ易いので好ましい。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する薄膜が単結晶の場合、該単結晶薄膜の上からさらに形成される単結晶薄膜の平均表面粗さＲａは通常３ｎｍより大きくなり易いのに対して、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する薄膜が無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものである場合、該無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜の上からさらに形成される単結晶薄膜の平均表面粗さＲａは通常少なくとも３ｎｍ以下になり易い。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ直接形成する単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜のうち配向性多結晶薄膜を形成し、該配向性多結晶薄膜の上からさらに単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜の表面平滑性としてはさらに優れたものが得られ易いので好ましい。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する各種結晶状態の薄膜のうち無定形薄膜及び多結晶薄膜の場合、該無定形薄膜及び多結晶薄膜の上からさらに形成される単結晶薄膜の平均表面粗さＲａは通常２ｎｍより大きくなり易いのに対して、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する薄膜が配向性多結晶の場合、該配向性多結晶薄膜の上からさらに形成される単結晶薄膜の平均表面粗さＲａは少なくとも２ｎｍ以下になり易く、通常は１．５ｎｍ以下になり易く、さらに１．０ｎｍ以下のものも比較的容易に得られ易い。このようにＲａ２ｎｍ以下の単結晶薄膜をそのまま発光素子などを構成する薄膜層の一部として用いる、あるいはＲａ２ｎｍ以下の単結晶薄膜が形成された薄膜基板を用いてその上に発光素子などを形成すれば発光効率などの特性がより優れたものが製造できるという効果がある。
上記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の中で単結晶よりも無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を用いる方が好ましいことを説明した。さらに本発明においては、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜の中で配向性多結晶薄膜を用いるほうがより好ましい。その理由は上記のように、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が配向性多結晶である場合、さらにその上に形成される単結晶薄膜の表面平滑性が無定形、多結晶状態の薄膜よりも優れたものが得易く、また該単結晶薄膜の結晶性もより優れたものが得易いためである。通常少なくとも同じ窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用い該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶の薄膜を形成した場合、該配向性多結晶薄膜の上からさらに形成される単結晶薄膜の結晶性はあらかじめ形成される薄膜が無定形、多結晶のものよりも優れたものが得易い。
例えば、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成した薄膜基板の上にエピタキシャル成長した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により発光素子を作製していく場合、あるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、該薄膜の上からさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成した薄膜基板の上にエピタキシャル成長した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により発光素子を作製していく場合、などあらかじめ形成する薄膜が単結晶のものより無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する方がより発光効率などの優れたものが得易く、あらかじめ形成する薄膜が無定形、多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものより配向性多結晶である方がさらに発光効率などの優れたものが得易い。
【０１６２】
また、このような効果は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いた場合だけでなく、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いた場合でも同様である。すなわち、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき、該単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下のものが形成できるだけでなくさらに２００秒以下と高い結晶性のものが形成し得る。また、このような薄膜構成は、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を合計２層あらかじめ形成した基板を用い、この基板にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成した場合でも、２層目あるいは３層目に形成される単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下のものが形成できるだけでなくさらに２００秒以下と高い結晶性のものが形成し得る。このような効果は炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ１層あるいは２層だけ形成した場合だけでなく、さらにあらかじめ合計３層以上形成したものを基板として用いた場合でも同様に得られる。すなわち窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ３層以上形成した炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき、該単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下のものが形成できるだけでなくさらに２００秒以下と高い結晶性のものが形成し得る。
【０１６３】
前記のように炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の高い結晶性の単結晶薄膜を直接形成しようとすれば、例えば焼結体中の結晶粒子の大きさを大きくする、光透過性の焼結体を用いる、基板の表面平滑性を向上させる、形成する単結晶薄膜の厚みを増大させる、などの工夫によっても通常困難な場合が多い。
しかしながら本発明においては、上記のように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜を形成することで、該単結晶薄膜は基板として用いる焼結体の結晶粒子の大きさ、基板の表面平滑性、薄膜の厚みなどに余り影響を受けずにあるいは影響を受けたとしてもより高い結晶性のものが得られ易い。すなわち本発明においては基板として用いる炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の材質や、該焼結体を基板として用いたとき表面平滑性など基板の性状などにあまり影響を受けることなくあるいは影響を受けたとしてもより高い結晶性の単結晶薄膜を形成することが可能である。
【０１６４】
上記のように、本発明においては炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成することができまた該単結晶薄膜の結晶性は高いものが形成し得るが、上記のように炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成したものを用い、この基板に単結晶薄膜を形成すればこの単結晶薄膜の結晶性はさらに向上し易くなる。
炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体にあらかじめ形成する上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の中で単結晶よりも無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を用いる方が該薄膜の上に形成される単結晶薄膜の結晶性をより向上させる効果が大きいのでより好ましい。すなわち、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は容易に２００秒以下の高い結晶性のものが得られ易い。一方、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜をあらかじめ形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成したとき該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は必ずしも２００秒以下の高い結晶性のものが得られるとは限らず、条件によっては２００秒以上のものが形成される場合がある。その理由は必ずしも明確でないが、通常炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成した状態の単結晶薄膜の表面平滑性は、あらかじめ基板に形成した無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜より小さい（表面粗さが大きい）場合が多いので、おそらくこのような基板表面に存在する微細な凹凸が生じ易くそのため形成条件によってはその上に成長する単結晶薄膜の結晶方位に歪みが生じ易くなるためではないかと本願発明者は推測している。
また、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体にあらかじめ形成する上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の中で無定形及び多結晶よりも配向性多結晶の結晶状態を有する薄膜を用いる方がその上に形成される単結晶薄膜の結晶性をより向上させる効果が大きいのでさらに好ましい。すなわち、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶の結晶状態を有する薄膜があらかじめ形成された炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いたとき、その上に形成される単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は容易に１５０秒以下の高い結晶性のものが得られ易い。一方、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形状態及び多結晶状態の薄膜があらかじめ形成された炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いたときは、その上に形成される単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は必ずしも１５０秒以下の高い結晶性のものが得られるとは限らない。その理由は必ずしも明確でないが、通常炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成した無定形薄膜及び多結晶薄膜の表面平滑性は基板に直接形成した配向性多結晶薄膜より小さい（表面粗さが大きい）場合が多いので、おそらくこのような基板表面に存在する微細な凹凸が生じ易くそのため形成条件によってはその上に成長する単結晶薄膜の結晶方位に歪みが生じ易くなるためではないかと本願発明者は推測している。
例えば、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成した薄膜基板の上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した薄膜により発光素子を作製していく場合、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、該薄膜の上からさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成して得られる薄膜基板を用いて、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した薄膜により発光素子を作製していく場合、などあらかじめ形成する薄膜が単結晶のものより無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものの方がより発光効率などの特性に優れたものが得易く、あらかじめ形成する薄膜が無定形及び多結晶のものより配向性多結晶の結晶状態である方がさらに発光効率などの特性に優れたものが得易い。
【０１６５】
上記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば結晶性に優れた単結晶薄膜が容易に形成できる。
本発明においては通常前記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成できるが、該基板に直接形成した単結晶薄膜の結晶性は前記のように基板として用いる焼結体の組成、焼結体の光透過性、焼結体中の結晶粒子の大きさ、基板の表面平滑性などにより影響を受ける。
しかしながら一方において上記のように、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成することにより窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性や焼結体中の結晶粒子の大きさなどにあまり影響されることなくあるいは影響を受けたとしてもより高い結晶性の単結晶薄膜を比較的容易に形成することが可能となる。
また、本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板表面の平滑性が例えば焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）状態、ラップ研磨状態、鏡面研磨状態、ブラスト研磨状態など、どのようなものであっても、あるいは基板の表面状態がその他例えば研削加工、研磨加工、溝切り加工などによってどのようなものであったとしても、上記のようにあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成すれば、該基板には結晶性の高い単結晶薄膜が比較的容易に形成できる。すなわち、基板表面の平滑性が小さい、すなわち平均表面粗さＲａが大きい基板であっても上記のようにあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成することにより該基板には結晶性の高い単結晶薄膜が比較的容易に形成できる。
通常窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の場合例えば焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）の表面、あるいはラップ研磨、ブラスト研磨などの加工を施した表面など平均表面粗さＲａが２０００ｎｍより大きい基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成できないことが多いが、該基板に上記のようにあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成することにより、平均表面粗さＲａが２０００ｎｍより大きい基板であっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３００秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が比較的容易に形成し得る。また、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の場合では例えば焼き放し（ａｓ−ｆｉｒｅ）の表面、あるいはラップ研磨、ブラスト研磨などの加工を施した表面など平均表面粗さＲａが１０００ｎｍより大きい基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成できないことが多いが、該基板に上記のようにあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成することにより、平均表面粗さＲａが１０００ｎｍより大きい基板であっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３００秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が比較的容易に形成し得る。
【０１６６】
本発明において、基板として用いる炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体中の結晶粒子は例えば０．５μｍ程度と成長させずに、すなわち原料粉末の粒子の大きさと同じ状態で焼結したものも使用でき、このような基板の上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３６００秒以下の結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。通常は平均１μｍ以上の結晶粒子からなる焼結体が基板として用いられる。すなわち、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする平均１μｍ以上の結晶粒子からなる焼結体を基板として用いたとき該基板にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅３６００秒以下の結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。また、上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体内部の結晶粒子の大きさが増大化すれば該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の結晶性が向上し易い。すなわち、上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体内部に含まれる結晶粒子の大きさが平均５μｍ以上の焼結体では基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２０００秒以下の結晶性を有するものが直接形成し得る。また、上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体内部に含まれる結晶粒子の大きさが平均８μｍ以上の焼結体では基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１０００秒以下と良好な結晶性のものが直接形成し得る。また、上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体内部に含まれる結晶粒子の大きさが平均１５μｍ以上の焼結体では基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下とより良好な結晶性のものが直接形成し得る。また、上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体内部に含まれる結晶粒子の大きさが平均２５μｍ以上の焼結体では基板上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下とさらに���好な結晶性のものが直接形成し得る。
なお、上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体内部に含まれる結晶粒子の大きさは平均の大きさであって含まれる結晶粒子が均等に近い大きさに揃っている状態のものだけでなく結晶粒子の大きさが不揃いのものや結晶粒子の形状がいびつで針状あるいは板状など一辺が小さく他の一辺が大きい形状の結晶粒子、例えば窒化珪素を主成分とする焼結体においてβ−Ｓｉ３Ｎ４粒子など一辺が数μｍで他の一辺が１０数μｍ以上に大きく成長した針状あるいは板状などの結晶粒子を含むものであっても本発明においては問題なく用いることができる。また、上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体内部に含まれる結晶粒子の大きさは、焼成温度を高くする、あるいは焼成時間を長くする、などの焼成条件を単独で用いるか併用することで制御することができる。
【０１６７】
しかしながら、本発明においては前記のように、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜の結晶性は上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体中の結晶粒子の大きさや、該焼結体からなる基板の表面平滑性などに比較的影響を受けずに良好なものを作製することができる。
【０１６８】
上記のように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成した基板を用いることでその上には良好な結晶性を有する単結晶薄膜が形成されるが、本発明において該単結晶薄膜の結晶性をさらに改善することが可能である。すなわち、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性の向上によりさらに改善し得る。より具体的に言えば、上記各種セラミック材料からなる焼結体を用いた基板の平均表面粗さＲａが１０ｎｍより大きい場合、該基板にあらかじめ形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００００秒より大きくなり易く、このような結晶性を有する配向性多結晶薄膜の上に形成される単結晶薄膜はミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は１５０秒より大きくなり易い傾向を有する。しかしながら、上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の平均表面粗さＲａが１０ｎｍ以下の場合、該基板にあらかじめ形成される上記配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００００秒以下となり易く、このような結晶性の配向性多結晶薄膜の上に形成される単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は１５０秒以下となり易い傾向を有する。さらに、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の平均表面粗さＲａが５ｎｍ以下の場合、該基板にあらかじめ形成される上記配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として８０００秒以下となり易く、このような結晶性の配向性多結晶薄膜の上に形成される単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は１３０秒以下となり易い傾向を有し、通常は１２０秒以下となり易い傾向がある。上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の平均表面粗さＲａが５ｎｍ以下の場合、該基板にあらかじめ形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のうち無定形、多結晶、単結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものもその上に形成される単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は１３０秒以下となり易い傾向を有するが、上記のようにあらかじめ基板に形成する薄膜が配向性多結晶の結晶状態であるほうが、さらにその上に形成した単結晶薄膜の結晶性はより優れたものとなり易い。
【０１６９】
本発明において、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜のうち無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものを形成した基板のほうが、その上に形成する単結晶薄膜の表面平滑性としてはより優れたものが通常得られ易いので好ましい。基板にあらかじめ形成する薄膜が単結晶である場合、さらにその上に形成される単結晶薄膜の平均表面粗さＲａは通常３ｎｍより大きいのに対して、基板にあらかじめ形成する薄膜が無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有するものである場合、その上に形成される単結晶薄膜の平均表面粗さＲａは通常少なくとも３ｎｍ以下である。また、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する薄膜が配向性多結晶である場合、その上に形成する単結晶薄膜の表面平滑性としては通常最も優れたものが得られ易いのでさらに好ましい。該基板にあらかじめ形成する薄膜が無定形及び多結晶である場合その上に形成される単結晶薄膜の平均表面粗さＲａは通常２ｎｍより大きくなり易いが、該基板にあらかじめ形成する薄膜が配向性多結晶の場合、その上に形成される単結晶薄膜の平均表面粗さＲａは少なくとも２ｎｍ以下であり、通常は１．５ｎｍ以下で、さらに１．０ｎｍ以下のものも比較的容易に得られる。このようにＲａ２ｎｍ以下の単結晶薄膜をそのまま発光素子などの電子素子を構成する薄膜層の一部に用いる、あるいはＲａ２ｎｍ以下の単結晶薄膜が形成された基板を用いてその上に発光素子などの電子素子を形成すれば発光効率などの特性がより優れたものが製造できるという効果がある。
【０１７０】
このような高い結晶性の単結晶薄膜が形成された基板に発光素子を形成していく場合、あるいは直接この高い結晶性の単結晶薄膜を発光素子を構成する薄膜の一部として用いる場合など形成される発光素子の発光効率が高まり易いので好ましい。
また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成後さらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のＣ軸結晶方位が基板面に垂直な方向あるいは基板面に水平な方向に制御し易くなる。該単結晶薄膜のＣ軸結晶方位が基板面に垂直な方向に形成されたものは該単結晶薄膜の示すＸ線回折パターンはミラー指数（００２）の回折面からの回折線が出現しミラー指数（１００）の回折面からの回折線は出現しない。また、該単結晶薄膜のＣ軸結晶方位が基板面に水平な方向に形成されたものは該単結晶薄膜の示すＸ線回折パターンはミラー指数（１００）の回折面からの回折線が出現しミラー指数（００２）の回折面からの回折線は出現しないので該単結晶薄膜の方位は容易に判別できる。
【０１７１】
上記のように本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成した基板を用い、該薄膜が形成された基板に単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜の結晶性はさらに向上し得る。
以下この現象が生じる理由を窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を例にして具体的に説明する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜を直接形成する場合、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性、化学組成、結晶粒子の大きさなど該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の材質によって形成される単結晶薄膜の結晶性は影響を受けやすい。例えば通常窒化アルミニウムを主成分とする焼結体として窒化アルミニウム成分を５０体積％以上含むことが良質の単結晶薄膜を直接形成する場合には重要である。窒化アルミニウム成分の含有量が５０体積％より少ないと良質の単結晶薄膜が直接形成できにくいかあるいは多結晶状態の薄膜が形成され易いので好ましくない場合がある。
それに対して単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ形成した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いこの薄膜があらかじめ形成された基板に単結晶薄膜を形成すれば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過性、化学組成、結晶粒子の大きさなど該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の材質によって形成される単結晶薄膜の結晶性は影響を受けにくくなるという特徴がある。すなわち例えば、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の窒化アルミニウム成分の含有量が５０体積％より少ないものであってもその上にあらかじめ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成したものを基板として用いれば、その上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる薄膜は多結晶化しにくく比較的結晶性に優れた単結晶薄膜が形成し得る。このような現象は単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜中にＮ型半導体特性を付与するＳｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｏ及びＰ型半導体特性を付与するＭｇ、Ｂｅ、Ｃａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃなどのドーピング成分が１あるいは２以上含まれていてもその効果は同様である。実験的には少なくとも２０体積％以上の窒化アルミニウム成分を含有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の上にあらかじめ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成可能であり、該薄膜を形成したものを基板として用いれば、その上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜が形成できることが確かめられた。また、５０体積％以上の窒化アルミニウム成分を含有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の上にあらかじめ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成したものを基板として用いれば、その上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下の結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜が形成し得ることが確かめられた。
上記２０体積％以上の窒化アルミニウム成分を含有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において、窒化アルミニウム以外の成分として例えば希土類元素及びアルカリ土類金属のうちから選ばれた少なくともいずれかの成分を酸化物換算で８０体積％以下、あるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくともいずれかの成分を元素換算で８０体積％以下、あるいはＡＬＯＮを８０％以下含むものを好適に用いることができる。また、２０体積％以上の窒化アルミニウム成分を含有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において酸素含有量としては元素換算で３０重量％以下のものを好適に用いることができる。酸素含有量が３０重量％以下であればＡＬＯＮ含有量８０％以下の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体が得られ易い。上記の成分は１種だけ単独で含まれていてもよいし２種以上が同時に含まれていてもよい。２種以上が同時に含まれる場合、上記希土類元素及びアルカリ土類金属の中から１種以上、及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくともいずれかの成分の中から１種以上、及びＡＬＯＮ、及び酸素、の中から選ばれる成分が適宜２種以上含まれたものでもよいし、あるいは例えば希土類元素の中から適宜２種以上、あるいはアルカリ土類金属の中から適宜２種以上、あるいはＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、カーボンのうちから選ばれた少なくともいずれかの成分の中から適宜２種以上、含まれたものであってもよい。
また、５０体積％以上の窒化アルミニウム成分を含有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体においては、上記窒化アルミニウム以外の各成分を５０体積％以下含むものと、その他にアルカリ金属及び珪素のうちから選ばれた少なくともいずれかの成分を酸化物換算で５０体積％以下含むものも好適に用いることができる。そのうちアルカリ金属としては酸化物換算で３０体積％以下含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いることが好ましい。また、希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属例えば鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛のうちから選ばれた少なくともいずれかの成分を元素換算で８０重量％以下含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体も基板として好適に用いることができる。本発明において上記希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属例えば鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛各成分の含有量は元素換算の重量百分率（重量％）で示してきたがこれら成分の密度から容易に体積百分率（体積％）に算定し直すことができる。上記の成分は１種だけ単独で含まれていてもよいし２種以上が同時に含まれていてもよい。２種以上が同時に含まれる場合、上記アルカリ金属及び珪素のうちから選ばれた少なくともいずれかの成分の中から適宜１種以上、及び希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属例えば鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛のうちから選ばれた少なくともいずれかの成分の中から適宜１種以上、の中から選ばれる成分が適宜２種以上含まれたものでもよいし、あるいはアルカリ金属及び珪素のうちから選ばれた少なくともいずれかの成分の中から適宜２種以上、あるいは希土類元素及びＭｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ以外の遷移金属例えば鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛のうちから選ばれた少なくともいずれかの成分の中から適宜２種以上、含まれたものであってもよい。
【０１７２】
前記のように酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、アルミン酸マグネシウム（ＭｇＡｌ２Ｏ４）などを主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成することは困難な場合が多い。しかしながら、上記基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜であれば直接形成し得ることが見出された。さらに、本発明において上記酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウムなどを主成分とする焼結体を基板とし、該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成すれば、その上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３６００秒以下の結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得ることも見出された。また、例えば酸化チタン（ＴｉＯ２）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：チタンとジルコニウムをモル数１：１の割合で含む複合酸化物）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）などの希土類酸化物、酸化トリウム（ＴｈＯ２）、各種フェライト（Ｆｅ３Ｏ４あるいはＭｎＦｅ２Ｏ４など一般式ＡＦｅ２Ｏ４であらわされる複合酸化物：ただし、Ａは２価の金属元素）、ムライト（３Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２）、フォルステライト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ２）、ステアタイト（ＭｇＯ・ＳｉＯ２）、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体も基板として用いることができ、該基板にも窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜であれば直接形成し得ることが見出された。さらにあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成したものを基板として用いれば、その上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３６００秒以下の結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得ることも見出された。上記酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の表面を鏡面研磨あるいはその他の方法で研削し平均表面粗さ５０ｎｍ以下とした基板を用い、あらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成することで、その上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下の結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得る。また、平均表面粗さ１０ｎｍ以下とした基板には該ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の結晶性を有する単結晶薄膜が形成し得る。また、平均表面粗さ５ｎｍ以下とした基板には該ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下の結晶性を有する単結晶薄膜が形成し得る。また、平均表面粗さ１０ｎｍ以下とした基板にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００００秒以下の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜があらかじめ形成し得る。また、平均表面粗さ５ｎｍ以下とした基板にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が８０００秒以下の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜があらかじめ形成し得る。
【０１７３】
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及び酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる上記単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成後さらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜を形成する方法として例えば以下のものが例示できる。すなわち、単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成された基板を成膜装置から取り出しあらためて単結晶薄膜を形成していくという方法、あるいは基板の温度を最初低く設定しておき、まず無定形の薄膜を基板に形成し基板はそのままの状態で基板の温度を段階的もしくは連続的に上昇して段階的もしくは連続的に単結晶薄膜を形成していく、などの方法がある。
【０１７４】
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、あるいは酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される薄膜は単一層としてだけではなく上記のように少なくとも２層以上からなる薄膜として形成できる。なお、上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板及び各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には導通ビアを有する基板も含まれる。この２層以上の薄膜として形成される薄膜は同一組成としてあるいはそれぞれ異なる成分からなるものとしても形成でき、さらに３層以上の薄膜においてすべて同一組成として形成できまた２層以上が同一組成で他の１層以上が異なる組成の薄膜層として形成することができさらに全て異なる組成の薄膜層としても形成できる。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及び酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に２層以上に分けて形成された薄膜の構成は各薄膜層の組成が異なるだけではなく前述のように各薄膜層の結晶状態が同一の状態のものや各薄膜層の結晶状態が例えば単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など異なるものであっても窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及び酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成できる。すなわち窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、さらに酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる薄膜が２層以上形成できるが、この２層以上で構成されている薄膜において各薄膜層として単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれの状態のものが何ら制限されることなく形成できる。例えば薄膜層が２層の場合、２層とも同じ結晶状態であるものと各層の結晶状態が異なるものがあり、２層とも同じ結晶状態であるものを例示すれば１）各薄膜層全ての層が単結晶状態であるもの、２）各層全てが無定形であるもの、などであり、各層の結晶状態が異なるものを例示すれば３）基板側の薄膜が無定形でその上に形成されている薄膜が単結晶であるもの、あるいは４）基板側の薄膜が多結晶でその上に形成されている薄膜が単結晶であるもの、あるいは５）基板側の薄膜が配向性多結晶でその上に形成されている薄膜が単結晶であるもの、などである。上記薄膜層が２層の場合薄膜層の結晶状態は、基板側の薄膜層として単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の少なくとも４種類の結晶状態のものが形成でき、この上に形成される薄膜層はそれぞれ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の少なくとも４種類の結晶状態のものが形成できるので計１６種類の組み合わせの２層薄膜形成が可能である。また、例えば薄膜層が３層の場合、３層とも同じ結晶状態であるもの、各層の結晶状態が３層とも異なるもの、３層のうち２層が同じ結晶状態で１層が異なるものがあり、３層とも同じ結晶状態であるものを例示すれば１）各薄膜層全ての層が単結晶状態であるもの、２）各層全てが無定形であるもの、などであり、各層の結晶状態が３層とも異なるものを例示すれば３）基板側の薄膜が無定形でその上に形成されている薄膜が多結晶でその上に形成されている薄膜が単結晶であるもの、３層のうち２層が同じ結晶状態で１層が異なるものを例示すれば４）基板側の薄膜が無定形でその上に形成されている薄膜が２層とも単結晶であるもの、などである。上記薄膜層が３層の場合薄膜層の結晶状態は、基板側の薄膜層が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の少なくとも４種類の結晶状態のものが形成でき、この上に形成される薄膜層はそれぞれ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の少なくとも４種類の結晶状態のものが形成でき、さらにその上に形成される薄膜層はそれぞれ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の少なくとも４種類の結晶状態のものが形成できるので結晶状態が異なる少なくとも計６４種類の組み合わせの３層薄膜形成が可能である。また、４層以上の薄膜も上記のように４層薄膜であれば少なくとも２５６種類、５層薄膜であれば少なくとも１０２４種類、あるいは６層薄膜であれば少なくとも４０９６種類、また７層薄膜であれば少なくとも１６３８４種類、さらに８層薄膜であれば少なくとも６５５３６種類の組み合わせの、というように各層の結晶状態を任意に組み合わせることで結晶状態が異なるあらゆる多層薄膜の形成が可能である。
【０１７５】
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及び酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に少なくとも２層以上で形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の各層における膜厚も任意の組み合わせが可能である。通常各薄膜層の膜厚はそれぞれ０．５ｎｍ〜１０００μｍの範囲もの、好ましくは０．５ｎｍ〜２００μｍの範囲のものを適宜組み合わせて用いられる。
【０１７６】
このように本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及び酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板に形成されている窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は単一の結晶状態のものだけでなく単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態の異なる２以上を適宜組み合わせた構成からなるものを用いることができる。このような薄膜の結晶状態の組み合わせとして例えば薄膜が２つの異なる結晶状態からなる場合、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板側にある薄膜は単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の少なくとも４種類の結晶状態のものが形成でき、この上に形成される薄膜はそれぞれ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の少なくとも４種類の結晶状態のものが形成できるので、２つの異なる結晶状態で構成されている薄膜の場合は計１２種類の異なる結晶状態の組み合わせのものが形成可能である。また、例えば薄膜が３つのそれぞれ異なる結晶状態からなる場合、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板側の薄膜が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の各４種類の結晶状態のものが形成でき、この上に形成される薄膜は単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の各４種類の結晶状態のものが形成でき、さらにその上に形成される薄膜層はそれぞれ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶の各４種類の結晶状態のものが形成できるので計３６種類の組み合わせが３つの異なる結晶状態からなる薄膜において形成可能である。また、４つ以上の異なる結晶状態からなる薄膜も上記のように１０８種類の組み合わせが４つの異なる結晶状態からなる薄膜において、３２４種類の組み合わせが５つの異なる結晶状態からなる薄膜において、９７２種類の組み合わせが６つの異なる結晶状態からなる薄膜において、また２９１６種類の組み合わせが７つの異なる結晶状態からなる薄膜において、さらに８７４８種類の組み合わせが８つの異なる結晶状態からなる薄膜において、というように異なる結晶状態の組み合わせが無限に形成可能である。
【０１７７】
なお、本発明による薄膜基板は形成されている薄膜が多層化され各層が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態で、組成も各薄膜層で異なりさらに厚みも各層で異なっていたとしても少なくとも単結晶薄膜が形成されているものである。また上記薄膜基板に形成されている単結晶薄膜は、基板に直接形成されているものより、単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成した基板を用いてその上に形成したもののほうが通常は結晶性に優れる。本発明による薄膜基板に形成される薄膜は多層化され各層が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態で、組成も各薄膜層で異なりさらに厚みも各層で異なっていたとしても少なくとも単結晶薄膜を含む。
【０１７８】
少なくとも２層以上からなる薄膜において成分が異なるという意味は薄膜の実質的な組成が異なるということであり、薄膜の組成として該薄膜の主成分である窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる成分の割合が異なるものだけでなく、例えば薄膜が主成分として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれる１種類だけでその他の成分として例えばドーピング剤だけの場合なども含まれる。より具体的に言えば、薄膜の主成分が例えば窒化ガリウムだけでその他実質的にドーピング剤としてマグネシウム（Ｍｇ）だけを含むものの場合、窒化ガリウムとマグネシウムの組成比が異なるものも含まれる。あるいは同様に、薄膜の主成分が例えば窒化アルミニウムだけでその他実質的にドーピング剤として珪素（Ｓｉ）だけを含むものの場合、窒化アルミニウムと珪素の組成比が異なるものも含まれる。本発明においては上記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に直接窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする同一成分の薄膜を単一層としてあるいは少なくとも２層以上に分けて形成できるだけでなく異なる成分からなる少なくとも２層以上の薄膜として形成することができる。同一成分を２層以上に分けて形成したものや異なる成分のものを２層以上に形成したものであっても形成されたそれぞれの薄膜が単結晶である場合該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下と優れた結晶性のものが得られる。また上記のような２層以上の薄膜を炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料を主成分とする焼結体を基板として用いて形成したとき窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の優れた結晶性のものが得られるので好ましい。
【０１７９】
本発明においては上記のように、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、あるいは酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成された薄膜は単一層としてだけではなく上記のように少なくとも単結晶を含む２層以上からなる薄膜として形成できる。本発明において単結晶薄膜を含む上記２層以上に形成できる薄膜として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、あるいは酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板に形成され得る薄膜だけではなく、本発明による薄膜基板に形成されている薄膜も含まれる。すなわち、本発明において上記２層以上に形成できる薄膜には薄膜形成用基板に形成され得る薄膜、及び薄膜基板に形成された薄膜の２つの薄膜が含まれる。これらの薄膜は単一の層としてだけではなく少なくとも２層以上の単結晶薄膜を含む薄膜としても形成できることを明らかにした。
【０１８０】
本発明は上記のように、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し得る窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を提供する。さらに、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成されている薄膜基板も提供する。また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し得る炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を提供する。さらに、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成されている薄膜基板も提供する。
【０１８１】
また本発明は、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成し得る酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を提供する。さらに、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜が形成されている薄膜基板も提供する。
また本発明においては前記のように、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及び酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜が形成し得る。該単結晶薄膜は各焼結体におけるセラミック材料の違いによって該焼結体に直接形成し得るものもあるし、あるいは該焼結体にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成後その上に形成し得るものもある。例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜が直接形成し得る。一方、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体にはあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成後その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜を形成し得る。
【０１８２】
かくして本発明により、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成するための基板であって、該基板がセラミック材料を主成分とする焼結体からなることを特徴とする薄膜形成用基板、が提供し得る。また本発明により、セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、が提供し得る。又本発明により、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するための基板であって、該基板が光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体からなることを特徴とする薄膜形成用基板、が提供し得る。さらに本発明により、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、が提供し得る。なお、上記セラミック材料とは焼結体を構成する例えば窒化アルミニウム、六方晶系又は三方晶系のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶構造を有する化合物（例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなど）、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの金属元素及び半金属元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素と非金属元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素との組成物あるいは化合物、あるいは金属元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素と半金属元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素との組成物あるいは化合物、あるいは半金属元素のうちから選ばれた少なくともいずれか２種以上の元素との組成物あるいは化合物を主成分とするものからなる。上記非金属元素としては通常窒素、りん、酸素、硫黄、ハロゲン元素（フッ素、塩素、臭素、沃素、アスタチン）などが好適に用いられる。半金属元素としては通常ほう素、炭素、珪素、ゲルマニウム、ヒ素、アンチモン、ビスマス、セレン、テルル、ポロニウムなどが好適に用いられる。上記セラミック材料は通常無機化合物を主成分とするものであり、これらのセラミック材料は結晶質のものであってもよいしあるいは例えばガラスなどの非晶質状態のものであってもよいしあるいは結晶質のものと非晶質のものとが混在したものであってもよい。上記セラミック材料は通常窒化物、炭化物、酸化物、硼化物、珪化物などの化合物あるいは組成物を主成分とするものである。
なお、本発明において上記セラミック材料としては主成分である無機材料以外に金属、合金、金属間化合物、有機物質、有機化合物、有機樹脂、その他に例えばハロゲン元素あるいはカルコゲン元素などの非金属などを含有するもの含まれる。
本発明において、上記セラミック材料を主成分とする焼結体は光透過性を有するものが好ましく、該セラミック材料を主成分とする焼結体に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性が向上し易くなるので好ましい。
【０１８３】
上記薄膜形成用基板は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶をはじめ無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成するために用いることができる。又上記薄膜基板も窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶をはじめ無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成するために用いることができる。その他に上記薄膜形成用基板及び薄膜基板は発光素子、あるいは光導波路、あるいは表面弾性波素子用などの圧電膜、あるいは電気回路基板用の絶縁膜や誘電膜などにも用いることができる。
【０１８４】
上記のように本発明は、（１）窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶をはじめ無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成するための薄膜形成用基板、（２）窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする少なくとも単結晶をはじめ無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜が形成された薄膜基板、という大きく分けて二種類の基板を提供する。上記二種類の基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成し得る。これら２種類の基板にはそれぞれ導通ビアを有するものも含まれる。上記二種類の基板をより具体的にいえば、（１）薄膜形成用基板：窒化アルミニウムをはじめとする各種セラミック材料を主成分とする焼結体をそのまま基板としたもの、（２）薄膜基板：窒化アルミニウムをはじめとする各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶をはじめ無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成したもの、の二種類である。本発明はこれらを提供する。また、上記二種類の基板にはそれぞれ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成し得る。また、これら二種類の基板にはそれぞれ導通ビアを有するものも含まれる。なお、上記薄膜基板は薄膜形成用基板としても用いることができる。
【０１８５】
上記のように本発明は薄膜形成用基板、及び薄膜基板の２種類の基板を提供するものであることを説明した。また、この２種類の基板の中で薄膜形成用基板は窒化アルミニウムをはじめとする各種セラミック材料を主成分とする焼結体をそのまま基板としたものであることを説明したが、該薄膜形成用基板としては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体をそのまま基板としたものだけでなく、該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラスなどの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたものを基板としたものも用いることができる。すなわち本発明による薄膜形成用基板としては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体をそのまま基板としたもの、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたものを基板としたもの（すなわち薄膜基板と同質）、という２種類のものを用いることができる。前記のように窒化アルミニウムをはじめとする各種セラミック材料を主成分とする焼結体には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成することができる。窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜として前記のように単結晶及び無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態のものを用いることができる。また、該薄膜は前記のように単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた単一の結晶状態のものだけでなくこれら結晶状態のうちから選ばれた少なくとも２以上の結晶状態からなるものも同時に用いることができる。また、該薄膜は前記のように単一層のものだけでなく少なくとも２以上の層で構成されたものも好適に用いることができる。また、該薄膜は前記のように単一組成のものだけでなく異なる２以上の組成からなるものであっても好適に用いることができる。また、該薄膜は前記のように少なくとも２以上の層で構成され各薄膜層のうち少なくとも２以上は異なる組成からなるものであっても好適に用いることができる。また、該薄膜は前記のように導電性を有するものであっても好適に用いることができる。前記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜があらかじめ形成されたものを基板として用いることによりその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性は該薄膜を形成していない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体をそのまま基板として用いる場合に比べてより向上し易くなる。窒化アルミニウムをはじめとする各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された基板には導通ビアを有するものも含まれる。
本発明において上記のように薄膜形成用基板としては窒化アルミニウムをはじめとする各種セラミック材料を主成分とする焼結体などをそのまま基板としたもの、窒化アルミニウムをはじめとする各種セラミック材料を主成分とする焼結体などに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されたものを基板としたもの、という２種類のものを用いることができる。
すなわち本発明による薄膜形成用基板として、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体をそのまま基板としたものと、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されている窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されている炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、も含まれる。
【０１８６】
本発明は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板も含む。本発明による薄膜基板に形成されている薄膜の結晶状態としては単結晶のものだけではなく無定形、多結晶、配向性多結晶などのように必ずしも単結晶でない状態のものであってもよい。より詳しく言えば、本発明による前記薄膜基板に形成されている薄膜の結晶状態としては単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態のものであってもよく、例えば必ずしも単結晶を含まない窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形状態だけの薄膜であってもよい。本発明によるこのような薄膜基板をより具体的に例示すれば、例えば１）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成された薄膜基板、また例えば２）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形薄膜が形成された薄膜基板、また例えば３）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする多結晶薄膜が形成された薄膜基板、また例えば４）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜が形成された薄膜基板、また例えば５）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形薄膜が形成されさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成された薄膜基板、また例えば６）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする多結晶薄膜が形成されさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成された薄膜基板、また例えば７）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜が形成されさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成された薄膜基板、また例えば８）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成された薄膜基板、また例えば９）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形薄膜が形成されさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜が形成されさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成された薄膜基板、などである。
【０１８７】
なお、本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板は形成されている薄膜が多層化され各層が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態で、組成も各薄膜層で異なりさらに厚みも各層で異なっていたとしてもその上には単結晶薄膜が形成し得る。また本発明による薄膜基板に形成される単結晶薄膜は、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成されるものより窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態の薄膜が形成された基板を用い、その上に形成されたもののほうが結晶性に優れる。
【０１８８】
上記本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成された薄膜基板において、少なくとも２層以上で形成されている薄膜の成分が異なるという意味は薄膜の実質的な組成が異なるということであり、薄膜の組成として該薄膜の主成分である窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる成分の割合が異なるものだけでなく、例えば薄膜が主成分として窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれる１種類だけでその他の成分として例えばドーピング剤だけの場合なども含まれる。より具体的に言えば、薄膜の主成分が例えば窒化ガリウムだけでその他実質的にドーピング剤としてマグネシウム（Ｍｇ）だけを含むものの場合、窒化ガリウムとマグネシウムの組成比が異なるものも含まれる。あるいは同様に、薄膜の主成分が例えば窒化アルミニウムだけでその他実質的にドーピング剤として珪素（Ｓｉ）だけを含むものの場合、窒化アルミニウムと珪素の組成比が異なるものも含まれる。本発明においては上記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする同一成分の薄膜を単一層としてあるいは少なくとも２層以上に分けて形成できるだけでなく異なる成分からなる少なくとも２層以上の薄膜として形成することができる。同一成分を２層以上に分けて形成したものや異なる成分のものを２層以上に形成したものであっても形成された薄膜が単結晶である場合該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下と優れた結晶性のものが得られる。また、本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には前記のように少なくとも２以上の層で構成される薄膜が形成できるが、各薄膜層のうち少なくとも２以上は異なる組成からなるものであっても好適に用いることができる。このことをより具体的に説明すれば、例えば薄膜が３層から構成される場合３層のうち２層は同じ組成で残り１層の組成が異なるもの、及び３層ともはそれぞれ組成が異なるもの、の２種類の状態の薄膜が含まれる。また、例えば薄膜が４層から構成される場合４層のうち２層は同じ組成で残り２層の組成がそれぞれ異なるもの、４層のうち３層は同じ組成で残り１層の組成が異なるもの、４層ともそれぞれ組成が異なるもの、の３種類の状態の薄膜が含まれる。
【０１８９】
本発明は上記のように、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態の薄膜を形成し得る窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を提供する。さらに、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態の薄膜が形成されている薄膜基板も提供する。
また、本発明は上記のように、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態の薄膜を形成し得る炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板を提供する。さらに、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態の薄膜が形成されている薄膜基板も提供する。
上記薄膜形成用基板は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる薄膜のうち単結晶薄膜を形成するために用いることができる。又上記薄膜基板も窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる単結晶薄膜を形成するために用いることができる。
【０１９０】
上記で説明したように本発明による薄膜基板は、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、である。また本発明による薄膜基板は、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、である。また本発明による薄膜基板は、光透過性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、である。また本発明による薄膜基板は、セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、である。本発明による薄膜基板はより具体的に、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とし単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態の薄膜が形成されていることを特徴とする薄膜基板、である。
【０１９１】
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板上へ形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜として導電性を有するものが形成し得ることが見出された。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板としてこの基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成した薄膜基板を用いた場合にも、この基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は導電性を有するものが形成し得ることが見出された。このような導電性の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を導通ビアが形成されている窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に形成した薄膜基板は該導通ビアを介して該薄膜基板の上下表面を電気的に接続できる。したがってこのような導電性薄膜が形成されている薄膜基板あるいは薄膜形成用基板を用いて発光素子などの半導体デバイスを作製すれば素子の片面でなく上下面に電極を配置できるので電極を取り出すための薄膜エッチングが不要になりさらに該素子のパッケージへの実装性を高めることができるので好ましい。導電性を発現するために通常は該薄膜にドーピング剤を加えることでＰ型あるいはＮ型に半導体化できるようになる。Ｐ型あるいはＮ型に半導体化することで該薄膜を多層構造の発光素子を構成するひとつの半導体層としても用いることができる。本発明においては窒化アルミニウム及び各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする各種結晶状態の薄膜を形成した薄膜基板に形成される無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜も導電性を有するものが形成できる。上記薄膜基板に形成された各種結晶状態の薄膜においても導電性はドーピング剤を加えＰ型あるいはＮ型に半導体化することで発現するようになる場合が多いが、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のなかで窒化ガリウム、窒化インジウムを主成分とする薄膜（窒化ガリウム＋窒化インジウムの混合組成からなる薄膜を含む）はドーピング剤なしで自発的にＮ型に半導体化し導電性が発現する場合がある。Ｐ型あるいはＮ型に半導体化することで本発明による薄膜基板に形成された各種結晶状態の薄膜を多層構造の発光素子を構成するひとつの半導体層として用いることができる。又、上記各種結晶状態の薄膜を半導体化することで導通ビアを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に発光素子などの半導体デバイスを作製すれば素子の片面でなく上下面に電極を配置できるので電極を取り出すための薄膜エッチングが不要になりさらに該素子のパッケージへの実装性を高めることができるので好ましい。本発明による各種結晶状態の薄膜をＰ型半導体化するためのドーピング剤としてはマグネシウム、ベリリウム、亜鉛、炭素など１種あるいは２種以上同時に使用できる。本発明による各種結晶状態の薄膜をＮ型半導体化するためのドーピング剤としては珪素、酸素など１種あるいは２種以上同時に使用できる。また上記Ｐ型半導体及びＮ型半導体形成用ドーピング剤の両方を用いるいわゆるコドープによる半導体化も可能である。半導体化された上記無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶などの各種結晶状態の薄膜の室温における抵抗率は１×１０４Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。より好ましくは室温における抵抗率１×１０２Ω・ｃｍ以下である。さらに好ましくは室温における抵抗率１×１０１Ω・ｃｍ以下である。最も好ましくは室温における抵抗率１×１００Ω・ｃｍ以下である。このような抵抗率を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミ��ク材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びこれらの基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されている薄膜基板に形成できることが明らかとなった。
【０１９２】
また本発明による上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びこれらの基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されている薄膜基板には単結晶を始めとして無定形、多結晶、配向性多結晶、など各種結晶状態の導電性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成できる。本発明による上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、及びこれらの基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成されている薄膜基板に形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする各種結晶状態の薄膜をＰ型半導体化するためのドーピング剤としてはマグネシウム（Ｍｇ）、ベリリウム（Ｂｅ）、カルシウム（Ｃａ）、亜鉛（Ｚｎ）、カドミウム（Ｃｄ）、炭素（Ｃ）など１種あるいは２種以上同時に使用できる。また該窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする各種結晶状態の薄膜をＮ型半導体化するためのドーピング剤としては珪素（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、酸素（Ｏ）、セレン（Ｓｅ）、テルル（Ｔｅ）など１種あるいは２種以上同時に使用できる。また上記Ｐ型半導体及びＮ型半導体形成用ドーピング剤の両方を用いるいわゆるコドープによる半導体化も可能である。上記薄膜形成用基板、及び薄膜基板には室温における抵抗率は１×１０４Ω・ｃｍ以下の半導体化された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜が形成できる。また上記薄膜形成用基板、及び薄膜基板には室温における抵抗率１×１０２Ω・ｃｍ以下の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結���など各種結晶状態の薄膜が形成できるので好ましい。さらに上記薄膜形成用基板、及び薄膜基板には室温における抵抗率１×１０１Ω・ｃｍ以下の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜が形成できるのでより好ましい。また上記薄膜形成用基板、及び薄膜基板には室温における抵抗率１×１００Ω・ｃｍ以下の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜が形成できるのでさらに好ましい。本発明による無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を上記のような抵抗率を有する半導体となすことにより該各種結晶状態の薄膜を直接発光素子の一部として使用することができるし、発光素子の電極を形成するために通常行われる発光素子を形成する薄膜層の一部をエッチングする工程が省略でき、さらに該発光素子をパッケージへ実装する場合などに有利である。Ｍｇ、Ｂｅ、Ｃａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｏ、Ｓｅ、Ｔｅなどのドーピング剤を含む薄膜は通常該薄膜形成後、純Ｎ２中や真空中などの雰囲気中で再熱処理を行ったり電子線などを照射することで導電性が向上する場合があるので適宜実行することが好ましい。
Ｍｇ、Ｂｅ、Ｃａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃなど窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜をＰ型半導体化するために用いられるドーピング成分、及びＳｉ、Ｇｅ、Ｏ、Ｓｅ、Ｔｅなど窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜をＮ型半導体化するために用いられるドーピング成分は通常該窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜中に元素換算で０．００００１〜１０モル％の範囲含まれることが好ましく、該窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の室温における抵抗率を少なくとも１×１０４Ω・ｃｍ以下とすることができる。上記ドーピング成分を元素換算で０．００００１〜１０モル％の範囲で含む窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が、該主成分として窒化アルミニウムを９５モル％以下含み残りが窒化ガリウム、窒化インジウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる組成を有するものである場合、通常室温における抵抗率が少なくとも１×１０２Ω・ｃｍ以下のものを作製し得る。また、上記ドーピング成分を元素換算で０．００００１〜１０モル％の範囲で含む窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が、該主成分として窒化アルミニウム成分を５５モル％以下含み残りが窒化ガリウム、窒化インジウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる組成を有するものである場合、通常室温における抵抗率が少なくとも１×１０１Ω・ｃｍ以下のものを作製し得る。
【０１９３】
上記のように本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いた薄膜形成用基板、及び薄膜基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の導電性を有する薄膜が形成できる。本発明においてこのような薄膜の中で、ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦１．０）の化学組成式であらわされる窒化ガリウムと窒化アルミニウムの二成分を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の導電性薄膜も得ることができる。上記二成分系の薄膜は波長３８０ｎｍ以下の紫外光の吸収が少ないのでこの材料を形成した薄膜基板を発光素子作製用基板として用いれば基板による光吸収が少ない、したがって発光効率に優れた発光素子が製造し得る。該二成分系薄膜の導電性はドーピング剤を用いＰ型及びＮ型に半導体化することで得られる。Ｐ型半導体化用のドーピング剤にはマグネシウム（Ｍｇ）、ベリリウム（Ｂｅ）、カルシウム（Ｃａ）、亜鉛（Ｚｎ）、カドミウム（Ｃｄ）、炭素（Ｃ）などを好適に用いることができ、その中ではマグネシウム（Ｍｇ）を用いることがより好ましい。また、Ｎ型半導体化用のドーピング剤には珪素（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、酸素（Ｏ）、セレン（Ｓｅ）、テルル（Ｔｅ）などを好適に用いることができ、その中では珪素（Ｓｉ）を用いることがより好ましい。上記二成分系の薄膜は主成分ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦１．０）の化学式であらわされる組成物に対し上記ＭｇなどのＰ型半導体化用のドーピング剤を元素換算で０．００００１〜１０モル％の範囲で含むことができ室温における抵抗率１×１０４Ω・ｃｍ以下の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の導電性薄膜が形成できる。その中で主成分ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦０．６）の化学式であらわされる組成物に対して上記ＭｇなどのＰ型半導体化用のドーピング剤を元素換算で０．００００１〜１０モル％の範囲で含む薄膜は室温における抵抗率１×１０−１Ω・ｃｍ〜１×１０２Ω・ｃｍ程度の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の導電性薄膜が形成できる。また、上記二成分系の薄膜において主成分ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０．６≦ｘ≦１．０）の化学式であらわされる組成物に対して上記ＭｇなどのＰ型半導体化用のドーピング剤を元素換算で０．００００１〜０．５モル％の範囲で含む薄膜は室温における抵抗率１×１０４Ω・ｃｍ以下の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の導電性薄膜が形成できる。また、上記二成分系の薄膜は主成分ＡｌｘＧａ１��ｘＮ（０≦ｘ≦１．０）の化学式であらわされる組成物に対し上記ＳｉなどのＮ型半導体化用のドーピング剤を元素換算で０．００００１〜１０モル％の範囲で含むことができ室温における抵抗率１×１０２Ω・ｃｍ〜１×１０４Ω・ｃｍ以下の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の導電性薄膜が形成できる。その中で主成分ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０．６≦ｘ≦１．０）の化学式であらわされる組成物に対し上記ＳｉなどのＮ型半導体化用のドーピング剤を元素換算で０．００００１〜０．５モル％の範囲で含む薄膜は室温における抵抗率１×１０２Ω・ｃｍ〜１×１０３Ω・ｃｍ以下の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の導電性薄膜が形成できる。この組成の薄膜にはｘ＝１．０すなわち主成分が窒化アルミニウムだけからなり上記ＳｉなどのＮ型半導体化用のドーピング剤を元素換算で０．００００１モル％〜０．５モル％の範囲で含有する薄膜も含まれる。また、主成分ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦０．６）の化学式であらわされる組成物に対して上記ＳｉなどのＮ型半導体化用のドーピング剤を元素換算で０．００００１〜１０モル％の範囲で含む薄膜は室温における抵抗率１×１０−３Ω・ｃｍ〜１×１０１Ω・ｃｍ程度の比較的低抵抗の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の導電性薄膜が形成できる。また、上記二成分系薄膜において主成分ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦１．０）の化学式であらわされる組成物に対し上記ＭｇなどのＰ型半導体化用のドーピング剤及びＳｉなどのＮ型半導体化用のドーピング剤とを同時に合計で元素換算で０．００００１〜１０モル％の範囲で含むことができその室温における抵抗率は１×１０４Ω・ｃｍ以下の無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の導電性薄膜が形成できる。なお、例えばＭｇ、Ｓｉなどのドーピング剤の含有量が主成分に対して元素換算で０．００００１〜１０モル％であるということは上記二成分系薄膜が主成分であるＡｌｘＧａ１−ｘＮを９０〜９９．９９９９９モル％の範囲含み、ドーピング剤であるＭｇ、Ｓｉなどを元素換算で０．００００１〜１０モル％範囲で含む組成からなるものであることを意味する。
【０１９４】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体を窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成するための基板として用いることができる。また、本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成した薄膜基板が提供できる。該薄膜の厚みは任意のものが形成し得るが、該薄膜を上記の各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板に形成する場合その厚みは薄膜中のピンホールや欠陥などを低減化し易くするために少なくとも０．５ｎｍ以上であることが望ましい。上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板に直接形成された薄膜は０．５ｎｍ以上の厚み、あるいはさらに１０μｍ以上のものも形成できる。またさらに５０μｍ以上といったものも形成し得る。前記のように本発明においてはＭＯＣＶＤ（有機金属化学気相分解成長）法、ＭＯＶＰＥ（有機金属気相エピタキシャル成長）法、ハイドライドＶＰＥ（水素化物気相エピタキシャル成長）法、クロライドＶＰＥ（塩化物気相エピタキシャル成長）法などのハライドＶＰＥ（ハロゲン化物気相エピタキシャル成長）法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ（化学気相分解成長）法、あるいはＭＢＥ（分子線エピタキシー）法、あるいはエキシマレーザーなどを用いたレーザーアブレーション法、ＰＬＤ（パルスレーザーデポジション：パルスレーザー分解）法など、あるいはスパッタリング法などの方法を適宜用いて５００μｍ〜１０００μｍ程度の比較的厚みの厚いものも形成し得るが、通常薄膜の厚みとしては２００μｍ以下のものを用いることが結晶性の高い単結晶薄膜を得る上では好ましい。通常ＭＯＣＶＤ法、あるいはＭＯＶＰＥ法では薄膜の成長速度が１時間当��最大で５μｍ〜１０μｍであり、また通常はそれ以下で比較的小さい場合が多いのに対して、原料として塩化ガリウムなどのようなハロゲン化物を用いるクロライドＶＰＥ法、ハライドＶＰＥ法などを用いれば薄膜の成長速度が１時間当り５μｍ〜２００μｍと大きくより短時間で厚みの厚い薄膜を形成することができるので特に、厚みの厚い薄膜を形成する場合は好ましい。また、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜は上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板、あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板に直接形成されたものだけでなく、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜が形成された薄膜基板の上に形成される薄膜においても上記と同様な膜厚を有するものが比較的容易に得られる。
【０１９５】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板、あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜、配向性多結晶薄膜の結晶性は前記のように焼結体の組成や光透過性あるいは焼結体粒子の大きさ、基板の表面状態、形成される薄膜の構成、あるいは薄膜形成条件などにも影響されるが、一方では形成される該薄膜の厚みにも影響される。
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする厚み０．５ｎｍ以上の単結晶薄膜が形成できる。この厚みの単結晶薄膜の結晶性としてはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下のものが形成し得る。また、本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる薄膜形成用基板あるいは薄膜基板を用いることで０．３μｍ以上の厚みの上記単結晶薄膜も形成できる。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが０．３μｍ以上のものであれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２４０秒以下の結晶性のものが得られ易い。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いることで３．５μｍ以上の厚みの上記単結晶薄膜も形成できる。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが３．５μｍ以上のものであれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２００秒以下の結晶性のものが得られ易い。また、本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いることで１０μｍ以上の比較的厚い単結晶薄膜も形成できる。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが１０μｍ以上のものであっても該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１５０秒以下の結晶性に優れたものが得られ易い。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みとして５０μｍ以上は十分可能である。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが５０μｍ以上のものであれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性のものが得られ易く好ましい。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜として厚み２００μｍ程度のものは十分形成が可能である。なお、例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成した基板を用いたり、あるいは光透過性の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いれば実際上１０００μｍ程度の厚みの単結晶薄膜も形成し得るが、通常窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みとしては２００μｍ程度以��のものが好ましい。本発明において薄膜は通常ＭＯＣＶＤ法やＭＯＶＰＥ法あるいはハライドＶＰＥ法などの非平衡状態で形成されるため該薄膜の厚みが２００μｍより厚くなれば上記のように結晶性の低下が生じ易くなる場合があるからである。
本発明において、上記で示した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の膜厚と結晶性との関係は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成されたものだけではなく、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いて作製される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜があらかじめ形成された薄膜基板の上に形成された単結晶薄膜においても同様な薄膜の膜厚と結晶性との関係を有する。
【０１９６】
また、基板としては上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなるものだけでなく、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にも窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜が形成できる。本発明において炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜、配向性多結晶薄膜の結晶性は前記のように基板の表面状態、形成される薄膜の構成、あるいは薄膜形成条件などにも影響されるが、一方では形成される該薄膜の厚みにも影響される。本発明において炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする厚み０．５ｎｍ以上の単結晶薄膜が形成できる。その結晶性は該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下のものが形成し得る。また、本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いることで０．３μｍ以上の厚みの上記単結晶薄膜も形成できる。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが０．３μｍ以上のものにおいても該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下の結晶性のものが得られ易い。本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いることで３．５μｍ以上の厚みの上記単結晶薄膜も形成できる。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが３．５μｍ以上のものであれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２４０秒以下の結晶性のものが得られ易い。また、本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材���を主成分とする焼結体からなる基板を用いることで１０μｍ以上の比較的厚い単結晶薄膜も形成できる。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが１０μｍ以上のものであっても該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２４０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が得られ易い。また、本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みとして５０μｍ以上は十分可能である。本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが５０μｍ以上のものであれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２００秒以下の結晶性のものが得られ易く好ましい。また、本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みとして１００μｍ〜２００μｍ程度のものは十分可能である。なお、例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成した基板を用いたり、あるいは光透過性の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みが５００μｍ〜１０００μｍ程度のものであっても形成し得るが、通常窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みとしては２００μｍ程度以下のものが好ましい。本発明において薄膜は通常ＭＯＣＶＤ法やＭＯＶＰＥ法あるいはハライドＶＰＥ法などの非平衡状態で形成されるため該薄膜の厚みが２００μｍより厚くなれば上記のように結晶性の低下が生じ易くなる場合があるからである。
本発明において、上記で示した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の膜厚と結晶性との関係は炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体に単一層として形成されたものだけではなく、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を用いて作製される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜があらかじめ形成された薄膜基板の上に形成された単結晶薄膜においても同様な薄膜の膜厚と結晶性との関係を有する。
【０１９７】
上記のように、本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される該単結晶薄膜の膜厚に比べてより薄いものであっても結晶性に優れたものが得られ易い。
【０１９８】
本発明において上記のように、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は単一層としてだけではなく上記のように少なくとも２層以上からなる薄膜として形成できる。又上記２層以上の薄膜には組成がそれぞれ異なるもの結晶状態がそれぞれ異なるものなどが含まれる。今まで説明してきたように本発明において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は単一の層としてだけではなく少なくとも２層以上の薄膜としても形成できることを明らかにしてきたが、本発明においては上記少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜においても各薄膜層において任意の厚みのものが形成し得る。また、上記少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に直接形成されている薄膜層（基板側に形成されている薄膜層）はその厚みが０．５ｎｍ以上であることがより結晶性に優れた単結晶薄膜を得る上で好ましい。上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のうち少なくとも１層が単結晶薄膜でありその厚みが０．５ｎｍ以上の場合該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下の結晶性のものが形成し得る。また、上記少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜層のうち少なくとも１層が単結晶薄膜でありその厚みが０．３μｍ以上の場合該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下の結晶性のものが形成し得る。該単結晶薄膜が形成される基板が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２４０秒以下の結晶性の良い単結晶薄膜が得られる。また、上記少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜層のうち少なくとも１層が単結晶薄膜でありその厚みが３．５μｍ以上の場合でも該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下の結晶性のものが形成し得る。該単結晶薄膜層が形成される基板が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が得られる。また本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いることで少なくとも２層以上からなる１０μｍ以上の比較的厚い薄膜も形成できる。上記少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜層のうち少なくとも１層が単結晶薄膜でありその厚みが１０μｍ以上の場合でも該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下の結晶性のものが形成し得る。該単結晶薄膜が形成される基板が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化���ルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が得られる。本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする２層以上からなる薄膜として厚み５０μｍ以上のものは十分形成可能である。上記少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜層のうち少なくとも１層が単結晶薄膜でありその厚みが５０μｍ以上の場合でも該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下の結晶性のものが形成し得る。該単結晶薄膜が形成される基板が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下の優れた結晶性のものが得られるので好ましい。本発明による薄膜形成用基板として例えば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜をあらかじめ形成した基板を用いたり、あるいは光透過性の基板を用いれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする少なくとも２層以上からなる厚み５００μｍ程度の薄膜を形成することが十分可能であり、実際上１０００μｍの厚みの単結晶薄膜も形成し得る場合がある。上記少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜層のうち少なくとも１層が単結晶薄膜でありその厚みが５００μｍ〜１０００μｍの範囲のものであっても該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下の結晶性のものも形成し得る。通常上記少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の厚みとしては２００μｍ程度までのものが好ましい。本発明において薄膜は通常ＭＯＣＶＤ法やＭＯＶＰＥ法あるいはハライドＶＰＥ法などの非平衡状態で形成されるため該薄膜の厚み��２００μｍより厚くなれば上記のように結晶性の低下が生じ易くなる場合があるからである。
本発明において、上記少なくとも２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成するにあたりＭＯＣＶＤ（有機金属化学気相分解成長）法、ＭＯＶＰＥ（有機金属気相エピタキシャル成長）法、ハイドライドＶＰＥ（水素化物気相エピタキシャル成長）法、クロライドＶＰＥ（塩化物気相エピタキシャル成長）法などのハライドＶＰＥ（ハロゲン化物気相エピタキシャル成長）法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ（化学気相分解成長）法、あるいはＭＢＥ（分子線エピタキシー）法、あるいはエキシマレーザーなどを用いたレーザーアブレーション法、ＰＬＤ（パルスレーザーデポジション：パルスレーザー分解）法など、あるいはスパッタリング法などを適宜用いて目的とする構成の薄膜を得ることができる。また、上記１０μｍ以上の比較的厚い単結晶薄膜は塩化ガリウム、塩化インジウム、塩化アルミニウムなどの金属塩化物とアンモニア、窒素、水素などの反応ガスを原料としたクロライドＶＰＥ（塩化物気相エピタキシャル成長）法などを用いれば薄膜の成長速度が１時間あたり１０μｍ〜５００μｍ程度と大きいので生産性の面で有利である。
【０１９９】
本発明において、上記２層以上からなる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のうち単結晶薄膜の厚みとその結晶性との関係は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体に直接形成されたものだけではなく、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶系を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜があらかじめ形成された薄膜基板の上に形成された単結晶薄膜においても上記と同様な膜厚と結晶性との関係を得ることができる。
【０２００】
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料の焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は同一成分のものを単一層としてあるいは少なくとも２層以上に分けて形成できるだけでなく異なる成分からなる少なくとも２層以上の単結晶薄膜として形成することができる。本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶結晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶結晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体には上記のように少なくとも２以上の層で構成される単結晶薄膜が形成できるが、各単結晶薄膜層のうち少なくとも２以上は異なる組成からなるものであっても好適に用いることができる。このことをより具体的に説明すれば、例えば単結晶薄膜が３層から構成される場合３層のうち２層は同じ組成で残り１層の組成が異なるもの、及び３層ともはそれぞれ組成が異なるもの、の２種類の状態の単結晶薄膜が含まれる。また、例えば単結晶薄膜が４層から構成される場合４層のうち２層は同じ組成で残り２層の組成がそれぞれ異なるもの、４層のうち３層は同じ組成で残り１層の組成が異なるもの、４層ともはそれぞれ組成が異なるもの、の３種類の状態の単結晶薄膜が含まれる。
ここで異なる組成という意味は単結晶薄膜の実質的な組成が異なるということであり、単結晶薄膜の組成が該単結晶薄膜の主成分である窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上からなる成分の割合が異なるものだけでなく、例えば単結晶薄膜の主成分が窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうち１種類だけでその他の成分が実質的に例えばドーピング剤だけの場合なども含まれる。より具体的に言えば、単結晶薄膜の主成分が例えば窒化ガリウムだけでその他実質的にドーピング剤としてマグネシウム（Ｍｇ）だけを含むものの場合、窒化ガリウムとマグネシウムの組成比が異なるものも含まれる。あるいは同様に、単結晶薄膜の主成分が例えば窒化アルミニウムだけでその他実質的にドーピング剤として珪素（Ｓｉ）だけを含むものの場合、窒化アルミニウムと珪素の組成比が異なるものも含まれる。本発明においては上記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する材料の焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は同一成分のものを単一層としてあるいは少なくとも２層以上に分けて形成できるだけでなく異なる成分からなる少なくとも２層以上の単結晶薄膜として形成することができるが、同一成分を２層以上に分けて形成したものや異なる成分のものを２層以上に形成したものであっても各層の単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性のものが得られる。また、該単結晶薄膜が直接形成される基板が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下の優れた結晶性のものが得られるので好ましい。
【０２０１】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、あるいはその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜の結晶性に与える因子としては、今まで説明してきたことをまとめると次のように分類される。使用する基板においては、１）セラミックの材質（窒化アルミニウムを主成分とする焼結体か、あるいは炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体か、などの相違）、２）セラミックの組成（主成分の純度及び含有量、添加物あるいは不純物の含有量、など）、３）セラミックの光透過率、４）セラミック粒子の大きさ、５）セラミックの密度、６）セラミックの厚み、７）セラミックの焼成条件、８）基板の表面平滑性、また薄膜においては、９）薄膜の構成（単一層、あるいは２層以上の多層構成か、など）、１０）薄膜の厚み、１１）薄膜の形成条件（ＭＯＣＶＤ、クロライドＶＰＥあるいはスパッタリングなどの薄膜形成方法、基板温度、など）、などである。
また、上記セラミック基板に形成される薄膜の結晶性にあまり影響を与えない因子としては以下の点が挙げられる。１）セラミック基板中に導通ビアを有しているかどうか（導通ビアの有無にかかわらず、基板に形成される薄膜の結晶性にはあまり影響がない）、２）薄膜の組成（窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする組成であればあらゆる組み合わせが形成される薄膜の結晶性を左右されることなく可能、また各種ドーピング成分を含有する薄膜も結晶性を左右されることなく形成可能）、などである。
【０２０２】
本発明において、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成するための薄膜形成用基板、及び該薄膜が形成された薄膜基板を製造するにあたり、上記のように基板として用いる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体、及び炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の材質が重要である。そのうち炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体、及びその他例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などの各種セラミック材料を主成分とする焼結体についても従来から行われている方法を用いて製造されたものを問題なく使用できる。すなわち、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラスなどを主成分とする微粉末に適宜焼結助剤、バインダー、分散剤などを混合した粉末成形体を高温で焼成し焼結体としたものである。
焼成条件はそれぞれ各種セラミック材料の原料粉末の粒度や組成に依存するが、焼成温度として例えば炭化珪素で１５００℃〜２５００℃、窒化珪素で１６００℃〜２１００℃、窒化ガリウムで１０００℃〜１７００℃、酸化亜鉛で１１００℃〜１７００℃、酸化ベリリウムで１１００℃〜２０００℃、酸化アルミニウムで１１００℃〜２０００℃、などの温度が用いられる。焼成時の雰囲気として炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウムなどの非酸化物の場合はアルゴン、ヘリウム、窒素、水素、一酸化炭素、カーボンなどを主成分とする非酸化性雰囲気や７６０Ｔｏｒｒ未満の減圧状態あるいは１×１０−３Ｔｏｒｒ以下の高真空状態などが用いられ、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの酸化物の場合は上記非酸化性雰囲気や減圧状態あるいは高真空状態以外にも大気、酸素、二酸化炭素などを主成分とする酸化性雰囲気などが用いられる。焼成時の圧力は上記減圧状態あるいは高真空状態以外にも常圧焼成で用いられる１Ｋｇ／ｃｍ２（７６０Ｔｏｒｒ）前後の圧力、及び加圧焼成、ホットプレス、ＨＩＰなどで用いられる５０００Ｋｇ／ｃｍ２程度以下の圧力が問題なく使用できる。
上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の組成としては焼結助剤などの添加物を含まずそれぞれの材料の主成分だけ含むもの、あるいは主成分の他に適宜焼結助剤、黒色化剤、あるいは原料中の不純物、などの成分を単独であるいは複合で含むものであっても問題なく使用できる。すなわち、例えば炭化珪素を主成分とする焼結体の組成としては実質的にＳｉＣだけからなるもの、あるいはカーボン成分、あるいはＢ、Ｂ４Ｃ、ＢＮなどの硼素成分、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。窒化珪素を主成分とする焼結体の組成としては実質的にＳｉ３Ｎ４だけからなるもの、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはカーボン、モリブデン、タングステンなどの黒色化促進成分、あるいはＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３などの遷移金属成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。窒化ガリウムを主成分とする焼結体の組成としては実質的にＧａＮだけからなるもの、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはカーボン、モリブデン、タングステンなどの黒色化促進成分、あるいはＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３などの遷移金属成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。酸化亜鉛を主成分とする焼結体の組成としては実質的にＺｎＯだけからなるもの、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３などの遷移金属成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の組成としては実質的にＢｅＯだけからなるもの、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３などの遷移金属成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の組成としては実質的にＡｌ２Ｏ３だけからなるもの、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３などの遷移金属成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。
【０２０３】
今まで説明してきたように炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いたときこの基板上の表面平滑性を高めることで該基板上に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性を高めることができる。しかしながら該基板の平滑性として平均表面粗さＲａが２ｎｍ程度のものであっても該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒より大きいものとなり易い。
一方、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用い、該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態を有する薄膜を形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成することで該単結晶薄膜の結晶性を高めることができる。このような薄膜構成とすることで上記基板の表面平滑性などにあまり影響されずに形成される単結晶薄膜の結晶性を高めることが可能となる。また、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の組成を最適化することでさらに高い結晶性を有する単結晶薄膜が作製し得る。
【０２０４】
前記のように、酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該基板の表面平滑性などの影響を受け易く必ずしも結晶性に優れたものとなり得ない場合があるのに対して、該酸化亜鉛を主成分とする焼結体からなる基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜は該基板の表面平滑性などの影響をより受けにくくなり結晶性はさらに優れたものとなり得る。すなわち、酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用い、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の比較的結晶性に優れたものになるとは必ずしも限らない。それに対して、酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用い、該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は２００秒以下の比較的結晶性に優れたものが形成し得る。
【０２０５】
上記酸化亜鉛を主成分とする焼結体において、亜鉛以外にＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２などの遷移金属成分、あるいはアルミニウム成分などを含有するものを基板として用いたとき該基板には比較的良好な結晶性の薄膜が形成し得る場合が多い。そのなかでもアルミニウム成分を含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を用いることが好ましい。通常アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたときその上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。上記酸化亜鉛を主成分とする焼結体のうちアルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲で含むものを基板として用いたときその上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成できる。さらに、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．０２モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が直接形成できる。また、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．０８モル％〜３５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が直接形成できる。
また、酸化亜鉛を主成分とする焼結体において、亜鉛以外にＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２などの遷移金属成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下含有するものを基板として用いた場合でも該基板の上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。通常上記遷移金属成分としてＦｅ及びＣｒのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算（それぞれＦｅ２Ｏ３及びＣｒ２Ｏ３で示される）で１０．０モル％以下含有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体が好ましく、このような組成の焼結体を基板として用いることでその上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜が形成し得る。
【０２０６】
さらに、上記アルミニウム成分を含有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体からなる基板を用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性よりも、同じ組成のアルミニウム成分を含有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体からなる基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜の結晶性はさらに優れたものとなり得る。具体的に言えば、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたとき、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すればミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２００秒以下、通常１５０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が比較的容易に形成できる。また、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いれば、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成することによりミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が比較的容易に形成できる。また、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．００５モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたとき、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すればミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１００秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が比較的容易に形成し得る。
その際、上記アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜の結晶性も上記範囲のアルミニウム成分を含まない酸化亜鉛を主成分とする焼結体からなる基板を用いたものに比べて向上し易く、該配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は９０００秒以下のものが比較的容易に形成し得る。また、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．００５モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体からなる基板では、該基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として８０００秒以下のものが比較的容易に形成し得る。
また、酸化亜鉛を主成分とする焼結体において、亜鉛以外にＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２などの遷移金属成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下含有するものを基板として用いた場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得る。通常上記遷移金属成分としてＦｅ及びＣｒのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算（それぞれＦｅ２Ｏ３及びＣｒ２Ｏ３で示される）で１０モル％以下含有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体が好ましく、このような組成の焼結体を基板として用いることでその上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜が形成し得る。
このように酸化亜鉛を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成すれば、さらにその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性を向上させる効果がある。その効果は酸化亜鉛を主成分とする焼結体からなる基板の組成以外の要素、例えば表面平滑性などにも大きく影響されず、例えば平均表面粗さＲａを５ｎｍ以下にしたものでなくても（すなわち、焼き放しの表面状態の基板、ラップ研磨した表面状態の基板、ブラスト研磨した表面状態の基板、機械的な溝切り加工が施された基板、あるいは鏡面研磨してある基板など、平均表面粗さＲａが５ｎｍ以上のものであっても）発揮され得る。
このような単結晶薄膜の結晶性に及ぼす酸化亜鉛を主成分とする焼結体中の亜鉛以外の成分そのなかでも特にアルミニウム成分の効果は、例えば該酸化亜鉛を主成分とする焼結体中にＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２などの遷移金属成分、などアルミニウム成分以外の金属成分が少なくとも１種以上含まれていたとしても減じることは少ない。
アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたとき基板の上に形成される単結晶薄膜がこのような高い結晶性を有するものとなる原因は必ずしも明確ではないが、本願発明者は以下のように考えている。アルミニウム成分を含まない酸化亜鉛を主成分とする焼結体は通常白色あるいは黄白色を呈しているのに対してアルミニウム成分を含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体は通常青色に呈色しアルミニウム成分の含有量の増加に伴って呈色性が増大する傾向を有する。上記青色への呈色は酸化亜鉛中に存在するＡｌイオンが酸化亜鉛の結晶格子へ入り込みＺｎイオンと置換されてドナー準位を形成するためであり、上記Ａｌイオンによる酸化亜鉛結晶中のＺｎイオンとの置換により該酸化亜鉛結晶の大きさが小さくなる方向へ変化し（すなわち格子定数が小さくなる）、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の成長開始時における薄膜結晶の成長方向がより揃い易くなり（エピタキシャル成長性が自発的に高まり）、その結果このようなアルミニウム成分を含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたときその上には結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成され易くなるものと本願発明者は推測している。
【０２０７】
アルミニウム成分を含まない酸化亜鉛を主成分とする焼結体の導電性は通常小さいが、上記アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体の導電性は向上する。具体的にいえば、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体の導電性は向上し例えば室温における抵抗率が少なくとも１×１０２Ω・ｃｍ以下のものが得られ易い。アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．００５モル％〜４５．０モル％の範囲含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体では室温における抵抗率が少なくとも１×１０１Ω・ｃｍ以下のものが得られ易く該焼結体を導通ビアのない基板として用いることが可能となるので好ましい。また、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．０２モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体では室温における抵抗率が少なくとも１×１００Ω・ｃｍ以下のものが得られ易く該焼結体を導通ビアのない基板として用いることが可能となるのでより好ましい。アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．０８モル％〜３５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体では室温における抵抗率が少なくとも１×１０−１Ω・ｃｍ以下のものが得られ易く該焼結体を導通ビアのない基板として用いることが可能となるのでさらに好ましい。アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．２モル％〜２５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体では室温における抵抗率が少なくとも１×１０−２Ω・ｃｍ以下のものが得られ易く、１〜２×１０−３Ω・ｃｍ程度のより低い抵抗率を有するものも得られる。このような導電性を有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体は特に基板の上下表面を電気的に接続するための導通ビアを設ける必要がないので好ましい。また、上記酸化亜鉛を主成分とする焼結体はＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２などの遷移金属成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、などのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分がアルミニウム成分以外に含まれていたとしても導電性が損なわれる程度は少ない。上記酸化亜鉛を主成分とする焼結体中に含まれるアルミニウム以外の成分の含有量としては導電性が損なわれる程度が小さければどのようなものであってもよい。通常該アルミニウム以外の成分の含有量として酸化物換算で１０．０モル％以下であることが導電性が損なわれる程度が小さいので好ましい。
また、導電性を有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体は亜鉛以外の成分としてアルミニウム成分だけでなく、Ｓｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２などの遷移金属成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０モル％以下含有するものでも得ることが可能である。通常上記遷移金属成分としてＦｅ及びＣｒのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０モル％以下含有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体が好ましく、このような組成の焼結体を基板として用いることでその上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜が形成し得る。
【０２０８】
上記酸化亜鉛を主成分とする焼結体はＣＯやＨ２などを含む還元性雰囲気、あるいはＡｒ、Ｈｅ、Ｎ２などを含む非酸化性雰囲気、あるいは減圧状態、あるいはホットプレスなどによる高圧状態などの雰囲気中で焼成することで比較的高い光透過性を有するものが作製できるが、特にこのような雰囲気を用いず常圧の大気中で焼成を行ったものであっても比較的高い光透過性を有するものを作製可能である。すなわち、酸化亜鉛を主成分とする焼結体はどのような組成のものであっても少なくとも波長３８０ｎｍ以上の可視光及び可視光より波長の長い光に対して光透過性を有するものが作製し得る。例えば、酸化亜鉛を主成分とする焼結体はどのような組成のものであっても光透過率１％以上のものが作製し得る。通常酸化亜鉛成分をＺｎＯ換算で５５．０モル％以上含有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体において光透過率１％以上のものが作製し得る。また、例えば添加物を用いず焼成し実質的にＺｎＯだけからなる酸化亜鉛を主成分とする焼結体では光透過率１０％以上のものが作製し得る。なお、本発明において酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率は少なくとも波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対してのものである。上記光透過率は波長６０５ｎｍの光に対して測定されたものである。本発明においては今後特に断らない限り酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率には上記測定値を用いた。
また、上記のようにアルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体は上記のように導電性を有するだけでなく光透過性を有するものが作製し得る。上記アルミニウム成分を含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率としては１％以上のものが作製でき、通常光透過率１０％以上のものが作製し得る。さらに、上記のようにアルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体は上記のように導電性を有するだけでなく光透過率２０％以上に向上したものが得られ易く、光透過率３０％以上、４０％以上、５０％以上、６０％以上さらに８０％以上のものも作製し得る。なお上記光透過率とはガラスなどの透明体の直線透過率ではなく窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率と同様に全透過率を意味する。
詳しく説明すれば、このような光透過性を有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体は他にＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２などの遷移金属成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、などの金属成分がアルミニウム成分以外に含まれていたとしても光透過性あるいは導電性が減じることは少ない。その中で例えばＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分と同時にＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体であっても光透過率２０％以上のものを得ることができる。また、上記希土類元素成分を酸化物換算で０．０００２モル％〜１０．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体はさらに光透過率が向上し易くなり光透過率３０％以上のものが得られ易くなり、本発明においては最大８４％のものも得られた。すなわちアルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下含み同時に希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０００２モル％〜１０．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体は光透過率３０％以上のものが得られ易い。また、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下含みさらに希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０００６モル％〜６．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体は光透過率４０％以上のものが得られ易い。また、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下含みさらに希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００１モル％〜６．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体は光透過率５０％以上のものが得られ易い。また、アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下含みさらに希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００２モル％〜３．０モル％の範囲で含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体は光透過率６０％以上のものが得られ易い。
なお、上記酸化亜鉛を主成分とする焼結体に含まれる希土類元素成分の含有量の換算に用いる酸化物とはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３を意味する。また、上記アルミニウム成分と希土類元素成分とを同時に含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体におけるアルミニウム成分の含有量はＡｌ２Ｏ３換算で０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲であることが光透過性を高める上では好ましい。このようにアルミニウム成分と希土類元素成分とを同時に含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体はより光透過性の優れたものが得られ易いが、アルミニウム成分と希土類元素成分とを同時含むことによって導電性が損じられることは少ない。
また、上記アルミニウム成分の他に希土類元素成分とを同時に含む比較的高い光透過性を有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いた場合でも、該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜、あるいは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜の結晶性は、アルミニウム成分を含むが実質的に希土類元素成分を含まない酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたものに比べて通常は同じ程度であり、結晶性が大きく低下するなどの変化は少ない。
上記のように、アルミニウム成分を含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体は導電性とともに比較的高い光透過性とを有するものが比較的容易に作製し得る。
また上記のように、アルミニウム成分と希土類元素成分とを同時に含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体は導電性とともにより高い光透過性とを有するものが比較的容易に作製し得る。
また、上記のような酸化亜鉛などの導電性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いて発光素子を作製すれば、基板に導通ビアを形成せずに上下に電極を配して電極と素子との電気的接続をはかるという形状の発光素子が作製し得るという特徴を有する。導電性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いる場合該焼結体の室温における抵抗率としては１×１０２Ω・ｃｍ以下であれば上下に電極を配した形状の発光素子であっても少ない損失で十分な電力を供給し得る。導電性を有する焼結体の室温における抵抗率としては室温において１×１０１Ω・ｃｍ以下のものが好ましく、１×１００Ω・ｃｍ以下のものがより好ましく、１×１０−１Ω・ｃｍ以下のものがさらに好ましい。
【０２０９】
また、本発明において前記のように、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該基板の表面平滑性などの影響を受け易く必ずしも結晶性に優れたものとなり得ない場合があるのに対して、該酸化ベリリウムを主成分とする焼結体からなる基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜は該基板の表面平滑性などの影響をより受けにくくなり結晶性はさらに優れたものとなり得る。すなわち、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用い、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の比較的結晶性に優れたものになるとは必ずしも限らない。それに対して、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用い、あらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は２００秒以下の比較的結晶性に優れたものが形成し得る。
【０２１０】
上記酸化ベリリウムを主成分とする焼結体において、ベリリウム以外にマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有するものを基板として用いたとき該基板には比較的良好な結晶性の薄膜が形成し得る。通常マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計３５．０モル％以下の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときその基板上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。上記酸化ベリリウムを主成分とする焼結体のうちマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０００２モル％〜３５．０モル％の範囲で含むものを基板として用いたときその基板上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成できる。また、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００４モル％〜３５．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が直接形成できる。また、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０１５モル％〜２５．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が直接形成できる。
なお、上記酸化ベリリウムを主成分とする焼結体において、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分、各成分の含有量として酸化物換算した値が用いられているが換算に用いた酸化物とはマグネシウム成分の場合ＭｇＯ、カルシウム成分の場合はＣａＯ、珪素成分の場合はＳｉＯ２である。以下本発明において酸化ベリリウムを主成分とする焼結体に含まれるマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分、各成分の酸化物換算に用いる化合物としては特に断らない限りそれぞれＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ２である。
【０２１１】
さらに、上記マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分を含有する酸化ベリリウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性よりも、同じ組成のマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分を含有する酸化ベリリウムを主成分とする焼結体からなる基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜の結晶性はさらに優れたものとなり得る。具体的に言えば、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計３５．０モル％以下の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用い、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅としては２００秒以下、通常１５０秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得る。また、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０００２モル％〜３５．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用い、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得る。また、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００１モル％〜３５．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用い、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１００秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得る。
その際、上記マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０００２モル％〜３５．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜の結晶性も上記範囲のマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分を含まない酸化ベリリウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いたものに比べて向上し易く、該配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は９０００秒以下のものが比較的容易に形成し得る。また、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００１モル％〜３５．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体からなる基板では、該基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜では該配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として８０００秒以下のものが比較的容易に形成し得る。
このように酸化ベリリウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成すれば、さらにその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性を向上させる効果がある。その効果は酸化ベリリウムを主成分とする焼結体からなる基板の組成以外の要素、例えば表面平滑性などにも大きく影響されず、例えば平均表面粗さＲａを５ｎｍ以下にしたものでなくても（すなわち、焼き放しの表面状態の基板、ラップ研磨した表面状態の基板、ブラスト研磨した表面状態の基板、機械的な溝切り加工が施された基板、あるいは鏡面研磨してある基板など、平均表面粗さＲａが５ｎｍ以上のものであっても）発揮され得る。
このような単結晶薄膜の結晶性に及ぼす酸化ベリリウムを主成分とする焼結体中のマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むことの効果は、例えば該酸化ベリリウムを主成分とする焼結体中にＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、その他ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２など、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分以外の金属成分が含まれていたとしても減じることは少ない。マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計３５．０モル％以下の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときその上に形成される単結晶薄膜がこのような高い結晶性を有するものとなる原因については必ずしも明確ではないが、おそらく上記の成分は粒界相となって酸化ベリリウム粒子間に存在し一部の酸化ベリリウム粒子の異常粒子成長を抑制するので粒子間の空隙が少なく酸化ベリリウム結晶粒子の大きさが比較的揃った微構造の焼結体となりその結果形成される単結晶薄膜の結晶性の向上をもたらすものと本願発明者は考えている。
【０２１２】
また、上記酸化ベリリウムを主成分とする焼結体は通常ＣＯやＨ２などを含む還元性雰囲気、あるいはＡｒ、Ｈｅ、Ｎ２などを含む非酸化性雰囲気、あるいは減圧状態、あるいはホットプレスなどによる高圧状態などの雰囲気中で焼成することで高い光透過性を有するものが作製できるが、このような雰囲気を用いず常圧の大気中で焼成を行ったものであっても比較的高い光透過性を有するものが得られる。すなわち、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体はどのような組成のものであっても少なくとも波長２００ｎｍ以上の紫外光、可視光及び可視光より波長の長い光に対して光透過性を有するものが作製し得る。例えば、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体はどのような組成のものであっても光透過率１％以上のものが作製し得る。通常酸化ベリリウム成分をＢｅＯ換算で６５．０モル％以上含有する酸化ベリリウムを主成分とする焼結体において光透過率１％以上のものが作製し得る。また、例えば添加物を用いず焼成し実質的にＢｅＯだけからなる酸化ベリリウムを主成分とする焼結体では光透過率１０％以上のものが作製し得る。なお、本発明において酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の光透過率は少なくとも波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対してのものである。上記光透過率は波長６０５ｎｍの光に対して測定されたものである。本発明においては今後特に断らない限り酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の光透過率には上記測定値を用いた。
また、上記のようにマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計３５．０モル％以下の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体でも光透過率が１０％以上のものが作製し得る。さらに、上記のようにマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０００２モル％〜３５．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体は光透過率が２０％以上に向上したものが得られ易く、光透過率３０％以上、４０％以上、５０％以上、６０％以上、さらに８０％以上のものも作製し得る。なお上記光透過率とはガラスなどの透明体の直線透過率ではなく窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率と同様に全透過率を意味する。
詳しく説明すれば、上記に示すような酸化ベリリウムを主成分とする焼結体はＳｒＯ、ＢａＯ、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｓｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３など、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分以外の他の金属成分が含まれていたとしても光透過性が減じることは少ない。その中で例えばＭｇＯなどのマグネシウム成分、ＣａＯなどのカルシウム成分、ＳｉＯ２などの珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分と同時にＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計５．０モル％以下含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体であっても光透過率２０％以上のものを得ることができる。また、上記希土類元素成分を酸化物換算で０．００００５モル％〜５．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体はさらに光透過性が向上し易くなり光透過率３０％以上のものが得られ易くなり、本発明においては最大８１％のものも得られた。すなわちマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計３５．０モル％以下の範囲で含み、さらに希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００００５モル％〜５．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体は光透過率３０％以上のものが得られ易い。また、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計３５．０モル％以下の範囲で含み、さらに希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０００５モル％〜３．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体は光透過率４０％以上のものが得られ易い。また、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計３５．０モル％以下の範囲で含み、さらに希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００２モル％〜３．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体は光透過率５０％以上のものが得られ易い。また、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計３５．０モル％以下の範囲で含み、さらに希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００５モル％〜３．０モル％の範囲で含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体は光透過率６０％以上のものが得られ易い。
なお、上記酸化ベリリウムを主成分とする焼結体に含まれる希土類元素成分の含有量の換算に用いる酸化物とはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３である。また、上記マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうち少なくとも１種以上を含み、さらに希土類元素成分を含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体において、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量としては酸化物換算で合計０．０００２モル％〜３５．０モル％の範囲であることが、光透過性を高める上では好ましい。
また、上記マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうち少なくとも１種以上の成分を含みさらに希土類元素成分を同時に含む比較的高い光透過性を有する酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用いた場合でも、該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜、あるいは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜の結晶性は、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうち少なくとも１種以上の成分を含むが実質的に希土類元素成分を含まない酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用いたものに比べて通常は同じ程度であり、結晶性が大きく低下するなどの変化は少ない。
【０２１３】
本発明において前記のように、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該基板の表面平滑性などの影響を受け易く必ずしも結晶性に優れたものとなり得ない場合があるのに対して、該酸化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜は該基板の表面平滑性などの影響をより受けにくくなり結晶性はさらに優れたものとなり得る。すなわち、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用い、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は２００秒以下の比較的結晶性に優れたものになるとは必ずしも限らない。それに対して、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用い、あらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は２００秒以下の比較的結晶性に優れたものが形成し得る。
【０２１４】
上記酸化アルミニウムを主成分とする焼結体において、アルミニウム以外にマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有するものを基板として用いたとき該基板には比較的良好な結晶性の薄膜が形成し得る。通常マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計４５．０モル％以下の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときその基板上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。上記酸化アルミニウムを主成分とする焼結体のうちマグネシウム、カルシウム、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲で含むものを基板として用いたときその基板上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成できる。また、マグネシウム、カルシウム、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０２モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が直接形成できる。また、マグネシウム、カルシウム、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０８モル％〜３５．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が直接形成できる。
なお、上記酸化アルミニウムを主成分とする焼結体において、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分、各成分の含有量として酸化物換算した値が用いられているが換算に用いた酸化物とはマグネシウム成分の場合ＭｇＯ、カルシウム成分の場合はＣａＯ、珪素成分の場合はＳｉＯ２である。以下本発明において酸化アルミニウムを主成分とする焼結体に含まれるマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分、各成分の酸化物換算に用いる化合物としては特に断らない限りそれぞれＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ２である。
【０２１５】
さらに、上記マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分を含有する酸化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性よりも、同じ組成のマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分を含有する酸化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜の結晶性はさらに優れたものとなり得る。具体的に言えば、マグネシウム、カルシウム、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計４５．０モル％以下の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用い、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅としては２００秒以下、通常１５０秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成できる。また、マグネシウム、カルシウム、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用い、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成できる。また、マグネシウム、カルシウム、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００５モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用い、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１００秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得る。
その際、上記マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜の結晶性も上記範囲のマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分を含まない酸化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いたものに比べて向上し易く、該配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は９０００秒以下のものが比較的容易に形成し得る。また、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００５モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板では、該基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として８０００秒以下のものが比較的容易に形成し得る。
このように酸化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成すれば、さらにその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶の結晶性を向上させる効果がある。その効果は酸化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の組成以外の要素、例えば表面平滑性などにも大きく影響されず、例えば平均表面粗さＲａを５ｎｍ以下にしたものでなくても（すなわち、焼き放しの表面状態の基板、ラップ研磨した表面状態の基板、ブラスト研磨した表面状態の基板、機械的な溝切り加工が施された基板、あるいは鏡面研磨してある基板など、平均表面粗さＲａが５ｎｍ以上のものであっても）発揮され得る。
このような単結晶薄膜の結晶性に及ぼす酸化アルミニウムを主成分とする焼結体中のマグネシウム、カルシウム、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上を含むことの効果は、例えば該酸化アルミニウムを主成分とする焼結体中にＢｅＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、その他ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２など、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分以外の金属成分が含まれていたとしても減じることは少ない。マグネシウム、カルシウム、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計４５．０モル％以下の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときその上に形成される単結晶薄膜がこのような高い結晶性を有するものとなる原因については必ずしも明確ではないが、おそらく上記の成分は粒界相となって酸化アルミニウム粒子間に存在し一部の酸化アルミニウム粒子の異常粒子成長を抑制するので粒子間の空隙が少なく酸化アルミニウム結晶粒子の大きさが比較的揃った微構造の焼結体となりその結果形成される単結晶薄膜の結晶性の向上をもたらすものと本願発明者は考えている。
【０２１６】
また、上記酸化アルミニウムを主成分とする焼結体は通常ＣＯやＨ２などを含む還元性雰囲気、あるいはＡｒ、Ｈｅ、Ｎ２などを含む非酸化性雰囲気、あるいは減圧状態、あるいはホットプレスなどによる高圧状態などの雰囲気中で焼成することで高い光透過性を有するものが作製できるが、このような雰囲気を用いず常圧の大気中で焼成を行ったものであっても比較的高い光透過性を有するものが得られる。すなわち、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体はどのような組成のものであっても少なくとも波長１６０ｎｍ以上の紫外光、可視光及び可視光より波長の長い光に対して光透過性を有するものが作製し得る。例えば、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体はどのような組成のものであっても光透過率１％以上のものが作製し得る。通常酸化アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で５５．０モル％以上含有する酸化アルミニウムを主成分とする焼結体において光透過率１％以上のものが作製し得る。また、例えば添加物を用いず焼成し実質的にＡｌ２Ｏ３だけからなる酸化アルミニウムを主成分とする焼結体では光透過率１０％以上のものが作製し得る。なお、本発明において酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率は少なくとも波長１６０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対してのものである。上記の光透過率は波長６０５ｎｍの光に対して測定されたものである。本発明においては今後特に断らない限り酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率には上記測定値を用いた。
また、上記のようにマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分を含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体のうち、少なくともＭｇＯなどのマグネシウム成分及びＣａＯなどのカルシウム成分及びＳｉＯ２などの珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計４５．０モル％以下の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体は通常光透過率が１０％以上のものが作製し得る。さらに、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分を含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体のうち、少なくともＭｇＯなどのマグネシウム成分及びＣａＯなどのカルシウム成分及びＳｉＯ２などの珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体は通常光透過率が２０％以上に向上したものが得られ易く、光透過率３０％以上、４０％以上、５０％以上、６０％以上、さらに８０％以上のものも作製し得る。なお、上記光透過率とはガラスなどの透明体の直線透過率ではなく窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率と同様に全透過率を意味する。
詳しく説明すれば、このような酸化アルミニウムを主成分とする焼結体はＢｅＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｓｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３など、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分以外の他の金属成分が含まれていたとしても光透過性が減じることは少ない。その中で例えばＭｇＯなどのマグネシウム成分及びＣａＯなどのカルシウム成分及びＳｉＯ２などの珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含み、さらに同時にＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体であっても光透過率２０％以上のものを得ることができる。また、上記希土類元素成分を酸化物換算で０．０００２モル％〜１０．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体はさらに光透過性が向上し易くなり光透過率３０％以上のものが得られ易くなり、本発明においては最大８２％のものも得られた。すなわち、マグネシウム成分及びカルシウム成分及び珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計４５．０モル％以下含み、さらに同時に希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０００２モル％〜１０．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体は光透過率３０％以上のものが得られ易い。また、マグネシウム成分及びカルシウム成分及び珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計４５．０モル％以下含み、さらに同時に希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００１モル％〜６．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体は光透過率４０％以上のものが得られ易い。また、マグネシウム成分及びカルシウム成分及び珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計４５．０モル％以下含み、さらに同時に希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．００５モル％〜６．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体は光透過率５０％以上のものが得られ易い。また、マグネシウム成分及びカルシウム成分及び珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計４５．０モル％以下含み、さらに同時に希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で合計０．０１モル％〜３．０モル％の範囲で含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体は光透過率６０％以上のものが得られ易い。
また、上記マグネシウム成分及びカルシウム成分及び珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含みさらに同時に希土類元素成分を含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体において、含まれるマグネシウム成分及びカルシウム成分及び珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分は酸化物換算で合計０．００１モル％〜４５．０モル％の範囲であることが、光透過性を高める上では好ましい。
なお、上記酸化アルミニウムを主成分とする焼結体に希土類元素成分と同時に含まれるマグネシウム成分及びカルシウム成分及び珪素成分としては通常これらのうちの少なくとも２種以上を用いることが光透過性をより向上させる上で好ましい。ＭｇＯなどのマグネシウム成分及びＣａＯなどのカルシウム成分及びＳｉＯ２などの珪素成分のうちから選ばれた少なくとも２種以上の成分を含むということは具体的にはマグネシウム成分と珪素成分とを同時に含む、あるいはカルシウム成分と珪素成分とを同時に含む、あるいはマグネシウム成分とカルシウム成分とを同時に含む、あるいはマグネシウム成分とカルシウム成分及び珪素成分の３成分を同時に含むということを意味する。上記酸化アルミニウムを主成分とする焼結体に含まれるマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分の含有量の換算に用いる酸化物とはそれぞれマグネシウム成分でＭｇＯ、カルシウム成分でＣａＯ、珪素成分でＳｉＯ２である。また、上記酸化アルミニウムを主成分とする焼結体に含まれる希土類元素成分の含有量の換算に用いる酸化物とはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３である。
また、上記マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含みさらに希土類元素成分を同時に含む比較的高い光透過性を有する酸化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいはマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上あるいは２種以上の成分を含みさらに希土類元素成分を同時に含む比較的高い光透過性を有する酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いた場合でも、該基板に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜、あるいは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜の結晶性は、マグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうち少なくとも１種以上の成分を含むが実質的に希土類元素成分を含まない酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたものに比べて通常は同じ程度であり、大きく結晶性が低下するなどの変化は少ない。
【０２１７】
前記のように、窒化ガリウムを主成分とする焼結体を基板として用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜は該基板の表面平滑性などの影響を受け易く必ずしも結晶性に優れたものとなり得ない場合があるのに対して、該窒化ガリウムを主成分とする焼結体からなる基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜は該基板の表面平滑性などの影響をより受けにくくなり結晶性はさらに優れたものとなり得る。すなわち、窒化ガリウムを主成分とする焼結体を基板として用い、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を直接形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の比較的結晶性に優れたものになるとは必ずしも限らない。それに対して、窒化ガリウムを主成分とする焼結体を基板として用い、該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくとも１種以上の結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は２００秒以下の比較的結晶性に優れたものが形成し得る。
【０２１８】
上記窒化ガリウムを主成分とする焼結体において、ガリウム以外にＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、及びＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分、及びアルミニウム成分、及びインジウム成分、及び酸素、及び亜鉛（Ｚｎ）、カドミウム（Ｃｄ）、炭素（Ｃ）、珪素（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、セレン（Ｓｅ）、テルル（Ｔｅ）などの成分を少なくとも１種以上含有するものを用いたとき該焼結体には比較的良好な結晶性の薄膜が形成し得る場合が多い。なお、ベリリウム（Ｂｅ）、マグネシウム（Ｍｇ）、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素などの成分を少なくとも１種以上含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は比較的高い導電性を有するものが作製し得る。
通常ガリウム成分をＧａＮ換算で５５．０モル％以上含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いたときその上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。上記窒化ガリウムを主成分とする焼結体のうちＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分を含むものは該焼結体に形成される単結晶薄膜の結晶性向上に有効な作用を及ぼす。アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分は窒化ガリウムを主成分とする焼結体中にそれぞれ単独で含まれていてもよいしあるいは同時に含まれていてもよい。該アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で３０．０モル％以下含むものを用いたときその上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が２００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成できる。さらに、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で２０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いたときその上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１５０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が直接形成できる。また、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いたときその上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１３０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が直接形成できる。
また、上記窒化ガリウムを主成分とする焼結体として、その他ガリウム以外にＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下含有するものを用いた場合でも該焼結体の上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。通常上記遷移金属元素成分としてＭｏ、Ｗ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｖ、及びＴｉのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下含有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体が好ましく、このような組成の焼結体を用いることでその上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜が形成し得る。
また、上記窒化ガリウムを主成分とする焼結体として、ガリウム以外にＺｎ、Ｃｄ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅなどのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有するものは比較的高い導電性を有するものが得られ易いが、該Ｚｎ、Ｃｄ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅなどのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下含有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いた場合でも該焼結体の上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。
また、上記窒化ガリウムを主成分とする焼結体として、その他ガリウム以外にアルミニウム、及びインジウム、及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で４０．０モル％以下含有するものを用いた場合でも該焼結体の上にはミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が３００秒以下の結晶性に優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が直接形成し得る。
【０２１９】
さらに、上記アルミニウム成分を含有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いたとき該基板に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性よりも、同じ組成の窒化ガリウムを主成分とする焼結体の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜の結晶性はさらに優れたものとなり得る。具体的に言えば、ガリウム成分をＧａＮ換算で５５．０モル％以上含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いたとき、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すればミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として２００秒以下、通常１５０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が比較的容易に形成できる。また、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で３０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いれば、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成することによりミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が比較的容易に形成できる。また、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で２０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いたとき、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すればミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１００秒以下の結晶性に優れた単結晶薄膜が比較的容易に形成し得る。
その際、上記ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で３０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜の結晶性も上記範囲以上のアルカリ土類金属成分及び希土類成分を含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いたものに比べて向上し易く、該配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅は９０００秒以下のものが比較的容易に形成し得る。また、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で２０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体では、該焼結体にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として８０００秒以下のものが比較的容易に形成し得る。
また、窒化ガリウムを主成分とする焼結体として、ガリウム以外にＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下含有するものを用いた場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得る。また、上記遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で５．０モル％以下含有するものを用いた場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１００秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得るので好ましい。通常上記遷移金属元素成分としてＭｏ、Ｗ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｖ、及びＴｉのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下含有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体が好ましく、このような組成の焼結体を用いることでその上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜が形成し得る。
また、窒化ガリウムを主成分とする焼結体として、その他ガリウム以外にＺｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅなどのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下含有するものを用いた場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得る。また、上記Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅなどのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で５．０モル％以下含有するものを用いた場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１００秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得るので好ましい。
また、窒化ガリウムを主成分とする焼結体として、その他ガリウム以外にアルミニウム、及びインジウム、及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で４０．０モル％以下含有するものを用いた場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得る。また、上記アルミニウム、及びインジウム、及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で３０．０モル％以下含有するものを用いた場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１００秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得るので好ましい。
このように窒化ガリウムを主成分とする焼結体にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成すれば、さらにその上に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜の結晶性を向上させる効果がある。その効果は窒化ガリウムを主成分とする焼結体の組成以外の要素、例えば表面平滑性などにも大きく影響されず、例えば平均表面粗さＲａを５ｎｍ以下にしたものでなくても（すなわち、焼き放しの表面状態の焼結体、ラップ研磨した表面状態の焼結体、ブラスト研磨した表面状態の焼結体、表面に機械的な溝切り加工が施された焼結体、あるいは鏡面研磨してある焼結体、など平均表面粗さＲａが５ｎｍ以上のものであっても）発揮され得る。
このような単結晶薄膜の結晶性に及ぼす窒化ガリウムを主成分とする焼結体中のガリウム以外の成分のなかでも特にＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分の効果は、例えば該窒化ガリウムを主成分とする焼結体中にＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分、アルミニウム成分、インジウム成分、酸素、及びＺｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、などアルカリ土類金属成分及び希土類元素成分以外の成分が少なくとも１種以上含まれていたとしても減じることは少ない。
ガリウム成分をＧａＮ換算で５５．０モル％以上含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いたとき該焼結体の上に形成される単結晶薄膜がこのような高い結晶性を有するものとなる原因は必ずしも明確ではないが、本願発明者は窒化ガリウムを主成分とする焼結体は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウム各薄膜と同じウルツ鉱型結晶の結晶構造であるため窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が自発的に単結晶化し易いためと推測している。
【０２２０】
窒化ガリウムを主成分とする焼結体は窒化ガリウム粒子からなり従って粒界が存在しており、単結晶や薄膜などのように比較的均質に近い状態ではないにもかかわらず通常導電性を有するものが得られる場合が多い。該窒化ガリウムを主成分とする焼結体がＢｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素などの成分を実質的に含まないものであっても室温における抵抗率１×１０８Ω・ｃｍ以下の導電性を有するものが得られる場合が多い。また、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体の導電性は向上し易いので好ましい。すなわち、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素などの成分を実質的に含まない窒化ガリウムを主成分とする焼結体は室温における抵抗率が必ずしも１×１０４Ω・ｃｍ以下の導電性を有するとは限らないがＢｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体の導電性は室温における抵抗率が１×１０４Ω・ｃｍ以下に向上し易いので好ましい。より具体的に言えば、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上を元素換算で１０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体の導電性は向上し例えば室温における抵抗率が少なくとも１×１０４Ω・ｃｍ以下のものが得られ易い。また、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で０．００００１モル％〜１０．０モル％の範囲含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体の導電性は向上し例えば室温における抵抗率が少なくとも１×１０３Ω・ｃｍ以下のものが得られ易い。また、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で０．００００１モル％〜７．０モル％の範囲含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体では室温における抵抗率が少なくとも１×１０１Ω・ｃｍ以下のものが得られ易く該焼結体を導通ビアのない基板として用いることが可能となるので好ましい。また、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で０．００００１モル％〜５．０モル％の範囲で含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体では室温における抵抗率が少なくとも１×１００Ω・ｃｍ以下のものが得られ易く該焼結体を導通ビアのない基板として用いることが可能となるのでより好ましい。また、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で０．００００１モル％〜３．０モル％の範囲で含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体では室温における抵抗率が少なくとも１×１０−１Ω・ｃｍ以下のものが得られ易く該焼結体を導通ビアのない基板として用いることが可能となるのでさらに好ましい。このような組成の窒化ガリウムを主成分とする焼結体において室温における抵抗率が１×１０−２Ω・ｃｍ以下あるいはさらに１〜２×１０−３Ω・ｃｍ程度のより低い抵抗率を有��るものも得られる。このような導電性を有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体は特に基板の上下表面を電気的に接続するための導通ビアを設ける必要がないので好ましい。
また、上記窒化ガリウムを主成分とする焼結体はＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分、及びＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分、及びアルミニウム成分、インジウム成分などのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分がＢｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分以外に含まれていたとしても導電性が損なわれる程度は少ない。上記窒化ガリウムを主成分とする焼結体中に含まれるＢｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分以外の成分の含有量は導電性が損なわれる程度が小さければどのようなものであってもよい。通常該Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分以外の成分の含有量としてアルカリ土類金属成分及び希土類元素成分は酸化物換算で１０．０モル％以下、遷移金属元素成分は元素換算で１０．０モル％以下、アルミニウム成分及びインジウム成分は元素換算で４０．０モル％以下であることが導電性が損なわれる程度が小さいので好ましい。
また、導電性を有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体はガリウム以外の成分としてＢｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分だけでなく、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下、あるいはアルミニウム成分及びインジウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で４０．０モル％以下含有するものでも得ることが可能である。    
【０２２１】
上記窒化ガリウムを主成分とする焼結体はＣＯやＨ２などを含む還元性雰囲気及びＡｒ、Ｈｅ、Ｎ２などを含む非酸化性雰囲気の常圧中、あるいは減圧中、あるいはホットプレスやＨＩＰなどによる高圧下で焼成することにより比較的高い光透過性を有するものが作製し得る。すなわち、窒化ガリウムを主成分とする焼結体はどのような組成のものであっても通常少なくとも波長３６０ｎｍ以上の可視光及び可視光より波長の長い光に対して光透過性を有するものが作製し得る。例えば、窒化ガリウムを主成分とする焼結体はどのような組成のものであっても光透過率１％以上のものが作製し得る。通常ガリウム成分をＧａＮ換算で５５．０モル％以上含有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体において光透過率１％以上のものが作製し得る。また、例えば添加物を用いず焼成し実質的にＧａＮだけからなる窒化ガリウムを主成分とする焼結体では光透過率１０％以上のものが作製し得る。なお、本発明において窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率は少なくとも波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対してのものである。上記光透過率は波長６０５ｎｍの光に対して測定されたものである。本発明においては今後特に断らない限り窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率には上記測定値を用いた。
その中で例えばＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分は窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過性に有効な作用を及ぼす。アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分は窒化ガリウムを主成分とする焼結体中にそれぞれ単独で含まれていてもよいしあるいは同時に含まれていてもよい。該アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で３０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は光透過率１０％以上のものが作製し得る。また、上記アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で２０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体はさらに光透過性が向上し易くなり光透過率２０％以上のものが得られ易い。また、アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は光透過率３０％以上のものが得られ易い。また、アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で６．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は光透過率４０％以上のものが得られ易い。また、アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で３．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は光透過率５０％以上のものが得られ易い。また、アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で０．０００１モル％〜３．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は光透過率６０％以上のものが得られ易い。さらに光透過率８０％以上のものも作製し得る。本発明においては光透過率が最大８６％のものが得られた。
その他、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体では光透過率１０％以上のものが作製し得る。また、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下の範囲で含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体では光透過率１０％以上のものが作製し得る。さらに、アルミニウム及びインジウム及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で４０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体では光透過率１０％以上のものが作製し得る。また、アルミニウム及びインジウム及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で３０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体では光透過率２０％以上のものが作製し得るので好ましい。
また、上記アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、あるいはＺｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、あるいはアルミニウム及びインジウム及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、といった成分を少なくとも２種以上同時に含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体であっても光透過性のものが作製し得る。例えば、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で３０．０モル％以下含み同時にＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体、あるいは上記範囲のアルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含み同時にＺｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下の範囲で含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体、あるいは上記範囲のアルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含み同時にアルミニウム及びインジウム及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で４０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体、であってもそれぞれ光透過率１０％以上のものが作製し得る。
【０２２２】
なお、上記アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、あるいはＺｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、あるいはアルミニウム及びインジウム及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、といった成分を少なくとも２種以上同時に含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体であっても、該焼結体に形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜、あるいは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする配向性多結晶薄膜の結晶性は、上記アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、あるいはＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、あるいはＺｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、あるいはアルミニウム及びインジウム及び酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分、といった成分をそれぞれ単独で含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いたものに比べて通常は同じ程度であり、結晶性が大きく低下するなどの変化は少ない。
また、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は導電性を有するだけでなく光透過性を有するものが作製し得る。上記Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率としては１％以上のものが作製し得る。上記のようにＢｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で１０．０モル％以下含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は上記のように導電性を有するだけでなく光透過率１０％以上に向上したものが作製し得る。また、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を元素換算で０．００００１モル％〜１０．０モル％の範囲で含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は導電性を有するだけでなく光透過率２０％以上のものが作製し得、さらに光超過率が３０％以上、４０％以上、５０％以上、６０％以上さらに８０％以上のものも作製し得る。
また、このような導電性を有しさらに光透過性を有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体において、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分が含まれているものだけでなく同時にＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分及びＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むもの、あるいはＢｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分と同時にＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５などの遷移金属元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むもの、あるいはＢｅ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、酸素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分と同時にアルミニウム及びインジウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含むものであったとしても上記導電性あるいは光透過性が減じることは少ない。導電性を有しさらに光透過性を有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体において、上記の例示した成分をそれぞれ１種ずつ計２種含むものだけでなく、どちらかの成分を少なくとも２種以上計３種以上の成分を含むものであっても上記導電性あるいは光透過性が減じることは少ない。本発明において、例えば上記アルカリ土類金属成分及び希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分及びＺｎ、Ｃｄ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を同時に含む窒化ガリウムを主成分とする焼結体は室温における抵抗率１×１０４Ω・ｃｍ以下の導電性を有しかつ光透過性を有するものが作製し得るが、このような組成の窒化ガリウムを主成分とする焼結体において室温における抵抗率１．７×１０−２Ω・ｃｍを有し光透過率８２％と高い導電性と同時に高い光透過率を有するものもが得られた。
なお上記光透過率とはガラスなどの透明体の直線透過率ではなく窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率と同様に全透過率を意味する。
【０２２３】
窒化ガリウムを主成分とする焼結体が上記のような高い光透過性を有する理由については必ずしも明確ではないが、比較的均質で緻密な組織を有するものが容易に作製し得ることが大きな要因であろうと推測される。さらに上記組成の窒化ガリウムを主成分とする焼結体においてより均質で緻密な組織を有するものが作製し得るため光透過性の高いものが得られるものと思われる。
窒化ガリウムを主成分とする焼結体は通常窒化ガリウムを主成分とする粉末成形体を非酸化性雰囲気中１０００℃〜１７００℃程度の温度で焼成することにより比較的容易に作製できる。光透過性を高めるためには通常１２００℃以上で焼成することが好ましい。上記の窒化ガリウムを主成分とする焼結体を作製するために使用する窒化ガリウムの原料粉末はどのようなものでも使用できるが、焼結性に優れたものを用いることが光透過性の窒化ガリウムを主成分とする焼結体を作製する上で好ましい。通常平均粒径１０μｍ以下の微粉末であれば好適に用いることができ光透過性の窒化ガリウムを主成分とする焼結体が作製し得る。また、平均粒径５．０μｍ以下のものがより好ましく、平均粒径２．０μｍ以下のものがさらに好ましい。また、平均粒径１．０μｍ以下のものも用いることができる。なお、平均粒径１０μｍより大きいものであってもボールミルやジェットミルなどで粉砕することにより１０μｍ以下の微粉末とすることにより好適に用いることができる。このような窒化ガリウムを主成分とする原料粉末としては、１）金属ガリウムを窒素やアンモニアなどの窒素含有物質などを用いて直接窒化反応せしめて作製したもの、２）酸化ガリウムをカーボンなどの還元剤と窒素やアンモニアなどの窒素含有物質とを用いて還元窒化して作製したもの、３）ガリウム化合物（例えばトリメチルガリウムなどの有機ガリウム化合物や塩化ガリウムなどの無機ガリウム化合物）を気体となして窒素やアンモニアなどの窒素含有物質と反応させて（要すれば水素などの還元ガスを共存させ）作製した化学輸送法によるもの、などが好適に用いられる。また、その他市販のものも用いることができる。金属ガリウムを直接窒化して窒化ガリウム粉末を作製する方法として、例えば金属ガリウムは融点が低いので通常アルゴン、ヘリウムなどの不活性雰囲気中、あるいは水素などの還元雰囲気中で３００℃〜１７００℃程度の温度で加熱し金属ガリウムを気化させた後、該気体となった金属ガリウムを窒素やアンモニアなどの窒素成分を含むガスと３００℃〜１７００℃程度の温度で反応させて窒化ガリウム粉末を作製するといった方法がある。酸化ガリウムを還元窒化して窒化ガリウム粉末を作製する方法として、例えば酸化ガリウム粉末をカーボン粉末とともに混合し窒素やアンモニアなどの窒素成分を含むガスと４００℃〜１６００℃程度の温度で加熱して酸化ガリウムの還元と窒化反応を行ない窒化ガリウム粉末を作製するといった方法がある。なお反応物中に残留カーボンがあれば大気などの酸化雰囲気中で加熱するなどして除去する。ガリウム化合物を気化させて窒化ガリウム粉末を作製する方法として、例えば塩化ガリウム、臭化ガリウムあるいはトリメチルガリウムなどのガリウム化合物をアルゴン、ヘリウム、窒素などの非酸化性雰囲気中、あるいは水素などの還元雰囲気中で５０℃〜１８００℃程度の温度で加熱し該塩化ガリウム、臭化ガリウムあるいはトリメチルガリウムなどのガリウム化合物を気化させた後、気体となった該塩化ガリウム、臭化ガリウムあるいはトリメチルガリウムなどのガリウム化合物を窒素やアンモニアなどの窒素成分を含むガスさらに要すれば水素などの還元ガスを加えた窒素やアンモニアなどの窒素成分を含むガスと３００℃〜１８００℃程度の温度で反応させて窒化ガリウム粉末を作製するといった方法がある。このような焼結体作製用の原料として用い得る窒化ガリウムを主成分とする粉末には不純物として酸素が含まれる場合があるがこのような不純物酸素を含む原料粉末を用いて作製される窒化ガリウムを主成分とする焼結体であっても緻密で光透過性を有するもの、導電性を有するものが作製し得る。通常窒化ガリウム粉末の酸素含有量が１０重量％以下であれば該粉末を用いて作製される窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過性あるいは導電性は発現し得る。さらに酸素含有量１０重量％以下の窒化ガリウム粉末を用いて作製される窒化ガリウムを主成分とする焼結体を用いた場合、その上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として３００秒以下の単結晶薄膜が比較的容易に直接形成し得る。また該窒化ガリウムを主成分とする焼結体にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成しさらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成すれば該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として１３０秒以下の結晶性に優れたものが比較的容易に形成し得る。窒化ガリウム粉末の酸素含有量が５．０重量％以下であれば少なくとも光透過率５％以上あるいは室温における抵抗率１×１０４Ω・ｃｍ以下の窒化ガリウムを主成分とする焼結体を得るので好ましい。
なお、上記本発明による窒化ガリウムを主成分とする粉末とは通常ガリウム成分をＧａＮ換算で５５．０モル％以上含む粉末を意味する。
【０２２４】
なお、上記窒化ガリウムを主成分とする焼結体に含まれるアルカリ土類金属成分の含有量の換算に用いる酸化物とはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯを意味し、希土類元素成分の含有量の換算に用いる酸化物とはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３を意味する。
本発明において、上記のような窒化ガリウムなどの導電性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いて発光素子を作製すれば、基板に導通ビアを形成せずに上下に電極を配して電極と素子との電気的接続をはかるという形状の発光素子が作製し得るという特徴を有する。導電性を有するセラミック材料を主成分とする焼結体を用いる場合該焼結体の室温における抵抗率としては１×１０４Ω・ｃｍ以下であれば上下に電極を配した形状の発光素子が作製し得る。導電性を有する焼結体の室温における抵抗率としては室温において通常１×１０２Ω・ｃｍ以下のものであれば少ない損失で十分な電力を供給し得る。導電性を有する焼結体の室温における抵抗率としては室温において１×１０１Ω・ｃｍ以下のものが好ましく、１×１００Ω・ｃｍ以下のものがより好ましく、１×１０−１Ω・ｃｍ以下のものがさらに好ましい。
【０２２５】
本発明において、上記のように酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムそれぞれを主成分とする焼結体を基板とすることで高い結晶性の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が作製できる。したがって、このような単結晶薄膜が形成された基板を用いてその上にあらためて薄膜を形成することで発光素子を作製することもできるし、あるいはこのような高い結晶性を有する薄膜をそのまま発光素子を構成する薄膜層の少なくとも一部として使用することにより発光素子を作製することもできる。このような酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムそれぞれを主成分とする焼結体を基板として用いて作製される発光素子は従来からのサファイア基板を用いて作製される発光素子に比べて発光効率が少なくとも同等かそれ以上のものが提供できるようになった。
一方、上記のように酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムそれぞれを主成分とする焼結体は比較的高い光透過性のものが得られ、したがってこのような光透過性の酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムそれぞれを主成分とする焼結体を基板として用いた発光素子も作製できる。このような光透過性の酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムそれぞれを主成分とする焼結体を基板として用いて作製された発光素子はさらに発光効率の優れたものが得られ易いので従来からのサファイア基板を用いて作製される発光素子に比べてより発光効率の優れたものが提供できる。その理由は必ずしも明確でないが、基板が従来からのサファイアなどの単結晶と異なり微粒子から構成される多結晶質の焼結体であり微粒子の結晶方向があらゆる方向を向いているため発光素子からの発光は基板と発光素子を構成する薄膜との界面で反射が減少しそのまま基板内へ透過され易くなり、基板が光透過性であるため基板に進入した光が基板外部へ放出され易くなり発光素子の発光効率が向上し易くなるものと思われる。また発光素子を構成する薄膜層と周囲の雰囲気との界面での反射が生じにくくなり発光素子からの発光が該薄膜層を通して素子外部へ放出され易くなるものと思われる。
なお、本発明において特に断らない限り上記の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の光透過率の測定値は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体と同様直径２５．４ｍｍ厚み０．５ｍｍの円盤状で表面を鏡面に研磨した状態の試料を用い所定の波長の光を上記焼結体試料に当て、入射した光の強度と透過した光の強度を分光光度計などで測定しその比を百分率で表わしたものである。波長としては通常特に断らない限り６０５ｎｍのものを用いて測定されたものである。本発明における光透過率は上記測定用試料を積分球の内部にセットして全透過光を集めこの全透過光と入射光との強度比を百分率で表した全透過率として求めたものである。なお、光透過率として波長６０５ｎｍ以外の光に対するものを測定していなくても波長６０５ｎｍの光に対しての光透過率を把握していれば本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の性能、すなわち例えば発光素子作製用基板として用いたとき作製される発光素子の発光効率を判定し得る。
光透過率は試料の厚みによって変化し本発明による上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用基板などとして実際に用いる場合該基板の厚みを薄くして光透過率を高めることは例えば発光素子の発光効率を高める上で有効である。通常薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用基板などとしては厚み０．０１ｍｍ以上のものを用いることが取り扱い上の強度の点からは好ましい。又厚みが厚くなると光透過率が低下し易いので通常薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用基板などとしては厚み８．０ｍｍ以下のものを用いることが好ましい。本発明において上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体としてはその厚みが少なくとも０．０１ｍｍ〜８．０ｍｍの範囲において薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用などの基板として該焼結体を実際に使用する状態で光透過性を有していれば有効である。すなわち、上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体はその厚みが少なくとも０．０１ｍｍ〜８．０ｍｍの範囲あるいはそれ以外であっても実際に使用される状態での光透過率が少なくとも１％以上であればよいのであって、例えば発光素子作製用基板として実際に厚み０．１ｍｍあるいは２．０ｍｍなど厚みが必ずしも０．５ｍｍではないものであっても光透過性を有し例えば光透過率が少なくとも１％以上であれば作製される発光素子の発光効率は向上し易い。
本発明において、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の光透過性は厚みには関係無い。厚い状態では光透過性を有しないものであっても薄くすることで光透過性を有するものは本発明に含まれる。すなわち、例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍのとき光透過性を有しないものであっても厚みを薄くすることで光透過性が発現するものは本発明に含まれる。また、例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍより厚いとき光透過性を有しないものであっても厚みを０．５ｍｍとすることで光透過性が発現するものは本発明に含まれる。光透過性を別の言葉で表現すれば、本発明の光透過率として炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みには関係無く、該焼結体の光透過率が１％以上であれば本発明に含まれる。すなわち、例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍのとき光透過率が１％より小さいものであっても厚みを薄くすることで光透過率が１％以上であるものは本発明に含まれる。また、例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍより厚いとき光透過率が１％より小さいものであっても厚みを０．５ｍｍとすることで光透過率が１％以上であるものは本発明に含まれる。
上記のように本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の光透過性としては実際該焼結体が用いられている状態での光透過性が重要である。したがって炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体として実際該焼結体が用いられている状態で光透過性を有していれば本発明に含まれる。別の表現をすれば、本発明の光透過率としては炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みには関係無く、該焼結体の実使用状態での光透過率が１％以上であれば本発明に含まれる。すなわち、例えば炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが実使用状態で０．５ｍｍ以下あるいは０．５ｍｍより大きいとき光透過率が１％以上であるものは本発明に含まれる。
炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが実使用状態で０．５ｍｍより薄い場合あるいは０．５ｍｍより厚い場合は基板厚み０．５ｍｍのとき測定した光透過率と異なり、光透過率は０．５ｍｍより薄い場合は０．５ｍｍのとき測定したより高くなり易く０．５ｍｍより厚い場合は０．５ｍｍのとき測定した光透過率より低くなり易い。本発明においては上記のように実際に使用される状態で光透過率が１％以上の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を用いることが好ましい。
【０２２６】
なお、今まで炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどを主成分とする焼結体は通常主成分である該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどとして六方晶あるいは三方晶の結晶構造を有するものが薄膜形成用基板及び薄膜基板として用いられることを主に例示してきたが上記主成分が例えば立方晶、正方晶、斜方晶、単斜晶、三斜晶、アモルファスなど六方晶あるいは三方晶以外の結晶構造を有するものであっても炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどを主成分とするものであれば薄膜形成用基板及び薄膜基板として好適に用いることができる。例えば炭化珪素を主成分とする焼結体などは結晶構造として例えば立方晶を有するものであっても好適に用いることができる。また例えば酸化アルミニウムを主成分とする焼結体などは結晶構造として例えば立方晶、スピネル構造の酸化アルミニウムを主成分とする焼結体であっても基板として好適に用いることができる。    
【０２２７】
本発明において、上記酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウムを主成分とする焼結体だけでなく、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などのセラミック材料を主成分とする焼結体を基板とし、該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成したものを基板として用いれば、その上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得るので、このような単結晶薄膜が形成された基板を用いてその上にあらためて薄膜を形成することで発光素子を作製することもできるし、あるいはこのようにして形成された単結晶薄膜をそのまま発光素子を構成する薄膜層の少なくとも一部として使用することにより発光素子を作製することもできる。
本発明において、上記のようにあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成した基板を用いて作製される発光素子も従来からのサファイア基板を用いて作製される発光素子に比べて発光効率が少なくとも同等かそれ以上のものが提供できるようになった。
詳しく説明すれば、本発明において上記酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウムを主成分とする焼結体だけでなく、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体においても光透過性を有するものを得ることが可能である。具体的には光透過率として少なくとも１％以上通常１０％以上を有するものが作製し得る。また上記酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛（特に希土類元素成分を含むもの）、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などを主成分とする焼結体は光透過率が５０％以上のものが作製でき、最大８０％以上のものも作製し得る。このような光透過性の各種セラミック材料を主成分とする焼結体を発光素子作製用基板に用いれば、作製される発光素子の発光効率は従来からのサファイアなどを基板として用いて作製される発光素子と比べて向上し易い。その理由は必ずしも明確でないが、基板が従来からのサファイアなどと異なり焼結体であるため発光素子からの発光は基板と発光素子を構成する薄膜との界面で反射が減少しそのまま基板内へ透過され易くなり、基板が光透過性であるため基板に進入した光が基板外部へ放出され易くなるため発光素子の発光効率が向上し易くなるものと思われる。また発光素子を構成する薄膜層からも周囲の雰囲気との界面での反射が生じにくくなり発光素子からの発光が薄膜層を通して素子外部へ放出され易くなるものと思われる。上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体のうちで酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、ムライト、結晶化ガラスを主成分とする焼結体は特に光透過性に優れ、適宜焼結助剤を添加して常圧焼成（例えば大気中、あるいはＨ２などの還元性ガス中、あるいはＮ２などの非酸化性ガス中、あるいはＣＯ２などの弱酸化性ガス中）、減圧焼成、ホットプレスなどの定法により比較的容易に光透過性のものを作製することができる。大気中での常圧焼成であっても光透過率１０％以上、通常光透過率２０％以上あるいは光透過率３０％以上のものを作製することができる。また水素中での焼成あるいはホットプレスあるいは減圧焼成などによって光透過率４０％以上、通常は光透過率５０％以上あるいは光透過率６０％以上のものを作製することができ、光透過率８０％以上のものも作製できる。光透過性を向上させるために焼結助剤としては例えば酸化ジルコニウムの場合はＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３など希土類元素成分を含む酸化物などの化合物あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどアルカリ土類金属成分を含む酸化物などの化合物、などを好適に用いることができる。また、酸化マグネシウムの場合はＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３など希土類元素成分を含む酸化物などの化合物あるいはＢｅＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどアルカリ土類金属成分を含む酸化物などの化合物あるいはＬｉＦ、ＮａＦなどアルカリ金属成分を含む弗化物などの化合物あるいはＳｉＯ２などの珪素化合物、などを好適に用いることができる。また、アルミン酸マグネシウムの場合はＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３など希土類元素成分を含む酸化物などの化合物あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどアルカリ土類金属成分を含む酸化物などの化合物あるいはＳｉＯ２などの珪素化合物、などを好適に用いることができる。また、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物の場合はＡｌ２Ｏ３などアルミニウム成分を含む酸化物などの化合物あるいはＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３などの中から選ばれた少なくとも１種以上の主成分と異なる希土類元素成分を含む酸化物などの化合物あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどアルカリ土類金属成分を含む酸化物などの化合物、などを好適に用いることができる。また、酸化トリウムの場合はＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３など希土類元素成分を含む酸化物などの化合物あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどアルカリ土類金属成分を含む酸化物などの化合物、などを好適に用いることができる。また、ムライトの場合はＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３など希土類元素成分を含む酸化物などの化合物あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどアルカリ土類金属成分を含む酸化物などの化合物あるいはＳｉＯ２などの珪素化合物、などを好適に用いることができる。また、結晶化ガラスの場合はＳｃ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｐｒ６Ｏ１１、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ４Ｏ７、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３など希土類元素成分を含む酸化物などの化合物あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどアルカリ土類金属成分を含む酸化物などの化合物あるいはＳｉＯ２などの珪素化合物、などを好適に用いることができる。
また、これら酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、ムライト、結晶化ガラスを主成分とする焼結体にはそれぞれ上記例示した成分以外に例えばモリブデン、タングステン、バナジウム、ニオブ、タンタル、チタン、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、ジルコニウム、ハフニウム、コバルト、銅、亜鉛などの遷移金属成分、あるいはカーボンなどの成分を含むものも好適に用いることができ、これらの成分を含むものは黒色、灰黒色、灰色、褐色、黄色、緑色、青色、あずき色、赤色などに呈色したものが得られ易く、呈色したものであっても光透過性を有するものが得られる。
なお、本発明において上記各種セラミック材料を主成分とする焼結体の光透過率は少なくとも波長２００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲の光に対してのものである。上記光透過率は波長６０５ｎｍの光に対して測定されたものである。本発明においては今後特に断らない限り各種セラミック材料を主成分とする焼結体の光透過率には上記測定値を用いた。
このような光透過性を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板とし、該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態の薄膜を形成したものを基板として用いれば、その上には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成し得るので、このような単結晶薄膜が形成された基板を用いてその上にあらためて薄膜を形成することで発光素子を作製することもできるし、あるいはこのようにして形成された単結晶薄膜の少なくとも一部を発光素子を構成する薄膜層の少なくとも一部として使用することにより発光素子を作製することもできる。
本発明において、上記酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、などそれぞれを主成分とする焼結体のうち光透過性を有するものを基板として用いて作製される発光素子は発光効率の優れたものが得られ易いので従来からのサファイア基板を用いて作製される発光素子に比べて発光効率が少なくとも同等か、最大２〜３倍以上に向上したものが作製できるようになった。
なお、本発明において特に断らない限り上記の酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の光透過率の測定値は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体と同様直径２５．４ｍｍ厚み０．５ｍｍの円盤状で表面を鏡面に研磨した状態の試料を用い所定の波長の光を上記焼結体試料に当て、入射した光の強度と透過した光の強度を分光光度計などで測定しその比を百分率で表わしたものである。波長としては通常特に断らない限り６０５ｎｍのものを用いて測定されたものである。本発明における光透過率は上記測定用試料を積分球の内部にセットして全透過光を集めこの全透過光と入射光との強度比を百分率で表した全透過率として求めたものである。なお、光透過率として波長６０５ｎｍ以外の光に対するものを測定していなくても波長６０５ｎｍの光に対しての光透過率を把握していれば本発明による酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の性能、すなわち例えば発光素子作製用基板として用いたとき作製される発光素子の発光効率を判定し得る。
光透過率は試料の厚みによって変化し本発明による上記酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体を薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用基板などとして実際に用いる場合該基板の厚みを薄くして光透過率を高めることは例えば発光素子の発光効率を高める上で有効である。通常薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用などの基板としては厚み０．０１ｍｍ以上のものを用いることが取り扱い上の強度の点からは好ましい。又厚みが厚くなると光透過率が低下し易いので通常薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用などの基板としては厚み８．０ｍｍ以下のものを用いることが好ましい。本発明において上記酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体としてはその厚みが少なくとも０．０１ｍｍ〜８．０ｍｍの範囲において薄膜形成用基板、薄膜基板あるいは発光素子作製用などの基板として該焼結体を実際に使用する状態で光透過性を有していれば有効である。すなわち、上記酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体はその厚みが少なくとも０．０１ｍｍ〜８．０ｍｍの範囲あるいはそれ以外であっても実際に使用される状態での光透過率が少なくとも１％以上であればよいのであって、例えば発光素子作製用基板として実際に厚み０．１ｍｍあるいは２．０ｍｍなど厚みが必ずしも０．５ｍｍではないものであっても光透過性を有し例えば光透過率が少なくとも１％以上であれば作製される発光素子の発光効率は向上し易い。
本発明において、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の光透過性は該焼結体の厚みには関係無い。厚い状態では光透過性を有しないものであっても薄くすることで光透過性を有するものは本発明に含まれる。すなわち、例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍのとき光透過性を有しないものであっても厚みを薄くすることで光透過性が発現するものは本発明に含まれる。また、例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍより厚いとき光透過性を有しないものであっても厚みを０．５ｍｍとすることで光透過性が発現するものは本発明に含まれる。光透過性を別の言葉で表現すれば、本発明の光透過率として酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みには関係無く、該焼結体の光透過率が１％以上であれば本発明に含まれる。すなわち、例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍのとき光透過率が１％より小さいものであっても厚みを薄くすることで光透過率が１％以上であるものは本発明に含まれる。また、例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが０．５ｍｍより厚いとき光透過率が１％より小さいものであっても厚みを０．５ｍｍとすることで光透過率が１％以上であるものは本発明に含まれる。
上記のように本発明による酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体としては実際該焼結体が用いられている状態での光透過性が重要である。したがって酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体として実際該焼結体が用いられている状態で光透過性を有していれば本発明に含まれる。別の表現をすれば、本発明の光透過率としては酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みには関係無く、該焼結体の実使用状態での光透過率が１％以上であれば本発明に含まれる。すなわち、例えば酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが実使用状態で０．５ｍｍ以下あるいは０．５ｍｍより大きいとき光透過率が１％以上であるものは本発明に含まれる。
酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体の厚みが実使用状態で０．５ｍｍより薄い場合あるいは０．５ｍｍより厚い場合は基板厚み０．５ｍｍのとき測定した光透過率と異なり、光透過率は０．５ｍｍより薄い場合は０．５ｍｍのとき測定したより高くなり易く０．５ｍｍより厚い場合は０．５ｍｍのとき測定した光透過率より低くなり易い。本発明においては上記実際に使用される状態で光透過率が少なくとも１％以上の酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、アルミン酸マグネシウム、酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化イットリウムなどの希土類元素酸化物、酸化トリウム、各種フェライト、ムライト、フォルステライト、ステアタイト、結晶化ガラス、など各種セラミック材料を主成分とする焼結体を用いることが好ましい。
【０２２８】
また、本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜による光導波路が形成された薄膜基板を提供することができる。本発明による光導波路が形成された薄膜基板を用いることで例えば波長２００ｎｍ〜７０００ｎｍの範囲といった紫外線領域から赤外線領域の幅広い波長領域の光伝送に対応できる薄膜基板が提供できる。特に２００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲の紫外光を大きな損失を伴うことなく伝送することが可能となった。光導波路として用いる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれたいずれか少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が単結晶であれば光の伝送損失をより低減化することができる。この光伝送性は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が高い光透過性を有することにより実現できる。波長の短い特に２００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲の紫外光の伝送は窒化アルミニウムの含有量の多い薄膜を用いることで実現できる。このような光伝送性は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に光導波路となる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が単結晶として形成し得るということにも起因する。さらにこのような光伝送性は光導波路となる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜と窒化アルミニウムを主成分とする焼結体との良好な接合性にも起因する。前記のように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜と窒化アルミニウムを主成分とする焼結体との間の接合性について接合後の薄膜にはクラックは見られず、接合界面には剥離が見られず、粘着テープによる引き剥がしテストなどを行っても接合界面での剥離が生じない。さらに、本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるということによる。本発明は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により光導波路が形成された薄膜基板を含むが、基板を構成する材料に窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いており放熱性に優れるので半導体レーザーなど高出力の発光素子を搭載する上で好ましい。
また、該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体には上記光導波路だけでなくその内部及び／又は表面に電気回路を形成することができるので、上記光導波路及び電気回路とを有する光配線基板として用いることができるという特徴がある。すなわち、本発明により今後大きく応用が広がると予測される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする半導体レーザーダイオードあるいは発光ダイオードなどの青色及び紫外光発光素子からの光を伝送可能な薄膜基板が提供できる。また、本発明は上記青色及び紫外光発光素子を直接搭載し光配線基板として機能する薄膜基板を提供できるという特徴がある。
【０２２９】
窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜による光導波路として単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものを用いることができる。このような結晶状態の薄膜を用いることで例えば波長６５０ｎｍの光を伝送したとき伝送損失が通常少なくとも１０ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路が形成できる。その中でも単結晶薄膜を用いることで伝送損失の低減化をはかることが可能となり通常少なくとも５ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路を形成することが可能となる。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面からのＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下のものでは少なくとも３ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路を形成することが可能となる。
【０２３０】
本発明による光導波路を用いて伝送可能な光の波長は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の組成に依存する。波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲の紫外光及び波長３８０ｎｍ以上の光に対しては窒化ガリウム及び窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を光導波路として用いることが好ましい。より波長の短い紫外光を透過する場合窒化アルミニウム単独か窒化アルミニウムの含有量の多い組成の薄膜を用いることが好ましい。このような組成の薄膜を用いることで波長の短い紫外光をより低損失で伝送することができるようになる。波長３８０ｎｍ〜６５０ｎｍの可視光に対しては上記組成の薄膜の他に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を光導波路として用いることができる。より波長の短い可視光を透過する場合窒化アルミニウム単独か窒化アルミニウムの含有量の多い組成の薄膜あるいは窒化ガリウム単独か窒化ガリウムの含有量の多い組成の薄膜を用いることが好ましい。このような組成の薄膜を用いることで波長の短い可視光をより低損失で伝送することができるようになる。また、少なくとも波長６５０ｎｍ以上の光に対しては窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのあらゆる組み合わせの組成の薄膜を光導波路として用いることができる。
【０２３１】
本発明において紫外光を伝送するための光導波路としては上記のように窒化ガリウム及び窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を用いることが好ましい。より具体的にいえば紫外光を伝送するための光導波路としてＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０．０≦ｘ≦１．０）の化学式であらわされる組成物を主成分とする薄膜を用いることが好ましい。これらの材料を光導波路として用いることで波長２００ｎｍの紫外線まで伝送することが可能となる。上記窒化ガリウム及び窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により形成された光導波路は紫外光だけでなく波長３８０ｎｍ以上の可視光及び波長８００ｎｍ以上の赤外光も低損失で伝送することができる。より波長の短い紫外光の伝送損失を少なくする上では窒化アルミニウム成分を多く含む薄膜を光導波路として用いることがより好ましい。すなわち上記の化学式において波長３８０ｎｍ以下の光を伝送する上では０．０≦ｘ≦１．０の範囲の組成を有する薄膜を用いることが好ましく波長３８０ｎｍの光を用いたとき伝送損失１０ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路が形成できる。上記組成範囲の薄膜として単結晶を用いることにより伝送損失５ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路が形成できる。該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下のものでは少なくとも３ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路を形成することが可能となる。
また、波長３００ｎｍ以下の光を伝送する上では０．５≦ｘ≦１．０の範囲の組成を有する薄膜を用いることが好ましく波長３００ｎｍの光を用いたとき伝送損失１０ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路が形成できる。上記組成範囲の薄膜として単結晶を用いることにより伝送損失５ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路が形成できる。該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下のものでは少なくとも３ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路を形成することが可能となる。
波長２７０ｎｍ以下の光を伝送する上では０．８≦ｘ≦１．０の範囲の組成を有する薄膜を用いることが好ましく波長２７０ｎｍの光を用いたとき伝送損失１０ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路が形成できる。上記組成範囲の薄膜として単結晶を用いることにより伝送損失５ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路が形成できる。該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下のものでは少なくとも３ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路を形成することが可能となる。
波長２５０ｎｍ以下の光を伝送する上では０．９≦ｘ≦１．０の範囲の組成を有する薄膜を用いることが好ましく波長２５０ｎｍの光を用いたとき伝送損失１０ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路が形成できる。上記組成範囲の薄膜として単結晶を用いることにより伝送損失５ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路が形成できる。該単結晶薄膜のミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が１００秒以下のものでは少なくとも３ｄＢ／ｃｍ以下の光導波路を形成することが可能となる。
また上記０．８≦ｘ≦１．０の範囲の組成を有する単結晶薄膜を用いれば波長３００ｎｍ以上の光の伝送損失１ｄＢ／ｃｍ以下の埋め込み型の三次元光導波路が得ることが可能となる。
【０２３２】
光導波路として従来から使用されているＬｉＮｂＯ３、ＬｉＴａＯ３、ＰＬＺＴ、ＧａＡｓ、ＰｂＭｏＯ４などの材料は紫外光を透過しないので紫外光の伝送ができない。紫外光を透過し伝送可能な材料としてシリカガラス、アルミナ(サファイア)、弗化カルシウムなど多くのものが知られている。しかしながらこれらの材料を薄膜として例えば０．５μｍ以上の厚みで窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成したとき、これらの薄膜には格子不整合あるいは熱膨張率差に起因すると考えられる歪が生じたり極端な場合はクラックが発生したりあるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体とシリカガラス、アルミナ(サファイア)、弗化カルシウムなどの薄膜材料との接合界面で剥離が生じる場合があるので実質上紫外光の伝送には不適当である。本発明においては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム及び窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を用いるためこのような不具合は生じにくい。上記のように本発明により従来のＬｉＮｂＯ３系など従来材料を用いた光導波路では困難であった紫外光が伝送可能な光導波路を有する薄膜基板が提供できる。
その他、紫外光を透過し伝送可能な材料として窒化ガリウム及び窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜をサファイア基板やシリコン基板に光導波路として形成したものがある。しかしこれらの薄膜はたとえ高い結晶性の単結晶薄膜として形成できても基板と該薄膜との間の結晶格子不整合性や熱膨張率の違いによって光導波路中に結晶転位やひずみが生じ易くその結果伝送損失が１０ｄＢ／ｃｍより大きくなり易い。また、シリコン基板に形成した窒化アルミニウム薄膜にはクラックや基板との剥離が生じ易く光導波路として機能することが困難であり、さらに、シリコン基板を用いた場合電気絶縁性が小さくかつ誘電率が高いので直接基板上に電気回路が形成しにくい。
【０２３３】
また、本発明による上記紫外光が伝送可能な光導波路を有する薄膜基板を構成する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体には上記光導波路だけでなくその内部及び／又は表面に電気回路を形成することができるので、本発明による薄膜基板は光導波路と電気回路とを有する紫外光の伝送が可能な光配線基板として用いることができるという特徴がある。
【０２３４】
本発明において光導波路としては窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を光導波路として用いることができる。また、あらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いその上にあらためて形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を光導波路として用いることもでき、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接薄膜を形成したものより伝送損失を低減化し得る場合がある。
上記あらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の上にあらためて形成される薄膜の屈折率は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体にあらかじめ形成されている薄膜の屈折率よりも大きいものであることが伝送損失を低減化する上で望ましい。それは前記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成するよりも良質の薄膜が形成できるという理由以外に、屈折率の小さい材料に屈折率の大きい材料が形成された場合屈折率の大きい材料中を透過する光は屈折率の大きい材料中に閉じ込められその結果光が伝送されるという原理によるものと考えられる。
また上記あらかじめ形成する薄膜の厚みはどのようなものでも用いることができ、例えば０．５ｎｍ〜１０００μｍの範囲のもの、通常は結晶性の高い単結晶薄膜を得られるので薄膜の厚みとして２００μｍ以下のものを用いることが好ましい。また、厚み５０ｎｍ以上とすることでより伝送損失の少ない光導波路を作製することができる。また、あらかじめ形成する薄膜の上からあらためて形成する光導波路として機能する屈折率の大きい薄膜の厚みは０．１μｍ〜１０００μｍの範囲のもの、通常は結晶性の高い単結晶薄膜を得られるので薄膜の厚みとして２００μｍ以下のものを用いることがは好ましい。屈折率の小さい薄膜と屈折率の大きい薄膜とを組み合わせて屈折率の大きい薄膜を光導波路として機能させる場合該光導波路の厚みは０．１μｍ以上あれば十分機能し得る。
本発明においては屈折率の小さい薄膜と光導波路となる屈折率の大きい薄膜のあらゆる組み合わせが可能である。すなわち、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のすべての組成において、あるいは単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶などすべての結晶状態において上記組み合わせが可能である。該屈折率の小さい薄膜は通常従来から用いられている光導波路におけるクラッド層としての役割を担い得る。
本発明において上記のように屈折率の小さい薄膜は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体と光導波路として用いる屈折率の大きい薄膜との間に形成されるものだけではなく、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成された光導波路として用いられる屈折率の大きい薄膜の上に形成された状態のものも用いることができ、屈折率の小さい薄膜が上記のような形成状態であっても通常従来から用いられている光導波路におけるクラッド層としての役割を担い得る。
【０２３５】
屈折率の小さい薄膜に光導波路となる屈折率の大きい薄膜とを組み合わせて形成した薄膜基板について具体的な例を示せば、１）窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分としガリウム、インジウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分をより多く含む薄膜とを組み合わせたものがある。また、２）窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分としさらにニオブ、タンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含む薄膜とを組み合わせたもの、などの例がある。
上記具体例が示されたことの背景は以下２点の知見が得られたことに基づく。すなわち、１）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜においてガリウム、インジウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を多く含むにしたがって薄膜の屈折率は上昇することが確認されことによる。具体的にいえば、元々の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に対して窒化ガリウム及び窒化インジウムのうちから選ばれた少なくともいずれか一種以上の成分の増加量が主成分に対して２０モル％以下の場合屈折率の上昇は２×１０−１以下である。また、元々の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に対して窒化ガリウム及び窒化インジウムのうちから選ばれた少なくともいずれか一種以上の成分の増加量が主成分に対して０．０１モル％程度であっても屈折率の上昇が少なくとも１×１０−５以上認められる。２）窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分としさらにニオブ、タンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含む薄膜はニオブあるいはタンタルを含まない窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に比べて屈折率が上昇することが見出されたことによる。具体的にいえば、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜においてニオブ及びタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が主成分に対して窒化物換算で２０モル％以下のものでは屈折率の上昇は２×１０−１以下である。また、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜においてニオブ及びタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量が主成分に対して窒化物換算で０．０１モル％程度であっても屈折率の上昇が１×１０−５以上認められる。
ニオブあるいはタンタルを含むことの効果はおそらくニオブあるいはタンタルが窒化ガリウムあるいは窒化インジウムあるいは窒化アルミニウムあるいはこれら成分を複数有する化合物へ固溶し易い性質を持つことが主原因であろうと本願発明者は推測している。すなわちニオブあるいはタンタルは窒化ニオブあるいは窒化タンタルとして窒化ガリウムあるいは窒化インジウムあるいは窒化アルミニウムあるいはこれら成分を複数有する化合物の結晶へ固溶するものと推測される。窒化ニオブあるいは窒化タンタルは窒化ガリウムあるいは窒化インジウムあるいは窒化アルミニウムあるいはこれら成分を複数有する化合物と同じ六方晶系の結晶構造を有するため固溶が実現され易いと思われる。異なる材料として単に物理的に混合されているのではなく異なる成分であっても同じ結晶構造のもの同士が結晶内部で原子レベルで溶け合っているため屈折率の上昇が達成されるものと推測される。
本発明において上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分としさらにニオブあるいはタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含む薄膜は可視光及び赤外光を伝送できるだけでなく波長２００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲の紫外領域の光を伝送できるので少なくとも波長２００ｎｍ〜７０００ｎｍの範囲の光を伝送する光導波路としても使用することができる。
なお、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜はニオブ単独あるいはタンタル単独あるいはニオブ及びタンタルの両方の成分を同時に含むものを得ることができる。また、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のニオブ及びタンタルのうちから選ばれる少なくとも１種以上の成分の含有量は主成分に対して窒化物換算で２０モル％以下であることが好ましい。すなわち、ニオブ成分及びタンタル成分は薄膜中でそれぞれ窒化ニオブ（ＮｂＮ）、窒化タンタル（ＴａＮ）として存在しているものとみなして、主成分の含有量をｍ（ＡｌｘＧａｙＩｎ１−ｘ−ｙＮ：０．０≦ｘ≦１．０、０．０≦ｙ≦１．０かつ０．０≦ｘ＋ｙ≦１．０）の組成式で表わしたとき含有されるニオブ成分あるいはタンタル成分の含有量は（１−ｍ）（ＮｂｕＴａ１−ｕＮ）の組成式で示され、薄膜中のニオブ及びタンタルの含有量は０．８≦ｍ≦１．０かつ０．０≦ｕ≦１．０の範囲であることが好ましい。薄膜中のニオブ及びタンタルのうちから選ばれる少なくとも１種以上の成分の含有量が窒化物換算で２０モル％より多ければ該薄膜を光導波路として使用したとき伝送損失が増大化し易くなるためである。また窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜へのニオブ及びタンタルが含有されることの効果は主成分に対して窒化物換算で０．０１モル％程度の量であっても主成分の屈折率を少なくとも１×１０−５以上上昇させ該薄膜を光導波路として機能せしめ得る。
なお、薄膜の屈折率の測定は通常のエリプソメーターなどを用いた偏光解析法、繰り返し干渉顕微鏡法、プリズムカップラー方式、あるいはその他分光光度計（Ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）などの光学機器を用いて容易に行うことができる。このような屈折率の測定精度は１×１０−５の桁まで可能で少なくとも２×１０−５の精度で測定できる。
【０２３６】
上記のように本発明において窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜だけでなく、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜にニオブ及びタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含む薄膜も光導波路として用いることができる。
上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜にニオブ及びタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含む薄膜は該薄膜より屈折率の小さい薄膜と組み合わせた光導波路としてだけでなく、例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成するなど該薄膜単独でも光導波路として用いることができる。
【０２３７】
本発明において上記屈折率の小さい薄膜に光導波路となる屈折率の大きい薄膜を形成した薄膜基板、あるいは光導波路となる屈折率の大きい薄膜に屈折率の小さい薄膜を形成した薄膜基板は、前記ＣＶＤ、ＭＯＣＶＤ、ＭＢＥ、スパッタなどの定法により屈折率の小さい薄膜に屈折率の大きい薄膜、あるいは屈折率の大きい薄膜に屈折率の小さい薄膜を順次積層されたものを用いることができる。このような方法により例えば図２１、図２２、図２３、図２４、図２５、図２６、図３４に例示される光導波路を作製することができる。また、屈折率の小さい薄膜中に溝や窪みを形成しておき屈折率の大きい薄膜を順次埋め込んでいくという方法も用いることができ、このような方法によって図２７、図２８、図２９、図３０、図３１、図３２、図３３、図３５に例示される光導波路を作製することができる。
また、上記屈折率の小さい薄膜に光導波路となる屈折率の大きい薄膜を形成した薄膜基板として上記のように積層法により薄膜を順次形成していくという以外にも、例えば熱拡散法あるいはイオン注入法などを用いて窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の特に深さ方向に例えばガリウム、インジウム、ニオブ、タンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有せしめることで該ガリウム、インジウム、ニオブ、タンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分が含有された薄膜部分の屈折率を上昇させる方法によっても形成することができる。
熱拡散法としては、例えば窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に窒化ガリウム、金属ガリウム、酸化ガリウムなどのガリウム成分、あるいは窒化インジウム、金属インジウム、酸化インジウムなどのインジウム成分、あるいは窒化ニオブ、金属ニオブ、酸化ニオブなどのニオブ成分、あるいは窒化タンタル、金属タンタル、酸化タンタルなどのタンタル成分を含有する材料をあらたに形成し例えば窒素などの非酸化性雰囲気中要すれば８００℃以上の高温で加熱処理することにより該ガリウム、インジウム、ニオブ、タンタル成分を窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜中に拡散させる、などの方法がある。その結果元々の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜よりもガリウムあるいはインジウムの含有量の多い部分が薄膜の深さ方向及び幅方向に形成され屈折率が上昇し光導波路として機能するようになる。また、ニオブあるいはタンタル成分をあらたに含む窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成され屈折率が上昇し光導波路として機能するようになる。上記熱拡散法によれば屈折率の上昇は加熱温度あるいは加熱時間にもよるが２×１０−１以下であり通常１×１０−５〜２×１０−１の範囲にあるので元々の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に対して窒化ガリウム及び窒化インジウムのうちから選ばれた少なくともいずれか一種以上の成分の増加量は主成分に対して２０モル％以下であると思われる。また上記窒化ガリウムあるいは窒化インジウム成分の増加量は主成分に対して１モル％以下のものであっても屈折率の上昇は通常１×１０−５〜１×１０−２の範囲にあり十分光導波路として機能する。さらに、上記熱拡散法によればニオブ及びタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上を含む窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜の屈折率差は加熱温度あるいは加熱時間にもよるが２×１０−１以下であり通常１×１０−５〜２×１０−１の範囲にあるのでニオブ及びタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分の含有量は主成分に対して２０モル％以下であると思われる。ニオブあるいはタンタルの含有量は伝送損失を低減化する上では主成分に対して１０モル％以下であることが好ましい。また上記ニオブあるいはタンタル含有量は主成分に対して１モル％以下のものであっても屈折率の上昇は通常１×１０−５〜１×１０−２の範囲にあり十分光導波路として機能する。
イオン注入法としては、例えばイオン源に塩化ガリウム、臭化ガリウム、水素化ガリウムなどのガリウム成分、あるいは塩化インジウム、臭化インジウム、水素化インジウムなどのインジウム成分、あるいは塩化ニオブ、臭化ニオブ、水素化ニオブなどのニオブ成分、あるいは塩化タンタル、臭化タンタル、水素化タンタルなどのタンタル成分を用い放電などを用いて上記成分をイオン化し質量分析器などで不要イオンを取り除いた後加速器でガリウム、インジウム、ニオブ、タンタルイオンを加速して窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に打ち込みその後打ち込んだイオンが均一になるよう例えば窒素などの非酸化性雰囲気中要すれば５００℃以上の温度で加熱処理し該薄膜にガリウムあるいはインジウムが多く含まれる部分やニオブあるいはタンタルを新たに含有する部分を形成する、といった方法などがある。その結果元々の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜よりもガリウムあるいはインジウムの含有量の多い部分が薄膜の深さ方向及び幅方向に形成され屈折率が上昇し光導波路として機能するようになる。また、ニオブあるいはタンタル成分をあらたに含む窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が形成され屈折率が上昇し光導波路として機能するようになる。
上記熱拡散法あるいはイオン注入法により光導波路を形成する場合窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成された元々の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は光導波路より屈折率が小さくなるので該薄膜は必然的に光導波路で伝送される光を閉じ込めるためのクラッド層として機能する。
熱拡散法あるいはイオン注入法は光リソグラフィーなど加工法を用いて微細な光導波路が形成できるので従来から広く用いられている埋め込み型の光導波路を形成する場合など有効である。なお、埋め込み型の光導波路の例として本発明においては後述する図３０、図３１、図３２、図３３、図３５を例示してある。
上記本発明において熱拡散法あるいはイオン注入法により光導波路を形成する場合屈折率を向上させる成分が導入される部分の大きさは任意のものが作製できるが、通常上記埋め込み型の光導波路の場合幅として０．５μｍ以上あれば十分光導波路として機能する。通常光導波路の幅は１μｍ以上で形成される。通常光導波路の幅は１μｍ〜５００μｍの範囲のものが用いられる。また拡散深さあるいは注入深さは任意のものが作製できるが、０．１μｍ以上あれば十分伝送損失の小さい光導波路として機能し得る。また拡散深さあるいは注入深さは０．３μｍ以上あれば伝送損失のより小さい光導波路として機能し得る。通常拡散深さあるいは注入深さは０．５μｍ以上のものが用いられる。
また、上記熱拡散法あるいはイオン注入法により光導波路を形成する場合特に熱拡散法においてあらかじめ薄膜上に屈折率を向上させる成分が形成された部分は熱拡散後に該屈折率向上成分が導入された部分の幅が熱拡散前と比べて広がり易いがこのような状態であっても問題なく光導波路として機能し得る。
【０２３８】
なお、上記光導波路のような幅の細い薄膜の屈折率測定において通常の光学的方法を用いる場合被測定部分へ照射する光ビームを光学レンズなどで絞り込むため屈折率の精度が１×１０−１〜１×１０−２程度の桁まで低下し易いのでこのような幅の細い部分では直接測定せず、同じ方法で同じ組成になるよう薄膜を広い面状に別の部分に形成し該薄膜の屈折率を測定することで幅の細い薄膜の屈折率と見なす場合が多い。被測定部分へ照射する光ビームの径は通常５００μｍ以上のものが用いられるがこのような光ビームを光学レンズなどを用いて最小で光の波長例えば６５０ｎｍ程度に絞り込み、例えば幅６５０ｎｍあるいはそれ以上の幅を有する薄膜部分に照射して屈折率を測定することは可能であるが、その結果屈折率の測定精度が本来の１×１０−５の桁から１×１０−１〜１×１０−２程度の桁まで大きく低下し易い。より具体的に言えば、例えば上記順次積層法、拡散法あるいはイオン注入法などを用いて幅１０μｍの細い薄膜を光導波路として形成する場合、この光導波路を形成する部分の薄膜の屈折率は直接測定せず、同じ組成になるように別の部分に広い面積（例えば０．５ｍｍ×２ｍｍあるいはそれ以上）で形成した薄膜の屈折率を測定し、該薄膜の屈折率をもって幅１０μｍの光導波路の屈折率と見なす、ということである。本発明においても幅の細い薄膜で構成された光導波路の屈折率はこのような方法で測定された。
【０２３９】
本発明においてニオブ及びタンタルを含有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする材料の屈折率の増加及び光導波路としての光伝送性は上記薄膜以外でも確かめられた。すなわち、薄膜ではない窒化ガリウム及び窒化アルミニウムの各バルク状単結晶を用いて熱拡散法によりニオブ及びタンタルを含有せしめたところ屈折率の上昇及び光伝送性が認められる。上記熱拡散法により窒化ガリウムのバルク状単結晶にインジウム、ニオブ及びタンタルを含有せしめることで形成した光導波路において屈折率が可視光領域において少なくとも１×１０−５以上上昇し、該窒化ガリウムを主成分とするバルク単結晶には少なくとも波長３８０ｎｍ以上の光が伝送損失３ｄＢ／ｃｍ以下で伝送可能な光導波路が形成し得る。また上記熱拡散法により窒化アルミニウムのバルク状単結晶にガリウム、インジウム、ニオブ及びタンタルを含有せしめることで形成した光導波路において屈折率が可視光領域において少なくとも１×１０−５以上上昇し、該窒化アルミニウムを主成分とするバルク単結晶には少なくとも波長２５０ｎｍ以上の光が伝送損失３ｄＢ／ｃｍ以下で伝送可能な光導波路が形成し得る。さらに該窒化アルミニウムを主成分とするバルク単結晶には少なくとも波長２２０ｎｍ以上の光が伝送損失１０ｄＢ／ｃｍ以下で伝送可能な光導波路が形成し得る。
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を光導波路として用いたとき、上記バルク単結晶を用いて作製した光導波路と比べて少なくとも同等あるいはそれ以下の低い伝送損失のものが作製し得る。
【０２４０】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を光導波路として用いることができる。このことは薄膜の屈折率が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体より高いものであることを示唆している。元々窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムの各成分の中で窒化アルミニウムが最も屈折率が小さいことが大きな要因であると思われるが、その他にも十分緻密化された窒化アルミニウムを主成分とする焼結体において該焼結体を構成する窒化アルミニウム粒子は十分結晶化が進行し単結晶に近い状態になっているものと考えられるが窒化アルミニウム粒子中への不純物固溶や焼結体としての粒界や粒界相の影響で単結晶の屈折率よりも小さくなるためであろうと推測される。そのため窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成された薄膜であってもその中で全反射が生じ易くなるものと思われる。窒化アルミニウム結晶は光軸すなわち結晶Ｃ軸に垂直な方向が常光の方向となりＣ軸に平行な方向が異常光の方向となる光学的異方体で常光と異常光とで屈折率が異なり異常光の屈折率のほうが可視光領域においては０．０５程度大きい。一方窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は多結晶体であるので該焼結体を構成する窒化アルミニウム結晶粒子はあらゆる方向を向いているのでこのような結晶の方向性は実質的になく結晶としての光学的な性質は平均化されたものになっていると思われる。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は焼成により作製されるので焼結体を構成する窒化アルミニウム粒子中への微量な陽イオン不純物あるいは炭素や酸素など不純物固溶があると思われる。さらに、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は上記のように多結晶体であるので粒界や粒界相が存在するためその部分への不純物凝縮や析出が考えられる。以上のような焼結体としての特徴の結果屈折率は単結晶より低下ししたがって窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が光導波路として十分機能できるものと本願発明者は考えている。
通常窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に直接形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜であっても単結晶として形成されたものの屈折率は２．０以上であり十分光導波路として機能する。光導波路として用いる窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜、その中でも窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜の結晶性を向上させるために窒化アルミニウムを主成分とする焼結体との間に中間層として同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を用いる場合該中間層薄膜の屈折率は２．０より小さいものを用いることが好ましい。この場合該中間層薄膜は光導波路を機能させるためのクラッド層としての役割を果たすものと思われる。
【０２４１】
本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる光導波路が形成された薄膜基板に電極を設けることで該薄膜基板を光変調器、光位相変換器、波長フィルター、光スイッチなどの光伝送用基板あるいは音響光学デバイスとして使用することができる。それが可能となるのは窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に対して電位を印加することで該薄膜の屈折率を変化させることができるためであろうと思われる。また、形成されている窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜は単結晶を用いることが好ましい。その理由は伝送損失が低減化でき易いというほかに、該薄膜が単結晶であれば光軸(すなわち結晶のＣ軸)に対する電位の方向を制御できその結果屈折率の変化量を制御し易くなるためである。窒化アルミニウム結晶、窒化ガリウム結晶、窒化インジウム結晶、あるいはこれら窒化物同士の混晶は光軸すなわち結晶Ｃ軸に垂直な方向が常光の方向となりＣ軸に平行な方向が異常光の方向となる光学的異方体で常光と異常光とで屈折率が異なり異常光のほうが大きい。薄膜が単結晶であれば電位の印加方向をＣ軸に平行にしたりあるいはＣ軸に垂直にすることで屈折率の変化を制御でき易くなる。さらに本発明において窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を形成した薄膜基板を提供できるが、該単結晶薄膜の結晶軸形成方向は基板面に対してＣ軸が垂直な方向あるいは水平の方向のいずれも作製可能であり、多様な屈折率制御がさらに可能となる。
光導波路を形成する薄膜に上記のような単結晶を用いる効果は例えば後述（例えば図３０、図３１、図３２、図３３、図３５）の埋め込み型光導波路を有する薄膜基板において大きい。本発明において上記のように電極を設け電位を印加することで該薄膜の屈折率が変化し易いという性質を利用して光変調器、光位相変換器、波長フィルター、光スイッチ、などを作製することができる。
【０２４２】
上記のように本発明の特徴は従来からのサファイア基板などでなく、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜による光導波路が形成できるという点にある。例えば紫外光を低伝送損失で伝送できるといった上記のような光導波路としての特性が得られるのは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体と窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との高い接合性が得られることが主因の一つと思われる。その結果ひずみや欠陥が少ない薄膜が容易に形成し易くなる。また、上記のような光導波路としての特性が得られるのは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるということも主因の１つであると思われる。
上記のように本発明によって窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜による光導波路が形成された薄膜基板を提供できる。本発明による光導波路は従来から知れられているどのような構造の二次元導波路及び三次元光導波路のものであっても作製することができる。
また、本発明による薄膜基板にさらに電気回路を形成することで該薄膜基板を少なくとも光導波路及び電気回路を有する光配線基板として用いることができる。上記電気回路を形成するための材料として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体及び窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接合性に優れるため本発明による薄膜導電性材料を用いることが好ましい。その他上記電気回路を形成するための材料として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体との同時焼成により形成されるタングステン、モリブデン、銅を主成分とするもの、あるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に対して厚膜焼付け法により形成される金、銀、銅、白金、パラジウム、タングステン、モリブデン、マンガン、ニッケルなどを主成分とする材料、あるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に対して導電性ペーストとして樹脂成分を用いた接着法による金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケルなどを主成分とする材料、などを用いることができる。
【０２４３】
以下本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜による光導波路が形成された薄膜基板について以下図を例示して説明する。
【０２４４】
図２１〜図２３は二次元光導波路が形成された薄膜基板を示す例である。
図２１は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により二次元光導波路５０が形成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。
図２２は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により二次元光導波路５０が形成され該二次元光導波路の上にクラッド層７０が形成された薄膜基板の１例を示す斜視図である。図２２において、クラッド層は光導波路を形成している窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜より屈折率の小さい材料であれば、例えばＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、各種ガラスなど、どのようなものでも用いることができるが同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする材料を用いることが接合性などの点から好ましい。また、図２２において、クラッド層は空気を用いることができその場合図２２に示される薄膜基板は図２１に示された薄膜基板と同等のものとなる。
図２３は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４にクラッド層７０が形成されその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により二次元光導波路５０が形成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。図２３において、クラッド層は光導波路を形成している窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜より屈折率の小さい材料であれば、例えばＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、各種ガラスなど、どのようなものでも用いることができるが同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする材料を用いることが接合性などの点から好ましい。
図２１〜図２３において、平板状に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜に光が導入されたとき導入光は基板の垂直方向に閉じ込められ、該薄膜は二次元光導波路として機能する。
【０２４５】
図２４〜図３０は三次元光導波路が形成された薄膜基板を示す例である。
図２４は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により三次元光導波路６０が形成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。図２４において三次元光導波路６０の周囲は空気である。
図２５は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４にクラッド層７０が形成されその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により三次元光導波路６０が形成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。図２５において、クラッド層は光導波路を形成している窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜より屈折率の小さい材料であれば、例えばＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、各種ガラスなど、どのようなものでも用いることができるが同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする材料を用いることが接合性などの点から好ましい。
図２６は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするリッジ（山の背）状に形成された薄膜により三次元光導波路６１が形成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。図２６には図示されていないが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４とリッジ状の三次元光導波路６１との間に該光導波路より屈折率の小さい材料、例えば同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするものを用いることが光伝送損失を低減化する上で好ましい。
図２７は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする平板状の薄膜を形成することで二次元光導波路５０を作製し該二次元光導波路にＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、各種ガラスなどの誘電体材料４０を形成し該誘電体材料が形成された部分の二次元光導波路の屈折率を上昇させることで三次元光導波路６２とせしめた薄膜基板の１例を示す斜視図である。図２７には図示されていないが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４と二次元光導波路５０及び三次元光導波路６２との間に該光導波路より屈折率の小さい材料、例えば同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするものを用いることが光伝送損失を低減化する上で好ましい。
図２８は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする平板状の薄膜を形成することで二次元光導波路５０を作製し該二次元光導波路に金属材料１００を直接形成し該金属材料が形成された部分の二次元光導波路の屈折率を低化させることで相対的に該金属の形成されていない部分の屈折率を高め三次元光導波路６３とせしめた薄膜基板の１例を示す斜視図である。図２８には図示されていないが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４と二次元光導波路５０及び三次元光導波路６３との間に該光導波路より屈折率の小さい材料、例えば同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするものを用いることが光伝送損失を低減化する上で好ましい。
図２９は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする平板状の薄膜を形成することで二次元光導波路５０を作製しさらに例えばＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、各種ガラスなど窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜より屈折率の小さい材料によりバッファ層１１０を形成しその上に電極９０及び９１を形成し該電極間に電位を印加して高い電位が印加されている電極９１の部分の二次元光導波路の屈折率を上昇させることで三次元光導波路６４を形成せしめた薄膜基板の１例を示す斜視図である。図２９には図示されていないが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４と二次元光導波路５０及び三次元光導波路６４との間に該光導波路より屈折率の小さい材料、例えば同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするものを用いることが光伝送損失を低減化する上で好ましい。
図３０は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に形成された窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０に埋め込み型の三次元光導波路６５が形成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。図３０において三次元光導波路６５は該導波路より屈折率の小さい薄膜８０の内部に埋め込まれ基板表面においてその一部が空気に接することで埋め込み型の三次元光導波路として機能する。図３０において光導波路６５は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０に溝加工しこの溝に薄膜８０より屈折率の大きい窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成することにより得られる。また、図３０において埋め込み型の光導波路６５は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０にガリウム、インジウム、ニオブ及びタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有せしめることにより薄膜８０より屈折率の大きい部分を薄膜８０の内部に形成することでも作製することができる。この屈折率が大きくなった部分を光導波路６５として用いる。窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０にガリウム、インジウム、ニオブ及びタンタルのうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を含有せしめる方法として前記熱拡散及びイオン注入などの方法を用いることができる。すなわち窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０にレジストを塗布し光リソグラフィーにより光導波路６５の幅の大きさだけレジストを取り除いて該薄膜表面に達する空間を形成する。熱拡散法では例えば上記リフトオフ法を用いて光導波路を形成できる。すなわち、光リソグラフィーにより光導波路６５の幅の大きさだけレジストを取り除いて該薄膜表面に達する空間を形成し該空間からガリウムあるいはインジウムあるいはニオブあるいはタンタル成分を含む薄膜をスパッタや真空蒸着あるいはＣＶＤなどの方法で形成し、その後レジストを取り除けば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０表面には光導波路６５の幅だけガリウムあるいはインジウムあるいはニオブあるいはタンタル成分を含む薄膜が残りその状態で高温加熱処理すればガリウムあるいはインジウムあるいはニオブあるいはタンタル成分が窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０中に拡散し光導波路６５が該薄膜８０に埋め込まれた形態で形成される。イオン注入法では例えば上記の方法により形成されたレジストに形成された空間からガリウムあるいはインジウムあるいはニオブあるいはタンタル成分を含むイオンを打ち込み適宜熱処理を行って光導波路６５が該薄膜８０に埋め込まれた形態で形成される。
なお、図３０には図示されていないが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４と薄膜８０との間に同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜をさらに形成することで光伝送損失が低減化され易くなり好ましい。
【０２４６】
図３１〜図３３は光導波路を有する薄膜基板に電極が形成された例を示している。なお、図３１〜図３３において光導波路としては図３０で例示した埋め込み型のものを用いて記載されている。本発明において上記のように電極を設け電位を印加することで該薄膜の屈折率が変化し易いという性質を利用して光変調器、光スイッチなどを作製することができる。図３１〜図３３に例示された電極が形成された光導波路を有する薄膜基板はこのような機能を有する薄膜基板の例として示されている。埋め込み型光導波路を有する薄膜基板において、ガリウムあるいはインジウムの含有量の多い光導波路の領域もしくはニオブあるいはタンタル成分を含む光導波路の領域では上記電位の印加によりさらに大きな屈折率変化得られ易い。
図３１は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０に埋め込み型の三次元光導波路６５が形成されさらに電極１２０が光導波路６５を挟むように薄膜８０の表面に形成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。図３１に示された薄膜基板は電極に電位を印加することで屈折率を変化させて光位相の変調、光波長の変調、光振幅の変調などができ光位相変調器などに使用し得る。
図３２は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０に埋め込み型の三次元光導波路６５が形成されさらに電極１２０が薄膜８０及び光導波路６５に形成されている薄膜基板の例を示す斜視図である。図３２に示された薄膜基板は電極に電位を印加することで屈折率を変化させて光位相の変調、光波長の変調、光振幅の変調などができ光位相変調器などに使用し得る。
図３３は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０に埋め込み型の三次元光導波路６５が形成されさらに電極１２０が光導波路６５に形成されている薄膜基板の例を示す斜視図である。図３３に示された薄膜基板は電極に電位を印加することで屈折率を変化させて光位相の変調、光波長の変調、光振幅の変調などができ光位相変調器、伝送路切換などの光スイッチなどに使用し得る。
なお、図３１〜図３３において電極１２０としてはどのような材料でも用い得るが窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との接合信頼性が高いなど本発明による前記の薄膜導電性材料を用いることが好ましい。また図３１〜図３３には示されていないが薄膜８０と電極１２０との間、及び光導波路６５と電極１２０との間に例えばＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、各種ガラスなど薄膜８０及び光導波路６５より屈折率の小さい材料によりバッファ層を形成することが伝送損失を低減化する上では好ましい。
また、図３１〜図３３には図示されていないが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４と薄膜８０との間に同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜をさらに形成することで光伝送損失が低減化され易くなり好ましい。
【０２４７】
図３４及び図３５は本発明による光導波路を有する薄膜基板にさらに電気回路が同時に形成された薄膜基板の例を示したものである。図３４及び図３５に例示した薄膜基板は電気及び光の両方が伝送可能な光配線基板として用いることができる。
図３４は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜などからなるクラッド層７１が形成されその上に三次元導波路６０が形成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。さらに窒化アルミニウムを主成分とする焼結体１４部分には電気回路１２が同時に形成されている。なお、クラッド層の屈折率は光導波路の屈折率より小さいものであることが光の伝送損失を低減化する上で好ましい。
図３５は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜８０に埋め込み型の三次元光導波路６５が形成されている薄膜基板の１例を示す斜視図である。さらに該薄膜８０の一部には電気回路１２が同時に形成されている。図３５には図示されていないが窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板１４と薄膜８０との間に同質の窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜をさらに形成することで光伝送損失が低減化され易くなり好ましい。
【０２４８】
なお、光導波路には通常該光導波路の外部側面から光が導入され他の外部側面から放出される。図３０には推測される光導波路内への導入光の進行状況が点線及び矢印で示されている。すなわち、図３０に示す光導波路６５の側面６５’の部分から該光導波路と薄膜層８０との界面に対して水平方向に光６６が導入され、光導波路内では点線で示すように該光導波路に沿って進行し反対側の側面から光６６’として放出されるものと思われる。
図３０に示した光導波路のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜内に作製した光導波路だけでなく、該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を直接形成することにより作製した光導波路であっても伝送損失は少ない。その原因は導入される光の方向が光導波路と基板との間の界面に対して水平方向な方向であるため、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いても該焼結体と上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜との界面において該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体による導入光の透過、及び該焼結体中の結晶粒子や粒界あるいは添加物などによる粒界相による光の吸収や散乱が生じにくいことも伝送損失が小さい原因であろうと思われる。
このような光導波路内に導入された光の挙動は図３０に例示する本発明による三次元光導波路だけでなく二次元光導波路においても同様であると思われる。
【０２４９】
本発明による光導波路の大きさはどのようなものでも用いることができ、幅として０．５μｍ以上、深さ（あるいは厚み）は０．１μｍ以上であれば十分機能する。図２４〜図３５に例示した本発明による三次元導波路において通常幅１μｍ以上、深さ（あるいは厚み）は０．３μｍ以上であれば十分機能する。
【０２５０】
本発明により窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板、あるいは該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を形成した薄膜基板、を用いることで発光効率に優れた発光素子が作製し得る。このような基板上へ形成される発光素子は通常トリメチルガリウム、トリメチルインジウム、トリメチルアルミニウムなどの有機金属化合物や塩化ガリウム、塩化インジウム、塩化アルミニウムなどのハロゲン化物とアンモニアなどの窒素含有化合物とを主な原料として、その他にＳｉＨ４などのシラン化合物やジメチルマグネシウムやビス−シクロペンタジエニルマグネシウムなどの有機金属化合物をドーピング元素用の原料として前記ＭＯＣＶＤ法、ＭＯＶＰＥ法、ハイドライドＶＰＥ法、クロライドＶＰＥ法を含むハライドＶＰＥ法、プラズマＣＶＤ法、その他のＣＶＤ（化学気相分解成長）法、ＭＢＥ（分子線エピタキシー）法、あるいはあらかじめ形成した目的成分を含む固体材料を原料としエキシマレーザーなどを用いたレーザーアブレーション法、ＰＬＤ（パルスレーザーデポジション：パルスレーザー分解）法、あるいはスパッタリング法、イオンプレーティング法、蒸着法などによって目的とする化学成分の少なくとも一部を含有する化合物や単体を化学的物理的に分解しあるいは分解せずそのままの状態で気体、イオンあるいは分子線とし適宜前記以外の化合物と反応させあるいは反応させずいったん目的とする化学成分を含む成分を気相とした後目的とする組成の薄膜をエピタキシャル成長させることで製造される。発光素子の構成は通常基板上に上記に例示した原料から窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した各種組成の薄膜を用い、それぞれ０．５ｎｍ〜数μｍ程度の厚みで少なくともＮ型半導体層及び量子井戸構造などからなる発光層及びＰ型半導体層を積層して発光機能を発現させたものである。上記Ｎ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層は発光層の発光を発現させるための基本的構成要素である。本発明は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体あるいは該焼結体を基板状としその上に少なくとも上記のＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を積層して積層体となし発光素子を構成したことに特徴がある。上記Ｎ型半導体層は通常主成分以外にＳｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｏなどのドナー形成ドーピング剤を含む。また、Ｐ型半導体層は通常主成分以外にＭｇ、Ｂｅ、Ｃａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃなどのアクセプター形成ドーピング剤を含む。発光素子の基本的構成要素である上記Ｎ型半導体層、発光層、及びＰ型半導体層は通常エピタキシャル成長した単結晶薄膜が用いられるが、該単結晶以外に適宜無定形、多結晶、配向性多結晶など各種結晶状態のものも用い得る。その他、発光素子の構成要素として上記Ｎ型半導体層、発光層、及びＰ型半導体層以外に基板と該Ｎ型半導体層、あるいはＰ型半導体層との間の緩衝層（バッファ層）も適宜必要に応じて用いられる。該バッファ層は通常窒化ガリウム、窒化インジウ���、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜により形成される。該バッファ層を構成する薄膜は無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態のものが用い得るが、通常は無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれる少なくともいずれかの結晶状態のものが用いられる。また、エピタキシャル成長した単結晶のものも用いることができる。このようような発光素子に数ｍＷ〜数Ｗ程度の直流電力を注入することで緑青色、あるいは青色、あるいは青紫色、あるいは紫外線、あるいは例えばＹＡＧ（イットリウムアルミニウムガーネット）を主成分とする蛍光体などを併用して白色などの発光（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）や、あるいはレーザー発振による光が得られる。上記発光素子を作製するに際して無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜形成は通常４００℃〜１３００℃程度の基板温度で行われる。あるいは適宜室温〜４００℃の比較的低温の基板温度で行われる。基板温度を低温で行うことは基板に形成する薄膜の結晶成長を抑制し結晶方位を制御するときなどに有効な場合がある。なお、ＭｇなどのＰ型半導体を形成するためのドーピング元素は単結晶薄膜形成後に水素をできるだけ含まない窒素などの非酸化性雰囲気中４００℃以上でアニーリングを行うことがより低抵抗のＰ型単結晶薄膜を形成する上で好ましい。本発明は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上に直接形成される窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜がＰ型半導体層、あるいはＮ型半導体層、あるいは量子井戸構造を有する発光層、として発光素子を構成する層の一部として形成されているものも含まれる。また、本発明は窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板上に直接形成される上記窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶など各種結晶状態の薄膜を用いた発光素子も含まれる。
なお、通常発光効率を高めるために発光素子を構成する少なくともＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、の各薄膜層はエピタキシャル成長した窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性の高い単結晶薄膜であることが好ましい。本発明においてこの発光素子を構成する単結晶薄膜の結晶性をより高めるために該単結晶薄膜を形成する前にあらかじめ窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を形成することが好ましいが、この窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する薄膜は単結晶に限らず無定形、多結晶、配向性多結晶など、どのような結晶状態のものであっても用いることができる。
また、上記Ｎ型半導体層は単一層だけでなく電極と接続するためのコンタクト層及び発光層と接続するクラッド層など少なくとも２層以上の薄膜層から構成されるものも好適に使用される。また上記Ｎ型半導体層を構成するコンタクト層及びクラッド層は単一層だけでなくそれぞれ少なくとも２層以上の薄膜層から構成されるものも好適に使用される。発光層はヘテロ構造やダブルへテロ構造、あるいは単一量子井戸構造などのように単一層だけでなく、例えば多重量子井戸構造のように少なくとも２層以上の薄膜層から構成されるのものも好適に使用される。またＰ型半導体層は単一層だけでなく電極と接続するためのコンタクト層及び発光層と接続するクラッド層など少なくとも２層以上の薄膜層から構成されるものも好適に使用される。上記Ｐ型半導体層を構成するコンタクト層及びクラッド層は単一層だけでなくそれぞれ少なくとも２層以上の薄膜層から構成されるものも好適に使用される。
また、基板上に発光素子を形成していく場合、基板に直ちにコンタクト層を形成せず基板とコンタクト層との間に通常窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなる緩衝層（バッファ層）を形成しその後Ｎ型半導体特性あるいはＰ型半導体特性を有するコンタクト層を形成することが好ましい。該バッファ層を形成する薄膜は上記のように窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶などのうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態のものが用い得るが通常無定形、多結晶、配向性多結晶などの結晶状態のものが用いられる。また、エピタキシャル成長した結晶性の高い単結晶薄膜であっても用いることができる。また、該バッファ層はドーピング元素を含まない状態でも用い得るしドーピング元素を含有せしめてＮ型半導体特性あるいはＰ型半導体特性を有する状態でも好適に用い得る。
【０２５１】
本発明による発光素子の特徴はその基板に窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いた点にある。さらに詳しく言えば、本発明による発光素子を作製するための基板として、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体をそのまま基板として用いたものと、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板としてその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶などのうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態の薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板としたもの、という少なくとも２種類の基板がある。さらに該薄膜基板には、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶などのうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態の薄膜を少なくとも１層以上形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板としたものも含まれる。
【０２５２】
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として使用して作製した発光素子は従来からのサファイアなどの単結晶基板を使用して作製された発光素子の発光効率が通常２％〜８％程度であるのに対して少なくとも同等あるいは最大４〜５倍以上の発光効率のものが得られる。すなわち本発明による発光素子は入力された電力の最大３０〜４０％以上が発光素子外部へ光エネルギーとして放出し得る。
なお、本発明における発光効率とは前記のように、発光素子を駆動させるために該素子に加えられた電力（電気エネルギー）と実際発光素子によって光に変換され発光素子の外部へ放出された光出力（光エネルギー）との百分率比である。例えば発光効率が４０％ということは、例えば発光層がＧａＮ／ＩｎＮ系の量子井戸構造などで構成される発光素子を用い、該素子に電圧３．６ボルト、電流５００ｍＡを注入して駆動させたとき光出力として７２０ｍＷが得られるということである。
【０２５３】
本発明による窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いて作製される発光素子が高い発光効率を有する原因については必ずしも明確ではないが、素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする高い結晶性の単結晶薄膜が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成できるようになりこのような結晶性に優れた単結晶薄膜を発光素子の少なくともＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として使用できるようになったことが第一番目に重要なことであることは間違いない。しかし、本発明による発光素子がサファイアなどの単結晶基板を用いたものより高い発光効率を有する原因としてはそれだけではなく、基板として用いる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体としての微構造に起因することが大きく寄与していると思われる。
本願発明者が検討したところサファイア基板上にも窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板と同様にミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下の結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できる。従来サファイアなどの基板上に要すればバッファ層をまず形成した後このような結晶性に優れた単結晶薄膜を少なくともＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、の各層が構成されるよう形成することで発光素子が製造されてきた。また、一方本発明において今まで説明してきたように、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にも従来からのサファイアなどの単結晶基板と少なくとも同等あるいはそれ以上に結晶性の優れた窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成でき、該単結晶薄膜は発光素子として機能するよう少なくともそれぞれＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、あるいはバッファ層として形成することができる。本発明において、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を用いて同じ膜構成で発光素子を作製したとき、基板として従来からのサファイアなどを用いた場合と窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いた場合とで比較したとき、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いた場合は従来からのサファイアなどを基板として用いた場合と少なくとも同等かあるいは最大４倍〜５倍以上高い。具体的にいえば、基板として従来からのサファイア及び窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用い、これらの基板に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜で同じ構成のＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、あるいは必要に応じてバッファ層を有する発光素子を作製したとき、発光素子を構成するこれらの薄膜層のうち少なくとも該Ｎ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を構成する薄膜がミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅として例えば同じ１５０秒の結晶性を有する単結晶であったとしても、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いて作製した発光素子の発光効率が従来からのサファイアを基板として用いた場合と比較して少なくとも同等か最大４倍〜５倍以上高い。
したがって、上記のように発光効率の高い発光素子を作製する場合、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に結晶性の優れた単結晶薄膜が形成できるということはまず第一番目に重要な条件ではあっても、それだけでは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いて作製した発光素子の発光効率が従来からのサファイアなどの基板と少なくとも同等かそれよりもさらに高いということにはならないと思われる。やはり、光吸収端が波長２００ｎｍ付近にある、あるいは屈折率が窒化ガリウムに近いなど窒化アルミニウムという物質が元来有する特性とともに、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は窒化アルミニウムを主成分とする結晶粒子あるいは粒界相が焼き固まって構成されているという微構造を有するためサファイアのような透明体と異なり焼結体と薄膜との界面あるいは焼結体と外部空間との界面で光の反射が生じにくいためと推測される。すなわち、このような光反射が生じにくいので発光素子から発せられた光のうち直接上記焼結体と薄膜との界面に照射されたもの、あるいは発光素子を構成している薄膜のうち基板側でなく外部空間と直接接している薄膜面から反射されて上記界面に照射された光も、ほとんど反射されることなく窒化アルミニウムを主成分とする焼結体内部へ侵入しさらに該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体と外部空間との界面に達した光は素子外部へと放出されるものと思われる。
サファイア基板と窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板との光透過性を比較したとき窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の場合は最も優れているものでも波長２１０〜２２０ｎｍまでの光に対して透過性を示し、波長３３０ｎｍの光で８０％以上の光透過率を示すのに対してサファイア基板の場合通常波長１５０ｎｍ付近の紫外領域まで透明で光透過率も波長２００ｎｍ〜４５００ｎｍの範囲で８０％〜９０％でありさらに透明体であるので光は直線的に透過し易く、したがって光透過性の面ではサファイア基板の方が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板よりも優れていると思える。したがって光透過性の面から見ると発光素子の発光層から発せられた光はサファイア基板を用いた方が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板よりも素子の外部へより多く放出されると思われるが実際はその逆になっている。
また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のうち光透過性のないものを基板として用いたときでも該基板上に形成される発光素子の発光効率はサファイア基板と同等以上であったので、おそらく発光素子の発光層から発せられた光はサファイア基板と薄膜との界面あるいはサファイア基板と外部空間との界面で反射されサファイア基板を殆ど透過しないものと思われる。言い換えれば、サファイア基板を用いた場合おそらく上記各界面で発光素子の発光層から発せられた光は反射されて素子内部へ戻されサファイア基板を透過しては素子外部へ放出されにくいものと推測される。また、発光素子から発せられた光のうち発光素子を構成している薄膜のうちサファイア基板側でなく外部空間と直接接している薄膜面から反射されて上記各界面に照射された光もほとんどのものは反射され再び外部空間と直接接している薄膜面に達し、該薄膜面でまた反射されるという繰り返えしが生じ、その結果として該薄膜面から外部へ放出される光も光透過性を有しない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いた場合よりもかえって減少し易いのではないかと推測される。
発光素子の外形の大きさは０．０５ｍｍ角〜１０ｍｍ角程度で通常は０．１ｍｍ角〜３ｍｍ角程度であり、発光素子を構成する薄膜層の厚みは合計すると０．５μｍ〜５０μｍ程度で通常は１μｍ〜２０μｍ程度である。また、発光素子の発光層は面形状であり該発光層から発せられた光は０．５μｍ〜５０μｍ程度の距離をおいて垂直に対峙する基板面に照射されると思われるのでもともとは基板と発光素子を構成する薄膜との界面で全反射などの現象は生じにくいと思われるが、サファイア基板の場合波長６５０ｎｍにおいて屈折率が１．７６〜１．７８と薄膜を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムと比べて低く、さらに単結晶であるため粒界や粒界相などはなく均質であり基板表面の平滑性も高いことなどが原因となって上記の界面における反射が生じ易くなるものと思われる。また、上記のように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体のうち光透過性のないものを基板として用いたものでも該基板上に形成される発光素子の発光効率はサファイア基板を用いたものと同等かあるいはさらに優れていたので従来から云われているように格子不整合や熱膨張率の違いなどによる薄膜中の転位あるいはひずみがサファイア基板の場合は多いことも発光効率が低い原因であろうと推測された。
それに対して基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いた場合、窒化アルミニウムの屈折率は波長６５０ｎｍにおいて２．００〜２．２５であり発光素子を構成する窒化アルミニウム以外の窒化ガリウム、窒化インジウムと比較的近く、発光素子を構成する薄膜との界面には窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中の窒化アルミニウムを主成分とする結晶粒子や粒界あるいは添加物などによる粒界相が存在し均質でなく基板表面の平滑性もサファイアに比べて通常は小さいので発光層から発せられた光の反射がより一層生じにくく窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に発光層から発せられた光の多くが進入可能であることが発光効率向上の大きな原因であろうと推測される。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は透明体と異なり直線的な光透過性は低くても光透過率としては８０％以上と比較的高いものが製造できるのでこのような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に進入した発光素子の発光層から発せられた多くの光が該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を透過して発光素子外部へと放出されることもサファイア基板に比べて発光効率が飛躍的に高まった大きな原因であろうと推測される。
また、上記のように発光素子の外形の大きさは０．０５ｍｍ角〜１０ｍｍ角程度で通常は０．１ｍｍ角〜３ｍｍ角程度であり、発光素子を構成する薄膜層の厚みは合計すると０．５μｍ〜５０μｍ程度で通常は１μｍ〜２０μｍ程度である。通常発光素子に形成されている発光層は面形状であり該発光層から発せられた光は０．５μｍ〜５０μｍ程度の距離をおいて垂直に対峙する基板面に照射されると思われるのでもともとは基板と発光素子を構成する薄膜との界面で全反射などの現象は生じにくい構造であることも基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体がより有効に機能する大きな要因であると思われる。
さらに窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いた基板の熱伝導率はサファイア基板に比べて５倍〜１０倍と大きいのでたとえ一部の光が素子内部に閉じ込められ熱エネルギーに変わったとしても速やかに発光素子の外部へ放出されるため素子の温度上昇が抑制されるので素子の温度上昇による発光効率の低下がないことも要因の一つであろうと思われる。
【０２５４】
本発明において、上記発光素子を作製するための基板として用いられる窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は、該発光素子の構成要素である少なくともＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜がエピタキシャル成長した単結晶として形成しうるものであればどのようなものでも用いることができる。言い換えれば、以下に述べる方法により窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜が形成できるものであればどのような窒化アルミニウムを主成分とする焼結体であっても発光素子を作製するための基板として用いることができる。
すなわち、１）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体をそのまま基板として用い、その上に直接発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層し発光素子を作製していく方法である。この方法において要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず基板上に形成し、その上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を積層して発光素子を作製していくことが望ましい。
また、２）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として作製し、該基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、その上に発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層し発光素子を作製していく方法である。上記薄膜基板を用いて発光素子を作製していく場合、該薄膜基板に形成されている薄膜層の少なくとも一部を発光素子が機能するための構成要素として用いることも可能である。この方法において薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を積層して発光素子を作製していくことが望ましい。
また、３）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として作製し、該基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ少なくとも１層以上形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、その上に発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層し発光素子を作製していく方法である。上記薄膜基板を用いて発光素子を作製していく場合、該薄膜基板に形成されている薄膜層の少なくとも一部を発光素子が機能するための構成要素として用いることも可能である。この方法において薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を積層して発光素子を作製していくことが望ましい。
上記１）〜３）で示した方法のなかで、２）〜３）に示した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板とし該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成したものを薄膜作製用基板として用いることが発光効率の優れた発光素子を作製する上で好ましい。通常このような薄膜基板を用いることで発光効率１０％以上の発光素子が作製し得る。さらに、基板に形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を少なくとも２層以上とし、該２層以上の薄膜のうち表面のものを単結晶とした基板を用いれば、基板にあらかじめ形成する薄膜の結晶状態に関係なくその上には発光効率に優れた発光素子を容易に作製し得るので好ましい。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成した基板を用いれば、その上には発光効率１２％以上の発光素子を容易に作製し得る。特に発光素子として発光効率が１５％以上のものを作製していく場合、あるいは発光素子としてレーザーダイオードを作製する場合にはこのような表面に単結晶薄膜を形成した薄膜基板を用いることが有効である。
上記薄膜基板を用いて発光素子を作製していく場合、該薄膜基板に形成されている薄膜層の少なくとも一部を発光素子が機能するための構成要素として用いることも可能である。この方法において薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を積層して発光素子を作製していくことが望ましい。また本発明による薄膜基板を用いて発光素子を作製していく場合、上記バッファ層を特に設けずに発光素子を作製することも可能である。
【０２５５】
本発明において、このような特性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いた基板に形成される薄膜の結晶性などの性状について、該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の組成、純度、窒化アルミニウム成分の含有量、光透過性、焼結体結晶粒子の大きさ、導通ビアの有無などとの関係、あるいは該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板としたときの表面平滑性、基板の厚みなどとの関係、あるいは該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板に形成される薄膜構成、薄膜厚みなどとの関係について今まで説明してきた。
【０２５６】
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるものであればどのような組成のものであっても該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることにより優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。通常従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に改善された発光効率を有する発光素子を提供し得る。通常窒化アルミニウム成分を少なくとも２０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることが好ましく従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に改善された発光素子を作製し得る。
より詳しく言えば、１）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体をそのまま基板として用い、その上に直接要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層していくことで発光素子を作製していく方法の場合、通常窒化アルミニウム成分を５０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いることが好ましく発光効率が少なくとも１０％以上の発光素子を作製し得る。
また、２）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層して発光素子を作製していく方法、及び３）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層して発光素子を作製していく方法、という上記２）〜３）で説明した方法により発光素子を作製する場合でも、発光効率が少なくとも１０％以上の発光素子を作製し得る。
上記１）〜３）に示した方法において通常窒化アルミニウム成分を２０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることが好ましく発光効率が少なくとも１０％以上の発光素子を作製し得る。窒化アルミニウム成分を２０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、通常該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成した基板を用いることが好ましい。窒化アルミニウム成分を２０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、該基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が配向性多結晶の結晶状態を有するものであれば、その上には発光効率が少なくとも１２％以上の発光素子を作製し得る。また、窒化アルミニウム成分を２０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を少なくとも２層以上形成し、該２層以上の薄膜のうち表面のものが単結晶であれば、基板にあらかじめ形成する薄膜の結晶状態に関係なくその上には発光効率が少なくとも１２％以上の発光素子を作製し得る。すなわち、窒化アルミニウム成分を２０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成した基板を用いれば、その上には発光効率が少なくとも１２％以上の発光素子を作製し得る。また、窒化アルミニウム成分を５０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、そのまま発光素子作製用基板として用いることができるが、通常該基板にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を形成したものを用いることが好ましい。窒化アルミニウム成分を５０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、該基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものであれば、その上には発光効率が少なくとも１２％以上の発光素子を作製し得る。また、窒化アルミニウム成分を５０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、該基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が配向性多結晶の結晶状態を有するものであれば、その上には発光効率が少なくとも１５％以上の発光素子を作製し得る。また、窒化アルミニウム成分を５０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を少なくとも２層以上形成し、該２層以上の薄膜のうち表面のものが単結晶であれば、基板にあらかじめ形成する薄膜の結晶状態に関係なくその上には発光効率が少なくとも１５％以上の発光素子を作製し得る。すなわち、窒化アルミニウム成分を５０体積％以上含む窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いる場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成した基板を用いれば、その上には発光効率が少なくとも１５％以上の発光素子を作製し得る。特に発光素子として発光効率が２０％以上のものを作製していく場合、あるいは発光素子としてレーザーダイオードを作製する場合にはこのような表面に単結晶薄膜を形成した基板を用いることが有効である。
【０２５７】
本発明において、光透過率が１％より小さいかあるいは実質的に光透過性を有しない窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いても優れた発光効率を有する発光素子を作製し得る。また、光透過率が１％以上の光透過性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いても優れた発光効率を有する発光素子を作製し得る。通常上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることにより発光効率が従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に改善された発光素子を提供し得る。
より詳しく言えば、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率が１％より小さいか実質的に光透過性を有しないもの、あるいは窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率が１％以上のものを基板として用いれば発光効率１０％以上の発光素子を作製し得る。通常、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体はより高い光透過性を有するものを基板として用いるほうがより発光効率の高い発光素子を作製し得るので好ましい。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率１０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１２％以上のものが得られ易いので好ましい。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率２０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１５％以上のものが得られ易い。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率３０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２０％以上のものが得られ易い。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率４０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２５％以上のものが得られ易い。また、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率５０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は３０％以上のものが得られ易い。前記のように本発明において光透過率が６０％以上、さらに最大８０％以上のものも得られるがこのような高い光透過率を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は４０％以上、最大６２％のものが得られた。
このように窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いて作製される発光素子の発光効率は少なくとも１０％以上のものが得られ易いので、従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に改善された発光素子を提供し得る。
【０２５８】
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるものであれば該焼結体中の窒化アルミニウム結晶粒子がどのような大きさのものであっても該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることにより優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。通常該発光素子の発光効率は従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に改善された発光素子を提供できる。通常窒化アルミニウム結晶粒子の大きさが平均０．５μｍ以上の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることが好ましく従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に改善された発光素子を作製し得る。
より詳しく言えば、窒化アルミニウム結晶粒子の大きさが平均１．０μｍ以上の窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで発光効率が少なくとも１０％以上の発光素子を作製し得る。
また、含まれる結晶粒子が均等に近い大きさに揃っている状態のものだけでなく結晶粒子の大きさが不揃いのものや結晶粒子の形状がいびつで針状あるいは板状など一辺が小さく他の一辺が大きい形状の結晶粒子、例えばポリタイプＡｌＮ粒子など一辺が数μｍで他の一辺が１０数μｍ以上に大きく成長した針状あるいは板状などの形状の結晶粒子を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いても何ら問題なく発光効率の優れた発光素子を作製することができる。
【０２５９】
その他、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に導通ビアを形成したものを基板として用いても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成可能であり優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。導通ビアとしては導電性を有する材料であればどのようなものでも用いることが可能である。通常は導通ビアの材料としてタングステン、モリブデン、金、銀、銅、窒化チタンなどの金属、あるいは合金、あるいは金属化合物を主成分とする材料が用いられる。このような材料からなる導通ビアを形成した窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることにより、通常従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に改善された発光効率を有する発光素子を提供し得る。
より詳しく言えば、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体中に導通ビアを形成したものを基板として用いることで発光効率が少なくとも１０％以上の発光素子を作製し得る。
【０２６０】
上記のように、発光素子を作製するための基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いることは有効であり、特に光透過性を有するものであればより発光効率に優れた発光素子が作製し得ることを説明した。
【０２６１】
また本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性としてどのような状態のものであっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるものであれば、該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の上に形成される発光素子は優れた発光効率を有するものが作製し得る。通常上記表面平滑性を有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いることにより作製される発光素子の発光効率は従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に改善されたものを提供し得る。
より詳しく言えば、１）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体をそのまま基板として用い、その上に直接要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層することで発光素子を作製していく方法の場合、通常窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の平均表面粗さＲａが２０００ｎｍ以下のものを用いることで発光効率が少なくとも１０％以上の発光素子を作製し得る。
また、２）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層して発光素子を作製していく方法、及び３）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層して発光素子を作製していく方法、という上記２）〜３）で示した方法により発光素子を作製する場合、通常窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の平均表面粗さＲａが２０００ｎｍより大きいものを用いても発光効率が少なくとも１０％以上の発光素子を作製し得る。
【０２６２】
本発明において、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の厚みはどのようなものであっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるものであれば、該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の上に形成される発光素子は優れた発光効率を有するものが作製し得る。通常上記基板厚みを有する窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板を用いることにより作製される発光素子の発光効率は従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大４〜５倍以上に改善されたものを提供し得る。通常窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板の厚みが８．０ｍｍ以下のものを用いることで発光効率が少なくとも１０％以上の発光素子を作製し得る。
【０２６３】
以上、発光素子を作製するための基板として窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いることは有効であり、該窒化アルミニウムを主成分とする焼結体について純度（組成）、光透過率、焼結体結晶粒子、導通ビアの有無、基板としての表面平滑性、基板としての厚み、などについてその効果を説明してきた。
上記で説明してきたように、ａ）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、を積層して発光素子を作製していく方法、さらにｂ）窒化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、を積層して発光素子を作製していく方法、という上記ａ）、ｂ）で示した方法により発光素子を作製する場合、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものでは、特に断らない限りその上には通常発光効率１０％以上の発光素子が作製し得る。上記の基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のうち無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものがより好ましい。また、基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が配向性多結晶の結晶状態を有するものでは、特に断らない限りその上には通常発光効率１２％以上の発光素子が作製し得る。また、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を少なくとも２層以上とし、該２層以上の薄膜のうち表面のものを単結晶とした基板を用いれば、基板にあらかじめ形成する薄膜の結晶状態に関係なくその上には通常発光効率１２％以上の発光素子が作製し得る。
【０２６４】
本発明において、上記窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板だけでなく、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用い、該基板に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層し発光素子を作製することができる。本発明は炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体あるいは該焼結体を基板状としその上に少なくとも上記のＮ型半導体層及び発光層及びＰ型半導体層を積層して積層体となし発光素子を構成したことに特徴がある。上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いて作製される発光素子も発光効率の優れたものを作製し得る。すなわち、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いることにより、従来からのサファイアなどの単結晶基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善された発光効率を有する発光素子が提供し得る。すなわち本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いて作製される発光素子は入力された電力の最大２０〜３０％以上が発光素子外部へ光エネルギーとして放出し得る。
炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いて作製される発光素子がなぜこのような優れた発光効率を有するかその原因については必ずしも明確ではないが、上記基板には窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする結晶性に優れた単結晶薄膜が形成し得るということがまず第一に重要であると思われる。しかしそれだけではなく上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板が窒化アルミニウムを主成分とする焼結体からなる基板と同様、サファイアのようなバルク単結晶でなく焼き固められ結晶粒子や粒界相などから構成される焼結体としての微構造を有するということが従来からのサファイアなどの単結晶基板と同等あるいはそれ以上の発光効率を有する原因としてさらに重要であると思われる。
上記のように、サファイア基板上にもミラー指数（００２）の格子面のＸ線回折ロッキングカーブの半値幅が少なくとも３００秒以下の結晶性を有する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成でき、このような結晶性に優れた単結晶薄膜を少なくともＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層の各層が構成されるようサファイア基板上に形成することで発光素子が製造されてきた。本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いて作製される発光素子は、上記サファイアなどの単結晶基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善された発光効率を有する発光素子が提供し得る。すなわち、本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いて作製される発光素子は、少なくとも発光効率８％以上のものが作製し得る。
【０２６５】
本発明において、上記発光素子を作製するための基板として用いられる炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体は、該発光素子の構成要素である少なくともＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、を形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜がエピタキシャル成長した単結晶として形成しうるものであればどのようなものでも用いることができる。言い換えれば、以下に述べる方法により窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜が形成できるものであればどのような炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体であっても発光素子を作製するための基板として用いることができる。
すなわち、１）炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体をそのまま基板として用い、その上に直接発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層し発光素子を作製していく方法である。この方法において要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず基板上に形成し、その上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を積層して発光素子を作製していくことが望ましい。
また、２）炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として作製し、該基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、その上に発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層し発光素子を作製していく方法である。上記薄膜基板を用いて発光素子を作製していく場合、該薄膜基板に形成されている薄膜層の少なくとも一部を発光素子が機能するための構成要素として用いることも可能である。なお、この方法において上記薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を積層して発光素子を作製していくことが望ましい。
また、３）炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として作製し、該基板の上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜をあらかじめ少なくとも１層以上形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、その上に発光素子を構成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層し発光素子を作製していく方法である。上記薄膜基板を用いて発光素子を作製していく場合、該薄膜基板に形成されている薄膜層の少なくとも一部を発光素子が機能するための構成要素として用いることも可能である。なお、この方法において上記薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を積層して発光素子を作製していくことが望ましい。
上記１）〜３）で示した方法により、本発明による炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を発光素子作製用基板として用いることで発光効率８％以上の発光素子を容易に作製し得る。
上記１）〜３）で示した方法のなかで、基板に形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を少なくとも２層以上とし、該２層以上の薄膜のうち表面の薄膜を単結晶とした基板を用いれば、基板にあらかじめ形成する薄膜の結晶状態に関係なくその上には発光効率に優れた発光素子を容易に作製し得るので好ましい。すなわち、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いる場合、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成した基板を用いれば、その上には発光効率１０％以上の発光素子を容易に作製し得る。特に発光素子として発光効率が１２％以上のものを作製していく場合、あるいは発光素子としてレーザーダイオードを作製する場合にはこのような表面に単結晶薄膜を形成した基板を用いることが有効である。
上記薄膜基板を用いて発光素子を作製していく場合、該薄膜基板に形成されている薄膜層の少なくとも一部を発光素子が機能するための構成要素として用いることも可能である。この方法において薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上にＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層を積層して発光素子を作製していくことが望ましい。また本発明による薄膜基板を用いて発光素子を作製していく場合、上記バッファ層を特に設けずに発光素子を作製することも可能である。
【０２６６】
本発明において、このような特性を有する炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を用いた基板に形成される薄膜の結晶性などの性状について、該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体の組成、純度、不純物成分の含有量、光透過性、焼結体結晶粒子の大きさ、導通ビアの有無などとの関係、あるいは該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板としたときの表面平滑性などとの関係、あるいは該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板に形成される薄膜構成、薄膜厚みなどとの関係について今まで説明してきた。
【０２６７】
本発明において、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるものであればどのような組成のものであっても、該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いることにより優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。通常従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善された発光効率を有する発光素子を提供し得る。
具体的には、例えば炭化珪素を主成分とする焼結体の組成としては実質的にＳｉＣだけからなるもの、あるいはカーボン成分、あるいはＢ、Ｂ４Ｃ、ＢＮなどの硼素成分、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。窒化珪素を主成分とする焼結体の組成としては実質的にＳｉ３Ｎ４だけからなるもの、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはカーボン、モリブデン、タングステンなどの黒色化促進成分、あるいはＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３などの遷移金属成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。酸化亜鉛を主成分とする焼結体の組成としては実質的にＺｎＯだけからなるもの、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３などの遷移金属成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の組成としては実質的にＢｅＯだけからなるもの、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＡｌ２Ｏ３などのアルミニウム成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３などの遷移金属成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の組成としては実質的にＡｌ２Ｏ３だけからなるもの、あるいはＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３などの希土類元素成分、あるいはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯなどのアルカリ土類金属成分、あるいはＳｉＯ２などの珪素成分、あるいはＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ２Ｏ３などの遷移金属成分、これらの成分を単独あるいは複合で含むものなどである。
より詳しく言えば、通常酸化亜鉛成分をＺｎＯ換算で５５．０モル％以上含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体を用いることが好ましく、該酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。上記酸化亜鉛以外の成分として、例えばアルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体、あるいはアルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で４５．０モル％以下含み同時にＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下含む酸化亜鉛を主成分とする焼結体、これらの焼結体からなる基板を用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。
また、通常酸化ベリリウム成分をＢｅＯ換算で６５．０モル％以上含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を用いることが好ましく、該酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。上記酸化ベリリウム以外の成分として、例えばマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分をＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ２換算で合計３５．０モル％以下含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体、あるいはマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分をＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ２換算で合計３５．０モル％以下含み同時にＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で５．０モル％以下含む酸化ベリリウムを主成分とする焼結体、これらの焼結体からなる基板を用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。
また、通常酸化アルミニウム成分をＡｌ２Ｏ３換算で５５．０モル％以上含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を用いることが好ましく、該酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。上記酸化アルミニウム以外の成分として、例えばマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分をＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ２換算で合計４５．０モル％以下含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいはマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分をＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ２換算で合計４５．０モル％以下含み同時にＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体、あるいはマグネシウム成分、カルシウム成分、珪素成分のうちから選ばれた少なくとも１種以上の成分をＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ２換算で合計４５．０モル％以下含み同時にＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕなどの希土類元素成分のうちから選ばれた少なくともいずれか２種以上の成分を酸化物換算で１０．０モル％以下含む酸化アルミニウムを主成分とする焼結体、これらの焼結体からなる基板を用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。
【０２６８】
本発明において、光透過率が１％より小さいかあるいは実質的に光透過性を有しない炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いても優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。また、光透過率が１％以上の光透過性を有する炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いても優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。通常上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いることにより発光効率が従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善された発光素子を提供し得る。
より詳しく言えば、酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率が１％より小さいか実質的に光透過性を有しないもの、あるいは酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率が１％以上のものを基板として用いれば発光効率８％以上の発光素子を作製し得る。通常、酸化亜鉛を主成分とする焼結体はより高い光透過性を有するものを基板として用いるほうがより発光効率の高い発光素子を作製し得るので好ましい。すなわち、酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率１０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１０％以上のものが得られ易い。また、酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率２０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１２％以上のものが得られ易いので好ましい。また、酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率３０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１５％以上のものが得られ易い。また、酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率４０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２０％以上のものが得られ易い。また、酸化亜鉛を主成分とする焼結体の光透過率５０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２５％以上のものが得られ易い。前記のように本発明において光透過率が６０％以上、さらに最大８０％以上のものも得られるがこのような高い光透過率を有する酸化亜鉛を主成分とする焼結体を基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は３０％以上、最大５５％のものが得られた。
また、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の光透過率が１％より小さいか実質的に光透過性を有しないもの、あるいは酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の光透過率が１％以上のものを基板として用いれば発光効率８％以上の発光素子を作製し得る。通常、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体はより高い光透過性を有するものを基板として用いるほうがより発光効率の高い発光素子を作製し得るので好ましい。すなわち、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の光透過率１０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１０％以上のものが得られ易い。また、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の光透過率２０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１２％以上のものが得られ易いので好ましい。また、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の光透過率３０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１５％以上のものが得られ易い。また、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の光透過率４０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２０％以上のものが得られ易い。また、酸化ベリリウムを主成分とする焼結体の光透過率５０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２５％以上のものが得られ易い。前記のように本発明において光透過率が６０％以上、さらに最大８０％以上のものも得られるがこのような高い光透過率を有する酸化ベリリウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は３０％以上、最大５２％のものが得られた。
また、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率が１％より小さいか実質的に光透過性を有しないもの、あるいは酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率が１％以上のものを基板として用いれば発光効率８％以上の発光素子を作製し得る。通常、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体はより高い光透過性を有するものを基板として用いるほうがより発光効率の高い発光素子を作製し得るので好ましい。すなわち、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率１０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１０％以上のものが得られ易い。また、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率２０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１２％以上のものが得られ易いので好ましい。また、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率３０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１５％以上のものが得られ易い。また、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率４０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２０％以上のものが得られ易い。また、酸化アルミニウムを主成分とする焼結体の光透過率５０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２５％以上のものが得られ易い。前記のように本発明において光透過率が６０％以上、さらに最大８０％以上のものも得られるがこのような高い光透過率を有する酸化アルミニウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は３０％以上、最大５１％のものが得られた。
また、窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率が１％より小さいか実質的に光透過性を有しないもの、あるいは窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率が１％以上のものを基板として用いれば発光効率８％以上の発光素子を作製し得る。通常、窒化ガリウムを主成分とする焼結体はより高い光透過性を有するものを基板として用いるほうがより発光効率の高い発光素子を作製し得るので好ましい。すなわち、窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率１０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１０％以上のものが得られ易い。また、窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率２０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１２％以上のものが得られ易いので好ましい。また、窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率３０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は１５％以上のものが得られ易い。また、窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率４０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２０％以上のものが得られ易い。また、窒化ガリウムを主成分とする焼結体の光透過率５０％以上のものを基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は２５％以上のものが得られ易い。前記のように本発明において光透過率が６０％以上、さらに最大８０％以上のものも得られるがこのような高い光透過率を有する窒化ガリウムを主成分とする焼結体を基板として用いたときその上に形成される発光素子の発光効率は３０％以上、最大６３％と高いものが得られた。
このように炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いて作製される発光素子の発光効率は少なくとも８％以上のものが得られ易いので、従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善された発光素子を提供し得る。
【０２６９】
本発明において、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体は窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるものであれば該焼結体中の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの結晶粒子がどのような大きさのものであっても該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いることにより優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。通常該発光素子の発光効率は従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善された発光素子を提供できる。
通常炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの結晶粒子の大きさが平均０．５μｍ以上の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いることが好ましく従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善された発光素子を作製し得る。
より詳しく言えば、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどの結晶粒子の大きさが平均１．０μｍ以上の炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。
また、含まれる結晶粒子が均等に近い大きさに揃っている状態のものだけでなく結晶粒子の大きさが不揃いのものや結晶粒子の形状がいびつで針状あるいは板状など一辺が小さく他の一辺が大きい形状の結晶粒子、例えばβ−Ｓｉ３Ｎ４粒子など一辺が数μｍで他の一辺が１０数μｍ以上に大きく成長した針状あるいは板状などの形状の結晶粒子を有する炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いても何ら問題なく発光効率の優れた発光素子を作製することができる。
【０２７０】
その他、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体中に導通ビアを形成したものを基板として用いても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成可能であり優れた発光効率を有する発光素子が作製し得る。導通ビアとしては導電性を有する材料であればどのようなものでも用いることが可能である。通常は導通ビアの材料としてタングステン、モリブデン、金、銀、銅、窒化チタンなどを主成分とする材料が用いられる。このような材料からなる導通ビアを形成した炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として用いることにより、通常従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善された発光効率を有する発光素子を提供し得る。
より詳しく言えば、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体中に導通ビアを形成したものを基板として用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。
【０２７１】
上記のように、発光素子を作製するための基板として炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を用いることは有効であり、特に光透過性を有するものであればより発光効率に優れた発光素子が作製し得ることを説明した。
【０２７２】
また本発明において、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の表面平滑性としてどのような状態のものであっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるものであれば、該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の上に形成される発光素子は優れた発光効率を有するものが作製し得る。通常上記表面平滑性を有する炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いることにより作製される発光素子の発光効率は従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善されたものを提供し得る。
より詳しく言えば、１）炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体をそのまま基板として用い、その上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層し発光素子を作製していく方法の場合、通常炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の平均表面粗さＲａが１０００ｎｍ以下のものを用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。
また、２）炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層して発光素子を作製していく方法、及び３）炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成し、その上にさらに窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上に要すれば窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜からなるバッファ層をまず形成し、その上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とするエピタキシャル成長した単結晶薄膜をＮ型半導体層、発光層、Ｐ型半導体層、として積層して発光素子を作製していく方法、という上記２）〜３）で示した方法により発光素子を作製する場合、通常炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の平均表面粗さＲａが１０００ｎｍより大きいものを用いても発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。
【０２７３】
本発明において、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の厚みはどのようなものであっても窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜が形成できるものであれば、該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の上に形成される発光素子は優れた発光効率を有するものが作製し得る。通常上記基板厚みを有する炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板を用いることにより作製される発光素子の発光効率は従来からのサファイアなどの基板を用いて作製される発光素子の発光効率と比べて少なくとも同等か、最大３〜４倍以上に改善されたものを提供し得る。通常炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板の厚みが８．０ｍｍ以下のものを用いることで発光効率が少なくとも８％以上の発光素子を作製し得る。
【０２７４】
以上、発光素子を作製するための基板として炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を用いることは有効であり、該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体について純度（組成）、光透過率、焼結体結晶粒子、導通ビアの有無、基板としての表面平滑性、基板としての厚み、などについてその効果を説明してきた。
上記で説明してきた、ａ）炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上に発光素子を作製していく方法、及びｂ）炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体を基板として作製し、その上にあらかじめ窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする無定形、多結晶、配向性多結晶、単結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有する薄膜を少なくとも１層以上形成し、さらにその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする単結晶薄膜を少なくとも１層以上形成して薄膜基板とし、該薄膜基板の上に発光素子を作製していく方法、という上記ａ）、ｂ）で示した方法により発光素子を作製する場合、炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が単結晶、無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものでは、特に断らない限りその上には通常発光効率８％以上の発光素子が作製し得る。上記の基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜のうち無定形、多結晶、配向性多結晶のうちから選ばれた少なくともいずれかの結晶状態を有するものがより好ましい。また、基板にあらかじめ形成する窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜が配向性多結晶の結晶状態を有するものでは、特に断らない限りその上には通常発光効率１０％以上の発光素子が作製し得る。また、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも１種以上を主成分とする薄膜を少なくとも２層以上とし、該２層以上の薄膜のうち表面のものを単結晶とした基板を用いれば、基板にあらかじめ形成する薄膜の結晶状態に関係なくその上には通常発光効率１０％以上の発光素子が作製し得る。
【０２７５】
なお、上記例示した炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどを主成分とする焼結体は通常主成分である該炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどとして六方晶あるいは三方晶の結晶構造を有する主成分とするものが発光素子作製用基板として用いられることを主に例示してきたが上記主成分が例えば立方晶、正方晶、斜方晶、単斜晶、三斜晶、アモルファスなど六方晶あるいは三方晶以外の結晶構造を有するものであっても炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウム、酸化アルミニウムなどを主成分とするものであれば発光素子作製用基板として好適に用いることができる。例えば炭化珪素を主成分とする焼結体などは結晶構造として例えば立方晶を有する炭化珪素を主成分とする焼結体であっても基板として好適に用いることができる。また例えば酸化アルミニウムを主成分とする焼結体などは結晶構造として例えば立方晶、スピネル構造の酸化アルミニウムを主成分とする焼結体であっても基板として好適に用いることができる。        
【０２７６】
本発明において、上記炭化珪素、窒化珪素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、酸化ベリリウムなどの六方晶系及び酸化アルミニウムなどの三方晶系あるいは六方晶系として分類できる結晶構造を有する各種セラミック材料を主成分とする焼結体だけでなく、例えば酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、アルミン酸マグネシウム（ＭｇＡｌ２Ｏ４）、酸賥膃苣뎃볯뒼뷯꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹢볯膀菣뾂菣뢅菣ꪃ苣ꂃ볯ꊼ뷯뒼뷯꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢볯膀菣뾂菣뢅苣ꮃ苣뎃藩鮉볯낼볯뒼볯膃苣뎃臣뢂菣뎂菣Ꚃ菣銂菣ꮃ闦醼볯醼臣늉郥ꞁ郥肂ꓨ袐藩隌觧覼胣뢅賥ꒂ菣袃菣Ꚃ菣袼볯㲹畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢볯ꪁ臣꺁룥龜ꇩ뢅賥ꦉ胣뢅賥袃菣Ꚃ菣袼볯袽볯㲯畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵覼胣蒐꣧閃苣ꦃ苣袃볯ꚼ뷯㲅畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲓猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰钼⼼畳㹢臣讂臣꾁볯躽볯薽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹢볯㲯畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲔猯扵ꪁ臣肸裨込볯ꚼ뷯㲅畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰钼⼼畳㹢臣芁苣辂臣貂苣螤郥뢅賥ꦉ볯龁臣鞁胣ꆼ臣銼뻤꺁蟩麱藥ꂴ볯膀菣ꦃ苣袃볯鎼볯貽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹢볯㲯畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲓猯扵뮃볯뎼뷯꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹢볯膀菣ꦂ菣릂菣ꦃ苣袃볯銼볯螽볯뮃볯覽볯㲯畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵覼胣릂菣ꊂ苣ꒂ菣袼볯螽볯뮃볯覽볯㲯畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵覼胣邵駦隌苣ꦃ苣膀臣ꦁ臣蒐꣧뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽苣몟鷦ꢁ臣ꚁ铧蒁苣鎁臣ꞁ駧覅諥螎臣ꪄ苣龁駧覅듧邭臣鲽ꏨ鞁뻥讂胣뺁臣誸꣨设臣낁藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣膀苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣膀藩隌菣뾂菣膀菣뾂菣뢅菣ꪃ苣ꂃ胣膃苣뎃藩뢂菣뎂菣뢅觩膀藩隌苣莃菣ꪃ苣ꂃ臣ꦁ臣貸鳥麡藥ꂴ藩隌觧膀藩隌菣ꪃ苣ꂃ胣蒐꣧閃苣ꦃ苣袃胣ꂃ菣ꒂ菣膀菣ꦂ菣릂菣ꦃ苣袃胣릂菣ꊂ苣ꒂ菣膀뗧뚙賥겂菣릂胣ꪁ臣꺁郥꺨苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤꾁藥辀臩Ꞁ苣覜臣讂苣꺁臣钯볨蒚껥鎘臣鲽ꏨꞁ臣讂臣ꞁ胣鎁臣袂臣ꪁ藥辀臩Ꞁ苣覜臣讂苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤銂鿥뾝臣鞁臣ꢔ臣讂臣ꢁ臣节駧覅諥螎臣袂苣ꪄ苣龁駧覅듧邭臣鲽ꏨ鞁뻥讂胣㲂牢ਾ†胩뢸룤風苧隌迧ꂴ胣銪賥ꪏ듧膀ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣뢅賥鲺觩膀藩隌菣ꪃ菣Ꚃ菣ꪁ臣꺁藥릖駦뮳迥뎁藩隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣ꦁ臣覸雦뚙돧芁苣蒁臣궅雦뚙돧ꢁ臣ꚁ裥麡臣趁苣邵駦讧胩銂鳦馁苣蒐꣧뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣醁臣ꪁ臣膀뻤袁臣뢅賥뢂菣뎂菣Ꚃ菣膀藩隌菣낂菣랂苣ꂃ胣ꊂ菣龃菣뢅菣낂菣랂苣ꂃ胣뢅賥膃苣뎃胣膃苣뎃藩邃菣Ꚃ菣膀菣뾂菣뢅苣ꮃ苣뎃藩鮉胣뢅賥ꒂ菣袃菣Ꚃ菣ꪁ臣꺁룥龜ꇩ莅듧뢅賥ꦉ胣뢅賥袃菣Ꚃ菣膀郥꺨菣Ꞃ菣ꒂ菣膀菣ꦃ苣袃胣閃苣ꮃ苣蚃菣ꒂ菣膀苣蚃苣뾂苣袃胣邵駦隌苣ꦃ苣膀臣ꦁ臣蒐꣧뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽苣鶁臣뺁臣몟鷦ꢁ臣ꚁ铧蒁胣鶁臣誸臣뒛軦銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣ꢂ菣뾂苣랂菣ꮃ裦랕臣龁跥邵駦蒖蛨銂뷥邈臣讂臣ꢁ臣낛鯩ꪁꃥ袐臣骤臣꺁臣膀룤風郥버뗧鎽苣鶁臣뺁臣ꢔ臣ꚁ苣钃苣궂苣ꎃ菣邈闩鞁臣颍뗧뚙雨鲆苣꺼黥認냥鎽뇥膀駧覅뇥膀볯讞跥躰뷤꒱胣ꢁ臣ꚁꧧ꒱臣몙藥ꂴ귥銂뷤붣臣ꚁ臣辁雦閳臣꾁觨붥臣몙藥릊軧銂鳦馁苣몙藥ꂴ귥銂뷤붣臣讂臣ꢁ臣骀룥꾁鯥ꎛ臣芁苣芀戼㹲 鞁臣鞁臣貁苣膀룤風뻤袁臣뢅賥뢂菣뎂菣Ꚃ菣膀藩隌菣낂菣랂苣ꂃ胣ꊂ菣龃菣뢅菣낂菣랂苣ꂃ胣뢅賥膃苣뎃胣膃苣뎃藩邃菣Ꚃ菣膀菣뾂菣뢅苣ꮃ苣뎃藩鮉胣뢅賥ꒂ菣袃菣Ꚃ菣ꪁ臣꺁룥龜ꇩ莅듧뢅賥ꦉ胣뢅賥袃菣Ꚃ菣膀郥꺨菣Ꞃ菣ꒂ菣膀菣ꦃ苣袃胣閃苣ꮃ苣蚃菣ꒂ菣膀苣蚃苣뾂苣袃胣邵駦隌苣ꦃ苣膀臣ꦁ臣蒐꣧뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣覂臣讂鿥뾝臣誸臣芁苣讁臣膂ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧骮뷥膀ꓥ邵駦膀藩醐胦骤뗧뚙臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节臣骁苣讁臣邵駦뚊藦銂鳦馁苣蒖蛨銂냥ꪁ臣ꢁ苣醼뇥ꖻ룤ꊽ裦鞁臣蒖蛨몟鷦ꢁ臣膀ꧨ蒖蛨몟鷦꺁룤ꮁ臣몙藥ꂴ귥銂꟦邈臣讂ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂苣钃苣궂苣ꎃ菣邈闩鞁臣颍뗧뚙雨鲆苣꺼黥認냥鎽뇥膀駧覅뇥膀볯讞跥躰뷤꒱胣芁苣蒁臣邃菣閃苣꒱臣鞁臣趩뇥鞁臣蒁臣鎁臣貁迥붃臣ꪁ苣膀臣ꢁ臣覅胩躁軧貁볯薼苣誂냥閁臣讁臣讂臣꾁껥ꪳ髧ꮁ藥辀臩Ꞁ苣覜臣ꪁ臣节臣ꞁ臣ꎁ臣节냥ꪁ臣ꢁ苣颼볯ꖻ룤꺁駧覅諥螎苣覜臣讂駧覅듧邭苣鲽ꏨ鞁뻥讂胣ꪁ臣鎁臣鮚胣芁苣讁臣膂뷥邈臣讂ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂雨鲆臣醰臣辁臣节룤ꢃ苣몙藥ꂴ귥꺁꟦邈ꛨꂴ臣鞁臣ꢔ臣讂臣ꢁ苣꾏菨ꞁ臣讂胣㲂牢ਾ†鳦몙飦ꮁ臣蒁臣膀룤風臣袂臣ꮁ藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣膀苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣膀藩隌菣뾂菣膀菣뾂菣뢅菣ꪃ苣ꂃ胣膃苣뎃藩뢂菣뎂菣뢅觩膀藩隌苣莃菣ꪃ苣ꂃ臣ꦁ臣貸鳥麡藥ꂴ藩隌觧膀藩隌菣ꪃ苣ꂃ胣蒐꣧閃苣ꦃ苣袃胣ꂃ菣ꒂ菣膀菣ꦂ菣릂菣ꦃ苣袃胣릂菣ꊂ苣ꒂ菣膀뗧뚙賥겂菣릂胣ꪁ臣꺁郥꺨苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤讁苣ꪁ苣몟鷦ꮁ臣覂臣颁苣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣ꆄ껥ꊽ胣骤뗧뚙胣超郥Ꞁꓥ邵駦꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣蒁臣貂臣꺁뗧뚙諧讅苣覜臣讂雨鲆苣醰臣辁臣节꒱믤誸뷥邈臣膀臣꺁룤ꮁ臣覂臣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣颍뗧뚙雨鲆苣醰臣辁臣节꒱믤誸뷥邈臣ꚁ雨鲆鿥뾝臣鞁胣늩雨鲆鿥뾝苣ꢔ臣讂臣ꢁ臣袂苣龁臣袁藥辀臩螎臣醼볯袂苣辰臣蒁臣芁苣蒁臣龮돨蒚臣覅胩躁胦銂鳦鞁臣蒁苣꺁臣芁臣ꚁ苣醰臣辁臣节볯邼볯ꖻ룤꺁駧覅諥螎苣覜臣讂駧覅듧邭臣鲽ꏨ鞁뻥讂苣蚁臣ꪁ苣꺁臣붥臣鞁臣芀戼㹲 鎁臣袂臣ꮁ鳦몙飦ꮁ臣蒁臣膀藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣膀苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣膀藩隌菣뾂菣膀菣뾂菣뢅菣ꪃ苣ꂃ胣膃苣뎃藩뢂菣뎂菣뢅觩膀藩隌苣莃菣ꪃ苣ꂃ臣ꦁ臣貸鳥麡藥ꂴ藩隌觧膀藩隌菣ꪃ苣ꂃ胣蒐꣧閃苣ꦃ苣袃胣ꂃ菣ꒂ菣膀菣ꦂ菣릂菣ꦃ苣袃胣릂菣ꊂ苣ꒂ菣膀뗧뚙賥겂菣릂胣ꪁ臣꺁郥꺨苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤讁苣ꪁ苣몟鷦銂铧蒁臣节뻥ꖝ臣覂臣떂菣ꆂ苣ꊂ臣ꦁ臣颍뗧뚙鿥뾝苣ꢔ臣ꚁ뷤붣臣貂苣몙藥ꂴ귥ꮁ꿦릁臣몙藥릊軧貁냥ꪁ臣ꢁ苣貐귧讁胣肜ꓥ銼胣鎼胥ꖻ룤ꮁ铦蒖臣貂臣节臣銂迦鮾臣鞾苣芀㰊䥄㹖胣邼볯鞼볯醀⼼䥄㹖 겜駧躘臣誁臣ꚁ胣誸꣨꺁藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣膀苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣膀藩隌菣뾂菣膀菣뾂菣뢅菣ꪃ苣ꂃ胣膃苣뎃藩뢂菣뎂菣뢅觩膀藩隌苣莃菣ꪃ苣ꂃ臣ꦁ臣貸鳥麡藥ꂴ藩隌觧膀藩隌菣ꪃ苣ꂃ胣蒐꣧閃苣ꦃ苣袃胣ꂃ菣ꒂ菣膀菣ꦂ菣릂菣ꦃ苣袃胣릂菣ꊂ苣ꒂ菣膀뗧뚙賥겂菣릂胣ꪁ臣蒐꣧뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣覅胩躁軧ꢁ臣ꚁ냥ꪁ臣ꢁ苣醼볯ꖻ룤膀胩뢸볯邼볯ꖻ룤銂鳦馁苣节臣貁뷤붣臣鞾苣芀룤風藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣膀苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣膀藩隌菣뾂菣膀菣뾂菣뢅菣ꪃ苣ꂃ胣膃苣뎃藩뢂菣뎂菣뢅觩袼觧ꮁ룥龜ꇩ莅듧邈裥銂郥肂苣꺁볯膀藩隌苣莃菣ꪃ苣ꂃ胣뢅賥袃菣Ꚃ菣膀郥꺨菣Ꞃ菣ꒂ菣膀菣ꦃ苣袃胣閃苣ꮃ苣蚃菣ꒂ菣膀苣蚃苣뾂苣袃胣邵駦隌苣ꦃ苣膀臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣覅胩躁軧貁볯邼볯ꖻ룤꺁苣꺁臣鲽ꏨꞁ臣膀鳦Ꞥ볯邼볯ꖻ룤꺁苣꺁苣鲽ꏨ鞁뻥讂胣鶁臣궸臣뢅賥뢂菣뎂菣Ꚃ菣膀藩隌菣낂菣랂苣ꂃ胣ꊂ菣龃菣뢅菣낂菣랂苣ꂃ胣뢅賥ꒂ菣袃菣Ꚃ菣ꪁ臣꺁룥龜ꇩ뢅賥ꦉ胣뢅賥袃菣Ꚃ菣膀菣ꦃ苣袃胣邵駦隌苣ꦃ苣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤銂铧蒁苣鎁臣貁ꗥ뺁臣蒁胣뺁臣릉臣膀볯㲹畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢臣ꦁ臣貸鳥麡藥ꂴ賥袐觧芁苣蒁臣ꎼ뷯꾼臣ꦁ臣ꊂ菣ꮂ菣龜ꇩ醇뇥隌郥ꦉ郥肂藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽胣겼뷯ꚼ苣꺼뷯ꚼ臣ꦁ臣ꊂ菣ꮂ菣醇뇥芁苣蒁臣ꎼ뷯꾼臣ꦁ臣ꊂ菣ꮂ菣龜ꇩ醇뇥芁苣蒁臣림猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹢볯㲯畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲓猯扵ꪁ臣꺁룥龜ꇩ莅듧隌郥ꦉ苣ꮐ苣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤膀軥首룤蒂ꏨꂀ럥讨룤ꮁ럦ꖅ臣讂룤钴觧ꖻꓥ꺁裦蚈苣ꮐ臣ꪁ臣龮돨蒚臣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣ꂁ臣讁苣ꪁ苣버뗧鎽胣ꎼ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牢ਾ†룤風꟦邈臣蒖蛨銂ꇨ钼볯ꮁꓧ鞁臣貐臣뢅賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤讁苣ꪁ苣몟鷦ꮁ뷥邈臣龁臣趁苣膀臣覂臣颁苣ꊽ裦閁苣讂雨鲆臣醼볯邼菣ꮃ볯ꆼ뷯꺼藩醐胦骤뗧뚙臣鶁臣誸臣閁苣ꮁ뷥邈臣貂苣蒖蛨貁볯邼볯ꊃ菣薼볯貽볯芁苣蒁臣醼볯邼菣ꮃ볯Ꞽ뷯꺼跥邵駦蒖蛨꺁꟦邈臣覂臣讂苣꺁臣貐꟦꺁諥鲞苣覜臣讂臣ꢁ臣몢ꫨ閁苣龁胣设臣낁郥颁藩隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣覂臣讂鿥뾝臣뒛軦ꊽ裦鞁臣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣颍뗧뚙雨鲆臣邵駦Ꞁ苣誂胣芁苣讁臣膂ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧骮뷥膀ꓥ邵駦膀藩醐胦骤뗧뚙胣颍뗧뚙臣ꦁ郥꺨뗧뚙諧讅臣蒖蛨銂뷥邈臣鶁臣誸臣ꊽ裦鞁臣颍뗧뚙雨鲆臣뮁臣貁뗧뚙胦ꮁ蓥貂臣蒁苣鎁臣貁ꋧ趪臣貂臣芀㰊䥄㹖胣邼볯馼볯醀⼼䥄㹖 鎁臣袂臣ꮁ鳦龮雦设臣誁臣ꚁ藩隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣覂臣讂鿥뾝苣ꢔ臣龁ꃥ袐胣늩鿥뾝臣뒛軦ꊽ裦鞁臣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣颍뗧뚙雨鲆臣邵駦Ꞁ苣誂苣膀ꧨ몟鷦ꮁ臣覂臣颁苣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣ꆄ껥ꊽ胣骤뗧뚙胣超郥Ꞁꓥ邵駦膀跥邵駦ꪁ臣蒐꣧邵駦뚊藦꺁雨鲆苣ꊽ裦鞁臣꺁룤ꮁ臣覂臣ꊽ裦鞁臣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣颍뗧뚙雨鲆臣뮁臣貁뗧뚙胦꾁苣誂蓥貂臣节臣貁뻥覂苣讂臣ꢁ臣馁臣ꚁ臣龮꣩ꞁꋧ趪臣貂臣芀㰊䥄㹖胣邼볯馼볯醀⼼䥄㹖 겜껥붖뻤ꮁ臣蒁臣ꢡ볯颼臣風볨鞁臣讧裦꺁雨鲆迥뎁臣꺁믤ꮁ뷤붣臣龁臣릁臣꺁雨鲆臣隤ꛨ銂ꫨ릁臣貁臣覂臣颁苣몟鷦ꮁ뷥邈臣龁雨鲆迥뎁臣꺁룤ꮁ臣覂臣ꊽ裦鞁臣蒖蛨蒁臣貂苣꾂菣莃苣蒂臣뎁觥貂臣ꦁ臣ꂬ駩꾁ꛨ覂苣ꪁ臣芀臣龁胣颲鷧蚃菣鞃臣袂苣ꖉ鯩蚃苣袃苣財臣龁臣蒁臣貂臣蒖蛨节藩隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣覂臣讂鿥뾝臣꺁雩誏臣蒖蛨貐ꏥ꺁雩ꞁ觥ꊛ臣讦苣貂臣讁臣龁胣뺁臣膀鿥뾝ꇨꊝ臣蒖蛨ꮁ볯覽볯낼뷯込볯閽臣蒖蛨躰鯩Ꞁ鷦首苣ꊽ裦鞁臣醇뇥ꪃ菣覃苣꾁苣ꂁ믤醁臣芞鯧閼볥誂볥ꚺ苣뾪臣龁臣馁臣ꚁ볯ꮼ뷯込뷯趽猼灵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹰믤誸臣芁苣뢅賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤讁苣ꪁ苣몟鷦ꢁꧨ몟鷦ꮁ臣覂臣颁苣ꊽ裦鞁臣蒖蛨膀迥뎁ꧨ蒖蛨ꢁ臣꺁룤ꮁ臣覂臣ꊽ裦鞁臣颍뗧뚙雨鲆臣꾁볥몛臣ꖎ郥鞁臣蒁苣芀㰊䥄㹖胣邼볯馼볯醀⼼䥄㹖㰊䥄㹖胣ꢡ볯颼胣㲑䐯噉ਾ䐼噉㰾⁡牨晥∽〲㘰ㄳ㤵㈵琮晩㸢〲㘰ㄳ㤵㈵琮晩ꃂ〰〰㤴⼼㹡⼼䥄㹖ਊ⼼䥄㹖㰊䥄㹖䐼噉邀껥붖뻤鎼볯醀⼼䥄㹖㰊䥄㹖胣邼볯邼볯醀⼼䥄㹖 겜껥붖뻤꾁藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣膀苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣膀藩隌苣莃菣ꪃ苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣覂臣讂鿥뾝臣ꒁ臣ꚁ臣꺁藥辀臩Ꞁ苣뾪臣膀臣貂苣꺁鿥뾝苣ꢔ臣ꚁꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧骮뷥膀ꓥ邵駦膀藩醐胦骤뗧뚙胣颍뗧뚙臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节臣骁苣讁臣邵駦뚊藦銂鳦馁苣蒖蛨銂臣覂臣颁苣ꊽ裦鞁胣鶁臣誸臣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣颍뗧뚙雨鲆臣ꊽ裦銂ꧨ뾁臣设苣몤臣节臣ꞁ臣讂胣㲂牢ਾ†藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣膀苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤讁苣ꪁ苣몟鷦꾁껥붖뻤醼臣鲽ꏨ鞁臣버뗧鎽臣겜껥붖뻤ꞁ臣覂臣ꮁ뷤붣臣龁蓧邵뷤銂铧蒁臣鲽ꏨ鞁臣节臣꺁臣貂臣貂볯꺨ꇩ銂铧辄臣龁胣뢅賥ꒂ菣袃菣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤讁苣ꪁ苣몟鷦꾁鳦龮雦设臣낖臣ꮁ뷤붣臣龁胣㲂牢ਾ†鳦龮雦设臣誁臣ꚁ臣ꖻ룤ꮁꓧ馁雦閳臣袂苣뢅賥뢂菣뎂菣Ꚃ菣膀藩隌菣낂菣랂苣ꂃ胣ꊂ菣龃菣뢅菣낂菣랂苣ꂃ胣뢅賥ꒂ菣袃菣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤銂臣覂臣ꮁ뷤붣臣龁胣馁臣辂臣膀껥붖뻤醼臣ꢔ臣龁苣꺁臣貐臣覮껥隌觥ꢁ臣ꚁ볯㲹畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢苣鎼菣ꮃ볯ꮐ苣뢅賥뢂菣뎂菣Ꚃ菣龎雦銂铧辄臣膀껥붖뻤醼臣貐꟦龎雦覲鳦ꮁ蓧邵諥ꒉ臣ꂊ臣骁菣ꦃ菣ꎂ菣꾃菣꾂苣銂諥袁臣邈뷥ꢔ닧ꮜ苣鲽ꏨ鞁胣늩닧ꮜ苣肸믨鞃菣릂裦ꊽ뻥놄蓨鞁胣醼볯邼볯莄臣銼駦鎖胣Ꞝ諥醼볯邼볯螽볯莽뷯㲍畳⁰浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯灵膀ꓥ鞰룤ꞁ菣莃菣鞃菣릂臣ꚁ藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽苣鲽ꏨ鞁臣芀곦ꮁ껥붖뻤醼臣ꢔ臣龁苣꺁臣貐臣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣龎雦銂铧辄臣膀蓧邵諥ꒉ臣鞁臣ꎼ뷯꾼臣림猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹢볯㲯畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲓猯扵銂臣貂臣貂볯趇蟩薼臣ꒁ諥袁臣龮雦设볯ꢁ郥颧臣鲃菣ꮃ菣ꮃ臣覲ꃧ랷郥鞁胣鶁臣貾菣ꦃ菣ꎂ菣꾃菣꾂苣銂諥袁臣覲鳦銂룤뢻菣것苣邈뷥貾蓨芄臣膀볯隼볯邼蓢ꞁ볯芙雩Ꞥ냦궸臣뢸鳥버裦鞁臣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤銂뷤붣臣龁胣ꆬ臣龮雦设볯ꞁ铧蒁臣节臣ꢁ郥颁苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣龎雦銂铧辄臣膀藩隌菣낂菣랂苣ꂃ臣뒠郥ꢁ郥颧臣버뗧ꦊ觥ꢁ臣ꚁ볯膽볯ꢁ볯㲹畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢苣鶁苣麁苣邼볯醼蟩辇볯骁臣ꂊ臣ꚁ菣벃菣龃菣ꞁ닧閠럦袐臣膀臣꺁뻥醃菣閃苣뎃菣莃苣릂苣ꂊ臣ꚁ裦ꊽ铧覲鳦銂뷤붣臣膀룤뢻菣것苣邈뷥貾蓨芄臣膀볯隼볯邼蓢ꞁ볯芙雩뒰듧鞰뗦궸臣뢸鳥버裦鞁臣ꊂ菣龃菣뢅菣낂菣랂苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽苣鲽ꏨ鞁臣芀곦ꮁ껥붖뻤鎼볯ꞁ铧蒁臣节臣ꢁ郥颁볯㲹畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢닧ꮜ胣꒼뷯㲙畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢닧ꮜ胣ꢼ뷯㲏畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢닧ꮜ苣ꢔ蓦鞁胣뮸裦蚈臣鞁臣誸꣨림猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹢볯㲯畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲓猯扵覲鳦ꂁ臣銂铧蒁臣鲃菣ꮃ菣ꮃ臣覲ꃧ貾菣ꦃ菣ꎂ菣꾃菣꾂苣銂諥袁臣邈뷥ꢔ닧ꮜ苣鲽ꏨ鞁胣肸믨鞃菣릂裦ꊽ뻥놄蓨鞁胣醼볯邼볯莄臣鎼駦鎖ꓥ鞰룤ꞁ룥Ꞝ蓧邈臣ꚁ藩隌苣莃菣ꪃ苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽苣鲽ꏨ鞁臣芀臣龁裥ꮁ룤風볯㲹畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢닧ꮜ볯馼볯閼蟩辇볯ꮁ蓧邵諥ꒉ臣鞁臣꒼뷯㲙畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲒猯扵꾼猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰鎼⼼畳㹢迥뎁볯辽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹢볯㲯畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲓猯扵覲鳦鶁苣麁苣邼볯銼볯趇蟩薼臣ꒁ諥袁臣鲃菣ꮃ菣ꮃ臣覲ꃧ랷郥鞁胣鶁臣貾菣ꦃ菣ꎂ菣꾃菣꾂苣銂諥袁臣邈뷥ꢔ닧ꮜ苣鲽ꏨ鞁胣肸믨鞃菣릂裦ꊽ뻥놄蓨鞁胣銼볯邼볯莄臣鎼駦鎖냦ꂴ냦膵룤ꞁ룥Ꞝ蓧邈臣ꚁ藩隌苣莃菣ꪃ苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽苣鲽ꏨ鞁臣芀戼㹲 ꆬ臣龮雦设볯誏臣겜껥붖뻤ꞁ뷤붣臣龁郥버뗧鎽苣钠觥ꂊ럥貾닧蒾볯躼볯閼볎뷯꺁苣궃苣覃諧뢅賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣讁苣ꪁ苣钠ꏧꒉ苣ꢔ臣ꚁ迩ꊝꃧꢣ臣ꊂ苣袃菣誏臣ꒂ苣鞃菣钃菣ꊂ菣뎂菣ꮃ臣鞴뗦鞁臣뒛뻥銼볯躼볯趽뷯骎臣邼볯閼뷯趽臣蚆鯧뚊鿥뾝苣鲽ꏨ鞁臣芀†戼㹲 鎁臣袂臣ꮁ臣ꚁ뷤붣臣龁鿥뾝臣ꒁ臣ꚁ돦랕볯邼볯躽뷯꺁藥ꮁ꿥馁苣覅胩躁胦銂룦骮臣龁臣馁臣ꚁ臣몟鷦꾁藥辀臩Ꞁ苣覜臣讂臣ꢁ臣몢ꫨ閁苣龁胣鶁臣貾臣貂苣꺁鿥뾝臣龮雦设볯鞼臣貐꟦꺁雦閳臣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣ꆄ껥ꊽ胣骤뗧뚙胣超郥Ꞁꓥ邵駦꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣蒁臣貂臣꺁뗧뚙諧讅苣覜臣讂雨鲆苣芁苣讁臣膂軥뾁볯캓趽뷥邈臣膀臣覂臣鶁臣誸臣骎臣鎼볎뷯ꞁꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂跥邵駦蒖蛨꺁뷥邈苣ꚩ臣龁胣鶁臣邵黦躘苣讁臣겜껥붖뻤ꞁ뷤붣臣龁藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣膀苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤讁苣ꪁ苣몟鷦ꮁ臣颍뗧뚙雨鲆臣ꊽ裦ꞁ臣讂臣ꢁ臣몢ꫨ閁苣龁胣㲂牢ਾ†臣貂苣꺁뗧鲞苣ꢡ볯馼臣몤臣龁胣㲂牢ਾ†藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣膀苣ꮃ菣뎃藩麃苣趃苣Ꚃ菣膀藩隌苣莃菣ꪃ苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣覂臣讂鿥뾝苣뎹鷥ꢡ鷩鞲臣늼뷯貁볯邼뷯趽믤许臣节臣貁뷤붣臣鞾苣鎁臣貁ꋧ趪臣貂臣芀臣龁胣겜껥붖뻤ꞁ뷤붣臣龁藩隌苣ꮃ苣讃苣ꂃ胣뢅賥麃苣趃苣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤讁苣ꪁ苣몟鷦꾁맥螝ꇨꊝ닧閁볯膽臣閼뷯趽믤许臣节臣貁뷤붣臣鞾苣鎁臣貁ꋧ趪臣貂臣芀臣龁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蛨ꊽ裦ꢔ鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ鎼볯颼볯蒖蛨貁냥ꪁ臣ꢁ苣銼믤誸臣꒱臣讧裦閁苣늩雨鲆臣蚁臣醰臣辁臣节볯꒱臣躰鯩Ꞁ苣覜臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ鎼볯鞼胣鎼볯颼胣鎼볯馼胣鎼볯邼胣鎼볯醼胣鎼볯銼胣鎼볯鎼胣鎼볯钼胣鎼볯閼胣鎼볯隼胣鎼볯鞼胣鎼볯颼胣鎼볯馼胣鎼볯邼胣鎼볯醼胣鎼볯銼胣鎼볯鎼胣鎼볯钼胣鎼볯閼胣鎼볯隼胣鎼볯鞼胣鎼볯颼胣鎼볯馼胣鎼볯邼胣鎼볯醼胣鎼볯銼胣鎼볯鎼胣鎼볯钼胣鎼볯閼胣鎼볯隼胣鎼볯鞼胣鎼볯颼胣鎼볯馼胣鎼볯邼胣鎼볯醼胣鎼볯銼胣鎼볯鎼胣鎼볯钼胣鎼볯閼迥꾁볯隼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁雨鲆뷥邈铧몟鷦芀戼㹲 薠볯隼볯躼냥뮛胦銂鳦馁苣蒖蛨꺁껥ꦸ臣誁臣讂諦鞊軧貁볯쎑醼볯㲐畳⁰浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲔猯灵츾뮃뷯趽믤许臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯袏臣鎼볯颼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣蒖蛨ꊽ裦ꢔ鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ鎼볯邼볯躰鯩Ꞁ苣覜臣讂雨鲆臣꒮룦ꮁ臣醁苣떊諦螎臣醼韃볯邼猼灵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰銼⼼畳㹰꧎菣莽뷯ꖻ룤ꞁ臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ鎼볯馼臣風볨閁苣龁雨鲆뷥邈铧몟鷦芀戼㹲 薠볯鞼볯躼냥뮛胦銂鳦馁苣蒖蛨꺁껥ꦸ臣誁臣讂諦鞊軧貁볯쎑醼볯㲐畳⁰浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯㲑猯灵츾뮃뷯趽믤许臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯隼볯袏臣鎼볯邼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣蒖蛨ꊽ裦ꢔ鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ鎼볯銼볯躰鯩Ꞁ苣覜臣讂雨鲆臣꒮룦ꮁ臣醁苣떊諦螎臣醼韃볯邼猼灵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰邼⼼畳㹰꧎菣莽뷯ꖻ룤ꞁ臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ鎼볯馼胣鎼볯邼迥꾁볯鞼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁雨鲆뷥邈铧몟鷦芀戼㹲 薠볯鞼볯躼ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂雨鲆苣ꊽ裦馁苣龁苣꺁鿥뾝臣芁臣ꚁ胣늩鿥뾝臣ꊽ裦閁苣讂雨鲆臣ꆼ뷯㲌畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢뷯㲘猯扵Ꞽ뷯㲁畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯銈뷯㲘猯扵꺼볯邼觢颽觢醼볯邼볯꺁賥ꚭ볥ꞁ臣覂苣閁苣讂뗧邈觧銂룤邈裥ꢁ臣讂苣꺁臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯膀볯膀볯膀볯膀볯膀볯膀볯膀볯膀볯膀볯邼胣醼볯膀볯銼胣醼볯膀볯钼胣醼볯膀볯隼胣醼볯膀볯颼胣醼볯膀볯邼胣銼볯膀볯銼胣銼볯膀볯钼胣銼볯膀볯隼胣銼볯膀볯颼胣銼볯膀볯邼胣鎼볯膀볯銼胣鎼볯膀볯钼胣鎼볯膀볯隼胣鎼볯膀볯颼胣鎼볯膀볯邼胣钼볯膀볯銼胣钼볯膀볯钼胣钼볯膀볯隼胣钼볯膀볯颼胣钼볯膀볯邼胣閼볯膀볯銼胣閼볯膀볯钼胣閼볯膀볯隼胣閼볯膀볯颼胣閼볯膀볯邼胣隼볯膀볯銼胣隼볯膀볯钼胣隼볯膀볯隼胣隼볯膀볯颼胣隼볯膀볯邼胣鞼볯膀볯銼胣鞼볯膀볯钼胣鞼볯膀볯隼胣鞼볯膀볯颼胣鞼볯膀볯邼胣颼볯膀볯銼胣颼볯膀볯钼胣颼볯膀볯隼胣颼볯膀볯颼胣颼볯膀볯邼胣馼볯膀볯銼胣馼볯膀볯钼胣馼볯膀볯隼胣馼볯膀볯颼胣馼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯袏臣鎼볯銼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣蒖蛨ꊽ裦ꢔ鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ鎼볯钼볯蒖蛨貁볯貽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰颽⼼畳㹢볯膽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰醼裢颽⼼畳㹢볯袼볯ꚉ뷯ꚉ볯躼볯覼臣隌귥込臣芁苣辂臣貂苣蒵裦ꦉ苣뮸裦蚈臣鞁臣覂臣궼뷯袼菣낂菣랂苣ꂃ볯膀볯薽볯馃菣ꪃ苣ꂃ볯膀볯躽볯鲺觩覼臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸臣邈裥銂ꧨ蒵裦ꦉ臣뺯臣ꚁ藥ꂴ迦鞮臣邼볯邼볯邼볯醼胣醼볯ꊃ菣薼臣蒯鯥ꞁ郥肂苣꺁臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯鞼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒖蛨ꊽ裦ꢔ鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ鎼볯閼볯蒖蛨貁볯貽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰颽⼼畳㹢볯膽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰醼裢颽⼼畳㹢볯袼볯ꚉ뷯ꚉ볯躼볯覼臣隌귥込臣芁苣辂臣貂苣蒵裦ꦉ苣뮸裦蚈臣鞁臣覂臣뎼뷯袼迧ꂴ볯銂ꧨ蒵裦ꦉ臣뺯臣ꚁ藥ꂴ迦鞮臣邼볯邼볯邼볯醼胣醼볯ꊃ菣薼臣蒯鯥ꞁ郥肂苣꺁臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯鞼볯袏臣鎼볯钼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣蒖蛨ꊽ裦ꢔ鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ鎼볯隼볯蒖蛨貁볯貽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰颽⼼畳㹢볯膽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰醼裢颽⼼畳㹢볯袼볯ꚉ뷯ꚉ볯躼볯覼臣隌귥込臣芁苣辂臣貂苣蒵裦ꦉ苣뮸裦蚈臣鞁臣覂臣늩뗧邈觧ꮁ꿥鞁臣궼뷯膀볯薽胣몼뷯꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤꺁裦蚈迥뎁볯覽臣銂郥芙臣袐꣨ꞁ藥ꂴ迦鞮臣邼볯邼볯邼볯醼胣醼볯ꊃ菣薼臣蒯鯥ꞁ郥肂苣꺁臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯鞼볯膀볯鞼볯袏臣鎼볯閼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣蒖蛨ꊽ裦ꢔ鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ鎼볯鞼볯蒖蛨貁볯貽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰颽⼼畳㹢볯膽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰醼裢颽⼼畳㹢볯袼볯ꚉ뷯ꚉ볯躼볯覼臣꺁賥ꚭ볥芁苣辂臣貂苣蒵裦ꦉ苣뮸裦蚈臣馁苣节臣ꞁ臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ鎼볯鎼胣鎼볯钼胣鎼볯閼迥꾁볯鞼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁雨鲆뷥邈铧몟鷦芀戼㹲 薠볯鞼볯躼雨鲆臣ꆼ뷯㲌畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢뷯㲘猯扵Ꞽ뷯㲁畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯銈뷯㲘猯扵꺼볯邼觢颽觢邼볯隼볯ꞁ臣隌귥込臣覂苣閁苣讂뗧邈觧銂룤邈裥ꢁ臣閁苣ꮁ볯螽胣ꊼ뷯膀볯躽臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸臣邈裥銂ꧨ蒵裦ꦉ臣뺯臣ꚁ藥ꂴ迦鞮臣邼볯邼볯邼볯醼胣醼볯ꊃ菣薼臣蒯鯥ꞁ郥肂苣꺁臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯鞼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒖蛨ꊽ裦ꢔ鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ鎼볯馼볯蒖蛨貁볯貽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰颽⼼畳㹢볯膽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰醼裢颽⼼畳㹢볯袼볯ꚉ뷯ꚉ볯躼볯覼臣隌귥込臣芁苣辂臣貂苣蒵裦ꦉ苣뮸裦蚈臣鞁臣覂臣뎼뷯銂ꧨ蒵裦ꦉ臣뺯臣ꚁ藥ꂴ迦鞮臣邼볯邼볯邼볯醼胣醼볯ꊃ菣薼臣蒯鯥ꞁ郥肂苣꺁臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯鞼볯袏臣鎼볯颼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣蒖蛨ꊽ裦ꢔ鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ鎼볯邼볯蒖蛨貁볯貽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰颽⼼畳㹢볯膽猼扵砠汭獮樺㵰栢瑴㩰⼯睷⹷灪⹯潧樮≰醼裢颽⼼畳㹢볯袼볯ꚉ뷯ꚉ볯躼볯覼臣隌귥込臣芁苣辂臣貂苣蒵裦ꦉ苣뮸裦蚈臣鞁臣覂臣늩뗧邈觧ꮁ꿥鞁臣궼뷯膀볯薽胣몼뷯꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤꺁裦蚈迥뎁볯覽臣銂郥芙臣袐꣨ꞁ藥ꂴ迦鞮臣邼볯邼볯邼볯醼胣醼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꺁룤ꮁꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂跥邵駦膀藩醐胦骤뗧뚙胣骤뗧뚙胣ꆄ껥ꊽ臣蚁臣讁苣뢁臣貂苣醰臣辁臣节臣骁苣讁臣邵駦뚊藦銂鳦馁苣蒖蛨貁냥ꪁ臣ꢁ苣醼뇥ꖻ룤ꊽ裦閁苣膀臣覂臣鶁臣誸臣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣颍뗧뚙雨鲆臣醰臣辁臣节볯꒱믤誸뷥邈臣貂臣蒁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯邼볯鞼胣醼볯銼볯膀볯邼볯馼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯醼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯閼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯鞼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯馼胣醼볯钼볯膀볯邼볯醼胣醼볯钼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯钼볯袏臣醼볯钼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁雨鲆鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ醼볯钼볯躼냥ꪁ臣ꢁ苣銼믤誸臣꒱臣覂꟦邈臣貂臣蒁苣蒖蛨ꮁ臣蒁臣馁臣ꚁ臣꒱臣颍뗧뚙臣醁臣覂꟦邈臣貂臣蒁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯邼볯鞼胣醼볯銼볯膀볯邼볯馼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯銼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯閼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯馼迥꾁볯邼볯钼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣蒖蛨몟鷦芀戼㹲 薠볯邼볯颼볯銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣颍뗧뚙雨鲆臣몟鷦꺁ꇨꊝ臣ꊽ裦閁苣ꚁ臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ閼볯鞼胣閼볯颼胣閼볯馼胣閼볯邼胣閼볯醼胣閼볯銼胣閼볯鎼胣閼볯钼胣閼볯閼胣閼볯隼胣閼볯鞼胣閼볯颼胣閼볯馼胣閼볯邼胣閼볯醼胣閼볯銼胣閼볯鎼胣閼볯钼胣閼볯閼胣閼볯隼胣閼볯鞼胣閼볯颼胣閼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣醼볯邼볯膀볯邼볯醼胣醼볯邼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯邼볯膀볯邼볯閼胣醼볯邼볯膀볯邼볯鞼胣醼볯邼볯膀볯邼볯馼胣醼볯醼볯膀볯邼볯醼胣醼볯醼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯醼볯膀볯邼볯閼胣醼볯醼볯膀볯邼볯鞼胣醼볯醼볯膀볯邼볯馼胣醼볯銼볯膀볯邼볯醼胣醼볯銼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯銼볯膀볯邼볯閼胣醼볯銼볯膀볯邼볯鞼胣醼볯銼볯膀볯邼볯馼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯醼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯閼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯鞼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯馼胣醼볯钼볯膀볯邼볯醼胣醼볯钼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯钼볯膀볯邼볯閼胣醼볯钼볯袏臣醼볯钼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁雨鲆鿥뾝胣㲂牢ਾ†ꃩ醼볯钼볯躼ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂跥邵駦蒖蛨꺁볯뢻臣몟鷦ꊝ臣뺯臣ꚁ黥뒛臣릖郥ꮁ뷥邈臣貂臣蒁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀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閼볯颼胣閼볯馼胣閼볯邼胣閼볯醼胣閼볯銼胣閼볯鎼胣閼볯钼胣閼볯閼胣閼볯隼胣閼볯鞼胣閼볯颼胣閼볯馼胣閼볯邼胣閼볯醼胣閼볯銼胣閼볯鎼胣閼볯钼胣閼볯閼胣閼볯隼胣閼볯鞼胣閼볯颼胣閼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣隼볯邼胣隼볯醼胣隼볯銼胣隼볯鎼胣隼볯钼胣隼볯閼胣隼볯隼胣隼볯鞼胣隼볯颼胣隼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣鞼볯邼胣鞼볯醼胣鞼볯銼胣鞼볯鎼胣鞼볯钼胣鞼볯閼胣鞼볯隼胣鞼볯鞼胣鞼볯颼胣鞼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣颼볯邼胣颼볯醼胣颼볯銼胣颼볯鎼胣颼볯钼胣颼볯閼胣颼볯隼胣颼볯鞼胣颼볯颼胣颼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣馼볯邼胣馼볯醼胣馼볯銼胣馼볯鎼胣馼볯钼胣馼볯閼胣馼볯隼胣馼볯鞼胣馼볯颼胣馼볯馼胣醼볯邼볯膀볯邼볯醼胣醼볯邼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯邼볯膀볯邼볯閼胣醼볯邼볯膀볯邼볯鞼胣醼볯邼볯膀볯邼볯馼胣醼볯醼볯膀볯邼볯醼胣醼볯醼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯醼볯膀볯邼볯閼胣醼볯醼볯膀볯邼볯鞼胣醼볯醼볯膀볯邼볯馼胣醼볯銼볯膀볯邼볯醼胣醼볯銼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯銼볯膀볯邼볯閼胣醼볯銼볯膀볯邼볯鞼胣醼볯銼볯膀볯邼볯馼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯醼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯閼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯鞼胣醼볯鎼볯膀볯邼볯馼胣醼볯钼볯膀볯邼볯醼胣醼볯钼볯膀볯邼볯鎼胣醼볯钼볯膀볯邼볯閼胣醼볯钼볯膀볯邼볯鞼迥꾁볯邼볯颼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣蒖蛨몟鷦芀戼㹲 薠볯邼볯銼볯銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣超郥Ꞁꓥ邵駦蒖蛨꺁볯뢻臣몟鷦ꊝ臣뺯臣ꚁ냦뎹臣릖郥ꮁ뷥邈臣貂臣蒁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯邼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯醼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯銼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯鎼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯钼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯閼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯隼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯鞼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯颼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯膀볯馼볯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钼볯钼胣醼볯隼볯膀볯钼볯隼胣醼볯隼볯膀볯钼볯颼迥꾁볯钼볯馼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯醼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ胣銪賥ꒂ菣뢂苣ꂃ胣銪賥ꊂ菣龃菣Ꚃ菣꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣醼꣧ꖻ룤銂룤邈裥ꢁ臣讂雨鲆臣醰臣辁臣节跥邵駦蒖蛨꒱苣覜臣늩跥邵駦蒖蛨꒱臣骎臣貁볯邼볯캐趽鳦肺臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯隼胣醼볯閼볯膀볯钼볯颼胣醼볯閼볯膀볯钼볯邼胣醼볯隼볯膀볯钼볯銼胣醼볯隼볯膀볯钼볯钼胣醼볯隼볯膀볯钼볯隼胣醼볯隼볯膀볯钼볯颼胣醼볯隼볯袏臣醼볯鞼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁駧覅듧邭胣㲂牢ਾ†ꃩ醼볯鞼볯躼ꇨꊝ닧閁臣Ꞥ臣蒁苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤ꮁ뷥邈臣貂臣銪賥겂菣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣뎃苣Ꚃ菣膀ꫧ隌苣ꮃ菣讃苣ꂃ臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节볯꺨믤誸苣뮸裦蚈臣馁苣蒖蛨貁냥ꪁ臣ꢁ苣颍뗧뚙雨鲆뇥銂鳦鞁ꧨ颍뗧뚙雨鲆뇥꺁軥뾁臣銼볯邼볎뷯ꖻ룤ꞁ臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯鞼볯ꮁ꣨覼臣貂臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯鎼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣醰臣辁臣节볯躼볯躽뷯ꖻ룤꺁軥뾁苣覜臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯閼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯閼볯膀볯钼볯馼胣醼볯隼볯膀볯钼볯醼胣醼볯隼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯隼볯膀볯钼볯閼胣醼볯隼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯隼볯膀볯钼볯馼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯醼迥꾁볯钼볯銼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯钼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣醰臣辁臣节볯躼볯躽뷯ꖻ룤꺁軥뾁苣覜臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯鞼볯ꮁ꣨覼臣貂臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯閼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣醰臣辁臣节볯躼볯캓趽믤誸臣骎臣銂鳦馁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯鎼迥꾁볯钼볯钼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯隼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣醰臣辁臣节볯躼볯캕趽믤誸臣骎臣銂鳦馁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯鎼胣醼볯鞼볯袏臣醼볯鞼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁駧覅듧邭胣㲂牢ਾ†ꃩ醼볯鞼볯躼ꇨꊝ닧閁臣Ꞥ臣蒁苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤ꮁ뷥邈臣貂臣蒖蛨貁냥ꪁ臣ꢁ苣醼볯캐趽믤誸臣骎臣銂鳦馁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯鎼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯閼迥꾁볯钼볯隼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯颼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣醰臣辁臣节볯邼볎뷯ꖻ룤꺁軥뾁苣覜臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯鞼볯膀볯钼볯钼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯隼迥꾁볯钼볯鞼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯馼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣醰臣辁臣节ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ苣ꮐ鳦馁苣节臣ꞁ臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯閼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯閼볯膀볯钼볯馼胣醼볯隼볯膀볯钼볯醼胣醼볯隼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯隼볯膀볯钼볯閼胣醼볯隼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯隼볯膀볯钼볯馼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯醼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯閼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯鞼迥꾁볯钼볯颼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯邼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣醰臣辁臣节ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ苣ꮐ苣讁臣讂臣꾁ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣蒖蛨銂鳦馁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯隼胣醼볯閼볯膀볯钼볯颼胣醼볯閼볯膀볯钼볯邼胣醼볯隼볯膀볯钼볯銼胣醼볯隼볯膀볯钼볯钼胣醼볯隼볯膀볯钼볯隼胣醼볯隼볯膀볯钼볯颼胣醼볯隼볯膀볯钼볯邼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯銼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯钼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯隼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯颼迥꾁볯钼볯馼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯醼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣銪賥겂菣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂苣꺁臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯馼迥꾁볯钼볯邼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯銼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣ꆼ뷯㲌畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢뷯㲘猯扵Ꞽ뷯㲁畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢뷯㲙猯扵ꦼ뷯㲎畳⁢浸湬㩳灪∽瑨灴⼺眯睷樮潰朮⹯灪㸢볯銈뷯銈뷯㲙猯扵꺼볯邼볯馽觢醼볯ꞁꇨ辂臣貂苣蒵裦銂鳦馁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯馼胣醼볯颼볯袏臣醼볯颼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁駧覅듧邭胣㲂牢ਾ†ꃩ醼볯颼볯躼ꇨꊝ닧閁臣Ꞥ臣蒁苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤ꮁ뷥邈臣貂臣蒖蛨貁ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ苣閼볯ꊃ菣薼믤誸郥肂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯鞼볯膀볯钼볯邼胣醼볯颼볯袏臣醼볯颼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁駧覅듧邭胣㲂牢ਾ†ꃩ醼볯颼볯躼ꇨꊝ닧閁臣Ꞥ臣蒁苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤ꮁ뷥邈臣貂臣醰臣辁臣节ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ苣ꮐ苣讁臣讂臣꾁ꫧ隌苣ꪃ苣ꂃ苣뮸裦蚈臣馁苣蒖蛨貁蓧骮뷥膀ꓥ邵駦膀藩醐胦骤뗧뚙胣颍뗧뚙臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节臣骁苣讁臣邵駦뚊藦ꞁ臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯鞼볯膀볯钼볯邼胣醼볯颼볯膀볯钼볯銼迥꾁볯钼볯鎼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯閼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣銪賥겂菣Ꚃ菣銂郥肂臣芁苣蒁臣銪賥겂菣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂雨鲆臣颍뗧뚙臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯钼臣風볨閁苣龁駧覅듧邭胣㲂牢ਾ†ꃩ醼볯颼볯躼ꇨꊝ닧閁臣Ꞥ臣蒁苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤ꮁ뷥邈臣貂臣肜룤꒱臣蒖蛨貁냥ꪁ臣ꢁ苣銪賥겂菣Ꚃ菣銂郥肂臣芁苣蒁臣銪賥겂菣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂苣꺁臣芁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯馼胣醼볯颼볯膀볯钼볯醼胣醼볯颼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯颼볯袏臣醼볯颼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁駧覅듧邭胣㲂牢ਾ†ꃩ醼볯颼볯躼ꇨꊝ닧閁臣Ꞥ臣蒁苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂蓧邵뷤ꮁ뷥邈臣貂臣肜룤꒱臣蒖蛨貁냥ꪁ臣ꢁ苣銪賥겂菣Ꚃ菣銂郥肂臣芁苣蒁臣銪賥겂菣Ꚃ菣銂룤邈裥ꢁ臣讂跥邵駦ꞁ臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯颼볯ꮁ꣨覼臣貂臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯颼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣颍뗧뚙胣ꆄ껥ꊽ胣骤뗧뚙胣超郥Ꞁꓥ邵駦꺁臣ꆁ臣覂臩낁苣龁냥ꪁ臣ꢁ苣蒁臣貂臣銼믤誸臣邵駦뚊藦貁郥芙臣랷鳥鞁臣蒁苣节臣讁苣ꪁ苣鎁臣銂鳦馁苣鎁臣銂觧뒾臣馁苣薠볯钼볯隼胣醼볯閼볯膀볯钼볯颼胣醼볯閼볯膀볯钼볯邼胣醼볯隼볯膀볯钼볯銼胣醼볯隼볯膀볯钼볯钼胣醼볯隼볯膀볯钼볯隼胣醼볯隼볯膀볯钼볯颼胣醼볯隼볯膀볯钼볯邼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯銼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯钼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯隼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯颼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯邼胣醼볯颼볯膀볯钼볯銼胣醼볯颼볯膀볯钼볯钼胣醼볯颼볯膀볯钼볯隼迥꾁볯钼볯鞼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯馼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁雨鲆臣颍룤꒱臣讂臣꾁냥ꪁ臣ꢁ苣銼믤誸臣꒱臣覂臣誂胣늩雨鲆臣醰臣辁臣节볯ꖻ룤꺁뇥貁跥邵駦膀蓧骮뷥膀ꓥ邵駦膀藩醐胦骤뗧뚙臣蚁臣讁苣뢁臣貂臣醰臣辁臣节臣骁苣讁볯ꖻ룤꺁뗧뚙諧讅臣貐駦ꮁ럦ꢜ臣ꚁ臣讂苣꺁臣覂臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯閼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯閼볯膀볯钼볯馼胣醼볯隼볯膀볯钼볯醼胣醼볯隼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯隼볯膀볯钼볯閼胣醼볯隼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯隼볯膀볯钼볯馼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯醼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯閼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯馼胣醼볯颼볯膀볯钼볯醼胣醼볯颼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯颼볯膀볯钼볯閼胣醼볯颼볯膀볯钼볯鞼迥꾁볯钼볯颼臣風볨閁苣龁臣骁苣讁臣몙藥ꂴ귥芀戼㹲 薠볯钼볯邼볯ꢡ鷩鞲臣꺁ꓥ趁臣뮂菣龃菣꾂鷦首苣뮸裦蚈臣馁苣버뗧鎽臣ꊽ裦閁苣龁跥邵駦蒖蛨꺁菣ꦃ菣螌闦袼볯邼볯覼臣베귥ꊝ臣뢼럧麛諦궃菣궂菣낂苣벃菣꺁跥ꒀ맥貁볯隼볯邼꟧ꖻ룤ꞁ臣讂臣ꢁ苣릉뻥ꢁ臣讂ꃩ醼볯閼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯閼볯膀볯钼볯馼胣醼볯隼볯膀볯钼볯醼胣醼볯隼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯隼볯膀볯钼볯閼胣醼볯隼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯隼볯膀볯钼볯馼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯醼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯閼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯鞼볯膀볯钼볯馼胣醼볯颼볯膀볯钼볯醼胣醼볯颼볯膀볯钼볯鎼胣醼볯颼볯膀볯钼볯閼胣醼볯颼볯膀볯钼볯鞼胣醼볯颼볯袏臣醼볯颼볯ꮁ꣨覼臣貂臣蒁臣貂臣꺁駧覅듧邭胣㲂牢ਾ†ꃩ醼볯馼볯躼ꇨꊝ닧閁臣Ꞥ臣蒁苣ꦃ菣莃苣邝雦銂룤邈裥ꢁ臣讂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