(57)【要約】【課題】ノズル孔出口近傍の十分な清浄が得られると共に、高い印字品質が維持できるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】インク滴を吐出する複数のノズル孔２２５からなるノズル孔列が形成されたノズルプレート２２４と、少なくとも前記ノズルプレート２２４の一部を覆って保護するノズルプレート保護部材２４０を備えているノズルプレート保護部材２４０の端縁のうち、少なくとも、ノズルプレート２２４のノズル列に隣接する端縁２４２が、ノズル列の方に向けて徐々に部材厚さが薄くなるように形成されている。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク滴を吐出する複数のノズル孔からなるノズル孔列が形成されたノズルプレートと、少なくとも前記ノズルプレートの一部を覆って保護するノズルプレート保護部材を備えたインクジェットヘッドにおいて、前記ノズルプレート保護部材の主要部分が平板状部材で形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記ノズルプレート保護部材の、残留インクを払拭するワイパーブレードの払拭動作方向と垂直な端縁のうち、少なくとも前記ノズルプレートのノズル列に隣接する端縁が、ノズル列の方に向けて徐々に部材厚さが薄くなるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記ノズルプレート保護部材の端縁形状が、該ノズルプレート保護部材の厚さをもとにするときノズル面に対して垂直方向寸法が１／２ｔ以下、水平方向寸法が１ｔ以上であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記ノズルプレート保護部材は、前記ノズルプレートの周囲に設けられたフレーム部材に植設されたピンと前記ノズルプレート保護部材に穿たれた孔とで位置決め及び固定されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記ノズルプレート保護部材は、ピン受け部材を介して前記フレーム部材に植設されたピンと前記ノズルプレート保護部材の裏面とが接合固着されていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ノズルプレート保護部材は、前記フレーム部材に設けられた凹部と前記ノズルプレート保護部材の裏面とが接着剤で接合固着されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記ノズルプレート保護部材は、前記ノズルプレートの非撥水処理領域と前記ノズルプレート保護部材の裏面とが接着剤で接合固着されていることを特徴とする請求項５又は６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記ノズルプレート保護部材の裏面と接着接合するための前記ノズルプレートの非撥水処理領域が、前記ノズルプレート保護部材に全て覆われていることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記ノズルプレートの非撥水処理領域が、撥水処理終了後、撥水処理面側から意図的に付けられた傷状の非撥水処理領域であることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記ノズルプレート保護部材の主要部分が、金属のシート状材料で形成されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
前記ノズルプレート保護部材の主要部分が、樹脂のシート材料で形成されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】
前記ノズルプレート保護部材の主要部分が、ＵＶ光を透過する材料であることを特徴とする請求項１１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１３】
前記ノズルプレート保護部材が、ワイパーブレードの払拭動作方向上流側と下流側の少なくとも２部品に分割して構成されていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１４】
ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドを備え、記録媒体上に画像を形成する画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１乃至１３のいずれか１に記載のインクジェットヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１５】
前記ノズルプレート保護部材の外形形状が形成される前に、少なくとも前記ノズルプレート保護部材の表面側に撥水処理を施すことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１に記載のインクジェットヘッドを製造するためのインクジェットヘッド製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録装置に使用されるインクジェットヘッド、より詳細には、インクジェットヘッドのノズルプレート保護部材の構成及びその製造方法、及び該インクジェットヘッドを用いた画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドは、一般に、インク滴を吐出する複数のノズル開口が設けられたノズルプレートを、前記ノズル開口に連通する流路を有する流路形成部材と、前記流路内のインクを加圧するアクチュエータとを有し、該アクチュエータを駆動して、前記流路内のインクを加圧し、前記ノズル開口よりインク滴を吐出させて、記録媒体上に記録するものであるが、更に、前記ノズルプレートのノズル面の周縁部にノズル保護部材を設けている。
【０００３】
特開２００１−２９３８８１号公報（特許文献１）に記載の発明では、ノズル保護部材の側面各角部に切り込みが形成されていて、曲げ加工で製作でき安価にできるとともに、取り付け時のがたつきがなくノズル面に密着させることができるようにしている。
【０００４】
特開２００４−２８４２５５号公報（特許文献２）に記載の発明では、ノズルプレートの外縁部を覆うノズルカバーを設けるとともに、該ノズルカバーのノズル面を露出させる開口部に、複数のノズル列群の間に架け渡されてノズル面を覆う桟を設けることで、露出面積を最小限としてノズル面損傷を防止することができるようにしている。
【０００５】
特開２００３−３４１０７９号公報（特許文献３）に記載の発明では、ノズルカバーは弾性を有し、開口部の対向する２辺がノズルプレート側に反って形成され、そのそりを戻すようにノズル面に押し付けて取り付けることにより、ノズル面に密着させることができるようにしている。
【特許文献１】特開２００１−２９３８８１号公報
【特許文献２】特開２００４−２８４２５５号公報
【特許文献３】特開２００３−３４１０７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来技術では、金属材料の絞り加工や折り曲げ加工でノズルプレート保護部材を形成したり、また、樹脂材料の成型で箱型の形状を形成しているものもある。これらはいずれも箱型の立体形状を構成するものであり、ノズル面に高い精度で密着して、ワイパーブレードでのワイピング動作及び効果を十分なものとするためには、すなわち、インクの拭き残しがなく清浄なノズル面を長期間維持するためには、必ずしも十分なものではなかった。その結果、ノズル孔出口近傍の十分な清浄度が得られず、インク滴の吐出が正常でなくなり印字品質の低下を招くこととなっていた。
【０００７】
本発明は、上述のごとき不具合を解消して、ノズル孔出口近傍の十分な清浄度が得られると共に、高い印字品質が維持できるインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
請求項１の発明の課題及び目的：
ノズルプレート保護部材の形状を十分精度の高いものとすることで、ノズル面とノズルプレート保護部材との密着精度を向上させ、これにより、ワイピングブレードが精度良くノズル面に当接することで、ノズル孔出口近傍の十分な清浄度を得る。また、ノズル面とノズルプレート保護部材の境界部にインクの拭き残しを十分なレベルまで低減することが可能となる。更には、ワイパーブレードの先端部が当接するノズルプレート保護部材の内側端部の段差が小さくできるため、ワイパーブレード先端部の傷、摩耗を防止することができ、長期間安定したワイピング性能を維持することができる。
これらを可能とすることで高い印字品質を維持することができるインクジェットヘッドを提供することができる。
【０００９】
請求項２，３の発明の課題及び目的：
ノズルプレート保護部材を平板状部材で構成するには、部材の剛性を確保するため、どうしても部材厚さをある程度厚くする必要があるが、厚くするとワイパーブレードの先端部が当接するノズルプレート保護部材の内側端部の段差が大きくなってしまい、たとえ、ノズルプレート保護部材がノズルプレート表面に精度良く密着していたとしても、ワイパーブレード先端部の傷、摩耗を防止することができなくなったり、ノズル面とノズルプレート保護部材の境界部にインクの拭き残しが発生してしまう。
ノズルプレート保護部材の厚さを、ノズル列の方向に向けて徐々に薄くすることでこれらを低減することができる。
【００１０】
請求項４の発明の課題及び目的：
箱型形状のノズルプレート保護部材では、ヘッドフレームの側面部で固定することが一般的であるが、部品の製作時に曲げや絞り加工が必要になる。ノズルプレートに設けた孔とヘッドフレームに設けたピンとで位置決め、固定ができるので、部品コストが安価で、且つ組立も簡単なので安価にできる。
【００１１】
請求項５，６の発明の課題及び目的：
ノズルプレート保護部材表面に凹凸があると、その部分はワイピング時にインクの拭き残しが発生したり、また、ワイピングブレードが傷付いたり摩耗したりして、長期間安定したワイピング性能を維持することができなくなる。ピン受け部材でピンと固定、又は、フレーム部材凹部で固定できるため、ノズルプレート保護部材表面に凹凸や孔を設けることなく固定できる。
【００１２】
請求項７，８の発明の課題及び目的：
ノズルプレート保護部材の表面及びノズル列に隣接する側の端縁は、ワイピングブレードで擦られたり当接したりすることになり、十分な剛性が備わっていないとめくれあがったり、折れたりする恐れがある。といって、むやみに厚くすると、前記段差が大きくなってワイピング性が損なわれたり、またノズル−被印写物間距離は可能な限り小さく設定されている（画質向上の為）ため、被印写物に触れて汚してしまう恐れもある。できるだけノズル列に隣接する側の端縁の近くで固定することが望ましく、部品厚さを薄くできることになる。また、接着強度を確保するためには、撥水処理の上からノズルプレートとノズルプレート保護部材を接着することは望ましくなく、ノズルプレート表面に部分的に撥水処理をしていない部分を作っておき、そこで接着するのが望ましい。更に、その撥水処理をしていない部分は、露出をしているとインクが付着しやすくワイピングがきれいにできなくなるため、ノズルプレートに隠れる部分に設ける必要がある。
【００１３】
請求項９の発明の課題及び目的：
前記撥水処理をしていない部分は、あらかじめ撥水処理実施時にマスクをしておいたり、または、処理後、薬品処理等適当な手段で作ることは可能だが、精度良く実現するためには精度の高い装置が必要だったり、手間がかかったりコストがかさむことになる。
撥水処理実施後、該当個所にケガキ線様の傷をつけることで局所的に撥水処理を取り除き接着剤接合を可能にすることができる。
【００１４】
請求項１０の発明の課題及び目的：
金属材料で厚さが薄くて均一な平板状な形状を達成するためには、シート状部材を使用するのが、精度、コストの面から有利である。ノズル列が長尺化した場合には、長さの長いノズルプレート保護部材が必要となり、剛性の面から金属とすることが良い。
【００１５】
請求項１１の発明の課題及び目的：
樹脂成型などで形成することも考えられるが、厚さが薄くて均一な平板状な形状を達成するのは困難なので、樹脂シートを使用するのが有利である。
【００１６】
請求項１２の発明の課題及び目的：
ノズルプレート保護部材をフレーム部材及びノズルプレートと接合固定する際に、一般的な接着剤（一液硬化型、二液硬化型、瞬間接着型など）を使用すると硬化時間が非常に長くかかったり、ポットライフが短くて取り扱いが不便だったりする。ＵＶ硬化型接着剤を使用して接合後、ノズルプレート保護部材を通してＵＶ光を照射することが可能となり、前記不具合が解消される。
【００１７】
請求項１３の発明の課題及び目的：
以上の発明は、ノズルプレート保護部材は一体化されていて、一つの部品の形態であることを想定した発明となっている。しかしながら、ヘッドが長尺化してくるとノズルプレート保護部材も幅に較べて長さの長い部品となってしまう。更に、そのノズル列に対応する部分は開口が設けられているので、強度の弱い部品となってしまい、部品製造工程等での取り扱いやヘッド組立時の取り扱いで変形したり折れたりしてしまう恐れがある。ノズルプレート保護部材の、ワイパーブレード払拭動作方向上流側と下流側をつないでいる部分の剛性が弱く、その部分から損傷する危険性が最も高いので、その部分を切り離して分割すれば損傷の恐れは殆どなくすことができる。
【００１８】
請求項１４の発明の課題及び目的：
安価で高画質の画像記録装置が必要とされている。また、今後ますます画像記録装置の高速化が要求され、ヘッドの長尺化は進むものと考えられ、本発明はそれに対応することが可能となる。
【００１９】
請求項１５の発明の課題及び目的：
ノズルプレート保護部材の表面はインクが付着することが多く、ここにインクが残留していると、被印写物表面に付着したり、近傍部材に落下して汚してしまう恐れがある。ノズルプレート保護部材全体を撥水性材料で形成することは、薄い平板状にすることが困難であるとか、薄くすると剛性が不足するとか、で困難である。従って、表面に撥水材料をコートすることが一般的に行われている。しかしながら、前述したような折り曲げや絞り加工で形成する場合には、加工した後に撥水処理しないと加工時に撥水面を損傷してしまうことが多く、所定の性能が得られないことが多い。
請求項１５の発明は、ノズルプレート保護部材を平面状部材で構成するため、曲げ加工などはなく加工前に撥水処理を実施することが可能となる。更には、加工前に撥水処理ができるので、多数個分をまとめて一度に処理することが可能となり、部品コストが低減できると共に、撥水処理品質もバラツキの少ない品質の安定した部品を提供することが可能となる。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
請求項１の発明は、インク滴を吐出する複数のノズル孔からなるノズル孔列が形成されたノズルプレートと、少なくとも前記ノズルプレートの一部を覆って保護するノズルプレート保護部材を備えたインクジェットヘッドにおいて、前記ノズルプレート保護部材の主要部分が平板状部材で形成されていることを特徴としたものである。
【００２１】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記ノズルプレート保護部材の、残留インクを払拭するワイパーブレードの払拭動作方向と垂直な端縁のうち、少なくとも前記ノズルプレートのノズル列に隣接する端縁が、ノズル列の方に向けて徐々に部材厚さが薄くなるように形成されていることを特徴としたものである。
【００２２】
請求項３の発明は、請求項２の発明において、前記ノズルプレート保護部材の端縁形状が、該ノズルプレート保護部材の厚さをもとにするときノズル面に対して垂直方向寸法が１／２ｔ以下、水平方向寸法が１ｔ以上であることを特徴としたものである。
【００２３】
請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれか１の発明において、前記ノズルプレート保護部材は、前記ノズルプレートの周囲に設けられたフレーム部材に植設されたピンと前記ノズルプレート保護部材に穿たれた孔とで位置決め及び固定されていることを特徴としたものである。
【００２４】
請求項５の発明は、請求項４の発明において、前記ノズルプレート保護部材は、ピン受け部材を介して前記フレーム部材に植設されたピンと前記ノズルプレート保護部材の裏面とが接合固着されていることを特徴としたものである。
【００２５】
請求項６の発明は、請求項１乃至３のいずれか１の発明において、前記ノズルプレート保護部材は、前記フレーム部材に設けられた凹部と前記ノズルプレート保護部材の裏面とが接着剤で接合固着されていることを特徴としたものである。
【００２６】
請求項７の発明は、請求項５又は６の発明において、前記ノズルプレート保護部材は、前記ノズルプレートの非撥水処理領域と前記ノズルプレート保護部材の裏面とが接着剤で接合固着されていることを特徴としたものである。
【００２７】
請求項８の発明は、請求項７の発明において、前記ノズルプレート保護部材の裏面と接着接合するための前記ノズルプレートの非撥水処理領域が、前記ノズルプレート保護部材に全て覆われていることを特徴としたものである。
【００２８】
請求項９の発明は、請求項８の発明において、前記ノズルプレートの非撥水処理領域が、撥水処理終了後、撥水処理面側から意図的に付けられた傷状の非撥水処理領域であることを特徴としたものである。
【００２９】
請求項１０の発明は、請求項１乃至９のいずれか１の発明において、前記ノズルプレート保護部材の主要部分が、金属のシート状材料で形成されていることを特徴としたものである。
【００３０】
請求項１１の発明は、請求項１乃至９のいずれか１の発明において、前記ノズルプレート保護部材の主要部分が、樹脂のシート材料で形成されていることを特徴としたものである。
【００３１】
請求項１２の発明は、請求項１１の発明において、前記ノズルプレート保護部材の主要部分が、ＵＶ光を透過する材料であることを特徴としたものである。
【００３２】
請求項１３の発明は、請求項１乃至１２のいずれか１の発明において、前記ノズルプレート保護部材が、ワイパーブレードの払拭動作方向上流側と下流側の少なくとも２部品に分割して構成されていることを特徴としたものである。
【００３３】
請求項１４の発明は、請求項１乃至１３のいずれか１の発明において、ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドを備え、記録媒体上に画像を形成する画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１乃至１３のいずれか１に記載のインクジェットヘッドであることを特徴としたものである。
【００３４】
請求項１５の発明は、請求項１乃至３のいずれか１の発明において、前記ノズルプレート保護部材の外形形状が形成される前に、少なくとも前記ノズルプレート保護部材の表面側に撥水処理を施すことを特徴としたものである。
【発明の効果】
【００３５】
請求項１のインクジェットヘッドにおいては、ノズル保護部材を平板状部材で構成することで精度が良く、ワイパーブレードの先端部が当接するノズルプレート保護部材の内側端部の段差が小さくできるため、ワイパーブレード先端部の傷、摩耗を防止することができ、長期間安定したワイピング性能を維持することができる。すなわち、これらを可能とすることで、高い印字品質を維持することができるインクジェットヘッドを提供することができる。
【００３６】
請求項２，３のインクジェットヘッドにおいては、ノズル保護部材による段差を小さくできることから、ワイパーブレード先端部の傷、摩耗を防止することができなくなったり、ノズル面とノズルプレート保護部材の境界部にインクの拭き残しが発生してしまうことを防止することができる。
【００３７】
請求項４のインクジェットヘッドにおいては、ノズルプレートに設けた孔とヘッドフレームに設けたピンとで位置決め、固定ができるので部品コストが安価で、且つ、組立も簡単なので安価にインクジェットヘッドを製造することができる。
【００３８】
請求項５，６のインクジェットヘッドにおいては、ピン受け部材でピンと固定、又は、フレーム部材凹部で固定できるため、ノズルプレート保護部材表面に凹凸や孔を設けることなく固定できるため、ワイピング効果があがる。
【００３９】
請求項７，８のインクジェットヘッドにおいては、ノズルプレート保護部材の表面及びノズル列に隣接する側の端縁は、ワイピングブレードで擦られたり当接したりすることになり、十分な剛性が備わっていないとめくれあがったり、折れたりする恐れがあるがこれらを防止することができるので、強度、耐久性の優れたヘッドを提供することができる。
【００４０】
請求項９のインクジェットヘッドにおいては、撥水処理実施後、該当個所にケガキ線様の傷をつけることで局所的に撥水処理を取り除き接着剤接合を可能にすることができ、安価で効果的な固定が可能となる。
【００４１】
請求項１０のインクジェットヘッドにおいては、ノズル列が長尺化した場合には長さの長いノズルプレート保護部材が必要となり、剛性の面から金属とすることが良い。金属とすることで厚さの薄い材料で形成することが可能となり、効果的なワイピングが可能となる。
【００４２】
請求項１１のインクジェットヘッドでは、厚さが薄くて均一な平板形状を達成することができるので、樹脂シートを使用するのが安価で精度の高いノズルプレート保護部材を形成することが可能となる。
【００４３】
請求項１２のインクジェットヘッドでは、硬化時間が非常に長くかかったり、ポットライフが短くて取り扱いが不便だったりすることを解消できる、ＵＶ硬化型接着剤が使用できるようになり、安価で精度の高いノズルプレート保護部材の組立が可能となる。
【００４４】
請求項１３のインクジェットヘッドでは、部品製造工程等での取り扱いやヘッド組立時の取り扱いで変形したり折れたりしてしまう恐れがあるが、分割することにより損傷の恐れは殆どなくすことができ、安価で精度の高いノズルプレート保護部材を形成することが可能となる。
【００４５】
請求項１４の画像形成装置では、精度が高く安価なインクジェットヘッドを搭載したことで、画像品質が高く、信頼性も高く、安価な画像形成装置を得ることができる。
【００４６】
請求項１５のインクジェットヘッド製造方法においては、ノズルプレート保護部材を平面状部材で構成するため、曲げ加工などはなく加工前に大きなサイズで一括撥水処理を実施することが可能となり、撥水処理工数が減りコストダウンが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
図１乃至図４は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法によって製造したインクジェットヘッドの一例を説明するための図で、図１はインクジェットヘッドの平断面説明図、図２は図１に示したインクジェットヘッドを分解した状態の平面図、図３は図２のIII−III線に沿う断面説明図、図４は図２のIV−IV線に沿う断面図である。
【００４８】
図１乃至図４に示したインクジェットヘッドは、アクチュエータ基板（アクチュエータユニット）１と、液室構成部材である流路基板２及びノズル形成部材であるノズル基板３を接合したノズル・液室ユニット１０とを接合して構成し、これら３枚の基板１、２、３を接合することで、液滴を吐出するノズル４が連通口であるノズル連通路５を介して連通する液室６、該液室６に液体（インク）を供給するための流体抵抗部７及びインク供給孔８を形成している。なお、各液室６は液室間隔壁９で仕切られている。
【００４９】
アクチュエータ基板１には、アクチュエータ素子１１が各液室６に対応して形成されている。このアクチュエータ素子１１は、振動板１２と、この振動板１２と犠牲層エッチングで形成されたギャップ（空隙）１３を介して対向する電極（個別電極）１４とで構成される。また、アクチュエータ基板１には流路基板２のインク供給孔８が臨み、外部からインクが供給されるインク供給路１８を形成している。
【００５０】
一方、ノズル・液室ユニット１０を構成する流路基板２は、例えば、結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン（Ｓｉ）基板をＫＯＨ水溶液などの強アルカリ性エッチング液で異方性エッチングすることによって液室６となる凹部を形成したものである。なお、液室構成部材となる流路基板２としては、セラミックス、若しくはポリイミド又はＰＰＳなどを用いることもできる。
【００５１】
また、ノズル基板３は、ポリイミドフィルムなどの樹脂部材で形成している。このノズル基板３の吐出方向面には、インクとの撥水性を確保するために、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜３０を形成している。
【００５２】
ここで、液室６となる凹部を形成した流路基板２と撥水膜３０を形成したノズル基板３とは、後述するように、予め接合してノズル・液室ユニット１０とした後、フェムト秒レーザによって流路基板２のノズル連通路（連通口）５及びノズル基板３のノズル４を加工形成している。
【００５３】
アクチュエータ基板１の具体的構成について、図３及び図４を参照して説明すると、シリコン基板２１上に熱酸化膜２２などの絶縁膜を形成し、この熱酸化膜２２上に個別電極１４を所要の電極形状にパターニングして形成し、この個別電極１４に絶縁膜２３、ポリシリコンなどの犠牲層２４、絶縁膜２５を順次積層し、この絶縁膜２５上に振動板電極２６を所要の形状にパターニングして形成し、更に、絶縁膜２７を形成した後、絶縁膜２５、２７にエッチングホール（犠牲層除去孔）２８を形成して、個別電極１４と振動板電極２６との間の犠牲層をエッチングで除去することでギャップ１３及び連通路１７並びに振動板１２を形成し、その後、犠牲層除去孔２８を封止するとともに、アクチュエータ素子１１の耐接液性を向上するための樹脂材料からなる封止接液膜２９を振動板１２上に形成している。
【００５４】
なお、個別電極１４及び振動板電極２６としては、ポリシリコン膜を用いている。電極の材料としては、高温耐性を有し、加工性に優れ、且つ成膜表面の凹凸が少ない材料が好ましく、ポリシリコン以外では例えばＴｉＮなどの高融点金属材料も好ましい。また、個別電極１４はパッド配線３１を介して外部の電極パッド３２と接続されている。
【００５５】
また、個別電極１４及び振動板電極２６の対向面側に形成した個別電極側絶縁膜２３及び振動板側絶縁膜２５は、当接時の短絡、放電による損傷を防止するとともに、犠牲層２４の残存部分と相俟ってギャップ１３のスペーサーを兼ねるようしている。さらに、振動板１２上に形成し、エッチングホール２８を封止する封止接液膜２９としては、ＰＢＯ膜（ポリベンゾオキサゾール膜）が好ましい。
【００５６】
以上のように構成したヘッドにおいては、振動板１２を共通電極とし、個別電極１４との間に駆動パルス電圧を印加することによって、振動板１２と個別電極１４間に発生した静電力によって振動板１２が個別電極１４側に変形変位する。その後、駆動パルス電圧を放電することによって、振動板１２が復帰変形して、液室６の内容積の変化、及び圧力の作用によってノズル４からインク滴が吐出する。
【００５７】
なお、ここでは、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法を適用して製造した液滴吐出ヘッドとして、アクチュエータユニットに静電型アクチュエータを用いる例で説明したが、本発明は、これに限るものではなく、電気機械変換素子などの圧電型アクチュエータ、電気熱変換素子に膜沸騰を利用するサーマル型アクチュエータなどを用いることもできる。ただし、静電型アクチュエータは、小型化、高速化、高密度化、省電力化において他の方式に比べて優位な点を有している。
【００５８】
図５は、ノズル孔を加工するエキシマレーザ加工機の構成を示しており、レーザ発振機４１から射出されたエキシマレーザビーム４２はミラー４３，４５，４８によって反射され、加工テーブル５０に導かれている。レーザビーム４２が加工テーブル５０に至るまでの光路には、加工物に対して最適なビームが届くように、ビームエキスパンダ４４、マスク４６、フィールドレンズ４７、結像光学系４９が所定の位置に設けられている。加工物４１（ノズルプレート）は加工テーブル５０上に載置され、レーザビームを受けることになる。加工テーブル５０は、周知のＸＹＺテーブル等で構成されていて、必要に応じて加工物を移動し所望の位置にレーザビームを照射することができるようになっている。
【００５９】
図６は、本発明が適用されるヘッドのノズル・液室部分にかかわる例を示す図で、ノズル・液室ユニット６０は、樹脂部材６１と液室構成部材６２とを熱可塑性接着剤６３で接合し、樹脂部材６１の表面はＳｉＯ２薄膜層６４とフッ素系撥水層６５を順次積層形成したものであり、樹脂部材６１に所要径のノズル孔６１ａを形成し、液室構成部材６２にはノズル孔６１ａに連通するノズル連通口６２ａを形成している。ここで、フッ素系撥水層６５の厚さは従来例の厚さより厚く形成している。ＳｉＯ２薄膜層６４の形成には、比較的熱のかからない、すなわち樹脂部材に熱的影響の発生しない範囲の温度で成膜可能な方法で形成する。具体的には、スパッタリング、イオンビーム蒸着、イオンプレーティング、ＣＶＤ（化学蒸着法）、Ｐ−ＣＶＤ（プラズマ蒸着法）などが適しているといえる。従来例ではＳｉのスパッタリング後スパッタ膜にＯ２処理をしてＳｉＯ２膜を生成している。
【００６０】
ＳｉＯ２薄膜層６４の膜厚は密着力が確保できる範囲で必要最小限の厚さとするのが工程時間、材料費から見て有利である。また、この膜厚があまり厚くなると、エキシマレーザでのノズル孔加工に支障がでてくる場合がある。すなわち、樹脂部材６１はきれいにノズル孔形状加工されていても、ＳｉＯ２薄膜層６４の一部が十分に加工されず、加工残りになることがある。したがって、具体的には、密着力が確保でき、エキシマレーザ加工時にＳｉＯ２薄膜層６４が残らない範囲として、膜厚１Å〜３００Åの範囲が適しているといえる。さらに、より好適には、１０Å〜１００Åの範囲が適している。フッ素系撥水層６５に使用されるフッ素系撥水材料については、いろいろな材料が知られているが、ここでは、変性パーフルオロポリオキセタン（ダイキン工業製、商品名：オプツールＤＳＸ）を１００Å〜２００Å蒸着することで必要な撥水性を得ている。因みに、本実施例ではフッ素系撥水層の厚さを１００Åの蒸着膜としている。なお、６６はフッ素系撥水層６５に粘着材６７によって貼り付けられた粘着テープで、ノズル孔加工後、はがされるものである。
【００６１】
図７は、図６に示したノズルプレートの製造工程を模式的に示したものである。
図７（Ａ）は、ノズル形成部材の基材となる材料を示しており、例えば、Ｄｕｐｏｎｔ製ポリイミドフィルムであるカプトンまたは宇部興産製ユーピレックス等が適当な材料である。ここでは、樹脂フィルム６１として、ユーピレックスフィルムの厚さ２５μｍのものを使用している。
【００６２】
図７（Ｂ）は、前記樹脂フィルム６１の表面にＳｉＯ２薄層６４を形成する工程を示している。このＳｉＯ２薄層６４の形成は真空チャンバー内で行われるスパッタリング工法を使用している。スパッタリングの方法としては、Ｓｉをスパッタした後、Ｓｉ表面にＯ２イオンを当てることでＳｉＯ２膜を形成することが、ＳｉＯ２膜の樹脂フィルムへの密着力が向上すると共に、均質で緻密な膜が得られ、撥水膜のワイピング耐久性向上に、より効果的であることがわかった。
【００６３】
図７（Ｃ）は、フッ素系撥水剤６５を塗布する工程であり、塗布方法としては、スピンコータ、ロールコータ、スクリーン印刷、スプレーコータなどの方法が使用可能であるが、本実施例では、真空蒸着で成膜する方法を使用しており、この方法を使用することで撥水膜の密着性が向上し、ワイピング耐久性向上につながることが確認された。さらに、その真空蒸着も、図７（Ｂ）でのＳｉＯ２薄層６４を形成した後、そのまま真空チャンバー内で実施するのがさらに良い効果が得られる。すなわち、ＳｉＯ２薄層６４を形成後、一旦、真空チャンバーからワークを取り出すと不純物などが表面に付着することにより密着性が損なわれるものと考えられる。フッ素系撥水材料については、いろいろな材料が知られているが、ここではフッ素非晶質化合物として変性パーフルオロポリオキセタン（ダイキン工業製オプツールＤＳＸ）を使用することで、インクに対する必要な撥水性を得ることができた。
【００６４】
図７（Ｄ）は、液室構成部材の接合工程を示す。液室構成部材の材料はいろいろな材料が適用可能であるが、本実施例ではシリコンを使用した。あらかじめ必要なパターンエッチングが施されている液室構成部材６２の接合面側にエポキシ系接着剤を薄膜塗布し、その上に図７（Ｃ）の撥水処理済みノズル形成部材を貼り付ける。６２ａはあらかじめエッチング加工されている連通口である。
【００６５】
図７（Ｅ）は、粘着テープ６６を貼り付ける工程であり、フッ素系撥水層６５のコートされた面に粘着テープ６６の粘着剤６７で貼り付ける。この粘着テープ６６を貼るときには気泡を巻き込まないように貼り付けることが必要である。気泡があると気泡のある位置にあけたノズル孔は加工時の付着物などで品質の良くないものになってしまうことがある。
【００６６】
図７（Ｆ）は、ノズル孔加工工程で、液室構成部材側から連通口６２ａを通してエキシマレーザを照射してノズル孔６１ａを形成する。エキシマレーザ加工の加工深さは、粘着テープの厚みの中まで加工される深さが良い。ノズル孔の加工後は、粘着テープ６６をはがして次工程のヘッド組立に部品供給することになる。
【００６７】
なお、ここまでの説明では、ノズル孔１個分しか図示説明していないが、実際には複数のノズル孔の加工を可能な範囲で複数ノズル分同時加工を行うことになる。また、複数のノズル・液室ユニットを一体化した状態で同時に、図７でいえば、図７（Ａ）から図７（Ｆ）までの工程を行う方が効率的である。
【００６８】
図８を参照して、前記複数のノズル・液室ユニットが複数一体化された状態で各工程を行い、その後、部材を切断して個々のノズル・液室ユニットチップに分割する例について説明する。
【００６９】
まず、図８に示すように、例えば、６インチのＳｉウエハ７１に、液室構成部材７２となる領域を割り付けて、一般的に知られている半導体製作用のフォトリソプロセス等を用いて、各液室構成部材７２となる部分に所定の液室パターンを形成する。なお、図８は６インチウエハに４２個の液室構成部材７２（チップ）を割り付ける配列例を示している。
【００７０】
その後、シリコンウエハ７１の液室構成部材７２の表面に、ノズル形成部材となる液状樹脂材料を、周知のローラ塗布装置等で塗布する。更に、液状樹脂材料を塗布したシリコンウエハ７１を加熱硬化することで、ノズル液室ユニットが複数一体化されたシリコンウエハ７１を得る。次に、図７（Ｃ）で説明した撥水膜の形成及び図７（Ｆ）で説明したレーザ加工を、ウエハ単位でハンドリングしつつ各工程を実施する。全ての工程が終了した段階で、図８に鎖線で示す各チップ外形形状でダイシングを実施し、１ヘッド分としてのチップ化を行う。
【００７１】
次に、図９及び図１０を参照して、本発明に係る液滴吐出ヘッド或いは液滴吐出装置を備えた本発明に係る画像形成装置の一例について説明する。なお、図９は、画像形成装置の全体構成を説明する側面図、図１０は同装置の要部平面図で、図９及び図１０で示す記録ヘッド１０７は、ここまでに説明してきた本発明が反映されたものである。
【００７２】
図９及び図１０に示す画像形成装置は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材であるガイドロッド１０１とガイドレール１０２とでキャリッジ１０３を主走査方向に摺動自在に保持し、主走査モータ１０４に取り付けたプーリ１０６ａと他方側に配置したプーリ１０６ｂとの間にタイミングベルト１０５にキャリッジ１０３を取り付けて、主走査モータ１０４でタイミングベルト１０５を介して図１０で矢示方向（主走査方向）に移動走査する。
【００７３】
このキャリッジ１０３には、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する４個の液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッド１０７を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。なお、記録ヘッド１０７を構成する液滴吐出ヘッドとしては、圧電素子などの圧電アクチュエータを用いたものを使用している。
【００７４】
また、キャリッジ１０３には、記録ヘッド１０７に各色のインクを供給するための各色のサブタンク１０８を搭載している。このサブタンク１０８には図示しないインク供給チューブを介してメインタンク（インクカートリッジ）からインクが補充供給される。
【００７５】
一方、給紙カセット１１０などの用紙積載部（圧板）１１１上に積載した用紙１１２を給紙するための給紙部として、用紙積載部１１１から用紙１１２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙ローラ）１１３及び該給紙ローラ１１３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド１１４を備え、この分離パッド１１４は給紙ローラ１１３側に付勢されている。
【００７６】
そして、この給紙部から給紙された用紙１１２を記録ヘッド１０７の下方側で搬送するための搬送部として、用紙１１２を静電吸着して搬送するための搬送ベルト１２１と、給紙部からガイド１１５を介して送られる用紙１１２を搬送ベルト１２１との間で挟んで搬送するためのカウンタローラ１２２と、略鉛直上方に送られる用紙１１２を略９０°方向転換させて搬送ベルト１２１上に倣わせるための搬送ガイド１２３と、押さえ部材１２４で搬送ベルト１２１側に付勢された先端加圧コロ１２５とを備えている。また、搬送ベルト１２１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ１２６を備えている。
【００７７】
ここで、搬送ベルト１２１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ１２７とテンションローラ１２８との間に掛け渡されて、副走査モータ１３１からタイミングベルト１３２及びタイミングローラ１３３を介して搬送ローラ１２７が回転されることで、図１０のベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。この表層と同材質でカーボンによる抵抗制御を行なった裏層（中抵抗層），アース層とを有している。
【００７８】
帯電ローラ１２６は、搬送ベルト１２１の表層に接触し、搬送ベルト１２１の回動に従動して回転するように配置され、加圧力として軸の両端に各２．５Ｎをかけている。また、搬送ローラ１２７はアースローラの役目も担っており、搬送ベルト１２１の中抵抗層（裏層）と接触配置され接地している。
【００７９】
また、搬送ベルト１２１の裏側には、記録ヘッド１０７による印写領域に対応してガイド部材１３６を配置している。このガイド部材１３６は、上面が搬送ベルト１２１を支持する２つのローラ（搬送ローラ１２７とテンションローラ１２８）の接線よりも記録ヘッド１０７側にと突出している。これにより、搬送ベルト１２１は印写領域ではガイド部材１３６の上面にて押し上げられてガイドされる。
【００８０】
さらに、記録ヘッド１０７で記録された用紙１１２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト１２１から用紙１１２を分離するための分離部と、排紙ローラ１４２及び排紙コロ１４３と、排紙される用紙１１２をストックする排紙トレイ１４４とを備えている。
【００８１】
また、背部には両面給紙ユニット１５１が着脱自在に装着されている。この両面給紙ユニット１５１は搬送ベルト１２１の逆方向回転で戻される用紙１１２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ１２２と搬送ベルト１２１との間に給紙する。
【００８２】
このように構成した画像形成装置においては、給紙部から用紙１１２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙１１２はガイド１１５で案内され、搬送ベルト１２１とカウンタローラ１２２との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド１２３で案内されて先端加圧コロ１２５で搬送ベルト１２１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００８３】
このとき、図示しない制御回路によって高圧電源から帯電ローラ１２６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト１２１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト１２１上に用紙１１２が給送されると、用紙１１２が搬送ベルト１２１に静電力で吸着され、搬送ベルト１２１の周回移動によって用紙１１２が副走査方向に搬送される。
【００８４】
そこで、キャリッジ１０３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１０７を駆動することにより、停止している用紙１１２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙１１２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙１１２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙１１２を排紙トレイ１４４に排紙する。
【００８５】
図１１は、本発明を適用したインクジェットヘッドの分解斜視図である。なお、図１乃至４を使用した前述のインクジェットヘッドの構成説明では、静電型アクチュエータを用いた実施例を説明したが、ここでは、別の実施例である圧電型アクチュエータを使用したインクジェットヘッドで説明する。
【００８６】
図１１において、インクジェットヘッド２００は、流路ユニット２２０、ヘッドケース２３０、ノズルプレート保護部材２４０等から形成されており、流路ユニット２２０はヘッドケース２３０上に接合され、流路ユニット２２０の表面はノズルプレート保護部材２４０によって覆われている。流路ユニット２２０は、流路板２２１の表面にノズルプレート２２４を接合し、反対面に振動板２２６を接合した構成で、流路板２２１は図示しない隔壁によって分離された複数のインク供給路２２２および端部に連通孔を有する圧力室２２３が所定ピッチで長手方向に２列連なって形成されている。ヘッドケース２３０を構成する樹脂性フレーム２３１は、流路板２２１に形成された複数のインク供給路２２２及び圧力室２２３にインクを供給する共通液室２３２が形成され、接地電極２３３を有している。また、中央部に開口２３４を有し、ＦＰＣ２３７が接続されたＰＺＴ２３６を表面に接合した金属基板２３５を収納している。金属基板２３５上に接合されたＰＺＴ２３６は、流路板２２１に形成された複数のインク供給路２２２及び圧力室２２３に対応して溝加工が施されている。
【００８７】
分離された個々のＰＺＴ２３６は接着層によって振動板２２６に接合され、個々のＰＺＴ２３６の各電極は、ＦＰＣ２３７によって実装され、図示しない制御部によって個別に駆動制御される。インクは共通液室２３２から振動板２２６に形成されたインク供給口２２７を経由して圧力室２２３に供給される。ノズルプレート２２４には、流路板２２１に形成された複数の圧力室２２３の列に対応してノズル孔２２５の列が形成され、その表面はノズル孔列を露出する開口部２４１が形成されたノズルプレート保護部材２４０で覆われている。
【００８８】
図１２は、ノズルプレート保護部材２４０の取り付け部分を示す部分分解斜視図、図１３は、ノズルプレート保護部材２４０の図１２におけるXIII−XIII断面図である。ノズルプレート保護部材２４０は平板状部材で構成され、ノズル孔２２５が複数並んだ列に対応する位置には、開口部２４１が形成されていてノズル孔２２５が露出しワイピング可能な形状となっている。開口部２４１の端部は、ワイピング動作がスムーズに実施できるよう傾斜部２４２が周囲に設けられている。ノズルプレート保護部材２４０の厚さは可能な限り小さく設定されるが、取り扱い性やワイピング時に擦られた時にも、折れてしまったり曲がってしまったりしない程度の剛性が得られる様な厚さが必要である。厚さがある程度あると、前記ワイピング時にワイパーブレードがノズル面を擦りながら移動するとき、ワイパーブレードが前記開口部２４１の端部に衝突してしまうため、ノズル面と開口部２４１の端部の境界部はインクが拭ききれなくて残ってしまう。また、ワイパーブレード先端部の前記端部に当接する部分が徐々に削れてしまったり、変形してしまい、結果インクの拭き残しが発生してしまう恐れがある。
【００８９】
ノズルプレート保護部材２４０の傾斜部２４２は、これらインクの拭き残しを防止するために設けられたもので、該傾斜部２４２の形状は、ワイパーブレードの動作ができるだけ滑らかになるように、ノズルプレート保護部材２４０の厚さをｔとしたとき、傾斜部先端の垂直方向寸法ｙが、ｙ＝＜（１／２）ｔ、水平方向寸法ｘが、ｘ＝＞ｔのようにするのがよい。また、この傾斜部の形成方法としてはノズルプレート保護部材２４０の外形形状及び開口部２４１を抜き工程等で抜いた後、プレス加圧で整形するか、もしくは、プレス加圧のポンチを適当な温度に加熱して、加圧加熱変形させて形成してもよい。ここで、前記ノズルプレートの表面は、インク滴の噴射適正化のため及びワイピングでのワイピング効果を向上するため、撥水処理を施すことが一般的に行われているが、本実施例では、ノズルプレート保護部材２４０の外形形状を加工する前に実施するのが好適である。
【００９０】
図１４は、撥水処理を施す場合の例を説明するための図で、図１４は、ノズルプレート保護部材２４０の外形形状を抜く前の状態を示しており、ノズルプレート保護部材材料２４０’は薄板状の金属シートまたは樹脂フィルム等であり、多数個のノズルプレート保護部材２４０を切り出すことができるだけの面積を有している。２４０”はノズルプレート保護部材２４０の１個分に相当する大きさ（つまり、ノズルプレート保護部材２４０）を示しており、例えば、図１４に示すように、数十個分の面積の状態で撥水処理を行った後、前記の抜き加工、傾斜部成形加工が行われる。このような処理方法とすることで、一括撥水処理が可能でコスト低減が可能となる。
【００９１】
次に、図１２，図１５を参照して、ノズルプレート保護部材２４０の受け側であるヘッドケース２３０と流路ユニット２２０の構成について説明する。図１２では、ヘッドケース２３０と流路ユニット２２０がすでに組み立てられ、ノズルプレート保護部材２４０が組み立てられる前の状態を示している。図１５には、ノズルプレート保護部材２４０を組み立てた後の状態の一部分の位置関係を断面図で示し、すなわち、流路ユニット２２０は樹脂製フレーム２３１の所定の凹部２５１に位置合わせ、接合後、ノズルプレート２２４のノズル面が樹脂製フレーム２３１のノズルプレート保護部材支持面２５２とほぼ同一面となるように高さが設定されている。樹脂製フレーム２３１の上面外周部にはリブ２５３が設けられており、ノズルプレート保護部材支持面２５２とリブ２５３との高さの差は、ノズルプレート保護部材２４０の厚さ分と同一となっており、組み立てた後では、リブ２５３の面とノズルプレート保護部材２４０の表面とはほぼ同一高さとなっている。ノズルプレート保護部材支持面２５２には、ノズルプレート保護部材２４０を固定するための接着剤受け凹部２５４が設けられている。図１２では両側に２箇所ずつ設けた例を示しているが、これはヘッドの大きさ等を考慮して適切な個所数を選択すればよい。
【００９２】
図１２に示した実施例では、ヘッドケース２３０と流路ユニット２２０が組み立てられた後、前記接着剤受け凹部２５４に接着剤２６０が滴下される。その後、ノズルプレート保護部材２４０をノズル保護部材支持面２５２に挿入し、押し付けて密着させて接着剤の硬化をすることになる。こうすることで、図１６に拡大して示す部分断面図のように、ノズルプレートの周囲端部はノズルプレート保護部材２４０が密着して覆われた状態となり、ノズルプレート保護部材２４０はノズル保護部材支持面２５２に固着されることになる。このように構成することで、ワイピングブレードがノズル面をワイピングする動作は、段差が殆どなくスムーズにノズル面をきれいに払拭することが可能となる。
【００９３】
図１７は、ノズルプレート保護部材２４０の別の位置決め固定方法の実施例を説明するための図で、図１７に示した実施例は、ノズルフレーム２３１に設けられたピン２５５とノズルプレート保護部材２４０に設けられた孔２４３で位置決めと固定を行っており、樹脂製フレーム２３１のノズル保護部材支持面２５２には壁面が傾斜している凹部２５４があり、その凹部２５４の中心部にはピン２５５が植設されている。一方、ノズルプレート保護部材２４０には孔２４３が設けられ、その孔は周辺が凹状の窪みで囲まれた形状となっており、前記孔２４３がピン２５５に介挿されて位置決め固定される。この状態でノズルプレート保護部材２４０の表面より出っ張るものはないので、そのままの形態としても良いが、窪み凹部の部分にインク等の拭き残しが溜まることがあるのでこれを防止するため、及び、ノズルプレート保護部材２４０の確実なる固定を兼ねて、接着充填剤２６０を充填するのがより効果的である。
【００９４】
図１８は、もう一つ別の実施形態であり、樹脂製フレーム３２１のノズルプレート保護部材支持面２５２には凹部２５４があり、その中心部にはピン２５５が植設されている。ピン２５５の周囲には例えばリング状のピン受け部材２５６が介挿されている。ここでピン２５５、ピン受け部材２５６、ノズルプレート保護部材２４０はそれぞれ分離しており、図１８では図示していないが、組立時には接着剤が各部材間に塗布されている。こうした状態でノズルプレート保護部材２４０を押圧しながら接着剤を硬化させることで位置決め固定が可能となる。このように構成することで確実に固定ができると共に、ノズルプレート保護部材２４０の表面には凹凸がまったくない状態で位置決め固定ができることとなり、ワイピング動作が効果的に実施可能となる。
【００９５】
前述したように、ワイピング動作を効果的に行うためには、できるだけノズルプレート保護部材２４０の厚さは薄くする方が良いが、あまり薄くすると剛性が小さくなり、ワイピングブレードでワイピングした際の摩擦力で、折れ曲がってしまったり、変形してしまうことになる。そこでノズルプレート保護部材２４０の端縁部にできるだけ近いところでノズルプレート保護部材２４０を固着すればそういう恐れは解消できる。
【００９６】
図１９は、その実施例の説明をする部分断面図で、ノズルプレート２２４の表面には、前述したように、撥水処理が施されているが、その一部に非撥水処理領域２２８を形成する。非撥水処理領域２２８の部分に少量の接着剤２６０を滴下して、前記したようにノズルプレート保護部材２４０を組み立てることで、ノズルプレート保護部材２４０は端縁部に近いところでノズルプレート２２０に固定されるため、前記のように折れ曲がってしまったり、変形してしまう恐れはなくなる。
【００９７】
図２０、図２１は非撥水処理領域の形態を示しており、図２０では、あらかじめ撥水処理時に非撥水処理領域にマスクする、あるいは撥水処理後薬液処理する等の方法でノズルプレート２２４に非撥水処理領域２２９を設ける。図２１では、撥水処理後該当部分をケガキ針状の傷つけ具で撥水処理面を傷つけることで、部分的に撥水処理を剥離してその部分を少量の接着剤で、図２０で説明したと同じように、ノズルプレート保護部材２４０と接合する。２２９′は付けた傷を示す。ここで説明した非撥水処理領域２２８は撥水しないため、ノズル面に露出しているとインクが付着しやすくワイピングしてもきれいにインクが払拭されないことになるので、このような構成とする場合には、非撥水処理領域２２８は、組み立て後ノズルプレート保護部材２４０に覆われてしまう部分にするのが適当である。
【００９８】
ここまでの実施例では、ノズルプレート保護部材２４０の材料を特定して説明していないが、好適には、剛性の高い樹脂のシート状材料で形成するのが良い。たとえば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＩ（ポリイミド）等が良い。また、図１５、図１６などで説明した様に、ノズルプレート保護部材２４０を接着剤２６０で接合する場合は、ノズルプレート保護部材２４０をＵＶ光を透過する材料で形成しておけば、接着剤にＵＶ硬化型接着剤を使用することができ、硬化時間を大幅に短縮することが可能となり、ひいてはヘッドのコストダウンに寄与することができる。
【００９９】
また、ヘッドのノズル数が増大する等でノズルプレート保護部材２４０がどうしても大きくなってしまう場合などでは、ノズルプレート保護部材２４０を金属材料で形成するのが良い。金属材料は樹脂材料に比較して剛性が高くヘッドの大型化、長尺化にも十分対応可能となる。たとえば、ステンレス鋼などの板バネ用材料が適している。
【０１００】
図２２は、ノズルプレート保護部材２４０を２つの部品２４０１，２４０２に分割する別の実施例を示す。前記したように、今後、インクジェットプリンタのプリント速度高速化がますます求められることは当然であり、そのためにヘッドのノズル数もどんどん増大することが予測される。こうなった場合、ここまでに説明したようなノズルプレート保護部材２４０であれば、剛性が低下してくると共にノズルプレート保護部材２４０の開口部２４１もだんだん大きくなり、材料を捨てる部分が多くなる。図２２に示すように、ノズルプレート保護部材を一体で形成しないで分割することでこれらを防止する。すなわち、ワイピング動作に対してノズルプレートを保護する必要のある部分を残して、それをつないでいる部分を除去してしまった形状としている。
【０１０１】
図２２に示すように、ワイピング払拭動作の上流側と下流側（図２２ではどちらが上流、下流でも良い）に２個のノズルプレート保護部材２４０１，２４０２を設けている。この２個のノズルプレート保護部材は対照に設置されていて同一部品となっている。この場合、図２２にＣで示した部分は、ノズルプレート２２４の端部がノズルプレート保護部材２４０では覆われないことになるが、ワイピングブレードの動作ではノズルプレートを剥がすような力が加わらないことから全く問題ない。こうすることで、ノズルプレート保護部材は長尺となっても、単純形状であることから変形したりする恐れは小さく、また、材料を捨てる部分も少なく、コストが低減でき効果的なノズルプレートの保護が可能となる。なお、ノズルプレート保護部材の固定方法は前記実施例と同じ方法でできる。
【０１０２】
このように形成されたヘッドを搭載して、画像形成装置を形成するが、その構成は前述の図９、図１０とヘッド部分の中身が違うだけで外観は同じなので、図示は省略する。
本発明による画像形成装置においては、本発明を実施した液滴吐出ヘッドを搭載しているので、低コストで高画質、高速記録に対応できる画像形成装置（インクジェット記録装置）を提供できる。
【０１０３】
なお、本発明に係る画像形成装置は、プリンタ、ファクシミリ装置、複写装置、これらの複合機などにも適用することができる。また、インク以外の液体、例えば、ＤＮＡ試料やレジスト、パターン材料などを吐出する液滴吐出ヘッドや液滴吐出装置、或いはこれらを備える画像形成装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】インクジェットヘッドの平断面説明図である。
【図２】図１に示したインクジェットヘッドを分解した状態の平面図である。
【図３】図２のIII−III線に沿う断面説明図である。
【図４】図２のIV−IV線に沿う断面図である。
【図５】ノズル孔を加工するエキシマレーザ加工機の構成を示す図である。
【図６】本発明が適用されるインクジェットヘッドのノズル・液室部分にかかわる例を示す図である。
【図７】図６に示したノズルプレートの製造工程を模式的に示した図である。
【図８】単一のシリコンウエハに複数のノズル・液室ユニットを一体化された状態で形成する場合の例を示す図である。
【図９】本発明によるインクジェットヘッドが適用される画像形成装置の全体構成を説明する側面図である。
【図１０】図９に示した画像形成装置の要部平面図である。
【図１１】本発明を適用したインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図１２】ノズルプレート保護部材の取り付け部分を示す部分分解斜視図である。
【図１３】ノズルプレート保護部材の断面図である。
【図１４】撥水処理を施す場合の例を説明するための図である。
【図１５】ノズルプレート保護部材と流路ユニットの構成について、組み立てた状態の一部分の位置関係を示す断面図である。
【図１６】ノズルプレート保護部材がノズルプレート保護部材支持面に密着されている状態を示す図である。
【図１７】ノズルプレート保護部材の位置決め固定方法の例を説明するための図である。
【図１８】ノズルプレート保護部材の別の位置決め固定方法を説明するための図である。
【図１９】ノズルプレート保護部材をその端縁部でノズルプレートに固着するようにした例の説明をする部分断面図である。
【図２０】ノズルプレートに非撥水処理領域を設ける例を説明するための図である。
【図２１】撥水処理面をケガキ針状の傷つけ具で傷つける例を説明するための図である。
【図２２】ノズルプレート保護部材を２つの部品に分割する例を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１０５】
２００…インクジェットヘッド、２２０…流路ユニット、２２１…流路板、２２２…インク供給路、２２３…圧力室、２２４…ノズルプレート、２２５…ノズル孔、２２６…振動板、２２７…インク供給口、２２８…撥水処理領域、２３０…ヘッドケース、２３１…ノズルフレーム、２４０…ノズルプレート保護部材、２４０１，２４０２…２個に分割されたノズルプレート保護部材、２４１…開口部、２４２…傾斜部、２５１…ノズルフレームに設けられた凹部、２５２…ノズルプレート保護部材支持面、２５３…リブ、２５４…接着剤受け凹部、２６０…接着剤。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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