(57)【要約】【課題】小電流型で急激な熱衝撃に対してもクラックあるいは剥離を生じることのない酸素ポンプを提供することを目的とする。【解決手段】複数ある開口部の周縁を絶縁体１４で被覆した金属箔部材１２と、絶縁体１４に接着された複数の酸素イオン導電性の固体電解質７と、固体電解質７の両面に形成された電極膜１０とを備え、複数の電極膜１０の極性が金属箔部材１２に対して同方向であり、かつ複数の固体電解質７が電気的に直列回路となるように構成されている。これによって、金属箔部材１２に複数の固体電解質７を電気的に直列回路となるように構成することで、固体電解質７に印加される電圧を積み上げることができ、酸素ポンプを高電圧小電流化して動作させることが可能となる。また、固体電解質７は金属箔部材１２上に配置されているので、熱衝撃、熱歪に対しても十分な柔軟性を有している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数ある開口部の周縁の部分を絶縁体で被覆した金属箔部材と、前記開口部を覆って絶縁体に接着された複数の酸素イオン導電性の固体電解質と、前記固体電解質の両面に形成された電極膜と、前記電極膜に対向して配置されたヒータとを備え、前記複数の電極膜の極性が金属箔部材に対して同方向であり、かつ前記複数の固体電解質が電気的に直列回路となるように構成されている酸素ポンプ。
【請求項２】
１つの固体電解質には、正極の正電極膜と負極の負電極膜が複数に分割されてコンデンサを構成するような対構造で配置され、前記正電極膜および負電極膜は電気的に直列回路となるように構成されている請求項１に記載の酸素ポンプ。
【請求項３】
金属箔部材の開口部の周囲と、固体電解質の外周部とが導電体で接合され、正電極膜と負電極膜のいずれか一方が前記導電体と電気的に導電関係にある請求項１または２に記載の酸素ポンプ。
【請求項４】
１つの固体電解質に形成された複数の正電極膜と負電極膜は、固体電解質に配設した貫通孔を介して交差して結線されることで直列回路となるように構成されている請求項２または３に記載の酸素ポンプ。
【請求項５】
正電極膜と負電極膜は固体電解質に直接接合する第１電極膜と、前記第１電極膜上に形成された第２電極膜とで構成され、第１電極膜は複合金属酸化物成分を主体とする膜とし、第２電極膜は貴金属成分を主体とする膜とした請求項１〜４のいずれか１項に記載の酸素ポンプ。
【請求項６】
固体電解質がランタンガレートである請求項１〜５のいずれか１項に記載の酸素ポンプ。
【請求項７】
第１電極膜の複合金属酸化物がペロブスカイト型構造である請求項５に記載の酸素ポンプ。
【請求項８】
導電体は貴金属成分を主体として構成される請求項３に記載の酸素ポンプ。
【請求項９】
金属箔部材がアルミニウムを含有したフェライト系ステンレスである請求項１〜８のいずれか１項に記載の酸素ポンプ。
【請求項１０】
絶縁体がガラスの焼結体である請求項１に記載の酸素ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気化学的に酸素イオンを移動させることにより、一方の空間から酸素を排気したり、一方の空間へ酸素を富化したりする酸素ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の酸素ポンプは、複数枚の固体電解質を同時に使用する場合、支持部材に対して同じ面側の電極膜をリード線等で電気的に接続し、電源電圧を並列に印加するものであった（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図５、図６はその酸素ポンプを示し、複数枚の酸素イオン導電性の固体電解質１が支持部材２に固定されている。それぞれの電極膜３からリード線４が引き出されて集結し、配線に同電位の状態で接続されている。配線からはリード線５が引き出され、電源の一方の極に接続されている。また、裏面からは同様にして引き出されたリード６線が、電源のもう一方の極に接続されている。
【特許文献１】特開平８−５２７４８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記従来の構成では、複数個の固体電解質１が並列に接続されているため、各リード線４が集結したリード線４、５には大きな電流が流れることになる。したがって、十分に太いリード線や電気抵抗の小さな特別なリード線を使う必要があるという課題を有していた。また、接続部やスイッチ部などの抵抗値が小さい部分でも発熱することがあった。さらに、例えば、家庭での実使用を考慮した場合、数十ボルトの電圧よりも数十アンペアの電流の方が、電源回路の構成が複雑になり、高コストという課題もあった。
【０００５】
本発明は、前記従来の課題を解決するのもので、小電流型で急激な熱衝撃に対してもクラックあるいは剥離を生じることのない酸素ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記従来の課題を解決するために、本発明の酸素ポンプは、複数ある開口部の周縁の部分を絶縁体で被覆した金属箔部材と、前記開口部を覆って絶縁体に接着された複数の酸素イオン導電性の固体電解質と、前記固体電解質の両面に形成された電極膜と、前記電極膜に対向して配置されたヒータとを備え、前記複数の電極膜の極性が金属箔部材に対して同方向であり、かつ前記複数の固体電解質が電気的に直列回路となるように構成されているものである。
【０００７】
これによって、部分的に絶縁体で被覆することによって、金属箔部材に複数の固体電解質を電気的に直列回路となるように構成することができ、酸素ポンプを高電圧小電流化して動作させることが可能となる。また、固体電解質は金属箔部材上に配置されているので、熱衝撃、熱歪に対しても十分な柔軟性を有している。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の酸素ポンプは、小電流型で急激な熱衝撃に対してもクラックあるいは剥離を生じることのないものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
第１の発明は、複数ある開口部の周縁の部分を絶縁体で被覆した金属箔部材と、前記開口部を覆って絶縁体に接着された複数の酸素イオン導電性の固体電解質と、前記固体電解質の両面に形成された電極膜と、前記電極膜に対向して配置されたヒータとを備え、前記複数の電極膜の極性が金属箔部材に対して同方向であり、かつ前記複数の固体電解質が電気的に直列回路となるように構成されている酸素ポンプとすることにより、絶縁体で被覆された金属箔部材に複数の固体電解質を電気的に直列回路となるように構成することで、固体電解質に印加される電圧を積み上げることができ、酸素ポンプを高電圧小電流化して動作させることが可能となる。また、固体電解質は金属箔部材上に配置されているので、熱衝撃、熱歪に対しても十分な柔軟性を有している。
【００１０】
第２の発明は、特に、第１の発明において、１つの固体電解質には、正極の正電極膜と負極の負電極膜が複数に分割されてコンデンサを構成するような対構造で配置され、前記正電極膜および負電極膜は電気的に直列回路となるように構成されていることにより、1つの固体電解質に対して印加する電圧は正電極膜と負電極膜を分割することで積み上げることが可能となり、少ない枚数の固体電解質で酸素ポンプ全体の電流値を低く抑えることができる。
【００１１】
第３の発明は、特に、第１または第２の発明において、金属箔部材の開口部の周囲と、固体電解質の外周部とが導電体で接合され、正電極膜と負電極膜のいずれか一方が前記導電体と電気的に導電関係にあることにより、導電体でガスシールを行うとともに正電極膜あるいは負電極膜からのリード取りだし部として使用することができ、酸素ポンプの構成レイアウトに自由度が広がる。また、固体電解質で生ずる大きな熱衝撃、熱歪に対しても導電体は十分な柔軟性を有している。
【００１２】
第４の発明は、特に、第２または第３の発明において、１つの固体電解質に形成された複数の正電極膜と負電極膜は、固体電解質に配設した貫通孔を介して交差して結線されることで直列回路となるように構成されていることにより、複数の正電極膜と負電極膜をスクリーン印刷等の方法によって片面は一度に結線処理することができるので、量産化時の製造プロセスを簡素化することができる。
【００１３】
第５の発明は、特に、第１〜第４のいずれか１つの発明において、正電極膜と負電極膜は固体電解質に直接接合する第１電極膜と、前記第１電極膜上に形成された第２電極膜とで構成され、第１電極膜は複合金属酸化物成分を主体とする膜とし、第２電極膜は貴金属成分を主体とする膜としたことにより、第２電極膜は導電性の高い材料で構成されるので、ある程度の面積を有する電極部に対して等しい電位を印加することができた。また、第１電極膜は固体電解質と第２電極膜の中間層として酸素を解離吸着する電極反応を高めることができるので、酸素分子から酸素イオンへと変化するための良好な触媒作用を得ることができる。
【００１４】
第６の発明は、特に、第１〜第５のいずれか１つの発明において、固体電解質がランタンガレートであることにより、ランタンガレートはランタンとガリウムを主成分としたペロブスカイト型複合金属酸化物であり、４００℃以上で酸素イオン導電性を有する。したがって、酸素ポンプの動作温度を６００℃程度の比較的低温に保持することで十分な能力を得ることができるため、長期的にも酸素ポンプの劣化を抑制できる。
【００１５】
第７の発明は、特に、第５の発明において、第１電極膜の複合金属酸化物がペロブスカイト型構造であることにより、固体電解質と第２電極膜の中間層として酸素を解離吸着する電極反応を高めることができるので、酸素ポンプとしての酸素イオン導電性を向上させることができる。
【００１６】
第８の発明は、特に、第３の発明において、導電体は貴金属成分を主体として構成されることにより、固体電解質で発生した熱衝撃、熱歪にも十分対応することができる柔軟性を有しているので、金属箔部材から固体電解質が剥離するのを抑制できる。
【００１７】
第９の発明は、特に、第１〜第８のいずれか１つの発明において、金属箔部材がアルミニウムを含有したフェライト系ステンレスであることにより、高温酸化に対して優れた特性を有するようになり、８００℃付近で長期使用に対して安定した特性を維持できる。
【００１８】
第１０の発明は、特に、第１の発明において、絶縁体がガラスの焼結体であることにより、得られた絶縁体は酸素ポンプで使用する高温にも十分対応することができるとともに、絶縁体は非常に薄い膜なので、金属箔部材の柔軟性を損なうことなく、固体電解質が金属箔部材から剥離するのを抑制でき、固体電解質を直列回路とするために必要な絶縁性を保持させることができる。
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００２０】
（実施の形態１）
図１〜図３は、本発明の実施の形態１における酸素ポンプを示すものである。
【００２１】
図１において、酸素ポンプ素子を構成する固体電解質７は、置換型のランタンガレート（Ｌａ0.8Ｓｒ0.2Ｇａ0.8Ｍｇ0.2Ｏ３）の焼結体を任意の厚さの平板状に成型したものであり、表面上には第１電極膜として、正第１電極膜８と負第１電極膜９が酸素イオン導電性を発現するように形成されている。ここでは固体電解質７として寸法１５×１５ｍｍ、厚み１００μｍを想定して説明する。
【００２２】
正第１電極膜８と負第１電極膜９には、導電性を有するペロブスカイト型複合酸化物を用いた。具体的には、Ｓｍ0.5Ｓｒ0.5ＣｏＯ3を有機溶剤であるセルロース系ビヒクルと混合したペーストを、スクリーン印刷により印刷膜を形成し、乾燥後、１１００℃にて焼成することにより膜厚約１５〜２５μｍの多孔性を有した電極膜を形成した。
【００２３】
更に、正第１電極膜８と負第１電極膜９の表面上には、第２電極膜として貴金属成分を主体とする膜を用いた。具体的には、Ａｕ多孔性の正第２電極膜１０、負第２電極膜１１を積層した。この場合、Ａｕペーストを使い、スクリーン印刷により印刷膜を形成し、乾燥後、８００℃にて焼成することにより膜厚約５〜１０μｍの第２電極膜を形成した。正第２電極膜１０、負第２電極膜１１は、正第１電極膜８と負第１電極膜９間に電圧を印加した時の電位に対して固体電解質７の面分布ムラを改善できる。
【００２４】
そして、電極膜を形成させた固体電解質７は、金属箔部材１２の開口部１３を覆ってその周縁上に形成されたガラスの絶縁体１４と、導電体１５によって金属箔部材１２と接合されている。
【００２５】
ここで、絶縁体１４は金属箔部材１２の全面に形成させる必要はなく、導電体１５を全て覆う程度の面積でよい。
【００２６】
図２は酸素ポンプ素子の構成を示している。ここでは、固体電解質７が３６個使用された酸素ポンプについて説明する。個々の固体電解質７は、負第２電極膜１１が絶縁体１４上の導電体１５によって連結されている。金属箔部材１２としてはＦｅ−２０Ｃｒ−５Ａｌの１２μｍを使用し、ガラスの絶縁体１４はスクリーン印刷によって形成させている。金属箔部材１２には、固体電解質の負第２電極膜１１面が露出するように３６個の開口部１３、１２×１２ｍｍが設けられている。固体電解質７の外周部の負電極側は導電体１５によって金属箔部材１２と接合されている。固体電解質７の寸法は１５×１５ｍｍに対して金属箔部材１２に設けられた開口部１３は１２×１２ｍｍなので、導電体１５による接合部は固体電解質７の周囲１．５ｍｍ幅となる。その後、乾燥、７５０℃にて焼成することにより３６個の固体電解質７を金属箔部材１２と接合させた。
【００２７】
そして、隣り合う固体電解質７の負第２電極膜（図の裏面）と電気的に導通する導電体１５によって形成されたリード取りだし部と隣の固体電解質７の正第２電極膜１０側が結線されることで電気的に直列回路となっている。結線はφ０．１ｍｍの金線１６によって行った。図２において、個々の固体電解質７には直列回路に結線した序列を番号付け（（１）〜（３６））している。３６個の固体電解質７に対して最終的には１番目の固体電解質７の正第２電極膜１０と結線されたリード線１７と、３６番の固体電解質７の負第２電極膜１１と電気的に導通する導電体１５と結線されたリード線１８から酸素ポンプ全体に電圧を印加する構成となる。
【００２８】
図３は、上記のように構成された酸素ポンプ素子２６を用いた酸素ポンプを示すものである。３６個の固体電解質７に対して空間の区画手段となる一枚の金属箔部材１２の周囲は、電気絶縁性のガス封止剤を用いて筐体１９に固定されている。また、リード線１７およびリード線１８は、電源（図示せず）に接続されている。また、酸素ポンプの上下には、シリカとアルミナを主成分とする平板状に成形された断熱材２０が配置され、その中に、ヒータ２１を配している。また、筐体１９の上下には通気口２２が設けてある。
【００２９】
以上のように構成された酸素ポンプについて、以下その動作、作用を説明する。
【００３０】
まず、酸素ポンプは、室内空気等の大気中に置かれる。この時、窒素や酸素などの大気成分（以下、単に窒素、酸素とする）は、通気口２２と断熱材２０の内部を通過して正電極膜側および負電極膜側の表面まで拡散した状態で安定している。この状態においてヒータ２１に通電すると、固体電解質７等が加熱され酸素ポンプの温度が上昇する。温度制御手段によって固体電解質７が動作するに必要な温度である約６００℃となるよう制御しながら通電していく。但し、この温度が限定を受けるものではなく、固体電解質７の特性に合わせて、任意の温度の動作も可能である。
【００３１】
そして、固体電解質７のイオン伝導可能な温度に達した時点で、正第２電極膜１０と負第２電極膜１１を介して個々の固体電解質７に電圧を印加すると、負電極膜側の表面近傍の酸素が、電気化学反応によって負電極膜から固体電解質７の内部を酸素イオンとして、正電極膜へと移動し、正電極膜側の表面から酸素分子として放出される。そして、通気口２２を通過して大気中に排出される。この時、個々の固体電解質７には約０．７Ｖの電圧印加によって、２．９Ａの電流が流れる。したがって、３６個の固体電解質７からなる酸素ポンプは２４Ｖで動作させることによって、酸素ガスを約３７０ｍｌ／ｍｉｎ得ることが可能となる。この時、金属箔部材１２も６００℃の雰囲気温度に加えて高温状態に曝されることになるため、金属箔部材１２としてアルミニウム含有フェライト系ステンレスを使用することで優れた耐酸化性を得ることができる。
【００３２】
正電極膜側の表面近傍は、発生した酸素ガスによって純酸素に近い状態となり、正電極側の表面から離れて排出される。したがって、空間の区画手段となる金属箔部材１２が、負電極膜側からのガスリークを防ぐ手段として有効に作用する。また、固体電解質７と金属箔部材１２とをガスシールする導電体１５も負電極膜側からのガスリークを防ぐ手段として有効に作用する。一方、窒素は負電極側に残される。残された窒素は、断熱材２０の通気性により、大気中に拡散していくとともに、負電極側には新たな空気とともに酸素が外部より供給される。
【００３３】
以上のように、本実施の形態では、３６個の固体電解質７を電気的に直列回路で連結し、正電極側と負電極側を、酸素イオン導電性を発現するように固体電解質７を介して空間部を金属箔部材１２によってガスリークを抑制し、加熱昇温と電圧印加を行うことにより、酸素分子を正電極側から放出させることが可能となる。本実施の形態の酸素ポンプによって得られる酸素は、２４Ｖで動作時、約０．４Ｌ／ｍｉｎを供給することが可能であった。
【００３４】
（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２における酸素ポンプを示すものである。基本構成は実施の形態１と同じであるので、同一要素については同一符号を付し相違点を中心に説明する。
【００３５】
固体電解質２３の表面上に形成する第１電極膜および第２電極膜の構成は実施の形態１と同じであり、それぞれ正第１電極膜２４、負第１電極膜２５および正第２電極膜２７、負第２電極膜２８よりなる。固体電解質２３の寸法は３１×３１ｍｍ、厚み１３０μｍである。ここでは、一枚の固体電解質２３に第１電極膜と第２電極膜とを４分割として構成している。１つの第１電極膜と第２電極膜の寸法は１２×１２ｍｍであり、隣り合う電極膜の間隔は２ｍｍとした。金属箔部材１２も実施の形態１と同様のものを使用し、９個の開口部、２８×２８ｍｍが設けられている。また、４分割された正第２電極膜２７と負第２電極膜２８とは電気的に直列回路となるように構成されている。図４において、個々の固体電解質２３は直列回路に結線した電位序列を番号付け（（１）〜（３６））している。
【００３６】
具体的には、１つの固体電解質２３に貫通孔２９が３箇所配設され、貫通孔２９を利用して正第２電極膜２７は隣の反対側に位置する負第２電極膜２８と電気的に結線されている。１番目の負第２電極膜２８は隣に位置する２番目の正第２電極膜２７と、２番目の負第２電極膜２８は隣に位置する３番目の正第２電極膜２７と、３番目の負第２電極膜２８は隣に位置する４番目の正第２電極膜２７と結線されている。４番目の負第２電極膜２８は固体電解質２３が金属箔部材１２と接合される導電体１５と結線され、導電体１５は固体電解質２３からはみ出す部分が設けられ、その導電体１５から隣に位置する固体電解質２３の５番目の正第２電極膜２７と金線１６で結線されている。順次同様に結線され、最終的には１番目の正第２電極膜２７と結線されたリード線１７と３６番目の負第２電極膜２８と導通するように結線されたリード線１８に電圧を印加することで酸素ポンプを動作させることになる。
【００３７】
固体電解質２３は金属箔部材１２に対して１．５ｍｍ幅で導電体１５により接合されている。金属箔部材１２の開口部に導電体１５としてＡｕペーストを使い、開口部２８×２８ｍｍに対して３２×３４ｍｍの印刷を行うことで固体電解質２３からはみ出し、リード取りだし部が形成できるようにスクリーン印刷を２回行った。その後、乾燥、７５０℃にて焼成することにより９個の固体電解質２３を金属箔部材１２と接合させた。正第２電極膜２７と負第２電極膜２８との結線はＡｕペーストのスクリーン印刷によって同時に行った。したがって、正第２電極膜２７と負第２電極膜２８との結線のための製造プロセスは特に追加されていない。
【００３８】
ここで、実施の形態１の図３と同様な酸素ポンプを作製して動作させた。その結果、２６Ｖで動作させることによって、２．９Ａの電流が流れ、酸素ガス約３７０ｍｌ／ｍｉｎを得ることができた。したがって、９枚の固体電解質２３を使用して実施の形態１と同じ電流値で同等の性能を得ることができた。金属箔部材１２上に９個の固体電解質２３を配置し、複数本の金線１６とリード線１７、１８を結線することで完成するため、製造プロセスは実施の形態１と比較すると簡素化されている。
【００３９】
上記各実施の形態１、２では、固体電解質７、２３としてランタンガレートを使用したが、これに限定されるものではなく、イットリウムドープ型のジルコニア（ＹＳＺ）、サマリウムドープ型のセリア（ＳＤＣ）などであっても良い。但し、現状ではランタンガレート系の材料が酸素イオン伝導体として動作温度が低いので材料の耐久性を鑑みた場合、もっとも好ましい材料といえる。また、第１電極膜の複合金属酸化物としてＳｍ0.5Ｓｒ0.5ＣｏＯ3を使用したが、これに限定されるものではない。しかし、ペロブスカイト型構造を有する複合金属酸化物は酸素分子との電極反応性が高く、かつそれ自体が導電性を有するので優れた酸素イオン導電性を実現することができる。特に、ペロブスカイト型複合酸化物の中でもＡサイトにランタン、サマリウムの少なくとも１種と、Ｂサイトにコバルト、鉄、マンガンの少なくとも１種で構成されるもの、また、Ａサイトの一部をストロンチウムで置換したものが優れた導電性と高い酸素分子の電極反応性を有していた。
【００４０】
また、金属箔部材１２としてＦｅ−２０Ｃｒ−５Ａｌの材料を使用したが、これに限定されるものではなく、高温酸化に対して耐久性を有する材料であれば他の金属箔材料を使用することができる。しかし、現状ではアルミニウムを含有したフェライト系ステンレスが高温酸化に対して優れた特性を有していた。さらに、耐高温酸化性を向上させる目的で希土類金属を添加することも可能である。また、厚み１２μｍを使用したが、金属箔部材１２としては５〜２０μｍが好ましいと考えられる。すなわち、固体電解質７、２３で発生した熱を外周部方向へと伝熱拡散させないためには厚みが薄いほど好ましい。しかし、５μｍ以下になると製造時でのハンドリングが悪くなるためである。
【００４１】
また、絶縁体１４としてガラスの焼結体を使用したが、これに限定されるものでなく、ＺｒＯ２膜、Ａｌ２Ｏ3膜が使用できる。これらは処理水溶液中に浸漬することによって薄い酸化被膜を短時間で形成させることができ、酸素ポンプを動作させる高温雰囲気下でも十分な絶縁性を保持させることができた。絶縁体は非常に薄い膜なので、金属箔部材１２の柔軟性を損なうことなく、固体電解質７、２３が金属箔部材１２から剥離するのを抑制でき、固体電解質７、２３を直列回路とするために必要な絶縁性を保持させることができた。
【００４２】
また、金属箔部材１２の構成として、負電極膜側に接合させて固体電解質７、２３が空間部を区画する区画手段として使用した場合についてだけ説明したが、逆に正電極膜側に接合させて空間部を区画する区画手段として使用してもかまわない。また、第２電極膜２７、２８、導電体１５としてＡｕ系を使用したが、これに限定されるものではなく、抵抗値の小さな耐熱性を有する材料であれば他にもＡｇ系、ＡｇＰｄ系のものが使用できる。また、固体電解質７、２３の表面上の正電極膜と負電極膜にさらに第２電極膜を配置した場合について説明したが、第２電極膜を配置しない構造についても適用できる。例えば、固体電解質７、２３の表面上に形成される電極膜の寸法が５×５ｍｍであれば、流す電流値も０．５Ａ程度となり、電極膜上で生ずる電位ムラもそれ程大きくないので第２電極膜は必要とならない。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
以上のように、本発明にかかる酸素ポンプは、小電流型で急激な熱衝撃に対してもクラックあるいは剥離を生じることのないものであるので、酸素を利用する空気清浄機や空調機器あるいは健康促進機器、健康増進機器など広範な用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態１における酸素ポンプの酸素ポンプ素子を示す断面図
【図２】同酸素ポンプ素子の全体を示す平面図
【図３】同酸素ポンプの概略を示す断面図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態２における酸素ポンプの酸素ポンプ素子を示す平面図（ｂ）（ａ）におけるＡ−Ａ線による断面図
【図５】従来の酸素ポンプの酸素ポンプ素子を示す平面図
【図６】同酸素ポンプの断面図
【符号の説明】
【００４５】
７、２３  固体電解質
８、２４  正第１電極膜
９、２５  負第１電極膜
１０、２７  正第２電極膜
１１、２８  負第２電極膜
１２  金属箔部材
１３  開口部
１４  絶縁体
１５  導電体
２０  断熱材
２１  ヒータ
２９  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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