(57)【要約】      （修正有） 【課題】天井走行車に対する載置台の位置がずれている場合でも物品の仮置きができ、また、その位置調整を容易にすると共に、物品受け台への物品の受け渡しデータを簡単に得ることができる天井走行車システムを提供することにある。【解決手段】  載置台１０を走行レール４と並行に取り付け、該載置台１０を複数の桟１４を設け、その桟１４に対してスライド自在なネジ２２を、物品受け台１２の長溝２０に取り付ける。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井空間に、走行レールから天井走行車が物品を受け渡し自在な位置に、物品仮置き用の載置台を設けたシステムにおいて、
個別の物品を載置するための物品受け台を、前記載置台の本体に位置調整自在に取り付けたことを特徴とする、天井走行車システム。  
【請求項２】
前記物品受け台に、物品の底部に係合するガイドピンを設けたことを特徴とする、請求項１の天井走行車システム。
【請求項３】
前記載置台本体を複数の桟により構成して、該桟に沿ってスライド自在な取り付け部材を設け、該取り付け部材に対して桟の左右方向にスライド自在に前記物品受け台を取り付けたことを特徴とする、請求項１または２の天井走行車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は天井走行車システムに関し、特に天井走行車が物品を一時載置するための載置台に関する。
【背景技術】
【０００２】
発明者らは、天井走行車の走行レールの側方に載置台を設けて、物品を仮置きするバッファとすることを提案した（特許文献１）。このバッファは、天井走行車の停止データを簡単にするため、例えば処理装置のロードポートに向かい合うように設ける。またバッファの設置位置には、走行レールのカーブ区間には設けることができない、走行レールを複数並行に配置する場合、隣り合ったレールを走行する天井走行車と干渉しないように設置する、等の制限がある。このためバッファの設置位置を調整できるようにする必要が生じた。
【特許文献１】特願２００３−４３２４３１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、天井走行車に対する載置台の位置がずれている場合でも、物品の仮置きができるようにすることにある（請求項１〜３）。
請求項２の発明での追加の課題は、天井走行車に対する位置調整を容易にすると共に、物品受け台への物品の受け渡しデータを簡単に得ることができるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、簡単な構成で物品受け台を前後左右に位置調整自在にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、天井空間に、走行レールから天井走行車が物品を受け渡し自在な位置に、物品仮置き用の載置台を設けた天井走行車システムにおいて、個別の物品を載置するための物品受け台を、前記載置台の本体に位置調整自在に取り付けたことを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、前記物品受け台に、物品の底部に係合するガイドピンを設ける。
【０００６】
また好ましくは、前記載置台本体を複数の桟により構成して、該桟に沿ってスライド自在な取り付け部材を設け、該取り付け部材に対して桟の左右方向にスライド自在に前記物品受け台を取り付ける。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、載置台に対して物品受け台の位置を調整できるので、天井走行車からの物品の受け渡しが容易な位置に、物品受け台を調整できる。例えば走行レールの側方の載置台の場合、例えば処理装置のロードポートに向かい合った位置に物品受け台を調整できる。また物品受け台の位置を調整できるため。載置台の据え付け自体はラフでも良くなる。
【０００８】
請求項２の発明では、例えば物品の受け渡しデータの取得用の部材を天井走行車の昇降台で支持して、物品受け台のガイドピンに接触する位置へ荷下ろしする。この部材がガイドピンに接触した際の昇降台の高さから、物品受け台の高さが判明し、ガイドピンの接触した水平面内位置から、物品受け台の水平面内位置が判明する。あるいはまた、概略の受け渡しデータに従って、物品を受け台側へ移動させ、この時、物品底部の溝にガイドピンが係合する位置に物品受け台を調整することにより、容易に位置決めでき、以降は概略の受け渡しデータに従って物品を受け渡しできる。以上の手順で物品受け台の位置調整も完了する。
【０００９】
請求項３の発明では、物品受け台は載置台の桟に対して前後左右にスライド自在なので、所望の位置に物品受け台を簡単に調整できる。  
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図６に、実施例とその変形とを示す。図において、２は天井走行車システムで、クリーンルームなどの天井空間に設け、４はクリーンルームの天井付近に設けた走行レールである。クリーンルーム内には半導体の処理装置６などが設けられ、８はそのロードポートで、天井走行車との間で半導体カセットなどの物品をやりとりし、地上空間に設けてある。走行レール４と並行に、例えば走行レール４でその左右一方を支持するように、載置台１０を設ける。載置台１０には１個〜３個程度の個別の物品受け台１２を設け、各物品受け台１２に半導体カセット等の物品を載置する。物品受け台１２の設置個所は任意であるが、好ましくはロードポート８に向き合った位置やその周囲の位置等とする。載置台１０は、荷下ろし先のロードポートが塞がっている際に、物品を仮置きするバッファとして用い、あるいはロードポート８から目的地まで物品を搬送する天井走行車を割り付けることができない時に、その物品を仮置きするバッファ等として用いる。これ以外に物品受け台１２は、クリーンルーム内での物品の一時的なバッファとして用い、特にクリーンルームのイントラベイルートでのバッファとして用いる。
【００１２】
物品受け台１２の設置位置には、ロードポート８と平面視で向き合った位置が好ましいことの他に、
・  走行レール４のカーブ区間や分岐区間、あるいは合流区間等には設けられない、
・  走行レール４に平行に他の走行レールがある場合、他の走行レールを走行する天井走行車との干渉が生じる位置には設けられない、
等の制限がある。載置台１０には例えば一対の桟１４を設け、その長手方向に沿って蟻溝１５を設ける。また載置台１０の例えば両端に取り付け具１６を設け、縦板１７によりクリーンルーム等の天井に取り付ける。縦板１７では、１８は例えば左右一対の柱で、その間に配線収容パイプ１９等を設けて、物品受け台１２に載荷センサ等の信号線や電源線を収容する。なお物品受け台１２側にセンサ類を設けない場合、配線収容パイプ１９は不要である。また載置台１０は、取り付け具１６を介して互いに連結できるようにしてある。
【００１３】
物品受け台１２には例えば複数個の長溝２０を設け、各長溝２０にネジ２２を取り付けて、蟻溝１５とネジ２２とにより物品受け台１２を桟１４に固定する。ネジ２２は蟻溝１５の長手方向に沿ってスライド自在で、また長溝２０に対してもスライド自在なので、物品受け台１２は載置台１０に対して前後左右にスライド自在となる。なおこの明細書で、前方は走行レール４での天井走行車の走行方向（図１に白抜き矢印で図示）を意味し、後方はその逆の方向で、左右は桟１４の長手方向に対して水平面内で直角な方向をいう。
【００１４】
実施例では蟻溝１５と長溝２０とを用いて、物品受け台１２を載置台１０に対して前後左右にスライド自在にした。しかしながら物品受け台１２を前後左右にスライド自在に取り付けるための構成は、これには限らない。例えば２本の桟１４，１４の上部を渡る支持部材を設け、この支持部材を蟻溝１５等により桟１４の長手方向にスライド自在に取り付ける。次にこの支持部材に対して、物品受け台１２を左右方向にスライド自在に取り付ける。このようにしても物品受け台１２を、前後左右にスライド自在に載置台１０に取り付けることができる。
【００１５】
物品受け台１２には例えば３本のガイドピン２４を設け、半導体カセットの底部に設けたガイド溝に係合させて、半導体カセットの受け渡しをガイドする。また物品受け台１２の左右にガイド２５，２６を設けて、地震時等に物品が落下するのを防止する。物品受け台１２にはこれ以外に種々の装備を設けても良く、例えば反射板２８を設けて、物品の有無により反射板２８が遮られることにより、天井走行車等に設けた載荷センサで物品を検出できるようにする。
【００１６】
図２に示すように、走行レール４には上部レール３１と下部レール３２とがあり、上部レール３１に設けた蟻溝３３等を利用して、支柱３４を取り付ける。載置台１０の縦板１７を上部取り付け具３６に取り付け、その左右の一端を支柱３５でクリーンルームの天井等に固定し、他端を蟻溝３３等を利用して走行レール４に取り付ける。この結果、載置台１０は左右方向の一方を支柱３５で、他方を走行レール４で支持され、走行レール４に対する載置台１０の位置にある程度の精度が得られる。なお載置台１０を、走行レール４と独立して、例えばその左右双方に設けた支柱により天井から支持しても良い。
【００１７】
４０は天井走行車で、４１は走行部で、上部レール３１内を走行し、４２は受電部で、下部レール３２に設けた図示しないリッツ線等から非接触給電等により受電し、これと共にリッツ線等を利用して通信を行う。天井走行車４０の走行レール４の下部に、横送り部４３があり、回動部４４，昇降駆動部４５，昇降台４６を走行レール４に対して左右方向に横送りして、物品受け台１２の上部の位置へと移動させる。回動部４４は昇降駆動部４５及び昇降台４６を水平面内で回動させ、設けなくても良い。昇降駆動部４５はドラムによる吊持材の巻き取り／繰り出しにより、昇降台４６を昇降させる。４８は例えば前後一対の落下防止カバーで、５０は半導体カセットで、搬送物品の例である。５１はバーコードやＲＦタグ等のＩＤで、半導体カセット５０のＩＤである。実施例では横送り部４３による横送りと、昇降駆動部４５による昇降台４６の昇降とにより、物品受け台１２と天井走行車４０との間で半導体カセット５０を受け渡しするが、受け渡しの機構自体は任意である。また図２に示すように、物品受け台１２は、ガイド２５の上面が搬送中の半導体カセット５０の底面よりもやや低い位置に現れるようにすることが好ましい。
【００１８】
図３に、桟１４への物品受け台１２の取り付けを示し、図４は物品受け台１２にＩＤリーダ５２や載荷センサ５４等の装備を取り付けた例を示す。この場合、ＩＤリーダ５２は半導体カセットのＩＤを読み取り、載荷センサ５４は物品受け台１２上の半導体カセットの有無を検出する。
【００１９】
実施例では走行レール４の側方に載置台１０を設けたが、走行レール４の下方に設けてもよい。このような例を図５に示すと、６０は新たな取り付け具で、６２はその支柱で、走行レール４の左右両側でクリーンルームの天井等に取り付けられ、取り付け具６０，６０間のスペースに新たな載置台６４を設ける。そして載置台６４の位置は、図２での天井走行車４０の下側で、載置台６４上の物品と、天井走行車４０とが干渉しない高さに載置台６４を設ける。この場合も桟１４に蟻溝１５を設け、物品受け台１２に設けた長溝２０とネジ２２とを用いて、物品受け台１２を載置台６４に対し、前後左右にスライド自在とする。
【００２０】
載置台１０，６４を設置した際の、天井走行車が載置台１０，６４に対して半導体カセット５０を受け渡しするための、受け渡しデータの取得を説明する。載置台１０はロードポートに向かい合った位置や、あるいは走行レール４を複数並列に配置する場合、複数の走行レールから物品を受け渡しできる位置等に取り付ける。そしてロードポートに向かい合った位置の場合、ロードポートに対する停止データを物品受け台に対する停止データに兼用する。なお図１の３つの物品受け台１０の中央の、ロードポートとロードポートとの間の物品受け台１０ａに対しては、走行方向上流側のロードポート８ａから所定の長さだけ下流側の位置を停止位置とする。さらに他の走行レールを走行する天井走行車と干渉しない、天井走行車から見た場合の横送り距離が一定になる、物品受け台１２が所定のピッチで配列される等の要素も加味して、ネジ２２を利用し、物品受け台１２の位置を前後左右にスライドさせて位置決めする。
【００２１】
図５の載置台６４の場合、物品受け台１２が走行レール４の直下にあり、横送り部を動作させずに物品の受け渡しができるように、左右の位置を定める。また例えば多数の物品受け台１２が所定のピッチで配列されるように、物品受け台１２の前後位置を定める。
【００２２】
次に物品受け台１２への受け渡しデータを取得するには、例えば１台の天井走行車の昇降台に、受け渡しデータの取得用のユニットを支持させて、物品受け台側へ下降させる。このユニットでは、物品受け台のガイドピンが接触したことの検出センサと、ガイドピンが接触した水平面内位置とを求めるセンサを設ける。そこでユニットがガイドピンに接触した際の昇降台の高さから、物品受け台の高さを求めて、昇降台の昇降データを得る。またガイドピンがユニットに接触した水平面内位置から、物品受け台の水平面内位置を求めて、天井走行車の横送り部での横送り量を求める。なおロードポートの向かい側に設けた物品受け台の場合、停止データはロードポートの停止データを利用するか、あるいはこれを修正して用いる。そして得られた受け渡しデータを他の天井走行車にも入力する。
【００２３】
これ以外の受け渡しデータの取得方法として、概略の受け渡しデータを作成し、これに従って物品を受け渡しできる位置に、物品受け台１２を調整することもできる。このような例を図６に示す。各物品受け台に対して概略の受け渡しデータが作成済みで、天井走行車はこのデータに従って物品の受け渡しを試みる。ただしこの場合、物品を受け渡しデータで指定された位置まで下降させずに、物品受け台のガイドピンの高さ程度の分だけ受け渡しデータよりも高い位置まで下降させる。そして物品底部のガイド溝にガイドピンがフィットするように、物品受け台の位置を前後左右にスライドさせて調整する。このようにすると、天井走行車側の受け渡しデータに従って、物品受け台の位置を決定できる。
【００２４】
実施例では、載置台に対する物品受け台の位置を前後左右にスライドできるので、ロードポートに向かい合った位置や、天井走行車等との干渉が無い位置や、カーブ区間や分岐合流部から離れた位置などに、物品受け台の位置を調整できる。物品受け台１２の形状や構造は、天井走行車システム２内で統一されているので、取扱が容易である。物品受け台１２に反射板２８やＩＤリーダ５２，載荷センサ５４等を設けると、載荷の有無の検出やＩＤの読み取り等が容易になる。物品受け台１２の上部取り付け具３６を走行レール４で支持すると、走行レール４に並行に所定の間隔で、載置台１０を設置できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施例の天井走行車システムでの載置台を示す平面図
【図２】実施例の天井走行車システムの正面図
【図３】実施例での載置台の桟に沿った断面図
【図４】実施例での載置台の平面図
【図５】変形例の天井走行車システムでの載置台を示す平面図
【図６】実施例の天井走行車システムでの載置台の位置決めアルゴリズムを示すフローチャート
【符号の説明】
【００２６】
２          天井走行車システム
４          走行レール
６          処理装置
８          ロードポート
１０        載置台
１２        物品受け台
１４        桟
１５        蟻溝
１６        取り付け具
１７        縦板
１８        柱
１９        配線収容パイプ
２０        長溝
２２        ネジ
２４        ガイドピン
２５，２６  ガイド
２８        反射板
３１        上部レール
３２        下部レール
３３        蟻溝
３４，３５  支柱
３６        上部取り付け具
４０        天井走行車
４１        走行部
４２        受電部
４３        横送り部
４４        回動部
４５        昇降駆動部
４６        昇降台
４８        落下防止カバー
５０        半導体カセット
５１        ＩＤ
５２        ＩＤリーダ
５４        載荷センサ
６０        取り付け具
６２        支柱
６４        載置台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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