(57)【要約】【課題】  原点復帰時の衝突を回避出来る平面モータを実現する。【解決手段】  ２個のスライダーとプラテンに原点復帰位置を有する平面モータにおいて、  前記２個のスライダーの前記それぞれの原点復帰位置側に設けられ前記プラテンの周縁部より張り出して移動可能なオーバーハング部と、前記プラテンの中央に設けられ前記スライダが移動する際に前記オーバーハング部を前記プラテンより張り出さないと他の領域に移動できない大きさを有する障害手段とを具備したことを特徴とする平面モータである。【選択図】                    図１
2006203979.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２個のスライダーとプラテンに原点復帰位置を有する平面モータにおいて、
前記２個のスライダーの前記それぞれの原点復帰位置側に設けられ前記プラテンの周縁部より張り出して移動可能なオーバーハング部と、
前記プラテンの中央に設けられ前記スライダが移動する際に前記オーバーハング部を前記プラテンより張り出さないと他の領域に移動できない大きさを有する障害手段と
を具備したことを特徴とする平面モータ。
【請求項２】
前記オーバーハング部は、前記スライダーより張り出した板状の張出板であること
を特徴とする請求項１記載の平面モータ。
【請求項３】
前記オーバーハング部は、前記スライダーより突出した２個のポールで構成されたこと
を特徴とする請求項１記載の平面モータ。
【請求項４】
前記障害手段は、前記プラテン面に直立するポールで構成されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の平面モータ。
【請求項５】
前記ポールは、断面円形のポールで構成されたこと
を特徴とする請求項４記載の平面モータ。
【請求項６】
前記ポールは、断面四角形のポールで構成されたこと
を特徴とする請求項４記載の平面モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原点復帰時の衝突を回避出来る平面モータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
平面モータに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−６５９７０号公報
【０００４】
図７は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図、図８は図７の要部構成図、図９は図７の要部構成図、図１０は図７の要部構成図、図１１は図７の要部構成図である。
図７において、格子プラテン３０はＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って一定ピッチで歯が形成されている。図では簡略化のため一部の歯だけを示している。
このような格子プラテン３０は、平坦面に格子状に溝を切ることによって形成される。  格子プラテン３０は磁性体で構成されている。
【０００５】
スライダ部３１には位置決めの対象物が載せられる。
浮揚手段３２は、スライダ部３１を格子プラテン３０上に浮揚させる。
スライダ部３１の格子プラテン３０と対向する面にはノズルが設けられていて、このノズルから浮揚手段３２が圧縮空気を噴出させることによって、浮上力を得ている。
スライダ部３１と格子プラテン３０の間をノズルから噴出した空気が流れることによって、エアベアリングを構成している。スライダ部３１と格子プラテン３０とのギャップは数十μｍ程度である。
【０００６】
Ｙ軸モータ３３は、スライダ部３１に搭載され、コア３３１の格子プラテン３０と対向する面にはＹ軸方向に一定ピッチで歯３３２が形成されている。
Ｙ軸モータ３３は、歯３３２と格子プラテン３０の歯３０１との間に磁気吸引力を生じさせてスライダ部をＹ軸方向に移動させる。
コイル３３３はコア３３１に巻かれている。
【０００７】
Ｘ軸モータ３４，３５は、スライダ部３１の中心に対して対称な位置にそれぞれ搭載されている。
Ｘ軸モータ３４，３５は、コア３４１，３５１の格子プラテン３０と対向する面にはＸ軸方向に一定ピッチで歯３４２，３５２が形成されている。
Ｘ軸モータ３４，３５は、歯３４２，３５２と歯３０１との間に磁気吸引力を生じさせてスライダ部をＸ軸方向に移動させる。
コイル３４３，３５３はコア３４１，３５１に巻かれている。
【０００８】
連結部材３１１，３１２はＹ軸モータ３３とＸ軸モータ３４，３５を連結する。
Ｘ軸ミラー３６は、格子プラテン３０の側面に装着され、Ｙ軸方向に鏡面が形成されている。
Ｙ軸ミラー３７は、格子プラテン３０の側面に装着され、Ｘ軸方向に鏡面が形成されている。
【０００９】
Ｙ軸センサ３８は、Ｙ軸モータ３３に搭載されていて、スライダ部３１のＹ軸方向の位置を検出する。
Ｙ軸センサ３８は、Ｙ軸ミラー３７に光を照射し、その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部３１のＹ軸方向の位置を検出する干渉計である。
【００１０】
Ｘ軸センサ３９及び４０は、Ｘ軸モータ３４及び３５にそれぞれ搭載されていて、スライダ部３１のＸ軸方向の位置をそれぞれ検出する。
Ｘ軸センサ３９及び４０は、Ｘ軸ミラー３６に光を照射し、その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部３１のＹ軸方向の位置を検出する干渉計である。
【００１１】
Ｙ軸制御部４１は、Ｙ軸センサ３８の検出位置をもとにスライダ部３１の位置をフィードバック制御する。
Ｘ軸制御部４２及び４３は、Ｘ軸センサ３９及び４０の検出位置をもとにスライダ部３１の位置をそれぞれフィードバック制御する。
【００１２】
補正手段４４及び４５は、Ｘ軸制御部４２及び４３についてそれぞれ設けられ、スライダ部の位置とスライダ部のヨーイングを除去するための補正量を対応させた補正テーブル４６及び４７を保持している。
補正手段４４及び４５は、与えられた指令位置をもとに補正テーブル４６及び４７から補正量を読み出し、読み出した補正量でＸ軸制御部４２及び４３に与える指令位置を補正する。
【００１３】
補正テーブル４６及び４７のデータはキャリブレーションによって得たデータである。  補正手段４４及び４５は、Ｘ軸ミラー３６とＹ軸ミラー３７の機械的誤差による曲がりを補正するために設けられている。
Ｘ軸ミラー３６とＹ軸ミラー３７の曲がりが位置検出に影響しない程度の曲がりであれば、補正手段４４と４５は設けなくてもよい。
【００１４】
図８はスライダ部３１の格子プラテン３０と対向する面の構成図である。
図９は図８のＡ−Ａ´部分の断面図である。
これらの図ではＸ軸モータ３４の例を示している。他のモータも同様な構成になっている。
溝３４４は対向面に形成されている。
ノズル３４５は溝３４４の中に形成されていて、浮揚手段３２から供給された圧縮空気を噴出する。
【００１５】
埋込部材３４６は歯３４２の凹部に埋め込まれている。埋込部材３４６は非磁性体の材料で構成されている。
対向面にコーティングを施すことによって、歯３４２の凹部に埋込部材３４６を形成することができる。
【００１６】
ノズル３４５から噴出した圧縮空気は溝３４４に沿って流れ、圧縮空気の圧力によりコア３４１を浮揚させる。
埋込部材３４６は歯３４２の凹部を伝わって圧縮空気が外に漏れることを防いでいる。
【００１７】
図１０は図７の制御部の構成例を示した図である。
図１０ではＸ軸制御部４２の例を示しているが、Ｘ軸制御部４３とＹ軸制御部４１も同様な構成になっている。
図１０において、フォトダイオードアレイ（ＰＤＡとする）４２０は、Ｘ軸センサ３９にできた干渉縞の明暗を検出する。
【００１８】
信号処理回路４２１はＰＤＡ４２０の検出信号に演算処理を行う。
コンパレータ４２２，４２３は信号処理回路４２１の演算信号からＡ相パルスとＢ相パルスを生成する。
【００１９】
方向判別回路４２４は、Ａ相パルスとＢ相パルスの位相関係からスライダ部３１の移動方向を判別し、判別結果に応じてアップパルスまたはダウンパルスを発生する。
アップダウンカウンタ４２５はアップパルスまたはダウンパルスに応じてアップカウントまたはダウンカウントを行う。
アップダウンカウンタ４２５のカウントがスライダ部３１の検出位置になる。
【００２０】
初期状態ではＸ軸モータ３４の各相コイルに既知電流を流したときにモータのロータとステータの歯の位相がどれだけずれるかが予め分っている。
この時のアップダウンカウンタ４２５の値を基準値、例えば０に設定する。
スライダ部３１の移動に伴ってアップダウンカウンタ４２５は基準値からアップカウントまたはダウンカウントを行って位置を検出する。
このようにしてインクリメンタル方式に位置検出をする。
【００２１】
減算器４２６は、位置指令値Ｘ０とアップダウンカウンタ４２５のカウントＸ１（検出位置）の偏差を求める。
位置制御手段４２７は減算器４２６で求めた偏差をもとにＸ軸モータ３４を位置フィードバック制御するための制御信号を出力する。
速度演算手段４２８はアップダウンカウンタ４２５のカウントＸ１の変化速度からスライダ部３１の移動速度を検出する。
速度演算手段４２８は、例えばＦ／Ｖ変換器である。
【００２２】
減算器４２９は位置制御手段４２７の制御信号と速度演算手段４２８の偏差を求める。
速度制御手段４３０は減算器４２９で求めた偏差をもとにＸ軸モータ３４を速度フィードバック制御するための制御信号を出力する。
【００２３】
ｓｉｎテーブル４３１にはアップダウンカウンタ４２５のカウントとｓｉｎ値が対応して格納されている。
Ｘ軸モータ３４が３相モータである場合は、アップダウンカウンタ４２５のカウントが与えられると、ｓｉｎテーブル４３１からはｓｉｎ（θ＋１２０°）とｓｉｎ（θ−１２０°）の値が読み出される。
θはアップダウンカウンタ４２５のカウントに応じて変わる角度である。
【００２４】
マルチプライング・デジタル・アナログ変換器（ＭＤＡとする）４３２，４３３４は、速度制御部４３０によって得られた信号をアナログ入力信号、ｓｉｎテーブル４３１から読み出したｓｉｎ（θ＋１２０°）とｓｉｎ（θ−１２０°）の値をゲイン設定信号としてＩｓｉｎ（θ＋１２０°）とＩｓｉｎ（θ−１２０°）なる電流指令値（Ｉは電流振幅）を出力する。
ここで、２つの指令値の位相が１２０°ずれているのは、モータが３相モータであるためである。相数が異なる場合は位相ずれは他の値になる。
【００２５】
電流センサ４３４，４３５はＸ軸モータ３４のコイルＬ１，Ｌ２に流れるコイルの電流を検出する。
減算器４３６及び４３７は、Ｉｓｉｎ（θ＋１２０°）及びＩｓｉｎ（θ−１２０°）と電流センサ４３４及び４３５の偏差をそれぞれ求める。
パルス幅変調回路（ＰＷＭ回路とする）４３８及び４３９は電流センサ４３４及び４３５で求めた偏差をもとにモータコイルの励磁電流をフィードバック制御するためのパルス幅変調信号（ＰＷＭ信号とする）を生成して出力する。
【００２６】
減算器４４０はＰＷＭ回路４３８と４３９のＰＷＭ信号を減算する。
ＰＷＭ回路４４１は減算器４４０の減算信号からＰＷＭ信号を生成する。
駆動回路４４２は、ブリッジ形のインバータ回路であり、ＰＷＭ回路４３８，４３９，４４１の３相のＰＷＭ信号をもとにＸ軸モータ３４を駆動する。
【００２７】
図１０の回路で、電源投入時に、Ｘ軸モータ３４の各コイルに既知の電流を流し、モータのロータの歯とステータの歯を既知の位相関係に設定する。
このようにして設定した位相関係を転流角の原点とする。
このときのアップダウンカウンタ４２５のカウントを基準値、例えば０にする。
【００２８】
以後、スライダ部３１の移動に伴ってＸ軸センサ３９の検出値が変わり、アップダウンカウンタ４２５のカウントが変化するのに応じて電流指令値Ｉｓｉｎ（θ＋１２０°）及びＩｓｉｎ（θ−１２０°）のθの値を変え、電流制御を行う。
【００２９】
図１１は図７のセンサの構成例を示した図である。
図７のＹ軸センサ３８、Ｘ軸センサ３９，４０は同様な構成になっている。
Ｘ軸センサ３９を例に説明する。
図１１で、レーザ光源３９１はレーザ光を出射する。
レーザ光源３９１の出射光の光路には、ミラー３９２，３９３、ハーフミラー３９４、偏向ビームスプリッタ（ＰＢＳとする）３９５、λ／４板３９６、コーナーキューブ３９７が配置されている。
【００３０】
レーザ光源３９１から出た光には、ハーフミラー３９４、ミラー３９３、ミラー３９２、ハーフミラー３９４の経路で進み、図のａ方向に進む光がある。
この光を第１の光とする。
また、レーザ光源３９１から出た光には、ハーフミラー３９４、ＰＢＳ３９５、λ／４板３９６、Ｘ軸ミラー３６、λ／４板３９６、ＰＢＳ３９５、コーナーキューブ３９７、λ／４板３９６、Ｘ軸ミラー３６、λ／４板３９６、ＰＢＳ３９５、ハーフミラー３９４の経路で進み、図のａ方向に進む光がある。
この光を第２の光とする。
【００３１】
前述した第１の光と第２の光が干渉して干渉縞Ｓを作る。ＰＤＡ３９８は干渉縞Ｓを検出する。ＰＤＡ３９８は４個のフォトダイオード３９８Ａ〜３９８Ｄからなる。
４個のフォトダイオード３９８Ａ〜３９８Ｄは干渉縞Ｓの１ピッチ内に配置されている。
各フォトダイオード３９８Ａ〜３９８ＤはＰ／４（Ｐは干渉縞のピッチ）ずつずらして配置されている。
【００３２】
減算器３９９は、（フォトダイオード３９８Ａの検出信号）−（フォトダイオード３９８Ｃの検出信号）なる演算を行う。
減算器４００は、（フォトダイオード３９８Ｂの検出信号）−（フォトダイオード３９
８Ｄの検出信号）なる演算を行う。
減算器３９９と４００で図７の信号処理回路４２１を構成している。
【００３３】
スライダ部３１が移動すると干渉縞が図１１のｄ−ｄ´方向に動く。
干渉縞が動くと各フォトダイオード３９８Ａ〜３９８Ｄに当る干渉縞の明暗部分が動き、フォトダイオード３９８Ａ〜３９８Ｄの検出値が変化する。これをもとにスライダ部３１の位置を検出する。
【００３４】
干渉縞がｄ方向に移動したときは、フォトダイオードの出力ＶA〜ＶDは次のとおりになる。
ＶA＝Ｋ［１＋ｍｓｉｎ｛ｘ・２π／（λ／４）｝］＋Ｋn
ＶB＝Ｋ［１＋ｍｃｏｓ｛ｘ・２π／（λ／４）｝］＋Ｋn
ＶC＝Ｋ［１−ｍｓｉｎ｛ｘ・２π／（λ／４）｝］＋Ｋn
ＶD＝Ｋ［１−ｍｃｏｓ｛ｘ・２π／（λ／４）｝］＋Ｋn
ｘ：検出対象の距離、Ｋ，ｍ：係数、Ｋn：ノイズ成分
【００３５】
減算器３９９と４００の減算信号は次のとおりになる。
ＶA−ＶC＝２ｍＫｓｉｎ｛ｘ・２π／（λ／４）｝
ＶB−ＶD＝２ｍＫｃｏｓ｛ｘ・２π／（λ／４）｝
減算の結果、外乱光により発生した直流のノイズ成分Ｋnがキャンセルされる。
信号ＶA−ＶCとＶB−ＶDが前述したＡ相パルスとＢ相パルスに変換される。
干渉縞がｄ´方向に動いたときは、信号ＶA−ＶCとＶB−ＶDの位相関係は逆転する。
【００３６】
以上の構成において、図７のＸＹステージの動作を説明する。
電源投入時に、Ｘ軸モータ３４の各コイルに既知の電流を流し、スライダ部３１を基準位置に位置決めする（これを原点復帰動作と称する。）。
基準位置からＸ軸方向及びＹ軸方向にスライダ部３１が移動したときに、Ｘ軸センサ３９．４０及びＹ軸センサ３８により２次元位置をインクリメンタル方式に検出する。
【００３７】
Ｘ軸ミラー３６とＹ軸ミラー３７の曲がりが位置検出に影響しないときは、補正手段４４と４５は設けられていない。このときは、Ｘ軸制御部４２と４３には同一の指令位置が与えられる。
このため、Ｘ軸制御部４２と４３のフィードバック制御によりＸ軸モータ３４と３５はスライダ部３１を等しいＸ軸位置に位置決めする。
これによって、スライダ部３１のヨーイングが除去される。
【００３８】
Ｘ軸ミラー３６とＹ軸ミラー３７の曲がりが位置検出に影響する場合について説明する。
このときは、補正手段４４と４５は設けられている。
位置決め動作を行う前にＸＹステージのキャリブレーションを行っておく。
【００３９】
キャリブレーションにおいてスライダ部３１を座標（Ｘ1，Ｙ１）に位置決めしたときに、ＸＹステージの機械的誤差等が原因でスライダ部３１にヨーイングが発生し、Ｘ軸センサ３９と４０の検出値がそれぞれＸ１＋ΔＸ１とＸ２−ΔＸ２であるとする。このときは、補正テーブル４６には（Ｘ１，Ｙ１）と−ΔＸ１を対応させて格納し、補正テーブル４７には（Ｘ１，Ｙ１）と＋ΔＸ２を対応させて格納しておく。
他の位置にもスライダ部３１を位置決めして補正量を求める。このようにして補正テーブルを作成する。
【００４０】
実際の位置決め動作において、スライダ部３１を座標（Ｘ１，Ｙ１）に位置決めしたときに、補正手段４４はＸ軸制御部４２に与える指令位置を−ΔＸだけ補正し、補正手段４５はＸ軸制御部４３に与える指令位置を＋ΔＸだけ補正する。
これによって、スライダ部３１のヨーイングが除去される。
このようにしてミラー面の曲がりによるスライダ部３１のθ軸方向の回転ずれが補正される。
【００４１】
なお、Ｘ軸制御部に与える指令位置に対して、一方の指令位置に所定値を加算し、他方の指令位置に所定値を減算することによってスライダ部の回転位置を制御する回転制御部を設けた構成にしてもよい。
【００４２】
また、２つのＸ軸センサはそれぞれの検出位置の差をもとにスライダ部の回転角度を検出しても良い。
また、ミラーをスライダ部に搭載し、Ｘ軸センサとＹ軸センサを位置固定した構成にしても良い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００４３】
このような、１可動部(スライダ)構成の平面モータ装置の場合、平面モータは一つの作業工程に組み組み込まれる。
図１２に示す如く、装置内に複数の作業工程が存在する場合は、作業対象のワークを他の工程の平面モータへ移載する必要がある。
図１２において、Ａ１，Ｂ１は、１可動部(スライダ)構成の平面モータ装置、Ｃ１はワーク移載手段、ＬＤは半導体レーザー発光源(レーザーダイオード)である。
なお、この場合、図７従来例に対して、レーザ光源関係は、スライダでなくプラテン側に配置されている。
また、分かりやすくする為に、干渉計部分の詳細は省略し、各軸への光分配の様子のみ記述する。
【００４４】
ところで、図１２の装置においては、
精密な位置決めが必要な製造装置においては、移載により生じたワーク搭載位置のずれを補正、もしくは位置誤差を生じない移動方法を採用する必要がある。
ワーク移載に要する時間が無駄時間となり装置の生産効率が落ちる。
ワーク移載に必要なワーク移載手段を配置する必要があるために、装置が大型化する。
【００４５】
これを改善するために、単一のプラテン上に複数のスライダを設け、平面モータがワークを搭載したまま工程間を行き来する構成が考えられる。
【００４６】
このように、単一のプラテン上に複数のスライダを設けた場合、以下の問題が生ずる。
レーザー干渉計の位置検出値は、モータの歯ピッチと同期が取れていないため、モーターをステッピングモータとして動作させ、モータの歯位置と干渉計検出値の同期を取る必要がある。また、レーザー干渉計は絶対位置検出を行わない為、動作開始時に原点復帰動作が必要となる。
このとき複数のスライダがプラテン上に配置されている場合は、歯合わせ動作や原点復帰動作を行う際に、それぞれの位置が原点復帰終了後まで不明な為、スライダ同士の衝突や干渉計の光軸を遮るなど異常状態になり、手動での復旧作業が必要となり、自立した装置が構成できない。
【００４７】
例えば、図１３に示す如く、ＡスライダーＤ１がＡ原点センサーＥ１位置まで移動するために、ａ→ｂの順に移動しようとすると、ａ移動中にＢスライダーＦ１に衝突する。
ここで、Ｄ１はＡスライダー、Ｆ１はＢスライダー、Ｅ１はＡ原点センサー、Ｇ１はＢ原点センサーである。
例えば、図１４に示す如く、ＡスライダーＤ２がＡ原点センサーＥ１位置まで移動するために、ｂ→ａの順に移動しようとすると、ｂ移動中にＢスライダーＦ１に衝突する。
【００４８】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、原点復帰時の衝突を回避出来る平面モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００４９】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の平面モータにおいては、
前記２個のスライダーの前記それぞれの原点復帰位置側に設けられ前記プラテンの周縁部より張り出して移動可能なオーバーハング部と、前記プラテンの中央に設けられ前記スライダが移動する際に前記オーバーハング部を前記プラテンより張り出さないと他の領域に移動できない大きさを有する障害手段とを具備したことを特徴とする。
【００５０】
本発明の請求項２の平面モータにおいては、請求項１記載の平面モータにおいて、
前記オーバーハング部は、前記スライダーより張り出した板状の張出板であることを特徴とする。
【００５１】
本発明の請求項３においては、請求項１記載の平面モータにおいて、
ことを特徴とする。
【００５２】
本発明の請求項４においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の平面モータにおいて、
前記オーバーハング部は、前記スライダーより突出した２個のポールで構成されたことを特徴とする。
【００５３】
本発明の請求項５においては、請求項４記載の平面モータにおいて、
前記ポールは、断面円形のポールで構成されたことを特徴とする。
【００５４】
本発明の請求項６においては、請求項４記載の平面モータにおいて、
前記ポールは、断面四角形のポールで構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００５５】
本発明によれば、次のような効果がある。
機構的に２個のスライダー位置を制限出来る為、スライダーの誤動作を想定しても原点復帰時の衝突を回避出来る平面モータが得られる。
センサーを追加せずに原点復帰時の衝突を回避出来る為、制御が容易、安価な平面モータが得られる。
２個のスライダーを有する平面モータ装置を実現出来、装置の効率向上に貢献出来る平面モータが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５６】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の要部側面図、図３は図１の要部部品図、図４は図１の動作説明図、図５は図４の要部側面図である。
【００５７】
図１において、オーバーハング部５１，５２は、２個のＡ，Ｂスライダー５３，５４のそれぞれのＡ，Ｂ原点センサ位置５５，５６側に設けられ、プラテン５７の周縁部より張り出して移動可能に構成されている。
即ち、オーバーハング部５１，５２は、２個のＡ，Ｂスライダー５３，５４のそれぞれ反対側に設けられている。
【００５８】
この場合は、図２，図３に示す如く、オーバーハング部５１，５２は、Ａ，Ｂスライダー５３，５４より張り出した板状の張出板で構成されている。
即ち、オーバーハング部５１，５２は、プラテン５７の端を通過する際、障害となる物がない様に、高さが設定されている。
【００５９】
障害手段６１は、プラテン５７の中央に設けられ、Ａ，Ｂスライダ５３，５４が移動する際に、オーバーハング部５１，５２をプラテン５７より張り出さないと他の領域に移動できない大きさを有する。
この場合は、図１，図２に示す如く、障害手段６１は、プラテン５７の面に直立する円形のポールで構成されている。
【００６０】
即ち、ポール６１はオーバーハング部５１，５２と衝突するように高さが設定されている。
ポール６１の大きさはプラテン５７の端(図では上下方向の端)からポール６１までの距離Ｌ１がオーバーハング部５１，５２の長さＬ２とＡ，Ｂスライダ５３，５４の長さＬ３を合計した長さより短くなるように設定されている。
【００６１】
以上の構成において、それぞれのＡ，Ｂスライダー５３，５４の取れる位置が制限され、図４に示す如く、ポール６１で分割された個所で左右の領域に移動する場合、Ａスライダー５３が下側、Bスライダー５３，５４が上側になる。
図１の配置では、Ａ，Ｂスライダー５３，５４をａ方向(図ではＡスライダー５３は下、Ｂスライダー５４は上)に移動後、ｂ方向(図ではＡスライダー５３は左、Ｂスライダー５４は右)に移動することで、Ａ，Ｂスライダー５３，５４同士で衝突することなく歯合わせ動作、原点復帰動作を行うことができる。
【００６２】
この結果、
機構的にＡ，Ｂスライダー５３，５４位置を制限出来る為、Ａ，Ｂスライダー５３，５４の誤動作を想定しても原点復帰時の衝突を回避出来る平面モータが得られる。
センサーを追加せずに原点復帰時の衝突を回避出来る為、制御が容易、安価な平面モータが得られる。
２個のＡ，Ｂスライダー５３，５４を有する平面モータ装置を実現出来、装置の効率向上に貢献出来る平面モータが得られる。
【００６３】
図６は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、オーバーハング部７１，７２は、Ａ，Ｂスライダー５３，５４より突出した２個のポール７１１，７２１で構成されている。
【００６４】
なお、前述の実施例においては、ポール６１は円形と説明したが、これに限ることはなく、たとえば、四角形でも良いことは勿論である。要するに、スライダ５３，５４の障害手段６１であれば良い。
【００６５】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部側面図である。
【図３】図１の要部部品図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】図４の要部側面図である。
【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図７】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図８】図７の要部構成図である。
【図９】図７の要部構成図である。
【図１０】図７の要部構成図である。
【図１１】図７の要部構成図である。
【図１２】従来より一般に使用されている他の従来例の構成説明図である。
【図１３】従来より一般に使用されている別の従来例の動作説明図である。
【図１４】図１３の動作説明図である。
【符号の説明】
【００６７】
３０      格子プラテン
３１      スライダ部
３２      浮揚手段
３３      Ｙ軸モータ
３４      Ｘ軸モータ
３５      Ｘ軸モータ
３６      Ｘ軸ミラー
３７      Ｙ軸ミラー
３８      Ｙ軸センサ
３９      Ｘ軸センサ
４０      Ｘ軸センサ
４１      Ｙ軸制御部
４２      Ｘ軸制御部
４３      Ｘ軸制御部
４４      補正手段
４５      補正手段
５１      オーバーハング部
５２      オーバーハング部
５３      Ａスライダー
５４      Ｂスライダー
５５      Ａ原点センサ位置
５６      Ｂ原点センサ位置
５７      プラテン
６１      障害手段
６１      ポール
７１      オーバーハング部
７１１    ポール
７２      オーバーハング部
７２１    ポール
ＬＤ      半導体レーザー発光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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