(57)【要約】【課題】  被搬送物の保持力を変化させることができ、吸引保持される被搬送物の変形量を抑制することができ、所定の場所で被搬送物を迅速に落下させることが可能な搬送装置を提供する。【解決手段】  搬送装置１０ａは、被搬送物に対向するワーク保持面１２と、底面１６ａからワーク保持面１２になだらかに連なる気体案内面１７を有する凹部１５とが設けられる搬送ヘッド１１ａを有している。搬送ヘッド１１ａには、底面１６ａとの間で気体吐出用のスリット２４を形成し、そのスリット２４から気体案内面１７に向けて正圧気体を吐出する円周ノズル２１ａが底面１６ａから突出させた状態で取り付けられている。円周ノズル２１ａの中心部は被搬送物に対してほぼ垂直方向に開口して被搬送物に正圧ないし負圧の気体を供給する垂直孔３１ａおよび垂直孔３１ａに垂直な平面部３１ｂが形成された垂直ノズル３２となっている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物に対向するワーク保持面と当該ワーク保持面よりも後端部側に切り欠かれた凹部が形成され、前記被搬送物を保持しながら搬送する搬送ヘッドと、
前記凹部の底面から突出させて前記搬送ヘッドに取り付けられ、前記底面との間で環状の気体吐出用のスリットを形成し当該スリットから正圧気体を吐出する円周ノズルと、
前記被搬送物に対してほぼ垂直方向に開口して前記被搬送物に正圧ないし負圧の気体を供給する垂直孔、および当該垂直孔に直角な平面部が形成された垂直ノズルとを有することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の搬送装置において、前記凹部は前記底面から前記ワーク保持面になだらかに連なる気体案内面を有し、当該気体案内面に向けて前記スリットから正圧気体を吐出することを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の搬送装置において、前記垂直孔を前記円周ノズルの中心部に形成し、前記円周ノズルの中心部を前記垂直ノズルとすることを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
請求項１または２記載の搬送装置において、複数の前記搬送ヘッドをホルダープレートに複数設け、当該ホルダープレートに複数の前記垂直ノズルを設けることを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置において、前記被搬送物に前記ワーク保持面を対向させて前記被搬送物の上方に搬送ヘッドを配置した状態のもとで、前記スリットから正圧気体を吐出して前記被搬送物を前記ワーク保持面に吸引接近させた後に前記垂直孔から正圧気体を吐出させることにより、前記ワーク保持面と前記被搬送物との間および前記平面部と前記被搬送物との間を流れる気体を介して前記被搬送物を保持して搬送することを特徴とする搬送装置。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置において、前記被搬送物に前記ワーク保持面を対向させて前記被搬送物の上方に搬送ヘッドを配置した状態のもとで、前記スリットから正圧気体を吐出して前記被搬送物を前記ワーク保持面に吸引接近させた後に前記垂直孔に正圧気体を供給し、前記スリットからの正圧気体の吐出を停止することにより、前記平面部と前記被搬送物との間を流れる気体を介して前記被搬送物を保持して搬送することを特徴とする搬送装置。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置において、前記被搬送物に前記ワーク保持面を対向させて前記被搬送物の上方に搬送ヘッドを配置した状態のもとで、前記スリットから正圧気体を吐出して前記被搬送物を前記ワーク保持面に吸引接近させた後に前記垂直孔に負圧気体を供給し、前記スリットからの正圧気体の吐出を停止することにより、前記ワーク保持面に前記被搬送物を吸着保持して搬送することを特徴とする搬送装置。
【請求項８】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置において、前記被搬送物を前記搬送ヘッドにより搬送した後に、前記スリットからの正圧気体の供給を停止するとともに前記垂直孔から正圧気体を吐出して前記被搬送物を落下させることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えば板状のワークを被搬送物としてこれを保持しながら搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハなどのワークを被搬送物としてこれを保持してワーク支持部から加工位置まで搬送するための搬送装置としては、被搬送物を真空で吸着して搬送するタイプと、被搬送物を搬送ヘッドに接触させることなく非接触で保持して搬送するタイプとがある。
【０００３】
前者のタイプとしては真空吸着方式があり、後者のタイプとしては、特許文献１に示されるように被搬送物に対向する凹部が形成された搬送ヘッドを有し、凹部を形成する気体案内面に沿って正圧気体を吐出する環状のスリットを形成するノズルが凹部に取り付けられた非接触搬送装置がある。このタイプの搬送装置は、スリットから吐出される気体により搬送ヘッドの先端面に気体層を形成して搬送ヘッドの先端面前方が負圧状態とすることにより被搬送物を吸引し、気体層を介して被搬送物を保持するもので、搬送ヘッドの先端面に沿って流れる気体の流速と流量とにより被搬送物の吸引保持力が決定される。
【特許文献１】特開平１０−１８１８７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した非接触タイプの搬送装置にあっては、スリットの隙間寸法を一定とした場合には、吸引保持力を変化させるには圧力制御弁や流量制御弁により気体の流速や流量を変化させる必要がある。また、搬送ヘッドの先端面前方を負圧状態として被搬送物を搬送ヘッドに吸引させて引き寄せるには、スリットから多量の気体を吐出させる必要があるのに対して、被搬送物が気体層を介して搬送ヘッドに保持された後には、被搬送物を引き寄せるときよりも少ない吐出量の気体でも被搬送物を保持することができるが、常にスリットから一定量の気体をスリットから吐出させるようしており、搬送工程においても多量の気体を吐出し続ける必要がある。
【０００５】
正圧気体は環状のスリットから搬送ヘッドの先端面に沿って径方向外方に流れ、負圧状態であり、被搬送物がシート状の極薄ワークのような変形しやすい部材である場合には被搬送物が変形することになるという問題点がある。
【０００６】
さらに、吸引および搬送工程を経て搬送された被搬送物を所定の場所に搭載する際には、スリットへの正圧気体の供給を停止し被搬送物を自重で自然落下させるようにしており、落下に時間がかかると製品の生産性を低下させるという問題点がある。
【０００７】
本発明の目的は被搬送物の保持力を変化させることが可能な搬送装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は吸引保持される被搬送物の変形量を抑制することが可能な搬送装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は加工位置などの所定の場所で被搬送物を迅速に落下させることが可能な搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の搬送装置は、被搬送物に対向するワーク保持面と当該ワーク保持面よりも後端部側に切り欠かれた凹部が形成され、前記被搬送物を保持しながら搬送する搬送ヘッドと、前記凹部の底面から突出させて前記搬送ヘッドに取り付けられ、前記底面との間で環状の気体吐出用のスリットを形成し当該スリットから正圧気体を吐出する円周ノズルと、前記被搬送物に対してほぼ垂直方向に開口して前記被搬送物に正圧ないし負圧の気体を供給する垂直孔、および当該垂直孔に直角な平面部が形成された垂直ノズルとを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の搬送装置は、前記凹部は前記底面から前記ワーク保持面になだらかに連なる気体案内面を有し、当該気体案内面に向けて前記スリットから正圧気体を吐出することを特徴とする。
【００１２】
本発明の搬送装置は、前記垂直孔を前記円周ノズルの中心部に形成し、前記円周ノズルの中心部を前記垂直ノズルとすることを特徴とする。
【００１３】
本発明の搬送装置は、複数の前記搬送ヘッドをホルダープレートに複数設け、当該ホルダープレートに複数の前記垂直ノズルを設けることを特徴とする。
【００１４】
本発明の搬送装置は、前記被搬送物に前記ワーク保持面を対向させて前記被搬送物の上方に搬送ヘッドを配置した状態のもとで、前記スリットから正圧気体を吐出して前記被搬送物を前記ワーク保持面に吸引接近させた後に前記垂直孔から正圧気体を吐出させることにより、前記ワーク保持面と前記被搬送物との間および前記平面部と前記被搬送物との間を流れる気体を介して前記被搬送物を保持して搬送することを特徴とする。
【００１５】
本発明の搬送装置は、前記被搬送物に前記ワーク保持面を対向させて前記被搬送物の上方に搬送ヘッドを配置した状態のもとで、前記スリットから正圧気体を吐出して前記被搬送物を前記ワーク保持面に吸引接近させた後に前記垂直孔に正圧気体を供給し、前記スリットからの正圧気体の吐出を停止することにより、前記平面部と前記被搬送物との間を流れる気体を介して前記被搬送物を保持して搬送することを特徴とする。
【００１６】
本発明の搬送装置は、前記被搬送物に前記ワーク保持面を対向させて前記被搬送物の上方に搬送ヘッドを配置した状態のもとで、前記スリットから正圧気体を吐出して前記被搬送物を前記ワーク保持面に吸引接近させた後に前記垂直孔に負圧気体を供給し、前記スリットからの正圧気体の吐出を停止することにより、前記ワーク保持面に前記被搬送物を吸着保持して搬送することを特徴とする。
【００１７】
本発明の搬送装置は、前記被搬送物を前記搬送ヘッドにより搬送した後に、前記スリットからの正圧気体の供給を停止するとともに前記垂直孔から正圧気体を吐出して前記被搬送物を落下させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、スリットから吐出される圧縮気体に加えて、被搬送物を吸引接近させた状態で垂直孔からも圧縮気体を供給することにより、吐出気体は外周へ放射状に流れることからディフューザが形成されることになり、ベルヌーイチャックと称される原理により、被搬送物の保持力を増加させることができる。被搬送物を搬送ヘッドに吸引接近させた後にこれを加工位置などの所定の位置まで搬送する際には、垂直孔からの気体のみで被搬送物を保持することにより、消費される気体の流量を削減することができる。
【００１９】
本発明によれば、スリットから吐出される気体に加えて、垂直孔からも気体を供給することにより円周ノズルの中心部において流体層が形成されるため、垂直孔から気体を供給しない場合に比して被搬送物の変形量を抑制しつつフラットに近い状態で被搬送物を保持することができる。
【００２０】
本発明によれば、スリットからの気体の供給を停止させた状態で垂直孔から間歇的に気体を吐出させることで、自重により被搬送物を自然落下させる場合に比して迅速に被搬送物を落下させることができる。
【００２１】
本発明によれば、スリットから気体を供給して被搬送物を吸引させた後、垂直孔に負圧気体を供給することで接触式の搬送装置つまり真空吸着パッドとして使用することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態である搬送装置を示す断面図であり、図２は図１の一部を拡大して示す拡大断面図であり、図３は図１の上面を示す斜視図であり、図４は図１の下面を示す斜視図である。
【００２３】
この搬送装置１０ａは外周面が円形となった部材よりなる搬送ヘッド１１ａを有し、搬送ヘッド１１ａの先端面にはワーク保持面１２が設けられ、後端面には取付面１３が設けられている。取付面１３に開口して図３に示されるように搬送ヘッド１１ａに形成されたボルト締結孔１４にはボルトがねじ結合されるようになっており、ボルトにより搬送ヘッド１１ａはロボットアームなどの移動部材に取り付けられて移動部材により上下方向および水平方向に駆動される。
【００２４】
搬送ヘッド１１ａの先端面にはワーク保持面１２よりも後端部側に切り欠かれた凹部１５が形成され、この凹部１５は底面１６ａとここからワーク保持面１２にまでなだらかに連なる気体案内面１７とを有している。気体案内面１７は底面１６ａにほぼ同一面となった部分と徐々にワーク保持面１２に向けて迫り出した部分とワーク保持面１２とほぼ同一面となった部分とを有し流線型となっている。ワーク保持面１２は搬送ヘッド１１ａの最先端面となっており、図４に示すように、搬送ヘッド１１ａの中心軸に対してほぼ径方向を向き所定の径方向寸法を有し、ワーク保持面１２と搬送ヘッド１１ａの外周面との間には、搬送ヘッド１１ａの後端部に向けて傾斜したテーパ面１８が形成されている。
【００２５】
底面１６ａから突出させて搬送ヘッド１１ａには円周ノズル２１ａが取り付けられており、円周ノズル２１ａはこれと一体となった軸部２２を搬送ヘッド１１ａに形成された取付孔２３に嵌合させることにより搬送ヘッド１１ａに取り付けられている。円周ノズル２１ａは軸部２２よりも大径となっており、背面側は底面１６ａに対向し、円周ノズル２１ａの外周部背面と底面１６ａとの間には気体吐出用のスリット２４が環状に形成されている。円周ノズル２１ａの背面にはスリット２４の径方向内側に位置させて環状のエアーポケット２５が形成され、搬送ヘッド１１ａには取付面１３に開口する配管ポート２６が形成されており、配管ポート２６はそれぞれ底面１６ａに開口する複数の流路２７を介してエアーポケット２５に連通している。したがって、配管ポート２６に外部から正圧気体として圧縮空気を供給すると、圧縮空気は複数の流路２７を介して圧縮空気がエアーポケット２５に入り込んだ後、スリット２４から気体案内面１７に向けて吐出される。
【００２６】
スリット２４から吐出した圧縮空気は気体案内面１７から離れることなく、これに付着した状態となって径方向外方に向けて放射状に流れてワーク保持面１２に到達した後、テーパ面１８に案内されて搬送ヘッド１１ａの後方側に流れることになる。このように搬送ヘッド１１ａの先端面に沿って流れる空気により、搬送ヘッド１１ａの先端面に向けて先端部延長方向から空気が流れ込むことになり、搬送ヘッド１１ａの先端面前方は負圧状態となる。
【００２７】
したがって、板状の被搬送物の上方に搬送物に先端面を対向させて搬送ヘッド１１ａを配置した状態のもとで、スリット２４から圧縮空気を吐出すると、搬送ヘッド１１ａの先端面に付着して被搬送物の表面に沿う方向に流れる空気によって搬送ヘッド１１ａの前方が負圧状態となることから、被搬送物は搬送ヘッド１１ａに向けて浮き上がるようにして吸引されてワーク保持面１２に接近する。
【００２８】
円周ノズル２１ａの中心部には被搬送物に対してほぼ垂直方向に開口する垂直孔３１ａおよび垂直孔３１ａに直角な平面部３１ｂが形成されており、円周ノズル２１ａの中心部は垂直ノズル３２となっている。垂直ノズル３２の平面部３１ｂは略平面形状であって、ワーク保持面１２と略同一平面を成している。搬送ヘッド１１ａには取付面１３に開口する配管ポート３３が形成され、この配管ポート３３は流路３４を介して取付孔２３に連通し、この取付孔２３には垂直孔３１ａが連通している。したがって、配管ポート３３から正圧気体としての圧縮空気を供給すると垂直ノズル３２から被搬送物に対して圧縮空気が吹き付けられ、配管ポート３３から負圧気体として真空を供給すると垂直ノズル３２内に外部から空気が流入することになる。
【００２９】
この搬送装置１０ａによる被搬送物の搬送形態としては、搬送ヘッド１１ａを下向きに配置して被搬送物を吊り下げた状態で搬送する形態と、搬送ヘッド１１ａを上向きに配置して搬送ヘッド１１ａにより被搬送物を下側から支持した状態で搬送する形態とがある。さらに、それぞれの搬送形態には、搬送ヘッド１１ａの先端面に対して空気層を介して被搬送物を非接触の状態で搬送する形態と、接触させた状態で搬送する形態とがある。
【００３０】
図５（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ搬送ヘッド１１ａを下向きに配置して被搬送物Ｗを搬送する形態を示す概略図である。それぞれの配管ポート２６，３３には開閉弁３５，３６が設けられた配管３７，３８が接続されており、図５（Ａ）〜（Ｃ）に示す場合にはそれぞれの配管３７，３８には圧縮空気を吐出する正圧ポンプ４１が接続されている。これに対して、図５（Ｄ）に示す場合には配管ポート２６に接続された配管３７には正圧ポンプ４１が接続され、配管ポート３３に接続された配管３８には負圧空気を供給する真空ポンプ４２が接続されている。なお、それぞれの開閉弁３５，３６は、図示しない制御装置からの信号により自動的に作動するようになっている。
【００３１】
図５（Ａ）に示す場合には、開閉弁３５を開いて配管ポート２６に圧縮空気を供給してスリット２４から圧縮空気を吐出すると、吐出した圧縮空気は気体案内面１７から離れることなく、これに付着した状態となって径方向外方に向けて放射状に流れて搬送ヘッド１１ａの先端面には空気層が形成され、搬送ヘッド１１ａの先端面に向けて先端部延長方向から流れる空気により搬送ヘッド１１ａの先端面前方は負圧状態となるので、搬送ヘッド１１ａを被搬送物Ｗに接近させると、被搬送物Ｗは浮き上がるようにして搬送ヘッド１１ａに吸引されてワーク保持面１２に接近する。
【００３２】
このようにして搬送ヘッド１１ａの先端面に付着して放射状に流れる空気層を介して被搬送物Ｗは吸引されることになり、吸引された状態のもとで開閉弁３６を開いて垂直孔３１ａから被搬送物Ｗに圧縮空気を吹き付けると、吹き付けられた空気は外周に放射状に流れることから被搬送物Ｗに沿って流れることになり、被搬送物Ｗの保持力が高められる。しかも、垂直孔３１ａから噴出した空気により円周ノズル２１ａの中心部において空気層を形成するので、被搬送物Ｗがシート状の場合のように変形し易い場合でも、被搬送物Ｗの変形量を抑えつつ、フラットに近い状態で保持しながら搬送することができる。
【００３３】
図５（Ａ）に示すように、スリット２４と垂直孔３１ａとから共に圧縮空気を吐出して被搬送物Ｗを搬送する場合には、上述したように、被搬送物Ｗを搬送ヘッド１１ａに向けて浮き上がらせ、吸引動作を行った後、垂直孔３１ａから圧縮空気を吐出する。
【００３４】
図５（Ｂ）に示す場合には、図５（Ａ）に示す場合と同様の手段により、被搬送物Ｗを搬送ヘッド１１ａに吸引させた後に、開閉弁３６を開いてから、開閉弁３５を閉じてスリット２４から圧縮空気を吐出させることなく垂直孔３１ａから圧縮空気を吐出する。これにより、垂直孔３１ａから吐出された空気は搬送ヘッド１１ａの先端面と被搬送物Ｗとの間を流れて垂直孔３１ａからの空気によって形成される空気層により被搬送物Ｗは非接触となって搬送ヘッド１１ａに保持される。このように搬送ヘッド１１ａに被搬送物Ｗが引き寄せられた後には垂直孔３１ａからの空気によって空気層を形成し、被搬送物Ｗを非接触で保持するようにすると、搬送ヘッド１１ａに供給される空気量を減らすことができる。
【００３５】
図５（Ｃ）は図５（Ａ）または図５（Ｂ）の吸引および搬送工程を経て搬送された被搬送物Ｗを所定の場所に搭載する際における被搬送物Ｗの落下手段を示す図であり、図５（Ａ）に示す搬送形態で搬送された後に被搬送物Ｗを落下させるには、まず開閉弁３５を閉じてスリット２４からの圧縮空気の吐出を停止させた後に、開閉弁３６を開いて垂直孔３１ａから噴出される圧縮空気により被搬送物Ｗを落下させる。このように、垂直ノズル３２からは連続的に空気を吐出させることなくパルス状に間歇的に空気を吐出させることで、被搬送物Ｗを自重で落下させる場合よりも迅速に落下させることができる。同様に、図５（Ｂ）に示す搬送形態で搬送された後に被搬送物Ｗを落下させるには、一度開閉弁３６を閉じて自重により僅かに被搬送物Ｗが落下した後に再度開閉弁３６を開いて垂直ノズル３２から間歇的に圧縮空気を吐出することにより被搬送物Ｗを迅速に落下させることができる。
【００３６】
図５（Ｄ）に示す場合には、開閉弁３６を閉じ開閉弁３５を開いて配管ポート２６に圧縮空気を供給することにより、被搬送物Ｗを浮き上がらせて搬送ヘッド１１ａに吸引させる。被搬送物Ｗが搬送ヘッド１１ａに吸引された後には、開閉弁３６を開くとともに、開閉弁３５を閉じてスリット２４から圧縮空気を吐出させることなく、垂直孔３１ａに真空を供給すると、垂直孔３１ａ内に入り込む外部空気によって被搬送物Ｗは搬送ヘッド１１ａの先端面に密着する。これにより、被搬送物Ｗは搬送ヘッド１１ａに接触した状態で保持されて搬送されることになり、垂直ノズル３２は吸着パッドとして機能することになる。なお、開閉弁３６は最初から開いていても良い。
【００３７】
図１〜図５に示す搬送装置１０ａは１つの搬送ヘッド１１ａのみから構成されているが、ホルダープレートに複数の搬送ヘッド１１ａを取り付けると、サイズの大きな被搬送物Ｗを搬送することができる。
【００３８】
図６は本発明の他の実施の形態である搬送装置１０ｂを示す斜視図であり、図７は図６におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。なお、図６および図７においては、図１〜図５に示される部材と共通する部材には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３９】
搬送装置１０ｂは、被搬送物Ｗに対向して配置されるホルダープレート５１を有しており、そのホルダープレート５１には所定の間隔おきに複数の貫通孔５２が形成されている（図７参照）。ホルダープレート５１のうち被搬送物Ｗに対向する対向面５３には、図６に示されるように、複数の搬送ヘッド１１ｂがそれぞれ貫通孔５２に対応させてホルダープレート５１に固定されており、それぞれの搬送ヘッド１１ｂには底面１６ｂから突出させて円周ノズル２１ｂが取り付けられている。
【００４０】
搬送装置１０ｂにおいては、円周ノズル２１ｂの中心部には垂直孔が形成されておらず、円周ノズル２１ｂには垂直ノズルが設けられていない。ホルダープレート５１に形成された貫通孔５２には垂直孔５５ａおよび垂直孔５５ａに直角な平面部５５ｂが形成された垂直ノズル５４が搬送ヘッド１１ｂから分離されて取り付けられている。この垂直ノズル５４は円周ノズル２１ｂが取り付けられた搬送ヘッド１１ｂの軸方向寸法とほぼ同じ長さに設定されており、被搬送物Ｗに対してほぼ垂直方向に開口して被搬送物Ｗに正圧ないし負圧の気体を供給する垂直孔５５ａが形成されている。なお、ホルダープレート５１の縁部には所定の間隔おきにガイドピン５６が垂直に固定されており、吸引搬送前のワークＷが配置される図示しないワーク支持部に向けてホルダープレート５１を接近させたときガイドピン５６がワーク支持部に当接して接近方向の移動を制限するようになっている。
【００４１】
ホルダープレート５１には、それぞれ搬送ヘッド１１ｂに連結される複数の継手５７と、垂直ノズル５４に連結される複数の継手５８とが取り付けられており、それぞれの継手５７，５８はホルダープレート５１の対向面５３に対して反対側に配置されている。それぞれの継手５７，５８には正圧ポンプ４１に接続される配管３７，３８が接続されており、配管３７，３８内を流れる圧縮空気を継手５７，５８を介して円周ノズル２１ｂのスリットおよび垂直ノズル５４の垂直孔５５ａに流出させることができるようになっている。
【００４２】
図６および図７に示す搬送装置１０ｂにおいても、搬送ヘッド１１ｂを下向きとして図５（Ａ）〜（Ｄ）に示す搬送形態で被搬送物を搬送することができる。例えば、それぞれの円周ノズル２１ｂから圧縮空気を吐出させホルダープレート５１の対向面５３前方を負圧状態とすることにより、サイズの大きな被搬送物Ｗであってもホルダープレート５１に吸引接近させることができ、その後、垂直ノズル５４から圧縮空気を吐出し、ホルダープレート５１に取り付けられた図示しない移動部材を駆動することにより被搬送物Ｗを所定の位置に非接触の状態のまま保持搬送することができる。このような搬送装置１０ｂにあっては、サイズの小さな複数の被搬送物Ｗを一度に非接触状態で保持搬送することもできる。また、この搬送装置１０ｂにおいても、図５（Ｄ）に示されるように、搬送装置１０ｂの配管３８を真空ポンプ４２に接続し垂直孔５５ａに負圧空気を供給することによって被搬送物Ｗを吸着保持しながら搬送することもできる。
【００４３】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、図示する場合には圧縮空気を吐出しているが、不活性ガスなどの他の正圧気体を円周ノズルに供給することにより吸引保持力を発生させるようにしても良い。また、配管ポート３３に正圧または負圧気体を供給せずに大気開放しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施の形態である搬送装置を示す断面図である。
【図２】図１の一部を拡大して示す拡大断面図である。
【図３】図１の上面を示す斜視図である。
【図４】図１の下面を示す斜視図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ搬送ヘッドを下向きに配置して被搬送物を搬送する形態を示す概略図である。
【図６】本発明の他の実施の形態である搬送装置を示す斜視図である。
【図７】図６におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０ａ，１０ｂ  搬送装置
１１ａ，１１ｂ  搬送ヘッド
１２  ワーク保持面
１３  取付面
１４  ボルト締結孔
１５  凹部
１６ａ，１６ｂ  底面
１７  気体案内面
１８  テーパ面
２１ａ，２１ｂ  円周ノズル
２２  軸部
２３  取付孔
２４  スリット
２５  エアーポケット
２６  配管ポート
２７  流路
３１ａ  垂直孔
３１ｂ  平面部
３２  垂直ノズル
３３  配管ポート
３４  流路
３５，３６  開閉弁
３７，３８  配管
４１  正圧ポンプ
４２  真空ポンプ
５１  ホルダープレート
５２  貫通孔
５３  底面
５４  垂直ノズル
５５ａ  垂直孔
５５ｂ  平面部
５６  ガイドピン
５７，５８  継手
Ｗ  ワーク
【図１】
2006182544.tif 000003
【図２】
2006182544.tif 000004
【図３】
2006182544.tif 000005
【図４】
2006182544.tif 000006
【図５】
2006182544.tif 000007
【図６】
2006182544.tif 000008
【図７】
2006182544.tif 000009