(57)【要約】【課題】従来の技術による諸問題を解決するため、露光装置の光源と主要装置との間の光軸経路を支持する支持スタンドを提供する。【解決手段】支持スタンドは、露光装置の主要装置と付属装置との間の光軸経路を支持する１個以上のＨ型鋼と、Ｈ型鋼の第一位置に設けられる支持素子と、Ｈ型鋼の第二位置に設けられる信号エミッターと、Ｈ型鋼の第三位置に設けられる信号レシーバーとを含む。【選択図】図２
2006019611.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持スタンドにおいて、
露光装置の主要装置と付属装置との間の光軸経路を支持する１個以上のＨ型鋼と、
Ｈ型鋼の第一位置に設けられる支持素子と、
Ｈ型鋼の第二位置に設けられる信号エミッターと、
Ｈ型鋼の第三位置に設けられる信号レシーバーとを含むことを特徴とする支持スタンド。
【請求項２】
前記支持スタンドは更に、信号レシーバーと電気的に接続される制御ユニットとを含み、信号レシーバーが信号エミッターからの信号を受信できない場合、制御ユニットはアラーム信号を発することを特徴とする請求項１記載の支持スタンド。
【請求項３】
前記信号エミッターと信号レシーバーはそれぞれＨ型鋼の両端に位置することを特徴とする請求項１記載の支持スタンド。
【請求項４】
前記支持スタンドは更に、光軸経路をＨ型鋼に固定するための１個以上の嵌合素子を含むことを特徴とする請求項１記載の支持スタンド。
【請求項５】
前記支持スタンドは更に、嵌合素子とはめあって光軸経路を支持するための固定板を含むことを特徴とする請求項４記載の支持スタンド。
【請求項６】
前記固定板は複数の孔を含み、前記嵌合素子は孔に適宜にはめられることを特徴とする請求項５記載の支持スタンド。
【請求項７】
前記支持素子は更に、支持素子と合わせてＨ型鋼を固定するための１個以上の固定素子を含むことを特徴とする請求項１記載の支持スタンド。
【請求項８】
前記固定素子はリベットまたはネジであることを特徴とする請求項７記載の支持スタンド。
【請求項９】
前記支持素子が支持台であることを特徴とする請求項１記載の支持スタンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は支持スタンドに関し、特に露光装置の光軸経路を支持する支持スタンドに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在の露光装置では、作業員または、装置の光源による高温、微粒子、騒音、震動及び輻射などから保護するため、光源などの付属装置とステッパー、スキャナーなどの主要装置を分離して、別々に設置する場合が多い。主要装置は多額の資本を要するクリーンルームに置かなければならないため、光源は主要装置と別の階層に置くのが普通である。別々の階層に置かれる光源と主要装置との間の光軸経路とその他の線路とを保持するため、光軸経路を支持するスタンドが必要である。
図１を参照する。図１は従来の露光装置を表す説明図である。図１によれば、光源１１０と主要装置１２０はそれぞれ第一階層１３０と第二階層１３１に置かれる。光源１１０は光軸経路１４０とレンズセット（図示にない）を通してレーザーなどの露光のための光を主要装置に供給する。第一階層１３０に置かれる光源１１０と第二階層１３１に置かれる主要装置１２０との間には、光軸経路１４０以外にも多数の線路１５０、１５１がある。従来の支持スタンドは支持板１６０と複数の嵌合素子１６１、１６２を利用して光軸経路１４０とその他の線路１５０、１５１を支持して固定する。
しかし、支持板１６０と支持素子１６１、１６２は取り付けにくいのみならず、複数の線路による構造上の問題を有し、外力によって歪められる恐れがあり、半導体製品のスループットに影響する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明は前述の問題を解決するため、露光装置の光源と主要装置との間の光軸経路を支持する支持スタンドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明による支持スタンドは、露光装置の主要装置と付属装置との間の光軸経路を支持する１個以上のＨ型鋼と、Ｈ型鋼の第一位置に設けられる支持素子と、Ｈ型鋼の第二位置に設けられる信号エミッターと、Ｈ型鋼の第三位置に設けられる信号レシーバーとを含む。
この発明は、更に線路を支持する支持スタンドを提供する。該支持スタンドは、２個以上のＨ型鋼と、Ｈ型鋼の底部に設けられて、Ｈ型鋼を固定するための複数の支持素子と、Ｈ型鋼の第一位置に設けられる信号エミッターと、Ｈ型鋼の第二位置に設けられて信号エミッターから信号を受信する信号レシーバーと、Ｈ型鋼を連結する１枚以上の固定板と、固定板にはめられて線路を支持するための嵌合素子とを含む。
【発明の効果】
【０００５】
この発明による支持スタンドはＨ型鋼であるため、従来の支持スタンドより取り付けやすいのみならず、支持効果も従来の技術より優れている。なお、この発明は信号エミッターと信号レシーバーを利用して、光軸の偏移を探知してアラーム信号を発する機能も有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
かかる装置の特徴を詳述するために、具体的な実施例を挙げ、図を参照にして以下に説明する。
図２、図３及び図４を参照する。図２はこの発明による支持スタンド２５０の立体図であり、図３は図２における支持スタンド２５０の側面図であり、図４はこの発明による支持スタンド２５０の設置状態を表す説明図である。図２と図３によれば、支持スタンド２５０は平行に設置された複数のＨ型鋼２６０、２６１と支持素子２６２―２６７を含み、そのうち支持素子２６２−２６７はＨ型鋼２６０、２６１を建物に固定して支持する。例えば、図４によれば、複数の支持素子２６２−２６４の一端はＨ型鋼２６０の第一位置（例えば底部）に設けられ、その他の端は階層２３０の床に設けられることによって、Ｈ型鋼２６０を階層２３０と緊密に結合させて支持する。支持素子２６２−２６７の数量と形状は要求に応じて調整できる。例えば支持素子は六つのＬ型支持台または直角三角形支持台である。なお、支持素子の設置は床に限らず、階層の天井にＨ型鋼２６０、２６１を固定することも可能である。
なお、支持スタンド２５０は１個以上のリベットまたはネジなどの固定素子でＨ型鋼２６０、２６１と各支持素子２６２−２６７を固定することも可能である。例えば、リベットでＨ型鋼２６０の底部を支持素子２６２−２６４に固定することはその一例である。
図４によれば、支持スタンド２５０は更に１個以上の嵌合素子２７０、２７１とＨ型鋼を連結する固定板２８０、２８１を含むことも可能である。しかし、この発明の構造は図４に限らない。
【０００７】
図５を参照する。図５はこの発明による支持スタンドの正面図である。図５によれば、Ｈ型鋼２６０、２６１には２枚の固定板２８０、２８１が設けられ、固定板２８０、２８１は複数の孔を含む。嵌合素子２７０、２７１を固定板２８０、２８１にある孔に適宜に固定すれば、Ｈ型鋼２６０、２６１の間の距離を調節してその他の線路をよけて光軸経路２４０を支持することができる。
【０００８】
なお、図３によれば、この発明は、更にＨ型鋼２６１の第二位置に設けられる信号エミッター２６８とＨ型鋼２６１の第三位置に設けられる信号レシーバー２６９とを含む。第二位置と第三位置はそれぞれＨ型鋼２６１の上方と下方を指す。信号エミッター２６８と信号レシーバー２６９はＨ型鋼２６１の変形を探知する。なお、リベットで信号エミッター２６８と信号レシーバー２６９をそれぞれＨ型鋼２６１に固定することも可能である。注意すべき点は、この発明による信号エミッター２６８と信号レシーバー２６９は一組に限らず、その設置も同じＨ型鋼に限らないことである。例えば、信号エミッター２６８をＨ型鋼２６１に、信号レシーバー２６９をＨ型鋼２６０に設置することも可能である。Ｈ型鋼２６１、２６０が外力によって変形すれば、信号エミッター２６８から信号レシーバー２６９への送信が遮断されるため、信号レシーバー２６９と電気的に接続される制御ユニットがアラーム信号を発して作業員に告知し、または、制御信号を露光装置に送信して露光工程を中止する。なお、信号エミッター２６８と信号レシーバー２６９はそれぞれ嵌合素子２７０、２７１のある固定板２８０、２８１に設置されることも可能である。
【０００９】
図４によれば、この発明による光源２１０などの付属装置とステッパー、スキャナーなどの主要装置２２０はそれぞれ第一階層２３０と第二階層２３１に置かれる。光源２１０は光軸経路２４０とレンズセット（図示にない）を通してレーザーなどの、露光のための光を主要装置２２０に供給する。第一階層２３０に置かれる光源２１０と第二階層２３１に置かれる主要装置２２０との間には、光軸経路２４０以外にも多数の線路（図示にない）があるが、この発明による支持スタンド２５０は前述の通りに光軸経路とその他の線路とを保持するようにＨ型鋼の間隔距離を最適にすることができる。この発明は光軸経路２４０以外の線路をＨ型鋼２６０、２６１の光軸経路２４０が通らない側面に置くことによって、その他の線路が光軸経路２４０に影響しないようにすることができる。
【００１０】
以上はこの発明に好ましい実施例であって、この発明の実施の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、この発明の精神の下においてなされ、この発明に対して均等の効果を有するものは、いずれもこの発明の特許請求の範囲に属するものとする。
【産業上の利用可能性】
【００１１】
この発明による支持スタンドはＨ型鋼であるため、従来の支持スタンドより取り付けやすいのみならず、支持効果も従来の技術より優れている。なお、この発明は信号エミッターと信号レシーバーを利用して、光軸の偏移を探知してアラーム信号を発する機能も有する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】従来の露光装置を表す説明図である。
【図２】この発明による支持スタンドの立体図である。
【図３】図２における支持スタンドの側面図である。
【図４】この発明による支持スタンドの設置状態を表す説明図である。
【図５】この発明による支持スタンドの正面図である。
【符号の説明】
【００１３】
１１０、２１０              光源
１２０、２２０              主要装置
１３０、２３０              第一階層
１３１、２３１              第二階層
１４０、２４０              光軸経路
１５０、１５１              線路
１６０                      支持板
１６１、１６２、２７０、２７１    嵌合素子
２５０                      支持スタンド
２６０、２６１              Ｈ型鋼
２６２―２６７              支持素子
２６８                      信号エミッター
２６９                      信号レシーバー
２８０、２８１              固定板
【図１】
2006019611.tif 000003
【図２】
2006019611.tif 000004
【図３】
2006019611.tif 000005
【図４】
2006019611.tif 000006
【図５】
2006019611.tif 000007