(57)【要約】【課題】ディスク供給部におけるスレーブディスク（被転写用ディスク）のディスクの姿勢を吸着チャックの吸着面に対して常に平行な状態で吸着することができるので、ディスク面を傷つけることがない。【解決手段】ホルダーユニット２２に保持されたマスターディスク４６の磁気パターンをスレーブディスク４０に磁気転写する磁気転写装置１０であって、ディスク供給カセット３８に収納されたスレーブディスク４０のディスク面４０Ａが吸着チャック４２ｂの吸着直前の吸着面４２ｆに対して平行になるように、スレーブディスク４０の姿勢を矯正手段４３で矯正し、姿勢の矯正されたスレーブディスク４０を吸着チャック４２ｂで吸着し、吸着されたスレーブディスク４０から矯正手段４３を退避させた後、スレーブディスク４０をホルダーユニット２２に吸着搬送する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホルダー部に保持されたマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに磁気転写する磁気転写装置であって、前記被転写用ディスクをディスク供給部から前記ホルダー部まで吸着チャックを備えたディスク供給ユニットで吸着搬送する磁気転写装置のディスク吸着搬送方法において、
前記ディスク供給部における前記被転写用ディスクのディスク面が前記吸着チャックの吸着直前の吸着面に対して平行になるように、前記被転写用ディスクの姿勢を矯正手段で矯正し、
前記姿勢の矯正された被転写用ディスクを前記吸着チャックで吸着し、
前記吸着された被転写用ディスクから前記矯正手段を退避させた後、前記被転写用ディスクを前記ディスク供給ユニットで前記ホルダー部に吸着搬送することを特徴とする磁気転写装置のディスク吸着搬送方法。
【請求項２】
前記ディスク供給部は、Ｖ溝に前記被転写用ディスクを縦向きに遊挿することにより、該Ｖ溝がなす面によって前記被転写用ディスクの下部エッジを保持するディスクカセット又はディスク受け台であることを特徴とする請求項１の磁気転写装置のディスク吸着搬送方法。
【請求項３】
前記矯正手段に設けられた複数の係合部材の係合溝が前記被転写用ディスク外周のエッジ部に係合することにより前記被転写用ディスクの姿勢が矯正されることを特徴する請求項１又は２の磁気転写装置のディスク吸着搬送方法。
【請求項４】
前記被転写用ディスクには中心孔が形成されると共に、前記矯正手段に設けられた複数の係合部材の係合溝が前記被転写用ディスクの前記中心孔周縁のエッジ部に係合することにより前記被転写用ディスクの姿勢が矯正されることを特徴する請求項１又は２の磁気転写装置のディスク吸着搬送方法。
【請求項５】
前記係合溝はＶ溝であり、該Ｖ溝が前記エッジ部に係合することを特徴とする請求項３又は４の磁気転写装置のディスク吸着搬送方法。
【請求項６】
ホルダー部に保持されたマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに磁気転写する装置であって、前記被転写用ディスクをディスク供給部から前記ホルダー部まで吸着チャックを備えたディスク供給ユニットで吸着搬送する磁気転写装置において、
前記ディスク供給部における前記被転写用ディスクのディスク面が前記吸着チャックの吸着直前の吸着面に対して平行になるように、前記被転写用ディスクの姿勢を矯正する矯正手段と、
前記ディスク供給部における前記被転写用ディスクの姿勢を前記矯正手段で矯正してから被転写用ディスクを前記吸着チャックで吸着し、吸着された被転写用ディスクから前記矯正手段を退避させた後、前記被転写用ディスクを前記ディスク供給ユニットで前記ホルダー部に吸着搬送するように前記矯正手段、前記吸着チャック、及び前記ディスク供給ユニットを制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項７】
前記矯正手段は、
前記ディスク供給部における被転写用ディスクを挟んで対向配置され、その先端面に、前記吸着チャックの吸着直前の吸着面に対して溝方向が平行な係合溝が形成されると共に、該係合溝が前記被転写用ディスクの外周に係合する複数の係合部材と、
前記複数の係合部材を前記吸着面に対して平行に進退移動する移動手段と、を備えたことを特徴とする請求項６の磁気転写装置。
【請求項８】
前記係合溝はＶ溝であることを特徴とする請求項６又は７の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気転写装置のディスク吸着搬送方法及び磁気転写装置に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する磁気転写装置であって、磁気ディスクをディスク供給部からマスターディスクが保持されたホルダー部へ吸着搬送する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクよりスレーブディスク（被転写用ディスク）に一括転写する磁気転写装置を使用することが効率的である。
【０００３】
この磁気転写装置においては、スレーブディスクは、ディスク供給部に設けられたディスクカセット又はディスク受け台から一枚ずつ取り出され、マスターディスクを保持するホルダー部まで搬送される。そして、スレーブディスクをホルダー部の吸着チャックに受け渡してスレーブディスクをマスターディスクに密着させ、この状態でホルダー部に磁界を加えることでマスターディスクの磁気パターンをスレーブディスクに転写する方法が広く採用されている。
【０００４】
このスレーブディスクのホルダー部への搬送は、ホルダー部の所定位置でのスレーブディスクの受け渡しが容易であることから吸着チャックを備えたディスク供給ユニットによる吸着搬送方法を採用することが多くなっている。このようにスレーブディスクを吸着する磁気転写装置としては、例えば特許文献１がある。
【特許文献１】特開２００１−３２５７２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ディスクカセット又はディスク受け台等のディスク供給部の構造は、スレーブディスクのディスク面、特にマスターディスクの磁気情報が転写される被転写面部分に接触しない構造とすることが必要である。このことから、例えば図８に示すように、ディスクカセット（又はディスク受け台）１のＶ溝１Ａにスレーブディスク２を縦向きに遊挿することにより、該Ｖ溝１Ａがなす面によってスレーブディスク２の下部エッジ２ｂを保持する構造となっているものが多く、スレーブディスク２の姿勢が不安定になり易い。即ち、スレーブディスク２のディスク面２ａが鉛直方向３に対して傾斜した状態でディスクカセット（又はディスク受け台）１に保持されることがある。この為、スレーブディスク２を吸着チャック４に吸着するときに、吸着チャック４の吸着面４ａのエッジ部分４ｂがディスク面２ａに当たったり、ディスク面２ａの一部分が急激な吸着動作をしたりするために、スレーブディスク２のディスク面２ａを傷つけてしまうとう欠点がある。尚、図８の符号６は吸引孔である。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ディスク供給部におけるスレーブディスク（被転写用ディスク）のディスクの姿勢を吸着チャックの吸着面に対して常に平行な状態で吸着することができるので、ディスク面を傷つけることがなくスレーブディスクを吸着してホルダー部へ搬送することができる磁気転写装置のディスク吸着搬送方法及び磁気転写装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１は前記目的を達成するために、ホルダー部に保持されたマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに磁気転写する磁気転写装置であって、前記被転写用ディスクをディスク供給部から前記ホルダー部まで吸着チャックを備えたディスク供給ユニットで吸着搬送する磁気転写装置のディスク吸着搬送方法において、前記ディスク供給部における前記被転写用ディスクのディスク面が前記吸着チャックの吸着直前の吸着面に対して平行になるように、前記被転写用ディスクの姿勢を矯正手段で矯正し、前記姿勢の矯正された被転写用ディスクを前記吸着チャックで吸着し、前記吸着された被転写用ディスクから前記矯正手段を退避させた後、前記被転写用ディスクを前記ディスク供給ユニットで前記ホルダー部に吸着搬送することを特徴とする磁気転写装置のディスク吸着搬送方法を提供する。
【０００８】
本発明の請求項１によれば、ディスク供給部における被転写用ディスクのディスク面が吸着チャックの吸着直前の吸着面に対して平行になるように、被転写用ディスクの姿勢を矯正してから、被転写用ディスクを吸着チャックで吸着するようにした。これにより、ディスク供給部の被転写用ディスクのディスクの姿勢を吸着チャックの吸着面に対して常に平行に維持した状態で吸着することができるので、ディスク面を傷つけることがない。また、吸着した被転写用ディスクをホルダー部に搬送するときは、被転写用ディスクから矯正手段を退避させてから搬送する。
【０００９】
請求項２は請求項１において、前記ディスク供給部は、Ｖ溝に前記被転写用ディスクを縦向きに遊挿することにより、該Ｖ溝がなす面によって前記被転写用ディスクの下部エッジを保持するディスクカセット又はディスク受け台であることを特徴とする。
【００１０】
これは、ディスク供給部の構造は被転写用ディスクのディスク面に接触しない請求項２の構造を有するディスクカセット又はディスク受け台であることが好ましく、この構造において本発明は特に有効だからである。但し、本発明の請求項１は、請求項２の構造を有するディスク供給部に限定するものではない。吸着する前に被転写用ディスクのディスク面が吸着チャックの吸着直前の吸着面に対して平行になるように、被転写用ディスクの姿勢を矯正する工程を設けることで、どのような構造のディスク供給部の場合にも精度の良い吸着を行うことができ、それだけディスク面を傷つける危険を低減できる。
【００１１】
本発明の請求項３は請求項１又は２において、前記矯正手段に設けられた複数の係合部材の係合溝が前記被転写用ディスク外周のエッジ部に係合することにより前記被転写用ディスクの姿勢が矯正されることを特徴する。
【００１２】
請求項３のように矯正手段に設けられた複数の係合部材の係合溝を被転写用ディスク外周のエッジ部に係合させることで被転写用ディスクの姿勢を矯正すれば、簡単に姿勢の矯正を行うことができる。また、係合溝が被転写用ディスク外周のエッジ部に係合される形状のものであれば、姿勢の矯正の際に被転写用ディスクのディスク面を傷付けることもない。
【００１３】
本発明の請求項４は請求項１又は２において、前記被転写用ディスクには中心孔が形成されると共に、前記矯正手段に設けられた複数の係合部材の係合溝が前記被転写用ディスクの前記中心孔周縁のエッジ部に係合することにより前記被転写用ディスクの姿勢が矯正されることを特徴する。
【００１４】
請求項４のように被転写用ディスクに中心孔が形成されている場合には、係合部材の係合溝を中心孔周縁のエッジ部に係合させて姿勢を矯正するようにしてもよい。この場合にも姿勢を矯正する際にもディスク面に接触しないので、ディスク面を傷付けることがない。
【００１５】
請求項５は請求項３又は４において、前記係合溝はＶ溝であり、該Ｖ溝が前記エッジ部に係合することを特徴とする。
【００１６】
請求項５は、被転写用ディスクの外周又は中心孔周縁のエッジ部に係合部材を接触させるための構造の好ましい一例であり、係合部材にＶ溝を形成し、このＶ溝に被転写用ディスク外周又は中心孔周縁を係合させるようにしたものである。また、Ｖ溝は入口が広くなっているので、ディスクカセット又はディスク受け台に被転写用ディスクが多少傾斜して保持されていても、被転写用ディスク外周又は中心孔周縁をＶ溝内に容易に誘導することができる。また、Ｖ溝内に誘導された被転写用ディスク外周又は中心孔周縁はＶ溝の奥に当接することで位置決めされるので姿勢が自動的に矯正される。
【００１７】
但し、本発明の請求項１は、矯正手段が係合溝の構造を有するものに限定するものではなく、被転写用ディスクの外周をクランプすることで姿勢を矯正するものでもよい。要は、被転写用ディスクのディスク面、ディスク面のうちでも特に被転写面部分に接触せずに姿勢を矯正できるものが好ましい。
【００１８】
本発明の請求項６は前記目的を達成するために、ホルダー部に保持されたマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに磁気転写する装置であって、前記被転写用ディスクをディスク供給部から前記ホルダー部まで吸着チャックを備えたディスク供給ユニットで吸着搬送する磁気転写装置において、前記ディスク供給部における前記被転写用ディスクのディスク面が前記吸着チャックの吸着直前の吸着面に対して平行になるように、前記被転写用ディスクの姿勢を矯正する矯正手段と、前記ディスク供給部における前記被転写用ディスクの姿勢を前記矯正手段で矯正してから被転写用ディスクを前記吸着チャックで吸着し、吸着された被転写用ディスクから前記矯正手段を退避させた後、前記被転写用ディスクを前記ディスク供給ユニットで前記ホルダー部に吸着搬送するように前記矯正手段、前記吸着チャック、及び前記ディスク供給ユニットを制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする磁気転写装置を提供する。
【００１９】
請求項６の磁気転写装置によれば、制御手段で、ディスク供給部における被転写用ディスクの姿勢を矯正手段で矯正してから被転写用ディスクを吸着チャックで吸着し、吸着された被転写用ディスクから矯正手段を退避させた後、被転写用ディスクをディスク供給ユニットで前記ホルダー部に吸着搬送するように、矯正手段、吸着チャック、及びディスク供給ユニットを制御するようにした。これにより、ディスク供給部の被転写用ディスクのディスクの姿勢を吸着チャックの吸着面に対して常に平行に維持した状態で吸着することができるので、ディスク面を傷つけることがなく被転写用ディスクをホルダー部へ吸着搬送することができる。
【００２０】
請求項７は請求項６において、前記矯正手段は、前記ディスク供給部における被転写用ディスクを挟んで対向配置され、その先端面に、前記吸着チャックの吸着直前の吸着面に対して溝方向が平行な係合溝が形成されると共に、該係合溝が前記被転写用ディスクの外周に係合する複数の係合部材と、前記複数の係合部材を前記吸着面に対して平行に進退移動する移動手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２１】
請求項６における矯正手段によれば、移動手段で複数の係合部材を被転写用ディスク方向に移動すると、被転写用ディスクの外周が係合部材の係合溝に係合する。これにより、被転写用ディスクのディスク面が吸着チャックの吸着直前の吸着面に対して平行になるように矯正される。
【００２２】
請求項８は請求項６又は７において、前記係合溝はＶ溝であることを特徴とする。
【００２３】
係合溝をＶ溝にすることで、上記した請求項５と同様の効果を得ることができる。
【００２４】
但し、本発明の請求項６は、矯正手段が係合溝の構造を有するものに限定するものではなく、被転写用ディスクの外周をクランプすることで姿勢を矯正するものでもよい。要は、被転写用ディスクのディスク面、特に被転写面部分に接触せずに姿勢を矯正できるものが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように、本発明によれば、ディスク供給部におけるスレーブディスク（被転写用ディスク）のディスクの姿勢を吸着チャックの吸着面に対して常に適切に維持した状態で吸着することができるので、ディスク面を傷つけることがなくスレーブディスクを吸着してホルダー部へ搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付図面に従って、本発明に係る磁気転写装置のディスク吸着搬送方法及び磁気転写装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２７】
図１は、本発明に係る磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク供給用カセット（ディスク供給部）からスレーブディスク（被転写用ディスク）を吸着して取り出して搬送する状態を示す概念図である。
【００２８】
この磁気転写装置１０の装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面である。
【００２９】
ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容するディスク供給カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしてのディスク排出カセット５６が設けられている。ディスク供給カセット３８とディスク排出カセット５６とは、ディスク排出カセット５６に後記する矯正手段４３がないだけで同一形状のものが採用されており、ここではディスク供給カセット３８の構造について説明する。
【００３０】
図２に示されるように、ディスク供給カセット３８は、スレーブディスク４０がディスク面４０Ａを対向させて複数枚収納可能となっている。即ち、カセットの内面に並行して形成された複数のＶ溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、Ｖ溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の下部エッジ部が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。このように、Ｖ溝９２でスレーブディスク４０の下部エッジ部４０ｂ（図５（Ｃ）参照）を保持することにより、スレーブディスク４０のディスク面４０Ａには何も接触しないように保持することができる。
【００３１】
図１のベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。
【００３２】
図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダー部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着または接着により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。
【００３３】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。
【００３４】
固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、図示しないクッション材を介してカップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、図示しないクッション材を介して表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。
【００３５】
また、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４の裏面（マスターディスク４６が固定される面の反対面）の中心には、それぞれ図示しない軸部材が立設されている。この軸部材の一方が装置本体１２に固定されている。一方、もう一つの軸部材は、駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。
【００３６】
以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。
【００３７】
一方、スレーブディスク４０の転写を行ったり、ホルダユニット２２の内部に密閉空間を形成させたりする際には、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが接する状態になり、ホルダユニット２２の内部に密閉空間が形成される。これにより、ホルダユニット２２の内部には、充分なクリーン度が確保でき、マスターディスク４６の寿命を飛躍的に向上させることができる。また、ホルダユニット２２の内部において、マスターディスク４６、４６同士の間には所定のクリアランスが形成されるようになっており、マスターディスク４６、４６同士の接触が避けられるように構成されている。また、スレーブディスク４０がホルダユニット２２に供給される際も、ホルダユニット２２には空隙部分が形成される。
【００３８】
図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間欠駆動される。即ち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止しするようになっている。
【００３９】
更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より左側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より右側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。
【００４０】
ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク供給カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を吸着したチャック機構４２を、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及び吸着チャック４２ｂの向きを反転するようになっている。
【００４１】
ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク排出カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。
【００４２】
ディスク供給ユニット２６は、図２に示されるように、主として、スレーブディスク４０に吸着するチャック機構４２と、スレーブディスク４０をチャック機構４２に吸着する際にスレーブディスク４０の姿勢を矯正する矯正手段４３と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、チャック機構４２を回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４とから構成される。
【００４３】
図４に示すように、チャック機構４２は、主として、一端部（基部）をロータリシリンダ４４（図１参照）で支持されるチャック腕４２ａと、チャック腕４２ａの他端部（先端部）に設けられ、スレーブディスク４０を吸着する吸着チャック４２ｂと、で構成される。吸着チャック４２ｂは、内部に減圧室４２ｈを有する本体部４２ｄと、吸着盤４２ｅとがビス９３で連結されている。吸着盤４２ｅに形成された吸着面４２ｆにリング状の吸引孔４２ｇが形成され、この吸引孔４２ｇが本体部４２ｄの減圧室４２ｈまで連通される。尚、吸引孔４２ｇはリング状に連続した１つの孔である必要はなく、複数の孔で断続的にリング形状を形成してもよい。本体部４２ｄは、チャック腕４２ａの内部に形成される通気路４２ｉを介して吸着（真空吸着）及び吸着解除を行う吸着・解除手段（図示せず）に接続されており、これにより吸着チャック４２ｂはスレーブディスク４０を吸着又は吸着を解除することができる。この場合、吸着面４２ｆの吸引孔４２ｇの内側部分に突形状の位置ズレ防止ガイド４２ｃを形成し、吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着するときに、位置ズレ防止ガイド４２ｃをスレーブディスク４０の中心孔４０ａに嵌合されるようにするとよい。これにより、吸着の際のスレーブディスク４０の位置ずれを防止できる。
【００４４】
矯正手段４３は、図２及び図５に示すように、ディスク供給カセット３８に収納されたスレーブディスク４０を挟んで一対の係合部材４３Ａが対向配置される。尚、係合部材４３Ａは２個に限定されず複数であればよい。この一対の係合部材４３Ａはシリンダ装置４３Ｂのピストンロッド４３Ｃが伸縮することにより、スレーブディスク４０に近づく方向に進行移動したり、スレーブディスク４０から遠ざかる方向に退避移動する。このピストンロッド４３Ｃの伸縮方向は、吸着チャック４２ｂの吸着直前の吸着面４２ｆに対して平行に伸縮動作するように、吸着チャック４２ｂとシリンダ装置４３Ｂとの関係が構成される。また、係合部材４３Ａの先端面には、吸着チャック４２ｂの吸着直前の吸着面４２ｆに対して溝方向が平行なＶ溝４３Ｄが形成される。
【００４５】
従って、シリンダ装置４３Ｂで一対の係合部材４３Ａをスレーブディスク４０方向に移動すると、スレーブディスク４０の外周が一対の係合部材４３Ａで挟み付けられながら、係合部材４３Ａの先端面に形成されたＶ溝４３Ｄに係合する。この場合、係合部材４３Ａがスレーブディスク４０の直径方向位置又は直径方向位置の僅かに下部に係合することが好ましい。これにより、Ｖ溝４３Ｄの溝方向が吸着チャック４２ｂの吸着直前の吸着面４２ｆに対して平行に形成されているので、スレーブディスク４０のディスク面は、吸着チャック４２ｂの吸着直前の吸着面４２ｆに対して平行になるように矯正される。従って、ディスク供給カセット３８に収納されたスレーブディスク４０の姿勢を吸着チャック４２ｂの吸着面４２ｆに対して常に平行に維持した状態で吸着することができるので、吸着の際にディスク面４０Ａを傷つけることがない。
【００４６】
また、係合部材４３ＡにＶ溝４３Ｄを形成することにより、スレーブディスク４０外周のエッジ部４０ｂに係合させることができ、スレーブディスク４０の姿勢を矯正する際にもディスク面４０Ａに接触しないので、ディスク面４０Ａを傷付けることがない。また、Ｖ溝４３Ｄは入口が広くなっているので、ディスク供給カセット３８に収納されたスレーブディスク４０が多少傾斜していても、スレーブディスク４０外周をＶ溝４３Ｄ内に容易に誘導することができる。そして、Ｖ溝４３Ｄ内に誘導されたスレーブディスク４０はＶ溝４３Ｄの奥に当接することで、吸着チャック４２ｂの吸着面４２ｆと平行に形成されたＶ溝４３Ｄの溝方向にスレーブディスク４０の姿勢が自動的に倣うので、スレーブディスク４０のディスク面４０Ａと吸着チャック４２ｂの吸着面４２ｆとが平行になる。
【００４７】
尚、係合部材４３Ａを移動させる手段は、シリンダ装置４３Ｂに限るものではなく、送りネジ機構等も採用することができる。また、図２に示すように、シリンダ装置４３Ｂは矢印Ａ−Ｂ方向に移動可能であり、ディスク供給カセット３８の複数のＶ溝９２に整列されたスレーブディスク４０の姿勢を順番に矯正することができるように構成される。シリンダ装置４３Ｂを矢印Ａ−Ｂ方向に移動させる手段として送りネジ機構等の移動手段を使用することができる。また、一対の係合部材４３Ａでスレーブディスク４０をディスク供給カセット３８のＶ溝９２から持ち上げて状態で吸着チャック４２ｂに吸着させるようにしてもよい。スレーブディスク４０を持ち上げることで、スレーブディスク４０とＶ溝９２との係合関係がなくなるので、スレーブディスク４０の姿勢矯正の精度が向上する。
【００４８】
図２に示すように、上記したディスク供給ユニット２６チャック機構４２、矯正手段４３、及びディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７は、それぞれ信号ケーブル又は無線により制御装置９５に接続される。そして、制御装置９５は、チャック機構４２の吸着・解除動作等、矯正手段４３の係合部材の進退移動等、及びＸ軸ロボット２７の搬送駆動等の制御を行う。
【００４９】
ディスク供給ユニット２６によりホルダユニット２２に吸着搬送されたスレーブディスク４０は、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して、相対的に位置決めが行われる。そして、吸着チャック４２ｂに吸着されたスレーブディスク４０は、マスターディスク４６を保持する固定側ホルダ２３に吸着される。これにより、スレーブディスク４０が固定側ホルダ２３に受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着状態で保持される。
【００５０】
ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、ディスク排出カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。
【００５１】
ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０を吸着するチャック機構５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック機構５２を回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。また、チャック機構５２は、図４で示したと同様の構造に形成される。即ち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０を吸着したチャック機構５２を、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック機構５２の向きを反転するようになっている。
【００５２】
図６に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２には認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット３０で視覚認識される。
【００５３】
この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスクディスク供給カセット３８が設けられた側面と反対の側面にほど近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。
【００５４】
認識ユニット３０には位置決め手段としての制御手段３０Ａが接続され、制御手段３０Ａは認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。
【００５５】
位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。
【００５６】
このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３０Ａにティーチングされている。
【００５７】
一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、チャック機構４２の吸着動作によって吸着チャック４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３０Ａに予めティーチングされている。
【００５８】
これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。
【００５９】
図１のコイルユニット３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側にコイルを離間して配置したものである。このコイルユニット３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。
【００６０】
次に、上記の如く構成された磁気転写装置１０を用いた磁気転写方法について説明する。
【００６１】
運転開始により、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２がディスク供給カセット３８内のスレーブディスク４０を吸着して、順次１枚づつ取り出す。このスレーブディスク４０の取り出しにおいて、図２の制御装置９５は、ディスク供給カセット２６に収納されるスレーブディスク４０の姿勢を矯正手段４３で矯正してからスレーブディスク４０を吸着チャック４２ｂで吸着し、吸着されたスレーブディスク４０から矯正手段４３を退避させた後、スレーブディスク４０をディスク供給ユニット２６でホルダユニット２２に吸着搬送する。このように、スレーブディスク４０を吸着チャック４２ｂで吸着する前に矯正手段４３でスレーブディスク４０の姿勢を矯正するようにした。これにより、スレーブディスク４０のディスク面４０Ａと吸着チャック４２ｂの吸着面４２ｆとを常に平行な状態で吸着することができるので、従来のように吸着チャック４２ｂの吸着面４２ｆのエッジ部分４２ｊがディスク面４０Ａに当たったり、ディスク面４０Ａの一部分が急激な吸着動作をしたりして、スレーブディスク４０のディスク面４０Ａを傷つけてしまうことを確実に防止できる。
【００６２】
また、スレーブディスク４０を吸着チャック４２ｂで吸着する際、スレーブディスク４０の中心孔４０ａに位置ズレ防止ガイド４２ｃを嵌合させながら吸着チャック４２ｂでスレーブディスク４０を吸着するようにした。これにより、吸着位置の位置ズレを生じることなくチャック機構４２でスレーブディスク４０を取り出すことができる。
【００６３】
取り出されたスレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置８２に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される。
【００６４】
このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。
【００６５】
ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。
【００６６】
次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。
【００６７】
この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、チャック機構４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出されるスレーブディスク４０の中心とが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９により、スレーブディスク４０が位置決めされる。
【００６８】
次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、スレーブディスク４０を吸着している吸着チャック４２ｂの吸着が解除されると共に、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される。
【００６９】
次いで、移動側ホルダ２４をロボット７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する。
【００７０】
次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置８４に位置決めする。そして、コイルユニット３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ、ホルダユニット２２を回転させながら両側から磁界を加える。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。
【００７１】
磁気転写後、コイルユニット３２、３２を初期の位置に退避させ、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置８６に位置決めする。
【００７２】
次いで、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。
【００７３】
次いで、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０を吸着する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック機構５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。この固定側ホルダ２３からディスク排出ユニット３４のチャック機構５２へのスレーブディスク４０の受け取りにおいて、スレーブディスク４０の中心孔４０ａに位置ズレ防止ガイド５２ｃを嵌合させながら吸着チャック５２ｂでスレーブディスク４０を吸着するようにした。これにより、吸着位置の位置ズレを生じることなくチャック機構５２でスレーブディスク４０を受け取ることができる。
【００７４】
次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック機構５２により把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック機構５２を含めて上下方向の向きが反転される。
【００７５】
次いで、スレーブディスク４０及びチャック機構５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によってディスク排出カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０をディスク排出カセット５６内に順次１枚づつ収納する。
【００７６】
上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。
【００７７】
図１における符号１４はクリーンユニットであり、６４はクリーンユニットからダウンフローされた清浄エアを吸い込む吸引口である。
【００７８】
尚、本実施の形態では、矯正手段４３として、先端面にＶ溝４３Ｄを有する係合部材４３Ａの例で説明したが、この構造の矯正手段４３Ａに限定するものではなく、スレーブディスク４０の外周を一対のクランプ手段でクランプすることで姿勢を矯正する構造のものでもよい。要は、スレーブディスク４０のディスク面４０Ａ、特に被転写面部分に接触せずに姿勢を矯正できるものが好ましい。
【００７９】
また、係合部材４３Ａの係合溝はＶ溝４３Ｄ以外にも、例えば逆台形溝４３Ｅにすることもできる。この逆台形溝４３Ｅは、図７に示すように、逆台形溝４３Ｅの長辺Ｌ１が解放され、短辺Ｌ２にスレーブディスク４０の外周を当接させる構造であり、短辺Ｌ２の長さをスレーブディスク４０の厚みＷと同じにする。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図
【図２】ディスク供給用カセットからスレーブディスクを取り出して吸着搬送する状態を示す概念図
【図３】ホルダユニットの構成を示す断面図
【図４】チャック機構を説明する断面図
【図５】矯正手段を説明する説明図で、図５（Ａ）は正面図、図５（Ｂ）は上面図、図５（Ｃ）は側面図
【図６】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図
【図７】係合部材に形成する溝の別態様を示した断面図
【図８】ディスクカセット（又はディスク受け台）のＶ溝に保持されたスレーブディスクとディスク面が吸着チャックの吸着面に対して傾斜している状態を説明する説明図
【符号の説明】
【００８１】
１０…磁気転写装置、１２…装置本体、２２…ホルダユニット、２６…ディスク供給ユニット、３０…認識ユニット、３４…ディスク排出ユニット、３８…ディスク供給カセット、４０…スレーブディスク、４０Ａ…スレーブディスクのディスク面、４０ｂ…スレーブディスクの下部エッジ部、４２…チャック機構、４２ａ…チャック腕、４２ｂ…吸着チャック、４２ｃ…位置ズレ防止ガイド、４２ｄ…本体部、４２ｅ…吸着盤、４２ｆ…吸着面、４２ｇ…吸着孔、４２ｈ…減圧室、４２ｉ…通気路、４２ｊ…吸着面のエッジ部、４３…矯正手段、４３Ａ…係合部材、４３Ｂ…シリンダ装置、４３Ｃ…ピストンロッド、４３Ｄ…係合部材のＶ溝、４６…マスターディスク、５６…ディスク排出カセット、９２…ディスク供給カセットのＶ溝、９５…制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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