(57)【要約】【課題】  ディスク貼り合わせ時に生じるディスクの変形を抑制できるディスク貼り合わせ方法および光ディスク製造装置を提供する。【解決手段】  ２枚のディスク基板Ｄ１，Ｄ２を紫外線硬化型の接着剤１２で貼り合わせるディスク貼り合わせ方法において、接着剤１２の硬化処理工程に、紫外線をスポット状に照射できるスポット光源１４を用い、スピンドルステージ１１上でディスク基板Ｄ１，Ｄ２を回転させながら、スポット光源１４をディスク内周側から外周側へ移動させることにより、接着剤１２の硬化タイミングをディスク内外周間で異ならせる。これにより、接着剤１２の硬化収縮によるディスクの変形が抑制される。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能な保持部材上に載置された第１のディスクの上面に紫外線硬化型の接着剤を塗布する工程と、前記接着剤を介して第２のディスクを前記第１のディスクに重ね合わせる工程と、前記保持部材を回転させて前記接着剤を遠心力で前記２枚のディスク間に展開させる工程と、前記第２のディスクの上から紫外線を照射し前記接着剤を硬化させる工程とを有するディスク貼り合わせ方法であって、
前記接着剤を硬化させる工程では、紫外線をスポット状に照射できる光源を用い、前記保持部材上で回転するディスクの内周側と外周側との間で前記紫外線の照射タイミングを異ならせる
ことを特徴とするディスク貼り合わせ方法。
【請求項２】
前記接着剤を硬化させる工程では、前記光源をディスク内周側から外周側に向かって移動させる
ことを特徴とする請求項１に記載のディスク貼り合わせ方法。
【請求項３】
前記接着剤を硬化させる工程では、トラック方向における単位長さ当たりの紫外線照射量が一定となるように、前記光源の移動速度を変化させる
ことを特徴とする請求項２に記載のディスク貼り合わせ方法。
【請求項４】
前記接着剤を硬化させる工程では、トラック方向における単位長さ当たりの紫外線照射量が一定となるように、前記ディスクの回転速度を変化させる
ことを特徴とする請求項２に記載のディスク貼り合わせ方法。
【請求項５】
前記接着剤を硬化させる工程では、トラック方向における単位長さ当たりの紫外線照射量が一定となるように、前記光源からの紫外線照射量を変化させる
ことを特徴とする請求項２に記載のディスク貼り合わせ方法。
【請求項６】
前記接着剤を硬化させる工程では、前記他方のディスクの上に透明材料でなる重りを載せて行う
ことを特徴とする請求項１に記載のディスク貼り合わせ方法。
【請求項７】
２枚のディスクが紫外線硬化型の接着剤を介して貼り合わされてなる光ディスクの製造装置であって、
前記ディスクを回転可能に保持する保持部材と、
前記接着剤の供給部と、
紫外線をスポット状に照射する光源と、
前記ディスクの内周側と外周側との間で前記紫外線の照射タイミングを異ならせる照射手段とを備えた
ことを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項８】
前記照射手段は、前記スポット光源を前記ディスクの内周側と外周側との間で移動させる移動機構を含む
ことを特徴とする請求項７に記載の光ディスク製造装置。
【請求項９】
トラック方向における単位長さ当たりの紫外線照射量が一定となるように、前記保持部材の回転数、前記スポット光源の出力および移動速度のうち少なくともひとつを制御する制御手段を備えた
ことを特徴とする請求項８に記載の光ディスク製造装置。
【請求項１０】
前記保持部材上の２枚のディスク間に所定の荷重を加える重りを備え、この重りが熱線遮蔽機能を有している
ことを特徴とする請求項７に記載の光ディスク製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２枚のディスクを紫外線硬化型の接着剤を介して貼り合わせるディスク貼り合わせ方法および、貼り合わせタイプの光ディスクの製造に用いて好適な光ディスク製造装置に関し、更に詳しくは、接着剤の硬化収縮によるディスクの変形を抑制できるディスク貼り合わせ方法および光ディスク製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）等の光ディスクは、直径１２０ｍｍ、厚さ０．６ｍｍの２枚の透明な合成樹脂製ディスクが紫外線硬化型の接着剤を介して貼り合わされた構造を有している。この貼り合わせタイプの光ディスクは、従来より、図４Ａ〜Ｄに模式的に示す工程を経て製造されている。
【０００３】
図４Ａに示すように、回転駆動源を有するスピンドルステージ１の上に、一方のディスク基板Ｄ１を載置した後、このディスク基板Ｄ１の上面内周側に紫外線硬化型の接着剤２を環状に供給する。そして、図４Ｂに示すように、他方のディスク基板Ｄ２を接着剤２を介してディスク基板Ｄ１に重ね合わせる。スピンドルステージ１の回転軸心１ａ上には、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２のセンター孔Ｃと嵌合する基準ピン１ｂが立設されており、２枚のディスク基板Ｄ１，Ｄ２は、これら基準ピン１ｂとセンター孔Ｃの嵌合位置を基準としてスピンドルステージ１上で精度良く重ね合わされる。
【０００４】
次に、図４Ｃに示すように、スピンドルステージ１を駆動し、２枚のディスク基板Ｄ１，Ｄ２を回転軸心１ａのまわりに高速回転させながら、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間に挟まれた未硬化の接着剤２を遠心力でディスク外周側へ広げ、接着剤２をディスク全面に展開する。このとき、接着剤２の余剰分は、ディスク径外方側へ振り切られる。
【０００５】
最後に、貼り合わせ後のディスク基板Ｄ１，Ｄ２を紫外線照射工程用のステージ４へ移載した後、ディスク基板Ｄ２の中心部上方に配置された光源３から紫外線ＵＶをディスク全域に照射して、接着剤２を硬化させる（図４Ｄ）。以上のようにして、光ディスクＤの貼り合わせ工程が完了する。
【０００６】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献を以下に示す。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−２６００７２号公報
【特許文献２】特開２００２−２９８４５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のように、貼り合わせタイプの光ディスクＤの製造に際しては、２枚のディスク基板Ｄ１，Ｄ２間を接合する接着剤２の硬化処理のために、ディスクに対する紫外線ＵＶの照射工程が設けられている。そして、従来のディスク貼り合わせ方法においては、スピンドルステージ１上のディスクに対して固定光源３から紫外線ＵＶをディスク全面へ照射して、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間に介在する接着剤２を全面で同時に硬化させるようにしている。
【０００９】
しかしながら、この方法では、接着剤２の硬化収縮による光ディスクＤの変形が大きくなり、その結果、光ディスク記録再生装置において、光学ピックアップによるトラック追従性が悪くなる等して、光ディスクＤの信号読取特性あるいは信号書込特性に対して悪影響を及ぼす場合があった。
【００１０】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、ディスク貼り合わせ時に生じるディスクの変形を抑制できるディスク貼り合わせ方法および光ディスク製造装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以上の課題を解決するに当たり、本発明のディスク貼り合わせ方法は、２枚のディスクを貼り合わせる紫外線硬化型接着剤の硬化工程において、紫外線をスポット状に照射できる光源を用い、保持部材上で回転するディスクの内周側と外周側との間で、上記接着剤に対する紫外線の照射タイミングを異ならせることを特徴とする。
【００１２】
この方法によれば、ディスクの内周側と外周側とで接着剤の硬化タイミングを異ならせることができるようになるので、接着剤がディスク全面で同時に硬化する場合に比べて、接着剤の硬化収縮によるディスクの変形を抑制することが可能となる。
【００１３】
ディスクの内周側と外周側との間で接着剤の硬化タイミングを異ならせる具体的な方法としては、ディスクを回転させた状態で、ディスクの内周側から外周側に向かって光源を移動させる方法が好適である。これにより、ディスク内周側の接着剤から順次硬化し、硬化収縮によるディスク内周側接着剤の体積減少分が、量的に大なる外周側の接着剤で充当されることになる結果、ディスク全体の変形量を大きく抑制できるようになる。
【００１４】
本発明の方法を実施する装置構成として、本発明の光ディスク製造装置は、ディスクを回転可能に保持する保持部材と、紫外線硬化型の接着剤を供給する供給部と、紫外線をスポット状に照射する光源と、ディスクの内周側と外周側との間で紫外線の照射タイミングを異ならせる照射手段とを備えている。
【００１５】
特に、上記照射手段は、このスポット光源をディスクの内周側と外周側との間で移動させる移動機構を含む構成とされる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のディスク貼り合わせ方法によれば、紫外線をスポット状に照射できる光源を用い、回転するディスクの内周部と外周部との間で紫外線の照射タイミングを異ならせるようにしているので、ディスクの内周側と外周側とで接着剤の硬化タイミングに時間的な差を設けることが可能となり、これにより、硬化収縮を原因とするディスクの変形を抑制することができる。
【００１７】
また、本発明の光ディスク製造装置によれば、ディスクの変形を抑え高い精度をもってディスクを貼り合わせることができるので、信号特性に影響を与えることのない、機械特性に優れた光ディスクを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の各実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態による光ディスク製造装置１０の概略構成を示している。この光ディスク製造装置１０は、ＤＶＤ等の光ディスクの製造に用いられ、２枚のディスク基板Ｄ１，Ｄ２を紫外線硬化型接着剤を介して貼り合わせるディスク貼り合わせ装置として構成されている。
【００２０】
ディスク基板Ｄ１，Ｄ２は、ポリカーボネート等の透明な材料でなり、その少なくとも何れかに記録層（信号形成面）が設けられているものとし、この記録層の形成面側が貼り合わせ面とされている。
【００２１】
光ディスク製造装置１０は、スピンドルステージ１１と、紫外線硬化型の接着剤１２を吐出する吐出ノズル１３と、紫外線をスポット状に照射するスポット光源１４と、吐出ノズル１３およびスポット光源１４を、スピンドルステージ１１の直上位置とその径外方位置との間にわたって移動させる移動機構１５と、これらの各制御部１６〜１９とで構成されている。
【００２２】
スピンドルステージ１１は、本発明の「保持部材」に対応し、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２を載せた状態で、回転軸心１１ａの回りに回転可能に構成されている。スピンドルディスク１１の上面には、ディスク基板Ｄ１の下面を真空吸着するための複数の吸着孔が図示せずとも形成されている。スピンドルステージ１１上面の回転軸心１１ａの位置には、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２のセンター孔Ｃに嵌合する基準ピン１１ｂが立設されている。また、回転制御部１６は、スピンドルステージ１１の駆動およびその回転数の制御を行う。
【００２３】
吐出ノズル１３は、ディスク基板Ｄ１の上面の内周側の所定位置に接着剤１２を供給するためのもので、本発明の「供給部」に対応する。吐出ノズル１３のノズル口１３ａは、ディスク基板Ｄ１に対して所定距離上下移動可能に構成されており、接着剤１２の吐出時には下降位置をとり、後述するスポット光源１４からの紫外線照射時には上昇位置をとるようになっている。吐出制御部１７は、接着剤１２の吐出動作（ＯＮ／ＯＦＦ）、吐出量、吐出タイミング等を制御する。
【００２４】
スポット光源１４は、接着剤１２の硬化に必要な波長帯域（例えば４００ｎｍ以下）の紫外線ＵＶをスポット状に照射する。スポット径は特に限定されないが、本実施の形態では、デフォーカス状態でφ１０ｍｍ程度の光源が用いられている。接着剤１２には、例えば、即効性のラジカル系接着剤が用いられる。ＵＶ制御部１８は、紫外線の照射タイミング、照度（パワー）等を制御する。
【００２５】
移動機構１５は、本発明の「照射手段」を構成し、吐出ノズル１３およびスポット光源１４を支持するアーム２０と、このアーム２０をディスク径方向に往復移動させる電動アクチュエータ等の直動駆動源２１とを備えている。移動制御部１９は、駆動源２１によるアーム２０の移動制御、移動速度制御、移動位置（ディスク半径位置）の検出等を行う。
【００２６】
回転制御部１６、吐出制御部１７、ＵＶ制御部１８および移動制御部１９はそれぞれ、コントローラ２２に接続されている。コントローラ２２は、各制御部１６〜１９を一元管理しており、後述するようにして、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２の貼り合わせ工程を統括制御する。
【００２７】
以上のように構成される本実施の形態の光ディスク製造装置１０において、まず、各部の基本的な動作を説明する。図２は、光ディスク製造装置１０によるディスク貼り合わせ工程を示す工程断面図である。
【００２８】
図２Ａに示すように、スピンドルステージ１１に、一方のディスク基板Ｄ１を載置、吸着した後、このディスク基板Ｄ１の上面に紫外線硬化型の接着剤１２を環状に塗布する。この接着剤１２の塗布工程においては、静止状態にあるディスク基板Ｄ１の上面内周側の所定位置直上に、図１に示した吐出ノズル１３を移動させた後、ノズル口１３ａをディスク上面の所定高さ位置まで下降させ、スピンドルステージ１１を低速で回転させながら接着剤１２を吐出する。
【００２９】
次に、図２Ｂに示すように、他方のディスク基板Ｄ２を接着剤１２を介してディスク基板Ｄ１に重ね合わせる。スピンドルステージ１１上において、２枚のディスク基板Ｄ１，Ｄ２は、各々のセンター孔Ｃと基準ピン１１ｂとの嵌合による整列作用で、精度良く重ね合わされる。
【００３０】
次に、図２Ｃに示すように、スピンドルステージ１１を駆動し、２枚のディスク基板Ｄ１，Ｄ２を回転軸心１１ａのまわりに高速回転（例えば５０００ｒｐｍ）させることにより、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間に挟まれた未硬化の接着剤１２を遠心力でディスク外周側へ広げ、接着剤１２をディスク間に展開させる。このとき、接着剤１２の余剰分は、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２の間から径外方側へ振り切られる。
【００３１】
続いて、本発明に係る接着剤１２の硬化工程が行われる（図２Ｄ，Ｅ）。接着剤１２の硬化工程では、ディスク基板Ｄ２の上方位置から紫外線を照射して、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間に展開した接着剤１２を硬化反応させる。
【００３２】
そこで本実施の形態では、回転するスピンドルステージ１１上のディスク基板Ｄ１，Ｄ２に対し、スポット光源１４をディスク径方向に移動させ、ディスク内周側から外周側に向かって順に紫外線を照射することにより、ディスク内外周で接着剤１２の硬化タイミングをずらしながら全面を硬化させるようにしている（図２Ｄ，Ｅ）。
【００３３】
このように、ディスク内外周で紫外線の照射タイミングを異ならせることにより、ディスク内周側の接着剤１２から順次硬化し、硬化収縮による体積減少分が、量的に大なる外周側の接着剤１２で充当されることになる。その結果、接着剤がディスク全面で同時に硬化する場合に比べて、硬化収縮によるディスクの変形を小さく抑えることが可能となる。
【００３４】
また、紫外線の照射光源にスポット光源１４を用いているので、紫外線照射によるディスクの熱変形が局所的となり、ディスク全面への同時照射に比べて、ディスクの熱変形量を小さくできる。また、従来必要とされていた熱排気システムの設置も不要とすることができる。
【００３５】
更に、本実施の形態によれば、接着剤１２の吐出ノズル１３と紫外線ＵＶのスポット光源１４とをそれぞれ共通のアーム２０に設置したので、接着剤の塗布工程と硬化処理工程とを同一ステージ１１上で行うことが可能となり、これにより、未硬化の状態でＵＶステージに移塔することによる貼りズレを防止することができる。
【００３６】
ところで、上述した接着剤硬化処理工程において、スピンドルステージ１１（ディスク基板Ｄ１，Ｄ２）の回転数あるいは回転速度、スポット光源１４の移動速度および紫外線照射量がそれぞれ一定である場合、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２の内周側と外周側との周速度の相違により、各半径位置において、トラック方向（周方向）における単位長さ当たりの紫外線照射量に差が生じることになる。
【００３７】
これを回避するために、本実施の形態では、以下に挙げるような方法で、トラック方向における単位長さの当たりの紫外線照射量の一定化を図るようにしている。
【００３８】
第１の方法として、スピンドルステージ１１の回転数および紫外線照射量を一定としながら、ディスク内周側から外周側に向かうに従って、スポット光源１４の移動速度を変化させる。
【００３９】
この例では、ディスク外周側の方が内周側よりも周速度が大きいことから、ディスク内周側から外周側に向かうに従ってスポット光源１４の移動速度が次第に速くなるように、移動制御部１９によって、移動機構１５の直動駆動源２１を制御することにより、各半径位置における紫外線照射量の均一化を図るようにしている。この場合、コントローラ２２は、スピンドルステージ１１の回転数および紫外線照射量を一定とするべく、回転制御部１６およびＵＶ制御部１８に指令を送るとともに、スポット光源１４の移動位置（ディスク半径位置）に基づいて移動制御部１９によるアーム２０の移動速度制御を実行させる。
【００４０】
また、第２の方法として、紫外線照射量およびスポット光源の移動速度を一定としながら、スポット光源１４がディスク内周側から外周側に向かうに従って、スピンドルステージ１１の回転数を変化させる。
【００４１】
この例では、光源ユニット１４がディスク内周側から外周側へ向かうに従って、スピンドルステージ１１の回転数が次第に低くなるように、回転制御部１６によってスピンドルステージ１１の回転駆動を制御することにより、各半径位置における紫外線照射量の均一化を図るようにしている。この場合、コントローラ２２は、スポット光源１４の移動速度および紫外線照射量を一定とするべく、移動制御部１９およびＵＶ制御部１８に指令を送るとともに、スポット光源１４の移動位置（ディスク半径位置）を回転制御部１６へ逐次供給して、スピンドルステージ１１の回転数制御を実行させる。
【００４２】
そして、第３の方法としては、スピンドルステージ１１の回転数およびスポット光源１４の移動速度を一定としながら、光源ユニット１４がディスク内周側から外周側に向かうに従って、紫外線照射量（照射出力）を変化させる。
【００４３】
この例では、スポット光源１４がディスク内周側から外周側へ向かうに従って、スポット光源１４からの紫外線照射量が次第に高まるように、ＵＶ制御部１８によって紫外線照射量を制御することにより、各半径位置における紫外線照射量の均一化を図るようにしている。この場合、コントローラ２２は、スピンドルステージ１１の回転数およびスポット光源１４の移動速度を一定とするべく、回転制御部１６および移動制御部１９に指令を送るとともに、スポット光源１４の移動位置をＵＶ制御部１８へ逐次供給して、紫外線照射制御を実行させる。
【００４４】
以上のようにして、ディスク全面において接着剤１２に対する紫外線照射量の均一化を図れるので、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２の貼り合わせ品質を高めることができるようになり、信号特性に悪影響を与えない程度に変形が抑えられた信頼性の高い光ディスクＤを製造することができる。
【００４５】
一例を挙げると、従来のディスク全面に対する紫外線の同時照射にて製造した光ディスクでは、その面振れ量の一指標となる回転軸方向の最大加速度が約８ｍ／ｓ2であったのに対し、本実施の形態によれば、最大加速度を５ｍ／ｓ2以下にまで低減できたことが確認されている。これにより、例えば８倍速以上の高回転使用に耐え得るような機械特性（スキュー、加速度）を備えた光ディスクを得ることができるようになる。
【００４６】
なお、上述の各例を単独で行う場合に限らず、上述したスポット光源１４の移動速度制御、紫外線照射量制御およびスピンドルステージの回転数制御を任意に組み合わせて実行するようにしてもよい。
【００４７】
［第２の実施の形態］
続いて、本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００４８】
図３は、本発明の第２の実施の形態を示している。図において、上述の第１の実施の形態と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
【００４９】
本実施の形態では、２枚のディスク基板Ｄ１，Ｄ２間に展開させた紫外線硬化型接着剤１２の硬化工程を、上層のディスク基板Ｄ２に対して所定重量の重り部材２４を載せた状態で行うようにしている。
【００５０】
このように、ディスク基板Ｄ２の上に重り部材２４を載せた状態で接着剤１２の硬化処理を行うことにより、接着剤１２の硬化収縮や紫外線照射時に発生する熱によるディスクの変形を抑制できるとともに、接着剤１２の塗布厚差や、ディスク貼り合わせ工程前の成形あるいは成膜工程におけるディスク面内の内部応力や残留応力等に起因するディスクの反り等を矯正できるようになり、変形量の少ない信号特性に優れた良質の光ディスクＤを製造することが可能となる。
【００５１】
重り部材２４は、紫外線ＵＶの透過性があり、上述したようにディスクＤに生じ得る反りや変形を矯正あるいは阻止できる重量の材料で形成され、本実施の形態では、重量が約２００ｇの透明ガラス板が用いられている。そして、この重り部材２４の中心部に形成した孔２４ａにスピンドルステージ１１の基準ピン１１ｂを嵌合させ、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２と共に重り部材２４を回転させながら、上述の実施の形態と同様に、紫外線ＵＶのスポット光源１４をディスク内周側から外周側へ移動させて、接着剤１２をディスク内周側から硬化させるようにしている。
【００５２】
なお、この重り部材２４の形状を円形とすることにより、ディスク基板Ｄ１，Ｄ２に作用する圧力分布を均等化できる。重り部材の形状如何によっては、ディスク面内において所望の圧力分布を形成することも可能であるので、条件に応じて重り部材の形状を異ならせてもよい。
【００５３】
特に、この重り部材２４が熱線遮蔽機能を有する透明材料、例えば熱線反射ガラスを用いたり、重り部材２４の上面に熱線カットフィルタを設ける等すれば、紫外線照射時における発熱を低減できるようになるので、これにより、ディスク平坦性をより一層高めることができるようになる。
【００５４】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００５５】
例えば以上の各実施の形態では、紫外線ＵＶの照射源であるスポット光源１４をディスク内周側から外周側に向けて移動させるようにしたが、接着剤１２の硬化収縮によるディスクの変形を抑制できる限りにおいて、当該スポット光源１４をディスク外周側から内周側へ向けて移動させ、接着剤１２をディスク外周側から硬化させるようにしてもよい。
【００５６】
また、スポット光源１４は、紫外線ＵＶを連続的に照射する場合に限らず、パルス状に照射するようにしてもよい。この場合、発生パルスのデューティを可変として、ディスク半径位置における紫外線照射量の調整を行うようにすればよい。
【００５７】
また、以上の各実施の形態では、ＤＶＤ用途のディスク基板Ｄ１，Ｄ２の貼り合わせ工程について説明したが、ＤＶＤ以外の他の貼り合わせタイプの光ディスクの製造にも、本発明は適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第１の実施の形態による光ディスク製造装置１０の概略構成図である。
【図２】本実施の形態のディスク貼り合わせ方法を説明する工程断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態によるディスク貼り合わせ方法を説明する模式図である。
【図４】従来のディスク貼り合わせ方法を説明する工程断面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１０…光ディスク製造装置、１１…スピンドルステージ、１２…紫外線硬化型接着剤、１３…吐出ノズル、１４…スポット光源、１５…移動機構、１６…回転制御部、１７…吐出制御部、１８…ＵＶ制御部、１９…移動制御部、２０…アーム、２１…駆動源、２２…コントローラ、２４…重り部材、Ｄ…光ディスク、Ｄ１，Ｄ２…ディスク基板、ＵＶ…紫外線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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