(57)【要約】【課題】本発明が解決しようとする課題は、多孔性バッファ層を容易に形成して低コストで半導体エピタキシャル層を形成できる方法を提供する。【解決手段】単結晶ウェーハ上に単結晶物質から構成される単結晶バッファ層を形成するステップと、前記単結晶バッファ層上にマスク層を形成するステップと、レーザを利用してマスク層に前記単結晶バッファ層の表面が露出される複数のホールを形成するステップと、前記ホールを通じてエッチング液を供給して前記ホールの底に露出された前記単結晶バッファ層部分に所定深さのウェルを形成するステップと、前記マスク層を除去した後、前記単結晶バッファ層を熱処理して前記ウェルによって得られる空洞部を有する多孔性バッファ層を形成するステップと、前記多孔性バッファ層に結晶性物質層をエピタキシャル成長法によって形成するステップと、を含むエピタキシャルウェーハの製造方法である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶ウェーハ上に単結晶物質から構成される単結晶バッファ層を形成するステップと、
前記単結晶バッファ層上にマスク層を形成するステップと、
レーザを利用して前記マスク層に前記単結晶バッファ層の表面が露出される複数のホールを形成するステップと、
前記ホールを通じてエッチング液を供給して前記ホールの底に露出された前記単結晶バッファ層部分に所定深さのウェルを形成するステップと、
前記マスク層を除去した後、前記単結晶バッファ層を熱処理して前記ウェルによって得られる空洞部を有する多孔性バッファ層を形成するステップと、
前記多孔性バッファ層上に結晶性物質層をエピタキシャル成長法によって形成するステップと、を含むエピタキシャルウェーハの製造方法。
【請求項２】
前記結晶性物質層は、３族窒化物半導体から構成されることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記単結晶ウェーハは、Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＳｉＣ、ＧａＮおよびサファイアからなる群から選ばれるいずれか一種から構成されることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項４】
前記単結晶ウェーハは、サファイアから構成され、前記単結晶バッファ層および結晶性物質層は、ＧａＮから構成されることを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項５】
前記マスク層を構成する物質は、前記単結晶バッファ層に比べてエッチング率が低いことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項６】
前記結晶性物質層は、気相蒸着法を利用して形成することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項７】
前記気相蒸着法は、ＨＶＰＥ法、ＭＯＣＶＤ法、またはＭＢＥ法であることを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項８】
前記熱処理は、８５０℃以上の温度で行うことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項９】
前記マスク層は、フォトレジストで形成することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エピタキシャル成長半導体ウェーハ（エピタキシャルウェーハ）の製造方法に係り、特に、ＧａＮエピタキシャル成長を用いたエピタキシャルウェーハの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エピタキシャル成長によってエピタキシャル層が形成される基板は、エピタキシャル層との格子不整合および熱膨張係数の差によって撓みが発生し、そしてエピタキシャル層には、多くの結晶欠陥が発生する。したがって、このような問題の改善は、エピタキシャル成長による単結晶半導体物質の形成方法における課題である。
【０００３】
特許文献１は、内部応力を吸収する多孔性バッファ層を利用する技術を開示する。多孔性バッファ層は、ＳｉＣ基板に形成され、エピタキシャル層は、バッファ層上に形成される。バッファ層は、多孔性であるので、結晶不整合による応力を吸収する。
【特許文献１】米国特許６，５７９，３５９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の方法は、多孔性バッファ層をアノダイジングによって形成するので、導電性基板が利用されねばならず、したがって、基板材料の選定に制限がある。また、このような方法は、アノダイジングなどの複雑な工程を伴い、したがって、コストが高い。
【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、多孔性バッファ層を容易に形成して低コストで半導体エピタキシャル層を形成できる方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を達成するために、本発明によるエピタキシャルウェーハの製造方法は、単結晶ウェーハ上に単結晶物質から構成される単結晶バッファ層を形成するステップと、前記単結晶バッファ層上にマスク層を形成するステップと、レーザを利用して前記マスク層に前記単結晶バッファ層の表面が露出される複数のホールを形成するステップと、前記ホールを通じてエッチング液を供給して前記ホールの底に露出された前記単結晶バッファ層部分に所定深さのウェルを形成するステップと、前記マスク層を除去した後、前記単結晶バッファ層を熱処理して前記ウェルによって得られる空洞部を有する多孔性バッファ層を形成するステップと、前記多孔性バッファ層上に結晶性物質層をエピタキシャル成長法によって形成するステップと、を含む。
【０００７】
前記本発明において、前記結晶性物質層は、３族窒化物半導体から構成されることが好ましい。
【０００８】
また、前記単結晶ウェーハは、Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＳｉＣ、ＧａＮおよびサファイアからなる群から選ばれるいずれか一種であることが好ましく、更に好ましくは、前記ウェーハは、サファイアから構成され、前記バッファ層と結晶性物質層とは、同種の物質、具体的にはＧａＮであることが好ましい。
【０００９】
本発明の他の実施形態によれば、前記マスク層は、フォトレジストで形成される。
【００１０】
前記単結晶層の形成方法は、好ましくは、気相蒸着法であり、具体的には、ＨＶＰＥ（Ｈａｌｉｄｅ  ｏｒ  Ｈｙｄｒｉｄｅ  Ｖａｐｏｒ  Ｐｈａｓｅ  Ｅｐｉｔａｘｙ）法、ＭＯＣＶＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、またはＭＢＥ（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｂｅａｍ  Ｅｐｉｔａｘｙ）法であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、単結晶ウェーハにエッチングによる多孔性バッファ層を有する結晶性物質層を形成し、特に、ウェーハに多孔性バッファ層を有する結晶性物質層を形成するためにマスク層を形成する。このような本発明は、エッチングおよび熱処理によって多孔性バッファ層を形成し、したがって、基板材料の選定幅が広い。
【００１２】
本発明によれば、結晶成長基板の結晶欠陥密度、応力、撓みおよびクラックが減少することによって、収率が高く、高品位のエピタキシャルウェーハが得られる。また、前記のような物理的特性の向上によって、さらに大きい直径のエピタキシャルウェーハの製造が可能である。
【００１３】
このような本発明は、単結晶半導体ウェーハ、例えば、ＧａＮのような３族窒化物半導体ウェーハの製造に適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付された図面を参照しつつ、本発明の実施形態によるエピタキシャルウェーハの製造方法を詳細に説明する。
【００１５】
まず、準備した単結晶ウェーハ上に、単結晶物質から構成される単結晶バッファ層を形成する。本発明では、単結晶ウェーハは、Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＳｉＣ、ＧａＮおよびサファイアからなる群から選ばれるいずれか１種であることが好ましい。また、前記単結晶バッファ層は、例えば３族窒化物半導体を用いて形成され、好ましくは、ＧａＮ結晶が用いられる。また、前記単結晶バッファ層は、同種の積層（例えば、ＧａＮウェーハ上にＧａＮ結晶層を成長）により、または異種の積層（例えば、サファイアウェーハ上にＧａＮ結晶層を成長）により形成することができる。
【００１６】
具体的には、図１に示すように、ＧａＮの単結晶バッファ層２を形成するために、ＨＶＰＥの反応器内にサファイアウェーハ１を装着した後、反応器の内部温度を成長温度の約１０５０℃まで上げる。次いで、ＧａＣｌとＮＨ３、すなわち、３族と４族とを１：２０の割合（体積比）で、Ｎ２ガスと混合して、約３分間反応器の内部に流して、サファイアウェーハ１上に厚さ２〜３μｍであるＧａＮ結晶層、すなわち、単結晶バッファ層２を成長させる。この後、反応器を常温まで冷却させ、単結晶バッファ層２が形成されたサファイアウェーハ１を反応器から取り出す。
【００１７】
図２に示すように、前記バッファ層２上にマスク層３を形成する。マスク層は、スピンコーティングによってフォトレジストで形成することが好ましい。
【００１８】
図３に示すように、ガルバノメータを備えた紫外線（ＵＶ）装置を利用して、前記フォトレジストによるマスク層３に複数のホール３ａを形成する。このとき、ホール３ａの直径は、数十ｎｍのサイズを有するように調節する。
【００１９】
図４に示すように、エッチングによって前記バッファ層２の上部に所定深さのウェル２ａを形成する。このようなウェル２ａを形成するために、ＧａＮバッファ層２に比べてマスク層３に対するエッチング率が低いエッチング液を利用する。したがって、エッチングする過程でマスク層３に覆われていないバッファ層２の部分が早くエッチングされる。このようなエッチングがウェル２ａの直径および深さが数十ｎｍとなるようにエッチングを進行させる。
【００２０】
図５に示すように、ウェル２ａを形成した後、マスク層３を剥がす。その後、前記バッファ層２を急速熱処理（ＲＴＡ：Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）する。例えば、サファイアウェーハ１をＮＨ３雰囲気のファーネスに装入した状態で８５０℃以上の温度条件下でアニーリングする。このような熱処理によれば、バッファ層２の表面に形成された前記ウェル２ａは、ほとんど閉鎖され、これによって、バッファ層２に埋め込まれた空洞部２ａ’が得られ、したがって、バッファ層２の表面が平坦に形成され、多孔性バッファ層４が形成される。
【００２１】
図６に示すように、前記バッファ層２上に一般的なエピタキシャル成長法によって所望の結晶性物質層５を形成する。前記結晶性物質層５は、下部のバッファ層２と同種または異種でありうる。好ましくは、例えば、３族窒化物半導体物質としてＧａＮ結晶層５を前記ＧａＮ層２上に形成するために、前記サファイアウェーハ１をＨＶＰＥ反応器内に装着した後、ＨＣｌをＧａと反応させてＧａＣｌを形成させ、ＧａＣｌおよびＮＨ３ガスを反応させることによって、ＧａＮ層２の表面に数μｍの厚さのＧａＮ結晶性物質層５を成長させる。結晶成長時、水平方向の結晶成長速度が垂直方向の結晶成長速度よりも速くなるように条件を調節する。
【００２２】
結晶成長が完了すれば、ＨＶＰＥ反応器を常温まで冷却させた後、ＧａＮ結晶性物質層５が成長したサファイアウェーハ１を反応器から取り出す。
【００２３】
前記のような方法によって得たＧａＮ結晶性物質層を実際に観察した結果、欠陥密度は、既存の５×１０９／ｃｍ２から約５×１０７／ｃｍ２に低下し、そして、既存の方法によって得られたＧａＮ層に存在するストレインストレスも約１／５に低下した。
【００２４】
前記のような過程を経たウェーハに直接光素子を製作してもよい。また、フリースタンディングＧａＮウェーハを得るために、前記サファイア基板１を再びＨＶＰＥ反応器に装着した後、既に得られたＧａＮ結晶性物質層４上に３００μｍ以上の厚さにＧａＮ結晶性物質層をさらに成長させてもよい。この後、一般的に知られたレーザリフトオフによってサファイアウェーハを除去すると、欠陥密度が約５×１０５／ｃｍ２の高品質のフリースタンディングＧａＮウェーハが得られる。
【００２５】
図面に示された実施形態を参考として本発明を説明したが、これは、例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これから多様な変形および均等な他の実施形態が可能であるということが分かる。したがって、本発明の技術範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決定されねばならない。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明は、半導体ウェーハの製造に関連した技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明によるエピタキシャルウェーハの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図２】本発明によるエピタキシャルウェーハの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図３】本発明によるエピタキシャルウェーハの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図４】本発明によるエピタキシャルウェーハの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図５】本発明によるエピタキシャルウェーハの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図６】本発明によるエピタキシャルウェーハの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【符号の説明】
【００２８】
１    サファイアウェーハ、
２    単結晶バッファ層、
２ａ    ウェル、
２ａ’    空洞部、
３    マスク層、
３ａ    ホール、
４    多孔性バッファ層、
５    結晶性物質層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006203196.tif 000007
【図６】
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