(57)【要約】【課題】光透過性の第１の板状体における第１の位置合わせマークと、第２の板状体における第２の位置合わせマークとの画像を確実に撮像することができ、よって、両者を確実に位置合わせして第１の板状体と第２の板状体とを高精度に接合固定することができる接合装置および接合方法を提供すること。【解決手段】接合装置１は、第１の位置合わせマーク８２を有する第１の板状体８と、第２の位置合わせマーク９２を有する第２の板状体９とを間隙１０１を介して接合固定するものである。この接合装置１は、第１の板状体８と第２の板状体９とを相対的に変位させる変位手段と、第１の板状体８側から第１の位置合わせマーク８２および第２の位置合わせマーク９２の画像を撮像する撮像手段５とを備え、各マークの画像が一致するように、変位手段の作動により第１の板状体８と第２の板状体９とを変位させて、両板状体を固定するよう構成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の位置合わせマークを有する、光透過性の第１の板状体と、前記第１の位置合わせマークに対応する第２の位置合わせマークを有する、第２の板状体とを間隙を介して接合固定する接合装置であって、
前記第１の板状体と前記第２の板状体とを相対的に変位させる変位手段と、
前記第１の板状体側から前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの画像を撮像する撮像手段とを備え、
前記撮像手段により撮像された前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの画像が一致するように、前記変位手段の作動により前記第１の板状体と前記第２の板状体とを変位させて、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを固定するよう構成されていることを特徴とする接合装置。
【請求項２】
前記第１の板状体を載置する載置部を有する搬送テーブルを備える請求項１に記載の接合装置。
【請求項３】
前記載置部は、前記第１の板状体を載置したときに前記第１の位置合わせマークが位置する部分が、光透過性を有する部材で構成されている請求項２に記載の接合装置。
【請求項４】
前記撮像手段は、前記搬送テーブルの下方に位置している請求項２または３に記載の接合装置。
【請求項５】
前記第１の板状体と前記第２の板状体との固定は、光硬化性接着剤により行なわれ、
前記第１の板状体側に設置された光照射手段を作動させて光を照射することにより、前記光硬化性接着剤を硬化させて、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを固定する請求項１ないし４のいずれかに記載の接合装置。
【請求項６】
前記光は、紫外線である請求項５に記載の接合装置。
【請求項７】
前記第１の板状体の前記第２の板状体側の面には、前記第１の位置合わせマークとしての付着物が設けられている請求項１ないし６のいずれかに記載の接合装置。
【請求項８】
前記第２の板状体の前記第１の板状体側の面には、前記第２の位置合わせマークとしての凹部が設けられている請求項１ないし７のいずれかに記載の接合装置。
【請求項９】
前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークは、一方が他方を包含するような大きさおよび形状をなしている請求項１ないし８のいずれかに記載の接合装置。
【請求項１０】
前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの一方が他方を包含するとき、前記第１の板状体と前記第２の板状体との位置決めが行なわれたと判断する請求項９に記載の接合装置。
【請求項１１】
前記間隙は、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを変位させるとき、前記第１の位置合わせマークと前記第２の位置合わせマークとが非接触となる程度の大きさである請求項１０に記載の接合装置。
【請求項１２】
第１の位置合わせマークを有する、光透過性の第１の板状体と、前記第１の位置合わせマークに対応する第２の位置合わせマークを有する、第２の板状体とを間隙を介して接合固定する接合方法であって、
前記第１の板状体側から前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの画像を撮像し、撮像された前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの画像が一致するように、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを変位させて、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを固定することを特徴とする接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１の位置合わせマークを有する、光透過性の第１の板状体と、前記第１の位置合わせマークに対応する第２の位置合わせマークを有する、光不透過性の第２の板状体とを間隙を介して接合固定する接合装置および接合方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置の表示部（基板）に発光層を選択的に蒸着するときには、一般的に、蒸着用マスクが用いられている。蒸着用マスクは、ガラス基板と、当該ガラス基板に配列された複数のシリコンチップとを備えている。
この蒸着用マスクでは、ガラス基板と、各シリコンチップとを高精度に位置決めして接合固定する必要があり、ガラス基板および各シリコンチップには、位置決め用マーク（位置合わせマーク）が設けられている。ガラス基板の位置決め用マーク（以下、このマークを「第１のマーク」という）は、当該ガラス基板に付着した付着物で構成されている。また、各シリコンチップの位置決め用マーク（以下、このマークを「第２のマーク」という）は、当該シリコンチップを貫通する貫通孔で構成されている。
【０００３】
従来、このような構成の蒸着用マスクを製造する製造装置では、シリコンチップ側に第１のマークおよび第２のマークの画像を撮像する撮像手段が設けられていた（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、この製造装置では、第２のマークを介して第１のマークを撮像するため、第１のマークおよび第２のマークのそれぞれに対する焦点（ピント）が合わないという問題が生じる場合があった。このため、ガラス基板と、各シリコンチップとを高精度に位置決めするのが困難となっていた。
また、前述したように第２のマークを介して第１のマークを撮像するため、第１のマークと第２のマークとが大きく位置ズレしている場合には、第１のマークがシリコンチップの陰に隠れてしまい、撮像手段が第１のマークを撮像するのが困難となっていた。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３０８４７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、光透過性の第１の板状体における第１の位置合わせマークと、光不透過性の第２の板状体における第２の位置合わせマークとの画像を確実に撮像することができ、よって、両者を確実に位置合わせして第１の板状体と第２の板状体とを高精度に接合固定することができる接合装置および接合方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の接合装置は、第１の位置合わせマークを有する、光透過性の第１の板状体と、前記第１の位置合わせマークに対応する第２の位置合わせマークを有する、第２の板状体とを間隙を介して接合固定する接合装置であって、
前記第１の板状体と前記第２の板状体とを相対的に変位させる変位手段と、
前記第１の板状体側から前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの画像を撮像する撮像手段とを備え、
前記撮像手段により撮像された前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの画像が一致するように、前記変位手段の作動により前記第１の板状体と前記第２の板状体とを変位させて、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを固定するよう構成されていることを特徴とする。
これにより、光透過性の第１の板状体における第１の位置合わせマークと、光不透過性の第２の板状体における第２の位置合わせマークとの画像を確実に撮像することができ、よって、両者を確実に位置合わせして第１の板状体と第２の板状体とを高精度に接合固定することができる。
【０００７】
本発明の接合装置では、前記第１の板状体を載置する載置部を有する搬送テーブルを備えることが好ましい。
これにより、第１の板状体を確実に搬送することができる。
本発明の接合装置では、前記載置部は、前記第１の板状体を載置したときに前記第１の位置合わせマークが位置する部分が、光透過性を有する部材で構成されていることが好ましい。
これにより、載置部を介して、第１の位置合わせマークおよび第２の位置合わせマークの画像を撮像することができる。
【０００８】
本発明の接合装置では、前記撮像手段は、前記搬送テーブルの下方に位置していることが好ましい。
これにより、載置部を介して、第１の位置合わせマークおよび第２の位置合わせマークの画像を撮像することができる。
本発明の接合装置では、前記第１の板状体と前記第２の板状体との固定は、光硬化性接着剤により行なわれ、
前記第１の板状体側に設置された光照射手段を作動させて光を照射することにより、前記光硬化性接着剤を硬化させて、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを固定することが好ましい。
これにより、光硬化性接着剤を確実に硬化させることができ、よって、第１の板状体と第２の板状体とを確実に固定することができる。
【０００９】
本発明の接合装置では、前記光は、紫外線であることが好ましい。
これにより、光硬化性接着剤を確実に硬化させることができ、よって、第１の板状体と第２の板状体とを確実に固定することができる。
本発明の接合装置では、前記第１の板状体の前記第２の板状体側の面には、前記第１の位置合わせマークとしての付着物が設けられていることが好ましい。
これにより、第１の板状体を傷つけることが防止されるとともに、第１の位置合わせマークを第１の板状体に容易に設けることができる。
【００１０】
本発明の接合装置では、前記第２の板状体の前記第１の板状体側の面には、前記第２の位置合わせマークとしての凹部が設けられていることが好ましい。
これにより、例えば第２の位置合わせマークを第２の板状体を貫通する貫通孔で構成した場合よりも、第２の板状体の強度が低下するのを防止することができる。
本発明の接合装置では、前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークは、一方が他方を包含するような大きさおよび形状をなしていることが好ましい。
これにより、光透過性の第１の板状体における第１の位置合わせマークと、光不透過性の第２の板状体における第２の位置合わせマークとの画像をより確実に位置合わせして第１の板状体と第２の板状体とをより高精度に接合固定することができる。
【００１１】
本発明の接合装置では、前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの一方が他方を包含するとき、前記第１の板状体と前記第２の板状体との位置決めが行なわれたと判断することが好ましい。
これにより、光透過性の第１の板状体における第１の位置合わせマークと、光不透過性の第２の板状体における第２の位置合わせマークとの画像をより確実に位置合わせして第１の板状体と第２の板状体とをより高精度に接合固定することができる。
【００１２】
本発明の接合装置では、前記間隙は、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを変位させるとき、前記第１の位置合わせマークと前記第２の位置合わせマークとが非接触となる程度の大きさであることが好ましい。
これにより、第１の板状体および第２の板状体の一方に対して他方を円滑に（スムーズに）変位させることができる。
【００１３】
本発明の接合方法は、第１の位置合わせマークを有する、光透過性の第１の板状体と、前記第１の位置合わせマークに対応する第２の位置合わせマークを有する、第２の板状体とを間隙を介して接合固定する接合方法であって、
前記第１の板状体側から前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの画像を撮像し、撮像された前記第１の位置合わせマークおよび前記第２の位置合わせマークの画像が一致するように、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを変位させて、前記第１の板状体と前記第２の板状体とを固定することを特徴とする。
これにより、光透過性の第１の板状体における第１の位置合わせマークと、光不透過性の第２の板状体における第２の位置合わせマークとの画像を確実に撮像することができ、よって、両者を確実に位置合わせして第１の板状体と第２の板状体とを高精度に接合固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の接合装置および接合方法について、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の接合装置を示す斜視図、図２は、図１に示す接合装置の主要部のブロック図、図３は、図１に示す接合装置が有する搬送テーブル付近の斜視図、図４は、図１に示す接合装置が有する撮像手段付近の斜視図、図５は、図１に示す接合装置が有するヘッド部付近の側面図、図６は、図１に示す接合装置が有する撮像手段が撮像した画像を示す図である。なお、以下では、説明の都合上、図１、図３〜図５中、上下方向（鉛直方向）をｚ軸方向といい、ｚ軸方向に垂直な方向かつ左右方向をｙ軸方向といい、ｙ軸方向およびｚ軸方向のそれぞれに対し垂直な方向をｘ軸方向という。また、図１、図３〜図５中、上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」ということがある。
ここでは、本発明の接合装置（貼り合わせ装置）１により、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の表示部（基板）に発光層を選択的に蒸着するとき用いられる蒸着用マスク１０を製造する場合を一例に挙げて説明する。
【００１５】
まず、接合装置１についての説明に先立って、接合装置１により製造される蒸着用マスク１０について説明する。
図５に示すように、蒸着用マスク１０は、第１の板状体８と、第１の板状体８に配列された複数の第２の板状体９とが、間隙１０１を介して接合固定されたものである。
第１の板状体８は、光透過性を有するものである。
【００１６】
また、第１の板状体８の第２の板状体９側の面、すなわち、上面８１には、付着物で構成された第１の位置合わせマーク８２が複数付着している。第１の位置合わせマーク８２が付着物で構成されていることにより、第１の板状体８を傷つけることが防止されるとともに、第１の位置合わせマーク８２を第１の板状体８に容易に設けることができる。
第１の位置合わせマーク８２は、第２の板状体９が設けられる位置に、それぞれ、２つ設けられている。各第１の位置合わせマーク８２は、平面視で円形をなしている（図６参照）。
【００１７】
各第２の板状体９は、光不透過性の小片（チップ）で構成されたものである。
また、第２の板状体９の第１の板状体８側の面、すなわち、下面９１には、各第１の位置合わせマーク８２に対応する第２の位置合わせマーク９２が設けられている。この第２の位置合わせマーク９２は、下面９１に設けられた凹部で構成されおり、平面視で菱形をなしている（図５、図６参照）。
このように第２の位置合わせマーク９２が凹部で構成されていることにより、例えば第２の位置合わせマーク９２を第２の板状体９を貫通する貫通孔で構成した場合よりも、第２の板状体９の強度が低下するのを防止することができる。
【００１８】
図６に示すように、第２の位置合わせマーク９２は、第１の位置合わせマーク８２を包含するような大きさとなっている。
また、各第２板状体９は、第１の板状体８に固定されており、その固定方法は、光硬化性接着剤（以下、単に「接着剤」という）１１による接着である。未硬化状態の接着剤１１は、接合装置１により各第２板状体９を第１の板状体８に接合固定するとき、各第２板状体９の縁部付近に位置するように、第１の板状体８に予め塗布されている。
【００１９】
なお、第１の板状体８の構成材料としては、透明であれば、すなわち、光透過性を有していれば、特に限定されないが、例えば、ガラス、石英、プラスチック材料を用いることができる。
また、第２の板状体９の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、シリコン、金属材料、プラスチック材料を用いることができ、また、光不透過性を有する材料であってもよい。
【００２０】
次に、接合装置１について説明する。
図１〜図４に示すように、接合装置１は、搬送テーブル（ｘｙテーブル）２と、搬送テーブル２をｘ軸方向に移動させるｘ軸方向移動手段（変位手段）３１と、搬送テーブル２をｙ軸方向に移動させるｙ軸方向移動手段（変位手段）３２と、第２の板状体９を保持（吸着）するヘッド部（保持手段）４と、ヘッド部４をｚ軸方向に移動するｚ軸方向移動手段（変位手段）３３と、ヘッド部４をｚ軸回りに回転させる回転手段（変位手段）３４と、第１の位置合わせマーク８２および第２の位置合わせマーク９２の画像を撮像する撮像手段５と、撮像された画像を処理する画像処理手段６と、光を照射する光照射手段７と、制御手段２０とを備えている。
【００２１】
以下、接合装置１の各部の構成について説明する。
搬送テーブル２は、接合装置１内に水平に設置されたものである。
この搬送テーブル２は、第１の板状体８を載置する第１の載置部（載置部）２１と、複数の第２の板状体９が収納されたトレイ（治具）３０を載置する第２の載置部２２と、開口部２３とを有している。
【００２２】
第１の載置部２１は、光透過性を有する部材で構成されており、搬送テーブル２のほぼ中央部に設けられている。なお、第１の載置部２１の構成材料としては、例えば、石英ガラス等のようなガラスや各種樹脂材料を用いることができる。
第２の載置部２２は、第１の載置部２１のｘ軸正方向に設けられている。
開口部２３は、第２の載置部２２のｙ軸正方向に設けられている。
【００２３】
搬送テーブル２の下方には、搬送テーブル２をｙ軸方向に移動させるｙ軸方向移動手段３２が設けられている。
図３に示すように、ｙ軸方向移動手段３２は、互いに平行に設けられた２つのリニアガイド３２１と、ボールネジ３２２と、モータ３２３とを有している。このようなｙ軸方向移動手段３２は、モータ３２３が駆動することにより、ボールネジ３２２が回転して、搬送テーブル２とともに第１の板状体８やトレイ３０が各リニアガイド３２１に沿って移動するよう構成されている。
【００２４】
また、ｙ軸方向移動手段３２の下方には、搬送テーブル２をｘ軸方向に移動させるｘ軸方向移動手段３１が設けられている。
図３に示すように、ｘ軸方向移動手段３１は、互いに平行に設けられた２つのリニアガイド３１１と、ボールネジ３１２と、モータ３１３とを有している。このようなｘ軸方向移動手段３１は、モータ３１３が駆動することにより、ボールネジ３１２が回転して、搬送テーブル２とともに第１の板状体８やトレイ３０が各リニアガイド３１１に沿って移動するよう構成されている。
【００２５】
また、搬送テーブル２のさらに下方、すなわち、ｙ軸方向移動手段３２の下方には、２つの撮像手段５が固定的に設置されて（固定されて）いる。これにより、図５に示すように、下側（第１の板状体８側）から、第１の載置部２１および第１の板状体８を介して、第１の位置合わせマーク８２および第２の位置合わせマーク９２の画像を撮像することができる。
【００２６】
図５に示すように、各撮像手段５は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ５１と、ＣＣＤカメラ５１の上方に位置する顕微鏡５２とを有している。
図４および図５に示すように、２つの撮像手段５の間には、光照射手段７が固定的に設置されている。この光照射手段７の作動により、第１の板状体８と第２の板状体９との間に設けられた接着剤１１に向けて、すなわち、下側から光が照射される。また、照射される光は、紫外線である。
このような光照射手段７により、接着剤１１を確実に硬化させることができ、よって、第１の板状体８に各第２の板状体９を確実に固定することができる。
【００２７】
また、光照射手段７の上方には、照射された光（紫外線）を集光するレンズ部を設けてもよい。これにより、接着剤１１に対して光を効率よく当てることができる。
撮像手段５および光照射手段７の上方には、ヘッド部４が設けられている。このヘッド部４は、搬送テーブル２を跨ぐように設けられたフレーム４０に固定されている。
図５に示すように、ヘッド部４は、第２の板状体９を吸着する吸着部４１を有している。吸着部４１は、例えば、エジェクタや真空ポンプに接続されている。
【００２８】
ヘッド部４の上方には、ヘッド部４をｚ軸回りに回転させる回転手段３４が設けられている。回転手段３４は、例えば、ロータリーエンコーダが設けられたモータで構成することができる。
また、ヘッド部４のさらに上方、すなわち、回転手段３４の上方には、ヘッド部４をｚ軸方向に移動させるｚ軸方向移動手段３３が設けられている。ｚ軸方向移動手段３３は、例えば、ｘ軸方向移動手段３１やｙ軸方向移動手段３２の構成とほぼ同様の構成、すなわち、リニアガイドと、ボールネジと、モータとを有する構成とすることができる。
画像処理手段６は、撮像手段５により撮像された画像を二値化処理して、濃淡画像として認識するよう構成されている（図６参照）。
【００２９】
図２に示すように、制御手段２０は、接合装置１の前述した各部位（各手段）をそれぞれ制御する。この制御手段２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２０１と、記憶部（記憶手段）２０２とを有している。記憶部２０２は、ＣＰＵ２０１に読み取り可能な記憶媒体（記録媒体）を有しており、この記憶媒体は、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリ等で構成されている。
【００３０】
次に、このような構成の接合装置１を用いて、第１の板状体８と第２の板状体９とを接合固定して蒸着用マスク１０を製造する工程（過程）について、図１、図５および図６に基づいて、説明する。
［１］まず、搬送テーブル２の第１の載置部２１に第１の板状体８を載置して、固定する。この固定方法としては、特に限定されないが、例えば、エジェクタや真空ポンプ等の吸着による固定、トグルクランプによる固定が挙げられる。
また、第２の載置部２２に、複数の第２の板状体９が収納されたトレイ３０を載置して、固定する。この固定方法としては、特に限定されないが、例えば、エジェクタや真空ポンプ等の吸着による固定、トグルクランプによる固定が挙げられる。
【００３１】
［２］次に、ｘ軸方向移動手段３１およびｙ軸方向移動手段３２の作動により、搬送テーブル２が移動して、第１の板状体８の各第１の位置合わせマーク８２が各撮像手段５（ＣＣＤカメラ５１）の上方に位置する。この状態で、各撮像手段５は、当該撮像手段５の上方の第１の位置合わせマーク８２の画像を撮像する。撮像された各画像は、画像処理手段６の作動によって二値化処理され、これに基づいて、中心が検出される。これにより、撮像手段５、すなわち、ヘッド部４の吸着部４１の中心に対する、第１の板状体８の位置ズレに関する情報が得られる。この情報は、制御手段２０の記憶部２０２に記憶される。
【００３２】
［３］次に、再度、ｘ軸方向移動手段３１およびｙ軸方向移動手段３２の作動により、搬送テーブル２が移動して、トレイ３０の所定の第２の板状体９が、吸着部４１の下方に位置する。この状態で、ｚ軸方向移動手段３３の作動により、ヘッド部４（吸着部４１）がｚ軸負方向に移動する。その後、吸着部４１が前記所定の第２の板状体９を吸着する。
［４］次に、再度、ｚ軸方向移動手段３３の作動により、吸着部４１が第２の板状体９を吸着した状態のヘッド部４がｚ軸正方向に移動する。
【００３３】
［５］次に、ｘ軸方向移動手段３１およびｙ軸方向移動手段３２の作動により、搬送テーブル２が移動して、搬送テーブル２の開口部２３が、撮像手段５の上方に位置する。この状態で、各撮像手段５は、開口部２３を介して、当該撮像手段５の上方に位置する第２の板状体９の第２の位置合わせマーク９２の画像を撮像する。撮像された各画像は、画像処理手段６の作動によって二値化処理され、これに基づいて、中心が検出される。これにより、撮像手段５、すなわち、ヘッド部４の吸着部４１の中心に対する第２の板状体９の位置ズレに関する情報が得られる。この情報は、制御手段２０の記憶部２０２に記憶される。
また、この第２の板状体９の位置ズレに関する情報と、先に得られた第１の板状体８の位置ズレに関する情報とを比較して、第１の板状体８に対する第２の板状体９のｚ軸回りのズレを補正する（相殺する）よう、回転手段３４が作動する。
【００３４】
［６］次に、記憶部２０２に記憶された第１の板状体８の位置ズレに関する情報に基づき、ｘ軸方向移動手段３１およびｙ軸方向移動手段３２の作動により、第１の板状体８は、前記［２］工程の第１の板状体８と同等の位置に移動する。その後、ｚ軸方向移動手段３３の作動により、吸着部４１が第２の板状体９を吸着した状態のヘッド部４がｚ軸負方向に移動する。これにより、図５に示す状態、すなわち、第１の板状体８と第２の板状体９とが近接した状態となる。
【００３５】
［７］次に、各撮像手段５は、当該撮像手段５に対応する、第１の位置合わせマーク８２および第２の位置合わせマーク９２の画像８２１および９２１を撮像する（図６（ａ）参照）。図６（ａ）に示す状態、すなわち、画像８２１と画像９２１とがズレている場合には、画像８２１と画像９２１とが一致するように、ｘ軸方向移動手段３１およびｙ軸方向移動手段３２の作動により、第２の板状体９に対して第１の板状体８を移動させる、すなわち、第１の板状体８と第２の板状体９との位置決めを行なう（図６（ｂ）参照）。なお、この位置決め（位置合わせ）は、例えば、公知のＣＣＤカメラによる位置決め処理（手段）を用いることができる。
また、第１の板状体８と第２の板状体９との位置決めが行なわれたか否かの判断は、図６（ｂ）の状態となるか否か、すなわち、画像９２１（第２の位置合わせマーク９２）が画像８２１（第１の位置合わせマーク８２）を包含するか否かに基づいて行なわれる。また、この位置合わせは、画像８２１の中心と画像９２１とがほぼ一致するのが好ましい。
【００３６】
［８］位置決めが行われた後、光照射手段７を作動させて、第１の板状体８と第２の板状体９とを固定する。
［９］次に、吸着部４１の吸着状態を開放（ブレーク）して、ｚ軸方向移動手段３３の作動により、ヘッド部４がｚ軸正方向に移動する。
［１０］第１の板状体８に所定数の第２の板状体９が固定されるまで、前記［２］工程以降を繰り返す。その後、接合装置１から第１の板状体８を取り外し、蒸着用マスク１０を得る。
【００３７】
以上のような工程を経ることにより、第１の位置合わせマーク８２の画像８２１と、第２の位置合わせマーク９２の画像９２１とを確実に撮像することができ、よって、両者を確実に位置合わせして第１の板状体８と第２の板状体９とを高精度に接合固定することができる。また、これにより、蒸着用マスク１０を得ることができる。
なお、間隙１０１は、前記［７］工程で第２の板状体９に対して第１の板状体８を移動させるとき、第１の位置合わせマーク８２と第２の位置合わせマーク９２とが非接触となる程度の大きさであるのが好ましい。これにより、第１の板状体８を円滑に（スムーズに）移動させることができる。
【００３８】
また、前記［７］工程の位置決め処理は、光照射手段７を作動しつつ、行なってもよい。
また、前記［６］工程で、吸着部４１が第２の板状体９を吸着した状態のヘッド部４をｚ軸負方向に移動させつつ、前記［７］工程とほぼ同様の位置決め処理を行なってもよい。
【００３９】
以上、本発明の接合装置および接合方法を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、接合装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、接合装置１を用いて製造されるものは、蒸着用マスクであるのに限定されず、例えば、プラスチックで構成された基板に金属片を接合固定したもの、プラスチックで構成されたシート状体にフレキシブル・プリント・サーキット（ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit））を接合固定したものであってもよい。
【００４０】
また、第１の位置合わせマークは、円形をなしているのに限定されず、例えば、三角形、菱形や平行四辺形等のような四角形、六角形をなしていてもよい。
また、第２の位置合わせマークは、菱形をなしているのに限定されず、例えば、円形、三角形、長方形、正方形、六角形をなしていてもよい。
また、第２の位置合わせマークは、第２の板状体の下面に設けられた凹部で構成されているのに限定されず、例えば、第２の板状体を貫通する貫通孔で構成されていてもよい。
【００４１】
また、第２の位置合わせマークが第１の位置合わせマークを包含するような大きさとなっているが、これに限定されず、第１の位置合わせマークが第２の位置合わせマークと同等ないし包含するような大きさとなっていて、互いに重ならないように配置されていてもよい。
また、搬送テーブルの第１の載置部は、全体が光透過性を有する部材で構成されているのに限定されず、第１の板状体を載置したときに第１の位置合わせマークが位置する部分が、光透過性を有する部材で構成されていればよい。
また、撮像手段では、ＣＣＤカメラを用いて画像を撮像していたが、これに限定されず、例えば、赤外線カメラを用いて画像を撮像してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の接合装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示す接合装置の主要部のブロック図である。
【図３】図１に示す接合装置が有する搬送テーブル付近の斜視図である。
【図４】図１に示す接合装置が有する撮像手段付近の斜視図である。
【図５】図１に示す接合装置が有するヘッド部付近の側面図である。
【図６】図１に示す接合装置が有する撮像手段が撮像した画像を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１……接合装置（貼り合わせ装置）  ２……搬送テーブル（ｘｙテーブル）  ２１……第１の載置部（載置部）  ２２……第２の載置部  ２３……開口部  ３１……ｘ軸方向移動手段（変位手段）  ３１１……リニアガイド  ３１２……ボールネジ  ３１３……モータ  ３２……ｙ軸方向移動手段（変位手段）  ３２１……リニアガイド  ３２２……ボールネジ  ３２３……モータ  ３３……ｚ軸方向移動手段（変位手段）  ３４……回転手段（変位手段）  ４……ヘッド部（保持手段）  ４１……吸着部  ５……撮像手段  ５１……ＣＣＤカメラ  ５２……顕微鏡  ６……画像処理手段  ７……光照射手段  ８……第１の板状体  ８１……上面  ８２……第１の位置合わせマーク  ８２１……画像  ９……第２の板状体  ９１……下面  ９２……第２の位置合わせマーク  ９２１……画像  １０……蒸着用マスク  １０１……間隙  １１……光硬化性接着剤（接着剤）  ２０……制御手段  ２０１……ＣＰＵ  ２０２……記憶部（記憶手段）  ３０……トレイ（治具）  ４０……フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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