(57)【要約】【課題】  微小構造体を損傷することなく、安定して保持することのできる微小構造体の配置装置および配置方法を提供する。【解決手段】  本実施の形態の微小構造体の配置装置は、所定の位置に微小構造体を配置する配置装置であって、微小構造体を保持するための保持部２を備えている。保持部２および微小構造体のうち少なくともいずれか一方に塗布された液体３の表面張力もしくは粘着力により微小構造体を保持部２で保持し、液体３の表面張力もしくは粘着力に逆らう力を受けて所定の位置に微小構造体を配置する。【選択図】        図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の位置に微小構造体を配置する微小構造体の配置装置であって、
前記微小構造体を保持するための保持部を備え、
前記保持部および前記微小構造体のうち少なくともいずれか一方に塗布された液体の表面張力もしくは粘着力により前記微小構造体を前記保持部で保持し、前記液体の表面張力もしくは粘着力に逆らう力を受けて前記所定の位置に前記微小構造体を配置する、微小構造体の配置装置。
【請求項２】
前記保持部は、スポンジ、木材、竹、繊維、および毛からなる群より選ばれた少なくとも１種以上の物質よりなる、請求項１に記載の微小構造体の配置装置。
【請求項３】
前記液体を溜めるための液溜め部と、
前記液溜め部から前記保持部へ前記液体を供給するための供給管とをさらに備える、請求項１または２に記載の微小構造体の配置装置。
【請求項４】
前記保持部を加熱するための加熱部材をさらに備える、請求項１〜３のいずれかに記載の微小構造体の配置装置。
【請求項５】
前記液体は、アルコール、水、接着剤、ケトン、エステル、エーテル、グリコール、またはハロゲンからなる群より選ばれた少なくとも１種以上の物質を含む、請求項１〜４のいずれかに記載の微小構造体の配置装置。
【請求項６】
配置装置を用いて所定の位置に微小構造体を配置する微小構造体の配置方法であって、
前記配置装置の保持部および前記微小構造体のうち少なくともいずれか一方に液体を塗布する塗布工程と、
前記液体の表面張力もしくは粘着力により前記微小構造体を前記保持部に貼り付けることで、前記微小構造体を保持する保持工程と、
前記保持部を移動することにより前記微小構造体を搬送する搬送工程と、
前記液体の表面張力もしくは粘着力に逆らう力を加えることにより、前記所定の位置に前記微小構造体を配置する配置工程とを備える、微小構造体の配置方法。
【請求項７】
前記塗布工程は、前記保持部に前記液体を染み込ませることにより行われ、
前記保持工程は、前記保持部を前記微小構造体に押し付けることで、前記保持部に染み込んだ前記液体を前記微小構造体に塗布することにより行なわれる、請求項６に記載の微小構造体の配置方法。
【請求項８】
前記塗布工程は、前記配置装置内に設けられた液溜め部から前記保持部へ前記液体を供給することにより行なわれる、請求項６または７に記載の微小構造体の配置方法。
【請求項９】
前記配置工程において前記液体を加熱する、請求項６〜８のいずれかに記載の微小構造体の配置方法。
【請求項１０】
前記液体は、アルコール、水、接着剤、ケトン、エステル、エーテル、グリコール、またはハロゲンからなる群より選ばれた少なくとも１種以上の物質を含む、請求項６〜９のいずれかに記載の微小構造体の配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小構造体の配置装置および配置方法に関し、より特定的には、所定の位置に微小構造体を配置する微小構造体の配置装置および配置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、微小構造体の配置方法として様々なものが提案されてきた。たとえば特開平１１−３００６６２号公報（特許文献１）には、機械的に微小物を保持するマイクロ・ピンセットが開示されている。特許文献１のマイクロ・ピンセットは、第１および第２のアームと、第１もしくは第２のアームに設けられた力センサと、第１のアームもしくは第２のアームを駆動する駆動手段と、操作手段と、制御回路とを備えたマイクロ・ピンセットが開示されている。特許文献１のマイクロ・ピンセットでは、操作手段で操作者の操作量を出力し、操作手段からの操作量に基づき制御手段で駆動手段を制御する。そして、駆動手段で第１および第２のアームが駆動され、第１および第２のアームの間に微小物が保持される。また、微小物を保持すると、微小物を保持したことによりアームに加わる力が力センサで検出される。そして、力センサの検出信号に基づき制御手段において抵抗力を操作手段に出力し、操作手段で抵抗力を操作者に加える。
【０００３】
また、特開平５−３２９７３１号公報（特許文献２）、特開平５−２５１５４４号公報（特許文献３）、および特開２００１−９７４２号公報（特許文献４）には、被吸着物を真空吸着により保持する技術が開示されている。特許文献２の真空チャックでは、複数の弁室が設けられた真空室の上に吸着板が設けられ、吸着板に形成された複数の吸引孔の各々が複数の弁室の各々に接続されている。真空室が負圧にすることにより、吸着板上に載置された被保持体が複数の吸引孔を通じて吸引され、保持される。また、引用文献３の搬送装置では、真空吸引口と、真空吸引口を中心として同心円状に形成された複数の溝とを有する真空チャック部を備えたウェハー搬送チャックが開示されている。真空チャック部内における真空圧は、周辺部から中心部に向けて徐々に大きくなっている。さらに、特開２００１−９７４２号公報（特許文献４）に開示された微細部品吸引保持装置は、万年筆程度の太さで鉛筆程度の長さの筐体本体部と、筐体円錐状先端部とからなっている。筐体円錐状先端部に開口された微細貫通孔を流れる気流によってチップ電子パーツが微細貫通孔の外部開口部に吸引されて保持される。
【特許文献１】特開平１１−３００６６２号公報
【特許文献２】特開平５−３２９７３１号公報
【特許文献３】特開平５−２５１５４４号公報
【特許文献４】特開２００１−９７４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１〜４に開示された技術では、いずれも微小構造体を損傷することなく、安定して保持することはできなかった。
【０００５】
特許文献１に開示されたマイクロ・ピンセットでは、微小物を機械的に挟んで保持しているので、微小物を損傷するおそれがあった。微小物を保持するのに必要な力は非常に小さいので、微小物を損傷しないように保持力を制御することは難しかった。
【０００６】
特許文献２〜４に開示された技術では、吸引孔または真空吸引口が被吸着物によって塞がれないと被吸着物は保持されない。このため、複雑な形状の被吸着物を安定して保持することが難しかった。また、真空吸着では、被吸着物が局所的に大きな負荷を受けやすいので、被吸着物の運搬時およびピックダウン時に被吸着物を損傷するおそれがあった。これに加えて、特許文献２では、複数の吸引孔のうち被吸着物によって塞がれない吸引孔を通じて、保持する必要のない部材までもが保持されてしまうおそれがあった。また、特許文献３では、真空吸着口の周囲の溝にも吸着力が生じるので、この部分に吸着した被吸着物が離れにくくなるおそれがあった。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、微小構造体を損傷することなく、安定して保持することのできる微小構造体の配置装置および配置方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の微小構造体の配置装置は、所定の位置に微小構造体を配置する微小構造体の配置装置であって、微小構造体を保持するための保持部を備えている。保持部および微小構造体のうち少なくともいずれか一方に塗布された液体の表面張力もしくは粘着力により微小構造体を保持部で保持し、液体の表面張力もしくは粘着力に逆らう力を受けて所定の位置に微小構造体を配置する。
【０００９】
本発明の微小構造体の配置方法は、配置装置を用いて所定の位置に微小構造体を配置する微小構造体の配置方法であって、以下の工程を備えている。配置装置の保持部および微小構造体のうち少なくともいずれか一方に液体を塗布する。液体の表面張力もしくは粘着力により微小構造体を保持部に貼り付けることで、微小構造体を保持する。保持部を移動することにより微小構造体を搬送する。液体の表面張力もしくは粘着力に逆らう力を加えることにより、所定の位置に微小構造体を配置する。
【００１０】
本発明の微小構造体の配置装置および配置方法によれば、微小構造体の形状に対応して液体の形状が変化し、液体が微小構造体へ塗れ広がり、液体の表面張力もしくは粘着力で微小構造体を保持する。これによって、微小構造体の形状に関わらず安定して微小構造体を保持することができる。また、負荷をほとんど加えることなく微小構造体を保持することができるので、微小構造体を損傷することがない。さらに、微小構造体と液体との接触部は自由に移動することができるので、微小構造体の運搬時に外力を受けても、微小構造体には負荷がかかりにくく、微小構造体を損傷しにくい。以上により、微小構造体を損傷することなく、安定して保持することができる。
【００１１】
本発明の微小構造体の配置装置において好ましくは、保持部はスポンジ、木材、竹、繊維、および毛からなる群より選ばれた少なくとも１種以上の物質よりなっている。
【００１２】
本発明の微小構造体の配置方法において好ましくは、液体の塗布は、保持部に液体を染み込ませることにより行なわれる。微小構造体の保持は、保持部を微小構造体に押し付けることで、保持部に染み込んだ液体を微小構造体に塗布することにより行なわれる。
【００１３】
これにより、保持部に液体を予め染み込ませておくことができるので、微小構造体を配置する度に保持部に液体を塗布し直す必要がなくなる。また、微小構造体に保持部を押し付けると保持部から液体が染み出てくるので、微小構造体に液体を容易に塗布することができる。保持部をスポンジもしくは木材で形成することで、保持部に液体を染み込ませることができ、保持部に適当な圧力を加えて吸い込んだ液体を染み出させることができる。
【００１４】
本発明の微小構造体の配置装置において好ましくは、液体を溜めるための液溜め部と、液溜め部から保持部へ液体を供給するための供給管とをさらに備えている。
【００１５】
本発明の微小構造体の配置方法において好ましくは、液体の塗布は、配置装置内に設けられた液溜め部から保持部へ液体を供給することにより行なわれる。
【００１６】
これにより、液溜め部から保持部へ液体が供給されるので、微小構造体を配置する度に保持部に液体を塗布し直す必要がなくなる。
【００１７】
本発明の微小構造体の配置装置において好ましくは、保持部を加熱するための加熱部材をさらに備えている。
【００１８】
本発明の微小構造体の配置方法において好ましくは、微小構造体の配置の際に液体を加熱する。
【００１９】
これにより、液体を加熱して液体の表面張力および粘着力を低下することができるので、微小構造体を所定の位置に配置する際に、微小構造体を保持部から容易に離すことができる。
【００２０】
本発明の微小構造体の配置装置および配置方法において、液体は、アルコール、水、接着剤、ケトン、エステル、エーテル、グリコール、またはハロゲンからなる群より選ばれた少なくとも１種以上の物質を含んでいる。
【００２１】
上記物質は、気化しても残渣がほとんど残らず、保持部に塗布して微小構造体を保持する前に気化して消失することもないので、液体として適している。
【００２２】
なお、本明細書中において「スポンジ」とは、内部に無数の微細孔を有する海綿状の材料を意味している。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の微小構造体の配置装置および配置方法によれば、微小構造体の形状に対応して液体の形状が変化し、液体が微小構造体へ塗れ広がり、液体の表面張力もしくは粘着力で微小構造体を保持する。これによって、微小構造体の形状に関わらず安定して微小構造体を保持することができる。また、負荷をほとんど加えることなく微小構造体を保持することができるので、微小構造体を損傷することがない。さらに、微小構造体と液体との接触部は自由に移動することができるので、微小構造体の運搬時に外力を受けても、微小構造体には負荷がかかりにくく、微小構造体を損傷しにくい。以上により、微小構造体を損傷することなく、安定して保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について以下に説明する。
【００２５】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における微小構造体の配置装置を示す斜視図である。図１に示すように、本実施の形態における微小構造体の配置装置１は、棒状の本体部５と、円錐状の保持部２とを備えている。本体部５の一端に保持部２が形成されている。
【００２６】
本体部５は、人間の手やピンセットなどの器具によって保持される部分である。本体部５は、たとえば人間が握りやすい程度のサイズとなっている。また、ピンセットなどの器具を用いて保持する場合には、本体部５のサイズはこれより小さくてもよい。具体的には、本体部５の長さはたとえば５０ｍｍであり、直径はたとえば２ｍｍである。
【００２７】
保持部２は、液体が塗布され、その液体の力によって微小構造体を保持する部分である。保持部２の最も太い部分の直径は本体部５とほぼ同じであり、保持部２の長さはたとえば５ｍｍである。保持部２の先端部の断面積が微小構造体のサイズと同程度か、それ以下となるように保持部２の先端部は鋭利にされている。これにより、微小構造体を保持するための操作性が向上する。保持部２は、たとえば金属、プラスチック、スポンジ、木材、竹、繊維、または毛（毛を束ねたもの）などよりなっている。
【００２８】
続いて、本実施の形態における配置装置１を用いた微小構造体の配置方法について図２〜図１０を用いて説明する。
【００２９】
図２に示すように、まず、容器４内に注入された液体３に配置装置１の保持部２を浸漬し、保持部２に液体３を塗布する。液体３としては、微小構造体を保持するまでの時間で気化して保持部２から消失してしまわないものが好適であり、また、微小構造体を保持した後で気化しても残渣が残らない性質のものが好適である。さらに、微小構造体との濡れ性が良好であるものが好適である。液体３としては、たとえばアルコール、水、接着剤、ケトン、エステル、エーテル、グリコール、またはハロゲンなどを含む物質などが用いられる。
【００３０】
次に、図３に示すように、基板７上に配置された微小構造体６の方に配置装置１を移動し、保持部２に塗布された液体３を微小構造体６と接触させる。このとき、必ずしも保持部２を微小構造体６と接触させる必要はなく、少なくとも液体３を微小構造体６と接触させればよい。
【００３１】
なお、本実施の形態においては、保持部２に液体３を塗布し、液体３を微小構造体６と接触させる場合について示したが、本発明はこのような場合の他、図４に示す方法を用いて液体３を微小構造体６と接触させてもよい。すなわち、図４に示すように、微小構造体６に液体３を塗布し、微小構造体６に塗布された液体３に保持部２を接触させてもよい。本発明では、保持部および微小構造体のうち少なくともいずれか一方に液体を塗布すればよい。
【００３２】
保持部２に塗布された液体３を微小構造体６と接触させると、液体３の表面張力により微小構造体６が保持部２に貼り付き、微小構造体６が保持される。これについて具体的に説明する。
【００３３】
図５に示すように、保持部２に塗布された液体３を微小構造体６と接触させると、液体３は微小構造体６の表面に濡れ広がり、液体の表面積が増大する。ここで、液体は、自ら収縮してできるだけ小さな表面積になろうとする性質を有している。このときに働く力が表面張力である。液体３の表面積が増大すると、表面張力により図５中矢印方向の表面張力が液体３に働く。この表面張力によって微小構造体６は保持部２に貼り付き、保持部２に保持される。なお、液体３が接着剤である場合には、接着剤の粘着力により図５中矢印方向の力が液体３に働き、この粘着力によって微小構造体６は保持部２に保持される。
【００３４】
次に、図６に示すように、配置装置１の保持部２を図６中矢印方向に移動し、微小構造体６を所定の位置に搬送する。搬送の途中で液体３が気化して保持部２から完全に消失してもよい。この場合には、スティッキング現象により微小構造体６は保持部２に張り付いた状態を保ち続ける。
【００３５】
次に、図７に示すように、基板７上の所定の位置に微小構造体６を配置し、保持部２を基板７に水平な方向に動かす。すると、液体３には、保持部２を動かす力ｆ１と、基板７と微小構造体６との間の摩擦力に起因する力ｆ２とが作用する。これらの力ｆ１および力ｆ２は、液体３の表面張力もしくは粘着力に逆らう力となるので、保持部２から微小構造体６が引き離される。
【００３６】
なお、本実施の形態においては、保持部２を動かす力ｆ１と、基板７と微小構造体６との間の摩擦力に起因する力ｆ２とが、液体３の表面張力もしくは粘着力に逆らう力となる場合について示した。しかし、本発明はこのような場合の他、たとえば以下の方法により液体３の表面張力もしくは粘着力に逆らう力を生じさせてもよい。
【００３７】
たとえば、図８に示すように、基板７上における微小構造体６を配置する位置の周辺に突起部７ａ，７ｂを形成しておき、突起部７ａ，７ｂによって拘束される位置に微小構造体６を配置する。そして、保持部２を任意の方向へ動かす力ｆ３と、微小構造体６を拘束する力ｆ４とを、液体３の表面張力もしくは粘着力に逆らう力としてもよい。
【００３８】
また、図９に示すように、基板７上における微小構造体６を配置する位置の付近に突起部７ｃを形成しておき、保持部２を突起部７ｃの方向へ動かす。このときに発生する保持部２を突起部７ｃの方向へ動かす力ｆ５と、微小構造体６が突起物７ｃへ力ｆ５を加えることにより受ける反作用の力ｆ６とを、液体３の表面張力もしくは粘着力に逆らう力としてもよい。
【００３９】
さらに、図１０に示すように、基板７上における微小構造体６を配置する位置に液体３よりも粘着力の強い接着剤８を塗布しておき、保持部２を任意の方向へ動かす力ｆ７と、接着剤８の粘着力ｆ８とを、液体３の表面張力もしくは粘着力に逆らう力としてもよい。
【００４０】
以上の方法により、微小構造体６は所定の位置に配置される。なお、微小構造体６のサイズが非常に小さい場合、上述した微小構造体６の配置方法は、顕微鏡で拡大した状態で観察しながら行なわれる。
【００４１】
本実施の形態における微小構造体６の配置装置１は、所定の位置に微小構造体６を配置する配置装置であって、微小構造体６を保持するための保持部２を備えている。保持部２および微小構造体６のうち少なくともいずれか一方に塗布された液体３の表面張力もしくは粘着力により微小構造体６を保持部２で保持し、液体３の表面張力もしくは粘着力に逆らう力を受けて所定の位置に微小構造体６を配置する。
【００４２】
本実施の形態における微小構造体６の配置方法は、配置装置１を用いて所定の位置に微小構造体６を配置する配置方法であって、以下の工程を備えている。配置装置１の保持部２および微小構造体６のうち少なくともいずれか一方に液体３を塗布する。液体３の表面張力もしくは粘着力により微小構造体６を保持部２に貼り付けることで、微小構造体６を保持する。保持部２を移動することにより微小構造体６を搬送する。液体３の表面張力もしくは粘着力に逆らう力を加えることにより、所定の位置に微小構造体６を配置する。
【００４３】
本実施の形態の微小構造体６の配置装置１および配置方法によれば、微小構造体６の形状に対応して液体３の形状が変化し、液体３が微小構造体６へ塗れ広がり、液体３の表面張力もしくは粘着力で保持する。これによって、微小構造体６の形状に関わらず安定して微小構造体６を保持することができる。また、負荷をほとんど加えることなく微小構造体６を保持することができるので、微小構造体６を損傷することがない。さらに、微小構造体６と液体３との接触部は自由に移動することができるので、微小構造体６の運搬時に外力を受けても、微小構造体６には負荷がかかりにくく、微小構造体６を損傷しにくい。以上により、微小構造体６を損傷することなく、安定して保持することができる。
【００４４】
本実施の形態における微小構造体６の配置装置１および配置方法において、液体３は、アルコール、水、接着剤、ケトン、エステル、エーテル、グリコール、またはハロゲンなどを含む物質である。
【００４５】
これらの物質は気化しても残渣がほとんど残らず、保持部２に塗布して微小構造体６を保持する前に気化して消失することもないので、液体３として適している。
【００４６】
（実施の形態２）
図１１は、本発明の実施の形態２における微小構造体の配置装置を示す断面図である。図１１に示すように、本実施の形態における微小構造体６の配置装置１ａは、加熱部材としてのヒータ１４をさらに備えている。ヒータ１４は、保持部２内に配置されており、保持部２を加熱するためのものである。
【００４７】
本実施の形態における配置装置１ａを用いた微小構造体６の配置方法は、以下の点において実施の形態１の場合と異なっている。
【００４８】
本実施の形態においては、図７〜図１０に示すいずれかの方法により保持部２から微小構造体６を引き離す際、ヒータ１４によって保持部２を加熱する。これにより、保持部２に塗布された液体３が加熱され、液体３の表面張力もしくは粘着力が低下する。その結果、微小構造体６を保持部２から離しやすくなる。
【００４９】
なお、これ以外の配置装置１ａの構造および配置装置１ａを用いた配置方法は、図１に示す実施の形態１における配置装置１の構造および配置装置１を用いた配置方法とほぼ同様であるので、同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５０】
本実施の形態における微小構造体６の配置装置１ａおよび微小構造体６の配置方法によれば、液体３を加熱して液体３の表面張力および粘着力を低下することができるので、微小構造体６を所定の位置に配置する際に、微小構造体６を保持部２から容易に離すことができる。
【００５１】
（実施の形態３）
図１２は、本発明の実施の形態３における微小構造体の配置装置を示す断面図である。図１２に示すように、本実施の形態における微小構造体６の配置装置１ｂは、液体３を溜めるための液溜め部１１と、液溜め部１１から保持部２へ液体３を供給するための供給管１２とをさらに備えている。供給管１２は、供給管１２ａおよび１２ｂを有しており、供給管１２ａおよび１２ｂは互いに繋がっている。液溜め部１１および供給管１２ａは本体部５内に設けられており、供給管１２ｂは保持部２内に設けられている。供給管１２ｂは多数に枝分かれして保持部２の表面に達している。保持部２の表面はスポンジ１３よりなっている。なお、本実施の形態では、供給管１２ｂが多数に枝分かれしている場合について示したが、供給管は枝分かれしている必要はなく、１本であってもよい。また、保持部２の表面がスポンジ１３よりなっている場合について示したが、保持部２はスポンジ１３の代わりに、たとえば木材、竹、繊維、または毛などよりなっていてもよい。
【００５２】
本実施の形態における配置装置１ｂを用いた微小構造体６の配置方法は、以下の点において実施の形態１の場合と異なっている。
【００５３】
本実施の形態においては、図２に示す方法により保持部２に液体３を塗布する代わりに、供給管１２を通じて液溜め部１１から保持部２へ液体３を供給し、保持部２に液体３を染み込ませることにより保持部２に液体３が塗布する。
【００５４】
また、図３に示す方法により液体３を微小構造体６と接触させる代わりに、保持部２を微小構造体６に押し付けることで保持部２から液体３を染み出させ、液体３を微小構造体６に塗布する。本実施の形態における保持部２の表面はスポンジよりなっているので、保持部２を微小構造体６へ押し付ける力でスポンジに染み込んだ液体３を染み出させることができる。
【００５５】
なお、これ以外の配置装置１ｂの構造および配置装置１ｂを用いた微小構造体６の配置方法は、図１に示す実施の形態１における微小構造体６の配置装置１の構造および配置装置１を用いた微小構造体６の配置方法とほぼ同様であるので、同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５６】
本実施の形態における微小構造体６の配置装置１ｂにおいて、保持部２はスポンジ１３よりなっている。
【００５７】
本実施の形態における微小構造体６の配置方法において、液体３の塗布は、保持部２に液体３を染み込ませることにより行なわれる。微小構造体６の保持は、保持部２を微小構造体６に押し付けることで、保持部２に染み込んだ液体３を微小構造体６に塗布することにより行なわれる。
【００５８】
これにより、保持部２に液体３を予め染み込ませておくことができるので、微小構造体６を配置する度に保持部２に液体３を塗布し直す必要がなくなる。また、微小構造体６に保持部２を押し付けると保持部２から液体３が染み出てくるので、微小構造体６に液体３を容易に塗布することができる。保持部２をスポンジ１３で形成することで、保持部２に液体３を染み込ませることができ、適当な圧力を加えることで吸い込んだ液体３を保持部２から染み出させることができる。
【００５９】
本実施の形態における微小構造体６の配置装置１ｂは、液体３を溜めるための液溜め部１１と、液溜め部１１から保持部２へ液体３を供給するための供給管１２とをさらに備えている。
【００６０】
本実施の形態における微小構造体６の配置方法において、液体３の塗布は、配置装置１ｂ内に設けられた液溜め部１１から保持部２へ液体３を供給することにより行なわれる。
【００６１】
これにより、液溜め部１１から保持部２へ液体３が供給されるので、微小構造体６を配置する度に保持部２に液体３を塗布し直す必要がなくなる。
【００６２】
なお、実施の形態１〜３の微小構造体の配置装置における各部材を適宜組み合わせることで、上述の効果を得ることができる。また、本発明の微小構造体の配置装置および配置方法は、一辺が数μｍ程度の大きさの微小構造体を配置するのに好適であり、微小部品の実装、半導体装置の検査、ＭＥＭＳ（Micro  Electro  Mechanical  System）の製造、およびμｍオーダーの部品の製造などに適用される。
【００６３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施の形態１における微小構造体の配置装置を示す斜視図である。
【図２】保持部を液体に浸漬する様子を示す側面図である。
【図３】液体を微小構造体と接触する様子を示す斜視図である。
【図４】微小構造体に塗布された液体に保持部を接触する様子を示す斜視図である。
【図５】微小構造体が保持される原理を説明するための図である。
【図６】微小構造体を所定の位置に搬送する様子を示す斜視図である。
【図７】保持部から微小構造体が引き離される原理を説明するための図である。
【図８】保持部から微小構造体が引き離される他の原理を説明するための図である。
【図９】保持部から微小構造体が引き離される他の原理を説明するための図である。
【図１０】保持部から微小構造体が引き離されるさらに他の原理を説明するための図である。
【図１１】本発明の実施の形態２における微小構造体の配置装置を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態３における微小構造体の配置装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１，１ａ，１ｂ  配置装置、２  保持部、３  液体、４  容器、５  本体部、６  微小構造体、７  基板、７ａ〜７ｃ  突起部、８  接着剤、１１  液溜め部、１２，１２ａ，１２ｂ  供給管、１３  スポンジ、１４  ヒータ。
【図１】
2006095615.tif 000003
【図２】
2006095615.tif 000004
【図３】
2006095615.tif 000005
【図４】
2006095615.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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