(57)【要約】【課題】可変焦点レンズにおいて、チャンバーの一端に突起を形成することにより気泡による性能低下を防止することができる。【解決手段】それぞれ異なる屈折率を有し互いに混合されない第１流体及び第２流体が入っている管体として、開放された一端に突起が形成された流体チャンバーと、上記突起と予め決められた間隔をおいて上記チャンバーの一端に密封結合された透明板と、第１流体に作用するよう上記チャンバー内に配置された第１電極及び、第１流体と絶縁された第２電極を含むすることを特徴とする可変焦点レンズを提供する。【選択図】図５
2006323390.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ異なる屈折率を有し互いに混合されない第１流体及び第２流体が入っている管体として、開放された一端に突起が形成された流体チャンバーと、
上記突起と予め決められた間隔をおいて上記チャンバーの一端に密封結合された透明板と、
第１流体に作用するよう上記チャンバー内に配置された第１電極、及び
第１流体と絶縁された第２電極を含むことを特徴とする可変焦点レンズ。
【請求項２】
上記チャンバーは透明な材料からなり一定な厚さで詰まった他端を有することを特徴とする請求項１に記載の可変焦点レンズ。
【請求項３】
上記第１流体は電気伝導性流体で、上記第２流体は電気非伝導性流体であることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点レンズ。
【請求項４】
上記突起は末端が尖っていることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点レンズ。
【請求項５】
上記チャンバーの他端に密封結合された第２透明板をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の可変焦点レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は可変焦点レンズに関するものとして、より具体的にはチャンバーの一端に突起が形成され気泡が生じないよう容易に製造することが可能で内部に気泡が発生しても性能が低下されない可変焦点レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的にカメラは多数個のレンズを具備し各々のレンズを移動させてその相対距離を変化させることにより光学的な焦点距離を調節するような構成を備える。一方、このようなレンズが装着されるカメラ等の光学機器が小型化されることに連れレンズもまた小型化が要求されつつある。
【０００３】
小型化要求に応えるための方法として例えば以下の特許文献１に開示されているような可変焦点レンズがある。
【特許文献１】国際公開ＷＯ／０６９３８０号パンフレット
【０００４】
図１は上記特許文献１における実施例として提案された可変焦点の簡略な断面図である。図１に示すように、上記の可変焦点レンズは、屈折率が相互異なりメニスカス(ｍｅｎｉｓｃｕｓ)１４を通じ接触する非混合性の第１流体Ａ及び第２流体Ｂを具備し、シリンダ壁を有するシリンダ形状の流体チャンバー５、上記シリンダ壁の内側に配置された流体接触層(ｃｏｎｔａｃｔ  ｌａｙｅｒ)１０、上記流体接触層１０により上記第１流体Ａ及び第２流体Ｂと分離される第１電極２及び上記第２流体Ｂを活性化させる第２電極１２を含む。
【０００５】
ここで、上記第１電極２はシリンダ形状として絶縁層(ｉｎｓｕｌａｔｉｎｇ  ｌａｙｅｒ)８によりコーティングされ金属性物質で作られ、上記第２電極１２は流体チャンバー５の一側に配置される。
【０００６】
また、透明な前方要素４と透明な後方要素６は上記の両流体を収容する上記流体チャンバー５のカバーを形成する。
【０００７】
一方、図面符号１６は前方要素４と流体接触層１０を密封結合させるシールである。
【０００８】
このような構成を有する可変焦点レンズの動作は次の通りである。上記第１電極２と第２電極１２との間に電圧が印加されない時、上記流体接触層は第２流体Ｂより第１流体Ａに対して高い湿潤性(ｗｅｔｔａｂｉｌｉｔｙ)を有する。
【０００９】
ここで上記第１電極及び上記第２電極の間に電圧が印加されると、エレクトロウェッティング(ｅｌｅｃｔｒｏｗｅｔｔｉｎｇ)により、上記第２流体Ｂによる湿潤性が変わり、図示した通りメニスカス１４の接触角(Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３)が変わる。
【００１０】
従って、印加された電圧に伴いメニスカスの形状が変化して、これを利用して焦点調節が成される。
【００１１】
即ち、図１ないし図３に示すように、印加された電圧の大きさにより第１流体Ａで測定した上記メニスカス１４と流体接触層１０との間の角度はそれぞれ鈍角から鋭角へ、例えば大体１４０°、１００°、６０°等に変化する。
【００１２】
ここで、図１は高い音のパワー(ｐｏｗｅｒ)、図２は低い音のパワー、図３は両パワーを有する配置を示している。
【００１３】
このように流体を利用した可変焦点レンズは従来レンズの機械的駆動を通じ焦点を調節する方式に比べ小型化に有利という長所がある。
【００１４】
しかし、このような可変焦点レンズは図４に図示したような短所がある。即ち、可変焦点レンズは液体になっているためチャンバー５内にきちんと密封されないと図４に図示した通り気泡１８が発生する。
【００１５】
これを防止するため、レンズの組み合わせ作業を液体内で遂行する方法があるが、これは気泡の発生を完璧に抑制することが不可能で作業性を落としレンズの大量生産を妨げる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
従って、本発明は前記の問題を解決するため案出されたものとして、チャンバーの一端に突起を形成することにより気泡による性能低下を防止することが可能な可変焦点レンズを提供することを目的とする。
【００１７】
また、本発明はチャンバーの一端に突起を形成して空気中の製造を可能とし生産性を画期的に向上させることが可能な可変焦点レンズを提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明は、相互異なる屈折率の相互混合されない第１流体及び第２流体が入っている管体として、開放された一端に突起が形成された流体チャンバーと、上記突起と予め決められた間隔をおいて上記チャンバーの一端に密封結合された透明板と、第１流体に作用するよう上記チャンバー内に配置された第１電極及び、第１流体と絶縁された第２電極を含むことを特徴とする可変焦点レンズを提供する。
【００１９】
上記チャンバーは透明な材料からなり、一定な厚さで詰まった他端を有することを特徴とする。
【００２０】
上記可変焦点レンズにおいて、上記第１流体は電気伝導性流体で、上記第２流体は電気非伝導性流体であることを特徴とする。
【００２１】
上記可変焦点レンズにおいて、上記突起は末端の幅が３００μｍ以下であることを特徴とする。
【００２２】
また上記可変焦点レンズにおいて、上記突起は末端が尖っていることをさらに含むことを特徴とする。
【００２３】
また上記可変焦点レンズは、上記チャンバーの他端に密封結合された第２透明板をさらに含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、可変焦点レンズはチャンバーの一端に突起が形成されることにより気泡発生による性能低下を防止することができる。また、本発明の可変焦点レンズは空気中で製造することができる。従って、本発明は可変焦点レンズの安定性を改善するだけではなく、その製造を容易にすることにより生産性を画期的に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の好ましい実施例を添付図面を参照してより詳細に説明する。先ず、図５を参照すると、本発明の実施例に伴う可変焦点レンズ１００の構成が概略的に図示される。
【００２６】
本発明の可変焦点レンズ１００は、一端にバンプまたは突起１１２が形成され管形態の内部空間を形成するチャンバー壁１１０、突起１１２と予め決められた間隔Ｇをおいてチャンバー壁１１０の上端１１０Ａに結合された上部透明板１２０及びチャンバー壁１１０の下端１１０Ｂに結合された下部透明板１３０を含む。この際、上部透明板１２０とチャンバー壁１１０はシール１２２を通じ気密結合され、下部透明板１３０とチャンバー壁１１０は(図示されていない)ボンディング層により相互結合される。ボンディング方法には例えばフリットボンディング(ｆｒｉｔ  ｂｏｎｄｉｎｇ)を採用することができる。
【００２７】
一方、チャンバー壁１１０と上部透明板１２０及び下部透明板１３０により形成されたチャンバーの内部空間内には相互混合されない第１流体Ａ及び第２流体Ｂが満たされる。第１流体Ａ及び第２流体Ｂは実質的に同一な比重を有するが相互異なる屈折率を有する。また、ある一つは電気伝導性流体で他の一つは電気非伝導性流体となる。一般的に、第１流体Ａが電気伝導性流体で、第２流体Ｂが電気非伝導性流体である。
【００２８】
一方、第１流体Ａの一部は突起１１２と上部透明板１２０との間に膨らんで宿った形態でとどまり突起１１２の内側では上部透明板１２０と密着接触する。従って、気泡は突起１１２の外側、即ち突起１１２とシール１２２との間の空隔Ｖに存在し突起１１２の内側には存在しない。
【００２９】
図６を参照すると、本発明の他の実施例に伴う可変焦点レンズ２００の構成が概略的に図示される。
【００３０】
図６に示す可変焦点レンズ２００は、チャンバー壁２１０の内面２１４が内側に下向傾斜している。従って、チャンバー壁２１０の内径は図面の上から下へ即ち上端２１０Ａから下端２１０Ｂへ行くほど狭くなっている。このような傾斜された構成は第１流体Ａ及び第２流体Ｂの初期条件を最適化するため適用され、傾斜角はこれら第１流体Ａおよび第２流体Ｂの接触角によって適用が違ってくる。
【００３１】
可変焦点レンズ２００はこのような傾斜構成を除いては図５の構成と実質的に同一であるため追加説明は省略する。
【００３２】
図７を参照すると、本発明のまた異なる実施例に伴う可変焦点レンズ３００の構成が概略的に示される。
【００３３】
図７に示す可変焦点レンズ３００は、突起３１２の末端が尖って形成されたことを除いては図６の構成と実質的に同一である。勿論、このように尖るよう形成した突起３１２は図５の構成にも採用することができる。
【００３４】
図８ないし図１０は、図７の可変焦点レンズ構造における界面形態及び効果を説明する断面図である。便宜上、図７の構造を基準に説明するがこれは図５と図６の構造にも同一に適用することができる。
【００３５】
先ず、チャンバー内に第２流体Ｂと第１流体Ａを精密注入すると、上層の第１流体Ａは突起３１２から膨らんだ形状を有する。この形状は便宜上誇張したもので、実際には注入される第１流体Ａの量が精密に制御されるので、第１流体Ａが突起３１２の上に突出する大きさは微々たるものである。
【００３６】
この状態で、上部透明板３２０を上から下へチャンバー壁３１０に結合させると、第１流体Ａの膨らんだ部分が先に上部透明板３２０の底面と接触し上部透明板３２０により押され外側方向、即ち突起３１２側に押し出され、図９に図示した通り突起３１２と上部透明板３２０との間に膨らんで宿った形態でとどまる。
【００３７】
言い換えると、第１流体Ａは上部透明板３２０の底面と接触することにより上部透明板３２０の底面を沿って広がる。この際、図９の突起３１２の端に第１流体Ａが到達すると、第１流体Ａは突起３１２の外に流れるよりは突起３１２と上部透明板３２０との間に膨らんで宿った状態でとどまる。これは第１流体Ａと突起３１２の端が有する力(または表面張力)が第１流体Ａが上部透明板３２０の底面を沿って広がる力より大きく第１流体Ａを突起３１２と上部透明板３２０との間に引き止めておくためである。このような現象は水玉が平坦面上で膨らんだ形態を維持することと類似に理解することができる。
【００３８】
一方、もし第１流体Ａの量が多すぎて突起３１２の内側の空間を埋めて残った場合には、余分の第１流体Ａ’が突起３１２と上部透明板３２０との間の力を抑え水玉形態で突起３１２から落ちる。この余分の第１流体Ａ’は図１０に図示された通り突起３１２とストッパＳとの間に存在する。
【００３９】
一方、このような特徴を達成するためには、第１流体Ａの特性により違い得るが、組み合わせ時気泡が発生されず、流体レンズで作動しつつ密封状態を維持することが可能な程度の間隔と幅であれば数値は限られない。
【００４０】
本液体レンズでは突起３１２の幅Ｗが３００μｍ以下であることが好ましい。また、突起３１２と上部透明板３２０との間の間隔Ｇは液体注入量により調節可能で、大体２０μｍ以下であることが好ましい。間隔ＧはストッパＳにより調節可能で、ストッパＳには前記のシール３２２を利用するか他の物理的な手段を採用することができる。
【００４１】
一方、突起の幅が大きすぎるか突起がない場合を図１１と図１２を参照して説明する。
【００４２】
先ず、図１１に図示した通り、突起がないチャンバー壁１０１０の間の空間に第１流体Ａおよび第２流体Ｂをチャンバー壁上端１０１２に流れない程度に膨らむよう満たす。この状態で、上部透明板１０２０を矢印Ｃを沿って上から下へ移動させると、第１流体Ａは上部透明板１０２０の底面と接触することにより上部透明板底面を沿って広がる。従って、上部透明板１０２０がチャンバー壁１０１０と完全に結合されると、図１２に図示した通り、第１流体Ａの中間部分に気泡Ｖが生じる。流体レンズにこのような気泡Ｖが生じると使用不可能となる。また、このような問題は図４を参照に前記したことと類似である。
【００４３】
しかし、前記の通り本発明の突起構造を採用すると、このような問題を防止することができる。即ち、図９の突起３１２の端に第１流体Ａが到達すると、第１流体Ａは図１１のように広がる代わりに、突起３１２と作用する力により突起３１２と上部透明板３２０との底面の間にとどまることにより、上記のような気泡Ｖの発生を防止する。従って、本発明の可変焦点レンズは空気中で容易に製造されることが可能で、これに伴い生産性を画期的に向上させることができる。
【００４４】
図１３は図６の可変焦点レンズ２００に第１電極２４０および第２電極２４２を形成した状態を示している。
【００４５】
図１３の可変焦点レンズ２００は上部透明板２２０の底面に形成された第１電極２４０、チャンバー壁２１０の内面２１４に形成された第２電極２４２及び第１電極２４０と第２電極２４２との間の電気的絶縁のため第２電極２４２の表面に形成された絶縁層２４６をさらに含む。一方、第２電極２４２と外部電源２５０との間の連結のためチャンバー壁２１０の下端２１０Ｂと下部透明板２３０との間の境界面に伝導体２４４が形成されている。
【００４６】
このとき、第１流体Ａは電気伝導性流体で、第２流体Ｂは電気非伝導性流体となる。また、チャンバー壁２１０はガラス及びセラミックのような絶縁体で形成される。
【００４７】
また、電源２５０と電線２４８が提供され、第１電極２４０は電線２４８を通じ電源２５０に電気的に連結され、第２電極２４２は伝導体２４４と電線２４８を通じ電源２５０に電気的に連結される。
【００４８】
このように、図１ないし図３を参照して説明した通り電源２５０の印加電圧を変化させ第１流体Ａ及び第２流体Ｂの間のメニスカスＭを変化させることにより可変焦点レンズ２００の焦点距離を調節することができる。
【００４９】
このとき、メニスカスＭの変化に伴い電気伝導性の第１流体Ａが第２電極２４２と接触しないよう絶縁層２４６は充分な広さで第２電極２４２を覆うよう形成されることが好ましい。
【００５０】
一方、第１電極２４０及び第２電極２４２はスパッタリングまたは電子ビーム蒸着のような蒸着作業により形成すると好ましい。
【００５１】
図１４は、図６の可変焦点レンズに電極を他の形態で形成した状態を示す断面図である。但し、図示の便宜上全体構成要素には４００番代の図面符号を付与した。
【００５２】
図１４に示す可変焦点レンズ４００は、上部透明板４２０の向こう側の突起４１２を始めとするチャンバー壁４１０の上端４１０Ａに形成された第１電極４４０、チャンバー壁４１０の内面４１４に形成された第２電極４４２及び第１電極４４０と第２電極４４２との間の電気的絶縁のため第２電極４４２の表面に形成された絶縁層４４６をさらに含む。
【００５３】
このような第１電極４４０の形態を除いた残りの構成は図１３の構成と同一であるため追加説明は省略する。
【００５４】
図１５は、図６の可変焦点レンズに電極をまた異なる形態で形成した状態を示す断面図として、チャンバー壁が伝導体で構成され電極を形成することを特徴とする。但し、図示の便宜上全体構成要素には５００番代の図面符号を付与した。
【００５５】
図１５を参照すると、本発明の可変焦点レンズ５００は上部透明板５２０の底面に形成された第１電極５４０及びこの第１電極５４０と第２電極であるチャンバー壁５１０との間の電気的絶縁のためチャンバー壁５１０の内面５１４に形成された絶縁層５４６をさらに含む。
【００５６】
このように、第２電極であるチャンバー壁５１０を直接電線５４８を通じ電源５５０と電気的に連結することができる。従って、可変焦点レンズ５００の構成がより単純になる。
【００５７】
一方、絶縁層５４６はチャンバー壁５１０の下端５１０Ｂまで延長したものと図示したが、絶縁層５４６はメニスカスＭの変化により電気伝導性の第１流体Ａが第２電極であるチャンバー壁５１０と接触しない程度でチャンバー壁５１０を覆えば良い。
【００５８】
図１６は、図６の可変焦点レンズに電極をまた異なる形態で形成した状態を示す断面図として、チャンバー壁が伝導体で構成され電極を形成することを特徴とする。但し、図示の便宜上全体構成要素には６００番代の図面符号を付与した。
【００５９】
図１６を参照すると、本発明の可変焦点レンズ６００は上部透明板６２０の向こう側の突起６１２を始めとするチャンバー壁６１０の上端６１０Ａに形成された第１電極６４０及びこの第１電極６４０と第２電極であるチャンバー壁６１０との間の電気的絶縁のため形成された絶縁層６４６をさらに含む。
【００６０】
絶縁層６４６はチャンバー壁６１０の上端６１０Ａと第１電極６４０との間に挟んで第１電極６４０とチャンバー壁４１０を相互絶縁させチャンバー壁６１０の内面６１４に形成され第１流体Ａとチャンバー壁６１０との間の接触を防止する。絶縁層６４６はチャンバー壁６１０の下端６１０Ｂまで延長したものと図示したが、絶縁層６４６はメニスカスＭの変化により電気伝導性の第１流体Ａが第２電極であるチャンバー壁６１０と接触しない程度にチャンバー壁６１０を覆えば良い。
【００６１】
一方、図１３ないし図１６を参照して説明した電極構造は便宜上図７に示す可変焦点レンズに適用したものと記載したが、上記の電極構造は当然図５および図７に示す可変焦点レンズにもまた同一に適用することができる。
【００６２】
図１７は、本発明のさらに異なる実施例に伴う可変焦点レンズの構成を概略的に示す断面図である。図１７を参照すると、本実施例の可変焦点レンズ７００は上端７１０Ａにバンプまたは突起７１２が形成され、下端７１０Ｂに詰まった管形態の内部空間を形成するチャンバー７１０及び突起７１２と予め決められた間隔Ｇをおいてチャンバー７１０の上端７１０Ａに結合された上部透明板７２０を含む。
【００６３】
この際、上部透明板７２０とチャンバー７１０はシール７２２を通じ気密結合され、チャンバー７１０は下部領域７１８が下部透明板の機能を遂行するようガラス、透明プラスチック等の透明な物質で製作される。このように下部透明板をチャンバー７１０に一体で形成すると下部透明板をチャンバー７１０に接着する作業を省略することができる。
【００６４】
一方、チャンバー７１０と上部透明板７２０により形成されたチャンバーの内部空間内には相互混合されない第１流体Ａ及び第２流体Ｂが満たされる。第１流体Ａ及び第２流体Ｂは実質的に同一な比重を有するが相互異なる屈折率を有する。また、ある一つは電気伝導性流体で他の一つは電気非伝導性流体となる。一般的に、第１流体Ａが伝導性流体で、第２流体Ｂが電気非伝導性流体である。
【００６５】
一方、第１流体Ａの一部は突起７１２と上部透明板７２０との間に膨らんで宿った形態でとどまり突起７１２の内側では上部透明板７２０と密着接触する。従って、気泡は突起７１２外側、即ち突起７１２とシール７２２との間の空隔Ｖに存在し突起７１２の内側には存在しない。
【００６６】
このような突起７１２に対する詳細内容及びその効果は図８ないし図１０を参照に前記したものと実質的に同一なため繰り返し説明しない。
【００６７】
図１８は、図１７の可変焦点レンズに電極を形成した状態を示す断面図である。図１８を参照すると、本発明の可変焦点レンズ７００は上部透明板７２０の底面に形成された第１電極７４０、チャンバー７１０の内面７１４に形成された第２電極７４２及び第２電極７４２と第１電極７４０との間の電気的絶縁のため第２電極７４２の表面に形成された絶縁層７４６をさらに含む。このとき、第１流体Ａは電気伝導性流体で、第２流体Ｂは電気非伝導性流体となる。
【００６８】
また、電源７５０と電線７４８が提供され、第１電極７４０は上部電線７４８を通じ電源７５０に電気的に連結され第２電極７４２は下部電線７４８を通じ電源７５０に電気的に連結される。
【００６９】
一方、絶縁層７４６はチャンバー７１０の底７１６まで延長したものと図示されたが、絶縁層７４６はメニスカスＭの変化により電気伝導性の第１流体Ａが第２電極７４２と接触しない程度にチャンバーの内面７１４を覆えば良い。
【００７０】
図１９は、図１７の可変焦点レンズに電極をまた異なる形態で形成した状態を示す断面図である。但し、図示の便宜上全体構成要素には８００番代の図面符号を付与した。
【００７１】
図１９を参照すると、本実施例の可変焦点レンズ８００は上部透明板８２０の向こう側の突起８１２を始めとするチャンバー８１０の上端８１０Ａに形成された第１電極８４０、チャンバー８１０の内面８１４に形成された第２電極８４２及び第１電極８４０と第２電極８４２との間の電気的絶縁のため第２電極８４２表面に形成された絶縁層８４６をさらに含む。
【００７２】
このような第１電極８４０を除いた残りの構成は図１８のものと実質的に同一なため追加説明は省略する。
【００７３】
上記では本発明の好ましい実施例を参照に説明したが、本発明の属する技術分野において通常の知識を有する者であれば特許請求範囲に記載された本発明の思想及び領域から外れない範囲内で本発明を多様に修正及び変更することが可能であることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】従来技術に伴う可変焦点レンズの構造と動作を示す断面図である。
【図２】従来技術に伴う可変焦点レンズの構造と動作を示す断面図である。
【図３】従来技術に伴う可変焦点レンズの構造と動作を示す断面図である。
【図４】従来技術に伴う可変焦点レンズの問題点を示す断面図である。
【図５】本発明の実施例に伴う可変焦点レンズの構成を概略的に示す断面図である。
【図６】本発明の他の実施例に伴う可変焦点レンズの構成を概略的に示す断面図である。
【図７】本発明のまた異なる実施例に伴う可変焦点レンズの構成を概略的に示す断面図である。
【図８】図７の可変焦点レンズ構造における界面形態及び効果を説明する断面図である。
【図９】図７の可変焦点レンズ構造における界面形態及び効果を説明する断面図である。
【図１０】図７の可変焦点レンズ構造における界面形態及び効果を説明する断面図である。
【図１１】突起がないか、またはその幅が大き過ぎる可変焦点レンズにおける界面形態及び効果を説明する断面図である。
【図１２】突起がないか、またはその幅が大き過ぎる可変焦点レンズにおける界面形態及び効果を説明する断面図である。
【図１３】図６の可変焦点レンズに二つの形態の電極を形成した状態を示す断面図である。
【図１４】図６の可変焦点レンズに二つの形態の電極を形成した状態を示す断面図である。
【図１５】図６の可変焦点レンズに電極をまた異なる形態で形成した状態を示す断面図らとして、チャンバー壁を伝導体で構成し電極を形成したことを示す図である。
【図１６】図６の可変焦点レンズに電極をまた異なる形態で形成した状態を示す断面図らとして、チャンバー壁を伝導体で構成し電極を形成したことを示す図である。
【図１７】本発明のさらに異なる実施例に伴う可変焦点レンズの構成を概略的に示す断面図である。
【図１８】図１７の可変焦点レンズに二つの形態の電極を形成した状態を示す断面図である。
【図１９】図１７の可変焦点レンズに二つの形態の電極を形成した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７５】
１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００  可変焦点レンズ
１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、１０１０  チャンバー壁
１１０Ａ、２１０Ａ、４１０Ａ、６１０Ａ、７１０Ａ、８１０Ａ  上端
１１０Ｂ、２１０Ｂ、５１０Ｂ、６１０Ｂ、７１０Ｂ  下端
２１４、４１４、５１４、６１４、７１４、８１４  内面
１１２、３１２、４１２、６１２、７１２、８１２  突起
１０１２  チャンバー壁上端
１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、１０２０  上部透明板
１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０  下部透明板
１２２、２２２、３２２、４２２、５２２、６２２、７２２  シール
２４０、４４０、５４０、６４０、７４０、８４０  第１電極
２４２、４４２、７４２、８４２  第２電極
２４４、４４４  伝導体
２４６、４４６、５４６、６４６、７４６、８４６  絶縁層
２４８、５４８、７４８  電線
２５０、５５０、７５０  電源
【図１】
2006323390.tif 000003
【図２】
2006323390.tif 000004
【図３】
2006323390.tif 000005
【図４】
2006323390.tif 000006
【図５】
2006323390.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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