(57)【要約】【課題】外部端面電極と積層構造体との接着強度の大きなコモンモードノイズフィルタを提供することを目的としている。【解決手段】非磁性層２０と、前記非磁性層２０を挟み込んだ磁性層２１ａ，２１ｂと、前記非磁性層２０に埋設した二つの対向する平面コイル２２ａ，２２ｂと、前記平面コイル２２ａ，２２ｂと電気的に接続される四つの外部端面電極２５を備え、前記磁性層２１ａ，２１ｂが酸化物磁性体層２３とガラス成分を含む絶縁体層２４の積層構造とする。【選択図】図１
2006319009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性層と、前記非磁性層を挟み込んだ磁性層と、前記非磁性層に埋設した二つの対向する平面コイル、もしくは前記非磁性層と前記磁性層の境界に埋設し前記非磁性層を挟んで対向する二つの平面コイル、もしくは前記非磁性層と前記磁性層の境界に埋設する平行二重螺旋状の平面コイル、もしくは前記非磁性層に埋設する平行二重螺旋状の平面コイルと、前記平面コイルと電気的に接続される四つの外部端面電極を備え、前記磁性層が酸化物磁性体層とガラス成分を含む絶縁体層の積層構造であるコモンモードノイズフィルタ。
【請求項２】
非磁性層にガラス成分を含む請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項３】
最外層をガラス成分を含む絶縁体層とした請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項４】
外部端面電極をガラスを含む下地電極層と、Ｎｉめっき層と、Ｓｎめっき層とで構成し、前記下地電極層に含むガラスの成分を非磁性層に含むガラス成分または磁性層に含むガラス成分の少なくともいずれか一つと同じガラス成分とした請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項５】
酸化物磁性体層の端面をガラス成分を含む絶縁体層の端面よりもへこませた請求項１に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器のノイズ対策に用いるコモンモードノイズフィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のコモンモードノイズフィルタは、コモンモードノイズを除去するためにコモンモードのインピーダンスを大きくし、同時に信号波形を歪ませないためにディファレンシャルモードのインピーダンスをできるだけ小さくすることが望ましく、そのために図１１に示すような構成を有していた。
【０００３】
図１１において、１１０Ａ，１１０Ｂは磁性体基板であり、１２０Ａ〜１２０Ｄは磁性体以外の絶縁体層である。そして、前記絶縁体層１２０Ａ〜１２０Ｄに二つのスパイラル状のコイルパターン１３０，１４０，１５０，１６０が形成されている。このような構成によって、二つのコイルが磁性体以外の絶縁体層１２０Ａ〜１２０Ｄの内部に埋没され、前記絶縁体層を磁性体基板１１０Ａ，１１０Ｂで挟む構造を有するコモンモードノイズフィルタとしている。
【０００４】
そして、前記二つのコイルのそれぞれの端子は外部端面電極に電気的に接続された構成となっている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２０３７１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の構成では、部品サイズの小型化による外部端面電極の占有面積の減少による接着強度の低下と、幅広い携帯型電子機器へ搭載するための部品実装強度の向上に対する要望に対しては外部端面電極の単位面積あたりの接着強度が不十分であるという問題点を有していた。
【０００６】
本発明は前記従来の問題点を解決するもので、外部端面電極と積層構造体との接着強度の大きなコモンモードノイズフィルタを実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記従来の課題を解決するために、本発明は、非磁性層と、前記非磁性層を挟み込んだ磁性層と、前記非磁性層に埋設した二つの対向する平面コイルと、前記平面コイルと電気的に接続される四つの外部端面電極を備え、前記磁性層が酸化物磁性体層とガラス成分を含む絶縁体層の積層構造とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のコモンモードノイズフィルタは、外部端面電極と磁性層中のガラス成分を含む絶縁体層が前記外部端面電極のメタライズ処理する時に外部端面電極に含まれるガラス成分と絶縁体層に含まれるガラス成分が強固に結合することにより、外部端面電極と積層構造体の高い接着強度を有したコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１におけるコモンモードノイズフィルタについて図面を用いて説明する。
【００１０】
図１は本実施の形態１におけるコモンモードノイズフィルタの斜視図であり、図２はその積層構造を説明するための分解図であり、図３は図１のＡ−Ａ部における断面図である。さらに、図４は平面コイルを他の位置に設けた例を示す断面図である。また、図５は平行二重螺旋状の平面コイルを設けたコモンモードコイルを説明するための分解図であり、図６はその断面図である。さらに、図７は平行二重螺旋状の平面コイルを他の位置に設けた例を示す断面図である。
【００１１】
図１〜図３において、本実施の形態１におけるコモンモードノイズフィルタは、ガラスセラミック材料などによる非磁性層２０と、この非磁性層２０を挟み込むように設けた磁性層２１ａ，２１ｂと、前記非磁性層２０に埋設して対向配置した平面コイル２２ａ，２２ｂと、この平面コイル２２ａ，２２ｂのそれぞれの端部に接続した四つの外部端面電極２５を形成しており、且つ前記磁性層２１ａ，２１ｂは酸化物磁性体層２３とガラス成分を含む絶縁体層２４の積層構造を有していることを特徴としている。ここで、図１〜図３ではガラス成分を含む絶縁体層２３を４層としているが、コモンモードノイズフィルタの形状に応じて増減することは可能である。このような構成を有するコモンモードノイズフィルタは、以下の製造プロセスによって作製することができる。
【００１２】
まず始めに、非磁性層２０の原材料となるＺｎ−Ｃｕフェライト粉末を、溶剤やバインダ成分と混合してセラミックスラリを作製し、得られたセラミックスラリをドクターブレード法などにより２５μｍ程度の所定の厚みになるようにグリーンシート成形して非磁性層２０に用いるセラミックグリーンシートを作製する。
【００１３】
次に、前記と同様の方法によって、９２０℃以下で焼成可能な無ホウケイ酸ガラス（ＳｉＯ2−ＣａＯ−ＺｎＯ−ＭｇＯ系ガラス）に９ｗｔ％のＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライトを混合した粉末から、磁性層２１ａ，２１ｂ中のガラス成分を含む絶縁体層２４に用いる５０μｍ程度の厚みのセラミックグリーンシートを作製する。
【００１４】
また、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト酸化物磁性体からなる磁性粉末を用いて、磁性層２１ａ，２１ｂ中の酸化物磁性体層２３に用いる１００μｍ程度の厚みのセラミックグリーンシートを作製する。
【００１５】
その後、これらのセラミックグリーンシートに所定のコイルパターンになるように平面コイル導体と、層間の電気的接続のためのビア電極を形成し、図２の積層構成となるように順次、それぞれのセラミックグリーンシートを積層し、所定の温度で焼成することによって所定の積層焼成体を作製することができる。
【００１６】
次に、非磁性層２０の内部に対向配置して埋設した平面コイルの２２ａ，２２ｂの構成について説明する。図２において、引出電極２２ｄを形成した酸化物磁性体層２３を磁性層２１ｂの最上層に積層配置し、その上に平面コイル２２ｂを形成したコイル形成層２０ａを積層する。このとき、引出電極２２ｄと平面コイル２２ｂはビア電極によって接続する。さらに、平面コイル２２ａを形成したコイル形成層２０ｂをコイル形成層２０ａの上に積層し、引出電極２２ｃを形成したコイル形成層２０ｃをコイル形成層２０ｂの上に積層する。このとき、引出電極２２ｃと平面コイル２２ａはビア電極によって接続する。
【００１７】
次に、酸化物磁性体層２３とガラス成分を含む絶縁体層２４を順次上下に積層する。
【００１８】
以上のような構成を有するグリーンシート積層体は、平面コイル導体を形成する電極材料の融点以下で一体焼成することによって、二つの対向する平面コイル２２ａ，２２ｂを埋設した積層焼成体とすることができる。
【００１９】
このようにして得られた積層焼成体の外部側面に表出した引出電極２２ｃ，２２ｄの端面に電気的に接続するように、例えばＡｇペーストを積層焼成体の端面に塗布形成してＡｇメタライズ層を形成することによって外部端面電極２５を形成する下地電極層を形成し、さらに、このＡｇメタライズ層からなる下地電極層の上にＮｉめっきによってＮｉ層を形成し、さらにそのＮｉ層の上にＳｎめっき層を積層形成して外部端面電極２５を形成している。この外部端面電極２５の構成はセラミック電子部品の端子電極に用いる通常の方法によって作製することができる。
【００２０】
図３に示すように、このようにして得られたコモンモードノイズフィルタの断面は二つの平面コイル２２ａ，２２ｂを非磁性層２０に埋設するように形成するとともに、平面コイル２２ａと平面コイル２２ｂを対向するように配置し、引出電極２２ｃ，２２ｄ（図示せず）を介して前記平面コイル２２ａ，２２ｂと電気的に接続される外部端面電極２５を備え、さらに磁性層２１ａ，２１ｂは酸化物磁性体層２３とガラス成分を含む絶縁体層２４の積層構造を形成している。このような構成とすることによって外部端面電極２５とガラス成分を含む絶縁体層２４とが強固に接合することによって接着強度に優れるとともに、酸化物磁性体層２３には磁気特性に優れた磁性材料を用いることによって、二つの平面コイル２２ａ，２２ｂ間の磁気的結合に優れたコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【００２１】
また、図４に示すコモンモードノイズフィルタは、二つの平面コイル２２ａ，２２ｂを非磁性層２０と磁性層２１ａ，２１ｂの境界に前記非磁性層２０を挟んで対向するように配置するとともに、引出電極２２ｃ，２２ｄ（図示せず）を介して前記平面コイル２２ａ，２２ｂと電気的に接続される外部端面電極２５を備え、さらに前記磁性層２１ａ，２１ｂは、酸化物磁性体層２３とガラス成分を含む絶縁体層２４からなる積層構造を形成しており、このような構成とすることによって、前記作用に加え平面コイル２２ａ，２２ｂが磁性層２１ａ，２１ｂに近接して配置することによって、コモンモードインピーダンスの高いコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【００２２】
次に、図５および図６に示すコモンモードノイズフィルタは、平行二重螺旋状の平面コイル２２ｅ，２２ｆを非磁性層２０に埋設し、引出電極２２ｃ，２２ｄを介して前記平行二重螺旋状の平面コイル２２ｅ，２２ｆと電気的に接続される外部端面電極２５を備えたコイル構成としている。ここで、平行二重螺旋状の平面コイル２２ｅ，２２ｆは並列する２本の導体ラインが非磁性層２０の一部に形成したスルホールを介して平行二重螺旋状の平面コイル２２ｅ，２２ｆとなるように形成することによって構成するものである。従って、前記図３および図４に示した対向する平面コイル２２ａ，２２ｂの形成には少なくとも４層が必要となるが、平行二重螺旋状の平面コイル２２ｅ，２２ｆの場合は２層ですむことから生産性に優れたコモンモードノイズフィルタとすることができる。
【００２３】
また、前記磁性層２１ａ，２１ｂは酸化物磁性体層２３とガラス成分を含む絶縁体層２４の積層構造を形成しており、このような構成とすることによって、図３に示したコモンモードノイズフィルタの作用に加えて、生産性に優れたコモンモードノイズフィルタとすることができる。
【００２４】
次に、図７に示すコモンモードノイズフィルタは平行二重螺旋状の平面コイル２２ｅ，２２ｆを非磁性層２０と磁性層２１ａ，２１ｂとの境界に埋設し、引出電極２２ｃ，２２ｄ（図示せず）を介して前記平行二重螺旋状の平面コイル２２ｅ，２２ｆと電気的に接続される外部端面電極２５を備えるとともに、前記磁性層２１ａ，２１ｂは酸化物磁性体層２３とガラス成分を含む絶縁体層２４の積層構造を形成している。
【００２５】
このような構成とすることによって、図５および図６に示したコモンモードノイズフィルタの作用に加えて、平面コイル２２ｅ，２２ｆが磁性層２１ａ，２１ｂに近接して配置することによってコモンモードインピーダンスの高いコモンモードノイズフィルタとすることができる。
【００２６】
ここで、前記磁性層２１ａ，２１ｂを構成する酸化物磁性体層２３にはＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライトのような磁性体を用いることによって、銀などの導電率に優れた電極材料と同時焼成することができる。さらに、ガラス成分を含む絶縁体層２４には前記酸化物磁性体層２３と同時焼成可能なガラスセラミックス材料、もしくは酸化物磁性体とガラスセラミック材料の混合材料を用いることができる。
【００２７】
次に、このような構成を有するコモンモードノイズフィルタ（実施例１）と、比較のために磁性層２１ａ，２１ｂが酸化物磁性体のみで構成された場合（従来例）の外部端面電極２５の接着強度の平均値、最大値、最小値を（表１）に示す。
【００２８】
なお、本実施の形態１における外部端面電極２５の接着強度の評価には、ガラスフリットを含む焼付Ａｇ電極を形成した下地電極層の上に、ＮｉめっきおよびＳｎめっきを施した厚み０．５ｍｍ×幅１．０ｍｍ×長さ１．２ｍｍのチップサイズのコモンモードフィルタを作製し、図１に示した外部端面電極２５の対向するそれぞれの電極に０．２０ｍｍφのリード線をはんだ付けした試料をそれぞれ５０個作製し、この試料を引張試験機を用いて接着強度の評価を行った。その評価結果を（表１）に示す。
【００２９】
【表１】
2006319009.tif 000003
【００３０】
（表１）に示すように、実施例１では外部端面電極２５の接着強度は従来例に比較して大きくなっており、そのばらつきも小さくなっている。このように磁性層２１ａ，２１ｂを、酸化物磁性体層２３とガラスを含む絶縁体層２４の積層構造にすることによって電気特性を低下することなく実装信頼性に優れたコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【００３１】
なお、前記磁性層２１ａ，２１ｂを構成する酸化物磁性体層２３にはＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライトを用いているが、電極材料であるＡｇと同時焼成するために９２０℃以下で焼成可能であることと、コモンモードノイズフィルタとしての電気特性を有するために透磁率が２０以上であることを満たせば、他の酸化物磁性体を用いることができる。
【００３２】
また、酸化物磁性体層２３の厚みはコモンモードノイズフィルタのサイズに依存するが、おおむね５０〜１５０μｍ程度が望ましい。５０μｍ未満ではコモンモードノイズフィルタの電気特性が劣化し、１５０μｍよりも厚くなるとガラス成分を含む絶縁体層２４の挿入枚数が少なくなり、外部端面電極２５の接着強度を大きくする効果が小さくなる。
【００３３】
また、ガラス成分を含む絶縁体層２４にはホウケイ酸ガラス粉末とＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト粉末の混合物を用いているが、この混合比を変更することにより、コモンモードノイズフィルタの特性を制御することが可能であり、０〜１５％程度のＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライトの混合比が望ましい。Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライトの混合比が１５％より多くなると、９２０℃で焼結が不十分となり、コモンモードノイズフィルタの機械強度が劣化し、実装時にチッピング等の不具合が生じる。また、ガラス粉末には、９２０℃以下で焼成が可能であること、線膨張係数が８０〜１１０×１０-7／℃であることを満たせば、ホウケイ酸ガラス、ホウケイ酸アルカリガラスなどの他のガラス粉末を用いることができる。この範囲を超えると酸化物磁性体との線膨張係数の非整合により、クラック等の不具合が生じることがある。
【００３４】
また、非磁性層２０は、Ｚｎ−Ｃｕフェライトを用いているが、実質的に非磁性体であること、９２０℃で焼成可能であること、線膨張係数が８０〜１１０×１０-7／℃であることを満たせば、他の非磁性絶縁材料を用いることができる。
【００３５】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２におけるコモンモードノイズフィルタについて説明する。
【００３６】
本実施の形態２における本発明のコモンモードノイズフィルタの基本構成は図１および図２に示したコモンモードノイズフィルタとほぼ同様の構成を有しており、実施の形態１と同様の構成については説明を省略する。
【００３７】
特に、本実施の形態２におけるコモンモードノイズフィルタが実施の形態１の構成と大きく異なる点は、非磁性層２０にガラス成分を含ませている点である。
【００３８】
具体的には、９２０℃以下で焼成可能であり、線膨張係数が約１００×１０-7／℃である水晶をフィラとした無ホウケイ酸ガラス粉末（ＳｉＯ2−ＣａＯ−ＺｎＯ−ＭｇＯ系ガラス）を非磁性層２０の出発材料に用いた５０μｍ程度のセラミックグリーンシートを作製し、これを積層して非磁性層２０を形成した（実施例２）。これらの試料について実施の形態１と同様の評価方法によって評価した外部端面電極２５の接着強度の評価結果を（表２）に示す。
【００３９】
【表２】
2006319009.tif 000004
【００４０】
（表２）の結果より、ガラス材料を含んだ絶縁体材料を非磁性層２０に用いることにより、非磁性層２０と外部端面電極２５との接着強度が大きくなり、接着強度のばらつきも小さくなることによって、さらに実装信頼性の優れたコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【００４１】
加えて、前記絶縁材料を用いた非磁性層２０を構成することによって非磁性層２０の誘電率が低下し、高周波帯域まで利用可能なコモンモードノイズフィルタを実現できるという作用も有している。
【００４２】
なお、９２０℃以下で焼成可能であり、かつ線膨張係数が約８０〜１１０×１０-7／℃であればガラス−水晶系、ガラス−アルミナ系、ガラス−フォルステライト系誘電体のようなガラスセラミック材料等を非磁性層２０に用いることによって、非磁性層２０の誘電率を低く設計できることから高周波帯域まで優れた電気特性を有するコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【００４３】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３におけるコモンモードノイズフィルタについて図面を用いて説明する。
【００４４】
図８は本発明の実施の形態３におけるコモンモードノイズフィルタの斜視図であり、図９は図８のＢ−Ｂ部における断面図である。なお、実施の形態１，２と同様の構成を有するものについては、同一符号を付しその説明を省略する。
【００４５】
図８、図９において、特に本実施の形態３におけるコモンモードノイズフィルタが実施の形態１，２の構成と大きく異なる点は、磁性層２１ａ，２１ｂの最外層をガラス成分を含んだ絶縁体層２４ａ，２４ｂで形成した点である。
【００４６】
具体的には、９２０℃以下で焼成可能な無ホウケイ酸ガラス（ＳｉＯ2−ＣａＯ−ＺｎＯ−ＭｇＯ系ガラス）に９ｗｔ％のＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライトを混合した粉末から２５μｍ程度の厚みを有するセラミックグリーンシートを作製し、このセラミックグリーンシートを最外層に積層することによりガラス成分を含む絶縁体層２４ａ，２４ｂを形成したものである。このような非磁性層２０に水晶を無機フィラとした無ホウケイ酸ガラスを用いた場合（実施例３）の外部端面電極２５の接着強度の評価結果を（表３）に従来例と比較して示す。
【００４７】
【表３】
2006319009.tif 000005
【００４８】
（表３）に示したように、コモンモードノイズフィルタの積層焼成体の最外層をガラス成分を含んだ絶縁体層２４ａ，２４ｂで形成することにより、接着強度がより大きくなり、接着強度のばらつきも小さくなり、さらに実装信頼性の優れたコモンモードノイズフィルタが得られる。
【００４９】
なお、９２０℃以下で焼成可能であり、かつ線膨張係数が約８０〜１１０×１０-7／℃であればガラス−水晶系、ガラス−アルミナ系、ガラス−フォルステライト系誘電体のようなガラスセラミック等を最外層のガラス成分を含む絶縁体層２４ａ，２４ｂに用いることができる。
【００５０】
なお、非磁性層２０にＺｎ−Ｃｕフェライトを用いた場合でも同様な効果が得られた。
【００５１】
（実施の形態４）
以下、本発明の実施の形態４におけるコモンモードノイズフィルタについて説明する。
【００５２】
本実施の形態４における本発明のコモンモードノイズフィルタの基本構成は図１および図２に示したコモンモードノイズフィルタとほぼ同様の構成を有しており、同様の構成については説明を省略する。
【００５３】
ここで、本実施の形態４におけるコモンモードノイズフィルタが実施の形態１，２の構成と大きく異なる点は、非磁性層２０に含まれるガラス成分もしくは磁性層２１ａ，２１ｂに含まれるガラス成分の少なくともいずれかと同じガラス粉末を若干含んだＡｇペーストを用いて、外部端面電極２５を形成する下地電極にガラス成分を含んだＡｇメタライズ層を形成し、その下地電極層の上にＮｉめっき層とＳｎめっき層で構成した点である。
【００５４】
より具体的には、非磁性層２０にガラスセラミック材料を用い、最外層を酸化物磁性体とし、実施の形態１で用いた無ホウケイ酸ガラスを５％混合したＡｇペーストを下地電極層の形成に用いて実施の形態１と同様な構成のコモンモードノイズフィルタを作製した。このときの外部端面電極２５の接着強度の評価結果を（表４）に従来例と比較して示す。
【００５５】
【表４】
2006319009.tif 000006
【００５６】
このような構成とすることによって、積層焼成体中のガラス成分と外部端面電極２５中のガラス成分に連続性が生じ、積層焼成体と外部端面電極２５の単位面積あたりの接着強度をさらに高めることができることから、さらに実装信頼性に優れたコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【００５７】
なお、Ａｇペーストに混合するガラス粉末量は、１％未満では接着強度を大きくするための効果は小さく、５％よりも多くなるとＮｉめっきとの密着強度が低下することから、ガラス粉末量の添加量は１〜５％の範囲が望ましい。
【００５８】
なお、非磁性層２０にＺｎ−Ｃｕフェライトを用いた場合において、最外層をガラスセラミック材料とした場合でも同様の効果が得られた。
【００５９】
（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５におけるコモンモードノイズフィルタについて図面を用いて説明する。
【００６０】
本実施の形態５におけるコモンモードノイズフィルタの基本構成は図１および図２に示したコモンモードノイズフィルタとほぼ同様の構成を有しており、同様の構成については説明を省略する。
【００６１】
本実施の形態５におけるコモンモードノイズフィルタが実施の形態１の構成と大きく異なる点は、図１０に示すようにガラス成分を含む絶縁体層２４で挟まれる酸化物磁性体層２３の端面がガラス成分を含む絶縁体層２４よりも窪んでいる点である。
【００６２】
前記構成を有するコモンモードノイズフィルタは、例えば以下の製造プロセスを経て作製することができる。
【００６３】
まず始めに、焼成温度に対する焼成収縮の最大変化率が７５０℃付近に存在する無ホウケイ酸ガラス粉末を用いて、厚み２５μｍのセラミックグリーンシートを作製する。このセラミックグリーンシートを用いて磁性層２１ａ，２１ｂを構成するガラス成分を含む絶縁体層２４を形成する。
【００６４】
次に、焼成温度に対する焼成収縮の最大変化率が８５０℃のＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト酸化物磁性体粉末を用いて、約１００μｍの厚みを有するセラミックグリーンシートを作製する。このセラミックグリーンシートを用いて磁性層２１ａ，２１ｂを構成する酸化物磁性体層２３を形成する。
【００６５】
それぞれのセラミックグリーンシートは実施の形態１同様にして積層することによって積層体を作製する。
【００６６】
このようにして作製した積層体は、コイル導体の融点以下である９００℃前後で一体焼成して、二つの平面コイル２２ａ，２２ｂもしくは平行二重螺旋状の平面コイル２２ｅ，２２ｆを埋設した積層焼成体とする。この焼結過程において、８００℃以下では、まだほとんど焼成が進行しない酸化物磁性体層２３に拘束されたガラス成分を含む絶縁体層２４は平面方向にほとんど収縮できずに、厚み方向に収縮し緻密化する。次に、８００℃を超えて酸化物磁性体層２３の焼結が進行するが、緻密化したガラス層を含む絶縁体層２４に拘束され、その界面で平面方向に収縮できずに、厚み方向と界面から離れた酸化物磁性体層２３の中心で平面方向に収縮する。その結果、ガラス成分を含む絶縁体層２４で挟まれる酸化物磁性体層２３の端面が、ガラス成分を含む絶縁体層２４と酸化物磁性体層２３の両界面を起点とした凹状の形状を有するようになる。
【００６７】
このように得られた積層焼成体の外部側面に露出した引出電極２２ｃ，２２ｄの端面に電気的に接続されるようにＡｇペーストを端面塗布してＡｇメタライズ層を下地電極層として形成し、さらにＮｉめっき、Ｓｎめっきを施して外部端面電極２５ａを形成した（発明品８）。このように、非磁性層２０にガラスセラミックを用い、最外層を酸化物磁性体としたときの外部端面電極２５ａの接着強度の評価結果を（表５）に従来例と比較して示す。
【００６８】
【表５】
2006319009.tif 000007
【００６９】
（表５）の結果より、発明品９ではガラス成分を含む絶縁体層２４と外部端面電極２５ａとの接着強度がより強固となるため、接着強度の平均値は増大し、ばらつきが減少しており、実装信頼性の優れたコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【００７０】
なお、非磁性層２０にＺｎ−Ｃｕフェライトを用いた場合、最外層にガラスセラミック材料を用いた場合、あるいは下地電極層を形成するＡｇペーストに非磁性層２０もしくはガラス成分を有する絶縁体層２４，２４ａ，２４ｂに含まれるガラス成分を添加した場合においても同様な効果が得られることを確認している。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
以上のように、本発明にかかるコモンモードノイズフィルタは、単位面積あたりの接着強度が大きな外部端面電極を実現できることから、各種電子機器、特に携帯型の電子機器に用いられるような実装信頼性が望まれる小型のコモンモードノイズフィルタとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の形態１におけるコモンモードノイズフィルタの斜視図
【図２】同分解図
【図３】同図１のＡ−Ａ部における断面図
【図４】同別の平面コイルを設けた断面図
【図５】同平行二重螺旋状の平面コイルを設けたコモンモードコイルを説明するための分解図
【図６】同断面図
【図７】同別の平面コイルを設けた断面図
【図８】本発明の実施の形態３におけるコモンモードノイズフィルタの斜視図
【図９】同図８のＢ−Ｂ部における断面図
【図１０】本発明の実施の形態５におけるコモンモードノイズフィルタの断面図
【図１１】従来のコモンモードノイズフィルタの分解斜視図
【符号の説明】
【００７３】
２０  非磁性層
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ  コイル形成層
２１ａ，２１ｂ  磁性層
２２ａ，２２ｂ  平面コイル
２２ｃ，２２ｄ  引出電極
２２ｅ，２２ｆ  平行二重螺旋状の平面コイル
２３  酸化物磁性体層
２４，２４ａ，２４ｂ  ガラス成分を含む絶縁体層
２５，２５ａ  外部端面電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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