(57)【要約】【課題】  維持放電を対向放電に誘導して、放電開始電圧を低くしながらも発光効率を向上させアドレス放電を容易にするプラズマ表示パネルに関する。【解決手段】  プラズマ表示パネルは、対向配置される第１基板及び第２基板と;前記第１基板に一方向に沿って平行に形成されるアドレス電極と;前記第１基板と前記第２基板との間の空間に前記アドレス電極と平行な方向に配置される第１隔壁部材、及び前記アドレス電極と交差する方向に配置される第２隔壁部材を含んで、複数の放電セルを区画する隔壁と;前記各放電セル内に形成される蛍光体層と;前記第１基板と前記第２基板との間で、前記各放電セルを構成する第２隔壁部材に対応して、これと平行な方向に沿って長く連結されて形成される第１電極と;互いに隣接する一対の前記第１電極の間に配置されて、前記第１隔壁部材を横切って前記放電セルの内部空間を貫通して通過するように形成される第２電極と;を含む。【選択図】  図２
2006019277.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置される第１基板及び第２基板;
前記第１基板に一方向に沿って平行に形成されるアドレス電極;及び
前記第１基板と前記第２基板との間の空間に前記アドレス電極と平行な方向に配置される第１隔壁部材、及び前記アドレス電極と交差する方向に配置される第２隔壁部材を含んで、複数の放電セルを区画する隔壁;
前記各放電セル内に形成される蛍光体層;
前記第１基板と前記第２基板との間で、前記各放電セルを構成する前記第２隔壁部材に対応して、これと平行な方向に沿って長く連結されて形成される第１電極;及び
互いに隣接する一対の前記第１電極の間に配置されて、前記第１隔壁部材を横切って前記放電セルの内部空間を貫通して通過するように形成される第２電極;
を含むことを特徴とするプラズマ表示パネル。
【請求項２】
前記第１電極の各々は、外面が誘電層で囲まれて形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３】
前記第１電極及びこれらに各々対応する前記第２隔壁部材を長さ方向への垂直な平面で切断した各断面は、実質的に同一な対称軸を有することを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項４】
前記第１電極を長さ方向に垂直な平面で切断した前記第１電極の断面は、前記基板と平行な方向への長さより前記基板に垂直な方向への長さの方がより長く形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項５】
前記第１電極には、少なくとも前記各放電セルの内部空間に向かう側面に保護膜が形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項６】
前記保護膜は、可視光非透過性特性を有することを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項７】
前記第２電極の各々は、外面が誘電層で囲まれて形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項８】
前記第２電極の前記第１電極と対向する面に形成された誘電層の厚さより前記第２電極の前記第１基板に向かう面に形成された誘電層の厚さの方がより厚く形成されることを特徴とする請求項７に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項９】
前記第２電極を長さ方向に垂直な平面で切断した前記第２電極の断面は、前記基板と平行な方向への長さより前記基板に垂直な方向への長さの方がより長く形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１０】
前記第２電極は、少なくとも前記放電セルの内部空間に露出される外面が保護膜で囲まれるように形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１１】
前記保護膜は、可視光非透過性特性を有することを特徴とする請求項１０に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１２】
前記第２電極は、前記第１隔壁部材を貫通するように形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１３】
前記第１隔壁部材及び前記第２隔壁部材は、前記第１基板に隣接して、前記第２基板面に向かって突出形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１４】
前記第２基板に隣接して、前記第１隔壁部材と対応する形状に前記第１基板面に向かって突出形成される第３隔壁部材をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１５】
前記第２基板に隣接して、前記第２隔壁部材と対応する形状に前記第１基板面に向かって突出形成される第４隔壁部材をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１６】
前記第１電極は、前記第２隔壁部材と前記第４隔壁部材との間に位置することを特徴とする請求項１５に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１７】
前記第２電極は、前記第１隔壁部材と前記第３隔壁部材との間に位置することを特徴とする請求項１４に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１８】
前記第２基板に隣接して、前記第１隔壁部材と対応する形状に前記第１基板面に向かって突出形成される第３隔壁部材;及び
前記第２基板に隣接して、前記第２隔壁部材と対応する形状に前記第１基板面に向かって突出形成される第４隔壁部材;を含み、
前記第３隔壁部材と前記第４隔壁部材とによって区画される前記第２基板の領域内に蛍光体層が形成されることを特徴とする請求項１３に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項１９】
前記アドレス電極の各々は、
前記第１電極と前記第２電極との間に各々対応して形成されるアドレス放電誘導部、及びこのアドレス放電誘導部の間に対応して、これらを互いに電気的に連結する連結部を含むことを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２０】
前記連結部の前記アドレス電極と交差する方向に測定される幅は、前記アドレス放電誘導部の前記アドレス電極と交差する方向に測定される幅より狭く形成されることを特徴とする請求項１９に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２１】
前記アドレス放電誘導部は、各放電セルに二つずつ配置されることを特徴とする請求項１９に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２２】
前記アドレス放電誘導部は、互いに平行に配置される前記第１電極と前記第２電極との間に対応する四角形に形成されることを特徴とする請求項１９に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２３】
前記アドレス放電誘導部は、アドレス電極の伸張方向に沿って前記第１電極と第１間隙を形成し、前記第２電極と第２間隙を形成して、前記第１間隙が前記第２間隙より大きく形成されることを特徴とする請求項１９に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２４】
互いに隣接する一対の前記第２隔壁部材の間に前記第２隔壁部材と平行に配置される補助隔壁部材をさらに含み、
前記第２電極は、前記補助隔壁部材に対応して、これと平行な方向に沿って長く連結されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２５】
前記補助隔壁部材は、その側面に蛍光体層が形成されていることを特徴とする請求項２４に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２６】
前記第２電極及びこれらに各々対応する前記補助隔壁部材の長さ方向に垂直な断面は、実質的に同一な対称中心線を有することを特徴とする請求項２４に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２７】
前記第２基板には、前記第１基板に向かって前記第１隔壁部材と対応する形状に突出形成される第３隔壁部材が形成され、前記第１基板に向かって前記第２隔壁部材と対応する形状に突出形成される第４隔壁部材が形成され、
前記第１電極は、互いに対応する前記第２隔壁部材と前記第４隔壁部材との間に位置し、前記第２電極は、互いに交差する前記補助隔壁部材と前記第３隔壁部材との間に位置することを特徴とする請求項２４に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２８】
前記第１電極及び前記第２電極のうちの少なくともいずれか一方には、放電セル内で互いに対向する面に向かって突出する突起が含まれることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項２９】
前記第１電極は、前記第２電極に向かう面に突起が形成されることを特徴とする請求項２８に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３０】
前記突起は、前記第１電極の長さ方向に対する垂直断面で、前記第１基板側と前記第２基板側との間の中間に形成されることを特徴とする請求項２９に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３１】
前記第１電極の各々は、外面及び突起が誘電層で囲まれて形成されることを特徴とする請求項２９に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３２】
前記第２電極は、前記第１電極に向かう面に突起が形成されることを特徴とする請求項２８に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３３】
前記突起は、前記第２電極の長さ方向に対する垂直断面で、前記第１基板側及び前記第２基板側のうちのいずれか一方に偏って形成されることを特徴とする請求項３２に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３４】
前記突起は、前記第２電極の長さ方向に対する垂直断面で、前記第１基板側と前記第２基板側との間の中間に形成されることを特徴とする請求項３２に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３５】
前記第２電極の各々は、外面及び突起が誘電層で囲まれて形成されることを特徴とする請求項３２に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３６】
前記第１電極は、前記第２電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、
前記第２電極は、前記第１電極の前記突起に向かって突出する突起を含むことを特徴とする請求項２８に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３７】
前記第１電極は、前記第２電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、
前記第２電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成されることを特徴とする請求項２８に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３８】
前記第１電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成され、
前記第２電極は、前記第１電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含むことを特徴とする請求項２８に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項３９】
前記第１電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成され、
前記第２電極は、前記第１電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、この突起を囲む誘電層が突起と同一な方向に突出するように形成されることを特徴とする請求項２８に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項４０】
前記第１電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成され、
前記第２電極は、前記第１電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、この突起は、前記第１基板側に偏って形成されることを特徴とする請求項２８に記載のプラズマ表示パネル。
【請求項４１】
前記第１電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成され、
前記第２電極は、前記第１電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、この突起は、前記第２基板側に偏って形成されることを特徴とする請求項２８に記載のプラズマ表示パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ表示パネルに関し、特に、高精細（ｈｉｇｈｅｒ  ｄｅｎｓｉｔｙ）、高輝度（ｈｉｇｈ  ｌｕｍｉｎａｎｃｅ）表示の実現に有利な電極構造のプラズマ表示パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラズマ表示パネルは、気体放電によって得られたプラズマから放射された真空紫外線（ＶＵＶ）が蛍光体を励起させることによって発生する可視光を利用して、映像を実現する表示素子である。このようなプラズマ表示パネルは、６０インチ以上の超大型画面を僅か１０ｃｍ以内の厚さに実現することができ、ＣＲＴのような自発光表示素子であるので、色再現力が優れていて、視野角による歪曲現象がない特性を有する。また、ＬＣＤなどに比べて製造工法が単純で、生産性及び製造原価の側面からもメリットがあるので、次世代の産業用平板表示パネル及び家庭用ＴＶ表示パネルとして脚光を浴びいている。
【０００３】
プラズマ表示パネルの構造は、１９７０年代から長期間にわたって発展してきたが、現在、一般に知られている構造は、３電極面放電型構造である。３電極面放電型構造は、同一面上に位置する二つの電極を含む一つの基板、及びこれから一定の距離をおいて離隔して、垂直な方向に連結されるアドレス電極を含む他の基板からなり、その間に放電ガスが封入された構造である。一般に、放電の有無は、各ラインに連結されて、独立的に制御される走査電極、及びこの走査電極に対向しているアドレス電極の放電によって決定され、輝度を表示する維持放電は、同一面上に位置する二つの電極群によって行われる。
【０００４】
プラズマ表示パネルは、人の目に見える可視光を生成するためにグロー放電を利用するが、このグロー放電が起きた後に人の目に可視光が到達するまで、いくつかの段階を経るようになる。つまり、グロー放電が起きると、電子と気体との間の衝突によって励起された気体が生成されて、このように励起された気体から紫外線が発生する。紫外線は、放電セル内の蛍光体と衝突して可視光を生成し、この可視光は、前面の透明基板を通過して、人の目に到達する。このような段階を経ながら、入力エネルギーは相当量が損失される。
【０００５】
グロー放電は、普通、低気圧（＜１ａｔｍ）下で、放電開始電圧以上の電圧を二つの電極の間に印加することによって得られる。放電開始電圧は、気体の種類、気体の圧力、電極間の距離の関数である。ＡＣ放電の場合、この三つの他に、誘電体のキャパシタンス（誘電率、電極面積、誘電体の厚さ）及び印加電圧の周波数が放電開始電圧に影響を与える。
【０００６】
放電が開始されるためには非常に高い電圧が必要であるが、一度放電が起これば、負極及び正極の周辺に生成される空間電荷の差によって、負極と正極との間での電圧分布は、図１のように歪曲された形態になる。図１は、二つの電極の周辺、つまりカソードシス（ｃａｔｈｏｄｅ  ｓｈｅａｔｈ）及びアノードシス（ａｎｏｄｅ  ｓｈｅａｔｈ）と呼ばれる領域で電圧の大半が印加されていることを示しており、相対的に、ポジティブコラム（ｐｏｓｉｔｉｖｅ  ｃｏｌｕｍｎ）領域で印加される電圧は微小であることが分かる。特に、プラズマ表示パネルで起こるグロー放電の場合、カソードシスで印加される電圧がアノードシスで印加される電圧より遥かに高いことが分かっている。
【０００７】
蛍光体からの可視光の放出は、紫外線及び蛍光体の衝突によって発生し、紫外線は、励起状態（ｅｘｃｉｔｅｄ  ｓｔａｔｅ）のゼノン（Ｘｅ）が安定した状態（ｇｒｏｕｎｄ  ｓｔａｔｅ）のゼノンにエネルギー準位が変化する時に生成される。一方、励起状態のゼノンは、安定した状態のゼノン及び電子の衝突によって形成される。したがって、入力エネルギーのうちの可視光を生成する比率、つまり発光効率を向上させるためには、電子加熱効率（ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｈｅａｔｉｎｇ  ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ）が増加しなければならない。
【０００８】
一般に、ポジティブコラム領域での電子加熱効率がカソードシス領域での電子加熱効率に比べて高いので、プラズマ表示パネルの発光効率の向上は、ポジティブコラム領域を増加させることによって可能である。シス領域は、同一な圧力下ではその厚さがほとんど同一であるので、発光効率を向上させるためには、放電距離の長さを増加させる必要がある。
【０００９】
３電極構造のプラズマ表示パネルの場合、二つの電極の間が最も近い領域（放電セルの中心部分）で放電が開始されて、その後、放電は、電極の周縁領域に移動する。放電が中心領域で起こる理由は、この領域での放電開始電圧が低いためである。一般に、放電開始電圧は、圧力と電極の間の距離との積の関数であり、プラズマ表示パネルの動作領域は、パスェン曲線（Ｐａｓｃｈｅｎ  ｃｕｒｖｅ）の最少値の右側に位置する。一度放電が開始されれば、空間電荷の形成により放電開始電圧より遥かに低い電圧下で放電が維持され、二つの電極の間にかかる電圧は時間に伴って次第に低くなる。放電開始後、中心領域にイオン及び電子が蓄積されるのに伴って電場の強さは弱くなり、この領域で放電は無くなる。
【００１０】
カソード及びアノードスポット（ｓｐｏｔ）は、時間の流れに伴って、表面電荷（ｓｕｒｆａｃｅ  ｃｈａｒｇｅ）がない領域、つまり電極の周縁付近に移動するようになる。この時、二つの電極の間にかかる電圧が時間に伴って減少するので、放電セルの中心領域（発光効率が低い構造）では強放電が起こり、放電セルの周縁付近（発光効率の高い構造）では弱放電が起こるようになる。このような原理で、既存の３電極面放電構造は、入力エネルギーの中で電子を加熱するのに使用される比率が低くならざるをえず、結果的に発光効率も低下する。
【００１１】
このような３電極構造が有する弱点を克服するためには、表示電極の間の距離を大きくする方法を考慮してみることができるが、これは放電開始電圧の上昇を招く。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の目的は、維持放電を対向放電に誘導して、放電開始電圧を低くしながらも発光効率を向上させて、アドレス放電を容易にするプラズマ表示パネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によるプラズマ表示パネルは、対向配置される第１基板及び第２基板と、前記第１基板に一方向に沿って平行に形成されるアドレス電極と、前記第１基板と前記第２基板との間の空間に前記アドレス電極と平行な方向に配置される第１隔壁部材、及び前記アドレス電極と交差する方向に配置される第２隔壁部材を含んで、複数の放電セルを区画する隔壁と、前記各放電セル内に形成される蛍光体層と、前記第１基板と前記第２基板との間で、前記各放電セルを構成する前記第２隔壁部材に対応して、これと平行な方向に沿って長く連結されて形成される第１電極と、互いに隣接する一対の前記第１電極の間に配置されて、前記第１隔壁部材を横切って前記放電セルの内部空間を貫通して通過するように形成される第２電極とを含む。
【００１４】
前記第１電極の各々は、外面が誘電層で囲まれて形成され、この第１電極及びこれらに各々対応する前記第２隔壁部材をその長さ方向に垂直な平面で切断した各断面は、実質的に同一な対称軸を有する。
【００１５】
また、前記第１電極を長さ方向に垂直な平面で切断した前記第１電極の断面は、前記基板と平行な方向への長さより前記基板に垂直な方向への長さの方がより長く形成される。
【００１６】
前記第１電極には、少なくとも前記各放電セルの内部空間に向かう側面に保護膜が形成され、前記保護膜は、可視光非透過性特性を有する。
【００１７】
前記第２電極の各々は、外面が誘電層で囲まれて形成され、前記第２電極の前記第１電極と対向する面に形成された誘電層の厚さより前記第２電極の前記第１基板に向かう面に形成された誘電層の厚さの方がより厚く形成される。
【００１８】
前記第２電極を長さ方向に垂直な平面で切断した前記第２電極の断面は、前記基板と平行な方向への長さより前記基板に垂直な方向への長さの方がより長く形成される。
【００１９】
前記第２電極は、少なくとも前記放電セルの内部空間に露出される外面が保護膜で囲まれるように形成され、前記保護膜は、可視光非透過性特性を有する。
【００２０】
前記第２電極は、前記第１隔壁部材を貫通するように形成される。
【００２１】
前記第１隔壁部材及び前記第２隔壁部材は、前記第１基板に隣接して、前記第２基板面に向かって突出形成され、前記第２基板に隣接して、前記第１隔壁部材と対応する形状に前記第１基板面に向かって突出形成される第３隔壁部材が形成され、前記第２基板に隣接して、前記第２隔壁部材と対応する形状に前記第１基板面に向かって突出形成される第４隔壁部材が形成される。
【００２２】
前記第１電極は、前記第２隔壁部材と前記第４隔壁部材との間に位置し、前記第２電極は、前記第１隔壁部材と前記第３隔壁部材との間に位置する。
【００２３】
前記第３隔壁部材と第４隔壁部材とによって区画される前記第２基板の領域内に蛍光体層が形成される。
【００２４】
また、前記アドレス電極の各々は、前記第１電極と前記第２電極との間に各々対応して形成されるアドレス放電誘導部、及びこのアドレス放電誘導部の間に対応して、これらを互いに電気的に連結する連結部を含む。
【００２５】
前記連結部の前記アドレス電極と交差する方向に測定される幅は、前記アドレス放電誘導部の前記アドレス電極と交差する方向に測定される幅より狭く形成される。
【００２６】
前記アドレス放電誘導部は、各放電セルに二つずつ配置される。このアドレス放電誘導部は、互いに平行に配置される前記第１電極と前記第２電極との間に対応する四角形に形成される。
【００２７】
前記アドレス放電誘導部は、アドレス電極の伸張方向に沿って前記第１電極と第１間極δ１２を形成し、前記第２電極と第２間極δ２２を形成する。第１間極δ１２は、ミスアドレシングを防止するために、第２間極δ２２より大きく形成される。
【００２８】
互いに隣接する一対の前記第２隔壁部材の間には、前記第２隔壁部材と平行に補助隔壁部材がさらに配置され、前記第２電極は、前記補助隔壁部材に対応して、これと平行な方向に沿って長く連結されるように形成される。
【００２９】
前記補助隔壁部材は、その側面に蛍光体層が形成される。
【００３０】
前記第２電極及びこれらに各々対応する前記補助隔壁部材の長さ方向に垂直な断面は、実質的に同一な対称中心線を有する。
【００３１】
前記第１電極は、互いに対応する前記第２隔壁部材と前記第４隔壁部材との間に位置し、前記第２電極は、互いに交差する前記補助隔壁部材と前記第３隔壁部材との間に位置する。
【００３２】
前記第１電極及び前記第２電極のうちの少なくともいずれか一方には、放電セル内で互いに対向する面に向かって突出する突起が含まれる。
【００３３】
前記第１電極は、前記第２電極に向かう面に突起を含み、この突起は、前記第１電極の長さ方向に対する垂直断面で、前記第１基板側と前記第２基板側との間の中間に形成される。
【００３４】
前記第１電極の各々は、外面及び突起が誘電層で囲まれて形成される。
【００３５】
前記第２電極は、前記第１電極に向かう面に突起を含み、この突起は、前記第２電極の長さ方向に対する垂直断面で、前記第１基板側及び前記第２基板側のうちのいずれか一方に偏って形成されたり、その間の中間に形成される。この第２電極の各々は、外面及び突起が誘電層で囲まれて形成される。
【００３６】
また、前記第１電極は、前記第２電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、前記第２電極は、前記第１電極の前記突起に向かって突出する突起を含む。
【００３７】
前記第１電極は、前記第２電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、前記第２電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成される。
【００３８】
前記第１電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成され、前記第２電極は、前記第１電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含む。
【００３９】
前記第１電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成され、前記第２電極は、前記第１電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、この突起を囲む誘電層が突起と同一な方向に突出するように形成される。
【００４０】
前記第１電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成され、前記第２電極は、第１電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、この突起は、前記第１基板側に偏って形成される。
【００４１】
前記第１電極は、その長さ方向に対する垂直断面が四角形に形成されて、この四角形は、前記基板と平行な方向の長さより前記基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成され、前記第２電極は、前記第１電極の互いに対向する面に向かって突出する突起を含み、この突起は、前記第２基板側に偏って形成される。
【発明の効果】
【００４２】
本発明によるプラズマ表示パネルによれば、維持放電を対向放電に誘導して、放電開始電圧を低くしながら、一つの放電セルで二つの維持放電を起こして発光効率を向上させる効果があり、これに加えて、アドレス電極を広い面積のアドレス放電誘導部、及びこれを連結する連結部から形成して、このアドレス放電誘導部を第１電極と第２電極との間に対応させることによって、第１電極及び第２電極側に多量の壁電荷が蓄積されるようにして、アドレス放電をより容易にする効果がある。
【００４３】
また、前面基板に誘電層及び透明電極を形成しなくてもよいので、プラズマ表示パネルの製造原価が節減されるだけでなく、可視光透過率も高める。
【００４４】
さらに、可視光透光性ＭｇＯ保護膜を利用することによって、放電開始電圧をより低くすることができ、前面基板にも蛍光体を形成することによって、真空紫外線の損失を最少化して、発光効率を向上させることができる。
【００４５】
また、維持放電に関与する電極に突起を形成することによって、維持放電電圧をより低くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施例について、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。しかし、本発明は多様な相異した形態で実現でき、ここで説明する実施例に限定されない。図面では本発明を明確に説明するために、説明に不必要な部分は省略し、明細書全体にわたって同一または類似した構成要素については、同一な参照符号を付けた。
【００４７】
図２は、本発明の第１実施例によるプラズマ表示パネルを示した部分分解斜視図であり、図３は、本発明の第１実施例によるプラズマ表示パネルにおける電極及び放電セルの構造を概略的に示した部分平面図であり、図４は、図２に示されたプラズマ表示パネルを結合した状態のIV-IV線による部分断面図である。
【００４８】
この図面を参照すれば、本発明の第１実施例によるプラズマ表示パネルは、基本的に、第１基板１０（以下、‘背面基板’と言う）と第２基板２０（以下、‘前面基板’と言う）とが所定の間隔をおいて対向配置され、この背面基板１０と前面基板２０との間の空間には複数の放電セル１８が隔壁１６、２６によって区画されている。
【００４９】
放電セル１８内には、紫外線を吸収して可視光を放出する蛍光体層１９、２９が隔壁面及び底面に沿って形成され、また、前記放電セル１８内には、プラズマ放電を起こすように放電ガス（一例として、ゼノン（Ｘｅ）、ネオン（Ｎｅ）などを含む混合ガス）が充填されている。
【００５０】
背面基板１０の前面基板２０と対向する面には、一方向（図面のｙ軸方向）に沿ってアドレス電極１２が形成され、これらアドレス電極１２を覆いながら背面基板１０の内面全体に誘電層１４が形成される。アドレス電極１２は、隣接する他のアドレス電極１２と放電セル１８に対応する間隔（ｘ軸方向）を維持しながら互いに平行に配置される。
【００５１】
隔壁１６、２６は、背面基板１０に隣接して、前面基板２０に向かって突出形成される背面板隔壁１６、及び前面基板２０に隣接して、背面基板１０に向かって突出形成される前面板隔壁２６から構成される。
【００５２】
背面板隔壁１６は、背面基板１０に形成される誘電層１４上に形成されるが、本実施例で、前記背面板隔壁１６は、アドレス電極１２と平行な方向に配置される第１隔壁部材１６ａ、及びこの第１隔壁部材１６ａと交差するように形成されて、各々の放電セル１８を独立的な放電空間に区画する第２隔壁部材１６ｂから構成される。そして、前面板隔壁２６は、前記第１隔壁部材１６ａと対応する形状に形成される第３隔壁部材２６ａ、及び前記第２隔壁部材１６ｂと対応する形状に形成される第４隔壁部材２６ｂから構成される。したがって、第３隔壁部材２６ａ及び第４隔壁部材２６ｂは、互いに交差する方向に形成されて、前記各放電セル１８に対応する領域２８を前面基板２０に形成する。
【００５３】
一方、前記背面基板１０と前記前面基板２０との間で、各放電セル１８を区画する第２隔壁部材１６ｂに対応して、前記第２隔壁部材１６ｂと平行な方向（図面のｘ軸方向）に沿って第１電極３１が長く連結されて形成される。本実施例で、第１電極３１は、前記第２隔壁部材１６ｂの各々に一つずつ対応して、これら第２隔壁部材１６ｂ上を通るように配置されるので、アドレス電極１２の長さ方向（図面のｙ軸方向）に隣接する放電セル１８を区画する基準になる。
【００５４】
また、互いに隣接する一対の第１電極３１、３１の間には、第２電極３２が配置される。第２電極３２は、前記第１隔壁部材１６ａを横切って放電セル１８の内部を貫通して通過するように形成される。
【００５５】
この時、第２電極３２は、アドレス電極１２と共にアドレス期間の放電に関与して点灯する放電セル１８を選択する役割を果たし、第１電極３１、３１は、前記第２電極３２と共に維持期間の放電に関与して画面を表示する役割を果たす。しかし、各電極は、印加される信号電圧によってその役割を異ならせることができるので、本発明はこれに限定されない。
【００５６】
図３を参照すれば、各放電セル１８は、第２電極３２によって二つの領域１８ａ、１８ｂに区画されて、放電維持期間には、これら各々の領域１８ａ、１８ｂで前記一対の第１電極３１、３１と第２電極３２との間に維持放電が起こるようになる。つまり、放電セル１８を横切る第２電極３２と、その両側に配置された一対の第１電極３１、３１との間で維持放電が起こるので、維持放電に関与する電極が放電セル１８の周縁に各々隣接する場合の放電ギャップより、放電を起こす二つの電極の間の放電ギャップが半分近くに減少するようになり、したがって、低い放電開始電圧でも駆動が可能になる。
【００５７】
図４を参照すれば、本実施例で、一対の第１電極３１、３１とこれらに各々対応する第２隔壁部材１６ｂをその長さ方向（図面のｘ軸方向）に垂直な平面で切断した各断面は、実質的に同一な対称中心線（Ｌ）を有する。このようにすることによって、第１電極３１は、前記アドレス電極１２の長さ方向（ｙ軸方向）に隣接する一対の放電セル１８ａ、１８ｂの両方に関与することができる。
【００５８】
また、本実施例で、第１電極３１の長さ方向に垂直な平面で切断した第１電極３１の断面は、基板１０、２０面と平行な方向への長さｗ１より基板１０、２０面に垂直な方向への長さｈ１の方がより長く形成され、第２電極３２の長さ方向に垂直な平面で切断した第２電極３２の断面も、基板面と平行な方向への長さｗ２より基板面に垂直な方向への長さｈ２の方がより長く形成される。したがって、第１、第２電極３１、３２間により容易に対向放電が誘導でき、それによって高い発光効率が得られる。
【００５９】
一方、第１電極３１及び第２電極３２の各々は、外面が誘電層３４、３５で囲まれて形成される。これら第１、第２電極３１、３２は、ＴＦＣＳ（Ｔｈｉｃｋ  Ｆｉｌｍ  Ｃｅｒａｍｉｃ  Ｓｈｅｅｔ）法で製造可能である。つまり、第１電極３１及び第２電極３２を含む電極部を別途に製造した後、隔壁１６が形成されている背面基板１０に結合して、製造することもできる。この時、電極はセラミックを塗布される。
【００６０】
第１電極３１及び第２電極３２を各々覆っている誘電層３４、３５の表面には、ＭｇＯ保護膜３６が形成される。特に、ＭｇＯ保護膜３６は、放電セル１８の内部の放電空間で起こるプラズマ放電に露出される部分に形成される。本実施例で、第１電極３１及び第２電極３２は、前面基板２０に形成されるものではないので、これら第１、第２電極３１、３２を覆っている誘電層３４、３５に塗布されるＭｇＯ保護膜３６は、可視光非透過性特性を有するＭｇＯからなることができる。この可視光非透過性ＭｇＯは、可視光透過性ＭｇＯに比べて遥かに高い二次電子放出係数（ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｅｍｉｓｓｉｏｎ  ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ）値を有し、したがって、放電開始電圧をより低くすることができる。
【００６１】
本実施例の第２電極３２は、第１電極３１と対向する第２電極３２の面に形成された誘電層の厚さδｌより背面基板１０に向かう第２電極３２の面に形成された誘電層の厚さδｈの方がより厚く形成される。このようにすることによって、アドレス電極１２と第２電極３２の下面との間でアドレス放電が起こるのが防止され、第２電極３２の側面と前記アドレス電極１２との間でアドレス放電が起こるようにする。
【００６２】
このように誘電層３４及びＭｇＯ保護膜３６を含む第１電極３１は、第２隔壁部材１６ｂと第４隔壁部材２６ｂとの間で、この第２、第４隔壁部材１６ｂ、２６ｂと平行に位置する。しかし、誘電層３５及びＭｇＯ保護膜３６を含む第２電極３２は、第１隔壁部材１６ａと第３隔壁部材２６ａとの間で、この第１、第３隔壁部材１６ａ、２６ａと交差するように位置する。
【００６３】
特に、第２電極３２を形成するために第１隔壁部材１６ａの一部に溝が形成されて、誘電層３５及びＭｇＯ保護膜３６が塗布された第２電極３２が前記溝に嵌合されることができる。この時、前記第２電極３２及び第１電極３１は、背面基板１０から測定される距離を同一に形成することができ、また、前記第２電極３２は、前記第２電極３２を囲む誘電層３５の上端面が前記第１隔壁部材１６ａの上端面とほぼ一致するように形成することができる。また、このような第２電極３２が第１隔壁部材１６ａを貫通するように形成されることもできる。
【００６４】
このような第１電極３１及び第２電極３２は、通電性に優れた金属電極から形成されるのが好ましい。
【００６５】
一方、前面基板２０に隣接して形成される第３隔壁部材２６ａと第４隔壁部材２６ｂとによって区画される前面基板２０の領域２８内には、蛍光体層２９が形成される。このような蛍光体層２９は、前面基板２０上に誘電層を塗布して、前面板隔壁２６を形成した後に前記誘電層上に塗布され、選択的に前記誘電層を前面基板２０に塗布せずに、この前面基板２０上に前面板隔壁２６を形成した後に塗布されることもできる。さらに、前記前面基板２０を放電セル１８の形状に合うようにエッチングした後に、その上に蛍光体層を塗布することも可能である。この時、前面板隔壁２６は、前面基板２０と同一な材料からなる。
【００６６】
以上の場合で、前面基板２０に形成される蛍光体層２９は、放電セル１８の内部で放電が起こった後に、前面基板２０側へ向かう真空紫外線（ＶＵＶ）を吸収して、可視光を発生させるのに利用される。このような蛍光体層２９は、可視光を透過させることができる必要があり、このために、背面基板１０に形成された蛍光体層１９より薄い厚さに前面基板２０に蛍光体層２９が形成される。
【００６７】
このようにすることによって、真空紫外線の損失を最少化して、発光効率が向上する。
【００６８】
図５は、本発明の第２実施例によるプラズマ表示パネルにおける電極及び放電セルの構造を概略的に示した部分平面図である。
【００６９】
本発明の第２実施例によるプラズマ表示パネルは、前記第１実施例の基本的な特徴を全て有するので、これに対する詳細な説明は省略する。ただし、本実施例のアドレス電極は前記第１実施例のアドレス電極と異なる形状を有するため、これを中心に説明する。
【００７０】
図５を参照すれば、本発明の第２実施例によるプラズマ表示パネルのアドレス電極１２２は、前記放電セル１８の二つの領域１８ａ、１８ｂに各々対応するアドレス放電誘導部１２２ａ、及びこのアドレス放電誘導部１２２ａを電気的に互いに連結する連結部１２２ｂを含み、一方向（ｙ軸方向）に長く形成される。
【００７１】
アドレス放電誘導部１２２ａは、第１電極３１と第２電極３２との間に対応する前記領域１８ａ、１８ｂに形成され、連結部１２２ｂは、第２電極３２及び隔壁１６ｂに対応して形成されるので、前記のように、第２電極３２の下でアドレス放電が起こるのが防止されながら、第１電極３１と第２電極３２との間に対応する放電セル１８の二つ領域１８ａ、１８ｂでアドレス放電が起こるように誘導される。これによって、第１電極３１及び第２電極３２の側面の誘電層に多量の壁電荷が形成されて、維持放電が起こるようになる。
【００７２】
このために、連結部１２２ｂのアドレス電極１２２と交差する方向（ｘ軸方向）に測定される幅ＷＡ１は、アドレス放電誘導部１２２ａの前記アドレス電極１２２と交差する方向に測定される幅ＷＡ２より狭く形成される。相対的に、アドレス放電誘導部１２２ａは広い幅ＷＡ２に形成され、連結部１２２ｂは狭い幅ＷＡ１に形成される。広い幅ＷＡ２に形成されるアドレス放電誘導部１２２ａは、各放電セル１８に二つずつ配置されて、連結部１２２ｂに比べてアドレス放電を容易にする。
【００７３】
このようなアドレス放電誘導部１２２ａは多様に形成することができ、本実施例では、互いに平行に配置される第１電極３１と第２電極３２との間に対応する四角形に形成されることが例示される。この四角形は、第１、第２電極３１、３２の間に相応する、四角形の放電セル１８内の領域１８ａ、１８ｂで、アドレス放電誘導部１２２ａが最大の面積を有することができるようにする。したがって、アドレス放電誘導部１２２ａは、放電セル１８の形状によって適切に対応する形状に形成される。
【００７４】
このアドレス放電誘導部１２２ａは、アドレス電極１２２の伸張方向（ｙ軸方向）に沿って第１電極３１との間に第１間隙δ１２を形成し、第２電極３２との間に第２間隙δ２２を形成する。また、第１間隙δ１２は隣接する他の放電セル１８のミスアドレシングを防止し、第２間隙δ２２は第２電極３２のすぐ下でアドレス放電が起こるのを防止するものであって、第１間隙δ１２が第２間隙δ２２より大きく形成されるのが好ましい。
【００７５】
図６は、本発明の第３実施例によるプラズマ表示パネルを示した部分分解斜視図であり、図７は、本発明の第３実施例によるプラズマ表示パネルにおける電極及び放電セルの構造を概略的に示した部分平面図であり、図８は、図６に示されたプラズマ表示パネルを結合した状態のVIII-VIII線による部分断面図である。
【００７６】
図６及び図７を参照すれば、本実施例によるプラズマ表示パネルの構造は、前記第１実施例と類似しているが、互いに隣接する一対の第２隔壁部材１６ｂの間に、これらと平行に補助隔壁部材１７がさらに配置される。つまり、第２隔壁部材１６ｂ及び補助隔壁部材１７は、アドレス電極１２の長さ方向（ｙ軸方向）に沿って交互に配置される。したがって、この補助隔壁部材１７は、放電セル１８の背面基板１０側を二つの領域１８ａ、１８ｂに区画する。また、第２電極３２は、前記第２隔壁部材１６ｂの間に配置される補助隔壁部材１７に対応して、前記補助隔壁部材１７と平行な方向（図面のｘ軸方向）に沿って長く連結されて形成される。
【００７７】
図８を参照すれば、本実施例で、第２電極３２及びこれらに各々対応する補助隔壁部材１７をその長さ方向（図面のｘ軸方向）に垂直な平面で切断した各断面は、実質的に同一な対称中心線（Ｌ）を有する。このようにすることによって、第２電極３２は、一つの放電セル１８の二つの領域１８ａ、１８ｂに関与することができるようになる。
【００７８】
また、誘電層３４及びＭｇＯ保護膜３６を含む第１電極３１は、互いに対応する第２隔壁部材１６ｂと第４隔壁部材２６ｂとの間で、この第２、第４隔壁部材１６ｂ、２６ｂと平行に位置する。しかし、誘電層３５及びＭｇＯ保護膜３６を含む第２電極３２は、互いに交差する補助隔壁部材１７と第３隔壁部材２６ａとの間で、補助隔壁部材１７と平行に第３隔壁部材２６ａと交差するように位置する。
【００７９】
特に、第２電極３２及び補助隔壁部材１７を形成するために第１隔壁部材１６ａの一部に溝が形成され、誘電層３５及びＭｇＯ保護膜３６が塗布された第２電極３２が補助隔壁部材１７上で前記溝に嵌合されることもできる。
【００８０】
本実施例の第２電極３２が補助隔壁部材１７に対応して形成されることによって、前記第２電極３２が放電セル１８内で安定した構造に支持され、また、アドレス電極１２と第２電極３２の下面とでアドレス放電が起こるのが防止されて、前記第２電極３２の側面と前記アドレス電極１２との間でアドレス放電が起こるようにする。
【００８１】
また、前記補助隔壁部材１７の側面にも蛍光体層１９が形成されることによって、真空紫外線が衝突して、可視光が発生する蛍光体層１９の面積がより増大される。
【００８２】
図９は、本発明の第４実施例によるプラズマ表示パネルを示した部分分解斜視図であり、図１０は、本発明の第４実施例によるプラズマ表示パネルにおける電極及び放電セルの構造を概略的に示した部分平面図であり、図１１は、図１０に示されたプラズマ表示パネルを結合した状態のXI-XI線による部分断面図である。
【００８３】
前記図面を参照すれば、本発明の第４実施例によるプラズマ表示パネルは、前記第３実施例と類似しているが、第１電極３１４及び第２電極３２４に放電セル１８内で互いに対向する面に向かって突出形成される突起３１４ａ、３２４ａが各々形成される。もちろん、第１電極３１４にだけ突起３１４ａが形成されたり、第２電極３２４にだけ突起３２４ａが形成されることもできる。
【００８４】
一方、前記突起３１４ａ、３２４ａは、第１電極３１４の長さ方向（ｘ軸方向）に対する垂直断面で、背面基板１０側と前面基板２０側との間の多様な位置に形成される。前記第４実施例は、前記突起３１４ａ、３２４ａが前記背面基板１０側と前面基板２０側との中間に形成されたことを例示しているが、背面基板１０側又は前面基板２０側に偏って形成されることもできる。
【００８５】
また、前記第４実施例には、補助隔壁部材１７が形成されるが、前記補助隔壁部材１７が形成されない場合でも、第１電極３１４と対向する第２電極３２４の面に形成された誘電層３５４の厚さδ１より背面基板１０に向かう第２電極３２の面に形成された誘電層の厚さδｈの方がより厚く形成されることによって、アドレス電極１２と第２電極３２４の下面とでアドレス放電が起こるのが防止される効果が得られる。
【００８６】
また、前記突起３１４ａ、３２４ａによって、第１、第２電極３１４、３２４の間で放電を開始する放電ギャップがより減少するようになって、放電開始電圧をより低くすることができる。また、この突起３１４ａ、３２４ａは、放電開始後の放電経路を長く形成して、発光効率をより向上させる。
【００８７】
前記第１、第２電極３１４、３２４の形状によって、図１３から図１７に示されているように、第５から第９実施例の多様なプラズマ表示パネルが実現される。以下の各実施例の作用効果は、前記第４実施例の作用効果と類似するか同一であるので、これに対する詳細な説明は省略して、互いに異なる構成についてのみ説明する。
【００８８】
これらに対応される第４実施例で、第１電極３１４は、第２電極３２４の互いに対向する面に向かって突出する突起３１４ａを含み、第２電極３２４は、第１電極３１４の前記突起３１４ａに向かって突出する突起３２４ａを含む。つまり、第１、第２電極３１４、３２４の全てが対向する突起３１４ａ、３２４ａを各々含んでいる。
【００８９】
図１２は、本発明の第５実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【００９０】
この図面を参照して第５実施例を説明すれば、第１電極３１５は、第２電極３２５の互いに対向する面に向かって突出する突起３１５ａを含み、第２電極３２５は、突起を含んでいない。つまり、第２電極３２５は、その長さ方向に対する垂直断面を四角形に形成している。この四角形は、前記のように背面基板１０及び前面基板２０と平行な方向の長さよりこれら基板に垂直な方向の長さの方がより長く形成される。
【００９１】
図１３は、本発明の第６実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【００９２】
この図面を参照して第６実施例を説明すれば、第１電極３１６は、突起を含まず、第２電極３２６は、第１電極３１６の互いに対向する面に向かって突出する突起３２６ａを含む。つまり、第１電極３１６は、その長さ方向に対する垂直断面をこのような四角形に形成する。
【００９３】
図１４は、本発明の第７実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【００９４】
この図面を参照して第７実施例を説明すれば、第１電極３１７は、突起を含まず、第２電極３２７は、第１電極３１７の互いに対向する面に向かって突出する突起３２７ａを含む。また、この突起３２７ａを囲む誘電層３５７も突起３２７ａと同一な方向に突出形成される。
【００９５】
図１５は、本発明の第８実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【００９６】
この図面を参照して第８実施例を説明すれば、第１電極３１８は、突起を含まず、第２電極３２８は、第１電極３１８の互いに対向する面に向かって突出する突起３２８ａを含む。また、この突起３２８ａは、背面基板１０側に偏って形成される。
【００９７】
図１６は、本発明の第９実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【００９８】
この図面を参照して第９実施例を説明すれば、第１電極３１９は、突起を含まず、第２電極３２９は、第１電極３１９の互いに対向する面に向かって突出する突起３２９ａを含む。また、この突起３２９ａは、前面基板２０側に偏って形成される。そして、第９実施例は、補助隔壁部材を含まない。
【００９９】
以上で、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明は、これに限定されず、特許請求の範囲、発明の詳細な説明、及び添付した図面の範囲内で多様に変形または変更して実施することが可能であり、これも本発明の範囲に属するのは当然である。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】一般的なグロー放電で負極と正極との間にかかる電圧分布を概略的に示したグラフである。
【図２】本発明の第１実施例によるプラズマ表示パネルを示した部分分解斜視図である。
【図３】本発明の第１実施例によるプラズマ表示パネルにおける電極及び放電セルの構造を概略的に示した部分平面図である。
【図４】図２に示されたプラズマ表示パネルを結合した状態のIV-IV線による部分断面図である。
【図５】本発明の第２実施例によるプラズマ表示パネルにおける電極及び放電セルの構造を概略的に示した部分平面図である。
【図６】本発明の第３実施例によるプラズマ表示パネルを示した部分分解斜視図である。
【図７】本発明の第３実施例によるプラズマ表示パネルにおける電極及び放電セルの構造を概略的に示した部分平面図である。
【図８】図７に示されたプラズマ表示パネルを結合した状態のVIII-VIII線による部分断面図である。
【図９】本発明の第４実施例によるプラズマ表示パネルを示した部分分解斜視図である。
【図１０】本発明の第４実施例によるプラズマ表示パネルにおける電極及び放電セルの構造を概略的に示した部分平面図である。
【図１１】図１０に示されたプラズマ表示パネルを結合した状態のXI-XI線による部分断面図である。
【図１２】本発明の第５実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【図１３】本発明の第６実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【図１４】本発明の第７実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【図１５】本発明の第８実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【図１６】本発明の第９実施例によるプラズマ表示パネルの部分断面図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１０    第１基板
１２    アドレス電極
１４、３４、３５、３５４、３５７    誘電層
１６、２６    隔壁
１６ａ    第１隔壁部材
１６ｂ    第２隔壁部材
１７    補助隔壁部材
１８    放電セル
１８ａ、１８ｂ、２８    領域
１９、２９    蛍光体層
２０    第２基板
２６ａ    第３隔壁部材
２６ｂ    第４隔壁部材
３１、３１４、３１５、３１６、３１７、３１８、３１９、３２９    第１電極
３２、３２４、３２５、３２６、３２７、３２８    第２電極
３６    ＭｇＯ保護膜
１２２    アドレス電極
１２２ａ    アドレス放電誘導部
１２２ｂ    連結部
３１４ａ、３２４ａ、３１５ａ、３２６ａ、３２７ａ、３２８ａ、３２９ａ    突起
ｈ１、ｈ２    長さ
ｗ１、ｗ２    長さ
ＷＡ１、ＷＡ２    幅
δ１２    第１間極
δ２２    第２間極
δｈ    厚さ
【図１】
2006019277.tif 000003
【図２】
2006019277.tif 000004
【図３】
2006019277.tif 000005
【図４】
2006019277.tif 000006
【図５】
2006019277.tif 000007
【図６】
2006019277.tif 000008
【図７】
2006019277.tif 000009
【図８】
2006019277.tif 000010
【図９】
2006019277.tif 000011
【図１０】
2006019277.tif 000012
【図１１】
2006019277.tif 000013
【図１２】
2006019277.tif 000014
【図１３】
2006019277.tif 000015
【図１４】
2006019277.tif 000016
【図１５】
2006019277.tif 000017
【図１６】
2006019277.tif 000018