(57)【要約】【課題】  めっき液中の異物混入を防止してめっき不良率を低減すると共に、機構部分の腐食対策も行え、エア溜まりによるめっき未着を防止できるめっき装置を提供する。【解決手段】  一側壁部が開口された処理槽３１を有する処理ユニット３４と、保持面３２ａに複数の被めっき物１０が着脱可能に保持されるキャリアセットユニット３２と、めっき液タンク３８と、めっき液タンク３８からめっき液を処理槽３１内に供給するポンプ４０と、処理槽３１内に送り込まれるめっき液を濾過するフィルター４０と、処理槽３１内のめっき液をめっき液タンク３８に戻す排出管４１と、排出管４１に介装されたバルブ４２とを具備し、保持面３２ａに複数の被めっき物１０が保持されたキャリアセットユニット３２を、保持面３２ａに保持された被めっき物１０が処理槽３１内に臨むようにして処理槽３１の開口された部分３５を覆って装着される。【選択図】        図２
2006183109.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一側壁部が開口された処理槽を有する処理ユニットと、
保持面に複数の被めっき物が着脱可能に保持されるキャリアセットユニットと、
めっき液タンクと、
該めっき液タンクからめっき液を前記処理槽内に供給するポンプと、
前記処理槽内に送り込まれるめっき液を濾過するフィルタと、
前記処理槽内のめっき液を前記めっき液タンクに戻す排出管と、
該排出管に介装されたバルブとを具備し、
前記保持面に複数の被めっき物が保持された前記キャリアセットユニットを、保持面に保持された被めっき物が処理槽内に臨むようにして前記処理槽の開口された部分を覆って装着することにより、前記キャリアセットユニットと前記処理ユニットとで密閉されためっき処理槽が形成されることを特徴とするめっき装置。
【請求項２】
前記キャリアセットユニットは、
前記複数の被めっき物を着脱する際には、被めっき物を保持する保持面が上方を向くように位置し、保持した複数の被めっき物を前記処理槽内に臨ませる際には、前記保持面が側方を向いて前記処理槽の開口された部分と対峙するようにキャリアセットユニット全体を回動させる回動手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載のめっき装置。
【請求項３】
前記被めっき物は、ベースと、該ベースから突出するリードとを有する電子部品であり、
前記キャリアセットユニットは、
前記ベースが上方に位置するように、リードを収納する貫通孔が形成されたガイド板と、
該ガイド板の下方に設けられ、リードの先端部が当接する金属製のメッシュ状陰極と、
該メッシュ状陰極の下方に設けられ、該メッシュ状陰極を挟んで各被めっき物のリードの先端部を吸着し、各被めっき物を当該キャリアセットユニットに固定する複数のマグネットと、
該複数のマグネットを保持するマグネットホルダと、
前記複数の被めっき物を当該キャリアセットユニットに固定する際には、前記マグネットホルダを前記メッシュ状陰極方向に移動させ、前記複数の被めっき物を当該キャリアセットユニットから着脱する際には、前記マグネットホルダを前記メッシュ状陰極から離間させるように動作するマグネット接離動手段とを設けていることを特徴とする請求項１または請求項２記載のめっき装置。
【請求項４】
前記キャリアセットユニットは、
前記ガイド板が前記被めっき物のリードの中途部に位置するように、ガイド板をリードの軸線方向に移動させる移動手段を設けていることを特徴とする請求項３記載のめっき装置。
【請求項５】
前記メッシュ状陰極は長尺状に形成されており、
前記被めっき物をめっきする際には新たなメッシュ状陰極を用いることができるように、前記キャリアセットユニットにメッシュ状陰極を供給する供給手段が設けられていることを特徴とする請求項３または請求項４記載のめっき装置。
【請求項６】
前記供給手段は、
少なくとも前記キャリアセットユニットを前記回動手段が回動させる際には、前記供給手段と前記キャリアセットユニットとの間のメッシュ状陰極を弛ませることを特徴とする請求項５記載のめっき装置。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のうちいずれか１項記載のめっき装置を用い、
複数の被めっき物が保持されたキャリアセットユニットを、被めっき物が処理槽内に臨むようにして処理槽の開口された部分を覆うように装着し、
ポンプによって処理槽内にめっき液タンクからめっき液を供給して被めっき物にめっきを実行し、
めっき終了後、バルブを開いてめっき後のめっき液をめっき液タンクに排出し、
キャリアセットユニットを処理槽の開口された部分から取り外して、被めっき物を処理槽内から取り出すことを特徴とするめっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の個片部品をめっきするめっき装置およびめっき方法に関し、より詳細にはベースと、ベースから突出するリードとを有する電子部品をめっきするめっき装置およびめっき方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばレーザダイオード等の端子として用いられる電子部品として、図９に示すような構成のものがある。
電子部品１０は、金属製部材から成るベース１１に貫通孔１２，１２が形成され、これら貫通孔１２，１２に、リード１４，１４が挿通されてガラス封着されている。また、金属製部材の一面側にはアースリード１５が当接して接合されている。
そして、このような電子部品には、防錆等のためにめっき皮膜を形成する必要がある。
【０００３】
上記の電子部品にめっきを施す際に用いられる、従来から知られているめっき治具を図１０に示す。
めっき治具２０は、複数個の電子部品１０のリード１４を収納する貫通孔１７が形成されたガイド板１６と、ガイド板１６の下方に設けられた導電性不織布１９と、導電性不織布１９の下方に設けられた負電極２１および負電極板２２とを具備している。また、負電極板２２内の電子部品１０に対応する各位置には、電子部品１０のリード１４を確実に導電性不織布１９に当接させるために、リード１４を引きつけるマグネット２３が設けられている。
このようなめっき治具２０は、正電極を有するめっき液中に浸漬され、導電性不織布１９を介して負電極２１に当接している電子部品１０にめっきが施される（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２１３４９７号公報（図4、図５等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したような従来のめっき治具２０では、電子部品１０の各リード１４やアースリード１５の長さが正確に揃っていなくてもリード１４が確実に負電極２１側に接触できるという利点があった。
しかし、このめっき治具２０では導電性不織布１９や電子部品１０を保持する機構部分ごとめっき液中に浸漬することとなるので、めっき液中に導電性不織布１９あるいは機構部分に付着していた異物が分離して混入してしまい、製品に異物が付着するおそれがあるという課題がある。
また、電子部品１０を保持する機構部分がめっき液中に浸漬されると、機構部分が腐食してしまうおそれもある。そこで、機構部分がめっき液中に浸漬しないように、めっき治具２０全体を上下ひっくり返して電子部品１０および導電性不織布１９だけをめっき液中に浸漬することも考えられる。しかし、かかる場合には、電子部品１０のベース１１が邪魔になって、ベース１１の上面（めっき液中では下面になっている）のエアが抜けにくく、めっき未着等のおそれがあるという課題もある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、めっき液中の異物混入を防止してめっき不良率を低減すると共に、機構部分の腐食対策も行え、エア溜まりによるめっき未着を防止できるめっき装置およびめっき方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記目的を達成すべく、以下の構成を備える。
すなわち、一側壁部が開口された処理槽を有する処理ユニットと、保持面に複数の被めっき物が着脱可能に保持されるキャリアセットユニットと、めっき液タンクと、該めっき液タンクからめっき液を前記処理槽内に供給するポンプと、前記処理槽内に送り込まれるめっき液を濾過するフィルタと、前記処理槽内のめっき液を前記めっき液タンクに戻す排出管と、該排出管に介装されたバルブとを具備し、前記保持面に複数の被めっき物が保持された前記キャリアセットユニットを、保持面に保持された被めっき物が処理槽内に臨むようにして前記処理槽の開口された部分を覆って装着することにより、前記キャリアセットユニットと前記処理ユニットとで密閉されためっき処理槽が形成されることを特徴としている。
この構成を採用することにより、処理槽の側面から被めっき物を進入させて浸漬させることになるので、機構部分全体をめっき液中に浸漬させなくともよく機構部分の腐食防止を図れる。また、めっき終了後は一旦めっき液をめっき液タンクに戻し、新たな被めっき物にめっきを施す場合には、フィルタを通して異物を濾過しためっき液を処理槽内に導入してめっきを施すので、異物が被めっき物に付着するのを防止でき、不良率の低減を図ることができる。さらに、被めっき物に対するエア抜きも確実であり、めっき未着を防止できる。
【０００８】
また、前記キャリアセットユニットは、前記複数の被めっき物を着脱する際には、被めっき物を保持する保持面が上方を向くように位置し、保持した複数の被めっき物を前記処理槽内に臨ませる際には、前記保持面が側方を向いて前記処理槽の開口された部分と対峙するようにキャリアセットユニット全体を回動させる回動手段が設けられていることを特徴としてもよい。
この構成によれば、保持面が上方を向いている状態で被めっき物を着脱できるので、被めっき物のキャリアセットユニットへの着脱が容易となる。
【０００９】
さらに、前記被めっき物は、ベースと、該ベースから突出するリードとを有する電子部品であり、前記キャリアセットユニットは、前記ベースが上方に位置するように、リードを保持するガイド板と、該ガイド板の下方に設けられ、リードの先端部が当接する金属製のメッシュ状陰極と、該メッシュ状陰極の下方に設けられ、該メッシュ状陰極を挟んで各被めっき物のリードの先端部を吸着し、各被めっき物を当該キャリアセットユニットに固定する複数のマグネットと、該複数のマグネットを保持するマグネットホルダと、前記複数の被めっき物を当該キャリアセットユニットに固定する際には、前記マグネットホルダを前記メッシュ状陰極方向に移動させ、前記複数の被めっき物を当該キャリアセットユニットから着脱する際には、前記マグネットホルダを前記メッシュ状陰極から離間させるように動作するマグネット接離動手段とを設けていることを特徴としてもよい。
この構成によれば、予めガイド板に電子部品である被めっき物を載置しておき、ガイド板ごとキャリアセットユニットへ着脱する場合、被めっき物のマグネットによる保持が容易且つ確実なものとなる。
【００１０】
また、前記キャリアセットユニットは、前記ガイド板が前記被めっき物のリードの中途部に位置するように、ガイド板をリードの軸線方向に移動させる移動手段を設けていることを特徴としてもよい。
この構成によれば、ガイド板が電子部品のベースに近づきすぎて、ベースのガイド板側がめっき未着になってしまう不具合を防止することができる。
なお、特許請求の範囲でいうリードとは、実施例におけるリードおよびアースリードを含めた概念である。
【００１１】
さらに、前記メッシュ状陰極は長尺状に形成されており、前記被めっき物をめっきする際には新たなメッシュ状陰極を用いることができるように、前記キャリアセットユニットにメッシュ状陰極を供給する供給手段が設けられていることを特徴としてもよい。
この構成によれば、目詰まり等がないメッシュ状陰極を用いることができるので、リードの陰極への接触が確実になると共に、メッシュ状陰極からの異物の分離を防止し、めっき不良率の低減にさらに寄与する。
【００１２】
なお、前記供給手段は、少なくとも前記キャリアセットユニットを前記回動手段が回動させる際には、前記供給手段と前記キャリアセットユニットとの間のメッシュ状陰極を弛ませることを特徴としてもよい。
この構成によれば、キャリアセットユニットが回動して上面に位置していた被めっき物を側面に位置するようにして、処理槽の開口された部分から処理槽内に進入させる際にメッシュ状陰極の破損等を防止し、またキャリアセットユニットの回動をスムーズに行なわせることができる。
【００１３】
本発明にかかるめっき方法によれば、請求項１〜請求項６のうちいずれか１項記載のめっき装置を用い、複数の被めっき物が保持されたキャリアセットユニットを、被めっき物が処理槽内に臨むようにして処理槽の開口された部分を覆うように装着し、ポンプによって処理槽内にめっき液タンクからめっき液を供給して被めっき物にめっきを実行し、めっき終了後、バルブを開いてめっき後のめっき液をめっき液タンクに排出し、キャリアセットユニットを処理槽の開口された部分から取り外して、被めっき物を処理槽内から取り出すことを特徴としている。
この方法によれば、フィルタを通して異物を濾過しためっき液を処理槽内に導入してめっきを施すので、異物が被めっき物に付着するのを防止でき、不良率の低減を図ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にかかるめっき装置およびめっき方法によれば、被めっき物にめっきを施すごとにめっき液中の異物を濾過するのでめっき不良率を低減させることができ、またエア溜まりによるめっき未着の防止も図ることができる。さらに、被めっき物を保持している機構部分をめっき液中に浸漬せずに済むので機構部分の腐食も防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１および図２はめっき装置全体の概略構成を説明する説明図である。
まず、めっき装置３０全体の概略構成について説明する。
めっき装置３０は、被めっき物（図１，図２では図示せず）が保持されているキャリアセットユニット３２と、処理槽３１が形成されている処理ユニット３４とを具備している。
処理槽３１の一方側の側壁部には開口部３５が形成されている。また処理槽３１内には陽極３６が配置されている。
【００１６】
処理槽３１には、処理槽３１内にめっき液をめっき液タンク３８から導入するための導入管３９が接続されており、導入管３９の中途部にはめっき液を送り込むためのポンプ４０が設けられている。このポンプ４０は、フィルタポンプでありポンプ内部にフィルタが設けられている。このポンプ４０をめっき液が通過することで、処理槽３１内に導入される前に異物が濾過される。
また、処理槽３１には、処理槽３１からめっき後のめっき液をめっき液タンク３８に排出するための排出管４１が接続されている。排出管４１の中途部にはめっき液の排出を制御するための排出バルブ４２が設けられている。
【００１７】
次いで、図１，図２および図３に基づき、めっき装置３０を用いためっき方法を説明する。
キャリアセットユニット３２は、図１に示す場合には、被めっき物を保持する保持面３２ａが上方を向いている。作業者は、この状態で被めっき物をキャリアセットユニット３２に装着させる（ステップＳ１００）。
キャリアセットユニット３２の回動手段（図1〜図３では図示せず）は、保持面３２ａが側方を向くように、紙面に対して垂直方向を軸線としてキャリアセットユニット３２全体を９０度回転させる（ステップＳ１０２）。
【００１８】
キャリアセットユニット３２は、被めっき物の保持面３２ａが側方を向くように全体を回動させた後、処理槽３１の開口部３５から処理槽３１内に被めっき物を進入させるように移動する（ステップＳ１０４）。キャリアセットユニット３２を処理槽３１へ進退動させるのは、シリンダ等から成る図示しない進退動手段である。
キャリアセットユニット３２が処理槽３１の開口部３５に装着されると、処理槽３１の開口部３５の外方側端面に設けられたシール部材３７と、キャリアセットユニット３２の保持面３２ａ側の処理槽当接面３３とが密着して処理槽３１を密閉してめっき処理槽が形成される。
【００１９】
キャリアセットユニット３２に保持された被めっき物が処理槽３１内に進入すると、ポンプ４０（フィルタポンプ）が作動し、めっき液タンク３８からめっき液を処理槽３１内に送り込む（ステップＳ１０６）。処理槽３１内にめっき液が所定量貯留されると、ポンプ４０の動作が停止し、めっき液の送り込みが終了する。
【００２０】
めっき液が送り込まれると、被めっき物にめっきが施され（ステップＳ１０８）、めっき終了後には排出バルブ４２が作動して排出管４１を開き、処理槽３１内のめっき後のめっき液をめっき液タンク３８に排出する（ステップＳ１１０）。処理槽３１内のめっき液が全て排出されると、排出バルブ４２が排出管４１を閉塞する。
【００２１】
処理槽３１内のめっき液が全て排出された後、キャリアセットユニット３２の進退動手段が被めっき物を処理槽３１から退出させるように、キャリアセットユニット３２全体を処理槽３１から離間させる（ステップＳ１１２）。
そして、回動手段が、保持面３２ａが上方を向くように、紙面に対して垂直方向を軸線としてキャリアセットユニット３２全体を９０度回転させる（ステップＳ１１４）。
保持面３２ａが上方に向いた後、キャリアセットユニット３２からめっき済みの被めっき物が取り外される（ステップＳ１１６）。
これで、1回のめっき工程が終了する。さらに他の被めっき物をめっきする場合には、ステップＳ１００に戻り、未めっきの被めっき物をキャリアセットユニット３２に装着する。
【００２２】
以下、めっき装置３０を構成する処理ユニット３４と、キャリアセットユニット３２の具体的な構成を詳細に説明する。なお、上述した概略構成において既に説明した構成要素については同じ符号を付し、説明を省略する場合もある。
まず、処理ユニット３４について、図４，図５に基づいて説明する。
処理槽３１内にめっき液を導入する導入管３９は、処理ユニット３４に設けられた処理槽３１の下部側面に接続されている。導入管３９は処理槽３１内に配設された複数の孔が形成されたパイプ４６に接続されており、パイプ４６からめっき液が処理槽３１内に導入される。
なお、処理槽３１からめっき液を排出する排出管４１は２本設けられており、それぞれ処理槽３１の下面に接続されている。
【００２３】
処理槽３１内の下部と上部には、それぞれにフロートセンサ４７，４９が設けられている。下部に設けられたフロートセンサ４７によって、めっき液が処理槽３１内から排出されたか否かを検出可能であり、上部に設けられたフロートセンサ４９によって、めっき液が所定量まで導入されたか否かを検出することができる。
さらに、処理槽３１からめっき液がオーバーフローしてしまった場合、オーバーフローしためっき液をめっき液タンク３８に戻すためのオーバーフロー配管４８が、処理槽３１の下面に接続されている。
【００２４】
次に、キャリアセットユニット３２について、図６〜図８に基づいて説明する。以下の説明における上下方向は、図６〜図８に示すように被めっき物１０が上面側に位置しているときの方向である。
なお、本実施形態における被めっき物１０は、従来の技術で説明したものと同様に、レーザダイオード等の端子として用いられる電子部品であり、金属製部材から成るベース１１に貫通孔１２，１２が形成され、これら貫通孔１２，１２に、リード１４，１４が挿通されてガラス封着されている。また、金属製部材の一面側にはアースリード１５が当接して接合されて構成されているものであるとする。
【００２５】
キャリアセットユニット３２の上面には、被めっき物１０のリード１４およびアースリード１５（以下、リード１４とアースリード１５を含めて単にリード１４と称する場合もある）を収納する貫通孔５１が形成された平板状のガイド板５０が設けられている。ガイド板５０は平面視するとほぼ長方形状の部材であり、複数の被めっき物１０のリード１４を収納できるように、複数の貫通孔５１，５１，５１・・が形成されている。なお、本実施形態によるガイド板５０は、上方に位置する上ガイド板５０ａと下方に位置する下ガイド板５０ｂとが積層されて構成されており、下ガイド板５０ｂの四隅が上ガイド板５０ａの上方に突出している。かかるガイド板５０の側縁部が、処理槽３１の開口部３５の外方側端面に当接する処理槽当接面３３に該当する。
【００２６】
ガイド板５０の下方には、メッシュ状陰極５２が配置される。メッシュ状陰極５２は、被めっき物１０のリード１４の長さが不揃いであっても全てのリード１４を確実に陰極に接触させるために設けられているものである。メッシュ状陰極５２としては、不織布にめっきを施したもの、あるいは導電性の材料を不織布として形成したもの等、様々な態様が考えられる。
【００２７】
なお、メッシュ状陰極５２は、長尺状であって、一端側が供給ローラ５４に巻回され、他端側が巻取ローラ５５に巻回されている。これら供給ローラ５４および巻取ローラ５５が特許請求の範囲でいう供給手段に該当し、巻取ローラ５５がめっき終了後にメッシュ状陰極５２を巻き取り、供給ローラ５４から新たなメッシュ状陰極５２を引き出し、使用後の部分を巻き取るように動作する。
【００２８】
図面ではメッシュ状陰極５２は弛まずに張りつめた状態で図示されているが、供給ローラ５４および巻取ローラ５５は、メッシュ状陰極５２を弛ませた状態で保持していると好適である。後述する回動手段によって被めっき物１０を側方に向けるようにキャリアセットユニット３２全体を回動させたときに、メッシュ状陰極５２が張りつめていると回動自体困難であると共に、無理に回動させるとメッシュ状陰極５２がちぎれたり破損するおそれがある。この点、メッシュ状陰極５２を弛ませることで、回動も自在にできると共にメッシュ状陰極５２の破損も防止できる。
ただし、メッシュ状陰極５２は、通常張りつめた状態にしておいて、キャリアセットユニット３２の回動時にのみ弛ませるようにしてもよい。
【００２９】
メッシュ状陰極５２の下方に設けられている部材が、上ベース部材５６である。上ベース部材５６は、上下方向に延びる柱状部材５８，５８の上端部に固定されている。また柱状部材５８，５８の下端部は、下ベース部材６０に固定されている。このように、下ベース部材６０と上ベース部材５６とは、柱状部材５８，５８によって固定されている。
【００３０】
メッシュ状陰極５２の下方には、各被めっき物１０が配置される箇所に対応する位置に複数のマグネット６２，６２，・・が配置されている。マグネット６２は、メッシュ状陰極５２の下面に当接し、メッシュ状陰極５２を挟んで被めっき物１０のリード１４を吸着して固定する。
【００３１】
各マグネット６２は、マグネットホルダ６４に固定されている。マグネットホルダ６４は、メッシュ状陰極５２に対して接離動可能に設けられている。すなわち、マグネットホルダ６４の下面には、下ベース部材６０に設けられたシリンダ６６のロッド６９の先端部が取り付けられており、またマグネットホルダ６４から下方に向けて突出するガイドロッド６７，６７が設けられている。ガイドロッド６７，６７は、下ベース部材６０に設けられた軸受７０に挿入され、下ベース部材６０に対して上下動可能に設けられている。
シリンダ６６が作動すると、マグネットホルダ６４は、ガイドロッド６７にガイドされて下ベース部材６０に対して上下動する。このように、シリンダ６６によってマグネットホルダ６４がメッシュ状陰極５２に対して接離動する。
【００３２】
また、ガイド板５０のずれを防止するために、ガイド板５０の各長辺の上面を押える押え用部材７２が２本設けられている。押え用部材７２は、上下方向に延びる板状または棒状の部材であり、上端部にはガイド板５０方向に突出する爪部７４が、ガイド板５０の長辺側の上面に当接するように設けられている。
また、押え用部材７２は、爪部７４がガイド板５０の側面方向から上面に進入および退出するように移動可能である。具体的には、２本の押え用部材７２，７２のうちの一方の下部にシリンダ７６が取り付けられ、他方の下部にシリンダ７６のロッド７７の先端部が取り付けられている。このような構成を有しているので、シリンダ７６が作動することにより、下ベース部材６０に対して両押え用部材７２，７２が互いに接離動する方向に移動可能となっている。
なお、図７においては、押え用部材７２，７２が互いに外方に移動して爪部７４がガイド板５０の押えを解除したところを２点鎖線で示している。
【００３３】
ガイド板５０を上下方向（被めっき物１０のリード１４の軸線方向）に移動させる移動手段８０，８０が２箇所に設けられている。各移動手段８０は、ガイド板５０の四隅の上面に配置されてガイド板５０を上方から押圧する押圧部８２と、押圧部８２を上下方向に駆動させるように下ベース部材６０に固定されたシリンダ８４を具備している。
押圧部８２は、ガイド板５０の短辺に沿って設けられている取り付け板８５の両端に設けられており、取り付け板８５はシリンダ８４のロッド８６の先端が固定されてロッド８６の動作に合わせて上下に移動可能な連結部材８７の上端部に取り付けられている。
このような構成の移動手段８０を設けたことにより、シリンダ８４の動作によって下ベース部材６０に対して押圧部８２が上下方向に移動する。
【００３４】
かかる移動手段８０は、被めっき物１０の装着時に、ガイド板５０の上面が被めっき物１０のべース１１の下面に接触しているかまたは近づきすぎている場合に、ガイド板５０を被めっき物１０のリード１４の軸線方向に沿ってガイド板５０を押し下げるように動作する。ガイド板５０を被めっき物１０のベース１１から引き離してリード１４の中途部に位置するように設けたことで、ガイド板５０が邪魔になることを要因とするベース１１のめっき未着等の不具合を防止することができる。
【００３５】
なお、上述した押え用部材７２と移動手段８０とは処理槽３１の開口部３５よりも外側に位置するように配置され、これらの部分にめっき液が接触することはないように設けられている。
【００３６】
キャリアセットユニット３２を回動させる回動手段は、モータ等の駆動手段（図示せず）と、一端側が該駆動手段に取り付けられ他端側がキャリアセットユニット３２内の上ベース部材５６，柱状部材５８または下ベース部材６０の全てまたはいずれかに固定された回動シャフト８８と、一端側が回転自在になるように軸受等により保持され他端側がキャリアセットユニット３２内の上ベース部材５６，柱状部材５８または下ベース部材６０の全てまたはいずれかに固定されたガイドシャフト８９とを具備して成る。
【００３７】
回動シャフト８８とガイドシャフト８９とは、互いの軸線が一致し、且つキャリアセットユニット３２のそれぞれ対向する位置であって、両軸線が水平方向に向かうように設けられている。
駆動手段が、回動シャフト８８を軸線方向を中心に所定角度だけ回動させるように駆動すると、回動シャフト８８がキャリアセットユニット３２を所定角度だけ回動させる。ガイドシャフト８９は、キャリアセットユニット３２の回動シャフト８８の反対側を支承する。
【００３８】
なお、回動シャフトは、キャリアセットユニット３２を貫通する程長尺であって、一端側が駆動手段に取り付けられ、他端側が回転自在になるように軸受等により保持され、中途部においてキャリアセットユニット３２内の上ベース部材５６，柱状部材５８または下ベース部材６０の全てまたはいずれかに固定される構成であってもよい。
この構成であれば、回動シャフトがキャリアセットユニット３２の反対側も支承することとなり、回動シャフトおよびガイドシャフトを設ける形態よりも部品点数の削減ができる。
【００３９】
なお、上述してきた実施例においては被めっき物として従来の技術で説明した電子部品の場合について説明してきた。本発明のめっき対象である被めっき物としては、このような構造の電子部品に限定するものではない。
【００４０】
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】めっき装置の概略全体構成を示すブロック図である。
【図２】図１のめっき装置においてキャリアセットユニットを回動させて保持面を側方に向けたところを示すブロック図である。
【図３】めっき方法について説明するフローチャートである。
【図４】処理ユニットの側面図である。
【図５】処理ユニットの背面図である。
【図６】キャリアセットユニットの正面図である。
【図７】キャリアセットユニットの側面図である。
【図８】キャリアセットユニットの平面図である。
【図９】被めっき物について説明する説明図である。
【図１０】従来のめっき治具について説明する説明図である。
【符号の説明】
【００４２】
３０   めっき装置
３１   処理槽
３２   キャリアセットユニット
３２ａ 保持面
３３   処理槽当接面
３４   処理ユニット
３５   開口部
３６   陽極
３７   シール部材
３８   めっき液タンク
３９   導入管
４０   フィルタポンプ
４１   排出管
４２   排出バルブ
４６   パイプ
４７，４９    フロートセンサ
４８   オーバーフロー配管
５０   ガイド板
５１   貫通孔
５２   メッシュ状陰極
５４   供給ローラ
５５   巻取ローラ
５６   上ベース部材
５８   柱状部材
６０   下ベース部材
６２   マグネット
６４   マグネットホルダ
６６，７６，８４            シリンダ
６７   ガイドロッド
６９，７７，８６     ロッド
７０   軸受
７２   押え用部材
７４   爪部
８０   移動手段
８２   押圧部
８５   取り付け板
８７   連結部材
８８   回動シャフト
８９   ガイドシャフト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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