(57)【要約】【課題】  容易かつ安価な方法で有機電子素子の電極間隔を微細化することができる上、最大電流値を増加させることができる有機電子素子の製造方法を提供する。【解決手段】  重合槽(11)内の重合液(10)に、第１電極(12)と、第１電極(12)に並設された第２電極(13)と、第１電極(12)の対極となる第３電極(15)とを浸漬し、第１及び第３電極(12,15)間に電流を流して第１電極(12)上に導電性高分子(CP)を成長させ、第１及び第２電極(12,13)間が導電性高分子(CP)により電気的に接続されたことを確認して電解重合を終了した後、第１及び第２電極(12,13)間に過電流を流して間隙部(16)を形成し、間隙部(16)を覆うように導電性高分子(CP)上に有機半導体(17)を設ける有機電子素子(1)の製造方法とする。【選択図】      図１
2006024789.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性高分子の前駆体を少なくとも含む重合液が貯留された重合槽を用意し、
前記重合槽内の前記重合液に、第１電極と、前記第１電極に並設された第２電極と、前記第１電極の対極となる第３電極とを浸漬し、
前記第１及び第３電極間に電流を流して前記前駆体を前記第１電極上に電解重合させることにより、前記第１電極上に前記導電性高分子を成長させ、
前記第１及び第２電極間が前記導電性高分子により電気的に接続されたことを確認して電解重合を終了した後、前記第１及び第２電極間に過電流を流して前記導電性高分子を切断することにより前記第１及び第２電極間の導通を遮断する間隙部を形成し、
前記間隙部を覆うように前記導電性高分子上に有機半導体を設ける有機電子素子の製造方法。
【請求項２】
前記第２電極は、前記第１電極に対し鉛直方向下側に配置されている請求項１に記載の有機電子素子の製造方法。
【請求項３】
前記導電性高分子による前記第１及び第２電極間の電気的接続を確認する際、前記第１及び第２電極間に微小電圧を付与し、前記第１及び第２電極間に流れる電流の変化を検出して確認する請求項１に記載の有機電子素子の製造方法。
【請求項４】
前記導電性高分子による前記第１及び第２電極間の電気的接続を確認する際、前記第２及び第３電極間の電圧の変化を検出して確認する請求項１に記載の有機電子素子の製造方法。
【請求項５】
前記電解重合を終了した後、前記導電性高分子により電気的に接続された前記第１及び第２電極を前記重合槽から取り出して、前記導電性高分子と前記第１及び第２電極とを洗浄した後に、前記第１及び第２電極間に過電流を流す請求項１に記載の有機電子素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機物を能動材料として用いる有機電子素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、フラットパネルディスプレイ分野で使用されている電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）は、半導体層に接触して設けられたソース電極とドレイン電極との間に流れる電流を、半導体層に対して絶縁層を介して設けられたゲート電極から印加される電界により制御できるように構成されている。現在実用化されているＦＥＴデバイスは、アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）や低温ポリシリコンを半導体材料として使用し、酸化シリコンや窒化シリコンをゲート絶縁材料として使用している。これらの構成材料を用いたＦＥＴデバイスの製造プロセスは、プラズマ化学蒸着法（プラズマＣＶＤ法）等に使用される大規模な装置や、精密加工のための薄膜制御装置を必要とするため、高コストプロセスであり、また、一般に３５０℃を越えるような高温プロセスを含むため、使用できる材料には制限がある。
【０００３】
他方、近年では、有機物を能動材料として用いる有機電子素子が注目されている。このような有機電子素子としては、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）が知られている。有機電子素子では、能動材料として有機物を用いるため、従来のａ−Ｓｉや低温ポリシリコンを用いた場合と比較して低温のプロセスで薄膜デバイスを作製することが可能となり、シリコン系を用いたプロセスで必要とされる高コストの設備を準備せずに製造できることが期待される。また、高温プロセスが不要になると、機械的フレキシビリティがあるプラスチック板や樹脂フィルム等を基板として使用することが可能となり、シートライク又はペーパーライクなディスプレイや携帯機器等の実現が期待される。
【０００４】
また、近年では、有機電子素子の１種として、有機半導体材料を使用した有機半導体電界効果トランジスタ（有機ＦＥＴ）も研究されている。有機ＦＥＴでは、有機半導体材料を用いるため、シリコンを用いたＦＥＴと比較して電流を流しにくいので、電極間隔を狭くする工夫が必要である。電極間隔を狭くする方法として、例えば非特許文献１には、１本のカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）に過電流を流すことにより、ＣＮＴの中央付近を電気的に破壊して、１０ｎｍオーダーの電極間隔を有する有機ＦＥＴ用ＣＮＴ電極を作製する方法が提案されている。
【非特許文献１】第５０回応用物理学関係連合講演会  講演予稿集  ２９ｐ−Ａ−１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、非特許文献１に提案されている方法では、有機ＦＥＴの最大電流値を増加させる場合に、ＣＮＴを複数本並列させる必要があるため、製造が困難となる上、コスト高となる。本発明は、この従来の課題を解決するためのもので、容易かつ安価な方法で有機電子素子の電極間隔を微細化することができる上、最大電流値を増加させることができる有機電子素子の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の有機電子素子の製造方法は、
導電性高分子の前駆体を少なくとも含む重合液が貯留された重合槽を用意し、
前記重合槽内の前記重合液に、第１電極と、前記第１電極に並設された第２電極と、前記第１電極の対極となる第３電極とを浸漬し、
前記第１及び第３電極間に電流を流して前記前駆体を前記第１電極上に電解重合させることにより、前記第１電極上に前記導電性高分子を成長させ、
前記第１及び第２電極間が前記導電性高分子により電気的に接続されたことを確認して電解重合を終了した後、前記第１及び第２電極間に過電流を流して前記導電性高分子を切断することにより前記第１及び第２電極間の導通を遮断する間隙部を形成し、
前記間隙部を覆うように前記導電性高分子上に有機半導体を設ける。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の有機電子素子の製造方法によれば、第１及び第２電極間が導電性高分子により電気的に接続された後、第１及び第２電極間に過電流を流して導電性高分子を切断することで電極間の間隙部を設けるため、容易かつ安価な方法で有機電子素子の電極間隔を微細化することができる。更に、第１及び第２電極として、面積の広い電極を用いることにより、有機電子素子の最大電流値を容易に増加させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の有機電子素子の製造方法は、まず、導電性高分子の前駆体を少なくとも含む重合液が貯留された重合槽を用意し、重合槽内の重合液に、第１電極と、第１電極に並設された第２電極と、第１電極の対極となる第３電極とを浸漬し、第１及び第３電極間に電流を流して前駆体を第１電極上に電解重合させることにより、第１電極上に導電性高分子を成長させる。導電性高分子の前駆体としては、電解重合が可能な前駆体であれば特に限定されない。例えば、ピロール及びその誘導体、チオフェン及びその誘導体、アニリン及びその誘導体等を使用することができる。また、前駆体は、単一種のものを用いてもよいし、複数種からなるものを用いてもよい。重合液の溶媒は特に限定されず、前駆体を溶解し、かつ電解重合中に分解しない（あるいは分解したとしても導電性高分子に悪影響を及ぼさない）溶媒であればよい。例えば、水、アセトニトリル、炭酸プロピル等が使用できる。また、重合液には、前駆体以外に、導電性高分子の導電状態を高めるため、対イオンとしてスルホン酸イオン類、過塩素酸イオン類、テトラフルオロホウ素イオン、ヘキサフルオロリンイオン等を含んでいてもよい。また、対イオンは、ナフタレンスルホン酸イオン等大きな分子構造をもっている方が、導電性高分子の経時安定性の観点から好ましい。更に、対イオンとして、アルキル基等を導入した対イオンを用いることにより、導電性高分子の耐湿安定性や高温安定性等を向上させることも可能である。また、重合液に添加剤を入れて、導電性高分子の安定性を向上させるのも好ましい。添加剤としてはフェノール系添加剤が好ましく、ニトロ基等のハメット定数の大きな置換基を導入したフェノール類を含む添加剤がより好ましい。また、フェノール類に限らず、ナフトール誘導体等のフェノール性水酸基を持った芳香族化合物系添加剤も同様の効果があるので好ましい。
【０００９】
また、第１及び第２電極は、例えば、有機電子素子の有機能動材料に対し電流を供給又は電位を与えるリード電極である。第１及び第２電極の形成方法としては、例えば基材上に、電析、エッチング、蒸着、スパッタリング、印刷等により設ける方法が採用できる。印刷により設ける場合は、スクリーン印刷、転写印刷、インクジェット印刷等の手段を用いることができる。基材としては、ガラス板、金属板、ポリイミド板、ポリエステル板、ポリカーボネート板、ポリフッ化ビニリデン板、セラミック板等の硬質のものでも、ポリイミドシート、ポリエステルシート、ポリカーボネートシート、ポリフッ化ビニリデンシート等の柔軟なものでも使用できる。また、これらの基材上にガスバリア層を積層させた基材も好ましい。ガスバリア層としては、アルミニウム、ニッケル、クロム、銅、錫、亜鉛、ステンレススチール等の金属や合金、シリコン、アルミニウム、インジウム、チタン、タンタル、ジルコニウム、マグネシウム等の各種金属の酸化物や窒化物やフッ化物等、カルシウム等のアルカリ土類金属のフッ化物、リチウム、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属のフッ化物等が例示できる。また、第１及び第２電極の素材は、金、アルミニウム、ニッケル、銅等の電極材料として一般的に用いられる各種金属の他に、導電性を有する金属化合物や導電性を有する有機物等も使用できる。また、第２電極は、第１電極に対し鉛直方向下側に配置されていることが好ましい。第１電極から第２電極に向けて、導電性高分子が重力の方向に沿って成長するため、短時間で第１電極と第２電極とを導電性高分子で電気的に接続できるからである。第３電極は、第１電極の対極として機能する電極であれば特に限定されず、例えばニッケル等の金属からなるものを用いればよい。
【００１０】
そして、本発明の有機電子素子の製造方法は、第１及び第２電極間が導電性高分子により電気的に接続されたことを確認して電解重合を終了した後、第１及び第２電極間に過電流を流して導電性高分子を切断することにより第１及び第２電極間の導通を遮断する間隙部を形成し、この間隙部を覆うように導電性高分子上に有機半導体を設ける。このように、本発明の有機電子素子の製造方法は、第１及び第２電極間に過電流を流して導電性高分子を切断することで電極間の間隙部を設けるため、容易かつ安価な方法で有機電子素子の電極間隔を微細化することができる。更に、第１及び第２電極として、面積の広い電極を用いることにより、有機電子素子の最大電流値を容易に増加させることができる。
【００１１】
また、本発明の有機電子素子の製造方法において、導電性高分子による第１及び第２電極間の電気的接続を確認する方法としては、第１及び第２電極間に微小電圧を付与し、第１及び第２電極間に流れる電流の変化を検出する方法や、第２及び第３電極間の電圧の変化を検出する方法を採用することにより、容易に確認することができる。
【００１２】
また、本発明の有機電子素子の製造方法において、電解重合を終了した後、導電性高分子により電気的に接続された第１及び第２電極を重合槽から取り出して、導電性高分子と第１及び第２電極とを洗浄した後に、第１及び第２電極間に過電流を流して、間隙部を形成してもよい。これにより、微細な間隙部をより容易に形成できる。
【００１３】
また、導電性高分子上に設ける有機半導体としては、π共役系有機半導体を含むものが好ましい。π共役系有機半導体としては、例えば、ペンタセン、テトラセン、アントラセン等の直線状アセンやそれらの誘導体、ピレン、ペリレン、ベンズピレン、フェナントレン、ジベンズアントラセン等やそれらの誘導体等の非直線状芳香族化合物、ポルフィン、フタロシアニン、トリフェニルアミン、オキサジアゾール、キナクリドン等やそれらの誘導体等のヘテロ元素を含んだ芳香族、チオフェン重合体、ピロール重合体、フェニレンビニレン重合体、フルオレン重合体等やそれらの誘導体等、金属キノリン錯体、金属フェナントロリン錯体等やそれらの誘導体、その他、ＯＬＥＤや有機ＦＥＴ等で用いる公知の有機半導体が使用できる。
【００１４】
また、有機半導体を導電性高分子上に設ける方法は特に限定されないが、例えば、スクリーン印刷、インクジェット印刷、転写印刷、真空蒸着、スパッタリング等が挙げられる。なお、有機半導体をインクジェット印刷で設ける場合には、導電性高分子上に設けるため、有機半導体を溶解させる溶媒は特に制限されず、トルエンやキシレン、シクロヘキサノンやブタノン等のケトン類、酢酸エチルや酢酸ブチル等のエステル類、プロパノールやブタノール等のアルコール類、エチレングリコールエチルエーテルやエチレングリコールブチルエーテル等のエーテル類、水、これらを混合した混合溶媒、エチレングリコールエチルエーテルアセテートのように化学的に数種（エチレングリコールエチルエーテルアセテートではエステルとエーテルとアルコール）の性質を併せ持つ溶媒等、広く一般の溶媒を使用できる。
【００１５】
以上説明した本発明の有機電子素子の製造方法は、例えば、有機ＦＥＴ等の有機トランジスタの製造方法として好適である。また、本発明の有機電子素子の製造方法により製造した有機電子素子を基材上に複数配置して、有機電気素子アレイを製造することもできる。また、ＯＬＥＤ等の表示素子や、Radio Frequency Identification（ＲＦＩＤ）タグ等の無線識別タグの製造方法にも適用できる。
【００１６】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。参照する図１Ａ〜Ｄは、本発明の有機電子素子の製造方法の一例を示す図で、各工程の概略断面図である。
【００１７】
最初に、図１Ａに示すように、導電性高分子ＣＰの前駆体を少なくとも含む重合液１０が貯留された重合槽１１を用意する。そして、別に、第１電極１２と、第１電極１２に並設された第２電極１３とが形成された基材１４を用意する。次に、重合槽１１内の重合液１０に、基材１４を浸漬する。この際、第２電極１３が、第１電極１２に対し鉛直方向下側となるように配置するのが好ましい。そして、重合槽１１内の重合液１０に、第１電極１２の対極となる第３電極１５を浸漬する。第３電極１５の面積は、第１電極１２及び第２電極１３の面積よりも大きい方が好ましい。
【００１８】
そして、第１及び第３電極１２，１５のそれぞれの端子１２ａ，１５ａ間を電気的に接続し、第１及び第３電極１２，１５間に電流を流して前記前駆体を第１電極１２上に電解重合させることにより、第１電極１２上に導電性高分子ＣＰを成長させる（図１Ａ参照）。この際、前記前駆体がピロール誘導体やチオフェン誘導体等の酸化重合性単量体の場合は、第１電極１２の端子１２ａを第３電極１５の端子１５ａよりも高電位にして電流を流す。また、重合液１０内に、対イオンとしてスルホン酸イオン類や過塩素酸イオン類等を含有させている場合は、電解重合中に、これらの対イオンが導電性高分子ＣＰ中に取り込まれる。
【００１９】
続いて、図１Ｂに示すように、第１及び第２電極１２，１３間が導電性高分子ＣＰにより電気的に接続された段階で電解重合を終了する。導電性高分子ＣＰによる第１及び第２電極１２，１３間の電気的接続の確認は、目視等でも可能であるが、以下の１）又は２）に示す方法で確認するのが好ましい。
【００２０】
１）電解重合を開始するとともに、第１電極１２の端子１２ｂと第２電極１３の端子１３ａ間に、例えば５０〜２００ｍＶ程度の微小電圧を付与する。このとき、第２電極１３の端子１３ａの電位は、第２電極１３上で電解重合反応が起きない電位に設定すればよい。仮に、導電性高分子ＣＰが酸化重合で成長する場合には、第２電極１３の端子１３ａの方が、第１電極１２の端子１２ｂよりも低い電位となるように設定すればよい。そして、前記電圧を一定に保ちながら、第１電極１２の端子１２ｂと第２電極１３の端子１３ａとの間に流れる電流を観測し続ける。そして、導電性高分子ＣＰの成長端ＣＰａが第２電極１３に到達し（図１Ｂ参照）、第１及び第２電極１２，１３間が電気的に接続されると、観測している端子１２ｂ，１３ａ間に流れる電流が大きくなる。この電流が増加した時点を検出して電解重合を終了する。
【００２１】
２）電解重合を開始するとともに、第２電極１３の端子１３ａと第３電極１５の端子１５ｂとを電気抵抗器（図示せず）を介して接続し、第２及び第３電極１３，１５間の電圧変化を観測し続ける。そして、導電性高分子ＣＰの成長端ＣＰａが第２電極１３に到達し（図１Ｂ参照）、第１及び第２電極１２，１３間が電気的に接続されると、第２及び第３電極１３，１５間の電圧変化が大きくなる。この電圧変化が大きくなった時点を検出して電解重合を終了する。なお、前記電気抵抗器の抵抗値は、第１及び第２電極１２，１３間の重合液１０の電気抵抗値と比較して小さい方が好ましい。また、前記電気抵抗器の抵抗値は、導電性高分子ＣＰの電気抵抗の抵抗値と比較して大きい方が、電解重合終了時に観測される電圧変化が大きくなるためより好ましい。
【００２２】
そして、電解重合終了後に、導電性高分子ＣＰにより電気的に接続された第１及び第２電極１２，１３を重合槽１１から取り出して、第１及び第２電極１２，１３間に例えば５０〜３５０Ｖ程度の電圧を付与して過電流を流すことにより導電性高分子ＣＰを切断する（図１Ｃ参照）。これにより、第１及び第２電極１２，１３間の導通を遮断する間隙部１６を形成する。なお、第１及び第２電極１２，１３間に過電流を流す前に、導電性高分子ＣＰと第１及び第２電極１２，１３とを、例えば水等で洗浄して重合液１０を除去し、乾燥することが好ましい。これにより、導電性高分子ＣＰに大電圧がかかった場合、図１Ｃに示すように電気抵抗が大きな部位である成長端ＣＰａ付近が切断されやすくなる。
【００２３】
最後に、図１Ｄに示すように、能動材料である有機半導体１７を導電性高分子ＣＰ上に付着させて、有機電子素子１を得る。なお、有機半導体１７を付着させる際は、間隙部１６を覆うように導電性高分子ＣＰ上に設ければよく、導電性高分子ＣＰ全体を覆う必要はない。
【００２４】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態には限定されない。例えば、第１電極１２、第２電極１３及び第３電極１５の位置関係は、図１に示す位置に限定されず、導電性高分子ＣＰの成長方向等を考慮して適宜設定すればよい。
【実施例】
【００２５】
以下、本発明の実施例について説明する。なお、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
【００２６】
（実施例１）
まず、実施例１として有機ＦＥＴの製造方法について図１を参照して説明する。
【００２７】
重合槽１１内に、重合液１０として、０．５Ｍのピロール（前駆体）、１Ｍのイソプロピルナフタレンスルホン酸イオン（対イオン）及び０．２Ｍのニトロフェノール（経時安定性付与剤）を含有する水溶液を貯留した。
【００２８】
別に、基材１４として、１辺３ｃｍの正方形のポリイミドを用意し、このポリイミド上に、金を５０ｎｍの厚さに真空蒸着してゲート電極とし、その上に、ポリパラビニルフェノールをスピンコートしてゲート絶縁膜とした。このときのゲート絶縁膜の厚さは、１μｍとした。更に、このゲート絶縁膜上に、金を５０ｎｍの厚さに真空蒸着し、ソース電極（第１電極１２、面積０．３ｍｍ2）及びドレイン電極（第２電極１３、面積０．３ｍｍ2）を形成した。ここで、ソース及びドレイン電極はステンレススチール製のシャドウマスクを用いてパターニングし、両電極の間隔は１５０μｍとした。また、第３電極１５として、発泡ニッケルを押しつぶしたシート（面積３ｃｍ2）を用意した。なお、本実施例では、ソース電極を第１電極１２とし、ドレイン電極を第２電極１３としたが、ソース電極を第２電極１３とし、ドレイン電極を第１電極１２としてもよい。
【００２９】
次に、第１及び第２電極１２，１３が設けられた基材１４と、第３電極１５とを、図１に示すように重合液１０内に配置した。続いて、第１電極１２と第３電極１５との間に電圧（１．２Ｖ）をかけて、第１電極１２上にピロールを電解重合させることにより、導電性高分子ＣＰとしてポリピロールを成長させた。そして、第１及び第２電極１２，１３間が導電性高分子ＣＰにより電気的に接続されたことを確認して電解重合を終了した。なお、電解重合終了点は、第２電極１３と第３電極１５とを１０ｋΩの電気抵抗器を介して接続し、第２電極１３と第３電極１５との間の電圧変化を検出して決定した。
【００３０】
次に、導電性高分子ＣＰにより電気的に接続された第１及び第２電極１２，１３を重合槽１１から取り出して、重合液１０が乾かないうちに水洗し６０℃で乾燥した。続いて、第１及び第２電極１２，１３間に１２０Ｖの電圧を付与し、導電性高分子ＣＰを切断して、間隙部１６を形成した。なお、この間隙部１６の間隔は、７μｍであった。更に、基材１４の温度を９０℃に保ち、有機半導体１７としてペンタセンを導電性高分子ＣＰ上に２００ｎｍ真空蒸着した。この際、有機半導体１７は、間隙部１６を覆うように形成した。以上の方法により、有機ＦＥＴを作製した。
【００３１】
以上、本発明の実施例１について説明したが、本発明は前記実施例には限定されない。
例えば、前記実施例では、基材１４としてポリイミドを用いたが、他の既知の基材も使用可能であり、可撓性がないガラスやアルミナ等を用いてもよい。また、有機半導体１７としてペンタセンを用いた有機ＦＥＴを作製したが、ＯＬＥＤ等他の有機電子素子に適用してもよい。また、導電性高分子ＣＰの前駆体としてピロールを用いたが、他の導電性高分子の前駆体（例えばチオフェン等）も使用可能である。また、重合方法も前記実施例に限るものではない。例えば、前記実施例では、酸化重合により電解重合させたが、例えばジハロゲン化チオフェン類等の還元重合性単量体を用いれば、還元重合により電解重合させることもできる。
【００３２】
（実施例２）
次に、実施例２として有機電子素子アレイの製造方法について図２及び図３を参照して説明する。参照する図２は、実施例２の有機電子素子アレイの製造方法において、電解重合時の各電極の配置を示す概略斜視図であり、図３は、実施例２の製造方法で製造された有機電子素子アレイにおいて、各セルの回路パターンを示す回路図である。
【００３３】
まず、図２に示すように、実施例１と同様に、重合槽２０内に、重合液２１として、０．５Ｍのピロール（前駆体）、１Ｍのイソプロピルナフタレンスルホン酸イオン（対イオン）及び０．２Ｍのニトロフェノール（経時安定性付与剤）を含有する水溶液を貯留した。
【００３４】
別に、基板として、１辺３ｃｍの正方形のガラスを用意し、このガラス上にインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）を膜状に塗布した。更に、塗布したＩＴＯ膜を、王水でパターニングしてＩＴＯ電極（第１電極）を形成し、５×５個の素子を形成するためのアレイ基板とした。その上に、インクジェット印刷によりポリビニルブチラールを絶縁性ブリッジとして塗布し、更に、インクジェット印刷により金微粒子を印刷して金電極（第２電極）を形成した。その上にポリビニルブチラールをインクジェット印刷により塗布して、ＩＴＯ電極及び金電極に対する絶縁被覆膜とした。なお、前記絶縁被覆膜を形成する際、ＩＴＯ電極及び金電極上の所定の箇所に被覆しない領域を設け、ＩＴＯ電極及び金電極が露出するようにした。以上の方法を繰り返し、第１電極としてＩＴＯ電極、第２電極として金電極を有する素子がアレイ状に形成されたアレイ基板２２を４枚作製した。また、別に、第３電極として、発泡ニッケルを押しつぶしたシート２３を４枚用意した。
【００３５】
次に、図２に示すように、重合液２１内に、アレイ基板２２とシート２３とを交互に配置し、実施例１と同様にしてピロールを電解重合し、ポリピロールを成長させた。なお、電解重合終了点は、各素子中の金電極（第２電極）とシート２３（第３電極）とを電気抵抗器を介して接続し、金電極とシート２３との間の電圧変化を素子毎に判断して決定した。なお、全素子の電解重合が終了するまでに要した時間は、電解重合開始から２分であった。
【００３６】
電解重合終了後、実施例１と同様にアレイ基板２２を水洗し、乾燥した。続いて、全てのＩＴＯ電極を電源に接続した後、素子毎に１つずつ金電極を電源に接続して、これらの電極間に１２０Ｖの電圧を印加した。これによって、素子毎に導電性高分子（ポリピロール）を切断し、各電極間に５〜１２μｍの間隙部を形成した。ここで、電圧の印加を素子毎に行ったのは、各素子の電気抵抗のバラツキにより特定の素子の電流が極端に大きくなり、導電性高分子が切断されてできる間隙部の幅のバラツキを抑えるためである。なお、素子間のバラツキの程度によっては、全素子に同時に電圧を印加することも可能である。
【００３７】
次に、各素子の前記間隙部を覆うように、導電性高分子上に９，９−ジオクチルフルオレン・チオフェン共重合体のトルエン溶液をインクジェット印刷で塗布し、乾燥させ、図３に示すように、有機電子素子２４が配置された有機電子素子アレイ２５を得た。なお、９，９−ジオクチルフルオレン・チオフェン共重合体は、スイッチング機能を有する有機半導体として知られている。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、種々の電子機器の製造方法に応用でき、例えばスイッチング素子、駆動回路、制御回路等を使用したペーパーライク又はシートライクなディスプレイ、半導体回路装置を使用した携帯機器、無線識別タグ、記録機器等の製造方法に応用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】Ａ〜Ｄは、本発明の有機電子素子の製造方法の一例を示す図で、各工程の概略断面図である。
【図２】本発明の実施例２の有機電子素子アレイの製造方法において、電解重合時の各電極の配置を示す概略斜視図である。
【図３】本発明の実施例２の製造方法で製造された有機電子素子アレイにおいて、各セルの回路パターンを示す回路図である。
【符号の説明】
【００４０】
１，２４  有機電子素子
１０，２１  重合液
１１，２０  重合槽
１２    第１電極
１３    第２電極
１４    基材
１５    第３電極
１６    間隙部
１７    有機半導体
２２    アレイ基板
２３    シート
２５    有機電子素子アレイ
ＣＰ    導電性高分子
【図１】
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【図２】
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【図３】
2006024789.tif 000005