(57)【要約】【課題】電磁波による精密機器などへの影響を従来よりも軽減した無線通信回線を実現する。【解決手段】送付対象データを目的の装置に送付するためのネットワークシステムに、複数台の携帯端末装置２を設ける。携帯端末装置２に、ＩＣタグ２７と、ＩＣタグリーダライタ２８と、を備える。ＩＣタグリーダライタ２８は、そのＩＣタグリーダライタ２８とともに設けられているＩＣタグ２７に送付対象データが書き込まれた後、その送付対象データを他の携帯端末装置２のＩＣタグ２７または目的の装置のＩＣタグ３７に書き込むために電磁波により発信する。【選択図】図６
2006211039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送付対象データを目的の装置に送付するためのネットワークシステムであって、
互いに異なる位置に複数台の通信装置を有し、
前記通信装置には、
ＩＣタグと、
ＩＣタグにデータを書き込みまたはＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダライタと、が設けられ、
前記ＩＣタグリーダライタは、当該ＩＣタグリーダライタとともに設けられたＩＣタグに他の通信装置によって前記送付対象データが書き込まれた後、当該送付対象データを他の通信装置のＩＣタグまたは前記目的の装置のＩＣタグに書き込むための電磁波を発信する、
ことを特徴とするネットワークシステム。
【請求項２】
送付対象データを宛先の装置に送付するためのネットワークシステムであって、
複数台の通信装置と、当該ネットワークシステムを第二のネットワークシステムと接続するためのネットワーク接続装置と、を有し、
前記通信装置には、
第一のＩＣタグと、
電磁波を発信しまたは受信することによってＩＣタグにデータを書き込みまたはＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダライタと、が設けられ、
前記ネットワーク接続装置には、
第二のＩＣタグと、
電磁波を発信しまたは受信することによってＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダと、
前記第二のネットワークシステムに設けられている装置である外部装置に向けてデータを送信するデータ送信手段と、が設けられ、
前記送付対象データの宛先が前記外部装置である場合は、
前記通信装置において、前記ＩＣタグリーダライタは、当該通信装置の前記第一のＩＣタグに当該送付対象データが書き込まれた後、当該送付対象データを読み出して、他の通信装置の前記第一のＩＣタグまたは前記ネットワーク接続装置の前記第二のＩＣタグに当該送付対象データを書き込むための電磁波を発信し、
前記ネットワーク接続装置において、前記ＩＣタグリーダは、当該ネットワーク接続装置の前記第二のＩＣタグに当該送付対象データが書き込まれた後、当該第二のＩＣタグから当該送付対象データを読み出し、前記データ送信手段は、読み出された当該送付対象データを当該外部装置に向けて送信する、
ことを特徴とするネットワークシステム。
【請求項３】
送付対象データを目的の装置に送付するための通信装置であって、
他の通信装置から発信されてきた電磁波に基づいて前記送付対象データを記憶する第一のＩＣタグと、
前記送付対象データを入力するための入力手段と、
前記第一のＩＣタグに記憶されている前記送付対象データを読み出す処理および読み出した前記送付対象データまたは前記入力手段によって入力された前記送付対象データを他の通信装置の第二のＩＣタグまたは前記目的の装置の第三のＩＣタグに書き込む処理を、電磁波を発信しまたは受信することによって行う、ＩＣタグリーダライタと、
を有することを特徴とする通信装置。
【請求項４】
前記ＩＣタグリーダライタは、前記送付対象データを、前記目的の装置の前記第三のＩＣタグまたは当該送付対象データが一度も書き込まれたことのない他の通信装置の前記第二のＩＣタグにのみ書き込むために、当該送付対象データの電磁波を発信する、
請求項３記載の通信装置。
【請求項５】
送付対象データを目的の装置に送付するデータ送付方法であって、
ＩＣタグと、ＩＣタグにデータを書き込みまたはＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダライタと、を有する通信装置を、複数台設けておき、
前記通信装置において、当該通信装置のＩＣタグに前記送付対象データが書き込まれた場合に、前記ＩＣタグリーダライタを、当該送付対象データを他の通信装置のＩＣタグまたは前記目的の装置のＩＣタグに書き込むための電磁波を発信するように制御する、
ことを特徴とするデータ送付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無線通信のシステムおよび方法ならびに無線通信のための通信装置などに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、製品を製造する工場には、ＣＩＭ（Computer Integrated Manufacturing）と呼ばれるシステムが導入されている。ＣＩＭによると、製品を製造する現場に設置されている各装置からロットの進捗または装置の稼動状況などに関する情報を一ヶ所に集め、これらの情報をコンピュータで解析することによって、製造管理を自動的に行うことができる。
【０００３】
ＣＩＭを構築するためには、製造現場の各装置と情報を収集するサーバとを接続するための通信回線が必要である。そこで、ＣＩＭを導入している工場には、大抵、光ファイバなどのケーブルが敷設されている。
【非特許文献１】”半導体基板製造システム２”、MOXA Technologies Co., Ltd、［平成１７年１月１７日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：http://japan.moxa.com/success_story/manufacturing/wafe_manufacturing2.htm＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
非特許文献１に記載されるように、ＣＩＭは、半導体製品の製造管理のためにも用いられている。半導体製品は、パーソナルコンピュータなどのコンピュータ製品に限らず、電化製品および自動車など様々な製品に使用されている。したがって、多様なニーズに応じた半導体製品を大量にかつ低価格で供給するためには、半導体の製造工場を新設し、または既存の製造工場を改装して使い回しつつ、新設または改装のための費用を抑える必要がある。
【０００５】
そこで、ＣＩＭの通信回線として、無線ＬＡＮを採用することが考えられる。無線ＬＡＮは、ＩＥＥＥ８０２．１１で規格される、２．４ＧＨｚまたは５ＧＨｚの周波数帯の無線通信回線である。無線ＬＡＮによると、ケーブルの敷設が不要なので、配線工事などの手間を軽減し、かつ、装置のレイアウトの変更を容易にかつ安価で行うことができる。
【０００６】
しかし、無線ＬＡＮが発信する電磁波は、精密機器に悪影響を及ぼすおそれがあると言われている。よって、高品質の半導体製品を大量に製造するためには、精密機器が使用される製造工場では、無線ＬＡＮを採用することが躊躇される。
【０００７】
本発明は、このような問題点に鑑み、電磁波による精密機器などへの影響を従来よりも軽減した無線通信回線を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るネットワークシステムは、送付対象のデータである送付対象データを目的の装置に送付するためのネットワークシステムであって、互いに異なる位置に複数台の通信装置を有し、前記通信装置には、第一のＩＣタグと、電磁波を発信しまたは受信することによってＩＣタグにデータを書き込みまたはＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダライタと、が設けられ、前記ＩＣタグリーダライタは、当該ＩＣタグリーダライタとともに設けられている前記第一のＩＣタグに前記送付対象データが書き込まれた後、当該送付対象データを他の通信装置の前記第一のＩＣタグまたは前記目的の装置の第二のＩＣタグに書き込むために電磁波により発信する、ことを特徴とする。
【０００９】
前記ＩＣタグリーダライタは、次のような場合に前記送付対象データを発信する。例えば、前記目的の装置または当該送付対象データが一度も前記第一のＩＣタグに書き込まれたことのない他の通信装置が検知された場合に発信する。または、当該送付対象データを一度も発信したことがない場合に発信する。
【００１０】
好ましくは、当該ネットワークシステムを第二のネットワークシステムと接続するために、前記第二のＩＣタグと、電磁波を発信しまたは受信することによってＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダと、前記第二のネットワークシステムに設けられている装置である外部装置に向けてデータを送信するデータ送信手段と、を備えたネットワーク接続装置を、設けておく。そして、前記送付対象のデータの宛先が前記外部装置である場合は、前記通信装置は、前記ネットワーク接続装置を前記目的の装置として、処理を行う。前記ネットワーク接続装置は、前記第二のＩＣタグに前記送付対象データが書き込まれたら、前記ＩＣタグリーダによってこれを読み出し、前記データ送信手段によって前記外部装置にこれを送信する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、電磁波による精密機器などへの影響を従来よりも軽減した無線通信回線を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
〔第一の実施の形態〕
図１は本発明に係るネットワークシステム１００の全体的な構成の例を示す図、図２は携帯端末装置２のハードウェア構成の例を示す図、図３はＩＣタグ２７、３７の構成の例を示す図、図４はルータ３のハードウェア構成の例を示す図である。
【００１３】
本発明に係るネットワークシステム１００は、図１に示すように、複数台の携帯端末装置２および１台または複数台のルータ３などによって構成されている。各携帯端末装置２および各ルータ３は、ＩＣタグの技術によって互いにデータのやり取りを行うことができるように構成されている。これについては、後に詳細に説明する。
【００１４】
ルータ３は、ネットワークシステム１００と他のネットワークとを接続するための装置である。つまり、ルータ３によって、携帯端末装置２と他のネットワーク上に設けられたパーソナルコンピュータ、ワークステーション、またはサーバなどの情報処理装置４との間でのデータ通信が可能となる。
【００１５】
携帯端末装置２は、図２に示すように、ＣＰＵ２１、ＲＡＭ２２、ＲＯＭ２３、液晶パネル２４、磁気記憶装置２５、操作キー２６、ＩＣタグ２７、およびＩＣタグリーダライタ２８などによって構成される。携帯端末装置２として、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）、ノート型パソコン、携帯電話端末、またはＰＨＳ（Personal Handy-phone System）端末などの持ち運び可能な情報端末が用いられる。
【００１６】
ＲＯＭ２３および磁気記憶装置２５には、携帯端末装置２の各部の制御を行うためのプログラム（ＯＳおよびドライバなど）、各種の設定データ、およびアプリケーションプログラムなどが記憶されている。これらのプログラムおよびデータは、必要に応じてＲＡＭ２２にロードされ、ＣＰＵ２１によってプログラムが実行される。
【００１７】
液晶パネル２４は、ＣＰＵ２１による演算結果などを表示する。操作キー２６は、ユーザが文字および数字などを入力するための操作デバイスである。つまり、液晶パネル２４および操作キー２６は、ユーザインタフェースの役割を果たす。
【００１８】
ＩＣタグ２７は、図３に示すように、アンテナ７１およびＩＣ（集積回路）７２などによって構成されるチップである。ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）タグまたはＩＣラベルなどと呼ばれることもある。ＩＣ７２には、データを記憶させておくことができる。さらに、アンテナ７１が所定の周波数の電磁波に共振して電磁誘導を生じさせることによって、ＩＣ７２に記憶しているデータを電磁波で発信しまたはＩＣ７２にデータを書き込むことができる。
【００１９】
ＩＣタグリーダライタ２８は、所定の周波数の電磁波を発信することによって、ＩＣタグ２７からデータを読み出しまたはＩＣタグ２７にデータを書き込む。また、常時または定期的に、次のようにして直接通信を行うことができる他の携帯端末装置２またはルータ３を検索する。
【００２０】
ＩＣタグリーダライタ２８は、装置に付けられている識別情報（例えばＩＰアドレスまたはＩＣタグ固有のＩＤ）を送信すべき旨の指令を電磁波によって発信する。係る指令がそのＩＣタグリーダライタ２８の周囲にある他の携帯端末装置２またはルータ３に届くと、当該他の携帯端末装置２のＩＣタグ２７またはルータ３のＩＣタグ３７は、電磁誘導によって、記憶されている識別情報を読み出してこれを電磁波によって発信する。ＩＣタグリーダライタ２８は、受信した識別情報に基づいて直接通信を行うことができる他の携帯端末装置２またはルータ３を判別する。
【００２１】
図１に戻って、ルータ３は、図４に示すように、通信ユニット３１、ＩＣタグ３７、およびＩＣタグリーダライタ３８などによって構成される。通信ユニット３１は、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、サーバ、ハブ、または他のルータ３などの装置と接続されており、種々の装置間でやり取りされるデータの中継処理を行う。後に説明するように、情報処理装置４と携帯端末装置２との間でやり取りされるデータの中継処理も行う。
【００２２】
ＩＣタグ３７は、携帯端末装置２のＩＣタグ２７と同様に、データの保存および書換えが可能なＩＣタグである。ＩＣタグリーダライタ３８も、携帯端末装置２のＩＣタグリーダライタ２８と基本的に同様の装置である。ただし、ＩＣタグリーダライタ３８は、通信ユニット３１と接続されており、ＩＣタグ３７から読み出したデータを通信ユニット３１によって情報処理装置４などに送信することができ、かつ、通信ユニット３１が情報処理装置４などから受信したデータをＩＣタグ３７に書き込むことができるように、構成されている。
【００２３】
本実施形態では、ＩＣタグ２７、３７およびＩＣタグリーダライタ２８、３８として、１３．５６ＭＨｚまたは１３５ｋＨｚ前後の周波数帯のものが用いられる。ＩＣタグ２７、３７に携帯端末装置２またはルータ３から電源が供給されるようにしてもよいし、電池を内蔵しておいてもよい。
【００２４】
図５は半導体製造工場ネットワークシステムＨＮＳの全体的な構成の例を示す図、図６は携帯端末装置２におけるデータの入力および送信の処理の流れの例を説明する図、図７は作業報告データＤＴ１およびそれに付加されるデータの例を示す図、図８は携帯端末装置２におけるデータの中継処理の流れの例を説明する図である。
【００２５】
次に、図５に示すように、ネットワークシステム１００を半導体の製造工場のＣＩＭ（Computer Integrated Manufacturing）に適用した場合を例に、携帯端末装置２およびルータ３の処理内容などについて、詳細に説明する。
【００２６】
図５において、半導体製造工場ネットワークシステムＨＮＳは、半導体の製造工場の各部門または各従業員同士で情報のやり取りを行うためのシステムであって、本発明に係るネットワークシステム１００およびイントラネット１０１によって構成される。ネットワークシステム１００とイントラネット１０１とは、ルータ３によって互いに接続されている。
【００２７】
半導体製品の加工の作業を行う区域（以下、「加工作業エリア」と記載する。）には、Ｐ−ＣＶＤ装置、スパッタ装置、フォトレジスト塗布装置、ステッパ、現像機、エッチング装置、および剥離装置などの装置が設けられている。以下、これらの装置を単に「加工装置５」と記載する。なお、加工作業エリアは、通常、数百メガ〜数ギガＨｚの電磁波が加工装置５および半導体製品に対して悪影響を与えないように、携帯電話の使用が制限されまたは禁止されている。
【００２８】
加工作業エリアには、ルータ３が１台または複数台設置されている。ここでは、説明の簡単のため、ルータ３が１台設置されている場合を例に説明する。加工作業エリアに配置された従業員には、１台ずつ携帯端末装置２が与えられている。従業員は、それぞれの担当する位置で作業を行っている。
【００２９】
図５の中の丸印は、携帯端末装置２（２Ａ、２Ｂ、…）の位置を表している。各携帯端末装置２には、互いを識別するための識別情報（例えば、ＩＰアドレスまたはＩＣタグ２７固有のＩＤなど）が付されている。点線は、互いに直接通信することができる２台の装置（携帯端末装置２またはルータ３）同士を結んだものである。つまり、点線で結ばれている装置同士は互いに直接通信を行うことができ、点線で結ばれていない装置同士は直接通信を行うことができない。
【００３０】
直接通信することができるか否かは、ＩＣタグリーダライタ２８、３８およびＩＣタグ２７、３７が発信する無線（電磁波）の届く範囲によって決定する。つまり、一方の装置のＩＣタグリーダライタが発信する電磁波が他方の装置のＩＣタグに届く場合は、当該一方の装置から当該他方の装置へ直接データを送信することができる。また、一方の装置のＩＣタグリーダライタが発信する電磁波が他方の装置のＩＣタグに届き、かつ、そのＩＣタグがら発信される電磁波がそのＩＣタグリーダライタに届く場合は、当該一方の装置は、当該他方の装置のＩＣタグに記憶されているデータを読み取ることができる。
【００３１】
ＩＣタグリーダライタまたはＩＣタグの特性によって、一方の装置から他方の装置の方向にしか直接データを送信しまたは読み取ることができない場合があるが、本実施形態では、説明の簡単のため、点線で結ばれている装置同士は双方向にデータの送信および読取りが可能であるものとする。
【００３２】
イントラネット１０１は、加工作業エリア以外に設置されている情報処理装置４、ルータ、およびハブなどを互いに接続することによって構成される。イントラネット１０１には、情報処理装置４として、データ管理サーバ４１および指示用端末装置４２などが設けられている。データ管理サーバ４１は、半導体製品の加工作業の進捗または加工作業エリアの状況など作業に関するデータ（例えば、ロット進捗情報、パーティクル情報、または加工装置５の動作の状況など。以下、「作業報告データＤＴ１」と記載する。）を携帯端末装置２から取得して一括管理する。指示用端末装置４２は、作業員に対する指示に関するデータ（以下、「作業指示データＤＴ２」と記載する。）などを携帯端末装置２に送信する。
【００３３】
作業報告データＤＴ１は、作業員が携帯端末装置２を操作することによって携帯端末装置２に入力される。または、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）などのインタフェースを介して加工装置５から入力してもよい。そして、上に述べたように、データ管理サーバ４１に宛てて送信される。ところで、作業報告データＤＴ１は、必ずルータ３を経由しなければデータ管理サーバ４１に届けることができない。そこで、加工作業エリア内の各携帯端末装置２は、作業報告データＤＴ１をルータ３に届けることを目的として、作業報告データＤＴ１に関する処理を行う。
【００３４】
作業報告データＤＴ１は、図６に示すような手順で最初の携帯端末装置２に入力され次の携帯端末装置２またはルータ３に転送される。
【００３５】
すなわち、作業員は、自分が携帯する携帯端末装置２に入力用のアプリケーションプログラムを起動させて入力用の画面を開き、操作キー２６を操作して作業報告データＤＴ１を入力する（図６の＃１０１）。アプリケーションプログラムがその作業報告データＤＴ１を受け付けると（＃１０２）、ＯＳおよびドライバなどは、その作業報告データＤＴ１に宛先（ここでは、データ管理サーバ４１のアドレス）を示す宛先情報ＤＡを付加（添付）し、これをその携帯端末装置２自身に設けられているＩＣタグ２７に書き込むようにＩＣタグリーダライタ２８に対して指令を与える（＃１０３）。ＩＣタグリーダライタ２８が係る指令に基づいて電磁波を発信すると、ＩＣタグ２７において電磁誘導が生じ作業報告データＤＴ１などがＩＣ７２（図３参照）に記憶される（＃１０４）。このようにして、その携帯端末装置２自身のＩＣタグ２７に、図７（ａ）に示すようなデータが書き込まれる。
【００３６】
携帯端末装置２は、自らのＩＣタグ２７に作業報告データＤＴ１などを書き込んた後、他の携帯端末装置２またはルータ３をＩＣタグリーダライタ２８によって検知すると（＃１０５）、自らのＩＣタグ２７に記憶されている作業報告データＤＴ１などを読み出す（＃１０６）。
【００３７】
そして、図７（ｂ）のように、その作業報告データＤＴ１にその発信元つまり自らの識別情報を発信元情報ＤＨとして付加し、これを、電磁波を発信することによって、ステップ＃１０５で検知した他の携帯端末装置２のＩＣタグ２７またはルータ３のＩＣタグ３７に書き込む（＃１０７）。このような原理によって、一方の携帯端末装置２から他方の携帯端末装置２またはルータ３へデータが送信される。
【００３８】
作業報告データＤＴ１の送信後、自らのＩＣタグ２７に保存されている作業報告データＤＴ１などは削除しておく（＃１０８）。または、作業報告データＤＴ１に送信済を示すフラグを立てておいてもよい。
【００３９】
なお、ステップ＃１０５において複数の装置（携帯端末装置２またはルータ３）が検知された場合は、ステップ＃１０７においてそれぞれのＩＣタグに作業報告データＤＴ１を送信する。
【００４０】
ステップ＃１０７において、作業報告データＤＴ１および宛先情報ＤＡがルータ３に送信された場合（つまり、ルータ３のＩＣタグ３７に書き込まれた場合）は、その後、ルータ３のＩＣタグリーダライタ３８は、これをＩＣタグ３７から読み出して、その宛先情報ＤＡに示される装置すなわちデータ管理サーバ４１に向けて作業報告データＤＴ１を送信する。
【００４１】
一方、ルータ３には送信されず、携帯端末装置２のみに送信された場合は、その携帯端末装置２は、図８に示すような手順でルータ３またはさらに別の携帯端末装置２に作業報告データＤＴ１を送信する。
【００４２】
携帯端末装置２は、自らのＩＣタグ２７に作業報告データＤＴ１などが書き込まれた後（図８の＃１１１）、その作業報告データＤＴ１などの書込み（送信）を行った携帯端末装置２（つまり、１つ手前の携帯端末装置２）および自携帯端末装置２の２台以外の携帯端末装置２を検知しまたはルータ３を検知すると（＃１１２）、自らのＩＣタグ２７からその作業報告データＤＴ１などを読み出す（＃１１３）。
【００４３】
図７（ｃ）に示すように、読み出したデータに、自らの識別情報を中継装置情報ＤＣとして付加し、これを、電磁波を発信することによって、検知した携帯端末装置２またはルータ３に送信する（＃１１４）。そして、自らのＩＣタグ２７に保存されている作業報告データＤＴ１などを削除しまたは送信済を示すフラグを立てる（＃１１５）。
【００４４】
以降、同様に、作業報告データＤＴ１が一方の携帯端末装置２から他方の携帯端末装置２またはルータ３に中継されていく。そして、作業報告データＤＴ１がルータ３に到達する。携帯端末装置２によって中継されるごとに、中継装置情報ＤＣが作業報告データＤＴ１に付加される。例えば、作業報告データＤＴ１が携帯端末装置２Ｃ（図５参照）で入力され携帯端末装置２Ｂ、２Ａ、２Ｅの順に経由してルータ３に到達した場合は、その作業報告データＤＴ１には、図７（ｄ）に示すような発信元情報ＤＨおよび中継装置情報ＤＣが付加されている。
【００４５】
なお、ステップ＃１１４において、検知されたＩＣタグ２７、３７のすべてに対して作業報告データＤＴ１の書込み（送信）を行うと、作業報告データＤＴ１が、複数の携帯端末装置２同士の間でループしてしまう場合がある。例えば、携帯端末装置２Ａ、２Ｂ間で繰り返しデータが移動したり、携帯端末装置２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、…の順に繰り返しデータが移動したりすることがある。
【００４６】
そこで、携帯端末装置２は、作業報告データＤＴ１の送信前に、それに付加されている発信元情報ＤＨおよび中継装置情報ＤＣをチェックし、これらのうちのいずれかにその携帯端末装置２自身の識別情報が示されている場合は、その作業報告データＤＴ１の中継を中止する。つまり、その作業報告データＤＴ１については、ステップ＃１１２以降の処理を中止する。
【００４７】
または、次のようにしてループを防止してもよい。作業報告データＤＴ１ごとに識別番号を付けておく。携帯端末装置２は、作業報告データＤＴ１を送信するごとに、その識別番号を送信済識別番号として記憶しておく。そして、他の携帯端末装置２から作業報告データＤＴ１が送信されてきたときに、その識別番号と記憶しておいた各送信済識別番号とを照合し、いずれかの送信済識別番号と一致した場合は、その作業報告データＤＴ１の中継を中止する。
【００４８】
ルータ３は、前に述べたように、携帯端末装置２から作業報告データＤＴ１を受信すると、データ管理サーバ４１にこれを送信する。ただし、同一の作業報告データＤＴ１を複数受信する場合がある。この場合は、最初に受信した作業報告データＤＴ１のみをデータ管理サーバ４１に送信すればよい。または、データ管理サーバ４１において、最初に送信されてきた作業報告データＤＴ１のみを受け付けるようにしてもよい。
【００４９】
図９はデータ管理サーバ４１から目的の携帯端末装置２にデータを送信する場合の各装置の処理の流れの例を説明するフローチャート、図１０は作業指示データＤＴ２およびそれに付加されるデータの例を示す図である。
【００５０】
作業指示データＤＴ２は、図９に示すような手順で指示用端末装置４２から宛先の携帯端末装置２に届けられる。指示用端末装置４２のオペレータがキーボードなどを操作することによって、作業指示データＤＴ２を入力し宛先を指定する（＃２０１）。以下、宛先として携帯端末装置２Ｈ（図５参照）が指定された場合を例に説明する。
【００５１】
指示用端末装置４２は、図１０（ａ）に示すように、入力された作業指示データＤＴ２を、携帯端末装置２Ｈを示す宛先情報ＤＡ’および指示用端末装置４２自身を示す発信元情報ＤＨ’を付加して、ルータ３に向けて送信する（＃２０２）。
【００５２】
ルータ３は、作業指示データＤＴ２などを受信すると、それに付加されている宛先情報ＤＡ’に基づいてその作業指示データＤＴ２の宛先がネットワークシステム１００の中の装置であるか否かをチェックする（＃２１１）。ネットワークシステム１００の中の装置である場合は、受信したその作業指示データＤＴ２などをＩＣタグ３７に書き込んで記憶する（＃２１２）。
【００５３】
記憶後、ルータ３は、加工作業エリアに電磁波を発信し、それに対する応答信号を受信することによって、ネットワークシステム１００の中から無線による通信が可能な携帯端末装置２を検索する（＃２１３、＃２１４）。そして、そのような携帯端末装置２が見つかったら、ＩＣタグ３７に記憶されている作業指示データＤＴ２などを読み出し、これをその携帯端末装置２のＩＣタグ２７に書き込む（＃２１５）。このような原理により、データ管理サーバ４１からのデータがネットワークシステム１００に中継される。図５の例では、携帯端末装置２Ｅに作業指示データＤＴ２が中継（送信）されることになる。
【００５４】
携帯端末装置２Ｅは、作業指示データＤＴ２などを受信すると（＃２２１）、それに付加されている宛先情報ＤＡ’に基づいて宛先が携帯端末装置２Ｅ自身であるか否かをチェックする（＃２２２）。
【００５５】
本例では、宛先情報ＤＡ’は「携帯端末装置２Ｈ」を示しているので宛先が自分でないと判別し（＃２２２でＮｏ）、図１０（ｂ）に示すように作業指示データＤＴ２に携帯端末装置２Ｅ自身の識別情報を中継装置情報ＤＣ’として付加し、図８で説明した作業報告データＤＴ１の中継の場合と同様に、これを他の携帯端末装置２に送信する。すなわち、直接通信可能な他の携帯端末装置２を検索し（＃２２３、＃２２４）、中継装置情報ＤＣ’を付加した作業指示データＤＴ２などを、見つかった携帯端末装置２のＩＣタグ２７に書き込む（＃２２５）。これにより、作業指示データＤＴ２などが次の携帯端末装置２に送信（中継）される。本例では、携帯端末装置２Ａ、２Ｆに送信される。
【００５６】
一方、もしも、宛先が携帯端末装置２Ｅであったならば（＃２２２でＹｅｓ）、宛先の装置に作業指示データＤＴ２が到達したことになるので、データ中継のための処理を終了する。
【００５７】
携帯端末装置２Ａ、２Ｆも、携帯端末装置２Ｅにおけるステップ＃２２１〜＃２２５と同様の処理を行う（＃２３１〜＃２３５）。そして、作業指示データＤＴ２が携帯端末装置２Ｈに届けられるまで、他の携帯端末装置２も同様の処理を実行する。なお、作業報告データＤＴ１の中継の場合と同様に、ループを防止するために、各携帯端末装置２は、同一の作業指示データＤＴ２を２回以上送信しない。
【００５８】
本実施形態によると、ネットワークシステム１００の中の装置同士の通信手段を、ＩＥＥＥ８０２．１１で規格される無線ＬＡＮを用いずに、低周波のＩＣタグの原理を利用して構築している。これにより、電磁波による加工装置５への影響および加工装置５の不具合の発生が抑えられる。よって、無線ＬＡＮを用いた場合よりも、半導体製品の歩留まりの向上およびスムーズな製造が期待できる。
【００５９】
本実施形態では、図６で説明したように、ユーザが入力した作業報告データＤＴ１を一旦ＩＣタグ２７に記憶させたが、ＩＣタグ２７以外の記憶手段に記憶させておいてもよい。例えば、ＲＡＭ２２、磁気記憶装置２５、またはＩＣタグリーダライタ２８のバッファなどに記憶させておいてもよい。同様に、ルータ３の通信ユニット３１がデータ管理サーバ４１から受信した作業指示データＤＴ２を、ＩＣタグ３７の代わりにＩＣタグリーダライタ３８のバッファなどに記憶させてもよい。
【００６０】
〔第二の実施形態〕
図１１は加工作業エリアにおける携帯端末装置２およびルータ３の位置関係の例を示す図である。
【００６１】
携帯端末装置２を持ったユーザ（作業員など）が移動すると、その携帯端末装置２とルータ３および他の携帯端末装置２との位置関係が変化し、通信経路が変化することがある。そうすると、ネットワークシステム１００内の一部または全部の携帯端末装置２がルータ３との通信経路を絶たれてしまうことがある。図１１（ａ）に示す例では、携帯端末装置２Ａ〜２Ｄの４台とルータ３とは通信を行うことができない。しかし、携帯端末装置２同士の位置関係または携帯端末装置２とルータ３との位置関係がさらに変化すると、携帯端末装置２Ａ〜２Ｄとルータ３との通信が可能になることがある。
【００６２】
第二の実施形態では、携帯端末装置２をユーザ持ったユーザが移動し各装置の位置関係および通信経路が変化する場合におけるデータ通信について説明する。
【００６３】
半導体製造工場ネットワークシステムＨＮＳ、ネットワークシステム１００、およびイントラネット１０１それぞれの全体的な構成、携帯端末装置２およびルータ３それぞれのハードウェア構成および機能的構成、複数の携帯端末装置２同士の通信方法、および携帯端末装置２およびルータ３同士の通信方法は、第一の実施形態の場合と基本的に同様である。以下、第二の実施形態の特徴的な部分について説明し、第一の実施形態と重複する部分については説明を省略する。
【００６４】
例えば、図１１（ａ）のように各携帯端末装置２が位置する状態で、データ管理サーバ４１を宛先とする作業報告データＤＴ１が携帯端末装置２Ｄで入力され発信されたとする。すると、第一の実施形態の図６および図８で説明したような手順で、作業報告データＤＴ１が入力され携帯端末装置２Ｄ、２Ｃ、２Ｂを経由して携帯端末装置２Ａに届く。携帯端末装置２Ａは、携帯端末装置２Ａ自身および１つ手前の携帯端末装置２Ｂ以外には携帯端末装置２を検知することができない。よって、ここで、作業報告データＤＴ１の中継が中断してしまう。
【００６５】
ところで、第一の実施形態では、最初の（つまり、入力元の）携帯端末装置２は、自分の識別情報を発信元情報ＤＨとして作業報告データＤＴ１に付加し、次の携帯端末装置２に向けて送信した（図７（ｂ）参照）。また、２番目以降の携帯端末装置２は、さらに自分の識別情報を中継装置情報ＤＣとして作業報告データＤＴ１に付加し、これを次の携帯端末装置２に送信した（図７（ｃ）（ｄ）参照）。しかし、第二の実施形態では、２番目以降の携帯端末装置２は、作業報告データＤＴ１を次の携帯端末装置２に送信する際に、１つ手前の携帯端末装置２を示す発信元情報ＤＨまたは中継装置情報ＤＣを削除し、その代わりに自分の識別情報を中継装置情報ＤＣとして付加する。
【００６６】
例えば、携帯端末装置２Ｃは、作業報告データＤＴ１に付加されている発信元情報ＤＨ（携帯端末装置２Ｄの識別情報）を削除し、自分の識別情報を中継装置情報ＤＣとして付加して作業報告データＤＴ１を携帯端末装置２Ｂに送信する。同様に、携帯端末装置２Ｂは、作業報告データＤＴ１に付加されている中継装置情報ＤＣ（携帯端末装置２Ｃの識別情報）を削除し、自分の識別情報を中継装置情報ＤＣとして付加して作業報告データＤＴ１を携帯端末装置２Ａに送信する。その結果、携帯端末装置２ＡのＩＣタグ２７には、データ管理サーバ４１を示す宛先情報ＤＡおよび携帯端末装置２Ｂを示す中継装置情報ＤＣが付加された作業報告データＤＴ１が記憶される。
【００６７】
つまり、作業報告データＤＴ１には中継装置情報ＤＣ（または発信元情報ＤＨ）が１つだけ付加されており、携帯端末装置２によって中継されるごとにその中継装置情報ＤＣが更新される、と言える。
【００６８】
携帯端末装置２Ａは、常時または定期的に電磁波を発信し、作業報告データＤＴ１を送信することができる相手を探す。そして、例えば、図１１（ｂ）の丸数字１のように、携帯端末装置２Ｃのユーザが移動したことによって、携帯端末装置２Ａと携帯端末装置２Ｃとの距離が通信可能な範囲内になると、携帯端末装置２Ａは、携帯端末装置２Ｃを検知する。上に述べたように、携帯端末装置２ＡのＩＣタグ２７に記憶されている作業報告データＤＴ１には、携帯端末装置２Ｃを示す中継装置情報ＤＣは付加されていない。したがって、携帯端末装置２Ｃは送信相手として適当なので、携帯端末装置２Ａは、中継装置情報ＤＣの内容を自分の識別情報に更新し、作業報告データＤＴ１などを携帯端末装置２Ｃに送信する。
【００６９】
すると、携帯端末装置２Ｃは、既にいずれかのルータ３との通信が可能である場合は、中継装置情報ＤＣを更新し、作業報告データＤＴ１をそのルータ３に送信する。そして、作業報告データＤＴ１は、イントラネット１０１内の各装置を経由してルータ３からデータ管理サーバ４１に届けられる。
【００７０】
または、図１１（ｂ）の丸数字２のように、携帯端末装置２Ｈのユーザが携帯端末装置２Ａとの通信可能範囲に移動してきた場合も同様に、携帯端末装置２Ａから携帯端末装置２Ｈに作業報告データＤＴ１が送信される。そして、携帯端末装置２Ｇ、２Ｅおよびルータ３などを経由して作業報告データＤＴ１がデータ管理サーバ４１に届けられる。
【００７１】
または、携帯端末装置２Ａのユーザが移動して、ルータ３との通信可能範囲に入った場合は、携帯端末装置２Ａは、直接ルータ３に作業報告データＤＴ１を送信する。そして、作業報告データＤＴ１は、ルータ３からデータ管理サーバ４１に届けられる。
【００７２】
第二の実施形態によると、携帯端末装置２が移動する場合であっても、作業報告データＤＴ１を宛先の装置に届けることができる。
【００７３】
第二の実施形態では、例えば携帯端末装置２Ｂは、携帯端末装置２Ｃから受信した作業報告データＤＴ１を携帯端末装置２Ａに送信する際に、中継装置情報ＤＣとして、携帯端末装置２Ｂ自身を示すもののみを作業報告データＤＴ１に付加したが、付加する中継装置情報ＤＣは、ネットワークシステム１００が用いられる環境などに応じて適宜変更可能である。通信のトラフィックを抑えたい場合は、作業報告データＤＴ１のループを少なくするために、中継装置情報ＤＣとして、携帯端末装置２Ｂ自身を示す中継装置情報およびその作業報告データＤＴ１を直前に中継した所定台数の携帯端末装置２を示す中継装置情報を付加してもよい。携帯端末装置２の移動が激しい場合は、宛先情報ＤＡを付加しないようにしてもよい。
【００７４】
作業報告データＤＴ１が無限にループすることを防止するために、作業報告データＤＴ１が経由した携帯端末装置２の延べ台数をカウントしておき、所定の数を超えた場合は作業報告データＤＴ１の中継を中止するようにしてもよい。または、作業報告データＤＴ１が入力されてから所定の時間を経過した場合に作業報告データＤＴ１の中継を中止するようにしてもよい。
【００７５】
加工作業エリア内の携帯端末装置２の台数が少ない場合は、ＩＣタグ２７およびＩＣタグリーダライタ２８を有する中継装置を複数台設置しておいてもよい。
【００７６】
図１２はＩＣタグ２７のメモリ領域の割当ての例を示す図、図１３は携帯電話またはＰＨＳの通信網の代替手段としてネットワークシステム１００を適用する例を示す図である。
【００７７】
図１２に示すように、ＩＣタグ２７のメモリ領域を、ユーザが参照することができる参照領域ＲＹ１と参照することができない非参照領域ＲＹ２とに分け、他の携帯端末装置２またはルータ３とやり取りするデータについては、非参照領域ＲＹ２に記憶させるようにしてもよい。
【００７８】
ネットワークシステム１００は、半導体の製造工場以外の場所にも適用することができる。例えば、病院の中のように、携帯電話の使用が制限されまたは禁止される区域に適用することができる。この場合は、医師および看護婦などが携帯する装置に、携帯端末装置２の機能を設けておけばよい。
【００７９】
または、既存の携帯電話またはＰＨＳの通信網の代替としてネットワークシステム１００を使用することができる。図１３において、点線で表した区域ＫＸ、ＫＹはそれぞれ基地局３Ｘ、３Ｙのカバーエリアを示す。ここでの携帯端末装置２は、従来の携帯電話端末またはＰＨＳ端末と第一および第二の実施形態で説明したＩＣタグによる通信機能とを併せ持ったものである。基地局３Ｘ、３Ｙは、既存の通信システムのほか、第一および第二の実施形態で説明したルータ３に相当する機能が設けられている。
【００８０】
いずれかの基地局のカバーエリア内に位置する携帯端末装置２は、通常、従来通りにその基地局をアクセスポイントとして電子メールの送受信などの通信を行う。被災または故障などによっていずれかの基地局が停止したとする。例えば、基地局３Ｙが停止したとする。この場合、基地局３Ｙのカバーエリアに位置しかつ他のいずれの基地局のカバーエリアにも位置しない携帯端末装置２は、いずれの基地局からの電波も検知することができないので、通常の通信が不能であると判別する。
【００８１】
すると、その携帯端末装置２は、通信モードを、通常の通信モードからＩＣタグ通信モードに切り換え、第一または第二の実施形態で説明したＩＣタグ通信の方法によって近隣の携帯端末装置２にデータを送信する。当該近隣の携帯端末装置２は、さらに別の携帯端末装置２にそのデータを送信する。このようにして、データが複数台の携帯端末装置２によって中継され、稼動している基地局３Ｘで届けられる。そして、基地局３Ｘは、受信したそのデータを宛先の装置に送信するための処理を行う。
【００８２】
電化製品にＩＣタグ２７およびＩＣタグリーダライタ２８を設け、これを携帯端末装置２として使用できるようにしてもよい。これにより、家庭内またはＳＯＨＯ（Small Office Home Office）などにおいて簡単にネットワークを構築することができる。
【００８３】
その他、ネットワークシステム１００、半導体製造工場ネットワークシステムＨＮＳ、携帯端末装置２、ルータ３の全体または各部の構成、処理内容、処理順序などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。
【００８４】
以上説明した実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）送付対象データを目的の装置に送付するためのネットワークシステムであって、
互いに異なる位置に複数台の通信装置を有し、
前記通信装置には、
ＩＣタグと、
ＩＣタグにデータを書き込みまたはＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダライタと、が設けられ、
前記ＩＣタグリーダライタは、当該ＩＣタグリーダライタとともに設けられたＩＣタグに他の通信装置によって前記送付対象データが書き込まれた後、当該送付対象データを他の通信装置のＩＣタグまたは前記目的の装置のＩＣタグに書き込むための電磁波を発信する、
ことを特徴とするネットワークシステム。
（付記２）前記ＩＣタグリーダライタは、前記送付対象データを、前記目的の装置のＩＣタグまたは当該送付対象データが一度も書き込まれたことのない他の通信装置のＩＣタグにのみ書き込む、
付記１記載のネットワークシステム。
（付記３）送付対象データを宛先の装置に送付するためのネットワークシステムであって、
複数台の通信装置と、当該ネットワークシステムを第二のネットワークシステムと接続するためのネットワーク接続装置と、を有し、
前記通信装置には、
第一のＩＣタグと、
電磁波を発信しまたは受信することによってＩＣタグにデータを書き込みまたはＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダライタと、が設けられ、
前記ネットワーク接続装置には、
第二のＩＣタグと、
電磁波を発信しまたは受信することによってＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダと、
前記第二のネットワークシステムに設けられている装置である外部装置に向けてデータを送信するデータ送信手段と、が設けられ、
前記送付対象データの宛先が前記外部装置である場合は、
前記通信装置において、前記ＩＣタグリーダライタは、当該通信装置の前記第一のＩＣタグに当該送付対象データが書き込まれた後、当該送付対象データを読み出して、他の通信装置の前記第一のＩＣタグまたは前記ネットワーク接続装置の前記第二のＩＣタグに当該送付対象データを書き込むための電磁波を発信し、
前記ネットワーク接続装置において、前記ＩＣタグリーダは、当該ネットワーク接続装置の前記第二のＩＣタグに当該送付対象データが書き込まれた後、当該第二のＩＣタグから当該送付対象データを読み出し、前記データ送信手段は、読み出された当該送付対象データを当該外部装置に向けて送信する、
ことを特徴とするネットワークシステム。
（付記４）前記通信装置のうちの少なくとも１台に、前記送付対象データを入力するための入力手段が設けられており、
前記ＩＣタグリーダライタは、前記入力手段により入力された前記送付対象データを第一のＩＣタグに書き込むための電磁波を発信する、
付記３記載のネットワークシステム。
（付記５）前記ＩＣタグリーダライタは、前記送付対象データを、前記ネットワーク接続装置の前記第二のＩＣタグまたは当該送付対象データが一度も書き込まれたことのない他の通信装置の前記第一のＩＣタグにのみ書き込むために、当該送付対象データの電磁波を発信する、
付記３または付記４記載のネットワークシステム。
（付記６）送付対象データを目的の装置に送付するための通信装置であって、
他の通信装置から発信されてきた電磁波に基づいて前記送付対象データを記憶する第一のＩＣタグと、
前記送付対象データを入力するための入力手段と、
前記第一のＩＣタグに記憶されている前記送付対象データを読み出す処理および読み出した前記送付対象データまたは前記入力手段によって入力された前記送付対象データを他の通信装置の第二のＩＣタグまたは前記目的の装置の第三のＩＣタグに書き込む処理を、電磁波を発信しまたは受信することによって行う、ＩＣタグリーダライタと、
を有することを特徴とする通信装置。
（付記７）前記ＩＣタグリーダライタは、前記送付対象データを、前記目的の装置の前記第三のＩＣタグまたは当該送付対象データが一度も書き込まれたことのない他の通信装置の前記第二のＩＣタグにのみ書き込むために、当該送付対象データの電磁波を発信する、
付記６記載の通信装置。
（付記８）  前記送付対象データには、当該送付対象データを記憶したことのある前記通信装置の識別情報が付されており、
前記ＩＣタグリーダライタは、前記送付対象データを書き込むための電磁波を、当該送付対象データに付されている前記識別情報のいずれにも示されない他の通信装置または前記目的の装置を検知した場合にのみ発信する、
付記６または付記７記載の通信装置。
（付記９）送付対象データを目的の装置に送付するデータ送付方法であって、
ＩＣタグと、ＩＣタグにデータを書き込みまたはＩＣタグからデータを読み出すＩＣタグリーダライタと、を有する通信装置を、複数台設けておき、
前記通信装置において、当該通信装置のＩＣタグに前記送付対象データが書き込まれた場合に、前記ＩＣタグリーダライタを、当該送付対象データを他の通信装置のＩＣタグまたは前記目的の装置のＩＣタグに書き込むための電磁波を発信するように制御する、
ことを特徴とするデータ送付方法。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
本発明は、特に、数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚの周波数の電磁波の影響を受けやすい装置が備えられた区域において無線通信を行う場合に好適に用いられる。例えば、半導体、液晶パネル、またはプラズマディスプレイなどを製造する工場、病院、または飛行機の機内などで好適に用いられる。
【００８６】
また、既存の携帯電話網またはＰＨＳ網の代替の通信手段としても用いられる。例えば、携帯電話網またはＰＨＳ網の基地局の一部が災害などで通信不能になった場合に、携帯電話端末またはＰＨＳ端末から稼動している基地局までの通信手段として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明に係るネットワークシステムの全体的な構成の例を示す図である。
【図２】携帯端末装置のハードウェア構成の例を示す図である。
【図３】ＩＣタグの構成の例を示す図である。
【図４】ルータのハードウェア構成の例を示す図である。
【図５】半導体製造工場ネットワークシステムの全体的な構成の例を示す図である。
【図６】携帯端末装置におけるデータの入力および送信の処理の流れの例を説明する図である。
【図７】作業報告データおよびそれに付加されるデータの例を示す図である。
【図８】携帯端末装置におけるデータの中継処理の流れの例を説明する図である。
【図９】データ管理サーバから目的の携帯端末装置にデータを送信する場合の各装置の処理の流れの例を説明するフローチャートである。
【図１０】作業指示データおよびそれに付加されるデータの例を示す図である。
【図１１】加工作業エリアにおける携帯端末装置およびルータの位置関係の例を示す図である。
【図１２】ＩＣタグのメモリ領域の割当ての例を示す図である。
【図１３】携帯電話またはＰＨＳの通信網の代替手段としてネットワークシステムを適用する例を示す図である。
【符号の説明】
【００８８】
１００  ネットワークシステム
２  携帯端末装置（通信装置）
２７  ＩＣタグ
２８  ＩＣタグリーダライタ
３  ルータ（ネットワーク接続装置）
３１  通信ユニット（データ送信手段）
３７  ＩＣタグ
３８  ＩＣタグリーダライタ
４  情報処理装置（外部装置）
４１  データ管理サーバ
４２  指示用端末装置（外部装置）
ＤＴ１  作業報告データ（送付対象データ）
ＤＴ２  作業指示データ（送付対象データ）
【図１】
2006211039.tif 000003
【図２】
2006211039.tif 000004
【図３】
2006211039.tif 000005
【図４】
2006211039.tif 000006
【図５】
2006211039.tif 000007
【図６】
2006211039.tif 000008
【図７】
2006211039.tif 000009
【図８】
2006211039.tif 000010
【図９】
2006211039.tif 000011
【図１０】
2006211039.tif 000012
【図１１】
2006211039.tif 000013
【図１２】
2006211039.tif 000014
【図１３】
2006211039.tif 000015