(57)【要約】【課題】  適切な装置タクトを基板処理装置に設定するための算出装置及び設定装置、並びに適切な装置タクトを設定することのできる基板処理装置を提供する。【解決手段】  基板処理装置の装置タクトを設定する設定装置２に、各処理ユニット１２〜１５の動作機構のパラメータの値を記憶するパラメータ値記憶部３４と、パラメータ値記憶部３４に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための入力部３６と、パラメータ値記憶部３４に記憶されたパラメータの値を用いた場合の各処理ユニット１２〜１５の処理時間を求める処理時間算出部２２２と、処理時間算出部２２２により求められた処理時間を操作者に報知する表示部３１と、操作者が装置タクトを入力するための入力部３６と、入力部３６により入力された装置タクトを処理ユニット群１２〜１５に基板を投入する装置１１，２１に設定する装置タクト送信部３８とを備える。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を算出する算出装置であって、
前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、
前記処理時間取得手段により求められた前記処理時間を操作者に報知する報知手段とを備える算出装置。
【請求項２】
基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、
請求項１に記載の算出装置と、
操作者が前記時間間隔を入力するための入力手段と、
前記入力手段により入力された前記時間間隔を前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備える設定装置。
【請求項３】
前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて計算により前記処理時間を算出することにより処理時間を求める請求項２に記載の設定装置。
【請求項４】
前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて前記各処理ユニットが動作を行った場合における前記処理時間を実測することにより処理時間を求める請求項２に記載の設定装置。
【請求項５】
基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、
前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、
前記処理時間取得手段により求められた各処理ユニットの処理時間のうち最も遅い処理時間を選定する選定手段と、
前記選定手段により選定された処理時間を前記時間間隔として、前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備える設定装置。
【請求項６】
前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて計算により前記処理時間を算出することにより処理時間を求める請求項５に記載の設定装置。
【請求項７】
前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて前記各処理ユニットが動作を行った場合における前記処理時間を実測することにより処理時間を求める請求項５に記載の設定装置。
【請求項８】
基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、
前記各処理ユニットにそれぞれ電気的に接続されたユニット制御部と、
前記各ユニット制御部と通信回線により接続された主制御部とを備え、
前記主制御部は、前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータのうち前記各処理ユニットに属するパラメータを、そのパラメータの属する処理ユニットに接続されたユニット制御部に送信するパラメータ送信手段と、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を各処理ユニットに接続されたユニット制御部から受信する処理時間受信手段と、前記処理時間受信手段により受信された前記処理時間を操作者に報知する報知手段と、操作者が前記時間間隔を入力するための入力手段と、前記入力手段により入力された前記時間間隔を前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備え、
前記ユニット制御部は、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを受信するパラメータ受信手段と、前記パラメータ受信手段により受信されたパラメータの値を用いた場合の、当該ユニット制御部に接続された処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、前記処理時間取得手段により求められた処理時間を前記主制御装置に送信する処理時間送信手段と
を備える設定装置。
【請求項９】
基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、
前記各処理ユニットにそれぞれ電気的に接続されたユニット制御部と、
前記各ユニット制御部と通信回線により接続された主制御部とを備え、
前記主制御部は、前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータのうち前記各処理ユニットに属するパラメータを、そのパラメータの属する処理ユニットに接続されたユニット制御部に送信するパラメータ送信手段と、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を各処理ユニットに接続されたユニット制御部から受信する処理時間受信手段と、前記処理時間受信手段により受信された各処理ユニットの処理時間のうち最も遅い処理時間を選定する選定手段と、前記選定手段により選定された処理時間を前記時間間隔として前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備え、
前記ユニット制御部は、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを受信するパラメータ受信手段と、前記パラメータ受信手段により受信されたパラメータの値を用いた場合の、当該ユニット制御部に接続された処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、前記処理時間取得手段により求められた処理時間を前記主制御装置に送信する処理時間送信手段と
を備える設定装置。
【請求項１０】
請求項２〜９のいずれかに記載の設定装置を備える基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板及びＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用ガラス基板等の基板の表面に、素子形成などのための処理を施す基板処理装置、この基板処理装置の各処理ユニットの処理時間を算出する算出装置、及び処理ユニット群に基板を送り出す時間間隔を設定する設定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板処理装置においては、処理ユニット群に基板を送り出す時間間隔（以下、装置タクトという。）をオペレータが設定するようになっていた。オペレータは、各処理ユニットの処理時間を推測し、装置タクトを決定していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、各処理ユニットの処理時間は、処理に用いるレシピ（処理内容を調整するパラメータ値を記載したもの）に応じて変わるので、上記の方法で装置タクトを設定した場合には、実際に装置を運転してみて、装置タクトが適切であるか否かをチェックするしかなかった。このとき、適切でない装置タクトを設定してしまうと、例えば速すぎる（時間間隔が短すぎる）装置タクトが設定されると、基板処理装置の処理能力（処理スピード）が装置タクトに追いつかず、途中の処理ユニットに基板が滞留してしまい、製品不良等の発生の原因となってしまっていた。また、遅すぎる（時間間隔が長すぎる）装置タクトが設定されると、基板の生産量が実際に生産可能な量よりも少なくなってしまい、非効率であった。
【０００４】
本発明は、上記問題点に鑑みて成されたもので、適切な装置タクトを基板処理装置に設定するための算出装置及び設定装置、並びに適切な装置タクトを設定することのできる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に係る算出装置は、基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を算出する算出装置であって、前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、前記処理時間取得手段により求められた前記処理時間を操作者に報知する報知手段とを備えるものである。
【０００６】
この構成によれば、変更手段を使用して操作者が変更したパラメータの値を用いた場合の各処理ユニットの処理時間が処理時間取得手段により求められ、この処理時間が報知手段により操作者に報知されるので、操作者は、パラメータを変更した場合の各処理ユニットの処理時間を容易に知ることができる。
【０００７】
請求項２に係る設定装置は、基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、請求項１に記載の算出装置と、操作者が前記時間間隔を入力するための入力手段と、前記入力手段により入力された前記時間間隔を前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備えるものである。
【０００８】
この構成によれば、変更手段を使用して操作者が変更したパラメータの値を用いた場合の各処理ユニットの処理時間が処理時間取得手段により求められ、この処理時間が報知手段により操作者に報知される。また、入力手段を使用して操作者により前記時間間隔が入力され、入力された前記時間間隔が処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定手段により設定されるので、操作者は報知された処理時間を参照して、入力手段に入力する前記時間間隔を決定でき、操作者にとってより適切な前記時間間隔を、基板を投入する装置に設定することができる。
【０００９】
請求項３に係る設定装置は、請求項２に記載の設定装置であって、前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて計算により前記処理時間を算出することにより処理時間を求めるものである。この構成によれば、計算により処理時間が求められるので、実際に処理を実行することなく処理時間を求めることができる。
【００１０】
請求項４に係る設定装置は、請求項２に記載の設定装置であって、前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて前記各処理ユニットが動作を行った場合における前記処理時間を実測することにより処理時間を求めるものである。この構成によれば、実測により処理時間が求められるので、正確な処理時間を求めることができる。
【００１１】
請求項５に係る設定装置は、基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、前記各処理ユニットの動作機構の動作速度又は／及び処理時間であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、前記処理時間取得手段により求められた各処理ユニットの処理時間のうち最も遅い処理時間を選定する選定手段と、前記選定手段により選定された処理時間を前記時間間隔として、前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備えるものである。
【００１２】
この構成によれば、変更手段を使用して操作者が変更したパラメータの値を用いた場合の各処理ユニットの処理時間が処理時間取得手段により求められ、この処理時間のうち最も遅いものが前記時間間隔として、処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定手段により設定されるので、操作者はパラメータを変更するだけで、より適切な前記時間間隔を基板を投入する装置に設定することができる。
【００１３】
請求項６に係る設定装置は、請求項５に記載の設定装置であって、前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて計算により前記処理時間を算出することにより処理時間を求めるものである。この構成によれば、計算により処理時間が求められるので、実際に処理を実行することなく処理時間を求めることができる。
【００１４】
請求項７に係る設定装置は、請求項５に記載の設定装置であって、前記処理時間取得手段は、前記パラメータの値に基づいて前記各処理ユニットが動作を行った場合における前記処理時間を実測することにより処理時間を求めるものである。この構成によれば、実測により処理時間が求められるので、正確な処理時間を求めることができる。
【００１５】
請求項８に係る設定装置は、基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、前記各処理ユニットにそれぞれ電気的に接続されたユニット制御部と、前記各ユニット制御部と通信回線により接続された主制御部とを備え、前記主制御部は、前記各処理ユニットの動作機構の動作速度又は／及び処理時間であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータのうち前記各処理ユニットに属するパラメータを、そのパラメータの属する処理ユニットに接続されたユニット制御部に送信するパラメータ送信手段と、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を各処理ユニットに接続されたユニット制御部から受信する処理時間受信手段と、前記処理時間受信手段により受信された前記処理時間を操作者に報知する報知手段と、操作者が前記時間間隔を入力するための入力手段と、前記入力手段により入力された前記時間間隔を前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備え、前記ユニット制御部は、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを受信するパラメータ受信手段と、前記パラメータ受信手段により受信されたパラメータの値を用いた場合の、当該ユニット制御部に接続された処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、前記処理時間取得手段により求められた処理時間を前記主制御装置に送信する処理時間送信手段とを備えるものである。
【００１６】
この構成によれば、変更手段を使用して操作者が変更したパラメータの値を用いた場合の各処理ユニットの処理時間が処理時間取得手段により求められ、この処理時間が報知手段により操作者に報知される。また、入力手段を使用して操作者により前記時間間隔が入力され、入力された前記時間間隔が処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定手段により設定されるので、操作者は報知された処理時間を参照して、入力手段に入力する前記時間間隔を決定でき、操作者にとってより適切な前記時間間隔を、基板を投入する装置に設定することができる。
【００１７】
請求項９に係る設定装置は、基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を設定する設定装置であって、前記各処理ユニットにそれぞれ電気的に接続されたユニット制御部と、前記各ユニット制御部と通信回線により接続された主制御部とを備え、前記主制御部は、前記各処理ユニットの動作機構の動作速度又は／及び処理時間であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、前記記憶手段に記憶されたパラメータのうち前記各処理ユニットに属するパラメータを、そのパラメータの属する処理ユニットに接続されたユニット制御部に送信するパラメータ送信手段と、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を各処理ユニットに接続されたユニット制御部から受信する処理時間受信手段と、前記処理時間受信手段により受信された各処理ユニットの処理時間のうち最も遅い処理時間を選定する選定手段と、前記選定手段により選定された処理時間を前記時間間隔として前記処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定する設定手段とを備え、前記ユニット制御部は、前記パラメータ送信手段により送信されたパラメータを受信するパラメータ受信手段と、前記パラメータ受信手段により受信されたパラメータの値を用いた場合の、当該ユニット制御部に接続された処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、前記処理時間取得手段により求められた処理時間を前記主制御装置に送信する処理時間送信手段とを備えるものである。
【００１８】
この構成によれば、変更手段を使用して操作者が変更したパラメータの値を用いた場合の各処理ユニットの処理時間が処理時間取得手段により求められ、この処理時間のうち最も遅いものが前記時間間隔として、処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定手段により設定されるので、操作者はパラメータを変更するだけで、より適切な前記時間間隔を基板を投入する装置に設定することができる。
【００１９】
請求項１０に係る基板処理装置は、請求項２〜９のいずれかに記載の設定装置を備えるものである。この構成によれば、より適切な前記時間間隔を基板を投入する装置に設定することができる基板処理装置を提供できる。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１に記載の発明によれば、変更手段を使用して操作者が変更したパラメータの値を用いた場合の各処理ユニットの処理時間が処理時間取得手段により求められ、この処理時間が報知手段により操作者に報知されるので、操作者は、パラメータを変更した場合の各処理ユニットの処理時間を容易に知ることができる。
【００２１】
請求項２又は８に記載の発明によれば、変更手段を使用して操作者が変更したパラメータの値を用いた場合の各処理ユニットの処理時間が処理時間取得手段により求められ、この処理時間が報知手段により操作者に報知される。また、入力手段を使用して操作者により前記時間間隔が入力され、入力された前記時間間隔が処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定手段により設定されるので、操作者は報知された処理時間を参照して、入力手段に入力する前記時間間隔を決定でき、操作者にとってより適切な前記時間間隔を、基板を投入する装置に設定することができる。
【００２２】
請求項３又は６に記載の発明によれば、計算により処理時間が求められるので、実際に処理を実行することなく処理時間を求めることができる。
【００２３】
請求項４又は７に記載の発明によれば、実測により処理時間が求められるので、正確な処理時間を求めることができる。
【００２４】
請求項５又は９に記載の発明によれば、変更手段を使用して操作者が変更したパラメータの値を用いた場合の各処理ユニットの処理時間が処理時間取得手段により求められ、この処理時間のうち最も遅いものが前記時間間隔として、処理ユニット群の最上流の処理ユニットに基板を投入する装置に設定手段により設定されるので、操作者はパラメータを変更するだけで、より適切な前記時間間隔を基板を投入する装置に設定することができる。
【００２５】
請求項１０に記載の発明によれば、より適切な前記時間間隔を基板を投入する装置に設定することができる基板処理装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の一実施形態における基板処理装置について図面を参照しながら説明する。図１は、基板処理装置１の構成の概略を示す上面図である。基板処理装置１は、基板の表面に素子形成等のための一連の処理を施す装置である。基板処理装置１は、ＬＤ（ローダー）ユニット１１、洗浄ユニット１２、デハイドベークオーブンユニット１３、コーターユニット１４、プリベークオーブンユニット１５、及びＵＬ（アンローダー）ユニット１６から構成される。各ユニット１１〜１６には各ユニットを制御するユニットコントローラ２１〜２６が通信回線により接続され、各ユニットコントローラ２１〜２６は通信回線により互いに接続されると共にメインコントローラ３に接続される。
【００２７】
ＬＤユニット１１は、基板処理装置１で処理を行う基板（図示省略）を、基板に一連の処理を施す処理ユニット群１２〜１５に投入するものである。基板はカセット（図示省略）と呼ばれる、基板を複数枚収納するケースに収納されてＬＤユニット１１に載置される。ＬＤユニット１１に載置されたカセットに収納されている基板は、例えばＬＤユニット１１と洗浄ユニット１２の間に位置された旋回ロボットによりカセットから１枚ずつ抜き取られて洗浄ユニット１２に渡される。この基板の投入は装置タクトと呼ばれる所定時間間隔で連続的に行われる。
【００２８】
洗浄ユニット１２は、基板の洗浄を行うものである。図２は、洗浄ユニット１２の構成の概略を示す上面図である。この図に示すように洗浄ユニット１２は、入口ＣＶ（コンベア）１２１、洗浄部１２２、乾燥部１２３、及び出口ＣＶ１２４が直線的に並んだ構成をとる。入口ＣＶ１２１は、搬送ロボットを介してＬＤユニット１１から渡された基板を洗浄部１２２まで搬送する。洗浄部１２２は、基板を搬送しながら洗浄を行う。乾燥部１２３は、基板を搬送しながら、洗浄された基板の乾燥を行う。出口ＣＶ１２４は、次のデハイドベークオーブンユニット１３まで基板を搬送する。
【００２９】
デハイドベークオーブンユニット１３は、洗浄後の基板を乾燥するものである。図３は、オーブンユニット（後述するプリベークオーブンユニット１５も同様の構成）の構成の概略を示す上面図である。この図に示すようにオーブンユニット１３，１５は、入口ＣＶ１３１、ロボット１３２、多段チャンバー１３３、及び出口ＣＶ１３４から構成される。入口ＣＶ１３１は、洗浄ユニット１２からコンベア（出口ＣＶ１２４）により搬送されてきた基板をロボット１３２まで搬送する。ロボット１３２は、入口ＣＶ１３１により搬送されてきた基板を自身のアームによりつかんで、旋回して多段チャンバー１３３のいずれかのチャンバー内に基板を置く。また、ロボット１３２は、多段チャンバー１３３のいずれかのチャンバー内に置かれた基板をアームでつかんで取り出し、旋回して出口ＣＶ１３４に置く。多段チャンバー１３３は、所定数段、例えば３段のＨＰ（ホットプレート）チャンバーと、所定数段、例えば２段のＣＰ（コールドプレート）チャンバーを有するもので、ホットプレートにより基板の水分を加熱・除去した後、コールドプレートにより基板をクールダウンさせる。出口ＣＶ１３４は、基板をコーターユニット１４に搬送する。
【００３０】
コーターユニット１４は、基板にレジストを塗布するものである。図４は、コーターユニット１４の構成の概略を示す上面図である。この図に示すようにコーターユニット１４は、入口ＣＶ１４１、ロボット１４２、コーター１４３、ロボット１４４、及び出口ＣＶ１４５直線的に並んだ構成をとる。入口ＣＶ１４１は、デハイドベークオーブンユニット１３からコンベア（出口ＣＶ１３４）により搬送されてきた基板をロボット１４２まで搬送する。ロボット１４２は、入口ＣＶ１４１により搬送されてきた基板を自身のアームによりつかんで、旋回してコーター１４３に渡す。コーター１４３は、ロボット１４２により渡された基板に対してレジストを塗布する処理を行う。ロボット１４４は、コーター１４３の基板をアームでつかんで取り出し、旋回して出口ＣＶ１４５に置く。出口ＣＶ１４５は、基板をプリベークオーブンユニット１５に搬送する。
【００３１】
プリベークオーブンユニット１５は、基板上のレジスト膜中の残留溶剤の蒸発と基板の密着性強化を目的として、加熱処理が行うものである。プリベークオーブンユニット１５の構成は、デハイドベークオーブンユニット１３の構成と同じである。
【００３２】
ＵＬユニット１６は、処理ユニット群１２〜１５により一連の処理が基板に施された後に、基板を処理ユニット群１２から払い出すものである。ＵＬユニット１６には、基板回収用のカセットが載置され、例えばプリベークオーブンユニット１５とＵＬユニット１６の間に位置された旋回ロボットにより、プリベークオーブンユニット１５から基板が取り出され、基板回収用のカセットに１枚ずつ収納される。
【００３３】
各ユニットに接続されたユニットコントローラ２１〜２６は接続されているユニットを制御するもので、ＣＰＵ（中央処理装置）及びＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等から構成される。ＬＤユニット１１のユニットコントローラ２１は、メインコントローラ３から装置タクトを受信し、この装置タクトで基板を処理ユニット群１２〜１５に投入するようにＬＤユニット１１を制御する。
【００３４】
処理ユニット１２〜１５のユニットコントローラ２２〜２５は、制御対象の処理ユニットで行う処理を調節するパラメータ（後述）をメインコントローラ３から受信して記憶し、このパラメータに応じた処理がユニットで行われるように制御対象の処理ユニットを制御する。パラメータは処理ユニットの処理時間に影響する。また、ユニットコントローラ２２〜２５は、メインコントローラ３からの指示により、メインコントローラ３から受信したパラメータを用いた場合の当該処理ユニットの処理時間を算出して、メインコントローラ３に知らせる。
【００３５】
メインコントローラ３は、操作者が装置タクトの設定、及びパラメータの変更を行うと共に、操作者に対して各処理ユニット１２〜１５の処理時間を表示するもので、例えばＰＣ（パーソナルコンピュータ）である。メインコントローラ３の画面表示の例を用いて、メインコントローラ３における操作者の操作を説明する。図５は、各処理ユニットの処理時間の表示、及び装置タクトの設定を行う画面の一例である。メインコントローラ３には、複数のレシピ（基板処理装置１の処理内容）が記憶可能となっている。本実施形態においては、レシピ番号欄３１２に記載されている１から４までのレシピ番号に対応した４つのレシピが記憶されている。画面表示の各行が各レシピに対応しており、各行は設定ボタン３１１、レシピ番号３１２、装置タクト３１３、洗浄ユニット１２の処理時間３１４、デハイドベークオーブンユニット１３の処理時間３１５、コーターユニット１４の処理時間３１６、プリベークオーブンユニット１５の処理時間３１７からなる。各処理時間表示の下にはそれぞれその処理時間表示に対応するパラメータ変更ボタン３１８がある。ここでの処理時間の意味については、後述する。
【００３６】
設定ボタン３１１は、その設定ボタン３１１のある行（のレシピ）の装置タクト及びパラメータ（この行には直接表示されない。）を用いて基板処理装置１を運転する指示を入力するためのものである。レシピ番号欄３１２は、各行（のレシピ）に付けられた番号を表示するものである。装置タクト欄３１３は、各レシピにおける装置タクトを表示及び変更するためのもので、表示されている装置タクトを書き換えることにより装置タクトを変更できる。洗浄欄３１４、デハイドベーク欄３１５、コーター欄３１６、及びプリベーク欄３１７の各欄は、洗浄ユニット１２、デハイドベークオーブンユニット１３、コーターユニット１４、及びプリベークオーブンユニット１５の各処理ユニットの処理時間を表示するものである。また、各処理時間の表示の下にあるパラメータ変更ボタン３１８は、各処理ユニットのパラメータを変更するためのもので、このボタンを押下した場合には、画面がパラメータ変更画面に切り替わる。
【００３７】
図６は、パラメータ変更画面の一例で、図５の画面において洗浄欄３１４のパラメータ変更ボタンが押下された場合に表示される、洗浄ユニット１２のパラメータ変更画面である。画面には洗浄ユニット１２の９つのパラメータの値が表示されている。例えばＰＣのポインティングデバイス等を用いてカーソルをこの値の表示位置に移動し、ＰＣのキーボードを用いて数値を入力して、値を操作者が直接書き換えることによりパラメータの値を変更できる。この例においては、枠で囲まれた値が操作者により直接変更可能なパラメータである。設定ボタン３２１を押下すると画面が図５の画面に戻る。このとき、変更した新たなパラメータに応じた処理時間が表示されると共に、パラメータの変更を行った行（レシピ）の装置タクトにこのレシピで一番処理時間の長い処理ユニットの処理時間（例えば、レシピ番号１の場合は、デハイドベークオーブンユニット１３の処理ユニットの処理時間９２（ｓｅｃ）が装置タクトとして表示される。
【００３８】
次に、各処理ユニットのパラメータについて具体的に説明する。洗浄ユニット１２のパラメータは、例えば、入口ＣＶの引込時の速度、入口ＣＶの払出時の速度（洗浄部内ＣＶの引込時の速度）、洗浄部内での基板の停止時間、洗浄部内ＣＶの払出時の速度（乾燥部内ＣＶの引込時の速度）、乾燥部内ＣＶの払出時の速度（出口ＣＶの引込時の速度）、出口ＣＶの払出側速度である。ここで、入口ＣＶの引込時の速度とは、基板の先端が入口ＣＶに入ってから基板の先端が洗浄部に到達するまでの入口ＣＶの速度である。入口ＣＶの払出時の速度（洗浄部内ＣＶの引込時の速度）とは、基板の先端が洗浄部に到達してから基板が洗浄部の中心あたりに位置するまでの入口ＣＶと洗浄部内ＣＶの速度である。洗浄部内での基板の停止時間とは、洗浄部内で洗浄のために基板が停止する時間である。洗浄部内ＣＶの払出時の速度（乾燥部内ＣＶの引込時の速度）とは、基板が洗浄部の中心あたりから乾燥部の中心あたりに移動するまでの洗浄部内ＣＶと乾燥部内ＣＶの速度である。乾燥部内ＣＶの払出時の速度（出口ＣＶの引込時の速度）とは、基板が乾燥部の中心あたりから基板全体が乾燥部から完全に出るまでの乾燥部内ＣＶと出口ＣＶの速度である。出口ＣＶの払出時の速度とは、基板が次の処理ユニットに完全に入るまでの出口ＣＶの速度である。同様にオーブンユニット１３，１５、及びコーターユニット１４も複数のパラメータを有する。
【００３９】
１つの処理ユニット内には一時期に複数の基板が存在するので（例えば、洗浄ユニット１２においては各入口ＣＶ、洗浄部、乾燥部、出口ＣＶに１枚ずつ）、装置タクトは、（処理ユニット全体の処理時間ではなく）処理ユニット内の各処理部（入口ＣＶ１２１、洗浄部１２２、乾燥部１２３、出口ＣＶ１２４）を基板が通過する時間に影響される。洗浄ユニット１２においては、４つの処理部をそれぞれ基板が通過する時間のうち、最も長いものが装置タクトを決定する際の要因となる。つまり、上記の４つの時間のうち最も長い時間を装置タクトとした場合に、洗浄ユニット１２においては、基板がユニット内で停滞することなく、生産性を最も上げることができる。図５の画面に表示された処理時間は、各処理ユニットにおける複数の処理部をそれぞれ基板が通過する時間のうち最長のものを表示している。
【００４０】
次にメインコントローラ３、及びユニットコントローラ２１〜２５の装置タクト設定装置（及び処理時間算出装置）としての機能構成を、図７を用いて説明する。図７は、メインコントローラ３、及びユニットコントローラ２１〜２５の装置タクト設定装置２（及び処理時間算出装置２Ａ）としての機能構成を示す図である。メインコントローラ３は、表示部３１、処理時間受信部３２、装置タクト決定部３３、パラメータ値記憶部３４、パラメータ値送信部３５、入力部３６、装置タクト記憶部３７、及び装置タクト送信部３８を備える。
【００４１】
表示部３１は、例えばＰＣのディスプレイで、出力ユーザインターフェイスとして情報を表示するものである。表示部３１は、処理時間受信部３２から処理時間を受信した場合には、処理時間を表示する。表示部３１は、パラメータ値記憶部３４に記憶されているパラメータ値、及び装置タクト記憶部３７に記憶されている装置タクトを（それらが表示される画面が表示されている場合には）常時表示する。入力部３６は、例えばＰＣのキーボードで、入力ユーザインターフェイスとして情報を入力するものである。入力部３６は、パラメータ値の変更の入力があった場合には、入力されたパラメータ値をパラメータ値記憶部３４に書き込む。入力部３６は、装置タクトの入力があった場合には、入力された装置タクトを装置タクト記憶部３７に書き込む。入力部３６は、処理時間算出指示の入力（図６における設定ボタン３２１の押下）があった場合には、パラメータ値送信部３５にその旨を送信する。入力部３６は、運転指示の入力（図５における設定ボタン３１１の押下）があった場合には、パラメータ値送信部３５及び装置タクト送信部３８にその旨を送信する。
【００４２】
パラメータ値記憶部３４は、メインコントローラ３においてパラメータ値を記憶するもので、例えばＲＡＭからなる。パラメータ値記憶部３４に記憶されたパラメータ値は、運転指示が入力された場合に各処理ユニットに反映される。装置タクト記憶部３７は、メインコントローラ３において装置タクトを記憶するもので、例えばＲＡＭからなる。装置タクト記憶部３７に記憶された装置タクトは、運転指示が入力された場合にＬＤユニット１１に反映される。
【００４３】
処理時間受信部３２は、ユニットコントローラ２２〜２５から処理時間が送信されてきた場合に、その処理時間を受信し、表示部３１及び装置タクト決定部３３に転送するものである。装置タクト決定部３３は、処理時間受信部３２から処理時間を受信した場合に、そのレシピにおける各処理ユニットの処理時間のうち最長のものを装置タクトとして、装置タクト記憶部３７に書き込む。
【００４４】
パラメータ値送信部３５は、パラメータ値及びその使用目的の指示（処理時間算出指示、又は運転指示）をユニットコントローラ２２〜２５に送信するものである。パラメータ値送信部３５は、入力部３６から処理時間算出指示を受信した場合には、パラメータ値記憶部３４からパラメータ値を読み出して、処理時間算出指示及びパラメータ値をユニットコントローラ２２〜２５に送信する。また、パラメータ値送信部３５は、入力部３６から運転指示を受信した場合には、パラメータ値記憶部３４からパラメータ値を読み出して、運転指示及びパラメータ値をユニットコントローラ２２〜２５に送信する。装置タクト送信部３８は、装置タクト及び運転指示をユニットコントローラ２１に送信するものである。装置タクト送信部３８は、入力部３６から運転指示を受信した場合には、装置タクト記憶部３７から装置タクトを読み出して、運転指示及び装置タクトをユニットコントローラ２１に送信する。
【００４５】
処理ユニット１２〜１５のユニットコントローラ２２〜２５は、処理時間送信部２２１、処理時間算出部２２２、パラメータ値受信部２２３、及び処理制御部２２４を備える。パラメータ値受信部２２３は、パラメータ値及びその使用目的の指示をメインコントローラ３から受信し、パラメータ値及びその使用目的の指示を処理時間算出部２２２又は処理制御部２２４に送信するものである。パラメータ値受信部２２３は、メインコントローラ３から処理時間算出指示及びパラメータ値を受信した場合には、受信したパラメータ値及び処理時間算出指示を処理時間算出部２２２に送信する。パラメータ値受信部２２３は、メインコントローラ３から運転指示及びパラメータ値を受信した場合には、受信したパラメータ値及び運転指示を処理制御部２２４に送信する。
【００４６】
処理時間算出部２２２は、処理ユニットの処理時間を算出するものである。処理時間算出部２２２は、パラメータ値受信部２２３から処理時間算出指示及びパラメータ値を受信した場合に、そのパラメータ値を用いた場合の当該処理ユニットの処理時間を算出して、その処理時間を処理時間送信部２２１に送信する。ここで、例として洗浄ユニット１２における処理時間の算出について説明する。上述したように洗浄ユニット１２においては、４つの位置範囲における処理時間を算出する。ここで、説明を簡単化するために搬送方向の基板の長さと各処理部（入口ＣＶ１２１、洗浄部１２２、乾燥部１２３、出口ＣＶ１２４）の搬送方向の長さを同じとし、これをＬとする。第１の位置範囲における処理時間（入口ＣＶ１２１を基板が通過するのに要する時間）は、入口ＣＶの引込時速度をＶ１、払出時速度をＶ２とすると、「（Ｌ／Ｖ１）＋（Ｌ／Ｖ２）」で表される。第２の位置範囲における処理時間（洗浄部１２２を基板が通過するのに要する時間）は、洗浄部内ＣＶの引込時速度をＶ２（これは、入口ＣＶ１２１の払出速度と同じである。）、払出時速度をＶ３、基板が洗浄部１２２内で停止している時間をＴ１とすると、「（Ｌ／Ｖ２）＋Ｔ１＋（Ｌ／Ｖ３）」で表される。
【００４７】
第３の位置範囲における処理時間（乾燥部１２３を基板が通過するのに要する時間）は、乾燥部内ＣＶの引込時速度をＶ３（これは、洗浄部内ＣＶの払出速度と同じである。）、払出時速度をＶ４とすると、「（Ｌ／Ｖ３）＋（Ｌ／Ｖ４）」で表される。第４の位置範囲における処理時間（出口ＣＶ１２４を基板が通過するのに要する時間）は、出口ＣＶ１２４の引込時速度Ｖ４（これは、乾燥部内ＣＶの払出時速度と同じである。）、払出時速度をＶ５とすると、「（Ｌ／Ｖ４）＋（Ｌ／Ｖ５）」で表される。処理時間算出部２２２は、これらの式を用いて、受信したパラメータから各位置範囲の処理時間を算出する。各処理ユニット１２〜１５のユニットコントローラ２２〜２５の処理時間算出部２２２は、制御対象の処理ユニットについて同様に処理時間を算出する。例えば、オーブンユニット１３，１５については、入口ＣＶ１３１、オーブンロボット１３２、ＨＰチャンバー１３３（上段）、ＣＰチャンバー１３３（下段）、及び出口ＣＶ１３４における処理時間（通過時間）を算出する。コーターユニット１４については、入口ＣＶ１４１、ロボット１４２、コーター１４３、ロボット１４４、及び出口ＣＶ１４５における処理時間を算出する。処理時間算出部２２２は、各位置範囲の処理時間のうち最長のものをその処理ユニットの処理時間として、処理時間送信部２２１に送信する。
【００４８】
処理制御部２２４は、処理ユニットにおける処理を制御するものである。処理制御部２２２は、パラメータ値受信部２２３から運転指示及びパラメータ値を受信した場合に、当該処理ユニットがそのパラメータ値を用いて基板に処理を行うように当該処理ユニットを制御する。処理時間送信部２２１は、算出された処理時間をメインコントローラ３に送信するものである。処理時間送信部２２１は、処理時間算出部２２２から処理時間を受信した場合に、メインコントローラ３に処理時間を送信する。
【００４９】
ＬＤユニット１１のユニットコントローラ２１は、装置タクト受信部２１１、及びＬＤ制御部２１２を備える。装置タクト受信部２１１は、メインコントローラ３から装置タクトを受信するものである。装置タクト受信部２１１は、メインコントローラ３から送信された装置タクトを受信した場合には、その装置タクトをＬＤ制御部２１２に送信する。ＬＤ制御部２１２は、ＬＤユニット１１の動作を制御するものである。ＬＤ制御部２１２は、装置タクト受信部２１１から装置タクトを受信した場合には、ＬＤユニット１１がその装置タクトで基板の投入を行うようにＬＤユニット１１を制御する。
【００５０】
次にメインコントローラ３、及びユニットコントローラ２１〜２５の処理の流れを図８を用いて説明する。図８は、メインコントローラ３、及びユニットコントローラ２１〜２５の処理の流れを示すフローチャートである。メインコントローラ３においては、ステップＭ１では、入力部３６は、パラメータの値の変更が入力されたか否かをチェックし、入力された場合には（ステップＭ１でＹＥＳ）、ステップＭ２へ進む。ステップＭ２では、入力部３６は、変更されたパラメータの値をパラメータ値記憶部３４に書き込む。ステップＭ１の分岐において、パラメータの値が変更されなかった場合（ステップＭ１でＮＯ）、及びステップＭ２の処理が終了した場合には、ステップＭ３へ進む。
【００５１】
ステップＭ３では、入力部３６は、操作者により処理時間を算出する指示が入力（図６の画面において設定ボタン３２１が押下）されたか否かをチェックし、入力された場合には（ステップＭ３でＹＥＳ）、ステップＭ４へ進む。ステップＭ４では、入力部３６は、パラメータ値送信部３５に、処理ユニットの各ユニットコントローラ２２〜２５に現在メインコントローラ３が記憶するパラメータの値に基づく各処理ユニット１２〜１５の処理時間を取得するよう指示する。パラメータ値送信部３５は、パラメータ値記憶部３４からパラメータ値を読み出し、処理時間算出指示とパラメータ値を各ユニットコントローラ２２〜２５に送信する。ステップＭ３の分岐において、処理時間算出指示が入力されなかった場合（ステップＭ３でＮＯ）、及びステップＭ４の処理が終了した場合には、ステップＭ５へ進む。
【００５２】
ステップＭ５では、処理時間受信部３２は、ユニットコントローラ２２〜２５から処理時間を受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＭ５でＹＥＳ）、ステップＭ６へ進む。ステップＭ６では、処理時間受信部３２は、受信した処理時間を装置タクト決定部３３へ送信し、装置タクト決定部３３は、全処理ユニットの処理時間のうち最長のものを装置タクトとして、装置タクト記憶部３７へ書き込む。ステップＭ７では、処理時間受信部３２は、受信した処理時間を表示部３１へ送信し、表示部３１は、処理時間を表示する。ステップＭ５の分岐において、処理時間を受信しなかった場合（ステップＭ５でＮＯ）、及びステップＭ７の処理が終了した場合には、ステップＭ８へ進む。
【００５３】
ステップＭ８では、入力部３６は、操作者により例えばメインコントローラ３の画面表示の装置タクトの表示位置にカーソルを位置させてキーボードにより装置タクトが入力されたか否かをチェックし、入力された場合には（ステップＭ８でＹＥＳ）、ステップＭ９へ進む。ステップＭ９では、入力部３６は、入力された装置タクトを装置タクト記憶部３７に書き込む。ステップＭ８の分岐において、装置タクトが入力されなかった場合（ステップＭ８でＮＯ）、及びステップＭ９の処理が終了した場合には、ステップＭ１０へ進む。
【００５４】
ステップＭ１０では、入力部３６は、操作者により運転指示が入力されたか否かをチェックし、入力された場合には（ステップＭ１０でＹＥＳ）、ステップＭ１１へ進む。ステップＭ１１では、入力部３６は、パラメータ値送信部３５に運転指示を送信する。パラメータ値送信部３５は、これを受けてパラメータ値記憶部３４からパラメータ値を読み出し、運転指示及びパラメータ値をユニットコントローラ２２〜２５に送信する。ステップＭ１２では、入力部３６は、装置タクト送信部３８に運転指示を送信する。装置タクト送信部３８は、これを受けて装置タクト記憶部３７から装置タクトを読み出し、運転指示及び装置タクトをＬＤユニット１１のユニットコントローラ２１に送信する。ステップＭ１０の分岐において、運転指示が入力されなかった場合（ステップＭ１０でＮＯ）、及びステップＭ１２の処理が終了した場合には、ステップＭ１へ戻り、ステップＭ１からの処理を繰り返す。
【００５５】
処理ユニットのユニットコントローラ２２〜２５においては、ステップＰ１では、パラメータ値受信部２２３は、メインコントローラ３から処理時間算出指示及びパラメータ値を受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＰ１でＹＥＳ）、ステップＰ２へ進む。ステップＰ２では、パラメータ値受信部２２３は、受信したパラメータ値と処理時間算出指示を処理時間算出部２２２に送信する。処理時間算出部２２２は、受信したパラメータ値を用いて当該処理ユニットの処理時間を算出する。ステップＰ３では、処理時間算出部２２２は、算出した処理時間を処理時間送信部２２１に送信し、処理時間送信部２２１はその処理時間をメインコントローラに送信する。ステップＰ１の分岐において、処理時間算出指示及びパラメータ値を受信しなかった場合（ステップＰ１でＮＯ）、及びステップＰ３の処理が終了した場合には、ステップＰ４へ進む。
【００５６】
ステップＰ４では、パラメータ値受信部２２３は、メインコントローラ３から運転指示及びパラメータ値を受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＰ４でＹＥＳ）、ステップＰ５へ進む。ステップＰ５では、パラメータ値受信部２２３は、受信したパラメータ値と運転指示を処理制御部２２４に送信する。処理制御部２２４は、受信したパラメータ値を用いた処理を当該処理ユニットに行わせるように制御する。ステップＰ４の分岐において、運転指示及びパラメータ値を受信しなかった場合（ステップＰ４でＮＯ）、及びステップＰ５の処理が終了した場合には、ステップＰ１へ戻り、ステップＰ１からの処理を繰り返す。
【００５７】
ＬＤユニット１１のユニットコントローラ２１においては、ステップＤ１では、装置タクト受信部２１１は、メインコントローラ３から運転指示及び装置タクトを受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＤ１でＹＥＳ）、ステップＤ２へ進む。ステップＤ２では、装置タクト受信部２１１は、受信した装置タクトと運転指示をＬＤ制御部２１２に送信する。ＬＤ制御部２１２は、受信した装置タクトでの基板の投入をＬＤユニット１１に行わせるよう制御する。ステップＤ１の分岐において、運転指示及び装置タクトを受信しなかった場合（ステップＤ１でＮＯ）、及びステップＤ２の処理が終了した場合には、ステップＤ１へ戻り、ステップＤ１からの処理を繰り返す。
【００５８】
このように本実施形態によれば、操作者がメインコントローラ３においてパラメータ値を変更して、処理時間の算出を指示した場合には、各処理ユニットのユニットコントローラにおいて処理時間が算出されて、その結果メインコントローラ３に表示される。そして、メインコントローラ３において、算出された処理時間を基に装置タクトを決定しメインコントローラ３内に記憶すると共に、算出された処理時間をメインコントローラ３に表示する。一方、操作者はメインコントローラ３に表示された処理時間と装置タクトを見て、装置タクトを変更したい場合にはメインコントローラ３を用いて装置タクトを設定できる。この後に、操作者がメインコントローラ３において設定指示を行った場合には、メインコントローラ３に記憶された装置タクトとパラメータ値が基板処理装置の動作に反映される。
【００５９】
なお、本発明は、上記実施形態のものに限定されるものではなく、以下に述べる態様を採用することができる。本実施形態においては、処理時間算出部２２２は、受信したパラメータと予め処理時間算出部２２２に記憶された計算式を用いて計算により処理時間を算出したが、受信したパラメータを用いて実際に処理ユニットを動作させてその処理時間を実測して処理時間を取得してもよい。この場合には、基板の通過位置を検出するための位置検出手段、例えばセンサーが処理ユニットに、所定の位置間の通過時間を計時する計時手段がユニットコントローラに必要となる。
【００６０】
本実施形態においては、処理時間算出装置２Ａ及び装置タクト設定装置２は、複数のユニットコントローラ２１〜２５及びメインコントローラ３から構成されたが、例えば１つのＣＰＵ（中央処理装置）を備える情報処理装置や、１つのＰＣから構成されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の一実施形態における基板処理装置の構成を示す上面図である。
【図２】本発明の一実施形態における洗浄ユニットの構成を示す上面図である。
【図３】本発明の一実施形態におけるオーブンユニットの構成を示す上面図である。
【図４】本発明の一実施形態におけるコーターユニットの構成を示す上面図である。
【図５】本発明の一実施形態におけるメインコントローラの画面表示の一例を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態におけるメインコントローラの画面表示の一例を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態における設定装置の機能構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の一実施形態における設定装置の処理の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６２】
１  基板処理装置
１１  ＬＤユニット（基板を投入する装置）
１２  洗浄ユニット（処理ユニット）
１３  デハイドベークオーブンユニット（処理ユニット）
１４  コーターユニット（処理ユニット）
１５  プリベークオーブンユニット（処理ユニット）
２  装置タクト設定装置（設定装置）
２Ａ  処理時間算出装置（算出装置）
２２〜２５  ユニットコントローラ（ユニット制御部）
２２１  処理時間送信部（処理時間送信手段）
２２２  処理時間算出部（処理時間取得手段）
２２３  パラメータ値受信部（パラメータ受信手段）
３  メインコントローラ（主制御部）
３１  表示部（報知手段）
３２  処理時間受信部（処理時間受信手段）
３３  装置タクト決定部（選定手段）
３４  パラメータ値記憶部（記憶手段）
３５  パラメータ値送信部（パラメータ送信手段）
３６  入力部（変更手段、入力手段）
３８  装置タクト送信部（設定手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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