(57)【要約】【課題】省エネルギ化を図り、小型・軽量なドライバを備えた精密位置決め装置を提供する。【解決手段】ブラシレス直流モータであるリニアモータを駆動制御するドライバＤＶ１は、電機子コイル１８に出力電流Ｉｕが流れる回路の途中に配置した出力電流検出器２０と、この出力電流検出器の検出値に基づいて電力用半導体に対する駆動形式を変更する電力用半導体駆動変換器２２とを備えている。出力電流検出器は、検出した出力電流に基づきフィードバック信号Ｓｆを電力用半導体駆動変換器に出力する。電力用半導体駆動変換器は、電力用半導体に対して制御信号Ｓｉに基づいてリニア駆動制御、或いはＰＷＭ駆動制御を行なう装置である。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース上のテーブルが直線方向に移動自在となるように案内するリニアガイドと、このリニアガイドに案内された前記テーブルを前記直線方向に走行させるリニアモータと、このリニアモータの駆動制御を行なう電力用半導体を有するドライバとを備え、前記リニアガイドは、前記ベース上に固定した案内レールと、前記テーブルに取り付けられて前記案内レール上に搭載したスライダとを備え、前記リニアモータを、隣り合う磁極の極性が異なる複数の永久磁石を並列に配置した磁石列を有して前記ベース上に固定した固定子と、前記テーブルに固定され、前記磁石列と協働して推力が付与されるコアレス型の電機子コイルを有する可動子とを備えたブラシレス直流モータとした精密位置決め装置において、
前記テーブルの走行状態を判断する走行状態判断手段と、
この走行状態判断手段により前記テーブルが加減速状態で走行していると判断したときに前記ドライバの前記電力用半導体をパルス幅変調で駆動し、前記走行状態判断手段により前記テーブルが一定速度で走行していると判断したときに前記電力用半導体をリニア駆動する電力用半導体駆動変更手段とを備えたことを特徴とする精密位置決め装置。
【請求項２】
前記走行状態判断手段は、前記ドライバから前記リニアモータに出力される出力電流値の変化に応じて前記テーブルが加減速状態で走行しているか、或いは、前記テーブルが一定速で走行しているかを判断することを特徴とする請求項１記載の精密位置決め装置。
【請求項３】
前記走行状態判断手段は、前記出力電流値が所定の基準値以上のときには前記テーブルが加減速状態で走行していると判断し、前記出力電流値が前記所定の基準値を下回るときには前記テーブルが一定速で走行していると判断することを特徴とする請求項２記載の精密位置決め装置。
【請求項４】
ベース上のテーブルが直線方向に移動自在となるように案内するリニアガイドと、このリニアガイドに案内された前記テーブルを前記直線方向に走行させるリニアモータと、このリニアモータの駆動制御を行なう電力用半導体を有するドライバとを備え、前記リニアガイドは、前記ベース上に固定した案内レールと、前記テーブルの下面に取り付けられて前記案内レール上に搭載したスライダとを備え、前記リニアモータを、隣り合う磁極の極性が異なる複数の永久磁石を並列に配置した磁石列を有して前記ベース上に固定した固定子と、前記テーブルに固定され、前記磁石列と協働して推力が付与されるコアレス型の電機子コイルを有する可動子とを備えたブラシレス直流モータとした精密位置決め装置において、
前記ドライバの前記電力用半導体はリニア駆動で制御されているとともに、
前記リニアモータの現在の必要特性を演算する必要特性演算手段と、
この必要特性演算手段の演算値に基づいて前記ドライバの電源電圧を変更する電源電圧変更手段とを備えていることを特徴とする精密位置決め装置。
【請求項５】
前記電源電圧変更手段は、外部から供給される交流電圧を降圧するトランスと、このトランスの２次側と前記ドライバとの間に接続した切替えタップと、前記必要特性演算手段の演算値に基く制御信号により前記切替えタップの切替え制御を行なうタップ切替え制御手段とを備えていることを特徴とする請求項４記載の精密位置決め装置。
【請求項６】
前記電源電圧変更手段は、電源電圧用半導体と、前記必要特性演算手段の演算値に基づく制御信号により前記電源電圧用半導体を駆動制御する駆動制御手段とを備えていることを特徴とする請求項４記載の精密位置決め装置。
【請求項７】
前記駆動制御手段は、前記電源電圧用半導体をパルス幅変調で駆動することを特徴とする請求項６記載の精密位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータを駆動源とした精密位置決め装置に関し、詳細にはリニアモータの駆動制御を行なうドライバの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や半導体の検査装置等に使用する精密位置決め装置として、例えば、図６から図８に示す位置決めテーブル装置２が知られている（例えば、特許文献１）。
この位置決めテーブル装置２は、図６に示すように、テーブルＴＢが左右方向に直線移動するように支持する一対のリニアガイドＬＧと、これらリニアガイドＬＧに支持されているテーブルＴＢを左右方向に移動させるリニアモータＬＭと、リニアモータＬＭの駆動制御を行なうドライバＤＶとを備えている。
【０００３】
一対のリニアガイドＬＧは、左右方向に互いに平行に延在しながらベース４上に固定した２本の案内レール６と、図７に示すように、テーブルＴＢの下面に取付けられて各案内レール６上に搭載したスライダ１０とを備えている。
リニアモータＬＭは、図８にも示すように、横断面コ字形に形成され、２本の案内レール６の間に平行に配置されてベース４上に固定されている固定子１２と、固定子１２の対向する内面の長手方向に、多数の永久磁石１４をＮ，Ｓ，Ｎ，Ｓ，…と異極同士隣接させて配置した磁石列ＭＭと、テーブルＴＢの下面に固定されて固定子１２の空間に入り込んでいる可動子１６と、固定子１２に配置した磁石列ＭＭと協働して可動子１６に推力が付与されるように可動子１６に配置したコアレス構造の複数個の電機子コイル１８とを備えたブラシレス直流モータである。
【０００４】
そして、ドライバＤＶからリニアモータＬＭに出力電流を出力することで、リニアモータＬＭの駆動によりテーブルＴＢがリニアガイドＬＧに案内されながら左右方向に移動する。
上記構成のリニアモータＬＭは、固定子１２側に磁石列ＭＭを配置したことで可動子１６の軽量化が図られ、しかもコアレス構造の電機子コイル１８を有する可動子１６としたことでコギングの発生が抑制されている。
【０００５】
ここで、ドライバＤＶには電力用半導体が内蔵されている。例えば図９に示すように、スター結線されたリニアモータＬＭの電機子コイル１８の捲線Ｕ，Ｖ，Ｗに三相電流を流すために、一定の電源電圧Ｖbusが接続しているドライバＤＶでは、三相ブリッジ結線の複数の電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄ，Ｖｕ，Ｖｄ，Ｗｕ，Ｗｄが配設されている。これら電力用半導体を駆動制御する方式として、電力用半導体のリニアな特性で発生する電圧降下Ｅｕ，Ｅｖ，Ｅｗを利用して電機子コイル１８への出力電流Ｉｕ，Ｉｖ，Ｉｗを生成するリニア駆動制御と、パルス幅変調により電機子コイル１８への出力電流Ｉｕ，Ｉｖ，Ｉｗを生成するＰＷＭ駆動制御とがある。
【特許文献１】特開２００１−２４５４６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、リニア駆動により電力用半導体を制御する方式は、電力用半導体への消費電力が増大して省エネルギ化の面で問題があるとともに、高加減速の移動のために高推力を発生するには大型の電力用半導体が必要となり、電力用半導体の熱発散用のヒートシンクも大型となるので、ドライバＤＶの製造コストの面で問題がある。
また、リニア駆動と比較して出力電流を高くして高推力を発生しやすいＰＷＭ駆動により電力用半導体を制御する方式は、各電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄ，Ｖｕ，Ｖｄ，Ｗｕ，ＷｄのＯＮ・ＯＦＦ切替えのスイッチング動作によるノイズが発生し、それが微電流としてリニアモータＬＭの電機子コイル１８に流れることで、テーブルＴＢを位置決めする精度に悪影響を与えるおそれがある。
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、省エネルギ化を図ることができるとともに、小型・軽量なドライバを備えながら高精度の位置決め制御を実現することができる精密位置決め装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明に係る精密位置決め装置は、ベース上のテーブルが直線方向に移動自在となるように案内するリニアガイドと、このリニアガイドに案内された前記テーブルを前記直線方向に走行させるリニアモータと、このリニアモータの駆動制御を行なう電力用半導体を有するドライバとを備え、前記リニアガイドは、前記ベース上に固定した案内レールと、前記テーブルに取り付けられて前記案内レール上に搭載したスライダとを備え、前記リニアモータを、隣り合う磁極の極性が異なる複数の永久磁石を並列に配置した磁石列を有して前記ベース上に固定した固定子と、前記テーブルに固定され、前記磁石列と協働して推力が付与されるコアレス型の電機子コイルを有する可動子とを備えたブラシレス直流モータとした精密位置決め装置において、前記テーブルの走行状態を判断する走行状態判断手段と、この走行状態判断手段により前記テーブルが加減速状態で走行していると判断したときに前記ドライバの前記電力用半導体をパルス幅変調で駆動し、前記走行状態判断手段により前記テーブルが一定速度で走行していると判断したときに前記電力用半導体をリニア駆動する電力用半導体駆動変更手段とを備えている。
【０００８】
前記走行状態判断手段は、前記ドライバから前記リニアモータに出力される出力電流値の変化に応じて前記テーブルが加減速状態で走行しているか、或いは、前記テーブルが一定速で走行しているかを判断することが好ましい。
また、前記走行状態判断手段は、前記出力電流値が所定の基準値以上のときには前記テーブルが加減速状態で走行していると判断し、前記出力電流値が前記所定の基準値を下回るときには前記テーブルが一定速で走行していると判断することが好ましい。
【０００９】
一方、他の構成の精密位置決め装置として、ベース上のテーブルが直線方向に移動自在となるように案内するリニアガイドと、このリニアガイドに案内された前記テーブルを前記直線方向に走行させるリニアモータと、このリニアモータの駆動制御を行なう電力用半導体を有するドライバとを備え、前記リニアガイドは、前記ベース上に固定した案内レールと、前記テーブルの下面に取り付けられて前記案内レール上に搭載したスライダとを備え、前記リニアモータを、隣り合う磁極の極性が異なる複数の永久磁石を並列に配置した磁石列を有して前記ベース上に固定した固定子と、前記テーブルに固定され、前記磁石列と協働して推力が付与されるコアレス型の電機子コイルを有する可動子とを備えたブラシレス直流モータとした精密位置決め装置において、前記ドライバの前記電力用半導体はリニア駆動で制御されているとともに、前記リニアモータの現在の必要特性を演算する必要特性演算手段と、この必要特性演算手段の演算値に基づいて前記ドライバの電源電圧を変更する電源電圧変更手段とを備えた精密位置決め装置がある。
【００１０】
この装置においては、前記電源電圧変更手段は、外部から供給される交流電圧を降圧するトランスと、このトランスの２次側と前記ドライバとの間に接続した切替えタップと、前記必要特性演算手段の演算値に基く制御信号により前記切替えタップの切替え制御を行なうタップ切替え制御手段とを備えていることが好ましい。
また、前記電源電圧変更手段は、電源電圧用半導体と、前記必要特性演算手段の演算値に基づく制御信号により前記電源電圧用半導体を駆動制御する駆動制御手段とを備えていてもよい。
さらに、前記駆動制御手段は、前記電源電圧用半導体をパルス幅変調で駆動するようにしてもよい。
さらにまた、案内レールとスライダで構成したリニアガイドに代えて、空気軸受にすることも可能である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の精密位置決め装置によると、省エネルギ化を図ることができるとともに、小型・軽量なドライバを備えながら高精度の位置決め制御を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の精密位置決め装置に係る位置決めテーブル装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
なお、図６から図９で示した構成と同一構成部分には同一符号を付してその説明を省略する。
図１は、本発明に係るリニアモータＬＭの駆動制御を行なう第１実施形態のドライバＤＶ１の回路を示すものである。なお、図１は、図９の回路の一部を変更して要部を拡大したものである。
【００１３】
本実施形態のドライバＤＶ１は、電機子コイル１８に出力電流Ｉｕが流れる回路の途中に配置した出力電流検出器２０と、この出力電流検出器２０の検出値に基づいて電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄに対する駆動形式を変更する電力用半導体駆動変換器２２とを備えている。
出力電流検出器２０は、検出した出力電流Ｉｕに基づくフィードバック信号Ｓｆを電力用半導体駆動変換器２２に出力する。
【００１４】
電力用半導体駆動変換器２２は、電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄに対して制御信号Ｓｉに基づいてリニア駆動制御、或いはＰＷＭ駆動制御を行なう装置である。この電力用半導体駆動変換器２２は、出力電流検出器２０から出力されたフィードバック信号Ｓｆと基準値Ｓｋとを比較演算し、その比較結果に基づいてリニア駆動制御、或いはＰＷＭ駆動制御を行なう。
【００１５】
ブラシレス直流モータであるリニアモータＬＭの推力は、出力電流Ｉｕに比例しているので、テーブルＴＢが加減速状態で走行しているときには、出力電流Ｉｕも大きくなる。一方、テーブルＴＢが一定速で走行しているときには出力電流Ｉｕは小さくなる。
そこで、電力用半導体駆動変換器２２は、前述した基準値Ｓｋを、テーブルＴＢが加減速状態で走行するときの出力電流Ｉｕに対応した値とし、基準値Ｓｋとフィードバック信号Ｓｆとを比較して、Ｓｆ≧Ｓｋであるときには電力用半導体Ｕｕ，ＵｄをＰＷＭ駆動制御し、Ｓｆ＜Ｓｋであるときには電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄをリニア駆動制御する。
【００１６】
リニア駆動制御される電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄは、自身のリニア特性を利用して出力電流Ｉｕを生成する。また、ＰＷＭ駆動制御される電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄは、制御信号Ｓｉと三角波信号とが比較されてパルス幅に変調されて出力電流Ｉｕを生成する。
ここで、図示しないが、他の電力用半導体Ｖｕ，Ｖｄ，Ｗｕ，Ｗｄも同様に、電機子コイル１８に出力電流Ｉｖ，Ｉｗが流れる回路の途中にそれぞれ出力電流検出器２０が配設されているとともに、これら出力電流検出器２０の検出値に基づいて電力用半導体Ｖｕ，Ｖｄ或いはＷｕ，Ｗｄに対する駆動形式（リニア駆動、ＰＷＭ駆動）を変更する電力用半導体駆動変換器２２とが具備されているものとする。
【００１７】
なお、本実施形態の電力用半導体駆動変換器２２が本願の電力用半導体駆動変更手段に相当し、本実施形態の出力電流検出器２０が本願の走行状態判断手段に相当する。
このように、本実施形態のドライバＤＶ１は、テーブルＴＢが一定速度で走行する低推力のときには、電力用半導体駆動変換器２２が電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄ，Ｖｕ，Ｖｄ，Ｗｕ，Ｗｄに対してリニア駆動制御を行なうので、大型の電力用半導体が不要となる。したがって、リニア駆動制御の際の消費電力を低減することができるとともに、電力用半導体の熱発散用のヒートシンクも小型にすることができるので、本実施形態のドライバＤＶ１を備えた位置決めテーブル装置２は、省エネ化を図ることができるとともに、ドライバＤＶ１の小型・軽量化を図ることができる。
【００１８】
さらに、リニア駆動制御時には、電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄ，Ｖｕ，Ｖｄ，Ｗｕ，Ｗｄのスイッチングノイズが発生せず精密な駆動が可能となるので、リニアガイドＬＧを空気軸受に代えて構成すると、高精度の位置決め制御が期待できる。
また、テーブルＴＢが高加減速状態で走行しているときには高精度の位置決めが要求されず、そのときには電力用半導体駆動変換器２２が電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄ，Ｖｕ，Ｖｄ，Ｗｕ，Ｗｄに対してＰＷＭ駆動制御を行なうので、電力用半導体Ｕｕ，Ｕｄ，Ｖｕ，Ｖｄ，Ｗｕ，Ｗｄのスイッチングノイズが発生しても、位置決めテーブル装置２の位置決め精度に影響を与えることがない。
【００１９】
次に、図２から図４を参照して本発明に係る第２実施形態の回路を説明する。
本実施形態は、平滑用コンデンサＣＯを介してドライバＤＶ２が電源電圧Ｖbusに接続されているとともに、交流電圧を降圧するトランス２６と、このトランス２６の２次側とドライバＤＶ２との間に接続されている切替えタップ２８と、テーブルＴＢを移動制御している現在のリニアモータＬＭの必要特性を演算する必要特性演算器３０と、この必要特性演算器３０で演算した結果に基づいて切替えタップ２８の切替え制御を行なう制御信号Ｓｔを生成する制御信号生成器３２とを備えている。なお、平滑用コンデンサＣＯと並列に放電抵抗ＲＯが接続されている。
【００２０】
ドライバＤＶ２は、図３に示すように、電力用半導体Ｔをリニア駆動で制御することで電機子コイル１８に出力電流Ｉｍを生成している。
必要特性演算器３０は、図４に示すブラシレス直流モータであるリニアモータＬＭの推力Ｆ−推進速度ＳＰの特性マップを記憶している。そして、図示しないエンコーダから算出した現在動作点ＤＮにおけるテーブルＴＢの速度ＳＰｎと、出力電流Ｉｍから求めた現在の推力Ｆｎ（ブラシレス直流モータであるリニアモータＬＭの推力は、出力電流Ｉｕに比例している）に基づいて、図４の特性マップから必要とする出力電圧ＥＭ１，ＥＭ２，ＥＭ３，ＥＭ４の何れかを算出するようになっている（ＥＭ１＞ＥＭ２＞ＥＭ３＞ＥＭ４）。
【００２１】
また、制御信号生成器３２は、必要特性演算器３０が算出した出力電圧に基づいて制御信号Ｓｔを生成するようになっている。
そして、切替えタップ２８は、制御信号生成器３２からの制御信号Ｓｔの入力によりトランス２６の２次側電圧を切替え制御するようになっている。
なお、本実施形態の必要特性演算器３０が本発明の必要特性演算手段に相当し、制御信号生成器３２が本発明のタップ切替え手段に相当する。
【００２２】
次に、本実施形態の作用について説明する。
ドライバＤＶ２の電源電圧Ｖbusは、次式（１）のように、出力電圧ＥＭと電力用半導体Ｔの電圧降下ＥＤにより設定される。出力電圧ＥＭは、リニアモータＬＭの電機子コイル１８が運動することにより発生する逆起電力に打ち勝ち、インピーダンスを持ったコイルに出力電流Ｉｍが流れる値に設定される。
Ｖbus  ＝ＥＭ  ＋  ＥＤ
＝（Ｐ×Ｉｍ  ＋Ｅｇ）＋ＥＤ
＝（Ｐ×Ｉｍ  ＋Ｋｅ×ｖ）＋ＥＤ        ……（１）
なお、Ｐはインピーダンス、Ｋｅは逆起電力定数、ｖはリニアモータＬＭの推進速度である。
【００２３】
ここで、ドライバＤＶ２の電源電圧Ｖbusを、リニアモータＬＭの最大推力、最大推進速度に対応可能な大きな一定の値に設定しておくと、電力用半導体Ｔの容量も大きくしなければならず、電力用半導体Ｔの熱発散用のヒートシンクも大型となる。逆に、電源電圧Ｖbusを小さな一定の値に設定しておくと、電力用半導体Ｔの電圧降下ＥＤがゼロであっても必要な出力電圧ＥＭが得られず、リニアモータＬＭの推力及び推進速度の不足を招くおそれがある。
【００２４】
そこで、本実施形態では、必要特性演算器３０が算出した現在のテーブルＴＢの速度ＳＰｎ及び推力Ｆｎに基づいてタップ２８の切替え制御を行なうことでトランス２６の所定の２次側電圧をドライバＤＶ２に印加し、現在のテーブルＴＢの速度ＳＰｎ及び推力Ｆｎに適した電源電圧Ｖbusに変更する。
すなわち、必要特性演算器３０がテーブルＴＢの大きな速度ＳＰｎ及び推力Ｆｎを算出すると、切替えタップ２８の切替え制御によりトランス２６の２次側電圧を大きな値とし、電源電圧Ｖbusを大きな値に変更する。また、必要特性演算器３０がテーブルＴＢの小さな速度ＳＰｎ及び推力Ｆｎを算出すると、切替えタップ２８の切替え制御によりトランス２６の２次側電圧を小さな値とし、電源電圧Ｖbusを小さな値に変更する。
【００２５】
このように、本実施形態は、ドライバＤＶ２の電源電圧Ｖbusを一定値とせず、現在動作点ＤＮにおけるテーブルＴＢの速度ＳＰｎ及び推力Ｆｎに基づいて必要最小限の電源電圧Ｖbusに変更しているので、省エネルギ化を図ることができる。
また、電力用半導体Ｔの容量も大きくならず熱発散用のヒートシンクも小型にすることができるので、ドライバＤＶ２の小型・軽量化を図ることができる。
【００２６】
さらに、図５を参照して本発明に係る第３実施形態の回路を説明する。なお、図２から図４で示した構成と同一構成部分には、同一符号を付してその説明を省略する。
本実施形態は、電源電圧用半導体ＴＰを介してドライバＤＶ２が電源電圧Ｖbusに接続されているとともに、電源電圧用半導体ＴＰをリニア駆動により制御するアンプ３４と、必要特性演算器３０と、この必要特性演算器３０で演算した結果に基づいてアンプ３４に制御信号Ｓｕを出力する制御信号生成器３６とを備えている。なお、電源電圧用半導体ＴＰは平滑用コンデンサＣＯと並列に接続されている。また、制御信号生成器３６とアンプ３４との間には、電源電圧Ｖbusと制御信号Ｓｕとを比較するコンパレータ３８が接続されている。
なお、本実施形態の必要特性演算器３０が本発明の必要特性演算手段に相当し、制御信号生成器３６が本発明の駆動制御手段に相当する。
【００２７】
次に、本実施形態の作用について説明する。
必要特性演算器３０がテーブルＴＢの大きな速度ＳＰｎ及び推力Ｆｎを算出すると、速度ＳＰｎ及び推力Ｆｎに基づいて制御信号生成器３６からアンプ３４に制御信号Ｓｕが出力され、アンプ３４によって増幅された信号により電源電圧用半導体ＴＰが駆動制御されて小さな値の電圧降下が発生する。これにより、電源電圧Ｖbusが大きな値に変更される。また、必要特性演算器３０がテーブルＴＢの小さな速度ＳＰｎ及び推力Ｆｎを算出すると、制御信号生成器３６からアンプ３４に出力した制御信号Ｓｕにより電源電圧用半導体ＴＰが駆動制御されて大きな値の電圧降下が発生する。これにより、電源電圧Ｖbusが大きな値に変更される。
【００２８】
このように、本実施形態も、ドライバＤＶ２の電源電圧Ｖbusを一定値とせず、必要特性演算器３０が算出したテーブルＴＢの速度ＳＰｎ及び推力Ｆｎに基づいて必要最小限の電源電圧Ｖbusに変更しているので、省エネルギ化を図ることができる。
また、電源電圧用半導体ＴＰの容量も大きくならず熱発散用のヒートシンクも小型にすることができるので、ドライバＤＶ２の小型・軽量化を図ることができる。
【００２９】
なお、本実施形態では、アンプ３４を使用して電源電圧用半導体ＴＰをリニア駆動により制御しているが、電源電圧用半導体ＴＰをＰＷＭ駆動により制御すると、消費電力が減少し、さらに省エネルギ化を促進することができる。
また、第２実施形態のドライバＤＶ１、第３実施形態のドライバＤＶ２を採用した位置決めテーブル装置２のリニアガイドＬＧを空気軸受で構成すると、高精度の位置決め制御を期待することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る第１実施形態のドライバの電力用半導体を駆動する回路を示す図である。
【図２】本発明に係る第２実施形態のドライバの電源電圧を変更する回路を示す図である。
【図３】第２実施形態のドライバの電源部の構成を示す図である。
【図４】本発明に係る必要特性演算手段が記憶しているリニアモータの推力−推進速度の特性マップを示す図である。
【図５】本発明に係る第３実施形態のドライバの電源電圧を変更する回路を示す図である。
【図６】本発明に係る精密位置決め装置の要部を平面視で示した図である。
【図７】図６のＡ方向から精密位置決め装置を示した図である。
【図８】精密位置決め装置のリニアモータの構成を示す概略図である。
【図９】スター結線されたリニアモータの電機子コイルに接続するドライバの回路構成を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
２  位置決めテーブル装置（精密位置決め装置）
４  ベース
６  案内レール
１０  スライダ
１２  固定子
１４  永久磁石
１６  可動子
１８  電機子コイル
２０  出力電流検出器
２２  電力用半導体駆動変換器
２６  トランス
２８  タップ
３０  必要特性演算器
３２  制御信号生成器
３４  アンプ
３６   制御信号生成器
ＤＶ１，ＤＶ２  ドライバ
ＬＧ  リニアガイド
ＬＭ  リニアモータ
ＭＭ  磁石列
Ｔ，Ｕｕ，Ｕｄ，Ｖｕ，Ｖｄ，Ｗｕ，Ｗｄ  電力用半導体
ＴＢ  テーブル
ＴＰ  電源電圧用半導体
Ｖbus  電源電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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