(57)【要約】【課題】  画質欠陥の発生しにくいインクジェット記録ヘッド、および前記インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装の提供。【解決手段】本流と前記本流から分岐した支流とからなるインク供給流路と、前記支流を介してインクが供給される一群のノズルから形成される１または２以上のノズル列とを有するインクジェット記録ヘッドであって、前記本流は複数設けられてなるとともに、各ノズル列には、異なる本流から分岐した２以上の支流を介してインクが供給されるインクジェット記録ヘッド、前記インクジェット記録ヘッドを有するインクジェット記録装置。  【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本流と前記本流から分岐した支流とからなる複数のインク供給流路と、前記支流を介してインクが供給されるノズル列とを有するインクジェット記録ヘッドであって、
各ノズル列には、異なる本流から分岐した支流を介してインクが供給されることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記ノズル列の夫々において、一のノズルと前記一のノズルに隣接する他のノズルとには、夫々異なる本流から分岐した支流からインクが供給される請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記インク供給流路は厚さ方向に配列された層構造を有する請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記複数のインク供給流路は、異なる層に形成された第１のインク供給流路と第２のインク供給流路とであり、
複数のプレートを厚さ方向に積層したプレート積層構造を有し、
ノズルが開口するノズルプレートは、前記第１のインク供給流路を形成する支流である第１の支流の天井部を形成し、前記第２のインク供給流路のダンパーは、前記第２のインク供給流路を形成する第２の支流に隣接する層に形成されてなる請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
夫々のノズル列は長手方向に複数の区間ブロックに分割され、夫々の区間ブロックには異なる本流から分岐した支流を介してインクが供給される請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
夫々のノズル列は長手方向に第１の区間ブロックと第２の区間ブロックとの２つの区間ブロックに分割され、
前記第１の区間ブロックには第１の本流から分岐した第１の支流を介して、前記第２の区間ブロックには第２の本流から分岐した第２の支流を介してインクが供給される
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記第１の支流は前記第２の支流よりも短い請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
複数のプレートを厚さ方向に積層したプレート積層構造を有するとともに、前記第１の支流は前記第２の支流に隣接する層に配置され、
前記第１の支流の天井部は、ノズルが開口するノズルプレートによって形成され、前記第２の支流のダンパーは、前記第１の支流の底板によって形成されてなる請求項７に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記複数の本流は夫々ダンパーを有する請求項１〜８の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
全てのノズルが同時駆動される請求項１〜９の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
請求項１〜１０の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置に関し、特に、長尺化またはノズル配置を高密度化した場合においても画質欠陥の発生しにくいインクジェット記録ヘッドおよび前記インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタなどのインクジェット記録装置においては、通常、インクを噴射するノズルをマトリクス状に配置するとともに、本流と支流とからなり、前記支流を介してインクを供給するインク供給流路を備えるインクジェット記録ヘッドが使用される。
【０００３】
近年、インクジェット記録ヘッドを長尺化したり、ノズルの密度を高めたりすることにより、画質を向上させたり、大面積画像にも対応させたりすることが検討されている。しかし、単にインクジェット記録ヘッドを長尺化したり、ノズルの密度を高めたりしただけでは、１つの支流に連通するノズルの数が増加するので、高い印字密度で印字を行なうと支流における圧力変動が大きくなり、画質欠陥が生じ易くなる。
【０００４】
支流が印字方向に対してほぼ直角に配置された縦支流、および支流が印字方向に対してほぼ平行に配置された横支流の何れの形態のインクジェット記録ヘッドにおいても、圧力変動は生じるが、特に縦支流のインクジェットにおいては、インクジェット記録ヘッドの長尺化やノズル密度の増加に伴ってベタ印字や縦線印字の際に画質欠陥が生じやすい。
【０００５】
そこで、支流内の圧力変動を低減して画質欠陥を防止する方法としては、たとえば支流にダンパーを設けて圧力変動を抑制することが検討された（特許文献１〜３）。
【特許文献１】特開２００３−３０７６７６号公報
【特許文献２】特開２００３−０７２０６８号公報
【特許文献３】特開２００３−１２７３６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、インクジェット記録ヘッドの長尺化や高密度化が進むと、支流や本流にダンパーを設けただけではダンパー容量が不足し、圧力変動を抑制し切れなくなるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたものでああり、長尺化またはノズル配置を高密度化した場合であっても画質欠陥の発生しにくいインクジェット記録ヘッド、および前記インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、本流と前記本流から分岐した支流とからなる複数のインク供給流路と、前記支流を介してインクが供給されるノズル列とを有するインクジェット記録ヘッドであって、各ノズル列には、異なる本流から分岐した支流を介してインクが供給されることを特徴とするインクジェット記録ヘッドに関する。
【０００９】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、支流１本当りのノズル数を大幅に減らすことができるから、インクジェット記録ヘッドを長尺化したり、インクジェット記録ヘッドのノズル配置を高密度化したりした場合においても、支流における圧力変動を小さくできる。したがって、前記圧力変動に起因する画質欠陥の発生を抑制できる。
【００１０】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、インク供給流路は２つ設けられていてもよいし、３つ以上設けられていてもよい。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドであって、夫々のノズル列において、一のノズルと前記一のノズルに隣接する他のノズルとは、夫々異なる本流から分岐した支流からインクが供給されるインクジェット記録ヘッドに関する。
【００１２】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、前記支流と各ノズルとを接続する個別流路のピッチを大きとることができるから、各支流において、圧力変動を更に効果的に抑制できる。したがって、前記圧力変動に起因する画質欠陥の発生を特に効果的に抑制できる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク供給流路は、厚さ方向に配列された層構造を有するインクジェット記録ヘッドに関する。
【００１４】
前記インクジェット記録ヘッドは、スペース効率に優れている。また、後述するプレート積層構造によるインクジェット記録ヘッドの構成にも容易に対応できる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク供給流路は、異なる層に形成された第１のインク供給流路と第２のインク供給流路とからなるとともに、複数のプレートを厚さ方向に積層したプレート積層構造を有し、ノズルが開口するノズルプレートは、前記第１のインク供給流路を形成する支流である第１の支流の天井部を形成し、前記第２のインク供給流路のダンパーは、前記第２のインク供給流路を形成する第２の支流に隣接する層に形成されてなるインクジェット記録ヘッドに関する。
【００１６】
前記インクジェット記録ヘッドは、複数のプレートを厚さ方向に積層して形成されているから、各流路を層状に構成することが容易である。
【００１７】
また、ノズルプレートによって第１のインク供給流路の天井部が形成されているから、前記ノズルプレートは第１のインク供給流路のダンパーとして機能する。したがって、第１のインク供給流路の圧力変動は前記ノズルプレートによって吸収される。また、第２のインク供給流路における圧力変動は、前記第２のインク供給流路の下層に設けられたダンパーによって吸収される。したがって、第１のインク供給流路と第２のインク供給流路とが上下に、言い換えれば厚さ方向に沿って隣接しているにも係らず、第１のインク供給流路の圧力変動が第２のインク供給流路に及ぼされたり、第２のインク供給流路の圧力変動が第１のインク供給流路に及ぼされたりすることを抑制できる。
【００１８】
また、第１のインク供給流路のダンパーを特別に設ける必要がないから、インクジェット記録ヘッドの厚みをそれだけ薄くできる。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、夫々のノズル列は長手方向に複数の区間ブロックに分割され、夫々の区間ブロックには異なる本流から分岐した支流を介してインクが供給されるインクジェット記録ヘッドに関する。
【００２０】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、インク供給流路の支流と各ノズルとを接続する個別流路の構成を簡略化できる。
【００２１】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、夫々のノズル列は長手方向に第１の区間ブロックと第２の区間ブロックとの２つの区間ブロックに分割され、前記第１の区間ブロックには第１の本流から分岐した第１の支流を介して、前記第２の区間ブロックには第２の本流から分岐した第２の支流を介してインクが供給されるインクジェット記録ヘッドに関する。
【００２２】
前記インクジェット記録ヘッドは、プレート積層構造を有しているから、薄型に構成できる上、組立ても容易である。
【００２３】
また、第１および第２の支流は上下、言い換えれば厚さ方向に積層され、また第１および第２の支流の一方は他方よりも短い。したがって、短い方の支流に連続する空間を長い方の支流のダンパーとして利用できるから、スペース効率がよい。
【００２４】
請求項８に記載の発明は、請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、複数のプレートを厚さ方向に積層したプレート積層構造を有するとともに、前記第１の支流は前記第２の支流に隣接する層に配置され、前記第１の支流の天井部は、ノズルが開口するノズルプレートによって形成され、前記第２の支流のダンパーは、前記第１の支流の底板によって形成されてなる前記第１の支流は前記第２の支流よりも短いインクジェット記録ヘッドに関する。
【００２５】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、第１の支流の天井部は、ノズルプレートによって形成されている。前記ノズルプレートは第１の支流のダンパーも兼ねているから、第１の支流の圧力変動は前記ノズルプレートによって吸収される。また、第２の支流の圧力変動は、第１の支流の底板がダンパーとして機能して吸収される。
【００２６】
したがって、前記インクジェット記録ヘッドは構成が簡略化でき、スペース効率に優れる上、より薄型に形成できる。
【００２７】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜８の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記複数の本流は夫々ダンパーを有するインクジェット記録ヘッドに関する。
【００２８】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、インクジェット供給流路の本流にもダンパーが設けられているので、支流内の圧力変動をより効果的に抑制できる。
【００２９】
請求項１０に記載の発明は、請求項１〜９の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、全てのノズルが同時駆動されるジェット記録ヘッドに関する。
【００３０】
前記ジェット記録ヘッドは、インターレーす駆動に比較してノズルの駆動回路の構成が簡略化できる上、動作周波数を高くできる。
【００３１】
請求項１１に記載の発明は、請求項１〜１０の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置に関する。
【００３２】
前記インクジェット記録装置においては、インクジェット記録ヘッドを長尺化したり、インクジェット記録ヘッドのノズル配置を高密度化したりすることが容易であるから、画像の大型化や高画質化に容易に対応できる。
【発明の効果】
【００３３】
以上説明したように、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、長尺化またはノズル配置を高密度化した場合にも、支流における圧力変動を小さくできる。したがって、前記インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置によれば、ベタ印字や縦線印字のようにムラなどの画質欠陥が生じやすい印字パターンにおいても画質欠陥が生じ難い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
１．実施形態１
本発明に係るインクジェット記録装置の一例であるインクジェットプリンタおよび前記インクジェットプリンタに使用されるインクジェット記録ヘッドにつき、以下に説明する。
【００３５】
実施形態１に係るインクジェットプリンタ３００は、図１に示すように、インクジェット記録ヘッド１００を搭載するキャリッジ１０４と、キャリッジ１０４を主走査方向Ｍに沿って走査する主走査機構１０６と、記録媒体としての記録紙Ｐを副走査方向Ｓに沿って走査する為の副走査機構１０８、及びメンテナンスステーション１１０等を有している。
【００３６】
インクジェット記録ヘッド１００は、ノズル１０が形成されたノズルプレート２１が記録用紙Ｐと対向するようにキャリッジ１０４上に搭載され、主走査機構１０６によって主走査方向Ｍに沿って移動しながら記録用紙Ｐに対してインク滴を吐出することにより、一定のバンド領域ＢＥに対して画像の記録を行う。主走査方向への１回の移動が終了すると、副走査機構１０８によって記録用紙Ｐが副走査方向Ｓ、換言すれば印字方向Ｓに沿って搬送され、再びキャリッジ１０４を主走査方向Ｍに移動させながら次のバンド領域ＢＥを記録する。こうした動作を複数回繰り返すことにより、記録用紙Ｐの全面にわたって画像記録を行うことができる。
【００３７】
なお、インクジェット記録ヘッド１００を、副走査方向Ｍ方向の寸法が記録用紙Ｐの巾よりも大きくなるように構成すれば、画像記録時に副走査方向Ｍに沿って走査を行なう必要がないから、主走査機構１０６を省略できる。
【００３８】
インクジェット記録ヘッド１００は、図２に示すように４つの記録ヘッドブロック１００Ａ〜１００Ｄから構成されている。尚、図２において矢印Ｓは印字方向を示す。各記録ヘッドブロック１００Ａ〜１００Ｄは、ノズル１０が印字方向Ｓに沿って６列に配置されている。そして、各ノズル列においては、図２には７個しかノズル１０が示されていないが、実際には３６個のノズル１０が配列されている。したがって、ノズル１０は、３６個×６列のマトリクス状に配列されている。
【００３９】
インクジェット記録ヘッド１００は、図３および図４の（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、一方の面にノズル１０がマトリクス状に形成された流路プレートユニット６０を備える。流路プレートユニット６０の内部には、ノズル１０にインクを供給するインク供給流路であってノズル１０が開口している側から見て第１層目に位置する上層側インク供給流路１９と、同じくノズル１０にインクを供給するインク供給流路であって第２層目に位置する下層側インク供給流路２０とが形成されている。そして、第３層目には、支流ダンパー１８が形成されている。なお、図３には、インクジェット記録ヘッド１００の平面的な構成を１ブロック分示す。また、図４において（Ａ）は、インクジェット記録ヘッド１００を図３における平面Ａ−Ａに沿って切断した断面を示し、（Ｂ）は、インクジェット記録ヘッド１００を図３における平面Ｂ−Ｂに沿って切断した断面の一部を示す。そして、（Ｃ）は、インクジェット記録ヘッド１００を図３における平面Ｃ−Ｃに沿って切断した断面の一部を示す。
【００４０】
図３および図４に示すように、上層側インク供給流路１９は、インクジェット記録ヘッド１００の短辺側の側縁に沿ってノズル列に対して略直角な方向に設けられた本流１９Ａと、本流１９Ａから分岐する６本の支流１９Ｂとから構成されている。同様に、下層側インク供給流路２０は、上層側インク供給流路１９の本流１９Ａに隣接して平行に設けられた本流２０Ａと、本流２０Ａから分岐する６本の支流２０Ｂとから構成されている。支流１９Ｂおよび支流２０Ｂは、何れもノズル列に沿って設けられているが、支流１９Ｂは第１層目に、支流２０Ｂは第２層目に設けられている。
【００４１】
流路プレートユニット６０の内部には、更に、各ノズル１０に対応する位置に圧力室１４が形成され、圧力室１４は、流路プレートユニット６０の厚さ方向に沿って形成されたノズル連通室１２によってノズル１０に連通している。
【００４２】
ノズル１０のうち、上層側インク供給流路１９の本流１９Ａまたは下層側インク供給流路２０の本流２０Ａから見て奇数番目に位置するノズル１０Ａは、図４において（Ｃ）に示すようにノズル連通室１２、圧力室１４、平面方向連通路１６、厚さ方向連通路１７を介して上層側インク供給流路１９の支流１９Ｂに連通している。
【００４３】
一方、上層側インク供給流路１９の本流１９Ａまたは下層側インク供給流路２０の本流２０Ａから見て奇数番目に位置するノズル１０Ｂは、図４において（Ｂ）に示すようにノズル連通室１２、圧力室１４、平面方向連通路１６、厚さ方向連通路１７を介して下層側インク供給流路２０の支流２０Ｂに連通している。
【００４４】
インクジェット記録ヘッド１００は、図４および図５に示すように、ノズルプレート２１と流路プレート２２と隔壁プレート２４と流路プレート２３とダンパープレート２５とダンパー室プレート２６とスルー孔プレート２７とインク供給路プレート２９と圧力室プレート２８と振動板３０とがこの順に積層されて形成される。
【００４５】
ここで、ノズルプレート２１にはノズル１０がマトリクス状に形成され、流路プレート２２には上層側インク供給流路１９が、流路プレート２３には下層側インク供給流路２０が形成されている。そして、ダンパー室プレート２６にはダンパー室１８が形成され、インク供給路プレート２９には平面方向連通路１６が、圧力室プレート２８には圧力室１４が形成されている。また、ノズル連通室１２は、流路プレート２２〜圧力室プレート２８を連通して形成されている。
【００４６】
尚、ノズルプレート２１の材質はポリイミドであり、流路プレート２２、隔壁プレート２４、流路プレート２３、ダンパープレート２５、ダンパー室プレート２６、スルー孔プレート２７、インク供給路プレート２９、圧力室プレート２８、および振動板３０の材質は何れもＳＵＳである。
【００４７】
インクジェット記録ヘッド１００の作製手順としては、ノズルプレート２１〜圧力室プレート２８を積層して接着し、圧力室プレート２８からノズル連通室１２を通してノズルプレート２１に向かってエキシマレーザを照射してノズル１０を開口させる。次いで、圧力室２８に振動板３０を接着して圧力室１４を閉じ、流路プレートユニット６０を形成する。
【００４８】
流路プレートユニット６０が形成されたら、振動板３０の表側の面の圧力室１４に対応する位置に圧電プレート（図示せず。）を接着し、必要な電気配線を行なってインクジェット記録ヘッド１００が完成する。
【００４９】
インクジェット記録ヘッド１００においては、上層側インク供給流路１９の本流１９Ａに供給されたインクは、支流１９Ｂから厚さ方向連通路１７、平面方向連通路１６、圧力室１４、ノズル連通室１２を通ってノズル１０Ａから噴射される。同様に、下層側インク供給流路２０の本流２０Ａに供給されたインクは、支流２０Ｂから厚さ方向連通路１７、平面方向連通路１６、圧力室１４、ノズル連通室１２を通ってノズル１０Ｂから噴射される。
【００５０】
ここで、上層側インク供給流路１９の支流１９Ｂの天井部は、図４および図５に示すようにノズルプレート２１によって形成されているので、支流１９Ｂにおける圧力変動は、ノズルプレート２１が変形して吸収する。一方、下層側インク供給流路２０の支流２０Ｂにおける圧力変動は、一層下に設けられたダンパー室１８によって吸収される。
【００５１】
実施形態１のインクジェット記録ヘッド１００においては、上層側インク供給流路１９の支流１９Ｂおよび下層側インク供給流路２０の支流２０Ｂの何れにおいても、支流１本当りのノズル１０の数を３６個から１８個に減らすことができる。
【００５２】
また、互いに隣接する２つのノズル１０が交互に支流１９Ｂまたは支流２０Ｂに接続されているから、支流１９Ｂおよび支流２０Ｂの何れにおいてもノズル１０のピッチは従来のインクジェット記録ヘッドの２倍である。
【００５３】
したがって、支流１９Ｂ、支流２０Ｂの何れにおいても圧力変動を特に小さくでき、またノズル１０間のクロストークも大幅に減少させることができる故に、圧力変動に起因するムラなどの画質欠陥の発生を抑制できる。
【００５４】
たとえば、インクジェット記録ヘッド１００を装着したインクジェットプリンタ３００を用い、図６に示すようにベタ印字を行った場合、従来のインクジェット記録ヘッドでは濃度ムラが生じるような条件であっても濃度ムラは殆ど認められない。
【００５５】
また、図７に示すように縦線を印字した場合においても、印字方向Ｓに沿った濃度ムラは殆ど認められない。
【００５６】
２．実施形態２
インクジェットプリンタ３００に使用されるインクジェット記録ヘッドの別の例について以下に説明する。
【００５７】
実施形態２に係るインクジェット記録ヘッド２００もまた、インクジェット記録ヘッド１００と同様に４つの記録ヘッドブロックに区分されている。
【００５８】
インクジェット記録ヘッド２００の１つの記録ヘッドブロック分の構成を図８に示し、インクジェット記録ヘッド２００を図８における平面Ａ−Ａに沿って切断した断面を図９における（Ａ）に示し、図９における（Ｂ）および（Ｃ）には、夫々インクジェット記録ヘッド２００を図８における平面Ｂ−Ｂおよび平面Ｃ−Ｃに沿って切断した断面を示す。
【００５９】
インクジェット記録ヘッド２００は、図８および図９の（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、一方の面にノズル１０がマトリクス状に形成された流路プレートユニット１６０を備える。流路プレートユニット１６０の内部には、ノズル１０にインクを供給するインク供給流路であってノズル１０が開口している側から見て第１層目に位置する上層側インク供給流路１１９と、同じくノズル１０にインクを供給するインク供給流路であって第２層目に位置する下層側インク供給流路１２０とが形成されている。上層側インク供給流路１１９の支流１１９Ｂは、本流１９Ａから分岐するとともに、インクジェット記録ヘッド２００のノズル列に沿って延在する。同様に、下層側インク供給流路１２０の支流１２０Ｂは、本流２０Ａから分岐するとともに、インクジェット記録ヘッド２００のノズル列に沿って延在する。なお、支流２０Ｂは支流１１９Ｂの下層に形成されている。
【００６０】
ノズル１０は、各ノズル列毎に、上層側インク供給流路１１９の本流１１９Ａおよび下層側インク供給流路１２０の本流１２０Ａに近い側の第１のグループと、本流１１９Ａおよび本流１２０Ａから遠い第２のグループとに区分されている。そして、第１のグループに属するノズル１０Ａは上層側インク供給流路１１９の支流１１９Ｂに連通し、第２のグループに属するノズル１０Ｂは下層側インク供給流路１２０の支流１２０Ｂに連通している。なお、ノズル１０Ａは、ノズル連通室１２、圧力室１４、平面方向連通路１６、厚さ方向連通路１７を介して支流１１９Ｂに連通し、ノズル１０Ｂは、ノズル連通室１２、圧力室１４、平面方向連通路１６、厚さ方向連通路１７を介して支流１２０Ｂに連通している。
【００６１】
上層側インク供給流路１１９の支流１１９Ｂの先端部は、仕切壁３１によって区分され、ダンパー室１８が形成されている。ダンパー室１８は、下層側インク供給流路１２０の支流１２０Ｂのバッファ室として機能する。
【００６２】
インクジェット記録ヘッド２００は、図９に示すように、ノズルプレート２１と流路プレート２２と隔壁プレート２４と流路プレート２３とスルー孔プレート２７とインク供給路プレート２９と圧力室プレート２８と振動板３０とがこの順に積層されて形成される。なお、ノズルプレート２１、流路プレート２２、隔壁プレート２４、流路プレート２３、スルー孔プレート２７、インク供給路プレート２９、圧力室プレート２８、振動板３０は、実施形態１のところで説明した通りである。また、流路プレートユニット１６０を作製し、ノズル連通室１２を通してノズルプレート２１に向かってエキシマレーザを照射してノズル１０を開口させた後、振動板３０を接着する手順も実施形態１のインクジェット記録ヘッド１００と同様である。
【００６３】
インクジェット記録ヘッド２００においても、実施形態１のインクジェット記録ヘッド１００と同様に、上層側インク供給流路１１９の本流１１９Ａに供給されたインクは、支流１１９Ｂから厚さ方向連通路１７、平面方向連通路１６、圧力室１４、ノズル連通室１２を通ってノズル１０Ａから噴射される。同様に、下層側インク供給流路１２０の本流１２０Ａに供給されたインクは、支流１２０Ｂから厚さ方向連通路１７、平面方向連通路１６、圧力室１４、ノズル連通室１２を通ってノズル１０Ｂから噴射される。
【００６４】
上層側インク供給流路１１９の支流１１９Ｂの天井部は、図９に示すようにノズルプレート２１によって形成されているので、支流１１９Ｂにおける圧力変動は、ノズルプレート２１が変形して吸収する。一方、下層側インク供給流路１２０の支流１２０Ｂにおける圧力変動は、上層側インク供給流路１１９の支流１１９Ｂの先端に設けられたダンパー室１８によって吸収される。
【００６５】
実施形態２のインクジェット記録ヘッド２００においては、上層側インク供給流路１１９の支流１１９Ｂおよび下層側インク供給流路１２０の支流１２０Ｂの何れにおいても、支流１本当りのノズル１０の数を３６個から１８個に減らすことができる。
【００６６】
したがって、支流１１９Ｂ、支流１２０Ｂの何れにおいても圧力変動を小さくでき、またノズル１０間のクロストークも大幅に減少させることができる故に、圧力変動に起因するムラなどの画質欠陥の発生を抑制できる。
【００６７】
更に、図９に示すように、実施形態１のインクジェット記録ヘッド１００よりも１層少ない３層構造であるから、より薄く構成できると同時に、ダンパープレート２５とダンパー室プレート２６とが不用になるから、構成も単純になる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】図１は、実施形態１に係るインクジェットプリンタの全体的な構成を示す斜視図である
【図２】図２は、図１に示すインクジェットプリンタに使用されるインクジェット記録ヘッドの一例を示す平面図である
【図３】図３は、図２に示すインクジェット記録ヘッドの各ノズルと上層側インク供給流路および下層側インク供給流路との関係を示す拡大平面図である。
【図４】図４は、図２に示すインクジェット記録ヘッドを図３における平面Ａ−Ａ、平面Ｂ−Ｂ、平面Ｃ−Ｃに沿って切断した断面を示す断面図である。
【図５】図５は、図２に示すインクジェット記録ヘッドの構造を示す分解斜視図である。
【図６】図６は、図１に示すインクジェットプリンタに図２に示すインクジェット記録ヘッドを装着してベタ印字を行なったところを示す外略図である。
【図７】図７は、図１に示すインクジェットプリンタに図２に示すインクジェット記録ヘッドを装着して縦線印字を行なったところを示す外略図である。
【図８】図８は、図１に示すインクジェットプリンタに使用されるインクジェット記録ヘッドの別の例を示す平面図である
【図９】図９は、図８に示すインクジェット記録ヘッドを図８における平面Ａ−Ａ、平面Ｂ−Ｂ、平面Ｃ−Ｃに沿って切断した断面を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１  支流
１０  ノズル
１０Ａ      ノズル
１０Ｂ      ノズル
１２  ノズル連通室
１４  圧力室
１６  平成
１６  平面方向連通路
１７  方向連通路
１８  ダンパー室
１９  上層側インク供給流路
１９Ａ      本流
１９Ｂ      支流
２０  下層側インク供給流路
２０Ａ      本流
２０Ｂ      支流
２１  ノズルプレート
２２  流路プレート
２３  流路プレート
２４  隔壁プレート
２５  ダンパープレート
２６  ダンパー室プレート
２７  スルー孔プレート
２８  圧力室プレート
２９  インク供給路プレート
３０  振動板
３１  仕切壁
６０  流路プレートユニット
１００      インクジェット記録ヘッド
１００Ａ    記録ヘッドブロック
１１９      上層側インク供給流路
１１９Ａ    本流
１１９Ｂ    支流
１２０      下層側インク供給流路
１２０Ａ    本流
１２０Ｂ    支流
１６０      流路プレートユニット
２００      インクジェット記録ヘッド
３００      インクジェットプリンタ
【図１】
2006069183.tif 000003
【図２】
2006069183.tif 000004
【図３】
2006069183.tif 000005
【図４】
2006069183.tif 000006
【図５】
2006069183.tif 000007
【図６】
2006069183.tif 000008
【図７】
2006069183.tif 000009
【図８】
2006069183.tif 000010
【図９】
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