(57)【要約】【課題】  フォトニック結晶を用いた高効率な屈折率周期構造体を有する波長変換素子を提供する。【解決手段】  波長変換素子は、入射ビームと変換光の伝搬方向が平行な１次元フォトニック結晶７１を用いたもので、例えば、ＺｎＯ層７２とＳｉＯ２層７３からなる屈折率周期構造体を有する。ｋＢをフォトニックバンドのバンド端での波数、ｋをｋＢ近くにある任意の波長におけるフォトニックバンドの波数としたとき、入射ビーム及び変換光の伝搬方向に平行な方向に存在する屈折率周期構造体の長さは、入射ビーム及び変換光の各波長のそれぞれに対して、各波長のフォトニックバンドのバンド端からのずれ量Ｄ＝｜ｋＢ−ｋ｜に共鳴する、Ｌ＝π／Ｄのほぼ整数倍の長さをもつ。【選択図】  図７
2006259425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射ビームと変換光の伝搬方向が平行なフォトニック結晶を用いた屈折率周期構造体を有する波長変換素子において、ｋＢをフォトニックバンドのバンド端での波数、ｋをｋＢ近くにある任意の波長におけるフォトニックバンドの波数としたとき、前記入射ビーム及び変換光の伝搬方向に平行な方向に存在する前記屈折率周期構造体の長さが、前記入射ビーム及び変換光の各波長のそれぞれに対して、前記各波長のフォトニックバンドのバンド端からのずれ量Ｄ＝｜ｋＢ−ｋ｜に共鳴する、Ｌ＝π／Ｄのほぼ整数倍の長さをもつことを特徴とする波長変換素子。
【請求項２】
請求項１記載の波長変換素子において、前記入射ビームと前記変換光とが位相整合していることを特徴とする波長変換素子。
【請求項３】
請求項１または２記載の波長変換素子において、前記変換光が前記入射ビームの第二高調波であることを特徴とする波長変換素子。
【請求項４】
請求項３記載の波長変換素子において、前記第二高調波が位相整合条件２ｋ（ω）−Ｇ＝−ｋ（２ω）を満たすことを特徴とする波長変換素子。
【請求項５】
請求項３記載の波長変換素子において、前記第二高調波が位相整合条件２ｋ（ω）＝ｋ（２ω）を満たすことを特徴とする波長変換素子。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の波長変換素子と、前記波長変換素子と光学的に結合されたレーザ装置とを備えたことを特徴とする波長変換装置。
【請求項７】
請求項６記載の波長変換装置において、前記波長変換素子と前記レーザ装置との間にレンズを備えたことを特徴とする波長変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は波長変換素子に係り、特に屈折率周期構造体を有する波長変換素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
波長変換素子は、例えば和周波、差周波、光パラメトリック等を用いた波長変換技術が使われる。これらは、結晶中で入射波と波長変換される光の位相整合をとることで高効率の波長変換が可能となる。しかし、通常のバルクの結晶に入射ビームを入れると、結晶自体の波長分散のために位相整合がとれず、高効率な波長変換ができないということは周知の事実である。このため、上記位相整合をとるためのさまざまな方法が提案され、実現されている。以下、位相整合をとる代表的な方法として、和周波プロセスとして良く知られている第二高調波発生を用いて説明する。
【０００３】
第二高調波発生において、上記位相整合をとるために最も良く使われている方法は、異方性結晶を使う方法である。例えばＹＡＧレーザのレーザ光をＫＤＰ結晶に入射させる方法などが良く知られている。これは、ＫＤＰ結晶が示すような、複屈折と呼ばれる結晶の方位により屈折率が異なることを利用しており、励起光波長と第二高調波波長のちょうど屈折率が一致する結晶方位を利用したものである。しかし、この複屈折を利用する方法は、例えばＬｉＮｂＯ３やＫＤＰが示すような、いわゆる負結晶が必要で、かつ励起波長と第二高調波の波長での屈折率が結晶のある角度で一致するような材料が必要なために、材料選択性に乏しい。また素子自体非常に大きなものになるという欠点があった。
【０００４】
この材料選択性を解決した従来の技術としては、ＱＰＭ（Ｑｕａｓｉ−Ｐｈａｓｅ−Ｍａｔｃｈｉｎｇ）を用いたものが知られている。これは、２次の非線形感受率を周期的に空間変調するもので、ちょうどバルク時における位相不整合量に同期するような周期を持っている。これにより位相不整合量を補償することができ、前記複屈折を用いる方法における材料選択性の欠点を解決している。しかし、ＱＰＭを用いたものにおいても、素子自体が大きくなることは解消されていない。
【０００５】
近年、前記材料選択性及び素子のサイズの問題点を解決する方法として、フォトニック結晶を利用することが考えられている。フォトニック結晶は、誘電率が空間的に周期変調されているものであり、固体結晶中の電子がバンド構造を示すのと同様に、光エネルギーに対してバンド構造を示すことが知られている。このフォトニック結晶におけるバンドをフォトニックバンドと呼ぶ。
【０００６】
フォトニックバンドのバンド端付近に相当する光は、その群速度が非常に遅くなることが知られている。これを一般にフォトニック結晶の群速度異常と呼ぶ。このフォトニック結晶の群速度異常を用いると、光と媒質との相互作用が促進されるため、高効率で小型な波長変換素子ができるものとして期待されている。フォトニック結晶における波長変換に関しては、例えば、次の非特許文献１において理論的な計算が行われ、フォトニック結晶中の非線形光学効果の増強が予測されており、また他の機関からも実験を含んださまざまな報告がされている。
【非特許文献１】ＰＨＹＳＩＣＡＬ  ＲＥＶＩＥＷ  Ｂ  ＶＯＬＵＭＥ  ５４，ＮＵＭＢＥＲ  ８，ｐｐ．５７４２−５７４９，１９９６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記非特許文献１おいて予測されている現象は、フォトニック結晶の周期性が無限に続いている仮定の元で行われている。また他の機関からは、有限フォトニック結晶における実験も報告されているが、有限フォトニック結晶における端面がどのように波長変換効率に影響を及ぼすか明確に述べられたものはない。
【０００８】
つまり有限フォトニック結晶で高効率な波長変換を実現する場合、（ａ）フォトニック結晶の単位格子、（ｂ）フォトニック結晶長（有限サイズ）の２点を効率よく設計する必要がある。しかしながら、従来、高効率に波長変換をおこなうための前記（ｂ）の条件、すなわちフォトニック結晶長（有限の大きさ）の設計方法について、明確に述べられているものは知られていない。
【０００９】
従って本発明は、有限フォトニック結晶を用いた波長変換において、高効率に波長変換を行う条件、すなわち、（ａ）フォトニック結晶の単位格子、（ｂ）フォトニック結晶長（有限の大きさ）のうち、特に前記（ｂ）に示した有限なフォトニック結晶長を決定するための設計法を与えるものであって、それによりフォトニック結晶サイズを波長変換素子に適したサイズにすることで、高効率な屈折率周期構造体を有する波長変換素子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的は、入射ビームと変換光の伝搬方向が平行なフォトニック結晶を用いた屈折率周期構造体を有する波長変換素子において、ｋＢをフォトニックバンドのバンド端での波数、ｋをｋＢ近くにある任意の波長におけるフォトニックバンドの波数としたとき、前記入射ビーム及び変換光の伝搬方向に平行な方向に存在する前記屈折率周期構造体の長さが、前記入射ビーム及び変換光の各波長のそれぞれに対して、前記各波長のフォトニックバンドのバンド端からのずれ量Ｄ＝｜ｋＢ−ｋ｜に共鳴する、Ｌ＝π／Ｄのほぼ整数倍の長さをもつ波長変換素子により、達成される。ここで、ほぼ整数倍とは、結晶長をＬの整数倍またはその近くにすることをいう。
【００１１】
前記入射ビームと前記変換光とは位相整合している。また、前記変換光は前記入射ビームの第二高調波である。前記第二高調波は、位相整合条件２ｋ（ω）−Ｇ＝−ｋ（２ω）、または位相整合条件２ｋ（ω）＝ｋ（２ω）を満たすものである。
また、本発明に係る波長変換装置は、前記波長変換素子と、前記波長変換素子と光学的に結合されたレーザ装置とを備えるものである。前記波長変換素子と前記レーザ装置との間にレンズを備えることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、フォトニック結晶サイズを波長変換素子に適したサイズにすることで、高効率な屈折率周期構造体を有する波長変換素子を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施例を説明するが、その前に本発明の原理を説明する。まず、本発明の最も簡単な例として、１次元フォトニック結晶を用いた、第二高調波発生を例にとって説明する。
【００１４】
図１（ａ）、（ｂ）は、１次元フォトニック結晶を用いた第二高調波発生の例を示す図である。図において、波長変換素子としての１次元フォトニック結晶１は、屈折率の異なる材料からなる２種類の層２，３が交互に配置された屈折率周期構造体を有している。この１次元フォトニック結晶１において、第二高調波を発生させる位相整合条件は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように２タイプある。１つは、図１（ａ）のように、２ｋ（ω）−Ｇ＝−ｋ（２ω）の位相整合条件であり、もう１つは、図１（ｂ）のように、２ｋ（ω）＝ｋ（２ω）の条件である。ここで、ｋ（ω）、ｋ（２ω）は、それぞれ入射ビーム（入射光）波長、および第二高調波波長での、フォトニックバンドによって求まる波数であり、Ｇは逆格子ベクトルを表している。以下の説明では簡単のために、２ｋ（ω）−Ｇ＝−ｋ（２ω）の条件についてのみ説明するが、２ｋ（ω）＝ｋ（２ω）の位相整合条件についても同様の考えにより本発明の目的を達成することができる。
【００１５】
尚、２ｋ（ω）−Ｇ＝−ｋ（２ω）の位相整合条件においては、入射ビームを１次元フォトニック結晶の周期性の存在する方向と平行に入射させたとき、変換光である第二高調波２ωの大部分は、図１（ａ）に示すように、入射ビームωと逆方向に出射されることになる。
【００１６】
いま、１次元フォトニック結晶の、ある単位格子で、そのフォトニックバンドが、２ｋ（ω）−Ｇ＝−ｋ（２ω）の位相整合を満足している構造を想定する。有限の１次元フォトニック結晶においては、結晶中に振動数ωの基本波（入射ビーム）が存在すると仮定すると、結晶中に存在する基本波の光の状態としては、ｋ（ω）と、−ｋ（ω）＋Ｇの状態が存在する。このｋ（ω）と、−ｋ（ω）＋Ｇの２つの状態は結晶中では干渉しあい、２波のうなり成分として現れる。つまりｋ（ω）−（−ｋ（ω）＋Ｇ）＝２（ｋ（ω）−π／ａ）＝２（ｋ（ω）−ｋＢ）＝２Ｄとなる。ここで、ｋＢはフォトニックバンドのバンド端での波数（あるいはフォトニックバンドの傾きが０（ｄω／ｄｋ＝０）となる波数）、また、Ｄは、Ｄ（ω）＝｜ｋＢ−ｋ（ω）｜と表わすことができる。これはフォトニックバンドのバンド端からのずれ量を表す。このうなりの周期λｇは、λｇ＝２π／Ｄとして与えられる。
【００１７】
本発明は、上記の条件において、有限フォトニック結晶の結晶長（屈折率周期構造体の長さ）をＬ＝λｇ／２＝π／Ｄの整数倍、つまりフォトニックバンドのバンド端からのずれ量に共鳴する結晶長、または、それにできるだけ近くすることで、高効率の波長変換を行うものである。このように結晶長をＬの整数倍またはその近くにすること、すなわち結晶長をＬのほぼ整数倍にすることで、次の２つの利点が存在する。（１）位相整合しているフォトニック結晶では、結晶長をフォトニックバンドのバンド端からのずれに起因するＬの整数倍またはその近くにすることで、その波長の透過率は１００％となる。（２）フォトニック結晶端面で反射されると、その端面において位相ずれが発生するが、フォトニック結晶の結晶長をＬの整数倍またはその近くにすることで、結晶内を光が１周したとき、その位相ずれはほぼ２πとなりもとの状態に戻る。
【００１８】
ここで、上記（１）では、反射なく高効率に基本波を結晶中に光結合できる利点を示しており、また、上記（２）では、通常、有限フォトニック結晶の端面での反射による位相ずれのため、位相整合条件が崩れてしまい、位相不整合量が現れ、波長変換効率が大きく低減してしまう。しかし、結晶長をＬのほぼ整数倍にすることで、前記位相ずれが消滅し、高効率な波長変換ができることを示している。
このように、フォトニック結晶長を前記Ｌのほぼ整数倍にすることで、高効率な波長変換を行うことができる。
【００１９】
ここで、結晶長がＬの整数倍近くになる場合と、そうでない場合で、シミュレーションを行った。図２はその計算モデルであり、横軸は距離、縦軸は屈折率である。図中の実線は基本波の波長における屈折率分布を示し、破線は第二高調波の波長における屈折率分布を示す。本計算モデルでは、有限フォトニック結晶の周期が若干異なる３つの場合、すなわち、４５０周期，４６１周期，４６４周期の場合について計算を行っている。このフォトニック結晶の構造は、ＺｎＯ（１７５ｎｍ）とＳｉＯ２（２５ｎｍ）とを交互に積層したものである。つまり格子定数ａが２００ｎｍの長さをもつ１次元フォトニック結晶を仮定している。
【００２０】
このフォトニック結晶は、図３で示すようなフォトニックバンド構造を有し、フォトニック結晶内で逆格子ベクトルＧを介して、入射ビームと第二高調波の間で位相整合をしている。図３において、横軸はｋａ／２π、縦軸はωａ／２πｃ、基本波（入射ビーム）の波長は８０２．９ｎｍ、ｋ（ω）ａ／２π＝０．４７６、第二高調波の波長は４０１．５ｎｍ、ｋ（２ω）ａ／２π＝０．０４８である。
【００２１】
また、フォトニックバンドのバンド端からのずれ量から、前記Ｌを求めると、４１８１．７ｎｍとなる。ここで４５０周期，４６１周期，４６４周期のそれぞれの周期は、４６１周期のみＬの整数倍に近い結晶長にしている。次に４６４周期の計算がＬの整数倍に近い値をもち、４５０周期はＬの整数倍から最も遠い値となっている。
【００２２】
計算モデルでは、図２に示すように、有限フォトニック結晶の左側端面および右側端面からある程度離れた空気中に観測点Ｌ及びＲを設定している。この観測点Ｌ及びＲにおいて、有限フォトニック結晶によって散乱された入射ビームの電磁界の時間応答及び、発生した第二高調波の電磁界の時間応答を観測した。尚、光源（入射ビーム）はフォトニック結晶左側端面（入射端面）と観測点Ｌの間にあり、平面波を前記フォトニック結晶に入射させる。また、このシミュレーションにおいては、マックスウェル方程式を時間領域で数値計算をするＦＤＴＤ法（時間領域差分法）とは異なり、Ｅ（電界）だけで計算を行うため、ポインティングベクトルが指定できず、光源からの光は左右どちらにも等しく出射される。また、この計算では、フォトニック結晶は入射ビームと第二高調波の波数が位相整合するように２ｋ（ω）−Ｇ＝−ｋ（２ω）になる条件に設計しているため、変換光である第二高調波の大部分は、入射ビームと逆方向に出射される。
【００２３】
図４〜図６は、それぞれ４５０周期，４６１周期，４６４周期のシミュレーション結果を示すグラフである。図４〜図６において、それぞれ（ａ）は観測点Ｒでの第二高調波の時間応答、（ｂ）は観測点Ｌでの第二高調波の時間応答、（ｃ）は観測点Ｒでの入射ビームの時間応答、（ｄ）は観測点Ｌでの入射ビームの時間応答を示している。図４〜図６の（ｂ）すなわちＳＨ＿ｂａｃｋは、入射ビームと逆方向に出射される第二高調波の電界振幅を示すものである。つまり、この電界振幅が大きければ大きいほど高効率な波長変換がされていることになる。ここで、図５の４６１周期がＬの整数倍に最も近く、次に図６の４６４周期が近く、図４の４５０周期が最も遠い値である。図４〜図６のそれぞれの（ｂ）を見れば分かるように、Ｌの整数倍に近ければ近いほど、入射ビームが第二高調波に効率よく変換されていることがわかる。
【００２４】
このように本発明では、フォトニックバンドのバンド端からの波数のずれ量に起因する結晶長を選ぶことによって高効率波長変換を得るものである。ここで、バンド端とは、図３において、１次元を含む、一般的な多次元フォトニック結晶においては、そのバンドの傾きが０になる点、つまり無限周期をもつフォトニック結晶において完全な定在波になる状態を表しており、前記条件を満足する点ならばどこでも良い。
【００２５】
また前記シミュレーションを用いた波長変換において、結晶長を決定するＬを求めるときに「変換光である第二高調波の波長におけるバンド端からのずれ量」ではなく、「入射ビームにおけるバンド端からのずれ量」を用いた。これは前記においてはＧを介した位相整合のため、入射ビームにおけるフォトニックバンドのバンド端からのずれ量のほうが、第二高調波におけるフォトニックバンドのバンド端からのずれ量より小さいためである。つまり、前記の条件は、Ｇを介した位相整合条件のため、その入射ビーム波長におけるフォトニックバンドのバンド端からの波数のずれＤ（ω）は、第二高調波波長におけるフォトニックバンドのバンド端からの波数のずれＤ（２ω）に対して、Ｄ（ω）＝Ｄ（２ω）／２となり、ちょうど入射ビーム波長での、フォトニックバンドのバンド端からのずれ量は、変換光波長でのフォトニックバンドのバンド端からのずれ量のちょうど半分になる。このため、前記Ｇを介した位相整合条件では、入射ビームのバンド端からのずれ量Ｄ（ω）に共鳴する結晶長を求めればよく、このとき、前記結晶長は、Ｄ（ω）＝Ｄ（２ω）／２の関係から、第二高調波のＤ（２ω）も同時に結晶長に共鳴する条件となる。
【００２６】
一般的には、和周波、差周波、あるいは光パラメトリック等を用いてフォトニックバンドで位相整合条件をとることにより波長変換を行う場合、フォトニック結晶の結晶長は、そのバンド端からのずれが最も小さくなる波長での、バンド端からのずれ量に共鳴する結晶長にすればよい。
【００２７】
（実施例）
図７（ａ）〜（ｃ）は、本発明に係る屈折率周期構造体を有する波長変換素子の一実施例を示す図である。本実施例は、１次元フォトニック結晶（波長変換素子）の周期方向に平行に、入射ビームを入射させ、第二高調波を効率よく発生させるものである。図７（ａ）に示すように、１次元フォトニック結晶７１は、ＺｎＯ層７２とＳｉＯ２層７３の周期的な積層構造（１１０周期）によって構成されている。同図で破線丸印で引き出された図は、その該当部分の電子顕微鏡断面写真を示すものである。ＺｎＯは約１．０×１０−１０［ｍ／Ｖ］の比較的高い２次の非線形感受率を有し、ＳｉＯ２の２次の非線形感受率は無視できるほど小さい。このような誘電体における周期的な積層は、ＤＷＤＭ（高密度波長多重分割方式）用の多層膜フィルタ製造で使われている装置等をもちいることで実現できる。
【００２８】
図７（ｂ）、（ｃ）は、１次元フォトニック結晶（波長変換素子）と入射ビームの光源であるレーザ装置とを光学的に結合した波長変換装置の例をそれぞれ示す図である。図７（ｂ）の例では、１次元フォトニック結晶（波長変換素子）７１は、レンズ７４を介して、またはそれを介することなく、半導体レーザ７５に光学的に結合される。図７（ｃ）の例では、１次元フォトニック結晶７１は、面発光レーザ７６に光学的に結合される。この場合、第二高調波は、いずれも光源からの入射ビームと同じ向きに出射される。
【００２９】
ここで、１次元フォトニック結晶の周期構造においては、ＺｎＯ層の膜厚は１６５ｎｍ、ＳｉＯ２層の膜厚が４０ｎｍである。このとき、ＺｎＯとＳｉＯ２の誘電率の周波数依存性を考慮したフォトニックバンドは図８のようになり、基本波（入射ビーム）の波長８０４．７ｎｍのときにＧ（逆格子）を介して位相整合する。よって、フォトニック結晶中の入射ビームは、２ｋ（ω）−Ｇ＝−ｋ（２ω）の位相整合条件を満たし、第二高調波（波長４０２．４ｎｍ）は入射ビームの伝搬方向とは逆の方向に出射する。本実施例の位相整合条件はＧ（逆格子）を利用したが、２ｋ（ω）＝ｋ（２ω）のように、Ｇを利用しない位相整合条件を用いても良い。ただしＧを使わない場合は、前記周期構造の膜厚では位相整合しないため、あらたに設計が必要となる。ここで前記１次元フォトニック結晶の周期数は、１１０周期にした。この１１０周期におけるフォトニック結晶の周期方向における長さは、ちょうど入射ビーム波長でのフォトニックバンドのバンド端からのずれに共鳴する長さとなっている。このため、第二高調波波長におけるフォトニックバンドのバンド端からのずれも前記長さに共鳴することができる。
【００３０】
次に、実際にフォトニック結晶７１の左端から入射ビームを入射させた。結晶中を伝搬する入射ビームはＧ（逆格子）を介して位相整合しているため、入射ビームと逆方向に伝搬する第二高調波が効率よく発生した。
【００３１】
本実施例での条件下におけるシミュレーション結果を図９に示す。図９において、（ａ）は入射側での第二高調波の時間応答、（ｂ）は入射側の反対側での入射ビームの時間応答をそれぞれ示している。図９（ａ）には、入射ビームとは逆方向に出射される第二高調波の振幅が減衰せず、定常状態になるまで綺麗に増加している様子が見て取れる。ここで、もし、フォトニック結晶の結晶長を、バンド端からのずれ量であるＤに共鳴する長さにしていなければ、端面での位相ずれの影響のために第二高調波への変換効率が大きく低減してしまう。
【００３２】
なお、上記実施例では、１次元フォトニック結晶として、周期多層膜を用いたが、本実施例はこれにかぎらす、入射ビームと変換光の伝播方向に対して実効的な屈折率の周期性をもつ系であれば何でも良い。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明は波長変換素子に係り、特に屈折率周期構造体を有する波長変換素子に関するものでり、産業上の利用可能性がある。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】（ａ）、（ｂ）は１次元フォトニック結晶における、第二高調波発生の位相整合条件、２ｋ（ω）−Ｇ＝−ｋ（２ω）及び２ｋ（ω）＝ｋ（２ω）のときの概念をそれぞれ示す図である。
【図２】第二高調波発生のシミュレーションにもちいた計算モデルの一例を示す図である。
【図３】位相整合条件を満たす１次元フォトニックバンドの一例を示す図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）はＺｎＯ層とＳｉＯ２層との４５０周期構造における、基本波と第二高調波発生の観測点での時間応答の例をそれぞれ示す図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）はＺｎＯ層とＳｉＯ２層との４６１周期構造における、基本波と第二高調波発生の観測点での時間応答の例をそれぞれ示す図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）はＺｎＯ層とＳｉＯ２層との４６４周期構造における、基本波と第二高調波発生の観測点での時間応答の例をそれぞれ示す図である。
【図７】（ａ）はＺｎＯ層１６５ｎｍとＳｉＯ２層４０ｎｍの単位格子をもつ、周期数が１１０周期の１次元フォトニック結晶（波長変換素子）の実施例を示す図、（ｂ）および（ｃ）は１次元フォトニック結晶（波長変換素子）と入射ビームの光源であるレーザ装置とを組み合わせた場合の例をそれぞれ示す図である。
【図８】ＺｎＯ層１６５ｎｍとＳｉＯ２層４０ｎｍの単位格子をもつ、１次元フォトニック結晶のフォトニックバンドと位相整合状態の例を示す図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）はＺｎＯ層１６５ｎｍとＳｉＯ２層４０ｎｍの単位格子をもつ、周期数が１１０周期の１次元フォトニック結晶における、第二高調波発生の計算結果の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
７１  １次元フォトニック結晶
７２  ＺｎＯ層
７３  ＳｉＯ２層
７４  レンズ
７５  半導体レーザ
７６  面発光レーザ
【図１】
2006259425.tif 000003
【図２】
2006259425.tif 000004
【図３】
2006259425.tif 000005
【図４】
2006259425.tif 000006
【図５】
2006259425.tif 000007
【図６】
2006259425.tif 000008
【図７】
2006259425.tif 000009
【図８】
2006259425.tif 000010
【図９】
2006259425.tif 000011