(57)【要約】【課題】透明カバーを有する固体撮像素子の画素の欠陥を検査するとともに、固体撮像素子に付着した異物の付着場所を判定する。【解決手段】固体撮像素子６を照明する照明光学系４と、照明光学系のＦ値を可変する絞り３と、固体撮像素子６の撮像面上への異物の投影像径を決定する画像処理手段１１と、異物の付着場所を判定する判定手段とを備え、画像処理手段１１は、第１Ｆ値による投影像径である第１投影像径と、第１Ｆ値より小さな第２Ｆ値による第２投影像径を決定し、第２投影像径から第１投影像径を加算し、判定手段は、加算結果が所定下限未満であるときは異物は前記撮像面に付着していると判定し、加算結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは異物は前記カバーの内側表面に付着していると判定し、加算結果が所定上限以上であるときは、異物は透明カバーの外側表面に付着していると判定する。【選択図】図１
2006019356.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明カバーを有する固体撮像素子の画素の欠陥を電気的に検査するとともに、固体撮像素子に付着した異物の付着場所を判定する固体撮像素子検査装置であって、
前記固体撮像素子を照明する照明光学系と、
前記照明光学系のＦ値を可変する絞りと、
前記固体撮像素子の撮像面上への前記異物の投影像径を決定する画像解析手段と、
前記投影像径に基づいて、前記異物が前記透明カバーの外側表面若しくは内側表面又は前記撮像面のいずれに付着しているかを判定する判定手段とを備え、
前記画像解析手段は、
第１Ｆ値による前記投影像径である第１投影像径と、前記第１Ｆ値より小さな第２Ｆ値による前記投影像径である第２投影像径を決定し、さらに前記第２投影像径に前記第１投影像径を加算し、
前記判定手段は、
前記加算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、
前記加算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側表面に付着していると判定し、
前記加算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側表面に付着していると判定することを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の固体撮像素子検査装置において、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、
前記所定下限は２・（Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ１））であり、
前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項３】
透明カバーを有する固体撮像素子の画素の欠陥を電気的に検査するとともに、固体撮像素子に付着した異物の付着場所を判定する固体撮像素子検査装置であって、
前記固体撮像素子を照明する照明光学系と、
前記照明光学系のＦ値を可変する絞りと、
前記固体撮像素子の撮像面上への前記異物の投影像径を決定する画像解析手段と、
前記投影像径に基づいて、前記異物が前記透明カバーの外側表面若しくは内側表面又は前記撮像面のいずれに付着しているかを判定する判定手段とを備え、
前記画像解析手段は、
第１Ｆ値による前記投影像径である第１投影像径と、前記第１Ｆ値より小さな第２Ｆ値による前記投影像径である第２投影像径を決定し、さらに前記第２投影像径に前記第１投影像径を乗算し、
前記判定手段は、
前記乗算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、
前記乗算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、
前記乗算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定することを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項４】
請求項３記載の固体撮像素子検査装置において、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、
前記所定下限は４・Ｗ２（Ｆ２）・Ｗ２（Ｆ１）であり、
前記所定上限は４・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））・（Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項５】
透明カバーを有する固体撮像素子の画素の欠陥を電気的に検査するとともに、固体撮像素子に付着した異物の付着場所を判定する固体撮像素子検査装置において、
前記固体撮像素子を照明する照明光学系と、
前記照明光学系のＦ値を可変する絞りと、
前記固体撮像素子の撮像面上への前記異物の投影像径を決定する画像解析手段と、
前記投影像径に基づいて、前記異物が前記透明カバーの外側表面若しくは内側表面又は前記撮像面のいずれに付着しているかを判定する判定手段とを備え、
前記画像解析手段は、
第１Ｆ値による前記投影像径である第１投影像径と、前記第１Ｆ値より小さな第２Ｆ値による前記投影像径である第２投影像径を決定し、さらに前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算し、
前記判定手段は、
前記減算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、
前記減算の結果が前記所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、
前記減算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定することを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項６】
請求項５記載の固体撮像素子検査装置において、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、
前記所定下限は２・Ｗ２（Ｆ２）であり、
前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））であることを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項７】
透明カバーを有する固体撮像素子の画素の欠陥を電気的に検査するとともに、固体撮像素子に付着した異物の付着場所を判定する固体撮像素子検査装置において、
前記固体撮像素子を照明する照明光学系と、
前記照明光学系のＦ値を可変する絞りと、
前記固体撮像素子の撮像面上への前記異物の投影像径を決定する画像解析手段と、
前記投影像径に基づいて、前記異物が前記透明カバーの外側表面若しくは内側表面又は前記撮像面のいずれに付着しているかを判定する判定手段とを備え、
前記画像解析手段は、
第１Ｆ値による前記投影像径である第１投影像径と、前記第１Ｆ値より小さな第２Ｆ値による前記投影像径である第２投影像径を決定し、さらに前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算し、
前記判定手段は、
前記減算の結果が所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が別の所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定することを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項８】
請求項７記載の固体撮像素子検査装置において、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、
前記所定値は２・（Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ２（Ｆ１））であり、
前記別の所定値は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ１（Ｆ１）−  Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項９】
請求項１記載の固体撮像素子検査装置を用いた固体撮像素子検査方法において、
前記第１投影像径を決定するステップと、
前記第２投影像径を決定するステップと、
前記第２投影像径に前記第１投影像径を加算するステップと、
前記加算の結果が所定下限未満であるときは前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記加算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは前記異物は前記カバーの内側に付着していると判定し、前記加算の結果が前記所定上限以上であるときは前記異物は前記カバーの外側に付着していると判定するステップとを含み、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）としてを定義するとき、
前記所定下限は２・（Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ１））であり、
前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする固体撮像素子検査方法。
【請求項１０】
請求項３記載の固体撮像素子検査装置を用いた固体撮像素子検査方法において、
前記第１投影像径を決定するステップと、
前記第２投影像径を決定するステップと、
前記第２投影像径に前記第１投影像径を乗算するステップと、
前記乗算の結果が所定下限未満であるときは前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記乗算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは前記異物は前記カバーの内側に付着していると判定し、前記乗算の結果が前記所定上限以上であるときは前記異物は前記カバーの外側に付着していると判定するステップとを含み、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、
前記所定下限は４・Ｗ２（Ｆ２）・Ｗ２（Ｆ１）であり、
前記所定上限は４・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２））・（Ｗ１（Ｆ１）＋  Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする固体撮像素子検査方法。
【請求項１１】
請求項５記載の固体撮像素子検査装置を用いた固体撮像素子検査方法において、
前記第１投影像径を決定するステップと、
前記第２投影像径を決定するステップと、
前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算するステップと、
前記減算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定するステップとを含み、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、
前記下限は２・Ｗ２（Ｆ２）であり、
前記上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２））であることを特徴とする固体撮像素子検査方法。
【請求項１２】
請求項７記載の固体撮像素子検査装置を用いた固体撮像素子検査方法において、
前記第１投影像径を決定するステップと、
前記第２投影像径を決定するステップと、
前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算するステップと、
前記減算の結果が所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が別の所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定するステップとを含み、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、
前記所定値は２・（Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ２（Ｆ１））であり、
前記別の所定値は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２）−Ｗ１（Ｆ１）−  Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする固体撮像素子検査方法。
【請求項１３】
請求項９記載の固体撮像素子検査方法を実行するプログラムにおいて、
前記画像解析部を動作させて、前記第１投影像径を決定する手順と、
前記画像解析部を動作させて、前記第２投影像径を決定する手順と、
前記判定部を動作させて、前記第２投影像径に前記第１投影像径を加算する手順と、
前記判定部を動作させて、前記加算の結果が所定下限未満であるときは前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記加算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは前記異物は前記カバーの内側に付着していると判定し、前記加算の結果が前記所定上限以上であるときは前記異物は前記カバーの外側に付着していると判定する手順とを含み、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２Ｆ）として定義するとき、
前記所定下限は２・（Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ１））であり、
前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とするプログラム。
【請求項１４】
請求項１０記載の固体撮像素子検査方法を実行するプログラムにおいて、
前記画像解析部を動作させて、前記第１投影像径を決定する手順と、
前記画像解析部を動作させて、前記第２投影像径を決定する手順と、
前記判定部を動作させて、前記第２投影像径に前記第１投影像径を乗算する手順と、
前記判定部を動作させて、前記乗算の結果が所定下限未満であるときは前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記乗算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは前記異物は前記カバーの内側に付着していると判定し、前記乗算の結果が前記所定上限以上であるときは前記異物は前記カバーの外側に付着していると判定する手順とを含み、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、
前記所定下限は４・Ｗ２（Ｆ２）・Ｗ２（Ｆ１）であり、
前記所定上限は４・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））・（Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とするプログラム。
【請求項１５】
請求項１１記載の固体撮像素子検査方法を実行するプログラムにおいて、
前記画像解析部を動作させて、前記第１投影像径を決定する手順と、
前記画像解析部を動作させて、前記第２投影像径を決定する手順と、
前記判定部を動作させて、前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算する手順と、
前記判定部を動作させて、前記減算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定する手順とを含み、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、
前記所定下限は２・（Ｗ２（Ｆ２）であり、
前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））であることを特徴とするプログラム。
【請求項１６】
請求項１２記載の固体撮像素子検査方法を実行するプログラムにおいて、
前記第１投影像径を決定する手順と、
前記第２投影像径を決定する手順と、
前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算する手順と、
前記判定部を動作させて、前記減算の結果が所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が別の所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定する手順とを含み、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、
前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、
前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、
前記Ｆ値に対して、
Ｗ１（Ｆ）を、
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、
Ｗ２（Ｆ）を、
ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、
前記所定値は２・（Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ２（Ｆ１））であり、
前記別の所定値は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２）−Ｗ１（Ｆ１）−  Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像素子の画素の欠陥を電気的に検査するとともに、固体撮像素子の透明カバーに付着した異物が透明カバーの外側表面か内側表面かのいずれに付着しているかを判定する撮像素子検査装置、方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ビデオカメラやデジタルカメラが広く一般に普及しており、これらのカメラには、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子が使用されており、固体撮像素子には画素がマトリクス状に配置されており、各画素に入射した光は、光電変換され信号電荷を生成する。
各画素には、カラーフィルタ、マイクロレンズが配置されている。このため、少ない光量でもカラー画像を生成することが可能となっているる。このような固体撮像素子の画素数は、小型のカラー監視カメラで５０万画素程度、携帯電話用で２００万画素程度、デジタル１眼レフカメラ用で１０００万画素程度である。なお、各色に対する画素数は、２００万画素の携帯電話用で、典型的には、緑（Ｇ）に対して１００万画素、赤（Ｒ）に対して５０万画素、青（Ｂ）に対して５０万画素である。
【０００３】
また、画素ピッチは、携帯電話用の場合、典型的には、１０μｍ程度である。
しかし、今後はますます画素数が増大し、画素ピッチがますます小さくなり、高画質の固体撮像素子が求められるものと考えられる。
固体撮像素子の各画素には欠陥が無いことが好ましいが、チップの製造コスト低減の観点から画質を劣化しない範囲で補正できるものについては、周囲の画素出力から補間するなどして電気的に補正する。
【０００４】
ところで、画素欠陥の原因はウェハプロセス起因の欠陥と、その後の実装工程で画素上に付着するパーティクルなどの異物に起因する欠陥が考えられる。しかし、このような欠陥は電気的補正が可能である。
また、固体撮像素子の撮像面はガラスの透明カバーで封止されており、透明カバーの外側表面や内側表面に異物が付着すると、その異物が撮像面に投影されるが、異物の投影像の撮像面上での位置や大きさは、撮像条件、すなわち、撮影時に使用する光学系により変化するために、予め撮像装置ユニット内に欠陥画素データとして格納することができず、欠陥画素の電気的補正ができない。
【０００５】
ただし、透明カバー外側表面上の異物は拭き取りなどにより除去すれば、その撮像素子を良品とすることができる。一方、透明カバー内側表面上（撮像面に対向する側）の異物は除去することができず、このような場合には不良品と判定せざるを得ない。
したがって、異物の付着場所が透明カバーの外側表面であるか内側表面であるかを判定することができれば、実装歩留りの向上をはかることができる。
【０００６】
そこで、固体撮像素子を斜め方向から異なる角度で照明した場合に、透明カバーの外側表面又は内側表面に付着した異物の、撮像面上の投影位置が照明角度に応じて変化することを利用して、異物の付着場所（透明カバーの内側表面か外側表面か）を検出する技術が開示されて来ている。
例えば、特許文献１では、複数の点光源を順次切り替え、点光源からの照明角度で定まる投影像のシフト量を撮像面上のアドレスに置き換え、ある異物の投影アドレスが点光源に応じて変化したときは、変化後のアドレスから投影像のデータを読み出す技術が開示されている。このアドレスシフトを透明カバー外側表面に付着した異物に対して適応すれば、アドレスが移動するごとに同じ異物のデータが加算される。一方、アドレスシフトを透明カバー内側表面に付着した異物に対しては適応しないため、透明カバー内面の異物はデータとして残らない。これにより、画像データのメモリ量が小さくて済み、検査時間が短縮される。
【０００７】
また、例えば、技術文献２では、ケーラー照明系を５つ用い、一つは固体撮像素子を垂直に照明するものとし、残りはその周囲９０度ごとに配置して固体撮像素子を斜光照明するものとした検査装置が開示されている。
斜光照明角度は４つのケーラー照明系について同一である。この検査装置では、垂直方向から異物を照明すると撮像面上のある点に投影像が現れ、その点を中心として、或る半径の円周上に９０度ごとに斜光照明による投影像が現れる。
【０００８】
そこで、さらに、別の斜光照明角度で照明すれば４つの像が移動する。ところで、この半径は外側の異物では大きく、内側の異物では小さい。そのため、外側の異物を容易に検出することができる。また、４方向から照明しているので、投影像が全部撮像面からはずれるということはなく、確実に外側の異物を検出することができる。
【特許文献１】特許第２７６２７８１号公報（図１）
【特許文献２】特開２０００−２９５６３９号公報（図３、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、特許文献１記載の先行技術では、点光源で投影するため、異物の投影像のシフト量が不明確となる。
また、特許文献２の先行技術では、ケーラー照明系を５つ必要とするため、装置が大型となり、高価となる。特に、デジタル一眼レフカメラ用の固体撮像素子では、面積が大きくなるなめ、照明系も大きくなり、さらなる照明の均一性も要求される。そのため、装置はさらに高価となる。また、斜光照明角度を変更するための回転機構を必要とするため、装置が大型化し、回転移動に時間がかかり、検査時間が長くなる。
【００１０】
そこで、本発明は、小型な装置で、固体撮像素子の透明カバーの外側表面に付着した異物を、短時間で検出することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の固体撮像素子検査装置は、単一の照明系で固体撮像素子を垂直照明し、照明系のＦ値を変更することで、撮像面上への異物の投影像の大きさを変化させ、その変化に基づいて、異物の付着場所（固体撮像素子の透明カバーの外側表面若しく内側表面又は撮像面のいずれか）を判定する装置である。
また、本発明の固体撮像素子検査方法は、上述した固体撮像素子検査装置を動作させる方法である。
【００１２】
また、本発明の固体撮像素子検査プログラムは、上述した固体撮像素子検査方法を実行するプログラムである。
具体的には、請求項１に係る発明は、透明カバーを有する固体撮像素子の画素の欠陥を電気的に検査するとともに、固体撮像素子に付着した異物の付着場所を判定する固体撮像素子検査装置であって、前記固体撮像素子を照明する照明光学系と、前記照明光学系のＦ値を可変する絞りと、前記固体撮像素子の撮像面上への前記異物の投影像径を決定する画像解析手段と、前記投影像径に基づいて、前記異物が前記透明カバーの外側表面若しくは内側表面又は前記撮像面のいずれに付着しているかを判定する判定手段とを備え、前記画像解析手段は、第１Ｆ値による前記投影像径である第１投影像径と、前記第１Ｆ値より小さな第２Ｆ値による前記投影像径である第２投影像径を決定し、さらに前記第２投影像径に前記第１投影像径を加算し、前記判定手段は、前記加算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記加算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側表面に付着していると判定し、前記加算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側表面に付着していると判定することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項２に係る発明は、請求項１記載の固体撮像素子検査装置において、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、前記所定下限は２・（Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ１））であり、前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項３に係る発明は、透明カバーを有する固体撮像素子の画素の欠陥を電気的に検査するとともに、固体撮像素子に付着した異物の付着場所を判定する固体撮像素子検査装置であって、前記固体撮像素子を照明する照明光学系と、前記照明光学系のＦ値を可変する絞りと、前記固体撮像素子の撮像面上への前記異物の投影像径を決定する画像解析手段と、前記投影像径に基づいて、前記異物が前記透明カバーの外側表面若しくは内側表面又は前記撮像面のいずれに付着しているかを判定する判定手段とを備え、前記画像解析手段は、第１Ｆ値による前記投影像径である第１投影像径と、前記第１Ｆ値より小さな第２Ｆ値による前記投影像径である第２投影像径を決定し、さらに前記第２投影像径に前記第１投影像径を乗算し、前記判定手段は、前記乗算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記乗算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記乗算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定することを特徴とする。
【００１５】
また、請求項４に係る発明は、請求項３記載の固体撮像素子検査装置において、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、前記所定下限は４・Ｗ２（Ｆ２）・Ｗ２（Ｆ１）であり、前記所定上限は４・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））・（Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項５に係る発明は、透明カバーを有する固体撮像素子の画素の欠陥を電気的に検査するとともに、固体撮像素子に付着した異物の付着場所を判定する固体撮像素子検査装置において、前記固体撮像素子を照明する照明光学系と、前記照明光学系のＦ値を可変する絞りと、前記固体撮像素子の撮像面上への前記異物の投影像径を決定する画像解析手段と、前記投影像径に基づいて、前記異物が前記透明カバーの外側表面若しくは内側表面又は前記撮像面のいずれに付着しているかを判定する判定手段とを備え、前記画像解析手段は、第１Ｆ値による前記投影像径である第１投影像径と、前記第１Ｆ値より小さな第２Ｆ値による前記投影像径である第２投影像径を決定し、さらに前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算し、前記判定手段は、前記減算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項６に係る発明は、請求項５記載の固体撮像素子検査装置において、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、前記所定下限は２・Ｗ２（Ｆ２）であり、前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））であることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項７に係る発明は、透明カバーを有する固体撮像素子の画素の欠陥を電気的に検査するとともに、固体撮像素子に付着した異物の付着場所を判定する固体撮像素子検査装置において、前記固体撮像素子を照明する照明光学系と、前記照明光学系のＦ値を可変する絞りと、前記固体撮像素子の撮像面上への前記異物の投影像径を決定する画像解析手段と、前記投影像径に基づいて、前記異物が前記透明カバーの外側表面若しくは内側表面又は前記撮像面のいずれに付着しているかを判定する判定手段とを備え、前記画像解析手段は、第１Ｆ値による前記投影像径である第１投影像径と、前記第１Ｆ値より小さな第２Ｆ値による前記投影像径である第２投影像径を決定し、さらに前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算し、前記判定手段は、前記減算の結果が所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が別の所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定することを特徴とする。
【００１９】
また、請求項８に係る発明は、請求項７記載の固体撮像素子検査装置において、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、前記所定値は２・（Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ２（Ｆ１））であり、前記別の所定値は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ１（Ｆ１）−  Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項９に係る発明は、請求項１記載の固体撮像素子検査装置を用いた固体撮像素子検査方法において、前記第１投影像径を決定するステップと、前記第２投影像径を決定するステップと、前記第２投影像径に前記第１投影像径を加算するステップと、前記加算の結果が所定下限未満であるときは前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記加算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは前記異物は前記カバーの内側に付着していると判定し、前記加算の結果が前記所定上限以上であるときは前記異物は前記カバーの外側に付着していると判定するステップとを含み、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）としてを定義するとき、前記所定下限は２・（Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ１））であり、前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする。
【００２１】
また、請求項１０に係る発明は、請求項３記載の固体撮像素子検査装置を用いた固体撮像素子検査方法において、前記第１投影像径を決定するステップと、前記第２投影像径を決定するステップと、前記第２投影像径に前記第１投影像径を乗算するステップと、前記乗算の結果が所定下限未満であるときは前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記乗算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは前記異物は前記カバーの内側に付着していると判定し、前記乗算の結果が前記所定上限以上であるときは前記異物は前記カバーの外側に付着していると判定するステップとを含み、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、前記所定下限は４・Ｗ２（Ｆ２）・Ｗ２（Ｆ１）であり、前記所定上限は４・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））・（Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする。
【００２２】
また、請求項１１に係る発明は、請求項５記載の固体撮像素子検査装置を用いた固体撮像素子検査方法において、前記第１投影像径を決定するステップと、前記第２投影像径を決定するステップと、前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算するステップと、前記減算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定するステップとを含み、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、前記下限は２・Ｗ２（Ｆ２）であり、前記上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））であることを特徴とする。
【００２３】
また、請求項１２に係る発明は、請求項７記載の固体撮像素子検査装置を用いた固体撮像素子検査方法において、前記第１投影像径を決定するステップと、前記第２投影像径を決定するステップと、前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算するステップと、前記減算の結果が所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が別の所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定するステップとを含み、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、前記所定値は２・（Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ２（Ｆ１））であり、前記別の所定値は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ１（Ｆ１）−  Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする。
【００２４】
また、請求項１３に係る発明は、請求項９記載の固体撮像素子検査方法を実行するプログラムにおいて、前記画像解析部を動作させて、前記第１投影像径を決定する手順と、前記画像解析部を動作させて、前記第２投影像径を決定する手順と、前記判定部を動作させて、前記第２投影像径に前記第１投影像径を加算する手順と、前記判定部を動作させて、前記加算の結果が所定下限未満であるときは前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記加算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは前記異物は前記カバーの内側に付着していると判定し、前記加算の結果が前記所定上限以上であるときは前記異物は前記カバーの外側に付着していると判定する手順とを含み、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２Ｆ）として定義するとき、前記所定下限は２・（Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ１））であり、前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする。
【００２５】
また、請求項１４に係る発明は、請求項１０記載の固体撮像素子検査方法を実行するプログラムにおいて、前記画像解析部を動作させて、前記第１投影像径を決定する手順と、前記画像解析部を動作させて、前記第２投影像径を決定する手順と、前記判定部を動作させて、前記第２投影像径に前記第１投影像径を乗算する手順と、前記判定部を動作させて、前記乗算の結果が所定下限未満であるときは前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記乗算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは前記異物は前記カバーの内側に付着していると判定し、前記乗算の結果が前記所定上限以上であるときは前記異物は前記カバーの外側に付着していると判定する手順とを含み、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、前記所定下限は４・Ｗ２（Ｆ２）・Ｗ２（Ｆ１）であり、前記所定上限は４・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））・（Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする。
【００２６】
また、請求項１５に係る発明は、請求項１１記載の固体撮像素子検査方法を実行するプログラムにおいて、前記画像解析部を動作させて、前記第１投影像径を決定する手順と、
前記画像解析部を動作させて、前記第２投影像径を決定する手順と、前記判定部を動作させて、前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算する手順と、前記判定部を動作させて、前記減算の結果が所定下限未満であるときは、前記異物は前記撮像面に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定下限以上で所定上限未満であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が前記所定上限以上であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定する手順とを含み、
前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）として定義するとき、前記所定下限は２・（Ｗ２（Ｆ２）であり、前記所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））であることを特徴とする。
【００２７】
また、請求項１６に係る発明は、請求項１２記載の固体撮像素子検査方法を実行するプログラムにおいて、前記第１投影像径を決定する手順と、前記第２投影像径を決定する手順と、前記第２投影像径から前記第１投影像径を減算する手順と、前記判定部を動作させて、前記減算の結果が所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの内側に付着していると判定し、前記減算の結果が別の所定値であるときは、前記異物は前記透明カバーの外側に付着していると判定する手順とを含み、前記第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、前記透明カバーの厚さをｄ１、屈折率をｎとし、前記透明カバーの前記内側表面から前記固体撮像素子の前記撮像面までの距離をｄ２とし、前記Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）を、ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））として定義し、Ｗ２（Ｆ）を、ｄ２／（２・Ｆ）によって定義するとき、前記所定値は２・（Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ２（Ｆ１））であり、前記別の所定値は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ１（Ｆ１）−  Ｗ２（Ｆ１））であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、透明カバー内側表面上の異物のみを不良と判定し、内側表面上の異物があっても、固体撮像素子を良品判定することが可能となり、歩留りを向上することができる。
また、本発明によれば、従来の撮像素子の電気的検査装置のように、カバーガラスの外側・内側表面の異物の判別を想定していない場合においても、通常Ｆ値変化に伴なう電気的検査（例えば、無出力の画素の検出や画素間のクロストーク検査など）を行うことができるため、従来の電気的検査装置に画像解析部と判定部を付加するだけで本発明を実施すことができる。また、検査時間が長くなることもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照して本発明の固体撮像素子検査装置、方法及びプログラムの実施形態について説明する。
［固体撮像素子検査装置の実施形態］
図１は、本発明の固体撮像素子検査装置のブロック図である。
光源１（ハロゲンランプや高圧水銀ランプなど）から出射した光は、集光レンズ２によって絞り３が配置された平面上に集光される。ここに、絞り３は、照明光学系４の前側焦点位置に配置されている。
【００３０】
照明光学系４に入射し、そこから出射した光束は、透明カバー５を透過し、撮像素子６の撮像面にテレセントリック結像される。これにより、撮像面は均一に照明される。
撮像素子６の駆動端子には駆動部１０が接続され、撮像素子６の画素を電気的に駆動して、照明光により発生される信号電荷に対応する画像信号を撮像素子６の外部に出力する。  また、撮像素子６の信号端子には画像解析部１１が接続され、発生した信号電荷による画像信号を取り込む。そして、この画像信号に基づいて、異物の検出を行う。なお、固体撮像素子の電気的検査は、例えば、無出力の画素の検出や画素間のクロストーク検査などであり、上述した画像信号に基づいて、図示しない電気的検査部が行う。
【００３１】
さらに、画像解析部１１には、判定部１２が接続され、異物の付着場所がどこであるかを判定する。なお、付着場所は、透明カバー５の外側表面（照明光学系４側）、透明カバー５の内側表面（撮像素子６側）、撮像素子６の撮像面である。
本発明では、明るい照明（照明光学系４のＦ値が小さい場合）と、暗い照明（照明光学系４のＦ値が大きい場合）とで、それぞれ得られる異物の投影像の大きさを画像解析部で求め、それに基づいて、異物の付着場所を判定する。ここで、照明光学系４のＦ値Ｆは、光束が光軸となす角度をθ０とし、照明光学系４の焦点距離をｆ、絞り半径をｄとすると、
Ｆ＝ｆ／（２ｄ）＝１／（２ｔａｎθ０）
である。
【００３２】
異物の撮像面上の大きさは、その直径で表す。但し、円形でない場合は、撮像面上の２方向（例えば、Ｘ方向、Ｙ方向）それぞれについて画像解析した結果を用いる。
ところで、異物は、透明カバー５を撮像素子６に実装する際に付着するゴミなどである。付着する異物の大きさや数は、実装現場の空気のクリーン度で大体判断することができる。例えばクラス１００のクリーンルームの空気中には、直径０．５μmのゴミが、１立方フィート（約０．００３立方メートル）当たり１００個以下存在する。また、実装治具その他から随時発生するゴミもある。したがって、クラス１００前後のクリーンルームでは、直径１０μmないし５０μmのゴミが、数個ないし数十個ぐらい固体撮像素子に付着するものと考えられる。
【００３３】
次に、本発明の固体撮像素子検査装置の動作について説明する。
図２は、照明光学系からの光束と異物の撮像面上への投影像径（上述したように、典型的には直径で表す）との間の関係を示す光路図である。
異物２０は、透明カバー５の外側表面若しくは内側表面又は撮像素子６の撮像面のいずれかに付着している。
【００３４】
また、照明光学系４は、像側にテレセントリックな光学系であり、前側焦点面に絞り３が配置されている。したがって、絞り３からの斜めに出射した平行光束は照明光学系４を出射した後すべて照明光学系４の光軸に平行に進む。
図２では、照明光学系４に入射する５つの平行光束が示されている。
第１平行光束は、光線Ｓ１、Ｓ２で画され、照明光学系４に斜め入射し、そこを出射後、照明光学系４の光軸に平行に向きを変え、撮像面に結像する。光線Ｓ２は光軸寄りの光線であり、異物２０の右側をかすめて撮像面上の点Ｓに到達する。
【００３５】
また、第２平行光束は、光線Ｒ１、Ｒ２で画され、照明光学系４に斜め入射し、そこを出射後、照明光学系４の光軸に平行に向きを変え、撮像面に到達するように進行する。但し、光線Ｒ１は光軸寄りの光線であり、異物２０に遮られて撮像面には到達しない。一方、光線Ｒ２は異物２０の右側をかすめて撮像面上の点Ｒに到達する。
また、第３平行光束は、光線Ｏ１、Ｏ２で画され、照明光学系４の光軸に沿って入射し、そこを出射後、撮像面に結像するように進行するが、光線Ｏ１、Ｏ２ともに異物２０に遮られて撮像面には到達しない。
【００３６】
また、第４平行光束は、光線Ｑ１、Ｑ２で画され、照明光学系４に斜め入射し、そこを出射後、照明光学系４の光軸に平行に向きを変え、撮像面に結像するように進行する。ここに、光線Ｑ２は光軸寄りの光線であり、異物２０に遮られて撮像面には到達しない。一方、光線Ｑ１は異物２０の左側をかすめて撮像面上の点Ｑに到達する。
また、第５平行光束は、光線Ｐ１、Ｐ２で画され、照明光学系４に斜め入射し、そこを出射後、照明光学系４の光軸に平行に向きを変え、撮像面に結像する。光線Ｐ２は光軸寄りの光線であり、異物２０の左側をかすめて撮像面上の点Ｐに到達する。
【００３７】
このような図２の例では、撮像面上のＸ軸に沿って、点Ｒから点Ｑまでの領域には、回折を無視すれば、照明光線が全く到達しない。一方、点Ｓから点Ｒまでの領域と、点Ｑから点Ｐまでの領域とは、照明光線が部分的に到達する。また、点Ｓより右側の領域と、点Ｐより左側の領域とは、照明光線が全部到達する。
図３は、点Ｓから点Ｐまでの領域の投影像の光強度分布を示すグラフである。
【００３８】
点Ｒから点Ｑの間の領域は本影であり、光強度はゼロである。
また、点Ｓから点Ｒまでの領域と、点Ｑから点Ｐまでの領域とは半影であり、光強度が点Ｓ、点Ｐに向かって、それぞれ滑らかに増加し、点Ｓ、Ｐでそれぞれ均一照明レベルに達する。
ところで、図２では第３平行光束が完全に異物２０で遮られる例を示したが、第３平行光束が完全に異物２０が部分的に遮られる場合は、本影は点Ｑから点Ｒまでの領域であることに変わりはなく、図３に示した光強度分布も同じである。なお、本影の大きさは異物の大きさより常に小さい。そのため、本発明においては、画像解析部１１により、半影の大きさを決定する。
【００３９】
図４は、異物２０をかすめる照明光線Ｓ２，Ｐ２の進行方向を示す光路図であり、図４（ａ）は異物２０が透明カバー５の内側にある場合を示し、図４（ｂ）は異物２０が透明カバー５の外側にある場合を示す。
図４（ａ）に示すように、異物２０が透明カバー５の内側表面に付着している場合には、光線Ｓ２は、透明カバー５の外側表面で屈折し、内側表面で再度屈折して透明カバー５を出射するとき異物２０の右側をかすめて撮像素子６の撮像面上の点Ｓに到達する。
【００４０】
点Ｓは、異物２０の右側から距離Ｗ２の位置にある。光線Ｐ２についても同様である。  したがって、求める投影像径の最大値は、異物２０の半径をｒ１とすると、
２・（ｒ１＋Ｗ２）となる。
また、図４（ｂ）に示すように、異物２０が透明カバー５の外側にある場合、光線Ｓ２は、異物２０の右側をかすめて、透明カバー５の外側表面で屈折し、さらに、内側表面で再度屈折して透明カバー５を出射する。その出射点は異物２０の右側からＷ１離れた点である。光線Ｓ２は、透明カバー５を出射後、撮像素子６の撮像面上の点Ｓに到達する。光線Ｐ２についても同様である。
【００４１】
したがって、求める投影像径は、異物２０の半径をｒ１とすると、
２・（ｒ１＋Ｗ１＋Ｗ２）となる。
そこで、図４（ａ）の光路図を参照し、異物２０が透明カバー５の内側表面に付着している場合の点Ｓの位置を計算する。
透明カバー５への光線Ｓ２の入射角をθ０とし、透明カバー５の内側表面と撮像素子６の撮像面との間の距離をｄ２とすると、
Ｗ２＝ｄ２・ｔａｎθ０
である。既に説明したように、ｔａｎθ０＝１／（２・Ｆ）であるから、
Ｗ２＝ｄ２／（２・Ｆ）
となる。
【００４２】
このように、Ｗ２は、Ｆ値の関数であり、Ｗ２（Ｆ）と記する。
次に、図４（ｂ）の光路図を参照し、異物２０が透明カバー５の外側表面に付着している場合の点Ｓの位置を計算する。
透明カバー５への光線Ｓ２の入射角をθ０とし、屈折角をθ１とし、透明カバー５の厚さがｄ１で屈折率がｎであるとすると、
Ｗ１＝ｄ１・ｔａｎθ１
である。
【００４３】
ここで、スネルの法則により、ｓｉｎθ０＝ｎ・ｓｉｎθ１であるから、
Ｗ１＝ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎθ０／ｎ））
が成り立つ。
ここに、θ０＝ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ））であるから、
Ｗ１＝
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））
である。
【００４４】
このＷ１はＦ値Ｆの関数であり、簡単のため、Ｗ１（Ｆ）と記する。
次に、以上の計算結果に基づいて、異物２０の付着場所の判定条件について説明する。
［暗い投影像径と明るい投影像径の和による判定条件］
まず、異物２０が透明カバー５の内側表面に付着している条件について説明する。
異物２０が透明カバー５の内側表面に付着している場合（図４（ａ））、暗い照明（照明光学系４のＦ値をＦ１とする）の下で、異物２０の投影像径ｔｄは、
以下の式で表される
ｔｄ＝２・（ｒ１＋Ｗ２（Ｆ１））＝２・ｒ１＋ｄ２／Ｆ１
したがって、画像解析部１１によって決定される投影像径Ｔｄは常に、以下の式を満たす。
Ｔｄ＞ｄ２／Ｆ１
同様に、明るい照明（照明光学系４のＦ値をＦ２とする）の下で、異物２０の投影像径ｔｂは、以下の式で表される。
ｔｂ＝２・（ｒ１＋Ｗ２（Ｆ２））＝２・ｒ１＋ｄ２／Ｆ２
したがって、画像解析部１１によって決定される投影像径Ｔｂは常に、以下の式を満たす。
Ｔｂ＞ｄ２／Ｆ２
ここに、Ｆ１＞Ｆ２であるから、ＴｂにＴｄを加算すると、異物２０が透明カバー５の内側表面に付着している条件は、以下の式（１）で表される。
（Ｔｂ＋Ｔｄ）＞ｄ２・（（１／Ｆ２）＋（１／Ｆ１））       （１）
次に、異物２０が透明カバー５の外側表面に付着している条件について説明する。
【００４５】
異物２０が透明カバー５の外側表面に付着している場合（図４（ｂ））、暗い照明（照明光学系４のＦ値をＦ１とする）の下で、異物２０の投影像径ｔｄは、以下の式で表される。
ｔｄ＝２・（ｒ１＋Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））
＝２・ｒ１＋２・Ｗ１（Ｆ１）＋ｄ２／Ｆ１
したがって、画像解析部１１によって決定される投影像径Ｔｄは常に、以下の式を満たす。
Ｔｄ＞（２・Ｗ１（Ｆ１）＋ｄ２／Ｆ１）
同様に、明るい照明（照明光学系４のＦ値をＦ２とする）の下で、異物２０の投影像径ｔｂは、以下の式で表される。
ｔｂ＝２・（ｒ１＋Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））
＝２・ｒ１＋２・Ｗ１（Ｆ２）＋ｄ２／Ｆ２
したがって、画像解析部１１によって決定される投影像径Ｔｂは常に、以下の式を満たす。
Ｔｂ＞（２・Ｗ１（Ｆ２）＋ｄ２／Ｆ２）
ここに、Ｆ１＞Ｆ２であるから、ＴｂにＴｄを加算すると、異物２０が透明カバー５の外側表面に付着している条件は、以下の式（２）で表される。
（Ｔｂ＋Ｔｄ）≧  Ｚ                                        （２）
ここに、
Ｚ＝２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ１（Ｆ１））
＋ｄ２・（（１／Ｆ２）＋（１／Ｆ１））
したがって、式（１）、式（２）を総合すると、異物２０が透明カバー５の内側表面に付着している条件又は透明カバー５の内部に混入している条件は、
ｄ２・（（１／Ｆ２）＋（１／Ｆ１））≦（Ｔｂ＋Ｔｄ）＜Ｚ    （３）
となる。
【００４６】
式（２）、式（３）から当然に、異物２０が撮像面に付着している条件は、以下の式（４）で表される。
（Ｔｂ＋Ｔｄ）＜ｄ２・（（１／Ｆ２）＋（１／Ｆ１））        （４）
このように、和（Ｔｂ＋Ｔｄ）に基づいて、式（２）、式（３）、式（４）により、異物２０の付着場所が、それぞれ、透明カバー５の外側表面、透明カバー５の内側表面、撮像面であると判定される。
【００４７】
ところで、異物２０の付着場所判定条件は上述した和に基づく条件に限らず、積Ｔｂ・Ｔｄに基づく条件とすることもできる。
そこで、乗算に基づく付着場所判定条件について説明する。
［明るい投影造形と暗い投影像径の積による判定条件］
既に説明したとおり、異物２０が透明カバー５の内側表面に付着しているときは、以下の式が満たされる。
Ｔｄ＞ｄ２／Ｆ１
Ｔｂ＞ｄ２／Ｆ２
したがって、異物２０が透明カバー５の内側表面に付着している条件は以下の式（５）で表される。
Ｔｄ・Ｔｂ＞ｄ２・ｄ２／（Ｆ１・Ｆ２）                 （５）
また、既に説明したように、異物２０が透明カバー５の外側表面に付着しているときは、以下の式が満たされる。
Ｔｄ＞（２・Ｗ（Ｆ１）＋ｄ２／Ｆ１）
Ｔｂ＞（２・Ｗ（Ｆ２）＋ｄ２／Ｆ２）
したがって、異物２０が透明カバー５の外側表面に付着している条件は、以下の式（６）で表される。
Ｔｄ・Ｔｂ≧  Ａ                                         （６）
ここに、Ａ＝（２・Ｗ（Ｆ１）＋ｄ２／Ｆ１）・（２・Ｗ（Ｆ２）＋ｄ２／Ｆ２）
である。
【００４８】
式（５）、式（６）を総合すると、異物２０が透明カバー５の内側表面に付着している条件又は透明カバー５の内部に混入している条件は、式（７）で表される。
（ｄ２・ｄ２）／（Ｆ１・Ｆ２）≦（Ｔｂ・Ｔｄ）＜Ａ      （７）
となる。
また、式（６）、（７）から当然に、異物２０が撮像面に付着している条件は、以下の式（８）で表される。
（Ｔｂ・Ｔｄ）＜（ｄ２・ｄ２）／（Ｆ１・Ｆ２）             （８）
このように、積Ｔｂ・Ｔｄに基づいて、式（６）、式（７）、式（８）により、異物２０の付着場所が、それぞれ、透明カバー５の外側表面、透明カバー５の内側表面、撮像面であると判定される。
【００４９】
ところで、判定条件は以上説明したものに限らず、差（Ｔｂ−Ｔｄ）に基づいて判定することもできる。そこで、差に基づく判定条件について説明する。
［明るい投影像径と暗い投影像径の差による判定条件］
既に説明したように、透明カバー５の内側表面に付着した異物２０の投影像径は、２・（ｒ１＋Ｗ２（Ｆ））であり、この場合の明るい投影像径Ｔｂ、暗い投影像径Ｔｄは、それぞれ、Ｔｂ＝２・（ｒ１＋Ｗ２（Ｆ２））、Ｔｄ＝２・（ｒ１＋Ｗ２（Ｆ１））となる
。したがって、（Ｔｂ−Ｔｄ）＝２・（Ｗ２（Ｆ２）−Ｗ２（Ｆ１））となる。これは、異物２０が透明カバーの内側表面に付着している場合に、厳密に成り立つ式である。すなわち、投影像径を測定して差分（Ｔｂ−Ｔｄ）求め、その値が２・（Ｗ２（Ｆ２）−Ｗ２（Ｆ１））に等しければ、異物２０は透明カバー５の内側に付着していることになる。
【００５０】
また、透明カバー５の外側表面に付着した異物２０の投影像径は、２・（ｒ１＋Ｗ１（Ｆ）＋  Ｗ２（Ｆ））であり、この場合の明るい投影像径Ｔｂ、暗い投影像径Ｔｄは、それぞれ、Ｔｂ＝２・（ｒ１＋Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２））、Ｔｄ＝２・（ｒ１＋Ｗ１（Ｆ１）＋  Ｗ２（Ｆ１））となる。したがって、（Ｔｂ−Ｔｄ）＝２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ１（Ｆ１）−  Ｗ２（Ｆ１））となる。これは、異物２０が透明カバー５外側表面に付着している場合に、厳密に成り立つ式である。すなわち、投影像径を測定して差分（Ｔｂ−Ｔｄ）求め、その値が２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ１（Ｆ１）−  Ｗ２（Ｆ１））に等しければ、異物２０は透明カバーの外側に付着していることになる。
【００５１】
ところで、図４に示したように、Ｆ値がＦ１の暗い照明系による異物の広がり量Ｗ１（Ｆ１）とＷ２（Ｆ１）は、Ｆ値が大きくなるにつれて、入射角θ０が小さくなる。そこで、Ｆ値Ｆ１が大きいとき、Ｗ１（Ｆ２）、Ｗ２（Ｆ２）に対して、Ｗ１（Ｆ１）とＷ２（Ｆ１）を無視すると、透明カバー５の内側に付着した異物２０に対して、投影像径の差分（Ｔｂ−Ｔｄ）は、２・Ｗ２（Ｆ２）となる。また、透明カバー５の外側に付着した異物２０に対して、投影像径の差分（Ｔｂ−Ｔｄ）は、２・（（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２））となる。そこで、暗い照明系のＦ値が大きいときの近似的判定条件として、（Ｔｂ−Ｔｄ）≧２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２））であれば、異物２０は透明カバー５の外側に付着しており、２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２））＞（Ｔｂ−Ｔｄ）≧２・Ｗ２（Ｆ２）であれば、異物２０は透明カバー５の内側に付着しており、２・Ｗ２（Ｆ２）＞（Ｔｂ−Ｔｄ））であれば、異物２０は撮像素子６の上に付着しているものと考えられる。
【００５２】
次に、Ｆ値の選択について説明する。
図５は、Ｆ値とガラス（透明カバー５）の内側及び外側表面上に付着したゴミ（異物２０）の広がり量の関係を示す表である。
ここに、広がり量とは、ゴミの投影像径（直径）からゴミの実寸法ｔ１を加算した値であり、内側付着の場合には、２・Ｗ２であり、外側付着の場合には、２・（Ｗ１＋Ｗ２）である。図５によれば、広がり量は、数十μｍから数百μｍであり、投影像径を精度よく決定することができる。従って、ゴミの付着場所の判定も容易である。但し、Ｆ値が大きくなると、投影像径が、固体撮像素子の数画素程度となるため、判定は困難となる。
【００５３】
また、Ｆ値が大きくなると、均一照明レベルが下がりすぎて、投影像の光強度分布を決定するのが困難となり、付着場所の判定も困難となる。
図５に示すように、広がり量はＦ値によって異なるため、検出したいゴミの大きさによって使用するＦ値を最適化する必要がある。また、ガラス屈折率ｎ、ガラス厚ｄ１、ガラス内側表面と撮像面の間隔ｄ２に応じてＦ値を最適化する必要がある。
【００５４】
以上、本発明の固体撮像素子検査装置の実施形態について説明したが、本発明はこれに限らず、いくつかの変形が可能である。
まず、光源１としてレーザを用いてもよいが、この場合は、集光レンズ２の後ろにフライアイレンズなどを配置して、光源１の像を絞り３の位置に結像させるとよい。
また、３以上のＦ値を使用してゴミ付着場所の判定を行い、それらの複数の判定結果から最も精度の高い結果を得るようにしてもよい。
［固体撮像素子検査方法及びプログラム］
図６は、本発明の固体撮像素子検査方法を説明するためのフローチャートである。
【００５５】
上述した固体撮像素子検査装置を用いる固体撮像素子検査方法は、上記第１投影像径を求めるステップＳ１と、上記第２投影像径を求めるステップＳ２と、上記第２投影像径から上記第１投影像径を加算するステップＳ３と、上記加算の結果が所定下限未満であるときは上記異物２０は上記撮像面に付着していると判定し、上記加算の結果が所定下限以上で所定上限未満であるときは上記異物２０は上記透明カバー５の内側に付着していると判定し、上記加算の結果が上記所定上限以上であるときは上記異物２０は上記透明カバー５の外側に付着していると判定するステップＳ４とを含む。
【００５６】
まず、検査すべき固体撮像素子の撮像素子６の撮像面を、照明光学系４の後側焦点面に配置する。
そして、Ｓ１において、絞り３により照明光学系４の第１Ｆ値をＦ１に設定し、暗い照明を行う。異物２０により撮像素子６の各画素に発生した受光電荷は画像信号に変換され、画像解析部１１のメモリに取り込まれる。そして、撮像素子６の全画素からの画像信号は図示しないメモリに格納され、画像解析（画像解析）が行われて、上記第１投影像径が決定される。この第１投影像径もメモリに格納される。
【００５７】
次に、Ｓ２において、絞り３により照明光学系４の第２Ｆ値をＦ２に設定し、明るい照明を行う。異物２０により撮像素子６の各画素に発生した受光電荷は画像信号に変換され、画像解析部１１に取り込まれる。そして、撮像素子６の全画素からの画像信号は図示しないメモリに格納され、画像解析が行われて、上記第２投影像径が決定される。
この第２投影像径もメモリに格納される。画像解析方法としては、例えば、図２に示した光強度分布の微分係数がゼロとなる点を見いだすことであってもよい。
【００５８】
次に、Ｓ３において、第１及び第２投影像径がメモリから読み出され、第２投影像径から第１投影像径を加算し、加算結果をメモリに格納する。
次に、Ｓ４において、判定部１２が、加算結果がメモリから読み出し、所定下限、所定上限と比較する。
ここに、所定下限、所定上限は照明光学系４のＦ値に依存しており、あらかじめ計算されて、計算結果が判定部１２のメモリに格納されている。すなわち、第１及び第２Ｆ値をそれぞれＦ１、Ｆ２とし、透明カバー５の厚さをｄ１、屈折率をｎとし、透明カバー５の内側表面から撮像素子６の撮像面までの距離をｄ２とし、Ｆ値に対して、Ｗ１（Ｆ）＝
ｄ１・ｔａｎ（ａｒｃｓｉｎ（ｓｉｎ（ａｒｃｔａｎ（１／（２・Ｆ）））／ｎ））と、
Ｗ２（Ｆ）＝ｄ２／（２・Ｆ）とを定義するとき、所定下限は２・（Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ１））であり、所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２）＋Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））である。
【００５９】
比較の結果、異物２０の付着場所が判定され、判定結果が表示部１３に表示され、中心座標の座標、付着場所（透明カバー５の内側表面若しくは外側表面又は撮像素子６の撮像面のいずれか）、投影像径がリストアップされる。
本発明の固体撮像素子検査方法は、以上説明した実施形態に限らず、いくつかの変更が可能である。
【００６０】
まず、Ｓ１とＳ２の順序は逆であってもよい。これにより、ある固体撮像素子を検査した後次の素子の検査に移行するとき、照明を変更する必要がないなどの利点がある。
また、Ｓ１において撮像素子６の全画素からの画像信号が図示しないメモリに格納された後、画像解析（画像解析）を行わずに、Ｓ２に移行してもよい。Ｓ２においても同様に画像解析を行わない。この場合、画像解析により第１及び第２投影像径を決定するステップは、別途用意する。
【００６１】
また、加算処理は、判定部１２が行ってもよい。
また、所定下限、所定上限は、第１投影像径、第２投影像径の積に基づいて定めてもよい。この場合、所定下限は４・Ｗ２（Ｆ２）・Ｗ２（Ｆ１）であり、所定上限は４・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））・（Ｗ１（Ｆ１）＋Ｗ２（Ｆ１））となる。
また、所定下限、所定上限は、第２投影像径から第１投影像径を減算した結果に基づいて定めてもよい。この場合、所定下限は２・Ｗ２（Ｆ２）であり、所定上限は２・（Ｗ１（Ｆ２）＋Ｗ２（Ｆ２））となる。
【００６２】
さらに、第２投影像径から第１投影像径を減算した結果に基づいて、減算結果が所定値のときは、異物２０は透明カバーの内側表面に付着していると判定し、減算結果が別の所定値のときは、異物２０は透明カバーの外側表面に付着していると判定してもよい。ここに、所定値は２・（Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ２（Ｆ１））であり、別の所定値は、２・（Ｗ１（Ｆ２）＋  Ｗ２（Ｆ２）−  Ｗ１（Ｆ１）−  Ｗ２（Ｆ１））となる。
【００６３】
以上、本発明の固体撮像素子検査方法について説明した。
また、本発明のプログラムは、上述した本発明の固体撮像素子検査方法を実行するプログラムである。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の固体撮像素子検査装置のブロック図である。
【図２】照明光線と異物の投影像の関係を示す光路図である。
【図３】異物の投影像の光強度分布を示すグラフである。
【図４】異物の投影像の直径の最大値を計算するための光路図である。
【図５】Ｆ値と投影像の広がり（影像径直径の最大値から異物の実寸を減じた値）の関係を示す表である。
【図６】本発明の固体撮像素子検査方法を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００６５】
１  光源
２  集光レンズ
３  絞り
４  照明光学系
５  固体撮像素子の透明カバー
６  固体撮像素子の撮像素子
８  固体撮像素子のパッケージ
１０  駆動部
１１  画像解析部
１２  判定部
１３  表示部
【図１】
2006019356.tif 000003
【図２】
2006019356.tif 000004
【図３】
2006019356.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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