(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体用基板（ウエハ）への各種表面処理のため、多くのステーションを複数の工程内環状軌道に分散配置し、各工程内環状軌道と連係する工程間環状軌道を備えた懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システムにおいて、特定の工程内環状軌道相互間における懸垂式昇降搬送装置用台車の流通が多い場合であっても、工程間環状軌道を走行する懸垂式昇降搬送装置用台車の円滑な走行を維持する。【解決手段】懸垂式昇降搬送装置用台車２の流通が多い所定の異なる工程内環状軌道１ｂ、１ｅ相互間において、コンベアシステム５を設け、当該コンベアシステム５の両端部において夫々工程内環状軌道１ｂ、１ｅの懸垂式昇降搬送装置用台車２との被搬送物（ＦＯＵＰ）８の授受が行えるようにした。【選択図】図２
2006319154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
懸垂式昇降搬送装置用台車の工程内環状軌道に沿って、前記懸垂式昇降搬送装置用台車によって搬送される被搬送物に収納される基板に対し各種処理を施すステーションが複数箇所に設けられた前記工程内環状軌道を複数個配置し、これらの工程内環状軌道相互間と連係する工程間環状軌道を備えた懸垂式昇降搬送用台車の搬送システムにおいて、
前記被搬送物を、工程間環状軌道を経ずに所定の異なる工程内環状軌道相互間を移動させるコンベアを設けたことを特徴とする懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システム。
【請求項２】
前記基板が半導体製造用ウエハであり、前記被搬送物が前記ウエハを挿脱自在に収納した容器である請求項１に記載の懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システム。
【請求項３】
前記被搬送物を、工程間環状軌道を経ずに所定の異なる工程内循環経路相互間を移動させるコンベアがローラコンベアであることを特徴とする請求項１又は２に記載の懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システム。
【請求項４】
前記ローラコンベアが、所定数のローラ、モータ及びモータの動力を各ローラに同期伝達する手段を単位モジュールとし、当該単位モジュールを複数個連接して設け、前記各単位モジュールを駆動させるモータの回転速度を各モジュール毎に制御させることを特長とする請求項１乃至３の何れかに記載の懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システム。
【請求項５】
前記ローラコンベアが被搬送物の進行方向の両側に沿って配置される一連のローラからなり、少なくとも一方側に位置するローラに駆動力を与える手段を備え、各ローラには、被搬送物の搬送方向を規制する鍔部を有することを特徴とする請求項３又は４に記載の懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システム。
【請求項６】
工程内環状軌道相互間を移動させるコンベアが、工程間環状軌道と直交する方向に隣接する一対の工程内環状軌道相互間において被搬送物を移動させるようにしたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システム。
【請求項７】
工程間環状軌道を挟み対向配置された１対の工程内環状軌道相互間を結ぶコンベアが、前記工程間環状軌道と４箇所で直交し、当該直交４箇所にはターンテーブルを配置し、且つ前記１対の工程内環状軌道の夫々に各２箇所で直交する平面視長形状の環状軌道を形成することを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システム。
【請求項８】
工程内環状軌道相互間を結ぶコンベアが４箇所に於いて工程間環状軌道に交差し、且つ隣接する工程内環状軌道との間において被搬送物を移動させるようにしたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システム。
【請求項９】
コンベアの両端部に置かれた被搬送物は、当該被搬送物固有の識別コードが付与されており、当該識別コードをＭＣＳ（搬送制御システム）が収集し、前記被搬送物が位置するコンベアの端部が属する工程内循環経路の所定のステーションに移動させる指令を与える制御手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の懸垂式昇降搬送装置用台車の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体製造過程において、ストッカー及び異なる表面処理を行う複数の半導体処理装置（以下、ステーションという）に沿って敷設される工程内環状軌道を複数個備え、各工程内環状軌道にて走行する懸垂式昇降搬送台車（以下、ＯＨＴ台車という）にてウエハを挿脱自在に収納した容器（以下、ＦＯＵＰという）を移送させ、当該ＦＯＵＰに収納した半導体製造用基板（以下、ウエハという）は所定のステーションにて必要な表面処理を受ける装置であって、各工程内環状軌道との連係を有する工程間環状軌道を備えたＯＨＴ台車の搬送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーンルーム内の工程内環状軌道に沿って配置されるウエハの各種表面処理（洗浄、成膜、レジスト、ＣＶＤ、検査ほか）を行う一連のステーションの中で必要な処理を行うために前記ウエハを収納したＦＯＵＰを、ＯＨＴ台車を用いて搬送することが多い。
この理由は、被搬送物の所定の経路（クリーンルームの天井部に敷設される）に沿う移送作用に加えて昇降作用を併せ有しているため、前記ＦＵＯＰ等の被搬送物を、ＦＯＵＰ内のウエハの特定処理を行っているステーションから、他の処理を行うステーションへの移行が容易であることによる。
【０００３】
ところで、前記複数の工程内環状軌道は、特定の工程内環状軌道にあるステーションにて特定の表面処理（例えば、洗浄処理）後、他の工程内環状軌道にあるステーションにて前記特定の表面処理とは異なる表面処理（例えば、ＣＶＤ処理）が実施される。
これに対応するため、ウエハの表面処理は、特定の一つの工程内環状軌道のみにて所望の表面処理が困難で、異なる工程内環状軌道に対してＯＨＴ台車を移行させるために全ての工程内環状軌道に連係する工程間環状軌道を設けている。
【０００４】
このように、複数の工程内環状軌道に連係する工程間環状軌道を設け、異なる工程内環状軌道相互間をＯＨＴ台車が移行できるようにした先行技術として、下記特許文献１がある。
この特許文献１に開示の技術における、本願発明と係りのある構成は、図１を参照して複数の工程内搬送用短距離搬送路（工程内走行ループ２０〜２５）と、これ等走行ループ２０〜２５と被搬送物の搬送について連係をもつ工程間長距離搬送路（工程間走行ループ２、３）を主体とした構成である。
【０００５】
即ち、工程内走行ループ２０〜２５を走行する台車（図３を参照）はストッカー及び各種処理（例えばウエハにおける洗浄、ＣＶＤほかの表面処理）のため被搬送物の授受に適した構成を有し、工程間走行ループ２、３を走行する台車（図２を参照）は高速搬送に適した構成としていることによる被搬送物の搬送効率の低下を改善することを要旨としている。
より具体的に述べると、例えば、工程内ループ２３で特定の工程を終えた搬送台車を、被搬送物を保持したままの状態で工程内ループ２２に移行させるようにしている。
【０００６】
これによって、
（１）工程内走行ループ２３を走行する台車から第１のバッファとしてのストッカーへの移載
（２）ストッカーから工程間走行ループ２における搬送用台車への被搬送物の移載
（３）工程間走行ループ２における搬送用台車から第２のバッファとしてのストッカーへの移載
（４）この第２のバッファとしてのストッカーから工程内走行ループ２２を走行する台車への移載
の４工程を要した従来技術の効率の悪い欠点を改善するために、工程内走行ループ２０〜２５を走行する台車が工程間走行ループ２、３にも走行できるようにしている。
また、工程間走行ループ２、３には、台車の無駄な走行を減少させるようにショートカット４〜７を設けている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−９６７２５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
クリーンルーム内での半導体製造工程においては、製品として完成させるまでには多数のウエハの表面処理（洗浄、ＣＶＤほか多種類の工程及び各種工程毎の仕様状況に応じた多種類の表面処理）工程が必要であり、通常、多数の工程内環状軌道の敷設された工場設備が必要となる。
そして、前記ウエハはＦＯＵＰに複数枚収納され、当該ＦＯＵＰはＯＨＴ台車にて順次所定のステーションに搬送され、各ステーションにてウエハは所望の表面処理を受ける。
【０００９】
この際、複数の工程内環状軌道は、工程間環状軌道にて連係されているためウエハ収納用ＦＯＵＰを搬送するＯＨＴ台車は、特定の工程内環状軌道にあるステーションから、他の工程内環状軌道にあるステーションに工程間環状軌道を通じて移行する。
搬送面からは各ステーションが製造工程に従い、順次配置されるのが合理的であるが、設備はガス配管、機器の共用、給排水、給電、作業環境、安全面など生産工場全体の総合的観点から決定されるため、ＯＨＴ台車は必ずしも隣接する工程内環状軌道間における工程間環状軌道のみに移行するとは限らない。
【００１０】
従って、工程間環状軌道に沿って隣接する工程内環状軌道相互間、あるいは工程間環状軌道を介して隣接する工程内環状軌道相互間であって、特にＯＨＴ台車の移動頻度が高い場合には、この間を結ぶ工程間環状軌道の分岐合流部において、ＯＨＴ台車が渋滞し、近接して走行中のＯＨＴ台車の一部が衝突防止手段を作動させて停止するなど、工程間環状軌道上をＯＨＴ台車が円滑に走行できず、工場全体の生産効率が低下する傾向があった。
この効率低下は、前記特許文献におけるショートカット４〜７によってある程度改善されると云えるが十分でない。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、工程間環状軌道に沿って隣接する工程内環状軌道相互間、あるいは工程間環状軌道を介して隣接する工程内環状軌道相互間であって、特にＯＨＴ台車の移動頻度が高い工程内環状軌道相互間において、ＯＨＴ台車によって搬送される被搬送物を移動させるコンベアを備える構成とし、工程間環状軌道を走行するＯＨＴ台車の搬送効率を向上させるＯＨＴ台車の搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１２】
上記課題を解決するため、請求項１に記載のＯＨＴ台車の搬送システムは、ＯＨＴ台車の工程内環状軌道に沿って、前記ＯＨＴ台車によって搬送される被搬送物に収納される基板に対し各種処理を施すステーションを複数箇所に設けられた前記工程内環状軌道を複数個配置し、これらの工程内環状軌道相互間と連係する工程間環状軌道を備えたＯＨＴ台車の搬送システムにおいて、前記被搬送物を、工程間環状軌道を経ずに所定の異なる工程内環状軌道相互間を移動させるコンベアを設けたことを特徴とする。
【００１３】
この請求項１に係る発明によれば、とりわけ０ＨＴ台車において被搬送物（例えば、ウエハ収納用ＦＯＵＰ）の搬送頻度の高い工程内環状軌道同士を結ぶ搬送手段が、OHT搬送用工程間環状軌道から、専用コンベアに替えることにより、工程間環状軌道は特定個所において発生するＯＨＴ台車の渋滞を大幅に解消できる。
従って、複数の工程内環状軌道と連係する工程間環状軌道におけるＯＨＴ台車の走行状況は殆ど停止することなく、ＯＨＴ台車の搬送システムにおける被搬送物の搬送効率の低下を来さない。
【００１４】
請求項２に記載のＯＨＴ台車の搬送システムは、請求項１に記載のＯＨＴ台車の搬送システムにおいて、前記基板が半導体製造用ウエハであり、前記被搬送物が前記ウエハを挿脱自在に収納した容器（ＦＯＵＰ）であることを特徴とする。
この請求項２に係る発明によれば、引用先の請求項１に係る発明の効果は元より、ＦＯＵＰに収納されるウエハの表面処理が、異なる工程間環状軌道にあるステーションにてなされる場合においてウエハの表面処理工程の効率向上を図ることができる。
【００１５】
請求項３に記載のＯＨＴ台車の搬送システムは、請求項１又は２に記載のＯＨＴ台車の搬送システムにおいて、前記被搬送物を、工程間環状軌道を経ずに所定の異なる工程内環状軌道相互間を移動させるコンベアがローラコンベアであることを特徴とする
この請求項３に係る発明によれば、引用先の請求項１又は２に係る発明の効果は元より、所定の異なる工程間環状軌道相互間において、ＯＨＴ台車によって搬送される被搬送物のみをＯＨＴ台車に比べて簡単な構成にて効率よく搬送させることができる。
【００１６】
請求項４に記載のＯＨＴ台車の搬送システムは、請求項１乃至３の何れかに記載のＯＨＴ台車の搬送システムにおいて、前記ローラコンベアが、所定数のローラ、モータ及びモータの動力を各ローラに同期伝達する手段を単位モジュールとし、当該単位モジュールを複数個連接して設け、前記各単位モジュールを駆動させるモータの回転速度を各モジュール毎に制御させることを特長とする。
この請求項４に係る発明によれば、引用先の請求項１乃至３の何れかに係る発明の効果は元より、ローラコンベア上の被搬送物の搬送速度は単位モジュール毎に可変速でき、ローラコンベア上に複数の被搬送物が存在しても減速、一時停止等の制御によりこれら被搬送物同士を接触させることなく搬送させることができる。
【００１７】
請求項５に記載のＯＨＴ台車の搬送システムは、請求項３又は４に記載のＯＨＴ台車の搬送システムにおいて、ローラコンベアが被搬送物の進行方向の両側に沿って配置される一連のローラからなり、少なくとも一方側に位置するローラに駆動力を与える手段を備え、各ローラには、被搬送物の搬送方向を規制する鍔部を有することを特徴とする。
この請求項５に係る発明によれば、引用先の請求項３又は４に係る発明の効果は元より、コンベアの被搬送物に接する面が当該搬送物の底部両側のごく僅かな帯状幅であり、塵埃の発生は殆ど無視されるように抑制され、とりわけ塵埃との接触を避けたいウエハを収納するＦＯＵＰの搬送に好適である。
また、駆動ローラと従動ローラを一体化したローラ方式に比較し、装置全体の軽量化の効果が大である。
【００１８】
請求項６に記載のＯＨＴ台車の搬送システムは、請求項１乃至５の何れかに記載のＯＨＴ台車の搬送システムにおいて、工程内環状軌道相互間を移動させるコンベアが、工程間環状軌道と直交する方向に隣接する一対の工程内環状軌道相互間において被搬送物を移動させるようにしたことを特徴とする。
この請求項６に係る発明によれば、引用先の請求項１乃至５の何れかに係る発明の効果は元より、被搬送物のＯＨＴ台車による工程間環状軌道を通じての搬送における搬送距離に比べてその距離を著しく短縮でき、被搬送物の搬送効率の向上が図れる。
【００１９】
請求項７に記載のＯＨＴ台車の搬送システムは、請求項１乃至４の何れかに記載のＯＨＴ台車の搬送システムにおいて、工程間環状軌道を挟み対向配置された１対の工程内環状軌道相互間を結ぶコンベアが、前記工程間環状軌道と４箇所で直交し、当該直交４箇所にはターンテーブルを配置し、且つ前記１対の工程内環状軌道の夫々に各２箇所で直交する平面視長方形状の環状軌道を形成することを特徴とする。
この請求項７に係る発明によれば、引用先の請求項１乃至４の何れかに係る発明の効果は元より、ローラコンベア上に被搬送物を放置しても、放置された被搬送物はエンドレスにローラコンベア上を周回し、他の被搬送物に対し受け渡しの障害になることはない。
従って、この環状ループを形成するコンベアシステムは被搬送物を一時的に滞留させる保管場所としての機能も有する。
【００２０】
請求項８に記載のＯＨＴ台車の搬送システムは、請求項１乃至５の何れかに記載のＯＨＴ台車の搬送システムにおいて、工程内環状軌道相互間を結ぶコンベアが４箇所に於いて工程間環状軌道に交差し、且つ隣接する工程内環状軌道との間において被搬送物を移動させるようにしたことを特徴とする
【００２１】
この請求項８に係る発明によれば、引用先の請求項１乃至５の何れかに係る発明の効果は元より、特に工程間環状軌道に沿って隣接し、とりわけ被搬送物の流通が多い工程内環状軌道相互間はＯＨＴ台車による被搬送物の搬送を不用とすることができる。
従って、所定の工程内環状軌道相互間における被搬送物の移送は、ＯＨＴ台車による工程間環状軌道を通じての搬送における搬送距離に比べて搬送距離はほぼ同一であるにしても工程間環状軌道に沿って互いに隣接する工程内環状軌道であって特に両者間において被搬送物の流通頻度が多くても、工程間環状軌道を通過する被搬送物搬送用ＯＨＴ台車の密度の上昇を招くことはなく、衝突防止装置の作動に伴い、ＯＨＴ台車が停止し、システム全体における被搬送物の搬送効率の低下を招くことはない。
【００２２】
請求項９に記載のＯＨＴ台車の搬送システムは、請求項１乃至８の何れかに記載のＯＨＴ台車の搬送システムにおいて、コンベアの両端部に置かれた被搬送物は、当該被搬送物固有の識別コードが付与されており、当該識別コードをＭＣＳ（搬送制御システム）が集集し、前記被搬送物が位置するコンベアの端部が属する工程内環状軌道の所定のステーションに移動させる指令を与える制御手段を備えたことを特徴とする。
この請求項９に係る発明によれば、引用先の請求項１乃至８の何れかに係る発明の効果は元より、異なる工程内環状軌道を結ぶコンベアにより第一の工程内環状軌道から第二の工程内環状軌道に搬送された被搬送物は、当該被搬送物を特定する識別コード（バーコード等）を基にＯＨＴ台車によって所定のステーションに自動的に搬送されることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、図面の概要を述べると、図１は本発明が適用されるＯＨＴ台車の搬送システムにおける全体構成の概要を示す平面図、図２は図１において本願発明に係りのある要部を示す斜視図、図３は工程内環状軌道及び工程間環状軌道を走行するＯＨＴ台車の側面図、図４は所定の工程内環状軌道相互間と連係するローラコンベアの正面図、図５はローラコンベアの駆動機構を示す要部構成図、図６はＯＨＴ台車の搬送システムの機能ブロック図、図７、図８は夫々他の実施例を示す斜視図及び平面図である。
【００２４】
さて、本願各発明が適用されるＯＨＴ台車の搬送システムにおけるレイアウトの概要は図１に示される。図１において、１ａ〜１ｆはＯＨＴ台車２の走行用工程内環状軌道で、工程内環状軌道１ａにて説明すると、当該工程内環状軌道１ａに沿って複数のステーション３が配置される。これらのステーション３は、他の工程内環状軌道１ｂ〜１ｆについてもほぼ均等に配置され、ウエハを収納したＦＯＵＰ搬入ポート３ａ及び同ＦＯＵＰ搬出ポート３ｂを備えている。
【００２５】
そして、これらのステーション３は、ストッカーの他ウエハの各種表面処理の種類（洗浄、成膜、レジスト、ＣＶＤ、検査等）と、これら各種の表面処理毎に、表面処理の工程の差違（例えば、洗浄工程であれば、被処理ウエハに対応する所望の洗浄液の使用による異なる表面処理工程）に伴って多数必要で、幾つかの工程内環状軌道に分散される。
４は工程間環状軌道で、前記工程内環状軌道１ａ〜１ｆを連結し、ＯＨＴ台車２は工程間環状軌道4を経由して異なる工程内環状軌道に進入する。
工程内環状軌道１ａ〜１ｆ、工程間環状軌道４の分岐、合流部では、接近して走行するＯＨＴ台車が存在すると、衝突の恐れがあり、これを防止するための安全装置として各ＯＨＴ台車には衝突防止手段が装備されている。
また、ＯＨＴ台車２の走行方向は一定方向のみに規制され衝突回避と搬送効率の確保が図られている。
【００２６】
５、６は一対のコンベアシステムで、特に被搬送物（ウエハを収納したＦＯＵＰ）の流通の多い工程内環状軌道１ｂ、１ｅ相互間においてＯＨＴ台車２により、幾つかの所定のステーション３において所定の表面処理を受けるウエハを収納したＦＯＵＰのみの流通を図る。
このコンベアシステム５、６において、コンベアシステム５は、被搬送物（ウエハを収納したＦＯＵＰ）を工程内環状軌道１ｂから工程内環状軌道１ｅへの搬送を、コンベアシステム６は、被搬送物（ウエハを収納したＦＯＵＰ）を工程内環状軌道１ｅから工程内環状軌道１ｂへの搬送を夫々担う。
【００２７】
本願発明が適用されるＯＨＴ台車の搬送システムの概要は、前記図１の通りであるが、次に各構成要素のうち本願各発明に係りのある構成について図面を参照して説明する。
図３において、ＯＨＴ台車２と、工程内環状軌道１ａ〜１ｆ及び工程間環状軌道４との関係について図２を参照して説明する。図２、図３において、ＯＨＴ台車２は天井における所定の軌道（工程内環状軌道１ａ〜１ｅ又は工程間軌道４）に沿って敷設された走行レール７に吊り下げられている。そして、このＯＨＴ台車２は、その案内・駆動部２ａにおいて図示しない走行輪と案内輪とで走行レール７に規制されて走行する。
【００２８】
この際、必要とされる動力は、走行輪に駆動モータを備えること、或いはレール７側とＯＨＴ台車２側に夫々二次側、一次側を設ける直流リニアモータを備えること等周知の手段によって得られる。２ｂは位置合せ機構で、後述する被搬送物（ＦＯＵＰ）の前記走行レール７におけるＯＨＴ台車の走行方向と直交する方向及び回転方向の変位調整を図る。２ｃは帯状ベルトで、ＯＨＴ台車２の走行方向の前後左右に４本設けられ、ＯＨＴ台車２内に備えられる昇降機構２ｄにより伸縮自在に制御され、昇降体２ｅを昇降させるように構成される。そして、この帯状ベルト２ｃは、内部に昇降体２ｅへの電力供給及び制御信号を授受する電線（図示せず）を埋設している。
【００２９】
２ｆはグリッパ部材で、昇降体２ｅの構成要素の一つであって、図示の左右方向に変位可能に支持されている。８は被搬送物としてのＦＯＵＰで、具体例として、洗浄、ＣＶＤほかの各種処理において未処理或いは処理済みのウエハを収納したＦＯＵＰ本体８ａと前記グリッパ部材２ｆによって把持又はその解除を受けるフランジ部８ｂから構成される。
【００３０】
なお、ＯＨＴ台車２への給電は、本願各発明との直接の係りがないため詳細な説明は省略し、概要を述べると、工程内軌道１ａ〜１ｆ及び工程間軌道４に沿って敷設される給電線（図示せず）からＯＨＴ台車２に備えられたコイルに対して電磁誘導作用により非接触にて行われる。
また、ＯＨＴ台車２が分岐路において何れの方向に進むかの制御機構は例えば「特開２００３−１６００４７号」の図１及び図２に開示の機構が用いられる。
【００３１】
次に、本願各発明の要旨をなす同一機能の一対のコンベアシステム５、６のうち、代表として、コンベアシステム５の周辺機構を示す図２を参照しつつ説明する。図２において、コンベアシステム５は、工程内環状軌道１ｂ、１ｅの所定の個所相互間に直線状に配置され、吊部材５１（コンベア全長に応じて複数個所に配置）にて天井に保持される。
そして、このコンベアシステム５は、直線搬送部５２及び当該直線搬送部５２の両端部に配置され直線搬送部５２と均等な搬送機構を備え、所定の範囲において９０度方向を変化させるターンテーブル５３、５４、各ターンテーブル５３、５４に載置されるＦＯＵＰ８の背面に付され、このＦＯＵＰ８の特定表示を行うタグ（バーコード、非接触ＩＣカードなど）を読取るリーダー／ライター（以下「Ｒ／Ｗ」という）５５、５６、及びコンベア駆動制御装置５７から構成される。
【００３２】
このコンベアシステム５を構成する直線搬送部５２及びターンテーブル５３、５４は均等なＦＯＵＰ８用搬送手段を有している。この搬送手段の直線搬送部５２への適用例を、図４及び図５を基に説明する。
図４において、５２ａ、５２ｂはローラ支持部材で、直線搬送部５２の経路に沿って等間隔を維持して並行に敷設されている。５２ｃ、５２ｄは支持軸で、夫々ローラ支持部材５２ａ、５２ｂに沿って一定間隔にて連続的に配置され、当該各ローラ支持部材５２ａ、５２ｂに固定される。５２ｅ、５２ｆはローラで、夫々ＦＯＵＰ８の底面両側部を支持する円筒状保持部５２ｇ、５２ｈと、前記ＦＯＵＰ２の左右方向の位置を規制する鍔部５２ｉ、５２ｊを有し、夫々ローラ支持部材５２ａ、５２ｂに回動自在に支持されている。
【００３３】
そして、前記円筒状保持部５２ｇ、５２ｈの各周面には、ウレタンゴム被覆部５２ｇｘ、５２ｈｘが被覆され、前記ＦＯＵＰ２との接触摩擦力を増し、ＦＯＵＰ２の搬送過程にて、ＦＯＵＰ８と、ローラ５２ｅ、５２ｆにおける円筒状保持部５２ｇ、５２ｈとのスリップを防止している。
【００３４】
なお、ＯＨＴ台車２にてＦＯＵＰ８を搬送する際、ＦＯＵＰ８のウエハ挿脱用扉（図示せず）は、各種表面処理を行うステーション３が各工程内環状軌道１ａ〜１ｆの外側に配置されていることに伴い、工程内環状軌道１ａ〜１ｆの外方で、工程間環状軌道４の内方に該当する方向に向けられる。
また、ＦＯＵＰ８がコンベアシステム５の直線走行部５２及びターンテーブル５３、５４上を移動するに際しては、ＦＯＵＰ８の前記扉を有する前面とタグを有する背面とは機構上重量が相違するため、進行方向において左右均等に重量が加わるようにＦＯＵＰ８の前面が進行方向に対して直交するように方向が規制される。
【００３５】
次に、コンベアシステム５の駆動機構について述べる。先ず、前記ローラ５２ｅ、５２ｆは、一方（この例ではローラ５２ｅ）のみに駆動手段を設け、他方（この例では、ローラ５２ｆ）は支持軸５２ｄに回動自在に支持され、駆動手段を有しない従動ローラである。
【００３６】
そして、１ブロックを構成する５個のローラ１２ｅの駆動手段は図５のように構成され、ローラ式コンベア１全体において複数ブロックが連続的に配置される。
先ず、図５において、コンベアシステム５のローラ支持部材５２ａに対して敷設されている支持軸５２ｃに回動自在に支持されたローラ５２ｅにおける円筒状保持部５２ｇの鍔部５２ｉとは反対側に歯付プーリ５２ｋが備えられる。５２ｍはモータで、その駆動軸５２ｍｘには、歯付プーリ５２ｍｙが固定され、当該歯付プーリ５２ｍｙは、一連のローラ５２ｅに固定された歯付プーリ５２ｋと同一垂直平面に配置されている。
【００３７】
５２ｎはタイミングベルトで、ローラ５２ｅの駆動源となる歯付プーリ５２ｋ及び直線状に並ぶ一連のローラ５２ｅ夫々に設けた複数個（図５に示す例では５個）の歯付プーリ５２ｋに対して順次歯部５２ｎｘ側（内周面）を係合し、１ループを形成している。
また、前記タイミングベルト５２ｎの歯部５２ｎｘを有しない側（外周面）の適所（図５に示す例では２箇所）には、テンションローラ５２ｐが配置されている。
なお、このテンションローラ５２ｐの支持軸５２ｐｘは、タイミングベルト５２ｎに張力を与える方向に復帰力を有するよう移動できる周知の手段（図示せず）によって支持されている。
【００３８】
また、直線状に並ぶ一連のローラ５２ｅは１グループを形成する複数個のローラを単位モジュールとして複数個のモジュールを直線状に配置することで構成され、各単位モジュールの搬送速度はモータ５２ｍの回転速度で制御される。モータ５２ｍの回転速度はモジュール毎に制御され、各モジュールを同期させ一定速度で搬送することも、コンベア上のＦＯＵＰ同士の接触を回避するため非同期に搬送制御することも可能である。
【００３９】
次に、前記図１〜図５に示す構成の制御システムについて、機能ブロック図（図６）を参照しつつ説明する。図６において、ＭＥＳ１０１（Manufacturing Execution System）は半導体製造管理システムであり、ＭＣＳ１０２（Material Control System）は搬送システムコントローラである。また、ＯＨＶＣ１０４（Over head Hoist Vehicle Controller）はＯＨＴ搬送台車の制御装置であり、ＣＲＶＣ１０３（Conveyor Roller Vehicle Controller）はローラコンベア方式による搬送装置のコントローラである。ＭＥＳ１０１は多数のステーション３に対して所定の半導体表面処理の命令を送信することに加え、ＭＣＳ１０２にＦＯＵＰ８の各種搬送命令を送信する。また、ＭＣＳ１０２はＯＨＶＣ１０４とＣＲＶＣ１０３に制御命令を与えることによりＯＨＴ台車２とコンベアシステム５を制御する。
【００４０】
即ち、搬送制御システムのＭＣＳ１０２は、ＭＥＳ１０１からの命令信号に基づいてＯＨＴ台車制御装置１０３を用いてＯＨＴ台車２に指令を与え、この指令を受けたＯＨＴ台車２は自車の制御部を構成する案内・駆動部２ａ、位置合せ機構２ｂ、昇降機構２ｄ、及びグリッパ部材２ｆを作動させる。
更に、ＭＣＳ１０２は、コンベアシステム制御装置１０４を用いてＭＥＳ１０１からの命令信号に基づいて直線搬送部５２及びターンテーブル５３、５４、Ｒ／Ｗ５５、５６を含むコンベアシステム５におけるローラ駆動制御装置５７に対してＦＯＵＰ８の適切な搬送命令信号を送信する。
【００４１】
前述した構成において、その作用を説明すると次の通りである。
先ず、工程内循環軌道１ａ〜１ｆ及び工程間循環軌道４において、
（１）所定のＦＯＵＰ８が存する所定のステーション３に所定のＯＨＴ台車２がＦＯＵＰ８を保持しない状態で移行し、ＦＯＵＰ８を把持する。
（２）所定のＦＯＵＰ８を把持したＯＨＴ台車２は所定の表面処理を行うステーション３にＦＯＵＰ８を移送する。
ＯＨＴ台車２のこれら、一連の動作はＭＥＳ１０１からの命令を受けたＭＣＳ１０２からの指令を、ＯＨＴ制御装置を介し受けてＯＨＴ台車２により実行される。
【００４２】
このようにして、ＯＨＴ台車２によって、所定のステーション３に搬送されたＦＯＵＰ８は、当該所定のステーション３において、内部に保有されているウエハが取り出され、所定の表面処理が行われる。この際の表面処理工程は、ＭＥＳ１０１から送出される命令に従って実行される。
前記ＯＨＴ台車２によるＦＯＵＰ８の搬送工程及び各ステーション３におけるＦＯＵＰ８内に保有されるウエハの表面処理工程は、本願発明の基礎となるもので、従来採用されている技術である。
【００４３】
さて、本願各発明に係りのあるコンベアシステム５についての作用の詳細を説明すると、次の各ステップに示す通りである。
ステップ１：
工程内環状軌道１ｂに沿って走行するＯＨＴ台車２が保有しているＦＯＵＰ８がＭＣＳ１０２からのコンベアシステム制御装置を経由した命令信号により図２に示す状態のターンテーブル５３上に載置（図２においてはＦＯＵＰ８が既にターンテーブル５３から搬送後の状態につき図示されていない）される。この際、ターンテーブル５３のコンベアローラは回転を停止させた状態で、当該ターンテーブル５３のコンベアとしての推進方向にＦＯＵＰ８においてウエハを挿脱する前面が配置される。
【００４４】
ステップ２：
Ｒ／Ｗ５５がターンテーブル５３上のＦＯＵＰ８（図２には表示されていない）を特定するタグを読取り、この信号をローラ駆動制御装置５７に送信する。
ステップ３：
ローラ駆動制御装置５７からの命令信号によりターンテーブル５３はＦＯＵＰ８の前面が、直線搬送部５２の進行方向に向くように９０度回転し、直線搬送部５２の搬送路とターンテーブル５３上の搬送路とが連続する。この際、直線搬送部５２の搬送路終端部に位置するターンテーブル５４は図２に示す方向と９０度変位しており、直線搬送部５２の搬送路とターンテーブル５４上の搬送路とが連続している。
【００４５】
ステップ４：
ターンテーブル５３のコンベアローラを回転駆動させ、ターンテーブル５３から直線走行路５２を通じてＦＯＵＰ８が搬送され、当該ＦＯＵＰ８はその前面を進行方向に向け、ターンテーブル５４上に進入する。
ステップ５：
このＦＯＵＰ８がターンテーブル５４上に位置すると、図示しないセンサ（例えば、フォトセンサ）にてこの状況を、ローラ駆動制御装置５７が把握し、ターンテーブル５４を図示の状態に９０度回転させる。
【００４６】
ステップ６：
ＦＯＵＰ８の背面のタグをＲ／Ｗ５６にて読取り、これによってターンテーブル５４上にあるＦＯＵＰ８の特定情報がＭＣＳ１０２に伝達され、当該ＭＣＳ１０２からの命令信号によってＯＨＴ台車２がターンテーブル５４上に到達する。
ステップ７：
ＯＨＴ台車２がターンテーブル５４上のＦＯＵＰ８を保持し、ＭＳＣ１０２からの命令信号によって工程内環状軌道１ｅに沿って所定のステーション３に移行する。
【００４７】
なお、コンベアシステム６については、コンベアシステム５が工程内環状軌道１ｂから
工程内環状軌道１ｅへのＦＯＵＰ８の移動させる機能であるのに対し、工程内環状軌道１ｅから工程内環状軌道１ｂへのＦＯＵＰ８の移動である点のみ相違し均等な構成であるため詳細の説明は省略する。
【実施例１】
【００４８】
前述の構成において、コンベアシステム５、６は夫々工程内環状軌道１ｂから工程内環状軌道１ｅへのＦＯＵＰ８の移動、及び工程内環状軌道１ｅから工程内環状軌道１ｂへのＦＯＵＰ８の移動に対して専用に設ける構成を示しているが何れか一方のみとし、兼用する構成とすることもできる。
即ち、ＯＨＴ台車の搬送システムの構成上、例えば、工程内環状軌道１ｂから工程内環状軌道１ｅへのＦＯＵＰ８の移動量が工程内環状軌道１ｅから工程内環状軌道１ｂへのＦＯＵＰ８の移動量に比べて１０倍程度に及ぶ場合はコンベアシステム６を設けることなくコンベアシステム５のＦＯＵＰ８の搬送方向を変更することによって実質的に同様な効果が得られる。
【実施例２】
【００４９】
一対のコンベアシステム５、６或いは搬送方向を切り替えることによってこれらを兼用するコンベアシステム５は、工程間環状軌道４を横切って工程内環状軌道１ｂから工程内環状軌道１ｅへのＦＯＵＰ８を移送させる構成に加えて、あるいはこれに代えて、例えば、工程間環状軌道４に沿って隣接する２つの工程内環状軌道１ｂ、１ａ間移動頻度が高い場合、２つの工程内環状軌道１ｂ、１ａ間にコンベアシステムを敷設させることもできる。
【実施例３】
【００５０】
図８に示すように一対のコンベアシステム５、６に新たに４つのターンテーブル２５，２６，２７，２８と、工程間環状軌道４と平行で相互に逆方向に搬送する２つのローラコンベア２１、２２を加え、全体として環状の搬送ループを形成するコンベアシステムとすることも可能である。
環状の搬送ループを形成するコンベアシステムでは、ターンテーブル５３、５４部でＯＨＴ台車がＦＯＵＰ８を取り込まずローラコンベア上に放置しても、放置されたＦＯＵＰ８はエンドレスにローラコンベア上を周回し、他のＦＯＵＰ８の受け渡しに対する障害になることはない。この環状ループを形成するコンベアシステムはＦＯＵＰ８をこの場所に一時的に保管させ得るバファーとしての機能を持つ。
【実施例４】
【００５１】
図７は図２の変形例で、直線搬送部５２の両端部に各２つのターンテーブル５３ａ、５３ｂ、５４ａ、５４ｂと４つのコンベア５８ａ、５８ｂ、５９ａ、５９ｂを配置させた構成を有する。コンベア５８ａ、５８ｂ、５９ａ、５９ｂはＯＨＴ台車がＦＯＵＰを積載或いは降載するポートで、工程内環状軌道１ｂ、１ｅ間のＦＯＵＰ８搬送頻度の高い場合に好適な構成としている。基本動作は図２に類似するが、ＯＨＴ台車がＦＯＵＰ８を積載又は降載するポートが直線コンベアで、これと直交する直線搬送部５２への輸送或いは、直線搬送部５２からこれと前記直線コンベアへの輸送は、２対の各ターンテーブル５３ａ、５３ｂ、５４ａ、５４ｂ部にてＦＯＵＰ８の載置方向を９０度回転させて輸送させている。
【実施例５】
【００５２】
図１及び図２においてのＯＨＴ台車２の走行路としての工程間環状軌道４とこれに連係する工程内環状軌道１ａ〜１ｆとにおいて、一部重複個所があるが、工程間環状軌道４と工程内環状軌道１ａ〜１ｆを夫々独立した環状軌道とするために、工程間環状軌道４から工程内環状軌道１ａ〜１ｆに移行する分岐路及び工程内環状軌道１ａ〜１ｆから工程間環状軌道４に移行する分岐路を設ける。
これによって、工程間環状軌道４を通過するＯＨＴ台車２が増加しても、ＯＨＴ台車２の走行状況が阻害（衝突防止装置の作用による一時停止）されることは殆ど生じない。
なお、工程間環状軌道４中の随所にショートカット軌道を設けることによって、工程間環状軌道４におけるＯＨＴ台車の円滑な走行状態を得ることができる。
【実施例６】
【００５３】
図４に示すローラコンベアの構成はＦＯＵＰ８の搬送に当り最適機構であるが、汎用されているローラコンベア（例えば、特開平１１−２３６１１７号に開示のコンベア）を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明が適用されるＯＨＴ台車の搬送システムにおける全体構成の概要を表示する平面図である。
【図２】図１において本願発明に係りのある要部を示す斜視図である。
【図３】工程内環状軌道及び工程間環状軌道を走行するＯＨＴ台車の側面図である。
【図４】所定の工程内環状軌道相互間と連係するローラコンベアの正面図である。
【図５】ローラコンベアの駆動機構を示す要部構成図である。
【図６】ＯＨＴ台車の搬送システムの機能ブロック図である。
【図７】本願発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図８】本発明が適用されるＯＨＴ台車の搬送システムにおける全体構成の他の実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１ａ〜１ｆ・・・・・・工程内環状軌道
２・・・・・・・・・・懸垂式昇降搬送台車
２１、２２・・・・・・ローラコンベア
２５〜２８・・・・・・ターンテーブル
３・・・・・・・・・・ステーション
４・・・・・・・・・・工程間環状軌道
５・・・・・・・・・・コンベアシステム
５２ｅ・・・・・・・・駆動ローラ
５２ｆ・・・・・・・・従動ローラ
５２ｉ、５２ｊ・・・・鍔部
５５、５６・・・・・・Ｒ／Ｗ
５７・・・・・・・・・ローラ駆動制御装置
８・・・・・・・・・・被搬送物（ＦＯＵＰ）
１０１・・・・・・・・半導体製造管理システム
１０２・・・・・・・・搬送制御システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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