(57)【要約】【課題】  ガス放電パネル内に紫外線発光用ガスを封入する前の排気に際し、大きな排気コンダクタンスを確保できる新しいガス放電パネル製造技術を提供する。【解決手段】  封止材によりシールされた長方形状の内部空間を介在して対向する２枚の基板と、内部空間内に設けられた隔壁領域と、内部空間の周辺部に開口する通気口とを有するガス放電パネルにおいて、通気口に近い基板の一方の長辺部における封止材から隔壁端部までの距離が、前記基板の他方の長辺部における封止材から隔壁端部までとの距離よりも大きくなるように、前記隔壁を形成する。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置された長辺部と短辺部を有する２枚の基板の周辺を、封止材によって封止し、封止された基板間の内部空間に複数の隔壁を設け、かつ、当該隔壁と前記封止間の領域内で、一方の基板上に通気口を設けたガス放電パネルにおいて、
前記通気口に近い前記基板の一方の長辺部における、前記封止材と隔壁端部までの距離が、当該基板の他方の長辺部における前記封止材から、端部までの距離よりも大きくなるように、前記隔壁を形成したことを特徴とするガス放電パネル。
【請求項２】
対向配置された長辺部と短辺部を有する２枚の基板の周辺を、封止材によって封止し、封止された基板間の内部空間に複数の隔壁を設け、かつ、当該隔壁と前記封止間の領域内で、一方の基板上に通気口を設けたガス放電パネルにおいて、
前記通気口に近い基板の長辺部から見て、前記隔壁が形成された領域の中心を、前記封止材で封止された内部空間の中心より遠い位置に設定して、前記隔壁を形成したことを特徴とするガス放電パネル。
【請求項３】
前記通気口に近い基板の長辺部における封止材から、隔壁端部までの距離が３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のガス放電パネル。
【請求項４】
前記通気口に近い基板の長辺部における封止材と隔壁間の領域内で少なくとも一方の基板上に凹部を設けてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガス放電パネル。
【請求項５】
前記凹部が、隔壁端部から封止材に向けて次第に深くなるように形成されてなることを特徴とする請求項４に記載のガス放電パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえばプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）のようなガス放電パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガス放電パネルとして、３電極面放電構造のＡＣ型プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）が商品化されている。ガス放電パネルは、封止材により封止された長方形状の内部空間を介在して対向する２枚の基板と、前記内部空間内に設けられた、複数の隔壁を有する隔壁領域とを有し、この内部空間に、放電用ガスが封入され、放電により紫外線発光用ガスを励起してプラズマ状態にし、プラズマ状態から元の状態に戻る際に発生する紫外線を利用して蛍光体を発光させるものであるが、この内部空間内に紫外線発光用ガスを封入するに当たっては、内部空間内を排気し、真空状態にする必要がある。このため、内部空間の周辺部には通気口が設けられている。当該通気口は、内部空間内を排気し、内部空間内に紫外線発光用ガスを封入した後封止される。吸着分子の脱着を促し、排気を促進するためにガス放電パネルを加熱することも多い。
【０００３】
プラズマディスプレイでは、このように排気を行うが、パネルの排気におけるコンダクタンスが低い場合には、十分に排気できず、パネル内部に水、二酸化炭素、炭化水素などの不純物ガスを残留させてしまうことがある。このような場合には、プラズマディスプレイの放電特性が劣化し、設計通りの値を示さなくなったり、パネルの寿命が短くなったりする。さらに、パネルの表示性能向上のために、近年隔壁の形状をストライプ形状から格子状隔壁形状にするＰＤＰが出てきており、その場合、ますますパネルの排気コンダクタンスは低くなり、パネルの排気が困難になってくる。
【０００４】
このような問題点を解決するため、図９に示すような封止材の長辺部から、当該長辺部に近接する隔壁の端部までの距離Ｗｌの改善がパネルの排気効率の改善に大きく影響を与えていることから、短辺側の距離ＷｓよりＷｌを大きくする構造が提案されている（たとえば、特許文献１参照。）。しかしながら、前記封止材の長辺部から、当該長辺部に近接する隔壁の端部までの距離を、前記封止材の短辺部から、当該短辺部に近接する隔壁までの距離よりも大きくする必要があるため、所定のＰＤＰの表示領域に対し、表示領域の外側に存在する周辺領域の大きさを定める際の自由度が小さいという問題がある。
【０００５】
また、背面基板３および前面基板２の非表示領域に溝を設ける方法も提案されている（たとえば、特許文献２参照。）。本方法は、非表示領域を可能な限り抑えつつ排気コンダクタンスを大きくすることを目的とするものであり、さらに、従来の製造工程に対して、ほとんど同じ工程数で製造できる特徴を有していると主張されている。しかしながら、この方法は、別途基板に溝を形成する工程が必要となり、製造コストが上昇する問題があるのが実状である。
【特許文献１】特開２００３−２１７４５７号公報（特許請求の範囲）
【特許文献２】特開平１１−２３８４６６号公報（特許請求の範囲）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のごとく、従来の方法は、排気におけるコンダクタンスが小さいという問題、あるいはコンダクタンスを大きくした結果、所定の表示領域に対し周辺領域の大きさに制限が出てしまう問題、製造コストがアップする問題等を抱えている。
【０００７】
本発明は、このような問題を解決し、大きなコンダクタンスを確保できる新しい技術を提供することを目的としている。本発明のさらに他の目的および利点は、以下の説明から明らかになるであろう。
【０００８】
なお、本発明におけるコンダクタンスとは、真空系のある部分に対し、流れる気体の量を圧力差で除したものとして定義される特性値である。「排気におけるコンダクタンス」を本発明では、「排気コンダクタンス」と呼称する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、対向配置された長辺部と短辺部を有する２枚の基板の周辺を、封止材によって封止し、封止された基板間の内部空間に複数の隔壁を設け、かつ、当該隔壁と前記封止間の領域内で、一方の基板上に通気口を設けたガス放電パネルにおいて、通気口に近い前記基板の一方の長辺部における前記封止材から、隔壁端部までの距離が、他方の長辺部における封止材から隔壁端部までの距離よりも大きくなるように、前記隔壁が形成されているガス放電パネルが提供される。
【００１０】
本発明の他の一態様によれば、対向配置された長辺部と短辺部を有する２枚の基板の周辺を、封止材によって封止し、封止された基板間の内部空間に複数の隔壁を設け、かつ、当該隔壁と前記封止間の領域内で、一方の基板上に通気口を設けたガス放電パネルにおいて、通気口に近い基板の長辺部から見て、隔壁が形成された領域の中心を、前記封止材で封止された内部空間の中心より遠い位置に設定して隔壁を形成したガス放電パネルが提供される。
【００１１】
これらの態様により、パネル特性を向上させたガス放電パネルを実現できる。
【００１２】
上記ガス放電パネルやその製造方法については、前記通気口に近い基板長辺部における封止材から隔壁端部までの距離が３ｍｍ以上あること、通気口に近い基板長辺部における封止材と隔壁領域との間の領域内で少なくとも一方のある基板上に凹部を有すること、さらに、通気口に近い基板長辺部に対向する他方の長辺部における封止材と隔壁領域との間の領域内で、基板の少なくとも一方上に凹部を有し、前記通気口に近い基板長辺部における封止材と隔壁端部との間の領域にある凹部の平均深さが、対向する他方の長辺部における封止材と隔壁領域との間の領域に基板部分の凹部の平均深さより大きいこと、通気口に近い基板長辺部における封止材と隔壁領域との間の領域にある基板部分の凹部の深さおよび対向する他方の長辺部における封止材と隔壁領域との間の領域にある基板部分の凹部の深さの少なくともいずれか一方が２０μｍ以上の深さを有すること、アドレス電極への給電配線が、通気口に遠い基板長辺部側に備えられたものであること、通気口に近い基板長辺部と対向する他方の長辺部における封止材と隔壁領域との間の領域にある基板部分の凹部が、隔壁領域から封止材に向けて次第に深くなる部分を有すること、隔壁領域と凹部とを同時に形成すること、隔壁領域と凹部とを、サンドブラストまたはエッチングにより形成することが好ましい。
【００１３】
本発明のさらに他の一態様によれば、上記のガス放電パネルを備えたガス放電パネル表示装置が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明により、ガス放電パネル内に紫外線発光用ガスを封入する前の排気に際し、大きな排気コンダクタンスを確保できる新しいガス放電パネルを製造された、パネル特性を向上させたガス放電パネルを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明の実施の形態を図、実施例等を使用して説明する。なお、これらの図、実施例等および説明は本発明を例示するものであり、本発明の範囲を制限するものではない。本発明の趣旨に合致する限り他の実施の形態も本発明の範疇に属し得ることは言うまでもない。図中、同一の符号は同一の要素を表す。
【００１６】
以下、ガス放電パネルの代表としてＰＤＰについて説明する。図１に従来のＰＤＰの一例の分解図を、図２にその横断面図を示す。図１，２において、人は矢印に沿う方向からパネルを見ることになる。ＰＤＰ１は、前面基板２と背面基板３とが対向する構造を有する。この例では、前面基板２の内側（背面基板３に面する側）に表示電極４、誘電体層５、電極保護のための保護層６が順次積層されており、背面基板３の内側（前面基板２に面する側）に、表示電極と直交する方向に延在するアドレス電極７、誘電体層８が順次積層されており、その上に隔壁（リブ）９と、赤、緑、青の蛍光体層１０がある。誘電体層８は、図１のように二つの表示電極間に電圧を印加して放電を起こさせる方式の場合は設置しなくてもよい場合が多い。
【００１７】
誘電体層５と隔壁９と蛍光体層１０とで囲まれた放電空間１１にネオンガスやキセノンガス等の紫外線発光用ガスが封入される。ＰＤＰ１は、二つの表示電極間に電圧を印加して放電を起こさせ、紫外線発光用ガスを励起してプラズマ状態にし、プラズマ状態から元の状態に戻る際に発生する紫外線を利用して蛍光体層１０の蛍光体を発光させることにより、可視光の表示を実現するものである。ＰＤＰにはカラーフィルター、電磁波遮蔽シート、反射防止フイルム等も付設されることが多い。このＰＤＰに電源部やチューナーユニットとのインターフェースを付設することにより、大型テレビジョン装置（プラズマテレビ）のようなガス放電パネル表示装置が得られる。
【００１８】
ＰＤＰの基板には、ソーダライムガラス、高歪点ガラスなどが使用される。アドレス電極には導電性を有する金属ならどのようなものを使用してもよい。通常は銅が使用される。誘電体層にはガラス板や低融点ガラス等が使用される。隔壁９は低融点ガラスから形成されている。
【００１９】
本発明に係るガス放電パネルは、封止材により封止された長方形状の内部空間を介在して対向する２枚の基板と、内部空間内に設けられた隔壁領域と、内部空間の周辺部に開口する通気口とを有し、この通気口に近い基板の一方の長辺部（以下、通気口側長辺部」とも呼称する）における封止材（以下、「通気口側長辺部封止材」とも呼称する。）から、隔壁の端部までの距離が、前記長辺部と対向する他方の長辺部（以下、当該対向する長編部を「対向長辺部」とも呼称する。）における封止材（以下、「対向長辺部封止材」とも呼称する。）から隔壁端部までの距離よりも大きくなるように、前記隔壁が形成されている。通気口が複数ある場合はそのいずれか一つについて判断すればよい。全部の通気口について判断してもよい。通気口は前面基板と背面基板とのいずれに設けられていてもよい。通気口は、基板長辺部の封止材と短辺部の封止材との交点近傍にあることが好ましい。
【００２０】
この様子を図３により模式的に示す。図３はＰＤＰの模式的平面図である。本発明に係る封止材３１は、図３に示すように、対向する２枚の基板（前面基板２と背面基板３）の間にあり、閉じた空間を形成している。この閉じた空間が内部空間３２である。内部空間に紫外線発光用ガスが封入されると、その隔壁が形成された領域に該当する空間部分が放電空間になる。ただし、内部空間は長方形状に造られることが多い。たとえば角が若干丸みを帯びたり、部分的に歪んだ部分があっても、本発明に係る長方形状の内部空間の範疇に属する。
【００２１】
内部空間３２内には複数の隔壁によって形成された隔壁領域３３が設けられており、内部空間３２の周辺部に開口する通気口３４がある。この通気口３４に近い通気口側長辺部封止材３１１から、隔壁の端部までの距離ＷＴ１が、対向長辺部封止材３１２から隔壁領域までとの距離ＷＴ２よりも大きくなるように、隔壁領域３３が形成されている。
【００２２】
図３では、隔壁領域３３がストライプ状の隔壁から形成されている。隔壁は、うねりを有するストライプ状でも格子状のものでもよい。図４には、うねりを有するストライプ状の隔壁を模式的に示してある。その隔壁の立体的形状は、たとえば図１に示すように直方体状である。
【００２３】
本発明に係る隔壁領域は、封止材によって封止された内部空間の長方形の長辺と平行関係にある長辺を有する長方形であって、この長方形の内部に隔壁をすべて包含することのできる最小の長方形として規定することができる。図３の符号３３がこの隔壁領域に該当する。何らかの理由で、図５に示すように、隔壁の位置に凸凹がある場合は、図５の隔壁領域３３のようになる。
【００２４】
図３の右上には、本発明に係る、内部空間の周辺部に開口する通気口３４がある。本発明に係る内部空間の周辺部とは、内部空間内にあって、長方形の短辺部側については、その短辺からの距離が、長辺の長さの１／１０以下であり、長方形の長辺部側については、その長辺からの距離が、短辺の長さの１／１０以下であることを意味する。短辺部側と長辺部側との両方について内部空間の周辺部であることもあり得る。
【００２５】
検討の結果、ＷＴ１＞ＷＴ２とすることが、排気コンダクタンスを向上させる上で有利であることが判明した。また、従来は、隔壁が形成された領域である隔壁領域の中心は、隔壁を設けた基板の封止材で囲われた内部空間の中心と一致するように配置してきたが、上記観点からは、このような配置は排気コンダクタンスの上からは好ましいとは言えず、むしろ、通気口側長辺部封止材から見て、隔壁領域の中心が、隔壁を設けた基板の中心より遠い位置に設定した場合が、ＷＴ１＋ＷＴ２を変えることなく排気コンダクタンスをより向上させることができるので好ましいと言える。具体的には、図６−Ａにおけるように、隔壁領域３３の中心Ｙが、基板（この場合は、背面基板３）の封止材で囲われた内部空間の中心Ｘと重なった状態から、図６−Ｂにおけるように、通気口側長辺部封止材３１１から見て、中心Ｙが中心Ｘより遠い位置にあるように隔壁領域３３を配置するのである。このようにすれば、たとえばＷＴ１＋ＷＴ２＝一定のまま、排気コンダクタンスをより向上させることができる。このことは、ガス放電パネルの表示領域の大きさに対する制限を緩和できることにより、パネル特性を向上させたガス放電パネルが実現できることを意味する。
【００２６】
なお、本発明において、「中心」とは、たとえば、図６−Ａ，６−Ｂのように、隔壁領域の中心について言えば、隔壁領域の作る長方形の二つの対角線の交点を意味する。
【００２７】
内部空間は、一般的には、前面基板または背面基板のどちらか一方にフリットガラスを塗布して封止材を形成後、貼り合わせ、加熱することによって造られる。その後、通気口に通気管を取り付け、通気管を真空装置に取り付け、通気管を介して内部空間を真空に引きつつ、パネルを加熱し、内部空間内、主に、前面基板の保護層であるＭｇＯに吸着したガスを取り除き、その後、通気管より放電ガスを導入し、通気管を封止切断することでガス放電パネルが完成する。上記の構成のガス放電パネルを用いると、この真空吸引の際に、大きな排気コンダクタンスが得られる。排気コンダクタンスを１０％以上改善できる場合がある。このため、従来の工程をほとんど改変することなく生産性を向上でき、また、パネル特性を向上させることができる。
【００２８】
ＷＴ１について、後述するように、値を大きくしていくと排気コンダクタンスを急速に大きくでき、その後次第に飽和していくことが見出された。通気口に近い通気口側長辺部封止材から、隔壁の端部までの距離、すなわち上記ＷＴ１は、３ｍｍ以上あることが好ましいことが判明した。ただし、ＷＴ１を大きくしすぎると隔壁領域が狭まり、従って発光領域が狭まるので注意を要する。
【００２９】
通気口側長辺部封止材と隔壁領域との間の領域にある、少なくとも一つの基板部分に、更に凹部を有することが望ましい。後述するようにコンダクタンスは、該当部位の断面積を大きくすることにより大きくすることができるからである。凹部の断面形状はどのようなものでもよい。
【００３０】
さらに、対向長辺部封止材と隔壁領域との間隙にある基板部分にも凹部を有することができる。この場合、通気口側長辺部封止材と隔壁領域との間隙にある基板部分の凹部の平均深さが、対向長辺部封止材と隔壁領域との間の領域にある基板部分の凹部の平均深さより大きいことが好ましい。対向長辺部封止材と隔壁領域との間の領域にある基板部分の凹部は、内部空間の体積を増加させる負担が大きい場合があるからである。凹部の立体形状が直方体または若干の丸みを帯びた直方体である場合には、凹部の全容積をその開口面積で除して平均深さを決めることができる。
【００３１】
また、通気口側長辺部封止材と隔壁領域との間の領域にある基板部分の凹部の深さおよび対向長辺部封止材と隔壁領域との間の領域にある基板部分の凹部の深さの少なくともいずれか一方が２０μｍ以上の深さを有することが好ましいことが判明した。
【００３２】
なお、短辺部側にも凹部を設けてもよいが、排気すべきガス量が多くなる割りには排気コンダクタンスが大きくならない場合もあるので注意が必要である。
【００３３】
また、従来、アドレス電極とその給電配線とは、隔壁を形成する前に基板上に配されるのが普通であるが、その場合には、通気口に近い長辺部側にアドレス電極への給電配線があると、通気口側長辺部封止材と隔壁領域との間の領域に凹部を設けることが難しくなる。また、隔壁を形成した後でアドレス電極や給電配線を基板上に形成しようとすると凹部の複雑な形状に対応した配線形成技術が必要になり、工程が煩雑になる。従って、この観点からは、アドレス電極への給電配線を対向長辺部側に備えることが好ましい。
【００３４】
なお、対向長辺部封止材と隔壁領域との間隙にある基板部分にも凹部を有するようにする場合には、上記問題を避けることができない。しかしながら、このような場合には、対向長辺部封止材と隔壁領域との間にある領域の基板部分の凹部が、隔壁領域から対向長辺部封止材に向けて次第に深くなる部分を有するようにすることで問題を軽減できる。たとえば、隔壁領域から、緩やかな坂状の部分を介して凹部が形成されていれば、アドレス電極と給電配線とが同一平面状になくとも、スパッタリングやメッキによる電極／配線の形成が容易になるからである。坂の勾配としては６０°以下が好ましい。
【００３５】
これらの凹部を作製する場合には、隔壁領域と凹部とを同時に形成するのが合理的である。通気口側長辺部側にアドレス電極への給電配線がない場合には、前もってアドレス電極への給電配線が形成されていたとしても、問題なく、隔壁領域と凹部とを同時に形成できる。また、前もってアドレス電極や給電配線が形成されていなければ、隔壁領域と凹部とを同時に形成することにより、隔壁領域と凹部との境界域のスムーズな連結が可能となり、その後のアドレス電極や給電配線の形成が容易になる。特に、隔壁領域から、対向長辺部の封止材に向けて次第に深くなる部分を有するようにしておけば、アドレス電極や給電配線の形成がより容易になる。隔壁領域や凹部の形成には、サンドブラストまたはエッチングを採用することが好ましい。
【００３６】
上記のようにして、ガス放電パネル内に紫外線発光用ガスを封入する前の排気に際し、大きな排気コンダクタンスを確保できる新しいガス放電パネル製造技術を提供できる。具体的には、従来の工程をほとんど改変することなく排気コンダクタンスを１０％以上向上させることが期待できる。また、表示領域の大きさに対する制限を緩和できることに伴い、パネル特性を向上させたガス放電パネルを実現できる。
【００３７】
このガス放電パネルを使用すれば、フラットディスプレーテレビジョン装置等のガス放電パネル表示装置を製造するに際し、製造コストの低減や歩留まり向上が可能となる。また、製造工程が容易であることから、ガス放電パネル表示装置の品質向上が期待される。
【実施例】
【００３８】
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明する。なお、以下において、
ＷＴ１：通気口に近い基板長辺部の封止材から、隔壁の端部までの距離
ＷＴ２：対向長辺部封止材から、隔壁の端部までの距離
Ｗｓ：基板の短辺部における封止材のから、隔壁までの距離
と定義する。
【００３９】
［実施例１］
本例は、ＰＤＰにおけるＷＴ１＞ＷＴ２の配置例である。図３は本例の形態の模式的平面図である。ＷＴ１を、ＷＴ２よりも広い構造にすることで、パネルの排気コンダクタンスを向上して排気効率を改善できる。ＷＴ２およびＷＴｓを変化させても、パネルの排気コンダクタンスはほとんど変化しないことがシミュレーションおよび実験結果より判明した。
【００４０】
改善の効果を図７に示す。図７は、ＷＴ２＝１ｍｍと固定した場合のＷＴ１と排気コンダクタンスの相対値との関係をシミュレーションしたものである。この場合の排気コンダクタンス相対値とは、ある条件における排気コンダクタンスを、ＷＴ１＝１ｍｍおよびＷＴ２＝１ｍｍを採用した場合の排気コンダクタンスで除した値を意味する。この図より、ＷＴ１＝ＷＴ２＝１ｍｍとした場合の排気コンダクタンスを１．０とする場合、ＷＴ１を大きくするに従って排気コンダクタンスが改善されることが分かる。また、約１０％以上の改善効果の見込めるＷＴ１≧３ｍｍが有用であることも判明した。なお、本例では、ＷＴ１が４〜５ｍｍ以上で排気コンダクタンスが飽和する傾向を示した。
【００４１】
従来、隔壁領域の中心や内部空間の中心は前面基板や背面基板の中心と一致するように配されてきたが、排気コンダクタンスを考慮すると、たとえば、内部空間の中心はそのままにして、隔壁領域の中心を、通気口側長辺部封止材から見て、前記内部空間の中心より遠い位置になるよう設定することで、ＷＴ１＋ＷＴ２を一定に保ったまま、ＷＴ１を大きくでき、隔壁領域の形状を変更することなく、従って表示領域を狭めることなく、排気コンダクタンスを大きくできることになり、実用上の効果が大きい。また、場合によっては、非表示領域を小さくしつつ排気コンダクタンスを向上させることも可能である。なお、可能ならば、さらに、内部空間の中心を、通気口側長辺部封止材から見て、隔壁領域の中心より近い位置にあるようにすることも有用であり得る。
【００４２】
［実施例２］
本例は、ＰＤＰにおいて、ＷＴ１＞ＷＴ２の条件に加えて、通気口側長辺部封止材と隔壁領域との間の領域にある基板部分に凹部を有し、かつ、アドレス電極への給電配線が、対向長辺部側に備えられた形態についてのものである。
【００４３】
図８−Ａは本発明の実施形態の模式的平面図である。通気口側長辺部封止材近傍の基板をサンドブラスト、エッチングプロセス等により加工し、図８−ＡのＡ−Ａで切断した模式的断面図である図８−Ｂに示すように、凹部８１を形成する。凹部は、図８−Ｂの○で囲まれた部分を取り出した図８−Ｃに示すように、前面基板にあってもよく、前面基板と背面基板の両方にあってもよい。このような凹部の存在により、排気コンダクタンスを大きくすることができる。また、凹部は、図８−Ｄ，Ｅの模式的断面図に示すように、封止材を超えて延在していてもよい。このようにすると、構成を複雑にしないで、凹部を容易に最大限にすることができる。
【００４４】
この場合、アドレス電極の給電配線８２は、対向長辺部封止材３１２側に設けることが好ましい。対向長辺部封止材３１２側には凹部がないため、アドレス電極から給電配線へ、同一面上で配線でき、工程が複雑にならない。
【００４５】
なお、図８−Ｄの模式的断面図のような形状の凹部の場合には、一般的に、このような凹部を角形の導管を直列に連結した形状で近似することができる。その際、分子流領域（１Ｐａのオーダー）の真空度では、図１０に示すような角形導管の排気コンダクタンスＣは、一般的に、以下の数式で表される。
【００４６】
Ｃ＝Ｋ×Ａ×Ｂ2／Ｌ
ここで、Ａは角形導管の幅で、封止材と隔壁領域との間の領域（図８−ＤのＷ）に相当する。Ｂは角形導管の高さで、図８−Ｄでは、凹部の深さＨ１と隔壁の高さＨ２との和に相当する。Ｌは角形導管の長さで、凹部の長さに相当する。Ｋは補正係数である。
【００４７】
この数式からわかるように、導管の高さが高くなると排気コンダクタンスＣは２乗で向上する。Ｈ２をそれぞれ１００μｍ、１５０μｍ、２００μｍにした場合におけるＨ１と排気コンダクタンス相対値との関係を図１１に示す。排気コンダクタンス相対値とは、あるＨ１値を採用した場合の排気コンダクタンスを、Ｈ１が０μｍのときの排気コンダクタンスで除した値を意味する。図１１より、隔壁の高さが高くなるほどＨ１の向上効果は減ってくるが、それでもＨ１が２０μｍ以上あれば、２０％以上排気コンダクタンスを向上させることができることが理解できる。
【００４８】
なお、図８−Ａでは、図面下部にアドレスドライバを有し、図面上部に通気口３４を有した形態を示しているが、上下が逆の形態、すなわち、図面上部にアドレスドライバを有し、図面下部に通気口を有した形態でも同様の効果が得られる。
【００４９】
［実施例３］
本例は、ＰＤＰにおいて、ＷＴ１＞ＷＴ２の条件に加えて、対向長辺部封止材と隔壁領域との間の領域にある基板部分の凹部が隔壁領域から、対向長辺部封止材に向けて次第に深くなる部分を有する例である。
【００５０】
図１２−Ａは本例の模式的斜視図、図１２−Ｂは本例の模式的横断面図である。図１２−Ａ，Ｂに示すような隔壁と凹部とを形成方法として、基板のガラスを直接サンドブラストやエッチングにより、両者を同時に直接切削する方法を採用できる。その際、次第に深くなる部分９１を設ける。具体的には、図１３−Ａの斜視図に示すような通気口３４を有する基板にサンドブラスト等の処理を行うことにより、図１３−Ｂの斜視図に示すように、隔壁と周囲の凹部を作製し、ついで、図１３−Ｃの斜視図に示すように、アドレス配線を形成する。このようにすると、その後、アドレス電極とアドレス電極への給電配線とを同時に形成することで、従来とほとんど変わらないか、より少ない工程で隔壁と電極と給電配線とを形成することができる。
【００５１】
この方法は、実施例１と比較すると、基板を加工する工程が増加するが、排気コンダクタンスの改善効果は大きくなるという利点がある。また、実施例２と比較すると、隔壁を形成するときに同時に削ることができるので、余分な工程数を増やすことなく排気コンダクタンスを向上できるという利点がある。
【００５２】
なお、上記に開示した内容から、下記の付記に示した発明が導き出せる。
【００５３】
（付記１）
対向配置された長辺部と短辺部を有する２枚の基板の周辺を、封止材によって封止し、封止された基板間の内部空間に複数の隔壁を設け、かつ、当該隔壁と前記封止間の領域内で、一方の基板上に通気口を設けたガス放電パネルにおいて、
前記通気口に近い前記基板の一方の長辺部における、前記封止材と隔壁端部までの距離が、当該基板の他方の長辺部における前記封止材から、端部までの距離よりも大きくなるように、前記隔壁を形成したことを特徴とするガス放電パネル。
【００５４】
（付記２）
対向配置された長辺部と短辺部を有する２枚の基板の周辺を、封止材によって封止し、封止された基板間の内部空間に複数の隔壁を設け、かつ、当該隔壁と前記封止間の領域内で、一方の基板上に通気口を設けたガス放電パネルにおいて、
前記通気口に近い基板の長辺部から見て、隔壁形成領域の中心を、前記封止材で封止された内部空間の中心より遠い位置に設定して、前記隔壁を形成したことを特徴とするガス放電パネル。
【００５５】
（付記３）
前記通気口に近い基板の長辺部における封止材から、隔壁端部までの距離が３ｍｍ以上であることを特徴とする付記１または付記２に記載のガス放電パネル。
【００５６】
（付記４）
前記通気口に近い基板の長辺部における封止材と隔壁間の領域内で少なくとも一方の基板上に凹部を設けてなることを特徴とする付記１〜３のいずれかに記載のガス放電パネル。
【００５７】
（付記５）
前記凹部が、隔壁端部から封止材に向けて次第に深くなるように形成されてなることを特徴とする請求項４に記載のガス放電パネル。
【００５８】
（付記６）
アドレス電極への給電配線が、記通気口に近い基板の長辺部と対向する長辺部側に備えられてなることを特徴とした付記４または付記５に記載のガス放電パネル。
【００５９】
（付記７）
前記通気口に近い基板の長辺部に対向する長辺部において、封止材と隔壁間の領域内で少なくとも一方の基板上に凹部を設けてなることを特徴とする付記１〜４のいずれかに記載のガス放電パネル。
【００６０】
（付記８）
前記凹部が、隔壁端部から封止材に向けて次第に深くなるように形成されてなることを特徴とする請求項７に記載のガス放電パネル。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】従来のＰＤＰの一例の模式的分解図を示す
【図２】従来のＰＤＰの一例の模式的横断面図を示す
【図３】ＰＤＰの模式的平面図である。
【図４】うねりを有するストライプ状の隔壁を模式的に示す図である。
【図５】隔壁の位置に凸凹がある場合に、隔壁領域を決める方法を示す模式図である。
【図６−Ａ】隔壁領域の中心Ｙと隔壁を設けた基板の封止材で囲われた内部空間の中心Ｘの関係を示す模式図である。
【図６−Ｂ】隔壁領域の中心Ｙと隔壁を設けた基板の封止材で囲われた内部空間の中心Ｘの関係を示す他の模式図である。
【図７】ＷＴ１と排気コンダクタンスの相対値との関係をシミュレーションした結果を示すグラフである。
【図８−Ａ】本発明の実施形態（ＰＤＰ）の模式的平面図である。
【図８−Ｂ】図８−ＡのＡ−Ａで切断した模式的断面図である。
【図８−Ｃ】図８−Ｂの○で囲まれた部分を取り出した図である。
【図８−Ｄ】図８−Ｂの○で囲まれた部分を取り出した図である。
【図８−Ｅ】図８−Ｂの○で囲まれた部分を取り出した図である。
【図９】従来のＰＤＰ構造例を示した模式的平面図である。
【図１０】角形導管の図である。
【図１１】Ｈ１と排気コンダクタンス相対値との関係を示すグラフである。
【図１２−Ａ】実施例３のＰＤＰの模式的斜視図である。
【図１２−Ｂ】実施例３のＰＤＰの模式的横断面図である。
【図１３−Ａ】実施例３の構成を作製する前の基板を示す斜視図である。
【図１３−Ｂ】図１３−Ａの基板にサンドブラスト等の処理を施した後の基板を示す斜視図である。
【図１３−Ｃ】図１３−Ｂの基板上にアドレス電極を形成した様子を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６２】
１    ＰＤＰ
２    前面基板
３    背面基板
４    表示電極
５    誘電体層
６    保護層
７    アドレス電極
８    誘電体層
９    隔壁
１０  蛍光体層
１１  放電空間
３１  封止材
３２  内部空間
３３  隔壁領域
３４  通気口
３１１  通気口側長辺部封止材
３１２  対向長辺部封止材
８１  凹部
８２  アドレス電極の給電配線
９１  次第に深くなる部分
【図１】
2006019168.tif 000002
【図２】
2006019168.tif 000003
【図３】
2006019168.tif 000004
【図４】
2006019168.tif 000005
【図５】
2006019168.tif 000006
【図６−Ａ】
2006019168.tif 000007
【図６−Ｂ】
2006019168.tif 000008
【図７】
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【図８−Ａ】
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【図８−Ｂ】
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【図８−Ｃ】
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【図８−Ｄ】
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【図８−Ｅ】
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【図９】
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【図１０】
2006019168.tif 000016
【図１１】
2006019168.tif 000017
【図１２−Ａ】
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【図１２−Ｂ】
2006019168.tif 000019
【図１３−Ａ】
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【図１３−Ｂ】
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【図１３−Ｃ】
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