(57)【要約】【課題】ワークを真空吸着して保持する装置であって、ワークを吸引していない吸引孔を自動的に閉塞し、ワークと吸着口との気密を確保してより高い吸引力を発生させる。【解決手段】吸着保持装置１０の吸着ステージ１２に設けた吸引孔１２ａに吸気バルブ１５を備えた。吸気バルブ１５は、真空室１２ｃに連通する弁室３２を内部に形成するとともに、該弁室３２に連通する吸着口３８をワーク吸着側端面に開口するピストン３０と、該ピストン３０をその一部がワーク吸着側端部より突出した状態で摺動可能に内挿するシリンダ２０と、弁室３２に形成された弁座３１に離接可能であって、弁座３１に着座した状態で少なくともその一部が吸着口３８よりワーク吸着側へ突出する球体４５と、球体４５を弁座３１に着座する方向へ付勢する付勢バネ４０とで構成した。吸着口３８を設けたピストン３０の端面において、該吸着口３８の周囲にＯリング４２を備えた。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージに、真空室と、該真空室に連通されるとともにステージ面に開口する吸引孔とを設けた吸着保持装置において、
前記吸引孔に、該吸引孔を開閉する閉方向に付勢された弁体を備えた吸気バルブを設け、
前記ステージ上に載置されたワークが弁体に当接することにより、該弁体が付勢力に抗して開くように構成する
ことを特徴とする吸着保持装置。
【請求項２】
前記吸気バルブを、
前記吸引孔に嵌設されたシリンダと、
前記シリンダにワークに対して近接する方向に摺動可能に内挿されたピストンと、
前記ピストン内に設けられ、ピストンのワーク吸着側端面に開口する吸着口と真空室とに連通された弁室と、
前記弁室に備えられた球状の弁体とで構成し、
前記ピストンを、その一部がシリンダのワーク吸着側端面より突出するように付勢するとともに、前記弁体を、その一部がピストンの吸着口より突出して該吸着口を閉塞するように付勢する、
請求項１に記載の吸着保持装置。
【請求項３】
前記ピストンの、吸着口を設けたワーク吸着側端面において、
前記吸着口を包囲する弾性部材を備える、
請求項２に記載の吸着保持装置。
【請求項４】
前記弁室内に弁体の略全体が入った状態からの、該弁体の真空室側への移動を規制するストッパを弁室に備える、
請求項２又は請求項３に記載の吸着保持装置。
【請求項５】
前記ステージに、複数の吸引孔を散点して配置し、各吸引孔に前記吸気バルブを設ける、
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の吸着保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多様な形状のワークを吸着保持する吸着保持装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、種々のワーク（被吸着物）を吸着することによりステージに保持させる吸着保持装置が知られている。吸着ステージは、自動機器のパーツ、プリント基板、梱包材等の搬送具や、半導体ウエハの検査治具等として用いられている。
【０００３】
一般に、吸着保持装置は、ワークを保持させるステージと、該ステージの内部に形成された真空室と、該真空室に真空（負圧）を形成する真空装置などで構成され、ステージには、真空室と連通される複数の吸引口が開口される。吸着保持装置では、負圧となっている真空室によって吸引口に吸引力が発生し、ワークが該吸引口に吸着（又は吸引）されることにて、ステージにワークが保持される。
【０００４】
上述のような吸着保持装置の場合、ステージに保持させるワークの形状によっては、幾つかの吸引口がワークで覆われないことがある。このような場合、使用されない（ワークを吸引していない）吸引口より真空室へ大量の空気を吸入し、真空度の低下によって、吸引力の低下を招くこととなる。そこで、従来、吸着保持装置においてワークを吸着しない吸引口から空気を吸入しないための構造が提案されている。例えば、特許文献１や特許文献２に記載の技術である。
【０００５】
特許文献１では、ステージと真空室とに開口された吸引口に、弾性変形可能な環状の弁座と、該弁座に載置された球状の弁体とが配置され、弁の両側の空気圧差が大きくなるほど絞り量が大きくなる絞り弁が形成されて、これにより、使用されない吸引口が弁体に閉塞される技術が公開されている。
【０００６】
また、特許文献２では、吸引口と真空室との間がＳ字状に彎曲した吸気道にて連結され、該吸気道に球体と該球体が移動する上下方向の球体移動部が形成されて、ワークを吸引している吸引口では、球体の自重により球体が球体移動部の下部に着座し、球体と球体移動部との間隙を通じて吸気道が開放され、使用されない吸引口では、球体が真空室の負圧により該真空室側へ移動して球体移動部の上部に着座して、球体によって吸気道が閉塞される技術が公開されている。
【特許文献１】特開昭６４−１３１３３号公報
【特許文献２】特開平５−６９３６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のような吸着保持装置において、ワークに対して吸引力をより有効に作用させ、ワークをより大きな吸着力でステージに固定するためには、ワークと吸引口との間から、余分な外気の吸引が少ない方が好ましい。吸引口の吸引力が増大すれば、吸着保持装置に吸着可能なワークは、板やシート状や、小型パーツなどの、小軽量物に限定されず、シリンダブロックなどのより重量物とすることも可能となる。
【０００８】
しかし、上記特許文献１や特許文献２に記載の技術では、ワークに塞がれている吸引口であっても、ワークの表面形状によっては、ワークと吸引口との間に間隙が生じることになり、この間隙から不要に空気が吸引され、吸引力が低下するという不具合がある。
【０００９】
また、上記特許文献１や特許文献２に記載の技術では、通常弁体は開かれ、真空室が減圧されたときに、ワークに塞がれていない吸引口においては弁体が吸引口を塞ぐ構造となっている。従って、真空室が減圧されてから吸引口が弁体で閉じられるまでの間は、ワークに塞がれていない吸引口から真空室側への気体の吸引が行われる。
【００１０】
そこで本発明では、上記従来技術に鑑み、ワークを真空吸着して保持する装置であって、使用されない（ワークを吸引していない）吸引口は予め閉塞されて、吸引の初期においても無駄に気体を真空室側へ吸引することがなく、また、ワークと吸着口との間からの真空室側への気体の吸引を抑制してより高い吸引力を発生させることが可能であって、さらに、多様な形状のワークを吸着保持可能であるものの構造について提案する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１２】
即ち、請求項１においては、ステージに、真空室と、該真空室に連通されるとともにステージ面に開口する吸引孔とを設けた吸着保持装置において、前記吸引孔に、該吸引孔を開閉する閉方向に付勢された弁体を備えた吸気バルブを設け、前記ステージ上に載置されたワークが弁体に当接することにより、該弁体が付勢力に抗して開くように構成するものである。
【００１３】
請求項２においては、前記吸気バルブを、前記吸引孔に嵌設されたシリンダと、前記シリンダにワークに対して近接する方向に摺動可能に内挿されたピストンと、前記ピストン内に設けられ、ピストンのワーク吸着側端面に開口する吸着口と真空室とに連通された弁室と、前記弁室に備えられた球状の弁体とで構成し、前記ピストンを、その一部がシリンダのワーク吸着側端面より突出するように付勢するとともに、前記弁体を、その一部がピストンの吸着口より突出して該吸着口を閉塞するように付勢するものである。
【００１４】
請求項３においては、前記ピストンの、吸着口を設けたワーク吸着側端面において、前記吸着口を包囲する弾性部材を備えるものである。
【００１５】
請求項４においては、前記弁室内に弁体の略全体が入った状態からの、該弁体の真空室側への移動を規制するストッパを弁室に備えるものである。
【００１６】
請求項５においては、前記ステージに、複数の吸引孔を散点して配置し、各吸引孔に前記吸気バルブを設けるものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１８】
請求項１においては、ワークをステージに載置することにて、吸気バルブの弁体が開いて吸引孔を開放させるので、ワークが当接しない吸気バルブでは、吸引孔が閉塞された状態が保持され、ワークを吸引している吸引孔における吸引力の低下を抑制することができる。また、ワークが当接することにて弁体が操作されるので、吸引孔は予め閉塞されて吸引の初期においても無駄に気体を真空室側へ吸引することがなく、吸引孔における吸引力をワーク載置後即時に発生させることができる。
【００１９】
請求項２においては、ワークをステージに載置することにて、ワークが弁体に当接して弁を開き、吸引孔を開放させる。従って、ワークが当接しない吸気バルブでは、吸引孔が閉塞された状態が保持されるので、ワークを吸引している吸引孔における吸引力の低下を抑制することができる。また、吸引孔が開放されれば、吸着口に発生した吸引力により吸着口にワークが吸着され、吸気バルブは吸盤としても機能する。
【００２０】
請求項３においては、ワークをステージに載置することにて、ワークの自重によりワークとピストンとの間のＯリング等の弾性部材が押し潰され、ワークと吸着口との間の気密性が確保される。従って、吸着口より不要に気体を吸入することが無く、吸引力（吸着力）を効果的にワークに作用させることができ、また、その低下を抑制することができる。
【００２１】
請求項４においては、ストッパにより弁体が必要以上に深く押し込まれることがないので、素早く弁を閉じることができ、無駄な外気の吸引を抑制することができる。
【００２２】
請求項５においては、ステージに設けた各吸引孔は吸気バルブにて独立して開閉されるので、様々な形状のワークを吸着保持装置にて吸着保持可能とできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に、発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の実施例に係る吸着保持装置の全体的な構成を示した平面図、図２は吸着保持装置の全体的な構成を示した側面図、図３は吸気バルブの構造を示す側断面図である。図４は吸着口を開放した吸気バルブの様子を示す側断面図、図５は吸着口を開放した吸気バルブの様子を示す側断面図である。
図６は別形態の吸気バルブを備えた吸着保持装置の全体的な構成を示した平面図、図７は別形態の吸気バルブの構造を示す側断面図である。
【００２４】
本発明の実施例に係る吸着保持装置１０について説明する。
図１及び図２に示すように、吸着保持装置１０は、ワーク９を吸着保持する吸着ステージ１２に、複数の吸気バルブ１５・１５・・・と基準座１１・１１・・・とを備えたものである。
【００２５】
吸気バルブ１５は吸着ステージ１２に設けられた吸引孔１２ａに嵌設され、該吸引孔１２ａの開閉を行うものである。また、図３にも示すように、吸気バルブ１５は吸着口３８を具備し、ワーク９は該吸着口３８に吸着されることにて、吸着ステージ１２に保持される。すなわち、吸気バルブ１５には、ワーク９を吸引する吸引孔１２ａの開閉機能と、ワーク９を吸着する、いわゆる、吸着盤としての機能とが具備される。
【００２６】
基準座１１は、吸着ステージ１２のステージ面（吸気バルブ１５や基準座１１が備えられる吸着ステージ１２の一面）と、吸着ステージ１２に吸着保持されるワーク９との距離を定めるものであり、また、吸着ステージ１２にワーク９が吸着保持されている際に吸着保持装置１０において該ワーク９の支持点となるものである。
基準座１１に当接したワーク９は、該基準座１１にて吸着ステージ１２側への移動が規制されることとなり、吸着ステージ１２とワーク９との間に、基準座１１にて定められる所定の離間距離が保持される。
【００２７】
前記基準座１１は、吸着ステージ１２上であって、吸気バルブ１５と重複しない位置に配置され、吸着ステージ１２に対して着脱可能に固定される。ワーク９の形状に応じて、基準座１１を、大きさの異なるものと交換したり、数を増減したり、配置を変更したりすることによって、一台の吸着保持装置１０にて、様々な形状のワーク９を吸着保持することができる。
【００２８】
なお、図１乃至図３に示す吸着保持装置１０では、吸気バルブ１５と基準座１１とを別体としているが、吸気バルブ１５に基準座１１を一体的に設けて、部品点数の削減を図ることもできる。
例えば、図６及び図７に示すように、吸気バルブ１５の移動しない部分（後述するシリンダ２０などの不動部分）に基準座１１ａ・１１ａ・・・を設けることができる。
また、このように吸気バルブ１５に一体的に設けた基準座１１ａに加え、凹部などのワーク９の特殊形状部分に対応する吸着ステージ１２の部分に吸気バルブ１５とは別体の基準座１１を備えることもできる。
【００２９】
前記吸着ステージ１２の内部には、真空室１２ｃが形成され、吸着ステージ１２のワークを吸着保持する面（ステージ面）には、吸気バルブ１５を嵌設する複数の吸引孔１２ａが形成される。真空室１２ｃと各吸引孔１２ａ・１２ａ・・・との間は吸気路１２ｂにて接続され、また、真空室１２ｃは、真空発生装置１３と接続される。
真空発生装置１３にて真空室１２ｃの気体が強制的に排出されて、真空室１２ｃ内が負圧となることにより、該真空室１２ｃと連通された吸引孔１２ａも負圧となり、該吸引孔１２ａに嵌設された吸気バルブ１５の吸着口３８に吸引力が発生する。
【００３０】
吸着保持装置１０では、多様な形状のワーク９を吸着保持可能とするために、吸気バルブ１５は吸着ステージ１２上に散点するように配置される。これにより、ワーク９を吸着する吸着口３８が吸着ステージ１２上に散在することになり、ワーク９がこの散在する吸着口３８のうち少なくともいずれか一つに吸着されれば、ワーク９を吸着ステージ１２に吸着保持することが可能であり、一台の吸着保持装置１０でワーク９の大小や外形に拘わらず多様なワーク９を吸着保持することができる。
【００３１】
ここで、前記吸気バルブ１５の構造について詳細に説明する。
【００３２】
吸気バルブ１５は、吸着ステージ１２の吸引孔１２ａに嵌設されたシリンダ２０と、該シリンダ２０に摺動可能に内挿されたピストン３０と、該ピストン３０内に形成された弁室３２と、該弁室３２に内挿された弁体としての球体４５等で構成される。
ワーク９を吸着する吸着口３８は、ピストン３０の一側端面に形成されるとともに弁室３２に開口される。
【００３３】
前記シリンダ２０には、吸着ステージ１２の吸引孔１２ａに埋入される胴部２１と、該胴部２１より大径であって吸着ステージ１２上に露出する頭部２３とが一体的に構成される。シリンダ２０の胴部２１の外周には雄螺子２６が形成され、一方、吸着ステージ１２の吸引孔１２ａの内周には雌螺子が形成され、前記胴部２１が吸引孔１２ａに螺入されることにて、吸着ステージ１２に吸気バルブ１５が螺結される。
【００３４】
上述のように吸着ステージ１２に固定された吸気バルブ１５では、シリンダ内周２２の空間と真空室１２ｃとが吸気路１２ｂを介して連通される。シリンダ２０の外周においては、前記吸引孔１２ａの内周と胴部２１の外周との間にＯリング４３が介装され、吸引孔１２ａと吸気バルブ１５との気密性が確保される。これにより、吸引孔１２ａの内周と胴部２１の外周との間からの吸引孔１２ａへの気体の吸入が抑制される。
【００３５】
なお、前記吸着ステージ１２より突出したシリンダ２０の頭部２３には、冷却路２５が形成され、該冷却路２５は吸着ステージ１２に形成された冷却路１２ｄと連通される。これらの冷却路２５及び冷却路１２ｄには、冷媒が導通されて、吸着ステージ１２及び吸気バルブ１５が冷却される。
【００３６】
上記シリンダ２０には、ピストン３０が内挿される。
ピストン３０は、ピストン外周３６がシリンダ内周２２に接しながら、シリンダ２０の筒方向に摺動することができる。
【００３７】
前記吸引孔１２ａに埋入されたシリンダ２０の端部には、スナップリング４４が移動不能に嵌設され、シリンダ内周２２においてスナップリング４４とピストン３０との間に付勢部材としての付勢バネ４１が設けられる。
前記付勢バネ４１にて、ピストン３０は、その一部がシリンダ２０のワーク吸着側の端面より突出した状態に保持されるとともに、ワーク吸着側へ移動するように付勢される。なお、ここで「ワーク吸着側」とは、吸着保持装置１０においてワーク９を吸着保持した際に、該ワーク９が存在する一側とする。
【００３８】
また、上記のようにワーク吸着側へ付勢されたピストン３０のワーク９側への移動を規制するための機構が、シリンダ内周２２とピストン３０外周との間に設けられる。
シリンダ内周２２において、吸気路１２ｂ側の内周径が反対側に対して大径とされて、この径が変化する部分の形状がピストン座２４とされる。一方、ピストン３０の外周において、少なくとも一部に大径部分が形成され、この径が変化する部分の形状が移動規制部３７とされる。そして、移動規制部３７がピストン座２４に当接することにて、ピストン３０のワーク９側への移動が規制される。
【００３９】
前記ピストン３０には、ワーク９に当接するワーク吸着側の端面に、吸着口３８が形成される。
【００４０】
上記吸着口３８が形成されたピストン３０の端面において、該吸着口３８の周囲に環状溝３５が形成され、該環状溝３５に弾性部材としてのＯリング４２が嵌設される。すなわち、吸着口３８は、Ｏリング４２に包囲される。
これにより、ワーク９とピストン３０とが接する際に、ワーク９とピストン３０との間にＯリング４２が介在することで、ワーク９と吸着口３８との気密性が高められる。
【００４１】
前記ピストン３０の内部には弁室３２が形成される。
前記弁室３２の一側において吸着口３８が開口され、他側においてシリンダ内周２２の空間と連通する通気路３３が開口される。弁室３２は、通気路３３、シリンダ内周２２（、吸引孔１２ａ）、吸気路１２ｂを介して、真空室１２ｃと連通される。すなわち、弁室３２は吸着口３８と真空室１２ｃと双方に連通されることとなる。
【００４２】
また、前記弁室３２において、吸着口３８の室内側に弁座３１が設けられる。
前記弁座３１に、弁体である球体４５が当接することにて弁が閉じられ、また、弁座３１と弁室３２とが離れることにて弁が開かれる。弁が開閉されることにて、吸引孔１２ａの開閉が為され、弁が開かれれば、吸引孔１２ａが開放され、吸着口３８と真空室１２ｃとが連通され、吸着口３８に吸引力が発生する。
【００４３】
また、前記弁室３２には、弁室３２内に球体４５の略全体が入った状態からの、該球体４５の真空室側への移動を規制するためストッパ３４が形成される。
ストッパ３４は、弁室３２内部の球体４５を介して吸着口３８と反対側に設けられ、円柱状に形成される。
【００４４】
そして、前記ストッパ３４には付勢部材としての付勢バネ４０が外装され、該付勢バネ４０にて球体４５が弁座３１に当接する方向、すなわち、弁が閉じられる方向に付勢される。弁が閉じられる方向に付勢された球体４５は、その一部が吸着口３８より突出することができるように大きさが決定される。
なお、付勢バネ４０の付勢力は、真空室１２ｃにより吸着口３８に発生する吸引力以上であって、ワーク９の載置されていない吸気バルブ１５では、球体４５は弁座３１に当接して弁を閉じた状態が保持される。
【００４５】
続いて、吸着保持装置１０の吸気バルブ１５の動作について説明する。
【００４６】
ワーク９を吸着していない待機状態の吸着保持装置１０において、吸着ステージ１２に形成された真空室１２ｃは、真空発生装置１３により強制的に排気され、真空室１２ｃ、吸気路１２ｂ、吸引孔１２ａ内のシリンダ内周２２及び弁室３２はいずれも負圧となっている。
【００４７】
一方、待機状態の吸気バルブ１５では、図３に示すように、球体４５が弁座３１に着座し、吸引孔１２ａは閉塞され、該球体４５の一部がピストン３０の端部にある吸着口３８よりワーク吸着側へ突出している。また、前記ピストン３０は、シリンダ２０の頭部２３よりも、その一部がワーク吸着側へ突出している。また、基準座１１の端面よりもピストン３０の端面の方が、吸着ステージ１２に対してワーク吸着側に位置している。
【００４８】
従って、待機状態にある吸気バルブ１５では、球体４５の頂点、ピストン３０の端面、基準座１１の端面の順に、吸着ステージ１２に対してワーク吸着側に位置し、ワーク９が吸着される過程において、吸着ステージ１２のステージ面より離れた位置にあるものから順にワーク９に当接することとなる。
【００４９】
図４に示すように、ワーク９を吸着ステージ１２に載置すれば、まず、球体４５がワーク９に当接し、ワーク９の自重により付勢バネ４０が押し縮められ球体４５が付勢力に抗して弁室３２内へ移動し、弁座３１と球体４５とが離れて吸引孔１２ａが開放される。
このとき、吸引孔１２ａ内の弁室３２は負圧となっているので、吸着口３８に吸引力が発生してワーク９が吸引される。
【００５０】
さらに球体４５が弁室３２内に移動し、やがて、ストッパ３４に当接する。
このストッパ３４により、球体４５が必要以上に深く弁室３２に押し込まれることがないので、ワーク９と吸着口３８とを素早く密着させることができ、吸着口３８より無駄な外気の吸引を抑えることができる。
【００５１】
そして、ストッパ３４により、球体４５の移動が規制されたのちも、ワーク９の自重や吸引により、更にワーク９が吸着ステージ１２側に移動する。
このとき、ワーク９によりピストン３０が押圧されて付勢バネ４１が縮み、ピストン３０は付勢バネ４１の付勢力に抗してシリンダ２０の中へ、ワーク９が基準座１１に当接するまで移動する（図５）。
【００５２】
上記のように、球体４５やピストン３０が移動するとき、ワーク９がピストン３０の吸着口３８の周囲に設けられたＯリング４２に当接してからは、ピストン３０が付勢バネ４１にてワーク９側へ付勢されているため、ピストン３０とワーク９とが圧着され、また、ワーク９とピストン３０との間にＯリング４２が介装されることによって、ワーク９と吸着口３８との気密性が確保される。
従って、吸気バルブ１５の吸着口３８では、Ｏリング４２の外側からの気体吸入が抑止されて、吸着口３８の吸引力を低下させることがなく、ワーク９が吸着口３８に強力に吸着される。
【００５３】
なお、上述のように、ワーク９が吸気バルブ１５の吸着口３８に吸着された状態となれば、吸着ステージ１２を傾けたり、回転させたりしても、ワーク９は吸着ステージ１２に吸着された状態に保持することも可能となる。
【００５４】
上記構成の吸気バルブ１５を備えた吸着保持装置１０では、ワーク９が吸気バルブ１５に当接することにより、吸引孔１２ａが開放され、吸着口３８にワーク９が吸引されるので、ワーク９が当接しない吸気バルブ１５では、吸引孔１２ａが閉塞された状態が保持される。
従って、ワーク９を吸引しない吸引孔１２ａより、真空室１２ｃに不要に外気を吸引することがなく、開放している吸引孔１２ａの吸着口３８においては、高い吸引力を保持することができる。
【００５５】
また、上記構成の吸気バルブ１５を備えた吸着保持装置１０では、各吸気バルブ１５によって、吸着ステージ１２に形成された各吸引孔１２ａが独立して開閉される。
従って、ワーク９の吸着ステージ１２への設置面に凹凸があっても、また、ワーク９の外周形状が複雑なものであったとしても、ワーク９に当接しない吸気バルブ１５が備えられた吸引孔１２ａは閉塞が保持され、ワーク９に当接する吸気バルブ１５の吸着口３８に該ワーク９が吸着されることにて、ワーク９は吸着ステージ１２に吸着保持される。このように、本発明に係る吸気バルブ１５を備えた吸着保持装置１０においては、一台で様々な形状のワーク９を吸着保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施例に係る吸着保持装置の全体的な構成を示した平面図。
【図２】吸着保持装置の全体的な構成を示した側面図。
【図３】吸気バルブの構造を示す側断面図。
【図４】吸着口を開放した吸気バルブの様子を示す側断面図。
【図５】吸着口を開放した吸気バルブの様子を示す側断面図。
【図６】別形態の吸気バルブを備えた吸着保持装置の全体的な構成を示した平面図。
【図７】別形態の吸気バルブの構造を示す側断面図。
【符号の説明】
【００５７】
９  ワーク
１０  吸着保持装置
１１  基準座
１２  吸着ステージ
１２ａ  吸引孔
１３  真空発生装置
１５  吸気バルブ
２０  シリンダ
２２  シリンダ内周
３０  ピストン
３１  弁座
３２  弁室
３８  吸着口
４５  球体
【図１】
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【図２】
2006319182.tif 000004
【図３】
2006319182.tif 000005
【図４】
2006319182.tif 000006
【図５】
2006319182.tif 000007
【図６】
2006319182.tif 000008
【図７】
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