(57)【要約】【課題】  高い０次光透過率を有しかつ加工による構造高さ誤差に対して０次光透過率の安定性が向上した構造性複屈折波長板及び波長板組合せ構造を提供する。【解決手段】  この構造性複屈折波長板１は、柱状部６と溝部６’とが周期的に繰り返して構成される凹凸周期構造を有し、柱状部の先端及び溝部の底部の少なくとも一方が平坦部１３を有する台形形状に構成されている。【選択図】  図１
2006323059.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
柱状部と溝部とが周期的に繰り返して構成される凹凸周期構造を有し、
前記柱状部の先端及び溝部の底部の少なくとも一方が平坦部を有する台形形状に構成されていることを特徴とする構造性複屈折波長板。
【請求項２】
前記柱状部の先端が平坦部を有し、前記溝部が前記平坦部から前記底部に向けて徐々に狭くなるようにほぼ三角形状である請求項１に記載の構造性複屈折波長板。
【請求項３】
前記溝部の底部が平坦部を有し、前記柱状部が前記平坦部から前記先端に向けて徐々に狭くなるようにほぼ三角形状である請求項１に記載の構造性複屈折波長板。
【請求項４】
前記柱状部の先端及び前記溝部の底部がそれぞれ平坦部を有する請求項１に記載の構造性複屈折波長板。
【請求項５】
前記凹凸周期構造の構造周期をＰ、構造高さをＨ、前記柱状部の平坦部の幅をＬ１としたとき、次式（１）、（２）を満足する請求項１乃至４のいずれか１項に記載の構造性複屈折波長板。
Ｐ≦λ／ｎのとき、0.16≦Ｈ／λ  かつ  0＜Ｌ１／Ｐ≦0.55      （１）
Ｐ＞λ／ｎのとき、0.85≦Ｈ／λ  かつ  0＜Ｌ１／Ｐ≦0.55      （２）
但し、Ｐ＜λ
λ：使用波長
ｎ：使用波長λにおける波長板の材料の屈折率
【請求項６】
前記凹凸周期構造の構造周期をＰ、構造高さをＨ、前記柱状部の平坦部の幅をＬ１としたとき、次式（３）、（４）を満足する請求項１乃至５のいずれか１項に記載の構造性複屈折波長板。
Ｐ≦λ／ｎのとき、0.22≦Ｈ／λ≦3.7  かつ  0＜Ｌ１／Ｐ≦0.35      （３）
Ｐ＞λ／ｎのとき、1.15≦Ｈ／λ≦3.7  かつ  0＜Ｌ１／Ｐ≦0.35      （４）
但し、Ｐ＜λ
λ：使用波長
ｎ：使用波長λにおける波長板の材料の屈折率
【請求項７】
前記凹凸周期構造の構造周期をＰ、構造高さをＨ、前記溝部の平坦部の幅をＬ２としたとき、次式（５）、（６）を満足する請求項１乃至６のいずれか１項に記載の構造性複屈折波長板。
Ｐ≦λ／ｎのとき、0.17≦Ｈ／λ  かつ  0＜Ｌ２／Ｐ≦0.2          （５）
Ｐ＞λ／ｎのとき、1.00≦Ｈ／λ  かつ  0＜Ｌ２／Ｐ≦0.2          （６）
但し、Ｐ＜λ
Ｌ１＋Ｌ２＜Ｐ
λ：使用波長
ｎ：使用波長λにおける波長板の材料の屈折率
【請求項８】
前記凹凸周期構造の構造周期をＰ、構造高さをＨ、前記溝部の平坦部の幅をＬ２としたとき、次式（７）、（８）を満足する請求項１乃至７のいずれか１項に記載の構造性複屈折波長板。
Ｐ≦λ／ｎのとき、0.23≦Ｈ／λ≦3.7  かつ  0＜Ｌ２／Ｐ≦0.1      （７）
Ｐ＞λ／ｎのとき、1.28≦Ｈ／λ≦3.7  かつ  0＜Ｌ２／Ｐ≦0.1      （８）
但し、Ｐ＜λ
Ｌ１＋Ｌ２＜Ｐ
λ：使用波長
ｎ：使用波長λにおける波長板の材料の屈折率
【請求項９】
前記凹凸周期構造は成形金型を用いて樹脂へインプリントすることで形成される請求項１乃至８のいずれか１項に記載の構造性複屈折波長板。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の構造性複屈折波長板を複数組み合わせたことを特徴とする波長板組合せ構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、凹凸周期構造を有する構造性複屈折波長板及び波長板組合せ構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、構造性複屈折波長板は、矩形形状の格子が周期的に並んだ構造を有するものが一般的であった。しかし、このような矩形格子形状によれば、構造周期が波長に対して十分小さくない場合には、１次もしくは高次の回折光が発生してしまうため、高い０次光透過率を得ることは難しかった。また、このときの０次光透過率は構造高さの変化に伴って周期的に変動するため、加工時に発生する構造高さ誤差によって透過率が大幅に減少してしまうことが問題となっていた。
【０００３】
下記特許文献１は、構造周期が波長の１/２以下であり、かつ格子の溝幅が溝の上部で表面方向に向かって広がっているものを提案し（請求項６）、また、波長板が形成されている面とは反対の面に断面が鋸歯状の溝を波長の１/２以下の周期で形成することで光の反射を防止し透過率を向上させている（請求項７）。しかし、下記特許文献１には、透過率の構造高さの変化に伴う周期的変動に関する記載はない。
【特許文献１】特開２００４−１３３２９０号公報（図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、高い０次光透過率を有しかつ加工による構造高さ誤差に対して０次光透過率の安定性が向上した構造性複屈折波長板及び波長板組合せ構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明による構造性複屈折波長板は、柱状部と溝部とが周期的に繰り返して構成される凹凸周期構造を有し、前記柱状部の先端及び溝部の底部の少なくとも一方が平坦部を有する台形形状に構成されていることを特徴とする。
【０００６】
この構造性複屈折波長板によれば、０次光透過率が高く、しかも、０次光透過率の構造高さの変化に伴う周期的変動が少ないので、波長板の加工のときに構造高さ誤差が発生しても、かかる構造高さ誤差に対し０次光透過率が変動せずに安定する。
【０００７】
上記構造性複屈折波長板において前記柱状部の先端が平坦部を有し、前記溝部が前記平坦部から前記底部に向けて徐々に狭くなるようにほぼ三角形状であるように構成できる。
【０００８】
また、前記溝部の底部が平坦部を有し、前記柱状部が前記平坦部から前記先端に向けて徐々に狭くなるようにほぼ三角形状であるように構成できる。
【０００９】
また、前記柱状部の先端及び前記溝部の底部がそれぞれ平坦部を有するように構成できる。
【００１０】
また、前記凹凸周期構造の構造周期をＰ、構造高さをＨ、前記柱状部の平坦部の幅をＬ１としたとき、次式（１）、（２）を満足することで、平均０次光透過率が９８％以上となる。
Ｐ≦λ／ｎのとき、0.16≦Ｈ／λ  かつ  0＜Ｌ１／Ｐ≦0.55        （１）
Ｐ＞λ／ｎのとき、0.85≦Ｈ／λ  かつ  0＜Ｌ１／Ｐ≦0.55        （２）
但し、Ｐ＜λ
λ：使用波長
ｎ：使用波長λにおける波長板の材料の屈折率
【００１１】
更に、次式（３）、（４）を満足することで、平均０次光透過率が９９％以上となる。
Ｐ≦λ／ｎのとき、0.22≦Ｈ／λ≦3.7  かつ  0＜Ｌ１／Ｐ≦0.35      （３）
Ｐ＞λ／ｎのとき、1.15≦Ｈ／λ≦3.7  かつ  0＜Ｌ１／Ｐ≦0.35      （４）
但し、Ｐ＜λ
【００１２】
また、前記凹凸周期構造の構造周期をＰ、構造高さをＨ、前記溝部の平坦部の幅をＬ２としたとき、次式（５）、（６）を満足することで、平均０次光透過率が９８％以上となる。
Ｐ≦λ／ｎのとき、0.17≦Ｈ／λ  かつ  0＜Ｌ２／Ｐ≦0.2          （５）
Ｐ＞λ／ｎのとき、1.00≦Ｈ／λ  かつ  0＜Ｌ２／Ｐ≦0.2          （６）
但し、Ｐ＜λ
Ｌ１＋Ｌ２＜Ｐ
λ：使用波長
ｎ：使用波長λにおける波長板の材料の屈折率
【００１３】
更に、次式（７）、（８）を満足することで、平均０次光透過率が９９％以上となる。
Ｐ≦λ／ｎのとき、0.23≦Ｈ／λ≦3.7  かつ  0＜Ｌ２／Ｐ≦0.1      （７）
Ｐ＞λ／ｎのとき、1.28≦Ｈ／λ≦3.7  かつ  0＜Ｌ２／Ｐ≦0.1      （８）
但し、Ｐ＜λ
Ｌ１＋Ｌ２＜Ｐ
λ：使用波長
ｎ：使用波長λにおける波長板の材料の屈折率
【００１４】
また、前記凹凸周期構造は成形金型を用いて樹脂へインプリントすることで形成されることが好ましい。
【００１５】
本発明による組み合わせ波長板組合せ構造は、上述の構造性複屈折波長板を複数組み合わせたことを特徴とする。
【００１６】
この波長板組合せ構造によれば、複数の構造性複屈折波長板を組み合わせて所望の位相差を得る場合、各構造性複屈折波長板はどの構造高さでもほぼ一定で高い０次光透過率を得ることができるので、位相差の組み合わせのみで各構造性複屈折波長板の構造寸法を決めることができ、設計の自由度が向上する。特に、所望の位相差の半分の位相差が得られる構造性複屈折波長板を２枚組み合わせれば、２枚とも同じ構造寸法のものを使用でき、製造コスト的に有利である。
【００１７】
なお、上記構造性複屈折波長板においてほぼ三角形状であるとは、柱状部・溝部が三角形状となっていること以外に、三角形状の柱状部の先端・三角形状の溝部の底部が丸みを帯びていてもよいことを意味する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の構造性複屈折波長板によれば、高い０次光透過率を有しかつ加工による構造高さ誤差に対して０次光透過率の安定性が向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。
図１乃至図３は、本実施の形態による構造性複屈折波長板１乃至３の要部側断面図である。
【００２０】
図１の構造性複屈折波長板１は、先端に平坦部１３を有する台形形状の柱状部６と、底部１４を有する三角形状に凹んだ溝部６’とからなる凹凸形状が周期的に形成された構造周期Ｐ及び構造高さＨの凹凸周期構造を備えている。台形形状の柱状部６は、その幅が先端の平坦部１３に向かって徐々に狭くなっており、長さがほぼ等しい側面部１１，１２を有する。溝部６’の底部１４は尖った形状となっている。
【００２１】
図２の構造性複屈折波長板２は、先端１５を有する三角形状の柱状部７と、底に平坦部１６を有する台形形状に凹んだ溝部７’とからなる凹凸形状が周期的に形成された構造周期Ｐ及び構造高さＨの凹凸周期構造を備えている。三角形状の柱状部７は、その幅が先端１５に向かって徐々に狭くなっており、長さがほぼ等しい側面部１１，１２を有し、先端１５が尖った形状となっている。
【００２２】
図３の構造性複屈折波長板３は、先端に平坦部１３を有する台形形状の柱状部８と、底に平坦部１６を有する台形形状に凹んだ溝部８’とからなる凹凸形状が周期的に形成された構造周期Ｐ及び構造高さＨの凹凸周期構造を備えている。台形形状の柱状部８は、その幅が平坦部１３に向かって徐々に狭くなっており、長さがほぼ等しい側面部１１，１２を有する。
【００２３】
従来の構造性複屈折波長板の格子構造は図４のような矩形形状であり、ここで構造周期Ｐ、柱幅Ｌ、構造高さＨであるが、図４の格子構造を図１〜図３のように台形形状にすることで、光の反射を低減でき、従来の矩形形状のものよりも高い透過率を得ることができる。
【００２４】
また、図１の構造周期Ｐ（μｍ）、構造高さＨ（μｍ）、柱状部の平坦部１３の幅Ｌ１（μｍ）である構造性複屈折波長板１において、使用波長をλ（μｍ）とし、使用波長λにおける各構造性複屈折波長板１の材料の屈折率をｎとしたとき、上記式（１）、（２）を満足することで、９８％以上の平均０次光透過率を実現でき、更に、上記式（３）、（４）を満足することで、９９％以上の平均０次光透過率を実現できる。
【００２５】
また、図２の構造周期Ｐ（μｍ）、構造高さＨ（μｍ）、溝部の平坦部１６の幅Ｌ２（μｍ）である構造性複屈折波長板２において、使用波長をλ（μｍ）とし、使用波長λにおける構造性複屈折波長板２の材料の屈折率をｎとしたとき、上記式（５）、（６）を満足することで、９８％以上の平均０次光透過率を実現でき、更に、上記式（７）、（８）を満足することで、９９％以上の平均０次光透過率を実現できる。
【００２６】
更に、図３の構造周期Ｐ（μｍ）、構造高さＨ（μｍ）、柱状部の平坦部１３の幅Ｌ１（μｍ）、溝部の平坦部１６の幅Ｌ２（μｍ）である構造性複屈折波長板３において、使用波長をλ（μｍ）とし、使用波長λにおける構造性複屈折波長板３の材料の屈折率をｎとしたとき、上記式（１）、（２）、（５）、（６）を満足することで、９８％以上の平均０次光透過率を実現でき、更に、上記式（３）、（４）、（７）、（８）を満足することで、９９％以上の平均０次光透過率を実現できる。
【００２７】
図５に、図１の構造性複屈折波長板においてλ/Ｐを変えた場合の、Ｈ／λと平均０次光透過率との関係を示す。また、図２１に、図２の構造性複屈折波長板においてλ/Ｐを変えた場合の、Ｈ／λと平均０次光透過率との関係を示す。図５，図２１のグラフからわかるように、λ/Ｐの屈折率ｎに対する大小で、特にＨ／λが小さい値のときの平均０次光透過率の挙動が異なる。図５及び後述の図６〜図８から上記式（１）〜（４）が成立することが分かり、また図２１及び後述の図１０〜図１２から上記式（５）〜（８）が成立することが分かる。なお、屈折率ｎは、１．５０２６６２（λ：４３５．８ｎｍ）、１．４８９４００（λ：６５０ｎｍ）、１．４８６１７４（λ：７８０ｎｍ）とした。
【００２８】
図１〜図３の各構造性複屈折波長板１〜３は、４３５．８ｎｍ，６５０ｎｍ，７８０ｎｍのいずれの波長に対しても透過率向上の効果があるので、広帯域波長板としても有効である。
【００２９】
また、凹凸周期構造を台形形状にすることで、この構造性複屈折波長板を例えばドライエッチングにより作製した成形金型を用いてインプリント成形等で製造する場合、柱幅が徐々に狭くなるので、インプリント成形のときの離型性がよくなり、好ましい。
【実施例】
【００３０】
次に、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。本実施例の構造性複屈折波長板の材料にはＰＭＭＡ樹脂を用い、その屈折率は以下の通りである。
ｎ＝１．５０２６６２（λ：４３５．８ｎｍ）
ｎ＝１．４８９４００（λ：６５０ｎｍ）
ｎ＝１．４８６１７４（λ：７８０ｎｍ）
【００３１】
〈実施例１，２，３（図１）〉
【００３２】
実施例１は図１と同様の台形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、柱状部の平坦部の幅（「柱先端幅」ともいう。以下、同じ。）Ｌ１を１０５ｎｍ（Ｌ１／Ｐ＝０．３５）、波長λを４３５．８ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図６に示す。
【００３３】
実施例２は、柱状部の平坦部の幅Ｌ１を１６５ｎｍ（Ｌ１／Ｐ＝０．５５）とした以外は実施例１と同様の条件であり、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図７に示す。
【００３４】
実施例３は、柱状部の平坦部の幅Ｌ１を２５０ｎｍ（Ｌ１／Ｐ＝０．８３３）とした以外は実施例１と同様の条件であり、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図８に示す。
【００３５】
比較例１は、図４の従来の矩形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、Ｌ／Ｐ（フィリングファクタ）を０．４、波長λを４３５．８ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図９に示す。
【００３６】
図６，図７，図８と図９から分かるように、実施例１，２，３では図１の台形形状にすることで、図４の従来の矩形形状よりも高い０次光透過率を得ることができる。また、図１のＬ１／Ｐで規定される台形度が０．５５以下であれば、平均０次光透過率はほぼ９８％以上となり、０．３５以下であれば、平均０次光透過率はほぼ９９％以上となることが分かる。
【００３７】
〈実施例４，５，６（図２）〉
【００３８】
実施例４は図２と同様の台形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、溝部の平坦部の幅（「溝底幅」ともいう。以下、同じ。）Ｌ２を３０ｎｍ（Ｌ２／Ｐ＝０．１）、波長λを４３５．８ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１０に示す。
【００３９】
実施例５は、溝部の平坦部の幅Ｌ２を６０ｎｍ（Ｌ２／Ｐ＝０．２）とした以外は実施例４と同様の条件であり、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１１に示す。
【００４０】
実施例６は、溝部の平坦部の幅Ｌ２を９０ｎｍ（Ｌ２／Ｐ＝０．３）とした以外は実施例４と同様の条件であり、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１２に示す。
【００４１】
図１０，図１１，図１２と図９から分かるように、実施例４，５，６では図２の台形形状にすることで、図４の従来の矩形形状よりも高い０次光透過率を得ることができる。また、図２のＬ２／Ｐで規定される台形度が０．２以下であれば、平均０次光透過率はほぼ９８％以上となり、０．１以下であれば、平均０次光透過率はほぼ９９％以上となることが分かる。
【００４２】
〈実施例７，８（λ：４３５．８ｎｍ）〉
【００４３】
実施例７は図１と同様の台形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、柱状部の平坦部の幅Ｌ１を６０ｎｍ（Ｌ１／Ｐ＝０．２）、波長λを４３５．８ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１３に示す。
【００４４】
実施例８は図３と同様の台形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、柱状部の平坦部の幅Ｌ１を６０ｎｍ（Ｌ１／Ｐ＝０．２）、溝部の平坦部の幅Ｌ２を６０ｎｍ（Ｌ２／Ｐ＝０．２）、波長λを４３５．８ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１４に示す。
【００４５】
〈実施例９，１０（λ：６５０ｎｍ）〉
【００４６】
実施例９は図１と同様の台形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、柱状部の平坦部の幅Ｌ１を６０ｎｍ（Ｌ１／Ｐ＝０．２）、波長λを６５０ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１５に示す。
【００４７】
実施例１０は図３と同様の台形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、柱状部の平坦部の幅Ｌ１を６０ｎｍ（Ｌ１／Ｐ＝０．２）、溝部の平坦部の幅Ｌ２を６０ｎｍ（Ｌ２／Ｐ＝０．２）、波長λを６５０ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１６に示す。
【００４８】
比較例２は、図４の従来の矩形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、Ｌ／Ｐ（フィリングファクタ）を０．４、波長λを６５０ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１７に示す。
【００４９】
〈実施例１１，１２（λ：７８０ｎｍ）〉
【００５０】
実施例１１は図１と同様の台形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、柱状部の平坦部の幅Ｌ１を６０ｎｍ（Ｌ１／Ｐ＝０．２）、波長λを７８０ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１８に示す。
【００５１】
実施例１２は図３と同様の台形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、柱状部の平坦部の幅Ｌ１を６０ｎｍ（Ｌ１／Ｐ＝０．２）、溝部の平坦部の幅Ｌ２を６０ｎｍ（Ｌ２／Ｐ＝０．２）、波長λを７８０ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図１９に示す。
【００５２】
比較例３は、図４の従来の矩形形状の格子構造であり、構造周期Ｐを３００ｎｍ、Ｌ／Ｐ（フィリングファクタ）を０．４、波長λを７８０ｎｍとしたとき、構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を図２０に示す。
【００５３】
以上の実施例７，８と比較例１，実施例９，１０と比較例２，実施例１１，１２と比較例３から分かるように、実施例７〜１２では図１または図３のような台形形状にすることで、４３５．８ｎｍ、６５０ｎｍ、７８０ｎｍの各波長において図４の従来の矩形形状よりも高い０次光透過率を得ることができる。
【００５４】
また、各比較例１〜３のように図４の従来の矩形形状の格子構造は０次光透過率が構造高さの変化に伴い周期的にかなり変動するのに対し、実施例１〜１２の台形形状の格子構造は、０次光透過率の構造高さに伴う周期的な変動がかなり小さいため、加工による構造高さ誤差に強い波長板を実現できることが分かる。
【００５５】
更に、構造性複屈折波長板を２枚構成で用いる場合、所望の位相差を得るために２枚合わせて所望の位相差となりかつ高い透過率を得られる構造寸法を選ばなくてはならなかったが、実施例１〜１２の波長板の場合は、どの構造高さでもほぼ一定で高い透過率を得ることができるため、位相差の組み合わせのみで構造寸法を選ぶことができる。特に、所望の位相差の半分の位相差が得られる波長板を２枚組み合わせれば、２枚とも同じ構造寸法のものを使用できるため、製造コストにおいても有利となる。
【００５６】
以上のように本発明を実施するための最良の形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能である。例えば、図１〜図３において、一方の側面部１１または１２を他方の側面部１２または１１よりも長く構成してもよく、同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本実施の形態による構造性複屈折波長板１の要部側断面図である。
【図２】本実施の形態による別構成の構造性複屈折波長板２の要部側断面図である。
【図３】本実施の形態による別構成の構造性複屈折波長板３の要部側断面図である。
【図４】従来の構造性複屈折波長板の要部側断面図である。
【図５】図１の構造性複屈折波長板においてλ/Ｐを変えた場合の、Ｈ／λと平均０次光透過率との関係を示すグラフである。
【図６】実施例１における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図７】実施例２における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図８】実施例３における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図９】比較例１における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１０】実施例４における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１１】実施例５における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１２】実施例６における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１３】実施例７における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１４】実施例８における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１５】実施例９における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１６】実施例１０における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１７】比較例２における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１８】実施例１１における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図１９】実施例１２における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図２０】比較例３における構造高さＨ（μｍ）と、ＴＥ０次光透過率、ＴＭ０次光透過率及び位相差との関係を示すグラフである。
【図２１】図２の構造性複屈折波長板においてλ/Ｐを変えた場合の、Ｈ／λと平均０次光透過率との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５８】
１，２，３ 構造性複屈折波長板
６ 柱状部
６’ 溝部
７ 柱状部
７’ 溝部
８ 柱状部
８’ 溝部
１１，１２ 側面部
１３ 柱状部の平坦部
１４ 底部
１５ 先端
１６ 溝部の平坦部
Ｈ 構造高さ
Ｐ 構造周期
Ｌ１ 平坦部１３の幅
Ｌ２ 平坦部１６の幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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