(57)【要約】【課題】  どのような状況においても効果的にアクチュエータに与圧をかけることの出来る微動装置及び光学素子調整装置を提供する。【解決手段】  ピエゾアクチュエータを用いた微動装置において、与圧のかけ方として磁石を用いて天板に荷重をかけることを特徴とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピエゾアクチュエータを用いた微動装置において、与圧のかけ方として磁石を用いて天板に荷重をかけることを特徴とする微動装置。
【請求項２】
ピエゾアクチュエータを用いた微動装置において、与圧のかけ方として磁石を用いて天板に荷重をかけることを特徴とする微動装置と、微動装置により駆動される光学素子とを備えたことを特徴とする光学素子調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密な駆動装置、特に半導体や液晶デバイスを製造する工程において使用する露光装置の光学素子（レンズやミラーなど）の位置、姿勢を微調整するための微動装置及び光学素子調整装置に関する。特に露光装置において、光学素子を原版（マスク、レチクル等）の像を対象物（ウェハ等）に投影露光する際、正確な結像関係を得るために光学素子の位置、姿勢の微調整を行う駆動装置及びそれを用いる露光装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体露光装置は、数多くの異なる種類のパターンを有する原版（レチクル）をシリコンウエハ（基盤）に転写する装置である。高集積度の回路を作成するためには、解像性能だけでなく重ね合わせ精度の向上が不可欠である。
【０００３】
露光装置等において、露光装置外部からの振動が光学素子（ＥＵＶ露光装置のミラー等）に伝わってしまうと、解像性能や重ね合わせ精度が低下してしまう。そこで、その解像性能や重ね合わせ精度を向上させるために、外部からの振動が光学素子に伝わらないように振動の伝播を抑制する制振装置が開発されてきた。
【０００４】
そのような制振装置に代表される微動機構を駆動する駆動装置としては、圧電素子を用いたアクチュエータが広く用いられている。そのようなアクチュエータを使用する際には、アクチュエータに対して与圧をかける必要がある。与圧をかける方法としては、光学素子の自重を利用する方法や特許文献１のようにバネを用いて与圧をかける方法が挙げられる。
【特許文献１】特開平０６−２９１１７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１で用いられているような与圧方式では、図１のような光学素子保持機構に用いると、光学素子１を支える中間ブロック２に局所的な大変形を生じてしまうことで問題が生じる。また、光学素子の自重による与圧方式においても、自重がアクチュエータの引っ張り方向に働く場合には与圧として用いることは出来ない。
【０００６】
本発明は、上記問題点に着目してなされたものであって、どのような状況においても効果的にアクチュエータに与圧をかけることの出来る微動装置及び光学素子調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる課題は本発明の以下の手段により解決することができる。
【０００８】
圧電素子を用いたアクチュエータを組み込んだ光学素子調整機構において、磁石を用いてアクチュエータに対して与圧をかける与圧方式による。
【０００９】
前記光学素子調整機構にひとつ以上の第一の磁石があるのがよい。
【００１０】
前記磁石は複数個あり、概ね同心円状に配置されることが好ましい。
【００１１】
前記真空環境中に配置された光学素子調整機構に前記第１または前記第２記載の磁石を用いた位置決め微動ステージを用いることが望ましい。
【００１２】
すなわち本発明は、ピエゾアクチュエータを用いた微動装置において、与圧のかけ方として磁石を用いて天板に荷重をかけることを特徴とする微動装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば様々な状態において使用することが想定される圧電アクチュエータに対して効果的に与圧を負荷することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下本発明を実施するための最良の形態を、実施例により詳しく説明する。
【実施例】
【００１５】
（第一の実施例）
図２に本発明の光学素子１の保持手段３および姿勢調整機構（調整装置、位置決め装置）８が搭載される露光装置の全体概要図を示す。
【００１６】
この露光装置は、一例として紫外線よりも更に波長が短い波長１０〜１５ｎｍ程度の極端紫外光（ＥＵＶ光）を用いた縮小投影露光装置（ＥＵＶ露光装置）である。この極端紫外線を用いる露光装置の内部（特にＥＵＶ光の光路）はほぼ真空に保たれている。また、この露光装置は、発光装置（不図示）と、発光装置からの光でレチクルを照明する照明光学系（不図示）と、レチクルからの光をウェハに導く反射型の投影光学系（少数の屈折光学素子、回折光学素子を含むように構成しても構わないが、好ましくは反射光学素子のみで構成するのが好ましい）とを有する。本発明の光学素子保持・調整システム９は、この投影光学系内、もしくは照明光学系内に配置されており、光学素子１（ここではミラー）を保持し、同時に投射光学系もしくは照明光学系の光学特性を所望の光学特性を満足するように（光学系の収差が所定の範囲内に収まるように）姿勢調整を行う。
【００１７】
また、この図２の露光装置において、床１０に対して除振装置１１を介して構造体フレーム１２を設置するようにしており、更に、その構造体フレームが投影光学系の鏡筒１３を支持するように構成されている。この図２において、構造体フレーム１２が支持しているのは投影光学系だけであるが、もちろん照明光学系を支持するように構成しても構わないし、照明光学系、投影光学系の両者を支持するように構成しても構わない。
【００１８】
図１は光学素子保持・調整システム９の一例である。光学素子１は、中間ブロック２に３箇所の保持手段３を介して保持されており、この中間部ロック２が姿勢調整機構８によって位置、姿勢を調整可能に構成されている。その結果、姿勢調整機構を制御することにより、光学素子１の位置や姿勢を調整することが可能となるように構成されている。
【００１９】
ここで、三つの保持手段３が作る幾何学的な三角形の重心と、光学素子１の重心とが前述の三角形が作る平面と垂直な方向の成分を除いてほぼ一致している。このようにすることによって、光学素子の荷重を３つの保持手段にほぼ均等に配分することができる。また光学素子１の熱膨張などによる変形を軽減したり、組み立て再現性を向上させたりする目的で、この保持手段３それぞれは、球とＶ溝の組み合わせや、球とコーン（円錐状の凹み）の組み合わせや、球と多角錐（三角錐が好ましいが、四角錘、互角錘出会っても構わない。）の凹みの組み合わせ等を有するキネマチックなマウント方法を用いても良い。ここで、球とは、完全な球体である必要はなく、Ｖ溝、コーン、多角錐と接する部分だけが球体状であるほぼ球体であれば構わない。
【００２０】
本実施例で用いる姿勢調整機構８は、一例として弾性ヒンジ５と駆動手段４などからなる一般的なバイポッド型のパラレルリンク機構である。このパラレルリンク機構は、６個の駆動手段４がそれぞれ任意に動作する（伸縮する）ことにより、その可動部７（ここでは中間ブロック２、保持手段３、および光学素子１）を固定ブロック６に対して６自由度に駆動する（位置、姿勢を調整する）ことができる。この駆動手段４としては、積層型の圧電素子が一般的に考えられるが、シリンダやベローズなどの流体アクチュエータ、もしくはモータ、送りねじなどを用いてもよい。この姿勢調整機構の構成はこの限りではなく、中間ブロック２の位置、姿勢を６自由度に調整可能な構成なら他の構成を用いても構わない。
【００２１】
図３および図４は本発明を光学素子の姿勢調整機構に適用した概念図である。与圧用磁石１４の発生する磁力により光学素子１を乗せた天板が引き寄せられ、ピエゾアクチュエータに対して与圧をかける構成となっている。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】パラレルリンク機構を用いた光学素子保持・調整システムの概要斜視図
【図２】光学素子保持調整機構が搭載される露光装置の全体図
【図３】磁石を用いてアクチュエータに与圧をかける概念図  １
【図４】磁石を用いてアクチュエータに与圧をかける概念図  ２
【符号の説明】
【００２３】
１  光学素子
２  中間ブロック
３  保持手段
４  駆動手段
５  弾性ヒンジ
６  固定ブロック
７  可動部
８  姿勢調整機構
９  光学素子保持・調整システム
１０  セル
１１  床
１２  除振装置
１３  構造体フレーム
１４  与圧用磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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