(57)【要約】【課題】  広帯域で低インピーダンスであり、且つ小型の弾性表面波フィルタを提供する。【解決手段】  弾性表面波フィルタ１０は、圧電基板１２と、この圧電基板１２上に形成されて複数の電極指２２を備えたすだれ状電極２０からなる入力電極１４および出力電極１６と、弾性表面波が伝搬する方向における前記入力電極１４および前記出力電極１６を挟む位置に複数の電極指３２を備えた反射器３０とを備えた弾性表面波フィルタ１０であって、前記すだれ状電極２０の前記電極指２２および前記反射器３０の前記電極指３２は、斜めに折り曲げられた接続部２４，３４と、前記接続部２４，３４の両端に接続されて長さの異なる直線部２６，３６とを有し、長さの異なる前記直線部２６，３６で得られる弾性表面波を結合状態にし、４つ以上の共振を利用して通過帯域を形成してなる構成である。【選択図】    図１
2006203680.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、この圧電基板上に形成されて複数の電極指を備えたすだれ状電極からなる入力電極および出力電極と、弾性表面波が伝搬する方向における前記入力電極および前記出力電極を挟む位置に複数の電極指を備えた反射器とを備えた弾性表面波フィルタであって、
前記すだれ状電極の前記電極指および前記反射器の前記電極指は、斜めに折り曲げられた接続部と、前記接続部の両端に接続されて長さの異なる直線部とを有し、
長さの異なる前記直線部で得られる弾性表面波を結合状態にし、４つ以上の共振を利用して通過帯域を形成してなる、
ことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
圧電基板と、この圧電基板上に形成されて複数の電極指を備えたすだれ状電極からなる入力電極および出力電極と、弾性表面波が伝搬する方向における前記入力電極および前記出力電極を挟む位置に複数の電極指を備えた反射器とを備えた弾性表面波フィルタであって、
前記すだれ状電極の前記電極指および前記反射器の前記電極指に斜めに折れ曲がる接続部を設けて、前記各電極指に長さの異なる直線部を設け、
前記各直線部は、長さの短い前記直線部で低域側の通過帯域を形成してなるとともに、長さの長い前記直線部で高域側の通過帯域を形成してなり、且つ前記低域側の通過帯域における高域側と前記高域側の通過帯域における低域側とを重ねる長さに設定されてなる、
ことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
圧電基板と、この圧電基板上に形成されて複数の電極指を備えたすだれ状電極からなる入力電極および出力電極と、弾性表面波が伝搬する方向における前記入力電極および前記出力電極を挟む位置に複数の電極指を備えた反射器とを備えた弾性表面波フィルタであって、
前記すだれ状電極の前記電極指および前記反射器の前記電極指に斜めに折れ曲がる接続部を設けて、前記各電極指に長さの異なる直線部を設け、
前記各直線部は、長さの短い前記直線部で形成される通過帯域の低域側と、長さの長い前記直線部で形成される通過帯域の高域側とが重なる長さに設定されてなる、
ことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項４】
前記直線部は、前記電極指に３つ以上設けられたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項５】
前記直線部は、前記電極指に偶数個設けられたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項６】
前記圧電基板をパッケージに搭載し、前記すだれ状電極と前記パッケージの外面に設けられた外部電極とを電気的に接続したことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は弾性表面波フィルタに係り、特に電極構造を改良し、全体として１つの結合した波を励起する弾性表面波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
広帯域フィルタには、縦モード型共振子フィルタを電気的に並列接続した弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタが有る。図６は従来技術に係るＳＡＷフィルタの説明図である。このＳＡＷフィルタ１は、異なる通過帯域を持つ２つの共振子フィルタ２を電気的に並列接続し、各通過帯域を合成することにより広帯域を得るものである。具体的には、ＳＡＷフィルタ１は、圧電基板３上に入力すだれ状電極４、出力すだれ状電極５および反射器６を備えた共振子フィルタ２を２つ設けた構成であり、各共振子フィルタ２で３つの異なる縦モードが励振される。そして一方の共振子フィルタ２の一番高域側にある共振モードと、他方の共振子フィルタ２の一番低域側にある共振モードとが一致するように構成され、ＳＡＷフィルタ１として使用する際に、４つ以上の共振モードを利用して通過帯域を成すようになっている（例えば、特許文献１を参照）。
【特許文献１】特開平１０−２４２８０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、縦モード型共振子フィルタを電気的に並列接続したＳＡＷフィルタは、各共振子フィルタで独立した弾性表面波を励起させているので、共振子フィルタ間をできるだけ離した方が好ましい。すなわち一方の共振子フィルタから漏れた弾性表面波が、他方の共振子フィルタに影響を与えると共に、他方の共振子フィルタから漏れた弾性表面波が、一方の共振子フィルタに影響を与えるためである。したがって圧電基板上には、各共振子フィルタを離して形成しなければならないので、ＳＡＷフィルタを小型化することができない。
【０００４】
また圧電基板に水晶を用いた場合、ＳＡＷフィルタのインピーダンスが高くなるので、低インピーダンスにするためには、すだれ状電極（ＩＤＴ）の交差幅を大きくする必要がある。しかし交差幅を大きくすると、弾性表面波の伝搬方向と垂直にエネルギーが分布する横モードの共振が生じてしまう。この横モードの共振によりスプリアスが発生し、フィルタ特性が劣化してしまう。したがってスプリアスの発生を抑えつつ低インピーダンス化するためには、複数の共振子フィルタを電気的に並列接続すればよい。ところが、上述したように共振子フィルタ間を離さなければならないので、複数の共振子フィルタを並列接続した場合には、よりＳＡＷフィルタの小型化が困難となる。
【０００５】
さらに圧電基板上に３つ以上の共振子フィルタを形成した場合、圧電基板上には各入力ＩＤＴ同士や各出力ＩＤＴ同士を電気的に接続する引き回しパターン形成しなければならないので、この引き回しパターンの配置を考慮しなければならない。
本発明は、広帯域で低インピーダンスであり、且つ小型の弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係る弾性表面波フィルタは、圧電基板と、この圧電基板上に形成されて複数の電極指を備えたすだれ状電極からなる入力電極および出力電極と、弾性表面波が伝搬する方向における前記入力電極および前記出力電極を挟む位置に複数の電極指を備えた反射器とを備えた弾性表面波フィルタであって、前記すだれ状電極の前記電極指および前記反射器の前記電極指は、斜めに折り曲げられた接続部と、前記接続部の両端に接続されて長さの異なる直線部とを有し、長さの異なる前記直線部で得られる弾性表面波を結合状態にし、４つ以上の共振を利用して通過帯域を形成してなる、ことを特徴としている。
【０００７】
入力電極に電気信号を印加すると、入力電極の各直線部で弾性表面波が励起され伝搬される。この弾性表面波は結合しあい、弾性表面波フィルタ全体として１つの波が得られる。これにより弾性表面波フィルタは、４つ以上の共振を利用した広い通過帯域を得ることができる。また各直線部は、接続部を介して接続されているので、弾性表面波フィルタ全体としてすだれ状電極の交差幅が広くなり、低インピーダンスの弾性表面波フィルタを得ることができる。さらに接続部を介して各直線部を接続しているので、弾性表面波フィルタの平面サイズを小さくすることができる。
【０００８】
圧電基板と、この圧電基板上に形成されて複数の電極指を備えたすだれ状電極からなる入力電極および出力電極と、弾性表面波が伝搬する方向における前記入力電極および前記出力電極を挟む位置に複数の電極指を備えた反射器とを備えた弾性表面波フィルタであって、前記すだれ状電極の前記電極指および前記反射器の前記電極指に斜めに折れ曲がる接続部を設けて、前記各電極指に長さの異なる直線部を設け、前記各直線部は、長さの短い前記直線部で低域側の通過帯域を形成してなるとともに、長さの長い前記直線部で高域側の通過帯域を形成してなり、且つ前記低域側の通過帯域における高域側と前記高域側の通過帯域における低域側とを重ねる長さに設定されてなる、ことを特徴としている。
【０００９】
すなわち前記各直線部は、長さの短い前記直線部で形成される通過帯域の低域側と、長さの長い前記直線部で形成される通過帯域の高域側とが重なる長さに設定されてなる、ことを特徴としている。
【００１０】
入力電極に電気信号を印加すると、入力電極の各直線部で弾性表面波が励起され伝搬される。この弾性表面波は結合しあい、弾性表面波フィルタ全体として１つの波が得られる。これにより弾性表面波フィルタのフィルタ特性は、各直線部で得られるフィルタ特性を合成したものが得られるので、４つ以上の共振を利用した広帯域の特性を得ることができる。また各直線部は、接続部を介して接続されているので、弾性表面波フィルタ全体としてすだれ状電極の交差幅が広くなり、低インピーダンスの弾性表面波フィルタを得ることができる。さらに接続部を介して各直線部を接続しているので、弾性表面波フィルタの平面サイズを小さくすることができる。
【００１１】
また前記直線部は、前記電極指に３つ以上設けられたことを特徴としている。すなわち各電極指に接続部を２つ以上設けて、長さの異なる直線部を３つ以上設けた構成にしている。弾性表面波フィルタのフィルタ特性は、各直線部で得られるフィルタ特性を合成したものなので、直線部を増やすことより、より広帯域の特性を得ることができる。
【００１２】
また前記直線部は、前記電極指に偶数個設けられたことを特徴としている。すなわち長さの異なる２組の直線部を多段に形成した構成である。２組の直線部毎に４つ以上の共振を利用した通過帯域が得られるので、これを多段に形成してそれぞれの通過低域の低域側または高域側を重ねるようにすると、より広帯域のフィルタ特性を得ることができる。
【００１３】
また前記圧電基板をパッケージに搭載し、前記すだれ状電極と前記パッケージの外面に設けられた外部電極とを電気的に接続したことを特徴としている。これにより平面サイズの小さなパッケージを用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明に係る弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタの最良の実施形態について説明する。図１は本実施形態に係るＳＡＷフィルタの概略平面図である。ＳＡＷフィルタ１０の主な構成は、圧電基板１２上に入力電極１４および出力電極１６を備え、これらの電極１４，１６を挟み込む位置に反射器３０を設けたものである。
【００１５】
入力電極１４および出力電極１６は、一対のすだれ状電極（ＩＤＴ）２０からそれぞれ構成されている。各ＩＤＴ２０は、複数の電極指２２を有し、これらの一端を短絡させた構成であり、２つのＩＤＴ２０の電極指２２を交互に噛み合せることにより一対のＩＤＴが形成されている。
【００１６】
電極指２２は、その一部が斜めに折り曲げられた接続部２４を有し、この接続部２４の両端に直線部２６が接続されている。この接続部２４は、その長さが短い方が好ましい。直線部２６ａと直線部２６ｂとは、弾性表面波の伝搬方向に対して３λ／８≦Ｌ１≦５λ／８（λ：弾性表面波の波長）の範囲だけ離れて配置されている。なお図１では直線部２６ａと直線部２６ｂとの間隔Ｌ１がλ／２離れた形態を示している。また直線部２６ａの長さと直線部２６ｂの長さは異なっており、直線部２６ａと直線部２６ａとで形成される交差幅ａと、直線部２６ｂと直線部２６ｂとで形成される交差幅ｂも異なっている。そしてＳＡＷフィルタ１０に形成されるＩＤＴ２０の交差幅は、交差幅ａと交差幅ｂとの和となる。
【００１７】
ところで交差幅は、ＳＡＷフィルタ１０の中心周波数の変化量と図２に示す関係を有している。図２は交差幅と中心周波数の変化量との関係を示す図である。すなわち交差幅と中心周波数の変化量とは、交差幅が大きくなると中心周波数の変化量が小さくなり、交差幅が小さくなると中心周波数の変化量が大きくなる関係を有している。したがって交差幅を変えることによりＳＡＷフィルタ１０の中心周波数を変えることが可能であり、交差幅を大きくすると中心周波数が低くなり、交差幅を小さくすると中心周波数が高くなる。
【００１８】
このような関係から、一方の直線部２６ａの長さを他方の直線部２６ｂの長さよりも短くして、一方の直線部２６ａで形成される交差幅ａと、他方の直線部２６ｂで形成される交差幅ｂとを変えることにより、中心周波数（共振周波数）の位置を変えている。そして一方の直線部２６ａの長さと他方の直線部２６ｂの長さとは、一方の直線部２６ａで得られる通過帯域の低域側と、他方の直線部２６ｂで得られる通過帯域の高域側とが重なるように設定されている。
【００１９】
また反射器３０は、ＩＤＴ２０で励起された弾性表面波が伝搬する方向における入力電極１４および出力電極１６を挟み込む位置に設けられている。この反射器３０は、弾性表面波の伝搬方向に沿う複数の電極指３２を備えた構成である。電極指３２は、その一部が斜めに折り曲げられた接続部３４を有し、この接続部３４の両端に直線部３６が接続されている。この接続部３４は、ＩＤＴ２０の各電極指２２に設けられた接続部２４に沿って設けられている。すなわち反射器３０に設けられた接続部３４と、ＩＤＴ２０に設けられた接続部２４とは、弾性表面波の伝搬方向に沿って設けられている。そして反射器３０に設けられた接続部３４は、ＩＤＴ２０に設けられた接続部２４と同様に、その長さが短い方が好ましい。
【００２０】
また接続部３４の両端には直線部３６ａと直線部３６ｂとが接続されており、直線部３６ａと直線部３６ｂとは弾性表面波の伝搬方向に対して３λ／８≦Ｌ２≦５λ／８（λ：弾性表面波の波長）の範囲だけ離れて配置されている。なお図１では直線部３６ａと直線部３６ｂとの間隔Ｌ２がλ／２離れた形態を示している。
【００２１】
なお弾性表面波の伝搬方向における直線部２６ａ（３６ａ）と直線部２６ａ（３６ａ）と、および直線部２６ｂ（３６ｂ）と２６ｂと（３６ｂ）が交差している部分をトラックと定義し、交差幅ａの部分をトラック１、交差幅ｂの部分をトラック２とする。
【００２２】
次に、ＳＡＷフィルタ１０の作用について説明する。入力電極１４に電気信号を印加すると、各直線部２６が設けられた圧電基板１２に周期的な機械的ひずみが生じ、弾性表面波が励起される。この弾性表面波は、電極指２２の噛み合わせ方向に沿って伝搬し、出力電極１６まで伝搬される。このように生じた弾性表面波は、反射器３０で反射されるので、振動エネルギーが外部に漏れずに閉じ込められる。そしてＳＡＷフィルタ１０では、各トラックを伝搬する弾性表面波が結合し、全体として１つの波が励起される。この圧電基板１２を伝搬する弾性表面波は、出力電極１６に到達すると、電気信号に変換されて出力される。
【００２３】
図３はＳＡＷフィルタ１０のフィルタ特性を示す図である。図３（Ａ）はトラック２と同じ交差幅のＩＤＴ２０や反射器３０を備えた縦モード型共振子フィルタのフィルタ特性であり、図３（Ｂ）はトラック１と同じ交差幅のＩＤＴ２０や反射器３０を備えた縦モード型共振子フィルタのフィルタ特性である。また図３（Ｃ）は本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０で得られるフィルタ特性であり、図３（Ｄ）は本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０にマッチングを施して得られるフィルタ特性である。なお図３の各図において、縦軸は減衰量を示し、横軸はフィルタ特性の中心周波数からのズレ量を示している。
【００２４】
本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０では、各トラックを伝搬する弾性表面波が結合してフィルタ全体に１つの弾性表面波が伝搬し、１つのフィルタ特性が得られるので、トラック１のみのフィルタ特性およびトラック２のみのフィルタ特性を得ることができない。しかし本実施形態のＳＡＷフィルタ１０におけるトラック２のみで得られるフィルタ特性は、トラック２と同じ交差幅を持つＩＤＴ２０や反射器３０で形成されたＳＡＷフィルタ１０（縦モード型共振子フィルタ）と同じ特性になる。また本実施形態のＳＡＷフィルタ１０におけるトラック１のみで得られるフィルタ特性は、トラック１と同じ交差幅を持つＩＤＴ２０や反射器３０で形成されたＳＡＷフィルタ１０（縦モード型共振子フィルタ）と同じ特性になる。したがって図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、本実施形態のトラック１およびトラック２のそれぞれで得られるフィルタ特性を説明するために、トラック１と同じ交差幅のＩＤＴ２０や反射器３０を備えた縦モード型共振子フィルタのフィルタ特性、およびトラック２と同じ交差幅のＩＤＴ２０や反射器３０を備えた縦モード型共振子フィルタのフィルタ特性を参考として示したものである。
【００２５】
本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０のトラック２では、図３（Ａ）に示す様な中心周波数よりも低域側に移動したフィルタ特性が得られ、通過帯域には矢印に示す３つの共振モードが現れる。またトラック１では、図３（Ｂ）に示す様な中心周波数よりも高域側に移動したフィルタ特性が得られ、通過帯域には矢印に示す３つの共振モードが現れる。
【００２６】
そして本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０は、全体として１つの弾性表面波が励起されるので、トラック１およびトラック２で得られるフィルタ特性を合成したフィルタ特性が得られる。すなわちＳＡＷフィルタ１０は、図３（Ｃ）に示すように、４つ以上の共振モードを利用した通過帯域が得られ、広帯域となっている。なおＳＡＷフィルタ１０は、直線部２６ａ（３６ａ）の長さと直線部２６ｂ（３６ｂ）の長さとを調整することにより、トラック２で得られる通過帯域（低域側の通過帯域）における高域側と、トラック１で得られる通過帯域（高域側の通過帯域）における低域側が重なるようにしている。特に、図３に示すフィルタ特性が得られるＳＡＷフィルタ１０では、トラック２で得られる通過帯域における一番高域側にある共振モードと、トラック１で得られる通過帯域における一番低域側にある共振モードとが重なるように、直線部２６ａ（３６ａ）の長さと直線部２６ｂ（３６ｂ）の長さとを調整している。
さらにＳＡＷフィルタ１０をインピーダンスマッチングすると、図３（Ｄ）に示すフィルタ特性になる。
【００２７】
このようなＳＡＷフィルタ１０では、各トラックの交差幅を変えて通過帯域をずらしているので、各トラックで生じる弾性表面波を結合させて得られるＳＡＷフィルタ１０のフィルタ特性を広帯域にすることができる。
また各トラックにおける交差幅は小さいが、トラックが複数あるのでＳＡＷフィルタ１０全体の交差幅を大きくすることができ、ＳＡＷフィルタ１０を低インピーダンスにすることができる。
【００２８】
なお本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０と、従来技術に係るＳＡＷフィルタとを作製して大きさとインピーダンスと比較すると、本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０では、３．８ｍｍ×３．８ｍｍのパッケージサイズに収容されるチップサイズのものでインピーダンスが１５０Ωであり、従来技術に係るＳＡＷフィルタでは、５ｍｍ×５ｍｍのパッケージサイズに収容されるチップサイズのものでインピーダンスが２５０Ωであった。このことより、従来技術に係るＳＡＷフィルタは、チップサイズが大きいにもかかわらずインピーダンスが大きいので、本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０の方が優れていることがわかる。
【００２９】
また１本の電極指２２に複数の直線部２６を設け、これらの直線部２６を接続部２４で接続した構成である。そしてＳＡＷフィルタ１０は、各トラックで生じる弾性表面波が結合した波、すなわち弾性表面波の振る舞いとしてはＳＡＷフィルタ１０全体として１つの波を励起するので、接続部２４の距離は短い方が好ましい。したがってＩＤＴ２０や反射器３０における弾性表面波の伝搬方向と交差する方向の長さを小さくすることができ、ＳＡＷフィルタ１０を小型化することができる。
【００３０】
なお本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０では、接続部２４の長さを１λ程度にすればよいが、従来技術に係るＳＡＷフィルタでは、共振子フィルタの間を１５λ〜２０λ程度離す必要がある。このことより、本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０は、従来技術に係るＳＡＷフィルタに比べて小型化することができる。
【００３１】
また入力電極１４および出力電極１６は、それぞれ一対のＩＤＴ２０から構成されているので、ＩＤＴ２０に接続する引き回しパターンを圧電基板１２上に容易に配置することができる。
【００３２】
次に、本実施形態に係るＳＡＷフィルタの変形例について説明する。上述したＳＡＷフィルタ１０は、各電極指２２，３２に直線部２６，３６を２つ設けた構成であるが、各電極指に接続部を２つ以上設けて、直線部を３つ以上設けた構成にしてもよい。図４は、各電極指に直線部を３つ以上設けたＳＡＷフィルタの一例を示すものであり、各電極指に３つの直線部を設けたＳＡＷフィルタの概略平面図である。このＳＡＷフィルタ４０は、各電極指４２に２つの接続部４４を設けて、それぞれの長さが異なる３つの直線部４６を形成したものである。そして直線部４６ａ，４６ａ、直線部４６ｂ，４６ｂおよび直線部４６ｃ，４６ｃが交差している部分がトラック１、トラック２、トラック３となる。各直線部４６ａ，４６ｂ，４６ｃの長さは、図２に示す関係を考慮して、トラック３で得られる通過帯域の高域側とトラック２で得られる通過帯域の低域側と、およびトラック２で得られる通過帯域の高域側とトラック１で得られる通過帯域の低域側とが重なるように設定されればよい。これにより広帯域のＳＡＷフィルタ４０を得ることができる。
【００３３】
また接続部４４の折り曲げ方向は、左右どちらに折り曲げてもよく、左右のどちらかの方向のみに折り曲げてもよく、左右交互に折り曲げてもよい。なお図４に示すように、各電極指４２に設けられる接続部４４を左右交互に折り曲げると、小型のＳＡＷフィルタ４０を得ることができる。
【００３４】
さらに各電極指４２に設けられる直線部４６の順番は、如何なる順番であってもよい。すなわち図４に示す形態では、各電極指４２に設けられる直線部４６は、ＩＤＴ４８や反射器４９の上段に長さの一番短い直線部４６ａが設けられ、ＩＤＴ４８や反射器４９の下段に長さの一番長い直線部４６ｃが設けられているが、この形態に限定されることはなく、例えばＩＤＴ４８や反射器４９の上段に長さの一番長い直線部が設けられ、中段に長さの一番短い直線部が設けられ、下段に中くらいの長さの直線部が設けられてもよい。
【００３５】
さらに本実施形態に係るＳＡＷフィルタの変形例について説明する。この変形例に係るＳＡＷフィルタは、各電極指に直線部が偶数個設けられた構成である。すなわちＳＡＷフィルタには、偶数個のトラックが設けられている。このような構成の場合でも各直線部の長さは異なっている。そしてＳＡＷフィルタは、各直線部の長さを適宜設定することにより、２つのトラック毎に上述した実施形態のように４つ以上の共振モードを利用した通過帯域が形成され、さらにこれらの通過帯域の高域側または低域側が重なるように形成されている。これにより広帯域のＳＡＷフィルタを得ることができる。
【００３６】
この場合でも、接続部の折り曲げ方向は、左右どちらに折り曲げてもよく、左右のどちらかの方向のみに折り曲げてもよく、左右交互に折り曲げてもよい。また各電極指に設けられる直線部の順番は、如何なる順番であってもよい。
【００３７】
次に、パッケージに搭載されたＳＡＷフィルタの一例について説明する。図５はパッケージに搭載されたＳＡＷフィルタの説明図である。パッケージ５０は、凹陥部５２が設けられたパッケージベース５４と、凹陥部５２を封止するリッド５６とを備えた構成である。パッケージベース５４は、凹陥部５２に電極パッド５８が設けられ、外面に電極パッド５８と電気的に接続する外部電極６０が設けられている。このパッケージベース５４の凹陥部５２には、ＩＤＴ２０等が設けられた圧電基板１２（ＳＡＷフィルタ１０（４０））が接着剤（不図示）を介して実装されている。そしてＳＡＷフィルタ１０のＩＤＴ２０と電極パッド５８とが、ワイヤ６２を介して電気的に接続されている。そしてパッケージベース５４の上面には、リッド５６が接合されている。これによりＳＡＷフィルタ１０は、様々な電子機器に搭載されることが可能になる。またＳＡＷフィルタ１０の平面サイズを小さくできるので、このＳＡＷフィルタ１０を小型のパッケージ５０に搭載することができる。
【００３８】
なおＳＡＷフィルタ１０は、上述したようにフェイスアップ構造としてパッケージ５０に搭載されることもできるが、ＩＤＴ２０等をパッケージベース５４の底面側に向けて実装したフェイスダウン構造としてパッケージ５０に搭載されることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施形態に係るＳＡＷフィルタの概略平面図である。
【図２】交差幅と中心周波数からの変化量との関係を示す図である。
【図３】ＳＡＷフィルタのフィルタ特性を示す図である。
【図４】各電極指に３つの直線部を設けたＳＡＷフィルタの概略平面図である。
【図５】パッケージに搭載されたＳＡＷフィルタの説明図である。
【図６】従来技術に係るＳＡＷフィルタの説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０………弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタ、１２………圧電基板、１４………入力電極、１６………出力電極、２０………すだれ状電極（ＩＤＴ）、２２………電極指、２４………接続部、２６………直線部、３０………反射器、４０………弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタ、５０………パッケージ、６０………外部電極。
【図１】
2006203680.tif 000003
【図２】
2006203680.tif 000004
【図３】
2006203680.tif 000005
【図４】
2006203680.tif 000006
【図５】
2006203680.tif 000007
【図６】
2006203680.tif 000008