(57)【要約】【課題】  検査機能の拡張にも容易に対応できる設計自由度の高い固体撮像素子検査システムを提供すること。【解決手段】    固体撮像素子検査装置に画像処理ユニットが接続される固体撮像素子検査システムであって、  前記固体撮像素子検査装置と画像処理ユニットの間には、  これら固体撮像素子検査装置と画像処理ユニットとの間での各種信号の授受を制御する画像処理ユニット制御部を設けたことを特徴とするもの。【選択図】                    図１
2006203386.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体撮像素子検査装置に画像処理ユニットが接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記固体撮像素子検査装置と画像処理ユニットの間には、
これら固体撮像素子検査装置と画像処理ユニットとの間での各種信号の授受を制御する画像処理ユニット制御部を設けたことを特徴とする固体撮像素子検査システム。
【請求項２】
前記画像処理ユニット制御部は、少なくとも、
接続されている画像処理ユニット数を格納する手段と、
固体撮像素子検査装置から入力される命令を、この接続画像処理ユニット数格納手段に格納されている情報に基づき各画像処理ユニットに配信する手段、
を有することを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子検査システム。
【請求項３】
前記画像処理ユニット制御部は、さらに、
固体撮像素子検査装置から入力される検査結果と画像データを、前記接続画像処理ユニット数格納手段に格納されている情報に基づき各画像処理ユニットに配信する手段、
を有することを特徴とする請求項２記載の固体撮像素子検査システム。
【請求項４】
前記画像処理ユニット制御部は、さらに、
接続されている各画像処理ユニットの画像処理結果がすべて整った時点で、前記固体撮像素子検査装置に転送する手段、
を有することを特徴とする請求項３記載の固体撮像素子検査システム。
【請求項５】
前記画像処理ユニット制御部は、さらに、
前記命令配信後所定時間経過しても接続されている画像処理ユニットから画像処理結果が返ってこない場合には該当する画像処理ユニットの画像処理動作を強制的に中断させるタイムアウト処理手段、
を有することを特徴とする請求項４記載の固体撮像素子検査システム。
【請求項６】
前記画像処理ユニット制御部は、さらに、
各画像処理ユニットの画像処理負荷状態を監視する手段、
を有することを特徴とする請求項４または請求項５記載の固体撮像素子検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は固体撮像素子検査システムに関するものであり、詳しくは、検査機能の拡張に容易に対応できる設計自由度の高い固体撮像素子検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、カラー固体撮像素子の検査を短時間で行うことができる装置の構成が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２―２７５０６
【０００４】
ＣＣＤ，ＣＭＯＳなどの固体撮像素子は、例えばデジタルカメラの撮像素子として用いられているが、表示解像度の高分解能化の要求に伴って高集積化が進んでいる。特にＣＭＯＳ固体撮像素子は、従来のＣＭＯＳの製造工程を転用できるという利点もある。
【０００５】
図２は、固体撮像素子とその良否検査を行う検査方法を説明するための概念構成例図である。図において、固体撮像素子１は、カラーフィルタ２と光電変換部３とで構成されている。
【０００６】
カラーフィルタ２は、複数のＧ１カラーフィルタ、Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタ、Ｇ２カラーフィルタから構成されている。Ｇ１カラーフィルタとＧ２カラーフィルタは緑色の光を透過するが、特性が異なっているため区別される。ＢカラーフィルタとＲカラーフィルタは、それぞれ青色と赤色の光を透過する。
【０００７】
光電変換部３は、Ｇ１カラーフィルタ、Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタ、Ｇ２カラーフィルタに対向配置して、光電変換素子ＰＤHV（Ｈ，Ｖ：整数）を設ける。この光電変換素子ＰＤHVは、Ｇ１カラーフィルタ、Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタ、Ｇ２カラーフィルタにより、色覚を持ったセンサとなる。
【０００８】
光源４は、一定照度で均一白色の光を固体撮像素子１に照射する。
【０００９】
このような構成において、光源４が一定照度で均一白色の光を一定時間にわたって固体撮像素子１に照射すると、光電変換部３の光電変換素子ＰＤHVに蓄積される電荷量は一定とならず、光電変換素子ＰＤHVの上に装着されるカラーフィルタ２の各カラー毎に異なる。これは装着されているカラーフィルタ２の各カラー毎の分光透過特性が異なるためであって、光電変換素子ＰＤHVで変換される電荷量はカラーフィルタ２の分光特性に依存した量となる。
【００１０】
このような固体撮像素子１の良否検査には、各カラー毎に分離して行う方法と、全てのカラーを混在させたグレー画像として行う方法がある。各カラー毎に分離した特性検査が必要な場合には、特許文献１に記載されているように、固体撮像素子１より得た画像データをカラー別に振り分けて、カラーフィルタに対応する光電変換素子ＰＤHV毎に演算処理を行う。
【００１１】
これに対し、グレー画像として扱う場合には、固体撮像素子１より得た全画像データをカラー別に振り分けることなく、画像演算処理の対象とする。
【００１２】
図３は、このような従来の固体撮像素子検査システムの一例を示すブロック図である。図３において、検査対象である固体撮像素子１は、ＤＵＴボード５に載置され電気的に接続される。
【００１３】
ＣＰＵ６は、操作設定部７から設定入力される検査対象とする固体撮像素子１の仕様規格に対応した検査プログラムに基づいて、固体撮像素子検査装置全体の動作を統括制御する。
【００１４】
光源駆動制御部８は、ＣＰＵ６から入力される検査対象とする固体撮像素子１の仕様規格に対応した制御信号に基づき、光源４を点灯駆動する。
【００１５】
素子駆動制御部９は、ＣＰＵ６から入力される検査対象とする固体撮像素子１の仕様規格に対応した制御信号に基づき、固体撮像素子１を駆動するための直流信号や駆動クロックを供給する。固体撮像素子１を駆動している状態で固体撮像素子１に光源４の出力光が照射されることにより、固体撮像素子１から画像データが出力される。
【００１６】
固体撮像素子１から出力される画像データは、Ａ／Ｄ変換器１０によりデジタルデータに変換される。Ａ／Ｄ変換器１０で変換されたデジタルデータは、データメモリ１１に格納される。
【００１７】
データメモリ１１に格納された画像データは、ＤＭＡＣ(ダイレクトメモリアクセスコントローラ)１２を介して、画像処理メモリ１３に転送される。
【００１８】
ＤＳＰ１４は、ＣＰＵ６から入力される検査対象とする固体撮像素子１の仕様規格に対応した制御信号に基づき、画像処理メモリ１１に転送された画像データに対して所定の画像演算処理を行い、処理結果をＣＰＵ６に出力する。
【００１９】
ＣＰＵ６は、ＤＳＰ１４から入力される処理結果に基づき検査対象とする固体撮像素子１の良否判定を行う。検査対象とする固体撮像素子１の処理結果や判定結果は、ＣＰＵ６を介して表示部１５に表示される。
【００２０】
ところで、ＤＳＰ１４の画像演算処理によれば、例えばドット欠陥検査などの固体撮像素子１に対する標準的な検査処理は行えるが、本来は検査者の主観的判断に基づく官能検査項目に属する「しみ」や「むら」などは、一般にはＤＳＰ１４の画像演算処理に含まれていないことが多い。
【００２１】
検査装置導入後において、固体撮像素子１を製造する検査装置のユーザーが、これら「しみ」や「むら」などのＤＳＰ１４の画像演算処理に含まれていない検査を希望する場合には、ＤＳＰ１４の画像演算処理の他に、検査装置の画像データや検査データを外部の画像評価手段に入力してその他の検査を行わなければならないことがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
しかし、このような従来の固体撮像素子検査装置では、検査機能の拡張のために画像データや検査データを他の装置で利用しようとする場合には、別途特別なインタフェースを準備しなければならず、設計自由度が低い。
【００２３】
本発明は、このような従来の問題点を解決するものであり、その目的は、検査機能の拡張にも容易に対応できる設計自由度の高い固体撮像素子検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
固体撮像素子検査装置に画像処理ユニットが接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記固体撮像素子検査装置と画像処理ユニットの間には、
これら固体撮像素子検査装置と画像処理ユニットとの間での各種信号の授受を制御する画像処理ユニット制御部を設けたことを特徴とする。
【００２５】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の固体撮像素子検査システムにおいて、
前記画像処理ユニット制御部は、少なくとも、
接続されている画像処理ユニット数を格納する手段と、
固体撮像素子検査装置から入力される命令を、この接続画像処理ユニット数格納手段に格納されている情報に基づき各画像処理ユニットに配信する手段、
を有することを特徴とする。
【００２６】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の固体撮像素子検査システムにおいて、
前記画像処理ユニット制御部は、さらに、
固体撮像素子検査装置から入力される検査結果と画像データを、前記接続画像処理ユニット数格納手段に格納されている情報に基づき各画像処理ユニットに配信する手段、
を有することを特徴とする。
【００２７】
請求項４記載の発明は、請求項３記載の固体撮像素子検査システムにおいて、
前記画像処理ユニット制御部は、少なくとも、
前記画像処理ユニット制御部は、さらに、
接続されている各画像処理ユニットの画像処理結果がすべて整った時点で、前記固体撮像素子検査装置に転送する手段、
を有することを特徴とする。
【００２８】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の固体撮像素子検査システムにおいて、
前記画像処理ユニット制御部は、さらに、
前記命令配信後所定時間経過しても接続されている画像処理ユニットから画像処理結果が返ってこない場合には該当する画像処理ユニットの画像処理動作を強制的に中断させるタイムアウト処理手段、
を有することを特徴とする。
【００２９】
請求項６記載の発明は、請求項４または請求項５記載の固体撮像素子検査システムにおいて、
前記画像処理ユニット制御部は、さらに、
各画像処理ユニットの画像処理負荷状態を監視する手段、
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、検査機能の拡張にも容易に対応できる設計自由度の高い固体撮像素子検査システムが実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例の主要部を示すブロック図であり、図３と共通する部分には同一の符号を付けている。図１において、検査装置１８には、図３の破線で囲んだ領域１６に対して、送受信インターフェイス部１７が追加されている。この送受信インターフェイス部１７は、固体撮像素子検査装置１８と複数の画像処理ユニット１９１〜１９nとの間で各種信号の送受信を行う。
【００３２】
画像処理ユニット１９１〜１９nは、本来は検査者の主観的判断に基づく官能検査項目に属する「しみ」や「むら」などの検査装置１８には組み込まれていない高精細な画像処理検査を高速に実行する機能を有するものであり、複数n個の固体撮像素子チップそれぞれに対応するように、画像処理ユニット制御部２７を介して送受信インターフェイス部１７に接続されている。
【００３３】
画像処理ユニット制御部２７は、固体撮像素子検査装置１８と画像処理ユニット１９１〜１９nとの間での各種信号の授受を制御する機能を有するものである。
【００３４】
画像処理ユニット制御部２７には、接続ユニット数格納部２０、制御命令配信部２１、検査結果配信部２２、画像データ配信部２３、画像処理結果転送部２４、タイムアウト処理部２５、画像処理負荷監視部２６などが設けられている。
【００３５】
接続ユニット数格納部２０は、接続されている画像処理ユニット数の情報を格納するものである。
【００３６】
制御命令配信部２１は、固体撮像素子検査装置１８から入力される命令を、接続ユニット数格納部２０に格納されている情報に基づき、各画像処理ユニット１９１〜１９nに配信する。
【００３７】
検査結果配信部２２は、固体撮像素子検査装置１８から入力される検査結果を、接続ユニット数格納部２０に格納されている情報に基づき、各画像処理ユニット１９１〜１９nに配信する。
【００３８】
画像データ配信部２３は、固体撮像素子検査装置１８から入力される画像データを、接続ユニット数格納部２０に格納されている情報に基づき、各画像処理ユニット１９１〜１９nに配信する。
【００３９】
画像処理結果転送部２４は、接続されている各画像処理ユニット１９１〜１９nの画像処理結果がすべて整った時点で、固体撮像素子検査装置１８に転送する。
【００４０】
タイムアウト処理部２５は、制御命令配信部２１が命令を配信してから所定時間経過しても接続されている画像処理ユニット１９１〜１９nから画像処理結果が返ってこない場合には、該当する画像処理ユニットの画像処理動作を強制的に中断させる。
【００４１】
タイムアウト処理部２５は、制御命令配信部２１が命令を配信してから所定時間経過しても接続されている画像処理ユニット１９１〜１９nから画像処理結果が返ってこない場合には、該当する画像処理ユニットの画像処理動作を強制的に中断させる。
【００４２】
画像処理負荷監視部２６は、各画像処理ユニット１９１〜１９nの画像処理負荷状態を監視する機能を有している。
【００４３】
このように構成される固体撮像素子検査システムの動作を説明する。
固体撮像素子検査装置１８は、画像処理ユニット１９１〜１９nが何台接続されているかを意識することなく、画像処理ユニット１９１〜１９nに対する命令を画像処理ユニット制御部２７に送出する。
【００４４】
画像処理ユニット制御部２７は、固体撮像素子検査装置１８から入力される命令を、接続ユニット数格納部２０に格納されている情報に基づいて、各画像処理ユニット１９１〜１９nに配信する。
【００４５】
各画像処理ユニット１９１〜１９nで検査された結果データは、画像処理ユニット制御部２７の画像処理結果転送部２４に入力される。画像処理結果転送部２４は、すべての画像処理ユニット１９１〜１９nからの応答データを取得するまで待ち、すべての応答データが整った時点で、固体撮像素子検査装置１８に転送出力する。
【００４６】
各画像処理ユニット１９１〜１９nでは、システムの不具合や測定対象デバイスの不良などで、所定の画像処理などに異常に時間がかかることがある。そこで、タイムアウト処理部２５は、各画像処理ユニット１９１〜１９nに対して命令を発行した時間と各画像処理ユニット１９１〜１９nから応答データを取得する時間を記録することにより、制御命令配信部２１が命令を配信してから所定時間経過しても接続されている画像処理ユニット１９１〜１９nから画像処理結果が返ってこない場合には、該当する画像処理ユニットの画像処理動作を強制的に中断させるタイムアウト処理を行う。
【００４７】
このように構成することにより、固体撮像素子検査装置１８は、画像処理ユニット１９１〜１９nが何台接続されているかを全く意識することなく画像処理ユニット１９１〜１９nに対する命令を画像処理ユニット制御部２７に送出することによって、各画像処理ユニット１９１〜１９nの画像処理結果を自動的に取り込むことができる。
【００４８】
すなわち、本発明によれば、複数の画像処理ユニット１９１〜１９nを接続した場合に発生する複雑な同期処理やエラー処理は画像処理ユニット制御部２７がすることになり、固体撮像素子検査装置１８の負荷を軽減できる。
【００４９】
なお、タイムアウト処理機能を各画像処理ユニット１９１〜１９nに持たせることも考えられるが、各画像処理ユニット１９１〜１９nにタイムアウト処理を持たせた場合には、各画像処理ユニット１９１〜１９nのＣＰＵ負荷が高くなるとより正確なタイムアウト処理ができなくなってしまう。これに対し、本願発明のように、ＣＰＵおよびプロセスが各画像処理ユニット１９１〜１９nから独立しているタイムアウト処理部２５に持たせることにより、より精度の高いタイムアウト処理が実現できる。
【００５０】
また、画像処理ユニット制御部２７では、画像処理ユニットが何台接続されているかを把握し、各命令がどのくらい時間がかかるかなどの情報を記録しているので、これらの情報を元に各画像処理ユニットの負荷状況を把握することができる。したがって、各画像処理ユニットのＣＰＵ負荷状況に合わせて命令を発行することにより、各画像処理ユニットを効率よく動作させることが実現でき、画像処理ユニットが処理をしていない時間を極限まで減らすことができる。これにより、測定対象デバイス１個あたりの検査に要する時間を大幅に削減することができる。
【００５１】
上記実施例では、画像処理ユニット制御部２７に、接続ユニット数格納部２０、制御命令配信部２１、検査結果配信部２２、画像データ配信部２３、画像処理結果転送部２４、タイムアウト処理部２５および画像処理負荷監視部２６を設ける例を示したが、用途に応じて一部の機能ブロックを外す構成にしてもよい。
【００５２】
以上説明したように、本発明によれば、検査機能の拡張にも容易に対応できる設計自由度の高い固体撮像素子検査システムが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】固体撮像素子とその良否検査を行う検査方法を説明するための概念構成例図である。
【図３】従来の固体撮像素子検査装置の一例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  固体撮像素子
４  光源
５  ＤＵＴボード
６  ＣＰＵ
７  操作設定部
８  光源駆動制御部
９  素子駆動制御部
１０  Ａ／Ｄ変換器
１１  データメモリ
１２  ＤＭＡＣ
１３  画像処理メモリ
１４  ＤＳＰ
１５  表示部
１７  送受信インターフェイス部
１８  固体撮像素子検査装置
１９  画像処理ユニット
２０  接続ユニット数格納部
２１  画像処理部
２２  制御命令配信部
２３  画像データ配信部
２４  画像処理結果転送部
２５  タイムアウト処理部
２６  画像処理負荷監視部
２７  画像処理ユニット制御部
【図１】
2006203386.tif 000003
【図２】
2006203386.tif 000004
【図３】
2006203386.tif 000005