(57)【要約】      （修正有）【課題】  テープに配列されたデバイスを検査する際の検査スピードを向上させる  デバイス検査方法、デバイス検査装置およびＴＡＢテープ。【解決手段】  テープの幅方向に複数のデバイス２が配置されたＴＡＢテープ１を長手方向に駆動し、テープの幅方向に配置された複数のデバイス２を検査位置に搬送する。次に、検査位置に搬送された複数のデバイス２に対し、同時にプローブピンを電気的に接続し、複数のデバイス２を同時に検査する。このため、１つのサイクルで１つのデバイスの検査を行う場合と比較して検査スピードを向上させることができる。ＴＡＢテープ１にはデバイス２のピンに接続された配線パターン３が形成され、プローブピンが配線パターン３に接触することで複数のデバイス２に対しプローブピンが電気的に接続される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープに配列されたデバイスを検査するデバイス検査方法において、
前記テープの幅方向に複数のデバイスが配置されたテープを長手方向に駆動し、前記テープの幅方向に並んだ複数のデバイスを検査位置に搬送するステップと、
前記検査位置に搬送された前記複数のデバイスに対し、同時にプローブを電気的に接続するステップと、
を備えることを特徴とするデバイス検査方法。
【請求項２】
前記テープには前記デバイスのピンに接続された配線パターンが形成され、前記プローブが前記配線パターンに接触することで前記複数のデバイスに対し前記プローブが電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載のデバイス検査方法。
【請求項３】
同時に前記プローブが接触する前記配線パターンは同時に形成されたものであることを特徴とする請求項２に記載のデバイス検査方法。
【請求項４】
テープに配列されたデバイスを検査するデバイス検査装置において、
前記テープの幅方向に複数のデバイスが配置されたテープを長手方向に駆動し、前記テープの幅方向に並んだ複数のデバイスを検査位置に搬送する搬送手段と、
前記検査位置に搬送された前記複数のデバイスに対し、同時に電気的に接続されるプローブと、
を備えることを特徴とするデバイス検査装置。
【請求項５】
前記テープには前記デバイスのピンに接続された配線パターンが形成され、前記プローブが前記配線パターンに接触することで前記複数のデバイスに対し前記プローブが電気的に接続されることを特徴とする請求項４に記載のデバイス検査装置。
【請求項６】
同時に前記プローブが接触する前記配線パターンは同時に形成されたものであることを特徴とする請求項５に記載のデバイス検査装置。
【請求項７】
テープに複数のデバイスが配列されたＴＡＢテープにおいて、
前記テープの幅方向に複数のデバイスが配置されたことを特徴とするＴＡＢテープ。
【請求項８】
前記テープには前記デバイスのピンに接続された配線パターンが形成されていることを特徴とする請求項７に記載のＴＡＢテープ。
【請求項９】
前記テープの幅方向に配置された複数のデバイスのピンに接続される前記配線パターンは同時に形成されたものであることを特徴とする請求項８に記載のＴＡＢテープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープに配列されたデバイスを検査するデバイス検査方法、デバイス検査装置およびＴＡＢテープに関し、とくに検査スピードを向上させることができるデバイス検査方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶駆動ドライバ等のＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスをＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープに取り付け、このＴＡＢテープを順次搬送しながらテストヘッドを接続することでデバイスを検査する方法が知られている。図４はデバイスの検査方法を、図５はＴＡＢテープの構成を示している。図５に示すように、ＴＡＢテープ１０１には複数のデバイス１０２が一定間隔で取り付けられ、デバイス１０２の各ピンにはＴＡＢテープ１０１に形成された配線パターン１０３が電気的に接続されている。図４に示すように、ＴＡＢテープ１０１はデバイスリール１０４からデバイスリール１０５へ上記間隔分ずつ間欠搬送され、ＴＡＢテープの停止時にデバイス１０２をテストヘッド１０６に対向させる。次に、ＣＣＤカメラ１０７の撮影情報に基づいてデバイス１０２とテストヘッド１０６の位置合わせを行った後、テストヘッド１０６のプローブを配線パターン１０３に接続する。この状態でデバイス１０２の検査を行い、デバイス１０２の良否が判明したら接続を解き、隣接する次のデバイス１０２がテストヘッド１０６に対向するまでＴＡＢテープ１０１を搬送する。このようなサイクルの動作を繰り返すことで、ＴＡＢテープ１０１に取り付けられたデバイス１０２を順次検査している。
【０００３】
ＴＡＢテープに取り付けられたデバイスの試験を行うＩＣテストシステムとして、例えば特許文献１に記載されたものがあった。
【特許文献１】特開２００１−３３７１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、デバイス１０２とテストヘッド１０６のプローブとの位置合わせをする必要もあって、検査の１サイクルにかかる時間を短縮することは困難である。このため、図４および図５に示すようにデバイス１０２を１つずつ検査する場合には、検査スピードを向上させることが難しいという問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、テープに配列されたデバイスを検査する際の検査スピードを向上させることができるデバイス検査方法、デバイス検査装置およびＴＡＢテープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のデバイス検査方法は、テープに配列されたデバイスを検査するデバイス検査方法において、テープの幅方向に複数のデバイスが配置されたテープを長手方向に駆動し、テープの幅方向に並んだ複数のデバイスを検査位置に搬送するステップと、前記検査位置に搬送された前記複数のデバイスに対し、同時にプローブを電気的に接続するステップと、を備えることを特徴とする。
このデバイス検査方法によれば、テープの幅方向に配置された複数のデバイスに対し、同時にプローブを電気的に接続するので、検査スピードを向上させることができる。
【０００７】
前記テープには前記デバイスのピンに接続された配線パターンが形成され、前記プローブが前記配線パターンに接触することで前記複数のデバイスに対し前記プローブが電気的に接続されてもよい。
この場合には、デバイスのピンとプローブとが配線パターンを介して電気的に接続される。
【０００８】
同時に前記プローブが接触する前記配線パターンは同時に形成されたものでもよい。
この場合には、同時にプローブが接触する配線パターン間の位置精度が高くなるため、配線パターンとプローブとのコンタクトミスを発生させることなく、両者を確実に接続することができる。
【０００９】
本発明のデバイス検査装置は、テープに配列されたデバイスを検査するデバイス検査装置において、テープの幅方向に複数のデバイスが配置されたテープを長手方向に駆動し、テープの幅方向に並んだ複数のデバイスを検査位置に搬送する搬送手段と、前記検査位置に搬送された前記複数のデバイスに対し、同時に電気的に接続されるプローブと、を備えることを特徴とする。
このデバイス検査装置によれば、テープの幅方向に配置された複数のデバイスに対し、同時にプローブを電気的に接続するので、検査スピードを向上させることができる。
【００１０】
前記テープには前記デバイスのピンに接続された配線パターンが形成され、前記プローブが前記配線パターンに接触することで前記複数のデバイスに対し前記プローブが電気的に接続されてもよい。
この場合には、デバイスのピンとプローブとが配線パターンを介して電気的に接続される。
【００１１】
同時に前記プローブが接触する前記配線パターンは同時に形成されたものであってもよい。
この場合には、同時にプローブが接触する配線パターン間の位置精度が高くなるため、配線パターンとプローブとのコンタクトミスを発生させることなく、両者を確実に接続することができる。
【００１２】
本発明のＴＡＢテープは、テープに複数のデバイスが配列されたＴＡＢテープにおいて、前記テープの幅方向に複数のデバイスが配置されたことを特徴とする。
このＴＡＢテープによれば、テープの幅方向に配置された複数のデバイスに対し、同時にプローブを電気的に接続することが可能となるので、デバイスを検査する際の検査スピードを向上させることができる。
【００１３】
前記テープには前記デバイスのピンに接続された配線パターンが形成されていてもよい。
この場合には、デバイスの検査時に、デバイスのピンとプローブとが配線パターンを介して電気的に接続することができる。
【００１４】
前記テープの幅方向に配置された複数のデバイスのピンに接続される前記配線パターンは同時に形成されたものであってもよい。
この場合には、デバイスの検査時に、同時にプローブが接触する配線パターン間の位置精度が高くなるため、配線パターンとプローブとのコンタクトミスを発生させることなく、両者を確実に接続することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、テープの幅方向に配置された複数のデバイスに対し、同時にプローブを電気的に接続することができるので、検査スピードを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図１〜図３を参照して、本発明によるデバイス検査方法の一実施形態について説明する。
【００１７】
図１は本発明によるデバイス検査方法を実施するための検査装置の機構を模式的に示す図、図２はＴＡＢテープの構成を示す図である。図１に示すように、検査装置１００は、ＴＡＢテープ１を矢印Ｐの方向に駆動するデバイスリール４およびデバイスリール５と、ＴＡＢテープ１に配列したデバイスを検査するためのテストヘッド６と、ＴＡＢテープ１を撮影するためのＣＣＤカメラ７とを備える。搬送されるＴＡＢテープ１はガイドリール４１およびガイドリール５１により支持される。
【００１８】
図２に示すように、ＴＡＢテープ１には駆動方向Ｐに沿って一定間隔ｘで液晶駆動ＩＣであるデバイス２が配置されている。また、ＴＡＢテープ１の幅方向両端部にはパーフォレーション１１が形成されている。図２に示すように、デバイス２はＴＡＢテープ１の幅方向（図２における上下方向）に２つずつ並んで取り付けられている。デバイス２の各ピンには、ＴＡＢテープ１に形成された配線パターン３が接続されている。配線パターン３は複数の液晶駆動用ＩＣ２について同時に作り込まれており、少なくとも、ＴＡＢテープ１の幅方向に並ぶ２つのデバイス２に対応する配線パターン３は常に同時に形成される。したがって、ＴＡＢテープ１の幅方向に並ぶ２つの配線パターン３の相対的な位置精度が高いものとなっている。
【００１９】
なお、ＴＡＢテープ１が基板として使用される際には、配線パターン３にかかる部分でＴＡＢテープ１が切断され、領域Ｒが液晶駆動基板として実装される。このとき、配線パターン３は、例えば、液晶パネルや他の実装基板に対する接続端子として使用される。
【００２０】
図３はテストヘッド６に取り付けられるプローブカードの構成を示す図であり、図３（ａ）は上面図、図３（ｂ）および図３（ｃ）は図３（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図である。図３に示すように、プローブカードは基板８と、基板８に取り付けられたプローブピン９とを備える。プローブピン９はＴＡＢテープ１の幅方向に並ぶ２つのデバイス２のピンに接続された配線パターン３と同数形成されており、検査時にはこれらの配線パターン３とプローブピン９とが電気的に接続される。基板８にはプローブピン９の先端部をＣＣＤカメラ７（図１）の側に露出させるための開口８１が形成されている。検査時にはＣＣＤカメラ７により開口８１を介してＴＡＢテープ１を撮影することで、配線パターン３とプローブピン９との位置合わせを行うことができる。
【００２１】
次に、検査装置１００を用いた検査の手順について説明する。
【００２２】
図１に示すように、検査の際には、ＴＡＢテープ１をデバイスリール４からデバイスリール５へ巻き取りつつ、搬送方向Ｐへ間欠駆動することで、デバイス２を一定間隔ｘずつ搬送する。ＴＡＢテープ１の停止時にはデバイス２をテストヘッド６に対向させる。このとき、ＴＡＢテープ１の幅方向に並んだ２つのデバイス２が図２に示す検査位置に到達する。また、図３（ａ）に示すように、検査対象となる２つのデバイス２の周辺が、基板８の開口８１を介してＣＣＤカメラ７（図１）により撮影可能となる。次に、ＣＣＤカメラ７の撮影情報に基づいてデバイス２とテストヘッド６の相対的な位置合わせを行った後、図３（ｃ）に示すように、ＴＡＢテープ１を基板８に向けて押し込むことにより、プローブピン９を２つのデバイス２に接続された配線パターン３に接触させる。この状態で２つのデバイス２の検査を行い、デバイス２の良否が判明した後、ＴＡＢテープ１を基板８から回避させる。検査結果は、検査対象となったデバイス２のアドレスとともに、順次、記憶装置（不図示）に記憶される。検査結果データの保存マップは、ＴＡＢテープ１の幅方向に対する２つのデータを同時に保存できる形式とすればよい。次に、隣接する次のデバイス２が検査位置に到達するまでＴＡＢテープ１を一定間隔ｘだけ搬送する。このようなサイクルの動作を繰り返すことで、ＴＡＢテープ１に取り付けられたデバイス２を順次検査する。
【００２３】
このように、本実施形態では、ＴＡＢテープ１の幅方向に並んだ２つのデバイス２を同時に検査するので、デバイスを１つずつ検査する場合と比較して検査スピードを向上させることができる。
【００２４】
また、上記のように、同時に検査される２つのデバイス２に接続される配線パターン３は同時に形成されたものである。したがって、これらのパターンの相対的な位置精度が高いため、パターン形成の誤差によるコンタクトミスが発生することなく、２つのデバイス２のピン数に相当するすべてのプローブピン９を、配線パターン３に確実に接続することができる。なお、配線パターン３の形成方法は限定されない。レジストの露光工程によりパターンの位置決めがされるような形成方法、例えばエッチングにより配線パターン３を形成する方法でもよいし、印刷によりパターンの位置決めがされるような方法、例えば、スクリーン印刷を用いて配線パターン３を形成する方法でもよい。ＴＡＢテープ１の幅方向に並ぶ配線パターン３を同時に形成することにより、検査に必要な位置精度を確保できる形成方法であればよい。
【００２５】
また、本実施形態では、ＴＡＢテープ１の長手方向に離れた複数のデバイス２を同時に検査していない。このため、これらのデバイス２に接続される配線パターン３間のパターン形成誤差の影響を受けないという利点がある。すなわち、上記のように、配線パターン３は複数の液晶駆動用ＩＣ２について同時に作り込まれている。しかし、長手方向に離れた配線パターン３は、互いに隣接する場合であっても同時工程ではなく、別工程でパターン形成されている可能性がある。このため、長手方向に離れた複数のデバイス２を同時に検査しようとすると、隣接する配線パターン３間のパターン誤差によって、一部の配線パターン３にプローブピン９を接続できなくなるといったトラブルが発生する可能性がある。これに対して、本実施形態では、常に同時に形成されたＴＡＢテープ１の幅方向に隣り合う配線パターン３に対し、検査時にプローブピン９を同時に接触させている。このため、プローブピン９を同時に接触させなければならない配線パターン３間の位置精度が高いため、このようなトラブルを回避でき、位置合わせを確実に行えるという利点がある。
【００２６】
上記実施形態では、ＴＡＢテープ１の幅方向に並んだ２つのデバイス２を同時に検査する場合について説明したが、ＴＡＢテープの幅方向に並んだ３つ以上のデバイスを同時に検査してもよい。この場合には、さらに検査スピードを向上させることができる。またこのとき、ＴＡＢテープの幅方向に並んだ３つ以上のデバイスに対応する配線パターンを同時に形成することにより、互いのパターンの位置精度を高くすることができ、検査時の位置合わせを確実に行える。
【００２７】
また、上記実施形態では、ＴＡＢテープ１の幅方向に並んだ２つのデバイス２を同時に検査する場合について説明したが、ＴＡＢテープ１の長手方向に並んだ複数列分のデバイス２を同時に検査してもよい。例えば、ＴＡＢテープ１の長手方向に並んだ２列分の４つのデバイス２を同時に検査する場合には、図２に示す「検査位置」とともに「Ａ位置」を検査位置として設定し、テストヘッド６に４つ分のデバイス２のピン数に対応する数のプローブピンを設ければよい。また、検査間のデバイス２の搬送間隔を２倍の距離とすればよい。４つのデバイス２を同時に検査することで、さらに検査スピードを向上させることができる。
【００２８】
本発明の適用範囲は上記実施形態に限定されることはない。本発明は、液晶駆動用ＩＣの検査に限定されることなく、プラズマディスプレイパネル、エレクトロルミネッセンスパネル等のフラットディスプレイ駆動用デバイスのみならず、すべてのデバイスの検査に対し広く適用できる。また、ＴＡＢテープの種類も限定されない。本発明は、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）あるいはＣＯＦ（Chip On Film）の両者について適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明によるデバイス検査方法を実施するための検査装置の機構を模式的に示す図。
【図２】本発明によるＴＡＢテープの構成を示す図。
【図３】プローブカードの構成を示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は図３（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図、（ｃ）はプローブピンが配線パターンに接触した状態を示すＢ−Ｂ線断面図。
【図４】従来のデバイスの検査方法を示す図。
【図５】従来のＴＡＢテープの構成を示す図。
【符号の説明】
【００３０】
１      ＴＡＢテープ（テープ）
２      デバイス
３      配線パターン
４      デバイスリール（搬送手段）
５      デバイスリール（搬送手段）
９      プローブピン（プローブ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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