(57)【要約】【課題】圧着ヘッドの傾きを高い精度でかつ容易に調整する上で有利な圧着装置を提供する。【解決手段】圧着装置１００は、液晶パネル１０が載置される載置台３６と、載置台３６に対して昇降可能に設けられた昇降部材４０と、異方導電性接着フィルム２０の上面に接触可能な幅および長さの接触面５２を有する圧着ヘッド５０と、圧着ヘッド５０を、接触面５２を載置台３６に向けつつ接触面５２の幅方向に揺動調節可能に支持する第１の調節機構１２０と、昇降部材４０に取着され接触面５２を載置台３６に向けつつ第１の調節機構１２０を接触面５２の長さ方向に揺動調節可能に支持する第２の調節機構１４０とを備えている。【選択図】        図３
2006024592.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に載置された異方導電性接着フィルムを該基板に圧着する装置であって、
前記基板が載置される載置台と、
前記載置台に対して昇降可能に設けられた昇降部材と、
前記異方導電性接着フィルムの上面に接触可能な幅および長さの接触面を有する圧着ヘッドと、
前記圧着ヘッドを、前記接触面を前記載置台に向けつつ前記接触面の幅方向に揺動調節可能に支持する第１の調節機構と、
前記昇降部材に取着され前記接触面を前記載置台に向けつつ前記第１の調節機構を前記接触面の長さ方向に揺動調節可能に支持する第２の調節機構と、
を備えることを特徴とする異方導電性接着フィルムの圧着装置。
【請求項２】
基板に仮圧着された異方導電性接着フィルムの上に部品を載置し前記異方導電性接着フィルムとともに前記部品を前記基板に圧着する装置であって、
前記基板が載置される載置台と、
前記載置台に対して昇降可能に設けられた昇降部材と、
前記異方導電性接着フィルムの上に載置された前記部品の上面に接触可能な幅および長さの接触面を有する圧着ヘッドと、
前記圧着ヘッドを、前記接触面を前記載置台に向けつつ前記接触面の幅方向に揺動調節可能に支持する第１の調節機構と、
前記昇降部材に取着され前記接触面を前記載置台に向けつつ前記第１の調節機構を前記接触面の長さ方向に揺動調節可能に支持する第２の調節機構と、
を備えることを特徴とする異方導電性接着フィルムの圧着装置。
【請求項３】
前記第１の調節機構は、前記接触面を前記載置台に向けつつ前記圧着ヘッドを前記幅方向に揺動可能に支持する第１の支持機構と、前記幅方向における前記接触面の揺動角度を変化させる第１の揺動角度変化機構と、前記第１の支持機構をロックする第１のロック機構とで構成され、前記第２の調節機構は、前記接触面を前記載置台に向けつつ前記圧着ヘッドを前記長さ方向に揺動可能に支持する第２の支持機構と、前記長さ方向における前記接触面の揺動角度を変化させる第２の揺動角度変化機構と、前記第２の支持機構をロックする第２のロック機構とで構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の異方導電性接着フィルムの圧着装置。
【請求項４】
前記基板は液晶パネルあるいはリジッドなプリント基板あるいは可撓性を有するフレキシブル基板であることを特徴とする請求項１または２記載の異方導電性接着フィルムの圧着装置。
【請求項５】
前記部品はＩＣチップあるいは可撓性を有するフレキシブル基板であることを特徴とする請求項２記載の異方導電性接着フィルムの圧着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は異方導電性接着フィルムの圧着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１５に示すように、チップ部品などの電子部品１を、異方導電性接着フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）３を介して他の電子部品や基板２に圧着する圧着装置４が提供されている（例えば特許文献１参照）。
圧着装置４は、異方導電性接着フィルム３の上面に位置する電子部品１に接触可能な接触面５Ａを有する圧着ヘッド５と、圧着ヘッド５を保持する保持機構６とを備え、保持機構６は圧着ヘッド５を保持した状態で昇降するように構成されている。
電子部品１の基板２への圧着は、圧着ヘッド５を不図示のヒータなどで加熱した状態で圧着ヘッド５を降下させ接触面５Ａで電子部品１を基板２に向けて押圧することで行われる。
保持機構６には、圧着ヘッド５による電子部品１の圧着を確実に行うために、接触面５Ａと、この接触面５Ａが当接する電子部品１の面とが平行となるように圧着ヘッド５の傾きを調整する調整機構が設けられている。
すなわち、保持機構６に上下方向に間隔をおいた隙間６Ａと、この隙間６Ａに挿入されるくさび６Ｂを設け、くさび６Ｂを隙間６Ａに対して動かすことで保持機構６を機械的に変形させることで上下方向における圧着ヘッド５の傾きを調整したり、また、保持機構６に上下方向と直交する方向に間隔をおいた隙間６Ｃを設け、この隙間６Ｃを挟む保持機構６の部分同士を調整ねじ６Ｄで連結し調整ねじ６Ｄを回すことで隙間６Ｃを挟む保持機構６の部分を機械的に変形させることで左右方向における圧着ヘッド５の傾きを調整している。
【特許文献１】特許第３４７０８４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上述した従来装置の調整機構では、保持機構の部分を機械的に変形させているため、圧着ヘッド５の傾き量を高い精度で調整することが難しかった。
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、その目的は、圧着ヘッドの傾きを高い精度でかつ容易に調整する上で有利な圧着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上述の目的を達成するため、本発明は、基板に載置された異方導電性接着フィルムを該基板に圧着する装置であって、前記基板が載置される載置台と、前記載置台に対して昇降可能に設けられた昇降部材と、前記異方導電性接着フィルムの上面に接触可能な幅および長さの接触面を有する圧着ヘッドと、前記圧着ヘッドを、前記接触面を前記載置台に向けつつ前記接触面の幅方向に揺動調節可能に支持する第１の調節機構と、前記昇降部材に取着され前記接触面を前記載置台に向けつつ前記第１の調節機構を前記接触面の長さ方向に揺動調節可能に支持する第２の調節機構とを備えることを特徴とする。
また、本発明は、基板に仮圧着された異方導電性接着フィルムの上に部品を載置し前記異方導電性接着フィルムとともに前記部品を前記基板に圧着する装置であって、前記基板が載置される載置台と、前記載置台に対して昇降可能に設けられた昇降部材と、
前記異方導電性接着フィルムの上に載置された前記部品の上面に接触可能な幅および長さの接触面を有する圧着ヘッドと、前記圧着ヘッドを、前記接触面を前記載置台に向けつつ前記接触面の幅方向に揺動調節可能に支持する第１の調節機構と、前記昇降部材に取着され前記接触面を前記載置台に向けつつ前記第１の調節機構を前記接触面の長さ方向に揺動調節可能に支持する第２の調節機構とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
そのため、本発明によれば、第１の調節機構により、圧着ヘッドを、接触面を載置台に向けつつ接触面の幅方向に揺動調節し、第２の調節機構により、接触面を載置台に向けつつ第１の調節機構を接触面の長さ方向に揺動調節するので、圧着ヘッドの前後方向および左右方向の揺動角度を高い精度でかつ容易に調整する上で有利となり、異方導電性接着フィルムと基板の圧着、あるいは部品と異方導電性接着フィルムと基板の圧着を確実に行う上で有利となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
圧着ヘッドの傾きを高い精度でかつ容易に調整するという目的を、圧着ヘッドを、接触面を載置台に向けつつ接触面の幅方向に揺動調節可能に支持する第１の調節機構と、昇降部材に取着され接触面を載置台に向けつつ第１の調節機構を接触面の長さ方向に揺動調節可能に支持する第２の調節機構とを設けることによって実現した。
【実施例１】
【０００７】
次に、本発明の圧着装置について説明する前に、異方導電性接着フィルムを用いて電子部品を圧着する工程について説明する。
図１は液晶パネル（特許請求の範囲の基板に相当）に対するＩＣチップ（特許請求の範囲の部品に相当）およびフレキシブル基板（特許請求の範囲の部品に相当）の取り付けを説明する図である。
図１に示すように、液晶パネル１０は、不図示の液晶層と、前記液晶層を挟む２つの矩形板状のガラス基板（透明基板）と、前記ガラス基板に形成され液晶層に駆動電圧を印加する不図示の透明電極とを有しており、液晶パネル１０の表面の一側寄り箇所には２枚のガラス基板のうち一方のガラス基板が帯状に取り除かれた段部１００１が形成されている。
この段部１００１には、液晶パネル１０の前記透明電極に接続された複数の第１の接続用接片部１００２と、これら第１の接続用接片部１００２と間隔をおいて配置された複数の第２の接続用接片部１００４とが設けられている。
【０００８】
第１の接続用接片１００２と、第２の接続用接片１００４の第１の接続用接片１００２寄りの接片部分１００４Ａには異方導電性接着フィルム２０が圧着され、この異方導電性接着フィルム２０の上にＩＣチップ１２の接続端子が圧着される。具体的には、第１の接続用接片１００２と、第２の接続用接片１００４の第１の接続用接片１００２寄りの接片部分１００４Ａの上に異方導電性接着フィルム２０が載置され、その上にＩＣチップ１２が載置され、ＩＣチップ１２の接続端子が異方導電性接着フィルム２０とともに第１の接続用接片１００２と第２の接続用接片１００４の接片部分１００４Ａへ圧着されることで電気的に接続される。
第２の接続用接片１００４のうち第１の接続用接片１００２と反対側の接片部分１００４Ｂは、前記とは別の異方導電性接着フィルム２０を介してフレキシブル基板１４の接続端子１４０２に圧着されることで電気的に接続される。具体的には、第２の接続用接片１００４の接片部分１００４Ｂの上に異方導電性接着フィルム２０が載置され、その上にフレキシブル基板１４の接続端子１４０２が載置され、フレキシブル基板１４の接続端子１４０２が異方導電性接着フィルム２０とともに第２の接続用接片１００４の接片部分１００４Ｂへ圧着されることで電気的に接続される。
なお、異方導電性接着フィルム２０は厚さ方向にのみ導電性を有し、厚さ方向の両側に圧着された接片と接続端子とを電気的に接続する機能を有している
【０００９】
このような液晶パネル１０、ＩＣチップ１２、フレキシブル基板１４の組み立ては次のように行われる。
図２は図１に対応する工程図である。
図２に示すように、異方導電性接着フィルム２０を液晶パネル１０の段部１００１の箇所に載置し、異方導電性接着フィルム２０を加熱しつつ液晶パネル１０の段部１００１の箇所に向けて押圧することで、異方導電性接着フィルム２０を液晶パネル１０の段部１００１に圧着して貼付する（ＡＣＦ貼付工程Ｓ１）。
次に、一方の異方導電性接着フィルム２０の上にＩＣチップ１２を搭載し、他方の異方導電性接着フィルム２０の上にフレキシブル基板１４を搭載する（部品搭載工程Ｓ２）。
次に、ＩＣチップ１２とフレキシブル基板１４を加熱しつつ段部１００１に向けて押圧することにより、ＩＣチップ１２とフレキシブル基板１４を異方導電性接着フィルム２０を介して液晶パネル１０に圧着する（部品圧着工程Ｓ３）。
本実施例の圧着装置は、上述したＡＣＦ貼付工程Ｓ１と部品圧着工程Ｓ３の双方の工程に用いられるものである。
【００１０】
次に本実施例の圧着装置について説明する。
図３は圧着装置１００の構成を示す斜視図、図４は圧着装置１００の要部の構成を示す斜視図、図５は圧着装置１００の要部の構成を示す分解斜視図、図６は圧着装置１００の要部の正面図、図７は図６のＡ矢視図、図８（Ａ）は圧着装置１００の要部の一部を破断した正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ矢視図、図９（Ａ）は圧着装置１００の要部の一部を透視した正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ矢視図、図１０は圧着装置１００に対する異方導電性接着フィルムの供給を示す説明図、図１１は異方導電性接着フィルム２０のカバーフィルムの切断を示す説明図、図１２は異方導電性接着フィルム２０が圧着された状態を示す液晶パネルの斜視図、図１３は液晶パネルに対するフレキシブル基板の圧着動作を示す説明図、図１４は異方導電性接着フィルム２０の構成を示す断面図である。
【００１１】
図３に示すように圧着装置１００は、液晶パネル１０が載置される載置台３６と、載置台３６に対して昇降可能に設けられた昇降部材４０と、異方導電性接着フィルム２０の上面に接触可能な幅および長さの接触面５２を有する圧着ヘッド５０と、圧着ヘッド５０を、接触面５２を載置台３６に向けつつ接触面５２の幅方向に揺動調節可能に支持する第１の調節機構１２０と、昇降部材４０に取着され接触面５２を載置台３６に向けつつ第１の調節機構１２０を接触面５２の長さ方向に揺動調節可能に支持する第２の調節機構１４０とを備えている。
基台３０は、前後方向および左右方向に延在する底壁３２と、底壁３２の後部から起立された縦壁３４とを備えている。
載置台３６は底壁３２の上面に取着され、載置台３６の上面には矩形状の平坦な載置面３６０２が形成されている。
縦壁３４は、左右両側の側部３４０２と、これら側部３４０２の間で上下方向に延在する凹部３４０４とを備えている。
【００１２】
昇降部材４０は、凹部３４０４内で載置台３６に対して昇降可能に設けられ、左右方向の幅と上下方向の高さと前後方向の厚さを有する矩形板状を呈し、前方に面する前面４２と上方に面する上面４４とを有している。
昇降部材４０の左右方向の両側部分は左右の側部３４０２に設けられた開口を介して側部３４０２内に設けられた不図示の案内機構により上下方向に昇降可能に支持され、右側の側部３４０２に取着されたモータ４６の回転駆動力が不図示の駆動機構により昇降部材４０に伝達されることで昇降部材４０が昇降されるように構成されている。
【００１３】
圧着ヘッド５０には、異方導電性接着フィルム２０の上面あるいは異方導電性接着フィルム２０の上面に位置する部品に接触可能な幅と、この幅よりも大きな寸法の長さを有する平坦な平面からなる接触面５２が設けられている。
本実施例では、図４、図５に示すように、圧着ヘッド５０は、上部５４と断熱板５６と下部５８を有し、これら上部５４と断熱板５６と下部５８がこの順番で上方から下方に重ね合わされた状態でねじにより締結されて構成されている。
上部５４は、断面矩形状を呈し左右方向に延在し、その延在方向の両端から互いに同軸上に位置する軸部５４０２がそれぞれ突設され、上部５４の上面の左右方向の中央箇所から上方に延在する第１の支持アーム５４０４が設けられている。
図７、図８（Ｂ）、図９（Ｂ）に示すように、第１の支持アーム５４０４には、前後方向に貫通するねじ挿通孔５４０６が設けられており、ねじ挿通孔５４０６には第１のロックねじ７０が挿通されている。
また、第１の支持アーム５４０４のねじ挿通孔５４０６の下方には、接触面５２の前後方向に貫通するねじ孔５４０８が設けられており、ねじ孔５４０８には第１の調整ねじ７２の雄ねじ部がコイルばね７３を挿通して螺合され、コイルばね７３により第１の調整ねじ７２の軸方向のがたつきが防止されている。
下部５８は、熱伝導性を有する材料で構成され、断面矩形状を呈し左右方向に延在し、その下面に左右方向に延在する凸部５８０２が形成され、その凸部５８０２の先端に前記接触面５２が形成されている。下部５８の内部には長手方向に沿って延在する収容孔５８０４が形成され、収容孔５８０４には加熱用のヒータ５８０６（図６参照）が収容保持されている。
断熱板５６は、断熱性を有する材料で構成され、断面矩形状を呈し左右方向に延在し、上部５４と下部５８との間に配置されることで下部５８からの熱を上部５４に対して断熱するように構成されている。
【００１４】
圧着ヘッド５０は、図４、図５に示すように、支持枠６０、第２の支持アーム６２、軸部６４、軸受け部６６、凸片６８を介して昇降部材４０に連結されている。
支持枠６０は、上部５４をその延在方向の両端で挟む２つの支持片６００２と、２つの支持片６００２を連結する連結片６００４とを有し、各支持片６００２には軸受け孔６００６が設けられ、上部５４の各軸部５４０２が軸受け孔６００６に挿通されることにより圧着ヘッド５０は支持枠６０に対して軸部５４０２を支点Ｐ２（図７参照）として前後方向に、言い換えると接触面５２の幅方向に揺動可能に支持される。
軸部６４は、連結片６００４の後面で延在方向の中間箇所から後方に向けて突設されている。
【００１５】
第２の支持アーム６２は、図４、図５に示すように、連結片６００４の上面で延在方向の中央箇所から起立されている。
図６、図８（Ａ），図９（Ａ）に示すように、第２の支持アーム６２の上部には、前記第１のロックねじ７０が螺合されるねじ孔６２０２が軸線を前後方向に向けて設けられ、ねじ孔６２０２の下方の第２の支持アーム６２の前面箇所には前記第１の調整ねじ７２の雄ねじ部の先端が当接されるようになっている。
また、第２の支持アーム６２の上部には左右方向に貫通するねじ孔６２０４が設けられており、一方のねじ孔６２０４には第２の調整ねじ７６の雄ねじ部がコイルばね７７を挿通して螺合され、コイルばね７７により第２の調整ねじ７６の軸方向のがたつきが防止されている。
第２の支持アーム６２の上部でねじ孔６２０４の下方には左右方向に貫通する別のねじ孔６２０６が設けられており、ねじ孔６２０６には第２のロックねじ７４が螺合されるようになっている。
【００１６】
軸受け部６６は、図４、図５に示すように、昇降部材４０の前面４２に設けられ、支持枠６０の軸部６００８が軸受け部６６に挿通されることにより支持枠６０および圧着ヘッド５０は軸部６００８を支点Ｐ１（図６参照）として左右方向、言い換えると接触面５２の長さ方向に揺動可能に支持される。
凸片６８は、軸受け部６６の上方に対応する昇降部材４０の上面４４に設けられ、前面４２よりも前方の箇所まで突設されている。
図６、図８（Ａ），図９（Ａ）に示すように、凸片６８には、第２のロックねじ７４が挿通されるねじ挿通孔６８０２が設けられ、第２の調整ねじ７６の雄ねじ部はねじ挿通孔６８０２を通って前記ねじ孔６２０６に螺合される。
【００１７】
したがって、図８に示すように、圧着ヘッド５０は、上部５４の軸部５４０２を中心にして接触面５２を載置台３６に向けつつ前記幅方向（前後方向）に揺動可能に支持されるとともに、図９に示すように、支持枠６０の軸部６４を中心にして接触面５２を載置台３６に向けつつ前記長さ方向（左右方向）に揺動可能に支持される。
また、第１の調整ねじ７２を回転すると、この第１の調整ねじ７２の進退に連動して第１の支持アーム５４０４が軸部５４０２を支点として第２の支持アーム６２に対して接離する方向に動かされ、言い換えると、接触面５２が前記幅方向（前後方向）に揺動される。
そして、第１のロックねじ７０を回転すると、第１の支持アームの上端が第２の支持アームの上端に締め付けられ、圧着ヘッド５０の前記幅方向（前後方向）における揺動角度が固定される。
このように第１の調整ねじ７２および第１のロックねじ７０を操作することによって圧着ヘッド５０の前記幅方向（前後方向）の揺動角度（傾き）を高い精度でかつ容易に調整することができる。
したがって、本実施例では、支持枠６０と、第１の支持アーム５４０４と、軸受け孔６００６と、軸部５４０２と、第１の調整ねじ７２と、第２の支持アーム６２によって特許請求の範囲の第１の支持機構が構成され、第１の支持アーム５４０４と、第１の調整ねじ７２と、第２の支持アーム６２によって特許請求の範囲の第１の揺動角度変化機構が構成され、第１のロックねじ７０と、第１の支持アーム５４０４と、第２の支持アーム６２によって特許請求の範囲の第１のロック機構が構成され、これら第１の支持機構と第１の揺動角度変化機構と第１のロック機構により第１の調節機構１２０が構成されている。
【００１８】
また、第２の調整ねじ７６を回転すると、この第２の調整ねじ７６の進退に連動して第２の支持アーム６２が軸部６４を支点として凸片６８に対して接離する方向に動かされ、言い換えると、接触面５２が前記長さ方向（左右方向）に揺動される。
そして、第２のロックねじ７４を回転すると、第２の支持アーム６２の上端が凸片６８に締め付けられ、圧着ヘッド５０の前記長さ方向（左右方向）における揺動角度が固定される。
このように第２の調整ねじ７６および第２のロックねじ７４を操作することによって圧着ヘッド５０の前記長さ方向（左右方向）の揺動角度（傾き）を高い精度でかつ容易に調整することができる。
したがって、本実施例では、支持枠６０と、第２の支持アーム６２と、軸部６４と、軸受け部６６と、凸片６８と、第２の調整ねじ７６によって特許請求の範囲の第２の支持機構が構成され、第２の支持アーム６２と、凸片６８と、第２の調整ねじ７６によって特許請求の範囲の第２の揺動角度変化機構が構成され、第２のロックねじ７４と、第２の支持アーム６２と、凸片６８によって第２のロック機構が構成され、これら第２の支持機構と第２の揺動角度変化機構と第２のロック機構により第２の調節機構１４０が構成されている。
【００１９】
また、本実施例では、第１の調整ねじ７２の雄ねじ部の先端が第２の支持アーム６２に当接する箇所と軸部５４０２の中心との間の距離を大きく取ることで第１の調整ねじ７２の回転量に対して圧着ヘッド５０の前記幅方向の揺動量を小さく設定することができ、圧着ヘッド５０の前記幅方向の揺動量を高い精度で調節する上で有利となる。
また、第２の調整ねじ７６の雄ねじ部の先端が凸片６８に当接する箇所と軸部６４の中心との間の距離を大きく取ることで第２の調整ねじ７６の回転量に対して圧着ヘッド５０の前記長さ方向の揺動量を小さく設定することができ、圧着ヘッド５０の前記長さ方向の揺動量を高い精度で調節する上で有利となる。
【００２０】
次に、図１０〜図１４を参照してＡＣＦ貼付工程Ｓ１、部品圧着工程Ｓ３における圧着装置１００の動作について説明する。本例では、異方導電性接着フィルム２０を前述した液晶パネル１０に貼付する場合について説明する。
図１４に示すように、異方導電性接着フィルム２０は、基板や電子部品に圧着され厚さ電気的に導通する導電粒子を含むバインダー層２００４からなり、このバインダー層２００４を保護するために、バインダー層２００４の厚さ方向の両側に例えばＰＥＴからなるベースフィルム２００２とカバーフィルム２００６がそれぞれ重ね合わされて構成されている。これら重ね合わされたベースフィルム２００２、バインダー層２００４、カバーフィルム２００６を以下ではカバー付きフィルム２１と呼ぶ。
【００２１】
ＡＣＦ貼付工程Ｓ１では、図１０に示すように、カバー付フィルム２１は供給リール２２に巻回されて収容され、供給リール２２から引き出されたカバー付きフィルム２１は、ベースフィルム２００２が剥離されてベースフィルム巻取り用のリール２４に巻き取られ、互い重ね合わされたバインダー層２００４とカバーフィルム２００６とは、圧着ヘッド５０と液晶パネル１０の段部１００１の双方に臨んだ状態でそれらの間を通って矢印方向に供給される。この供給は例えばカバーフィルム２００６が不図示の巻き取りリールにより巻き取られることでなされる。
また、図１１に示すように、バインダー層２００４は、圧着に先だって、液晶パネル１０に圧着するために必要な長さとなるように刃物２６によって切断される。この際、バインダー層２００４のみが刃物２６で切断されカバーフィルム２００６は切断されないようになっている。
そして、図１０に示すように、切断されたバインダー層２００４が液晶パネル１０の段部１００１の第２接続用接片１００４の上に位置した状態で、加熱された圧着ヘッド５０が降下される。
圧着ヘッド５０の降下により、接触面５２がカバーフィルム２００６を押圧し、これによりバインダー層２００４が液晶パネル１０の第２接続用接片１００４に圧着され、バインダー層２００４は第２接続用接片１００４と電気的に導通した状態となる。
この際、前述したように圧着ヘッド５０の前記幅方向（前後方向）および前記長さ方向（左右方向）の揺動角度が高い精度で調整されているため、バインダー層２００４と液晶パネル１０との圧着が確実に行われる。
圧着が終了すると、圧着ヘッド５０は上昇し、カバーフィルム２００６はバインダー層２００４から剥離される。
これにより、図１２に示すように、バインダー層２００４、すなわち異方導電性接着フィルム２０が圧着された液晶パネル１０が得られる。
以上でＡＣＦ貼付工程Ｓ１が完了する。
【００２２】
次に、図１３に示すように、部品搭載工程Ｓ２により異方導電性接着フィルム２０の上にフレキシブル基板１４を載置する。
次いで、部品圧着工程Ｓ３では、フレキシブル基板１４が載置された液晶パネル１０を載置台３６の上に載置し、フレキシブル基板１４の接続端子１４０２に対応する部分を圧着ヘッド５０に臨ませる。
そして、フレキシブル基板１４が液晶パネル１０の段部１００１上に載置された状態で加熱された圧着ヘッド５０が降下される。
圧着ヘッド５０降下により、接触面５２がフレキシブル基板１４の上面を押圧し、これによりバインダー層２００４がフレキシブル基板１４の接続端子１４０２に圧着される。すなわち、フレキシブル基板１４の接続端子１４０２が異方導電性接着フィルム２０とともに液晶パネル１０の第２の接続用接片１００４の接片部分１００４Ｂへ圧着されることで電気的に接続される。
この際、前述したように圧着ヘッド５０の前記幅方向（前後方向）および前記長さ方向（左右方向）の揺動角度が高い精度で調整されているため、液晶パネル１０とバインダー層２００４とフレキシブル基板１４との圧着が確実に行われる。
圧着が終了すると、圧着ヘッド５０は上昇し、フレキシブル基板１４が圧着された液晶パネル１０が得られる。
以上で部品圧着工程Ｓ３が完了する。
【００２３】
なお、図１に示すように、フレキシブル基板１４に代えてＩＣチップ１２を異方導電性接着フィルム２０とともに液晶パネル１０に圧着する場合についても、上述のフレキシブル基板１４の場合と同様に圧着装置１００によりＡＣＦ貼付工程Ｓ１と部品圧着工程Ｓ３がなされる。
また、本実施例では、圧着装置１００によって、異方導電性接着フィルムを基板としての液晶パネルの接続用接片部に圧着する場合について説明したが、本発明は、異方導電性接着フィルムをリジッドなプリント基板、あるいは、可撓性を有するフレキシブル基板に形成された接続用接片部に圧着する場合にも無論適用可能である。
また、本実施例では、圧着装置１００によって、フレキシブル基板やＩＣチップなどからなる部品を異方導電性接着フィルムとともに基板としての液晶パネルの接続用接片部に圧着する場合について説明したが、本発明は、種々の電子部品を異方導電性接着フィルムとともにリジッドなプリント基板、あるいは、可撓性を有するフレキシブル基板に形成された接続用接片部に圧着する場合にも無論適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】液晶パネルに対するＩＣチップおよびフレキシブル基板の取り付けを説明する図である。
【図２】図１に対応する工程図である。
【図３】圧着装置１００の構成を示す斜視図である。
【図４】圧着装置１００の要部の構成を示す斜視図である。
【図５】圧着装置１００の要部の構成を示す分解斜視図である。
【図６】圧着装置１００の要部の正面図である。
【図７】図７は図６のＡ矢視図である。
【図８】圧着装置１００の要部の一部を破断した説明図である。
【図９】圧着装置１００の要部の一部を透視した説明図である。
【図１０】圧着装置１００に対する異方導電性接着フィルムの供給を示す説明図である。
【図１１】異方導電性接着フィルム２０のカバーフィルムの切断を示す説明図である。
【図１２】異方導電性接着フィルム２０が圧着された状態を示す液晶パネルの斜視図である。
【図１３】液晶パネルに対するフレキシブル基板の圧着動作を示す説明図である。
【図１４】異方導電性接着フィルム２０の構成を示す断面図である。
【図１５】従来装置の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２５】
１００……圧着装置、１０……液晶パネル、２０……異方導電性接着フィルム、４０……昇降部材、５０……圧着ヘッド、５２……接触面、５４０２……軸部、５４０４……第１の支持アーム、６０……支持枠、６００６……軸受け孔、７６２……第２の支持アーム、６４……軸部、６６……軸受け部、６８……凸片、７０……第１のロックねじ、２……第１の調整ねじ、７４……第２のロックねじ、７６……第２の調整ねじ、１２０……第１の調節機構、１４０……第２の調節機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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