(57)【要約】【課題】  画素加算と感度切替えを両立できるようにすることを目的とする。【解決手段】  複数の画素を２次元に配列した撮像装置において、解像度の切替えを行う手段と、複数の画素から組合せ単位を形成する手段と、組合せ単位ごとの必要感度判定を行う手段と、必要感度判定結果に基づき、組合せ単位ごとの感度を切替える手段と、を備える。また、組合せ単位ごとの必要感度判定結果情報を出力する手段をさらに備える。【選択図】  図１
2006319529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素を２次元に配列した撮像装置において、
解像度の切替えを行う手段と、
前記複数の画素から組合せ単位を形成する手段と、
前記組合せ単位ごとの必要感度判定を行う手段と、
前記必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの感度を切替える手段と、
を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記組合せ単位ごとの必要感度判定結果情報を出力する手段をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
【請求項３】
前記解像度切替えを行う手段、前記複数の画素から組合せ単位を形成する手段、前記組合せ単位ごとの必要感度判定を行う手段及び前記組合せ単位ごとの感度を切替える手段は、前記画素が配列された撮像領域内に配置されることを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
【請求項４】
前記組合せ単位ごとの必要感度判定を行う手段は、前記組合せ単位内の少なくとも一つの画素の必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの感度判定を行うことを特徴とする請求項３記載の撮像装置。
【請求項５】
前記組合せ単位ごとの必要感度判定を行う手段は、前記組合せ単位ごとの出力に基づき必要感度判定を行い、前記組合せ単位ごとの必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの必要感度判定を行うことを特徴とする請求項３記載の撮像装置。
【請求項６】
前記組合せ単位ごとの必要感度判定を行う手段と、前記感度切替えを行う手段とは、前記組合せ単位ごとにあることを特徴とする請求項４又は５記載の撮像装置。
【請求項７】
前記画素ごとに光電変換部を有し、
前記組合せ単位ごとの感度切替えを行う手段は、複数の感度に対応した、前記光電変換部に接続した複数の信号蓄積容量と、
前記組合せ単位ごとの必要感度判定結果に基づき前記信号蓄積手段を切替えるスイッチと、を有し、該スイッチを制御する手段を有することを特徴とする請求項４又は５記載の撮像装置。
【請求項８】
複数の撮像素子を配列することで２次元の撮像領域を形成する撮像装置において、
前記各撮像素子は、２次元に配列した複数の画素と、
解像度切替えを行う手段と、
前記複数の画素から組合せ単位を形成する手段と、
前記組合せ単位ごとの必要感度判定を行う手段と、
前記必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの感度を切替える手段と、が前記撮像領域内にあることを特徴とする撮像装置。
【請求項９】
前記組合せ単位ごとの必要感度判定結果情報を出力する手段を備えることを特徴とする請求項８記載の撮像装置。
【請求項１０】
放射線を光に変換するシンチレータ板をさらに有することを特徴とする請求項８記載の撮像装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の撮像装置と、
被写体に放射線を照射する放射線源と、
前記必要感度判定結果情報を記憶する手段と、
前記撮像装置からの画像出力信号を記憶する手段と、
前記組合せ単位ごとの必要感度情報に基づいて、前記出力信号の補正を行う手段とを有することを特徴とする撮像システム。
【請求項１２】
２次元に配列した複数の画素を有する撮像装置の撮像方法において、
解像度切替えを行い、
前記複数の画素から組合せ単位を形成し、
前記組合せ単位ごとに必要感度判定を行い、
前記必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの感度を切替えることを特徴とする撮像方法。
【請求項１３】
前記解像度に応じた画像信号を出力し、
前記組合せ単位ごとの必要感度判定結果情報を出力することを特徴とする請求項１２記載の撮像方法。
【請求項１４】
前記組合せ単位内の少なくとも１つの必要感度判定手段の必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの感度を切替えることを特徴とする請求項１２記載の撮像方法。
【請求項１５】
前記組合せ単位ごとの出力に基づき必要感度判定を行い、前記必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの感度を切替えることを特徴とする請求項１２記載の撮像方法。
【請求項１６】
前記組合せ単位ごとの必要感度判定結果情報に基づき、前記画素の画像信号を補正することを特徴とする請求項１２記載の撮像方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像装置、それを用いた撮像システム及び撮像方法に関し、特に、大板の静止画撮像装置、それを用いた医療用撮像システム及び撮像方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
≪アプリケーション分野の技術≫
近年、医療の様々な分野でデジタル化が進んでいる。
【０００３】
Ｘ線診断の分野でも、画像のデジタル化のために、入射するＸ線をシンチレータ（蛍光体）により可視光に変換し、さらに撮像素子でかかる可視光像を撮像する２次元Ｘ線撮像装置が開発されてきている。
【０００４】
Ｘ線静止画の分野では、例えば、乳房撮影用、胸部撮影用の２次元Ｘ線撮像装置として１７インチサイズ（４３ｃｍ×４３ｃｍ）のアモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）を用いた大板の静止画撮像装置（以下フラットパネルディテクタ）が作られている。
【０００５】
Ｘ線動画の分野では、入射するＸ線をシンチレータ（蛍光体）とＩ．Ｉ．（イメージインテンシファイア）により可視光に変換し、ＣＣＤ型撮像素子を用いたＴＶカメラでかかる可視光像を撮像する２次元のデジタルＸ線透視装置やこのＴＶカメラをフラットパネルディテクタで置き換えたシステムが考案されている。
【０００６】
さらに、Ｘ線ＣＴ撮影装置へのフラットパネルディテクタの応用が考えられている。
【０００７】
さらに、一般的な健常者を対象とした肺癌検診のために被写体を直立或いは座位の状態で回転させることができる回転台を設け、この回転台をＸ線源及びＩ．Ｉ．ＴＶカメラやフラットパネルディテクタ等の２次元Ｘ線撮像装置に対して回転させながら撮影する装置が提案されている。
【０００８】
≪フラットパネルディテクタや撮像装置の技術≫
このような装置に利用できるフラットパネルディテクタとして本出願人の提案した以下のものがある。
【０００９】
特許文献１
複数の撮像装置をタイル張りにして、フラットパネルディテクタを実現している。
【００１０】
また画素加算の例として以下のものがある。
【００１１】
特許文献２
加算動作時の感度低下、ノイズ発生を抑制する構成が開示されている。
【００１２】
このようなフラットパネルディテクタに用いられる撮像装置の感度及びダイナミックレンジ特性を改善する技術として以下のものがある。
【００１３】
特許文献３
（１）１回の露光時時間中に複数回の非破壊読出しを行い、これらの信号を電気的に合成することでダイナミックレンジを広げる構成が開示されている。
【００１４】
（２）解像度の記述はない。
【００１５】
特許文献４
Ｘ線ＣＴ撮影システムの検出器として、２次元イメージセンサを採用し、画素内に複数のコンデンサと感度切替えコントローラと出力判断部とを有する構造を開示している。
【００１６】
図１６にこの従来の技術を示す。
【００１７】
１００はフォトダイオード、１０１はデータ収集回路、１０２は出力判定部、１０３は自己走査用ＦＥＴ、１０４はＡ／Ｄ変換器、１０５はシフトレジスタ、１０６はデータ処理装置、１０７はコンデンサ切換コントローラ、１０８は容量制御用ＦＥＴ、１０９は容量拡張用コンデンサ、１１０はリセット用ＦＥＴである。
【００１８】
これらの回路を同一のシリコンウエハ上に形成する構成も開示されている。
【００１９】
（１）画素ごとの感度切替えを行う。
【００２０】
（２）画素ごとに複数のコンデンサ（容量拡張用コンデンサ１０９）と切替えスイッチ（容量制御用ＦＥＴ１０８）を有する。
【００２１】
（３）出力判定部１０２、コンデンサ切替えコントローラ１０７は、画素ごとに配置してもよいし、まとめて別領域に配置してもよい構造となっている。
【００２２】
（４）コンデンサ制御情報は、外部に出してもよい。
【００２３】
（５）解像度切替えの記述はない。
特許文献５
必要感度の異なる静止画撮影と透視撮影で、画素部のコンデンサを切替えることで感度を切替える構造を開示している。
【００２４】
図１７にこの従来の技術を示す。
【００２５】
Ｐｄ１〜Ｐｄ１２８は光電変換素子、Ｅは電源、Ｃｄ１〜Ｃｄ１２８、Ｃｅ１〜Ｃｅ１２８はコンデンサ、Ｓｃ１〜Ｓｃ１２８はスイッチ、ＣＫ３は制御信号、Ａ１〜Ａ１２８は各前置増幅器、Ｆはシフトレジスタである。
【００２６】
（１）画素ごとに複数のコンデンサ（Ｃｄ１〜Ｃｄ１２８、Ｃｅ１〜Ｃｅ１２８）と切替えスイッチ（Ｓｃ１〜Ｓｃ１２８）を有する。
【００２７】
（２）静止画撮影と透視撮影でこれらのコンデンサを切替え、ダイナミックレンジを切替える。
【００２８】
（３）全画素一括でダイナミックレンジを切替える。
【００２９】
（４）解像度切替えの記述はない。
【特許文献１】特開２００２−９０４６２号公報
【特許文献２】特開２００３−９００３号公報
【特許文献３】特開平０２−１０７０７６号公報
【特許文献４】特開平０７−２８０９４５号公報
【特許文献５】特開昭６１−２４４１７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３０】
医療におけるＸ線静止画撮影では低速（最大で秒数枚）、低感度（線量は１０ｍＲ程度と大きい）、高解像度（１６０μｍ程度の画素ピッチ）、一方Ｘ線ＣＴ撮影では高速（秒２００枚程度）、高感度（静止画より線量は１／１０から１／１００）、低解像度（０．５ｍｍ程度の画素ピッチ）である。
【００３１】
このような分野に用いられる撮像装置に求められる仕様は、それぞれかなり異なる。
【００３２】
さらに、それぞれの撮影時に、従来の撮像装置ではダイナミックレンジが不足する場合がある。
【００３３】
人体での吸収によりＸ線は１／１００程度になるので、Ｘ線の被写体巣抜け部では、そうでない部分に比べ１００倍程度のＸ線照射となる。
【００３４】
巣抜け部では上側のダイナミックレンジが不足し、また人体に金属等を有する場合、この部分では下側のダイナミックレンジが不足することが起こりやすい。
【００３５】
一方ダイナミックレンジ、感度、解像度の異なる用途で兼用する撮像システムが求められ、さらにそれぞれの撮影時に、それぞれの解像度に応じて、それぞれの領域でダイナミックレンジをリアルタイムに変更できる撮像システムが求められている。
【００３６】
このように撮影条件によって、速度、感度、解像度が変わり、さらに撮影中にダイナミックレンジが不足するアプリケーションに対しては、従来の撮像装置や方法では対応できない。
【００３７】
特許文献５では、一つの撮像装置をダイナミックレンジの異なる領域で利用することができるが、さらにそれぞれの領域のとき画素ごと又は複数の画素を組合せ単位ごとに感度を変更することはできない。
【００３８】
特許文献４では、撮影中に感度を切替えることはできるが、解像度を変えることができない。
【００３９】
特許文献３では、撮影中に感度を切替えることはできるが、解像度を替えることができず、また複数回の非破壊読出しでは、動画や連続静止画での高速読出しが困難である。
【００４０】
画素加算と感度切替えを両立させたい。従来の技術を組合せるだけでは実現することはできない。
【００４１】
そこで、本発明は、画素加算と感度切替えを両立できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００４２】
本発明は、上記課題を解決するための手段として、複数の画素を２次元に配列した撮像装置において、解像度の切替えを行う手段と、前記複数の画素から組合せ単位を形成する手段と、前記組合せ単位ごとの必要感度判定を行う手段と、前記必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの感度を切替える手段と、を備える。
【００４３】
また、本発明は、複数の撮像素子を配列することで２次元の撮像領域を形成する撮像装置において、前記各撮像素子は、２次元に配列した複数の画素と、解像度切替えを行う手段と、前記複数の画素から組合せ単位を形成する手段と、前記組合せ単位ごとの必要感度判定を行う手段と、前記必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの感度を切替える手段と、が前記撮像領域内にあることを特徴とする。
【００４４】
また、本発明は、２次元に配列した複数の画素を有する撮像装置の撮像方法において、解像度切替えを行い、前記複数の画素から組合せ単位を形成し、前記組合せ単位ごとに必要感度判定を行い、前記必要感度判定結果に基づき、前記組合せ単位ごとの感度を切替えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、ダイナミックレンジ、感度、解像度の異なる用途で兼用する撮像装置を提供できる。
【００４６】
さらに、それぞれの撮影時に、それぞれの解像度に応じてダイナミックレンジを変更でき、またその撮像装置を提供できる。
【００４７】
その撮像装置を有するフラットパネルディテクタを用いて、静止画（低速低感度高解像度）からＣＴ撮影（高速高感度低解像度）まで、ダイナミックレンジ、感度、解像度の異なる用途で兼用する撮像システムを提供できる。
【００４８】
さらに、それぞれの撮影時に、それぞれの解像度に応じてダイナミックレンジを変更でき、またその撮像システムを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の実施の形態を説明する。
【００５０】
（第１の実施形態）
≪一般的な撮像装置を想定する≫
図１は、本発明の撮像装置の第１の実施形態を示す１画素分の回路と複数画素に共通する回路の構成図である。図２は、本発明の撮像装置の第１実施形態を示す４画素分の回路構成図である。図３は、感度切替え回路、コンパレータ、制御回路のブロック図である。図４は、図３のブロックをマトリクス状に配列して構成された撮像装置の構成図である。
【００５１】
≪各画素の信号を加算する場所については特許文献１の図１に開示されている構成を使う≫
図１に示すように、１画素は、少なくともフォトダイオードＰＤ、リセットスイッチＳＷ３、感度切替えスイッチＳＷ２、感度切替え容量ＣＳ、フォトダイオードＰＤのカソード側がゲートに接続され、フォトダイオードＰＤに蓄積された信号を増幅して出力するアンプＡＭＰ１（ＭＯＳトランジスタ）、アンプＡＭＰ１のドレイン側に接続される電流源Ｉ１（アンプＡＭＰ１と電流源Ｉ１は増幅手段を構成する）、アンプＡＭＰ１のドレイン側に接続されるサンプリング用のサンプルスイッチＳＷ４、サンプルスイッチＳＷ４を介して転送された信号を保持（ホールド）する容量ＣＨ、容量ＣＨに蓄積された信号をさらに増幅して出力するアンプＡＭＰ２（ＭＯＳトランジスタ）、アンプＡＭＰ２のソース側に接続される画素選択用のスイッチＳＷ５、アンプＡＭＰ２のドレイン側に接続される電流源Ｉ２から構成され、アンプＡＭＰ２のドレイン側は垂直出力線ＶＬに接続される。
【００５２】
垂直出力線ＶＬの長さ方向に隣接して配列される画素どうしは、画素の容量ＣＨとアンプＡＭＰ２のゲートとの間で、加算スイッチＳＷ１０、１２を介して接続されている。
【００５３】
また、垂直出力線の長さ方向と垂直な方向に隣接して配列される画素どうしは、画素の容量ＣＨとアンプＡＭＰ２のゲートとの間で、加算スイッチＳＷ１１を介して接続されている。
【００５４】
ＡＤＤ信号をハイレベルにすることで、加算スイッチＳＷ１０、１１、１２は全てオンになり、加算スイッチＳＷ１０、１１、１２で接続される接続点（容量ＣＨとアンプＡＭＰ２のゲートとの間）は共通に接続される。
【００５５】
本実施形態では画素加算を行う場合、加算単位を構成する画素全ての出力信号を利用するので、間引き読みで解像度を落とす場合に比べＳ／Ｎは良好となる。
【００５６】
特に、医療での利用を考える場合、被写体の被曝を最小限に押さえて、感度を上げることができるので好ましい。
【００５７】
図２に２×２画素で組合せ単位を構成する場合を示す。各画素の回路は左右対称のミラー配置にする。
【００５８】
これにより配線等のレイアウトを容易にする。また画素と画素の間に制御回路を配置する。これらの回路のレイアウトを図４に示す。
【００５９】
各画素対応の感度切替え回路、コンパレータは、それぞれの画素領域（画素セル）に配置したが、制御回路を含め画素間の領域に最適配置することもできる。
【００６０】
本実施形態では、感度切替え回路はＯＲ回路、コンパレータは作動増幅器を用いた回路、制御回路はＯＲ回路で構成されている。
【００６１】
本撮像装置は一般的なＣＭＯＳプロセスを用いているので、これらの回路はフォトダイオードやＭＯＳトランジスタスイッチ等の画素回路と一体的に撮像装置内に容易に形成できる。
【００６２】
垂直シフトレジスタ、マルチプレクサ、読出しアンプ等の周辺回路は撮像装置の外周部に同じプロセスで形成される（不図示）。
【００６３】
本実施形態では、加算を行う前に各画素において出力をモニタし、必要感度を検出する。
【００６４】
そのために各画素に対応して、感度切替え回路とコンパレータを有し、コンパレータはＡＭＰ１のドレイン側出力をモニタする。
【００６５】
これにより必要感度の検出は画素加算と独立に行うことができる。
【００６６】
感度切替え回路は、コンパレータからの信号により感度切替えスイッチをオン状態とし、感度切替え容量ＣＳをフォトダイオードＰＤに接続する。
【００６７】
感度切替え容量ＣＳはフォトダイオードＰＤとＡＭＰ１との接続部で形成される容量ＦＤ（不図示）の１０倍と設定し、高感度モードと低感度モードの切替えを行う。
【００６８】
感度切替えの基本は、まず光量の少ない場合はノイズ的に有利な高感度モードとし、光量が大きくなったら、低感度モードとする。
【００６９】
これを画素ごとにできるようにする。
【００７０】
通常モード撮影時
感度切替えの動作
通常モードにおいては、ＡＤＤ信号を常にロウレベルとし、加算スイッチＳＷ１０、ＳＷ１１、ＳＷ１２をオフ状態としておく。
【００７１】
まず、リセット信号（ＲＥＳ）をハイレベルにして、リセットスイッチＳＷ３をオンとし、全画素を一括でリセットする。
【００７２】
リセット信号（ＲＥＳ）をロウレベルとすることで、フォトダイオードＰＤへの信号蓄積が開始する。
【００７３】
この間、光を照射することにより、フォトダイオードＰＤに電荷が蓄積されていく。
【００７４】
例えば、ＶＲＥＳ＝３Ｖとすると、光照射によりＰ点の電位は減少していく。
【００７５】
図５に一定の蓄積時間での、Ｐ点の電位と光量の関係の概略を示す。
【００７６】
光量が増えるに従い、Ｌ１に添ってＰ点の電位は下がる。
【００７７】
各画素のコンパレータで設定されている基準電圧をＶｒｅｆとする。
【００７８】
Ｐ点の電位がＶｒｅｆを下回ると（Ｒ点）、コンパレータからの出力がハイレベルとなる。
【００７９】
この信号Ａは制御回路に入力される。
【００８０】
制御回路はＯＲ回路となっており、２×２の４画素から同様な信号の入力がされる。
【００８１】
４画素からの入力の一つでもハイレベルとなると、制御回路はハイレベルの信号Ｂを各画素の感度切替え回路に出力をする（４画素の組合せ単位での感度を決定し、出力する）。
【００８２】
感度切替え回路はＯＲ回路となっており、コンパレータからの信号と、制御回路からの信号を入力としている。
【００８３】
よって制御回路、又は自分のコンパレータからハイレベルの信号を受けると、ハイレベルの信号を出力し、これにより感度切替えスイッチＳＷ２がオンとなって、感度が自動的に切り替わる。
【００８４】
図中点線は感度切替えを行わなかった場合であり、このとき光量Ｆ１でフォトダイオードは飽和してしまう。
【００８５】
感度切替えによりさらに大きな光量まで飽和せず対応していることが分かる。
【００８６】
通常モードでも、感度に関しては２×２を組合せ単位としている。
【００８７】
一般に撮影中感度切替えが必要なのは、図６に示したように撮像領域のある範囲に強い光が入る場合等が多い。
【００８８】
この場合１画素ごとに感度を切替える必要はなく（１画素ごとに急激に変化することは少ない）、ある領域でまとまって切替えればよい。
【００８９】
そこで本実施形態では、画像の解像度は１×１のときでも、感度に関しては２×２の組合せ単位で切替えるようにしている。
【００９０】
感度切替え回路からの出力は感度情報出力線ＳＬに出力される。
【００９１】
読み出し動作
図７（ａ）は上記撮像装置の通常モードの読出し動作を示すタイミングチャートである。
【００９２】
ここでは２行分の動作を示す。
【００９３】
まず、サンプルホールド信号Ｓ／Ｈをハイレベルとして、フォトダイオードＰＤに蓄積された電荷に対応する信号（増幅した信号）をサンプルスイッチＳＷ４によりサンプリングし、容量ＣＨに保持（ホールド）する。
【００９４】
ここでは全画素一括してサンプルホールド動作を行う。
【００９５】
次に垂直走査回路となるシフトレジスタ（不図示）から出力される選択信号ＳＥＬ１、ＳＥＬ２、ＳＥＬ３、・・・が順次ハイレベルとなって、各選択信号が印加される水平方向に配列された画素群からそれぞれ垂直出力線ＶＬに、容量ＣＨにホールドされた信号が増幅されて出力される。
【００９６】
各垂直出力線に出力された信号は、各選択信号がそれぞれハイレベルの間に水平走査回路（ＭＵＸ）により順次選択されて出力信号（ＯＵＴ）として出力される。
【００９７】
同時にスイッチＳＷ６がオンとなり、感度切替え回路からの出力が感度情報出力線ＳＬに感度情報として出力される。
【００９８】
感度は２×２で切替えられているが、出力は一列ごとに読み出される。
【００９９】
本実施形態では、感度情報は専用の出力線に出力しているが、垂直出力線ＶＬを共用して、出力タイミングを調整することで、それぞれの信号を出力することもできる。
【０１００】
これにより、配線数（配線長）を減らせるので、配線に関わる製造上の欠陥が低減でき、歩留りを向上することができる。
【０１０１】
加算モード撮影時
感度切替えの動作
まずリセット信号（ＲＥＳ）をハイレベルにして、リセットスイッチＳＷ３をオンとし、全画素を一括でリセットする。
【０１０２】
リセット信号（ＲＥＳ）をロウレベルとすることで、フォトダイオードＰＤへの信号蓄積が開始する。
【０１０３】
本実施形態での加算は、後述するように信号をサンプルホールドした後に行うので、信号蓄積は各画素で独立行われる。
【０１０４】
つまり加算の動作と感度切替えの動作を別々の動作として行うことができる。
【０１０５】
本実施形態によれば、解像度の選定とは別に、感度を切替える組合せを選択できる。
【０１０６】
加算モードでの感度切替えの動作は通常モードと同じになる。
【０１０７】
蓄積時間中に光を照射することにより、フォトダイオードＰＤに電荷が蓄積されていく。
【０１０８】
Ｐ点の電位がＶｒｅｆを下回ると、コンパレータからの出力がハイレベルとなる。
【０１０９】
この信号は制御回路に入力される。
【０１１０】
制御回路はＯＲ回路となっており、２×２の４画素から同様な信号の入力がされる。
【０１１１】
４画素からの入力の一つでもハイレベルとなると、制御回路はハイレベルの信号を各画素の感度切替え回路に出力をする（４画素の組合せ単位での感度を決定し、出力する）。
【０１１２】
感度切替え回路はＯＲ回路となっており、コンパレータからの信号と、制御回路からの信号を入力としている。
【０１１３】
よって、制御回路、又は自分のコンパレータからハイレベルの信号を受けると、ハイレベルの信号を出力し、これにより感度切替えスイッチＳＷ２がオンとなって、２×２の組合せ単位の感度が自動的に切り替わる。
【０１１４】
感度に関しては２×２を組合せ単位としている。
【０１１５】
必要感度の検出は、コンパレータのばらつきがあっても正しく検出できるように、１画素単位のコンパレータとしている。
【０１１６】
感度切替え回路からの出力は感度情報出力線ＳＬに出力される。
【０１１７】
読み出しの動作
図７（ｂ）は上記撮像装置の加算モードでの読出し動作を示すタイミングチャートである。
【０１１８】
まず、サンプルホールド信号Ｓ／Ｈをハイレベルとして、フォトダイオードＰＤに蓄積された電荷に対応する信号（増幅した信号）をサンプルスイッチＳＷ４によりサンプリングし、容量ＣＨに保持（ホールド）する。
【０１１９】
ここでは全画素一括してサンプルホールド動作を行う。
【０１２０】
次に、ＡＤＤ信号をハイレベルとし、加算スイッチＳＷ１０、ＳＷ１１、ＳＷ１２をオン状態とする。
【０１２１】
すると、各画素の容量ＣＨの電位は４画素単位で加算前の四つの画素の容量ＣＨの電位の平均電位となる。
【０１２２】
次に垂直シフトレジスタ（不図示）から出力される選択信号ＳＥＬ１、ＳＥＬ３、ＳＥＬ５、・・・が順次ハイレベルとなって、各選択信号が印加される水平方向に配列された画素群からそれぞれ垂直出力線に、容量ＣＨにホールドされた信号が増幅されて出力される。
【０１２３】
この時、容量ＣＨの電位は４画素単位で同電位なので、選択信号ＳＥＬ２、ＳＥＬ４、ＳＥＬ６、・・・をハイレベルとする必要はない。
【０１２４】
各垂直出力線に出力された信号は、各選択信号がそれぞれハイレベルの間に水平走査回路（ＭＵＸ）により１本飛ばしで選択されて、４画素の平均出力が出力信号（ＯＵＴ）として出力される。
【０１２５】
図７（ａ）に示す通常モードでは、全画素の出力を水平走査回路（ＭＵＸ）が出力するのに対し、図７（ｂ）に示す加算モードでは、全画素の１／４に相当する出力のみ出力するため、１フレームに必要な時間はおよそ１／４ですむ。
【０１２６】
つまり、フレーム・レートを約４倍にすることができる。
【０１２７】
また、容量ＣＨは大きくしてもアンプＡＭＰ２が電圧出力のため電位が小さくなることはない。
【０１２８】
さらに、加算スイッチ又は配線に浮遊容量があっても電位が低下することはない。
【０１２９】
また、容量ＣＨを大きくすることができるため、加算スイッチ又は配線でリーク電流があっても感度低下を招くことはないし、ノイズが増大することもない。
【０１３０】
この場合、容量ＣＨはフォトダイオードＰＤの持つ容量より大きければ効果が高くなる。
【０１３１】
本実施形態では、増幅手段となる、アンプＡＭＰ１、ＡＭＰ２と電流源Ｉ１、Ｉ２はソースフォロワ回路を構成し、電圧は増幅していないが電荷を増幅することになる。
【０１３２】
もちろん、電圧を増幅するタイプであってもよい。
【０１３３】
１×１の通常モード、２×２の加算モードに対応してリアルタイムに感度切替えができる。
【０１３４】
各画素に対応した感度切替え回路とコンパレータ、これらを制御する制御回路により、通常モード、加算モードに応じて感度切替えができる。
【０１３５】
組合せ単位を構成する画素の一つでも、その出力がコンパレータで閾値を越えると、他の構成画素の感度切替え回路に働いて、全ての構成画素の感度が切り替わる。
【０１３６】
そこでコンパレータの検出ばらつきによらず、感度切替えができる。
【０１３７】
２×２ごとに感度切替えをするＳＷ２群を示したが、組合せ単位はこれに限定されない。
【０１３８】
感度に関しては、前述したように解像度に比べ、大きい組合せ単位で設定しても良い。
【０１３９】
本実施形態では、Ｓ／Ｈ（サンプル＆ホールド）回路が１画素内に入っているため、一つの撮像装置内のどの行の画素においても全画素と同じタイミングで検出光を蓄積することができ、一つの撮像装置内で像が歪んだり、多数枚の撮像装置を貼り合わせた大判のセンサパネルにおいて隣接する撮像装置で画像が不連続になることはない。
【０１４０】
高感度モードと低感度モードの２段階の切替えを示したが、感度切替えの水準は適宜設定することができ、それに応じた感度切替え回路、コンパレータ、制御回路を用意すればよい。
【０１４１】
本実施形態では２×２の最も単純な画素加算、感度の組合せを想定し、制御回路は１個のＯＲ回路となったが、この制御回路はさらに一般的なｎ×ｍ（ｎ、ｍは１以上の適当な整数）の組合せ単位に応じた回路とすることができる。
【０１４２】
（第２の実施形態）
図８は本発明の撮像装置の第２の実施形態を示す１画素分の回路と複数画素に共通する回路の構成図である。
【０１４３】
本実施形態では、制御回路の構成が第１の実施形態と異なっている。それ以外の回路は共通である。
【０１４４】
本実施形態の制御回路にはＡＮＤ回路が追加され、ＡＤＤ信号とＯＲ回路からの信号が入力される。
【０１４５】
このＡＮＤ回路により、ＡＤＤ信号を用いて、１画素ごと、又は２×２の組合せ単位ごとの感度切替えができるようにする。
【０１４６】
通常モード撮影時
感度切替えの動作
通常モードにおいては、ＡＤＤ信号を常にロウレベルとし、加算スイッチＳＷ１０、ＳＷ１１、ＳＷ１２をオフ状態としておく。
【０１４７】
光量が増えるに従い、ある画素でのＰ点の電位は下がる。各画素のコンパレータで設定されている基準電圧をＶｒｅｆとする。
【０１４８】
Ｐ点の電位がＶｒｅｆを下回ると、コンパレータからの出力がハイレベルとなる。
【０１４９】
この信号Ａは制御回路に入力されるが、ＡＤＤ信号がロウレベルになっているので、制御回路からの出力信号は、感度切替え回路には入力されない。
【０１５０】
一方感度切替え回路はＯＲ回路となっており、コンパレータからの信号と、制御回路からの信号を入力としている。
【０１５１】
よってコンパレータからハイレベルの信号を受けると、ハイレベルの信号を出力し、これにより感度切替えスイッチＳＷ２がオンとなって、その画素のみの感度が自動的に切り替わる。
【０１５２】
本実施形態では、通常モードでは画素ごとに感度を変更する。
【０１５３】
解像度の単位と感度切替えの組合せ単位は一致する。
【０１５４】
本実施形態でも、感度情報は専用の出力線に出力しているが、垂直出力線ＶＬを共用して、出力タイミングを調整することで、それぞれの信号を出力することもできる。
【０１５５】
これにより配線数（配線長）を減らせるので、配線に関わる製造上の欠陥が低減でき、歩留りを向上することができる。
【０１５６】
加算モード撮影時
感度切替えの動作
本実施形態での加算モードにおいては、ＡＤＤ信号をまずハイレベルとし、加算スイッチＳＷ１０、ＳＷ１１、ＳＷ１２をオン状態としておく。このとき制御回路のＡＮＤ回路にもハイレベルのＡＤＤ信号が入力され、制御回路の出力が、全ての画素に供給される。
【０１５７】
所定の蓄積時間中に光を照射することにより、フォトダイオードＰＤに電荷が蓄積されていく。
【０１５８】
Ｐ点の電位がＶｒｅｆを下回ると、コンパレータからの出力がハイレベルとなる。
【０１５９】
この信号は制御回路に入力される。制御回路はＯＲ回路となっており、２×２の４画素から同様な信号の入力がされる。
【０１６０】
４画素からの入力の一つでもハイレベルとなると、制御回路はハイレベルの信号を各画素の感度切替え回路に出力をする（４画素の組合せ単位での感度を決定し、出力する）。
【０１６１】
感度切替え回路はＯＲ回路となっており、コンパレータからの信号と、制御回路からの信号を入力としている。
【０１６２】
よって、制御回路、又は自分のコンパレータからハイレベルの信号を受けると、ハイレベルの信号を出力し、これにより感度切替えスイッチＳＷ２がオンとなって、２×２の組合せ単位の感度が自動的に切り替わる。
【０１６３】
感度に関しては２×２を組合せ単位としている。
【０１６４】
必要感度の検出は、コンパレータのばらつきがあっても正しく検出できるように、１画素単位のコンパレータとしている。
【０１６５】
感度切替え回路からの出力は感度情報出力線ＳＬに出力される。
【０１６６】
１×１の通常モード、２×２の加算モードに対応してリアルタイムに感度切替えができる。
【０１６７】
各画素に対応した感度切替え回路とコンパレータ、これらを制御する制御回路により、通常モード、加算モードに応じて感度切替えができる。
【０１６８】
組合せ単位を構成する画素の一つでも、その出力がコンパレータで閾値を越えると、他の構成画素の感度切替え回路に働いて、全ての構成画素の感度が切り替わる。そこでコンパレータの検出ばらつきによらず、感度切替えができる。
【０１６９】
解像度の単位と感度切替えの組合せ単位を同じくできる。
【０１７０】
２×２ごとに感度切替えをするＳＷ２群を示したが、組合せ単位はこれに限定されない。
【０１７１】
高感度モードと低感度モードの２段階の切替えを示したが、感度切替えの水準は適宜設定することができ、それに応じた感度切替え回路、コンパレータ、制御回路を用意すればよい。
【０１７２】
本実施形態では２×２の最も単純な画素加算、感度の組合せを想定し、制御回路は１個のＯＲ回路となったが、この制御回路はさらに一般的なｎ×ｍ（ｎ、ｍは１以上の適当な整数）の組合せ単位に応じた回路とすることができる。
【０１７３】
（第３の実施形態）
図９は本発明の撮像装置の第３の実施形態を示す。
【０１７４】
１画素分の回路の内、フォトダイオードＰＤと全画素一括感度切替えスイッチＳＷＴ、感度切替えスイッチＳＷ２、低感度モード用容量ＣＳＬ、感度切替え容量ＣＳを示す。
【０１７５】
高感度モード時のフォトダイオードＰＤの容量に対し、感度切替え容量ＣＳは１０倍、低感度モード用容量ＣＳは１００倍の容量としている。
【０１７６】
その他の回路は基本的に第１、２の実施形態と同様であるので省略する。
【０１７７】
本実施形態では、撮像装置の外部から加える一括感度切替え信号ＳＬをハイレベルとすることで、全画素一括感度切替えスイッチＳＷＴをオンとする。
【０１７８】
撮像装置全体を低感度モードとし、これにより光量レベルの大きいアプリケーションで利用することができる。
【０１７９】
光量レベルの非常に小さいアプリケーションで利用する場合、一括感度切替え信号ＳＬをロウレベルとすることで、全画素一括感度切替えスイッチＳＷＴをオフとする。
【０１８０】
これにより撮像装置全体を高感度モードに設定する。
【０１８１】
このとき画素ごとのコンパレータと感度切替え回路が働くことにより、適当な組合せ単位ごとに感度切替え容量ＣＳがフォトダイオードに接続され、感度が切り替わる。
【０１８２】
感度切替え容量ＣＳは低感度モード用容量ＣＳＬと並列となっており、しかも１／１０の容量であり、低感度モードでは感度切替えの効果は少ない。
【０１８３】
そこで、高感度モード時のフォトダイオードＰＤの容量に対し１０００倍の容量をもつ、第２の感度切替え容量と第２の感度切替えスイッチを低感度モード用容量に付加して、これを感度切替え回路で制御するようにしてもよい。
【０１８４】
（第４の実施形態）
図１０は本発明の撮像装置の第４の実施形態の撮像装置の４画素分を示す。基本的な画素回路は第１の実施の形態と同様である。
【０１８５】
本実施形態では、２×２の４画素加算を行っているＱ点で必要感度を検出する構成としている。
【０１８６】
制御回路は、コンパレータからの出力と一括感度切替え信号ＳＬを入力とし、その出力を各画素の感度切替えスイッチに接続されたＯＲ回路となっている。
【０１８７】
一括感度切替え信号ＳＬは、撮像装置の外部から加える信号とする。
【０１８８】
通常モードでは全画素一括で感度を変えられようになっている。
【０１８９】
まずＡＤＤ信号を常時ロウレベルとする。
【０１９０】
このときコンパレータ、制御回路はリセットされており（リセット回路は不図示）、コンパレータの出力は常にロウレベルとなっている。
【０１９１】
一括感度切替え信号ＳＬをロウレベルとすれば、この信号が制御回路の入力となっているので、制御回路の出力はロウレベルのままで、全画素が高感度モードとなる。
【０１９２】
一括感度切替え信号ＳＬをハイレベルとすれば、制御回路の出力はハイレベルとなり、全画素の感度切替えスイッチがオンとなる。
【０１９３】
これにより低感度モードとなる。通常モードでは画素ごと、組合せ単位ごとの感度を自動的に変更することはできないので、本実施形態の通常モードは、全体的に光量の異なる場面で、撮像装置の感度を全体的に変更する場合に使われる。
【０１９４】
加算モードでは、一括で低感度モードにするか、又は高感度モードで画素の加算単位ごとに（感度の組合せ単位と画素の加算単位は同じ）自動的に低感度モードに変わるようになっている。
【０１９５】
まず、ＡＤＤ信号を常時ハイレベルとする。これにより各画素のホールド容量からの出力がＱ点で加算される。
【０１９６】
一括感度切替え信号ＳＬをロウレベルとすると、この信号が制御回路に入力される。
【０１９７】
コンパレータはまずリセットされており（リセット回路は不図示）、コンパレータの出力はロウレベルとなって制御回路に入力される。
【０１９８】
よって、制御回路の出力はロウレベルとなり、全画素が高感度モードとなる。
【０１９９】
所定の蓄積時間中に光を照射することにより、フォトダイオードＰＤに電荷が蓄積されていく。
【０２００】
このときサンプルスイッチはオンとする。
【０２０１】
Ｐ点の電位が減少するにつれ、Ｑ点の電位も減少し、Ｑ点の電位がＶｒｅｆを下回ると、コンパレータからの出力がハイレベルとなる。
【０２０２】
この信号は制御回路に入力され、その出力がハイレベルとなる。
【０２０３】
その結果感度切替えスイッチがオン状態となり、４画素が低感度モードに切り替わる。
【０２０４】
高感度モードで撮影中に、万一高光量が入射しても飽和することなく撮影することができる。
【０２０５】
一方一括感度切替え信号ＳＬをハイレベルとすれば、制御回路の出力は常時ハイレベルとなり、全画素の感度切替えスイッチがオンとなる。これにより低感度モードとなる。
【０２０６】
画素加算単位に一揃いのコンパレータと制御回路を設ければよいので、全体回路が簡略化される。感度切替え回路は制御回路に一体化され、簡単化されている。
【０２０７】
（第５の実施形態）
≪本出願人による特許文献１のフラットパネルディテクタに応用した例≫
≪各画素の信号を加算する場所については本出願人よる特許文献２の図１に開示されている構成を使う≫
図１１は本発明の撮像装置の第５の実施形態の撮像装置を示す。図１２はさらに複数の撮像装置をタイル張りして、フラットパネルディテクタにした場合を示す。
【０２０８】
ここではシンチレータをタイル張りした撮像装置の上に設置し、Ｘ線用としている。図１３は図１２におけるＡ−Ａ’の断面を示す。
【０２０９】
本実施形態では、撮像装置の周辺回路（垂直シフトレジスタ、水平シフトレジスタ、マルチプレクサ、出力アンプ等）と、感度切替え回路、コンパレータ、制御回路を撮像領域内に配置している。
【０２１０】
また、外部接続用の端子やバンプも撮像領域内に配置している。感度切替え回路、コンパレータ、制御回路は、第１、２、３、４の実施形態に示したものを利用できる。
【０２１１】
このように周辺回路や機能回路を撮像領域内に配置することにより、撮像装置全面が撮像領域とすることが可能になった。
【０２１２】
この撮像装置を９枚タイル張りすることで、図１２に示すような高性能（撮像装置の繋ぎによる欠陥がなく、アプリケーションに応じた感度切替えを設定できる）なフラットパネルディテクタを実現できた。１個の撮像装置を８インチウエハから１枚どりすると、４０ｃｍ×４０ｃｍの大判のフラットパネルディテクタを実現できる。
【０２１３】
（第６の実施形態）
図１４は本発明の第６の実施形態を示す。第５の実施形態である大判のフラットパネルディテクタを静止画撮影兼用の立位型コーンビームＣＴに応用した形態である。
【０２１４】
１はＸ線発生装置（Ｘ線源）、２はＸ線源用電源、Ｘは照射された連続Ｘ線、６は被写体、３はＸ線検出素子、４は回転装置（回転台）、５はロータリーエンコーダ、７はＸ線用フラットパネルディテクタ、８は撮影制御装置、９は表示装置である。
【０２１５】
なお、本実施形態では、放射線としてＸ線を用いているが、その他にもα線、β線、γ線等を用いることができる。
【０２１６】
Ｘ線発生装置は、一般撮影用の装置を利用し、連続Ｘ線モードで使用する。
【０２１７】
撮影制御装置は管電圧、管電流、照射時間を設定し、照射の開始と停止を制御するのみである。
【０２１８】
回転装置は、撮影制御装置からの回転制御信号に基づいて回転部分を連続回転させる装置である。
【０２１９】
回転部分には被写体を回転中に保持するための保持装置（不図示）が設置されている。
【０２２０】
さらに、回転装置の回転角度を計測し、撮影制御装置に出力するロータリーエンコーダが設けられている。
【０２２１】
これは、フルスキャンで１回転３６０度を１０００プロジェクションで撮影する場合、１プロジェクション当たり０．３６度ごとに信号を発生する。
【０２２２】
回転の角度を計測し、角度に対する信号を生成する。
【０２２３】
回転角検出手段であれば、ロータリーエンコーダ５に限定されない。
【０２２４】
この信号により、Ｘ線用フラットパネルディテクタの蓄積時間を制御して画像を取得する。
【０２２５】
図１５は本実施形態のシステム構成を示す。
【０２２６】
撮影制御装置８はＸ線用フラットパネルディテクタ７から出力された感度情報を格納する感度情報メモリ１４、プロジェクション画像データを格納する画像データメモリ１５、補正データを保存する補正データメモリ１６、画像処理部１７、装置制御部１８、蓄積時間制御部２０、蓄積時間算出カウンタ２１、回転装置制御部１９からなっている。Ｘ線用フラットパネルディテクタ７は感度情報読取り部１１、Ａ／Ｄ変換器１２、駆動部１３を含んでいる。
【０２２７】
この本撮像システムでは、被写体を立位のまま素早く撮影を開始でき、次の被写体との交代も短時間で済み、全体の撮影時間を短縮することができる。
【０２２８】
さらに、コーンビームＸ線を用いて高々１回転で撮影を行うので、被写体の被曝を低減できる等の検診に適したシステムとして好適である。
【０２２９】
また、Ｘ線源とＸ線検出器を一体回転させるためのガントリーが不要となるので、Ｘ線源とＸ線検出器との位置が自由に設定でき、計測時の拡大率や計測部位を変えることができる。
【０２３０】
また、一般撮影用のＸ線源を利用でき、ガントリーも不要でシステムのコストを押さえることができる。
【０２３１】
さらに、システムの構成が簡単なので車載用に好都合である。
【０２３２】
コーンビームＸ線ＣＴ撮影装置の特徴として、検出器は被写体に対して回転軸上を相対的に回転するのみで、回転軸方向に移動することはない。
【０２３３】
そこで、被写体の関心領域全体を捉えることができるが本発明の大判フラットパネルディテクタを利用することで、たかだか１回の回転で全ＣＴ像を再構成するための全プロジェクション画像データを取得することができる。
【０２３４】
さらに一般撮影として肺野を含めた大面積での静止画撮影を行うこともできる。
【０２３５】
本実施形態での撮像装置の画素ピッチは静止画撮影を考慮して１６０μｍとした。
【０２３６】
静止画撮影時は、最大で秒６枚、Ｘ線線量は１０ｍＲ／枚程度となる。
【０２３７】
一方Ｘ線ＣＴ撮影時は５秒で被写体が１回転し、１０００枚のプロジェクション画像を取得するので読取り速度は秒２００枚となる。
【０２３８】
また線量は１枚当たり静止画の１／１００程度となり、４×４画素加算で０．６４ｍｍの画素ピッチで読み取る。
【０２３９】
本発明の撮像装置を用いることで、静止画時には低感度モード、高解像度、低速での撮影を行い、ＣＴ撮影時には、高感度モード、低解像度、高速の撮影を行うことができる。
【０２４０】
さらにそれぞれの撮影時に、ダイナミックレンジが不足する場合がある。
【０２４１】
人体での吸収によりＸ線は１／１００程度になるので、Ｘ線の被写体巣抜け部では、そうでない部分に比べ１００倍程度のＸ線照射となる。
【０２４２】
巣抜け部では上側のダイナミックレンジが不足する。また人体に金属等を有する場合、この部分では下側のダイナミックレンジが不足する。
【０２４３】
このような場合にも自動的に解像度に応じて感度を変更できるので、ダイナミックレンジ不足による、画質の劣化を防ぐことができる。
【０２４４】
特に医療用の場合、撮影失敗による取り直しは被曝が増えるため好ましくないので、本実施形態の撮像システムにより、感度異常による撮影失敗を予防することができる。
【０２４５】
感度情報読取り部１１によりフラットパネルディテクタ７から読み出された感度情報は、感度情報メモリ１４に保存されたあと、画像処理部１７で画像データを感度に合わせた補正を行うために使われる。
【０２４６】
まず出力した画素データを感度情報で補正する。
【０２４７】
低感度モードと高感度モードの比（容量比）をｋとする。
【０２４８】
低感度モードでの出力画素値がｎのとき、実際の画素値をｎ×ｋとする補正を行う。
【０２４９】
高感度モードの場合は出力画素値をそのまま利用する。感度情報メモリ１４に保存された感度情報マップにより、全ての補正単位ごとに行う。
【０２５０】
次に予め取得していた白補正データを同じように補正して白補正データを作成する。予め取得していたＦＰＮ（固定パターンノイズ）データと感度補正後の白データを用いて、感度補正後の画素データをさらに補正することで画像を形成する。
【０２５１】
ＦＰＮは感度で変わらないとしたが、感度で変わる場合は、白補正データと同様に感度補正すればよい。
【０２５２】
本実施形態により、ダイナミックレンジ、感度、解像度の異なる用途で兼用する撮像システムを実現できる。
【０２５３】
さらに、それぞれの撮影時に、それぞれの解像度に応じて、それぞれの領域でダイナミックレンジをリアルタイムに変更できる撮像システムを実現できる。
【０２５４】
本実施形態では、立位を想定したが、臥台方式でＸ線と撮像装置が回転するガントリ方式や、Ｃアーム方式を採用することで、さらに透視撮影にも兼用できるシステムを実現できる。
【産業上の利用可能性】
【０２５５】
本発明は、Ｘ線などの放射線を使用した撮像装置を用いる撮像システムなどに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０２５６】
【図１】本発明の撮像装置の第１の実施形態を示す１画素分の回路と複数画素に共通するする回路の構成図である。
【図２】本発明の撮像装置の第１実施形態を示す４画素分の回路構成図である。
【図３】感度切替え回路、コンパレータ、制御回路のブロック図である。
【図４】図３のブロックをマトリクス状に配列して構成された撮像装置の構成図である。
【図５】一定の蓄積時間での、Ｐ点の電位と光量の関係の概略を示すグラフである。
【図６】撮像領域の光照射状態を示す平面図である。
【図７】撮像装置の通常モード及び加算モードでの読出し動作を示すタイミングチャートである。
【図８】本発明の撮像装置の第２の実施形態を示す１画素分の回路と複数画素に共通する回路の構成図である。
【図９】本発明の撮像装置の第３の実施形態を示す回路図である。
【図１０】本発明の撮像装置の第４の実施形態の撮像装置の４画素分を示す回路図である。
【図１１】本発明の撮像装置の第５の実施形態の撮像装置を示す平面図である。
【図１２】図１１の撮像装置を複数タイル張りして、フラットパネルディテクタにした場合を示す平面図である。
【図１３】図１２におけるＡ−Ａ’の断面を示す断面図である。
【図１４】本発明の第６の実施形態を示す斜視図である。
【図１５】本発明の第６実施形態のシステム構成を示すブロック図である。
【図１６】従来技術の構成を示すブロック図である。
【図１７】従来技術の回路を示す回路図である。
【符号の説明】
【０２５７】
ＰＤ  フォトダイオード
ＣＳ  感度切替え容量
ＶＬ  垂直出力線
ＣＨ  容量
ＳＷ２  感度切替えスイッチ
ＳＷ４  サンプリング用のサンプルスイッチ
ＳＷ５  画素選択用のスイッチ
ＡＭＰ１  アンプ（ＭＯＳトランジスタ）
ＡＭＰ２  アンプ（ＭＯＳトランジスタ）
Ｉ１  電流源
Ｉ２  電流源
【図１】
2006319529.tif 000003
【図２】
2006319529.tif 000004
【図３】
2006319529.tif 000005
【図４】
2006319529.tif 000006
【図５】
2006319529.tif 000007
【図６】
2006319529.tif 000008
【図７】
2006319529.tif 000009
【図８】
2006319529.tif 000010
【図９】
2006319529.tif 000011
【図１０】
2006319529.tif 000012
【図１１】
2006319529.tif 000013
【図１２】
2006319529.tif 000014
【図１３】
2006319529.tif 000015
【図１４】
2006319529.tif 000016
【図１５】
2006319529.tif 000017
【図１６】
2006319529.tif 000018
【図１７】
2006319529.tif 000019