(57)【要約】【課題】  本発明は、半導体露光装置などのデバイス製造装置における、照明光発生装置を専用冷却装置の追加によるコストアップ、装置の大型化を招くことなく効率よく冷却をおこない、工場設備変更への負担もなくすことを目的とする。【解決手段】  本発明では、露光装置へ供給する温調エアもしくは冷却水を温調制御する為に冷却する冷凍機の冷却水配管系を有する半導体露光装置において、露光装置本体への露光光発生装置からの熱の影響に対し冷却水経路を有する分離パネルを設けて防ぎ、また、照明光発生装置冷却エアの工場排気設備への排気温度を下げるために、前記冷却水配管系を２次利用した熱交換装置を設けたことを特徴とする。【選択図】  図１
2006024843.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却器、送風機、加熱器で構成される循環温調装置と露光光発生装置を有する半導体露光装置において、露光装置本体のおかれている循環温調空間と露光光発生装置のおかれている熱排気空間とを断熱パネルで分離させていることを特徴とする半導体露光装置。
【請求項２】
前記断熱パネルは冷却水経路を有することを特徴とする請求項１記載の半導体露光装置。
【請求項３】
前記断熱パネル冷却水経路において、その冷却用の冷却水として露光装置本体の温調装置用冷却水を再利用したことを特徴とする請求項１記載の半導体露光装置。
【請求項４】
前記冷却器、送風機、加熱器で構成される循環温調装置と露光光発生装置を有する半導体露光装置において、露光光発生装置設置空間の熱排気を外部へ排気する前にその排気熱を冷却する装置を有することを特徴とする半導体露光装置。
【請求項５】
前記排気熱を冷却する装置において、その冷却用の冷却水として露光装置本体の温調装置用冷却水を再利用したことを特徴とする請求項５記載の半導体露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体露光装置において、特に温度環境を制御する温度調整機能を備えた半導体露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造等に用いられる露光装置において、装置内に設置された照明光発生装置からは熱が発生し露光装置本体の温度環境制御及び周辺機器に影響を与える。
【０００３】
そのため、照明光発生装置から発生する熱を排除する為に、温調制御装置内に設けた送風機によりエアを供給し、発熱部の熱を吸収し工場の熱排気設備に送り出している。
【０００４】
図２に従来例の温度環境制御装置の概略を示す。露光装置本体１７が収納され環境条件を維持するチャンバ１１と温度環境制御を行う空調機械室３が設けられている。露光装置本体に露光光を供給する露光光発生装置２からこの空調機械室３を通り本体に供給する経路１がある。露光光発生装置２からは高温の熱が発生する。この為、周囲に通路を設けエア取り込み口１２よりクリーンルームエアを取り込み、ファン４によりエア１５を外部工場排気に排気し冷却を行っている。以上により、露光装置本体の温度制御に対する照明光発生装置の熱の影響を防いでいる。
【特許文献１】実開平３−０２０８１４号公報
【特許文献２】実開平２−１３７９２１号公報
【特許文献３】特開昭５９−０１８５０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来例によると、露光光発生装置から発生する熱を露光装置本体に伝えない為に断熱パネル等で遮断し露光光発生装置設置空間をエアで熱排気しているが、排熱空間の形状が複雑になるとよどみ部が存在してしまい、その部分は高温となる為露光装置本体側へ伝熱してしまうため十分な断熱を行えない。
【０００６】
また、露光光発生装置空間をエアで排熱した場合冷却後に工場の排気設備に送り出されるエアの温度も高温になってしまう。このため、工場設備もこれに対応したものにしなくてはならない。また、排気エアの温度を下げるためには、冷却エアを供給する装置を設ける方法もあるが専用装置を設けることにより装置のコストアップにつながる。また、供給風量を増やし冷却効率を上げる方法もあるが、送風機の大型化による空調機室の大型化や、送風機から発生する振動の増加による露光装置の精度悪化が課題となる。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の課題を鑑みてなされたものであり、半導体露光装置などのデバイス製造装置における、照明光発生装置を専用冷却装置の追加によるコストアップ、装置の大型化を招くことなく効率よく冷却をおこない、工場設備変更への負担もなくすことを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明では、露光装置へ供給する温調エアもしくは冷却水を温調制御する為に冷却する冷凍機の冷却水配管系を有する半導体露光装置において、露光装置本体への露光光発生装置からの熱の影響に対し冷却水経路を有する分離パネルを設けて防ぎ、また、照明光発生装置冷却エアの工場排気設備への排気温度を下げるために、前記冷却水配管系を２次利用した熱交換装置を設けたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の実施の一形態に係わる露光装置は、露光装置への循環エアまたは装置冷却水の温調用冷凍機の冷却水配管において、熱交換処理後の冷却水を２次利用し冷却器を設け、照明光発生装置冷却後の高温排気エアをこの冷却器を通過させることにより温度を下げてから工場設備に排気することを特徴とする。これにより排気熱用の冷却装置を新規に設けることなく排熱の冷却を行うことができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、半導体露光装置などのデバイス製造装置における発熱体冷却エアの熱回収後の温度上昇したエアの工場設備排気温度を低コストで下げることができる。また、本体温調用の冷却水を２次利用する為、省エネ化にも寄与する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図を用いて本発明の実施例を説明する。
【００１２】
図１は本発明の一実施例に係る半導体露光装置の概略構成を示す。本実施例の露光装置は、一般にステッパと呼ばれる縮小投影型の半導体露光装置であって照明光学系１に照明光を供給する光源２と、露光装置の温度制御をおこなう空調機機械室３からなる。この機械室内に照明光発生装置設置空間に冷却用エアを供給する送風機４が配置されている。また、空調機械室３には露光装置の温度制御をおこなう循環エアの温度制御用熱交換器５が配置されている。また、この熱交換器５の冷媒を供給する冷凍機６が配置されており、冷却水配管７により工場設備より冷却水が供給されている。露光装置外より入り口８から冷却水が供給され、冷凍機６により熱交換される。その後冷却水は環境チャンバ１１と光源設置空間１３との間に設けられたジャケット９を通り熱交換器２２に入りここでさらに熱交換をおこない出口１０より装置外に排出され工場設備にもどされる。
【００１３】
環境チャンバ１１と光源設置空間１３との間に設けられたジャケット９を冷却水が通ることにより、環境チャンバと光源空間との分離をして環境チャンバへの光源からの熱の移動を防ぐ。また、環境チャンバ１１外部からクリーンルームエア１２を送風機４で取り込み、光源２の設置空間１３に供給する。供給されたエアは照明光発生装置２の熱源から熱を吸収し、温められたエア１４となる。このときエア１４は光源の熱により高温になる。その後エア１４は熱交換器９に送られ熱交換器２２を通過したエア１５は冷却され露光装置外にダクトを通り送り出され、排気エア１６として工場排気設備に排気される。
【００１４】
本実施形態では露光装置温調制御用循環エアの冷却系の冷却水を再利用しているが、この冷却水温度は光源空間の温度に対し十分に低く、断熱及び排熱に対して有効である。
【００１５】
なお、上記実施例においては、露光装置温調制御用循環エアの冷却系を用いたものを示したが、露光装置冷却用冷却水用の冷却系など照明光発生装置通過後の排気エアより十分に低い温度の冷媒を使える冷却系を再利用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例に係わる冷却系の構成を説明する概略図である。
【図２】冷却系の従来例を説明する図である。
【符号の説明】
【００１７】
１  照明光学系
２  光源
３  空調機機械室
４  ファン
５  熱交換器
６  冷凍機
７  冷却水配管
８  入り口
９  ジャケット
１０  出口
１１  環境チャンバ
１２  クリーンルームエア
１３  光源設置空間
１４  エア
１５  エア
１６  排気エア
１７  露光装置
１８  循環温調エア
１９  冷媒配管
２０  送風機
２１  加熱器
２２  熱交換器
【図１】
2006024843.tif 000003
【図２】
2006024843.tif 000004