(57)【要約】【課題】  良好な感度が得られるとともに、現像後のパターンにおける耐熱性を向上させることができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、および（Ｄ）光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、（Ｅ）オキセタン化合物および（Ｆ）エポキシ化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、および（Ｄ）光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、
（Ｅ）オキセタン化合物および（Ｆ）エポキシ化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、前記（Ｅ）オキセタン化合物を０．１〜１００質量部含む請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、前記（Ｆ）エポキシ化合物を０．０５〜２０質量部含む請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記（Ｅ）オキセタン化合物は、下記一般式で表される化合物を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【化１】
2006259266.tif 000028
〔式中、Ｒ３７およびＲ３８はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数２〜４のアルケニル基、または炭素数７〜１２のアラルキル基を示す。〕
【請求項５】
前記（Ａ）着色剤は、黒色顔料であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターンを有することを特徴とするカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物およびこれを用いて形成されたパターンを有するカラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、カラー表示装置に用いられるカラーフィルタにあっては、一般に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色からなる画素（着色層）が、ブラックマトリクスと呼ばれる格子状の遮光層で囲まれている構成を有する。
かかるカラーフィルタの着色層およびブラックマトリクスを、着色剤を含有するホトレジスト組成物を用いてホトリソグラフ法によって形成する方法が知られている。
【０００３】
例えば下記特許文献１には、アルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー、ベンゾフェノン骨格と過酸化物骨格を併せ持つ特定の光・熱重合開始剤、オキセタン化合物、および溶剤を含有する光硬化性組成物を、基板上に塗布して塗膜を形成し、パターン状に光硬化処理し、アルカリ現像し、特定の条件で熱硬化することによってカラーフィルタを製造する方法が記載されている。
また下記特許文献２には、着色剤、アルカリ可溶性樹脂、多官能性単量体、光重合開始剤、およびオキセタン系化合物を含有する感放射線性組成物を、基板上に塗布して塗膜を形成し、マスクを介して部分的に露光し、アルカリ現像して未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることによってカラーフィルタを製造する方法が記載されている。
【特許文献１】特開２００３−２５５５３１号公報
【特許文献２】特開２０００−２１４５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ホトリソグラフ法によりカラーフィルタを形成する際に用いられる感光性樹脂組成物にあっては、ブラックマトリクスや着色層（画素）といった微細なパターンを良好なプロファイル形状で形成できることが要求される。
そのためには、着色剤を含有していても露光光に対して良好な感度を有することが必要であるほか、現像後のパターンにおける耐熱性が良好であることも重要である。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、着色剤を含有させても良好な感度が得られるとともに、現像後のパターンにおける耐熱性を向上させることができる感光性樹脂組成物、ならびに該感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターンを有するカラーフィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、および（Ｄ）光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、（Ｅ）オキセタン化合物および（Ｆ）エポキシ化合物を含有することを特徴とする。
また本発明は、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターンを有するカラーフィルタを提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、露光により生じる溶解性の差を利用してパターンを形成する方法において、着色剤を含有させても良好な感度が得られるとともに、現像後のパターンにおける耐熱性を向上させることができる感光性樹脂組成物が得られる。したがって、プロファイル形状が良好なパターンを形成することができる。
本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されるブラックマトリクスまたは着色層は、プロファイル形状が良好である。
本発明のカラーフィルタは、ブラックマトリクスおよび／または着色層のプロファイル形状が良好である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
＜（Ａ）着色剤＞
本発明における着色剤は、有機着色剤でも無機着色剤でもよい。着色剤の色調は特に限定されず、得ようとするカラーフィルタの着色層の色調、またはブラックマトリクスの色調に応じて適宜選定することができる。
前記有機着色剤は、具体的には染料、有機顔料、天然色素等が好ましく、前記無機着色剤は、具体的には無機顔料のほか、体質顔料と呼ばれる硫酸バリウム等の無機塩が好ましい。
カラーフィルタ用途における着色剤としては、発色性が高く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着色剤が好ましく、通常、有機着色剤、特に好ましくは有機顔料が用いられる。
【０００９】
前記有機顔料としては、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ  社発行）においてピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを挙げることができる。
【００１０】
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー」は同様で番号のみ記載する。）、３、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６１、６５、７１、７３、７４、８１、８３、８６、９３、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６７、１６８、１７５、１８０、１８５；
【００１１】
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ」は同様で番号のみ記載する。）、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、５５、５９、６１、６３、６４、７１、７３；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット」は同様で番号のみ記載する。）、１９、２３、２９、３０、３２、３６、３７、３８、３９、４０、５０；
【００１２】
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド」は同様で番号のみ記載する。）、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１５５、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９２、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、２６５；
【００１３】
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー」は同様で番号のみ記載する。）、２、１５、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、６６；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３７；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、ピグメントブラック７。
また黒色顔料としてカーボンブラックも好ましい。
【００１４】
これらの有機顔料は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。また、前記有機顔料は、例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合わせ等により精製して使用することができる。
（Ａ）着色剤の添加量は、目的の色調に応じて適宜変更されるものであるが、一般的に、有機顔料の場合には、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して５〜２５０質量部の範囲で添加することが好ましく、より好ましい範囲は１０〜２００質量部程度である。
【００１５】
＜（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂＞
（Ｉ）アルカリ可溶性樹脂
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシ基を有するモノマーから選ばれる１種以上と、
アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、Ｎ−ブチルアクリレート、Ｎ−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリート、イソブチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェノキシアクリレート、フェノキシメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、スチレン、アクリルアミド、アクリロニトリルなどから選ばれる１種以上との共重合体や；
フェノールノボラック型エポキシアクリレート重合体、フェノールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシアクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、ビスフェノールＡ型エポキシアクリレート重合体、ビスフェノールＳ型エポキシアクリレート重合体などの樹脂が挙げられる。
これらの樹脂はアクリロイル基またはメタクリロイル基が導入されていることから架橋効率が高められ塗膜の耐光性、耐薬品性が優れている。
前記アルカリ可溶性樹脂を構成するモノマー成分のうち、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシ基を有するモノマー成分の含有量が５〜４０質量％の範囲であることが好ましい。
【００１６】
（II）光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂
また、アルカリ可溶性樹脂として、下記一般式（Ｉ）で示される重合体も適用できる。該一般式（Ｉ）で示される化合物は、それ自体が光重合性（光硬化性）を有するので、これを含有する遮光膜形成用感光性樹脂では、紫外線の透過率を高めることにより、いっそう感度を向上させることをできる。
【００１７】
【化１】
2006259266.tif 000002
【００１８】
（式中Ｘは、下記化学式（ＩＩ）で示される基であり、Ｙはジカルボン酸無水物からカルボン酸無水物基（−ＣＯ−Ｏ−ＣＯ−）を除いた残基であり、Ｚはテトラカルボン酸二無水物から２個のカルボン酸無水物基を除いた残基である。）
【００１９】
【化２】
2006259266.tif 000003
【００２０】
前記Ｙを誘導するジカルボン酸無水物（カルボン酸無水物基を除く前のジカルボン酸無水物）の具体例としては、例えば無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。
また、前記Ｚを誘導するテトラカルボン酸二無水物（２個のカルボン酸無水物基を除く前のテトラカルボン酸二無水物）の具体例としては、例えば無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
【００２１】
（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は一種単独でもよく、２種以上を混合して用いてもよい。また前記アルカリ可溶性樹脂（Ｉ）だけを用いてもよく、光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂（ＩＩ）だけを用いてもよく、両者を併用してもよい。
本発明における（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量（Ｍｗ）（ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算基準）は、特に限定するものではないが、１０００〜１０００００が好ましく、３０００〜５００００がより好ましく、５０００〜１５０００が最も好ましい。この範囲の上限よりも小さいと、レジストとして用いるのに充分なレジスト溶剤への溶解性があり、この範囲の下限よりも大きいとレジストパターン断面形状が良好である。
【００２２】
＜（Ｃ）光重合性化合物＞
本発明における光重合性化合物としては、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリトリトールトリアクリレート、ペンタエリトリトールトリメタクリレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリトリトールペンタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
光重合性化合物は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
なお本発明において、光重合性を有する重合体は上記（Ｂ）アルカリ性樹脂（ＩＩ）に含まれ、光重合性を有する単量体は（Ｃ）光重合性化合物に含まれるものとする。
【００２３】
（Ｃ）光重合性化合物の配合量は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として前記アルカリ性樹脂（Ｉ）を用いる場合、該樹脂（Ｉ）１００質量部に対して、５〜５００質量部の範囲が好ましく、より好ましい範囲は２０〜３００質量部である。
（Ｃ）光重合性化合物の配合量を上記範囲の下限値以上とすることにより、露光時の硬化不良が生じ難く、十分な耐熱性、耐薬品性を得ることができる。また良好な被膜形成能を得るうえで、上記範囲の上限値以下とすることが好ましい。
【００２４】
＜（Ｄ）光重合開始剤＞
本発明における（Ｄ）光重合開始剤としては、下記一般式（III）で示される化合物が好ましい。
【００２５】
【化３】
2006259266.tif 000004
【００２６】
（式中、Ｘ’は、一般式（IV）又は一般式（Ｖ）で示される基であり、Ｒ１1は、フェニル基、炭素数１〜２０のアルキル基、ＣＮ、ＮＯ２又は炭素数１〜４のハロゲン化アルキル基であり、Ｒ1２は、炭素数２〜１２のアシル基又は炭素数４〜６のアルケノイル基である。）
【００２７】
【化４】
2006259266.tif 000005
【００２８】
（式中、Ｒ１３〜Ｒ１７はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜１２のアルキル基、フェニル基又はフェニルスルファニル基（Ｃ６Ｈ５Ｓ−）である。）
【００２９】
【化５】
2006259266.tif 000006
【００３０】
（式中、Ｒ１８〜Ｒ１９はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜１２のアルキル基又はフェニル基である。）
【００３１】
上記一般式（III）で示される化合物は、特開２０００−８００６８号公報に記載の方法により得られる化合物である。該化合物は、光に対する感受性が他の既知の光重合開始剤に較べてきわめて高く、わずかな照射量の光によって効率的に活性化して光重合性化合物を硬化させることができる。
【００３２】
また上記一般式（III）で示される化合物以外の光重合開始剤も用いることができる。具体例としては、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ビス（４−ジメチルアミノフェニル）ケトン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、４−ベンゾイル−４’−メチルジメチルスルフィド、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、４−ジメチルアミノ−２−エチルヘキシル安息香酸、４−ジメチルアミノ−２−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、２−クロロチオキサンテン、２,４−ジエチルチオキサンテン、２−メチルチオキサンテン、２−イソプロピルチオキサンテン、２−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１,２−ベンズアントラキノン、２,３−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、２−メルカプトベンゾイミダール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、ｐ,ｐ'−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、２,２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、α，α−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス−（９−アクリジニル）ヘプタン、１，５−ビス−（９−アクリジニル）ペンタン、１，３−ビス−（９−アクリジニル）プロパン、ｐ−メトキシトリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（フラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（３−ブロモ−４−メトキシ）フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（２−ブロモ−４−メトキシ）フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（３−ブロモ−４−メトキシ）スチリルフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（２−ブロモ−４−メトキシ）スチリルフェニル−ｓ−トリアジンなどを挙げることができる。
【００３３】
これらの中でも、ｐ−メトキシトリアジン等のトリアジン類；２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（フラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン類；等のトリアジン化合物、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−イミダゾリル二量体；等のイミダゾリル化合物、及び２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１オン；等のアミノケトン化合物が好ましく用いられる。
【００３４】
本発明において、光重合開始剤として、一般式（III）で表される化合物と、その他の少なくとも一種の化合物とを併用することが好ましい。このように少なくとも二種の化合物（光重合開始剤）を併用することは、わずかな照射量の光によって効率的に活性化して、感度や現像マージンをさらに高めるうえで好ましい。これは、感光性樹脂組成物において電子バンドスペクトルの異なる化合物（光重合開始剤）が共存することで、光重合開始剤全体が高い感度を有する光の正味の波長領域を広げるか、もしくは少なくとも二種の化合物が相互作用することによると考えられる。
以下に一般式（III）で表される化合物と、その他の少なくとも一種の化合物との組み合わせにおいて、好ましい例を（１）〜（３）に示す。
【００３５】
（１）上記一般式（III）で示されるＯ−アシルオキシム化合物の少なくとも一種の光重合開始剤と、該Ｏ−アシルオキシム化合物以外の化合物（上記一般式（III）で示される化合物以外の光重合開始剤）との組み合わせが好ましい。
上記Ｏ−アシルオキシム化合物の中では、一般式（III）において、Ｒ１１がｎ−ヘキシル（Ｃ６Ｈ１３−）で、Ｒ１２がベンゾイル基で、Ｘ’が一般式（IV）で示されるとともに、Ｒ１３、Ｒ１４、Ｒ１６、Ｒ１７が水素原子、Ｒ１５がフェニルスルファニル基（Ｃ６Ｈ５Ｓ−）であるもの、すなわち下記式（VI）で示される１，２−オクタンジオン−１−[４−（フェニルチオ）フェニル]−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）が、光に対する感度や入手の容易さの点で好ましい。
【００３６】
【化６】
2006259266.tif 000007
【００３７】
さらに、上記Ｏ−アシルオキシム化合物の中では、一般式（III）において、Ｒ１１がメチルで、Ｒ１２がアセチル基で、Ｘ’が前記一般式（Ｖ）で示されるとともに、Ｒ１８がエチル基で、Ｒ１９がメチル基であるもの、すなわち下記式（VII）で示されるエタノン−１−[９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾル−３−イル]−１−（Ｏ−アセチルオキシム）が、光に対する感度がさらに高く、より好ましい。
【００３８】
【化７】
2006259266.tif 000008
【００３９】
（２）上記一般式（III）で示され、Ｘ’が一般式（IV）で示される光重合開始剤と、トリアジン化合物との組み合わせも好ましい。
特にトリアジン化合物としては、下記式（VIII）、下記式（IX）、下記式（Ｘ）（式中、Ｒ２１、Ｒ２２は炭素数１〜３のアルキル基を示す。）で示されるトリアジン化合物が特に好ましい。また、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンも上記トリアジン化合物と同様に用いることができる。
【００４０】
【化８】
2006259266.tif 000009
【００４１】
【化９】
2006259266.tif 000010
【００４２】
【化１０】
2006259266.tif 000011
【００４３】
（３）上記一般式（III）で示され、Ｘ’が一般式（Ｖ）で示される光重合開始剤と、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンとの組み合わせも好ましい。また、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１オンの代わりに上述のトリアジン化合物も同様に組み合わせることができる。
【００４４】
一般式（III）で表される化合物と、一般式（III）で示される化合物以外のその他の化合物（特にトリアジン化合物、イミダゾイル化合物及びアミノケトン化合物）との配合割合は、質量比で１０：９０〜９０：１０であることが好ましく、特に２０：８０〜８０：２０であることが好ましい。一般式（III）で示される化合物と、一般式（III）で示される化合物以外のその他の化合物との配合割合が上述の範囲内であることで、両者の化合物が効果的に相互作用して、感光性樹脂組成物の感度、現像マージンをさらに向上させることができる。
【００４５】
本発明の感光性樹脂組成物における上記（Ｄ）光重合開始剤の配合量は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．１〜３０質量部の範囲が好ましい。
【００４６】
＜（Ｅ）オキセタン化合物＞
本発明におけるオキセタン系化合物は、オキセタン環を１個以上、好ましくは１〜３個、さらに好ましくは１〜２個有する化合物である。このようなオキセタン系化合物としては、例えば、下記一般式（Ｅ１）、一般式（Ｅ２）または一般式（Ｅ３）で表される合物等を挙げることができる。
【００４７】
【化１１】
2006259266.tif 000012
（式中、Ｒ３1 およびＲ３2 はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数２〜４のアルケニル基、または炭素数７〜１２のアラルキル基を示す。）
【００４８】
【化１２】
2006259266.tif 000013
【００４９】
〔式中、Ｒ３３は水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数２〜４のアルケニル基、炭素数２〜６のアルキルカルボニル基、炭素数２〜６のアルコキシカルボニル基、炭素数２〜６のモノアルキルアミノカルボニル基、ジアルキルアミノカルボニル基（但し、各アルキル基の炭素数は１〜３である。）、炭素数４〜１２のシクロアルキル基、炭素数６〜１５のアリール基、炭素数７〜１２のアラルキル基または炭素数８〜１２のアラルキルオキシアルキル基を示し、Ｒ３４は水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数２〜４のアルケニル基、または炭素数７〜１２のアラルキル基を示す。〕
【００５０】
【化１３】
2006259266.tif 000014
〔式中、Ｒ３５およびＲ３６はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数２〜４のアルケニル基、または炭素数７〜１２のアラルキル基を示し、Ｘ”はカルボニル基、炭素数１〜３のアルキレン基、炭素数６〜１０のアリーレン基、炭素数８〜１２のアラルキレン基または−ＣＯ−Ｙ”−ＣＯ−基（但し、Ｙ”は炭素数１〜３のアルキレン基、炭素数６〜１０のアリーレン基または炭素数８〜１２のアラルキレン基を示す。）を示す。〕
【００５１】
前記式（Ｅ１）、式（Ｅ２）および式（Ｅ３）において、Ｒ３１ 、Ｒ３２ 、Ｒ３３ 、Ｒ３４ 、Ｒ３５およびＲ３６ 中に存在する各有機基はそれぞれ、適宜の箇所でハロゲン原子、水酸基、カルボキシ基、ニトリル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数２〜６のアルコキシカルボニル基等によって置換されていてもよく、さらにＲ３１ 、Ｒ３２ 、Ｒ３３ 、Ｒ３４ 、Ｒ３５ およびＲ３６ 中に存在する各シクロアルキル基、アリール基、アリーレン基およびアラルキレン基はそれぞれ、適宜の箇所で炭素数１〜６のアルキル基によって置換されていてもよい。
【００５２】
オキセタン系化合物の具体例としては、オキセタン、３−メチルオキセタン、３−エチルオキセタン、３−ｎ−プロピルオキセタン、３−ｎ−ブチルオキセタン、３−ビニルオキセタン、３−アリルオキセタン、３−ベンジルオキセタン、３，３−ジメチルオキセタン、３，３−ジエチルオキセタン、３−メチル−３−エチルオキセタン、３−メチル−３−ｎ−プロピルオキセタン、３−メチル−３−ｎ−ブチルオキセタンや、下記化学式（Ｅ４）〜（Ｅ５１）で表される化合物等を挙げることができる。
以下において、各オキセタン系化合物は、式番号を括弧内に併記して「オキセタン系化合物（Ｅ７）」（式（Ｅ７）の化合物の場合）のように表記するときがある。
【００５３】
【化１４】
2006259266.tif 000015
【００５４】
【化１５】
2006259266.tif 000016
【００５５】
【化１６】
2006259266.tif 000017
【００５６】
【化１７】
2006259266.tif 000018
【００５７】
【化１８】
2006259266.tif 000019
【００５８】
【化１９】
2006259266.tif 000020
【００５９】
【化２０】
2006259266.tif 000021
【００６０】
【化２１】
2006259266.tif 000022
【００６１】
【化２２】
2006259266.tif 000023
【００６２】
【化２３】
2006259266.tif 000024
【００６３】
これらのオキセタン系化合物は、例えば、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ＰＵＲＥＡＰＰＬ．  ＣＨＥＭ．，Ａ３０  （２＆３），  ｐ１８９−２０６（１９９３）  に記載されている方法あるいはそれに準じた方法により製造することができる。
【００６４】
また下記一般式（Ｅ５２）で表されるオキセタン系化合物も好ましい。具体例としては下記化学式（Ｅ５３）で表される化合物が好ましい。
【００６５】
【化２４】
2006259266.tif 000025
【００６６】
前記式（Ｅ５２）において、Ｒ３７およびＲ３８はそれぞれ独立であり、前記Ｒ３５およびＲ３６と同様である。
【００６７】
【化２５】
2006259266.tif 000026
【００６８】
前記オキセタン系化合物のうち、特に、オキセタン系化合物（Ｅ５）、オキセタン系化合物（Ｅ５０）、オキセタン系化合物（Ｅ５３）等が好ましい。中でもオキセタン系化合物（Ｅ５３）がより好ましい。
本発明において、オキセタン系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００６９】
本発明における（Ｅ）オキセタン系化合物の使用量は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．１〜１００質量部が好ましく、より好ましくは１〜５０質量部である。
（Ｅ）オキセタン系化合物の使用量を上記範囲の下限値以上とすることにより十分な添加効果が得られ、上記範囲の上限値以下とすることにより基板との密着性を向上させることができる。
【００７０】
＜（Ｆ）エポキシ化合物＞
本発明におけるエポキシ化合物としては、特に限定されることはなく、例えば（Ｆ１）エポキシ基含有不飽和化合物、（Ｆ２）３，４−エポキシシクロヘキシル基を分子内に２個以上有する化合物、（Ｆ３）エポキシ基を分子内に２個以上有する化合物等が好適に用いられる。
【００７１】
（Ｆ１）エポキシ基含有不飽和化合物は、エポキシ基と重合性炭素−炭素二重結合を一分子中に持つ化合物であり、具体例としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−３,４−エポキシブチル、メタクリル酸−３,４−エポキシブチル、アクリル酸−６,７−エポキシヘプチル、メタクリル酸−６,７−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸−６,７−エポキシヘプチル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテルなどが挙げられる。
【００７２】
（Ｆ２）３，４−エポキシシクロヘキシル基を分子内に２個以上有する化合物としては、例えば、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３’，４’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル−５，５−スピロ−３，４−エポキシ）シクロヘキサン−メタ−ジオキサン、ビス（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）アジペート、ビス（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル）アジペート、３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシル−３’，４’−エポキシ−６’−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、メチレンビス（３，４−エポキシシクロヘキサン）、ジシクロペンタジエンジエポキサイド、エチレングリコールのジ（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）エーテル、エチレンビス（３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート）、ラクトン変性３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３’，４’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート等を挙げることができる。
【００７３】
（Ｆ３）エポキシ基を２個以上有する化合物としては、例えば、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、ビスフェノールＳジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＡＤジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールＳジグリシジルエーテル等の各種ビスフェノール化合物のジグリシジルエーテル類；１，４−ブタンジオールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル等の多価アルコールのポリグリシジルエーテル類；エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリンなどの脂肪族多価アルコールに１種または２種以上のアルキレンオキサイドを付加することにより得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル類；フェノールノボラック型エポキシ樹脂；クレゾールノボラック型エポキシ樹脂；ポリフェノール型エポキシ樹脂；脂肪族長鎖二塩基酸のジグリシジルエステル類；高級脂肪酸のグリシジルエステル類；エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油等を挙げることができる。
【００７４】
（Ｆ３）エポキシ基を２個以上有する化合物の市販品としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂として、エピコート１００１、同１００２、同１００３、同１００４、同１００７、同１００９、同１０１０、同８２８（以上、油化シェルエポキシ（株）製）等；ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂として、エピコート８０７（ジャパン  エポキシ  レジン株式会社製）等；フェノールノボラック型エポキシ樹脂として、エピコート１５２、同１５４、同１５７Ｓ６５（以上、ジャパン  エポキシ  レジン株式会社製）、ＥＰＰＮ２０１、同２０２（以上、日本化薬（株）製）等；クレゾールノボラック型エポキシ樹脂として、ＥＯＣＮ１０２、同１０３Ｓ、同１０４Ｓ、１０２０、１０２５、１０２７（以上、日本化薬（株）製）、エピコート１８０Ｓ７５（ジャパン  エポキシ  レジン株式会社製）等；ポリフェノール型エポキシ樹脂として、エピコート１０３２Ｈ６０、同ＸＹ−４０００（以上、ジャパン  エポキシ  レジン株式会社製）等；環状脂肪族エポキシ樹脂として、ＣＹ−１７５、同１７７、同１７９、アラルダイトＣＹ−１８２、同１９２、１８４（以上、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ（株）製）、ＥＲＬ−４２３４、４２９９、４２２１、４２０６（以上、Ｕ.Ｃ.Ｃ社製）、ショーダイン５０９（昭和電工（株）製）、エピクロン２００、同４００（以上、大日本インキ（株）製）、エピコート８７１、同８７２（以上、ジャパン  エポキシ  レジン株式会社製）、ＥＤ−５６６１、同５６６２（以上、セラニーズコーティング（株）製）等；脂肪族ポリグリシジルエーテルとしてエポライト１００ＭＦ（共栄社化学（株）製）、エピオールＴＭＰ（日本油脂（株）製）等が挙げられる。
【００７５】
（Ｆ）エポキシ化合物は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いることもできる。
本発明における（Ｆ）エポキシ化合物の使用量は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．０５〜２０質量部が好ましく、より好ましくは１〜１５質量部である。
（Ｆ）エポキシ化合物の使用量を上記範囲の下限値以上とすることにより十分な添加効果が得られ、上記範囲の上限値以下とすることにより保存安定性を向上させることができる。
【００７６】
本発明の感光性樹脂組成物には、塗布性の改善、粘度調整のため（Ｇ）有機溶剤を配合できる。
有機溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチルなどが挙げられる。中でも３−メトキシブチルアセテートは感光性樹脂組成物中の可溶成分に対して優れた溶解性を示すのみならず、顔料などの不溶性成分の分散性を良好にするところから好適である。
（Ｇ）有機溶剤の使用量は特に限定しないが、基板等に塗布可能な濃度で、塗布膜厚に応じて適宜設定される。本発明における感光性樹脂組成物の粘度は、５〜１００ｃｐ、好ましくは１０〜５０ｃｐ、より好ましくは２０〜３０ｃｐである。また、固形分濃度は、５〜１００質量％、好ましくは２０〜５０質量％の範囲である感光
【００７７】
また、本発明の感光性樹脂組成物には、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等を添加してもよい。
上記熱重合禁止剤としては、従来公知のものであってよく、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等が挙げられる。
上記消泡剤としては、従来公知のものであってよく、シリコーン系、フッ素系化合物が挙げられる。
上記界面活性剤としては、従来公知のものであってよく、アニオン系、カチオン系、ノニオン系等の化合物が挙げられる。
【００７８】
＜感光性樹脂組成物の調製方法＞
本発明の感光性樹脂組成物は、以下の方法により調製することができる。
（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤、（Ｅ）オキセタン化合物、（Ｆ）エポキシ化合物、および必要に応じて有機添加剤等を加えて３本ロールミル、ボールミル、サンドミル等の撹拌機で混合（分散・混練）し、５μｍメンブランフィルターで濾過して感光性樹脂組成物を調製する。
【００７９】
本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルタを構成するブラックマトリクスおよび／または着色層を形成する用途に好適に用いることができる。
【００８０】
＜カラーフィルタの形成方法＞
以下、本発明の感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタを形成する方法の例を説明する。
１．ブラックマトリクス（黒色着色層）の形成
まず感光性樹脂組成物（黒色の着色剤を含む）を、基板上にロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー（回転式塗布装置）、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。基板は、光透過性を有する基板が用いられ、例えば厚さ０．５〜１．１ｍｍのガラス基板である。
ガラス基板と感光性樹脂組成物との密着性を向上させるために、予めガラス基板上にシランカップリング剤を塗布しておいてもよい。あるいは感光性樹脂組成物の調製時にシランカップリング剤を添加しておいてもよい。
上記塗布後、乾燥させて溶剤を除去する。乾燥方法は特に限定されず、例えば（１）ホットプレートにて８０℃〜１２０℃、好ましくは９０℃〜１００℃の温度にて６０秒〜１２０秒間乾燥する方法、（２）室温にて数時間〜数日放置する方法、（３）温風ヒーターや赤外線ヒーター中に数十分〜数時間入れて溶剤を除去する方法、のいずれでもよい。
次いで、ネガ型のマスクを介して、紫外線、エキシマレーザー光等の活性性エネルギー線を照射して部分的に露光する。照射するエネルギー線量は、感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば３０〜２０００ｍＪ／ｃｍ２程度が好ましい。
露光後の膜を、現像液を用いて現像することによって所望の形状にパターニングする。現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、４級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
現像後、２００℃程度でポストベークを行う。また、形成されたパターンを全面露光することが好ましい。
２．他の着色層の形成
上記で形成されたブラックマトリクスが形成されたガラス基板に、感光性樹脂組成物を上記と同様に塗布、乾燥、露光、現像して所定の色の着色層を、ブラックマトリクスの所定の位置（開口部）にパターン（ストライプまたはドット等）が形成されるようにする。例えば、ＲＧＢのカラーフィルタを製造する場合には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色の感光性樹脂組成物を用いて、前記工程を繰り返し、３色の着色層を形成する。
以上より、カラーフィルタを形成することができる。
【００８１】
本発明の感光性樹脂組成物によれば、（Ｅ）オキセタン化合物および（Ｆ）エポキシ化合物を併用したことにより、露光光に対して良好な感度が得られ、現像後に形状が良好なパターンが得られる。またその後にポストベークを行っても良好なパターン形状が維持され、最終的にプロファイル形状に優れたパターンが得られる。また、密着性も優れている。
特に、ブラックマトリクスについては、ブラックマトリクスが形成された後に他の色の着色層が形成される。したがって、現像液等にさらされる回数を多くなるため、密着性が求められる。つまり、本願の感光性樹脂組成物は、密着性にも優れているため、特にブラックマトリクスの形成に有用に用いることができる。
したがって、本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、プロファイル形状が良好なブラックマトリクスまたは着色層を形成することができ、かかるブラックマトリクスおよび／または着色層を備えた高品質のカラーフィルタを得ることができる。
【実施例】
【００８２】
（アルカリ可溶性樹脂の合成例１）
特開２００１−３５４７３５号公報に従い、５００ｍＬ四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂２３５ｇ（エポキシ当量２３５）とテトラメチルアンモニウムクロライド１１０ｍｇ、２,６−ジ−ｔｅｒｔブチル−４−メチルフェノール１００ｍｇ及びアクリル酸７２.０ｇを仕込み、これに２５ｍＬ／分の速度で空気を吹き込みながら９０〜１００℃で加熱溶解した。
次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、１２０℃に加熱して完全溶解させた。ここで溶液は次第に透明粘稠になったがそのまま攪拌を継続した。
この間、酸価を測定し、１.０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満になるまで加熱攪拌を続けた。酸価が目標に達するまで１２時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の、下記化学式（１）で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
【００８３】
【化２６】
2006259266.tif 000027
【００８４】
次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート３０７.０ｇにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６００ｇを加えて溶解した後、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物７８ｇ及び臭化テトラエチルアンモニウム１ｇを混合し、徐々に昇温して１１０〜１１５℃で４時間反応させた。
酸無水物基の消失を確認した後、１,２,３,６−テトラヒドロ無水フタル酸３８.０ｇを混合し、９０℃で６時間反応させ、上記化学式（Ｉ）（式中、Ｘは前記化学式（１）で表される化合物から２個の水酸基を除いた２価の残基であり、Ｙは、１,２,３,６−テトラヒドロ無水フタル酸からカルボン酸無水物基を除いた２価の残基であり、Ｚはビフェニルテトラカルボン酸二無水物から２個のカルボン酸無水物基を除いた４価の残基である。式中のＹ／Ｚのモル比＝５０.０／５０.０である。）で表される化合物１を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。
【００８５】
（実施例１）
下記の配合で各成分を混合して感光性樹脂組成物を調製した。
（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として上記合成例１で得た化合物１を１００質量部用いた。
（Ｃ）成分としてペンタエリトリトールテトラアクリレートを５０質量部用いた。
（Ａ）着色剤として、分散液「ＣＦブラックＰＣ」（御国色素社製、カーボンブラック２４％含有）を３０質量部用いた。
（Ｄ）光重合開始剤として、チバスペシャリティーケミカルズ社製、製品名；イルガキュアー３６９、化合物名；２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンを２５質量部用いた。
（Ｅ）オキセタン化合物として、ジ[１−エチル（３−オキセタニル）]メチルエーテル（前記化学式（Ｅ５３）で表される化合物）を２５質量部用いた。
（Ｆ）エポキシ化合物として、ジャパン  エポキシ  レジン株式会社社製、製品名；エピコート-１００１を５質量部用いた。
（Ｇ）有機溶剤として、質量比ＰＧＭＥＡ：３−メトキシブチルアセテートが１：３の
の混合溶剤を用いた。有機溶剤の使用量は固形分濃度が３０質量％となるように調整した。
【００８６】
上記で調製した感光性樹脂組成物を、ガラス基板に膜厚１２００ｎｍになるように、スピンコーター（１Ｈ−３６０ｓ：ミカサ社製）を用いて塗布し、９０℃で２分間ホットプレート上にて乾燥して塗膜を形成した。
次いで、露光機（ＥＸＭ−１０６６−Ｅ０１：オーク社製）にて露光光を照射エネルギー線量２０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。露光後、水酸化カリウム０．０４％現像液にてスプレー方式により１００秒間現像した。さらに２００℃３０分間のポストベークを行って１５μｍのラインのパターンを形成した。
【００８７】
このとき、ポストベークの前後で形成されたパターンの断面を電子顕微鏡で観察することにより、プロファイルについて判断した。この実施例においては、ポストベーク前後での形状変化はほぼ無く良好なものであった。
【００８８】
（比較例１）
上記実施例１の配合において、（Ｅ）エポキシ化合物を添加しない他は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物を調製した。
得られた感光性樹脂組成物を用い、実施例１と同様にしてパターンを形成しようとしたが、感度が悪くパターンを形成することはできなかった。
そこで、照射エネルギー線量を１５０ｍＪ／ｃｍ２で露光し、パターンを形成した。
実施例１と同様に評価を行ったところ、ポストベーク後のパターンは、ダレを生じており、プロファイルの悪いものであった。