(57)【要約】【課題】  計算機処理を必要とせず、温度変化による測定誤差を排除可能な差圧測定システムを提供する。【解決手段】  光を照射する光源4と、第1温度T1及び第1外部圧力PO1に応じて第1測定光路差FS1を光に与える第1測定センサ3と、第1温度T1に応じて第1参照光路差FR1を光に与える第1参照センサ6と、第2温度T2及び第2外部圧力PO2に応じて第2測定光路差FS2を光に与える第2測定センサ13と、第2温度T2に応じて第2参照光路差FR2を光に与える第2参照センサ16と、第1及び第2測定光路差FS1, FS2の光路差に基づく感圧干渉縞と、第1及び第2参照光路差FR1, FR2の光路差に基づく感熱干渉縞を検出する受光素子8と、感熱干渉縞の感熱移動を検知する検知機構80と、光に位相変調を加え、感熱干渉縞及び感圧干渉縞の感熱移動を打ち消す位相変調器71と、感圧干渉縞の形成位置から第1及び第2外部圧力PO1, PO2の差圧を算出する信号処理装置7とを備える。【選択図】      図1
2006078453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を照射する光源と、
第1温度及び第1外部圧力に応じて第1測定光路差を前記光に与える第1測定センサと、
前記第1温度に応じて第1参照光路差を前記光に与える第1参照センサと、
第2温度及び第2外部圧力に応じて第2測定光路差を前記光に与える第2測定センサと、
前記第2温度に応じて第2参照光路差を前記光に与える第2参照センサと、
前記第1及び第2測定光路差の光路差に基づく感圧干渉縞と、前記第1及び第2参照光路差の光路差に基づく感熱干渉縞を検出する受光素子と、
前記感熱干渉縞の感熱移動を検知する検知機構と、
前記光に位相変調を加え、前記感熱干渉縞及び前記感圧干渉縞の前記感熱移動を打ち消す位相変調器と、
前記感圧干渉縞の形成位置から前記第1及び第2外部圧力の差圧を算出する信号処理装置
とを備えることを特徴とする差圧測定システム。
【請求項２】
前記第1測定センサ及び前記第1参照センサのそれぞれの前記第1温度に対する温度感度が等しいことを特徴とする請求項１に記載の差圧測定システム。
【請求項３】
前記第2測定センサ及び前記第2参照センサのそれぞれの前記第2温度に対する温度感度が等しいことを特徴とする請求項１又は２に記載の差圧測定システム。
【請求項４】
前記第1及び第2測定光路差の光路差を有する1組の光と、前記第1及び第2参照光路差の光路差を有する1組の光のそれぞれを、感圧光導波路、感熱光導波路、及び共通光導波路に分波する分波回路を更に備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の差圧測定システム。
【請求項５】
前記感圧干渉縞は、前記感圧光導波路及び前記共通光導波路のそれぞれの端部から照射される光で形成されることを特徴とする請求項４に記載の差圧測定システム。
【請求項６】
前記感圧光導波路で伝搬される光は、前記共通光導波路で伝搬される光に対し感圧補正光路差を与えられることを特徴とする請求項５に記載の差圧測定システム。
【請求項７】
前記第1及び第2測定光路差の光路差と前記感圧補正光路差との差は、前記光のコヒーレンス長以下であることを特徴とする請求項６に記載の差圧測定システム。
【請求項８】
前記感熱干渉縞は、前記感熱光導波路及び前記共通光導波路のそれぞれの端部から照射される光で形成されることを特徴とする請求項４に記載の差圧測定システム。
【請求項９】
前記感熱光導波路で伝搬される光は、前記共通光経路で伝搬される光に対し感熱補正光路差を与えられることを特徴とする請求項８に記載の差圧測定システム。
【請求項１０】
前記第1及び第2参照光路差の光路差と前記感熱補正光路差との差は、前記光のコヒーレンス長以下であることを特徴とする請求項９に記載の差圧測定システム。
【請求項１１】
光を照射するステップと、
第1温度及び第1外部圧力に応じて第1測定光路差を前記光に与えるステップと、
前記第1温度に応じて第1参照光路差を前記光に与えるステップと、
第2温度及び第2外部圧力に応じて第2測定光路差を前記光に与えるステップと、
前記第2温度に応じて第2参照光路差を前記光に与えるステップと、
前記第1及び第2測定光路差の光路差に基づく感圧干渉縞と、前記第1及び第2参照光路差の光路差に基づく感熱干渉縞を形成するステップと、
前記感熱干渉縞の感熱移動を検知するステップと、
前記光に位相変調を加え、前記感熱干渉縞及び前記感圧干渉縞の前記感熱移動を打ち消すステップと、
前記感圧干渉縞の形成位置から前記第1及び第2外部圧力の差圧を算出するステップ
とを有することを特徴とする差圧測定方法。
【請求項１２】
前記第1及び第2測定光路差の光路差を有する1組の光と、前記第1及び第2参照光路差の光路差を有する1組の光のそれぞれを、3方向に分波するステップを更に有することを特徴とする請求項１１に記載の差圧測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧力測定技術に関し、特に周囲の温度変化に起因する測定誤差を排除する差圧測定システム及び差圧測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
石油プラント等を制御する場合、石油プラント内の異なる位置における流体の差圧を測定することが必要な場合がある。従来の差圧測定方法としては、測定位置にファブリペロ干渉計を配置し、圧力によって生じるファブリペロ干渉計の共振波長の変化を光で読み取る方法が提案されている。しかし、ファブリペロ干渉計の位相差は、圧力変化のみならず、温度変化によっても変化する。そのため、測定位置の温度変化の影響を排除した正確な差圧を測定する方法として、圧力測定用のファブリペロ干渉計と共に温度測定用のファブリペロ干渉計を測定位置に配置する方法が提案されている。この場合、ハロゲンランプ等から照射された光で読み取られる測定信号から、温度変化の影響を計算機で除去することにより、差圧を測定している（例えば、特許文献1参照。）。しかし、計算機による温度変化の影響除去には高速な演算装置と大容量のメモリが必要であり、また演算処理にも時間がかかる。
【特許文献１】特開2003-166891号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、計算機処理を必要とせず、温度変化による測定誤差を排除可能な差圧測定システム及び差圧測定方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために本発明の第1の特徴は、（イ）光を照射する光源と、（ロ）第1温度及び第1外部圧力に応じて第1測定光路差を光に与える第1測定センサと、（ハ）第1温度に応じて第1参照光路差を光に与える第1参照センサと、（ニ）第2温度及び第2外部圧力に応じて第2測定光路差を光に与える第2測定センサと、（ホ）第2温度に応じて第2参照光路差を光に与える第2参照センサと、（ヘ）第1及び第2測定光路差の光路差に基づく感圧干渉縞と、第1及び第2参照光路差の光路差に基づく感熱干渉縞を検出する受光素子と、（ト）感熱干渉縞の感熱移動を検知する検知機構と、（チ）光に位相変調を加え、感熱干渉縞及び感圧干渉縞の感熱移動を打ち消す位相変調器と、（リ）感圧干渉縞の形成位置から第1及び第2外部圧力の差圧を算出する信号処理装置とを備える差圧測定システムであることを要旨とする。
【０００５】
本発明の第2の特徴は、（イ）光を照射するステップと、（ロ）第1温度及び第1外部圧力に応じて第1測定光路差を光に与えるステップと、（ハ）第1温度に応じて第1参照光路差を光に与えるステップと、（ニ）第2温度及び第2外部圧力に応じて第2測定光路差を光に与えるステップと、（ホ）第2温度に応じて第2参照光路差を光に与えるステップと、（ヘ）第1及び第2測定光路差の光路差に基づく感圧干渉縞と、第1及び第2参照光路差の光路差に基づく感熱干渉縞を形成するステップと、（ト）感熱干渉縞の感熱移動を検知するステップと、（チ）光に位相変調を加え、感熱干渉縞及び感圧干渉縞の感熱移動を打ち消すステップと、（リ）感圧干渉縞の形成位置から第1及び第2外部圧力の差圧を算出するステップとを有する差圧測定方法であることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、計算機処理を必要とせず、周囲の温度変化に起因する測定誤差を排除可能な差圧測定システム及び差圧測定方法を提供可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【０００８】
本発明の実施の形態に係る差圧測定システムは、図1に示すように、光を照射する光源4、第1温度T1及び第1外部圧力PO1に応じて第1測定光路差FS1を光に与える第1測定センサ3、第1温度T1に応じて第1参照光路差FR1を光に与える第1参照センサ6、第2温度T2及び第2外部圧力PO2に応じて第2測定光路差FS2を光に与える第2測定センサ13、及び第2温度T2に応じて第2参照光路差FR2を光に与える第2参照センサ16を有する。さらに差圧測定システムは、第1及び第2測定光路差FS1, FS2の光路差に基づく感圧干渉縞と、第1及び第2参照光路差FR1, FR2の光路差に基づく感熱干渉縞を検出する受光素子8を有する。また差圧測定システムは、感熱干渉縞の感熱移動を検知する検知機構80、光に位相変調を加え、感熱干渉縞及び感圧干渉縞の感熱移動を打ち消す位相変調器71、及び感圧干渉縞の形成位置から第1及び第2外部圧力PO1, PO2の差圧を算出する信号処理装置7を有する。
【０００９】
光源4には、紫外域から赤外域(185nm〜2000nm)までの連続スペクトルに対応可能なキセノンランプ、あるいはLED等が使用可能である。光源4には照射された光を伝搬する光導波路29が接続される。光導波路29にはスプリッタ55が接続され、スプリッタ55には光導波路30が接続されている。さらに光導波路30には伝搬光を2方向に分割するスプリッタ21が接続される。光源4から照射されスプリッタ21で分割された光は、スプリッタ21に接続された光導波路32及び光導波路31で伝搬される。光導波路32及び光導波路31は、第1測定ユニット5に接続されている。
【００１０】
第1測定ユニット5は、図2及び図2のA-A方向からの断面図である図3に示すように、光導波路32に接続された第1測定センサ3と、光導波路31に接続された第1参照センサ6を有する。第1測定センサ3は図4乃至図6に示すようにコア130a及びクラッド131aを有する光導波路32が挿入されるホルダ60a、光導波路32の挿入された側の端面に配置された第1測定用半透鏡24a、第1測定用半透鏡24aと平行に配置され、第1外部圧力PO1を受ける第1感圧膜50a、及び第1感圧膜50aの第1測定用半透鏡24aと対向する表面に配置され、第1測定用半透鏡24aを透過した光を受ける第1測定用反射膜25aを有するファブリペロ干渉計である。第1測定用半透鏡24aと第1測定用反射膜25aとの第1測定センサ間隔L1aは第1測定用筐体43aで規定される。光導波路32で伝搬された光の一部は第1測定用半透鏡24aで反射され、第1測定用半透鏡24aを透過した光は第1測定用反射膜25aで反射される。
【００１１】
また第1測定センサ3は、第1感圧膜50a、第1測定用筐体43a、及びホルダ60aで囲まれた領域の第1測定センサ内部圧力PIS1を調節するためにホルダ60aに設けられた通気孔160aと、通気孔160aの開閉を制御する開放弁70aを備える。さらに第1感圧膜50aの外部には、表出する第1感圧膜50aの図2に示した半径aを規定する第1測定センサ基底部40aが配置される。
【００１２】
第1測定センサ3の第1感圧膜50aは、第1測定センサ内部圧力PIS1と第1外部圧力PO1が等しい「定常状態」では撓みは生じない。しかし、図5に示すように、第1測定センサ内部圧力PIS1と比較して第1外部圧力PO1が大きくなったときは、第1感圧膜50aは内部方向に撓む。また図6に示すように、第1測定センサ内部圧力PIS1と比較して第1外部圧力PO1が小さくなったときは、第1感圧膜50aは外部方向に撓む。第1測定センサ3は、図5及び図6に示した第1感圧膜50aの撓みw1を検出することにより、第1外部圧力PO1を測定するために用いられる。                   
図5に示すように第1外部圧力PO1が加わったときの第1感圧膜50aの撓みw1は、第1感圧膜50aの半径が図2に示すようにaである場合、下記(1)式で表される。
【００１３】
w1 =(PO1 - PIS1)× (a2 - r2)2 / (64 ×B)    …(1)
ここでr(r : 0 ≦ r ≦ a)は第1感圧膜50aの中心位置Mから測定位置までの距離である。Bは下記(2)式で与えられる。
【００１４】
B = E ×tS13 / {12 × (1 - υ2)}  …(2)
(2)式において、Eは第1感圧膜50aのヤング率、tS1は第1感圧膜50aの厚さ、υは第1感圧膜50aのポアッソン比である。(1)式を用いることにより、第1感圧膜50aの撓みw1から第1外部圧力PO1を算出することが可能である。
【００１５】
図4乃至図6に示した第1感圧膜50aの厚さtS1が50μmの場合における第1外部圧力PO1と撓みw1の関係をプロットしたグラフが図7である。図7においては、図2に示した第1感圧膜50aの半径aが0.01mm、0.10mm、及び1.00mmの場合のそれぞれについてプロットされている。また第1感圧膜50aの厚さtS1が1μmの場合における第1外部圧力PO1と撓みw1の関係をプロットしたグラフが図8である。図8においては、第1感圧膜50aの半径aが0.01mm、0.10mm、及び1.00mmの場合のそれぞれについてプロットされている。例えば信号処理装置7の撓みw1の測定レンジが0.1μm未満である場合、図8に示すように第1感圧膜50aの厚さtS1が1μmでは薄すぎる。この場合、第1感圧膜50aの厚さをは図7より50μmとし、半径aを0.01mmとすればよい。
【００１６】
なお図2乃至図5に示す第1感圧膜50aは、第1外部圧力PO1で撓む他に、周囲の第1温度T1の変動量ΔT1に依存して膜厚tS1が膨張あるいは収縮する。したがって、第1感圧膜50a、第1測定用筐体43a、及びホルダ60aで囲まれた領域の屈折率をn1a、膜厚tS1の伸縮をΔtS1として、第1測定用半透鏡24aで反射された光と、第1測定用反射膜25aで反射された光には下記(3)式で表される第1測定光路差FS1が生じる。第1感圧膜50aの膜厚tS1の伸縮ΔtS1は第1測定センサ3による第1外部圧力PO1の測定誤差要因となる。図1に示す差圧測定システムが、第1温度T1の変動量ΔT1に起因する第1測定センサ3の測定誤差を除去する機構については、後に詳述する。
【００１７】
FS1 = 2n1a(L1a + w1 + ΔtS1)                …(3)
図2及び図3に示す第1参照センサ6は、コア132a及びクラッド133aを有する光導波路31が挿入されるホルダ61a、光導波路31の挿入された側の端面に配置された第1参照用半透鏡124a、第1参照用半透鏡124aと平行に配置された第1感熱膜51a、及び第1感熱膜51aの第1参照用半透鏡124aと対向する表面に配置され、第1参照用半透鏡124aを透過した光を受ける第1参照用反射膜125aを有する。第1参照用半透鏡124aと第1参照用反射膜125aとの第1参照センサ間隔L1bは第1参照用筐体143aで規定される。第1感熱膜51aの第1参照用反射膜125aが配置された面の裏面には第1参照センサ基底部140aが配置されている。光導波路31で伝搬された光の一部は第1参照用半透鏡124aで反射され、第1参照用半透鏡124aを透過した光は第1参照用反射膜125aで反射される。
【００１８】
さらに第1参照センサ6は、第1感熱膜51a、第1参照用筐体143a、及びホルダ61aで囲まれた領域の第1参照センサ内部圧力PIR1を調節するためにホルダ61aに設けられた通気孔260aと、通気孔260aの開閉を制御する開放弁170aを備える。なお第1参照センサ6の第1参照センサ内部圧力PIR1は、第1測定センサ3の第1測定センサ内部圧力PIS1と等しくなるよう設定されている。
【００１９】
第1感熱膜51aは第1感圧膜50aと同じ材料で構成され、ヤング率E、及びポアッソン比υ等は同じである。また第1感熱膜51aの厚さtR1は第1感圧膜50aの厚さtS1と同じである。そのため、第1感熱膜51aの温度感度は、第1感圧膜50aに同じである。また、第1参照センサ6の第1感熱膜51aは外部が第1参照センサ基底部140aで保護されているため、第1外部圧力PO1によって撓むことはない。したがって、第1感熱膜51aは周囲の第1温度T1の変動量ΔT1のみに依存して膜厚tR1がΔtR1伸縮する。したがって、第1感熱膜51a、第1参照用筐体143a、及びホルダ61aで囲まれた領域の屈折率をn1bとして、第1参照用半透鏡124aで反射された光と、第1参照用反射膜125aで反射された光には、下記(4)式で表される第1参照光路差FR1が生じる。
【００２０】
FR1 = 2n1b(L1b + ΔtR1)            …(4)
第1測定ユニット5で反射された光は、図1に示すスプリッタ55に接続された光導波路33によって伝搬され、光導波路33に接続されたスプリッタ56に到達する。スプリッタ56には光導波路36が接続され、光導波路36にはスプリッタ22が接続されている。スプリッタ22に到達した光は、スプリッタ22に接続された光導波路34及び光導波路35の2方向に分割され、それぞれ第2測定ユニット15の第2参照センサ16及び第2測定センサ13に伝搬される。
【００２１】
第2測定センサ13は、図9に示すようにコア130b及びクラッド131bを有する光導波路35が挿入されるホルダ60b、光導波路35の挿入された側の端面に配置された第2測定用半透鏡24b、第2測定用半透鏡24bと平行に配置され、第2外部圧力PO2を受ける第2感圧膜50b、及び第2感圧膜50bの第2測定用半透鏡24bと対向する表面に配置され、第2測定用半透鏡24bを透過した光を受ける第2測定用反射膜25bを有するファブリペロ干渉計である。第2測定用半透鏡24bと第2測定用反射膜25bとの第2測定センサ間隔L2aは第2測定用筐体43bで規定される。光導波路35で伝搬された光の一部は第2測定用半透鏡24bで反射され、第2測定用半透鏡24bを透過した光は第2測定用反射膜25bで反射される。
【００２２】
また第2測定センサ13は、第2感圧膜50b、第2測定用筐体43b及びホルダ60bで囲まれた領域の第2測定センサ内部圧力PIS2を調節するためにホルダ60bに設けられた通気孔160bと、通気孔160bの開閉を制御する開放弁70bを備える。さらに第2感圧膜50bの外部には、表出する第2感圧膜50bの図2に示した半径aを規定する第1測定センサ基底部40aと同様の第2測定センサ基底部40bが配置される。
【００２３】
図9に示す第2測定センサ13は、第2測定用半透鏡24bと第2測定用反射膜25bとの距離が第2測定センサ間隔L2aである以外は、図3に示した第1測定センサ3と同様の構造である。第2感圧膜50b、第2測定用筐体43b、及びホルダ60bで囲まれた領域の屈折率をn2a、第2外部圧力PO2による第2感圧膜50bの撓みをw2、第2感圧膜50bの膜厚tS2の伸縮をΔtS2として、第2測定用半透鏡24bで反射された光と、第2測定用反射膜25bで反射された光には下記(5)式で表される第2測定光路差FS2が生じる。
【００２４】
FS2 = 2n2a(L2a + w2 + ΔtS2)                …(5)
図1に示す第2参照センサ16は、図9に示すように、コア132b及びクラッド133bを有する光導波路34が挿入されるホルダ61b、光導波路34の挿入された側の端面に配置された第2参照用半透鏡124b、第2参照用半透鏡124bと平行に配置された第2感熱膜51b、及び第2感熱膜51bの第2参照用半透鏡124bと対向する面に配置され、第2参照用半透鏡124bを透過した光を受ける第2参照用反射膜125bを有する。第2参照用半透鏡124bと第2参照用反射膜125bとの第2参照センサ間隔L2bは第2参照用筐体143bで規定される。第2感熱膜51bの第2参照用反射膜125bが配置された面と対向する面には第2参照センサ基底部140bが配置される。光導波路34で伝搬された光の一部は第2参照用半透鏡124bで反射され、第2参照用半透鏡124bを透過した光は第2参照用反射膜125bで反射される。
【００２５】
また第2参照センサ16は、第2感熱膜51b、第2参照用筐体143b及びホルダ61bで囲まれた領域の第2参照センサ内部圧力PIR2を調節するためにホルダ61bに設けられた通気孔260bと、通気孔260bの開閉を制御する開放弁170bを備える。なお第2参照センサ16の第2参照センサ内部圧力PIR2は、第1測定センサ3の第1測定センサ内部圧力PIS1と等しくなるよう設定されている。
【００２６】
図9に示す第2参照センサ16は、第2参照用半透鏡124bと第2参照用反射膜125bとの距離が第2参照センサ間隔L2bである以外は、図3に示した第1参照センサ6と同様の構造を有する。また、第2感熱膜51bは第2感圧膜50bと同じ材料からなり、第2感圧膜50bと同じ温度感度を有する。第2参照センサ16の第2感熱膜51bの外部は第2参照センサ基底部140bで保護されているため、第2外部圧力PO2によって撓むことはない。したがって、第2感熱膜51bは周囲の第2温度T2の変動量ΔT2のみに依存して膜厚tR2がΔtR2伸縮する。したがって、第2感熱膜51b、第2参照用筐体143b、及びホルダ61bで囲まれた領域の屈折率をn2bとして、第2参照用半透鏡124bで反射された光と、第2参照用反射膜125bで反射された光には、下記(6)式で表される第2参照光路差FR2が生じる。
【００２７】
FR2 = 2n2b(L2b + ΔtR2)            …(6)
図1に示す第2測定ユニット15で反射された光は、スプリッタ56に接続された光導波路37で伝搬され、分波回路128に到達する。ここで、光源4で照射された光が分波回路128に到達するまでに辿る経路について説明する。図10に示す第1経路では、光源4から照射された光は第1測定センサ3の第1測定用反射膜25aと、第2測定センサ13の第2測定用反射膜25bで反射される。図11に示す第2経路では、光源4から照射された光は第1測定センサ3の第1測定用反射膜25aと、第2測定センサ13の第2測定用半透鏡24bで反射される。図12に示す第3経路では、光源4から照射された光は第1測定センサ3の第1測定用反射膜25aと、第2参照センサ16の第2参照用半透鏡124bで反射される。図13に示す第4経路では、光源4から照射された光は第1測定センサ3の第1測定用反射膜25aと、第2参照センサ16の第2参照用反射膜125bで反射される。
【００２８】
図14に示す第5経路では、光源4から照射された光は第1測定センサ3の第1測定用半透鏡24aと、第2測定センサ13の第2測定用反射膜25bで反射される。図15に示す第6経路では、光源4から照射された光は第1参照センサ6の第1参照用半透鏡124aと、第2測定センサ13の第2測定用反射膜25bで反射される。図16に示す第7経路では、光源4から照射された光は第1測定センサ3の第1測定用半透鏡24aと、第2参照センサ16の第2参照用半透鏡124bで反射される。図17に示す第8経路では、光源4から照射された光は第1参照センサ6の第1参照用半透鏡124aと、第2参照センサ16の第2参照用半透鏡124bで反射される。図18に示す第9経路では、光源4から照射された光は第1参照センサ6の第1参照用半透鏡124aと、第2測定センサ13の第2測定用半透鏡24bで反射される。図19に示す第10経路では、光源4から照射された光は第1測定センサ3の第1測定用半透鏡24aと、第2測定センサ13の第2測定用半透鏡24bで反射される。図20に示す第11経路では、光源4から照射された光は第1測定センサ3の第1測定用半透鏡24aと、第2参照センサ16の第2参照用反射膜125bで反射される。図21に示す第12経路では、光源4から照射された光は第1参照センサ6の第1参照用半透鏡124aと、第2参照センサ16の第2参照用反射膜125bで反射される。
【００２９】
図22に示す第13経路では、光源4から照射された光は第1参照センサ6の第1参照用反射膜125aと、第2参照センサ16の第2参照用反射膜125bで反射される。図23に示す第14経路では、光源4から照射された光は第1参照センサ6の第1参照用反射膜125aと、第2参照センサ16の第2参照用半透鏡124bで反射される。図24に示す第15経路では、光源4から照射された光は第1参照センサ6の第1参照用反射膜125aと、第2測定センサ13の第2測定用半透鏡24bで反射される。図25に示す第16経路では、光源4から照射された光は第1参照センサ6の第1参照用反射膜125aと、第2測定センサ13の第2測定用反射膜25bで反射される。
【００３０】
以上示した経路のうち、図11に示す第2経路を辿る光と図14に示す第5経路を辿る光との組み合わせで生じ、下記(7)式で表される差圧測定用光路差dPが第1外部圧力PO1と第2外部圧力PO2との差圧測定に用いられる。また図21に示す第12経路を辿る光と図23に示す第14経路を辿る光との組み合わせで生じ、下記(8)式で表される温度差測定用光路差dSが第1温度T1と第2温度T2との温度差測定に用いられる。
【００３１】
dP = |2{n1a(L1a + w1 + ΔtS1) - n2a(L2a + w2 + ΔtS2)}|        …(7)
dS = |2{n1b(L1b + ΔtR1) - n2b(L2b + ΔtR2)}|        …(8)
また第1経路乃至第11経路のそれぞれを辿る光の二つの組み合わせにより、差圧測定用光路差dP及び温度差測定用光路差dS以外に下記(9)式乃至(18)式で表される第1乃至第10光路差dN1〜dN10が生じる。ここで(9)式で表される第1光路差dN1は、図10に示す第1経路と図11に示す第2経路の組合せ、図14に示す第5経路と図19に示す第10経路の組合せ、及び図24に示す第15経路と図25に示す第16経路のそれぞれの組合せで生じる。
【００３２】
dN1 = 2n2a(L2a + w2 + ΔtS2)                              …(9)
(10)式で表される第2光路差dN2は、図10に示す第1経路と図14に示す第5経路、図11に示す第2経路と図19に示す第10経路、及び図13に示す第4経路と図20に示す第11経路のそれぞれの組合せで生じる。
【００３３】
dN2 = 2n1a(L1a + w1 + ΔtS1)                              …(10)
(11)式で表される第3光路差dN3は、図10に示す第1経路と図19に示す第10経路の組合せで生じる。
【００３４】
dN3 = 2{n1a(L1a + w1 + ΔtS1) + n2a(L2a + w2 + ΔtS2)} …(11)
(12)式で表される第4光路差dN4は、図12に示す第3経路と図13に示す第4経路、図16に示す第7経路と図20に示す第11経路、及び図22に示す第13経路と図23に示す第14経路のそれぞれの組合せで生じる。
【００３５】
dN4 = 2n2b(L2b + ΔtR2)                                    …(12)
(13)式で表される第5光路差dN5は、図12に示す第3経路と図20に示す第11経路の組合せで生じる。
【００３６】
dN5 = |2{n1a(L1a + w1 + ΔtS1) - n2b(L2b + ΔtR2)}|            …(13)
(14)式で表される第6光路差dN6は、図13に示す第4経路と図16に示す第7経路の組合せで生じる。
【００３７】
dN6 = 2{n1a(L1a + w1 + ΔtS1) + n2b(L2b + ΔtR2)}            …(14)
(15)式で表される第7光路差dN7は、図15に示す第6経路と図24に示す第15経路の組合せで生じる。
【００３８】
dN7 = |2{n2a(L2a + w2 + ΔtS2) - n1b(L1b + ΔtR1)}|          …(15)
(16)式で表される第8光路差dN8は、図15に示す第6経路と図25に示す第16経路、図17に示す第8経路と図23に示す第14経路、及び図21に示す第12経路と図22に示す第13経路のそれぞれの組合せで生じる。
【００３９】
dN8 = 2n1b(L1b + ΔtR1)                                    …(16)
(17)式で表される第9光路差dN9は、図17に示す第8経路と図22に示す第13経路の組合せで生じる。
【００４０】
dN9 = 2{n1b(L1b + ΔtR1) + n2b(L2b + ΔtR2)}                  …(17)
(18)式で表される第10光路差dN10は、図18に示す第9経路と図25に示す第16経路の組合せで生じる。
【００４１】
dN10 = 2{n1b(L1b + ΔtR1) + n2a(L2a + w2 + ΔtS2)}            …(18)
分波回路128は、図26に示すように、光導波路37に接続されたスプリッタ23、スプリッタ23に接続された感圧光導波路301及び分割光導波路38、分割光導波路38に接続されたスプリッタ324、スプリッタ324に接続された感熱光導波路302及び第1共通光導波路300a、第1共通光導波路300aに接続された位相変調器71、及び位相変調器71に接続された第2共通光導波路300bを備える。
【００４２】
スプリッタ23から感圧光導波路301の末端に辿る感圧光経路は感圧光路長L0を有する。スプリッタ23から分割光導波路38及びスプリッタ324を経由して感熱光導波路302の末端に辿る感熱光経路は感熱光路長L1を有する。スプリッタ23から分割光導波路38、スプリッタ324、第1共通光導波路300a、及び位相変調器71を経由して第2共通光導波路300bの末端に辿る共通光経路は共通光路長Lcを有する。
【００４３】
位相変調器71は第1共通光導波路300aで伝搬された光の位相を変調させ、共通光路長Lcを変化させる。位相変調器71にはニオブ酸リチウム(LiNbO3)、チタン酸バリウム(BaTiO3)等の非等方性の強誘電体結晶が使用可能である。位相変調器71は、強誘電体結晶に電場を加え、結晶内の分極電場によって屈折率が変調される「電気光学効果」を用いる。電気光学効果を生じさせる場合、電圧印加方向は結晶方位によって決定される。したがって、第1共通光導波路300aで伝搬された光の位相変調を行うときは、結晶方位に合わせて光の偏光方向を合わせる。位相変調器71による光の位相変調量は、印加される電圧の大きさ、あるいは強誘電体結晶の大きさに依存する。ただし、大電圧を印加すると結晶破壊が起きうるので、10cmオーダの大きさの強誘電体結晶を用いるのが好適である。
【００４４】
あるいは位相変調器71で屈折率を変調させるには熱光学効果を用いてもよい。「熱光学効果」とは、誘電体物質を加熱すると誘電体物質内部に熱応力が生じ、誘電体物質の屈折率が変調される現象をさす。ΔnMを誘電体物質の屈折率変化、ΔTMを誘電体物質の温度変化として誘電体物資の熱光学係数DMは下記(19)式で表される。例えばポリマー材料の熱光学係数DMは1×10-4であり、石英材料の熱光学係数DMは1×10-5である。
【００４５】
DM = ΔnM／ΔTM          …(19)
光の波長λを1μmとすると、波長λ相当の光路シフトを実現するために必要な光路長ΔlMは下記(20)式より求めることができる。
【００４６】
ΔlM＝λ / ΔnM 
= λ / (DM ×ΔTM）        …(20)
一例として温度変化ΔTMが10℃、熱光学係数DMが1×10-4の場合、上記(19)式より屈折率変化ΔnMは 1×10-3である。このとき、波長λ相当の光路シフトを実現するために必要な光路長ΔlMは上記(20)より1mmである。
【００４７】
分波回路128に対向して、受光素子8が配置される。受光素子8には、CMOSイメージセンサ、リニアセンサ、及びフォトダイオードアレイ等が使用可能である。光源4から照射される光のコヒーレンス長をlHとして、下記(21)式に示すように差圧測定用光路差dPと、感圧光路長L0及び共通光路長Lcの感圧補正光路差(L0 - LC)との差がコヒーレンス長lH以下の場合、感圧光導波路301及び第2共通光導波路300bのそれぞれの端部から照射された光は、圧力差と温度差に感応する感圧干渉縞を受光素子8上に生成する。
【００４８】
lH ≧|dP - |(L0 - LC)||    …(21)
なお、上記(8)式で表される温度差測定用光路差dSを有する光が感圧光導波路301及び第2共通光導波路300bのそれぞれの端部から照射され、受光素子8上に干渉縞を形成すると、感圧干渉縞測定の阻害要因となる。したがって、温度差測定用光路差dSと、感圧補正光路差(L0 - LC)との差が、下記(22)式で示すようにコヒーレンス長lHよりも大きい必要がある。
【００４９】
lH ≪|dS - |(L0 - LC)||                       …(22)
同様に、上記(9)乃至(18)式で表される第1乃至第10光路差dN1〜dN10を有する光が感圧光導波路301及び第2共通光導波路300bのそれぞれの端部から照射され、受光素子8上に干渉縞を形成すると、感圧干渉縞の測定の阻害要因となる。したがって、第1乃至第10光路差dN1〜dN10のそれぞれと、感圧補正光路差(L0 - LC)との差が、下記(23)式で示すようにコヒーレンス長lHよりも大きい必要がある。
【００５０】
lH ≪|dNn - |(L0 - LC)||   (n = 1, 2, 3, …, 10)        …(23)
さらに感熱光経路と感圧光経路の間で、差圧測定用光路差dPと温度差測定用光路差dSとの光路差による干渉が生じないように、下記(24)式が成立する必要がある。  
lH ≪||(dp - dS)| - |(L1 - L0)||        …(24)
また下記(25)式に示すように、温度差測定用光路差dSと、感熱光路長L1及び共通光路長Lcの感熱補正光路差(L1 - LC)との差がコヒーレンス長lH以下の場合、第2共通光導波路300b及び感熱光導波路302のそれぞれの端部から照射された光は、温度差に感応する感熱干渉縞を受光素子8上に生成する。
【００５１】
lH ≧|dS - |(L1 - LC)||    …(25)
この場合も、上記(7)式で表される差圧測定用光路差dPを有する光が感熱光導波路302及び第2共通光導波路300bのそれぞれの端部から照射され、受光素子8上に干渉縞を形成すると、感熱干渉縞測定の阻害要因となる。したがって、差圧測定用光路差dPと、感熱補正光路差(L1 - LC)との差が、下記(26)式で示すように、コヒーレンス長lHよりも大きい必要がある。
【００５２】
lH ≪|dP - |(L1 - LC)||                        …(26)
同様に、上記(9)乃至(18)式で表される第1乃至第10光路差dN1〜dN10を有する光が感熱光導波路302及び第2共通光導波路300bのそれぞれの端部から照射され、受光素子8上に干渉縞を形成すると、感圧干渉縞の測定の阻害要因となる。したがって、第1乃至第10光路差dN1〜dN10のそれぞれと、感熱補正光路差(L1 - LC)との差が、下記(27)式で示すようにコヒーレンス長lHよりも大きい必要がある。
【００５３】
lH ≪|dNn - |(L1 - LC)||   (n = 1, 2, 3, …, 10)     …(27)
したがって、第1測定光路差FS1、第1参照光路差FR1、第2測定光路差FS2、第2参照光路差FR2、感圧光路長L0、感熱光路長L1、及び共通光路長Lcのそれぞれは、上記(21)乃至(27)式の関係を満たす値に設定されている。
【００５４】
受光素子8と位相変調器71のそれぞれには検知機構80が接続されている。検知機構80は、受光素子8上の感熱干渉縞の形成位置を監視する。第1温度T1及び第2温度T2の温度差が変動し、受光素子8上の感熱干渉縞の形成位置が初期位置から感熱移動した場合、検知機構80は位相変調器71の位相変調を設定し、感熱干渉縞の形成位置を初期位置に戻す。なお感圧干渉縞の形成位置も第1温度T1及び第2温度T2の温度差変動により感熱移動する。しかし感圧干渉縞の形成に寄与する光も、位相変調器71に接続された第2共通光導波路300bから照射されている。そのため、感熱干渉縞を初期位置に戻すように位相変調器71を設定することにより、感圧干渉縞の形成位置も自動的に温度差変動による感熱移動を打ち消す方向に移動される。
【００５５】
感圧光導波路301と第2共通光導波路300bのそれぞれの端部の間隔a0Cと、第2共通光導波路300bと感熱光導波路302のそれぞれの端部の間隔aC1とは同じ大きさに設定されている。そのため、感熱干渉縞と感圧干渉縞のそれぞれの熱感度は等しくなる。
【００５６】
図1に示すように受光素子8には信号処理装置7が接続されている。信号処理装置7は受光素子8上に形成される感圧干渉縞の形成位置を検出し、第1外部圧力PO1と第2外部圧力PO2との差圧を算出する。
【００５７】
以上の配置をとることにより、図1に示す差圧測定システムは誤差要因となる第1温度T1と第2温度T2の温度差変化の影響を排除して、第1外部圧力PO1と第2外部圧力PO2の差圧を測定することが可能となる。以下、差圧測定システムが第1温度T1と第2温度T2の温度差変化の影響を排除する原理を説明する。
【００５８】
(A) 温度差が変化せず、差圧が変化した場合：
第1温度T1と第2温度T2の温度差が変化せず、第1外部圧力PO1と第2外部圧力PO2の差圧のみが変化した場合、図27に示すように、感圧干渉縞が初期位置OPから感圧干渉縞形成位置OP + ΔOPに移動する。しかし、上記(8)式で表される温度差測定用光路差dSに基づく感熱干渉縞は初期位置OTから移動しないため、検知機構80は位相変調器71の状態を変化させない。この場合、感圧干渉縞の移動距離ΔOPから差圧変化を測定すればよい。
【００５９】
(B) 温度差のみ変化して、差圧が変化しない場合：
第1温度T1と第2温度T2の温度差が変化した場合、図28に示すように、受光素子8上に形成される感熱干渉縞及び感圧干渉縞のそれぞれが同じ方向に同じ距離ΔOTだけ感熱移動する。感熱干渉縞の移動は検知機構80で検知される。検知機構80は、感熱干渉縞の形成位置が初期位置OTに戻るよう、位相変調器71を用いて第2共通光導波路300bの端部から照射される光と、感熱光導波路302の端部から照射される光との光路差を変化させる。このとき、感圧光導波路301の端部から照射される光と、第2共通光導波路300bの端部から照射される光との光路差も同じ量だけ変化する。したがって、図29に示すように感圧干渉縞の形成位置も初期位置OPに戻る。そのため、温度差変化に伴う感圧干渉縞の感熱移動を、第1外部圧力PO1と第2外部圧力PO2の差圧変化と誤認することがなくなる。
【００６０】
(C) 温度差が変化し、差圧も変化した場合：
第1外部圧力PO1と第2外部圧力PO2の差圧が変化し、さら第1温度T1と第2温度T2の温度差も変化した場合、図30に示すように、感熱干渉縞は初期位置OTから位置OT + ΔOTに感熱移動する。また感圧干渉縞は差圧と温度差に感応し、初期位置OPから位置OP + ΔOT  + ΔOPに移動する。この場合、検知機構80は位相変調器71で第2共通光導波路300bから照射される光に位相変調をかけ、図31に示すように、感熱干渉縞を初期位置OTに戻す。同時に、感圧干渉縞は温度差変化に伴う感熱移動ΔOT が取り消される。したがって、第1温度T1と第2温度T2の温度差変化の影響を受けることなく、第1外部圧力PO1と第2外部圧力PO2の差圧を感圧干渉縞形成位置OP + ΔOPから測定することが可能となる。
【００６１】
従来の差圧測定システムにおいては、温度差変化の影響を受けて受光素子上の感圧干渉縞の形成位置が感熱移動するという問題があった。そのため差圧に変化が生じていない場合でも、温度差変化による感圧干渉縞の感熱移動から実際に生じていない差圧を誤って算出するという問題があった。また温度差変化を検出する参照センサを併設し、感圧干渉縞の形成位置を検出した後、計算機処理により温度差変化の影響を排除する差圧測定システムもあった。しかし感圧干渉縞を検出した後、計算機処理により温度差変化の影響を排除すると、測定値の劣化及び処理時間の長期化等の問題があった。
【００６２】
これに対し、図1に示す実施の形態に係る差圧測定システムにおいては、検知機構80によって第1温度T1と第2温度T2の温度差変化に伴う感圧干渉縞の感熱移動が打ち消される。したがって、受光素子8上の感圧干渉縞の形成位置を検出すれば、その後補正処理をすることなく、直接第1外部圧力PO1と第2外部圧力PO2の差圧を算出することが可能となる。
【００６３】
次に、図32を用いて図1に示した差圧測定システムを用いた差圧測定方法について説明する。
【００６４】
(a) ステップS101で、図1に示す光源4より光を、第1測定ユニット5の第1測定センサ3及び第1参照センサ6のそれぞれに照射する。ステップS102で第1測定センサ3は、光源4から照射された光に、周囲の第1温度T1及び第1外部圧力PO1に応じて第1測定光路差FS1を与える。さらにステップS103で第1参照センサ6は、光源4から照射された光に、第1温度T1に応じて第1参照光路差FR1を与える。
【００６５】
(b) ステップS104で、第2測定センサ13は、第1測定センサ3あるいは第1参照センサ6を経由してきた光に、第2温度T2及び第2外部圧力PO2に応じて第2測定光路差FS2を与える。ステップS105で、第2参照センサ16は、第1測定センサ3あるいは第1参照センサ6を経由してきた光に、第2温度T2に応じて第2参照光路差FR2を与える。
【００６６】
(c) ステップS106で、第1及び第2測定光路差FS1, FS2の光路差を有する1組の光と、第1及び第2参照光路差FR1, FR2の光路差を有する1組の光のそれぞれを、図26に示す感熱光導波路302、感圧光導波路301、及び第2共通光導波路300bの3方向に分波する。
【００６７】
(d) ステップS107で、感圧光導波路301及び第2共通光導波路300bのそれぞれの端部から照射される光で、第1及び第2測定光路差FS1, FS2の光路差に基づく感圧干渉縞を受光素子8上に形成する。同時に、感熱光導波路302及び第2共通光導波路300bのそれぞれの端部から照射される光で、第1及び第2参照光路差FR1, FR2の光路差に基づく感熱干渉縞を受光素子8上に形成する。
【００６８】
(e) ステップS108で、検知機構80は受光素子8上の感熱干渉縞の感熱移動を検知する。ステップS109で、位相変調器71は第1共通光導波路300aで伝搬された光に位相変調を加え、感圧干渉縞と感熱干渉縞のそれぞれの第1及び第2温度T1, T2の温度差による感熱移動を打ち消す。最後にステップS110で、信号処理装置7は受光素子8上における感圧干渉縞の形成位置から第1及び第2外部圧力PO1, PO2の差圧を算出し、実施の形態に係る差圧測定方法を終了する。
【００６９】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。例えば図33に示すその他の実施の形態に係る分波回路128は、スプリッタ23に接続された共通光導波路310及び分割光導波路38a、分割光導波路38aに接続された位相変調器72、位相変調器72に接続された分割光導波路38b、分割光導波路38bに接続されたスプリッタ324、スプリッタ324に接続された感圧光導波路311及び感熱光導波路312を備える。
【００７０】
スプリッタ23から共通光導波路310の末端に辿る共通光経路は共通光路長Lcを有する。スプリッタ23から分割光導波路38a、位相変調器72、分割光導波路38b、スプリッタ324を経て感圧光導波路311の末端に辿る感圧光経路は感圧光路長L0を有する。スプリッタ23から分割光導波路38a、位相変調器72、分割光導波路38b、及びスプリッタ324を経由して感熱光導波路312の末端に辿る感熱光経路は感熱光路長L1を有する。
【００７１】
感圧光路長L0、感熱光路長L1、及び共通光路長Lcのそれぞれを、上記(21)乃至(27)式の関係を満たす値に設定することにより、共通光導波路310と感圧光導波路311のそれぞれの端部から照射される光で感圧干渉縞が受光素子8上に形成される。また、共通光導波路310と感熱光導波路312のそれぞれの端部から照射される光で感熱干渉縞が受光素子8上に形成される。受光素子8上の感熱干渉縞の感熱移動を検知機構80で検知し、位相変調器72で感熱干渉縞及び感圧干渉縞の感熱移動を打ち消す原理は実施の形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
【００７２】
また、図34に示すその他の実施の形態に係る分波回路128は、スプリッタ23に接続された第1共通光導波路310a及び分割光導波路38、第1共通光導波路310aに接続された位相変調器73、位相変調器73に接続された第2共通光導波路310b、分割光導波路38に接続されたスプリッタ324、スプリッタ324に接続された感圧光導波路311及び感熱光導波路312を備える。
【００７３】
スプリッタ23から第1共通光導波路310a及び位相変調器73を経て第2共通光導波路310bの末端に辿る共通光経路は共通光路長Lcを有する。スプリッタ23から分割光導波路38、スプリッタ324を経て感圧光導波路311の末端に辿る感圧光経路は感圧光路長L0を有する。スプリッタ23から分割光導波路38及びスプリッタ324を経由して感熱光導波路312の末端に辿る感熱光経路は感熱光路長L1を有する。
【００７４】
感圧光路長L0、感熱光路長L1、及び共通光路長Lcのそれぞれを、上記(21)乃至(27)式の関係を満たす値に設定することにより、第2共通光導波路310bと感圧光導波路311のそれぞれの端部から照射される光で感圧干渉縞が受光素子8上に形成され、第2共通光導波路310bと感熱光導波路312のそれぞれの端部から照射される光で感熱干渉縞が受光素子8上に形成される。受光素子8上の感熱干渉縞の感熱移動を検知機構80で検知し、位相変調器73で感熱干渉縞及び感圧干渉縞の感熱移動を打ち消す原理は実施の形態と同様であるので詳細な説明は省略する。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲の発明特定事項によってのみ限定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の実施の形態に係る差圧測定システムの模式図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る第１測定ユニットの上面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る第１測定ユニットのＡ−Ａ方向から見た断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る第１測定センサのＡ−Ａ方向から見た断面図（その１）である。
【図５】本発明の実施の形態に係る第１測定センサのＡ−Ａ方向から見た断面図（その２）である。
【図６】本発明の実施の形態に係る第１測定センサのＡ−Ａ方向から見た断面図（その３）である。
【図７】本発明の実施の形態に係る感圧膜に関するグラフ（その１）である。
【図８】本発明の実施の形態に係る感圧膜に関するグラフ（その２）である。
【図９】本発明の実施の形態に係る第２測定ユニットの断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第１経路を示す模式図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第２経路を示す模式図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第３経路を示す模式図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第４経路を示す模式図である。
【図１４】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第５経路を示す模式図である。
【図１５】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第６経路を示す模式図である。
【図１６】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第７経路を示す模式図である。
【図１７】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第８経路を示す模式図である。
【図１８】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第９経路を示す模式図である。
【図１９】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第１０経路を示す模式図である。
【図２０】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第１１経路を示す模式図である。
【図２１】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第１２経路を示す模式図である。
【図２２】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第１３経路を示す模式図である。
【図２３】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第１４経路を示す模式図である。
【図２４】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第１５経路を示す模式図である。
【図２５】本発明の実施の形態に係る光の伝搬経路の第１６経路を示す模式図である。
【図２６】本発明の実施の形態に係る光位相補正手段を示す模式図（その１）である。
【図２７】本発明の実施の形態に係る光位相補正手段を示す模式図（その２）である。
【図２８】本発明の実施の形態に係る光位相補正手段を示す模式図（その３）である。
【図２９】本発明の実施の形態に係る光位相補正手段を示す模式図（その４）である。
【図３０】本発明の実施の形態に係る光位相補正手段を示す模式図（その５）である。
【図３１】本発明の実施の形態に係る光位相補正手段を示す模式図（その６）である。
【図３２】本発明の実施の形態に係る差圧測定方法を示すフローチャートである。
【図３３】本発明のその他の実施の形態に係る光位相補正手段を示す模式図（その１）である。
【図３４】本発明のその他の実施の形態に係る光位相補正手段を示す模式図（その２）である。
【符号の説明】
【００７６】
3…第1測定センサ
4…光源
5…第1測定ユニット
6…第1参照センサ
7…信号処理装置
8…受光素子
13…第2測定センサ
15…第2測定ユニット
16…第2参照センサ
21, 22, 23, 55, 56, 324…スプリッタ
24a…第1測定用半透鏡
24b…第2測定用半透鏡
25a…第1測定用反射膜
25b…第2測定用反射膜
29, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37…光導波路
38, 38a, 38b…分割光導波路
40a…第1測定センサ基底部
40b…第2測定センサ基底部
43a…第1測定用筐体
43b…第2測定用筐体
50a…第1感圧膜
50b…第2感圧膜
51a…第1感熱膜
51b…第2感熱膜
60a, 60b, 61a, 61b…ホルダ
70a, 70b…開放弁
71, 72, 73…位相変調器
80…検知機構
124a…第1参照用半透鏡
124b…第2参照用半透鏡
125a…第1参照用反射膜
125b…第2参照用反射膜
128…分波回路
130a, 130b, 132a, 132b…コア
131a, 131b, 133a, 133b…クラッド
140a…第1参照センサ基底部
140b…第2参照センサ基底部
143a…第1参照用筐体
143b…第2参照用筐体
160a, 160b…通気孔
170a, 170b…開放弁
260a, 260b…通気孔
300a…第1共通光導波路
300b…第2共通光導波路
301, 311…感圧光導波路
302, 312…感熱光導波路
310a…第1共通光導波路
310b…第2共通光導波路
310…共通光導波路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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