(57)【要約】【課題】液晶表示パネル用のガラス基板などの板状ワークｗを収容するためのカセット装置として、各々、対応する板状ワークｗの周縁部を下方から支承する３つ以上の支承部１７を有してなる複数の支承機構１６が上下方向に多段に設けられたカセット本体１０に強い振動や衝撃が加わっても、板状ワークｗが飛び出してしまわないようにする。【解決手段】各支承機構１６の３つ以上の支承部１７のうちの少なくとも２つの支承部１７における板状ワークｗとの接触面にそれぞれ設けられた吸着口１８ａと、各々、一端が吸着口１８ａとされている一方、他端が接続口１８ｂとされた複数の気体通路１８と、板状ワークｗの周縁部が吸着口１８ａに吸着されるように気体通路１８の気体を接続口１８ｂを経由して排出する一方、板状ワークｗの周縁部に対する吸着口１８ａの吸着が解除されるように接続口１８ｂを経由して気体を気体通路１８に供給する給排手段２０，３０とを備えるようにする。【選択図】図１
2006019635.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の板状ワークを略水平でかつ上下方向に並ぶ状態に収容するためのカセット本体と、
各々、対応する板状ワークの周縁部を下方から支承する３つ以上の支承部を有し、前記カセット本体に上下方向に多段に設けられた複数の支承機構と、
前記各支承機構の前記３つ以上の支承部のうちの少なくとも２つの前記支承部における前記板状ワークとの接触面にそれぞれ設けられた吸着口と、
各々、一端が前記吸着口とされている一方、他端が接続口とされた複数の気体通路と、
前記板状ワークの周縁部が前記吸着口に吸着されるように前記気体通路の気体を前記接続口を経由して排出する一方、前記板状ワークの周縁部に対する前記吸着口の前記吸着が解除されるように気体を前記気体通路に供給する給排手段とを備えていることを特徴とするカセット装置。
【請求項２】
請求項１に記載のカセット装置において、
前記各支承部における前記板状ワークの周縁部との接触部位は、該板状ワークの周縁部よりも軟質の材料からなっていることを特徴とするカセット装置。
【請求項３】
請求項１に記載のカセット装置において、
全ての前記気体通路は、各々、複数の前記気体通路からなる複数の通路グループに分けられ、
前記各通路グループの複数の前記気体通路の前記各接続口は、１つに共通化されていることを特徴とするカセット装置。
【請求項４】
請求項１に記載のカセット装置において、
前記接続口に設けられ、外部空間の気圧が前記気体通路内の気圧よりも低いときに該気体通路内の気圧により開弁する一方、外部空間の気圧が前記気体通路内の気圧よりも高いときに該外部空間の気圧により閉弁する開閉弁を備え、
前記給排手段は、
前記カセット本体とは別体とされていて前記接続口に接続可能な排気手段と、
前記カセット本体とは別体とされていて前記開閉弁を開弁させるための給気手段とからなることを特徴とするカセット装置。
【請求項５】
請求項４に記載のカセット装置において、
前記開閉弁は、
前記気体通路と外部空間とを互いに連通するように設けられた貫通孔を有し、弾性変形可能でかつ外部空間の側に突出するように設けられ、外部空間の気圧が前記気体通路内の気圧よりも低いときに該気体通路内の気圧に押圧されることで前記貫通孔を開く方向に弾性変形する一方、外部空間の気圧が前記気体通路内の気圧よりも高いときに該外部空間の気圧に押圧されることで前記貫通孔を閉じる方向に弾性変形するように構成されていることを特徴とするカセット装置。
【請求項６】
請求項５に記載のカセット装置において、
前記給気手段は、
前記開閉弁の連通孔を外部空間の側から前記気体通路の側に向かって貫通可能な針状部材に、該針状部材が前記連通孔に貫通した状態で前記外部空間と前記気体通路とを互いに連通する連通路が設けられてなることを特徴とするカセット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示体用ガラス基板、蛍光表示管などの各種の基板、あるいはこれらの基板を用いて製造したパネルなどの板状ワークを保管、搬送するためのカセット装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置などのフラットパネルディスプレイの製造工程においては、その基板の取扱いに極めてクリーンな状態が要求されるため、クリーンルーム内での取扱いが一般的であり、これらの基板を損傷や汚染から守るために、保管や搬送の際には、例えば特許文献１に記載されているように、複数枚の基板を互いに接触しないように収容できて安全に出し入れできるようにしたカセットを用いることが知られている。
【０００３】
このようなカセットでは、図５の正面図および図６の左側面図に示すように、天板部１００と底板部１１０と側面部材１２０と背面部材１３０とからなっており、複数枚のガラス基板ｗを水平状態で上下方向に多段に収容でき、ガラス基板ｗとガラス基板ｗとの間にガラス基板ｗを出し入れするための移載ハンドを挿入できる程度の間隔が設けられているのが一般的である。
【０００４】
そして、各側面部１２０には、ガラス基板ｗを支持するための支持部１４０が各段毎に複数個ずつ設けられており、従来の場合には、各段毎に、複数個の支持部１４０によりガラス基板ｗの両側縁部を下方から支承して保持するようになされている。
【特許文献１】実開平３−５６５８８号（第４頁，第１および第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のカセット装置では、カセットに衝撃や振動が加わった際に、ガラス基板ｗが飛び出してしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、液晶表示パネル用のガラス基板などの板状ワークを収容するためのカセット装置として、カセット本体に強い振動や衝撃が加わっても、板状ワークが飛び出してしまわないようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成すべく、本発明では、カセット本体内に収容された板状ワークを吸着保持できるようにし、このことで、カセット本体に強い振動や衝撃が加わっても、板状ワークが飛び出さないようにする一方、板状ワークの取出時には、その吸着保持を解除できるようにした。
【０００８】
具体的には、本発明では、複数枚の板状ワークを略水平でかつ上下方向に並ぶ状態に収容するためのカセット本体と、各々、対応する板状ワークの周縁部を下方から支承する３つ以上の支承部を有していて、前記カセット本体に上下方向に多段に設けられた複数の支承機構と、これら各支承機構の前記３つ以上の支承部のうちの少なくとも２つの前記支承部における前記板状ワークとの接触面にそれぞれ設けられた吸着口と、各々、一端が前記吸着口とされている一方、他端が接続口とされた複数の気体通路と、前記板状ワークの周縁部が前記吸着口に吸着されるように前記気体通路の気体を前記接続口を経由して排出する一方、前記板状ワークの周縁部に対する前記吸着口の前記吸着が解除されるように気体を前記気体通路に供給する給排手段とを備えるようにした。
【０００９】
尚、上記の構成において、前記各支承部における前記板状ワークの周縁部との接触部位を、該板状ワークの周縁部よりも軟質の材料からなるものとすることができる。
【００１０】
また、全ての前記気体通路を、各々、複数の前記気体通路からなる複数の通路グループに分けて、それら各通路グループの複数の前記気体通路の前記各接続口を１つに共通化するようにしてもよい。
【００１１】
さらに、前記接続口に、外部空間の気圧が前記気体通路内の気圧よりも低いときに該気体通路内の気圧により開弁する一方、外部空間の気圧が前記気体通路内の気圧よりも高いときに該外部空間の気圧により閉弁する開閉弁を設けるようにし、その上で、前記給排手段を、前記カセット本体とは別体とされていて前記接続口に接続可能な排気手段と、前記カセット本体とは別体とされていて前記開閉弁を開弁させるための給気手段とからなるものとするようにしてもよい。
【００１２】
その場合には、前記開閉弁を、前記気体通路と外部空間とを互いに連通するように設けられた貫通孔を有していて、外部空間の側に突出するように設けられた弾性変形可能なものとし、外部空間の気圧が前記気体通路内の気圧よりも低いときに該気体通路内の気圧に押圧されて前記貫通孔を開く方向に弾性変形する一方、外部空間の気圧が前記気体通路内の気圧よりも高いときに該外部空間の気圧に押圧されて前記貫通孔を閉じる方向に弾性変形するように構成することができる。
【００１３】
また、その場合には、前記給気手段を、前記開閉弁の貫通孔を外部空間の側から前記気体通路の側に向かって挿通可能な針状部材に、該針状部材が前記貫通孔に挿通された状態で前記外部空間と前記気体通路とを互いに連通する連通路が設けられてなるものとすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、カセット本体内の複数の支承部上に板状ワークを載置し、吸排手段により気体通路内の気体を排出することで、前記複数の支承部のうちの少なくとも２つの支承部に前記板状ワークを吸着保持させることができるので、カセット本体に強い振動や衝撃が加わっても、板状ワークが飛び出さないようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。
【００１６】
図１および図２は、本発明の実施形態に係るカセット装置の全体構成を示しており、このカセット装置は、液晶表示装置の製造工程において、液晶表示パネルのガラス基板を収容するために用いられる。
【００１７】
本実施形態のカセット装置は、カセット本体１０と、このカセット本体１０にガラス基板が収容されたときに該ガラス基板をカセット本体内に吸着保持するための排気手段としての吸引ポンプ２０と、ガラス基板に対する前記吸着保持を解除するための給気手段としての解除部材３０とを備えている。
【００１８】
カセット本体１０は、上下に配置された天板１１および底板１２と、これら天板１１および底板１２の両側（図１の左右両側）にそれぞれ天板１１と底板１２とを互いに連結するように複数本（図示する例では、４本）ずつ立設された棒状部材１３と、天板１１および底板１２の後面側（図２の左面側）にそれぞれ天板１１と底板１２とを互いに連結するように立設された複数本（図示する例では、２本）の板状部材１４とからなっており、前面側（図２の右面側）は、カセット本体１０に対するガラス基板ｗの入出用開口部１５となっている。
【００１９】
また、カセット本体１０には、複数（図示する例では、８つ）の支承部１７からなる支承機構１６が上下方向に複数段（図示する例では、２０段）に等ピッチに並ぶように設けられている。具体的には、各支承部１７は、各棒状部材１３にカセット本体１０の内側空間に向かって略水平方向に突出するように設けられている。各支承機構１６の支承部１７は、互いに同じ平面上に配置されており、このことで、各支承機構１６では、支承部１７によりガラス基板ｗの両側縁部を下方から支承するようになっている。
【００２０】
そして、本実施形態では、各棒状部材１３毎に、一端が各支承部１７におけるガラス基板ｗとの接触面にそれぞれ開口されて吸着口１８ａを形成する一方、他端が棒状部材１３の上端近傍外面に開口された気体通路１８が設けられており、各気体通路１８の他端は接続口１８ｂとなっている。
【００２１】
具体的には、板状ワークｗの側縁部に対する各支承部１７の接触部位は、該板状ワークｗよりも軟質の材料からなる吸着パッド１７ａとされている。この吸着パッド１７ａにおけるガラス基板ｗとの接触面は、該ガラス基板ｗの側縁部下面に密着可能に設けられており、上記吸着口１８ａは、その接触面の略中央に配置されている。
【００２２】
また、各棒状部材１３の内部は中空とされており、該棒状部材１３の支承部１７に対応する気体通路１８の一部は、その中空部分により形成されている。また、中空部分を共有する気体通路１８は、その接続口１８ｂも共有しており、その接続口１８ｂは、棒状部材１３の上端近傍におけるカセット本体１０外側に開口されている。
【００２３】
各気体通路１８の接続口１８ｂには、開閉弁１９が設けられている。この開閉弁１９は、外部空間の側に突出するように設けられたゴムなどの弾性材からなっていて、略中央には、気体通路１８と外部空間とを互いに連通する貫通孔１９ａが設けられており、外部空間の気圧が気体通路１８の気圧よりも低いときに該気体通路１８の気圧に押圧されて貫通孔１９ａを開く方向に弾性変形し、一方、外部空間の気圧が気体通路１８の気圧よりも高いときに該外部空間の気圧に押圧されて連通孔１９ａを閉じる方向に弾性復帰するようになっている。
【００２４】
一方、吸引ポンプ２０は、各気体通路１８の接続口１８ｂ毎に配置されていて、対応する棒状部材１３の上端近傍における外面側に取り付けられている。各吸引ポンプ２０は、吸気口２１ａおよび排気口２１ｂが設けられたケーシング２１と、このケーシング２１内に配置されたファン２２と、このファン２２を吸気口２１ａを経由して気体を吸い込む一方、該吸い込んだ気体を排気口２１ｂを経由して排出するるように回転駆動する電動モータ２３とを有してなっており、ケーシング２１の吸気口２１ａが棒状部材１８の接続口１８ｂに接続されている。これにより、ガラス基板ｗが支承機構１６の支承部１７に支承された状態のときに、各吸引ポンプ２０の電動モータ２３を作動させることで、各支承部１７の吸着パッド１７ａがそれぞれガラス基板ｗの側縁部を吸着するようになっている。尚、吸引ポンプ２０は、カセット本体１０に対し一体に形成するようにしてもよいし、別体に形成して気体通路１８の接続口１８ｂに接続可能に設けるようにしてもよい。
【００２５】
また、解除部材３０は、カセット本体１０とは別体に設けられている。この解除部材３０は、開閉弁１９の貫通孔１９ａを外部空間の側から気体通路１８の側に向かって挿通可能な針状部材からなっており、解除部材３０には、該解除部材３０が貫通孔１９ａに挿通された状態で外部空間と気体通路１８とを互いに連通する連通路３１が設けられている。
【００２６】
ここで、上記のように構成されたカセット装置の作用について説明する。
【００２７】
各吸引ポンプ２０が未だ作動しておらず、かつ各気体通路１８内の気圧が大気圧である状態で、カセット本体１０にガラス基板ｗを入れ、その側縁部が支承機構１６の複数の支承部１７により下方から支承される状態に収容する。
【００２８】
全ての支承機構１６にガラス基板ｗを支承させた状態で、吸引ポンプ２０を作動させる。すると、開閉弁１９の外部側の気圧が気体通路１８の気圧よりも低くなるので、開閉弁１９が貫通孔１９ａを開く方向に弾性変形し、気体通路１８の気体が外部に排出される。これにより、気体通路１８が減圧され、各支承部１７の吸着パッド１７ａがガラス基板ｗの側縁部下面を吸着するので、ガラス基板ｗは、８つの支承部１７により移動不能に保持されることになる。
【００２９】
次いで、カセット本体１０を所定の位置に移送して載置する。この移送の間や載置する際に、各ガラス基板ｗは、各支承部１７の吸着パッド１７ａにより吸着された状態で保持されているので、カセット本体１０に強い衝撃や振動が加わっても、カセット本体１０から飛び出すという事態は生じない。
【００３０】
所定の位置に載置された後、解除部材３０を用いてガラス基板ｗの吸着保持を解除する。具体的には、カセット本体１０の開閉弁１９の貫通孔１９ａに外部空間側から解除部材３０を挿通する。そして、解除部材３０の連通路３１の先端開口が気体通路１８内に位置付けられると、連通路３１を経由して気体通路１８と外部空間とが互いに連通することになる。このとき、気体通路１８は減圧されていて外部空間の気圧よりも低いので、その気圧差により外部空間の気体が連通路３１を経由して気体通路１８に流入する。つまり、気体通路１８に気体が供給されることになる。尚、解除部材３０を用いる際に、各吸引ポンプ２０がカセット本体１０に対し取外し可能である場合には、それら吸引ポンプ２０を取り外すようにしてもよいし、吸引ポンプ２０がカセット本体１０に取り付けられた状態のままでも開閉弁１９の貫通孔に支障なく解除部材３０を挿通できるように吸引ポンプ２０を設けている場合には、吸引ポンプ２０を取り外さなくてもよい。
【００３１】
このようにして、気体通路１８の気圧が外部空間の気圧に戻ることにより、カセット本体１０内の各ガラス基板ｗに対する支承部１７の吸着保持が解除される。そして、解除された後には、各ガラス基板ｗはカセット本体１０から従来どおり支障なく取り出すことができる。
【００３２】
したがって、本実施形態によれば、液晶表示パネル用の複数枚のガラス基板ｗを収容するためのカセット装置として、カセット本体１０内の８つ支承部１７上にガラス基板ｗを載置し、吸引ポンプ２０により気体通路１８内の気体を排出することで、前記８つの支承部１７にガラス基板ｗを吸着保持させることができるので、カセット本体１０に強い振動や衝撃が加わっても、ガラス基板ｗが飛び出さないようにすることができる。
【００３３】
その際に、ガラス基板１０に対する各支承部１７の接触部位を、ガラス基板ｗよりも軟質の材料からなる吸着パッド１７ａとするようにしたので、ガラス基板ｗに対する支承部１７の密着性を高めて支承部１７によるガラス基板ｗの吸着保持を確実化することができるのみならず、カセット本体１０に振動や衝撃が加わったときにガラス基板ｗに支承部１７との接触に起因して傷が付くという事態を回避することができる。
【００３４】
尚、上記の実施形態では、各支承機構１６の有する支承部１７の全てを、ガラス基板ｗを吸着保持するようにしているが、ガラス基板ｗを吸着保持する支承部１７としては、２つ以上であればよい。
【００３５】
また、上記の実施形態では、ガラス基板ｗに対する各支承部１７の接触箇所を、該ガラス基板ｗよりも軟質の材料からなる吸着パッド１７ａとするようにしているが、カセット装置の使用条件によっては、省略することもできる。
【００３６】
また、上記の実施形態では、共通の棒状部材１３に設けられている複数の支承部１７毎に１つの共通の気体通路１８を形成するようにしているが、支承部１７の数が少ないなどの場合には各支承部１７毎に気体通路１８を形成するようにしてもよいし、逆に、全ての支承部１７に対し１つの共通の気体通路１８を形成するようにしてもよい。
【００３７】
また、上記の実施形態では、吸引ポンプ２０を複数とし、各気体通路１８の接続口１８ｂ毎に吸引ポンプ２０を配置するようにしているが、全ての気体通路１８の接続口１８ｂを共通化して１つにした上で、吸引ポンプ２０を１つにするようにしてもよいし、吸引ポンプ２０がカセット本体１０と別体である場合には、１つの吸引ポンプ２０を各気体通路１８の接続口１８ｂに順に接続するようにしてもよい。
【００３８】
さらに、上記の実施形態では、液晶表示パネル用のガラス基板ｗを収容するためのカセット装置の場合について説明しているが、本発明は、そのようなガラス基板ｗ以外の板状ワークを収容するためのカセット装置に適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施形態に係るカセット装置の全体構成を示す正面図である。
【図２】カセット装置の全体構成を示す左側面図である。
【図３】気体通路を減圧してガラス基板を支承部に吸着保持させる状態を模式的に示す縦断面図である。
【図４】支承部の構成をを拡大して示す平面図である。
【図５】解除部材の構成を拡大して示す側面図である。
【図６】解除部材の構成を拡大して示す縦断側面図である。
【図７】従来のカセットの全体構成を示す図１相当図である。
【図８】従来のカセットの全体構成を示す図２相当図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０  カセット本体
１６  支承機構
１７  支承部
１７ａ  吸着パッド
１８  気体通路
１８ａ  吸着口
１８ｂ  接続口
１９  開閉弁
１９ａ  貫通孔
２０  吸引ポンプ（排気手段）
３０  解除部材（給気手段）
３１  連通路
ｗ  ガラス基板（板状ワーク）
【図１】
2006019635.tif 000003
【図２】
2006019635.tif 000004
【図３】
2006019635.tif 000005
【図４】
2006019635.tif 000006
【図５】
2006019635.tif 000007
【図６】
2006019635.tif 000008
【図７】
2006019635.tif 000009
【図８】
2006019635.tif 000010