(57)【要約】【課題】フォトエッチング法を用いたシャドウマスクの製造方法において、開口不良が生じず、品質の良いシャドウマスクが得られるシャドウマスクの製造方法を提供する。【解決手段】フォトエッチング法を用いたシャドウマスクの製造方法において、シャドウマスク金属素材の一方の面を上面としてもう一方の面側に長尺帯状の保護フィルムを貼り付けた後に、一方の面に第一エッチングを行った後、水平搬送されるシャドウマスク金属素材の上下面を反転させる手段を設け、もう一方の面を上面とし、前記保護フィルムを剥離したうえでもう一方の面に第二エッチングを行うことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。【選択図】図１
2006144130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両面に所定パターンに従って一部金属面を露出させているレジスト膜が形成され、搬送手段上を略水平方向に搬送される長尺帯状のシャドウマスク金属素材の一方の面よりスプレーエッチングを行い、この一方の面の金属露出部分に凹部を形成する第一エッチング工程と、前記第一エッチング工程にて形成された凹部に樹脂を塗布してこの凹部内部に樹脂を充填、硬化しエッチング防止層を形成する工程と、前記エッチング防止層の設けられた面とは反対側のシャドウマスク金属素材のもう一方の面よりスプレーエッチングを行い、もう一方の面から前記一方の面に形成された凹部に通じる凹孔を形成し、金属素材を貫通した開口を得る第二エッチング工程と、前記エッチング防止層とレジスト膜を剥膜除去する剥膜工程とを少なくとも行うことで得られるシャドウマスクの製造方法において、
前記搬送手段がシャドウマスク金属素材の下面と接触する搬送用ローラーであり、前記レジスト膜の形成後、
シャドウマスク金属素材の前記一方の面を上面として、もう一方の面側に長尺帯状の保護フィルムを貼り付けた後に前記一方の面より第一エッチングを行った後、前記一方の面側のレジスト膜を剥離した後、前記一方の面側にエッチング防止層を形成した後、上下面を反転させる反転手段にて、搬送されるシャドウマスク金属素材の上下面を反転させる手段を設け、前記もう一方の面を上面とし、前記保護フィルムを剥離したうえで、前記もう一方の面より第二エッチングを行うことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトエッチング法によって、金属素材を貫通した複数の開口が形成されたシャドウマスクを製造する方法に係わり、特に開口の径が小さく開口の数が多い高精細シャドウマスクの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、カラー受像管等に用いるシャドウマスクは、フォトエッチング法を用いた工程で造ることが主流となっている。例えば、図６はフォトエッチング法を用いた工程の一例を示している。すなわち、シャドウマスク金属素材（シャドウマスク材１）として例えば板厚０．１３ｍｍの低炭素鋼板を用い、その両面を脱脂、整面、洗浄処理した後、その両面にカゼインまたはポリビニルアルコールと重クロム酸アンモニウムからなる水溶性感光液を塗布乾燥して、フォトレジスト膜２を形成する。次いで、所定のパターンを有する露光用マスクを介して、シャドウマスク材１の一方の面に小孔像のネガパターンを、他方の面に大孔像のネガパターンを露光する。その後、温水にて、未露光未硬化のフォトレジスト膜を溶解する現像処理を行った後、レジスト膜２に対して硬膜処理およびバーニング処理を施せば、図６（ａ）に示すように、開孔６よりシャドウマスク材１を露出した小孔レジスト膜２ａと大孔レジスト膜２ｂとを表裏に有するシャドウマスク材１が得られる。
【０００３】
次いで、図６（ｂ）に示すように、第一段階のエッチングを小孔レジスト膜２ａ面側から行ない、小孔レジスト膜２ａ側に小孔凹部３ａを形成する。エッチング液７には塩化第二鉄液のボーメ濃度３５〜５２を用い、スプレー圧１．５〜３．５ｋｇ／ｃｍ2のスプレーエッチングで行なうのが一般的である。この第一エッチング工程では、図６（ｂ）に示すように、エッチング進度は、途中で止めるのが肝要である。なお、第一エッチング工程に先立ち、大孔レジスト膜２ｂ面側に保護フィルムを貼り付け、第一エッチング工程においてエッチング液が大孔レジスト膜２ｂ面側に接触することを防止し、大孔レジスト膜２ｂ面側への不要なエッチングを防止する場合もある。
【０００４】
次いで、シャドウマスク材１を水洗洗浄および乾燥後、例えば光硬化型の樹脂をグラビアコート法等により塗布後、樹脂に光照射を行うことで、図６（ｃ）に示すように、前段のエッチングで形成された小孔側の凹部３ａを完全に埋め尽くすエッチング防止層４を形成する。なお、エッチング防止層４を形成する前に、小孔レジスト膜２ａを剥膜する場合もある。
【０００５】
続いて、第一エッチング工程の前に、大孔レジスト膜２ｂ面側に保護フィルムを貼り付けた場合には、保護フィルムを剥離したうえで、図６（ｄ）に示すように、大孔レジスト膜２ｂ面からシャドウマスク材１をエッチングする第二エッチング工程を行ない、大孔側に凹部３ｂを形成し、大孔側から小孔に貫通する開口５を形成する。最後に、エッチング防止層４およびレジスト膜２を剥膜除去する剥膜工程を行い図６（ｅ）を得た後、不要部の断裁等を行いフラット型のシャドウマスクを得るものである。
【０００６】
また、上記の製造方法は、第一エッチングおよび第二エッチングを、シャドウマスク材１の片面毎に行っているが、シャドウマスクの製造方法としてこの他に、シャドウマスク材１の両面から第一エッチングを行った後、一方の面のみに第二エッチングを行う方法もある。
【０００７】
すなわち、開孔６よりシャドウマスク材１を露出した小孔レジスト膜２ａと大孔レジスト膜２ｂとを表裏に有するシャドウマスク材１に、両面より第一エッチングを途中まで行
い、図７（ａ）を得る。次いで、図７（ｂ）に示すように、小孔側にエッチング防止層４を形成した後、大孔側より第二エッチングを行い、図７（ｃ）に示すように、大孔側から小孔に貫通する開口５を形成する。次いで、エッチング防止層４およびレジスト膜２を剥膜除去する剥膜工程を行った後、不要部の断裁等を行いフラット型のシャドウマスクを得るものである。
【０００８】
公知文献を以下に示す。
【特許文献１】特開昭６０−０７０１８６号公報
【特許文献２】特開昭６０−０７０１８５号公報
【特許文献３】特開平３−２７７７８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来のシャドウマスクの製造においては、上述したようにシャドウマスク材１へのエッチング手段として、スプレーエッチングを用いるものであり、少なくともシャドウマスク材１の下方よりスプレーエッチングを行うものである。また一般的に、シャドウマスク材１は巻取りロールから供給された長尺帯状となっており、搬送手段、例えば複数設けられた搬送用ローラー９上を水平搬送されるものである。
【００１０】
このため、従来のシャドウマスクの製造方法においては、シャドウマスク材１へのエッチングの際、以下の問題が生じるものである。すなわち、シャドウマスク材１の下方よりスプレーエッチングを行った場合、搬送用ローラー９により搬送されるシャドウマスク材１が搬送用ローラー９を通過する際、図５に示すように、搬送用ローラー９がエッチング液７を遮ることになり、エッチング液７とシャドウマスク材１との接触が搬送用ローラー９により妨げられるものである。なお、図５中のレジスト膜２にはシャドウマスク材１を露出した開孔６が形成されているものであるが、図からは省略している。
【００１１】
エッチング液７との接触を妨げられたシャドウマスク材１部位では、所望されるエッチングが行われないことになり、このため、シャドウマスク材１の下面ではエッチングが均一に行われず、部分的にエッチングが不均一になるエッチングムラとなっていた。その結果、エッチングで形成される開口５の形状が所望する形状とならず開口不良になるという問題が生じていたものである。ちなみに、開口不良の種類として、開口が所望される開口径より小さくなる孔小不良、開口の平面形状にカケた部位ができるカケ不良等があげられる。
【００１２】
また、図５に示すように、シャドウマスク材１が搬送用ローラー９上を搬送されるため、シャドウマスク材１の下面で擦り傷が発生する問題もあった。例えば、搬送用ローラー９の表面に、シャドウマスク材１より発生したレジスト膜片および、金属片等が異物として付着した場合、この異物とシャドウマスク材１の下面とが擦れ、また、搬送用ローラー９の表面とシャドウマスク材１の下面とが擦れることでシャドウマスク材１およびシャドウマスク材１に形成されたレジスト膜２に擦り傷が発生するものである。
【００１３】
レジスト膜２部位に擦り傷が生じた場合、レジスト膜２より金属面が露出するか、または、レジスト膜厚が薄くなるため、エッチングの際、本来エッチング液７が接触してはならない部位で、エッチング液７がシャドウマスク材１に接触することになり、シャドウマスク材１は不要なエッチングがなされることになる。これにより、レジスト膜２部位、特にレジスト膜２の開孔６部位に擦り傷が生じた場合、エッチングで形成される開口５が開
口不良となる問題が生じていたものである。
【００１４】
本発明は、以上のような事情に鑑みなされたものであり、フォトエッチング法を用いたシャドウマスクの製造方法において、開口不良が生じず、品質の良いシャドウマスクが得られるシャドウマスクの製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、
両面に所定パターンに従って一部金属面を露出させているレジスト膜が形成され、搬送手段上を略水平方向に搬送される長尺帯状のシャドウマスク金属素材の一方の面よりスプレーエッチングを行い、この一方の面の金属露出部分に凹部を形成する第一エッチング工程と、前記第一エッチング工程にて形成された凹部に樹脂を塗布してこの凹部内部に樹脂を充填、硬化しエッチング防止層を形成する工程と、前記エッチング防止層の設けられた面とは反対側のシャドウマスク金属素材のもう一方の面よりスプレーエッチングを行い、もう一方の面から前記一方の面に形成された凹部に通じる凹孔を形成し、金属素材を貫通した開口を得る第二エッチング工程と、前記エッチング防止層とレジスト膜を剥膜除去する剥膜工程とを少なくとも行うことで得られるシャドウマスクの製造方法において、前記搬送手段がシャドウマスク金属素材の下面と接触する搬送用ローラーであり、前記レジスト膜の形成後、シャドウマスク金属素材の前記一方の面を上面として、もう一方の面側に長尺帯状の保護フィルムを貼り付けた後に前記一方の面より第一エッチングを行った後、前記一方の面側のレジスト膜を剥離した後、前記一方の面側にエッチング防止層を形成した後、上下面を反転させる反転手段にて、搬送されるシャドウマスク金属素材の上下面を反転させる手段を設け、前記もう一方の面を上面とし、前記保護フィルムを剥離したうえで、前記もう一方の面より第二エッチングを行うことを特徴とするシャドウマスクの製造方法としたものである。
【発明の効果】
【００１６】
上述したように、本発明によるシャドウマスクの製造方法においては、第一エッチングおよび第二エッチングはともに、略水平方向に搬送されるシャドウマスク材１の上方より行われるものである。このため、従来のように、搬送用ローラーによりエッチング液が遮られること無く、シャドウマスク材１の上面では、均一にエッチング液が接触することになり、所望されるエッチングが行われることとなる。
【００１７】
このため、従来のシャドウマスクの製造方法で生じていた、搬送用ローラーがエッチング液を遮るためシャドウマスク材１の下面でエッチングが均一に行われず、部分的にエッチングが不均一になるエッチングムラとなり、その結果、エッチングで形成される開口の形状が所望する形状とならず開口不良になるという問題を防止できる。
【００１８】
また、本発明によるシャドウマスクの製造方法においては、レジスト膜２が形成された後、レジスト膜およびエッチング防止層が剥膜除去されるまでの工程の間、シャドウマスク材１の下面は保護フィルムまたはエッチング防止層によりほぼ保護されているものである。このため、シャドウマスク材１の下部に設けられた搬送用ローラーおよび、搬送用ローラーの表面に付着した異物とシャドウマスク材１とが擦れ、シャドウマスク材１、特にシャドウマスク材１の形成されたレジスト膜に擦り傷が生じることを、保護フィルムまたはエッチング防止層が防止するものである。
【００１９】
このため、従来のシャドウマスクの製造方法で生じていた、搬送用ローラーおよび、搬送用ローラーの表面に付着した異物と接触することで、シャドウマスク材１、特にレジスト膜２に付いたスリ傷を原因とし、本来エッチング液が接触してはならない部位で、エッチング液がシャドウマスク材１に接触し開口不良となる問題を防止できるものである。以
上のように、本発明は、開口不良の無い、品質の良いシャドウマスクを得る上で実用上優れているといえる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に説明図を用い、本発明の実施の形態につき説明を行う。図１において、シャドウマスク材１は巻取りロールから供給された長尺帯状の金属素材であって、前述した（従来の技術）の項に記した工程等に従い、図６（ａ）に示すように、開孔６よりシャドウマスク材１を露出した小孔レジスト膜２ａと大孔レジスト膜２ｂが表裏に形成されているものである。また、本実施例では、シャドウマスク材１は紙面左から右に搬送用ローラー９上を略水平方向に搬送されている。なお、搬送用ローラー９は、駆動手段（図示せず）により回転することで、搬送用ローラー９上に載せたシャドウマスク材１を搬送し、複数本設けているものであるが、説明の都合上、数を省いて記している。
【００２１】
ここで、本発明においては、まず、レジスト膜２が形成され、大孔レジスト膜２ｂ側を下面にして搬送用ローラー９上を搬送されるシャドウマスク材１の大孔レジスト膜２ｂ側に、図１および図２（ａ）に示すように、長尺帯状の保護フィルム８を貼り付ける。この保護フィルム８は、後述する第二エッチングの前までシャドウマスク材１に貼り付けたままとするものであり、保護フィルム８は、第一エッチングの際、大孔レジスト膜２ｂ側にエッチング液７が接触し、大孔レジスト膜２ｂ側で不要なエッチングが行われることを防止するとともに、後述するシャドウマスク材１の保護をするものである。
【００２２】
なお、保護フィルム８の材質として、後述する第一剥膜工程１１にてレジスト剥膜に用いられる剥膜液、例えば高温のアルカリ液に対し耐性をもつ柔軟性のある材質、例えば、ポリプロピレンまたはポリエチレン等とし、少なくともシャドウマスク材１と対向する面が粘着性を有することが望ましいといえる。ちなみに、本実施例では保護フィルム８として、片面に粘着剤（日東電工（株）製、商品名「Ｎ３６０」）を有するポリプロピレン製のフィルムとし、供給ロール（図示せず）等より供給された長尺帯状の保護フィルム８を粘着剤によりシャドウマスク材１の大孔レジスト膜２ｂ側に貼り付けたものである。なお、保護フィルム８とシャドウマスク材１との密着を良くするため、圧着用ローラー（図示せず）等を保護フィルム８側に設け、圧力を掛けながら保護フィルム８をシャドウマスク材１に貼り付けることが望ましいといえる。
【００２３】
続いて、図１および図２（ｂ）に示すように、第一エッチングチャンバー１０にて、小孔レジスト膜２ａ側すなわちシャドウマスク材１の上方より、塩化第二鉄液等をエッチング液７として用いたスプレーエッチングを行い、小孔レジスト膜２ａ側に小孔凹部３ａを形成し、第一エッチングとする。
【００２４】
次いで、図１に示すように、第一剥膜工程１１にて、例えば９０℃、濃度３０％の苛性ソーダ水溶液等を剥膜液とし、スプレー法等を用い剥膜液を小孔レジスト膜２ａに接触させ、小孔レジスト膜２ａを剥膜し、図２（ｃ）を得る。この際、大孔レジスト膜２ｂ側に貼り付けた保護フィルム８は、小孔レジスト膜２ａの剥膜の際、大孔レジスト膜２ｂ側に剥膜液が接触し、大孔レジスト膜２ｂ側で不要な剥膜が行われることを防止する働きも持つものである。
【００２５】
なお、小孔レジスト膜２ａを剥膜することなく、後述するエッチング防止層４の形成を行っても構わないが、以下の理由により、小孔レジスト膜２ａを剥膜後、エッチング防止層４を形成することが望ましいといえる。
【００２６】
すなわち、第一エッチング工程において、図６（ｂ）に示すように、小孔レジスト膜２ａの開孔６ａ周辺のシャドウマスク材１はサイドエッチングを受け抉れた形状となり、小
孔レジスト膜２ａの開孔６ａ周辺は小孔凹部３ａに対しオーバーハング状の庇１６を形成している。このレジスト膜の庇１６が、シャドウマスク材１にエッチング防止層用の樹脂を充填する際、樹脂が凹部３ａ内に充填されることを妨げ、図４（ａ）に示すように気泡１７が生じたエッチング防止層４が形成される原因となるものである。
【００２７】
このエッチング防止層４に気泡１７が生じた状態で、以下に記す大孔レジスト膜２ｂ面側に第二エッチングを行うと、シャドウマスク材１を貫通した開口５が形成された段階で、気泡１７内にエッチング液７が流入し不要なエッチングが行われ、図４（ｂ）に示すように開口不良が生じるものである。このため、小孔レジスト膜２ａを剥膜後エッチング防止層４を形成すれば、上述した庇１６による気泡１７が生じず、その結果、第二エッチングにおいて気泡１７による開口不良が生じず、本課題を達成するための手段として有効となるものである。
【００２８】
次いで、小孔レジスト膜２ａの剥膜が行われたシャドウマスク材１は、図１に示すように、エッチング防止層形成手段１３にて、グラビアコート法等の公知の手段により第一エッチングで形成された小孔凹部３ａに樹脂を充填、硬化しエッチング防止層４を形成し、図２（ｄ）を得る。なお、エッチング防止層４用の樹脂として光硬化型の樹脂を用いれば、小孔凹部３ａに樹脂を充填後、樹脂に光照射を行うことで樹脂の硬化ができ、エッチング防止層形成に要する時間の短縮となるといえる。
【００２９】
次いで、本発明においては、エッチング防止層４の形成工程後に、図１に示すように、略水平方向に搬送されるシャドウマスク材１の上下面を反転させる反転手段１２を設けているものである。すなわち、小孔レジスト膜２ａ面側を上面にして略水平方向に搬送されるシャドウマスク材１は、反転手段１２にて上下面が反転され、以後大孔レジスト膜２ｂ面側を上面にして略水平方向に搬送され、以下に記す第二エッチングが行われるものであり、これが本発明の特徴となっている。
【００３０】
まず、図１および図２（ｅ）に示すように、反転手段１２を出て上面となったシャドウマスク材１の大孔レジスト膜２ｂ面側より、第一エッチング前に貼り付けた保護フィルム８を剥離する。次いで、図１および図２（ｆ）に示すように、第二エッチングチャンバー１４にて、大孔レジスト膜２ｂ側すなわちシャドウマスク材１の上方より、塩化第二鉄液等をエッチング液７として用いたスプレーエッチングを行い、小孔凹部３ａに通じる大孔凹部を形成する第二エッチングを行い、シャドウマスク材１を貫通した開口５を得る。
【００３１】
次いで、貫通した開口５が形成されたシャドウマスク材１は、従来通り剥膜工程にてレジスト膜２およびエッチング防止層４が剥膜除去された後、不要部の断裁等を行いフラット型のシャドウマスクを得るものである。
【００３２】
ここで、上述した反転手段１２として例えば、図８に示すように、建屋の２階でシャドウマスク材１の上方より第一エッチングを行い、シャドウマスク材１を２階から１階に搬送する際にＵ字状に曲げシャドウマスク材１の上下面を反転し、１階でシャドウマスク材１の上方より第二エッチングを行うことが考えられる。しかし、この建屋の１階と２階に設備を分ける方法は、大幅にスペースを必要とし、かつ、作業性が悪いものといえる。
【００３３】
そこで、本発明者らは例えば以下の図３に示す反転手段１２を提案するものである。当初、シャドウマスク材１は、小孔側を上面にして搬送されてくる。次いで、シャドウマスク材１の下となった面と接するように、シャドウマスク材１の搬送方向と４５°の角度をもって設けた反転用ローラー１５ａに沿って、シャドウマスク材１がひねられることで、シャドウマスク材１の搬送方向は曲げられ、図に示すように、当初の搬送方向から９０°の角度の方向にシャドウマスク材１が搬送される。次いで、シャドウマスク材１の当初の
搬送方向と平行、かつ、シャドウマスク材１の下となった面と接するように設けた反転用ローラー１５ｂにより、図に示すように、シャドウマスク材１の搬送方向は１８０°逆方向に曲げられる。次いで、反転用ローラー１５ａの下方に、反転用ローラー１５ａと９０°の角度をなし、かつ、反転用ローラー１５ｂにより搬送方向が１８０°逆方向に反転させられたシャドウマスク材１の上となった面と接するよう設けた反転用ローラー１５ｃに沿って、シャドウマスク材１がひねられることで、シャドウマスク材１の搬送方向は９０°曲げられ、図に示すように、当初の搬送方向と略同一の方向にシャドウマスク材１が向かう。この３本の円筒状の反転用ローラー１５を用いた反転手段１２における一連の操作により、シャドウマスク材１の小孔面側と大孔面側が上下反転するものであり、反転手段１２を出たシャドウマスク材１は大孔側が上面となり以後の工程を搬送されるものである。
【００３４】
上述の図３に記した３本の反転用ローラー１５を用いた反転手段１２を用いれば、極めて容易、かつ、スペースをとることなくシャドウマスク材１の小孔面側と大孔面側を反転することが可能となる。
【００３５】
なお、本発明の実施の形態は、上述した図面および記述に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき、種々の変形を行っても構わないことはいうまでもない。
【００３６】
例えば、上述した説明においては、エッチング防止層４の形成後に、反転手段にてシャドウマスク材１の上下面を反転させているが、この順序を入替え、反転手段にてシャドウマスク材１の上下面を反転させた後、エッチング防止層４の形成を行っても構わない。
【００３７】
以下に、本発明の他の実施例を、工程図を用い説明を行う。すなわち、図６（ａ）に示すように、開孔６よりシャドウマスク材１を露出した小孔レジスト膜２ａと大孔レジスト膜２ｂが表裏に形成され、大孔レジスト膜２ｂ側を下面として搬送されるシャドウマスク材１の、下面となったシャドウマスク材１の大孔レジスト膜２ｂ側に、図９（ａ）に示すように、長尺帯状の保護フィルム８を貼り付ける。
【００３８】
続いて、図９（ｂ）に示すように、第一エッチングチャンバー１０にて、小孔レジスト膜２ａ側すなわちシャドウマスク材１の上方よりスプレーエッチングを行い、小孔レジスト膜２ａ側に小孔凹部３ａを形成し、第一エッチングとする。
【００３９】
次いで、スプレー法等を用い剥膜液を小孔レジスト膜２ａに接触させ、小孔レジスト膜２ａを剥膜し、図９（ｃ）を得る。
【００４０】
次いで、小孔レジスト膜２ａの剥膜が行われたシャドウマスク材１を、上述した反転手段等を用いシャドウマスク材１の上下面を反転させた後、エッチング防止層形成手段にて、グラビアコート法等の公知の手段により第一エッチングで形成された小孔凹部３ａに樹脂を充填、硬化しエッチング防止層４を形成し、図９（ｄ）を得る。
【００４１】
次いで、図９（ｅ）に示すように、シャドウマスク材１の大孔レジスト膜２ｂ面側より、第一エッチング前に貼り付けた保護フィルム８を剥離した後、図９（ｆ）に示すように、大孔レジスト膜２ｂ側すなわちシャドウマスク材１の上方より、スプレーエッチングを行い、小孔凹部３ａに通じる大孔凹部を形成する第二エッチングを行い、シャドウマスク材１を貫通した開口５を得る。
【００４２】
次いで、貫通した開口５が形成されたシャドウマスク材１より、従来通り剥膜工程にてレジスト膜２およびエッチング防止層４を剥膜除去した後、不要部の断裁等を行いフラット型のシャドウマスクを得るものである。
【００４３】
上述した、本発明によるシャドウマスクの製造方法の要部を工程順に示した図２および図９に示すように、第一エッチングおよび第二エッチングはともに、略水平方向に搬送されるシャドウマスク材１の上方より行われるものである。これにより、従来のように、搬送用ローラー９によりエッチング液７が遮られること無く、シャドウマスク材１の上面では、均一にエッチング液が接触することになり、所望されるエッチングが行われることとなる。
【００４４】
また、図２および図９に示すように、レジスト膜２が形成された後、レジスト膜およびエッチング防止層エッチング防止層４が剥膜除去されるまでの工程の間、シャドウマスク材１の下となった面はほぼ保護されているものである。すなわち、図２（ａ）〜（ｄ）および図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、反転手段１２までは、シャドウマスク材１の下面には保護フィルム８が貼られており、また、反転手段１２以降は、図２（ｅ）〜（ｆ）および図９（ｄ）〜（ｆ）に示すように、シャドウマスク材１の下となった面にはエッチング防止層４が形成されている。この保護フィルム８およびエッチング防止層４が、シャドウマスク材１の下となった面を保護しているものである。これにより、シャドウマスク材１の下部に設けられた搬送用ローラー９および、搬送用ローラー９の表面に付着した異物とシャドウマスク材１とが擦れ、シャドウマスク材１、特にシャドウマスク材１に形成されたレジスト膜２に擦り傷が生じることを、保護フィルム８またはエッチング防止層４が防止するものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のシャドウマスクの製造方法の一実施例の要部を示す説明図。
【図２】（ａ）〜（ｆ）は本発明のシャドウマスクの製造方法の一実施例の要部を工程順に示す断面説明図。
【図３】本発明に用いる、シャドウマスク材の反転手段の一実施例を示す説明図。
【図４】（ａ）〜（ｂ）はエッチング防止層に発生した気泡による開口不良の一例を工程順に示す断面説明図。
【図５】従来のシャドウマスクの製造方法の要部の一例を示す説明図。
【図６】（ａ）〜（ｅ）は従来のシャドウマスクの製造方法の一例を工程順に示す説明図。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は従来のシャドウマスクの製造方法の他の例を工程順に示す説明図。
【図８】シャドウマスク材の反転手段の他の実施例を示す説明図。
【図９】（ａ）〜（ｆ）は本発明のシャドウマスクの製造方法の他の実施例の要部を工程順に示す断面説明図。
【符号の説明】
【００４６】
１    シャドウマスク材
２    レジスト膜
３    凹部
４    エッチング防止層
５    開口
６    開孔
７    エッチング液
８    フィルム
９    搬送用ローラー
１０    第一エッチングチャンバー
１１    第一剥膜工程
１２    反転手段
１３    エッチング防止層形成手段
１４    第二エッチングチャンバー
１５    反転用ローラー
１６    庇
１７    気泡
【図１】
2006144130.tif 000003
【図２】
2006144130.tif 000004
【図３】
2006144130.tif 000005
【図４】
2006144130.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006144130.tif 000008
【図７】
2006144130.tif 000009
【図８】
2006144130.tif 000010
【図９】
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