(57)【要約】      （修正有）【課題】  水蒸気で飽和している定量の気体と、完全に乾燥している定量の気体とを混合することで、発生・供給される調湿気体の湿度精度を常に高い精度において維持することができ、併せて１台あたりの製造に関わるコストを安価に抑えることの可能な調湿気体発生装置を提供する。【解決手段】  調湿気体発生装置は、乾燥気体を所定の容量だけ吸引して送出するピストンポンプ３と、導入された乾燥気体と飽和気体とを混合する気体混合部６と、ピストンポンプから送出された乾燥気体を直接に気体混合部へ導入するドライ側流路Ｌｄと、ピストンポンプから送出された乾燥気体が飽和気体生成手段５を介して生成される飽和気体を気体混合部へ導入するウェット側流路Ｌｗとを具備し、気体混合部において乾燥気体と飽和気体とを所定の比率で混合させることで所望する湿度の気体を発生させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ内におけるピストンの往復動作により乾燥気体を所定の容量だけ吸引して送出するピストンポンプと、
導入された乾燥気体と飽和気体とを混合する気体混合部と、
前記ピストンポンプから送出された乾燥気体を直接に前記気体混合部へ導入するドライ側流路と、
前記ピストンポンプから送出された乾燥気体が飽和気体生成手段を介して生成される飽和気体を前記気体混合部へ導入するウェット側流路と、
前記気体混合部において乾燥気体と飽和気体とを所定の比率で混合させることにより所望する湿度の気体を発生させるべく、前記ピストンポンプの動作を制御して、前記ピストンポンプから前記ドライ側流路を経て前記気体混合部へ導入される乾燥気体の容量を調整するとともに、前記ピストンポンプから前記ウェット側流路を経て前記気体混合部へ導入される飽和気体の容量を調整する制御手段と、
を具備して成ることを特徴とする調湿気体発生装置。
【請求項２】
前記ピストンポンプは、電動アクチュエータにより駆動されることを特徴とする請求項１記載の調湿気体発生装置。
【請求項３】
前記制御手段は、所定の時間間隔で前記ピストンポンプにおける前記ピストンの零位調整を実施することを特徴とする請求項２記載の調湿気体発生装置。
【請求項４】
前記ピストンポンプは、エアシリンダアクチュエータにより駆動されることを特徴とする請求項１記載の調湿気体発生装置。
【請求項５】
前記飽和気体生成手段は、調湿気体発生装置に組み込まれた飽和槽であることを特徴とする請求項１記載の調湿気体発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水蒸気で飽和している定量の気体と、完全に乾燥している定量の気体とを混合することにより、所望する湿度に調湿された気体を発生・供給するよう構成した調湿気体発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、湿度計(湿度センサ)の校正に際しては、湿度が分かっている気体の湿度を測定する方法があり、このように湿度の分かっている気体を得る手段、言い換えれば所望する湿度の気体を発生・供給する手段としては、図１６に示す如き調湿気体発生装置Ａが提供されている。
【０００３】
この調湿気体発生装置Ａは、既知湿度の発生方法の１つである分流法を採用した装置であり、コンプレッサＣからの圧縮エアーをドライヤＤによって完全な乾燥気体としたのち２つに分流し、一方の流れを飽和槽Ｓを通して飽和気体としたのち試験槽Ｔに供給するとともに、他方の流れの乾燥気体をそのまま試験槽Ｔに供給し、これら乾燥気体と飽和気体とを混合させることで一定の相対湿度の気体を発生・供給している。
【０００４】
また、この調湿気体発生装置Ａにおいては、２つに分流された乾燥空気の各々の流量を、例えばマスフローメータ・コントローラ等から成る流量計Ｆｗおよび流量計Ｆｄによって計測／設定し、試験槽Ｔに供給される乾燥気体と飽和気体との混合比を調整することで、相対湿度０〜１００％(rh)の調湿気体を迅速かつ簡単に得ることができる。
【０００５】
ここで、出願人の知っている上述の如き先行技術は、公知・公用の技術であって文献公知発明に係わるものではなく、したがって記載すべき先行技術文献情報はない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述の如く分流法を採用した従来の調湿気体発生装置において、流量計は必須の構成要素ではあるものの、例えば、流路を流れる気体に支持されるフロートの動きから流量を計測する浮子式流量計(フロート式マスフローメータ)や、ヒータと共に流路の内部に設けた一対の温度センサ間における検出温度の差から流量を計測する熱式気体流量計(サーマルフローメータ)等においては、その稼働中、流路を流れる気体に晒され続けている浮子やセンサの表面が除々に汚れることで、稼動時間の経過に伴って測定精度が経時的に低下する虞れがあった。
【０００７】
さらに、上述した如き流量計(浮子式流量計や熱式気体流量計)は、極く精緻な構造から成る機器なので、分解掃除等のメインテナンス作業が煩雑であるばかりでなく、精度の調整も極めてデリケートな作業を要求されるため、高い計測精度を維持することが難しく、これによって上述した如き従来の調湿気体発生装置では、発生・供給される調湿気体の湿度精度を常に高い精度において維持することが困難であった。
【０００８】
また、上述した流量計は精緻な構造の精密機器であるために、１台あたりのコストが極めて高額なものとなっており、このため流量計を必須の構成部品としている従来の分流法を採用した調湿気体発生装置においては、装置１台あたりの製造に関わるコストの大幅な高騰を招いてしまう不都合を免れ得なかった。
【０００９】
さらに、分流法を採用した従来の調湿気体発生装置において、発生・供給される調湿気体の相対湿度(％)を求めるには、流量計Ｆｗおよび流量計Ｆｄによって計測した流量の比(分流比：飽和槽Ｓに入る前の気体と全体の気体との質量流量の比)とともに、試験槽Ｔ内における気体の全圧、飽和槽Ｓ内における気体の全圧、さらには飽和槽Ｓ内における気体の温度における飽和水蒸気圧等、多様なパラメータを用いた煩雑な演算を必要としている。
【００１０】
すなわち、分流法を採用した従来の調湿空気発生装置においては、上述した如き分流比に対する演算処理に基づいて、所望する相対湿度の調湿気体を２次的に発生・供給(２次発生)させているため、煩雑な演算処理を必要とする不都合があるばかりでなく、多様なパラメータを用いている演算結果の誤差から、発生・供給される調湿気体の精度低下を招いてしまう虞れがあった。
【００１１】
本発明は上述した実状に鑑みて、発生・供給される調湿気体の湿度精度を常に高い精度において維持することができ、併せて１台あたりの製造に関わるコストを安価に抑えることができるとともに、極めて容易に高い精度の調湿気体を発生・供給することの可能な調湿気体発生装置の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するべく、請求項１の発明に関わる調湿気体発生装置は、シリンダ内におけるピストンの往復動作により乾燥気体を所定の容量だけ吸引して送出するピストンポンプと、導入された乾燥気体と飽和気体とを混合する気体混合部と、ピストンポンプから送出された乾燥気体を直接に気体混合部へ導入するドライ側流路と、ピストンポンプから送出された乾燥気体が飽和気体生成手段を介して生成される飽和気体を気体混合部へ導入するウェット側流路とを具備し、さらに気体混合部において乾燥気体と飽和気体とを所定の比率で混合させることにより所望する湿度の気体を発生させるべく、ピストンポンプの動作を制御して、該ピストンポンプからドライ側流路を経て気体混合部へ導入される乾燥気体の容量を調整するとともに、ピストンポンプからウェット側流路を経て気体混合部へ導入される飽和気体の容量を調整する制御手段を備えて成ることを特徴としている。
【００１３】
また、請求項２の発明に関わる調湿気体発生装置は、請求項１の発明に関わる調湿気体発生装置において、ピストンポンプが電動アクチュエータによって駆動されることを特徴としている。
【００１４】
また、請求項３の発明に関わる調湿気体発生装置は、請求項２の発明に関わる調湿気体発生装置において、制御手段が所定の時間間隔でピストンポンプにおけるピストンの零位調整を実施することを特徴としている。
【００１５】
また、請求項４の発明に関わる調湿気体発生装置は、請求項１の発明に関わる調湿気体発生装置において、ピストンポンプがエアシリンダアクチュエータによって駆動されることを特徴としている。
【００１６】
また、請求項５の発明に関わる調湿気体発生装置は、請求項１の発明に関わる調湿気体発生装置において、飽和気体生成手段が調湿気体発生装置に組み込まれた飽和槽であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１の発明に関わる調湿気体発生装置によれば、ピストンポンプの動作を制御することによって、気体混合部へ導入される乾燥気体の容量と飽和気体の容量を調整し、乾燥気体と飽和気体とを所定の比率で混合させることにより、所望する湿度の気体を発生させているので、シリンダとピストンとを基本構造とする上記ピストンポンプは、分解掃除等のメインテナンス作業を極めて簡易に実施することが可能であり、さらに構成が簡易であるために精度を出す調整作業も簡易であることから、発生・供給される調湿気体の湿度精度を常に高い精度において維持することが可能となる。
【００１８】
また、請求項１の発明に関わる調湿気体発生装置によれば、１台あたりのコストが極めて高額な流量計を使用することなく、比較的に安価なピストンポンプの動作によって、互いに混合される乾燥気体と飽和気体との容量を設定しているため、装置１台あたりの製造に関わるコストを低減することが可能となる。
【００１９】
さらに、請求項１の発明に関わる調湿気体発生装置によれば、ピストンポンプの動作に基づいて、気体混合部へ導入される乾燥気体の容量と飽和気体の容量とを調整しているので、多様なパラメータを用いた煩雑な演算を必要とすることなく、所望する湿度の調湿気体を一次的に発生・供給(一次発生)させることが可能となる。
【００２０】
かくして、請求項１の発明に関わる調湿気体発生装置によれば、発生・供給される調湿気体の湿度精度を常に高い精度において維持することができ、併せて１台あたりの製造に関わるコストを安価に抑えることができるとともに、極めて容易に高い精度の調湿気体を発生・供給することが可能となる。
【００２１】
請求項２の発明に関わる調湿気体発生装置によれば、ピストンポンプを電動アクチュエータで駆動していることにより、該電動アクチュエータは例えば１／１０００（０．１％）以上の高い動作分解能を有するため、上記ピストンポンプから送出される乾燥気体および飽和気体の容量を極めて高い精度で設定することができ、もって所定容量の乾燥気体と飽和気体とを混合して発生される調湿気体の湿度精度を格段に向上させることが可能となる。
【００２２】
請求項３の発明に関わる調湿気体発生装置によれば、所定の時間間隔でピストンポンプにおけるピストンの零位調整を実施することで、経時変化による零(ゼロ)点移動をキャンセルでき、ピストンポンプを常に高い精度で動作させることが可能となるので、分解掃除等のメインテナンス作業を頻繁に行うことなく、発生・供給される調湿気体の湿度精度を常に高い精度で維持することができる。
【００２３】
請求項４の発明に関わる調湿気体発生装置によれば、ピストンポンプをエアシリンダアクチュエータで駆動していることにより、該エアシリンダアクチュエータは機械的なリミッタによって容易にストロークを設定・維持し得ることから、例えば特定の湿度の調湿気体を恒常的に発生・供給しようとする場合には、上記エアシリンダアクチュエータのストロークをリミッタで設定・維持することで、ピストンポンプの駆動に関わる複雑な制御を必要とすることなく、所望する湿度の調湿気体を恒常的に発生・供給することが可能となる。
【００２４】
請求項５の発明に関わる調湿気体発生装置によれば、飽和気体生成手段を飽和槽によって構成し、該飽和槽を構成要素として調湿気体発生装置に組み込んだことで、複雑な構成の飽和気体生成手段を調湿気体発生装置とは別途に用意することなく、例えばガスボンベ等の簡易な乾燥気体供給手段を用意するのみで、極めて簡易に調湿気体を発生・供給することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、実施例を示す図面に基づいて、本発明を詳細に説明する。  
図１〜図７は、湿度センサの校正用ガスを発生／供給するためのポータブル校正器に、本発明に関わる調湿気体発生装置を適用した第１実施例を示しており、この調湿気体発生装置１は、後に詳述するピストンポンプ３、電動シリンダ(電動アクチュエータ)４、およびチャンバ(気体混合部)６等を具備している。
【００２６】
また、上記調湿気体発生装置１には、乾燥気体供給手段の一態様であるドライヤ２と、飽和気体生成手段の一態様である飽和槽５とが接続されている。なお、これらドライヤ２および飽和槽５は、調湿気体発生装置１の稼動に際して別個に用意されたもので、調湿気体発生装置１自体を構成する要素ではない。
【００２７】
上記ドライヤ２は、吸気管Ｐｉから導入された外気を、内部を通過する間に完全に乾燥した乾燥気体(０％ rh)とする機能を有しており、生成した乾燥気体が送り出される供給管Ｐ１と、該供給管Ｐ１の接続された主管Ｐ２を介してピストンポンプ３に接続されている。因みに、上記ドライヤ２に換えて、乾燥気体の充填されたガスボンベ(図示せず)を接続することも可能である。
【００２８】
上記ピストンポンプ３は、主管Ｐ２の接続されたシリンダ３ｓと、該シリンダ３ｓの内部において往復動するピストン３ｐとを具備しており、上記ドライヤ２において生成された乾燥気体を、ピストン３ｐの往復動作によって所定量だけ吸引し、かつ所定量だけ送出する作用を為すものである。
【００２９】
また、上記ピストンポンプ３は、電動アクチュエータの一態様である電動シリンダ４によって駆動されており、この電動シリンダ４によってピストン３ｐのストロークを調整しつつ往復動させることにより、上記ピストンポンプ３は可変容量型のピストンポンプとして機能する。
【００３０】
さらに、上記ピストンポンプ３は、該ピストンポンプ３を駆動する電動シリンダ４(電動アクチュエータ)の動作分解能が極めて高いことから、後述する如くピストンポンプ３により吸引／送出される乾燥気体の容量を極めて高い精度で調整することができる。
【００３１】
ここで、実施例におけるピストンポンプ３および電動シリンダ４の有効長(有効ストローク)は共に１００ｍｍであり、また電動シリンダ４における動作ピッチが０．１ｍｍであることから、上記電動シリンダ４によって駆動されるピストンポンプ３は、１／１０００(０．１％)の動作分解能を具備することとなる。
【００３２】
因みに、ピストンポンプ３と電動シリンダ４との有効長(有効ストローク)を共に１２００ｍｍと設定し、動作ピッチが０．２ｍｍの電動シリンダ(電動アクチュエータ)を採用した場合には、さらに高い１／６０００(０．０１７％)もの動作分解能を獲得し得ることは言うまでもない。
【００３３】
一方、調湿気体発生装置１に接続された飽和槽５は、内蔵した周知のバブリング装置等によって、通過する乾燥気体を水蒸気で飽和した飽和気体(１００％ rh)とする機能を有しており、上述した主管Ｐ２から分岐した配管Ｐ３を介して乾燥気体が導入され、飽和槽５において生成された飽和気体は配管Ｐ４を介してチャンバ(気体混合部)６に導入される。
【００３４】
すなわち、上記主管Ｐ２と配管Ｐ３と配管Ｐ４とによって、ピストンポンプ３から送出された乾燥気体が飽和槽５を通過することにより生成される飽和気体をチャンバ６(気体混合部)へ導入するウェット側流路Ｌｗが構成されている。
【００３５】
一方、上記チャンバ(気体混合部)６には、上述した主管Ｐ２から分岐した配管Ｐ５が接続されており、この配管Ｐ５を介して上記チャンバ６に乾燥気体が導入される。すなわち、上記主管Ｐ２および配管Ｐ５によって、ピストンポンプ３から送出された乾燥気体を直接にチャンバ(気体混合部)６へ導入するドライ側流路Ｌｄが構成されている。
【００３６】
ここで、上記ウェット側流路Ｌｗを介して導入された飽和気体と、上記ドライ側流路Ｌｄを介して導入された乾燥気体とは、上記チャンバ６の内部において混合されることによって所望する湿度の気体(調湿気体)となり、この調湿気体は調湿気体発生装置１の外部に設置された試験槽Ｔに供給管Ｐ７を介して導入される。
【００３７】
また、調湿気体発生装置１においては、電動シリンダ４の挙動によるピストンポンプ３の動作を制御して、前記ピストンポンプ３からドライ側流路Ｌｄを経てチャンバ６へ導入される乾燥気体の容量を調整するとともに、ピストンポンプ３からウェット側流路Ｌｗを経てチャンバ６へ導入される飽和気体の容量を調整するための、制御手段としてのシーケンサ(プログラマブルコントローラ)７を具備している。
【００３８】
上記シーケンサ７は、上述した如く電動シリンダ４の挙動によるピストンポンプ３の動作を制御するとともに、供給管Ｐ１に介装された供給管開閉バルブＶ１、配管Ｐ３(ウェット側流路Ｌｗ)に介装されたウェット側開閉バルブＶｗ、および配管Ｐ５(ドライ側流路Ｌｄ)に介装されたドライ側開閉バルブＶｄを、上記ピストンポンプ３の動作に対応したタイミングで開閉させるよう制御するものである。なお、上記シーケンサ７にはデータ入力手段としてのタッチパネル８が接続されている。
【００３９】
以下では、上述した如き調湿気体発生装置１の動作態様を、動作の順を追って詳細に説明する。  
先ず、図２(ａ)に示す如く、ドライ側開閉バルブＶｄとウェット側開閉バルブＶｗとが閉、供給管開閉バルブＶ１が開の状態において、ピストンポンプ３のピストン３ｐを後退させることにより、ドライヤ２で生成された乾燥気体がピストンポンプ３に吸引される。
【００４０】
次いで、図２(ｂ)に示す如く、供給管開閉バルブＶ１とウェット側開閉バルブＶｗとが閉、ドライ側開閉バルブＶｄが開の状態において、ピストンポンプ３のピストン３ｐを前進させることにより、ピストンポンプ３内の乾燥気体がドライ側流路Ｌｄを介してチャンバ６に導入される。
【００４１】
次いで、図３(ａ)に示す如く、ドライ側開閉バルブＶｄとウェット側開閉バルブＶｗとが閉、供給管開閉バルブＶ１が開の状態において、ピストンポンプ３のピストン３ｐを後退させることにより、ドライヤ２で生成された乾燥気体が再びピストンポンプ３に吸引される。
【００４２】
次いで、図３(ｂ)に示す如く、供給管開閉バルブＶ１とドライ側開閉バルブＶｄとが閉、ウェット側開閉バルブＶｗが開の状態において、ピストンポンプ３のピストン３ｐを前進させることにより、ピストンポンプ３内の乾燥気体がウェット側流路Ｌｗを介して飽和気体と成ってチャンバ６に導入される。
【００４３】
このように、図２(ａ)、(ｂ)に示すピストンポンプ３の１ストロークによって、チャンバ６に定量の乾燥気体が送り込まれるとともに、図３(ａ)、(ｂ)に示すピストンポンプ３の１ストロークによって、チャンバ６に定量の飽和気体が送り込まれ、以下、図２(ａ)、図２(ｂ)、図３(ａ)、図３(ｂ)に示した動作を繰り返すことにより、乾燥気体と飽和気体とが混合された調湿気体が連続して生成されることとなる。
【００４４】
ここで、上記ピストンポンプ３におけるピストン３ｐの動作に関しては、所望する湿度の気体(調湿気体)を生成する場合の、チャンバ６に乾燥気体を送り込む際のストロークと、チャンバ６に飽和気体を送り込む際のストロークとにおいて、それぞれピストン３ｐのポジション(ストロークエンド)が設定されている。
【００４５】
すなわち、チャンバ６に乾燥気体を送り込む際のストロークにおいては、図４(ａ)の如く、０(原点)とＤ１〜Ｄ１０の１０ポジションが設定されており、また、チャンバ６に飽和気体を送り込む際のストロークにおいては、図４(ｂ)の如く、０(原点)とＷ１〜Ｗ１０の１０ポジションが設定されている。
【００４６】
そして、生成しようとする調湿気体の設定湿度に基づいて、チャンバ６に乾燥気体を送り込む際のピストン３ｐのポジションと、チャンバ６に飽和気体を送り込む際のピストン３ｐのポジションとを、図５の表に示す如く組み合わせてピストンポンプ３を動作させる。
【００４７】
例えば、設定湿度２０％の調湿気体を生成する場合には、図５および図６に示す如く、チャンバ６に乾燥気体を送り込む行程において、ピストン３ｐを０(原点)とＤ８との間でストロークさせ、チャンバ６に飽和気体を送り込む行程において、ピストン３ｐを０(原点)とＷ２との間でストロークさせることとなる。
【００４８】
また、設定湿度７０％の調湿気体を生成する場合には、図５および図７に示す如く、チャンバ６に乾燥気体を送り込む行程において、ピストン３ｐを０(原点)とＤ３との間でストロークさせ、チャンバ６に飽和気体を送り込む行程において、ピストン３ｐを０(原点)とＷ７との間でストロークさせることとなる。
【００４９】
因みに、図４(ａ)におけるＤ１〜Ｄ１０の各ポジションと、図４(ｂ)におけるＷ１〜Ｗ１０の各ポジションとは、互いに同一の箇所に設定されているものではなく、ドライ側流路Ｌｄとウェット側流路Ｌｗとの流路長の相違や飽和槽５の介在に基づく圧損等を補正するべく、微妙な相違が設けられていることは言うまでもない。
【００５０】
このように、上述した調湿気体発生装置１は、従来の分流法を採用した調湿気体発生装置とは大きく異なり、ピストンポンプ３の動作を制御することによって、チャンバ６に導入される乾燥気体の容量と飽和気体の容量を調整し、乾燥気体と飽和気体とを所定の比率で混合させることにより、所望する湿度の気体を発生させるという、調湿気体発生の全く新しい概念を具現化したものである。
【００５１】
このため、分流法を採用した調湿空気発生装置では、分流比に対する演算処理に基づいて調湿気体を２次的に発生・供給させているため、煩雑な演算処理を必要とするとともに演算結果の誤差から調湿気体の精度低下を招いていたのに対し、上述した調湿気体発生装置１においては、ピストンポンプ３の動作に基づいて、チャンバ６へ導入される乾燥気体の容量と飽和気体の容量とを調整しているので、多様なパラメータを用いた煩雑な演算を必要とすることなく、所望する湿度の調湿気体を一次的に発生・供給(一次発生)させることが可能である。言い換えれば、体積中の水分を質量で表すことの可能な発生方法であり、これは絶対湿度の表記(ｇ／立方ｍ：或る温度での気体の単位体積中に含まれる水蒸気の質量)によって確認することができる。
【００５２】
また、上述した調湿気体発生装置１によれば、ピストンポンプ３の動作を制御することによって所望する湿度の気体を発生させているため、上記ピストンポンプ３がシリンダ３ｓとピストン３ｐとを基本構造とする簡易な構成であることから、分解掃除等のメインテナンス作業を極めて簡易に実施することが可能であり、さらに構成が簡易であるために精度を出す調整作業も簡易であることから、発生・供給される調湿気体の湿度精度を常に高い精度において維持することが可能となる。
【００５３】
また、上述した調湿気体発生装置１によれば、比較的に安価なピストンポンプ３と電動シリンダ(電動アクチュエータ)４との組み合わせにより、互いに混合される乾燥気体と飽和気体との容量を設定していることにより、言い換えれば１台あたりのコストが極めて高額な流量計を使用していないことから、分流法を採用している従来の調湿気体発生装置に比較して、装置１台あたりの製造に関わるコストを大幅に低減することが可能となる。
【００５４】
また、上述した調湿気体発生装置１によれば、ピストンポンプ３を電動アクチュエータの一態様である電動シリンダ４で駆動することにより、この電動シリンダ４は高い動作分解能を有しているために、ピストンポンプ３から送出される乾燥気体および飽和気体の容量を極めて高い精度で設定することができ、もって所定容量の乾燥気体と飽和気体とを混合して発生される調湿気体の湿度精度を格段に向上させることが可能となる。
【００５５】
また、上述した調湿気体発生装置１においては、所定の時間間隔でピストンポンプ３におけるピストン３ｐの零位調整、すなわち、ピストン３ｐを０(原点)に位置させた状態における動作量を零(ゼロ)点と設定し直す調整を実施することで、経時変化による零(ゼロ)点移動をキャンセルすることができ、もってピストンポンプ３を常に高い精度で動作させることが可能となるため、発生される調湿気体の湿度精度をさらに向上させることができる。
【００５６】
さらに、上述した調湿気体発生装置１においては、ピストンポンプ３におけるピストン３ｐの送り(移動)速度を調整することによって、生成・供給される調湿気体の流量を任意に設定することができる。
【００５７】
なお、上述した実施例においては、ピストンポンプ３におけるピストン３ｐのポジションを、チャンバ６に乾燥気体を送り込む際のストロークで０(原点)＋Ｄ１〜Ｄ１０の１０ポジション、チャンバ６に飽燥気体を送り込む際のストロークで０(原点)＋Ｗ１〜Ｗ１０の１０ポジションに設定しているが、例えば０(原点)＋１００ポジション等、電動シリンダの挙動に基づくピストンポンプの動作分解能の許容する範囲において、ポジションの個数および位置を任意に設定し得ることは言うまでもない。
【００５８】
また、上述した実施例においては、所望する湿度の気体を生成するために、チャンバ６に乾燥気体を送り込む際のピストン３ｐのポジションと、チャンバ６に飽和気体を送り込む際のピストン３ｐのポジションとを、図５の表に示す如く組み合わせてピストンポンプ３を動作させているが、所望する湿度の気体を生成するためのピストンポンプの動作態様は、上述した如き実施例のみに限定されるものではない。
【００５９】
例えば、チャンバ６に乾燥気体を送り込む際にピストン３ｐをフルストロークさせるとともに、チャンバ６に飽和気体を送り込む際にピストン３ｐを(飽和槽５の介在に基づく圧損等を補正した上で)フルストロークさせることで、ほぼ同一容量の乾燥気体と飽和気体とを混合させて５０％(rh)の調湿気体を生成することも可能である。
【００６０】
また、上述した実施例においては、ピストンポンプ３を電動シリンダ４によって駆動しているが、上記電動シリンダ(電動アクチュエータ)に換えて、エアシリンダアクチュエータ(図示せず)によってピストンポンプ３を駆動するよう構成することも可能である。
【００６１】
ここで、上記エアシリンダアクチュエータは、周知の如く機械的なリミッタによって容易にストロークを設定・維持することが可能であり、このため、例えば特定の湿度の調湿気体を恒常的に発生・供給しようとする場合には、上記エアシリンダアクチュエータのストロークをリミッタで設定・維持することにより、ピストンポンプ３の駆動に関わる複雑な制御を必要とすることなく、所望する湿度の調湿気体を恒常的に発生・供給することができる。
【００６２】
図８は、湿度センサの校正用ガスを発生／供給するためのポータブル校正器に、本発明に関わる調湿気体発生装置を適用した第２実施例を示しており、この調湿気体発生装置１′は、ドライヤ２′、ピストンポンプ３′、電動シリンダ(電動アクチュエータ)４′、飽和槽５′、およびチャンバ(気体混合部)６′等を具備している。
【００６３】
すなわち、上記調湿気体発生装置１′は、第１実施例の調湿気体発生装置１において別体であったドライヤ２と飽和槽５とを、調湿気体発生装置１′の構成要素として予め組み込んで構成されたものであり、このため該調湿気体発生装置１′の稼動に際してドライヤや飽和槽等を別途に容易しておく必要がなく、もって簡易に調湿気体を発生・供給することが可能となる。
【００６４】
なお、上述した調湿気体発生装置１′の構成は、ドライヤ２′および飽和槽５′が調湿気体発生装置１′に組み込まれている以外、図１〜図７に示した調湿気体発生装置１と基本的に変わるところはなく、また作用効果においても基本的にも同一なので、調湿気体発生装置１′の構成要素において調湿気体発生装置１の構成要素と同一の作用を成すものには、図８において図１〜図７と同一の符号に′(ダッシュ)を附すことで詳細な説明は省略する。
【００６５】
図９〜図１３は、湿度センサの校正用ガスを発生／供給するためのポータブル校正器に、本発明に関わる調湿気体発生装置を適用した第３実施例を示しており、この調湿気体発生装置１００は、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄ、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗ、ドライ側電動シリンダ(電動アクチュエータ)１０４Ｄ、ウェット側電動シリンダ(電動アクチュエータ)１０４Ｗ等を具備している。
【００６６】
また、上記調湿気体発生装置１００には、乾燥気体供給手段の一態様であるドライヤ１０２と、飽和気体生成手段の一態様である飽和槽１０５とが接続されている。なお、これらドライヤ１０２および飽和槽１０５は、調湿気体発生装置１００の稼動に際して別個に用意されたもので、調湿気体発生装置１００自体を構成する要素ではない。
【００６７】
上記ドライヤ１０２は、吸気管Ｐｉから導入された外気を、内部を通過する間に完全に乾燥した乾燥気体とする機能を有し、生成した乾燥気体の送り出される第１供給管Ｐ１と第２供給管Ｐ２とが接続されており、第１供給管Ｐ１は配管Ｐ３を介してドライ側ピストンポンプ１０３Ｄに接続されている一方、第２供給管Ｐ２は配管Ｐ４を介してウェット側ピストンポンプ１０３Ｗに接続されている。なお、上記ドライヤ１０２に換えて、乾燥気体の充填されたガスボンベ(図示せず)を接続することも可能である。
【００６８】
ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄは、配管Ｐ３の接続されたシリンダ１０３Ｄｓと、該シリンダ１０３Ｄｓの内部において往復動するピストン１０３Ｄｐとを具備しており、またウェット側ピストンポンプ１０３Ｗは、配管Ｐ４の接続されたシリンダ１０３Ｗｓと、該シリンダ１０３Ｗｓの内部において往復動するピストン１０３Ｗｐとを具備している。
【００６９】
上記ピストンポンプ１０３Ｄ、１０３Ｗは、電動アクチュエータの一態様である電動シリンダ１０４Ｄ、１０４Ｗによって駆動されており、この電動シリンダ１０４Ｄ、１０４Ｗによってピストン１０３Ｄｐ、１０３Ｗｐのストロークを調整しつつ往復動させることにより、上記ピストンポンプ１０３Ｄ、１０３Ｗは可変容量型のピストンポンプとして機能するものである。
【００７０】
なお、実施例におけるピストンポンプ１０３Ｄ、１０３Ｗ、および電動シリンダ１０４Ｄ、１０４Ｗの有効長(有効ストローク)は共に１００ｍｍであり、また電動シリンダ１０４Ｄ、１０４Ｗにおける動作ピッチが０．１ｍｍであることから、上記ピストンポンプ１０３Ｄ、１０３Ｗは、１／１０００(０．１％)の動作分解能を具備している。
【００７１】
一方、飽和槽１０５には、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗから延びる配管Ｐ４、Ｐ５を介して乾燥気体が導入され、飽和槽１０５において生成された飽和気体は配管Ｐ６を介して、気体混合部を構成する合流管Ｐｃに導入される。すなわち、上記配管Ｐ４と配管Ｐ５と配管Ｐ６とによって、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗから送出された乾燥気体が飽和槽１０５を通過することにより生成される飽和気体を合流管(気体混合部)Ｐｃへ導入するウェット側流路Ｌｗが構成されている。
【００７２】
また、上記合流管(気体混合部)Ｐｃには、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄから延びる配管Ｐ３が接続されており、この配管Ｐ３を介して上記合流管(気体混合部)Ｐｃに乾燥気体が導入される。すなわち、上記配管Ｐ３によって、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄから送出された乾燥気体を直接に合流管(気体混合部)Ｐｃへ導入するドライ側流路Ｌｄが構成されている。
【００７３】
ここで、上記ウェット側流路Ｌｗを介して導入された飽和気体と、上記ドライ側流路Ｌｄを介して導入された乾燥気体とは、上記合流管(気体混合部)Ｐｃの内部において混合されることにより所望する湿度の気体となり、この調湿気体は調湿気体発生装置１の外部に設置された試験槽Ｔに集合供給管Ｐ７を介して導入されることとなる。
【００７４】
一方、ドライ側電動シリンダ１０４Ｄの挙動によるドライ側ピストンポンプ１０３Ｄの動作を制御して、該ピストンポンプ１０３Ｄからドライ側流路Ｌｄを経て試験槽Ｔへ導入される乾燥気体の容量を調整するとともに、ウェット側電動シリンダ１０４Ｗの挙動によるウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの動作を制御して、該ピストンポンプ１０３Ｗからウェット側流路Ｌｗを経て試験槽Ｔへ導入される飽和気体の容量を調整するための、制御手段としてのシーケンサ(プログラマブルコントローラ)１０７を具備している。
【００７５】
上記シーケンサ１０７は、上述した如くドライ側電動シリンダ１０４Ｄの挙動によるドライ側ピストンポンプ１０３Ｄの動作、およびウェット側電動シリンダ１０４Ｗの挙動によるウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの動作を制御するとともに、第１供給管Ｐ１に介装された第１開閉バルブＶ１、第２供給管Ｐ２に介装された第２開閉バルブＶ２、配管Ｐ３(ドライ側流路Ｌｄ)に介装されたドライ側開閉バルブＶｄ、および配管Ｐ４(ウェット側流路Ｌｗ)に介装されたウェット側開閉バルブＶｗを、上記ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄおよびウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの動作に対応したタイミングで開閉させるよう制御するものである。なお、上記シーケンサ１０７にはデータ入力手段としてのタッチパネル１０８が接続されている。
【００７６】
以下では、上述した如き調湿気体発生装置１００の動作態様を、動作の順を追って詳細に説明する。  
先ず、図１０(ａ)に示す如く、第１開閉バルブＶ１と第２開閉バルブＶ２とが開、ドライ側開閉バルブＶｄとウェット側開閉バルブＶｗとが閉の状態において、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄのピストン１０３Ｄｐを後退させることにより、ドライヤ１０２で生成された乾燥気体がドライ側ピストンポンプ１０３Ｄに吸引されるとともに、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗのピストン１０３Ｗｐを後退させることにより、ドライヤ１０２で生成された飽和気体がウェット側ピストンポンプ１０３Ｗに吸引される。
【００７７】
次いで、図１０(ｂ)に示す如く、第１開閉バルブＶ１と第２開閉バルブＶ２とが閉、ドライ側開閉バルブＶｄとウェット側開閉バルブＶｗとが開の状態において、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄのピストン１０３Ｄｐを前進させることにより、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄの乾燥気体がドライ側流路Ｌｄを介して合流管Ｐｃから試験槽Ｔに導入されるとともに、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗのピストン１０３Ｗｐを前進させることにより、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの乾燥気体がウェット側流路Ｌｗを介して飽和気体と成って合流管Ｐｃから試験槽Ｔに導入される。
【００７８】
このように、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄの１ストロークにより、合流管Ｐｃを介して試験槽Ｔに定量の乾燥気体が送り込まれるとともに、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの１ストロークにより、合流管Ｐｃを介して試験槽Ｔに定量の飽和気体が送り込まれ、以下、図１０(ａ)、図１０(ｂ)に示した動作を繰り返すことにより、乾燥気体と飽和気体とが混合された調湿気体が連続して生成されることとなる。
【００７９】
ここで、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄおよびウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの動作に関して、所望する湿度の気体(調湿気体)を生成する場合の、ピストン１０３Ｄｐおよびピストン１０３Ｗｐのポジション(ストロークエンド)が設定されている。
【００８０】
すなわち、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄにおけるピストン１０３Ｄｐのストロークにおいては、図１１(ａ)の如く、０(原点)とＤ１〜Ｄ１０の１０ポジションが設定されており、また、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗにおけるピストン１０３Ｗｐのストロークにおいては、図１０(ｂ)の如く、０(原点)とＷ１〜Ｗ１０の１０ポジションが設定されている。
【００８１】
そして、生成しようとする調湿気体の設定湿度に基づいて、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄにおけるピストン１０３Ｄｐのポジションと、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗにおけるピストン１０３Ｗｐのポジションとを、図１２の表に示す如く組み合わせてピストンポンプ１０３Ｄ、１０３Ｗを動作させる。
【００８２】
例えば、設定湿度５０％の調湿気体を生成する場合には、図１２および図１３に示す如く、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄのピストン１０３Ｄｐを０(原点)とＤ５との間でストロークさせ、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗのピストン１０３Ｗｐを０(原点)とＷ５との間でストロークさせることとなる。
【００８３】
因みに、図１１(ａ)におけるＤ１〜Ｄ１０の各ポジションと、図１１(ｂ)におけるＷ１〜Ｗ１０の各ポジションとは、互いに同一の箇所に対応して設定されているものではなく、ドライ側流路Ｌｄとウェット側流路Ｌｗとの流路長の相違や飽和槽５の介在に基づく圧損等を補正するべく、各々のピストンポンプ１０３Ｄ、１０３Ｗにおいて微妙な相違が設けられていることは言うまでもない。
【００８４】
上述した調湿気体発生装置１００によれば、第１実施例における調湿気体発生装置１と同様にして、発生・供給される調湿気体の湿度精度を常に高い精度において維持することができ、併せて装置１台あたりの製造に関わるコストを大幅に低減することができるとともに、極めて容易に高い精度の調湿気体を発生・供給することが可能となる。
【００８５】
また、第１実施例における調湿気体発生装置１と同様に、ピストンポンプ１０３Ｄ、１０３Ｗを、それぞれ電動シリンダ１０４Ｄ、１０４Ｗで駆動することにより、ピストンポンプ１０３Ｄ、１０３Ｗから送出される乾燥気体および飽和気体の容量を極めて高い精度で設定することができ、もって所定容量の乾燥気体と飽和気体とを混合して発生される調湿気体の湿度精度を格段に向上させることが可能となる。
【００８６】
また、第１実施例における調湿気体発生装置１と同様に、所定の時間間隔でドライ側ピストンポンプ１０３Ｄおよびウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの零位調整を実施することで、発生される調湿気体の湿度精度をさらに向上させることができる。
【００８７】
また、第１実施例における調湿気体発生装置１と同様に、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄにおけるピストン１０３Ｄｐ、およびウェット側ピストンポンプ１０３Ｗにおけるピストン１０３Ｗｐの送り(移動)速度を調整することによって、生成・供給される調湿気体の流量を任意に設定することができる。
【００８８】
なお、上述した実施例においては、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄにおけるピストン１０３Ｄｐのポジションを、０(原点)＋Ｄ１〜Ｄ１０の１０ポジション、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗにおけるピストン１０３Ｗｐのポジションを、０(原点)＋Ｗ１〜Ｗ１０の１０ポジションに設定しているが、例えば０(原点)＋１００ポジション等、電動シリンダの挙動に基づくピストンポンプの動作分解能の許容する範囲において、ポジションの個数および位置を任意に設定し得ることは言うまでもない。
【００８９】
また、所望する湿度の気体を生成するための、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄおよびウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの動作態様は、上述した如き実施例のみに限定されるものではなく、例えば、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄのピストン１０３Ｄｐをフルストロークさせるとともに、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗのピストン１０３Ｗｐを(飽和槽１０５の介在に基づく圧損等を補正した上で)フルストロークさせることで、ほぼ同一容量の乾燥気体と飽和気体とを混合させて５０％(rh)の調湿気体を生成することも可能である。
【００９０】
ここで、上述した第３実施例の調湿気体発生装置１００を用いて、恒常的に一定(定点)の湿度の調湿気体を生成する場合には、図１４に示す如く、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄにおけるロッド１０３Ｄｒの所定位置にストッパフランジ１０３Ｄｆを設置するとともに、このストッパフランジ１０３Ｄｆの移動域の所定位置にストッパ爪１１０Ｄを固定し、同じくウェット側ピストンポンプ１０３Ｗにおけるロッド１０３Ｗｒの所定位置にストッパフランジ１０３Ｗｆを設置するとともに、このストッパフランジ１０３Ｗｆの移動域の所定位置にストッパ爪１１０Ｗを固定することにより、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄおよびウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの動作に機械的なリミッタを掛けて対応することも可能である。
【００９１】
すなわち、ドライ側電動シリンダ１０４Ｄの動作によってドライ側ピストンポンプ１０３Ｄのピストン１０３Ｄｐが後退(図中において右行)する際、固定したストッパ爪１１０Ｄにストッパフランジ１０３Ｄｆを当接させることで、上記ピストン１０３ＤｐのストロークＳｄが一義的に設定されることとなる。因みに、ストッパフランジ１０３Ｄｆがストッパ爪１１０Ｄに当接した際、上記ストッパフランジ１０３Ｄｆに押されてＯＮ動作するリミットスイッチ１１１Ｄからの信号によって、上記ドライ側電動シリンダ１０４Ｄの動作が一旦停止するよう構成されている。
【００９２】
同じく、ウェット側電動シリンダ１０４Ｗの動作によってウェット側ピストンポンプ１０３Ｗのピストン１０３Ｗｐが後退(図中において右行)する際、固定したストッパ爪１１０Ｗにストッパフランジ１０３Ｗｆを当接させることで、上記ピストン１０３ＷｐのストロークＳｗが一義的に設定されることとなる。因みに、ストッパフランジ１０３Ｗｆがストッパ爪１１０Ｗに当接した際、上記ストッパフランジ１０３Ｗｆに押されてＯＮ動作するリミットスイッチ１１１Ｗからの信号によって、上記ドライ側電動シリンダ１０４Ｗの動作が一旦停止するよう構成されている。
【００９３】
このように、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄの動作(ピストン１０３Ｄｐのストローク)、およびウェット側ピストンポンプ１０３Ｗの動作(ピストン１０３Ｗのストローク)に機械的なリミッターを掛け、これらドライ側ピストンポンプ１０３Ｄとウェット側ピストンポンプ１０３Ｗとを恰も定容量型のピストンポンプの如く動作させることにより、所望する一定(定点)の湿度を備えた調湿気体を恒常的に発生させることも可能となる。
【００９４】
また、上述した実施例においては、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄおよびウェット側ピストンポンプ１０３Ｗを、それぞれドライ側電動シリンダ１０４Ｄおよびウェット側電動シリンダ１０４Ｗによって駆動しているが、上記電動シリンダ(電動アクチュエータ)１０４Ｄ，１０４Ｗに換えて、エアシリンダアクチュエータ(図示せず)によって各々のピストンポンプ１０３Ｄ，１０３Ｗを駆動するよう構成することも可能である。
【００９５】
ここで、上記エアシリンダアクチュエータは、周知の如く機械的なリミッタによって容易にストロークを設定・維持することが可能であり、このため、例えば特定の湿度の調湿気体を恒常的に発生・供給しようとする場合には、上記エアシリンダアクチュエータのストロークをリミッタで設定・維持することにより、ピストンポンプ１０３Ｄ，１０３Ｗの駆動に関わる複雑な制御を必要とすることなく、所望する湿度の調湿気体を恒常的に発生・供給することができる。
【００９６】
図１５は、湿度センサの校正用ガスを発生／供給するためのポータブル校正器に、本発明に関わる調湿気体発生装置を適用した第４実施例を示しており、この調湿気体発生装置１００′は、ドライヤ１０２′、ドライ側ピストンポンプ１０３Ｄ′、ウェット側ピストンポンプ１０３Ｗ′、ドライ側電動シリンダ(電動アクチュエータ)１０４Ｄ′、ウェット側電動シリンダ(電動アクチュエータ)１０４Ｗ′、および飽和槽１０５′等を具備している。
【００９７】
すなわち、上記調湿気体発生装置１００′は、第３実施例の調湿気体発生装置１００において別体であったドライヤ１０２と飽和槽１０５とを、調湿気体発生装置１００′の構成要素として予め組み込んで構成されたものであり、このため該調湿気体発生装置１００′の稼動に際してドライヤや飽和槽等を別途に容易しておく必要がなく、もって簡易に調湿気体を発生・供給することが可能となる。
【００９８】
なお、上述した調湿気体発生装置１００′の構成は、ドライヤ１０２′および飽和槽１０５′が調湿気体発生装置１００′に組み込まれている以外、図９〜図１４に示した調湿気体発生装置１００と基本的に変わるところはなく、また作用効果においても基本的にも同一なので、調湿気体発生装置１００′の構成要素において調湿気体発生装置１００の構成要素と同一の作用を成すものには、図１５において図９〜図１４と同一の符号に′(ダッシュ)を附すことで詳細な説明は省略する。
【００９９】
ここで、上述した各実施例においては、電動シリンダによってピストンポンプを駆動しているが、上記ピストンポンプを駆動するための電動アクチュエータは、実施例に示した電動シリンダ(リニアアクチュエータ)に限定されるものではなく、様々な構成の電動アクチュエータを採用し得ることは勿論であり、例えば電動アクチュエータの一態様であるサーボモータを採用し、ラック・ピニオン等の伝動機構を介してピストン(ピストンロッド)を直接に往復動させることで、上記ピストンポンプを駆動するよう構成することも可能である。
【０１００】
また、上述した各実施例においては、調湿気体発生装置により調湿した空気(大気)を発生・供給する例を示したが、本発明に関わる調湿気体発生装置においては、空気以外の種々のガス雰囲気における任意の湿度設定も可能であることは言うまでもない。
【０１０１】
さらに、上述した各実施例においては、湿度計(湿度センサ)を校正するためのポータブル校正器に本発明を適用した例を示したが、本発明の利用範囲は実施例に限定されるものではなく、例えば半導体等の精密部品製造、バイオテクノロジー、製薬製剤、高分子研究、燃料電池の評価試験等、種々多用な産業分野において、調湿された気体を発生・供給する装置として有効に適用し得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明に関わる調湿気体発生装置の第１実施例を示す全体構成図。
【図２】(ａ)および(ｂ)は、第１実施例の調湿気体発生装置における動作態様を示す概念図。
【図３】(ａ)および(ｂ)は、第１実施例の調湿気体発生装置における動作態様を示す概念図。
【図４】(ａ)および(ｂ)は、第１実施例の調湿気体発生装置におけるピストンポンプの動作ポジションを示す図。
【図５】第１実施例の調湿気体発生装置における調湿気体の設定湿度とピストンポンプの動作ポジションとの関係を示す表。
【図６】第１実施例の調湿気体発生装置におけるピストンポンプ等の動作態様を示すタイミングチャート。
【図７】第１実施例の調湿気体発生装置におけるピストンポンプ等の動作態様を示すタイミングチャート。
【図８】本発明に関わる調湿気体発生装置の第２実施例を示す全体構成図。
【図９】本発明に関わる調湿気体発生装置の第３実施例を示す全体構成図。
【図１０】(ａ)および(ｂ)は、第３実施例の調湿気体発生装置における動作態様を示す概念図。
【図１１】(ａ)および(ｂ)は、第３実施例の調湿気体発生装置におけるピストンポンプの動作ポジションを示す図。
【図１２】第３実施例の調湿気体発生装置における調湿気体の設定湿度とピストンポンプの動作ポジションとの関係を示す表。
【図１３】第３実施例の調湿気体発生装置におけるピストンポンプ等の動作態様を示すタイミングチャート。
【図１４】第３実施例の調湿気体発生装置におけるピストンポンプの動作制御の別態様を示す概念図。
【図１５】本発明に関わる調湿気体発生装置の第４実施例を示す全体構成図。
【図１６】従来の調湿気体発生装置の構成を示す概念図。
【符号の説明】
【０１０３】
１，１′…調湿気体発生装置、
２，２′…ドライヤ、
３，３′…ピストンポンプ、
４，４′…電動シリンダ(電動アクチュエータ)、
５，５′…飽和槽、
６，６′…チャンバ(気体混合部)、
７，７′…シーケンサ(制御手段)、
８，８′…タッチパネル、
Ｌｄ，Ｌｄ′…ドライ側流路、
Ｌｗ，Ｌｗ′…ウェット側流路、
１００，１００′…調湿気体発生装置、
１０２，１０２′…ドライヤ、
１０３Ｄ，１０３Ｄ′…ドライ側ピストンポンプ、
１０３Ｗ，１０３Ｗ′…ウェット側ピストンポンプ、
１０４Ｄ，１０４Ｄ′…ドライ側電動シリンダ(電動アクチュエータ)、
１０４Ｗ，１０４Ｗ′…ウェット側電動シリンダ(電動アクチュエータ)、
１０５，１０５′…飽和槽、
１０７，１０７′…シーケンサ(制御手段)、
１０８，１０８′…タッチパネル、
Ｐｃ，Ｐｃ′…合流管(気体混合部)、
Ｌｄ，Ｌｄ′…ドライ側流路、
Ｌｗ，Ｌｗ′…ウェット側流路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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