(57)【要約】【課題】    本発明は、腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図り、組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつ省スペース化も図ることができる。【解決手段】      本発明は以下の特徴を有する。（１）開閉弁操作のための給排気口である操作ポート２１と、操作ポート２１と給排気機構とを接続するインスタント継手２２と、操作ポート２１にインスタント継手２２を取り付けるための継手固定機構と、を有するエアオペレイトバルブにおいて、操作ポート２１に対して着脱自在の継手固定機構を有すること。（２）インスタント継手２２および固定部材３１が、耐腐食性を有すること。【選択図】  図１
2006052821.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉弁操作のための給排気口である操作ポートと、前記操作ポートと給排気機構とを接続するインスタント継手と、前記操作ポートに前記インスタント継手を取り付けるための継手固定機構と、を有するエアオペレイトバルブにおいて、
前記操作ポートに対して着脱自在の前記継手固定機構を有することを特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項２】
請求項１に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記インスタント継手および前記継手固定機構が、耐腐食性を有することを特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記継手固定機構として、前記インスタント継手と別個の固定部材を使用することを特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記継手固定機構として、前記インスタント継手に取り付けられた固定ツマミを使用することを特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記継手固定機構として、前記インスタント継手に形成されたツメ部を使用することを特徴とするエアオペレイトバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアオペレイトバルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来技術として、操作ポートと配管継手が完全に結合し、それらが分離できないエアオペレイトバルブが存在する。
または、図７に示す特許文献１のような配管継手１０１を用い、継手本体１１１と嵌合するネジ本体１１２のネジ部１１２ａと、操作ポートに形成されたネジ部（不図示）との間をネジ結合させて、配管継手１０１を操作ポートに締め付けたエアオペレイトバルブも存在する。
【特許文献１】特許３３８６４０６号公報（第００２２段落、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来技術には以下の問題点が存在する。
まず、操作ポートと配管継手が完全に結合し、それらが分離できない場合には、配管継手の破損やメンテナンスなどにより配管継手部分の交換が必要になったときに、エアオペレイトバルブ全体を交換しなければならない。また、エアオペレイトバルブの使用場所が腐食性雰囲気内である場合には、配管継手が耐腐食性を有していなければ、耐腐食性を有している配管継手と一体となったエアオペレイトバルブに交換しなければならず、わざわざエアオペレイトバルブ全体を交換しなければならない。
次に、特許文献１のような配管継手１０１を用いた場合には、操作ポートと配管継手１０１との間がネジ結合であるため、メンテナンスなどで配管継手１０１を交換するときには配管継手１０１を回転させて、操作ポートと配管継手１０１とを分離したり、接続したりしなければならない。ここで、半導体製造装置内では、多数のエアオペレイトバルブを使用しており、個々のエアオペレイトバルブについてこのような取り付け・取り外しの作業を行なっていては、非常に作業負担が大きくなってしまう。また、半導体製造装置内には十分な作業スペースがないため装置内に作業者が手を入りにくい場合が多く、作業が困難な場合が多い。また、配管継手１０１とエアオペレイトバルブとが別部品であるため、作業時に配管継手１０１を半導体製造装置内に落としてしまったり、紛失してしまうおそれがある。以上のようなことから、配管継手１０１の取り付け・取り外し作業をスムーズに行うことができず、作業効率が悪くなってしまうことが多い。特に、半導体製造装置が設置される腐食性雰囲気内の劣悪な環境下において、作業効率が悪いために作業時間が長くなってしまうのは問題である。
【０００４】
本発明は以上のような課題を解消するためになされたものであり、腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図り、組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつ省スペース化も図ることができるエアオペレイトバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するために、本発明は以下の特徴を有する。
（１）開閉弁操作のための給排気口である操作ポートと、操作ポートと給排気機構とを接続するインスタント継手と、操作ポートにインスタント継手を取り付けるための継手固定機構と、を有するエアオペレイトバルブにおいて、操作ポートに対して着脱自在の継手固定機構を有すること。
（２）インスタント継手および継手固定機構が、耐腐食性を有すること。
（３）継手固定機構として、インスタント継手と別個の固定部材を使用すること。
（４）継手固定機構として、インスタント継手に取り付けられた固定ツマミを使用すること。
（５）継手固定機構として、インスタント継手に形成されたツメ部を使用すること。
【発明の効果】
【０００６】
このような特徴を有する本発明は、以下のような作用・効果を有する。
本発明のエアオペレイトバルブは、開閉弁操作のための給排気口である操作ポートと、操作ポートと給排気機構とを接続するインスタント継手と、操作ポートにインスタント継手を取り付けるための継手固定機構とを有するエアオペレイトバルブにおいて、操作ポートに対して着脱自在の継手固定機構を有するので、操作ポートとインスタント継手との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポートにインスタント継手を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつインスタント継手の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【０００７】
本発明のエアオペレイトバルブは、インスタント継手および継手固定機構が、耐腐食性を有するので、腐食性雰囲気内においてもエアオペレイトバルブを使用することができる。
【０００８】
本発明のエアオペレイトバルブは、継手固定機構として、インスタント継手と別個の固定部材を使用するので、操作ポートとインスタント継手との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポートにインスタント継手を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつ作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【０００９】
本発明のエアオペレイトバルブは、継手固定機構として、インスタント継手に取り付けられた固定ツマミを使用するので、操作ポートとインスタント継手との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポートにインスタント継手を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつインスタント継手の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【００１０】
本発明のエアオペレイトバルブは、継手固定機構として、前記インスタント継手に形成されたツメ部を使用するので、操作ポートとインスタント継手との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポートにインスタント継手を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつインスタント継手の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明のエアオペレイトバルブの実施例を説明する。
【実施例１】
【００１２】
まず、実施例１としてエアオペレイトバルブ１を説明する。
図１に示すように、エアオペレイトバルブ１は外観がボディ１１、シリンダ１２、カバー１３からなり、カバー１３には開閉弁操作のための給排気口である操作ポート２１が形成されている。そして、操作ポート２１はインスタント継手２２を介して給排気装置の給排気管（不図示）と接続している。
また、実施例１では操作ポート２１にインスタント継手２２を固定するための継手固定機構として、図２（ａ）に示すように固定部材３１を使用する。このエアオペレイトバルブ１の操作ポート２１とインスタント継手２２との接続方法は下記のとおりである。まず、操作ポート２１にインスタント継手２２の一端部を差し込む。次に、この状態で固定部材３１を操作ポート２１形成される取り付け部２１ａに差し込むというものである。ここで、固定部材３１は図２（ａ）に示すように、コの字型をしており、操作ポート２１に形成される取り付け部２１ａに差し込む際には、コの字の開口側を開いて外周が円形の操作ポート２１をコの字の開口部に挿入する。そして、インスタント継手２２にはＯリング４１が配設されているので、エアの密閉状態は確保される。なお、図２（ｂ）は操作ポート２１とインスタント継手２２との接続後の外観図である。
一方、操作ポート２１からインスタント継手２２を外すときは、上記接続方法と逆の方法で行なえばよい。
【００１３】
そして、このインスタント継手２２および固定部材３１に、樹脂や耐腐食性に優れた金属あるいは耐腐食処理を行なった金属などの耐腐食性の優れた材質を使用することにより、腐食性雰囲気内においてもエアオペレイトバルブ１を使用することができる。具体的には、例えば、一般的に耐腐食性を有するとされるフッ素系の樹脂（例えば、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）など）や、ニッケルクロム合金の中でも耐腐食性を有するもの（例えば、ヘインズ社の登録商標であって通称「ハステロイ」と呼ばれるものなど）といった金属、あるいは前述したフッ素系の樹脂をコーティング処理した金属などが考えられる。
【００１４】
このように、固定部材３１の取り付け・取り外しだけで操作ポート２１とインスタント継手２２との脱着が簡単にできる。また、部品点数も少なくて済み、作業時における作業負担を軽減することや、部品の損失を防ぐことができる。従って、腐食性雰囲気内の劣悪な環境下におけるエアオペレイトバルブの組み立てやメンテナンスの作業効率の向上を図ることができる。
また、自由に操作ポート２１とインスタント継手２２との脱着ができるので、インスタント継手２２が破損した場合には、エアオペレイトバルブ１全体を交換するまでもなく、インスタント継手２２のみ交換すればよい。従って、エアオペレイトバルブ１を使用する半導体製造装置の維持費を抑制することができる。
また、上記のように固定部材３１により操作ポート２１にインスタント継手２２を予め接続し一体としているため、半導体製造装置内へのエアオペレイトバルブの設置時間の短縮が図れる。さらに、半導体製造装置内への設置後に作業が不要なためインスタント継手２２の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく、半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【００１５】
以上のような実施例１により、以下の効果が得られる。
本発明のエアオペレイトバルブ１は、開閉弁操作のための給排気口である操作ポート２１と、操作ポート２１と給排気機構とを接続するインスタント継手２２と、操作ポート２１にインスタント継手２２を取り付けるための継手固定機構とを有するエアオペレイトバルブにおいて、操作ポート２１に対して着脱自在の継手固定機構を有するので、操作ポート２１とインスタント継手２２との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポート２１にインスタント継手２２を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつインスタント継手２２の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【００１６】
本発明のエアオペレイトバルブ１は、インスタント継手２２および固定部材３１が、耐腐食性を有するので、腐食性雰囲気内においてもエアオペレイトバルブ１を使用することができる。
【００１７】
本発明のエアオペレイトバルブ１は、継手固定機構として、インスタント継手２２と別個の固定部材３１を使用するので、操作ポート２１とインスタント継手２２との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポート２１にインスタント継手２２を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつインスタント継手２２の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【実施例２】
【００１８】
次に、実施例２としてエアオペレイトバルブ２を説明する。
エアオペレイトバルブ２は、インスタント継手２４および固定ツマミ３２に樹脂や耐腐食性に優れた金属あるいは耐腐食処理を行なった金属などの耐腐食性の優れた材質を使用することなど、基本的な構造はエアオペレイトバルブ１と同様である。そこで、以下、エアオペレイトバルブ１との相違点のみについて説明する。
図３に示すようにエアオペレイトバルブ２は、操作ポート２３とインスタント継手２４がエアオペレイトバルブ１と相違する。具体的には、インスタント継手２４は固定ツマミ３２と弾性体３３を有し、一方、操作ポート２３は溝部２３ａを有している。
そして、このエアオペレイトバルブ２の操作ポート２３とインスタント継手２４との接続方法は下記のとおりである。まず、図３に示すように弾性部材３３によって押し上げられた固定ツマミ３２（図３（ａ））を両側から手で押して弾性部材３３を変形させる。この状態で、インスタント継手２４の固定ツマミ３２側を操作ポート２３に挿入する（図３（ｂ））。そこで、固定ツマミ３２を両側から手で押すのを止めれば、固定ツマミ３２の先端のツメの部分３２ａが操作ポート２３は溝部２３ａに嵌まり、操作ポート２３とインスタント継手２４との接続が完了する（図３（ｃ））。一方、操作ポート２３からインスタント継手２４を外すときは、上記接続方法と逆の方法で行なえばよい。
なお、図３のＡ−Ａ断面図である図４に示すように、操作ポート２３の溝部２３ａは円周状に１周にわたり形成されているため、インスタント継手２４の周方向の向きに関わらず固定ツマミ３２の先端のツメの部分３２ａは、必ず操作ポート２３の溝部２３ａに嵌まることになる。
【００１９】
以上のような実施例により、以下の効果が得られる。
本発明のエアオペレイトバルブ２は、開閉弁操作のための給排気口である操作ポート２３と、操作ポート２３と給排気機構とを接続するインスタント継手２４と、操作ポート２３にインスタント継手２４を取り付けるための継手固定機構とを有するエアオペレイトバルブにおいて、操作ポート２３に対して着脱自在の継手固定機構を有するので、操作ポート２３とインスタント継手２４との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポート２３にインスタント継手２４を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつインスタント継手２４の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【００２０】
本発明のエアオペレイトバルブ２は、インスタント継手２４および固定ツマミ３２が、耐腐食性を有するので、腐食性雰囲気内においてもエアオペレイトバルブ２を使用することができる。
【００２１】
本発明のエアオペレイトバルブ２は、継手固定機構として、インスタント継手２４に取り付けられた固定ツマミ３２を使用するので、操作ポート２３とインスタント継手２４との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポート２３にインスタント継手２４を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつインスタント継手２４の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【実施例３】
【００２２】
次に、実施例３としてエアオペレイトバルブ３を説明する。
エアオペレイトバルブ３は、インスタント継手２６に樹脂や耐腐食性に優れた金属あるいは耐腐食処理を行なった金属などの耐腐食性の優れた材質を使用することなど、基本的な構造はエアオペレイトバルブ１と同様である。そこで、以下、エアオペレイトバルブ１との相違点のみについて説明する。
図５に示すようにエアオペレイトバルブ３は、操作ポート２５とインスタント継手２６がエアオペレイトバルブ１と相違する。具体的には、インスタント継手２６にはツメ部２６ａが形成され、一方、操作ポート２５は溝部２５ａを有している。また、インスタント継手２６のツメ部２６ａの周辺には切り欠き部２６ｂが形成されおり、押さえられる力に対しツメ部２６ａは弾力性を有する。
そして、このエアオペレイトバルブ３の操作ポート２５とインスタント継手２６との接続方法は下記のとおりである。図５（ａ）の状態からインスタント継手２６のツメ部２６ａ側を操作ポート２５に挿入する（図５（ｂ））。このとき、図５のＡ−Ａ断面図である図６において、図６（ａ）に示すように操作ポート２５の挿入口の断面形状に切り欠き部２５ｂ形成されているので、この切り欠き部２５ｂの位置にツメ部２６ａを合わせて挿入する。なお、ツメ部２６ａは弾力性を有するので、挿入方向に押し込むことにより、その先端に形成される面取り部２６ｃに案内されて切り欠き部２５ｂに挿入されることになる。そこで、この状態からインスタント継手２６を周方向に約９０度回転させると、ツメ部２６ａが操作ポート２５の挿入口の断面の切り欠き部２５ｂ以外の部分にかかり、ツメ部２６ａが操作ポート２５の溝部２５ａに嵌まる。なお、図６（ｂ）に示すように操作ポート２５の溝部２５ａの溝形状を楕円形に形成させてもよい。この場合は、短軸部分２５ｃからインスタント継手２６のツメ部２６ａ側を操作ポート２５に挿入し、この状態からインスタント継手２６を周方向に約９０度回転させると、長軸部分２５ｄにてツメ部２６ａが操作ポート２５の溝部２５ａに嵌まり、操作ポート２５とインスタント継手２６との接続が完了する。
一方、操作ポート２５からインスタント継手２６を外すときは、上記接続方法と逆の方法で行なえばよい。
【００２３】
以上のような実施例により、以下の効果が得られる。
本発明のエアオペレイトバルブ３は、開閉弁操作のための給排気口である操作ポート２５と、操作ポート２５と給排気機構とを接続するインスタント継手２６と、操作ポート２５にインスタント継手２６を取り付けるための継手固定機構とを有するエアオペレイトバルブにおいて、操作ポート２５に対して着脱自在の継手固定機構を有するので、操作ポート２５とインスタント継手２６との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポート２５にインスタント継手２６を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつインスタント継手２６の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【００２４】
本発明のエアオペレイトバルブ３は、インスタント継手２６およびツメ部２６ａが、耐腐食性を有するので、腐食性雰囲気内においてもエアオペレイトバルブ３を使用することができる。
【００２５】
本発明のエアオペレイトバルブ３は、継手固定機構として、インスタント継手２６に形成されたツメ部２６ａを使用するので、操作ポート２５とインスタント継手２６との脱着が簡単で部品点数も少なくて済み腐食性雰囲気内の劣悪な環境下における作業効率の向上を図れ、操作ポート２５にインスタント継手２６を予め接続し一体としており組み立てやメンテナンス作業時間の短縮が図れ、かつインスタント継手２６の接続作業用に作業スペースを確保する必要がなく半導体製造装置の省スペース化を図ることができる。
【００２６】
尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様
々な変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のエアオペレイトバルブの外観図である。
【図２】実施例１における操作ポート、インスタント継手、固定部材の取り付けの概要図である。
【図３】実施例２における操作ポート、インスタント継手、固定ツマミ、弾性部材の取り付けの概要図である。
【図４】実施例２における操作ポートの挿入口の断面図である。
【図５】実施例３における操作ポート、インスタント継手の取り付けの概要図である。
【図６】実施例３における操作ポートの挿入口の断面図である。
【図７】特許文献１の配管継手の断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１    エアオペレイトバルブ
２    エアオペレイトバルブ
３    エアオペレイトバルブ
１１  ボディ
１２  シリンダ
１３  カバー
２１  操作ポート
２２  インスタント継手
２３  操作ポート
２４  インスタント継手
２５  操作ポート
２６  インスタント継手
２６ａツメ部
３１  固定部材
３２  固定ツマミ
３３  弾性部材
【図１】
2006052821.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006052821.tif 000007
【図６】
2006052821.tif 000008
【図７】
2006052821.tif 000009