(57)【要約】      （修正有）【課題】汚多段向流式の洗浄装置において、洗浄溶媒の処理にかかるコストを低減させることができる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。【解決方法】被洗浄物３の移動方向の上流側Ｘから下流側Ｙに向かってＮ個（２以上）の洗浄槽が連続して設けられ、Ｎ個目の洗浄槽に一定量［Ｑ］の洗浄溶媒８が供給され、各洗浄槽で被洗浄物３が順次洗浄される多段向流式の洗浄装置であって、２番目以降に位置する洗浄槽のいずれか１槽又は複数槽から洗浄溶媒を所定量［ｑ］回収すると共に、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を１番目の洗浄槽４に移送する手段と、回収された所定量［ｑ］の洗浄溶媒を再生してＮ番目の洗浄槽７に送る手段と、再生した洗浄溶媒に補給用の洗浄溶媒１０を所定量［Ｑ−ｑ］加えることで一定量［Ｑ］の洗浄溶媒とし、その洗浄溶媒８をＮ番目の洗浄槽７に供給する手段と、１番目の洗浄槽４から所定量［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を排水する手段とを備える構成とした。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物の移動方向の上流側から下流側に向かってＮ個（Ｎは２以上）の洗浄槽が連続して設けられ、Ｎ個目の洗浄槽に一定量［Ｑ］の洗浄溶媒が供給され、且つ前記被洗浄物の移動方向の下流側から上流側に向かって前記洗浄溶媒がオーバーフロー又はポンプ輸送により順次供給されると共に、前記各洗浄槽で前記被洗浄物が順次洗浄される多段向流式の洗浄装置であって、
２番目以降に位置する洗浄槽のいずれか１槽又は複数槽から洗浄溶媒を引き抜いて、その一部又は全部である所定量［ｑ］を回収すると共に、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を最上流に位置する１番目の洗浄槽に移送する回収・移送手段と、
回収された前記所定量［ｑ］の洗浄溶媒を再生して最下流に位置するＮ番目の洗浄槽に送る再生手段と、
前記再生された所定量［ｑ］の洗浄溶媒に補給用の洗浄溶媒を所定量［Ｑ−ｑ］加えることによって前記一定量［Ｑ］の洗浄溶媒とし、当該一定量［Ｑ］の洗浄溶媒を前記Ｎ番目の洗浄槽に供給する供給手段と、
前記１番目の洗浄槽から所定量［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を排水する排水手段と、を備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記回収・移送手段は、２番目以降に位置する洗浄槽から洗浄溶媒を引き抜いて、その一部又は全部である所定量［ｑ］を回収すると共に、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を最上流に位置する１番目の洗浄槽に移送することを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記再生手段が、有機物吸着装置及びイオン交換装置の一方又は両方を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記排水手段から排水された洗浄溶媒を処理する排水処理手段をさらに備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記排水処理手段が、汚染物質を凝集し沈殿させる装置、汚染物質を生物分解し沈殿させる装置、又は汚染物質を化学的に分解する装置であることを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
被洗浄物の移動方向の上流側から下流側に向かってＮ個（Ｎは２以上）の洗浄槽が連続して設けられ、Ｎ個目の洗浄槽に一定量［Ｑ］の洗浄溶媒が供給され、且つ前記被洗浄物の移動方向の下流側から上流側に向かって前記洗浄溶媒がオーバーフロー又はポンプ輸送により順次供給されると共に、前記各洗浄槽で前記被洗浄物が順次洗浄される多段向流式の洗浄装置を使用する洗浄方法であって、
２番目以降に位置する洗浄槽のいずれか１槽又は複数槽から洗浄溶媒を引き抜いて、その一部又は全部である所定量［ｑ］を回収すると共に、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を最上流に位置する１番目の洗浄槽に移送し、
回収された前記所定量［ｑ］の洗浄溶媒を再生して最下流に位置するＮ番目の洗浄槽に移送し、
前記再生された所定量［ｑ］の洗浄溶媒に補給用の洗浄溶媒を所定量［Ｑ−ｑ］加えることによって前記一定量［Ｑ］の洗浄溶媒とし、当該一定量［Ｑ］の洗浄溶媒を前記Ｎ番目の洗浄槽に供給し、
前記１番目の洗浄槽から所定量［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を排水することを特徴とする洗浄方法。
【請求項７】
前記排水された洗浄溶媒を排水処理する方法が、当該洗浄溶媒に含まれる汚染物質を凝集し沈殿させる方法、当該洗浄溶媒に含まれる汚染物質を生物分解し沈殿させる方法、又は当該洗浄溶媒に含まれる汚染物質を化学的に分解させる方法であることを特徴とする請求項６に記載の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多段向流式（いわゆるカスケード式）の洗浄装置及び洗浄方法に関し、更に詳しくは、汚染の程度の少ない洗浄溶媒を処理して洗浄コストを低減させることができる洗浄装置及び洗浄方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
多段向流式（いわゆるカスケード式）の洗浄装置は、例えばめっき槽や薬品処理槽等で化学処理された被洗浄物を段階的に洗浄することができる装置であり、具体的には、図４に例示する洗浄装置５１が知られている（例えば、特許文献１等を参照）。
【０００３】
この洗浄装置５１は、めっき槽や薬品処理槽等の処理槽５２で処理された被洗浄物５３の移動方向６０と、その被洗浄物５３を洗浄するための洗浄溶媒の流れ方向とが逆方向になっており、被洗浄物５３の移動方向６０の上流側Ｘから下流側Ｙに向かって第１洗浄槽５４、第２洗浄槽５５、第３洗浄槽５６、第４洗浄槽５７からなる複数の洗浄槽が連設されている。この洗浄装置５１は、下流側Ｙの第４洗浄槽５７に供給された洗浄溶媒５８が上流側Ｘの第１洗浄槽５４に向かって順次オーバーフローする多段向流式の洗浄装置である。
【０００４】
図４に示す洗浄装置５１において、最も下流側Ｙの第４洗浄槽５７には単位時間当たり一定量［Ｑ］の洗浄溶媒５８（例えば純水）が供給される。そして、供給された洗浄溶媒５８と同量［Ｑ］の洗浄溶媒が上流側Ｘの槽に順次オーバーフローして供給される。各洗浄槽中の洗浄溶媒は、洗浄溶媒が最初に供給される第４洗浄槽５７が最も清浄であり、上流側Ｘに向かうに従って被洗浄物５３に付着した汚染物質を多く含む洗浄溶媒となっている。
【０００５】
ところで、一般的な洗浄装置においては、洗浄コストを削減するために種々の検討がなされている。上述した多段向流式の洗浄装置でも同様であり、図４に示す洗浄装置５１においては、新たに補給する洗浄溶媒６７の量をできる限り少なくする方法が検討されている。
【０００６】
その一例としては、図４に示すように、最も上流側Ｘの第１洗浄槽５４の洗浄溶媒を引き抜き、引き抜いた洗浄溶媒６２を処理した後に再利用する方法が行われている。第１洗浄槽５４中の洗浄溶媒は被洗浄物５３に付着した処理槽５２中の化学物質で汚染されているので、第１洗浄槽５４から引き抜いた洗浄溶媒６２を再利用するには、汚染された化学物質を凝集・沈殿、生物分解・沈殿、又は化学的分解等するための第１再生処理装置６３で処理した後、例えば活性炭処理や逆浸透膜等のコストの高い処理手段を含む第２再生処理装置６４で汚染物質を極力含まない洗浄溶媒６６を分離し、分離した洗浄溶媒６６を再利用する方法が検討されている。分離した洗浄溶媒６６は、洗浄溶媒の供給装置６８に移送され、補給用の新しい洗浄溶媒６７と共に洗浄溶媒５８となって第４洗浄槽５７に供給される。なお、符号６５は、廃棄処理される洗浄溶媒である。
【特許文献１】特開平９−３０２４８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した従来の方法では、洗浄溶媒の処理にかかる費用が依然として大きく、洗浄コストの削減としては依然として不十分なものであった。すなわち、上述の方法は、汚染物質を最も多く含有する最上流の第１洗浄槽中の洗浄溶媒を多量再生処理しているために、例えば第１再生処理装置や第２再生処理装置の負荷が極めて大きくなり、汚染物質量を所望の濃度になるまで低減させようとすると、コストの高い活性炭や逆浸透膜等を大規模に採用したり、又それらを頻繁に交換しなければならず、結果としてコストダウンを図れないという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、多段向流式の洗浄装置において、洗浄溶媒の処理にかかるコストを低減させることができる洗浄装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は、そうした洗浄装置を用いた洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の洗浄装置は、被洗浄物の移動方向の上流側から下流側に向かってＮ個（Ｎは２以上）の洗浄槽が連続して設けられ、Ｎ個目の洗浄槽に一定量［Ｑ］の洗浄溶媒が供給され、且つ前記被洗浄物の移動方向の下流側から上流側に向かって前記洗浄溶媒がオーバーフロー又はポンプ輸送により順次供給されると共に、前記各洗浄槽で前記被洗浄物が順次洗浄される多段向流式の洗浄装置であって、２番目以降に位置する洗浄槽のいずれか１槽又は複数槽から洗浄溶媒を引き抜いて、その一部又は全部である所定量［ｑ］を回収すると共に、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を最上流に位置する１番目の洗浄槽に移送する回収・移送手段と、回収された前記所定量［ｑ］の洗浄溶媒を再生して最下流に位置するＮ番目の洗浄槽に送る再生手段と、前記再生された所定量［ｑ］の洗浄溶媒に補給用の洗浄溶媒を所定量［Ｑ−ｑ］加えることによって前記一定量［Ｑ］の洗浄溶媒とし、当該一定量［Ｑ］の洗浄溶媒を前記Ｎ番目の洗浄槽に供給する供給手段と、前記１番目の洗浄槽から所定量［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を排水する排水手段と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
一般的な洗浄装置において、排水処理設備費は水量に比例し、回収設備費は水量と汚染物質の濃度の両方に比例する。この発明によれば、汚染物質の濃度が高い洗浄溶媒の処理と、汚染物質の濃度が低い洗浄溶媒の処理とを別々に行うことができ、その結果、汚染物質の濃度が低い洗浄溶媒の回収処理には、流量が多くても比較的安価で簡単な再生手段を適用することができる。一方、汚染物質の濃度が高い洗浄溶媒の処理には、その濃度を極力低くすると共に水量を低減する安価で簡便な処理手段を適用することができる。こうした処理手段の区分けは、汚染物質の濃度に見合った処理を行うことができ、トータルとしての洗浄コストの低減を図ることができる。
【００１１】
本発明の洗浄装置において、前記回収・移送手段は、２番目以降に位置する洗浄槽から洗浄溶媒を引き抜いて、その一部又は全部である所定量［ｑ］を回収すると共に、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を最上流に位置する１番目の洗浄槽に移送することが好ましい。
【００１２】
本発明の洗浄装置において、前記再生手段が、有機物吸着装置及びイオン交換装置の一方又は両方を備えることが好ましい。この発明によれば、有機物吸着装置及びイオン交換装置の一方又は両方を、汚染物質の濃度が低い洗浄溶媒の再生処理として適用するので、有機物吸着装置やイオン交換装置への負荷が少なく、交換頻度やメンテナンス頻度を少なくすることができる。その結果、トータルとしてみたときの洗浄コストの低減が可能となる。
【００１３】
本発明の洗浄装置において、前記排水手段から排水された洗浄溶媒を処理する排水処理手段をさらに備えることが好ましい。このとき、その排水処理手段としては、汚染物質を凝集し沈殿させる装置、汚染物質を生物分解し沈殿させる装置、又は汚染物質を化学的に分解する装置であることが好ましい。この発明によれば、汚染物質の濃度が高い洗浄溶媒の再生処理には、専用の排水処理手段を適用することができる。例えば汚染物質を凝集し沈殿させる装置等、前記した簡便な処理装置の適用が可能となり、トータルとしてみたときの洗浄コストを低減できる。
【００１４】
上記課題を解決するための本発明の洗浄装置は、被洗浄物の移動方向の上流側から下流側に向かってＮ個（Ｎは２以上）の洗浄槽が連続して設けられ、Ｎ個目の洗浄槽に一定量［Ｑ］の洗浄溶媒が供給され、且つ前記被洗浄物の移動方向の下流側から上流側に向かって前記洗浄溶媒がオーバーフロー又はポンプ輸送により順次供給されると共に、前記各洗浄槽で前記被洗浄物が順次洗浄される多段向流式の洗浄装置を使用する洗浄方法であって、２番目以降に位置する洗浄槽のいずれか１槽又は複数槽から洗浄溶媒を引き抜いて、その一部又は全部である所定量［ｑ］を回収すると共に、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を最上流に位置する１番目の洗浄槽に移送し、回収された前記所定量［ｑ］の洗浄溶媒を再生して最下流に位置するＮ番目の洗浄槽に移送し、前記再生された所定量［ｑ］の洗浄溶媒に補給用の洗浄溶媒を所定量［Ｑ−ｑ］加えることによって前記一定量［Ｑ］の洗浄溶媒とし、当該一定量［Ｑ］の洗浄溶媒を前記Ｎ番目の洗浄槽に供給し、前記１番目の洗浄槽から所定量［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を排水することを特徴とする。
【００１５】
本発明の洗浄方法において、前記排水された洗浄溶媒を排水処理する方法が、当該洗浄溶媒に含まれる汚染物質を凝集し沈殿させる方法、当該洗浄溶媒に含まれる汚染物質を生物分解し沈殿させる方法、又は当該洗浄溶媒に含まれる汚染物質を化学的に分解させる方法であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明の洗浄装置及びそれを用いた洗浄方法によれば、汚染物質の濃度が高い洗浄溶媒の処理と、汚染物質の濃度が低い洗浄溶媒の処理とを別々に行うことができ、その結果、汚染物質の濃度が低い洗浄溶媒の回収処理には、流量が多くても比較的安価で簡単な再生手段を適用することができる。一方、汚染物質の濃度が高い洗浄溶媒の処理には、その濃度を極力低くすると共に水量を低減する安価で簡便な処理手段を適用することができる。こうした処理手段の区分けは、汚染物質の濃度に見合った処理を行うことができ、トータルとしての洗浄コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の洗浄装置及び洗浄方法について、図面を参照しつつ詳しく説明する。
【００１８】
図１は、本発明の洗浄装置の一例を示す概略構成図である。図２は、本発明の洗浄装置を構成する再生手段の一実施形態を示す構成図（Ａ）、及び、本発明の洗浄装置を構成する排水手段の一実施形態を示す構成図（Ｂ）である。
【００１９】
本発明の洗浄装置１は、図１に示すように、被洗浄物３の移動方向３０の上流側Ｘから下流側Ｙに向かってＮ個（Ｎは２以上である。図１では４個）の洗浄槽が連続して設けられ、Ｎ個目の洗浄槽に一定量［Ｑ］の洗浄溶媒が供給され、且つその被洗浄物３の移動方向３０の下流側Ｙから上流側Ｘに向かって洗浄溶媒がオーバーフロー又はポンプ輸送により順次供給されると共に、各洗浄槽で被洗浄物３が順次洗浄される多段向流式（いわゆるカスケード式）の洗浄装置である。以下、本発明の洗浄装置について、各構成毎に詳しく説明する。
【００２０】
洗浄槽は、処理槽２で処理された被洗浄物３を順次洗浄するための槽であり、被洗浄物３の移動方向３０の上流側Ｘから下流側Ｙに向かってＮ個（Ｎは２以上）の洗浄槽が連続して設けられている。例えば図１に示す洗浄装置１おいては、第１洗浄槽４、第２洗浄槽５、第３洗浄槽６、第４洗浄槽７の順で４個の洗浄槽が連結されている。被洗浄物３はこうした洗浄槽中で順次洗浄されるので、最も上流側Ｘに配置された第１洗浄槽４は汚染物質の濃度が最も高く、最も下流側Ｙに配置された第４洗浄槽７は汚染物質の濃度が最も低くなっている。
【００２１】
各洗浄槽は、上流側Ｘから下流側Ｙに向かってその液面位置が徐々に高くなるように設計されている。こうした構成により、一つ下流側Ｙの洗浄槽から上流側Ｘの洗浄槽にオーバーフローした洗浄溶媒が流れ落ちる。また、下流側Ｙの洗浄槽から上流側Ｘの洗浄槽への洗浄溶媒の供給を、オーバーフローの代わりにポンプ輸送により行ってもよい。ポンプ輸送による場合は、各洗浄槽の液面位置は特に制限されず、各槽の液面が一定であってもよいし、オーパーフローを併用可能なように液面位置が徐々に高くなるように設計されているものであってもよい。なお、洗浄溶媒が投入される各洗浄槽の容量は特に限定されず、各槽の容量が同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００２２】
各洗浄槽には、図１の第３洗浄槽６に示すような循環ラインを設けることが好ましい。こうした循環ラインは各洗浄槽中での洗浄溶媒の流れを強くするように作用するので、浸漬された被洗浄物３を効率的に洗浄することができるという利点がある。その結果、供給される洗浄溶媒の量が少なくても、効率的な洗浄を行うことができ、洗浄コストの低減に寄与することができる。こうした循環ラインは、他の洗浄槽にも設けてもよいことは勿論である。
【００２３】
循環ラインの形態は特に限定されないが、図１に示すように、吸引側配管１４と循環ポンプ１５と供給側配管１６とからなるラインを例示できる。吸引側配管１４や供給側配管１６の取付位置、管径、管長さ等についても特に限定されず、洗浄効率を上げるという観点から任意に設計される。また、循環ライン内には循環槽１７が設けられていてもよく、その場合には吸引側配管１４の途中、すなわち吸引側配管１４と循環ポンプ１５との間に設けられていることが好ましい。
【００２４】
なお、本発明の洗浄装置１の上流側Ｘに配置される処理槽２は、めっき処理、現像処理、エッチング処理等の表面処理のように、例えば金属やガラス等の素材又は部品等からなる被洗浄物３を処理するための槽であり、その処理の種類や処理液等は特に限定されるものではない。したがって、本発明の洗浄装置１は、種々の処理槽の下流側Ｙに設けることができる。
【００２５】
洗浄溶媒８としては、被洗浄物３を洗浄することができる各種の溶媒を挙げることができる。例えば、純水、界面活性剤入りの洗浄水、無機イオンを含有する洗浄水、アルコールその他の有機溶媒、オゾンや酸素ガスが溶解した機能水、等の各種の洗浄溶媒を挙げることができる。なお、この洗浄溶媒の役割として、処理槽２中の化学物質を洗浄によって被洗浄物３表面から除去する作用を有するものであってもよいし、処理槽２中での化学反応を停止させる作用を有するものであってもよく、そうした作用に応じた洗浄溶媒を任意に選択することができる。
【００２６】
こうした洗浄溶媒８は、図１に示すように、最も下流側Ｙの第４洗浄槽７に一定量［Ｑ］供給される。供給される一定量［Ｑ］は、多段向流式（カスケード式）の洗浄装置に供給される洗浄溶媒の単位時間当たりの量（すなわち「１倍容量」）のことであり、以下においては、「１Ｑ」と表す。洗浄溶媒８は、供給手段である供給装置９から供給される。供給装置９としては、純水装置、超純水装置等を例示できる。
【００２７】
次に、本発明の洗浄装置の特徴部分について説明する。
【００２８】
本発明の洗浄装置は、２番目以降に位置する洗浄槽のいずれか１槽又は複数槽から洗浄溶媒を引き抜いて、その一部又は全部である所定量［ｑ］を回収すると共に、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を最上流に位置する１番目の洗浄槽に移送する回収・移送手段と、回収された所定量［ｑ］の洗浄溶媒を再生して最下流に位置するＮ番目の洗浄槽に送る再生手段と、再生された所定量［ｑ］の洗浄溶媒に補給用の洗浄溶媒を所定量［Ｑ−ｑ］加えることによって一定量［Ｑ］の洗浄溶媒とし、その一定量［Ｑ］の洗浄溶媒をＮ番目の洗浄槽に供給する供給手段と、１番目の洗浄槽から所定量［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を排水する排水手段とを備えることに特徴がある。
【００２９】
具体的な洗浄装置の一実施形態としては、図１に示すように、第１洗浄槽４、第２洗浄槽５、第３洗浄槽６、第４洗浄槽７の順で４個の洗浄槽が連結されている洗浄装置１を例示できる。
【００３０】
こうした洗浄装置１において、最初に、供給装置９から最も下流側Ｙの第４洗浄槽７に１Ｑ（１倍容量を意味する。）の洗浄溶媒８が供給される。この第４洗浄槽７は第３洗浄槽６のような循環ラインを備えていてもよいが、図１に示す洗浄装置１では第４洗浄槽７は最終洗浄槽であることから、そうした循環ラインを備えていなくてもよい。
【００３１】
次に、第４洗浄槽７から第３洗浄槽６に１Ｑ（１倍容量）の洗浄溶媒がオーバーフローにより供給される。この第３洗浄槽６は、上流側Ｘから３番目に位置する洗浄槽であり、上述したように、吸引側配管１４と循環ポンプ１５と供給側配管１６とからなる循環ラインを備えている。この循環ラインの単位時間当たりの循環量は、オーバーフローにより供給される供給溶媒の数倍とすることが好ましい。その循環量を例えば５Ｑ（５倍容量）とすることにより、洗浄効率を向上させることができる。
【００３２】
次に、第３洗浄槽６から第２洗浄槽５に１Ｑ（１倍容量）の洗浄溶媒がオーバーフローにより供給される。この第２洗浄槽５は、上流側Ｘから２番目に位置する洗浄槽であり、第３洗浄槽６と同様に、吸引側配管１４と循環ポンプ１５と供給側配管１６とからなる循環ラインを備え、さらに循環槽１７も備えている。なお、循環槽１７の設置は任意である。
【００３３】
この循環ラインはその供給側配管１６の途中に分岐点Ｓ１を有し、その分岐点Ｓ１から分岐する第１配管１８と、第１洗浄槽４が備える循環ラインに合流する第２配管１９と、後述する再生装置２１に送る第３配管２０とで構成された回収・移送手段が循環ラインに連結して設けられている。なお、第２配管１９と第３配管２０とは分岐点Ｓ２で分岐され、その分岐点Ｓ２には、第１配管１８によって引き抜かれた洗浄溶媒を所定の割合に分配する分岐手段が設けられている。なお、供給側配管１６の途中の分岐点Ｓ１に設けられる分岐手段、及び、第２配管１９と第３配管２０との分岐点Ｓ２に設けられる分岐手段は、例えば流量調節可能な三方弁等を挙げることができ、具体的には流量計を配管途中に設けてその流量を確認しながら流量調整する三方弁等を挙げることができる。
【００３４】
洗浄溶媒はこうした配管系により、以下に示す経路で移送される。
【００３５】
先ず、第２洗浄槽５から例えば６Ｑ（６倍容量）の洗浄溶媒が吸引側配管１４によって循環ラインに入る。６Ｑ（６倍容量）の洗浄溶媒は分岐点Ｓ１で分岐され、５Ｑ（５倍容量）の洗浄溶媒が第２洗浄槽５に戻る供給側配管１６に流れ、１Ｑ（１倍容量）の洗浄溶媒が回収・移送手段の第１配管１８に流れる。このとき、第２洗浄槽５に戻る洗浄溶媒は５Ｑ（５倍容量）であり、第３洗浄槽６が備えた循環ラインの循環量と同量としているので、上記の第３洗浄槽６の場合と同様に、洗浄効率を向上させることができる。
【００３６】
回収・移送手段の第１配管１８に流れる１Ｑ（１倍容量）の洗浄溶媒は、分岐点Ｓ２の分岐手段で分岐される。この分岐手段により、１Ｑ（１倍容量）の洗浄溶媒の一部である所定量［ｑ］として例えば０．７Ｑ（０．７倍容量）の洗浄溶媒が、第３配管２０を経由して再生装置２１に移送される。一方、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒である０．３Ｑ（０．３倍容量）の洗浄溶媒は、第２配管１９を経由して最上流に位置する第１洗浄槽４に移送される。
【００３７】
第２洗浄槽５中の洗浄溶媒は、第１洗浄槽４中の洗浄溶媒と比較すると、汚染度合いがはるかに低い。この第２洗浄槽５中の洗浄溶媒を回収して再生装置２１に移送することにより、連設された再生装置２１の負荷を減らすことができる。従って、第２洗浄槽５中の洗浄溶媒が移送される再生装置２１は、図２（Ａ）に示すように、活性炭塔等の有機物吸着装置、及び、イオン交換樹脂塔等のイオン交換装置の一方又は両方を備える比較的安価で簡便な再生処理装置とすることができるという利点がある。さらに、再生装置２１の交換やメンテナンスの頻度を減らすことができ、洗浄コストを削減することが可能となる。
【００３８】
再生装置２１で処理された例えば０．７Ｑ（０．７倍容量）の洗浄溶媒は、第４配管２２を経由して洗浄溶媒８の供給手段である供給装置９に移送される。この供給装置９から第４洗浄槽７には１Ｑ（１倍容量）の洗浄溶媒８が供給されるので、不足する０．３Ｑ（０．３倍容量）分として、新しい補給用の洗浄溶媒１０が供給装置９に供給される。なお、図１中の符号２４は、第４配管２２途中に設けられている循環ポンプを示している。
【００３９】
第１洗浄槽４は、上述した他の洗浄槽と同様に、吸引側配管１４と循環ポンプ１５と供給側配管１６とからなる循環ラインを備え、循環槽１７も任意の槽として備えている。第１洗浄槽４が備える循環ラインの単位時間当たりの循環量は、他の各洗浄槽と同様に、その循環量を例えば５Ｑ（５倍容量）とすることにより、洗浄効率を向上させることができる。
【００４０】
第２洗浄槽５から第２配管１９を経由して第１洗浄槽４の循環ラインと合流する洗浄溶媒は、上記の例では０．３Ｑ（０．３倍容量）であるので、循環ラインの供給側配管１６では５．３Ｑ（５．３倍容量）の洗浄溶媒が通過し、第１洗浄槽４に供給される。なお、上記の合流は、図１に示すように循環槽１７で行ってもよいし、循環ラインの吸引側配管１４に直接連結して行ってもよい（図示しない）。
【００４１】
このように、本発明の洗浄装置１において、第２洗浄槽５から第１洗浄槽４への洗浄溶媒の供給は、循環ラインを利用したポンプ輸送により行われるものであってもよいし、後述の図３に示すようなオーバーフローにより行われるものであってもよい。そして、第１洗浄槽４への洗浄溶媒の供給量は、上記の例では０．３Ｑ（０．３倍容量）であるので、第１洗浄槽４の排水手段である排水口２３からは０．３Ｑ（０．３倍容量）の洗浄溶媒が排水されることになる。
【００４２】
こうして排水される洗浄溶媒は、汚染物質の濃度が高い。そして、その洗浄溶媒は、排水配管１１を経て排水手段である排水処理装置１２に移送される。排水処理装置１２としては、濃度の高い汚染物質を処理することができる装置であればよく、処理槽２から汲み出されて第１洗浄槽４に持ち込まれる汚染物質の種類に応じて任意に選択される。例えば、汚染物質を凝集し沈殿させる装置、汚染物質を生物分解し沈殿させる装置、又は汚染物質を化学的に分解する装置等を挙げることができる。一例として、処理槽２がめっき処理槽である場合には、めっき処理槽中の金属イオン等を凝集し沈殿することができる装置であることが好ましい。こうして処理された例えば０．３Ｑ（０．３倍容量）の洗浄溶媒は、廃棄配管１３を通って廃棄される。
【００４３】
図３は、本発明の洗浄装置の他の一例を示す概略構成図である。この洗浄装置３１は、図１に示した洗浄装置１とは以下の点で相違するがそれ以外は同じ形態からなるのもである。以下においては、相違点のみについて説明する。
【００４４】
図３に示す洗浄装置３１は、第２洗浄槽５から引き抜いた洗浄溶媒の全部である所定量［ｑ］を回収し、回収した洗浄溶媒を再生装置２１に移送することに特徴がある。図１の洗浄装置１の場合と類似する態様で説明すれば、第２洗浄槽５から例えば５．７Ｑ（５．７倍容量）の洗浄溶媒が吸引側配管１４によって循環ラインに入る。５．７Ｑ（５．７倍容量）の洗浄溶媒は分岐点Ｓ１で分岐され、５Ｑ（５倍容量）の洗浄溶媒が第２洗浄槽５に戻る供給側配管１６に流れ、０．７Ｑ（０．７倍容量）の洗浄溶媒が回収・移送手段の第１配管１８に流れる。
【００４５】
第１配管１８に流れる０．７Ｑ（０．７倍容量）の洗浄溶媒は、その全部である所定量［ｑ］（すなわち０．７Ｑ（０．７倍容量））が再生装置２１に移送される。第２洗浄槽５中の洗浄溶媒は、第１洗浄槽４中の洗浄溶媒と比較すると汚染度合いがはるかに低いので、第２洗浄槽５中の洗浄溶媒を回収して再生装置２１に移送することにより、連設された再生装置２１の負荷を減らすことができる。
【００４６】
第２洗浄槽５から第１洗浄槽４への洗浄溶媒の供給は、図１に示す洗浄装置１と異なり、オーバーフローにより行われ、第２洗浄槽５は、その液面が第１洗浄槽４の液面よりも高くなるように設計されている。オーバーフローする洗浄溶媒の量は、各洗浄槽に順次供給される所定量［Ｑ］である１Ｑ（１倍容量）から上記０．７Ｑ（０．７倍容量）の所定量［ｑ］を差し引いた残り［Ｑ−ｑ］となり、この［Ｑ−ｑ］に相当する量の洗浄溶媒（例えば０．３Ｑ（０．３倍容量）の洗浄溶媒）が、第１洗浄槽４にオーバーフローにより供給される。
【００４７】
第１洗浄槽４からは、図１の洗浄装置１と同様、０．３Ｑ（０．３倍容量）の洗浄溶媒が排水口２３から排水される。こうして排水される洗浄溶媒は、図１の洗浄装置１と同様、排水配管１１を経て排水手段である排水処理装置１２に移送され、処理後に廃棄配管１３を通って廃棄される。
【００４８】
以上説明したように、本発明の洗浄装置及びそれを用いた洗浄方法によれば、汚染物質の濃度が高い洗浄溶媒の処理と、汚染物質の濃度が低い洗浄溶媒の処理とを別々に行うことができる。さらに、汚染物質の濃度の高い洗浄溶媒の処理量を少なくすることもできる。その結果、汚染物質の濃度が低い洗浄溶媒の処理には、比較的簡単な再生処理装置を適用することができ、一方、汚染物質の濃度の高い洗浄溶媒の処理においては、凝集・沈殿処理等のように、その濃度を極力低くすると共に水量を低減する安価で簡便な処理手段を適用することができる。こうした処理手段の区分けは、汚染物質の濃度に見合った処理を行うことができ、トータルとしての洗浄コストの低減を図ることができる。
【００４９】
なお、本発明の洗浄装置及び洗浄方法においては、各洗浄槽に、洗浄溶媒の品質を管理する計測機器を設置しても構わない。計測機器としては、例えばｐＨメータや電気伝導度計等の各種の計測機器を設けることができる。こうした計測機器を設けることにより、例えば順次各洗浄槽に供給される洗浄溶媒８の量（上記の例では１Ｑ（１倍容量）＝［Ｑ］）を設定又は変更したり、第１洗浄槽４への供給量（上記の例では０．３Ｑ（０．３倍容量）＝［Ｑ−ｑ］）を設定又は変更したりする際の参考となる。特に、最も汚染物質の濃度が高くなる第１洗浄槽４に設けることにより、汚染物質の限界濃度を管理することができ、第１洗浄槽４への供給量を設定又は変更したりする際に便利である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の洗浄装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明の洗浄装置を構成する再生手段の一実施形態を示す構成図（Ａ）、及び、本発明の洗浄装置を構成する排水手段の一実施形態を示す構成図（Ｂ）である。
【図３】本発明の洗浄装置の他の一例を示す概略構成図である。
【図４】従来の洗浄装置の一例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００５１】
１、３１  洗浄装置
２  処理槽
３  被洗浄物
４  第１洗浄槽
５  第２洗浄槽
６  第３洗浄槽
７  第４洗浄槽
８  洗浄溶媒
９  供給装置
１０  補給用の洗浄溶媒
１１  排水配管
１２  排水処理装置
１３  廃棄配管
１４  吸引側配管
１５  循環ポンプ
１６  供給側配管
１７  循環槽
１８  第１配管
１９  第２配管
２０  第３配管
２１  再生処理装置
２２  第４配管
２３  排水口
２４  循環ポンプ
３０  被洗浄物の移動方向
Ｓ１，Ｓ２  分岐点
Ｘ  上流側
Ｙ  下流側
【図１】
2006095346.tif 000003
【図２】
2006095346.tif 000004
【図３】
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【図４】
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