(57)【要約】【課題】  空間コヒーレンスが低くエネルギー安定性の高い半導体露光装置用に適したＭＯＰＯ方式の２ステージレーザシステム。【解決手段】  発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザ３００とからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ３００共にレーザガスが充填されたチャンバ３０を備えており、増幅段レーザ３０が、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極３０ａ、３０ｂとを備えている２ステージレーザシステムにおいて、増幅段レーザ３００のファブリペローエタロン型安定共振器を構成するリアミラー３６とフロントミラー３７の少なくとも一方が、少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有する。【選択図】        図６
2006203008.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザとからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバを備えており、増幅段レーザが、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極とを備えている２ステージレーザシステムにおいて、
前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器を構成するリアミラーとフロントミラーの少なくとも一方が、少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有することを特徴とする２ステージレーザシステム。
【請求項２】
前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器を構成するリアミラーとフロントミラーの一方が少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有し、前記共振器の共振器長をＬ、正屈折力を有するミラーのその方向での曲率半径が、
０．００１＜Ｌ／（曲率半径）＜０．７７
を満足することを特徴とする請求項１記載の２ステージレーザシステム。
【請求項３】
次の式を満足することを特徴とする請求項２記載の２ステージレーザシステム。
０．００１＜Ｌ／（曲率半径）＜０．２０
【請求項４】
次の式を満足することを特徴とする請求項２記載の２ステージレーザシステム。
０．００１＜Ｌ／（曲率半径）＜０．０３
【請求項５】
発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザとからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバを備えており、増幅段レーザが、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極とを備えている２ステージレーザシステムにおいて、
前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器中に、少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有する透過型光学素子が配置されていることを特徴とする２ステージレーザシステム。
【請求項６】
発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザとからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバを備えており、増幅段レーザが、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極とを備えている２ステージレーザシステムにおいて、
前記発振段レーザから前記増幅段レーザへシード光を入力させる光路中に、前記増幅段レーザの少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有する光学素子が配置されていることを特徴とする２ステージレーザシステム。
【請求項７】
前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器の共振器長をＬとするとき、前記光学素子の正屈折力を有する方向での屈折力が、
０＜（屈折力）・Ｌ＜０．１８                                  ・・・（９）
を満足することを特徴とする請求項６記載の２ステージレーザシステム。
【請求項８】
発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザとからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバを備えており、増幅段レーザが、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極とを備えている２ステージレーザシステムにおいて、
前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器中、又は、前記増幅段レーザの出力側に、少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方においてビーム径を制限するスリット部材が配置されていることを特徴とする２ステージレーザシステム。
【請求項９】
前記発振段レーザの発振レーザ光の横モードが多モードであり、前記増幅段レーザはその多モードのレーザ光を多モードのまま増幅することを特徴とする請求項１から８の何れか１項記載の２ステージレーザシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２ステージレーザシステムに関し、特に、出力ばらつきを大幅に改善することが可能な２ステージレーザシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体露光用のエキシマレーザ、フッ素分子レーザにおいては、露光機のスループット向上及び均一な超微細加工実現のため、高出力化と超狭帯域化が同時に要求され続けている。
【０００３】
第１の要請である高出力化のためには、１パルス当たりのエネルギーを増加させる方法、あるいは、低パルスエネルギーだが繰り返し周波数を増加させる方法がある。
【０００４】
第２の要請である超狭帯域化は、通常プリズムとグレーティングで構成される狭帯域化モジュール（ＬＮＭ）の高分解能化や、特許文献１に記載されたようなレーザパルスのロングパルス化等による方法がある。しかしながら、ＬＮＭの高分解能化やロングパルス化による超狭帯域化は、一般的に光学的ロスを増加させる等、パルスエネルギー低下を招く。つまり、狭帯域化とパルスエネルギーはトレードオフの関係にある。
【０００５】
繰り返し周波数増加に関しても、４ｋＨｚを超える繰り返し周波数は技術的ハードルが高い。そのため、１台のレーザにおいて超狭帯域化を維持したまま繰り返し周波数増加によって高出力化するには、自ずと限界がある。
【０００６】
そこで、超狭帯域化とパルスエネルギーとのトレードオフ関係をなくし、両要請を同時に満足させるため、２台のレーザを用いた同期レーザシステム（２ステージレーザシステム）が、例えば特許文献２等で提案されている。１台目の発振段レーザは低パルスエネルギーながら超狭帯域化スペクトルを持つ。２台目の増幅段レーザにおいて、発振段レーザの超狭帯域化スペクトルを維持したままパルスエネルギーのみ増幅する。この方式は、２台目の増幅段レーザにＬＮＭ等の光学的ロス部を含まないため、非常にレーザ発振効率が高い。この同期レーザシステムにより所望の超狭帯域化スペクトル、出力を得ることが可能となる。所望の出力はパルスエネルギーと繰り返し周波数の積となり、例えば次世代ＡｒＦエキシマレーザに要求されるスペクトル及び出力は、＜０．２５ｐｍ（ＦＷＨＭ）、＞４０Ｗ＠４ｋＨｚである。露光光学系のダメージを低減するため、レーザパルスとしては光学系に与えるダメージ低減のため低ピークパワーが望ましくロングパルス化が、高出力化の要請により高繰り返し化が求められる。
【０００７】
露光過程において、歩留まりの高い良好な加工を行うためには、レジストに照射されるパルスエネルギー積算値を高精度に安定化させる必要がある。レーザシステムにおいては、上記積算エネルギーを目標範囲内とするために、前パルスまでの積算エネルギーと目標積算エネルギーの差に応じて次のパルスの充電電圧ＨＶを決定し、一定の積算値が得られるように制御を行っている。
【０００８】
２ステージレーザシステムにおけるエネルギー制御方法を示したものとして、特願２００４−２０３５４９号の出願がある。
【０００９】
ここで、制御性を高めるためには、充電電圧ＨＶ一定のときのレーザ出力のエネルギー安定性が高い程望ましい。
【００１０】
後記する本発明は、一般的に、レーザ装置及びそれを用いた露光装置に関するもので、ＡｒＦ、Ｆ2 （フッ素分子）、ＫｒＦ等をレーザ媒質として用いたレーザ装置及びそれを用いた露光装置に関するが、レーザ装置は２台以上のレーザから構成されたレーザシステムに適用される。その内の１台は発振段レーザ、そして残りの１台以上のレーザは増幅段レーザとして機能する。この発振段レーザは、狭帯域化共振器を搭載する狭帯域化レーザである。増幅段レーザが共振器を有する場合（インジェクション・ロック・レーザ（injection Locked laser）と呼ばれる。あるいは、ＭＯＰＯ（Master Oscillator Power Oscillator）方式と呼ばれる。）に対して、後記する本発明を適用することが可能である。
【特許文献１】特開２０００−１５６３６７号公報
【特許文献２】特開２００２−１５１７７６号公報
【特許文献３】ＷＯ２００４／０９５６６１  Ａ１
【特許文献４】特開平４−１０１４７４号公報
【特許文献５】特開２００１−１１１１４２号公報
【特許文献６】特開平２−１３０９９０号公報
【特許文献７】特開２００３−２２４３２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
さて、図１に、後記の本発明を適用する１実施形態に係るレーザシステムの構成図を示す。また、図２（ａ）は発振用チャンバ及びその近傍の構成図であり、図２（ｂ）は増幅用チャンバ及びその近傍の構成図である。図１ではＭＯＰＯ方式の２ステージレーザ装置を示している。
【００１２】
２ステージレーザ装置２においては、発振段レーザ（osc ）１００でシード光（種レーザ光）が生成され狭帯域化される。そして、増幅段レーザ（amp ）３００でそのシード光が増幅される（以後、“osc ”、“amp ”の付加された記号は、それぞれ発振段レーザ１００、増幅段レーザ３００に関するものであることを表す。）。すなわち、発振段レーザ１００から出力されるレーザ光のスペクトル特性によってレーザシステム全体のスペクトル特性が決定され、増幅段レーザ３００によってレーザシステム自体のレーザ出力（エネルギ又はパワー）が決定される。増幅段レーザ３００から出力されるレーザ光は露光装置３に入力され、このレーザ光は露光対象（例えばウエハ）の露光に用いられる。
【００１３】
発振段レーザ１００は、発振用チャンバ１０と、充電器１１と、発振用高電圧パルス発生器１２と、ガス供給・排気ユニット１４と、冷却水供給ユニット１５と、ＬＮＭ１６と、フロントミラー１７と、第１モニタモジュール１９と、放電検出部２０とで構成される。
【００１４】
増幅段レーザ３００は、増幅用チャンバ３０と、充電器３１と、増幅用高電圧パルス発生器３２と、ガス供給・排気ユニット３４と、冷却水供給ユニット３５と、リアミラー３６と、出力ミラー（フロントミラー）３７と、第２モニタモジュール３９とで構成される。
【００１５】
ここで、発振段レーザ１００と増幅段レーザ３００について説明するが、その構成は同一の部分があるため、その部分に関しては発振段レーザ１００を代表して説明する。
【００１６】
発振用チャンバ１０の内部には、所定距離だけ離隔し、互いの長手方向が平行であってかつ放電面が対向する一対の電極（カソード電極及びアノード電極）１０ａ、１０ｂが設けられる。これらの電極１０ａ、１０ｂには、充電器１１と発振用高電圧パルス発生器１２とで構成された電源によって高電圧パルスが印加される。すると、電極１０ａ、１０ｂ間で放電が生じ、この放電によって発振用チャンバ１０内に封入されたレーザガスが励起される。この電源の１例を図３に示す。
【００１７】
図３は、電源及びチャンバ内部の回路構成の１例を示す図である。
【００１８】
図３（ａ）に示す発振用高電圧パルス発生器１２は、可飽和リアクトルからなる３個の磁気スイッチＳＲ1 、ＳＲ2 、ＳＲ3 を用いた２段の磁気パルス圧縮回路である。磁気スイッチＳＲ1 は固体スイッチＳＷでのスイッチングロスを低減するために設けられたものであり、磁気アシストとも呼ばれる。例えば、この固体スイッチＳＷには、ＩＧＢＴ等の半導体スイッチング素子が用いられる。なお、図３（ａ）の回路を用いる代わりに、図３（ｂ）の回路を用いてもよい。図３（ａ）は、磁気パルス圧縮回路に加え昇圧トランスＴｒ1 を含む回路であり、図３（ｂ）は昇圧トランスの代わりに主コンデンサＣ0 の充電用のリアクトルＬ1 を含む例である。
【００１９】
以下に、図３（ａ）に従って、回路の構成と動作を説明する。なお、図３（ｂ）の回路は昇圧トランスにより昇圧される動作がないだけで、他の動作は図３（ａ）の回路と同様なので、説明を省略する。また、発振段レーザ１００の電源と増幅段レーザ３００の電源の構成及び動作は同じであるため、増幅段レーザ３００の電源の説明を省略する。
【００２０】
充電器１１の電圧は所定の値ＨＶに調整され、主コンデンサＣ0 が充電される。このとき、固体スイッチＳＷはオフになっている。主コンデンサＣ0 の充電が完了し、固体スイッチＳＷがオンとなったとき、固体スイッチＳＷの両端にかかる電圧は主に磁気スイッチＳＲ1 の両端にかかる。磁気スイッチＳＲ1 の両端にかかる主コンデンサＣ0 の充電電圧Ｖ0 の時間積分値が磁気スイッチＳＲ1 の特性で決まる限界値に達すると、磁気スイッチＳＲ1 が飽和して導通状態となる。すると、主コンデンサＣ0 、磁気スイッチＳＲ1 、昇圧トランスＴｒ1 の１次側、固体スイッチＳＷのループに電流が流れる。同時に、昇圧トランスＴｒ1 の２次側、コンデンサＣ1 のループに電流が流れ、主コンデンサＣ0 に蓄えられた電荷がコンデンサＣ1 に移行し、コンデンサＣ1 が充電される。
【００２１】
コンデンサＣ1 における電圧Ｖ1 の時間積分値が磁気スイッチＳＲ2 の特性で決まる限界値に達すると、磁気スイッチＳＲ2 が飽和して導通状態となる。すると、コンデンサＣ1 、コンデンサＣ2 、磁気スイッチＳＲ3 のループに電流が流れ、コンデンサＣ1 に蓄えられた電荷がコンデンサＣ2 に移行し、コンデンサＣ2 が充電される。
【００２２】
コンデンサＣ2 における電圧Ｖ2 の時間積分値が磁気スイッチＳＲ３の特性で決まる限界値に達すると、磁気スイッチＳＲ3 が飽和して導通状態となる。すると、コンデンサＣ2 、ピーキングコンデンサＣp 、磁気スイッチＳＲ3 のループに電流が流れ、コンデンサＣ2 に蓄えられた電荷がピーキングコンデンサＣp に移行し、ピーキングコンデンサＣp が充電される。
【００２３】
図３（ａ）に示すように、発振用チャンバ１０内には、第１電極９１と、誘電体チューブ９２と、第２電極９３とからなる予備電離手段が設けられている。予備電離のためのコロナ放電は、第１電極９１が挿入されている誘電体チューブ９２と第２電極９３とが接触している個所を基点として誘電体チューブ９２の外周面に発生する。ピーキングコンデンサＣp の充電が進むにつれてその電圧Ｖp が上昇し、電圧Ｖp が所定の電圧になると誘電体チューブ９２の外周面にコロナ放電が発生する。このコロナ放電によって誘電体チューブ９２の外周に紫外線が発生し、一対の電極１０ａ、１０ｂ間のレーザガスが予備電離される。
【００２４】
ピーキングコンデンサＣp の充電がさらに進むにつれて、ピーキングコンデンサＣp の電圧Ｖp が上昇する。この電圧Ｖp がある値（ブレークダウン電圧）Ｖb に達すると、一対の電極１０ａ、１０ｂ間のレーザガスが絶縁破壊されて主放電が開始される。この主放電によりレーザ媒質が励起される。そして、発振段レーザ１００の場合はシード光が発生し、増幅段レーザ３００（若しくは増幅器）の場合は注入されたシード光が増幅される。主放電によりピーキングコンデンサＣp の電圧は急速に低下し、やがて充電開始前の状態に戻る。
【００２５】
固体スイッチＳＷのスイッチング動作によってこのような放電動作が繰り返し行われることで、パルスレーザ発振が行われる。固体スイッチＳＷのスイッチング動作は、外部からのトリガ信号に基づき行われる。このトリガ信号を送出する外部コントローラは、例えば後述する同期コントローラ８である。
【００２６】
本実施形態では、磁気スイッチＳＲ2 、ＳＲ3 及びコンデンサＣ1 、Ｃ2 で２段の容量移行型回路が構成されている。容量移行型回路では、後段に行くにつれて各段のインダクタンスを小さくするように設定すれば、各段を流れる電流パルスのパルス幅が順次狭くなるようなパルス圧縮動作が実現される。結果として、一対の電極１０ａ、１０ｂ間、一対の電極３０ａ、３０ｂ間に短パルスの強い放電が実現される。
【００２７】
ここで図１に戻り、他の構成の説明をする。  
【００２８】
発振用チャンバ１０の内部には、ガス供給・排気ユニット１４から供給されるレーザガスが封入される。ガス供給・排気ユニット１４には、発振用チャンバ１０内にレーザガスを供給するガス供給系と、発振用チャンバ１０内のレーザガスを排気するガス排気系とが設けられる。本レーザ装置がフッ素分子（Ｆ2 ）レーザとして使用される場合は、ガス供給・排気ユニット１４は、フッ素（Ｆ2 ）ガスと、ヘリウム（Ｈｅ）やネオン（Ｎｅ）等からなるバッファガスとを発振用チャンバ１０に供給する。また、本レーザ装置がＫｒＦエキシマレーザとして使用される場合は、ガス供給・排気ユニット１４は、クリプトン（Ｋｒ）ガス及びフッ素（Ｆ2 ）ガスと、ヘリウム（Ｈｅ）やネオン（Ｎｅ）等からなるバッファガスとを発振用チャンバ１０に供給する。また、本レーザ装置がＡｒＦエキシマレーザとして使用される場合は、ガス供給・排気ユニット１４は、アルゴン（Ａｒ）ガス及びフッ素（Ｆ2 ）ガスと、ヘリウム（Ｈｅ）やネオン（Ｎｅ）等からなるバッファガスとを発振用チャンバ１０に供給する。各ガスの供給及び排気は、ガス供給・排気ユニット１４の各バルブの開閉で制御される。
【００２９】
また、発振用チャンバ１０の内部には、クロスフローファン１０ｃが設けられる。クロスフローファン１０ｃによってレーザガスがチャンバ内で循環され、電極１０ａ、１０ｂ間に送り込まれる。
【００３０】
また、発振用チャンバ１０の内部には、熱交換器１０ｄが設けられる。熱交換器１０ｄは冷却水によって発振用チャンバ１０内の排熱を行う。冷却水は冷却水供給ユニット１５から供給される。冷却水の供給は、冷却水供給ユニット１５のバルブの開閉で制御される。
【００３１】
図２（ａ）の発振用チャンバ１０において、レーザ光の光軸上であってレーザ光出力部分には、ウィンドウ１０ｅ、１０ｆが設けられる。ウィンドウ１０ｅ、１０ｆは、レーザ光に対して透過性がある材料、例えばＣａＦ2 等で形成される。両ウィンドウ１０ｅ、１０ｆは、外側の面が互いに平行に配置され、また、レーザ光に対して反射損失を低減すべくブリュースタ角で設置され、さらにレーザ光のＰ偏光方向が図２（ａ）の電極１０ａ、１０ｂ間の放電方向に直交する方向となるように設置される。
【００３２】
圧力センサＰl は、発振用チャンバ１０内のガス圧力をモニタしており、ガス圧力を示す信号をユーティリティコントローラ５に出力する。ユーティリティコントローラ５は、後述する処理に基づいて、ガス供給・排気ユニット１４に各バルブの開閉及びその開度（又は、ガス流量）を指示する信号を生成し出力する。すると、ガス供給・排気ユニット１４が各バルブの開閉を制御するため、発振用チャンバ１０内のガス組成やガス圧力が制御される。
【００３３】
レーザ出力はガス温度によって変化する。そこで、温度センサＴl は、発振用チャンバ１０内の温度をモニタしており、温度を示す信号をユーティリティコントローラ５に出力する。ユーティリティコントローラ５は発振用チャンバ１０内の所望温度にすべく、冷却水供給ユニット１５にバルブの開閉及びその開度（又は、冷却水流量）を指示する信号を生成し出力する。すると、冷却水供給ユニット１５がバルブの開閉を制御するため、発振用チャンバ１０内の熱交換器１０ｄに供給される冷却水の流量、すなわち排熱量が制御される。
【００３４】
発振用チャンバ１０の外部であり、ウィンドウ１０ｅ側のレーザ光の光軸上にはＬＮＭ１６が設けられ、ウィンドウ１０ｆ側のレーザ光の光軸上にはフロントミラー１７が設けられる。ＬＮＭ１６は、例えば拡大プリズムと波長選択素子であるグレーティング（回折格子）等の光学素子で構成される。また、ＬＮＭ１６は波長選択素子であるエタロンと全反射ミラー等の光学素子で構成される場合もある。このＬＮＭ１６内の光学素子とフロントミラー１７とでレーザ共振器が構成される。
【００３５】
第１モニタモジュール１９は、フロントミラー１７を透過したレーザ光のエネルギや出力線幅や中心波長等のレーザビーム特性をモニタする。第１モニタモジュール１９はレーザ光の中心波長を示す信号を生成し、この信号を波長コントローラ６に出力する。また、第１モニタモジュール１９はレーザ光のエネルギを測定し、このエネルギを示す信号をエネルギコントローラ７に出力する。
【００３６】
なお、増幅用チャンバ３０の電極３０ａ、３０ｂ、クロスフローファン３０ｃ、熱交換器３０ｄ、ウィンドウ３０ｅ、３０ｆの構成及び機能は、上述した発振用チャンバ１０の各部の構成及び機能と同じである。また、増幅段レーザ３００に設けられた充電器３１、増幅用高電圧パルス発生器３２、ガス供給・排気ユニット３４、冷却水供給ユニット３５、第２モニタモジュール３９、圧力センサＰ2 、温度センサＴ2 の構成及び機能は、上述した発振段レーザ１００側に設けられた同一要素の構成及び機能と同じである。
【００３７】
一方、増幅段レーザ３００には、発振段レーザ１００で設けられたＬＮＭ等からなる共振器に代わり、次に述べる安定共振器が設けられる。
【００３８】
すなわち、増幅用チャンバ３０の外部であり、ウィンドウ３０ｅ側のレーザ光の光軸上にはリアミラー３６が設けられ、ウィンドウ３０ｆ側のレーザ光の光軸上には出力ミラー３７が設けられる。リアミラー３６と出力ミラー３７とは、共にその反射面が平面から構成された安定共振器である。リアミラー３６の反射面には、反射率が５０％〜９５％程度の部分反射膜が蒸着されており、出力ミラー３７の反射面は反射率が１０％〜５０％の部分反射膜が蒸着されている。なお、ミラー内部での多重反射を防ぐために、それぞれのミラーの裏面にはＡＲコートが蒸着されており、さらには、多少（１０′〜１°) のエッジ角を持っていることが望ましい。
【００３９】
発振段レーザ１００のフロントミラー１７と増幅段レーザ３００のリアミラー３６との間には、反射ミラーを含むビーム伝搬部４２が設けられる。
【００４０】
フロントミラー１７を透過したレーザ光は、ビーム伝搬部４２によってリアミラー３６まで案内される。さらに、このレーザ光はリアミラー３６の部分反射膜を一部が透過して増幅用チャンバ３０内を通過し、出力ミラー３７の部分反射膜にて一部が反射される。出力ミラー３７で反射された一部のレーザ光は、増幅用チャンバ３０内を通過し、リアミラー３６の部分反射膜で一部が反射される。さらに、リアミラー３６で反射された一部のレーザ光は、増幅用チャンバ３０内を通過し、出力ミラー３７の部分反射膜を一部が透過して出力される。レーザ光が増幅用チャンバ３０の放電部、すなわち電極３０ａ、３０ｂ間を通過する際に放電が発生すると、レーザ光のパワーは増幅される。
【００４１】
図１に戻って、波長コントローラ６には、モニタモジュール１９、３９にて検出された波長に関しての信号が入力される。波長コントローラ６は、レーザ光の中心波長を所望の波長にすべく、ＬＮＭ１６内の波長選択素子（グレーティング、エタロン等）の選択波長を変化させる信号を生成し、この信号をドライバ２１に出力する。波長選択素子の選択波長は、例えば、波長選択素子へ入射するレーザ光の入射角を変化させることにより変化する。ドライバ２１は、受信した上記信号に基づき、波長選択素子へ入射するレーザ光の入射角が変化するように、ＬＮＭ１６内の光学素子（例えば、拡大プリズム、全反射ミラー、グレーティング等）の姿勢角等を制御する。
【００４２】
なお、波長選択素子の波長選択制御はこれに限られるものではない。例えば、波長選択素子がエアギャップエタロンの場合、ＬＮＭ１６内のエアギャップ内の気圧（窒素等）を制御してもよいし、ギャップ間隔を制御してもよい。
【００４３】
エネルギコントローラ７には、モニタモジュール１９、３９にて検出された出力に関しての出力信号が入力される。また、図１に示すように、露光装置３に出力モニタ５１を設け、その出力信号がエネルギコントローラ７に直接入力されるようにしてもよい。また、露光装置３の出力モニタ５１の出力信号を露光装置３のコントローラ５２に入力し、このコントローラ５２がレーザ内部に搭載されたエネルギコントローラ７に信号を送出するようにしてもよい。エネルギコントローラ７は、後述する処理に基づいて、パルスエネルギを所望の値にすべく、次回充電電圧Ｖosc 、Ｖamp を示す信号を生成し、この信号を同期コントローラ８に出力する。
【００４４】
同期コントローラ８には、エネルギコントローラ７からの信号と、放電検出器２０、４０から出力される各チャンバ１０、３０における放電開始を知らせる信号とが入力される。同期コントローラ８は、エネルギコントローラ７からの信号に基づいて、充電器１１の充電電圧を制御する。ところで、発振用チャンバ１０の放電と増幅用チャンバ３０の放電のタイミングがずれると、発振用チャンバ１０から出力されたレーザ光は増幅用チャンバ３０で効率良く増幅されない。そこで、発振用チャンバ１０から出力されたレーザ光（シード光）が増幅用チャンバ３０内の一対の電極３０ａ、３０ｂ間の放電領域（励起領域）に満たされたタイミングで、増幅用チャンバ３０において放電する必要がある。
【００４５】
ここで、発振段レーザ１００と増幅段レーザ３００の放電タイミングについて説明する。
【００４６】
先に述べたように、発振用チャンバ１０内の電極１０ａ、１０ｂ間、及び、増幅用チャンバ３０内の電極３０ａ、３０ｂ間に、立上り時間の速い高電圧パルスを印加するために、それぞれ磁気パルス圧縮回路を有する発振用高電圧パルス発生器１２と、増幅用高電圧パルス発生器３２が用いられる。一般的に、各高電圧パルス発生器１２、３２の磁気パルス圧縮回路で用いられる磁気スイッチＳＲ2 、ＳＲ3 は可飽和リアクトルである。主コンデンサＣ0 からエネルギ（電圧パルス）が転送される場合、この磁気スイッチＳＲ2 、ＳＲ3 にかかる電圧（Ｖ：すなわち主コンデンサＣ0 の充電電圧）と磁気スイッチＳＲ2 、ＳＲ3 によってパルス圧縮されて転送される電圧パルスの転送時間（ｔ）との積（Ｖｔ積）の値は一定と言う関係がある。例えば、主コンデンサＣ0 の充電電圧が高くなると、電圧パルスの転送時間（すなわち、磁気スイッチがオン状態である時間）が短くなる。
【００４７】
ここで、図１のような２ステージレーザ装置に対して、レーザ光プロファイル断面での面内低可干渉性（空間コヒーレンス）を低くすることが必要である（特許文献３）。
【００４８】
さらに、露光機のスループット向上、微細化に伴い、積算エネルギーを高精度に安定化させる必要がある。
【００４９】
高スループットの要請から発振周波数を上げる必要がある。それに対して、狭い放電幅（１ｍｍから４ｍｍ）の電極 (以降、これをエッジ電極と呼称する。) を用いる方法が、特許文献４等で提案されている。この方法を用いることで、放電に伴う放電生成物が生成される領域が狭くなり、これを除去するために必要なファン流速が低減する。そのために、高周波発振に適している。ただし、このような電極を用いた場合、エッジ部付近で急激な電界強度変化を伴う。したがって、エッジ部付近では放電が不安定になってしまう。放電が不安定になれば、生成されるゲインも不安定になり、結果として発振／増幅されるエネルギーも不安定となってしまう。
【００５０】
また、露光機の光学素子への負荷の観点から、発振されるパルス波形の伸長が要求されている。これに対しては、特許文献５等で提案されている放電パルスストレッチ技術がある。これによりレーザ発振のパルス幅を伸長することが可能となる。ただし、この技術を用いた場合、パルスストレッチのために励起放電を伸長させるので、放電後半は不安定になりやすく、またゲイン低下に伴い、ゲインは放電空間中央に収縮してしまう。
【００５１】
また、実際に高繰り返し発振を行った際には、寿命を持つ放電生成物の残留、放電に伴う音響波の残留、電極表面温度の上昇により、放電が不安定になりやすく、その場合、特にゲインが低い部分 (電極表面、放電幅の端) で顕著に不安定になってしまう。
【００５２】
以上の放電の不安定性は、出力の不安定性につながってしまい、結果として積算エネルギーの安定化の障壁となっていると推測される。
【００５３】
本発明は従来技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスが低くエネルギー安定性の高い半導体露光装置用に適した２ステージレーザシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００５４】
上記目的を達成する本発明の２ステージレーザシステムは、発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザとからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバを備えており、増幅段レーザが、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極とを備えている２ステージレーザシステムにおいて、
前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器を構成するリアミラーとフロントミラーの少なくとも一方が、少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有することを特徴とするものである。
【００５５】
この場合、前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器を構成するリアミラーとフロントミラーの一方が少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有し、前記共振器の共振器長をＬ、正屈折力を有するミラーのその方向での曲率半径が、
０．００１＜Ｌ／（曲率半径）＜０．７７
を満足することが望ましい。
【００５６】
さらに、その場合、次の式を満足することが望ましい。
【００５７】
０．００１＜Ｌ／（曲率半径）＜０．２０
あるいは、次の式を満足することが望ましい。
【００５８】
０．００１＜Ｌ／（曲率半径）＜０．０３
本発明の別の２ステージレーザシステムは、発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザとからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバを備えており、増幅段レーザが、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極とを備えている２ステージレーザシステムにおいて、
前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器中に、少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有する透過型光学素子が配置されていることを特徴とするものである。
【００５９】
本発明のさらに別の２ステージレーザシステムは、発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザとからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバを備えており、増幅段レーザが、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極とを備えている２ステージレーザシステムにおいて、
前記発振段レーザから前記増幅段レーザへシード光を入力させる光路中に、前記増幅段レーザの少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方において正屈折力を有する光学素子が配置されていることを特徴とするものである。
【００６０】
この場合、前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器の共振器長をＬとするとき、前記光学素子の正屈折力を有する方向での屈折力が、
０＜（屈折力）・Ｌ＜０．１８                                  ・・・（９）
を満足することが望ましい。
【００６１】
本発明のもう１つの２ステージレーザシステムは、発振段レーザと、発振段レーザで発振されたレーザ光をシード光として入力してそのシード光を増幅して出力する増幅段レーザとからなり、発振段レーザ、増幅段レーザ共にレーザガスが充填されたチャンバを備えており、増幅段レーザが、ファブリペローエタロン型安定共振器と、レーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された放電励起用の一対の長尺の放電電極とを備えている２ステージレーザシステムにおいて、
前記増幅段レーザのファブリペローエタロン型安定共振器中、又は、前記増幅段レーザの出力側に、少なくとも放電方向又は放電方向に直交する方向の一方においてビーム径を制限するスリット部材が配置されていることを特徴とするものである。
【００６２】
以上の２ステージレーザシステムにおいて、前記発振段レーザの発振レーザ光の横モードが多モードであり、前記増幅段レーザはその多モードのレーザ光を多モードのまま増幅することが望ましい。
【発明の効果】
【００６３】
本発明の２ステージレーザシステムにおいては、増幅段レーザにおいて、放電が不安定になる領域を用いずに、安定した領域にレーザ光を集めることで、出力を大きく低下させることなく、格段にエネルギー安定性が向上する。そして、発振段レーザとして横多モード発振のものを用いることにより、空間コヒーレンスが低くエネルギー安定性の高い半導体露光装置用に適した２ステージレーザシステムを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６４】
本発明の２ステージレーザシステムにおいては、空間コヒーレンスを低くするには、発振段レーザの横モードを多モードとし、その横モードを制限することなる増幅段レーザに入力させて多モードのまま増幅させることで、特許文献３で提案した低コヒーレンスの性能を失うことがないことを見出し、さらに、以後に説明するような安定共振器を増幅段レーザに用いることにより、よりエネルギー安定性を向上させることが可能となることを見出した。
【００６５】
すなわち、増幅段レーザにおいて、放電が不安定になる領域を用いずに、安定した領域にレーザ光を集めることで、出力を大きく低下させることなく、格段にエネルギー安定性の向上を可能としたものである。
【００６６】
なお、発振段レーザの放電においても同様に、放電が不安定な領域はあるが、スリットが配置されていること、及び、露光機へ出力されるのは増幅段レーザから出るエネルギーであって、発振段レーザのエネルギーの多少のふらつきは大きく問題にはならない。
【００６７】
なお、予め断っておくが、特許文献６に記載のものにおいては、増幅段レーザの共振器として凹面鏡を用いたものが記載されているが、エネルギーの高安定化を趣旨としておらず、また、その凹面鏡の良好な曲率の範囲等の具体的数値も開示されていない。さらには、発振段レーザの横モードが多モード化されているものでもない。
【００６８】
また、高出力化のために増幅段レーザの共振器に曲率を付けた公知例は他にもあるが、何れもエネルギーの高安定化のためのものではない。
【００６９】
以下に、図１で示した増幅段レーザに安定共振器を用いたＭＯＰＯ方式の２ステージレーザ装置の要部を説明し、それに対する本発明による変形部を実施例として説明する。
【００７０】
図４は、特許文献３に開示された、増幅段レーザ３００に平面鏡からなるリアミラー３６とフロントミラー（出力ミラー）３７とからなる安定共振器を用いたＭＯＰＯ方式の２ステージレーザ装置の要部の側面図であり、図５はその増幅段レーザ（ＰＯ）３００の平面図（ａ）と発振段レーザ（ＭＯ）１００の平面図（ｂ）である。
【００７１】
発振段レーザ１００は、拡大プリズム１６ｂと回折格子１６ａによって構成されてなるＬＮＭ１６が兼ねるリア側ミラーとフロントミラー１７とで構成されるレーザ共振器内にレーザガスが充填されたチャンバ１０を備え、チャンバ１０内のレーザガスを励起して利得領域を形成する放電電極１０ａ、１０ｂを備えて構成され、フロントミラー１７は部分反射鏡として構成されている。また、出力光（シード光）のビーム径を制限するためのスリット１０ｓがチャンバ１０の前後に配置されている。
【００７２】
また、増幅段レーザ３００は、リアミラー３６とフロントミラー３７とからなる安定共振器内にレーザガスが充填されたチャンバ３０を備え、チャンバ３０内のレーザガスを励起して利得領域を形成する放電電極３０ａ、３０ｂを備えて構成され、リアミラー３６、フロントミラー３７共部分反射鏡として構成されている。
【００７３】
このような構成において、発振段レーザ１００の一対の放電電極１０ａ、１０ｂ間の主放電によりチャンバ１０内のレーザガスが励起されて、発振段レーザ１００からシード光が発生し、伝搬ミラー４２ａ、４２ｂを介して増幅段レーザ３００にシード光が注入される。増幅段レーザ３００においても、一対の放電電極３０ａ、３０ｂ間の発振段レーザ１００と同期した主放電によりチャンバ１０内のレーザガスが励起され、発振段レーザ１００から入力したシード光がリアミラー３６とフロントミラー３７とからなる安定共振器内を多重反射する間にチャンバ１０内の利得領域内を通過することで増幅されて、フロントミラー３７を透過して出力レーザ光として露光装置３等に入力される。
【００７４】
ここで、本発明に基づく第１実施例を説明する。図６は、図５（ａ）に対応する増幅段レーザ（ＰＯ）３００の平面図であり、本実施例においては、増幅段レーザ３００のレーザ共振器を平面鏡からなるフロントミラー（出力ミラー）３７の部分反射鏡を凹面鏡としたものである。この場合、リアミラー３６の入射側に無反射コート（反射防止コーティング）を施し、チャンバ３０に近い側の全面に部分反射ミラーコーティングを施し、また、フロントミラー３７の出力側に無反射コート（反射防止コーティング）を施し、チャンバ３０に近い側の凹面全面に部分反射ミラーコーティングを施す。他の構成は、図４、図５の場合と同様である。なお、リアミラー３６、フロントミラー３７に部分反射ミラーコーティング、無反射コートを設ける点は、以後の実施例において特に断らない限り同様である。
【００７５】
本発明者の試験において、フロントミラー３７の曲率半径として、５ｍ及び２０ｍとすることで、従来の平面鏡をフロントミラー３７に用いることに対して、大幅なエネルギーの安定性を実現できた。図７及び図８にその試験結果を示す。横軸は出力レーザ光のエネルギーＥ、縦軸はそのばらつき（標準偏差）σである。
【００７６】
フロントミラー３７の曲率半径が５ｍ若しくは２０ｍの凹面鏡を用いることで、従来の平面鏡を用いる場合に比べて、エネルギーばらつきσが略半減された。なお、このときの共振器長は１．０ｍであった。
【００７７】
このようなエネルギーばらつきの減少の原因としては  増幅段レーザ３００のレーザ共振器の凹面鏡３７でレーザビームを絞ることにより、放電の不安定な領域である放電領域端部を使用しなくなったことが効いていると推定される。
【００７８】
ここで、放電領域端部とは、図９（ａ）に図４と同様の構成の２ステージレーザ装置の側面図、図９（ｂ）に図９（ａ）の直線Ａ−Ａ’に沿う断面図に示すように、増幅段レーザ３００の放電電極３０ａ、３０ｂ間に形成される放電領域Ｘの周辺の領域であって、電極３０ａ、３０ｂ表面近傍、及び、放電領域Ｘの放電幅方向（図９（ｂ））の両端部ある。すなわち、放電領域Ｘの光軸方向の周囲を囲む領域である。これらの領域では、放電動作における電界分布が不均一であるので、放電により生成される反転分布も不均一となる。その結果、当該領域での増幅量が各パルス毎にばらつくので、エネルギー安定性が悪化してしいると推定される。
【００７９】
この放電不安定領域は、特にパルスの後半部程顕著であるので、エネルギーばらつきの安定性悪化抑制には、特にパルス後半部でこの放電不安定領域を使用しないようにすることが肝心であると推定される。
【００８０】
一般的に、レーザビームは、ビームウエストと拡がり角を持ち、ここで、図１０（ａ）に示すように、発振段レーザ１００からの増幅段レーザ３００への注入光（シード光）ＹのビームウエストサイズをＷ［ｍｍ］、ビーム拡がり角（全角) をΔθ［ｍｒａｄ］とする。なお、本発明においては、発振段レーザ１００としては、空間コヒーレンスを低くするために横モードが多モードのものを用いており、注入光Ｙの横モードは多モードのままである。
【００８１】
このビームＹがＡ［ｍ］伝搬したときのビーム幅Ｗ’［ｍｍ］は、
Ｗ’＝Ｗ＋Ａ・Δθ                                            ・・・（１）
で概略得られる。
【００８２】
なお、ビームウエストサイズＷ及びその位置は、図１０（ｂ）に示すように、発振段レーザ１００から出射直後の注入光Ｙ中に凸レンズ３０１を配置し、凸レンズ３０１で結ばれる最小スポットサイズとその位置から凸レンズ３０１の結像関係に基づいて見積もることが可能となる。なお、図１０（ｂ）の場合は、ビームウエストの位置が仮想的に発振段レーザ１００の背後に位置する場合である。
【００８３】
図４のように、増幅段レーザ３００のレーザ共振器に平面ミラー−平面ミラーを用いたときは、その共振器内部での屈折力がない。増幅段レーザ共振器をｎ回往復している場合は、共振器長をＬ［ｍ］とすると、総計２ｎ・Ｌ［ｍ］伝搬させたことに略等しい。
【００８４】
図１１は、増幅段レーザ共振器内の注入光Ｙの多重反射を考慮して展開して示した図である。以下で、２通りの観点から検討を行う。
【００８５】
第１点目：
上記したように、放電領域端部の領域をビームが通らないことが望ましい。そこで、共振器をｎ往復させたときの光束の幅を考える。
【００８６】
ここで、増幅段レーザ共振器に入る前、ビームウエストからＬ0 ［ｍ］の位置に屈折力φ［ｍ-1］（＝１／ｆ［ｍ］。ただし、ｆはレンズの焦点距離）のレンズを置いて、その後Ｌ1 ［ｍ］伝搬した後のビーム光束幅Ｗ’［ｍｍ］について考える。
【００８７】
このとき、光線伝達行列（光線行列）を用いると、簡単に表記できる。
【００８８】
例えば、入射されてからｎ．５（１．５、２．５、・・・・、１０．５等）往復したときのフロントミラーＦＭ（３７）位置での入射位置，入射角度（ｘ，θ) に対しての、出射位置，出射角度（ｘ’，θ’) は、
【００８９】
【数１】
2006203008.tif 000003
と表記されるし、
ｎ往復したときのリアミラーＲＭ（３６）位置での出射位置，出射角度（ｘ’，θ’) は、
【００９０】
【数２】
2006203008.tif 000004
と表記される。
【００９１】
さらに、ｎ往復して、リアミラーＲＭで反射されて，共振器を半分通過した位置でのビームは、
【００９２】
【数３】
2006203008.tif 000005
となる。
【００９３】
さて、
【００９４】
【数４】
2006203008.tif 000006
としたときの出射位置でのビームの最大幅は、ビームウエストサイズをＷ［ｍｍ］、ビーム拡がり角をΔθ［ｍｒａｄ］としたときに、
Ｍａｘ（Ｗ／２）＝｜Ａn ｜・｜Ｗ／２｜＋｜Ｂn ｜・｜Δθ／２｜
したがって
Ｍａｘ（Ｗ）＝｜Ａn ｜・｜Ｗ｜＋｜Ｂn ｜・｜Δθ｜            ・・・（２）
となる。
【００９５】
代表点として、リアミラーＲＭ位置（ａ）、フロントミラーＦＭ位置（ｂ）、及び、共振器の中間位置（ｃ）に着眼し、着眼した往復回数を経てフロントミラーＦＭから出射されるまでの最大のビーム最大幅を計算する（図１２）。
【００９６】
また、フロントミラーＦＭに曲率を付けた場合（図６）の最大光束の変化の様子を図１３の展開図に示す。
【００９７】
計算の１例を示す。入射条件として、放電に直交する方向のみを考えて、初期ビーム幅４ｍｍ、初期ダイバージェンス（ビーム拡がり角）１ｍｒａｄとした。共振器長は１ｍで、Ｌ0 ＝０、８．５往復させたときの各往復回数における共振器鏡及びゲイン中心部での最大ビーム光束の幅を見積もった。これが大きくなるということは、ビームが広がる傾向にあり、放電空間からのケラレが大きくなり、また、放電領域端部でのゲインも相対的に大きくなる。計算結果を図１４に示す。横軸はフロントミラーＦＭの曲率半径Ｒの逆数、縦軸は最大ビーム光束の幅である。
【００９８】
ここで、光がＬ＝１ｍの共振器を８．５往復するとき、１７ｍの伝搬距離となり、伝搬時間は５７ｎｓであり、放電からの発光時間を考えると、一般にはパルスの後半部に相当する。
【００９９】
図１４の計算結果から分かるように、平面のフロントミラー（１／Ｒ＝０）を使用した場合に比べて、ビーム光束の幅が低減するのは、曲率半径Ｒとして１ｍ〜∞ｍの凹面鏡を適用した場合であり、より良好には１．２ｍ〜２５ｍの間の曲率半径とするのがよい。
【０１００】
この特性は、考慮する往復回数や初期ビーム光束の幅、ダイバージェンス等により多少の変化が出てくるが、良好な領域は略同じ領域となる。
【０１０１】
なお、典型的な曲率（＝１／Ｒ）における伝搬距離とビーム光束幅との関係を図１５（ａ）〜（ｆ）に示す。
【０１０２】
また、着眼する最終往復回数を変化させたときの図１４と同様の特性を図１６に示す。図１６から分かるように、着眼往復回数による影響はそれ程大きくない。
【０１０３】
第２点目：
２点目の検討は、光線追跡による検討である。１点目の検討は非常に簡易的ではあるが、粗いためにきちんと計算を行った。すなわち、所定の往復回数光線を追跡し、所定のスリットを透過する割合の計算をフロントミラーＦＭの曲率を変えて行った。結果を図１７に示す。この計算の前提として、ビームウエストサイズの縦横サイズを４ｍｍ×１６ｍｍ、ビーム拡がり角を１ｍｒａｄ、共振器長Ｌ＝１ｍ、ビームウエストから増幅段レーザ共振器までの距離Ｌ0 ＝１ｍとし、縦横サイズ４ｍｍ×１６ｍｍのスリットがリアミラー３６とフロントミラー３７に相当する位置に配置されているとしている。
【０１０４】
このような配置において、放電領域端部を通過させないとの本発明の趣旨より、所定の往復回数を透過させたときの透過率が高いことが望ましいと言える。図１７の結果は、図１６の最大光束の図と比較すると、安定に使用可能な曲率１／Ｒの範囲が０より大きく、１より小さく、その間で０に近い領域程良いと言う意味で、両者が合致していることがよく分かる。
【０１０５】
したがって、今後の検討は、より簡易的に１点目の光線伝達行列を用いる方式により進める。
【０１０６】
さて、光線伝達行列で考えた場合、図１３の各パラメータにおいて、規定されたＷ、Δθ、Ｌ0 、Ｌにおいて、
α＝Δθ・Ｌ／Ｗ，
β＝Ｌ0 ／Ｌ
となるような新規パラメータを考えると、共振器長Ｌで規格化したミラーの曲率Ｌ／Ｒに対しての最大光束の依存特性が一意に表記できる。なお、ここで、αはビームウエストサイズと拡がり角に関係するもので、入射ビームの形状パラメータと呼ぶべきものであり、βはビームウエストの位置を共振器長Ｌで規格化したものでビームウエストの相対位置パラメータと呼ぶべきものである。
【０１０７】
典型的な計算結果を図１８に示す。ここでは、縦軸を最大光束の絶対値でなく、最大光束が最小となるときを１として規格化した数値で表示しある。このときの最小となる最大光束に対して大きくなる程度で、規格化したミラーの曲率Ｌ／Ｒの良好な範囲を決定することができる。
【０１０８】
例えば、最大光束が最小となるときに対して最大光束がその２倍になるまで許容する場合は、図１９に示すように、α, βの値によって良好な曲率範囲が決定される。典型的なレーザを考えた場合、β＝〜10、α＝０．１〜１であるので、
０．００１＜Ｌ／Ｒ＜０．７７                                  ・・・（３）
とするのがよい。
【０１０９】
仮に、共振器長Ｌ＝１ｍであれば、ミラーの曲率半径Ｒとして１．３ｍ〜１０００ｍのものを使用するのが望ましい。
【０１１０】
これが、最大光束が最小となるときに対して最大光束がその１．５倍になるまで許容する場合は、
０．００４＜Ｌ／Ｒ＜０．６１                                  ・・・（４）
が良好な範囲となる。
【０１１１】
ここで、図２０に、図６の本発明に基づく第１実施例の増幅段レーザ３００の変形例を示す。図２０は、図５（ａ）に対応する増幅段レーザ（ＰＯ）３００の平面図であり、図６の例と図２０の例とでは、チャンバ３０に設けるウィンドウ３０ｅと３０ｆの向きが異なる。図６の場合は、リア側のウィンドウ３０ｅとフロント側のウィンドウ３０ｆとは光軸に対して反対側に傾いて設置されているが、図６の場合は、リア側のウィンドウ３０ｅとフロント側のウィンドウ３０ｆとは相互に略平行に設置されている。以下の実施例においても同様であって、チャンバ３０に設けるウィンドウ３０ｅと３０ｆの設置角及び傾き方向は任意である。
【０１１２】
また、増幅段レーザ３００のフロントミラー３７に付与する曲率を設ける方向は任意である。図２１（ａ）に平面図、（ｂ）に側面図を示すように、フロントミラー３７に球面鏡を用いて放電方向及び放電方向に直交する方向の両方に曲率を付けるようにしてもよい。
【０１１３】
また、図２２、図２３に図２１と同様の図を示すように、フロントミラー３７にシリンドリカル鏡を用いて、放電方向のみ（図２２）、若しくは、放電方向に直交する方向のみ（図２３）に曲率を付けて、前者の場合は電極３０ａ、３０ｂ表面近傍の放電が不安定な領域をビームが通らないようにし、後者の場合は放電幅方向の両端部の放電が不安定な領域をビームが通らないようにしてもよい。このときの良好な曲率半径Ｒの範囲は上に示した通りである。なお、シリンドリカル鏡の代わりに直交する２方向で曲率が異なるトーリック反射面を使用して、放電方向と放電方向に直交する方向で通過を避ける領域に差を持たせるようにしてもよい。何れにしても、放電領域端部の不安定な領域の使用を回避することができ、エネルギー安定性が大幅に向上する。
【０１１４】
以降の実施例においては、代表してある方向に曲率を付けた場合の実施例に関して説明を行うが、上記のように直交する２方向において等しい曲率を付けた球面鏡（若しくは、レンズ）を用いてもよいし、放電方向のみに曲率を付けてもよいし、放電方向と放電方向に直交する方向に異なる曲率が付けるようにしてもよい。
【０１１５】
図６、図２０に示した実施例においては、図２４（ａ）に示すように、フロントミラー３７から取り出される出力レーザ光４００が主としてフロントミラー３７で反射されるときに大きく広がってしまい、露光機等への伝搬時にビームがケラレてしまう問題が生じるときがある。このような問題を解消するために、図２４（ｂ）に示すように、フロントミラー３７出射後に適切な補正レンズ３０５を配することで、出力レーザ光４００の拡がりを抑えることが可能である。このレンズ３０５においては、損失低減、反射光による寄生発振を防ぐために、両面に無反射コート（反射防止コーティング）を施すのがよい。
【０１１６】
図２５に、典型的な条件における補正レンズありなしでの出射角度の違いを示す。縦軸は、図４、図５の平面鏡からなる増幅段レーザ共振器を使用した場合であって補正レンズを使用しない場合の出力レーザ光の拡がり角に対する最大出射角度比をとっている。上述したように、この角度は大きくなりすぎると問題が生じ、許容範囲がある。例えば、平面鏡からなる増幅段レーザ共振器を使用した場合に対して５倍まで許容できる場合は、補正レンズがない場合は、図２５から、
Ｌ／Ｒ＜０．１５                                                            であったものが、補正レンズ３０５を入れた場合、
Ｌ／Ｒ＜０．２０                                              ・・・（５）
とすることができ、許容範囲が広がる。
【０１１７】
これが２倍まで許容できる場合は、
Ｌ／Ｒ＜０．０３                                              ・・・（６）
となる。
【０１１８】
図１８の最大光束と図２５の出射角度との制約から許容範囲を決めれば、出力レーザ光の拡がり角の問題を解決し、かつ、本発明の目的であるエネルギーばらつきの安定性を良くすることが可能となる。典型的には、出射角度の制約がよりきついので、この制約から決まる上限と、最大光束の制約から決まる下限から、例えば、（３）式と（５）式から、
０．００１＜Ｌ／Ｒ＜０．２０                                  ・・・（７）
となり、（３）式と（６）式から、
０．００１＜Ｌ／Ｒ＜０．０３                                  ・・・（８）
となる。
【０１１９】
何れにしても、（７）式又は（８）式を満たすように、フロントミラー３７に曲率を付けることで、エネルギーばらつきの安定性を良くし、かつ、出力レーザ光の拡がりを抑えることができる。
【０１２０】
図２６は、上記のような補正レンズ３０５に必要な屈折力（焦点距離（ｍ）の逆数）を示す。
【０１２１】
なお、図２４のようにフロントミラー３７出射側に補正レンズ３０５を配する代わりに、図２７に示すように、補正レンズ３０５に相当する屈折力を持つようにフロントミラー３７の出射面３０６に曲率を付けるようにしてもよい。
【０１２２】
また、図６若しくは図２４の代わりに、図２８に示すように、フロントミラー３７としてリアミラー３６側に凸面を向けた両凸正レンズあるいは凸平正レンズ３０７を用意し、以上の例のフロントミラー３７とは逆に、入射面に無反射コート（反射防止コーティング）を施し、出射面に部分反射ミラーコーティングを施すようにしてもよい。これにより、出射時に多少の屈折力を付与することができるので、多少の拡がりの補正が可能となる。もちろん、これに外部の補正レンズ３０５（図２４）を組み合わせてもよい。
【０１２３】
次に、本発明に基づく第２実施例を説明する。本実施例においては、図２９に示すように、増幅段レーザ３００のレーザ共振器において、リアミラー３６の部分反射鏡を凹面とするものである。この部分反射鏡の凹面の良好な曲率範囲に関しては、第１実施例と同様にして算出され、（３）式〜（８）式がそのまま適用できる。
【０１２４】
また、図２２、図２３の場合と同様に、リアミラー３６にシリンドリカル鏡を用いて、放電方向のみ（図２２参照）、若しくは、放電方向に直交する方向のみ（図２３参照）に曲率を付けて、前者の場合は電極３０ａ、３０ｂ表面近傍の放電が不安定な領域をビームが通らないようにし、後者の場合は放電幅方向の両端部の放電が不安定な領域をビームが通らないようにしてもよい。このときの良好な曲率半径Ｒの範囲は上に示した通りである。なお、シリンドリカル鏡の代わりに直交する２方向で曲率が異なるトーリック反射面を使用して、放電方向と放電方向に直交する方向で通過を避ける領域に差を持たせるようにしてもよい。何れにしても、放電領域端部の不安定な領域の使用を回避することができ、エネルギー安定性が大幅に向上する。
【０１２５】
図２９の変形例として、図３０に示すように、リアミラー３６のシード光注入側の面３０８に曲率を付けてリアミラー３６の透明基板の屈折力が小さくなるようにしてもよい。また、図３１に示すように、リアミラー３６としてシード光注入側に凸面を向けた凸平正レンズあるいは両凸正レンズ３０９を用意し、以上の例のリアミラー３６とは逆に、入射面に部分反射ミラーコーティングを施し、フロントミラー３７側の面に無反射コート（反射防止コーティング）を施すようにしてもよい。
【０１２６】
この場合も、リアミラー３６にシリンドリカル鏡を用いて、放電方向のみ（図２２参照）、若しくは、放電方向に直交する方向のみ（図２３参照）に曲率を付けて、前者の場合は電極３０ａ、３０ｂ表面近傍の放電が不安定な領域をビームが通らないようにし、後者の場合は放電幅方向の両端部の放電が不安定な領域をビームが通らないようにしてもよい。このときの良好な曲率半径Ｒの範囲は上に示した通りである。なお、シリンドリカル鏡の代わりに直交する２方向で曲率が異なるトーリック反射面を使用して、放電方向と放電方向に直交する方向で通過を避ける領域に差を持たせるようにしてもよい。何れにしても、放電領域端部の不安定な領域の使用を回避することができ、エネルギー安定性が大幅に向上する。
【０１２７】
次に、本発明に基づく第３実施例を説明する。本実施例においては、図３２に示すように、第１、第２実施例を組み合わせたもので、増幅段レーザ３００のレーザ共振器において、フロントミラー３７及びリアミラー３６に曲率を付けて凹面鏡とするものである。各々のミラーの曲率の組み合わせに関しては、第１実施例、第２実施例について説明した範囲であればよい。
【０１２８】
具体的な計算結果で得られた良好な範囲を示す。ただし、この計算には、１点目の光線伝達行列を用いる方式によった。ただし、簡便上、ｇパラメータを用いた表記とする。ここで、ｇ＝１−Ｌ・ｆ／２＝１−Ｌ／Ｒで定義されるパラメータである（特許文献７参照）。
【０１２９】
フロントミラー３７のｇパラメータをｇｆとして縦軸に、リアミラー３６のｇパラメータをｇｒとして横軸にとり、図１８と同様に、最大光束が最小となるときを１として規格化したときの最大光束の値を変数にとった場合のｇパラメータの範囲は図３３のようになる。最大光束が最小となるときに対して最大光束がその２倍になるまで許容する場合は、図３３の×２の範囲になる。３倍になるまで許容する場合は×３の範囲、４倍になるまで許容する場合は×４の範囲になる。この領域は「安定共振器」として知られる条件：
０≦ｇｆ・ｇｒ≦１
に略一致する。
【０１３０】
さらに、その中でも特性が良好な範囲は×２の範囲になる。例えば、その範囲内のｇｆ＝ｇｒ＝０．６、すなわち、共振器長Ｌ＝１ｍの場合であれば、フロントミラー３７、リアミラー３６共に曲率半径２．５ｍとすると、エネルギー安定性が良好な２ステージレーザシステムが得られる。
【０１３１】
なお、第１実施例、第２実施例は、本実施例の１例と言うことができ、図３３に示したそれぞれｅｘ１、ｅｘ２が第１実施例、第２実施例の望ましい範囲になる。
【０１３２】
また、図３４に図２１と同様の図を示すように、放電方向の曲率をリアミラー３６のみに付与してシリンドリカル凹面鏡とし、放電方向に直交する方向の曲率をフロントミラー３７のみに付与してシリンドリカル凹面鏡とするような構成をとってもよい。
【０１３３】
また、略安定共振器の条件を満たすのであれば、図３５に示すように、フロントミラー３７が凹面の相対的により強い曲率を持ち、リアミラー３６が凸面の相対的により弱い曲率を持つ構成（図３３の“Ａ”の位置に対応）や、図３６に示すように、その逆で、リアミラー３６が凹面の相対的により強い曲率を持ち、フロントミラー３７が凸面の相対的により弱い曲率を持つ構成（図３３の“Ｂ”の位置に対応）とすることも可能である。
【０１３４】
次に、本発明に基づく第４実施例を説明する。本実施例においては、図３７に示すように、フロントミラー３７、リアミラー３６は平面として、その平面−平面からなる共振器内部に正レンズ３１０を挿入するものであり、その正レンズ３１０の屈折力は、フロントミラー３７又はリアミラー３６に凹面鏡を用いる第１実施例、第２実施例と同様の範囲であればよい。
【０１３５】
例えばリアミラー３６近傍に焦点距離ｆ＝１０ｍのレンズ３１０を配置することは、上記第２実施例において曲率半径Ｒ＝１０ｍのリアミラーを配置することと略同様の効果がある。
【０１３６】
同様に、フロントミラー３７近傍に焦点距離ｆ＝１０ｍのレンズ３１０を配置することは、上記第１実施例において曲率半径Ｒ＝１０ｍのフロントミラーを配置することと略同様の効果がある。
【０１３７】
なお、正レンズ３１０の両面は、損失低減と寄生発振防止のために、無反射コートを施すことが望ましい。
【０１３８】
この実施例でも、これまでに示したように、シリンドリカルレンズを用いて放電方向、放電方向に直交する方向の何れか一方向のみに屈折力を付与する構成としてもよい。
【０１３９】
また、本実施例を上記第１実施例〜第３実施例と併用するようにしてもよい。
【０１４０】
次に、第４実施例の変形例に関して説明する。この変形例は、図３８に示すように、増幅段レーザ共振器内部に入れて最大光束を絞る上記のような正レンズ３１０として、チャンバ３０に設けるウィンドウ３０ｅ、３０ｆと兼用させるものである。その正レンズ３１０の屈折力は、フロントミラー３７又はリアミラー３６に凹面鏡を用いる第１実施例、第２実施例と同様の範囲であればよい。
【０１４１】
例えば、チャンバウインドウ３０ｅ、３０ｆの両方に焦点距離ｆ＝２０ｍの正レンズ３１０を配置すれば、第１実施例において曲率半径Ｒ＝１０ｍのフロントミラー３７を配置することと略同様の効果がある。
【０１４２】
次に、本発明に基づく第５実施例を説明する。この実施例は、図３９に示すように、増幅段レーザ共振器として平面鏡のリアミラー３６とフロントミラー３７とからなる共振器を用いるものであるが、発振段レーザ１００からシード光が増幅段レーザ３００に注入される前の位置に正レンズ３１１を配するものである。
【０１４３】
α＝０．１、β＝１０の場合の正レンズ３１１の屈折力に対する最大光束幅（ａ）と最大出射角度（ｂ）との関係を図４０に示す。
【０１４４】
また、α＝１、β＝１０の場合の同様の図を図４１に示す。
【０１４５】
これから、最大光束幅が改善される領域は、例えば、
０＜（屈折力）・Ｌ＜０．１８                                  ・・・（９）
であることが望ましい。
【０１４６】
次に、本発明に基づく第５実施例の変形例に関して説明する。この変形例は、図４２に示すように、増幅段レーザ３００に注入される前に配置されている伝搬ミラー４２ｂ等に曲率を付与して屈折力を与えるようにしてもよい。そのときに付与する屈折力は第５実施例に準じて調整を行えばよい。
【０１４７】
また、図４３に示すように、増幅段レーザ３００のリアミラー３６の基板を正レンズ３１１に兼用させるようにしてもよい。
【０１４８】
さらには、図４４に示すように、発振段レーザ１００のフロントミラー１７の基板を正レンズ３１１に兼用させるようにしてもよい。
【０１４９】
さらには、図４５に示すように、図示してない第１モニタモジュール１９（図１参照）へのビームサンプリング鏡１９１の基板を正レンズ３１１に兼用させるようにしてもよい。
【０１５０】
もちろん、全体での屈折力が適切な範囲になるのであれば、以上の図３９、図４２〜図４５を併用させてもよい。
【０１５１】
また、放電方向と放電方向に直交する方向とは、ビーム幅が異なり、適切な屈折力がずれてくるので、それぞれに合わせて別々に屈折力を付与するようにしてもよい。これは以上を組み合わせることで、容易に構成できる。
【０１５２】
次に、本発明に基づく第６実施例を説明する。この実施例は、図４６に示すように、増幅段レーザ共振器内にスリット３０ｓ、３０ｓ’を配置したものである。放電安定性が良好でない部分（放電領域端部）を遮断して、その部分での増幅を防ぐことにより、出力低下を最低限に抑え、ばらつき安定性を格段に向上させることが可能となる。なお、このときのスリット幅は、例えば放電方向（図４７）であれば、放電ギャップに対して２ｍｍ程度狭くするのがよい。
【０１５３】
上記程改善効果が顕著ではないが、図４８に示すように、増幅段レーザ３００出射後に適切なスリット３０ｓを配置してもよい。
【０１５４】
以上、本発明の２ステージレーザシステムをその原理と実施例に基づいて説明したが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形をすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１５５】
【図１】本発明を適用する１実施形態に係る２ステージレーザシステムの構成図である。
【図２】図１の２ステージレーザシステムの発振用チャンバ及びその近傍の構成図（ａ）と増幅用チャンバ及びその近傍の構成図（ｂ）である。
【図３】図１の２ステージレーザシステムの電源及びチャンバ内部の回路構成の１例を示す図である。
【図４】本発明の前提の増幅段レーザに平面鏡からなるリアミラーとフロントミラーとからなる安定共振器を用いたＭＯＰＯ方式の２ステージレーザ装置の要部の側面図である。
【図５】図４の増幅段レーザの平面図（ａ）と発振段レーザの平面図（ｂ）である。
【図６】本発明に基づく第１実施例の２ステージレーザシステムの増幅段レーザの平面図である。
【図７】増幅段レーザのフロントミラーを凹面鏡（Ｒ＝５ｍ）とする本発明の場合と平面鏡のままの従来例の場合の試験結果を示す図である。
【図８】増幅段レーザのフロントミラーに凹面鏡（Ｒ＝２０ｍ）とする本発明の場合と平面鏡のままの従来例の場合の試験結果を示す図である。
【図９】放電領域端部を説明するための２ステージレーザ装置の側面図（ａ）とその断面図（ｂ）である。
【図１０】レーザビームのビームウエストと拡がり角を説明するための図（ａ）とビームウエストサイズ及びその位置を検出する方法を説明するための図（ｂ）である。
【図１１】増幅段レーザ共振器内の注入光の多重反射を考慮して展開して示した図である。
【図１２】着眼した往復回数を経てフロントミラーから出射されるまでの最大のビーム最大幅を計算するための代表点を示すための図である。
【図１３】フロントミラーに曲率を付けた場合の最大光束の変化の様子を示す展開図である。
【図１４】光線行列を用いた計算の１例の計算結果を示す図である。
【図１５】典型的な曲率における伝搬距離とビーム光束幅との関係を示す図である。
【図１６】着眼する最終往復回数を変化させたときの図１４と同様の特性を示す図である。
【図１７】光線追跡による計算結果を示す図である。
【図１８】典型的な計算結果を示す図である。
【図１９】良好な曲率範囲を示す図である。
【図２０】図６の本発明に基づく第１実施例の増幅段レーザの変形例を示す平面図である。
【図２１】図６の本発明に基づく第１実施例の増幅段レーザの別の変形例を示す平面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
【図２２】フロントミラーの放電方向のみに曲率を付けた変形例の図２１と同様の図である。
【図２３】フロントミラーの放電方向に直交する方向のみ曲率を付けた変形例の図２１と同様の図である。
【図２４】第１実施例においてフロントミラーから取り出される出力レーザ光が広がる問題（ａ）とそれを解決するために補正レンズを配する構成（ｂ）を示す図である。
【図２５】典型的な条件における補正レンズありなしでの出射角度の違いを示す図である。
【図２６】補正レンズに必要な屈折力を示す図である。
【図２７】図２４の補正レンズの代わりにフロントミラーの出射面に曲率を付ける変形例の平面図である。
【図２８】フロントミラーとして両凸正レンズあるいは凸平正レンズを用い、入射面に無反射コート、出射面に部分反射ミラーコーティングを施した変形例の平面図である。
【図２９】本発明に基づく第２実施例の２ステージレーザシステムの増幅段レーザの平面図である。
【図３０】リアミラーのシード光注入側の面に曲率を付けた変形例の図２９と同様の図である。
【図３１】リアミラーとして凸平正レンズあるいは両凸正レンズを用い、入射面に部分反射ミラーコーティング、フロントミラー側の面に無反射コートを施した変形例の平面図である。
【図３２】本発明に基づく第３実施例の２ステージレーザシステムの増幅段レーザの平面図である。
【図３３】フロントミラーのｇパラメータを縦軸に、リアミラーのｇパラメータを横軸にとったときに最大光束の値を変数にとった場合のｇパラメータの範囲を示す図である。
【図３４】放電方向の曲率をリアミラーのみに付与し、放電方向に直交する方向の曲率をフロントミラーのみに付与した構成の図２１と同様の図である。
【図３５】フロントミラーが凹面の相対的により強い曲率を持ち、リアミラーが凸面の相対的により弱い曲率を持つ構成の変形例の図３２と同様の図である。
【図３６】リアミラーが凹面の相対的により強い曲率を持ち、フロントミラーが凸面の相対的により弱い曲率を持つ構成の変形例の図３２と同様の図である。
【図３７】本発明に基づく第４実施例の２ステージレーザシステムの増幅段レーザの平面図である。
【図３８】増幅段レーザ共振器内部に入れる正レンズをチャンバのウィンドウに兼用させた変形例の図３７と同様の図である。
【図３９】本発明に基づく第５実施例の２ステージレーザシステムの増幅段レーザの平面図である。
【図４０】増幅段レーザに注入される前の位置に配置される正レンズの屈折力に対する最大光束幅（ａ）と最大出射角度（ｂ）との関係を示す図である。
【図４１】別の場合の図４０と同様の図である。
【図４２】第５実施例の変形例を示す側面図である。
【図４３】増幅段レーザのリアミラーの基板を正レンズに兼用させる変形例の平面図である。
【図４４】発振段レーザのフロントミラーの基板を正レンズに兼用させる変形例の２ステージレーザシステムの側面図である。
【図４５】第１モニタモジュールへのビームサンプリング鏡の基板を正レンズに兼用させる変形例の２ステージレーザシステムの側面図である。
【図４６】本発明に基づく第６実施例の２ステージレーザシステムの増幅段レーザの平面図である。
【図４７】第６実施例の変形例を示す側面図である。
【図４８】増幅段レーザ出射後にスリットを配置する変形例を示す側面図である。
【符号の説明】
【０１５６】
２…２ステージレーザ装置
３…露光装置
５…ユーティリティコントローラ
６…波長コントローラ
７…エネルギコントローラ
８…同期コントローラ
１０…発振用チャンバ
１０ａ、１０ｂ…一対の電極（カソード電極及びアノード電極）
１０ｃ…クロスフローファン
１０ｄ…熱交換器
１０ｅ、１０ｆ…ウィンドウ
１０ｓ…スリット
１１…充電器
１２…発振用高電圧パルス発生器
１４…ガス供給・排気ユニット
１５…冷却水供給ユニット
１６…狭帯域化モジュール（ＬＮＭ）
１６ｂ…拡大プリズム
１６ａ…回折格子
１７…フロントミラー
１９…第１モニタモジュール
２０…放電検出部
２１…ドライバ
３０…増幅用チャンバ
３０ａ、３０ｂ…一対の電極（カソード電極及びアノード電極）
３０ｃ…クロスフローファン
３０ｄ…熱交換器
３０ｅ、１０ｆ…ウィンドウ
３０ｓ、３０ｓ’…スリット
３１…充電器
３２…発振用高電圧パルス発生器
３４…ガス供給・排気ユニット
３５…冷却水供給ユニット
３６…リアミラー
３７…フロントミラー（出力ミラー）
３９…第２モニタモジュール
４０…放電検出器
４２…ビーム伝搬部
４２ａ、４２ｂ…伝搬ミラー
５１…出力モニタ
５２…コントローラ
９１…第１電極
９２…誘電体チューブ
９３…第２電極
１００…発振段レーザ
１９１…ビームサンプリング鏡
３００…増幅段レーザ
３０１…凸レンズ
３０５…補正レンズ
３０６…フロントミラーの出射面
３０７…両凸正レンズ又は凸平正レンズ
３０８…リアミラーのシード光注入側の面
３０９…凸平正レンズ又は両凸正レンズ
３１０…正レンズ
３１１…正レンズ
４００…出力レーザ光
ＳＲ1 、ＳＲ2 、ＳＲ3 …磁気スイッチ
ＳＷ…固体スイッチ
Ｔｒ１…昇圧トランス
Ｃ0 …主コンデンサ
Ｌ1 …リアクトル
Ｃ1 、Ｃ2 …コンデンサ
Ｃp …ピーキングコンデンサ
Ｐl …圧力センサ
Ｔl …温度センサ
Ｐ2 …圧力センサ
Ｔ2 …温度センサ
Ｘ…放電領域
Ｙ…注入光（シード光）
ＦＭ…フロントミラー
ＲＭ…リアミラー
【図１】
2006203008.tif 000007
【図２】
2006203008.tif 000008
【図３】
2006203008.tif 000009
【図４】
2006203008.tif 000010
【図５】
2006203008.tif 000011
【図６】
2006203008.tif 000012
【図７】
2006203008.tif 000013
【図８】
2006203008.tif 000014
【図９】
2006203008.tif 000015
【図１０】
2006203008.tif 000016
【図１１】
2006203008.tif 000017
【図１２】
2006203008.tif 000018
【図１３】
2006203008.tif 000019
【図１４】
2006203008.tif 000020
【図１５】
2006203008.tif 000021
【図１６】
2006203008.tif 000022
【図１７】
2006203008.tif 000023
【図１８】
2006203008.tif 000024
【図１９】
2006203008.tif 000025
【図２０】
2006203008.tif 000026
【図２１】
2006203008.tif 000027
【図２２】
2006203008.tif 000028
【図２３】
2006203008.tif 000029
【図２４】
2006203008.tif 000030
【図２５】
2006203008.tif 000031
【図２６】
2006203008.tif 000032
【図２７】
2006203008.tif 000033
【図２８】
2006203008.tif 000034
【図２９】
2006203008.tif 000035
【図３０】
2006203008.tif 000036
【図３１】
2006203008.tif 000037
【図３２】
2006203008.tif 000038
【図３３】
2006203008.tif 000039
【図３４】
2006203008.tif 000040
【図３５】
2006203008.tif 000041
【図３６】
2006203008.tif 000042
【図３７】
2006203008.tif 000043
【図３８】
2006203008.tif 000044
【図３９】
2006203008.tif 000045
【図４０】
2006203008.tif 000046
【図４１】
2006203008.tif 000047
【図４２】
2006203008.tif 000048
【図４３】
2006203008.tif 000049
【図４４】
2006203008.tif 000050
【図４５】
2006203008.tif 000051
【図４６】
2006203008.tif 000052
【図４７】
2006203008.tif 000053
【図４８】
2006203008.tif 000054