(57)【要約】【課題】  小型で、かつ、可動体に大きな推力を作用させることのできるアクチュエータ、およびこのアクチュエータを備えたポンプ装置を提供すること。【解決手段】  ポンプ装置１０において、アクチュエータ１は、第１のヨーク４、第１のヨーク４の方に同極を向けて当該第１のヨーク４を挟んで軸線方向に積層された一対の駆動マグネット５、６、および第１のヨーク４の外周端面に対向するとともに一対の駆動マグネット５、６の軸線方向Ｌの外側に位置する各端面に積層された第２のヨーク７を備えた固定体３と、第１のヨーク４と第２のヨーク７の間で第１のヨーク４の外周端面の周りを囲むように配置されたコイル８を備えた可動体２とを備えている。可動体２は、第２のヨーク７によって区画形成された空間内に、第１のポンプ室１１と第２のポンプ室１２とを形成している。【選択図】  図３
2006025546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のヨーク、該第１のヨークの方に同極を向けて当該第１のヨークを挟んで軸線方向に積層された一対の駆動マグネット、および前記第１のヨークの外周端面に対向するとともに前記一対の駆動マグネットの軸線方向外側の各端面に積層された第２のヨークを備えた固定体と、
前記第１のヨークと前記第２のヨークの間で当該第１のヨークの外周端面の周りを囲むように配置されたコイルを備え、当該コイルへの通電により軸線方向に変位する可動体と
を有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１において、前記第２のヨークは、前記第１のヨークの外周端面に向けて張り出して当該外周端面に対向する環状の張り出し部を備えていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２に規定するアクチュエータを備えたポンプ装置であって、
前記可動体の変位によってポンプ室内への流体の吸引と当該ポンプ室からの流体の排出とを行うことを特徴とするポンプ装置。
【請求項４】
請求項３において、前記可動体は、前記第２のヨークによって区画形成された空間内に、当該可動体に対して軸線方向の一方側の第１のポンプ室と、軸線方向の他方側の第２のポンプ室とを構成するピストンであることを特徴とするポンプ装置。
【請求項５】
請求項３において、前記可動体は、前記第２のヨークによって区画形成された空間内に、当該可動体に対して軸線方向の一方側の第１のポンプ室と、軸線方向の他方側の第２のポンプ室とを構成するダイヤフラムであることを特徴とするポンプ装置。
【請求項６】
請求項４または５において、前記第１のポンプ室と前記第２のポンプ室は、共通の流体入口に連通しているとともに、共通の流体出口に連通していることを特徴とするポンプ装置。
【請求項７】
請求項４または５において、前記第１のポンプ室に連通する第１の流体入口と、前記第２のポンプ室に連通する第２の流体入口と、前記第１のポンプ室に連通する第１の流体出口と、前記第２のポンプ室に連通する第２の流体出口とを備えていることを特徴とするポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁式のアクチュエータ、および該アクチュエータにおける可動体の往復動を利用することによってポンプ作用をなすように構成したポンプ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電磁式のアクチュエータを備えたポンプ装置として、シリンダ内に配置した可動体を電磁力によって往復動させることによってポンプ作用をなすように構成したものが提案されている（例えば、特許文献１、２および３参照）。
【０００３】
これらの従来技術のうち、特許文献１に記載のポンプ装置では、駆動コイルを備えた可動体がシリンダ内に配置され、シリンダ外にはリング状のマグネットが配置されている。また、マグネットから駆動コイルの内側まで円筒状のヨークが延びており、このヨークの円筒部分との間にコイルを挟むように、コイルの外側にはフェライトコアが配置されている。特許文献２のポンプ装置では、駆動マグネットを備えた可動体がシリンダの軸線方向に摺動可能に配置され、シリンダの外周側には駆動コイルが配置されている。特許文献３のポンプ装置では、駆動マグネットを備えた可動体が弾性部材によってシリンダの軸線方向に移動可能に支持され、シリンダの外側には、駆動コイルが配置されている。
【特許文献１】特開平５−２４０１６３号公報
【特許文献２】特開２００４−１２４７２４号公報
【特許文献３】特開２００４−６０６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献２、３に記載のポンプ装置では、駆動マグネットが可動体の側に配置されているため、駆動マグネットが周辺の磁性部材に吸着されないように、駆動マグネットの移動範囲を考慮した上で、駆動マグネットと周辺の磁性部材との間隔を空けなければならない。また、周囲のものが駆動マグネットに吸着されないように、あるいは周辺機器に誤作動を誘発しないように磁場をシールドする場合、駆動マグネットの移動範囲を考慮した上で、駆動マグネットの周りを大きく覆う必要がある。それ故、アクチュエータの外形寸法が大きくなってしまうという問題点がある。
【０００５】
また、特許文献１に記載のポンプ装置では、可動体が移動する側にはヨークを配置できないなど、レイアウト上の制約があって、マグネットを１つしか配置することができない。それ故、コイルと鎖交する磁束密度が低いので、可動体に作用する推力が小さいという問題点がある。
【０００６】
以上の問題を鑑みて、本発明の課題は、小型で、かつ、可動体に大きな推力を作用させることのできるアクチュエータ、およびこのアクチュエータを備えたポンプ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、第１のヨーク、該第１のヨークの方に同極を向けて当該第１のヨークを挟んで軸線方向に積層された一対の駆動マグネット、および前記第１のヨークの外周端面に対向するとともに前記一対の駆動マグネットの軸線方向外側の各端面に積層された第２のヨークを備えた固定体と、前記第１のヨークと前記第２のヨークの間で当該第１のヨークの外周端面の周りを囲むように配置されたコイルを備え、当該コイルへの通電により軸線方向に変位する可動体とを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明のアクチュエータでは、固定体において、間に挟んだ第１のヨークの方に同極を向けて一対の駆動マグネットを軸線方向に積層するとともに、第１のヨークの外周端面に対向するように第２のヨークを配置するため、一対の駆動マグネットからの磁束を第１のヨークの外周端面から軸線方向に直交する方向に効率よく導くことができる。従って、第１のヨークの外周端面の周りを囲むように配置したコイルに対する鎖交する磁束の密度が高いので、可動体に大きな推力を作用させることができる。また、２つの駆動マグネットは同極を向けているが、第１のヨークを間に挟んでいるので、駆動マグネット同士が反発することがなく、組み立て作業を容易に行うことができる。さらに、駆動マグネットを固定体側に配置しているので、駆動マグネットと周辺の部材とを近接させても、駆動マグネットが周辺の部材に吸着されることがない。しかも、周囲のものが駆動マグネットに吸着されないように、あるいは周辺機器に誤作動を誘発しないように磁場をシールドする場合でも、駆動マグネットが固定されているので、駆動マグネットの周りをコンパクトに覆うことができる。それ故、アクチュエータの外形寸法を小さくすることができる。さらにまた、第２のヨークが駆動マグネットおよびコイルを覆うように配置されているので、第２のヨークによってシールドを効率よく行える。従って、他のシールド部材を必要としない点でも、アクチュエータの外形寸法を小さくすることができる。
【０００９】
本発明において、前記第２のヨークは、前記第１のヨークの外周端面に向けて張り出して当該外周端面に対向する環状の張り出し部を備えていることが好ましい。このように構成すると、第１のヨークと第２のヨークの間に配置されたコイルに対する磁束密度を高めることができる。従って、可動体に作用する推力を大きくすることができるので、可動体の応答速度や出力特性を向上することができる。
【００１０】
本発明を適用したアクチュエータは、ポンプ装置において、前記可動体の変位によってポンプ室内への流体の吸引と当該ポンプ室からの流体の排出とを行うのに用いることができる。
【００１１】
この場合、前記可動体は、例えば、前記第２のヨークによって区画形成された空間内に、当該可動体に対して軸線方向の一方側の第１のポンプ室と、軸線方向の他方側の第２のポンプ室とを構成するピストンとして構成される。
【００１２】
また、前記可動体は、前記第２のヨークによって区画形成された空間内に、当該可動体に対して軸線方向の一方側の第１のポンプ室と、軸線方向の他方側の第２のポンプ室とを構成するダイヤフラムとして構成されることもある。
【００１３】
本発明に係るポンプ装置には、前記第１のポンプ室と前記第２のポンプ室は、共通の流体入口に連通しているとともに、共通の流体出口に連通している構成を採用することができる。このように構成すると、第１のポンプ室と第２のポンプ室とから交互に流体を送ることができるので、供給量が大きく、かつ、脈流の発生を抑えることができる。
【００１４】
また、前記第１のポンプ室に連通する第１の流体入口と、前記第２のポンプ室に連通する第２の流体入口と、前記第１のポンプ室に連通する第１の流体出口と、前記第２のポンプ室に連通する第２の流体出口とを備えている構成を採用してもよい。このように構成すると、１台のポンプ装置で第１のポンプ室と第２のポンプ室からそれぞれ異なる流体を送ることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のアクチュエータでは、固定体において、間に挟んだ第１のヨークの方に同極を向けて一対の駆動マグネットで軸線方向に積層するとともに、第１のヨークの外周端面に対向するように第２のヨークを配置するため、一対の駆動マグネットからの磁束を第１のヨークの外周端面から軸線方向に直交する方向に効率よく導くことができる。従って、第１のヨークの外周端面の周りを囲むように配置したコイルに対する鎖交する磁束の密度が高いので、可動体に大きな推力を作用させることができる。また、２つの駆動マグネットは同極を向けているが、第１のヨークを間に挟んでいるので、駆動マグネット同士が反発することがなく、組み立て作業を容易に行うことができる。さらに、駆動マグネットを固定体側に配置しているので、駆動マグネットと周辺の部材とを近接させても、駆動マグネットが周辺の部材に吸着されることがない。しかも、周囲のものが駆動マグネットに吸着されないように、あるいは周辺機器に誤作動を誘発しないように磁場をシールドする場合でも、駆動マグネットが固定されているので、駆動マグネットの周りをコンパクトに覆うことができる。それ故、アクチュエータの外形寸法を小さくすることができる。さらにまた、第２のヨークが駆動マグネットおよびコイルを覆うように配置されているので、第２のヨークによってシールドを効率よく行える。従って、他のシールド部材を必要としない点でも、アクチュエータの外形寸法を小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、図面を参照して、本発明を適用したアクチュエータおよびポンプ装置を説明する。
【００１７】
［アクチュエータ］
（全体構成）
図１（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、本発明を適用したアクチュエータの全体構成を示す概略断面図、およびその磁力線を示す説明図である。
【００１８】
図１（ａ）に示すように、本形態のアクチュエータ１は、固定体３と、固定体３との間に磁気駆動回路を構成するコイル８を備えた可動体２とを有している。
【００１９】
固定体３は、第１のヨーク４と、この第１のヨーク４を挟んで軸線方向Ｌに積層された一対の駆動マグネット５、６と、第２のヨーク７とを備えている。
【００２０】
第１のヨーク４および一対の駆動マグネット５、６はそれぞれ、同径の円盤状に形成されている。駆動マグネット５、６は、一方の面をＮ極、他方の面をＳ極として厚さ方向に磁化されている永久磁石であり、それぞれ第１のヨーク４の方に同極（本形態ではＮ極）を向けている。
【００２１】
第２のヨーク７は、軸線方向Ｌに分割可能な一対の有底円筒状のヨーク部材７１、７２から構成されており、それぞれの筒状胴部７１１、７２１の円環状端面７１、７２ａ同士を突き合せた状態で配置されている。この状態で、第２のヨーク７は、筒状胴部７１１、７２１が第１のヨーク４の外周端面４０、および一対の駆動マグネット５、６の外周端面に対向するとともに、底板部分７１２、７２２が駆動マグネット５、６の軸線方向Ｌの外側に位置する各端面５１、６１に積層された状態になる。
【００２２】
また、第２のヨーク７において、ヨーク部材７１、７２には、それらの連結部分付近に、第１のヨーク４の外周端面４０に向けて張り出した円環状の張り出し部７１５、７２５が形成されている。このため、図１（ｂ）に示すように、一対の駆動マグネット５、６から第１のヨーク４に導かれる磁束を、第２のヨーク７の張り出し部７１５、７２５に向けて効率よく導くことができ、第１のヨーク４の外周端面４０からは軸線方向Ｌに直交する方向に放射状に磁束が出ている。また、張り出し部７１５、７２５に導かれた磁束は、筒状胴部７１１、７２１から底板部分７１２、７２２に導かれてＳ極に至るループをなす。
【００２３】
可動体２は、第１のヨーク４と第２のヨーク７の張り出し部７１５、７２５の間で当該第１のヨーク４の外周端面４０の周りを囲むように配置されたコイル８を備えている。コイル８は、断面コの字形状に形成された絶縁性樹脂からなるコイルボビン９に巻回されており、弾性支持部材（図示せず）などによって支持されている。
【００２４】
（動作）
このように構成したアクチュエータ１において、コイル８への通電が停止されている状態では、可動体２は、図１（ａ）、（ｂ）に示す待機位置にある。この状態から、図面から手前に向かう電流をコイル８に通電すると、可動体２は、矢印Ｆ１で示す方向に変位する。これに対して、図面に向かう電流をコイル８に通電すると、可動体２は、矢印Ｆ２で示す方向に変位する。従って、コイル８に交番電流を通電すると、可動体２は、矢印Ｆ１で示す方向と、矢印Ｆ２で示す方向とに交互に変位することになる。それ故、可動体２の変位を各種部材の駆動に用いることができる。
【００２５】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１では、固定体３において、間に挟んだ第１のヨーク４の方にＮ極を向けて一対の駆動マグネット５、６を軸線方向Ｌに積層するとともに、第１のヨーク４の外周端面４０に対向するように第２のヨーク７を配置するため、一対の駆動マグネット５、６からの磁束を第１のヨーク４の外周端面４０から軸線方向Ｌに直交する方向に効率よく導くことができる。従って、第１のヨーク４の外周端面４０の周りを囲むように配置したコイル８に対する鎖交する磁束の密度が高いので、可動体２に大きな推力を作用させることができる。
【００２６】
また、２つの駆動マグネット５、６を用いているが、第１のヨーク４を間に挟んでいるので、駆動マグネット５、６同士が吸着することがなく、組み立て作業を容易に行うことができる。
【００２７】
さらに、駆動マグネット５、６を固定体３側に配置しているので、駆動マグネット５、６を可動体側に配置した場合と違ってその移動範囲を考慮する必要がない。従って、駆動マグネット５、６と周辺の部材とを近接させても、駆動マグネット５、６が周辺の部材に磁気吸着されて変位が乱れることがない。しかも、周囲の部材が駆動マグネット５、６に吸着されないように、あるいは周辺機器に誤作動を誘発しないように磁場をシールドする場合でも、駆動マグネット５、６が固定されているので、駆動マグネット５、６の周りをコンパクトに覆うことができる。しかも、本形態では、第２のヨーク７が駆動マグネット５、６およびコイル８を覆うように配置されているので、第２のヨーク７によってシールドを効率よく行える。従って、他のシールド部材を必要としない点でも、アクチュエータ１の外形寸法を小さくすることができる。よって、本形態のアクチュエータ１は、カメラ付き携帯電話などに搭載されるレンズ駆動装置や、後述するポンプ装置などのように、小形機器への搭載に適している。
【００２８】
［ポンプ装置の構成例］
（全体構成）
図１を参照して説明したアクチュエータ１は、可動体２の往復動がポンプ作用をなすように構成したポンプ装置に用いることができる。図２は、本発明を適用したポンプ装置の平面図であり、図３（ａ）は、図２のＡ−Ａ線で切断したときの断面図であり、図３（ｂ）は、図２のＢ−Ｂ線で切断したときの断面図である。図４は、図３に示すポンプ装置の分解斜視図である。なお、図４に示す各部材は、可動体を中心に上下対称に配置され、かつ、対応する部品同士の構造は上下対称な構造を有している。
【００２９】
図２、図３（ａ）、（ｂ）、および図４に示すように、本形態のポンプ装置１０は、密封ケース５０の内部に、電磁式のアクチュエータを備えている。このアクチュエータは、上述のアクチュエータ１と構造は同一であるので、説明に当たって対応する部分には同一符号を付して説明するものとする。
【００３０】
本形態のポンプ装置１０では、可動体２を、第２のヨーク７によって区画形成された空間内に、可動体２に対して軸線方向Ｌの一方側に第１のポンプ室１１を形成するとともに、軸線方向Ｌの他方側に第２のポンプ室１２を形成するように配置し、可動体２を軸線方向Ｌに往復動するピストンとして用いている。
【００３１】
さらに具体的に説明すると、固定体３は、２枚の第１のヨーク４と、この第１のヨーク４を挟んで軸線方向Ｌに積層された一対の駆動マグネット５、６と、第２のヨーク７とを備えている。第１のヨーク４は軸線方向Ｌに２枚に重ねられており、駆動マグネット５、６と同径に形成されている。駆動マグネット５、６は、一方の面をＮ極、他方の面をＳ極として厚さ方向に磁化されている永久磁石であり、それぞれ第１のヨーク４の方に同極（本形態ではＮ極）を向けている。
【００３２】
本形態において、第２のヨーク７は、一対の有底円筒状のヨーク部材１５、１６と、一対の円環状のヨーク部材１７、１８とから構成され、これらのヨーク部材が重ねられた状態で、ヨーク部材１５、１６の底板部分７１２、７２２が駆動マグネット５、６の軸線方向Ｌの外側に位置する各端面５１、６１に積層された状態になる。また、円環状のヨーク部材１７、１８の内周縁部分は、第２のヨーク７によって区画形成された空間の内側に突出しており、これらの内周縁部分によって、第１のヨーク４の外周端面４０に向けて張り出した円環状の張り出し部７１５、７２５が形成されている。なお、ヨーク部材１５、１６には、ヨーク部材１７、１８との接合部分にフランジ部分が形成され、これらのフランジ部分とヨーク部材１７、１８の外周縁部分との間がシールされている。また、ヨーク部材１７、１８の間にはシール部材１９、２０の内周縁部分が挟み込まれている。
【００３３】
可動体２は、第１のヨーク４と第２のヨーク７の間で第１のヨーク４の外周端面４０の周りを囲むように配置されたコイル８を備えている。コイル８は、断面コの字形状に形成された絶縁性樹脂からなるコイルボビン９に巻回されている。第２のヨーク７によって区画形成された空間内には円環状のガイド部材２２、２３が配置されており、可動体２は、ガイド部材２２、２３の内周面、第１のヨーク４の外周端面４０、および一対の駆動マグネット５、６の外周端面を摺動しながら軸線方向Ｌに変位可能である。従って、可動体２は、第１のポンプ室１１および第２のポンプ室１２に対するピストンとして機能する。
【００３４】
なお、コイルボビン９の両端面からは柱状小突起９１が形成されている一方、ガイド部材２２、２３には、柱状小突起９１が嵌る小孔２２１、２３１が形成されており、可動体２が軸線方向Ｌに変位する際、柱状小突起９１が小孔２２１、２３１に嵌ったまま、移動するので、可動体２が傾くことがない。また、コイルボビン９の両端面の外周縁からは肉薄の板状突起９２が突出している一方、ガイド部材２２、２３には、板状突起９２が嵌る溝２２２、２３２が形成されているので、可動体２は、軸線方向Ｌ周りに回転することがない。また、コイルボビン９の板状突起９２がガイド部材２２、２３の内周面にガイドされるので、可動体２が傾くことがない。さらに、コイルボビン９の両端面の内周縁からは肉薄の板状突起９３が突出しており、この板状突起９３が第１のヨーク４の外周端面４０、および一対の駆動マグネット５、６の外周端面を摺動するので、可動体２が傾くことがない。
【００３５】
ここで、アクチュエータ１は、密閉ケース５０内に収納されており、この密閉ケース５０には、第１のポンプ室１１および第２のポンプ室１２の双方に連通している共通の流体入口２８および共通の流体出口２９が形成されている。密閉ケース５０は、アクチュエータ１を収納するための円形開口５８ａ、５９ａが形成された矩形筒状のケース本体５８、５９と、ケース本体５８、５９の円形開口５８ａ、５９ａを外側から封鎖する矩形のケース蓋５３、５４とを備えている。ケース本体５８の側には、共通の流体出口２９に連通している排出管３１が形成され、ケース本体５９の側には共通の流体入口２８に連通している吸入管３０が形成されている。ケース蓋５３、５４は、ケース本体５８、５９とともにビス５５などに固定されている。なお、密封ケース５０を組み立てる際には、ケース本体５８、５９の間にシール部材１９、２０の外周縁部分が挟み込まれる。
【００３６】
但し、図４に示すように、密封ケース５０をそれぞれに分解した状態、すなわち、組み立て途中の段階では、共通の流体入口２８および共通の流体出口２９を外部から臨むことができるので、吸入用バルブ１１１、１２１、および排出用バルブ１１２、１２２を取り付けることができる。吸入用バルブ１１１は、第１のポンプ室１１から吸入管３０に流体が逆流することを防止するためのものである。吸入用バルブ１１２は、第２のポンプ室１２から吸入管３０に流体が逆流することを防止するためのものである。排出用バルブ１１２は、排出管３１から第１のポンプ室１１に流体が逆流することを防止するためのものである。排出用バルブ１２２は、排出管３１から第２のポンプ室１２に流体が逆流することを防止するためのものである。
【００３７】
（動作）
このように構成したポンプ装置１０のアクチュエータ１では、コイル８に交番電流を通電すると、可動体２は、約１ｍｍのストロークをもって、矢印Ｆ１で示す方向と、矢印Ｆ２で示す方向とに交互に変位することになる。その際、可動体２が矢印Ｆ１で示す上側に移動すると、第１のポンプ室１１からは、共通の流体出口２９および排出管３１を介して流体が送出される一方、第２のポンプ室１２には、吸入管３０および共通の流体入口２８を介して流体が導入される。また、逆に可動体２が矢印Ｆ２で示す下側に移動すると、第１のポンプ室１１には、吸入管３０および共通の流体入口２８を介して流体が導入される一方、第２のポンプ室１２からは共通の流体出口２９および排出管３１を介して流体が送出される。
【００３８】
（本形態の効果）
以上説明したように、本形態のポンプ装置１０では、間に挟んだ第１のヨーク４の方にＮ極を向けて一対の駆動マグネット５、６を軸線方向Ｌに積層した固定体３を備えたアクチュエータ１を有しており、このアクチュエータ１では、第１のヨーク４の外周端面４０に対向するように第２のヨーク７が配置されている。しかも、第１のヨーク４は、第１のヨーク４の外周端面４０に向かって張り出した張り出し部７１５、７２５を備えている。このため、一対の駆動マグネット５、６からの磁束を第１のヨーク４の外周端面４０から軸線方向Ｌに直交する方向に効率よく導くことができる。従って、第１のヨーク４の外周端面４０の周りを囲むように配置したコイル８に対する鎖交する磁束の密度が高いので、可動体２に大きな推力を作用させることができる。それ故、可動体２は、ピストンとして、第１のポンプ室１１および第２のポンプ室１２への流体の吸引と、当該ポンプ室１１、１２からの流体の排出とを効率よく行うことができる。
【００３９】
しかも、コイル８および駆動マグネット５、６のうち、コイル８の方が可動体２に構成されているので、可動体２の軽量化を図ることができる。それ故、可動体２をピストンとして用いた場合、可動体２には大きな推力が作用する。また、可動体２が軽量化されているので、本形態のポンプ装置１０は、気体の搬送に限らず、液体の搬送を行うこともできる。
【００４０】
また、第１のポンプ室１１と第２のポンプ室１２は、共通の流体入口２８に連通しているとともに、共通の流体出口２９に連通しているため、第１のポンプ室１１と第２のポンプ室１２とから交互に流体を送ることができるので、ポンプ装置１０のサイズの割には、供給量が大きく、かつ、脈流の発生を抑えることができる。
【００４１】
また、本形態では、２つの駆動マグネット５、６は同極を向けているが、２枚の第１のヨーク４を間に挟んでいるので、駆動マグネット５、６同士が反発することがなく、組み立て作業を容易に行うことができる。
【００４２】
さらに、駆動マグネット５、６を固定体３側に配置しているので、駆動マグネット５、６と周辺の部材とを近接させても、駆動マグネット５、６が周辺の磁性部材に吸着されることがない。しかも、周囲の部材が駆動マグネット５、６に吸着されないように、あるいは周辺機器に誤作動を誘発しないように磁場をシールドする場合でも、駆動マグネット５、６が固定されているので、駆動マグネット５、６の周りをコンパクトに覆うことができる。
【００４３】
さらにまた、第２のヨーク７が駆動マグネット５、６およびコイル８を覆うように配置されているので、第２のヨーク７によってシールドを効率よく行える。従って、他のシールド部材を必要としない点でも、アクチュエータ１の外形寸法を小さくすることができる。よって、本形態のポンプ装置１０は、厚さを１０ｍｍ以下にまで薄型化できるので、ノート型パーソナルコンピュータなどにおいてＣＰＵなどに対する冷却用ポンプとして用いることができる。
【００４４】
［ポンプ装置の別の構成例］
図５（ａ）〜（ｃ）は、本発明を適用した別のポンプ装置を、図２のＡ−Ａ線に相当する位置で切断したときの断面図、図２のＢ−Ｂ線に相当する位置で切断したときの断面図、および（ａ）においてＣ線で囲んだ部分を拡大して示す拡大図である。なお、本形態のポンプ装置は、上記形態のポンプ装置１０と、基本的な構造が共通するので、共通する部分には同一符号を付して、それらの説明は省略する。
【００４５】
図５（ａ）〜（ｃ）において、本形態のポンプ装置１０でも、図２、図３および図４を参照して説明したポンプ装置と同様、密封ケース５０の内部に、図１を参照して説明したアクチュエータ１を備えている。すなわち、アクチュエータ１において、固定体３は、２枚の第１のヨーク４と、この第１のヨーク４を挟んで軸線方向Ｌに積層された一対の駆動マグネット５、６と、第２のヨーク７とを備えている。また、駆動マグネット５、６はそれぞれ、第１のヨーク４の方に同極を向けている。また、第２のヨーク７は、駆動マグネット５、６の軸線方向Ｌの外側に位置する各端面５１、６１に積層された状態にあり、かつ、第１のヨーク４の外周端面４０に向けて張り出した円環状の張り出し部７１５、７２５を備えている。
【００４６】
可動体２′は、第１のヨーク４と第２のヨーク７の円環状板部材１７、１８の間で当該第１のヨーク４の外周端面の周りを囲むように配置されたコイル８を備えている。
【００４７】
本形態において、可動体２′は、２枚のシート状の弾性部材６０によって軸線方向Ｌの両側から包み込まれた状態で支持されている。弾性部材６０において、２枚に重ね合わされた内周縁は、２枚の第１のヨーク４の間に保持され、外周縁は、張り出し部７１５、７２５の間に保持されている。従って、可動体２′は、第２のヨーク７で区画形成された空間内に、可動体２′に対して軸線方向Ｌの一方側に第１のポンプ室１１を形成し、軸線方向Ｌの他方側に第２のポンプ室１２を形成し、第１のポンプ室１１および第２のポンプ室１２に対するダイヤフラムとして機能する。なお、弾性部材６０は、ゴムや繊維をベースにした膜状部材、樹脂をフィルム状に成形した膜状部材などから形成することができる。
【００４８】
ここで、２枚のヨーク４の外周端面４０および張り出し部７１５、７２５の内周端面には、弾性部材６０の軸線方向Ｌの弾性変形を可能とする弾性変形部６０１、６０２を収納するための矩形断面の円環状凹部４０１、７５０がそれぞれ、形成されている。
【００４９】
なお、本形態でも、第１のポンプ室１１および第２のポンプ室１２は、共通の流体出口２９を介して排出管３１に接続し、共通の流体入口２８を介して吸入管３０に接続している。また、第１のポンプ室１１と共通の流体出口２９との間、および第２のポンプ室１２と共通の流体入口２８との間には、吸入用バルブ１１１、１２１、および排出用バルブ１１２、１２２が配置されている。
【００５０】
このように構成したポンプ装置１０においても、図２、図３、および図４を参照して説明したポンプ装置と同様、間に挟んだ第１のヨーク４の方にＮ極を向けて一対の駆動マグネット５、６を軸線方向Ｌに積層した固定体３を備えたアクチュエータ１を有しており、このアクチュエータ１では、第１のヨーク４の外周端面４０に対向するように第２のヨーク７が配置されている。しかも、第１のヨーク４は、第１のヨーク４の外周端面４０に向かって張り出した張り出し部７１５、７２５を備えている。このため、一対の駆動マグネット５、６からの磁束を第１のヨーク４の外周端面４０から軸線方向Ｌに直交する方向に効率よく導くことができる。従って、第１のヨーク４の外周端面４０の周りを囲むように配置したコイル８に対する鎖交する磁束の密度が高いので、可動体２′に大きな推力を作用させることができる。それ故、可動体２′は、ダイヤフラムとして、第１のポンプ室１１および第２のポンプ室１２への流体の吸引と、当該ポンプ室１１、１２からの流体の排出とを効率よく行うことができるなど、図２、図３、および図４を参照して説明したポンプ装置と同様の効果を奏する。
【００５１】
［その他の実施の形態］
上記形態では、第１のポンプ室１１および第２のポンプ室１２を共通の流体出口２９および共通の流体入口２８に接続したが、第１のポンプ室１１に連通する第１の流体入口と、第２のポンプ室１２に連通する第２の流体入口と、第１のポンプ室１１に連通する第１の流体出口と、第２のポンプ室１２に連通する第２の流体出口とを形成すれば、１台のポンプ装置で第１のポンプ室１１と第２のポンプ室１２からそれぞれ異なる流体を送ることができる。従って、燃料電池システムなどにおいて、１台のポンプ装置で水とアルコールの搬送などを行うのに用いることができる。
【００５２】
なお、可動体２において、コイル８の巻き数が少なくてよい場合には、コイル８の代わりに、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、本発明を適用したアクチュエータの全体構成を示す概略断面図、およびその磁力線を示す説明図である。
【図２】本発明を適用したポンプ装置の平面図である。
【図３】本発明を適用した別のポンプ装置を、図２のＡ−Ａ線で切断したときの断面図、および図２のＢ−Ｂ線で切断したときの断面図である。
【図４】図２および図３に示すポンプ装置の分解斜視図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、本発明を適用した別のポンプ装置を、図２のＡ−Ａ線に相当する位置で切断したときの断面図、図２のＢ−Ｂ線に相当する位置で切断したときの断面図、および（ａ）においてＣ線で囲んだ部分を拡大して示す拡大図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  アクチュエータ
２、２′  可動体
３  固定体
４  第１のヨーク
５、６  駆動マグネット
７  第２のヨーク
８  コイル
１０  ポンプ装置
１１  第１のポンプ室
１２  第２のポンプ室
２８  共通の流体入口
２９  共通の流体出口
４０  第１のヨークの外周端面
６０  弾性部材
７１５、７２５  張り出し部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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