(57)【要約】【課題】長尺帯状の金属薄板に多面付けされたシャドウマスクを枚葉状に切断する際に、固定刃と移動刃で構成される断裁機を用いずにシャドウマスクを枚葉状に切断するシャドウマスクの製造方法を提供すること。【解決手段】金属薄板１の上方に設けられたレーザー光源３０を金属薄板の幅方向Ｙに移動させながら金属薄板にレーザー光を照射して切断すること。レーザー光源の移動を金属薄板の長尺帯状方向Ｘに行い、金属薄板の長尺帯状方向を切断すること。レーザー光源がＹＡＧ、又はＣＯ2 レーザーであること。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャドウマスクの製造方法において、シャドウマスクが多面付けされた長尺帯状の金属薄板を枚葉状のシャドウマスクに切断する際に、金属薄板の上方に設けられたレーザー光源を金属薄板の幅方向に移動させながら金属薄板にレーザー光を照射して切断することを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
【請求項２】
前記レーザー光源を金属薄板の長尺帯状方向に移動させながらレーザー光を照射し、金属薄板の長尺帯状方向を切断することを特徴とする請求項１記載のシャドウマスクの製造方法。
【請求項３】
前記レーザー光源がＹＡＧ又はＣＯ2 レーザーであることを特徴とする請求項１又は２記載のシャドウマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シャドウマスクの製造方法に関するものであり、特に、シャドウマスクが多面付けされた長尺帯状の金属薄板を切断する際に、金属粉を発生させずに切断するシャドウマスクの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的なシャドウマスクの製造方法は、まず、鉄又は鉄合金よりなる金属薄板の両面に感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布、乾燥して感光層を形成する。次に、所定の遮光パターンを有する露光用マスク（多くの場合、表裏２枚のマスク）を位置合わせ、密着して、所定の露光量で感光層にパターン露光を行う。次に、所定の薬液で現像、硬膜処理等を行い、金属薄板の両面に所定形状のレジストパターンを形成する。
【０００３】
次に、レジストパターンが形成された金属薄板の両面から塩化第２鉄液等を用いて１次エッチング（ハーフエッチング）を行い、金属薄板の片面に所定形状の小孔及び他面に大孔開口パターンを形成する。
次に、エッチング耐触樹脂層の形成を行うが、この形成は、例えば、小孔開口パターンが形成された金属薄板の片面に、紫外線硬化型樹脂などを塗布、硬化してエッチング耐触樹脂層を形成する。
【０００４】
次に、塩化第２鉄液等を用いて金属薄板の他面の大孔開口パターンが片面の小孔開口パターンに貫通するまで２次エッチングを行い、シャドウマスクの孔を形成する。
次に、金属薄板上のエッチング耐触樹脂層及びレジストパターンを、アルカリ水溶液を用いて剥離処理して、所定形状の開口パターンを有するシャドウマスクとする。この際に用いる金属薄板は長尺帯状のものであり、シャドウマスクは、長尺帯状の金属薄板に多数面、面付けされた状態で連続して製造されるのが一般的である。
【０００５】
図１は、多面付けされたシャドウマスクの一例を示す平面図である。図１に示すように、長尺帯状の金属薄板（１）にシャドウマスク（２）が長尺帯方向に多数面、面付けされている。
シャドウマスク（２）は、画像面部（３）とスカート部（４）と余白部（５）とで構成されている。矢印は金属薄板（１）の搬送方向を示し、また、搬送方向と直角に示されている一点鎖線（６）は、金属薄板（１）を切断する位置を表している。
【０００６】
図２は、シャドウマスクが多面付けされた長尺帯状の金属薄板（１）を枚葉状のシャドウマスク（２）に切断する断裁機の一例を示す断面図である。図２において、（１０）は断裁機の固定刃、（１１）は断裁機の移動刃、（１２）はベルトコンベア、白太矢印は移動刃（１１）の上下移動、また、２Ａは先送されるシャドウマスク、２Ｂは後送されるシャドウマスクを示している。
固定刃（１０）及び移動刃（１１）の材料には、例えば、ＳＫ鋼、セミハイス鋼等の高速度鋼が用いられている。
【０００７】
シャドウマスクが多面付けされた長尺帯状の金属薄板（１）は、矢印で示す方向に搬送され、先送されるシャドウマスク（２Ａ）と後送されるシャドウマスク（２Ｂ）との間の一点鎖線（６）部が固定刃と移動刃の間に達した時に停止し、停止した状態で切断されて枚葉状のシャドウマスク（２）となる。或いは、搬送されながら切断される。
【０００８】
このような断裁機による切断においては、次のような問題が挙げられている。
【０００９】
１）金属粉によるシャドウマスクの収率低下
上記のような断裁機による切断においては、切断時に金属薄板（１）の金属粉が発生し周囲に飛散する。飛散した金属粉の一部はシャドウマスクに付着するが、金属粉の付着したシャドウマスクが積載されて次工程へと搬送されると、金属粉によってシャドウマスクに傷が付いたり、或いは変形したりして不良品となることがある。また、金属粉がシャドウマスクの開口部に詰まり、開口部不良として不良品となることがある。
また、断裁刃は長時間使用することによって磁気を帯びたものとなる。この断裁刃の磁気がシャドウマスクに影響し、シャドウマスクは金属粉を付着し易いものとなる。すなわち、断裁刃の磁気によって、金属粉に起因するシャドウマスクの不良品の発生が助長される。
【００１０】
２）鋭利な端面による収率低下、及び難作業性
上記のような断裁機による切断においては、切断されたシャドウマスクの端面（側面）は鋭利なものとなる。端面が鋭利なシャドウマスクは、その後の取り扱いにて、シャドウマスクに傷が付き易く不良品を誘発する。
また、その後の人手を使った取り扱いは、注意を払った取り扱いをしなければならない。
【００１１】
３）保守整備の効率
上記のような断裁機による切断においては、断裁刃には定期的な研磨、例えば、１回程度／月の研磨を必要とする。また、断裁刃を交換する際には、その都度、例えば、数時間程度／回の断裁刃の調整に時間を費やすことになる。
【特許文献１】特願２０００−３６９７９８
【特許文献２】特願２０００−３９４４５２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、長尺帯状の金属薄板に多面付けされたシャドウマスクを枚葉状に切断する際に、上記のような固定刃と移動刃で構成される断裁機を用いずにシャドウマスクを枚葉状に切断し、シャドウマスクを製造することのできるシャドウマスクの製造方法を提供することを課題とするものである。
すなわち、上記１）金属粉によるシャドウマスクの収率低下、２）鋭利な端面による収率低下、及び難作業性、３）保守整備の効率などの問題を解消し、シャドウマスクを廉価に製造するシャドウマスクの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、シャドウマスクの製造方法において、シャドウマスクが多面付けされた長尺帯状の金属薄板を枚葉状のシャドウマスクに切断する際に、金属薄板の上方に設けられたレーザー光源を金属薄板の幅方向に移動させながら金属薄板にレーザー光を照射して切断することを特徴とするシャドウマスクの製造方法である。
【００１４】
また、本発明は、上記発明によるシャドウマスクの製造方法において、前記レーザー光源を金属薄板の長尺帯状方向に移動させながらレーザー光を照射し、金属薄板の長尺帯状方向を切断することを特徴とするシャドウマスクの製造方法である。
【００１５】
また、本発明は、上記発明によるシャドウマスクの製造方法において、前記レーザー光源がＹＡＧ又はＣＯ2 レーザーであることを特徴とするシャドウマスクの製造方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、シャドウマスクが多面付けされた長尺帯状の金属薄板を枚葉状のシャドウマスクに切断する際に、金属薄板の上方に設けられたレーザー光源を金属薄板の幅方向に移動させながら金属薄板にレーザー光を照射して切断するので、１）金属粉によるシャドウマスクの収率低下、２）鋭利な端面による収率低下、及び難作業性、３）保守整備の効率などの問題が解消され、シャドウマスクを廉価に製造することのできるシャドウマスクの製造方法となる。
【００１７】
また、本発明は、上記シャドウマスクの製造方法において、レーザー光源の移動を金属薄板の長尺帯状方向に行い、金属薄板の長尺帯状方向を切断するので、シャドウマスクが金属薄板の幅方向（Ｙ）に多面付けされた際には、シャドウマスクの幅方向（Ｙ）の両端面における前記諸問題を解消することができるシャドウマスクの製造方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図３は、本発明によるシャドウマスクの製造方法において用いられる断裁部の一例を示す断面図である。また、図４は平面図である。
図３及び図４において、（３０）は金属薄板を切断するレーザー光源、矢印はレーザー光、（３２）はベルトコンベア、白太矢印はレーザー光源の、金属薄板の幅方向の移動、２Ａは先送されるシャドウマスク、２Ｂは後送されるシャドウマスクを示している。
【００１９】
シャドウマスクが多面付けされた長尺帯状の金属薄板は、（Ｘ）で示す搬送方向に搬送され、先送されるシャドウマスク（２Ａ）と後送されるシャドウマスク２Ｂ）との間の一点鎖線（６）部がレーザー光源（３０）下方に達した時に停止する。金属薄板の上方に設けられたレーザー光源（３０）を、搬送方向（長尺帯状方向）（Ｘ）と直角な方向（幅方向）（Ｙ）に移動させながら金属薄板にレーザー光を照射し、金属薄板を切断し枚葉状のシャドウマスクとする。
尚、一点鎖線（６）部は、レーザー光源（３０）下方で一旦停止せず、搬送されている状態であってもよい。
【００２０】
図３及び図４は、レーザー光源（３０）が３基設けられた例である。レーザー光源（３０）の基数は、切断作業の内容、すなわち、金属薄板の厚み、幅、搬送速度などに応じて、また製造装置内で切断作業に与えられた時間に応じて、適宜に選択されるが、複数基のレーザー光源（３０）を設けることが好ましい。
【００２１】
図３及び図４に示す、３基のレーザー光源（３０）は、金属薄板の幅方向（Ｙ）を３等分した範囲を一斉に同一方向に移動しながらレーザー光を金属薄板に照射し、幅方向（Ｙ）を一行程で切断する。
レーザー光源としては、ＹＡＧ、又はＣＯ2 レーザーが好ましい。また、レーザー光源の出力は、１基当たり３００Ｗ以上であることが好ましい。
【００２２】
本発明による金属薄板の切断は、レーザー光を用いているので、金属薄板の金属粉が発生することはない。また、断裁刃を用いていないので、シャドウマスクが磁気を帯びることはない。また、レーザー光を用いているので、切断されたシャドウマスクの端面は丸みを帯びたものとなる。また、断裁刃の保守整備は不要なものとなる。
従って、前記１）金属粉によるシャドウマスクの収率低下、２）鋭利な端面による収率低下、及び難作業性、３）保守整備の効率などの問題が解消されたシャドウマスクの製造方法となる。
【００２３】
図５は、シャドウマスク（２）が長尺帯状の金属薄板（１）の幅方向（Ｙ）に２面、長尺帯状方向（Ｘ）（Ｘ⊥Ｙ）に多数面、面付けされた一例を示す平面図である。
図５に示す、矢印（Ａ）は、画像面部（３）とスカート部（４）と余白部（５）とで構成されるシャドウマスク（２）の長尺帯方向（Ｘ）の第一列、矢印（Ｂ）は第二列を表している。また、点線（７）は、金属薄板（１）の幅方向中央に設けられた半裁線を表している。
【００２４】
本発明は、レーザー光源の移動を金属薄板の長尺帯状方向（Ｘ）に行い、金属薄板の長尺帯状方向（Ｘ）を切断することを特徴としている。
すなわち、上記のように、シャドウマスク（２）が金属薄板（１）の幅方向（Ｙ）に多面付けされた際には、レーザー光源（３０）を長尺帯状方向（Ｘ）に移動しながら半裁線（７）の部分を切断することにより、シャドウマスク（２）の幅方向（Ｙ）の両端面における前記諸問題を解消することができる。
【００２５】
このレーザー光による長尺帯状方向（Ｘ）の切断は、幅方向（Ｙ）の切断と同様に金属薄板（１）を一旦停止させることなく、搬送されている状態で切断することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】多面付けされたシャドウマスクの一例を示す平面図である。
【図２】枚葉状のシャドウマスクに切断する断裁機の一例を示す断面図である。
【図３】本発明によるシャドウマスクの製造方法において用いられる断裁部の一例を示す断面図である。
【図４】図３に示す断裁部のの平面図である。
【図５】シャドウマスクが長尺帯状の金属薄板の幅方向（Ｙ）に２面、長尺帯状方向（Ｘ）に多数面、面付けされた一例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１・・・金属薄板
２・・・シャドウマスク
２Ａ・・・先送されるシャドウマスク
２Ｂ・・・後送されるシャドウマスク
３・・・画像面部
４・・・スカート部
５・・・余白部
６・・・一点鎖線
７・・・半裁線
１０・・・固定刃
１１・・・移動刃
１２、３２・・・ベルトコンベア
３０・・・レーザー光源
Ａ・・・シャドウマスクの長尺帯方向の第一列
Ｂ・・・シャドウマスクの長尺帯方向の第二列
Ｘ・・・搬送方向（長尺帯状方向）
Ｙ・・・搬送方向と直角な方向（幅方向）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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