(57)【要約】【課題】試料の斜め方向での特性の測定を高精度に行うことが可能な測定装置を提供する。【解決手段】２つの透明部材１７，１８に挟まれた試料１９に光を入射するための光源１１を含む照明系と、試料１９を通過した光を受光するための受光部１５を含む受光系とを有し、受光部１５で受光された光に基づいて試料１９の測定領域１９ａでの特性を測定する測定装置１００は、試料１９と照明系と受光系の位置を制御する制御部２０を備え、測定開始前、制御部２０は、照明系及び受光系のそれぞれを試料１９に対して垂直な方向から所定角度θ傾けた状態における受光部１５での受光量を最大にするために必要な照明系及び前記受光系の少なくとも一方のＸ方向への移動量（以下、第１の移動量という）を算出し、照明系及び受光系の少なくとも一方をＸ方向へ第１の移動量だけ移動させる制御を行う。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明部材の表面又は内部に設けられた試料に光を入射するための光源を含む照明系と、前記試料及び前記透明部材を通過した光を受光するための受光手段を含む受光系とを有し、前記受光手段で受光された光に基づいて前記試料の測定領域での特性を測定する測定装置であって、
前記試料と前記照明系と前記受光系の相対位置関係を制御する制御手段を備え、
前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記制御手段は、前記状態における前記受光手段での受光量が最大となるように、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の測定装置であって、
前記制御手段は、前記状態で前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記試料に平行な方向へ移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される受光量をモニタし、当該受光量がほぼ最大となったときの前記相対位置関係に基づいて、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方の移動量（以下、第１の移動量という）を算出する測定装置。
【請求項３】
請求項１記載の測定装置であって、
前記制御手段は、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方の移動量（以下、第１の移動量という）を算出する測定装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか記載の測定装置であって、
前記照明系は、前記光源からの光を前記試料に集光するための照明用レンズを含み、
前記受光系は、前記試料及び前記透明部材を通過した光を前記受光手段に集光するための受光用レンズを含み、
前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記制御手段は、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの焦点位置が前記試料の位置にくるように、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させる制御を行う測定装置。
【請求項５】
請求項４記載の測定装置であって、
前記制御手段は、前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態で、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される光に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する測定装置。
【請求項６】
請求項４記載の測定装置であって、
前記制御手段は、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する測定装置。
【請求項７】
透明部材の表面又は内部に設けられた試料に光を入射するための光源を含む照明系と、前記試料及び前記透明部材を通過した光を受光するための受光手段を含む受光系とを有し、前記受光手段で受光された光に基づいて前記試料の測定領域での特性を測定する測定装置であって、
前記試料と前記照明系と前記受光系の相対位置関係を制御する制御手段を備え、
前記照明系は、前記光源からの光を前記試料に集光するための照明用レンズを含み、
前記受光系は、前記試料及び前記透明部材を通過した光を前記受光手段に集光するための受光用レンズを含み、
前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記制御手段は、前記状態における前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの焦点位置が前記試料の位置にくるように、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させる制御を行う測定装置。
【請求項８】
請求項７記載の測定装置であって、
前記制御手段は、前記状態で前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される光に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する測定装置。
【請求項９】
請求項７記載の測定装置であって、
前記制御手段は、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する測定装置。
【請求項１０】
請求項１〜３のいずれか記載の測定装置であって、
前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記第１の移動量だけ移動させた後、前記制御手段は、光路上に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う測定装置。
【請求項１１】
請求項４〜６のいずれか記載の測定装置であって、
前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記第１の移動量だけ移動させ、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記第２の移動量だけ移動させた後、前記制御手段は、前記照明用レンズの焦点位置に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う測定装置。
【請求項１２】
請求項７〜９のいずれか記載の測定装置であって、
前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記第２の移動量だけ移動させた後、前記制御手段は、前記照明用レンズの焦点位置に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う測定装置。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれか記載の測定装置であって、
前記制御手段は、前記相対位置の移動量を、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて算出する測定装置。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか記載の測定装置であって、
前記受光手段はラインセンサであり、
測定時、前記制御手段は、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を、前記ラインセンサのセンサ配列方向と直交する方向に所定量ずつ移動させる制御を行う測定装置。
【請求項１５】
透明部材の表面又は内部に設けられた試料に光を入射するための光源を含む照明系と、前記試料及び前記透明部材を通過した光を受光するための受光手段を含む受光系とを用い、前記受光手段で受光された光に基づいて前記試料の測定領域での特性を測定する測定方法であって、
前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記状態における前記受光手段での受光量が最大となるように、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う第１の制御ステップを含む測定方法。
【請求項１６】
請求項１５記載の測定方法であって、
前記状態で前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記試料に平行な方向へ移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される受光量をモニタし、当該受光量がほぼ最大となったときの前記試料と前記照明系と前記受光系の相対位置関係に基づいて、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方の移動量（以下、第１の移動量という）を算出する第１の移動量算出ステップを含む測定方法。
【請求項１７】
請求項１５記載の測定方法であって、
前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方の移動量（以下、第１の移動量という）を算出する第１の移動量算出ステップを含む測定方法。
【請求項１８】
請求項１５〜１７のいずれか記載の測定方法であって、
前記照明系は、前記光源からの光を前記試料に集光するための照明用レンズを含み、
前記受光系は、前記試料及び前記透明部材を通過した光を前記受光手段に集光するための受光用レンズを含み、
前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの焦点位置が前記試料の位置にくるように、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させる制御を行う第２の制御ステップを含む測定方法。
【請求項１９】
請求項１８記載の測定方法であって、
前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態で、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される光に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する第２の移動量算出ステップを含む測定方法。
【請求項２０】
請求項１８記載の測定方法であって、
前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する第２の移動量算出ステップを含む測定方法。
【請求項２１】
透明部材の表面又は内部に設けられた試料に光を入射するための光源を含む照明系と、前記試料及び前記透明部材を通過した光を受光するための受光手段を含む受光系とを用い、前記受光手段で受光された光に基づいて前記試料の測定領域での特性を測定する測定方法であって、
前記照明系は、前記光源からの光を前記試料に集光するための照明用レンズを含み、
前記受光系は、前記試料及び前記透明部材を通過した光を前記受光手段に集光するための受光用レンズを含み、
前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記状態における前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの焦点位置が前記試料の位置にくるように、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させる制御を行う制御ステップを含む測定方法。
【請求項２２】
請求項２１記載の測定方法であって、
前記状態で前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される光に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量を算出する移動量算出ステップを含む測定方法。
【請求項２３】
請求項２１記載の測定方法であって、
前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量を算出する移動量算出ステップを含む測定方法。
【請求項２４】
請求項１５〜１７のいずれか記載の測定方法であって、
前記第１の制御ステップの後、光路上に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行うステップを含む測定方法。
【請求項２５】
請求項１８〜２０のいずれか記載の測定方法であって、
前記第１の制御ステップ及び前記第２の制御ステップの後、前記照明用レンズの焦点位置に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う第３の制御ステップを含む測定方法。
【請求項２６】
請求項２１〜２３のいずれか記載の測定方法であって、
前記制御ステップの後、前記照明用レンズの焦点位置に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行うステップを含む測定方法。
【請求項２７】
請求項２４〜２６のいずれか記載の測定方法であって、
前記相対位置の移動量を、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて算出する相対移動量算出ステップを含む測定方法。
【請求項２８】
請求項１５〜２７のいずれか記載の測定方法であって、
前記受光手段はラインセンサであり、
測定時、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を、前記ラインセンサのセンサ配列方向と直交する方向に所定量ずつ移動させる制御を行う測定方法。
【請求項２９】
コンピュータを、請求項１〜１４のいずれか記載の制御手段として機能させるための制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明部材の表面又は内部に設けられた試料に光を入射するための光源を含む照明系と、前記試料及び前記透明部材を通過した光を受光するための受光手段を含む受光系とを有し、前記受光手段で受光された光に基づいて前記試料の測定領域での特性を測定する測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、写真フイルムや生体薄片試料等の薄型平面試料の特性の測定（濃度測定、複屈折測定）を行う測定装置が存在する。この測定装置は、図７に示すように、２枚のガラス７，８に挟まれた試料９の測定領域に対し、光源からの光をレンズ３により集光して照射し、測定領域を通過した光をレンズ４によって図示しない受光部に集光し、受光部で受光された光に基づいて各種測定を行うものである。図７の測定装置では、レンズ３，４の光軸ｃは試料９に対して垂直となっており、レンズ３，４の焦点位置は光軸ｃと試料９との交点に来るように設計されている。
【０００３】
図７に示す測定装置では、試料９の垂直方向での特性しか測定できない。そこで、試料９の斜め方向での特性を測定する測定装置が存在する（例えば、特許文献１参照）。この測定装置は、図７のような構成の測定装置において光源、レンズ３，４、及び受光部を可動にしたものである。この測定装置は、図８に示すように、レンズ３，４の光軸ｃを試料９に対して垂直方向から角度θ傾けることが可能であり、試料９の斜め方向での特性を測定することが可能である。尚、レンズ３，４の焦点位置は、ガラス７，８がないと仮定したとき、光軸ｃと試料９との交点に来るように設計されている。又、試料９はガラス７，８に比べて十分に薄いものとし、ここでの屈折はないものとする。
【０００４】
【特許文献１】特願２００１−５２５１５５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図８に示す構成の測定装置では、レンズ３で集光された光がガラス８によって屈折してから試料９に入射し、試料９を通過した光がガラス７から出る際に再び屈折してからレンズ４に入射する。このため、レンズ３の中心を通過する光ｄがレンズ４の中心に入射されなくなり、試料９を通過した光の全てを受光部で受光できない可能性が生じてしまう。又、屈折により光路長が変化するため、レンズ３，４の焦点距離が変化してしまい、試料上の測定領域より広い範囲を通過した光が受光部で受光されてしまう。この結果、測定精度が低下してしまう。このような課題は、光が試料９に入射した後に屈折してしまうような場合に発生しうる。尚、特許文献１では、上記のような課題には触れていない。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、試料の斜め方向での特性の測定を高精度に行うことが可能な測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明の測定装置は、透明部材の表面又は内部に設けられた試料に光を入射するための光源を含む照明系と、前記試料及び前記透明部材を通過した光を受光するための受光手段を含む受光系とを有し、前記受光手段で受光された光に基づいて前記試料の測定領域での特性を測定する測定装置であって、前記試料と前記照明系と前記受光系の相対位置関係を制御する制御手段を備え、前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記制御手段は、前記状態における前記受光手段での受光量が最大となるように、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う測定装置。
【０００８】
この構成により、試料の斜め方向での特性の測定を高精度に行うことが可能となる。
【０００９】
（２）上記（１）記載の測定装置であって、前記制御手段は、前記状態で前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記試料に平行な方向へ移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される受光量をモニタし、当該受光量がほぼ最大となったときの前記相対位置関係に基づいて、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方の移動量（以下、第１の移動量という）を算出する測定装置。
【００１０】
この構成により、第１の移動量を正確に算出することができる。
【００１１】
（３）上記（１）記載の測定装置であって、前記制御手段は、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方の移動量（以下、第１の移動量という）を算出する測定装置。
【００１２】
この構成により、第１の移動量の算出を高速に行うことができる。
【００１３】
（４）上記（１）〜（３）のいずれか記載の測定装置であって、前記照明系は、前記光源からの光を前記試料に集光するための照明用レンズを含み、前記受光系は、前記試料及び前記透明部材を通過した光を前記受光手段に集光するための受光用レンズを含み、前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記制御手段は、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの焦点位置が前記試料の位置にくるように、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させる制御を行う測定装置。
【００１４】
この構成により、試料の斜め方向での特性の測定を高精度に行うことが可能となる。
【００１５】
（５）上記（４）記載の測定装置であって、前記制御手段は、前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態で、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される光に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する測定装置。
【００１６】
この構成により、第２の移動量を正確に算出することができる。
【００１７】
（６）上記（４）記載の測定装置であって、前記制御手段は、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する測定装置。
【００１８】
この構成により、第２の移動量の算出を高速に行うことができる。
【００１９】
（７）本発明の測定装置は、透明部材の表面又は内部に設けられた試料に光を入射するための光源を含む照明系と、前記試料及び前記透明部材を通過した光を受光するための受光手段を含む受光系とを有し、前記受光手段で受光された光に基づいて前記試料の測定領域での特性を測定する測定装置であって、前記試料と前記照明系と前記受光系の相対位置関係を制御する制御手段を備え、前記照明系は、前記光源からの光を前記試料に集光するための照明用レンズを含み、前記受光系は、前記試料及び前記透明部材を通過した光を前記受光手段に集光するための受光用レンズを含み、前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記制御手段は、前記状態における前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの焦点位置が前記試料の位置にくるように、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させる制御を行う測定装置。
【００２０】
この構成により、試料の斜め方向での特性の測定を高精度に行うことが可能となる。
【００２１】
（８）上記（７）記載の測定装置であって、前記制御手段は、前記状態で前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される光に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する測定装置。
【００２２】
この構成により、第２の移動量を正確に算出することができる。
【００２３】
（９）上記（７）記載の測定装置であって、前記制御手段は、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する測定装置。
【００２４】
この構成により、第２の移動量の算出を高速に行うことができる。
【００２５】
（１０）上記（１）〜（３）のいずれか記載の測定装置であって、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記第１の移動量だけ移動させた後、前記制御手段は、光路上に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う測定装置。
【００２６】
（１１）上記（４）〜（６）のいずれか記載の測定装置であって、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記第１の移動量だけ移動させ、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記第２の移動量だけ移動させた後、前記制御手段は、前記照明用レンズの焦点位置に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う。
【００２７】
この構成により、試料の斜め方向での特性の測定を高精度に行うことが可能となる。
【００２８】
（１２）上記（７）〜（９）のいずれか記載の測定装置であって、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記第２の移動量だけ移動させた後、前記制御手段は、前記照明用レンズの焦点位置に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う。
【００２９】
この構成により、試料の斜め方向での特性の測定を高精度に行うことが可能となる。
【００３０】
（１３）上記（１０）〜（１２）のいずれか記載の測定装置であって、前記制御手段は、前記相対位置の移動量を、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて算出する。
【００３１】
この構成により、試料の斜め方向での特性の測定を高精度に行うことが可能となる。
【００３２】
（１４）上記（１）〜（１３）のいずれか記載の測定装置であって、前記受光手段はラインセンサであり、測定時、前記制御手段は、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を、前記ラインセンサのセンサ配列方向と直交する方向に所定量ずつ移動させる制御を行う。
【００３３】
この構成により、ラインセンサを用いて２次元領域での測定を行うことができる。
【００３４】
（１５）本発明の測定方法は、透明部材の表面又は内部に設けられた試料に光を入射するための光源を含む照明系と、前記試料及び前記透明部材を通過した光を受光するための受光手段を含む受光系とを用い、前記受光手段で受光された光に基づいて前記試料の測定領域での特性を測定する測定方法であって、前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記状態における前記受光手段での受光量が最大となるように、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う第１の制御ステップを含む測定方法。
【００３５】
（１６）上記（１５）記載の測定方法であって、前記状態で前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方を前記試料に平行な方向へ移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される受光量をモニタし、当該受光量がほぼ最大となったときの前記試料と前記照明系と前記受光系の相対位置関係に基づいて、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方の移動量（以下、第１の移動量という）を算出する第１の移動量算出ステップを含む測定方法。
【００３６】
（１７）上記（１５）記載の測定方法であって、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明系及び前記受光系の少なくとも一方の移動量（以下、第１の移動量という）を算出する第１の移動量算出ステップを含む測定方法。
【００３７】
（１８）上記（１５）〜（１７）のいずれか記載の測定方法であって、前記照明系は、前記光源からの光を前記試料に集光するための照明用レンズを含み、前記受光系は、前記試料及び前記透明部材を通過した光を前記受光手段に集光するための受光用レンズを含み、前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの焦点位置が前記試料の位置にくるように、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させる制御を行う第２の制御ステップを含む測定方法。
【００３８】
（１９）上記（１８）記載の測定方法であって、前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態で、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される光に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する第２の移動量算出ステップを含む測定方法。
【００３９】
（２０）上記（１８）記載の測定方法であって、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量（以下、第２の移動量という）を算出する第２の移動量算出ステップを含む測定方法。
【００４０】
（２１）本発明の測定方法は、透明部材の表面又は内部に設けられた試料に光を入射するための光源を含む照明系と、前記試料及び前記透明部材を通過した光を受光するための受光手段を含む受光系とを用い、前記受光手段で受光された光に基づいて前記試料の測定領域での特性を測定する測定方法であって、前記照明系は、前記光源からの光を前記試料に集光するための照明用レンズを含み、前記受光系は、前記試料及び前記透明部材を通過した光を前記受光手段に集光するための受光用レンズを含み、前記照明系及び前記受光系のそれぞれが前記試料に対して垂直な方向から所定角度傾いた状態での測定開始前、前記状態における前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの焦点位置が前記試料の位置にくるように、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させる制御を行う制御ステップを含む測定方法。
【００４１】
（２２）上記（２１）記載の測定方法であって、前記状態で前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれを前記光軸方向に移動させ、当該移動中に前記受光手段で受光される光に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量を算出する移動量算出ステップを含む測定方法。
【００４２】
（２３）上記（２１）記載の測定方法であって、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて、前記照明用レンズ及び前記受光用レンズのそれぞれの移動量を算出する移動量算出ステップを含む測定方法。
【００４３】
（２４）上記（１５）〜（１７）のいずれか記載の測定方法であって、前記第１の制御ステップの後、光路上に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行うステップを含む測定方法。
【００４４】
（２５）上記（１８）〜（２０）のいずれか記載の測定方法であって、前記第１の制御ステップ及び前記第２の制御ステップの後、前記照明用レンズの焦点位置に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行う第３の制御ステップを含む測定方法。
【００４５】
（２６）上記（２１）〜（２３）のいずれか記載の測定方法であって、前記制御ステップの後、前記照明用レンズの焦点位置に前記測定領域が存在するように、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を前記試料に平行な方向へ移動させる制御を行うステップを含む測定方法。
【００４６】
（２７）上記（２４）〜（２６）のいずれか記載の測定方法であって、前記相対位置の移動量を、前記透明部材の厚み、前記透明部材の屈折率、及び前記所定角度に基づいて算出する相対移動量算出ステップを含む測定方法。
【００４７】
（２８）上記（１５）〜（２７）のいずれか記載の測定方法であって、前記受光手段はラインセンサであり、測定時、前記透明部材に対する前記照明系及び前記受光系の相対位置を、前記ラインセンサのセンサ配列方向と直交する方向に所定量ずつ移動させる制御を行う測定方法。
【００４８】
本発明の制御プログラムは、コンピュータを、上記（１）〜（１４）のいずれか記載の制御手段として機能させるためのプログラムである。
【発明の効果】
【００４９】
本発明によれば、試料の斜め方向での特性の測定を高精度に行うことが可能な測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態を説明するための測定装置の概略構成を示す図である。
図１に示す測定装置１００は、ハードウェア１０と、ハードウェア１０を制御する制御部２０とを備える。ハードウェア１０については、Ｙ方向から見たときの側面図を示している。
【００５１】
ハードウェア１０は、レーザやハロゲンランプ等の光源１１と、光源１１からの光の通る幅を制限するためのスリット部１２と、スリット部１２を通過した光を集光して、ガラスや樹脂等の２つの透明部材１７，１８に挟まれた試料１９に入射させるための照明用レンズ１３と、試料１９を通過した光を受光するＣＣＤ型又はＣＭＯＳ型ラインセンサやＣＣＤ型又はＣＭＯＳ型２次元センサ等の受光部１５（ここではラインセンサとする）と、試料１９を通過した光を受光部１５の受光面に集光する受光用レンズ１４とを備える。尚、照明用レンズ１３と光源１１との間にはその他の光学部材があっても良い。同様に、受光用レンズ１４と受光部１５との間にはその他の光学部材があっても良い。以下光源１１、スリット部１２、及び照明用レンズ１３を含む系を照明系と定義し、受光用レンズ１４及び受光部１５を含む系を受光系と定義する。又、透明部材１７，１８と試料１９を含めたものをサンプル１６とする。
【００５２】
照明系、受光系、及びサンプル１６は、ＸＹＺステージ上に配置されており、それぞれ図示しない駆動機構によりＸＹＺ空間上で移動可能になっている。
【００５３】
照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４はそれぞれ同じ光軸ａを持ち、光軸ａはサンプル１６に対して垂直になっている。照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４の焦点距離は、それぞれ、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４の主点から、光軸ａと試料１９のＺ方向の中点との交点（以下、単に交点という）までの距離に設計されている。
【００５４】
図２（ａ）は、図１に示すスリット部１２の斜視図、図２（ｂ）は、図１に示す受光部１５の斜視図である。
図２（ａ）に示すように、スリット部１２は、板状の部材１２ａにＹ方向に延びる細長のスリット１２ｂが形成されたものである。図２（ｂ）に示すように、受光部１５は、フォトダイオード等の光電変換素子であるセンサ１５ａがＹ方向に多数配列されたものであり、多数のセンサ１５ａで受光された光は信号電荷に変換された後、この信号電荷に応じた信号がＣＣＤやＣＭＯＳ回路等によって外部に読み出される構成となっている。受光部１５から読み出された信号は、制御部２０に入力される。
【００５５】
制御部２０は、所定のプログラムによって動作するプロセッサを主体に構成され、受光部１５から入力された信号やユーザにより入力されたデータ等に基づいて各種演算処理を実行する。又、制御部２０は、照明系、受光系、及びサンプル１６を駆動制御し、照明系、受光系、及びサンプル１６の相対位置関係を制御する。
【００５６】
図３は、図１に示すハードウェア１０をＺ方向から見た図である。
図３に示すように、照明用レンズ１３で集光された光は、試料１９に設定される測定領域１９ａ内の細長の領域１９ｂに入射する。領域１９ｂを通過した光は、受光用レンズ１４で集光された後、受光部１５のセンサ１５ａによって受光される。測定領域１９ａは任意に設定可能であり、測定装置１００では、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４の光軸ａと試料１９との交差する位置を中心とした任意の大きさの領域として設定可能である。測定装置１００では、測定時、制御部２０の制御により、サンプル１６に対する照明系及び受光系の相対位置を、受光部１５のセンサ１５ａの配列方向（Ｙ方向）に直交するＸ方向に所定量ずつずらす（例えば、サンプル１６のみをずらしたり、照明系及び受光系のみをずらしたり、サンプル１６と照明系及び受光系の両方をずらしたりする）ことで、２次元センサを用いることなく、２次元の測定領域１９ａでの特性の測定が可能となっている。
【００５７】
このような構成の測定装置１００では、上記のように試料１９の測定領域１９ａに対して垂直方向での測定が可能な他に、試料１９の測定領域１９ａに対して斜め方向での測定も可能である。この場合の測定装置１００の動作について、以下に説明する。
【００５８】
図４は、本発明の実施形態を説明するための測定装置において、試料の斜め方向での特性を測定する際の動作を説明するための動作フローを示す図である。
まず、ユーザにより試料の測定角θと、測定したい試料１９の透明部材１７，１８の屈折率ｎ’と、透明部材１７のＺ方向の厚みｄ１と、透明部材１８のＺ方向の厚みｄ２とが入力されると（Ｓ４１）、制御部２０は、交点を中心にして照明系と受光系をＸＺ平面上で回転させて、照明系と受光系をＺ方向に対して角度θだけ傾ける制御を行う（Ｓ４２）。この制御により、測定装置１００は、図５に示したような状態となる。この状態では、段落０００５で説明したように、照明用レンズ１３を通過した光が受光用レンズ１４の中心に入射されなくなってしまう。照明用レンズ１３を通過した光が受光用レンズ１４の中心に入射されないと、受光部１５での受光量が少なくなってしまうため、測定精度が劣化する。測定精度を劣化させないためには、照明系及び受光系の配置が、受光部１５で受光される光源１１からの光量がほぼ最大となるような配置になっていれば良い。そこで、制御部２０は、照明系と受光系をＺ方向に対して角度θだけ傾けた状態における受光部１５での受光量をほぼ最大にするために必要な照明系及び受光系の少なくとも一方のＸ方向への移動量（以下、第１の移動量という）を算出する（Ｓ４３）。
【００５９】
第１の移動量の算出方法には次の２通りがある。
＜第１の方法＞
制御部２０は、図５に示す状態で、受光系を固定とし、照明系のみをＸ方向に所定量移動させ、当該移動中に受光部１５で受光される受光量をモニタし、当該受光量がほぼ最大となったときの照明系の位置を記憶する。そして、この位置と図５に示す状態での照明系の位置との差から照明系の第１の移動量を算出する。尚、ここでは、受光系を固定としているが、照明系を固定とし、受光系のみを移動させて受光系の第１の移動量を算出することも可能である。又、照明系と受光系の両方を移動させて、両方の第１の移動量を算出することも可能である。
【００６０】
＜第２の方法＞
制御部２０は、受光系を固定としたときの照明系の第１の移動量を以下の数１を用いて算出する。尚、照明系を固定としたときの受光系の第１の移動量も数１によって算出することができる。又、照明系と受光系の両方の第１の移動量は、ｄ１＝ｄ２とした場合、数１で求まる第１の移動量に１／２を乗ずることで求めることができる。
【００６１】
【数１】
2006078335.tif 000003
【００６２】
次に、制御部２０は、例えば、受光系を固定として算出した第１の移動量だけ照明系をＸ方向に移動させる制御を行う（Ｓ４４）。この制御により、測定装置１００は、図６に示したような状態となり、照明用レンズ１３の中心を通過した光ｂが受光用レンズ１４の中心に入射するようになる。このため、照明系及び受光系のそれぞれがＺ方向に対して角度θ傾いている状態における受光部１５での受光量はほぼ最大となり、測定精度の劣化を防ぐことができる。尚、制御部２０は、受光系の第１の移動量を算出したときは、受光系を第１の移動量だけ−Ｘ方向に移動させる制御を行い、照明系と受光系それぞれの第１の移動量を算出したときは、照明系を第１の移動量だけＸ方向に移動させ、受光系を第１の移動量だけ−Ｘ方向に移動させる制御を行う。
【００６３】
図６に示す状態では、受光部１５での受光量がほぼ最大になっているが、照明用レンズ１３を通過した光の試料１９までの光路長は短くなっている。このため、照明用レンズ１３の焦点が試料１９の位置に合わず、透明部材１７の位置に合ってしまい、測定精度が劣化してしまう。同様に、試料１９を通過した光の受光用レンズ１４までの光路長は短くなっているため、測定精度が劣化してしまう。そこで制御部２０は、図６に示す状態での照明用レンズ１３の焦点位置及び受光用レンズ１４の焦点位置（この焦点位置は受光用レンズ１４に受光部１５の受光面の位置から光が入射されたと仮定したときのもの）のそれぞれが試料１９の位置にくるような、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれの光軸ａ方向への移動量（以下、第２の移動量という）を算出する（Ｓ４５）。
【００６４】
第２の移動量の算出方法には次の２通りがある。
＜第１の方法＞
制御部２０は、図６に示す状態で、受光系を固定とし、照明系に含まれる照明用レンズ１３のみを光軸ａの方向に所定量移動させ、当該移動中に受光部１５で受光される光に応じた信号の高周波成分の積算値を求め、この積算値が最大となるような照明用レンズ１３の位置を決定する。そして、決定した位置と図６に示す状態での照明用レンズ１３の位置との差から照明用レンズ１３の第２の移動量を算出する。照明用レンズ１３の第２の移動量を算出後、制御部２０は、照明系を図６に示す位置に戻して照明系を固定とし、受光系に含まれる受光用レンズのみを光軸ａの方向に所定量移動させ、当該移動中に受光部１５で受光される光に応じた信号の高周波成分の積算値を求め、この積算値が最大となるような受光用レンズ１４の位置を決定する。そして、決定した位置と図６に示す状態での受光用レンズ１４の位置との差から受光用レンズ１４の第２の移動量を算出する。尚、ここでは受光部１５で変換された信号の高周波成分に基づいて位置を決定しているが、これに限らず、公知のオートフォーカス処理に用いられている方法を利用して第２の移動量を算出することができる。
【００６５】
＜第２の方法＞
制御部２０は、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれの第２の移動量を以下の数２を用いて算出する。
【００６６】
【数２】
2006078335.tif 000004
【００６７】
次に、制御部２０は、算出した第２の移動量だけ照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４を光軸ａの方向に移動させる制御を行う（Ｓ４６）。具体的には、照明用レンズ１３を光源１１側に第２の移動量だけ移動させ、受光用レンズ１４を受光部１５側に第２の移動量だけ移動させる。この制御により、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれの焦点位置は試料１９の位置になり、測定精度の劣化を防ぐことができる。
【００６８】
Ｓ４６の処理後の状態では、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれの焦点位置と、試料１９上の測定領域１９ａの中心とがＸ方向にずれており、測定領域１９ａの中心における試料１９の特性の測定ができない。このため、制御部２０は、測定領域１９ａの中心に照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれの焦点位置が来るような、サンプル１６に対する照明系及び受光系の相対位置のＸ方向への相対移動量を以下の数３により算出し、サンプル１６に対する照明系及び受光系の相対位置を相対移動量だけ移動させる制御を行う（Ｓ４７）。具体的には、サンプル１６のみをＸ方向に移動させてサンプル１６に対する照明系及び受光系の相対位置を相対移動量だけ移動させても良いし、照明系及び受光系のみを−Ｘ方向に移動させてサンプル１６に対する照明系及び受光系の相対位置を相対移動量だけ移動させても良いし、サンプル１６をＸ方向、照明系及び受光系を−Ｘ方向に移動させてサンプル１６に対する照明系及び受光系の相対位置を相対移動量だけ移動させても良い。サンプル１６と照明系及び受光系の両方を移動させる場合は、両方の移動量の合計が数３で算出した相対移動量となるように移動させれば良い。
【００６９】
【数３】
2006078335.tif 000005
【００７０】
以上のＳ４１〜Ｓ４７の処理により、試料１９の測定領域１９ａにおける特性の測定を行う準備が完了する。そして、制御部２０は、サンプル１６に対する照明系及び受光系の相対位置を、受光部１５のセンサ１５ａの配列方向と直交する方向（Ｘ方向）に所定量ずつ移動させ、移動した都度、受光部１５から得られる信号に基づいて、測定領域１９ａにおける特性の測定を行う（Ｓ４８）。
【００７１】
尚、上記では、試料１９が２つの透明部材１７，１８に挟まれているが、これに限らず、１つの透明部材の表面に試料１９を設けた状態で測定を行っても良い。つまり、サンプル１６として透明部材１７又は１８を持たないものを用いることもできる。又、上記では、試料１９が２つの透明部材１７，１８に挟まれているため、この試料１９は、１つの透明部材の内部に設けられたものであるということもできる。試料１９としては、液晶、生体薄片試料、及び写真フイルム等を用いることができる。測定装置１００では斜め方向からの測定が可能であるため、試料として液晶を用いた場合には、液晶の微小領域における複屈折特性を詳細に測定することができる。
【００７２】
又、上記では、測定精度を従来よりも向上させるために、受光部１５での受光量が最大となるように、照明系及び受光系の少なくとも一方の位置を調整する処理と、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれの焦点位置を調整する処理とを併せて行っているが、どちらかの一方の処理を行うだけでも、従来に比べて測定精度を向上させることは十分に可能である。照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれの焦点位置を調整する処理のみを行う場合には、図５に示した状態で、数２又は照明用レンズ１３，受光用レンズ１４のそれぞれを移動させて得られる光に基づいて第２の移動量を算出し、算出した第２の移動量だけ照明用レンズ１３，受光用レンズ１４を移動させてから、Ｓ４７，Ｓ４８の処理を行えば良い。照明系及び受光系の少なくとも一方の位置を調整する処理のみを行う場合には、図５に示した状態で、第１の移動量を算出し、算出した第１の移動量だけ照明系及び受光系の少なくとも一方を移動させた後、光路上に測定領域１９ａが存在するように、透明部材１７，１８に対する照明系及び受光系の相対位置を試料１９に平行な方向へ移動させる制御を行えば良い。
【００７３】
又、上記では、図４のＳ４７において、測定領域１９ａを照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４の焦点位置に移動させる処理を行っているが、測定領域１９ａの位置を試料１９上で任意に設定することができれば、この処理は省略しても良い。又、受光部１５での受光量が最大となるように、照明系及び受光系の少なくとも一方の位置を調整する処理において、照明用レンズ１３の中心を通過した光が受光用レンズ１４の中心に入射し、且つ、照明系及び受光系の両方の焦点位置が測定領域１９ａになるように、照明系及び受光系のそれぞれの光軸位置を調整しておけば、あらためて測定領域１９ａを照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４の焦点位置に移動させる処理は不要である。
【００７４】
又、上記では、ラインセンサを用いて測定を行うため、測定時、サンプル１６に対する照明系及び受光系の相対位置を、受光部１５のセンサ１５ａの配列方向と直交する方向（Ｘ方向）に所定量ずつ移動させる処理を行っているが、２次元センサを用いた場合には、この処理は不要である。
【００７５】
又、上記では、照明系及び受光系を角度θ傾けてから第１の移動量を算出し、照明系を第１の移動量だけ移動させてから第２の移動量を算出して、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれを第２の移動量だけ移動させているが、第１の移動量の算出は、照明系及び受光系を角度θ傾けた後から、照明系を移動させるまでの間であればいつ行っても良く、第２の移動量の算出は、照明系及び受光系を角度θ傾けた後から、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれを移動させるまでの間であればいつ行っても良い。例えば、図４のＳ４２の直後に、第１の移動量と第２の移動量を求めてしまっても良い。又、第１の移動量及び第２の移動量の算出方法として数式を用いる場合には、Ｓ４１の時点で算出を行ってしまっても良い。
【００７６】
又、上記では、第１の移動量だけ照明系を移動させてから、第２の移動量だけ照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれを移動させているが、この順番は逆であっても良い。つまり、第２の移動量だけ照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれを移動させて焦点位置調整を行ってから、第１の移動量だけ照明系を移動させて受光量調整を行っても良い。
【００７７】
又、サンプル１６に対する照明系及び受光系の相対移動量の算出は、Ｓ４１の後からＳ４７の前の間であればどの時点で行っても良い。
【００７８】
以上のように、測定装置１００によれば、試料の斜め方向からの測定を行う前に、受光部１５での受光量が最大となるように照明系及び受光系の少なくとも一方の位置を調整するため、サンプル１６における屈折による影響を無くして、高精度の測定を行うことができる。又、測定装置１００によれば、試料の斜め方向からの測定を行う前に、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれの焦点位置を調整するため、サンプル１６における屈折による影響を無くして、高精度の測定を行うことができる。又、測定装置１００によれば、測定領域１９ａの位置をずらしてから測定を行うため、照明系及び受光系のそれぞれを傾けた場合でも、ユーザの意図した測定領域内の測定を行うことができる。又、測定装置１００によれば、ラインセンサを用いて２次元領域の測定を行うことができ、装置コストを低くすることが可能である。又、試料１９に入射する光のスポット径が非常に小さい（例えば、φ１．０以下）場合は、上記課題が深刻となるため、測定装置１００はスポット径が非常に小さい場合に特に有効となる。
【００７９】
以下、測定装置１００への入力データに具体的数値を入れて実験したときの動作を説明する。
測定角θ＝４５°、透明部材１７，１８それぞれの厚みｄ１＝ｄ２＝０．６ｍｍ、透明部材１７，１８それぞれの屈折率ｎ’＝１．５として、厚み１０μｍの試料の測定を行う。スリット１２ｂのサイズは０．５ｍｍ×１５ｍｍとし、照明用レンズ１３で１／５倍に縮小して試料１９上で０．１ｍｍ×３ｍｍに結像させる。又、センサ１５ａは０．２５ｍｍ角のものとし、その数は５０個のものを用いる。受光部１５のサイズは、０．２５ｍｍ×１２．５ｍｍとなる。受光用レンズ１４の倍率は５倍となっており、受光部１５の受光面上では、試料１９上の０．０５ｍｍ×２．５ｍｍの領域が結像される。
【００８０】
測定前、制御部２０は、照明系及び受光系をそれぞれ角度４５°傾けた後、数１により照明系の第１の移動量を算出する。このときの第１の移動量は０．５６ｍｍとなるため、制御部２０は、照明系をＸ方向に０．５６ｍｍ移動させる。更に、制御部２０は、数２により照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４のそれぞれの第２の移動量を算出する。このときの第２の移動量は、照明用レンズ１３及び受光用レンズ１４共に０．９６９ｍｍとなるため、制御部２０は、照明用レンズ１３を０．９６９ｍｍ光源１１側に移動させ、受光用レンズ１４を０．９６９ｍｍ受光部１５側に移動させる。更に、制御部２０は、数３により相対移動量を算出する。このときの相対移動量は０．２８ｍｍとなるため、制御部２０は、サンプル１６をＸ方向に０．２８ｍｍ移動させる。これにより測定準備が整う。そして、測定時、制御部２０は、サンプル１６をＸ方向に０．０５ｍｍずつ５０回移動させて測定する。これにより、試料１９上の２．５ｍｍ×２．５ｍｍの測定領域１９ａ内を５０×５０pixelの画素数で高精度に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の実施形態を説明するための測定装置の概略構成を示す図
【図２】本発明の実施形態を説明するための測定装置の一部の斜視図
【図３】本発明の実施形態を説明するための測定装置のハードウェアをＺ方向から見た図
【図４】本発明の実施形態を説明するための測定装置において、試料の斜め方向での特性を測定する際の動作を説明するための動作フローを示す図
【図５】本発明の実施形態を説明するための測定装置において、照明系及び受光系を角度θ傾けた状態を示す図
【図６】本発明の実施形態を説明するための測定装置において、照明系を移動させた状態を示す図
【図７】従来の測定装置の概略構成を示す図
【図８】従来の測定装置の概略構成を示す図
【符号の説明】
【００８２】
１００  測定装置
１０  ハードウェア
２０  制御部
１１  光源
１２  スリット部
１３  照明用レンズ
１４  受光用レンズ
１５  受光部
１６  サンプル
１７，１８  透明部材
１９  試料
１９ａ  測定領域
【図１】
2006078335.tif 000006
【図２】
2006078335.tif 000007
【図３】
2006078335.tif 000008
【図４】
2006078335.tif 000009
【図５】
2006078335.tif 000010
【図６】
2006078335.tif 000011
【図７】
2006078335.tif 000012
【図８】
2006078335.tif 000013