(57)【要約】【課題】観察対象物の観察方向を変えても焦点調節をする必要のない試料載置ステージを提供する。【解決手段】  試料載置ステージ１は、拡大観察可能な観察機器によって観察する試料を載置して、該試料の観察方向を自在に変えるものであり、外周面１１ａが球面の一部をなす形状に形成され、上面１１ｃ側に試料を載置する載置部材１０と、内周面２１ｃが球面の一部をなす形状に形成され、内周面２１ｃに沿うように載置部材１０の外周面１１ａを受けて載置部材１０を保持する保持部材２０と、を備え、載置部材１０は、操作のための操作部１２を外周面１１ａに有し、試料を載置する上面１１ｃ側の載置位置Ｃが前記外周面１１ａおよび保持部材の内周面２１ｃに共通する球面中心に位置し、操作部１２の操作により、上面１１ｃ側の載置位置Ｃをずらすことなく載置部材１０をその外周面１１ａが保持部材２０の内周面２１ｃに沿って回転および傾動することを可能とした。【選択図】図１
2006293180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
拡大観察可能な観察機器によって観察する試料を載置して、該試料の観察方向を自在に変えるための試料載置ステージにおいて、
外周面が球面の一部をなす形状に形成され、上面側に前記試料を載置する載置部材と、内周面が球面の一部をなす形状に形成され、該内周面に沿うように前記載置部材の外周面を受けて前記載置部材を保持する保持部材と、を備え、
前記載置部材は、操作のための操作部を有し、前記試料を載置する上面側の載置位置が前記外周面および前記保持部材の前記内周面に共通する球面中心に位置し、
前記操作部の操作により、前記上面側の載置位置をずらすことなく前記載置部材を該載置部材の外周面が前記保持部材の内周面に沿って回転および傾動することを可能としたことを特徴とする試料載置ステージ。
【請求項２】
拡大観察可能な観察機器によって観察する試料を載置して、該試料の観察方向を自在に変えるための試料載置ステージにおいて、
外周面が球面の一部をなす形状に形成され、上面側に前記試料を載置する載置部材と、内周面が球面の一部をなす形状に形成され、該内周面に沿うように前記載置部材の外周面を受けて前記載置部材を保持する保持部材と、を備え、
前記載置部材は、操作のための操作部を有し、前記試料を載置する上面側の載置位置が前記外周面および前記保持部材の前記内周面に共通する球面中心に位置し、
前記保持部材は、前記載置部材の操作部を可動に貫通させた貫通部が形成され、
前記操作部の操作により、前記上面側の載置位置をずらすことなく前記載置部材を該載置部材の外周面が前記保持部材の内周面に沿って回転および傾動することを可能としたことを特徴とする試料載置ステージ。
【請求項３】
前記保持部材を所定の高さで支持する支持スタンドを有し、
前記載置部材は下部側に前記操作部を有し、前記保持部材は下部側に前記操作部を可動に貫通させた貫通部を有し、前記支持スタンドは前記貫通部に重なる開口部が形成されており、該開口部側から前記操作部を操作可能であることを特徴とする請求項２に記載の試料載置ステージ。
【請求項４】
前記載置部材は、自動調心軸受の内輪状であり、
前記保持部材は、自動調心軸受の外輪状であることを特徴とする請求項２または３に記載の試料載置ステージ。
【請求項５】
前記保持部材の横断面に平行な面における前記内周面の径は、該内周面の上縁で最大であることを特徴とする請求項２または３に記載の試料載置ステージ。
【請求項６】
前記保持部材は、前記支持スタンドに一体に形成されたことを特徴とする請求項２，３，４または５に記載の試料載置ステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、拡大鏡や顕微鏡などの拡大観察可能な観察機器によって観察する試料を載置して、該試料の観察方向を自在に変えるための試料載置ステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、拡大鏡や顕微鏡など観察対象物を拡大観察する観察機器のために、観察対象物を載置して観察対象物の観察方向を変えるための試料載置ステージが提供されている。例えば、試料を回転させるＲステージ、試料を平面直線移動させるＸステージとＹステージ、試料を傾斜させるＴステージ、これらを載置したＺステージを備え、ＲＸＹＴステージを上下に駆動して観察対象物を移動させて観察方向を変更可能としたものがある(特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３８７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような従来の技術では、観察対象物を移動させたり回転させたりして観察方向を変更する度に焦点がずれるので、その度に焦点を調節しなければならなかった。このため、必要な観察を行うには時間がかかるという問題点があった。
【０００５】
本発明は、このような従来の技術が有する問題点に着目してなされたもので、観察対象物の観察方向を変えても焦点調節をする必要のない試料載置ステージを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存する。
［１］  拡大観察可能な観察機器によって観察する試料を載置して、該試料の観察方向を自在に変えるための試料載置ステージ（１，１Ａ，１０１，１０１Ａ）において、
外周面（１１ａ，１１１ａ）が球面の一部をなす形状に形成され、上面（１１ｃ）側に前記試料を載置する載置部材（１０，１１０，１１０ａ）と、内周面（２１ｃ，１２１ｃ）が球面の一部をなす形状に形成され、該内周面（２１ｃ，１２１ｃ）に沿うように前記載置部材（１０，１１０，１１０ａ）の外周面（１１ａ，１１１ａ）を受けて前記載置部材（１０，１１０，１１０ａ）を保持する保持部材（２０，１２０，１２０Ａ）と、を備え、
前記載置部材（１０，１１０，１１０ａ）は、操作のための操作部（１２，１１２，１１２ａ）を有し、前記試料を載置する上面（１１ｃ）側の載置位置（Ｃ）が前記外周面（１１ａ，１１１ａ）および前記保持部材（２０，１２０，１２０Ａ）の前記内周面（２１ｃ，１２１ｃ）に共通する球面中心に位置し、
前記操作部（１２，１１２，１１２ａ）の操作により、前記上面（１１ｃ）側の載置位置（Ｃ）をずらすことなく前記載置部材（１０，１１０，１１０ａ）を該載置部材（１０，１１０，１１０ａ）の外周面（１１ａ，１１１ａ）が前記保持部材（２０，１２０，１２０Ａ）の内周面（２１ｃ，１２１ｃ）に沿って回転および傾動することを可能としたことを特徴とする試料載置ステージ（１，１Ａ，１０１，１０１Ａ）。
【０００７】
［２］  拡大観察可能な観察機器によって観察する試料を載置して、該試料の観察方向を自在に変えるための試料載置ステージ（１，１Ａ）において、
外周面（１１ａ）が球面の一部をなす形状に形成され、上面（１１ｃ）側に前記試料を載置する載置部材（１０）と、内周面（２１ｃ）が球面の一部をなす形状に形成され、該内周面（２１ｃ）に沿うように前記載置部材（１０）の外周面（１１ａ）を受けて前記載置部材（１０）を保持する保持部材（２０，２０Ａ）と、を備え、
前記載置部材（１０）は、操作のための操作部（１２）を有し、前記試料を載置する上面（１１ｃ）側の載置位置（Ｃ）が前記外周面（１１ａ）および前記保持部材の前記内周面（２１ｃ）に共通する球面中心に位置し、
前記保持部材（２０，２０Ａ）は、前記載置部材（１０）の操作部（１２）を可動に貫通させた貫通部（２２）が形成され、
前記操作部（１２）の操作により、前記上面側の載置位置（Ｃ）をずらすことなく前記載置部材（１０）を該載置部材（１０）の外周面（１１ａ）が前記保持部材（２０，２０Ａ）の内周面（２１ｃ）に沿って回転および傾動することを可能としたことを特徴とする試料載置ステージ（１，１Ａ）。
【０００８】
［３］  前記保持部材（２０，２０Ａ）を所定の高さで支持する支持スタンド（３０）を有し、
前記載置部材（１０）は下部側に前記操作部（１２）を有し、前記保持部材（２０，２０Ａ）は下部側に前記操作部（１２）を可動に貫通させた貫通部（２２）を有し、前記支持スタンド（３０）は前記貫通部（２２）に重なる開口部（３３）が形成されており、該開口部（３３）側から前記操作部（１２）を操作可能であることを特徴とする［２］に記載の試料載置ステージ（１，１Ａ）。
【０００９】
［４］  前記載置部材（１０）は、自動調心軸受の内輪状であり、
前記保持部材（２０，２０Ａ）は、自動調心軸受の外輪状であることを特徴とする［２］または［３］に記載の試料記載ステージ（１，１Ａ）。
【００１０】
［５］  前記保持部材（２０Ａ）の横断面に平行な面における前記内周面（２１ｃ）の径は、該内周面（２１ｃ）の上縁で最大であることを特徴とする［２］または［３］に記載の試料載置ステージ（１Ａ）。
【００１１】
［６］  前記保持部材（２０，２０Ａ）は、前記支持スタンド（３０）に一体に形成されたことを特徴とする［２］，［３］，［４］または［５］に記載の試料載置ステージ（１，１Ａ）。
【００１２】
前記本発明は次のように作用する。  
顕微鏡や拡大鏡などの拡大観察可能な観察機器によって試料を観察する際に、試料載置ステージ（１，１Ａ，１０１，１０１Ａ）に試料を載置して、試料の観察方向を自在に変えながら観察することができる。試料を載置するための載置部材（１０，１１０，１１０ａ）は、外周面（１１ａ，１１１ａ）が球面の一部をなす形状に形成されている。例えば、球を１つの平面で切断した形状、球を２つの平行な平面で切断したときの２つの平面に挟まれた部分などである。このような形状の載置部材（１０，１１０，１１０ａ）の平面で顕微鏡などの対物レンズに面した上面（１１ｃ）側の載置位置（Ｃ）に試料を載置することができる。
【００１３】
この載置部材（１０，１１０，１１０ａ）を保持する保持部材（２０，２０Ａ，１２０，１２０Ａ）は、その内周面（２１ｃ，１２１ｃ）が載置部材（１０，１１０，１１０ａ）の外周面（１１ａ，１１１ａ）を形成する球面とほぼ同一の直径を有する球面によって形成されているので、この内周面（２１ｃ，１２１ｃ）が載置部材（１０，１１０，１１０ａ）の外周面（１１ａ，１１１ａ）に沿うようにして載置部材（１０，１１０，１１０ａ）を受けて保持することができる。
【００１４】
このように保持部材（２０，２０Ａ，１２０，１２０Ａ）に保持された載置部材（１０，１１０，１１０ａ）は、載置部材（１０，１１０，１１０ａ）の外周面（１１ａ，１１１ａ）と保持部材（２０，２０Ａ，１２０，１２０Ａ）の内周面（２１ｃ，１２１ｃ）とが接触しながらあらゆる方向に動かすことができる。載置部材（１０，１１０，１１０ａ）を動かすときは、載置部の外周面（１１ａ，１１１ａ）に設けた操作部（１２，１１２，１１２ａ）を触って動かせばよい。
【００１５】
載置部材（１０，１１０，１１０ａ）の動かし方としては、例えば、上面（１１ｃ）を水平に保持しながら載置位置（Ｃ）を中心にして回転させることができるし、上面（１１ｃ）が傾斜するように動かすこともできる。この場合も載置位置（Ｃ）を中心にした回転であり、回転の方向が前記の場合と異なるだけである。
【００１６】
さらに、上面（１１ｃ）がローリングするように動かすこともできる。この場合は、載置位置（Ｃ）を中心にした複数方向の回転を合成した動きになる。このいずれの場合にも、載置位置（Ｃ）はずれることがないので、載置位置（Ｃ）にある試料は載置部材（１０，１１０，１１０ａ）を動かしてどのような観察方向から観察しても焦点調整をする必要がない。また、被写界深度の範囲内にある部分も同様に焦点調整をすることなく、観察方向を変えて迅速に観察することができる。これにより、観察時間が短縮されるとともに焦点調整の煩わしさが解消される。
【００１７】
試料載置ステージ（１，１Ａ，１０１Ａ）は、保持部材（２０，２０Ａ，１２０Ａ）に載置部材（１０，１１０Ａ）の操作部（１２，１１２ａ）を可動に貫通させる貫通部（２２，１２２）を形成してもよい。例えば、操作部（１１２ａ）が載置部材（１１０Ａ）から横に延びている場合には、操作部（１１２ａ）が上下方向および上下方向に交差して保持部材（１２０Ａ）の外周面（１１１ａ）を回る方向に延びるように貫通部（１２２）を形成する。このようにしても、上記と同様に載置位置（Ｃ）をずらすことなく、上面（１１ｃ）をあらゆる方向に動かすことができる。
【００１８】
また、試料載置ステージ（１，１Ａ）は、保持部材（２０，２０Ａ）を所定の高さで支持する支持スタンド（３０）を備え、操作部（１２）を載置部材（１０）の下部側に設け、保持部材（２０，２０Ａ）には下部側に操作部（１２）を可動に貫通させることのできる貫通部形成し、さらに支持スタンド（３０）には貫通部（２２）に重なる開口部（３３）を形成し、操作部（１２）を開口部（３３）側から操作できるようにしてもよい。この場合には、保持部材（２０，２０Ａ）が支持スタンド（３０）によって所定の高さに支持されており、保持部材（２０，２０Ａ）の貫通部（２２）と支持スタンド（３０）の開口部（３３）とを可動に貫通した操作部（１２）を操作することによって容易に載置部材（１０）を動かすことができる。載置部材（１０）は、貫通部（２２）と開口部（３３）とによって操作部（１２）が動きを制限される範囲内で、容易にあらゆる動きをさせることができ、観察時間をより短縮できる。
【００１９】
前記載置部材（１０）は、自動調心軸受の内輪状に形成し、前記保持部材（２０）は、自動調心軸受の外輪状に形成してもよく、この形状にすることによって自動調心軸受の内輪と外輪を利用して容易かつ高精度に製造することができる。  
また、前記保持部材（２０Ａ）の形状は、保持部材（２０Ａ）の横断面に平行な面における内周面（２１ｃ）の径をこの内周面（２１ｃ）の上縁で最大にしてもよい。これにより、載置部材（１０）は保持部材（２０Ａ）に着脱可能に成る。保持部材（２０Ａ）に載置部材（１０）を装着するときは、載置部材（１０）を内周面（２１ｃ）に上から載せるだけでよく、また、取り外すときは、載置部材（１０）を上に持ち上げるだけでよく、極めて容易に着脱できる。
【００２０】
保持部材（２０，２０Ａ）はまた、支持スタンド（３０）に一体に形成してもよい、すなわち、支持スタンド（３０）に載置部材（１０）を受けるための内周面（２１ｃ）を形成すればよい。内周面（２１ｃ）は、前記保持部材（２０，２０Ａ）の内周面（２１ｃ）と同様に球面の一部をなす形状に形成して、この内周面（２１ｃ）に沿うように載置部材（１０）の外周面（１１ａ）を受けるようにする。これにより、試料載置ステージ（１）の部品点数が少なくなるので、製造コストの低減と製造工程数の減少を図ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明にかかる［１］の試料載置ステージによれば、載置部材は、その球面状の外周面が保持部材の球面状の内周面に沿うように保持されており、外周面に有する操作部を操作して上面側の載置位置をずらすことなく回転および傾動をすることができる。したがって、載置位置に載置した観察対象物に対する焦点はずれないので、観察方向を変えても焦点調整をする必要がなく、観察時間が短縮されるとともに焦点調整の煩わしさを解消することができる。
【００２２】
本発明にかかる［２］の試料載置ステージによれば、載置部材は、その球面状の外周面が保持部材の球面状の内周面に沿うように保持されているので、保持部材の貫通部を貫通した操作部を操作して上面側の載置位置をずらすことなく回転および傾動をすることができる。したがって、載置位置に載置した観察対象物に対する焦点はずれないので、観察方向を変えても焦点調整をする必要がなく、観察時間が短縮されるとともに焦点調整の煩わしさを解消することができる。
【００２３】
本発明にかかる［３］の試料載置ステージによれば、保持部材が支持スタンドによって所定の高さに支持されており、載置部材の下部側に設けた操作部が保持部材の下部側の貫通部と支持スタンドの開口部とを可動に貫通しているので、操作部の操作がし易く観察時間をより短縮できる。
【００２４】
本発明にかかる［４］の試料載置ステージによれば、載置部材が自動調心軸受の内輪状であり、保持部材が自動調心軸受の外輪状であるので、自動調心軸受の内輪と外輪を利用して容易かつ高精度に製造することができる。
【００２５】
本発明にかかる［５］の試料載置ステージによれば、保持部材の横断面に平行な面における前記内周面の径は、該内周面の上縁で最大であるので、載置部材は、保持部材の内周面に上から載せるだけで装着でき、また、上に持ち上げるだけで保持部材から取り外すことができ、保持部材への着脱が極めて容易になる。
【００２６】
本発明にかかる［６］の試料載置ステージによれば、保持部材が支持スタンドに一体に形成されているので、部品点数が少なく、製造コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面に基づき本発明の各種の実施の形態を説明する。  
図１から図８までを参照しながら、本発明の第１の実施の形態にかかる試料載置ステージを説明する。  
図１は、本発明の第１の実施の形態にかかる試料載置ステージを示す斜視図である。
【００２８】
試料載置ステージ１は、顕微鏡や拡大鏡などの拡大観察可能な観察機器によって観察する試料を載置しておくものであり、観察を続けながら載置した試料の観察方向を自在に変えることができるものである。特に、被写界深度の深いあまり高倍率では行わない観察に適している。
【００２９】
試料載置ステージ１は、試料を載置する載置部材１０と、この載置部材１０を受けて保持する保持部材２０と、この保持部材２０が取り付けられ、保持部材２０を所定の高さで支持している支持スタンド３０とを備えている。これらは、例えば、ポリアセタールなどの合成樹脂やＳ４５ｃなどの金属を用途に応じて選択し、組み合わせて製造することができる。
【００３０】
図２は、図１における保持部材を示す斜視図であり、図７は、図１における保持部材を示す縦断面図である。また、図３は、図１における載置部材を示す斜視図であり、図８は図１における載置部材を示す縦断面図である。
【００３１】
図１および図３に示すように、載置部材１０は、保持部材２０に直接に保持される頭部１１と、この頭部１１の下部側の中心部から下方に延びる操作棒１２（操作部）とを有している。これらは、一体に成形してもよいし、別個に製造したものを固着してもよい。
【００３２】
図８に示すように、頭部１１は、球Ｇを２つの平行な平面で輪切りにした円盤状であり、外側面である外周面１１ａが球Ｇの球面の一部をなす形状を有している。すなわち、自動調心軸受の内輪と同様の形状を有している。外周面１１ａは滑らかに表面処理されている。
【００３３】
この頭部１１の上部は、円形の上縁１１ｂを残して、凹んだ上面１１ｃを有している。この上面１１ｃは平面であり、観察対象の試料を載置する中心位置である載置位置Ｃ（図４参照）が中心部に設けられている。載置位置Ｃは、球Ｇの中心上にある。したがって、載置位置Ｃは、外周面１１ａの球面中心に位置している。
【００３４】
図１および図２に示すように、保持部材２０はリング状に形成されており上端面２１ａと下端面２１ｂとは平行な平坦面に形成されている。図７に示すように、下端面２１ｂの開口２２（貫通部）の周りには、保持部材２０を支持スタンド３０に固定するためのボルトが螺合する複数の螺子穴２３が形成されている。
【００３５】
保持部材２０の内側面である内周面２１ｃが頭部１１の外周面１１ａを形成する球面と同じ球Ｇの球面の一部を成す形状に形成されている。すなわち、保持部材２０は、自動調心軸受の外輪と同様の形状を有している。内周面２１ｃは、滑らかに表面処理されている。これにより、載置部材１０を保持部材２０に組み込んだ状態で載置部材１０をスムーズに動かすことができる。
【００３６】
載置部材１０を保持部材２０に組み込んだ状態では、保持部材２０は、内周面２１ｃに沿うように載置部材１０の外周面１１ａを受けて載置部材１０を保持する（図５参照）。この状態では、内周面２１ｃの球面中心も上面１１ｃ側の載置位置Ｃに位置しており、外周面１１ａの球面中心と一致している。また、載置部材１０の操作棒１２は、保持部材２０の下側の開口２２を貫通している。この開口２２の口径は、操作棒１２を十分に動かすことができる大きさを有している。
【００３７】
図４は、支持スタンド３０に載置部材１０および保持部材２０を組み込んだ状態の平面図であり、図５は、図４のＡ−Ａ線断面図である。また、図６は、図５の断面図から載置部材１０および保持部材２０を除いた支持スタンド３０の断面図である。
【００３８】
支持スタンド３０は縦断面をコ字状に形成したものであり、載置部材１０や保持部材２０と同じ素材から製造してもよく、また、異なる素材から製造してもよい。支持スタンド３０の設置部３１側は、載置部材１０の組み込まれた保持部材２０を支持する支持部３２よりも長く延びているので、支持部３２側の重量が重いために全体の重心が高い位置になっていても安定している。
【００３９】
支持スタンド３０は、支持部３２を貫通する開口部３３が形成されている。開口部３３の周りには、保持部材２０を支持スタンド３０に固定するためのボルトＢが螺合する複数の螺子穴３４が貫通して形成されている。この螺子穴３４と保持部材２０の螺子穴２３とを合わせて支持部３２の下面側からボルトＢを螺子穴３４および螺子穴２３に螺合させて固定すると、開口２２と開口部３３とが重なるので、開口２２と開口部３３とを貫通した操作棒１２を操作して頭部１１を回転させたり、傾動させたりすることができる。このとき、載置部材１０の載置位置Ｃと保持部材２０の内周面２１ｃの球面中心とは一致して共通することになるので、載置位置Ｃの位置がずれることはない。このため、載置部材１０を動かして観察方向を変更しても焦点がずれないので、迅速な観察ができる。  
【００４０】
前記本発明は次のように作用する。  
顕微鏡や拡大鏡などの拡大観察可能な観察機器によって試料を観察する際には、試料載置ステージ１に試料を載置する。試料は、載置部材１０の上面１１ｃの載置位置Ｃに載置する。試料を載置したまま、観察機器の対物レンズの下方に移動して焦点を合わせる。
【００４１】
試料の観察方向を変えるときは、操作棒１２を回転させたり傾けたりすればよい。保持部材２０に保持された載置部材１０は、載置部材１０の外周面１１ａと保持部材２０の内周面２１ｃとが接触しながらあらゆる方向に動かすことができる。載置部材１０は、操作棒１２が支持スタンド３０の開口部３３の周縁によって制限される範囲内で自由に動かすことができる。
【００４２】
載置部材１０の動かし方としては、例えば、操作棒１２を回転軸となるように回すことにより、上面１１ｃを水平に保持しながら載置位置Ｃを中心にして回転させることができる。また、操作棒１２が開口部３３の周縁に制限される範囲で揺動するように動かした場合には、載置位置Ｃを揺れの中心にして揺りかごを揺らすような動きで上面１１ｃを傾動させることができる。さらに、これらの動きを同時に行って上面１１ｃがローリングするように動かすこともできる。これにより、あらゆる観察方向を即座に得ることができる。
【００４３】
載置部材１０の動きは、いずれの場合であっても、球Ｇの中心に位置する載置位置Ｃを中心にした動き、または、載置位置Ｃを中心にした動きを合成した動きになるので、載置位置Ｃはずれることがない。したがって、試料を載置位置Ｃに載置することにより載置部材１０を動かしてどのような観察方向から観察する場合にも焦点の調整をする必要がない。
【００４４】
これにより、所望の観察方向から迅速に観察することができ、観察時間が短縮される。  また、観察方向の変更にともなって必要となる焦点調整の煩わしさを解消することができる。  
また、試料が載置位置Ｃから外れている場合でも、被写界深度の範囲内にある部分は同様に載置部材１０を動かしても焦点を調整する必要がなく、観察方向を変えて迅速に観察することができる。
【００４５】
本実施の形態にかかる試料載置ステージ１は、載置部材１０が自動調心軸受の内輪状の形状を有し、保持部材２０が自動調心軸受の外輪状の形状を有しているので、自動調心軸受を使用して製造することができる。これにより、製造コストの低減を図ることができる。
【００４６】
また、載置部材１０を極めてスムーズに動かすことができるので、試料自体が動き易かったり、変形し易かったり、崩れ易かったりするものであっても、そのような変化を生じさせること無く観察角度を変えることができる。
【００４７】
なお、載置部材１０の厚みが保持部材２０の厚みよりも薄く図示してあるが、保持部材２０の厚みとほぼ同じであってもよい。
【００４８】
また、図５に示した例では、頭部１１の上面１１ｃが水平面内にあるときの上縁１１ｂと保持部材２０の内周面２１ｃの上縁２１ｄとの位置が異なっているが、それらは同じ位置に在ってもよい。
【００４９】
次に、図９を参照しながら、本発明の第２の実施の形態にかかる試料載置ステージについて説明する。なお、第１の実施の形態と同種の部位には同一符号を付し重複した説明を省略する。
【００５０】
図９は、本発明の第２の実施の形態にかかる試料載置ステージの縦断面図であり、図５と同様の図である。  
図９に示すように、本実施の形態にかかる試料載置ステージ１Ａでは、保持部材２０Ａの形状の一部が第１の実施の形態にかかる試料載置ステージ１の保持部材２０と異なっている。保持部材２０Ａと保持部材２０とで異なる点は、内周面２１ｃの上縁２１ｄでの径とそれ以外の横断面に平行な面における内周面２１ｃの径との大きさの関係である。第１の実施の形態では、保持部材２０の内周面２１ｃに上縁２１ｄの径よりも大きい径を有する部分がある。一方、本実施の形態にかかる試料載置ステージ１Ａでは、内周面２１ｃの径は上縁２１ｄで最大である。
【００５１】
前記本発明は次のように作用する。  
観察する試料を載置部材１０に載置して、操作棒１２によって観察角度を変更しながら観察できることは、第１の実施の形態と同様であるが、本実施の形態では、載置部材１０を保持部材２０Ａに着脱することができる。
【００５２】
載置部材１０を保持部材２０Ａに装着するときは、操作棒１２を開口部３３に通すようにして載置部材１０を保持部材２０Ａの内周面２１ｃに上から載せるだけでよい。また、載置部材１０を保持部材２０Ａから取り外すときは、載置部材１０を単に上に引き上げて操作棒１２を開口部３３から引き抜くだけでよい。
【００５３】
このように本実施の形態では、載置部材１０を保持部材２０Ａに容易に着脱することができるので、メンテナンスが容易であり、また、載置部材１０を交換することができる。上面１１ｃや載置位置Ｃの形状が異なる載置部材１０を複数種類用意しておくことにより、観察する試料に適した載置部材１０に交換して観察することができる。
【００５４】
なお、第１の実施の形態および第２の実施の形態の何れにおいても、載置部材１０の頭部１１は、図示したような球を平面で輪切りにしたような形状ではなく、上面側のみを平面で切断した形状であってもよい。
【００５５】
次に、図１０を参照しながら、本発明の第３の実施の形態にかかる試料載置ステージについて説明する。なお、上記の各実施の形態と同種の部位には同一符号を付し重複した説明を省略する。
【００５６】
図１０は、第３の実施の形態にかかる試料載置ステージの縦断面図である。図１０に示したように、本実施の形態にかかる試料載置ステージ１０１は、上記の実施の形態にかかる載置部材１０および保持部材２０，２０Ａとは異なる形状の載置部材１１０および保持部材１２０から構成されている。
【００５７】
載置部材１１０は、球を２つの平行な平面で輪切りにした円盤状であり、外側面である外周面１１１ａが球の球面の一部をなす形状を有している。外周面１１１ａは滑らかに表面処理されている。
【００５８】
この載置部材１１０の上部は、上記各実施の形態と同様に上面１１ｃを有している。また、観察対象の試料を載置する中心位置である載置位置（図示せず）が同様に上面１１ｃの中心部に設けられている。載置位置Ｃが外周面１１１ａの球面中心に位置していることも同様である。載置部材１１０の上端面は保持部材１２０の上端面よりも高い位置に位置している。
【００５９】
載置部材１１０の上端面からは、操作部１１２が横に延びて形成されている。操作部１１２はこの部分を指で押すなどして載置部材１１０を回転させたり傾動させたりすることを容易にするものである。操作部１１２は、載置部材１１０の上縁の円周に沿って全体に形成してもよいし、部分的に形成してもよい。
【００６０】
載置部材１１０を保持する保持部材１２０は、上記の各実施の形態における内周面２１ｃと同様の内周面１２１ｃを有している。すなわち、内周面１２１ｃは、載置部材１１０の外周面１１１ａを形成する球面と同じ一部を成す形状に形成されている。内周面１２１ｃは、滑らかに表面処理されている。これにより、載置部材１１０を保持部材１２０に組み込んだ状態では、保持部材１２０は、内周面１２１ｃに沿うように外周面１１１ａを受けているので、載置部材１１０をスムーズに動かすことができる。
【００６１】
保持部材１２０は、上記の各実施の形態とは異なって、開口２２のような下方に貫通する開口は不要である。これは、載置部材１１０を操作する操作部１１２が載置部材１１０から下方ではなく、横に延びているからである。このことは、保持部材１２０を支持するための支持スタンドを不要にしている。試料載置ステージ１０１を載置した載置面Ｓから上面１１ｃまでの高さを稼ぐためには、保持部材１２０の高さを高いものにすればよい。なお、支持スタンドに保持部材１２０を固定したり、支持スタンドと保持部材１２０とを一体にしたりしてもよいことは、上記の実施の形態の場合と同様である。
【００６２】
また、第２の実施の形態にかかる試料載置ステージ１Ａと同様にして、載置部材１１０を保持部材１２０に容易に着脱できるので、上面１１ｃや載置位置の形状が異なる載置部材１１０を複数種類用意しておくことにより、観察する試料に適した載置部材１１０に交換して観察することができる。
【００６３】
前記本発明は次のように作用する。  
載置部材１１０が複数種類用意されているときは、観察する試料に適した載置部材１１０を選び、選んだ載置部材１１０の上面１１ｃを上に向けて保持部材１２０の内周面１２１ｃに囲まれた凹部に載置部材１１０を置くだけでよい。上面１１ｃの載置位置に観察する試料を載せて観察を開始することができる。
【００６４】
試料載置ステージ１０１は、載置部材１１０を回転させたり、傾動させたりするときに操作部１１２によって行う点が上記の各実施の形態の場合と異なっている。載置位置を通る軸線を回転の中心にして載置部材１１０を回転させるときは、例えば片手の親指と人差し指あるいは中指などで操作部１１２を挟むようにしながら、所定方向に操作部１１２を回していけばよい。また、傾動させるときは、操作部１１２を押し下げたり、あるいは押し上げたりすればよい。本実施の形態においても、回転や傾動を組み合わせてローリングするように動かすことができるし、その他自由に動かすことができる。観察中の載置部材１１０の可動範囲は、操作部１１２が保持部材１２０にぶつからない範囲であるので、この範囲を広げるために、操作部１１２を横に延ばすのではなく、斜め上方に延びるように形成してもよい。これにより、載置部材１１０をより大きく傾斜することができる。
【００６５】
内周面１２１ｃが外周面１１１ａを受けて保持している状態で載置部材１１０をどのように動かしても、上面１１ｃの載置位置はずれないので、焦点を調整することなく様々な観察角度から試料を迅速に観察することができる。
【００６６】
なお、載置部材１１０は、球を２つの平行な平面で輪切りにした円盤状に限らず、球を２つに切断した一方の形状のものであってもよい。
【００６７】
次に、図１１を参照しながら、本発明の第４の実施の形態にかかる試料載置ステージについて説明する。なお、上記の各実施の形態と同種の部位には同一符号を付し重複した説明を省略する。
【００６８】
図１１は、第４の実施の形態にかかる試料載置ステージの縦断面図である。図１１に示したように、本実施の形態にかかる試料載置ステージ１０１Ａは、第３の実施の形態にかかる試料載置ステージ１０１に類似している。
【００６９】
試料載置ステージ１０１Ａの載置部材１１０Ａは、上記試料載置ステージ１０１の載置部材１１０と同様の外周面１１１ａを有しているが、操作部１１２ａが載置部材１１０Ａの上端面と下端部との中間部分で外周面１１１ａから横へ延びている点で載置部材１１０とは異なっている。
【００７０】
また、載置部材１１０Ａを保持する保持部材１２０Ａには、内周面１２１ｃから外側面まで貫通する貫通部１２２が形成されている。この貫通部１２２は、載置部材１１０Ａの操作部１１２ａが貫通した状態で動かせるように形成されており、保持部材１２０Ａの側面を回る回動方向に形成されている。また、載置部材１１０Ａの傾斜可能な範囲は、貫通部１２２を貫通する操作部１１２ａが貫通部１２２内で上下方向に動ける範囲できまるので、貫通部１２２は、上下方向に必要十分な幅を有している。
【００７１】
また、貫通部１２２から保持部材１２０Ａの上端面まで延びる着脱溝１３４が複数個所に形成されている。この着脱溝１３４は、保持部材１２０Ａに載置部材１１０Ａを着脱するときに操作部１１２ａを通すために形成されている。これにより、複数種類の載置部材１１０Ａを用意しておけば、観察に適した載置部材１１０Ａを選んで使用することができる。
【００７２】
前記本発明の作用は、第３の実施の形態にかかる試料載置ステージ１０１とほぼ同様であるので、異なる点だけを説明する。
【００７３】
載置部材１１０Ａを保持部材１２０Ａに装着する場合には、上面１１ｃ側を上にして、操作部１１２ａを着脱溝１３４に通すようにして載置部材１１０Ａを保持部材１２０Ａに載せる。この状態では操作部１１２ａが貫通部１２２内に至っている。
【００７４】
操作部１１２ａを貫通部１２２に沿って回転させれば、載置部材１１０Ａは、載置位置を中心にして回転する。また、操作部１１２ａを貫通部１２２内で上下方向に傾斜させることにより、上面１１ｃ側は載置位置がずれることなく傾動する。これら回転と傾動とを組み合わせた複雑な動きも貫通部１２２内における操作部１１２ａの可動範囲内で自由に実現することができる。載置部材１１０Ａをどのように動かしても、上面１１ｃの載置位置はずれないので、焦点を調整することなく様々な観察角度から試料を迅速に観察することができる。
【００７５】
なお、上記各実施の形態において、保持部材を支持スタンドに一体に形成してもよい。すなわち、支持スタンドに載置部材を受けるための内周面を形成すればよい。内周面は、保持部材の内周面と同様に球面の一部をなす形状に形成して、この内周面に沿うように載置部材の外周面を受けるようにする。これにより、試料載置ステージの部品点数が少なくなるので、製造コストの低減と製造工程数の減少を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる試料載置ステージを示す斜視図である。
【図２】図１における保持部材を示す斜視図である。
【図３】図１における載置部材を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態にかかる試料載置ステージを示す平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】図５における支持スタンドのみを示す断面図である。
【図７】図１における保持部材の縦断面図である。
【図８】図１における載置部材の縦断面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態にかかる試料載置ステージの縦断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態にかかる試料載置ステージの縦断面図である。
【図１１】本発明の第４の実施の形態にかかる試料載置ステージの縦断面図である。
【符号の説明】
【００７７】
Ｂ…ボルト
Ｃ…載置位置
Ｇ…球
Ｓ…載置面
１…試料載置ステージ
１Ａ…試料載置ステージ
１０…載置部材
１１…頭部
１１ａ…外周面
１１ｂ…上縁
１１ｃ…上面
１２…操作棒
２０…保持部材
２０Ａ…保持部材
２１ａ…上端面
２１ｂ…下端面
２１ｃ…内周面
２１ｄ…上縁
２２…開口
２３…螺子穴
３０…支持スタンド
３１…設置部
３２…支持部
３３…開口部
３４…螺子穴
１０１…試料載置ステージ
１０１Ａ…試料載置ステージ
１１０…載置部材
１１０Ａ…載置部材
１１１ａ…外周面
１１２…操作部
１１２ａ…操作部
１２０…保持部材
１２０Ａ…保持部材
１２１ｃ…内周面
１２２…貫通部
１３４…着脱溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006293180.tif 000009
【図８】
2006293180.tif 000010
【図９】
2006293180.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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