(57)【要約】【課題】  レチクル搬送の自動化を円滑に行なって省人化の図れる半導体装置の生産ラインで、半導体装置を製造できる技術を提供する。【解決手段】  レチクルをレチクルポッドに入れて、ホストシステム上でレチクルとレチクルポッドとを関連付ける。次に、レチクルポッドを露光装置へ搬送する。そして、レチクルポッドが露光装置に到着した時点で、露光装置上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを行なう。続いて、レチクルポッドからレチクルを取り出した後、レチクルの異物検査を行なう。そして、異物検査の結果が良好である場合（Ｓ１１０）、異物検査に結果が良好である旨のイベント情報を露光装置からホストシステムに送信するとともに（Ｓ１１４）、露光装置上での関連付けを切断する（Ｓ１１５）。そして、ホストシステムは、上記イベント情報を受信すると、ホストシステム上での関連付けを切断する（Ｓ１１６）。【選択図】  図５
2006024850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）レチクルをレチクルポッドへ入れる工程と、
（ｂ）前記レチクルと前記レチクルポッドとをホストシステム上で関連付ける工程と、
（ｃ）前記レチクルポッドを前記ホストシステムで制御される搬送装置により露光装置のポッドポートへ搬送する工程と、
（ｄ）前記露光装置上で前記レチクルと前記レチクルポッドとを関連付ける工程と、
（ｅ）前記レチクルを前記レチクルポッドから取り出し、前記露光装置での露光に使用する工程とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記露光装置上での前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切るタイミングに同期して前記ホストシステム上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切ることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置の製造方法であって、
前記露光装置は、前記露光装置上での前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切る際のイベント情報を前記ホストシステムに送信し、
前記ホストシステムは、前記露光装置から前記イベント情報を受信すると、前記ホストシステム上での前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切ることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
（ａ）レチクルをレチクルポッドへ入れる工程と、
（ｂ）前記レチクルと前記レチクルポッドとをホストシステム上で関連付ける工程と、
（ｃ）前記レチクルポッドを前記ホストシステムで制御される搬送装置により露光装置のポッドポートへ搬送する工程と、
（ｄ）前記露光装置上で前記レチクルと前記レチクルポッドとを関連付ける工程と、
（ｅ）前記レチクルを前記レチクルポッドから取り出し、前記レチクル上に異物がないか検査する工程と、
（ｆ）前記（ｅ）工程の検査結果が良好な場合、前記レチクルを前記露光装置での露光に使用する工程とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記（ｅ）工程の検査結果が良好な場合、前記露光装置は前記露光装置上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切るとともに検査結果が良好である旨のイベント情報を前記ホストシステムに送信し、前記ホストシステムは前記イベント情報を前記露光装置から受信すると、前記ホストシステム上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切ることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
（ａ）レチクルをレチクルポッドへ入れる工程と、
（ｂ）前記レチクルと前記レチクルポッドとをホストシステム上で関連付ける工程と、
（ｃ）前記レチクルポッドを前記ホストシステムで制御される搬送装置により露光装置のポッドポートへ搬送する工程と、
（ｄ）前記露光装置上で前記レチクルと前記レチクルポッドとを関連付ける工程と、
（ｅ）前記レチクルを前記レチクルポッドから取り出し、前記レチクル上に異物がないか検査する工程と、
（ｆ）前記（ｅ）工程の検査結果が良好な場合、前記レチクルを前記露光装置での露光に使用する工程とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記露光装置は前記（ｅ）工程の前記レチクルを前記レチクルポッドから取り出すイベント情報を前記ホストシステムに送信し、前記ホストシステムは前記イベント情報を前記露光装置から受信すると、それから所定時間経過後に前記ホストシステム上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切ることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の半導体装置の製造方法であって、
前記所定時間とは前記ホストシステムが前記イベント情報を受信してから前記レチクル上に異物がないか検査する工程が終了するまでに要する時間であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
（ａ）レチクルをレチクルポッドへ入れる工程と、
（ｂ）前記レチクルと前記レチクルポッドとをホストシステム上で関連付ける工程と、
（ｃ）前記レチクルポッドを前記ホストシステムで制御される搬送装置により露光装置のポッドポートへ搬送する工程と、
（ｄ）前記露光装置上で前記レチクルと前記レチクルポッドとを関連付ける工程と、
（ｅ）前記レチクルを前記レチクルポッドから取り出し、前記レチクルを前記露光装置での露光に使用する工程とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記露光装置は前記（ｅ）工程の前記レチクルを前記レチクルポッドから取り出すイベント情報を前記ホストシステムに送信し、前記ホストシステムは前記イベント情報を前記露光装置から受信すると、前記ホストシステム上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切ることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
（ａ）レチクルをレチクルポッドへ入れる工程と、
（ｂ）前記レチクルと前記レチクルポッドとをホストシステム上で関連付ける工程と、
（ｃ）前記レチクルポッドを前記ホストシステムで制御される搬送装置により露光装置のポッドポートへ搬送する工程と、
（ｄ）前記露光装置上で前記レチクルと前記レチクルポッドとを関連付ける工程と、
（ｅ）前記レチクルを前記レチクルポッドから取り出し、前記レチクル上に異物がないか検査する工程と、
（ｆ）前記（ｅ）工程の検査結果が良好な場合、前記レチクルを前記露光装置での露光に使用する工程とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記露光装置から前記レチクルポッドが前記露光装置に到着したという第１のイベント情報および前記レチクルが前記レチクルポッドから取り出されたあるいは前記レチクルが前記レチクルポッドに格納されたという第２のイベント情報を前記ホストシステムに送信し、前記ホストシステムは前記第１のイベント情報および前記第２のイベント情報を受信した時、前記第２のイベント情報を受信してから所定時間経過後に前記ホストシステム上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切ることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７記載の半導体装置の製造方法であって、
前記所定時間とは前記ホストシステムが前記第２のイベント情報を受信してから前記レチクル上に異物がないか検査する工程が終了するまでに要する時間であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
（ａ）レチクルをレチクルポッドへ入れる工程と、
（ｂ）前記レチクルと前記レチクルポッドとをホストシステム上で関連付ける工程と、
（ｃ）前記レチクルポッドを前記ホストシステムで制御される搬送装置により露光装置のポッドポートへ搬送する工程と、
（ｄ）前記露光装置上で前記レチクルと前記レチクルポッドとを関連付ける工程と、
（ｅ）前記レチクルを前記レチクルポッドから取り出し、前記レチクルを前記露光装置での露光に使用する工程とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記露光装置から前記レチクルポッドが前記露光装置に到着したという第１のイベント情報および前記レチクルが前記レチクルポッドから取り出されたあるいは前記レチクルが前記レチクルポッドに格納されたという第２のイベント情報を前記ホストシステムに送信し、前記ホストシステムは前記第１のイベント情報および前記第２のイベント情報を受信した時、前記ホストシステム上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切ることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造技術に関し、特に、半導体装置の製造工程におけるレチクルの自動搬送技術に適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特開平１１−１４７６１３号公報（特許文献１）には、レチクルの自動搬送に関する技術が開示されている。すなわち、レチクルが収容されているケースがケースライブラリに挿入され、ケース検出器でケースがケースライブラリに収容されたことが検出されると、ケースはケースロック機構によりロックされる。そして、搬送アームはレチクルをケースから抜き取り、バーコードリーダまで搬送する。バーコードリーダは、レチクルのバーコードを読取る。制御装置はその読取り結果をホストコンピュータに通信する。ホストコンピュータは読取り結果に基づいてレチクルを識別し、レチクルをレチクル洗浄機、ゴミ検査機もしくはペリクル貼付機のいずれに搬送するか指示する。そして、ホストコンピュータの指示によりレチクルはレチクル洗浄機、ゴミ検査機またはペリクル貼付機のいずれかの装置に自動搬送されて処理される。その後、各装置から搬送装置によりレチクルをケースまで搬送する。そして、ケース内に搬送されたレチクルがロックされるようにレチクルロック解除機構を操作する。これにより、レチクルはケース内でロックされる。続いて、搬送アームによるレチクルの吸着を解除し、搬送アームをケースから抜取る。そして、扉開閉機構によりケースの開閉扉を閉じ、ケースロック機構によりケースのロックを解除する。これにより、作業者はレチクルケースをケースライブラリから抜取ることができる。
【０００３】
このように、上記した技術によれば、レチクルが収容されたケースをケースライブラリに挿入するだけで所定の処理装置に自動的にレチクルが搬送されるので、作業者はいちいちレチクルに対する処理内容を入力する必要がなく、作業効率の向上を図ることができる。
【０００４】
また、特開平１０−２０９０２５号公報（特許文献２）には、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体装置の製造工程におけるレチクルの異物検査で、異物付着によるレチクルの不良が確認された場合、この不良となったレチクルを洗浄して使用する代わりに、予備のレチクルを使用することにより、レチクル洗浄による半導体装置の製造時間の遅延を防止する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−１４７６１３号公報（第４頁、図５および図６）
【特許文献２】特開平１０−２０９０２５号公報（第３頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体装置の製造ラインでは多品種少量生産への対応やＴＡＴ（Turn  Around  Time）の短縮を実現するため、半導体ウェハ（以下、単にウェハという）の搬送とロットの割り付け（ディスパッチ）の自動化が求められている。そして、さらなるＱＴＡＴ（Quick  Turn  Around  Time）の実現のため、ホトリソグラフィ工程におけるレチクル（フォトマスク）搬送の自動化が求められている。
【０００６】
本発明者は、半導体製造ラインにおいて、レチクルの搬送を自動化する技術について検討している。その中で、本発明者はレチクルの自動搬送を円滑に進める観点から、以下に示す新規な課題を見出した。
【０００７】
半導体装置の製造工場では、一般的に露光装置で使用していないレチクルの多くはレチクルを格納するレチクルポッドに収納されてレチクルストッカ内に収まっているか、あるいはレチクル単体のままレチクルストッカ内に収納されている。いずれの場合においても、レチクルを露光装置で使用する際、レチクルは一旦レチクルポッドに収納された状態で、レチクルストッカから露光装置に設置してあるレチクルポッドポートに自動搬送される。そして、露光装置において、ポッドポートに搬送されたレチクルポッドからレチクルを自動的に取り出してレチクルを使用可能な状態にしている。
【０００８】
レチクルの自動搬送システムにおいては、ホストシステムによって自動搬送システム全体が制御されているが、このホストシステム上では、レチクルとこのレチクルを格納するレチクルポッドとの間で関連付けが行なわれている。すなわち、どのレチクルポッドにどのレチクルが格納されているかを把握するため、レチクルとレチクルポッドとの関連付けがホストシステム上で行なわれている。ホストシステム上での関連付けは、レチクルをレチクルポッドに入れる工程で実施される。
【０００９】
また、レチクルとレチクルポッドとの関連付けは、ホストシステム上だけでなく露光装置上においても行なわれる。この露光装置上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けは、レチクルポッドが露光装置のポッドポートに到着した段階で行なわれる。露光装置では、ポッドポートに到着したレチクルポッドからレチクルが取り出されるが、取り出されたレチクルはすぐに使用されずに異物検査が行なわれる。そして、レチクルが異物検査で不良と判断された場合には、露光装置でそのレチクルを使用することなく、元のレチクルポッドに不良となったレチクルを回収する。このため、露光装置上でレチクルとレチクルポッドとの関連付けを行なう必要があるのである。つまり、露光装置上でレチクルとレチクルポッドとの関連付けを行なうことにより、不良のレチクルを元のレチクルポッドに回収することができる。
【００１０】
このように、レチクル自動搬送システムにおいては、ホストシステム上および露光装置上でレチクルとこのレチクルを格納するレチクルポッドの間の関連付けを行なっている。しかし、レチクルとレチクルポッドとの関連付けはいずれかの段階で切る必要がある。すなわち、露光装置内に取り出されたレチクルとレチクルポッドポートに乗っているレチクルポッドとの関連付けを切断しないと、レチクルが露光装置で使用されて払い出されるまでレチクルポッドを露光装置のレチクルポッドポート上に待機させておくか、あるいはレチクルの使用完了後に同じレチクルポッドを再びレチクルポッドポート上に搬送する必要がある。
【００１１】
露光装置上のレチクルポッドポートの数はコストとスペースの制約により制限されているため、レチクルポッドポート上に空のレチクルポッドを置いておくと新たに露光装置で必要なレチクルを搬送することができない。このため、露光装置におけるスループットを下げる原因となる。
【００１２】
また、同じレチクルポッドを露光装置に再搬送するとレチクルポッドの搬送が頻繁に行なわれることになり、レチクル自動搬送システムや作業者の負担が増加するだけでなく、処理を終了して不要となったレチクルを回収するまでの時間が長くなる。このため、新たに露光装置で必要となるレチクルを搬送するまでにかかる時間が長くなるので、露光装置のスループットを下げる原因になる。
【００１３】
このような現象を避けるため、露光装置上およびホストシステム上でレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断する（紐切り）を行なっている。ところが、露光装置上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るタイミングとホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るタイミングが異なると以下に示すような問題点があることを本発明者は見出した。
【００１４】
例えば、露光装置上でレチクルとレチクルポッドとの関連付けが切られていないが、ホストシステム上ではレチクルとレチクルポッドとの関連付けが切られている場合、ホストシステムは、レチクルが入っていない（レチクルがレチクルポッドから出た）と判断する（露光装置上の管理ではまだレチクルが入っている）レチクルポッドに対して不要なレチクルを回収する指示を発行するトラブルが発生する。つまり、露光装置上ではレチクルとレチクルポッドとの関連付けが切れていないレチクルポッドに対して、既に関連付けが切れたとホストシステムが認識して、レチクルポッドにレチクルを回収しようとする。
【００１５】
また、逆に、露光装置上でレチクルとレチクルポッドの関連付けが切られているが、ホストシステム上ではレチクルとレチクルポッドとの関連付けが切られていない場合、例えばホストシステムは、露光装置で関連付けが切られているレチクルポッドを、露光装置で不要なレチクルが入っていると考えて露光装置から回収してしまい、実際にはレチクルが露光装置上に残っているにもかかわらず、ホストシステム上ではレチクルストッカに回収された状態になってしまう（レチクルの位置情報がずれてしまう）。
【００１６】
このように、露光装置上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るタイミングとホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るタイミングが異なると、トラブルが発生して人手によるリカバリ作業が必要となる。このため、レチクル搬送の自動化の効果が減少してしまう問題点があった。つまり、レチクル管理に関する標準仕様が半導体業界で決まっていないため、露光装置上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けとホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けのずれによるトラブルが頻繁に発生する問題点があった。
【００１７】
本発明の目的は、レチクル搬送の自動化を円滑に行なって省人化を図ることができる半導体装置の生産ラインで、半導体装置を製造できる技術を提供することにある。
【００１８】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００２０】
本発明による半導体装置の製造方法は、（ａ）レチクルをレチクルポッドへ入れる工程と、（ｂ）前記レチクルと前記レチクルポッドとをホストシステム上で関連付ける工程と、（ｃ）前記レチクルポッドを前記ホストシステムで制御される搬送装置により露光装置のポッドポートへ搬送する工程と、（ｄ）前記露光装置上で前記レチクルと前記レチクルポッドとを関連付ける工程と、（ｅ）前記レチクルを前記レチクルポッドから取り出し、前記露光装置での露光に使用する工程とを備える半導体装置の製造方法であって、前記露光装置上での前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切るタイミングに同期して前記ホストシステム上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切ることを特徴とするものである。そして、前記露光装置上での前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切るタイミングに同期して前記ホストシステム上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切るために、前記露光装置と前記ホストシステム間で関連付けを切る通信を定義することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２１】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００２２】
レチクル搬送の自動化を円滑に行なって省人化を図ることができるので、半導体装置の製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００２４】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態１におけるレチクル自動搬送システムの概略構成を示した図である。図１において、本実施の形態１におけるレチクル自動搬送システムは、露光装置１、レチクルストッカ２、ロットストッカ３、搬送装置４、装置通信システム５、搬送系通信システム６およびホストシステム７を有している。
【００２５】
露光装置１は、例えばｇ線、ｉ線、エキシマレーザなどの光源を使用して半導体基板（半導体ウェハ）上にパターンを転写する装置であり、一般的にステッパ（縮小投影露光装置）と呼ばれる。露光装置１は、ＩＣ（Integrated  Circuit）の実パターンの４倍、５倍ないし１０倍の寸法を有するレチクル（マスク）を通してパターンをショット露光し、これをステップアンドリピートで繰り返すことにより、半導体基板の全面にパターンを露光する。なお、露光装置１はフォトレジスト塗布現像装置と接続して、フォトレジスト塗布、露光、フォトレジスト現像を行う１台の装置として設置、制御することも可能である。レチクルは、例えば石英製の板（マスクブランクス）の表面にクロム（Ｃｒ）などで一定の回路パターンを形成したものである。
【００２６】
レチクルストッカ２は、レチクルを収納しておくためのものであり、例えばレチクルはケースであるレチクルポッドに格納された状態あるいはレチクル単体のまま、レチクルストッカに収納されている。
【００２７】
ロットストッカ３は、露光装置１で処理する半導体基板を複数格納したロットを収納しておくものである。また、搬送装置４は、レチクルやロットを搬送する装置である。
【００２８】
装置通信システムは、例えば露光装置１とホストシステム７間の通信を中継するシステムであり、搬送系通信システムは、レチクルストッカ２、ロットストッカ３および搬送装置４とホストシステム７の間の通信を中継するシステムである。また、ホストシステム７は、レチクル自動搬送システム全体を統括して制御するものである。
【００２９】
図２は、本実施の形態１における半導体装置の生産ラインの一部を示す平面図である。クリーンルーム内には、半導体装置の生産に使用される熱処理装置、イオン注入装置、エッチング装置、成膜装置、洗浄装置、フォトレジスト塗布現像装置、露光装置などの半導体製造装置が複数のベイ（装置群）に分けられて配置されているが、図２に示す半導体製造装置は露光装置１である。
【００３０】
また、クリーンルーム内の搬送システムは、各半導体製造装置の配置に対応して形成されており、ベイ間搬送とベイ内搬送に別れている。
【００３１】
ロットのベイ間搬送は、例えばクリーンルーム内の天井に設置された軌道１０に沿ってロットを搬送するＯＨＳ（Over  Head  Shuttle）１１により行なわれる。軌道１０は、ロットストッカ３の配置されている位置に対応して設置されている。ロットのベイ内搬送は、例えばクリーンルームの床に敷設された搬送レール１２上を走行するＲＧＶ（Rail  Guided  Vehicle）１３により行なわれる。搬送レール１２は、露光装置１およびロットストッカ３の配置位置に対応して敷設されている。レチクルポッドの搬送は、露光装置１およびレチクルストッカ２の配置位置に対応して敷設された軌道１４に沿って走行する搬送台車（搬送装置）１５により行なわれる。また、露光装置１にはロットが搬入されるポート１Ａとレチクルポッドが搬入されるレチクルポッドポート１Ｂが設けられている。
【００３２】
図３を参照しながら露光装置１内におけるレチクルの搬送について説明する。図３に示すように、レチクルポッドポート１Ｂでレチクルポッドからレチクルが取り出されると、取り出されたレチクルは、ハンドリングアーム１６によって異物検査ステージ１Ｃに搬送される。そして、異物検査が終了して検査結果が良好な場合、レチクルはハンドリングアーム１６によって異物検査ステージ１Ｃから露光装置１内の棚（シェルフ）１Ｄに格納される。一方、検査結果が不良の場合、レチクルはハンドリングアーム１６によって元のレチクルポッドに入れられる。また、露光装置１でレチクルを使用する場合、棚１Ｄからハンドリングアーム１６によってレチクルが処理ステージ１Ｅに運ばれる。このように、レチクルは露光装置１内においても様々な場所を移動する。
【００３３】
次に、図４から図６に示すフローチャートを参照しながら、本実施の形態１におけるレチクル自動搬送システムを使用した半導体装置の製造工程について説明する。
【００３４】
本実施の形態１において、レチクルとレチクルポッドとの関連付けとは、レチクルとレチクルポッドに１対１の対応関係を設ける場合をいい、例えばレチクルポッドにレチクルが格納された場合などにレチクルとレチクルポッドとの関連付けが行なわれる。レチクルとレチクルポッドとの関連付けが行なわれると、レチクルポッドには関連付けされたレチクルだけが格納でき、それ以外のレチクルは格納することができないようになる。一方、レチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るとは、レチクルとレチクルポッドとの間に設けられている１対１の対応関係を切断することを意味する。したがって、レチクルとレチクルポッドとの関連付けが切れた場合、そのレチクルポッドには関連付けられていたレチクル以外のレチクルを格納することができる。
【００３５】
まず、図４に示すように、レチクルをレチクルポッドに入れる（Ｓ１０１）。この時点、つまり、レチクルをレチクルポッドに入れた時点において、ホストシステム上でレチクルとレチクルポッドとの関連付けが行なわれる（Ｓ１０２）。次に、ホストシステム７の制御により、レチクルを入れたレチクルポッドを搬送台車１５に載せて、レチクルストッカ２から露光装置１へ搬送する（Ｓ１０３）。そして、レチクルポッドが露光装置１のレチクルポッドポート１Ｂに到着すると（Ｓ１０４）、露光装置１は、レチクルポッドに取り付けられているタグの情報を読み取り、到着したレチクルポッドとそのレチクルポッドに格納されているレチクルを認識する。これにより、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けが行なわれる（Ｓ１０５）。
【００３６】
続いて、露光装置１は、レチクルポッドを開けて（Ｓ１０６）、レチクルポッドの中に格納されているレチクルを取り出す（Ｓ１０７）。そして、露光装置１は、取り出したレチクルを異物検査ステージに載せ（Ｓ１０８）、レチクル上に異物がないか異物検査を行う（Ｓ１０９）。
【００３７】
次に、図５に示すように、異物検査の結果が不良な場合（Ｓ１１０）、露光装置１はアラームを送信するとともに異物検査の結果が不良である旨を示すアラームデータをホストシステム７に送信する（Ｓ１１１）。また、露光装置１は、不良となったレチクルを元のレチクルポッドへ戻す（Ｓ１１２）。すなわち、この段階では、レチクルとレチクルポッドとの関連付けは切れていないため、不良となったレチクルを関連付けられている元のレチクルポッドへ回収することができる。その後、ホストシステム７は不良となったレチクルを使用禁止にして、不良レチクルの入ったレチクルポッドをレチクルストッカ２に回収する（Ｓ１１３）。
【００３８】
このように、ホストシステム７が不良となったレチクルを使用禁止にするとともに不良レチクルの入ったレチクルポッドをレチクルストッカ２に回収することにより、露光装置１のレチクルポッドポート１Ｂを空けることができる。このため、新たに必要なレチクルを搬送することができるので、露光装置１のスループットの向上を図ることができる。
【００３９】
一方、異物検査の結果が良好な場合（Ｓ１１０）、露光装置１は異物検査の結果が良好である旨をイベント情報としてホストシステム７へ送信する（Ｓ１１４）とともに、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切る（Ｓ１１５）。イベント情報とは、あるイベントが起こったことを示す情報（データ）であり、ホストシステムはこのイベント情報を受信すると、露光装置１上で、あるイベントが発生したこと認識する。
【００４０】
ここで、異物検査の結果が良好な場合、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るのは以下に示す理由による。すなわち、露光装置１上ではレチクルポッドが露光装置１のレチクルポッドポートに到着した時点で関連付けを行なうが、これは、その後の工程で実施される異物検査の結果が不良となった場合、不良となったレチクルを元のレチクルポッドに格納する必要があるためである。したがって、異物検査の結果が良好である場合には、レチクルを元のレチクルポッドに回収する必要はなくなるため、レチクルとレチクルポッドとの関連付けを切っているのである。一方、この段階でレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切らないと、露光装置１でレチクルが不要となるまで、露光装置１のレチクルポッドポート１Ｂに、このレチクルに関連付けられたレチクルポッドを置いておかなくてはならない。露光装置１上のレチクルポッドポート１Ｂの数はコストとスペースの制約により制限されているため、レチクルポッドポート１Ｂ上に空のレチクルポッドを置いておくと新たに露光装置１で必要なレチクルを搬送することができない。このため、露光装置におけるスループットを下げる原因となる。このことから、異物検査の結果が良好であると判明した段階で、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切っているのである。
【００４１】
次に、ホストシステム７は、露光装置１から異物検査の結果が良好である旨のイベント情報を受信すると、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切る（Ｓ１１６）。これにより、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けが切られたタイミングに同期して、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切ることができる。したがって、露光装置１とホストシステム７との間に関連付けに関する情報のずれ（不一致）が起こることを防止できるため、関連付けに関する情報のずれに起因したトラブルの発生を防止することができ、レチクル自動搬送システムを円滑に運用することができる。
【００４２】
ここで、本実施の形態１の一つの特徴は、異物検査の結果が良好な場合、露光装置１からホストシステム７に向かって異物検査の結果が良好である旨のイベント情報を送信するように構成した点にある。すなわち、露光装置１は、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るタイミングを、上記イベント情報を介してホストシステム７に知らせることができるようになっている。つまり、露光装置１において、レチクルとレチクルポッドとの関連付けを切る際のイベント情報を追加し、追加したイベント情報をトリガにしてホストシステム７上でレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るようしたので、露光装置１とホストシステム７でレチクルとレチクルポッドとの関連付けに関する情報の同期をとることができる。
【００４３】
続いて、露光装置１は、異物検査に合格したレチクルを露光装置の棚１Ｄに格納する（Ｓ１１７）。そして、露光装置１は使用するレチクルを露光装置１の棚１Ｄから取り出して使用する（Ｓ１１８）。その後、露光装置１は、使用したレチクルを露光装置１の棚１Ｄに戻す（Ｓ１１９）。
【００４４】
次に、露光装置１は、棚１Ｄの中に不要なレチクルがあるかを調べる。そして、不要なレチクルがある場合、ホストシステムは、関連付けがされていないレチクルポッド（空）が露光装置１にあるかを調べる（Ｓ１２０）。そして、空のレチクルポッドがない場合には（Ｓ１２１）、ホストシステム７は露光装置１へ空のレチクルポッドを運ぶ（Ｓ１２２）。一方、空のレチクルポッドがある場合にはそれを使用する。
【００４５】
続いて、ホストシステム７は露光装置１に不要なレチクルを空のレチクルポッドへ回収する指示を出す（Ｓ１２３）。すると、露光装置１は不要なレチクルをレチクルポッドへ入れる（Ｓ１２４）。そして、露光装置１は不要なレチクルをレチクルポッドに入れた旨のイベント情報をホストシステム７に送信するとともに露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを行う（Ｓ１２５）。この露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けは、レチクルポッドに入れるレチクルのＩＤをレチクルポッドのタグに書き込むことにより行なわれる。
【００４６】
次に、ホストシステム７は、不要なレチクルをレチクルポッドに入れた旨のイベント情報を露光装置１から受信すると、このレチクルとレチクルポッドとの関連付けを行なう（Ｓ１２６）。その後、ホストシステム７の制御によりレチクルポッドをレチクルストッカへ搬送し（Ｓ１２７）、搬送したレチクルポッドをレチクルストッカへ格納する（Ｓ１２８）。
【００４７】
次に、レチクルを露光装置１に搬入する際の、露光装置１、ホストシステム７および搬送台車１５間における通信シーケンスについて図７を参照しながら説明する。
【００４８】
まず、ホストシステム７は、レチクルポッドとこのレチクルポッドに入っているレチクルとの関連付けを行なっている。続いて、図７に示すように、ホストシステム７は、露光装置１を特定する装置ＩＤとレチクルポッドを特定するレチクルポッドＩＤに基づき搬送台車１５に対してレチクルポッドに入ったレチクルを露光装置１へ搬送するように要求する（１）。この要求により、搬送台車１５はレチクルポッドを露光装置１へ搬送し、搬送台車１５が露光装置１に到着する。すると、搬送台車１５はレチクルポッドに入ったレチクルが露光装置１に到着した旨のイベント情報をホストシステム７に送信する（２）。このとき、装置ＩＤとレチクルポッドＩＤが搬送装置１５からホストシステム７に送信される。
【００４９】
続いて、露光装置１からもレチクルポッドが露光装置１に到着した旨のイベント情報がホストシステム７に送信され、装置ＩＤ、レチクルポッドＩＤおよびレチクルＩＤがホストシステム７に送信される（３）。このとき、露光装置１は、レチクルポッドにあるタグを読み込むことにより、レチクルポッドとレチクルとの関連付けを行なう。
【００５０】
そして、ホストシステム７は、露光装置１および搬送台車１５からレチクルポッドが露光装置１へ到着した旨のイベント情報を受信すると、装置ＩＤとレチクルＩＤに基づき、レチクルをレチクルポッドから露光装置１内に移動させる要求を露光装置１に対して行なう（４）。すると、露光装置１は、レチクルポッドからレチクルを取り出し、レチクルがレチクルポッドから出たイベント情報をホストシステム７に対して送信する（５）。このとき、露光装置１からは装置ＩＤ、レチクルポッドＩＤおよびレチクルＩＤが送信される。
【００５１】
次に、レチクルポッドから取り出されたレチクルに対して異物検査が実施され、異物検査の結果が良好である場合、露光装置１は、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るとともに、ホストシステム７に対して、異物検査の結果が良好である旨のイベント情報を送信する（６）。ホストシステム７は、異物検査の結果が良好である旨のイベント情報を露光装置１から受信すると、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切る。このようにして、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るタイミングに同期して、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切ることができる。なお、本実施の形態１の場合、レチクルがレチクルポッドから出たイベント情報（５）のホストシステム７への送信を省略して、異物検査の結果が良好であるイベント情報（６）のみでホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドの関連付けを切ることもできる。
【００５２】
次に、レチクルを露光装置１から搬出する際の、露光装置１、ホストシステム７および搬送台車１５間における通信シーケンスについて図８を参照しながら説明する。ここでは、露光装置１内に不要なレチクルがあり、この不要なレチクルを回収するため、露光装置１上に関連付けのされていない空のレチクルポッドを配置した後の通信シーケンスについて説明する。上述したようにして露光装置１上およびホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けは切れている。
【００５３】
まず、ホストシステム７は、装置ＩＤ、レチクルポッドＩＤおよびレチクルＩＤに基づき、露光装置１に対してレチクルをレチクルポッドに移動させる要求を行なう（１）。この要求により、露光装置１は、レチクルをレチクルポッドに入れる。このとき、露光装置１は、レチクルポッドにあるタグへ、レチクルポッドに入れるレチクルのレチクルＩＤを書き込み、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを行なう。また、露光装置１は、レチクルをレチクルポッドに入れた旨のイベント情報をホストシステム７に送信するとともに装置ＩＤ、レチクルポッドＩＤ、レチクルＩＤをホストシステム７に対して送信する（２）。
【００５４】
ホストシステム７はレチクルをレチクルポッドに入れた旨のイベント情報を露光装置１から受信すると、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを行なう。また、ホストシステム７は、装置ＩＤとレチクルポッドＩＤに基づき、搬送台車１５に対して、レチクルの入ったレチクルポッドを露光装置１から搬出する要求を出す（３）。すると、搬送台車１５は、レチクルの入ったレチクルポッドが露光装置１から取り去られた旨のイベント情報をホストシステム７に送信する（４）。このとき、搬送台車１５からは、装置ＩＤとレチクルポッドＩＤが送信される。また、露光装置１からもレチクルの入ったレチクルポッドが露光装置１から取り去られた旨のイベント情報が送信され、装置ＩＤおよびレチクルポッドＩＤがホストシステム７に送信される（５）。その後は、搬送台車１５によりレチクルポッドがレチクルストッカ２へ搬送される。このようにして、レチクルを露光装置１から搬出することができる。
【００５５】
このように、本実施の形態１によれば、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けが切られたタイミングに同期して、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切っているので、露光装置１とホストシステム７との間に関連付けに関する情報のずれが起こることを防止できる。したがって、関連付けに関する情報のずれに起因したトラブルの発生を防止することができ、レチクル自動搬送システムを円滑に運用することができる。このため、トラブル発生に伴う人手によるリカバリ作業が不要となり省人化を図ることができるので、半導体装置の製造コストを低減することができる。また、レチクル搬送の自動化を実現することができるので、人待ちによるレチクルの到着遅れを考慮する必要がなくなり、ＴＡＴの短縮を図ることができる。つまり、人手によるレチクル搬送では、休憩時間の間、レチクルの搬送がストップしてレチクルの到着遅れが生じるが、本実施の形態１によれば、レチクル搬送の円滑な自動化を実現できるので、ＴＡＴの短縮を図ることができる。さらに、ＱＴＡＴを実現することにより、試作品の開発期間が短縮され、利益率の高い時期に新製品をリリースすることができる。
【００５６】
（実施の形態２）
前記実施の形態１では、露光装置上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るタイミングをホストシステムに知らせるため、露光装置からホストシステムに送信するイベント情報を新たに追加する例について説明した。すなわち、露光装置上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るタイミングで、新たに追加したイベント情報をホストシステムに送信し、このイベント情報をホストシステムが受信すると、ホストシステム上でレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切る。これにより、露光装置上の関連付けとホストシステム上の関連付けの同期をとる例について説明した。本実施の形態２では、新たにイベント情報を追加せず、既存のイベント情報を活用することにより、ホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付け切るタイミングを推測する例について説明する。
【００５７】
図９は、本実施の形態２において、レチクルを露光装置１に搬入する際の、露光装置１、ホストシステム７および搬送台車１５間における通信シーケンスを説明した図である。図９は、前記実施の形態１における通信シーケンスを説明した図７とほぼ同様であるが、図９においては、異物検査の結果が良好である旨のイベント情報が露光装置１からホストシステム７へ送信されない点が異なる。
【００５８】
以下に図９に示す通信シーケンスについて説明する。まず、ホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けは、レチクルをレチクルポッドに入れ段階で行なわれている。次に、図９に示すように、ホストシステム７は、レチクルポッドに入ったレチクルを露光装置１へ搬送するように、搬送台車１５に対して要求する（１）。この要求により、搬送台車１５はレチクルポッドを露光装置１へ搬送し、搬送台車１５が露光装置１に到着する。すると、搬送台車１５はレチクルポッドに入ったレチクルが露光装置１に到着した旨のイベント情報をホストシステム７に送信する（２）。続いて、露光装置１からもレチクルポッドが露光装置１に到着した旨のイベント情報がホストシステム７に送信される（３）。このとき、露光装置１は、レチクルポッドにあるタグを読み込むことにより、レチクルポッドとレチクルとの関連付けを行なう。
【００５９】
そして、ホストシステム７は、露光装置１および搬送台車１５からレチクルポッドが露光装置１へ到着した旨のイベント情報を受信すると、レチクルをレチクルポッドから露光装置１内に移動させる要求を露光装置１に対して行なう（４）。すると、露光装置１は、レチクルポッドからレチクルを取り出し、レチクルがレチクルポッドから出たイベント情報をホストシステム７に対して送信する（５）。
【００６０】
前記実施の形態１では、この後に異物検査の結果が良好である旨のイベント情報が、露光装置１からホストシステム７に送信されるが、本実施の形態２では上記イベント情報が送信されない。本実施の形態２では、レチクルポッドに入ったレチクルが露光装置１に到着した旨のイベント情報とレチクルがレチクルポッドから出た旨のイベント情報とが既存のイベント情報として存在するだけである。ここで、レチクルがレチクルポッドから出た旨のイベント情報をホストシステム７で受け取った後、図４〜図６のフローチャートに示すように、取り出されたレチクルは異物検査ステージ１Ｃに載せられる（Ｓ１０８）。そして、異物検査が行なわれ（Ｓ１０９）、検査結果が良好である場合（Ｓ１１０）露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けが切断される（Ｓ１１５）。このように、レチクルがレチクルポッドから出た旨のイベント情報をホストシステム７が受け取ってから所定時間を経過するとレチクルの異物検査が終了することがわかる。
【００６１】
そこで、本実施の形態２ではレチクルを取り出した旨のイベント情報をホストシステム７が受け取ってから所定時間を経過した後に、ホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断することにより、ホストシステム上のレチクルとレチクルポッドの関連付けを切断するタイミングを露光装置上でのレチクルとレチクルポッドの関連付けを切断するタイミングに合わせることができる。すなわち、本実施の形態２では、レチクルを取り出した旨のイベント情報を受信してから所定時間経過後を露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するタイミングと推測しているものである。
【００６２】
露光装置１上の情報とホストシステム上の情報との同期をとる観点からは、前記実施の形態１で説明したように、同期をとるためのイベント情報を追加することが望ましいが、既存のシステムを変更するにはコストがかかる場合がある。そこで、本実施の形態２のように既存のイベント情報を使用することでシステムの変更を小さくできる。したがって、本実施の形態２によれば、システムの変更に伴うコストを低減することができる。
【００６３】
ここで、本実施の形態２では、レチクルを取り出した旨のイベント情報を受信してから所定時間経過後にホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断している。レチクルの異物検査が良好の場合、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するタイミングとホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するタイミングは一致するが、レチクルの異物検査が不良の場合、露光装置１上ではレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断しないため、露光装置１とホストシステムとの間で情報の不一致が生じる。しかし、レチクルの異物検査が不良になる割合が少ないため、本実施の形態２のように構成しても影響は少ないと考えられる。
【００６４】
なお、本実施の形態２では、レチクルを取り出した旨のイベント情報を利用しているが、レチクルポッドからレチクルを取り出した旨のイベント情報とレチクルポッドへレチクルを入れた旨のイベント情報が同じで区別できない場合がある。すなわち、レチクルを取り出した場合とレチクルを入れた場合を合わせてレチクルの状態が変化したというイベント情報としていることがある。この場合、単にレチクルの状態が変化したイベント情報だけを使用するとレチクルがレチクルポッドから取り出されているのかあるいはレチクルがレチクルポットに格納されているのかを判断することができない。
【００６５】
そこで、複数のイベント情報を利用することにより、レチクルがレチクルポッドから取り出されているがあるいはレチクルがレチクルポッドに格納されているかを判断することができる。つまり、レチクルを入れたレチクルポッドが露光装置１に到着したというイベント情報（第１のイベント情報）があった後に、レチクルの状態が変化した旨のイベント情報（第２のイベント情報）があった場合には、レチクルがレチクルポッドから取り出されていると判断することができる。
【００６６】
この場合、ホストシステム７は、時系列的に第１のイベント情報と第２のイベント情報とを受信すると、レチクルがレチクルポッドから取り出されたと判断するとともに、第２イベント情報を受信した時刻から所定時刻経過後を、異物検査の結果が良好に終了した時刻と判断（推定）して、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切る。このようにして、ホストシステム７上と露光装置１上の情報を合わせることができる。
【００６７】
また、本実施の形態２では、レチクルを取り出した旨のイベント情報をホストシステム７が受信してから所定時間経過後に、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するように構成したが、レチクルを取り出した旨のイベント情報をホストシステム７が受信すると、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するように構成してもよい。この場合、露光装置１上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するタイミングとホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するタイミングは、所定時間だけ待って切断する場合に比べてずれることになるが、システムの変更に伴うコストをさらに低減することができる。
【００６８】
ここで、レチクルを取り出した時点からレチクルの異物検査結果の出る時点までの時間は、レチクルを入れたレチクルポッドが露光装置１に到着した時点から異物検査結果の出る時点までの時間に比べてかなり短い。このため、レチクルポッドが露光装置１に到着した旨のイベント情報をトリガにしてホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断する場合に比べて、レチクルを取り出した旨のイベント情報をトリガにして、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断する場合は、露光装置１上の関連付け情報とホストシステム７上の関連付け情報とのずれを小さくすることができる。
【００６９】
（実施の形態３）
前記実施の形態１および前記実施の形態２では、レチクルを露光装置に搬送した後にレチクルの異物検査を実施する例について説明したが、本実施の形態３ではレチクルを露光装置に搬送する前に露光装置とは別にある異物検査装置でレチクルの異物検査を実施する例について説明する。
【００７０】
本実施の形態３ではレチクルを露光装置に搬送する前にレチクルの異物検査を行っている。このため、レチクルが露光装置に到着してレチクルポッドから取り出された時に、ホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切ることで、露光装置とホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するタイミングの同期をとることができる。すなわち、露光装置にレチクルを搬送した後、露光装置で異物検査を実施する場合には、異物検査を実施する時間を考慮する必要があるため、レチクルをレチクルポッドから取り出して所定時間が経過した後にホストシステム上でレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切っていた。しかし、本実施の形態３では露光装置に搬送される前の段階で露光装置とは別にある異物検査装置でレチクルの異物検査が実施されている。したがって、露光装置に搬送されるレチクルは既に異物検査をパスしているものである。このため、レチクルがレチクルポッドから取り出されてから所定時間経過するのを待つ必要はない。つまり、露光装置では露光装置にレチクルが到着した時点でレチクルとレチクルポッドとの関連付けが行われ、レチクルポッドからレチクルが取り出された時点でレチクルとレチクルポッドとの関連付けが切られている。これは露光装置で異物検査を実施しないためである。このことから、レチクルがレチクルポッドから取り出された時点でホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切ることにより、露光装置とホストシステムで、同期をとることができる。つまり、露光装置はレチクルをレチクルポッドから取り出すイベント情報をホストシステムに送信し、ホストシステムはイベント情報を前記露光装置から受信すると、ホストシステム上で前記レチクルと前記レチクルポッドとの関連付けを切ることによって露光装置とホストシステムで同期をとることができる。
【００７１】
ここで、レチクルを取り出した旨のイベント情報を利用しているが、レチクルポッドからレチクルを取り出した旨のイベント情報とレチクルポッドへレチクルを入れた旨のイベント情報が同じで区別できない場合がある。すなわち、レチクルを取り出した場合とレチクルを入れた場合を合わせてレチクルの状態が変化したというイベント情報としていることがある。この場合、露光装置からレチクルの入ったレチクルポッドが露光装置に到着したという第１のイベント情報とレチクルがレチクルポッドから取り出されたあるいはレチクルがレチクルポッドに格納されたという第２のイベント情報をホストシステムに送信し、ホストシステムは第１のイベント情報と第２のイベント情報とを続けて受信した時にレチクルがレチクルポッドから取り出されたと判断して、ホストシステム上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るようにすればよい。
【００７２】
（実施の形態４）
前記実施の形態１では、レチクル自動搬送システムを使用した半導体装置の製造方法において、レチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するタイミングについて説明したが、本実施の形態４では、レチクル自動搬送システムを使用した半導体装置の製造方法において、ロットを割り付けるタイミングについて説明する。
【００７３】
レチクル自動搬送システムを使用した半導体装置の製造工程の流れは図４〜図６に示した通りである。従来、ロットの露光装置１への割り付けは、使用するレチクルの入ったレチクルポッドがレチクルポッドポート１Ｂに到着した時点で行なわれていた。しかし、この時点で露光装置１へロットを割り付けてしまうと、以下に示す不都合が生じる。すなわち、レチクルは、レチクルポッドから取り出された後、レチクルは異物検査ステージ１Ｃに載せられて異物検査が行なわれる。そして、異物検査の結果が不良の場合、そのレチクルは露光装置１から回収されてしまう。したがって、既に露光装置１に割り付けられたロットは着工することができなくなり、人手によるリカバリ作業が発生する。このため、露光装置１のスループットが低下する。そこで、本実施の形態４では、レチクルの異物検査が終了して、異物検査の結果が良好であると判明した時点でロットを割り付けるようにしている。すなわち、レチクルの異物検査の結果が良好である旨のイベント情報を追加し、追加したこのイベント情報をホストシステム７が受信した場合に、ホストシステム７によるロットの割り付けを行なうように構成する。これにより、レチクルの異物検査の結果が不良の場合には、ロットが露光装置１に割り付かないので、ロットの着工不能を回避することができ、人手によるリカバリ作業も不要になる。このため、露光装置１のスループットを向上させることができる。つまり、ロットが着工不能になることにより、露光装置１が停止することがないので、露光装置１の稼働率が向上する。また、ロットの着工不能によるトラブルが減少するため、トラブル対応の人員を削減でき、半導体装置のコスト削減を図ることができる。
【００７４】
ここで、上記したロットの割り付け方法と前記実施の形態１とを組み合わせることもできる。すなわち、レチクルの異物検査の結果が良好である旨のイベント情報をホストシステムが受信すると、ホストシステム７は、ホストシステム７上でのレチクルとレチクルポッドとの関連付けを切るとともに露光装置１へロットを割り付ける。このように、一つのイベント情報で、レチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するとともにロットの割り付けを行なうことができるので、システムの簡素化を図ることができる。また、ロットの割り付け方法の変更と、レチクルとレチクルポッドとの関連付けを切断するタイミングの変更をそれぞれ別々に実施する場合に比べて、システムのソフトウェア変更を小さくすることができ、半導体装置のコスト削減を図ることができる。
【００７５】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００７６】
なお、複数のレチクルを格納可能なレチクルポッドを使用する場合、前記実施の形態で記述されている空のレチクルポッドを容量に余裕のある（空のある）レチクルポッドに置き換えれば、前記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明のレチクル自動搬送システムを使用した半導体装置の製造方法は、半導体装置を製造する製造業に幅広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明におけるレチクル自動搬送システムの概略構成を示した図である。
【図２】半導体装置の生産ラインの一部を示す平面図である。
【図３】露光装置内におけるレチクルの搬送について説明した図である。
【図４】実施の形態１におけるレチクル自動搬送システムを使用した半導体装置の製造工程の流れを示したフローチャートである。
【図５】実施の形態１におけるレチクル自動搬送システムを使用した半導体装置の製造工程の流れを示したフローチャートである。
【図６】実施の形態１におけるレチクル自動搬送システムを使用した半導体装置の製造工程の流れを示したフローチャートである。
【図７】実施の形態１におけるレチクル搬入時の通信シーケンスを示した図である。
【図８】実施の形態１におけるレチクル搬出時の通信シーケンスを示した図である。
【図９】実施の形態２におけるレチクル搬入時の通信シーケンスを示した図である。
【符号の説明】
【００７９】
１  露光装置
１Ａ  ポート
１Ｂ  レチクルポッドポート
１Ｃ  異物検査ステージ
１Ｄ  棚
１Ｅ  処理ステージ
２  レチクルストッカ
３  ロットストッカ
４  搬送装置
５  装置通信システム
６  搬送系通信システム
７  ホストシステム
１０  軌道
１１  ＯＨＳ
１２  搬送レール
１３  ＲＧＶ
１４  軌道
１５  搬送台車
【図１】
2006024850.tif 000003
【図２】
2006024850.tif 000004
【図３】
2006024850.tif 000005
【図４】
2006024850.tif 000006
【図５】
2006024850.tif 000007
【図６】
2006024850.tif 000008
【図７】
2006024850.tif 000009
【図８】
2006024850.tif 000010
【図９】
2006024850.tif 000011