(57)【要約】  【課題】  反りを防止し、吐出口を高密度化することができるとともに、製造の簡略化を図ること。  【解決手段】  複数の吐出口５１とそれぞれ連通する複数の圧力室５２が設けられた、繊維を基材とするコア基板７０と、コア基板７０の上面に付加され、圧電素子５８が配置された振動板５６と、コア基板７０の上側に樹脂の薄板１１１乃至１１７を積層して形成され、圧力室５２にそれぞれ液体を供給する共通液室５５が設けられた第１の樹脂積層部１１０と、コア基板７０の下側に樹脂の薄板１２１乃至１２７を積層して形成され、複数の圧力室５２を複数の吐出口５１にそれぞれ連通させる複数の吐出流路７３が設けられた第２の樹脂積層部１２０と、その少なくとも一部が共通液室５５内を立ち上がるように圧電素子５８が配置された面に対して略垂直方向に、第１の樹脂積層部１１０内に形成された駆動信号供給用の複数の駆動配線９０を備える構成にした。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出口とそれぞれ連通する複数の圧力室が設けられた、繊維を基材とするコア基板と、
前記コア基板の一方の面に付加され、圧電素子が配置された振動板と、
前記コア基板の前記振動板が付加された側に樹脂からなる薄板を積層して形成され、前記複数の圧力室にそれぞれ液体を供給する共通液室が設けられた第１の樹脂積層部と、
前記コア基板の前記振動板が付加された側とは反対側に樹脂からなる薄板を積層して形成され、前記複数の圧力室を前記複数の吐出口にそれぞれ連通させる複数の吐出流路が設けられた第２の樹脂積層部と、
前記圧電素子に駆動信号を供給する複数の駆動配線であって、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように前記圧電素子が配置された面に対して略垂直方向に前記第１の樹脂積層部内に形成された複数の駆動配線と、
を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記コア基板は、ガラス繊維及びエポキシ樹脂を有するガラスエポキシ樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第２の樹脂積層部には、外部と連通する擬似空間、及び、閉じられた空間から充填材が除去されずに取り残された充填部の少なくとも一方が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第２の樹脂積層部には、前記駆動配線と平行な電気配線が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１の樹脂積層部を構成する薄板の層数と、前記第２の樹脂積層部を構成する薄板の層数とが同一であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１の樹脂積層部および前記第２の樹脂積層部を構成する薄板は、前記コア基板から離間するほどに厚さが薄いことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記駆動配線は、前記コア基板から離間するほどに断面積が小さく形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項９】
繊維を基材とするコア基板に穴加工を施して、吐出される液体に圧力を与える複数の圧力室を形成する工程と、
前記コア基板の一方の面に、圧電素子が配置される振動板を付加する工程と、
前記コア基板の両側に該コア基板を基準として相対する層同士で略同一の厚さの樹脂からなる薄板を略同時に積層して、前記コア基板の前記振動板が付加された側には前記複数の圧力室にそれぞれ液体を供給する共通液室を設ける第１の樹脂積層部を形成するとともに、前記コア基板の前記振動板が付加された側と反対側には前記複数の圧力室から複数の吐出口にそれぞれ至る複数の吐出流路を設ける第２の樹脂積層部を形成する積層工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記積層工程において、前記コア基板を基準として相対する層同士で少なくとも熱処理を同時に施すことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記積層工程において、前記薄板における空間部分の面積率及び配線部分の面積率のうち少なくとも一方が、前記コア基板を基準として略同時に積む層同士で略同等であることを特徴とする請求項９又は１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記積層工程において、前記圧電素子に駆動信号を供給する駆動配線であって、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように前記圧電素子が配置された面に対して略垂直方向の駆動配線を前記第１の樹脂積層部内に形成することを特徴とする請求項９乃至１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記積層工程において、外部と連通する擬似空間、及び、閉じられた空間から充填材が除去されずに取り残された充填部の少なくとも一方を前記第２の樹脂積層部に形成することを特徴とする請求項９乃至１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、画像形成装置、及び、液体吐出ヘッドの製造方法に係り、特に液体を吐出する吐出口の配置を高密度にした液体吐出ヘッド、画像形成装置、及び、液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、画像形成装置として、多数のノズル（吐出口）を配列させたインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）を有し、このインクジェットヘッドと被記録媒体を相対的に移動させながら、ノズルから被記録媒体に向けてインクを吐出することにより、被記録媒体上に画像を記録するインクジェットプリンタ（インクジェット記録装置）が知られている。
【０００３】
このようなインクジェットプリンタは、インクタンクからインク供給路を介して圧力室にインクを供給し、画像データに応じた電気信号を圧電素子に付与して圧電素子を駆動することにより、圧力室の一部を構成する振動板を変形させて、圧力室の容積を減少させ、圧力室内のインクをノズルから液滴として吐出するようになっている。
【０００４】
このようにインクジェットプリンタにおいては、ノズルから吐出されたインクによって形成されるドットを組み合わせることによって被記録媒体上に１つの画像が形成される。
【０００５】
近年、インクジェットプリンタにおいても写真プリント並みの高画質な画像を形成することが望まれている。これに対して、ノズル径を小さくしてノズルから吐出されるインク液滴を小さくするとともに、ノズルを高密度に配列して単位面積あたりの画素数を多くすることによって高画質を実現することが考えられている。
【０００６】
ノズル配列を高密度化する方法としては、従来、ノズルを２次元マトリクス状に配置することが提案されている。
【０００７】
例えば、ヘッド主走査方向に対して一定角度傾いた複数の行と、ヘッド主走査方向と直交する複数の列とにより構成された格子状に複数のノズルを配列し、各ノズルに対応して設けられた圧力室の一面を形成する振動板の平面形状を概略正方形あるいは菱形とすることにより、圧力室の吐出効率を向上させるとともに、ノズルを高密度に配置するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１等参照）。
【０００８】
また、キャビティープレートに設けられる圧力室を略菱形に形成し、その圧力室の一方の鋭角部にインクの供給口を形成し、他方の鋭角部にインク噴射ノズルを形成するようにして、キャビティープレートの寸法を大型化することなく、多ノズルに対応した多数のインク圧力室を配列するようにしてノズルの高密度化を図るようにしたものが知られている（例えば、特許文献２等参照）。
【０００９】
また、特許文献３には、小型で放熱効率を高くすることを目的として、２枚のシート状の導体箔が重ね合わされて一体的に固着される熱シートであって、両導体箔の相対する面のそれぞれに互いに対面する線状の溝をエッチング又はレーザ加工により予め形成しておき、重ね合わせたときに細長い中空の流体路が形成されるようにしたものが記載されている。
【特許文献１】特開２００１−３３４６６１号公報
【特許文献２】特開２００２−１６６５４３号公報
【特許文献３】特許第３４０３１３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記特許文献等に記載されているインクジェットヘッドのような構成でノズルの高密度化を進めて行くと、以下説明するような問題が発生するため、実際にこのような構成でノズルを高密度化することは困難である。
【００１１】
すなわち、上記特許文献１、２に開示されているようなインクジェットヘッドにおいては、圧力室の一つの壁面を形成する振動板を境として、インクの共通流路、供給路、圧力室及びノズルが同一の側に配置され、これらとは反対側に圧電アクチュエータが配置されている。
【００１２】
例えば、このような構成において高密度化を進めて行くと、高密度化するに伴い共通流路のサイズが小さくなって行くため、多ノズルを高周波で駆動してインクを吐出しようとすると圧力室へのインク供給が追いつかない。
【００１３】
一方で、圧力室に液体を供給する共通液室を振動板の裏側（圧力室が設けられた側の反対側）に設けることにより、ノズルの高密度化を図ることも考えられるが、圧電素子に駆動信号を供給する駆動配線の実装をどのように行うかが課題となる。
【００１４】
すなわち、振動板の一方側に圧力室を設けて他方側に共通液室を設けることによりノズルの高密度化を図ろうとした場合、振動板の裏側等において駆動配線の実装面積が狭くなって駆動配線の実装が困難となるので、ノズルの高密度化が実質的に困難になるか、あるいは、駆動配線の引き回しが複雑となることにより、インクジェットヘッドの製造が困難になってしまう。
【００１５】
ところで、熱硬化性の樹脂は熱処理が容易であるが、このような樹脂からなる樹脂層を積層してインクジェットヘッドに用いようとすると、反りの発生が問題となる。特に、インクジェットヘッドにおいては、液体であるインクが使用されるので、接液する部分の耐液性が必要であるが、いわゆるビルドアップにより樹脂層を積層した場合、反りにより発生した層間の隙間等にインクが入り込むという問題が発生する。
【００１６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、吐出口を高密度化することができるとともに製造の簡略化を図ることができる液体吐出ヘッド、画像形成装置、及び、液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、複数の吐出口とそれぞれ連通する複数の圧力室が設けられた、繊維を基材とするコア基板と、前記コア基板の一方の面に付加され、圧電素子が配置された振動板と、前記コア基板の前記振動板が付加された側に樹脂からなる薄板を積層して形成され、前記複数の圧力室にそれぞれ液体を供給する共通液室が設けられた第１の樹脂積層部と、前記コア基板の前記振動板が付加された側とは反対側に樹脂からなる薄板を積層して形成され、前記複数の圧力室を前記複数の吐出口にそれぞれ連通させる複数の吐出流路が設けられた第２の樹脂積層部と、前記圧電素子に駆動信号を供給する複数の駆動配線であって、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように前記圧電素子が配置された面に対して略垂直方向に前記第１の樹脂積層部内に形成された複数の駆動配線を備えた構成になっている。
【００１８】
この構成によって、コア基板内の圧力室と第１の樹脂積層部内の共通液室とが振動板を挟んで配置されるとともに共通液室内を駆動配線が立ち上がるように配置されるので、駆動配線の高密度化が容易になるとともに吐出口の高密度化が可能になり、また、剛性を有するコア基板の両側に樹脂積層部を配置した構造により、液体吐出ヘッドの反りを防止できることになり、いわゆるビルドアップ手法による製造の簡略化が可能になる。
【００１９】
なお、前記複数の駆動配線の配列の態様には各種ある。
【００２０】
例えば、前記複数の駆動配線は、前記圧電素子又は前記圧電素子の近傍から立ち上がるように形成されている。
【００２１】
また、例えば、前記複数の吐出口が２次元的に配列される場合、前記複数の駆動配線は前記圧電素子が配置される面に対して２次元的に配列されている。
【００２２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記コア基板は、ガラス繊維及びエポキシ樹脂を有するガラスエポキシ樹脂からなる構成になっている。
【００２３】
この構成により、コア基板の剛性が高まり、更なる反りの防止が可能になる。
【００２４】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記第２の樹脂積層部には、外部と連通する擬似空間、及び、閉じられた空間から充填材が除去されずに取り残された充填部の少なくとも一方が形成されている構成になっている。
【００２５】
この構成によって、コア基板の上下で薄板の面積率を略同一にすることが可能となり、コア基板の上下で面積率が略同一の薄板が配置された構造により、更なる反りの防止が可能になる。外部と連通する擬似空間と充填材が取り残された充填部の両方を形成した場合には、擬似空間と充填部の配分と配置を調整することにより、応力を調整することも可能になる。
【００２６】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の発明において、前記第２の樹脂積層部には、前記駆動配線と平行な電気配線が形成されている構成になっている。
【００２７】
この構成によって、コア基板の上下で導電成分が均等に配分された構造により、更なる反りの防止が可能になる。
【００２８】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の発明において、前記第１の樹脂積層部を構成する薄板の層数と、前記第２の樹脂積層部を構成する薄板の層数とが同一である構成になっている。
【００２９】
この構成によって、コア基板の上下で同一の層数である構造により、更なる製造の簡略化が可能になる。
【００３０】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載の発明において、前記第１の樹脂積層部および前記第２の樹脂積層部を構成する薄板は、前記コア基板から離間するほどに厚さが薄い構成になっている。
【００３１】
この構成によって、更なる反りの防止が可能になる。
【００３２】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明において、前記駆動配線は、前記コア基板から離間するほどに断面積が小さく形成されている構成になっている。
【００３３】
この構成によって、液体吐出ヘッドにＩＣチップをバンプ実装等により直接的に実装することが可能になって、駆動配線の更なる高密度化が可能になる。
【００３４】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置である。
【００３５】
この構成により、高密度で画像を形成することができる。
【００３６】
請求項９に記載の発明は、繊維を基材とするコア基板に穴加工を施して、吐出される液体に圧力を与える複数の圧力室を形成する工程と、前記コア基板の一方の面に、圧電素子が配置される振動板を付加する工程と、前記コア基板の両側に該コア基板を基準として相対する層同士で略同一の厚さの樹脂からなる薄板を略同時に積層して、前記コア基板の前記振動板が付加された側には前記複数の圧力室にそれぞれ液体を供給する共通液室を設ける第１の樹脂積層部を形成するとともに、前記コア基板の前記振動板が付加された側と反対側には前記複数の圧力室から複数の吐出口にそれぞれ至る複数の吐出流路を設ける第２の樹脂積層部を形成する積層工程を含む構成になっている。
【００３７】
この構成によって、コア基板内の圧力室と第１の樹脂積層部内の共通液室とが振動板を挟んで配置されるので、吐出口が高密度化されることになり、また、剛性を有するコア基板の両側に略同一の厚さの樹脂の薄板が略同時に積層されていくので、液体吐出ヘッドの反りを防止できることになり、いわゆるビルドアップ手法による製造の簡略化が可能になる。
【００３８】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の発明において、前記積層工程において、前記コア基板を基準として相対する層同士で少なくとも熱処理を同時に施す構成になっている。
【００３９】
すなわち、前述の請求項９の発明における「略同時に積層」とは、少なくとも熱処理を同時に行えばよい。    
【００４０】
熱処理のみを同時を行った場合には、液体吐出ヘッドの反りを防止しつつ、いわゆるビルドアップを容易に行うことができる。
【００４１】
請求項１１に記載の発明は、請求項９又は１０に記載の発明において、前記積層工程において、前記薄板における空間部分の面積率及び配線部分の面積率のうち少なくとも一方が、前記コア基板を基準として略同時に積む層同士で略同等である構成になっている。
【００４２】
この構成によって、コア基板を基準として略同時に積む層同士で面積率が略同等なので、更なる反りの防止が可能になる。
【００４３】
請求項１２に記載の発明は、請求項９乃至又１１のいずれかに記載の発明において、前記積層工程において、前記圧電素子に駆動信号を供給する駆動配線であって、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように前記圧電素子が配置された面に対して略垂直方向の駆動配線を前記第１の樹脂積層部内に形成する構成になっている。
【００４４】
この構成によって、駆動配線が共通液室内を立ち上がるように配置されるので、駆動配線の引き回しを複雑にすることなく駆動配線を高密度化し、吐出口の高密度化が可能になる。
【００４５】
請求項１３に記載の発明は、請求項９乃至１２のいずれかに記載の発明において、前記積層工程において、外部と連通する擬似空間、及び、閉じられた空間から充填材が除去されずに取り残された充填部の少なくとも一方を前記第２の樹脂積層部に形成する構成になっている。
【００４６】
この構成によって、コア基板の上下で薄板の面積率を略同一にすることが可能となり、コア基板の上下で面積率が略同一の薄板が配置された構造により、更なる反りの防止が可能になる。外部と連通する擬似空間と充填材が取り残された充填部の両方を形成した場合には、擬似空間と充填部の配分と配置を調整することにより、応力を調整することも可能になる。
【発明の効果】
【００４７】
本発明によれば、駆動配線を高密度化することができて吐出口を高密度化することができるとともに、反りを防止しつつ樹脂のビルドアップにより液体吐出ヘッドの製造を簡略化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
以下、添付した図面を参照して、本発明に係る液体吐出ヘッド及びこれを備えた画像形成装置について詳細に説明する。
【００４９】
図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドを有する画像形成装置としてのインクジェット記録装置の例の概略を示す全体構成図である。
【００５０】
図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド（液体吐出ヘッド）１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６とを備えている。
【００５１】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００５２】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００５３】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００５４】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００５５】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面に対向する部分が平面（フラット面）をなすように構成されている。
【００５６】
ベルト３３は、記録紙１６幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（図示省略）が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面に対向する位置には吸着チャンバー３４が設けられており、この吸着チャンバー３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（図示省略）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。
【００５７】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００５８】
なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００５９】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００６０】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている（図２参照）。
【００６１】
図２に示すように、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００６２】
記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００６３】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００６４】
また本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。
【００６５】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００６６】
印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
【００６７】
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００６８】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００６９】
このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（図示省略）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。
【００７０】
また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
【００７１】
次に、印字ヘッド（液体吐出ヘッド）のノズル（液体吐出口）の配置について説明する。インク色毎に設けられている各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを表すものとし、図３に印字ヘッド５０の平面透視図を示す。
【００７２】
図３において、印字ヘッド５０は、インクを液滴として吐出するノズル５１、インクを吐出する際にインクに圧力を付与する圧力室５２、図３では図示を省略した共通液室から圧力室５２にインクを供給するインク供給口５３を含んで構成される圧力室ユニット５４が、２次元マトリクス状に配列されて構成されている。
【００７３】
図３に示す例においては、各圧力室５２を上方から見た場合に、その平面形状は略正方形状をしている。圧力室ユニット５４は、その対角線の一方の端にノズル５１が形成され、他方の端にインク供給口５３が設けられている。なお、図３に示すように各圧力室５２を上方から見た場合における平面形状が略正方形状である場合を例に説明したが、本発明において圧力室５２の平面形状はこのような正方形に限定されるものではない。
【００７４】
また、図４は他の印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。図４に示すように、複数の短尺ヘッド５０’を２次元の千鳥状に配列して繋ぎ合わせて、これらの複数の短尺ヘッド５０’全体で印字媒体の全幅に対応する長さとなるようにして１つの長尺のフルラインヘッドを構成するようにしてもよい。
【００７５】
印字ヘッド５０の基本的な構成を説明するために、図５に印字ヘッド５０の一部を簡略化した斜視透視図を示す。
【００７６】
図５に簡略化して示す印字ヘッド５０は、インクを吐出する際にインクに圧力を付与する圧力室５２の上に振動板５６が配置され、振動板５６の上にはピエゾ等の圧電体で構成される圧力発生手段としての圧電素子５８が配置されている。振動板５６は、圧電素子５８によって発生された圧力を圧力室５２に伝達する。また、振動板５６は、圧電素子５８を挟む一方の電極（共通電極）を構成しており、圧電素子５８の直上に配置された個別電極５７は、振動板５６に対応する他方の電極を構成する。
【００７７】
個別電極５７の端面から外側への電極接続部として電極パッド５９が引き出されて形成され、電極パッド５９の上には圧電素子５８の配置された面（図５に示す印字ヘッド５０では振動板５６の上面）に対して略垂直方向に立ち上がるように柱状の電気配線９０が形成されている。この柱のように立ち上がった電気配線９０は、その形状からエレキ柱とも呼ぶこととする。電気配線９０の上には多層のフレキシブルケーブル９２が配置されており、フレキシブルケーブル９２から電気配線９０及び個別電極５７を介して圧電素子５８に駆動信号が供給されるようになっている。
【００７８】
また、振動板５６とフレキシブルケーブル９２との間の電気配線９０が立ち並んだ空間は、各インク供給口５３を介して各圧力室５２にインクを供給するための共通液室５５となっている。このように電気配線９０は、フレキシブルケーブル９２を下から支え、共通液室５５となる空間を形成している。逆に言うと、電気配線９０（エレキ柱）は、共通液室５５内を立ち上がって共通液室５５を貫通するように形成されている。
【００７９】
なお、ここに示した柱状の電気配線９０は、多層のフレキシブルケーブル９２を下から支えるようになっているが、多層のフレキシブルケーブル９２を配設する代わりに、圧電素子５８を駆動するＩＣ（Integrated Circuit）チップを柱状の電気配線９０に直接的に接続するようにしてもよい。なお、図示を簡略化しているが、共通液室５５の天井は絶縁性の保護膜（天井プレート）で構成されており、駆動用のＩＣチップを柱状の電気配線９０に直接的に接続する場合には、駆動用のＩＣチップは共通液室５５の天井プレートの上に配設される。
【００８０】
また、ここに示した電気配線９０は、各圧電素子５８に対して１つずつ形成され、一対一に対応しているが、配線数（エレキ柱の数）を削減するために、いくつかの圧電素子５８に対する配線をまとめて１つの電気配線９０とするように複数の圧電素子５８に対して１つの電気配線９０が対応するようにしてもよい。さらに、個別電極５７ばかりでなく、共通電極（振動板５６）に対する配線も電気配線９０として形成するようにしてもよい。
【００８１】
また、ここに示した共通液室５５は、図３に示した全ての圧力室５２にインクを供給するように、圧力室５２が形成された全領域に渡って形成される１つの大きな空間となっているが、共通液室５５は、このように一つの空間として形成されるものには限定されず、いくつかの領域に分かれて複数に形成されていてもよい。
【００８２】
図５に示すように圧力室５２は、ノズル５１と連通する開口部１０８が底面に形成され、この底面の開口部１０８と対角をなす角部の上面側に、共通液室５５と連通するインク供給口５３が設けられている。インク供給口５３は振動板５６を貫いており、共通液室５５と圧力室５２とはインク供給口５３を介して真っ直ぐに連通している。これにより、共通液室５５と圧力室５２を流体的に直接繋ぐことが出来る。
【００８３】
振動板５６は、各圧力室５２に共通のものとし１枚のプレートで形成されている。そして、振動板５６の各圧力室５２に対応する部分に、圧力室５２を変形させるための圧電素子５８が配置されている。圧電素子５８に電圧を印加して駆動するための電極（共通電極と個別電極）が圧電素子５８を挟むようにその上下面に形成されている。
【００８４】
また、図５では図示を省略したが、共通液室５５はインクで満たされるため、共通電極としての振動板５６、個別電極５７、電気配線９０及びフレキシブルケーブル９２のインクと接触する面はそれぞれ絶縁性の保護膜で覆われている。
【００８５】
また、図５では図示を省略したが、振動板５６と電極パッド５９との間にも絶縁膜が形成されている。
【００８６】
なお、上述したような印字ヘッド５０の各サイズは、特に限定されるものではないが、一例を示すと、圧力室５２は平面形状が３００μｍ×３００μｍの略正方形（インク流れのよどみ点を排除する目的で角は面取りされている）で、高さが１５０μｍ、振動板５６及び圧電素子５８はそれぞれ厚さが１０μｍ、電気配線９０（エレキ柱）は電極パッド５９との接続部の直径が１００μｍ、高さは５００μｍ等のように形成される。
【００８７】
以下、本発明に係る液体吐出ヘッドとしての実施形態としての印字ヘッド５０の具体的な構成について詳細に説明する。
【００８８】
図６は、本発明に係る第１実施形態の印字ヘッド５０の一部を示す平面透視図である。
【００８９】
図６に示す印字ヘッド５０は、後に詳述するように、ガラスエポキシ樹脂からなるコア基板（「ガラスエポキシ基板」ともいう）に各種のプレート部材を複数積層することによって形成されている。
【００９０】
柱状の電気配線９０は、前述したように、電極パッド５９を介して個別電極５７と接続されている。この電気配線９０を形成するために、図６中の横方向に配置された帯状の形状を有する複数の第１の配線プレート６１と、図６中の縦方向に配置された帯状の形状を有する複数の第２の配線プレート６２とが、交互に積層されて、互いに段違いで直角に交差するように形成されることにより、段違いであって格子状の積層構造を形成している。また、各配線プレート６１、６２は、各圧力室５２の間に配置されるようにして積層されている。そして、第１の配線プレート６１と第２の配線プレート６２とが段違いで交差する部分６３に、電気配線９０が形成されている。なお、図６に示す配線プレート６１、６２は、印字ヘッド５０を簡略化して示した図５では省略した。
【００９１】
このような配線プレート６１、６２により構成された、段違いであって格子状の積層構造についての理解を容易にするために、その積層構造の一部を図７の斜視図に示す。図７は、ひとつの圧電素子５８（又はひとつの圧力室５２）に対して、４条の第１の配線プレート６１（６１ａ、６１ｂ、６１ｃ、６１ｄ）と、４条の第２の配線プレート６２（６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ）とが、共通液室５５内で交互に積層された部分を示している。図７に示すように、ひとつの圧電素子５８（又はひとつの圧力室５２）に対して、配線プレート６１、６２は段違いの井桁を構成するように積層されている。
【００９２】
圧電素子５８の配設面（図７では振動板５６の上面）と垂直な方向において、第１の配線プレート６１同士の隙間（図７では、符号６１ａを付した配線プレートと符号６１ｂを付した配線プレートとの隙間、及び、符号６１ｃを付した配線プレートと符号６１ｄを付した配線プレートとの隙間）、第２の配線プレート６２同士の隙間（図７では、符号６２ａを付した配線プレートと符号６２ｂを付した配線プレートとの隙間、及び、符号６２ｃを付した配線プレートと符号６２ｄを付した配線プレートとの隙間）、配線プレート６２ｂ、６２ｄと共通液室５５の天井との隙間、及び、配線プレート６１ａ、６１ｃと共通液室５５の底面との隙間が、共通液室５５内に形成されている。すなわち、その開口断面が長方形状である複数の流路が共通液室５５内に形成されている。なお、共通液室５５自体をひとつの流路（共通流路）として見た場合には、配線プレート６１、６２の積層構造によって形成された前述の複数の流路は、共通流路の一部を構成するともいえる。
【００９３】
このような段違いで井桁状の積層構造（印字ヘッド５０全体では、段違いで格子状の積層構造である）により、印字ヘッド５０に剛性を持たせるとともに、共通液室５５内におけるインクの流動を可能にしている。
【００９４】
図６に示す印字ヘッド５０を詳細に説明するために、図６中の８−８線に沿った断面図を図８に示す。
【００９５】
図８において、印字ヘッド５０の断面における中央部には、ガラスエポキシ樹脂からなるコア基板７０を配置している。ガラスエポキシ樹脂（「ガラス布基材エポキシ樹脂」ともいう）は、繊維からなる紙布に樹脂を充填した塗工紙布の一種であって、具体的には基材であるガラス布にエポキシ樹脂が充填されて形成された材料である。
【００９６】
このような塗工紙布からなるコア基板７０が印字ヘッド５０の断面における中央部に配設され、このコア基板７０内に圧力室７０が形成されている。これにより、印字ヘッド５０に剛性を持たせることができる。
【００９７】
なお、コア基板７０の基材となる繊維としては、第１に、ガラス繊維等の無機繊維、第２に、石油等から作られる合成繊維、第３に、自然界に存在する植物繊維や動物繊維等の天然繊維、第４に、天然繊維を化学的に加工した化学繊維、などがある。また、紙布には、その形成方法の違いにより織布と不織布がある。塗工樹脂としては、一般に、硬化後に高分子が架橋された構造を有する熱硬化性樹脂を用いる。エポキシ樹脂の代わりに、ポリイミド樹脂を用いてもよい。
【００９８】
本実施形態の印字ヘッド５０は、ガラスエポキシ樹脂からなるコア基板７０を境界として上側と下側とに各種のプレートが積層されて形成されている。コア基板７０の上側には、振動板５６、圧電素子５８、個別電極５７、電気配線９０、共通液室５５、及び、個別供給流路７２が形成され、コア基板７０の下側には、ノズル５１、及び、個別吐出流路７３が形成されている。なお、個別供給流路７２は、共通液室５５を圧力室５２に連通させており、個別吐出流路７３は、圧力室５２をノズル５１に連通させている。さらに、コア基板７０の上側と下側とで略同一構造となるように、コア基板７０の下側には、振動板５６に相当する薄板１０６（擬似振動板）、電気配線９０に相当する擬似電気配線１０９、及び、外部（大気）と連通する擬似空間７４ａ、７４ｂが形成されている。
【００９９】
具体的には、コア基板７０の上側には、振動板５６と、７層の樹脂層１１１乃至１１７からなる第１の樹脂積層部１１０とが形成されており、コア基板７０の下側には、上側と略同一構造にして、擬似振動板１０６と、７層の樹脂層１２１乃至１２７からなる第２の樹脂積層部１２０とが形成されている。
【０１００】
ここで、略同一構造とは、印字ヘッド５０の垂直断面において、コア基板７０を中心（基準）として、コア基板７０の上側と下側との相対する層同士で、空間部分（共通液室５５、個別供給流路７２、個別吐出流路７３等）の面積率が略同一の構造である。言い換えれば、コア基板７０の上側と下側との相対する層同士で、空間部分を除いた層の面積率が同一である構造をいう。本実施形態では、配線部分（電気配線９０、擬似電気配線１０９等）の面積率も、コア基板７０の上側と下側との相対する層同士で略同一にしてある。
【０１０１】
面積率は、積層する各層の空間部分を含む面積に対する空間部分又は配線部分の比を百分率にして表すことができる。
【０１０２】
なお、面積率が略同一とは、上側と下側とで面積率が完全に一致する場合に限らず、加工精度に因る制約や設計上の制約等も考慮し、上側と下側との面積率の差が約１０％以内である場合を含む。
【０１０３】
このようにコア基板７０を基準として上側と下側とで略同一構造にしたことにより、印字ヘッド５０の反りが防止される。
【０１０４】
このようなコア基板７０を基準とした略同一構造について、より詳細に説明する。
【０１０５】
圧力室５２が形成されたコア基板７０の上面には、振動板５６が積層されている。すなわち、圧力室５２の天井（上面）は、薄板からなる振動板５６によって構成されている。一方で、圧力室５２が形成されたコア基板７０の下面には、振動板５６と略同厚にした薄板１０６（擬似振動板）が積層されている。
【０１０６】
振動板５６には、個別供給流路７２の一部を構成する開口部５３（インク供給口）が設けられ、擬似振動板１０６には個別吐出流路７３の一部を構成する開口部１０８が設けられている。擬似振動板１０６に設けられた開口部１０８の開口面積は、振動板５６に設けられた開口部５３の開口面積と略同一にしてある。言い換えると、振動板５６相当の擬似振動板１０６は、その面積率が振動板５６と略同一である。
【０１０７】
また、コア基板７０の上側には、樹脂からなる７層の樹脂層１１１、１１２、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７が積層されている。同様に、コア基板７０の下側にも、同様に、樹脂からなる７層の樹脂層１２１、１２２、１２３、１２４、１２５、１２６、１２７が積層されている。すなわち、コア基板７０の上側と下側とで同数の樹脂層を積層してある。
【０１０８】
ここで積層に用いる樹脂は、絶縁性であって、耐液性の良い、熱硬化性の樹脂を用いる。フォトエッチングを行うためにはさらに感光性を有する樹脂を用いる。
【０１０９】
なお、コア基板７０の上側に積層された樹脂層１１１乃至１１７（上側の樹脂層）については、コア基板７０の直近に位置する樹脂層から順に、「上側第１樹脂層」１１１、「上側第２樹脂層」１１２、「上側第３樹脂層」１１３、「上側第４樹脂層」１１４、「上側第５樹脂層」１１５、「上側第６樹脂層」１１６、「上側第７樹脂層」１１７と呼ぶことにし、コア基板７０の下側に積層された樹脂層１２１乃至１２７（下側の樹脂層）については、コア基板７０の直近に位置する樹脂層から順に、「下側第１樹脂層」１２１、「下側第２樹脂層」１２２、「下側第３樹脂層」１２３、「下側第４樹脂層」１２４、「下側第５樹脂層」１２５、「下側第６樹脂層」１２６、「下側第７樹脂層」１２７と呼ぶことにする。
【０１１０】
コア基板７０を中心として、上側と下側とで、互いに相対する樹脂層同士の厚さを略同一にして積層してある。詳細には、上側第１樹脂層１１１と下側第１樹脂層１２１とが略同一の厚さであり、上側第２樹脂層１１２と下側第２樹脂層１２２とが略同一の厚さであり、上側第３樹脂層１１３と下側第３樹脂層１２３とが略同一の厚さであり、上側第４樹脂層１１４と下側第４樹脂層１２４とが略同一の厚さであり、上側第５樹脂層１１５と下側第５樹脂層１２５とが略同一の厚さであり、上側第６樹脂層１１６と下側第６樹脂層１２６とが略同一の厚さであり、上側第７樹脂層１１７と下側第７樹脂層１２７とが略同一の厚さである。
【０１１１】
なお、図８は、全樹脂層１１１乃至１１７、１２１乃至１２７の厚さを全て同一にして図の垂直方向で均等化した場合を示しているが、本発明はこれに限るものではなく、コア基板７０の上側と下側の互いに相対する樹脂層同士の厚さが略同一であれば、層間で厚さが異なる場合を含む。例えば、上側第１樹脂層１１１が上側第２樹脂層１１２よりも厚い場合を含む。
【０１１２】
上側第１樹脂層１１１及び上側第２樹脂層１１２には、個別供給流路７２の一部を構成する開口部（符号を省略）がそれぞれ形成されている。一方で、下側第１樹脂層１２１乃至下側第６樹脂層１２６には、個別吐出流路７３の一部を構成する開口部（符号を省略）がそれぞれ形成されている。
【０１１３】
また、上側第３樹脂層１１３乃至上側第６樹脂層１１６には、共通液室５５の一部を構成する開口部（符号を省略）がそれぞれ形成されている。一方で、下側第３樹脂層１２３乃至下側第６樹脂層１２６には、複数に分散して設けた擬似空間７４ａ及び７４ｂの一部を構成する開口部（符号を省略）がそれぞれ形成されている。このように、擬似空間を複数に分散して設けることにより、樹脂からなる積層の応力が緩和される。
【０１１４】
コア基板７０の下側に配設された擬似空間７４ａ、７４ｂの開口面積と個別吐出流路７３の開口面積との和は、コア基板７０の上側に配設された共通液室５５の開口面積と略同一にしてある。
【０１１５】
また、上側第１樹脂層１１１乃至上側第７樹脂層１１７には、電気配線９０の一部を構成する導電層１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１５７がそれぞれ積層されて形成されている。一方で、下側第１樹脂層１２１乃至下側第７樹脂層１２７には、電気配線９０に相当する擬似電気配線１０９の一部を構成する導電層（符号を省略）がそれぞれ積層されて形成されている。
【０１１６】
コア基板７０の下側に配設された擬似電気配線１０９の断面積は、コア基板７０の上側に配設された電気配線９０の断面積と略同一にしてある。
【０１１７】
また、上側第７樹脂層１１７には、開口部７５が形成されている。一方で、下側第７樹脂層１２７には、ノズル５１を構成する開口部が形成されている。
【０１１８】
次に、図８に示す第１実施形態の印字ヘッド５０の製造方法に係る一実施例（第１実施例）について、図９、図１０及び図１１を用いて説明する。
【０１１９】
図９は、主として圧力室５２と振動板５６を形成する製造プロセスを示し、図１０及び図１１は、主として樹脂層（１１１乃至１１７、１２１乃至１２７）を積層するとともに共通液室５５と電気配線９０を形成する製造プロセスを示す。
【０１２０】
まず、図９（ａ）に示すように、ガラスエポキシ樹脂からなるコア基板７０（ガラスエポキシ基板）を用意する。
【０１２１】
次に、図９（ｂ）に示すように、コア基板７０に、前述の圧力室５２を構成する開口部１０２を穴加工して形成する。穴加工は、レーザ加工等により、窄孔又は凹欠きして行う。
【０１２２】
次に、図９（ｃ）に示すように、コア基板７０の上面には、振動板５６を構成する薄膜１０５を積層すると同時に、コア基板７０の下面には、振動板５６に相当する薄膜１０６を積層する。ここで、両薄膜１０５、１０６は厚さを略同一にして形成する。また、コア基板７０の上側には、別途製作した圧電素子５８を配設する。
【０１２３】
次に、図９（ｄ）に示すように、コア基板７０の上側には、更に、絶縁膜７１、個別電極５７及び電極パッド５９を形成する。
【０１２４】
次に、図９（ｅ）に示すように、コア基板７０の上側の振動板５６を構成する薄膜１０５には、個別供給流路７２の一部を構成する開口部５３を形成するとともに、コア基板７０の下側の振動板５６に相当する薄膜１０６には、個別吐出流路７３の一部を構成する開口部１０８を形成する。ここで、両開口部５３及び１０８は、開口面積を略同一にして形成する。
【０１２５】
次に、図１０（ａ）に示すように、コア基板７０の上側に、樹脂からなる薄板（上側第１樹脂層）１１１を積層するのと同時に、コア基板７０の下側にも、樹脂からなる薄板（下側第１樹脂層）１２１を積層する。
【０１２６】
ここで、積層する樹脂は熱硬化性樹脂であり、コア基板７０の上側と下側とで樹脂からなる薄板のキュア（熱処理である）は同時に行う。
【０１２７】
次に、図１０（ｂ）に示すように、コア基板７０の上側の第１樹脂層１１１には、個別供給流路７２の一部を構成する開口部１３１を形成するともに、コア基板７０の下側の第１樹脂層１２１には、個別吐出流路７３の一部を構成する開口部１４１を形成する。ここで、両開口部１３１及び１４１は、開口面積を略同一にして形成する。
【０１２８】
また、図１０（ｂ）に示すように、コア基板７０の上側の第１樹脂層１１１には、後に電気配線９０を形成する領域である開口部１５１０を形成するとともに、コア基板７０の下側の第１樹脂層１２１には、後に擬似電気配線１０９を形成する領域である開口部１６１０を形成する。ここで、両開口部１５１０、１６１０は、開口面積を略同一にして形成する。すなわち、後で導電材を充填したときに電気配線９０の断面積と擬似電気配線１０９の断面積とが略同一になるように開口部１５１０、１６１０を形成する。
【０１２９】
樹脂層への開口部の形成は、例えば、樹脂として感光性樹脂を用い、フォトリソグラフィーにより行う。
【０１３０】
次に、図１０（ｃ）に示すように、コア基板７０の上側の電気配線９０用の開口部１５１０に導電材を充填するとともに、コア基板７０の下側の擬似電気配線１０９用の開口部１６１０にも導電材を充填する。すなわち、コア基板７０の上側に電気配線９０の一部となる上側の第１導電層１５１を積層するとともに、コア基板７０の下側に擬似電気配線１０９の一部となる下側の第１導電層１６１を積層する。
【０１３１】
配線部分の形成は、例えば、ＡｕやＣｕ等の金属や導電性接着剤等の導電材を用いて、印刷法やメッキ法等で行う。
【０１３２】
図１０（ａ）、図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）と同様の工程を更に１回繰り返すと、図１０（ｄ）に示す構造が形成される。すなわち、図１０（ａ）と同様に、コア基板７０の上側に第２樹脂層１１２を積層するのと同時に、コア基板７０の下側にも第２樹脂層１２２を積層し、図１０（ｂ）と同様に、コア基板７０の上側の第２樹脂層１１２には個別供給流路７２用の開口部１３２及び電気配線９０用の開口部（図示を省略）を形成するともに、コア基板７０の下側の第２樹脂層１２２には個別吐出流路７３用の開口部１４２及び擬似電気配線１０９用の開口部（図示を省略）を形成し、図１０（ｃ）と同様に、コア基板７０の上側の電気配線９０用の開口部に導電材を充填して電気配線９０用の第２導電層１５２を積層するとともに、コア基板７０の下側の擬似電気配線１０９用の開口部にも導電材を充填して擬似電気配線９０用の第２導電層１６２を積層する。
【０１３３】
ここで、コア基板７０の上側と下側とで相対する薄板同士のキュアは同時に行う。また、コア基板７０の上側の個別供給流路７２の開口部１３２（一部を構成する）とコア基板７０の下側の個別吐出流路７３用の開口部１４２とは開口面積を略同一にして形成する。また、コア基板７０の上側の電気配線９０用の第２導電層１５２とコア基板７０の下側の擬似電気配線９０用の第２導電層１６２とは断面積を略同一にして形成する。
【０１３４】
なお、図１０（ｄ）に示すように、コア基板７０の上側と下側とでそれぞれ樹脂層を２層だけ積層した場合を例に説明したが、コア基板７０の上側と下側とで樹脂層を同時に積層していくのであれば、適宜、２層以外の層数としてよい。
【０１３５】
次に、図１１（ａ）に示すように、コア基板７０の上側に樹脂からなる薄板（上側第３樹脂層）１１３を積層するのと同時に、コア基板７０の下側にも樹脂からなる薄板（下側の第３樹脂層）１２３を積層する。ここで、コア基板７０の上側と下側とで薄板のキュアは同時に行う。
【０１３６】
次に、図１１（ｂ）に示すように、コア基板７０の上側の第３樹脂層１１３には、共通液室５５の一部を構成する開口部１６１を形成するとともに、コア基板７０の下側の第３樹脂層１２３には、第１の擬似空間７４ａの一部を構成する開口部１７１ａ、第２の擬似空間７４ｂの一部を構成する開口部１７１ｂ、及び、個別吐出流路７３の一部を構成する開口部１４３を形成する。ここで、コア基板７０の上側の共通液室５５用の開口部１６１の開口面積と、コア基板７０の下側の擬似空間７４ａ、７４ｂ用の開口部１７１ａ、１７１ｂ及び個別吐出流路７３用の開口部１４３の合計の開口面積とが、略同一になるようにする。
【０１３７】
また、図１１（ｂ）に示すように、コア基板７０の上側の第３樹脂層１１３には、電気配線９０用の開口部１５３０を形成するとともに、コア基板７０の下側の第３樹脂層１２３には、擬似電気配線１０９用の開口部１６３０を形成する。ここで、コア基板７０の上側の電気配線９０用の開口部１５３０とコア基板７０の下側の擬似電気配線１０９用の開口部１６３０とは、開口面積が略同一になるように形成する。すなわち、後で導電材を充填したときに電気配線９０の断面積と擬似電気配線１０９の断面積とが略同一になるように開口部１５３０、１６３０を形成する。
【０１３８】
次に、図１１（ｃ）に示すように、コア基板７０の上側の電気配線９０用の開口部１５３０に導電材を充填するとともに、コア基板７０の下側の擬似電気配線１０９用の開口部１６３０にも導電材を充填する。すなわち、コア基板７０の上側に電気配線９０の一部となる上側の第３導電層１５３を積層するとともに、コア基板７０の下側に擬似電気配線１０９の一部となる下側の第３導電層１６３を積層する。
【０１３９】
図１１（ａ）、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）と同様の工程を更に３回繰り返し、更に最上層１１７及び最下層１２７を積層して必要な開口部７５、５１を形成すると、図１１（ｄ）に示す印字ヘッド５０が得られる。
【０１４０】
具体的には、コア基板７０の上側に第４乃至７樹脂層１１４、１１５、１１６、１１７を積層するとともに、コア基板７０の下側に第４乃至７樹脂層１２４、１２５、１２６、１２７を積層する。ここで、図１１（ａ）を用いて説明したように、各樹脂層はコア基板７０の上側と下側とで対応する樹脂層同士（上側第４樹脂層１１４と下側第４樹脂層１２４、上側第５樹脂層１１５と下側第５樹脂層１２５、上側第６樹脂層１１６と下側第４樹脂層１２６、上側第７樹脂層１１７と下側第７樹脂層１２７）を同時に積層する。
【０１４１】
また、コア基板７０の上側の第４乃至６樹脂層１１４、１１５、１１６には、共通液室５５用の開口部をそれぞれ形成するとともに、コア基板７０の下側の第４乃至６樹脂層１２４、１２５、１２６には、擬似空間７４ａ、７４ｂ用の開口部及び個別吐出流路７３用の開口部をそれぞれ形成する。ここで、図１１（ｂ）を用いて説明したように、コア基板７０の上側と下側とで略同一の開口面積となるように開口部を形成する。また、コア基板７０の上側の第４乃至７樹脂層１１４、１１５、１１６、１１７には、電気配線９０の一部を構成する第４乃至７導電層１５４、１５５、１５６、１５７を形成するとともに、コア基板７０の下側の第４乃至７樹脂層１２４、１２５、１２６、１２７には、擬似電気配線１０９の一部を構成する第４乃至７導電層（符号を省略）を形成する。ここで、図１１（ｂ）及び（ｃ）を用いて説明したように、コア基板７０の上側と下側とで略同一の断面積となるように電気配線９０及び擬似電気配線１０９を形成する。
【０１４２】
すなわち、図８に示す、コア基板７０に対して上側と下側とで略同一構造の印字ヘッド５０が得られる。
【０１４３】
以上説明した印字ヘッド５０の製造方法では、樹脂層を積層する際に、印字ヘッド５０の垂直断面においてコア基板７０を中心として、互いに対応する樹脂層同士を上側と下側とで「同時」に積層するようになっているので、積層構造の反りが防止される。また、反りが防止されることにより電気配線９０に関する耐液性も確保される。
【０１４４】
なお、樹脂層同士を上側と下側とで「同時」に積層するとは、樹脂層の形成を全く同時行う場合に限るものではなく、キュア（各樹脂層に対して熱処理する工程である）のみを上側と下側の対応する樹脂層同士で同時に行う場合を含む。
【０１４５】
また、全樹脂層（１１１乃至１１７と１２１乃至１２７）について、上側と下側とで対応する樹脂層同士を同時に積層した場合を例に説明したが、全樹脂層について同時に積層する場合に限るものではなく、コア基板７０に比較的近い一部の樹脂層について上側と下側とで同時に積層するようにしてもよい。例えば、最下層である下側第７樹脂層１２７（ノズルプレート）については、ノズル５１を形成したノズルプレートを別途製作しておき、最下層として印字ヘッド５０に付加するようにしてもよい。このような場合、上側の６層（上側第１樹脂層１１１乃至上側第６樹脂層１１６）と下側の６層（下側第１樹脂層１２１乃至下側第６樹脂層１２６）について上下同時に積層する。また、ノズルプレート１２７は、積層された樹脂構造やコア基板７０に対して十分に薄く、ノズルプレート１２７を付加する前の構造体の弾性率に比較して十分に小さい弾性率を有する部材を材料として用いる必要がある。
【０１４６】
次に、図８に示す第１実施形態の印字ヘッド５０の製造方法に係る他の実施例（第２実施例）について、図１２、図１３及び図１４を用いて説明する。
【０１４７】
図１２は、主として圧力室５２と振動板５６を形成する製造プロセスを示し、図１３及び図１４は、主として樹脂層（１１１乃至１１７、１２１乃至１２７）を積層するとともに共通液室５５と電気配線９０を形成する製造プロセスを示す。
【０１４８】
まず、図１２（ａ）に示すように、ガラスエポキシ樹脂からなるコア基板７０（ガラスエポキシ基板）を用意する。
【０１４９】
次に、図１２（ｂ）に示すように、コア基板７０に、穴加工により開口部１０２を形成することにより、後に圧力室５２となる空間を形成する。
【０１５０】
次に、図１２（ｃ）に示すように、後に圧力室５２用の開口部１０２に充填用の樹脂（充填材）を充填する。充填された空間（充填部）には符号１８０を付してある。
【０１５１】
次に、図１２（ｄ）に示すように、コア基板７０及び充填部１８０の上には、後に振動板５６を構成する薄膜１０５を積層すると同時に、コア基板７０及び充填部１８０の下には、振動板５６に相当する薄膜１０６を積層する。ここで、両薄膜１０５、１０６は厚さを略同一にして形成する。また、コア基板７０の上側には、別途製作した圧電素子５８を配設する。
【０１５２】
次に、図１２（ｅ）に示すように、コア基板７０の上側には、更に、絶縁膜７１、個別電極５７及び電極パッド５９を形成する。
【０１５３】
次に、図１２（ｆ）に示すように、コア基板７０の上側の振動板５６用の薄膜１０５、及び、コア基板７０の下側の振動板５６に相当する薄膜１０６に、略同一の開口面積を有する開口部５３、１０８を形成する。
【０１５４】
次に、図１３（ａ）に示すように、コア基板７０に、上側第１樹脂層１１１と下側第１樹脂層１２１とを同時に積層する。
【０１５５】
次に、図１３（ｂ）に示すように、上側第１樹脂層１１１に個別供給流路７２用の開口部１３１を形成するともに、下側第１樹脂層１２１に個別吐出流路７３用の開口部１４１を形成する。ここで、両開口部１３１及び１４１は、開口面積を略同一にして形成する。
【０１５６】
また、図１３（ｂ）に示すように、上側第１樹脂層１１１に電気配線９０用の開口部１５１０を形成するとともに、下側第１樹脂層１２１に擬似電気配線１０９用の開口部１６１０を形成する。ここで、両開口部１５１０、１６１０は、開口面積を略同一にして形成する。すなわち、後で導電材を充填したときに電気配線９０の断面積と擬似電気配線１０９の断面積とが略同一になるように開口部１５１０、１６１０を形成する。
【０１５７】
次に、図１３（ｃ）に示すように、個別供給流路７２用の開口部５３及び１３１と、個別吐出流路７３用の開口部１０８及び１４１とに充填用の樹脂（充填材）を充填する。ここで、充填用の樹脂は、所定の溶液への溶解により後に除去される充填材としての樹脂であり、樹脂層１１１、１２１を構成する非溶解の樹脂とは異なる。
【０１５８】
また、図１３（ｃ）に示すように、電気配線９０用の開口部１５１０及び擬似電気配線１０９用の開口部１６１０に導電材を充填して、電気配線用の第１導電層１５１及び擬似電気配線用の第１導電層１６１を形成する。
【０１５９】
図１３（ａ）、図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）と同様の工程を１回繰り返すと、図１３（ｄ）に示す構造が形成される。すなわち、上側第２樹脂層１１２及び下側第２樹脂層１２２が積層され、上側第２樹脂層１１２には電気配線用の第２導電層１５２が形成され、下側第２樹脂層１２２には擬似配線用の第２導電層１６２が形成され、上側第２樹脂層１１２の個別供給流路７２用の開口部と下側第２樹脂層１２２の個別吐出流路７３用の開口部とに充填材が充填される。
【０１６０】
次に、図１４（ａ）に示すように、コア基板７０に上側第３樹脂層１１３と下側第３樹脂層１２３とを同時に積層する。
【０１６１】
次に、図１４（ｂ）に示すように、上側第３樹脂層１１３には、共通液室５５用の開口部１６１を形成するとともに、下側第３樹脂層１２３には、擬似空間７４ａ、７４ｂ用の開口部１７１ａ、１７１ｂ、及び、個別吐出流路７３用の開口部１４３を形成する。ここで、コア基板７０の上側の共通液室５５用の開口部１６１の開口面積と、コア基板７０の下側の擬似空間７４ａ、７４ｂ用の開口部１７１ａ、１７１ｂ及び個別吐出流路７３用の開口部１４３の合計の開口面積とが略同一になるようにする。
【０１６２】
また、図１４（ｂ）に示すように、上側第３樹脂層１１３に電気配線９０用の開口部１５３０を形成するとともに、下側第３樹脂層１２３に擬似電気配線１０９用の開口部１６３０を形成する。ここで、コア基板７０の上側の開口部１５３０とコア基板７０の下側の開口部１６３０とは、開口面積が略同一になるように形成する。すなわち、後で導電材を充填したときに電気配線９０の断面積と擬似電気配線１０９の断面積とが略同一になるように開口部１５３０、１６３０を形成する。
【０１６３】
次に、図１４（ｃ）に示すように、共通液室用開口部１６１、擬似空間７４ａ、７４ｂ用の開口部１７１ａ、１７１ｂ、及び、個別吐出流路７３用の開口部１４３に充填用の樹脂（充填材）を充填する。
【０１６４】
また、図１４（ｃ）に示すように、電気配線９０用の開口部１５３０及び擬似電気配線１０９用の開口部１６３０に導電材を充填する。すなわち、電気配線９０用の第３導電層１５３と、擬似電気配線１０９用の第３導電層１６３とをそれぞれ積層する。
【０１６５】
図１４（ａ）、図１４（ｂ）及び図１４（ｃ）と同様の工程を更に３回繰り返し、更に最上層１１７及び最下層１２７を形成して必要な開口部の形成と充填用の樹脂（充填材）の充填を行うと、図１４（ｄ）に示す構造が得られる。
【０１６６】
すなわち、上側第４樹脂層１１４乃至上側第７樹脂層１１７と、下側第４樹脂層１２４乃至下側第７樹脂層１２７とが積層され、上側第４樹脂層１１４乃至上側第７樹脂層１１７には電気配線用の各導電層１５４乃至１５７が形成され、下側第４樹脂層１２４乃至下側第７樹脂層１２７には擬似配線用の各導電層が形成され、空間（共通液室５５、擬似空間７４ａ、７４ｂ、個別供給流路７２、個別吐出流路７３等）には充填材が充填される。
【０１６７】
そして、充填材が充填されている全ての空間から充填材を除去すると、図８に示す印字ヘッド５０が形成される。
【０１６８】
なお、擬似空間７４ａ、７４ｂは外部（大気）に連通するように形成してあり、擬似空間７４ａ、７４ｂ内の樹脂は全て除去される。
【０１６９】
図１５は、本発明に係る第２実施形態の液体吐出ヘッドとしての印字ヘッド５０２を示す断面図である。図１５において、図８に示す第１実施形態の印字ヘッド５０の構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してあり、詳細な説明を省略する。
【０１７０】
図１５に示す第２実施形態の印字ヘッド５０２は、図８に示す第１実施形態の印字ヘッド５０とは異なり、印字ヘッド５０２の外部と連通する擬似空間２７４、２９６ａと、印字ヘッド５０２の外部と非連通の閉じられた孤立の擬似空間２９３ａ、２９３ｂ、２９４ａ、２９４ｂ、２９５ａ、２９５ｂ、２９６ｂ（孤立擬似空間）とを設けている。したがって、印字ヘッド５０２の外部と連通する擬似空間２７４、２９６ａのみ充填材が除去されており、孤立擬似空間２９３ａ、２９３ｂ、２９４ａ、２９４ｂ、２９５ａ、２９５ｂ、２９６ｂは、充填材が除去されずに取り残されて、充填されたままの状態になっている。
【０１７１】
また、図１５に示す第２実施形態の印字ヘッド５０２は図８に示す第１実施形態の印字ヘッド５０と比較して、擬似空間をより分散して設けてある。具体的には、図１５に示すように、印字ヘッド５０の断面において、その断面形状が略正方形状の比較的に小さな断面積の擬似空間（小擬似空間）２９３ａ、２９３ｂ、２９４ａ、２９４ｂ、２９５ａ、２９５ｂ、２９６ａ、２９６ｂを、各樹脂層ごとに互い違いに配設し、水平方向及び垂直方向の両方向に均等に分散している。
【０１７２】
第２実施形態の印字ヘッド５０２の製造プロセスは、図１２、図１３及び図１４を用いて説明した、第１実施形態の印字ヘッド５０の製造プロセスの第２実施例（樹脂を空間に充填しながら製造する製造プロセス）と比較して、擬似空間を構成する開口部を形成する工程（図１４（ｂ））が異なり、他の工程は同様である。
【０１７３】
第２実施形態の印字ヘッド５０２の製造プロセスにおいては、擬似空間を構成する開口部を形成する際、図１５に示すような外部と非連通の孤立擬似空間２９３ａ、２９３ｂ、２９４ａ、２９４ｂ、２９５ａ、２９５ｂ、２９６ｂを形成するとともに、比較的に小さな断面積の擬似空間（小擬似空間）２９３ａ、２９３ｂ、２９４ａ、２９４ｂ、２９５ａ、２９６ａ、２９５ｂ、２９６ｂを水平方向及び垂直方向の両方向に均等に分散して形成する。
【０１７４】
最終工程、すなわち空間に充填されていた樹脂を除去する工程（第１実施形態で図１４（ｄ）を用いて説明した工程）において、外部と連通する空間（圧力室５２、共通液室５５、個別供給流路７２、個別吐出流路７３、外部と連通する擬似空間２７４、２９６ａ、ノズル５１等）からは樹脂が除去されるが、外部と非連通の孤立擬似空間２９３ａ、２９３ｂ、２９４ａ、２９４ｂ、２９５ａ、２９５ｂ、２９６ｂは樹脂が充填された状態のままとなり、図１５に示す印字ヘッド５０２が得られる。
【０１７５】
図１６は、本発明に係る第３実施形態の液体吐出ヘッドとしての印字ヘッド５０３を示す断面図である。図１６において、図８に示す第１実施形態の印字ヘッド５０の構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してあり、詳細な説明を省略する。
【０１７６】
図１６に示す第３実施形態の印字ヘッド５０３は、図８に示す第１実施形態の印字ヘッド５０とは異なり、コア基板７０から離れるにつれて層の厚さを段階的に薄くして積層し、上側の８層の樹脂層３１１乃至３１８からなる第１の樹脂積層部３１０と下側の８層の樹脂層３２１乃至３２８からなる第２の樹脂積層部３２０を形成してある。これにより、樹脂層が積層されてなる構造体の反りがさらに防止される。
【０１７７】
第３実施形態の印字ヘッド５０３の製造プロセスは、図９、図１０及び図１１を用いて説明した第１実施形態の印字ヘッド５０の製造プロセスの第１実施例（樹脂を空間に充填しない製造プロセス）又は図１２、図１３及び図１４を用いて説明した第１実施形態の印字ヘッド５０の製造プロセスの第２実施例（樹脂を空間に充填しながら製造する製造プロセス）と比較して、コア基板７０から離れるにつれて樹脂層の厚さを段階的に薄くする点が異なるのみであり、他は同様である。
【０１７８】
なお、樹脂層を積層する際に、第１実施形態と同様に、コア基板７０を中心として上側と下側とで対応する樹脂層同士の厚さを略同一にして積層する。また、樹脂層を積層する際に、第１実施形態と同様に、コア基板７０を中心として互いに対応する樹脂層同士を上側と下側とで同時に積層する。
【０１７９】
図１７は、本発明に係る第４実施形態の液体吐出ヘッドとしての印字ヘッド５０４を示す断面図である。図１７において、図１６に示す第３実施形態の印字ヘッド５０３の構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してあり、詳細な説明を省略する。
【０１８０】
図１７に示す第４実施形態の印字ヘッド５０４は、図１６に示す第３実施形態の印字ヘッド５０３とは異なり、コア基板７０から離れるにつれて厚さを段階的に薄くして樹脂層３１１乃至３１８、３２１乃至３２８を積層してあるとともに、樹脂層の薄層化にともなって、形成する柱状の電気配線４９０の断面積を段階的に小さくして導電層４５１乃至４５８を積層してある。擬似配線４０９ａ、４０９ｂも電気配線４９０と同様に段階的に断面積を小さくして導電層を積層してある。
【０１８１】
このような第４実施形態の印字ヘッド５０４では、柱状の電気配線４９０の端部４５８を小さく形成することができる。したがって、高密度配線化しても、電気配線４９０の端部４５８同士の間隔を確保することができ、図１８に示すように、圧電素子５８を駆動する駆動用のＩＣチップ４１０を印字ヘッド５０４に対して直接的に実装可能になる。すなわち、バンプ実装などの高密度実装により駆動用のＩＣチップ４１０を印字ヘッド５０４に実装することが可能になるので、これにあわせて、印字ヘッド５０４側では電気配線４９０を高密度化でき、これに因り、ノズル５１の高密度化も可能になる。
【０１８２】
なお、第１実施形態から第３実施形態までの説明において、コア基板７０の下側の擬似配線１０９、３０９は実際には使用しない場合を例に説明したが、図１７に示すように、各種のセンサ４２０の入出力信号を伝達する配線（センサ配線）として用いてもよい。このようなセンサのための配線をセンサ柱とも呼ぶことにする。
【０１８３】
なお、図１７に示す例では、センサ４２０を圧力室５２の底面に配設しているが、センサの使用目的に合わせて他の位置（例えばノズル５１の近傍）に配設してもよいことはいうまでもない。センサの使用目的としては、不吐出検出、温度検出、粘度検出などがある。
【０１８４】
また、第１実施形態から第４実施形態までの説明において、図６及び図７に示すように、絶縁材からなる段違いの格子構造（又は井桁構造）の第１の配線プレート６１（６１ａ、６１ｂ、６１ｃ、６１ｄ）と第２の配線プレート６２（６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ）とで電気配線９０（エレキ柱）を囲うことにより、電気配線９０の絶縁を行うだけでなく剛性を持たせた場合を例に説明したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、図１９の断面図に示すように、内側が導電材５９０１からなり外側が絶縁材５９０２からなる垂直の電気配線５９０を形成する場合にも本発明を適用できることはいうまでもない。
【０１８５】
図１９の電気配線５９０が共通液室５５内で垂直に立ち上がるようにして配設された様子を簡略化して図２０の斜視図に示す。なお、図２０では、図８に示す第１実施形態の印字ヘッド５０に対応させて、樹脂層に符号１１１乃至１１７を付している。また、最上の樹脂層１１７（上側第７樹脂層）の一部を剥がして示している。最上層１１７には図１９に示す導電材５９０１の端部電極として、第７導電層１５７が露出している。上側第１樹脂層１１１乃至上側第７樹脂層１１７は図１９では絶縁材５９０２として示されている。
【０１８６】
また、液体吐出ヘッドの製造方法は、図９乃至図１４を用いて説明した例に限定されるものではなく、各種の改良を施してよい。
【０１８７】
例えば、インクに対する耐液性の向上や、面荒れ対策などの目的で、共通液室５５の壁面に更なる加工を施して施してもよい。
【０１８８】
また、例えば、コア基板７０に設けた圧力室５２の壁面から露出したガラス繊維に対する加工を施してもよい。
【０１８９】
以上、本発明の液体吐出ヘッド及びその製造方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の設計変更や改良を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１９０】
【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドを有する画像形成装置としてのインクジェット記録装置の例の概略を示す全体構成図である。
【図２】図１に示したインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図である。
【図３】印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。
【図４】印字ヘッドの他の例を示す平面図である。
【図５】印字ヘッドの一部を簡略化して示す斜視透視図である。
【図６】第１実施形態の印字ヘッドの一部を示す平面透視図である。
【図７】印字ヘッドの供給液室内の積層構造の一部を示す斜視図である。
【図８】図６中の８−８線に沿った断面図である。
【図９】（ａ）〜（ｅ）は第１実施形態の印字ヘッドの製造工程の一例の説明に用いる第１の説明図である。
【図１０】（ａ）〜（ｄ）は第１実施形態の印字ヘッドの製造工程の一例の説明に用いる第２の説明図である。
【図１１】（ａ）〜（ｄ）は第１実施形態の印字ヘッドの製造工程の一例の説明に用いる第３の説明図である。
【図１２】（ａ）〜（ｆ）は第１実施形態の印字ヘッドの製造工程の他の例の説明に用いる第１の説明図である。
【図１３】（ａ）〜（ｄ）は第１実施形態の印字ヘッドの製造工程の他の例の説明に用いる第２の説明図である。
【図１４】（ａ）〜（ｄ）は第１実施形態の印字ヘッドの製造工程の他の例の説明に用いる第３の説明図である。
【図１５】第２実施形態の印字ヘッドの一部を示す断面図である。
【図１６】第３実施形態の印字ヘッドの一部を示す断面図である。
【図１７】第４実施形態の印字ヘッドの一部を示す断面図である。
【図１８】第４実施形態の印字ヘッドへの駆動用のＩＣチップの実装状態を示す斜視断面図である。
【図１９】垂直の電気配線の他の例を示す断面図である。
【図２０】図１９の電気配線を共通液室に配設した様子を簡略化して示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１９１】
１０…インクジェット記録装置（画像形成装置）、１２…印字部、１４…インク貯蔵／装填部、１６…記録紙、１８…給紙部、２０…デカール処理部、２２…吸着ベルト搬送部、２６…排紙部、２８…カッター、３０…加熱ドラム、３１、３２…ローラー、３３…ベルト、３４…吸着チャンバー、３５…ファン、３６…ベルト清掃部、４０…加熱ファン、４２…後乾燥部、４４…加熱・加圧部、４５…加圧ローラー、４８…カッター、５０、５０２、５０３、５０４…印字ヘッド、５１…ノズル、５２…圧力室、５３…インク供給口、５４…圧力室ユニット、５５…共通液室、５６…振動板（共通電極）、５７…個別電極、５８…圧電素子、５９…電極パッド、６１、６２…配線プレート、７０…コア基板、７１…絶縁膜、７２…個別供給流路、７３…個別吐出流路、７４ａ、７４ｂ、４７４ａ、４７４ｂ…擬似空間、９０、４９０、５９０…電気配線（エレキ柱）、１０９、４０９ａ、４０９ｂ…擬似電気配線、１０６…擬似振動板、１１１乃至１１７、１２１乃至１２７、３１１乃至３１８、３２１乃至３２８…樹脂層、１８０…充填材、４１０…駆動用のＩＣチップ、４２０…センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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