(57)【要約】【課題】既存のコンポーネント部品を用いて簡単にフットスペースを狭小化できるガス供給集積ユニットを提供すること。【解決手段】  複数のコンポーネント部品（一次側フィルタ１，手動弁２，レギュレータ３，圧力計４，入力弁５，マスフローコントローラ６，出力弁７，二次側フィルタ８，逆止弁９，パージ弁１０）を搭載するガスユニット１２を複数備えるガス供給集積ユニット１１において、ガスユニット１２ａ〜１２ｉを、ガスユニット１２の高さ方向に配置をずらして保持する構造体１３ａ，１３ｂ，１３ｃを設ける。【選択図】  図１
2006319190.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のコンポーネント部品を搭載するガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
前記ガスユニットを、前記ガスユニットの高さ方向に配置をずらして保持する構造体を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項２】
請求項１に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
上段に設置されるガスユニットと下段に設置されるガスユニットが互い違いに設置されていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項３】
請求項１に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記構造体が、下段に配置されるガスユニットをガスの流れ方向へ往復直線運動させるスライド機構を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記ガスユニットに搭載されるコンポーネント部品を複数に分類してモジュール化したモジュールユニットを有し、
前記モジュールユニットが、
分類されたコンポーネント部品を着脱自在に取り付けられる取付ブロックと、
前記取付ブロックの入力側に固定される入力ブロックと、
前記取付ブロックの出力側に固定される出力ブロックと、
前記分類されたコンポーネント部品を覆うように前記取付ブロック、前記入力ブロック又は前記出力ブロックの少なくとも一つに着脱自在に取り付けられる収納体と、を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項５】
ガスユニットに搭載される複数のコンポーネント部品から所定のコンポーネント部品を分類してモジュール化したものであって、
分類されたコンポーネント部品を着脱自在に取り付けられる取付ブロックと、
前記取付ブロックの入力側に固定される入力ブロックと、
前記取付ブロックの出力側に固定される出力ブロックと、
前記分類されたコンポーネント部品を覆うように前記取付ブロック、前記入力ブロック又は前記出力ブロックの少なくとも一つに着脱自在に取り付けられる筺体と、
前記筐体に設けられ、前記取付ブロックに取り付けられたコンポーネント部品に接続する配線コネクタと、を有することを特徴とするモジュールユニット。
【請求項６】
請求項５に記載するモジュールユニットにおいて、
前記取付ブロックにヒータが取り付けられ、該ヒータが前記配線コネクタに接続されていることを特徴とするモジュールユニット。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載するモジュールユニットにおいて、
前記ガスユニットに搭載されるコンポーネント部品が、
手動弁とレギュレータを少なくとも含む第１コンポーネント群と、
流量制御機器の一次側に配置されてプロセスガスを制御する第１制御弁と、前記第１制御弁と並列に配置されてパージガスを制御する第２制御弁と、前記流量制御機器の二次側に配置される第３制御弁とを少なくとも含む第２コンポーネント群とに分類され、
前記第１コンポーネント群又は前記第２コンポーネント群をモジュール化したものであることを特徴とするモジュールユニット。
【請求項８】
請求項７に記載するモジュールユニットにおいて、
前記筐体に前記手動弁を操作するための操作部と、前記操作部を覆うカバーと、前記操作部を覆う位置で前記カバーをロックするロック機構と、を有することを特徴とするモジュールユニット。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載するモジュールユニットにおいて、
前記第１制御弁、前記第２制御弁、前記第３制御弁がエアオペレイト弁であり、
前記第１制御弁と前記第２制御弁と前記第３制御弁に操作エアを供給する配管コネクタを前記筐体に設けたものであることを特徴とするモジュールユニット。
【請求項１０】
請求項５乃至請求項９の何れか一つに記載するモジュールユニットを有することを特徴とするガスユニット。
【請求項１１】
請求項５乃至請求項９の何れか一つに記載するモジュールユニットを有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置などで使用されるガス供給集積ユニット、ガスユニット及びモジュールユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置において、エッチングガス等のプロセスガスを供給するためのガス供給集積ユニット、ガスユニットが開発されている。半導体製造工程が、複数枚のウエハをバッチ処理する方法から、ウエハを１枚ずつ処理する枚葉処理方法に移行するようになり、ガス供給集積ユニット及びガスユニットの小型化がより強く要求されている。ガス供給集積ユニット及びガスユニットの小型化を図るものとして特許文献１や特許文献２に記載されるものが知られている。
【０００３】
特許文献１に記載するガス供給集積ユニットは、図１９に示すように、３個のガスユニットを集積したものである。ガスユニットは、手動弁１０１、レギュレータ１０３、圧力計１０４、入力弁１０５、マスフローコントローラ１０８、出力弁１１０、フィルタ１０７、パージ弁１０６をブロックを介して直列に配置して構成される。即ち、ガスユニットは、取り付けパネルＤの上面に下部流路ブロックＣを取り付け、その下部流路ブロックＣ上に流路形成ブロックＢを取り付け、さらに、各流路形成ブロックＢの上面に、手動弁１０１等のコンポーネント部品を固定された上部モジュールブロックＡをそれぞれ取り付けることにより構成される。これにより、ガス供給集積ユニットは、各ガスユニットから配管を省き、小型化を図ることができる。
【０００４】
特許文献２に記載するガスユニットは、図２０に示すように、圧力計２０２、一次側ストップバルブ２０３、パージバルブ２０４、圧力調整バルブ２０５、圧力トランスデューサ２０６、オリフィス２０７及び二次側ストップバルブ２０８をガス供給カセット２１６に収納する。ガス供給カセット２１６は、カセットボックス２０９内において、一次側ストップバルブ２０３及びパージバルブ２０４が一次側機能ブロック２１１の上下側面に取り付けられ、圧力調整バルブ２０５及び圧力トランスデューサ２０６が流体調整機能ブロック２１３の上下側面に取り付けられ、オリフィス２０７及び二次側ストップバルブ２０８が二次側機能ブロック２１２の図中左側面と上側面に取り付けられており、一次側機能ブロック２１１と二次側機能ブロック２１２が流体調整機能ブロック２１３の図中左右側面に固定されている。このように一次側ストップバルブ２０３等のコンポーネント部品をブロックの上下側面に配置してカセットボックス２０９に納めることにより、ガスユニットは、全長方向の長さが短くなり、小型化を図ることができる。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−３１１３５５号公報
【特許文献２】特開２００３−８６５７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のガス供給集積ユニット及びガスユニットには、以下の問題があった。
（１）ガス供給集積ユニット及びガスユニットは、フットスペースの更なる狭小化が求められている。具体的には、例えば、図１９に示す特許文献１のガス供給集積ユニットのように、ガスユニットを並列に配置する場合、従来は各ガスユニットを４０ｍｍピッチで配置するフットスペースを確保していたのに対し、ピッチを４０ｍｍから２０ｍｍに狭めてフットスペースに狭めることが要求されている。図１９に示す特許文献１のガス供給集積ユニットは、上部モジュールブロックＡと流路形成ブロックＢの側面を互いに当接させてガスユニットを集積するが、手動弁１０１、入力弁１０５、パージ弁１０６、出力弁１１０などのアクチュエータ部や、レギュレータ１０３の圧力を調整するダイアフラムの大きさ等に限界があるため、上部モジュールブロックＡや流路形成ブロックＢを小さくして各ガスユニットを更に小型化することは困難であった。そうかといって、手動弁１０１や入力弁１０５等のアクチュエータ部やレギュレータ１０３のダイアフラム等の小型化を図る開発には、膨大な費用や時間がかかり、ガス供給集積ユニットの小型化に対する要求に迅速に対応できない。
【０００７】
（２）図２０に示す特許文献２のガスユニットは、圧力計２０２、圧力トランスデューサ２０６等のセンサ類や、一次側ストップバルブ２０３、パージバルブ２０４、圧力調整バルブ２０５、二次側ストップバルブ２０８等の制御機器類を備えるが、電気信号をやりとりしたり電力を供給する配線について何ら考慮されていなかった。そのため、図２０に示す特許文献２のガスユニットは、圧力計２０２、圧力トランスデューサ２０６等のセンサ類や、一次側ストップバルブ２０３、パージバルブ２０４、圧力調整バルブ２０５、二次側ストップバルブ２０８等には個別に配線されていたと考えられる。個別の配線は、ガスユニットが小型化するにつれて施工しにくくなるため、ガスユニットの小型化を制限していた。
【０００８】
そこで、本発明は、既存のコンポーネント部品を用いて簡単にフットスペースを狭小化できるガス供給集積ユニットを提供することを第１の目的とする。
また、本発明は、ガス供給集積ユニットのフットスペースの狭小化に供し、コンポーネント部品の配線作業を容易にできるモジュールユニットを提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記第１の目的を達成するために、本発明に係るガス供給集積ユニットは以下の構成を有する。
（１）複数のコンポーネント部品を搭載するガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、ガスユニットを、ガスユニットの高さ方向に配置をずらして保持する構造体を有することを特徴とする。
【００１０】
（２）（１）に記載の発明において、上段に設置されるガスユニットと下段に設置されるガスユニットが互い違いに設置されていることを特徴とする。
（３）（１）に記載の発明において、構造体が、下段に配置されるガスユニットをガスの流れ方向へ往復直線運動させるスライド機構を有することを特徴とする。
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明において、ガスユニットに搭載されるコンポーネント部品を複数に分類してモジュール化したモジュールユニットを有し、モジュールユニットが、分類されたコンポーネント部品を着脱自在に取り付けられる取付ブロックと、取付ブロックの入力側に固定される入力ブロックと、取付ブロックの出力側に固定される出力ブロックと、分類されたコンポーネント部品を覆うように取付ブロック、入力ブロック又は出力ブロックの少なくとも一つに着脱自在に取り付けられる収納体と、を有することを特徴とする。
【００１１】
上記第２の目的を達成するために、本発明に係るモジュールユニットは以下の構成を有する。
（５）ガスユニットに搭載される複数のコンポーネント部品から所定のコンポーネント部品を分類してモジュール化したものであって、分類されたコンポーネント部品を着脱自在に取り付けられる取付ブロックと、取付ブロックの入力側に固定される入力ブロックと、取付ブロックの出力側に固定される出力ブロックと、分類されたコンポーネント部品を覆うように取付ブロック、入力ブロック又は出力ブロックの少なくとも一つに着脱自在に取り付けられる筺体と、筐体に設けられ、取付ブロックに取り付けられたコンポーネント部品に接続する配線コネクタと、を有することを特徴とする。
（６）（５）に記載の発明において、取付ブロックにヒータが取り付けられ、該ヒータが配線コネクタに接続されていることを特徴とする。
（７）（５）又は（６）に記載の発明において、ガスユニットに搭載されるコンポーネント部品が、手動弁とレギュレータを少なくとも含む第１コンポーネント群と、流量制御機器の一次側に配置されてプロセスガスを制御する第１制御弁と、第１制御弁と並列に配置されてパージガスを制御する第２制御弁と、流量制御機器の二次側に配置される第３制御弁とを少なくとも含む第２コンポーネント群とに分類され、第１コンポーネント群又は第２コンポーネント群をモジュール化したものであることを特徴とする。
（８）（７）に記載の発明において、筐体に手動弁を操作するための操作部と、操作部を覆うカバーと、操作部を覆う位置でカバーをロックするロック機構と、を有することを特徴とする。
（９）（７）又は（８）に記載の発明において、第１制御弁、第２制御弁、第３制御弁がエアオペレイト弁であり、第１制御弁と第２制御弁と第３制御弁に操作エアを供給する配管コネクタを筐体に設けたものであることを特徴とする。
【００１２】
（１０）ガスユニットが、（５）乃至（９）の何れか一つに記載するモジュールユニットを有することを特徴とする。
（１１）ガス供給集積ユニットが、（５）乃至（９）の何れか一つに記載するモジュールユニットを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のガス供給集積ユニットは、複数のコンポーネント部品を搭載するガスユニットを、ガスユニットの高さ方向に配置をずらして保持する構造体を有するので、ガスユニットを多段的に配置してガスユニットの上方にできる空間を有効活用し、既存のコンポーネント部品を用いて簡単にフットスペースを狭小化することができる。
【００１４】
また、本発明のガス供給集積ユニットは、上段に配置されるガスユニットと下段に配置されるガスユニットが互い違いに配置されているので、上段に配置されるガスユニットの間から工具を挿入し、下段のガスユニットをメンテナンスすることができる。
また、本発明のガス供給集積ユニットは、構造体が、下段に配置されるガスユニットをガスの流れ方向へ往復直線運動させるスライド機構を有するので、例えば、上段に設置されるガスユニットと下段に設置されるガスユニットが同軸上に配置されている場合でも、スライド機構を用いて下段のガスユニットを他のガスユニットの間から簡単に抜き出してメンテナンスすることができる。
また、本発明のガス供給集積ユニットは、ガスユニットに搭載されるコンポーネント部品を複数に分類してモジュール化したモジュールユニットを有し、モジュールユニットが、分類されたコンポーネント部品を着脱自在に取り付けられる取付ブロックと、取付ブロックの入力側に固定される入力ブロックと、取付ブロックの出力側に固定される出力ブロックと、分類されたコンポーネント部品を覆うように取付ブロック、入力ブロック又は出力ブロックの少なくとも一つに着脱自在に取り付けられる収納体と、を有するので、ガスユニットに搭載されるコンポーネント部品をモジュールユニット単位で取り扱うことができ、コンポーネント部品等のメンテナンスが容易である。なお、本明細書では、「収納体」は、筐体の他、枠だけで構成された枠体を含む。
【００１５】
また、本発明のモジュールユニットは、ガスユニットに搭載される複数のコンポーネント部品から所定のコンポーネント部品を分類してモジュール化したものであって、分類されたコンポーネント部品を着脱自在に取り付けられる取付ブロックと、取付ブロックの入力側に固定される入力ブロックと、取付ブロックの出力側に固定される出力ブロックと、分類されたコンポーネント部品を覆うように取付ブロック、入力ブロック又は出力ブロックの少なくとも一つに着脱自在に取り付けられる筺体と、筐体に設けられ、取付ブロックに取り付けられたコンポーネント部品に接続する配線コネクタと、を有するので、筐体、コンポーネント部品、取付ブロックの間に形成される隙間が狭くなり、ガス供給集積ユニットのフットスペースの狭小化に供する。コンポーネント部品の間に形成される隙間を狭くするにつれて、一般に、個々のコンポーネント部品に配線することが難しくなる。しかし、本発明のモジュールユニットは、筐体に配線コネクタを設けて外部配線コネクタを筐体内のコンポーネント部品にまとめて接続するようにしたので、コンポーネント部品の間に形成される隙間が狭くても、配線作業を容易にできる。
【００１６】
また、本発明のモジュールユニットは、取付ブロックにヒータが取り付けられ、該ヒータが配線コネクタに接続されているので、個々のヒータ毎に配線を行う必要がない。
また、本発明のモジュールユニットは、ガスユニットに搭載されるコンポーネント部品が、手動弁とレギュレータを少なくとも含む第１コンポーネント群と、流量制御機器の一次側に配置されてプロセスガスを制御する第１制御弁と、第１制御弁と並列に配置されてパージガスを制御する第２制御弁と、流量制御機器の二次側に配置される第３制御弁とを少なくとも含む第２コンポーネント群とに分類され、第１コンポーネント群又は第２コンポーネント群をモジュール化したものであるので、第１コンポーネント群を含むモジュールユニットと第２コンポーネント群を含むモジュールユニットを組み合わせるだけで、任意の回路構成を実現できる。
また、本発明のモジュールユニットは、筐体に手動弁を操作するための操作部と、その操作部を覆うカバーと、操作部を覆う位置でカバーをロックするロック機構と、を有するので、手動弁の誤操作を防止できる。
また、本発明のモジュールユニットは、第１制御弁、第２制御弁、第３制御弁がエアオペレイト弁であり、第１制御弁と第２制御弁と第３制御弁に操作エアを供給する配管コネクタを筐体に設けたものであるので、外部配管を配管コネクタにつなぐだけで第１〜第３制御弁に操作エアを供給することができ、配管作業が容易である。
【００１７】
さらに、本発明のモジュールユニットを有するガスユニット及びガス供給集積ユニットは、モジュールユニットが小型であるため、ガスユニット及びガス供給集積ユニットのフットスペースを狭小化できる。また、配線コネクタを用いてモジュールユニット毎に配線するので、配線が煩雑にならない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明に係るガス供給集積ユニット、ガスユニット及びモジュールユニットの一実施形態について図面を参照して説明する。図１０は、ガス供給集積ユニット１１の回路図である。
ガス供給集積ユニット１１は、半導体製造工程で使用されるエッチング装置に組み付けられる。エッチング装置は、Ｏ2、Ｈ2、ＣＦ4など複数のプロセスガスをチャンバに供給して反応させる。ガス供給集積ユニット１１は、複数（本実施形態では９ライン）のガスラインａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，ｈ，ｉを備え、プロセスガスの種類を切り替えて、もしくは、複数のプロセスガスを所定割合で混合して、図示しないチャンバに供給する。また、ガス供給集積ユニット１１は、ガスラインａ〜ｉにパージガスを供給するパージガスラインｊを備える。各ガスラインａ〜ｉは、一次側フィルタ１、手動弁２、レギュレータ３、圧力計４、入力弁（第１制御弁）５、マスフローコントローラ６、出力弁（第３制御弁）７、二次側フィルタ８が上流側から直列に配置され、入力弁５と並列に、逆止弁９とパージ弁（第２制御弁）１０が配置される。
【００１９】
図１は、ガス供給集積ユニット１１の正面図である。
ガス供給集積ユニット１１は、ガスラインａ〜ｉを構成するガスユニット１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｈ，１２ｉを多段的に配置する。ガス供給集積ユニット１１は、略Ｈ形の構造体１３ａ，１３ｂ，１３ｃが取付板１７に立設され、各構造体１３がガスユニット１２を３個ずつ支持する。構造体１３ａ，１３ｂ，１３ｃは同一構成であるので、ここでは構造体１３ａの構成を説明し、構造体１３ｂ，１３ｃについては説明を省略する。
【００２０】
図２は、図１に示すガス供給集積ユニット１１の左側面図である。
構造体１３ａは、図２に示すように、中間部材１４に固定板１５と支持板１６を溶接して構成される。中間部材１４は、剛性を有する板材であり、所々打ち抜かれて軽量化されている。固定板１５は、幅がガスユニット１２ａ，１２ｃの下面を支持でき、かつ、ガスユニット１２ａ，１２ｃより外側にはみ出さないように設定され（図１参照）、全長が、配管ブロックなど他の部品を取り付けられるようにガスユニット１２ａ、１２ｃの全長より長く設定される。固定板１５には、ボルトＢ１を挿通する挿通孔と、ボルトＢ２，Ｂ３を締結するボルト孔が形成される。一方、支持板１６は、ガスユニット１２ｂの幅方向へはみ出さないように、幅がガスユニット１２ｂの幅より狭く設定され（図１参照）、全長が、配管ブロックなど他の部品を取り付けられるようにガスユニット１２ｂの全長より長く設定される。支持板１６には、ボルトＢ４を締結するボルト孔が形成される。
【００２１】
このような構造体１３ａは、上方から固定板１５に挿通したボルトＢ１を取付板１７に締結することにより固定される。構造体１３ａは、ガスユニット１２ａが中間部材１４の片側に載置され、ボルトＢ２を用いて固定板１５に上方から固定され、ガスユニット１２ｃが中間部材１４のもう一方の片側に載置され、ボルトＢ３を用いて固定板１５に上方から固定される。また、構造体１３ａは、ガスユニット１２ｂが支持板１６に載置されてボルトＢ４により支持板１６に上方から固定される。
【００２２】
図３は、図１に示すガス供給集積ユニット１１の平面図である。
ガス供給集積ユニット１１は、上方から見ると、ガスユニット１２ａ〜１２ｉが互い違いに配置され、下段のガスユニット１２ａ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｈを上段のガスユニット１２ａ，１２ｅ，１２ｈの間から見られるようになっている。すなわち、例えば、上段のガスユニット１２ｂは、下段のガスユニット１２ａに対して所定方向（図中下方）へずれ、また、下段のガスユニット１２ｃに対して所定方向と反対方向（図中上方向）へずれている。ここで、ずれ量は、多段式によるスケールメリットを確保しつつ、上段のガスユニット１２ｂに重なる下段のガスユニット１２ａ，１２ｃにメンテナンスを施しやすい範囲で設定することが望ましい。また、ガス供給集積ユニット１１は、異なる構造体１３に保持されるガスユニット１２がピッチ方向へ所定の隙間Ｓ１を空けて設置されるように、構造体１３ａ，１３ｂ，１３ｃの取り付け位置を調整される。ここで、所定の隙間Ｓ１は、上段に設置されるガスユニット１２ｂ，１２ｅ，１２ｄの間から一般工具を挿入して下段のガスユニット１２ａ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｉをメンテナンスするために必要な間隔を算出して設定される。
【００２３】
次に、ガスユニット１２の構成について説明する。ガスユニット１２ａ〜１２ｉは同様の構成を有するので、ここではガスユニット１２ａの構成のみ説明し、ガスユニット１２ｂ〜１２ｉについては説明を省略する。
図２に示すように、ガスユニット１２ａは、第１モジュールユニット２１ａとマスフローコントローラ６ａと第２モジュールユニット２２ａとをスティック状に連結して構成される。ガスユニット１２ａは、第１モジュールユニット２１ａのプロセスガス入力ポート２３ａにプロセスガス配管１８ａが接続する一方、第２モジュールユニット２２ａの共通出力ポート２４ａに出力配管１９ａが接続する。また、ガスユニット１２ａは、第１モジュールユニット２１ａのパージガス入力ポート２５ａにパージ配管２０ａが接続し、パージ流路形成ブロックＰＢからパージガスを供給される。このようなガスユニット１２は、コンポーネント部品群を第１，第２モジュールユニット２１ａ、２２ａ、マスフローコントローラ６ａの単位で取り扱うが、第１，第２モジュールユニット２１ａ，２２ａの取扱性を向上させるため、第１モジュールユニット２１ａと第２モジュールユニット２２ａにつまみ２６ａ，２７ａが着脱自在に取り付けられる。そして、第１モジュールユニット２１ａ、第２モジュールユニット２２ａ及びマスフローコントローラ６ａには、外部配線コネクタ２８ａ，２９ａ，３０ａがそれぞれ接続する。なお、第１モジュールユニット２１ａとマスフローコントローラ６ａとの間には所定の隙間Ｓ３が形成され、マスフローコントローラ６ａと第２モジュールユニット２２ａとの間には所定の隙間Ｓ２が形成されており、上段のガスユニット１２の間から下段のマスフローコントローラ６に一般工具を挿入しやすくしている。
【００２４】
次に、第１モジュールユニット２１ａについて説明する。図４は、第１モジュールユニット２１ａの内部構造を示す一部断面側面図である。ここで、図４は、図２と反対側から第１モジュールユニット２１ａを見た図であるため、図２と左右反転して第１モジュールユニット２１ａが記載されている。
第１モジュールユニット２１ａは、一次側フィルタ１ａ、手動弁２ａ、レギュレータ３ａ、圧力計４ａ、入力弁５ａ、逆止弁９ａ、パージ弁１０ａを、ガスユニット１２ａに搭載されるコンポーネント部品から分類して筺体４０ａ内に収納する。
【００２５】
第１モジュールユニット２１ａは、プロセスガス入力ポート２３ａが入力ブロック３１ａに設けられ、入力ブロック３１ａに形成された流路内に一次側フィルタ１ａが取り付けられる。手動弁２ａは、入力ポートが一次側フィルタ１ａに連通し、出力ポートが第１流路ブロック３２ａを介してレギュレータ３ａの入力ポートに連通する。レギュレータ３ａは、出力ポートが圧力計４ａに連通し、圧力計４ａの測定結果に応じてプロセスガスの圧力を調整する。入力弁５ａは、エアオペレイトタイプの二方弁であり、入力ポートが圧力計４ａの出力ポートに連通し、出力ポートが第２流路ブロック３３ａを介してパージ弁１０ａの弁室に連通する。入力弁５ａは、電磁弁３８ａにより操作エア供給量を制御され、操作エアに応じた弁開度でプロセスガスの流量を調整する。
【００２６】
パージ弁１０ａは、エアオペレイトタイプの三方弁であり、弁座の外側に第１ポートと第２ポートが開設される。パージ弁１０ａは、第１ポートが入力弁５ａの出力ポートに連通し、第２ポートが第３流路ブロック３４ａを介して出力ブロック３５ａに連通し、弁座が逆止弁９ａの出力ポートに連通する。逆止弁９ａの入力ポートは、配管３７ａを介してパージブロック３６ａに連通する。パージブロック３６ａには、パージガス入力ポート２５ａが設けられている。パージ弁１０ａは、電磁弁３９ａにより操作エア供給量を制御され、開閉弁動作によりプロセスガスの流路とパージガスの流路を切り替える。
なお、本実施形態では、第１〜第３流路ブロック３２ａ，３３ａ，３４ａにより「取付ブロック」が構成される。
【００２７】
図５は、第１モジュールユニット２１ａの平面図である。
筺体４０ａは、一方に開口する箱状をなし、手動弁２ａ、レギュレータ３ａ、入力弁５ａ、エアオペレイト１０ａを覆うように第１〜第３流路ブロック３２ａ，３３ａ，３４ａ、入力ブロック３１ａ又は出力ブロック３５ａの少なくとも一つに着脱自在に取り付けられてモジュール単位を区別する。筐体４０ａの着脱は、ボルトで行ってもよいし、筐体４０ａに爪を設け、その爪をブロックに形成した係止部に引っ掛けるようにして行ってもよい。筺体４０ａの上面には、手動弁２ａを操作する操作レバー４１ａが揺動可能に設けられ、操作レバー４１ａを垂直に立てて回転させることにより、筐体４０ａの外部から手動弁２ａの開度を調整できるようになっている。また、筐体４０ａの上面には、レギュレータ４１ａが制御する圧力を表示する圧力表示部４２ａが露出して設けられている。
【００２８】
図６は、第１モジュールユニット２１ａの正面図である。
第１モジュールユニット２１ａは、プロセスガス入力ポート２３ａの上方に、配線コネクタ４３ａと、配管コネクタ４４ａが設けられる。配線コネクタ４３ａには、圧力計４ａに接続して電気信号を授受する信号線、電磁弁３８ａ，３９ａに接続して制御信号を入力する信号線、圧力表示部４２ａに接続して電力を供給する配線などがまとめて接続する。また、配管コネクタ４４ａには、レギュレータ３ａ、電磁弁３８ａ，３９ａが接続し、操作エアの給排気を行う。
【００２９】
次に、第２モジュールユニット２２ａについて説明する。図７は、第２モジュールユニット２２ａの内部構造を示す一部断面側面図である。図７は、図２と反対側から第２モジュールユニット２２ａを見た図であるため、図２と左右反転して第２モジュールユニット２２ａが記載されている。
第２モジュールユニット２２ａは、出力弁７ａと二次側フィルタ８ａを、ガスユニット１２ａに搭載されるコンポーネント部品群から分類して筐体５０ａ内に収納する。第２モジュールユニット２２ａの出力弁７ａは、エアオペレイトタイプの二方弁であり、入力ポートが第４流路ブロック（取付ブロック）４７ａを介して入力ブロック４６ａに連通し、出力ポートが出力ブロック４８ａに連通する。出力弁７ａは、電磁弁４９ａにより操作エア供給量が制御され、操作エア供給量に応じた弁開度で流量調整を行う。出力ブロック４８ａには、共通出力ポート２４ａに連通する流路が形成され、その流路内に二次側フィルタ８ａが内設される。
【００３０】
図８は、第２モジュールユニット２２ａの平面図である。
筐体５０ａは、出力弁７ａを覆うように第４流路ブロック４７ａに上方から被せられ、モジュール単位を区別する。筐体５０ａは、内部に収納されるブロックにボルトや引っ掛け部などにより第４流路ブロック４７ａ、入力ブロック４６ａ又は出力ブロック４８ａの少なくとも一つに着脱可能に取り付けられる。
【００３１】
図９は、第２モジュールユニット２２ａの正面図である。
第２モジュールユニット２２ａは、共通出力ポート２４ａの上方に、配線コネクタ５１ａと、配管コネクタ５２ａが設けられる。配線コネクタ５１ａには、電磁弁４９ａに接続して制御信号を入力する配線が接続する。また、配管コネクタ５２ａには、電磁弁４９ａが接続し、操作エアの給排気を行う。
【００３２】
図２に示すように、第１モジュールユニット２１ａの出力ブロック３５ａと、第２モジュールユニット２２ａの入力ブロック４６ａは、ポートが上方に開口し、そのポートに連通するようにマスフローコントローラ６ａが出力ブロック３５ａと入力ブロック４６ａ上にボルトＢ５で固定される。これにより、ガスユニット１２ａは、プロセスガス入力ポート２３ａが一次側フィルタ１ａ、手動弁２ａ、レギュレータ３ａ、入力弁５ａ、パージ弁１０ａ、マスフローコントローラ６ａ、出力弁７ａ、二次側フィルタ８ａを介して共通出力ポート２４ａに連通する。また、ガスユニット１２ａは、パージガス入力ポート２５ａがパージブロック３６ａ、配管３７ａ、逆止弁９ａ、パージ弁１０ａ、マスフローコントローラ６ａ、出力弁７ａ、二次側フィルタ８ａを介して共通出力ポート２４ａに連通する。
【００３３】
上記構成を有するガス供給集積ユニット１１は、ガスユニット１２ａ〜１２ｉの入力弁５ａ〜５ｉと出力弁７ａ〜７ｉが閉弁し、パージ弁１０ａ〜１０ｉが閉弁しているときには、共通出力ポート２４ａ〜２４ｉの何れからもガスが出力されない。
その後、例えば、ガスユニット１２ａのパージ弁１０ａを閉弁した状態で、入力弁５ａと出力弁７ａを開弁すると、プロセスガスがプロセスガス入力ポート２３ａから一次側フィルタ１ａ、手動弁２ａ、レギュレータ３ａ、圧力計４ａ、入力弁５ａ、パージ弁１０ａ、マスフローコントローラ６ａ、出力弁７ａ、二次側フィルタ８ａを介して共通出力ポート２４ａから出力される。プロセスガスを二次側に所定量供給したら、入力弁５ａと出力弁７ａを閉弁し、プロセスガスの供給を停止する。
その後、ガスユニット１２ａをパージするときには、入力弁５ａを閉弁した状態で、パージ弁１０ａと出力弁７ａを開弁する。すると、パージガスが逆止弁９ａからパージ弁１０ａ、マスフローコントローラ６ａ、出力弁７ａ、二次側フィルタ８ａを介して共通出力ポート２４ａへと出力される。このとき、流路に付着するプロセスガスは、パージガスの流体圧により下流へ押し流される。
【００３４】
ガス供給集積ユニット１１は、ガスユニット１２に搭載されるコンポーネント部品を定期的にメンテナンスする必要がある。そのメンテナンス手順について説明する。ここでは下段に設置されるガスユニット１２ｇのメンテナンスを例に挙げて説明する。
例えば、ガスユニット１２ｇの第１モジュールユニット２１ｇに内蔵されるレギュレータ３ｇをメンテナンスする場合には、図１に示すように、まず、上段に設置されるガスユニット１２ｅ，１２ｈの間から一般工具Ｘを斜めに挿入してボルトＢ２を取り外し、それから第１モジュールユニット２１ｇのつまみ２６ｇを手でつまんで少し真上へ引き上げた後、さらに斜め上方へ引き上げ、上段のガスユニット１２ｅ，１２ｈの間から抜き出す。抜き出した第１モジュールユニット２１ｇは、筺体４０ｇを取り外してレギュレータ３ｇのメンテナンスをする。第１モジュールユニット２１ｇは、レギュレータ３ｇの両側に手動弁２ｇと入力弁５ａが僅かな隙間を空けて取り付けられるが、メンテナンス時には、周りに障害物がない場所へ第１モジュールユニット２１ｇを取り出すため、一般工具を制限なく使用してメンテナンスを行える。メンテナンスが完了したら、第１モジュールユニット２１ｇを再組立し、取り外し手順と逆の手順で第１モジュールユニット２１ｇを元の位置に戻し、ボルトＢ２で固定する。
【００３５】
次に、マスフローコントローラ６ｇをメンテナンスする手順を説明する。図１１は、ガス供給集積ユニット１１の中からマスフローコントローラ６ｇを取り出す方法を説明する説明図である。
ガス供給集積ユニット１１のガスユニット１２は、マスフローコントローラ６と第１モジュールユニット２１との間、及び、マスフローコントローラ６と第２モジュールユニット２２との間に、所定の隙間Ｓ３，Ｓ２が形成されている。そこで、上段のガスユニット１２ｈの隙間Ｓ２，Ｓ３から一般工具Ｘを斜めに挿し入れ、ボルトＢ５を取り外す。ボルトＢ５を取り外したら、図示しないガスケットでシール面を傷つけないようにマスフローコントローラ６ｇを真上へ所定量引き上げ、その後、斜め上方向へ引き上げて上段のガスユニット１２ｅ，１２ｈの間からマスフローコントローラ６ｇを抜き出す。メンテナンスが完了したら、取り出し手順と逆の手順でマスフローコントローラ６ｇを元の位置に戻し、ボルトＢ５で固定する。
【００３６】
従って、本実施形態のガス供給集積ユニットは、複数のコンポーネント部品（一次側フィルタ１，手動弁２，レギュレータ３，圧力計４，入力弁５，マスフローコントローラ６，出力弁７，二次側フィルタ８，逆止弁９，パージ弁１０）を搭載するガスユニット１２ａ〜１２ｉを、ガスユニット１２の高さ方向に配置をずらして保持する構造体１３ａ，１３ｂ，１３ｃを有するので（図１、図２参照）、ガスユニット１２ａ〜１２ｉを多段的に配置してガスユニット１２の上方にできる空間を有効活用し、既存のコンポーネント部品１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０を用いて簡単にフットスペースを狭小化することができる。
【００３７】
また、本実施形態のガス供給集積ユニット１１は、上段に配置されるガスユニット１２ｂ，１２ｅ，１２ｈと下段に配置されるガスユニット１２ａ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｉが互い違いに配置されているので（図１、図３参照）、上段に配置されるガスユニット１２ｂ，１２ｅ，１２ｈの間から一般工具Ｘを挿入し、下段のガスユニット１２ａ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｉをメンテナンスすることができる。
【００３８】
また、本実施形態のガス供給集積ユニット１１は、ガスユニット１２に搭載されるコンポーネント部品（一次側フィルタ１，手動弁２，レギュレータ３，圧力計４，入力弁５，マスフローコントローラ６，出力弁７，二次側フィルタ８，逆止弁９，パージ弁１０）を、一次側フィルタ１，手動弁２，レギュレータ３，圧力計４，入力弁５，パージ弁１０を含むコンポーネント群と、出力弁７と二次側フィルタ８を含むコンポーネント群に分類し、各コンポーネント群をモジュール化した第１，第２モジュールユニット２１，２２を有し、第１，第２モジュールユニット２１，２２が、分類されたコンポーネント部品を着脱自在に取り付けられる「取付ブロック」（流路ブロック３２，３３，３４，４７）と、「取付ブロック」の入力側に固定される入力ブロック３１，４６と、「取付ブロック」の出力側に固定される出力ブロック３５，４８と、分類されたコンポーネント部品を覆うように「取付ブロック」、入力ブロック３１，４６又は出力ブロック３５，４８の少なくとも一つに着脱自在に取り付けられる筐体４０，５０と、を有するので、ガスユニット１２に搭載されるコンポーネント部品をモジュールユニット２１，２２単位で取り扱うことができ、コンポーネント部品等のメンテナンスが容易である。
【００３９】
また、本実施形態の第１，第２モジュールユニット２１，２２は、ガスユニットに搭載される複数のコンポーネント部品（一次側フィルタ１，手動弁２，レギュレータ３，圧力計４，入力弁５，マスフローコントローラ６，出力弁７，二次側フィルタ８，逆止弁９，パージ弁１０）から所定のコンポーネント部品を、一次側フィルタ１，手動弁２，レギュレータ３，圧力計４，入力弁５，逆止弁９，パージ弁１０を含むコンポーネント群と、出力弁７と二次側フィルタ８を含むコンポーネント群とに分類してモジュール化したものであって、分類されたコンポーネント部品を着脱自在に取り付けられる「取付ブロック」（３２，３３，３４，４７）と、「取付ブロック」の入力側に固定される入力ブロック３１，４６と、「取付ブロック」の出力側に固定される出力ブロック３５，４８と、分類されたコンポーネント部品を覆うように「取付ブロック」、入力ブロック３１，４６又は出力ブロック３５，４８の少なくとも一つに着脱自在に取り付けられる筺体４０，５０と、筐体４０，５０に設けられ、「取付ブロック」に取り付けられたコンポーネント部品に接続する配線コネクタ４３，５１と、を有するので、各モジュールユニット２１，２２は、筐体４０，５０、コンポーネント部品、「取付ブロック」の間に形成される隙間が狭くなり、ガス供給集積ユニット１１のフットスペースの狭小化に供する。コンポーネント部品の間に形成される隙間を狭くするにつれて、一般に、個々のコンポーネント部品に配線することが難しくなる。しかし、本実施形態のモジュールユニット２１，２２は、筐体４０，５０に配線コネクタ４３，５１を設けて外部配線コネクタ２８，２９を筐体４０，５０内のコンポーネント部品にまとめて接続するようにしたので、コンポーネント部品の間に形成される隙間が狭くても、配線作業を容易にできる。
このような第１，第２モジュールユニット２１，２２を有するガスユニット１２及びガス供給集積ユニット１１は、モジュールユニット２１，２２が小型であるため、ガスユニット１２及びガス供給集積ユニット１１のフットスペースを狭小化できる。また、配線コネクタ４３，５１を用いてモジュールユニット２１，２２毎に配線するので、配線が煩雑にならない。
【００４０】
（第２実施形態）
続いて、本発明のガス供給集積ユニット、ガスユニット及びモジュールユニットにかかる第２実施形態について図面を参照して説明する。図１２は、ガスユニット５６の回路図である。
本実施形態のガスユニット５６は、図１０に示すガスラインａ〜ｉを実現するものである。ガスユニット５６は、集積されてガス供給集積ユニットを構成し、半導体製造工程で使用されるエッチング装置に組み付けられる。本実施形態のガスユニット５６は、第１実施形態と同様、構造体１３によりガスユニット５６の高さ方向にずらして配置され、ガス供給集積ユニットのフットスペースの狭小化が図られる。本実施形態のガスユニット５６は、モジュール化するコンポーネント部品の分類やヒータＨを設ける点が第１実施形態のガスユニット１２と相違する。よって、ここでは、ガスユニット５６を中心に説明し、第１実施形態と同様の構成については符号に第１実施形態と同一符号を付し、説明を適宜省略する。
【００４１】
ガスユニット５６は、一次側フィルタ１、手動弁２、レギュレータ３、圧力計４を第１コンポーネント群に分類し、入力弁５、出力弁７、二次側フィルタ８、逆止弁９、パージ弁１０を第２コンポーネント群に分類する。そして、第１コンポーネント群により第１モジュールユニット５７が構成され、第２コンポーネント群により第２モジュールユニット５８が構成される。
【００４２】
図１３は、図１２に示すガスユニット５６の一部断面側面図である。
ガスユニット５６は、第１モジュールユニット５７、第２モジュールユニット５８、繋配管５９、流路ブロック６０、支持台６１により構成される。取付板１７には、流路ブロック６０と支持台６１がボルトＢ６で固定される。ガスユニット５６は、第１モジュールユニット５７が、流路ブロック６０上に載置されてボルトＢ７で流路ブロック６０に固定され、第２モジュールユニット５８が、流路ブロック６０及び支持ブロック６１上に載置され、ボルトＢ７で流路ブロック６０及び支持台６１に固定される。従って、第１，第２モジュールユニット５７，５８はガスユニット５６に着脱自在に取り付けられる。
【００４３】
図１４は、第１モジュールユニット５７の一部断面側面図である。
第１モジュールユニット５７は、熱伝達効率の高い金属材料を直方体に成形した取付ブロック６２を備える。取付ブロック６２の上面には、手動弁２とレギュレータ３が取り付けられ、取付ブロック６２の下面には、フィルタ１と圧力計４が取り付けられている。そして、取付ブロック６２の入力側には入力ブロック６３が図示しないボルトで固定され、取付ブロック６２の出力側には出力ブロック６４が図示しないボルトで固定されている。入力ブロック６３には、プロセスガス入力ポート６３ａが下方に開口して設けられ、出力ブロック６４には、プロセスガス出力ポート６４ａが下方に開口して設けられている。第１モジュールユニット５７は、手動弁２、レギュレータ３、フィルタ１、圧力計４を覆うように筐体６５が取付ブロック６２に被せられている。筐体６５は、ボルトや引っ掛け部などにより取付ブロック６２に着脱自在に取り付けられる。
【００４４】
取付ブロック６２は、上面に取付孔６２ａ，６２ｂが形成されている。手動弁２は、取付孔６２ａをダイアフラムＤ１で塞ぐように取付ブロック６２に取り付けられる。また、レギュレータ３は、取付孔６２ｂをダイアフラムＤ２で塞ぐように取付ブロック６２に取り付けられる。取付ブロック６２の取付孔６２ａには、流路６２ｃに連通する開口部が開設され、その開口部の周りに弁座６６が設けられる。流路６２ｃは、弁座６６と入力ブロック６３のプロセスガス入力ポート６３ａを連通させるように取付ブロック６２に形成され、手動弁２のダイアフラムＤ１を弁座６６に当接又は離間することによりプロセスガスの供給又は遮断を制御する。取付孔６２ａは、弁座６６の外側に流路６２ｄが開口する。流路６２ｄは、手動弁２の出力ポートとフィルタ１の入力ポートとを連通させる。
【００４５】
また、取付ブロック６２には、流路６２ｅが下面から取付孔６２ｂに連通するように形成され、レギュレータ３の入力ポートとフィルタ１の出力ポートを連通させる。取付ブロック６２には、レギュレータ３の出力ポートと圧力計４の入力ポートを連通するように流路６２ｆが形成され、圧力計４の測定結果に基づいてレギュレータ３の作動が制御される。さらに、取付ブロック６２には、圧力計４の出力ポートを出力ブロック６４のプロセスガス出力ポート６４ａに連通する流路６２ｇが形成されている。
流路６２ｃ，６２ｄ，６２ｇの外側には、棒状ヒータＨ１，Ｈ２，Ｈ３が取付ブロック６２の上面から挿入して配置され、取付ブロック６２を加熱するようになっている。
【００４６】
図１５は、第１モジュールユニット５７の上面図である。なお、図１５は、遮蔽板（カバー）６８を取り外した状態を示す。
筐体６５は、熱伝達効率の高い金属材料を一方に開口する箱状に形成したものである。筐体６５の上面には、手動弁２とレギュレータ３の上方に貫通孔（操作部）６５ａ、６５ｂが形成され、貫通孔６５ａ，６５ｂからレンチ等の一般工具を挿入して手動弁２やレギュレータ３を操作できる。また、筐体６５の上面には、レギュレータ３の圧力を表示する圧力表示部６７が露出して設けられる。
【００４７】
ここで、貫通孔６５ａが開いたままだと、誰かが誤って手動弁２を操作する恐れがある。そのため、図１４に示すように、第１モジュールユニット５７は、水平方向へスライドさせて貫通孔６５ａを開閉するように遮蔽板６８が設けられている。遮蔽板６８は、南京錠６９により筐体６５に連結され、取り外し不能にロックされる。
【００４８】
図１６は、第１モジュールユニット５７の斜視図である。
第１モジュールユニット５７は、筐体６５の側面に配線コネクタ７０が配設され、外部配線コネクタＣ１が接続する。配線コネクタ７０は、図１４に示す棒状ヒータＨ１，Ｈ２，Ｈ３、圧力表示部６７、レギュレータ３、圧力計４に電力を供給する配線や、圧力表示部６７、レギュレータ３、圧力計と信号の送受信を行う信号線をまとめて外部に引き出す。
【００４９】
次に、第２モジュールユニット５８の構成を説明する。図１７は、第２モジュールユニット５７の一部断面側面図である。
第２モジュールユニット５８は、金属製の加熱台７１上に一次側モジュールユニット７２と、二次側モジュールユニット７３とをボルトで固定して構成され、モジュール単位を区別する。第２モジュールユニット５８では、マスフローコントローラ６は後付けされるため第２コンポーネント群に含まれておらず、一次側モジュールユニット７２と二次側モジュールユニット７３との間に金属製の支持台９１が固定され、マスフローコントローラ６を載せられるようになっている。加熱台７１と支持台９１には、ヒータＨ４，Ｈ５が取り付けられ、加熱台７１を加熱して一次側モジュールユニット７２と二次側モジュールユニット７３を加熱するとともに、支持台９１を加熱してマスフローコントローラ６を加熱できるようになっている。
【００５０】
一次側モジュールユニット７２は、流路ブロック７４、流路形成ブロック７５、流路形成ブロック７６、バイパスブロック７７をボルトで固定して、「内部ユニット」が構成される。流路ブロック７４には、逆止弁９が取り付けられる。流路形成ブロック７５には、取付孔７５ａが上面に形成され、取付孔７５ａの内部に設けた弁座８２にダイアフラムＤ３が当接又は離間するようにパージ弁１０が取り付けられる。流路形成ブロック７６には、取付孔７６ａが形成され、取付孔７６ａの内部に設けた弁座８３にダイアフラムＤ４が当接又は離間するように入力弁５が取り付けられる。バイパスブロック７７は、入力ブロック７５と流路形成ブロック７６の下面にボルトで固定される。一次側モジュールユニット７２は、逆止弁９、パージ弁１０、入力弁５を覆うように筐体７８が「取付ブロック」にボルトや引っ掛け部などにより着脱自在に取り付けられる。バイパスブロック７７には、入力ブロック７９がボルトで固定される。また、流路形成ブロック７６の下面には、出力ブロック８０がボルトで固定される。さらに、逆止弁９の上面には、パージガス入力ブロック８１がボルトで固定されている。パージガス入力ブロック８１のパージガス入力ポート８１ａは外部に開口する。なお、流路形成ブロック７６には、棒状のヒータＨ６が着脱自在に取り付けられる。
【００５１】
このような一次側モジュールユニット７２では、逆止弁９は、入力ポートがパージガス入力ポート８１ａに連通し、出力ポートがパージ弁１０の入力ポートに連通する。パージ弁１０は、エアオペレイトタイプの二方弁であり、入力ポートが逆止弁９の出力ポートに連通し、出力ポートが入力弁５の第１ポートに連通する。入力弁５は、エアオペレイトタイプの三方弁であり、弁座８２の外側に第１ポートと第２ポートが開口している。入力弁５は、第１ポートがパージ弁１０の出力ポートに連通し、第２ポートが、出力ブロック８０の共通出力ポート８０ａに連通し、さらに、弁座８３が、バイパスブロック７７を介して入力ブロック７９のプロセスガス入力ポート７９ａに連通する。
【００５２】
一方、二次側モジュールユニット７３は、流路形成ブロック（取付ブロック）８４に出力弁７が固定され、出力弁７を覆うように筐体８５が流路形成ブロック８４にボルトや引っ掛け部などで着脱自在に被せられている。流路形成ブロック８４の下面には、入力ブロック８６と出力ブロック８７がボルトで固定されている。流路形成ブロック８４は、取付孔８４ａが上面に開設され、その取付孔８４ａの内部に弁座８８が形成されている。流路形成ブロック８４は、取付孔８４ａをダイアフラムＤ５で覆うように出力弁７が取り付けられる。出力弁７は、エアオペレイトタイプの二方弁であり、入力ポートが入力ブロック８６の共通入力ポート８６ａに連通し、出力ポートが出力ブロック８７の共通出力ポート８７ａに連通する。なお、流路形成ブロック８４には、棒状のヒータＨ７が着脱自在に取り付けられる。
【００５３】
図１８は、第２モジュールユニット５８の斜視図である。
第２モジュールユニット５８は、一次側モジュールユニット７３の筐体７８に配管コネクタ８９が設けられている。また、モジュールユニット７３は、配管コネクタ８９の下方にパージガス入力ブロック８１が露出し、パージガス入力ポート８１ａにパージ配管２０を接続できるようにしている。
【００５４】
図１７に示すように、一次側モジュールユニット７２は、筐体７８の内壁に電磁弁ＳＶ１，ＳＶ２，ＳＶ３が固定され、電磁弁ＳＶ１，ＳＶ２，ＳＶ３がまとめて配管コネクタ８９に接続する。配管コネクタ８９には、外部配管Ｐが接続される。電磁弁ＳＶ１，ＳＶ２，ＳＶ３は、パージ弁１０、入力弁５、出力弁７にそれぞれ接続し、対応するバルブに供給する操作エアの供給量を制御する。
一方、二次側モジュールユニット７３は、配線コネクタ９０が筐体８５に設けられ、外部配線コネクタＣ２が接続される。配線コネクタ９０は、電磁弁ＳＶ１，ＳＶ２，ＳＶ３に電気信号を供給する配線や、ヒータＨ４，Ｈ５，Ｈ６，Ｈ７に電力を供給する配線、マスフローコントローラ６に接続する配線がまとめて接続する。
なお、電磁弁ＳＶ１，ＳＶ２，ＳＶ３と各弁１０，５，７を接続する配管や、配線コネクタ９０に電磁弁ＳＶ１，ＳＶ２，ＳＶ３やヒータＨ４，Ｈ５，Ｈ６，Ｈ７を接続する配線は、加熱台７１の下方に形成された空間を利用して第２モジュールユニット５８内に引き回されている（図中■参照）。
【００５５】
このような構成を有するガスユニット５６は、入力弁５、出力弁７、パージ弁１０が閉弁しているときには、プロセスガスとパージガスの何れも共通出力ポート８７ａから出力されない。即ち、プロセスガスは、第１モジュールユニット５７のプロセスガス入力ポート６３ａから手動弁２、フィルタ１、レギュレータ３、圧力計４、プロセスガス出力ポート６４ａを介して流路ブロック６０へと供給され、その後、配管５９、流路ブロック６０へ流れてから、第２モジュールユニット５８のプロセスガス入力ポート７９ａに供給され、さらに、バイパスユニット７７から入力弁５の弁座８３まで流れて遮断される。一方、パージガスは、第２モジュールユニット５８のパージガス入力ポートから逆止弁９、流路ブロック７４を介してパージ弁１０まで流れ、遮断される。
【００５６】
その後、入力弁５と出力弁７を開弁すると、入力弁５の弁座８３まで供給されたプロセスガスがマスフローコントローラ６、出力弁７、二次側フィルタ８を介して共通出力ポート８７ａから出力される。
さらに、入力弁５とパージ弁１０を閉弁して、プロセスガスの供給を遮断した後、パージ弁１０と出力弁７を開弁すると、パージ弁１０まで供給されたパージガスが、入力弁５、共通出力ポート８０ａ、マスフローコントローラ６、共通入力ポート８６ａ、出力弁７、二次側フィルタ８を介して共通出力ポート８７ａから出力される。このとき、パージガスが流路に付着したプロセスガスを流体圧で押し出してパージする。
【００５７】
従って、本実施形態のモジュールユニット５７，５８は、上記第１実施形態のモジュールユニット２１，２２の作用効果と同様の作用効果を奏する。特に、第２モジュールユニット５８内にマスフローコントローラ６を設置できるようにしたので、第１実施形態のガスユニット１２のようにマスフローコントローラ６の両側に所定の隙間Ｓ２，Ｓ３（図２参照）を設ける必要がなくなり、ガスユニット５６およびガス供給集積ユニットの更なるフットスペースの狭小化を図ることができる。しかも、マスフローコントローラ６も配線コネクタ９０を介して配線できるので、ガス供給集積ユニット上に現れる配線が煩雑にならない。
【００５８】
これに加え、本実施形態の第１，第２モジュールユニット５７，５８は、「取付ブロック」（取付ブロック６２，流路ブロック７４、流路形成ブロック７５，７６，８４）にヒータＨ１，Ｈ２，Ｈ３，Ｈ４，Ｈ６，Ｈ７が取り付けられ、該ヒータＨ１，Ｈ２，Ｈ３，Ｈ４，Ｈ６，Ｈ７が配線コネクタ９０に接続されているので、個々のヒータＨ１，Ｈ２，Ｈ３，Ｈ４，Ｈ６，Ｈ７毎に配線を行う必要がない。
また、本実施形態のモジュールユニット５７，５８は、ガスユニット５６に搭載されるコンポーネント部品（一次側フィルタ１、手動弁２、レギュレータ３、圧力計４、入力弁５、マスフローコントローラ６、出力弁７、二次側フィルタ８、逆止弁９、パージ弁１０）が、手動弁２とレギュレータ３を少なくとも含む第１コンポーネント群と、マスフローコントローラ（流量制御機器）の一次側に配置されてプロセスガスを制御する入力弁５と、入力弁５と並列に配置されてパージガスを制御するパージ弁１０と、マスフローコントローラ６の二次側に配置される出力弁７とを少なくとも含む第２コンポーネント群とに分類され、第１コンポーネント群又は第２コンポーネント群をモジュール化したものであるので、第１コンポーネント群を含むモジュールユニット５７と第２コンポーネント群を含むモジュールユニット５８を組み合わせるだけで、任意の回路構成を実現できる。
また、本実施形態の第１モジュールユニット５７は、筐体６５に手動弁２を操作するための貫通孔６５ａと、その操作部６５ａを覆う遮蔽板６８と、貫通孔６５ａを覆う位置で遮蔽板６８をロックする南京錠６９と、を有するので、手動弁２の誤操作を防止できる。
また、本実施形態のモジュールユニット５８は、入力弁５、パージ弁１０、出力弁７がエアオペレイト弁であり、入力弁５とパージ弁１０と出力弁７に操作エアを供給する配管コネクタ８９を筐体７８に設けたものであるので、外部配管Ｐを配管コネクタ８９につなぐだけで入力弁５、パージ弁１０、出力弁７に操作エアを供給することができ、配管作業が容易である。
【００５９】
なお、一次側モジュールユニット７２、二次側モジュールユニット７３も、ガスユニット５６から見れば独立したモジュールユニットと見ることができ、第１実施形態の第１、第２モジュールユニット２１，２２や本実施形態の第１、第２モジュールユニット５７，５８と同様の作用効果を奏する。
【００６０】
さらに、本実施形態のモジュールユニット５７，５８を有するガスユニット５６及びガス供給集積ユニットは、モジュールユニット５７，５８が小型であるため、ガスユニット５６及びガス供給集積ユニットのフットスペースを狭小化できる。また、配線コネクタ７０，９０を用いてモジュールユニット５７，５８毎に配線するので、配線が煩雑にならない。
【００６１】
尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記第１実施形態において、構造体１３ａ，１３ｂ，１３ｃが、下段に配置されるガスユニット１２ａ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｉをプロセスガスの流れ方向へ往復直線運動させるスライド機構を有するようにすれば、例えば、上段に設置されるガスユニット１２ｈと下段に設置されるガスユニット１２ｇが同軸上に配置された場合でも、スライド機構を用いて下段のガスユニット１２ｇを他のガスユニット１２ｅ，１２ｆ，１２ｈ，１２ｉの間から簡単に抜き出してメンテナンスすることができる。
【００６２】
（２）例えば、上記第１実施形態では、構造体１３がガスユニット１２を２段に配置したが、３段以上に配置するようにしてもよい。
（３）例えば、上記第１実施形態では、個別の流路ブロック３２，３３，３４をボルトで一体化して「取付ブロック」を構成したが、１つの取付ブロックに手動弁２、レギュレータ３、入力弁５、パージ弁１０を取り付けるようにしてもよい。
【００６３】
（３）上記第１実施形態では、筐体を「収納体」として構成したが、枠で構成した枠体により「収納体」を設けてもよい。枠体には、配線コネクタを設けにくいものの、モジュール単位を使用者に把握させながら、ユニットの軽量化を図りうるメリットがある。
（４）例えば、上記第１実施形態では、取付板１７にガスユニット１２を取り付けて集積したガス供給集積ユニット１１について説明したが、ガスユニット１７をレールに取り付けるようにしてもよい。
【００６４】
（５）例えば、上記第２実施形態では、流路形成ブロック７５，７６を一つのブロックとし、コンポーネント部品を取り付けるようにしてもよい。
（６）例えば、上記第２実施形態では、第１モジュールユニット５７と第２モジュールユニット５８とを繋配管５９で接続したが、流路ブロックで接続してもよい。
【００６５】
（７）例えば、上記第２実施形態では、カバーとしてスライド可能な遮蔽板６８を設けたが、揺動可能な遮蔽板や収納孔３５ａに装着可能な栓などにしてもよい。また、カバーのロック機構として南京錠６９を設けたが、カバー自体に鍵をかけて取り外しできないようにしてもよい。
【００６６】
（８）例えば、上記実施形態では、配線コネクタ４３、５１、７０、９０を各モジュールユニット２１，２２，５７，５８に１個ずつ設けたが、例えば、１つのモジュールユニットに複数の配線コネクタを設けてもよい。
（９）例えば、上記実施形態では、固定板１５が２個のガスユニット１２を支持するようにしたが、３個以上のガスユニットを支持するように固定板の大きさを変更して、ガスユニットの側面に沿って中間部材１４を複数立設し、各中間部材１４を介して支持板１６を固定板に固定するようにしてもよい。上記実施形態では、板状の中間部材が固定板１５と支持板１６を連結するが、例えば中間部材を複数の棒で構成し、ガスユニット１２の側面に沿って棒を配置し、固定板１５と支持板１６とを連結してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明にかかる第１実施形態のガス供給集積ユニットの正面図である。
【図２】図１に示すガス供給集積ユニットの左側面図である。
【図３】図１に示すガス供給集積ユニットの平面図である。
【図４】図１に示すガス供給集積ユニットに搭載されるガスユニットを構成する第１モジュールユニットの内部構造を示す一部断面側面図である。
【図５】図４に示す第１モジュールユニットの平面図である。
【図６】図４に示す第１モジュールユニットの正面図である。
【図７】図１に示すガス供給集積ユニットに搭載されるガスユニットを構成する第２モジュールユニットの内部構造を示す一部断面側面図である。
【図８】図７に示す第２モジュールユニットの平面図である。
【図９】図７に示す第２モジュールユニットの正面図である。
【図１０】ガス供給集積ユニットの回路図である。
【図１１】図１に示すガス供給集積ユニットの中からマスフローコントローラを取り出す方法を説明する説明図である。
【図１２】本発明にかかる第２実施形態にかかるガスユニットの回路図である。
【図１３】図１２に示すガスユニットの側面図である。
【図１４】図１２に示すガスユニットを構成するガスユニットに含まれる第１モジュールユニットの一部断面側面図である。
【図１５】図１２に示すガスユニットに含まれる第１モジュールユニットの上面図である。
【図１６】図１２に示すガスユニットに含まれる第１モジュールユニットの斜視図である。
【図１７】図１２に示すガスユニットに含まれる第２モジュールユニットの一部断面側面図である。
【図１８】図１２に示すガスユニットに含まれる第２モジュールユニットの斜視図である。
【図１９】特開平１１−３１１３５５号公報で提案するガス供給集積ユニットの斜視図である。
【図２０】特開２００３−８６５７９号公報で提案するガスユニットを構成するガス供給ボックスの内部構成を説明する図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  一次側フィルタ（コンポーネント部品）
２  手動弁（コンポーネント部品）
３  レギュレータ（コンポーネント部品）
４  圧力計（コンポーネント部品）
５  入力弁（コンポーネント部品）
６  マスフローコントローラ（コンポーネント部品）
７  出力弁（コンポーネント部品）
８  二次側フィルタ（コンポーネント部品）
９  逆止弁（コンポーネント部品）
１０  パージ弁（コンポーネント部品）
１１  ガス供給集積ユニット
１２  ガスユニット
１３  構造体
２１  第１モジュールユニット
２２  第２モジュールユニット
３１  入力ブロック
３２〜３４  流路ブロック（取付ブロック）
３５  出力ブロック
４０  筐体（収納体）
４３  配線コネクタ
４６  入力ブロック
４７  流路ブロック（取付ブロック）
４８  出力ブロック
５０  筐体（収納体）
５１  配線コネクタ
５６  ガスユニット
５７  第１モジュールユニット
５８  第２モジュールユニット
６２  取付ブロック
６３  入力ブロック
６４  出力ブロック
６５  筐体（収納体）
７０  配線コネクタ
７２  一次側モジュールユニット
７３  二次側モジュールユニット
７４  流路ブロック（取付ブロック）
７５  流路形成ブロック（取付ブロック）
７６  流路形成ブロック（取付ブロック）
７７  バイパスブロック
７８  筐体（収納体）
７９  入力ブロック
８０  出力ブロック
８４  流路形成ブロック（取付ブロック）
８６  入力ブロック
８７  出力ブロック
９０  配線コネクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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