(57)【要約】【課題】低粘度・超薄膜塗布の場合であっても、段状ムラの発生を効果的に抑制することができる。【解決手段】バックアップローラ１２に支持されて連続走行するウエブ１４表面に、リップランド１６を近接配置させたスロットダイ１８のスロット先端から塗布液を吐出してウエブ１４との間にビード２０を形成すると共に、該ビード２０のウエブ上流側を減圧しながらウエブ表面に塗布液を塗布する際に、ビード２０のウエブ下流側に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）が次式、ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２を満足するようにＰb を設定して塗布する。【選択図】      図２
2006095454.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バックアップローラに支持されて連続走行するウエブ表面に、リップランドを近接配置させたスロットダイのスロット先端から塗布液を吐出して前記ウエブとの間にビードを形成すると共に、該ビードのウエブ上流側を減圧しながら前記ウエブ表面に塗布液を塗布する塗布液の塗布方法において、
前記ビードのウエブ下流側に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）が次式、                ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２
但し、
【数１】
2006095454.tif 000008
Ｐ0 ：ビードのウエブ下流側の圧力
Ｐb ：ビードのウエブ上流側の圧力
μ :塗布液の粘度（Ｐａ・ｓ）
ｖ :塗布速度（ｍ／分）
σ1 : 下流側ビードの表面張力（Ｎ／ｍ）
σ4 : 上流側ビードの表面張力（Ｎ／ｍ）
ｈ：ウエブに塗布された塗布液のウエット膜厚（ｍ）
ｄ：リップランドとウエブとのコーティングギャップ（ｍ）
ｌ1 ：下流側リップランドのウエブ走行方向の長さ（ｍ）
θ: ウエブとビードとの接触角
を満足するように前記Ｐb を設定して塗布することを特徴とする塗布液の塗布方法。
【請求項２】
バックアップローラに支持されて連続走行するウエブ表面に、リップランドを近接配置させたスロットダイのスロット先端から塗布液を吐出して前記ウエブとの間にビードを形成すると共に、該ビードのウエブ上流側を減圧しながら前記ウエブ表面に塗布液を塗布する塗布液の塗布方法において、
予備運転により、前記ビードのウエブ上流側の減圧度Ｐb （ｋＰａ）を小さくしていったときに前記ウエブに塗布された塗布液膜面にスジ故障が発生し始める下限減圧度ＰS1（ｋＰａ）を予め求め、
本運転では、前記ビードのウエブ下流側に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）が次式、
ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２
但し、Ｐ0 ：ビードのウエブ下流側の圧力
Ｐb ：ビードのウエブ上流側の圧力
を満足するようにＰb を設定して塗布することを特徴とする塗布液の塗布方法。
【請求項３】
前記リップランドとウエブとのコーティングギャップｄが次式
ｄ＝（2 ｈ/1.34)( μｖ/ σ1 ) -2/3×α
0.25≦α＜1 
を満足するように設定されることを特徴とする請求項１又は２の塗布液の塗布方法。
【請求項４】
前記塗布液の粘度が０．００５Ｐａ・ｓ以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１の塗布液の塗布方法。
【請求項５】
前記ウエブに塗布される塗布液のウエット膜厚が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れか１の塗布液の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布液の塗布方法に係り、特にスロットダイを使用して低粘度の塗布液を超薄膜塗布する塗布液の塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
減圧チャンバーを有するスロットダイを使用して、バックアップローラに支持されながらウエブに塗布液を塗布する塗布方法においては、ウエブの送りムラ、減圧変動、塗布液の送液時の脈動、スロットダイやバックアップローラの振動、ウエブの平坦性（凸凹の程度）等の外乱要因により、ウエブの走行方向において塗布膜の膜厚が段状のムラになる段状ムラが発生する。
【０００３】
ところで、液晶表示装置等に使用される反射防止、防眩性、視野角拡大等の高機能性薄層フィルムの製造は、これらの機能を有する塗布液をウエブに塗布することにより製造される。そして、近年は、高機能性薄層フィルムに所望の機能を高精度に発現させるために、従来の塗布液に比べて低粘度（例えば０．００５Ｐａ・ｓ以下）で、超薄膜（例えばウエット膜厚で１０μｍ以下）で塗布することが要求されている。かかる、低粘度・超薄膜塗布の場合には、塗布した後の塗布液のレベリング効果が期待できにくいことから、塗布時において段状ムラを如何に抑制するかが重要になる。このことから、上記した外乱自体の抑制や外乱に対して耐性の高いビード形状についての改善がなされてきた。
【０００４】
従来の段状ムラ抑制の対策としては、特許文献１において減圧度を−２００〜−３００Ｐａにすることが提案されている。また、特許文献２や３ではスロットダイのリップ先端にオーバーバイト形状をつけることが提案されている。また、特許文献４では、減圧チャンバにおける減圧度の変動を緩和するために、サイド／バックプレートのクリアランスを広げることが提案されている。
【特許文献１】特開２００３−２８５３４３号公報
【特許文献２】特表平９−５１１６８２号公報
【特許文献３】特開２００３−２１１０５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、段状ムラを抑制する従来の対策は、上記した低粘度・超薄膜塗布の場合における段状ムラ抑制対策としては十分ではなく、さらなる対策が要望されている。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、低粘度・超薄膜塗布の場合であっても、段状ムラの発生を効果的に抑制することのできる塗布液の塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、スロットダイで低粘度（例えば０．００５Ｐａ・ｓ以下）の塗布液を超薄膜（例えばウエット膜厚で１０μｍ以下）で塗布する場合において、バックアップローラに支持されて連続走行するウエブと、スロットダイのリップランドとの間に塗布液を液架橋して形成されるビードのウエブ上流側の減圧度Ｐb について鋭意研究した結果、次の知見を得た。
【０００８】
(1) スロットダイを加振して段状ムラが形成され易い条件下において、ビードのウエブ下流側の圧力Ｐ0 （通常は大気圧）に対するウエブ上流側の減圧度Ｐb を極めて小さくしたときには、減圧度Ｐb が大きい場合に比べて段状ムラの顕著な抑制効果が見られた。即ち、減圧度Ｐb を極めて小さくすることで、外乱に対して耐性を有するビードを形成することが可能である。
【０００９】
(2) 一方、減圧度Ｐb を小さくし過ぎて、下限減圧度ＰS1未満になると、ウエブに同伴されるエアがビードとウエブとの間に入り込むことに起因して塗布膜面にスジ故障が生じてしまう。
【００１０】
(3) そして、上記の相反する現象は、減圧度Ｐb の極めて狭い領域であるＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２においては生じず、スジ故障を発現させることなく段状ムラを効果的に抑制できることが分かった。本発明は上記知見に基づいてなされたものである。
【００１１】
本発明の請求項１は前記目的を達成するために、バックアップローラに支持されて連続走行するウエブ表面に、リップランドを近接配置させたスロットダイのスロット先端から塗布液を吐出して前記ウエブとの間にビードを形成すると共に、該ビードのウエブ上流側を減圧しながら前記ウエブ表面に塗布液を塗布する塗布液の塗布方法において、
前記ビードのウエブ下流側に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）が次式、                ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２
但し、
【００１２】
【数２】
2006095454.tif 000003
Ｐ0 ：ビードのウエブ下流側の圧力
Ｐb ：ビードのウエブ上流側の圧力
μ :塗布液の粘度（Ｐａ・ｓ）
ｖ :塗布速度（ｍ／分）
σ1 : 下流側ビードの表面張力（Ｎ／ｍ）
σ4 : 上流側ビードの表面張力（Ｎ／ｍ）
ｈ：ウエブに塗布された塗布液のウエット膜厚（ｍ）
ｄ：リップランドとウエブとのコーティングギャップ（ｍ）
ｌ1 ：下流側リップランドのウエブ走行方向の長さ（ｍ）
θ: ウエブとビードとの接触角
を満足するように前記Ｐb を設定して塗布することを特徴とする。
【００１３】
請求項１の発明は、スジ故障が発現する下限減圧度ＰS1を、viscocapillaryモデル（加工技術研究会編「コーティング」４０１頁参照）の式から求める場合であり、本発明によれば、ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２を満足するようにＰb を設定して塗布するようにしたので、スジ故障を発現させないように段状ムラを効果的に抑制できる。本発明は、高粘度・厚膜塗布にも適用できることは勿論であるが、特に段状ムラが発生しやすい、低粘度（例えば０．００５Ｐａ・ｓ以下）の塗布液を超薄膜（例えばウエット膜厚で１０μｍ以下）で塗布する場合において有効である。
【００１４】
ここで、Ｐ0 はビードのウエブ下流側の圧力で、通常大気圧であるので、大気圧に対するＰb の負圧の大きさがビードのウエブ下流側に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb になる。
【００１５】
本発明の請求項２は前記目的を達成するために、バックアップローラに支持されて連続走行するウエブ表面に、リップランドを近接配置させたスロットダイのスロット先端から塗布液を吐出して前記ウエブとの間にビードを形成すると共に、該ビードのウエブ上流側を減圧しながら前記ウエブ表面に塗布液を塗布する塗布液の塗布方法において、
予備運転により、前記ビードのウエブ上流側の減圧度Ｐb （ｋＰａ）を小さくしていったときに前記ウエブに塗布された塗布液膜面にスジ故障が発生し始める下限減圧度ＰS1（ｋＰａ）を予め求め、
本運転では、前記ビードのウエブ下流側に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）が次式、
ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２
但し、Ｐ0 ：ビードのウエブ下流側の圧力
Ｐb ：ビードのウエブ上流側の圧力
を満足するようにＰb を設定して塗布することを特徴とする。
【００１６】
請求項２の発明は、スジ故障が発現する下限減圧度ＰS1を予備運転（実装置による予備運転に限らず、実験装置等による予備試験も含む）により求める場合であり、本発明によれば、ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２を満足するようにＰb を設定して塗布するようにしたので、スジ故障を発現させないように段状ムラを効果的に抑制できる。
【００１７】
請求項３は請求項１又は２において、前記リップランドとウエブとのコーティングギャップｄが次式
ｄ＝（2 ｈ/1.34)( μｖ/ σ1 ) -2/3×α
0.25≦α＜1 
を満足するように設定されることを特徴とする。
【００１８】
これは、リップランドとウエブとの間の間隙であるコーティングギャップｄを狭め過ぎると段状ムラの発生につながるという、発明者の更なる知見に基づいてなされたもので、上記式を満足するようにコーティングギャップｄを設定することにより、段状ムラの発生を一層効果的に抑制することができる。
【００１９】
請求項４は請求項１〜３の何れか１において、前記塗布液の粘度が前記塗布液の粘度が０．００５Ｐａ・ｓ以下であることを特徴とする。
【００２０】
これは、塗布液の粘度が０．００５Ｐａ・ｓ以下の低粘度塗布において段状ムラが発生し易く、本発明がより有効だからである。
【００２１】
請求項５は請求項１〜４の何れか１において、前記ウエブに塗布される塗布液のウエット膜厚が１０μｍ以下であることを特徴とする。
【００２２】
これは、ウエブに塗布される塗布液のウエット膜厚（湿潤膜厚）が１０μｍ以下の超薄膜塗布において段状ムラが発生し易く、本発明がより有効だからである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、低粘度（例えば０．００５Ｐａ・ｓ以下）・超薄膜（ウエット膜厚が１０μｍ以下）塗布の場合であっても、段状ムラの発生を効果的に抑制することができる。従って、液晶表示装置等に使用される反射防止、防眩性、視野角拡大等の高機能性薄層フィルムを製造する際の塗布方法として好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下添付図面に従って本発明に係る塗布液の塗布方法の好ましい実施の形態について説明する。
【００２５】
図１は、本発明の塗布液の塗布方法を実施するためのスロットダイコータの構成図であり、図２はビード部分の拡大図である。
【００２６】
図１及び図２に示すように、スロットダイコーター１０は、バックアップローラ１２に支持されて連続走行するウエブ１４表面に、リップランド１６を近接配置させたスロットダイ１８のスロット先端から塗布液を吐出してウエブ１４との間に液架橋してビード２０を形成すると共に、該ビード２０のウエブ上流側を減圧しながらウエブ１４表面に塗布液を塗布する。
【００２７】
スロットダイ１８の内部には、マニホールド２２とスロット２４とが形成される。マニホールド２２は、スロットダイ１８に供給された塗布液をウエブ幅方向（塗布幅方向）に拡流する液溜め部であり、その断面が略円形でも、あるいは半円形でもよし、更には台形などの矩形状でもよい。マニホールド２２への塗布液の供給は、マニホールド２２の一端側から供給しても、マニホールド２２の中央部から供給してもよく、マニホールド２２の両端部には塗布液が漏れ出ることを防止する栓が設けられていてもよいし、マニホールド２２の一方端から液を供給し、他方端から一部の液を抜き取り、再び一方端に循環させるようにしてもよい。
【００２８】
スロット２４は、マニホールド２２からスロット先端に至る狭隘な塗布液の流路であり、スロット２４の両端部には、塗布幅を規制する塗布幅規制板が挿入されることが一般的である。スロット２４の開口部２４Ａが位置するスロットダイ１８の先端部分は先細り状に形成されており、その先端はリップランド１６と呼ばれる平坦部が形成される。ここで、スロット２４に対してウエブ走行方向の上流側（図１及び図２の下側）のリップランドを上流側リップランド１６Ａと称し、下流側（図１及び図２の上側）のリップランドを下流側リップランド１６Ｂと称する。
【００２９】
また、図１に示すように、スロットダイ１８の先端部分の下方には減圧チャンバー２６が設けられる。これにより、ビード２０のウエブ上流側が減圧される。尚、本実施の横型のスロットダイコータ１０の場合には、ビード２０のウエブ上流側とはビード２０下側であり、ビード２０のウエブ下流側とはビード上側である。図示しないが、縦型下向きのスロットダイの場合（図１を反時計回りに９０°回転させた状態）には、ビード２０のウエブ上流側とは、ビード右側であり、ビード２０のウエブ下流側とはビード左側である。減圧チャンバー２６は、その作動効率を保持するためのバックプレート２６Ａとサイドプレート２６Ｂを備えており、バックプレート２６Ａとウエブ１４の間、サイドプレート２６Ｂとウェブ１４の間にはそれぞれ隙間が存在する。
【００３０】
減圧チャンバー２６は、エア配管２８を介してブロア３０に接続されると共に、エア配管２８の途中には減圧チャンバー２６内の減圧度を調整するバルブ３２と、減圧チャンバー２６内の圧力変動を小さくするバッファ装置３４が設けられる。
【００３１】
減圧チャンバー２６内には、減圧チャンバ２６内の圧力（負圧）、即ちビード２０のウエブ上流側の圧力（負圧）を測定する圧力計３６が設けられると共に、圧力計３６で測定された圧力（負圧）はコントローラ３８に入力される。コントローラ３８には、以下の式を演算する演算回路が設けられる。
【００３２】
ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２…（１）
（１）式におけるＰS1は、ビードのウエブ上流側の減圧度Ｐb （ｋＰａ）を小さくしていったときにウエブ１４に同伴されるエアがビード２０とウエブ１４との間に入り込むことに起因して、ウエブ１４に塗布された塗布液膜面にスジ故障が発生し始めるコーティングウインドウ下限減圧度ＰS1（ｋＰａ）であり、次式（２）によって表される。式（２）は、viscocapillaryモデル（加工技術研究会編「コーティング」４０１頁参照）を使用したものである。
【００３３】
【数３】
2006095454.tif 000004
…（２）
ここで、図２に示されるように、Ｐ0 はビード２０のウエブ下流側の圧力で、通常大気圧で常に一定である。Ｐb はビード２０のウエブ上流側の圧力（負圧）であり、圧力（負圧）の大きさが、上記（１）式におけるビード２０のウエブ下流側に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb になる。
【００３４】
ｈはウエブ１４に塗布された塗布液のウエット膜厚（ｍ）、ｄはリップランド１６Ａと１６Ｂのうちウエブ１４と近い方のリップランドとの間隙であるコーティングギャップ（ｍ）、ｌ1 は下流側リップランド１６Ｂのウエブ走行方向の長さ（ｍ）、θはウエブ１４とビード２０との接触角である。また、μはウエブ１４に塗布される塗布液の粘度（Ｐａ・ｓ）、σ1 は下流側（図１及び図２の上側）ビードの表面張力（Ｎ／ｍ）、σ4 は上流側（図１及び図２の下側）ビードの表面張力（Ｎ／ｍ）である。また、ｖは塗布速度（ｍ／秒）、即ちウエブ１４の搬送される速度である。
【００３５】
そして、これら下限減圧度ＰS1を演算するのに必要なパラメータの数値は、測定或いは設定されてコントローラ３８に入力される。ビードの表面張力（Ｎ／ｍ）であるσ1 やσ4 は、例えば協和界面科学（株）製の動的表面張力計ＢＰ−Ｄ４で測定することができる。コントローラ３８は、入力されたパラメータの数値から式（２）に基づいて下限減圧度ＰS1（ｋＰａ）を演算し、ビード２０のウエブ下流側の圧力Ｐ0 に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）が上記（１）式を満足するようにバルブ３２の開度を調整してＰb を設定する。このように設定されたＰb の減圧度条件下で塗布液を塗布することにより、スジ故障を発現させないように段状ムラを効果的に抑制できる。
【００３６】
尚、上記（１）式におけるより好ましい減圧度Ｐ0 −Ｐb の範囲は式（３）であり特に好ましくは式（４）の範囲である。、
ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．１５…（３）
ＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．１  …（４）
上記実施の形態では、スジ故障が発現する下限減圧度ＰS1を、viscocapillaryモデルの式から求めるようにしたものであるが、予備運転によって求めるようにしてもよい。
【００３７】
即ち、予備運転（実験装置等による予備試験も含む）により、ビード２０のウエブ下流側の圧力Ｐ0 に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）を小さくしていったときにウエブ２０に塗布された塗布液膜面にスジ故障が発生し始めたときの圧力計３６の負圧値を把握し、このときの負圧値を下限減圧度ＰS1（ｋＰａ）とする。塗布液膜面にスジ故障が発生し始めたか否かは、目視による観察で行う。そして、本運転では、予備運転で求めた下限減圧度ＰS1（ｋＰａ）を使用して、Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）が上記（１）式、より好ましくは式（３）、特に好ましくは式（４）を満足するようにバルブ３２の開度を調整してＰb 値を設定する。このように設定されたＰb の減圧度条件下で塗布液を塗布することにより、スジ故障を発現させないように段状ムラを効果的に抑制できる。
【００３８】
このように、上記（１）式を満足するように、ビード２０のウエブ下流側の圧力Ｐ0 に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）を調整した場合、上流側リップランド１６Ａに接触するビード２０の下メニスカス位置Ｍは、図２に示すように上流側リップランド１６Ａの途中に位置する。
【００３９】
また、段状ムラの発生を一層抑制するには、リップランド１６とウエブ１４とのコーティングギャップｄが次式（５）及び（６）を満足することが好ましい。
【００４０】
ｄ＝（2 ｈ/1.34)( μｖ/ σ1 ) -2/3×α…（５）
0.25≦α＜1                         …（６）
ここで、ｈ、μ、ｖ、σ1 は式（２）で説明したと同様であり、αは係数であり、コーティングギャップの対架橋限界比である。
【００４１】
コーティングギャップｄを上記（５）及び（６）を満足するように設定するには、上記（２）式に代入するために測定、あるいは設定したパラメータの数値、及び式（６）の範囲の係数αを式（５）に代入してコーティングギャップｄを計算したら、塗布運転前にスロットダイ１８とバックアップローラ１２の少なくとも一方を移動して、計算したコーティングギャップｄに調整する。この状態で上記（１）式を満足するように塗布運転を開始する。
【００４２】
尚、上記式（６）において、より好ましいαの範囲は式（７）であり、特に好ましくは式（８）の範囲である。
【００４３】
0.50≦α＜1                     …（７）
0.70≦α＜1                     …（８）
本発明の塗布方法において、ウエブ１４に塗布される塗布液としては、光学補償シート塗布液、反射防止フィルム塗布液、磁性塗布液、写真感光性塗布液、表面保護、帯電防止あるいは滑性用塗布液等を使用することができ、ウエブ１４に塗布された塗布液は、乾燥された後、所望する長さ及び幅に裁断される。
【００４４】
塗布液の溶媒としては、公知の各種溶媒、例えば水、各種ハロゲン化炭化水素、アルコール、エーテル、エステル、ケトンなどを単独あるいは複数混合して使用することができる。
【００４５】
また、ウエブ１４としては公知の各種ウエブを用いることができる。一般的にはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等の公知の各種プラスチックフィルム、紙、紙にポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等の炭素数が２〜１０のα−ポリオレフィン類を塗布またはラミネートした各種積層紙、アルミニウム、銅、スズ等の金属箔等、帯状基材の表面に予備的な加工層を形成させたもの、あるいはこれらを積層した各種複合材料が含まれる。
【実施例】
【００４６】
以下に本発明の実施例を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４７】
（塗布液の調製）
シクロヘキサン１９３質量部及びメチルエチルケトン６２３質量部に、光重合開始剤（イルカギュア９０７、チバガイギー社製）１．７質量部及び反応性シリコーン（Ｘ−２２−１６４Ｂ、信越化学工業（株）製）１．７質量部を溶解した。更に、下記（化２）に示す含フッ素共重合体の１８．４質量％のメチルイソブチルケトン溶液１８２質量部を添加し、攪拌した後、孔径３μｍのポリプロピレン製フィルタ（ＰＰＥ−０３）で濾過して塗布液を調製した。この塗布液の粘度は１．０ｃＰ、表面張力は２３．０dyne/cm （０．０２３Ｎ／ｍ）であった。
【００４８】
【化１】
2006095454.tif 000005
（塗布膜の作成）
下流側リップランドの長さｌ1 が５０μｍのスロットダイ１８を用いて、８０μｍの厚さのセルローストリアセテートフィルム（商品名；ＴＡＣ−ＴＤ８０Ｕ、富士写真フイルム（株）製）のウエブ１４に、上記調製した塗布液をウエット膜厚で３．５μｍになるように塗布した。塗布した塗布膜を１００°Ｃで乾燥した後、紫外線を照射して塗布膜を硬化させた。このように作成された塗布膜の屈折率は１．４３であり、平均膜厚は８６ｎｍであった。
【００４９】
［実施例１］
ビード２０のウエブ下流側に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）がＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２の範囲を満足する場合と満足しない場合とで、ウエブ１４に塗布された塗布液膜面の段状ムラの発現がどのように変わるかを試験した。
【００５０】
試験結果の評価は、ウエブ走行方向の膜厚分布、即ち段状ムラの程度を測定し、膜厚分布が殆どなく極めて良い膜面状態の段状ムラレベルを◎、膜厚分布の程度が小さく良好な膜面状態の段状ムラレベルを○、膜厚分布の程度が塗布製品として問題ない膜面状態の段状ムラレベルを△、膜厚分布の程度が大きく塗布製品として問題ある膜面状態の段状ムラレベルを×とした。
【００５１】
その結果を表１に示す。尚、試験は、塗布速度ｖが２０ｍ／分の場合と、４０ｍ／分の場合について行うと共に、塗布速度ｖが２０ｍ／分のときのコーティングギャップｄを８０μｍとし、塗布速度ｖが４０ｍ／分のときのコーティングギャップｄを５０μｍとした。尚、表１において、「コーティングウインドウ下限減圧度との差」とは、減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）とコーティングウインドウ下限減圧度ＰS1（ｋＰａ）との差を意味する。
【００５２】
【表１】
2006095454.tif 000006
表１の結果から分かるように、ビード２０のウエブ下流側に対するウエブ上流側の減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）がＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２の範囲を満足する試験No.２〜５及び試験No.８〜No.１１は◎〜△の範囲であり、塗布製品として合格な段状ムラレベルであった。特に、減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）が０．０５（ｋＰａ）と減圧度を極めて小さくした場合のウエブ走行方向の膜厚分布は０．８％と殆どなく極めて良い膜面状態であった。
【００５３】
これに対し、減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）がコーティングウインドウ下限減圧度ＰS1（ｋＰａ）と一致する試験No.１及びNo.７では、スジ故障が時々発現し、塗布製品として不合格なものであった。また、減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）がＰS1＋０．２を超えた試験No.６及びNo.１２は、ウエブ走行方向の膜厚分布は４．０％と大きく、段状ムラレベルで×の評価であった。
【００５４】
この試験結果から、減圧度Ｐ0 −Ｐb （ｋＰａ）がＰS1＜Ｐ0 −Ｐb ≦ＰS1＋０．２の範囲を満足するようにバルブ３２の開度を調整してＰb を設定し、この設定されたＰb の減圧度条件下で塗布液を塗布することにより、スジ故障を発現させないように段状ムラを効果的に抑制できた。
【００５５】
［実施例２］
実施例２は、コーティングギャップｄが次式、ｄ＝（2 ｈ/1.34)( μｖ/ σ1 ) -2/3×α、及び0.25≦α＜1 を満足する場合と、満足しない場合とで、ウエブ１４に塗布された塗布液膜面の段状ムラの発現がどのように変わるかを試験した。試験は、塗布速度ｖを３０ｍ／分、及びコーティングウインドウ下限減圧度との差を０．２０（ｋＰａ）に固定して行った。試験結果を表２に示すと共に、試験結果の評価方法は実施例１と同様である。
【００５６】
【表２】
2006095454.tif 000007
表２の結果から分かるように、コーティングギャップの対架橋限界比αが、0.25≦α＜1 を満足する試験No. ２〜４は、段状ムラレベルが△〜◎の範囲で塗布製品として合格であるのに対し、対架橋限界比αが０．１５で、0.25≦α＜1 の下限未満の場合には、段状ムラレベルが不合格であった。また、対架橋限界比αが0.25≦α＜1 の上限に近づくに従って段状ムラレベルが良くなった。このことから、段状ムラの発生を一層抑制するには、リップランド１６とウエブ１４とのコーティングギャップｄが次式、ｄ＝（2 ｈ/1.34)( μｖ/ σ1 ) -2/3×α、及び0.25≦α＜1 を満足することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の塗布液の塗布方法を実施するスロットダイコータの一例を示した構成図
【図２】スロットダイコータにおけるビード部分の拡大図
【符号の説明】
【００５８】
１０…スロットダイコータ、１２…バックアップローラ、１４…ウエブ、１６…リップランド、１６Ａ…上流側リップランド、１６Ｂ…下流側リップランド、１８…スロットダイ、２０…ビード、２２…マニホールド、２４…スロット、２６…減圧チャンバー、２８…エア配管、３０…ブロア、３２…バルブ、３４…バッファ装置、３６…圧力計、３８…コントローラ
【図１】
2006095454.tif 000009
【図２】
2006095454.tif 000010