(57)【要約】【課題】部品点数を増加させることなく、ノズル面を、記録媒体（例えば印字用紙）との摩擦から保護することができるインクジェットプリンタ用ヘッドを提供する。【解決手段】インクを噴射する複数のノズル穴３ａと、ノズル穴３ａ毎に連通した複数の圧力室１９ａと、圧力室１９ａに供給するインクを一時的に貯留するマニホールド（マニホールド穴１４ａ，１５ａ）とを含むキャビティユニット２１と、ノズル穴３ａからインクを噴射させる圧電アクチュエータ２２とを有する。キャビティユニット２１は、複数のノズル穴３ａが形成された合成樹脂製のノズルフィルム３と、ノズルフィルム３の一面側に接着され、かつ記録媒体に対向して配置されるカバープレート４と、ノズルフィルム３の他面側に接着され、かつマニホールドを構成するマニホールド穴１４ａ，１５ａが形成されたマニホールドプレート１４，１５とからなる積層体を含む。カバープレート４には、ノズル穴３ａに対向して貫通された貫通穴４ａと、ノズルフィルム３を介してマニホールド穴１４ａ，１５ａに対向して開口する凹部４ｂが形成されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを噴射する複数のノズル穴、前記ノズル穴毎に連通した複数の圧力室及び記圧力室に供給するインクを一時的に貯留するマニホールドを含むキャビティユニットと、前記ノズル穴からインクを噴射させるアクチュエータとを有し、記録媒体に前記インクを噴射して記録するインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、
前記キャビティユニットは、
少なくとも、前記複数のノズル穴が形成された合成樹脂製のノズルフィルムと、前記ノズルフィルムの一面側に接着され、かつ前記記録媒体に対向して配置される補強プレートと、前記ノズルフィルムの他面側に接着され、かつ前記マニホールドを構成するマニホールド穴が形成されたマニホールドプレートとからなる積層体を含み、
前記補強プレートには、
前記ノズル穴に対向して貫通された貫通穴と、前記ノズルフィルムを介して前記マニホールド穴に対向して開口する凹部が形成されていることを特徴とするインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項２】
前記積層体の積層方向に見たときに、
前記貫通穴は、前記ノズル穴より大きな開口面積を有し、前記凹部は、前記マニホールド穴と同じ形状と同じサイズを有していることを特徴とする請求項１記載のインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項３】
前記凹部が、前記ノズルフィルムの一面によって封止されてダンパー室を形成し、当該ダンパー室内にはシリコン封止材などの弾性体が封入されていることを特徴とする請求項２記載のインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項４】
前記貫通穴は、外側に向かって開口面積が徐々にあるいは段階的に大きくなる構成されていることを特徴とする請求項１〜３記載のインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項５】
前記貫通穴は、隣り合う複数のノズル穴に対して１つ設けられる構成とされていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項６】
前記補強プレートは、少なくとも前記貫通穴の内側に撥水膜が形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットプリンタ用ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタ用ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、紙等の記録媒体に記録を行う記録装置として、記録媒体にインクを噴射して記録するインクジェットプリンタが知られている。このようなインクジェットプリンタに用いられるヘッド、すなわちインクジェットプリンタ用ヘッドとしては、図５に示すように、インクを噴射する複数のノズル穴１１ａ、ノズル穴１１ａ毎に連通した複数の圧力室１９ａ及びこの圧力室１９ａに供給するインクを一時的に貯留するマニホールド（マニホールド穴１４ａ，１５ａ）を含むキャビティユニット２０１と、ノズル穴１１ａからインクを噴射させる圧電アクチュエータ２２とを有するものが知られている。
【０００３】
キャビティユニット２０１は、ノズルフィルム１１と、複数枚のプレートからなる積層体を含む。この積層体は、スペーサプレート１２、ダンパープレート１３、２枚のマニホールドプレート１４，１５、サプライプレート１６、アパーチャープレート１７、ベースプレート１８及びキャビティプレート１９がそれぞれ重ねられて接着剤にて接合されたものである。なお、マニホールド穴１４ａ，１５ａを圧力室１９ａに連通するための連通穴１６ａ，１８ａ及び連通路１７ａ、並びに圧力室１９ａをノズル穴１１ａに連通するための連通穴１２ａ，１３ｂ，１４ｂ，１５ｂ，１６ｂ，１７ｂ及び１８ｂが、各プレートに形成されている。ダンパープレート１３には、マニホールド内のインクの振動を減衰させるダンパー室となる凹部１３ａが形成されている。この凹部１３ａは、ノズルフィルム１１側に向かう開口を有している。
【０００４】
このようなインクジェットプリンタ用ヘッドは、図６に示すようにして製造される。つまり、片面に予め撥水処理を施している、ノズル材料としてのポリイミドフィルム１１’（厚さ７５μｍ）をノズルの形成領域に合わせてカットして、矩形状のノズルフィルム１１を得る。それから、このノズルフィルム１１を、ノズル穴１１ａの加工用貫通穴１２ａが形成されたスペーサプレート１２（図７（ａ）参照）に対し接着し、スペーサプレート１２側からエキシマレーザでノズル穴１１ａを開口する。すなわち、図７（ｂ）に示すように、ノズル穴１１ａが、貫通穴１２ａに対応した位置に開口される。このようにノズルフィルム１１をスペーサプレート１２に接着してノズル穴を加工するのは、（加熱・吸湿による）ノズルフィルム１１の伸縮によってノズル位置精度のバラツキが生じるのを防止するためである。
【０００５】
それから、スペーサプレート１２側に、予めエッチング加工された７枚のプレート１３〜１９が接着された積層体パーツ２００、インクタンク（図示せず）から供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ２３、圧電アクチュエータ２２及び、駆動ＩＣ２４を有するフレキシブル配線基板２５を接着あるいは溶着して、インクジェットプリンタ用ヘッドとする。
【０００６】
ところで、このように、記録媒体（紙面）側より、ノズルフィルム、複数枚の中間プレート、圧電アクチュエータを順に積層して構成されるインクジェットプリンタ用ヘッドはすでに知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−０２５６３６号公報（段落００１４〜００２０及び図２、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
インクジェットプリンタ用ヘッドを、ノズルフィルムや圧電アクチュエータのほか、複数枚の中間プレートを用いて構成すると、中間プレートの枚数が多くなるにつれてコストも高くなる。
【０００８】
また、一般にノズルフィルムのノズル面（記録媒体側の面）にはインク滴が付着しないように撥水膜が塗布により形成される。そのような撥水膜は、反り返った印字用紙の端部やジャム紙との摩擦、いわゆる紙面摩擦で傷つけられやすい。ノズル付近の撥水膜が傷つけられると、ノズル付近にインク滴が付着して、吐出不良（不吐出、曲がりなど）や、記録媒体（印字紙）の表面を汚す等の問題が生ずる。
【０００９】
さらに、近年の、インクジェットプリンタの小型化の結果、前述したような紙面摩擦の可能性は高くなっている。つまり、(i)プリンタの前側下部から給紙する方式が採用され、この方式による紙送りローラの小型化で記録媒体が大きく曲げられるので、記録媒体の反り返りが大きくなる傾向にあること、(ii)広い印字範囲を確保するため、記録媒体の左右側縁付近にも印字する、いわゆる縁なし印字の要求の結果、記録媒体の左右側縁を抑える紙面抑え板が廃止され、記録媒体の側縁の浮き上がりが大きくなることなどを原因として、前述したような紙面摩擦の可能性は高くなっている。
【００１０】
そこで、このような紙面摩擦を回避するために、ノズル面にカバープレートを設けることが考えられる。しかしながら、近年においては複数のインク色を吐出するよう複数のノズル列が構成され、ノズル穴が広範囲な面積に亘って形成されているため、ノズルフィルムもヘッド外形とほぼ同等の大きさとなっている。そのため、ノズル面を保護するカバープレートを取り付ける部分を確保するのが、実質的に困難である。また、撥水膜は、ノズルフィルム全面に亘って塗布により形成されているので、この点からもノズルフィルムの、非ノズル列領域にカバープレートを装着することができない。
【００１１】
本発明は、部品点数を増加させることなく、ノズル面を、記録媒体（例えば印字用紙）との摩擦から保護することができるインクジェットプリンタ用ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１の発明は、インクを噴射する複数のノズル穴、前記ノズル穴毎に連通した複数の圧力室及び前記圧力室に供給するインクを一時的に貯留するマニホールドを含むキャビティユニットと、前記ノズル穴からインクを噴射させるアクチュエータとを有し、記録媒体に前記インクを噴射して記録するインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記キャビティユニットは、少なくとも、前記複数のノズル穴が形成された合成樹脂製のノズルフィルムと、前記ノズルフィルムの一面側に接着され、かつ、前記記録媒体に対向して配置される補強プレートと、前記ノズルフィルムの他面側に接着され、かつ、前記マニホールドを構成するマニホールド穴が形成されたマニホールドプレートとからなる積層体を含み、前記補強プレートには、前記ノズル穴に対向して貫通された貫通穴と、前記ノズルフィルムを介して前記マニホールド穴に対向して開口する凹部が形成されていることを特徴とする。ここで、アクチュエータは、ピエゾ式でもバブル式でもよい。
【００１３】
このようにすれば、ノズルフィルムを介して前記マニホールド穴に対向して開口する凹部が補強プレートに形成され、その凹部が、ノズルフィルムを介してマニホールド内のインクの振動を減衰させるダンパー室として機能するようにしているので、従来マニホールド穴（マニホールド空間）が形成されたマニホールドプレートとノズルフィルムとの間に必要とされたダンパープレート（図５におけるプレート１３）を省略することが可能となる。よって、部品点数（プレートの枚数）を低減することができる。
【００１４】
この場合、ダンパー室として機能する凹部が、ダンパー効果が高い合成樹脂製のノズルフィルムを介してマニホールド（マニホールド穴）に対向することになるので、マニホールド内のインクの振動が無理なく減衰される。
【００１５】
また、このように補強プレートの凹部をダンパー室として機能させるので、従来マニホールド穴（マニホールド空間）が形成されたマニホールドプレートとノズルフィルムとの間に必要とされたダンパープレートを省略することが可能となる。
【００１６】
請求項２の発明は、請求項１記載のインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記積層体の積層方向に見たときに、前記貫通穴は、前記ノズル穴より大きな開口面積を有し、前記凹部が、前記マニホールド穴と同じ形状と同じサイズを有しているものである。
【００１７】
このようにすれば、前記積層体の積層方向に見たときに、前記貫通穴が、前記ノズル穴より大きな開口面積を有するので、貫通穴を通じてノズル穴を開口する作業が容易である。
【００１８】
また、前記凹部は、前記マニホールド穴と同じ形状と同じサイズを有し、貫通穴を設けていない部分に設けられているので、インクジェットプリンタ用ヘッドとしての機能を損なうこともなく、補強プレートにダンパー室（凹部）を形成することができる。
【００１９】
請求項３の発明は、請求項２記載のインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記凹部が、前記ノズルフィルムの一面によって封止されてダンパー室を形成し、当該ダンパー室内にはシリコン封止材などの弾性体が封入されているものである。
【００２０】
このようにすれば、ダンパー室内には弾性体が封入されているので、合成樹脂製のノズルフィルムを通じてマニホールド側にエアが浸透したりマニホールド側から水分が蒸発したりするのが防止される。また、ダンパー室（凹部）内に弾性体が封入されるので、補強プレートの剛性が高められる。
【００２１】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記貫通穴が、外側に向かって開口面積が徐々にあるいは段階的に大きくなる構成されているものである。
【００２２】
このようにすれば、前記記録媒体に対向して配置される補強プレートに、前記ノズル穴に対向して貫通された貫通穴は外側に向かって開口面積が徐々にあるいは段階的に大きくなるので、ノズル穴周辺の残留インクが貫通穴を通じて外部に出やすくなる。
【００２３】
請求項５の発明は、請求項１〜４記載のインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記貫通穴は、隣り合う複数のノズル穴に対して１つ設けられる構成とされているものである。
【００２４】
このようにすれば、ノズル穴が千鳥状に近接して配置されている場合にも、１つの貫通穴を設ければよいので、貫通穴の加工が容易である。また、貫通穴の開口面積が大きくなるので、ノズル面を清掃するワイパーが、貫通穴内へ進入することが容易になり、ノズル穴近傍の清掃性能（いわゆるワイピング性能）がより一層向上する。
【００２５】
請求項６の発明は、請求項１〜５記載のインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記補強プレートが、少なくとも前記貫通穴の内側に撥水膜が形成されているものである。
【００２６】
このようにすれば、補強プレートが、少なくとも前記貫通穴の開口の内側に撥水膜が形成されていても、反り返った記録媒体の末端やジャム紙が貫通穴の内側に進入しにくいので、紙面摩擦で撥水膜が傷つけられるおそれが低減される。よって、撥水膜が傷つけられるおそれが低減されるので、ノズル付近にインク滴が付着することを原因として、吐出不良（不吐出、曲がりなど）や、記録媒体の記録面を汚す等の問題が発生するのを抑制できる。
【発明の効果】
【００２７】
以上のように構成したから、本発明は、ノズル面を保護する補強プレートに、ノズルフィルムを介してマニホールド穴に対向して開口する凹部を形成し、その凹部を（ノズルフィルムを介してマニホールド内のインクの振動を減衰させる）ダンパー室として機能させるようにしているので、従来マニホールド穴（マニホールド空間）が形成されたマニホールドプレートとノズルフィルムとの間に必要とされたダンパープレートを省略することが可能となり、部品点数（プレートの枚数）を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。
【００２９】
図１は本発明に係る一実施の形態であるインクジェットプリンタ用ヘッドを示す断面図である。
【００３０】
図１において、インクジェットプリンタ用ヘッド１は、記録媒体にインクを噴射して記録するもので、インクを噴射する複数のノズル穴３ａと、ノズル穴３ａ毎に連通した複数の圧力室１９ａと、この圧力室１９ａに供給するインクを一時的に貯留するマニホールド（マニホールド穴１４ａ，１５ａ）とを含む矩形板状のキャビティユニット２１と、ノズル穴３ａからインクを噴射させる圧電アクチュエータ２２（例えばピエゾ素子）とを有する。
【００３１】
キャビティユニット２１は、６枚の中間プレート（２枚のマニホールドプレート１４，１５、サプライプレート１６、アパーチャープレート１７、ベースプレート１８及びキャビティプレート１９）が接着剤にて接着されてなる積層体パーツ２０と、インクを噴射する複数のノズル穴３ａを備えたノズルフィルム３及びカバープレート４が上側から順に積層されて、積層体として構成されている。
【００３２】
キャビティユニット２１の各要素及び圧電アクチュエータ２２は接着剤を介して接合され、さらに、圧電アクチュエータ２２の上面に、駆動信号を供給するためのフレキシブル配線基板２５が接合されて、インクジェットプリンタ用ヘッド１が製造される。このインクジェットプリンタ用ヘッド１は、図示しないキャリッジに着脱自在に装着される。記録媒体にインクを噴射して記録を行う場合には、記録媒体の搬送に同期して、キャリッジとともにこのインクジェットプリンタ用ヘッド１を主走査方向に往復移動する。このインクジェットプリンタ用ヘッド１には、制御基板に接続されたフレキシブル配線基板２５により、印字データに基づく駆動信号が供給される。これに対応して、インクジェットプリンタ用ヘッド１の圧電アクチュエータ２２が変形して圧力室１９ａ内のインクに吐出エネルギーを与える。このとき、この圧力室１９ａに対応するノズル穴３ａからインクが吐出することになる。
【００３３】
積層体パーツ２０を構成する各プレート１４〜１９は４２％ニッケル合金鋼板製のプレートで、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さである。この各プレート１４〜１９には、電解エッチング、レーザ加工、プラズマジェット加工等の加工方法により、複数の圧力室１９ａ、この圧力室１９ａに供給するインクを一時的に貯留するマニホールドを構成するマニホールド穴１４ａ，１５ａが形成されている。また、マニホールド穴１４ａ，１５ａを圧力室１９ａに連通するための連通穴１６ａ，１８ａ及び連通路１７ａ、並びに圧力室１９ａをノズル穴３ａに連通するための連通穴１４ｂ，１５ｂ，１６ｂ，１７ｂも、同様の加工方法にて形成されている。
【００３４】
つまり、図１に示すように、圧力室１９ａが最上層のキャビティプレート１９に形成され、マニホールド穴１４ａ、１５ａが下層に位置するマニホールドプレート１４，１５にそれぞれ形成されている。そして、各プレート１４〜１９を積層して接着することで、ノズル穴３ａと圧力室１９ａとを結ぶ流路及びこの圧力室１９ａとマニホールドを結ぶ流路とが積層体パーツ２０内に形成される。すなわち、マニホールドから各圧力室１９ａを介してノズル穴３ａに至る複数の個別インク流路が形成される。マニホールドのインク供給側端部は、フィルター２３を介して外部のインクタンクと連通される。なお、積層体パーツ２０の最下層にはマニホールドプレート１４が配置され、マニホールド穴１４ａとノズル穴３ａに連通することになる連通穴１４ｂとがそれぞれ開口している。マニホールド穴１４ａは、積層体パーツ２０の長手方向（副走査方向）に延在し、このマニホールド穴１４ａに沿って複数の連通穴１４ｂが列状に形成されている。また、このマニホールドプレート１４のマニホールド穴１４ａは、ノズルフィルム３によって封止される。
【００３５】
ノズルフィルム３には、微小径（この実施の形態では２５μｍ程度）のインク噴射用のノズル穴３ａが、マニホールドプレート１４の連通穴１４ｂに対応して形成されている。本実施の形態では、ノズルフィルム３における長辺方向に沿って複数列状に設けられている。
【００３６】
複数のノズル穴３ａが形成された合成樹脂製のノズルフィルム３の一面側には、記録媒体（印字用紙）に対向して配置されるカバープレート４（補強プレート）が接着されている。そして、ノズルフィルム３の他面側には、前記マニホールドを構成するマニホールド穴１４ａが形成されたマニホールドプレート１４が接着されている。このカバープレート４，ノズルフィルム３及びマニホールドプレート１４によって、本発明の１つの特徴点である、キャビティユニット２１に含まれる積層体の一部が構成される。このカバープレート４は、上述の積層体パーツ２０と同じ４２％ニッケル合金鋼板製で約５０μｍの厚さを有している。
【００３７】
カバープレート４（補強プレート）には、図３（ａ）に示すように、各ノズル穴３ａの位置に対応して同心円状に貫通穴４ａが設けられている。その貫通穴４ａの径は、ノズル穴３ａの径より大きく形成されている。本実施の形態では、ノズルフィルム３側の開口径がノズル穴３ａの径の約４倍となっている。また、貫通穴４ａは、記録媒体側に向かってその開口径（開口面積）が、徐々に大きくなるように構成することが望ましいが、本実施の形態では、記録媒体側に向かって開口径（開口面積）が２段階で大きくなっている。また、１つのノズル穴３ａに対して１つの貫通穴４ａが形成されている。
【００３８】
さらに、カバープレート４には、下面側に薄い厚さの天板部を残して凹部４ｂが形成されている。この凹部４ｂが、上側のノズルフィルム３とともに、マニホールド穴１４ａ，１５ａに対向して開口するダンパー室として機能する。よって、ノズルフィルム３がダンパープレートとしても機能することになるので、従来必要とされたダンパープレート１３（図５参照）は省略できる。なお、凹部４ｂは、ダンパーとして働くノズルフィルム３の変位を妨げることがない程度の深さを有しておればよい。
【００３９】
前記積層体の積層方向（ヘッドに直交する方向）に見たときに、凹部４ｂは、マニホールド穴１４ａ，１５ａと同じ形状で、同じサイズ（開口面積）を有している。この凹部４ｂに沿うようにして、複数の貫通穴４ａが列状に隣接配置されている。
【００４０】
このようなインクジェットプリンタ用ヘッドは、図２に示すようにして製造される。つまり、ノズル材料としての、合成樹脂フィルム３’（ポリイミドフィルム：厚さ７５μｍ）をノズルの形成領域に対応してカットし、矩形状のノズルフィルム３を得る。それから、このノズルフィルム３を、ノズル穴４ａの加工用貫通穴４ａが形成されたカバープレート４（図３（ａ）参照）に対し接着し、ノズルフィルム３側からエキシマレーザでノズル穴３ａを形成する作業を行う。これにより、図３（ｂ）に示すように、ノズルフィルム３に、貫通穴４ａに対応した位置にノズル穴３ａが開口される。このようにノズルフィルム３をカバープレート４に接着してノズル穴を加工している。これは、ノズルフィルム３が熱膨張係数の大きな合成樹脂製であり吸湿性もあるためで、これらに起因したノズルフィルム３の伸縮によってノズル位置精度のバラツキを防止するためである。また、可撓性の高いノズルフィルム３は、取り扱いにくく作業勃率を落とす要因でもあるが、剛性の高いカバープレート４と一体にした後にノズル穴３ａを形成するので、作業効率が高くなる。すなわち、製造時において、ノズルフィルム３をカバープレート４が補強している。これにより、少なくとも金属製のプレ−トを扱うのと同等のハンドリング性が得られている。
【００４１】
それから、カバープレート４側から、貫通穴４ａ内も含めて撥水処理（撥水膜塗布処理）を施し、ノズルフィルム３側に、予め内部に流路を形成するようにプレート１４〜１９が接着された積層体パーツ２０、圧電アクチュエータ２２、フィルタ２３及び、駆動ＩＣ２４を有するフレキシブル配線基板２５を接着あるいは溶着して、インクジェットプリンタ用ヘッド１とする。よって、ノズル穴開け加工のための補強プレートとして働いたカバープレート４は、最終的には、ノズルフィルム３の記録媒体側に配置する（図１参照）。
【００４２】
このように作られたインクジェットプリンタ用ヘッドに、フレキシブル配線基板２５を介して駆動信号が供給されると、圧電アクチュエータ２２によってインクが、圧力室１９ａに連通する各連通穴１４ｂ〜１８ｂを介して、ノズルフィルム３に形成されたノズル穴３ａから噴射される。このときに消費されたインクは、マニホールド（マニホールド孔１４ａ、１５ａ）から連通穴１６ａ，１８ａ及び連通路１７ａを介して補給される。
【００４３】
このような使用に際して、仮に、搬送される記録媒体がノズル面に衝突するようなことがあっても、カバープレート４によって、少なくとも貫通穴４ａ内に露出するノズル穴３ａはその影響を受けることがない。すなわち、貫通穴４ａ内において、ノズル穴３ａの周囲には常に所期の撥水性を発揮する撥水膜が存在していることになり、インクの良好な突出特性が維持されることになる。また、同じマニホールドに連通する圧力室１９ａがインクを噴射するときに発生する圧力波は、このマニホールドを介して圧力室１９ａと特定の位置関係にある別の圧力室１９ａに伝搬することがある。これに伴って、各圧力室１９ａ間でインクの吐出特性にばらつきが生じる。しかし、マニホールドの底面を、ノズルフィルム３が構成し、これがダンパーとしても働くので、マニホールド内を伝搬する不必要な圧力波があったとしても、他の圧力室１９ａにおける吐出特性に影饗を及ぼさない程度まで減衰してしまう。本実施の形態では、ダンパーが可撓性の高い合成樹脂（ポリイミドフィルム）で形成されているので、上述のようなクロストークの影響はほとんど無い。
【００４４】
ところで、インクジェットプリンタは連続運転されることはまれで、休止期間の長さによっては、インクの粘度が高くなりすぎることがある。あるいは、インクの供給源であるインクタンク（図示せず）を交換することでインクジェットプリンタ用ヘッド１内に気泡やゴミが侵入することがある。これに対して、強制的にインクをノズル穴３ａから排出するパージ処理を所定のタイミング毎に行って、インクの吐出特性の回復や維持をする。
【００４５】
このパージ処理では、ノズル面（カバープレート４の記録媒体側表面）に吸引キャップを被せてインクの排出を行う。このとき、単にインクがノズル穴３ａから流出してくるだけではなく、キャップ内に存在する空気を巻き込んで泡立つ傾向がある。さらに、微小気泡とインク滴が混合した状態のものがカバープレート４の表面に付着するので、ゴムのような弾性体でできたワイパーでこのノズル面を払拭する。これにより、カバープレート４の表面はクリーニングされる。
【００４６】
ところで、前述した実施の形態では、記録媒体との摩擦で撥水膜が傷付くのを回避するために、ノズル穴３ａ近傍まで金属製のカバープレート（補強プレート）を設けているが、このような構成では、撥水膜が形成されているとはいえ、パージ直後にワイパーによるワイピングを行っても完全に貫通穴４ａ内のインクを除去することができない。
【００４７】
また、パージ後の吸引キャップ内は、上述したように、微小気泡とインク滴が混合して存在する状態であり、ノズル穴３ａ近傍に付着した気泡混合インクは吸引キャップが離脱してノズル面が大気に開放されると、インクジェットプリンタ用ヘッド１との図示しないインクタンクとの間で生じる水頭差によりノズル穴内に引き込まれることがある。その結果、インク流路内に気泡が残る。そのような気泡が残りインクに混入すると、印字時に圧電アクチュエータの発生する圧力波を減衰させてしまうので、安定した吐出ができない場合が多い。そのため、インクは脱気状態のものを使用し混入した気泡を溶融させ、性能回復が図れる工夫がなされているが、印字までに所定の時間が必要になっている。
【００４８】
そこで、パージ後のノズル穴内へのインク引き込み量を極力少なくし、さらにはそのインクには微小気泡が混入されていない状態となるように、吸引キャップの構造を、図４（ａ）（ｂ）に示すように構成してある。
【００４９】
具体的には、環状壁を有する吸引キャップ３１内に多孔質部材としてスポンジ状の吸水材３２を配置してある。これを図４（ａ）に示す。この吸水材３２の表面は吸引キャップ３１のリップ面と同等の高さか、あるいはそれより高くし、背面側に、吸水材３２が配置されない空間部Ｓとして残し、その空間部Ｓを吸引ポンプ（図示せず）に接続する構成としている。この吸引キャップ３１をノズル面に当接したとき、その当接力によりリップ面が押し縮められる。そのため、ノズル面に対しては、リップ面ばかりではなく、吸水材３２も接触することになり、さらにこの吸水材３２は平面的に当接する。また、吸水材３２は、図４（ｂ）に示すように、ノズル穴３ａの内側に凸状に突出して変形するので、貫通穴４ａが作る空間容積が、吸水材３２の突出量に対応して減少する。
【００５０】
つまり、上述のような構成を有するインクジェットプリンタ用ヘッドを用いて、記録媒体に記録をするインクジェットプリンタであって、各ノズル穴からのインクの吐出特性を回復したり維持したりするためのメンテナンス手段として、インクの吐出面に当接して強制的にインクを吸引排出するための吸引キャップが、インク吐出面への当接力により弾性変形する環状壁と、この環状壁内にそのインク吐出面に対する当接面（リップ面）と高さ方向において同等か、それより突出して配設された多孔質部材を有している。
【００５１】
このようにすれば、吸水材３２を設けることによってノズル穴３ａ近傍の空間容積が減少して、気泡発生がかなり低減される。つまり、パージ初期に発生した気泡はインクと共に外部に排出され、少なくとも吸引ポンプが作る負圧がインク排出に有効に機能している間に、ノズル穴３ａ近傍の小室（貫通穴４ａ）はインクで満たされる。そのため、その後は気泡が発生しないことになる。それに加えて、パージ初期でパージの吸引圧に吸水材３２の吸水力（負圧力）が加算され、吸水材３２の負圧力によりパージが補助されるので、より強力なパージを実施できる。また、吸引キャップ３１の離脱時に、圧縮されていた吸水材３２が膨らむことによりさらに吸水力が発生し、前記小室の残るインク（気泡も同様）を吸引するので、ノズル穴３ａ内への残留インク量を大幅に低減できる。一旦、この吸水材３２側に移ったインクは、吸水材３２の内側に移行しようとするので、この吸水材３２が当接するノズル面でも残留インク量を大幅に低減することができる。
【００５２】
よって、場合によってはワイパーあるいはワイパー機構の廃止も可能となり、コスト低減の点で有利である。
【００５３】
前記実施の形態のほか、本発明は、次のように構成することも可能である。
【００５４】
(i)前記実施の形態では、カバープレート４（補強プレート）の凹部４ｂをノズルフィルム３の一面によって封止して閉空間であるダンパー室を形成しているだけであるが、ノズルフィルム３を通じてエアがマニホールド内に浸透したりマニホールド内のインクから水分が蒸発したりするのを防止するために、前記ダンパー室内に、シリコン封止材などの弾性体を封入することができる。
【００５５】
(ii)前記実施の形態では、カバープレート４（補強プレート）の貫通穴４ａは、記録媒体側からノズルフィルム３側に向けて開口面積が徐々に大きくなる構成としているが、必ずしもその必要はなく、段階的に大きくなる貫通穴としてもよいし、ほぼ同一径の貫通穴としてもよい。
【００５６】
(iii)前記実施の形態では、貫通穴４ａは、１つのノズル穴３ａに対して１つ設ける構成としているが、必ずしもその必要はなく、隣り合う複数のノズル穴３を１つのグループとして、それらに１つの共通の貫通穴を設ける構成とすることも可能である。これにより、貫通穴４ａの開口面積が広くなるので、上述のようなメンテナンス手段を用いたときに、吸水材３２がノズル穴３ａ近傍まで届くようになり、確実に貫通穴４ａ内のインクを排出することができる。
【００５７】
(iv)前記実施の形態では、カバープレート４（補強プレート）は、貫通穴４ａの内側も含めて、記録媒体側の表面全体に撥水膜が形成されているが、必ずしもその必要はなく、貫通穴４ａの内側（貫通穴４ａの内周面及び貫通穴４ａ内のノズルフィルム３の表面）に撥水膜が形成されていれば足りる。撥水膜は、ノズル穴３ａ周囲の表面（ノズルフィルム３の表面）に対し設けられているだけでもよい。この撥水膜は、記録時において、インクの吐出特性の安定化に重要な役割を果たすばかりではなく、メンテナンス時においては、貫通穴４ａの形態に係わらず吸水材３２によって貫通穴４ａ内にあるインクが排出されることを促進している。
【００５８】
(v)前記実施形態では、マニホールドプレート１４，１５を２枚重ねの構成としているが、１枚の板厚の厚いプレートをマニホールドプレートとして用いることもできるし、逆に板厚の薄いプレートを３〜４枚重ねてマニホールドプレートとすることもできる。
【００５９】
(vi)前記実施形態では、ノズルフィルムを、ノズル穴の加工用貫通穴が形成されたカバープレート４に対し接着し、ノズルフィルム３側からエキシマレーザでノズル穴を開口するようにしているが、レーザ加工の入熱により反り返るのを防止するために、ノズルフィルム３をカバープレート４とマニホールドプレート１４とで挟んだサンドイッチ構造体を製作し、ノズル穴に対応する位置に前記ノズル穴より大きい開口が形成されているマニホールドプレート１４側からエキシマレーザでノズル穴を開口するようにしてもよい。この場合、カバープレート４とマニホールドプレート１４とは同じ材質で、同じ板厚の金属製のプレートであればよいのは勿論、少なくともそれらの線膨張係数がほぼ等しければ足りる。このときは、マニホールドプレート１４に形成されている連通穴１４ｂの位置を確認しながらノズル穴３ａを開口することができるので、その形成位置の精度が向上する。
【００６０】
(vii)アクチュエータは、個別的圧電素子を、前記各圧力室毎に配置してもよいし、他の形式のアクチュエータを使用してもよい。
【００６１】
(viii)前記実施形態において、ノズルフィルム３とカバープレート４の凹部４ｂが作るダンバー室が、ダンパー効果を向上するという観点から、大気と連通していても良い。
例えば、ノズルフィルム３に接着される積層体パーツ２０の内部に、インクが流れる流路の他に大気と連通する大気連通路を形成しておけばよい。このとき、この大気連通路内にインクが侵入しないようにするために、その開放端は圧電アクチュエータが接着されている側の表面に形成することが好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係る一実施の形態であるインクジェットプリンタ用ヘッドの構成を示す断面図である。
【図２】前記インクジェットプリンタ用ヘッドの製造方法の説明図である。
【図３】（ａ）は図２のＡ−Ａ線における断面図、（ｂ）は図２のＢ−Ｂ線における断面図である。
【図４】吸引キャップの動作を示し、（ａ）はノズル面への当接前の状態を示す説明図、（ｂ）は当接状態を示す説明図である。
【図５】従来のインクジェットプリンタ用ヘッドの構成を示す断面図である。
【図６】従来のインクジェットプリンタ用ヘッドの製造方法の説明図である。
【図７】（ａ）は図６のＣ−Ｃ線における断面図、（ｂ）は図６のＤ−Ｄ線における断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１    インクジェットプリンタ用ヘッド
３    ノズルフィルム
３ａ    ノズル穴
４    カバープレート（補強プレート）
４ａ    貫通穴
４ｂ    凹部
１４，１５    マニホールドプレート
１４ａ，１５ａ    マニホールド穴
１９ａ    圧力室
２１    キャビティユニット
２２    圧電アクチュエータ
３１    吸引キャップ
３２    吸水材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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