(57)【要約】【課題】  小型化、低コスト化が図られた実装装置における部品供給部に用いられる部品供給機構であるアーム駆動機構を提供する。【解決手段】  アーム１７を駆動させる駆動軸１３と、駆動軸１３を回転駆動する駆動部１１と、駆動軸１３に設けられた第１、第２及び第３の円板状カム１６ａ、１６ｂ、１６ｃと、アーム１７を長手方向及び回転方向に駆動自在に保持するハウジング１５と、第１の円板状カム１６ａにリンクされ、ハウジング１５を上下方向に駆動させる上下方向リンク部３０と、第２の円板状カム１６ｂにリンクされ、回転方向に駆動させる回転方向リンク部４０と、第３の円板状カム１６ｃにリンクされ、アーム１７を長手方向に駆動させる長手方向リンク部５０とを備える。【選択図】  図２
2006319281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状のアームを、長手方向、長手方向に対して回転する回転方向、長手方向に対して垂直な一方向（上下方向）に駆動させるアーム駆動機構において、
上記アームを駆動させる駆動軸と、
上記駆動軸を回転駆動する駆動部と、
上記駆動軸に設けられた第１、第２及び第３の円板状カムと、
上記アームを上記長手方向及び上記回転方向に駆動自在に保持するハウジングと、
上記第１の円板状カムの回転位置に応じて、上記ハウジングを上記上下方向に駆動させる上下方向リンク部と、
上記第２の円板状カムの回転位置に応じて、上記アームを上記回転方向に駆動させる回転方向リンク部と、
上記第３の円板状カムの回転位置に応じて、上記アームを上記長手方向に駆動させる長手方向リンク部とを備え、
上記回転方向リンク部は、上記アームの上記上下方向における位置及び上記長手方向における位置に影響されないリンク部材を有しており、上記長手方向リンク部は、上記アームの上記上下方向における位置及び上記回転方向における位置に影響されないリンク部材を有している
ことを特徴とするアーム駆動機構。
【請求項２】
ステージ上に載置された基板に電子部品を実装する実装装置において、
上記ステージと対向する位置に設けられ、上記基板に上記電子部品を実装するボンディングヘッドと、
上記ボンディングヘッドに、上記電子部品を供給するアーム駆動機構からなる部品供給手段とを備え、
上記電子部品は、上記基板が載置された上記ステージと同一ステージ上に載置され、
上記アーム駆動機構は、
長尺状のアームを駆動させる駆動軸と、
上記駆動軸を回転駆動させる駆動部と、
上記駆動軸に設けられた第１、第２及び第３の円板状カムと、
上記アームを上記アームの長手方向及び上記アームの長手方向に対して回転する回転方向に駆動自在に保持するハウジングと、
上記第１の円板状カムの回転位置に応じて、上記ハウジングを上記アームの長手方向に対して垂直な上下方向に駆動させる上下方向リンク部と、
上記第２の円板状カムの回転位置に応じて、上記アームを上記回転方向に駆動させる回転方向リンク部と、
上記第３の円板状カムの回転位置に応じて、上記アームを上記長手方向に駆動させる長手方向リンク部とを備え、
上記回転方向リンク部は、上記アームの上記上下方向における位置及び上記長手方向における位置に影響されないリンク部材を有しており、上記長手方向リンク部は、上記アームの上記上下方向における位置及び上記回転方向における位置に影響されないリンク部材を有している
ことを特徴とする実装装置。
【請求項３】
上記ステージは、さらに、上記ボンディングヘッドの表面画像を検出する第１のカメラを有し、
上記ボンディングヘッドは、上記ステージの表面画像を検出する第２のカメラを有することを特徴とする請求項２記載の実装装置。
【請求項４】
長尺状のアームを、長手方向、長手方向に対して回転する回転方向、長手方向に対して垂直な一方向（上下方向）に駆動させるアーム駆動方法において、
長尺状の上記アームに連結され駆動される駆動軸に設けられた第１の円板状カムにリンクされ、上記アームを上記アームの長手方向に対して垂直な上下方向に駆動させる上下方向リンク部によって、上記アームを上下方向に駆動させる上下方向駆動工程と、
上記駆動軸に設けられた第２の円板状カムにリンクされ、上記アームの長手方向に対して回転する回転方向に駆動させる回転方向リンク部によって、上記アームを回転方向に駆動させる回転方向駆動工程と、
上記駆動軸に設けられた第３の円板状カムにリンクされ、上記アームの長手方向に駆動させる長手方向リンク部によって、上記アームを長手方向に駆動させる長手方向駆動工程とを有する
ことを特徴とするアーム駆動方法。
【請求項５】
ステージ上に載置された基板に電子部品を実装する実装方法において、
上記基板が載置された上記ステージと同一ステージ上に載置された上記電子部品を、上記ステージと対向する位置に設けられたボンディングヘッドに供給する部品供給工程と、
上記部品供給工程によって供給された上記電子部品を上記ボンディングヘッドによって、上記基板に実装するボンディング工程とを備え、
上記部品供給工程は、長尺状のアームに連結され駆動される駆動軸に設けられた第１の円板状カムにリンクされ、上記アームを上記アームの長手方向に対して垂直な上下方向に駆動させる上下方向リンク部によって、上記アームを上下方向に駆動させる上下方向駆動工程と、
上記駆動軸に設けられた第２の円板状カムにリンクされ、上記アームの長手方向に対して回転する回転方向に駆動させる回転方向リンク部によって、上記アームを回転方向に駆動させる回転方向駆動工程と、
上記駆動軸に設けられた第３の円板状カムにリンクされ、上記アームの長手方向に駆動させる長手方向リンク部によって、上記アームを長手方向に駆動させる長手方向駆動工程とを有する
ことを特徴とする実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップなどの電子部品を基板に実装する実装装置などに用いられるアーム駆動機構及び、アーム駆動機構を有する実装装置、並びに、アーム駆動方法及び、実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体（ベアチップ）等の電子部品を基板に実装する際、フリップチップボンディング装置が使用される。図８に示すように、このフリップチップボンディング装置１００は、半導体等の電子部品１０１を載置するチップトレイ１０２と、基板１０３が載置される基板ステージ１０４と、基板ステージ１０４と対向するように配設され電子部品１０１を基板ステージ１０４に実装するボンディングヘッド１０５と、チップトレイ１０２上の電子部品１０１をボンディングヘッド１０５に受け渡す部品供給部１０６と、ボンディングヘッド１０５に受け渡された電子部品１０１の位置及び、該電子部品１０１が実装される位置を検出するための２台のカメラが設けられたカメラユニット１０７とから構成されている。フリップチップボンディング装置１００は、チップトレイ１０２上の電子部品１０１を部品供給部１０６により吸着保持され、この保持された電子部品１０１は部品供給部１０６により反転（フリップ）される。反転された電子部品１０１は、ボンディングヘッド１０５により吸着保持され、カメラユニット１０７により電子部品１０１及び基板１０３の位置を検出し位置合わせをし、実装される。
【０００３】
このような装置においては、チップトレイ１０２上の任意の位置の電子部品１０１を、基板ステージ１０４上の基板１０３の任意の位置に実装できるように、それぞれの部材（チップトレイ１０２、基板ステージ１０４、ボンディングヘッド１０５、部品供給部１０６、カメラユニット１０７）を相対移動させるために、それぞれ駆動部を要しており、そのために装置全体が大型なものとなっていた。
【０００４】
また、例えば、部品供給部１０６だけを見ても、図９に示すように、部品供給部１０６は、電子部品１０１を吸着保持する保持部１１１を上昇・下降（図９中矢印ｚ方向）させる上昇下降アクチュエータ１１２と、上昇・下降時の中間停止用アクチュエータ１１３と、保持部１１１を回転（図９中矢印θ方向）させる回転アクチュエータ１１４と、保持部１１１を前進・後退（図９中矢印ｘ方向）させる前進後退アクチュエータ１１５とからなる。さらに、部品供給部１０６は、上昇下降アクチュエータ１１２の位置を確認するための上昇端確認センサ１１６と下降端確認センサ１１７、中間停止用アクチュエータ１１３の位置を確認するための中間停止確認センサ１１８と中間停止解除確認センサ１１９、回転アクチュエータ１１４の位置を確認するための回転端確認センサ１２０と回転戻り確認センサ１２１、前進後退アクチュエータ１１５の位置を確認するための前進確認センサ１２２と後退確認センサ１２３の８個の確認用センサが設けられている。
【０００５】
上述のように、部品供給部においても、複数のアクチュエータやセンサを有し、部品点数が多くなるため形状の大型化や高コスト化の要因となっていた。また、複数のアクチュエータの動作をそれぞれが干渉しないように制御させるため、動作に時間がかかっていた。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１５０５４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、小型化、低コスト化が図られた実装装置における部品供給部に用いられる部品供給機構であるアーム駆動機構、及び、このアーム駆動機構が用いられた実装装置、並びに、その部品供給方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した目的を達成するために、本発明に係るアーム駆動機構は、長尺状のアームを、長手方向、長手方向に対して回転する回転方向、長手方向に対して垂直な一方向（上下方向）に駆動させるアーム駆動機構において、上記アームを駆動させる駆動軸と、上記駆動軸を回転駆動する駆動部と、上記駆動軸に設けられた第１、第２及び第３の円板状カムと、上記アームを上記長手方向及び上記回転方向に駆動自在に保持するハウジングと、上記第１の円板状カムの回転位置に応じて、上記ハウジングを上記上下方向に駆動させる上下方向リンク部と、上記第２の円板状カムの回転位置に応じて、上記アームを上記回転方向に駆動させる回転方向リンク部と、上記第３の円板状カムの回転位置に応じて、上記アームを上記長手方向に駆動させる長手方向リンク部とを備え、上記回転方向リンク部は、上記アームの上記上下方向における位置及び上記長手方向における位置に影響されないリンク部材を有しており、上記長手方向リンク部は、上記アームの上記上下方向における位置及び上記回転方向における位置に影響されないリンク部材を有していることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る実装装置は、ステージ上に載置された基板に電子部品を実装する実装装置において、上記ステージと対向する位置に設けられ、上記基板に上記電子部品を実装するボンディングヘッドと、上記ボンディングヘッドに、上記電子部品を供給するアーム駆動機構からなる部品供給手段とを備え、上記電子部品は、上記基板が載置された上記ステージと同一ステージ上に載置され、上記アーム駆動機構は、長尺状のアームを駆動させる駆動軸と、上記駆動軸を回転駆動させる駆動部と、上記駆動軸に設けられた第１、第２及び第３の円板状カムと、上記アームを上記アームの長手方向及び上記アームの長手方向に対して回転する回転方向に駆動自在に保持するハウジングと、上記第１の円板状カムの回転位置に応じて、上記ハウジングを上記アームの長手方向に対して垂直な上下方向に駆動させる上下方向リンク部と、上記第２の円板状カムの回転位置に応じて、上記アームを上記回転方向に駆動させる回転方向リンク部と、上記第３の円板状カムの回転位置に応じて、上記アームを上記長手方向に駆動させる長手方向リンク部とを有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るアーム駆動方法は、長尺状のアームを、長手方向、長手方向に対して回転する回転方向、長手方向に対して垂直な一方向（上下方向）に駆動させるアーム駆動方法において、長尺状の上記アームに連結され駆動される駆動軸に設けられた第１の円板状カムにリンクされ、上記アームを上記アームの長手方向に対して垂直な上下方向に駆動させる上下方向リンク部によって、上記アームを上下方向に駆動させる上下方向駆動工程と、上記駆動軸に設けられた第２の円板状カムにリンクされ、上記アームの長手方向に対して回転する回転方向に駆動させる回転方向リンク部によって、上記アームを回転方向に駆動させる回転方向駆動工程と、上記駆動軸に設けられた第３の円板状カムにリンクされ、上記アームの長手方向に駆動させる長手方向リンク部によって、上記アームを長手方向に駆動させる長手方向駆動工程とを有することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る実装方法は、ステージ上に載置された基板に電子部品を実装する実装方法において、上記基板が載置された上記ステージと同一ステージ上に載置された上記電子部品を、上記ステージと対向する位置に設けられたボンディングヘッドに供給する部品供給工程と、上記部品供給工程によって供給された上記電子部品を上記ボンディングヘッドによって、上記基板に実装するボンディング工程とを備え、上記部品供給工程は、長尺状のアームに連結され駆動される駆動軸に設けられた第１の円板状カムにリンクされ、上記アームを上記アームの長手方向に対して垂直な上下方向に駆動させる上下方向リンク部によって、上記アームを上下方向に駆動させる上下方向駆動工程と、上記駆動軸に設けられた第２の円板状カムにリンクされ、上記アームの長手方向に対して回転する回転方向に駆動させる回転方向リンク部によって、上記アームを回転方向に駆動させる回転方向駆動工程と、上記駆動軸に設けられた第３の円板状カムにリンクされ、上記アームの長手方向に駆動させる長手方向リンク部によって、上記アームを長手方向に駆動させる長手方向駆動工程とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、１つの駆動軸に設けられた第１、第２及び第３の円板状カムによって、アームを長手方向、回転方向、上下方向に自在に動かすことができる。また、それぞれの円板状カムは、それぞれ第１のリンク部、第２のリンク部、第３のリンク部によって、アームと連結されており、いずれか一つのリンク部の動作によるアームの駆動位置によらず、残りのリンク部を動作させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係るアーム駆動機構について、図面を参照しながら詳細に説明をする。
【００１４】
図１に示すように、アーム駆動機構２０は、半導体等の電子部品を実装する実装装置１０に適用される。実装装置１０は、半導体等の電子部品２ａを基板３ａの所定の箇所に実装する装置であり、架台６上にｘｙステージ１と、フレーム４ａと、アーム駆動機構２０を有する部品供給部５とが取付けられている。ｘｙステージ１上には、電子部品２ａを載置するチップトレイ２と、基板３ａを載置する基板ステージ３と、ボンディングヘッド４（後述する）に保持される電子部品を撮像するチップ認識カメラ７とが設けられている。またフレーム４ａには、ｘｙステージ１に対向するようにボンディングヘッド４が設けられており、ボンディングヘッド４には、基板ステージ３上に載置された基板３ａを撮像する基板認識カメラ８とが設けられている。
【００１５】
実装装置１０は、部品供給部５に設けられたアーム駆動機構２０を用いてチップトレイ２上の電子部品２ａをボンディングヘッド４に受け渡し、ボンディングヘッド４によりこの保持された電子部品を基板ステージ３上の基板３ａの所定の箇所に実装される。
【００１６】
次に、上述のように電子部品２ａをボンディングヘッド４に受け渡す部品供給部５に設けられたアーム駆動機構２０について説明する。
【００１７】
図２に示すように、アーム駆動機構２０は、部品供給部５に設けられており、長尺状のアーム１７を、長手方向（図２中ｘ方向）、長手方向に対して回転する回転方向（図２中θ方向）、長手方向に対して垂直な上下方向（図２中ｚ方向）に駆動させる。アーム駆動機構２０は、アーム１７を駆動させるための駆動軸１３と、駆動軸１３を回転駆動させる駆動モータ１１と、駆動軸１３に設けられた第１の円板状カム１６ａ、第２の円板状カム１６ｂ、第３の円板状カム１６ｃ（以下、総称して円板状カム１６という。）と、アーム１７をｘ方向及びθ方向に駆動自在に保持するハウジング１５と、第１の円板状カム１６ａとアーム１７とをリンクさせる第１のリンク部３０と、第２の円板状カム１６ｂとアーム１７とをリンクさせる第２のリンク部４０と、第３の円板状カム１６ｃとアーム１７とをリンクさせる第３のリンク部５０とから構成されている。
【００１８】
また、部品供給部５は、アーム駆動機構２０のアーム１７の先端に設けられた部品吸着部１４により、電子部品２ａを吸着保持し、アーム駆動機構２０により所定の位置に移動された電子部品２ａをボンディングヘッド４に受け渡す。
【００１９】
駆動軸１３は、図２に示すように、アーム１７のｚ方向下部にアーム１７と平行になるように設けられており、駆動軸１３に取付けられたプーリ１２ｃと駆動モータ１１に取付けられたプーリ１２ａとをベルト１２ｂにより連結することにより、駆動モータ１１と連結されている。なお、上述のように、駆動軸１３は、２つのプーリ１２ａ、１２ｃとベルト１２ｂとによって、駆動モータ１１と連結されたものに限らず、駆動軸１３と駆動モータ１１とを直接接続したものでもよい。
【００２０】
アーム１７は、長尺状の部材から形成されており、一端に電子部品等を吸着保持できるための部品吸着部１４が設けられており、他端に後述する第３のリンク部５０のリング５４が設けられている。また、アーム１７は、長尺状部材の略中央部にてハウジング１５を有している。ハウジング１５は、アーム１７を長手方向（ｘ方向）及び回転方向（θ方向）に駆動自在にする。
【００２１】
第１の円板状カム１６ａは、第１のリンク部３０を介して、アーム１７と連結されており、アーム１７を上下方向（ｚ方向）に駆動させる。
【００２２】
第１のリンク部３０は、図３に示すように、第１の円板状カム１６ａと接触するカムフォロア２１と、ガイド２２とから構成されている。カムフォロア２１は、ハウジング１５のｚ方向下部に設けられており、第１の円板状カム１６ａの最上部と接し、第１の円板状カム１６ａの回転による影響を受けないように回動自在になるように設けられている。また、ガイド２２は、ハウジング１５を上下方向（ｚ方向）にのみ動作するように規制する部材である。
【００２３】
第２の円板状カム１６ｂは、第２のリンク部４０を介して、アーム１７と連結されており、アーム１７を回転方向（θ方向）に駆動させる。
【００２４】
第２のリンク部４０は、図２、図４及び図６に示すように、一端がアーム１７の長手方向に垂直な平面（ｙｚ平面）上を回動自在に固定されたリンク板３２と、リンク板３２に設けられたカムフォロア３１と、リンク板３２の他端に設けられたフォロア３３と、フォロア３３と、プーリ３７ａ、３７ｃ、ベルト３７ｂによってアーム１７を回転駆動させるフォロア３５とを連結させる連結部３６と、連結部３６を所定方向にガイドするガイド３４とから構成されている。リンク板３２は、第２の円板状カム１６ｂの回転動作をカムフォロア３１及びフォロア３３を介して連結部３６に伝達する部材である。連結部３６は、リンク板３２のフォロア３３とフォロア３５とを連結させる部材である。また、連結部３６は、ガイド３４により、ｙ方向にのみ動作するように規制されている。フォロア３３及びフォロア３５は、ｙ方向の動作のみを連結部３６に伝達し、上下方向（ｚ方向）の動作を連結部３６に伝達するように上下方向に対して回転自在になるように設けられている。また、フォロア３５は、プーリ３７ａが設けられており、アーム１７に設けられたプーリ３７ｃと、ベルト３７ｂを介して接続されており、アーム１７を回転動作させている。
【００２５】
第３の円板状カム１６ｃは、第３のリンク部５０を介して、アーム１７と連結されており、アーム１７を長手方向（ｘ方向）に駆動させる。
【００２６】
第３のリンク部５０は、図２に示すように、所定の角度に折曲され、折曲部近傍において長手方向及び上下方向による平面（ｘｚ平面）上を回動自在に固定されたリンク板４２と、リンク板４２の一端に設けられ、第３の円板状カム１６ｃと接するカムフォロア４１と、リンク板４２の他端に設けられたフォロア４３と、アーム１７の端部に設けられたリング５４とから構成されている。リンク板４２は、第３の円板状カム１６ｃの回転動作をカムフォロア４１及びフォロア４３を介してリング５４に伝達する部材である。
【００２７】
リング５４は、２枚の円板状部材でそれよりも小径の円板状部材を挟み、断面形状が略Ｈ字状になるように形成されている。リング５４は、アーム１７の回転動作に応じて回転し、リンク板４２の回動動作のうち、長手方向（ｘ方向）の動作のみをアーム１７に伝達する。また、リング５４は、略Ｈ字状の溝部にフォロア４３が連結されており、リンク板４２を介して第３の円板状カム１６ｃと連結されている。
【００２８】
カムフォロア４１は、第３の円板状カム１６ｃの回転動作の影響を受けないように、回転自在に設けられている。また、フォロア４３は、リング５４の回転動作の影響を受けないように回転自在に設けられている。
【００２９】
続いて、それぞれの円板状カム１６の動作状態について説明する。
【００３０】
第１の円板状カム１６ａは、図５（Ａ）に示すように、４つの領域１６ａ１、領域１６ａ２、領域１６ａ３、領域１６ａ４を有する。それぞれの領域は、第１の円板状カム１６ａが取付けられた駆動軸１３からの距離が一定であり、それぞれの距離に応じてアーム１７を上下方向（ｚ方向）の所定の位置に移動させる。第１の円板状カム１６ａは、アーム１７を中間位置、下降位置、上昇位置の３つの状態に移動させるために、それぞれの領域の駆動軸１３からの距離は、（領域１６ａ２における駆動軸１３からの距離）＞（領域１６ａ１における駆動軸１３からの距離）＝（領域１６ａ３における駆動軸１３からの距離）＞（領域１６ａ４における駆動軸１３からの距離）の関係を有する。
【００３１】
第１の円板状カム１６ａは、カムフォロア２１と接するそれぞれの領域に応じて、ハウジング１５を上下させる。具体的には、第１の円板状カム１６ａは、カムフォロア２１と領域１６ａ１及び領域１６ａ３において接する場合、図５（Ｂ）及び図５（Ｄ）に示すように、ハウジング１５を中間位置に移動させる。また、第１の円板状カム１６ａは、カムフォロア２１と領域１６ａ４において接する場合、図５（Ｃ）に示すように、ハウジング１５を下降位置に移動させる。さらに、第１の円板状カム１６ａは、カムフォロア２１と領域１６ａ２において接する場合、図５（Ｅ）に示すように、ハウジング１５を上昇位置に移動させる。
【００３２】
第２の円板状カム１６ｂは、図６（Ａ）に示すように、２つの領域１６ｂ１、領域１６ｂ２を有する。それぞれの領域は、第２の円板状カム１６ｂが取付けられた駆動軸１３からの距離が一定であり、それぞれの距離に応じてアーム１７を回転方向（θ方向）の所定の位置に移動させる。第２の円板状カム１６ｂは、アーム１７の部品吸着部１４の向きを、下向き、上向きの２つの状態に移動させるために、それぞれの領域の駆動軸１３からの距離は、（領域１６ｂ２における駆動軸１３からの距離）＞（領域１６ｂ１における駆動軸１３からの距離）の関係を有する。
【００３３】
第２の円板状カム１６ｂは、カムフォロア３１と接するそれぞれの領域に応じて、アーム１７を回転動作させる。具体的には、第２の円板状カム１６ｂは、カムフォロア３１と領域１６ｂ１において接する場合、図６（Ｂ）に示すように、アーム１７の部品吸着部１４を下向きに移動させる。また、第２の円板状カム１６ｂは、カムフォロア３１と領域１６ｂ２において接する場合、図６（Ｃ）に示すように、アーム１７の部品吸着部１４を上向きに移動させる。
【００３４】
第３の円板状カム１６ｃは、図７（Ａ）に示すように、２つの領域１６ｃ１、領域１６ｃ２を有する。それぞれの領域は、第３の円板状カム１６ｃが取付けられた駆動軸１３からの距離が一定であり、それぞれの距離に応じてアーム１７を長手方向（ｘ方向）の所定の位置に移動させる。第３の円板状カム１６ｃは、アーム１７を前進位置、後退位置の２つの状態に移動させるために、それぞれの領域の駆動軸１３からの距離は、（領域１６ｃ２における駆動軸１３からの距離）＞（領域１６ｃ１における駆動軸１３からの距離）の関係を有する。
【００３５】
第３の円板状カム１６ｃは、カムフォロア４１と接するそれぞれの領域に応じて、アーム１７を長手方向に動作させる。具体的には、第３の円板状カム１６ｃは、カムフォロア４１と領域１６ｃ１において接する場合、図７（Ｂ）に示すように、アーム１７を長手方向の後退位置に移動させる。また、第３の円板状カム１６ｃは、カムフォロア４１と領域１６ｃ２において接する場合、図７（Ｃ）に示すように、アーム１７を長手方向の前進位置に移動させる。
【００３６】
以上のような構成を有するアーム駆動機構２０は、１つの駆動軸１３に設けられた第１の円板状カム１６ａ、第２の円板状カム１６ｂ、第３の円板状カム１６ｃによって、アーム１７を長手方向（ｘ方向）、長手方向に対して回転する方向（θ方向）、上下方向（ｚ方向）に駆動させることが可能となる。また、それぞれの円板状カム１６は、それぞれ第１のリンク部３０、第２のリンク部４０、第３のリンク部５０によって、アーム１７と連結されており、一のリンク部の動作によるアーム１７の駆動位置によらず、他のリンク部を動作させることが可能となる。
【００３７】
また、上述のアーム駆動機構２０は、図１に示すような半導体の実装装置１０に用いられ、実装装置１０の小型化を図ることが可能となる。また、実装装置１０は、ｘｙステージ１上にチップトレイ２、基板ステージ３及びチップ認識カメラ７を設けていることから、チップトレイ２、基板ステージ３及びチップ認識カメラ７をｘｙ平面上に移動させる駆動源を１つにすることができるので、さらに小型化を図ることが可能となる。また、同様に、基板認識カメラ８をボンディングヘッド４上に設けていることから、基板認識カメラ８の駆動源をボンディングヘッド４と同じにすることができ、小型化が図られる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係るアーム駆動機構が適用された実装装置の概略斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るアーム駆動機構が適用された部品供給部の正面図である。
【図３】第１のリンク部を説明するための図である。
【図４】第２のリンク部を説明するための図である。
【図５】第１の円板状カムの回転位置におけるアームの動作状態を示す図である。
【図６】第２の円板状カムの回転位置におけるアームの動作状態を示す図である。
【図７】第３の円板状カムの回転位置におけるアームの動作状態を示す図である。
【図８】従来の実装装置を示した図である。
【図９】従来のアーム駆動機構を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  ＸＹステージ、２  チップトレイ、２ａ  電子部品、３  基板ステージ、３ａ  基板、４  ボンディングヘッド、４ａ  フレーム、５  部品供給部、６  架台、７  チップ認識カメラ、８  基板認識カメラ、１１  駆動モータ、１２ａ，１２ｃ  プーリ、１２ｂ  ベルト、１３  駆動軸、１４  部品吸着部、１５  ハウジング、１６  円板状カム、１６ａ  第１の円板状カム、１６ｂ  第２の円板状カム、１６ｃ  第３の円板状カム、１７  アーム、２０  アーム駆動機構、２１  カムフォロア、２２  ガイド、３０  第１のリンク部、３１  カムフォロア、３２  リンク板、３３、３５  フォロア、３４  ガイド、３６  連結部、４０  第２のリンク部、５０  第３のリンク部、５４  リング、１００  スリップチップボンディング装置、１０１  電子部品、１０２  チップトレイ、１０３  基板、１０４  基板ステージ、１０５  ボンディングヘッド、１０６  受け渡し部、１０７  カメラユニット、１１１  保持部、１１２  上昇下降アクチュエータ１１３  中間停止用アクチュエータ、１１４  回転アクチュエータ、１１５  前進後退アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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