(57)【要約】 【課題】高湿度の空気を積極的に加工室内に導入することによって静電気の発生を簡易な構造で防止し、被加工体にサンドブラスト加工を行うサンドブラスト装置、およびプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】サンドブラスト装置１は、ブラスト室湿度調整機構３１０によってサンドブラスト室１０内部の空気を加湿しておき、この加湿された空気を外気供給機構３２０によって加工室１２０の内部に積極的に導入しながらワークＷに対してサンドブラスト加工を行う。これにより、サンドブラスト加工時に発生する静電気を確実に防ぐことができる。【選択図】 図４
2006102860.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工体に切削材を噴射して前記被加工体を成形するサンドブラスト加工を行うサンドブラスト装置であって、
前記切削材を噴射する切削材噴射手段と、
この切削材噴射手段を内部に設置し、前記サンドブラスト加工が行われる加工室と、
この加工室内の湿度を上げるように調整する加工室内湿度調整手段と、
前記加工室の内部の圧力を前記加工室の外部の圧力よりも低く保持するよう制御する加工室内圧力制御手段と、
を備えたことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項２】
請求項１に記載のサンドブラスト装置において、
前記加工室内湿度調整手段は、所定の湿度に調整された前記加工室の外部の気体を前記加工室の内部に供給する
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項３】
請求項２に記載のサンドブラスト装置において、
前記加工室は、専用室内に設置されており、
この専用室内には専用室内湿度調整手段が設けられ、
前記加工室内湿度調整手段は、前記専用室内湿度調整手段によって所定の湿度に調整された前記専用室内の気体を前記加工室の内部に供給する
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項４】
請求項１に記載のサンドブラスト装置において、
前記加工室内湿度調整手段は、前記加工室の外部に設けられた加湿手段によって湿度が調整された気体を前記加工室の内部へ供給する
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載のサンドブラスト装置において、
前記加工室は、複数個並んで設置され、
これらの前記加工室には、前記切削材噴出手段および前記加工室内湿度調整手段がそれぞれ設けられる
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のサンドブラスト装置において、  
前記加工室の内部圧力を検出する圧力検出手段と、
この圧力検出手段によって前記加工室の内部圧力が所定の圧力値を超えた値を検出した場合、前記加工室への前記気体の供給を停止する加湿停止手段と、
を備えたことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載のサンドブラスト装置において、  
前記加工室内には、前記被加工体を前記切削材の噴射方向と交差する方向に搬送する搬送ラインが形成され、
前記加工室の内部における前記加工室内湿度調整手段は、前記搬送ラインの上部に設置される
ことを特徴とするサンドブラスト装置。
【請求項８】
放電空間を挟んで対向配置された一対の基板のうち少なくとも一方の基板の内面側に設けられた複数の電極と、前記放電空間を区画するように間に凹部を挟んで形成された複数の隔壁とを備えたプラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、
前記一方の基板上に前記隔壁となる隔壁材料層を形成し、
この隔壁材料層の上に前記隔壁のパターンに対応するレジストマスクを被覆し、
加工室内において前記隔壁材料層および前記レジストマスクに対して切削材を噴射して前記隔壁および前記凹部を形成するサンドブラスト加工を行い、
前記加工室は、その内部の湿度を上げるように調整され、かつ、その内部の圧力を前記加工室の外部の圧力よりも低く保持される
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削材を噴射して被加工体を成形するサンドブラスト装置、およびプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、一対の平面基板同士を放電空間を介して互いに対向配置し、一方の基板内面上に井桁状もしくはストライプ状の隔壁を設けることによって前記放電空間を複数個の放電セルに区画し、これら複数個の放電セル内で選択的に放電発光させることにより画像表示を行う装置である。
【０００３】
図１に一般的なストライプ状の隔壁を備えたプラズマディスプレイパネルの内部構造を示す。図１において、このプラズマディスプレイパネル８００は、放電空間８０１を介して前面基板８１０と背面基板８２０とが対向配置されている。前面基板８１０の内面側には、複数の透明電極８１１、複数のバス電極８１２、複数のブラックストライプ８１３、誘電体層８１４および保護膜８１５がそれぞれ設けられている。背面基板８２０の内面側には、この基板上に複数のアドレス電極８２１がそれぞれ平行に設けられ、これらアドレス電極８２１を覆うように背面基板８２０の内面側にアドレス保護層８２２が設けられ、さらにこのアドレス保護層８２２の上にストライプ形状の隔壁８２３が設けられ、この隔壁８２３により形成された複数個の放電セル８２４の内部にはそれぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の蛍光体層（８２５Ｒ、８２５Ｇ、８２５Ｂ）が順に形成されている。放電空間８０１の内部、すなわちそれぞれの放電セル８２４の内部は、ネオンガスなどの放電ガスが充填され、外気との間で密閉されている。
【０００４】
従来、このようなプラズマディスプレイパネルの背面基板に隔壁を形成する場合、この隔壁は、スクリーン印刷法による重ね刷りで形成されていたが、最近では精度の点からサンドブラスト法により形成されることが多くなっている。サンドブラスト法によって隔壁を形成する場合、予め基板上にアドレス電極を形成しておき、この基板上にガラスペースト等を塗布して隔壁材料層を形成し、この上に隔壁のパターンに対応するレジストマスクを被覆する。そして、レジストマスクおよび隔壁材料層が形成された基板に対して、切削材を含んだドライエアを噴射ノズルから噴射することにより、隔壁材料層のレジストマスクに覆われていない部分を除去し、次いでレジストマスクを剥離してから基板を焼成する手順が採られている。
【０００５】
ここにおいて、このサンドブラスト法は、加工時に静電気が発生することが問題となる。一般に、静電気は、物質同士の接触圧力が大きい程、物質同士が接触してから乖離するまでの時間が短い程、あるいは、環境中の湿度が低い程、発生し易くなる。サンドブラスト法により隔壁を形成する場合は、高い噴射圧力で隔壁材料層に切削材を衝突させ、切削材の噴射にドライエアを使用するため、静電気が発生し易くなり、この静電気が基板の品質に悪影響を与える場合がある。
【０００６】
例えば、図２に示すように隔壁材料層８２３Ａの下にあるアドレス電極８２１が中央で分割されて分割電極部８２１Ａが形成されている場合、静電気が発生して分割電極部８２１Ａ近傍に所定量の電荷が蓄積すると、分割電極部８２１Ａの端部間で放電が起こる。このため、分割電極部８２１Ａ近傍の隔壁材料層８２３Ａの一部が破壊されてピンホールが発生し、アドレス電極８２１が露出するという不具合が生じる。また、電荷が集中した分割電極部８２１Ａ付近の隔壁材料層８２３Ａの上には切削材が吸着し、この近傍の隔壁材料層８２３Ａが切削され難くなって残渣となって残るという問題も生じる。さらには、アドレス電極８２１の膜厚の薄い部分が断線するという問題も生じていた。
【０００７】
このような静電気の発生を防ぐためには、物質表面に帯電した自由電子を逃がすこと、もしくは物質同士の接触圧力を下げることが効果的である。つまり、サンドブラスト法により隔壁を形成する場合では、除電機の強化、およびサンドブラスト加工室内の湿度の向上、および切削材の噴射圧力の低下を図ることが有効となる。一般に、高湿度下では、物質の表面に吸着する水分量が増加し、これによって物質表面の電気伝導率が向上し、発生した静電気が素早く大気中に放出される。このため、サンドブラスト加工室内の湿度を向上させることは、特に効果的な手法だと言える。
【０００８】
従来、除電機の強化の観点から、サンドブラスト法によりプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成する方法としては、例えば、特許文献１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法が挙げられる。この方法は、基板上に形成したアドレス電極の端子部を隔壁材料層で覆わずに露出させた状態にしておき、このアドレス電極の端子部に当接して導電性ブラシ等の除電手段を設け、サンドブラスト加工時に、基板上に発生した静電気をアドレス電極の端子部から除電手段を介して除電する、というものである。
【０００９】
また、従来、サンドブラスト加工室内の湿度の向上という観点から、高湿度環境下でサンドブラスト加工を行うサンドブラスト装置が開発されている。このサンドブラスト装置によってプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成する場合について、図面に基づいて説明する。図３は、このサンドブラスト装置の概略構成図を示したものである。
図３において、サンドブラスト装置９００を収納するサンドブラスト室９０１は、その内部に湿度調整手段９０２が設けられており、この湿度調整手段９０２によってサンドブラスト室９０１内の湿度が高い状態に保持されている。なお、サンドブラスト加工が行われる前工程において、予め基板上にアドレス電極および隔壁材料層を形成したワークＷを準備しておく。
【００１０】
サンドブラスト装置９００は、基板を搬送する搬送ローラ９０３と、ブラストガン９１０、加工室９２０、ブラストキャビネット９３０、材料供給タンク９４０、分離フィルター９５０、遠心分離機９６０、集塵機９７０、切削材タンク９８０、定量供給装置９９０、等を備えている。ブラストガン９１０は、切削材をドライエアと共に基板に対して噴射するもので、加工室９２０の内部に設けられる。加工室９２０は、その内部で実際にサンドブラスト加工が行われる筐体であって、加工後の切削材や切削された隔壁材料からなる加工屑が加工室９２０の外部に飛散しないようにされている。加工室９２０の一部には、基板が搬入される搬入窓９２１、基板が搬出される搬出窓９２２が形成され、これら搬入窓９２１および搬出窓９２２を貫通するように搬送ローラ９０３によって搬送ラインが形成されている。また、この加工室９２０の底部には排出部９２３が設けられており、サンドブラスト加工後の加工屑は、排出部９２３を介して分離フィルター９５０に回収される。
【００１１】
ブラストキャビネット９３０には、基板を搬入する搬入窓９３１および基板を搬出する搬出窓９３２が形成されており、前記搬送ラインはこれらの窓を貫通して設けられている。材料供給タンク９４０は、新たな切削材を供給するタンクであり、分離フィルター９５０へと連絡されている。分離フィルター９５０は、回収した切削屑に混入した異物を除去するためのフィルターである。分離フィルター９５０によって回収された加工屑は、遠心分離機９６０へと移送され、この遠心分離機９６０により、重量が小さい切削後の隔壁材料と重量が大きい切削材と分離される。集塵機９７０は、遠心分離機９６０で分離された切削後の隔壁材料を回収する。切削材タンク９８０は、遠心分離機９６０で分離された切削材を回収する。定量供給装置９９０は、切削材タンク９８０で回収された切削材を定量調整してからブラストガン９１０に加圧供給する。
【００１２】
なお、加工室９２０、材料供給タンク９４０、切削材タンク９８０および定量供給装置９９０は、これらの内部にヒーター（９２４、９４１、９８１、９９１）がそれぞれ設けられており、これらの装置の内部はドライ化されている。これは、微小粒である切削材同士が湿度によって接着し、均一なサンドブラスト加工が行えなくなることを防ぐためである。
【００１３】
このような構成のサンドブラスト装置９００では、サンドブラスト室９０１の内部を湿度調整手段９０２によって高湿度に保持し、集塵機９７０内に設けられた吸気ファン９７１によって加工室９２０を減圧して、搬入窓９２１、９３１および搬出窓９２２，９３２を介して加工室９２０の内部に高湿度の空気を導入し、この状態においてワークＷに対してサンドブラスト加工を行う。なお、サンドブラスト加工に用いられた切削材、および切削後の隔壁材料は再利用される。
【００１４】
【特許文献１】特開２００３−１１７８３１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、特許文献１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法では、導電性ブラシ等の除電手段は、ブラスト加工を行うにしたがって消耗してしまう。このため、除電手段の消耗具合の監視を頻繁に行う等、除電手段の維持管理にコストが掛かる、という問題が一例として挙げられる。
【００１６】
また、高湿度環境下でサンドブラスト加工を行う上記のサンドブラスト装置９００においては、サンドブラスト室９０１の室内湿度は、湿度調整手段９０２によって高湿度に保持されているが、実際に高湿度であることが要される加工室９２０の内部は高湿度環境となっていない。すなわち、上記のサンドブラスト装置９００では、加工屑が加工室９２０の外側に飛散しないように搬入窓９２１および搬出窓９２２はできるだけ狭く形成されており、一方、湿度調整手段９０２により加湿されたサンドブラスト室９０１内の空気は、搬入窓９２１および搬出窓９２２を介してのみ加工室９２０内に導入されるため、加工室９２０の外側では高湿度環境となっているが加工室９２０の内部には高湿度の空気が導入され難い。さらに、加工室９２０の内部はヒーターによりドライ化されているため、湿度調整手段９０２の効果は実質的には得られていない、という問題が一例として挙げられる。
【００１７】
なお、この他、静電気を防止する対策として、切削材の噴出圧力を低下することも挙げられるが、この場合、ブラストガンの能力を最大限に活用することができず、また、十分なサンドブラスト加工を行うためには、サンドブラスト加工を何度にも亘って繰り返し行う、もしくは、ブラストガンの本数を増加し装置を大型化する、等の対策を採らなければならない。これにより、サンドブラスト加工の繰り返し回数を増やすことによって作業時間が増え、また、装置の大型化に伴って部品点数が増加してしまう、等の問題が一例として挙げられる。
【００１８】
そこで本発明は、このような点に鑑みて、高湿度の空気を積極的に加工室内に導入することによって静電気の発生を簡易な構造で防止し、被加工体にサンドブラスト加工を行うサンドブラスト装置、およびプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
請求項１に記載された本発明のサンドブラスト装置は、被加工体に切削材を噴射して前記被加工体を成形するサンドブラスト加工を行うサンドブラスト装置であって、前記切削材を噴射する切削材噴射手段と、この切削材噴射手段を内部に設置し、前記サンドブラスト加工が行われる加工室と、この加工室内の湿度を上げるように調整する加工室内湿度調整手段と、前記加工室の内部の圧力を前記加工室の外部の圧力よりも低く保持するよう制御する加工室内圧力制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
請求項８に記載された本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、放電空間を挟んで対向配置された一対の基板のうち少なくとも一方の基板の内面側に設けられた複数の電極と、前記放電空間を区画するように間に凹部を挟んで形成された複数の隔壁とを備えたプラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、前記一方の基板上に前記隔壁となる隔壁材料層を形成し、この隔壁材料層の上に前記隔壁のパターンに対応するレジストマスクを被覆し、加工室内において前記隔壁材料層および前記レジストマスクに対して切削材を噴射して前記隔壁および前記凹部を形成するサンドブラスト加工を行い、前記加工室は、その内部の湿度を上げるように調整され、かつ、その内部の圧力を前記加工室の外部の圧力よりも低く保持されることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
〔第１の実施形態〕
以下、本発明の第１の実施形態を図面に基づいて説明する。図４は本発明の第１の実施形態に係るサンドブラスト装置１を示す概略構成図である。以下、サンドブラスト装置１によりプラズマディスプレイパネルの背面基板に隔壁を形成する場合について説明する。
【００２２】
〔サンドブラスト装置１の構成〕
まず、予め矩形状のガラス基板の上に複数のアドレス電極、隔壁材料層およびレジストマスクを順に形成したワークＷを準備しておく。図４において、サンドブラスト装置１は、密閉されたサンドブラスト室１０の内部に収納されており、加工部１００、材料供給部２００および湿度調整部３００を具備している。
【００２３】
加工部１００は、ワークＷに対してサンドブラスト加工を行うものであり、ブラストガン１１０、加工室１２０、搬送ロール１３０およびブラストキャビネット１４０より構成される。
【００２４】
切削材噴射手段としてのブラストガン１１０は、加工室１２０の内部に設けられ、切削材をドライエアと共にワークＷに対して交差するように噴射する。また、このブラストガン１１０は、ワークＷの移動に連動して揺動可能に設けられている。切削材の噴射によって、ワークＷにおけるレジストマスクにより被覆されていない隔壁材料層は切削・除去され、切削後の隔壁材料と切削材が混在した加工屑が発生する。
加工室１２０は、その内部で実際にサンドブラスト加工が行われる筐体であって、加工屑が加工室の外部に噴出しないように加工室１２０の内部圧力はその外部圧力に対して低く保たれている。この加工室１２０は、その一部にワークＷが搬入される搬入窓１２１、ワークＷが搬出される搬出窓１２２が形成されている。この加工室１２０の底部には排出部１２３が設けられており、加工屑は、排出部１２３を介して排出される。また、加工室１２０の内部には、ヒーター１２４が設けられており、切削後の加工屑を乾燥する。
搬送ロール１３０は、水平面においてワークＷの移動方向に対して垂直に複数個設けられ、これによりワークＷの移動方向と平行な搬送ラインが形成される。
ブラストキャビネット１４０は、加工室１２０及び加工室１２０に対してワークＷの搬送方向下流側に設けられたバッファー室１５０の全体を囲う筐体であり、加工室１２０及びバッファー室１５０に飛散した加工屑を回収する。このブラストキャビネット１４０には、ワークＷを搬入する搬入窓１４１およびワークＷを搬出する搬出窓１４２が形成されており、搬送ラインはこれらの窓１４１、１４２、および加工室１２０における搬入窓１２１、搬出窓１２２を貫通するように形成される。また、バッファー室１５０にはサンドブラスト加工後のワークＷをエアで洗浄することによって、ワークＷに付着した加工屑を除去する図示しないエア洗浄手段が設けられている。除去された加工屑は排出部１２３と同様の図示しない排出部を介して、連絡管２２１へ排出される。
【００２５】
材料供給部２００は、ブラストガン１１０に切削材を供給し、サンドブラスト加工後の加工屑を回収し、この加工屑中の切削材を回収し再度サンドブラスト加工に利用する循環的なシステムである。この材料供給部２００は、材料供給タンク２１０、分離フィルター２２０、遠心分離機２３０、集塵機２４０、切削材タンク２５０および定量供給装置２６０を備えている。
【００２６】
材料供給タンク２１０は、連絡管２１１を介して分離フィルター２２０へ新しい切削材を供給するタンクである。この材料供給タンク２１０の内部には、ヒーター２１２が設けられており、タンク内部をドライ化している。
分離フィルター２２０は、加工室１２０の排出部１２３より排出された加工屑に混入した他の異物を除去するためのフィルターであり、この分離フィルター２２０と排出部１２３とは連絡管２２１により連通されている。分離フィルター２２０によって異物を除去・回収された加工屑は、連絡管２２２を介して遠心分離機２３０へと移送される。
遠心分離機２３０は、加工屑を、機構重量が小さい切削後の隔壁材料と、重量が大きい切削材とに遠心分離する。分離後、切削後の隔壁材料は連絡管２３１を介して集塵機２４０へと移送され、切削材は連絡管２３２を介して切削材タンク２５０へと移送される。
集塵機２４０は、その内部に吸気ファン２４１および隔壁材料収納部（図示しない）が設けられている。吸気ファン２４１は、遠心分離機２３０で分離された切削後の隔壁材料を吸引し、この隔壁材料を隔壁材料収納部へと移送する。また、吸気ファン２４１は、その吸気によって加工室１２０の内部圧力を加工室１２０の外部圧力に対して低くなるように調整し、加工室内圧力制御手段としての機能を有する。なお、隔壁材料収納部に貯蔵された切削後の隔壁材料は、省資源化の観点から、再使用される。
切削材タンク２５０は、遠心分離機２３０で分離された切削材を回収し、連絡管２５２を介して定量供給装置２６０へと切削材を移送する。また、この切削材タンク２５０の内部にはヒーター２５１が設けられ、タンク内部をドライ化している。
定量供給装置２６０は、切削材タンク２５０から移送された切削材を定量調整してから、連絡管２６２を介して切削材をブラストガン１１０に加圧供給する。
【００２７】
湿度調整部３００は、サンドブラスト室１０内を高湿度環境に保持し、加工室１２０内にサンドブラスト室１０内の高湿度の空気を供給するものであり、専用室内湿度調整手段としてのブラスト室湿度調整機構３１０、および加工室内湿度調整手段としての外気供給機構３２０を備えている。
【００２８】
ブラスト室湿度調整機構３１０は、サンドブラスト室１０の内部に設けられており、サンドブラスト室１０内部の空気を加湿する加湿器である。この加湿器としては、水を加熱して蒸気を発生させるもの、あるいは、超音波で蒸気を発生させるもの、その他の手段で蒸気を発生させるものを採用することができる。この時、湿度は５０〜６０％に調整されることが好ましい。
外気供給機構３２０は、筒状体であり、加工室１２０の上部における加工室１２０の内側から外側までを貫通するように設けられている。この外気供給機構３２０は、加工室１２０の外側における外気供給機構３２０の一端に吸引部３２１と、加工室１２０の内側における外気供給機構３２０の他端に吐出部３２０と、を備えている。この吸引部３２１より加工室１２０の外部で加湿された空気を取り込み、吐出部３２２よりこの加湿された空気を加工部１００の内部におけるワークＷの被処理面に対して吹きかける。この時、加湿された空気はワークＷの搬送方向と交差する方向に吹きかけられるよう、外気供給機構３２０の向きが調整されている。また、吐出部３２２は、ワークＷが搬送される搬送ラインの上部に配置されることが好ましい。
【００２９】
〔サンドブラスト装置１の動作〕
上記のような構成のサンドブラスト装置１によって、プラズマディスプレイパネルの背面基板に隔壁を形成する動作について説明する。
まず、サンドブラスト加工を行う前工程において、予め、基板上に複数のアドレス電極を形成し、これらアドレス電極を覆うように基板上に隔壁材料層を形成し、さらにこの上に隔壁の形状に対応するパターンが形成されたレジストマスクを被覆することによって、ワークＷを形成しておく。なお、隔壁材料には比重の小さな低融点ガラスを用い、切削材には比重の大きなガラスビーズ、ＳｉＣ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２等を用いる。
【００３０】
次に、サンドブラスト室１０の内部の湿度をブラスト室湿度調整機構３１０によって適度に加湿調整しておき、材料供給部２００の各々の装置を作動させておく。この時、ファン２４１が回転することによって加工室１２０の内部圧力がその外部圧力に比べて低く調整されているために、加工室１２０の内部には外気供給機構３２０、加工室１２０の搬入窓１２１および搬出窓１２２等から加湿された空気が導入されている。
この状態においてワークＷを搬送ロール１３０の上に載置し、ワークＷをブラストキャビネット１４０の搬入窓１４１、加工室１２０の搬入窓１２２を経由させ加工室１２０の内部へと搬入する。加工室１２０の内部が負圧とされているので一定速度で搬送されたワークＷの上面には外気供給機構３２０の吐出部３２２から加湿された空気が吹きかけられ、次いでこのワークＷの被処理面に向けてブラストガン１１０から切削材が噴射される。ブラストガン１１０は、ワークＷの移動に連動してワークＷの幅方向に往復して揺動し、ワークＷの被処理面の一端から他端へかけて漏れなく切削材を噴射し、ワークＷのレジストマスクにより被覆されていない隔壁材料層を切削・除去する。この時、発生した加工屑は、ヒーター１２４によって瞬間的に乾燥され、加工室１２０の排出部１２３に吸引される。ワークＷが搬送され搬出窓１２２に到達するまでに、ワークＷの被処理面の全面に対してサンドブラスト加工が行われ、加工後、ワークＷは搬出窓１２２からバッファー室１５０に搬送される。そして、バッファー室１５０において、サンドブラスト加工後のワークＷはエア洗浄手段によって洗浄され、ワークＷに付着した加工屑が除去される。ワークＷのエア洗浄後、ワークＷは搬出窓１４２からブラストキャビネット１４０の外側に搬出され、一連のサンドブラスト加工が完了する。
この後、ワークＷからレジストマスクを剥離する工程へと進む。
【００３１】
〔第１の実施形態の作用効果〕
【００３２】
上記のようなサンドブラスト装置１によれば、以下に示す作用効果が期待できる。
（１）サンドブラスト装置１は、ブラスト室湿度調整機構３１０によってサンドブラスト室１０内部の空気を加湿しておき、この加湿された空気を外気供給機構３２０によって加工室１２０の内部に積極的に導入しながらワークＷに対してサンドブラスト加工を行う。これにより、サンドブラスト加工時に発生する静電気を確実に防ぐことができる。
【００３３】
（２）集塵機２４０のファン２４１は、切削後の隔壁材料を回収すると同時に、加工室１２０の内部圧力をその外部圧力よりも低く調整するため、筒状体である外気供給機構３２０に特別に吸引ファン等を設けずとも、外気供給機構３２０から加工室１２０の内部に加湿された空気を自動的に取り込める。したがって、簡易な構造で加工室１２０の内部に加湿された空気を導入することができ、サンドブラスト装置１の製造に当っても部品点数が少なくて済み、また、サンドブラスト加工により各装置が消耗することもないのでサンドブラスト装置１のメンテナンスが容易である。また、ファン２４１によって加工室１２０の内部が減圧状態となっているため、外気供給機構３２０以外にも加工室１２０の搬入窓１２１および搬出窓１２２等から加湿された空気が自動的に流入し、かつ、サンドブラスト加工によって発生した加工屑を加工室１２０の外側に飛散させずに済む。
【００３４】
（３）加工室１２０、材料供給タンク２１０、切削材タンク２５０および定量供給装置２６０の各部には、内部にそれぞれヒーター１２４、２１２、２５１、２６１が設けられているため、材料供給部２００において循環する切削材を湿気から防ぐことができる。これにより、切削材同士が接着することなくブラストガン１１０から噴射されるため、ワークＷの被処理面に対して均一にサンドブラスト加工を行うことができる。
【００３５】
（４）加工室１２０の内部において、外気供給機構３２０の吐出部３２２が、ワークＷが搬送される搬送ラインの上部に配置されるため、静電気が発生するワークＷの処理面のみが高湿度環境となり、加工室１２０内部のその他の部位はヒーター１２４によってドライ化される。このため、サンドブラスト加工において、静電気の発生を確実に防ぎ、かつ、材料供給部２００において循環する切削材を湿気から防ぐことができる。
【００３６】
（５）サンドブラスト加工によって発生した加工屑は、材料供給部２００における分離フィルター２２０によって加工屑中に混在する異物が除去され、さらに遠心分離機２３０によって切削後の隔壁材料と切削材とに分離され、この後、切削後の隔壁材料は集塵機２４０に回収され、切削材は再度サンドブラスト加工に利用される。なお、集塵機２４０に回収された切削後の隔壁材料も、省資源化のために再利用される。このように、無駄なくサンドブラスト加工後の加工屑を再利用できるため、コストを低く抑え、かつ、省資源化に寄与することができる。
【００３７】
〔第２の実施形態〕
以下、本発明の第２の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、第２の実施形態の構成は、上記した第１の実施形態の構成と一部を除いて同様であるため、以下、第１の実施形態と異なる点についてのみ説明する。 図５は、本発明の第２の実施形態に係るサンドブラスト装置２を示す概略構成図である。
【００３８】
〔サンドブラスト装置２の構成〕
図５において、サンドブラスト装置２は、第１の実施形態に係るサンドブラスト装置１と比較して、湿度調整部３００においてのみ構成が異なる。すなわち、湿度調整部３００は、ブラスト室湿度調整機構３１０および外気供給機構３２０に加えて、差圧センサー３３０およびダンパー３４０を備えている。
差圧センサー３３０は、加工室１２０の内部圧力と加工室１２０の外部圧力との差を検知する圧力センサーであり、加工室１２０の一部位においてその内側から外側にかけて設けられている。この差圧センサー３３０は、その検出した圧力差が所定の値、例えば１００Ｐａ以下となった場合に、ダンパー３４０に外気供給機構３２０からの加湿された空気の導入を停止するよう制御し、検出した圧力差が所定の値以上の場合は、ダンパー３４０に加湿された空気を導入するよう制御する。なお、この差圧センサー３３０の位置は、加工室１２０の内部と外部との差圧が検出できる位置であれば、いずれでも構わなく、また、差圧センサー３３０を加工室１２０の内部のみに設けて、検出した内部圧力に基づいてダンパー３４０を制御する構成でも構わない。
ダンパー３４０は、外気供給機構３２０の内部に設けられ、加工室１２０の内側と外側との連通を遮断する弁であり、差圧センサー３３０からの制御により弁の開閉を行う。
なお、差圧センサー３３０およびダンパー３４０は、差圧センサー３３０によって差圧を監視してダンパー３４０を自動的に制御するする自動式であることが望ましいが、差圧センサー３３０を設けずに、サンドブラスト加工を行わない間だけ手動でダンパー３４０を閉じる手動式でも良い。
【００３９】
〔サンドブラスト装置２の動作〕
上記のような構成のサンドブラスト装置２は、サンドブラスト加工動作においても、第１の実施形態に係るサンドブラスト装置１とほぼ同様であるため、動作の異なる点に関して、以下、説明する。
【００４０】
加工室１２０内に加湿された空気を導入する場合について説明する。まず、サンドブラスト室１０の内部をブラスト室湿度調整機構３１０によって適度に加湿調整しておき、材料供給部２００の各々の装置を作動させる。この時、ファン２４１が回転することによって加工室１２０の内部圧力がその外部圧力に比べて低く調整され、差圧センサー３３０は、所定の圧力差以上を確保していると検知した場合、ダンパー３４０を開けるよう制御する。これにより、加工室１２０の内部には外気供給機構３２０により加湿された空気が導入される。
【００４１】
次に、加工室１２０内への加湿された空気の導入を停止する場合について説明する。上記のように、ダンパー３４０を開けた状態とし、加工室１２０の内部に外気供給機構３２０より加湿された空気を導入し続けると、徐々に加工室１２０の内部圧力は上昇し加工室１２０の外部圧力に近づく。この時、差圧センサー３３０は、所定の圧力差以下であると検知した場合、ダンパー３４０を閉じるよう制御する。これにより、加工室１２０の内部への加湿された空気の導入が停止される。
【００４２】
そして、このままダンパー３４０を閉じた状態に保持すると、再び加工室１２０の内部圧力はファン２４１の吸気により徐々に低下する。この時、差圧センサー３３０が所定の圧力差以上を確保していると再び検知した場合、ダンパー３４０を開けるよう制御する。したがって、ダンパー３４０の開閉を繰り返すうちに、加工室１２０の内部とその外部との圧力差は、差圧センサー３３０に設定された所定の値において平衡する。
【００４３】
〔第２の実施形態の作用効果〕
上記のようなサンドブラスト装置２によれば、上記（１）〜（５）の作用効果に加え、以下に示す作用効果が期待できる。  
【００４４】
（６）差圧センサー３３０は、加工室１２０の内部圧力と加工室１２０の外部圧力との差を検知し、その検出した圧力差が所定の値以下となった場合に、ダンパー３４０に外気供給機構３２０からの加湿された空気の導入を停止するよう制御し、検出した圧力差が所定の値以上の場合は、ダンパー３４０に加湿された空気を導入するよう制御する。このため、加工室１２０の内部圧力を常に一定に保持することができ、また、加工室１２０の内部には加湿された空気を導入することができ、さらに、サンドブラスト加工によって発生した加工屑が加工室１２０の外部に飛散することを防げる。
【００４５】
〔第３の実施形態〕
以下、本発明の第３の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、第３の実施形態の構成は、上記した第２の実施形態の構成と一部を除いて同様であるため、以下、第２の実施形態の構成と異なる点についてのみ説明する。 図６は本発明の第３の実施形態を示すサンドブラスト装置３を示す概略構成図である。
【００４６】
〔サンドブラスト装置３の構成〕
第３の実施形態に係るサンドブラスト装置３は、第２の実施形態に係るサンドブラスト装置２とは、サンドブラスト装置３がサンドブラスト室１０の内部に設置されていない点、および、湿度調整部３００に関してのみ構成が異なる。サンドブラスト装置３がサンドブラスト室１０の内部に設置されていないのは、サンドブラスト装置３を他の前後工程の装置と同フロアに設置する場合を想定したことによるものである。すなわち、一連のプラズマディスプレイパネルの製造工程における様々な装置が同一フロアに配置され、サンドブラスト装置のためにそのフロア全体の湿度を上げたとすると、高湿度が他の工程に悪影響を及ぼす場合である。例えば、前工程におけるアドレス電極形成工程では、加湿の影響で現像条件などが変化してしまう等の問題が発生する。
【００４７】
図６に示すように、湿度調整部３００は、加湿器３５０、外気供給機構３２０、差圧センサー３３０およびダンパー３４０を備えている。
加湿器３５０は、加工室内湿度調整手段であり、加工室１２０の外側に設けられ、空気を加湿する。外気供給機構３２０の吸引部３２１は、送風管３２３を介して加湿器３５０に連絡されており、加湿器３５０によって加湿された空気を直接、加工室１２０の内部に導入する。加工室１２０には差圧センサー３３０が設けられ、外気供給機構３２０の内部にはダンパー３４０が設けられる。
【００４８】
なお、サンドブラスト装置３の構成において、加湿された空気は、外部に漏れることなく加工室１２０の内部に導入され、分離フィルター２２０および遠心分離機２３０を経由して吸気ファン２４１によって吸引される。そして、この加湿された空気は、サンドブラスト装置３が設置されたフロアに漏れることなく、吸気ファン２４１からフロアの外部へと放出される。このとき、フロアの外部に放出される空気は、地球環境を考慮して適切な処置が施されることは言うまでもない。
また、サンドブラスト装置３は、サンドブラスト室１０の内部に設置されていない構成としたが、仮にサンドブラスト室１０の内部に設置されたとしても何ら支障はない。
【００４９】
〔サンドブラスト装置３の動作〕
上記のような構成のサンドブラスト装置３のサンドブラスト加工動作においても、第２の実施形態に係るサンドブラスト装置２の動作とほぼ同様であり、以下、動作の異なる点についてのみ説明する。
【００５０】
まず、加湿器３５０によって高湿度の空気を生成すると、外気供給機構３２０は、この加湿された空気を送風管３２３を介して加工室１２０の内部に導入する。この時、差圧センサー３３０は、ダンパー３４０を開閉することによって加工室１２０の内部とその外部の圧力差を一定に保持し、加工室１２０の内部が減圧された状態とする。このため、加湿された空気は、加工室１２０の外部に漏れることなくワークＷの処理面に導入される。
【００５１】
〔第３の実施形態の作用効果〕
上記のようなサンドブラスト装置３によれば、上記（２）〜（６）の作用効果に加え、以下に示す作用効果が期待できる。  
【００５２】
（７）サンドブラスト装置３は、加湿器３５０によって加湿された空気を生成し、この加湿された空気を外気供給機構３２０によって加工室１２０の内部に積極的に導入しながらサンドブラスト加工を行う。これにより、サンドブラスト加工時に発生する静電気を確実に防ぐことができる。また、サンドブラスト装置３は、サンドブラスト室１０の内部に密閉されておらず、前後の工程に用いられる装置と同一フロアに配置することができ、これによりプラズマディスプレイパネルの製造効率が向上する。さらに、加湿された空気は加工室１２０の外部に漏れることがないため、サンドブラスト装置３と同一フロアに配置された他の工程に用いられる装置に悪影響を及ぼすことがない。
【００５３】
〔第４の実施形態〕
以下、本発明の第４の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、第４の実施形態の構成は、上記した第３の実施形態の構成と一部を除いて同様であるため、以下、第３の実施形態の構成と異なる構成についてのみ説明する。図７は本発明の第４の実施形態を示すサンドブラスト装置４を示す概略構成図である。
【００５４】
〔サンドブラスト装置４の構成〕
第４の実施形態に係るサンドブラスト装置４は、第３の実施形態に係るサンドブラスト装置３における加工室１２０が、３部屋並んで設けられている点で構成が異なる。なお、本実施形態では、加工室１２０の数を３つとしたが、個数はこれに限定されなく、複数であればいずれでもよい。また、第１の実施形態および第２の実施形態において、加工室１２０を複数設ける構成にしても構わない。
【００５５】
サンドブラスト装置４は、サンドブラスト装置３と同様にサンドブラスト室１０の内部に設置されておらず、他の前後工程の装置と同じフロアに設置されている。図７において、サンドブラスト装置４は、１つのブラストキャビネット１４０の内部に３つの加工室１２０が並んで設けられている。これに伴い、３つの加工室（１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ）のそれぞれに対してブラストガン１１０、ヒーター１２４、複数の搬送ロール１３０、外気供給機構３２０、差圧センサー３３０およびダンパー３４０が１対ずつ設けられている。
３つの加工室（１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ）には搬入窓１２１および搬出窓１２２がそれぞれ設けられており、搬送ラインは、これら全ての搬入窓１２１および搬出窓１２２を貫通するように形成されている。
連絡管２２１は、その一端部が３本に分岐されて３つの加工室（１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ）の排出部１２３にそれぞれ接続されており、連絡管２２１の他端は分離フィルター２２０に接続されている。
連絡管２６２は、その一端部が３本に分岐されて３つのブラストガン１１０にそれぞれ接続されており、連絡管２６２の他端は定量供給装置２６０に接続されている。
送風管３２３は、その一端部が３本に分岐されて３つの外気供給機構３２０の吸引部３２１にそれぞれ接続されており、送風管３２３の他端は加湿器３５０に接続されている。
３対の差圧センサー３３０およびダンパー３４０は、それぞれ独立して作動し、それぞれの差圧センサー３３０がそれぞれの加工室（１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ）の内部圧力が所定の値となるよう適宜ダンパー３４０を制御する。
なお、切削材の噴射および加湿された空気の供給は、３つの加工室（１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ）のいずれかにおいてワークＷが室内に搬送された１つの部屋のみに対して行うことが望ましい。すなわち、ワークＷが加工室１２０Ａの内部に搬送されてきた場合、加工室１２０Ａにおけるダンパー３４０のみを開放して高湿度の空気を導入し、ワークＷの搬送に連動してブラストガン１１０を作動する。また、ワークＷが加工室１２０Ａの内部にない場合は、加工室１２０におけるダンパー３４０を閉じて高湿度の空気の導入を停止し、ブラストガン１１０の作動を停止する。
【００５６】
〔サンドブラスト装置４の動作〕
上記のような構成のサンドブラスト装置４のサンドブラスト加工動作においても、第３の実施形態に係るサンドブラスト装置３の動作とほぼ同様であり、以下、動作が異なる点についてのみ説明する。
【００５７】
まず、前工程から搬送ラインに乗ってワークＷが搬送され、ワークＷをブラストキャビネット１４０の搬入窓１４１、加工室１２０Ａの搬入窓１２１を経由させ加工室１２０Ａの内部へと搬入する。
この時、加湿器３５０によって生成された高湿度の空気は、加工室１２０Ａにおける外気供給機構３２０のダンパー３４０のみを開放することによって、送風管３２３を介して加工室１２０Ａのみに導入される。この時、加工室１２０Ａにおける差圧センサー３３０は加工室１２０Ａの内部とその外部の圧力差を一定に保持し、加工室１２０Ａの内部は減圧された状態となっている。
加工室１２０Ａの内部においてワークＷを一定速度で搬送すると、ワークＷの上面にはその一端から外気供給機構３２０の吐出部３２２から加湿された空気が吹きかけられ、さらに切削材が噴射される。この時、発生した加工屑は、ヒーター１２４によって瞬間的に乾燥され、加工室１２０Ａの排出部１２３に吸引される。加工室１２０Ａにおいて、ワークＷが搬送されて搬出窓１２２に到達するまでに、ワークＷの被処理面の全面に対してサンドブラスト加工が行われ、次いで、加工室１２０Ｂ、加工室１２０Ｃへとワークが搬送され、同様のサンドブラスト加工が行われる。加工後、ワークＷは、加工室１２０Ｃの搬出窓１２２からバッファー室１５０に搬送される。そして、バッファー室１５０において、サンドブラスト加工後のワークＷはエア洗浄手段によって洗浄され、ワークＷに付着した加工屑が除去される。ワークＷのエア洗浄後、ワークＷは搬出窓１４２からブラストキャビネット１４０の外側に搬出され、一連のサンドブラスト加工が完了する。
【００５８】
〔第４の実施形態の作用効果〕
上記のようなサンドブラスト装置４によれば、上記（２）〜（７）の作用効果に加え、以下に示す作用効果が期待できる。  
【００５９】
（８）サンドブラスト装置４は、３つの加工室（１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ）が搬送ラインと平行に並設されており、これらの加工室のそれぞれに対してブラストガン１１０、ヒーター１２４、複数の搬送ロール１３０、外気供給機構３２０、差圧センサー３３０およびダンパー３４０が１対ずつ設けられている。ワークＷは、３つの加工室（１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ）のそれぞれにおいてサンドブラスト加工が行われるため、静電気の発生を防止することができ、さらに加工ムラを均一化できる。
【００６０】
〔変形例〕
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【００６１】
例えば、前記４つの全ての実施形態では、サンドブラスト装置によりプラズマディスプレイパネルの背面基板に隔壁を形成する場合について説明したが、これに限らず、本発明のサンドブラスト装置は、様々な被加工体に対してサンドブラスト加工を行うことができる。
【００６２】
また、集塵機２４０のファン２４１を加工室内圧力制御手段として利用する構成を採用したが、これに限らず、サンドブラスト装置に別のファンを設けこれを加工室内圧力制御手段とする構成でもよい。
【００６３】
さらに、遠心分離機２３０の内部にヒーターが設けられていない構成としているが、これに限らず、遠心分離機２３０の内部に除湿器やヒーターを設ける構成としてもよい。このような構成によれば、遠心分離機２３０の内部においてもドライ化が図れるので、加工屑どうしが湿度によって互いに吸着して塊状体とならず、より確実に切削後の隔壁材料と切削材とを分離することができる。
【００６４】
〔実施形態の作用効果〕
本発明の一実施形態に係るサンドブラスト装置は、ワークＷに切削材を噴射してワークＷを成形するサンドブラスト加工を行うサンドブラスト装置であって、切削材を噴射するブラストガン１１０と、このブラストガン１１０を内部に設置しサンドブラスト加工が行われる加工室１２０と、この加工室１２０内の湿度を上げるように調整する外気供給機構３２０と、加工室１２０の内部の圧力を加工室１２０の外部の圧力よりも低く保持するよう制御する吸気ファン２４１と、を備えている。このような構成のサンドブラスト装置によってサンドブラスト加工を行う際は、ブラスト室湿度調整機構３１０によってサンドブラスト室１０内部の空気を加湿しておき、この加湿された空気を外気供給機構３２０によって加工室１２０の内部に積極的に導入しながらワークＷに対してブラストガン１１０より切削材を噴射する。これにより、サンドブラスト加工時に発生する静電気を確実に防ぐことができる。また、加工室１２０の内部が負圧に保持されていることから、外気供給機構３２０に特別に吸引ファン等を設けずとも、外気供給機構３２０から加工室１２０の内部に加湿された空気を自動的に取り込める。したがって、簡易な構造で加工室１２０内部に加湿された空気を導入することができ、サンドブラスト装置１の製造に当っても部品点数が少なくて済み、また、サンドブラスト加工により各装置が消耗することもなくサンドブラスト装置１のメンテナンスが容易である。また、加工室１２０の内部が負圧に保持されていることから、外気供給機構３２０以外にも加工室１２０の搬入窓１２１および搬出窓１２２等から加湿された空気が自動的に流入し、かつ、サンドブラスト加工によって発生した加工屑を加工室１２０の外側に飛散させずに済む。
【００６５】
また、本発明の一実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、放電空間を挟んで対向配置された一対の基板のうち少なくとも一方の基板すなわち背面基板の内面側に設けられた複数のアドレス電極と、放電空間を区画するように間に凹部を挟んで形成された複数の隔壁とを備えたプラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、前記背面基板上に前記隔壁となる隔壁材料層を形成し、この隔壁材料層の上に前記隔壁のパターンに対応するレジストマスクを被覆することによりワークＷを形成し、加工室１２０内においてワークＷの被処理面に対して切削材を噴射して前記隔壁および前記凹部を形成するサンドブラスト加工を行い、加工室１２０は、その内部の湿度を上げるように調整され、かつ、その内部の圧力を加工室１２０の外部の圧力よりも低く保持される。このため、サンドブラスト加工を行う際に静電気の発生を防止することができ、静電気が背面基板の品質に悪影響を与えることがなくなる。つまり、プラズマディスプレイパネルの製造効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】従来の一般的なプラズマディスプレイパネルの内部構造を示す分解斜視図である。
【図２】従来のサンドブラスト法によってプラズマディスプレイパネルの背面基板に隔壁を形成する場合の問題点を示す図である。
【図３】従来の一般的なサンドブラスト装置を示す概略構成図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係るサンドブラスト装置を示す概略構成図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るサンドブラスト装置を示す概略構成図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るサンドブラスト装置を示す概略構成図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係るサンドブラスト装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００６７】
１     サンドブラスト装置
１０   サンドブラスト室（専用室）
１００ 加工部
１１０ ブラストガン（切削材噴射手段）
１２０ 加工室
１３０ 搬送ロール
２００ 材料供給部
２４１  吸気ファン（加工室内圧力制御手段）
３００ 湿度調整部
３１０ ブラスト室湿度調整機構（専用室内湿度調整手段）
３２０ 外気供給機構（加工室内湿度調整手段）
３３０ 差圧センサー（圧力検出手段）
３４０ ダンパー（加湿停止手段）
３５０ 加湿器（加湿手段）
Ｗ   ワーク（被加工体）
【図１】
2006102860.tif 000003
【図２】
2006102860.tif 000004
【図３】
2006102860.tif 000005
【図４】
2006102860.tif 000006
【図５】
2006102860.tif 000007
【図６】
2006102860.tif 000008
【図７】
2006102860.tif 000009