(57)【要約】【課題】  吸着されたワークを容易に真空破壊して解除することができる吸着テーブル装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。【解決手段】  吸着テーブル装置１９は、マザー基板１２７の載置面に吸引溝７３が設けられ、該吸引溝７３に吸引孔７５を有し、マザー基板１２７の載置面の中心部と外側部に個別に備えられている。吸引孔７５は、エアー吸引・供給装置７１に接続され、外側部に設けられた吸引孔７３から中心部に向けて順次解除される。【選択図】      図４
2006102893.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークがテーブル上に載置される吸着テーブル装置であって、
前記ワークが前記テーブル上に載置される載置面と、
前記載置面に設けられた溝と、前記溝に設けられた吸引孔とからなる吸着部と、
前記吸引孔からエアーを吸引するエアー吸引装置と、
前記吸引孔にエアーを供給するエアー供給装置と、
を備えたことを特徴とする吸着テーブル装置。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着テーブル装置において、
前記載置面の中心部から周縁部までに複数の前記吸着部を設けていることを特徴とする吸着テーブル装置。
【請求項３】
請求項２に記載の吸着テーブル装置において、
前記載置面の中心部と比べて周縁部に前記吸引孔の数を多く設けていることを特徴とする吸着テーブル装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の吸着テーブル装置において、
前記吸着部は、前記載置面の周方向に区分され、前記エアー供給装置は、前記区分の前記吸着部にエアーを供給することを特徴とする吸着テーブル装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の吸着テーブルにおいて、
前記エアー供給装置は、前記載置面の周縁に最も近い箇所に配置された前記吸着部から中心部に配置された前記吸着部の方向へ順次エアーを供給していくことを特徴とする吸着テーブル装置。
【請求項６】
機能液を吐出する機能液吐出装置であって、請求項１〜４のいずれか一項に記載の吸着テーブル装置を備え、前記吸着テーブル装置に吸着した前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法であって、
前記吸着テーブル装置に前記ワークを吸着して固定するワーク吸着工程と、
前記ワーク吸着工程で固定された前記ワーク上に機能液を吐出して描画する機能液吐出工程と、
前記機能液吐出工程で描画した前記ワークを前記吸着テーブルから吸着を解除するワーク解除工程とを有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記ワーク解除工程は、前記ワークの周縁部に設けられた前記吸着部にエアーを供給して、前記ワークの周縁部の吸着を解除する周縁部解除工程と、
前記ワークの中心部に設けられた前記吸着部にエアーを供給して、前記ワークの中心部の吸着を解除する中心部解除工程とを有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記ワーク解除工程は、更に、前記ワークの周縁部に区分された周方向の前記吸着部にエアーを供給して、前記ワークの周縁部に区分された周方向の吸着を解除する周方向解除工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項６に記載の液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置であって、
前記ワーク上に機能液を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項７に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１０に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着テーブル装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークをテーブル上に吸着固定および開放する方法として、テーブルに設けられた吸引孔からエアーを吸引して真空状態にすることによりテーブルに載置したワークを吸着固定し、これを開放する場合には、吸引孔から圧縮エアーを供給して真空破壊を行うことによりワークをテーブルから開放するものが知られている。この場合において、ワークに対する製造上の品質安定性確保から確実に吸着させ、また、テーブル上での加工が終了した後には加工時間の短縮のために素早く真空破壊を行う必要がある。このため、例えば、テーブルに設けられた吸引孔をテーブルに載置されるワークの中心部と周辺部に設け、これらの吸引孔を利用して、ワークの吸着および開放を行う吸着テーブル装置が知られている（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１２３４９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の吸着テーブル装置は、吸引孔のみを利用してワークの吸着と真空破壊を行うものなので、例えば、ワークをテーブルから開放する場合において、ある吸引孔だけが開放されるとエアーがその吸引孔に集中して流れ出してしまい、他の吸引孔の真空破壊ができないという問題がある。また、ワーク外形寸法の大きなものを吸着させた後に真空破壊を行う場合、吸引孔がワーク端よりも極端に内側に配置されている状態となるのでエアーが外へ逃げられないのでワークの中央部が膨らむように反り返り、負荷がかかるという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、上記問題を解決するためになされたものであって、吸着されたワークを容易に真空破壊して解除することができる吸着テーブル装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明では、ワークがテーブル上に載置される吸着テーブル装置であって、ワークがテーブル上に搭置される載置面と、載置面に設けられた溝と、溝に設けられた吸引孔とからなる吸着部と、吸引孔からエアーを吸引するエアー吸引装置と、吸引孔にエアーを供給するエアー供給装置とを備えたことを要旨とする。
【０００７】
これによれば、吸引孔を介して吸引溝でエアーの吸引が行われることにより、ワークの吸着面積が大きくなるので適切にワークをテーブルに固定することができる。また、吸引溝全体にエアーが供給されるので、ワークをテーブルから容易に解除することができる。
【０００８】
本発明の吸着テーブル装置は、載置面の中心部から周縁部までに複数の吸着部を設けてもよい。
【０００９】
これによれば、複数の吸着部が設けられているので、ワークの外形寸法に対し適宜対応することができる。
【００１０】
本発明の吸着テーブル装置は、載置面の中心部と比べて周縁部に吸引孔の数を多く設けてもよい。
【００１１】
これによれば、周縁部の方が中心部に比べてワークを押し上げる力が大きいので、ワークを容易に解除することができる。
【００１２】
本発明の吸着テーブル装置の吸着部は、載置面の周方向に区分され、エアー供給装置は、該区分の吸着部にエアーを供給してもよい。
【００１３】
これによれば、区分毎にエアーの供給を行うので、吸着部の解除もれを低減させることができる。
【００１４】
本発明の吸着テーブル装置のエアー供給装置は、載置面の周縁に最も近い箇所に配置された吸着部から中心部に配置された吸着部の方向へ順次エアーを供給してもよい。
【００１５】
これによれば、吸着されたワーク外側から順次にエアーを供給していくので、ワークの吸着を外側から順に解除することができ、テーブルから開放しやすくなる。さらに、中心部が先に解除させた場合にエアー溜りによるワーク反りを防止することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置は、機能液を吐出する機能液吐出装置であって、吸着テーブル装置を備え、吸着テーブル装置に吸着したワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを要旨とする。
【００１７】
これによれば、吸着テーブル装置によって吸着固定されたワークに対して機能液吐出装置から機能液を吐出して描画を行うので、製造工程を簡略化し、工数削減をすることができる。
【００１８】
本発明の電気光学装置の製造方法は、液滴吐出装置を用いて電気光学装置を製造する方法であって、吸着テーブル装置にワークを吸着して固定するワーク吸着工程と、ワーク吸着工程で固定されたワーク上に機能液を吐出して描画する機能液吐出工程と、機能液吐出工程で描画したワークを吸着テーブルから吸着を解除するワーク解除工程とを有することを要旨とする。
【００１９】
これによれば、吸着によって固定されたワークに対して液滴吐出装置から吐出する機能液の吐出位置精度を高め、また、ワークを容易に解除するので、機能液の位置ずれ等による品質不具合品を低減することがきる。また、ワークの欠損等による歩留りの低減を抑制することがきる。
【００２０】
本発明の電気光学装置の製造方法において、ワーク解除工程は、ワークの周縁部に設けられた吸着部にエアーを供給して、ワークの周縁部の吸着を解除する周縁部解除工程と、ワークの中心部に設けられた吸着部にエアーを供給して、ワークの中心部の吸着を解除する中心部解除工程とを有していてもよい。
【００２１】
これによれば、ワークの周縁部が先に解除されるので、ワーク中心部にエアー溜りによるワーク反り等の不具合を低減させることができる。
【００２２】
本発明の電気光学装置の製造方法において、ワーク解除工程は、更に、ワークの周縁部に区分された周方向の吸着部にエアーを供給して、ワークの周縁部区分された周方向の吸着を解除する周方向解除工程を有していてもよい。
【００２３】
これによれば、区分毎にエアーの供給を行うので、吸着部の解除もれを低減させることができる。
【００２４】
本発明の電気光学装置は、ワーク上に機能液を吐出して成膜部を形成したことを要旨とする。
【００２５】
これによれば、ワークの吸着および解除を適切に行うことができると共に液滴吐出装置を用いて製造されるので、信頼性の高い電気光学装置を製造することができる。
【００２６】
本発明の電子機器は、電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または電気光学装置を搭載したことを要旨とする。
【００２７】
この場合、例えば、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子機器がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明を具体化した第１実施形態および第２実施形態について図面を参照して説明する。
【００２９】
[第１実施形態]
まず、液滴吐出装置について説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【００３０】
液滴吐出装置１０は、ワークとしてのマザー基板１２７に対して機能液を所定位置に液滴として吐出して付着させるための装置である。
【００３１】
図１において、液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド１５を備えたキャリッジ１８と、液滴吐出ヘッド１５の位置を制御するヘッド位置制御装置１１と、マザー基板１２７を吸着して固定する吸着テーブル装置１９と、マザー基板１２７の位置を本位置決めする基板位置制御装置１２と、液滴吐出ヘッド１５に対してマザー基板１２７を主走査移動させる主走査駆動装置１３と、マザー基板１２７に対して副走査移動させる副走査駆動装置１４と、マザー基板１２７を液滴吐出装置１０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置１６と、吸着テーブル装置１９にエアーの吸引及び供給するエアー吸引・供給装置７１と、液滴吐出装置１０の全般の制御を司るコントロール装置１７で構成されている。
【００３２】
ヘッド位置制御装置１１、基板位置制御装置１２、主走査駆動装置１３、副走査駆動装置１４及び吸着テーブル装置１９はベース３０の上に設置される。また、それらの装置は必要に応じてカバー３１によって覆われている。
【００３３】
基板供給装置１６は、マザー基板１２７を収容する基板収容部２０と、マザー基板１２７を搬送するロボット２１を有している。ロボット２１は、床、地面等といった設置面に置かれる基台２２と、基台２２に対して昇降移動する昇降軸２３と、昇降軸２３を中心として回転する第１アーム２４と、第１アーム２４に対して回転する第２アーム２５と、第２アーム２５の先端下面に設けられた吸着パッド２６とを有する。吸着パッド２６は、エアー吸引力によってマザー基板１２７を吸着できる。
【００３４】
副走査駆動装置１４によって駆動されて移動する液滴吐出ヘッド１５の軌道下にあって主走査駆動装置１３の一方の脇位置に、キャッピング装置４５およびクリーニング装置４６が配置される。また、他方の脇位置に電子天秤４７が配置されている。クリーニング装置４６は液滴吐出ヘッド１５を洗浄するための装置である。電子天秤４７は、液滴吐出ヘッド１５に設けられたノズル５０（図３参考）から吐出される機能液の液滴重量を測定する機器である。そして、キャッピング装置４５は液滴吐出ヘッド１５が待機状態にあるときノズル５０の乾燥および目詰まりを防止するための装置である。
【００３５】
液滴吐出ヘッド１５の近傍には、その液滴吐出ヘッド１５と一体に移動するヘッド用カメラ４８が配置されている。また、ベース３０上に設けられた支持装置（図示せず）に支持された基板用カメラ４９がマザー基板１２７を撮影できる位置に配置される。
【００３６】
コントロール装置１７は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部２７と、入力装置としてのキーボード２８と、表示装置としてのＣＲＴ等のディスプレイ２９とを有する。
【００３７】
図２は、液滴吐出装置１０の電気制御ブロック図である。図２において、プロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４０と、各種情報を記憶するメモリ４１とを有する。
【００３８】
ヘッド位置制御装置１１、基板位置制御装置１２、主走査駆動装置１３、副走査駆動装置１４、エアー吸引・供給装置７１、液滴吐出ヘッド１５を駆動するヘッド駆動回路４２の各機器は、入出力インターフェース４３およびバス４４を介してＣＰＵ４０およびメモリ４１に接続されている。また、基板供給装置１６、入力装置２８、ディスプレイ２９、電子天秤４７、クリーニング装置４６およびキャッピング装置４５の各機器も入出力インターフェース４３およびバス４４を介してＣＰＵ４０およびメモリ４１に接続されている。
【００３９】
メモリ４１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念であり、機能的には、液滴吐出装置１０の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、マザー基板１２７内における吐出位置を座標データとして記憶するための記憶領域や、副走査方向Ｙへのマザー基板１２７の副走査移動量を記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４０のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００４０】
ＣＰＵ４０は、メモリ４１内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー基板１２７の表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御を行うものであり、具体的な機能実現部として、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部４０１と、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部４０２と、電子天秤４７を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部４０３と、液滴吐出ヘッド１５によって機能液を吐出するための演算を行う吐出演算部４０６と、エアーの吸引および供給処理を実現するための演算を行うエアー吸引・供給演算部４０４とを有する。
【００４１】
吐出演算部を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド１５を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部４０７と、液滴吐出ヘッド１５を主走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部４０８と、マザー基板１２７を副走査方向Ｙへ所定の副走査量を移動するための制御を演算する副走査制御演算部４０９と、液滴吐出ヘッド１５内の複数あるノズルのうちのいずれを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算と、を行うノズル吐出制御演算部４１０等といった各種の機能演算部を有する。
【００４２】
なお、本実施形態では、上記の各機能がＣＰＵ４０を用いてプログラムソフトで実現することとしたが、上記の各機能がＣＰＵを用いない単独の電子回路によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いることも可能である。
【００４３】
次に、液滴吐出装置１０に備えられた液滴吐出ヘッド１５について説明する。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッド１５の一部破断した斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッド１５の一部を示した側断面図である。
【００４４】
図３（ａ）において、液滴吐出ヘッド１５は、例えば、ステンレス製のノズルプレート５１と、それの対向面に振動板５２と、それらを互いに接合する複数の仕切部材５３とを有する。ノズルプレート５１と振動板５２との間には、仕切部材５３によって複数の機能液室５４と機能液溜り部５５とが形成されている。複数の機能液室５４と機能溜り部５５とは通路５８を介して互いに連通している。機能液室５４は、仕切部材５３によって区画され、均等間隔で配列して形成されている。
【００４５】
振動板５２の適所には機能液供給孔５６が形成され、この機能液供給孔５６に機能液供給装置５７が接続される。機能液供給装置５７は、Ｒ、Ｇ、Ｂのうち１色、例えばＲ色の機能液としてのフィルタエレメント材料Ｍを機能液供給孔５６へ供給する。供給されたフィルタエレメント材料Ｍは機能液溜り部５５に充満し、さらに通路５８を通って機能液室５４に充満する。
【００４６】
ノズルプレート５１には、機能液室５４からフィルタエレメント材料Ｍをジェット状に噴射するためのノズル５０が設けられている。また、振動板５２の機能液室５４を形成する面の裏面には、該機能液室５４に対応させて機能液加圧体５９が取り付けられている。この機能液加圧体５９は、図３（ｂ）に示すように、圧電素子材６０とこれを狭持する一対の電極６１ａおよび６１ｂを有する。圧電素子材６０は、電極６１ａおよび６１ｂへの通電によって矢印Ａで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより機能液室５４の容積が増大する。すると、増大した容量分に相当するフィルタエレメント材料Ｍが機能液溜り部５５から通路５８を通って機能液室５４へ流入する。
【００４７】
次に、圧電素子材６０への通電を解除すると、該圧電素子材６０と振動板５２は共に元の形状へ戻る。これにより、機能液室５４も元の容積に戻るため機能液室５４の内部にあるフィルタエレメント材料Ｍの圧力が上昇し、ノズル５０からマザー基板１２７へ向けてフィルタエレメント材料Ｍが液滴６３となって噴射する。なお、ノズル５０の周辺部には、液滴６３の飛行曲がりやノズル５０の孔詰まり等を防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥機能液層６２が設けられている。
【００４８】
次に、吸着テーブル装置１９について説明する。図４に示すように、吸着テーブル装置１９は、石材の厚板状に構成された平面視略正方形のテーブル７０を有し、マザー基板１２７の載置面は、均一な平坦面を成している。吸着テーブル装置１９の一辺の長さは、マザー基板１２７の長辺の長さと略一致しており、コストダウンを図るべく最小限の大きさに形成されている。
【００４９】
また、マザー基板１２７を吸引するための吸引溝７３が複数形成されており、該吸引溝７３には複数個の吸引孔７５が設けられている。吸引孔７５は、吸引溝７３毎にグループ化され、エアー吸引・供給装置７１に接続されている。具体的には、各吸引溝７３（７３α、７３β、７３γ）は、各グループ化された吸引孔７５を介してエアー吸引・供給装置７１の各配管（配管α、β、γ）にそれぞれ接続されている。従って、マザー基板１２７を縦置きおよび横置きのいずれか任意の向きでセットすることが可能である。例えば、マザー基板１２７を縦置きにした場合には、吸引溝７３βからエアーを吸引することによりマザー基板１２７を吸着セットする。また、横置きにした場合には、吸引溝７３γからエアーを吸引することによりマザー基板１２７を吸着セットする。吸引溝７３αは、マザー基板１２７の中心部を吸着させるものであり、縦置きまたは横置きに関らず共通して使用される。なお、吸引溝７３は、吸着テーブル装置１９の中心部から外側に向かって同心状に大きくなるように複数個設けられている。なお、同図の内側の吸引溝７３は２点破線で描いている。
【００５０】
図５は、吸着テーブル装置１９に接続されるエアー吸引・供給装置７１の空圧回路図である。
【００５１】
エアー吸引・供給装置７１は、エアーを吸引してマザー基板１２７を吸着テーブル装置１９のテーブル７０の上面に吸着セットし、また、エアーを供給してマザー基板１２７の吸着を解除する装置である。エアー吸引・供給装置７１は、図５に示すように、エアー吸引装置１０１とエアー供給装置１００で構成されている。
【００５２】
エアー吸引装置１０１は、エアーの吸引を行う真空ポンプ１１２と、吸着テーブル装置１９の吸引孔７５と真空ポンプ１１２とを配管接続する吸引配管部１１３とを有している。吸引配管部１１３は、各吸引溝７３の吸引孔７５にそれぞれ連通する３本の個別エアー吸引チューブ１１４（１１４α、１１４β、１１４γ）と、各個別エアー吸引チューブ１１４を開閉する３個の吸引用開閉バルブ１１５（１１５α、１１５β、１１５γ）と、３本の個別エアー吸引チューブ１１４を真空ポンプ１１２に接続するためのエアー吸引マニホールド１１６とを有しており、マザー基板１２７のセット方向に応じてエアー吸引を行うようになっている。また、各個別エアー吸引チューブ１１４には、マザー基板１２７の吸引圧力を検出するための圧力センサ１１７が設けられている。
【００５３】
例えば、マザー基板１２７を縦置きにしたときには吸引溝７３γの吸引孔７５に接続するエアー吸引チューブ１１４γが吸引用開閉バルブ１１５γにより閉塞され、吸引用開閉バルブ１１５αと１１５βが開いてエアーを吸引する。マザー基板１２７を横置きしたときには吸引溝７３βの吸引孔７５に接続するエアー吸引チューブ１１４βが吸引用開閉バルブ１１５βにより閉塞され、吸引用開閉バルブ１１５αと１１５γが開いてエアーを吸引する。
【００５４】
エアー供給装置１００は、圧縮されたエアーの供給を行うコンプレッサ１１１がエアー供給チューブ１１０を介して各個別切替え用開閉バルブ１１８（１１８α、１１８β、１１８γ）に接続されている。さらに、切替え用開閉バルブ１１８は、個別エアー吸引チューブ１１４に接続されている。マザー基板１２７の吸着を解除する場合には、各個別切替え用開閉バルブ１１８を開き、各個別エアー吸引チューブ１１４を介して、エアー供給装置１００から圧縮エアーを供給して真空破壊を行う構成となっている。
【００５５】
次に、液滴吐出装置１０を用いて製造される電気光学装置について説明する。まず、液滴吐出ヘッド１５を用いて成膜部を形成するパターン形成基板としてのカラーフィルタについて説明する。図６（ａ）は、カラーフィルタの平面図であり、図６（ｂ）は、カラーフィルタの基礎となるマザー基板の平面図である。
【００５６】
カラーフィルタ１２０は、ガラスやプラスチック等によって形成された方形状の基板１２１の表面に複数のフィルタエレメント１２２をドットパターン状（ドット・マトリクス状）に形成されている。フィルタエレメント１２２は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁１２４によって区画されて、ドット・マトリクス状に並んだ複数の方形状の領域を機能液で埋め、その後熱工程を経て固形化された機能膜によって形成される。また、これらのフィルタエレメント１２２は、それぞれが、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちいずれか１色の機能膜によって形成され、それらの各色フィルタエレメント１２２が所定の配列に並べられている。この配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等が知られている。
【００５７】
図６（ａ）において、カラーフィルタ１２０の大きさは、例えば、１．８インチである。また、１個のフィルタエレメント１２２の大きさは、例えば３０μｍ×１００μｍである。また、各フィルタエレメント１２２のピッチは、例えば、７５μｍである。
【００５８】
本実施形態のカラーフィルタ１２０をフルカラー表示のための光学要素として用いる場合には、Ｒ、Ｇ、Ｂの３個のフィルタエレメント１２２を１つのユニットとして１つの画素を形成し、１画素内のＲ、Ｇ、Ｂのいずれか１つまたはそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、透過性のない樹脂材料によって形成された隔壁１２４はブラックマスクとして作用する。
【００５９】
上記のカラーフィルタ１２０は、例えば、図６（ｂ）に示すように大面積のマザー基板１２７から切り出される。具体的には、まず、マザー基板１２７内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域１２６のそれぞれの表面にカラーフィルタ１２０の１個分のパターンを形成し、さらにそれらのカラーフィルタ形成領域１２６の周りに切断溝を形成し、さらにそれらの溝に沿ってマザー基板１２７を切断することにより、個々のカラーフィルタ１２０が形成される。
【００６０】
次に、カラーフィルタ１２０の製造方法について説明する。図７は、カラーフィルタ１２０の製造方法を工程順に示した模式図である。
【００６１】
図７（ａ）に示すように、まず、マザー基板１２７の表面に透明性のない樹脂材料によって隔壁１２４を矢印Ｂ方向から見て格子状パターンに形成する。格子状パターンの格子穴の部分はフィルタエレメント１２２が形成される領域、すなわちフィルタエレメント形成領域１２５である。この隔壁１２４によって形成される個々のフィルタエレメント形成領域１２５の矢印Ｂ方向から見た場合の平面寸法は、例えば３０μｍ×１００μｍ程度に成形される。
【００６２】
隔壁１２４は、フィルタエレメント形成領域１２５に供給される機能液としてのフィルタエレメント材料１２８の流動を阻止する機能およびブラックマスクの機能を併せて有する。また、隔壁１２４は任意のパターニング手法、例えば、フォトリソグラフィー法によって形成され、さらに必要に応じてヒータによって加熱されて形成される。
【００６３】
隔壁１２４の形成後、図７（ｂ）に示すように、フィルタエレメント材料１２８の液滴６３を各フィルタエレメント形成領域１２５に供給することにより、各フィルタエレメント形成領域１２５を埋める。図７（ｂ）において、符号１２８ＲはＲ（赤）の色を有するフィルタエレメント材料を示し、符号１２８ＧはＧ（緑）の色を有するフィルタエレメント材料を示し、符号１２８ＢはＢ（青）の色を有するフィルタエレメント材料を示している。
【００６４】
各フィルタエレメント形成領域１２５に所定量のフィルタエレメント材料１２８が充填されると、ヒータによってマザー基板１２７を例えば７０℃程度に加熱して、フィルタエレメント材料１２８の溶媒を蒸発させる。
【００６５】
この蒸発により、図７（ｃ）に示すように、フィルタエレメント材料１２８の体積が減少し、平坦化する。なお、体積の減少が著しい場合には、図７（ｂ）の工程に戻って、カラーフィルタとして十分な膜厚が得られるまで、フィルタエレメント材料１２８の液滴６３の供給とフィルタエレメント材料１２８の加熱とを繰返して実行する。以上の処理により、最終的にフィルタエレメント材料の固形分のみが残留して膜化し、これにより、希望する各色フィルタエレメント１２２が形成される。
【００６６】
以上によりフィルタエレメント１２２が形成された後、それらのフィルタエレメント１２２を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行する。その後、図７（ｄ）に示すように、フィルタエレメント１２２と隔壁１２４の表面に保護膜１２３を形成する。保護膜１２３の形成方法は、例えば、スピンコート法、ロールコート法、ディッピング法またはインクジェット法等といった適宜の手法により形成される。なお保護膜１２３は、フィルタエレメント１２２等の保護膜およびカラーフィルタ１２０の表面を平坦化するために形成される。
【００６７】
次に、液滴吐出装置１０の動作について図８を用いて説明する。まず、オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置１０が作動すると、初期設定が実行される（ステップＳ１）。具体的には、キャリッジ１８や基板供給装置１６やコントロール装置１７等が予め決められた初期状態にセットされる。
【００６８】
次に、重量測定タイミングが到来すれば（ステップＳ２でＹＥＳ）、液滴吐出ヘッド１５を副走査駆動装置１４によって電子天秤４７の所まで移動され（ステップＳ３）、ノズル５０から吐出されるフィルタエレメント材料１２８の量を電子天秤４７を用いて測定する（ステップＳ４）。そして、個々のノズル５０のフィルタエレメント材料１２８の吐出特性に合わせて、各ノズル５０に対応する圧電素子材６０に印加する電圧を調節する（ステップＳ５）。
【００６９】
次に、クリーニングタイミングが到来すれば（ステップＳ６でＹＥＳ）、液滴吐出ヘッド１５を副走査駆動装置１４によってクリーニング装置４６の所まで移動させて（ステップＳ７）、そのクリーニング装置４６によって液滴吐出ヘッド１５をクリーニングする（ステップＳ８）。
【００７０】
重量測定タイミングやクリーニングタイミングが到来しない場合（ステップＳ２及びＳ６でＮＯ）、あるいはそれらの処理が終了した場合には、ステップＳ１からステップＳ９へ移行する。ステップＳ９において、基板供給装置１６を作動させてマザー基板１２７を吸着テーブル装置１９に供給させる。
【００７１】
次に、マザー基板１２７の所定位置において、エアー吸引・供給装置７１がエアーを吸引してマザー基板１２７を吸着テーブル装置１９に吸着させる（ステップＳ１０）。
【００７２】
次に、基板用カメラ４９によってマザー基板１２７を観察しながら基板位置制御装置１２にあるθモータの出力軸を回転させることにより吸着テーブル装置１９に固定されたマザー基板１２７の位置決めを行う（ステップＳ１１）。ヘッド用カメラ４８によって液滴吐出ヘッド１５の位置合わせを行い、吐出を開始する位置を演算によって決定し（ステップＳ１２）、主走査駆動装置１３および副走査駆動装置１４を適宜に作動させて液滴吐出ヘッド１５を吐出開始位置へ移動させる（ステップＳ１３）。
【００７３】
次に、Ｘ方向への主走査が開始され、同時にフィルタエレメント材料１２８の吐出を開始させる（ステップＳ１４）。具体的には、主走査駆動装置１３を動作させることによりマザー基板１２７が主走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移動し、その移動途中でフィルタエレメント形成領域１２５に対応するノズル５０が到達したときに、ノズル吐出制御演算部によって演算された機能液吐出信号に基づいてそのノズル５０からフィルタエレメント材料１２８を吐出させる。
【００７４】
１回の主走査が終了すると副走査駆動装置１４によって副走査方向へ予め決められた副走査方向Ｙ成分だけ移動させる（ステップＳ１５）。次に、主走査およびインク吐出が繰返し行われる（ステップＳ１６でＮＯ、ステップＳ１４へ移行）。
【００７５】
以上のような液滴吐出ヘッド１５によるフィルタエレメント１２２の吐出作業がマザー基板１２７の全領域に対して完了すると（ステップＳ１６でＹＥＳ）、エアー吸引・供給装置７１からエアーが供給され真空破壊によってマザー基板１２７は吸着テーブル装置１９から解除される（ステップＳ１７）。その後、基板供給装置１６によって、マザー基板１２７が外部に排出させる（ステップＳ１８）。その後、オペレータによって処理終了の指示がなされない限り（ステップＳ１９でＮＯ）、ステップＳ２へ戻って別のマザー基板１２７に対するＲ、Ｇ、Ｂのうちの１色に関するインク吐出作業を繰り返して行う。
【００７６】
オペレータから作業終了の指示があると（ステップＳ１９でＹＥＳ）、液滴吐出ヘッド１５は副走査駆動装置１４によってキャッピング装置４５の所まで搬送して、そのキャッピング装置４５によって液滴吐出ヘッド１５に対してキャッピングする（ステップＳ２０）。
【００７７】
以上により、カラーフィルタを構成するＲ、Ｇ、Ｂの３色のうち第１色、例えばＲ色についてのパターン形成が終了し、その後、マザー基板１２７をＲ、Ｇ、Ｂの第２色、例えばＧ色をフィルタエレメント材料１２８とする液滴吐出装置１０へ搬送してＧ色のパターン形成を行い、さらに最終的にＲ、Ｇ、Ｂの第３色、例えばＢ色をフィルタエレメント材料１２８とする液滴吐出装置１０へ搬送してＢ色のパターン形成を行う。これにより、ストライプ配列等といった希望のＲ、Ｇ、Ｂのドット配列を有するカラーフィルタ１２０が複数個形成されたマザー基板１２７が製造される。上記の説明では、Ｒ、Ｇ、Ｂのうちの１色を吐出したが、複数吐出ヘッド搭載キャリッジによる３色同時描画も可能である。
【００７８】
その後、熱乾燥工程を行うことにより、フィルタエレメント材料１２８を熱乾燥して固形化した機能膜としてのフィルタエレメント１２２が形成される（図７（ｃ）参考）。
【００７９】
次に、隔壁１２４とフィルタエレメント１２２の表面を保護するために保護膜１２３を形成する保護膜形成工程が行われる（図７（ｄ）参考）。
【００８０】
そして、マザー基板１２７をカラーフィルタ形成領域１２６ごとに切断することにより、１個のカラーフィルタ１２０が複数個切り出される。
【００８１】
次に、上記カラーフィルタ１２０を用いた電気光学装置としての液晶表示装置の一例としてパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）について説明する。図９は、パッシブマトリックス型液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置１３０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。
【００８２】
この液晶装置１３０は、カラーフィルタ１２０、ガラス基板等からなる対向基板１３１及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層１３２により概略構成されている。
【００８３】
なお、図示していないが、対向基板１３１およびカラーフィルタ１２０の外面（液晶層１３２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板１３１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００８４】
カラーフィルタ１２０の保護膜１２３上（液晶層側）には、左右方向に長尺な短冊状の第１電極１３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極１３３のカラーフィルタ１２０側とは反対側の面を覆うように第１配向膜１３４が形成されている。
【００８５】
一方、対向基板１３１におけるカラーフィルタ１２０と対向する面には、カラーフィルタ１２０の第１電極１３３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極１３５が所定の間隔で複数形成され、この第２電極１３５の液晶層１３２側の面を覆うように第２配向膜１３６が形成されている。これらの第１電極１３３および第２電極１３５は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００８６】
液晶層１３２内に設けられたスペーサ１３７は、液晶層１３２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材１３８は液晶層１３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極１３３の一端部は引き回し配線１３３ａとしてシール材１３８の外側まで延在している。そして、第１電極１３３と第２電極１３５とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ１２０の着色層１２２Ｒ、１２２Ｇ、１２２Ｂが位置するように構成されている。
【００８７】
通常の製造工程では、カラーフィルタ１２０に、第１電極１３３のパターニングおよび第１配向膜１３４の塗布を行ってカラーフィルタ１２０側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板１３１に、第２電極１３５のパターニングおよび第２配向膜１３６の塗布を行って対向基板１３１側の部分を作成する。その後、対向基板１３１側の部分にスペーサ１３７およびシール材１３８を作り込み、この状態でカラーフィルタ１２０側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材１３８の注入口から液晶層１３２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００８８】
液滴吐出装置１０は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板１３１側の部分にカラーフィルタ１２０側の部分を貼り合わせる前に、シール材１３８で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材１３８の印刷を、液滴吐出ヘッド１５で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜１３４，１３６の塗布を液滴吐出ヘッド１５で行うことも可能である。
【００８９】
図１０は、上記液晶装置１３０を用いた電子機器の一例としての携帯電話機の斜視図である。図１０において、携帯電話機１４０のディスプレイ部１４１には、液晶装置１３０が組み込まれている。液晶装置１３０は、この他に、例えば、パーソナルコンピュータや、各種の電気製品に用いられる。
【００９０】
次に、上記のように構成された本実施形態の吸着テーブル装置１９のマザー基板の解除の作用について図１１を用いて説明する。図１１は、吸着テーブル装置１９の真空破壊ルーチンのフローチャートである。なお、以下の作用は、マザー基板１２７が縦置きにセットされた場合について説明する。
【００９１】
図１１において、メモリ４１の動作プログラムによってＣＰＵ４０が演算処理を行い各動作を実行する。
【００９２】
ステップＳ１７１では、吸引用開閉バルブ閉塞信号をエアー吸引・供給装置７１に出力し、エアー吸引・供給装置７１の吸引用開閉バルブ１１５αが、入力された吸引用開閉バルブ閉塞信号に基づいて閉塞される。
【００９３】
ステップＳ１７２では、同時期に、吸引用開閉バルブ閉塞信号をエアー吸引・供給装置７１に出力し、エアー吸引・供給装置７１の吸引用開閉バルブ１１５βが、入力された吸引用開閉バルブ閉塞信号に基づいて閉塞される。
【００９４】
ステップＳ１７３では、切替え用開閉バルブ開放信号をエアー吸引・供給装置７１に出力し、エアー吸引・供給装置７１の切替え用開閉バルブ１１８βが、入力された切替え用開閉バルブ開放信号に基づいて開放される。切替え用開閉バルブ１１８βが開放されると、予め駆動されているコンプレッサ１１１から圧縮エアーが、エアー供給チューブ１１０を通り開放された切替え用開閉バルブ１１８βを介しエアー吸引チューブ１１４βへ流出する。流出した圧縮エアーは配管βから吸引孔７５を通じて吸引溝７３βに吐き出される。
【００９５】
ステップＳ１７４では、切替え用開閉バルブ開放信号をエアー吸引・供給装置７１に出力し、エアー吸引・供給装置７１の切替え用開閉バルブ１１８αが、入力された切替え用開閉バルブ開放信号に基づいて開放される。切替え用開閉バルブ１１８αが開放されると、予め駆動されているコンプレッサ１１１から圧縮エアーが、エアー供給チューブ１１０を通り開放された切替え用開閉バルブ１１８αを介しエアー吸引チューブ１１４αへ流出する。流出した圧縮エアーは配管αから吸引孔７５を通じて吸引溝７３αに吐き出される。
【００９６】
なお、マザー基板１２７が横置きの場合には、上記各ステップに記載の符号βを符号γに置き換えることで同様の作用を奏する。
【００９７】
従って、第１実施形態の吸着テーブル装置１９によれば以下に示す効果がある。
【００９８】
（１）吸引孔７５を介して吸引溝７３でエアーの吸引が行われるので、マザー基板１２７に対する吸着面積が大きくなるので適切に吸着固定することができる。また、吸着解除する場合には、吸引溝７３全体にエアーが供給されるので、マザー基板１２７を容易に解除することができる。
【００９９】
（２）吸引溝７３βと７３γが設けられているので、マザー基板１２７の載置方向に制限されずに適宜対応することができる。
【０１００】
（３）吸着されたマザー基板１２７の外側が真空破壊された後に中心部の真空破壊を行うので、マザー基板１２７の中心部にエアー溜りによる反り等の発生を低減させることができる。
【０１０１】
[第２実施形態]
次に、第２実施形態について説明する。
【０１０２】
本実施形態で用いられる液滴吐出装置１０及び電気制御の構成、液滴吐出ヘッド１５の構成、カラーフィルタ１２０の構造と製造方法、並びにこれらの装置によって製造させる電気光学装置及び電子機器の説明は、第１実施形態と同じなので省略し、本実施形態の吸着テーブル装置１９を具体的に説明する。
【０１０３】
図１２は、吸着テーブル装置１９の平面図である。図１２に示すように、吸着テーブル装置１９は、石材の厚板状に構成された平面視略正方形のテーブル７０を有し、マザー基板１２７の載置面は、均一な平坦面を成している。吸着テーブル装置１９の一辺の長さは、マザー基板１２７の長辺の長さと略一致しており、コストダウンを図るべく最小限の大きさに形成されている。
【０１０４】
また、マザー基板１２７を吸引するための吸引溝７３が複数形成されており、該吸引溝７３には複数個の吸引孔７５が設けられている。吸引孔７５は、吸引溝７３毎にグループ化され、エアー吸引・供給装置７１に接続されている。具体的には、吸引溝７３（７３α、７３β１、７３β２、７３β３、７３β４、７３γ１、７３γ２、７３γ３、７３γ４）は略四角形を成す辺毎に分割されており、該分割された吸引溝７３は、吸引孔７５を介してエアー吸引・供給装置７１の各配管（配管α１、β１、β２、β３、β４、γ１、γ２、γ３、γ４）にそれぞれ接続されている。
【０１０５】
マザー基板１２７を縦置きおよび横置きのいずれか任意の向きでセットすることが可能であり、例えば、マザー基板１２７を縦置きにした場合には、吸引溝７３β１〜７３β４からエアーを吸引することによりマザー基板１２７を吸着セットする。また、横置きにした場合には、吸引溝７３γ１〜７３γ４からエアーを吸引することによりマザー基板１２７を吸着セットする。吸引溝７３αは、マザー基板１２７の中心部を吸着させるものであり、縦置きまたは横置きに関らず共通して使用される。なお、吸引溝７３は、吸着テーブル装置１９の中心部から外側に向かって同心状に大きくなるように複数個設られている。
【０１０６】
図１３は、吸着テーブル装置１９に接続されるエアー吸引・供給装置７１の空圧回路図である。
【０１０７】
エアー吸引・供給装置７１は、エアーを吸引してマザー基板１２７を吸着テーブル装置１９のテーブル７０の上面に吸着セットし、また、エアーを供給してマザー基板１２７の吸着を解除する装置である。エアー吸引・供給装置７１は、図１３に示すように、エアー吸引装置１０１とエアー供給装置１００で構成されている。
【０１０８】
エアー吸引装置１０１は、エアーの吸引を行う真空ポンプ１１２と、吸着テーブル装置１９の吸引孔７５と真空ポンプ１１２とを配管接続する吸引配管部１１３とを有している。吸引配管部１１３は、各吸引溝７３の吸引孔７５にそれぞれ連通する９本の個別エアー吸引チューブ１１４（１１４α１、１１４β１〜１１４β４、１１４γ１〜１１４γ４））と、各個別エアー吸引チューブ１１４を開閉する９個の吸引用開閉バルブ１１５（１１５α１、１１５β１〜１１５β４、１１５γ１〜１１５γ４）と、９本の個別エアー吸引チューブ１１４を真空ポンプ１１２に接続するためのエアー吸引マニホールド１１６と、を有しており、マザー基板１２７のセット方向に応じてエアー吸引を行うようになっている。また、各個別エアー吸引チューブ１１４には、マザー基板１２７の吸引圧力を検出するための圧力センサ１１７が設けられている。
【０１０９】
例えば、マザー基板１２７を縦置きにしたときには吸引溝７３γの吸引孔７５に接続するエアー吸引チューブ１１４γが吸引用開閉バルブ１１５γにより閉塞され、吸引用開閉バルブ１１５α１と１１５βが開いてエアーを吸引する。マザー基板１２７を横置きしたときには吸引溝７３βの吸引孔７５に接続するエアー吸引チューブ１１４βが閉塞され、吸引用開閉バルブ１１５αと１１５γが開いてエアーを吸引する。
【０１１０】
エアー供給装置１００は、圧縮されたエアーの供給を行うコンプレッサがエアー供給チューブ１１０を介して各個別切替え用開閉バルブ１１８（１１８α１、１１８β１〜１１８β４、１１８γ１〜１１８γ４）に接続されている。さらに、切替え用開閉バルブ１１８は、個別エアー吸引チューブ１１４に接続されている。吸着セットを解除する場合には、各個別エアー吸引チューブ１１４を介して、エアー供給装置１００から圧縮エアーを供給して真空破壊を行う構成となっている。
【０１１１】
次に、上記のように構成された本実施形態の吸着テーブル装置１９のマザー基板の解除の作用について図１４を用いて説明する。図１４は、吸着テーブル装置１９の真空破壊ルーチンのフローチャートである。なお、以下の作用は、マザー基板１２７が縦置きにセットされた場合について説明する。
【０１１２】
図１４において、メモリ４１の動作プログラムによってＣＰＵ４０が演算処理を行い各動作を実行する。
【０１１３】
ステップＳ１７１では、吸引用開閉バルブ閉塞信号をエアー吸引・供給装置７１に出力し、エアー吸引・供給装置７１の吸引用開閉バルブ１１５α１が、入力された吸引用開閉バルブ閉塞信号に基づいて閉塞される。
【０１１４】
ステップＳ１７２では、同時期に、吸引用開閉バルブ閉塞信号をエアー吸引・供給装置７１に出力し、エアー吸引・供給装置７１の吸引用開閉バルブ１１５β１〜１１５β４が、入力された吸引用開閉バルブ閉塞信号に基づいて閉塞される。
【０１１５】
ステップＳ１７３では、切替え用開閉バルブ開放信号をエアー吸引・供給装置７１に出力し、エアー吸引・供給装置７１の切替え用開閉バルブ１１８β１〜１１８β４が、入力された切替え用開閉バルブ開放信号に基づいて開放される。切替え用開閉バルブ１１８β１〜１１８β４が開放されると、予め駆動されているコンプレッサ１１１から圧縮エアーが、エアー供給チューブ１１０を通り開放された切替え用開閉バルブ１１８β１〜１１８β４を介しエアー吸引チューブ１１４β１〜１１４β４へそれぞれ流出する。流出した圧縮エアーは配管β１〜β４から吸引孔７５を通じて吸引溝７３β１〜７３β４に吐き出される。
【０１１６】
ステップＳ１７４では、切替え用開閉バルブ開放信号をエアー吸引・供給装置７１に出力し、エアー吸引・供給装置７１の切替え用開閉バルブ１１８α１が、入力された切替え用開閉バルブ開放信号に基づいて開放される。切替え用開閉バルブ１１８α１が開放されると、予め駆動されているコンプレッサ１１１から圧縮エアーが、エアー供給チューブ１１０を通り開放された切替え用開閉バルブ１１８α１を介しエアー吸引チューブ１１４α１へ流出する。流出した圧縮エアーは配管α１から吸引孔７５を通じて吸引溝７３αに吐き出される。
【０１１７】
なお、マザー基板１２７が横置きの場合には、上記各ステップに記載の符号βを符号γに置き換えることにより同様の作用を奏する。
【０１１８】
従って、第２実施形態の吸着テーブル装置１９によれば以下に示す効果がある。
【０１１９】
（１）吸引溝７３は、各辺に分割され、圧縮エアーは、各辺に供給されるので、マザー基板１２７に対して四辺すべてを解除することができる。
【０１２０】
（２）吸引溝７３は、各辺に分割され、外側から中心に向けて順次にエアーが供給されるので、マザー基板１２７の中心部にエアー溜りによる反り等の不具合を低減することができる。
【０１２１】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
【０１２２】
（変形例１）図１２では、マザー基板１２７に対して各辺に個別の吸引溝７３を設けたが、これに限定されない。例えば、各辺に個別に設けた吸引溝７３をさらに細分化してもよい。あるいは、各辺に設けた４つの吸引溝７３を連結させ、例えば、Ｌ字型になるように２分割にしてもよい。さらには、３分割にしてもよい。この場合でも、マザー基板を吸着セットできると共に、複数毎のマザー基板１２７を同時に搭載することができる。
【０１２３】
（変形例２）本実施形態では、マザー基板１２７の外側から中心部に向けて順に切替え用開閉バルブ１１８を開閉したが、これに限定されない。切替え用開閉バルブ１１８の開放を同時に行ってもよい。この場合でも、外側の吸引孔７５のピッチが中心部の吸引孔７５のピッチよりも短く、吸引溝７３をもってマザー基板１２７を押し上げる力が強いので、マザー基板１２７の外側から先に解除させることができる。
【０１２４】
（変形例３）本実施形態では、方形のマザー基板１２７を用いて説明したが、この形状に限定されない。例えば、半導体ウエハのような円形のワークに対しても用いることができる。
【０１２５】
（変形例４）本実施形態では、液滴吐出装置１０で製造される電気光学装置として、カラーフィルタ、液晶表示装置を説明したがこれに限定されない。この他にも、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ・Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ・Ｄｉｓｐｌａｙ・Ｐａｎｅｌ）装置、電子放出装置等に対しても用いることができる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ・Ｅｍｉｓｓｉｏｎ・Ｄｉｓｐｌａｙ）やＳＥＤ（Ｓｕｒｆａｃｅ―ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ・Ｅｌｅｃｔｒｏｎ―ｅｍｉｔｔｅｒ・Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ成形、レジスト成形および光拡散体形成などにも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図２】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図３】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの構成を示す斜視図であり、（ｂ）は側断面図。
【図４】第１実施形態の吸着テーブル装置の平面図。
【図５】第１実施形態のエアー吸引・供給装置の空圧回路図。
【図６】カラーフィルタの平面図。
【図７】カラーフィルタの製造方法を工程順に示した模式図。
【図８】カラーフィルタの製造方法を示したフローチャート。
【図９】パッシブマトリックス型液晶装置の概略構成を示す側断面図。
【図１０】携帯電話機の斜視図。
【図１１】第１実施形態の真空破壊ルーチンのフローチャート。
【図１２】第２実施形態の吸着テーブル装置の平面図。
【図１３】第２実施形態のエアー吸引・供給装置の空圧回路図。
【図１４】第２実施形態の真空破壊ルーチンのフローチャート。
【符号の説明】
【０１２７】
１０…液滴吐出装置、１５…機能液吐出装置としての液滴吐出ヘッド、１９…吸着テーブル装置、７０…テーブル、７１…エアー吸引・供給装置、７３（７３α、７３β、７３γ、７３α１、７３β１〜７３β４、７３γ１〜７３γ４）…吸着部を構成する吸引溝、７５…吸着部を構成する吸引孔、１００…エアー供給装置、１０１…エアー吸引装置、１２７…ワークとしてのマザー基板。
【図１】
2006102893.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006102893.tif 000005
【図４】
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【図５】
2006102893.tif 000007
【図６】
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【図７】
2006102893.tif 000009
【図８】
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【図９】
2006102893.tif 000011
【図１０】
2006102893.tif 000012
【図１１】
2006102893.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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