(57)【要約】【課題】  本発明では、このトレイ搬送システムを改良し、トレイ搬送システムの搬送路が占める床面積を最小限に抑えることを課題とする。【解決手段】  板状ワーク３を載せるトレイ２と、該トレイ２が搬送される搬送路１０と、該搬送路１０に沿って配置された処理装置１１・１１・・・と、を備え、板状ワーク３を載せたトレイ２は搬送路１０上を搬送されてトレイ２上の板状ワーク３が処理装置６に供給されるトレイ搬送システム１であって、前記搬送路１０は、トレイ２を水平状態で搬送する実トレイ搬送路１３と、トレイ２を水平状態から起こした状態で搬送する空トレイ搬送路１４と、を有する構成とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを載せるトレイと、該トレイが搬送される搬送路と、該搬送路に沿って配置された処理装置と、を備え、前記板状ワークを載せたトレイは前記搬送路上を搬送されて前記トレイ上の板状ワークが前記処理装置に供給されるトレイ搬送システムであって、
前記搬送路は、前記トレイを水平状態で搬送する第１の搬送路と、前記トレイを水平状態から起こした状態で搬送する第２の搬送路と、を有することを特徴とするトレイ搬送システム。
【請求項２】
前記第１の搬送路では前記板状ワークを載せたトレイが水平状態で搬送され、前記第２の搬送路では空のトレイが水平状態から起こした状態で搬送されるように構成したことを特徴とする請求項１に記載のトレイ搬送システム。
【請求項３】
前記トレイ搬送システムは前記トレイに板状ワークを吸着する吸着手段を備え、前記第２の搬送路では前記吸着手段によって前記トレイに前記板状ワークを吸着して、前記板状ワークを吸着したトレイを水平状態から起こした状態で搬送するように構成したことを特徴とする請求項１に記載のトレイ搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを載せたトレイを搬送するトレイ搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パソコンやテレビの画面等に使われる電子ディスプレイ（液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等）の需要が増大しており、電子ディスプレイを大量生産するシステムが要望されている。この電子ディスプレイは、原材料である板ガラスの表面にアレイ製造工程、カラーフィルタ製造工程等の各種処理工程を経て処理が施されていくのであるが、各種処理装置間を搬送する上で、表面に傷等がつかないように優しく搬送することが望ましい。
【０００３】
そこで、この板ガラスを１枚ずつトレイに載せて搬送する技術が提案され、この技術は、例えば、本願と同出願人によって出願された特許文献１に開示されている。この特許文献１に開示されているトレイ搬送システムは、板状のワークである板ガラスを載せるためのトレイと、該トレイを搬送する搬送手段であるローラコンベアと、該ローラコンベアに沿って配置された処理装置と、ローラコンベア上でトレイを一時的に保管する一時保管装置と、を備え、板ガラスを載せたトレイはローラコンベア上を始端から終端まで一方向に搬送されるように構成されている。
【特許文献１】特開２００４−１６８４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明では、このトレイ搬送システムを改良し、トレイ搬送システムの搬送路が占める床面積を最小限に抑えることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の解決しようとする課題は以上のとおりであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
まず、請求項１に記載のように、板状ワークを載せるトレイと、該トレイが搬送される搬送路と、該搬送路に沿って配置された処理装置と、を備え、前記板状ワークを載せたトレイは前記搬送路上を搬送されて前記トレイ上の板状ワークが前記処理装置に供給されるトレイ搬送システムであって、前記搬送路は、前記トレイを水平状態で搬送する第１の搬送路と、前記トレイを水平状態から起こした状態で搬送する第２の搬送路と、を有する構成とする。
【０００６】
また、請求項２に記載のように、前記第１の搬送路では前記板状ワークを載せたトレイが水平状態で搬送され、前記第２の搬送路では空のトレイが水平状態から起こした状態で搬送されるように構成する。
【０００７】
そして、請求項３に記載のように、前記トレイ搬送システムは前記トレイに板状ワークを吸着する吸着手段を備え、前記第２の搬送路では前記吸着手段によって前記トレイに前記板状ワークを吸着して、前記板状ワークを吸着したトレイを水平状態から起こした状態で搬送するように構成する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、以上のように構成したことにより、次のような効果を奏する。
まず、請求項１に記載の発明では、トレイを水平状態から起こした状態で搬送する第２の搬送路は、トレイを水平状態で搬送する第１の搬送路に比べて占有床面積が小さく、この第１の搬送路と第２の搬送路とを併用することで、トレイ搬送システム全体の占有床面積を必要最小限に抑えることができ、スペースを有効に利用することができて、コスト的にも有利になる。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明では、板状ワークを載せていない空のトレイは水平状態から起こしても支障がないため、この空のトレイは第２の搬送路で水平状態から起こした状態で搬送するように構成したことで、板状ワークの搬送に支障をきたすことなく、トレイ搬送システムの占有床面積を容易に必要最小限に抑えることができ、スペースを有効に利用することができて、コスト的にも有利になる。
【００１０】
そして、請求項３に記載の発明では、板状ワークを収容しているトレイであっても水平状態から起こした状態で搬送することができるためトレイ搬送システムのレイアウトの自由度が増し、この結果、トレイ搬送システムの占有床面積をより容易に必要最小限に抑えることができて、スペースをより一層有効に利用することができ、コスト的にも有利になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に、本発明の実施の一形態を、図面を参照しながら説明する。
まず、液晶ディスプレイ等の板状ワーク３を載せたトレイ２を搬送するためのトレイ搬送システム１の構成について説明する。
【００１２】
図１に示すように、このトレイ搬送システム１は、トレイ２が搬送される搬送路１０と、該搬送路１０に沿って配置された複数の処理装置６・６・・・と、を備え、板状ワーク３を載せたトレイ２は搬送路１０上を搬送されてトレイ２上の板状ワーク３が処理装置６・６・・・に供給されるように構成されている。
この搬送路１０は、例えば、ローラコンベアやベルトコンベア等の搬送コンベアで構成されており、本実施の形態では、該搬送路１０は短手方向両側端部にトレイ２の搬送を案内するためのガイドを有するローラコンベアで構成されて、該ローラコンベアは長手方向にトレイ２を繰り送るための多数のローラ１７・１７・・・を備え（図２参照）、該ローラ１７・１７・・・上を板状ワーク３がトレイ２を介して搬送されるように構成されている。
【００１３】
前記搬送路１０は、長手方向一方向に向けてトレイ２が搬送される主搬送路１１と、同じトレイ２が循環使用される、複数の閉ループ搬送路１２・１２・・・と、で構成されており、各閉ループ搬送路１２は複数の処理装置６・６に跨って（本実施の形態では、隣り合う２つの処理装置６・６に跨って）形成されている。
【００１４】
各処理装置６は、板状ワーク５が処理装置６内に入庫される入庫口６１と、板状ワーク５が処理装置６内から出庫される出庫口６２と、を備え、該入庫口６１は主搬送路１１上の出口部１１ａと対向して配置され、該出庫口６２は主搬送路１１上の入口部１１ｂと対向して配置されている。そして、処理装置６の入庫口６１と主搬送路１１上の出口部１１ａとの間は連結路６３を介して連結されており、処理装置６の出庫口６２と主搬送路１１上の入口部１１ｂとの間は連結路６４を介して連結されている。この連結路６３・６４は、例えば、ローラコンベアやベルトコンベア等の搬送コンベアで構成されており、本実施の形態では、該連結路６３・６４は短手方向両側端部に板状ワーク３の搬送を案内するためのガイドを有するローラコンベアで構成されて、該ローラコンベアは長手方向に板状ワーク３を繰り送るための多数のローラ６７・６７・・・を備え、該ローラ６７・６７・・・上を板状ワーク３が搬送されるように構成されている。
【００１５】
次に、前記閉ループ搬送路１２について説明する。
前記各閉ループ搬送路１２は、板状ワーク３を載せた実トレイ２を水平状態で搬送するための実トレイ搬送路１３と、空トレイ２を搬送するための空トレイ搬送路１４と、で構成されており、該実トレイ搬送路１４は、主搬送路１１の一部で構成されている。具体的には、実トレイ搬送路１３は、主搬送路１１上のある処理装置６への出口部１１ａから該処理装置６の隣の処理装置６からの入口部１１ｂまでの間の区間で構成され、空トレイ搬送路１４は、該実トレイ搬送経路１３の短手方向一側方に配置されており、該空トレイ搬送路１４の戻し搬送路１４ａは空トレイ２を水平状態から起こした状態で搬送するように構成されている。
【００１６】
この閉ループ搬送路１２は、板状ワーク３を載せたトレイ２を処理装置６へ供給し、空になったトレイ２はそのまま閉ループ搬送路１２内を一方向に循環させて、この空トレイ２には前記処理装置６の隣の処理装置６から出てきた板状ワーク３が載せられるように構成されている。
【００１７】
図１、図２に示すように、閉ループ搬送路１２の空トレイ搬送路１４は、実トレイ搬送路１３と平行に配置される戻し搬送路１４ａと、該戻し搬送路１４ａの長手方向両端部から実トレイ搬送路１３へ向けて形成される移載搬送路１４ｂ・１４ｂとで構成されて、該空トレイ搬送路１４は、平面視で、「凹」字状に形成されている。
【００１８】
本実施の形態では、空トレイ搬送路１４の戻し搬送路１４ａで、トレイ２を水平状態から９０°近くまで起こした状態で搬送するように構成しているが、このトレイ２を起こす角度θは、０°＜θ≦９０°の範囲内であれば、特に限定しないものとする。
【００１９】
このようにトレイ２を水平状態から起こした状態で搬送する搬送路を構成することにより、例えば、θ＝４５°ではｃｏｓ４５°≒０．７０７１より占有床面積を約３０％削減することができ、θ＝６０°ではｃｏｓ６０°＝０．５より占有床面積を約５０％削減することができ、θ＝７５°ではｃｏｓ７５°≒０．２５８８より占有床面積を約７５％削減することができ、θ＝９０°では最も効果的に占有床面積を削減することができる。
【００２０】
次に、前記空トレイ搬送路１４の移載搬送路１４ｂについて説明する。
図２、図３に示すように、前記移載搬送路１４ｂは、トレイ２が載置される移載装置４０と、該移載装置４０を起こすためのアクチュエータ（例えば、油圧アクチュエータ等）４１と、該移載装置４０を回動自在に支持する台座フレーム４２と、を有し、該アクチュエータ４１を駆動することにより、移載装置４０を水平状態から略垂直な状態まで回動させて、該移載装置４０の上面の搬送面と、空トレイ搬送路１４の戻し搬送路１４ａの搬送面と、を面一に一致させることができるように構成されている。
【００２１】
前記台座フレーム４２は箱状の筐体で、該台座フレーム４２上に移載装置４０が水平状態に寝かせた状態で載置されている。この台座フレーム４２の移載搬送路１４ｂの短手方向（主搬送路１１の長手方向）両側面４２ｂ・４２ｂは該台座フレーム４２上に載置された移載装置４９の上面の高さ位置まで延出されて、該台座フレーム４２の両側面４２ｂ・４２ｂの上端部における反処理装置６側の側端部と移載装置４０の反処理装置６側の側端部とが回動軸４３・４３を介して回動自在に取り付けられている。
【００２２】
前記アクチュエータ４１は前記台座フレーム４２内には収納されており、該アクチュエータは伸縮自在なロッド４１ａを備え、該台座フレーム４２の上面の中央部付近には開口部４２ａが形成されて、該開口部４２ａを通じてアクチュエータ４１のロッド４１ａが台座フレーム４２の上方へ出没するように構成されている。そして、移載装置４０の下面からはブラケット４４が垂設されており、該ブラケット４４にアクチュエータ４１のロッド４１ａの先端部が回動自在に取り付けられている。
【００２３】
このような構成で、アクチュエータ４１のロッド４１ａを伸長させることで、台座フレーム４２上に載置された移載装置４０が押し上げられて、該移載装置４０は回動軸４３・４３を中心に９０°近く回動し、該ロッド４１ａによって水平状態から起こされた起立状態で支持されるように構成されている（図３（ａ）（ｂ）参照）。この起立状態で移載装置４０上のトレイ２が戻し搬送路１４ａの長手方向一端部に移載され、該トレイ２は戻し搬送路１４ａを水平状態から起こされた状態で搬送されるように構成されている。そして、トレイ２は戻し搬送路１４ａの長手方向他端部から起立状態に回動させたもう一方の移載搬送路１４ｂの移載装置４０に移載されて、該トレイ２が移載された移載装置４０を水平状態に回動するように構成されている。
【００２４】
図２、図４に示すように、前記移載装置４０は、トレイ２を移載搬送路１４ｂの長手方向（主搬送路１１の短手方向）に向けて搬送する第１ローラユニット７０と、トレイ２を移載搬送路１４ｂの短手方向（主搬送路１１の長手方向）に向けて搬送する第２ローラユニット８０と、トレイ２を移載搬送路１４ｂの短手方向に向けて案内する第３ローラユニット９０と、該第３ローラユニット９０を昇降するアクチュエータ４６と、これらの部材を収容する移載装置フレーム４５と、を備え、該移載装置フレーム４５は上方が開放された箱状の筐体で、平面視で、トレイ２よりも若干大きく構成されている。
【００２５】
前記第１ローラユニット７０は、移載搬送路１４ｂの長手方向に所定間隔を開けて配置された複数のローラ軸７２・７２・・・と、各ローラ軸７２に軸方向に所定間隔を開けて取り付けられた複数の搬送ローラ７１・７１・・・と、前記複数のローラ軸７２・７２・・・を正逆回転駆動する駆動装置７３と、を備え、該駆動装置７３の駆動により第１ローラユニット７０の多数の搬送ローラ７１・７１・・・を回転させてトレイ２を移載搬送路１４ｂの長手方向に繰り送るように構成されている。
【００２６】
前記駆動装置７３は前記移載装置４０の移載装置フレーム４５の上部における移載搬送路１４ｂの短手向一側面に取り付けられており、前記複数のローラ軸７２は軸心方向を移載搬送路１４ｂの短手方向に向けて該駆動装置７３と前記移載装置フレーム４５上部の移載搬送路１４ｂの短手方向他側面との間で回転自在に軸支されている。各ローラ軸７２に取り付けられた搬送ローラ７１・７１・・・の配置位置であるが、隣り合うローラ軸７２・７２の搬送ローラ７１・７１・・・の回転面は移載搬送路１４ｂの短手方向にずらして配置されており、第１ローラユニット７０の多数の搬送ローラ７１・７１・・・は移載搬送路１４ｂの長手方向にジグザグに配置されて、トレイ２の下面に万遍なく接触して搬送するように構成されている。
【００２７】
前記第２ローラユニット８０は、前記移載装置フレーム４５の反処理装置６側の端部に設けられており、該第２ローラユニット８０は移載搬送路１４ｂの短手方向（戻し搬送路１４ａの長手方向）に所定間隔を開けて配置された複数の駆動ローラ８１・８１・・・を備えている。この複数の駆動ローラ８１・８１・・・は軸心方向を移載搬送路１４ｂの搬送面と直交する方向に向けて配置されており、第２ローラユニット８０の筐体内に内装された図示せぬ駆動装置によって駆動されるように構成されている。
【００２８】
前記第３ローラユニット９０は、昇降台９４と、昇降台９４上に立設された複数のローラ支持フレーム９３・９３と、該ローラ支持フレーム９３に軸心方向を移載搬送路１４ｂの長手方向に向けて回転自在に取り付けられた複数の案内ローラ９１・９１・・・と、を備え、該昇降台９４は前記アクチュエータ４６によって昇降されるように構成されている。
【００２９】
各ローラ支持フレーム９３に軸支された案内ローラ９１・９１・・・はその回転面がローラ支持フレーム９３の上面よりも上方へ突出されて、その回転軸に対して遊転するように構成されている。昇降台９４が下降している状態の待機位置では第３ローラユニット９０の案内ローラ９１・９１・・・の回転面は第１ローラユニット７０の搬送ローラ７１・７１・・・の回転面よりも下方に位置している（図４（ａ）参照）。この第３ローラユニット９０の複数のローラ支持フレーム９３・９３は第１ローラユニット７０のローラ軸７２・７２の間と、該ローラ軸７２と第２ローラユニット８０の筐体との間に配置されており、すなわち、第３ローラユニット９０の複数のローラ支持フレーム９３・９３と、第１ローラユニット７０のローラ軸７２・７２・・・並びに各ローラ軸７２に取り付けられた搬送ローラ７１・７１・・・とが、平面視で重ならないように配置されていている。
【００３０】
なお、本実施の形態では、第１ローラユニット７０の処理装置６側の２本のローラ軸７２・７２の間と、反処理装置６側の１本のローラ軸７２と第２ローラユニット８０の筐体との間の２箇所のスペースに、第３ローラユニット９０のローラ支持フレーム９３を１個ずつ配置して、合計２個のローラ支持フレーム９３・９３を配置しているが、前記第２ローラユニット８０の駆動ローラ８１・８１・・・の回転面とトレイ２の短手方向他側面とが接触している状態で、トレイ２の底面（ただし、トレイ２に形成された開口部２ｂ・２ｂ・・・（図１、図３参照）は除く。）の下方に位置していれば、この配置構成以外であってもよい。
【００３１】
そうして、前記アクチュエータ４６を作動させて前記昇降台９４を上昇させたときには、第３ローラユニット９０のローラ支持フレーム９３・９３は、第１ローラユニット７０のローラ軸７２・７２・・・及び搬送ローラ７１・７１・・・と干渉することなく、その隙間を通過して、該第３ローラユニット９０のローラ支持フレーム９３・９３の案内ローラ９１・９１・・・の回転面が該第１ローラユニット７０の搬送ローラ７１・７１・・・の回転面よりも上方へ突出した状態となって、処理装置６側のローラ支持フレーム９３の案内ローラ９１・９１・・・でトレイ２の底面の短手方向一端部が支持されるとともに、反処理装置６側のローラ支持フレーム９３の案内ローラ９１・９１・・・でトレイ２の底面の短手方向他端部が支持され、トレイ２が第３ローラユニット９０の案内ローラ９１・９１・・・によって軽く持ち上げられるように構成されている（図４（ｂ）参照）。
【００３２】
このときの第３ローラユニット９０の位置が上昇位置であり、該上昇位置では第３ローラユニット９０の案内ローラ９１・９１・・・の回転面と後述する戻し搬送路１４ａの案内ローラの回転面とが面一で一直線上に並ぶように構成されている。
【００３３】
以上のような構成で、第３ローラユニット９０の処理装置６側のローラ支持フレーム９３の案内ローラ９１・９１・・・は、トレイ２の底面の短手方向一端部を案内するように構成されており、第３ローラユニット９０の反処理装置６側のローラ支持フレーム９３の案内ローラ９１・９１・・・は、トレイ２の底面の短手方向他端部を案内するように構成されて、前記第２ローラユニット８０の駆動ローラ８１・８１・・・の駆動回転によってトレイ２の短手方向他側面が繰り送られるように構成されている。
【００３４】
次に、前記空トレイ搬送路１４の戻し搬送路１４ａについて説明する。
図２、図５に示すように、戻し搬送路１４ａは、戻し搬送路１４ａの長手方向両側方の移載搬送路１４ｂ・１４ｂ間に配置された台座フレーム３０と、該台座フレーム３０上に立設された搬送台フレーム３１と、を備え、該搬送台フレーム３１の搬送面は略垂直な面となって該搬送面に沿ってトレイ２が搬送されるように構成されている。
この搬送台フレーム３１は長手形状に形成されており、該搬送台フレーム３１の上部と下部には搬送台フレーム３１の長手方向に向けて多数の案内ローラ３５・３５・・・が列置されており、該搬送台フレーム３１の下端部には搬送台フレーム３１の長手方向に向けて多数の駆動ローラ３３・３３・・・が列置されている。
【００３５】
駆動ローラ３３・３３・・・はその回転軸３４・３４・・・を搬送台フレーム３１の搬送面に対して垂直な方向に向けて配置されており、該駆動ローラ２１・２１・・・は搬送台フレーム３１内に内装された駆動装置３７によって駆動されるように構成されている。この駆動装置は駆動源である駆動モータ３８と、各駆動ローラ３３の回転軸３４に駆動力を伝達する駆動伝達機構３９とから成り、駆動ローラ３３・３３・・・の回転面は、前記移載装置４０を起立状態に起こしたときの第２ローラユニット８０の駆動ローラ８１・８１・・・の回転面と、面一で一直線上に並ぶように構成されている。
【００３６】
案内ローラ３５・３５・・・はその回転軸３６・３６・・・を搬送台フレーム３１の短手方向に向けて配置されており、該搬送台フレーム３１の上部の案内ローラ３５・３５・・・の回転面は、前記移載装置４０を起立状態に起こしたときの上部の第３ローラユニット９０の案内ローラ９１・９１・・・の回転面と、面一で一直線上に並ぶように構成されており、該搬送台フレーム３１の下部の案内ローラ３５・３５・・・の回転面は、前記移載装置４０を起立状態に起こしたときの下部の第３ローラユニット９０の案内ローラ９１・９１・・・の回転面と、面一で一直線上に並ぶように構成されている。
【００３７】
以上のような構成で、搬送台フレーム３１の上部と下部の案内ローラ３５・３５・・・によって、トレイ２の底面の短手方向一端部と短手方向他端部とが案内されるように構成されており、搬送台フレーム３１の下端部の駆動ローラ３３・３３・・・の駆動回転によってトレイ２の短手方向他側面（下側の面）が繰り送られて、トレイ２が戻し搬送路１４ａの長手方向に搬送されるように構成されている。
【００３８】
なお、この搬送台フレーム３１に、水平状態から起こされた状態のトレイ２の上面におけるトレイ２の短手方向両側端部（起立状態のトレイ２の上側の端部と下側の端部）の双方又は一方を案内する補助ローラを設けてもよい。
【００３９】
次に、空トレイ搬送路１４の移載搬送路１４ｂと実トレイ搬送路１３とが連結される連結部１５について説明する。
図２に示すように、この連結部１５は前記の主搬送路１１上の入口部１１ａと出口部１１ｂとに配置され、該連結部１５には、主搬送路１１と、主搬送路１１の一部を構成する実トレイ搬送路１３と、空トレイ搬送路１４の移載搬送路１４ｂと、処理装置６と連結される連結路６３・６４と、の４本の搬送路が連結されている。
【００４０】
図６に示すように、前記連結部１５は、トレイ２を主搬送路１１の長手方向に向けて搬送する第１ローラユニット１１０と、板状ワーク３を主搬送路１１の短手方向処理装置６側へ向けて搬送する第２ローラユニット１２０と、トレイ２を主搬送路１１の短手方向反処理装置６側へ向けて搬送する第３ローラユニット１３０と、該第２ローラユニット１２０を昇降するアクチュエータと、該第３ローラユニット１３０を昇降するアクチュエータと、これらの部材を収容する台座フレーム１５０と、を備え、該台座フレーム１５０は上方が開放された箱状の筐体で構成され、平面視で、トレイ２よりも若干大きく構成されている。
【００４１】
図６、図７に示すように、前記第１ローラユニット１１０は、主搬送路１１の短手方向に所定間隔を開けて配置された複数のローラ支持フレーム１１３・１１３・・・と、各ローラ支持フレーム１１３に軸心方向を主搬送路１１の短手方向に向けて回転自在に取り付けられた複数の駆動ローラ１１１・１１１・・・と、を備え、該複数の駆動ローラ１１１・１１１・・・はローラ支持フレーム１１３内に内装された図示せぬ駆動装置によって駆動されるように構成されている。
【００４２】
この第１ローラユニット１１０のローラ支持フレーム１１３・１１３・・・は、平面視で、トレイ２の底面に形成された開口部２ｂ・２ｂ・・・と重ならない位置に配置されている。本実施の形態では、トレイ２の底面におけるトレイ２の短手方向一側部と他側部との２列に、各列３つずつ開口部２ｂ・２ｂ・・が配置されて、合計６つの開口部２ｂ・２ｂ・・・が形成されており、ローラ支持フレーム１１３・１１３・・・はこの２列の開口部２ｂ・２ｂ・・の短手方向両側のフレーム部分に対応して、台座フレーム１５０内の主搬送路１１の短手方向両端部と短手方向中央部と３箇所に配置されている。このローラ支持フレーム１１３・１１３・・・の上面は台座フレーム１５０の上面と同じ高さに配置されており、各ローラ支持フレーム１１３の駆動ローラ１１１・１１１・・・はその回転面がローラ支持フレーム１１３の上面よりも上方へ突出されて、該駆動ローラ１１１・１１１・・・の回転面は、主搬送路１１のローラ１７・１７・・・の回転面及び実トレイ搬送路１３のローラ１７・１７・・・の回転面と同じ高さに配置されている。
この第１ローラユニット１１０の駆動ローラ１１１・１１１・・・によってトレイ２が主搬送路１１の長手方向に搬送されるように構成されている。
【００４３】
前記第２ローラユニット１２０は、主搬送路１１の長手方向に所定間隔を開けて配置された複数のローラ支持フレーム１２３・１２３・・・と、各ローラ支持フレーム１２３に軸心方向を主搬送路１１の長手方向に向けて回転自在に取り付けられた複数の駆動ローラ１２１・１２１・・・と、を備え、該複数の駆動ローラ１２１・１２１・・・はローラ支持フレーム１２３内に内装された図示せぬ駆動装置によって駆動されるように構成されている。
【００４４】
この第２ローラユニット１２０のローラ支持フレーム１２３・１２３・・・は、平面視で、連結部１５上で停止するトレイ２の底面の６つの開口部２ｂ・２ｂ・・・と重なる位置に配置されており、すなわち、台座フレーム１５０内における主搬送路１１の短手方向一側部と他側部との２列に、各列３つずつ配置されて、合計６つのローラ支持フレーム１２３・１２３・・・が配置されている。この第２ローラユニット１２０のローラ支持フレーム１２３・１２３・・・の上方には、連結部１５でトレイ２が停止したときに、該トレイ２の底面の開口部２ｂ・２ｂ・・が位置するように構成されている。
【００４５】
この第２ローラユニット１２０のローラ支持フレーム１２３・１２３・・・は、図示せぬアクチュエータによって昇降自在に構成されており、待機位置では第２ローラユニット１２０の駆動ローラ１２１・１２１・・・の回転面は第１ローラユニット１１０の駆動ローラ１１１・１１１・・・の回転面よりも下方に位置している（図７（ａ）参照）。そして、アクチュエータを作動させて、第２ローラユニット１２０のローラ支持フレーム１２３・１２３・・・を上昇させたときには、該第２ローラユニット１２０のローラ支持フレーム１２３・１２３・・・は、第１ローラユニット１１０のローラ支持フレーム１１３・１１３・・・と干渉することなく、その間を通過するとともに、該第１ローラユニット１１０のローラ１１１・１１１・・・上のトレイ２の開口部２ｂ・２ｂ・・・を通過して、該第２ローラユニット１２０の駆動ローラ１２１・１２１・・・の回転面がトレイ２の底面よりも上方へ突出した状態となって、トレイ２に載置されている板状ワーク３が該第２ローラユニット１２０の駆動ローラ１２１・１２１・・・によって軽く持ち上げられるように構成されている（図７（ｂ）参照）。
【００４６】
このときの第２ローラユニット１２０の位置が上昇位置であり、該上昇位置では第２ローラユニット１２０の駆動ローラ１２１・１２１・・・の回転面と連結路６３（６４）のローラ６７・６７・・・の回転面とが同じ高さ位置になるように構成されている。なお、第１ローラユニット１１０の駆動ローラ１１１・１１１・・・の回転面と同じ高さ位置にある主搬送路１１のローラ１７・１７・・・の回転面及び実トレイ搬送路１３のローラ１７・１７・・・の回転面はこの連結路６３（６４）のローラ６７・６７・・・の回転面よりも若干低い位置に配置されている。
この第２ローラユニット１２０の駆動ローラ１２１・１２１・・・によって板状ワーク３が主搬送路１１の短手方向に搬送されるように構成されている。
【００４７】
前記第３ローラユニット１３０は、主搬送路１１の長手方向に所定間隔を開けて配置された複数のローラ支持フレーム１３３・１３３・・・と、各ローラ支持フレーム１３３に軸心方向を主搬送路１１の長手方向に向けて回転自在に取り付けられた複数の駆動ローラ１３１・１３１・・・と、を備え、該複数の駆動ローラ１３１・１３１・・・はローラ支持フレーム１３３内に内装された図示せぬ駆動装置によって駆動されるように構成されている。
【００４８】
この第３ローラユニット１３０のローラ支持フレーム１３３・１３３・・・は、平面視で、連結部１５上で停止するトレイ２の底面の６つの開口部２ｂ・２ｂ・・・と重ならない位置に配置されており、すなわち、台座フレーム１５０内における主搬送路１１の短手方向一側部と他側部との２列に、各列４つずつ配置されて、合計８つのローラ支持フレーム１３３・１３３・・・が配置されている。この第３ローラユニット１３０のローラ支持フレーム１３３・１３３・・・は、前記第２ローラユニット１２０のローラ支持フレーム１２３・１２３・・・の主搬送路１１の長手方向両側方に配置されており、この第３ローラユニット１３０の８つのローラ支持フレーム１３３・１３３・・・の上方には、連結部１５でトレイ２が停止したときに、該トレイ２の底面の長手方向両側端部のフレームと、その間の開口部２ｂ・２ｂ・・間のフレームと、が位置するように構成されている。
【００４９】
この第３ローラユニット１３０のローラ支持フレーム１３３・１３３・・・は、図示せぬアクチュエータによって昇降自在に構成されており、待機位置では第３ローラユニット１３０の駆動ローラ１３１・１３１・・・の回転面は第１ローラユニット１１０の駆動ローラ１１１・１１１・・・の回転面よりも下方に位置している（図７（ａ）参照）。そして、アクチュエータを作動させて、第３ローラユニット１３０のローラ支持フレーム１３３・１３３・・・を上昇させたときには、該第３ローラユニット１３０のローラ支持フレーム１３３・１３３・・・は、第１ローラユニット１１０のローラ支持フレーム１１３・１１３・・・と干渉することなく、その間を通過して、該第３ローラユニット１３０の駆動ローラ１３１・１３１・・・の回転面が該第１ローラユニット１１０の駆動ローラ１１１・１１１・・・の回転面よりも上方へ突出した状態となって、トレイ２底面の開口部２ｂ・２ｂ・・・の周囲のフレームが該第３ローラユニット１３０の駆動ローラ１３１・１３１・・・によって支持され、トレイ２が軽く持ち上げられるように構成されている（図７（ｃ）参照）。
【００５０】
このときの第３ローラユニット１３０の位置が上昇位置であり、該上昇位置では第３ローラユニット１３０の駆動ローラ１３１・１３１・・・の回転面と移載装置４０の第１ローラユニット７０のローラ７１・７１・・・の回転面とが同じ高さ位置になるように構成されている。この第３ローラユニット１３０の駆動ローラ１３１・１３１・・・によって板状ワーク３が主搬送路１１の短手方向に搬送されるように構成されている。
【００５１】
以上、閉ループ搬送路１２の構成であり、次に、閉ループ搬送路１２を循環して搬送されるトレイ２の流れについて説明する。
閉ループ搬送路１２の実トレイ搬送路１３上を繰り送られて搬送されてきた、板状ワーク３を載せたトレイ２は、処置装置６への連結路６３との連結部１５である出口部１１ａで一旦停止し、このトレイ２が停止した後、連結部１５の第２ローラユニット１２０が上昇して、板状ワーク３が該第２ローラユニット１２０の駆動ローラ１２１・１２１・・・によって軽く持ち上げられた状態となる。この状態で、第２ローラユニット１２１の駆動ローラ１２１・１２１・・・及び連結路６３のローラ１７・１７・・・・が回転駆動されて、板状ワーク３は連結路６３へ繰り送られていき、前記処理装置６の入庫口６１から処理装置６内へ入庫される。
【００５２】
そして、板状ワーク３が搬送されてトレイ２が空になると、連結部１５の第２ローラユニット１２０を下降させて、第３ローラユニット１３０を上昇させ、これにより空になったトレイ２が該第３ローラユニット１３０の駆動ローラ１３１・１３１・・・によって軽く持ち上げられた状態となる。この状態で、該第３ローラユニット１３１の駆動ローラ１３１・１３１・・・及び移載搬送路１２ｂの第１ローラユニット７０の搬送ローラ７１・７１・・・・が回転駆動されて、空トレイ２は移載搬送路１２ｂへ繰り送られて、該移載搬送路１２ｂの移載装置４０上で一旦停止する。
【００５３】
そして、この移載装置４０上に空トレイ２が載置されている状態で前記アクチュエータ４１を作動させて、該移載装置４０を略垂直な状態となるまで起こしていき、このとき空トレイ２の短手方向反処理装置６側の側面が移載装置４０の第２ローラユニット８０の駆動ローラ８１・８１・・・の回転面に支持されながら、移載装置４０上の空トレイ２が略垂直な状態に引き起されていく。移載装置２が略垂直な状態まで起こされると、移載装置の第３ローラユニット９０を上昇させて、空トレイ２を該第３ローラユニット１３０の案内ローラ１３１・１３１・・・によって軽く持ち上げ、そして、この状態で、移載装置４０の第２ローラユニット８０の駆動ローラ８１・８１・・・と戻し搬送路１４ａの駆動ローラ３３・３３・・・が回転駆動されると、略垂直な状態となった空トレイ２は戻し搬送路１２ａを繰り送られていく。
【００５４】
このとき戻し搬送路１４ａの搬送方向下流側の移載搬送路１４ｂの移載装置４０も略垂直な状態に引き起こされていて、該移載装置４０の第３ローラユニット９０の案内ローラ９１・９１・・・が上昇しているとともに第２ローラユニット８０の駆動ローラ８１・８１・・・が回転駆動されている。
【００５５】
そうして、空トレイ２は戻し搬送路１４ａの搬送方向下流側の移載装置４０まで搬送されて、該移載装置４０上で一旦停止し、該空トレイ２を載せた移載装置４０は前記アクチュエータ４１の駆動によって水平状態まで下降していく。この下降が完了した後、該移載装置４０の第３ローラユニット９０の案内ローラ９１・９１・・・も下降させて、該移載装置４０の第１ローラユニットの搬送ローラ７１・７１・・・上に空トレイ２を載置し、この状態で、移載装置４０の第１ローラユニット７０の搬送ローラ７１・７１・・・・及び連結部１５の第３ローラユニット１３１の駆動ローラ１３１・１３１・・・が回転駆動されると、空トレイ２は連結部１５へ繰り送られて、該連結部１５上で一旦停止する。
【００５６】
このトレイ２が一旦停止した位置は前記板状ワーク３を入庫した処理装置６の隣の処理装置６の出庫口６２と対向する主搬送路１１上の入口部１１ｂであり、該入口部１１ｂで連結部１５の第２ローラユニット１２０を上昇位置に上昇させて、該隣の処理装置６の出庫口６２から出庫された板状ワーク３を空トレイ２上に移載するためのスタンバイをしておく。
【００５７】
そして、該処理装置６の出庫口６２から板状ワーク３が出庫されてくると、連結路６４のローラ１７・１７・・・・及び連結部１５の第２ローラユニット１２０の駆動ローラ１２１・１２１・・・を回転駆動して該板状ワーク３を搬送し、第２ローラユニット１２０のローラ１２１・１２１・・・上で停止させる。この第２ローラユニット１２０のローラ１２１・１２１・・・上の板状ワーク３はトレイ２と離間した状態にあり、該第２ローラユニット１２０を上昇位置から待機位置まで下降させることで、該第２ローラユニット１２０のローラ１２１・１２１・・・上に支持されていた板状ワーク３がトレイ２上に移載される。
【００５８】
こうして板状ワーク３がトレイ２上に載置されると、連結部１５の第１ローラユニット１１０の駆動ローラ１１１・１１１・・・及び実トレイ搬送路１３のローラ１７・１７・・・が回転駆動されて、板状ワーク３を載せたトレイ２が実トレイ搬送路１３へ搬送されるのである。
【００５９】
以上のような流れで、トレイ２が閉ループ搬送路１２を循環して搬送されるように構成されており、この一つの閉ループ搬送路１２内には複数のトレイ２・２・・・が搬送されるように構成してもよい。
【００６０】
なお、本実施の形態では、閉ループ搬送路１２を構成する実トレイ搬送路１３と空トレイ搬送路１４とを平面視で並べて配置しているが、該実トレイ搬送路１３と該空トレイ搬送路１４とは、平面視で重なるように配置してもよい。
【００６１】
以上のようにトレイ搬送システム１が構成されており、このトレイ搬送システム１の空トレイ２を水平状態から起こした状態で搬送する戻し搬送路１４ａは、トレイ２を水平状態で搬送する主搬送路１１等に比べて占有床面積が小さく、このトレイ２を水平状態から起こした状態で搬送する搬送路とトレイ２を水平状態で搬送する搬送路とを併用することで、トレイ搬送システム１全体の占有床面積を必要最小限に抑えることができ、スペースを有効に利用することができて、コスト的にも有利になる。
【００６２】
上記のトレイ搬送システム１では、戻し搬送路１４ａで、空トレイ２を水平状態から起こした状態で搬送するように構成しているが、次のようにトレイ２０（２１）に板状ワーク３を吸着する吸着手段を構成することで、板状ワーク３を収容しているトレイ２０（２１）であっても水平状態から起こした状態で搬送することができるようになる。
【００６３】
次に、前記吸着手段の構成について２つの実施例を説明する。
まず、吸着手段の第１実施例について説明する。
この吸着手段を構成する吸引装置２３はトレイ２０に取り付けられており、図８、図９に示すように、該トレイ２０は、板状のベース部材２０ａと、該ベース部材２０ａの表面に突設された板状ワーク３を載置するための複数の突起部２０ｃ・２０ｃ・・・と、該ベース部材２０ａの両側端部に立設されたガイド部２０ｄ・２０ｄと、該ベース部材２０ａに開口された前記連結部１５の第２ローラユニット１２０のローラ支持フレーム１２３・１２３・・・が通過するための複数の開口部２０ｂ・２０ｂ・・・と、該ベース部材２０ａの一側面に形成された接続口２０ｅと、前記各突起部２０ｃの載置面に形成された吸着口２０ｆと、前記ベース部材２０ａ内における前記接続口２０ｅと前記各吸着口２０ｆとの間に形成された空気路２０ｇと、を備え、前記ベース部材２０ａの一側面には負圧発生手段である吸引装置２３が取り付けられて、該吸引装置２３の吸引口が前記ベース部材２０ａの一側面の接続口２０ｅに接続されている。
【００６４】
以上のようにして板状ワーク３を吸着するための吸着手段が構成されており、トレイ２の突起部２０ｃ・２０ｃ・・に板状ワーク３を載置した状態で、吸引装置２３の吸引ポンプ２３ａを作動させると、空気路２０ｇ内のエアが吸引されて該空気路２０ｇ内は負圧となり、突起部２０ｃ・２０ｃ・・・の吸着口２０ｆ・２０ｆ・・・で板状ワーク３が吸着されるように構成されている。
なお、この板状ワーク３の吸着を解除するには、電磁弁で構成された吸引装置２３のリリースバルブを開放することで、空気路２０ｇ内の空気圧は大気圧に戻り、トレイ２０上の板状ワーク３の吸着が解除されて、該板状ワーク３は移載可能な状態となる。
【００６５】
このような構成でトレイ２０に板状ワーク３を吸着することで、板状ワーク３を収容しているトレイ２０であっても水平状態から起こした状態で搬送することができるようになり、このように実トレイ２０を起こした状態で搬送する搬送区間は、例えば、図１における実トレイ搬送路１３に形成することができる。この実トレイ２０を起こした状態で搬送する搬送路は前記空トレイ搬送路１４と同様の構成で、前記戻し搬送路１４ａと同様の構成の起し搬送路と、前記移載搬送路１４ｂ・１４ｂと同様の構成で該起し搬送路の長手方向両側に配置される移載搬送路と、で構成されている。
【００６６】
板状ワーク３を載せたトレイ２０の流れであるが、板状ワーク３を載せたトレイ２０が起し搬送路の搬送方向上流側の移載搬送路の移載装置上で停止すると、前記吸引装置２３を吸引作動させてトレイ２０上に板状ワーク３を吸着し、この状態で板状ワーク３を吸着したトレイ２０とともに移載装置が引き起されていく。そして、この板状ワーク３を吸着したトレイ２０は起し搬送路の長手方向に搬送されていき、該起し搬送路の長手方向下流側の移載搬送路の移載装置上で一旦停止する。そうして、移載装置がその上の板状ワーク３を吸着したトレイ２０とともに水平状態まで倒されていき、板状ワーク３を吸着したトレイ２０が水平状態となったところで吸引装置２３のリリースバルブが開放されて、板状ワーク３の吸着が解除される。
【００６７】
次に、吸着手段の第２実施例について説明する。
この第２実施例に係る吸着手段を構成する吸引装置２４はトレイ２１と別体で構成されており、該吸引装置２４は、例えば、前記起し搬送路の搬送方向上流側に配置された移載搬送路の移載装置に取り付けられている。この構成の場合、各トレイ２０に個別に吸引装置を取り付けた第１実施例と比べて、トレイ搬送システム１全体に必要な吸引装置の数を削減することができ、コスト削減を図ることができる。なお、この構成の場合、前記起し搬送路の搬送方向下流側に配置された移載搬送路の移載装置には、簡単な機構の吸着解除手段が取り付けられる。
【００６８】
図１０に示すように、この吸引装置２４と部体に構成されたトレイ２１は、板状のベース部材２１ａと、該ベース部材２１ａの表面に突設された板状ワーク３を載置するための複数の突起部２１ｃ・２１ｃ・・・と、該ベース部材２１ａの両側端部に立設されたガイド部２１ｄ・２１ｄと、該ベース部材２１ａに開口された前記連結部１５の第２ローラユニット１２１のローラ支持フレーム１２３・１２３・・・が通過するための複数の開口部と、該ベース部材２１ａの一側面に形成された接続口２１ｅと、前記各突起部２１ｃの載置面に形成された吸着口２１ｆと、前記ベース部材２１ａ内における前記接続口２１ｅと前記各吸着口２１ｆとの間に形成された空気路２１ｇと、を備え、前記接続口２１ｅについては円錐状に形成されて、負圧発生手段である吸引装置２４の吸引ノズル２４ｃが挿入され易いように構成されている。この吸引装置２４の吸引ノズル２４ｃの先端は尖形に形成されており、該吸引ノズル２４ｃが挿入方向と直交する方向に多少位置ズレしても、該接続口２４ｅの円錐状に広がる曲面によって該接続口２０ｅへ確実に挿入されるように構成されている。
【００６９】
この吸引装置２４は、吸引装置本体２４ｂ又は吸引装置２４の吸引ノズル２４ｃを起し搬送路の搬送方向上流側の移載搬送路の移載装置上で停止したトレイ２１の接続口２１ｅに対して進退させるアクチュエータを備え、この吸引装置本体２４ｂ又は吸引ノズル２４ｃを接続口２１ｅに向けて進出位置に移動させたには、該吸引ノズル２４ｃが接続口２１ｅに挿入されて（図１０（ｂ）参照）、この吸引装置本体２４ｂ又は吸引ノズル２４ｃが退避位置に移動させたときには、該吸引ノズル２４ｃがトレイ２１の接続口２１ｅから抜き出されるように構成されている（図１０（ａ）参照）。
【００７０】
また、トレイ２１の接続口２１ｅにはゴム等の弾性部材で形成された開閉自在なバルブ２５が取り付けてられている。このバルブ２５は、吸引装置２４の吸引ノズル２４ｃがトレイ２１の接続口２１ｅに挿入されるときに該吸引ノズル２４ｃの外周面に押されて弾性変形することで強制的に開かれ、吸引ノズル２４ｃとトレイ２１の空気路２１ｇとが連通するように構成されている。この状態で、吸引装置２４の吸引ポンプを作動させると、トレイ２１の空気路２１ｇ内のエアが吸引されて該空気路２１ｇ内は負圧となり、突起部２１ｃ・２１ｃ・・・の吸着口２１ｆ・２１ｆ・・・で板状ワーク３が吸着される。一方、吸引ノズル２４ｃが接続口２１ｅから抜き出されたときには、バルブ２５は元の閉じた状態に弾性変形するように構成されている。
【００７１】
前記吸着解除手段は、起し搬送路の搬送方向下流側の移載搬送路の移載装置上で停止したトレイ２１の接続口２１ｅに挿入されるノズルと、該ノズルをトレイ２１の接続口２１ｅに対して進退させるアクチュエータと、を備え、このノズルを接続口２１ｅに向けて退避位置から進出位置へ移動させたときに、前記バルブ２５が該ノズルの外周面に押されて弾性変形することで強制的に開かれて、該ノズルを介してトレイ２１の空気路２１ｇとトレイ２１の外部とが連通し、これにより空気路２０ｇ内の空気圧は大気圧に戻って、トレイ２０上の板状ワーク３の吸着が解除され、該板状ワーク３は移載可能な状態となる。
【００７２】
板状ワーク３を載せたトレイ２１の流れであるが、板状ワーク３を載せたトレイ２１が起し搬送路の搬送方向上流側の移載搬送路の移載装置上で停止すると、該移載装置上の吸引装置２４の吸引ノズル２４ｃがトレイ２１の接続口２１ｅに挿入される。そして、吸引装置２４を吸引作動させてトレイ２１上に板状ワーク３を吸着し、この状態で板状ワーク３を吸着したトレイ２１とともに移載装置が引き起されていく。そして、板状ワーク３を吸着したトレイ２０は起し搬送路の長手方向に搬送されていき、該起し搬送路の長手方向下流側の移載搬送路の移載装置上で一旦停止する。そうして、移載装置がその上の板状ワーク３を吸着したトレイ２１とともに水平状態まで倒されていき、板状ワーク３を吸着したトレイ２１が水平状態となったところで移載装置の吸引解除手段によって、板状ワーク３の吸着が解除される。
【００７３】
以上、吸着手段について２つの実施例を説明したが、この吸着手段を用いれば、実トレイ２０を起した状態で搬送する搬送区間を設けることが可能となり、トレイ搬送システム１のレイアウトの自由度が増して、トレイ搬送システム１の占有床面積をより容易に必要最小限に抑えることができ、スペースをより一層有効に利用することができて、コスト的にも有利になる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】トレイ搬送システム１の構成を示す斜視図。
【図２】主搬送路１１と実トレイ搬送路１３と連結路６４（６３）と移載搬送路１４ｂとの連結部１５を示す平面図。
【図３】移載搬送路１４ｂの構成を示す側面断面図。
【図４】移載装置４０の構成を示す側面断面図。
【図５】戻し搬送路１４ａの構成を示す側面断面図。
【図６】連結部１５の構成を示す平面図。
【図７】同じく側面断面図。
【図８】トレイ２０の構成を示す平面図。
【図９】図８におけるＡ−Ａ矢視断面図。
【図１０】トレイ２１の構成を示す側面断面図。
【符号の説明】
【００７５】
１    トレイ搬送システム
２    トレイ
３    板状ワーク
６    処理装置
１０    搬送路
１１    主搬送路
１２    閉ループ搬送路
１３    実トレイ搬送路
１４    空トレイ搬送路
１４ａ  戻し搬送路
１４ｂ  移載搬送路
２０    トレイ
２１    トレイ
２３    吸引装置
２４    吸引装置 
【図１】
2006182502.tif 000003
【図２】
2006182502.tif 000004
【図３】
2006182502.tif 000005
【図４】
2006182502.tif 000006
【図５】
2006182502.tif 000007
【図６】
2006182502.tif 000008
【図７】
2006182502.tif 000009
【図８】
2006182502.tif 000010
【図９】
2006182502.tif 000011
【図１０】
2006182502.tif 000012