(57)【要約】【課題】他部品との接続信頼性に優れた積層電子部品を提供すること。【解決手段】本発明の積層電子部品１１は、積層部１２と、ビア導体３１，３２と、第１外部端子電極４１と、第２外部端子電極４２とを備える。積層部１２は、第１主面１３及び第２主面１４を有する。積層部１２は、複数の誘電体層１５と複数の内部電極層２１，２２とが交互に積層された構造を有する。ビア導体３１，３２は、複数の誘電体層１５を貫通し、複数の内部電極層２１，２２を電気的に接続する。第１外部端子電極４１は、第１主面１３の側にてビア導体３１，３２に電気的に接続される。第２外部端子電極４２は、第１外部端子電極４１よりも大面積かつ薄いものであり、第２主面１４側にてビア導体３１，３２に接続される。【選択図】  図１
2006024722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面及び第２主面を有し、複数の誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された構造の積層部と、
前記複数の誘電体層を貫通し、前記複数の内部電極層を接続するビア導体と、
前記第１主面側にて前記ビア導体に接続された第１外部端子電極と、
前記第１外部端子電極よりも大面積かつ薄いものであり、前記第２主面側にて前記ビア導体に接続された第２外部端子電極と
を備えることを特徴とする積層コンデンサ。
【請求項２】
前記第１外部端子電極及び前記第２外部端子電極は、ニッケルを主成分として形成されていることを特徴とする請求項１に記載の積層コンデンサ。
【請求項３】
前記積層コンデンサは、格子状に配置された複数のビア導体を有するビアアレイタイプの積層コンデンサであり、前記ビア導体の直径は１２０μｍ以下に設定され、隣接する前記ビア導体同士の中心間距離は４５０μｍ以下に設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の積層コンデンサ。
【請求項４】
第１主面及び第２主面を有し、複数の誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された構造の積層部と、前記複数の誘電体層を貫通し、前記複数の内部電極層を接続するビア導体と、前記第１主面側にて前記ビア導体に接続された第１外部端子電極と、前記第１外部端子電極よりも大面積かつ薄いものであり、前記第２主面側にて前記ビア導体に接続された第２外部端子電極とを備える積層コンデンサの製造方法であって、
前記積層部となるグリーンシート積層体の表面に、第１導電性材料から、前記第１外部端子電極となる第１表面端子部を形成する第１主面側電極形成工程と、
前記積層部となるグリーンシート積層体の裏面に、メッシュマスクを用いて第１導電性材料よりも低粘度の第２導電性材料から、前記第２外部端子電極となる第２表面端子部を形成する第２主面側電極印刷工程と
を含むことを特徴とする積層コンデンサの製造方法。
【請求項５】
前記第２主面側電極印刷工程では、粘度が１０Ｐａ・ｓ以上１５０Ｐａ・ｓ以下のニッケルペーストを印刷することを特徴とする請求項４に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項６】
前記ニッケルペーストに含まれる無機固形分は、６５質量％以上７５質量％以下であることを特徴とする請求項５に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項７】
前記第１主面側電極形成工程及び第２主面側電極印刷工程を行う前に、前記内部電極層となる内部電極部を有し前記誘電体層となる複数のグリーンシートが積層され、前記ビア導体となる導体部が形成された前記グリーンシート積層体を形成する積層体形成工程を行うことを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項８】
前記積層体形成工程では、前記内部電極層となる内部電極部を有し前記誘電体層となる複数のグリーンシートを積層一体化してグリーンシート積層体とした後、前記グリーンシート積層体にビアホールを形成し、さらに前記ビアホール内に前記導体部となる材料を充填することを特徴とする請求項７に記載の積層コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された構造を備える積層コンデンサ及びその製造方法に係り、特には外部端子電極の形状等に特徴を有する積層コンデンサ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層電子部品の一種として例えば積層セラミックコンデンサ等がよく知られている。この種の部品は、複数のセラミック誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された構造の積層部を備えている。積層部の内部には、複数のセラミック誘電体層を貫通して複数の内部電極層を接続するビア導体が形成されている。そして、積層部の表面側や裏面側には複数の外部端子電極が配置されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１においては、ビア導体の端部が積層部の表面側及び裏面側にて突出しており、その突出部が外部端子電極として機能するように構成されている。
【０００３】
従来の積層セラミックコンデンサは例えば以下のような手順で製造される。まず、樹脂テープ上に、複数の絶縁層となる複数のセラミック誘電体層と複数の内部電極層とを交互に積層した積層部を形成する。次に、この樹脂テープを貫通しかつ前記積層部の全体または一部を貫通するビアホールを形成する。次に、ビアホール内に導電性金属ペーストを充填してビア導体を形成する。そして、樹脂テープを剥離することにより、積層部の表面側にビア導体と一体の突出部を形成するとともに、積層部の裏面側にも同じ形状・大きさの突出部を形成する。そして、焼成を行ってセラミック及びペースト中の金属を同時焼結させることにより、表裏両面にそれぞれ複数の外部端子電極を備えた積層セラミックコンデンサを完成させる。このようにして製造された積層セラミックコンデンサは、表面側または裏面側に配置される他部品（ＩＣチップ、ＩＣチップ搭載基板、マザーボードなど）に対し、はんだ付け等の方法により電気的に接続されることが多い。
【特許文献１】特開２００３−３１８０６５号公報（図１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、積層セラミックコンデンサを他部品と電気的に接続するに際し、表面及び裏面で異なる接続形態を採ることも、今後十分に予想される。具体例を挙げると、一方側の面については外部端子電極と他部品の電極とをはんだ付けにより電気的に接続し、他方側の面については外部端子電極と他部品の電極とを機械的な接触をもって電気的に接続するような場合である。
【０００５】
しかしながら、技術文献１記載の積層セラミックコンデンサの場合、基本的に、表面側の外部端子電極及び裏面側の外部端子電極が、同じ形状かつ同じ大きさとなっている。そのため、表面及び裏面で同じ接続形態を採る場合には対応できても、異なる接続形態を採る場合には十分に対応できないという問題があった。ゆえに、一方側の面について高い接続信頼性を付与できたとしても、他方側の面についてまで高い接続信頼性を付与することは困難であった。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、他部品との接続信頼性に優れた積層コンデンサを提供することにある。また、本発明の別の目的は、上記の優れた積層コンデンサを製造するのに好適な製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そして、上記課題を解決するための手段としては、第１主面及び第２主面を有し、複数の誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された構造の積層部と、前記複数の誘電体層を貫通し、前記複数の内部電極層を接続するビア導体と、前記第１主面側にて前記ビア導体に接続された第１外部端子電極と、前記第１外部端子電極よりも大面積かつ薄いものであり、前記第２主面側にて前記ビア導体に接続された第２外部端子電極とを備えることを特徴とする積層コンデンサがある。
【０００８】
従って、この積層コンデンサでは、第２外部端子電極が第１外部端子電極と形態的に異なっているため、第１主面側と第２主面側とで異なる接続形態を採る場合でも、個々の接続形態に応じて適した外部端子電極を選択することができる。よって、第１主面側及び第２主面側の両方において、他部品の電極との間に高い接続信頼性を付与しやすくなる。
【０００９】
ここで、上記手段にかかる積層コンデンサとは、積層電子部品の一種であって、複数の誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された構造を有するものを指している。その具体例としては、積層セラミックコンデンサや積層セラミックコンデンサ内蔵基板などがある。とりわけ前記積層コンデンサとしては、複数のビア導体をアレイ状に配置したタイプの積層セラミックコンデンサ、即ちビアアレイタイプの積層セラミックコンデンサであることがよい。
【００１０】
積層コンデンサを構成する積層部は、第１主面及び第１主面に対向する第２主面を有する板状物であって、複数の誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された構造を有している。例えば、積層コンデンサがビアアレイタイプの積層セラミックコンデンサである場合、内部電極層は２つの群（第１内部電極層からなる群と第２内部電極層からなる群）に分けられる。この場合、第１内部電極層及び第２内部電極層は一層おきに配置される。
【００１１】
誘電体層はセラミック誘電体層であることが好ましく、その好適例としては、チタン酸バリウム層、チタン酸鉛層、チタン酸ストロンチウム層などを挙げることができる。内部電極層は、積層部の内部に配置された層状の電極のことを指す。内部電極層は、例えば、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、銅、タングステン等を主成分として形成されている。
【００１２】
誘電体層の厚さは１μｍ以上１０μｍ以下に設定されることがよく、好ましくは５μｍ以上１０μｍ以下に設定される。内部電極層の厚さは誘電体層の厚さよりも薄くなるように例えば０．５μｍ以上５μｍ以下に設定されることがよく、好ましくは１μｍ以上３μｍ以下に設定される。
【００１３】
前記積層部には複数のセラミック層を貫通するビアが設けられており、そのビア内には複数の誘電体層を貫通して複数の内部電極層を接続するビア導体が形成されている。例えば、積層電子部品がビアアレイタイプの積層セラミックコンデンサである場合、ビア導体は、複数の第１内部電極層同士を電気的に接続する第１ビア導体と、複数の第２内部電極層同士を電気的に接続する第２ビア導体という２つの群に分けられる。第１ビア導体と第２内部電極層とは電気的に絶縁されており、第２ビア導体と第１内部電極層とは電気的に絶縁されている。
【００１４】
ビア導体は、積層部の第１主面及び前記第２主面間を貫通する貫通ビア導体であってもよく、積層部の第１主面及び前記第２主面間を貫通しない非貫通ビア導体であってもよい。ビア導体は、上記の内部電極層と同様に、例えば、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、銅、タングステン等を主成分として形成される。ビア導体の直径は５０μｍ以上１２０μｍ以下に設定されることがよく、好ましくは６０μｍ以上１１０μｍ以下に設定され、最も好ましくは７０μｍ以上１００μｍ以下に設定される。また、ビア導体の間隔は１００μｍ以上６００μｍ以下に設定されることがよく、好ましくは１５０μｍ以上４５０μｍ以下に設定される。ここで、ビア導体の間隔とは、隣接するビア導体同士の中心間距離、つまりビア導体のピッチのことを意味する。
【００１５】
上記手段にかかる積層コンデンサは、第１主面側にてビア導体に電気的に接続された第１外部端子電極と、第２主面側にてビア導体に接続された第２外部端子電極とを備えている。なお、第１外部端子電極及び第２外部端子電極は、例えば別の導体を介して間接的にビア導体に接続されていてもよいが、ビア導体の端部に直接接続されていることが好ましい。
【００１６】
第１外部端子電極及び第２外部端子電極は、互いに形態的に異なっている。具体的にいうと、第２外部端子電極は第１外部端子電極よりも大面積かつ薄く、第１外部端子電極は第２外部端子電極よりも小面積かつ厚くなっている。従って、半導体素子や半導体素子搭載基板が有する端子とはんだ付けにより電気的な接続を図るような場合には、第１外部端子電極のほうが第２外部端子電極に比べて形態的に有利であるといえる。即ち、電極厚さが厚くなると、例えばはんだとの接触面積が増える結果、接続信頼性の向上につながるからである。また、半導体素子側端子等は多端子化及び小面積化の傾向にあり、第１外部端子電極についてもそれに追従する必要があるからである。一方、配線基板等が有する端子（接触子）と機械的に接触させて電気的な接続を図るような場合には、第２外部端子電極のほうが第１外部端子電極に比べて形態的に有利であるといえる。即ち、配線基板側の端子（接触子）を小型かつ高精度に形成するのには限界があり、この事情に鑑みると第２外部端子電極についてはそれほど小面積化する必要がないからである。ただし、大面積の第２外部端子電極を厚く形成してしまうと、電極の焼成収縮率が大きくなりすぎて端子電極と積層体との密着強度が弱くなってしまうおそれがある。ゆえに、このような問題の発生を未然に回避するために、第２外部端子電極は第１外部端子電極に比べて薄く形成されることがよい。
【００１７】
前記第１外部端子電極の面積は、第２外部端子電極の面積の１／５倍以上４／５倍未満であることがよく、１／３倍以上２／３倍未満であることがよりよい。また、前記第１外部端子電極の厚さ（高さ）は、第２外部端子電極の面積の１．５倍以上４倍未満であることがよく、２倍以上３倍未満であることがよりよい。
【００１８】
第１外部端子電極及び第２外部端子電極は、上記の内部電極層やビア導体と同様に、例えば、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、銅、タングステン等を主成分として形成され、とりわけニッケルを主成分として形成されることが好ましい。ニッケルは比較的安価な材料であることに加え、チタン酸バリウムなどの高誘電率セラミックとの同時焼結が可能だからである。
【００１９】
第１外部端子電極及び第２外部端子電極の表面は、必要に応じ、めっき層によって被覆されていてもよい。例えば、第１外部端子電極がニッケルを主成分として形成されている場合、その表面をニッケルめっき層で被覆することがよい。この構成によれば、電極表面を改質してはんだ濡れ性を向上させることができる。はんだ濡れ性の向上は、他部品との接合強度の向上に貢献するからである。また、ニッケルめっき層上にさらに金めっき層を形成することがよく、この構成によればはんだ濡れ性をよりいっそう向上させることができる。
【００２０】
また、第２外部端子電極がニッケルを主成分として形成されている場合、やはりその表面をニッケルめっき層で被覆することがよい。この構成によれば、電極表面を改質して低抵抗化を図ることができる。電極の低抵抗化は、他部品との接続信頼性の向上にも貢献しうる。また、ニッケルめっき層上にさらに金めっき層を形成することがよく、この構成によれば、電極表面が軟質化することで配線基板側の端子（接触子）との接触状態が向上し、低抵抗化や接続信頼性の向上につながるからである。
【００２１】
また、本発明の別の課題を解決するための手段としては、前述した積層コンデンサの製造方法であって、前記積層部となるグリーンシート積層体の表面に、第１導電性材料から、前記第１外部端子電極となる第１表面端子部を形成する第１主面側電極形成工程と、前記積層部となるグリーンシート積層体の裏面に、メッシュマスクを用いて第１導電性材料よりも低粘度の第２導電性材料から、前記第２外部端子電極となる第２表面端子部を形成する第２主面側電極印刷工程とを含むことを特徴とする積層コンデンサの製造方法がある。この場合、前記第１導電性材料はメタルマスクを用いた印刷により形成されることが好ましく、第２導電性材料はメッシュマスクを用いた印刷により形成されることが好ましい。
【００２２】
そして、この製造方法によれば、第１外部端子電極となる第１表面端子部の形成、第２外部端子電極となる第２表面端子部の形成のいずれにおいても、導電性材料の印刷という比較的安価な手法を採用している。そのため、積層コンデンサの低コスト化を比較的容易に達成することができる。なお、小面積かつ厚い第１表面端子部の形成には高粘度の導電性材料の選択が望ましく、第１主面側電極形成工程では高粘度材料の印刷に好適なメタルマスクを用いることが好ましい。逆に、大面積かつ薄い第２表面端子部の形成には低粘度の導電性材料の選択が望ましく、第２主面側電極印刷工程では低粘度材料の印刷に好適なメッシュマスクを用いている。即ち、この製造方法では、材料の特性に応じてマスクを使い分けて印刷を行っているため、所望形状の表面端子部、ひいては所望形状の外部端子電極を確実に形成することができる。
【００２３】
前記製造方法において、第１主面側電極形成工程及び第２主面側電極印刷工程の実施順序は特に限定されず、どちらを先に実施してもよい。なお、前記第１主面側電極形成工程では、第１導電性材料を複数回重ねて印刷することがよく、この手法によれば厚い第１表面端子部を比較的簡単に形成することが可能となる。
【００２４】
以下、積層コンデンサの製造方法について説明する。
【００２５】
第１主面側電極形成工程及び第２主面側電極印刷工程を行う前には、例えば積層体形成工程が実施される。積層体形成工程では、前記内部電極層となる内部電極部を有し前記誘電体層となる複数のグリーンシートが積層され、前記ビア導体となる導体部が形成された前記グリーンシート積層体を形成する。より具体的には、前記内部電極層となる内部電極部を有し前記誘電体層となる複数のグリーンシートを積層一体化してグリーンシート積層体とした後、前記グリーンシート積層体にビアホールを形成し、さらに前記ビアホール内に前記導体部となる材料を充填することが好ましい。
【００２６】
前記内部電極層となる内部電極部の形成は、例えば、あらかじめ作製されたグリーンシートに導電性金属ペーストを印刷すること等により行われる。内部電極部は、後に焼成されることで内部電極層となる。このような内部電極層形成用のペーストはニッケルを含むペーストであることが好ましい。
【００２７】
前記ビア導体となる導体部の形成においてビアホールの形成は、例えば、ドリル加工、パンチング加工、レーザー加工等といった従来周知の手法により行うことができる。導体部の形成は、ビアホール内に導電性金属ペーストを印刷して同ペーストを充填すること等により行うことも可能である。このようなビア導体形成用のペーストはニッケルを含むペーストであることが好ましい。
【００２８】
ここで、ビア導体形成用のニッケルペーストは、誘電体層との焼成収縮率のマッチングを得るために原料組成及び原料粒径の最適化が図られ、その結果１０００００Ｐａ・ｓ以上１００００００Ｐａ・ｓ以下（東機産業株式会社製  ＲＢ８０型粘度計  Ｔ−バーロータ  ０．５rpm  1分値  ２５℃）の極めて高い粘度に設定される。それに対して、内部電極層形成用のニッケルペーストは、均一に薄く形成する必要があるために、原料組成及び原料粒径の最適化が図られ、その結果１０Ｐａ・ｓ以上３０Ｐａ・ｓ以下（リオン株式会社製ビスコテスター  ＶＴ−０４型粘度計  Ｎｏ．２ロータ  ６２．５rpm  １分値  ２５℃）の極めて低い粘度に設定される。そしてこの場合、内部電極層形成用のニッケルペーストは、印刷面全体の均一性の確保といった観点からメッシュマスクを用いて印刷されることが好適である。メタルマスクに比較してメッシュマスクのほうが、構造上、低粘度ペーストの印刷に適しているからである。なお、ニッケルペーストの粘度は、ニッケルの含有量や有機溶媒の添加量などの変更により増減することができる。
【００２９】
この場合における導体部の形成手法としては、充填容器と押圧板との間にグリーンシート積層体を配置して厚さ方向に圧力を加えながら導電性金属ペーストを充填する圧入充填法が好適である。即ち、ビア導体形成用のニッケルペーストは高粘度であり、積層によってビアホールの長さが長くなると、ペーストがビアホール内に充填されにくくなる。その点、圧入充填法によれば高粘度のニッケルペーストを確実に充填することができ、ビア導体と内部電極層との電気的接合が確実に行われ、電気的特性の向上を図りやすくなるからである。
【００３０】
なお、積層体形成工程を以下のように行ってもよい。まず、前記内部電極層となる内部電極部を有し前記セラミック層となる複数のグリーンシートを積層してなるグリーンシートブロック体を複数形成する。次いで、それらのグリーンシートブロック体にビアホールを形成し、さらに前記ビアホール内に前記ビア導体となる導体部の形成用の材料を充填する。その後、前記複数のグリーンシートブロック体を積層一体化してグリーンシート積層体とする。
【００３１】
この場合における導体部の形成手法としては、充填容器と押圧板との間にグリーンシートブロック体を配置して厚さ方向に圧力を加えながら導電性金属ペーストを充填する圧入充填法が好適である。この手法によれば、高粘度のニッケルペーストを確実に充填でき、ビア導体と内部電極層との電気的接合が確実に行われ、電気的特性の向上を図りやすくなる。
【００３２】
なお、積層体形成工程を以下のように行ってもよい。前記内部電極層となる内部電極部と、前記ビア導体となる導体部とを有し前記セラミック層となる複数のグリーンシートを積層一体化してグリーンシート積層体とする。
【００３３】
前記ビア導体となる導体部の形成においてビアホールの形成は、例えば、ドリル加工、パンチング加工、レーザー加工等といった従来周知の手法により行うことができる。
【００３４】
この場合における内部電極層となる内部電極部の形成は、例えば、あらかじめ作製されたグリーンシートに導電性金属ペーストを印刷すること等により行われる。内部電極部は、後に焼成されることで内部電極層となる。この場合における導体部の形成手法としては、ビアホール内に導電性金属ペーストを印刷して同ペーストを充填すること等により行うことが好ましい。導電性金属ペーストの印刷により、内部電極部と導体部を同時に形成することが可能である。このような導電性金属ペーストはニッケルを含むペーストであることが好ましい。
【００３５】
積層体形成工程後に行われる第１主面側電極印刷工程では、前記積層部となるグリーンシート積層体の表面に、メタルマスクを用いて第１導電性材料を印刷することにより、前記第１外部端子電極となる第１表面端子部を形成する。導電性材料としては導電性金属ペーストが好適である。このような導電性金属ペーストは、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、銅、タングステンから選択される１種または２種以上の金属を含むことが好ましい。これらのなかでもニッケルを含むペーストを選択することがよい。この場合、積層体との焼成収縮率のマッチング及び密着強度を得るために原料組成及び原料粒径の最適化が図られる。また、ペースト粘度については５００Ｐａ・ｓ以上５０００Ｐａ・ｓ以下（東機産業株式会社製  ＲＥ８０型粘度計３°×Ｒ７．７ロータ  ０．５rpm  １分値  ２５℃）に設定することが好ましく、５００Ｐａ・ｓ以上２０００Ｐａ・ｓ以下に設定することがより好ましい。ペースト粘度が５００Ｐａ・ｓ未満であると、流動性が高くなりすぎて重ね塗り印刷を行いにくくなるからである。一方、ペースト粘度が５０００Ｐａ・ｓを超えると、ペーストの版抜け性が悪化するおそれがあるからである。なお、ニッケルペーストの粘度は、ニッケルの含有量や有機溶媒の添加量などの変更により増減することができる。
【００３６】
第１主面側電極印刷工程で使用されるニッケルペーストに含まれる無機固形分は、７５質量％以上８５質量％以下であることが好ましい。その理由は、無機固形分がこの程度であると、ニッケルペーストを上記の好適な粘度範囲に設定しやすく、また、積層体との焼成収縮率のマッチングが図られるからである。
【００３７】
積層体形成工程後に行われる第２主面側電極印刷工程では、前記積層部となるグリーンシート積層体の裏面に、メッシュマスクを用いて第２導電性材料を印刷することにより、前記第２外部端子電極となる第２表面端子部を形成する。このような導電性金属ペーストは、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、銅、タングステンから選択される１種または２種以上の金属を含むことが好ましい。これらのなかでもニッケルを含むペーストを選択することがよい。この場合、積層体との焼成収縮率のマッチング及び密着強度を得るために原料組成及び原料粒径の最適化が図られる。また、ペースト粘度については１０Ｐａ・ｓ以上１５０Ｐａ・ｓ以下（東機産業株式会社製  ＲＥ８０型粘度計３°×Ｒ７．７ロータ  ５rpm  １分値  ２５℃）に設定することが好ましく、５０Ｐａ・ｓ以上１５０Ｐａ・ｓ以下に設定することがより好ましい。ペースト粘度が１０Ｐａ・ｓ未満であると、流動性が高すぎて印刷形状が保持されず、第２外部端子電極の形成精度が悪くなるおそれがあるからである。一方、ペースト粘度が１５０Ｐａ・ｓを超えると、ペーストの版抜け性が悪化するおそれがあるからである。なお、ニッケルペーストの粘度は、ニッケルの含有量や有機溶媒の添加量などの変更により増減することができる。
【００３８】
第２主面側電極印刷工程で使用されるニッケルペーストに含まれる無機固形分は、６５質量％以上７５質量％以下であることが好ましい。その理由は、無機固形分がこの程度であると、ニッケルペーストを上記の好適な粘度範囲に設定しやすく、また、積層体との焼成収縮率のマッチングが図られるからである。
【００３９】
また、第２主面側電極印刷工程で使用されるニッケルペースト中に含まれるニッケル粉末の平均粒径は、通常よく使用されるもの（約０．２〜０．４μｍのもの）よりも大きいことがよく、具体的には０．４μｍ〜３．０μｍ程度であることが望ましい。平均粒径が０．４μｍ未満であると、ニッケルペーストの粘度を１５０Ｐａ・ｓ以下に設定することが難しくなるからである。一方、平均粒径が３．０μｍを超えると、焼成収縮率が大きくなり第２表面端子部にひび割れが生じやすくなるからである。なお、電極表面にめっき層を形成する場合、めっき層の接合強度を上げるためには、電極表面を適度に粗く（実測：Ｒａ＝０．１５μｍ〜０．３μｍ程度に）し、また、めっき層の厚みを電極全体の被覆が可能な最小厚み（トータルで約３μｍ以下）にすることが望ましい。即ち、めっき層が厚すぎると、めっき層と外部端子電極との境界部に応力が集中して両者の接合強度が低下するばかりでなく、長いめっき浸漬時間が必要となりコスト増につながるからである。その点、ペースト中に含まれるニッケル粉末を通常のものよりも大きくすれば、電極表面粗度は大きくなるが、めっき層を厚くしなければならない。その点、ペースト中に含まれるニッケル粉末の平均粒径を上記好適範囲（０．４μｍ〜３．０μｍ）に設定すれば、めっき層の薄層化、及び、電極−めっき層の接合強度向上の両方を達成することが可能となる。
【００４０】
そして、上記のように第１主面側電極形成工程及び第２主面側電極印刷工程を行った後には焼成工程が行われ、この工程を経るとセラミック及びペースト中の金属が同時焼結する。焼成工程後には必要に応じて第１及び第２外部端子電極に対するめっき工程が行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
[第１実施形態]
【００４２】
以下、本発明を具体化した実施形態の積層セラミックコンデンサ及びその製造方法について図１〜図１４に基づき説明する。図１は、本実施形態の積層セラミックコンデンサ１１の概略断面図である。図２，図３は、積層セラミックコンデンサ１１の内層における接続を説明するための概略説明図である。図４は、積層セラミックコンデンサ１１における上面１３側の外部端子電極４１の概略断面図である。図５は、積層セラミックコンデンサ１１における下面１４側の外部端子電極４２の概略断面図である。図６〜図１４は、積層セラミックコンデンサ１１の製造方法を説明するための概略断面図である。
【００４３】
図１等に示されるように、本実施形態の積層セラミックコンデンサ１１は、いわゆるビアアレイタイプの積層セラミックコンデンサである。積層セラミックコンデンサ１１を構成する積層部１２は、上面１３（第１主面）及び下面１４（第２主面）を有する板状物である。積層部１２の上面１３側には、ＩＣチップ搭載基板１６（半導体集積回路素子搭載基板）が搭載されるようになっている。一方、積層部１２は、下面１４側を下に向けた状態でマザーボード１７上に搭載されるようになっている。積層部１２は、多数のセラミック誘電体層１５と多数の内部電極層２１，２２とを交互に積層した構造を有している。セラミック誘電体層１５は、高誘電率セラミックの一種であるチタン酸バリウムの焼結体からなり、内部電極層２１，２２間の誘電体（絶縁体）として機能する。セラミック誘電体層１５の厚さは５μｍ程度に設定されている。第１内部電極層２１及び第２内部電極層２２は、いずれもニッケルを主成分として形成された厚さ１．５μｍ〜１．８μｍ程度の層であって、積層部１２の内部において一層おきに配置されている。
【００４４】
図１に示されるように、積層部１２には多数のビアホール３３が形成されている。これらのビアホール３３は、積層部１２をその厚さ方向に貫通するとともに、全面にわたって格子状（アレイ状）に配置されている。各ビアホール３３内には、積層部１２の上面１３及び下面１４間を貫通する複数のビア導体３１，３２が、ニッケルを主材料として形成されている。各第１ビア導体３１は、各第１内部電極層２１を貫通しており、それら同士を互いに電気的に接続している。一方、図３等に示されるように、各第１ビア導体３１は、各第２内部電極層２２に設けられたクリアランスホール３５を貫通することにより、各第２内部電極層２２とは電気的に絶縁されている。各第２ビア導体３２は、各第２内部電極層２２を貫通しており、それら同士を互いに電気的に接続している。一方、図２等に示されるように、各第２ビア導体３２は、各第１内部電極層２１に設けられたクリアランスホール３４を貫通することにより、各第１内部電極層２１とは電気的に絶縁されている。なお本実施形態では、ビア導体３１，３２の直径が１００μｍ程度に設定され、ビアピッチが４００μｍに設定されている。また、各クリアランスホール３４，３５の直径は約３００μｍに設定されている。
【００４５】
そして図１等に示されるように、本実施形態の積層セラミックコンデンサ１１は、上面１３及び下面１４の両方に多数の外部端子電極４１，４２をそれぞれ備えている。上面１３側にある第１外部端子電極４１は、ＩＣチップ搭載基板１６が有する電極に対して、はんだバンプを介して電気的に接続される。一方、下面１４側にある第２外部端子電極４２は、マザーボード１７側が有する電極（接触子）に対して、はんだを介することなく機械的な接触のみをもって電気的に接続される。よって、これら２種の外部端子電極４１，４２は異なる形状を有している。
【００４６】
図４等に示されるように、第１外部端子電極４１は、電極下段部５１上に電極上段部５２を積み重ねた２段構造であって、電極下段部５１と電極上段部５２との境界に段差部５３（くびれ部）を有している。第１外部端子電極４１の厚さ（高さ）は４０μｍ程度に設定されている。また、第１外部端子電極４１はニッケルを主材料として形成されるとともに、その表面がめっき層４３（ニッケルめっき層及び金めっき層）によって全体的に被覆されている（図１では便宜上めっき層４３を省略）。第１外部端子電極４１の底面略中央部は、積層部１２の上面１３から若干引っ込んだビア導体３１，３２の端面に対して直接接続されている。
【００４７】
上面１３に垂直な方向（部品厚さ方向）から見たときの電極下段部５１の形状は略円形状であり、その直径は約２００μｍである。同じく部品厚さ方向から見たときの電極上段部５２の形状は略円形状であり、その直径は約１６０μｍである。つまり、部品厚さ方向から見たときの電極上段部５２の投影面積は、部品厚さ方向から見たときの電極下段部５１の投影面積よりも小さくなっている。また、部品厚さ方向から見たときの電極上段部５２の投影面積は、部品厚さ方向から見たときのビア導体３１，３２の投影面積よりも大きくなっている。
【００４８】
図５等に示されるように、第２外部端子電極４２も、ニッケルを主材料として形成されるとともに、その表面がめっき層４３（ニッケルめっき層及び金めっき層）によって被覆されている（図１では便宜上めっき層４３を省略）。そして、第２外部端子電極４２の底面略中央部は、下面１４から若干引っ込んだビア導体３１，３２の端面に対して直接接続されている。
【００４９】
第２外部端子電極４２は、１段構造であって特に段差部５３（くびれ部）を有していない点で、第１外部端子電極４１とは形状が異なっている。第２外部端子電極４２の厚さ（高さ）は２０μｍ程度に設定され、第１外部端子電極４１の約半分の値となっている。また、部品厚さ方向から見たときの電極上段部５２の形状は略円形状であり、その直径は約３５０μｍである。即ち、第１外部端子電極４１は相対的に小径かつ厚いものとなっているのに対し、第２外部端子電極４２は相対的に大径かつ薄いものとなっている。
【００５０】
マザーボード１７側から第２外部端子電極４２を介して通電を行い、第１内部電極層２１−第２内部電極層２２間に電圧を加えると、第１内部電極層２１に例えばプラスの電荷が蓄積し、第２内部電極層２２に例えばマイナスの電荷が蓄積する。その結果、積層セラミックコンデンサ１１がコンデンサとして機能する。また、この積層セラミックコンデンサ１１では、第１ビア導体３１及び第２ビア導体３２がそれぞれ交互に隣接して配置され、かつ、第１ビア導体３１及び第２ビア導体３２を流れる電流の方向が互いに逆向きになるように設定されている。これにより、インダクタンス成分の低減化が図られている。
【００５１】
次に、本実施形態の積層セラミックコンデンサ１１の製造方法について述べる。
【００５２】
（１）グリーンシート６１の形成
まず、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム等の長尺状のキャリアフィルム（図示略）上にチタン酸バリウム等からなるセラミックスラリーを均一に薄く塗布して乾燥させる。これにより、キャリアフィルム上にセラミックのグリーンシート６１が形成される。この後、グリーンシート６１を一定形状で切り出す作業が行われる。このグリーンシート６１は焼成後にセラミック誘電体層１５となる。
【００５３】
（２）内部電極部１２１，１２２の形成
次に、グリーンシート６１に図示しないメッシュマスクを配置して、内部電極層用ニッケルペーストＰ１をスクリーン印刷し乾燥させることにより、後に内部電極層２１，２２となる内部電極部１２１，１２２を形成する（図６参照）。第１内部電極層２１における所定の位置にはクリアランスホール３４が形成され、第２内部電極層２２における所定の位置にはクリアランスホール３５が形成されている。このとき印刷厚は２μｍ〜３μｍに設定される。ここで使用する内部電極層用ニッケルペーストＰ１は約５５質量％無機固形分と約４５質量％ビヒクルとを含んでいる。無機固形分は、ニッケル粉末（ＤSEM＝０．４μｍ）と、共材（チタン酸バリウム粉末）とからなる。ビヒクルは、樹脂（エトセル）と、有機溶剤（テルピネオール）とからなる。そして、このような組成のペーストＰ１の粘度は、印刷時に約２０Ｐａ・ｓ（リオン株式会社製ビスコテスター  ＶＴ−０４型粘度計  Ｎｏ．２ロータ  ６２．５rpm  １分値  ２５℃）に調整される。
【００５４】
（３）グリーンシート６１の積層圧着
次に、内部電極が印刷された複数枚のグリーンシート６１を積層する。その際、第１内部電極部１２１が形成されているグリーンシート６１と、第２内部電極部１２２が形成されているグリーンシート６１とを交互に配置する（図７参照）。そして、従来周知のラミネート装置を用いて、所定温度条件下でシート積層方向に押圧力を付与することにより、各グリーンシート６１を圧着して一体化させる。その結果、厚さ１ｍｍ程度のグリーンシート積層体６２が得られる。本実施形態では、積層圧着時の温度を６０℃〜８０℃に設定し、押圧力を３００ｋｇ／ｃｍ２〜１０００ｋｇ／ｃｍ２に設定することとしている。また、積層数を１００層〜１２０層程度に設定している。積層数については、要求されるスペック等に応じて任意に変更可能である。
【００５５】
（４）レーザー照射によるビアホール３３の形成
次に、レーザー加工機を用いてレーザービームを照射することにより、グリーンシート積層体６２に直径約１２０μｍのビアホール３３を多数個貫通形成する（図８参照）。
【００５６】
（５）圧入充填法による導体部１３１，１３２の形成
ここで使用するビア導体用ニッケルペーストＰ２は９０質量％の無機固形分と１０質量％のビヒクルとを含んでいる。無機固形分は、ニッケル粉末（ＤSEM＝０．４μｍ〜３μｍ）と、共材（チタン酸バリウム粉末）とからなる。ビヒクルは、（エトセル）と、有機溶剤（テルピネオール）と、添加剤（分散剤、酸化防止剤等）からなる。そして、このような組成のペーストＰ２の粘度は、充填性を考慮して１０００００Ｐａ・ｓ〜１００００００Ｐａ・ｓ（東機産業株式会社製  ＲＢ８０型粘度計  Ｔ−バーロータ  ０．５rpm  １分値  ２５℃）の範囲内にて設定され、好ましくは２０００００Ｐａ・ｓ〜３０００００Ｐａ・ｓの範囲内にて設定される。
【００５７】
次に、ペースト圧入充填装置を用いて、上記のビア導体用ニッケルペーストＰ２を各ビアホール３３内に充填する。ここで使用されるペースト圧入充填装置は、充填容器及び押圧板を備えている。充填容器内にはビア導体用ニッケルペーストＰ２が満たされている。充填容器の底部には底板が上下動可能に設けられている。ビアホール３３が形成されたグリーンシート積層体６２はその充填容器上に載置され、さらにそのグリーンシート積層体６２上には押圧板が配置される。そして、この状態で前記底板を押し上げることにより厚さ方向に圧力を加え、ビア導体用ニッケルペーストＰ２を各ビアホール３３内に充填する（図９参照）。このような圧入充填法によれば、高粘度のビア導体用ニッケルペーストＰ２を各ビアホール３３内に確実に充填することができ、ビア導体３１，３２の電気的特性の向上が図りやすくなる。なお、圧入充填時に加える圧力は、ビアホール３３の直径やビア導体用ニッケルペーストＰ２の粘度等のパラメータにもよるが、本実施形態の条件下では２．０ＭＰａ〜７．５ＭＰａの範囲内で設定されることが好ましい。下限値である２．０ＭＰａ以上に設定することで、各ビアホール３３内にビア導体用ニッケルペーストＰ２を確実に充填することができる。また、上限値である７．５ＭＰａ以下に設定することで、グリーンシート積層体６２に対する過剰の押圧力付加が避けられ、クラック等の発生を未然に防止することができる。
【００５８】
また、ペースト充填に際してビアホール３３内のエアは適宜の方法により外部に排出されることがよい。具体的には、押圧板の下面に通気性を有するシートを配置したり、押圧板自体を多孔質で通気性のある板材としたりすればよい。押圧板にこのような工夫を施すことにより、ペーストＰ２の充填性をいっそう高めることができる。
【００５９】
（６）上面１３側における表面端子部１４１の形成
ここで使用する第１外部端子電極用ニッケルペーストＰ３は８０．０質量％の無機固形分と２０．０質量％のビヒクルとを含んでいる。無機固形分は、ニッケル粉末（ＤSEM＝０．４〜３．０μｍ）と、共材（チタン酸バリウム粉末）とからなる。ビヒクルは、樹脂（エトセル）と、有機溶剤（テルピネオール）とからなる。そして、このような組成のペーストＰ３の粘度は、印刷時に約１０００Ｐａ・ｓ（東機産業株式会社製  ＲＥ８０型粘度計３°×Ｒ７．７ロータ  ０．５rpm  １分値  ２５℃）となるように調整される。
【００６０】
次に、上記の第１外部端子電極用ニッケルペーストＰ３を印刷するに際し、導体部１３１，１３２が形成されたグリーンシート積層体６２を、従来周知のペースト印刷装置にセットする。そして、グリーンシート積層体６２の上面１３上に、メタルマスク７１を重ね合わせるようにして配置する。このメタルマスク７１は、電極下段部５１印刷用のメタルマスクであって、電極下段部５１を形成すべき箇所に複数の開口部７３が透設されている。本実施形態ではメタルマスク７１の厚さは約３０μｍに設定されている。このようなマスク配置状態でメタルマスク７１の上面に第１外部端子電極用ニッケルペーストＰ３を供給し、スキージの移動によってそのペーストＰ３を刷り込むようにする。すると、各開口部７３を介してペーストＰ３が印刷され、グリーンシート積層体６２の上面１３側にて各導体部１３１，１３２の上端面を覆うように電極下段部５１が形成される（図１０参照）。印刷後、メタルマスク７１とグリーンシート積層体６２とを引き離し、メタルマスク７１から電極下段部５１を版抜けさせる。なお、本実施形態では高粘度ペーストの印刷に適したメタルマスク７１を用いているため、所望の形状を保持したまま電極下段部５１を容易に版抜けさせることができる。
【００６１】
ここでグリーンシート積層体６２をいったんペースト印刷装置から取り外して、電極下段部５１を所定時間、所定温度で乾燥させる。その結果、電極下段部５１中に含まれる有機溶剤量を低減し、電極下段部５１をある程度固化させる。このような乾燥を行っておくと、後でペーストＰ３の重ね塗りを行った場合でも電極下段部５１の形状が崩れにくくなり、ひいては上面１３側の外部端子電極４１の形成精度が高くなる。
【００６２】
次に、グリーンシート積層体６２を再びペースト印刷装置にセットし、その上面１３側に別のメタルマスク７２を配置する。このメタルマスク７２は、電極上段部５２印刷用のメタルマスク（厚さ３０μｍ）であって、電極上段部５２を形成すべき箇所に複数の開口部７４が透設されている。開口部７４の開口面積は開口部７３の開口面積よりも小さく設定されており、今回の印刷時のほうが前回の印刷時に比べて印刷層の印刷領域が小さくなっている。なお、メタルマスク７２における各開口部７４の下側開口縁は、電極下段部５１の上面に当接して支持される。従って、メタルマスク７２は、グリーンシート積層体６２の上面１３から若干浮いた状態で配置される。かかる配置態様を採ることは、確実に段差をつけるうえで好都合である。そして、このようなマスク配置状態で第１外部端子電極用ニッケルペーストＰ３を刷り込むようにすると、各開口部７４を介してペーストＰ３が印刷され、電極下段部５１上に電極上段部５２が積み重ねられるようにして形成される（図１２参照）。本実施形態では、使用後のメタルマスク７１を別のメタルマスク７２に交換して印刷を行っているため、第１外部端子電極４１の形成精度を向上させることができる。
【００６３】
印刷後、メタルマスク７２とグリーンシート積層体６２とを引き離し、メタルマスク７２から電極上段部５２を版抜けさせる。なお、本実施形態では高粘度ペーストの印刷に適したメタルマスク７２を用いているため、所望の形状を保持したまま電極上段部５２を容易に版抜けさせることができる。この後、グリーンシート積層体６２をペースト印刷装置から取り外して電極上段部５２を乾燥させる。その結果、電極下段部５１上に電極上段部５２を積み重ねた２段構造であって、電極下段部５１と電極上段部５２との境界に段差部５３を有する所望の表面端子部１４１が、上面１３側に形成される（図１２参照）。なお、この表面端子部１４１は、後に焼成されて第１外部端子電極４１となる。
【００６４】
（７）下面１４側における表面端子部１４２の形成
ここで使用する第２外部端子電極用ニッケルペーストＰ４は、７０．０質量％の無機固形分と３０．０質量％のビヒクルとを含んでいる。無機固形分は、ニッケル粉末（ＤSEM＝０．４〜３．０μｍ）と、共材（チタン酸バリウム粉末）とからなる。ビヒクルは、樹脂（エトセル）と、有機溶剤（テルピネオール）とからなる。そして、このような組成のペーストＰ４の粘度は、印刷時に約１００Ｐａ・ｓ（東機産業株式会社製  ＲＥ８０型粘度計３°×Ｒ７．７ロータ  ５rpm  １分値  ２５℃）に調整される。
【００６５】
次に、上記の第２外部端子電極用ニッケルペーストＰ４を印刷するに際し、導体部１３１，１３２が形成されたグリーンシート積層体６２を、従来周知のスクリーン印刷装置にセットする。そして、グリーンシート積層体６２の下面１４上に、メッシュマスク８１を重ね合わせるようにして配置する（図１３参照）。このメッシュマスク８１は、第２外部端子電極４２を形成すべき箇所がメッシュ部８２となっている。このようなマスク配置状態でメッシュマスク８１の上面に第２外部端子電極用ニッケルペーストＰ４を供給し、スキージの移動によってそのペーストＰ４を刷り込むようにする。このとき印刷厚は約２５μｍに設定される。すると、各メッシュ部８２を介してペーストＰ４が印刷され、グリーンシート積層体６２の下面１４側にて各導体部１３１，１３２の下端面を覆うように表面端子部１４２が均一に形成される。印刷後、メッシュマスク８１とグリーンシート積層体６２とを引き離し、メッシュマスク８１から表面端子部１４２を版抜けさせる（図１４参照）。
【００６６】
なお、本実施形態では低粘度ペーストの印刷に適したメッシュマスク８１を用いているため、クラック等を生じさせることなく表面端子部１４２を容易に版抜けさせることができる。ちなみに、メタルマスクを用いて低粘度ペーストを大面積に対して印刷した場合、印刷層の中央部分がスキージで掻き取られ、そこに窪みができてしまう。その点、メッシュマスク８１を用いた印刷によれば、そのような心配もない。
【００６７】
この後、グリーンシート積層体６２をスクリーン印刷装置から取り外して乾燥を行い、表面端子部１４２をある程度固化させる。
【００６８】
（８）溝入れ、脱脂、同時焼成、めっき、ブレーク
次に、グリーンシート積層体６２にブレーク用の溝を格子状に入れた後、このグリーンシート積層体６２を脱脂し、さらに所定温度で所定時間焼成を行う。その結果、チタン酸バリウム及びペーストＰ１〜Ｐ４中のニッケルが同時焼結し、セラミック焼結体となる。
【００６９】
次に、得られたセラミック焼結体が有する各外部端子電極４１，４２に対して無電解ニッケルめっき（厚さ０．５μｍ〜３．０μｍ程度）を行い、続いて無電解金めっき（厚さ０．１μｍ〜１．０μｍ程度）を行う。外部端子電極４１，４２の表面にめっきが施されていないと、共材として含まれるチタン酸バリウムが表面に露出してしまう。その点、めっき層４３があるとチタン酸バリウムが表面に露出しなくなり、第１外部端子電極４１については、はんだ濡れ性が向上する。また、第２外部端子電極４２については、低抵抗化が図られる。そして、めっきを行った後に前記溝に沿ってセラミック焼結体をブレークすれば、複数の積層セラミックコンデンサ１１を得ることができる。
【００７０】
従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
【００７１】
（１）この積層セラミックコンデンサ１１では、第１外部端子電極４１が相対的に小径かつ厚いものとなっているのに対し、第２外部端子電極４２が相対的に大径かつ薄いものとなっている。ゆえに、第１外部端子電極４１については、ＩＣチップ搭載基板１６が有する端子とのはんだ付けを行ううえで、有利な形状となっている。つまり、電極厚さを厚くしたことにより、はんだバンプとの接触面積が増え、これにより接続信頼性が向上するからである。一方、第２外部端子電極４２については、マザーボード１７が有する端子（接触子）と機械的に接触させるうえで、有利な形状となっている。つまり、かかる端子（接触子）を小型かつ高精度に形成するのには限界があり、この事情に鑑みると第２外部端子電極４２についてはそれほど小面積化する必要がないからである。それよりもむしろ、低抵抗化等を目的として接触面積を確保しておく必要があるからである。
【００７２】
以上のように、本実施形態の積層セラミックコンデンサ１１は、上面１３と下面１４とで異なる接続形態を採る場合であっても、上面１３側及び下面１４側の両方において、他部品（例えばＩＣチップ搭載基板１６、マザーボード１７）の電極との間に高い接続信頼性を付与することができる。
【００７３】
（２）この積層セラミックコンデンサ１１の第１外部端子電極４１は、段差部５３に凹凸があって、比較的複雑な表面形状を有している。このため、本実施形態の第１外部端子電極４１では、表面積が大きく、はんだとの接触面積も大きくなっている。よって、第１外部端子電極４１とＩＣチップ搭載基板１６の電極とをはんだバンプを介して接合した場合、両者間に高い接合強度を確保することができる。従って、本実施形態によればＩＣチップ搭載基板１６との接続信頼性を確実に向上させることができる。
【００７４】
（３）本実施形態の製造方法では、第１外部端子電極４１となる第１表面端子部１４１の形成、第２外部端子電極４２となる第２表面端子部１４２の形成のいずれにおいても、ニッケルペーストＰ３，Ｐ４の印刷という比較的安価な手法を採用している。そのため、この製造方法によれば、積層セラミックコンデンサ１１の低コスト化を比較的容易に達成することができる。
【００７５】
（４）また、本実施形態の製造方法では、ニッケルペーストＰ３，Ｐ４の粘度特性に応じて２種のマスク（メタルマスク７１，７２、メッシュマスク８１）を使い分けて印刷を行っている。そのため、所望形状の表面端子部１４１，１４２、ひいては所望形状の外部端子電極４１，４２を確実に形成することができる。
【００７６】
（５）さらに、本実施形態の製造方法では、ニッケルペーストＰ３を複数回重ねて印刷する方法を採用している。このため、段差部５３を有する２段構造の第１外部端子電極４１を比較的簡単にかつ低コストで形成することができる。また、この方法によれば、所望とする形状や高さの第１外部端子電極４１を比較的容易に得ることができる。
[第２実施形態]
【００７７】
次に、図１５〜図１８に基づき第２実施形態について説明する。本実施形態では、第１実施形態のときとは若干異なる方法で積層セラミックコンデンサ１１の製造を行っている。
【００７８】
第１実施形態で示した「（１）グリーンシート６１の形成」、「（２）内部電極部１２１，１２２の形成」及び「（３）グリーンシート６１の積層圧着」を順次実施して、複数（本実施形態では３つ）のグリーンシートブロック体１６１を作製する（図１５参照）。これらのグリーンシートブロック体１６１は、後に複数のセラミック層１５となる複数のグリーンシート６１を積層してなる。グリーンシート６１の片側面には、後に内部電極層２１，２２となる内部電極部１２１，１２２が形成されている。
【００７９】
次に、第１実施形態で示した「（４）レーザー照射によるビアホール３３の形成」を実施し、各グリーンシートブロック体１６１に直径約１２０μｍのビアホール３３を多数個貫通形成する（図１６参照）。さらに、第１実施形態で示した「（５）圧入充填法による導体部１３１，１３２の形成」を実施し、各ビアホール３３内に、後にビア導体３１，３２となる導体部１３１，１３２を充填形成する（図１７参照）。次に、電極充填後の各グリーンシートブロック体１６１を積層一体化してグリーンシート積層体６２とする（図１８参照）。この後、第１実施形態で示した「（６）上面１３側における表面端子部１４１の形成」、「（７）下面１４側における表面端子部１４２の形成」及び「（８）溝入れ、脱脂、同時焼成、めっき、ブレーク」を順次実施する。
【００８０】
そして、以上のようなプロセスによっても所望の積層セラミックコンデンサ１１が製造可能である。特にこのプロセスによれば、積層数の多い積層セラミックコンデンサ１１を比較的容易に得ることができる。
【００８１】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲を逸脱しない限度において、適宜変更して適用できることは言うまでもない。
【００８２】
次に、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
【００８３】
（１）第１主面及び第２主面を有し、複数のセラミック誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された構造の積層部と、前記複数のセラミック誘電体層を貫通し、前記複数の内部電極層を電気的に接続するビア導体と、前記第１主面側にて前記ビア導体に電気的に接続された第１外部端子電極と、前記第１外部端子電極よりも大面積かつ薄いものであり、前記第２主面側にて前記ビア導体に電気的に接続された第２外部端子電極とを備えることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
【００８４】
（２）第１主面、第２主面、複数のセラミック誘電体層、複数の第１内部電極層及び複数の第２内部電極層を有し、前記第１内部電極層及び前記第２内部電極層が前記セラミック誘電体層を介して一層おきに積層配置された構造の積層部と、前記複数のセラミック誘電体層を貫通し、前記複数の第１内部電極層を接続する第１ビア導体と、前記複数のセラミック誘電体層を貫通し、前記複数の第２内部電極層を接続する第２ビア導体と、前記第１主面側にて前記ビア導体に電気的に接続された複数の第１外部端子電極と、前記第１外部端子電極よりも大面積かつ薄いものであり、前記第２主面側にて前記ビア導体に電気的に接続された複数の第２外部端子電極とを備えたことを特徴とする、ビアアレイタイプの積層セラミックコンデンサ。
【００８５】
（３）第１主面及び第２主面を有し、複数の誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された構造の積層部と、前記複数の誘電体層を貫通し、前記複数の内部電極層を接続するビア導体と、前記第１主面側にて前記ビア導体に接続された第１外部端子電極と、前記第１外部端子電極よりも大面積かつ薄いものであり、前記第２主面側にて前記ビア導体に接続された第２外部端子電極とを備える積層コンデンサの製造方法であって、前記積層部となるグリーンシート積層体の表面に、粘度が５００Ｐａ・ｓ以上５０００Ｐａ・ｓ以下（東機産業株式会社製  ＲＥ８０型粘度計３°×Ｒ７．７ロータ  ０．５rpm  １分値  ２５℃）かつ無機固形分が７５質量％以上８５質量％以下の第１ニッケルペーストを、メタルマスクを用いて印刷することにより、前記第１外部端子電極となる第１表面端子部を形成する第１主面側電極印刷工程と、前記積層部となるグリーンシート積層体の裏面に、粘度が１０Ｐａ・ｓ以上１５０Ｐａ・ｓ以下（東機産業株式会社製  ＲＥ８０型粘度計３°×Ｒ７．７ロータ  ５rpm  １分値  ２５℃）かつ無機固形分が６５質量％以上７５質量％以下の第２ニッケルペーストを、メッシュマスクを用いて印刷することにより、前記第２外部端子電極となる第２表面端子部を形成する第２主面側電極印刷工程と、を含むことを特徴とする積層コンデンサの製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明を具体化した第１実施形態の積層セラミックコンデンサを示す概略断面図。
【図２】積層セラミックコンデンサの内層における接続を説明するための概略説明図。
【図３】積層セラミックコンデンサの内層における接続を説明するための概略説明図。
【図４】積層セラミックコンデンサにおける上面側の外部端子電極を示す概略断面図。
【図５】積層セラミックコンデンサにおける下面側の外部端子電極を示す概略断面図。
【図６】第１実施形態の積層セラミックコンデンサの製造方法において、内部電極層が形成されたグリーンシートを示す概略断面図。
【図７】上記の製造方法において、積層されたグリーンシートを示す概略断面図。
【図８】上記の製造方法において、ビアホールが貫通形成されたグリーンシート積層体を示す概略断面図。
【図９】上記の製造方法において、導体部が充填形成されたグリーンシート積層体を示す概略断面図。
【図１０】上記の製造方法において、電極下段部を形成する際の状態を示す概略断面図。
【図１１】上記の製造方法において、電極上段部を形成する際の状態を示す概略断面図。
【図１２】上記の製造方法において、上面側の外部端子電極となる表面電極部が形成された状態を示す概略断面図。
【図１３】上記の製造方法において、下面側の外部端子電極となる表面電極部を形成する前の状態を示す概略断面図。
【図１４】上記の製造方法において、下面側の外部端子電極となる表面電極部が形成された状態を示す概略断面図。
【図１５】第２実施形態の積層セラミックコンデンサの製造方法において、複数のグリーンシートブロック体が形成された状態を示す概略断面図。
【図１６】上記の製造方法において、前記複数のグリーンシートブロック体にビアホールが貫通形成された状態を示す概略断面図。
【図１７】上記の製造方法において、ビアホール内に導体部が充填形成された状態を示す概略断面図。
【図１８】上記の製造方法において、各グリーンシートブロック体を積層一体化してグリーンシート積層体が形成された状態を示す概略断面図。
【符号の説明】
【００８７】
１１…積層コンデンサとしての積層セラミックコンデンサ
１２…積層部
１３…第１主面としての上面
１４…第２主面としての下面
１５…誘電体層としてのセラミック誘電体層
２１，２２…内部電極層
３１，３２…ビア導体
３３…ビアホール
４１…第１外部端子電極
４２…第２外部端子電極
６１…グリーンシート
６２…グリーンシート積層体
Ｐ３…第１導電性材料としてのニッケルペースト
Ｐ４…第２導電性材料としてのニッケルペースト
７１，７２…メタルマスク
８１…メッシュマスク
１２１，１２２…内部電極部
１３１，１３２…導体部
１４１，１４２…表面端子部
１６１…グリーンシートブロック体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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