(57)【要約】【課題】  振動空間部の気密性が良く、櫛歯電極の精度の良い振動が得られる表面弾性波装置を提供する。【解決手段】  本発明の表面弾性波装置は、櫛歯電極２を形成した圧電基板１と、圧電基板１に対向して配設された封止基板７と、圧電基板１と封止基板７との間の隙間を密封する外側封止部材８と、外側封止部材８内の圧電基板１と封止基板７との間に、振動空間部１０を密封するための内側封止部材９と、この内側封止部材９と外側封止部材８との間に設けられた空隙部１１とを有したため、振動空間部１０は、外側封止部材８と内側封止部材９の二重で封止され、且つ、外側封止部材８と内側封止部材９との間に設けた空隙部１１の存在によって、振動空間部１０内の気密性が良好となって、水分を含む外気が振動空間部１０内に入り難くなる。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の櫛歯電極、或いは複数対の櫛歯電極を一面側に形成した圧電基板と、前記櫛歯電極を形成した側で、前記圧電基板に対向して配設された封止基板と、前記櫛歯電極から外れた位置で、前記圧電基板と前記封止基板をと結合し、且つ、前記圧電基板と前記封止基板との間の隙間を密封する外側封止部材とを備え、前記外側封止部材内の前記圧電基板と前記封止基板との間には、前記櫛歯電極の位置に振動空間部を設けた状態で、前記封止基板と前記櫛歯電極との間に設けられた前記振動空間部を密封するための内側封止部材と、この内側封止部材と前記外側封止部材との間に設けられた空隙部とを有したことを特徴する表面弾性波装置。
【請求項２】
前記内側封止部材によって、前記複数対の櫛歯電極のそれぞれが個々に前記振動空間部を有するようにしたことを特徴する請求項１記載の表面弾性波装置。
【請求項３】
前記内側封止部材と前記外側封止部材との間に設けられた前記空隙部の気圧は、前記外側封止部材外の外気圧よりも高くすると共に、前記振動空間部の気圧は、前記空隙部の気圧と同等、或いは前記空隙部の気圧よりも高くしたことを特徴する請求項１、又は２記載の表面弾性波装置。
【請求項４】
前記圧電基板は、この圧電基板の一面側に設けられ、前記櫛歯電極に接続された状態で、前記外側封止部材の位置まで延びた引出導体と、前記外側封止部材が位置する箇所の前記圧電基板の厚み方向に設けられた複数の貫通孔と、前記引出導体に接続された状態で、前記貫通孔内に設けられた接続導体とを有し、前記圧電基板の外側面には、前記接続導体に接続されたバンプが設けられたことを特徴する請求項１から３の何れかに記載の表面弾性波装置。
【請求項５】
前記圧電基板の一面側には、前記櫛歯電極に接続された状態で、前記外側封止部材の位置まで延びた引出導体が設けられると共に、前記外側封止部材と前記封止基板は、厚み方向に設けられた複数の貫通孔と、前記引出導体に接続された状態で、前記貫通孔内に設けられた接続導体とを有し、前記封止基板の外側面には、前記接続導体に接続されたバンプが設けられたことを特徴する請求項１から３の何れかに記載の表面弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は種々の電気機器に使用される共振器やフィルタ等に適用して好適な表面弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１０は従来の表面弾性波装置の要部の断面図を示し、次に、従来の表面弾性波装置の構成を図１０に基づいて説明すると、圧電基板５１の下面には、一対の櫛歯電極５２と、この櫛歯電極５２に接続された引出導体５３と、この引出導体５３の一部を露出した状態で、櫛歯電極５２を覆う保護膜５４が設けられている。
【０００３】
封止基板を兼ねる配線基板５５の上面には、接続パッド５６が設けられ、この配線基板５５は、櫛歯電極５２との間に振動空間部５７を持たせた状態で、圧電基板５１の下面に対向して配置され、引出導体５３と接続パッド５６がバンプ５８によって接続されている。
【０００４】
そして、圧電基板５１と配線基板５５の間の外周部の位置には、封止樹脂５９が設けられ、振動空間部５７が密封された構成によって、従来の表面弾性波装置が形成されている。（例えば、特許文献１参照）
【０００５】
しかし、従来の表面弾性波装置は、振動空間部５７が封止樹脂５９のみによって密封されるため、振動空間部５７の気密性が悪く、水分を含む外気が振動空間部５７内に入り易くなると共に、櫛歯電極５２に対する振動空間部５７内の水分対策として、櫛歯電極５２を覆う保護膜５４が設けられるため、櫛歯電極５２の精度の良い振動が得られない。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−１５０４４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の表面弾性波装置は、振動空間部５７が封止樹脂５９のみによって密封されるため、振動空間部５７の気密性が悪く、水分を含む外気が振動空間部５７内に入り易くなると共に、櫛歯電極５２に対する振動空間部５７内の水分対策として、櫛歯電極５２を覆う保護膜５４が設けられるため、櫛歯電極５２の精度の良い振動が得られないという問題がある。
【０００８】
そこで、本発明は振動空間部の気密性が良く、櫛歯電極の精度の良い振動が得られる表面弾性波装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための第１の解決手段として、一対の櫛歯電極、或いは複数対の櫛歯電極を一面側に形成した圧電基板と、前記櫛歯電極を形成した側で、前記圧電基板に対向して配設された封止基板と、前記櫛歯電極から外れた位置で、前記圧電基板と前記封止基板をと結合し、且つ、前記圧電基板と前記封止基板との間の隙間を密封する外側封止部材とを備え、前記外側封止部材内の前記圧電基板と前記封止基板との間には、前記櫛歯電極の位置に振動空間部を設けた状態で、前記封止基板と前記櫛歯電極との間に設けられた前記振動空間部を密封するための内側封止部材と、この内側封止部材と前記外側封止部材との間に設けられた空隙部とを有した構成とした。
【００１０】
また、第２の解決手段として、前記内側封止部材によって、前記複数対の櫛歯電極のそれぞれが個々に前記振動空間部を有するようにした構成とした。
また、第３の解決手段として、前記内側封止部材と前記外側封止部材との間に設けられた前記空隙部の気圧は、前記外側封止部材外の外気圧よりも高くすると共に、前記振動空間部の気圧は、前記空隙部の気圧と同等、或いは前記空隙部の気圧よりも高くした構成とした。
【００１１】
また、第４の解決手段として、前記圧電基板は、この圧電基板の一面側に設けられ、前記櫛歯電極に接続された状態で、前記外側封止部材の位置まで延びた引出導体と、前記外側封止部材が位置する箇所の前記圧電基板の厚み方向に設けられた複数の貫通孔と、前記引出導体に接続された状態で、前記貫通孔内に設けられた接続導体とを有し、前記圧電基板の外側面には、前記接続導体に接続されたバンプが設けられた構成とした。
【００１２】
また、第５の解決手段として、前記圧電基板の一面側には、前記櫛歯電極に接続された状態で、前記外側封止部材の位置まで延びた引出導体が設けられると共に、前記外側封止部材と前記封止基板は、厚み方向に設けられた複数の貫通孔と、前記引出導体に接続された状態で、前記貫通孔内に設けられた接続導体とを有し、前記封止基板の外側面には、前記接続導体に接続されたバンプが設けられた構成とした。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の表面弾性波装置は、一対の櫛歯電極、或いは複数対の櫛歯電極を一面側に形成した圧電基板と、櫛歯電極を形成した側で、圧電基板に対向して配設された封止基板と、櫛歯電極から外れた位置で、圧電基板と封止基板をと結合し、且つ、圧電基板と封止基板との間の隙間を密封する外側封止部材とを備え、外側封止部材内の圧電基板と封止基板との間には、櫛歯電極の位置に振動空間部を設けた状態で、封止基板と櫛歯電極との間に設けられた振動空間部を密封するための内側封止部材と、この内側封止部材と外側封止部材との間に設けられた空隙部とを有した構成とした。
即ち、振動空間部は、外側封止部材と内側封止部材の二重で封止され、且つ、外側封止部材と内側封止部材との間に設けた空隙部の存在によって、振動空間部内の気密性が良好となって、水分を含む外気が振動空間部内に入り難くなると共に、櫛歯電極には、従来の保護膜が不要となって、櫛歯電極の精度の良い振動が得られる。
【００１４】
また、内側封止部材によって、複数対の櫛歯電極のそれぞれが個々に振動空間部を有するようにしたため、内側封止部材の幅を広くできて、振動空間部内への水分の侵入防止を一層確実に行うことができる。
【００１５】
また、内側封止部材と外側封止部材との間に設けられた空隙部の気圧は、外側封止部材外の外気圧よりも高くすると共に、振動空間部の気圧は、空隙部の気圧と同等、或いは空隙部の気圧よりも高くしたため、振動空間部内への水分の侵入防止が一層確実に行うことができる。
【００１６】
また、圧電基板は、この圧電基板の一面側に設けられ、櫛歯電極に接続された状態で、外側封止部材の位置まで延びた引出導体と、外側封止部材が位置する箇所の圧電基板の厚み方向に設けられた複数の貫通孔と、引出導体に接続された状態で、貫通孔内に設けられた接続導体とを有し、圧電基板の外側面には、接続導体に接続されたバンプが設けられたため、面実装に適したものが得られる。
【００１７】
また、圧電基板の一面側には、櫛歯電極に接続された状態で、外側封止部材の位置まで延びた引出導体が設けられると共に、外側封止部材と封止基板は、厚み方向に設けられた複数の貫通孔と、引出導体に接続された状態で、貫通孔内に設けられた接続導体とを有し、封止基板の外側面には、接続導体に接続されたバンプが設けられたため、面実装に適したものが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の表面弾性波装置の図面を説明すると、図１は本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る正面図、図２は図１の２−２線における断面図、図３は図２の３−３線における断面図、図４は図２の４−４線における断面図である。
【００１９】
また、図５は本発明の表面弾性波装置の第２実施例に係る正面図、図６は図５の６−６線における断面図、図７は図６の７−７線における断面図、図８は本発明の表面弾性波装置の第３実施例に係る要部の断面平面図、図９は図８の９−９線における断面図である。
【００２０】
次に、本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る構成を図１〜図４に基づいて説明すると、四角形の圧電基板１は、一面（上面）側に設けられた一対の櫛歯電極２と、この櫛歯電極２に接続された状態で、角部に引き出された引出導体３と、この引出導体３の位置で、厚み方向に貫通して設けられた複数の貫通孔１ａと、圧電基板１の下面の貫通孔１ａの外周部に設けられたランド部４と、貫通孔１ａ内に設けられ、引出導体３とランド部４を接続する接続導体５と、圧電基板１の下面外側面に設けられ、接続導体５に接続された半田バンプ等からなるバンプ６を有する。
【００２１】
セラミック材等からなる四角形状の封止基板７は、圧電基板１に対向し、櫛歯電極２から僅かに間隔を置いて配設されており、この封止基板７と圧電基板１との間は、圧電基板１と封止基板７との間の隙間を密封する熱硬化性樹脂からなる外側封止部材８と、熱硬化性樹脂からなる内側封止部材９とによって、互いに結合されている。
【００２２】
この外側封止部材８は、櫛歯電極２から離れた外側の位置に設けられると共に、内側封止部材９は、外側封止部材８内の圧電基板１と封止基板７との間に、櫛歯電極２の位置に振動空間部１０を設けた状態で、封止基板７と櫛歯電極２との間に設けられた振動空間部１０を密封して設けられ、また、この内側封止部材９と外側封止部材８との間には、空隙部１１が設けられている。
【００２３】
そして、この実施例では、内側封止部材９と外側封止部材８との間に設けられた空隙部１１の気圧は、外側封止部材８外の外気圧よりも高くすると共に、振動空間部１０の気圧は、空隙部１１の気圧と同等、或いは空隙部１１の気圧よりも高くして、本発明の表面弾性波装置の第１実施例が形成されている。
【００２４】
このような構成を有する本発明の表面弾性波装置は、バンプ６が電気機器のマザー基板（図示せず）上に載置、半田付けされて、面実装されるようになっている。
【００２５】
なお、上記実施例では、バンプ６が圧電基板１の下面に配置されたもので説明したが、外側封止部材８と封止基板７は、厚み方向に設けられた複数の貫通孔と、引出導体３に接続された状態で、貫通孔内に設けられた接続導体５とを有し、封止基板７の上面外側面には、接続導体５に接続されたバンプ６が設けられた構成としても良い。
【００２６】
また、図５〜図７は本発明の表面弾性波装置の第２実施例を示し、この第２実施例は、複数対の櫛歯電極２が設けられた表面弾性波フィルタからなる表面弾性波装置で形成されている。
【００２７】
この第２実施例は、圧電基板１の一面側に設けられた複数対の櫛歯電極２と、この複数対の櫛歯電極２間、及び櫛歯電極２と接続導体５間を接続する引出導体３と、複数対の櫛歯電極２の位置に設けられた共通の振動空間部１０が設けられた構成となっている。
【００２８】
その他の構成は、上記第１実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
なお、この第２実施例では、バンプ６が圧電基板１の下面に配置されたもので説明したが、外側封止部材８と封止基板７は、厚み方向に設けられた複数の貫通孔と、引出導体３に接続された状態で、貫通孔内に設けられた接続導体５とを有し、封止基板７の上面外側面には、接続導体５に接続されたバンプ６が設けられた構成としても良い。
【００２９】
また、図８，図９は本発明の表面弾性波装置の第３実施例を示し、この第２実施例は、複数対の櫛歯電極２が設けられた表面弾性波フィルタからなる表面弾性波装置で形成されると共に、複数対の櫛歯電極２のそれぞれが個々に振動空間部１０を有するようにしたものである。
【００３０】
その他の構成は、上記第２実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る正面図。
【図２】図１の２−２線における断面図。
【図３】図２の３−３線における断面図。
【図４】図２の４−４線における断面図。
【図５】本発明の表面弾性波装置の第２実施例に係る正面図。
【図６】図５の６−６線における断面図。
【図７】図６の７−７線における断面図。
【図８】本発明の表面弾性波装置の第３実施例に係る要部の断面平面図。
【図９】図８の９−９線における断面図。
【図１０】従来の表面弾性波装置の要部の断面図。
【符号の説明】
【００３２】
１：圧電基板
１ａ：貫通孔
２：櫛歯電極
３：引出導体
４：ランド部
５：接続導体
６：バンプ
７：封止基板
８：外側封止部材
９：内側封止部材
１０：振動空間部
１１：空隙部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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