(57)【要約】【課題】この発明は長尺化しても撓み量の少ない、基板を搬送するための搬送用シャフトを提供することにある。【解決手段】処理液によって処理される基板を搬送するための搬送用シャフトであって、  この搬送用シャフトは、炭素繊維によって形成された芯材１３及び上記処理液に対する耐性を備えた合成樹脂によって形成され芯材の外周面を被覆した外皮材１４を有するシャフト部１２と、このシャフト部の軸方向に所定間隔で設けられた上記基板を支持する支持ローラ６とによって構成されている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液によって処理される基板を搬送するための搬送用シャフトであって、
この搬送用シャフトは、
炭素繊維によって形成された芯材及び上記処理液に対する耐性を備えた材料によって形成され上記芯材の外周面を被覆した被覆部材を有するシャフト部と、
このシャフト部の軸方向に所定間隔で設けられた上記基板を支持する支持ローラと
によって構成されていることを特徴とする搬送用シャフト。
【請求項２】
上記被覆部材は合成樹脂からなる外皮材であることを特徴とする請求項１記載の搬送用シャフト。
【請求項３】
上記被覆部材は金属パイプであることを特徴とする請求項１記載の搬送用シャフト。
【請求項４】
上記シャフト部の両端部には支軸が設けられ、この支軸には上記芯材の外周面と上記被覆部材の内周面との間の空間部に連通する通気孔が形成されていることを特徴とする請求項１記載の搬送用シャフト。
【請求項５】
上記芯材は中空状であって、上記通気孔は一端を上記空間部に連通させ他端を上記被覆部材の内部空間に連通させていることを特徴とする請求項１記載の搬送用シャフト。
【請求項６】
上記通気孔は一端を上記空間部に連通させ他端を上記支軸の上記シャフト部から外部に突出した部分に開口させていることを特徴とする請求項１記載の搬送用シャフト。
【請求項７】
基板を洗浄するためのロールブラシシャフトであって、
このロールブラシシャフトは、
炭素繊維によって形成された芯材及び上記処理液に対する耐性を備えた材料によって形成され上記芯材の外周面を被覆した被覆部材を有するシャフト部と、
このシャフト部の被覆部材の外周面に設けられたロールブラシと
によって構成されていることを特徴とするロールブラシシャフト。
【請求項８】
上記被覆部材は合成樹脂からなる外皮材であることを特徴とする請求項７記載のロールブラシシャフト。
【請求項９】
上記被覆部材は金属パイプであることを特徴とする請求項７記載のロールブラシシャフト。
【請求項１０】
上記シャフト部の両端部には支軸が設けられ、この支軸には上記芯材の外周面と上記外皮材の内周面との間の空間部に連通する通気孔が形成されていることを特徴とする請求項７記載のロールブラシシャフト。
【請求項１１】
上記芯材は中空状であって、上記通気孔は一端を上記空間部に連通させ他端を上記芯材の内部空間に連通させていることを特徴とする請求項７記載のロールブラシシャフト。
【請求項１２】
上記通気孔は一端を上記空間部に連通させ他端を上記支軸の上記シャフト部から外部に突出した部分に開口させていることを特徴とする請求項７記載のロールブラシシャフト。
【請求項１３】
基板を搬送するための搬送用シャフトであって、
この搬送用シャフトは、
炭素繊維によって形成されたシャフト部と、
このシャフト部に設けられた上記基板を支持するための支持ローラと
によって構成されていることを特徴とする搬送用シャフト。
【請求項１４】
基板を搬送しながら処理液によって処理する基板の処理装置であって、
基板を搬送するための搬送用シャフトを有し、
この搬送用シャフトは請求項１に記載された構成であることを特徴とする基板の処理装置。
【請求項１５】
基板を搬送しながら処理液によって洗浄する基板の処理装置であって、
上記基板を洗浄するためのロールブラシシャフトを有し、
このロールブラシシャフトは請求項７に記載された構成であることを特徴とする基板の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はたとえば大型サイズの液晶表示パネルなどの基板を搬送するために用いられる搬送用シャフト、上記基板を洗浄するために用いられるロールブラシシャフト、上記搬送用シャフトやロールブラシシャフトを用いた基板の処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルに用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。
【０００３】
つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、レジストが除去された部分をエッチングする。そして、エッチング後に基板からレジストを除去するという一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。
【０００４】
このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液などの処理液によって基板を処理する工程、さらに処理液による処理後に洗浄液によって洗浄する工程が必要となる。
【０００５】
基板を洗浄する洗浄工程において、たとえば基板に付着した処理液を洗浄除去するような場合には、処理槽内を搬送される基板に対し、シャワーノズルによって洗浄液を噴射することで、基板から処理液を洗浄除去することが可能である。
【０００６】
しかしながら、基板にパーティクルなどの汚れが強固に付着しているような場合、基板に単に洗浄液を噴射するだけでは汚れを確実に洗浄除去することができない。したがって、そのような場合には処理槽内を搬送される基板に洗浄液を供給しながら、この基板の板面をロールブラシシャフトで擦って洗浄するということが行われる。
【０００７】
ところで、最近では液晶表示パネルが大型化する傾向にあり、それに伴い基板及び基板を処理する処理装置が大型化してきている。たとえば、基板としては２ｍ角或いはそれ以上に大きいサイズのものが採用されており、そのような大型の基板を処理するためには処理装置に組み込まれる基板を搬送するための搬送用シャフト及び基板を洗浄するためのロールブラシシャフトの長さも２ｍ以上の長尺になってしまう。
【０００８】
従来、上記搬送用シャフトやロールブラシは洗浄時に用いられるオゾン水やフッ酸過酸化水素などの処理液、或いは前工程から持ち込まれる現像液やエッチング液などに対して耐性を有する金属材料、たとえばステンレス鋼によって形成されていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、長さが２ｍ以上の搬送用シャフトやロールブラシシャフトをステンレス鋼によって形成すると、その自重とヤング率との関係から上記各シャフトの撓み量が大きくなる。そのため、搬送用シャフトによって搬送される基板も撓み、その搬送を円滑かつ確実に行うことができなくなるということがある。
【００１０】
また、ロールブラシシャフトに撓みが生じると、そのシャフト部に装着されたロールブラシが基板の板面の搬送方向と交差する幅方向に対して均一に当たらなくなるから、基板に洗浄むらが生じるということがある。
【００１１】
搬送用シャフトに撓みが生じないようにするために、この搬送用シャフトの中央部をサポートに設けられたベアリングによって回転可能に支持するということが行われている。しかしながら、搬送シャフトをベアリングによって支持すると、回転するベアリングから塵埃が発生するため、その塵埃が基板の汚れの原因になるということがあり、好ましくない。
【００１２】
ロールブラシシャフトには、そのシャフト部の外周面にロールブラシが全長にわたって設けられている。そのため、シャフト部に撓みが生じないようベアリングによってシャフト部の中央部を支持することができないから、長尺化した場合には撓みが生じるのを防止することが困難となる。
【００１３】
この発明は、長尺化しても撓みが生じにくいようにした搬送用シャフト、ロールブラシシャフト及びこれらシャフトを用いた基板の処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明は、処理液によって処理される基板を搬送するための搬送用シャフトであって、
この搬送用シャフトは、
炭素繊維によって形成された芯材及び上記処理液に対する耐性を備えた材料によって形成され上記芯材の外周面を被覆した被覆部材を有するシャフト部と、
このシャフト部の軸方向に所定間隔で設けられた上記基板を支持する支持ローラと
によって構成されていることを特徴とする搬送用シャフトにある。
【００１５】
上記被覆部材は合成樹脂からなる外皮材であることが好ましい。
【００１６】
上記被覆部材は金属パイプであることが好ましい。
【００１７】
上記シャフト部の両端部には支軸が設けられ、この支軸には上記芯材の外周面と上記被覆部材の内周面との間の空間部に連通する通気孔が形成されていることが好ましい。
【００１８】
上記芯材は中空状であって、上記通気孔は一端を上記空間部に連通させ他端を上記被覆部材の内部空間に連通させていることが好ましい。
【００１９】
上記通気孔は一端を上記空間部に連通させ他端を上記支軸の上記シャフト部から外部に突出した部分に開口させていることが好ましい。
【００２０】
この発明は、基板を洗浄するためのロールブラシシャフトであって、
このロールブラシシャフトは、
炭素繊維によって形成された芯材及び上記処理液に対する耐性を備えた材料によって形成され上記芯材の外周面を被覆した被覆部材を有するシャフト部と、
このシャフト部の被覆部材の外周面に設けられたロールブラシと
によって構成されていることを特徴とするロールブラシシャフトにある。
【００２１】
上記被覆部材は合成樹脂からなる外皮材であることが好ましい。
【００２２】
上記被覆部材は金属パイプであることが好ましい。
【００２３】
上記シャフト部の両端部には支軸が設けられ、この支軸には上記芯材の外周面と上記外皮材の内周面との間の空間部に連通する通気孔が形成されていることが好ましい。
【００２４】
上記芯材は中空状であって、上記通気孔は一端を上記空間部に連通させ他端を上記芯材の内部空間に連通させていることが好ましい。
【００２５】
上記通気孔は一端を上記空間部に連通させ他端を上記支軸の上記シャフト部から外部に突出した部分に開口させていることが好ましい。
【００２６】
この発明は、基板を搬送するための搬送用シャフトであって、
この搬送用シャフトは、
炭素繊維によって形成されたシャフト部と、
このシャフト部に設けられた上記基板を支持するための支持ローラと
によって構成されていることを特徴とする搬送用シャフトにある。
【発明の効果】
【００２７】
この発明によれば、搬送用シャフト及びロールブラシ用シャフトを、炭素繊維を用いて形成するようにしたから、ステンレス鋼で作られたシャフトに比べてヤング率を高くしたり、軽量化を図ることができるから、これらシャフトを長尺化しても、撓みを少なくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１乃至図５はこの発明の第１の実施の形態を示す。図１は処理装置としての基板の洗浄装置を示し、この洗浄装置はチャンバ１を備えている。このチャンバ１の一端には搬入口２が形成され、他端にはこの搬入口２と同じ高さで搬出口３が形成されている。
【００２９】
上記チャンバ１内には、上記搬入口２からチャンバ１内に供給される液晶表示パネルなどの基板Ｗを上記搬入口２から搬出口３に向かって搬送する搬送機構４が設けられている。この搬送機構４は上記チャンバ１内に所定間隔で配置された複数の搬送用シャフト５を有する。
【００３０】
上記各搬送用シャフト５には、図２に示すように軸方向に所定間隔で複数の支持ローラ６が設けられ、図示しない駆動機構によって回転駆動されるようになっている。それによって、上記基板Ｗは下面が上記支持ローラ６によって支持されて搬送されるようになっている。
【００３１】
上記チャンバ１内の中央部には、上記搬送用シャフト５によって搬送される基板Ｗの上下面を洗浄するための上下一対の２組のロールブラシシャフト７が基板Ｗの搬送方向に対して所定間隔で設けられている。図３に示すように、ロールブラシシャフト７は後述する構成のシャフト部１８及びこのシャフト部１８の外周面に装着されたロールブラシ１９を有する。
【００３２】
図１に示すように、各組の上側のロールブラシシャフト７のロールブラシ１９及び搬送される基板Ｗの上面の各組のロールブラシシャフト７の間の部分にはそれぞれノズル体１１によって基板Ｗを洗浄処理する処理液としての洗浄液が供給されるようになっている。
【００３３】
上記搬送用シャフト５は図２に示すようにシャフト部１２を有する。このシャフト部１２は円筒状の芯材１３と、この芯材１３の外周面を厚さ１〜２ｍｍで被覆した被覆部材としての外皮材１４によって形成されている。上記芯材１３は、高強度弾性炭素繊維を合成樹脂、金属、セラミックス或いは炭素などのマトリックスによって円筒状に成形してなる。
【００３４】
上記外皮材１４は、チャンバ１内で使用されるオゾン水やフッ酸過酸化水素或いは前工程から持ち込まれる現像液やエッチング液などの処理液に対して耐性を備えた樹脂、たとえばＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）、ＣＴＦＥ（クロトリフロロエチレン）或いはポリオレフィンなどを、上記芯材１３の表面に所定の厚さで被覆して形成されている。
【００３５】
上記外皮材１４を芯材１３の外周面に被覆する方法としては、樹脂を溶融して芯材１３の外周面に吹き付けたり、樹脂を内径寸法が上記芯材１３の外径寸法とほぼ同じ筒状に形成し、上記芯材１３の外周面に装着して設けるなどの方法があり、どのような方法で設けるようにしてもよい。
【００３６】
上記外皮材１４の外周面には、この外皮材１４と同じように処理液に対して耐性を備えた樹脂によって形成された上記支持ローラ６が軸方向に所定間隔で装着されている。さらに、シャフト部１２の長手方向両端には支軸１６が一体的に設けられている。
【００３７】
各支軸１６は上記チャンバ１の幅方向の両側壁から外部に液密に突出し、図示しない軸受によって回転可能に支持され、図示しない駆動源によって回転駆動されるようになっている。
【００３８】
図３に示すように、上記ロールブラシシャフト７は上記シャフト部１８を有する。このシャフト部１８は、上記搬送用シャフト５のシャフト部１２と同様、円筒状の芯材２１と、この芯材２１の外周面を１〜２ｍｍの厚さで被覆した被覆部材としての外皮材２２によって形成されている。
【００３９】
上記芯材２１は、高強度弾性炭素繊維を合成樹脂、金属、セラミックス或いは炭素などのマトリックスによって円筒状に成形してなる。上記外皮材２２は、上記搬送用シャフト５のシャフト部１２と同様、オゾン水やフッ酸過酸化水素或いは前工程から持ち込まれる現像液やエッチング液などの処理液に対して耐性を備えた樹脂、たとえばＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）、ＣＴＦＥ（クロトリフロロエチレン）或いはポリオレフィンなどを、上記芯材２１の表面に所定の厚さで被覆して形成されている。
【００４０】
上記外皮材２２を芯材２１の外周面に被覆する方法としては、樹脂を溶融して芯材２１の外周面に吹き付けたり、樹脂を内径寸法が上記芯材２１の外径寸法とほぼ同じ筒状に形成し、上記芯材２１の外周面に装着して設けるなどの方法があり、どのような方法で設けるようにしてもよい。
【００４１】
上記シャフト部１８の外周面には上記ロールブラシ１９が装着されている。このロールブラシ１９は、ステンレス鋼などの処理液に対する耐性を有する金属によって断面形状がＵ字状に形成された保持具２３と、この保持具２３に保持されたブラシ毛２４を有し、上記保持具２３が上記シャフト部１８の外周面に螺旋状に巻き付けられている。
【００４２】
上記シャフト部１８の両端には支軸２５が一体的に設けられている。各支軸２５は上記チャンバ１の幅方向の両側壁から外部に液密に突出し、図示しない軸受によって回転可能に支持され、図示しない駆動源によって回転駆動されるようになっている。
【００４３】
このような構成の処理装置によれば、基板Ｗを搬送するための搬送用シャフト５のシャフト部１２を高強度高弾性の炭素繊維からなる芯材１３及びこの芯材１３の外周面を被覆する外皮材１４によって形成した。
【００４４】
炭素繊維はステンレス鋼に比べてヤング率が高く、しかも十分に軽量である。そのため、基板Ｗの大型化にともない搬送用シャフト５が長尺化しても、この搬送用シャフト５のシャフト部１２にはほとんど撓みが生じることがないから、上記基板Ｗを搬送方向と交差する幅方向に撓ませることなく搬送することができる。基板Ｗを撓みが生じることなく搬送することができれば、その基板Ｗを蛇行させたり、損傷させるのを防止することができる。
【００４５】
搬送用シャフト５によって搬送される基板Ｗは、チャンバ１内の搬送途中に設けられた各一対の２組のロールブラシシャフト７のロールブラシ１９によって上下面が擦られて洗浄される。
【００４６】
ロールブラシシャフト７のシャフト部１８は、搬送用シャフト５のシャフト部１２と同様、ステンレス鋼に比べてヤング率が高く、しかも十分に軽量である炭素繊維によって形成されている。
【００４７】
そのため、基板Ｗの大型化によってロールブラシシャフト７のシャフト部１８が長尺化しても、このシャフト部１８に撓みが生じることがほとんどない。しかも、基板Ｗは搬送用シャフト５によって撓むことなく搬送されるから、上記ロールブラシシャフト７のシャフト部１８に設けられたロールブラシ１９によって基板Ｗの上下面を幅方向全長にわたって均一にブラッシングすることが可能となる。
【００４８】
上記搬送用シャフト５とロールブラシシャフト７とのシャフト部１２，１８の炭素繊維によって形成された芯材１３，２１は、処理液に対する耐性を有する合成樹脂によって形成された外皮材１４，２２で被覆されている。
【００４９】
そのため、上記芯材１３，２１を形成する炭素繊維に処理液が直接接触するのを防止することができるから、処理液によって上記芯材１３，２１が早期に損傷するのを防止することができる。
【００５０】
上記一実施の形態では、搬送用シャフト５とロールブラシシャフト７とのシャフト部１２，１８の芯材１３，２１の外周面を、被覆部材として処理液に対する耐性を有す合成樹脂製の外皮材１４，２２によって被覆したが、上記シャフト部１２，１８の芯材１３，２１の外周面を被覆する被覆部材は、図４に示すように外皮材１４，２２に代えて処理液に対する耐性を備えた金属、たとえばステンレス鋼によって形成された金属パイプ２６を装着して被覆するようにしてもよい。  
なお、金属パイプ２６はステンレス鋼に代わり、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）或いはニッケル（Ｎｉ）などの金属で形成してもよい。
【００５１】
金属パイプ２６は合成樹脂製の外皮材１４，２２に比べて重量が大きいから、芯材１３，２１の撓み量を増大させる虞がある。
【００５２】
図５は、被覆部材として図４に示す金属パイプ２６を用いたシャフト部１２，１８において、炭素繊維によって形成された芯材１３，２１の長さを２２００ｍｍ、直径を３６ｍｍ、内径を３３ｍｍの中空状とし、この芯材１３，２１の外周面に装着されるステンレス鋼製の金属パイプ２６の肉厚を変化させたときに、その厚さと撓み量との関係を測定した実験結果を示すグラフである。
【００５３】
このグラフから分かるように、金属パイプ２６の肉厚が１ｍｍであると、シャフト部１２，１８の中央部における撓み量は１ｍｍであり、２ｍｍで１，７ｍｍ、３ｍｍで２．４ｍｍであった。
【００５４】
また、金属パイプ２６の厚さが１ｍｍ以上であれば、処理液に対する耐性は十分である。したがって、肉厚が１ｍｍ程度の金属パイプ２６を用いることで、撓み量が小さく、しかも処理液に対する耐性を備えた搬送用シャフト５やロールブラシシャフト７のシャフト部１２，１８として有効に使用することが可能になる。
【００５５】
肉厚が３ｍｍの金属パイプ２６内に炭素繊維製の芯材１３，２１を設ければ、その長手方向中央における撓み量は２．４ｍｍであるが、炭素繊維製の芯材１３，２１を設けない場合には、長手方向中央における撓み量が５〜６ｍｍとなることが確認された。つまり、炭素繊維製の芯材１３，２１は軽量であるとともにヤング率が高いから、金属パイプ２６内に設けることで、その金属パイプ２６が補強され、撓みが減少することになる。
【００５６】
図６と図７はこの発明の第２、第３の実施の形態を示す、搬送用シャフト５及びロールブラシシャフト７の一端部を示す断面図である。
【００５７】
図６に示すこの発明の第２の実施の形態は、搬送用シャフト５及びロールブラシシャフト７に図４に示す金属パイプ２６を用いたシャフト部１２，１８が用いられている。シャフト部１２，１８の金属パイプ２６の長さ寸法は芯材１３，２１よりも長尺に形成されている。それによって、上記金属パイプ２６の両端部が芯材１３，２１の両端から外方へ突出している。
【００５８】
各シャフト５，７の軸方向両端部には支軸１６Ａ，２５Ａが設けられる。各支軸１６Ａ，２５Ａは、外形寸法が芯材１３，２１の内径寸法とほぼ等しい第１の軸部３１と、外形寸法が上記第１の軸部３１よりも大径で、上記芯材１３，２１の外形寸法及び上記金属パイプ２６の内径寸法とほぼ同じに形成された第２の軸部３２と、この第２の軸部３２の端面に突設された、上記第１、第２の軸部３１，３２に比べて小径な第３の軸部３３を有する。
【００５９】
さらに、各支軸１６Ａ，２５Ａには、一端を第１の軸部３１の端面に開口させ、他端を第２の軸部３２の外周面に開口させた通気孔３４が形成されている。そして、各支軸１６Ａ，２５Ａは第１の軸部３１を芯材１３，２１に嵌合させ、第２の軸部３２を金属パイプ２６に嵌合させて設けられる。第２の軸部３２を金属パイプ２６に嵌合させると、上記通気孔３４の他端は金属パイプ２６の内周面によって覆われる位置になる。
【００６０】
各シャフト５，７の軸方向両端部に装着された各支軸１６Ａ，２５Ａは、第２の軸部３２の外周面が金属パイプ２６の端面に溶接される。図６において、３５は肉盛りされた溶接部を示し、この溶接部３５は溶接後に外形寸法が金属パイプ２６の外形寸法と同等若しくはそれ以下になるよう研磨加工される。
【００６１】
上記芯材１３，２１の外周面に上記金属パイプ２６を装着すると、芯材１３，２１の外周面と、金属パイプ２６の内周面との間に空間部３６が生じる。この空間部３６は、上記芯材１３，２１の外径寸法と、上記金属パイプ２６の内径寸法との差によって形成される。
【００６２】
そして、支軸１６Ａ，２５Ａの第２の軸部３２と、金属パイプ２６とを溶接する際、溶接時の熱影響によって上記空間部３６に残留する空気が膨張する。そのため、金属パイプ２６に圧力が加わり、その圧力で変形したり、損傷する虞がある。
【００６３】
しかしながら、上記支軸１６Ａ，２５Ａには一端を第１の軸部３１の端面に開口し、他端を金属パイプ２６の内周面に開口した通気孔３４が形成されている。この通気孔３４の他端は金属パイプ２６の内周面から上記空間部３６に連通している。
【００６４】
そのため、支軸１６Ａ，２５Ａと金属パイプ２６との溶接時に、上記空間部３６に残留する空気が熱膨張しても、その空気は上記通気孔３４を通じて芯材１３，２１の内部に逃げるから、上記金属パイプ２６が変形したり、損傷するのを防止することができる。
【００６５】
図７は図６に示す第２の実施の形態の変形例を示す第３の実施の形態であって、この実施の形態は第２の実施の形態とほぼ同じであるが、支軸１６Ａ，２５Ａに形成される通気孔３４Ａの位置が異なる。つまり、通気孔３４Ａは、一端を第３の軸部３３の端面に開口させ、他端を第２の軸部３２の外周面の、金属パイプ２６によって覆われる部分に開口させている。
【００６６】
それによって、溶接時に空間部３５に残留する空気が熱膨張すると、その空気は上記空間部３６から外部に逃げるから、この場合も第２の実施の形態と同様、金属パイプ２６が変形したり、損傷するのを防止することができる。
【００６７】
第２、第３の実施の形態では各シャフト５，７を芯材１３，２１と金属パイプ２６とで形成した場合について説明したが、金属パイプ２６に代わり、第１の実施の形態で示したように、処理液に対して耐蝕性などの耐性を備えた樹脂によって形成された外皮材１４，２２を用いる場合であってもよい。
【００６８】
外皮材１４，２２を用いた場合であっても、その外皮材１４，２２の端面が各支軸１６Ａ，２５Ａの第２の軸部３２の外周面に樹脂によって溶接される。そのため、溶接時に空間部３５に残留する空気が熱膨張しても、その空気を芯材１４，２２の内部やシャフト５，７の外部に逃がし、外皮材１４，２２が変形や損傷するのを防止することができる。
【００６９】
上記各実施の形態では搬送用シャフトやロールブラシシャフトのシャフト部の芯材を合成樹脂製の外皮材や金属パイプで被覆して処理液から保護するようにしたが、たとえば搬送用シャフトがチャンバの外部で用いられ、処理液が付着する虞がないような場合には、上記芯材を外皮材や金属パイプで被覆せずに使用しても差し支えない。
【００７０】
また、芯材は円筒状に形成したが、中実な円柱状であっても差し支えない。その場合、芯材の両端部に円柱状の中空部を形成し、その中空部に支軸の一端部を嵌合させて設けるようにすればよい。
【００７１】
芯材が円柱状の場合、支軸に形成する通気孔は、図７に示すように一端をシャフトの外部に連通させるようにする。それによって、芯材の外周面と、金属パイプ或いは外皮材の内周面との間の空間部で熱膨張した空気を、上記空間部から外部に逃がすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】この発明の第１の一実施の形態を示す搬送用シャフトとロールブラシシャフトが設けられた処理装置の概略的構成図。
【図２】搬送用シャフトの一部断面した正面図。
【図３】ロールブラシシャフトの一部断面した正面図。
【図４】芯材を合成樹脂に代わり金属パイプで被覆した搬送用シャフトとロールブラシシャフトのシャフト部の一部断面した正面図。
【図５】芯材をステンレス鋼によって作られた金属パイプで装着した場合、その金属パイプの肉厚とシャフト部の撓み量との関係を測定したグラフ。
【図６】この発明の第２の実施の形態を示す搬送用シャフトとロールブラシシャフトのシャフト部の一部部の拡大断面図。
【図７】この発明の第３の実施の形態を示す搬送用シャフトとロールブラシシャフトのシャフト部の一部部の拡大断面図。
【符号の説明】
【００７３】
５…搬送用シャフト、６…支持ローラ、７…ロールブラシシャフト、１２，１８…シャフト部、１３，２１…芯材、１４，２２…外皮材（被覆部材）、１６Ａ，２５Ａ…支軸、２６…金属パイプ（被覆部材）、３４…通気孔、３５…空間部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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