(57)【要約】【課題】  循環部材の大型化を招くことなく、簡単な処理で循環部材の方向転換路における衝突領域の強度向上を可能にして該衝突領域の破損等を低コストで防止することができる直動装置を提供する。【解決手段】  リニアガイドのエンドキャップ５における方向転換路６の少なくとも転動体Ｂが衝突する領域Ｓ１に対して、前記方向転換路６の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域Ｓ１の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させると共に、前記衝突領域Ｓ１の表面に微小な断面円弧状をなす無数の凹部からなる油溜まりを形成するＷＰＣ処理を施す。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動体軌道面を有する案内軸と、該案内軸の前記転動体軌道面に対向する転動体軌道面を有し、これら両転動体軌道面間に挿入された多数の転動体の転動を介して前記案内軸に沿って相対的に移動する可動体とを備え、該可動体は、前記転動体軌道面が設けられた可動体本体と、前記可動体本体に取り付けられると共に、前記転動体を無限に循環させる転動体無限循環軌道を形成するため、前記転動体軌道面と連通する方向転換路を有する循環部材とを具備する直動装置において、
前記循環部材の前記方向転換路の少なくとも前記転動体が衝突する領域に対して、前記方向転換路の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させると共に、前記衝突領域の表面に微小な断面円弧状をなす無数の凹部からなる油溜まりを形成する処理を施したことを特徴とする直動装置。
【請求項２】
前記衝突領域は、前記可動体本体の前記転動体無限循環軌道の開口部の前記方向転換路に対する投影面積領域、又は前記循環部材の前記方向転換路の開口部の該方向転換路に対する投影面積領域であることを特徴とする請求項１に記載の直動装置。
【請求項３】
前記研磨材の粒径が２０〜２００μｍで、且つ該研磨材の噴射速度が５０ｍ／ｓｅｃ以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載の直動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高速で使用される、例えばリニアガイド、ボールスプライン、リニアボールベアリング、ボールねじ等の直動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のリニアガイドとしては、例えば図１２に示すものが知られている。このリニアガイドは、軸方向に延びる案内レール（案内軸）１と、該案内レール１上に軸方向に相対移動可能に跨架されたスライダ（可動体）２とを備える。
【０００３】
案内レール１の両側面にはそれぞれ軸方向に延びる転動体転動溝（転動体軌道面）３が形成されており、スライダ２のスライダ本体（可動体本体）２Ａには、その両袖部４の内側面に、それぞれ転動体転動溝３に対向する転動体転動溝（転動体軌道面）７が形成されている。そして、これらの向き合った両転動体転動溝３，７の間の負荷軌道には転動体の一例としての多数のボールＢが転動自在に装填され、これらのボールＢの転動を介してスライダ２が案内レール１上を軸方向に沿って相対移動できるようになっている。
【０００４】
この移動につれて、案内レール１とスライダ２との間に介在するボールＢは転動してスライダ２の軸方向の端部に移動するが、スライダ２を軸方向に継続して移動させていくため、これらのボールＢを無限に循環させる必要がある。
【０００５】
このため、スライダ本体２Ａの袖部４内に軸方向に貫通する転動体通路８を形成すると共に、スライダ本体２Ａの両端にそれぞれ略コ字状のエンドキャップ（循環部材）５を例えば、ねじ１２等の固定手段を介して固定し、このエンドキャップ５に上記両転動体転動溝３，７間と上記転動体通路８とを連通する円弧状に湾曲した方向転換路６（図１３参照。）を形成することにより、転動体無限循環軌道を形成している。なお、図１２において、符号１１はエンドキャップ５と共にスライダ本体２Ａの端面にねじ１２等を介して固定されるサイドシール、１０はスライダ本体２Ａの下面に取り付けられたアンダーシール、１３は給脂用ニップルである。
【０００６】
また、従来のボールねじとしては、例えば図１４に示すものが知られている。このボールねじは、軸方向に延びるねじ軸（案内軸）２１と、該ねじ軸２１に軸方向に相対移動可能に螺合されたナット（可動体）２２とを備える。
【０００７】
ねじ軸２１の外周面には螺旋状のねじ溝２３（転動体軌道面）が形成されており、ナット２２のナット本体（可動体本体）２２Ａの内周面にはねじ溝２３に対応する螺旋状のねじ溝（転動体軌道面）２４が形成されている。
【０００８】
ナット２２のねじ溝２４とねじ軸２１のねじ溝２３とは互いに対向して両者の間に螺旋状の負荷軌道を形成しており、該負荷軌道には転動体の一例としての多数のボールＢが転動可能に装填されている。そして、ねじ軸２１（又はナット２２）の回転により、ナット２２（又はねじ軸２１）がボールＢの転動を介して軸方向に移動するようになっている。
【０００９】
また、ナット２２の周方向の側面の一部は平坦面とされ、この平坦面には両ねじ溝２３，２４間に連通する２個一組の循環孔２５がねじ軸２１を跨ぐように形成されている。この一組の循環孔２５には、内部に方向転換路２６を有する略コ字状の循環チューブ（循環部材）２７の両端が嵌め込まれ、両ねじ溝２３，２４間の負荷領域に沿って公転するボールＢを循環チューブ２７の一方の端部からすくい上げてナット２２の外部に導き、他方の端部から前記負荷領域に戻し、転動体無限循環軌道を形成している。
【００１０】
ところで、高速で駆動されるリニアガイドやボールねじにおいては、エンドキャップ５や循環チューブ２７の方向転換路６，２６にボールＢが衝突して運動方向を変換する際の衝撃が大きく、方向転換路６，２６のタング部６ａ，２６ａを含むボールＢの衝突領域（リニアガイドの場合は、エンドキャップ５のタング部６ａ、スライダ本体２Ａの転動体通路８及び負荷軌道の開口部のエンドキャップ５の方向転換路６に対する投影面積領域Ｓ１（図１３参照。）、チューブ循環式ボールねじの場合は、循環チューブ２７のタング部２６ａ及び循環チューブ２７の方向転換路２６の端部開口部の該方向転換路２６に対する投影面積領域Ｓ２（図３参照））にクラックが入りやすい。このため、方向転換路６，２６の内径面にクラックを起点とした剥離が発生しやすく、破損や破断の原因になる。
【００１１】
そこで、従来においては、例えばチューブ循環式ボールねじの場合に、図１５に示すように、循環チューブ２７の方向転換路２６の内径面にフッ素樹脂等の低摩擦材の被膜２８を施してボールＢ衝突時の衝撃を減じるようにしたものや、図１６に示すように、循環チューブ２７のタング部２６ａを厚くして耐衝撃性の向上を図るようにしたものが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平１０−１９６６５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記従来のリニアガイドやボールねじ等の直動装置においては、エンドキャップ５や循環チューブ２７の大型化を招き、また、タング部６ａ，２６ａの厚み等の増加による強度アップのための改造を施すのは容易ではなく、更には、設計変更、製造工程変更がエンドキャップ５や循環チューブ２７だけに留まらずスライダ２及びナット２２の全体に及ぶことになりコストアップにつながるという問題がある。
【００１３】
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、その目的は、循環部材の大型化を招くことなく、簡単な処理で循環部材の方向転換路における転動体の衝突領域の強度向上を可能にして該衝突領域の破損等を低コストで防止することができる直動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の上記目的は、下記構成によって達成される。
（１）  転動体軌道面を有する案内軸と、該案内軸の前記転動体軌道面に対向する転動体軌道面を有し、これら両転動体軌道面間に挿入された多数の転動体の転動を介して前記案内軸に沿って相対的に移動する可動体とを備え、該可動体は、前記転動体軌道面が設けられた可動体本体と、前記可動体本体に取り付けられると共に、前記転動体を無限に循環させる転動体無限循環軌道を形成するため、前記転動体軌道面と連通する方向転換路を有する循環部材とを具備する直動装置において、
前記循環部材の前記方向転換路の少なくとも前記転動体が衝突する領域に対して、前記方向転換路の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させると共に、前記衝突領域の表面に微小な断面円弧状をなす無数の凹部からなる油溜まりを形成する処理を施したことを特徴とする直動装置。
（２）  前記衝突領域は、前記可動体本体の前記転動体無限循環軌道の開口部の前記方向転換路に対する投影面積領域、又は前記循環部材の前記方向転換路の開口部の該方向転換路に対する投影面積領域であることを特徴とする（１）に記載の直動装置。
（３）  前記研磨材の粒径が２０〜２００μｍで、且つ該研磨材の噴射速度が５０ｍ／ｓｅｃ以上であることを特徴とする（１）又は（２）に記載の直動装置。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、循環部材の方向転換路の少なくとも転動体が衝突する領域に対して、方向転換路の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させると共に、前記衝突領域の表面に微小な断面円弧状をなす無数の凹部からなる油溜まりを形成する処理を施しているので、循環部材の大型化を招くことなく、簡単な処理で循環部材の方向転換路における衝突領域の強度向上を可能にして該衝突領域の破損等を低コストで防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る直動装置の各実施形態について図を参照して説明する。なお、本発明の第１及び第２の実施形態では、直動装置としてリニアガイドを例に採り、第３〜第８の実施形態では、直動装置としてボールねじを例にとる。また、本発明の第１及び第２の実施形態では、既に図１２及び図１３で説明したリニアガイドとの相違点についてのみ説明し、第３及び第４の実施形態では、既に図１４で説明したチューブ循環式ボールねじとの相違点についてのみ説明する。
【００１７】
（第１実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態であるリニアガイドは、図１に示すように、エンドキャップ５の方向転換路６のボールＢが衝突する領域Ｓ１、即ち、エンドキャップ５の方向転換路６に対するスライダ本体２Ａの転動体通路８及び負荷軌道の開口部（転動体無限循環軌道の開口部）の投影面積領域、及び、エンドキャップ５のタング部６ａに対して、方向転換路６の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させるＷＰＣ処理を施している。
【００１８】
このＷＰＣ処理により、エンドキャップ５の方向転換路６のボールＢが衝突する領域において、次の（i）〜（iii）の組織変化、形状変化が生じる。
（i）残留オーステナイト量が減少して、通常の熱処理よりも著しく微細なマルテンサイト組織が生成される。また、析出硬化と同時に短時間にγ化温度に加熱され、短時間に冷却されるため、表面硬度が上昇し、靱性に富むと共に、表面の内部残留圧縮応力が上昇する。
（ii）また、研磨材の噴射による加工硬化、特に熱の発生と共に塑性加工が行われるため、オースフォームが行われたこととなり、上述したマルテンサイト組織の生成を助長して表面硬度が上昇する。
（iii）更に、表面に微小な断面円弧状をなす無数のディンプルが形成される。
これら（i）〜（iii）により、エンドキャップ５の方向転換路６のボールＢが衝突する領域Ｓ１について、組織の微細化及び靱性の向上により疲労強度の向上が図れると共に、組織の微細化により耐衝撃性の向上が図れる。更に、組織の微細化及び表面硬度の上昇により耐摩耗性の向上が図れると共に、無数のディンプルが油溜まりとなって潤滑性の向上が図れる。
【００１９】
ここで、前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に確実に安定して上昇させる研磨材の衝突エネルギーを発生させ、且つ生成されたディンプルが油溜まりとして機能する微小なサイズとするためには、研磨材の粒径が２０〜２００μｍ、研磨材の噴射速度が５０ｍ／ｓｅｃ以上であることが好ましい。
【００２０】
このように本実施形態では、エンドキャップ５の方向転換路６のボールＢが衝突する領域Ｓ１に対して、方向転換路６の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させると共に、前記衝突領域の表面に微小な断面円弧状をなす無数のディンプルからなる油溜まりを形成するＷＰＣ処理を施しているので、エンドキャップ５の大型化を招くことなく、簡単な処理でエンドキャップ５の方向転換路６における衝突領域Ｓ１の強度向上を可能にして、エンドキャップ５のタングや内径面の破損、破断等を低コストで防止することができる。
【００２１】
（第２実施形態）
図２に示す本発明の第２の実施形態であるリニアガイドは、図１のエンドキャップ５の方向転換路６のボールＢが衝突する領域Ｓ１を含む、エンドキャップ５のスライダ本体２Ａ側を向く方向転換路６を含んだ全面に上述したＷＰＣ処理を施した例であり、このようにすると、上記第１の実施形態で必要となる部分的なマスキング工程を省略することができる。その他の構成及び作用効果は上記第１の実施形態と同様である。
なお、エンドキャップ５が転動体通路８を構成する部材と一体品の場合は、エンドキャップ５から離れた側の転動体通路８の開口部からしかエンドキャップ５の方向転換路６を覗き込むことができないので、上記第１の実施形態のように部分的にＷＰＣ処理が施されていればよい。
【００２２】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態であるチューブ循環式ボールねじは、図３に示すように、二つ割れ循環チューブ（循環部材）２７の方向転換路２６のボールＢが衝突する領域Ｓ２、即ち、循環チューブ２７の方向転換路２６の端部開口部の方向転換路２６に対する投影面積領域、及び、循環チューブ２７のタング部２６ａに対して、方向転換路２６の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させるＷＰＣ処理を施している。
【００２３】
このＷＰＣ処理により、循環チューブ２７の方向転換路２６のボールＢが衝突する領域Ｓ２においても、第１実施形態と同様、上記（i）〜（iii）の組織変化、形状変化が生じるので、循環チューブ２７の方向転換路２６のボールＢが衝突する領域Ｓ２について、組織の微細化及び靱性の向上により疲労強度の向上が図れると共に、組織の微細化により耐衝撃性の向上が図れる。更に、組織の微細化及び表面硬度の上昇により耐摩耗性の向上が図れると共に、無数のディンプルが油溜まりとなって潤滑性の向上が図れる。
【００２４】
ここで、前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に確実に安定して上昇させる研磨材の衝突エネルギーを発生させ、且つ生成されたディンプルが油溜まりとして機能する微小なサイズとするためには、研磨材の粒径が２０〜２００μｍ、研磨材の噴射速度が５０ｍ／ｓｅｃ以上であることが好ましい。
【００２５】
このようにこの実施形態では、循環チューブ２７の方向転換路２６のボールＢが衝突する領域Ｓ２に対して、方向転換路２６の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させると共に、前記衝突領域の表面に微小な断面円弧状をなす無数のディンプルからなる油溜まりを形成するＷＰＣ処理を施しているので、循環チューブ２７の大型化を招くことなく、簡単な処理で循環チューブ２７の方向転換路２６における衝突領域Ｓ２の強度向上を可能にして、循環チューブ２７のタング部や内径面の破損、破断等を低コストで防止することができる。
【００２６】
（第４実施形態）
図４に示す本発明の第４の実施形態であるチューブ循環式ボールねじは、二つ割れ循環チューブ２７の方向転換路２６のボールＢが衝突する領域Ｓ２を含む、循環チューブ２７の方向転換路２６の内径面全面に上述したＷＰＣ処理を施した例であり、このようにすると、上記第３の実施形態で必要となる部分的なマスキング工程を省略することができる。  その他の構成及び作用効果は上記第３の実施形態と同様である。
なお、循環チューブ２７がチューブ状の一体品の場合は、上記第３の実施形態のように部分的にＷＰＣ処理が施されていればよい。
【００２７】
（第５実施形態）
図５に示す本発明の第５の実施形態であるエンドキャップ式ボールねじは、軸方向に延びるねじ軸（案内軸）３１と、該ねじ軸３１に軸方向に相対移動可能に螺合されたナット（可動体）３２とを備える。
【００２８】
ねじ軸３１の外周面には螺旋状のねじ溝３３（転動体軌道面）が形成されており、ナット３２のナット本体（可動体本体）３２Ａの内周面にはねじ溝３３に対応する螺旋状のねじ溝（転動体軌道面）３４が形成されている。
【００２９】
ナット３２のねじ溝３４とねじ軸３１のねじ溝３３とは互いに対向して両者の間に螺旋状の負荷軌道を形成しており、該負荷軌道には転動体の一例としての多数のボールＢが転動可能に装填されている。そして、ねじ軸３１（又はナット３２）の回転により、ナット３２（又はねじ軸３１）がボールＢの転動を介して軸方向に移動するようになっている。
【００３０】
また、ナット本体３２Ａの周壁部には軸方向に貫通する転動体通路３５が形成されており、また、ナット本体３２Ａの軸方向の端面には転動体通路３５と両ねじ溝３３，３４間の負荷軌道とを連通するエンドキャップ（循環部材）３８がねじ３７等の固定手段を介して固定されている。
【００３１】
エンドキャップ３８は、図６を参照して、転動体通路３５と両ねじ溝３３，３４間の負荷軌道との間を連通する方向転換路３６と、該方向転換路３６の先端に設けられ、両ねじ溝３３，３４間の負荷軌道を転動するボールＢを掬い上げるタング部３６ａとを備えている。
【００３２】
そして、タング部３６ａを含む方向転換路３６、前記両ねじ溝３３，３４間の負荷軌道及び前記転動体通路３５によって１列の転動体無限循環軌道を形成している。
【００３３】
ここで、本実施形態では、図６に示すように、エンドキャップ３８の方向転換路３６のボールＢが衝突する領域Ｓ３、即ち、ナット本体３２Ａの転動体通路３５の開口部（転動体無限循環軌道の開口部）のエンドキャップ３８の方向転換路３６に対する投影面積領域に対して、方向転換路３６の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させるＷＰＣ処理を施している。
【００３４】
このＷＰＣ処理により、エンドキャップ３８の方向転換路３６のボールＢが衝突する領域においても、第１の実施形態同様、上記（i）〜（iii）の組織変化、形状変化が生じるので、エンドキャップ３８の方向転換路３６のボールＢが衝突する領域Ｓ３について、組織の微細化及び靱性の向上により疲労強度の向上が図れると共に、組織の微細化により耐衝撃性の向上が図れる。更に、組織の微細化及び表面硬度の上昇により耐摩耗性の向上が図れると共に、無数のディンプルが油溜まりとなって潤滑性の向上が図れる。
【００３５】
ここで、前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に確実に安定して上昇させる研磨材の衝突エネルギーを発生させ、且つ生成されたディンプルが油溜まりとして機能する微小なサイズとするためには、研磨材の粒径が２０〜２００μｍ、研磨材の噴射速度が５０ｍ／ｓｅｃ以上であることが好ましい。
【００３６】
このようにこの実施形態では、エンドキャップ３８の方向転換路３６のボールＢが衝突する領域Ｓ３に対して、方向転換路３６の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させると共に、前記衝突領域の表面に微小な断面円弧状をなす無数のディンプルからなる油溜まりを形成するＷＰＣ処理を施しているので、エンドキャップ３８の大型化を招くことなく、簡単な処理でエンドキャップ３８の方向転換路３６における衝突領域Ｓ３の強度向上を可能にして、エンドキャップ３８の内径面の破損、破断等を低コストで防止することができる。
【００３７】
（第６実施形態）
図７に示す本発明の第６の実施形態であるエンドキャップ式ボールねじは、図６のエンドキャップ３８の方向転換路３６のボールＢが衝突する領域Ｓ３を含む、エンドキャップ３８のナット本体３２Ａ側を向く方向転換路３６を含んだ全面に上述したＷＰＣ処理を施した例であり、このようにすると、上記第５の実施形態で必要となる部分的なマスキング工程を省略することができる。その他の構成及び作用効果は上記第５の実施形態と同様である。
【００３８】
（第７実施形態）
図８に示す本発明の第７の実施形態である循環こま式ボールねじは、軸方向に延びるねじ軸（案内軸）４１と、該ねじ軸４１に軸方向に相対移動可能に螺合されたナット（可動体）４２とを備える。
【００３９】
ねじ軸４１の外周面には螺旋状のねじ溝４３（転動体軌道面）が形成されており、ナット４２のナット本体（可動体本体）４２Ａの内周面にはねじ溝４３に対応する螺旋状のねじ溝（転動体軌道面）４４が形成されている。
【００４０】
ナット４２のねじ溝４４とねじ軸４１のねじ溝４３とは互いに対向して両者の間に螺旋状の負荷軌道を形成しており、該負荷軌道には転動体の一例としての多数のボールＢが転動可能に装填されている。そして、ねじ軸４１（又はナット４２）の回転により、ナット４２（又はねじ軸４１）がボールＢの転動を介して軸方向に移動するようになっている。
【００４１】
また、図８及び図９に示すように、ナット本体４２Ａの外周面には循環こま嵌合穴４５が設けられており、該嵌合穴４５には略Ｓ字状の方向転換路４６を有する循環こま（循環部材）４７が嵌め込まれている。
【００４２】
これにより、両ねじ溝４３，４４間の負荷軌道を転動するボールＢは循環こま４７の掬い上げ部によりねじ軸４１のランド部を乗り越えて循環こま４７内部の方向転換路４６に案内され、該方向転換路４６を介して隣接する両ねじ溝４３，４４間の負荷軌道に戻されてボールＢが無限に循環する転動体無限循環軌道を形成している。
【００４３】
ここで、本実施形態では、図１０に示すように、循環こま４７の方向転換路４６のボールＢが衝突する領域Ｓ４、即ち、方向転換路４６の内径面の全面に対して、方向転換路４６の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させるＷＰＣ処理を施している。
【００４４】
このＷＰＣ処理により、循環こま４７の方向転換路４６のボールＢが衝突する領域Ｓ４においても、上記（i）〜（iii）の組織変化、形状変化が生じるので、循環こま４７の方向転換路４６のボールＢが衝突する領域Ｓ４について、組織の微細化及び靱性の向上により疲労強度の向上が図れると共に、組織の微細化により耐衝撃性の向上が図れる。更に、組織の微細化及び表面硬度の上昇により耐摩耗性の向上が図れると共に、無数のディンプルが油溜まりとなって潤滑性の向上が図れる。
【００４５】
ここで、前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に確実に安定して上昇させる研磨材の衝突エネルギーを発生させ、且つ生成されたディンプルが油溜まりとして機能する微小なサイズとするためには、研磨材の粒径が２０〜２００μｍ、研磨材の噴射速度が５０ｍ／ｓｅｃ以上であることが好ましい。
【００４６】
このように本実施形態では、循環こま４７の方向転換路４６のボールＢが衝突する領域Ｓ４に対して、方向転換路４６の内径面と同等かそれ以上の硬度を有する略球状の研磨材を噴射して前記衝突領域の表面温度を鉄系金属の場合はＡ３変態点以上に、非鉄系金属の場合は再結晶温度以上に上昇させると共に、前記衝突領域の表面に微小な断面円弧状をなす無数のディンプルからなる油溜まりを形成するＷＰＣ処理を施しているので、循環こま４７の大型化を招くことなく、簡単な処理で循環こま４７の方向転換路４６における衝突領域Ｓ４の強度向上を可能にして循環こま４７の内径面の破損、破断等を低コストで防止することができる。
【００４７】
（第８実施形態）
図１３に示す本発明の第８の実施形態である循環こま式ボールねじは、循環こま４７の方向転換路４６のボールＢが衝突する領域Ｓ４を含む、循環こま４７のナット本体４２Ａ側を向く方向転換路４６を含んだ全面に上述したＷＰＣ処理を施した例であり、このようにすると、上記第７の実施形態で必要となる部分的なマスキング工程を省略することができる。その他の構成及び作用効果は上記第７の実施形態と同様である。
【００４８】
なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、上記各実施形態では、転動体としてボールを用いたボールねじやリニアガイド等の直動装置を例に採ったが．転動体としてころを用いたころねじ装置やリニアガイド等の直動装置に本発明を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施形態であるリニアガイドのエンドキャップを説明するための斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）のエンドキャップをスライダ本体の端面側から見た図である。
【図２】本発明の第２の実施形態であるリニアガイドのエンドキャップを説明するための斜視図である。
【図３】本発明の第３の実施形態であるチューブ循環式ボールねじの循環チューブを説明するための図である。
【図４】本発明の第４の実施形態であるチューブ循環式ボールねじの循環チューブを説明するための図である。
【図５】本発明の第５の実施形態であるエンドキャップ式ボールねじを説明するための要部断面図である。
【図６】（ａ）は、図５のボールねじのエンドキャップを示す斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）のエンドキャップをナット本体の端面側から見た図である。
【図７】本発明の第６の実施形態であるボールねじのエンドキャップを説明するための図である。
【図８】本発明の第７の実施形態である循環こま式ボールねじを説明するための要部断面図である。
【図９】図９のナットの一部を切り欠いた斜視図である。
【図１０】循環こまの斜視図である。
【図１１】本発明の第８の実施形態である循環こま式ボールねじの循環こまを説明するための斜視図である。
【図１２】従来のリニアガイドの一例を示す一部を切り欠いた斜視図である。
【図１３】図１２のリニアガイドのエンドキャップをスライダ本体の端面側から見た図である。
【図１４】従来のチューブ循環式ボールねじの一例を示す要部断面図である。
【図１５】（ａ）は、従来の循環チューブを示す図であり、（ｂ）は、（ａ）のXV-XV線に沿った断面図である。
【図１６】従来の循環チューブを示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１    案内レール（案内軸）
２    スライダ（可動体）
２Ａ  スライダ本体（可動体本体）
３    転動体転動溝（転動体軌道面：案内レール側）
５，３８  エンドキャップ（循環部材）
６，２６，３６，４６  方向転換路
７    転動体転動溝（転動体軌道面：スライダ本体側）
Ｂ    ボール（転動体）
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４  衝突領域
２７  循環チューブ（循環部材）
２１，３１，４１  ねじ軸（案内軸）
２２，３２，４２  ナット（稼動体）
２２Ａ，３２Ａ，４２Ａ  ナット本体（可動体本体）
４７  循環こま（循環部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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