(57)【要約】【課題】２本の駆動軸で移動される移動体を円滑に精度良く移動させる事ができる移動体の駆動制御用補正データの取得方法を提供すること。【解決手段】ガイドレール１２に対して夫々平行に設けられた第１の駆動手段及び第２の駆動手段によって直線送りされる１個の移動体１３に対し、第１の駆動手段の近傍に設定された第１の測定軸Ｍ１と、第２の駆動手段の近傍に設定された第２の測定軸Ｍ２との２軸で移動体１３の位置決め精度を測定し、第１の測定軸Ｍ１で測定した位置決め精度測定データから第１の駆動手段の駆動制御用補正データを算出し、第２の測定軸Ｍ２で測定した位置決め精度測定データから第２の駆動手段の駆動制御用補正データを算出するようにした。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドに沿って直線移動可能に支持されるとともに、互いに離間し前記ガイドに対して夫々平行に設けられた第１の駆動手段及び第２の駆動手段によって直線送りされる１個の移動体の駆動制御用補正データの取得方法において、
前記第１の駆動手段の近傍に設定された第１の測定軸と、前記第２の駆動手段の近傍に設定された第２の測定軸との少なくとも２軸で前記移動体の位置決め精度を測定し、
前記第１の測定軸で測定した前記移動体の位置決め精度測定データを前記第１の駆動手段の補正用データメモリに入力するとともに第１の駆動手段の駆動制御用補正データを算出し、前記第２の測定軸で測定した前記移動体の位置決め精度測定データを前記第２の駆動手段の補正用データメモリに入力するとともに第２の駆動手段の駆動制御用補正データを算出することを特徴とする駆動制御用補正データの取得方法。
【請求項２】
ガイドに沿って直線移動可能に支持されるとともに、互いに離間し前記ガイドに対して夫々平行に設けられた第１の駆動手段及び第２の駆動手段によって直線送りされる１個の移動体の駆動制御用補正データの取得方法において、
前記第１の駆動手段と前記第２の駆動手段との間の１軸上で前記移動体の位置決め精度を測定し、
前記１軸上で測定した前記移動体の位置決め精度測定データを補正用データメモリに入力するとともに第１の駆動手段及び第２の駆動手段の駆動制御用補正データを算出することを特徴とする駆動制御用補正データの取得方法。                                  
【請求項３】
前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動手段は夫々モータとボールネジ、又はリニアモータからなることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の移動体の駆動制御用補正データの取得方法。                                                              
【請求項４】
前記移動体が工作機械の主軸頭、又はサドル、或いはワークを載置するテーブルである請求項１、２、又は３のうちいずれか１項に記載の移動体の駆動制御用補正データの取得方法。                                                        
【請求項５】
前記移動体の位置決め精度をレーザ測長装置を用いて測定することを特徴とする、請求項１、２、３、又は４のうちいずれか１項に記載の移動体の駆動制御用補正データの取得方法。                                                                          
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動体の駆動制御用補正データの取得方法に関するもので、特に平行な２軸の駆動軸で移動される工作機械のワークテーブル等の移動体の駆動制御用補正データの取得方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＮＣ（数値制御）工作機械では、刃物を保持する主軸頭やワークを載置するテーブルがＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向の３軸方向に移動される。例えば、立形マシニングセンタでは、主軸頭が上下方向（Ｚ軸）移動され、テーブルを載せているサドルが前後方向（Ｙ軸）移動され、その上のテーブルが左右方向（Ｘ軸）移動される構成や、主軸頭を保持するコラムが左右方向（Ｘ軸）移動され、テーブルが前後方向（Ｙ軸）移動される構成等が用いられている。
【０００３】
これら、主軸頭、テーブル、サドル、コラム等の移動体の移動機構は、移動体をガイドに沿って直線移動可能に保持し、サーボモータとボールネジやリニアモータ等からなる１個の駆動手段で駆動するものがほとんどであった。
【０００４】
この場合の駆動軸は、移動体の重心を通る軸とするのが最良である。即ち、移動体の重心に力を加えることで、振動を発生させずに移動体を真っすぐに移動させることができる。
【０００５】
しかし、工作機械においては移動体の重心に駆動軸を持ってくるのは難しい。例えば主軸頭の重心部には主軸があり、重心に力を加えることができない。また、テーブルの場合は、重いワークを載置した場合の重心はテーブルのワーク載置面より上部の空間になり、そこにボールネジを配置するわけにはいかないからである。
【０００６】
このような問題を解決するために、移動体の重心を挟んだ２本の駆動軸上で移動体を駆動し、重心を押すのと同等の効果を狙った駆動方式を採用した工作機械が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００７】
この特許文献１に記載の工作機械では、ベッドに立設されたコラムの前面に左右一対の上下方向案内レールがあり、主軸頭を保持するサドルがこの上下方向案内レールにガイドされて上下移動可能になっている。  
【０００８】
また、サドルは左右一対の２本のボールネジに連結され、それぞれのボールネジを回転駆動する２個のモータを同期回転することによりサドルは上下に移動される。
【特許文献１】特開２００３−２６６２５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、前述の特許文献１（特開２００３−２６６２５７号公報）に記載された移動体の駆動方式では、移動体の重心を挟んだ２本の駆動軸上に２本のボールネジを配置し、夫々のボールネジを回転駆動する２個のモータを同期回転させているだけなので、２本のボールネジの平行度誤差、夫々のボールネジのピッチ誤差等により移動体を円滑に駆動させることができず、かえって振動を発生させる原因にもなっていた。
【００１０】
このように、前述の特許文献１に記載の工作機械では、振動のため加工面の品位が劣化するとともに、工具の摩耗が促進されて寿命が短くなるという大きな問題を有していた。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、２本の駆動軸で移動される移動体を円滑に精度良く駆動制御するための、移動体の駆動制御用補正データの取得方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は前記目的を達成するために、ガイドに沿って直線移動可能に支持されるとともに、互いに離間し前記ガイドに対して夫々平行に設けられた第１の駆動手段及び第２の駆動手段によって直線送りされる１個の移動体の駆動制御用補正データの取得方法において、前記第１の駆動手段の近傍に設定された第１の測定軸と、前記第２の駆動手段の近傍に設定された第２の測定軸との少なくとも２軸で前記移動体の位置決め精度を測定し、前記第１の測定軸で測定した前記移動体の位置決め精度測定データを前記第１の駆動手段の補正用データメモリに入力するとともに第１の駆動手段の駆動制御用補正データを算出し、前記第２の測定軸で測定した前記移動体の位置決め精度測定データを前記第２の駆動手段の補正用データメモリに入力するとともに第２の駆動手段の駆動制御用補正データを算出することを特徴とする。
【００１３】
具体的には、前記第１の駆動手段の近傍に設定された第１の測定軸と、前記第２の駆動手段の近傍に設定された第２の測定軸との２軸で前記移動体の位置決め精度を測定し、夫々の測定軸で得られた前記移動体の位置決め精度測定データを夫々の駆動手段の補正用データメモリに入力し、夫々の駆動手段の駆動制御用補正データを算出する。
【００１４】
この夫々の駆動手段の駆動制御用補正データに基づいて前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動手段が駆動制御され、前記移動体の送りが制御される。
【００１５】
本発明によれば、２本の駆動軸の夫々近傍で移動体の位置決め精度を測定し、夫々の測定データから夫々の駆動軸の駆動制御用補正データを算出するので、移動体を駆動する２本の駆動軸の構成部品の加工精度のばらつき等によって生じる移動時のヨーイング等を抑え、移動体を円滑に低振動で、高精度に移動させる事ができる。
【００１６】
また、本発明は、ガイドに沿って直線移動可能に支持されるとともに、互いに離間し前記ガイドに対して夫々平行に設けられた第１の駆動手段及び第２の駆動手段によって直線送りされる１個の移動体の駆動制御用補正データの取得方法において、前記第１の駆動手段と前記第２の駆動手段との間の１軸上で前記移動体の位置決め精度を測定し、前記１軸上で測定した前記移動体の位置決め精度測定データを補正用データメモリに入力するとともに第１の駆動手段及び第２の駆動手段の駆動制御用補正データを算出することを特徴とする。
【００１７】
具体的には、前記第１の駆動手段と前記第２の駆動手段との間の１軸上で前記移動体の位置決め精度を測定し、前記１軸上で測定した前記移動体の位置決め精度測定データを補正用データメモリに入力し、この測定データに基づいて前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動手段共用の駆動制御用補正データを算出する。この共用の駆動制御用補正データに基づいて前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動手段が駆動制御され、前記移動体の送りが制御される。
【００１８】
本発明によれば、２本の駆動軸の間の１軸上で移動体の位置決め精度を測定し、その測定データに基づいて前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動手段共用の駆動制御用補正データを算出し、この共用の駆動制御用補正データに基づいて夫々の駆動軸を駆動制御して移動体の送りを制御するので、１軸上の測定のみで移動体を実用上支障のないレベルで、円滑低振動で、高精度な移動を行う事ができる。
【００１９】
また、本発明は、前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動手段は夫々モータとボールネジ、又はリニアモータからなる移動体の駆動制御用補正データの取得方法である。また、前記移動体が工作機械の主軸頭、又はサドル、或いはワークを載置するテーブルである移動体の駆動制御用補正データの取得方法である。
【００２０】
本発明によれば、モータとボールネジ、又はリニアモータからなる駆動手段によって２軸駆動される工作機械の主軸頭、又はサドル、或いはテーブルを円滑に低振動で、高精度に移動させることのできる駆動制御用補正データを取得することができる。
【００２１】
また、本発明は、前記移動体の位置決め精度をレーザ測長装置を用いて測定する。これによれば、移動体の位置決め精度を容易に高精度で測定することができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように本発明の移動体の駆動制御用補正データの取得方法によれば、工作機械の主軸頭、又はサドル、或いはワークを載置するテーブル等の移動体で、２本の駆動軸で移動される移動体の各駆動軸の制御用補正データを適切に取得することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下添付図面に従って本発明に係る移動体の駆動制御用補正データの取得方法の好ましい実施の形態について詳説する。尚、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
【００２４】
図１は、ＮＣ工作機械のワークを載置するテーブルの位置決め精度を測定する状態を表わしたものである。なお、図１においては、簡略化のため、ＮＣ工作機械のコラム、サドル、主軸頭、その他のテーブル部以外の部分は記載を省略してある。
【００２５】
ＮＣ工作機械のテーブル部分は、ベッド１１の上面に互いに平行に設けられたガイドレール１２、１２、ガイドレール１２、１２に沿って図のＹ方向に直線移動可能に支持された移動体であるテーブル１３、図示しないホルダによってベッド１１に回転可能に支持された２本のボールネジ１４、１５、及びボールネジ１４を回転駆動するサーボモータ１６とボールネジ１５を回転駆動するサーボモータ１７を有している。
【００２６】
ガイドレール１２にはリニアボールガイド又はリニアローラガイド用のガイドレールを用い、転動ガイドを構成するのが好適である。
【００２７】
サーボモータ１６及びサーボモータ１７も図示しないホルダによってベッド１１に固定されている。また、２本のボールネジ１４、１５の図示しないナット部は、テーブル１３に対して、軸方向（図のＹ方向）に拘束されるとともに軸心回りの回転が拘束された状態で連結されている。このボールネジ１４とサーボモータ１６とで第１の駆動手段を構成し、ボールネジ１５とサーボモータ１７とで第２の駆動手段を構成して、２軸でテーブル１３を移動させる。
【００２８】
ＮＣ工作機械の動作を制御するＮＣ装置２０には、サーボモータ１６及びサーボモータ１７の回転を制御するモータコントローラが夫々に独立して設けられており、サーボモータ１６及びサーボモータ１７の回転を制御することによりテーブル１３の送り制御がなされる。
【００２９】
テーブル１３の位置決め精度の測定にはレーザ測長装置３０を用いる。本実施の形態で使用するレーザ測長装置３０は、実開昭６３−１５９７０６号公報に記載された分離型レーザ干渉計である。
【００３０】
この分離型レーザ干渉計は、レーザ光源３１と干渉光学ユニット３２、３４との間を単一モードファイバ又は偏波面保存ファイバ等の光ファイバ３１Ａ、３１Ｂで接続することにより、レーザ光源３１と干渉光学ユニット３２、３４との間のアライメント調整を不要にするとともに、その間の配置の自由度を高めたレーザ測長装置３０である。
【００３１】
レーザ測長装置３０の信号処理部も、干渉光学ユニット３２、３４から分離され、測定制御部に相当するノート型パーソナルコンピュータ（ＰＣ）３７の拡張ボックス３６内に組込まれている。即ち、干渉光学ユニット３２、３４内に光検出器を設けて干渉縞の信号を電気信号に変換し、電気信号用ケーブルで拡張ボックス３６内のカウンターボードに接続している。
【００３２】
テーブル１３の位置決め精度の測定では、ボールネジ１４の近傍に第１の測定軸Ｍ１を設定し、ボールネジ１５の近傍に第２の測定軸Ｍ２を設定する。即ち、テーブル１３の端面のボールネジ１４の上部位置にコーナーキューブ３３を取り付け、コーナーキューブ３３に対峙させて干渉光学ユニット３２をセットする。また、テーブル１３の端面のボールネジ１５の上部位置にコーナーキューブ３５を取り付け、コーナーキューブ３５に対峙させて干渉光学ユニット３４をセットする。コーナーキューブ３３及びコーナーキューブ３５はそのケース底部に永久磁石が取り付けられており、テーブル１３の端面に磁力で固定されるようになっている。
【００３３】
レーザ光源３１から光ファイバ３１Ａ、干渉光学ユニット３２を経て出射されたレーザ光Ｌ１は、コーナーキューブ３３で反射されて干渉光学ユニット３２に戻り、干渉光学ユニット３２内で干渉縞を生成する。
【００３４】
テーブル１３の移動にともなってこの干渉縞が移動し、干渉光学ユニット３２内の光検出器で干渉縞の明暗が電気信号に変換され、拡張ボックス３６内のカウンターボードで干渉縞の本数が計数されてテーブル１３の第１の測定軸Ｍ１上の移動量が算出される。
【００３５】
同様に、レーザ光源３１から光ファイバ３１Ｂ、干渉光学ユニット３４を経て出射されたレーザ光Ｌ２は、コーナーキューブ３５で反射されて干渉光学ユニット３４に戻り、干渉光学ユニット３４内で干渉縞を生成する。この干渉縞の本数も計測され、テーブル１３の第２の測定軸Ｍ２上の移動量が算出される。
【００３６】
測定制御部であるＰＣ３７には第１の駆動手段及び第２の駆動手段の補正用データメモリと位置決め誤差補正ソフトウエアがインストールされており、テーブル１３の第１の測定軸Ｍ１上の位置決め精度データを第１の駆動手段の補正用データメモリに入力し、この第１の測定軸Ｍ１上の位置決め精度データから第１の駆動手段の補正用データを算出する。
【００３７】
また、テーブル１３の第２の測定軸Ｍ２上の位置決め精度データを第２の駆動手段の補正用データメモリに入力し、この第２の測定軸Ｍ２上の位置決め精度データから第２の駆動手段の補正用データを算出する。
【００３８】
算出された第１の駆動手段の補正用データ、及び第２の駆動手段の補正用データはＰＣ３７からＮＣ工作機械のＮＣ装置２０に送られ、第１の駆動手段のサーボモータ１６、及び第２の駆動手段のサーボモータ１７が個々に回転制御される。なお、ＰＣ３７とＮＣ装置２０とはＲＳ−２３２Ｃインターフェースで接続されている。
【００３９】
このように、第１の駆動手段及び第２の駆動手段は夫々個別に補正用データが設定され、夫々の補正用データに基づいて駆動制御されるので、例えば２本のボールネジ１４、及び１５の加工精度のばらつきによって発生するテーブル移動時のヨーイング等が抑制されるとともに、テーブル１３は円滑に低振動で送られて、高精度な位置決めがなされる。
【００４０】
次に、具体的な動作の流れについて説明する。図２はテーブル１３の位置決め精度測定と、駆動用補正データ作成の流れを説明するフローチャートである。先ず作業者が前述図１のように、ＮＣ工作機械のテーブル１３部分にレーザ測長装置３０をセットする。
【００４１】
次いで、ＮＣ工作機械のＮＣ装置２０を外部からの信号で稼動するテープ運転モードに切換え、運転ボタンを押して外部からの信号待ちの状態にする（ステップＳ１１）。次に、ＰＣ３７に測定条件が設定され、位置決め誤差補正ソフトウエアが自動で起動し（ステップＳ１２）、テーブル１３が初期位置に位置決めされるようにレファレンス点復帰命令を発行する（ステップＳ１３）。
【００４２】
このレファレンス点復帰命令は、ＲＳ−２３２Ｃインターフェースを介してＮＣ装置２０に送られ、テーブル１３がレファレンス点に復帰される（ステップＳ１４）。テーブル１３の位置決め精度測定はこのレファレンス点を初期位置として実施される。
【００４３】
次にＰＣ３７は、テーブル１３、サドル、主軸頭の夫々が測定開始位置に移動するように測定開始位置移動命令を発行する（ステップＳ１５）。これはテーブル１３の位置決め精度測定であっても、サドル及び主軸頭の位置によって測定値が微妙に変化するため、サドル及び主軸頭を所定の位置に位置付けてテーブル１３の位置決め精度を測定するためである。
【００４４】
この指令もＮＣ装置２０に送られ、テーブル１３、サドル、主軸頭が測定開始位置に送られる（ステップＳ１６）。次に、設定された測定条件に従ってテーブル１３の位置決め誤差測定（位置決め精度測定）が開始され（ステップＳ１７）、位置決め誤差データが取得される。これは第１の測定軸Ｍ１上、及び第２の測定軸Ｍ２上で個々に取得され、夫々ＰＣ３７の第１の駆動手段及び第２の駆動手段の補正用データメモリに記憶される（ステップＳ１８）。
【００４５】
次に、測定条件で設定された指定の測定点数が測定されたか判断し（ステップＳ１９）、指定の測定点が測定されていない場合はステップＳ１８に戻って次の測定点の位置決め誤差データが取得され、この動作を繰り返す。
【００４６】
ステップＳ１９で指定の測定点数が測定された場合は、次に測定条件で設定された指定の測定回数終了したか判断し（ステップＳ２０）、指定の測定回数に達していない場合はステップＳ１７に戻り、ステップＳ１７からステップＳ２０の動作を繰り返す。
【００４７】
ステップＳ２０で指定の測定回数終了と判断された場合、次にＰＣ３７は、第１の測定軸Ｍ１上の測定データを基に第１の駆動手段の駆動用補正値データを計算し、第２の測定軸Ｍ２上の測定データを基に第２の駆動手段の駆動用補正値データを計算する（ステップＳ２１）。補正値データの算出は、例えば特開平１０−１１１７０６号公報に記載されたように、未測定位置は所定の補完方法でデータを補完して全体の補正値データを算出する方法等が用いられる。
【００４８】
次にＰＣ３７は、夫々個別に算出した第１の駆動手段の補正値データ、及び第２の駆動手段の補正値データをＮＣ装置２０に転送すべく補正値データ転送命令を発行し（ステップＳ２２）、ＮＣ装置２０は補正値データを自動受信してメモリに取り込む（ステップＳ２３）。
【００４９】
次にＰＣ３７は、テーブル１３がレファレンス点に復帰するようにレファレンス点復帰命令を発行し（ステップＳ２４）、信号を受けたＮＣ装置２０はテーブル１３をレファレンス点に復帰させる（ステップＳ２５）。次いでこれら一連のデータ処理結果を図示しないプリンタに印刷させて、テーブル１３の送り精度測定と送り量補正値作成の流れを終了する。
【００５０】
ＮＣ装置２０は、サーボモータ１６の図示しないエンコーダからのフィードバック信号にこのメモリに取り込んだ第１の駆動手段の駆動用補正データの補正値を加えた位置データで第１の駆動手段を駆動制御し、サーボモータ１７の図示しないエンコーダからのフィードバック信号に第２の駆動手段の駆動用補正データの補正値を加えた位置データで第２の駆動手段を駆動制御してテーブル１３を高精度で移動させる。
【００５１】
この補正値を盛り込んだ修正位置データでテーブル１３を駆動させた時に、再度位置決め精度を測定し、規定値以内に入っているか否か確認することができる。またＩＳＯ２３０−２等で規定するＮＣ工作機械の所定の検査項目にのっとって位置決め精度を確認するようにしてもよい。
【００５２】
なお、Ｙ軸（テーブル駆動軸）以外のＸ軸、Ｚ軸についても同様にして位置決め精度測定と送り量補正値作成を行うことができる。この場合、特開平９−２４４７１８号公報に記載された数値制御工作機械の全自動測定システムに基づいてＸＹＺ３軸を全自動で処理することも可能である。
【００５３】
図３は、第２発明を説明するための斜視図である。この第２発明では、測定軸は１軸のみで、ボールネジ１４とボールネジ１５とから等間隔の位置に測定軸Ｍが設けられている。即ち、テーブル１３の端面のボールネジ１４とボールネジ１５とから等間隔の位置にコーナーキューブ３３を取り付け、コーナーキューブ３３に対峙させて干渉光学ユニット３２をセットする。
【００５４】
レーザ光源３１から光ファイバ３１Ａ、干渉光学ユニット３２を経て出射されたレーザ光Ｌは、コーナーキューブ３３で反射されて干渉光学ユニット３２に戻り、干渉光学ユニット３２内で干渉縞を生成する。その他の構成及び作用は前出図１で示した実施の形態と同様であるので、説明は省略する。
【００５５】
この測定軸Ｍ上の送り精度測定で得られた測定データを基に、補正データが算出され、算出された補正値は第１の駆動手段及び第２の駆動手段共通の補正データとしてＮＣ装置２０に転送され、ＮＣ装置２０は第１の駆動手段及び第２の駆動手段に対してこの共通の補正データを適用してテーブル１３を移動させる。
【００５６】
ボールネジ１４及びボールネジ１５のピッチ精度がほぼ同様な場合は、本第２発明のように、第１の駆動手段と第２の駆動手段から等距離離間した１軸上の測定値で補正値を算出し、これを第１の駆動手段及び第２の駆動手段夫々に適用させることで、１軸上の測定のみでテーブル１３を実用上支障のないレベルで、円滑低振動で、精度の良い移動を行うことができる。
【００５７】
なお、第１の駆動手段と第２の駆動手段から等距離離間した１軸上に測定軸を設けたが、第１の駆動手段と第２の駆動手段との間の所定位置の１軸上に測定軸を設けてもよい。この場合、第１の駆動手段と第２の駆動手段に対して共通の駆動制御用補正データとせずに、測定軸の位置に応じた配分で第１の駆動手段と第２の駆動手段別々に駆動制御用補正データを算出することもできる。
【００５８】
なお、本実施の形態では、移動体としてＮＣ工作機械のテーブル、サドル、主軸頭で説明したが、ＮＣ工作機械に限らず通常の工作機械や測定機等に適用してもよく、また、コラム移動型の装置ではコラムの駆動に適用することができる。
【００５９】
また、第１の駆動手段及び第２の駆動手段をボールネジとサーボモータで説明したが、これに限らず、リニアモータであってもよく、またモータもサーボモータに限るものではない。
【００６０】
また、テーブル（移動体）１３の位置決め精度の測定にはレーザ測長装置を用い、レーザ測長装置も分離型レーザ干渉計を用いたが、分離型レーザ干渉計に限るものではなく、レーザ光源と干渉光学ユニットとが一体型のレーザ干渉計でもよく、更にレーザ測長装置に限らず、既知の種々の測定装置を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施の形態に係る駆動制御用補正データの取得方法を説明する斜視図
【図２】本発明の実施の形態に係る駆動制御用補正データの取得方法を説明するフローチャート
【図３】第２発明の実施形態を説明する斜視図
【符号の説明】
【００６２】
１２…ガイドレール、１３…テーブル（移動体）、１４、１５…ボールネジ、１６、１７…サーボモータ（モータ）、３０…レーザ測長装置、Ｍ１…第１の測定軸、Ｍ２…第２の測定軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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