(57)【要約】【課題】内装部品の周囲に該内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を、簡単な成形治具と少ない作業工数で安価に成形できる、モールド成形方法と、その方法により作製したステータコラムを備える真空ポンプを提供する。【解決手段】本モールド成形方法では、筒体としてのステータコラム４やその内装部品であるラジアル電磁石１０−２、ラジアル方向変位センサ１０−３、駆動モータの固定子１２−１よりも熱膨張率の大きい中子５１を用い、この中子５１をステータコラム４の内側に挿入セットした後、その熱膨張率の差により中子５１を拡張させた状態で、中子５１とステータコラム４との間に樹脂等のモールド材を充填し、該モールド材を硬化させるものとする。【選択図】図２
2006069148.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒体の内周側に設置した内装部品の周囲に、モールド部を成形するモールド成形方法であって、
上記筒体やその上記内装部品よりも熱膨張率の大きい中子を用い、該中子を上記筒体の内側に挿入セットした後、その熱膨張率の差により上記中子を拡張させた状態で、上記中子と上記筒体との間に樹脂等のモールド材を充填し、該モールド材を硬化させること
を特徴とするモールド成形方法。
【請求項２】
上記筒体は、その内側に真空ポンプの回転軸が挿入され、かつ、少なくとも該回転軸を支持する磁気軸受の構成部品および該回転軸を回転駆動するモータの構成部品を上記内装部品として備える、真空ポンプのステータコラムであること
を特徴とする請求項１に記載のモールド成形方法。
【請求項３】
上記請求項２に記載のモールド成形方法により作製されたステータコラムを備えることを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、筒体の内周側に設置した内装部品の周囲に、モールド部を成形するモールド成形方法に関し、特に、その内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を、簡単な成形治具と少ない工数で安価に成形できるようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、図１に示すような真空ポンプにおいては、ステータコラムの内周側に、内装部品として、真空ポンプの回転軸を支持するための電磁石や、その回転軸を回転駆動するためのモータの固定子等を設置している。そして、その内装部品の周囲には、上記のような各種内装部品の内側面、すなわち回転軸の外周面と対向する内装部品の面より少し引っ込んだ形態のモールド部が成形され、このモールド部により、電磁石のコイル部やモータの固定子のコイル部が保護されるとともに、電磁石やモータの固定子等が固定される構造となっている。
【０００３】
尚、上記のように各種内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を成形する必要性は、次の通りである。すなわち、例えば、内装部品の内側面と一致させてモールド部を成形すると、モータが高負荷状態で連続運転されて、その固定子のコイル部が発熱した場合に、その熱でモールド部が熱膨張しロータ軸に接触するといった事態が発生しうるため、これを未然に防止する必要がある。この点については本発明も同様である。
【０００４】
ところで、上記形態のモールド部を成形するモールド成形方法としては、例えば、特許文献１に記載の方法がある（同文献１の段落００１４〜００１５参照）。この特許文献１においては、上記のようなステータコラムを構成する筒体に相当する部品としてケーシング（符号１６）があり、このケーシングの内側にモータステータコア（符号４１）等の内装部品が設置され、その内装部品の周囲に上記形態のモールド部が成形される。このモールド部の成形方法は、特許文献１によると、ケーシングの内側に弾性体の中子を挿入し、その後、この中子の中空構造部分に空気等の流体を加圧・圧入して中子を拡張させ、この状態で中子とケーシングとの間に樹脂等のモールド材を充填し、この充填したモールド材の硬化後に、上記中子の中空構造部分を減圧することで中子を収縮させ抜き取るというものである。
【０００５】
しかし、特許文献１の成形方法によると、上記の通り、中子の拡張方式として、その中子を内側から流体で加圧し拡張させる方式を採っている。このため、加圧機器ないしは加圧設備等が必要となり、その設備費用等が発生する。また、加圧と減圧という工程が含まれるので、それだけ作業工数が多く、手間がかかり、成形コストが高くなる。さらに、この特許文献１の成形方法によると、モールド材の硬化の途中で中子に圧入されている流体がリークすると、その中子が収縮してしまい、上記形態のモールド部が得られなくなる。このため、中子に圧入された流体を確実に機密に保持する構造が必要になることから、成形治具自体が複雑かつ高価なものとならざるを得ない。
【０００６】
また、特許文献１のように中子の拡張方式とは別に、図６に示すように、スリーブとマンドレルを用いて中子を機械的に拡張する方式もある。この機械的な中子の拡張方式ではまず、同図に示すように真空ポンプのステータコラム４の内側に、弾性部材からなる筒状の中子５１を配置する。そして、この中子５１の内側にスリーブ５５を挿入し、さらに該スリーブ５５の両側にマンドレル５６−１、５６−２を挿入した上で、両側のマンドレル５６−１、５６−２を締結しているボルト５７を締める。そうすると、その両側のマンドレル５６−１、５６−２どうしが互いに接近する。このとき、スリーブ５５の内周テーパ部５８とこれに当接するマンドレル外周のテーパ部５９との相互作用により、スリーブ５５に形成されている縦割りのスリット（図示省略）が開き、これにより、当該スリーブ５５が径方向に拡張して中子５１を径方向に拡張させるというものである。
【０００７】
しかし、上記のような機械的な中子の拡張方法によると、スリーブ５５の挿入作業、マンドレル５６−１、５６−２の挿入作業等、多数の作業を行わなければならず、作業工数が多く、手間がかかり、成形コストが高くなる。また、精密に加工されたテーパ部を有するスリーブ５５やマンドレル５６−１、５６−２等のように、比較的多加工で精密な成形治具も必要となり、高価な成形治具を使用しなければならない。
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−２６８８６３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、内装部品の周囲に該内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を、簡単な成形治具と少ない作業工数で安価に成形できる、モールド成形方法と、その方法により作製したステータコラムを備える真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明に係るモールド成形方法は、筒体の内周側に設置した内装部品の周囲に、モールド部を成形するモールド成形方法であって、上記筒体やその上記内装部品よりも熱膨張率の大きい中子を用い、該中子を上記筒体の内側に挿入セットした後、その熱膨張率の差により上記中子を拡張させた状態で、上記中子と上記筒体との間に樹脂等のモールド材を充填し、該モールド材を硬化させることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係るモールド成形方法では、筒体やその内装部品よりも熱膨張率の大きい中子を用いている。このため、中子を筒体の内側に挿入セットした後、筒体やその内装部品とともに中子が加熱されると、それらの熱膨張率の差により、中子が全体的に径方向に拡張し、その中子の一部が内装部品の内側面に内接する。この際、中子全体のうち、内装部品と内接しない部分は、上記内接時の中子の径（内接径）よりも大きく膨らんで、内装部品間の隙間や内装部品内の隙間にくい込む。そして、このように中子がくい込んだ状態のまま、中子と筒体との間にモールド材が充填され、この充填されたモールド材が上記隙間に入り込んで硬化することにより、内装部品の周囲にモールド部が成形される。従って、このモールド部は、上記中子のくい込み深さ分だけ、内装部品の内側面より少し引っ込んだ位置に設けられるものとなる。
【００１２】
上記本発明に係るモールド成形方法は、例えば真空ポンプのステータコラムの製造に適用される。この場合、上記筒体は、その内側に真空ポンプの回転軸が挿入され、かつ、少なくとも該回転軸を支持する磁気軸受の構成部品および該回転軸を回転駆動するモータの構成部品を上記内装部品として備えるように構成され、そして、その内装部品、すなわち磁気軸受やモータの各構成部品の周囲に上記本発明による樹脂等のモールド部が成形される。
【００１３】
本発明に係る真空ポンプは、上記本発明によるモールド成形方法を適用して製造されたステータコラムを有するものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にあっては、中子を拡張させる方式として、筒体やその内装部品より熱膨張率の大きい中子を用い、その熱膨張率の差により中子を拡張させるという方式を採用した。このため、中子を内側から流体で加圧し拡張させる従来方式のように、加圧機器や加圧・減圧といった作業、並びに中子に圧入された流体を確実に機密に保持する構造を必要としない。また、スリーブとマンドレルを用いて中子を拡張させる従来方式のように、スリーブやマンドレルといった成形治具を必要とせず、スリーブやマンドレルの挿入作業も必要としないから、上記形態のモールド部、すなわち内装部品の周囲に該内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を、簡単な成形治具と少ない作業工数で安価に成形することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明によるモールド成形方法を適用して製造されたステータコラムを有する真空ポンプＰの断面図であり、先に、この真空ポンプＰの構造を詳細に説明し、次に、真空ポンプＰのステータコラムの製造方法について詳細に説明する。
【００１７】
図１の真空ポンプＰは、半導体製造装置や液晶ディスプレイパネル製造装置における真空装置の一部として使用され、真空チャンバ内の圧力を所定の真空度とするものである。また、同図の真空ポンプＰは、外装ケース１内に、ターボ分子ポンプＰｔとして機能する部位とネジポンプＰｓとして機能する部位とを有する複合ポンプである。
【００１８】
外装ケース１は、筒状のポンプケース１−１と有底筒状のポンプベース１−２とをその筒軸方向にボルトで一体に連結した有底円筒形のケース構造となっている。また、ポンプケース１−１の上端部側はガス吸気口２として開口し、ポンプベース１−２の下端部側面にはガス排気口３が開設されている。
【００１９】
ガス吸気口２は、ポンプケース１−１上縁のフランジに設けられている図示しないボルトを介し、たとえば半導体製造装置のプロセスチャンバ等、高真空となる真空容器（図示省略）側に接続される。また、ガス排気口３は図示しない補助ポンプ側に連通するように接続される。
【００２０】
ポンプケース１−１内の中央部には、各種電装品を内蔵するアルミ合金製のステータコラム４が設けられている。ステータコラム４は、後述する各種内装部品の設置ベース部品として円筒状に形成され、その筒の下端側がポンプベース１−２上にネジ止め固定されてポンプベース１−２上に立設される構造となっている。
【００２１】
上記ステータコラム４の内周側には回転軸５が挿入される。この回転軸５は、その軸上端がガス吸気口２の方向を向き、その軸下端がポンプベース１−２の方向を向くように配置されている。また、回転軸５の軸上端は、ステータコラム４の上端面から突出するように形成されている。
【００２２】
上記ステータコラム４の外周側にはロータ６が設けられる。このロータ６は、ステータコラム４の外周面を囲むような円筒状に形成され、かつ、回転軸５の上端部側に一体に取り付け固定されている。回転軸５へのロータ６の取り付け固定構造については各種考えられる。図１の真空ポンプＰでは、その構造例として、ロータ６の上端部内側にボス孔７付のフランジ８を一体に設けるとともに、回転軸５の軸上端外周に段部９を形成し、この段部９より上の回転軸５先端部分がフランジ８のボス孔７に嵌め込まれて、該フランジ８と段部９とがネジ止め固定される構造を採用している。従って、回転軸５が回転すると回転軸５と一体にロータ６も回転する。
【００２３】
上記のような回転軸５とロータ６からなる回転体は、ラジアル磁気軸受１０とアキシャル磁気軸受１１により軸方向と径方向が回転可能に支持され、この状態で回転軸５を中心として駆動モータ１２により回転駆動される。
【００２４】
駆動モータ１２は、固定子１２−１と回転子１２−２とからなる構造であって、回転軸５の略中央付近に設けられている。この駆動モータ１２の固定子１２−１は、上記ステータコラム４の内周側に設置され、また、同駆動モータ１２の回転子１２−２は、回転軸５の外周面側に一体に装着されている。
【００２５】
ラジアル磁気軸受１０は、駆動モータ１２の上下に１組ずつ配置され、アキシャル磁気軸受１１は回転軸５の下端部側に１組配置されている。
【００２６】
上下各段のラジアル磁気軸受１０は、それぞれの段ごとに、ラジアル電磁石ターゲット１０−１、複数のラジアル電磁石１０−２、ラジアル方向変位センサ１０−３を有している。ラジアル電磁石ターゲット１０−１は、高透磁率材料の鋼板を積層した積層鋼板から構成され、回転軸５の外周面に取り付け固定されている。ラジアル電磁石１０−２とラジアル方向変位センサ１０−３は、上記のように取り付けられたラジアル電磁石ターゲット１０−１と対向するように、ステータコラム４の内周側に取り付け固定されている。ラジアル電磁石１０−２は、ラジアル電磁石ターゲット１０−１を囲むように一定の間隔で複数配置され、かつ、ラジアル電磁石ターゲット１０−１を介して回転軸５をその径方向に磁力で吸引する。ラジアル方向変位センサ１０−３は回転軸５の径方向変位を検出するように構成されている。このような構造からなるラジアル磁気軸受１０においては、ラジアル方向変位センサ１０−３での検出値（回転軸の径方向変位）に基づきラジアル電磁石１０−２の励磁電流が制御され、これにより回転軸５とロータ６からなる回転体全体がその径方向の所定位置に磁力で浮上支持される。
【００２７】
駆動モータ１２を構成する固定子１２−１の周囲と、ラジアル磁気軸受１０を構成するラジアル電磁石１０−２やラジアル方向変位センサ１０−３の周囲には、樹脂等からなるモールド部１３が設けられており、このモールド部１３により、駆動モータ１２の固定子コイル、ラジアル電磁石１０−２の電磁石コイル、ラジアル方向変位センサ１０−３のセンサコイルが保護されている。
【００２８】
アキシャル磁気軸受１１は、回転軸５の下端部外周に取り付けられた円盤形状のアーマチュアディスク１１−１と、このアーマチュアディスク１１−１を挟んで対向する上下位置に配置されたアキシャル電磁石１１−２と、回転軸５の下端面から少し離れた位置に設置されたアキシャル方向変位センサ（図示省略）とを有している。アーマチュアディスク１１−１は透磁率の高い材料で構成され、上下のアキシャル電磁石１１−２はアーマチュアディスク１１−１をその上下方向から磁力で吸引するように構成され、アキシャル方向変位センサは回転軸５の軸方向変位を検出するように構成されている。そして、上記のような構造からなるアキシャル磁気軸受１１においては、アキシャル方向変位センサでの検出値（回転軸の軸方向変位）に基づき上下のアキシャル電磁石１１−２の励磁電流が制御され、これにより回転軸５とロータ６からなる回転体がその軸方向の所定位置に浮上支持される。
【００２９】
図１の真空ポンプにおいて、そのロータ６の略上半分はターボ分子ポンプＰｔとして機能する。以下、このターボ分子ポンプＰｔとして機能する部位を説明する。
【００３０】
ロータ６の上部外周面には回転翼１４が一体に複数設けられており、これらの回転翼１４は、ロータ６の回転中心若しくは外装ケース１の軸心（以下「ポンプ軸心」という。）を中心として放射状に並んでいる。一方、ポンプケース１−１の内周面側には固定翼１５が複数設けられており、これらの固定翼１５は、回転翼１４と同様、ポンプ軸心を中心として放射状に並んで配置されている。また、このような回転翼１４と固定翼１５はポンプ軸心に沿って交互に多段に配置されている。尚、固定翼１５はポンプケースの内周面側に多段に段積み設置されている上下段のスペーサ１６、１６間で挟持されることにより、所定の位置に位置決め固定されている。
【００３１】
上記いずれの回転翼１４も、ロータ２の外径加工部と一体的に切削加工で切り出し形成したブレード状の切削加工品であって、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。また、上記いずれの固定翼１５も、図５に示すように、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。
【００３２】
図１の真空ポンプの場合、上記のように配列設置された複数の回転翼１４と固定翼１５からなる翼構造の部分が、ロータ６の回転によりターボ分子ポンプとして機能する。すなわち、駆動モータ１２を作動させると、回転軸５、ロータ６、回転翼１４が一体に高速回転する。そして、高速回転する最上段の回転翼１４がガス吸気口２から入射した気体分子に下向き方向の運動量を付与し、この下向き方向の運動量を有する気体分子が固定翼１５によって次段の回転翼１４側へ送り込まれる。以上の気体分子への運動量の付与と送り込み動作が繰り返し多段に行われることにより、ガス吸気口２側の気体分子がネジポンプＰｓの上流側へ順次移行し排気される。
【００３３】
図１の真空ポンプＰにおいて、そのロータ６の略下半分はネジポンプＰｓとして機能する。以下このネジポンプＰｓとして機能する部位を説明する。
【００３４】
ロータ６の下部側は筒状のネジポンプステータ１８内に収容されている。ネジポンプステータ１８は、その内周部が下方に向けて小径化したテーパコーン形状に形成されて、ロータ６の下部外周を覆う構造となっている。また、同ネジポンプステータ１８はポンプケース１−１に嵌め込み固定されている。
【００３５】
図１の真空ポンプＰでは、上記のようなネジポンプステータ１８の内周面にネジ溝１９が形成され、このネジポンプステータ１８のネジ溝１９と対向しているロータ６の下部外周面は平滑な円筒面に形成されている。このネジポンプステータ１８とロータ６との間には微小なクリアランスが設けられている。
【００３６】
ネジ溝１９は、ネジポンプステータ１８の上端から下端にかけて螺旋状に刻設されている。そして、このネジ溝１９の上流端１９ａ（入口）側は、最下段の回転翼１４と固定翼１５との間の微小隙間に連通し、同ネジ溝１９の下流端１９ｂ（出口）側は、ガス排気口３側に連通するように構成されている。
【００３７】
図１の真空ポンプでは、上記のようなネジポンプステータ１８と、そのネジ溝１９に対向するロータ６の下部側外周面とからなる部分が、同ロータ６の回転によりネジポンプＰｓとして機能する。すなわち、前述したターボ分子ポンプの機能によりネジポンプＰｓの上流側、すなわちネジ溝１９の上流端１９ａ側に到達した気体分子は、ロータ６の回転とネジ溝１９との相互作用により、遷移流から粘性流に圧縮されてガス排気口３側へ移送され、かつ、該ガス排気口３から図示しない補助ポンプを通じて外部へ排気される。
【００３８】
次に、図２ないし図５に基づき、内装部品の周囲にモールド部を成形してなるステータコラムの製造方法を、その工程順に説明する。
【００３９】
まず、第１の工程では、図２に示すように、アルミ合金製のステータコラム４を治具ベース５０上にセットし、そのステータコラム４の内周面側に内装部品、すなわちラジアル電磁石１０−２、ラジアル方向変位センサ１０−３、駆動モータ１２の固定子１２−１等を設置し、更にその内側に円筒状の中子５１を挿入した後、これらを加熱炉に入れ、ステータコラム４やその内装部品とともに中子５１を加熱し、この状態で中子５１とステータコラム４との間に樹脂等のモールド材を充填する。
【００４０】
ここで、上記中子５１は、ステータコラム４やその内装部品より熱膨張率の大きい弾性部材、例えばシリコーンゴムまたはフッ素系ゴム等から構成される。このような熱膨張率の差により、加熱炉で加熱された上記中子５１は、全体的に径方向に拡張し、中子５１の一部が内装部品の内側面に内接する。この際、中子５１全体のうち、そのように内装部品と内接しない部分は、上記内接時の中子５１の径（内接径）よりも大きく膨らんで、内装部品間の隙間にくい込む。本実施形態においては、約３倍程度の熱膨張率の差を想定している。
【００４１】
図３は、ステータコラム４やその内装部品とともに中子５１が加熱されたときの状態の説明図であって、その（ａ）は図２中の矢印Ａ付近の説明図、（ｂ）は（ａ）中のＢ部拡大図であって、ラジアル電磁石１０−２とラジアル方向変位センサ１０−３という内装部品間の隙間に、中子５１がくい込んだ状態を示したものである。また、（ｃ）は（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図であって、ラジアル電磁石ターゲット１０−１を囲むように一定の間隔で複数配置されたラジアル電磁石１０−２間に、中子５１がくい込んだ状態を示したものである。
【００４２】
上記第１の工程におけるモールド材の充填は、この図３（ｂ）と（ｃ）のように熱膨張率の差で中子５１がくい込んだ状態となっているときに、その中子５１と内装部品との間の隙間にモールド材を充填するものである。図４は、そのように中子５１がくい込んだ状態のときにモールド材を充填した状態の説明図であって、その（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応するものである。
【００４３】
上記第１の工程において、治具ベース５０上でのステータコラム４のセット姿勢は、ステータコラム４の下端側、すなわち図１のようにポンプベース１−２上にネジ止め固定される側が上を向き、同ステータコラム４の上端側が治具ベース５０と対向するように下を向くようにする。
【００４４】
上記第１の工程において、ラジアル電磁石１０−２等の内装部品をステータコラム４内の定位置に設置する設置方法としては、例えば、内装部品を下から順番に積み上げて配置していく際に、その内装部品間にスペーサ（図示省略）を介在させ、該スペーサで各内装部品の設置高さを調整する方法があるが、これに限定されることはない。
【００４５】
上記中子５１は治具ベース５０上に倒立した状態で固定される。このように中子５１を固定する方式として、本実施形態では、図２に示すように中子５１と同じ長さの芯材５２を中子５１の内側に挿入し、この状態で中子５１と芯材５２の両上向き端面側に押え板５３を配置し、この押え板５３で中子５１を治具ベース５０側に押し付け固定する方式を採っている。尚、押え板５３の上から芯材５２の中央を貫通して治具ベース５０に達するボルト５４を締めると、押え板５３によって中子５１が治具ベース５０に押し付けられ、当該ボルト５４を緩めると押え板５３による中子５１の押し付け力が解除される。
【００４６】
第３の工程では、上記第２の工程で充填した樹脂等のモールド材を硬化させる。この硬化は上記加熱炉で行なわれる。加熱炉の温度は例えば１２０℃であり、この温度でモールド材は数時間かけて硬化する。この硬化の間、中子５１は、内装部品等との熱膨張率の差により、第１の工程と同様の状態、すなわち全体的に径方向に拡張し、中子５１の一部が内装部品の内側面に内接した状態となって、モールド材の漏洩を防止する。また、この硬化の間においても、その中子５１全体のうち、内装部品と内接しない部分は、内接径よりも大きく膨らんで、内装部品間の隙間や内装部品内の隙間にくい込んだ状態となる（図４参照）。そして、このように中子５１がくい込んだ状態のまま上記隙間内のモールド材が硬化してモールド部１３となる。このため、図５のように、ラジアル電磁石１０−２、ラジアル方向変位センサ１０−３等の内装部品の周囲に成形されるモールド部１３は、中子５１のくい込み深さの量だけ、それぞれの内装部品の内側面Ｓより少し引っ込んだ位置に成形されるようになる。
【００４７】
そして、モールド材の硬化後にステータコラム４から中子５１を取り出せば、内装部品の周囲にモールド部１３を有するステータコラム４が得られる。中子５１は、冷えると収縮し、上記のようなくい込みはなくなるので、ステータコラム４からの中子５１の取り出しは容易である。
【００４８】
上記実施形態の製造方法は、中子５１を拡張させる方式として、ステータコラム４やその内装部品より熱膨張率の大きい中子５１を用い、その熱膨張率の差により中子５１を拡張させる方式を採用したものである。このため、本実施形態の製造方法によると、この種の中子を内側から流体で加圧し拡張させる従来方式のように、加圧機器や加圧・減圧といった作業、並びに中子に圧入された流体を確実に機密に保持する構造を必要としない。また、スリーブとマンドレルを用いて中子を拡張させる従来方式のように、スリーブやマンドレルといった成形治具を必要とせず、スリーブやマンドレルの挿入作業も必要としないから、上記形態のモールド部、すなわち内装部品の周囲に該内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部３１を、簡単な成形治具と少ない作業工数で安価に成形することができる。
【００４９】
上記実施形態では、本発明を適用して真空ポンプのステータコラムを製造する例について説明したが、本発明は、これに限定されることはなく、広く一般に、筒体の内周側に設置した内装部品の周囲にモールド部が成形される構造において、そのモールド部を成形する際のモールド成形方法として、本発明を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】真空ポンプの断面図。
【図２】本発明に係るモールド成形方法を適用して真空ポンプのステータコラムを作製する際の工程において、ステータコラムやその内装部品とともに中子が加熱される前の状態の説明図。
【図３】図３は、ステータコラムやその内装部品とともに中子が加熱されたときの状態の説明図であって、（ａ）は図１中の矢印Ａ付近の説明図、（ｂ）は（ａ）中のＢ部拡大図、（ｃ）は（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図４】図４は、図３のように中子がくい込んだ状態のときにモール材を充填した状態の説明図であって、その（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応するものである。
【図５】図５は、図４のように充填したモールド材が硬化してモールド部となった状態の説明図であって、その（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図４の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応するものである。
【図６】スリーブとマンドレルを用いて中子を機械的に拡張する従来方式の説明図。
【符号の説明】
【００５１】
１  外装ケース
１−１  ポンプケース
１−２  ポンプベース
２  ガス吸気口
３  ガス排気口
４  ステータコラム
５  回転軸
６  ロータ
７  ボス孔
８  フランジ
９  段部
１０  ラジアル磁気軸受
１０−１  ラジアル電磁石ターゲット
１０−２  ラジアル電磁石
１０−３  ラジアル方向変位センサ
１１  アキシャル磁気軸受
１１−１  アーマチュアディスク
１１−２  アキシャル電磁石
１２  駆動モータ
１２−１  固定子
１２−２  回転子
１３  モールド部
１４  回転翼
１５  固定翼
１６  スペーサ
１８  ネジポンプステータ
１９  ネジ溝
５０  治具ベース
５１  中子
５２  芯材
５３  押え板
５４  ボルト
５５  スリーブ
５６−１、５６−２  マンドレル
５７  ボルト
５８  スリーブ内周のテーパ部
５９  マンドレル外周のテーパ部
Ｐ  真空ポンプ
Ｐｔ  ターボ分子ポンプ
Ｐｓ  ネジポンプ
Ｓ  内装部品の内側面
【図１】
2006069148.tif 000003
【図２】
2006069148.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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