(57)【要約】【課題】  サーバを用い、顧客からのマスクの回収依頼を受け付け、出庫や回収作業、回収確認作業、顧客への閲覧などの一連の回収作業を確実に実施する。【解決手段】  サーバ１は、顧客端末５からネットワークを介して品種終息に係るマスク６の回収依頼を受けてストッカ２に該マスク６の出庫指示と、回収手段３に該マスク６の回収指示と、回収確認手段４からの回収確認情報を該顧客端末５に公開するものであり、ストッカ２は、該マスク６を貯蔵しているものであり、回収手段３は、該マスク６に描かれたマスクパターンを読取不能に破壊して回収するものであり、回収確認手段４は、該のマスク６が、顧客が確認可能に破壊され回収されたことを認証するものであるようにマスクの回収システムを構成する。【選択図】図１
2006293284.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーバとストッカと回収手段と回収確認手段とを有し、
該サーバは、端末からネットワークを介してマスクの回収依頼を受けて該ストッカに該マスクの出庫指示と、該回収手段に該マスクの回収指示と、該回収確認手段からの回収確認情報を該端末に公開するものであり、
該ストッカは、該マスクを保管しているものであり、
該回収手段は、該マスクに描かれたマスクパターンを読取不能に破壊するものであり、
該回収認証手段は、該マスクが、破壊され回収されたことを認証するものである
ことを特徴とするマスクの回収システム。
【請求項２】
該サーバが、ネットワークを介して結ばれた第一のサーバと第二のサーバと第三のサーバとからなり、
該第一のサーバは、ネットワークを介してマスクの回収依頼を受け付けるものであり、
該第二のサーバは、該第一のサーバから該回収依頼の情報を受けて、該ストッカに該マスクの出庫と回収手段に該マスクの破壊とを指示するとともに、該第三のサーバに該回収依頼の情報を送るものであり、
該第三のサーバは、該回収手段から回収完了の情報を受けて回収実績通知を該第二のサーバに送るものであり、
該第二のサーバは、入力された該回収実績通知を該端末から閲覧可能に格納するものであり、
該第一のサーバは、該端末からアクセスがあれば、該第二のサーバに格納された該回収実績通知を該端末に公開するものである
ことを特徴とする請求項１記載のマスクの回収システム。
【請求項３】
該サーバが、ネットワークを介して結ばれた第一のサーバと第二のサーバとからなり、
該第一のサーバは、端末からネットワークを介してマスクの回収依頼を受け付けるものであり、
該第二のサーバは、第一のサーバから該回収依頼の情報を受けて、該ストッカに該マスクの出庫と回収手段に該マスクの回収とを指示するものであり、
該ストッカは、該マスクを該回収手段に出庫するものであり、
該回収手段は、該マスクに描かれたマスクパターンを読取不能に破壊してから該回収認証手段に送るものであり、
該回収認証手段は、該マスクが回収されたことを認証して回収実績通知を該第二のサーバに送るものである
ことを特徴とする請求項１記載のマスクの回収システム。
【請求項４】
請求項１記載のマスクの回収システムを用いて、該マスクの回収を行う
ことを特徴とするマスクの回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造に際して用いる露光用のフォトマスク（以下、マスクという）の管理に係わり、特にセキュリティ管理が厳格な自社用のマスクおよび受託ビジネスにおいて使用されるマスクの安全な回収方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置に実装される半導体チップの製造工程において、ウェーハプロセスの露光工程において用いられるマスクには、そのマスクを使用して露光作業を行う半導体製造工場の現場のほかに、マスクを設計したりマスクを発注したりする複数の部門が関わっている。つまり、マスクは自社で設計するが、マスクの製造は社外のマスク製造会社に外注することが一般的に行われている。
【０００３】
ところで、マスクを用いて半導体チップを製造する現場では、半導体装置の製造に関わる露光用のマスクをレチクルと呼び、半導体装置の一つの品種に数十枚のレチクルをセットにして取り扱われる。レチクルは層ごとに改版が行われたものなどをいろいろに組み合わせて使用する。従って、レチクルの管理は非常に重要であり、活きて使用している版のレチクルと廃版になったレチクルとを慎重に管理するための提案もなされている（特許文献１参照）。
【０００４】
ところで、半導体装置の製造に用いるマスクは、企業機密が詰まった著作権物の一種と認識されている。そのため、近年、半導体装置のセキュリティ強化に伴い、マスクを製造現場でどのように管理するかがますます重要になっている。
【０００５】
さらに加えて、品種終息となった半導体装置のマスクを回収してマスクパターンを剥離するなどの破壊を行って廃版することについては、マスクを一葉ごとに確実に回収が実施されたことを証明することがセキュリティ上必要になってきている。
【０００６】
従来、顧客に対して、マスクの回収を確実に行ったことを実証する処理方法としては、主に以下の四つの方法が行われていた。つまり、
（１）マスクを機械的に破砕し、カメラで撮影して画像データ化して顧客に送付する。
（２）マスクの現物を顧客に返却する。
（３）顧客立ち会いの下で、マスクを破砕する。
（４）顧客立ち会いの下で、デバイスパターンの剥離処理を行ってベアガラス基板に戻す。
【０００７】
このように、セキュリティ管理が厳格なマスクについては、従来の回収処理方法を検証してみると幾つかの課題がある。
【特許文献１】特開２００４−７００２６号公報（〔特許請求の範囲〕および〔発明の詳細な説明〕参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
つまり、従来の回収方法の（１）の場合には、破損したマスクの画像データから、マスクを確実に破損したことを証明することは困難である。特に、セキュリティ管理が厳格なマスクでは、顧客ビジネス保護のためにも確実な廃棄が必要である。また、破損後はＣｒ膜などが付着されたままの廃棄となり、環境上の問題もある。
【０００９】
次いで、従来の回収方法の（２）については、特に海外の顧客の場合には、外国為替および外国貿易法の規定から、各種書類を用意する必要があり、返却までに多大の工数を要する。また、返却されたマスクは、顧客側が受け取り後に廃棄などの処置をする必要があり手間隙が掛かる不具合がある。
【００１０】
次いで、従来の回収方法の（３）と（４）については、顧客が回収処理をする度に現場に立ち会うために、時間的にも経費的にも負担が重い不具合を生じる。
【００１１】
一方、半導体装置の製造会社は多量のマスクを保有しており、品種終息のマスクを保管することは、保管場所や保管管理に要する工数や費用に無駄を生じていた。
【００１２】
そこで、本発明は、人手を煩わせずサーバを用いて、顧客端末からのマスクの回収依頼の受付、ストッカからの出庫と回収手段による回収作業の指示、回収確認手段による回収実績の確認と登録、顧客による確認のための閲覧などの一連の回収作業を確実に実施する回収システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上で述べた課題は、サーバとストッカと回収手段と回収確認手段とを有し、該サーバは、端末からネットワークを介してマスクの回収依頼を受けて該ストッカに該マスクの出庫指示と、該回収手段に該マスクの回収指示と、該回収確認手段からの回収確認情報を該端末に公開するものであり、該ストッカは、該マスクを保管しているものであり、該回収手段は、該マスクに描かれたマスクパターンを読取不能に破壊するものであり、該回収認証手段は、該マスクが、破壊され回収されたことを認証するものであるように構成されたマスクの回収システムによって解決される。
【００１４】
つまり、品種終息に係るマスクの回収依頼を顧客端末からのネットワークを介してサーバで受け付けるようにしている。そして、サーバからは、ストッカに対してはマスクの出庫の指示と、回収手段に対して当該マスクの破壊指示とを出力するようにしている。回収手段は、当該マスクを読取不能に破壊するものであり、回収認証手段は、映像データなどとして回収が完了した回収完了情報をサーバに戻し、顧客が閲覧したとき確認可能に認証するようにしている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、顧客がネットワークを介して、例えば、不要と判断または品種終息するマスクの回収依頼と、確実に回収された確認とを行うことができる。また、顧客からの回収依頼は、ネットワークを介して結ばれたサーバによって、ストッカや回収手段に順次指示され、確実に回収されたことを回収確認手段によって確認して登録され、顧客が閲覧できる。
【００１６】
従って、マスクの回収作業に人の移動や時間の消費が抑えられ、回収作業の確実性と効率化に対して大きな効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は本発明の回収システムの第一の実施例の模式図、図２は本発明の回収システムの第二の実施例の模式図、図３は本発明の回収システムの第三の実施例の模式図、図４は本発明の回収システムの第四の実施例の模式図、図５は本発明の回収システムの第五の実施例の模式図である。
【００１８】
図中、１はサーバ、１１は第一のサーバ、１２は第二のサーバ、１３は第三のサーバ、２はストッカ、３は回収手段、３１は回収装置、４は回収確認手段、４１は回収確認装置、５は顧客端末、６はマスク、６１はベアガラス基板、７は半導体装置の製造会社、７１はマスクの製造会社、７２はマスクの回収会社、７３はマスクの基板会社、８１〜９５は矢印である。
【００１９】
なお、図の中の矢印８１〜９５は、構成要素から構成要素への指示などの情報、画像や数値などのデジタル化されたデータ、具体的なもの、の流れとその方向を模式的に示したものである。
【００２０】
本発明の第一のサーバ１１、第二のサーバ１２及び第三のサーバ１３を構成するハードウェアとしては、ＣＰＵと、ＲＯＭと、ＲＡＭと、ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）と、ＨＤ（ハードディスク）と、ＦＤＤ（フレキシブルディスクドライブ）と、着脱可能な記録媒体の一例としてのＦＤ（フレキシブルディスク）と、ディスプレイと、Ｉ／Ｆ（インタフェース）と、キーボードと、マウスとを備えている。また、各構成部はバスによってそれぞれ接続されている。
第一のサーバ１１、第二のサーバ１２及び第三のサーバ１３のＣＰＵは、それぞれサーバの制御を司る。ＲＯＭは、ブートプログラムなどのプログラムを記憶している。ＲＡＭは、ＣＰＵのワークエリアとして使用される。ＨＤＤは、ＣＰＵの制御にしたがってＨＤに対するデータのリード／ライトを制御する。ＨＤは、ＨＤＤの制御で書き込まれたデータを記憶する。ＦＤＤは、ＣＰＵの制御にしたがってＦＤに対するデータのリード／ライトを制御する。ＦＤは、ＦＤＤの制御で書き込まれたデータを記憶したり、ＦＤに記録されたデータを情報処理装置へ読み取らせたりする。着脱可能な記録媒体として、ＦＤのほか、ＣＤ−ＲＯＭ（ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ）、ＭＯ、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）、メモリーカードなどであってもよい。ディスプレイは、カーソル、アイコンあるいはツールボックスをはじめ、文書、画像、機能情報などのデータに関するウインドウ（ブラウザ）を表示する。たとえば、ＣＲＴ、ＴＦＴ液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイなどである。そして、上記ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤ、ＦＤなどに格納されたマスク回収管理プログラムをＣＰＵが実行することによってその機能を実現する。
【００２１】
また、各種マスク管理データベース１２０、剥離作業データベース１３０に格納される各種データおよびデータテーブルの一部は、ワークエリア的な目的で使用されるＲＡＭに必要に応じて生成消去されることもある。
【００２２】
Ｉ／Ｆ（インタフェース）は、通信回線を通じてＬＡＮやインターネットなどのネットワークに接続され、ネットワークを介して、他の情報処理装置（サーバなど）に接続される。
【００２３】
そして、Ｉ／Ｆは、ネットワークと内部とのインタフェースを司り、他のサーバや情報端末装置からのデータの入出力を制御する。Ｉ／Ｆは、たとえばモデムなどである。また、情報提供装置が携帯電話機などと無線通信をおこなう場合には、Ｉ／Ｆが通信機（無線送受信機）としての機能も備える。
【００２４】
キーボードは、文字、数字、各種指示などの入力のためのキーを備え、データの入力をおこなう。タッチパネル式の入力パッドなどであってもよい。マウスは、カーソルの移動や範囲選択、あるいはウインドウの移動やサイズの変更などをおこなう。ポインティングデバイスとして同様の機能を備えるものであれば、トラックボール、ジョイスティックなどであってもよい。
〔第一の実施の形態〕
図１において、サーバ１には３台のサーバをネットワークを介して結んで用いており、第一のサーバ１１と第二のサーバ１２は、会社Ａに配置しており、第三のサーバ１３はＢ社に配置されている。ここで示した例では、Ａ社は半導体装置の製造会社７であり、Ｂ社はマスクの製造会社７１であり、回収手段３や回収確認手段４も備わっている。
【００２５】
顧客が顧客端末５からＡ社の第一のサーバ１１にアクセスし、マスク６の回収依頼を行うと矢印８１に沿って第二のサーバ１２に送られて登録される。そして、第二のサーバ１２から矢印８２に沿って関係者とストッカ２、および矢印８３に沿ってＢ社に配置された第三のサーバ１３に回収依頼があったことを通知する。ストッカ２では指示されたマスク６の出庫処理行い、現物を出庫して矢印８４に沿ってＢ社に送付する。
【００２６】
マスク６を受け取ったＢ社では、回収手段３によって回収作業を行う。この回収にはマスク６を機械的に破砕する方法もあるが、一般的な回収手段３はマスク上のＣｒパターンやエマルジョンパターンを基板から剥離して読み取り不能にするもので、例えば、薬剤によって剥離を行う回収装置３１を用いる。
【００２７】
次いで、マスク６の剥離回収が終わると、確実に回収したことが確認できるように、回収確認手段４によって確認処理を行う。一般的には、例えば、ビデオカメラなどの回収確認装置４１によって行う。撮影した映像は、矢印８５を経由してデジタルデータ化されて第三のサーバ１３に登録される。
【００２８】
第三のサーバ１３では、回収確認手段４から登録された回収処理の確認情報を回収実績情報として矢印８６に沿ってＡ社の第二のサーバ１２に通知する。第二のサーバ１２は通知を受けた回収実績情報を顧客が閲覧できるように登録するとともに、矢印８７に沿って顧客端末５に回収完了のメール通知をする。顧客は第一のサーバ１１にアクセスすれば、第二のサーバ１２に登録されている回収実績情報を顧客端末５から適宜できる。
【００２９】
この第一の実施例の工程によれば、顧客は半導体装置の製造会社７であるＡ社の第一のサーバ１１に顧客端末５から回収依頼を入力するのみで、それ以外に手を煩わせることはない利便性がある。
【００３０】
しかも、Ａ社においても、第一のサーバ１１から第二のサーバ１２を介してマスクの製造会社７１であるＢ社に回収依頼を通知するとともに、顧客から回収依頼のあったマスク６を送付すれば、確実に回収した実績を第二のサーバ１２に回収実績情報として入手できる。
【００３１】
以下に詳細に説明する。
【００３２】
半導体装置の製造会社７であるＡ社の第二のサーバ１２は、マスク管理データベース１２０を有する。マスク管理データベース１２０は、マスク６に関する情報、及びマスク６の回収状況を管理するものである。
【００３３】
図６に第一の実施例のサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図を示す。
【００３４】
マスク管理データベース１２０は、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、関係者連絡先１２０５、回収依頼有無１２０６、回収可否１２０７、顧客連絡先１２０８、ストッカアドレス１２０９、画像ファイル名１２１０、回収日１２１１から構成される。
【００３５】
製品名１２０１は、半導体の製品を識別するためのものである。識別可能であれば番号でもよい。版数１２０２は、半導体製品あるいはマスク６の版数１２０２である。
【００３６】
フォトマスク名１２０３は、マスク６を識別するための名前である。一つの半導体は複数のマスク６から製造される場合があり、複数のマスク６について複数分データベースで管理される。マスクロット番号１２０４は、マスク６毎に付された番号である。
【００３７】
関係者連絡先１２０５は、マスク管理データベース１２０の現在のデータレコードに対応する半導体製造の管理をする者の連絡先である。関係者とは、例えば半導体製造会社社内の該マスク６に対応する半導体製造の担当者である。連絡先とは、メールアドレス、電話番号、ＦＡＸ番号等である。また、関係者は、部門、複数人である場合もある。なお、従業員管理のサーバと連携をさせる方式も可能である。
【００３８】
回収依頼有無１２０６は、顧客からのマスク６の回収依頼があった場合に回収依頼有となる情報である。
【００３９】
回収可否１２０７は、対象のマスク６に対応する関係者が、顧客からの回収依頼があった場合に回収の可否を判断し、登録する情報である。この情報に基づき、マスク６回収の可否を決定する。顧客が誤って指示した場合の対策のためである。
【００４０】
顧客連絡先１２０８は、対象の半導体製品製造の依頼をした顧客の連絡先を登録したものである。例えば、顧客会社名、顧客メールアドレス、顧客ＦＡＸ番号、顧客電話番号等である。顧客端末５に対する連絡を含む。なお、顧客管理のデータベースを別に有しており、顧客識別子に対応させて、顧客管理データベースにアクセスする方式も可能である。
【００４１】
ストッカアドレス１２０９は、マスク６が保管されているストッカ２のアドレスを記憶したものである。マスク６納入時等にストッカアドレス１２０９が決定され、マスク管理データベース１２０に登録される。なお、複数のストッカ２がある場合は、各ストッカ２毎に識別するアドレスも要する。
【００４２】
画像ファイル名１２１０は、マスク６の剥離処理が完了した後で、剥離されたマスク６の画像がマスク管理データベース１２０に登録されるが、該画像ファイルのファイル名である。
【００４３】
回収日１２１１は、B社にて剥離処理が完了した日である。
【００４４】
次にマスクの回収処理が始まるまでのマスク管理データベースの登録状態を説明する。
【００４５】
顧客から新規半導体の製造依頼があった場合、Ａ社がマスク６を納入した時点で、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、関係者連絡先１２０５、顧客連絡先１２０８、ストッカアドレス１２０９がサーバ１２のマスク管理データベース１２０に登録される。
【００４６】
図６（ａ）にマスク管理データベース１２０に登録された状態を示す。
【００４７】
その後、顧客から回収依頼がなされるまで、A社は、従来と同様に製造等を行う。
【００４８】
次に、マスク６回収処理の流れを説明する。
【００４９】
図７に第一、第三、第四、第五の実施例におけるサーバ１２のフローチャートを示す。
【００５０】
本フローチャートは、Ａ社が顧客からマスク６の回収依頼を受けてから、Ｂ社にマスク６を送付するまでの処理を示す。
【００５１】
まず、顧客が回収したいマスク６が発生した場合、顧客は、顧客ＩＤ、パスワード等を顧客端末５に入力して、Ａ社の外部関係者用サーバであるサーバ１１が有するマスク回収受付システムにログインする。マスク回収受付システムは、マスク６の回収依頼を受付けるとともに、顧客がマスク６の画像データの閲覧をマスク６の回収完了後に依頼した場合には、その画像データを表示するものである。顧客は、顧客が回収したいマスク６に対応する半導体の製品名１２０１、版数１２０２を顧客端末５に入力して、サーバ１１に対して回収依頼を送信する。
【００５２】
サーバ１１は、半導体の製品名１２０１、版数１２０２を含む回収依頼を顧客から受信すると内部関係者用サーバ１２に対して、製品名１２０１、版数１２０２を送信する。
【００５３】
サーバ１２では、マスク管理データベース１２０に製品名１２０１、版数１２０２が該当するデータレコードがあるか否かを判断し、データレコードに存在しない場合には、サーバ１１に対して存在しない旨の情報を返信し、再度の入力を求める。
【００５４】
この際、サーバ１１のマスク回収受付システムにログインした時点で、顧客を識別し、顧客情報が合致する半導体の製品名１２０１、版数１２０２をサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０のデータレコードを検索し、顧客端末５の画面にリスト表示することも可能である。この場合では、顧客が、画面にリスト表示された半導体製品の中から選択するような表示とすることも可能である。
【００５５】
一方、サーバ１２は、マスク管理データベース１２０にサーバ１１から受信した製品名１２０１、版数１２０２が合致するデータレコードが存在すると判断した場合は、サーバ１１から製品名１２０１、版数１２０２を含む回収依頼として受信する（Ｓ１０１）。
【００５６】
回収依頼を受信すると、マスク管理データベース１２０の回収依頼有無１２０６を回収依頼「有」と登録する（Ｓ１０２）。
【００５７】
図６（ｂ）にマスク管理データベース１２０の回収依頼有無１２０６に回収依頼「有」と登録された状態を示す。
【００５８】
次に、サーバ１２は、現在のデータレコードに基づき、Ａ社内の関係者連絡先１２０５、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４を検索し、関係者連絡先１２０５にフォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４と回収依頼があった旨の情報を送信する（Ｓ１０３）。
【００５９】
Ｓ１０３の通知を受けた関係者は、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４に基づきマスクの回収の可否を判定し、マスク管理データベース１２０の回収可否１２０７確認情報としてサーバ１２へ送信する。サーバ１２は、Ｓ１０３の関係者から受信した（Ｓ１０４）回収可否１２０７確認情報に基づき、マスク６回収の可否を判定する（Ｓ１０５）。
【００６０】
図６（ｃ）にマスク管理データベース１２０の回収可否１２０７が登録された状態を示す。
【００６１】
関係者から受信したマスク６回収の回収可否１２０７確認情報が「不可」だった場合（Ｓ１０５：Ｎｏ）には、製品名１２０１、版数１２０２を含む回収不可情報を顧客連絡先１２０８に通知する（Ｓ１０６）。一方、関係者から受信したマスク６回収の回収可否１２０７確認情報が「可」だった場合（Ｓ１０５：Ｙｅｓ）には、マスク６回収依頼に関する事前連絡としてＢ社のサーバ１３にフォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４を通知する（Ｓ１０７）。
【００６２】
サーバ１２は、フォトマスク名１２０３の回収の為の出庫依頼をストッカ２に対して通知する。出庫依頼は、マスク管理データベース１２０のデータレコードのストッカアドレス１２０９を通知する（Ｓ１０８）。ストッカ２は、出庫指示を受領するとストッカアドレス１２０９に該当するマスク６をストッカ２から取出し作業を行う。
【００６３】
取り出されたマスク６は、Ｂ社に送付される。
【００６４】
次に、マスク６の製造会社７１であるＢ社でのマスク６回収処理に関する処理を説明する。
【００６５】
図８に第一、第二、第四、第五の実施例におけるサーバ１３のフローチャートを示す。これは、第一の実施例におけるＢ社におけるマスク６回収処理に関するものである。
【００６６】
Ｂ社のサーバ１３は、Ｓ１０６でサーバ１２から通知されたフォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４を受領すると（Ｓ２０１）、サーバ１３の剥離作業データベース１３０に新規登録する（Ｓ２０２）。
【００６７】
図１８に第一の実施例のサーバ１３が有する剥離作業データベース１３０の構成例を示す。
【００６８】
剥離作業データベース１３０は、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４を基準として、画像ファイル名１２１０、回収日１２１１とがデータレコードとして構成される。
【００６９】
Ｂ社のマスク６に関する剥離作業者は、Ａ社から送付されたマスク６を受領すると回収手段３である回収装置３１によりマスクの剥離処理を行う。その際、回収確認手段４である回収確認装置４１により剥離処理時の画像データを取得する。
【００７０】
Ｂ社では、Ａ社から送付されたマスク６を受領後、剥離担当者が回収手段３の回収装置３１により剥離処理を行う。剥離担当者はその剥離処理と同時に回収確認手段４の回収確認装置４１により剥離されたマスク６を撮影し、そのマスク６の剥離画像データをフォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、画像ファイル名１２１０、回収日１２１１とを関連付け剥離作業データベースに登録する（Ｓ２０３）。
【００７１】
サーバ１３は、登録されたフォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、画像ファイル名１２１０、回収日１２１１及び剥離画像ファイルを回収完了の通知としてサーバ１２へ送信する（Ｓ２０４）。
【００７２】
次に、Ａ社での剥離画像登録処理の続きについて説明する。
【００７３】
図９は、第一、第三の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）を示す。B社から回収完了の通知があった後のＡ社での剥離画像登録処理のフローチャートである。
【００７４】
サーバ１２は、サーバ１３からフォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、画像ファイル名１２１０、回収日１２１１及び剥離画像ファイルを受信すると、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４に対応するマスク管理データベース１２０のレコードに対して、画像ファイル名１２１０、回収日１２１１を登録し、剥離画像ファイルはデータ保存する（Ｓ３０１）。
【００７５】
図６（ｄ）にマスク管理データベース１２０の画像ファイル名１２１０及び回収日１２１１が登録された状態を示す。
【００７６】
サーバ１２は、回収依頼があった製品名１２０１、版数１２０２等が合致する全てのマスク６について、回収完了登録されたか、すなわち、製品名１２０１、版数１２０２等が合致する全てのデータレコードについて画像ファイル名１２１０及び回収日１２１１がマスク管理データベース１２０に登録されたか否かを判定する（Ｓ３０２）。
【００７７】
全ての回収が完了していない場合（Ｓ３０２：Ｎｏ）、全てのマスク６についての回収完了が登録されるまで待つ。一方、全ての回収が完了した場合（Ｓ３０２：Ｙｅｓ）、製品名１２０１、版数１２０２、回収日１２１１及び剥離処理完了の旨を顧客連絡先１２０８に通知する（Ｓ３０３）。
【００７８】
また、Ｓ３０２については、マスク６の回収作業が一枚完了する毎に顧客に通知する方式も可能である。Ｓ３０３の処理は、サーバ１２が直接顧客端末５に送信する方式も可能であるし、サーバ１１を介して顧客端末５に送信する方式も可能である。
【００７９】
以上の処理により、Ａ社は、剥離処理結果を容易に管理することが可能となると共に顧客に自動通知することが可能となる。
【００８０】
顧客は、剥離されたマスク６の剥離画像を確認したい場合は、顧客端末５によりサーバ１１のマスク６回収受付システムにログインし、製品名１２０１、版数１２０２及び画像閲覧依頼を入力する。
【００８１】
サーバ１２は、サーバ１１から製品名１２０１、版数１２０２、画像閲覧依頼を受信すると、マスク管理データベース１２０から製品名１２０１、版数１２０２該当するデータレコードを抽出し、データレコードの画像ファイル名１２１０を読み込み、画像ファイル名１２１０と対応する画像ファイルをサーバ１１に送信する。
〔第二の実施の形態〕
図２において、サーバには２台のサーバをネットワークを介して結んで用いており、第一のサーバ１１と第二のサーバ１２はＡ社に配置され、Ａ社には回収確認手段４も配置している。Ｂ社は回収手段３を備えている。つまり、ここで示した例では、Ａ社は半導体装置の製造会社７であり、Ｂ社はマスクの回収会社７２である。
【００８２】
顧客が顧客端末５からＡ社の第一のサーバ１１にアクセスし、品種終息するマスク６の回収依頼を行うと第二のサーバ１２に登録される。その際、顧客が任意に指定した文字も一緒に登録する。ストッカ２では、指示されたマスク６の出庫処理行う。マスク６は、回収確認手段４によって、顧客に指定された文字をマスクＩＤの近傍に、例えば、レーザ刻印する。そして、一つの画像内に収まるように、例えば、ビデオカメラなどの回収確認装置４１によって撮影をしてから矢印８４に沿ってＢ社に送付する。
【００８３】
マスク６を受け取ったＢ社では、回収手段３によって回収作業を行う。この回収にはマスク６を機械的に破砕する方法もあるが、一般的な回収手段３はマスク上のＣｒパターンやエマルジョンパターンを基板から剥離して読み取り不能にするもので、薬剤によって剥離を行う回収装置３１を用いる。Ｂ社では、マスク６の剥離回収が終わると、ベアガラス基板６１を矢印８８に沿ってＡ社に送付する。
【００８４】
ベアガラス基板６１を受け取ったＡ社では、確実に回収したことを確認できるように、再度回収確認手段４によって確認処理を行う。一般的には、例えば、ビデオカメラなどの回収確認装置４１によって行い、顧客からの指定文字と同一画像内で撮影した画像は矢印８９に沿ってデジタルデータ化されて第二のサーバ１２に登録される。
【００８５】
顧客は、顧客端末５によって第一のサーバ１１をアクセスすれば、第二のサーバ１２に登録されている指定文字が刻印された画像、つまり、回収されたベアガラス基板６１と元のマスク６との画像を照合することによって回収処理が確実に実行されたことが確認できる。
【００８６】
サーバ１２は、マスク管理データベース１２０を有する。
【００８７】
図１０に、第二の実施例のサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図を示す。
【００８８】
マスク管理データベース１２０は、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、関係者連絡先１２０５、回収依頼有無１２０６、回収可否１２０７、顧客連絡先１２０８、ストッカアドレス１２０９、剥離前画像ファイル名１２１２、剥離後画像ファイル名１２１３、任意文字１２１４、回収日１２１１から構成される。
【００８９】
マスク管理データベース１２０を構成する項目の内、第一の実施例と同じ項目名については、同じ機能であるため、説明を省略する。
【００９０】
第二の実施例のマスク管理データベース１２０は、剥離前画像ファイル名１２１２、剥離後画像ファイル名１２１３、任意文字１２１４、とが第一の実施例のマスク管理データベース１２０と異なる。
【００９１】
剥離前画像ファイル名１２１２は、剥離前のマスク６画像を記録した画像データファイルのファイル名である。剥離前のマスク６にＣＯ２レーザにより任意文字１２１４が刻印され、マスク６に刻印された任意文字１２１４が認識可能となるようにマスク６を撮影し、画像データ化されたものである。
【００９２】
剥離後画像ファイル名１２１３は、剥離後のマスク６画像を記録した画像データファイルである。マスク６の剥離前画像と同じレイアウトとなるように撮影されたものである。
【００９３】
任意文字１２１４は、顧客が、回収依頼時に入力する任意の文字列である。文字に限定されず図形でも可能だが、本実施例では文字列とする。なお、マスク一枚ごとに異なる文字列とすることも可能である。
【００９４】
次にマスクの回収処理が始まるまでのマスク管理データベース１２０の登録状態を説明する。
【００９５】
顧客から新規半導体の製造依頼があった場合、Ａ社がマスク６を納入すると、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、関係者連絡先１２０５、顧客連絡先１２０８、ストッカアドレス１２０９がサーバ１１のマスク管理データベース１２０に登録される。
【００９６】
図１０（ａ）にマスク管理データベース１２０に登録された状態を示す。
【００９７】
顧客から回収依頼がなされるまで、Ａ社は、従来と同様に製造等を行う。
【００９８】
次に、マスク６回収処理の流れを説明する。
【００９９】
図１１に第二の実施例におけるサーバ１２のフローチャートを示す。本フローチャートでは、マスク６回収依頼を受けてから回収業者にマスク６を送付するまでを説明する。
【０１００】
まず、顧客が回収したいマスク６が発生した場合、顧客は、顧客ＩＤ、パスワード等を顧客端末５に入力して、Ａ社の外部関係者用サーバであるサーバ１１が有するマスク回収受付システムにログインする。マスク回収受付システムは、マスク６の回収依頼を受付けるとともに、顧客がマスク６の画像データの閲覧をマスク６の回収完了後に依頼した場合には、その画像データを表示するものである。顧客は、顧客が回収したいマスク６に対応する半導体の製品名１２０１、版数１２０２、任意文字１２１４を顧客端末５に入力して、サーバ１１に対して回収依頼を送信する。任意文字１２１４は、後にＣＯ２レーザでマスク６に任意文字１２１４を入力するときに使用される文字、文字列、あるいは図形である。
【０１０１】
サーバ１１は、半導体の製品名１２０１、版数１２０２を含む回収依頼を顧客から受信すると内部関係者用サーバ１２に対して、製品名１２０１、版数１２０２を送信する。
【０１０２】
サーバ１２では、マスク管理データベース１２０に製品名１２０１、版数１２０２が該当するデータレコードがあるか否かを判断し、データレコードに存在しない場合には、サーバ１１に対して存在しない旨の情報を返信し、再度の入力を求める。
【０１０３】
この際、サーバ１１のマスク回収受付システムにログインした時点で、顧客を識別し、顧客情報が合致する半導体の製品名１２０１、版数１２０２をサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０のデータレコードを検索し、顧客端末５の画面にリスト表示することも可能である。この場合では、顧客が、画面にリスト表示された半導体製品の中から選択するような表示とすることも可能である。
【０１０４】
一方、サーバ１２は、マスク管理データベース１２０にサーバ１１から受信した製品名１２０１、版数１２０２が合致するデータレコードが存在すると判断した場合は、サーバ１１から製品名１２０１、版数１２０２、任意文字１２１４を含む回収依頼として受信する（Ｓ４０１）。
【０１０５】
回収依頼を受信すると、マスク管理データベース１２０の回収依頼有無１２０６を回収依頼「有」と登録する（Ｓ４０２）。
【０１０６】
図１０（ｂ）にマスク管理データベース１２０の回収依頼有無１２０６に回収依頼「有」と登録され、任意文字１２１４が登録された状態を示す。
【０１０７】
次に、サーバ１２は、現在のデータレコードに基づき、Ａ社内の関係者連絡先１２０５、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４を検索し、関係者連絡先１２０５にフォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４と回収依頼があった旨の情報を送信する（Ｓ４０３）。
【０１０８】
Ｓ４０３の通知を受けた関係者は、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４に基づきマスクの回収の可否を判定し、マスク管理データベース１２０の回収可否１２０７確認情報としてサーバ１２へ送信する。サーバ１２は、Ｓ４０３の関係者から受信した（Ｓ４０４）回収可否１２０７確認情報に基づき、マスク６回収の可否を判定する（Ｓ４０５）。
【０１０９】
図１０（ｃ）にマスク管理データベース１２０の回収可否１２０７が登録された状態を示す。
【０１１０】
関係者から受信したマスク６回収の回収可否１２０７確認情報が「不可」だった場合（Ｓ４０５：Ｎｏ）には、製品名１２０１、版数１２０２を含む回収不可情報を顧客連絡先１２０８に通知する（Ｓ４０６）。一方、関係者から受信したマスク６回収の回収可否１２０７確認情報が「可」だった場合（Ｓ４０５：Ｙｅｓ）には、マスク６回収依頼に関する事前連絡としてＢ社のサーバ１３にフォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４を通知する（Ｓ４０７）。
【０１１１】
サーバ１２は、フォトマスク名１２０３の回収の為の出庫依頼をストッカ２に対して通知する。出庫依頼は、マスク管理データベース１２０のデータレコードのストッカアドレス１２０９を通知する（Ｓ４０８）。ストッカ２は、出庫指示を受領するとストッカアドレス１２０９に該当するマスク６をストッカ２から取出し作業を行う。
【０１１２】
取り出されたマスク６は、Ｂ社に送付される。
【０１１３】
ストッカ２から出されたマスク６は、任意文字１２１４が刻印される。本実施例では、ＣＯ２レーザを用いてマスク６に任意文字１２１４を刻印する。
【０１１４】
任意文字１２１４が刻印されたマスク６について任意文字１２１４が見えるように撮影し、マスク６の剥離前画像ファイル名１２１２としてマスク管理データベース１２０に登録され、剥離前画像ファイルは格納される（Ｓ４０９）。
【０１１５】
図１０（ｄ）にマスク管理データベース１２０に剥離前画像ファイル名１２１２が登録された状態を示す。
【０１１６】
登録された画像は、顧客に公開すべく、顧客に通知される（Ｓ４１０）。剥離画像前の画像ファイルを確認できることにより、剥離作業の確実性が増し、顧客の確認も容易となるためである。
【０１１７】
その後、マスク６はＢ社に送付される。
【０１１８】
Ｂ社では、回収手段３の回収装置３１を用いて通常の剥離処理を行い、剥離処理を行った後のベアガラス基板６１はA社に返送される。
【０１１９】
図１２は、第二の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）を示す。B社から回収完了の通知があった後のＡ社での剥離画像登録処理のフローチャートである。
【０１２０】
Ａ社の関係者は、剥離処理後のベアガラス基板６１について、剥離前画像データ１２１２と同じアングルでベアガラス基板６１上の任意文字１２１４の刻印が見えるように撮影し、撮影された画像ファイルは格納され、そのファイル名は剥離後画像データ１２１３としてサーバに登録される（Ｓ５０１）。
【０１２１】
図１０（ｅ）にマスク管理データベース１２０に剥離後画像ファイル名１２１３が登録された状態を示す。
【０１２２】
全ての回収が完了していない場合（Ｓ５０２：Ｎｏ）、全てのマスク６についての回収完了が登録されるまで待つ。
【０１２３】
一方、全ての回収が完了した場合（Ｓ５０２：Ｙｅｓ）、製品名１２０１、版数１２０２、回収日１２１１及び剥離処理完了の旨を顧客連絡先１２０８に通知する（Ｓ５０３）。
【０１２４】
また、Ｓ３０２については、マスク６の回収作業が一枚完了する毎に顧客に通知する方式も可能である。Ｓ３０３の処理は、サーバ１２が直接顧客端末５に送信する方式も可能であるし、サーバ１１を介して顧客端末５に送信する方式も可能である。
【０１２５】
顧客は、剥離されたマスク６を確認したい場合は、顧客端末５によりサーバ１１のマスク６回収受付システムにログインし、製品名１２０１、版数１２０２、画像閲覧依頼を入力する。
【０１２６】
サーバ１２は、サーバ１１から製品名１２０１、版数１２０２、画像閲覧依頼を受信すると、マスク管理データベース１２０から製品名１２０１、版数１２０２該当するデータレコードを抽出し、データレコードの画像ファイル名１２１０を読み込み、剥離前画像ファイル名１２１２、剥離後画像ファイル名1213と対応する画像ファイルをサーバ１１に送信する。
〔第三の実施の形態〕
図３において、サーバには３台のサーバをネットワークを介して結んで用いている。第一のサーバ１１と第二のサーバ１２は、会社Ａに配置しており、第三のサーバ１３は、回収手段３や回収確認手段４とともに会社Ｂに配置している。ここで示した例では、Ａ社は半導体装置の製造会社７であり、Ｂ社はマスクの製造会社７１である。また、Ｂ社がＡ社へ矢印９０に沿ってマスク６を納入する関係になっている。
【０１２７】
Ｂ社はマスク６用の基板を購入する際に、基板そのものが特定できるように、例えば、通し番号付きのバージン基板６２を購入して管理している。Ａ社はＢ社からマスク６が納入されると、第二のサーバ１２にマスク６のそれぞれの通し番号とマスクＩＤを登録し、顧客に公開閲覧できるようにするとともに、マスク６は矢印９１を経由してストッカ２に保管する。
【０１２８】
顧客が顧客端末５からＡ社の第一のサーバ１１にアクセスし、マスク６の回収依頼を行うと回収依頼は矢印８１に沿って第二のサーバ１２に登録される。そして、第二のサーバ１２からは、矢印８２に沿ってストッカ２、および矢印８３に沿ってＢ社に配置された第三のサーバ１３に回収依頼があったことを通知する。ストッカ２では指示されたマスク６の出庫処理行い、現物を出庫して矢印８４を経由してＢ社に送付する。
【０１２９】
マスク６を受け取ったＢ社では、マスクパターンが読み取り不能になるように回収手段３によって回収作業を行う。一般的な回収手段３は前記の実施例と同様に回収装置３１を用いてパターンの剥離を行い、ベアガラス基板６１とする。
【０１３０】
マスク６の剥離回収が終わると、確実に回収したことが確認できるように、回収確認手段４によって確認処理を行う。一般的には、例えば、ビデオカメラなどの回収確認装置４１によってベアガラス基板６１の通し番号とマスクＩＤなどのマスク情報を１画面に納めて撮影する。撮影画像とマスク情報は、矢印８５に沿って第三のサーバ１３に登録する。
【０１３１】
第三のサーバ１３では、回収確認手段４から登録された回収処理の確認情報を回収実績情報として矢印８６に沿ってＡ社の第二のサーバ１２に通知する。第二のサーバ１２は通知を受けた回収実績情報を顧客が閲覧できるように登録する。顧客は、第一のサーバ１１にアクセスすれば、第二のサーバ１２に登録されている回収実績情報、つまり、ベアガラス基板６１の基板の通し番号とマスクＩＤなどのマスク情報と、回収前のマスク６のマスク情報とを照合し、回収が確実に行われていることを適宜顧客端末５から確認できる。
【０１３２】
サーバ１２は、マスク管理データベース１２０を有する。
【０１３３】
図１３に第三の実施例におけるサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図を示す。
【０１３４】
マスク管理データベース１２０は、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、関係者連絡先１２０５、回収依頼有無１２０６、回収可否１２０７、顧客連絡先１２０８、ストッカアドレス１２０９、画像ファイル名１２１０、シリアル番号１２１５、回収日１２１１から構成される。
【０１３５】
マスク管理データベース１２０を構成する項目の内、第一の実施例と同じ項目名については、同じ機能であるため、説明を省略する。
【０１３６】
第三の実施例のマスク管理データベース１２０は、シリアル番号１２１５が第一の実施例のマスク管理データベース１２０と異なる。
【０１３７】
シリアル番号１２１５は、バージン基板６２が納入された時には、すでに確定している番号である。
【０１３８】
なお、画像ファイル名１２１０に対応する画像は、第一の実施例の画像ファイルと項目は同じだが、第三の実施例における画像ファイルは、マスク６のシリアル番号１２１５が画像内に収まる様に撮影されている点が第一の実施例の画像ファイル名１２１０に対応する画像ファイルと異なる。
【０１３９】
次にマスクの回収処理が始まるまでのマスク管理データベース１２０の登録状態を説明する。
【０１４０】
顧客から新規半導体の製造依頼があった場合、半導体装置の製造会社７であるＡ社は、半導体のマスク６の製造をマスク６の製造会社７１に依頼し、マスク６の製造会社７１はマスク６を製造するための基板を図示しないマスク６の基板会社から納入する。
【０１４１】
ここで、マスク６の基板会社は、基板毎にシリアル番号１２１５を付して製造、販売を行っている。
【０１４２】
図１９に第三の実施例のサーバ１３が有する剥離作業データベース１３０の構成例を示す。剥離作業データベース１３０は、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、画像ファイル名１２１０、シリアル番号１２１５、回収日１２１１とから構成される。本実施例におけるマスク管理データベース１２０のデータ項目と対応するものである。
【０１４３】
マスク６の製造会社７１のサーバ１３は、マスク６を製造後、剥離作業データベース１３０に登録し、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、シリアル番号１２１５をサーバ１２に送信する。サーバ１２はサーバ１３からのフォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、シリアル番号１２１５を受信するとマスク管理データベース１２０に該データ項目を登録する。
また、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、関係者連絡先１２０５及び顧客連絡先１２０８に対応するマスクロット番号１２０４、シリアル番号１２１５をマスク管理データベース１２０に登録する。
【０１４４】
Ａ社にマスク６が納入されると、マスク６基板はストッカ２に格納される。
【０１４５】
Ａ社のサーバ１２は、マスク６基板に対応するマスク管理データベース１２０のデータレコードにストッカアドレス１２０９を登録する。
【０１４６】
図１３（ａ）にマスク管理データベース１２０に各データ項目が登録された状態を示す。
【０１４７】
サーバ１２は、登録されたシリアル番号１２１５を顧客連絡先１２０８に通知する。
【０１４８】
その後、半導体製造会社であるＡ社は従来と同様に半導体の製造等を行う。
【０１４９】
本実施例におけるＡ社が顧客からマスク６の回収依頼を受けてから、Ｂ社にマスク６を送付するまでの処理は、第一の実施例と同様である。図７に示す第一、第三、第四、第五の実施例におけるサーバ１２のフローチャートの処理を行うので、説明を省略する。
【０１５０】
次にＢ社での剥離作業について、説明する。
【０１５１】
図１４に第三の実施例におけるサーバ１３のフローチャートを示す。
【０１５２】
Ｂ社では、マスク６を受領後、剥離作業担当者はその剥離処理と同時に回収確認手段４の回収確認装置４１により剥離されたベアガラス基板６１を撮影し、そのベアガラス基板６１の剥離画像データをフォトマスク名１２０３、画像ファイル名１２１０、回収日１２１１とを関連付け剥離作業データベース１３０に登録する（Ｓ６０１）。
【０１５３】
なお、剥離画像の撮影では、ベアガラス基板６１上のシリアル番号が識別可能なように撮影する。
【０１５４】
サーバ１３は、登録されたフォトマスク名１２０３、画像ファイル名１２１０、回収日１２１１、剥離画像ファイルをサーバ１２へ送信する（Ｓ６０２）。
【０１５５】
B社から回収完了の通知があった後のＡ社での剥離画像登録処理は、第一の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）と同様である。図９に示す第一、第三の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）の処理を行うため、説明を省略する。
【０１５６】
顧客は、剥離されたマスク６の剥離画像を確認したい場合は、顧客端末５によりサーバ１１のマスク６回収受付システムにログインし、製品名１２０１、版数１２０２及び画像閲覧依頼を入力する。
【０１５７】
サーバ１２は、サーバ１１から製品名１２０１、版数１２０２、画像閲覧依頼を受信すると、マスク管理データベース１２０から製品名１２０１、版数１２０２該当するデータレコードを抽出し、データレコードの画像ファイル名１２１０を読み込み、画像ファイル名１２１０と対応する画像ファイルをサーバ１１に送信する。
【０１５８】
この際に、半導体製造時に通知されたシリアル番号が剥離されたベアガラス基板６１の画像ファイルに視認できるため、マスク６の回収を確認することができる。
〔第四の実施の形態〕
図４において、サーバには２台のサーバをネットワークを介して結んで用いており、第一のサーバ１１と第二のサーバ１２はＡ社に配置され、Ａ社には回収確認手段４も配置している。Ｂ社は回収手段３を備えている。つまり、ここで示した例では、Ａ社は半導体装置の製造会社７であり、Ｂ社は回収手段３を備えたマスクの製造会社７１であり、Ｂ社がＡ社へマスク６を納入する関係になっている。
【０１５９】
Ａ社では、Ｂ社からマスク６が矢印９０を経由して納入されたら、基板の特定ができるように、例えば、ＦＩＢ処理によるエッチングによってマスクデバイスパターン以外の領域に故意に修正跡６３を付ける。この修正跡６３は、回収確認手段４である回収確認装置４１、例えば、ＳＥＭによって撮影して座標軸を第二のサーバ１２に登録しておく。
【０１６０】
顧客の顧客端末５からＡ社の第一のサーバ１１にアクセスがあり、品種終息するマスク６の回収依頼がくると矢印８１に沿って第二のサーバ１２に登録され、第二のサーバ１２はストッカ２に矢印８２に沿って出庫の指示を出す。指示を受けたストッカ２では、指示されたマスク６の出庫処理行って矢印８４を経由してＢ社に送付する。
【０１６１】
Ａ社から回収依頼のマスク６を受け取ったＢ社では、回収手段３によって回収作業を行う。回収作業は、例えば、回収装置３１によってマスクパターンを読み取り不能に剥離する方法で行う。Ｂ社では、マスク６の剥離回収が終わったビアガラス基板６１矢印８８を経由してＡ社に送付する。
【０１６２】
ベアガラス基板６１を受け取ったＡ社では、確実に回収したことを確認するために、再度回収確認手段４の、例えば、ＳＥＭによってマスク６に付けた修正跡６３を探して撮影し第二のサーバ１２に登録して確認処理を終わる。
【０１６３】
顧客は、顧客端末５によって第一のサーバ１１をアクセスすれば、第二のサーバ１２に登録されている元のマスク６の修正跡６３と、回収されたベアガラス基板６１の修正跡６３とを照合することができる。その結果、回収処理が確実に実行されたことが確認できる。
【０１６４】
サーバ１２は、マスク管理データベース１２０を有する。
【０１６５】
図１５に第四の実施例におけるサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図を示す。
【０１６６】
マスク管理データベース１２０は、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、関係者連絡先１２０５、回収依頼有無１２０６、回収可否１２０７、顧客連絡先１２０８、ストッカアドレス１２０９、剥離前修正跡画像ファイル名１２１６、剥離後修正跡画像ファイル名１２１７、修正跡座標１２１８、回収日１２１１から構成される。
【０１６７】
マスク管理データベース１２０を構成する項目の内、第一の実施例と同じ項目名については、同じ機能であるため、説明を省略する。
【０１６８】
実施例４のマスク管理データベース１２０は、剥離前修正跡画像ファイル名１２１６、剥離後修正跡画像ファイル名１２１７、修正跡座標１２１８とが第一の実施例のマスク管理データベース１２０と異なる。
【０１６９】
剥離前修正跡画像ファイル名１２１６とは、剥離前のマスク６基板にＦＩＢ（Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｍ）により傷をつけ、その傷をＳＥＭ（「Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ」（走査型電子顕微鏡））により撮影した画像ファイルのファイル名である。
【０１７０】
剥離後修正跡画像ファイル名１２１７とは、剥離後のマスク６基板を剥離前に撮影した画像ファイルと同じ位置をＳＥＭにより撮影した画像ファイルのファイル名である。
【０１７１】
修正跡座標１２１８とは、ＦＩＢにより傷をつけられた場所がマスク６上のどの位置であるのかを示す座標値である。
【０１７２】
次にマスクの回収処理が始まるまでのマスク管理データベースの登録状態を説明する。
【０１７３】
顧客から新規半導体の製造依頼があった場合、Ａ社がマスク６を納入した時点で、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、関係者連絡先１２０５、顧客連絡先１２０８、ストッカアドレス１２０９が登録される。
【０１７４】
その際に、Ａ社では、マスク６の基板の特定ができるように、例えば、ＦＩＢ処理によるエッチングによって、マスク６上であり、かつ、半導体製造の障害にならない場所に修正跡６３を付ける。回収確認手段４である回収確認装置４１は、マスク６上の修正跡６３の場所を示す座標データを修正跡座標１２１８として取得マスク管理データベース１２０に登録すると共に、修正跡６３の画像データを例えばＳＥＭ等で取得し、剥離前修正跡画像ファイル名１２１６としてマスク管理データベース１２０に登録する。
【０１７５】
図１５（ａ）にマスク管理データベース１２０に登録された状態を示す。
【０１７６】
その後、顧客から回収依頼がなされるまで、Ａ社は、従来と同様に製造等を行う。
【０１７７】
第四の実施例におけるＡ社が顧客からマスク６の回収依頼を受けてから、Ｂ社にマスク６を送付するまでの処理は第一の実施例で説明した図７の処理と同様である。また、Ｂ社でのマスク回収処理は、第一の実施例で説明した図８の処理と同様であるので、説明を省略する。
【０１７８】
Ｂ社でのマスク６が剥離された後のベアガラス基板６１は、Ａ社に送付される。
【０１７９】
図１６は、第四の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）である。Ｂ社からベアガラス基板６１がＡ社に送付された以降のフローチャートについて示したものである。
【０１８０】
ベアガラス基板６１の剥離画像を回収確認手段４の回収確認装置４１にて撮影する。具体的にはＳＥＭにより剥離前の撮影をしたものと同じ修正跡座標１２１８を撮影し、修正跡６３が写るように撮影する。撮影された画像ファイルの剥離後修正跡画像ファイル名１２１７をマスク管理データベース１２０に登録する（Ｓ７０１）。
【０１８１】
図１５（ｄ）にマスク管理データベース１２０に剥離後修正跡画像ファイル名１２１７が登録された状態を示す。
【０１８２】
全ての回収が完了していない場合（Ｓ７０２：Ｎｏ）、全てのマスク６についての回収完了が登録されるまで待つ。
【０１８３】
一方、全ての回収が完了した場合（Ｓ７０２：Ｙｅｓ）、製品名１２０１、版数１２０２、回収日１２１１及び剥離処理完了の旨を顧客連絡先１２０８に通知する（Ｓ７０３）。
【０１８４】
顧客は、剥離されたマスク６を確認したい場合は、顧客端末５によりサーバ１１のマスク６回収受付システムにログインし、製品名１２０１、版数１２０２を入力する。
【０１８５】
サーバ１２は、サーバ１１から製品名１２０１、版数１２０２、画像閲覧依頼を受信すると、マスク管理データベース１２０から製品名１２０１、版数１２０２該当するデータレコードを検索し、データレコードの剥離前修正跡画像ファイル名１２１６、剥離後修正跡画像ファイル名１２１７を読み込み、剥離前修正跡画像ファイル１２１６、剥離後修正跡画像ファイル１２１７をサーバ１１に送信する。
〔第五の実施の形態〕
図５において、サーバには３台のサーバをネットワークを介して結んで用いている。第一のサーバ１１と第二のサーバ１２は、会社Ａに配置しており、第三のサーバ１３はＣ社に配置されている。また、Ｂ社には回収手段３が設備されている。ここで示した例では、Ａ社は半導体装置の製造会社７であり、Ｂ社はマスクの製造会社７１であり、Ｃ社はマスクの基板会社７３である。
【０１８６】
マスクの基板会社７３のＣ社は、マスクの製造会社７１のＢ社に基板納入するに際して、例えば、バージン基板６２として納入する石英基板の諸特性、基板のラフネスやスラットネス、板厚などの基板のそれぞれを特定できる測定を行う。
【０１８７】
ここで行う基板の諸特性の測定は、例えば、ラフネスは原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いて面内測定し、フラットネスはレーザ干渉計を用いて面内測定し、板厚はレーザ変位計を用いて面内測定する。
【０１８８】
Ｃ社はマスクの製造会社７１であるＢ社に基板の測定結果を添えて矢印９２に沿って納入する。Ｂ社は、マスク６を製造し、Ｃ社から受け取った基板の諸特性の測定結果を添えて半導体装置の製造会社７であるＡ社に矢印９０を経由して送付する。
【０１８９】
Ａ社は、矢印９３に沿ってＢ社から受け取ったバージン基板６２の諸特性の測定結果を第二のサーバ１２に登録して、納入されたマスク６をマスク６として使用したり保管したりする。
【０１９０】
顧客が品種終息によって不要になったマスク６の回収依頼を行う際には、顧客が顧客端末５によってＡ社の第一のサーバ１１にアクセスすると、第一のサーバ１１を介して矢印８１に沿って第二のサーバ１２に登録される。そして、第二のサーバ１２が矢印８２に沿ってストッカ２に回収依頼があったことを通知する。ストッカ２では指示されたマスク６の出庫処理行い、現物を出庫して矢印８４を経由してＢ社に送付する。
【０１９１】
Ａ社から回収するマスク６を受け取ったＢ社では、回収手段３によって回収作業を行う。この回収作業には、例えば、回収装置３１を用いてマスクパターンを剥離する。マスク６の剥離回収が終わったベアガラス基板６１は矢印８８を経由して依頼元のＡ社に返却される。
【０１９２】
Ａ社が返却されたベアガラス基板６１を、矢印９５を経由してマスクの基板会社７３のＣ社に送ると、Ｃ社は回収済みのベアガラス基板６１の諸特性を測定する。そして、その測定結果を第三のサーバ１３を介して矢印９３に沿ってＡ社の第二のサーバ１２に送付する。Ａ社はマスク６と回収後のベアガラス基板６１の基板との諸特性を照合して、確実に回収したものであるかどうかを確認して第二のサーバ１２に登録する。
【０１９３】
一方、回収依頼した顧客は、顧客端末５から第一のサーバ１１にアクセスすれば、第二のサーバ１２に登録されている照合結果を閲覧して回収が確実に行われたことを確認することができる。
【０１９４】
サーバ１２は、マスク管理データベース１２０を有する。
【０１９５】
図１７に第五の実施例におけるサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図を示す。
【０１９６】
マスク管理データベース１２０は、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、関係者連絡先１２０５、回収依頼有無１２０６、回収可否１２０７、顧客連絡先１２０８、ストッカアドレス１２０９、回収前測定値１２１９（ラフネス、フラットネス、板厚値）、回収後測定値１２２０（ラフネス、フラットネス、板厚値）、回収日１２１１から構成される。
【０１９７】
マスク管理データベース１２０を構成する項目の内、第一の実施例と同じ項目名については、同じ機能であるため、説明を省略する。
【０１９８】
実施例５のマスク管理データベース１２０は、回収前測定値１２１９（ラフネス、フラットネス、板厚値）、回収後測定値１２２０（ラフネス、フラットネス、板厚値）とが第一の実施例のマスク管理データベース１２０と異なる。
【０１９９】
回収前測定値１２１９（ラフネス、フラットネス、板厚値）とは、マスクの基板会社７３のＣ社がバージン基板６２を製造した際に測定した値である。その後にマスク６の製造会社７２であるＢ社にてバージン基板６２からマスク６が製造される。なお、バージン基板６２毎にその測定値は異なる。
【０２００】
回収後測定値１２２０（ラフネス、フラットネス、板厚値）とは、Ｃ社が、マスク６剥離後のベアガラス基板６１に対して測定した値である。
【０２０１】
次にマスク６の回収処理が始まるまでのマスク管理データベース１２０の登録状態を説明する。
【０２０２】
マスク基板会社７３であるＣ社によりバージン基板６２のラフネス、フラットネス、板厚等が測定される。その測定結果は、回収前測定値１２１９としてＢ社を経由して、Ａ社にマスク６と共に納品される。
【０２０３】
Ａ社がマスク６を納入した時点で、製品名１２０１、版数１２０２、フォトマスク名１２０３、に対応するレコードにマスクロット番号１２０４、回収前測定値１２１９が登録される。
【０２０４】
納品されたマスク６はストッカ２に格納される。
【０２０５】
図１７（ａ）にマスク管理データベース１２０に登録された状態を示す。
【０２０６】
その後、顧客から回収依頼がなされるまで、Ｂ社は、従来と同様に製造等を行う。
【０２０７】
第五の実施例におけるＡ社が顧客からマスク６の回収依頼を受けてから、Ｂ社にマスク６を送付するまでの処理は、第一の実施例と同様である。すなわち、図７で示す第一、第三、第四、第五の実施例におけるサーバ１２のフローチャートの処理を行うので、説明を省略する。
【０２０８】
Ｂ社では、送付されたマスク６について回収手段３の回収装置３１によりマスク６の剥離処理がなされ、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、回収日１２１１がサーバ１２に対して送信され、マスク６の剥離後のベアガラス基板６１はＡ社に返送される。
【０２０９】
サーバ１２は、フォトマスク名１２０３、マスクロット番号１２０４、回収日１２１１を受信するとマスク管理データベース１２０の該当データレコードに回収日１２１１を登録する。
【０２１０】
図１７（ｄ）にマスク管理データベース１２０に回収日１２１１が登録された状態を示す。
【０２１１】
Ａ社では、Ｂ社から返送されたベアガラス基板６１をＣ社に送付する。
【０２１２】
図２０に第五の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）を示す。これは、Ａ社からＣ社にマスク６を送付した後のデータ登録について示すフローチャートである。
【０２１３】
Ｃ社では、送付されたベアガラス基板６１のラフネス、フラットネス、板厚等を測定する。その測定値がサーバ１３に登録されると、サーバ１３は回収後測定値１２２０としてＡ社のサーバ１２に送信する。Ａ社のサーバ１２は、ベアガラス基板６１に対応する回収後測定値１２２０を受信するとマスク管理データベース１２０の該当データレコードに登録する（Ｓ８０１）。
【０２１４】
図１７（ｅ）にマスク管理データベース１２０に回収後測定値１２２０が登録された状態を示す。
【０２１５】
全ての回収が完了していない場合（Ｓ８０２：Ｎｏ）、全てのマスク６についての回収完了が登録されるまで待つ。
【０２１６】
一方、全ての回収が完了した場合（Ｓ８０２：Ｙｅｓ）、製品名１２０１、版数１２０２、回収日１２１１及び剥離処理完了の旨を顧客連絡先１２０８に通知する（Ｓ８０３）。
【０２１７】
顧客は、剥離されたマスク６を確認したい場合は、顧客端末５によりサーバ１１のマスク６回収受付システムにログインし、製品名１２０１、版数１２０２を入力する。
【０２１８】
サーバ１２は、サーバ１１から製品名１２０１、版数１２０２、閲覧依頼を受信すると、マスク管理データベース１２０から製品名１２０１、版数１２０２該当するデータレコードを抽出し、データレコードの回収前測定値１２１９、回収後測定値１２２０を読み込み、サーバ１１に送信する。
【０２１９】
ここで示した実施例は、何れも顧客が、例えば、不要と判断または品種終息したのマスクの回収を半導体装置の製造会社に対して顧客端末を介して回収依頼を入力するのみで、それ以外に手を煩わせることがない利便性がある。
【０２２０】
また、回収依頼された半導体装置の製造会社は、回収作業を回収手段を有するマスクの製造会社に依頼し、回収の結果をマスクの製造会社の回収確認手段にしろ自社の回収確認手段にしろ、確実に回収されたことを確認することができる。しかも、その結果を顧客が顧客端末から閲覧して確認することもできる。
【０２２１】
なお、半導体装置の製造会社とマスクの製造会社、回収会社、基板会社などのそれぞれが専業か兼業かは、一義的に決まるものではなく、種々の変形が可能である。
【０２２２】
従って、複数のサーバを中心に回収に必要な一連の要素を、半導体装置の製造会社とマスクの製造会社、回収会社、基板会社などにどのように配置するかについても、一義的に決まるものではなく、種々の変形が可能である。
【０２２３】
また、回収手段で用いる回収装置は、マスクパターンの剥離のみに限定するものではなく、種々の変形が可能であるが、証拠が特定できる方法でなければならない。
【０２２４】
さらに、回収確認手段としての回収確認装置は、画像データ化したり数値データ化するいろいろな手法が適用でき、種々の変形が可能である。
【０２２５】
なお、本実施例ではサーバ１１とサーバ１２とが２つのサーバに分かれて機能しているが、単一のサーバで処理を行うことも可能である。
【０２２６】
以上、マスクの使用枚数の多い半導体装置製造用のマスクの回収の場合について例示したが、本発明は、ＬＣＤやＰＤＰ、プリント基板製造用のマスクの回収の場合にも適用でき、設計回路パターンを含むマスクの機密保持に好適である。
【０２２７】
（付記１）  サーバとストッカと回収手段と回収確認手段とを有し、
該サーバは、端末からネットワークを介して品種終息に係るマスクの回収依頼を受けて該ストッカに該マスクの出庫指示と、該回収手段に該マスクの回収指示と、該回収確認手段からの回収確認情報を該端末に公開するものであり、
該ストッカは、該マスクを貯蔵しているものであり、
該回収手段は、該マスクに描かれたマスクパターンを読取不能に破壊するものであり、
該回収認証手段は、該マスクが、破壊され回収されたことを認証するものである
ことを特徴とするマスクの回収システム（請求項１）。
【０２２８】
（付記２）  該サーバが、ネットワークを介して結ばれた第一のサーバと第二のサーバと第三のサーバとからなり、
該第一のサーバは、端末からネットワークを介してマスクの回収依頼を受け付けるものであり、
該第二のサーバは、該第一のサーバから該回収依頼の情報を受けて、該ストッカに該マスクの出庫と回収手段に該マスクの破壊とを指示するとともに、該第三のサーバに該回収依頼の情報を送るものであり、
該第三のサーバは、該回収手段から回収完了の情報を受けて回収実績通知を該第二のサーバに送るものであり、
該第二のサーバは、入力された該回収実績通知を該端末から閲覧可能に格納するものであり、
該第一のサーバは、該端末からアクセスがあれば、該第二のサーバに格納された該回収実績通知を該端末に公開するものである
ことを特徴とする付記１記載のマスクの回収システム（請求項２）。
【０２２９】
（付記３）  該第一のサーバと該第二のサーバと該ストッカとが半導体装置の製造会社に配置されており、
該第三のサーバと該回収手段と該回収認証手段とが、マスクの回収会社に配置されている
ことを特徴とする付記２記載のマスクの回収システム。
【０２３０】
（付記４）  該第一のサーバと該第二のサーバと該ストッカとが半導体装置の製造会社に配置されており、
該回収手段が、マスクの製造会社に配置されている
該第三のサーバと該回収認証手段とが、マスクの基板会社に配置されている
ことを特徴とする付記２記載のマスクの回収システム。
【０２３１】
（付記５）  該サーバが、ネットワークを介して結ばれた第一のサーバと第二のサーバとからなり、
該第一のサーバは、端末からネットワークを介してマスクの回収依頼を受け付けるものであり、
該第二のサーバは、第一のサーバから該回収依頼の情報を受けて、該ストッカに該マスクの出庫と回収手段に該マスクの回収とを指示するものであり、
該ストッカは、該マスクを該回収手段に出庫するものであり、
該回収手段は、該マスクに描かれたマスクパターンを読取不能に破壊してから該回収認証手段に送るものであり、
該回収認証手段は、該マスクが回収されたことを認証して回収実績通知を該第二のサーバに送るものである
ことを特徴とする付記１記載のマスクの回収システム（請求項３）。
【０２３２】
（付記６）  該第一のサーバと該第二のサーバと該ストッカと該回収認証手段とが半導体装置の製造会社に配置されており、
該回収手段が、マスクの回収会社に配置されている
ことを特徴とする付記５記載のマスクの回収システム。
【０２３３】
（付記７）  付記１記載のマスクの回収システムを用いて、該マスクの回収を行う
ことを特徴とするマスクの回収方法。
【０２３４】
（付記８）
半導体のマスクの回収状況を管理するマスク回収管理装置において、
端末からのマスクの回収依頼を受信する受信手段、
前記回収依頼を記憶する記憶手段、
前記回収依頼に基づき、ストッカから対象となる全てのマスクを取り出すマスク取出手段、
前記マスクをマスク回収業者への送付指示を発行する発行手段、
マスク回収業者からマスク剥離処理が視認可能なマスク画像を受信すると、該マスク画像を前記記憶手段の回収依頼に関連付ける関連付け手段、
前記関連付け手段にマスク画像が関連付けられると、端末に対して、マスク回収終了情報を送信する送信手段、
とからなることを特徴とするマスク回収管理装置。
（付記９）
前記送信手段は更に、
前記受信手段が、端末からの画像確認依頼を受信した場合は、前記登録された剥離後マスクの画像を送信することを特徴とする付記８に記載のマスク回収管理装置。
（付記１０）
前記送信手段は更に
前記回収依頼に対応する全てのマスクの画像が登録された場合に顧客端末に対してマスク回収終了情報を送信することを特徴とする付記８に記載のマスク回収管理装置。
（付記１１）
半導体のマスクの回収状況を管理するマスク回収管理装置において、
端末からのマスクの回収依頼とともに任意文字を受信する受信手段、
前記回収依頼を記憶する記憶手段、
前記回収依頼に基づき、ストッカから対象となる全てのマスクを取り出すマスク取出手段、
前記マスクをマスク回収業者への送付指示を発行する発行手段、
マスク回収業者に送付前にマスクに前記任意文字を刻印すると共に、該刻印された任意文字を視認可能なマスク画像を取得する剥離前画像取得手段、
マスク回収業者から剥離されたマスクであるベアガラス基板を返却されると剥離前画像取得手段に記憶されたマスクと同様のレイアウトでマスクを剥離後の画像を取得する剥離後画像取得手段、
前記関連付け手段にマスク画像が関連付けられると、端末に対して、マスク回収終了情報を送信する送信手段、
とからなることを特徴とするマスク回収管理装置。
【０２３５】
（付記１２）
前記剥離前画像取得手段は、前記任意文字を刻印した座標を記憶することを特徴とする付記１１に記載のマスク回収管理装置。
【０２３６】
（付記１３）
半導体のマスクの回収状況を管理するマスク回収管理装置において、
端末からのマスクの回収依頼を受信する受信手段、
前記回収依頼を記憶する記憶手段、
前記回収依頼に基づき、ストッカから対象となる全てのマスクを取り出すマスク取出手段、
前記マスクのマスク回収業者への送付指示を発行する発行手段、
マスク回収業者からマスク剥離処理結果と予めマスクに付されたシリアル番号とが視認可能なマスク画像を受信すると、該マスク画像を前記記憶手段の回収依頼に関連付ける関連付け手段、
前記関連付け手段にマスク画像が登録されると、端末に対して、マスク回収終了情報を送信する送信手段、
とからなることを特徴とするマスク回収管理装置。
【０２３７】
（付記１４）
半導体のマスクの回収状況を管理するマスク回収管理装置において、
予め、マスクのラフネス、フラットネス、及び板厚の内少なくとも一つの測定結果を記憶する剥離前マスク測定値を記憶する記憶手段、
端末からのマスクの回収依頼を受信する受信手段、
前記回収依頼を剥離前マスク測定値に関連付けて記憶する第一の関連付け手段、
前記回収依頼に基づき、ストッカから対象となる全てのマスクを取り出すマスク取出手段、
前記マスクのマスク回収業者への送付指示を発行する発行手段、
マスク回収業者からマスク剥離後のマスクに対して行われた剥離前マスク測定値に対応する測定結果を剥離後マスク測定値として前記記憶手段の回収依頼に関連付ける第二の関連付け手段、
前記関連付け手段にマスク画像が登録されると、端末に対して、マスク回収終了情報を送信する送信手段、
とからなることを特徴とするマスク回収管理装置。
【産業上の利用の可能性】
【０２３８】
本発明のマスクの回収システムとその方法によれば、品種終息したマスクの回収を、サーバをシステムの中心に据えて人手を煩わせず時間も掛けずに回収作業と回収確認作業を行うことができる。
【０２３９】
従って、本発明は機密保持が重要視されるマスクの回収作業を安全に確実に効率的に行うことに対して大いに寄与する。
【図面の簡単な説明】
【０２４０】
【図１】本発明の回収システムの第一の実施例の模式図である。
【図２】本発明の回収システムの第二の実施例の模式図である。
【図３】本発明の回収システムの第三の実施例の模式図である。
【図４】本発明の回収システムの第四の実施例の模式図である。
【図５】本発明の回収システムの第五の実施例の模式図である。
【図６】第一の実施例のサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図
【図７】第一、第三、第四、第五の実施例におけるサーバ１２のフローチャート
【図８】第一、第二、第四、第五の実施例におけるサーバ１３のフローチャート
【図９】第一、第三の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）
【図１０】第二の実施例のサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図
【図１１】第二の実施例におけるサーバ１２のフローチャート
【図１２】第二の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）
【図１３】第三の実施例におけるサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図
【図１４】第三の実施例におけるサーバ１３のフローチャート
【図１５】第四の実施例におけるサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図
【図１６】第四の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）
【図１７】第五の実施例におけるサーバ１２が有するマスク管理データベース１２０の構成図
【図１８】第一の実施例のサーバ１３が有する剥離作業データベース１３０の構成例
【図１９】第三の実施例のサーバ１３が有する剥離作業データベース１３０の構成例
【図２０】第五の実施例におけるサーバ１２のフローチャート（２）
【符号の説明】
【０２４１】
１  サーバ
１１  第一のサーバ        １２  第二のサーバ        １３  第三のサーバ
２  ストッカ
３  回収手段
３１  回収装置
４  回収確認手段
４１  回収確認装置
５  顧客端末
６  マスク
６１  ベアガラス基板      ６２  バージン基板        ６３  修正跡
７  半導体装置の製造会社  
７１  マスクの製造会社
７２  マスクの回収会社
７３  マスクの基板会社
８１〜９５  矢印
【図１】
2006293284.tif 000003
【図２】
2006293284.tif 000004
【図３】
2006293284.tif 000005
【図４】
2006293284.tif 000006
【図５】
2006293284.tif 000007
【図６】
2006293284.tif 000008
【図７】
2006293284.tif 000009
【図８】
2006293284.tif 000010
【図９】
2006293284.tif 000011
【図１０】
2006293284.tif 000012
【図１１】
2006293284.tif 000013
【図１２】
2006293284.tif 000014
【図１３】
2006293284.tif 000015
【図１４】
2006293284.tif 000016
【図１５】
2006293284.tif 000017
【図１６】
2006293284.tif 000018
【図１７】
2006293284.tif 000019
【図１８】
2006293284.tif 000020
【図１９】
2006293284.tif 000021
【図２０】
2006293284.tif 000022