(57)【要約】     【課題】  導入される排液の特性(種類,濃度)に応じた所定の排液排出管から排液を確実に排出できる排液排出装置を提供する。    【解決手段】  この排液排出装置では、コントローラ１６が、開閉弁４Ａと５Ａを閉とする一方、開閉弁４Ｂと５Ｂを開とすることで、超純水供給管３５ＢからｐＨ計測部２Ｂに超純水を流す。ｐＨ計測部２Ｂは、処理槽１９において次の基板処理が開始されるまでの所定の時間内に、既知のｐＨ値を示す上記超純水のｐＨ値を計測し、この計測したｐＨ値を表す検出信号をコントローラ１６に入力する。判断部としてのコントローラ１６は、上記検出信号が表すｐＨ値が上記既知のｐＨ値と一致するか否かを判断することで、上記ｐＨ計測部２Ｂが正常か否かを判断する。【選択図】  図１
2006319015.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排液または超純水が導入される排液導入部と、
上記排液導入部から分岐した複数の排液排出部と、
上記排液導入部に設置されて上記排液導入部に導入された排液または超純水の特性を検出して検出信号を出力する検出部と、
上記排液導入部に導入された排液を排出する排液排出部を切り替える排出切替部と、
上記検出信号が入力されると共に、上記検出信号が表す上記排液の特性に応じて、上記複数の排液排出部の中から上記排液を排出する排液排出部を選択し、この選択した排液排出部から上記排液を排出するが、非選択の排液排出部から上記排液を排出しないように、上記排出切替部を制御する排出制御部と、
上記検出部の上流側で上記排液導入部に接続された超純水供給部と、
上記超純水供給部を制御して、この超純水供給部から上記排液導入部に超純水を供給すると共に、上記検出部が出力する検出信号が入力され、この検出信号が表す特性が上記超純水の既知の特性と一致するか否かを判断する判断部とを備えたことを特徴とする排液排出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の排液排出装置において、
上記排液導入部には、基板を処理液に浸漬して所定の処理を行う処理槽から排出される排液が導入されることを特徴とする排液排出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の排液排出装置において、
上記検出部を複数備え、
上記排液導入部は、
上記処理槽からの排液が導入される第１導入管と、
上記第１導入管から分岐した複数の第２導入管を有し、
上記複数の第２導入管は、それぞれ、上記検出部を有することを特徴とする排液排出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の排液排出装置において、
上記第１導入管に導入された排液を導入する検出部を切り替える検出部切替部と、
上記処理槽において上記基板に対する一連の処理が完了する毎に、上記検出部切替部が上記第１導入管に導入された排液を導入する検出部を切り替えるように、上記検出部切替部を制御する検出制御部を備えたことを特徴とする排液排出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の排液排出装置において、
上記超純水供給部は上記複数の第２導入管が有する複数の検出部の上流側で上記複数の第２導入管に接続されており、
さらに、上記超純水供給部から超純水を供給する第２導入管を切り替える超純水供給切替部と、
上記第１導入管から排液が導入されていない検出部のうちの少なくとも１つの検出部に上記超純水供給部から超純水を供給するように、超純水供給切替部を制御する超純水供給制御部とを備えたことを特徴とする排液排出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の排液排出装置において、
上記判断部は、上記超純水が供給される非選択の検出部が出力する検出信号が入力され、この検出信号が表す特性が上記超純水の既知の特性と一致するか否かを判断し、一致しないと判断したときに、所定の異常検出信号を出力し、
さらに、上記判断部が出力する上記異常検出信号に応じて、所定の異常処理を行う異常処理部を備えたことを特徴とする排液排出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の排液排出装置において、
上記異常処理部は、警報を発する警報部と、上記処理槽へ基板を導入して洗浄を開始することを禁止する洗浄禁止処理部とのうちの少なくとも一方を含むことを特徴とする排液排出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、排液排出装置に関し、一例として、基板を複数の薬液または超純水で洗浄を行う処理槽からの排液を、その排液の種類，濃度を複数の計測部で測定し、この測定結果に応じた排液排出配管にのみ排液を流すようにした排液排出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、排液排出装置としては、図２に示すように、半導体基板を洗浄する処理槽１０１からの排液を排出する排液排出系１１１をなすものがある。上記処理槽１０１には、処理液供給系１１８が接続されており、この処理液供給系１１８は薬液混合部１１７を有し、この薬液混合部１１７は複数の開閉弁を有する。この複数の開閉弁には、処理液として複数種類の薬液、超純水が供給される。
【０００３】
一方、上記排液排出系１１１は、処理槽１０１に接続された排液排出管１０２と、この排液排出管１０２から分岐した２本の種類別排液排出管１１４,１１５を有する。この２本の種類別排液排出管１１４,１１５は、それぞれ、開閉弁１１２,１１３を有している。この開閉弁１１２,１１３の開閉はコントローラ１１９によって制御される。また、この２本の種類別排液排出管１１４,１１５は、分岐部１１６に接続されている。
【０００４】
この分岐部１１６では、上記種類別排液排出管１１４は２つの排液排出管１１４Ａ,１１４Ｂに分岐しており、排液排出管１１４Ａ,１１４Ｂは、それぞれ、開閉弁１０５,１０６を有している。また、上記種類別排液排出管１１５は２つの排液排出管１１５Ａ,１１５Ｂに分岐しており、排液排出管１１５Ａ,１１５Ｂは、それぞれ、開閉弁１０７,１０８を有している。この分岐部１１６の開閉弁１０５〜１０８の開閉はコントローラ１１９によって制御される。
【０００５】
この排液排出系１１１では、処理槽１０１から排液排出管１０２に導入された排液は、この排液の種類に応じて、コントローラ１１９が開閉弁１１２と１１３のうちのいずれか一方を開とし他方と閉とする。これにより、上記排液排出管１０２からの排液は、排出管１１４と１１５のうちの一方だけに導入される。
【０００６】
上記排液が排出管１１４に導入された場合、コントローラ１１９は開閉弁１０５と１０６のうちの一方を開とし他方を閉とし、排液は排出管１１４Ａと１１４Ｂのうちのいずれかより排出される。また、上記排液が排出管１１５に導入された場合、コントローラ１１９は開閉弁１０７と１０８のうちの一方を開とし他方を閉とし、排液は排出管１１５Ａと１１５Ｂのうちのいずれかより排出される。
【０００７】
上記コントローラ１１９は、入力部１２１から入力された処理手順(レシピ)に従って、処理液供給系１１８から半導体基板を洗浄する処理槽１０１に各種の処理液(薬液１,薬液ｎ,超純水)を順次供給する。これに伴って、処理槽１０１からは供給された各種の処理液が供給された順に順次排出される。これに応じて、コントローラ１１９は、処理槽１０１から排出される各種排液の順序に応じて、排液排出系１１１の各開閉弁１１２、１１３、１０５〜１０８の開閉を制御することによって、種類別に排液を分離し、各排出管１１４Ａ,１１４Ｂ,１１５Ａ,１１５Ｂから、排液を種類別に排出する。
【０００８】
これにより、上記処理槽１０１からの各種排液は、その種類,濃度に応じて、各排出管１１４Ａ,１１４Ｂ,１１５Ａ,１１５Ｂのうちのいずれかより排出され、排液の種類，濃度に応じた排液処理が施され、廃棄もしくは回収再利用される。
【０００９】
また、今一つの従来例としては、図３に示すように、図２の排液排出系１１１において、ｐＨ計測部２１１を排液排出管１０２に設置したものがある。このｐＨ計測部２１１は、処理槽１０１から排液排出管１０２に導入される排液のｐＨ値を検出して、検出信号をコントローラ１１９に出力する。このコントローラ１１９は、上記検出信号に基づいて、各開閉弁１１２、１１３、１０５〜１０８の開閉を行うことによって、種類別に排液を分離し、各排出管１１４Ａ,１１４Ｂ,１１５Ａ,１１５Ｂから、排液を種類別に排出する。
【００１０】
このように、ｐＨ計測部２１１を用いて、排液分離を行う場合、コントローラ１１９は、入力部１２１から入力された処理手順(レシピ)に基づく予め設定されたｐＨ値を認識させており、排液排出管２１０を流れる排液のｐＨ値と設定されたｐＨ値を比べることで、その排液の種別が判断できるよう構成されている。この際、ｐＨ計測手段により検出された排液の種類が設定された排液の種類と異なると、処理液の供給状態に問題があり異常と判断し警報を発する処理を行う。
【００１１】
ところで、前述の図２に示すような従来の排液排出装置では、コントローラ１１９は、予め入力された処理手順(レシピ)に基づき、処理槽１０１から順次排出される排液のタイミングで各開閉弁１１２,１１３と開閉弁１０５〜１０８の開閉制御を管理していた。
【００１２】
すなわち、処理液として薬液１から薬液ｎが処理槽１０１へ順次供給される場合、処理槽１０１内の処理液が薬液１から薬液ｎに置換され、排液排出管１０２での排液の種類が薬液１から薬液ｎに変わるタイミング時間を予め実験的に求めておき、このタイミング時間を入力部１２１からコントローラ１１９に入力している。そして、このコントローラ１１９は、上記タイミング時間で開閉弁１１２と１１３の切り換えを行っている。これにより、コントローラ１１９は、薬液１に対応する排液を種類別排液排出管１１４に導入する一方、薬液ｎに対応する排液を種類別排液排出管１１５に導入するように、開閉弁１１２と１１３を制御している。
【００１３】
一方、近年、地球環境保護が重視される中、排液や排水中に含まれる環境阻害物質の流出を低減することが重要となってきている。そのためには、排液や排水を所定の種類と濃度に応じて分離し、その種類と濃度に応じた排水処理施設で処理することが好ましい。
【００１４】
しかしながら、上記従来例のように、排液分離のための開閉弁１１２と１１３の切り替えを実験的に求めたタイミングで設定すると、排出管１１４から薬液１に由来する排液が排出される期間の末期において薬液ｎに由来する排水が混入する状況が少なからず発生していた。
【００１５】
また、薬液ｎに由来する排水を排出する排出管１１５へ薬液１に由来する排液が混入するのを抑制するには、薬液１を流す開閉弁１１２から薬液ｎを流す開閉弁１１３への切り替えタイミング時間にマージン時間を持たせる必要が生じていた。このため、排水処理施設の処理能力に必要以上のマージンを持たせる無駄が発生していた。
【００１６】
一方、図３に示す今一つの従来例では、処理槽１０１から排出される排液の種類と濃度の変化をｐＨ計測部２１１で検出し、この検出した種類,濃度に対応する種類別排液排出管１１４または１１５に接続された開閉弁１１２または１１３を開とし、排液を排出している。これにより、各排液に対応する開閉弁１１２,１１３の切り替えタイミング時間にマージンを持たせることなく、リアルタイムで排液を流す排出管を切り替えることが可能となる。
【００１７】
また、この従来例では、排液排出系１１１に、ｐＨ計測部２１１を設置し、コントローラ１１９によって、排出管１０２に流れる排液の種類と濃度を監視する。よって、コントローラ１１９は、ｐＨ計測部２１１により検出された排液の種類,濃度が、設定された排液の種類,濃度と異なると、処理液(薬液１,薬液ｎ,超純水)の供給状態に問題があり異常であると判断して、警報部１２０から警報を発する。これにより、異常な排液を排液排出系１１１から排水処理施設へ流出させることを防ぐことが可能となる。
【００１８】
しかしながら、この図３の従来例では、排液排出系１１１の排液排出管１０２にｐＨ計測部２１１を設置し、排出管１０２に流れる排液の種類,濃度により排液を分離する制御において、ｐＨ計測部２１１から出力される検出信号が表すｐＨ値の信頼性は非常に重要となる。つまり、このｐＨ計測部２１１から出力される検出信号が表すｐＨ値が、処理手順(レシピ)に基づく予め設定されたｐＨ値を示していても、計測したｐＨ値そのものがズレて誤検出していた場合には、所定の排液排出管１１４または１１５へ排液を流すのが困難になる。また、上記ｐＨ計測部２１１の検出感度が劣化した場合にも、上述と同様に、排液の分離が正常に行われないことになる。
【００１９】
近年、半導体デバイスの微細化、基板の大口径化に伴い、基板１枚当りに含まれるデバイスチップ数は増加し、当然のことながら基板１枚当りの価値が上昇している。このため、半導体製造工程では、特に、洗浄工程のように、１度に一例として５０枚の基板の処理を行う工程では、処理の異常による基板の被害損失を最小限に抑える工夫が重要となる。すなわち、ｐＨ計測部で検出した排液の種類が設定された排液の種類と異なり、処理液の供給状態に問題がある異常であると判断して警報を発する処理を行なったとしても、基板処理が中断することにより、処理中の基板自体を救済することが困難となる。
【特許文献１】特開２０００−２８６２２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
そこで、この発明の課題は、導入される排液の特性(種類,濃度)に応じた所定の排液排出管から排液を確実に排出できる排液排出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記課題を解決するため、この発明の排液排出装置は、排液または超純水が導入される排液導入部と、
上記排液導入部から分岐した複数の排液排出部と、
上記排液導入部に設置されて上記排液導入部に導入された排液または超純水の特性を検出して検出信号を出力する検出部と、
上記排液導入部に導入された排液を排出する排液排出部を切り替える排出切替部と、
上記検出信号が入力されると共に、上記検出信号が表す上記排液の特性に応じて、上記複数の排液排出部の中から上記排液を排出する排液排出部を選択し、この選択した排液排出部から上記排液を排出するが、非選択の排液排出部から上記排液を排出しないように、上記排出切替部を制御する排出制御部と、
上記検出部の上流側で上記排液導入部に接続された超純水供給部と、
上記超純水供給部を制御して、この超純水供給部から上記排液導入部に超純水を供給すると共に、上記検出部が出力する検出信号が入力され、この検出信号が表す特性が上記超純水の既知の特性と一致するか否かを判断する判断部とを備えたことを特徴としている。
【００２２】
この発明の排液排出装置によれば、排出制御部には、排液導入部に導入された排液の特性を表す検出信号が検出部から入力される。この排出制御部は、上記排液を、複数の排液排出部の内の上記排液の特性に対応する排液排出部から排出するが、上記複数の排液排出部の内の上記排液の特性に対応しない排液排出部から排出しないように上記排出切替部を制御する。したがって、この発明の排液排出装置では、排液導入部に導入される排液に応じた排液排出部から排液を排出できる。したがって、排液に応じた排液排出部の後段に上記排液の種類や濃度等の特性に応じた後段の処理施設を設置することで、上記排液を排液の種類や濃度等の特性に応じた後段の処理施設で処理することが可能となる。
【００２３】
また、この発明によれば、判断部は、超純水供給部から上記排液導入部に超純水を供給すると共に、上記検出部が出力する検出信号が入力され、この検出信号が表す特性が上記超純水の既知の特性と一致するか否かを判断する。この判断によって、上記検出部が正常か否かを判断できる。したがって、上記検出部が正常と判断できた場合には、上記検出部に排液を導入したときに、上記検出部が出力する検出信号が表す排液の特性の信頼性が確保できる。したがって、導入される排液の特性(種類,濃度)に応じた所定の排液排出管から排液を確実に排出できる排液排出装置を実現できる。また、上記検出部に超純水を流すことで、検出部を洗浄して、検出精度を向上できる効果もある。
【００２４】
一方、上記判断部によって、上記検出部が正常でないと判断した場合には、例えば、警報を発する対処や排液導入部に排液を導入しないようにする等の異常対処が可能である。
【００２５】
また、一実施形態の排液排出装置では、上記排液導入部には、基板を処理液に浸漬して所定の処理を行う処理槽から排出される排液が導入される。
【００２６】
この実施形態の排液排出装置によれば、基板の処理液に由来する排液を、この排液の特性に対応する排液排出部から確実に排出できる。
【００２７】
また、一実施形態の排液排出装置では、上記検出部を複数備え、
上記排液導入部は、
上記処理槽からの排液が導入される第１導入管と、
上記第１導入管から分岐した複数の第２導入管を有し、
上記複数の第２導入管は、それぞれ、上記検出部を有する。
【００２８】
この実施形態の排液排出装置によれば、排液導入部が複数の第２導入管を備え、この複数の第２導入管のそれぞれが検出部を有するので、複数の第２導入管に流れる排液の特性を複数の検出部で検出できる。したがって、導入される排液の特性(種類,濃度)の検出の信頼性をより高くできる。
【００２９】
また、一実施形態の排液排出装置では、上記第１導入管に導入された排液を導入する検出部を切り替える検出部切替部と、
上記処理槽において上記基板に対する一連の処理が完了する毎に、上記検出部切替部が上記第１導入管に導入された排液を導入する検出部を切り替えるように、上記検出部切替部を制御する検出制御部を備えた。
【００３０】
この実施形態の排液排出装置によれば、処理槽における処理毎に、排液を導入する検出部を変更できるので、導入される排液の特性(種類,濃度)の検出の信頼性をより高くできる。
【００３１】
また、一実施形態の排液排出装置では、上記超純水供給部は上記複数の第２導入管が有する複数の検出部の上流側で上記複数の第２導入管に接続されており、
さらに、上記超純水供給部から超純水を供給する第２導入管を切り替える超純水供給切替部と、
上記第１導入管から排液が導入されていない検出部のうちの少なくとも１つの検出部に上記超純水供給部から超純水を供給するように、超純水供給切替部を制御する超純水供給制御部とを備えた。
【００３２】
この実施形態の排液排出装置によれば、上記超純水供給制御部は、上記第１導入管から排液が導入されていない検出部のうちの少なくとも１つの検出部に上記超純水供給部から超純水を供給するように、超純水供給切替部を制御する。したがって、複数の検出部のうちの排液が導入されていない非選択の検出部と第２導入管を使用して、検出部が正常か否かを、上記判断部で判断できる。
【００３３】
また、非選択の検出部に超純水を流すことで、この検出部を洗浄でき、前回の検出動作時の排液が残存することを防ぐことができ、次回の検出動作時の検出精度を向上できる。
【００３４】
また、一実施形態の排液排出装置では、上記判断部は、上記超純水が供給される非選択の検出部が出力する検出信号が入力され、この検出信号が表す特性が上記超純水の既知の特性と一致するか否かを判断し、一致しないと判断したときに、異常検出信号を出力し、
さらに、上記判断部が出力する上記異常検出信号に応じて、所定の異常処理を行う異常処理部を備えた。
【００３５】
この実施形態の排液排出装置によれば、上記判断部は、上記非選択の検出部が出力する検出信号が表す液体の特性が上記超純水の既知の特性と一致しないと判断したときに、上記異常処理部は、所定の異常処理を行う。よって、上記検出部の異常に対処することが可能である。
【００３６】
また、一実施形態の排液排出装置では、上記異常処理部は、警報を発する警報部と、上記処理槽へ基板を導入して洗浄を開始することを禁止する洗浄禁止処理部とのうちの少なくとも一方を含む。
【００３７】
この実施形態の排液排出装置によれば、検出部の異常に対する対処として、上記警報部で警報を発する処理や、洗浄禁止処理部で基板の洗浄開始を禁止する処理が可能である。
【発明の効果】
【００３８】
この発明の排液排出装置によれば、判断部は、超純水供給部から排液導入部に超純水を供給すると共に、検出部が出力する検出信号が入力され、この検出信号が表す特性が上記超純水の既知の特性と一致するか否かを判断する。この判断によって、検出部が正常か否かを判断でき、上記検出部が正常と判断できた場合には、上記検出部が出力する検出信号が表す排液の特性の信頼性が確保できる。したがって、導入される排液の特性(種類,濃度)に応じた所定の排液排出管から排液を確実に排出できる排液排出装置を実現できる。一方、判断部によって、上記検出部が正常でないと判断した場合には、例えば、警報を発する対処や排液導入部に排液を導入しないようにする等の異常対処が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００４０】
図１に、この発明の排液排出装置の実施形態としての排液排水分離システムの全体的な構成を模式的に示す。
【００４１】
この排液排水分離システムは、基板としての半導体ウエハ５５を洗浄する処理槽１９から排出される複数種類の排液を種類別に分けて排出する。
【００４２】
上記処理槽１９には、薬液供給管１５が接続され、この薬液供給管１５は薬液混合部１４に接続されている。この薬液混合部１４は、第１の薬液が供給される供給管１４Ａと第２の薬液が供給される供給管１４Ｂと超純水が供給される供給管１４Ｃとを有し、この３本の供給管１４Ａ〜１４Ｃは上記薬液供給管１５に接続されている。また、上記３本の供給管１４Ａ〜１４Ｃは、それぞれ、開閉弁５１〜５３を有している。
【００４３】
一方、この排液排水分離システムは、上記処理槽１９から排出される排液が導入される第１導入管６と、第１導入管６から分岐した２つの第２導入管３１,３２とを有する。この第２導入管３１と３２は第３導入管３３に接続されている。この第１導入管６と第２導入管３１,３２と第３導入管３３とが排液導入部を構成している。上記第２導入管３１,３２には、検出部としてのｐＨ計測部２Ａ,２Ｂが設置されている。このｐＨ計測部２Ａ,２Ｂは、第２導入管３１,３２に導入された液体のｐＨ値を検出して、このｐＨ値を表す検出信号をコントローラ１６に入力する。
【００４４】
このコントローラ１６は、後述するように、例えば、入力部１８から入力される処理手順(レシピ)に従って薬液混合部１４を制御して、薬液供給管１５から処理槽１９に各種の処理液(薬液１,薬液ｎ,超純水)を順次供給する。また、このコントローラ１６は後述するように警報部１７に対して所定の警報動作を行う制御を行う。
【００４５】
また、上記第２導入管３１,３２には、それぞれ、上記ｐＨ計測部２Ａ,２Ｂの上流側に開閉弁１Ａ,１Ｂが設置されている。この開閉弁１Ａ,１Ｂは検出制御部をなすコントローラ１６からの制御信号によって開閉制御される。この開閉弁１Ａ,１Ｂが検出部切替部を構成している。また、上記第２導入管３１,３２には、それぞれ、上記ｐＨ計測部２Ａ,２Ｂの下流側に開閉弁３Ａ,３Ｂが設置されている。この開閉弁３Ａ,３Ｂはコントローラ１６からの制御信号によって開閉制御される。
【００４６】
また、上記第２導入管３１,３２には、それぞれ、開閉弁１Ａ,１ＢとｐＨ計測部２Ａ,２Ｂとの間の箇所に、超純水供給部を構成する超純水供給管３５Ａ,３５Ｂが接続されている。この超純水供給管３５Ａ,３５Ｂには、超純水供給切替部を構成する開閉弁４Ａ,４Ｂが設置されている。この開閉弁４Ａ,４Ｂはコントローラ１６からの制御信号によって開閉制御される。このコントローラ１６は超純水供給制御部をなす。なお、上記超純水供給管３５Ａ,３５Ｂは超純水導入配管７に接続され、この超純水導入配管７に超純水が供給されるようになっている。
【００４７】
また、上記第２導入管３１,３２には、それぞれ、ｐＨ計測部２Ａ,２Ｂと開閉弁３Ａ,３Ｂとの間の箇所に、超純水排出管３６Ａ,３６Ｂが接続されている。この超純水排出管３６Ａ,３６Ｂには、それぞれ、開閉弁５Ａ,５Ｂが設置されている。この開閉弁５Ａ,５Ｂはコントローラ１６からの制御信号によって開閉制御される。また、この超純水排出管３６Ａ,３６Ｂは、超純水排出管３６Ｃに接続され、この超純水排出管３６Ｃは第１導入管６に接続されている。この超純水排出管３６Ａ〜３６Ｃおよび開閉弁５Ａ,５Ｂが超純水排出部を構成している。
【００４８】
上記第３導入管３３は、排液排出部を構成する排液排出管３７と３８に分岐している。この排液排出管３７,３８には、それぞれ、開閉弁９,１０が設置されている。この開閉弁９,１０が排出切替部を構成している。
【００４９】
さらに、上記排液排出管３７は下流側でｎ(ｎは１以上の自然数)本の排液排出管３７-１〜３７-ｎに分岐しており、排液排出管３７-１〜３７-ｎにはそれぞれ開閉弁４３-１〜４３-ｎが設置されている。また、排液排出管３８は下流側でｎ(ｎは１以上の自然数)本の排液排出管３８-１〜３８-ｎに分岐しており、排液排出管３８-１〜３８-ｎにはそれぞれ開閉弁４５-１〜４５-ｎが設置されている。
【００５０】
上記開閉弁９,１０および開閉弁４３-１〜４３-ｎ,４５-１〜４５-ｎは、コントローラ１６からの制御信号によって開閉制御される。このコントローラ１６は排出制御部をなす。また、上記排液排出管３７-１〜３７-ｎ,３８-１〜３８-ｎと、開閉弁４３-１〜４３-ｎ,４５-１〜４５-ｎは種類別排液排出部１３を構成している。
【００５１】
次に、上記構成の排液排水分離システムによって、処理槽１９から第１導入管６に導入されたフッ酸処理排液のｐＨ値を、ｐＨ計測部２Ａ,２Ｂで計測し、この計測したｐＨ値に基づいて、上記フッ酸処理排液を種類別排液排出部１３が有する排液排出管３７-１〜３７-ｎのうちのいずれか(もしくは排液排出管４５-１〜４５-ｎのうちのいずれか)より排出する動作を説明する。
【００５２】
まず、薬液混合部１４で調合されたフッ酸処理用薬液が薬液供給管１５から、上記処理槽１９の下部に供給される。このフッ酸処理用薬液は、例えば、１ｗｔ％の希フッ酸であり、薬液混合部１４において、４９ｗｔ％のフッ酸と超純水とを調合して作製されたものである。
【００５３】
この処理槽１９では、半導体ウエハ５５は、予め設定された洗浄手順(レシピ)により、希フッ酸処理と超純水によるリンス処理とが別々に所定の時間だけ行われる。
【００５４】
希フッ酸処理が終了すると、希フッ酸排液は、上記排液排出分離システムの第１導入管６へ導かれる。検出制御部をなすコントローラ１６は、一例として、選択したｐＨ計測部２Ａへ排液を導くように、開閉弁１Ａおよび３Ａを開とする一方、開閉弁１Ｂおよび３Ｂを閉とする。
【００５５】
これにより、第１導入管６から第２導入管３１に排液が導入され、この第２導入管３１に設置されたｐＨ計測部２Ａは第１導入管６から導かれた排液の特性としてのｐＨ値を検出し、この検出したｐＨ値を表す検出信号をコントローラ１６へ出力する。
【００５６】
すると、排出制御部をなすコントローラ１６は、上記ｐＨ計測部２Ａから入力された検出信号が表すｐＨ値に基づいて、上記排液が酸系かアルカリ系かを判断し、種類別排液排出部１３が有するｎ本の排液排出管３７-１〜３７-ｎおよびｎ本の排液排出管４５-１〜４５-ｎのうちから、上記排液を排出する排液排出管を選択する。
【００５７】
例えば、排液排出管３７から酸系排液を排出し、排液排出管３８からアルカリ系排液を排出するように設定している場合、コントローラ１６は、開閉弁９を開とする一方開閉弁１０を閉とすることで、希フッ酸排液を排液排出管３７へ導入するが排液排出管３８へは導入しないようにする。
【００５８】
この排液排出管３７から分岐したｎ本の排液排出管３７-１〜３７-ｎは、一例として、上記希フッ酸排液の濃度に応じて割り当てられている。つまり、このｎ本の排液排出管３７-１〜３７-ｎは、上記希フッ酸排液の濃度に応じて、コントローラ１９が開閉弁４３-１〜４３-ｎのうちのいずれかを選択して開とすると共に非選択の開閉弁を閉とする。これにより、ｎ本の排液排出管３７-１〜３７-ｎの中から、上記希フッ酸排液の濃度に応じた排液排出管から上記希フッ酸排液を排出できる。
【００５９】
より具体的な一例として、ｎ＝３として、排液排出管３７-１を濃度１０００ｐｐｍ以上の濃厚排水の排出用として割り当て、排液排出管３７-２を濃度１０ｐｐｍ〜１０００ｐｐｍの希釈排水に割り当て、排液排出管３７-３を濃度１０ｐｐｍ未満の中性排水に割り当てる。この場合、コントローラ１９は、上記希フッ酸排液が濃度排水、希釈排水、中性排水のうちのいずれであるのかに応じて、この３本の排液排出管３７-１、３７-２、３７-３に設置された開閉弁４３-１、４３-２、４３-３のうちのいずれか１つを選択して開とすると共に非選択の開閉弁を閉とする。よって、例えば、１ｗｔ％の希フッ酸排液は、上記排液排出管３７へ導かれた後、濃厚排水として、排液排出管３７-１へ導入される。
【００６０】
次に、洗浄手順(レシピ)に従い、コントローラ１６による制御でもって、処理槽１９において、超純水によるリンス処理が開始されると、ｐＨ計測部２Ａが出力する検出信号が表すｐＨ値が変化して行くが、この検出信号は、常に、コントローラ１６に入力されていて、コントローラ１６は上記検出信号が表すｐＨ値を監視している。よって、この排出制御部としてのコントローラ１６は、一例として上述したように、上記希フッ酸排液の所定の濃度範囲に応じて、開閉弁４３-１〜４３-ｎのうちのいずれか１つを選択して開とすると共に非選択の開閉弁を閉とすることによって、上記排液排出管３７-１〜３７-ｎのうちのいずれかへ排液先を切り替える制御を行う。この制御は、処理槽１９における一連の洗浄手順(レシピ)が終了するまで継続される。
【００６１】
なお、処理槽１９から第１導入管６に導入する排液は、上記排出動作の一例で説明したフッ酸(濃度０.１ｗｔ％〜５ｗｔ％)の他に、塩酸／過水／純水混合液(塩酸、過水濃度０.２ｗｔ％〜５ｗｔ％)、硫酸／過水(硫酸濃度７０ｗｔ％〜９６ｗｔ％)などの酸系排水であってもよい。さらに、上記排液は、アンモニア水／過水／純水混合液(アンモニア水、過水濃度０.２ｗｔ％〜５ｗｔ％)を代表とするアルカリ系排水でもよく、イソプロピルアルコール(濃度１％以下)などを含む有機系排水とすることが可能である。
【００６２】
さらに、上記種類別排液排出部１３における濃厚排水，希釈排水の濃度の区分についても、この排液排水分離システムの後段に設置される排水処理施設の排水処理方法や処理能力に応じて、上記濃度区分を上記一例よりもさらに細分化することが可能である。
【００６３】
次に、処理槽１９で一連の洗浄処理が完了する毎に、検出制御部をなすコントローラ１６が、開閉弁１Ａ,１Ｂおよび３Ａ,３Ｂの開閉を制御して、ｐＨ計測部２Ａ,２Ｂの選択を切り替える動作を説明する。
【００６４】
コントローラ１６による開閉制御によって、上記開閉弁１Ａと３Ａとは連動して開閉され、開閉弁１Ｂと３Ｂとは連動して開閉される。また、通常の排液分離処理を行う場合においては、コントローラ１６は、開閉弁１Ａを開とした場合に開閉弁１Ｂを閉とし、開閉弁１Ａを閉とした場合に開閉弁１Ｂを開とする。つまり、コントローラ１６は、開閉弁１Ａと１Ｂとが同時に開動作しないようにしており、第１導入管６からの排液は、ｐＨ計測部２Ａと２Ｂのうちのいずれか一方を選択して流れるように制御している。
【００６５】
次に、ｐＨ計測部２Ａ,２Ｂが設置された第２導入管３１,３２の切り替え制御のより具体的な一例を説明する。例えば、処理槽１９から第１導入管６に導入された排液を、第２導入管３１に設置されたｐＨ計測部２Ａに導入する場合は、コントローラ１９は開閉弁１Ａと３Ａを開動作させる一方、開閉弁１Ｂと３Ｂを閉動作させる。
【００６６】
このとき、超純水供給制御部としてのコントローラ１６は、開閉弁４Ａと５Ａを閉とする一方、開閉弁４Ｂと５Ｂを開とすることで、超純水供給管３５ＢからｐＨ計測部２Ｂに超純水を流す。これにより、このｐＨ計測部２Ｂは、処理槽１９において次の基板処理が開始されるまでの所定の時間内に、既知のｐＨ値を示す上記超純水のｐＨ値を計測し、この計測したｐＨ値を表す検出信号をコントローラ１６に入力する。これにより、判断部としてのコントローラ１６は、上記検出信号が表すｐＨ値が上記既知のｐＨ値と一致するか否かを判断することで、上記ｐＨ計測部２Ｂが正常か否かを判断する。
【００６７】
そして、上記処理槽１９において、次の基板処理が開始されると、コントローラ１６は、開閉弁１Ａと３Ａを閉とすると共に、開閉弁１Ｂと３Ｂを開とする。また、コントローラ１６は、開閉弁４Ａと５Ａを開とすると共に、開閉弁４Ｂと５Ｂを閉とする。これにより、第１導入管６からの排液は、ｐＨ計測部２Ｂが設置された第２導入管３２に導入され、上記排液のｐＨ値をｐＨ計測部２Ｂが検出して検出信号をコントローラ１６に入力する。一方、超純水は超純水供給管３５ＡからｐＨ計測部２Ａに導入され、この超純水のｐＨ値をｐＨ計測部２Ａが検出して検出信号をコントローラ１６に入力する。これにより、コントローラ１６は、上記ｐＨ計測部２Ａからの検出信号が表すｐＨ値が上記超純水の既知のｐＨ値と一致するか否かを判断することで、ｐＨ計測部２Ａが正常であるか否かを判断する。
【００６８】
このように、この実施形態では、コントローラ１６は、処理槽１９においてウエハ１に対する一連の処理が完了する毎に、ｐＨ計測部２Ａと２Ｂのいずれか一方に超純水を流して、ｐＨ計測部２Ａあるいは２Ｂからの検出信号が示すｐＨ値が超純水の既知のｐＨ値と一致するか否かを判断する。この動作によって、コントローラ１６は、ｐＨ計測部２Ａ,２Ｂが正常であるか否かを常に管理することができる。
【００６９】
上記コントローラ１６が、超純水を流したｐＨ計測部２Ａまたは２Ｂからの検出信号が示すｐＨ値が超純水の既知のｐＨ値と一致しないと判断した場合、このコントローラ１６は、ｐＨ計測部２Ａまたは２Ｂが異常であることを表す異常信号を警報部１７に出力する。これにより、警報部１７は、ｐＨ計測部２Ａまたは２Ｂが異常であることを表す警報を発する。また、このとき、コントローラ１６は、処理槽１９で新たな半導体ウエハの洗浄を禁止する処理を行う。
【００７０】
これにより、異常なｐＨ計測部２Ａ,２Ｂが排液のｐＨ値を誤って検出し、誤った検出信号に基づいて、コントローラ１６が開閉弁９,１０および開閉弁４３-１〜４３-ｎ、開閉弁４５-１〜４５-ｎの開閉制御を誤ることを未然に防止できる。すなわち、第１導入管６に導入された排液を、第１排液排出管３７-１〜３７-ｎおよび４５-１〜４５-ｎのうちのどの排液排出管から排出させるのかをコントローラ１６が誤選択することを最小限に食い止めることができる。また、処理槽１９での新たな半導体ウエハの洗浄を禁止することは、半導体ウエハの洗浄処理中に発生するｐＨ計測部２Ａ,２Ｂの異常に起因する洗浄処理の中断を最小限に食い止めて、半導体ウエハの被害損失を抑制することが可能となる。
【００７１】
なお、上記実施形態では、検出部を排液のｐＨ値を計測するｐＨ計測部としたが、検出部を排液のｐＨ値以外の特性を検出する検出部としてもよいのは勿論である。例えば、検出部は、排液における所定の成分の濃度や種類を検出するものであってもよい。また、検出部が検出する特性は、化学的特性の他に光学的特性や比抵抗等の電気的特性であってもよい。また、上記実施形態では、基板としての半導体ウエハを洗浄処理する処理槽の一例を説明したが、基板は半導体ウエハに限らないのは勿論で、処理槽が行う処理は洗浄処理に限らないのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】この発明の排液排出装置の実施形態としての排液排水分離システムの全体的な構成を模式的に示す模式図である。
【図２】従来の排液排出装置の一例を示す模式図である。
【図３】従来の排液排出装置の他の一例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００７３】
１Ａ,１Ｂ,３Ａ,３Ｂ,４Ａ,４Ｂ,５Ａ,５Ｂ,９,１０  開閉弁
２Ａ、２Ｂ  ｐＨ計測部
６  第１導入管
７  超純水導入配管
１３  種類別排液排出部
１４  薬液混合部
１４Ａ〜１４Ｃ  供給管
１５  薬液供給管
１６  コントローラ
１７  警報部
１８  入力部
１９  処理槽
３１,３２  第２導入管
３３  第３導入管
３５Ａ,３５Ｂ,３６Ａ,３６Ｂ  開閉弁
３６Ａ〜３６Ｃ  超純水排出管
３７,３７-１〜３７-ｎ,３８,３８-１〜３８-ｎ  排液排出管
４３-１〜４３-ｎ,４５-１〜４５-ｎ,５１〜５３  開閉弁
５５  半導体ウエハ
【図１】
2006319015.tif 000003
【図２】
2006319015.tif 000004
【図３】
2006319015.tif 000005