(57)【要約】【課題】紫外光による照明が行われていることを正確に報知すること。【解決手段】光源３５から出射されて波長選択素子３６により波長選択された紫外領域の波長光の第１の照明光を光分割素子４０により２方向に分割し、そのうちの一方の第１の照明光を紫外光照明部２９の外部から観察可能な位置に設けられたスクリーン４６に照射し、このスクリーン４６から可視領域の蛍光を発せさせる。【選択図】図３
2006323173.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射された紫外領域の波長の光を含む第１の光を対物レンズを通して試料に照射し、前記試料からの反射光から前記試料の紫外光観察画像を取得する紫外線顕微鏡において、
前記光源から出射された前記第１の光の一部が照射されることによって前記紫外領域の波長の光による照明が行われていることを報知する紫外光報知手段、
を具備したことを特徴とする紫外線顕微鏡。
【請求項２】
紫外領域の波長の光を含む光束を出射する光源と、
前記光源から出射された光束を２つに分割する光分割手段と、
前記光分割手段によって分割された一方の光束が照射されることによって前記光源から前記紫外領域の波長の光を含む前記光束が出射されていることを報知する紫外光報知手段と、
を具備したことを特徴とする紫外線顕微鏡。
【請求項３】
前記光分割手段によって分割された他方の光束を対物レンズを通して試料に照射する光学系と、
前記試料からの反射光を前記前記光分割手段を介して受光する撮像素子とを備え、
前記反射光から前記試料の紫外光観察画像を取得することを特徴とする請求項２記載の紫外線顕微鏡。
【請求項４】
前記紫外光報知手段は、前記紫外光による照明が行われていることを視覚的に報知することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項記載の紫外線顕微鏡。
【請求項５】
前記紫外光報知手段は、前記紫外領域の光の照射によって可視領域の波長の蛍光を発することを特徴とする請求項４記載の紫外線顕微鏡。
【請求項６】
前記紫外光報知手段は、前記紫外領域の光を透過せず、かつ前記紫外領域の光の照射によって可視領域の波長の蛍光を発する蛍光材料を添付した光透過性部材を有することを特徴とする請求項５記載の紫外線顕微鏡。
【請求項７】
前記紫外光報知手段は、前記紫外領域の光を遮断し、かつ可視領域の光を投影する投影部材を有することを特徴とする請求項４記載の紫外線顕微鏡。
【請求項８】
可視光源から出射された可視領域の波長の第２の照明光を対物レンズを通して試料を照明する可視光照明系を有し、
前記試料からの反射光から前記試料の可視光観察画像を取得し、かつ前記可視観察画像の取得と前記紫外光観察画像の取得とを切り替え可能とすることを特徴とする請求項１又は３記載の紫外線顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば可視光観察と紫外光観察とを選択的に切り替えて試料の拡大像を観察可能とする紫外線顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、顕微鏡は、拡大倍率を大きくすることや高解像度への要求に応じて新しい光学系が必要とされている。新しい光学系の一つとして紫外線顕微鏡がある。この紫外線顕微鏡は、紫外領域の波長光を使用することによって高解像度を実現するものである。  
可視光観察及び紫外光観察に用いられる照明系は、可視光観察用と紫外光観察用との各専用の各光源を有しており、これら可視光観察又は紫外光観察への切り替えに応じて各光源を点灯又は消灯したり、又は各光源の光路上の各シャッタを開放又は閉じて各照明光の切り替えを行っている。
【０００３】
一方、可視光観察と紫外光観察とを切り替えるときは、対物レンズ及び拡大観察像を取得するための光学系、例えば結像光学系、拡大像の観察光学系等も可視光観察専用又は紫外光観察専用に切り替えることが多い。すなわち、照明系、対物レンズ、結像光学系等は、それぞれ可視光専用又は紫外光専用の組み合わせで使用しなければならない。このような事から可視光又は紫外光のうちいずれか一方の照明光が照射されているかを判別することが必要である。特に紫外光は、当該紫外光自体が非可視光であることから、紫外光観察専用の光学系では、紫外光を照射している状態を何らかの手段によって検出することが要求される。
【０００４】
紫外線顕微鏡は、例えば特許文献１に開示されている。図６は特許文献１に開示されている紫外線顕微鏡の制御系のブロック図を示す。電動レボルバ１には、可視光用対物レンズ２と紫外光用対物レンズ３とが装着されている。この電動レボルバ１は、レボルバ駆動モータ４の駆動によって回転し、可視光用対物レンズ２又は紫外光用対物レンズ３のいずれか一方を観察光軸Ｐ上に配置する。なお、可視光用対物レンズ２は、電動レボルバ１に複数取り付けられている。対物レンズセンサ５は、可視光用対物レンズ２又は紫外光用対物レンズ３のいずれか一方が観察光軸Ｐ上に配置されているかを検出する。  
観察光軸Ｐ上には、フィルタブロック６が設けられている。このフィルタブロック６は、フィルタ駆動モータ７の駆動によって可視光照明系又は紫外光照明系のいずれか一方に切り替える。フィルタセンサ８は、フィルタブロック６の位置によって現在使用されている可視光照明系又は紫外光照明系を検出するもので、例えばフォトセンサが用いられる。
【０００５】
ＣＰＵ９は、レボルバ駆動モータ４やフィルタ駆動モータ７に各駆動指令を発し、かつ対物レンズセンサ５やフィルタセンサ８からの各検出信号を取り込む。このＣＰＵ９には、操作部１０及びメモリ１１が接続されている。操作部１０は、照明系の切り替えや対物レンズの切り替え等を指示するための各ボタンを有している。メモリ１１には、可視光用対物レンズ２及び紫外光用対物レンズ３の取付位置情報や、照明系と可視光用対物レンズ２及び紫外光用対物レンズ３との適正な組み合わせ等の情報が記憶されている。従って、ＣＰＵ９は、フィルタセンサ８及び対物レンズセンサ５からの各検出信号を取り込み、メモリ１１に記憶されている情報に基づいてレボルバ駆動モータ４やフィルタ駆動モータ７に各駆動指令を発し、可視光用対物レンズ２又は紫外光用対物レンズ３と可視光照明系又は紫外光照明系とを適正な状態に設定する。
【特許文献１】特開平１１−５２２５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１は、フィルタブロック６の位置をフィルタセンサ８により検出するか、又は可視光用対物レンズ２又は紫外光用対物レンズ３を対物レンズセンサ５によって検出し、ＣＰＵ９によりフィルタセンサ８又は対物レンズセンサ５からの各検出信号を処理し、レボルバ駆動モータ４又はフィルタ駆動モータ７に駆動指令を発して電動レボルバ１又はフィルタブロック６を各制御しなければならないので、構成が複雑化し、かつ高価なものとなる。
【０００７】
可視光専用の顕微鏡に対して新たに紫外光観察の光学系等を付加して可視光観察と紫外光観察とを可能にする場合には、可視光専用の顕微鏡に対して特許文献１に開示されているような機能、すなわちフィルタブロック６の位置をフィルタセンサ８により検出するか、又は可視光用対物レンズ２又は紫外光用対物レンズ３を対物レンズセンサ５によって検出し、ＣＰＵ９によりフィルタセンサ８又は対物レンズセンサ５からの各検出信号を処理し、レボルバ駆動モータ４又はフィルタ駆動モータ７に駆動指令を発して電動レボルバ１又はフィルタブロック６を各制御する機能を追加しなければならず、そのために可視光専用の顕微鏡を改造しなければならない。
【０００８】
特許文献１は、可視光照明系又は紫外光照明系のいずれかの照明光による照明であるかの実際の照明状態を検出するものでない。このため、例えば可視光照明系や紫外光照明系の各光源の寿命又は故障によって照明光が試料に実際に照射されていない等の異常であっても、この異常の状態を検出できない。特に、紫外光による照明の場合、紫外光自体が非可視光であるために紫外光を直接視覚によって確認することが不可能であり、紫外光による照明が行われているか否かを正確に検知できない。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、光源から出射された紫外領域の波長の光を含む第１の光を対物レンズを通して試料に照射し、試料からの反射光から試料の紫外光観察画像を取得する紫外線顕微鏡において、光源から出射された第１の光の一部が照射されることによって紫外領域の波長の光による照明が行われていることを報知する紫外光報知手段を具備した紫外線顕微鏡である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、紫外光による照明が行われていることを正確に報知できる紫外線顕微鏡を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１２】
図１は紫外線顕微鏡の全体構成図を示す。顕微鏡本体２０には、ステージ２１が設けられている。このステージ２１上には、試料２２が載置される。このステージ２１は、観察光軸Ｐと直交する面内で移動可能である。これにより、ステージ２１は、試料２２を載置した状態で、観察光軸Ｐと直交する面内で移動することにより試料２２の被観察箇所への位置だしを行う。
【００１３】
顕微鏡本体２０とステージ２１との間には、焦準機構Ｍが設けられている。この焦準機構Ｍは、図示しない駆動機構によってステージ２１を観察光軸Ｐに沿って移動可能である。これにより、ステージ２１を観察光軸Ｐ上に沿って上下移動させることによりステージ２１上に載置された試料２２の焦点合わせを行う。
【００１４】
顕微鏡本体２０には、レボルバ２３が設けられている。このレボルバ２３には、可視光用対物レンズ２４と紫外光用対物レンズ２５とがそれぞれ１本又は複数本装着されている。このレボルバ２３は、顕微鏡本体２０に対して回転することにより可視光用対物レンズ２４又は紫外光用対物レンズ２５を観察光軸Ｐ上に配置する。
【００１５】
顕微鏡本体２０上には、可視光照明部２６が設けられている。この可視光照明部２６は、可視領域の波長の第２の照明光を可視光用対物レンズ２４を通して試料２２に照射する。この可視光照明部２６の背面には、可視光源２７が設けられている。この可視光源２７は、可視領域の波長の第２の照明光を出射するもので、例えばハロゲンランプを内蔵する。可視光照明部２６には、図示しない開口絞りやレンズ、ハーフミラー２８が設けられている。このハーフミラー２８は、観察光軸Ｐ上に設けられている。このハーフミラー２８は、可視領域及び紫外領域の波長の光を透過する材料により形成されている。なお、このハーフミラー２８は、図示しない機構によって観察光軸Ｐ外に移動できるようにしてもよい。可視光照明部２６と可視光源２７とは、可視光照明系を形成する。
【００１６】
可視光照明部２６上には、付加ユニットとして紫外光照明部２９が取り付けられている。この紫外光照明部２９は、可視光照明部２６上に取り付け、取り外し可能である。この紫外光照明部２９は、紫外領域の波長の光を含む第１の照明光を紫外光用対物レンズ２５を通して試料２２を照明する。紫外光照明部２９の具体的な構成は、後述する。
【００１７】
紫外光照明部２９上には、接眼鏡筒３０が保持されている。この接眼鏡筒３０は、紫外光照明部２９上面の観察光軸Ｐ上に保持されている。この接眼鏡筒３０には、接眼レンズ３１が設けられている。
【００１８】
図２及び図３は紫外光照明部２９の構成図であって、図２は断面図を示し、図３は平面図を示す。紫外光照明部２９は、ユニット筐体３２を有する。このユニット筐体３２の上面と下面とには、それぞれ各ユニット取付部３３、３４が設けられている。このうちユニット取付部３３は、接眼鏡筒３０を連結固定し、ユニット取付部３４は、可視光照明部２６と連結固定する。
【００１９】
ユニット筐体３２の背面には、紫外光源３５が設けられている。この紫外光源３５は、紫外領域の波長の光を含む第１の照明光を出射するもので、例えば紫外光観察に必要な紫外領域の波長の光を発する水銀キセノンランプ等の放電ランプ３５ａを有する。この紫外光源３５から出射される第１の照明光の光路上には、例えば干渉フィルタ、ダイクロイックミラー、バンドパスフィルタ等を組み合わせた波長選択素子３６が設けられている。この波長選択素子３６は、紫外光観察に必要な波長の光のみを透過させる。シャッタ３７が波長選択素子３６とユニット筐体３２との中間に設けられている。このシャッタ３７は、例えば試料２２を紫外光観察するときに開放され、可視光観察するときに閉じる。なお、紫外光源３５として用いられる水銀キセノンランプ等の放電ランプ３５ａは、その原理上、点灯状態が安定するまでに時間がかかるので、当該放電ランプ３５ａの点灯と消灯とを繰り返すよりも、放電ランプ３５ａを安定した点灯状態にしたままシャッタ３７の開閉によって紫外光照明部２９内への入射を制限した方が紫外線観察の作業効率がよい。
【００２０】
ユニット筐体３２内における紫外光源３５から出射される第１の照明光の光路上には、照明レンズ３８、ミラー３９が設けられている。このミラー３９の反射光路上には、光分割素子４０が設けられている。この光分割素子４０は、例えばハーフミラーであって、ミラー３９側から入射した照明光を反射すると共に透過させて２方向に分割する。この光分割素子４０の反射光路上には、ダイクロイックミラー４１が設けられている。このダイクロイックミラー４１は、観察光軸Ｐ上に設けられている。このダイクロイックミラー４１は、紫外領域の波長光を反射し、かつ可視領域の波長光を透過する特性を有する。
【００２１】
光分割素子４０におけるダイクロイックミラー４１側からの入射光の光路上には、結像レンズ４２、ミラー４３が設けられている。このミラー４３の反射光路上でかつユニット筐体３２の外面には、紫外用カメラ４４が設けられている。この紫外用カメラ４４は、撮像面４５が結像レンズ４２の結像面と同一面になるように配置されている。
【００２２】
一方、光分割素子４０におけるミラー３９側からの入射光の光路上には、紫外光報知部材としてのスクリーン４６が設けられている。このスクリーン４６は、ユニット筐体３２に設けられた取付孔４７に設けられている。このスクリーン４６は、紫外光源３５から出射された第１の照明光の一部が照射されることによって試料２２に対して紫外光による照明が行われていることを視覚的に報知する。このスクリーン４６は、例えば紫外光を透過しないガラス又は樹脂によって形成された光透過性部材に、紫外光の照射により可視領域の蛍光を発する蛍光材料が混入又は塗布された蛍光板により成る。
次に、上記の如く構成された顕微鏡の動作について説明する。  
可視光観察を行う場合、レボルバ２３の回転によって可視光用対物レンズ２４が観察光軸Ｐ上に配置される。これと共に可視光源２７は、可視領域の波長の第２の照明光を出射する。このとき、シャッタ３７は、閉じられ、紫外光源３５から紫外光照明部２９内への紫外領域の波長光を含む第１の照明光の入射が遮光される。
【００２３】
可視光源２７から出射された可視領域の波長の第２の照明光は、可視光照明部２６内に入射し、この可視光照明部内の図示しない照明レンズを透過し、ハーフミラー２８で観察光軸Ｐに沿って下方に反射され、レボルバ２３、可視光用対物レンズ２４を通って試料２２に照射される。  
試料２２で反射した反射光は、可視光用対物レンズ２４、レボルバ２３を通り、可視光照明部２６内のハーフミラー２８を透過し、次に紫外光照明部２９内のダイクロイックミラー４１を透過して接眼鏡筒３０に入射し、接眼レンズ３１で結像される。これにより、試料２２の可視光観察像が観察される。
【００２４】
一方、紫外光観察を行う場合、レボルバ２３の回転によって紫外光用対物レンズ２５が観察光軸Ｐ上に配置される。可視光源２７への通電が停止されて当該可視光源２７は、消灯する。シャッタ３７が開放されると、紫外光源３５から出射された紫外領域の波長光を含む第１の照明光は、波長選択素子３６を透過して紫外光観察に必要な波長光のみとなって紫外光照明部２９内に入射する。  
この紫外光照明部２９内に入射した第１の照明光は、照明レンズ３８を透過し、ミラー３９で反射して光分割素子４０に入射する。この光分割素子４０に入射した第１の照明光は、２方向に分割され、一方がダイクロイックミラー４１に向かって反射し、かつ他方がスクリーン４６に向かって透過する。この光分割素子４０によって反射された一方の第１の照明光は、ダイクロイックミラー４１により観察光軸Ｐに沿って対物レンズ２５側に反射され、ハーフミラー２８を透過し、レボルバ２３、紫外光用対物レンズ２５を通って試料２２に照射される。
【００２５】
試料２２で反射した反射光は、紫外光用対物レンズ２５、レボルバ２３を通り、可視光照明部２６内のハーフミラー２８を透過し、紫外光照明部２９内のダイクロイックミラー４１で反射し、光分割素子４０を透過し、結像レンズ４２を通り、ミラー４３で反射して紫外用カメラ４４内に入射し、当該紫外用カメラ４４の撮像面４５上に結像される。この紫外用カメラ４４は、試料２２の紫外光観察像を撮像し、その画像信号を出力する。この画像信号は、図示しない画像処理装置によって必要な画像処理が行われ、例えばテレビジョンモニタの画面上に紫外光観察画像として表示される。
【００２６】
なお、可視光照明部２６内のハーフミラー２８は、可視領域及び紫外領域の波長の光を透過する材料により形成されるか、又は図示しない機構によって観察光軸Ｐ外に移動できるので、試料２２からの紫外領域の波長の反射光の透過を妨げない。  
紫外光照明部２９内のダイクロイックミラー４１は、紫外領域の波長光を反射し、かつ可視領域の波長光を透過する特性を有するので、試料２２からの紫外領域の波長の反射光は、接眼鏡筒３０及び接眼レンズ３１に入射しない。
【００２７】
一方、光分割素子４０により分割された他方の第１の照明光は、スクリーン４６に向かって進行し、当該スクリーン４６に照射される。このスクリーン４６は、他方の第１の照明光のうち紫外領域の波長の光を吸収すると共に、ガラス又は樹脂によって形成された光透過性部材に混入又は塗布された蛍光材料が他方の第１の照明光の照射により励起されて可視領域の蛍光を発する。  
このスクリーン４６は、紫外光照明部２９の外部から観察可能な位置に設けられているので、スクリーン４６から発せられている可視領域の蛍光が目視により確認できる。これにより、紫外光源３５から出射された紫外領域の波長光を含む第１の照明光の一部が照射されることによって紫外光による照明が行われていることが判る。
【００２８】
しかるに、可視光観察を行う場合、スクリーン４６において可視領域の蛍光が発しているか否かを確認し、可視領域の蛍光が発していれば、紫外光による照明が行われていることを報知しているので、このような場合、シャッタ３７を閉じ、紫外光源３５から出射された紫外領域の波長光を含む第１の照明光の紫外光照明部２９内への入射を遮光できる。
【００２９】
紫外光観察を行っているとき、紫外光源３５に用いられる水銀キセノンランプ等の放電ランプ３５ａは、例えば寿命に近づいたり故障すると、その光量が減少したり、点滅したりする。このような場合、スクリーン４６に照射される第１の照明光の光量が減少したり、第１の照明光が不連続で照射される。  
スクリーン４６に照射される第１の照明光の光量が減少すると、スクリーン４６から発せられる可視領域の蛍光の光量も第１の照明光の受光量に応じて減少する。又、スクリーン４６に照射される第１の照明光が不連続であると、スクリーン４６から発せられる可視領域の蛍光の光量も不連続に点滅する。  
従って、スクリーン４６から発せられる可視領域の蛍光の光量が減少すれば、紫外光源３５に用いられる放電ランプ３５ａが例えば寿命に近づいたことを確認できる。又、スクリーン４６から発せられる可視領域の蛍光の光量が点滅していれば、紫外光源３５に用いられる放電ランプ３５ａが例えば故障していることを確認できる。
【００３０】
このように上記第１の実施の形態によれば、紫外光源３５から出射されて波長選択素子３６により波長選択された紫外領域の波長光の第１の照明光を光分割素子４０により２方向に分割し、そのうちの他方の第１の照明光（試料２２の照明・観察に用いられない光）を紫外光照明部２９の外部から観察可能な位置に設けられたスクリーン４６に照射し、このスクリーン４６から可視領域の蛍光を発するようにしたので、ガラス又は樹脂によって形成された光透過性部材に蛍光材料混入又は塗布したスクリーン４６を紫外光照明部２９に設けるだけの非常に簡単な構成で、スクリーン４６から発せられている可視領域の蛍光を目視することにより紫外光源３５から紫外領域の波長光を含む第１の照明光が出射されて試料２２に対して紫外光照明が行われていることを視覚的に確認できる。このときスクリーン４６からの蛍光は、紫外光源３５から出射された第１の照明光が直接照射されることにより発するので、紫外光照明が行われていることが直接的に確認できる。
【００３１】
又、他方の第１の照明光、すなわち光路分割素子４０によって生じる試料２２の照明・観察に用いられない光を有効に活用できる。
【００３２】
紫外光照明部２９内に設けられている照明レンズ３８、ミラー３９、光分割素子４０、ダイクロイックミラー４１及び結像レンズ４２は、既存の光学素子であり、光分割素子４０の他方の光路上にスクリーン４６を設けるだけなので、このスクリーン４６は、既存の紫外光顕微鏡にも簡単に取り付けることができる。
【００３３】
可視光観察を行うに際し、スクリーン４６から可視領域の蛍光が発していれば、紫外光による照明が行われていることを表示するので、このような場合、シャッタ３７を閉じて紫外光による照明を確実に遮光し、可視光観察に切り替えることができる。
【００３４】
紫外光観察を行っているとき、紫外光源３５に用いられる水銀キセノンランプ等の放電ランプ３５ａが例えば寿命に近づいたり故障してその光量が減少したり、点滅したりすると、これに応じてスクリーン４６から発せられるスクリーン４６から発せられる可視領域の蛍光の光量も減光したり、不連続に点滅するので、紫外光源３５に用いられる放電ランプ３５ａが例えば寿命に近づいたことを確認したり、紫外光源３５に用いられる放電ランプ３５ａが例えば故障していることを確認できる。
【００３５】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１乃至図３と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３６】
図４及び図５は紫外光照明部２９の構成図であって、図４は断面図を示し、図５は平面図を示す。波長選択素子３６は、光分割素子４０とダイクロイックミラー４１との間の光路上に設けられている。
【００３７】
紫外光報知部材としてのスクリーン４８は、光分割素子４０におけるミラー３９側からの入射光の光路上に設けられている。このスクリーン４８は、ユニット筐体３２に設けられた取付孔４７に設けられている。このスクリーン４８は、例えば紫外光を透過しないガラス又は樹脂等の光透過性部材により形成されている。なお、このスクリーン４８には、紫外光の照射により可視領域の蛍光を発する蛍光材料は混入又は塗布されておらず、蛍光特性は持たない。
【００３８】
次に、上記の如く構成された顕微鏡の動作について説明する。  
紫外光観察を行う場合、レボルバ２３の回転によって紫外光用対物レンズ２５が観察光軸Ｐ上に配置される。紫外光源３５から出射された紫外領域の波長光を含む第１の照明光は、紫外光照明部２９内に入射する。この紫外光照明部２９内に入射した第１の照明光は、照明レンズ３８を透過し、ミラー３９で反射して光分割素子４０に入射する。この光分割素子４０に入射した第１の照明光は、２方向に分割され、一方が波長選択素子３６に向かって反射し、かつ他方がスクリーン４８に向かって透過する。このうち一方の第１の照明光は、波長選択素子３６を透過して紫外光観察に必要な波長光のみとなり、ダイクロイックミラー４１により観察光軸Ｐに沿って下方に反射され、ハーフミラー２８を透過し、レボルバ２３、紫外光用対物レンズ２５を通って試料２２に照射される。これり以降の紫外光観察の動作は、上記第１の実施の形態と同様なのでその説明は省略する。
【００３９】
一方、光分割素子４０により分割された他方の第１の照明光は、スクリーン４８に向かって進行し、当該スクリーン４８に照射される。この他方の第１の照明光は、紫外領域から可視領域の波長光を含む。これにより、スクリーン４８には、紫外領域から可視領域の波長光を含む第１の照明光のうち可視領域の波長光が投影され、その投影光が目視可能となる。なお、スクリーン４８は、例えば紫外光を透過しないガラス又は樹脂等の光透過性部材により形成されているので、紫外領域の波長光は、スクリーン４８を透過せず、紫外光照明部２９のユニット筐体３２の外部に放出されることはない。
【００４０】
このように上記第２の実施の形態によれば、紫外光源３５から出射された紫外領域の波長光の第１の照明光を光分割素子４０により２方向に分割し、そのうちの他方の第１の照明光を、蛍光材料を混入又は塗布せずかつ例えば紫外光を透過しないガラス又は樹脂等の光透過性部材により形成したスクリーン４８に投影するようにしたので、スクリーン４８を紫外光照明部２９に設けるだけの非常に簡単な構成で、スクリーン４８に投影される可視領域の光を目視することにより紫外光源３５から紫外領域の波長光を含む第１の照明光が出射されて試料２２に対して紫外光照明が行われていることが確認できる。
【００４１】
スクリーン４８は、上記第１の実施の形態で用いたスクリーン４６のように蛍光材料を混入又は塗布する必要がないので、その分だけスクリーン４８に要する材料を安価にできる。
【００４２】
又、上記第１の実施の形態と同様に、スクリーン４８は、既存の紫外光顕微鏡にも簡単に取り付けることができる。さらに、可視光観察を行うに際し、スクリーン４８に可視領域の光が投影されれば、紫外光による照明が行われてていることを表示するので、このような場合、シャッタ３７を閉じて紫外光による照明を確実に遮光し、可視光観察に切り替えることができる。紫外光観察を行っているとき、紫外光源３５に用いられる水銀キセノンランプ等の放電ランプ３５ａが例えば寿命に近づいたり故障してその光量が減少したり、点滅したりすると、これに応じてスクリーン４８に投影される可視領域の光量も減光したり、不連続に点滅するので、紫外光源３５に用いられる放電ランプ３５ａが例えば寿命に近づいたことを確認したり、紫外光源３５に用いられる放電ランプ３５ａが例えば故障していることを確認できる。
【００４３】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものではなく、次のように変形してもよい。  
例えば、上記第２の実施の形態における波長選択素子３６は、光分割素子４０とダイクロイックミラー４１との間の光路上に１つ設けるに限らず、複数の素子により構成してもよい。例えば、波長選択素子３６は、光分割素子４０とダイクロイックミラー４１との間の光路上と、紫外光源３５と光分割素子４０との間の光路上との２箇所に設けてもよい。
【００４４】
このように波長選択素子３６を２箇所に設ければ、紫外光源３５から出射された第１の照明光は、紫外光源３５と光分割素子４０との間の光路上に設けられた波長選択素子により可視領域の光成分が除去され、次に、光分割素子４０とダイクロイックミラー４１との間の光路上に設けられた波長選択素子により可視領域の光成分が除去される。これにより、紫外光源３５から出射された第１の照明光は、可視領域の光成分が段階的に除去される。この結果、最終的に紫外光観察に必要な波長の光のみが得られ、この光が試料２２に照射される。
【００４５】
上記各実施の形態では、可視光照明部２６上に付加ユニットとして紫外光照明部２９を取り付けて可視光観察と紫外光観察とを切り替え可能とした紫外線顕微鏡について説明したが、可視光照明部２６を備えていない紫外光観察専用の紫外線顕微鏡にも適用することが可能である。
【００４６】
紫外光報知部材としては、紫外領域の光を透過せず、かつ紫外領域の光の照射によって可視領域の波長の蛍光を発する蛍光材料を添付した光透過性部材であったり、又は紫外領域の光を透過しない光透過性部材又は投影部材であればよく、従って、スクリーン４８に限らず、蛍光を透過する薄板状やシート状のものであってもよい。
【００４７】
紫外光報知部材は、光電変換手段によって紫外線を受光し、これを検出して光電変換することで例えばＬＥＤ等の発光手段を点灯させたり、ブザー等を鳴動させ、紫外光照明が行われていることを知らせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る紫外線顕微鏡の第１の実施の形態を示す全体構成図。
【図２】同顕微鏡における紫外光照明部の断面構成図。
【図３】同顕微鏡における紫外光照明部の平面構成図。
【図４】本発明に係る紫外線顕微鏡の第２の実施の形態における紫外光照明部の断面構成図。
【図５】同顕微鏡における紫外光照明部の平面構成図。
【図６】従来の紫外線顕微鏡の制御系のブロック図。
【符号の説明】
【００４９】
２０：顕微鏡本体、２１：ステージ、２２：試料、２３：レボルバ、２４：可視光用対物レンズ、２５：紫外光用対物レンズ、２６：可視光照明部、２７：可視光源、２８：ハーフミラー、２９：紫外光照明部、３０：接眼鏡筒、３１：接眼レンズ、３２：ユニット筐体、３３，３４：ユニット取付部、３５：紫外光源、３６：波長選択素子、３７：シャッタ、３８：照明レンズ、３９：ミラー、４０：光分割素子、４１：ダイクロイックミラー、４２：結像レンズ、４３：ミラー、４４：紫外用カメラ、４５：撮像面、４６：スクリーン、４７：取付孔、４８：スクリーン、Ｍ：焦準機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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