(57)【要約】【課題】  ステージに載置される試料の質量が変化しても、ステージ位置を安定して維持することができる顕微鏡を提供する。【解決手段】  焦準機構部１１により鉛直方向に沿って上下動される試料９を載置したステージ１０の少なくとも下方への移動を規制部材３１を設けて規制する。【選択図】図１
2006293005.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡本体と、
試料が載置されるステージと、
前記顕微鏡本体に設けられ、前記ステージを鉛直方向に沿って上下動させる焦準手段と、
前記ステージの少なくとも下方への移動を規制する移動規制手段と
を具備したことを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
前記焦準手段は、前記ステージを固定する焦準台を有し、該焦準台が前記顕微鏡本体に対して移動可能に設けられたことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記移動規制手段は、前記ステージの移動を規制する規制部材と、該規制部材を前記顕微鏡本体に固定する固定部材を有することを特徴とする請求項１又は２記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記移動規制手段は、前記規制部材を前記基準台に当接し、且つ前記固定部材により前記顕微鏡本体に固定可能にしたことを特徴とする請求項３記載の顕微鏡。
【請求項５】
前記移動規制手段は、前記規制部材を前記焦準台に固定され前記ステージとともに移動可能とし、且つ前記固定部材により前記顕微鏡本体に固定可能としたことを特徴とする請求項３記載の顕微鏡。
【請求項６】
前記移動規制手段は、前記規制部材を前記基準台に当接させる弾性手段を有したことを特徴とする請求項４記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焦準機構を有する顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、半導体製造工程には、ウエハなどの検査を行なうものとして、顕微鏡が多く用いられるようになっている。
【０００３】
ところで、このような顕微鏡で検査されるウエハは、生産性の向上を図る目的からますます大型化の傾向がある。つまり、今後もウエハのさらなる大型化は不可避であり、それに伴い顕微鏡に用いられるステージも、径の小さなウエハから径の大きいウエハまで対応できる各種のステージが用いられ、さらに治具などの特殊なユニットを備えたステージなども用いられるようになっている。さらに、このようなステージを上下動させるための焦準機構も、ステージ側の質量増減に応じてバランスが取れ、かつその質量に耐え得るものなど、様々な条件に対応できるものが必要になっている。
【０００４】
従来、このような用途に使用可能な顕微鏡として、特許文献１に開示されるように、ステージ又は鏡筒を上下動させる焦準機構の内部に、ステージ又は鏡筒の重量のバランスを取るためのバランスバネを備え、このバランスバネを焦準機構内部に着脱自在に構設したものがある。
【特許文献１】特開平１０−２８２４３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような特許文献１の構成によれば、ステージ又は鏡筒の交換に伴う質量増減に応じて最適なバランスバネを選択して設けることにより、試料を載置したステージ等の質量バランスを常に安定して保つことができる。
【０００６】
ところが、例えば、ステージに載置される試料の質量増減が大きいような場合、質量の異なる試料を交換する度にステージを一旦取り外してバランスバネを交換し、ステージの質量バランスを取る必要があるため、手間がかかり操作が煩わしいという問題があった。さらにバランスバネの設定を誤ると、質量の大きな試料をステージに載置しているような場合、ステージのピント位置合わせの後も、焦準機構がステージと試料の質量により動いて、不用意にステージの位置を下降させてしまうことがある。このため、ピント位置の再調節を頻繁に行なう必要があり、観察作業の効率が著しく悪化するという問題が生じる。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ステージに載置される試料の質量の変化に対し、ステージ位置を安定して維持することができる顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の発明は、顕微鏡本体と、試料が載置されるステージと、前記顕微鏡本体に設けられ、前記ステージを鉛直方向に沿って上下動させる焦準手段と、前記ステージの少なくとも下方への移動を規制する移動規制手段とを具備したことを特徴としている。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記焦準手段は、前記ステージを固定する焦準台を有し、該焦準台が前記顕微鏡本体に対して移動可能に設けられたことを特徴としている。
【００１０】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記移動規制手段は、前記ステージの移動を規制する規制部材と、該規制部材を前記顕微鏡本体に固定する固定部材を有することを特徴としている。
【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明において、前記移動規制手段は、前記規制部材を前記基準台に当接し、且つ前記固定部材により前記顕微鏡本体に固定可能にしたことを特徴としている。
【００１２】
請求項５記載の発明は、請求項３記載の発明において、前記移動規制手段は、前記規制部材を前記焦準台に固定され前記ステージとともに移動可能とし、且つ前記固定部材により前記顕微鏡本体に固定可能としたことを特徴としている。
【００１３】
請求項６記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記移動規制手段は、前記規制部材を前記基準台に当接させる弾性手段を有したことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ステージに載置される試料の質量の変化に対しても、ステージ位置を安定して維持することができる顕微鏡を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００１６】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る顕微鏡の概略構成を示す側面図、図２は、正面図の一部を破断して示す要部拡大図である。
【００１７】
図において、１は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１は、水平方向のベース部１ａと、このベース部１ａに対し直立して形成された胴部１ｂを有し、この胴部１ｂの上部には、ベース部１ａと平行な方向にアーム１ｃが配置されている。アーム１ｃには、落射投光管２が設けられている。落射投光管２には、光源装置３が設けられている。
【００１８】
落射投光管２内部には、光源装置３からの照明光路の光軸３ａ上にハーフミラー４が配置されている。このハーフミラー４は、光源装置３からの照明光を反射し、後述する試料９からの反射光を透過する。
【００１９】
ハーフミラー４の反射光路には、対物レンズ５が配置されている。対物レンズ５は、落射投光管２の先端部下方に設けられたレボルバ６に保持されている。落射投光管２先端部上方のハーフミラー４の透過光路上には、接眼レンズ７を有する鏡筒８が設けられている。
【００２０】
対物レンズ５の先端側には、試料９が載置されるステージ１０が配置されている。試料９には、ハーフミラー４で反射した照明光が対物レンズ５を介して照射される。
【００２１】
ステージ１０には、焦準手段としての焦準機構部１１が設けられている。焦準機構部１１は、ステージ１０を対物レンズ５の光軸に沿って上下動させ、試料９のピント合わせを可能にしている。
【００２２】
次に、焦準機構部１１について、図３〜図５を参照して説明する。
【００２３】
図３は、図２のＡ矢印方向から見た断面図、図４は、図１に示す焦準機構部１１の拡大図である。
【００２４】
この場合、図３に示すように顕微鏡本体１には、ガイド２１が一体に設けられている。このガイド２１には、焦準方向（対物レンズ５の光軸方向）に沿ってＵ字型のガイド溝２２が形成されている。ガイド溝２２の相対向する２つの内壁部２２ａ、２２ｂには、焦準方向（対物レンズ５の光軸方向）に沿って延びるＶ溝２３ａ、２３ｂがそれぞれ形成されている。
【００２５】
ガイド２１のＵ字型のガイド溝２２には、焦準台２４が嵌合されている。焦準台２４は、先端部に唾部２４ａが設けられ、この鍔部２４ｃを介してステージ１０に固定されている。焦準台２４の外壁部２４ａ、２４ｂには、Ｖ溝２３ａ、２３ｂに対向し、且つ焦準方向（対物レンズ５の光軸方向）に沿って延びるＶ溝２５ａ、２５ｂが、それぞれ形成されている。これらガイド溝２２に形成されたＶ溝２３ａ、２３ｂと焦準台２４に形成されたＶ溝２５ａ、２５ｂとの間には、複数のボール２６が配置されている。
【００２６】
これらＶ溝２３ａ、２３ｂ、Ｖ溝２５ａ、２５ｂ及び複数のボール２６は、直線案内機構を構成しており、この直線案内機構によりステージ１０に固定され焦準台２４を鉛直方向（対物レンズ５の光軸方向）に直線移動可能にしている。
【００２７】
一方、図４に示すように、焦準台２４には、ラック２７が一体に設けられている。このラック２７は、顕微鏡本体１に回転可能に設けられた回転軸２８に形成されたピニオン２９に噛合されている。ピニオン２９を形成した回転軸２８には、焦準ハンドル３０が設けられている。焦準ハンドル３０は、検鏡者により回転操作されるもので、この回転操作によりピニオン２９を介してラック２７を直線方向に駆動し、焦準台２４を直線案内機構により鉛直方向（対物レンズ５の光軸方向）に直線移動させるようにしている。
【００２８】
なお、焦準ハンドル３０と顕微鏡本体１との間には、焦準台２４とステージ１０の全質量によって焦準ハンドル３０が回転しないように不図示のばね等によって所定の摩擦力が付与されている。
【００２９】
また、図４に示すように顕微鏡本体１には、移動規制手段を構成する規制部材３１が配置されている。規制部材３１は、板状をしたもので、先端を焦準台２４の一部に当接可能（図２参照）になっていて、ステージ１０の下方向への移動を規制するようにしている。
【００３０】
規制部材３１の板面には、鉛直方向（対物レンズ５の光軸方向）、つまり図示上下方向に沿って規制部材３１の移動ストロークを決定する第１の長穴としての長穴３１ａが形成され、また、この長穴３１ａの両側に第２の長穴としてのガイド用の長穴３１ｂ、３１ｃが並べて形成されている。
【００３１】
顕微鏡本体１には、規制部材３１の長穴３１ａに対応する位置に、ねじ穴３２が形成されている（図２参照）。このねじ穴３２には、規制部材３１の長穴３１ａを介して固定ねじ３３がねじ込まれている。固定ねじ３３は、規制部材３１の上下方向の位置を決定したのち、締付けることにより規制部材３１を顕微鏡本体１に当て付け固定するものである。
【００３２】
規制部材３１のガイド用の長穴３１ｂ、３１ｃには、ガイドピン３４がそれぞれ設けられている。これらガイドピン３４は、長穴３１ｂ、３１ｃの幅より大きいヘッド部を有するもので、顕微鏡本体１のねじ穴３５にねじ込まれ、規制部材３１の回転、倒れ等の横方向の移動を規制し、規制部材３１の上下方向の移動をスムーズにガイドできるようにする。
【００３３】
これにより、規制部材３１は、長穴３１ａと、ガイド用の長穴３１ｂ、３１ｃに沿って上下方向に移動可能になり、先端を焦準台２４の鍔部２４ｃの下面に当接され、固定ねじ３３により顕微鏡本体１に当て付け固定され、焦準台２４を介してステージ１０の下方向の動きを規制する状態（図２参照）と、焦準台２４の鍔部２４ｃから離れて最下限の位置にあって固定ねじ１６が緩められた状態（図５参照）を選択的に得られる。
【００３４】
次に、このように構成した第１の実施の形態の作用を説明する。
【００３５】
試料観察を始める前は、規制部材３１は、ねじ穴３２にねじ込まれた固定ねじ３３が緩められた状態（図５参照）にあり、焦準台２４から大きく離れた、試料９のピント合わせに支障のない位置にある。
【００３６】
まず、ステージ１０に載置される試料９の質量がステージ１０の最大積載質量より小さい場合を説明する。
【００３７】
検鏡者が焦準ハンドル３０を回転操作すると、回転軸２８の回転によりピニオン２９を介してラック２７が直線方向に移動する。これにより、焦準台２４は、Ｖ溝２３ａ、２３ｂ、Ｖ溝２５ａ、２５ｂ及び複数のボール２６から構成される直線案内機構により上下方向に移動し、ステージ１０を鉛直方向（対物レンズ５の光軸方向）に沿って上下動させ、対物レンズ５のピント面を試料９に合わせる。
【００３８】
この状態で、試料９の観察が行われるが、この場合、試料９の質量はステージ１０の最大積載質量より小さいので、ステージ１０に試料９を載置したままにしても、試料９の質量によってステージ１０が不用意に下がるおそれがない。このため、この場合は、規制部材３１は、図５に示すように焦準台２４から大きく離れて位置させたままとする。
【００３９】
次に、ステージ１０に載置される試料９の質量がステージ１０の最大積載質量を超える場合を説明する。この場合も、試料９が載置したステージ１０を焦準ハンドル３０の回転操作により上下動させることにより、対物レンズ５のピント面を試料９に合わせる。
【００４０】
この場合、この状態のままで、試料観察を続けると、ステージ１０は、最大積載質量を超えた試料９の重みに耐えられず、ラック２７を下降させ、ピニオン２９を介して回転軸２８とともに焦準ハンドル３０を回転させて不用意にに下がってしまう恐れがある。
【００４１】
そこで、ここでは、ステージ１０をピント位置に合わせたら、固定ねじ３３のねじ込みを緩めたまま、規制部材３１を長穴３１ａに沿って、ガイドピン３４と長穴３１ｂ、３１ｃのそれぞれのガイドにより上方向に移動させる。この場合、ガイドピン３４とガイド用の長穴３１ｂ、３１ｃのガイドによって、規制部材３１に対する回転や倒れなどの横方向の移動が防止される。この規制部材３１の上方向への移動は、規制部材３１上端部が焦準台２４の鍔部２４ｃの下面に当接するまで行なう。そして、図２に示すように規制部材３１上端部が焦準台２４の鍔部２４ｃ下面に当接したところで、固定ねじ３３を締付け、規制部材３１を顕微鏡本体１に当て付け固定する。これにより、規制部材３１は、焦準台２４に当接した位置で固定保持されるようになり、ステージ１０の下方向の動きが規制される。
【００４２】
この結果、試料９の質量がステージ１０の最大積載質量を超えることがあっても、顕微鏡本体１に固定された規制部材３１が焦準台２４の下げ方向の動きを規制しているので、ステージ１０が不用意に下がるのを防止することができる。
【００４３】
従って、このようにすれば、ステージ１０に載置される試料９の質量がステージ１０の最大積載質量を超えるような場合、ステージ１０のピント位置合わせの後、規制部材３１を動かして焦準台２４の鍔部２４ｃ下面に当接させ、さらに固定ねじ３３により規制部材３１を顕微鏡本体１に固定して焦準台２４の下げ方向の動きを規制するようにしたので、ステージ１０がピント位置から不用意に降下するのを防止することができる。これにより、長時間の観察でも頻繁にピント位置の再調節をするようなことがなくなるので、観察作業の効率を飛躍的に高めることができる。
【００４４】
また、規制部材３１は、固定ねじ３３を取り除くことで、取り外しでき必要なときだけ装着して使用することができるので、複数の顕微鏡に対し共用することができ、経済的にも有利である。
【００４５】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００４６】
図６は、本発明の第２の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成の正面図の一部を破断して示す要部拡大図で、図２、図４と同一部分には、同符号を付している。
【００４７】
この場合、焦準台２４の鍔部２４ｃには、規制部材３１を固定するためのクランプ部材、例えばボルト３７が設けられている。また、規制部材３１には、焦準台２４への当接部にボルト３７がねじ込まれるためのねじ穴３８が設けられている。これにより、規制部材３１は、焦準台２４の鍔部２４ｃに当接された状態で、ねじ穴３８に焦準台２４からのボルト３７がねじ込まれることによって固定される。つまり、焦準台２４のボルト３７が規制部材３１のねじ穴３８にねじ込まれることで、焦準台２４と規制部材３１が一体となっている。
【００４８】
この場合は、規制部材３１を単独で上下移動させることがないので、図４で述べたガイドピン３４と長穴３１ｂ、３１ｃを省略できる。
【００４９】
その他は、図２、図４と同様である。
【００５０】
このようにすると、焦準台２４側のボルト３７が規制部材３１のねじ穴３８にねじ込まれ、焦準台２４と規制部材３１が一体になっているので、焦準ハンドル３０を回転し、焦準台２４を上下動させると、規制部材３１も焦準台２４に連動して上下方向に移動する。つまり、規制部材３１を焦準台２４の移動に連動させることができるので、試料９の質量がステージ１０の最大積載質量を超える場合は、ステージ１０をピント位置に合わせたら、固定ねじ３３を顕微鏡本体１のねじ穴３２にねじ込み、規制部材３１を顕微鏡本体１に当て付け固定すればよい。一方、試料９の質量がステージ１０の最大積載質量より小さい場合は、固定ねじ３３のねじ込みを緩めた状態にして規制部材３１の上下方向の移動を許容したままとする。
【００５１】
従って、このようにすれば、規制部材３１を顕微鏡本体１に固定するのみのワンアクションでの作業により、ステージ１０をピント位置に固定できるので、検鏡者の作業の効率化を図ることができる。また、規制部材３１を焦準台２４に一体に固定することで、焦準台２４の上方向の移動に対しても規制することが可能になる。これにより、ステージ１０の積載可能質量以下の試料９についても、ステージ１０をピント位置に合わせた後、固定ねじ３３をねじ込み、規制部材３１を顕微鏡本体１に当て付け固定した状態で観察することができる。
【００５２】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００５３】
図７（ａ）（ｂ）は、第３の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成を示し、同図（ａ）は要部拡大側面図、同図（ｂ）は、正面図の一部を破断面で示した要部拡大図である。なお、これら図７（ａ）（ｂ）は、第２の実施の形態と基本構成が同一のため、図６と同一部分には、同符号を付している。
【００５４】
この場合、規制部材３１は、顕微鏡本体１の内側面１ｄに当て付け固定可能になっている。また、顕微鏡本体１のねじ穴３５にねじ込まれる固定ねじ３３は、規制部材３１の長穴３１ａを貫通した端部にナット３９が設けられている。このナット３９は、長穴３１ａの幅より大きい径を有するもので、固定ねじ３３の回転により、ナット３９と顕微鏡本体１内側面１ｄとの間で規制部材３１を挟持固定するようになっている。
【００５５】
この場合も、規制部材３１を単独で上下移動させることがないので、図４で述べたガイドピン３４と長穴３１ｂ、３１ｃを省略できる。
【００５６】
このようにすれば、第２の実施の形態の効果に加え、作業場所に空きスペースがなく、顕微鏡本体１の外側に規制部材３１を取り付けることができない場合でも、規制部材３１を設置することができる。
【００５７】
（変形例）
次に、本発明の第３の実施の形態の変形例を説明する。
【００５８】
図８（ａ）（ｂ）、図９（ａ）（ｂ）は、第３の実施の形態の変形例の概略構成を示し、図８（ａ）は、要部拡大側面図、図８（ｂ）は、正面図の一部を断面で示した要部拡大図、図９（ａ）は、規制部材が下限位置にある状態、図９（ｂ）は、規制部材が上限位置にある状態を示している。なお、これら図８（ａ）（ｂ）、図９（ａ）（ｂ）は、第３の実施の形態と基本構成が同一のため、図７と同一部分には、同符号を付している。
【００５９】
この場合、規制部材４０はカム形状をしており、その中心からはずれた位置にある支点に回転軸４１が設けられ、この回転軸４１を介して回転自在に支持されている。また、規制部材４０には、回転軸４１から離れた位置にビス４２が設けられている。
【００６０】
一方、顕微鏡本体１側面には、規制部材４０の回転軸４１による支持部とビス４２までの距離を半径とした円弧状のスリット４３が形成されている。このスリット４３には、規制部材４０のビス４２が挿入され、このビス４２をスリット４３に沿って移動可能としている。ビス４２は、顕微鏡本体１の外側から操作できるようになっており、ビス４２の移動操作により規制部材４０を回転させることができるようになっている。この場合、規制部材４０は、中心からはずれた位置を回転支持されているので、この回転により周縁部を上方に突出させて焦準台２４の鍔部２４ｃ下面に当接するようになっている。
【００６１】
また、ビス４２は、顕微鏡本体１のスリット４３と規制部材４０を貫通し、この貫通した端部にナット４４が設けられている。このナット４４は、ビス４２の締付けにより、ナット４４と顕微鏡本体１との間で規制部材４０を挟持固定する。
【００６２】
このようにすれば、顕微鏡本体１の外側からビス４２を操作し、スリット４３に沿って移動させることで、図９（ａ）に示すような規制部材４０が下限位置にある状態から、同図（ｂ）に示す規制部材４０が上限位置にある状態を任意に設定することができる。
【００６３】
これにより、ステージ１０をピント位置に合わせた後、スリット４３に沿ってビス４２を移動して規制部材４０を回転させ、規制部材４０の周縁部を焦準台２４に当接させ、この状態で、ビス４２を締め付けることで、ステージ１０の下方向の動きを規制することができる。
【００６４】
（第４の実施の形態）
次に、本発明の第４の実施の形態を説明する。
【００６５】
図１０は、本発明の第４の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成の正面図の一部を破断して示す要部拡大図で、図２と同一部分には、同符号を付している。
【００６６】
この場合、規制部材３１には、上部端部に突出部３１１が形成され、また、規制部材３１が当て付け固定される顕微鏡本体１側面には、鉛直方向（対物レンズ５の光軸方向）に沿った穴部１０１が形成されている。そして、この穴部１０１には、その底部と規制部材３１の突出部３１１との間に、弾性部材として、ばねユニット５１が設けられている。
【００６７】
ばねユニット５１は、図１１に示すように、一方端部に鍔部５２ａを有する大径の筒体５２の中空部に、一方端部に鍔部５３ａを有する小径の筒体５３を挿通し、さらに、これら筒体５２と５３の鍔部５２ａと５３ａとの間にコイルばね５４を設けたものである。これら筒体５２、５３は、互いに軸方向に移動可能であり、コイルばね５４により小径の筒体５３が大径の筒体５２に対して移動可能な方向に弾性力が作用されている。
【００６８】
そして、このようなばねユニット５１は、規制部材３１に対し上方向に移動させる弾性力を作用し、常時、規制部材３１を焦準台２４の鍔部２４ｃ下面に当接させるようにしている。この場合、ばねユニット５１は、焦準ハンドル３０の操作が困難になるような、強力な弾性力を有するコイルばね５４を使用しないことが必要である。
【００６９】
その他は、図２と同様である。
【００７０】
このようにすると、対物レンズ５のピント面を試料９に合わせる際、規制部材３１は、長穴３１ａのストローク範囲内で焦準方向に自由に移動することができ、さらに、ばねユニット５１により上方への弾性力が作用しているので、焦準台２４の鍔部２４ｃ下面に当接した状態で、焦準台２４とともに移動する。したがって、ステージ１０に載置される試料９の質量がステージ１０の最大積載質量を超えるような場合は、ステージ１０をピント位置に合わせた状態で、固定ねじ３３をねじ込み、規制部材３１を顕微鏡本体１に当て付け固定することで、ステージ１０の下方向の動きを規制することができる。
【００７１】
このようにすれば、ばねユニット５１の弾性力を用いて規制部材３１を焦準台２４とともに移動させるようにしたので、規制部材３１を顕微鏡本体１に固定するのみのワンアクションでの作業により、ステージ１０をピント位置に固定でき、検鏡者の作業の効率化を図ることができる。また、ばねユニット５１は、焦準ハンドル３０の操作が困難にならない程度の弾性力を有するコイルばね５４を用いることで、検鏡者のハンドル操作時に手にかかる負荷を軽減することができる。
【００７２】
（第５の実施の形態）
次に、本発明の第５の実施の形態を説明する。
【００７３】
図１２（ａ）（ｂ）（ｃ）は、第５の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成を示し、同図（ａ）は、側面図の一部を断面して示す要部拡大図、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＢ矢視図、同図（ｃ）は、正面図の一部を断面して示す要部拡大図である。なお、これら図１２（ａ）（ｂ）（ｃ）は、第４実施の形態と基本構成が同一のため、図１０と同一部分には、同符号を付している。
【００７４】
この場合、顕微鏡本体１側面には、肉厚の支持部６０が一体に形成されている。この支持部６０には、鉛直方向（対物レンズ５の光軸方向）に沿った穴部６１が形成されている。この穴部６１には、コイルばね６３を介して円柱状の規制部材６４が移動可能に挿入されている。コイルばね６３は、上方への弾性力を作用するもので、この弾性力により、規制部材６４の先端部を焦準台２４の鍔部２４ｃ下面に当接させている。穴部６１の開口部６１ａには、焦準方向に沿ったスリット６５が形成されている。また、スリット６５を横切る方向に、スリット６５を挟んでねじ挿通穴６６とねじ穴６７が形成されている。ねじ穴６７には、ねじ挿通穴６６を介して固定ねじ６８が設けられ、この固定ねじ６８をねじ込むことで、開口部６１ａの径を狭めることができるようになっている。つまり、固定ねじ６８を緩めると、規制部材６４は、先端部を焦準台２４の鍔部２４ｃ下面に当接された状態で上下動し、固定ねじ６８を締付けた状態では、規制部材６４を固定するようにしている。
【００７５】
このようにすれば、対物レンズ１５のピント画を試料９に合わせる際は、固定ねじ６８を緩めて規制部材６４の固定を開放し、ステージ１０をピント位置に合わせた後は、固定ねじ６８を締付け、規制部材６４の動きを固定する。
【００７６】
従って、このようにしても、コイルばね６３の弾性力を用いて規制部材６４を焦準台２４とともに移動させるようにできるので、上述の第４の実施の形態と同様の効果を得ることができる。また、コイルばね６３を用いることで、構成が簡単で、コスト面でも優れている。
【００７７】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。例えば、上述した各実施の形態では、規制部材を固定する固定部材として固定ねじやビスを用いたが、これら固定ねじやビスに代わりにレバーの付いたクランプ部材を用いてもよい。この場合、このレバーに工具の差込穴を設け、工具によりレバー操作できるようにしてもよい。このように固定部材としてレバーの付いたクランプ部材を用いると、特定の工具を使用しなくてもよく、固定が簡単になり、さらに操作性が向上する。また、レバーに工具の差込穴を設け、工具によってクランプ部材を締め付けることにより、さらに効率的に規制部材３１の固定又は固定解除を行なうことができる。
【００７８】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成を示す側面図。
【図２】第１の実施の形態の正面図の一部を破断して示す要部拡大図。
【図３】図２のＡ矢印方向から見た断面図。
【図４】第１の実施の形態に用いられる焦準機構部の拡大図。
【図５】第１の実施の形態を説明するための図。
【図６】本発明の第２の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成の正面図の一部を破断して示す要部拡大図。
【図７】本発明の第３の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成の要部拡大側面図及び正面図の一部を破断面で示した要部拡大図。
【図８】本発明の第３の実施の形態の変形例の概略構成の要部拡大側面図及び正面図の一部を断面で示した要部拡大図。
【図９】第３の実施の形態の変形例の規制部材が下限位置にある状態、規制部材が上限位置にある状態を説明する図。
【図１０】本発明の第４の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成の正面図の一部を破断して示す要部拡大図。
【図１１】第４の実施の形態に用いられるばねユニットの概略構成を示す図。
【図１２】本発明の第５の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成の側面図の一部を断面して示す要部拡大図、正面図の一部を断面して示す要部拡大図。
【符号の説明】
【００８０】
１…顕微鏡本体、１ａ…ベース部、１ｂ…胴部
１ｃ…アーム、１ｄ…内側面
１０１…穴部、２…落射投光管
３…光源装置、３ａ…光軸
４…ハーフミラー、５…対物レンズ
６…レボルバ、７…接眼レンズ
８…鏡筒、９…試料、１０…ステージ
１１…焦準機構、２１…ガイド
２２…ガイド溝、２２ａ．２２ｂ…内壁部
２３ａ、２３ｂ、２５ａ、２５ｂ…Ｖ溝
２４…焦準台、２４ａ．２４ｂ…外壁部
２４ｃ…鍔部
２６…ボール、２７…ラック
２８…回転軸、２９…ピニオン
３０…焦準ハンドル、３１…規制部材
３１ａ、３１ｂ．３１ｃ…長穴、３１１…突出部
３２…ねじ穴、３３…固定ねじ
３４…ガイドピン、３５…ねじ穴
３７…ボルト、３８…ねじ穴
３９…ナット、４０…規制部材、４１…回転軸
４２…ビス、４３…スリット、４４…ナット
５１…ばねユニット、５２．５３…筒体
５２ａ…鍔部、  ５３ａ…鍔部
６０…支持部、６１…穴部
６１ａ…開口部、６３…コイルばね
６４…規制部材、６５…スリット
６６…ねじ挿通穴、６７…ねじ穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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