(57)【要約】【課題】 回転砥石の円筒外周面を用いて板状ワークの端面を研磨するに際し、従来よりも砥石の寿命を延ばす研磨装置および研磨方法を提供する。【解決手段】  研磨手段2とワーク保持手段5との相対位置を変化させる相対移動手段は、ワーク10の被研磨部全域が研磨されるようにワーク10と砥石3の接触部を相対移動させる第１の相対移動手段6と、ワーク10の被研磨部と接触する砥石面上の接触位置をワーク厚さ方向へ研磨中に進退させる第２の相対移動手段7とを有している。【選択図】    図１
2006095604.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心軸を回転軸とし回転軸方向に厚みを有する周面を砥石面とした回転砥石をその厚みよりも小さい厚みを有するワークの被研磨部に接触させ研磨する研磨手段と、ワークを保持するワーク保持手段と、研磨手段とワーク保持手段との相対位置を変化させる相対移動手段とを備える研磨装置であって、
前記相対移動手段は、ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワークと砥石の接触部を相対移動させる第１の相対移動手段と、ワークの被研磨部と接触する砥石面上の接触位置をワーク厚さ方向へ研磨中に進退させる第２の相対移動手段とを有していることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記ワークは矩形状薄板で、その辺が被研磨部であり、前記第１の相対移動手段による移動方向は該辺の長さ方向であり、前記第２の相対移動手段は第１の相対移動手段と交差する方向に進退することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記砥石の回転数ｎを設定する回転数設定手段と、進退速度μおよび進退距離Ｂを設定する進退設定手段と、条件決定手段と、入力手段とを有する制御装置をさらに備え、
前記入力手段で進退距離Ｂと、砥石１回転毎に進退方向へずれる距離ｗと、回転数ｎまたは進退速度μのいずれかを入力可能であり、
条件決定手段で前記入力された値を次の条件式に代入して回転数ｎまたは進退速度μのうち入力手段で入力していない方の値を求め、
回転数ｎを回転数設定手段に入力し、進退速度μおよび進退距離Ｂを進退設定手段に入力し、
砥石の回転および第２相対移動手段を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
（条件）μ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０，ｋ，ｊ：自然数
【請求項４】
前記砥石の回転数ｎを設定する回転数設定手段と、第１の相対移動手段に送り速度ｖを設定する送り設定手段と、第２の相対移動手段に進退速度μおよび進退距離Ｂを設定する進退設定手段と、条件決定手段と、入力手段とを有する制御装置をさらに備え、
前記入力手段で進退距離Ｂと、砥石１回転毎に進退方向へずれる距離ｗと、矩形板状ワークの研磨対象である辺の長さｙと、第１の相対移動手段による距離ｙの送りの間に行う第２の相対移動手段の進退回数ｍと、回転数ｎ、送り速度ｖまたは進退速度μの３つのうちのいずれか１つまたは２つを入力可能であり、
条件決定手段で前記入力された値を次の条件式に代入して回転数ｎ、送り速度ｖまたは進退速度μのうち入力手段で入力していないパラメータの値を求め、
回転数ｎを回転数設定手段に入力し、送り速度ｖを送り設定手段に入力し、進退速度μおよび進退距離Ｂを進退設定手段に入力し、
砥石の回転および第１と第２相対移動手段を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
（条件）μ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０，ｋ，ｊ：自然数
ｙ／ｖ＝（ｍ×Ｂ）／（ｗ×ｎ）
【請求項５】
ｗがワークの研磨幅であることを特徴とする請求項３または４に記載の研磨装置。
【請求項６】
第１の相対移動手段に送り速度ｖを設定する送り設定手段と、第２の相対移動手段に進退速度μを設定する進退設定手段と、条件決定手段と、入力手段とを有する制御装置をさらに備え、
前記入力手段は、ワークの研磨幅ｗ’と、送り速度ｖまたは進退速度μのいずれかを入力可能とし、
条件決定手段で前記入力された値を次の条件式に代入して送り速度ｖと進退速度μのうち入力手段で入力していないパラメータの値を求め、
送り速度ｖを送り設定手段に入力し、進退速度μを進退設定手段に入力し、
第１と第２相対移動手段を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
（条件）
μ×ｂ≧ｗ’×ｖ，ｂ：設定された砥石のワークへの接触幅（定数）
【請求項７】
中心軸を回転軸とし回転軸方向に厚みを有する周面を砥石面とした回転砥石をその厚みよりも小さい厚みを有するワークの被研磨部に接触させ研磨する研磨手段と、ワークを保持するワーク保持手段と、研磨手段とワーク保持手段との相対位置を変化させる相対移動手段とを備えた研磨装置を用いて研磨する方法であって、
ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワーク上の砥石との接触部を相対移動させるとともに、該相対移動方向と交差する方向にも砥石とワークを相対的に進退させることを特徴とする研磨方法。
【請求項８】
進退距離Ｂ、回転数ｎおよび進退速度μの関係を次式を満たすようにして研磨を行うことを特徴とする請求項７に記載の研磨方法。
（条件）μ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０，ｋ，ｊ：自然数
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、板状ワークの端面を研磨する研磨装置および研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板状ワークの端面研磨においては、例えば矩形形状のワークに対して、ワークの法線方向に回転軸を有するとともにその回転軸を中心とする円筒状の砥石を前記回転軸で回転させ、円筒周面をワーク端面に接触させて前記回転軸をワーク端面に沿って移動させることでワーク端面を研磨する方法がある（特許文献１）。
【特許文献１】特開平１１−１２３６４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、従来技術のような回転砥石の円筒外周面を用いて研磨する方法であると、円筒外周面のワークとの接触部軌跡については特段配慮がなされておらず、回転軸と直交したワークの属する平面と砥石外周面の交差する円形が常にワークと接触する部分であるため接触部分のみ摩耗して円状の溝が形成され砥石の寿命が短くなってしまう。そのままの状態で研磨を続けると研磨の品質が落ちるため、これを修復するためにドレッシングをする必要があるが、その頻度が高いとドレッシングに要する時間が増えることになるため、研磨処理に掛ける時間が短くなり処理能力の低下の原因にもなる。
【０００４】
そこで、本発明は、従来よりも砥石の寿命を延ばす研磨装置および研磨方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明による研磨装置は、中心軸を回転軸とし回転軸方向に厚みを有する周面を砥石面とした回転砥石をその厚みよりも小さい厚みを有するワークの被研磨部に接触させ研磨する研磨手段と、ワークを保持するワーク保持手段と、研磨手段とワーク保持手段との相対位置を変化させる相対移動手段とを備える研磨装置であって、前記相対移動手段は、ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワークと砥石の接触部を相対移動させる第１の相対移動手段と、ワークの被研磨部と接触する砥石面上の接触位置をワーク厚さ方向へ研磨中に進退させる第２の相対移動手段とを有していることを特徴とするものである。
【０００６】
ワークの形状は、例えば、矩形板状とされるが、円板状とされてもよい。また、ワークの材質は、半導体、ガラス等とされる。被研磨部は、矩形板状または円板状ワークの端面、端部もしくは端部に設けられた傾斜部（面取り部）とされる。矩形板状ワークの場合、第１の相対移動手段は、例えば、ボールねじおよびモータとされる。円板状ワークの場合、第１の相対移動手段は、例えば回転可能なチャック手段であり、円板の中心でチャックが回転するようになされた真空チャックなどが使用できる。この場合の送り速度ｖは、チャックの回転による円板状ワークの周速度となる。
【０００７】
砥石の回転軸は、ワークの研磨対象の範囲にあるワーク端面の属する線分（ワークが矩形板状であるなど端面が直線状の場合）または面（ワークが円板状であるなど端面が円弧状の場合）と平行ではなく交差することが条件となる。交差角度は９０°が好ましい。
【０００８】
第２の相対移動手段は、例えば、ボールねじおよび送りモータなどからなるものとされる。ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワークと砥石の接触部を相対移動させる第１の相対移動手段は、公知のものであり、これに、ワークの被研磨部と接触する砥石面上の接触位置をワーク厚さ方向へ研磨中に進退させる第２の相対移動手段が付加されることで、従来と比べて、砥石の厚みを有効活用することができる。第２の相対移動手段は、砥石の厚み方向の端から端までが研磨に使用されるように砥石を相対移動させることが好ましい。
【０００９】
前記ワークは矩形状薄板で、その辺（辺の端面、端部もしくは端部に設けられた傾斜部）が被研磨部であり、前記第１の相対移動手段による移動方向は該辺の長さ方向であり、前記第２の相対移動手段は第１の相対移動手段と交差する方向に進退することものとされることがある。この場合に、交差角度は、９０°であることが好ましい。
【００１０】
前記砥石の回転数ｎを設定する回転数設定手段と、進退速度μおよび進退距離Ｂを設定する進退設定手段と、条件決定手段と、入力手段とを有する制御装置をさらに備え、前記入力手段で進退距離Ｂと、砥石１回転毎に進退方向へずれる距離ｗと、回転数ｎまたは進退速度μのいずれかを入力可能であり、条件決定手段で前記入力された値を次の条件式に代入して回転数ｎまたは進退速度μのうち入力手段で入力していない方の値を求め、回転数ｎを回転数設定手段に入力し、進退速度μおよび進退距離Ｂを進退設定手段に入力し、砥石の回転および第２相対移動手段が制御されることがある。
【００１１】
（条件）μ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０，ｋ，ｊ：自然数
この式は、同じ研磨跡を通らないようにするための条件で、砥石がｊ回転する間に砥石がｋ往復すると（ｊ／ｎ＝ｋ・２Ｂ／μが成り立つと）、同じ研磨跡を通ることから、μ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０とすることにより得られる。ｗの＋と−は任意に設定される。
【００１２】
なお、進退距離Ｂは、研磨に利用する砥石の厚み方向寸法を意味し、Ｂ＝（砥石の厚み）−（砥石の端部で研磨に使用されない部分（片端または両端）の厚み）である。
【００１３】
このようにすると、砥石１回転毎に進退方向へ所定の幅ｗだけ砥石研磨面をずらすことができ、計画的に砥石面のワークとの接触位置の軌跡を設定できる。これにより、砥石の長寿命化が図れる。
【００１４】
また、前記砥石の回転数ｎを設定する回転数設定手段と、第１の相対移動手段に送り速度ｖを設定する送り設定手段と、第２の相対移動手段に進退速度μおよび進退距離Ｂを設定する進退設定手段と、条件決定手段と、入力手段とを有する制御装置をさらに備え、前記入力手段で進退距離Ｂと、砥石１回転毎に進退方向へずれる距離ｗと、矩形板状ワークの研磨対象である辺の長さｙと、第１の相対移動手段による距離ｙの送りの間に行う第２の相対移動手段の進退回数ｍと、回転数ｎ、送り速度ｖまたは進退速度μの３つのうちのいずれか１つまたは２つを入力可能であり、条件決定手段で前記入力された値を次の条件式に代入して回転数ｎ、送り速度ｖまたは進退速度μのうち入力手段で入力していないパラメータの値を求め、回転数ｎを回転数設定手段に入力し、送り速度ｖを送り設定手段に入力し、進退速度μおよび進退距離Ｂを進退設定手段に入力し、砥石の回転および第１と第２相対移動手段が制御されるようにしてもよい。
【００１５】
（条件）μ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０，ｋ，ｊ：自然数
ｙ／ｖ＝（ｍ×Ｂ）／（ｗ×ｎ）
このようにすると、ワークの研磨対象である辺の研磨開始から終了までの時間に砥石面全面を均等に使用する研磨動作を実現できる。しかも、所定のパラメータを入力することで条件を求めることができるため、簡単にその効果が得られる。
【００１６】
なお、上記ｗは、０でない任意の値とできるが、簡単のため、ｗ＝被研磨部の幅（例えばワーク端面の研磨であればワークの厚み）に設定してもよい。
【００１７】
さらにまた、第１の相対移動手段に送り速度ｖを設定する送り設定手段と、第２の相対移動手段に進退速度μを設定する進退設定手段と、条件決定手段と、入力手段とを有する制御装置をさらに備え、前記入力手段は、ワークの研磨幅ｗ’と、送り速度ｖまたは進退速度μのいずれかを入力可能とし、条件決定手段で前記入力された値を次の条件式に代入して送り速度ｖと進退速度μのうち入力手段で入力していないパラメータの値を求め、送り速度ｖを送り設定手段に入力し、進退速度μを進退設定手段に入力し、第１と第２相対移動手段が制御されることがある。
【００１８】
（条件）
μ×ｂ≧ｗ’×ｖ，ｂ：設定された砥石のワークへの接触幅（定数）
上記において、砥石の周速度は、進退速度よりも十分に速く、また、砥石の進退距離は、ｗ’よりも大きく設定される。このようにすると、砥石の番手通りの研磨痕による仕上がりだけでなく、その研磨痕と交差する方向への進退による研磨痕が加わることにより、砥石の番手以上の仕上がりが可能となる。
【００１９】
この発明による研磨方法は、中心軸を回転軸とし回転軸方向に厚みを有する周面を砥石面とした回転砥石をその厚みよりも小さい厚みを有するワークの被研磨部に接触させ研磨する研磨手段と、ワークを保持するワーク保持手段と、研磨手段とワーク保持手段との相対位置を変化させる相対移動手段とを備えた研磨装置を用いて研磨する方法であって、ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワーク上の砥石との接触部を相対移動させるとともに、該相対移動方向と交差する方向にも砥石とワークを相対的に進退させることを特徴とするものである。
【００２０】
この発明の研磨方法によると、ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワーク上の砥石との接触部を相対移動させる方向と交差する方向に砥石とワークを相対的に進退させることにより、従来と比べて、砥石の厚みを有効活用することができる。
【００２１】
上記の研磨方法において、砥石の進退距離Ｂ、回転数ｎおよび進退速度μの関係を次式を満たすようにして研磨を行うことがより好ましい。
【００２２】
（条件）μ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０，ｋ，ｊ：自然数
この式は、同じ研磨跡を通らないようにするための条件で、砥石がｊ回転する間に砥石がｋ往復すると（ｊ／ｎ＝ｋ・２Ｂ／μが成り立つと）、同じ研磨跡を通ることから、μ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０とすることにより得られる。ｗの＋と−は任意に設定される。
【００２３】
このようにすると、砥石１回転毎に進退方向へ所定の距離ｗだけ砥石研磨面を砥石の厚み方向にずらすことができ、計画的に砥石面のワークとの接触位置の軌跡を設定できる。これにより、砥石の長寿命化が図れる。なお、ｗ＝被研磨部の幅（例えばワーク端面の研磨であればワークの厚み）に設定してもよい。
【発明の効果】
【００２４】
この発明の研磨装置によると、研磨手段とワーク保持手段との相対位置を変化させる相対移動手段は、ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワークと砥石の接触部を相対移動させる第１の相対移動手段と、ワークの被研磨部と接触する砥石面上の接触位置をワーク厚さ方向へ研磨中に進退させる第２の相対移動手段とを有しているので、ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワークと砥石の接触部を相対移動させる相対移動手段のみを有し、ワークの被研磨部と接触する砥石面上の接触位置をワーク厚さ方向へ研磨中に進退させる第２の相対移動手段を備えていないものに比べて、砥石の厚みを有効活用することができ、砥石の寿命を長くすることができる。
【００２５】
この発明の研磨方法によると、ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワーク上の砥石との接触部を相対移動させるとともに、該相対移動方向と交差する方向にも砥石とワークを相対的に進退させるので、ワークの被研磨部全域が研磨されるようにワークと砥石の接触部を相対移動させるのみで、ワークの被研磨部と接触する砥石面上の接触位置をワーク厚さ方向へ研磨中に進退させない方法に比べて、砥石の寿命を長くすることができる。
【００２６】
また、上記研磨装置および研磨方法によると、条件を整えることで砥石面全面を均等に利用することができ、この場合は、全面的に研磨面を摩耗させることになるため、従来のように１回転毎に同じ軌跡がワークと接触し最初にはなかった溝が砥石面に掘れていく状態で研磨し続けるのと違って、砥石面の品質に最初と大きな差が無くなるため研磨品質も一定に保つことができる。
【００２７】
さらにまた、送り速度と進退速度の条件を整えることで、ワーク端部の砥石による研磨痕が従来は一方向であり砥石の番手そのものの仕上がりであったところ、交差するような研磨痕になり番手以上の仕上がりが期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００２９】
図１に示すように、この発明による研磨装置(1)は、矩形状薄板ワーク(10)の辺を研磨するもので、回転砥石(3)および砥石用モータ(4)を有する研磨手段(2)と、ワーク(10)を保持するワーク保持手段としての吸着盤(5)（図では垂直状に設置）と、吸着盤(5)をワーク(10)の辺の長さ方向に相対移動させる第１の相対移動手段(6)と、吸着盤(5)をワーク(10)の辺の長さ方向に交差（図では直交）する方向（第２の相対移動方向）に相対移動させる第２の相対移動手段(7)と、各相対移動手段(6)(7)の移動を制御する制御装置(8)とを備えている。
【００３０】
第１の相対移動手段(6)は、吸着盤(5)が載置された可動支持台(11)と、可動支持台(11)を支持するリニアガイド(12)と、可動支持台(11)をワーク(10)の辺の長さ方向に移動させるボールねじ(13)および送りモータ(14)とを有している。
【００３１】
第２の相対移動手段(7)は、第２の相対移動方向に可動となるようにリニアガイド(20)上を動くスライダ(16)と、スライダ(16)をスピンドル(17a)またはばねを介して支持する固定台(17)と、スライダ(16)を前進・後退させるボールねじ(18)および送りモータ(19)とを有し、前記スライダ(16)上に砥石用モータ(4)を回転軸を第２相対移動方向に平行にして備えている。
【００３２】
回転砥石(3)は、水平方向にのびる中心軸を回転軸としかつ回転軸方向に厚みを有する円柱状とされ、その周面が砥石面とされている。回転砥石(3)の厚みは、ワーク(10)の被研磨部分（ここでは厚み）よりも大きいものとされている。
【００３３】
第１の相対移動手段(6)は、ワーク(10)の被研磨部全域が研磨されるようにワーク(10)と砥石(3)の接触部を相対移動させるもので、第２の相対移動手段(7)は、砥石(3)をその軸方向に移動させることにより、ワーク(10)の被研磨部と接触する砥石面上の接触位置をワーク厚さ方向へ研磨中に進退させるもので、第１の相対移動手段(6)による可動支持台(11)の移動に連動して、そのスライダ(16)が移動させられる。そして、この連動が制御装置(8)によって制御されている。
【００３４】
制御装置(8)には、以下の（１）から（３）までの式が蓄えられている。
【００３５】
μ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０，ただし、ｋ，ｊ：自然数  （１）
ｙ／ｖ＝（ｍ×Ｂ）／（ｗ×ｎ）  ただし、ｍ：自然数            （２）
μ×ｂ≧ｗ’×ｖ，ｂ：設定された砥石のワークへの接触幅（定数）（３）
ｎ：砥石の回転数（ｒｐｓ）、μ：砥石の進退速度（ｍ／ｓ）、ｖ：ワーク送り速度（ｍ／ｓ）、Ｂ：砥石の進退距離（ｍ）、ｗ：砥石１回転毎に進退方向へずれる距離（ｍ）、ｗ’：ワークの研磨幅（ｍ）、ｙ：ワークの加工長さ（ワーク辺長さ）（ｍ）、ｂ：砥石の接触幅（ｍ）、ｋ，ｊ，ｍ：任意の自然数（１，２，……）
なお、砥石の進退距離は、砥石の研磨に使用される部分の厚み方向距離のことであり、砥石の厚み全体が研磨に使用される場合には、砥石の進退距離＝砥石の厚みとなり、砥石の厚み全体が研磨に使用される場合に限定されるものではないので、一般的には、砥石の進退距離≦砥石の厚みとなる。
【００３６】
式（１）は、研磨跡がｗだけ位相がずれていく条件（同じ研磨跡を通らないようにするための条件）であり、式（２）は、ワークの一辺の研磨の開始から終了までの１パスで砥石の研磨面全面を１または複数回均等に使う条件であり、式（３）は、砥石の回転方向の研磨傷と回転軸方向の進退による研磨傷が研磨面上に得られ砥石の番手以上の仕上げを期待する条件である。
【００３７】
式（１）について、同じ研磨跡を通るための条件は、砥石研磨面全面を二次元化した図２に示すように、砥石が往復（１または複数回）する間に砥石がちょうど整数回転する条件であるので、砥石（回転数ｎ）が１回転に要する時間が１／ｎ、砥石（進退速度μ）が１往復に要する時間が２Ｂ／μであり、同じ研磨跡を通る＝砥石が１回転する間に砥石がｋ（自然数）回往復するかまたは砥石が１往復する間にｊ（自然数）回転するかのどちらか、言い換えれば、砥石がｊ回転する間に砥石がｋ往復すればよいと考えて、砥石がｊ回転に要する時間ｊ／ｎ＝砥石がｋ往復に要する時間ｋ・２Ｂ／μとなる。したがって、ｊ／ｎ＝ｋ・２Ｂ／μが同じ研磨跡を通る条件であり、同じ研磨跡を通らないようにするためには、ｊ／ｎ≠ｋ・２Ｂ／μ、すなわち、μ／ｎ≠（ｋ／ｊ）×２Ｂとすればよい。この式をμ／ｎ＝（ｋ／ｊ）×２Ｂ±ｗ，ｗ≠０と表現することで、式（１）が得られ、例えば、ｗ＝ワークの研磨幅，ワークの研磨幅×α（整数または小数）またはワークの研磨幅＋β（整数または小数）などというように、ワークの研磨幅を基準として位相を決定することができる。
【００３８】
式（２）について、ワークの研磨幅ｗ’の位相差がワーク辺長さｙを加工する間に砥石の研磨に使用される部分を移動する条件は、ワーク移動の所要時間ｔ＝ｙ／ｖ、この間に砥石が回転する回数は、ｍ×Ｂ／ｗ回、この間の所要時間は、（ｍ×Ｂ）／（ｗ’×ｎ）であるので、これがｔと等しい条件として、ｙ／ｖ＝（ｍ×Ｂ）／（ｗ’×ｎ）が得られる。
【００３９】
式（３）について、砥石のワーク端面の押し付け力Ｆ（ｋｇｆまたはＮ）に対して、砥石の（ワーク辺長さ方向の）接触幅がｂ（ｍ）であるとすると、砥石の回転方向の研磨傷と回転軸方向の進退による研磨傷が研磨面上に得られる条件は、回転による研磨傷の後に進退による研磨傷が生じることになるので、図３に示すように、微小時間Δｔの間の回転方向の移動量をΔＳｒとして、ΔＳｒ＝ｖ×Δｔ、このΔＳｒに対応する回転軸方向の移動量をΔＳｔとして、ΔＳｔ＝μ×Δｔとなる。接触幅ｂを砥石が移動する時間ｔｒは、ｔｒ＝ｂ／ｖとなり、この間に、Ｓｔ≧ｗ’を満たす必要があるので、Ｓｔ＝μ×ｔｒ＝μ×ｂ／ｖ≧ｗ’がその条件となる。したがって、μ／ｖ≧ｗ’／ｂ、すなわち、（砥石の進退速度）／（ワークの送り速度）≧（ワークの研磨幅）／（砥石の接触幅）が必要条件となる。
【００４０】
なお、砥石の接触幅ｂについては、図４において、砥石のワーク端面の押し付け力Ｆ、砥石の半径をｒ０、ワークの研磨幅ｗ’、砥石のポアソン比をν１、砥石の縦弾性係数をＥ１、ワークのポアソン比をν２、ワークの縦弾性係数をＥ２として、
ｂ＝２×√｛（４／π×ｒ０×（ｋ１＋ｋ２）×ｑ｝，ｋ１＝（１−ν１２）／Ｅ１，ｋ２＝（１−ν２２）／Ｅ２，ｑ＝Ｆ／ｗと表され、Ｅ１≪Ｅ２であることから、ｂは次式で近似される。ｂ≒４×√（ｒ０／π×ｋ１×Ｆ／ｗ）。この式は、式（４）として、制御装置(8)に蓄えておいてもよい。
【００４１】
制御装置(8)は、図５に示すように、砥石(3)の回転数ｎを設定する回転数設定手段(21)と、砥石(3)の接触幅ｂなどを設定する研磨仕様設定手段(22)と、第１の相対移動手段(6)に送り速度ｖを設定する送り設定手段(23)と、第２の相対移動手段(7)に進退速度μおよび進退距離Ｂを設定する進退設定手段(24)と、１回転毎のずれ量ｗなどを設定する相対移動条件設定手段(25)と、上記（１）から（３）までの式を用いて適正研磨条件を求める条件決定手段(26)などを備えている。
【００４２】
この制御装置(8)によると、例えば、砥石寸法およびワーク寸法に応じてＢおよびｗが定数値として入力され、さらに、ワークの材質や仕上がりを考慮してｋおよびｊとμおよびｎのいずれか一方とが入力され、これにより、式（１）からμおよびｎのうちの他方が求められ、この条件で研磨することにより、研磨跡がｗだけ位相がずれていくことになり、砥石の厚みを有効活用することができるので、砥石の寿命を長くすることができる。また、式（２）をさらに使用することにより、ｖを求めたり、逆にｖを入力することで、式（２）からｎを求め、このｎを用いて式（１）からμを求めることもできる。そして、式（３）の条件を確保することにより、研磨痕を交差するような研磨痕として、砥石の番手以上の仕上がりとすることもできる。こうして得られるｎ，ｖ，μは、通常複数組存在しているが、各パラメータの設定値を変更して再計算したり、研磨効率を考慮するなどして、１つのｎ，ｖ，μの組が選択される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】この発明による研磨装置の１実施形態を示す斜視図である。
【図２】砥石の進退距離と回転数との関係を求めるための参考図である。
【図３】砥石の接触幅とワーク幅との関係を求めるための参考図である。
【図４】砥石の接触幅を求めるための参考図である。
【図５】この発明による研磨装置の制御装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００４４】
(1)           研磨装置
(2)           研磨手段
(3)           砥石
(5)           吸着盤（ワーク保持手段）
(6)           第１の相対移動手段
(7)           第２の相対移動手段
(8)           制御装置
(10)          ワーク
(21)          回転数設定手段
(23)          送り設定手段
(24)          進退設定手段
(26)          条件決定手段
【図１】
2006095604.tif 000003
【図２】
2006095604.tif 000004
【図３】
2006095604.tif 000005
【図４】
2006095604.tif 000006
【図５】
2006095604.tif 000007