(57)【要約】【課題】  マージンを大きく取ることなく第１電極と隔壁と第２電極との位置合わせ精度を向上させることのできる粒子移動型表示素子及び粒子移動型表示装置並びに粒子移動型表示素子の製造方法を提供する。【解決手段】  所定間隙を開けた状態に配置される観察者側基板２、後方基板１及び基板間の間隙を一定に保持する隔壁６により囲まれた空間Ｓに配された複数の帯電粒子７の分布を、空間Ｓに面して配置された第１電極３及び第２電極４ａ，４ｂ間に印加した電圧により変化させて表示を行う。そして、隔壁６を後方基板１側から観察者側基板２側に広がるテーパー形状とすると共に、第１電極３を後方基板１側に、第２電極４ａを隔壁６の側面に沿って設けるようにすることにより、第２電極４ａをセルフアライメントで形成することができる。【選択図】      図１
2006259456.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定間隙を開けた状態に配置される観察者側基板及び後方基板と、基板間の間隙を一定に保持する隔壁と、前記観察者側基板、前記後方基板及び前記隔壁により囲まれた空間に配された複数の帯電粒子と、前記空間に面して配置された第１電極及び第２電極とを備え、前記電極間に印加した電圧により前記帯電粒子の分布を変化させて表示を行う粒子移動型表示素子において、
前記隔壁を後方基板側から観察者側基板側に広がるテーパー形状とすると共に、前記第１電極を前記後方基板側に、前記第２電極を前記テーパー形状の隔壁の側面に沿ってそれぞれ設けたことを特徴とする粒子移動型表示素子。
【請求項２】
前記隔壁と前記後方基板との間に前記第２電極の一部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の粒子移動型表示素子。
【請求項３】
前記隔壁の観察者側基板端面と後方基板側端面の幅の差は、前記帯電粒子の直径の０．１倍以上かつ１０倍以下であることを特徴とする請求項１又は２記載の粒子移動型表示素子。
【請求項４】
前記隔壁の側面に設けられた前記第２電極の表面を保護膜で覆うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の粒子移動型表示素子。
【請求項５】
前記観察者側基板、前記後方基板及び前記隔壁により囲まれた空間に、前記複数の帯電粒子及び該帯電粒子が分散される絶縁性液体を配したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の粒子移動型表示素子。
【請求項６】
前記請求項１乃至５のいずれか１項に記載の粒子移動型表示素子を備えたことを特徴とする粒子移動型表示装置。
【請求項７】
所定間隙を開けた状態に配置される観察者側基板及び後方基板と、基板間の間隙を一定に保持する隔壁と、前記観察者側基板、前記後方基板及び前記隔壁により囲まれた空間に配された複数の帯電粒子と、前記空間に面して配置された第１電極及び第２電極とを備え、前記電極間に印加した電圧により前記帯電粒子の分布を変化させて表示を行う粒子移動型表示素子の製造方法において、
前記隔壁を後方基板上に後方基板側から観察者側基板側に広がるテーパー形状に形成する隔壁形成工程と、
前記テーパー形状の隔壁の側面及び前記後方基板上に第２電極形成用導電性部材を成膜する成膜工程と、
異方性エッチングにより前記隔壁側面及びその近傍以外の前記第２電極形成用導電性部材を除去して前記第２電極を形成する第２電極形成工程と、
を備えたことを特徴とする粒子移動型表示素子の製造方法。
【請求項８】
所定間隙を開けた状態に配置される観察者側基板及び後方基板と、基板間の間隙を一定に保持する隔壁と、前記観察者側基板、前記後方基板及び前記隔壁により囲まれた空間に配された複数の帯電粒子と、前記空間に面して配置された第１電極及び第２電極とを備え、前記電極間に印加した電圧により前記帯電粒子の分布を変化させて表示を行う粒子移動型表示素子の製造方法において、
前記隔壁を後方基板上に後方基板側から観察者側基板側に広がるテーパー形状に形成する隔壁形成工程と、
前記テーパー形状の隔壁の側面及び前記後方基板上に第２電極形成用導電性部材を成膜する成膜工程と、
前記第２電極形成用導電性部材上に保護膜を被覆する保護膜被覆工程と、
異方性エッチングにより前記隔壁側面及びその近傍以外の前記第２電極形成用導電性部材及び前記保護膜を除去して前記第２電極を形成する第２電極形成工程と、
を備えたことを特徴とする粒子移動型表示素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電粒子を移動させて表示を行う粒子移動型表示素子及び粒子移動型表示装置並びに粒子移動型表示素子の製造方法に関し、特に第１電極と隔壁と第２電極との位置合わせに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピューターの普及による情報化の進展により、より視認性がよく疲労の少ない表示装置が求められており、粒子移動型表示装置の一つの技術候補として電気泳動表示装置が注目され、各所で研究開発が行われている。
【０００３】
ここで、この電気泳動表示装置は、粒子を移動させて表示を行う電気泳動表示素子を備えており、このような電気泳動表示素子は、液晶表示素子に比べて表示コントラストが高い、視野角が広い、表示にメモリー性がある、バックライトや偏光板が不要である等、種々の特徴を有している。
【０００４】
ところで、このような電気泳動表示素子としては、所定間隙を開けた状態に配置された基板間に配した複数の帯電粒子の分布を、第１電極及び第２電極間に印加した電圧により変化させて表示を行うという構成のものがある。
【０００５】
さらに、このような電気泳動表示素子の一例としては、画素の開口部に第１電極を、開口部の周囲に配置される隔壁近傍に第２電極を設け、これら第１電極面と第２電極面との間を電圧を印加して帯電粒子を移動させることによって表示を行うものがある（例えば、特許文献１参照。）。そして、このように構成された電気泳動表示素子は、開口率の高いセル設計を実現できる点で優れている。
【０００６】
電気泳動表示装置以外に、同じく粒子の移動によってコントラストを得る粒子移動型表示装置として、トナーに電荷を注入して移動させるいわゆるトナーディスプレイ方式が特許文献２に提案されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１６１９６６号公報
【特許文献２】特開２００２−０１４３８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、このような従来の電気泳動表示素子及び電気泳動表示装置においては、電気泳動表示素子を製造する際には、液晶表示装置等と同様に、一般的には基板上に成膜とフォトリソグラフィーを繰り返して、各種電極、絶縁層、隔壁などの表示部分を形成していく。
【０００９】
そして、このような電気泳動表示素子の製造方法において、中でも帯電粒子の移動現象と密接に関係する電界分布を支配する、各画素に設けられた第１電極パターンと第２電極パターンとの位置関係や、これら電極パターンと隔壁パターンとの位置関係は設計上の重要なファクターであるため、これら電極パターンと隔壁パターンは精密に位置合わせされる必要がある。
【００１０】
しかしながら、位置合わせ精度には機械的な限界があるため、各パターンを形成する際は、各パターンの位置ずれを見込んで、各部材の寸法を設定せねばならず、ある程度マージンをもって設計することが必要となる。
【００１１】
ここで、設計上必要な具体的なマージンとしては、画素開口部に設けられた第１電極と隔壁との位置合わせ、隔壁と隔壁近傍に設けられた第２電極との位置合わせ、或は隔壁とこれら第１及び第２電極との位置合わせが挙げられる。そして、これらの中でも、立体的な構造である隔壁とその近傍に形成する第２電極との位置合わせは比較的困難であるため、大きなマージンが必要となる。このため、隔壁近傍の第２電極の幅を広げる必要がある。
【００１２】
しかし、このようなマージンをとるために隔壁近傍の第２電極幅を広げてしまうと、それは同時に開口部を狭めることになり、電気泳動表示素子の特徴である高い開口率の実現が困難になるという問題があった。さらに、電気泳動表示素子の高精細化に伴い画素の配列ピッチが縮小化されると、このピッチに対して各部のマージンの割合が大きくなり、さらに開口率の低下を招くという問題もあった。
【００１３】
そこで、本発明は、このような現状に鑑みてなされたものであり、マージンを大きく取ることなく第１電極と隔壁と第２電極との位置合わせ精度を向上させることのできる粒子移動型表示素子及び粒子移動型表示装置並びに粒子移動型表示素子の製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、所定間隙を開けた状態に配置される観察者側基板及び後方基板と、基板間の間隙を一定に保持する隔壁と、前記観察者側基板、前記後方基板及び前記隔壁により囲まれた空間に配された複数の帯電粒子と、前記空間に面して配置された第１電極及び第２電極とを備え、前記電極間に印加した電圧により前記帯電粒子の分布を変化させて表示を行う粒子移動型表示素子において、
前記隔壁を後方基板側から観察者側基板側に広がるテーパー形状とすると共に、前記第１電極を前記後方基板側に、前記第２電極を前記テーパー形状の隔壁の側面に沿ってそれぞれ設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
また本発明は、所定間隙を開けた状態に配置される観察者側基板及び後方基板と、基板間の間隙を一定に保持する隔壁と、前記観察者側基板、前記後方基板及び前記隔壁により囲まれた空間に配された複数の帯電粒子と、前記空間に面して配置された第１電極及び第２電極とを備え、前記電極間に印加した電圧により前記帯電粒子の分布を変化させて表示を行う粒子移動型表示素子の製造方法において、前記隔壁を後方基板上に後方基板側から観察者側基板側に広がるテーパー形状に形成する隔壁形成工程と、前記テーパー形状の隔壁の側面及び前記後方基板上に第２電極形成用導電性部材を成膜する成膜工程と、異方性エッチングにより前記隔壁側面及びその近傍以外の前記第２電極形成用導電性部材を除去して前記第２電極を形成する第２電極形成工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のように、隔壁を後方基板側から観察者側基板側に広がるテーパー形状とすると共に、第２電極の一部をテーパー形状の隔壁の側面に沿って設けるようにすることにより、第２電極をセルフアライメントで形成することができ、これによりマージンを大きく取ることなく第１電極と隔壁と第２電極との位置合わせ精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本発明の実施の形態に係る粒子移動型表示素子の一例である電気泳動表示素子の概略構成を示す図であり、図１に示すように、この電気泳動表示素子は、所定間隙を空けた状態に配置された観察者側基板である第２基板２及び後方基板である第１基板１と、これらの基板１，２の間隙を一定に保持するための隔壁６と、基板１，２と隔壁６に囲まれた空間Ｓ内に配置され、帯電粒子７及び帯電粒子７が分散された分散媒である絶縁性液体８とからなる分散液と、を備えている。
【００１９】
なお、この電気泳動表示素子は、基板上にマトリクス配置した画素を有するものであり、隔壁６は隣接する画素Ｇ，Ｇ間での帯電粒子７の移動を防止する機能を併せ持っている。ここで、この隔壁６は、断面が第１基板側から第２基板側に広がる逆テーパー形状を有しており、この隔壁６の側面と第１基板１との間で形成される角度θは、θ＜９０°となっている。
【００２０】
また、第１基板１には第１電極３が配置されており、この第１電極３によって表示の１単位、即ち画素Ｇ，Ｇが画定される。一方、隔壁６側面に沿うように上部第２電極４ｂが、また第１基板１と隔壁６との間には下部第２電極４ａがそれぞれ形成されており、これら下部第２電極４ａと、上部第２電極４ｂとは隔壁６近傍で接触している。なお、第１電極３と下部第２電極４ａとの間は絶縁層５が設けられている。
【００２１】
そして、これら第１電極３と、下部及び上部第２電極４ａ，４ｂとの間で、帯電粒子７の空間分布を制御する電場を形成することによって、帯電粒子７を、第１電極３と第２電極４ａ，４ｂとの間を移動させるようにしている。
【００２２】
ここで、このような構成の電気泳動表示素子における表示は、第１電極３及び第２電極４ａ，４ｂ間に電圧を印加し、帯電粒子７を両電極間で移動させることにより行う。例えば、帯電粒子７を第１電極３上に配置することにより帯電粒子７の色を表示することができ、一方帯電粒子７を第２電極４ａ，４ｂ側に集めることにより第１電極面あるいは第1基板１の色を表示することができる。
【００２３】
これにより、このような電気泳動表示素子を用いて白黒表示を行うには、帯電粒子７を黒色とすると共に第１電極３面上の絶縁層５を白色とし、この黒色の帯電粒子７をシャッター駆動させればよい。また、カラー表示を行うには、帯電粒子７を着色するか、他の部材を適宜着色しておけばよく、例えば黒色の帯電粒子７を用い、第１電極３面上の絶縁層をカラーフィルター層として兼用することによりカラー表示が可能となる。
【００２４】
次に、このような電気泳動表示素子の製造方法について図２を用いて説明する。
【００２５】
電気泳動表示素子を製造する場合は、まず図２の（ａ）に示すように第１基板１上に第１電極３を形成する。なお、この第１電極３は必要に応じて所望の大きさにパターニングされる。また、アクティブマトリクス駆動を行う場合には、予め第１基板１上に不図示の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等のスイッチング素子及び配線を形成し、これらスイッチング素子と第１電極３とを電気的に導通させる。
【００２６】
次に、第１電極３を被覆するようにして絶縁層５を成膜し、この後、この絶縁層５上に下部第２電極４ａを形成するための導電性部材１４ａを成膜し、さらにこの導電性部材１４ａ上に隔壁６を形成する。なお、導電性部材１４ａと隔壁６との密着性を向上させる目的で、導電性部材１４ａと隔壁６との間に不図示の密着層を形成してもよい。
【００２７】
そして、このような隔壁形成工程の後、図２の（ｂ）に示すように、隔壁６の側面及び第１基板上に第２電極４ｂを形成するための導電性部材１４ｂを成膜する。ここで、この導電性部材１４ｂの成膜方法としては、真空蒸着法や塗布法などの方法を適用できる。なお、この導電性部材１４ｂと隔壁６との密着性を向上させる目的で、隔壁６のアッシングなどの方法により表面処理を施す、或は導電性部材１４ｂと隔壁６との間に不図示の密着層を形成するようにしても良い。
【００２８】
そして、このような成膜工程の後、第１基板１に垂直な方向で異方性エッチングを行い、図２の（ｃ）に示すように、隔壁側面及びその近傍領域以外の導電性部材１４ａ，１４ｂを順次除去していく。
【００２９】
ここで、この異方性エッチングには物理的エッチングや化学的エッチング、あるいはリアクティブイオンイオンエッチング（ＲＩＥ）などの方法を適用できる。また、このエッチングにより第２電極を形成する第２電極形成工程においては、逆テーパー形状の隔壁６がエッチングマスクとなるので、隔壁６側面及び第１基板側の隔壁６近傍の領域はほとんどエッチングされることがない。
【００３０】
つまり、このように隔壁６を逆テーパー形状として異方性エッチングを行なうことにより、セルフアライメントが可能となり、このセルフアライメントにより下部及び上部第２電極４ａ，４ｂがパターニングされるため、下部及び上部第２電極４ａ，４ｂと立体的な構造体である隔壁６との位置合わせ制御は不要になる。
【００３１】
これにより、第１電極３と第２電極４ａ，４ｂと隔壁６の３つの部材間における位置合わせで必要な制御は、比較的簡便な第１電極３と隔壁６との僅か１回の位置合わせだけとなり、開口率に影響する製造上必要な寸法マージンとしては、第１電極３と隔壁６との位置ずれだけを考慮すればよい。
【００３２】
つまり、隔壁６を逆テーパー形状として異方性エッチングを行なうことにより、第１電極３と第２電極４ａ，４ｂと隔壁６の３つの部材間における位置合わせを１回で済ますことができるので、第１電極３と隔壁６と第２電極４ａ，４ｂとの位置合わせ精度を飛躍的に向上させることができる。さらに、位置合わせを１回で済ますことにより、その分、寸法マージンを小さくすることができ、アライメントずれによる歩留まりを低減することもできる。
【００３３】
次に、このように隔壁６を形成した後、第１基板１と隔壁６で囲まれた空間に複数の帯電粒子７及び絶縁性液体８を充填し、最後に第２基板２を隔壁６に接触させて封止する（図１参照）。なお、必要に応じて隔壁６と第２基板２とを接着しても良い。
【００３４】
そして、このようにして電気泳動表示素子を製造した後、この電気泳動表示素子に電圧印加回路等を接続することにより、電気泳動表示装置が製造される。
【００３５】
次に、このような電気泳動表示素子を構成する構成部品の材料等について説明する。
【００３６】
第１基板１や第２基板２には、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）等のプラスチックフィルムの他、ガラス、石英等を使用することができる。なお、本実施の形態に係る電気泳動表示素子が反射型である場合には、観察者側の第２基板２や基材には透明な材料を使用する必要があるが、他方の第１基板１には、ポリイミド（ＰＩ）などの光透過率の低い材料やＳＵＳなどの金属板あるいは着色されている板状材料を用いてもよい。
【００３７】
第１電極３には、電気泳動表示素子が透過型である場合には、透明な導電材料が必要であり、例えばＩＴＯ、ＳｎＯ２  、有機導電膜などを使用することができる。
【００３８】
また、電気泳動表示素子を反射型として使用する場合には、第１電極３に反射層を兼ねさせるため、第１電極３を銀やＡｌ等の光反射性の高い材料で形成すると良い。さらに、反射光を散乱させるためには、第１電極３に凹凸を付与するようにしてもよい。なお、絶縁層５を散乱層として使用する場合には、絶縁層５の材料として樹脂中に屈折率の異なる微粒子を分散させたものを用いても良い。
【００３９】
分散媒である絶縁性液体８には、イソパラフィン、シリコーンオイル及びキシレン、トルエン等の非極性溶媒であって透明なものを使用すると良い。
【００４０】
下部第２電極４ａとしては、下部第２電極４ａが配置される領域は光吸収性があることが好ましく、このために下部第２電極４ａ自身が光吸収性を有する材料であっても良いし、また図示しないが別途光吸収材を設けても良く、その場合には下部第２電極４ａは光吸収性を有する必要はない。
【００４１】
上部第２電極４ｂについては、特に制限はない。したがって下部第２電極４ａと上部第２電極４ｂの組み合わせとしては、異なる材料を用いても良い。
【００４２】
帯電粒子７としては、着色されていて絶縁性液体中で正極性又は負極性の良好な帯電特性を示す材料を使用すると良く、例えば各種の無機顔料や有機顔料やカーボンブラック、或いは、それらを含有させた樹脂を使用すると良い。なお、帯電粒子７の粒径としては通常０．０１μｍ〜５０μｍ程度のものを使用できるが、好ましくは、０．１から１０μｍ程度のものを用いると良い。
【００４３】
なお、上述した絶縁性液体８や帯電粒子７中には、帯電粒子７の帯電を制御し、安定化させるための荷電制御剤を添加しておくと良い。なお、このような荷電制御剤としては、モノアゾ染料の金属錯塩、サリチル酸や有機四級アンモニウム塩、ニグロシン系化合物などを用いると良い。
【００４４】
さらに、絶縁性液体中には、帯電粒子同士の凝集を防ぎ、分散状態を維持するための分散剤を添加しておいても良い。なお、このような分散剤としては、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム等のリン酸多価金属塩、炭酸カルシウム等の炭酸塩、その他無機塩、無機酸化物、あるいは有機高分子材料などを用いることができる。
【００４５】
隔壁６には、第１基板１と同一の材料を用いても良く、アクリル系やエポキシ系などの感光性樹脂を用いても良い。また、隔壁６の形成にはどのような方法を用いても良く、例えば感光性樹脂層を塗布した後、露光及びウェット現像を行う方法、又はモールドにより別途作製した隔壁構造を後方基板上に転写し、隔壁６を第１基板上に熱硬化接着剤や紫外線硬化接着剤などを用いて固定する方法、又は印刷積層法、加圧型押し法、エンボス法等を用いることができる。
【００４６】
また、隔壁６自体が非開口部であるために隔壁６への入射光を吸収することで余分な反射光を除去できることから、隔壁６には光吸収性の材料を用いると良く、例えば黒色の顔料や染料を分散させた樹脂材を用いることができる。また同様の理由で、隔壁６の幅は画素ピッチに比べて十分小さく形成すると良い。好ましくは、隔壁６の幅は画素ピッチに比べて０．１倍以下に設定する。また第１基板１や第２基板２にフレキシブル性のある部材を用いる場合には、隔壁６にもフレキシブル性のある材料を用いるのが良い。
【００４７】
さらに、明るさ、コントラスト、視野角特性の低減をふせぐため、隔壁６の第１基板端面と第２基板側端面の幅の差は、帯電粒子７の直径の０．１倍以上かつ１０倍以下であることが好ましい。
【００４８】
以上述べたように、本実施の形態のように、セルフアライメントにより第２電極４ａ，４ｂを形成することにより、第１電極３と第２電極４と隔壁６との位置合わせに必要な寸法マージンは、第１電極３と隔壁６との位置合わせに必要な分だけとすることができる。この結果、第２電極４にはマージンが必要なくなり、微細な第２電極４の形成が可能となる。このため、高精細表示においても開口率を損なうことなく明るい表示を行うことができる。またアライメントずれによる歩留まりを低減できるために、安定した製造を行うことも可能になる。
【００４９】
なお、図３は、本実施の形態に係る電気泳動表示素子の他の構成を示す図であり、図３において、９は隔壁側面に形成され、隔壁側面上の第２電極４ｂを保護する隔壁幅に比べて十分薄い膜厚を持つ保護膜であり、このような保護膜９により第２電極４ｂを被覆することにより、エッチングの際の第２電極４ｂへのダメージを低減できる。
【００５０】
そして、このようにエッチング時の隔壁側面へのダメージを低減することができることにより、その分、隔壁側面の斜度θを大きく設計できるため、非開口部である隔壁６の幅を狭くすることができる。これにより、開口率の高い画素設計が可能となる。
【００５１】
以上、本発明を電気泳動表示装置を例にとって説明したが、これ以外にも、トナーディスプレイなど粒子の移動を伴う粒子移動型表示装置において、画素の周囲に隔壁を設ける場合にも、本発明が適用できることは言うまでもない。
【００５２】
次に、本実施の形態の実施例について説明する。
【００５３】
（実施例１）
本実施例では、図１に示す電気泳動表示素子を、図２に示す製造方法により製造する。
【００５４】
なお、本実施例において製造する電気泳動表示素子は、２００×２００画素、画素ピッチは１００μｍとし、画素の平面形状を正方形とする。
【００５５】
まず、ＰＥＴで形成された第１基板１上にＡｌを真空蒸着し、この後、フォトリソグラフィーでレジストパターンを形成し、露出面をエッチングすることにより第１電極３を形成する。ここで、第１電極３の製造上の位置合わせに必要な寸法マージンは、後工程の隔壁６との位置ずれだけを考慮すれば良いので、隣接する第１電極３同士の間隔１０μｍとしており、後工程の隔壁６との位置合わせに必要なアライメントマージンを４μｍとしている。
【００５６】
次に、レジスト剥離して、第１電極３を含む基板上に白色の微粒子を分散させたアクリル樹脂を用いた白色の絶縁層５を形成し、この後、絶縁層５上に暗色系である炭化チタンＴｉＣをスパッタ法により蒸着し、下部第２電極４ａを形成するための導電性部材１４ａを成膜する。蒸着後は、フレキシブル製のあるネガ型の厚膜用フォトレジスト（ＴＨＢシリーズ［ＪＳＲ］）を用いフォトリソグラフィーにより隔壁６を形成する（図２の（ａ）参照）。
【００５７】
なお、この隔壁６の第１基板側端面部の幅は４μｍとし、逆の第２基板側端面部の幅は８μｍとする。また高さを２０μｍとする。なお、このように隔壁６の断面部を逆テーパー形状にするためには、下地層との密着性が確保できる範囲で、通常の露光量よりもわずかに少ない値に設定する。
【００５８】
次に、隔壁６側面を含む基板面内にチタンＴｉを蒸着し、上部第２電極４ｂを形成するための導電性部材１４ｂを成膜する（図２の（ｂ）参照）。蒸着後は、リアクティブイオンイオンエッチング（ＲＩＥ）により隔壁側面及び底面近傍以外のＴｉ及びＴｉＣを除去する。これによりセルフアライメントにより第２電極４ａ，４ｂは隔壁６側面及びその底面近傍にパターニングされる（図２の（ｃ）参照）。なお、エッチングの際には高真空高圧状態で行い異方性を高めておく。この後、図示しないが、表面に透明な絶縁性の薄膜をコーティングする。
【００５９】
続いて各画素内に絶縁性液体８及び平均粒子径２μｍの複数の帯電粒子７を充填し、第２基板２により各画素を封止する。これに電圧印加回路を接続して電気泳動表示装置とする。
【００６０】
ここで、本実施例の電気泳動表示素子は、セルフアライメントにより第２電極４を形成するため微細な第２電極４を形成でき、このため高精細表示においても開口率を損なうことなく明るい表示を行うことができる。また、アライメントずれによる歩留まりを低減できる。
【００６１】
（実施例２）
本実施例では、図３に示す電気泳動表示素子を、図４に示す製造方法により製造する。
【００６２】
なお、本実施例において製造する電気泳動表示素子は、２００×２００画素、画素ピッチは１００μｍとし、画素の平面形状を正方形とする。
【００６３】
図４の（ａ）の構造は実施例１と同様の方法により形成する。ただし隔壁６の寸法は、第１基板側端面部の幅は４μｍとし、第２基板側端面部の幅は６μｍとする。また、高さを２０μｍとする。次に、隔壁６側面を含む基板面内にチタンＴｉを蒸着し、上部第２電極４ｂを形成するための導電性部材１４ｂを成膜し、この後、透明な樹脂薄膜を保護膜９として用い、これを隔壁６の側面に沿うようにして基板全面に被覆する（図４の（ｂ）参照）。
【００６４】
そして、このような保護膜被覆工程の後、異方性エッチングＲＩＥにより隔壁側面及び底面以外の保護膜９、樹脂膜Ｔｉ及びＴｉＣを連続的に除去する。これによりセルフアライメントにより第２電極４ａ，４ｂは隔壁６側面及びその底面にパターニングされる（図４の（ｃ）参照）。
【００６５】
ここで、本実施例においては、このような第２電極形成工程において、隔壁側面上の導電性部材１４ｂを保護膜９で被覆しているためにエッチングの際の導電性部材１４ｂ、即ち第２電極４ｂへのダメージを低減できる。なお、エッチングの際には高真空高圧状態で行い異方性を高めておく。この後、図示しないが、表面に絶縁性の薄膜をコーティングする。
【００６６】
続いて各画素内に絶縁性液体８及び平均粒子径２μｍの複数の帯電粒子７を充填し、第２基板２により各画素を封止する。これに電圧印加回路を接続して電気泳動表示装置とする。
【００６７】
ここで、本実施例の電気泳動表示素子は、セルフアライメントにより第２電極４を形成するため微細な第２電極４を形成でき、このため高精細表示においても開口率を損なうことなく明るい表示を行うことができる。また、アライメントずれによる歩留まりを低減できる。さらに、保護膜９を採用したことで、エッチング時の隔壁側面へのダメージの低減が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の形態に係る粒子移動型表示素子の一例である電気泳動表示素子の概略構成を示す図。
【図２】上記電気泳動表示素子の製造方法を説明する図。
【図３】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図４】上記他の構成の電気泳動表示素子の製造方法を説明する図。
【符号の説明】
【００６９】
１        第１基板
２        第２基板
３        第１電極
４        第２電極
４ａ      下部第２電極
４ｂ      上部第２電極
５        絶縁層
６        隔壁
７        帯電粒子
８        絶縁性液体
９        保護膜
１４ａ    導電性部材
１４ｂ    導電性部材
Ｇ        画素
Ｓ        空間
【図１】
2006259456.tif 000003
【図２】
2006259456.tif 000004
【図３】
2006259456.tif 000005
【図４】
2006259456.tif 000006