(57)【要約】【課題】エネルギー束を各セルのピットごとに高速かつ高い精度で位置決めすることができ、高速にかつ安価に描画することができる描画装置を提供する。【解決手段】ホログラム描画装置１０は、ホログラム再生時の単位となる被描画体の各セルにレーザービーム１２を照射してピットを形成するエネルギー束照射光学系１３を備えている。回転機構１５のインデックス信号出力機構２９は、被描画体１１の回転を一定回転角度毎に検出しインデックス信号Ａを出力する。ホログラムチップの描画開始タイミングは、インデックス信号出力機構２９からのインデックス信号に基づく駆動制御部４０からの信号Ｃによって行い、偏向機構１７はシャッタ機構１８がＯＮ、ＯＦＦするタイミングに同期してレーザービーム１２を各ピットごとに偏向させる。【選択図】  図１
2006078866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像再生時の単位となる被描画体の各セルにエネルギー束を照射してピットを形成するエネルギー束照射光学系と、
前記被描画体を所定の速度で回転させる回転機構と、
前記被描画体と前記エネルギー束照射光学系を、前記セルのトラック方向に相対的に直線移動させる送り機構とを具備し、
前記エネルギー束照射光学系は、前記エネルギー束をＯＮ、ＯＦＦするシャッタ機構と、前記エネルギー束を偏向させる偏向機構とを備え、
前記回転機構は、角度信号を出力するインデックス信号出力機構を備え、
前記送り機構による前記被描画体と前記エネルギー束照射光学系の相対的な送り量はセルの幅に等しくし、前記偏向機構によるエネルギー束の偏向範囲は前記セル幅を包含しており、
描画を開始するタイミングを前記インデックス信号出力機構から出力されたインデックス信号に基づいて行い、
前記偏向機構は、前記シャッタ機構が前記エネルギー束をＯＮ、ＯＦＦするタイミングと同期して前記エネルギー束を各ピットごとに偏向させることを特徴とする描画装置。
【請求項２】
請求項１記載の描画装置において、
前記エネルギー束はレーザービームであり、
前記偏向機構は、音響光学素子および電気光変調素子の少なくとも１つであることを特徴とする描画装置。
【請求項３】
請求項１記載の描画装置において、
前記エネルギー束は電子ビームであることを特徴とする描画装置。
【請求項４】
請求項１記載の描画装置において、
前記被描画体は、円板状の光記録媒体からなり、
前記送り機構は、前記被描画体と前記エネルギー束照射光学系とを前記被描画体の回転軸直角方向に相対的に移動させる機構であることを特徴とする描画装置。
【請求項５】
請求項１記載の描画装置において、
前記被描画体は、円筒状の光記録媒体からなり、
前記送り機構は、前記被描画体と前記エネルギー束照射光学系とを前記被描画体の軸方向に相対的に移動させることを特徴とする描画装置。
【請求項６】
請求項１記載の描画装置において、
前記描画装置によって描画、作製される被描画体がホログラムであることを特徴とする描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光等のエネルギー束を用いて画像再生時の単位となる被描画体の各セル毎にピットを描画する描画装置に関し、特にホログラムを用いた光ディスクの原盤等の作製に用いて好適な描画装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクの原盤を作製する描画装置として、ホログラム描画装置が広く用いられている（例えば、特許文献１，２，３参照）。
【０００３】
ホログラムは、一定幅の多数のセルからなり、このセルには光を放出するピットが形成されている。ホログラムは光の位相を各セルにピットの位置情報として記録するものであるため、ピットの高い位置分解能が要求される。ここで、セルとは、ピットを記録する最小単位であって、ピットを１個含むものと含まないものとからなる。セルは矩形であって、ホログラムを再生するときの光の波長をλとし、ホログラムが記録された媒質の屈折率をｎとしたとき、λ／ｎ以上でλ以下の任意の大きさで規定される長さを辺としている。
【０００４】
２値迂回位相ホログラムは、単純で簡便に形成できる点で、ホログラムの中で最もよく知られている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００５】
２値迂回位相ホログラムの原理を図７を用いて説明する。同図において、１は描画したホログラムであり、一定幅の多数のセル２を敷き詰めた形からできている。これらのセル２には、光を放出するピット３が形成されている。いま、ホログラム１を形成する範囲をｗ（幅）×ｈ（長さ）とする。ホログラム１を形成する範囲ｗ×ｈを、物体面の複素振幅の離散フーリエ変換に対応する多数のセル２に分割し、次に、それぞれの複素フーリエ係数の絶対値に比例させて、各セル２内のピット３の位置がフーリエ係数の位相成分を表すように形成する。すなわち、ホログラム形成範囲をＮｗ×Ｎｈ（Ｎ：任意の整数）のセル２で構成し、各セル２内で光を通す領域であるピット３の位置ずれが再生像での光の伝播経路の長短となるように形成しておく。このようなホログラム１に再生用の光を照射すると、ずれたピット３からの光は位相の変化をもたらすので結果としてホログラム像が得られる。
【０００６】
【特許文献１】特開平０５−０７２９５９号公報
【特許文献２】特開２００１−０１３８５８号公報（計算機ホログラム）
【特許文献３】特開平０５−０１１４５４号公報
【特許文献４】特許第３３２３１４６号公報
【特許文献５】特開２０００−０１９９４０号公報
【非特許文献１】ホログラフィーの原理、Ｐ．ハリハラン著、吉川浩、羽倉弘之訳、オプトロニクス社出版
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記２値迂回位相ホログラムでは、光の位相をピット３の位置情報として形成するために、非常に高い位置分解能でピット３を形成することが求められる。通常、セル２の１／１０〜１／１００程度の位置分解能が求められており、この精度が得られるホログラム像の鮮明さを左右する。このようなホログラム１の描画に際して、前記非特許文献１ではレーザープリンタを用いて行うことが紹介されている。しかしながら、レーザープリンタでは、ピット３に対するレーザービームの位置決めに時間がかかるため描画に長時間を要する。
【０００８】
一方、通常ホログラムでは、形成したホログラムに照射する光は、描画に用いた波長の光を所定の位置から照射する必要があるため、再生光学系の制約が非常に厳しいという問題があった。このような問題を解消したホログラムとしては、平面型光導波路を用いた再生専用多重ホログラム情報記録媒体がある（例えば、特許文献４参照）。
【０００９】
前記特許文献４は、平面型光導波路に周期的散乱要因を作り、この平面型光導波路に光を入射した際に、散乱要因からの散乱光を導波路の直角方向に検出してホログラム像を得るものである。このホログラムを作製する方法として光ビーム照射または電子ビーム照射によりレジスト層にパターンを形成する方法が提案されている（例えば、特許文献５参照）。これは再生用ホログラムカードにコア層を形成し、その後にレジスト層を形成し、このレジスト層を光ビームの照射によってパターン化した後、レジスト層をマスクとしてコア層をエッチングすることによりホログラムカードを作製するものである。しかしながら、通常の光ビーム照射または電子ビーム露光で、ピット位置に高い位置分解能が要求されるホログラムを形成するには、上記した非特許文献１と同様に時間がかかり過ぎる。
【００１０】
また、他の描画装置として知られている電子ビーム露光装置は、位置分解能が高いものの、２次元制御によって一つひとつのピットに対してその絶対座標を与えてステージを移動させたり、電子ビームを偏向させて位置決めを行なう必要があるため、位置決めに時間がかかり高速で描画することができないという問題があった。
【００１１】
一方、従来のＤＶＤ描画装置は、上記した従来の描画装置に比べて高速で描画することができる。しかしながら、従来のＤＶＤ描画装置は、回転円板に半径方向に一定の間隔（これをトラックという）で周方向に長さの異なる溝を描画するものである。しかしながら、これを用いてホログラムを描画するには、従来のトラックピッチの１／１０〜１／１００の位置分解能でピットを形成する必要があるため、非常に時間がかかるという問題があった。
また、従来のＤＶＤ描画装置では、１回転するにも回転速度にゆらぎがあるため、ピットの長さあるいは描き出し位置がばらつき、ホログラムにならないという問題があった。
【００１２】
本発明は上記した従来の問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、ホログラム固有の特長に鑑み、セル幅の送りピッチとセル内の精密偏向を並用することにより、高速でかつ安価に描画することができる描画装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
第１の発明は、画像再生時の単位となる被描画体の各セルにエネルギー束を照射してピットを形成するエネルギー束照射光学系と、前記被描画体を所定の速度で回転させる回転機構と、前記被描画体と前記エネルギー束照射光学系を、前記セルのトラック方向に相対的に直線移動させる送り機構とを具備し、前記エネルギー束照射光学系は、前記エネルギー束をＯＮ、ＯＦＦするシャッタ機構と、前記エネルギー束を偏向させる偏向機構とを備え、前記回転機構は、角度信号を出力するインデックス信号出力機構を備え、前記送り機構による前記被描画体と前記エネルギー束照射光学系の相対的な送り量はセルの幅に等しくし、前記偏向機構によるエネルギー束の偏向範囲は前記セル幅を包含しており、描画を開始するタイミングを前記インデックス信号出力機構から出力されたインデックス信号に基づいて行い、前記偏向機構は、前記シャッタ機構が前記エネルギー束をＯＮ、ＯＦＦするタイミングと同期して前記エネルギー束を各ピットごとに偏向させるものである。
【００１４】
第２の発明は、上記第１の発明において、前記エネルギー束がレーザービームであり、前記偏向機構が音響光学素子および電気光変調素子の少なくとも１つからなるものである。
【００１５】
第３の発明は、上記第１の発明において、前記エネルギー束を電子ビームとしたものである。
【００１６】
第４の発明は、上記第１の発明において、前記被描画体が円板状の光記録媒体からなり、前記送り機構が前記被描画体と前記エネルギー束照射光学系とを前記被描画体の回転軸直角方向に相対的に移動させるものである。
【００１７】
第５の発明は、上記第１の発明において、前記被描画体が円筒状の光記録媒体からなり、前記送り機構が前記被描画体と前記エネルギー束照射光学系とを前記被描画体の軸方向に相対的に移動させる機構であるものである。
【００１８】
第６の発明は、上記第１の発明において、前記描画装置によって描画、作製される被描画体をホログラムとしたものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明においては、インデックス信号出力機構によって被描画体の回転角度を検出し、このインデックス信号に基づいてホログラムを描き出すタイミングを行う。また、送りピッチをホログラムのセル幅と等しくし、セル内のピットの位置は偏向機構で行い、エネルギー束の偏向はシャッタ機構のＯＮ、ＯＦＦのタイミングに同期して行うので、送りピッチをピット位置よりも粗くできるため、描画時間の短縮と製造コストの低減を可能にする。
偏向機構として用いられる音響光学素子は、力学的な歪みが加わると屈折率変化や偏光が生じる（音響光学効果）素子であり、電気光変調素子は、電界が加わると屈折率変化が生じる（電気光学効果）素子であり、このような素子を用いるとレーザービームを高い精度で微小角度偏向させることができる。
被描画体が円筒体の場合は、周方向にピットを直線状に描画することができるため、ピットに傾きが生じることがなく、また大型のホログラムを作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明に係る描画装置の一実施の形態を示す正面図、図２は同装置の側面図、図３は被描画体のトラック、セルおよびピットを示す図、図４は被描画体の要部の拡大図である。本実施の形態はエネルギー束としてレーザービームを用いた回転型ホログラム描画装置に適用した例を示す。これらの図において、全体を符号１０で示す回転型ホログラム描画装置は、被描画体１１にレーザービーム１２を照射するエネルギー束照射光学系１３と、このエネルギー束照射光学系１３の一部構成部品を搭載した送り機構１４と、この送り機構１４の下方に配設され前記被描画体１１を回転させる回転機構１５等を備えている。
【００２１】
前記被描画体１１は、円板状の光記録媒体からなり、表面にはレーザービーム１２で感光するレジストが塗布されている。
【００２２】
前記レーザービーム照射光学系１３は、レーザー光源１６と、偏向機構１７と、シャッタ機構１８と、ビーム誘導光学素子１９等を備えている。
【００２３】
前記レーザー光源１６から出射し前記被描画体１１を照射するピット形成用のレーザービーム１２としては、被描画体１１の各セル２に微細なピット３を形成するために、波長が３６０ｎｍ以下の遠紫外線が用いられる。
【００２４】
前記偏向機構１７は、レーザビーム１２を被描画体１１の回転方向に対して垂直な方向に高精度に微小変位（偏向）させるための素子であり、音響光学素子または電気光変調素子が用いられる。この場合、回転方向に対して垂直な方向の偏向とは、被描画体１１が円板状であって、その中心線を回転軸として回転するため半径方向への偏向である。
【００２５】
音響光学素子は、電圧を加えることにより力学的な歪みが加わり、それにより屈折率変化や偏光が生じる素子であり、このような現象を音響光学効果という。音響光学素子の材料としては、例えばＬｉＮｂＯ3 ，ＰｂＭｏＯ4 ，ａ-ＳｉＯ2等が用いられる。電気光変調素子は、電界が加わると屈折率変化が生じる素子であり、このような現象を電気光学効果という。電気光変調素子の材料としては、例えばＬｉＮｂＯ3 ，ＬｉＴａＯ3 ，ＢａＴｉＯ3 等が用いられる。
【００２６】
前記シャッタ機構１８は、レーザビーム１２をＯＮ、ＯＦＦするための光学的なシャッタ機構であり、前記偏向機構１７と同様に音響光学素子または電気光学変換素子で構成されている。
【００２７】
前記ビーム誘導光学素子１９は、レーザー光源１６から出射したレーザビーム１２を被描画体１１に誘導し、微小な円形形状にして照射するための光学系であり、波長補正板、形状補正光学系、非収差対物レンズ、自動焦点機構などで構成されている。
【００２８】
前記送り機構１４は、ステージガイド２２に沿って直線移動するステージ２３と、送り駆動機構２４と、ステージ位置検出機構２５等で構成されている。前記ステージ２３は、レーザビーム１２の位置をセル２のトラック方向に高精度に移動させるためのステージであり、前記偏向機構１７、シャッター機構１８およびビーム誘導光学素子１９が搭載されている。この場合、本実施の形態においては、上記した通り描画体１１が円板状であるため、セル２のトラック方向は、被描画体１１の半径方向と一致している。
【００２９】
また、前記ステージ２３は、高精度な直線運動を可能にするために、空気浮上機構により前記ステージガイド２２上に摩擦なしで移動できるように設けられており、前記送り駆動機構２４によって駆動するように構成されている。送り駆動機構２４としては、リニアモータ等が用いられ、駆動制御部４０からの駆動信号によって駆動する。前記ステージ位置検出機構２５はステージ２３の送り方向の位置を検出し、この検出信号を駆動制御部４０に送出する。
【００３０】
前記回転機構１５は、前記被描画体１１を所定速度で周方向に回転させる機構であって、被描画体１１を保持するチャック２７と、このチャック２７を所定の回転速度で回転させる駆動モータ２８と、インデックス信号出力機構２９等で構成されている。
【００３１】
前記チャック２７は、真空チャックまたは静電チャックが用いられ、被描画体１１を保持している。チャック２７は回転軸２７ａに固定されている。回転軸２７ａは、高い回転精度を得るために空気静圧軸受によって回転自在に保持されている。
【００３２】
前記インデックス信号出力機構２９は、チャック２７、言い換えれば被描画体１１の回転角度を検出し、一定の回転角度毎のインデックス信号Ａとして前記駆動制御部４０に出力する機構であり、通常光学式ロータリーエンコーダが用いられる。
【００３３】
ここで、ステージ２３の送りピッチ（トラックピッチ）は、被描画体１１に設けられるセル２の幅Ｄ（図４）に等しく設定している。そして、偏向機構１７によるレーザービーム１２の振り幅（偏向範囲）は、高速、高分解能で描画することと再生光の位相を安定して得るために、セル幅Ｄを包含しかつ最小の振り幅になるようにしている。また、シャッタ機構１８によるホログラムの描き始めのタイミングは、前記インデックス信号出力機構２９から出力されるインデックス信号Ａに基づいて行い、さらに前記偏向機構１７によるレーザービーム１２の偏向は、前記シャッタ機構１８のＯＮ、ＯＦＦするタイミングと同期させて行なう構成としている。
【００３４】
次に、上記構造からなる回転型ホログラム描画装置１０によるホログラムの作製手順について説明する。
レーザービーム１２に感光するレジストが塗布された被描画体１１をチャック２７上にセンタリングして載置する。そして、チャック２７により被描画体１１を保持する。この状態で駆動モータ２８を駆動してチャック２７および被描画体１１を回転させ、回転速度が一定となったところで描画を開始する。
【００３５】
駆動制御部４０は、描画データ記憶部４１を備え、この記憶部４１には描画データとして下記の表１に示すデータ列が予め書き込まれている。
【００３６】
【表１】
2006078866.tif 000003
【００３７】
表１は最外側のホログラムチップの描画すべきデータを示すもので、上２段にはトラック番号とチップ番号が表記されている。すなわち、トラック１，２，３…には、異なるチップａ１〜ａｎを回転方向に順に並べたデーダが作ってある。一方、下２段にはトラックとチップごとの各セルに対するＯＮ、ＯＦＦを表す“１”または“０”の数字と、偏向機構１７によるレーザービーム１２の偏向幅を表す数字が１６進数で表示されている。被描画体１１の半径位置が異なれば、やはりトラックごとに異なるチップｂ１〜ｂｍ、ｃ１〜ｃ１が表記されたデータ列（図示せず）が予め用意される。
【００３８】
ホログラム描画装置１０による描画は、被描画体１１の回転とともに駆動制御部４０からインデックス信号ｉ１が出力され、その信号を起点に、表１のＯＮ、ＯＦＦと偏向幅のデータが連続して与えられ、このＯＮ、ＯＦＦ制御信号Ｂがシャッタ機構１８に与えられる。偏向幅については、偏向幅を表す１６進のデジタル信号をアナログ信号に変換して偏向幅制御信号Ｃとし、この偏向幅制御信号Ｃが偏向機構１７に与えられる。偏向機構１７は偏向幅制御信号Ｃを受けると、シャッタ機構１８に同期してレーザービーム１２を被描画体１１の半径方向に偏向させる。レーザービーム１２は偏向機構１７によって偏向されて被描画体１１を照射することによりピット３を描画する。すなわち、表１のデータの同期ａ→ｂ→ｃ…の順に、偏向機構１７とシャッタ機構１８にインデックス信号ｉ１を与えると、図４に示すようなピット３がチップａ１の各セル２に形成される。
【００３９】
チップａ１の各セル２に対するピット３の描画が終了すると、回転機構１５から駆動制御部４０を開始ＥＴから次のインデックス信号ｉ２が出力され、その信号を起点に次のチップａ２の各セル２に対するピット３の描画が行われる。
【００４０】
このようにして、チップａ３，ａ４…ａｎの各セル２に対してピット３を順次描画していき最外周のホログラムチップへの描画が終了すると、ステージ２３を被描画体１１の半径方向に直線移動させてレーザービーム１２を外側から２番目のホログラムチップに位置決めする。そして、２番目のホログラムチップｂ１，ｂ２，ｂ３…ｂｍの各セル２に対してピット３を順次描画する。以下、同様にして３番目、４番目…のホログラムチップに対してピット３を描画する。
【００４１】
このように、本発明は各セル２に対するピット３の描画を、被描画体１１の回転角度を一定回転角度毎に検出するインデックス信号出力機構１７のインデックス信号を起点に開始するように構成したので、被描画体１１の回転速度が変動しても、常に被描画体１１上での描画の開始位置を同じ角度位置とすることができる。したがって、ピット３を所定の位置に高精度に形成することができる。言い換えれば、インデックス信号出力機構２９によるインデックス信号と同期させて描画することにより、被描画体１１の回転変動に影響されることなくピット３を被描画体１１の各セル２に対して所定位置に高精度に描画することができ、ピット３の周方向の位置精度を向上させることができる。
【００４２】
ここで、本実施の形態においては、ステージ２３によるトラックの送りを間欠的に行うものとして説明したが、これに限らず被描画体１１の回転速度と同期して連続して変化させながら描画することも可能である。
【００４３】
また、本発明は被描画体１１の半径方向のピット３の位置は、偏向機構１７によってレーザービーム１２を偏向し、この偏向範囲をセル幅Ｄを包含しかつ最小の振り幅にしている。レーザービーム１２の偏向範囲を限定したのは、偏向制御信号のデータ量を上げることなく、レーザービーム１２の位置分解能を高くするためであり、これによりセル２内の所定の位置にピット３を高速で描画することができる。本実施の形態では、偏向範囲をセル幅Ｄの１．２倍以下としている。偏向範囲を１．２倍以下としたのは、セル２の辺上にピット３が重なる場合に、ピット３が隣のセル２にはみ出すことを許容するためである。このようにすることにより、丁度セル２の辺上にきたピット３がノイズにより、セル２の反対側に描画されることを防ぐことが可能である。つまり、ピット３の最小分解能をセル幅の１／１０と考え、ピット３の描画位置がそのセル２を両側に０．１倍外れても描画できるようにするためである。
【００４４】
さらに、ステージ２３の送りピッチ、すなわち、被描画体１１に対するレーザビーム１２の半径方向の送りピッチ（トラックピッチ）をセル幅Ｄに等しくしている。このため、ピット３に要求されている位置分解能に比べて粗い送りピッチで送ることができる。ピット３の位置分解能は１０ｎｍ〜４０ｎｍ程度であるが、レーザービーム１２の送りピッチは２００ｎｍ〜５００ｎｍである。このように、要求されているピット３の位置分解能に比べて、トラックピッチは大きくとれ、短時間でホログラムを作製できる。
【００４５】
被描画体１１が回転円板の場合、ピット３は図４に示すように回転方向に長い矩形となる。このためピット３の描画位置により、チップに対して傾きをもったり、大きさが変化する場合がある。しかし、ホログラムにおいては、波長に比較してピット３の形状が小さい場合には、位相情報はピット３の重心位置で決まり、ピット３の形状に依存しない。このため、ピット３の形状が矩形であっても楕円であってもよく、さらには、ピット３に傾きがあってもホログラム像は得られる。すなわち、図４に示すように、各セル２の中に描画されるピット３に傾きが生じたとしても、問題なくホログラム像は得られる。
【００４６】
上記した実施の形態では、円板からなる被描画体１１にピット３を描画する例を示したが、本発明はこれに限らず被描画体１１が円筒体の場合にも同様にホログラムを効率よく描画することが可能である。その具体例を図５および図６に示す。図５は回転型ホログラム描画装置の他の実施の形態を示す正面図、図６は側面図である。
本実施の形態においては、被描画体として円筒状のシート３１を用い、その周面にピットを描画するようにしている。このため、回転機構３２は、円筒状のチャック３３を備え、このチャック３３の外周に円筒状シート３１を嵌装して保持させるようにしている。このようなチャック３３としては、真空チャックを用いることも可能であるが、むしろ真空吸引孔がなく面精度が上げられる静電気チャックが適している。円筒状シート３１の場合、セルのトラック方向は、シート３１の軸線方向と一致している。したがって、ステージ２３の送り方向は、円筒状シート３１の軸線方向と一致している。その他の構成は上記した実施の形態と同一であるため、同一構成部品については同一符号をもって示し、その説明を省略する。
【００４７】
このような回転型ホログラム描画装置５０においても、レーザービーム１２をセルのトラック方向に偏向させる偏向素子１７と、円筒状シート３１の一定回転角度毎のインデックス信号を駆動制御部４０に出力するインデックス信号出力機構２９を具備しているので、ステージ２３の送りピッチをセル幅に等しく設定し、かつレーザービーム１２を偏向機構１７により円筒状シート３１の軸線方向に偏向することにより、セル２内の所定の位置にピット３を短時間に描画することが可能である。なお、この場合も回転方向の描画開始は、インデックス信号出力機構２９によるインデックス信号に基づいて行われる。
【００４８】
回転する円筒状シート３１にピット３を描画する場合は、ピット３がシート３１の回転方向に直線状に描画されるためピット３に傾きが生じることがなく、このため大きなホログラムを作製することが可能である。
【００４９】
以上説明したように、本発明に係る描画装置は、ホログラムではピット３が１セルにつき１ピットであり、各セル２内に高分解能でピット３を描画できるという、ホログラム特有の特徴を利用して、トラックピッチをセル幅に等しく設定した。そして、レーザービーム１２の偏向機構１７として音響光学素子または電気光変調素子を用い、被描画体の回転角度を一定角度毎に検出するインデックス信号出力機構２９を設け、ホログラムチップの描画開始タイミングを前記インデックス信号出力機構２９のインデックス信号に基づいて行い、シャッタ機構のＯＮ、ＯＦＦするタイミングに同期して前記偏向機構１７によってレーザービーム１２を微小角度偏向させるように構成したので、被描画体が円板であっても円筒体３１であっても短時間でホログラムを作製でき、製造コストを低減することができる。
【００５０】
なお、上記した実施の形態は、いずれも送り機構１４によってエネルギー束照射光学系１３の偏向機構１７、シャッタ機構１８およびビーム誘導光学素子１９をトラックピッチで直線移動させる例を示したが、これに限らず被描画体１１（３１）を直線移動させるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、遠紫外のレーザー光を用いたホログラム描画装置に適用した例について説明したが、これに何ら限定されるものではなく、電子ビームを用いた描画装置にも適用することできる。その場合も、同様に被描画体の送りピッチをホログラムのセル幅とし、被描画体の回転角度をインデックス信号出力機構２９によって検出し、インデックス信号出力機構２９によるインデックス信号基準にして各セル内のピッチ位置に対応させて電子ビームを適宜な偏向機構で偏向して描画すれば、短時間に高い位置精度でピットを描画することが可能である。
【００５２】
また、描画用のエネルギー束として、１つのレーザービーム１２を用いて描画する例を示したが、複数のレーザービームを並べて同時に描画するようにしてもよい。その場合はさらに高速な描画が可能である。この場合、連続したパターンを描画できるので、複数のレーザービームの問隔はピット幅の整数倍にとると連続して描画できる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係る描画装置の一実施の形態を示す正面図である。
【図２】同装置の側面図である。
【図３】被描画体のトラック、セルおよびピットを示す図である。
【図４】要部の拡大図である。
【図５】回転型ホログラム描画装置の他の実施の形態を示す正面図である。
【図６】側面図である。
【図７】２値迂回位相ホログラムを説明するための図である。
【符号の説明】
【００５４】
１…被描画体、２…セル、３…ピット、１０…回転型ホログラム描画装置、１１…被描画体、１２…レーザービーム、１３…エネルギー束照射光学系、１４…送り機構、１５…回転機構、１６…レーザー光源、１７…偏向機構、１８…シャッタ機構、１９…ビーム誘導光学素子、２２…ステージガイド、２３…ステージ、２４…送り駆動機構、２５…ステージ位置検出機構、２７…チャック、２８…駆動モータ、２９…インデックス信号出力機構、３１…円筒状シート、４０…駆動制御部、Ａ…インデックス信号。
【図１】
2006078866.tif 000004
【図２】
2006078866.tif 000005
【図３】
2006078866.tif 000006
【図４】
2006078866.tif 000007
【図５】
2006078866.tif 000008
【図６】
2006078866.tif 000009
【図７】
2006078866.tif 000010