(57)【要約】【課題】真空バルブにおいて、柔軟なシールの劣化を減少しつつ、真空バルブの閉塞状態において弁開口の良好なシーリングを達成できる真空バルブの制御方法を提供する。【解決手段】アクチュエータ９により閉塞部材４に加えられる閉塞力は制御ユニット１１により調節される。このため圧力制御バルブ１３が備えられ制御ライン１８を介して制御ユニット１１により制御される。圧縮空気供給ラインが接続部１９に結合される。真空バルブを閉塞するためには、制御ユニット１１により制御ライン２０を介して遮断バルブ１２を開状態に調節し、排出バルブ２４は制御ユニット１１により閉鎖状態に移動される。圧縮空気ライン２１を通してアクチュエータ９のピストン空間２２に空気圧が流入し、それによってピストン−シリンダ・ユニットによって加えられる閉塞力が圧力制御バルブ１３により調節される。【選択図】  図１
2006052846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁開口を備えるバルブ本体と、
真空バルブの閉塞状態において弁開口を閉塞し、真空バルブの開放状態において弁開口を開放する閉塞部材と、
真空バルブの閉塞状態において前記閉塞部材が弁開口を閉塞するために真空バルブのシーリング面に接触し押圧力が作用する少なくとも一つの柔軟なシールと、
真空バルブを閉塞するためシーリング面に前記シールを押圧する少なくとも一つのアクチュエータを備えて真空バルブを開放及び閉塞する作動装置と、
二つの真空室の圧力をそれぞれ検出する圧力センサからの入力信号として圧力測定値が供給され、前記少なくとも一つのアクチュエータを制御する制御ユニットと、からなる二つの真空室の間に配設される真空バルブにおいて、
該真空バルブの制御方法が、
前記二つの真空室の間の差圧を前記制御ユニットにより決定するステップと、
真空バルブの閉塞状態において、前記制御ユニットにより前記少なくとも一つのアクチュエータを制御することにより前記シールに作用する押圧力の大きさを制御するステップとからなり、
前記押圧力の大きさは前記決定された二つの真空室の間の差圧に基づき制御されることを特徴とする真空バルブの制御方法。
【請求項２】
真空バルブの閉塞状態において、前記少なくとも一つのアクチュエータを介して前記制御ユニットにより調節可能な閉塞力が前記閉塞部材に印加され、真空バルブの閉塞状態において前記シールに作用する押圧力の大きさは前記閉塞力を調節することにより制御されることを特徴とする請求項１記載の真空バルブの制御方法。
【請求項３】
真空バルブの閉塞状態において、前記閉塞部材は前記少なくとも一つのアクチュエータを介して前記制御ユニットにより調節可能な位置に位置決めされ、真空バルブの閉塞状態において前記シールに作用する押圧力の大きさは前記閉塞位置を調節することにより制御されることを特徴とする請求項１記載の真空バルブの制御方法。
【請求項４】
真空バルブの閉塞状態において、前記差圧の量が増加すると前記シールに作用する押圧力が増加するように制御されることを特徴とする請求項１記載の真空バルブの制御方法。
【請求項５】
真空バルブの閉塞状態において、前記差圧がゼロに等しいときは前記シールに作用する押圧力は最小値に調節されることを特徴とする請求項４記載の真空バルブの制御方法。
【請求項６】
前記差圧の量が増加するとき前記少なくとも一つのアクチュエータの閉塞力は増加することを特徴とする請求項２記載の真空バルブの制御方法。
【請求項７】
前記差圧の量が増加すると前記閉塞部材の閉塞位置における真空バルブの前記閉塞部材とバルブシートとの間の距離は縮小することを特徴とする請求項３記載の真空バルブの制御方法。
【請求項８】
前記シールに作用する押圧力が減少する方向に前記差圧が作用するときにのみ、前記差圧の量が増加するとき前記少なくとも一つのアクチュエータの閉塞力が増加することを特徴とする請求項２記載の真空バルブの制御方法。
【請求項９】
前記差圧の各値に対して調節される前記閉塞力は表形式または関数形式として前記制御ユニットに格納されていることを特徴とする請求項２記載の真空バルブの制御方法。
【請求項１０】
前記差圧の各値に対して調節される閉塞位置は表形式または関数形式として前記制御ユニットに格納されていることを特徴とする請求項３記載の真空バルブの制御方法。
【請求項１１】
弁開口を備えるバルブ本体と、
真空バルブの閉塞状態において弁開口を閉塞し、真空バルブの開放状態において弁開口を開放する閉塞部材と、
真空バルブの閉塞状態において前記閉塞部材が弁開口を閉塞するために真空バルブのシーリング面に接触し押圧力が作用する少なくとも一つの柔軟なシールと、
真空バルブを閉塞するためシーリング面に前記シールを押圧する少なくとも一つのアクチュエータを備えて真空バルブを開放及び閉塞する作動装置と、
二つの真空室の圧力をそれぞれ検出する圧力センサからの入力信号として圧力測定値が供給され、前記少なくとも一つのアクチュエータを制御する制御ユニットと、からなる二つの真空室の間に配設される真空バルブにおいて、
前記二つの真空室の間の差圧が前記制御ユニットにより決定され、真空バルブの閉塞状態において前記シールに作用する押圧力の大きさは、決定された差圧に基づいて前記制御ユニットにより制御され、前記少なくとも一つのアクチュエータを制御することにより制御されることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１２】
真空バルブの閉塞状態において、前記少なくとも一つのアクチュエータを介して前記制御ユニットにより調節可能な閉塞力が前記閉塞部材に印加され、真空バルブの閉塞状態において前記シールに作用する押圧力の大きさは前記閉塞力を調節することにより制御されることを特徴とする請求項１１記載の真空バルブ。
【請求項１３】
真空バルブの閉塞状態において、前記閉塞部材は前記少なくとも一つのアクチュエータを介して制御ユニットにより調節される閉塞位置に位置決めされ、真空バルブの閉塞状態において前記シールに作用する押圧力は前記閉塞位置の調節により制御されることを特徴とする請求項１１記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は二つの真空室の間に配置される真空バルブの制御方法に関する。この真空バルブは、弁開口を備えるバルブ本体と、真空バルブの閉塞状態において弁開口を閉塞し、真空バルブの開放状態において弁開口を開放する閉塞部材とを有し、真空バルブの閉塞状態において前記閉塞部材で弁開口を閉塞するため、少なくとも一つの柔軟なシールが真空バルブのシーリング面に接触し、真空バルブの閉塞状態において前記シーリング面に押圧力が作用する。この真空バルブは、更に、少なくとも一つのアクチュエータと制御ユニットとを備え、真空バルブの開放及び閉塞をおこなう作動装置を有し、前記アクチュエータは真空バルブを閉塞するために閉塞部材を変位させて前記シールをシーリング面に押圧し、前記制御ユニットは少なくとも一つのアクチュエータを制御し、二つの真空室の圧力をそれぞれ検知する圧力センサからの入力信号として圧力計測値が供給される。更に、本発明は上述した種類の真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空バルブは種々の形式のものが知られている。例えば、特許文献１及び２は、閉塞状態において、弁プレートを拡張することによりバルブ本体に配置したシーリング面に対して、弁プレートに配置したフレキシブルシールを押圧するスライドバルブを開示している。
【０００３】
特許文献３は、閉塞部材の端面に配置され、弁開口の軸方向に相互にオフセットしている面に存在する部分を有し、これらの部分が接続部により互いに接続された閉じた環状のシール２を備えたスライドバルブを開示している。この形式のスライドバルブにおいては、閉塞部材が閉塞する場合、シールに剪断力が作用するのを防止するために駆動部材を種々の方向に多段のシーケンス移動を行う必要がない。開放位置と閉塞位置との間を閉塞部材が直線的に移動する同様のスライドバルブが特許文献４に知られている。この場合、閉じた環状のシールの閉塞部材の端面に配置された部分の接続部は、弁開口の軸及び閉塞方向により形成される面に平行に延出している。
【０００４】
バタフライバルブも特許文献５、６により知られている。これらのバタフライバルブにおいては、プレート状の閉塞部材が弁開口の軸と垂直な軸の周りを開放位置と閉塞位置との間を旋回する。開放位置においても円板状のバルブは弁開口内に存在する。
【０００５】
例えば、特許文献７には、最初に、開放位置から弁開口に対向しているがバルブシートから離間した位置まで閉塞部材が直線的に移動し、引き続き略弁開口の軸方向に移動してバルブシートに押圧するＬ形バルブが記載されている。
【０００６】
特許文献８は、バルブプレートとバルブハウジングに移動可能に支持されている閉塞リングとを備える閉塞部材を有するスライドバルブを開示している。この真空バルブの閉塞状態においては、閉塞リングがバルブプレートに押圧され、閉塞リングのシールリングがバルブプレートのシーリング面に接触する。
【０００７】
振り子式バルブとしても知られているプレートバルブのもう一つの形式においては、プレート状閉塞部材の第１段階の移動において閉塞部材の直線的移動はなく、円弧に沿った搖動により閉塞部材がバルブシートと対向する位置に移動する。バルブシートの方向への閉塞部材の閉塞移動の第二段階が行われて、バルブシートに対向しながらもバルブシートから離間した位置から弁開口の軸方向に変位する。
【０００８】
もう一つの公知のプレートバルブはコーナーバルブである。これらコーナーバルブにおいては、プレート状閉塞部材が固定されたバルブロッドが、適切な貫通ガイドにより弁開口に対向する壁面を貫通して真空部の外方に案内されている。弁開口を形成するバルブ本体の通路は互いに角度を持って延出する二つの部分を有する。
【０００９】
真空バルブのこれらすべての形式は、手動により開閉するように構成することができる。更に、これらの形式のバルブの閉塞部材を開閉する作動装置は制御装置に制御される少なくとも一つのアクチュエータで構成することができる。特に、空気ピストン−シリンダ・ユニットが真空バルブのアクチュエータとして用いられる。しかしながら、電動モータや電磁ユニットにより形成されたアクチュエータも知られている。
【００１０】
アクチュエータによって閉塞できる真空バルブにおいては、シールをシーリング面に押圧し真空的密にバルブを閉塞するために、アクチュエータの全閉塞力が閉塞状態における閉塞部材に作用する。特許文献９に記載する真空バルブにおいては、閉塞部材に柔軟なシールに加えて柔軟な支持リングを配設して、真空バルブのシールに作用する押圧力を規制し、閉塞部材に作用する差圧に応じて閉塞部材をバルブシートに押圧する押圧力を増加減少し、バルブシートに確実に押圧する。これはストレスの増加に伴って増加するシールの劣化を減少させるためである。シールの劣化の問題は活性な処理ガスを使用する場合に深刻となる。通常シールに使用される柔軟性材料は、特に高いストレスの状況において活性な処理ガスにより化学的に腐食されることが確認されている。
【００１１】
シールの劣化を減少する目的のために、アクチュエータにより所定の閉塞位置において閉塞部材の位置決めを行うべく閉塞部材の姿勢制御あるいは位置制御を行い、シールリングの柔軟材料の変形を実在する差圧とは無関係な所定の値に制限することが既に提案されている。
【００１２】
更に、特許文献１０は、バルブの閉塞状態において、ウエッジ形のバルブシートのシーリング面に接触するシールを両傾斜面に備えるウエッジ形の閉塞部材を有するスライドバルブを開示している。バルブの閉塞状態において、この閉塞部材はバルブシートに移動するだけでシールは殆ど押圧されない。差圧が閉塞部材に作用して二つのシーリング面の一方に閉塞部材を押圧するまでは、シールの押圧は行われない。
【特許文献１】ＵＳ特許Ｎｏ．４０５２０３６
【特許文献２】ＵＳ特許Ｎｏ．４４７０５７６
【特許文献３】ＵＳ特許Ｎｏ．４８０９９５０
【特許文献４】ＵＳ特許Ｎｏ．４９２１２１３
【特許文献５】ＵＳ特許Ｎｏ．４６３４０９４
【特許文献６】ＵＳ特許Ｎｏ．６４９４４３４Ｂ１
【特許文献７】ＵＳ特許Ｎｏ．６４３１５１８Ｂ１
【特許文献８】ＵＳ特許Ｎｏ．５５７７７０７
【特許文献９】ＵＳ特許Ｎｏ．６６２９６８２Ｂ２
【特許文献１０】ＵＳ特許Ｎｏ．６３６７７７０Ｂ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の主要な目的は、冒頭に記載した形式の真空バルブにおいて、真空バルブの簡単な制御方法を提供するにあり、この制御方法により柔軟なシールの劣化は減少する。
【００１４】
本発明の他の目的は、冒頭に記載した形式の真空バルブにおいて、柔軟なシールの劣化を減少しつつ、真空バルブの閉塞状態において弁開口の良好なシーリングを達成できる真空バルブの制御方法を提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を達成するため、本発明においては、弁開口を備えるバルブ本体と、真空バルブの閉塞状態において弁開口を閉塞し、真空バルブの開放状態において弁開口を開放する閉塞部材と、真空バルブの閉塞状態において前記閉塞部材が弁開口を閉塞するために真空バルブのシーリング面に接触し押圧力が作用する少なくとも一つの柔軟なシールと、真空バルブを閉塞するためシーリング面に前記シールを押圧する少なくとも一つのアクチュエータを備えて真空バルブを開放及び閉塞する作動装置と、二つの真空室の圧力をそれぞれ検出する圧力センサからの入力信号として圧力測定値が供給され、前記少なくとも一つのアクチュエータを制御する制御ユニットと、からなる二つの真空室の間に配設される真空バルブにおいて、該真空バルブの制御方法が、前記二つの真空室の間の差圧を前記制御ユニットにより決定するステップと、真空バルブの閉塞状態において、前記制御ユニットにより前記少なくとも一つのアクチュエータを制御することにより前記シールに作用する押圧力の大きさを制御するステップとからなり、前記押圧力の大きさは前記決定された二つの真空室の間の差圧に基づき制御されることを特徴とする。
【００１６】
これによれば、本発明による制御方法においては、真空バルブを閉塞するためにシールをシーリング面に押圧するアクチュエータの制御は、シールに作用する押圧力の大きさの調節を行うため、二つの真空室の間の差圧に基づいて行われる。このことは、真空バルブの漏れ率の要求制限値を超えないためには、差圧が小さいときはシールに作用する僅かな押圧力が要求されるだけであるという考えに基づいている。漏れ率の要求制限値は、例えば、いかなる所定の時間における差圧にも依存しない一定値であってもよい。この一定値の大きさは種々の使用方法に対して変更することもできる。
【００１７】
本発明の実施形態においては、アクチュエータは力の制御を許容する、すなわち、それにより印加される閉塞力は制御ユニットにより調節することができる。真空バルブの閉塞状態においてシールに作用する押圧力はアクチュエータの閉塞力を調節することにより制御される。
【００１８】
使用する真空バルブの形式によって、柔軟なシールに作用する押圧力は、アクチュエータにより印加される閉塞力に占有的に起因するか、または二つの真空室間の差圧によりもたらされる力にアクチュエータにより印加される閉塞力を重畳する結果であるか、のいずれかである。
【００１９】
本発明の他の実施形態においては、シーリング面にシールを配置するアクチュエータは位置の制御を許容する、すなわち、閉塞部材の閉塞位置は制御ユニットにより調節することができる。真空バルブの閉塞状態においてシールに作用する押圧力は閉塞部材の閉塞位置を調節することにより制御される。
【００２０】
本発明によれば、真空バルブは、弁開口を備えるバルブ本体と、真空バルブの閉塞状態において弁開口を閉塞し、真空バルブの開放状態において弁開口を開放する閉塞部材と、真空バルブの閉塞状態において前記閉塞部材が弁開口を閉塞するために真空バルブのシーリング面に接触し押圧力が作用する少なくとも一つの柔軟なシールと、少なくとも一つのアクチュエータと制御ユニットとを備え、真空バルブの開放及び閉塞をおこなう作動装置をとを有し、前記アクチュエータは真空バルブを閉塞するために閉塞部材を変位させて前記シールをシーリング面に押圧し、前記制御ユニットは少なくとも一つのアクチュエータを制御し、二つの真空室の圧力をそれぞれ検知する圧力センサからの入力信号として圧力計測値が供給される構成からなる二つの真空室の間に配設される真空バルブにおいて、前記二つの真空室の間の差圧が前記制御ユニットにより決定され、真空バルブの閉塞状態において前記シールに作用する押圧力の大きさは、決定された差圧に基づいて前記制御ユニットにより制御され、前記少なくとも一つのアクチュエータを制御することにより制御される。
【００２１】
本発明の更なる利点と詳細について以下に図面に示す実施態様を参照して記載する。本発明の更なる目的も以下の記載より導出される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１、図２に概略的に示されている真空バルブは、真空バルブを接続するための接続フランジを夫々備える真空室１６，１７の間に配設され、軸３を有する弁開口２を備えるバルブ本体１を有する。真空バルブの閉塞状態において閉塞部材４が弁開口を閉塞する。図１及び図２は真空バルブの開放状態を示し、閉塞部材４は弁開口２を開放している。
【００２３】
閉じた環状に形成されたフレキシブルシール５が閉塞部材４に配設され、閉塞部材４の端面に亘って延出している。バルブシートに配設されるシール５は弁開口２の軸方向に相互に隔離する二つの平行な面６，７に延在する部分を有し、それらは接続部に沿って接合されている。
【００２４】
真空バルブの閉塞状態において、シール５はバルブ本体１のシーリング面８に接触する。図１、図２に示す開放位置からシール５がシーリング面８に接触する閉塞位置に閉塞部材４を移動するためにピストン−シリンダ・ユニットに形成されたアクチュエータ９が設置されている。ピストン１０は気体圧により作動する。
【００２５】
上述した形式の真空バルブは、例えば、特許文献３に記載があり、知られている。この米国特許の開示は参照としてここに引用される。例えば閉塞部材やシールの形状やシーリング面に関して種々の変更案が、その幾つかは特許文献３に記載があるが、考えられこの形式の真空バルブの構成として可能である。
【００２６】
真空バルブを開閉する作動装置は、ピストン−シリンダ・ユニットにより形成されたアクチュエータ９に加えて、遮断バルブ１２、圧力制御バルブ１３及び排出バルブ２４によりアクチュエータ９を制御する制御ユニット１１を有する。圧力センサ１４、１５による圧力計測値が入力信号として制御ユニット１１に供給される。その間に真空バルブが配置される二つの真空室１６、１７のそれぞれの圧力が圧力センサ１４、１５によって検知される。制御ユニット１１は制御ユニットを操作するための入力デバイスまたは表示デバイス３６を有する。
【００２７】
その間に真空バルブが配置される真空室１６、１７は概略のみを図１に示す。これらの真空室は、例えば半導体産業における処理室であってもよい。種々の製品の処理が真空室１６及び／又は真空室１７で実行される。処理ガスは図示しない供給ラインを介して導入される。上述のような種類の処理ガスの圧力は通常大気圧より低い。図１には示していないが、処理を行う基板を真空室１６及び／又は真空室１７に導入するために閘門装置が通常用いられる。
【００２８】
真空バルブの制御は二つの真空室１６、１７間の差圧が制御ユニット１１によって決定されるように行われる。かかる目的のため、圧力センサ１４，１５の一つによって計測された圧力値を圧力センサ１４、１５の他方に検出された圧力値から差し引く。
次いで、差圧の量のみまたは差圧の量と数学的符号の両方を使用する。以下は、差圧の量のみを用いる場合と想定される。
【００２９】
図１、図２に示す実施例において、アクチュエータ９により閉塞部材４に加えられる閉塞力は制御ユニット１１により調節される。このため圧力制御バルブ１３が備えられ制御ライン１８を介して制御ユニット１１により制御される。圧縮空気供給ラインが接続部１９に結合される。真空バルブを閉塞するためには、制御ユニット１１により制御ライン２０を介して遮断バルブ１２を開状態に調節し、排出バルブ２４は制御ユニット１１により閉鎖状態に移動される。圧縮空気ライン２１を通してアクチュエータ９のピストン空間２２に空気圧が流入し、それによってピストン−シリンダ・ユニットによって加えられる閉塞力が圧力制御バルブ１３により調節される。本発明によれば、制御ユニット１１による閉塞力の調節は二つの真空室１６、１７の間の決定された差圧の量の関数として行われる。差圧が大きくなるにつれ閉塞力も増加するように調節され、差圧がゼロに等しくなるときは、閉塞力は最小値に調節される。
【００３０】
本発明の本実施例においては、シール５に作用しそれによってシール５をシーリング面８に押圧する押圧力は実質的にアクチュエータ９によって加えられる閉塞力にのみ起因する。シール５をシーリング面８に押圧する押圧力は“シーリング力”とも称される。シール５をシーリング面８に押圧するシール５の押圧力を差圧の増加によって増加すると、例えば、差圧が異なっても真空バルブの漏れ率は略一定に維持される。（シール５の押圧力が一定の場合は、差圧が増加するにつれ漏れ率は増加する。）このように、真空バルブに最大許容漏れ率を設定した場合、二つの真空室１６、１７間の差圧が低いときはシール５に作用する比較的低い押圧力によって所定の漏れ率が維持できる。シール５の劣化はシール５に作用するストレス、すなわちシール５に作用する押圧力に依存するので、二つの真空室間の差圧が低いときにこのように制御することは、二つの真空室１６、１７間の差圧が高いときと同様に差圧が低いときでもシール５に高い押圧力を作用する従来の真空バルブの制御と比較し、シール５の節約となる。
【００３１】
図１、図２に示す実施例においては、制御ユニット１１により遮断バルブ１２が再び閉となり、排出バルブ２４が制御ユニット１１により開となったとき、真空バルブの開放はスプリング２３により行われる。これに代えて、従来知られているように、ピストン１０の両側に圧縮空気を作用させるようにすることもできる。
【００３２】
以下に、図３の概略図を参照して本発明の変更した実施例について記述する。シール５を備える閉塞部材４とバルブ本体１のシーリング面８は図１、図２に示すバルブと同じ構成を有する。本実施例の場合、閉塞部材４を開放位置と閉塞位置との間に調節するアクチュエータ２５として電動モータを備える。この電動モータは、例えば、ＡＣサーボモーターとして構成される。制御ユニット１１に制御される電動モータは駆動軸により閉塞部材４が配設される歯状ラック２７に歯合するピニオン２６に連結する。出力信号が制御ユニット１１により検知されるセンサ２８が歯状ラック２７の位置、従って閉塞部材４の位置を検知するために備えられる。このようにして閉塞部材４の位置を制御することができる。この場合も制御ユニット１１が圧力センサ１４、１５により計測された圧力値を評価して、二つの真空室１６、１７の間の差圧が決定される。検知された差圧に基づいて閉塞部材４の閉塞位置が制御ユニット１１によるアクチュエータ９の制御に対応して制御される。閉塞位置におけるシール５に作用する押圧力は閉塞部材４の閉塞位置の調節に応じて変化する。既に述べたように、閉塞位置においてシールに作用する押圧力は“シーリング力”と呼ばれる。閉塞位置において、閉塞部材４がシーリング面８、またはシーリング面８を備えるバルブシートに近接すればするほど、シール５に作用する押圧力は大きくなる。この場合も差圧の量が大きくなるにつれ、シール５に作用する押圧力の値はより高くなるように調節され、差圧がゼロに等しいときは、押圧力は最小値に調節される。
【００３３】
ＡＣサーボモーターの代わりに、例えばステップモータをアクチュエータ２５として用いることもできる。
【００３４】
差圧のそれぞれの値に対して調節されるシール５に作用する押圧力は表形式または関数の形式で制御ユニット１１に記憶させることができる。図１及び図２に示す実施例においてはアクチュエータ９の閉塞力を制御することによって、図３に示す実施例においてはアクチュエータ２５によって閉塞部材４の閉塞位置を制御することによって、押圧力は調節される。
【００３５】
閉塞部材に作用する閉塞力が図１、図２を参照して説明したアクチュエータにより調節される場合は、アクチュエータによって印加される所定の閉塞力において真空バルブのシールに作用する押圧力が差圧に依存するか否かは真空バルブの構造による。図１及び図２に概略的に示したバルブの構造の場合は、差圧に依存するケースではない。例えば、特許文献１及び２に知られるようなスライドバルブにおいては、一定の圧力で閉塞部材をバルブシートに押圧する閉塞力のときでも、二つの真空室間の差圧の大きさと方向（数学的符号）によりシールに作用する押圧力は増減する。本発明による方法は真空バルブの開閉に使用する制御ユニットにより制御及び調節可能なアクチュエータによって、上述した形式のバルブにおいても用いることができる。特許文献１及び２の開示は参照として本願に引用される。このように構成されたスライドバルブにおいて差圧の関数としてシールに作用する押圧力を要求する大きさに調節するためには、アクチュエータの閉塞力が差圧の量に基づいて、更には差圧の数学的符号に基づいて制御されねばならない。
【００３６】
真空バルブが、例えば、特許文献５及び６に知られるようなバタフライバルブとして構成された場合、あるいは、真空バルブが、例えば、特許文献７に知られるＬ型バルブのように構成された場合、あるいは、特許文献８に知られるように閉塞部材がバルブ本体に変位可能に装着されてアクチュエータにより作動される閉塞リングを備える場合においても同じことが言える。これら公知の特許文献の開示は参照としてここに引用される。
【００３７】
閉塞部材を制御する各アクチュエータの制御は、例えば、差圧の数学的符号が差圧がシールの押圧力を増加する方向に作用する差圧の方向に対応する場合、差圧が増加しても閉塞部材の閉塞力は一定に維持される。しかしながら、差圧が反対の符号の場合は、差圧が増加すると閉塞力は増加する、すなわち、差圧が増加するにつれてシールに作用する結果としての押圧力が増加する。
【００３８】
このように制御される真空バルブの例として、特許文献７にその基本構造が知られるＬ型バルブを図４に示す。圧力センサを備える真空室と制御部材（遮断バルブや圧力制御バルブ）と協働する制御ユニットは図１に示した通りである。閉塞部材４は開放位置と、シーリング面に対向する位置との間をアクチュエータ２９により調節される。アクチュエータ２９はピストン−シリンダ・ユニットに形成され、圧縮空気ライン３１、３２により相応する方法で圧縮空気が供給され、排出される。閉塞部材４はアクチュエータ３０によりシーリング面を備えるバルブシートに押圧される。アクチュエータ３０は同様にピストン−シリンダ・ユニットに形成され、ピストン３７を移動するため圧縮空気ライン３３、３４から圧縮空気を供給し、排出する。ピストン３７に装着された歯状ラック３８と協働する偏心して装着された歯車３５により、シール５はバルブ本体１に配設されるシーリング面に押圧される。アクチュエータ３０により印加される閉塞力は、制御ユニット１１により、圧縮空気ライン３３を通じて供給される圧縮空気の圧力を調節することにより調節される。
【００３９】
閉塞力を調節可能なアクチュエータに代えて、図３を参照として記載した実施例のように、閉塞位置が調節可能なアクチュエータも上述したすべてのバルブに使用することができる。この場合、閉塞位置が制御（閉塞位置の現実値をフィードバック制御）されると、調節された閉塞位置が直接シールの押圧となり、実質的に差圧に依存しない。
【００４０】
二つの真空室間の差圧を関数とするシールに作用する押圧力の要求曲線が本発明により達成することができる。上述したごとく、実在する差圧が閉塞部材に作用しないバルブにおいても、作用するバルブと同様、シールの押圧力が増加、減少する要求曲線は達成可能である。
【００４１】
シールに作用する押圧力を差圧の関数として要求するように調節するために、本発明は、特許文献１０に知られるような、閉塞部材がＶ型で両側にシールを備え、該シールが対応して径方向に対向するシーリング面に接触する真空バルブに関連して用いることもできる。この特許文献の開示も参照としてここに引用される。
【００４２】
他の真空バルブ、例えば、特許文献４に知られるような構造を有する真空バルブ、に関連して本発明を使用することも考えられ、可能である。本特許文献の開示も同様参照としてここに引用する。
【００４３】
ここに示したアクチュエータの構造に代えて、例えば、電磁アクチュエータのような他のアクチュエータを閉塞部材の制御に用いることができる。
【００４４】
ここに示した実施例においては、シールは閉塞部材に配置され、シーリング面はバルブ本体に配置されている。シーリング面を閉塞部材に配置し、シールをバルブ本体に配置することも考えられ、可能である。
【００４５】
制御ユニットによるアクチュエータの制御は、図１、図２の実施例に示すようにオープンループ制御に構成してもよいし、図３の実施例に示すようにクローズドループ制御に構成してもよい。
【００４６】
以上の記載と図面により説明した本発明については、本発明の技術範囲から逸脱することなく種々の変更案が可能であることは、当技術分野の技術者にとって自明である。本発明の技術範囲はここに示した実施例に制限されず、可能な均等の範囲を伴う提案した請求の範囲を参照して確定されるべきである
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る二つの真空室間に配置された真空バルブの弁開口の軸に沿う概略断面図。
【図２】図１に示す真空バルブの弁開口の軸に直交する軸に沿った概略断面図。
【図３】本発明に係る他の実施形態を示す真空バルブの弁開口の軸に沿う概略断面図。
【図４】本発明に係る真空バルブの他の可能な実施形態を示す概略断面図。
【符号の説明】
【００４８】
１      バルブ本体、２      弁開口、３      弁開口の軸、４      閉塞部材、
５      シール、８      シーリング面、９、２５，２９，３０  アクチュエータ、
１０、３７      ピストン、１１      制御ユニット、１２      遮断バルブ、
１３      圧力制御バルブ、１４、１５      圧力センサ、１６、１７    真空室
１８、２０      制御ライン、２３      スプリング、２４    排出バルブ、
２６、３５      ギア、２７、３８      ラック、２８      センサ、
３１，３２，３３，３４        圧縮空気ライン、３６      入力デバイス、
【図１】
2006052846.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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