(57)【要約】【課題】  不良基板を正常基板と分別すると共に不良基板を基板の種類等ごとに分別して格納又は受け渡す基板処理装置を提供する。【解決手段】  異なる種類の基板に対して所定の処理を施す基板処理装置１に、前記所定の処理を実行するための処理ユニット１２〜１８と、前記基板を処理ユニット１８から取り出し、カセット６１〜６４のいずれかに収納するインデクサーロボット２ａと、処理ユニット１２〜１８で処理された基板が不良基板であるか否かを検出するスレーブコントローラ２２〜２８と、不良基板を当該不良基板の種類に応じたカセット６１〜６４のいずれか収納するようインデクサーロボット２ａを制御するマスタコントローラ３とを備える。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して一連の処理を施す基板処理装置において、
前記処理を実行するための少なくとも一つの処理ユニットから構成される処理手段と、
前記基板を前記処理手段から取り出し、予め定められた場所に搬送する搬送手段と、
前記処理手段で処理された基板が不良基板であるか否かを検出する不良基板検出手段と、
前記搬送手段に、前記不良基板検出手段により検出された不良基板を、前記予め定められた場所であって当該不良基板の種類に応じて定められている場所に搬送させる搬送制御手段とを備える基板処理装置。
【請求項２】
基板の種類を判別する基板種類判別手段を更に備え、
前記搬送手段は、前記基板を前記処理手段から基板の収納ケースに搬送するもので、
前記搬送制御手段は、前記搬送手段に、前記基板種類判別手段により判別された基板の種類に応じて、前記基板の種類に応じた基板の収納ケースに前記不良基板を収納させる請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
不良基板の不良の種類を判別する不良種類判別手段を更に備え、
前記搬送手段は、前記基板を前記処理手段から基板の収納ケースに搬送するもので、
前記搬送制御手段は前記搬送手段に、前記不良種類判別手段により判別された不良の種類に応じて、前記不良の種類に応じた基板の収納ケースに前記不良基板を収納させる請求項１又は２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記不良基板検出手段は、前記処理手段による基板の処理が所定時間内に終了しなかった場合に当該基板を不良基板であると判定する不良判定部を備え、前記不良判定部により基板が不良基板であると判定された場合に当該基板を不良基板であると検出する請求項１〜３のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記不良基板検出手段は、基板が不良基板である旨が操作者に入力される入力部を備え、基板が不良基板である旨が前記入力部により入力された場合に当該基板を不良基板であると検出する請求項１〜４のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記不良基板に関するデータを基板の種類毎又は／及び不良の種類毎に収集するデータ収集手段を更に備える請求項１〜５のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記不良基板を前記不良基板用の予め定められた場所に搬送できない場合に、前記不良基板を一時的に収納するための一時収納手段を更に備え、
前記搬送制御手段は、前記不良基板を前記不良基板用の予め定められた場所に搬送できない場合に、前記搬送手段に対し前記不良基板を前記一時収納手段に搬送させ、前記不良基板を前記不良基板用の予め定められた場所に搬送できるようになった後に、前記搬送手段に対し前記不良基板を前記一時収納手段から当該予め定められた場所に搬送させる請求項１〜６のいずれかに記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板及びＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用ガラス基板等の基板の表面に、素子形成などのための処理を施す基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板製造における（各基板処理装置による）各処理工程では、複数枚の基板を収納するカセット（若しくはストッカー）と呼ばれる収納ケースごとに基板の処理が行われる。各基板処理装置では、カセットに収納された基板を基板処理装置内の各処理ユニットで処理を行い、再び基板をカセットに収納して次の（別の基板処理装置による）処理工程へカセットを運ぶことを繰り返して基板を製造している。各基板処理装置内で発生した不良基板はその後の基板処理装置において正常処理基板と同様に処理が行われるため、そのカセットには正常処理基板と不良基板が混在したまま収納されており、工程の途中で分別装置にカセットを運び不良基板の抜き取りを行っていた。カセット内の不良基板は抜き取りが行われるまで正常基板と同様に通常どおりの処理が行われていた。
【０００３】
この問題を解決するために発明として、例えば下記特許文献１には、基板処理装置内で処理不良が生じた基板については、通常のカセットと別の不良基板回収カセットに収納する基板処理装置が記載されている。
【特許文献１】特開平１１−１４５０５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載の発明においては、不良基板を基板の種類等によらず全て同一のカセットに回収するため、不良基板に対して不良基板再生処理を行う場合には不良基板を更に人手により分別する必要があるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記問題点に鑑みて成されたもので、不良基板を正常基板と分別すると共に不良基板を基板の種類等ごとに分別して格納又は受け渡す基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る基板処理装置は、基板に対して一連の処理を施す基板処理装置において、前記処理を実行するための少なくとも一つの処理ユニットから構成される処理手段と、前記基板を前記処理手段から取り出し、予め定められた場所に搬送する搬送手段と、前記処理手段で処理された基板が不良基板であるか否かを検出する不良基板検出手段と、前記搬送手段に、前記不良基板検出手段により検出された不良基板を、前記予め定められた場所であって当該不良基板の種類に応じて定められている場所に搬送させる搬送制御手段とを備えるものである。
【０００７】
請求項２に係る基板処理装置は、請求項１に記載の基板処理装置であって、基板の種類を判別する基板種類判別手段を更に備え、前記搬送手段は、前記基板を前記処理手段から基板の収納ケースに搬送するもので、前記搬送制御手段は、前記搬送手段に、前記基板種類判別手段により判別された基板の種類に応じて、前記基板の種類に応じた基板の収納ケースに前記不良基板を収納させるものである。
【０００８】
請求項３に係る基板処理装置は、請求項１又は２に記載の基板処理装置であって、不良基板の不良の種類を判別する不良種類判別手段を更に備え、前記搬送手段は、前記基板を前記処理手段から基板の収納ケースに搬送するもので、前記搬送制御手段は前記搬送手段に、前記不良種類判別手段により判別された不良の種類に応じて、前記不良の種類に応じた基板の収納ケースに前記不良基板を収納させるものである。
【０００９】
請求項４に係る基板処理装置は、請求項１〜３のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記不良基板検出手段は、前記処理手段による基板の処理が所定時間内に終了しなかった場合に当該基板を不良基板であると判定する不良判定部を備え、前記不良判定部により基板が不良基板であると判定された場合に当該基板を不良基板であると検出することを特徴とする。
【００１０】
請求項５に係る基板処理装置は、請求項１〜４のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記不良基板検出手段は、基板が不良基板である旨が操作者により入力される入力部を備え、基板が不良基板である旨が前記入力部に入力された場合に当該基板を不良基板であると検出するものである。
【００１１】
請求項６に係る基板処理装置は、請求項１〜５のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記不良基板に関するデータを基板の種類毎又は／及び不良の種類毎に収集するデータ収集手段を更に備えるものである。
【００１２】
請求項７に係る基板処理装置は、請求項１〜６のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記不良基板を前記不良基板用の予め定められた場所に搬送できない場合に、前記不良基板を一時的に収納するための一時収納手段を更に備え、前記搬送制御手段は、前記不良基板を前記不良基板用の予め定められた場所に搬送できない場合に、前記搬送手段に対し前記不良基板を前記一時収納手段に搬送させ、前記不良基板を前記不良基板用の予め定められた場所に搬送できるようになった後に、前記搬送手段に対し前記不良基板を前記一時収納手段から当該予め定められた場所に搬送させるものである。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、不良基板が搬送手段により前記処理手段から取り出され所定の場所に搬送されるときに、当該不良基板の種類に応じた不良基板用の場所に搬送されるので、不良基板の再生処理を行う場合に新たに不良基板を種類に応じて分別する必要がなく、基板処理装置からの出力（例えばカセット、又はポート等）をそのまま再生処理工程の装置への入力とすることができる。加えて、不良が発生した基板処理装置の次の（当該基板処理装置以外の装置による）工程からは、遅くとも不良基板は正常基板と分別されて扱われるため、処理の必要のない不良基板に対して正常基板と同じ処理が施されることがなく、処理液、電力、エアなどが無駄に消費されることがなくなる。また従来において不良基板に対して不必要な処理を行っていた時間を正常な基板を処理するために使用できるため基板の処理枚数、つまりは生産性を上げることができる。また従来、基板処理装置とは別の工程を設けて基板の不良を判別し不良基板を分別していたのに対して、本発明によれば基板処理装置において不良基板を分別できるので、この別の行程をなくすことができ生産性を上げることができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、搬送手段が不良基板を処理手段から基板の収納ケースに搬送するときに、基板種類判別手段により判別された基板の種類に応じて、基板の種類に応じた基板の収納ケースに不良基板が収納されるよう搬送制御手段により搬送手段が制御されるので、不良基板の再生処理を行う場合に新たに不良基板を基板の種類に応じて分別する必要がなく、基板処理装置からの出力としての基板収納ケース（カセット）をそのまま再生処理工程の装置への入力とすることができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、搬送手段が不良基板を処理手段から基板の収納ケースに搬送するときに、不良種類判別手段により判別された不良の種類に応じて、不良の種類に応じた基板の収納ケースに不良基板が収納されるよう搬送制御手段により搬送手段が制御されるので、不良基板の再生処理を行う場合に新たに不良基板を不良の種類に応じた別々の収納ケースに分別する必要がなく、基板処理装置からの出力としての基板収納ケース（カセット）をそのまま再生処理工程の装置への入力とすることができる。また、不良の種類に応じて再処理を行うか否かを決定する場合には、再処理を行う基板と再処理を行わない基板を更に分別する必要がなくなる。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、処理手段による基板の処理が所定時間内に終了しなかった場合に不良判定手段により当該基板が不良基板であると判定され、不良基板検出手段は、この基板を不良基板であると検出するので、処理時間が所定時間を超えた基板が装置の判断により不良基板であると検出され、不良基板を容易に検出できる。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、入力手段を用いて操作者により基板が不良基板である旨が入力されたことを受け付けた場合に、不良基板検出手段は、この基板を不良基板であると検出するので、装置により検出し難い不良等であっても、不良基板として扱うことができる。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、不良基板に関するデータとして、例えば不良基板及び正常基板の数等がデータ収集手段により基板の種類毎又は／及び不良の種類毎に収集されるので、収集されたデータを分析することにより基板の種類毎又は／及び不良の種類毎の不良発生率等の情報を得ることも可能となり、例えば、得られた情報を生産性向上策の検討等に用いることができる。
【００１９】
請求項７に記載の発明によれば、不良基板を不良基板用の予め定められた場所に搬送できない場合（例えば不良基板収納用の基板収納ケースがない場合、又は不良基板収納用の基板収納ケースが既に満杯である場合等）に、不良基板は一時収納手段に搬送されるので、不良基板を装置内から搬出できずに、装置内に基板が停滞してしまうことがない。これにより基板の処理が中断されてしまうことがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施形態における基板処理装置について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態にかかる基板処理装置の上面図である。基板処理装置１は、複数の処理ユニットを接続して一貫した処理を可能にしたコータ／デベロッパ装置であって、露光機５０、タイトラー６０、及びエッジ露光機７０と接続し、フォトリソグラフィ工程においてレジスト塗布前洗浄からレジスト塗布・露光・現像までを連続して行えるようにするものである。
【００２１】
基板処理装置１は、主として、洗浄ユニット１２、脱水ベークユニット１３ａ，１３ｂ、レジスト塗布ユニット１４、プリベークユニット１５ａ，１５ｂ、露光機インターフェースユニット１６、現像ユニット１７、及びポストベークユニット１８ａ，１８ｂ、検査機（検査ユニット）１９の各処理ユニットと、処理ユニット群への基板の出入を行うインデクサー部１１と、全処理の終了した基板をインデクサー部１１に受け渡す際の渡し場所あるいは一時的な待避場所となるバッファ部２０と、部旋回ロボット４ａ〜４ｅとを備えている。インデクサー部１１から露光機５０までの行きラインには、洗浄ユニット１２、ポストベークユニット１８ｂ、脱水ベークユニット１３ａ、レジスト塗布ユニット１４、プリベークユニット１５ａ等が配置される。露光機５０からの帰りラインには、プリベークユニット１５ｂ、現像ユニット１７、脱水ベークユニット１３ｂ、ポストベークユニット１８ａ、検査機１９等が配置される。
【００２２】
処理の行われるガラス基板（以下、基板という。）はインデクサー部１１に載置された、基板収納用カセット６１，６２から取り出されて処理部（処理ユニット）へ送り出される。正常に各処理工程を終えた基板は、その基板が取り出されたカセット６１又は６２に収納される。各処理工程のいずれかで異常に処理を終えた基板（不良基板）は、不良基板回収カセット６３又は６４に収納される。カセット６１，６２からの基板の取り出し、及びカセット６１〜６４への基板の収納は、基板を保持して旋回可能なアームを備えカセット６１〜６４の列に沿って移動可能なインデクサーロボット２ａによって行う。
【００２３】
各処理ユニットの構造について簡単に説明する。洗浄ユニット１２は、搬入部１２２、洗浄部１２３、液滴除去部１２４、及び搬出部１２５からなる。また、搬入部１２２の上部には、ＵＶオゾン洗浄室１２１が設けられている。すなわち、洗浄ユニット１２の上にＵＶオゾン洗浄室１２１が重ねられている。ＵＶオゾン洗浄室１２１から搬入部１２２まではインデクサーロボット２ａにより基板を搬送する。搬入部１２２から搬出部１２５までは、コンベアによって基板を搬送しつつ、洗浄や液滴除去等の処理を行う。
【００２４】
脱水ベークユニット１３ａ，１３ｂは、静止式の処理室、コンベア室（搬送室）、及び通過室が多段に積み上げられたユニットである。脱水ベークユニット１３ｂは、旋回ロボット４ｂを挟んで脱水ベークユニット１３ａと反対側の帰りラインに配置されており、脱水ベークユニット１３ａが使用中の場合には脱水ベークユニット１３ｂが使用される。帰りラインにおいては、基板は脱水ベークユニット１３ｂの通過室を通過される。コンベア室、及び通過室には、それぞれコンベアが配備されている。
【００２５】
レジスト塗布ユニット１４は、搬入部１４１、スピンコータ部１４２、レベリング処理部１４３、エッジリンス部１４４、及び搬出部１４５からなる。搬入部１４１から搬出部１４５までは、基板を隣接する処理部へ順送りしてゆくスライダーによって基板を搬送する。
【００２６】
プリベークユニット１５ａ，１５ｂは、静止式の処理室及び搬送室が多段に積み上げられたものである。プリベークユニット１５ｂは、旋回ロボット４ｃを挟んでプリベークユニット１５ａと反対側の帰りラインに配置されており、プリベークユニット１５ａが使用中の場合にはプリベークユニット１５ｂが使用される。搬入用コンベア室１５１及び通過室１５４には、それぞれコンベアが配備されている。
【００２７】
露光機インターフェースユニット１６は、基板処理装置１に備えられる、露光機５０へのインターフェースで、プリベークユニット１５ａ，１５ｂと露光機５０の間で基板の受け渡しを行うものである。露光機インターフェースユニット１６は、旋回ロボット４ｅの近傍に、露光機５０に対して基板を受け渡す際の受け渡し場所あるいは一時的な待避場所となるバッファ部８ａ〜８ｃを搭載している。露光機インターフェースユニット１６の周辺には、タイトラー６０及びエッジ露光機７０が配置される。
【００２８】
現像ユニット１７は、搬入部１７１、現像部１７２、水洗部１７３、乾燥部１７４、及び搬出部１７５からなる。搬入部１７１から搬出部１７５までは、コンベアによって基板を水平方向に搬送する。ポストベークユニット１８ａ，１８ｂは、静止式の処理室、搬送室、空冷室、及び通過室が多段に積み上げられたユニットである。ポストベークユニット１８ｂは、旋回ロボット４ａを挟んで反対側の行きラインに配置されており、ポストベークユニット１８ｂが使用中の場合にはポストベークユニット１８ａが使用される。行きラインにおいては、基板はポストベークユニット１８ｂの通過室を通過される。搬入用コンベア室、搬出用コンベア室、及び通過室には、それぞれコンベアが配備されている。加熱処理後の基板は空冷室において空冷される。
【００２９】
検査機１９は、処理ユニット１２〜１８において処理された基板に対し最終的な不良確認を行う。検査機１９は、基板上に形成されたレジストパターンを撮像して得た画像データに基づいて、レジストパターンの不良を検出する。検査機１９においてレジストパターンの不良が検出された基板は、不良基板とされる。検査機１９における検査の種類には、レジストの塗布斑や塗り残し等のマクロ欠陥を検出するマクロ検査や、レジストパターンの線幅異常を検出する線幅検査等がある。また、検査機１９の一部は操作者によって目視検査が可能な領域となっており、検査機１９によって自動検出した不良基板を目視により再確認したり、不良基板とされなかった基板を目視により最終確認するのに用いられる。
【００３０】
旋回ロボット４ａ〜４ｅは、旋回することはできるが水平方向に移動するような機構は有していない、いわゆるクラスタタイプのロボットである。この旋回ロボット４ａ〜４ｅは、それぞれ、旋回と昇降が可能な胴部と、胴部から延びるアーム部と、アーム部の先端に装着され基板を保持する保持部とを有している。旋回ロボット４ａ〜４ｅは、多段に重ねて積み上げられた各処理室、コンベア室、及び通過室に対して旋回と昇降の動作をして正対し、アーム部の進退及び胴部の上下動により基板の取り替えまたは受渡しの動作をして基板を移動させる。
【００３１】
次に、基板処理装置による基板の処理について、順に説明する。インデクサー部１１においてインデクサーロボット２ａによりカセット６１又は６２から取り出された基板は、まず、洗浄ユニット１２において洗浄される。洗浄ユニット１２での処理を終えた基板は、コンベアによってポストベークユニット１８ｂの通過室を通過して運ばれ、脱水ベークユニット１３ａに入る。脱水ベークユニット１３ａ，１３ｂにおいては、適宜空いている処理室を用いて加熱による脱水処理が行われる。次に基板はコンベアでレジスト塗布ユニット１４に運ばれる。レジスト塗布ユニット１４では、基板に対してレジスト（塗布液）の塗布が行われる。レジスト塗布ユニット１４でレジストの塗布が行われた基板は、次にプリベークユニット１５ａに運ばれる。ここでは、プリベークユニット１５ａ又はプリベークユニット１５ｂの空いている処理室を用いて処理が行われる。プリベークユニット１５ａ，１５ｂでは、基板上のレジスト膜中の残留溶剤の蒸発と基板の密着性強化を目的として、加熱処理が行われる。さらに基板は、露光機インターフェースユニット１６の旋回ロボット４ｄ，４ｅにより露光機５０に移され、露光処理が施される。露光された基板は、露光機５０から旋回ロボット４ｅにより取り出されて、バッファ部８ｃを介して、旋回ロボット４ｄに保持される。なお、露光機５０への搬入，搬出の際には、もし必要があればバッファ部８ａ，８ｂ，８ｃにおいて基板は一時的に保管される。
【００３２】
次に基板は、旋回ロボット４ｄからタイトラー６０及びエッジ露光機７０に移されて、それぞれ印字焼き付け、エッジ露光が行われる。これらの処理を終えた基板は、コンベア部７９からプリベークユニット１５ｂの通過室を通って現像ユニット１７に搬送され、現像処理が行われる。現像処理を終えた基板は、脱水ベークユニット１３ｂの通過室を通ってポストベークユニット１８ａに運ばれる。ここでは、ポストベークユニット１８ａ又は１８ｂの空いている処理室を用いて、基板上のレジスト膜中または表面に残留した現像液やリンス液を蒸発除去し、レジストの硬化及び基板との密着性強化を目的とした熱処理を行う。次いで基板は、コンベアにより検査機１９に運ばれる。正常に処理を終えたことが検査機１９により確認された基板は、インデクサーロボット２ａによって検査機１９から元のカセット６１又は６２に収容される。途中の処理ユニットにおいてエラーが起こった基板、及び検査機１９により不良の確認された基板（以下、総称して不良基板という。）は、検査機１９から不良基板回収カセット６３又は６４に収容される。不良基板回収カセットがない、若しくは満載の場合には、不良基板はバッファ部２０（図１）に一時収納される。
【００３３】
カセット６１〜６４は複数枚（所定枚数、例えば２０枚）の基板を収納するもので、各基板はカセットの内側に設けられた複数（所定数、例えば２０）の溝に沿って収納される。本実施形態においては、例えば  カセット６１を４０インチディスプレイ用の未処理基板が入ったカセット、カセット６２を３２インチディスプレイ用の未処理基板が入ったカセット、カセット６３，６４を処理済の不良基板を回収するカセットとする。インデクサーロボット２ａは洗浄ユニット１２が処理中であっても受け取りが可能である状態が続く間は、タクト間隔時間毎（所定の時間間隔毎）に連続的に、カセット６１及び６２の一方（例えば、カセット６１）の次の溝に収納された基板を取り出し、洗浄ユニット１２に搬送する。カセット６１の基板がなくなった場合には、他方のカセット（例えば、カセット６２）から基板を取り出し、洗浄ユニット１２に搬送する。
【００３４】
カセット６３，６４には連続して同一種類（例えば４０インチディスプレイ用）の不良基板を同一カセットに回収する。種類の異なる（例えば３２インチディスプレイ用）不良基板が処理を終えてきたならば、この（３２インチディスプレイ用）不良基板は他方のカセット（例えば、カセット６４）に回収し、カセット６３はインデクサー部１１から搬出する。以後、３２インチディスプレイ用の不良基板が連続して戻ってくる間はカセット６４を用い、再び種類の異なる不良基板が戻ってきたならば、再度、収納先をカセット６３（このときのカセット６３は新たな空のカセット）に切り換える。
【００３５】
図２は、基板処理装置１及び基板処理装置の動作を制御するための各コントローラの接続関係を示すブロック図である。基板処理装置１の各ユニット１１〜１９にはそれぞれスレーブコントローラ２１〜２９が通信回線により接続される。スレーブコントローラ２１〜２８は通信回線により互いに接続されると共にマスタコントローラ３に接続され、更にマスタコントローラ３は通信回線によりホストコンピュータ４に接続されている。スレーブコントローラ２９は、シリアル通信回線によりスレーブコントローラ２１及びスレーブコントローラ２８に接続されると共に、通信回線によりホストコンピュータ４に接続されている。スレーブコントローラ２９の接続方法は、処理ユニットに接続されている他のスレーブコントローラ２２〜２８と異なるが、上流又は下流側のスレーブコントローラとの間のデータ通信内容は、他のスレーブコントローラの場合と同様である。各処理ユニットに接続されているスレーブコントローラ２２〜２９にはそれぞれ不良種類選択データ入力部５２〜５９が備えられている。
【００３６】
各ユニットに接続されたスレーブコントローラ２１〜２９は接続されているユニットを制御するもので、ＣＰＵ（中央処理装置）及びＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等から構成される。スレーブコントローラ２１〜２９は、スレーブコントローラの接続されたユニット１１〜１９で行う処理を基板の種類に合わせて行うための制御と、処理異常（処理時間オーバー、流量センサ等の各センサによる異常信号の発生等）の検出等を行う。また、スレーブコントローラ２１〜２９は、処理ユニット間での基板の受け渡しに伴って、基板の属性情報である基板データ（詳細は後述）をその処理ユニットに接続されたスレーブコントローラ間で受け渡す。これにより、各スレーブコントローラは接続されている処理ユニットで処理をされている基板の基板データを保持することとなる。インデクサー部１１のスレーブコントローラ２１においては、これから処理ユニット１２に送り出す未処理基板の基板データと、全処理を終えてカセットに回収される処理済基板の基板データの２つの基板データを保持する。
【００３７】
マスタコントローラ３は各スレーブコントローラ２１〜２９を通じて、基板処理装置１内での基板の位置の把握や、カセット６１，６２から処理ユニット群１２〜１９に基板を搬送する際、及び処理ユニット群１２〜１９からカセット６１〜６４に基板を収容する際の搬送確認を行うものである。マスタコントローラ３は例えばＰＣ（パーソナルコンピュータ）である。インデクサー部１１にカセットがセットされた場合に、操作者はマスタコントローラ３の入出力装置を用いてセットしたカセットの情報（例えばセットした位置、基板の種類、基板に行う処理の情報等）を入力する。マスタコントローラ３は、入出力装置としてディスプレイとキーボードを備える。また、マスタコントローラ３は、カセットから搬出された各基板がどの処理ユニットにあるかを示す情報（基板処理位置情報）を保持し、随時更新する。加えて、マスタコントローラ３は、インデクサー部１１へのカセットの投入要求、インデクサー部１１からのカセットの搬出要求、基板処理装置１の稼動状況、基板処理装置１で発生したエラーの報告、及び、カセットに回収する処理済基板の基板種類及び正常であるか不良であるか等をホストコンピュータ４に送信する。
【００３８】
ホストコンピュータ４は、カセットの投入、搬出等に基づく工程進捗を管理し、カセットの投入及び搬出を指示する。また、マスタコントローラ３から不良基板の情報、例えば正常基板と不良基板の基板種別と不良種別を受信して、各基板種別における不良基板の割合や、各不良種別の割合等を集計する。この集計データは例えば将来の基板処理装置の設計等にフィードバックされる。ホストコンピュータ４は、当該基板処理装置１のみでなく、当該基板処理装置１の前後の工程の装置にも接続され、これらの装置からも不良基板の情報を取得する。これにより基板製造全体におけるよりトータルな不良発生に関する情報を収集することができる。
【００３９】
図３は、基板データの例を示す図である。基板データは、カセット位置番号７１、基板収納溝番号７２、基板処理情報７３、付加情報７４、不良データ７５等からなる。カセット位置番号７１は、当該基板が収納されていたカセットがインデクサー部におけるどのカセット位置にセットされているかを示す情報で、例えばカセット６１の位置をカセット位置Ａ、カセット６２の位置をカセット位置Ｂ、カセット６３の位置をカセット位置Ｃ、カセット６４の位置をカセット位置Ｄとした場合、カセット位置Ａ〜Ｄに対応した番号１〜４のいずれかが格納される。基板収納溝番号７２は、当該基板が収納されていたカセットのどの溝（カセット内のどの位置）に収納されていたかを示す情報で、例えば基板２０枚を収納可能なカセットにおいては、１〜２０の番号によって示される。基板処理情報７３は、当該基板に施す処理を示す情報で、レシピとも呼ばれる。付加情報７４は、当該基板の種類を示す情報等である。これは例えば、４０インチディスプレイ用であるか３２インチディスプレイ用であるかといった情報や、基板の厚みが１．１ｍｍ、０．７ｍｍ、０．５ｍｍのいずれであるかを示す情報、工程の進捗を指す情報等である。不良データ７５は、当該基板が不良基板であると判定された場合に、各処理ユニットにおいて設定されるデータである。例えば、各処理ユニットにおいて、処理異常が検出された場合には、処理異常の種類（処理時間オーバー、各センサによる異常信号発生等）に応じた番号を割り振る。また、操作者が不良種類選択データ入力部５２〜５９を用いて不良内容（後述）を入力した場合には、その不良内容に応じた番号を割り振る。不良データの初期値は、不良なしを表す番号、例えば「０」である。マスタコントローラ３においてこの不良データをチェックし、処理の終了した基板を元のカセットに収納するか、どの不良基板回収カセットに収納するかを判断する。
【００４０】
図２に戻って、処理ユニットに接続された各スレーブコントローラ２２〜２９に備えられた不良種類選択データ入力部５２〜５９は、各処理ユニットにおいて操作者がその処理ユニットにおいて処理されている基板を目視等により不良であると判断した場合に、その処理ユニットに接続されているスレーブコントローラに処理中の基板が不良基板であることを示す情報を入力するためのものである。この情報は不良内容種別として、例えばリジェクト、リワーク、リプロセスのいずれかを保持する。リジェクトは、廃棄処分が必要な不良基板であること、リワークは、例えばレジスト剥離等の処理が必要な不良基板であること、リプロセスは、本装置による再処理が必要な不良基板であることを示す。スレーブコントローラ２２〜２９は操作者により当該スレーブコントローラに備えられた不良種類選択データ入力部５２〜５９により不良種類選択データの入力が行われたことを受け付けた場合に当該スレーブコントローラが保持する基板データの不良データ７５にデータを入れる。また、処理ユニットに接続された各スレーブコントローラは、保持している基板データの基板処理情報７３に応じて、接続されている処理ユニットにおける基板処理の内容を変化させる。これにより基板の種類に応じた処理が基板に施される。
【００４１】
次にマスタコントローラ３の制御の流れを図４及び図５を用いて説明する。図４及び図５は、マスタコントローラ３が行う制御の流れを示すフローチャートである。操作者は、未処理基板の新たなカセットをインデクサー部１１にセットした場合には、マスタコントローラ３にカセットをセットしたカセット位置、カセットに収納されている基板の種類、及び基板の施す処理の情報（レシピ）を入力する。また、操作者は、不良基板回収カセットを新たにインデクサー部１１にセットした場合には、マスタコントローラ３にカセットをセットしたカセット位置を入力する。
【００４２】
ステップＳ１では、マスタコントローラ３は、新たなカセットをインデクサー部１１にセットした旨が、マスタコントローラ３に操作者により入力されたことを受け付けたか否かをチェックし、入力を受け付けた場合には（ステップＳ１でＹＥＳ）、ステップＳ２へ進む。ステップＳ２では、マスタコントローラ３は、セットされたカセットが未処理基板のカセットである旨が、マスタコントローラ３に操作者により入力されたことを受け付けた場合には（ステップＳ２で未処理基板用カセット）、ステップＳ３へ進む。ステップＳ３では、マスタコントローラ３は、操作者によりマスタコントローラ３に入力された、基板の種類、カセットの位置、及び基板処理情報（レシピ）を取得する。ステップＳ４では、マスタコントローラ３は、新たにセットされたカセットの全ての基板の基板データ（カセット位置番号７１、基板収納溝番号７２、基板処理情報７３、及び不良データ７５）をマスタコントローラ３の保持する基板リストに入れる。ただし、このとき不良データには不良なしを表す「０」を設定する。
【００４３】
ステップＳ２の分岐において、セットされたカセットが不良基板回収カセットである旨が、操作者により入力されたことをマスタコントローラ３が受け付けた場合には（ステップＳ２で不良基板回収用カセット）、ステップＳ５に進む。ステップＳ５では、マスタコントローラ３は、操作者によりマスタコントローラ３に入力されたカセットの位置を取得する。ステップＳ６では、マスタコントローラ３は、不良基板回収カセットがセットされた旨と、その位置を表すカセット位置番号をインデクサー部１１に送信する。ステップＳ１の分岐において、カセットがセットされた旨の入力を受け付けなかった場合（ステップＳ１でＮＯ）、ステップＳ４の処理が終了した場合、及びステップＳ６の処理が終了した場合には、ステップＳ７へ進む。
【００４４】
ステップＳ７では、マスタコントローラ３は、任意の処理ユニット（のスレーブコントローラ）から基板が搬入された旨を受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＳ７でＹＥＳ）、ステップＳ８へ進む。ステップＳ８では、マスタコントローラ３は、受信した情報を基に基板処理位置情報を更新する。ステップＳ７の分岐において、基板が搬入された旨を受信しなかった場合（ステップＳ７でＮＯ）、及びステップＳ８の処理が終了した場合には、ステップＳ９へ進む。ステップＳ９では、マスタコントローラ３は、任意の処理ユニット（のスレーブコントローラ）から基板が搬出された旨を受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＳ９でＹＥＳ）、ステップＳ１０へ進む。ステップＳ１０では、マスタコントローラ３は、受信した情報を基に基板処理位置情報を更新する。ステップＳ９の分岐において、基板が搬出された旨を受信しなかった場合（ステップＳ９でＮＯ）、及びステップＳ１０の処理が終了した場合には、ステップＳ１１へ進む。
【００４５】
ステップＳ１１では、マスタコントローラ３は、インデクサー部１１（のスレーブコントローラ）から基板搬出確認を受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＳ１１でＹＥＳ）、ステップＳ１２へ進む。ステップＳ１２では、マスタコントローラ３は、自身の保持する基板リストの中で、次に搬出される基板の基板データから付加情報７４を除いたものをインデクサー部１１に送信する。ステップＳ１１の分岐において、インデクサー部１１から基板搬出確認を受信しなかった場合（ステップＳ１１でＮＯ）、及びステップＳ１２の処理が終了した場合には、ステップＳ１３へ進む。
【００４６】
ステップＳ１３では、マスタコントローラ３は、不良基板が収納される第１候補のカセットのカセット位置番号、及び回収する基板の基板データを基板搬入確認としてインデクサー部１１から受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＳ１３でＹＥＳ）、ステップＳ１４へ進む。ステップＳ１４では、マスタコントローラ３は、受信した第１候補のカセット位置番号のカセットに属性として付加された基板種別が空か否かをチェックし、基板種別が空でない場合には（ステップＳ１４でＹＥＳ）、既にそのカセットに何枚かの不良基板が収納されているということなので、ステップＳ１５へ進む。ステップＳ１５では、マスタコントローラ３は、第１候補のカセットの属性としての基板種類と、収納する基板の基板データの基板種類（これは、受信した基板データ（のカセット位置番号及び収納溝番号）とマスタコントローラの保持する基板リストの基板データ（のカセット位置番号及び収納溝番号）とを比較し、一致した（基板リストの）基板データの付加情報７４から基板種類を取得する。）とを比較して同じか否かをチェックし、同じでない場合には（ステップＳ１５でＮＯ）、ステップＳ１６へ進む。ステップＳ１６では、マスタコントローラ３は、第１候補のカセットへの格納の不許可をインデクサー部１１に送信する。
【００４７】
ステップＳ１４の分岐において、第１候補のカセットに（１枚も）不良基板が収納されていない場合には（ステップＳ１４でＮＯ）、ステップＳ１７へ進む。ステップＳ１７では、マスタコントローラ３は、ステップＳ１３で指定された第１候補のカセットに収納する基板の基板種類（第１候補のカセットの属性としての基板種類）を、ステップＳ１３で受信した基板データが示す基板種類とする。ステップＳ１５の分岐において、第１候補のカセットの基板種類と収納する基板の基板種類が同じ場合（ステップＳ１５でＹＥＳ）、及びステップＳ１７の処理が終了した場合には、ステップＳ１８へ進む。ステップＳ１８では、マスタコントローラ３は、第１候補のカセットへの格納許可をインデクサー部１１に送信する。ステップＳ１９では、マスタコントローラ３は、カセットに収納する基板の種類、及び不良の種別をホストコンピュータ４へ送信する。
【００４８】
ステップＳ１３の分岐において、インデクサー部１１から第１候補の不良基板回収カセットの情報を受信しなかった場合には（ステップＳ１３でＮＯ）、ステップＳ２０へ進む。ステップＳ２０では、マスタコントローラ３は、正常基板をカセットへ収納する旨、及びその基板の基板データをインデクサー部１１から受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＳ２０でＹＥＳ）、ステップＳ２１へ進む。ステップＳ２１では、マスタコントローラ３は、受信した基板データに対応する、基板リストの基板データを処理の終了した基板として基板リストから消去する。ステップＳ２２では、マスタコントローラ３は、同一カセットへの基板の回収が終了したか否かをチェックし、終了した場合には（ステップＳ２２でＹＥＳ）、ステップＳ２３へ進む。ステップＳ２３では、マスタコントローラ３は、ホストコンピュータ４へ基板の回収が終了したカセットの搬送指示を送信する。ステップＳ２２の分岐において、同一カセットへの基板の回収が終了していない場合（ステップＳ２２でＮＯ）、及びステップＳ２３の処理が終了した場合には、ステップＳ２４へ進む。ステップＳ２４では、マスタコントローラ３は、カセットに収納する基板の種類、及び正常基板である旨をホストコンピュータ４へ送信する。ステップＳ２４の処理が終了した場合には、ステップＳ１に戻りステップＳ１からの処理を繰り返す。
【００４９】
次にインデクサー部１１のスレーブコントローラ２１の制御の流れを図６及び図７を用いて説明する。図６及び図７は、スレーブコントローラ２１が行う制御の流れを示すフローチャートである。ステップＳ３１では、スレーブコントローラ２１は、例えば第１候補の不良基板回収カセットのカセット位置番号に「３」、第２候補の不良基板回収カセットのカセット位置番号に「４」を初期値として設定する。ステップＳ３２では、スレーブコントローラ２１は、新たな不良基板回収カセットがインデクサー部１１にセットされた旨をマスタコントローラ３から受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＳ３２でＹＥＳ）、ステップＳ３３へ進む。ステップＳ３３では、スレーブコントローラ２１は、新たな不良基板回収カセットがセットされた位置を示すカセット位置番号をマスタコントローラ３から受信する。ステップＳ３４では、スレーブコントローラ２１は、新たにセットされたカセットへ次に基板を収納する溝番号を示す変数（カセット位置Ｃの場合にはＰＣ、カセット位置Ｄの場合にはＰＤ）を「１」に初期化する。ステップＳ３２の分岐において、不良基板回収カセットがセットされた旨を受信しなかった場合（ステップＳ３２でＮＯ）、及びステップＳ３４の処理が終了した場合には、ステップＳ３５へ進む。
【００５０】
ステップＳ３５では、スレーブコントローラ２１は、タクト時間が経過したか否かをチェックし、経過した場合には（ステップＳ３５でＹＥＳ）、ステップＳ３６へ進む。ステップＳ３６では、スレーブコントローラ２１は、マスタコントローラ３に基板搬出確認を送信する。ステップＳ３７では、スレーブコントローラ２１は、基板リストの処理待ちの先頭にある、付加情報７４を除く基板データをマスタコントローラ３から受信する。ステップＳ３８では、スレーブコントローラ２１は、最初の処理ユニット（洗浄ユニット）１２が基板を受け取ることが可能か否かを洗浄ユニット１２のスレーブコントローラ２２に問い合わせることにより可能になるまでチェックし（ステップＳ３８でＮＯ）、可能になったならば（ステップＳ３８でＹＥＳ）、ステップＳ３９へ進む。ステップＳ３９では、スレーブコントローラ２１は、マスタコントローラ３から受信した基板データの基板をカセットから洗浄ユニット１２に搬送するようにインデクサーロボット２ａに指示を送信する。これを受けてインデクサーロボット２ａは基板をカセットから取り出して、洗浄ユニット１２に搬送する。インデクサーロボット２ａは搬送する基板が収納されているカセット位置及び溝位置をスレーブコントローラ２１がマスタコントローラ３から受信した基板データから取得する。ステップＳ４０では、スレーブコントローラ２１は、マスタコントローラ３から受信した基板データを最初の処理ユニット（洗浄ユニット）１２に接続されたスレーブコントローラ２２に送信する。
【００５１】
ステップＳ３５の分岐において、タクト時間が経過していない場合（ステップＳ３５でＮＯ）、及びステップＳ４０の処理が終了した場合には、ステップＳ４１へ進む。ステップＳ４１では、スレーブコントローラ２１は、基板の搬出要求（及びその基板の基板データ）を最終の処理ユニット（空冷ユニット）１８に接続されたスレーブコントローラ２８から受信した場合には（ステップＳ４１でＹＥＳ）、ステップＳ４２へ進む。ステップＳ４２では、スレーブコントローラ２１は、その基板が不良基板か否かを基板データの不良データ７５の値が「０」か「０」以外かによりチェックし、不良基板（不良データ７５が「０」以外）であれば（ステップＳ４２でＹＥＳ）、ステップＳ４３へ進む。ステップＳ４３では、スレーブコントローラ２１は、マスタコントローラ３に第１候補のカセット位置番号と基板データを送信して収納確認を行う。ステップＳ４４では、スレーブコントローラ２１は、第１候補のカセットへの不良基板の収納許可をマスタコントローラ３から受信したか否かをチェックし、受信した場合には（ステップＳ４４でＹＥＳ）、ステップＳ４５へ進む。ステップＳ４５では、スレーブコントローラ２１は、第１候補のカセットに基板を収納するようインデクサーロボット２ａに指示を送信する。
【００５２】
ステップＳ４４の分岐において、第１候補のカセットへの不良基板の収納の不許可を受信した場合には（ステップＳ４４でＮＯ）、ステップＳ４６へ進む。ステップＳ４６では、スレーブコントローラ２１は、第２候補の不良基板用カセットがあるか否かをチェックし、あれば（ステップＳ４６でＹＥＳ）、ステップＳ４７へ進む。ステップＳ４７では、スレーブコントローラ２１は、第２候補のカセットに基板を収納するようインデクサーロボット２ａに指示を送信する。ステップＳ４８では、スレーブコントローラ２１は、第１候補のカセット位置番号と第２候補のカセット位置番号を入れ替える。
【００５３】
ステップＳ４６の分岐において、第２候補の不良基板用カセットがない場合には（ステップＳ４６でＮＯ）、ステップＳ４９へ進む。ステップＳ４９では、スレーブコントローラ２１は、当該不良基板をバッファ部２０に一時収納するようインデクサーロボット２ａに指示を送信する。ステップＳ４５の処理、ステップＳ４８の処理、及びステップＳ４９の処理が終了した場合には、ステップＳ５０へ進む。ステップＳ５０では、スレーブコントローラ２１は、ステップＳ４５又はステップＳ４７で基板が収納されたカセットの収納先溝番号をインクリメントする。
【００５４】
ステップＳ４２の分岐において、基板が正常基板である場合には（ステップＳ４２でＮＯ）、ステップＳ５１へ進む。ステップＳ５１では、スレーブコントローラ２１は、インデクサーロボット２ａに基板データのカセット位置番号７１と基板収納溝番号７２を送信し、基板を収納元のカセットの収納位置に収納するよう指示を送信する。ステップＳ５２では、スレーブコントローラ２１は、正常基板をカセットに収納した旨及びその基板データをマスタコントローラ３に送信する。ステップＳ４１の分岐において、最終の処理ユニット１８から基板の搬出要求を受信しなかった場合には（ステップＳ４１でＮＯ）、ステップＳ５３へ進む。ステップＳ５３では、スレーブコントローラ２１は、バッファ部２０に不良基板が収納されているか確認し、収納されていれば（ステップＳ５３でＹＥＳ）、ステップＳ５４ヘ進む。ステップＳ５４では、スレーブコントローラ２１は、新たな不良基板用カセットがあるか確認し、カセットがあれば（ステップＳ５４でＹＥＳ）、ステップＳ４２へ進む。ステップＳ５３の分岐において、バッファ部２０に不良基板が収納されていない場合（ステップＳ５３でＮＯ）、ステップＳ５４の分岐において、新たな不良基板回収カセットがない場合（ステップＳ５４でＮＯ）、ステップＳ５２の処理が終了した場合、及びステップＳ５０の処理が終了した場合には、ステップＳ３２に戻りステップＳ３２からの処理を繰り返す。
【００５５】
次に、処理ユニットに接続されたスレーブコントローラ２２〜２８が行う制御の流れを図８を用いて説明する。図８は、処理ユニットに接続された（任意の）スレーブコントローラ２２〜２８の制御の流れを示すフローチャートである。
【００５６】
ステップＳ６１では、スレーブコントローラ２２〜２８は、当該スレーブコントローラの接続された処理ユニットが基板の受け取りが可能であるか否かを可能になるまでチェックし（ステップＳ６１でＮＯ）、可能な場合には前の処理ユニットに接続されたスレーブコントローラに受け取りが可能な旨を送信し基板の搬入を受け入れる。基板が搬入された場合には（ステップＳ６１でＹＥＳ）、ステップＳ６２へ進む。ステップＳ６２では、スレーブコントローラ２２〜２８は、基板が当該スレーブコントローラの接続された処理ユニットに搬入された旨をマスタコントローラ３に送信する。ステップＳ６３では、スレーブコントローラ２２〜２８は、搬入された基板の基板データを、基板搬入元である前の処理ユニットに接続されたスレーブコントローラ（当該処理ユニットが最初の処理ユニット（洗浄ユニット）１２の場合にはスレーブコントローラ２１）から受信する。
【００５７】
ステップＳ６４では、スレーブコントローラ２２〜２８は、当該スレーブコントローラの接続された処理ユニットにおいて、処理中の基板が不良基板であると判定されたか否かをチェックし、不良基板であると判定された場合には（ステップＳ６４でＹＥＳ）、ステップＳ６５へ進む。ここで、基板の不良判定について簡単に説明する。スレーブコントローラ２２〜２８は、例えば、スレーブコントローラの接続された処理ユニットにおける処理時間の経過を計時し、所定の時間を経過しても処理が終了しない場合に、不良基板であると判定する。また、スレーブコントローラ２２〜２８は、処理ユニット内の異常検出用の各種センサにより異常が検出された場合にも不良基板であると判定する。その他、スレーブコントローラ２２〜２８は、例えば、スレーブコントローラに接続された不良種類選択データ入力部５２〜５８の選択スイッチ（リジェクト／リワーク／リプロセスから選択）の選択を受け付けた場合に、不良基板であると判定する。
【００５８】
ステップＳ６５では、スレーブコントローラ２２〜２８は、現在保持している基板データの不良データに不良の種別を示すデータ、例えば数字を入力する。ステップＳ６４の分岐において、不良基板であると判定されなかった場合（ステップＳ６４でＮＯ）、及びステップＳ６５の処理が終了した場合には、ステップＳ６６へ進む。ステップＳ６６では、スレーブコントローラ２２〜２８は、当該スレーブコントローラの接続されている処理ユニットにおいて基板の搬出要求が出ているか否かをチェックし、出ていない場合には（ステップＳ６６でＮＯ）、ステップＳ６４へ戻る。基板搬出要求が出ている場合には次の処理ユニットが基板を受け取れるか否かを確認し受け取れる場合には（ステップＳ６６でＹＥＳ）、ステップＳ６７へ進む。ステップＳ６７では、スレーブコントローラ２２〜２８は、当該スレーブコントローラの接続されている処理ユニットに基板を次の処理ユニットに搬出させる。
【００５９】
ステップＳ６８では、スレーブコントローラ２２〜２８は、基板が当該スレーブコントローラの接続された処理ユニットから搬出された旨をマスタコントローラ３に送信する。ステップＳ６９では、スレーブコントローラは、搬出された基板の基板データを、基板搬入先である次の処理ユニットに接続されたスレーブコントローラ（当該処理ユニットが最後の処理ユニット（第２加熱ユニット）１８の場合にはスレーブコントローラ２１）に送信する。
【００６０】
このように本実施形態によれば、４０インチディスプレイ用及び３２インチディスプレイ用の異なる種類の基板に対して、処理ユニット１２〜１８（処理手段）により所定の処理が施され、基板データの付加情報（基板種類判別手段）により基板の種類が判別されて、インデクサー部１１（搬送制御手段）により制御されたインデクサーロボット２ａ（搬送手段）により正常基板は元のカセット（所定の場所、基板の収納ケース）に、４０インチディスプレイ用の不良基板は４０インチディスプレイ用の不良基板回収カセット（所定の場所、基板の収納ケース）に、３２インチディスプレイ用の不良基板は３２インチディスプレイ用の不良基板回収カセット（所定の場所、基板の収納ケース）に収納される。このとき、不良基板は、処理ユニットにおいてスレーブコントローラ（不良基板検出手段、不良判定手段）及び不良種類選択データ入力部（入力手段）により検出される。また、不良基板のデータはホストコンピュータ（データ収集手段）に集められる。
【００６１】
なお、本発明は、上記実施形態のものに限定されるものではなく、以下に述べる態様を採用することができる。本実施形態においては、途中の処理ユニットで不良基板であると検出された場合に、本基板処理装置における全処理が終了した後、不良基板が正常基板と分別されて基板の種類ごとに不良基板回収カセットに収納されたので、本基板処理装置の次の工程からは不良基板に対して不必要な処理が行われることがなくなったが、不良基板であると検知された処理ユニットが終了した後、次の処理ユニットからの処理を行わず不良基板を直ちに不良基板回収カセットに回収するようにしてもよい。このようにすると、本基板処理装置においても不必要な処理が不良基板に対して施されなくなるので、より処理液、電力、エアなどが無駄をなくすことができると共に、生産性を上げることができる。このようにする場合には、各処理ユニット間での基板の搬送を各処理ユニット間（例えば行きラインと帰りラインの間）で移動可能な旋回ロボットを用いて行うとよい。これにより、任意の処理ユニットから基板を直接インデクサー部に搬送することができる。
【００６２】
また、本実施形態においては、不良の種類により不良基板回収カセットを分けることは行わなかったが、発生した不良の種類、不良の発生した処理ユニット、一枚の処理基板に複数（例えば４つ）の回路基板を作成する場合には、どの回路基板に不良が発生したか、いくつの回路基板に不良が発生したか等の要因により基板を回収する不良基板回収カセットを分けても良い。このようにすると、不良基板再生処理等、その後の処理等において更に基板を分別する必要がなくなる。
【００６３】
また、不良基板回収カセットがインデクサー部にセットされていても、正常基板と同様に払出し元のカセットに不良基板を収納する運用、不良基板は必ず不良基板回収カセットに収納する運用（不良基板回収カセットがない場合又は一杯の場合には新たな不良基板回収カセットがセットされるのを待つ。）、及び収納可能な不良基板回収カセットがあればこれに不良基板を収納し、収納可能な不良基板回収カセットがない場合には正常基板と同様に払出し元のカセットに不良基板を収納する運用等を、例えば操作者がマスタコントローラによりオプションとして設定し、マスタコントローラからの制御により切り替えるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の一実施形態における基板処理装置の構成を示す上面図である。
【図２】本発明の一実施形態における基板処理装置とコントローラの構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態における基板データの一例を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態におけるマスタコントローラの処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】本発明の一実施形態におけるマスタコントローラの処理の流れを示すフローチャートの続きである。
【図６】本発明の一実施形態におけるインデクサー部のスレーブコントローラの処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】本発明の一実施形態におけるインデクサー部のスレーブコントローラの処理の流れを示すフローチャートの続きである。
【図８】本発明の一実施形態における処理ユニットのスレーブコントローラの処理の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６５】
１  基板処理装置
１１  インデクサー部
１２〜１８  処理ユニット（処理ユニット、処理手段）
２１〜２８  スレーブコントローラ（不良基板検出手段、不良判定手段）
３  マスタコントローラ（搬送制御手段、基板種類判別手段、不良種類判別手段）
４  ホストコンピュータ（データ収集手段）
５２〜５８  不良種類選択データ入力部（入力手段）
６１〜６４  カセット（収納ケース）
７３  基板種類（基板種類判別手段）
２ａ  インデクサーロボット（搬送手段）
【図１】
2006019622.tif 000003
【図２】
2006019622.tif 000004
【図３】
2006019622.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006019622.tif 000009
【図８】
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