(57)【要約】  【課題】基板処理装置に設定したパラメータを短時間で確認することができる基板処理システムを提供する。  【解決手段】複数の基板処理装置１４と集中管理装置１２が通信回線１６を介して接続され、集中管理装置１２が、基板処理装置１４の稼動状態を表すデータを収集する基板処理システム１０において、基板処理装置１４は、集中管理装置１２の実行機能に関係する装置パラメータを設定するメモリ３４を有し、集中管理装置１２は、集中管理装置１２の機能を有効にするシステムパラメータを記憶するメモリ２２と、各基板処理装置１４から吸上げた装置パラメータとメモリ２２に記憶されているシステムパラメータとが整合を取れている否かを判定する比較判定部４６とを有する。【選択図】図３
2006319196.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板処理装置と集中管理装置が通信回線を介して接続され、前記集中管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を表すデータを収集する基板処理システムにおいて、
前記基板処理装置は、前記集中管理装置の実行機能に関係する装置パラメータを設定する装置パラメータ設定手段を有し、
前記集中管理装置は、前記集中管理装置の機能を有効にするシステムパラメータを記憶するメモリと、前記各基板処理装置から取得した装置パラメータと前記メモリに記憶されているシステムパラメータとが整合を取れている否かを判定する判定手段とを有することを特徴とする基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板処理装置の稼動状態を表すデータを収集する基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、集中管理装置に複数の基板処理装置が通信回線を介して接続された基板処理システムが用いられている。この集中管理装置と基板処理装置との接続は、１対多接続であり、通信回路に通信負荷がかかりやすい。そのため、多少の無駄データも通信回線に流れないようにしている。そこで、集中管理装置と各基板処理装置との両方でパラメータを設定することにより、集中管理装置と各基板処理体装置との間のデータ量を調整している。各基板処理装置に設定するパラメータは、集中管理システムで実現する機能に合わせて指定されたパラメータ表を基にユーザが手動で設定している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、各基板処理装置にパラメータを手動で設定することにより、設定ミスをする恐れがあった。この設定ミスを防ぐために、パラメータ設定後の再確認や動作確認を実施しているが、設定するパラメータの種類によっては設定ミスがすぐに判断できないものもあるため、長時間経過した後に機能が停止していることが判明することもあった。また、設定したパラメータの数が多くなるとパラメータ設定後の再確認や動作確認が長時間に及ぶこともあった（例えば、基板処理装置１台に０．５（ｈ）、３２台の基板処理装置の動作確認をすると、０．５×３２＝１６（ｈ）の時間がかかる）。
【０００４】
本発明の目的は、上記従来の問題点を解消し、基板処理装置に設定したパラメータを短時間で確認することができる基板処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の特徴とするところは、複数の基板処理装置と集中管理装置が通信回線を介して接続され、前記集中管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を表すデータを収集する基板処理システムにおいて、前記基板処理装置は、前記集中管理装置の実行機能に関係する装置パラメータを設定する装置パラメータ設定手段を有し、前記集中管理装置は、前記集中管理装置の機能を有効にするシステムパラメータを記憶するメモリと、前記各基板処理装置から吸上げた装置パラメータと前記メモリに記憶されているシステムパラメータとが整合を取れている否かを判定する判定手段とを有する基板処理システムにある。
【０００６】
好適には、パラメータ確認方法は、複数の基板処理装置と集中管理装置が通信回線を介して接続され、前記集中管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を表すデータを収集する基板処理システムにおいて、前記集中管理装置の実行機能に関係する装置パラメータを前記基板処理装置の装置パラメータ設定手段に設定する工程と、前記集中管理装置の機能を有効にするシステムパラメータを記憶するメモリと、前記各基板処理装置から吸上げた装置パラメータと前記メモリに記憶されているシステムパラメータとが整合を取れている否かを判定する工程とを有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、各基板処理に設定されたパラメータと集中管理装置に設定されたパラメータとの整合を判定することにより、基板処理装置に設定されたパラメータを短時間で確認することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
次に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
まず、本形態における基板処理システム１０の概要を説明する。
図１は、本発明にかかるパラメータ確認方法が適応される基板処理システム１０の構成を例示する図である。
図１に示すように、基板処理システム１０は、集中管理装置１２及び複数の基板処理装置１４を有する。複数の基板処理装置１４と集中管理装置１２が例えばＬＡＮなどの通信回線１６を介して接続され、集中管理装置１２が、各基板処理装置１４の稼動状態を表すデータを収集（蓄積）するようになっている。
基板処理装置１４は、複数枚の基板に対して所定の処理を行う装置であり、この基板処理装置１４のメモリ３４（図２を用いて後述）に対して、ユーザが前記集中管理装置１２の特定の機能（実行機能）に関係するパラメータ（装置パラメータ）を設定する（記憶させる）ようになっている。
また、集中管理装置１２のメモリとしてのメモリ２２（図２を用いて後述）には、前記集中管理装置１２のそれぞれの機能を有効にするパラメータ（システムパラメータ）が記憶（設定）されている。
【０００９】
次に、集中管理装置１２及び基板処理装置１４のハードウェア構成を説明する。
図２は、本発明にかかるパラメータ確認方法が適応される集中管理装置１２及び基板処理装置１４のハードウェア構成を、制御装置１８，３６を中心に示す図である。
図２に示すように、集中管理装置１２は、ＣＰＵ２０及びメモリ２２などを含む制御装置１８、通信装置２６、ＨＤＤ・ＣＤ装置などの記録装置２８、並びに、ＬＣＤ表示装置あるいはＣＲＴ表示装置及びキーボード・タッチパネルなどを含むユーザインタフェース装置（ＵＩ装置）３０から構成される。また、基板処理装置１４は、ＣＰＵ３２及びパラメータ設定手段としてのメモリ３４などを含む制御装置３６を有する。
集中管理装置１２は、例えば、パラメータ判定プログラム５（図３を用いて後述）がインストールされたコンピュータであり、通信装置２６などを介して基板処理装置１４の生産履歴データ、稼動状態データ及び障害情報など、また、起動時には基板処理装置１４によって送信された装置パラメータなどを取得する。
【００１０】
図３は、制御装置１８（図２）により実行され、本発明にかかるパラメータ確認方法を実現するパラメータ判定プログラム５の機能構成を示す図である。
以下、初期化部４０、メモリ部４２、通信部４４、比較判定部４６、パラメータデータベース（パラメータＤＢ）４８及び表示部５０について機能を説明する。
【００１１】
初期化部４０は、基板処理システム１０を起動する際に、パラメータＤＢ４８に記憶されたシステムパラメータをメモリ部４２に出力（展開）するようになっている。
【００１２】
メモリ部４２は、初期化部４０からのシステムパラメータ、通信部４４からの基板処理装置１４に設定された装置パラメータ、さらに、比較判定部４６からの判定結果を記憶（格納）するようになっている。
【００１３】
通信部４４は基板処理装置１４から装置パラメータを吸上げて取得し、この装置パラメータをメモリ部４２に出力（展開）する。また、通信部４４は、基板処理装置１４からの装置パラメータの取得完了を比較判定部４６に通知する。
【００１４】
パラメータＤＢ４８は、整合性論理（後述）に基づいたパラメータ組合せテーブル（例えば第１のパラメータ組合せテーブル（図４を用いて後述）及び第２のパラメータ組合せテーブル（図５を用いて後述）など）を有する。また、パラメータＤＢ４８には、集中管理装置１２のシステムパラメータが記憶されたファイルを有する。
【００１５】
判定手段としての比較判定部４６は、パラメータＤＢ４８に記憶された組合せテーブル（整合性論理）に基づいて、基板処理装置１４から吸上げた装置パラメータとメモリ部４２に展開された（記憶された）システムパラメータとが整合をとれているか否かを判定し、判定結果をメモリ部４２に出力（格納）するようになっている。
【００１６】
表示部５０は、ＵＩ装置３０（例えばキーボードなど）からの結果表示要求に応じて、メモリ部４２に格納された判定結果を所定のフォーマットでＵＩ装置３０のＣＲＴ表示装置に表示するようになっている。
【００１７】
図４及び図５は、パラメータＤＢ４８に記憶されるパラメータ組合せテーブルを例示する図であり、図４は、システムパラメータと装置パラメータと判定とを対応付けた第１のパラメータ組合せテーブルを例示し、図５は、システムパラメータと複数の装置パラメータ（装置パラメータＡ及び装置パラメータＢ）と判定とを対応付けた第２のパラメータ組合せテーブルを例示する。
【００１８】
図４及び図５に示すように、ここでのシステムパラメータ及び装置パラメータとは基板処理装置１４における特定の機能を有効にするパラメータのことで、図中の○印は対象機能を有効にすることを意味する。すなわち、システムパラメータ及び装置パラメータにおいて、基板処理装置１４の特定の機能を実現（動作）するためのパラメータを指定している場合を意味する。
例えば図４のＮｏ．１に示すように、システムパラメータで特定の機能を有効にするパラメータが指定（設定）されてなく（ＯＦＦになっている）、装置パラメータで特定の機能（特定機能）を実現するパラメータが指定（設定）されていない（ＯＦＦになっている）場合は、判定を「合」としている。すなわち、システムパラメータと装置パラメータとがお互いに機能を有効にしていないので問題は発生しない。
また、例えば図４のＮｏ．２に示すように、システムパラメータで特定の機能を有効にするパラメータが指定（設定）されてなく（ＯＦＦになっている）、装置パラメータで特定の機能を有効にするパラメータが指定（設定）されている（ＯＮになっている）場合は、集中管理装置１２と基板処理装置１４との間に特定機能を有効にする指定が一致しない（食い違いがある）ので、判定を「否」としている。
【００１９】
また、例えば図５のＮｏ．１に示すように、装置パラメータＡ単体で特定機能Ａを動作（実現）させることを許可している場合は、装置パラメータＡで特定機能Ａを有効にする指定のみがある場合においても、判定を「合」としている。
【００２０】
さらにまた、例えば図５のＮｏ．６に示すように、システムパラメータにおいて装置パラメータＡの特定機能Ａ及び装置パラメータＢの特定機能Ｂを動作（実現）すると基板処理装置１４の動作に矛盾が発生する場合、すなわち、これら（システムパラメータ、装置パラメータＡ及び装置パラメータＢ）が特定機能（機能Ａ及び機能Ｂ）を有効するパラメータを指定した場合は、判定を「否」としている。
【００２１】
このように、集中管理装置１２のシステムパラメータと基板処理装置１４の装置パラメータとの関係は、第１の組合せテーブルに示すように、比較的単純に整合を判定できるものと、第２の組合せテーブルに示すように、比較的複雑な複数の装置パラメータの設定によって整合を判定するものとがある。
【００２２】
また、上述したシステムパラメータと装置パラメータと判定とを組合せたパラメータ組合せテーブル（第１のパラメータ組合せテーブル及び第２のパラメータ組合せテーブル）を整合性論理として、あらかじめパラメータＤＢ４８に登録する。このように、パラメータ組合せテーブルをパラメータＤＢ４８に登録しておくことで、上述した比較判定部４６におけるパラメータの整合における検索時間が短縮する。すなわち、比較判定部４６は、システムパラメータと装置パラメータの組合せのうち、パラメータＤＢに登録されたパラメータ組合せテーブルの判定が「否」となっているパターンのみを検索すればよい。このように、比較判定部４６は、該当するパターン（組合せテーブルにおける判定が「否」）を検出することで、パラメータ設定値に不整合が発生していることを容易に判定することができる。
【００２３】
図６は、集中管理装置１２のＵＩ装置３０（ＣＲＴ表示装置など）に表示される各基板処理装置１４のステータス（通信状態）を表す表示画面（装置接続状態一覧画面）を例示する図である。この装置接続状態一覧画面は、集中管理装置１２に接続されている各基板処理装置１４毎のステータス（状態）を表示し、システムパラメータと装置パラメータとに整合がある場合には、例えば緑色で表示し、システムパラメータと装置パラメータとに不整合がある場合には、例えば黄色（図６斜線部）で表示する。
【００２４】
これにより、ユーザは、システムパラメータと装置パラメータとの不整合個所を一目で（一括で）判断することができる。したがって、集中管理装置１２に接続された複数の基板処理装置１４に設定したパラメータを短時間で確認することができる。
【００２５】
また、ユーザが、装置接続状態一覧画面の黄色に表示された部分（図６の斜線部）を選択すると、図７に示すように、集中管理装置１２のＵＩ装置３０のＣＲＴ表示装置に装置詳細ステータス画面が表示される。この装置詳細ステータス画面は、システムパラメータと装置パラメータとの不整合の詳細情報を表示する。  これにより、パラメータの設定ミスが発生してもパラメータの不整合個所を容易に特定することができ、パラメータの再設定（修正）における時間も短縮することができる。
また、定期的にシステムパラメータと装置パラメータとの不整合が発生していないかを確認することで、特定機能が正常に動作（実現）できる状態であるかを判断することができる。
【００２６】
図８は、基板処理システム１０におけるパラメータ判定処理（Ｓ１０）の動作を説明するフローチャートである。
【００２７】
ステップ１２（Ｓ１２）において、ユーザは、基板処理システム１０を起動させる。
ステップ１４（Ｓ１４）において、初期化部４０は、パラメータＤＢ４８のファイルに記憶されたシステムパラメータをメモリ部４２に出力（展開）する。
【００２８】
ステップ１６（Ｓ１６）において、通信部４４は基板処理装置１４から装置パラメータを吸上げて取得し、この装置パラメータをメモリ部４２に出力（展開）する。
【００２９】
ステップ１８（Ｓ１８）において、通信部４４は、基板処理装置１４から吸上げた装置パラメータを全て取得したか否かを判定する。通信部４４は、基板処理装置１０から吸上げた装置パラメータが全て取得されていないと判定した場合は、再度Ｓ１６の処理を実施し、基板処理装置１０から送信されたパラメータが全て取得されたと判定した場合は、Ｓ２０の処理に移行する。
【００３０】
ステップ２０（Ｓ２０）において、通信部４４は、装置パラメータの取得完了を比較判定部４６に通知する。
【００３１】
ステップ２２（Ｓ２２）において、比較判定部４６は、パラメータＤＢ４８に記憶された判定テーブル（整合性論理）に基づいて、基板処理装置１４から吸上げた装置パラメータとメモリ部４２に展開された（記憶された）システムパラメータとが整合を取れているか否かを判定し、判定結果をメモリ部４２に出力（格納）する。
【００３２】
ステップ２４（Ｓ２４）において、表示部５０は、ＵＩ装置３０のキーボードなどを介してユーザによる結果表示要求があるか否かを判定する。表示部５０は、ユーザによる結果表示要求が無いと判定した場合は、再度Ｓ２４のステップ実施し、ユーザによる結果表示要求があると判定された場合は、Ｓ２６の処理に移行する。
【００３３】
ステップ２６（Ｓ２６）において、表示部５０は、メモリ部４２に格納された判定結果を所定のフォーマット（例えば図６及び図７に示す）でＵＩ装置３０のＣＲＴ表示装置等に表示する。
【００３４】
次に実施例について説明する。
【実施例１】
【００３５】
[レシピ編集機能]
上述した特定機能の１つであるレシピ編集機能について説明する。レシピ編集機能とは、基板処理装置１４が保有するレシピデータが編集（更新）された場合、更新通知を基板処理装置１４が集中管理装置１２に送信し、この送信された更新通知を受付けた集中管理装置１２が、自動的に基板処理装置１４の対象レシピデータを吸い上げて集中管理装置１２に履歴データとして保存する機能である。
【００３６】
図９は、レシピ編集機能における集中管理装置１２及び基板処理装置１４のパラメータの設定を示したラダー図である。
【００３７】
基板処理装置１４は、装置パラメータにおいて変更履歴の報告（変更通知）を有効にするパラメータ（変更履歴報告パラメータ）を有する。この変更履歴報告パラメータが有効になっていないと、基板処理装置１４においてレシピが変更（編集）されても集中管理装置１２に対して変更通知がなされない。
【００３８】
集中管理装置１２は、システムパラメータにおいてレシピ編集履歴有無パラメータを有する。このレシピ編集履歴有無パラメータが有効になっている場合、基板処理装置１４から変更通知を受付けると、対象レシピデータを基板処理装置１４から吸上げて履歴データとして記録装置２８等（図２）に保存するようになっている。
【００３９】
レシピ編集機能は、集中管理装置１２のシステムパラメータと基板処理装置の装置パラメータの両パラメータが有効になっていないと機能しない。したがって、図９に示すように、集中管理装置１２のレシピ編集機能有無パラメータが無効の場合、集中管理装置１２は基板処理装置１４の変更通知を受付けることができないので、対象レシピデータを履歴データとして保存することができない。また、レシピ編集機能有無パラメータが有効になっていても、基板処理装置１４の変更履歴報告パラメータが無効になっていると、集中管理装置１２は変更通知を受付けることができない。
すなわち、変更履歴報告パラメータが有効となっており、さらにレシピ編集履歴機能有無パラメータが有効になっている場合にのみ、基板処理装置１４からの変更通知が集中管理装置１２に受付けされ、集中管理装置１２により基板処理装置１４の対象レシピデータが吸上げられ、対象レシピデータが集中管理装置１２の記録装置２８等（図２）に履歴データとして保存される。
【００４０】
このレシピ編集機能における整合性（システムパラメータ及び装置パラメータの整合性）は、比較判定部４６（図３）により整合性論理としての第１のパラメータ組合せテーブル（図４）を用いて判定される。このとき、比較判定部４６は、装置パラメータの状態（有効または無効）が、集中管理装置１２のシステムパラメータの求める状態（有効または無効）になっているかを確認し、装置パラメータとシステムパラメータが一致しない場合は警告を出す（装置接続状態一覧画面に表示する）ようになっている。
【００４１】
次にレシピ編集履歴機能について、処理手順を述べる。
【００４２】
システム起動時に、初期化部４０が予めパラメータＤＢ４８に記憶（格納）しているファイルから「レシピ編集機能有無パラメータ」をメモリ部４２に出力（展開）する。通信部４４は、基板処理装置１４から送信された装置パラメータから「レシピ変更履歴報告パラメータ」を取得し、メモリ部４２に出力（展開）する。また、通信部４４は、装置パラメータの取得完了を比較判定部４６に通知する。比較判定部４６は、「レシピ編集履歴機能有無パラメータ」及び「レシピ変更履歴報告パラメータ」の両方がＯＮ（設定されている）かどうかを第１のパラメータ組合せテーブル（図４）に基づいて判定を行い、その結果をメモリ部４２に展開（格納）する。表示部５０は、ＵＩ装置３０のキーボード等からの結果表示要求に応じてメモリ部４２に格納された結果を表示する。
【実施例２】
【００４３】
[障害情報ロギング機能]
次に、上述した特定機能の１つである障害情報ロギング機能について説明する。基板処理装置１４で発生した障害は、障害情報として集中管理装置１２へ送信されるが、この障害情報の型（またはサイズ）がパラメータ化されており、このパラメータを両者（集中管理装置１２及び基板管理装置１４）でお互い一致させないと、集中管理装置で正確なログ（データの送信および受付け）ができない。
【００４４】
図１０は、障害情報ロギング機能における集中管理装置１２及び基板処理装置１４のパラメータの設定を示したラダー図である。
【００４５】
図１０に示すように、基板処理装置１４は、基板処理装置１４内に障害が発生した場合、障害情報電文を作成する。この障害情報電文の型（フォーマット）は、例えばヘッダ部１０Ｂｙｔｅ、データ部１００Ｂｙｔｅ（例えば発生日時データ、炉内詳細情報データおよびＳｔｅｐ詳細データ）となっている。
【００４６】
また、集中管理装置１２には、受付ける障害情報電文の型が定められている（例えば、ヘッダ部１０Ｂｙｔｅ、データ部７０Ｂｙｔｅ（例えば発生日時データ、Ｓｔｅｐ詳細データ））。すなわち、集中管理装置１台に対して複数の基板処理装置１４が接続されるシステムであるため、集中管理装置１２のシステムパラメータとして障害情報の型（データ形式）があらかじめ定めてある。
【００４７】
図１０に示すように、基板処理装置１４の装置パラメータは、特定機能（電文の型を調整する機能）を有効にすると、基板処理装置１４が有する障害情報電文の型を集中管理装置１２に定められた障害情報電文の型（入れ物）に調整する。集中管理装置１２は、基板処理装置１４が送信した障害情報電文の型があらかじめ定められた障害情報電文の型と一致する場合には、受付けることができる。
【００４８】
この障害情報の型（フォーマット）における整合性（システムパラメータ及び装置パラメータの整合性）は、比較判定部４６（図３）により整合性論理としての第１のパラメータ組合せテーブル（図４）を用いて判定される。このとき、比較判定部４６は、装置パラメータを指定することで決められる障害情報の型（フォーマット）とシステムパラメータに予め定められた障害情報の型（フォーマット）が一致するかを判定するようになっている。
【００４９】
次に障害情報ロギング機能について、処理手順を述べる。
【００５０】
システム起動時に、初期化部４０が予めパラメータＤＢ４８に記憶（格納）しているファイルから「障害情報ロギング機能」の電文について設定した型（例えば、０または１の値）をメモリ部４２に出力（展開）する。通信部４４は、基板処理装置１４から送信された装置パラメータにおいて「障害情報」の電文について設定した型（例えば、０または１の値）を取得し、メモリ部４２に出力（展開）する。また、通信部４４は、装置パラメータの取得完了を比較判定部４６に通知する。比較判定部４６は、「障害情報ロギング機能」の電文について設定した型と「障害情報」の電文について設定した型が同一の値（例えば、０または１の値）か否かを第１のパラメータ組合せテーブル（図４）に基づいて判定を行い、その結果をメモリ部４２に展開（格納）する。表示部５０は、ＵＩ装置３０のキーボード等からの結果表示要求に応じてメモリ部４２に格納された結果を表示する。この場合、０（または１）の値が、ヘッダ部１０Ｂｙｔｅ、データ部７０Ｂｙｔｅという電文の型を示す例について述べたが、この設定は０と１だけではなく、２以降の数値もデータ型として入力でき、また数値だけでなくＡ，Ｂ，Ｃ．．．などのアルファベットでも構わない。
【００５１】
なお、集中管理装置１２は、基板処理装置１４側から送られてくるデータに対して自動的に同一の型（フォーマット）でロギングするようにしてもよい。これにより、将来的に変更されるデータの型にも対応することができる。さらに、基板処理装置１２から送られてくるデータの型に関係なく、集中管理装置１２において設定したデータの型に合わせることが可能になるため、比較判定部４６による整合性の判定を行わなくてもよい。
【実施例３】
【００５２】
[特別温度制御機能]
次に、上述した特定機能の１つである特別温度制御機能について説明する。基板処理システム１は、システムパラメータに対して複数のパラメータがある機能として特別温度制御機能を有する。集中管理装置１２は、システムパラメータにおいて通常のレシピデータに付加要素として組み込まれる「特別温度制御機能対応パラメータ」が設定されるのに対し、基板処理装置１４側は、「特別温度制御機能有無パラメータ」及び「レシピ電文サイズパラメータ」の２つの装置パラメータが必要となる。
【００５３】
ここで、システムパラメータにおける特別温度制御対応パラメータとは、特殊な温度制御を行う機能で、通常の制御とは違いレシピデータに付加要素として組み込まれ、レシピデータサイズ量が増える（後部に拡張エリアとして追加される）ものである。また、装置パラメータにおける特別温度機能制御有無パラメータとは、特別温度制御機能を有効にするか否かを設定するものである。
【００５４】
この特別温度制御機能における整合性（システムパラメータ及び装置パラメータの整合性）は、比較判定部４６（図３）により整合性論理としての第１のパラメータ組合せテーブル（図４）を用いて判定される。このとき、全てのパラメータが有効になっている状態において、比較判定部４６は、装置パラメータの特別温度制御有無パラメータとレシピ電文サイズパラメータとシステムパラメータの特別温度制御機能対応パラメータが一致するかを判定する。すなわち、比較判定部４６は、集中管理装置１２の特別温度制御対応パラメータは有効になっているか否か、基板処理装置１２の特別温度制御機能有無パラメータが有効になっているか否か、基板処理装置１２から送信されたレシピ電文データサイズは、集中管理装置１２で予め定められたレシピ電文データサイズと一致するかどうか（レシピデータ量が規定量増えているか否か）を判定する。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、複数の基板処理装置の稼動状態を表すデータを収集する基板処理システムにおいて、基板処理装置に設定したパラメータを短時間で確認する必要があるものに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明にかかる基板処理システムの構成を例示す図である。
【図２】本発明にかかる集中管理処理装置及び基板処理装置のハードウェア構成を、制御装置を中心に例示する図である。
【図３】本発明にかかるパラメータ判定プログラム５の機能構成を例示する図である。
【図４】パラメータＤＢに記憶される第１のパラメータ組合せテーブルを例示する図である。
【図５】パラメータＤＢに記憶される第２のパラメータ組合せテーブルを例示する図である。
【図６】ＵＩ装置に表示され、集中管理装置と基板処理装置の接続状態を表した装置接続状態一覧画面を例示する図である。
【図７】ＵＩ装置に表示され、基板処理装置の状態を表した装置詳細ステータス画面を例示する図である。
【図８】基板処理システム１０におけるパラメータ判定処理（Ｓ１０）の動作を説明するフローチャートである。
【図９】第１の実施例にかかるレシピ編集機能における集中管理装置１２及び基板処理装置１４のパラメータの設定を示したラダー図である。
【図１０】第２の実施例にかかる障害情報の型における集中管理装置１２及び基板処理装置１４のパラメータの設定を示したラダー図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０  基板処理システム
１２  集中管理装置
１４  基板処理装置
１６  通信回線
２２、３４  メモリ
４２  メモリ部
４６  比較判定部
４８  パラメータＤＢ
【図１】
2006319196.tif 000003
【図２】
2006319196.tif 000004
【図３】
2006319196.tif 000005
【図４】
2006319196.tif 000006
【図５】
2006319196.tif 000007
【図６】
2006319196.tif 000008
【図７】
2006319196.tif 000009
【図８】
2006319196.tif 000010
【図９】
2006319196.tif 000011
【図１０】
2006319196.tif 000012