(57)【要約】    【課題】  振動体に励振される振動に対する応答特性を損なうことなく、振動体と移動体との接触部の耐摩耗性を向上させることができる振動波モータを提供する。    【解決手段】  移動体１２には接触部材１０が設けられ、接触部材１０は、移動体に固着される本体１０ａと、本体１０ａと一体的に連なるばね部１０ｂと、ばね部１０ｂの先端に形成され、振動体１１に接触する摺動部１０ｃとを有する。接触部材１０は、耐摩耗性を得るための窒化処理が施されたステンレス鋼板からなり、ばね部１０ｂは、窒化処理が施された部位を除去加工することにより形成された部位である。【選択図】      図２
2006211755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気‐機械エネルギ変換素子により振動が励振される振動体と、前記振動体に接触し、該振動体に励振される振動によって駆動される移動体と有する振動波モータであって、
前記移動体には接触部材が設けられ、前記接触部材は、前記移動体に固着される本体と、該本体と一体的に連なるばね部と、該ばね部の先端に形成され、前記振動体に接触する摺動部とを有し、
前記接触部材は、耐摩耗性を得るための表面処理が施された弾性部材からなり、前記ばね部は、表面処理が施された部位を除去加工することにより形成された部位であることを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
電気‐機械エネルギ変換素子により振動が励振される振動体と、前記振動体に接触し、該振動体に励振される振動によって駆動される移動体と有する振動波モータであって、
前記振動体には接触部材が設けられ、前記接触部材は、前記振動体に固着される本体と、該本体と一体的に連なるばね部と、該ばね部の先端に形成され、前記移動体に接触する摺動部とを有し、
前記接触部材は、耐摩耗性を得るための表面処理が施された弾性部材からなり、前記ばね部は、表面処理が施された部位を除去加工することにより形成された部位であることを特徴とする振動波モータ。
【請求項３】
前記表面処理は、窒化処理であることを特徴とする請求項１または２記載の振動波モータ。
【請求項４】
前記表面処理は、めっき、溶射、樹脂コーティングなどにより表面に摺動材料を付着させることを特徴とする請求項１または２記載の振動波モータ。
【請求項５】
前記接触部材は、耐摩耗性を得るための表面処理が施された板状の弾性部材からなり、
前記ばね部は、一方または両方の面から厚さ方向に除去加工することによって薄肉形状に形成された部位であることを特徴とする請求項１または２記載の振動波モータ。
【請求項６】
前記接触部材は、耐摩耗性を得るための表面処理が施された板状の弾性部材からなり、
前記本体はリング状の形状を有し、前記ばね部は、前記本体の内縁部から内方に向けて突出する複数の舌片部からなることを特徴とする請求項１記載の振動波モータ。
【請求項７】
前記接触部材は、耐摩耗性を得るための表面処理が施された板状の弾性部材からなり、
前記本体はリング状の形状を有し、前記ばね部は、前記本体の外縁部から外方に向けて突出する複数の舌片部からなることを特徴とする請求項２記載の振動波モータ。
【請求項８】
前記接触部材は、耐摩耗性を得るための表面処理が施された板状の弾性部材からなり、前記ばね部には、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の振動波モータ。
【請求項９】
前記除去加工は、ケミカルエッチング、反応性イオンエッチング、またはプラズマエッチングのいずれかによるものであることを特徴とする請求項１または２記載の振動波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気‐機械エネルギ変換素子により振動体に振動を励振し、振動体に励振される振動によって移動体を駆動する振動波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
振動型アクチュエータとしては、棒状型振動波モータ、円環型振動波モータなどがある。ここで、棒状型振動波モータの一例（特許文献１を参照）について図９を参照しながら説明する。図９は従来の棒状型振動波モータの一例の構成を示す縦断面図である。
【０００３】
棒状型振動波モータは、図９に示すように、弾性体１と、弾性体５と、積層圧電素子３と、ロータ２と、ギア９を備える。各弾性体１，５、積層圧電素子３、ロータ２およびギア９は、シャフト４に挿通されている。弾性部材１は、ステンレスにＮｉ−Ｐ−ＳｉＣ複合めっきが施されたものである。ロータ２には、接触ばね２ｄが一体的に形成されている。ロータ２は、アルミ合金を旋削加工して接触ばね部２ｄを形成した後にアルマイト処理が施されたものである。弾性体１の一方の端面１ｂと接触ばね部２ｄとは、ばね８により、所定の押圧力で接触されている。
【０００４】
この振動波モータにおいては、圧電素子３に交流電圧が印加されると、弾性部材１が首ふり振動し、接触ばね部２ｄとの接触部１ｂには、楕円運動が生じる。これにより、ロータ２が相対的に摩擦駆動される。
【０００５】
上記振動波モータに対して、弾性体と接触する接触ばね部を別体とし、接触ばね部の加工を容易に実現するための構成が提案されている（例えば特許文献２または３を参照）。このような構成を有する棒状型振動波モータについて図１０を参照しながら説明する。図１０は従来の棒状型振動波モータの他の例の構成を示す縦断面図である。ここで、図中、図９に示す部材と同一の部材には、同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０００６】
このような棒状型振動波モータにおいては、図１０に示すように、弾性体１の一端面にセラミックからなる摩擦板１ａが設けられている。ロータ２には、マルテンサイト系ステンレス鋼板のプレス加工によって成型した接触ばね２ａが嵌合されて固着されている。弾性体１の摩擦板１ａと接触ばね２ａとは、ばね８により、所定の押圧力で接触されている。
【０００７】
次に、従来の円環型振動波モータについて図１１を参照しながら説明する。図１１は従来の円環型振動波モータの構成を示す縦断面図である。
【０００８】
円環型振動波モータは、図１１に示すように、リング状の弾性体２０の一方の面に圧電素子２１が接合された振動子を備え、この振動子は、弾性体２０の内径側のフランジと支持部材２８とをビスなどの締結手段で締結することによって、支持される。支持部材２８には、垂直に延びるシャフト２６の下端が固定されている。シャフト２６には、円板状のロータ２２が挿通されており、ロータ２２の一方の面には、弾性体２０の他方の面に接触されている。ロータ２２は、ギア２３に係合可能に構成されている。ギア２３は、シャフト２６に挿通されている連結部材２４と一体的に結合されている。連結部材２４とロータ２２との間には、ロータ２２に加圧力を付与するための加圧ばね２５が設けられ、この加圧ばね２５のばね力により、ロータ２２は、適正な加圧力で弾性体２０に加圧接触する。
【特許文献１】特開平５−２１１７８５号公報
【特許文献２】特開平８−１０３０８８号公報
【特許文献３】特開平１０−２８５９６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
一般に、振動波モータの耐久性を向上させるためには、ロータと弾性体との接触部の対摩耗性を向上させることが必要であり、従来の振動波モータにおいては、ロータとして、アルミ合金にアルマイト処理が施されたもの、マルテンサイト系ステンレス鋼板から接触部をプレス加工した後に焼入れ焼きもどしが行われたものなどが用いられる。さらに対摩耗性を向上させるためには、例えばロータ表面に摺動材料を固着させる方法が用いられ、この方法としては、樹脂材料のコーティングや、超硬材料の溶射などがある。また表層を改質する方法も有効であり、その方法としては、例えば窒化処理などがある。
【００１０】
しかしながら、振動子の振動に対する応答性をよくするために、ロータの弾性体との接触ばね部に対しては、その厚さを薄くするように形成することが要求される。ここで、上述したような、接触ばね部に対して、表面に摺動材料を固着させる表面処理を行うと、接触ばね部の剛性の変化、その重量の増加が生じ、当初の応答特性を得ることができない。また、ステンレス材料に窒化処理を行う場合には、接触ばね部がその厚さ方向へ全体に窒化処理されることになり、ステンレス本来の材料特性が失われ、逆に脆性材料のような脆性が現れる。また接触部位のみに表面処理を行うことも考えられるが、他の部位をマスクして接触部位のみに対して処理することは、困難である。
【００１１】
このように、対摩耗性を向上させるための表面処理を行う場合、応答性を犠牲にして、接触ばね部の剛性に影響が少ないようにばね部を当初から厚くするか、ばね性に影響の少ない処理にとどめるかの手法をとらざるを得なかった。
【００１２】
本発明の目的は、振動体に励振される振動に対する応答特性を損なうことなく、振動体と移動体との接触部の耐摩耗性を向上させることができる振動波モータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記目的を達成するため、電気‐機械エネルギ変換素子により振動が励振される振動体と、前記振動体に接触し、該振動体に励振される振動によって駆動される移動体と有する振動波モータであって、前記移動体には接触部材が設けられ、前記接触部材は、前記移動体に固着される本体と、該本体と一体的に連なるばね部と、該ばね部の先端に形成され、前記振動体に接触する摺動部とを有し、前記接触部材は、耐摩耗性を得るための表面処理が施された弾性部材からなり、前記ばね部は、表面処理が施された部位を除去加工することにより形成された部位であることを特徴とする振動波モータを提供する。
【００１４】
本発明は、上記目的を達成するため、電気‐機械エネルギ変換素子により振動が励振される振動体と、前記振動体に接触し、該振動体に励振される振動によって駆動される移動体と有する振動波モータであって、前記振動体には接触部材が設けられ、前記接触部材は、前記振動体に固着される本体と、該本体と一体的に連なるばね部と、該ばね部の先端に形成され、前記移動体に接触する摺動部とを有し、前記接触部材は、耐摩耗性を得るための表面処理が施された弾性部材からなり、前記ばね部は、表面処理が施された部位を除去加工することにより形成された部位であることを特徴とする振動波モータを提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、振動体に励振される振動に対する応答特性を損なうことなく、振動体と移動体との接触部の耐摩耗性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態に係る振動波モータにおける弾性体と移動体との接触部の周囲を示す縦断面図、図２（ａ）は図１の接触ばね部１０の詳細を示す平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線に沿って得られた断面図である。
【００１８】
本実施の形態の振動波モータは、円環型振動波モータであり、その基本的な構成は図１１に示す構成と同様であるので、ここでは、従来のものと異なる点すなわち振動体と移動体との接触部の構成について説明する。
【００１９】
本実施の形態の振動波モータは、図１に示すように、リング状の弾性体の一方の面に圧電素子１３が接合された振動体１１と、振動体１１と対向するように配置されるリング状の移動体（ロータ）１２とを備える。
【００２０】
移動体１２の振動体１１との対向面には、接触部材１０が接着剤により固着されている。接触部材１０は、リング状に形成されたステンレス鋼板からなり、全体が焼入れ焼き戻し処理された後に、耐久性を高めるための硬化処理として上下面の表層が窒化処理されているものである。移動体１２は、加圧ばね（図示せず）のばね力により振動体１１に向けて押圧され、これにより、接触部材１０は、適正な押圧力で押し付けられながら振動体１１の他方の面に接触する。
【００２１】
接触部材１０は、図２（ａ）および（ｂ）に示すように、リング状の本体１０ａと、本体１０ａの内縁部に一体的に連なり、内方に向けて突出するばね部１０ｂとからなり、ばね部１０ｂの先端部は、振動体１１に向けて突出するように形成され、振動体１１の他方の面と接触する摺動部１０ｃを構成する。移動体１２は振動体１１に向けて押圧されているので、摺動部１０ｃは、振動体１１の他方の面に対して適正な押圧力で押圧されながら接触する。
【００２２】
ここで、図２（ｂ）中において、本体１０ａの斜線部分が窒化処理されている部分、すなわちステンレス鋼板の表層が窒化処理された部分を示す。また、摺動部１０ｃは、同様に、窒化処理が施されている部分であり、その部分は斜線部分で示される。すなわち、摺動部１０ｃの振動体１１の他方の面との接触部位には、窒化層が形成されている。また、接触部材１０のばね部１０ｂは、ばね特性を決定する薄肉部であり、この部分には、窒化層が存在しない。
【００２３】
次に、接触部材１０の製造方法について図３を参照しながら説明する。図３は図１の接触部材１０の製造方法による各工程でのステンレス鋼板の加工状態を示す縦断面図である。
【００２４】
接触部材１０を製造する際には、図３（ａ）に示すように、まず、所定のサイズに切断されたステンレス鋼板３０が準備され、その上下面のそれぞれに窒化処理が施される。これにより、ステンレス鋼板３０の上下面には、それぞれ窒化層３１が形成される。
【００２５】
次いで、上下面に窒化層３１が形成されたステンレス鋼板３０は、第１のケミカルエッチング工程に送られる。この第１のケミカルエッチング工程においては、図３（ｂ）に示すように、上記ステンレス鋼板３０の上面に対して、接触部材１０のばね部１０ｂに相当する部分３３ａを残してフォトレジスト３２が塗布される。また、ステンレス鋼板３０の下面の全面に対しては、フォトレジスト３２が塗布される。そして、図３（ｃ）に示すように、フォトレジスト塗布後のステンレス鋼板３０に対してケミカルエッチングによりハーフエッチングが行われる。これにより、接触部材１０のばね部１０ｂに相当する部分３３ａから窒化層が除去され、部分３３ｂが得られる。
【００２６】
次いで、ステンレス鋼板３０が洗浄され、フォトレジストが除去される。そして、ステンレス鋼板３０は、第２のケミカルエッチング工程へ送られる。第２のケミカルエッチング工程においては、図３（ｄ）に示すように、ステンレス鋼板３０の上面に対しては、接触部材１０の開口部に相当する部分を残してフォトレジト３４が塗布される。ステンレス鋼板３０の下面に対しては、接触部材１０の開口部およびばね部１０ｂに相当する部分３５ａを残してフォトレジスト３４が塗布される。そして、図３（ｅ）に示すように、フォトレジスト塗布後のステンレス鋼板３０に対してケミカルエッチングによりエッチングが行われる。これにより、ばね部１０ｂに相当する部分３５ａから窒化層が除去され、部分３５ｂが得られる。
【００２７】
次いで、ステンレス鋼板３０が洗浄され、フォトレジストが除去される。そして、上記各工程を経て得られたステンレス鋼板３０は、図３（ｆ）に示すように、その形状が接触部材１０の最終形状になるように加工される。ここで、ステンレス鋼板３０の上下面に対する窒化処理は、その層厚さが、接触部材１０のばね部１０ｂに相当する部分のエッチング深さより薄くなるように行われているため、接触部材１０のばね部１０ｂに相当する薄肉部を形成するケミカルエッチング工程においては、ステンレス鋼板３０の上下面におけるばね部１０ｂに相当する部分の窒化層は完全に除去される。また、窒化層は、摺動部１０ｃおよび本体１０ａの上下面に相当する部位のみに残留することになる。
【００２８】
このようにして形成された接触部材１０の本体１０ａは、窒化処理による反りを矯正するために、移動体１２に加圧されながら接着剤により接合される。そして、接触部材１０の摺動部１０ｃが平面研磨される。この際に、本体１０ａの下面は、摺動部１０ｃの端面と同一平面上にあるので、摺動部１０ｃと同時に研磨される。このため、本体１０ａの下面を基準にして摺動部１０ｃに対する研磨の取り代を管理するようにしてもよい。
【００２９】
また、摺動部１０ｃには窒化層が形成されているが、薄肉のばね部１０ｂは、焼入れ後のステンレス材の性質をそのまま残しているため、ばね性が損なわれることはない。さらに、ばね部１０ｂが除去加工によって形成されているため、本体１０ａは、ばね部１０ｂに比して厚くなり、ばね部１０ｂの変形が本体１０ａまたは本体１０ａと移動体１２との接合部に伝えられ難く、当該接合部の接着層の厚さまたは接着剤の分布に依存しない、剛性が安定した接触部材１０を構成することができる。
【００３０】
このように、本実施の形態によれば、上記接触部材１０を用いることによって、振動体１１の振動に対する応答特性を損なうことなく、振動体１１と移動体１２との接触部の耐摩耗性を向上させることができ、ひいては、耐久性が高い振動波モータを提供することができる。
【００３１】
なお、本実施の形態においては、耐摩耗性を向上させるための表面処理として、窒化処理を行う場合を説明したが、これに代えて、めっき、溶射、樹脂コーティングなどにより表面に摺動材料を付着させるようにしてもよい。
【００３２】
また、本実施の形態においては、除去加工として、ケミカルエッチングを行う場合を説明したが、これに代えて、反応性イオンエッチング、またはプラズマエッチングなどを行うようにしてもよい。
【００３３】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態について図４を参照しながら説明する。図４（ａ）は本発明の第２の実施の形態に係る振動波モータの接触部材の平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ線に沿って得られた断面図である。
【００３４】
本実施の形態の接触部材１０においては、図４（ａ）に示すように、複数の摺動部１０ｃが設けられ、各摺動部１０ｃは、互いに間隔をおいて周方向に沿って配列されている。各摺動部１０ｃの間の部位は、溝部１０ｄとして形成されている。このような複数の摺動部１０ｃを形成することによって、駆動時の摺動面の摩耗粉のかきとり効果が得られる。また、起動時に振動体１１と密着した摺動部１０ｃが振動体１１から離間し易くなり、起動性を向上させる効果が得られる。
【００３５】
このような接触部材１０の製造においては、ばね部１０ｂを形成するための除去加工と同時に、複数の溝部１０ｄを形成するための除去加工を行うことによって、摺動部１０ｃが形成されるので、特に他の加工を行うことなく、摺動部１０ｃを高精度に形成することができる。
【００３６】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態について図５を参照しながら説明する。図５（ａ）は本発明の第３の実施の形態に係る振動波モータの接触部材の平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ線に沿って得られた断面図である。
【００３７】
本実施の形態の接触部材１０は、図５（ａ）および（ｂ）に示すように、リング状の本体１０ａと、本体１０ａの内縁部に一体に連なり、内方に向けて突出する舌片状の複数のばね部１０ｂを有する。各ばね部１０ｂは、互いに等間隔に配置されている。各ばね部１０ｂの先端部には、それぞれ、振動体１１に向けて突出する摺動部１０ｃが形成されている。
【００３８】
このような接触部材１０の製造においては、ケミカルエッチング工程で、ステンレス鋼板に対して、複数のばね部１０ｂを形成するために、上下面の深さ方向の除去加工と同時に、スリット１０ｅを形成するための除去加工が行われる。そして、各ばね部１０ｂの先端部が研磨されて摺動部１０ｃが形成される。
【００３９】
このように、本実施の形態によれば、舌片状の複数のばね部１０ｂの先端部に摺動部１０ｃが形成されているので、摺動部１０ｃの周方向に対する剛性を低下させることができ、振動体１１の周方向の振動に対する追従性が向上する。その結果、摺動部１０ｃと振動体１１との接触面でのすべり摩擦による損失を低減することができる。
【００４０】
（第４の実施の形態）
次に、本発明の第４の実施の形態について図６を参照しながら説明する。図６（ａ）は本発明の第４の実施の形態に係る振動波モータの接触部材の平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＤ−Ｄ線に沿って得られた断面図である。
【００４１】
本実施の形態の接触部材１０においては、図６（ａ）および（ｂ）に示すように、ばね部１０ｂの剛性をさらに低下させるために、ばね部１０ｂに複数の貫通孔１０ｆが形成されている。この貫通孔１０ｆは、エッチングによって形成されたものである。例えば、ばね部１０ｂの剛性を低下させるためにその厚さを薄くするには、エッチング深さを深くすればよいが、この場合、エッチング深さにばらつきが生じ易く、厚さ誤差が増加する。そこで、本実施の形態例のように複数の貫通孔１０ｆを形成することによって、ばね部１０ｂの厚さを極端に薄くすることなく、ばね部１０ｂの剛性を所定の剛性値に設定することができる。
【００４２】
また、エッチング深さを部分的に変えることによって、ばね部１０ｂに剛性分布を持たせるようにするには、エッチング工程を増し、ばね部１０ｂに対する加工を階段的に行う必要がある。しかし、本実施の形態においては、貫通孔１０ｆの形状やサイズ、その配置または数を適宜選択することによって、ばね部１０ｂの曲げ剛性に分布を持たせることが可能になる。また、貫通孔１０ｆの形成は、エッチング加工により行われるため、ばね部１０ｂの形成と同時に行うことができ、工程を増すことなく、ばね部１０ｂに対して所定の剛性分布を与えることが可能となる。
【００４３】
（第５の実施の形態）
次に、本発明の第５の実施の形態について図７および図８を参照しながら説明する。図７は本発明の第５の実施の形態に係る振動波モータにおける弾性体と移動体との接触部の周囲を示す縦断面図、図８は図７の接触部材部１０の詳細を示す平面図である。
【００４４】
本実施の形態の振動波モータは、円環型振動波モータであり、その基本的な構成は図１１に示す構成と同様であるので、ここでは、従来のものと異なる点すなわち弾性体と移動体との接触部の構成について説明する。
【００４５】
本実施の形態の振動波モータにおいては、図７に示すように、リング状の弾性体の一方の面に圧電素子１３が接合された振動体１１と、加圧ばね（図示せず）のばね力により振動体１１に向けて押圧されている移動体１２とを備える。振動体１１の他方の面（移動体１２との対向面）には、周方向に配列されている複数の溝（図示せず）が形成されている。また、振動体１１の他方の面には、複数の接触部材１０が接着剤などにより固着されている。
【００４６】
接触部材１０は、図８に示すように、リング状の本体１０ａと、本体１０ａの内縁部に一体的に連なり、外方に向けて突出する舌片状の複数のばね部１０ｂとからなり、ばね部１０ｂの先端部には、移動体１２に向けて突出する摺動部１０ｃが形成されている。接触部材１０のばね部１０ｂの数は、振動体１１の他方の面に形成されている溝の数と同じであり、各ばね部１０ｂの平面形状は、振動体１１の溝に嵌め込み可能な形状に構成されている。移動体１２は上記ばね力により振動体１１に向けて押圧されているので、摺動部１０ｃは、適正な押圧力で押し付けられながら移動体１２に接触する。
【００４７】
このような接触部材１０の製造は、上記第２の実施の形態と同様に行うことができるので、その説明は省略する。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る振動波モータにおける弾性体と移動体との接触部の周囲を示す縦断面図である。
【図２】（ａ）は図１の接触部材１０の詳細を示す平面図、（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線に沿って得られた断面図である。
【図３】図１の接触部材１０の製造方法による各工程でのステンレス鋼板の加工状態を示す縦断面図である。
【図４】（ａ）は本発明の第２の実施の形態に係る振動波モータの接触部材の平面図、（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ線に沿って得られた断面図である。
【図５】（ａ）は本発明の第３の実施の形態に係る振動波モータの接触部材の平面図、（ｂ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ線に沿って得られた断面図である。
【図６】（ａ）は本発明の第４の実施の形態に係る振動波モータの接触部材の平面図、（ｂ）は図６（ａ）のＤ−Ｄ線に沿って得られた断面図である。
【図７】本発明の第５の実施の形態に係る振動波モータにおける弾性体と移動体との接触部の周囲を示す縦断面図である。
【図８】図７の接触部材部１０の詳細を示す平面図である。
【図９】従来の棒状型振動波モータの一例の構成を示す縦断面図である。
【図１０】従来の棒状型振動波モータの他の例の構成を示す縦断面図である。
【図１１】従来の円環型振動波モータの構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０  接触部材
１０ａ  本体
１０ｂ  ばね部
１０ｃ  摺動部
１１  振動体
１２  移動体
１３  圧電素子
【図１】
2006211755.tif 000003
【図２】
2006211755.tif 000004
【図３】
2006211755.tif 000005
【図４】
2006211755.tif 000006
【図５】
2006211755.tif 000007
【図６】
2006211755.tif 000008
【図７】
2006211755.tif 000009
【図８】
2006211755.tif 000010
【図９】
2006211755.tif 000011
【図１０】
2006211755.tif 000012
【図１１】
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