(57)【要約】【課題】  複数のバンプを有する半導体ウエハの表面に接着シートを貼付するときに、それらの間に気泡が発生することを防止することできるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】  半導体ウエハＷは、多数のバンプＢと、先ダイシングによって形成されたダイシングラインＤＬとを備えている。シート貼付装置１０は、半導体ウエハＷの表面Ｗ１に配置される接着シートＨ上を転動して押圧力を付与し、半導体ウエハＷの表面Ｗ１に接着シートＨを貼付する押圧ロールＲを含んで構成される。接着シートＨの貼付中に半導体ウエハＷを平面視したときに、押圧ロールＲの所定長さの中心軸線ＣＴに対し、同時に重なるバンプＢの個数が最大となる方向に対して平面内で所定角度シフトした方向に中心軸線ＣＴが向けられている。【選択図】      図２
2006024743.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面側に多数のバンプを備えた半導体ウエハの該表面側に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記半導体ウエハの表面に配置される接着シート上を転動して押圧力を付与する押圧ロールを含み、
前記押圧ロールの中心軸線は、接着シートの貼付中に半導体ウエハを平面視したときに、所定長さの前記中心軸線に対し、同時に重なるバンプの個数が最大となる方向に対して平面内で所定角度シフトした方向に向けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記半導体ウエハは、その表面が先ダイシングされていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置に係り、更に詳しくは、複数の半田バンプ（以下、単に「バンプ」と称する）を有する半導体ウエハの表面に接着シートを貼付するときに、それらバンプの間に空気が混入することを防止することができるシート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より知られている半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）として、フリップチップ方式により電気的な接続を確保する複数枚のチップを形成するものが知られている。このようなウエハＷは、図８に示されるように、突起状をなす多数のバンプＢと、先ダイシングによって平面視賽の目状にハーフカットされ、縦長の各チップＣの外周縁に対応する位置に設けられた溝状（図１０参照）のダイシングラインＤＬとが表面Ｗ１に形成され、その後ウエハＷから各チップＣを形成する工程では、先ず、ウエハＷの表面Ｗ１及びバンプＢを保護するため、貼付装置（特許文献１参照）を介してウエハＷの表面に接着シートＨを貼付し、その後、所定の研削装置によってウエハＷの裏面側を研削し、ウエハＷを極薄化することにより各チップＣが形成される。
【０００３】
ここで、前記貼付装置は、ウエハＷを保持する保持テーブルと、ウエハＷの表面Ｗ１に配置された接着シートＨ上を転動する押圧ロールＲ（図８参照）とを備えており、当該押圧ロールＲによって接着シートＨに押圧力が付与されるようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１４８０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記装置では、ウエハの基準位置（オリエンテーションフラットやＶノッチ）を一旦決定し、位置決めすれば回路パターンがどうであれ、接着シートＨは一定の方向にしか貼り合わせができないので、図９及び図１０に示されるように、ウエハＷ表面Ｗ１と接着シートＨとの間に空気が混入し、気泡Ａが発生する領域ＳＡが形成され易くなる。そのため、図１１のように、先ダイシングによってウエハ表面側にハーフカットが行われているウエハＷをその裏面側（同図中上面側）から研削していくと、当該研削に用いられる冷却水がダイシングラインＤＬを通じて気泡Ａ内に侵入することとなる。これにより、バンプＢ及びウエハＷの表面（同図中下面）が冷却水によって濡れたり、汚損してしまい、チップＣの製品不良等を引き起こして歩留まりが低下するという不都合がある。しかも、研削加工によるウエハＷの極薄化により、気泡Ａの発生領域ＳＡにおけるウエハＷが膨らみ（図１２参照）、この状態で、更に研削を継続すると、チップＣの厚さが一定に保たれなくなり、これによっても製品不良の原因となる。
【０００６】
ここで、本発明者は、前記不都合を回避するため、種々の観点から研究を行い、以下に述べる点で、気泡Ａの発生とウエハＷや貼付装置の条件との間に因果関係があるものと考えた。
【０００７】
（１）気泡Ａの発生領域ＳＡ
図８及び図９に示されるように、発生領域ＳＡにおいて、気泡Ａは隣り合うバンプＢに跨るように位置している。発生領域ＳＡは、ウエハＷを平面視したときに、押圧ロールＲの中心軸線ＣＴの延出方向と略平行に延びている。しかも、発生領域ＳＡには複数のバンプＢが位置しており、例えば、チップＣ一枚の短寸幅を三倍した単位長さＬ（所定長さ）当たりの領域を例に挙げると、前記中心軸線ＣＴに対し、同時に押圧するバンプＢの個数ｍが最大（図８では、ｍ＝９）となる位置が発生領域ＳＡとなる。
（２）接着シートＨ貼付時における押圧ロールＲの変形具合
押圧ロールＲの中心軸線がバンプＢの直上を通過する際、押圧ロールＲの下面側はバンプＢの突出位置で凹むように弾性変形する。このとき、押圧ロールＲが同時に押圧するバンプＢが比較的少ない場合、図１３（Ａ）に示されるように、バンプＢの突出形状に追従するように押圧ロールＲの下面側が凹み変形する。つまり、押圧ロールＲの下面の凹み変形量ｒ１は、バンプＢの突出高さｂ１と略同一となり、押圧ロールＲの押圧力に対する抗力は、各バンプＢ及びウエハＷ表面Ｗ１により生じる。ところが、押圧ロールＲが同時に押圧するバンプＢが多くなると、一つのバンプＢ当たりの抗力が小さくなり、前記凹み変形の変形量が小さくなる。すると、図１３（Ｂ）に示されるように、押圧ロールＲの凹み変形量ｒ２がバンプＢの突出高さｂ１より小さくなり、バンプＢ以外のウエハＷ表面Ｗ１での接着シートＨに対する押圧力が低下することとなる。
（３）前記（１）及び（２）のまとめ
従って、前記（１）及び（２）を総合的に考察すると、押圧ロールＲの中心軸線ＣＴの延出方向と略平行に並ぶバンプＢの個数が多い発生領域ＳＡにおいて、押圧ロールＲの前記凹み変形量が小さくなる。その結果、押圧ロールＲが各バンプＢだけを押圧してウエハＷ表面Ｗ１に押圧力を殆ど付与しなくなり、ひいては、ウエハＷ表面Ｗ１に対する接着シートＨの貼付が不完全となって発生領域ＳＡに気泡Ａが生じるものと考えられる。
ここで、押圧ロールＲ全体の押圧力を増大させれば、前記凹み変形量を大きくして気泡Ａの発生を回避できるようにも思われるが、この場合、ウエハＷが割れたり、折れ曲がったりし易くなるという別異の不都合を招来する。
そこで、本発明者は、押圧ロールＲが同時に押圧するバンプＢの個数に着目し、当該個数を減らすことができる貼付装置の構成及び条件を案出した。
【０００８】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハの表面と接着シートとの間に気泡の発生を防止することができるシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するため、本発明は、表面側に多数のバンプを備えた半導体ウエハの該表面側に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記半導体ウエハの表面に配置される接着シート上を転動して押圧力を付与する押圧ロールを含み、
前記押圧ロールの中心軸線は、接着シートの貼付中に半導体ウエハを平面視したときに、所定長さの前記中心軸線に対し、同時に重なるバンプの個数が最大となる方向に対して平面内で所定角度シフトした方向に向けられる、という構成を採っている。
【００１０】
本発明において、前記半導体ウエハは、その表面が先ダイシングされる、という構成も好ましくは採用される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、押圧ロールにより押圧力を同時に付与するバンプの個数が少なくなるように、押圧ロールの中心軸線の向きを設定して接着シートの貼付を行うことができる。これにより、各バンプにおける押圧ロールの押圧力に対する抗力が低下することを抑制でき、押圧ロールがバンプの突出形状に追従するように凹み変形可能となる。その結果、押圧ロールからの押圧力が各バンプだけでなくウエハ表面にも常に付与され、従来のように、押圧力不足に起因するバンプ間の気泡の発生を防止することが可能となる。
【００１２】
また、ウエハ表面が先ダイシングされている場合、ウエハ裏面の研削工程においても、接着シートによるウエハ表面及びバンプの密閉状態を確保することができ、従来のような冷却水の侵入等による汚損等を回避することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１には、本実施形態に係る概略平面図が示されている。この図において、シート貼付装置１０は、ウエハＷの表面Ｗ１に接着シートＨを貼付する装置として構成されている。このシート貼付装置１０は、ウエハＷを収容するカセット１１と、このカセット１１からロボット１２を介して取り出されたウエハＷのアライメントを行うアライメント装置１３と、このアライメント装置１３から移載装置１５を介してＸ方向（図１中左方向）に移動されたウエハＷを保持する保持装置１６と、接着シートＨ上を転動して押圧力を付与する押圧ロールＲと、ウエハＷに貼付された接着シートＨの所定位置を切断する切断装置２０とを備え、前記保持装置１６に保持されたウエハＷ上に前記接着シートＨを貼り付けるシート貼付部１７（図４参照）と、切断装置２０によって切り離された接着シートＨを回収する回収装置５５とを備えて構成されている。
【００１５】
前記ウエハＷは、その表面Ｗ１が回路面として形成されるとともに、表面Ｗ１が上面側となる状態でカセット１１内に収容されている。図２において拡大して示されるように、ウエハＷの構成は、前記従来例（図８）において説明したものと同一である。従って、ここでは、ウエハＷの各構成について同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
バンプＢについて詳述すると、特に限定されるものでないが、本実施形態では、それぞれのチップＣにおけるバンプＢの形成数及び形成位置は同一とされている。バンプＢの形成位置は、各チップＣの図２中上部における左右方向中央部に１つ形成され、チップＣの同図中上下中間部に左右に沿って略等間隔に３つ形成され、チップＣの同図中下部に左右に沿って２つ設けられている。そして、ウエハＷ全体として見たときに、前記上部、上下中間部及び下部の各バンプＢが同図中左右方向に沿って略等間隔に並ぶようになっている。
【００１６】
前記接着シートＨは、ウエハＷへの貼付前において、当該ウエハＷの直径寸法より大きい幅寸法を備えた帯状に形成されるとともに、粘着面に剥離シートＰが仮着された状態でシート貼付部１７の後述する供給リールに巻回されている。
【００１７】
前記ロボット１２は、略円筒状のベース２２と、このベース２２に立設された上下動機構２３と、この上下動機構２３の上端に設けられるとともに略水平面内で回転可能な関節型のアーム２４と、このアーム２４の先端に取り付けられた略Ｃ字状若しくは略Ｕ字状の平面形状を備えた先端部２５とを備えて構成されている。ロボット１２は、先端部２５によりカセット１１内に収容されたウエハＷの下面側を吸着保持し、この状態でアライメント装置１３に移載する。
【００１８】
前記アライメント装置１３は、図３にも示されるように、ポンプ等（図示省略）に接続されてウエハＷを上面で吸着する保持テーブル２７と、この保持テーブル２７を下側から支持するとともに、保持テーブル２７を平面内で回転させる回転機構２８と、この回転機構２８の下側に設けられたＸ−Ｙ移動機構２９と、保持テーブル２７の面内略中央部に設けられるとともに、保持テーブル２７の上面から突出可能な円筒部材３０Ａを備えたリフター３０と、保持テーブル２７の上面側に設けられてウエハＷのＶノッチ等を検出するカメラ等からなるセンサ３１とを備えて構成されている。円筒部材３０Ａは、その上面が保持テーブル２７同様にウエハＷを吸着保持可能となっており、保持テーブル２７と略面一となる位置から昇降可能に設けられている。従って、保持テーブル２７の上面から円筒部材３０Ａを突出させたときに、保持テーブル２７からウエハＷを上昇させた状態とし、保持テーブル２７の上面とウエハＷとの間にスペースを確保する。
【００１９】
アライメント装置１３によってアライメントを行ったウエハＷは、移載装置１５に受け渡されて保持装置１６に移載される。移載装置１５は、ウエハＷを下面側から吸着保持するとともに、略Ｃ字状若しくは略Ｕ字状の平面形状を先端側に備えたアーム部材３３と、このアーム部材３３の基端側を支持するとともに、アーム部材３３をＹ軸に沿って移動させるＹ軸ロボット３４と、このＹ軸ロボット３４を支持するとともに、Ｙ軸ロボット３４及びアーム部材３３をＸ方向に沿って移動させるＸ軸ロボット３５とにより構成されている。
【００２０】
前記保持装置１６は、前述のアライメント装置１３に対して、Ｙ方向への移動範囲が大きくした点と、センサ３１を省略した点を除いて実質的に同様の構造が採用されている。従って、ここでは同一符号を用いるものとして説明を省略する。
【００２１】
前記シート貼付部１７は、図４に示されるように、前記接着シートＨが剥離シートＰに仮着された状態で巻回された原反を保持する供給リール３７と、この供給リール３７から延びる接着シートＨを押圧ロールＲに案内するガイドローラ３８及びテンションローラ３９と、接着シートＨから剥離された剥離シートＰを巻き取る巻取リール４０と、この巻取リール４０とテンションローラ３９との間に設けられ、剥離シートＰに繰り出し力を付与するドライブローラ４２とを備えて構成されている。テンションローラ３９、巻取リール４０及びドライブローラ４２には、図示しないモータ等の駆動手段を介して各シートＨ，Ｐを繰り出す駆動力が付与される。また、テンションローラ３９及びドライブローラ４２には、それらに接するピンチローラ４３，４４が設けられている一方、ピンチローラ４４と巻取リール４０との間にはガイドローラ４５が設けられている。
【００２２】
前記押圧ロールＲは、シリコン等の樹脂材を用いて構成され、その表面側が弾性変形可能に設けられている。押圧ロールＲは、その両端側をホルダー４７により回転可能に支持されている。ホルダー４７は、シリンダ４８に連結されており、当該シリンダ４８を駆動することで押圧ロールＲを上下動させるようになっている。
【００２３】
ここで、押圧ロールＲと切断装置２０との間には、接着シートＨを保持可能な一対のチャック４９，４９が設けられ、これらチャック４９，４９は接着シートＨの幅方向両側にそれぞれ配置されている。各チャック４９，４９は、上下移動用シリンダ５０，５０にそれぞれ連結されて上下に移動可能に設けられている。各上下移動用シリンダ５０，５０は、Ｘ方向（図４中紙面直交方向）に向けられたスライダ５１にそれぞれ支持され、これにより、各チャック４９，４９がＸ方向に沿って相互に離間及び接近できるようになっており、前記接着シートＨをウエハに貼り付ける時に接着シートＨの幅方向に張力を与え、皺が発生しないように貼付できるようになっている。
【００２４】
前記切断装置２０は、接着シートＨを切断可能な超音波カッター５３と、この超音波カッター５３を支持するとともに、超音波カッター５３をＸ方向、上下方向に移動させる移動機構５４とを備えて構成されている。切断装置２０は、ウエハＷに貼付された接着シートＨを先ずは移動機構５４の駆動によって、接着シートＨの幅方向（Ｘ方向）に切断し、その後ウエハＷの外周位置に前記超音波カッター５３を移動させ、保持装置１６の保持テーブル２７を回転させてウエハＷの外周に沿って接着シートＨを切断する。そして、当該切断によって切り離された接着シートＨが回収装置５５によって回収される。
【００２５】
次に、シート貼付装置１０による接着シートＨの貼付工程について説明する。
【００２６】
カセット１１に収容されたウエハＷは、ロボット１２の先端部２５よって下面側から吸着保持され、アライメント装置１３上に移動される。このとき、アライメント装置１３のリフター３０は、保持テーブル２７から円筒部材３０Ａが突出した状態とされ、円筒部材３０Ａの上部にウエハＷを吸着保持させる。その後、ウエハＷと保持テーブル２７との間からロボット１２の先端部２５を退避させた後、円筒部材３０Ａを下降し、保持テーブル２７上にウエハＷを吸着保持させる。そして、回転機構２８及びＸ−Ｙ移動機構２９を介してウエハＷを移動しながらＶノッチ等をカメラ３１により検出し、ウエハＷのダイシングラインＤＬがＸ方向及びＹ方向に沿うようにアライメントを行う。
【００２７】
アライメントを終えたウエハＷは、アライメント装置１３のリフター３０を介して上昇された後、その下面側が移載装置１５のアーム部材３３に吸着保持されて保持装置１６に移載される。このとき、保持装置１６は、保持テーブル２７が反時計方向に角度θ回転した状態とし、アライメント装置１３と同様に、リフター３０の円筒部材３０Ａが突出した状態で待機している。そして、移載装置１５のアーム部材３３から、保持装置１６のリフター３０を介して保持テーブル２７にウエハＷを吸着保持させた後、当該保持テーブル２７を時計方向に角度θ回転する。その後、保持装置１６がＹ方向に沿って図４中左側に移動する。
【００２８】
保持装置１６における保持テーブル２７の図４中左端側が前記チャック４９，４９の下方位置に到達した時点で、保持装置１６のＹ方向に沿う移動を停止する。このとき、各チャック４９，４９が接着シートＨの幅方向両側を保持しつつ、スライダ５１を介して各チャック４９，４９がＸ方向に相互に離間する力が付与され、接着シートＨが幅方向に拡げられている。この状態で、図５（Ａ）に示されるように、押圧ロールＲ及びチャック４９，４９が下降し、押圧ロールＲを介してウエハＷの外周部（図５（Ｂ）中左端部）に接着シートＨを押し付ける。この際、各チャック４９，４９が接着シートＨの保持を解除するとともに、テンションローラ３９が送り方向に回転してウエハＷの表面Ｗ１側に配置された接着シートＨのテンションを緩和する。その後、図５（Ｃ）に示されるように、保持装置１６を同図中左方向に移動することにより、押圧ロールＲが接着シートＨ上を転動して押圧力を付与し、ウエハＷと接着シートＨとの貼付面積が次第に拡大するように貼付する。そして、図５（Ｄ）に示されるように、ウエハＷの表面Ｗ１全体に接着シートＨを貼付し終えると、保持テーブル２７の移動を停止し、各チャック４９，４９により接着シートＨを保持した後、切断装置２０の超音波カッター５３により接着シートＨを幅方向に切断する。
【００２９】
その後、保持装置１６によりウエハＷを移動しつつ、切断装置２０の移動機構５４を介して超音波カッター５３をウエハＷ外周位置に移動し、保持装置１６の保持テーブル２７を回転させ、前記超音波カッター５３によってウエハＷに貼付された接着シートＨをウエハＷの外周に沿って切断する。この切断により、ウエハＷの外側にはみ出る不要な接着シートＨが切り離されて回収装置５５により回収される。そして、保持装置１６のリフター３０によってウエハＷを上昇させた後、前記ロボット１２を介してウエハ１１がカセット１１内に収容される。
【００３０】
ここで、前述の角度θ、接着シートＨの貼付中における押圧ロールＲの状態等について、図８で示した従来例と比較しながら更に検討する。
【００３１】
ここにおいて、本実施形態のウエハＷに対し、従来例の押圧ロールＲの中心軸線ＣＴの向きは、図８に示されるように、チップＣ一枚の短寸幅を三倍した単位長さＬの中心軸線ＣＴに対し、同時に重なるバンプＢの個数ｍが最大（ｍ＝９）となる向きとなる。
この時の中心軸線を最大中心軸線ＣＴｍａｘ（図２参照）とすると、本実施形態において、前記最大中心軸線ＣＴｍａｘに対してその中心軸線ＣＴは、角度θ（約３０°）シフトしたように設定されている。このように、保持装置１６の保持テーブル２７を回転してウエハＷの向きを設定することにより、接着シートＨの貼付中にウエハＷを平面視したときに、従来例に比べ、押圧ロールＲの中心軸線ＣＴが平面内で反時計方向に約３０°シフトした方向に向けられる。この中心軸線ＣＴの向きによれば、図２に示されるように、チップＣ一枚の短寸幅を三倍した単位長さＬの前記中心軸線ＣＴに対し、同時に重なるバンプＢの個数ｍが多くてもｍ＝４となり、前記従来例（ｍ＝９、同図（Ｂ）参照）に比べて個数ｍが約半数以下に減少する。つまり、接着シートＨの貼付中に、前記長さＬの中心軸線ＣＴに対し、押圧ロールＲにより同時に押圧力を付与されるバンプＢの個数ｍの最大値を減らすことができる。
ところで、図６（Ａ）及び（Ｂ）に示されるように、押圧ロールＲ全体の押圧力をＦとし、当該押圧力Ｆに対する一つのバンプＢ当たりの抗力ｆとすると、当該抗力ｆを求める式は、以下のようになる。
抗力ｆ＝押圧力Ｆ／個数ｍ
この式において、押圧力Ｆを一定とすれば、個数ｍを小さくすることにより抗力ｆを大きくすることができる。従って、本実施形態では、従来例に比べて個数ｍが約半数となるので、抗力ｆを約二倍に増大させることができる。これにより、接着シートＨの貼付中に、押圧ロールＲが常にバンプＢの突出形状に追従するように凹み変形する、すなわち、図１３（Ａ）と同様に凹み変形することとなり、各バンプＢ及びウエハＷの表面Ｗ１に押圧ロールＲの押圧力を安定して付与することが可能となる。
【００３２】
なお、保持装置１６を介してウエハＷを回転する角度θは、保持装置１６の駆動を制御する図示しない制御部に予め記憶させることができ、ウエハＷのバンプＢの位置及び形成数に応じて適宜設定を変更することができる。
【００３３】
従って、このような実施形態によれば、図７に示されるように、接着シートとウエハＷの表面Ｗ１との間に気泡が発生することを回避することができ、それらを密着した状態に容易に維持することが可能となる。これにより、後工程においてバンプＢ及びウエハＷの表面が冷却水によって濡れたり、汚損したり、チップＣの製品不良等を引き起こして歩留まりを低下するという不都合は生じなくなる。しかも、研削加工によるウエハＷの極薄化により、気泡Ａの発生領域ＳＡにおけるウエハＷの膨らみ（図１２参照）による研削時のチップＣの厚さが不安定になることを防止し、安定した製品供給を行うことができる。
また、保持装置１６の保持テーブル２７を回転させることにより、アライメントされたウエハＷの位置に対し、押圧ロールＲの中心軸線ＣＴの向きを簡単にシフトすることができる。
【００３４】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、材質、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材料などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３５】
例えば、前記個数ｍを測定するにあたって、基準となる中心軸線ＣＴの長さは、前述の単位長さＬに限られず種々の変更が可能であり、例えば、チップＣ一枚の短寸幅又は長寸幅をｎ倍（ｎ≧２）した長さ等としてもよい。要するに、前記中心軸線ＣＴの長さは、個数ｍが最大となる方向と、当該方向に対してシフトした方向とで同一とし、それらの方向における個数ｍを比較可能な長さとすれば足りる。
【００３６】
例えば、前述のシフトする角度θは、前記個数ｍが最大にならない限りにおいて、４５°や６０°にする等、任意でその設定を変更することが可能である。
【００３７】
更に、保持装置１６を介してウエハＷを角度θ回転したが、アライメント装置１３によってウエハＷを回転してもよい。この場合、アライメントを終えた後で、アライメント装置１３を介してウエハＷを角度θ回転させて、その後に移載装置１５により保持装置１６に移載する。これによれば、ウエハＷの回転操作をアライメント装置１３に集約することができ、保持装置１６の回転機構２８を省略することが可能となる。
【００３８】
また、前記実施形態において、接着シートＨを貼付する前に、バンプＢを検出することで前記角度θを自動的に決定する識別手段を付加した構成としてもよい。この識別手段としては、バンプＢの位置及び形成領域を検出可能なカメラ等のセンサと、当該センサの検出データに基づいて前記個数ｍが最大となる前記中心軸線の方向を検知する検知手段と、当該方向に対してシフトした前記中心軸線ＣＴの方向を求める方向決定手段とを備えた構成が例示できる。
【００３９】
更に、押圧ロールＲによって接着シートＨに押圧力を付与するときに、ウエハＷ上を押圧ロールＲが往復するようにウエハＷと押圧ロールＲとを相対移動させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、主に、バンプを備えた半導体ウエハに接着シートを貼付するシート貼付装置に利用される。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本実施形態のシート貼付装置の概略平面図。
【図２】接着シートを貼付した半導体ウエハの部分拡大平面図。
【図３】図１のアライメント装置の右側面図。
【図４】シート貼付部の概略正面図。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）は、半導体ウエハに接着シートを貼付する工程の説明図。
【図６】押圧ロールの押圧力とバンプの抗力を説明するための模式図。
【図７】図２のＡ−Ａ線に沿う拡大断面図。
【図８】従来例に係る図２と同様の平面図。
【図９】図８の部分拡大図。
【図１０】図９のＢ−Ｂ線に沿う断面図。
【図１１】図１０の半導体ウエハを研削加工した後の断面図
【図１２】図１１のＣ−Ｃ線に沿う断面図。
【図１３】（Ａ）及び（Ｂ）は、押圧ロールが押圧力を付与した状態の拡大断面図。
【符号の説明】
【００４２】
１０  シート貼付装置
Ｂ  バンプ
ＣＴ  中心軸線
Ｈ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ
Ｗ１  表面
【図１】
2006024743.tif 000003
【図２】
2006024743.tif 000004
【図３】
2006024743.tif 000005
【図４】
2006024743.tif 000006
【図５】
2006024743.tif 000007
【図６】
2006024743.tif 000008
【図７】
2006024743.tif 000009
【図８】
2006024743.tif 000010
【図９】
2006024743.tif 000011
【図１０】
2006024743.tif 000012
【図１１】
2006024743.tif 000013
【図１２】
2006024743.tif 000014
【図１３】
2006024743.tif 000015