(57)【要約】【課題】  ミラーの裏面反射光を防止し、被検面のみの干渉縞測定を簡便に行うことができるフィゾー干渉計を用いたミラーの平面測定方法及びその方法実施の際、平面測定作業を容易にする反射防止ジグを提供する。【解決手段】  フィゾー干渉計を用いてミラー１１の平面測定を行う場合、ミラー１１の裏面にアクリルフォーム又はウレタンフォームの両面粘着テープを粘着性反射防止部材１３として貼付し、ミラー支え１２上に載置して平面測定を行う。【選択図】図２
2006078186.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィゾー干渉計を用いてミラーの平面測定を行う場合、ミラーの裏面に粘着性反射防止部材を貼付して平面測定を行うことを特徴とするミラーの平面測定方法。
【請求項２】
フィゾー干渉計を用いてミラーの平面測定を行う場合、粘着性反射防止部材を上面に取付けた反射防止ジグをミラーの裏面に貼付して平面測定を行うことを特徴とするミラーの平面測定方法。
【請求項３】
粘着性反射防止部材は両面又は片面粘着テープであることを特徴とする請求項１または請求項２記載のミラーの平面測定方法。
【請求項４】
粘着性反射防止部材はアクリルフォーム又はウレタンフォームの両面又は片面粘着テープであることを特徴とする請求項１または請求項２記載のミラー平面測定方法。
【請求項５】
剥離可能の粘着性反射防止部材を上面に取付けたことを特徴とする反射防止ジグ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィゾー干渉計によるミラーの平面測定方法と方法実施の際に用いる反射防止ジグに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ミラーの面精度を測定する場合に、図１に示すような光学系から成るフィゾー干渉計と呼ばれる装置を使用する。
【０００３】
レーザー光源１から出射されたレーザー光は発散レンズ２で拡大され、ビームスプリッター３及びコリメータレンズ４を透過後平行光となり、基準板５と呼ばれる高精度に研磨された平面ガラス板に到達し、一部の光は参照面（基準板５の下面）で反射し、残りの光は基準板５を透過後サンプル６の被検面（上面）に到達し反射する。なお、図中１２はミラー支えである。
【０００４】
参照面からの反射光ａと被検面からの反射光ｂは元の光路を逆戻りし、干渉してビームスプリッター３を介して撮像素子（ＣＣＤカメラ）７へと導かれ、干渉縞画像が得られる。
【０００５】
つまり、参照面が光の分割手段（振幅分割）であり、重ね合わせ手段となっており、撮像素子７によって観察される干渉縞画像によってサンプル６の被検面の平面の程度を判定するものである。
【０００６】
ところが、ミラーの面精度を上記のフィゾー干渉計を用いて測定する場合、ミラー（サンプル６）の被検面（上面）の反射光bのみならず、下面（裏面）の反射光cをも拾ってしまい、その反射光ｃによる干渉縞画像が重畳して撮像素子７によって観察されることとなるので、干渉縞から面精度を判断する場合、裏面反射が大きいと測定困難となる。
【０００７】
説明の便宜上、サンプル６のミラー表面にアルミ膜等の反射膜がコーティングされていないものとした場合、サンプル６の空気界面（上面）はレーザー光の一部を反射する。ここでサンプル６の屈折率をｎ１、空気の屈折率を１とするとき、サンプル６の空気界面の反射率Ｒ１はＲ１＝[（ｎ１−１）／（ｎ１＋１）]2で計算される。
【０００８】
今ｎ１＝１．５のサンプル６の場合は、Ｒ＝０．０４となり４％のレーザー光がサンプル６の表面で反射され（図１に示す反射光ｂ）、残り９６％がサンプル６を透過する。透過した前記レーザー光にはサンプル６の裏面から透過する際、サンプル６の裏面と空気面との間で反射が起こる。この空気界面の反射率をＲ２とすると、Ｒ２＝[（１−ｎ１）／（１＋ｎ１）]2で計算されるレーザー光が反射され、ｎ１＝１．５の場合はＲ２は４％となる。
【０００９】
このＲ２が図１に示す裏面反射の反射光ｃであり、被検面の干渉縞に裏面反射による干渉縞が重畳されて撮像素子７によって観察されることになるため、被検面の干渉縞の測定を困難なものにしていた。
【００１０】
この問題を解決するには、裏面反射を小さくすれば被検面の干渉縞の測定が問題なくできるため、上記Ｒ２を小さくするために屈折率が１以上のものをサンプル６の裏面に密着させれば良い。そこで従来はこの裏面反射を防止する為、裏面に蝋をたらす方法が提案されていたが、蝋をサンプル６の裏面に一様に垂らすのは困難であるばかりでなく、測定後剥ぎ取るのが大変なので、その改善案が望まれていた。
【非特許文献１】平成４年５月２０日（株）オプトロニクス社発行、岸川利郎著「光学入門」３１２頁図６．９２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
そこで本発明は、被検面のみの干渉縞測定を簡便に行うことができるフィゾー干渉計を用いた平面測定方法及び方法実施の際、平面測定作業を容易にする反射防止ジグを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するため、裏面反射を減少させるものであることは勿論、平面測定作業の簡便化方法について種々実験検討の結果、剥離可能の可撓性の反射防止部材、詳しくは両面粘着テープ又は片面粘着テープを用いることにより測定作業の簡易化を図ることができ、更に粘着テープの着脱用ジグを併用することにより平面測定作業をより一層簡易化することに成功したものである。
【００１３】
即ち、第１の発明はフィゾー干渉計を用いてミラーの平面測定を行う場合、ミラーの裏面に粘着性反射防止部材を貼付して、平面測定を行うことを特徴とするミラーの平面測定方法である。
【００１４】
第２の発明は、フィゾー干渉計を用いてミラーの平面測定を行う場合、粘着性反射防止部材を上面に取付けた反射防止ジグをミラーの裏面に貼付して平面測定を行うことを特許とするミラーの平面測定方法である。
【００１５】
第３の発明は、第１及び第２の発明において、粘着性反射防止部材として両面又は片面粘着テープを用いたことを特徴とするミラーの平面測定方法である。
【００１６】
第４の発明は、第１及び第２の発明において、粘着性反射防止部材として、アクリルフォーム又はウレタンフォームの両面又は片面粘着テープを用いたことを特徴とするミラーの平面測定方法である。
【００１７】
第５の発明は、剥離可能の粘着性反射防止部材を上面に取付けたことを特徴とする反射防止ジグである。
【００１８】
アクリルフォーム又はウレタンフォームの両面粘着テープ又は片面粘着テープの厚みは０．２〜２ｍｍ程度のもので、粘着剤としてアクリル系のものが良好である。更に粘着力が強すぎると測定後剥離するのが大変であり、弱すぎると密着性が悪いのでＳＵＳ３０４に対する引張り接着力で２０〜８０Ｎ／ｃｍ２程度のものが好ましい。
【００１９】
粘着テープの反射防止ジグへの固定は、サンプルとの接着力以上の粘着力が必要なことは勿論であり、また両面粘着テープを使用する場合は両面粘着テープの周りを接着剤で固定して接着力を補強する。
【発明の効果】
【００２０】
第１の発明は、粘着性の反射防止部材をミラーの裏面に貼付してフィゾー干渉計を用いてミラーの平面測定を行う方法であるため、蝋をミラーの裏面に垂らして裏面反射防止膜を作って平面測定を行うという従来の方法に比し、平面測定作業を手軽に且つ迅速に行うことができる。また容易に剥離可能の反射防止部材を選ぶことにより、測定後の処理を簡単に済ますことが出来る。
【００２１】
第２の発明は、粘着性反射防止部材を取付けた反射防止ジグを用いるので、ミラーの裏面反射防止及び平面測定後の粘着性反射防止部材の除去を容易に行うことができる。
【００２２】
第３の発明は、粘着性反射防止部材として両面又は片面粘着テープを用いることにより、本発明の実施を経済的に行うことが出来る。
【００２３】
第４の発明は、アクリルフォーム又はウレタンフォームの粘着テープは柔軟性があるので、ミラーの裏面に隙間なく密着し、平面測定に不具合を生じることがない。
【実施例１】
【００２４】
図２は本発明の実施例１の拡大縦断側面図で、１１はミラー、１２は段部１２aを設けたリング状のミラー支え、１３はミラー１１の裏面に貼付した粘着性反射防止部材で、実施例ではアクリルフォーム（又はウレタンフォーム）の両面粘着テープを使用した。なお、１４は離型紙である。
【００２５】
上記のように、平面測定を行うミラー１１の裏面反射防止部材として両面粘着テープ１３を貼付したので、ミラー１１の裏面反射は防止され、被検面からの反射光のみによる干渉縞画像の観察を行うことができる。そして、両面粘着テープ１３の貼付及び剥離は簡単であり、しかも両面粘着テープ１３は極めて安価であるから、１品毎の検査で使い捨てにすることができるので、ミラー１１の平面測定作業を手軽、且つ迅速にしかも経済的に行うことができる。
【実施例２】
【００２６】
図３は本発明の実施例２の拡大縦断側面図で、ミラーホルダー１５に固定したミラー１１の平面測定を行う場合の状態を示すものである。なお、ミラー１１とミラーホルダー１５とはミラー１１の面精度を悪くしなうように、ミラー１１のコバ部分とミラーホルダー１５とを数箇所接着剤１６で固定する。
【００２７】
ミラー１１の平面測定は、極めて高い平面精度が要求されており、図２に示すようにミラーホルダー無しのミラー１１だけの状態における１次検査と、図３に示すようにミラーホルダー１５に固定した状態における２次検査が行われる。図３に示す状態の場合も、図２の場合と同様、ミラー１１の裏面に粘着性反射防止部材１３としてアクリルフォーム（又はウレタンフォーム）の両面粘着テープを貼付して検査を行う。
【００２８】
この場合も粘着性反射防止部材１３の着脱は極めて簡単で作業性に優れている。
【実施例３】
【００２９】
図４は反射防止ジグ１７を用いる実施例３の一部截断拡大側面図で、反射防止ジグ１７は平板部１７aとツマミ１７bとから成る本体、とその上面に粘着性反射防止部材１３としてアクリルフォーム（又はウレタンフォーム）の両面粘着テープを貼付し、その周りを補強用接着剤１９で固定したものである。
【００３０】
平面測定検査時には、ミラー１１の裏面に反射防止ジグ１７を貼付した後、ミラー支え１８上に載置して検査を行う。
【実施例４】
【００３１】
図５は反射防止ジグ１７を用いてミラーホルダー１５に取付けられたミラー１１の平面測定を行う場合の実施例４を示す一部截断拡大側面図で、反射防止ジグ１７の構造は図４に示すものと同一である。
【００３２】
図４及び図５に示した実施例の場合、ツマミ１７bを持ってミラー１１への着脱を極めて簡単に行うことができ、手軽さは蝋をミラー１１の裏面に垂らして裏面反射膜を形成して検査する従来方法より遥かに簡単で、検査の能率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】フィゾー干渉計の光学系を示す説明図。
【図２】本発明実施例１の拡大縦断側面図。
【図３】本発明実施例２の拡大縦断側面図。
【図４】本発明実施例３の一部截断拡大側面図。
【図５】本発明実施例４の一部截断拡大側面図。
【符号の説明】
【００３４】
１１        ミラー
１２，１２’ミラー支え
１３        粘着性反射防止部材
１４        離型紙
１５        ミラーホルダー
１６，１９  接着剤
１７        反射防止ジグ
１７a        平板部
１７b        ツマミ
１８，１８’ミラー支え
【図１】
2006078186.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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