(57)【要約】【課題】  圧力室の吐出口（ノズル）が形成される側とは反対側に共通液室及び圧電素子を設けた構成において、クロストークを防止する。【解決手段】  液体を吐出する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室に供給口を介して液体を供給する共通液室と、前記圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように形成された、前記圧電素子を駆動するための配線部材と、前記共通液室内に設けられ、前記配線部材と略平行に形成された、前記圧電素子の駆動に寄与しない構造物であるダミー配線部材と、を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより、前記課題を解決する。【選択図】  図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数の吐出口と、
前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、
前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室に供給口を介して液体を供給する共通液室と、
前記圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように形成された、前記圧電素子を駆動するための配線部材と、
前記共通液室内に設けられ、前記配線部材と略平行に形成された、前記圧電素子の駆動に寄与しない構造物であるダミー配線部材と、を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記配線部材又は前記ダミー配線部材は、前記供給口と、前記供給口に隣接する隣接供給口との間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記配線部材又は前記ダミー配線部材は、前記圧電素子と、前記圧電素子に隣接する隣接圧電素子との間に配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記ダミー配線部材は、前記配線部材と略同一の構造を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記ダミー配線部材の数は、前記配線部材と同数又はそれ以上であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記ダミー配線部材は、前記配線部材と電気的に導通される配線層に接していないことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記配線部材は、前記圧電素子又は前記圧電素子の近傍から立ち上がるように形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数の吐出口は、２次元的に配列され、
前記配線部材は、前記圧電素子が配置される面に２次元的に配列されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に係り、特に、ノズルから液滴を吐出して記録媒体上に画像を形成する液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式の画像形成装置には、ノズル（吐出口）をマトリクス状に配列した印字ヘッドを備えたものがある。このような印字ヘッドは、インクタンクから共通液室にインクを供給し、共通液室から複数の圧力室にインクを分配する。そして各圧力室に対応して設けられる圧電素子を選択的に駆動し、圧力室内のインクに圧力を付与し、各圧力室に連通するノズルから記録媒体に対してインク滴を吐出する。このときインク吐出による圧力波が圧力室から共通液室に伝播し、他のインク吐出に影響を及ぼす場合がある。このような圧力波によるノイズ現象をクロストークという。特許文献１乃至特許文献３に開示された印字ヘッドでは、クロストークを防止するため、共通液室にエアダンパを設けている。
【０００３】
ところで近年、画像形成装置の高画質化及び高速化が望まれており、これらを実現するためには、ノズルの高密度化を図ると共に、ノズルの高周波駆動や高粘度インクの吐出ができるようにリフィル性能を向上させる必要がある。
【０００４】
従来の印字ヘッドでは、図２２に示すように、圧力室３５２のノズル３５１が形成される側と同一側に共通液室３５５が配置され、圧力室３５２のノズル３５１が形成される側の反対側に圧電素子３５８が配置されている。また図示は省略するが、圧電素子３５８を駆動するための駆動用配線は、振動板３５６に沿って印字ヘッド端部等に設けられる駆動回路まで配設される。このような共通液室の配置構成は、共通液室のサイズに制約が伴ったり、共通液室と圧力室の間の流路が複雑になりやすく、リフィル性能の向上には適さない構成となっている。
【０００５】
このような従来の印字ヘッドと異なる構成として、特許文献４乃至特許文献７には、圧力室のノズルが形成される側とは反対側に共通液室及び圧電素子が配置された構成を有する印字ヘッドが開示されている。
【０００６】
また特許文献８には、圧力室のノズルが形成される側と同一側に、共通液室及び圧電素子が配置された構成を有する印字ヘッドが開示されている。
【特許文献１】特開２００２−３５５９６３号公報
【特許文献２】特開２００２−３１６４１２号公報
【特許文献３】特開２００２−３０７６７６号公報
【特許文献４】特開平９−２２６１１４号公報
【特許文献５】特開２００１−１７９９７３号公報
【特許文献６】特開２０００−１２７３７９号公報
【特許文献７】特表２００３−５１２２１１号公報
【特許文献８】特開２０００−２８９２０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献４乃至特許文献８に開示された共通液室の構成では、次のような問題がある。
【０００８】
すなわち、特許文献４及び特許文献６に開示された印字ヘッドは、従来の印字ヘッドと同様に、圧電素子の駆動用配線は振動板上に配設される。ノズル数が増加すると振動板上の圧電素子の数も増加するため、このような印字ヘッドでは駆動用配線の配線スペースが不足する恐れがある。すなわち、ノズルの高密度化が困難な構成となっている。なお特許文献６に開示された印字ヘッドは、１つのノズル列の構成しか考慮されておらず、そもそも多ノズル化に適した構成ではない。
【０００９】
また、特許文献７に開示された印字ヘッドでは、圧電素子の駆動用配線が振動板に対して略垂直方向に立ち上がるように配線層まで形成されており、この配線層の上方に共通液室が設けられている。このため共通液室から圧力室に対してインクを供給する流路が長くなり、しかも流路が多孔質部材により構成されているため流路抵抗が大きく、リフィル性能が良くないという問題がある。そのため高粘度インクの吐出やノズルの高周波駆動を行うことは困難である。
【００１０】
さらに、特許文献８に開示された印字ヘッドでは、圧力室のノズルが形成される側と同一側に共通液室が配置されるため、図２２に示した従来の印字ヘッドと同様に共通液室のサイズに制約が伴い、リフィル性能を向上させることが困難な構成となっている。また圧力室のノズルが形成される側と同一側に配置される圧電素子の駆動回路は、圧力室のノズルが形成される側と反対側に設けられているため、圧力室を構成する積層板を貫通するようにして、圧電素子の駆動用配線を配設しなければならず、ノズルの高密度化に伴って圧力室の数が増加すると、このような駆動用配線のための配線スペースが不足する恐れがある。
【００１１】
このような問題に対して、本出願人は、圧力室のノズルが形成される側とは反対側に共通液室及び圧電素子を設け、圧電素子を駆動するための配線部材を共通液室の中を貫通するように配置した印字ヘッドを既に提案している。このような印字ヘッドは、ノズルの高密度化が可能であると共に、リフィル性能が向上するので、高粘度インクの吐出やノズルの高周波駆動が可能となっている。
【００１２】
ところで、このような印字ヘッドでは、各ノズルが安定したインク吐出を行うことができるようにクロストークを防止することがさらに望ましい。しかしがら、特許文献１乃至特許文献３に開示された印字ヘッドのように共通液室にエアダンパを設けた場合では、高密度化された各ノズルを高周波駆動したときに、各ノズルのインク吐出によって生じる圧力波を吸収しきれない恐れがある。
【００１３】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、圧力室の吐出口（ノズル）が形成される側とは反対側に共通液室及び圧電素子を設けた構成において、クロストークを防止する液体吐出ヘッド及び画像形成装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、液体を吐出する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室に供給口を介して液体を供給する共通液室と、前記圧電素子が配置される面に対して略垂直方向に、その少なくとも一部が前記共通液室内を立ち上がるように形成された、前記圧電素子を駆動するための配線部材と、前記共通液室内に設けられ、前記配線部材と略平行に形成された、前記圧電素子の駆動に寄与しない構造物であるダミー配線部材と、を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
【００１５】
本発明によれば、圧電素子を駆動するための配線部材だけでなく、圧電素子の駆動に寄与しない構造物であるダミー配線部材を共通液室内を立ち上がるように設けたことによって、これらの配線部材及びダミー配線部材が圧力波干渉防止手段として、インク吐出の際に共通液室内に伝播する圧力波を弱める効果があるので、クロストークを防止することができる。
【００１６】
また共通液室は、配線部材及びダミー配線部材によって支持されるので、共通液室の剛性が向上する。さらに本構成によって、共通液室上方に圧電素子の駆動用配線のスペースを十分に確保することができるので、吐出口（ノズル）の高密度化を実現することが可能であると共に、インクのリフィル性能が良くなり、高粘度インクの吐出や吐出口の高周波駆動が可能となる。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、前記配線部材又は前記ダミー配線部材は、前記供給口と、前記供給口に隣接する隣接供給口との間に配置されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項２の態様によれば、供給口とそれに隣接する供給口との間で生じるクロストークをより確実に防止することができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッドであって、前記配線部材又は前記ダミー配線部材は、前記圧電素子と、前記圧電素子に隣接する隣接圧電素子との間に配置されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項３の態様によれば、圧電素子の撓み形状を均一化することができ、安定したインク吐出が可能となる。
【００２１】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記ダミー配線部材は、前記配線部材と略同一の構造を有することを特徴とする。
【００２２】
請求項４の態様によれば、配線部材とダミー配線部材の形状、材質等の構造を略同一にすることにより、これらの配線部材及びダミー配線部材を略同じ工程で製造できるので、液体吐出ヘッドの製造容易化を図ることができる。
【００２３】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記ダミー配線部材の数は、前記配線部材と同数又はそれ以上であることを特徴とする。
【００２４】
請求項５の態様によれば、ダミー配線部材はより大きな流体抵抗となって圧力波を弱めることができ、クロストークをより確実に防止することができる。
【００２５】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記ダミー配線部材は、前記配線部材と電気的に導通される配線層に接していないことを特徴とする。
【００２６】
請求項６の態様によれば、クロストークを防止すると共に、共通液室内のインクの流れを確保することができるので、リフィル性能が向上する。
【００２７】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記配線部材は、前記圧電素子又は前記圧電素子の近傍から立ち上がるように形成されていることを特徴とする。
【００２８】
請求項７の態様によれば、吐出口（ノズル）の高密度化が可能となる。
【００２９】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記複数の吐出口は、２次元的に配列され、前記配線部材は、前記圧電素子が配置される面に２次元的に配列されていることを特徴とする。
【００３０】
請求項８の態様によれば、吐出口の高密度化が可能となると共に、クロストークを効果的に防止することができる。
【００３１】
また前記目的を達成するために、請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を提供する。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、圧電素子を駆動するための配線部材だけでなく、圧電素子の駆動に寄与しない構造物であるダミー配線部材を共通液室内を立ち上がるように設けたことによって、これらの配線部材及びダミー配線部材が圧力波干渉防止手段として、インク吐出の際に共通液室内に伝播する圧力波を弱める効果があるので、クロストークを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００３４】
〔第１の実施形態；インクジェット記録装置の全体構成〕
図１は、本発明の第１の実施形態に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。
【００３５】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００３６】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００３７】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００３８】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００３９】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。
【００４０】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー３４が設けられており、この吸着チャンバー３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。      
【００４１】
ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。
【００４２】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００４３】
なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００４４】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００４５】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている（図２参照）。
【００４６】
図２に示すように、印字部１２を構成する各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００４７】
記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００４８】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００４９】
なお本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。
【００５０】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００５１】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
【００５２】
本例の印字検出部２４は、少なくとも各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
【００５３】
印字検出部２４は、各色の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
【００５４】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
【００５５】
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００５６】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００５７】
このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（不図示）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。
【００５８】
また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
【００５９】
なおインク色毎に設けられている各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを表すものとする。
【００６０】
〔インク供給系の構成〕
図３はインクジェット記録装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。インク供給タンク６０は印字ヘッド５０にインクを供給するための基タンクであり、図１で説明したインク貯蔵／装填部１４に設置される。インク供給タンク６０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、不図示の補充口からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を代える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じて吐出制御を行うことが好ましい。なお、図３のインク供給タンク６０は、先に記載した図１のインク貯蔵／装填部１４と等価のものである。
【００６１】
図３に示すように、インク供給タンク６０と印字ヘッド５０の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ６２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズは、ノズル径と同等若しくはノズル径以下とすることが好ましい。図３には示さないが、印字ヘッド５０の近傍又は印字ヘッド５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。
【００６２】
またインクジェット記録装置１０には、ノズル５１の乾燥防止又はノズル近傍のインク粘度上昇を防止する手段としてのキャップ６４と、ノズル面５０Ａの清掃手段としてのクリーニングブレード６６とが設けられている。これらキャップ６４及びクリーニングブレード６６を含むメンテナンスユニットは、不図示の移動機構によって印字ヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置から印字ヘッド５０下方のメンテナンス位置に移動される。
【００６３】
キャップ６４は、図示せぬ昇降機構によって印字ヘッド５０に対して相対的に昇降変位される。電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ６４を所定の上昇位置まで上昇させ、印字ヘッド５０に密着させることにより、ノズル面５０Ａをキャップ６４で覆う。
【００６４】
クリーニングブレード６６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示せぬブレード移動機構により印字ヘッド５０のノズル面５０Ａに摺動可能である。ノズル面５０Ａにインク滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード６６をノズル面５０Ａに摺動させることでノズル板表面を拭き取り、ノズル面５０Ａを清浄する。
【００６５】
印字中又は待機中において、特定のノズル５１の使用頻度が低くなり、ノズル近傍のインク粘度が上昇した場合、その劣化インクを排出すべくキャップ６４に向かって予備吐出が行われる。
【００６６】
また、印字ヘッド５０内のインク（圧力室内）に気泡が混入した場合、印字ヘッド５０にキャップ６４を当て、吸引ポンプ６７で圧力室内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク６８へ送液する。この吸引動作は、初期のインクの印字ヘッド５０への装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも粘度上昇（固化）した劣化インクの吸い出しが行われる。
【００６７】
印字ヘッド５０は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用の圧電素子（図３中不図示、図６中符号５８として記載）が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。従って、この様な状態になる手前で（圧電素子５８の動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、インク受けに向かって圧電素子５８を動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、ノズル面５０Ａの清掃手段として設けられているクリーニングブレード６６等のワイパーによってノズル面５０Ａの汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作によってノズル５１内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。
【００６８】
また、ノズル５１や圧力室５２に気泡が混入したり、ノズル５１内のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、上記予備吐出ではインクを吐出できなくなるため、以下に述べる吸引動作を行う。
【００６９】
すなわち、ノズル５１や圧力室５２のインク内に気泡が混入した場合、或いはノズル５１内のインク粘度があるレベル以上に上昇した場合には、圧電素子５８を動作させてもノズル５１からインクを吐出できなくなる。このような場合、印字ヘッド５０のノズル面５０Ａに、キャップ６４を当てて圧力室５２内の気泡が混入したインク又は増粘インクを吸引ポンプ６７で吸引する動作が行われる。
【００７０】
ただし、上記の吸引動作は、圧力室５２内のインク全体に対して行われるためインク消費量が大きい。従って、粘度上昇が少ない場合はなるべく予備吐出を行うことが好ましい。
【００７１】
〔制御系の説明〕
図４は、インクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１０は、通信インターフェース７０、システムコントローラ７２、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８、プリント制御部８０、画像バッファメモリ８２、ヘッドドライバ８４等を備えている。
【００７２】
通信インターフェース７０は、ホストコンピュータ８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース７０にはＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。ホストコンピュータ８６から送出された画像データは通信インターフェース７０を介してインクジェット記録装置１０に取り込まれ、一旦画像メモリ７４に記憶される。画像メモリ７４は、通信インターフェース７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ７２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなどの磁気媒体を用いてもよい。
【００７３】
システムコントローラ７２は、通信インターフェース７０、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ８６との間の通信制御、画像メモリ７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ８８やヒーター８９を制御する制御信号を生成する。
【００７４】
モータドライバ７６は、システムコントローラ７２からの指示に従ってモータ８８を駆動するドライバ（駆動回路）である。ヒータドライバ７８は、システムコントローラ７２からの指示に従って後乾燥部４２等のヒーター８９を駆動するドライバである。
【００７５】
プリント制御部８０は、システムコントローラ７２の制御に従い、画像メモリ７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号（印字データ）をヘッドドライバ８４に供給する制御部である。プリント制御部８０において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ８４を介して印字ヘッド５０のインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
【００７６】
プリント制御部８０には画像バッファメモリ８２が備えられており、プリント制御部８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ８２に一時的に格納される。なお、図４において画像バッファメモリ８２はプリント制御部８０に付随する態様で示されているが、画像メモリ７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部８０とシステムコントローラ７２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。
【００７７】
ヘッドドライバ８４はプリント制御部８０から与えられる印字データに基づいて各色の印字ヘッド５０の圧電素子（図４中不図示、図６中符号５８として記載）を駆動する。ヘッドドライバ８４にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
【００７８】
印字検出部２４は、図１で説明したように、ラインセンサー（不図示）を含むブロックであり、記録紙１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部８０に提供するものである。
【００７９】
プリント制御部８０は、必要に応じて印字検出部２４から得られる情報に基づいて印字ヘッド５０に対する各種補正を行うようになっている。
【００８０】
〔印字ヘッドの構造〕
次に、印字ヘッド５０の構造について説明する。図５は、印字ヘッド５０の構造例を示す平面透視図であり、図６は、図５に示した印字ヘッド５０の一部を拡大した詳細図である。なお図５は、印字ヘッド５０の全体の概略構成の理解を容易にするために詳細部分を省略して表示しており、図６にその詳細部分を表示してある。
【００８１】
印字ヘッド５０は、図５及び図６に示すように、インク滴を吐出するノズル５１及びノズル５１に対応する圧力室５２を千鳥でマトリクス状に配列させた構造を有し、ノズル５１の高密度化が図られている。
【００８２】
圧力室５２は、その平面形状は概略正方形となっており、図６に示すように、その対角線上の一方の隅部にはノズル５１が設けられ、他方の隅部外側には圧力室５２に隣接するように形成されたインク供給口５３が設けられている。
【００８３】
図７は、図６中Ａ７−Ａ７線に沿う断面図である。同図に示すように、ノズル５１が形成されるノズルプレート９４、圧力室５２が形成される流路プレート９６、及びインク供給口５３が形成される振動板５６は積層状に接合されている。
【００８４】
振動板５６上には、個別電極５７を備えた圧電素子（圧電アクチュエータ）５８が接合されている。振動板５６はＳＵＳ材等の導電性部材により構成されており、圧電素子５８に対する共通電極となっている。
【００８５】
振動板５６の図７中上方には、非導電性部材から成る絶縁基板９８が設けられている。絶縁基板９８には、振動板５６上に積層した場合に圧電素子５８の外周を覆うような凹部が形成されている。
【００８６】
絶縁基板９８の図７中上方には、共通液室５５が構成されている。絶縁基板９８及び振動板５６には、インク供給口５３に対応する貫通孔が形成されており、共通液室５５は、インク供給口５３を介して圧力室５２と連通している。
【００８７】
このように本実施形態における印字ヘッド５０では、圧力室５２のノズル５１が形成される側とは反対側に共通液室５５及び圧電素子５８が設けられている。
【００８８】
共通液室５５の上面は、非導電性部材から成る絶縁基板９９が設けられており、さらにその上方には、配線層９２が設けられている。配線層９２は、各圧電素子５８を駆動するためのヘッドドライバ（図７中不図示、図４中符号８４として記載）と接続されている。
【００８９】
各圧力室５２に対応して設けられる圧電素子５８は、図６に示すように、各圧力室５２と略同じ概略正方形の平面形状を有する。各圧電素子５８の図６中右下隅部には、外側に突出した突起部５８ａが形成されている。
【００９０】
図８は、図６中Ａ８−Ａ８線に沿う断面図である。同図に示すように、圧電素子５８のの突起部５８ａ上には、配線部材１００が設けられる。
【００９１】
配線部材１００は、振動板５６に対して略垂直方向に、共通液室５５を上下に貫通するテーパ付き柱状の構造を有する。配線部材１００は、導電性部材から成る電極１０２を内部に有し、その外周部は絶縁膜１０４により覆われている。電極１０２の下端部及び上端部には、それぞれ半田１０６、１０８が設けられており、電極１０２は、半田１０６を介して個別電極５７と電気的に接続されると共に、半田１０８を介して配線層９２に形成される不図示の電極と電気的に接続されている。配線部材１００は、その形状及び機能からエレキ柱と呼ぶこととする。
【００９２】
このように配線部材１００を振動板５６に対して略垂直方向に設けたことにより、圧電素子５８を駆動するための駆動用配線のスペースを配線層９２に十分確保することができ、ノズル５１の高密度化が可能となる。
【００９３】
また圧力室５２のノズル５１が形成される側とは反対側に共通液室５５を配置したことにより、共通液室５５のサイズを大きくすることが可能となり、また圧力室５２とノズル５１間の流路の長さが短くなり、さらに、共通液室５５と各圧力室５２の間の流路を真っ直ぐに構成することが可能になるので、インクのリフィル性能が向上する。従って、高粘度インク（例えば、２０ｃｐ〜５０ｃｐ程度）の吐出が可能となると共に、高密度化された各ノズル５１の高周波駆動が可能になる。
【００９４】
本実施形態における印字ヘッド５０には、さらに、図６に示すように、圧電素子５８の図６中左上隅部の外側に、ダミーの配線部材（以下、ダミー配線部材という）１１０が設けられている。
【００９５】
図９は、図６中Ａ９−Ａ９線に沿う断面図である。同図に示すように、ダミー配線部材１１０は、配線部材１００と同様に、電極１１２の外周部が絶縁膜１１４により覆われたテーパ付き柱状の形状を有するが、ダミー配線部材１１０の電極１１２の上端部は、配線層９２の不図示の電極と電気的に接続されていない点で異なる。また電極１１２の下端部は、絶縁基板９８と半田１１６によって接合されており、個別電極５７とは電気的に接続されていない。
【００９６】
このようにダミー配線部材１１０は、圧電素子５８の駆動に寄与しない構造物である。なお、ダミー配線部材１１０の電極１１２の上端部及び下端部の接続形態は、図９に示した例に限定されず、例えば、電極１１２の上端部又は下端部のいずれか一方が電気的に接続されていてもよい。
【００９７】
また配線部材１００とダミー配線部材１１０は、形状、材質等の構造が略同一であり、これらは後述する印字ヘッド５０の製造方法によって製造される。なお本発明の実施に際しては、配線部材１００とダミー配線部材１１０は略同一の構造に限定されず、共通液室５５を貫通する配線部材１００と略平行に形成されていればよい。
【００９８】
本実施形態では、図６に示すように、各インク供給口５３の副走査方向上流側及び下流側に配線部材１００が配置され、さらに各インク供給口５３の主走査方向上流側及び下流側にダミー配線部材１１０が配置される。すなわち各インク供給口５３の４方向に配線部材１００、ダミー配線部材１１０が配置される。さらに、このような配線部材１００、ダミー配線部材１１０は、それぞれの方向に隣接するインク供給口５３との間に設けられている。なおインク供給口５３が、印字ヘッド５０の端部に位置する場合は、主走査方向上流側若しくは下流側、又は副走査方向上流側若しくは下流側のいずれかの方向には、配線部材１００、ダミー配線部材１１０が配置されない。
【００９９】
図１０は、図６中Ａ１０−Ａ１０線に沿う断面図である。同図に示すように、図１０中左側の圧力室５２に対してインク吐出のための圧力が加えられると、図１０中実線矢印のように、圧力波が共通液室５５に伝播するが、ダミー配線部材１１０によって、その圧力波は弱められるので、図１０中右側の圧力室５２に対する圧力波の影響が防止される。また図示は省略するが、配線部材１００の場合も同様である。
【０１００】
このように配線部材１００、ダミー配線部材１１０は圧力波干渉防止手段として機能し、インク吐出によって共通液室５５内に伝播する圧力波を弱め、主走査方向及び副走査方向に存在する他のインク供給口５３を介して、そのインク供給口５３と連通する圧力室５２に圧力波の影響が及ぶのを防止する。このようにしてクロストークが防止されるので、各ノズル５１は安定したインク吐出を行うことが可能となる。
【０１０１】
また配線部材１００だけでなく、さらにダミー配線部材１１０を設けたことによって、共通液室５５の剛性が高くなるので、共通液室５５の大型化も可能となり、リフィル性能が向上する。
【０１０２】
図１１は、図５に示した印字ヘッド５０の拡大図である。図１１は、図５と同様に、詳細部を省略して表示してある。図１１に示すように、ノズル５１に対応する圧力室５２は、主走査方向に沿う行方向及び主走査方向に対して直交しない一定の角度θを有する斜めの列方向とに沿って一定の配列パターンで格子状に配列させた構造になっている。主走査方向に対してある角度θの方向に沿って圧力室５２を一定のピッチｄで複数配列する構造により、主走査方向に並ぶように投影されたノズルのピッチＰはｄ× cosθとなる。
【０１０３】
すなわち、主走査方向については、各ノズル５１が一定のピッチＰで直線状に配列されたものと等価的に取り扱うことができる。このような構成により、主走査方向に並ぶように投影されるノズル列が１インチ当たり2400個（2400ノズル／インチ）におよぶ高密度のノズル構成を実現することが可能になる。
【０１０４】
なお、印字可能幅の全幅に対応した長さのノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時には、（１）全ノズルを同時に駆動する、（２）ノズルを片方から他方に向かって順次駆動する、（３）ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動する等が行われ、用紙の幅方向（用紙の搬送方向と直交する方向）に１ライン又は１個の帯状を印字するようなノズルの駆動を主走査と定義する。
【０１０５】
特に、図１１に示すようなマトリクス状に配置されたノズル５１を駆動する場合は、上記（３）のような主走査が好ましい。すなわち、ノズル５１-11 、５１-12 、５１-13 、５１-14 、５１-15 、５１-16 を１つのブロックとし（他にはノズル５１-21 、…、５１-26 を１つのブロック、ノズル５１-31 、…、５１-36 を１つのブロック、…として）、記録紙１６の搬送速度に応じてノズル５１-11 、５１-12 、…、５１-16 を順次駆動することで記録紙１６の幅方向に１ラインを印字する。
【０１０６】
一方、上述したフルラインヘッドと用紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットからなるライン）の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。
【０１０７】
次に、印字ヘッド５０の作用について説明する。
【０１０８】
共通液室５５に貯留されたインクは、インク供給口５３を通って、圧力室５２に供給される。ヘッドドライバ８４（図４参照）が、圧電素子５８に対する駆動信号を送ると、その駆動信号は配線部材１００の電極１０２を通って、個別電極５７に供給される。これにより圧電素子５８は変形し、圧力室５２の天面を構成する振動板５６が変形する。そして圧力室５２の体積は減少し、圧力室５２内に充填されているインクが、ノズル５１からインク滴として吐出される。
【０１０９】
このとき圧力室５２内のインクに加えられた圧力波の一部は、インク供給口５３を通って共通液室５５側に伝播する。インク供給口５３の四方向、すなわち主走査方向上流側及び下流側、副走査方向上流側及び下流側に隣接するインク供給口５３との間にそれぞれ配置された配線部材１００、ダミー配線部材１１０によって、共通液室５５に伝播してきた圧力波は弱められ、クロストークが防止される。
【０１１０】
ノズル５１からインク滴が吐出されると、共通液室５５からインク供給口５３を通って新しいインクが圧力室５２に供給され、次のインク吐出が行われる。
【０１１１】
〔印字ヘッド５０の製造方法〕
次に、印字ヘッド５０の製造方法について説明する。
【０１１２】
図１２（ａ）〜（ｄ）は、印字ヘッド５０の製造工程を示した説明図である。
【０１１３】
まず図１２（ａ）に示すように、ポリイミド等に対してノズル５１に相当する微細孔５１ａを穿設したノズルプレート９４と、ＳＵＳ材に対するエッチング加工やＳｉエッチング加工等により圧力室５２に相当する凹部等を形成した流路プレート９６を接着剤等により接合する。
【０１１４】
次に図１２（ｂ）に示すように、導電性部材から成る振動板５６に、インク供給口５３に相当する貫通孔５３ａを形成しておき、この振動板５６を流路プレート９６上に接合する。そして、振動板５６上の圧力室５２に対応する位置に、ＡＤ法（エアロゾルデポジション法）あるいはスパッタ法等によって薄膜状の圧電体５８ａを形成し、さらに、その圧電体５８ａ上に個別電極５７を形成する。なお薄膜状の圧電体５８ａをバルクの圧電体を研磨して形成してもよい。また振動板５６を圧電素子５８の共通電極とする。
【０１１５】
次に図１２（ｃ）に示すように、圧電素子５８の外周を囲むような凹部の形成された絶縁基板９８を振動板５６上に積層して接合する。そして共通液室層１５５を絶縁基板９８上に接合する。
【０１１６】
ここで共通液室層１５５の製造方法について、図１３（ａ）〜（ｅ）を用いて説明する。まず図１３（ａ）に示すように、絶縁基板９９の上面に銅層１２０を形成後、図１３（ｂ）に示すように、銅層１２０をエッチング等によって削り、複数のテーパ付きの柱状部材２００を形成する。各柱状部材２００は、配線部材１００の電極１０２又はダミー配線部材１１０の電極１１２に相当する。そして図１３（ｃ）に示すように、電極１０２、１１２の側面に対して絶縁膜１０４、１１４を形成する。
【０１１７】
次に、図１３（ｄ）に示すように、絶縁基板９９上の配線部材１００の形成位置に図１３（ｄ）中下側から貫通孔９９ａを加工する。なお貫通孔９９ａは、図１３（ａ）で示した絶縁基板９９上に銅層１２０を形成する前に加工しておいてもよい。そして図１３（ｅ）に示すように、貫通孔９９ａに対して半田１０８を流し込む。また配線部材１００、ダミー配線部材１１０の上面にも、それぞれ半田１０６、１１６を設ける。
【０１１８】
図１２（ｃ）では、このようにして形成された共通液室層１５５を絶縁基板９９が図１２（ｃ）中上方になるように配置して、絶縁基板９８上に接合する。
【０１１９】
なお絶縁基板９８上の配線部材１００に対応する位置には貫通孔を形成しておき、これらの接合時には、圧電素子５８の個別電極５７と、配線部材１００の電極１０２とが電気的に接続されるように、半田１０６（図１３（ｅ）参照）によって接合を行う。なお接合後、その接合部周辺部を絶縁処理しておく。
【０１２０】
一方、ダミー配線部材１１０は、その先端部（図１２（ｃ）中下端部）に設けられた半田１１６により絶縁基板９８との接合を行う。
【０１２１】
次に、図１２（ｄ）に示すように、絶縁基板９９上に配線層９２を接合する。このとき配線層９２に形成されている不図示の電極と、配線部材１００の電極１０２とが電気的に接続されるように、絶縁基板９９ａに設けられた半田１０８によって接合を行う。
【０１２２】
このようにして、共通液室５５を貫通するようにして形成される配線部材１００、ダミー配線部材１１０を備えた印字ヘッド５０を製造することができる。このような印字ヘッド５０では、配線部材１００とダミー配線部材１１０が略同じ構造を有するので、印字ヘッド５０の製造を容易化することができる。
【０１２３】
〔第２の実施形態〕
次に、本発明の第２の実施形態に係る印字ヘッド５０の構成について説明する。
【０１２４】
図１４は、第２の実施形態に係る印字ヘッド５０を一部拡大した詳細図である。同図に示すように、本実施形態における印字ヘッド５０は、圧力室５２から図１４中斜め右上方向に、副走査方向に隣接する圧力室５２との間の略中央に対応する位置まで延びた個別流路１５３と、個別流路１５３の先端に形成されるインク供給口５３と、圧電素子５８の一端から主走査方向上流側に延びるように形成された延設部５８ｂと、延設部５８ｂの先端に形成された配線部材１００と、主走査方向に隣接するインク供給口５３の間に形成されたダミー配線部材１１０と、を備えている。
【０１２５】
図１５は、図１４中Ａ１５−Ａ１５線に沿う断面図である。同図に示すように、共通液室５５に貯留されたインクは、インク供給口５３から個別流路１５３を通って、圧力室５２に供給される。
【０１２６】
図１６は、図１４中Ａ１６−Ａ１６線に沿う断面図である。同図に示すように、延設部５８ｂは、圧電素子５８と一体的に形成されている。延設部５８ｂ上には、第１の実施形態と同様の構造を有する配線部材１００が、共通液室５５を貫通するように設けられている。
【０１２７】
図１７は、図１４中Ａ１７−Ａ１７線に沿う断面図である。同図に示すように、第１の実施形態と同様に、ダミー配線部材１１０が共通液室５５を貫通するように設けられている。
【０１２８】
図１４に示した印字ヘッド５０は、図６に示した第１の実施形態の印字ヘッド５０と同様に、各インク供給口５３の主走査方向上流側及び下流側、副走査方向上流側及び下流側に隣接するインク供給口５３との間に配置される配線部材１００、ダミー配線部材１１０は、圧力波干渉防止手段として、クロストークを防止し、各ノズル５１の安定したインク吐出を可能とする。
【０１２９】
また圧電素子５８の主走査方向上流側及び下流側、副走査方向の上流側及び下流側に、配線部材１００、ダミー配線部材１１０が略均等に配置されており、圧電素子５８の撓みの拘束条件に不均一がなく、圧電素子５８の撓み形状が均一で駆動時における圧力波の歪みがないため、飛翔曲がりのない安定したインク吐出を可能とする。
【０１３０】
〔第３の実施形態〕
図１８は、本発明の第３の実施形態に係る印字ヘッド５０を一部拡大した詳細図である。同図に示すように、本実施形態における印字ヘッド５０には、副走査方向に隣接する圧電素子５８の間に、２つのダミー配線部材１１０Ａ、１１０Ｂが設けられている。なお、ダミー配線部材１１０の数は図１８に示した例に限定されるものでない。
【０１３１】
このように配置されたダミー配線部材１１０Ａ、１１０Ｂは、より大きな流体抵抗となるので、インク吐出によって共通液室５５に伝播してきた圧力波をより弱めることができ、クロストークを確実に防止することができる。
【０１３２】
〔第４の実施形態〕
図１９は、本発明の第４の実施形態に係る印字ヘッド５０の側面断面図である。第４の実施形態に係る印字ヘッド５０の平面形状は、図６に示した第１の実施形態と同様であるので図示を省略する。図１９は、図６中Ａ９−Ａ９線に沿う断面図に相当する。
【０１３３】
図１９に示すように、本実施形態の印字ヘッド５０には、第１の実施形態と同様の形状を有する配線部材１００と、配線部材１００の略半分の高さを有するダミー配線部材１１０とが設けられている。
【０１３４】
ダミー配線部材１１０は、圧力波干渉防止手段として、クロストークを防止する一方、ダミー配線部材１１０の上端部は絶縁基板９９に接しない構成であるため、共通液室５５内のインク流れを確保でき、リフィル性能がさらに向上する。
【０１３５】
図２０（ａ）〜（ｄ）は、第４の実施形態に係る印字ヘッド５０の製造方法の説明図である。なお同図では、説明の便宜上、図１９と若干異なる構成を表示する。
【０１３６】
まず図２０（ａ）に示すように、ノズルプレート９４、流路プレート９６及び振動板５６を積層状に接合後、振動板５６上に圧電素子５８を形成して、さらに、その上に、絶縁基板９８を積層する。これらの工程は、第１の実施形態の印字ヘッド５０の工程（図１２（ａ）〜（ｃ）参照）と同様であるので、その説明を省略する。
【０１３７】
次に、図２０（ｂ）に示すように、絶縁基板９８上に、共通液室層２５５を積層する。
【０１３８】
ここで、共通液室２５５の製造方法について、図２１（ａ）〜（ｄ）を用いて説明する。まず図２１（ａ）に示すように、Ｓｉ基板１３０を用意する。そして、図２１（ｂ）に示すように、Ｓｉ基板１３０に対して、ダミー配線部材１１０の高さに相当する溝状の非貫通孔１３０ａ、１３０ｂを異方性エッチング等により複数形成する。なお、溝部１３０ａは配線部材１００に対応する位置に形成されており、溝部１３０ｂはダミー配線部材１１０に対応する位置に形成されている。
【０１３９】
非貫通孔１３０ａに対しては、さらに異方性エッチング等を行い、図２１（ｃ）に示すように、Ｓｉ基板１３０を貫通する貫通孔１３０ａ’を形成する。そして、貫通孔１３０ａ’及び非貫通孔１３０ｂに対して、図２１（ｄ）に示すように、それぞれメッキ等の金属を流し込む。なお貫通孔１３０ａ’の金属は、配線部材１００の電極１０２に相当し、非貫通孔１３０ｂの金属は、ダミー配線部材１１０の電極１１２に相当する。その後、電極１０２の上面及び下面にそれぞれ半田１０６、１０８を設け、電極１１２の上面に半田１１６を設けておく。
【０１４０】
このようにして形成された共通液室層２５５を図２１（ｄ）に示した状態から上下逆にして、図２０（ｂ）に示すように、絶縁基板９８と接合を行う。このとき配線部材１００及びダミー配線部材１１０と絶縁基板９８との接合方法は、第１の実施形態と同様であるので、その説明を省略する。
【０１４１】
次に、異方性エッチング等によって、図２０（ｂ）に示した共通液室層２５５のＳｉを除去すると、図２０（ｃ）に示すように、配線部材１００の電極１０２と、ダミー配線部材１１０の電極１１２が共通液室５５内を振動板５６に対して略垂直方向に立設するように形成される。その後、電極１０２の側面、及び電極１１２の上面と側面に対して絶縁膜１０４、１１４を形成し、図２０（ｄ）に示すように、共通液室層２５５の上方に、絶縁基板９９及び配線層９２を接合する。
【０１４２】
このように第４の実施形態は、第１の実施形態と同様に、配線部材１００とダミー配線部材１１０を略同じ工程で製造できるので、印字ヘッド５０の製造を容易化することができる。
【０１４３】
以上、本発明の液体吐出ヘッド及び画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１４４】
【図１】本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の一実施形態の概略を示す全体構成図である。
【図２】図１に示したインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図である。
【図３】インクジェット記録装置のインク供給系の構成を示した概要図である。
【図４】インクジェット記録装置のシステム構成を示す要部ブロック図である。
【図５】印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。
【図６】図５に示した印字ヘッドの一部を拡大した詳細図である。
【図７】図６中Ａ７−Ａ７線に沿う断面図である。
【図８】図６中Ａ８−Ａ８線に沿う断面図である。
【図９】図６中Ａ９−Ａ９線に沿う断面図である。
【図１０】図６中Ａ１０−Ａ１０線に沿う断面図である。
【図１１】図５に示した印字ヘッドのノズル配列を示す拡大図である。
【図１２】（ａ）〜（ｄ）は、印字ヘッドの製造工程を示した説明図である。
【図１３】（ａ）〜（ｅ）は、共通液室層の製造方法を示した説明図である。
【図１４】第２の実施形態に係る印字ヘッドを一部拡大した詳細図である。
【図１５】図１４中Ａ１５−Ａ１５線に沿う断面図である。
【図１６】図１４中Ａ１６−Ａ１６線に沿う断面図である。
【図１７】図１４中Ａ１７−Ａ１７線に沿う断面図である。
【図１８】本発明の第３の実施形態に係る印字ヘッドを一部拡大した詳細図である。
【図１９】本発明の第４の実施形態に係る印字ヘッドを側面断面図である。
【図２０】（ａ）〜（ｄ）は、第４の実施形態に係る印字ヘッドの製造方法を示す説明図である。
【図２１】共通液室層の製造方法を示す説明図である。
【図２２】従来の印字ヘッドの構成を表す側面断面図である。
【符号の説明】
【０１４５】
１０…インクジェット記録装置、５０…印字ヘッド、５０Ａ…ノズル面、５１…ノズル、５２…圧力室、５３…インク供給口、５５…共通液室、５６…振動板、５７…個別電極、５８…圧電素子、９２…配線層、１００…配線部材、１０２…電極、１０４…絶縁膜、１１０…ダミー配線部材、１１２…電極、１１４…絶縁膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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