(57)【要約】    【課題】配線遅延やクロストークを起す問題のあるネットに絞って適切な隣接スペーシング条件を与えて効率良く間題を解消する。    【解決手段】配線処理部３６は半導体回路のネットリストに基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する。ノイズ解析部４０は配線処理部３６で作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出する。配線条件変更部４２はノイズ解析ステップで抽出されたエラーネットに対しノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を設定配線遅延やクロストークを起す問題のあるネットに絞って遍切な隣接スペーシング条件を与えると共に、エラーネット以外のネットに第１隣接スペーシング条件を与え、ネットリストに基づいて再度配線処理を実行する。    【選択図】      図１
2006155120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体回路のネットリストに基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する配線処理ステップと、
前記配線処理ステップで作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出するノイズ解析ステップと、
前記ノイズ解析ステップで抽出されたエラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を設定する配線条件変更ステップと、
前記エラーネットに対し第２隣接スペーシング条件を与えると共に、前記エラーネット以外のネットに前記第１隣接スペーシング条件を与え、前記ネットリストに基づいて再度配線処理を実行する再配線処理ステップと、
を備えたことを特徴とする配線方法。
【請求項２】
請求項１記載の配線方法に於いて、
前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット名毎に設定したパラメータファイルを作成し、
前記再配線処理ステップは、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行することを特徴とする配線方法。
【請求項３】
請求項１記載の配線方法に於いて、前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット種別に応じて設定した前記パラメータファイルを作成し、
前記再配線処理ステップは、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行することを特徴とする配線方法。
【請求項４】
コンピュータに、
半導体回路のネットリストに基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する配線処理ステップと、
前記配線処理ステップで作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出するノイズ解析ステップと、
前記ノイズ解析ステップで抽出されたエラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を設定する配線条件変更ステップと、
前記エラーネットに対し第２隣接スペーシング条件を与えると共に、前記エラーネット以外のネットに前記第１隣接スペーシング条件を与え、前記ネットリストに基づいて再度配線処理を実行する再配線処理ステップと、
を実行させることを特徴とする配線プログラム。
【請求項５】
半導体回路のネットリストに基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する配線処理部と、
前記配線処理部で作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出するノイズ解析部と、
前記エラーネットに対しノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を与えると共に、前記エラーネット以外のネットに前記第１隣接スペーシング条件を与えた状態で前記配線処理部にネットリストに基づいて再度配線処理を実行させる配線条件変更部と、
を備えたことを特徴とする配線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩのレイアウト設計における配線方法、プログラム及び装置に関し、特に、クロストークと配線遅延を考慮した配線方法、プログラム及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＳＩ設計システムについてはトランジスタサイズの微細化によってゲート遅延よりも配線遅延の影響が大きくなってきている。この配線遅延の原因の一つに隣接負荷容量が挙げられる。またクロストークに起因したノイズの影響も大きくなっており、この原因の一つも隣接負荷容量が挙げられる。
【０００３】
このため自動配線時に隣接負荷容量を減らすような配線技術が求められている。従来の自動配線では、ネットリストに基づいてあるネットを自動配線する際には、配線バイオレーション（配線違反）とならない最小隣接スペーシング条件を与えて配線を行っている。また隣接負荷容量を小さくするための付加条件を仮に与えるにしても、全てのネットに与えて自動配線している。
【特許文献１】特開平５−１８１９３６号
【特許文献２】特開平６−１２４３２１号
【特許文献３】特開平５−１６０３７５号
【特許文献４】特開平５−２４３３８３号
【特許文献５】特開平９−１４７００９号
【特許文献６】特開平１０−１８９７４６号
【特許文献７】特開２００３−３０３２１７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような従来の自動配線において配線バイオレーションとならない最小隣接スペーシング条件を与えて配線を行った場合には、重要なパスについて隣接負荷容量が付加されて配線遅延の増大、クロストークノイズ増大の問題を引き起こしている。
【０００５】
また隣接容量の付加条件を用いて自動配線を行ったとしても、全てのネットを対象としているため、集積度との関係でチャネル不足により配線完了が困難な状況に陥る問題を生じている。
【０００６】
本発明は、配線遅延やクロストークを起す問題のあるネットに絞って適切な隣接スペーシング条件を与えて効率良く問題を解消する配線方法，プログラム及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
図１は本発明の原理説明図である。本発明は、ＬＳＩ等の半導体回路を設計するための配線方法を提供する。本発明の配線方法は、
半導体回路のネットリスト３２に基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する配線処理ステップと、
配線処理ステップで作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出するノイズ解析ステップと、
ノイズ解析ステップで抽出されたエラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を設定する配線条件変更ステップと、
エラーネットに対し第２隣接スペーシング条件を与えると共に、エラーネット以外のネットに第１隣接スペーシング条件を与え、ネットリストに基づいて再度配線処理を実行する再配線処理ステップと、
を備えたことを特徴とする。
【０００８】
ここで、配線条件変更ステップは、エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット名毎に設定したパラメータファイル３４を作成し、再配線処理ステップは、エラーネットにパラメータファイル３４の第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行する。
【０００９】
また配線条件変更ステップは、エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット種別に応じて設定したパラメータファイル３４を作成し、同様に、再配線処理ステップは、エラーネットにパラメータファイル３４の第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行する。
【００１０】
更に、配線条件変更ステップは、エラーネットのノイズエラーを解消する隣接スペーシング条件を配線層に応じて設定したパラメータファイル３４を作成し、同様に、再配線処理ステップは、エラーネットに前記パラメータファイル３４の第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行する。
【００１１】
配線条件変更ステップは、エラーネットの第２隣接スペーシング条件としてネット間距離又はネット間グリット数を設定したパラメータファイル３４を作成する。配線処理ステップは、第１隣接スペーシング条件として最小隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する。
【００１２】
本発明は、コンピュータで実行される配線プログラムを提供する。本発明の配線プログラムは、コンピュータに、
半導体回路のネットリスト３２に基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する配線処理ステップと、
配線処理ステップで作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出するノイズ解析ステップと、
ノイズ解析ステップで抽出されたエラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を設定する配線条件変更ステップと、
エラーネットに対し第２隣接スペーシング条件を与えると共に、エラーネット以外のネットに第１隣接スペーシング条件を与え、ネットリスト３２に基づいて再度配線処理を実行する再配線処理ステップと、
を実行させることを特徴とする。
【００１３】
本発明は、ＬＳＩ等の半導体回路を設計するための配線装置を提供する。本発明の配線装置は、
半導体回路のネットリスト３２に基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する配線処理部３６と、
配線処理部３６で作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出するノイズ解析部４０と、
エラーネットに対しノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を与えると共に、エラーネット以外のネットに第１隣接スペーシング条件を与えた状態で配線処理部３６にネットリスト３２に基づいて再度配線処理を実行させる配線条件変更部４２と、
を備えたことを特徴とする。
【００１４】
なお、本発明によるプログラム及び配線装置の詳細は，本発明の配線方法と基本的に同じである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、最小隣接スペーシング条件を全てのネットに与えて配線処理を行った後にノイズ解析を行ってクロストークや配線遅延を考慮したノイズ制約を満たさないネットをノイズエラーを起しているエラーネットとして抽出し、このエラーネットにつきノイズエラーを解消するパラメータとして配線間隔を広げる新たな隣接スペーシング条件を設定して再度配線処理を実行してノイズエラーを解消させることができる。
【００１６】
本発明は、上流の論理設計の段階で、隣接負荷容量（カップリング容量）を考慮した設計処理が行われていることを前提としており、それでもなお配線処理の結果のノイズ解析でノイズエラーとなるようなエラーネットを対象に隣接スペーシング条件を変更した再度の配線処理で配線処理を効率的に短時間で成功させることができる。
【００１７】
このように上流の論理設計の段階で隣接負荷容量（カップリング容量）を考慮した設計処理を行っている場合、配線処理後のノイズ解析で得られるエラーネットは例えば１００未満であり、本発明によりエラーネットに対しノイズエラーを解消する隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行することで、対象ネットのエラーを逐次解消して自動配線を短時間で効率良く成功させることができる。
【００１８】
エラーネットに与える隣接スペーシング条件のパラメータとしては、ネット名、ネット種別、又は配線層に対応して作成する。例えばネット種別については、一般にクロックネットが一番クリテカルであることから、これについてエラーネットとなった場合の隣接スペーシング条件のパラメータを優先的に設定して救済する。
【００１９】
また配線層に対応した隣接スペーシング条件のパラメータとしては、１層、２層はセル層であり、クロストークを生ずるような長い配線が存在する可能性は低いので、それより上の長いネットが配線される階層について隣接条件外部パラメータを層毎に設定し、ノイズエラーとなったネットの解消を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図２は本発明の配線方法が適用されるＬＳＩ設計システムの全体構成のブロック図である。図２において、ＬＳＩ設計システムはシステム仕様設計部１０、機能設計部１２、論理設計部１４、回路設計部１６、レイアウト設計部１８、設計検証部２０及びＬＳＩ製造部２２で構成されている。このうちレイアウト設計部１８には配置処理部２４と配線処理部２６が設けられ、本発明の配線方法は配線処理部２６について適用される。
【００２１】
システム仕様設計部１０は、目的とするＬＳＩのシステム使用を実現するためシステム全体をどのような機能ブロックに分け、どのように動作するかを決定する。設計結果の妥当性を調べるためには動作シミュレータや方式シミュレータが使用される。
【００２２】
機能設計部１２は機能ブロックの内部構造と動作を決定するレジスタトランスファレベル（ＲＴレベル）の設計を行なう。設計結果の検証には機能シミュレータが使用される。論理設計部１４はゲートレベルでの論理回路設計を行なう。動作確認には論理シミュレータやタイミングシミュレータなどが使用される。
【００２３】
回路設計部１６はトランジスタ回路の設計を行なう。設計した回路特性を調べるためには回路シミュレータが使用される。レイアウト設計部１８は回路図を物理的形状と寸法を持つ素子の配置配線に変換する処理であり、自動設計に対応する配置、配線プログラムなどが使用される。
【００２４】
レイアウト設計部１８における配置処理部２４は論理回路やトランジスタ回路のようなロジカルな情報から実際の物理的な寸法を持つトランジスタやセルなどの素子の形と配置する場所を決定する。
【００２５】
レイアウト設計部１８に設けた配線処理部２６は配置処理部２４によって配置されたセル間の設計を設計通りや各種の制約条件を満足するように決定する。配線手法としてはグローバル配線と詳細配線の２段階に分ける方法が通常使用される。
【００２６】
グローバル配線は各ネットを特定の配線領域に分けて配線割当を行なうもので直接的な混雑を避けて、どの配線領域を使用するかを決定する。詳細配線は各ネットの実際の配線を行なうもので２点間もしくは他点間のネットを１本づつ順番に最短距離で配線する。配線アルゴリズムとしては迷路法、線分探索法、チャネル配線法などが使用される。
【００２７】
設計検証部２０は設計されたレイアウトについて設計寸法の規則違反を調べるデザインルールチェック（ＤＲＣ）、レイアウトから回線結成情報を作り出す回線抽出、結成アルゴリズムを調べる結成チェック、トランジスタの寸法要求特性や電源配線の短絡有無を調べる電気的ルールチェックなどがある。この設計検証部２０の処理が終了するとマスクデータが作成され、ＬＳＩ製造部２２に引き渡されてＬＳＩの製造が行なわれることになる。
【００２８】
本発明は、レイアウト設計部１８における配線処理部２６に適用され、ネットリストに基づいて配線処理を実行する際に、まず第1隣接スペーシング条件として最小隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する。この配線処理の結果についてノイズ解析を行い、ノイズ解析でノイズエラーを起しているエラーネットを抽出し、エラーネットに対しノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を設定して、再度、配線処理を実行し、ノイズエラーが解消されるまでノイズ解析とエラーネットに対する隣接スペーシング条件の変更による再配線処理を繰り返すことになる。
【００２９】
図３は本発明による配線装置の機能構成のブロック図である。図３において、本発明の配線装置３０に対してはネットリスト３２が設けられ、ネットリスト３２は図２に示したように回路設計部１６で設計の済んだネットリストデータが格納されている。
【００３０】
また配線装置３０に対しては、パラメータファイル３４が設けられる。パラメータファイル３４には後の説明で明らかにするように、本発明の配線処理結果に対するノイズ解析で抽出されたエラーネットの再配線処理に使用する隣接スペーシング条件、即ち第２スペーシング条件としてのエラーネットの間隔を広げるパラメータを作成して格納している。
【００３１】
配線装置３０は配線処理部３６、レイアウトデータファイル３８、ノイズ解析部４０、配線条件変更部４２及び出力処理部４４で構成されている。配線装置３０で処理の済んだレイアウト設計データは設計検証が済んだ後にマスクパターンデータ４６として出力される。
【００３２】
配線装置３０に設けた配線処理部３６は、ネットリスト３２に基づいて配線違反とならない最小隣接スペーシング条件（第１隣接スペーシング条件）を与えて配線処理を実行する。配線処理部３６による配線結果は一時的にレイアウトデータファイル３８に格納される。
【００３３】
ノイズ解析部４０はレイアウトデータファイル３８の配線結果を対象にノイズ解析を実行し、このノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出する。ノイズ解析部４０による具体的なノイズ解析としては、例えばクロストークを生ずるネットにつき
（線幅×長さ）＝（コスト）
としてコストを計算し、このネットの計算コストがノイズ制約条件として定めた所定のクロストークコストを超えたらエラーネットと判定する。
【００３４】
即ちＬＳＩの設計において、クロストークを包含したエラーは隣接する配線間で結合するキャパシティ、即ち隣接負荷容量（カップリング容量）により引き起こされ、クロストークが発生すると信号遅延に変化を引き起こしたり、論理の不正遷移の原因となり、チップの性能目標を達成することができなくなることから、これをエラーネットと判定して抽出する。
【００３５】
配線条件変更部４２は、ノイズ解析部４０で抽出されたエラーネットに対しノイズエラーを解消する隣接スペーシング条件（第２隣接スペーシング条件）を作成してパラメータファイル３４に格納した後、エラーネットに対しパラメータファイル３４の隣接スペーシング条件を与え、エラーネット以外のネットについては最初に使用した最小隣接スペーシング条件を与え、この条件の下で配線処理部３６により再度配線処理を実行させる。
【００３６】
配線条件変更部４２によるエラーネットについて作成された隣接スペーシング条件の下に実行された配線処理の結果は、レイアウトデータファイル３８に格納された後、再びノイズ解析部４０で解析され、ノイズ制約を満たした場合には配線処理は成功したものと判断し、出力処理部４４に対し配線結果の出力を指示する。
【００３７】
再度の配線結果に対するノイズ解析でノイズエラーが解消されないエラーネットが残っている場合には、配線条件変更部４２で残っているエラーネットについて更にノイズエラーを解消するに必要な隣接スペーシング条件（第２隣接スペーシング条件）を作成して、そのパラメータをパラメータファイル３４に格納した後、パラメータファイル３４の隣接スペーシング条件を残っているエラーネットに与え、エラーネット以外については最初の隣接スペーシング条件を与えた状態で配線処理部３６の再度の配線処理を繰り返す。
【００３８】
配線条件変更部４２における配線処理を繰り返す際のエラーネットのノイズエラーを解消するための隣接スペーシング条件は、配線処理を繰り返す毎に配線間隔を広げるようにパラメータを変更していくことになるが、配線間隔の最大値を設定しており、隣接スペーシング条件の変更で配線間隔が最大値に達した場合には、それ以上の隣接スペーシング条件の変更はできないことから、配線処理は不成功とし、設計処理を上流側に戻して再度設計処理を繰り返すことになる。
【００３９】
もちろん、本発明による配線処理は図２に示した機能設計部１２、論理設計部１４、回路設計部１６といった上流側の設計処理において、隣接負荷容量（カップリング容量）を考慮した設計処理が行なわれることを前提としており、このような上流側での設計処理を行なっても尚、エラーが残ることからこれを配線処理の代替えにおけるエラー解析で抽出し、エラーネットに対する隣接スペーシング条件を緩和して配線処理を成功させるようにしている。
【００４０】
図３における配線装置３０は、例えば図４のようなコンピュータのハードウェア資源により実現される。図４のコンピュータにおいて、ＣＰＵ１００のバス１０１にはＲＡＭ１０２、ハードディスクコントローラ（ソフト）１０４、フロッピィディスクドライバ（ソフト）１１０、ＣＤ−ＲＯＭドライバ（ソフト）１１４、マウスコントローラ１１８、キーボードコントローラ１２２、ディスプレイコントローラ１２６、通信用ボード１３０が接続される。
【００４１】
ハードディスクコントローラ１０４はハードディスクドライブ１０６を接続し、本発明の配線処理を実行するプログラムをローディングしており、コンピュータの起動時にハードディスクドライブ１０６から必要なプログラムを呼び出して、ＲＡＭ１０２上に展開し、ＣＰＵ１００により実行する。
【００４２】
フロッピィディスクドライバ１１０にはフロッピィディスクドライブ（ハード）１１２が接続され、フロッピィディスク（Ｒ）に対する読み書きができる。ＣＤ−ＲＯＭドライバ１１４に対しては、ＣＤドライブ（ハード）１１６が接続され、ＣＤに記憶されたデータやプログラムを読み込むことができる。
【００４３】
マウスコントローラ１１８はマウス１２０の入力操作をＣＰＵ１００に伝える。キーボードコントローラ１２２はキーボード１２４の入力操作をＣＰＵ１００に伝える。ディスプレイコントローラ１２６は表示部１２８に対して表示を行う。通信用ボード１３０は無線を含む通信回線１３２を使用し、ネットワークを介して外部の装置との間で通信を行う。
【００４４】
図５は図３のパラメータファイル３４に格納されるパラメータ情報の説明図である。図５（Ａ）はネット名パラメータファイル４８であり、ノイズ解析で抽出されたエラーネットのネット名ｎｅｔ１，ｎｅｔ２，ｎｅｔ３・・・に対し、ノイズエラーを解消する隣接スペーシング条件を作成して登録している。
【００４５】
隣接スペーシング条件はディフォルトとして使用する最小隣接スペーシング条件（第１隣接スペーシング条件）を緩和した条件であり、隣接スペーシング条件の具体的なパラメータとしてはネット間距離（μｍ）またはネット間グリット数（ｇｒｉｄ）が使用されている。また本発明のエラーネットの判定はクロストークによるエラーネットを判定しており、クロストークはノイズの原因となる信号を流しているネットの両側に位置するネットがノイズエラーを起こすエラーネットとなる。
【００４６】
図５（Ａ）のネット名パラメータファイル４８にあってはクロストークによるノイズエラーを起しているエラーネットをネット名ごとにノイズエラーを解消する隣接スペーシング条件としてのパラメータを作成して登録し、再配線処理の際にこれを使用するようにしている。
【００４７】
図５（Ｂ）はネット種別パラメータファイル５０の説明図である。ネット種別パラメータファイル５０にあっては、ネット種別に対応してエラーネットのノイズエラーを解消するための隣接スペーシング条件のパラメータをネット間距離（μｍ）またはネット間グリット数（ｇｒｉｄ）で登録している。
【００４８】
ネット種別パラメータファイル５０に登録しているネット種別としては、例えばクロックネットとそれ以外のネットに分けることができる。一般にクロックネットが最もクリティカルなネットであることから、クロックネットがエラーネットと判定された場合のノイズエラーを解消するためのパラメータ設定を優先的に行い、クロックネット以外のネットについては低い優先度で隣接スペーシング条件の設定を行なう。
【００４９】
即ちクロックネットがエラーネットであった場合には隣接スペーシング条件としては十分なネット間距離またはネット間グリット数の値をパラメータとして作成して設定し、クロックネットに対する隣接スペーシングパラメータ条件に大きな値を使用する。これ之に対しクロックネット以外のエラーネットについては、値の小さなパラメータを隣接スペーシング条件とし、クロックネットについてノイズを解消するためのパラメータの値を大きくしても再配線処理においてチップ全体の修正起動との関係でチャネル不足による配線完了が困難な状態に陥るのを防ぐようにしている。
【００５０】
図５（Ｃ）は配線層パラメータファイル５２の説明図である。配線層パラメータファイル５２はネット名、配線層及び隣接スペーシング条件で構成されている。通常ＬＳＩの配線層については１層及び２層はセル層であり、クロストークを生じるような長い配線が存在する可能性は低いので、それ以外の長い配線が存在する配線層について図５（Ｃ）のような配線層パラメータファイル５２を設け、ネット名と配線層に依存してネットエラーを解消するための隣接スペーシング条件としてのパラメータを作成して登録するようにしている。
【００５１】
尚、図５（Ａ）〜（Ｃ）のネット名パラメータファイル４８、ネット種別パラメータファイル５０及び配線層パラメータファイル５２にあっては、エラーネットのノイズエラーを解消する隣接スペーシング条件（第２隣接スペーシング条件）としてのネット間距離またはネット間グリット数を登録しているが、最初の配線処理で使用した最小隣接スペーシング条件のネット間距離またはネット間グリット数に対する増加量を登録するようにしても良い。
【００５２】
図６は本発明によるエラーネットを解消するための配線処理の説明図である。図６（Ａ）はデフォルトとなる最小隣接スペーシング条件によるネット間距離Ｗ１を与えて配線処理を行った配線結果である。この最初の配線結果にあっては、チップ５４に配置されたセル５６−１，５６−２の間にネット６２が配線され、セル５８−１，５８−２の間にネット６４が配線され、セル６０−１，６０−２の間にネット６６が配線されている。尚、ネット６２，６４，６６の交差部分は異なる配線層に配置されてスルーホールにより配線層間を接続した構成を透視的に示している。
【００５３】
このような図６（Ａ）の配線結果についてノイズ解析を行なうと、３本の並行配置されたネット６２，６４，６６のネット長がある値を超えるとノイズ制約条件を満たさなくなり、ネット６２，６４，６６はクロストークによるエラーノイズを起こすエラーネットと判定される。
【００５４】
尚、実際にクロストークによるノイズエラーが起きるのはノイズ原因となるネットに隣接するネットである。例えば、ネット６４がノイズ信号源となる場合、隣接するネット６２，６６がクロストークによるノイズエラーを起こすエラーネットとなる。このネット６２，６４，６６における信号原とクロストークによるノイズエラーを起こすエラーネットの関係は相対的なものである。
【００５５】
図６（Ａ）の配線結果に対するノイズ解析によりエラーネット６２，６４，６６が解析抽出されたならば、このノイズエラーを解消するために必要な隣接スペーシング条件、即ちネット間距離をディフォルトのＷ１より広げたＷ２とするパラメータを作成して、図３に示したパラメータファイル３４に登録する。
【００５６】
その後にパラメータファイル３４に登録したネット間距離Ｗ２を与える隣接スペーシング条件をエラーと判定されたネット６２，６４，６６に対し与え、再度配線処理を実行することで図６（Ｂ）の配線結果を得ることができる。この図６（Ｂ）の配線結果についてノイズ解析を行いネット６２，６４，６６につきノイズ制約を満たしていることを判定すると配線処理を完了することができる。
【００５７】
もちろん図６（Ｂ）の配線結果のノイズ解析についてノイズ制約を満たさずにエラーネットと判定された場合には、さらに大きなネット間距離Ｗ３をパラメータとして隣接スペーシング条件を作成して登録し、再度これをエラーネットに与えて配線処理を実行し、隣接スペーシング条件としてネット間距離が許容する最大値に達するまで処理を繰り返す。
【００５８】
図７は本発明による配線処理のフローチャートである。図７において、ステップＳ１でネットリスト３２に基づき配線処理を実行する。この最初の配線処理については最小隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する。続いてステップＳ２でステップＳ１の配線結果についてノイズ解析を行い、ステップＳ３でノイズ制約を満たさないネットがあるか否かチェックする。
【００５９】
ノイズ制約を満たさないネットがあった場合にはステップＳ４に進み、ノイズエラーを起しているネットを抽出し、ノイズエラーを解消するための隣接スペーシング条件（第２隣接スペーシング条件）を作成して登録したパラメータファイル３４を作成し、ステップＳ５でパラメータファイルの隣接スペーシング条件をエラーネットに与え、エラーネット以外についてはステップＳ１と同じ最小隣接スペーシング条件を与え、再度配線処理を実行する。
【００６０】
ステップＳ６で配線処理がチャネル不足等により失敗せずに成功した場合には、ステップＳ２に戻ってノイズ解析を行い、ステップＳ３でノイズ制約を満たさないネットがなくなれば配線に成功したことから一連の処理を終了する。ステップＳ６でもしチャネル不足による配線不成功であった場合には、ステップＳ７でエラー通知を行なって処理を終了する。この場合には上流側の設計段階に戻って設計をやり直すこととなる。
【００６１】
尚、図７のステップＳ２〜Ｓ６にあってはノイズ制約を満たさなくなるエラーネットがなくなるまで隣接スペーシング条件を変更して配線処理を繰り返すことになるが、実際には隣接スペーシング条件が最大値に達した場合にはエラー終了となる。
【００６２】
また本発明はＬＳＩ設計システムの配線処理で使用される配線プログラムを提供するものであり、この配線プログラムは図７のフローチャートの内容に従った処理手順を持つプログラムとして実現される。
【００６３】
尚、本発明は上記の実施形態に限定されずその目的と利点を損なわない適宜の変形を含む。また本発明は上記の実施形態に示した数値による限定は受けない。
【００６４】
ここで本発明の特徴をまとめて列挙すると次の付記のようになる。
【００６５】
（付記）
（付記１）
半導体回路のネットリストに基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する配線処理ステップと、
前記配線処理ステップで作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出するノイズ解析ステップと、
前記ノイズ解析ステップで抽出されたエラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を設定する配線条件変更ステップと、
前記エラーネットに対し第２隣接スペーシング条件を与えると共に、前記エラーネット以外のネットに前記第１隣接スペーシング条件を与え、前記ネットリストに基づいて再度配線処理を実行する再配線処理ステップと、
を備えたことを特徴とする配線方法。（１）
【００６６】
（付記２）
付記１記載の配線方法に於いて、
前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット名毎に設定した前記パラメータファイルを作成し、
前記再配線処理ステップは、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行することを特徴とする配線方法。（２）
【００６７】
（付記３）
付記１記載の配線方法に於いて、前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット種別に応じて設定した前記パラメータファイルを作成し、
前記再配線処理ステップは、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行することを特徴とする配線方法。（３）
【００６８】
（付記４）
付記１記載の配線方法に於いて、前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットのノイズエラーを解消する隣接スペーシング条件を配線層に応じて設定した前記パラメータファイルを作成し、
前記再配線処理ステップは、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行することを特徴とする配線方法。
【００６９】
（付記５）
付記２乃至４のいずれかに記載の配線方法に於いて、前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットの第２隣接スペーシング条件としてネット間距離又はネット間グリット数を設定した前記パラメータファイルを作成することを特徴とする配線方法。
【００７０】
（付記６）
付記１記載の配線方法に於いて、前記配線処理ステップは、前記第１隣接スペーシング条件として最小隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行することを特徴とする配線方法。
【００７１】
（付記７）
コンピュータに、
半導体回路のネットリストに基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する配線処理ステップと、
前記配線処理ステップで作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出するノイズ解析ステップと、
前記ノイズ解析ステップで抽出されたエラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を設定する配線条件変更ステップと、
前記エラーネットに対し第２隣接スペーシング条件を与えると共に、前記エラーネット以外のネットに前記第１隣接スペーシング条件を与え、前記ネットリストに基づいて再度配線処理を実行する再配線処理ステップと、
を実行させることを特徴とする配線プログラム。（４）
【００７２】
（付記８）
付記７記載の配線プログラムに於いて、
前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット名毎に設定したパラメータファイルを作成し、
前記再配線処理ステップは、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行することを特徴とする配線プログラム。
【００７３】
（付記９）
付記７記載の配線プログラムに於いて、前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット種別に応じて設定した前記パラメータファイルを作成し、
前記再配線処理ステップは、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行することを特徴とする配線プログラム。
【００７４】
（付記１０）
付記７記載の配線プログラムに於いて、前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットのノイズエラーを解消する隣接スペーシング条件を配線層に応じて設定した前記パラメータファイルを作成し、
前記再配線処理ステップは、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行することを特徴とする配線プログラム。
【００７５】
（付記１１）
付記８乃至１０のいずれかに記載の配線プログラムに於いて、前記配線条件変更ステップは、前記エラーネットの第２隣接スペーシング条件としてネット間距離又はネット間グリット数を設定した前記パラメータファイルを作成することを特徴とする配線プログラム。
【００７６】
（付記１２）
付記７記載の配線プログラムに於いて、前記配線処理ステップは、前記第１隣接スペーシング条件として最小隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行することを特徴とする配線プログラム。
【００７７】
（付記１３）
半導体回路のネットリストに基づいて配線違反とならない第１隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行する配線処理部と、
前記配線処理部で作成された配線のノイズ解析によりノイズエラーを起しているエラーネットを抽出するノイズ解析部と、
前記エラーネットに対しノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件を与えると共に、前記エラーネット以外のネットに前記第１隣接スペーシング条件を与えた状態で前記配線処理部にネットリストに基づいて再度配線処理を実行させる配線条件変更部と、
を備えたことを特徴とする配線装置。（５）
【００７８】
（付記１４）
付記１３記載の配線装置に於いて、
前記配線条件変更部は、前記エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット名毎に設定したパラメータファイルを作成し、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行させることを特徴とする配線装置。
【００７９】
（付記１５）
付記１３記載の配線装置に於いて、前記配線条件変更部は、前記エラーネットのノイズエラーを解消する第２隣接スペーシング条件をネット種別に応じて設定した前記パラメータファイルを作成し、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行させることを特徴とする配線装置。
【００８０】
（付記１６）
付記１３記載の配線装置に於いて、前記配線条件変更部は、前記エラーネットのノイズエラーを解消する隣接スペーシング条件を配線層に応じて設定した前記パラメータファイルを作成し、前記エラーネットに前記パラメータファイルの第２隣接スペーシング条件を与えて再度配線処理を実行させることを特徴とする配線装置。
【００８１】
（付記１７）
付記１４乃至１６のいずれかに記載の配線装置に於いて、前記配線条件変更部は、前記エラーネットの第２隣接スペーシング条件としてネット間距離又はネット間グリット数を設定した前記パラメータファイルを作成することを特徴とする配線装置。
【００８２】
（付記１８）
付記１３記載の配線装置に於いて、前記配線処理部は、前記第１隣接スペーシング条件として最小隣接スペーシング条件を与えて配線処理を実行することを特徴とする配線装置。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の原理説明図
【図２】ＬＳＩ設計システムの全体構成のブロック図
【図３】本発明による配線装置の機能構成のブロック図
【図４】図３の配線装置が適用されるコンピュータのハードウェア環境の説明図
【図５】図３のパラメータファイルの説明図
【図６】本発明によるエラーネットを解消する配線処理の説明図
【図７】本発明による配線処理のフローチャート
【符号の説明】
【００８４】
１０：システム設計部
１２：機能設計部
１４：論理設計部
１６：回路設計部
１８：レイアウト設計部
２０：設計検証部
２２：ＬＳＩ製造部
２４：配置処理部
２６：配線処理部
３０：配線装置
３２：ネットリスト
３４：パラメータファイル
３６：配線処理部
３８：レイアウトデータファイル
４０：ノイズ解析部
４２：配線条件変更部
４４：出力処理部
４６：マスクパターンデータ
４８：ネット名パラメータファイル
５０：ネット種別パラメータファイル
５２：配線層パラメータファイル
５４：チップ
５６−１，５６−２，５８−１，５８−２，６０−１，６０−２：セル
６２，６４，６６：ネット
【図１】
2006155120.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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