(57)【要約】      （修正有）【課題】スリットコーターにより平坦性が良好な膜を形成し得る着色感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、溶剤（Ｅ）および界面活性剤（Ｆ）を含有する着色感光性樹脂組成物であって、２３℃における該組成物の粘度が２．０ｍＰａ・ｓ以上５．０ｍＰａ・ｓ以下であり、該組成物２μＬをガラス基板上に滴下して０．２秒後の接触角が１０°以上２０°以下であり、かつ、溶剤（Ｅ）が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと３−エトキシプロピオン酸エチルとを含有し、界面活性剤（Ｆ）が、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有する化合物からなるシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、溶剤（Ｅ）および界面活性剤（Ｆ）を含有する着色感光性樹脂組成物であって、２３℃における該組成物の粘度が２．０ｍＰａ・ｓ以上５．０ｍＰａ・ｓ以下であり、かつ、１００μｍのラインアンドスペースパターンをパターンニング（膜厚：ａ）したガラス基板を水平面に対して３０度傾けてその上部に該組成物を１滴滴下し、ラインアンドスペースパターンに対して平行に滴下物を流下させた後、１００℃で３分間ベークした後の１００μｍのライン上とスペース上の膜段差をｂとしたとき、式（１）で表される平坦化率が０．２０以上１．００以下であり、
平坦化率：（ａ−ｂ）／ａ    （１）
かつ、該組成物２μＬをガラス基板上に滴下して０．２秒後の接触角が１０°以上２０°以下であり、かつ、溶剤（Ｅ）が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと３−エトキシプロピオン酸エチルとを含有し、該組成物中の溶剤（Ｅ）の含有量が、該組成物に対して質量分率で、８０質量％以上９５質量％以下であり、かつ、界面活性剤（Ｆ）が、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有する化合物からなるシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種であり、該界面活性剤の含有量が、該組成物の固形分に対して質量分率で、０．０１質量％以上０．１５質量％以下であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
バインダー樹脂（Ｂ）が、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体（該共重合体のポリスチレン換算重量平均分子量；１５，０００〜３５，０００、酸価；８０〜１３５）およびグリシジルメタクリレート／トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体と（メタ）アクリル酸の反応物（前記反応物のポリスチレン換算重量平均分子量；８，０００〜２０，０００、酸価；５０〜１２０）からなる群から選ばれる少なくとも１種の高分子化合物であり、光重合性化合物（Ｃ）の含有量が、バインダー樹脂（Ｂ）と光重合性化合物（Ｃ）との合計量に対して質量分率で、３５質量％〜６０質量％である請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１または２に記載の着色感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物から揮発成分を除去して着色感光性樹脂組成物膜を形成し、フォトマスクを介して前記膜を露光し、現像することを特徴とするパターンの形成方法。
【請求項４】
着色感光性樹脂組成物の塗布を、スピンレスコーターを用いて行う請求項３に記載の方法。
【請求項５】
請求項３または４に記載の方法により形成されたパターンを有してなることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項６】
請求項５に記載のカラーフィルタを有してなることを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
着色感光性樹脂組成物は、着色剤を含有する感光性樹脂組成物であって、カラーフィルタを構成する着色パターンを形成するための材料として有用である。
【０００３】
従来、ウエハーなどの被塗布基板上に着色感光性樹脂組成物を用いて膜を形成する方法としては、スピンコーターを用いる方法が知られている（例えば特許文献１参照）。しかし、スピンコーターを用いる方法では、１ｍ四方など広い面積のガラスなどの基板を回転させることが難しいので、基板を回転させないスリットコーターなどの省液コーターが開発されてきた。
【０００４】
そのスリットコーターなどの省液コーターによる膜の形成に用いることができる着色感光性樹脂組成物として、従来は着色剤、バインダー樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートおよび界面活性剤を含有する着色感光性樹脂組成物（粘度が７ｍＰａ・ｓ程度であり、当該組成物の２μＬをガラス基板上に滴下して０．２秒後の接触角が２２°程度である。）が知られている（例えば、特許文献２参照）が、該組成物をスリットコーターなどの省液コーターに適用した場合、塗布時に筋斑が発生し、形成される膜の平坦性が十分でないという問題があった。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−８８１３６号公報
【特許文献２】特開２００４−３１８１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、省液コーターにより平坦性が良好な膜を形成し得る着色感光性樹脂組成物を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、省液コーターに適用した場合、平坦性が良好な膜を形成し得る着色感光性樹脂組成物について鋭意検討した結果、粘度、特定の方法で測定した場合の接触角および特定の方法で測定した場合の平坦化率がある範囲にあり、ある種の化合物を含有した溶剤を一定の範囲の量含有し、一定の範囲の量の界面活性剤を含有してなる着色感光性樹脂組成物が、省液コーターに適用した場合、平坦性の良好な膜を形成し得ることを見出した。
【０００８】
すなわち本発明は、着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、溶剤（Ｅ）および界面活性剤（Ｆ）を含有する着色感光性樹脂組成物であって、２３℃における該組成物の粘度が２．０ｍＰａ・ｓ以上５．０ｍＰａ・ｓ以下であり、かつ、１００μｍのラインアンドスペースパターンをパターンニング（膜厚：ａ）したガラス基板を水平面に対して３０度傾けてその上部に該組成物を１滴滴下し、ラインアンドスペースパターンに対して平行に滴下物を流下させた後、１００℃で３分間ベークした後の１００μｍのライン上とスペース上の膜段差をｂとしたとき、式（１）
平坦化率：（ａ−ｂ）／ａ      （１）
で表される平坦化率が、０．２０以上１．００以下であり、かつ、該組成物２μＬをガラス基板上に滴下して０．２秒後の接触角が１０°以上２０°以下であり、かつ、溶剤（Ｅ）が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと３−エトキシプロピオン酸エチルとを含有し、該組成物中の溶剤（Ｅ）の含有量が、該組成物に対して質量分率で、８０質量％以上９５質量％以下であり、かつ、界面活性剤（Ｆ）が、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有する化合物からなるシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種であり、該界面活性剤の含有量が、該組成物の固形分に対して質量分率で、０．０１質量％以上０．１５質量％以下であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物を提供する。
また本発明は上記いずれかに記載の着色感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物から揮発成分を除去して着色感光性樹脂組成物からなる膜を形成し、フォトマスクを介して前記の膜を露光し、現像することを特徴とするパターンの形成方法を提供する。
また本発明は、着色感光性樹脂組成物の塗布を、スピンレスコーターを用いて行う前記記載の方法を提供する。
また本発明は、上記に記載の方法で形成されたパターンを有してなるカラーフィルタを提供する。
さらに本発明は、上記に記載のカラーフィルタを有してなる液晶表示装置を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の組成物によれば、スリットコーターなどの省液コーターに適用した場合、平坦性が良好な膜を形成することができ、カラーフィルタを構成する着色パターンを高い精度で形成することができるので、工業的に極めて有用である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、溶剤（Ｅ）および界面活性剤（Ｆ）を含有する着色感光性樹脂組成物であって、溶剤（Ｅ）が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと３−エトキシプロピオン酸エチルとを含有し、該組成物中の溶剤（Ｅ）の含有量が、該組成物に対して質量分率で、８０質量％以上９５質量％以下であり、かつ、界面活性剤（Ｆ）が、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有する化合物からなるシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種であり、該界面活性剤の含有量が、該組成物の固形分に対して質量分率で、０．０１質量％以上０．１５質量％以下であり、かつ、２３℃における該組成物の粘度が２．０ｍＰａ・ｓ以上５．０ｍＰａ・ｓ以下であり、かつ、１００μｍのラインアンドスペースパターンをパターンニング（膜厚：ａ）したガラス基板を水平面に対して３０度傾けてその上部に該組成物を１滴滴下し、ラインアンドスペースパターンに対して平行に滴下物を流下させた後、１００℃で３分間ベークした後の１００μｍのライン上とスペース上の膜段差をｂとしたとき、式（１）で表される平坦化率が０．２０以上１以下であり、
平坦化率：（ａ−ｂ）／ａ    （１）
かつ、該組成物２μＬをガラス基板上に滴下して０．２秒後の接触角が１０°以上２０°以下である。
【００１１】
本発明の着色感光性樹脂組成物の粘度は、粘度計（例えば、ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ  ＲＥ１２０Ｌ  ＳＹＳＴＥＭ；東機産業（株）製など。）を用いて、液温２３℃において、装置の回転子の回転速度を一定（通常、５０ｒｐｍ）に保つことで測定することができる。本発明の着色感光性樹脂組成物の粘度は、粘度計（ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ  ＲＥ１２０Ｌ  ＳＹＳＴＥＭ；東機産業（株）製）を用いて、液温２３℃、回転速度５０ｒｐｍで測定すると、２．０ｍＰａ・ｓ以上５．０ｍＰａ・ｓ以下であり、好ましくは２．１ｍＰａ・ｓ以上４．５ｍＰａ・ｓ以下であり、より好ましくは２．２ｍＰａ・ｓ以上４．０ｍＰａ・ｓ以下である。組成物の粘度が２．０ｍＰａ・ｓ以上５．０ｍＰａ・ｓ以下であると、省液コーターにより平坦性が良好な膜を得ることができる。
【００１２】
前記した平坦化率（（ａ−ｂ）／ａにより算出される。）は、１００μｍのラインアンドスペースパターンをパターンニング（膜厚：ａ）したガラス基板を用意し、ガラス基板を含む平面と水平面が交わって生じる直線とラインアンドスペースパターンのパターン方向を示す直線が直交するようにしてガラス基板を３０度傾け、その上部（傾けたガラス基板の高い方）に前記の組成物を１滴滴下し、ラインアンドスペースパターンに対して平行方向に該組成物の滴下物を流下させた後、１００℃で３分間ベークした後の１００μｍのライン上とスペース上の膜段差から前記式（１）により算出される値であり、０．２０以上であり、好ましくは０．２２以上であり、より好ましくは０．２４以上であり、さらに好ましくは０．２６以上である。平坦化率が、０．２０以上であると、省液コーターにより良好な膜を得ることができる。
【００１３】
前記した接触角は、ガラス基板（清浄なガラス基板が好ましい）上に着色感光性樹脂組成物を２μＬ滴下し、滴下０．２秒後の接触角を接触角測定装置（例えば、ＤＧＤ  Ｆａｓｔ／６０  Ｃｏｎｔａｃｔ  Ａｎｇｌｅ  Ｍｅｔｅｒ；ＧＢＸ社製）を用いて測定する。前記の接触角は、１０°以上２０°以下であり、好ましくは１０°以上１５°以下である。前記した接触角が１０°以上または２０°以下であると、省液コーターにより良好な膜を得ることができる。
【００１４】
接触角の測定に用いる基板としては、カラーフィルタの形成に用いる清浄なガラス基板が挙げられる。ガラス基板としては、例えば、ダウコーニング社製の＃１７３７（商品名）などを用いることができる。ガラス基板を清浄にするためには、例えば、ガラス基板をアセトンなどの溶剤中で、超音波洗浄を行うことにより、基板上の異物を除去する方法などが挙げられる。
【００１５】
本発明において用いられる着色剤（Ａ）は、有機顔料、無機顔料のいずれであってもよい。中でも、耐熱性、発色性に優れていることから、有機顔料が好ましく用いられる。
【００１６】
前記の有機顔料および無機顔料としては、例えば、カラーインデックス（The  Society  of  Dyers  and  Colourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されている化合物などが挙げられる。
【００１７】
具体的には、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、同（以下「同」を省略する。）３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１９４、２１４などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５、７１、７３などのオレンジ色の顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０などの青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８などのバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５などのブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７などの黒色顔料などが挙げられる。
【００１８】
これらの中で、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッドバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６およびＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６から選ばれる少なくとも一つの顔料が好ましい。
【００１９】
これらの有機顔料および無機顔料は、それぞれ単独でも、２種以上を混合して用いてもよい。
例えば、赤色画素を形成するには、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９およびＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９を含有していることが、緑色画素を形成するには、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６ならびにＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０およびＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８からなる群から選ばれる少なくとも１種を含有していることが、青色画素を形成するには、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を含有していることが、それぞれ好ましい。
【００２０】
前記の顔料には、必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、または不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン交換法などによるイオン性不純物の除去処理などが施されていてもよい。
【００２１】
着色剤（Ａ）の含有量は、該組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは２５質量％以上６０質量％以下であり、より好ましくは２７質量％以上５５質量％以下であり、とりわけ好ましくは３０質量％以上５０質量％以下である。着色剤（Ａ）の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタとしたときの色濃度が十分であるため好ましい。
【００２２】
着色剤（Ａ）として用いられる顔料は、その粒径が均一であることが好ましい。顔料の粒径を均一とする方法としては、例えば、後述する（Ｆ）成分以外の界面活性剤を顔料分散剤として含有させて分散処理を行う方法などが挙げられ、このような方法によれば、顔料が溶液中で均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。
【００２３】
前記顔料分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。顔料分散剤を用いる際、その使用量は、着色剤１質量部あたり、好ましくは０．０１質量部以上１質量部以下、より好ましくは０．０５質量部以上０．５質量部以下である。前記顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な粒径の顔料が得られる傾向があるため好ましい。
【００２４】
本発明において用いられるバインダー樹脂（Ｂ）としては、例えば、アルカリ可溶性共重合体が挙げられる。アルカリ可溶性共重合体としては、例えば、カルボキシル基含有モノマーに対して共重合可能な他のモノマーとカルボキシル基含有モノマーとの共重合体などが挙げられる。
【００２５】
カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。
【００２６】
ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙げられる。
不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。
【００２７】
不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物であってもよく、具体的には、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などが挙げられる。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ（２−メタクリロイロキシアルキル）エステルであってもよく、例えば、こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、こはく酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）などが挙げられる。さらに、不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ（メタ）アクリレートであってもよく、例えば、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどが挙げられる。これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独で用いても２種以上を混合して用いてもよい。
【００２８】
前記のカルボキシル基含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニル化合物；
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルアクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブチルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、２−フェノキシエチルアクリレート、２−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキシプロピレングリコールアクリレート、メトキシプロピレングリコールメタクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類；
２−アミノエチルアクリレート、２−アミノエチルメタクリレート、２−ジメチルアミノエチルアクリレート、２−ジメチルアミノエチルメタクリレート、２−アミノプロピルアクリレート、２−アミノプロピルメタクリレート、２−ジメチルアミノプロピルアクリレート、２−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、３−アミノプロピルアクリレート、３−アミノプロピルメタクリレート、３−ジメチルアミノプロピルアクリレート、３−ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類；
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類；
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物；
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類；
マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類；
１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類；
ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−ｎ−ブチルアクリレート、ポリ−ｎ−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。
これらのモノマーは、それぞれ単独でも２種以上を混合して用いてもよい。
【００２９】
前記の共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、質量分率で、好ましくは１０〜５０質量％、より好ましくは１５〜４０質量％、とりわけ好ましくは２０〜４０質量％である。カルボキシル基含有モノマー単位の含有量が前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が良好であり、現像時にパターンが正確に形成される傾向があるため好ましい。
【００３０】
前記のアルカリ可溶性共重合体としては、好ましくは、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体（該共重合体のポリスチレン換算重量平均分子量；１５，０００〜３５，０００、酸価；８０〜１３５）およびグリシジルメタクリレート／トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体と（メタ）アクリル酸の反応物（前記反応物のポリスチレン換算重量平均分子量；８，０００〜２０，０００、酸価；５０〜１２０）からなる群から選ばれる少なくとも１種の高分子化合物が挙げられる。
さらに、本発明の効果を損わない範囲であれば、他のアルカリ可溶性共重合体を併用してもよい。
前記の併用してもよいアルカリ可溶性共重合体としては、例えば、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／アリル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／グリシジルメタクリレート／トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体などが挙げられ、好ましくは（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体が挙げられる。
なお、本明細書において、（メタ）アクリレートとは、アクリレートおよびメタクリレートからなる群から選ばれる少なくとも１種を、また（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸およびメタアクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも１種を、それぞれ、意味する。
【００３１】
前記の併用してもよいアルカリ可溶性共重合体において、そのポリスチレン換算重量平均分子量が、好ましくは５，０００〜５０，０００であり、より好ましくは６，０００〜４５，０００であり、とりわけ好ましくは７，０００〜４０，０００であり、さらに好ましくは８，０００〜３５，０００である。重量平均分子量が前記の範囲にあると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあるため好ましい。
【００３２】
前記の併用してもよいアルカリ可溶性共重合体において、その酸価は、好ましくは５０〜１５０であり、より好ましくは５０〜１４５、よりとりわけ好ましくは５０〜１４０、さらに好ましくは５０〜１３５である。酸価が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があるため好ましい。
【００３３】
ここで、酸価とは、１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００３４】
バインダー樹脂（Ｂ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは５質量％以上２６質量％以下、より好ましくは１０質量％以上２６質量％以下、よりとりわけ好ましくは１５質量％以上２６質量％以下である。バインダー樹脂（Ｂ）の含有量が前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾向にあるため好ましい。
【００３５】
本発明において用いられる光重合性化合物（Ｃ）は、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合し得る化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
【００３６】
光重合性化合物（Ｃ）は、３官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。３官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。光重合性化合物（Ｃ）は、それぞれ単独でも２種以上組み合わせて用いてもよい。
【００３７】
光重合性化合物（Ｃ）の含有量は、バインダー樹脂（Ｂ）と光重合性化合物（Ｃ）との合計量に対して質量分率で、好ましくは３５質量％以上６０質量％以下、より好ましくは３７質量％以上５８質量％以下、とりわけ好ましくは３９質量％以上５６質量％以下、さらに好ましくは４０質量％以上５５質量％以下である。光重合性化合物（Ｃ）の含有量が前記の範囲にあると、硬化が十分に起こり残膜率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があるため好ましい。
【００３８】
本発明の着色感光性樹脂組成物は光重合開始剤（Ｄ）を含有する。光重合開始剤（Ｄ）は、少なくとも１種のアセトフェノン系化合物を含むことが好ましい。
前記の光重合開始剤（Ｄ）としては、アセトフェノン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物、酸発生剤、活性ラジカル発生剤などが挙げられる。
【００３９】
前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられる。これらの中で、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンが好ましく使用される。
【００４０】
前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００４１】
前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００４２】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００４３】
前記のトリアジン系化合物としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００４４】
前記のオキシム系化合物としては、例えば、Ｏ−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−ブタン−１，２−ジオン２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタン−１，２−ジオン２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−ブタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート等が挙げられる。
【００４５】
前記の酸発生剤としては、例えば、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
【００４６】
前記の活性ラジカル発生剤として、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００４７】
また、活性ラジカル発生剤である上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もある。例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
【００４８】
光重合開始剤（Ｄ）の含有量は、バインダー樹脂（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量に対して質量分率で、好ましくは０．１質量％以上２０質量％以下、より好ましくは１質量％以上１５質量％以下である。
光重合開始剤（Ｄ）の含有量が前記の範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上する傾向があるため好ましい。
【００４９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらに、光重合開始助剤（Ｇ）を含有してもよい。光重合開始助剤（Ｇ）を用いる際には、通常、光重合開始剤（Ｄ）と組み合わせて用いられ、光重合開始剤（Ｄ）によって重合が開始された光重合性化合物（Ｃ）の重合をさらに促進するために用いられる。光重合開始助剤（Ｇ）としては、例えば、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
【００５０】
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましく使用される。
【００５１】
前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００５２】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００５３】
光重合開始剤（Ｄ）は、単独でも複数を組み合わせて使用しても差し支えない。また、光重合開始助剤（Ｇ）として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤（Ｇ）としては、例えば、商品名「ＥＡＢ−Ｆ」（保土谷化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００５４】
本発明の着色感光性樹脂組成物において、光重合開始助剤（Ｇ）を用いる場合、光重合開始剤（Ｄ）および光重合開始助剤（Ｇ）の組み合わせとしては、例えば、ジエトキシアセトフェノン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマー／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが挙げられる。
【００５５】
光重合開始助剤（Ｇ）を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤（Ｄ）１モルあたり、好ましくは０．０１モル以上１０モル以下、好ましくは０．０１モル以上５モル以下である。
【００５６】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤（Ｅ）を含有する。
前記の溶剤として、３−エトキシプロピオン酸エチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとを含む溶剤が好ましく用いられる。該溶剤中の３−エトキシプロピオン酸エチルの含有量は、溶剤の合計量に対して質量分率で、好ましくは３〜５０質量％であり、より好ましくは５〜４５質量％、とりわけ好ましくは７〜４０質量％、さらに好ましくは９〜３５質量％である。また、該溶剤中のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含有量は、好ましくは５０〜９７質量％であり、より好ましくは５５〜９５質量％、とりわけ好ましくは６０〜９３質量％、さらに好ましくは６５〜９１質量％である。
溶剤（Ｅ）には、３−エトキシプロピオン酸エチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート以外の溶剤が含まれていてもよく、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
【００５７】
前記のエーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
【００５８】
前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
【００５９】
前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
【００６０】
前記のアミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
前記の溶剤は、それぞれ単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００６１】
本発明の着色感光性樹脂組成物中の溶剤（Ｅ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは８０質量％以上９５質量％以下、より好ましくは８５質量％以上９０質量％以下である。溶剤（Ｅ）の含有量が、前記の範囲にあると、塗布時の平坦性が良好で、またカラーフィルタを形成した際の色濃度が十分で表示特性が良好であるため好ましい。
【００６２】
本発明で用いられる界面活性剤（Ｆ）としては、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種の界面活性剤が挙げられる。
【００６３】
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、シロキサン結合を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ（商品名）、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ（商品名）、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ（商品名）、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ（商品名）、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ（商品名）、トーレシリコーン２９ＳＨＰＡ（商品名）、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ（商品名）、ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（商品名）（トーレシリコーン（株）製）、ＫＰ３２１（商品名）、ＫＰ３２２（商品名）、ＫＰ３２３（商品名）、ＫＰ３２４（商品名）、ＫＰ３２６（商品名）、ＫＰ３４０（商品名）、ＫＰ３４１（商品名）（信越シリコーン製）、ＴＳＦ４００（商品名）、ＴＳＦ４０１（商品名）、ＴＳＦ４１０（商品名）、ＴＳＦ４３００（商品名）、ＴＳＦ４４４０（商品名）、ＴＳＦ４４４５（商品名）、ＴＳＦ−４４４６（商品名）、ＴＳＦ４４５２（商品名）、ＴＳＦ４４６０（商品名）（ジーイー東芝シリコーン（株）製）などが挙げられる。
【００６４】
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、例えば、シロキサン結合およびフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、メガファックＲ０８（商品名）、メガファックＢＬ２０（商品名）、メガファックＦ４７５（商品名）、メガファックＦ４７７（商品名）、メガファックＦ４４３（商品名）（大日本インキ化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００６５】
これらの界面活性剤は、単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの中でも、ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（商品名）（トーレシリコーン（株）製）、メガファックＦ４７５（商品名）、が好ましく用いられる。
【００６６】
界面活性剤（Ｆ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは０．０１質量％以上０．１５質量％以下、より好ましくは０．０１５質量％以上０．１３質量％以下、とりわけ好ましくは０．０２質量％以上０．１２質量％以下である。界面活性剤の含有量が前記の範囲にあると、得られる塗膜の平坦性がさらに良好となる傾向があるため好ましい。
【００６７】
本発明の着色感光性樹脂組成物を調製する方法としては、例えば、界面活性剤を除く成分を混合したのち、界面活性剤を添加して、接触角、平坦化率を所定の範囲に入るように調節する方法、予め、予備的に界面活性剤の添加量と接触角、平坦化率との関係を求めておき、その添加量に基づいて各成分を一括して混合する方法などが挙げられる。
【００６８】
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに、充填剤、バインダー樹脂以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミン化合物、硬化剤などの添加剤が含有されていてもよい。
【００６９】
前記の充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナなどの微粒子が挙げられる。
【００７０】
前記のバインダー樹脂（Ｂ）以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００７１】
前記の密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００７２】
前記の酸化防止剤としては、例えば、４，４’−チオビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノールなどが挙げられる。
【００７３】
前記の紫外線吸収剤としては、例えば、２−（２−ヒドロキシ−３−ｔｅｒｔ−ブチル−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾール系化合物、２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系、２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル−３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系化合物、２−（４，６−ジフェニル−１，３，５−トリアジン−２−イル）−５−ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系化合物などが挙げられる。
【００７４】
前記の凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００７５】
前記の有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類；
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類；
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類；
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類；
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類；
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
【００７６】
前記の有機アミン化合物としては、例えば、ｎ―プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、イソブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔｅｒｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類；シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類；メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔｅｒｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類；メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類；
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類；
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔｅｒｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類；
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類；
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類；
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類；４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類；
ジエタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジイソブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類；
ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジシクロアルカノールアミン類；
トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類；
トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類；
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類；
４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類；
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類；
１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類；
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類；アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−イソプロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類；
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類；ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類；ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
【００７７】
前記の硬化剤としては、例えば、加熱されることによってバインダー樹脂中のカルボキシル基と反応してバインダー樹脂を架橋することができる化合物、硬化剤単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物などが挙げられる。バインダー樹脂を架橋することができる化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
【００７８】
前記のエポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００７９】
前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００８０】
硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記の化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００８１】
前記の多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類；
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類；
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００８２】
前記の多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類；
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類；
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類；
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００８３】
前記のカルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記のエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「アデカハードナーＥＨ−７００」（旭電化工業（株）製）、商品名「リカシッドＨＨ」（新日本理化（株）製）、商品名「ＭＨ−７００」（新日本理化（株）製）などが挙げられる。
前記の酸発生剤としては、前記と同じものが挙げられる。
【００８４】
前記の硬化剤は、それぞれ単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００８５】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて基板上にパターンを形成し、該パターンを有してなるカラーフィルタを製造する方法としては、例えば、本発明の着色感光性樹脂組成物を、基板または基板の上に先に形成した固体の着色感光性樹脂組成物膜（以下、これを基板等ということがある。）の上に塗布して、塗布された着色感光性樹脂組成物から溶剤など揮発成分を加熱するなどにより除去して、着色感光性樹脂組成物膜を形成し、当該膜をフォトマスクを介して露光したのち、現像する方法などが挙げられる。
【００８６】
基板としては、例えば、ガラス基板、シリコン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板、Ａｌ基板、ＧａＡｓ基板などの表面が平坦な基板が挙げられる。これらの基板は、シランカップリング剤などの薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理などの前処理が施されていてもよい。基板としてシリコン基板などを用いる場合、前記シリコン基板などの表面には電荷結合素子（ＣＣＤ）、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）などが形成されていてもよい。
【００８７】
前記の基板の上に着色感光性樹脂組成物を塗布する方法としては、例えば、従来のスピンコーターを用いる方法、スピンレスコーターを用いる方法が挙げられ、スピンレスコーターの中でもスリットコーターなどの省液コーターを用いる方法が好ましく、中でもスリットコーターを用いる方法が好ましい。
【００８８】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する好ましい方法としては、本発明の着色感光性樹脂組成物を、スリットコーターなどの省液コーターを用いて基板等の上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を加熱により揮発させる方法が挙げられる。このようにして、基板等の上に着色感光性樹脂組成物の固形分からなる膜が平坦性よく形成される。
ここで、「平坦性」については、プリベークされた着色感光性樹脂組成物層を有する基板にＮａランプを照射し、種々の角度から該層の表面状態が観察され、その結果、ムラが発生していないかどうかを、次の基準に基づいて決定される。目視により、筋および塗膜が不均一に見える場合、ムラが発生していると判断する。
【００８９】
本発明によれば、平坦性が良好な膜を形成し得る着色感光性樹脂組成物を提供することが可能となる。
【００９０】
パターンを形成するには、下記の方法が例示される。ガラス基板（例えば、＃１７３７；コーニング社製）の表面上に、着色感光性樹脂組成物をスリットコート法で塗布した後、例えば、１００℃で３分間、加熱して揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層を形成する。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層にフォトマスクを用いてｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射する。ｉ線の光源には、例えば、超高圧水銀ランプ（ＨＢ−７５１０５ＡＡ  ＯＰ１；ウシオ電機（株）製）が用いられ、照射光量としては、例えば、１５０ｍＪ／ｃｍ２程度である。次いで、現像液（質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含有する水溶液）に浸漬して現像し、純水で洗浄後、ガラス基板の着色層が得られる。その後、２２０℃で２０分間加熱処理を行う。こうして、着色層からパターンを形成することができる。
次に、カラーフィルタを製造するには、下記の方法が例示される。ガラス基板（＃１７３７；コーニング社製）の表面上に、着色感光性樹脂組成物（例えば赤色組成物）をスリットコート法で塗布した後、１００℃で３分間加熱して揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層を形成する。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介してガラス１／３に亙ってｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射する。ｉ線の光源としては、例えば、超高圧水銀ランプ（例えば、ＨＢ−７５１０５ＡＡ  ＯＰ１；ウシオ電機（株）製）が用いられ、照射光量としては通常１５０ｍＪ／ｃｍ２程度である。次いで、現像液（質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含有する水溶液）に浸漬して現像し、純水で洗浄すると、ガラス基板の１／３面に亙って形成された着色層が得られる。その後、２２０℃で２０分間加熱処理を行う。次いで、上記の各工程を異なる色相の着色感光性樹脂組成物を用いて繰り返し、カラーフィルタを得ることができる。
【００９１】
該組成物を用いて形成されるパターンは、平坦性が良好であることから、カラーフィルタを構成する着色パターンを形成するための材料として好適に使用し得る。
【００９２】
次に、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造する方法の一例を説明する。上記により得られたカラーフィルタ上に、透明保護膜を形成し、さらにその上にＩＴＯ膜などの透明電極を製膜する。次に、このカラーフィルタ基板と、金属蒸着膜などの反射電極が形成された反射電極基板とを、さらにそれらの基板上に設けられた液晶配向のためのラビング処理を施した液晶配向膜、およびセルギャップ保持のためのスペーサーを介して、対向させて貼りあわせる。なお、反射電極基板上には、反射電極以外に、光拡散用の突起物、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子や薄膜ダイオード（ＴＦＤ）素子、および走査線、信号線などを設け、ＴＦＴ液晶表示装置や、ＴＦＤ液晶表示装置を作成することができる。バックライトを有する場合は、液晶ディスプレイの背面に配置する。エッジライト型では光透過率の優れたアクリル樹脂などを導光板として用い、その二辺または一辺にＬＥＤ光源を設置して、導光板の裏面には反射部を加工し、反射板を加工した反対側にプリズムシート、拡散板などを配置することができる。フロントライトを有する場合は、液晶ディスプレイの前面に配置する。透明樹脂などでできた導光板の上部に反射板とＬＥＤ光源を配置することができる。次に、シール部に設けられた注入口から液晶を注入した後に、注入口を封止する。最後に、ＩＣドライバー等を実装することにより液晶表示装置を製造することができる。
【実施例】
【００９３】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、本発明を実施例によってより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではないことはいうまでもない。
【００９４】
＜樹脂Ｂの合成＞
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１８２ｇを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、１００℃に昇温後、ベンジルメタクリレート７０．５ｇ（０．４０モル）、メタクリル酸４３．０ｇ（０．５モル）、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート（日立化成（株）製ＦＡ−５１３Ｍ）２２．０ｇ（０．１０モル）およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１３６ｇからなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル３．６ｇを添加した溶液を滴下ロートから２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート３５．５ｇ［０．２５モル、（本反応に用いたメタクリル酸のカルボキシル基に対して５０モル％）］、トリスジメチルアミノメチルフェノール０．９ｇおよびハイドロキノン０．１４５ｇをフラスコ内に投入し、１１０℃で６時間反応を続け、固形分酸価が７９ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂Ｂを得た。ＧＰＣ法により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は、１３，０００で、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は２．１であった。
【００９５】
上記のバインダー樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量の測定については、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行った。
装置；ＨＬＣ-８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ
カラム温度；４０℃
溶媒；ＴＨＦ
流速；１．０ｍＬ／ｍｉｎ
被検液固型分濃度；０．００１〜０．０１質量％
注入量；５０μＬ
検出器；ＲＩ
校正用標準物質；ＴＳＫ  ＳＴＡＮＤＡＲＤ  ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ  Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製）
【００９６】
実施例の平坦性試験のためのラインアンドスペースパターンをパターンニングしたガラス基板を次のようにして作製した。
〔着色感光性樹脂組成物の製造〕
（Ａ）Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６（２．２９５質量部）、
（Ａ）Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０（１．０５５質量部）、
（Ｂ）メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との組成比は物質量比（モル比）で３５：６５、重量平均分子量（Ｍｗ）は３５，０００〕（２．４４１質量部）、
（Ｃ）ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（商品名）；日本化薬（株）製）（１．４６４質量部）、
（Ｄ）２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン（０．５８６質量部）、
（Ｇ）４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（ＥＡＢ−Ｆ（商品名）；保土谷化学工業（株）製）（０．１９５質量部）、
（Ｈ）エポキシ化合物（スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０（商品名）；住友化学（株）製）（０．９７６質量部）
ポリエステル系分散剤（０．９８８質量部）および
（Ｅ）プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（３６．５質量部）
を混合して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【００９７】
〔着色膜の形成〕
ガラス基板（＃１７３７（商品名）；コーニング社製）の表面上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物（緑色）をスピンコート法で塗布した後、１００℃３分間で揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層を形成した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射して露光した。ｉ線の光源には超高圧水銀ランプを用い、平行光としてから照射した。照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。フォトマスクとしては、線幅３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍおよび１００μｍの線状の色画素を形成するためのフォトマスクを用いた。次いで露光後のガラス基板〔表面には着色感光性樹脂組成物層が形成されている。〕を２５℃の現像液〔質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含む水溶液。〕に１２０秒間浸漬して現像し、純水で洗浄したのち、２２０℃で２０分間加熱して、緑色画素（膜厚：１．６５μｍ）を形成した。こうして緑色のラインアンドスペースパターンをパターンニングしたガラス基板を得た。
【００９８】
本実施例で用いる成分は以下の通りで、以下、省略して表示することがある。
（Ａ−１）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６
（Ａ−２）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３
（Ａ−３）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４
（Ａ−４）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９
（Ｂ−１）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０２、ポリスチレン換算重量平均分子量は２４，０００
（Ｂ−２）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２４，０００
（Ｂ−３）樹脂Ｂ
（Ｃ）光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（Ｄ−１）光重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン
（Ｄ−２）光重合開始剤：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン
（Ｄ−３）光重合開始剤：２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン
（Ｇ−１）光重合開始助剤：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
（Ｇ−２）光重合開始助剤：２，４−ジエチルチオキサントン
（Ｅ−１）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
（Ｅ−２）溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル
（Ｆ−１）界面活性剤：Ｆ４７５（商品名）（大日本インキ化学工業（株）製）
（Ｆ−２）界面活性剤：ＳＨ８４００（商品名）（トーレシリコーン（株）製）
（Ｆ−３）界面活性剤：Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）
（Ｈ）エポキシ化合物；スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０（商品名）（住友化学（株）製）
【００９９】
実施例１−６、比較例１−５
〔着色感光性樹脂プレ組成物１の調製〕
（Ａ−１）              ３．８８８質量部
（Ａ−２）              ０．４３２質量部
ポリエステル系分散剤    ２．０１４質量部
（Ｂ−２）              ４．１２７質量部
（Ｃ）                  ２．７５１質量部
（Ｄ−１）              ０．８２５質量部
（Ｇ−１）              ０．２７５質量部
（Ｅ−１）            ５１．０００質量部
（Ｅ−２）            ３４．０００質量部
（Ｈ）                  ０．６８８質量部
を混合して着色感光性樹脂プレ組成物１を得た。
【０１００】
着色感光性樹脂プレ組成物１に
（Ｆ−２）  ０．０００８質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物１−１を、
（Ｆ−２）  ０．００１５質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物１−２を、
（Ｆ−２）  ０．００３０質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物１−３を、
（Ｆ−２）  ０．００６０質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物１−４を、
（Ｆ−２）  ０．００９０質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物１−５を、
（Ｆ−２）  ０．０１２０質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物１−６を、
（Ｆ−１）  ０．００３０質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物１−７を、
（Ｆ−３）  ０．００３０質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物１−８を、
（Ｆ−２）  ０．００６０質量部と（Ｆ−３）  ０．００３０質量部とを混合し、着色感光性樹脂組成物１−９を、
（Ｆ−１）  ０．０１２０質量部を混合し、着色感光性樹脂組成物１−１０を、
それぞれ得た。
【０１０１】
〔接触角評価〕
接触角測定装置（ＤＧＤ  Ｆａｓｔ／６０型Ｃｏｎｔａｃｔ  Ａｎｇｌｅ  Ｍｅｔｅｒ；ＧＢＸ社製）を使用し、アセトンで洗浄後のガラス（＃１７３７（商品名）；コーニング社製）上に、着色感光性樹脂組成物１〜１−９を２μＬ滴下し、滴下後、０．２秒後の接触角、飽和した１秒後の接触角は、それぞれ以下の通りであった。
【０１０２】
2006259708.tif 000002
【０１０３】
〔粘度評価〕
粘度測定装置（ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ  ＲＥ１２０Ｌ  ＳＹＳＴＥＭ型（東機産業（株）製））を使用し、２３℃での着色感光性樹脂組成物１〜１−１０の粘度を測定したところ、５０ｒｐｍでの粘度は、いずれも４．１ｍＰａ・ｓであった。
【０１０４】
〔平坦性評価〕
先に作成した緑色画素中の１００μｍのラインアンドスペースパターンをパターンニング（膜厚：ａ）したガラス基板を３０度傾けたのち、その上部に着色感光性樹脂組成物１〜１−１０をそれぞれ１滴滴下し、ラインアンドスペースパターンに対して平行に滴下物を流下させた後、５分保持、その後、１００℃で３分間ベークした後の１００μｍのライン上とスペース上の膜段差をｂとした時、平坦化率：（ａ−ｂ）／ａは以下の通りであった。
【０１０５】
2006259708.tif 000003
【０１０６】
〔スリットコーターでの評価〕
得られた着色感光性樹脂組成物１〜１−１０を、一部に顔料凝集物が付着したスリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、以下のような結果であった。
なお、ムラは、暗室内で塗布した基板をナトリウムランプおよびグリーンランプで照射し、種々の角度から基板を観察したときに、目視で観察される筋および塗膜が不均一に見えることを示し、ムラのないものを平坦性良好と判断した。
【０１０７】
2006259708.tif 000004
【０１０８】
実施例７〜１０、比較例６
〔着色感光性樹脂組成物２の調製〕
比較例１および実施例１〜６で用いられた着色感光性樹脂組成物１、１−３〜１−６において、（Ｂ−２）成分の含有量を３．１６４質量部、（Ｃ）成分の含有量を３．７１４質量部に変更する以外は同様にして、着色感光性樹脂組成物２、２−３〜２−６を得た。
〔接触角評価〕
【０１０９】
実施例１〜６と同様にして着色感光性樹脂組成物２、２−３〜２−６の接触角を測定したところ、以下の通りであった。
【０１１０】
2006259708.tif 000005
【０１１１】
〔粘度評価〕
実施例１〜６と同様にして、２３℃での着色感光性樹脂組成物２、２−３〜２−６の粘度を測定したところ、５０ｒｐｍでの粘度は、いずれも３．８ｍＰａ・ｓであった。
【０１１２】
〔平坦性評価〕
実施例１と同様にして、平坦化率を求めると以下の通りであった。
【０１１３】
2006259708.tif 000006
【０１１４】
〔スリットコーターでの評価〕
得られた着色感光性樹脂組成物２〜２−４を、一部に顔料凝集物が付着したスリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、以下のような結果であった。
【０１１５】
2006259708.tif 000007
【０１１６】
比較例７
〔着色感光性樹脂組成物３の調製〕
（Ａ−３）              ５．２９３質量部
（Ａ−４）              １．４０７質量部
ポリエステル系分散剤    ２．５４０質量部
（Ｂ−１）              ５．４６６質量部
（Ｃ）                  ３．６４４質量部
（Ｄ−２）              ０．５４７質量部
（Ｄ−３）              ０．５４７質量部
（Ｇ−２）              ０．５４７質量部
（Ｅ−１）            ７９．９１０質量部
（Ｆ−２）              ０．０１０質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物３を得た。
【０１１７】
〔接触角評価〕
実施例１と同様にして着色感光性樹脂組成物３の接触角を測定したところ、０．２秒後の接触角が２１．５°であった。飽和した１秒後の接触角は１９．２°であった。
【０１１８】
〔粘度評価〕
実施例１〜６と同様にして着色感光性樹脂組成物３の粘度を測定したところ、６．８ｍＰａ・ｓであった。
【０１１９】
〔平坦性評価〕
実施例１〜６と同様にして、平坦化率を求めると以下の通りであった。
【０１２０】
2006259708.tif 000008
【０１２１】
〔スリットコーターでの評価〕
得られた着色感光性樹脂組成物を、スリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、ムラのある塗膜が得られた。一部に顔料凝集物が付着したスリットコーターを用いて塗膜を形成した場合にも、スリットコーターの顔料凝集物付着部が通過した部分に筋状のムラを有し、平坦性の不良な塗膜が得られた。
【０１２２】
実施例１１〜１４、比較例８
〔着色感光性樹脂組成物４の調製〕
実施例１〜６の（Ｂ−２）４．１２７質量部を（Ｂ−３）３．４３９質量部、（Ｃ）を３．４３９質量部に変更する以外は全て同様にして、着色感光性樹脂組成物４、４−３〜４−６を得た。
【０１２３】
〔接触角評価〕
実施例１〜６と同様にして着色感光性樹脂組成物４、４−３〜４−６の接触角を測定したところ、以下の通りであった。
【０１２４】
2006259708.tif 000009
【０１２５】
〔粘度評価〕
実施例１〜６と同様にして、２３℃での着色感光性樹脂組成物４、４−１〜４の粘度を測定したところ、５０ｒｐｍでの粘度は３．３ｍＰａ・ｓであった。
【０１２６】
〔平坦性評価〕
実施例１と同様にして、平坦化率を求めると以下の通りであった。
【０１２７】
2006259708.tif 000010
【０１２８】
〔スリットコーターでの評価〕
得られた着色感光性樹脂組成物４、４−３〜６を、一部に顔料凝集物が付着したスリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、以下のような結果であった。
【０１２９】
2006259708.tif 000011