(57)【要約】【課題】  デバイス形状に起因する誤検出を防止するデバイスホルダを実現する。【解決手段】  真空吸引孔が設けられたベースプレートと、このベースプレートに一面が接して設けられたリング状のガスケットと、このガスケットの他面に一面が接して設けられ前記デバイスが挿入されるガイドプレートとを具備したことを特徴とするデバイスホルダである。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空吸引孔が設けられたベースプレートと、
このベースプレートに一面が接して設けられたリング状のガスケットと、
このガスケットの他面に一面が接して設けられ前記デバイスが挿入されるガイドプレートと
を具備したことを特徴とするデバイスホルダー。
【請求項２】
前記ガスケットは、内径が前記デバイスの外形よりわずかに小さい穴を有するリング状のガスケットが使用されたこと
を特徴とする請求項１記載のデバイスホルダ。
【請求項３】
前記ガスケットは導電性，耐熱性を有する弾性材料が使用されたこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載のデバイスホルダ。
【請求項４】
前記ガスケットはエチレンプロピレンゴムの発泡体が使用されたこと
を特徴とする請求項３記載のデバイスホルダ。
【請求項５】
前記真空吸引孔の吸引力に基づく圧力信号に基づき前記デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かの信号を発する配置信号発生器
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のデバイスホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイスが挿入されるデバイスホルダに関するものである。
更に詳述すれば、例えば、水平搬送ハンドラのデバイスポケットに使用されるデバイスホルダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
デバイスホルダに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【特許文献１】特開２００２-２５７５１０号公報
【０００３】
図１０は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図で、水平ハンドラーのロードシャトルに使用された例を示す。
水平ハンドラーにおけるロードシャトルＡは、搬送されてきたディバイスＢを、ベース基板１に設けられた凹状のポケット２の中央のくぼみに入れ、必要に応じて,ディバイスＢの向きを図面の紙面内で、任意の方向に回転させて、搬送する機能・動作を有する。
【０００４】
ロードシャトルＡは,図示を省略するが,空気圧シリンダー、又は電動機構により,紙面の上下方向に動く。
ロードシャトルＡは、本実施例では，４個のポケット２を有しており、必要に応じてディバイスＢの向きを変える。
例えば、時計方向に９０°回転する。
【０００５】
３は、ポケット２の底部と平行に、ポケット２を通って、ベース基板１に設けられた溝である。
これらのポケット２にディバイスＢが搬送されて置かれると、ロードシャトルＡの左右に配置された透過型の光ファイバセンサヘッド４により、溝３を介して、その状態が検出される。
【０００６】
光ファイバセンサヘッド４は、光源４１と受光センサ４２とより成る。
受光センサ４２で検出された受光量に基づき、光ファイバセンサアンプ５より検出信号が出力される。
【０００７】
以上の構成において、図１０においては、今、ベース基板１の紙面に対する左上のポケット２１と右上のポケット２２とには、ディバイスＢが配置されており、左下のポケット２３と右下のポケット２４とには、ディバイスＢが配置されていない状態を示す。
【０００８】
図１１に示す如く、ディバイスＢが無い，または、まだ搬送されていない場合は、透過光Ｃは、受光センサ４２にて、ほぼ最大の光量が受光される。
また、図１２，図１３に示す如く、ディバイスＢが有る、即ち、ポケット２内に存在する場合は、ディバイスＢにより光が遮られ、受光センサ４２にて、減光された光量が受光される。
【０００９】
この二つの状態の光量の差により、閾値を決めて、光ファイバセンサアンプ５から信号を発する。この場合は、図１４に示す如く、ディバイスＢがポケット２内に有るときは、オン信号を出力する。
【００１０】
ディバイスＢがポケット２内に無いときは、オフ信号を出力して、例えば、警報を発する設定となっている。
つまり、ディバイスＢの状態の有るか、無いかの判定を行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、このような装置においては、装置が複雑となり、また高価な装置を必要とする。
しかし、デバイスポケット部にデバイスが搬送され、正規の姿勢（水平置き）で置かれ無かった場合には、吸着ノズルにより吸着する場合、定位置にノズルが降りてくる為、デバイスを破損（瓦割状態）してしまう。
そこで、正規の姿勢に置かれたかを判断する為、デバイスポケットの裏面から真空引きをし、その真空度により判断する機構が考えられる。
【００１２】
図１５はこのような真空引き形式のデバイスホルダで、図１６は図１５の側断面図である。
図１７において、デバイス挿入凹部５１は、ベースプレート５２の一面に設けられている。  真空吸引孔５３は、ベースプレート５２に設けられデバイス挿入凹部５１に連通する。
また、真空吸引孔５３の圧力信号に基づき、デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かを検出する真空センサ５４と、この真空センサ５４の検出信号に基づき信号を発する配置信号発生器５５が設けられている。
【００１３】
デバイスは、精度よく水平に出来ている場合は、デバイス挿入凹部５１に置かれた状態でデバイス挿入凹部５１内は、デバイスにより完全に閉じた空間となる。
そこで、デバイス挿入凹部５１を真空引きすることで、真空度がたかまり真空センサーによりデバイスが水平に置かれていることが、センシングできる。
【００１４】
しかしながら、実際のデバイスは、必ずしも精度良く水平には出来ていない。
多くは、上反り・下反り・ねじれを伴う。
したがって、デバイス挿入凹部５１に対して水平に置かれていたとしても、隙間を生じる。
【００１５】
隙間により、真空引きをしても真空度が上がらず、水平に置かれているか傾いて置かれているかの、正確な判断ができない。
水平に置かれていながら、真空漏れにより誤検出した場合、ジャミング発生と判断され装置としての信頼を著しく損なうことになる。
【００１６】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、デバイス形状に起因する誤検出を防ぎ、誤検出によるジャミング発生を防ぎデバイスホルダに傾いて置かれたデバイスの破損を未然に防止出来るデバイスホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のデバイスホルダにおいては、
真空吸引孔が設けられたベースプレートと、このベースプレートに一面が接して設けられたリング状のガスケットと、このガスケットの他面に一面が接して設けられ前記デバイスが挿入されるガイドプレートとを具備したことを特徴とする。
【００１８】
本発明の請求項２においては、請求項１記載のデバイスホルダにおいて、
前記ガスケットは、内径が前記デバイスの外形よりわずかに小さい穴を有するリング状のガスケットが使用されたことを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項３においては、請求項１又は請求項２記載のデバイスホルダにおいて、
前記ガスケットは導電性，耐熱性を有する弾性材料が使用されたことを特徴とする。
【００２０】
本発明の請求項４においては、請求項３記載のデバイスホルダにおいて、
前記ガスケットはエチレンプロピレンゴムの発泡体が使用されたことを特徴とする。
【００２１】
本発明の請求項５においては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載記載のデバイスホルダにおいて、
前記真空吸引孔の吸引力に基づく圧力信号に基づき前記デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かの信号を発する配置信号発生器を具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
上反り・下反り・ねじれを伴うデバイスがデバイスホルダ置かれても、デバイスホルダに水平にデバイスが置かれたか否かを正確に検出出来るデバイスホルダが得られる。
【００２３】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
ガスケットは、内径がデバイスの外形よりわずかに小さいリング状のガスケットが使用されたので、
デバイスのハンダボールを確実に避けることが出来、ハンダボールにごみ付着や汚れが防止出来、信頼性が向上されたデバイスホルダが得られる。
【００２４】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
ガスケットは導電性，耐熱性を有する弾性材料が使用されたので、熱が印加されたデバイスに対しても対処出来検出可能なデバイスホルダが得られる。
ガスケットは導電性を有する弾性材料が使用されたので、デバイスの剥離帯電による、静電気破壊を防止できるデバイスホルダが得られる。
【００２５】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
前記ガスケットはエチレンプロピレンゴムの発泡体が使用されたので、エチレンプロピレンゴムの発泡体は市場性があり、安価に容易に入手し易く安価なデバイスホルダが得られる。
【００２６】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
真空吸引孔の吸引力に基づく圧力信号に基づき、デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かの信号を発する配置信号発生器が設けられたので、信号処理が出来、制御が容易なデバイスホルダが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の側断面図、図３は図１の部品説明図、図４は図３の側断面図、図５は図１の部品説明図、図６は図５の側断面図、図７は図１の部品説明図、図８は図７の側断面図である。
【００２８】
図において、ベースプレート６１には、真空吸引孔６２が設けられている。
ガスケット６３は、このベースプレート６１に一面が接して設けられ、リング状をなす。
ガイドプレート６４は、このガスケット６３の他面に一面が接して設けられ、デバイスが挿入される。
６４１は、デバイスが挿入されるデバイス挿入孔である。。
この場合は、ガスケット６３は、内径６３１がデバイスの外形よりわずかに小さい穴を有するリング状のガスケットが使用されている。
【００２９】
ガスケット６３は、この場合は、導電性，耐熱性を有する弾性材料が使用され、エチレンプロピレンゴムの発泡体が使用されている。
また、図９に示す如く、真空吸引孔６２の圧力信号に基づき、デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かを検出する真空センサ６５と、この真空センサ６５の検出信号に基づき信号を発する配置信号発生器６６が設けられている。
【００３０】
以上の構成において、デバイスを受ける部分をガスケット６３で受けることにし、上反り・下反り・ねじれを伴うデバイスがデバイスホルダーに置かれても、真空引きを始めたところで、デバイス形状にガスケット６３がなじむ形になり、真空漏れを防ぐことが出来、デバイスホルダーに水平にデバイスが置かれたか否かを正確に検出できるようになる。
【００３１】
デバイスが傾いて置かれた場合、僅かな隙間でも真空度が上昇しないため、検出ができる。
ガスケット６３は、例えば１ｍｍ厚であり、圧縮に関してはデバイスの形状に追従しやすいが、傾いて置かれた場合など隙間を埋める様に持ち上げるまでは追従しない。
また、仮に持ち上げられても、他の個所にガスケット６３の歪（しわ寄せ）が生じ、やはり、真空度を上昇させるには至らない。
【００３２】
この結果、上反り・下反り・ねじれを伴うデバイスがデバイスホルダ置かれても、デバイスホルダに水平にデバイスが置かれたか否かを正確に検出出来るデバイスホルダが得られる。
【００３３】
ガスケット６３は、内径がデバイスの外形よりわずかに小さいリング状のガスケットが使用されたので、デバイスのハンダボールを確実に避けることが出来、ハンダボールにごみ付着や汚れが防止出来、信頼性が向上されたデバイスホルダが得られる。
ガスケット６３は導電性，耐熱性を有する弾性材料が使用されたので、熱が印加されたデバイスに対しても対処出来、検出可能なデバイスホルダが得られる。
【００３４】
ガスケット６３は導電性を有する弾性材料が使用されたので、デバイスの剥離帯電による、静電気破壊を防止できるデバイスホルダが得られる。
ガスケット６３はエチレンプロピレンゴムの発泡体が使用されたので、エチレンプロピレンゴムの発泡体は市場性があり、安価に容易に入手し易く安価なデバイスホルダが得られる。
【００３５】
真空吸引孔６２の吸引力に基づく圧力信号に基づき、デバイスホルダにデバイスが配置されているか否かの信号を発する配置信号発生器６６が設けられたので、信号処理が出来、制御が容易なデバイスホルダが得られる。
【００３６】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の側断面図である。
【図３】図１の部品説明図である。
【図４】図３の側断面図である。
【図５】図１の部品説明図である。
【図６】図５の側断面図である。
【図７】図１の部品説明図である。
【図８】図７の側断面図である。
【図９】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図１０】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図１１】図１０の動作説明図である。
【図１２】図１０の動作説明図である。
【図１３】図１０の動作説明図である。
【図１４】図１０の動作説明図である。
【図１５】従来より一般に使用されている他の従来例の要部構成説明図である。
【図１６】図１５の側断面図である。
【図１７】従来より一般に使用されている他の従来例の要部構成説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１      ベース基板
２      ポケット
２１    ポケット
２２    ポケット
２３    ポケット
２４    ポケット
３      溝
４      光ファイバセンサヘッド
４１    光源
４２    受光センサ
５      光ファイバセンサアンプ
１０    信号発生手段
１１    第１の信号発生手段
１２    第１の所定量
１３    第２の信号発生手段
１４    第２の所定量
５１    デバイス挿入凹部
５２    ベースプレート
５３    真空吸引孔
５４    真空センサ
５５    配置信号発生器
６１    ベースプレート
６２    真空吸引孔
６３    ガスケット
６３１  内径
６４    ガイドプレート
６４１  デバイス挿入孔
６５    真空センサ
６６    配置信号発生器
Ａ      ロードシャトル
Ｂ      デバイス
Ｃ      透過光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2006144825.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2006144825.tif 000018
【図１７】
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