(57)【要約】【課題】本発明の目的は、剥離の際、エアーの吹き出しが弱くても剥離可能であり且つ、粉塵等も発生しにくい一体化ディスク基板の剥離装置を提供すること。【解決手段】第１ディスク基板と第２ディスク基板とが接着材を介して一体となった一体化ディスク基板を吸着保持するためのボス体付き保持盤３と、第１ディスク基板を吸着して該第１ディスク基板を第２ディスク基板から引き剥がすための吸着盤２と、を備えた一体化ディスク基板の剥離装置１であって、前記保持盤は、第２ディスク基板から第１ディスク基板を引き剥がすために、両ディスク基板間にエアを導入するエア導入穴４ｂをボス体４に備え、前記吸着盤は、該吸着盤を往復移動可能に保持するための取付けプレートに対してスプリング１２を介して取り付けられており、第１ディスク基板の中心周辺部を吸着するための上方内側吸着部Ａ１と、該上方内側吸着部を負圧化する吸引手段と、を備えた一体化ディスク基板の剥離装置。【選択図】  図６
2006048773.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ディスク基板と第２ディスク基板とが接着材を介して一体となった一体化ディスク基板を吸着保持するためのボス体付き保持盤と、
第１ディスク基板を吸着して該第１ディスク基板を第２ディスク基板から引き剥がすための吸着盤と、
を備えた一体化ディスク基板の剥離装置であって、
前記保持盤は、第２ディスク基板から第１ディスク基板を引き剥がすために、両ディスク基板間にエアを導入するエア導入穴をボス体に備え、
前記吸着盤は、該吸着盤を往復移動可能に保持するための取付けプレートに対してスプリングを介して取り付けられており、
第１ディスク基板の中心周辺部を吸着するための上方内側吸着部と、
該上方内側吸着部を負圧化するための吸引手段と、
を備えていることを特徴とする一体化ディスク基板の剥離装置。
【請求項２】
前記第１ディスク基板の中心周辺部を吸着するための上方内側吸着部は、
傾斜面を有する第１環状上方リブと、
該第１環状上方リブより径大で且つより突出した第２環状上方リブと、
を有することを特徴とする請求項１に記載の一体化ディスク基板の剥離装置。
【請求項３】
前記上方内側吸着部を負圧化するための吸引手段は、
負圧源に通じる吸引通路と、
保持盤に吸着盤が押圧される際、前記取付けプレートの押圧力により吸引通路を開放するバルブを備えていることを特徴とする請求項１に記載の一体化ディスク基板の剥離装置。
【請求項４】
前記上方内側吸着部の外側を吸着するための上方外側吸着部を備え、
該上方外側吸着部は、複数の第３環状上方リブを有し、
該第３環状上方リブ間は相互に連通されていることを特徴とする請求項１に記載の一体化ディスク基板の剥離装置。
【請求項５】
前記保持盤は、第２ディスク基板の中心周辺部を吸着保持するため下方内側吸着部を有するものであることを特徴とする請求項１に記載の一体化ディスク基板の剥離装置。
【請求項６】
前記第２ディスク基板の中心周辺部を吸着するための下方内側吸着部は、
第１環状下方リブと、
該第１環状下方リブより径大の第２環状下方リブと、
を有することを特徴とする一体化ディスク基板の剥離装置。
【請求項７】
前記下方内側吸着部の外側を吸着するための下方外側吸着部を備え、
該下方外側吸着部は、第２環状下方リブと、周辺端隆起部とを有していることを特徴とする請求項１に記載の一体化ディスク基板の剥離装置。
【請求項８】
前記下方外側吸着部の底面には、第２ディスク基板を傷つけずに保持するためのゴム体が備わっていることを特徴とする請求項７に記載の一体化ディスク基板の剥離装置。
【請求項９】
前記ボス体に形成されたエア送出し穴と、圧力源又は大気開放源とが、エア流通路を介して連通されていることを特徴とする請求項１に記載の一体化ディスク基板の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一体化ディスク基板の剥離装置に関し、更に詳しくは、第１ディスク基板と第２ディスク基板とが接着材を介して一体となった一体化ディスク基板から、第１ディスク基板を引き剥がして反射膜や接着層等を第２ディスク基板側に転移させるための一体化ディスク基板の剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基材層ディスク基板と、反射膜が形成された転写リリースディスク基板とを、一旦、接着層を介して一体化された貼り合わせディスク基板とした後、転写リリースディスク基板を引き剥がし反射膜や接着層等を基材層ディスク基板側に積層転写するための技術が開発されている。
そして、その転写リリースディスク基板の剥離装置として、両ディスク基板の引き剥がし力としてエア圧を使ったものが知られている（特許文献１参照）。
この装置では、両ディスク基板を引き剥がす際、ボス体１００の下方から圧縮エアを流入させ、転写リリースディスク基板Ｄ１と基材層ディスク基板Ｄ２との間に吹き込む。
【０００３】
そのため両ディスク間の気圧は高められ、転写リリースディスク基板Ｄ１の内周端側に引き剥がし力が発生する。
【特許文献１】特開２０００−２２２７８６号公報
【特許文献２】特開２００２−１５０６１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した転写リリースディスク基板の剥離装置は、エアー圧を強くすることによってより剥離を容易にできる点が利点であるが、エアー圧を高めるとそのエアーは必ずしも外周方向へ均等に抜け出さない。
ある方向に強く吹き出したり、或いは他の方向には吹き出さなかったりして吹き出し方向に偏りが生ずるのである。
従って、剥離面も均一にならない欠点があった。
更に、強いエアーの吹き出しによって、接着材等の微粉（粉塵）が外方に飛び散って周囲を汚染することがある。
尤も、発生した微粉を吸い込んで除去する方法（特許文献２参照）もあるが、余分な装置を必要とする。
【０００５】
すなわち、本発明は、剥離の際、エアーの吹き出しが弱くても剥離可能であり且つ、粉塵等も発生しにくい一体化ディスク基板の剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かくして、本発明者は、このような課題背景に対して鋭意研究を重ねた結果、吸着盤により第１ディスク中心周辺部を負圧化すると同時に第１ディスク基板と第２ディスク基板との間にエアーを少なくとも消極的に導入するようにすることで、両ディスク基板の剥離を助けることができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させたものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、（１）、第１ディスク基板と第２ディスク基板とが接着材を介して一体となった一体化ディスク基板を吸着保持するためのボス体付き保持盤と、第１ディスク基板を吸着して該第１ディスク基板を第２ディスク基板から引き剥がすための吸着盤と、を備えた一体化ディスク基板の剥離装置であって、前記保持盤は、第２ディスク基板から第１ディスク基板を引き剥がすために、両ディスク基板間にエアを導入するエア導入穴をボス体に備え、前記吸着盤は、該吸着盤を往復移動可能に保持するための取付けプレートに対してスプリングを介して取り付けられており、第１ディスク基板の中心周辺部を吸着するための上方内側吸着部と、該上方内側吸着部を負圧化するための吸引手段と、を備えている一体化ディスク基板の剥離装置に存する。
【０００８】
また、本発明は、（２）、前記第１ディスク基板の中心周辺部を吸着するための上方内側吸着部は、傾斜面を有する第１環状上方リブと、該第１環状上方リブより径大で且つより突出した第２環状上方リブと、を有する上記（１）に記載の一体化ディスク基板の剥離装置に存する。
【０００９】
また、本発明は、（３）、前記上方内側吸着部を負圧化するための吸引手段は、負圧源に通じる吸引通路と、保持盤に吸着盤が押圧される際、前記取付けプレートの押圧力により吸引通路を開放するバルブを備えている上記（１）に記載の一体化ディスク基板の剥離装置に存する。    
【００１０】
また、本発明は、（４）、前記上方内側吸着部の外側を吸着するための上方外側吸着部を備え、  該上方外側吸着部は、複数の第３環状上方リブを有し、該第３環状上方リブ間は相互に連通されている上記（１）に記載の一体化ディスク基板の剥離装置に存する。
【００１１】
また、本発明は、（５）、前記保持盤は、第２ディスク基板の中心周辺部を吸着保持するため下方内側吸着部を有するものである上記（１）に記載の一体化ディスク基板の剥離装置に存する。
【００１２】
また、本発明は、（６）、前記第２ディスク基板の中心周辺部を吸着するための下方内側吸着部は、第１環状下方リブと、該第１環状下方リブより径大の第２環状下方リブと、を有する一体化ディスク基板の剥離装置に存する。
【００１３】
また、本発明は、（７）、前記下方内側吸着部の外側を吸着するための下方外側吸着部を備え、該下方外側吸着部は、第２環状下方リブと、周辺端隆起部とを有している上記（１）に記載の一体化ディスク基板の剥離装置に存する。
【００１４】
また、本発明は、（８）、前記下方外側吸着部の底面には、第２ディスク基板を傷つけずに保持するためのゴム体が備わっている上記（７）に記載の一体化ディスク基板の剥離装置に存する。
【００１５】
また、本発明は、（９）、前記ボス体に形成されたエア送出し穴と、圧力源又は大気開放源とが、エア流通路を介して連通されている上記（１）に記載の一体化ディスク基板の剥離装置に存する。
【００１６】
なお、本発明の目的に添ったものであれば、上記（１）から（９）を適宜組み合わせた構成も採用可能である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、基材層ディスク基板（第２ディスク基板）Ｄ２と転写リリースディスク基板第１ディスク基板）Ｄ１とが一体となった一体化ディスクにおいて、基材層ディスク基板から転写リリースディスク基板を引き剥がすに際して、吸着盤２の吸引手段により負圧化された上方内側吸着部により転写リリースディスク基板Ｄ１の中心周辺部を負圧化して吸着すると同時に、基材層ディスク基板Ｄ２と転写リリースディスク基板Ｄ１との間にボス体４のエア導入穴４ｂからエアを導入することができるので、中心周辺部にて転写リリースディスク基板Ｄ１が基材層ディスク基板Ｄ２から容易に剥離することができる。
【００１８】
そして、この剥離を切っ掛けとして、転写リリースディスク基板Ｄ１を吸着盤２に保持した状態で吸着盤２を上昇させると、転写リリースディスク基板Ｄ１の中心周辺部から外方に向かって剥離が伝播していき、基材層ディスク基板Ｄ２から完全に離脱する。
このように、本発明の装置による剥離操作は、ボス体４から導入されるエアを使うこと及び上方内側吸着部Ａ１を負圧化することの併用により、転写リリースディスク基板Ｄ１を基材層ディスク基板Ｄ２から剥離することができるので、従来と較べてボス体から出るエア圧も少なくてよい。
【００１９】
また、転写リリースディスク基板Ｄ１の中心周辺部を吸着するための上方内側吸着部Ａ１が、傾斜面Ｓを有する第１環状上方リブ２ｃ１と、該第１環状上方リブより径大で且つより突出した第２環状上方リブ２ｃ２と、を有するようにすれば、第１環状上方リブを傾斜面Ｓに沿って撓ませることができ、転写リリースディスク基板Ｄ１の中心周辺部が基材層ディスク基板から容易に剥離する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
第１ディスク基板及び第２ディスク基板の例として、前述の従来例に示されている転写リリースディスク基板Ｄ１及び基材層ディスク基板Ｄ２を使った場合で述べることとする。
図１は、本発明の一実施形態に係る転写リリースディスク基板の剥離装置を示している。
この剥離装置１は、主として、基材層ディスク基板Ｄ２を吸着保持するための保持盤３と、転写リリースディスク基板Ｄ１を吸着して該転写リリースディスク基板Ｄ１を基材層ディスク基板Ｄ２から引き剥がすための吸着盤２とを備えている。
【００２１】
保持盤３は、その中央にボス体４が設けられており、該ボス体４には、基材層ディスク基板と転写リリースディスク基板との間にエアを導入することができるエア導入穴４ｂが形成されている。
尚、エア導入穴４ｂへはエア流通路４ａを介して、図示しない圧力源（積極的導入）、又は大気開放源（消極的導入）から、エアが導入される。
尚、図１の状態では、圧縮エアは未だ導入されていない。
【００２２】
保持盤３には、後述する下方内側吸着部Ｂ１を負圧化するための吸引穴３ａ、及びその外側の下方外側吸着部Ｂ２を負圧化するための吸引穴３ｂが形成されており、図示しない真空ポンプ等の負圧源により負圧化される。
この下方内側吸着部Ｂ１は、基材層ディスク基板Ｄ２の中心周辺部を負圧化して吸着することができ、下方外側吸着部Ｂ２は、基材層ディスク基板Ｄ２の中心周辺部より外側を外周端側まで広い範囲に渡り吸着することができる。
【００２３】
一方、吸着盤２には、後述する上方内側吸着部Ａ１を負圧化するための吸引手段（後述する吸引通路２ａ、筒部材１０、バルブ１１等により構成される）、及び上方外側吸着部Ａ２を負圧化するための吸引通路２ｂが形成されている。
尚、吸引通路２ｂは図示しない負圧源に通じている。
この上方内側吸着部Ａ１は、転写リリースディスク基板Ｄ１の中心周辺部を負圧化して吸着することができ、上方外側吸着部Ａ２は、転写リリースディスク基板Ｄ１の中心周辺部より外側を外周端側まで広い範囲に渡り吸着することができる。
【００２４】
また吸着盤２は、上下移動可能な取付けプレート８に対してスプリング７を介して取り付けられており同様に上下移動可能である。
この取付けプレート８は、更に上下移動可能なスライド部材５に連結され、一体となって移動する。
【００２５】
図２は、吸着盤２の詳細を示した説明図であり、それぞれ、図２（Ａ）はその断面図、図２（Ｂ）はその底面図を示す。
この吸着盤２には、環状リブが幾重にも渡り形成されている。
より具体的には、傾斜面Ｓを有し最も内側に位置する第１環状上方リブ２ｃ１と、該第１環状上方リブ２ｃ１より径大で且つより突出した第２環状上方リブ２ｃ２とにより、転写リリースディスク基板Ｄ１の中心周辺部を吸着するための上方内側吸着部Ａ１が形成されている。
【００２６】
また、第２環状上方リブ２ｃ２より外側には、２条の第３環状上方リブ２ｃ３，２ｃ４により、上方内側吸着部Ａ１の外側を吸着するための上方外側吸着部Ａ２が形成されている。
そして、この第３環状上方リブ２ｃ３，２ｃ４間は相互に連通されている。
【００２７】
また、環状上方リブ２ｃ２〜２ｃ４の高さは均一にされているが、第１環状上方リブ２ｃ１の高さはそれらより低くされている。
そして、転写リリースディスク基板Ｄ１を吸着する場合、環状上方リブ２ｃ１〜２ｃ４の先端面が転写リリースディスク基板Ｄ１に当接し、この時、第２環状上方リブ２ｃ２は、それより内側の上方内側吸着部Ａ１と、それより外側の上方外側吸着部Ａ２とを区画する。
この上方内側吸着部Ａ１と、それより外側の上方外側吸着部Ａ２とは、それぞれ吸引経路が独立して異なっている。
このように環状上方リブ２ｃ１〜２ｃ４を設けて転写リリースディスク基板Ｄ１の受け面とした
のは、リブ間の溝を負圧にして広い面積による吸着を行うことで、局所的に転写リリースディスク基板Ｄ１を撓ませてしまうのを防ぐためである。
【００２８】
図３は、保持盤３の詳細を示した説明図であり、それぞれ、図３（Ａ）はその平面図、図３（Ｂ）はその側面図を示す。
この保持盤３には、環状リブが２重に形成されている。
より具体的には、ボス体周囲に形成された第１環状下方リブ３ｃ１と、該第１環状下方リブ３ｃ１より外方で且つ径大の第２環状下方リブ３ｃ２とで、基材層ディスク基板Ｄ２の中心周辺部を吸着するための下方内側吸着部Ｂ１が形成されている。
【００２９】
また、保持盤３には、第２環状下方リブ３ｃ２と周辺端隆起部３ｃ３とで、下方内側吸着部Ｂ１の外側を吸着するための下方外側吸着部Ｂ２が形成されている。
また、第１環状下方リブ３ｃ１、第２環状下方リブ３ｃ２及び周辺端隆起部３ｃ３の高さは均一にされている。
そして、基材層ディスク基板Ｄ２を吸着すると、第１環状下方リブ３ｃ１，第２環状下方リブ３ｃ２、及び周辺端隆起部３ｃ３と基材層ディスク基板Ｄ２は当接する。
【００３０】
このように第１環状下方リブ３ｃ１，第２環状下方リブ３ｃ２、及び周辺端隆起部３ｃ３を設けて基材層ディスク基板Ｄ２の受け面としたのは、リブ間の領域を負圧化し、広い面積による吸着を行うためである。
なお、第２環状下方リブ３ｃ２と周辺端隆起部３ｃ３との間に形成される下方外側吸着部Ｂ２の底部には、基材層ディスク基板Ｄ２を傷付けずに保持するためのシート状のゴム体６が備わっている。
【００３１】
さて、図１に示すように吸着盤２が保持盤３の上方の離れた位置にある状態から、スライド部材５と共に吸着盤２を下降させると、図４に示すように、ボス体４が吸着盤２の中央に形成された嵌合穴２ｄに挿入される。
図５は、このときのボス体４付近を拡大して示した図である。
前述したように、ボス体４にはエア流通路４ａと連通するエア導入穴４ｂが形成されており、エア流通路４ａは、図示しない圧力源又は大気開放源に通じている。
【００３２】
基材層ディスク基板Ｄ２は、保持盤３に形成された第１環状下方リブ３ｃ１、第２環状下方リブ３ｃ２、及び周辺端隆起部３ｃ３に載置されると、下方内側吸着部Ｂ１及び下方外側吸着部Ｂ２の底面と基材層ディスク基板Ｄ２との間には間隙が形成される。
基材層ディスク基板Ｄ２か吸着されて、底面に当接しても先述したゴム体６によって傷等が付くことはない。
【００３３】
吸着盤２は、その中心軸回りに４箇所でボルト９によってスプリング７を介して取付けプレート８に取り付けられている。
このような構造にすることにより、吸着盤２が下降してその下面が保持盤上の転写リリースディスク基板Ｄ１に圧接しても、衝撃なく弾圧的に転写リリースディスク基板Ｄ１を押圧することができる。
【００３４】
吸着盤２の中央部には、中壁部２ｆを介して前述した嵌合穴２ｄと反対側に嵌合穴２ｅが形成されている。
この嵌合穴２ｅには、上部に径大のフランジ部１０ａを有する筒部材１０が嵌まり込んでおり、この筒部材１０には昇降可能なバルブ１１が移動可能に内挿されている。
このバルブ１１の下面側と中壁部２ｆの間にはスプリング１２が設けられている。
【００３５】
図５の状態では、バルブ１１の傘部１１ａと筒部材１０の弁座部１０ｂとは当接しており（いわゆる「着座状態」になく）、吸着盤２の吸引通路２ａと上方内側吸着部Ａ１とは、まだ連通していない。
図５の状態から更にスライド部材５と共に吸着盤２を下降させると、吸着盤２は保持盤３上に載置された一体ディスクＤ（Ｄ１，Ｄ２）に当たってその移動が阻止される。
更に下降することで、取付けプレート８と吸着盤２との間に介在するスプリング７は圧縮されて、図６に示すような状態となる。
【００３６】
図７は、この時のボス体４付近を拡大した図である。
この時、バルブ１１の上端は取付けプレート８により押圧され、バルブ１１はスプリング１２のバネ力に抗して下降する。
そのため、弁座部１０ｂと傘部１１ａとは離反し、吸着盤２の吸引通路２ａと上方内側吸着部Ａ１とは連通することとなる。
【００３７】
すると、図示しない負圧源の真空ポンプによって吸引通路２ａは既に負圧化されているので、矢印で示す吸引通路２ａを介して上方内側吸着部Ａ１の真空引きが行われ、上側の転写リリースディスク基板Ｄ１（詳しくは中心周辺部）は、吸着盤２側に吸着される。
上述したように、上方内側吸着部Ａ１を負圧化するための吸引手段は、少なくとも負圧源に通じる吸引通路２ａ、保持盤３に吸着盤２が押圧される際、前記取付けプレート８の押圧力により吸引通路２ａを開放するバルブ１１を備えたものとなっている。
【００３８】
この時、同時に、ボス体４に形成されたエア導入穴４ｂからエア（１〜２ｋｇ／ｃｍ２）が積極的に一体化ディスクＤ（Ｄ１，Ｄ２）間に導入される。
このエア導入穴４ｂは、エア流通路４ａを介して圧力源に通じているために一定の圧力でエアが導入される。
【００３９】
そして、このエア圧の設定値は、吸着盤の上方内側吸着部Ａ１の負圧化によって両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間の空間Ｘ〔図８（Ａ）参照〕が負圧化してしまうことが原因となって、転写リリースディスク基板が基材層ディスク基板から剥離しにくくなるのを阻止することができる程度のエア圧でよい。
両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間の空間Ｘにボス体４からエアが導入されると両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間の空間Ｘは負圧ではなく正圧となるために転写リリースディスク基板Ｄ１が基材層ディスク基板Ｄ２に吸着されるような逆吸着現象が排除できるのである。
なお、この逆吸着現象が生じると、転写リリースディスク基板Ｄ１は基材層ディスク基板Ｄ２から剥離しにくくなることが理解できる。
【００４０】
一方、ボス体４のエア導入穴４ｂをエア流通路４ａを介して大気開放源に通じるようにすれば、大気開放源からエアー（この場合大気）が導入されることとなり、このような消極的なエアの導入方法も採用可能である。
何れにしても、ボス体のエア導入穴４ｂから導入されるエア圧は、先に従来例で示した剥離装置のエア圧よりは少ないものとなる。
【００４１】
図８は、両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間の空間Ｘにエアが導入された状態を示すもので、転写リリースディスク基板Ｄ１が基材層ディスク基板Ｄ２から剥がれる前（Ａ）と剥がれた後（Ｂ）の状態をそれぞれ拡大して示す説明図である。
吸引通路２ａと吸着盤２の上方内側吸着部Ａ１とを連通して空間Ｙを負圧化すると、上方内側吸着部Ａ１の吸着作用が発揮され転写リリースディスク基板Ｄ１には図でいう矢印方向に力が加わる〔図８（Ｂ）参照〕。
同時にボス体のエア導入穴４ｂから導入されるエア（破線矢印）によっても、転写リリースディスク基板Ｄ１には図でいう矢印方向（実線）に力が加わる。
その結果、転写リリースディスク基板Ｄ１は吸着盤２の上方内側吸着部Ａ１に吸着され、基材層ディスク基板Ｄ２から剥がされる。
詳しくは、吸着盤の第１環状上方リブ２ｃ１の先端の傾斜面Ｓに当接する。
【００４２】
ここで、傾斜面Ｓを円弧状の面とすることで、転写リリースディスク基板Ｄ１の変形がなだらかになり局所的な無理な力が生じない。
尚、転写リリースディスク基板Ｄ１と傾斜面Ｓとが接触するために、上方内側吸着部Ａ１が孤立するが、既に負圧状態にされているので、転写リリースディスク基板Ｄ１を保持し続けることは当然可能である。
【００４３】
そして、転写リリースディスク基板Ｄ１を吸着盤２に保持した状態（上方内側吸着部Ａ１と上方外側吸着部Ａ２による吸着を行っている状態）で吸着盤２を上昇させると、この転写リリースディスク基板Ｄ１の中心周辺部の剥離を切っ掛けとして、この剥がれ部分から外方に向かって急速に剥離が伝播する。
更なる吸着盤の上昇により、転写リリースディスク基板Ｄ１は基材層ディスク基板Ｄ２から完全に離脱するのである。
このように、本発明の一体化ディスク基板の剥離装置を使った剥離操作は、ボス体４から導入されるエアを使うこと、及び上方内側吸着部Ａ１を負圧化することの併用により転写リリースディスク基板Ｄ１を基材層ディスク基板Ｄ２から剥離することができるのである。
そのため従来と較べてボス体４からのエア圧も少なくて済むこととなる。
【００４４】
以上、本発明を説明してきたが、本発明は上述した一実施形態にのみ限定されるものではなく、その本質を逸脱しない範囲で、他の種々の変形が可能であることはいうまでもない。
例えば、実施の形態では転写リリースディスク基板と基材層ディスク基板との例により説明したが、本装置は一体化したディスク基板を、再度、第１ディスク基板Ｄ１と第２ディスク基板Ｄ２とに分離させる必要がある場合にすべて適用可能であり、第１ディスク基板Ｄ１や第２ディスク基板Ｄ２の構造は問わない。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、第１ディスク基板と第２ディスク基板とが接着材を介して一体となった一体化ディスク基板から、第１ディスク基板を引き剥がして反射膜や接着層等を第２ディスク基板側に転移させるための一体化ディスク基板の剥離装置に関するものであり、光ディスクの分野では当然のこと、それ以外の貼り合わせ板の引き剥がし分野にも広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】図１は、本発明のディスク基板の剥離装置の一実施形態を示す説明図である。
【図２】図２は、図１の吸着盤の詳細を示す説明図であり、それぞれ（Ａ）は断面図、（Ｂ）は底面図を示す。
【図３】図３は、図１の吸着盤の詳細を示す説明図であり、それぞれ（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図を示す。
【図４】図４は、図１の吸着盤が下降して両ディスク基板が貼り合わされた瞬間の状態を示す説明図である。
【図５】図５は、図４のボス体付近の拡大図である。
【図６】図６は、図４の吸着盤が更に下降した状態を示す説明図である。
【図７】図７は、図６のボス体付近の拡大図である。
【図８】図８は、転写リリースディスク基板が基材層ディスク基板から剥がれる前（Ａ）と剥がれた後（Ｂ）の状態をそれぞれ拡大して示す説明図である。
【図９】図９は、従来のディスク基板の剥離装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  剥離装置
２  吸着盤
２ａ，２ｂ  吸引穴
２ｃ１  第１環状上方リブ
２ｃ２  第２環状上方リブ
２ｃ３，２ｃ４  第３環状上方リブ
２ｃ５  スリット
２ｄ，２ｅ  嵌合穴
２ｆ  中壁部
３  保持盤
３ａ，３ｂ  吸引穴
３ｃ１  第１環状下方リブ
３ｃ２  第２環状下方リブ
３ｃ３  周辺端隆起部
３ｃ４  吸着凹部
４  ボス体
４ａ  エア流通路
４ｂ  エア導入穴
５  スライド部材
６  ゴム体
７  スプリング
８  取付けプレート
９  ボルト
１０  筒部材
１０ａ  フランジ部
１０ｂ  弁座部
１１  バルブ
１１ａ  傘部
１２  スプリング
１００  ボス体
１０１  吸着盤
１０１ａ〜１０１ｄ  環状リブ
１０１ｅ  スリット
１０１ｆ，１０１ｇ  吸着穴
Ａ１  上方内側吸着部
Ａ２  上方外側吸着部
Ｂ１  下方内側吸着部
Ｂ２  下方外側吸着部
Ｄ１  転写リリースディスク基板
Ｄ２  基材層ディスク基板
Ｒ  接着層
Ｓ  傾斜面
Ｘ  空間
Ｙ  空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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