(57)【要約】    【課題】小型スライダは軸受面の面積が減少し、空気軸受特性による浮上力が大幅に減少する。    【解決手段】スライダ１の軸受面８の流入側に浅溝面４ａが設けられ、その後方に浅溝面４ａに隣接して１対の浮上面２ａ，２ｂが設けられる。浮上面２ａ，２ｂの後方の両サイドには、流出端近くまで伸びたサイド浅溝面４ｂが設けられる。一方スライダ１の流出端の幅方向中央部にはセンター浮上面２ｃが設けられ、磁気ヘッド３を搭載している。センター浮上面２ｃの流入側にセンター浅溝面４ｃが設けられる。浮上面２ａ，２ｂとサイド浅溝面４ｂとセンター浅溝面４ｃとで囲まれた軸受面８の中央に深溝面５が設けられる。前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比は１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙはが０．８ｍｍ以下である。【選択図】図１
2006155764.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該浮上面と空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
前記スライダの長さＬｘが、０．９４５ｍｍ以上１．４４ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記２個の浮上面から前記浅溝面までの深さと、前記センター浮上面から前記センター浅溝面までの深さが２００ｎｍ以下であり、前記２個の浮上面およびセンター浮上面から前記深溝面までの深さが１５００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、前記媒体対向面の空気流入端の両側に設けられた２個のパッドと、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
前記２個のパッドの高さは、前記２個の浮上面の高さと同じであることを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項６】
媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、当該２個の浮上面の空気流出側に設けられたデポジット膜と、前記媒体対向面の空気流入端の両側に設けられた２個のパッドと、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項７】
前記デポジット膜の膜厚が、５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項８】
前記デポジット膜は、カーボン膜であることを特徴とする請求項７記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
前記２個のパッドの面にデポジット膜を設けることを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１０】
媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該浮上面と空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下である磁気ヘッドスライダと、
前記スライダを保持するフレクシャと、
前記フレクシャが取り付けられ、前記スライダへ荷重を印加するピボット位置が該スライダの中心から空気流入側に当該スライダの長さの１０％以上ずれているサスペンションと、
を具備することを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
【請求項１１】
媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該浮上面と空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下である磁気ヘッドスライダと、
前記磁気ヘッドスライダによりデータの記録および再生が行われる磁気ディスクと、
を具備することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１２】
前記磁気ディスクは、直径が４５．７ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１１記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行する記録媒体面上を微小な隙間で浮上もしくは間歇接触する磁気ヘッドスライダ、磁気ヘッドスライダを組み込んだ磁気ヘッドアセンブリおよび磁気ディスク装置に係り、特に直径が４５．７ｍｍ（１．８インチ）以下の小径ディスクを用いた磁気ディスク装置に対して好適な磁気ヘッドスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドスライダは、サスペンションに取り付けられたフレクシャに支持され、磁気ディスク上を僅かな間隙で浮上し、あるいは間歇接触しながらデータの記録および再生を行う。特許文献１に現在広く使われている負圧スライダが記載されている。図１３にその構成を示す。スライダ101の媒体対向面（軸受面）108は、浮上面102と、浮上面102(102a,102b,102c)より僅かの深さの段差を持たせた浅溝面104(104a,104b,104c)と、浅溝面104よりさらに浮上面から深く掘られた深溝面105より構成されている。浮上面102は空気流入側で浅溝面104の後方に左右一対の流入側浮上面102a，102bと、空気流出端で磁気ヘッド103を搭載するセンターパッド102cよりなる。浅溝面104は空気流入側の浅溝面104aと、サイドの浅溝レール104bと、センターパッド102cの空気流入側のセンターパッド浅溝面104cよりなる。深溝面105は空気流入側の浅溝面104aと、流入側浮上面102a,102bと、サイドの浅溝レール104bで囲まれている。本構成では、浅溝面104と浮上面102によるステップ空気軸受作用により、磁気ディスクからスライダを浮上させる浮上力が発生し、同時に深溝面105で負圧が発生し、適切な空気軸受剛性を確保し安定に浮上する。スライダのサイズは、長さLx=1.25mm、幅Ly=1.0mm、高さLz=0.3mmである。スライダの長さとスライダの幅の比Lx/Lyは1.25である。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置は、高密度化と共に、小型ディジタル機器への適用を目指し、小径ディスクを使用した小型磁気ディスク装置にシフトする傾向にある。それに伴って円板面上の有効データエリアの減少が問題となっている。この問題を解決する一方法として、スライダを小型化する方法がある。そこで現在広く使用されている上記のスライダに対し寸法を約７０％縮小した小型スライダが開発されている。図１４に小型スライダの平面図を示す。スライダのサイズは、長さLx=0.85mm、幅Ly=0.7mm、高さLz=0.23mmである。スライダ長さとスライダの幅の比Lx/Lyは1.21である。流入側の浮上面102aと102bの両側端には幅30μmの浅溝面109と、その外側に深溝面105と同じ深さの幅30μmの切断代部110を設けている。したがって、浮上面端からスライダ端までの長さL2は60μm、浮上面端から浅溝面までの長さL1は30μmとなる。スライダ101に荷重を印加するサスペンション荷重の位置はスライダ101の中心である。これにより、ディスクの有効エリアは0.3mm広くなる。これは、ディスクサイズが25.4mm(1インチ)、20.3mm(0.8インチ)の小型磁気ディスク装置では、大幅な改善となる。
【０００４】
スライダの小型化、特にスライダ幅とスライダ高さの縮小は、同一の磁気ヘッド製造装置を使って同じウエハサイズから取れるスライダ数を約２倍に増加することができ、スライダコストを低減できるメリットもある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１２３４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
小型スライダはサイズの縮小に伴い軸受面の面積が減少し、空気軸受特性による浮上力が大幅に減少する。スライダに印加するサスペンション荷重も減少した浮上力とバランスさせるために小さくせざるを得ない。この傾向は軸受特性による浮上力が速度に比例することから、ディスク速度の小さい、低速度の２．５型磁気ディスク装置や、４５．７ｍｍ（１．８インチ）以下の磁気ディスクを使った装置で顕著である。空気軸受特性に基づく浮上力不足の問題は、従来の３．５型磁気ディスク装置や、磁気ディスクの回転数が5400rpm、7200rpm等の高速回転型の２．５型磁気ディスク装置では発生しない。浮上力低下の問題は、ディスクサイズが２５．４ｍｍ(１インチ)、４５．７ｍｍ(１．８インチ)等の小径ディスクの磁気ディスク装置の実用化によって生まれた新しい問題である。浮上力が大幅に低下することによる問題として以下が挙げられる。
（１）空気軸受剛性が低下し、スライダの浮上特性が劣化する。特にピッチ剛性（スライダ長手方向の空気軸受剛性）は長さの約２乗で比例するため、スライダ長の減少によりピッチ剛性が大幅に低下するため、外乱振動に対しピッチ方向浮上量変動が大きく発生し、最悪の場合スライダの一部が媒体に接触する。
（２）サスペンション荷重を小さくするため、動作時の装置の耐衝撃性が低下する。
（３）正圧負圧併用型スライダでは、負圧エリアで負圧が発生する安定領域と、負圧エリアでも正圧が発生し１μｍ以上の浮上量で浮上する高浮上モードと本来の浮上量で浮上する低浮上モードの両方の状態をとるBi-Stable領域がある。サスペンション荷重が小さい系では、このBi-Stable領域に入り、リードライト不能となる。
（４）前述の外乱振動や、雰囲気圧力が低下して浮上量が低下した場合や、スライダのロード時に、スライダが流入端でディスクに接触した場合（以下ピッチダウンと称する）、サスペンション荷重が小さく、スライダ長さが短いスライダでは、そこから脱出することができず、その姿勢を維持し、接触が続くことにより、ディスクの接触部分を傷つけ情報を消失することになる。さらにはクラッシュしてしまうこともある。
（５）軸受面積の減少は浮上力の低下と同時に負圧力も低下するため、雰囲気圧力の減少に対する浮上量の低下が大きくなり、浮上マージンがなくなる。
（６）磁気ディスクにサーボ情報を記録する際、ディスク回転数を通常の回転数に対し１／２から１／３に下げて行うが、従来の小型スライダでは速度に対する浮上量低下が大きく、浮上姿勢も安定せず、ディスク面との接触振動によって、サーボ情報を精度良く書くことができない。酷い場合には、前述したピッチダウンが起こりクラッシュに至ることもある。
【０００７】
本発明の目的は、浮上力低下を軽減できる磁気ヘッドスライダを提供することである。
【０００８】
本発明の他の目的は、雰囲気圧力が低下した場合でも浮上量低下を軽減できる磁気ヘッドアセンブリを提供することである。
【０００９】
本発明のさらに他の目的は、耐衝撃特性を向上した磁気ディスク装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドスライダにおいては、媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該浮上面と空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下であることを特徴とする。
【００１１】
前記スライダの長さＬｘは、０．９４５ｍｍ以上１．４４ｍｍ以下である。
【００１２】
前記２個の浮上面から前記浅溝面までの深さと、前記センター浮上面から前記センター浅溝面までの深さが２００ｎｍ以下であり、前記２個の浮上面およびセンター浮上面から前記深溝面までの深さが１５００ｎｍ以下である。
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドスライダにおいては、媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、前記媒体対向面の空気流入端の両側に設けられた２個のパッドと、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下であることを特徴とする。
【００１４】
前記２個のパッドの高さは、前記２個の浮上面の高さと同じである。
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドスライダにおいては、媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、当該２個の浮上面の空気流出側に設けられたデポジット膜と、前記媒体対向面の空気流入端の両側に設けられた２個のパッドと、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下であることを特徴とする。
【００１６】
前記デポジット膜の膜厚が、５０ｎｍ以下である。
【００１７】
前記デポジット膜は、カーボン膜である。
【００１８】
前記２個のパッドの面にデポジット膜を設ける。
【００１９】
上記他の目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドアセンブリにおいては、媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該浮上面と空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下である磁気ヘッドスライダと、
前記スライダを保持するフレクシャと、
前記フレクシャが取り付けられ、前記スライダへ荷重を印加するピボット位置が該スライダの中心から空気流入側に当該スライダの長さの１０％以上ずれているサスペンションと、
を具備することを特徴とする。
【００２０】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ディスク装置においては、媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該浮上面と空気流入端の間に設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に設けられ空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダの長さＬｘと幅Ｌｙの比が１．３５≦Ｌｘ／Ｌｙ≦１．８であり、前記スライダの幅Ｌｙが０．８ｍｍ以下である磁気ヘッドスライダと、
前記磁気ヘッドスライダによりデータの記録および再生が行われる磁気ディスクと、
を具備することを特徴とする。
【００２１】
前記磁気ディスクは、直径が４５．７ｍｍ以下である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、小型スライダへの押し付け荷重を従来に比べ約１．４倍以上に増加でき、その結果、動作時耐衝撃特性も約１．４倍以上に高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下本発明の好適な実施例を図１から図１２を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲はこれらの実施例に限られるものではない。
【００２４】
図１は第１の実施例による磁気ヘッドスライダの平面図、図２は図１の側面図である。磁気ヘッドスライダは、図１及び図２に示すごとく、空気軸受の効果を利用して浮上力を発生させるため、スライダ１の媒体対向面（軸受面）８の流入側に流入側浅溝面４ａが設けられ、その後方に浅溝面４ａに隣接して１対の流入側浮上面２ａ，２ｂが設けられている。流入側浮上面２ａ，２ｂの後方の両サイドには、流出端近くまで伸びたサイド浅溝面４ｂが設けられている。一方スライダ１の流出端の幅方向中央にはセンター浮上面２ｃが設けられ、磁気ヘッド３を搭載している。センター浮上面２ｃの流入側にセンター浅溝面４ｃが設けられている。流入側浮上面２ａ，２ｂとサイド浅溝面４ｂとセンター浅溝面４ｃとで囲まれた軸受面８の中央に深溝面５が設けられている。
【００２５】
流入側浮上面２ａ，２ｂとセンター浮上面２ｃの高さは同じに設定されている。浅溝面４ａとサイド浅溝面４ｂとセンター浅溝面４ｃの高さも同じに設定されている。スライダ長さＬｘは１．２５ｍｍ、スライダ幅Ｌｙは０．７ｍｍであり、スライダ長Ｌｘとスライダ幅Ｌｙとの比は１．７９である。また、浮上面から浅溝面までの深さｄ１と浮上面から深溝面までの深さｄ２は、磁気ディスク装置のディスク径、ディスク回転数によって適正な値は若干変わるが、浮上面から浅溝面までの深さｄ１は２００ｎｍ以下が、浮上面から深溝面までの深さｄ２は１５００ｎｍ以下が望ましい。本実施例では、浮上面から浅溝面までの深さｄ１は約２００ｎｍ、浮上面から深溝面までの深さｄ２は約１３００ｎｍである。流入側浅溝面４ａは流入端から流入側浮上面２ａ，２ｂまでの長さがスライダの両サイド側で長くなる構成にしている。
【００２６】
本実施例による磁気ヘッドスライダを磁気ディスクに対向させると、浮上浅溝面４ａと浮上面２ａ、２ｂの構成により、磁気ディスクの回転による空気流を圧縮して空気軸受の効果により浮上力が発生する。一方、深溝面５では、逆に空気流が拡大して、負圧力が発生する。この空気軸受による力と図示しない磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションの荷重とがつりあったところで磁気ヘッドスライダは浮上する。浮上量は磁気ヘッド３の部分で１５ｎｍ以下である。
【００２７】
本実施例による磁気ヘッドスライダは、スライダ長を従来の小型スライダに比べ長くすることにより、空気軸受によって発生する浮上力（荷重）を大幅に増加することができる。図３にスライダ幅を一定にした場合の、スライダ長と発生浮上力（荷重）の関係を、従来の小型スライダに対する変化の割合で示す。負圧発生部の面積を一定とし、スライダ長さの増加が浮上面の増加として考えた。浮上力は長さにほぼ比例する。この結果、図１４に示す小形スライダに対し、スライダ長さを１．２５ｍｍ（Ｌｘ／Ｌｙ＝１．８）にすることにより発生する荷重を約１．９倍に高めることができる。
【００２８】
磁気ヘッドスライダは上記の浮上力と図示しないサスペンションから印加されるサスペンション荷重とのつりあいで浮上する。したがって、浮上力が大きくできれば、サスペンション荷重も増加することができる。磁気ディスク装置の動作時耐衝撃性は、外部から加わる加速度αと質量ｍとサスペンション荷重Ｗの関係が、Ｗ＝ｍαで示され、同じスライダのサイズでサスペンション荷重を増加させることは耐衝撃性を比例的に高めることになる。したがって、従来に比べ、本発明の実施例では荷重の増加分（約１．９倍）だけ、耐衝撃性を高めることができる。
【００２９】
また、空気軸受によって発生する浮上力（荷重）はディスク速度にほぼ比例する。従って、上記実施例によれば、ディスク径が小さく、かつ、ディスク回転数が小さい結果としてディスク速度が小さい４５．７ｍｍ（１．８インチ）以下のディスク装置で大きな効果を発揮する。
【００３０】
図４にBi-stable現象の説明図を示す。負圧利用スライダでは、深溝面５に負圧力が発生し、本来の安定浮上を実現する安定領域と、深溝面５にも正の圧力が発生し１μｍ以上の浮上量で浮上する高浮上モードと本来の浮上量で浮上する低浮上モードの両方の状態をとるBi-stable領域がある。この現象のパラメータとしてサスペンション荷重があり、サスペンション荷重を増加させることによって、Bi-stable領域への突入を回避するマージンを増やすことができる。したがって、荷重を現状の約１．９倍に増加させることにより、Bi-stable領域への突入を回避するマージンを大きく増加させることができる。
【００３１】
つぎに、ピッチダウン防止効果について図５、図６を用いて説明する。図５にピッチダウンの現象を示す。スライダが流入端から磁気ディスクに接触し、磁気ヘッド側が持ち上がった状態をピッチダウンと言う。このときにスライダに働く力のつりあいを示している。スライダにはサスペンション荷重Ｗと空気軸受により発生する浮上力Ｆairとピッチダウンによって生ずる摩擦力ｆが働く。スライダの厚みをｔ、サスペンション荷重Ｗがスライダに印加される位置（ピボット位置）の流入端からの距離をX、ディスク速度をＵとした場合、連続的なピッチダウン状態を防止するためには、荷重Ｗによるモーメントと浮上力Ｆairによるモーメントがピッチダウンによる摩擦力ｆよりも大きいことが必要となる。
【００３２】
上記実施例によれば、スライダ長を長くし、Ｌｘ／Ｌｙ＝１．８にすることによって、発生浮上力Ｆairを大きくし、それに伴ってサスペンション荷重Ｗが大きくなり、また、流入端からピボット位置までの距離ｘも長くできるため、図１４に示す小形スライダで問題となっていたピッチダウンを防止することができる。図６にスライダ長さと限界摩擦力の関係を、従来の小形スライダ（Ｌｘ＝０．８５ｍｍ）の摩擦力に対する割合で示す。上記実施例によるとスライダ長さを１．２５ｍｍ（Ｌｘ／Ｌｙ＝１．８）にすることにより、限界摩擦力を約２倍に高めることができ、その結果、ピッチダウンを防止することができる。
【００３３】
図７に上記実施例によるスライダ長さとピッチング方向の剛性との関係を示す。スライダ長を１．２５ｍｍにすることにより、ピッチング剛性を従来の小形スライダに対し約３倍に高めることができ、磁気ディスク装置の外乱入力に対する浮上量変動を大幅に低減することができる。
【００３４】
また、スライダ長を長くすると、流入側の浮上面の面積を大きくでき、流入側の浮上量を十分大きくできるので、サーボ信号の書き込み時の流入側浮上量の低下によるピッチダウンを防止することができる。
【００３５】
さらに上記実施例によれば、スライダ幅を０．７ｍｍ、スライダ高さを０．２３ｍｍとしているため、現状のスライダ幅が１ｍｍ、スライダ高さが０．３ｍｍのスライダに比べ、同一ウェハから取れるスライダ数を約２倍にでき、安価に上記問題点を解決したスライダの供給が可能である。
【００３６】
図８に第２の実施例による磁気ヘッドスライダの平面図を示す。スライダ長Ｌｘを１．０ｍｍ、スライダ幅Ｌｙを０．７ｍｍ、スライダ長Ｌｘとスライダ幅Ｌｙを約１．４にした例である。スライダ１の軸受面８の流入側に流入側浅溝面４ａが設けられ、その後方に浅溝面４ａに隣接して１対の流入側浮上面２ａ，２ｂが設けられている。流入側浮上面２ａ，２ｂはその流入側で接続浮上面７により接続され同一浮上面となっている。流入側浮上面２ａ，２ｂの後方の両サイドには、流出端近くまで伸びたサイド浅溝面４ｂが設けられている。一方スライダ１の流出端の幅方向中央部にセンター浮上面２ｃを設け、磁気ヘッド３を搭載している。センター浮上面２ｃの流入側にセンター浅溝面４ｃを設けている。流入側浮上面２ａ，２ｂと接続浮上面７とサイド浅溝面４ｂとセンター浅溝面４ｃとで囲まれた軸受面８の中央に深溝面５が設けられている。
【００３７】
本実施例では接続浮上面７により流入側浮上面２ａ，２ｂを接続しているが、これによって、この部分で発生する浮上力を大きく増加させることができる。接続浮上面７の長さを流入側浮上面２ａ，２ｂの長さに較べて小さくすることにより、両サイドに正の圧力ピークを分布させ、横方向の空気軸受剛性を確保することができる。また、浮上面の接続によって、深溝面５への空気の拡大を増加できるため、負圧力を大きくすることもでき、低浮上で安定に浮上させることが可能となる。特にディスク速度が遅い小径の磁気ディスクに適したものである。浅溝深さｄ１は約１６０ｎｍ、深溝深さｄ２は約９００ｎｍとした例である。本実施例によれば、発生浮上力は従来に較べ約１．３倍となり、第１の実施形態と同様の効果がある。
【００３８】
また、流入端の両側に浮上面と同じ高さの流入端パッド１２を設けている。ドライエッチングで形成したパッドは角部がなめらかになる。これにより、ピッチダウンによりスライダの流入端が接触した場合、流入端パッドで接触するため、接触面積が小さくかつソフト接触となり、ディスクダメージを低減することができる。また、流入側が媒体に接触しても浅溝深さ分だけ開口部があり、そこから空気が流入するために、すぐに安定浮上に回復することができ、ピッチダウンを防止することができる。
【００３９】
図９に第３の実施例による磁気ヘッドスライダの平面図を示す。また、図１０に図９の側面図を示す。スライダ長さＬｘは１．２５ｍｍ、スライダ幅Ｌｘは０．７ｍｍである。流入側浮上面２ａ，２ｂの流出側部分にデポジションによって、カーボン等の膜を膜厚５０ｎｍ以下で設けた例である。また、同じプロセスによって、流入端パッド１２の上にも同じ膜厚のデポジション膜１３を設けた例である。デポジション膜１３と流入側浮上面２ａ，２ｂとが新たにステップ空気軸受として働くため、浮上力をさらに高めることができる。一方、浮上力を発生させる面積を小さくすることによって、負圧エリアを増加させることができ、雰囲気圧力が下がった時の浮上量低下を小さく抑える効果がある。流入端パッド１２上に設けたデポジット膜１３は円板との接触時の接触ダメージを軽減する。また、流入端パッド１２は空気流入の開口部を大きく保つため、ピッチダウン状態の防止効果をさらに高めることができる。
【００４０】
図１１に第４の実施例による磁気ヘッドアセンブリの側面図を示す。スライダ１は上記実施例のいずれでも良く、サスペンション１４に取り付けられたフレクチャ１５によって支持されている。サスペンション１４のサスペンション荷重を負荷するピボット１６を、スライダ１の中心からスライダの流入側に１０％以上ずらしてある。スライダ長はＬｘは１．２５ｍｍである。スライダ１の小型化によって、軸受面が減少するため、負圧発生エリアの減少により、負圧力が減少する。これは、雰囲気圧力が低下した場合の浮上量の低下量を増加させる方向に働くが、従来の小形スライダでは、ピボットずらしの効果が低く、高度が３０００ｍで２ｎｍ以上の浮上量低下が発生していた。しかし、本実施例によれば、スライダ長さＬｘを１．２５ｍｍとしたため、負圧力が増加したことと、ピボット位置を流入側にシフトする量を同率にすることにより、高度３０００ｍでの浮上量の低下量を１ｎｍ程度と大幅に改善することができる。
【００４１】
図１２に上記第１乃至第４の実施例による磁気ヘッドスライダあるいは磁気ヘッドアセンブリを組み込んだ磁気ディスク装置を示す。回転する磁気ディスク１８上に磁気ヘッドスライダ１が浮上する。磁気ヘッドスライダ１はサスペンション１４に取り付けられたフレクシャ１５により支持され、アクチュエータ１７により、磁気ディスク１８の所定の位置に位置決めされ、情報の記録、再生を行なう。磁気ディスク１８の回転停止時、磁気ヘッドスライダ１はロード／アンロード用ランプ１９によって磁気ディスク外へ退避する。この磁気ディスク装置は、磁気ヘッドスライダのサスペンション荷重を高めることができるので、装置動作時の耐衝撃特性を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１の実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面を示す平面図である。
【図２】図１に示される磁気ヘッドスライダの側面図である。
【図３】磁気ヘッドスライダのスライダ長さと空気軸受作用で発生する荷重との関係を示す図である。
【図４】磁気ヘッドスライダのBi-stableに対するマージンを説明するための図である。
【図５】磁気ヘッドスライダのピッチダウン状態を説明する図である。
【図６】スライダ長さと限界摩擦力の関係を示す図である。
【図７】スライダ長さと空気軸受のピッチ方向剛性との関係を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面を示す平面図である。
【図９】本発明の第３の実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面を示す平面図である。
【図１０】図９に示される磁気ヘッドスライダの側面図である。
【図１１】本発明の第４の実施例による磁気ヘッドアセンブリの側面図である。
【図１２】磁気ディスク装置の斜視図である。
【図１３】従来の磁気ヘッドスライダの浮上面を示す斜視図である。
【図１４】従来の磁気ヘッドスライダの浮上面を示すの平面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１…磁気ヘッドスライダ、２ａ，２ｂ…流入側浮上面、２ｃ…センター浮上面、３…磁気ヘッド、４ａ…流入側浅溝面、４ｂ…サイド浅溝面、４ｃ…センター浅溝面、５…深溝面、７…接続浮上面、８…軸受面、１２…流入端パッド、１３…デポジション膜、１４…サスペンション、１５…フレクシャ、１６…ピボット、１７…アクチュエータ、１８…磁気ディスク、１９…ロード／アンロード用ランプ。
【図１】
2006155764.tif 000003
【図２】
2006155764.tif 000004
【図３】
2006155764.tif 000005
【図４】
2006155764.tif 000006
【図５】
2006155764.tif 000007
【図６】
2006155764.tif 000008
【図７】
2006155764.tif 000009
【図８】
2006155764.tif 000010
【図９】
2006155764.tif 000011
【図１０】
2006155764.tif 000012
【図１１】
2006155764.tif 000013
【図１２】
2006155764.tif 000014
【図１３】
2006155764.tif 000015
【図１４】
2006155764.tif 000016