(57)【要約】【課題】  光学系の制振手段において、瞬時に安定した制振を行うことの出来る画像形成システムを提供する。【解決手段】  露光装置の光学系において、装置内の駆動手段を用い、複数の周波数で順次加振を行い、制振手段の出力補正テーブルを作成する手段を有す。また、制振手段に温度検知手段を設け、検知温度と装置内の時計手段に基づき出力補正テーブル作成を行う。さらに、検知温度に従い補正値を決定する。以上により、振動検知及び加振手段の諸特性（周波数特性、温度特性、経時変化）に応じた制振出力を行うことを特徴とする。【選択図】        図１
2006323066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系の振動部位に、検知及び加振手段を有する制振手段を設けた画像形成システムにおいて、２つ以上の異なる周波数の加振を行い、該制振手段の出力補正データを作成する手段を有することを特徴とする画像形成システム。
【請求項２】
請求項１に記載の画像形成システムおいて、前記加振手段は画像形成システム内の該制振手段以外の加振手段を用いることを特徴とする画像形成システム。
【請求項３】
請求項１に記載の画像形成システムおいて、該制振手段の出力補正データは、画像形成システムに設けた温度検知手段の検知温度に応じて設けることを特徴とする画像形成システム。
【請求項４】
請求項１または請求項３に記載の画像形成システムおいて、該温度検知手段を、被振動制御部材、又は該制振手段の検知手段及び加振手段の何れかに設けたことを特徴とする画像形成システム。
【請求項５】
請求項１に記載の画像形成システムおいて、該制振手段の出力補正データは、画像形成システムの時計手段又は出力カウンター手段に基づき保持することを特徴とする画像形成システム。
【請求項６】
請求項１に記載の画像形成システムおいて、該検知及び加振手段は圧電素子からなることを特徴とする画像形成システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系の振動制御を行う光学系振動制御装置を有する画像形成システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザプリンターの露光手段や原稿リーダでの光学系の振動により、入出力画像にスジ状の画像ブレが生じる課題がある。そこで従来、この課題を解決する手段として、光学系の振動部位に振動を検知する検知手段と振動を制御可能とする加振手段を設け、検知手段の信号に基づき加振手段で振動と逆位相の加振を行い、振動を相殺する制振手段が提案されている。
【０００３】
レーザ走査ユニットに発生する振動を圧力センサで検知し、レーザ走査ユニット内の加振器で振動を打ち消す為の振動を発生し、圧力センサの出力が最も小さくなるよう加振器の振幅及び位相選択を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
また、光学ミラーに振動を検知する圧電素子と、加振を行う圧電素子を設け、検知圧電素子のデータに所定のフィードバックゲインをかけ加振圧電素子により振動の相殺を行っている。（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開平９−３３８４８号公報
【特許文献２】特開２００３−７５７５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような従来技術の場合には、下記のような問題が生じていた。特許文献１においては、画像形成若しくは画像読取を行うまでに十分な時間を持ち、定常的に発生している振動に対しては有効であるが、図２１に示すような稼動中に生じる振動において、最も画像ブレが顕著となる一時的に生じる振動に対しては、確実に制振するまでに時間を要し、必要なタイミングで振動の相殺が行うことができない。
【０００６】
また特許文献２においては、一定のフィードバックゲインで加振を行うため、検知手段及び加振手段の環境変動や経時変動、或いは周波数特性に対し加振手段の出力がアンマッチとなり、特許文献１同様に確実に制振するまでに時間を要し、必要なタイミングで振動の相殺が行うことができないという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、このような課題および他の課題の少なくとも１つを解決することを目的とする。尚、他の課題については明細書の全体を通して理解できよう。
【０００８】
すなわち、本発明は上述の問題点に着目してなされてものであって、光学系の制振手段において、瞬時に安定した制振を行うことの出来る画像形成システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の目的は上記問題に鑑みたものであり、上記目的を達成する為に、本発明では、光学系の振動部位に、検知及び加振手段を有する制振手段を設けた画像形成システムにおいて、２つ以上の異なる周波数の加振を行い、該制振手段の出力補正データを作成する手段を有することを特徴とするので、光学系に生じる振動周波数に対し、検知又は駆動手段の周波数特性に対応した出力補正データが得られ、高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００１０】
また、前記加振手段は画像形成システム内の制振手段以外の加振手段を用いることを特徴するので、光学系に生じる振動周波数対し、簡単な構成で該検知及び駆動手段の周波数特性に対応した出力補正データが得られ、高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００１１】
また、制振手段の出力補正データは、画像形成システムに設けた温度検知手段の検知温度に応じて設けることを特徴とするので、検知及び駆動手段の検知素子及び固定手段の温度特性に応じ出力補正を行え、さらに高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００１２】
また、温度検知手段を、被振動制御部材、又は制振手段の検知手段及び加振手段の何れかに設けたことを特徴とするので、直接的に温度データが得られ、さらに高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００１３】
また、制振手段の出力補正データは、画像形成システムの時計手段又は出力カウンター手段に基づき保持することを特徴とするので、検知及び駆動手段の検知素子及び固定手段の経時変化に伴う出力補正を行え、さらに高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００１４】
また、検知及び加振手段は圧電素子からなることを特徴とするので、上記の出力補正が効果的に実現できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、光学系の振動に対し瞬時に安定した制振が行え、画像形成装置や画像読取装置のブレ等が少ない高精度な画像出力又は読取が実現できる。また光学系に生じる振動周波数に対し、検知又は駆動手段の周波数特性に対応した出力補正データが得られ、高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００１６】
また、光学系に生じる振動周波数に対し、簡単な構成で該検知及び駆動手段の周波数特性に対応した出力補正データが得られ、高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００１７】
また、検知及び駆動手段の検知素子及び固定手段の温度特性に応じ出力補正を行え、さらに高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００１８】
また、温度検知手段を、被振動制御部材、又は制振手段の検知手段及び加振手段の何れかに設けたことを特徴とするので、直接的に温度データが得られ、さらに高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００１９】
また、制振手段の出力補正データは、画像入力装置及び画像形成装置の時計手段又は出力カウンター手段に基づき保持することを特徴とするので、検知及び駆動手段の検知素子及び固定手段の経時変化に伴う出力補正を行え、さらに高速かつ高精度な振動制御が可能となる。
【００２０】
また、検知及び加振手段は圧電素子からなることを特徴とするので、上記の出力補正が効果的に実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００２２】
また、画像形成システムとは、画像入力装置及び画像形成装置のことである。
【実施例】
【００２３】
［第１の実施例］
以下、好ましい実施例に基づき、本発明の第１の実施例を説明する。第１の実施例はディジタルフルカラー複写機の露光装置の光学系に本発明の制振手段を用いたもので、ここでは、説明の順序としてディジタルフルカラー複写機及びその露光装置の構成について説明し、次に本発明の振動制御に係る説明をする。
【００２４】
図７において、ディジタルカラー複写機９９は、載置された原稿を走査してカラー画像情報を取り込む原稿リーダ部２６と、原稿リーダのカラー画像情報に基づきシート材ＳＴ上にカラー画像を形成するプリンター部１００で構成される。プリンター部１００において、２７は露光装置で、帯電器１１７で表面が一様に帯電された感光ドラム３８に対して、前記画像情報に基づきレーザ露光を行い、感光体表面に潜像形成を行うもので、この感光体ドラム３８は、図１２のようにドラムギヤに係合した駆動ギヤ４３を出力軸に設けたドラム駆動モータ４４により矢印の如く反時計回転し、その回りには、感光体クリーニングユニット２１２と、Ｍ現像器１１３Ｍ、Ｃ現像器１１３Ｃ、Ｙ現像器１１３Ｙ、Ｂｋ現像器１１３Ｋが保持された回転体１１０とがあり、この回転体１１０が所定の色トナーで画像形成するためにその駆動モータ１３０と回転体駆動ギヤ１３１及び回転体ギヤ１１４により回転し、感光体ドラム３８へ所定の色の現像器が接するように回転制御される。また、中間転写体としての中間転写ベルト１２２が、第１の転写手段としての一次転写ローラ２１７と、不図示のモータにより中間転写ベルト１２２を駆動する駆動ローラ２２０と、従動ローラ２１８、２１９とに張架されている。
【００２５】
また、二次転写ローラ２２１は、中間転写ベルト１２２の従動ローラ２１９に対向する位置に配置され、中間転写ベルト１２２に対して離接可能に駆動する離接機構が設けられている。また、中間転写ベルト１２２の表面で従動ローラ２１８に対向する所定位置に、ベルトクリーニングユニット２２２が設けられている。このベルトクリーニングユニット２２２の接離動作タイミングは、プリントスタートから最終色の画像後端部のベルト転写が終了するまではベルト面から離間させておき、そして、その後の所定のタイミングに、接離機構（図示しない）によってベルト面に接触させてクリーニングを行う。
【００２６】
次に露光装置２７について説明する。図１０（Ａ）は第１の実施例を用いた露光装置の斜視図で、図１０（Ｂ）はその光学箱との関係を示す斜視図、図１１（Ａ）はその断面図、図１１（Ｂ）は折り返しミラー固定部の拡大図である。図１０（Ａ）に示すように、半導体レーザ２９から照射されたレーザ光はそのままでは拡散放射される為に、コリメータレンズ３０によって円筒状の平行光線に変えられた後、さらにシリンドリカルレンズ３１で平帯状の平行光線に変換され、回転多面鏡３２へ照射され、回転多面鏡３２により一定方向の走査性をもつように反射される。そして、レーザ光はその後、結像レンズ系３３において感光ドラム３８上で一定のスポットとして結像するよう整えられ、折り返しミラー２で折り返され、感光ドラム３８の表面に照射される。また、折り返しミラー２の直前では、このレーザ光の一端を反射するＢＤミラー３５を設け、この反射光をＢＤセンサ３６で取り出すことにより、感光ドラム３８に書き込まれる際のドラム面上主走査方向開始点の同期をとる役割を果たしている。ところで、回転多面鏡３２はポリゴンモータ４８の回転ロータ部の一部として構成されるが、ポリゴンモータ４８では、回転不釣合い量により回転周波数と合致した振動が回転時に定常的に発生する。折り返しミラー２は、図１０（Ｂ）に図示されるように光学箱２８の軽薄小型化の為に薄細長形状であり、またミラー面精度が非常に厳しい光学部品であることから光学箱２８への設置は通常、両端を光学箱本体４１の折り返しミラー保持部へ、図１１（Ｂ）に示すように板ばね３９で押圧している。この為、折り返しミラー２自体は両端支持梁状態で折り返しミラー２の面外方向に図８のように振動しやすくなるので、これをミラー裏面に付設したセンサ３によって振動を検知し、同様にミラー裏面に付設された圧電素子１にて制振を行う。
【００２７】
第１の実施例にあっては、圧電素子１を制御するために、光学系の振動状態をアナログ信号として検出する振動状態検出手段としてのセンサ３および検出部７と、振動状態に基づいて圧電素子１の振動を制御するフィードバック制御系と、を備えている。フィードバック制御系は、図９に示すように、検出部７からの検出情報に基づいて折り返しミラー２の振動周波数および振幅量を演算し、所定の振幅値となるようにフィードバックゲインを、前記圧電素子１を駆動する駆動部１１に対して与えるコントローラ９を備えている。検出部７からのアナログ信号はＡ／Ｄ変換部８を介してディジタル信号に変換されてコントローラ９に入力される。
【００２８】
ここで、アクチュエータとして用いている圧電素子１とは、圧力を加えることによって電圧を発生する正圧電効果や電圧を加えると変形する逆圧電効果などの特性を利用した素子であり、光学ミラー２のような微小振動制御に対しては有効性が高い。圧電素子１は、光学ミラー２に貼り付けられ、圧電素子１の伸縮によって光学ミラー２を弓なりに変形させることが可能である。また、圧電素子１の貼付位置は、光路に影響を与えないところであれば光学ミラー２の表裏どちらでも良い。
【００２９】
第１の実施例では圧電素子１に圧電バイモルフを用いている。圧電バイモルフは図２２に示すような２つの圧電セラミック板７１、７２の間に金属板７３を挟んだ構成である。この圧電バイモルフでは厚さが数百μｍ程度のものもあり形状も自由に作成できることから軽薄短小化を図ることが出来、ミラーに貼り付けても平面度を板金貼り付けより狂わすことがない。
【００３０】
圧電素子１と光学ミラー２との接合方法に関しては、接着材による接合が考えられるが適当な弾性と厚みを有するものとして両面テープを用いることが望ましく、本実施例もこれを用いる。また、接合位置に関しては、これに限るものでは無いが、ミラー２の反射面の裏面中央に貼り付けられる。
【００３１】
次に、上記光学系振動制御装置の動作について説明する。
【００３２】
まず、光学ミラー２に圧電素子１を貼り付け、加速度センサなど振動を捕らえることの出来るセンサ３により光学ミラー２の振動状態を観測させ、この振動量を検出部７にて電圧として捕らえる。この電圧はアナログ波形で入力はＡ／Ｄ変換部８によりディジタル信号にし、コントローラ９によってミラー２の振幅量を算出し、所定のミラー振幅値になる様にプログラミングされている制御アルゴリズムと、出力補正テーブルを元にフィードバックゲインを整えて駆動部１１に対して与える。その結果、圧電効果によって得られる圧電素子１の振幅を逆位相として与え、ミラー振動に対する逆位相を圧電素子１の振動によって相殺し、その合成波の振幅を概ね低減させる。そして再びセンサ３で振動状態を観測し、前述の動作を繰り返し、振動低減を確実に行う。
【００３３】
ところで、本実施例では図９に示すように、コントローラ９には装置本体のＣＰＵ４９が接続され、ＣＰＵ４９はメモリ５０を持ち、またＣＰＵ４９はコントローラ９に対し制振手段の出力補正データを与え、さらにコントローラ９及びプリンター１００に対し制振手段の出力補正データ入手シーケンスを制御する。
【００３４】
また本実施例は、出力圧電素子１とセンサ３の間に温度センサ５１をミラーに熱伝導性の高い接着剤で固定し、その出力をコントローラ９を介してメインＣＰＵ４９に接続し、制振手段の温度検知を可能とする。
【００３５】
次に上記制振手段の振動検知データに対する加振手段の補正データ作成手段について説明する。図１７（ａ）は、使用する圧電素子の温度特性の一例で、２０℃の入力電圧に対する発生力の効率を１とした場合の変化率をデータ６５に示すものであり、図１７（ｂ）は、同様に使用する圧電素子の経時変化を示すもので、初期を１とした場合の効率の変化率をデータ６６に示すものである。また、第一の実施例ではセンサ３にも圧電素子１と同構成の圧電バイモルフを使用し、その折り返しミラー２への固定も両面テープにて行い装置の単純化を行っている。図１６は両面テープにより固定された検知センサの振動周波数に対するデータを、環境温度１５°及び６０℃において示すもので、特性としてローパスフィルタ状の特徴を有している。
【００３６】
図１〜３に本実施例の補正データ作成のフローチャートを示し、以下フローチャートに従い説明する。
【００３７】
図１において、補正データは装置本体の設置時を初回として、装置本体のメインＣＰＵ４９の時間積算手段により単純に１０００時間以降毎にメインＣＰＵ４９の信号に従い行う（＃３１０）。１つの補正データ作成は装置本体の電源がＯＮされてからの機内昇温に従い、ミラー２に貼り付けた所定の温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３になった際に行い補正データ１、２、３を得る（＃３０２〜＃３１２）。
【００３８】
各温度における補正データの収集は、図２のフローチャートに示すように、まずポリゴンモータを３００ｒｐｓ、４００ｒｐｓ、６００ｒｐｓと段階的に回転させ、各回転数で生じるポリゴンモータ４８の振動を加振源として補正値Ｓ１〜Ｓ３を得る（＃４０１〜＃４０９）。
【００３９】
さらに、補正値Ｓ１〜Ｓ３は、図３のフローチャートに示すように、ポリゴンモータで図１３（ａ）のように定常的に加振されるミラー２の振動データＤ０を検知センサ３により検知し、メインＣＰＵ４９のメモリ５０に記憶し（＃５０１）、次に入力データＤ０に対し、更新前の補正データＳｎ（ｎ＝１，２，３）による補正出力よりＤ／Ａ変換部１０の２０ｂｉｔ分小さい出力Ｐ０で圧電素子を駆動し振動の相殺を行い再度検知センサ３で残振動を測定する（＃５０２〜＃５０３）。そして、次にＤ／Ａの１ｂｉｔ分づつ出力を上げ、検知センサ３の測定を繰り返すことで、振動が最小となる出力Ｐを求めメモリ５０に記憶し、Ｐ／Ｄ０で新しい補正値Ｓｎを得、メモリ５０に記憶する（＃５０４〜＃５１０）。そして、ポリゴンモータの加振後、次にドラムモータ４４をギヤ４２及びギヤ４３の噛み合い周波数が１００Ｈｚとなる回転数で回転駆動させ、ミラー２が図１３（ｂ）となるように加振し、上記ポリゴンミラーの加振時同様にＳ４を求めメモリメモリ５０に記憶する（＃４１０〜＃４１２）。
【００４０】
ここで、図４はメモリ５０に記憶されたＳ１〜Ｓ４までの補正値で、Ｓ１〜Ｓ４に相当する５３〜５６までの補正値から、５７及び５８の２本の直線を作成し、各条件毎に、制振手段の周波数特性を得る。本実施例においては使用範囲の温度においては、Ｓ２とＳ３の間に前記２直線の交点ｆａがあるので４つの周波数データから必要な精度の周波数特性が求められるが、周波数特性の変曲点の数や想定される変動の大きさにより必要なデータは増加する。また、折り返しミラーは、ミラーの構成及び取付け条件により共振周波数を有するが、共振周波数及び共振周波数の±１０％程度等近い帯域は、上記制振手段の周波数特性測定精度に影響するので本実施例では回避し、また、画像形成装置内においても上記範囲の加振は回避する。
【００４１】
そして、Ｔ１からＴ３までの補正データが終了すると、メモリ５０に蓄えられたデータに基づき、メインＣＰＵ４９において演算し、補正テーブルを作成し、コントローラ９に送信されコントローラ内の不図示の記憶手段により記憶される。図５は補正テーブルの一例で、検知センサ３から得られる振動周波数と温度センサから得られる温度により、検知センサからの入力振幅に対する圧電素子の出力補正値を段階的に変化させるものである。尚、ここで補正テーブルは連続的に変化するものとして、数式で与えるものでも良い。
【００４２】
図６は、本実施例の制振の一例で、図６のミラーの振動データのように、プリンターの回転体１１０が瞬時に回転する際生じる大きな振動に対し、温度センサ５１の検知温度と上記補正テーブルを元に必要な補正値を決定し圧電素子１に補正を施した出力を行い、制振動作の初期において概ね振動を低減し、さらに残振動に対し繰り返しフィードバックを行うことで良好に制振でき、回転体１１０の回転後に従来必要であった振動の静定時間を殆ど必要としなくなった。
【００４３】
［第２の実施例］
図１４は画像読取装置の反射ミラー主要構成図で、第２の実施例は光学系の制振手段を画像読取装置の反射ミラーに適応したものである。第２の実施例の画像読取装置について説明すると、図１４においてこの画像読取装置の光学系は、原稿が載置される原稿台ガラス１２に対し露光光学系を走査させて原稿画像を読み取る機能を有するものである。露光光学系は、原稿台ガラス１２に対して走査する第１ミラー台１５と第２ミラー台１６とを有している。第１ミラー台１５には、露光ランプ１３と、露光ランプ１３により照射された光を原稿台ガラス１２を透過させて原稿面に集光する不図示の反射傘と、この原稿面に反射された原稿の光像が入射する直下の第１ミラー１４と、を備えている。
【００４４】
この第１ミラー１４は副走査方向とは反射面が逆向き４５度に設置されており、このミラー面で反射された原稿画像の光軸は第１ミラー台１５の後方に位置する第２ミラー台１６に向けて反射される。一方、第２ミラー台１６には、第２ミラー１７と、第３ミラー１８が設けられ、第１ミラーから反射された読取素子としてのＣＣＤ１９に向けて折り返す。この第２ミラー台１６は第１ミラー台１５からＣＣＤ１９面上までの光路長を一定に保つよう設計されており、その為、第２ミラー台１６の移動量は第１ミラー台１５の移動量に対して常に１：２に保たれている。第２ミラー１７、第３ミラー１８へと折り返され、第１ミラー台１５副走査方向へと照射された画像光軸は、結像レンズ２０を介してＣＣＤ１９へと入射され画像データとして取り込まれる。上記第１，第２及び第３ミラー１４，１７，１８は、図１５に示すように、その両端がミラー支持ばね２４を介して装置のミラー支持板２５に支持されており、中央部が自由状態となっている。光学走査系は駆動モータ２１を駆動源としてタイミングベルトである駆動ベルト２２，駆動ワイヤ２３をその動力伝達媒体として光学レール面上を摺動移動させていく。画像読取装置ではこの駆動系の振動を駆動ワイヤを介して受けたり、光学レール面から画像読取装置外部からの振動を受けて、第１，第２，第３光学ミラー１４，１７，１８が、図１５（Ａ）に示すように、光学面に対して面外方向弓なり状に振動してしまう。そこで、これらのミラーに対して、第１の実施例同様に光学振動制御装置が適用される。
【００４５】
以下、第２の実施例の制振手法について説明する。第２の実施例では、第１ミラー、第２ミラー、第３ミラー１４，１７，１８それぞれの裏面に圧電バイモルフからなる圧電素子１と振動検知用のセンサ５を密着固定させ、ミラー毎に振動を検知し制振を行う。各ミラーに設けた圧電素子と振動検知用センサは第１の実施例同様に、図９に示す画像読取装置のメインＣＰＵに夫々接続されたフィードバック制御系に接続されている。ここで、圧電素子１及びセンサ５も第１の実施例同様に両面テープで固定されている。
【００４６】
ところで、図１４において、４０は送風ファンで、画像読取装置内の温度上昇を低減するもので、第２の実施例においては、ミラーや圧電素子等の制振手段の温度上昇は小さい。図１８は第２の実施例における、補正テーブルを作成するシーケンスを示すフローチャートである。図１８において、補正テーブル作成は、１０００時間毎に行い（＃６０１〜＃６０２）、タイミングベルトである駆動ベルト２２の噛み合い周期が５０Ｈｚ及び３００Ｈｚとなるようモータ２１を駆動し、図３と同じ手段により２つの補正値を求め、２つのデータを直線的に結んだ補正テーブルに基づき３００Ｈｚまでの振動に対応可能な制振手段の出力補正を行う。
【００４７】
［その他の実施例］
上記説明した第１及び第２の実施例では各装置本体の駆動手段を用いて加振を行い制振手段の補正テーブルを作成したが、第２の実施例において、経時変化や温度変動の小さいセンサ及びエポキシ系等の接着手段を用いることで、図１９のフローチャートに示すように、加振を行う圧電素子で異なる周波数の加振を行い、特に加振側圧電素子の出力補正テーブルを作成する手段も可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】第１の実施例における補正テーブル作成フローチャート
【図２】第１の実施例における補正データ収集フローチャート
【図３】第１の実施例における補正値測定フローチャート
【図４】第１の実施例の補正データを示す図
【図５】第１の実施例の補正テーブルの１例を示す図
【図６】第１の実施例のミラーの制振を示す図
【図７】第１の実施例のディジタルフルカラー複写機の概略図
【図８】第１の実施例のミラー制振手段の概略図
【図９】第１の実施例のミラー制振手段のブロック図
【図１０】（Ａ）第１の実施例の露光装置の斜視図（Ｂ）第１の実施例の露光装置の光学箱との関係を示す斜視図
【図１１】（Ａ）第１の実施例の露光装置の断面図（Ｂ）折り返しミラー固定部の拡大図
【図１２】第１の実施例の感光ドラム駆動概略図
【図１３】（Ａ）、（Ｂ）第１の実施例の加振時のミラー振動を示す図
【図１４】（Ａ）第２の実施例の画像読取装置の斜視図（Ｂ）第２の実施例の画像読取装置の断面図
【図１５】（Ａ）第２の実施例の光学ミラーの支持状態を示す図（Ｂ）第２の実施例のミラー支持部拡大図
【図１６】第１の実施例の両面テープ固定時の検知センサの周波数特性を示す図
【図１７】（ａ）第１の実施例の圧電素子の温度特性を示す図（ｂ）第１の実施例の圧電素子の経時変化を示す図
【図１８】第２の実施例における補正テーブル作成フローチャート
【図１９】その他の実施例における補正テーブル作成フローチャート
【図２０】露光装置の従来例を示す図
【図２１】従来例におけるミラーの振動を示す図
【図２２】圧電バイモルフの概略図
【符号の説明】
【００４９】
１、４  圧電素子
２  光学ミラー
３、５  センサ
７  検出部
８  Ａ／Ｄ変換部
９  コントローラ
１０  Ｄ／Ａ変換部
１１  駆動部
１２  原稿台ガラス
１３  露光ランプ
１４  第１ミラー
１５  第１ミラー台
１６  第２ミラー台
１７  第２ミラー
１８  第３ミラー
１９  ＣＣＤ
２０  結像レンズ
２１  駆動モータ
２２  駆動ベルト
２３  駆動ワイヤ
２４  ミラー支持ばね
２５  ミラー支板
２６  原稿読取装置
２７  露光装置
２８  光学箱
２９  半導体レーザ
３０  コリメータレンズ
３１  シリンドリカルレンズ
３２  回転多面鏡
３３  結像レンズ
３５  ＢＤミラー
３６  ＢＤセンサ
３８、１５７  感光ドラム
３９  板ばね
４０  送風ファン
４１  ミラー支持部
４２  ドラムギヤ
４３  駆動ギヤ
４４  ドラム駆動モータ
４９  メインＣＰＵ
５０  メモリ
５１  温度センサ
７１、７２  圧電セラミック板
７３  金属板
９９  ディジタルフルカラー複写機
１００  ディジタルプリンター
１１０  回転体
１１３Ｍ、１１３Ｃ、１１３Ｙ、１１３Ｋ  現像器
１１４  回転体ギヤ
１１７  帯電器
１２２  中間転写ベルト
１２５  定着器
１３０  回転体駆動モータ
１３１  回転体駆動ギヤ
１５１  露光装置
１５２  露光ユニット
１５３  圧力センサ
１５４  加振制御回路
１５５  加振用駆動信号
１５６  折り返しミラー
２１２  感光体クリーニングユニット
２１７  一次転写ローラ
２１８、２１９  従動ローラ
２２０  駆動ローラ
２２１  二次転写ローラ
２２２  ベルトクリーニングユニット
ＳＴ  シート材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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