(57)【要約】【課題】  小型化が可能、かつ、測定精度に優れる濃淡電池式酸素センサおよびその温度制御方法を提供する。【解決手段】  電極１７の固体電解質板１１と接する面とは反対の面には、第二のリード線１９がその側面を電極１７と電気的に接して配され、かつ、第二のリード線１９の両端は自由端をなしており、第二のリード線１９は酸素測定用のリード線と抵抗測定用のリード線を兼ねている濃淡電池式酸素センサ１０において、自由端をなす第二のリード線１９の両端を抵抗測定用電極にそれぞれ電気的に接続して、第二のリード線１９の抵抗値を求め、この抵抗値に基づいてヒータ２０に印加する電圧を調整することにより、濃淡電池式酸素センサ１０の温度を所定の温度に保つ。【選択図】        図１
2006078253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体電解質板と、該固体電解質板と対向するように配置された封止セラミックス板と、前記固体電解質板と前記封止セラミックス板の互いに対向する周縁部に介挿された環状のスペーサと、前記固体電解質板と前記スペーサとの間を封止する環状の第一の封止材と、前記封止セラミックス板と前記スペーサとの間を封止する環状の第二の封止材と、これら固体電解質板、封止セラミックス板、スペーサ、並びに、第一の封止材および第二の封止材により密封された空間に充填された金属−金属酸化物からなる参照電極と、該参照電極から前記密封された空間の外部に延びる第一のリード線と、前記固体電解質板の前記参照電極と接する面とは反対の面に設けられた電極と、前記封止セラミックス板の前記参照電極と接する面とは反対の面に設けられたヒータと、を備えた濃淡電池式酸素センサであって、
前記電極の前記固体電解質板と接する面とは反対の面には、第二のリード線がその側面を前記電極と電気的に接して配され、かつ、前記第二のリード線の両端は自由端をなしており、前記第二のリード線は酸素濃度測定用のリード線と抵抗測定用のリード線を兼ねていることを特徴とする濃淡電池式酸素センサ。
【請求項２】
固体電解質板と、該固体電解質板と対向するように配置された封止セラミックス板と、前記固体電解質板と前記封止セラミックス板の互いに対向する周縁部に介挿された環状のスペーサと、前記固体電解質板と前記スペーサとの間を封止する環状の第一の封止材と、前記封止セラミックス板と前記スペーサとの間を封止する環状の第二の封止材と、これら固体電解質板、封止セラミックス板、スペーサ、並びに、第一の封止材および第二の封止材により密封された空間に充填された金属−金属酸化物からなる参照電極と、該参照電極から前記密封された空間の外部に延びる第一のリード線と、前記固体電解質板の前記参照電極と接する面とは反対の面に設けられた電極と、前記封止セラミックス板の前記参照電極と接する面とは反対の面に設けられたヒータと、を備え、前記電極の前記固体電解質板と接する面とは反対の面には、第二のリード線がその側面を前記電極と電気的に接して配され、かつ、前記第二のリード線の両端は自由端をなしており、前記第二のリード線は酸素濃度測定用のリード線と抵抗測定用のリード線を兼ねている濃淡電池式酸素センサの温度制御方法であって、
前記自由端をなす前記第二のリード線の両端を抵抗測定用電極にそれぞれ電気的に接続して、前記第二のリード線の抵抗値を求め、該抵抗値に基づいて前記ヒータに印加する電圧を調整することにより、濃淡電池式酸素センサの温度を所定の温度に保つことを特徴とする濃淡電池式酸素センサの温度制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、高純度の窒素雰囲気中の残存酸素濃度の監視用などに用いられる濃淡電池式酸素センサおよびその温度制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、工業用窒素発生器から発生する高純度の窒素中に含まれる残存酸素濃度から窒素発生器の性能低下を常時監視する用途や、半導体露光装置で純窒素をパージした時の残存酸素濃度から露光性能の低下を常時監視する用途などに酸素センサが利用されている。高純度の窒素中の残存酸素濃度の監視用としては、大気を参照ガスとしたジルコニア濃淡電池式センサやジルコニア限界電流式酸素センサが用いられている。
【０００３】
図３は、従来の濃淡電池式酸素センサを示す断面図である。
この濃淡電池式酸素センサ１００では、円板状の固体電解質板１０１と、円板状の封止セラミックス板１０２とが、これらの周縁部に円環状のスペーサ１０３を介在させて対向配置されている。また、固体電解質板１０１とスペーサ１０３との間は、円環状の第一の封止材１０４によって気密に封止されている。さらに、封止セラミックス板１０２とスペーサ１０３との間は、円環状の第二の封止材１０５によって気密に封止されている。そして、固体電解質板１０１、封止セラミックス板１０２およびスペーサ１０３で形成される密閉空間内には、参照電極１０６をなす金属−金属酸化物（以下、「Ｍ−ＭＯ」と略記することもある。）が充填されている。
【０００４】
固体電解質板１０１の参照電極１０６と接する面とは反対の面には、電極１０７が設けられている。また、電極１０７には、リード線１０８が接続されている。一方、固体電解質板１０１の参照電極１０６と接する面にも、リード線１０９が接続されている。このリード線１０９は、第一の封止材１０４を気密に貫通して、濃淡電池式酸素センサ１００の内部から外部に引き出されている。また、封止セラミックス板１０２の参照電極１０６と接する面とは反対の面には、ヒータ１１０がパターン形成されている。さらに、ヒータ１１０には、リード線１１１が接続されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
このように、参照電極１０６を内蔵する濃淡電池式酸素センサ１００では、酸素濃度の測定精度は温度依存性が高い。したがって、濃淡電池式酸素センサ１００を用いた酸素濃度の測定では、測定精度を高めるために、濃淡電池式酸素センサ１００の温度を正確に測定し、濃淡電池式酸素センサ１００の温度を所定の温度に正確に制御することが非常に重要である。
【０００６】
従来、濃淡電池式酸素センサの温度を測定するには、図３に示すように、濃淡電池式酸素センサ１００の近傍に配した熱電対１２０によって、濃淡電池式酸素センサ１００の温度を測定する方法が用いられている。また、ヒータ１１０で消費される電力から濃淡電池式酸素センサ１００の温度を予想する方法が用いられている。
【０００７】
しかしながら、熱電対を用いる方法は、濃淡電池式酸素センサの温度を制御するためには有効な方法であるものの、温度を測定するための計測器類が必要となるので、濃淡電池式酸素センサを小型化するには限界がある。また、熱電対が濃淡電池式酸素センサに接していないので、熱電対によって濃淡電池式酸素センサ本来の温度を正確に測定できないという欠点が起こりうる。
【０００８】
また、ヒータで消費される電力から濃淡電池式酸素センサの温度を予測する方法は、濃淡電池式酸素センサの周囲の温度や気流などの測定環境の変化によって、想定した温度と実際の温度との間に誤差が生じるので、濃淡電池式酸素センサ本来の温度を正確に測定できないという欠点がある。
【０００９】
さらに、これら２つの方法では、濃淡電池式酸素センサの温度の測定結果に基づいて、ヒータの温度を所定の温度となるように制御しても、濃淡電池式酸素センサの周囲の温度や気流などの測定環境の変化によって、濃淡電池式酸素センサの温度も変化するので、ヒータの温度を所定の温度に保持することができなくなるおそれがあった。
【特許文献１】特開２００４−１７７３２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、小型化が可能、かつ、測定精度に優れる濃淡電池式酸素センサおよびその温度制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するために、固体電解質板と、該固体電解質板と対向するように配置された封止セラミックス板と、前記固体電解質板と前記封止セラミックス板の互いに対向する周縁部に介挿された環状のスペーサと、前記固体電解質板と前記スペーサとの間を封止する環状の第一の封止材と、前記封止セラミックス板と前記スペーサとの間を封止する環状の第二の封止材と、これら固体電解質板、封止セラミックス板、スペーサ、並びに、第一の封止材および第二の封止材により密封された空間に充填された金属−金属酸化物からなる参照電極と、該参照電極から前記密封された空間の外部に延びる第一のリード線と、前記固体電解質板の前記参照電極と接する面とは反対の面に設けられた電極と、前記封止セラミックス板の前記参照電極と接する面とは反対の面に設けられたヒータと、を備えた濃淡電池式酸素センサであって、前記電極の前記固体電解質板と接する面とは反対の面には、第二のリード線がその側面を前記電極と電気的に接して配され、かつ、前記第二のリード線の両端は自由端をなしており、前記第二のリード線は酸素濃度測定用のリード線と抵抗測定用のリード線を兼ねている濃淡電池式酸素センサを提供する。
【００１２】
本発明は、固体電解質板と、該固体電解質板と対向するように配置された封止セラミックス板と、前記固体電解質板と前記封止セラミックス板の互いに対向する周縁部に介挿された環状のスペーサと、前記固体電解質板と前記スペーサとの間を封止する環状の第一の封止材と、前記封止セラミックス板と前記スペーサとの間を封止する環状の第二の封止材と、これら固体電解質板、封止セラミックス板、スペーサ、並びに、第一の封止材および第二の封止材により密封された空間に充填された金属−金属酸化物からなる参照電極と、該参照電極から前記密封された空間の外部に延びる第一のリード線と、前記固体電解質板の前記参照電極と接する面とは反対の面に設けられた電極と、前記封止セラミックス板の前記参照電極と接する面とは反対の面に設けられたヒータと、を備え、前記電極の前記固体電解質板と接する面とは反対の面には、第二のリード線がその側面を前記電極と電気的に接して配され、かつ、前記第二のリード線の両端は自由端をなしており、前記第二のリード線は酸素濃度測定用のリード線と抵抗測定用のリード線を兼ねている濃淡電池式酸素センサの温度の制御方法であって、前記自由端をなす前記第二のリード線の両端を抵抗測定用電極にそれぞれ電気的に接続して、前記第二のリード線の抵抗値を求め、該抵抗値に基づいて前記ヒータに印加する電圧を調整し、濃淡電池式酸素センサの温度を所定の温度に保つ濃淡電池式酸素センサの温度制御方法を提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の濃淡電池式酸素センサによれば、自由端をなす第二のリード線が固体電解質板に設けられた電極に接し、かつ、その両端を、抵抗測定器に設けられた抵抗測定用電極に電気的に接続し、第二のリード線の抵抗値を測定して、この測定値に基づいてヒータに印加する電圧を調整し、濃淡電池式酸素センサの温度を所定の温度に保つことにより、濃淡電池式酸素センサによる酸素濃度の測定精度を向上させることができる。したがって、濃淡電池式酸素センサに備えられたヒータによって、濃淡電池式酸素センサの温度を所定の温度に保つことができるから、濃淡電池式酸素センサの温度を制御するための装置や設備などを別途設ける必要がないので、小型の濃淡電池式酸素センサを実現することができる。また、第二のリード線は酸素濃度測定用のリード線と抵抗測定用のリード線を兼ねるため、さらに小型化することができる。
【００１４】
本発明の濃淡電池式酸素センサの温度測定法によれば、第二のリード線の抵抗値を測定し、この測定値に基づいてヒータに印加する電圧を調整することにより、濃淡電池式酸素センサの温度を所定の温度に一定に保つことができる。これにより、濃淡電池式酸素センサによる酸素濃度の測定精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施した濃淡電池式酸素センサおよびその温度制御方法について、図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は、本発明に係る濃淡電池式酸素センサの一実施形態を示す断面図である。図２は、本発明に係る濃淡電池式酸素センサの一実施形態を示す底面図である。
図１および図２中、符号１０は濃淡電池式酸素センサ、１１は固体電解質板、１２は封止セラミックス板、１３はスペーサ、１４は第一の封止材、１５は第二の封止材、１６は参照電極、１７は電極、１８は第一のリード線、１９は第二のリード線、２０はヒータ、２１は第三のリード線をそれぞれ表している。
【００１７】
この実施形態の濃淡電池式酸素センサ１０は、固体電解質板１１と、固体電解質板１１と対向するように配置された封止セラミックス板１２と、固体電解質板１１と封止セラミックス板１２の互いに対向する周縁部に介挿された環状のスペーサ１３と、固体電解質板１１とスペーサ１３との間を封止する環状の第一の封止材１４と、封止セラミックス板１２とスペーサ１３との間を封止する環状の第二の封止材１５と、これら固体電解質板１１、封止セラミックス板１２、スペーサ１３、並びに、第一の封止材１４および第二の封止材１５により密封された空間（以下、「密封空間」と略す。）２３に充填された金属−金属酸化物からなる参照電極１６と、参照電極１６から密封空間２３の外部に延びる第一のリード線１８と、固体電解質板１１の参照電極１６と接する面とは反対の面１１ａに設けられた電極１７と、封止セラミックス板１２の参照電極１６と接する面とは反対の面１２ａに所定の形状に設けられたヒータ２０と、電極１７の固体電解質板１１と接する面とは反対の面１７ａに配された第二のリード線１９と、ヒータ２０に接続された第三のリード線２１とから概略構成されている。
【００１８】
濃淡電池式酸素センサ１０では、電極１７の固体電解質板１１と接する面とは反対の面１７ａには、第二のリード線１９がその側面を電極１７と電気的に接して配され、かつ、第二のリード線１９の両端は自由端をなしている。第二のリード線１９の側面が電極１７に電気的に接することにより、周囲の温度変化の影響を受け難くなり、温度を正確に測ることができる。
【００１９】
固体電解質板１１としては、円板状のジルコニア板が挙げられる。
固体電解質板１１をなすジルコニアとしては、イオン伝導性に優れることから、イットリウム酸化物を８ｍｏｌ％含むジルコニア（ＺｒＯ２−８ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３）からなるものが望ましい。なお、固体電解質板１１としては、ジルコニアに酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などの無機ドーパントを添加して、酸素イオン伝導のための空格子点を形成するようにしたものも用いることができる。
【００２０】
封止セラミックス板１２としては、円板状のジルコニア板が挙げられる。
封止セラミックス板１２をなすジルコニアとしては、イットリウム酸化物を２ｍｏｌ％〜４ｍｏｌ％含むジルコニア（ＺｒＯ２−２〜４ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３）からなるものが望ましい。
【００２１】
スペーサ１３をなす材質としては、セラミックスなどが挙げられる。
第一の封止材１４および第二の封止材１５をなす材質としては、密閉性と接着性を兼ね備えたガラスなどが挙げられる。
【００２２】
参照電極１６をなす材質としては、パラジウム（Ｐｄ）、銅（Ｃｕ）、鉛（Ｐｂ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）などの一部を酸化したＰｄ−ＰｄＯ、Ｃｕ−Ｃｕ２Ｏ、Ｐｂ−ＰｂＯ、Ｎｉ−ＮｉＯ、Ｃｏ−ＣｏＯなどからなる金属−金属酸化物が挙げられる。
【００２３】
電極１７をなす材質としては、白金などの金属が挙げられる。
この電極１７は、例えば、スクリーン印刷などにより増粘剤と有機溶剤によってペースト化された白金を塗布した後、熱処理を経ることにより、ポーラス状（多孔性）に形成される。電極１７をポーラス状とすることによって、測定酸素の出入りが可能となる。
【００２４】
第一のリード線１８、第二のリード線１９および第三のリード線２１としては、白金からなるリード線が挙げられる。また、第二のリード線１９は、酸素濃度測定用のリード線と、抵抗測定用リード線を兼ねている。
【００２５】
ヒータ２０をなす材質としては、白金などの金属が挙げられる。
【００２６】
この実施形態の濃淡電池式酸素センサ１０では、自由端をなす第二のリード線１９が固体電解質板１１に設けられた電極１７に接し、かつ、その両端を、抵抗測定器（図示略）に設けられた抵抗測定用電極に電気的に接続することにより、第二のリード線１９の抵抗値を測定して、この測定値に基づいてヒータ２０に印加する電圧を調整し、濃淡電池式酸素センサ１０の温度を所定の温度に保つことにより、濃淡電池式酸素センサ１０による酸素濃度の測定精度を向上させることができる。したがって、濃淡電池式酸素センサ１０に備えられたヒータ２０によって、濃淡電池式酸素センサ１０の温度を所定の温度に保つことができるから、濃淡電池式酸素センサ１０の温度を制御するための装置や設備などを別途設ける必要がなく、濃淡電池式酸素センサ１０の小型化を実現することができる。また、第二のリード線１９は酸素濃度測定用のリード線と抵抗測定用のリード線を兼ねるため、さらに濃淡電池式酸素センサ１０を小型化することができる。
【００２７】
次に、図１および図２を参照して、この実施形態の濃淡電池式酸素センサの製造方法について説明する。
まず、ジルコニアからなる固体電解質板１１を作製する。
固体電解質板１１は、例えば、ジルコニアからなる直径１０ｍｍの棒状体を、厚み約０．２ｍｍに切断して円板状のジルコニア板とし、この円板状のジルコニア板を研磨によって厚みを調整することにより得られる。
【００２８】
次いで、作製された固体電解質板１１上に、例えば、白金ペーストを塗布し、この白金ペーストを所定の温度で焼成して、白金からなる電極１７を形成する。
【００２９】
次いで、固体電解質板１１の電極１７が形成された面とは反対の面の周縁部に、ガラスからなる円環状の第一の封止材１４を、約１０００℃の温度で融着することにより、固体電解質板１１上に第一の封止材１４を積層する。
【００３０】
なお、この時、第一の封止材１４の側面に第一のリード線１８を挿入することができる程度の穴を設けておき、第一のリード線１８をこの穴に挿通するとともに、固体電解質板１１に接触させた状態で、第一の封止材１４を加熱することにより、第一のリード線１８を第一の封止材１４に接着する。
【００３１】
次いで、第一の封止部材１４の上に、円環状のスペーサ１３を、約１０００℃の温度で融着することにより、第一の封止材１４の上にスペーサ１３を積層する。
【００３２】
次いで、スペーサ１３の上に、ガラスからなる円環状の第二の封止材１５を、約１０００℃の温度で融着することにより、スペーサ１３上に第二の封止材１５を積層する。
【００３３】
次いで、固体電解質板１１からなる底部と、第一の封止材１４とスペーサ１３と第二の封止材１５からなる側部により形成される凹部２４内に、参照電極１６を形成するための金属粉末を充填する。金属粉末には、必要に応じて、安定化ジルコニアの粉末を配合してもよい。
【００３４】
また、上記一連の工程とは別に、円板状の封止セラミックス板１２の一方の面に、予め白金からなるヒータ２０をパターン形成する。
【００３５】
次いで、このヒータ２０が設けられた封止セラミックス板１２により、第二の封止材１５の開口している側、すなわち、凹部２４を封止して、金属粉末を密封することにより、固体電解質板１１、封止セラミックス板１２、スペーサ１３、第一の封止材１４、第二の封止材１５および参照電極用の金属粉末からなる積層体が得られる。この金属粉末の封止処理では、第二の封止材１５を約１０００℃に加熱して、封止セラミックス板１２を第二の封止材１５に融着する。
【００３６】
次いで、白金などからなる第二のリード線１９を、その側面が電極１７の固体電解質板１１と接する面とは反対の面１７ａに電気的に接するように、かつ、第二のリード線１９の両端が自由端をなすように配して、電極１７に接続する。また、白金などからなる第三のリード線２１をヒータ２０に接続する。
最後に、上記の積層体を、濃淡電池式酸素センサの作動温度まで加熱することにより、この積層体内に密封された金属粉末は、その一部が酸化してＭ−ＭＯからなる参照電極１６となり、一定の酸素分圧で安定し、濃淡電池式酸素センサ１０が得られる。
【００３７】
なお、参照電極用の金属粉末を濃淡電池式酸素センサの作動温度まで加熱することにより、パラジウム（Ｐｄ）、銅（Ｃｕ）、鉛（Ｐｂ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）などの金属粉末の一部が酸化して、Ｐｄ−ＰｄＯ、Ｃｕ−Ｃｕ２Ｏ、Ｐｂ−ＰｂＯ、Ｎｉ−ＮｉＯ、Ｃｏ−ＣｏＯなどからなる参照電極１６が形成される。
【００３８】
次に、図１および図２を参照して、本発明に係る濃淡電池式酸素センサの温度制御方法について説明する。
まず、図１および図２に示すような濃淡電池式酸素センサ１０の第二のリード線１９の両端を、抵抗測定器（図示略）に設けられた抵抗測定用電極（図示略）にそれぞれ接続する。
次いで、ヒータ２０に通電（電圧を印加）するとともに、抵抗測定器によって第二のリード線１９の抵抗値を測定し、この測定値に基づいてヒータ２０に印加する電圧を調整することにより、濃淡電池式酸素センサ１０の温度を所定の温度に一定に保つ。
【００３９】
濃淡電池式酸素センサ１０の温度制御方法について、より詳しく説明する。
予め第二のリード線１９の抵抗値と温度との相関、および、ヒータ電圧とリード線の抵抗値との相関を求めておく。
次に、温度が所定の範囲になるように目標とする抵抗値を決定する。この時、抵抗値をモニタし、目標とする抵抗値となるようにヒータ２０の電圧を調整する。すなわち、モニタしている抵抗値が、目標とする抵抗値を下回る際にはヒータ２０の電圧が高くなるように、また逆に、目標とする抵抗値を上回る際にはヒータ２０の電圧が低くなるように、調整される。
【００４０】
このように、この実施形態の濃淡電池式酸素センサの温度制御方法によれば、第二のリード線１９の抵抗値を測定し、この測定値に基づいてヒータ２０に印加する電圧を調整することにより、濃淡電池式酸素センサ１０の温度を所定の温度に一定に保つことができる。これにより、濃淡電池式酸素センサ１０による酸素濃度の測定精度を向上させることができる。
【実施例】
【００４１】
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００４２】
（実施例）
図１に示すような濃淡電池式酸素センサを作製した。
第二のリード線としては、外径０．１０ｍｍ、長さ１５ｍｍの白金線を用い、この白金線の側面を白金ペーストにより、固体電解質板電極に設けられた電極に電気的に接合した。また、第二のリード線の両端をそれぞれ、抵抗測定器に設けられた抵抗測定用電極に接続した。
次に、濃淡電池式酸素センサの温度を４５０℃に一定に保つために、ヒータに電圧を印加した。濃淡電池式酸素センサの温度を４５０℃に保つためには、ヒータに１．９Ｗの電力を供給した。
濃淡電池式酸素センサの温度を４５０℃に維持したとき、第二のリード線の抵抗値は、濃淡電池式酸素センサを加熱する前の０．２０５６Ωから０．３８８５Ωに変化した。さらに、濃淡電池式酸素センサの温度が４５２℃に温度が上がると、第二のリード線の抵抗値は０．３８９３Ωへ変化した。
そこで、ヒータに印加する電圧をごく僅かに下げて、第二のリード線の抵抗値を０．３８８５Ωに戻した。
これにより、濃淡電池式酸素センサの温度を４５０℃に戻すことができた。
【００４３】
実施例の結果から、第二のリード線の抵抗値を測定し、この測定値に基づいてヒータに印加する電圧を調整することにより、濃淡電池式酸素センサの温度を所定の温度に制御することができることが分かった。
また、この実施例では、濃淡電池式酸素センサの温度が４４９〜４５１℃の範囲で一定に保たれ、濃淡電池式酸素センサにより酸素濃度測定を精度５％ＦＳで行う場合、許容温度範囲は±１．０％となる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の濃淡電池式酸素センサおよびその温度制御方法は、工業用窒素発生装置から発生する高純度窒素中の酸素濃度の測定や、半導体露光装置の純窒素パージ後の残存酸素濃度の測定だけでなく、自動車の排ガス中の酸素濃度の測定や、燃焼装置の排ガス中の酸素濃度の測定など、幅広い分野における酸素濃度の測定に供される濃淡電池式酸素センサおよびその温度制御方法としても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明に係る濃淡電池式酸素センサの一実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係る濃淡電池式酸素センサの一実施形態を示す底面図である。
【図３】従来の濃淡電池式酸素センサを示す断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０・・・濃淡電池式酸素センサ、１１・・・固体電解質板、１２・・・封止セラミックス板、１３・・・スペーサ、１４・・・第一の封止材、１５・・・第二の封止材、１６・・・参照電極、１７・・・電極、１８・・・第一のリード線、１９・・・第二のリード線、２０・・・ヒータ、２１・・・第三のリード線、２３・・・密封空間。
【図１】
2006078253.tif 000003
【図２】
2006078253.tif 000004
【図３】
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