(57)【要約】      （修正有）【課題】  耐久性を有し、安価で簡易に構成される光ピックアップの出射光測定装置を提供する。【解決手段】  光ピックアップの出射光測定装置は、光ピックアップから出射される出射光の非点収差などの収差を測定するために好適に使用される。光ピックアップからの出射光を対物レンズで平行光にし、集光レンズにより所定位置にビームスポットとして集光する。対物レンズと集光レンズの焦点距離によりビームスポットの拡大率が規定され、所定位置には拡大されたビームスポットが形成される。集光レンズは、移動手段により光軸方向に移動される。出射光測定装置は、出射光をデフォーカスさせ、ビームスポットの形状から収差等の特性を測定する。対物レンズを移動させる構成と比較した場合、集光レンズの移動精度は高い精度を要求されないので、集光レンズの移動手段として高精度の必要がなくなり、出射光測定装置を安価に構成することができ、測定操作も容易となる。【選択図】      図４
2006024301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ピックアップから出射される出射光の特性を測定する光ピックアップの出射光測定装置であって、
前記光ピックアップからの出射光を平行光にして出射する対物レンズと、
前記対物レンズが出射した平行光を集光し、所定位置にビームスポットを形成する集光レンズと、
前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする光ピックアップの出射光測定装置。
【請求項２】
前記所定位置に配置され、前記集光レンズにより集光されたビームスポットを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像したビームスポットの画像に基づいて、非点隔差を検出する検出手段と、をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の光ピックアップの出射光測定装置。
【請求項３】
前記集光レンズが出射した光ビームが通過する複数のレンズをさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の光ピックアップの出射光測定装置。
【請求項４】
前記移動手段は、機械式に前記集光レンズを移動させる移動機構であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光ピックアップの出射光測定装置。
【請求項５】
前記対物レンズは固定されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の出射光測定装置。
【請求項６】
光ピックアップから出射される出射光の特性を測定する光ピックアップの出射光測定方法であって、
前記光ピックアップからの出射光を対物レンズによって平行光にし、前記対物レンズが出射した平行光を集光レンズによって集光して撮像手段上にビームスポットを形成する集光工程と、
前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動工程と、
前記集光レンズを移動させつつ前記撮像手段により撮像した前記ビームスポットの画像に基づいて、前記出射光の特性を測定する測定工程と、を備えることを特徴とする光ピックアップの出射光測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ピックアップからの出射光の非点収差などの特性を測定する出射光測定装置、及び測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクなどを記録・再生する情報記録再生装置は、光ディスクにレーザ光を照射することにより情報を記録し、その反射光を受光することにより光ディスクに記録された情報を再生する。このため、情報記録再生装置に設けられる光ピックアップは、光ディスクの情報記録面にレーザ光を集光させる。このとき、レーザ光に収差が生じることにより、光ディスク上に形成されるビームスポットが真円とならずに楕円などになってしまう場合がある。ここでの収差としては、例えばコマ収差や非点収差や球面収差などが挙げられる。特に、非点収差は、光学部品の精度や光学調整具合により発生し、光ディスクからの情報の読み取り精度や情報の書き込み精度を低下させる。
【０００３】
上記のような不具合を生じさせないために、通常は、光ピックアップの収差を測定して、光ピックアップ内の光学系を調整したり、検査の結果が悪いものは破棄したりしている。例えば、特許文献１乃至３には、光ピックアップの出射光の測定装置や調整方法が記載されている。具体的には、光ピックアップからの出射光のビームスポットを光学ヘッドなどを用いて拡大及びデフォーカスし、そのビームスポットの形状を測定して非点収差の評価などを行っている。この場合、光学ヘッド内の対物レンズをピエゾ素子を利用して移動させることにより、測定するビームスポットの形状を変化させている。なお、ピエゾ素子を用いるのは、対物レンズを移動させてビームスポットをデフォーカスするために高い移動精度（例えば±１μｍ）が要求されるからである。
【０００４】
しかしながら、上記の技術においてはピエゾ素子を用いているため、測定装置が高価になってしまっていた。また、ピエゾ素子は耐久性に欠けるため、光ピックアップの生産工程における検査などの継続的な使用には不向きであった。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−９０６０５号公報
【特許文献２】特開２００３−２０７４３６号公報
【特許文献３】特開２００２−１７７２９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は上記のようなものが例として挙げられる。本発明は、耐久性を有し、且つ安価で簡易に構成される光ピックアップの出射光測定装置、及び測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明では、光ピックアップから出射される出射光の特性を測定する光ピックアップの出射光測定装置は、前記光ピックアップからの出射光を平行光にして出射する対物レンズと、前記対物レンズが出射した平行光を集光し、所定位置にビームスポットを形成する集光レンズと、前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項６に記載の発明では、光ピックアップから出射される出射光の特性を測定する光ピックアップの出射光測定方法は、前記光ピックアップからの出射光を対物レンズによって平行光にし、前記対物レンズが出射した平行光を集光レンズによって集光し、撮像手段上にビームスポットを形成する集光工程と、前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動工程と、前記集光レンズを移動させつつ前記撮像手段により撮像した前記ビームスポットの画像に基づいて、前記出射光の特性を測定する測定工程と、を備えることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の好適な実施形態では、光ピックアップから出射される出射光の特性を測定する光ピックアップの出射光測定装置は、前記光ピックアップからの出射光を平行光にして出射する対物レンズと、前記対物レンズが出射した平行光を集光し、所定位置にビームスポットを形成する集光レンズと、前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動手段と、を備える。
【００１０】
上記の光ピックアップの出射光測定装置は、光ピックアップから出射される出射光の非点収差などの収差を測定するために好適に使用される。この出射光測定装置では、光ピックアップからの出射光を対物レンズで平行光にし、対物レンズが出射した平行光を集光レンズにより所定位置にビームスポットとして集光する。基本的に、対物レンズと集光レンズの焦点距離によりビームスポットの拡大率が規定され、所定位置には拡大されたビームスポットが形成される。集光レンズは、移動手段により光軸方向に移動される。そして、出射光測定装置は、集光レンズを光軸上で所定量ずつ移動させるなどして光ピックアップからの出射光をデフォーカスさせ、そのときのビームスポットの形状などに基づいて収差等の特性を測定する。この場合、集光レンズから所定位置までの光路を、対物レンズの光ピックアップ側の光路に比べて十分に長くすることにより、集光レンズを移動させる際に高い分解能は要求されなくすることができる。即ち、集光レンズを固定し、対物レンズを移動させる比較例の構成と比較した場合、上記の出射光測定装置における集光レンズの移動精度は、上記の比較例において対物レンズの移動に要求される精度に比べてかなり低くて済む。よって、集光レンズの移動手段として高精度の移動手段を用いる必要がなくなり、出射光測定装置を安価に構成することができるとともに、測定操作も容易となる。
【００１１】
上記の光ピックアップの出射光測定装置の一態様では、前記所定位置に配置され、前記集光レンズにより集光されたビームスポットを撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像したビームスポットの画像に基づいて、非点隔差を検出する検出手段と、を更に備えることができる。これにより、ビームスポットのデフォーカス状態を変化させて得た複数のビームスポット画像に基づいて、非点収差の度合いを示す非点隔差を検出することができる。また、検出されたビームスポットの非点隔差に基づいて、光ピックアップの評価を行うことができる。
【００１２】
上記の光ピックアップの出射光測定装置の他の一態様では、前記集光レンズが出射した光ビームが通過する複数のレンズをさらに備える。集光レンズが出射した光ビームをさらに複数のレンズに通過させることにより、所定位置において得られる像の方向を元のビームスポットの方向と一致させることができ、測定における作業が容易となる。
【００１３】
１つの好適な例では、前記移動手段は、機械式に前記集光レンズを移動させる移動機構とすることができる。また、好適な例では、前記対物レンズは固定される。前述のように、対物レンズではなく集光レンズを移動させる構成としたので、その移動にはピエゾ素子などが要求されるほどの高い精度を必要としない。よって、例えばモータとボールネジなどの機構により集光レンズを移動させる構造を採用することができる。これにより、装置を安価で構成することができると共に、移動手段の操作にそれほど高い精度を要求されることがなくなり、作業を容易かつ迅速に行うことができる。
【００１４】
本発明の他の実施形態では、光ピックアップから出射される出射光の特性を測定する光ピックアップの出射光測定方法は、前記光ピックアップからの出射光を対物レンズによって平行光にし、前記対物レンズが出射した平行光を集光レンズによって集光して撮像手段上にビームスポットを形成する集光工程と、前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動工程と、前記集光レンズを移動させつつ前記撮像手段により撮像した前記ビームスポットの画像に基づいて、前記出射光の特性を測定する測定工程と、を備える。このような光ピックアップの出射光測定方法によっても、集光レンズの移動に要求される精度は、対物レンズをピエゾ素子などにより移動させる場合と比較してそれほど高くないので、簡易な手順で迅速に測定を行うことができる。
【実施例】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。
【００１６】
［出射光測定装置の構成］
まず、本発明の実施例に係る出射光測定装置１００の構成について、図１を用いて説明する。出射光測定装置１００は、光学ヘッド２０と画像処理システム４０とを備え、光ピックアップ１０などから出射される光ビームｂ２の収差、例えば非点収差などを測定する装置である。
【００１７】
光ピックアップ１０は、特定の波長のビームを出射するレーザダイオード１を有する。光ピックアップ１０内に設けられた光学系は、レーザダイオード１が出射した光ビームの平行度や光軸角度などを調整し、ミラーにより光ビームを所定の経路に誘導する。そして、光ピックアップ１０は、対物レンズ８により集光した光ビームｂ２を光学ヘッド２０に対して出射する。なお、光ピックアップ１０は、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）やＣＤ（Compact Disc）などの光ディスクに情報を記録する際又は情報を再生する際に、光ディスクの情報記録面上に光ビームを照射する装置であり、情報記録装置や情報再生装置などに搭載される。
【００１８】
光ピックアップ１０が出射した光ビームｂ２は、対物レンズ２１を介して光学ヘッド２０の内部に入射する。詳細は後述するが、光学ヘッド２０内では、光ビームｂ２を対物レンズ２１により平行光にし、この平行光を集光レンズで集光してＣＣＤカメラなどの撮像手段に照射する。そして、光レンズにより集光された光ビームのビームスポットをＣＣＤカメラで撮像し、撮像したビームスポットの画像データＳ１を画像処理システム４０に供給する。
【００１９】
画像処理システム４０は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）４１とモニタ４２を有する。ＰＣ４１は、光学ヘッド２０から画像データＳ１を取得して、これをモニタ４２に表示する。ユーザ（例えば、光ピックアップ１０の検査を行う者）は、モニタ４２に表示されたビームスポットの形状を目視し、ＰＣ４１を操作することで光学ヘッド２０内の集光レンズの位置を変化させることにより、光学ヘッド２０内の光ビームのデフォーカスの度合いを調節することができる。この場合、ＰＣ４１は、ユーザの操作に応じた制御信号Ｓ２を光学ヘッドに供給する。
【００２０】
なお、光学ヘッド２０内の集光レンズ位置の調節は、ＰＣ４１を操作して行うことに限定はされず、ユーザが直接光学ヘッド２０を操作するように構成してもよい。
【００２１】
［光ピックアップの構成］
次に、光ピックアップ１０の具体的な構成について説明する。図２は、光ピックアップ１０の概略構成を示す斜視図である。
【００２２】
光ピックアップ１０は、レーザダイオード１と、コリメータレンズ２と、ハーフミラー３及び４と、ミラー５と、マルチレンズ６と、受光素子７と、対物レンズ８と、アクチュエータ９と、ケーシング１１と、を備える。
【００２３】
レーザダイオード１は、特定波長の光ビームｂ１を出射して、コリメータレンズ２に光ビームｂ１を入射させる。コリメータレンズ２は光ビームｂ１を平行光とする。コリメータレンズ２を通過した光ビームｂ１は、ハーフミラー３、４、及びミラー５によって所定の経路に誘導され、対物レンズ８に入射する。
【００２４】
対物レンズ８は、アクチュエータ９上に固定されており、入射した光ビームｂ１を集光し、光ビームｂ２として出射する。アクチュエータ９は、移動可能にケーシング１１に配置されており、矢印９ａで示すように対物レンズ８を光ディスクＤの半径方向に移動させることができる。これにより、対物レンズ８から出射される光ビームｂ２のスポットを光ディスクＤの目標トラック上に配置する、いわゆるトラッキングサーボを行うことが可能となる。
【００２５】
対物レンズ８から出射された光ビームｂ２は光ディスクＤの情報記録面に照射される。このとき、光ディスクＤにて反射された反射光ｂ３は対物レンズ８に入射する。この反射光ｂ３は、ミラー５にて反射されてハーフミラー４を通過し、マルチレンズ６に入射する。そして、反射光ｂ３は、マルチレンズ６により集光されて受光素子７により受光される。これにより、光ディスクＤに記録された情報を読み取ることが可能となる。
【００２６】
ここで、光ピックアップ１０から出射される光ビームｂ２の非点収差について図３を用いて説明する。
【００２７】
例えば、対物レンズ８から出射される光ビームｂ２は非点収差を有し、焦点位置によってその形状（断面形状）が異なる。具体的には、光ビームｂ２の形状は、対物レンズ８側の焦点付近では符号５０で示すような一方向に伸びた楕円となり、対物レンズ８から離れた側の焦点付近では符号５２で示すような先の一方向と垂直方向に伸びた楕円となり、両焦点位置の概ね中間位置では符号５１で示すような真円となる。光ビームｂ２の形状が真円となる位置５３を「合焦点」と呼ぶ。また、上記の焦点位置間の距離Ｅを「非点隔差」と呼ぶ。なお、光ピックアップ１０は、この非点隔差Ｅが概ね１μｍ以下であることが好ましい。
【００２８】
本実施例に係る出射光測定装置１００は、光ピックアップ１０からの出射光のＣＣＤカメラ上における集光ポイントを変化させて（即ち、光ビームをデフォーカスさせて）ビームスポットの形状を撮影し、このビームスポットの形状に基づいて非点隔差Ｅを測定する。得られた非点隔差Ｅに基づいて光ピックアップ１０の評価が行われる。
【００２９】
［光学ヘッドの構成］
以下では、本実施例に係る出射光測定装置１００の光学ヘッド２０の構成について説明する。図１に示す光学ヘッド２０の説明を行う前に、まず同様の基本構成を有する光学ヘッド２０ａに基づいて、基本的な動作などを説明する。図４は、光学ヘッド２０ａの構成を示す図である。図４は、光学ヘッド２０ａの光軸方向に平行な面に沿った断面図を示す。なお、図１においては光学ヘッド２０はその下方から光ピックアップ１０の出射光を受光するが、図４に示す基本構成においては、理解を容易にするために、光学ヘッド２０ａの長さ方向に沿って光ピックアップの出射光が供給されるものとする。
【００３０】
光学ヘッド２０ａは、対物レンズ２１と、対物レンズ保持部２２と、集光レンズ２３と、集光レンズ保持部２４と、アクチュエータ２５と、ＣＣＤカメラ２６と、ケーシング２７と、を備えている。
【００３１】
光ピックアップ１０の対物レンズ８より出射された光ビームｂ２は、光学ヘッド２０ａの対物レンズ２１に入射する。対物レンズ２１は、対物レンズ保持部２２に固定されており、対物レンズ保持部２２はケーシング２７に固定されている。即ち、対物レンズ２２は移動不能な状態で光学ヘッド２０ａ内に配置されている。対物レンズ２１は平行光ｂ４ａを出射し、これを集光レンズ２３に入射させる。
【００３２】
集光レンズ２３は、平行光ｂ４ａに対して略垂直に配置され、集光レンズ保持部２４に固定されている。集光レンズ保持部２４は、アクチュエータ２５により移動可能に保持されている。アクチュエータ２５は、例えばモータとボールネジなどの機械式移動機構を備えて構成されており、矢印５５で示す方向、即ち光軸方向に集光レンズ保持部２４を移動させる。これにより、集光レンズ２３を移動させて、平行光ｂ４ａのデフォーカスの度合いを変化させることができる。なお、アクチュエータ２５は、ＰＣ４１から供給される制御信号Ｓ２によって移動方向や移動量などが制御され、移動手段として機能する。
【００３３】
集光レンズ２３は、平行光ｂ４ａを集光して、ＣＣＤカメラ２６に光ビームｂ４ｂを照射してビームスポットを形成する。ＣＣＤカメラ２６は、供給される光ビームｂ４ｂのビームスポットを撮像し、撮像したビームスポットの画像データＳ１をＰＣ４１に供給する。
【００３４】
ここで、本実施例の光学ヘッド２０ａにおいて、対物レンズ２１ではなく集光レンズ２３を移動させる理由について、図５を用いて説明する。
【００３５】
図５は、光学ヘッド２０ａ内の対物レンズ２１と集光レンズ２３との関係を模式的に示した図であり、元の物体と対物レンズ２１及び集光レンズ２３によって作られる像との位置関係を示している。光軸上の位置５７ａにある物体Ａの像Ａ’は、対物レンズ２１と集光レンズ２３によって位置５７ｂに現れる。対物レンズ２１に入射する光は符号ｂ４ａａで示され、集光レンズ２３から出射される光は符号ｂ４ｂａで示される。
【００３６】
この場合、対物レンズ２１の焦点距離ｆin及び集光レンズ２３の焦点距離ｆoutにより規定される横倍率βはβ＝−ｆout／ｆin＝−Ａ’／Ａとなり、縦倍率αはα＝β２となる。なお、図５の配置では、対物レンズ２１の焦点距離ｆinは、元の物体Ａと対物レンズ２１との間の距離に等しい。また、集光レンズ２３の焦点距離ｆoutは、対物レンズ２１及び集光レンズ２３によって作り出された像Ａ’と集光レンズ２３との間の距離に等しい。
【００３７】
次に、物体Ａを対物レンズ２１から離れる方向に距離Ｃだけ移動させたとする。即ち、物体Ａと同一の物体Ｂを位置５８ａに配置する。この場合、対物レンズ２１に入射される光は符号ｂ４ａｂで示され、集光レンズ２３から出射される光は符号ｂ４ｂｂのようになり、物体Ｂの像Ｂ’は位置５８ｂに作られる。このとき、像Ａ’と像Ｂ’との距離Δ（即ち、位置５７ｂと位置５８ｂとの距離）は、Δ＝Ｃα＝Ｃβ２となる。例えば、集光レンズ２３の焦点距離ｆoutが対物レンズ２１の焦点距離ｆinの５０倍であるとき、即ち横倍率β＝５０（縦倍率α＝２５００）のとき、距離Δ＝２５００Ｃとなる。よって、作り出される像Ａ’とＢ’の距離は、元の物体ＡとＢの距離Ｃの２５００倍の距離だけずれることになる。対物レンズ２１を移動させることは、元の物体を移動することと等価であるので、対物レンズ２１を距離Ｃだけ移動させることは、集光レンズ２３を距離Δだけ移動させることと等しい。
【００３８】
図４に示す光学ヘッド２０ａ内の対物レンズ２１と集光レンズ２３により構成される光学系において、入射する光ビームをデフォーカス状態を変えるためには、対物レンズ２１と集光レンズ２３のいずれか一方を移動させればよい。通常は、光学ヘッド２０ａの先端部から対物レンズ２１までの距離Ｆ１は、集光レンズ２３とＣＣＤカメラ２６との距離Ｆ２に比べて小さく構成されている。つまり、集光レンズ２３の焦点距離は対物レンズ２１の焦点距離よりかなり大きいので、図５の例と同様に、対物レンズ２１をＣだけ移動させることは、集光レンズ２３をΔだけ移動させることと等価である。よって、光学ヘッド２０ａへ入射する光ビームを同じデフォーカス状態とするには、対物レンズ２１を高い分解能で移動させるより、集光レンズ２３をそれより低い分解能で移動させる方が容易である。
【００３９】
以上のような理由から、本実施例では、入射する光ビームをデフォーカス状態としてその形状を変化させるために、対物レンズ２１ではなく集光レンズ２３を移動させている。これにより、集光レンズ２３を移動させる装置をアクチュエータ２５などの簡易な装置にて構成することができる。対物レンズ２１側を移動させる構成のように高価なピエゾ素子などを用いる必要がないので、出射光測定装置１００を安価に構成することができる。
【００４０】
次に、本実施例に係る光学ヘッド２０ａを用いたビームスポット形状の測定例を図６を用いて具体的に説明する。
【００４１】
図６（ａ）は、集光レンズ２３の移動方法を示している。ＰＣ４１は、集光レンズ２３が矢印６０で示す方向に移動するようにアクチュエータ２５を制御する。そして、集光レンズ２３が符号Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５で示す位置に達したときに、ビームスポットの形状をＣＣＤカメラ２６にて撮像する。これらの位置にて撮像された画像は、それぞれ図６（ｂ）〜（ｆ）で示すようにモニタ４２に表示される。なお、上記の撮像する位置は等間隔である。
【００４２】
図６（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）は、それぞれ集光レンズ２３を符号Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５で示す位置に配置した場合にＣＣＤカメラ２６により撮像されたビームスポットＳＰａ、ＳＰｂ、ＳＰｃ、ＳＰｄ、ＳＰｅ（以下、「ビームスポットＳＰ」と記した場合は、これら全てを含むものとする）の形状を示している。なお、ビームスポットＳＰは、レーザパワーに応じて色が段階的に変化するようにモニタ４２に表示される。図６（ｂ）〜（ｆ）では、ハッチングにて色の変化を大まかに示している。具体的には、図６（ｂ）に示すように、ビームスポットＳＰａの中心にある符号６１ａで示す領域は最もレーザパワーが強く、符号６１ｂで示す領域、符号６１ｃで示す領域へと中心から外周側に離れるにつれてレーザパワーは弱くなっていく。位置Ｋ１に対応するビームスポットＳＰａは、一方向に伸びた楕円の形状を有しており、上記のレーザパワーの分布が広がっている。
【００４３】
図６（ｃ）に示すように、位置Ｋ２に対応するビームスポットＳＰｂも、同一の方向に伸びた楕円の形状を有しており、レーザパワーの分布が広がっている。但し、その長辺はビームスポットＳＰａよりも緩やかであり、レーザパワーの分布の広がり具合は小さい。図６（ｄ）に示すように、位置Ｋ３に対応するビームスポットＳＰｃは、真円の形状を有しており、最もレーザパワーが強い領域が占める割合が大きいことがわかる。即ち、ビームスポットＳＰｃは、図３の合焦点の位置５３に相当する。
【００４４】
図６（ｅ）に示すように、位置Ｋ４に対応するビームスポットＳＰｄは、ビームスポットＳＰｂと概ね垂直な方向に伸びた楕円の形状を有しており、レーザパワーの分布が広がっている。また、図６（ｆ）に示すように、位置Ｋ５に対応するビームスポットＳＰｅは、ビームスポットＳＰａと概ね垂直方向に伸びた楕円の形状を有しており、レーザパワーの分布が広がっている。即ち、ビームスポットＳＰの形状及びレーザパワーの分布は、合焦点位置５３を挟んで概ね線対称になっていることがわかる。図６（ｂ）及び図６（ｆ）に対応する位置Ｋ１及びＫ５がそれぞれ焦点であるとすると、非点隔差Ｅは図６（ａ）におけるＫ１とＫ５の距離に相当する。従って、アクチュエータ２５の移動距離に基づいて位置Ｋ１〜Ｋ５の距離を算出することにより、非点隔差Ｅを求めることができる。このように、ビームスポットＳＰをモニタ４２に表示させることにより、非点隔差Ｅを測定して光ピックアップ１０を評価することが可能となる。
【００４５】
次に、図１に示す光学ヘッド２０について説明する。
【００４６】
図７は、図１に示す光学ヘッド２０の概略構成図を示す。図７は、光学ヘッド２０の光軸方向に平行な面に沿った断面図を示す。なお、上記した光学ヘッド２０ａと同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００４７】
光学ヘッド２０は、対物レンズ２１が出射する平行光ｂ４ａをミラー２８にて反射させて、集光レンズ２３に入射させる点で光学ヘッド２０ａと異なる。これにより、光ピックアップ１０を光学ヘッド２０の下方に配置することが可能となり、測定環境の省スペース化が可能となる。
【００４８】
また、光学ヘッド２０は、集光レンズ２３から出射されたビームｂ４ｂを、更に対物レンズ３０及び集光レンズ３１に入射させている点で光学ヘッド２０ａと異なる。具体的には、集光レンズ２３が出射したビームｂ４ｂを対物レンズ３０に入射させ、対物レンズ３０から出射された平行光ｂ５ａを集光レンズ３１に入射させる。そして、集光レンズ３１は、ＣＣＤカメラ２６に光ビームｂ５ｂを供給する。対物レンズ２１と集光レンズ２３のみを通過してＣＣＤカメラ２６により撮像されるビームスポットは上下左右が逆転したものとなっているため、集光レンズ２３から出射した光ビームを更に対物レンズ３０と集光レンズ３１を通過させることにより上下左右の方向を再度逆転させる。これにより、光ピックアップ１０から出射した光ビームの移動方向と、ＣＣＤカメラ２６により撮像されるビームスポットの移動方向とを一致させることができ、ユーザはモニタ４２を目視しながら装置の調節を行いやすくなる。
【００４９】
なお、図７に示す光学ヘッド２０では、説明の単純化のために光ビームの経路を直線的に配置しているが、実際には、複数のミラーなどを用いて、光ビームの経路を光学ヘッド２０内で迂回させることができる。光学的に同一の構成であっても、光学ヘッド２０に搭載される他の光学部品や移動機構などとの関係で、光ビームの経路を迂回させることにより、実際の光学ヘッドの長さを短くすることができ、光学ヘッドを小型化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施例に係る出射光測定装置の概略構成を示す図である。
【図２】光ピックアップの概略構成を示す斜視図である。
【図３】光ピックアップにて生じる非点収差を説明するための図である。
【図４】本発明の実施例に係る光学ヘッドの基本構成を示す図である。
【図５】光学ヘッド内の対物レンズと集光レンズによる光学系を模式的に示す図である。
【図６】モニタに表示されるビームスポット形状の具体例を示す図である。
【図７】図１に示す光学ヘッドの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  レーザダイオード
１０  光ピックアップ
２０、２０ａ  光学ヘッド
２３、３１  集光レンズ
２５  アクチュエータ
４０  画像処理システム
４１  ＰＣ（パーソナルコンピュータ）
４２  モニタ
１００  出射光測定装置
【図１】
2006024301.tif 000003
【図２】
2006024301.tif 000004
【図３】
2006024301.tif 000005
【図４】
2006024301.tif 000006
【図５】
2006024301.tif 000007
【図６】
2006024301.tif 000008
【図７】
2006024301.tif 000009