(57)【要約】【課題】複数の真空チャンバに、それぞれ専用のクライオポンプが接続されている真空装置で、クライオポンプの再生に伴う真空チャンバの運転停止時間を短時間にする。【解決手段】クライオポンプ２１の再生時期が近くなったことが通知されたら、先ず、成膜チャンバ１１の運転を停止し、開閉弁３１を閉じた後、予備のクライオポンプ４と配管５１の開閉弁６１を開く。次に、予備のクライオポンプ４を作動させて成膜チャンバ１１の運転を開始する。そして、クライオポンプ２１の再生を開始する。この再生が終了した時点で成膜チャンバ１１の運転を停止し、開閉弁６１を閉じる。次に、開閉弁３１を開けてクライオポンプ２１を作動させた後、成膜チャンバ１１を運転する。次に、予備のクライオポンプ４の再生を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気装置としてクライオポンプが接続された真空チャンバを備えた真空装置の使用方法において、
前記真空装置は、複数の真空チャンバを有し、前記真空チャンバに、それぞれ専用のクライオポンプが接続されているとともに、予備のクライオポンプを有し、前記予備のクライオポンプは、全ての真空チャンバ用のクライオポンプとして使用できるように前記各真空チャンバに接続されているものであり、
前記専用のクライオポンプの再生時に、その真空チャンバ内の排気を予備のクライオポンプで行うことを特徴とする真空装置の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、クライオポンプが接続された真空チャンバを備えた真空装置の使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造現場で使用するスパッタリング装置（真空装置）として、複数の成膜チャンバ（真空チャンバ）を有し、各成膜チャンバに専用のクライオポンプが接続されている装置がある。
従来、このスパッタリング装置を常時稼働させることで製造効率を高くしているが、クライオポンプは、内部に設けた極低温面に気体を凝縮または吸着させることで排気を行うポンプであるため、凝縮／吸着量が所定量となった時点で、その成膜チャンバの運転を停止してクライオポンプの再生（凝縮／吸着物を除去する処理）を行う必要がある。よって、製造効率の更なる向上のためには、クライオポンプの再生に伴う成膜チャンバの運転停止時間を短くすることが課題となっている。
【０００３】
排気装置としてクライオポンプを備えたスパッタリング装置については、例えば、下記の特許文献１に記載されている。この例では、一つの成膜チャンバに二台のクライオポンプを接続して、二台のクライオポンプの再生を交互に行うことにより、クライオポンプの再生に伴う成膜チャンバの運転停止時間を短くできるようにしている。
【特許文献１】特開平１１−２０００３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、複数の真空チャンバを有し、前記真空チャンバに、それぞれ専用のクライオポンプが接続されている真空装置の場合に、クライオポンプの再生に伴う真空チャンバの運転停止時間を短時間にすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明は、排気装置としてクライオポンプが接続された真空チャンバを備えた真空装置の使用方法において、前記真空装置は、複数の真空チャンバを有し、前記真空チャンバに、それぞれ専用のクライオポンプが接続されているとともに、予備のクライオポンプを有し、前記予備のクライオポンプは、全ての真空チャンバ用のクライオポンプとして使用できるように前記各真空チャンバに接続されているものであり、前記専用のクライオポンプの再生時に、その真空チャンバ内の排気を予備のクライオポンプで行うことを特徴とする真空装置の使用方法を提供する。
【０００６】
本発明の方法によれば、専用のクライオポンプの再生時に、その真空チャンバ内の排気を予備のクライオポンプで行うため、クライオポンプの再生に伴う真空チャンバの運転停止時間を短時間にすることができる。また、本発明の方法で使用する真空装置では、予備のクライオポンプが、全ての真空チャンバ用のクライオポンプとして使用できるように前記各真空チャンバに接続されているため、一つの真空チャンバに二台のクライオポンプを接続して、二台のクライオポンプの再生を交互に行う方法と比較して、真空装置のコストを低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、この実施形態の方法で使用する真空装置の構成を示すブロック図である。この図に示すように、この実施形態のスパッタリング装置（真空装置）は、４個の成膜チャンバ（真空チャンバ）１１〜１４を有する。成膜チャンバ１１〜１４には、それぞれ専用のクライオポンプ２１〜２４が、開閉弁３１〜３４を介して接続されている。また、予備のクライオポンプ４を一台有し、このクライオポンプ４は、各配管５１〜５４により成膜チャンバ１１〜１４と接続されている。各配管５１〜５４には開閉弁６１〜６４が設けてある。また、各クライオポンプ２１〜２４の使用状況についての情報を管理し、再生時期が近くなったことを通知するシステムを備えている。
【０００８】
そして、通常時には、予備のクライオポンプ４を停止しておき、専用のクライオポンプ２１〜２４により成膜チャンバ１１〜１４内の排気を行いながら全ての成膜チャンバ１１〜１４で成膜を行う。
前記システムでクライオポンプ２１〜２４のいずれかの再生時期が近くなったことが通知された時点で、先ず、再生対象のクライオポンプが接続されている成膜チャンバの運転を停止し、その開閉弁を閉じた後、予備のクライオポンプ４とその成膜チャンバとを接続している配管の開閉弁を開く。次に、予備のクライオポンプ４を作動させて成膜チャンバの運転を開始する。そして、再生対象のクライオポンプの再生を開始する。また、この再生が終了した時点で、予備のクライオポンプ４で排気していた成膜チャンバの運転を停止し、その配管の開閉弁を閉じた後、再生後のクライオポンプの開閉弁を開けて、このクライオポンプを作動させて、その成膜チャンバを運転する。予備のクライオポンプ４は、再生時期が近くなっていない場合でも、必ず使用後に再生を行う。
【０００９】
例えば、クライオポンプ２１の再生時期が近くなったことが通知されたら、先ず、成膜チャンバ１１の運転を停止し、開閉弁３１を閉じた後、予備のクライオポンプ４と配管５１の開閉弁６１を開く。次に、予備のクライオポンプ４を作動させて成膜チャンバ１１の運転を開始する。そして、クライオポンプ２１の再生を開始する。この再生が終了した時点で成膜チャンバ１１の運転を停止し、開閉弁６１を閉じる。次に、開閉弁３１を開けてクライオポンプ２１を作動させた後、成膜チャンバ１１を運転する。次に、予備のクライオポンプ４の再生を行う。
【００１０】
この実施形態の方法によれば、専用のクライオポンプ２１〜２４の再生に伴う成膜チャンバ１１〜１４の運転を停止している時間を、例えば、予備のクライオポンプ４を１回使用する度に１分程度に短くすることができる。これに対して、クライオポンプの再生時間は１回４．５時間程度であり、４つの成膜チャンバ１１〜１４の運転を各クライオポンプ２１〜２４の再生の度に停止すると、合計１８時間も処理能力が低下することになる。
【００１１】
また、このスパッタリング装置では、予備のクライオポンプ４が、全ての成膜チャンバ１１〜１４用のクライオポンプとして使用できるように各成膜チャンバ１１〜１４に接続されているため、一つの成膜チャンバ１１〜１４に二台のクライオポンプを接続して、二台のクライオポンプの再生を交互に行う方法と比較して、装置コストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態の方法で使用する真空装置の構成を示すブロック図。
【符号の説明】
【００１３】
１１〜１４…成膜チャンバ（真空チャンバ）、２１〜２４…専用のクライオポンプ、３１〜３４…開閉弁、４…予備のクライオポンプ４、５１〜５４…配管、６１〜６４…開閉弁。
【図１】
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