(57)【要約】【課題】減圧チャンバ内部の圧力変動を抑制し、フィルムの厚みムラを防止する。【解決手段】流延ダイ３６からバンド３８にかけて形成されたドープの流出部５１ａ近傍を第１及び第２減圧チャンバ６１，６２で減圧する。第２減圧チャンバ６２の内部圧力について、｜Ｐｖ｜≦１．５｜Ｋ｜（ただし、Ｋ＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００，Ｐ0 （Ｐａ）は圧力設定値、Ｐｖ（Ｐａ）は圧力実測値とＰ0 との差）とする。管６７は、内径が７０〜７００ｍｍ、長さ３０ｍ以下、曲がり部数が１５以下である。管６７には振動減衰手段としての第１，第２拡張型消音器７１，７２と共鳴器型消音器７３とを設け、第１拡張型消音器７１の空洞部断面積と管６７の中空部断面積との比を５〜５００とする。これにより第２減圧チャンバ６２と管６７との内部空気圧変動を抑制し前記流出部５１ａの形状を安定させることができ、厚みムラのないフィルム５２が得られる。【選択図】        図２
2006069184.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリマーが溶媒に溶解したドープ、または溶融した前記ポリマーを、走行する支持体の上にダイから流出させて前記支持体から剥がし、乾燥または冷却することにより所定の厚みｔ（単位；μｍ）のポリマーフィルムを製造する方法において、
前記ダイから出された前記ドープまたは前記溶融ポリマーに関して前記支持体の走行方向における上流側を減圧機により減圧し、
前記減圧における圧力設定値をＰ0 （単位；Ｐａ）、減圧されたときの圧力実測値と前記圧力設定値Ｐ0 との差を圧力変動値Ｐｖ（単位；Ｐａ）とするとき、
前記圧力変動値Ｐｖ（単位；Ｐａ）が、
｜Ｐｖ｜≦１．５｜Ｋ｜  （ただし、Ｋ＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００）
を満たすことを特徴とするポリマーフィルムの製造方法。
【請求項２】
前記減圧機が、所定の内部圧力とされる減圧チャンバと前記減圧チャンバの前記内部圧力を制御するための圧力制御部とを備えるとともに、前記減圧チャンバと前記圧力制御部とを接続するための管を備え、
前記圧力制御部から前記減圧チャンバまでの前記管の曲がり部の数を、１５以下とすることを特徴とする請求項１記載のポリマーフィルムの製造方法。
【請求項３】
前記圧力制御部から前記減圧チャンバまでの前記管の長さを３０ｍ以下とすることを特徴とする請求項２記載のポリマーフィルムの製造方法。
【請求項４】
前記管の内径が７０ｍｍ以上７００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２または３記載のポリマーフィルムの製造方法。
【請求項５】
前記減圧チャンバの前記内部圧力を変動させる振動を減衰するための振動減衰手段が前記管に備えられることを特徴とする請求項２ないし４いずれかひとつ記載のポリマーフィルムの製造方法。
【請求項６】
拡張型消音器と共鳴器型消音器との少なくともいずれか一方を前記振動減衰手段として用いることを特徴とする請求項５記載のポリマーフィルムの製造方法。
【請求項７】
前記共鳴器型消音器と前記拡張型消音器とを併用することを特徴とする請求項６記載のポリマーフィルムの製造方法。
【請求項８】
前記管の中空部の断面積をＳ１とし、前記拡張型消音器の長手方向に垂直な断面における空洞部の面積をＳ２とするとき、Ｓ２／Ｓ１の値が５以上５００以下であることを特徴とする請求項６または７記載のポリマーフィルムの製造方法。
【請求項９】
走行する支持体上にダイからポリマーを流出させて、前記支持体から剥がし、乾燥または冷却するポリマーフィルムの製造方法において、
前記ポリマーを、溶融した状態または溶媒に溶解した状態で前記ダイから流出させるとともに、流出したポリマーの近傍を減圧機により減圧し、
前記減圧中における前記ポリマー近傍の圧力の変動幅が所定範囲となるように、稼働中の前記減圧機に発生する振動を振動減衰手段により減衰させ、
前記振動減衰手段は前記減圧機に設けられる消音器であることを特徴とするポリマーフィルムの製造方法。
【請求項１０】
前記消音器が、拡張型消音器であることを特徴とする請求項９記載のポリマーフィルムの製造方法。
【請求項１１】
前記振動により周期的に変動する前記圧力を測定し、この測定データを高速フーリエ変換により周波数分解して、前記周波数分解されたデータにおいて前記圧力が所定の値よりも大きな値を示す周波数をｆ（単位；Ｈｚ）とするとき、
前記拡張型消音器の長手方向における長さＬ（単位；ｍ）が、Ｖ／７ｆ≦Ｌ≦Ｖ／２ｆ（ただし、Ｖは大気中における音速であり、その単位はｍ／秒）であることを特徴とする請求項１０記載のポリマーフィルムの製造方法。
【請求項１２】
ポリマーを流延するための流延装置と、流延された前記ポリマーを乾燥または冷却してポリマーフィルムを生成するための乾燥装置または冷却装置とを備えるとともに、
前記流延装置が走行する支持体と前記ポリマーを前記支持体の上に流出するダイとを備えるポリマーフィルム製造設備において、
前記ポリマーは、溶融した状態または溶媒に溶解した状態で前記ダイから流出され、
前記ダイの前記ポリマーの流出口近傍を減圧するための減圧機を備え、
前記減圧機が、所定の内部圧力とされる減圧チャンバと前記減圧チャンバの前記内部圧力を制御するための圧力制御部とを有するとともに、前記減圧チャンバと前記圧力制御部とを接続するための管を備え、
前記圧力制御部から前記減圧チャンバまでの前記管の曲がり部の数を１５以下とすることを特徴とするポリマーフィルム製造設備。
【請求項１３】
前記圧力制御部から前記減圧チャンバまでの前記管の長さを３０ｍ以下とすることを特徴とする請求項１２記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項１４】
前記管の内径が７０ｍｍ以上７００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１２または１３記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項１５】
前記減圧チャンバの前記内部圧力を変動させる振動を減衰するための振動減衰手段が前記管に備えられることを特徴とする請求項１２ないし１４いずれかひとつ記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項１６】
走行する支持体上にダイからポリマーを流出させて前記ポリマーを流延する流延装置と、前記流延されたポリマーを前記支持体から剥がした後に乾燥する乾燥装置または冷却する冷却装置とを備えるポリマーフィルム製造設備において、
前記ポリマーは、溶融した状態または溶剤に溶解した状態で前記ダイから流出され、
前記ダイから流出された前記ポリマーの近傍を減圧するための減圧機を備え、
前記減圧機は、前記ダイの前記ポリマーの流出口近傍に配される減圧チャンバと前記減圧チャンバの内部圧力を制御する圧力制御部とを有するとともに、前記減圧チャンバと前記圧力制御部とを接続して空気の流路となる管を備え、
前記管には、前記減圧チャンバの内部圧力を変動させる振動を減衰するための振動減衰手段が設けられていることを特徴とするポリマーフィルム製造設備。
【請求項１７】
前記振動減衰手段が、拡張型消音器または共鳴器型消音器であることを特徴とする請求項１５または１６記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項１８】
前記振動減圧手段としての消音器が複数備えられ、前記消音器の少なくともひとつが拡張型消音器であり、他の前記消音器が共鳴器型消音器であることを特徴とする請求項１５または１６記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項１９】
前記管の中空部の断面積をＳ１とし、前記拡張型消音器の長手方向に垂直な断面における空洞部の面積をＳ２とするとき、Ｓ２／Ｓ１の値が５以上５００以下であることを特徴とする請求項１７または１８記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項２０】
前記拡張型消音器の長手方向の長さＬ（単位；ｍ）が、予め求められた周波数値ｆに応じて、Ｖ／７ｆ≦Ｌ≦Ｖ／２ｆ（ただし、Ｖは大気中における音速であり、その単位はｍ／秒）の範囲とされ、
前記周波数値ｆは、前記振動により周期的な変動を示す前記内部圧力の測定データを高速フーリエ変換により周波数分解し、前記周波数分解されたデータにおいて前記内部圧力が所定値以上の値を示すときの値の任意のひとつであることを特徴とする請求項１７ないし１９記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項２１】
前記長手方向長さがＬ１である第１の前記拡張型消音器と、前記長手方向長さがＬ２（単位；ｍ）である第２の前記拡張型消音器とが直列に接続されて前記管に設けられ、
前記Ｌ１と前記Ｌ２とが、Ｌ１＝２ｎ×Ｌ２（ただし、ｎは自然数）を満たすことを特徴とする請求項１７ないし２０いずれかひとつ記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項２２】
前記拡張型消音器には、前記振動の伝搬方向と交差する方向に内部を仕切る仕切部材が備えられることを特徴とする請求項１７ないし２１いずれかひとつ記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項２３】
前記拡張型消音器の長手方向の長さＬ（単位；ｍ）と、前記仕切部材により形成された区画のうち少なくともひとつの区画の前記伝搬方向における区画長さＬＤ（単位；ｍ）とが、ＬＤ＝（１／ｍ）×Ｌ（ただし、ｍは２以上の自然数）を満たすことを特徴とする請求項２２記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項２４】
第１と第２との前記区画の前記区画長さをそれぞれＬＤ１，ＬＤ２とするとき、
ＬＤ１＝２ｎ×ＬＤ２（ただし、ｎは自然数）であることを特徴とする請求項２３記載のポリマーフィルム製造設備。
【請求項２５】
前記拡張型消音器における前記振動の入口と出口との二つの開放口のうち、いずれか一方の断面の中心線を延長した延長線が、他方の前記開放口の外部となることを特徴とする請求項２２ないし２４いずれかひとつ記載のポリマーフィルム製造設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリマーフィルムの製造方法及び設備に関し、特に光学用途のポリマーフィルムを製造する方法及び設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
オプトエレクトロニクス分野に使用されるポリマーフィルムには、溶液製膜方法によって製造されているものが多くある。溶液製膜方法で製造されたポリマーフィルムは、溶融押出法で得られるフィルムに比べ、光学的等方性、厚み均一性に優れ、また、異物の含有率も低く、例えば、偏光板保護フィルム、位相差フィルム、透明導電性フィルム等として利用される。中でも、セルロースアシレートフィルムは、透明性、適度な透湿性を有し、機械的強度が大きく、かつ、寸法安定性については湿度及び温度に対する依存性が低いことから、広く用いられているもののひとつである。溶液製膜方法はセルロースアシレート等のポリマー及び各種添加剤を溶媒によってドープにしたあと、このドープをダイから流延支持体へ流延し、自己支持性をもったところで流延膜を剥ぎ取って、これを乾燥工程で乾燥させてフィルムとするものである。流延支持体は連続して回転走行する金属ドラムあるいはバンドとされている。
【０００３】
また近年では、上記のようなオプトエレクトロニクス分野の発達がめざましく、その素材のひとつとしてのポリマーフィルムに対しては、高機能化及び多機能化の要望が強くなっている。それに応じるために、ポリマーフィルムの薄膜化は必須となっている。溶液製膜方法においては、ダイから流延支持体にかけてのドープの近傍に減圧チャンバを設けて、そのドープの背面、つまり流延支持体の走行方向における上流側を減圧し、ポリマーフィルムの薄膜化を図ることが多い。また、溶融製膜方法においても、フィルムの薄膜化を図るために、ダイから押し出された溶融ポリマーを同様に減圧してフィルム製造することもある。
【０００４】
しかし、フィルムの厚みが薄くなるほど、その製造は難しく、特に、厚みが均一となるように製造することが非常に困難となる。例えば、流延ダイから出てきたドープを減圧チャンバにより背面側から減圧した場合には、減圧チャンバ内部の圧力変動に伴いフィルムの厚みが変動してしまうという問題がある。このように生じる厚みムラは、フィルムの長尺方向に渡って周期的に現れるものが多く、特にフィルム厚みが１００μｍ以下というように非常に薄い場合には、製品にとっての致命的欠陥となる。そして、この厚みムラを低減するために、流延ドープを希釈したり、流延支持体から剥離したフィルムの乾燥速度を落として、厚みの均一化を図る等の対策が講じられることもある。しかし、こうした方法により厚みムラを低減することはできるものの完全には解消できず、また、いずれの方法も、乾燥時間が長くなる方法であるので、製造効率の低下及び製造コストの増大につながるという問題がある。
【０００５】
そこで、減圧チャンバを用いた溶液製膜方法においては、この厚味ムラを解消するための提案がなされており、例えば、減圧チャンバの幅方向の両端部から全幅に対して各０〜０．３倍の範囲の位置に減圧用の吸引配管の開口部を配設して、押出ダイの押出部の背部近傍の空気を吸引して減圧しつつ、ドープをダイから押し出す方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１の方法は、減圧チャンバの構造を最適化することにより、フィルムの波状ムラを抑制するというものである。
【０００６】
また、スリット状の口金から吐出された樹脂膜を、移動キャスト面（支持体面）に密着させ、キャスト面の移動とともに下流側に送るフィルムの製造方法において、二つ以上の吸引手段により、樹脂膜のキャスト面への着地点変動を抑えて密着度を向上させるという方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平６−１５５４９４号公報（第２−３頁、第１図）
【特許文献２】特開平１０−２７２６３７号公報（第３−４頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の方法によると、フィルムの面状故障の一部については、その発生を抑制することができるものの、フィルムの長尺方向に周期的に発生する厚みムラについては効果がない。また、特許文献２のように着地点上流側に減圧室をおくだけでは着地点変動を抑えることができず、逆に、減圧チャンバに接続している配管や減圧チャンバ等の内部圧力変動により、着地点変動が大きくなってしまうという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ポリマーフィルムの製造方法において、ポリマーフィルムの長尺方向において周期的に発生する厚みムラを抑制することができるポリマーフィルムの製造方法及び設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明では、ポリマーが溶媒に溶解したドープ、または溶融した前記ポリマーを、走行する支持体の上にダイから流出させて前記支持体から剥がし、乾燥または冷却することにより所定の厚みｔ（単位；μｍ）のポリマーフィルムを製造する方法において、ダイから出された前記ドープまたは前記溶融ポリマーに関して支持体の走行方向における上流側を減圧機により減圧し、この減圧における圧力設定値をＰ0 （単位；Ｐａ）、減圧されたときの圧力実測値と前記圧力設定値Ｐ0 との差を圧力変動値Ｐｖ（単位；Ｐａ）とするとき、この圧力変動値Ｐｖ（単位；Ｐａ）が、｜Ｐｖ｜≦１．５｜Ｋ｜  （ただし、Ｋ＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００）を満たすことを特徴として構成されている。
【００１０】
前記減圧機が、所定の内部圧力とされる減圧チャンバとこの減圧チャンバの内部圧力を制御するための圧力制御部とを備えるとともに、減圧チャンバと圧力制御部とを接続するための管を備え、圧力制御部から減圧チャンバまでの管の曲がり部の数を、１５以下とすることが好ましく、圧力制御部から減圧チャンバまでの管の長さが３０ｍ以下であることが好ましい。また、この管の内径が７０ｍｍ以上７００ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１１】
また、減圧チャンバの内部圧力を変動させる振動を減衰するための振動減衰手段が前記管に備えられることが好ましい。拡張型消音器と共鳴器型消音器との少なくともいずれか一方を前記振動減衰手段として用いることが好ましく、共鳴器型消音器と拡張型消音器とを併用することがより好ましい。そして、前記管の中空部の断面積をＳ１とし、前記拡張型消音器の長手方向に垂直な断面における空洞部の面積をＳ２とするとき、Ｓ２／Ｓ１の値が５以上５００以下であることが好ましい。
【００１２】
また、本発明は、走行する支持体上にダイからポリマーを流出させて、前記支持体から剥がし、乾燥または冷却するポリマーフィルムの製造方法において、前記ポリマーを溶融した状態または溶媒に溶解した状態で前記ダイから流出させ、流出したポリマーの近傍を減圧機により減圧し、この減圧中におけるポリマー近傍の圧力の変動幅が所定範囲となるように、稼働中の前記減圧機に発生する振動を振動減衰手段により減衰させ、この振動減衰手段は前記減圧機に設けられる消音器であることを特徴として構成されている。
【００１３】
このとき、前記消音器が、拡張型消音器であることが好ましい。また、前記振動により周期的に変動する前記圧力を測定し、この測定データを高速フーリエ変換により周波数分解して、周波数分解されたデータにおいて前記圧力が所定の値よりも大きな値を示す周波数をｆ（単位；Ｈｚ）とするとき、拡張型消音器の長手方向における長さＬ（単位；ｍ）が、Ｖ／７ｆ≦Ｌ≦Ｖ／２ｆ（ただし、Ｖは大気中における音速であり、その単位はｍ／秒）であることが好ましい。
【００１４】
さらに、本発明は、ポリマーを流延するための流延装置と、流延された前記ポリマーを乾燥または冷却してポリマーフィルムを生成するための乾燥装置または冷却装置とを備えるとともに、流延装置が走行する支持体とポリマーを支持体上に流出するダイとを備えるポリマーフィルム製造設備において、前記ポリマーは、溶融した状態または溶媒に溶解した状態で前記ダイから流出され、このダイのポリマー流出口近傍を減圧するための減圧機を備え、この減圧機が、所定の内部圧力とされる減圧チャンバと減圧チャンバの内部圧力を制御するための圧力制御部とを有するとともに、減圧チャンバと圧力制御部とを接続するための管を備え、圧力制御部から減圧チャンバまでの管の曲がり部の数を１５以下とすることを特徴として含んで構成されている。
【００１５】
そして、圧力制御部から減圧チャンバまでの管の長さを３０ｍ以下とすることが好ましく、管の内径が７０ｍｍ以上７００ｍｍ以下であることが好ましい。また、減圧チャンバの内部圧力を変動させる振動を減衰するための振動減衰手段が前記管に備えられることが好ましい。
【００１６】
また、本発明は、走行する支持体上にダイからポリマーを流出させて前記ポリマーを流延する流延装置と、流延されたポリマーを前記支持体から剥がした後に乾燥する乾燥装置または冷却する冷却装置と、を備えるポリマーフィルム製造設備において、ポリマーは溶融した状態または溶剤に溶解した状態でダイから流出され、ダイから流出された前記ポリマーの近傍を減圧するための減圧機を備え、この減圧機は、ダイのポリマー流出口近傍に配される減圧チャンバとこの減圧チャンバの内部圧力を制御する圧力制御部とを有するとともに、減圧チャンバと圧力制御部とを接続して空気の流路となる管を備え、この管には、減圧チャンバの内部圧力を変動させる振動を減衰するための振動減衰手段が設けられていることを特徴として含んで構成されている。
【００１７】
本発明の上記ポリマーフィルム製造設備においては、振動減衰手段が、拡張型消音器または共鳴器型消音器であること、あるいは、振動減圧手段としての消音器が複数備えられ、この消音器の少なくともひとつが拡張型消音器であり、他の前記消音器が共鳴器型消音器であることが好ましい。そして、前記管の中空部の断面積をＳ１とし、拡張型消音器の長手方向に垂直な断面における空洞部の面積をＳ２とするとき、Ｓ２／Ｓ１の値が５以上５００以下であることが好ましい。
【００１８】
さらに、上記ポリマーフィルム製造設備においては、前記拡張型消音器の長手方向の長さＬ（単位；ｍ）が、予め求められた周波数値ｆに応じて、Ｖ／７ｆ≦Ｌ≦Ｖ／２ｆ（ただし、Ｖは大気中における音速であり、その単位はｍ／秒）の範囲とされ、前記周波数値ｆは、前記振動により周期的な変動を示す前記内部圧力の測定データを高速フーリエ変換により周波数分解し、この周波数分解されたデータにおいて内部圧力が所定値以上の値を示すときの値の任意のひとつであることが好ましい。
【００１９】
さらに、前記長手方向長さがＬ１（単位；ｍ）である第１の前記拡張型消音器と、前記長手方向長さがＬ２（単位；ｍ）である第２の前記拡張型消音器とが直列に接続されて前記管に設けられ、Ｌ１とＬ２とが、Ｌ１＝２ｎ×Ｌ２（ただし、ｎは自然数）を満たすことが好ましい。
【００２０】
また、前記拡張型消音器には、前記振動の伝搬方向と交差する方向に内部を仕切る仕切部材が備えられることが好ましく、前記拡張型消音器の長手方向の長さＬ（単位；ｍ）と、仕切部材により形成された区画のうち少なくともひとつの区画の前記伝搬方向における区画長さＬＤ（単位；ｍ）とが、ＬＤ＝（１／ｍ）×Ｌ（ただし、ｍは２以上の自然数）を満たすことがより好ましい。また第１と第２との前記区画の前記区画長さをそれぞれＬＤ１，ＬＤ２（単位；ｍ）とするとき、ＬＤ１＝２ｎ×ＬＤ２（ただし、ｎは自然数）であることが好ましく、前記拡張型消音器における振動の入口と出口との二つの開放口のうち、いずれか一方の断面の中心線を延長した延長線が、他方の前記開放口の外部となることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のポリマーフィルムの製造方法により、減圧チャンバに至る配管及び減圧チャンバの各内部の空気圧振動を抑制し、減圧チャンバ内部の圧力変動が抑えられる。このため、流延ダイから流延支持体にかけて流出して形成される流出部（ビードと称されることもある。）の振動を抑えることができる。この結果、厚みムラのない良好なフィルムを得ることができる。また、得られたフィルム、特にポリマーをセルロースアシレートとした場合には、これを用いて光学特性に優れる偏光板と液晶表示装置とを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は、本発明の実施形態としての溶液製膜設備の概略図である。ただし、本発明は、図１に示される溶液製膜設備に限定されるものではない。溶液製膜設備１０は、ドープ調製装置１１と、流延装置１２と、乾燥装置１５及び巻き取り装置１６とを有している。
【００２３】
ドープ調製装置１１は、攪拌槽２１と、ストックタンク２２と、濾過器２５と、スタティックミキサ２６と、第１〜第３ポンプＰ１〜Ｐ３と、流量調節バルブＶ１とを有している。第１及び第２供給元３１，３２はドープ調製装置１１の第１攪拌槽２１に接続しており、第３供給元３３は濾過器２５とスタティックミキサ２６との間の送液ラインに接続している。
【００２４】
流延装置１２は、流延ダイ３６と、バックアップローラ３７と、バンド３８とを備えてている。なお、流延ダイ３６の近傍には減圧チャンバが設置されているが、図１では図示を省略し、別の図を用いて後で詳しく説明するものとする。また、乾燥装置１５は、テンター４１と、ローラ乾燥機４２とを備えており、巻き取り装置１６には、カッタ４５及び巻き取り部４６とが備えられている。なお、溶液製膜設備１０には、支持用あるいは搬送用のローラ４７が必要に応じて適宜配され、これらのローラ４７がポリマーフィルム５２を支持、あるいは搬送する。図１においては、煩雑さを避けるために、用いたローラのうち、一部のみを図示している。
【００２５】
フィルム５２の主成分としてのポリマーは第１供給元３１から、ドープの溶媒となる液体は第２供給元３２から、それぞれ別の送液路により攪拌槽２１へ供給される。ただし、ポリマーや溶媒等の原料の供給は別の容器で混合された後、攪拌槽２１へ送られてもよい。また、ポリマー以外の固形分がこの混合液に添加されてもよい。そして、紫外線吸収剤や微粒子等の各種添加剤は、第３供給元３３から必要に応じて供給される。ただし、これらの各種添加剤の添加のタイミングは限定されず、例えば攪拌槽２１にて添加されてもよい。第１及び第２供給元３１，３２から攪拌槽２１に送られたポリマーと溶媒とは、この攪拌槽２１にて混合されて所定時間攪拌され、混合物として第１ポンプＰ１によりストックタンク２２に送られる。ストックタンク２２において混合物は静置脱泡される。これにより、流延ドープ５１中の気泡量を低減し、フィルム５２への気泡混入を防止することができる。
【００２６】
混合物は、第２ポンプＰ２により濾過装置２５へ送られて、未溶解物やゴミ等の異物が除去される。ストックタンク２２から濾過装置２５への混合物の送液量は、濾過装置２５における濾圧や製膜速度を考慮してバルブＶ１により制御される。ただし、第２ポンプＰ２とバルブＶ１とを定量ポンプに代えて、混合物の流量を制御しながら送液してもよい。続いて、混合物と第３供給元３３からの添加剤等とは、スタティックミキサ２６でインライン混合され、流延ドープ５１となって流延ダイ３６に至る。
【００２７】
流延ドープ５１は、バックアップローラ３７により支持されて連続走行されるバンド３８上に流延ダイ３６から出されることにより流延される。バックアップローラ３７には駆動制御手段（図示せず）が備えられており、この駆動制御手段によりバックアップローラ３７の回転速度が制御されて、バンドは所定速度で搬送される。流延された流延ドープ５１はバンド上で流延膜となり、この流延膜は、バンド３８上で走行する間に自己支持性をもつようになる。なお、流延支持体としては、バンド３８に代えてドラムを使用することもあるが、本実施形態において図示は省略する。
【００２８】
自己支持性をもった流延膜は、フィルム５２としてローラにより剥ぎ取られてさらに下流の工程へ搬送される。剥ぎ取れらたフィルム５２は、テンター４１に送られ、ここで、幅を規制されたり延伸されながら、乾燥される。テンター４１では、複数備えられたテンタークリップ（図示せず）が、フィルム５２の両側端部を保持しながらテンター軌道（図示せず）に従って走行し、このテンタークリップの走行によりフィルム５２は搬送される。テンタークリップの代わりにピンクリップ等を用いる場合もある。そして、テンタークリップは、コントローラ（図示せず）により開閉を自動制御され、この開閉によりフィルム５２の保持と保持解除とを制御する。フィルム５２を保持したテンタークリップは、テンター４１の内部で走行し、その出口付近の所定の保持解除点に到達するとクリップを開放してフィルム５２の保持を解除するように自動制御される。
【００２９】
テンター４１のフィルム５２は、支持あるいは搬送用のローラ４７により次工程であるローラ乾燥機４２へ送られて、ここで複数のローラ４２ａにより支持あるいは搬送されながら十分に乾燥される。十分に乾燥された後のフィルム５２は、カッタ４５により両側端部を切断除去され、製品として巻き取り部４６で巻き取られる。
【００３０】
次に、流延装置における流延工程について、図２及び図３を参照しながら説明する。図２は、流延装置１２の要部を示す概略図であり、図３は流延ダイ３６及びバンド３８の周辺の一部断面を含む側面図である。以降の説明においては、流延ダイ３６から出た流延ドープ５１がバンド３８に接する位置を流延開始位置ＰＳと称する。そして、流延ダイ３６の先端リップ部から流延開始位置ＰＳに至る流延ドープ５１を流出部５１ａと称するとともに、バンド３８の上に流延された状態にある流延ドープ５１を流延膜と称してこれに符号５１ｂを付す。図２に示すように、バンド３８の走行方向における流延ダイ３６の上流側には、第１及び第２の減圧チャンバ６１，６２が設置されている。第１減圧チャンバ６１は、第２減圧チャンバ６２の上流側に設置されており、第２減圧チャンバ６２より大型のものとされている。第２減圧チャンバ６２は、流延ダイ３６からバンド３８へかけて形成された流出部５１ａの背面側近傍に配されている。また、第１減圧チャンバ６１は、空気の吸引部の先端の一部が第２減圧チャンバ６２とバンド３８との間に入り込むように備えられており、第２減圧チャンバ６２の背部に位置する。
【００３１】
第２減圧チャンバ６２には、減圧ファン６３と減圧ファンの６３の回転数を制御するためのコントローラ６４とからなる減圧制御部６６が接続されている。そして、第２減圧チャンバ６２により流出部５１ａの背面近傍の圧力を制御できるように、減圧ファン６３の回転数を制御する。なお、図２において、第２減圧チャンバ６２と減圧ファン６３とを接続して空気が流動するための管を符号６７で示す。この管６７には、第１と第２の拡張型消音器７１，７２と共鳴器型（サイドブランチ型）消音器７３とが減圧ファン６３側から直列に配されている。なお、第１減圧チャンバ６１にも減圧ファン及びコントローラが第２減圧チャンバと同様に接続されているが、図２では図示を省略する。
【００３２】
第１減圧チャンバ６１は、減圧ファン（図示なし）により内部の空気を吸引されて減圧状態となる。また、第２減圧チャンバ６２も減圧ファン６３により内部の空気を吸引されて減圧状態となる。そして、減圧制御部６６により、第２減圧チャンバ６２の内部の減圧度が制御される。このように、流出部５１ａの背面側は効果的に減圧され、流延膜５１ｂがバンド３８の上に形成される。ただし、本発明は、上記のような減圧チャンバ６１，６２の形態、台数等に限定されない。
【００３３】
流延に際しては、通常、第２減圧チャンバ６２の内部の減圧度は、少なくとも流延ドープ５１の種類及び性状、流延速度と、目的とするフィルム厚みｔ（単位；μｍ）に応じて設定される。しかし、第２減圧チャンバ６２内部の圧力は、流延中に変動してしまい、この圧力変動は流延装置１２において発生するさまざまな振動に起因している。そして、光学用フィルムとしての優れた光学特性を発現するために必要な厚み精度は、製造するフィルムの厚みに応じて設定することが可能であるとともに、上記圧力変動の大きさの許容値をその厚みに応じて設定することができるということが本発明者らの検討によりわかった。圧力変動を引き起こす振動としては、例えば、流延ダイ３６に流延ドープ５１をポンプ等により送液する際の送液振動や、バックアップローラ３７の回転振動や、減圧ファン６３の運転振動等がある。このような振動があると、流出部５１ａ自体に揺れが生じたり、この揺れにより流延開始位置ＰＳが変動する他に、第２減圧チャンバ６２と近接する部材または装置等と第２減圧チャンバ６２との隙間の間隔が変動してしまい、このために内部の空気圧が変動する。このような空気圧変動の中には周期的な変動が含まれており、以下の説明においてこのような周期的変動については空気圧振動と称することがある。なお、第２減圧チャンバ６２との間で形成される隙間としては、例えば、バンド３８との間と、流延ダイ３６との間、流出部５１ａとの間とがある。また、本実施形態においては、流出部５１ａ及び流延膜５１ｂの近傍は窒素等の不活性ガス雰囲気とされているので、例えば第２減圧チャンバ６２の内部における上記圧力変動及び空気圧振動とは、不活性ガスの圧力変動及び圧力振動である。
【００３４】
ここで、第２減圧チャンバ６２の内部の圧力設定値をＰ0 （単位；Ｐａ）とし、流延中の内部圧力の変動値（以降、圧力変動値と称する）をＰｖ（単位；Ｐａ）とする。この圧力変動値Ｐｖとは、つまり、流延中における圧力実測値Ｐｍと圧力設定値Ｐ0 との差である。そして、圧力変動値の絶対値｜Ｐｖ｜が小さいことは圧力設定値Ｐ0 に近い値であることを意味し、｜Ｐｖ｜が一定であることは圧力の変動がないことを意味する。本発明では、圧力変動値Ｐｖが、以下の式（１）を満たすものとする。なお、以下の式（１）において、ｔは乾燥された後のフィルム５２、つまり製品フィルムの厚みを示しており、単位をμｍとしたときの値である。
｜Ｐｖ｜≦１．５｜Ｋ｜  （ただし、Ｋ＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００とする。）・・・（１）
【００３５】
式（１）を用いることにより、圧力変動値Ｐｖをどの程度に抑制すると光学用途に好適に使用することができるかということを、製造するフィルムの厚みｔ（μｍ）により設定することができる。したがって、従来は、ローラ乾燥機４２を経た後のフィルムの厚みを実際に測定し、この測定データに基づき、流延工程における条件制御等を実施する必要があり、その条件が安定化するまでの原料ロスが大きかったが、これに対し本発明によると、流延工程での圧力変動値の許容範囲を、製造するフィルム５２（図１参照）の厚みに応じて設定して、この設定値となるように圧力の変動を抑制する対策を講じるとよいので、厚みムラのない光学特性に優れたフィルムを効率的に製造することができるとともに、条件安定化までの上記原料ロスが抑制される。
【００３６】
また、管６７は第２減圧チャンバ６２に接続しているために、本発明では、管６７の内部圧力も、第２減圧チャンバ６２の内部圧力と同等となる。したがって、管６７の内部圧力の変動も、第２減圧チャンバ６２の圧力変動値Ｐｖと同じ条件となるように制御されることが好ましい。なお、圧力変動値Ｐｖの測定方法については、後述するものとする。
【００３７】
この圧力変動値Ｐｖの絶対値｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜よりも大きいと、流出部５１ａの揺れが大きすぎて、厚みムラが発生するので不適である。圧力変動値Ｐｖの絶対値｜Ｐｖ｜については、これを０．５×｜Ｋ｜以下とすることがさらに好ましく、０．２×｜Ｋ｜以下とすることが特に好ましい。つまり、この圧力変動値Ｐｖの絶対値｜Ｐｖ｜はゼロとすることが最も好ましいが実際には不可能であるので、１．５｜Ｋ｜以下の正の領域において小さいほど、つまり限りなくゼロに近いことが好ましい。
【００３８】
次に、圧力変動値の絶対値｜Ｐｖ｜の制御方法について説明する。圧力変動値の絶対値｜Ｐｖ｜を１．５｜Ｋ｜以下とするためには、管６７の内径を７０ｍｍ以上７００ｍｍ以下としたり、管６７の長さを３０ｍ以下としたりすることが効果的である。ここで、管６７の長さとは、第２減圧チャンバ６２と減圧ファン６３との間の長さである。なお、減圧ファン６３とコントローラ６４とを備える減圧制御部６６に代えて、他の減圧制御部を用いた場合には、用いた減圧制御部と第２減圧チャンバ６２との間の管を、上記内径及び長さとするとよい。そして、この管６７は、装置構成の観点から通常は、図２の符号Ａで示されるような複数の曲がり箇所（以降、ベンド部と称する）を有しており、このベンド部Ａの数を１５以下とするとより好ましい。
【００３９】
管６７の内径の好ましい範囲は、第２減圧チャンバ６２の大きさや圧力設定値Ｐ0 等に応じて変わるものであるものの、幅が１０００〜２０００ｍｍ程度のフィルムを製造するときの減圧度（対大気圧値）が−１０〜−１５００Ｐａであれば上記範囲は有効である。管６７の内径が７０ｍｍより小さいと、風量に対して内径が小さくなりすぎてしまい管６７内部の風速が大きくなりすぎてしまうので、管６７の内部で振動が生じてしまうことがある。また、管６７の内径が７００ｍｍより大きくすることは実際の工程としてそのスケールが大きすぎて現実的ではなく、もし７００ｍｍよりも大きくしたとしても、圧力変動値の絶対値｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜よりも大きくなる場合が多いとともに、用いる減圧ファン６３の運転制御能力によっては、小さな圧力変動に応じるための微小な制御を的確に行うことができなくなる。そして、この管６７の内径は、１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下であることがより好ましい。
【００４０】
また、管６７の長さを３０ｍ以下とすることにより、振動の発生自体を抑制する効果が大きいとともに、第２減圧チャンバ６２及び管６７の内部の圧力制御を迅速、かつ精緻に行うことができる。管６７の長さを３０ｍより大きくすると、管６７の外部環境との接触面積が大きくなるために、様々な外乱が管６７に作用する確率が高くなり、これが第２減圧チャンバ６２を介して流出部５１ａに伝わり、厚みムラを発生することがある。前記外乱としては、例えば、流延装置１２及びその周辺に備えられている各種駆動手段（図示せず）の稼働による、発生音を含める振動等が挙げられる。さらに、管６７の長さを３０ｍより大きくすると、コントローラ６４により減圧ファン６３の運転条件が制御されても、その制御により第２減圧チャンバ６２の内部圧力が調整されるまでに要する時間が長くなってしまうという問題もある。この管６７の長さは、１５ｍ以下とすることがより好ましい。
【００４１】
そして、本発明では、ベンド部Ａの数を１５以下とすることにより第２減圧チャンバ６２ならびに管６７の内部における空気圧振動をより効果的に抑制することができる。これは、直線部分に比べてベンド部Ａでは、空気の流れが乱れ、ベンド部Ａの数が多いほど、空気圧振動の発生確率が高くなるという現象に着目した方法である。従って、ベンド部Ａの数は少ないほど振動発生の低減に効果的であり、１０以下とすることがより好ましく、５以下とすることがさらに好ましく、３以下とすると特に好ましい。
【００４２】
また、本実施形態においては、空気圧振動を含む圧力変動の抑制効果を高めるための振動減衰手段として、第１及び第２拡張型消音器７１，７２と共鳴器型消音器７３とが管６７に備えられている。これにより、管６７に生じている振動を減衰し、流出部５１ａへ伝わる空気圧振動を抑制することができる。したがって、圧力変動値Ｐｖがいかなる値であっても、第２減圧チャンバ６２の内部圧力が変動して、流動開始点の位置が変わってしまうような場合には、振動減圧手段を管６７に設けることにより圧力変動を効果的に押さえる効果がある。振動減衰手段としては、取り付け操作の簡便性、入手の容易性、コストパフォーマンスの点で、公知のもののうち消音器が好ましい。なお、本発明では振動減衰手段とは、発生した振動を厳密な意味で減衰させるものだけでなく、振動を吸収するものや、あるいは振動を反射等により相殺するようなもの等まで含めて意味しており、本発明の以降の説明では、それらの機能、つまり振動減衰手段による作用を減衰または抑制と称することとする。
【００４３】
振動減衰手段については、ひとつだけの使用でも効果があるが、本実施形態のように複数とするとより効果があり、すべての振動減衰手段を拡張型消音器としてもよいし共鳴器型消音器としてもよい。なお、拡張型消音器は、管６７の長さが３０ｍ以内の範囲で一器以上使用することが好ましく、３台以上使用するとより好ましい。ただし、拡張型消音器と共鳴器型消音器とは、後述のような違いがあるため、その効果にも違いがあることから、いずか一方を用いるか両者を併用するかを圧力変動の測定データに基づき適宜選択するとよい。本実施形態では圧力変動の測定データを検討した結果、空気圧振動を含む圧力変動を総合的に抑制するために拡張型消音器と共鳴器型消音器とを併用している。そして本実施形態のように拡張型と共鳴器型とを併用する場合には、これらの相互位置関係は限定されるものではなく、例えば、第１，第２拡張型消音器７１，７２と共鳴器型消音器７３との位置を逆にしたり、あるいは第１と第２との両拡張型消音器７１，７２の間に共鳴器型消音器７３を配しても同様の効果が得られる。
【００４４】
拡張型消音器と共鳴器型消音器とは、いずれも市販品として多くのものが流通している。拡張型消音器とは、自動車のマフラーに代表される消音器であり、管の断面積変化を有する構造が特徴であり、広い周波数領域において効果を発揮する。また、共鳴器型消音器とは、内部に振動の共鳴構造を有することが特徴であり、特定周波数で大きな効果を発揮する。
【００４５】
以上に述べた２つの消音器は、いずれもリアクティブ型消音器と呼ばれる消音器の一種である。リアクティブ型消音器とは、管の音響インピーダンス変化を利用して音を発生源側に反射させる型式の消音器である。拡張型と共鳴器型の両者の構造をともに備えたものも市販されていて、本発明においても好ましく用いることができる。さらに、リアクティブ型消音器の他に、吸収型消音器と称される消音器もある。これは、ロックウールやグラスウール等の吸音材料により、音エネルギーの吸収効果を利用した消音器であり、本発明においてはこれらを用いても一定の効果は得られる。ただし、吸収型消音器は、低周波数領域に対する効果が、リアクティブ型消音器に比べ一般には劣るという性質がある。本発明においては、消音器としては特に限定されるものではないが、入手性と吸収する振動の周波数領域等の効果との観点から、各種消音器の中でも拡張型消音器と共鳴器型消音器とが最も好ましい。
【００４６】
ここで、図２における管６７のIV−IV線に沿う断面を図４に示すとともに、第１拡張型消音器７１のＶ−Ｖ線に沿う断面を図５に示す。なお、第２拡張型消音器７３の同断面は、第１拡張型消音器７１と同様であるので、第２拡張型消音器７３の断面の説明及び図示は略す。そして、図４における管６７の中空部の断面積、つまりクロスハッチングで示されるエリアＡ１の面積をＳ１とするとともに、図５における第１拡張型消音器７１の空洞部の断面積、つまりクロスハッチングで示されるエリアＡ２の面積をＳ２とする。面積Ｓ２については、第１拡張型消音器７１の長手方向に垂直な断面における面積としている。第１拡張型消音器７１において前記断面積Ｓ２が長手方向で変化している場合には、前記断面積Ｓ２は、長手方向における任意の箇所における値としてよい。なお、図５に示すように、第１拡張型消音器７１の内部には第１仕切部材７１ｃが設けられているが、これについては別の図面を用いて後で詳しく説明する。本実施形態においては、第１拡張型消音器７１の面積Ｓ２を管６７の前記面積Ｓ１で除した値である面積比Ｓ２／Ｓ１を、５以上５００以下としている。この面積比Ｓ２／Ｓ１は、２０以上３００以下であることが特に好ましい。面積比Ｓ２／Ｓ１を５以上５００以下とすることにより、衝突振動減衰、吸音減衰、位相差減衰、距離減衰等の空気圧振動の減衰の効果をさらに向上することができる。面積比Ｓ２／Ｓ１を５００よりも大きくすると、装置が大きくなりすぎてしまうという問題があり、一方、Ｓ／Ｓ１を５未満とすると、上記のような空気圧振動減衰の効果が小さくなる。
【００４７】
一方、本実施形態のように、共鳴器型消音器を振動減衰手段として用いる場合には、消音器の長手方向の長さを調整できるものを選択することが好ましく、その長さを調整することにより、空気圧振動の種類に応じて、問題となる周波数の振動を抑制することができる。共鳴器型消音器は、互いに異なる周波数の空気圧振動がいくつあるかにもよるが、管６７の長さ３０ｍ以内において１台以上用いることが好ましく、３台以上用いることがより好ましい。
【００４８】
上記方法により、多くの振動を抑制して第１減圧チャンバ６１（図２，３参照）の内部の圧力変動の絶対値｜Ｐｖ｜を１．５｜Ｋ｜以下に制御することができる。しかし、前述のように圧力を測定してみると周期的な変動、つまり空気圧振動がまだみられることがある。そこで、本実施形態においては、この周期的な圧力変動を解析してみた。具体的には、周期的に変動する内部圧力の測定データを高速フーリエ変換（ＦＦＴ）により周波数分解した。周波数分解されたこのデータは、すなわち、ＦＦＴによりパワースペクトラム（ｐｏｗｅｒｓｐｅｃｔｒｕｍ）で表現したデータである。この方法では、測定された内部圧力の測定データでは縦軸が内部圧力、横軸が時間であるが、ＦＦＴによるパワースペクトラムデータでは縦軸が同じく内部圧力であり横軸が周波数（Ｈｚ）となる。なお、このとき、内部圧力そのもののデータを直接高速フーリエ変換してもよいが、圧力変動値Ｐｖまたはその絶対値｜Ｐｖ｜のデータを高速フーリエ変換することもでき、本明細書においては上記のうち｜Ｐｖ｜データを使った実施形態について説明する。そうすると、周波数分解された圧力変動値の絶対値｜Ｐｖ｜が特定の周波数にピークを示すデータが得られる。
【００４９】
図６の（ａ），（ｂ），（ｃ）はいずれも圧力変動値の絶対値｜Ｐｖ｜と周波数との関係の概略を示す測定図であり、縦軸が圧力変動値の絶対値｜Ｐｖ｜、横軸が周波数ｆ（単位；Ｈｚ）を示している。そして、図６の（ａ）は従来の製造装置及び方法である場合のデータであり、図６（ｂ）は本発明の既に説明した方法を適用した場合のデータであり、図６（ｃ）は後述する方法をさらに適用した場合のデータである。そして、いずれも、ｔ≦８０μｍとした場合のデータである。
【００５０】
図６（ａ）からわかるように従来法においては、全周波数領域において｜Ｐｖ｜が大きいが、これに対し図６（ｂ）では周波数全領域でピークの数が減少し、全体的に｜Ｐｖ｜が小さくなっているとともに、｜Ｐｖ｜が概ね１．５｜Ｋ｜以下となるように制御されていることがわかる。したがって、本発明の既に述べた方法では、良好な厚み精度を達成し、そのためフィルムは良好な光学特性を発現する。しかし、図６（ｂ）に示すように、既に述べた本発明の方法によっても、強度は大きくないものの｜Ｐｖ｜がピークとなって現れている周波数が確認されることがある。例えば、図６（ｂ）においては、その周波数ｆの値とは８０Ｈｚ，６０Ｈｚ，４０Ｈｚ，３０Ｈｚ等である。したがって、圧力変動が周期的なものとして発生しており、空気圧振動があることがわかる。
【００５１】
そこで、上記の特定の周波数８０Ｈｚ，６０Ｈｚ，４０Ｈｚ，３０Ｈｚのピークを小さくするために下記に述べる方法を用い、この方法により図６（ｃ）に示すようなデータを得ることができた。図６（ｃ）では、図６（ｂ）に見られた８０Ｈｚ，６０Ｈｚ，４０Ｈｚ，３０Ｈｚの各ピークが小さくなってほとんど確認されず、すべての周波数領域において｜Ｐｖ｜が抑制されていることがわかる。以下に、図６（ｂ）に確認されたような空気圧振動を抑制して図６（ｃ）のような効果を得るための本発明について詳細に説明する。
【００５２】
本発明では、上記のように、検出される数は少ないものの特定の周波数において現れる｜Ｐｖ｜のピークを選択的かつ効果的に減衰させるために、拡張型消音器を以下のような諸条件のものとしている。図７は、図２における VII− VII線に沿った断面図であり、図８は第１拡張型消音器７１の断面図である。第１拡張型消音器７１と第２拡張型消音器７２とは、長さＬ１，Ｌ２が互いに異なるように調整されることもあるが、その基本構造については概ね同様である。第１及び第２拡張型消音器７１，７２には、図７に示すように、第２減圧チャンバ６２側からの空気を吸引する吸引口７１ａ，７２ａと、吸引した空気を外部へ出すための排出口７１ｂ，７２ｂが備えられているとともに、内部を仕切る第１仕切部材７１ｃ，７２ｃが備えられている。第１拡張型消音器７１について、吸引口７１ａと排出口７１ｂとは、一方の中心線Ｃ１，Ｃ２を延長したときにその延長線が他方に入らないように、長手方向の断面において対角の位置に備えられている。つまり中心線Ｃ１の延長線は排出口７１ｂには入らず、そして、中心線Ｃ２の延長線は吸引口７１ａには入らないように、吸引口７１ａと排出口７１ｂとが備えられている。この構成は第２拡張型消音器７２も同様である。
【００５３】
吸引口７１ａ，７２ａｂと排出口７１ｂ，７２ｂとの位置を、上記のように定めることにより、空気圧振動が第１及び第２拡張型消音器７１，７２により減衰させることができる確率を大きくすることができる。つまり、同一直線上に吸引口７１ａ，７２ａｂと排出口７１ｂｃ，７２ｂとが備えられると、吸引口７１ａ，７２ａから入ってきた振動がそのまま通り抜けて排出口７１ｂｃ，７２ｂから出てしまうが、上記のように吸引口７１ａ，７２ａと排出口７１ｂ，７２ｂとを配することにより、波長の異なるできるだけ多くの振動を第１及び第２拡張型消音器７１，７２により減衰させることができる。
【００５４】
また、第１仕切部材７１ｃ，７２ｃは、第１及び第２拡張型消音器７１，７２の内部を、隙間ができるように仕切っており、この隙間が空気の流路となる。そして、第１仕切部材７１ｃ，７２ｃは、長手方向、つまり、吸引口７１ａ，７２ａから入ってきた空気振動の伝搬路に交差するように備えられ、本実施形態においては、前記伝搬路に垂直な面を形成している。これにより、吸引口７１ａ，７２ａから入ってきた空気圧振動が第１仕切部材７１ｃ，７２ｃに反射して、この反射の波と入ってくる空気振動の波とが相殺しあうので、その結果、流出部５１ａ（図２，３参照）等に伝わる空気圧振動が抑制される効果がある。
【００５５】
さらに、第１拡張型消音器７１は図８に示すように、第１部材７５と第２部材７６とをはめ合わせた構造とされている。第１部材７５と第２部材７６とは互いに（Ａ）方向にスライドして、長手方向の長さＬ１が所定の長さとなるように位置決めされて固定部材７７により固定される。そして、本実施形態では、第１拡張型消音器７１の長さＬ１がＶ／７ｆ≦Ｌ１≦Ｖ／２ｆを満たすように位置決めされて固定されている。ここで、Ｖは流延環境下の大気中における音速（単位；ｍ／秒）を表し、ｆは図６のような｜Ｐｖ｜とその周波数との関係を示すデータにおいてピークが現れた周波数（単位；Ｈｚ）を表す。例えば図６におけるピークとは上記のような８０Ｈｚ，６０Ｈｚ，４０Ｈｚ，３０Ｈｚ等である。これにより、衝突振動減衰、位相差減衰することができるので、所定の周波数の空気圧振動を抑制して圧力変動値の絶対値｜Ｐｖ｜を小さくすることができる。ここで、周波数ｆは、確認されたピークのうちいずれかひとつとされるので、上記範囲とすることにより、その選ばれた周波数の振動が共鳴して発生するそれよりも大きい周波数の振動について減衰効果を得ることができる。したがって、Ｌ１を上記のように設定することにより、共鳴器型消音器と同じ効果を得ることもできる。
【００５６】
Ｌ１がＶ／７ｆ未満とすると、第１拡張型消音器７１内部の距離が短すぎて距離減衰の効果がほとんどない。一方、Ｌ１がＶ／２ｆよりも大きい値とすると、低い周波数で振動が共鳴するために、この共鳴により振動が大きくなるという問題が発生することがある。そして、長さＬ１は、Ｖ／５ｆ≦Ｌ１≦Ｖ／３ｆとするとより好ましい。なお、本実施形態においては、拡張型消音器の長手方向における長さをＬとして上記のように規定したが、これは、第１の消音型消音器における吸引口及び排出口の位置を考慮したからであり、実質的には、振動が吸引口から入り込んだときの方向における長さである。この長さＬの考え方については、本発明で用いた別の拡張型消音器を別の図面に示して後で詳しく説明する。
【００５７】
また、本実施形態においては、第１拡張型消音器７１と同様に第２拡張型消音器７２についても、その長さＬ２がＶ／７ｆ≦Ｌ２≦Ｖ／２ｆを満たすようにされており、これは、Ｖ／５ｆ≦Ｌ２≦Ｖ／３ｆとするとより好ましい。なお、本発明においては、複数の拡張型消音器を用いた際には、そのいずれかひとつの長さＬをＶ／７ｆ≦Ｌ≦Ｖ／２ｆとすると上記のような効果があるが、本実施形態のようにすべての拡張型消音器について、この条件を満たすようにすると特に好ましく、これにより、所定の周波数の空気圧振動をより効果的に抑制することができる。
【００５８】
また、その長手方向における各長さを互いに異なるものとした拡張型消音器を複数用いることにより、複数の周波数ｆにおける｜Ｐｖ｜の抑制効果を得ることができる。例えば、第１拡張型消音器７１の長さＬ１を概ね２．１ｍとすることにより図６（ｂ）のｆ＝８０Ｈｚに見られた｜Ｐｖ｜ピークを小さくするとともに、第２拡張型消音器７２の長さＬ２を１．５ｍとすることにより図６（ｂ）のｆ＝６０Ｈｚに見られた｜Ｐｖ｜ピークを小さくすることができる。
【００５９】
また、第１拡張型消音器７１の長さＬ１と第２拡張型消音器７２の長さＬ２とがＬ１＝２ｎ×Ｌ２（ただし、ｎは自然数）となるように調整されると、第２拡張型消音器７２により抑制される振動の２ｎ倍の周波数の振動を第１拡張型消音器７１により抑制することができる。また、これにより、第２拡張型消音器７２で共振して発生した振動も第１拡張型消音器７１で減衰することもできる。このように、｜Ｐｖ｜のピークが複数の周波数において現れたときには、複数の拡張型消音器を用いてそれぞれ別の周波数ｆに対応させるように長さＬを決定することによりそれぞれのピークを抑制することができる。さらに、この方法によると、大型の共鳴器型消音器消音器を用いずに、拡張型消音器だけで、さまざまな周波数の振動に対応可能ともなる。
【００６０】
また、本実施形態においては、第１仕切部材７１ｃは、図８に示すようにスライド台７１ｄの上に移動自在に取り付けられており、（Ｂ）で示される方向に移動して所定の位置に位置決めされる。第１仕切部材７１ｃにより仕切られたことにより形成された第１及び第２区画Ｄ１，Ｄ２の長手方向における長さをそれぞれ第１区画長さＬＤ１、第２区画長さＬＤ２とする。そして、第１仕切部材７１ｃの位置は、ＬＤ１≦（１／ｍ）×Ｌ１とＬＤ２≦（１／ｍ）×Ｌ２との少なくともいずれか一方を満たすように位置決めされて固定されている。ここで、ｍは２以上の自然数を表し、Ｖは上記と同様に、流延環境下の大気中における音速（単位；ｍ／秒）を表し、ｆは図６のような圧力変動データをＦＦＴによりパワースペクトラムデータとして表した際に確認されたピークのうち任意のピークの周波数（単位；Ｈｚ）である。これにより、所定の周波数の振動エネルギーを熱エネルギーに変えて抑制し、｜Ｐｖ｜を減じることができる。ここで、周波数ｆは、確認されたピークのうちいずれかひとつとされるので、上記範囲とすることにより、その選ばれた周波数の振動が共鳴して発生するそれよりも大きい周波数の振動について減衰効果を得ることができる。
【００６１】
第１仕切部材７１ｃの位置を上記のように設定することにより、第１拡張型消音器７１の長さＬ１の設定による振動抑制周波数ｆの（１／ｍ）倍の周波数についても、その振動を抑制させることができる。例えば、上記のようにＬ１を所定の値に設定することによりｆ＝８０Ｈｚの振動を抑制させたときであって、ＬＤ１とＬＤ２との少なくともいずれか一方を（１／２）×Ｌ１としたときには、ｆ＝４０Ｈｚにおける｜Ｐｖ｜のピークを抑制させることができる。また、この例においては、第１仕切部材７１ｃの面積を変えることにより、８０Ｈｚのピークの抑制効果と４０Ｈｚのピークの抑制効果との関係を調整することができる。具体的には、４０Ｈｚよりも８０Ｈｚのピークを重点的に抑制したいときには第１仕切部材７１ｃの面積を小さめにし、また、８０Ｈｚよりも４０Ｈｚのピークを重点的に抑制したいときには第１仕切部材７１ｃの面積を大きめにするとよい。
【００６２】
もし、長さＬを変えることができない拡張型消音器を用いるときには、その長さＬの変更設定に代えて、上記のような仕切部材をその消音器に設けてその仕切部材によって形成された区画の長さＬＳをＶ／７ｆ≦ＬＤ≦Ｖ／２ｆとするとよく、この方法を本実施形態において適用しようとするときには、各区画長さＬＤ１，ＬＤ２は、Ｖ／５ｆ≦ＬＤ１≦Ｖ／３ｆとＶ／５ｆ≦ＬＤ２≦Ｖ／３ｆとするとより好ましい。
【００６３】
また、本実施形態においては、第１拡張型消音器７１と同様に第２拡張型消音器７２についても、その区画長さが設定されており、例えば、Ｌ２を所定の長さとすることによりｆ＝６０Ｈｚの｜Ｐｖ｜ピークを減衰させるときであって、仕切部材を１枚設けて区画長さＬＤのうち少なくともいずれか一方を（１／２）×Ｌ２としたときには、ｆ＝３０Ｈｚにおける｜Ｐｖ｜のピークを減衰させることができる。
【００６４】
また、本実施形態では、第１拡張型消音器７１の第１と第２との各区画長さＬＤ１，ＬＤ２が、ＬＤ１＝２ｎ×ＬＤ２（ただし、ｎは自然数）となるように調整される場合もある。この方法により、第２区画Ｄ２において減衰される振動の２ｎ倍の周波数の振動を第１区画Ｄ１で減衰することができるようになる。また、これにより、第２区画Ｄ２で共振して発生した振動も第１区画Ｄ１で減衰することもできる。
【００６５】
図９は、上記実施形態における第１拡張型消音器に代えて用いた第３拡張型消音器８１の断面図である。第３拡張型消音器８１は、第１及び第２拡張型消音器７１，７２と同様に、互いに（Ａ）方向にスライドする第１部材８５と第２部材８６とを有し、これらの位置決めにより、長手方向の長さＬ３が設定される。また、内部には、第１及び第２の仕切部材８１ｃ、８１ｅとがそれぞれスライド台８１ｄ、８１ｆの上に移動自在に取り付けられている。これらの仕切部材８１ｃ、８１ｅにより、内部には３つの区画Ｄ１〜Ｄ３が形成されている。この第３拡張型消音器８１では、第１〜第３の区画長さＬＤ１〜ＬＤ３について、ＬＤ１＝２ｎ×ＬＤ２、ＬＤ１＝２ｎ×ＬＤ３（ただし、ｎは自然数）となるように調整されている。
【００６６】
圧力変動値Ｐｖのピークが複数の周波数において現れたときには、図９に示すように、複数の仕切板を設けて３つ以上の区画を形成して、それぞれ別の周波数ｆに対応させるように各区画長さＬＳを決定することによりそれぞれのピークを抑制することができる。
【００６７】
図１０，図１１は、本発明のさらに別の実施形態を示しており、第１〜第３の拡張型拡張型消音器に代えて用いることができる別の拡張型消音器の断面図である。ただしこれらの図１０，図１１では、図の煩雑さを避けるために細部の図示は略す。図１０に示す第４拡張型消音器９１は、長手方向に垂直な向きに吸引口９１ａと排出口９１ｂとが備えられている。この場合には、前記長さＬ４を長手方向における長さとせずに、前述したように、吸引口９１ａからの振動の伝搬方向における長さとする。また、図１１に示す第５拡張型消音器９５は、吸引口９５ａ、排出口９５ｂとは第１〜第３拡張型消音器と同様の位置に備えられているが、第１仕切部材９５ｃと第２仕切部材９５ｅとの位置関係が第１〜第３拡張型消音器とは異なる。つまり、第１仕切部材９５ｃと第２仕切部材９５ｅとは、ともに長手方向に複数の区画を形成するように仕切っているが、それらの取り付け位置は互いに対向する面となっている。以上のような第４，第５拡張型消音器を用いても、第１〜第３拡張型消音器と同様の効果を得ることができる。
【００６８】
また、本実施形態のように、溶液製膜方法によるフィルム製造においては、第２減圧チャンバ６２ないし管６７の内部における減圧度は、大気圧を基準値ゼロとしたとき、−１０Ｐａ〜−２０００Ｐａとすることが好ましい。特に製造するフィルムの厚みが薄いほど、上記範囲内においてできるだけ減圧度を大きくすることが好ましい。
【００６９】
以上のように、本発明により、第２減圧チャンバ６２ならびに管６７の内部における空気圧振動ならびに圧力変動を抑制することができる。ここで、圧力変動の測定について説明する。既に説明したように、本実施形態においては、まず、第２減圧チャンバ６２の内部の空気圧を市販の圧力計にて測定する。次に、この測定結果を高速フーリエ変換（ＦＦＴ）して周波数分解することにより圧力変動が解析される。本実施形態においては、圧力計としてＳＴ研究所製のＳｐｅｃｉａｌ  ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒを使用し、圧力変動データの解析、つまりＦＦＴ処理には、ＯＮＯ  ＳＯＫＫＩ社製のＭＵＬＴＩ  ＣＨＡＮＮＥＬ  ＤＡＴＡＳＴＡＴＩＯＮ  ＤＳ−９１１０を用いた。ただし、本発明では、圧力変動の測定方法は上記方法に限定されるものではなく、公知の圧力変動解析手段により求められてもよい。本発明によると、全周波数領域において、圧力変動値の絶対値｜Ｐｖ｜が小さく、特に、概ね３０〜５０Ｈｚの周波数領域においては従来法に比べ｜Ｐｖ｜が非常に小さくなり、効果が大きい。
【００７０】
また、本実施形態においては、流出部５１ａ（図２，図３参照）に対する減圧効果のほとんどは第２減圧チャンバによるものであることが予め確認されていたので、内部の空気圧振動の制御対象を第２減圧チャンバのみとしたが、これに加えて第１減圧チャンバを制御対象とするとさらに効果が向上する。例えば、第１減圧チャンバ６１の内部圧力の変動値Ｐｖ（単位；Ｐａ）の絶対値｜Ｐｖ｜を１．５｜Ｋ｜以下とするために、第１減圧チャンバとその減圧ファンとを接続する配管の内径を７０ｍｍ以上７００ｍｍ以下とし、その配管のベンド部を１５箇所以下としたり、その配管の長さを３０ｍ以下とし、配管に消音器を備えること等が好ましい。さらに、減圧チャンバを１台のみ設置する場合には、その１台につき、本実施形態の第２減圧チャンバの場合と同様に、空気圧振動を制御することが好ましい。このように、本発明は、設置する減圧チャンバの台数には依存しないが、少なくとも、流出膜に最も近い位置に設置した減圧チャンバにつき、空気圧振動を制御することが好ましい。
【００７１】
本発明の製造方法において、ポリマー成分としては、セルロースアシレートが好ましく、中でもセルロースアセテートが特に好ましい。セルロースアシレート以外のポリマーであっても、ポリマー及びその前駆体が溶媒によってドープとなり、溶液製膜をすることができるものであれば本発明における溶液製膜には適用されるし、また、周知の溶融押出によりフィルムを形成することができるポリマーも適用される。例えば、ポリビニルアルコール、変性ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、塩素化ポリエーテル、ポリアセタール、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリフェニレンオキシド（ＰＰＯ）、ポリフェニレンスルホン、ポリスルホン、ポリアリレート、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）等を例示することができる。さらに、以上のような各種ポリマーをそれぞれ単独で使用しても、あるいは複数を混合して使用しても本発明に適用可能である。また、本発明はドープまたは溶融状態とされるポリマーの形状等の様態について限定するものではなく、例えば、粉体やペレット等であってもよい。
【００７２】
本発明において、溶液製膜によりフィルムを製造する場合にはドープに使用する溶媒を限定するものではなく、公知の各種溶媒を用いることができる。例えば、ジクロロメタンやジクロロメチレン等のハロゲン含有有機化合物の他に、メチルアルコールやエチルアルコール、ｎ−ブチルアルコールなどのアルコールや酢酸メチル、酢酸エチル等の各種エステル系化合物やアセトンなど非塩素系有機化合物や、水を使用することができる。
【００７３】
本発明は、上記のように、溶液製膜のみならず溶融製膜にも適用することができる。つまり、周知の溶融押出ダイから流出部（押出部）として溶融ポリマーを押し出す際に、その流出部の振動を抑制する等のために、押し出された溶融ポリマー近傍を減圧する場合には、その減圧条件について、上記と同様の条件とすることが効果的である。なお、溶融製膜の場合には、図１に示す溶液製膜設備における乾燥装置１５を冷却装置に代え、フィルム状に押し出されたポリマーを所定の冷却条件により冷却する。この冷却は自然冷却とされることもある。そして、冷却中あるいは冷却後には延伸機等でフィルムを所定方向に延伸することもある。
【００７４】
さらに、本発明により得られたポリマーフィルムを偏光板保護膜として良好に用いることができる。偏光板は、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）系フィルムにより作製された偏光膜の両面に、上記の製造方法で得られたポリマーフィルムを保護膜として貼り合わせることによって得られる。偏光膜は、ポリビニルアルコール系フィルムを染色して得られるが、この染色方法としては、気相吸着法と液相吸着法が一般的でありどちらも適用することができるが、本発明においては液相吸着により染色を実施した。
【００７５】
液相吸着による染色には、ここではヨウ素を用いるがこれに限定されるものではない。ポリビニルアルコールフィルムをヨウ素／ヨウ化カリウム（ＫＩ）水溶液に、３０秒以上５０００秒以下の浸積時間をもって浸積した。このときの水溶液は、ヨウ素の濃度を０．１ｇ／リットル以上２０ｇ／リットル以下とし、ヨウ化カリウムの濃度を１ｇ／リットル以上１００ｇ／リットル以下とすることが好ましい。また、浸積時の水溶液の温度は５℃以上５０℃以下の範囲に設定されることが好ましい。
【００７６】
液相吸着方法としては、上記の浸積法に限らず、ヨウ素あるいはその他の染料溶液をポリビニルアルコールフィルムに塗布する方法や噴霧する方法など、公知の方法を適用してよい。染色を実施するのは、ポリビニルアルコールフィルムを延伸する前であっても延伸した後でもよいが、ポリビニルアルコールフィルムは染色を施されることにより適度に膨潤して延伸されやすくなることから、延伸工程の前に染色工程を設けることが特に好ましい。
【００７７】
ヨウ素の代わりに二色性色素で染色することも好適である。二色性色素としては、アゾ系色素やスチルベン系色素、ピラゾロン系色素、トリフェニルメタン系色素、キノリン系色素、オキサジン系色素、チアジン系色素、アントラキノン系色素等の色素系化合物を例示することができる。なお、水溶性の色素系化合物がもっとも好ましい。また、これらの二色性色素の分子中に、スルホン酸基やアミノ基、水酸基等の親水性官能基が導入されていることが好ましい。
【００７８】
染色したポリビニルアルコール系フィルムを延伸して偏光膜を製造工程においてはポリビニルアルコールを架橋させる化合物を用いている。具体的には、延伸前工程もしくは延伸工程において架橋剤溶液にポリビニルアルコール系フィルムを浸積して架橋剤を含有させる。浸積する代わりに塗布してもよい。ポリビニルアルコール系フィルムは、架橋剤の含有によって十分に硬膜化され、この結果、適切な配向が付与される。なお、ポリビニルアルコールの架橋剤としては、ホウ酸類がもっとも好ましいが、これに限定されるものではない。
【００７９】
得られた偏光膜と本発明によるポリマーフィルムとの接着剤には、偏光膜と保護膜の接着に用いることができる公知の各種接着剤を用いている。中でも、アセトアセチル基やスルホン酸基、カルボキシル基、オキシアルキレン基等を有する変性ポリビニルアルコールを含むポリビニルアルコール系ポリマーやホウ素系化合物の水溶液が好ましい。この接着剤は、乾燥した後の厚みが０．０１μｍ以上１０μｍ以下となるように付与することが好ましく、０．０５μｍ以上５μｍ以下となるように付与することがさらに好ましい。さらに、保護膜としてポリビニルアルコール層に付与したポリマーフィルム層の表面には、反射防止層や防眩層、滑り付与層、易接着層等を付与することができる。
【００８０】
さらに、本発明にて得られたポリマーフィルム、特にセルローストリアセテートフィルム上に光学補償シートを貼付して、光学補償フィルムとして用いることもできる。前記の偏光板に反射防止層を付与した反射防止フィルムを得て、これを表面保護フィルムの片側として用い、ツイステットネマチック（ＴＮ）、スーパーツイステットネマチック（ＳＴＮ）、バーティカルアライメント（ＶＡ）、インプレインスイッチング（ＩＰＳ）、オプティカリーコンペンセイテットベンドセル（ＯＣＢ）等のモードの透過型、反射型、または半透過型の液晶表示装置を得る。また、液晶表示装置の視野角を改良する視野角拡大フィルムなどの光学補償フィルム、位相差板等を組み合わせて使用することもできる。透過型または半透過型の液晶表示装置に用いる場合には、市販の輝度向上フィルム（偏光選択層を有する偏光分離フィルム、例えば住友３Ｍ（株）製のＤ−ＢＥＦなど）と併せて用いることにより、さらに視認性の高い表示装置を得ることができる。
【００８１】
以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【実施例１】
【００８２】
以下の配合比の固形分を、ジクロロメタン：メタノールが９２：８の重量比率である溶媒と混合して静置脱泡した後、ポンプＰ２により濾過器２５へ送って濾過して、流延ドープ５１とした。流延ドープ５１の固形分濃度は１９．０重量％であった。
（固形分）
・セルローストリアセテート                  １００重量部
・トリフェニルフォスフェート                    ７重量部
・ビフェニルジフェニルフォスフェート            ５重量部
【００８３】
流延ドープ５１を、流延ダイ３６から流延した。バンド３８の搬送速度は５５ｍ／分である。第２減圧チャンバ６２における減圧度を制御しながら、流延した。管６７の内径は１００ｍｍであり、長さは１２ｍであって、ベンド部Ａの数は８である。また、第１拡張型消音器７１としては、Ｓ２／Ｓ１が３０であるものを用い、第２拡張型消音器７２としてはＳ２／Ｓ１が５０であるものを用いた。そして、第１拡張型消音器７１及び第２拡張型消音器７２にはともに仕切部材は設けられておらず、前者の長さＬ１は３．５ｍ、後者の長さＬ２は２．５ｍである。さらに、振動減衰手段として、共鳴器型消音器７３も用いた。流延膜を剥ぎ取った後、乾燥させて巻き取り、厚み８０μｍのフィルム５２を得た。
【００８４】
｜Ｐｖ｜が表１に示す実施例１−１〜１−３のような各値となるように条件調整し、各場合について、周波数が３Ｈｚ以上の周期性をもって発生する厚みムラが０．３％未満であるときを◎、０．８％未満であるときを○、１．５％以上であるときを×として評価した。そして、この結果については、表１に示している。表１の設定減圧度は対大気圧値を示している。なお、フィルム５２の厚みは、ＡＮＲＩＴＳＵ社製のＦＩＬＭ  ＴＨＩＣＫＮＥＳＳ  ＴＥＳＴＥＲ  ＫＧ６０１を用いて測定した。
【実施例２】
【００８５】
製膜して得られるフィルム５２の厚みを６０μｍとした他は実施例１と同様に実施し、実施例２−１〜３とした。本実施結果については実施例１とともに表１に示す。
【実施例３】
【００８６】
製膜して得られるフィルム５２の厚みを４０μｍとした他は実施例１と同様に実施し、実施例３−１〜３とした。本実施結果については実施例１，２とともに表１に示す。
【００８７】
【表１】
2006069184.tif 000003
【００８８】
表１の結果によると、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜以下（ただし、｜Ｋ｜＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００）であると厚みムラがほとんどなく良好なフィルムを得ることができ、｜Ｐｖ｜が０．５｜Ｋ｜以下のときには厚みムラがなく非常に良好なフィルムを得ることができることがわかる。
【実施例４】
【００８９】
第２減圧チャンバ６２の設定減圧度を対大気圧で−１００Ｐａとし、管６７の内径を表２の実施例４−１〜３のように変えて圧力変動値Ｐｖの絶対値｜Ｐｖ｜の平均値を実施例１と同様に求めた。第２減圧チャンバ６２内部の空気圧変動が｜Ｐｖ｜が０．５｜Ｋ｜以下（ただし、｜Ｋ｜＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００）の場合を◎とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜以下の場合を○とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜より大きい場合を×として、この結果についてを表２に示す。
【００９０】
【表２】
2006069184.tif 000004
【００９１】
表２の結果によると、管６７の内径が５０ｍｍの場合には空気圧変動が大きくなりすぎ、また、管６７の内径が８０ｍｍの場合には空気圧変動が抑制されて良好であることがわかる。さらに、管６７の内径が１００ｍｍであると、空気圧変動は非常に抑制されることがわかる。
【実施例５】
【００９２】
第２減圧チャンバ６２の設定減圧度を対大気圧で−１００Ｐａとし、管６７の内径を８０ｍｍとし、管６７の長さを１５ｍとして、ベンド部Ａの数を表３の実施例５−１〜４のように変化させ圧力変動値Ｐｖの絶対値｜Ｐｖ｜の平均値を実施例１と同様に求めた。第２減圧チャンバ６２内部における｜Ｐｖ｜が０．５｜Ｋ｜以下（ただし、｜Ｋ｜＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００）の場合を◎とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜以下の場合を○とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜より大きい場合を×として、この結果についてを表３に示す。
【００９３】
【表３】
2006069184.tif 000005
【００９４】
表３の結果によると、ベンド数Ａが２０以上であると空気圧変動が大きくなりすぎて好ましくなく、１５であると空気圧変動が抑制され良好であることがわかる。さらにベンド数Ａが８のときには空気圧変動が極めて抑制されて非常に良好であることがわかる。
【実施例６】
【００９５】
第２減圧チャンバ６２の設定減圧度を対大気圧で−１００Ｐａとし、管６７の内径を８０ｍｍとし、ベンド部Ａの数を１０として、管６７の長さを表４の実施例５−１〜３のように変化させ圧力変動値Ｐｖの絶対値｜Ｐｖ｜の平均値を実施例１と同様に求めた。第２減圧チャンバ６２内部の空気圧変動が｜Ｐｖ｜が０．５｜Ｋ｜以下（ただし、｜Ｋ｜＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００）の場合を◎とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜以下の場合を○とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜より大きい場合を×として、この結果についてを表４に示す。
【００９６】
【表４】
2006069184.tif 000006
【００９７】
表４の結果によると、管６７の長さ５０ｍであると空気圧変動が大きくなりすぎて好ましくなく、２５ｍであると空気圧変動が抑制され良好であることがわかる。さらに管６７の長さが１０ｍのときには空気圧変動が極めて抑制されて非常に良好であることがわかる。
【実施例７】
【００９８】
第２減圧チャンバ６２の設定減圧度を対大気圧で−１００Ｐａとし、管６７の内径を８０ｍｍとし、管６７の長さを１５ｍ、ベンド部Ａの数を１５とし、拡張型消音器の設置台数と共鳴型消音器の設置台数とを表５の実施例７−１〜５のように変化させ圧力変動値Ｐｖの絶対値｜Ｐｖ｜の平均値を実施例１と同様に求めた。拡張型消音器と共鳴型消音器とを併用した場合には、その各台数にかかわらず、前者を上流側とし後者を下流側とした。第２減圧チャンバ６２内部の空気圧変動について、｜Ｐｖ｜が０．５｜Ｋ｜以下（ただし、｜Ｋ｜＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００）の場合を◎とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜以下の場合を○とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜より大きい場合を×として、この結果についてを表５に示す。
【００９９】
【表５】
2006069184.tif 000007
【０１００】
表５の結果によると、拡張型消音器を使用しない場合には空気圧変動が大きくなりすぎて好ましくなく、また１台用いると空気圧変動が抑制され良好であることがわかる。さらに３台用いると空気圧変動が極めて抑制されて非常に良好であることがわかる。
【実施例８】
【０１０１】
第２減圧チャンバ６２の設定減圧度を対大気圧で−１００Ｐａとし、管６７の内径を８０ｍｍとし、管６７の長さを１５ｍ、ベンド部Ａの数を１５とした。第１消音器７１である拡張型消音器と管６７との前記面積の比Ｓ２／Ｓ１を表６の実施例８−１〜３のように変化させ、圧力変動値Ｐｖの絶対値｜Ｐｖ｜の平均値を実施例１と同様に求めた。第２減圧チャンバ６２内部の空気圧変動が｜Ｐｖ｜が０．５｜Ｋ｜以下（ただし、｜Ｋ｜＝（ｔ×｜Ｐ0 ｜）1/2 ／１００）の場合を◎とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜以下の場合を○とし、｜Ｐｖ｜が１．５｜Ｋ｜より大きい場合を×として、この結果についてを表６に示す。
【０１０２】
【表６】
2006069184.tif 000008
【０１０３】
表６の結果によると、拡張型消音器と管６７との内部の前記面積の比Ｓ２／Ｓ１が２のときは空気圧変動が大きくなりすぎて好ましくなく、また、６のときには空気圧変動が抑制され良好であることがわかる。さらに２２の場合には空気圧変動が極めて抑制されて非常に良好であることがわかる。
【実施例９】
【０１０４】
実施例１−２の減圧度−２００Ｐａの場合において第２減圧チャンバ６２の内部の圧力変動を測定し、ＦＦＴ処理により周期的に現れる空気圧振動データを求めた。その解析データでは、｜Ｐｖ｜ピークの最大値が１．９であり、この値はｆ＝８０Ｈｚに現れた。そこで、３．５ｍであった第１拡張型消音器７１の長さＬ１を表７の実施例９−１〜９−５に示すような各長さに代えて、各長さＬ１毎に、８０Ｈｚにおける｜Ｐｖ｜ピークの値を求めた。なお、表７の評価結果欄においては、８０Ｈｚにおける｜Ｐｖ｜ピークの値が０〜０．２５となったときを◎，０．２５より大きく１．０以下となったときを○，１．０よりも大きいときを×として示す。
【０１０５】
【表７】
2006069184.tif 000009
【０１０６】
本実施例９の結果、第１拡張型消音器７１の長さＬ１を変えることにより８０Ｈｚに現れていた｜Ｐｖ｜ピークの抑制効果が変化することがわかる。そして、｜Ｐｖ｜ピークを抑制するにはそのピークが現れた周波数に応じてＬ１の長さをＶ／７ｆ以上Ｖ／２ｆ以下の範囲で所定の値に調整することが効果的であることがわかる。
【実施例１０】
【０１０７】
また、設定減圧度を−１００Ｐａ（対大気圧値）に代えて、実施例９と同様に、第２減圧チャンバ６２の内部での空気圧振動につき解析データを求めた。その解析データでは、｜Ｐｖ｜ピークの最大値が２．１であり、この値はｆ＝６０Ｈｚに現れた。そこで、実施例９では３．５ｍであった第１拡張型消音器７１の長さＬ１を表８の実施例１０−１〜１０−５に示すような各長さに代えて、各長さＬ１毎に、６０Ｈｚにおける｜Ｐｖ｜ピークの値を求めた。
【０１０８】
【表８】
2006069184.tif 000010
【０１０９】
本実施例１０の結果、第１拡張型消音器７１の長さＬ１を変えることにより６０Ｈｚに現れていた｜Ｐｖ｜ピークの抑制効果が変化することがわかる。そして、｜Ｐｖ｜ピークを抑制するにはそのピークが現れた周波数に応じてＬ１の長さをＶ／７ｆ以上Ｖ／２ｆ以下の範囲で所定の値に調整することが効果的であることがわかる。
【実施例１１】
【０１１０】
第１拡張型消音器７１について、仕切部材を設け、その枚数を表９のように変えた。その他の条件は、実施例９−１と同様に実施した。これらの条件を実施例１１−１〜１１−４とし、８０Ｈｚに現れた｜Ｐｖ｜ピークがそれぞれいくつとなるかを測定した。この結果を表９に示す。表９において、評価結果に関する記載方法は、表７及び表８と同様である。
【０１１１】
【表９】
2006069184.tif 000011
【０１１２】
本実施例１１の結果、所定のＬ１とすることにより８０Ｈｚのピークを小さくすることができるとともに、仕切部材により、４０Ｈｚ等の｜Ｐｖ｜ピークも小さくすることができた。このように、第１拡張型消音器７１における仕切部材の有無及びその枚数により８０Ｈｚの｜Ｐｖ｜ピークの他、その１／２の周波数である４０Ｈｚやその他に現れていた｜Ｐｖ｜ピークに対する抑制効果が変化することがわかった。
【実施例１２】
【０１１３】
第１拡張型消音器７１を用いたときを実施例１２−１とし、この第１拡張型消音器７１に代えて、吸引口７１ａの中心線を延長した延長線が排出口７１ｂに入るタイプの拡張型消音器としたときを実施例１２−２とした。その他の条件は、実施例９−１と同様に実施した。そして、それぞれにおける８０Ｈｚの｜Ｐｖ｜ピークの値を求め、その結果を表１０に示す。表１０において、評価結果に関する記載方法は、表７〜表９と同様である。
【０１１４】
【表１０】
2006069184.tif 000012
【０１１５】
本実施例１２の結果、吸引口と排出口との位置関係により振動の抑制効果が異なり、吸引口の中心線を延長した線が排出口の外部となるようにすることで振動の抑制効果が高まることがわかる。
【実施例１３】
【０１１６】
防眩性反射防止フィルムを、２．０規定、５５℃のＮａＯＨ水溶液中に２分間浸漬することにより、防眩性反射防止フィルムの片面にあるセルローストリアセテート面をけん化処理した。また、同条件により、実施例１−３で得られたセルローストリアセテートフィルムをけん化処理した。これら２つのフィルムを保護フィルムとして、ポリビニルアルコールにヨウ素を吸着させてこれをすることにより作成された偏光子の両面の、互いに異なる面に接着し、偏光板を作成した。得られた偏光板は、平面性に優れ良好なものであった。
【実施例１４】
【０１１７】
実施例１３で得られた偏光板を、透過型ＴＮ液晶表示装置搭載のノートパソコンの液晶表示装置（偏光選択層を有する偏光分離フイルムである住友３Ｍ（株）製のＤーＢＥＦをバックライトと液晶セルとの間に有する）の視認側の偏光板と貼り代えた。このとき、反射防止層側が最表面となるようにした。得られた表示装置は、背景の映りこみが極めて少なく、表示品位の非常に高いものであった。
【図面の簡単な説明】
【０１１８】
【図１】本発明の実施形態である溶液製膜設備の概略図である。
【図２】実施形態である流延装置を示す概略図である。
【図３】流延装置の要部の一部断面を含む側面図である。
【図４】減圧チャンバに接続する管の断面図である。
【図５】第１拡張型消音器の断面図である。
【図６】空気圧振動における｜Ｐｖ｜と周波数との関係を示す図である。（ａ）は従来法の場合であり、（ｂ）は、本発明の一部のみ適用した場合であり、（ｃ）は本発明を好適に適用した場合である。
【図７】拡張型消音器を示す概略図である。
【図８】拡張型消音器の断面図である。
【図９】別の拡張型消音器の断面図である。
【図１０】さらに別の拡張型消音器の断面概略図である。
【図１１】さらに別の拡張型消音器の断面概略図である。
【符号の説明】
【０１１９】
１０    溶液製膜設備
１２    流延装置
３６    流延ダイ
３８    バンド
５１    流延ドープ
６１    第１減圧チャンバ
６６    減圧制御部
６７    管
７１    第１拡張型消音器
７１ａ吸引口    ７１ｂ排出口    ７１ｃ仕切部材
７２    第２拡張型消音器
７３    共鳴器型消音器
８１，９１，９５  拡張型消音器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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