(57)【要約】【課題】  左右移動ワ−クテ−ブル、前後移動ツ−ルテ−ブルおよび上下移動砥石頭固定滑走体の真直度の優れる油静圧直動案内装置を備えた平面研削装置の提供。【解決手段】      油静圧直動案内装置５０の一方を構成するスライド本体２（ワ−クテ−ブル４、サドル７および砥石頭固定滑走体２）の荷重は、ガイド本体１のフレ−ム６素材の突起体１２ｂ，１２ｃの頭頂部に直接懸かるので、当て板２３ａ，２３ｂの撓み変形はなく、また、油ポケット４１，４２、４３，４４もスライド本体２の八面を拘束するようにスライド本体２の摺動面に下ポケット４１と上ポケット４２、外サイドポケット４３と内サイドポケット４４を油圧がバランスとれるように数も考慮して配置しているので、スライド本体２の真直度は向上する。【選択図】  図４
2006102867.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレ−ム６上に左右方向に往復移動可能に設けられたワ−クテ−ブル４を案内する油静圧直動案内装置５０、前記ワ−クテ−ブル４に直交して設けられた前後方向に往復移動可能なサドル７を案内する油静圧直動案内装置５０、該サドル７上に起立して固定されたコラム９、該コラムに砥石車３を軸承する砥石軸を備える砥石頭１０を固定した滑走体２を上下方向に昇降させる油静圧直動案内装置５０、および、砥石車回転駆動機構を備える平面研削装置１００において、
前記三個の油静圧直動案内装置５０は、一対の凹部レ−ル１３ａ，１３ｃを上面に形成するガイド本体１と、このガイド本体１上を非接触に滑走する、滑走面に油ポケットを有するスライド本体２とから構成され、
前記ガイド本体１は、フレ−ム６の上面に左右対称に四条の突起体１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを設けて３条の凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを形成し、外側の突起体１２ａ，１２ｄの上面に当て板１４ａ，１４ｂを内方に向けて前記第一凹部レ−ル１３ａと第三凹部レ−ル１３ｃの上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル１３ａと第三凹部レ−ル１３ｃを形成したガイド本体１であり、
スライド本体２は、そのスライドテ−ブル２１下面に前記ガイド本体１に設けられた内側の突起体１２ｂ，１２ｃの頭頂部に当接するとともに、ガイド本体１に設けられた当て板１４ａ，１４ｂの内側面に外側面が対向する突起体２２ａ，２２ｂを左右対称に設け、更にその突起体２２ａ，２２ｂの下面途中より外側に向けてガイド本体１の第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの両側面に側面が対向する当て板２３ａ，２３ｂを敷設した段部脚構造のスライド本体２であり、
前記ガイド本体１の第二突起体１２ｂ、第三突起体１２ｃの頭頂部と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの下面が当接する面で第一摺動面３１，３１を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの下面と、スライド本体２の当て板２３ａ，２３ｂの上面が当接する面で第二摺動面３２，３２を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの内側面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの外側面が対向する面で第三摺動面３３，３３を、
前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第一突起体１２ａの内側面とスライド本体２の当て板２３ａの右側面が対向する面で第四摺動面３４ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第四突起体１２ｄの内側面とスライド本体２の当て板２３ｂの左側面が対向する面で第四摺動面３４ｂを、
前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの側面とスライド本体２の当て板２３ａの左側面が対向する面で第五摺動面３５ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの側面とスライド本体２の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第五摺動面３５ｂを設け、
前記スライド本体２の第一摺動面３１を形成する突起体２２ａ，２２ｂの下面に油ポケット４１，４１を、第二摺動内面３２を形成する当て板２３ａ，２３ｂの上面に油ポケット４２，４２を、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面に油ポケット４４，４４を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内装置５０であることを特徴とする、平面研削装置１００。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超精密加工が可能な平面研削装置に関する。この平面研削装置は、液晶パネル用ガラス基板の研削加工やＴ−ダイの継ぎ目研削加工に有用である。
【背景技術】
【０００２】
平面研削装置は知られている。図１に示す平面研削装置１００において、３は砥石車、４は左右方向に往復移動可能なワ−クテ−ブル、５は作業台部、６はフレ−ム、７は前後方向に往復移動可能なサドル、８は操作盤、９はコラム、１０は砥石頭、１１は研削液供給ノズルである。ワ−クテ−ブル４上に電磁チャックを介して固定されたワ−クの加工は、ワ−クテ−ブル４の左右方向の移動と、回転する砥石車３を備える砥石頭１０を支持するコラム６を起立して固定するサドル７の前後方向移動、および砥石頭１０の上下方向移動の相対的な組み合わせにより実施される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
ワ−クテ−ブル４やサドル７のような滑走体（スライド本体）を油静圧軸受でガイド本体に案内支持する油静圧動案内装置も提案され、高い剛性を示し、真直度が０．８〜１．０μｍ／８００ｍｍと高いものも得られている。具体的には、両側面部にスライド凹溝部を形成し且つこれらのスライド凹溝部の上、下面部および端面部に配管と配管出口に油ポケット部を形成したスライド本体（滑走体）と、このスライド本体の両方の前記スライド凹溝部にガイド当て板を挿入して前記スライド本体を摺動可能に保持したガイド本体とからなり、前記油ポケット部への油供給ラインを４系統とした静圧直動案内装置が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００４】
また、ガイド部材の周囲に設けられた少なくとも一対の平行な静圧摺動面を介して、そのガイド部材上を移動可能な移動部材（滑走体）を備えた静圧摺動装置において、前記ガイド部材の静圧摺動面の両面に圧油を供給する第一の状態と、一方の静圧摺動面に圧油を供給するとともに、他方の静圧摺動面に対する圧油の供給を停止する第２の状態とに切り換えるための切り換え手段を設けた静圧摺動装置も提案されている（例えば、特許文献３参照。）。
【０００５】
更に、矩形の断面を備え、ベッド（フレ−ム）の両側面に沿ってベッドの上面および側面から張り出す様に形成され、該ベッド上面に一対のレ−ル部分を上面に有するガイド本体と、テ−ブル下面に左右対称に３対の突起体を設け、その左右の突起体の下面に当て板を前記ベッドの矩形段部空洞部分に向けて張り出したスライド本体とから成り、スライド本体の一対のレ−ル上面とテ−ブル下面の左右とで第一摺動面を、スライド本体の一対の当て板の上面とスライド本体の左右のレ−ル下面とで第二摺動面を、スライド本体の一対の当て板下面とガイド本体の矩形の段部下面とで第三摺動面を、スライド本体の中央突起体の側面とガイド本体の一対のレ−ル内側面とで第四摺動面を、スライド本体の左右の突起体内側面とガイド本体の一対のレ−ル外側面とで第五摺動面を、スライド本体の左右の当て板内側面とガイド本体の矩形段部の外側面とで第六摺動面を設け、前記スライド本体の第一摺動面を形成するテ−ブルの下面に油ポケットを、第二摺動面を形成する当て板の上面に油ポケットを、第三摺動面を形成する当て板の下面に油ポケットを、第四摺動面を形成するガイド本体の中央突起体側面に油ポケットを適宜な位置に設けた静圧直動案内装置が提案されている（（例えば、特許文献４参照。）。
【０００６】
さらに、前記滑走体の負荷重量の変化や外力に対して一定の摺動抵抗を保持し、滑走体とガイド本体間隔の浮きギャップ量を微量に補正することができる油圧と油供給量を調整できる可変式油圧コントロ−ラ−も提案され、ドイツのションフェルド社（Schonfeld GmbH）よりピ−エム・フロ−・コントロ−ラ（PM Flow Controller：商品名)として販売されている。具体的には、この可変式油圧コントロ−ラ−は、ばね部材の力に抗して移動可能な制御要素をにより隔離された複数個の圧力室を有し、その内、第１の圧力レベルＰ１で給圧される第一の圧力室は直接に油供給部と、より低い第２の圧力レベルＰ２で給圧される第二の圧力室は第１の流れ抵抗を介して油供給部と、静油圧ポケットの圧力レベルに相当する第３の圧力レベルＰ3で給圧される第三の圧力室は静油圧ポケットと連絡し、第二及び第三の圧力室の間に配設されて、ポケットに供給される油流を調節し、流れ抵抗の値が第一の圧力室の力の作用により高められ、ばね力の作用と第二及び第三の圧力室の力の作用により減少される可変の第２の流れ抵抗が制御要素によって形成された、油供給部からの案内装置の静油圧に供給される油流の調整を可能とするレギュレ−タであり、第３の固定−流れ抵抗を備え、一方では静油圧ポケットと、他方では第１の流れ抵抗を介して油供給部と連絡するバイパスを備えるレギュレ−タである（例えば、特許文献５参照。）。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−３１７８２９号公報
【特許文献２】特開平７−２９９６８４号公報
【特許文献３】特開２０００−２８０１３０号公報
【特許文献４】特開２０００−７４０６５号公報
【特許文献５】米国特許第６，２７６，４９１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
機械加工されるワ−クの寸法が大きくなると、滑走体のランド長さや幅も大きくなり、滑走体の重量は増大する。また、工具（例えば、砥石車）も大型化し、滑走体に負荷する工具重量も増大する。液晶パネル用ガラス基板やＴ−ダイのような大型のワ−クとなると、前記特許文献２および３に記載されるこれら油静圧直動案内装置は、滑走体の荷重がガイド本体の当て板を支えるボルトに集中して負荷する構造であるので、重量物がテ−ブル上に積載した場合にこの当て板がその重みで撓む欠点がある。それ故、得られる加工ワ−クの精度は悪くなり、テ−ブル真直度は１〜２μｍ／２０００ｍとなってしまう。剛性を上げようとすると油圧を高くする必要を生じ、使用する油量が増加する。前記特許文献４に記載される油静圧直動案内装置は、滑走体の荷重がガイド本体を構成するベッド（フレ−ム）に大部分が懸かる構造となっているので張り出し部を有するレ−ルの撓みも減少し、記述した特許文献２および３に記載の油静圧直動案内装置よりも剛性は高い利点を有するが、外部から塵埃が侵入し易い。
【０００９】
本発明者等は、平面研削装置におけるワ−クテ−ブルの左右移動案内装置、ツ−ルテ−ブル（サドル）の前後移動案内装置、およびツ−ル（砥石車）の上下昇降案内装置に特殊な構造の八面拘束の油ポケット部を備える滑走体（Slideway）を用いることにより、更に案内装置の剛性が上がり、滑走体の真直度も２から５倍向上することを見い出した。
【００１０】
本発明は、外部からの塵埃の侵入が困難で、滑走体の真直度も０．２〜０．４μｍ／８００ｍｍ、０．３〜０．５μｍ／１０００ｍｍ、１．０〜１．３μｍ／４０００ｍｍと高い油静圧直動案内装置をワ−クテ−ブル案内装置、サドル前後移動案内装置および砥石頭昇降案内装置として備える平面研削装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１の発明は、フレ−ム６上に左右方向（Ｘ軸方向）に往復移動可能に設けられたワ−クテ−ブル４を案内する油静圧直動案内装置５０、前記ワ−クテ−ブル４に直交して設けられた前後方向に往復移動可能なサドル７を案内する油静圧直動案内装置５０、該サドル７上に起立して固定されたコラム９、該コラムに砥石車３を軸承する砥石軸を備える砥石頭１０を固定した滑走体２を上下方向（Ｙ軸方向）に昇降させる油静圧直動案内装置５０、および砥石車回転駆動機構を備える平面研削装置１００において、
前記三個の油静圧直動案内装置５０は、一対の凹部レ−ル１３ａ，１３ｃを上面に形成するガイド本体１と、このガイド本体１上を非接触に滑走する、滑走面に油ポケットを有するスライド本体（滑走体）２とから構成され、
前記ガイド本体１は、フレ−ム６の上面に左右対称に四条の突起体１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを設けて３条の凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを形成し、外側の突起体１２ａ，１２ｄの上面に当て板１４ａ，１４ｂを内方に向けて前記第一凹部レ−ル１３ａと第三凹部レ−ル１３ｃの上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル１３ａと第三凹部レ−ル１３ｃを形成したガイド本体１であり、
スライド本体２は、そのスライドテ−ブル２１下面に前記ガイド本体１に設けられた内側の突起体１２ｂ，１２ｃの頭頂部に当接するとともに、ガイド本体１に設けられた当て板１４ａ，１４ｂの内側面に外側面が対向する突起体２２ａ，２２ｂを左右対称に設け、更にその突起体２２ａ，２２ｂの下面途中より外側に向けてガイド本体１の第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの両側面に側面が対向する当て板２３ａ，２３ｂを敷設した段部脚構造のスライド本体２であり、
前記ガイド本体１の第二突起体１２ｂ、第三突起体１２ｃの頭頂部と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの下面が当接する面で第一摺動面３１，３１を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの下面と、スライド本体２の当て板２３ａ，２３ｂの上面が当接する面で第二摺動面３２，３２を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの内側面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの外側面が対向する面で第三摺動面３３，３３を、
前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第一突起体１２ａの内側面とスライド本体２の当て板２３ａの右側面が対向する面で第四摺動面３４ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第四突起体１２ｄの内側面とスライド本体２の当て板２３ｂの左側面が対向する面で第四摺動面３４ｂを、
前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの側面とスライド本体２の当て板２３ａの左側面が対向する面で第五摺動面３５ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの側面とスライド本体２の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第五摺動面３５ｂを設け、
前記スライド本体２の第一摺動面３１を形成する突起体２２ａ，２２ｂの下面に油ポケット４１，４１を、第二摺動内面３２を形成する当て板２３ａ，２３ｂの上面に油ポケット４２，４２を、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面に油ポケット４４，４４を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内装置５０であることを特徴とする、平面研削装置１００を提供するものである。
【発明の効果】
【００１２】
油静圧直動案内装置５０の一方を構成する滑走体（スライド本体）２であるワ−クテ−ブル４、サドル７および砥石頭１０を固定する滑走体２の荷重は、ガイド本体１のフレ−ム６素材の突起体１２ｂ，１２ｃの頭頂部に直接懸かるので、当て板２３ａ，２３ｂの撓み変形はなく、滑走体２の真直度は向上する。また、油ポケット４１，４２、４３，４４も滑走体２の滑走面の八面を拘束するように滑走体２の重心位置を考慮して下ポケット４１と上ポケット４２、外サイドポケット４３と内サイドポケット４４を油圧がバランスとれるように数も考慮して左右対称に配置しているので、滑走体の真直度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図１は平面研削装置の斜視図、図２は平面研削装置の平面図、図３は平面研削装置の部分側面図、図４平面研削装置の部分背面図、図５は図３においてＩ−Ｉ方向から見た砥石頭昇降案内装置の部分断面図、図６はワ−クテ−ブルの油静圧直動案内装置の斜視図、図７はその正面断面図、図８はスライド本体を下面方向から見た平面図、図９はスライド本体の内側側面断面図で、図７においてＹ−Ｙ切断線側から見た図、図１０はスライド本体の内側側面図、図１１はスライド本体を図７においてＸ−Ｘ切断線側から見た図、図１２はサドルを下方向から見た斜視図、および図１３は砥石頭固定滑走体の油静圧直動案内装置の斜視図である。
【００１４】
図１、図２、図３、図４および図５に示す平面研削装置１００において、３は砥石車、４はワ−クテ−ブル、５は作業台部、６はフレ−ム、７はサドル、８は操作盤、９はコラム、１０は砥石頭、１１は研削液供給ノズル、８０は可変式油圧コントロ−ラ、９０は注水装置、９１温度変化減衰タンク、９２は砥石軸静圧タンク、９３は静圧油回収タンク、９４は左右・前後静圧タンク、９５は油圧装置である。
【００１５】
図３に示すように滑走体２であるワ−クテ−ブル４は、フレ−ム６に一体に形成されたガイド本体１の上に設けられ、サ−ボモ−タＭ１の回転駆動力を受けて回転可能なボ−ルネジ４ｂに螺合されている螺合体４ｃにワ−クテ−ブルの底面が固定されている。サ−ボモ−タＭ１の回転によりボ−ルネジが回転し、ワ−クテ−ブル４が左右方向に往復移動可能となっている。４ａはＴ−溝である。
【００１６】
砥石車３は砥石軸３ａに軸承され、モ−タＭ2の回転駆動力を受けて砥石軸３ａ回りに回転する。砥石軸３ａを備える砥石頭１０は、コラム９を構成するフレ−ム１上を上下にスライドする滑走板２に固定されている。滑走板２は、サ−ボモ−タＭ3の回転駆動力を受けて回転可能なボ−ルネジ７０に螺合されている螺合体７１に滑走体２の底面が固定されている。サ−ボモ−タＭ３の回転によりボ−ルネジ７０が回転し、滑走体２がコラム９を構成するフレ−ム１上を上下に移動可能となっている。コラム９は重量盗みの目的と電線や配管等の用役が通り抜けられるよう空所９ａが所々に設けられている。
【００１７】
砥石頭１０を備えるコラム９は、滑走体２であるサドル７上に起立して設けられ、このサドル７はフレ−ム（ベッドとも言われる。）６に一体に形成されたガイド本体１上に前記ワ−クテ−ブル４に直交する前後方向に往復移動可能に取り付けられている。砥石車３は、その直径方向がワ−クテ−ブル４の長手方向（左右方向）と平行となるよう砥石軸３ａをワ−クテ−ブル４に直交させて設ける。滑走体２であるサドル７の底面は、サ−ボモ−タＭ4の回転駆動力を受けて回転可能なボ−ルネジ７０に螺合されている螺合体７１に固定されている。ビルドインモ−タＭ4の回転によりボ−ルネジが回転し、サドル７がフレ−ム１（ベッド６）上を前後方向に移動可能となっている。
【００１８】
前記のワ−クテ−ブル左右方向移動用の静圧直動案内装置、サドル前後方向移動用の油静圧直動案内装置、および、砥石頭固定滑走体上下方向移動の油静圧直動案内装置は、ワ−クテ−ブル４、サドル７および砥石頭固定滑走体２を滑走体（スライド本体）２とし、フレ−ム６を素材とするガイド本体１と見なすと、油ポケットの設置個数、大きさが異なる他は同じ構造を採る油静圧直動案内装置５０である。
【００１９】
以下、ワ−クテ−ブル左右方向移動用の静圧直動案内装置５０を例として図６乃至図１１を以ってその構造を説明する。ここでは、ワ−クテ−ブル４はスライド本体２に相当する。
【００２０】
静圧直動案内装置５０は、ガイド本体１とスライド本体２とからなる。ガイド本体１は、フレ−ム６の上面に左右対称に４条の突起体１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを設けて３条の凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを設け、外側の突起体１２ａ，１２ｄの上面に当て板１４ａ，１４ｂを内方に向けて前記第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル１３ａと第三凹部レ−ル１３ｃを形成した構造を採る。
【００２１】
スライド本体２は、そのテ−ブル２１下面に前記ガイド本体１に設けられた内側の突起体１２ｂ，１２ｃの頭頂部に当接するとともに、ガイド本体１に設けられた当て板１４ａ，１４ｂの内側面に外側面が対向する突起体２２ａ，２２ｂを左右対称に設け、更にその突起体２２ａ，２２ｂの下面途中より外側に向けてガイド本体１の第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの両側面に側面が対向する当て板２３ａ，２３ｂを敷設した段部脚構造を採る。
【００２２】
前記ガイド本体１の第二突起体１２ｂ、第三突起体１２ｃの頭頂部と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの下面が当接する面で第一摺動面３１，３１を、前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの下面と、スライド本体２の当て板２３ａ，２３ｂの上面が当接する面で第二摺動面３２，３２を、前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの内側面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの外側面が対向する面で第三摺動面３３，３３を、前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第一突起体１２ａの内側面とスライド本体２の当て板２３ａの右側面が対向する面で第四摺動面３４ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第四突起体１２ｄの内側面とスライド本体２の当て板２３ｂの左側面が対向する面で第四摺動面３４ｂを、前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの側面とスライド本体２の当て板２３ａの左側面が対向する面で第五摺動面３５ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの側面とスライド本体２の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第五摺動面３５ｂを設ける。
【００２３】
油ポケットは、前記スライド本体２の第一摺動面３１を形成する突起体２２ａ，２２ｂの下面に油ポケット４１，４１を、第二摺動面３２を形成する当て板２３ａ，２３ｂの上面に油ポケット４２，４２を、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面に油ポケット４４，４４を適宜な位置に設ける。油ポケットの位置、および数は、スライド本体２がガイド本体１上を浮遊して滑走する際に、油ポケットに供給された潤滑油がスライド本体とガイド本体の摺動面ギャップを２〜１０μｍ（油圧５〜２５バ−ル）に保ち、両者が接触しないように維持している。
【００２４】
図６および図８に示すように、ガイド本体１のフレ−ム６の第二突起体１２ｂおよび第三突起体１２ｃ上を浮遊して摺動するスライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂ底面には等間隔にそれぞれ９個の油ポケット４１が設けられ、スライド本体２の突起体２３ａ，２３ｂの上部にはそれぞれ両端に油ポケット４２がそれぞれ９個（図６および図１１参照）設けられ、スライド本体２の上下のギャップバランスを採っている。また、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を前後にそれぞれ２個（図９参照）、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面に油ポケット４４，４４をそれぞれ２個（図１０参照）設け、スライド本体２の左右のギャップバランスを採っている。言いかえれば、スライド本体２の第一摺動面３１，３１には左右各々９つの油ポケット４１が設けられ、第三摺動面３３，３３には各々２つの油ポケット４３が設けられ、第四摺動面３４ａ，３４ｂには各々９つの油ポケット４４が設けられ、スライド本体２の第二摺動面３２，３２には左右各々２つの油ポケット４２が設けられている。
【００２５】
油静圧直動案内装置５０は、スライド本体２はガイド本体１に対し非接触（浮遊状態）で滑走する。スライド本体２に設けられた各々の油ポケット４１，４２，４３，４４には、油圧ポンプ８３から可変式油圧コントロ−ラ８０に送り込まれる潤滑油の圧力・流量を静圧絞り弁８６で前記静圧油ポケット部の圧力が５〜２５バ−ル、好ましくは１０〜２２バ−ルとなるように調整し、静圧油ポケット部に接続ポ−ト、フィルタ、および配管を経由して供給され、スライド本体の浮上を最大２０μｍとし、ガイド本体１とスライド本体２の摺動面の隙間（ギャップ）が個々の油静圧ポケット部でのギャップがスライド本体の滑走時、２〜７μｍとなるように調整している。かかる静圧絞り弁およびポ−ト部を多数備える可変式油圧コントロ−ラは、ドイツ国に所在のションフェルド（Schonfeld GmbH）社よりPM-Flow  Controllerの商品名で市販されており、この可変式油圧コントロ−ラはスライド本体の側壁に取り付ける構造となっており、その構造は、特許文献５に記載されている。潤滑油の供給量は、スライド本体の重量、寸法、移動速度、潤滑油の種類、設定圧により異なり、適宣０．２０〜４．５リットル／分の中から選択する。図中、Ｍはモ−タ、８１はパイプ、８２はパッド、８４は圧力計、８５はレリ−フ弁である。図６では、潤滑油の供給入り口の圧力は２５バ−ル、出口での圧力は０．８バ−ルを示す。
【００２６】
図１２は、スライド本体２であるサドル（ツ−ルテ−ブル）７を下方向から見た図である。図４で示すガイド本体１（フレ−ム６）の第二突起体１２ｂおよび第三突起体１２ｃの頭頂部を浮遊して滑走するスライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂ底面の前後にはそれぞれ２個の油ポケット４１が設けられ、スライド本体２の突起体２３ａ，２３ｂの上部の後部側（砥石頭側ではなく、背面側）に油ポケット４２がそれぞれ１個設けられ、スライド本体２の上下のギャップバランスを採っている。また、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を前後にそれぞれ２個、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面の前後に油ポケット４２，４２をそれぞれ２個設け、スライド本体２の左右のギャップバランスを採っている。
【００２７】
図１３にスライド本体２である砥石頭固定滑走体２の油静圧直動案内装置５０を示す。ガイド本体１のフレ−ム６の第二突起体１２ｂおよび第三突起体１２ｃ頭頂部を浮遊して滑走するスライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂ底面の上下にはそれぞれ２個の油ポケット４１が設けられ、スライド本体２の突起体２３ａ，２３ｂの上部にはそれぞれ両端に油ポケット４２がそれぞれ２個設けられ、スライド本体２の上下のギャップバランスを採っている。また、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を上下にそれぞれ２個、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面の上下に油ポケット４４，４４をそれぞれ１個設け、スライド本体２の左右のギャップバランスを採っている。
【００２８】
なお、上記の図６乃至図１３において、滑走体２の駆動機構（モ−タやボ−ルネジ、螺合体等）は油ポケットの位置がはっきりと理解されるよう省略して示している。
【実施例】
【００２９】
実施例１
ワ−クテ−ブル４（スライド本体２）は、幅８００ｍｍ、長手方向（進行方向）長さ４２５０ｍｍ、高さ３３５ｍｍ、ガイド本体１は、幅１０２０ｍｍ、長手方向（進行方向）長さ８５００ｍｍ、高さ２５０ｍｍの寸法を有するものを、ツ−ルテ−ブル７の油静圧直動案内装置のサドル（スライド本体２）は、幅８００ｍｍ、前後方向（進行方向）長さ１６６０ｍｍ、高さ４２４ｍｍ、ガイド本体１は、幅１５１０ｍｍ、長手方向（進行方向）長さ２６６０ｍｍ、高さ２６０ｍｍの寸法を有するものを、砥石頭１０の固定滑走体２として幅６１０ｍｍ、上下方向高さ１２００ｍｍ、厚み５４ｍｍ、ガイド本体１は幅７００ｍｍ、上下方向高さ２０４０ｍｍ、厚み６０ｍｍの油静圧案内装置を備えた平面研削装置１００を用いてガラス基板の研削加工を行った。
【００３０】
ワ−クテ−ブル４の左右の真直度は１．３μｍ／４２５０ｍｍ、サドル７の前後の真直度は０．３μｍ／１６６０ｍｍ、砥石頭固定滑走体２の上下の真直度は０．３μｍ／１２００ｍｍであった。ワ−クテ−ブル反転時の上下動は１μｍ以下の差もなく反転し、ワ−クテ−ブル左行・右行の動きが均一であり、ワ−クテ−ブル４の送り速度に依存することなく砥石頭とワ−クテ−ブル間の相対変位量を０．０１μｍ以下と保つことができた。さらに、コラム９の前後移動反転時ショックは１．２秒内に収まり、これは従来の静圧直動案内装置の２．５秒から３．０秒の値と比較すると格段と優れる結果であった。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明の平面研削装置は、ワ−クテ−ブル、ツ−ルテ−ブル（サドル）および砥石頭固定滑走板の案内装置として、ガイド本体の一対の凹部レ−ル内を滑走するスライド本体の脚部となる当て板をクロ−ズド（閉鎖）構造とし、滑走時に塵埃が摺動面に侵入し難い構造とするとともに、砥石頭の上下方向の剛性および前後方向の剛性を従来のものより高めた静圧直動案内装置としたことにより寸法精度が非常に優れる研削加工ワ−クを与える。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】平面研削装置の斜視図である。
【図２】平面研削装置の平面図である。
【図３】平面研削装置の部分側面図である。
【図４】平面研削装置の部分背面図である。
【図５】図３においてＩ−Ｉ方向から見た砥石頭昇降案内装置の部分断面図である。
【図６】ワ−クテ−ブルの油静圧直動案内装置の斜視図である。
【図７】ワ−クテ−ブルの油静圧直動案内装置の正面断面図である。
【図８】スライド本体を下面方向から見た平面図である。
【図９】スライド本体の内側側面断面図で、図７においてＹ−Ｙ切断線側から見た図である。
【図１０】図３においてＩ−Ｉ方向から見た砥石頭昇降案内装置の部分断面図である。
【図１１】スライド本体を図７においてＸ−Ｘ切断線側から見た図である。
【図１２】サドルを下方向から見た斜視図である。
【図１３】砥石頭固定滑走体の油静圧直動案内装置の斜視図である。
【符号の説明】
【００３３】
５０    油静圧直動案内装置
１    ガイド本体
２    スライド本体（滑走体）
３    砥石車
４    ワ−クテ−ブル（滑走体）
６    フレ−ム
７    サドル（滑走体）
９    コラム
１０    砥石頭
１２ｂ，１２ｃ    突起体
１３ａ，１３ｃ    凹部レ−ル
１００    平面研削装置
【図１】
2006102867.tif 000003
【図２】
2006102867.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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