(57)【要約】【課題】  比較的簡単な構成でありかつ簡単な操作で、ガラス基板などの搬送対象部材を収納部に対して出し入れする搬送対象部材の出し入れ装置を提供する。【解決手段】  スライダ２０は、フレーム２１によって軸が支持されているプーリ３１〜３３，３４〜３６，３７〜３９にベルト４１，４２，４３が掛けられて構成されていて、ベルト４１，４２，４３上にガラス基板が載置されている。ベルト４１，４３はカセット棚１６にねじ止めされており、取手２２，２３を引出すと、引出した長さの２倍分だけベルト４１，４２，４３が移動するので、ガラス基板の全長の半分の長さだけスライダ２０を引出せば、ガラス基板の全長を引出すことができる。【選択図】      図３
2006182493.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その一方が開口されて背面側に延びる複数の収納部に対して搬送対象部材を出し入れするための搬送対象部材の出し入れ装置であって、
前記複数の収納部の開口側にそれぞれに設けられ、前記開口側と前記背面側との間に沿う出し入れ方向で移動可能な軸と、
前記軸を通って折り返され、その一部が前記収納部に固定され、その上に前記搬送対象部材が載置され、前記軸を所定の長さだけ移動させたとき、前記搬送対象部材の出し入れ方向に動くベルトとを備えた、搬送対象部材の出し入れ装置。
【請求項２】
前記軸は、前記出し入れ方向に動くとともに回転する回転部材を含む、請求項１に記載の搬送対象部材の出し入れ装置。
【請求項３】
前記回転部材は、前記搬送対象部材の出し入れ方向に間隔を有して設けられる前方プーリおよび後方プーリを含み、
前記ベルトは、前記前方プーリおよび後方プーリに掛け渡された無端ベルトである、請求項２に記載の搬送対象部材の出し入れ装置。
【請求項４】
前記回転部材は、前記搬送対象部材の出し入れ方向の前方に配置される前方プーリを含み、
前記ベルトは、その一端が前記前方プーリを介して前記収納部の開口側に固定され、その他端が前記収納部において、前記出し入れ方向に移動可能な移動部材に固定されている、請求項２に記載の搬送対象部材の出し入れ装置。
【請求項５】
前記回転部材は、前記搬送対象部材の出し入れ方向に間隔を有して設けられる前方プーリおよび後方プーリを含み、
さらに、前記収納部の背面側に固定的に設けられるリールを含み、
前記ベルトは、その一端が前記前方プーリを介して前記収納部の開口側に固定され、その他端が前記後方プーリを介して前記リールに巻回されていて、
前記リールは巻戻し方向とは逆方向にテンションが掛けられている、請求項２に記載の搬送対象部材の出し入れ装置。
【請求項６】
さらに、その上に前記出し入れ方向に沿って所定の間隔を隔てて平行に配列された複数のローラを有し、上下に昇降可能であって、前記収納部に対して出し入れされ、前記搬送対象部材を載置して搬送する搬送装置を含む、請求項１から５のいずれかに記載の搬送対象部材の出し入れ装置。
【請求項７】
さらに、前記軸を前記出し入れ方向に移動させる駆動手段を含む、請求項１から６のいずれかに記載の搬送対象部材の出し入れ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、搬送対象部材の出し入れ装置に関し、例えばガラス基板のような平坦な搬送対象部材を基板収納カセットに対して出し入れする搬送対象部材の出し入れ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型テレビの大型化によって、使用されるガラス基板も大きくなってきており、その一辺が２メートルを越えるまでになってきている。このようなガラス基板を取扱う装置もまた大型化に対応しなければならない。
【０００３】
ガラス基板は、梱包時や搬送時に、衝撃によって破損したり、静電気や埃の付着によって障害が生じないように、密閉された容器である基板収納カセットに入れてクリーンな状態で搬送される。このため、基板収納カセットは、収納する各ガラス基板が互いに接触したり、破損したりしないように容積効率がよく、また相手先工場で一枚ずつ取り出し易い容器であることが要求されている。
【０００４】
さらに、相手先工場において、クリーンルーム内で各処理工程を無人で行うことが可能なように、ガラス基板を基板収納カセットから取り出して安定して供給する必要がある。各処理が行われたガラス基板は、再び基板収納カセットに収納されて、次の処理工程に搬送される。このときも、処理されたガラス基板が破損しないように、基板収納カセットに収納する必要がある。
【０００５】
ガラス基板を基板収納カセットに出し入れするために種々の方法が提案されている。その第１の例として、段積段バラシ装置と称されるものがある。この装置は、下部の数か所にガラス基板を出し入れするときに使用するピン穴の開いたトレイを準備しておき、このトレイに１枚ずつガラス基板を入れ、それを数十段重ねて基板収納カセットに収納して搬送する。納入先工場では、段バラシ装置により基板収納カセット内の下のトレイから順番に、ピン穴にロボットアームでピンを差し込んでガラス基板を抜取っていく。
【０００６】
第２の例として、ガラス基板を浮上させる空気穴を有した数十段の棚を基板収納カセットに設けておき、各棚にガラス基板を収納して搬送する。納入先工場において、基板収納カセットの１面の扉を開け、開口部に近接した位置にコンベアを配置し、コンベアの高さを各段の棚に合わせてコンベアの回転とエアーによる浮上を同時に行い、ガラス基板を出し入れする。
【０００７】
さらに、第３の例として、破損したり、静電気や埃の付着によって障害が生じないようにガラス基板の表面にフィルムを貼った状態で重ね合わせて、それを基板収納カセットに収納して搬送する方法がある。この例では、ガラス基板がフィルムで保護されているので、積層して搬送し易いという特徴がある。
【０００８】
上述のいずれかの方法を用いてガラス基板が基板収納カセットから取り出して搬送されるが、薄型テレビ工場などのメーカー内では、各種工程間でガラス基板を搬送するときに、数十枚のガラス置き棚を有するカセットにガラス基板を入れて搬送する。このカセットにガラス基板を出し入れするのは多くの場合、ロボットアームによって行われる。
【０００９】
例えば、ロボットアームの一例として、特開２００３ー２６１２２１号公報に記載されているガラス基板搬送用移載装置がある。この例では、カセット本体の壁面にガラス基板を支持する複数の支持部材を設けておき、カセット本体に挿入した移載機のハンドルを支持部材の間で昇降させることによりガラス基板の出し入れを行う。
【００１０】
また、カセット本体内にガラス基板を収納したときに、移載装置のアクセス面を除く側面および背面から支持部材を適当なピッチで延ばすことにより、ガラス基板の撓みを防止している。
【特許文献１】特開２００３ー２６１２２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述の第１の例で説明した段積段バラシ装置は、段バラシ時に積み重ねたトレイ全体を上下させるので装置の動きが危険であり、装置が大型化する。また、トレイの内部を目視できないため、動作させる段の制御を間違えるとガラス基板を破損するおそれがある。
【００１２】
第２の例で説明したエアー浮上させる方法では、ガラス基板の出し入れの方向によってカセットを傾斜させる必要があり、エアー浮上と傾斜とによりガラス基板を出し入れしているため、カセットの各棚の精度などにより、ガラス基板を良好に出し入れできない場合がある。また、カセットが重く、取扱が困難であり、ガラス基板の出し入れ装置も複雑である。
【００１３】
第３の例で説明したフィルム付ガラス基板は、容積効率は非常に優れているが、納入先工場では、フィルムを剥がす装置を設置しなければならず、フィルムの処理も必要となってくる。
【００１４】
さらに、上述のロボットアームを用いる例では、ガラス基板のサイズが大きくなると、ガラス基板の撓みも大きくなり、ロボットアーム自体の強度を強くする必要があることや、カセット内にアームを延ばす動作により撓みがさらに大きくなってしまうので、カセット容器のピッチを大きくしてカセットの容積効率を下げざるを得ない。
【００１５】
そこで、この発明の主たる目的は、比較的簡単な構成でありかつ簡単な操作で、ガラス基板などの搬送対象部材を破損するおそれを少なくして、収納部への出し入れが可能な搬送対象部材の出し入れ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この発明は、その一方が開口されて背面側に延びる複数の収納部に対して搬送対象部材を出し入れするための搬送対象部材の出し入れ装置であって、複数の収納部の開口側にそれぞれ設けられ、開口側と背面側との間に沿う出し入れ方向で移動可能な軸と、軸を通って折り返され、その一部が収納部に固定され、その上に搬送対象部材が載置され、軸を所定の長さだけ移動させたとき、搬送対象部材を出し入れするベルトとを備える。
【００１７】
この発明では、搬送対象部材の全長の半分の長さだけ軸を移動させるだけで、搬送対象部材の全体を収納部に対して出し入れすることができる。
【００１８】
好ましくは、１つの実施形態では、回転部材は、搬送対象部材の出し入れ方向に間隔を有して設けられる前方プーリおよび後方プーリを含み、ベルトは、前方プーリおよび後方プーリに掛け渡された無端ベルトである。他の実施形態では、回転部材は、搬送対象部材の出し入れ方向の前方に配置される前方プーリを含み、ベルトは、その一端が前方プーリを介して収納部の開口側に固定され、その他端が収納部において、出し入れ方向に移動可能な移動部材に固定されている。さらに、他の実施形態では、回転部材は、搬送対象部材の出し入れ方向に間隔を有して設けられる前方プーリおよび後方プーリを含み、さらに、収納部の背面側に設けられるリールを含み、ベルトは、その一端が前方プーリを介して収納部の開口側に固定され、その他端が後方プーリを介してリールに巻回されていて、リールは巻戻し方向とは逆方向にテンションが掛けられている。いずれの実施形態においても、搬送対象部材の半分の長さだけ軸を移動させるだけで、搬送対象部材の全体を収納部に対して出し入れすることができる。
【００１９】
さらに、好ましくは、その上に出し入れ方向に沿って所定の間隔を隔てて平行に配列された複数のローラを有し、上下に昇降可能であって、収納部に対して出し入れされる搬送対象部材を載置して搬送する搬送装置を含む。このような搬送装置を用いることで、収納部から引出した搬送対象部材を破損するおそれをなくして必要な場所に搬送できる。
【００２０】
さらに、好ましくは、フレームを出し入れ方向に移動させる駆動手段を含む。このような駆動手段を設けることで作業者の手を煩わせることなく、搬送対象部材を収納部に対して出し入れすることができる。
【発明の効果】
【００２１】
この発明によれば、軸とベルトとの比較的簡単な構成で、搬送対象部材の全長の半分だけ軸を移動させるという簡単な操作で、搬送対象部材の全体を収納部に対して出し入れすることが可能になるので、破損や汚れなどを生じることがなく、安全に搬送対象部材を出し入れすることができ、さらにロボットアームなどを用いる必要がなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１はこの発明の一実施形態における搬送対象部材の出し入れ装置に含まれる収納部の一例の基板収納カセットを示す外観斜視図であり、図２は図１に示した基板収納カセット内に搬送対象部材の一例のガラス基板を出し入れするためのスライダを示す図であり、特に（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は側面図である。図３はスライダおよび受取，受渡し装置を示す外観斜視図であり、図４はスライダおよび受取，受渡し装置を示す概念図である。
【００２３】
基板収納カセット１は、複数の搬送対象部材としてのガラス基板を横方向に収納して搬送するものであって、図１に示すように、前面のみが開口された開口部１０を有しており、上面１１と、底面１２と、両側面１３，１４と、背面１５とが閉塞された箱型形状で形成されている。
【００２４】
基板収納カセット１の内側には、複数のカセット棚１６が内部を上下方向に仕切りかつ、それぞれ開口部１０から背面１５側に延びるように平行に設けられている。カセット棚１６は、その上を図２に示すスライダ２０が開口部１０側と背面１５側との間に沿う出し入れ方向に移動する。スライダ２０は、その上に図２（Ｂ）に示すガラス基板５０を載置して基板収納カセット１内のカセット棚１６上で移動し、図４に示すように複数のカセット棚１６のそれぞれに個別に配置されている。
【００２５】
スライダ２０は、図２および図３に示すように、回転部材の一例の前方のプーリ３１，３４，３７と、中央のプーリ３２，３５，３８と、後方のプーリ３３，３６，３９と、ベルト４１，４２，４３と、金属棒を組合せて構成されたフレーム２１とを含む。フレーム２１は開口部１０側であってかつ両側面１３，１４側に設けられ、背面１５に対して平行に延びる取手２２，２３と、背面１５に平行に設けられる部材２４，２５と、部材２４，２５に直交するように設けられて開口部１０側から背面１５側の出し入れ方向に延びる部材２６，２７，２８とを含む。
【００２６】
部材２４は中央部に配置されており、部材２５は背面１５側に設けられている。部材２６は、その一端が取手２２に結合されており、その中央部が部材２４の一端に結合され、その他端が部材２５の一端に結合されている。部材２７は、その一端が直角に折り曲げられており、その中央部が部材２４のほぼ中央部に結合されており、その他端が部材２５のほぼ中央部に結合されている。部材２８は、その一端が取手２３に結合され、その中央部が部材２４の他端に結合され、その他端が部材２５の他端に結合されている。
【００２７】
取手２２，部材２４，２５のそれぞれの一端は、プーリ３１，３２，３３の軸を構成しており、部材２７の直角に折り曲げられた一端はプーリ３４の軸を構成しており、部材２４，２５の中央部はプーリ３５，３６の軸を構成している。取手２３，部材２４，２５のそれぞれの他端はプーリ３７，３８，３９の軸を構成している。
【００２８】
ベルト４１，４２，４３は、無端ベルトであって、プーリ３１〜３３，３４〜３６，３７〜３９のそれぞれに巻きつけられてベルトコンベアを構成している。そのうち、ベルト４１，４３の一部は、開口側のプーリ３１，３７の近傍でねじ４５，４６によりカセット棚１６にねじ止めされている。そして、前方のプーリ３１，３７を軸として折り返されて、中央のリール３２，３８を介して後方のプーリ３３，３９に巻きつけられている。中央のベルト４２は、カセット棚１６に固定されておらず、プーリ３４，３５，３６の間を自由に回転できるようになっているが、ベルト４１，４３と同様にして、カセット棚１６に固定してもよい。
【００２９】
ベルト４１，４３はガラス基板５０を支持するために設けられ、中央のベルト４２は、ガラス基板５０が撓まないように支持するために設けられているが、ガラス基板５０の幅寸法が短ければ、ベルト４２とプーリ３４〜３６は、特に設けなくともよい。また、ガラス基板５０の奥行き寸法が短い場合には、中央のプーリ３２，３５，３８を省略してもよい。
【００３０】
搬送装置としての受取，受渡し装置６０は、図３に示すように、基板収納カセット１からスライダ２０により引出されたガラス基板５０を受取って各工程まで搬送し、あるいは各工程で処理されたガラス基板５０をスライダ２０により基板収納カセット１に収納するためのものである。このために、受取，受渡し装置６０は、底面部６１と両側面部６２，６３とを有する断面コ字状の枠部材６４を含み、両側面部６２，６３の上部には複数のローラ６５が取付けられている。両側面部６２と６３との幅は、スライダ２０を引出したときに干渉することがないように、スライダ２０の幅よりも狭くなるようにされている。
【００３１】
また、受取，受渡し装置６０は、図示しない昇降装置により、上下に昇降できるように構成されている。
【００３２】
さらに、より好ましくは、受取，受渡し装置６０には、図３に示すように、その側面にエアースライダー７０を設けてもよい。このエアースライダー７０は、内蔵しているシリンダーがアクチュエータ７１を出し入れ方向に駆動するものである。アクチュエータ７１をスライダ２０の一方の取手２２に嵌合できるようにしておけば、作業者が取手２２，２３を操作するという煩わしさをなくして、アクチュエータ７１で取手２２を引出し、ガラス基板５０が載置されたスライダ２０を基板収納カセット１から引出すことができる。このエアースライダー７０は、取手２２，２３の両方に設けておいてもよい。
【００３３】
作業者あるいはエアースライダー７０により、スライダ２０の取手２２，２３を操作して、開口側に引っ張ると、ベルト４１，４３はその一端がカセット棚１６に固定されているため、スライダ２０をガラス基板５０の全長の１／２の長さだけ引出すだけで、ガラス基板５０の全長が引出されて、受取，受渡し装置６０側に移すことができる。
【００３４】
この動作について、図５を参照して詳細に説明する。図５（Ａ）〜（Ｅ）は、スライダ２０からガラス基板５０を引出す工程を示している。例えば、全長がＬのガラス基板５０がスライダ２０上に載置されて、図５（Ａ）に示すように基板収納カセット１のカセット棚１６上に収納されている。
【００３５】
図２に示したスライダ２０の取手２２，２３を操作して、図５（Ｂ）に示すように、スライダ２０を開口側に例えばＬ／Ｎ（Ｎ＜Ｌ）の長さだけ引出すと、ベルト４３はねじ４６によりカセット棚１６に固定されているが、プーリ３７，３８，３９はベルト４３に対して回転するので、ベルト４３がカセット棚１６に対して開口側に２Ｌ／Ｎの長さだけ動く。すなわち、スライダ２０をＬ／Ｎの長さだけ引出すことにより、プーリ３７の下側において、ベルト４３のねじ４６による固定点と、プーリ３７の軸との間がＬ／Ｎの長さだけ動き、プーリ３７の上側において、ベルト４３の固定点に相当する点とプーリ３７の軸との間がＬ／Ｎの長さだけ動く。このため、ベルト４３は図５（Ａ）に示す状態からＬ／Ｎの２倍だけ動くのでガラス基板５０は、ベルト４３上を２Ｌ／Ｎの長さだけ搬送されて２Ｌ／Ｎの長さだけ引出される。
【００３６】
さらに、図５（Ｂ）に示す位置から図５（Ｃ）に示すように２Ｌ／Ｎの長さだけスライダ２０を引出すと、プーリ３７，３８，３９はベルト４３に対して回転するので、ベルト４３がカセット棚１６に対して開口側に４Ｌ／Ｎの長さだけ動く。その結果、ガラス基板５０は、図５（Ａ）に示す位置から４Ｌ／Ｎだけ引出される。さらに、図５（Ｄ）に示すように３Ｌ／Ｎの長さだけスライダ２０を引出すと、ベルト４３上のガラス基板５０が６Ｌ／Ｎの長さだけ引出され、さらに図５（Ｅ）に示すように４Ｌ／Ｎの長さだけスライダ２０を引出すと、ガラス基板５０が８Ｌ／Ｎの長さだけ引出される。すなわち、全長Ｌのガラス基板５０の半分の長さＬ／２だけスライダ２０を引出せば、ベルト４３上のガラス基板５０を全長Ｌ分を引出すことができ、ガラス基板５０を図３および図４に示した受取，受渡し装置６０に完全に移すことができる。
【００３７】
ガラス基板５０を受取，受渡し装置６０からスライダ２０により基板収納カセット１のカセット棚１６上に収納するときは、逆に図５（Ｅ）〜図５（Ａ）に示す順に操作すればよい。この場合はスライダ２０を基板収納カセット１側に押し込むことで、ベルト４３は引出し時とは逆に移動するので、ガラス基板５０をスライダ２０に載せた状態で、カセット棚１６上に収納できる。
【００３８】
図６は図５の説明で引出されたガラス基板を受取，受渡し装置に移す工程を説明するための図である。
【００３９】
図６（Ａ）に示すようにガラス基板５０がスライダ２０上に載置されてカセット棚１６に位置している状態において、ガラス基板５０を引出して、受取，受渡し装置６０に移すときは、図６（Ｂ）に示すようにスライダ２０を引出すことにより、図５で説明したようにガラス基板５０がスライダ２０の引出し長さに比べて２倍の長さだけ引出される。
【００４０】
引出されたガラス基板５０の下部に受取，受渡し装置６０を移動させた後、ローラ６５の上端がガラス基板５０の下面に当接するように図示しない昇降装置により受取，受渡し装置６０を上昇させる。ガラス基板５０は、図６（Ｃ）に示すように、受取，受渡し装置６０のローラ６５上を移動し、その移動に伴って受取，受渡し装置６０を後退させる。ガラス基板５０がスライダ２０から完全に引出されると、ガラス基板５０が受取，受渡し装置６０上に移される。図６（Ｄ）に示すように、スライダ２０をカセット棚１６側に押し込むとともに受取，受渡し装置６０を降下させて、ガラス基板５０を所定の処理工程に搬送する。
【００４１】
上述のごとく、この発明の実施形態によれば、取手２２，２３を操作してガラス基板５０の全長Ｌの半分の長さＬ／２だけスライダ２０を引出すだけで、ガラス基板５０全体を基板収納カセット１から引出して受取，受渡し装置６０に移すことができる。そして、ガラス基板５０を各工程で処理した後は、受取，受渡し装置６０からスライダ２０に移し、取手２２，２３を操作してガラス基板５０の全長Ｌの半分の長さＬ／２だけ、スライダ２０を押し込めば、ガラス基板５０全体をスライダ２０に載置して基板収納カセット１に収納することができる。したがって、ロボットアームなどを介することなく、ガラス基板５０を破損したり撓みを発生することなく基板収納カセット１に対して、出し入れするのが容易になる。
【００４２】
図７はこの発明の他の実施形態におけるスライダを示す図である。図５に示したスライダ２０は、プーリ３７，３８，３９に無端のベルト４３を掛けてベルトコンベアを構成した。これに対して、図７に示したスライダ２０ａは、中央のプーリ３８を省略し、後方のプーリ３９に代えて移動部材４９を設け、ベルト４８の一端を、プーリ３７を介してカセット棚１６の開口側端部に固定し、ベルト４８の他端を移動部材４９に固定したものである。移動部材４９は、図２に示したフレーム２１とは別個にカセット棚１６上を移動可能にされている。移動部材４９には、例えばコイルばね４７によりカセット棚１６の背面側から引っ張り力が与えられている。
【００４３】
図７（Ａ）に示すようにガラス基板５０がスライダ２０ａに載せられて図１に示した基板収納カセット１に収納されている。図７（Ｂ）に示すようにスライダ２０ａを開口部１０側にＬ／Ｎの長さだけ引出すと、ベルト４８が２Ｌ／Ｎの長さだけ動くので移動部材４９が開口側に移動し、その上に載置されているガラス基板５０も２Ｌ／Ｎの長さだけ移動する。その結果、ガラス基板５０は、図７（Ａ）に示す状態から２Ｌ／Ｎの長さだけ引出される。
【００４４】
以下、図５の説明と同様にして、図７（Ｃ）に示すようにスライダ２０ａを２Ｌ／Ｎの長さだけ引出すと、移動部材４９も同じ長さだけ移動するので、ガラス基板５０が４Ｌ／Ｎの長さだけ引出される。図７（Ｄ）に示すようにスライダ２０ａを３Ｌ／Ｎの長さだけ引出すと、ガラス基板５０が６Ｌ／Ｎの長さだけ引出され、図７（Ｅ）に示すようにスライダ２０ａを４Ｌ／Ｎの長さだけ引出すと、ガラス基板５０が８Ｌ／Ｎの長さだけ引出される。すなわち、スライダ２０ａをガラス基板５０の全長Ｌの半分の長さＬ／２だけ引出すだけで全長Ｌのガラス基板５０を引出すことができる。
【００４５】
ガラス基板５０を受取，受渡し装置６０からスライダ２０ａにより基板収納カセット１のカセット棚１６上に収納するときは、図７（Ｅ）〜図７（Ａ）に示す順に操作すればよい。この場合はスライダ２０ａを基板収納カセット１側に押し込むと、移動部材４９にはコイルばね４７による引っ張り力が与えられているので、ベルト４８はプーリ３７を引っ張るように、引出し時とは逆に移動するので、ガラス基板５０をスライダ２０ａに載せた状態で、カセット棚１６上に収納できる。
【００４６】
したがって、この実施形態においても、ガラス基板５０をスライダ２０ａに載置した状態で、破損や撓みを発生することがなく、基板収納カセット１に対して出し入れするのが容易になる。
【００４７】
図８は、この発明のさらに他の実施形態における搬送対象部材の出し入れ装置に含まれるスライダからガラス基板を引出す工程を示す図である。この実施形態は、図５に示した無端のベルト４３に代えて、ベルト４８の一端を前方のプーリ３７を介してカセット棚１６の開口側端部に固定し、カセット棚１６の背面側にリール４０を取付け、このリール４０にベルト４８の他端を巻回したものである。リール４０はベルト４８を引出したときに撓まないように、巻取り方向にテンションが掛けられている。
【００４８】
この実施形態では、スライダ２０ｂを引出したとき、固定されているリール４０からベルト４８が繰り出され、ベルト４８がプーリ３７，３８，３９によって支持されながら開口側に移動し、ガラス基板５０を引出す。その他の動作は図７と同じであり、スライダ２０ｂの移動長さに対してガラス基板５０を２倍の長さだけ出し入れすることができる。
【００４９】
また、ガラス基板５０を基板収納カセット１に収納するときには、スライダ２０ｂを基板収納カセット１のカセット棚１６に押し込めば、リール４０が巻取り方向にテンションが掛けられているので、ガラス基板５０をスライダ２０ｂに載置して、カセット棚１６に収納できる。
【００５０】
なお、上述の各実施形態では、ガラス基板５０を基板収納カセット１に出し入れする場合について説明したが、その他の搬送対象部材を収納部に出し入れする場合にもこの発明を適用できる。
【００５１】
以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明したが、この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示された実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
この発明の搬送対象部材の出し入れ装置は、ガラス基板を基板収納カセットに出し入れするのに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】この発明の一実施形態における搬送対象部材の出し入れ装置に含まれる収納部の一例の基板収納カセットを示す外観斜視図である。
【図２】図１に示した基板収納カセット内にガラス基板を出し入れするためのスライダを示す図である。
【図３】スライダおよび受取，受渡し装置を示す外観斜視図である。
【図４】スライダおよび受取，受渡し装置を示す概念図である。
【図５】この発明の一実施形態における搬送対象部材の出し入れ装置に含まれるスライダからガラス基板を引出す工程を示す図である。
【図６】この発明の一実施形態における搬送対象部材の出し入れ装置から搬送装置に移す工程を説明するための図である。
【図７】この発明の他の実施形態における搬送対象部材の出し入れ装置に含まれるスライダからガラス基板を引出す工程を示す図である。
【図８】この発明のさらに他の実施形態における搬送対象部材の出し入れ装置に含まれるスライダからガラス基板を引出す工程を示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  基板収納カセット、１０開口部、１６  カセット棚、２０，２０ａ，２０ｂ  スライダ、２１  フレーム、２２，２３  取手、３１〜３９  プーリ、４０  リール、４１〜４３，４８  ベルト、４５，４６  ねじ、４７  コイルばね、４９  移動部材、５０  ガラス基板、６０  受取，受渡し装置、６５  ローラ、７０  エアーシリンダ、７１  アクチュエータ。
【図１】
2006182493.tif 000003
【図２】
2006182493.tif 000004
【図３】
2006182493.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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