(57)【要約】【課題】  記録ヘッド内の部材を浸食せず、かつ、常温であってもムラなく耐久性の高い表面処理が行え、効率的に気泡の除去ができる、インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  酸化シリコンの被膜が形成されたシリコンノズルプレートとインク流路が形成されたシリコン基板とをガラス基板上に設けた静電アクチュエーターを備えた、水性インク用のインクジェット記録ヘッドを製造するための方法であって、特定の化合物と、水溶性有機溶剤と、染料と、水とを少なくとも含んでなり、その溶液粘度が、２．０ｍＰａ・ｓｅｃ以下である処理液を、常温において記録ヘッド内に充填した後に排出することにより、記録ヘッド内のインク流路内壁の表面処理を行う工程を含む。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化シリコンの被膜が形成されたシリコンノズルプレートとインク流路が形成されたシリコン基板とをガラス基板上に設けた静電アクチュエーターを備えた、水性インク用のインクジェット記録ヘッドを製造するための方法であって、
下記式（I）：
【化１】
2006095952.tif 000006
（式中、Ｒはアルキル基、４−アルキルフェニル基、または４−アルキルオキシフェニル基を表し、ＥＯはＣ２Ｈ４Ｏを表し、ＰＯはＣ３Ｈ６Ｏを表し、ｍは６〜１８の整数を表し、ｎは０〜５の整数を表す。）で表される化合物と、
水溶性有機溶剤と、染料と、水とを少なくとも含んでなり、
その溶液粘度が、２．０ｍＰａ・ｓｅｃ以下である処理液を、
常温において記録ヘッド内に充填した後に排出することにより、記録ヘッド内のインク流路内壁の表面処理を行う工程を含んでなる、インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記処理液が、前記式（I）で表される化合物を０．５重量％以上含んでなる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記処理液の表面張力が３０．５ｍＮ／ｍ以下である、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記処理液の充填・排出工程を、少なくとも１回以上繰り返す、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法により得られたインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法に使用される処理液であって、
下記式（I）：
【化２】
2006095952.tif 000007
（式中、Ｒはアルキル基、４−アルキルフェニル基、または４−アルキルオキシフェニル基を表し、ＥＯはＣ２Ｈ４Ｏを表し、ＰＯはＣ３Ｈ６Ｏを表し、ｍは６〜１８の整数を表し、ｎは０〜５の整数を表す。）で表される化合物と、
水溶性有機溶剤と、染料と、水とを少なくとも含んでなり、
その溶液粘度が、２．０ｍＰａ・ｓｅｃ以下である、処理液。
【請求項７】
前記式（I）で表される化合物を０．５重量％以上含んでなる、請求項６に記載の処理液。
【請求項８】
表面張力が３０．５ｍＮ／ｍ以下である、請求項６または７に記載の処理液。
【発明の詳細な説明】
【発明の背景】
【０００１】
発明の分野
記録ヘッド内の部材を浸食せず、かつ、ムラなく表面処理が行えるとともに、効果的な気泡除去が可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
背景技術
インクジェット記録装置は、電気機械変換手段（アクチュエータ）を記録信号に応じて駆動することにより、微少ノズルからインク滴を吐出飛翔させ、記録媒体上に文字等の画像記録を行うものである。
【０００３】
インクジェット記録装置に使用されるインク中には、周囲環境の大気が、インクに対する溶解度に依存して溶解し、溶存気体として存在している。従って、周囲環境の温度変化や圧力変化により溶存気体が過飽和状態になると、インク中に気泡が発生する。また、インク中の溶存気体のみならず、インクカートリッジの交換時や誤操作等のトラブル発生時にインク中に気泡が混入する場合もある。
【０００４】
このような気泡が、インク流路中、すなわちインクカートリッジから記録ヘッドの間に発生または混入して、インクジェット記録ヘッド内で滞留すると、アクチュエーターの駆動による本来インクに作用すべき圧力が、気泡の圧縮により吐出口付近のインクに十分に伝わらず、インク液滴の吐出特性に悪影響を及ぼすことがある。そのため、記録ヘッド内に混入してしまった気泡は、ポンプ吸引クリーニング等により除去する必要がある。
【０００５】
従来、滞留気泡の除去効率を向上させるために、記録ヘッドのインク流路表面を親水化処理することにより水性インクに対する濡れ性を高めることが行われている（特開昭６０−２４９５７号公報：特許文献１）。また、特開平５−２２９１１８号公報（特許文献２）には、記録ヘッドの流路表面に酸化物層を形成することにより、水性インクとの濡れ性を向上させることが開示されている。さらに、特公平２−５４７８４号公報（特許文献３）には、樹脂製の記録ヘッドにおいて、インク流路壁面に染料水溶液を高温下で接触させてエージング処理する方法が開示されている。
【特許文献１】特開昭６０−２４９５７号公報
【特許文献２】特開平５−２２９１１８号公報
【特許文献３】特公平２−５４７８４号公報
【発明の概要】
【０００６】
本発明者らは今般、従来の染料インクを用いた高温下のエージング処理を、酸化シリコンの被膜が形成されたシリコンノズルプレートとインク流路が形成されたシリコン基板とをガラス基板上に設けた静電アクチュエーターを備える記録ヘッドに適用すると、記録ヘッドの内壁が浸食されてしまうことを見いだすとともに、特定組成の処理液を用いて常温で表面処理を行うことにより、記録ヘッド内の部材を浸食せず、かつ、常温であってもムラなく耐久性の高い表面処理が行え、効率的に気泡の除去ができる、との知見を得た。本発明はかかる知見に基づくものである。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、記録ヘッド内の部材を浸食せず、かつ、常温であってもムラなく耐久性の高い表面処理が行え、効率的に気泡の除去ができる、インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
【０００８】
そして、本発明によるインクジェット記録ヘッド処理液は、酸化シリコンの被膜が形成されたシリコンノズルプレートとインク流路が形成されたシリコン基板とをガラス基板上に設けた静電アクチュエーターを備えた、水性インク用のインクジェット記録ヘッドを製造するための方法であって、
下記式（I）：
【化１】
2006095952.tif 000002
（式中、Ｒはアルキル基、４−アルキルフェニル基、または４−アルキルオキシフェニル基を表し、ＥＯはＣ２Ｈ４Ｏを表し、ＰＯはＣ３Ｈ６Ｏを表し、ｍは６〜１８の整数を表し、ｎは０〜５の整数を表す。）で表される化合物と、
水溶性有機溶剤と、染料と、水とを少なくとも含んでなり、
その溶液粘度が、２．０ｍＰａ・ｓｅｃ以下である処理液を、
常温において記録ヘッド内に充填した後に排出することにより、記録ヘッド内のインク流路内壁の表面処理を行う工程を含んでなるものである。
【０００９】
本発明によれば、記録ヘッド内の部材を浸食せず、かつ、常温であってもムラなく耐久性の高い表面処理が行え、効率的に気泡の除去を行うことができる。
【発明の具体的説明】
【００１０】
インクジェット記録ヘッド製造方法
本発明によるインクジェット記録ヘッドの製造方法は、後記する処理液を、常温において記録ヘッド内に充填した後に排出することにより、記録ヘッド内のインク流路内壁の表面処理を行う工程を含んでなるものである。
【００１１】
本発明の製造方法に使用される処理液は、水性インクを用いるインクジェット記録装置に組み込まれる記録ヘッドの内部を、親インク性表面処理するのに使用されるものであり、特に、酸化シリコンの被膜が形成されたシリコンノズルプレートとインク流路が形成されたシリコン基板とをガラス基板上に設けた静電アクチュエーターを備える記録ヘッドに使用されるものである。
【００１２】
そして、この処理液は、上記式（I）で表される化合物を含み、かつ、処理液の溶液粘度が２．０ｍＰａ・ｓｅｃ以下である。このような処理液を用いることにより、微細な構造のインク流路を備える記録ヘッドであっても、その流路の内壁全面に速やかに処理液が浸入するため、ムラのない均一な親インク性表面処理を行うことができる。
【００１３】
また、本発明に使用される処理液は、常温において表面処理を行った場合であっても、親インク性表面処理の効果を長期にわたり維持できるとともに、記録ヘッドを構成する部材を浸食することがない。ここで、本願明細書において「室温」とは、２０〜３０℃の温度範囲を意味する。従来の染料インクを用いて表面処理を行う方法においては、親インク性を付与するために、処理温度を６０℃程度としなければならず、このような温度で、ある特定部材からなる記録ヘッドの表面処理を行うと、記録ヘッドが浸食されてしまうことが見いだされた。具体的には、酸化シリコンの被膜が形成されたシリコンノズルプレートとインク流路が形成されたシリコン基板とをガラス基板上に設けた静電アクチュエーターを備えるインクジェット記録ヘッドを、染料インクを用いて６０℃程度で表面処理を行うと、酸化シリコンがインク中に溶出して記録ヘッド内を浸食してしまう。一方、記録ヘッドの浸食を防止するために常温の染料インクを用いて表面処理を行うと、記録ヘッドの内壁に親インク性を付与することができない。本発明においては、常温でも充分な親インク性表面処理が可能であるような処理液組成とすることにより、酸化シリコン等の記録ヘッド部材を浸食しないようにしたものである。その結果、インク充填後の記録ヘッド中の残留気泡を効果的に除去できるとともに、記録ヘッドの耐久性を向上できる。また、また、処理液中に記録ヘッドの部材が溶出しないので、溶出物が再析出してノズルを詰まらせるようなこともない。
【００１４】
上記式（I）で表される化合物は、Ｒが炭素数５〜１５のアルキルフェニル基であることが好ましく、また、ｍが１０以上、ｎが２以下であることが好ましい。このような化合物を用いることにより、より一層、ムラのない均一な親インク性表面処理を行うことができる。
【００１５】
また、本発明による処理液は、上記式（I）で表される化合物を０．５重量％以上含んでなることが好ましい。このような範囲で、上記式（I）で表される化合物を含むことにより、記録ヘッド内のインク流路内壁を、ムラのない均一な親インク性表面処理を行うことができるとともに、表面処理効果を長期にわたり維持できる。
【００１６】
本発明による処理液は、その表面張力が３０．５ｍＮ／ｍ以下であることが好ましい。処理液の表面張力を上記の範囲以下とすることにより、記録ヘッド内の微細なインク流路の内壁面全体に速やかに処理液を浸入させることができる。
【００１７】
本発明による処理液は、上記化合物の他に、少なくとも染料と、水溶性有機溶媒と、水と含む。このように、処理液の組成を水溶性染料インク組成に近いものとすることにより、親インク性表面処理を行うことができる。
【００１８】
染料としては、インクジェット記録用インクに用いられている、直接染料、酸性染料、塩基性染料等の水溶性染料を使用することがでる。具体的には、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド ２、４、９、２３、２６、３１、３９、６２、６３、７２、７５、７６、７９、８０、８１、８３、８４、８９、９２、９５、１１１、１７３、１８４、２０７、２１１、２１２、２１４、２１８、２２１、２２３、２２４、２２５、２２６、２２７、２３２、２３３、２４０、２４１、２４２、２４３、２４７、Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット ７、９、４７、４８、５１、６６、９０、９３、９４、９５、９８、１００、１０１、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー ８、９、１１、１２、２７、２８、２９、３３、３５、３９、４１、４４、５０、５３、５８、５９、６８、８６、８７、９３、９５、９６、９８、１００、１０６、１０８、１０９、１１０、１３０、１３２、１４２、１４４、１６１、１６３、Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー １、１０、１５、２２、２５、５５、６７、６８、７１、７６、７７、７８、８０、８４、８６、８７、９０、９８、１０６、１０８、１０９、１５１、１５６、１５８、１５９、１６０、１６８、１８９、１９２、１９３、１９４、１９９、２００、２０１、２０２、２０３、２０７、２１１、２１３、２１４、２１８、２２５、２２９、２３６、２３７、２４４、２４８、２４９、２５１、２５２、２６４、２７０、２８０、２８８、２８９、２９１、Ｃ．Ｉ．ダイレクトブラック ９、１７、１９、２２、３２、５１、５６、６２、６９、７７、８０、９１、９４、９７、１０８、１１２、１１３、１１４、１１７、１１８、１２１、１２２、１２５、１３２、１４６、１５４、１６６、１６８、１７３、１９９、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド ３５、４２、５２、５７、６２、８０、８２、１１１、１１４、１１８、１１９、１２７、１２８、１３１、１４３、１５１、１５４、１５８、２４９、２５４、２５７、２６１、２６３、２６６、２８９、２９９、３０１、３０５、３３６、３３７、３６１、３９６、３９７、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット ５、３４、４３、４７、４８、９０、１０３、１２６、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー １７、１９、２３、２５、３９、４０、４２、４４、４９、５０、６１、６４、７６、７９、１１０、１２７、１３５、１４３、１５１、１５９、１６９、１７４、１９０、１９５、１９６、１９７、１９９、２１８、２１９、２２２、２２７、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー ９、２５、４０、４１、６２、７２、７６、７８、８０、８２、９２、１０６、１１２、１１３、１２０、１２７：１、１２９、１３８、１４３、１７５、１８１、２０５、２０７、２２０、２２１、２３０、２３２、２４７、２５８、２６０、２６４、２７１、２７７、２７８、２７９、２８０、２８８、２９０、３２６、Ｃ．Ｉ．アシッドブラック ７、２４、２９、４８、５２：１、１７２、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド ３、１３、１７、１９、２１、２２、２３、２４、２９、３５、３７、４０、４１、４３、４５、４９、５５、Ｃ．Ｉ．リアクティブバイオレット １、３、４、５、６、７、８、９、１６、１７、２２、２３、２４、２６、２７、３３、３４、Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー ２、３、��３、１４、１５、１７、１８、２３、２４、２５、２６、２７、２９、３５、３７、４１、４２、Ｃ．Ｉ．リアクティブブルー ２、３、５、８、１０、１３、１４、１５、１７、１８、１９、２１、２５、２６、２７、２８、２９、３８、Ｃ．Ｉ．リアクティブブラック ４、５、８、１４、２１、２３、２６、３１、３２、３４、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド １２、１３、１４、１５、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２９、３５、３６、３８、３９、４５、４６、Ｃ．Ｉ．ベーシックバイオレット １、２、３、７、１０、１５、１６、２０、２１、２５、２７、２８、３５、３７、３９、４０、４８、Ｃ．Ｉ．ベーシックイエロー １、２、４、１１、１３、１４、１５、１９、２１、２３、２４、２５、２８、２９、３２、３６、３９、４０、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー １、３、５、７、９、２２、２６、４１、４５、４６、４７、５４、５７、６０、６２、６５、６６、６９、７１、Ｃ．Ｉ．ベーシックブラック ８が挙げられる。
【００１９】
また、上記染料を水に溶解させた染料溶液を使用することもできる。染料溶液としては、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ  ＳＰ  Ｌｉｑｕｉｄ（バイエル社製）等を好適に使用できる。
【００２０】
処理液中の染料の含有量は、通常の水溶性染料インクの染料含有量と同様、すなわち、１〜５重量％程度であることが好ましい。
【００２１】
本発明による処理液に用いられる水は、イオン交換水、限外濾過水、逆浸透水、蒸留水等の純水、または超純水を用いることができる。
【００２２】
また、本発明による処理液に用いられる水溶性有機溶媒は、上記式（I）の化合物と相溶し、かつ、処理液の溶液粘度が上記の範囲であれば特に限定されるものではなく、通常の水溶性染料インクに使用されるものを用いることができる。具体的には、エタノール、メタノール、ブタノール、プロパノール、イソプロパノールなどの炭素数１〜４のアルキルアルコール類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｉｓｏ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｉｓｏ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル、１−メチル−１−メトキシブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｉｓｏ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｉｓｏ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルなどのグリコールエーテル類、ホルムアミド、アセトアミド、ジメチルスルホキシド、ソルビット、ソルビタン、アセチン、２−ピロリドン、ジアセチン、トリアセチン、スルホラン、およびこれらの混合物等が挙げられる。
【００２３】
上記処理液の記録ヘッドへの充填・排出操作は、少なくとも１回以上繰り返すことが好ましく、特に、１０〜３０回程度行うことが好ましい。繰り返し操作を行うことにより、より完全に親インク性表面処理を行うことができる。
【００２４】
記録ヘッド内への処理液の充填は、記録ヘッドを組み込んだインクジェット記録装置に、処理液を入れたインクカートリッジを装填し、通常の運転を行うことによってもでき、また、強制的に加圧して記録ヘッド内に注入してもよい。
【００２５】
また、処理液の排出は、記録ヘッドを組み込んだインクジェット記録装置に、大気開放された空のインクカートリッジを装填して通常の運転を行い、記録ヘッド内に空気を充填して処理液と空気とを置換することにより行うことができる。
【００２６】
また、これら処理液の充填および排出は、記録ヘッドをインクジェット記録装置に組み込み前に行ってもよい。
【００２７】
インクジェット記録ヘッド
上記の製造方法に使用されるインクジェット記録ヘッドについて、その一例を挙げて説明する。ただし、本発明による製造方法が、以下のインクジェット記録ヘッドのみに適用されるものではないことは言うまでもない。
【００２８】
図１はインクジェット記録ヘッドの断面図を示したものである。インクジェッド記録ヘッド１は、シリコン製のノズルプレート３と、シリコンと熱膨張率が近いホウ珪酸ガラス基板４との間にシリコン基板２が狭持された三層構造を有する。シリコン基板２には、それぞれ独立した複数のインク室５、これらに共通に設けられた共通インク室６、および、この共通インク室６と複数のインク室５とを接続するためのインク供給路７としての溝が、その表面（図中、上面）からエッチングを施すことにより形成されている。これらの溝がノズルプレート３によって塞がれて、各部分５、６、７が区画形成されている。
【００２９】
ノズルプレート３には、各インク室５の先端側の部分に対応する位置に、インクノズル１１が形成されており、これらが各インク室５に連通している。また、ノズルプレート３には共通インク室６に連通するインク供給口（図示しない）が形成されている。
【００３０】
これらシリコン基板２およびシリコン製ノズルプレート３は、熱処理が施されており、その表面には酸化シリコンの被膜が形成されている。
【００３１】
シリコン基板２の下面に接しているガラス基板４においては、その上面、即ちシリコン基板２との接合面に、シリコン基板２の各インク室５に対応した位置に、浅くエッチングされた凹部９が形成されている。したがって、各インク室５の底壁８は、非常に僅かの隙間を隔てて、ガラス基板４の凹部９の表面と対峙している。
【００３２】
各インク室５の底壁８は、それぞれ電荷を蓄えるための電極として機能する。また、各インク室５の底壁８に対峙するように、ガラス基板４の凹部９の表面にはセグメント電極１０が形成されている。各セグメント電極１０の表面は、無機ガラスからなる絶縁層（図示せず）により覆われている。このように、セグメント電極１０と各インク室底壁８とは、絶縁層を挟んで互いに対向電極を形成している。
【００３３】
これらの対向電極間の充放電を行うと、対向電極間にクーロン力が発生し、底壁８はセグメント電極１０の側へ撓み、インク室５の容積が拡大する。次に、対向電極間の電荷を急激に放電させると、底壁８はその弾性復元力によって復元し、インク室５の容積が急激に収縮する。この時インク室内に発生する圧力により、インク室５を満たすインクの一部が、このインク室に連通しているインクノズル１１からインク滴として吐出される。
【実施例】
【００３４】
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、これらは本発明の範囲を限定するものではない。
【００３５】
（１）処理液の調製
下記表１に示す各成分を混合することにより、処理液１および処理液２を得た。なお、数値は全て重量％を表す。
【００３６】
また、得られた各処理液の溶液粘度を、振動式粘度計（ＶＭ−１００ＡＬ、山一電機社製）を用いて測定した。各処理液の溶液粘度を、表１に併せて示す。
【００３７】
【表１】
2006095952.tif 000003
【００３８】
なお、式（I）の化合物としては、Ｒがノニルフェニル基であり、ｍが１０、ｎが０のものを用いた。また、染料溶液は、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ  ＳＰ  Ｌｉｑｕｉｄ（バイエル社製）を用いた。
【００３９】
（２）記録ヘッドの表面処理
処理１
得られた処理液１および２について、各処理液を２５℃でインクジェット記録装置（ＴＭ−Ｊ２０００、セイコーエプソン社製）の記録ヘッドに充填した後、排出した。この操作を２０回繰り返した。
【００４０】
処理２
また、各処理液を、上記と同様のインクジェット記録装置の記録ヘッドに充填し、６０℃で２４時間放置した。その後、処理液２を記録ヘッドから排出した。この操作を１回行った。
【００４１】
（３）評価試験
試験１：気泡除去性能評価
処理１および２を行ったインクジェット記録装置にインクカートリッジを装填し、インクを充填した後に間欠的に記録紙に印字を行った。印字された記録紙のドット抜けを目視により確認した。
結果は表２に示される通りであった。
【００４２】
【表２】
2006095952.tif 000004
【００４３】
表２の結果からも明らかなように、処理液１を用いて処理２を行ったものは、ノズル目詰まりにより、正常に印刷できなかった。
【００４４】
（２）ヘッド部材の浸食性評価
上記のインクジェット記録装置の記録ヘッドを構成する部材と同様のものである、熱酸化により酸化シリコン被膜（膜厚１０００Å）が表面に形成されたシリコン基板を、処理液１に浸漬させて、密封状態で２５℃×２４時間放置した。その後、処理液からシリコン基板を取り出し、酸化シリコン被膜の膜厚を干渉式膜厚測定装置（ラムダエースＳＴ−Ｍ６０２Ｊ（大日本スクリーン製造社製）を用いて測定し、処理前の膜厚との差を算出することにより、酸化シリコンの溶出量を求めた。
【００４５】
また、上記と同様のシリコン基板を処理液１に浸漬させて、密封状態で６０℃×２４時間放置した。その後、処理液からシリコン基板を取り出し、上記と同様にして処理前の膜厚との差を算出することにより、酸化シリコンの溶出量を求めた。
【００４６】
また、上記と同様のシリコン基板を処理液２に浸漬させて、密封状態で６０℃×２４時間放置した。その後、処理液からシリコン基板を取り出し、上記と同様にして処理前の膜厚との差を算出することにより、酸化シリコンの溶出量を求めた。
各膜厚は、下記表３に示される通りであった。
【００４７】
【表３】
2006095952.tif 000005
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明によるインクジェット記録ヘッドの一態様を示した断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１    インクジェット記録ヘッド
２    シリコン基板
３    ノズルプレート
４    ガラス基板
５    インク室
６    共通インク室
７    インク供給路
８    インク室の底壁
９    凹部
１０  電極
１１  インクノズル
【図１】
2006095952.tif 000008