(57)【要約】【課題】  ボールねじ装置２を構成する、ボールねじ軸１４とボールナット１５との螺合部を、強制的に冷却できる様にする。これと共に、主空間７の内側でボールナット１５及び移送用部材３が軸方向に移動する際に、この移動方向前側に存在する空間内の空気を、連通孔１１を通じて副空間８内に効率良く排出できる様にする。【解決手段】  ボールねじ軸１４の端部に軸流型のファン２５を、このボールねじ軸１４と同心に固定する。又、このファン２５と上記連通孔１１との周囲に、このファン２５が発生した空気流をこの連通孔１１に案内する為のガイドカバー２６を配置する。この様な構成を採用する事により、上記課題を解決する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に雄ボールねじ溝を有するボールねじ軸と、内周面に雌ボールねじ溝を有するボールナットと、これら雄ボールねじ溝と雌ボールねじ溝との間に形成された螺旋状空間内に転動自在に設けられた複数個のボールとを備えたボールねじ装置に於いて、自身の中心軸を中心として回転する事に基づき軸方向の気流を発生させるファンを、上記ボールねじ軸の端部で上記ボールナットの移動範囲から外れた部分に、このボールねじ軸と同心に固定した事を特徴とするボールねじ装置。
【請求項２】
ファンをボールねじ軸の両端部に設けている、請求項１に記載したボールねじ装置。
【請求項３】
請求項１〜２のうちの何れか１項に記載したボールねじ装置と、ハウジングと、移送用部材と、直線案内手段と、塞ぎ手段と、駆動手段とを備え、
上記ハウジングは、上記ボールねじ装置を収納した、このボールねじ装置の軸方向に長い主空間と、この主空間の長さ方向と直交する方向に関してこの主空間と隣り合う位置に、この主空間と並列に設けられた副空間と、これら主空間及び副空間の長さ方向両端で、上記ボールねじ装置を構成するボールナットの移動範囲から外れた部分に設けられた、上記主空間と上記副空間とを互いに連通する、少なくとも１対の連通路と、この主空間の長さ方向と直交する方向に関してこの主空間と隣り合う位置で上記ボールねじ装置を構成するボールねじ軸の周方向に関して上記副空間から外れた部分に存在する外部空間と上記主空間とを互いに連通する状態で設けられた、上記ボールねじ装置の軸方向に長い長孔とを備えたものであり、
上記移送用部材は、上記ボールナットに固定した状態で、その一部を上記長孔を通じて上記外部空間に露出させており、且つ、上記ボールナットが軸方向に移動する事に伴い、上記長孔の内側をこの長孔の長さ方向に移動するものであり、
上記直線案内手段は、上記ボールナット及び移送用部材が、上記ボールねじ装置の軸方向に移動する事を許容し、且つ、このボールねじ装置を構成するボールねじ軸を中心として回転する事を防止するものであり、
上記塞ぎ手段は、上記長孔のうちで上記移送用部材が存在する部分に応じ、この長孔のうちでこの移送用部材が存在する部分以外の部分を塞ぐものであり、
上記駆動手段は、上記ボールねじ装置を構成するボールねじ軸を両方向に回転駆動するものである
移送装置。
【請求項４】
ボールねじ装置を構成するファンの周囲に、ボールナットが当該ファンに向け移動する際に当該ファンが発生する気流を当該ファンに近い連通路に案内するガイドカバーを設けている、請求項３に記載した移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、軸方向送り装置として各種機械装置に組み込まれるボールねじ装置と、このボールねじ装置を含んで構成され、クリーンルーム等の清浄空間内で好ましく使用できる移送装置との改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内で使用する移送装置として、図８〜１４に示す様な構造のものが考えられている。この移送装置は、直方体状のハウジング１と、ボールねじ装置２と、移送用部材３と、直線案内手段であるスライダ装置４と、それぞれが塞ぎ手段である１対のシールベルト装置５、５と、駆動手段である電動モータ６とを備える。
【０００３】
上記ハウジング１は、上記ボールねじ装置２を収納した、このハウジング１の長さ方向（図８、１２、１３、１４の左右方向）に長い主空間７と、この主空間７の下方の幅方向（図９〜１０の左右方向）中央部に、この主空間７と並列（一般的には平行）に設けられた副空間８と、これら主空間７及び副空間８の長さ方向（図８、１２、１３、１４の左右方向）片側（同各図の左側）に設けられた、上記電動モータ６を収納したモータ収納空間９とを備える。又、上記主空間７と上記副空間８とを仕切る仕切り板部１０の長さ方向両端寄り部分で、それぞれ後述するボールナット１５の可動範囲Ｓから長さ方向両側に外れた部分に、それぞれが上記主空間７と上記副空間８とを互いに連通させる連通路である、１対の連通孔１１、１１を形成している。又、上記主空間７と、この主空間７の上方に存在する外部空間との間を仕切る天板部１２の幅方向両端部に、それぞれ上記主空間７の長さ方向に長い１対の長孔１３、１３を設けている。
【０００４】
又、上記ボールねじ装置２は、ボールねじ軸１４と、ボールナット１５と、複数個のボール（図示せず）と、循環チューブ（図示せず）とから成る。このうちのボールねじ軸１４は、外周面の軸方向中間部に雄ボールねじ溝１６を形成している。この様なボールねじ軸１４は、上記主空間７の長さ方向に配設した状態で、一端部（図８、１２、１３、１４の右端部）を上記ハウジング１に対し、玉軸受１７により回転自在に支持すると共に、他端部（図８、１２、１３、１４の左端部）を、上記主空間７内に突出させた上記電動モータ６の出力軸１８に連結している。そして、この状態で、上記電動モータ６により、上記ボールねじ軸１４を両方向に回転駆動自在としている。又、上記ボールナット１５は、内周面に雌ボールねじ溝（図示せず）を形成すると共に、径方向内側に上記ボールねじ軸１４を挿通している。又、上記複数個のボールは、上記雄ボールねじ溝１６と上記雌ボールねじ溝との間に形成された螺旋状空間内に転動自在に設けている。又、上記循環チューブは、上記ボールねじ軸１４を上記ボールナット１５に対して回転させる事に伴い上記螺旋状空間内を移動する上記各ボールを循環させるものであり、上記ボールナット１５の内部若しくは外面に設けている。そして、この様な構成を採用する事により、上記ボールねじ軸１４を上記ボールナット１５に対して両方向に回転させる事に基づき、このボールナット１５を上記ボールねじ軸１４に沿って両方向に移動させられる様にしている。
【０００５】
又、前記移送用部材３は、全体を矩形板状に構成すると共に、上面の幅方向両端部分に、それぞれ全長に亙り、１対の突出部１９、１９を設けている。この様な移送用部材３は、下面の中央部を上記ボールナット１５に結合固定した状態で、上記１対の突出部１９、１９の先端部を、それぞれ上記１対の長孔１３、１３を通じて外部空間に突出させている。この状態で上記各突出部１９、１９は、上記移送用部材３が上記ボールナット１５と共に、上記ボールねじ軸１４の軸方向に移動する事に伴い、上記各長孔１３、１３の内側を、これら各長孔１３、１３の長さ方向に移動自在である。
【０００６】
又、前記スライダ装置４は、それぞれが直線状に形成された１対のガイドレール２０、２０と、それぞれが断面コ字形に形成された１対のスライダ２１、２１とから成る。このうちの１対のガイドレール２０、２０は、それぞれ上記主空間７の長さ方向に亙り、この主空間７の底面の幅方向両端寄り部分に固定している。又、上記１対のスライダ２１、２１は、それぞれ上記移送用部材３の底面の幅方向両端部に固定すると共に、上記各ガイドレール２０、２０の上半部に、これら各ガイドレール２０、２０に沿った移動のみ自在に係合させている。そして、この様な構成を採用する事により、上記ボールナット１５及び上記移送用部材３が、上記主空間７の軸方向にのみ移動する事を許容し、且つ、上記ボールねじ軸１４を中心に回転する事を防止している。
【０００７】
尚、図示の例の場合、上記主空間７の長さ方向両端部の幅方向中央部で、それぞれ上記移送用部材３の移動方向（図８、１２、１３、１４の左右方向）両端面と対向する部分には、ゴム等の弾性材製の緩衝ブロック２２、２２を固定している。そして、図１２及び図１４に示す様に、上記移送用部材３を上記主空間７の長さ方向両側に移動させ切った際に、この移送用部材３の移動方向両端面を、上記各緩衝ブロック２２、２２に接触させる様にしている。従って、図示の例の場合、上記主空間７の長さ方向に関する上記移送用部材３の可動範囲は、上記両緩衝ブロック２２、２２同士の間に挟まれた範囲となる。又、同じく上記ボールナット１５の可動範囲Ｓは、上記移送用部材３の可動範囲に応じた範囲となる。
【０００８】
又、前記１対のシールベルト装置５、５は、前記ハウジング１の内側の幅方向両端部で、このハウジング１の長さ方向に関して上記主空間７及び副空間８に対応する部分に設けている。この様な１対のシールベルト装置５、５はそれぞれ、当該部分の四隅に１個ずつ、合計４個のプーリ２３、２３を枢支すると共に、これら４個のプーリ２３、２３にシールベルト２４を外接させる状態で掛け渡し、更にこのシールベルト２４の両端部を上記移送用部材３の移動方向両端部に結合する（このシールベルト２４の可動ループを構成する）事により構成している。そして、この状態で、上記シールベルト２４の一部（上記移送用部材３の移動方向両端部とこの移送用部材３の移動方向両側に存在する１対のプーリ２３、２３との間に存在する部分）を、それぞれ上記ハウジング１の内面のうち上記各長孔１３、１３の幅方向両側部分に摺接させる事により、これら各長孔１３、１３のうちで、上記各突出部１９、１９が存在する部分以外の部分を塞いでいる。そして、この様な構成を採用する事により、上記ハウジング１内で発生した塵芥（例えば、前記ボールねじ軸１４と上記ボールナット１５との間部分で生じた金属摩耗粉）が、上記各長孔１３、１３を通じて外部空間に排出されるのを防止している。
【０００９】
上述の様に構成する移送装置をクリーンルーム内で使用する際には、この移送装置をこのクリーンルーム内に設置すると共に、このクリーンルーム（外部空間）内に突出させた、上記各突出部１９、１９の先端面（上面）に、被移送物を取り付ける。そして、この状態で、前記電動モータ６により上記ボールねじ軸１４を回転させる事により、上記ボールナット１５及び上記移送用部材３及び上記被移送物を、上記ボールねじ軸１４の軸方向に関する所望の位置に移動させる。
【００１０】
ところで、上述した移送装置の場合、上記主空間７の内側には、上記ボールナット１５及び上記移送用部材３及び１対のスライダ２１、２１が、上記主空間７の横断面（長さ方向と直交する方向の断面）の過半部分を塞ぐ状態で設けられている。この為、上記各部材１５、３、２１は、上記主空間１の内側でピストンの働きをする。即ち、この主空間７の内側で上記各部材１５、３、２１が、この主空間７の長さ方向に移動すると、この主空間７内の圧力が、これら各部材１５、３、２１の移動方向前方で上昇し、移動方向後方で低下する傾向となる。この様な圧力差が生じる結果、例えば図８→図１２（図１３→図１４）に示す様に、上記各部材１５、３、２１が上記主空間７の右方向（左方向）に移動する場合には、図８（図１３）に矢印で示す様に、上記主空間７のうち上記各部材１５、３、２１の右側（左側）に存在する空気が、前記仕切り板部１０の右端（左端）寄り部分に形成した連通孔１１を通じて、上記副空間８内に排出される。又、これと共に、この副空間８内の空気が、上記仕切り板部１０の左端（右端）寄り部分に形成した連通孔１１を通じて、上記主空間７のうち上記各部材１５、３の左側（右側）の空間内に引き込まれる。この様に、上述した移送装置の場合には、使用時に上記主空間７と上記副空間８との間で上記各連通孔１１、１１を通じて空気のやり取りを行なう事により、上記主空間７のうち上記各部材１５、３、２１の移動方向前方に存在する空間内の圧力が過度に上昇する事を防止している。
【００１１】
ところが、上述した移送装置の様に、上記主空間７と上記副空間８との間の圧力差のみを利用して、これら両空間７、８同士の間で上記各連通孔１１、１１を通じて空気のやり取りを行なうだけでは、上記主空間７の内側で上記各部材１５、３、２１を、この主空間７の長さ方向に高速度で移動させる場合に、これら各部材１５、３、２１の移動方向前方に存在する空気を、上記連通孔１１を通じて上記副空間８内に迅速に排出する事ができなくなる可能性がある。そして、この様に迅速に排出できなくなった場合には、上記主空間７のうち上記各部材１５、３、２１の移動方向前方に存在する空間内の圧力が過度に上昇し、この空間内の空気が前記異物と共に、上記ハウジング１内に存在する微小隙間を通じて上記クリーンルームに漏れ出す可能性がある為、好ましくない。
【００１２】
一方、本発明に関連する先行技術として、特許文献１には、移送装置を構成するハウジング内の空気を吸引ポンプで吸引する事により、使用時にこのハウジング内の圧力が過度に上昇するのを防止する発明が記載されている。但し、この発明の場合には、上記吸引ポンプを設ける必要がある分、製造コスト、運転コスト、設置スペースがそれぞれ嵩む。又、特許文献２には、副空間の内側に、主空間の内側のボールナットと逆方向に同速度で移動するピストン板（従動キャリア）を設けて、上記主空間内の空気を上記副空間内に引き込み易くする事により、この主空間内の圧力が過度に上昇するのを防止する発明が記載されている。但し、この発明の場合、上記引き込みの効率を十分に確保する為には、上記副空間の横断面積を上記主空間の横断面積よりも大きくする必要がある為、小型化の要請がある場合には、採用しにくい。
【００１３】
又、一般的に、上述した様な移送装置を含む各種機械装置に組み込まれるボールねじ装置の場合には、運転時に、ボールねじ軸とボールナットとの螺合部（複数個のボールの設置部）で摩擦熱が発生し、当該部分の温度が上昇する。この温度上昇は、当該設置部を潤滑するグリースを劣化させる原因となる。この為、この温度上昇を抑えられる構造を実現する事が望まれる。特に、上記ボールねじ装置を上記移送装置に組み込む場合には、上記温度上昇を抑えるのと同時に、上述した様な移送装置に関する不都合を解消できる構造を実現する事が望まれる。
【特許文献１】特開平８−２９０３８４号公報
【特許文献２】特開平９−３０３５１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、上述した様な事情に鑑み、ボールねじ軸とボールナットとの螺合部の温度上昇を抑えられるボールねじ装置と、大幅な大型化を伴う事なく主空間及び副空間の内側の圧力が過度に上昇するのを防止できると同時に、上記螺合部の温度上昇を抑えられる移送装置とを実現すべく発明したものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明のボールねじ装置及び移送装置のうち、請求項１に記載したボールねじ装置は、外周面に雄ボールねじ溝を有するボールねじ軸と、内周面に雌ボールねじ溝を有するボールナットと、これら雄ボールねじ溝と雌ボールねじ溝との間に形成された螺旋状空間内に転動自在に設けられた複数個のボールとを備える。又、上記ボールねじ軸を上記ボールナットに対して回転させる事に伴い上記螺旋状空間内を移動する上記各ボールを循環させる、循環チューブ等の循環手段も備える。
特に、請求項１に記載したボールねじ装置に於いては、自身の中心軸を中心として回転する事に基づき軸方向の気流を発生させるファンを、上記ボールねじ軸の端部で上記ボールナットの移動範囲から外れた部分に、このボールねじ軸と同心に固定している。
【００１６】
又、請求項３に記載した移送装置は、上述の様なボールねじ装置と、ハウジングと、移送用部材と、直線案内手段と、塞ぎ手段と、駆動手段とを備える。
このうちのハウジングは、上記ボールねじ装置を収納した、このボールねじ装置の軸方向に長い主空間と、この主空間の長さ方向と直交する方向に関してこの主空間と隣り合う位置に、この主空間と並列に設けられた副空間と、これら主空間及び副空間の長さ方向両端で、上記ボールねじ装置を構成するボールナットの移動範囲から外れた部分に設けられた、上記主空間と上記副空間とを互いに連通する、少なくとも１対の連通路と、この主空間の長さ方向と直交する方向に関してこの主空間と隣り合う位置で上記ボールねじ装置の周方向に関して上記副空間から外れた部分に存在する外部空間と上記主空間とを互いに連通する状態で設けられた、上記ボールねじ装置の軸方向に長い長孔とを備えたものである。
又、上記移送用部材は、上記ボールナットに固定した状態で、その一部を上記長孔を通じて上記外部空間に露出させており、且つ、上記ボールナットが軸方向に移動する事に伴い、上記長孔の内側をこの長孔の長さ方向に移動するものである。
又、上記直線案内手段は、上記ボールナット及び移送用部材が、上記ボールねじ装置の軸方向に移動する事を許容し、且つ、このボールねじ装置を構成するボールねじ軸を中心として回転する事を防止するものである。
又、上記塞ぎ手段は、上記長孔のうちで上記移送用部材が存在する部分に応じ、この長孔のうちでこの移送用部材が存在する部分以外の部分を塞ぐものである。
又、上記駆動手段は、上記ボールねじ装置を構成するボールねじ軸を両方向に回転駆動するものである。
【発明の効果】
【００１７】
上述の様に構成する本発明のボールねじ装置及び移送装置のうち、請求項１に記載したボールねじ装置の場合には、ボールねじ軸と共にファンが回転して、このファンが発生した気流（風）を、ボールナットに吹き付ける。この為、このボールナットと上記ボールねじ軸との螺合部を冷却できる。特に、本発明の場合、上記ボールねじ軸の回転速度が大きくなる事に伴い、上記螺合部で発生する摩擦熱が多くなった場合には、これと同時に上記ファンの回転速度も大きくなり、このファンが発生する気流の勢いも大きくなる。この為、上記ボールねじ軸の回転速度が大きくなった場合でも、上記螺合部を十分に冷却できる。従って、本発明のボールねじ装置の場合には、上記螺合部を潤滑するグリースが早期に劣化する事を防止できる。
【００１８】
又、請求項３に記載した移送装置の場合には、やはり上記各ボールの設置部に関して、上述した冷却効果を得られる。又、これと同時に、主空間の内側でボールナット及び移送用部材が、上記ボールねじ装置の軸方向に移動する際に、この主空間と副空間との間に生じる圧力差に加えて、上記ファンが発生する気流により、上記主空間のうち上記ボールナット及び移送用部材の移動方向前方に存在する空間内の空気を、連通路を通じて、上記副空間内に強制的に排出できる。特に、本発明の場合、上記ボールねじ軸の回転速度が大きくなる事に伴い、上記ボールナット及び移送用部材の移動速度が大きくなると同時に上記ファンの回転速度も大きくなり、このファンが発生する気流の勢いも大きくなる。この為、上記ボールナット及び移送用部材の移動速度が大きくなった場合でも、上記主空間のうちこれらボールナット及び移送用部材の移動方向前方に存在する空間内の空気を、上記連通路を通じて、上記副空間内に迅速に排出できる。従って、本発明の移送装置の場合には、上記主空間のうち上記ボールナット及び移送用部材の移動方向前方に存在する空間内の圧力が過度に上昇する事を防止できる。この結果、この空間内の空気が、この空間内に存在する塵芥と共に、ハウジング内に存在する微小隙間を通じてクリーンルーム等の外部空間に漏れ出す事を有効に防止できる。
【００１９】
尚、本発明のボールねじ装置及び移送装置の場合には、上述の様な効果を得る為の手段として、ボールねじ軸の端部にファンを固定する手段を採用している。この為、全体が大幅に大型化したり、製造コストが大幅に上昇する事を防止できると共に、運転コストを、前述した従来構造の場合と実質的に等しくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
請求項１に記載したボールねじ装置を実施する場合に好ましくは、請求項２に記載した様に、ファンをボールねじ軸の両端部に設ける。
この様な構成を採用すれば、ファンをボールねじ軸の片端部にのみ設ける場合に比べて、螺合部の冷却効果をより十分に得られる。又、この様なボールねじ装置を使用して請求項３に記載した移送装置を構成すれば、主空間のうちボールナット及び移送用部材の移動方向前方に存在する空間内の空気を、連通路を通じて副空間内に、より効率良く排出できる。
【００２１】
又、請求項３に記載した移送装置を実施する場合に好ましくは、請求項４に記載した様に、ボールねじ装置を構成するファンの周囲に、ボールナットが当該ファンに向け移動する際に当該ファンが発生する気流を当該ファンに近い連通路に案内するガイドカバーを設ける。
この様な構成を採用すれば、主空間のうちボールナット及び移送用部材の移動方向前方に存在する空間内の空気を、連通路を通じて副空間内に、より効率良く排出する事ができる。
【実施例】
【００２２】
図１〜７は、請求項１、３、４に対応する、本発明の実施例を示している。尚、本実施例の特徴は、ボールねじ軸１４の一端（図１、５、６、７の右端）側部分の構造を工夫した点にある。その他の部分の構造及び作用は、前述の図８〜１４に示した従来構造の場合と同様である為、重複する説明を省略若しくは簡略にし、以下、本実施例の特徴部分を中心に説明する。
【００２３】
本実施例の場合、上記ボールねじ軸１４の一端寄り部分で、このボールねじ軸１４の軸方向に関してボールナット１５の可動範囲Ｓと一方（図１、５、６、７の右方）の連通孔１１との間部分に、プロペラ状のファン２５を、上記ボールねじ軸１４と同心に固定している。このファン２５は、自身の中心軸を中心として回転する事に基づき、軸方向の空気流（風）を発生させる軸流ファンである。本実施例の場合には、このファン２５が発生する空気流の向きと、上記ボールナット１５の移動の向きとが互いに一致する様に、上記ボールねじ軸１４の一端部に上記ファン２５を固定した状態での、このファン２５を構成する複数枚の翼板の傾斜方向を規制している。
【００２４】
又、上記ファン２５及び上記一方の連通孔１１の周囲には、ガイドカバー２６を設置している。このガイドカバー２６は、断面Ｌ字形で全体を行き止まりのトンネル形としたもので、その内周面を上記ファン２５の外周縁に近接対向させたＵ字板部２７と、このＵ字板部２７の一端（図１、５、６、７の右端）開口を塞ぐ平板部２８とを備える。そして、上記Ｕ字板部２７及び平板部２８の下端縁を、それぞれハウジング１の仕切り板部１０の上面に支持固定すると共に、上記平板部２８の中央部に設けた通孔２９に上記ボールねじ部１４の一端部を、微小隙間を介して非接触に挿通している。
【００２５】
上述の様に構成する本実施例の移送装置の場合、ボールねじ軸１４が所定方向に回転する事に基づき、例えば図１→図５に示す様に、ボールナット１５及び移送用部材３が主空間７の右方向に移動する場合には、この主空間７内の圧力が、これらボールナット１５及び移送用部材３の右側の空間内で上昇し、左側の空間内で低下する傾向となる。又、これと同時に、上記ファン２５が上記所定方向に回転し、このファン２５が右向きの空気流を発生させる。この空気流は、ガイドカバー２６に案内されて、上記一方の連通孔１１を通じて副空間８内に流れ込む。従って、本実施例の場合、上述の様にボールナット１５及び移送用部材３が主空間７の右方向に移動する場合には、上述の様な圧力差に加え、上述の様な空気流に基づき、上記主空間７のうち上記ボールナット１５及び移送用部材３の右側の空間内の空気が、上記一方の連通孔１１を通じて、上記副空間８内に強制的に排出される。これと共に、この副空間８内の空気が、他方（図１、５、６、７の左方）の連通孔１１を通じて、上記主空間７のうち上記ボールナット１５及び移送用部材３の左側の空間内に強制的に送り込まれる。
【００２６】
これに対し、上記ボールねじ軸１４が上記所定方向と反対方向に回転する事に基づき、例えば図６→図７に示す様に、上記ボールナット１５及び移送用部材３が上記主空間７の左方向に移動する場合には、この主空間７内の圧力が、これらボールナット１５及び移送用部材３の左側の空間内で上昇し、右側の空間内で低下する傾向となる。又、これと同時に、上記ファン２５が上記反対方向に回転し、このファン２５が左向きの空気流を発生させる。この結果、この空気流の上流側に存在する、上記一方の連通孔１１を通じて、上記副空間８内の空気が、上記主空間７内に引き込まれる。従って、本実施例の場合、上述の様にボールナット１５及び移送用部材３が主空間７の左方向に移動する場合には、上述の様な圧力差に加え、上述の様な空気流に基づき、上記副空間８内の空気が、上記一方の連通孔１１を通じて、上記主空間７のうち上記ボールナット１５及び移送用部材３の右側の空間内に強制的に引き出される。これと共に、上記主空間７のうち上記ボールナット１５及び移送用部材３の左側の空間内の空気が、上記他方の連通孔１１を通じて、上記副空間８内に強制的に送り込まれる。
【００２７】
上述の様に、本実施例の場合には、上記主空間７のうち上記ボールナット１５及び移送用部材３の移動方向前方に存在する空間内の空気を、この移動方向前方の連通孔１１を通じて、上記副空間８内に強制的に排出できる。特に、本実施例の場合、上記ボールねじ軸１４の回転速度が大きくなる事に伴い、上記ボールナット１５及び移送用部材３の移動速度が大きくなると同時に上記ファン２５の回転速度も大きくなり、このファン２５が発生する空気流の勢いも大きくなる。この為、上記ボールナット１５及び移送用部材３の移動速度が大きくなった場合でも、上記主空間７のうちこれらボールナット１５及び移送用部材３の移動方向前方に存在する空間内の空気を、この移動方向前方の連通孔１１を通じて、上記副空間８内に迅速に排出できる。従って、本実施例の場合には、上記主空間７のうち上記ボールナット１５及び移送用部材３の移動方向前方に存在する空間の圧力が過度に上昇する事を防止できる。この結果、この空間内の空気が、この空間内に存在する塵芥と共に、ハウジング１内に存在する微小隙間を通じて、クリーンルーム等の外部空間に漏れ出す事を有効に防止できる。
【００２８】
又、本実施例の場合には、上述の様にファン２５が発生する空気流を上記ボールナット１５に吹き付ける事ができる。この為、複数個のボール（図示せず）を設置した、ボールねじ軸１４と上記ボールナット１５との螺合部を冷却できる。特に、本実施例の場合、上記ボールねじ軸１４の回転速度が大きくなる事に伴い、上記螺合部で発生する摩擦熱が多くなると同時に上記ファン２５の回転速度も大きくなり、このファン２５が発生する空気流の勢いも大きくなる。この為、上記ボールねじ軸１４の回転速度が大きくなった場合でも、上記各玉の設置部を十分に冷却できる。従って、本実施例の場合には、上記螺合部を潤滑するグリースが早期に劣化する事を防止できる。
【００２９】
又、本実施例の場合には、上述した様な各効果を得る為の手段として、上記ボールねじ軸１４の一端側部分に、上記ファン２５及びガイドカバー２６を設ける手段を採用している。この為、全体が大幅に大型化したり、製造コストが大幅に上昇する事を防止できると共に、運転コストを前述した従来構造の場合と実質的に等しくできる。
【００３０】
尚、上述した実施例では、ボールねじ軸の一端側部分にのみ、ファン及びガイドカバーを設けたが、本発明を実施する場合には、これらファン及びガイドカバーを、上記ボールねじ軸の両端側部分に設ける事もできる。この様な構成を採用すれば、上記実施例で説明した本発明特有の効果を、より十分に得る事ができる。又、本発明の移送装置を実施する場合、主空間と外部空間とを連通する状態で設けた長孔のうち、移送用部材の一部を挿通させた部分以外の部分を塞ぐ為の塞ぎ手段としては、上述した実施例で使用した様なシールベルト装置の他、例えば蛇腹板等の伸縮自在な蓋体等を採用する事もできる。又、本発明のボールねじ装置は、上述した様な移送装置に限らず、各種の機械装置に組み込んで使用する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の移送装置の実施例を、主空間の長さ方向中央部に位置するボールナット及び移送用部材が右側に移動する状態で示す断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図。
【図３】同Ｂ−Ｂ断面図。
【図４】一部を抜き出して示す、移送装置の略斜視図。
【図５】本発明の移送装置の実施例を、主空間の右端部にボールナット及び移送用部材を移動させた状態で示す断面図。
【図６】同じく、主空間の長さ方向中央部に位置するボールナット及び移送用部材が左側に移動する状態で示す断面図。
【図７】同じく、主空間の左端部にボールナット及び移送用部材を移動させた状態で示す断面図。
【図８】従来の移送装置を、主空間の長さ方向中央部に位置するボールナット及び移送用部材が右側に移動する状態で示す断面図。
【図９】図８のＣ−Ｃ断面図。
【図１０】同Ｄ−Ｄ断面図。
【図１１】一部を抜き出して示す、移送装置の略斜視図。
【図１２】従来の移送装置を、主空間の右端部にボールナット及び移送用部材を移動させた状態で示す断面図。
【図１３】同じく、主空間の長さ方向中央部に位置するボールナット及び移送用部材が左側に移動する状態で示す断面図。
【図１４】同じく、主空間の左端部にボールナット及び移送用部材を移動させた状態で示す断面図。
【符号の説明】
【００３２】
１    ハウジング
２    ボールねじ装置
３    移送用部材
４    スライダ装置
５    シールベルト装置
６    電動モータ
７    主空間
８    副空間
９    モータ収納空間
１０    仕切り板部
１１    連通孔
１２    天板部
１３    長孔
１４    ボールねじ軸
１５    ボールナット
１６    雄ボールねじ溝
１７    玉軸受
１８    出力軸
１９    突出部
２０    ガイドレール
２１    スライダ
２２    緩衝ブロック
２３    プーリ
２４    シールベルト
２５    ファン
２６    ガイドカバー
２７    Ｕ字板部
２８    平板部
２９    通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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