(57)【要約】      （修正有） 【課題】多段増幅器の出力電圧は演算増幅器の定格出力を越えた高電圧で、演算増幅器の高速、高精度特性を利用できるための偏向増幅器。【解決手段】特性を劣化させるカレントミラー、電流増幅を使用せず、演算増幅器を多段構成とし、各段の入力と一定値を加算した±電源を各段の演算増幅器の±電源とし、±電源が定格以内になるようにし、演算増幅器の高速、高精度特性を利用した多段増幅器。【選択図】 図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力がＶｉ、出力がＶｏであるＮ段の多段増幅器において、各段が＋電源Ｖｃ、−電源Ｖｅ、＋入力Ｖａ、−入力Ｖｂ、出力Ｖｏの演算増幅器手段により構成され、ｍ段目（１≦ｍ≦Ｎ）の入力Ｖｉｍを演算増幅器＋入力Ｖａｍに接続し、演算増幅器−入力Ｖｂｍとグランドに接続した抵抗Ｒｉｍと演算増幅器−入力Ｖｂｍと演算増幅器出力Ｖｏｍに接続した抵抗Ｒｆｍによる非反転電圧増幅手段とｍ段目の出力Ｖｏｍと入力Ｖｉｍの差が入力Ｖｉのｋ倍（＝ｋ*Ｖｉ、０＜ｋ＜｜（Ｖｃ−Ｖｅ）／（２＊Ｖｉ）｜）で、ｍ段目の演算増幅器手段の増幅度Ｇｍが｛＝１＋Ｒｆｍ／Ｒｉｍ＝（１＋ｍ＊ｋ）／（１＋（ｍ−１）＊ｋ）｝であるｍ段目の増幅手段とｍ段目の演算増幅器＋電源Ｖｃｍが＋電源Ｖｃと入力Ｖｉｍとを加算したｍ段目の＋電源（Ｖｃｍ＝Ｖｉｍ＋Ｖｃ）手段とｍ段目の演算増幅器−電源Ｖｅｍが−電源Ｖｅと入力Ｖｉｍとを加算したｍ段目の−電源（Ｖｅｍ＝Ｖｉｍ＋Ｖｅ）手段とＮ段増幅器のｍ段目の出力Ｖｏｍとｍ＋１段目の入力Ｖｉｍ＋１を接続するｍ段とｍ＋１段の接続手段（ｍ＝１の入力Ｖｉ１がＮ段増幅器の入力Ｖｉ、ｍ＝Ｎの出力ＶｏｎがＮ段増幅器の出力）とからなり、Ｎ段増幅器の増幅度がｋ＊Ｎ＋１であることを特徴とする多段増幅器。
【請求項２】
入力がＶｉ、出力がＶｏで、Ｎ段の多段増幅器において、前記演算増幅器手段により構成され、ｍ段目（１≦ｍ≦Ｎ）の入力Ｖｉｍから抵抗Ｒｉｍ、−入力Ｖｂｍ、抵抗Ｒｆｍを通して出力Ｖｏｍに接続し、ｍ−１段の入力Ｖｉｍ−１とｍ段の＋入力Ｖａｍを接続した反転電圧増幅手段とｍ段目の出力Ｖｏｍと入力Ｖｉｍの差が入力Ｖｉのｋ倍（＝ｋ*Ｖｉ、０＜ｋ＜｜（Ｖｃ−Ｖｅ）／（２＊Ｖｉ）｜）で、ｍ段目の演算増幅器手段の増幅度Ｇｍが（＝−（１＋ｍ＊ｋ）／（１＋（ｍ−１）＊ｋ））であるｍ段目の増幅手段とｍ段目の反転電圧増幅手段の＋電源Ｖｃｍが＋電源Ｖｃと反転した入力Ｖｉｍとを加算したｍ段目の＋電源（Ｖｃｍ＝−Ｖｉｍ＋Ｖｃ）手段と−電源Ｖｅｍが−電源Ｖｅと反転した入力Ｖｉｍとを加算したｍ段目の−電源（Ｖｅｍ＝−Ｖｉｍ＋Ｖｅ）手段とｍ段目の出力Ｖｏｍとｍ＋１段目の入力Ｖｉｍ＋１、ｍ段目の入力Ｖｉｍとｍ＋１段目の演算増幅器の＋入力Ｖaｍ＋１を接続するｍ段とｍ＋１段の接続手段（ｍ＝１の＋入力Ｖa１はグランド、Ｖｉ１がＮ段増幅器の入力、ｍ＝Ｎの出力ＶｏｎがＮ段増幅器の出力）とからなり、Ｎ段増幅器の総合した増幅度が（−１）＾（Ｎ）＊（ｋ＊Ｎ＋１）であることを特徴とする多段増幅器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子ビーム描画装置の偏向増幅器に関するものである。 
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ試料の微細パターン形成は電子ビームを利用した電子ビーム描画装置が使用されている。電子ビーム描画装置により形成されるＬＳＩパターンは垂直な断面形状を持つレジストパターンである。このレジストパターンを形成するためには大きな電子ビーム照射量が必要で、これが電子ビーム描画装置の描画速度のボトルネックとなっていた。
【０００３】
そこで、電子ビーム描画装置の描画速度を解決するために、電子ビーム照射量が少なくても描画できる高感度のレジストが開発された。しかし、描画するＬＳＩの規模が大きくなり、このような高感度のレジストを用いると、電子ビーム描画装置の偏向増幅器のセトリング時間が描画時間の数１０％を占めるようになり、電子ビーム描画装置の描画速度のボトルネックは偏向増幅器のセトリング時間となっていた。
【０００４】
さらに、電子ビーム描画装置は高速描画と共に、その描画精度が求められ、この双方に大きな影響を与えるのが偏向増幅器のセトリング時間と精度である。近年、微細パターンを大きな領域で描画するため電子ビームを広く偏向し、偏向電圧が大きな偏向増幅器が必要となり、その偏向増幅器におけるセトリング時間の短縮と精度が電子ビーム描画装置の高描画速度と描画精度のキーになっていた。
【０００５】
以下図面を参照しながら従来の偏向増幅器の１例について説明する。図４は従来の偏向増幅器１０の構成を示すものである。図４において、入力端子１２の信号は−Ｒｆ／Ｒｉ倍され、出力端子１３に出力される。偏向増幅器１０は高速、高利得の演算増幅器２５と高電圧を得るためカレントミラー２７、出力端子１３の出力を安定させるために電流増幅２８、周波数の高域を安定させるための周波数補償２６より構成する。入力端１２の信号はＲｉを通してサミングポイント１８に、一方Ｒｆとつながる出力はカレントミラー２７、電流増幅２８を通るため遅延が生じ、この遅延は周波数高域で不安定になる。この不安定を補償するために周波数補償２６のＲ１、Ｃ１を調整し、セトリング時間が最短になるようにする。 
【特許文献１】特開昭６２−９４００４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、この調整は微妙で、熟練を要する。また、演算増幅器２５の後にカレントミラー２７、電流増幅２８があるため偏向増幅器１０の周波数帯域が狭まり、セトリング時間の短縮に問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題を解決するために、周波数特性を劣化させるカレントミラー２７、電流増幅２８を使用せず、演算増幅器２５のみを使用する。しかし、演算増幅器２５の電源１４、１５は偏向増幅器１０の最大時の出力電圧より小さく、そのまま演算増幅器２５を使用することはできない。そこで、演算増幅器２５の±電源を入力と電源１４、１５とを加減算する多段増幅器により無調整で広帯域の周波数特性を得て、セトリング時間を短縮する。
【発明の効果】
【０００８】
多段増幅器のｍ段目の出力Ｖｏｍと入力Ｖｉｍの差はｋ*Ｖｉで、ｋ＝１にして説明する。本発明（請求項１）の多段増幅器は初段の増幅度を２、±電源を（Ｖｉ１＋Ｖｃ、Ｖｉ１＋Ｖｅ）、２段目の増幅度を３／２、±電源を（Ｖｉ２＋Ｖｃ、Ｖｉ２＋Ｖｅ）、３段目の増幅度を４／３、±電源を（Ｖｉ３＋Ｖｃ、Ｖｉ３＋Ｖｅ）、ｍ段目の増幅度を１＋１／ｍ、±電源を（Ｖｉｍ＋Ｖｃ、Ｖｉｍ＋Ｖｅ）として、各段の演算増幅器の動作範囲を越えない構成とし、演算増幅器の高速、高精度特性を利用した偏向増幅器を実現する。
本発明（請求項２）の多段増幅器は初段の増幅度を−２、±電源を（−Ｖｉ１＋Ｖｃ、−Ｖｉ１＋Ｖｅ）、２段目の増幅度を−３／２、±電源を（−Ｖｉ２＋Ｖｃ、−Ｖｉ２＋Ｖｅ）、３段目の増幅度を−４／３、±電源を（−Ｖｉ３＋Ｖｃ、−Ｖｉ３＋Ｖｅ）、ｍ段目の増幅度を−（１＋１／ｍ）、±電源を（−Ｖｉｍ＋Ｖｃ、−Ｖｉｍ＋Ｖｅ）として、各段の演算増幅器の動作範囲を越えない構成とし、演算増幅器の高速、高精度特性を利用した偏向増幅器を実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
多段増幅器の出力電圧は演算増幅器の定格出力を越えた高電圧で、演算増幅器の高速、高精度特性を利用できるため偏向増幅器に最適である。
【実施例１】
【００１０】
以下、本発明の１実施例（請求項１）の多段増幅器（３段増幅器（Ｎ＝３））について図面を参照して説明する。図１は３段増幅器１の構成を示す。図１で、１０１は１段目増幅器、２０１は２段目増幅器、３０１は３段目増幅器、２は３段増幅器の入力、３は３段増幅器の出力、４は３段増幅器の＋電源、５は３段増幅器の−電源である。３段増幅器の入力２は１段目増幅器１０１の入力Ｖｉ1（１０８）に接続され、出力Ｖｏ１（１０９）は２段目増幅器２０１の入力Ｖｉ２（２０８）に接続され、出力Ｖｏ２（２０９）は３段目増幅器３０１の入力Ｖｉ３（３０８）に接続され、出力Ｖｏ３（３０９）は３段増幅器の出力３となる。各段の出力Ｖｏと入力Ｖｉの差はＶｉ（ｋ＝１）とする。
１段目増幅器１０１の入出力の差はＶｏ１−Ｖｉ１＝Ｖｉ、２段目増幅器２０１の入出力の差はＶｏ２−Ｖｉ２＝Ｖｉ、３段目増幅器３０１の入出力の差は  Ｖｏ３−Ｖｉ３＝Ｖｉ、ｍ段目増幅度Ｇｍ＝（１＋ｍ＊ｋ）／（１＋（ｍ−１）＊ｋ）、ｋ＝１からｍ＝１段目増幅器１０１の増幅度はＧ１＝２、ｍ＝２段目増幅器２０１の増幅度はＧ２＝３／２、ｍ＝３段目増幅器３０１の増幅度はＧ３＝４／３、３段増幅器１の総合増幅度（＝ｍ＋１）は４である。このように各段の増幅器の増幅度を配分し、各段の増幅器の入力Ｖｉと出力Ｖｏの差が一定（Ｖｉ）にする。各段の増幅器１０１、２０１、３０１は各段の入力１０８、２０８、３０８と演算増幅器の＋電源Ｖｃとを加算した各段の＋電源１０２、２０２、３０２と演算増幅器の−電源Ｖｅを加算した−電源１０７、２０７、３０７により演算増幅器１０５、２０５、３０５の定格±電源以内で動作させる。
【００１１】
３段増幅器の＋電源４に接続された１段目＋電源１０２の抵抗Ｒ１１、ツェナーダイオードＤ１１を通して３段増幅器の入力２（１０８）に接続し、ツェナーダイオードＤ１１に電流を供給し、Ｖｚ（Ｄ１１のツェナー電圧）なるトランジスタＱ１１ベース電圧を得る。トランジスタＱ１１のエミッタにはＶｉ１＋Ｖｚ−Ｖｂｅ（トランジスタのベース・エミッタ間電圧）なる電圧となり、Ｖｚ−Ｖｂｅ＝ＶｃになるようなＶｚを選ぶことにより、１段目の演算増幅器１０５の＋電源がＶｉ1＋Ｖｃ（１０３）となる。
３段増幅器の−電源５に接続された１段目−電源１０７の抵抗Ｒ２１、ツェナーダイオードＤ２１を通して３段増幅器の入力２（１０８）に接続し、ツェナーダイオードＤ２１に電流を供給し、−Ｖｚ（Ｄ２１のツェナー電圧）なるトランジスタＱ２１ベース電圧を得る。トランジスタＱ２１のエミッタにはＶｉ１−Ｖｚ＋Ｖｂｅ（トランジスタのベース・エミッタ間電圧）なる電圧となり、−Ｖｚ＋Ｖｂｅ＝Ｖｅになるような−Ｖｚを選ぶことにより、１段目の演算増幅器１０５の−電源がＶｉ1＋Ｖｅ（１０６）となる。入力電圧Ｖｉ１と出力電圧Ｖｏ１は１段目の演算増幅器１０５の電源電圧以内である。従って、１段目増幅器１０１は演算増幅器１０５の最大定格電源電圧以上の入出力１０８，１０９を得る。２段目増幅器２０１、３段目増幅器も同様である。１段目増幅器１０１の増幅度が２であるから２段目増幅器２０１の入力Ｖｉ２はＶｉ１＊２で、出力Ｖｏ２はＶｉ１＊３、同様に３段目増幅器３０１の出力Ｖｏ３はＶｉ１＊４となる。
【００１２】
例えば、演算増幅器の＋電源Ｖｃ＝１５Ｖ、−電源Ｖｅ＝-１５Ｖの場合、１段目増幅器１０１の入力Ｖｉ１（１０８）が１Ｖの時、出力Ｖｏ１（１０９）は２Ｖ、２段目増幅器２０１の入力Ｖｉ２（２０８）が２Ｖの時出力Ｖｏ２（２０９）は３Ｖ、３段目増幅器３０１の入力Ｖｉ３（３０８）が３Ｖの時出力Ｖｏ３（３０９）は４Ｖで、各段増幅器の入出力の差は入力Ｖｉ１（１０８）と等しく、１Ｖである。この時、１段目の演算増幅器１０５の＋電源１０３は１６Ｖ、−電源１０６は−１４Ｖ、２段目の演算増幅器２０５の＋電源２０３は１７Ｖ、−電源２０６は−１３Ｖ、３段目の演算増幅器３０５の＋電源３０３は１８Ｖ、−電源３０６は−１２Ｖで、各段演算増幅器に加わる±電源の差は３０Ｖ一定で、最大電源定格を超えることはない。
【００１３】
従来の偏向増幅器では演算増幅器出力の後にトランジスタを付加し、高速性を劣化させていたが、以上のように、本実施例によれば、多段増幅器は演算増幅器の高速、高精度特性を有し、演算増幅器定格出力以上の高電圧出力の偏向増幅器を実現する。各段増幅器の入出力の差は入力Ｖｉ１（１０８）が一定としたが、定格電源の異なる演算増幅器（例えば定格電源±１５Ｖと±５Ｖ）を混在させることも可能である。この場合は異なる演算増幅器の段の入出力差を定格に合わせて増減することにより同様な特性が得られる。
【００１４】
図３は図１の３段増幅器１と図４の従来の偏向増幅器１０に±１０Ｖ振幅のパルス信号入力した時の±４０Ｖ出力シミュレーション波形（時間軸２００ｎＳ／ｄｉｖ）である。図１、図３で、同じ演算増幅器を使用したが３段増幅器の出力３のセトリング時間は数１０ｎＳで立ち上がり（下がり）に対し従来の偏向増幅器の出力１３のセトリング時間は２００ｎＳ以上の立ち上がり（下がり）を要している。このシミュレーション結果から多段増幅器は高速、高精度の偏向増幅器に適している。
【実施例２】
【００１５】
以下、本発明の１実施例（請求項２）の多段増幅器（３段増幅器（Ｎ＝３））について図面を参照して説明する。図２は３段増幅器４１の構成を示す。図２で、４０１は１段目増幅器、５０１は２段目増幅器、６０１は３段目増幅器、４２は３段増幅器の入力、４３は３段増幅器の出力、４４は３段増幅器の＋電源、４５は３段増幅器の−電源である。３段増幅器の入力４２は１段目増幅器４０１の入力Ｖｉ1（４０８）に接続され、出力Ｖｏ１（４０９）は２段目増幅器５０１の入力Ｖｉ２（５０８）に接続され、出力Ｖｏ２（５０９）は３段目増幅器６０１の入力Ｖｉ３（６０８）に接続され、出力Ｖｏ３（６０９）は３段増幅器の出力４３となる。各段の出力Ｖｏと入力Ｖｉの差はＶｉ（ｋ＝１）とする。
１段目増幅器４０１の入出力の差は  Ｖｏ１＋Ｖｉ１＝−Ｖｉ、２段目増幅器５０１の入出力の差はＶｏ２＋Ｖｉ２＝−Ｖｉ、３段目増幅器６０１の入出力の差はＶｏ３＋Ｖｉ３＝−Ｖｉ、ｍ段目増幅度Ｇｍ＝−（１＋ｍ＊ｋ）／（１＋（ｍ−１）＊ｋ）、ｋ＝１からｍ＝１段目増幅器４０１の増幅度はＧ１＝Ｖｏ１／Ｖｉ１＝−２、ｍ＝２段目増幅器５０１の増幅度はＧ２＝Ｖｏ２／Ｖｉ２＝−３／２、ｍ＝３段目増幅器６０１の増幅度はＧ３＝Ｖｏ３／Ｖｉ３＝−４／３、３段増幅器４１の総合増幅度（＝（−１）＾（３）＊（３＋１））は−４である。このように各段の増幅器の増幅度を配分し、各段の増幅器の入力Ｖｉと出力Ｖｏの差を一定（Ｖｉ）にする。各段の増幅器４０１、５０１、６０１は各段の入力４０８、５０８、６０８は＋電源内部で位相反転され、演算増幅器の＋電源Ｖｃと加算する各段の＋電源４０２、５０２、６０２と演算増幅器の−電源Ｖｅを加算した−電源４０７、５０７、６０７により演算増幅器４０５、５０５、６０５の定格±電源以内で動作させる。
【００１６】
３段増幅器の＋電源４４に接続された１段目＋電源４０２の抵抗Ｒ５１、トランジスタＱ３１のエミッタ、コレクタ、抵抗Ｒ３１を通して入力４２（４０８）に、抵抗６１、トランジスタＱ４１のエミッタ、コレクタ、抵抗Ｒ１１、ツェナーダイオードＤ１１、グランドに接続されている。この＋電源４０２はカレントミラー構成で、入力４２の電圧変化を抵抗Ｒ３１で電流変化に変換し、トランジスタＱ３１、Ｑ４１のカレントミラーで、抵抗Ｒ３１の電流変化を抵抗Ｒ１１に写す。抵抗Ｒ１１に接続されているツェナーダイオードＤ１１はＶｚ（Ｄ１１のツェナー電圧）を発生する。トランジスタＱ１１のエミッタには−Ｖｉ１＋Ｖｚ−Ｖｂｅ（トランジスタのベース・エミッタ間電圧）なる電圧となり、Ｖｚ−Ｖｂｅ＝ＶｃになるようなＶｚを選ぶことにより、１段目の演算増幅器４０５の＋電源が−Ｖｉ1＋Ｖｃ（４０３）となる。３段増幅器の−電源４５に接続された１段目＋電源４０７の抵抗Ｒ７１、トランジスタＱ５１のエミッタ、コレクタ、抵抗Ｒ４１を通して入力４２（４０８）に、抵抗８１、トランジスタＱ６１のエミッタ、コレクタ、抵抗Ｒ２１、ツェナーダイオードＤ２１、グランドに接続されている。この＋電源４０７はカレントミラー構成で、入力４２の電圧変化を抵抗Ｒ４１で電流変化に変換し、トランジスタＱ５１、Ｑ６１のカレントミラーで、抵抗Ｒ４１の電流変化を抵抗Ｒ２１に写す。抵抗Ｒ２１に接続されているツェナーダイオードＤ２１はＶｚ（Ｄ２１のツェナー電圧）を発生する。トランジスタＱ２１のエミッタには−Ｖｉ１−Ｖｚ＋Ｖｂｅ（トランジスタのベース・エミッタ間電圧）なる電圧となり、−Ｖｚ＋Ｖｂｅ＝ＶｅになるようなＶｚを選ぶことにより、１段目の演算増幅器４０５の−電源が−Ｖｉ1＋Ｖｅ（４０６）となる。入力電圧Ｖｉ１と出力電圧Ｖｏ１は１段目の演算増幅器４０５の電源電圧以内である。従って、１段目増幅器４０１は演算増幅器４０５の最大定格電源電圧以上の入出力４０８，４０９を得る。２段目増幅器５０１、３段目増幅器も同様である。
【００１７】
例えば、演算増幅器の+電源Ｖｃ＝１５Ｖ、−電源Ｖｅ＝-１５Ｖの場合、１段目増幅器４０１の入力Ｖｉ４１（４０８）が１Ｖの時、出力Ｖｏ１（４０９）は−２Ｖ、２段目増幅器５０１の入力Ｖｉ２（５０８）が−２Ｖの時出力Ｖｏ２（５０９）は３Ｖ、３段目増幅器６０１の入力Ｖｉ３（６０８）が３Ｖの時出力Ｖｏ３（６０９）は−４Ｖで、各段増幅器の入出力の差は入力Ｖｉと等しい１Ｖである。この時、１段目の演算増幅器４０５の＋電源４０３は１４Ｖ、−電源４０６は−１６Ｖ、２段目の演算増幅器５０５の＋電源５０３は１７Ｖ、−電源５０６は−１３Ｖ、３段目の演算増幅器６０５の＋電源６０３は１２Ｖ、−電源６０６は−１８Ｖで、各段演算増幅器に加わる±電源の差は３０Ｖ一定で、最大電源定格を超えることはない。
【００１８】
以上のように、本実施例によれば、多段増幅器の奇数段の出力は位相が反転し、偶数段は非反転になる。隣接する段の出力位相が反転するため、安定度が増し、演算増幅器の高速、高精度特性を損なうことなく、偏向増幅器の高速、高精度を実現する。各段増幅器の入出力の差は入力Ｖｉ４１（４０８）が一定としたが、定格電源の異なる演算増幅器を混在させることも可能である。この場合は異なる演算増幅器の段の入出力差を定格に合わせて増減することにより同様な特性が得られる。
【００１９】
図５は図１の３段増幅器１（非反転）と図２の３段増幅器４１（反転）に±１０Ｖ振幅のパルス信号入力した時の±４０Ｖ出力シミュレーション波形（時間軸２０ｎＳ／ｄｉｖ）である。同じ演算増幅器を使用し、図１の非反転出力３、図２の反転出力４３のセトリング時間は数１０ｎＳで立ち上がり（下がり）である。非反転、反転のどちらの多段増幅器も高速、高精度の偏向増幅器に適している。
【００２０】
請求項１、請求項２における出力Ｖｏｍと入力Ｖｉｍの差がｋ*Ｖｉ（０＜ｋ＜｜（Ｖｃ−Ｖｅ）／（２＊Ｖｉ）｜）におけるｋはＮ段増幅器の増幅度ＧｎではＧｎ＝（１＋Ｎ＊ｋ）であるからｋは大きいほどＧｎは大きくなり、結果として段数Ｎを少なくすることが出来る。一方、ｍ段目増幅器の出力Ｖｏｍとｍ−１段目増幅器の出力Ｖｏｍ−１の差ｋ＊Ｖｉはｍ段目演算増幅器の（Ｖｃｍ−Ｖｅｍ）／２を超えることは出来ない。
ｋ＊Ｖｉ  ＜  （Ｖｃｍ−Ｖｅｍ）／２    ・・・（１）
−電源Ｖｅｍは入力ＶｉｍとＶｅを加算し、Ｖｅｍ＝Ｖｉｍ＋Ｖｅ、Ｖｉｍはｍ−１段目増幅器の出力Ｖｏｍ−１と接続されているのでＶｉｍ＝Ｖｏｍ−１、Ｖｅｍは  Ｖｅｍ＝Ｖｏｍ−１＋Ｖｅ  、Ｖｃｍ＝Ｖｏｍ−１＋Ｖｃであるので上式（１）はｋ＊Ｖｉ  ＜  （Ｖｃ−Ｖｅ）／２、ｋ  ＜  （Ｖｃ−Ｖｅ）／（２＊Ｖｉ）、ｋ＞０でＶｉは正負を取りえるから、ｋ  ＞  ｜（Ｖｃ−Ｖｅ）／（２＊Ｖｉ）｜を得る。
ｋは演算増幅器の電源Ｖｃと常にＮ段増幅器の入力Ｖｉの比｜（Ｖｃ−Ｖｅ）／（２＊Ｖｉ）｜より少ないことが必要である。例えば、Ｖｃ＝１５Ｖ、Ｖe＝-１５Ｖ、Ｖｉ＝１０Ｖである場合、ｋは１．５以上の値をとれない。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
偏向増幅器の高精度高速化することにより、電子ビーム描画装置の描画を高精度、高スループットを実現する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】３段増幅器（請求項１）の構成図である。（実施例１）
【図２】３段増幅器（請求項２）の構成図である。
【図３】３段増幅器（請求項１）と従来偏向増幅器出力波形の比較である。
【図４】従来の偏向増幅器の構成図である。
【図５】３段増幅器（請求項１）と（請求項２）出力波形の比較である。
【符号の説明】
【００２３】
１  ３段増幅器 
２  ３段増幅器の入力 
３  ３段増幅器の出力
４  ３段増幅器の＋電源
５  ３段増幅器の−電源
１０  偏向増幅器
１２  入力端子
１３  出力端子
１４  演算増幅器の＋電源
１５  演算増幅器の−電源
１６  偏向増幅器の＋電源
１７  偏向増幅器の−電源
１８  サミングポイント
２５  演算増幅器
２６  周波数補償
２７  カレントミラー
２８  電流増幅
４１  反転増幅器（Ｎ＝３の多段反転増幅器）
４２  反転増幅器の入力
４３  反転増幅器の出力
４４  反転増幅器の＋電源
４５  反転増幅器の−電源
１０１  １段目増幅器
１０２  １段目＋電源
１０３  Ｖｃ１（＝Ｖｉ1＋Ｖｃ）
１０４  １段目非反転電圧増幅
１０５  １段目演算増幅器
１０６  Ｖｅ１（＝Ｖｉ1＋Ｖｅ）
１０７  １段目−電源
１０８  Ｖｉ1
１０９  Ｖｏ１
２０１  ２段目増幅器
２０２  ２段目＋電源
２０３  Ｖｃ２（＝Ｖｉ２＋Ｖｃ）
２０４  ２段目非反転電圧増幅
２０５  ２段目演算増幅器
２０６  Ｖｅ２（＝Ｖｉ２＋Ｖｅ）
２０７  ２段目−電源
２０８  Ｖｉ２
２０９  Ｖｏ２
３０１  ３段目増幅器
３０２  ３段目＋電源
３０３  Ｖｃ３（＝Ｖｉ３＋Ｖｃ）
３０４  ３段目非反転電圧増幅
３０５  ３段目演算増幅器
３０６  Ｖｅ３（＝Ｖｉ３＋Ｖｅ）
３０７  ３段目−電源
３０８  Ｖｉ３
３０９  Ｖｏ３
４０１  １段目増幅器
４０２  １段目＋電源
４０３  Ｖｃ１（＝−Ｖｉ1＋Ｖｃ）
４０４  １段目反転電圧増幅
４０５  １段目演算増幅器
４０６  Ｖｅ１（＝−Ｖｉ1＋Ｖｅ）
４０７  １段目−電源
４０８  Ｖｉ１
４０９  Ｖｏ１
５０１  ２段目増幅器
５０２  ２段目＋電源
５０３  Ｖｃ２（＝−Ｖｉ２＋Ｖｃ）
５０４  ２段目反転電圧増幅
５０５  ２段目演算増幅器
５０６  Ｖｅ２（＝−Ｖｉ２＋Ｖｅ）
５０７  ２段目−電源
５０８  Ｖｉ２
５０９  Ｖｏ２
６０１  ３段目増幅器
６０２  ３段目＋電源
６０３  Ｖｃ３（＝−Ｖｉ３＋Ｖｃ）
６０４  ３段目反転電圧増幅
６０５  ３段目演算増幅器
６０６  Ｖｅ３（＝−Ｖｉ３＋Ｖｅ）
６０７  ３段目−電源
６０８  Ｖｉ３
６０９  Ｖｏ３
【図１】
2006345328.tif 000003
【図２】
2006345328.tif 000004
【図３】
2006345328.tif 000005
【図４】
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【図５】
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