(57)【要約】【課題】  カンチレバーに支持された触針を、ワークの測定面に接触させたまま移動させて触針に生じる変位量を検出することにより、測定面の表面形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定装置において、土手部と底部とを有する段差のあるワークの底部の表面粗さや輪郭形状を容易に測定することを可能とする。【解決手段】  表面粗さ／輪郭形状測定装置１を、触針９の長手方向（Ｚ）とカンチレバー７の長手方向（Ｙ）の両方に直交する方向（Ｘ）に、ワークと触針９とを相対移動させる移動手段８を備えて構成する。【選択図】      図４
2006300823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カンチレバーに支持された触針を、ワークの測定面に接触させたまま移動させて前記触針に生じる変位量を検出することにより、前記測定面の表面形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定装置であって、
前記触針と前記ワークとを、前記触針の長手方向と前記カンチレバーの長手方向の両方に直交する方向に相対的に移動させる移動手段を備えることを特徴とする表面粗さ／輪郭形状測定装置。
【請求項２】
前記移動手段は、前記触針を、前記触針の長手方向と前記カンチレバーの長手方向の両方に直交する方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の表面粗さ／輪郭形状測定装置。
【請求項３】
前記触針を、前記測定面に接触させたまま前記移動手段によって移動させ、前記測定面の、前記移動手段の移動方向に沿う表面形状を測定することを特徴とする請求項１又は２に記載の表面粗さ／輪郭形状測定装置。
【請求項４】
前記触針を、前記カンチレバーの長手方向に移動可能に支持する駆動部と、
前記移動手段として、前記カンチレバーと前記駆動部との間に設けられ、前記触針を支持するカンチレバーを、前記駆動部に対して前記触針の長手方向と前記カンチレバーの長手方向の両方に直交する方向に移動させる連結部材と、
を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の表面粗さ／輪郭形状測定装置。
【請求項５】
カンチレバーに支持された触針を、測定面に接触させたまま移動させて前記触針に生じる変位量を検出することにより、前記測定面の表面形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定方法であって、
前記触針を、前記測定面に接触させたまま、前記触針の長手方向と前記カンチレバーの長手方向の両方に直交する垂直の方向に移動させて、その移動方向に沿った前記測定面の表面形状を測定することを特徴とする表面粗さ／輪郭形状測定方法。
【請求項６】
土手部と底部とを有する段差のあるワークの、前記土手部と平行する方向に前記カンチレバーの長手方向を向けて前記底部に前記触針を接触させたまま、前記土手部と直交する方向に前記触針を移動させて、前記ワークの表面形状を測定することを特徴とする、請求項５に記載の表面粗さ／輪郭形状測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面粗さ／輪郭形状測定装置に関し、特に２軸方向に沿う被測定物の表面粗さ及び輪郭形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面粗さ／輪郭形状測定装置は、被測定物（ワーク）表面に沿って、触針を有するピックアップを移動させ、触針の変位量を電気信号に変換してコンピュータ等の計算機に読み取ることで、被測定物（ワーク）表面の粗さ又は輪郭形状を測定する（例えば、下記特許文献１）。図１に、従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置の基本構成を示す。
【０００３】
表面粗さ／輪郭形状測定装置１は、テーブル２上に載置されたワークの表面粗さを測定する測定子（ピックアップ）６を有し、このピックアップ６は駆動部４に固定されるホルダ５に支持されている。ピックアップ６は、カンチレバー７の一方の端を支持し、このカンチレバー７の他端にはその長手方向に直交する方向に伸びる触針９が設けられている。
一方で駆動部４は、テーブル２に立設されたコラム３に取り付けられ、コンピュータ等のデータ処理装置（図示せず）からの指示に従ってホルダ５を移動する。駆動部４は、ホルダ５をカンチレバー７の長手方向（Ｘ方向）にのみ移動させることが可能である。
また駆動部４全体も、ワークの高さにあわせて、コラム３に沿ってテーブル面に垂直な上下方向（Ｚ方向）に移動させることが可能である。
【０００４】
駆動部４によって触針９を測定表面に接触させながら移動させると、測定表面の凹凸によって触針９が変位する。この変位量がカンチレバー７を伝わって、ピックアップ６に内蔵された差動インダクタンスや作動トランス（図示せず）によって電気信号に変換される。そして、この電気信号はＡ／Ｄ変換器によってディジタル信号に変換され、上記のデータ処理装置に入力される。以上により、データ処理装置によってワークの表面粗さを示す測定データが取得される。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１０７１４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置１では、ワークの測定面に沿わせてピックアップ６を移動させることができるのは、駆動部４によるＸ方向のみであった。これは、粗さ測定に関する各規格（例えばＪＩＳ規格、ＩＳＯ規格）が、直線上で測定した粗さのみを規定していることに起因する。
また、Ｘ−Ｙ面内の表面粗さ／輪郭形状を評価する様な（特殊の）場合は、ピックアップ６をテーブル面に水平な面内方向（ＸＹ方向）に沿ってワークと相対移動させるために、テーブル面上のＸ方向と異なる他の１方向（Ｙ方向）にワークを移動させるＹ軸駆動用ユニットをテーブル上に載置し、ワークを移動させることによって、ピックアップ６とワークとをＹ軸方向に相対移動させて測定を行っていた。
【０００７】
しかしながら、図２に示すエンジンのクランクシャフト１００のクランクピン１０１の側面の表面粗さを測定する場合のように、段差があるワークの表面形状を測定する場合、クランクアーム１０２ａ及び１０２ｂ並びにバランスウエイト１０３ａ及び１０３ｂが、カンチレバー７及びピックアップ６の接近を妨げる土手となって、触針９をクランクピン１０１に接触させることができないという不都合があった。
【０００８】
すなわち、クランクシャフト１００のクランクピン１０１の側面の表面粗さを測定する場合には、図３に示すようにクランクシャフト１００の長手方向であるＸ方向に沿って触針９を移動させる必要があるが、クランクシャフト１００のようにワークに土手部と底部からなる段差があると（この場合にはクランクアーム１０２ａ及び１０２ｂ並びにバランスウエイト１０３ａ及び１０３ｂが土手部となり、クランクピン１０１の側面が底部となる）、触針９が検査面であるクランクピン１０１に接触する前に、カンチレバー７及びピックアップ６がクランクアーム１０２ａ、１０２ｂやバランスウエイト１０３ａ、１０３ｂに干渉してしまう。したがってこのような場合に、従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置では、検査面であるクランクピン１０１側面の表面粗さを測定することは非常に困難であった。
【０００９】
また、上記のようにワークをＹ軸方向に動かすＹ軸駆動用ユニットを使用する場合には、その積載可能重量に限界があるため、その積載可能重量を超えるワークを測定することができず、表面粗さ／輪郭形状測定装置自体の測定対象が限定される。
また、重心位置により移動テーブルの変形や駆動に影響するため、ワークの重心や載置場所により撓み量が変化し、測定精度への影響があった。
【００１０】
また、一定の積載可能重量を確保するためにはワークのＹ軸方向駆動部もこれに応じて余力のある機構や動力を採用する必要があり、その結果として表面粗さ／輪郭形状測定装置自体が大きくかつ高価になる。
さらに、上記のようにＹ軸駆動用ユニットをテーブル上に載置する場合には、ワークのＹ軸駆動ユニットと、駆動部４との間にコラムが介在するため、温度変化や振動などの影響を受け、上記駆動部４に正確に直角に設置することが困難である。
【００１１】
上記問題点に鑑み、本発明は、土手部と底部とを有する段差のあるワークの底部の表面粗さや輪郭形状を容易に測定することが可能な表面粗さ／輪郭形状測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明では、触針を、その長手方向とカンチレバーの長手方向の両方に直交する方向に移動させながら、この移動方向に沿った、測定面の表面形状を測定することとする。
すなわち、本発明の第１形態に係る表面粗さ／輪郭形状測定装置は、カンチレバーに支持された触針を、ワークの測定面に接触させたまま移動させて触針に生じる変位量を検出することにより、測定面の表面形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定装置であって、触針とワークとを、触針の長手方向とカンチレバーの長手方向の両方に直交する方向に相対的に移動させる移動手段を備えて構成される。
【００１３】
表面粗さ／輪郭形状測定装置は、移動手段を、触針を、その長手方向とカンチレバーの長手方向の両方に直交する方向に移動させるように構成されてよい。また、表面粗さ／輪郭形状測定装置は、触針を、測定面に接触させたまま上記の移動手段によって移動させ、測定面の、移動手段の移動方向に沿う表面形状を測定することとしてよい。
さらに、表面粗さ／輪郭形状測定装置は、触針を、カンチレバーの長手方向に移動可能に支持する駆動部と、上記の移動手段として、カンチレバーと駆動部との間に設けられ、触針を支持するカンチレバーを駆動部に対して触針の長手方向とカンチレバーの長手方向の両方に直交する方向に移動させる連結部材と、を備えて構成してもよい。
【００１４】
本発明の第２形態に係る表面粗さ／輪郭形状測定方法によれば、カンチレバーに支持された触針を、測定面に接触させたまま移動させて触針に生じる変位量を検出することにより、測定面の表面形状を測定する際に、触針を、測定面に接触させたまま、触針の長手方向と前記カンチレバーの長手方向の両方に直交する垂直の方向に移動させて、その移動方向に沿った測定面の表面形状を測定する。
上記の本発明に係る表面粗さ／輪郭形状測定装置及び方法により、土手部と底部とを有する段差のあるワークの底部の表面粗さを測定する際には、土手部と平行する方向にカンチレバーの長手方向を向けて底部に触針を接触させたまま、土手部と直交する方向に触針を移動させて、ワークの表面形状を測定することとしてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、土手部と底部とを有する段差のあるワークの底部の表面粗さを測定する際に、土手部が延在する方向にカンチレバーの長手方向を平行にして触針を底部に接触させたまま測定することが可能となるため、カンチレバーと土手部とが干渉して触針が底部に接触できなくなる状態を回避することが可能となる。
【００１６】
また、上記のように、触針自身をその長手方向とカンチレバーの長手方向の両方に直交する方向に移動させる連結部材を備えることによって、ワークを移動させることなく、該方向に触針を移動させることが可能となる。これにより、ワーク移動テーブルなどのワーク駆動部の最大積載量に制限されることなく測定面内におけるワークの表面形状測定が可能となる。さらに連結部材が駆動する測定子は比較的軽量な部材であるので、小型な装置でよく、高い精度で駆動可能な機構を簡易かつ安価に実現可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図４は、本発明の実施例に係る表面粗さ／輪郭形状測定装置の基本構成図である。表面粗さ／輪郭形状測定装置１の基本構成は、図１に示した構成に類似した構成を有しており、これらの図と同一の機能部分に同一の参照番号を付して表し説明を省略する。
【００１８】
図示するように、表面粗さ／輪郭形状測定装置１において、ピックアップ６及びカンチレバー７は、その長手方向がテーブル面ＸＹ方向上の駆動部４による触針９の駆動方向であるＸ方向に沿うように取り付けられ、また、このカンチレバー７の先端にはその長手方向に直交するＺ方向に伸びる触針９が設けられている。
【００１９】
さらに、このピックアップ６を支持するホルダ５と駆動部４とは、連結部材８を介して連結されている。ここで連結部材８は、カンチレバー７の長手方向であるＸ方向及び触針９の長手方向であるＺ方向の両方に直交するＹ方向に沿って、ピックアップ６を移動することが可能である。このような連結部材８の拡大図を図５（Ａ）に示す。
【００２０】
図５（Ａ）に示すように、連結部材８は、本体８１と、この本体８１に固定されるとともに駆動部側アタッチメント４１（図５（Ｃ）参照）に係合保持され、本体８１を駆動部４に対して固定する第１アタッチメント８２と、本体８１に対してＹ方向に移動することが可能な可動部８３と、可動部８３を駆動するためのモータ８４と、可動部８３に固定され、ホルダ５を係合保持する第２アタッチメント８５を備えて構成される。モータ８４は、上記のデータ処理装置（図示せず）からの指示にしたがって駆動される。
【００２１】
可動部８３は、本体８１の所定の面８１Ａ上をＹ方向に摺動することができるように本体８１に取り付けられている。可動部８３が、本体８１の所定の面８１Ａ上をＹ方向に摺動した様子を図５（Ｂ）に示す。
【００２２】
図５（Ｃ）は、連結部材８が、駆動部４とピックアップ６を保持するホルダ５間との間に取り付けられた使用状態を示す図である。図示するように、連結部材８の第１アタッチメント８２は、駆動部４によってＸ方向に駆動される駆動部側アタッチメント４１に係合保持される。一方、ピックアップ６を保持するホルダ５は、本体８１に対してＹ方向に移動することが可能な可動部８３に固定された第２アタッチメント８５に係合保持される。
上記構成により、ピックアップ６、カンチレバー７及び触針９は、駆動部４と連結部材８とによってＸ方向及びＹ方向の両方の方向に駆動されることが可能となる。
【００２３】
ここで、測定面のＹ方向に沿った表面粗さ／輪郭形状を測定するために、ピックアップ６等をＹ方向に駆動するモータ８４は、ステッピングモータ等のような段階的な回転や運動を行うモータではなく、無段階に回転、運動を行うモータ（例えばＤＣモータなど）を使用することが好適である。
【００２４】
この連結部材８は、既存の表面粗さ／輪郭形状測定装置１にもともと備えられている駆動部側アタッチメント４１、及びホルダ５に応じて、これらと係合可能な第１アタッチメント８２及び第２アタッチメント８５をそれぞれ採用することにより、Ｙ方向駆動機構を有しない既存の表面粗さ／輪郭形状測定装置１に対しても容易に後付けすることが可能である。
【００２５】
また、第１アタッチメント８２の本体８１の面８１Ｂ（ＸＹ面）への取り付け角度を９０°変更することにより、連結部材８によるピックアップ６の駆動方向がＸ方向となるように連結部材８を駆動部側アタッチメント４１に係合することが可能となる。これにより連結部材８によるピックアップ６の駆動方向と、駆動部４による駆動部側アタッチメント４１の駆動方向とを等しくし、Ｘ方向へのピックアップ６の駆動範囲を広げることが可能となる。
【００２６】
さらに、第１アタッチメント８２を、本体８１のＸＺ平面（すなわちモータ８４の取り付け面と反対側の面）に取り付けることにより、連結部材８によるピックアップ６の駆動方向がＺ方向となるように連結部材８を駆動部側アタッチメント４１に係合することが可能となる。これにより、直交ＸＺ平面におけるワークの表面形状測定が可能となる。
【００２７】
このように、連結部材８は、連結部材８によるピックアップ６の駆動方向が、駆動部４による連結部材８の駆動方向に等しい方向又は直交する２方向いずれの方向となるように、駆動部側アタッチメント４１又はホルダ５に取り付けることが可能であり、さらに、第１アタッチメント８２の、本体８１への取り付け面と駆動部側アタッチメント４１への取り付け面との角度を変える（非平行にする）ことにより、連結部材８によるピックアップ６の駆動方向を、Ｘ方向に対して傾けて（傾斜角を持って）取り付けることが可能である。
さらに、連結部材８によるピックアップ６の駆動方向と、駆動部４による連結部材８の駆動方向との相対角度を調節するために、駆動部側アタッチメント４１又は第１アタッチメント８２に自由雲台のような角度調節機構を設けることとしてもよい。
【００２８】
図６の（Ａ）は、図４に示すピックアップ６のＸＺ平面側断面図であり、図６の（Ｂ）は図６の（Ａ）のＡ−Ａ’断面図である。ピックアップ６はそのケース６１の内部に、ケース６１に固定される固定部６２と、Ｙ方向に沿うピボット軸６４を回転軸として固定部６２に枢動可能に支持される可動部６３と、を備える。図６の（Ｃ）は、図６の（Ａ）に示す固定部６２の形状を説明する斜視図である。
図６の（Ｃ）に示すとおり、固定部６２には、可動部６３のピボット軸６４を両端から挟持するための腕部分７２ａ及び７２ｂが形成され、この腕部分７２ａ及び７２ｂのそれぞれに、ピボット軸６４を支持する軸受け７１ａ、７１ｂが取り付けられる。
【００２９】
また、可動部６３には、カンチレバー７を可動部６３に固定するためのカンチレバー取り付けピン７０が設けられる。可動部６３に固定されたカンチレバー取り付けピン７０が、カンチレバー７の取り付け端に設けられた取り付け孔に挿入されることによりカンチレバー７が可動部６３に固定される。
さらに、可動部６３には、カンチレバー７の取り付け端と反対側の端に設けられた触針９がワークの表面に追従しながら接触するように、カンチレバー７が固定された可動部６３を、その枢動方向に付勢するためのバネ等の付勢手段６５が設けられている。図６の（Ａ）の例では、固定部６２のバネ受け凹部６６に取り付けられた圧縮ばね６５によって可動部６３が付勢される。
【００３０】
したがって、ピックアップ６が連結部材８及び駆動部４によって移動されたとき、その触針９は、ワークの表面の凹凸に追従するようにワークの表面上で摺動することができる。そして、ワークの表面の凹凸により生じる触針９の変位が、カンチレバー７を介して可動部６３に伝わると、可動部６３はピボット軸６４を回転軸として枢動する。
ここで、ピックアップ６が連結部材８によりＹ方向に移動され、それに伴って移動する触針９とワークの表面との間で生じるＹ方向の摩擦力によって、カンチレバー７にヨーイングさせる力が働いても、可動部６３がスムーズに枢動するように、ピボット軸６４の先端は略円錐形に形成され、また軸受け７１ａ、７１ｂは、ピボット軸６４の略円錐形の先端を球面によって支持するように構成される。
【００３１】
また、ワークの表面上を摺動する触針９が、ワーク表面の凹凸によって変位すると、その変位量はピックアップ６に設けられた差動インダクタンスセンサによって、電気信号に変換される。この差動インダクタンスセンサは、可動部６３に設けられた磁性体コア６７と、可動部６３が固定部６２に支持されたとき、磁性体コア６７を挿入するように固定部６２に設けられたコア挿入口６８と、このコア挿入口６８の周囲に、磁性体コア６７を囲うように設けられた２つのコイル６９から構成される。この差動インダクタンスセンサは、可動部６３の枢動に伴う磁性体コア６７の動きを、２つのコイル６９のインダクタンスの差の変化として検出して、可動部６３の変位量を電気的信号に変換する。
【００３２】
図７の（Ａ）は図１に示す従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置により段差を有するワークの表面粗さを測定する方法の説明図であり、図７の（Ｂ）は図４に示す本発明の実施例に係る表面粗さ／輪郭形状測定装置により段差を有するワークの表面粗さを測定する方法の説明図である。
図示するとおり、ワーク１１０は、検査面である底部１１１と、土手部１１２ａ及び１１２ｂとを有する段差が設けられている。いま図７の（Ａ）に示すとおり、触針９を、段差のある方向、すなわち土手部１１２ａ及び１１２ｂの延在方向と直交する方向（図７の（Ａ）ではＸ方向）に摺動させながら、底部１１１の表面粗さ又は輪郭形状を測定する場合を考える。
【００３３】
上述のように従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置では、触針９はカンチレバー７の長手方向にのみ移動可能である。したがって測定の際に、ワーク１１０は、測定方向すなわち段差のある方向（土手部１１２ａ及び１１２ｂの延在方向と直交する方向）が、カンチレバー７の長手方向と一致するように、テーブル２上に配置される。
このため、土手部１１２ａ及び１１２ｂとカンチレバー７及びピックアップ６とが干渉してしまい、触針９を底部１１１に接触させることが困難となる。
【００３４】
一方で図７の（Ｂ）に示すように、本発明の実施例に係る表面粗さ／輪郭形状測定装置によれば、触針９を、その長手方向とカンチレバー７の長手方向との両方に直交する方向（図７の（Ｂ）ではＹ方向）に移動することが可能である。
したがって、測定を行う際に、測定方向すなわち段差のある方向を、カンチレバー７の長手方向に直交するＹ方向に向けて、すなわち段差のない方向（土手部１１２ａ及び１１２ｂの延在方向と平行する方向、図７の（Ｂ）ではＸ方向）を、カンチレバー７の長手方向に沿わせて配置することが可能である。
このため、カンチレバー７及びピックアップ６の長手方向を土手部１１２ａ及び１１２ｂに沿わせた状態で測定を行うことができるため、土手部１１２ａ及び１１２ｂと干渉することなく容易に触針９を底部１１１に接触させたまま、段差のある方向（土手部と直交する方向、図７の（Ｂ）ではＹ方向）に移動させることができる。
【００３５】
なお、触針９自体を、その長手方向とカンチレバー７の長手方向との両方に直交する方向に移動する代わりに、テーブル２上にワーク移動機構を設けて、ワーク１１０を、触針９と長手方向とカンチレバー７の長手方向との両方に直交する方向に移動することによって、触針９とワーク１１０とを、触針９と長手方向とカンチレバー７の長手方向との両方に直交する方向に相対移動させても、カンチレバー７及びピックアップ６と、土手部１１２ａ及び１１２ｂと、の干渉を回避して、触針９を底部１１１に接触させたまま、段差のある方向（図７の（Ｂ）ではＹ方向）に移動させることもできる。
しかしながら、本実施例のように、触針９自体を、その長手方向とカンチレバー７の長手方向との両方に直交する方向に移動する連結部材８を使用することにより、表面粗さ／輪郭形状測定装置１を、簡易かつ小型に構成することが可能である。
【００３６】
図８は、本発明の実施例に係る表面粗さ／輪郭形状測定方法によって、図２と同様のクランクシャフト１００のクランクピン１０１の側面の表面粗さ／輪郭形状を、クランクシャフト１００の長手方向に沿って測定する場合の説明図である。
図２を参照して説明した従来の測定方法による場合と異なり、本発明の測定方法によれば、カンチレバー７及びピックアップ６の長手方向を、クランクシャフト１００の長手方向に直交させた状態で、触針９をクランクピン１０１の側面に接触させることができるため、クランクアーム１０２ａ及び１０２ｂ並びにバランスウエイト１０３ａ及び１０３ｂと、カンチレバー７及びピックアップ６とが干渉することが避けられる。
【００３７】
すなわち、図９に示すように、クランクシャフト１００の長手方向であるＹ方向に沿って触針９を移動させ、クランクピン１０１の側面のＹ方向に沿った表面粗さを測定する場合には、測定方向であるＹ方向には、クランクアーム１０２ａ及び１０２ｂ並びにバランスウエイト１０３ａ及び１０３ｂを土手部とし、検査面であるクランクピン１０１の側面を底部とする段差がある。
しかし、本発明の実施例に係る表面粗さ／輪郭形状測定方法によれば、段差のある方向（すなわち土手部の延在方向と直交する方向）であるクランクシャフト１００の長手方向（Ｙ方向）に、カンチレバー７及びピックアップ６の長手方向を直交させた状態で、触針９を移動することができるため、クランクアーム１０２ａ及び１０２ｂ並びにバランスウエイト１０３ａ及び１０３ｂと、カンチレバー７及びピックアップ６とが干渉することなく、触針９をクランクピン１０１の側面の側面に接触させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、被測定物の表面に沿わせてこれに触針などの測定子を移動させ、表面形状を測定する測定装置に広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置の基本構成図である。
【図２】クランクシャフトのクランクピンの側面の表面粗さを測定する従来の測定方法の説明図（その１）である。
【図３】クランクシャフトのクランクピンの側面の表面粗さを測定する従来の測定方法の説明図（その２）である。
【図４】本発明の実施例に係る表面粗さ／輪郭形状測定装置の基本構成図である。
【図５】（Ａ）及び（Ｂ）は、図４に示す連結部材の拡大斜視図であり、（Ｃ）は、連結部材が駆動部とピックアップとを連結する使用状態を示す図である。
【図６】（Ａ）は図４に示すピックアップ６のＸＺ面側断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’断面図であり、（Ｃ）は（Ａ）に示す固定部６２の形状を説明する斜視図である。
【図７】段差を有するワークの表面粗さを測定する方法を説明する図である。
【図８】クランクシャフトのクランクピンの側面の表面粗さを測定する本発明の測定方法の説明図（その１）である。
【図９】クランクシャフトのクランクピンの側面の表面粗さを測定する本発明の測定方法の説明図（その２）である。
【符号の説明】
【００４０】
１    表面粗さ／輪郭形状測定装置
２    テーブル
３    コラム
４    駆動部
５    ホルダ
６    ピックアップ
７    カンチレバー
８    連結部材
９    触針
【図１】
2006300823.tif 000003
【図２】
2006300823.tif 000004
【図３】
2006300823.tif 000005
【図４】
2006300823.tif 000006
【図５】
2006300823.tif 000007
【図６】
2006300823.tif 000008
【図７】
2006300823.tif 000009
【図８】
2006300823.tif 000010
【図９】
2006300823.tif 000011