(57)【要約】【課題】  外観検査装置において、外観検査の検査設定条件を迅速かつ効率的に設定できるとともに、熟練した検査者が検査する場合と同じように効率的に検査を行うことができるようにする。【解決手段】  ウエハ１３に照明光を照射する広域照明部２、スリット照明部３、スポット照明部４などの照明部と、ウエハ１３を揺動移動可能に保持する揺動機構１２と、それら照明部および揺動機構１２の制御を行う制御ユニット９とを備える外観検査装置において、キーボード１６、マウス１７などにより検査条件設定値を入力し、それらを検査工程の種類ごとにまとめた検査工程設定情報として記憶部に記憶し、制御ユニット９中の設定情報選択部により検査工程設定情報を選択して検査を行うようにした。【選択図】      図１
2006300775.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体に照明光を照射する照明部と、前記被検体を揺動移動可能に保持する揺動部とを備え、前記照明部からの照明光を前記被検体に照射して前記被写体の画像を目視することによって前記被検体の外観の検査を行う外観検査装置において、
検査工程設定情報に基づいて少なくとも前記照明部および前記揺動部の自動制御を行う制御部と、
検査工程を行うための前記検査工程設定情報を記憶する記憶部と、
を備えたことを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
検査工程を行うための検査条件設定値を入力する設定条件入力部と、
該設定条件入力部により入力された前記検査条件設定値を前記検査工程設定情報として前記記憶部に記憶し、記憶された前記検査工程設定情報の中から検査工程設定情報を選択して、前記制御部に対して検査条件設定値を設定する設定情報選択部と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記照明部は複数種類の照明機構を備え、
前記検査工程設定情報は、前記記憶部に記憶された作成支援プログラムにより前記複数種類の照明機構が自動選択されることによって作成されることを特徴とする請求項１または２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記設定情報選択部が、
予め設定された順序に基づいて、前記複数の検査工程設定情報を自動的に切り替えて選択することにより、複数の検査工程設定情報に基づく複数の検査工程を順次行うことができるようにしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記設定条件入力部が、前記外観検査中に前記検査条件設定値を入力して、前記検査工程設定情報を更新できるようにしたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記外観検査の欠陥情報を前記検査工程ごとに入力可能とした欠陥情報入力部を備え、
該欠陥情報入力部に入力された欠陥情報を、前記検査工程を行った検査工程設定情報と対応づけて記憶する欠陥情報記憶部を備えることを特徴とする請求項１〜５に記載の外観検査装置。
【請求項７】
前記欠陥情報記憶部に記憶された欠陥情報と前記検査工程設定情報との関係を解析して表示する解析表示部を備えることを特徴とする請求項６に記載の外観検査装置。
【請求項８】
前記欠陥情報記憶部に記憶された欠陥情報と前記検査工程設定情報との関係を解析して、その解析結果に応じて新たに前記検査工程設定情報を生成し前記記憶部に記憶できるようにしたことを特徴とする請求項６または７に記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関する。例えば、被検体に照明光を照射しその画像を目視することにより、マクロ的に検出される欠陥、例えば半導体ウエハ基板、液晶ガラス基板などでは表面の膜厚ムラ、汚れ、パターンの傷・デフォーカスなどを検出する外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、半導体ウエハ基板や液晶ガラス基板などの外観検査装置には、被検体を全体的に照明してその反射光による画像の乱れ、例えば傷やゴミなどによる光の散乱などから欠陥の有無、概略位置、欠陥の種類などを検出するいわゆるマクロ検査装置と、マクロ検査装置などからの欠陥位置情報をもとに配線パターンの不良など局所的な欠陥を検出するために被検体表面の拡大画像を取得して欠陥の検査を行ういわゆるミクロ検査装置とが知られている。
欠陥検出を自動で行う自動マクロ検査装置では、微小な配線パターンによる回折光の画像を取得したりするために、照明手段と撮像手段とが、移動機構により高精度に相対移動される。そのため、検査に先立って照明手段の照明条件や撮像部の撮像位置などの検査条件設定値を被検体ごとにまとめたデータファイル（いわゆるレシピ）として記憶しておき、検査条件の設定を行って、その設定条件に基づいて、自動的に移動機構を駆動し撮像手段で画像を取得し、その画像を画像処理して欠陥を検出する自動検査が行われている。
例えば、特許文献１には、被検体を保持する保持部と、被検体を所定の角度で撮像する撮像部と、それらの制御やデータ処理を行うホストコンピュータから構成され、撮像に最適と思われる条件を、グラフや計算から自動的に求め、ホストコンピュータに記憶しておく欠陥検出装置が記載されている。
一方、主に手動で行う目視マクロ検査装置では、照明の当て方により欠陥の見え方が大きく変化し、欠陥が検出しやすい条件を精度よく予測することが困難であるため、被検体を３次元的に揺動移動可能な揺動手段に保持し、照明の当て方を自在に可変できるようになっている。
欠陥の見え易さは、例えば検査者の視力や熟練度などによっても異なるため、目視マクロ検査は、各検査者がそれぞれの経験に基づいて揺動手段を手動操作して行うのが一般的である（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】再公表特許ＷＯ０１／０７１３２３号公報（第１０−１４頁、図１−３）
【特許文献２】特開平９−１８６２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の外観検査装置には、以下のような問題があった。
従来のマクロ検査装置は、揺動手段を手動操作したり、照明光の検査設定条件を各検査者が設定したりしているので、作業工数が増大してしまうという問題がある。また検査設定条件の設定方法が、各検査者の熟練度や個人的なノウハウに依存しているため、検査者によっては欠陥を見逃したり、検出に時間がかかったりしやすいという問題がある。
また、被検体の種類や製造工程が多岐にわたる場合、それぞれに応じて検査設定条件を変える必要がある。そのため、それぞれに応じて最適の検査設定条件を設定しようとすれば、検査設定条件の設定工程にかなりの時間が費やされてしまうので、検査の効率が低下してしまうという問題がある。
一方、特許文献１に記載されている自動マクロ検査装置のように検査設定条件（レシピ）を記憶して自動検査を行うことも考えられるが、目視マクロ検査の場合、欠陥が見えやすくなる検査設定条件を理論的に推定することが難しいので、適切な検査設定条件を予め設定することが困難であるという問題がある。
これに対して、照明条件や揺動条件がある程度の幅を持つように設定して、その幅の間で自動的に検査条件を変化させることも考えられる。この場合、検査設定条件をある程度の幅を持たせて決めるので、検査設定条件の設定工程の時間は短縮できるものの、欠陥が見えにくい条件での検査を無駄に行わなければならないから、ある程度熟練した検査者が要領よく手動操作する場合に比べて検査時間がかかり過ぎるという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、外観検査の検査を迅速かつ効率的に行うことができる外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の外観検査装置は、被検体に照明光を照射する照明部と、被検体を揺動移動可能に保持する揺動部とを備え、前記照明部からの照明光を前記被検体に照射して前記被写体の画像を目視することによって前記被検体の外観の検査を行う外観検査装置において、検査工程設定情報に基づいて少なくとも前記照明部および前記揺動部の自動制御を行う制御部と、検査工程を行うための前記検査工程設定情報を記憶する記憶部と、を備えた構成とする。
このような構成によれば、記憶部に記憶された検査工程設定情報に基づいて、制御部により少なくとも照明部および揺動部の自動制御を行って検査工程を行うことができるので、目視による外観検査を迅速かつ効率的に行うことができる。
なお、このような検査条件設定値はどのように設定してもよいが、経験的な設定値、例えば熟練した検査者がその検査工程の検査を行ったときの実績値などを採用することが好ましい。そうすれば、必ずしもそれらが最適の検査条件設定値とならない場合でも、検査者は、検査条件設定値の近傍で手動操作して検査条件設定値を最適化することができるので、試行錯誤に要する時間を短縮することができる。
【０００６】
また、本発明の外観検査装置では、検査工程を行うための検査条件設定値を入力する設定条件入力部と、該設定条件入力部により入力された前記検査条件設定値を前記検査工程設定情報として前記記憶部に記憶し、記憶された前記検査工程設定情報の中から検査工程設定情報を選択して、前記制御部に対して検査条件設定値を設定する設定情報選択部と、を備えることが好ましい。
この場合、設定条件入力部により検査工程を行うための検査条件設定値を入力し、それらの検査条件設定値を検査工程ごとの検査工程設定情報として記憶部に記憶し、設定情報選択部により、その中から検査工程設定情報を選択して、その検査工程設定情報の検査条件設定値を制御部に対して設定することができる。そのため、一度、検査工程設定情報が記憶されると、次からは検査工程設定情報を選択するだけで、必要な検査条件設定値をすべて読み出すことができるので、検査条件設定値の設定が容易となる。
【０００７】
また、本発明の外観検査装置では、前記照明部は複数種類の照明機構を備え、前記検査工程設定情報は、前記記憶部に記憶された作成支援プログラムにより前記複数種類の照明機構が自動選択されることによって作成されることが好ましい。
この場合、記憶部に記憶された作成支援プログラムにより、複数種類の照明機構が自動選択されることにより検査工程設定情報が作成されるので、照明機構の種類に応じた検査工程設定情報が迅速かつ効率的に作成される。
【０００８】
また、本発明の外観検査装置では、前記設定情報選択部が、予め設定された順序に基づいて、前記複数の検査工程設定情報を自動的に切り替えて選択することにより、複数の検査工程設定情報に基づく複数の検査工程を順次行うことができるよう構成することが好ましい。
この場合、設定情報選択部により、予め設定された順序に基づいて複数の検査工程を順次行うことができるので、検査効率が向上できる。
また、検査条件設定値を特定の検査条件に関して所定範囲内で変化させるように、複数の検査工程設定情報を設定して自動的に切り替えて実行することにより、欠陥の見落としを防止することができる。
【０００９】
また、本発明の外観検査装置では、前記設定条件入力部が、前記外観検査中に前記検査条件設定値を入力して、前記検査工程設定情報を更新できるようにした構成とすることが好ましい。
この場合、外観検査中に、より好ましい検査条件設定値を見つけた時など、その条件を検査工程設定情報にすぐ反映することができるので、検査工程設定情報の改良や修正が容易となる。
【００１０】
また、本発明の外観検査装置では、前記外観検査の欠陥情報を前記検査工程ごとに入力可能とした欠陥情報入力部を備え、該欠陥情報入力部に入力された欠陥情報を、前記検査工程を行った検査工程設定情報と対応づけて記憶する欠陥情報記憶部を備える構成とすることが好ましい。
この場合、欠陥情報入力部から検査工程ごとに欠陥情報を入力し、その欠陥情報を検査工程設定情報と対応づけて欠陥情報記憶部に記憶することができる。したがって、検査設定条件と欠陥情報との対応がつけられたデータが蓄積され、それらを呼び出すことが可能となる。
【００１１】
また、本発明の外観記憶装置のうち、前記欠陥情報入力部と前記欠陥情報記憶部とを備える装置では、前記欠陥情報記憶部に記憶された欠陥情報と前記検査工程設定情報との関係を解析して表示する解析表示部を備える構成とすることが好ましい。
この場合、解析表示部により欠陥情報とその検査を行った検査工程設定情報との関係を解析して、その解析結果を表示することができるので、検査工程設定情報の有効性を容易に判断できる。すなわち、検査工程情報を設定するための支援機能を備えた装置とすることができる。
ここで、解析表示部の解析内容としては、例えば、検出された欠陥種類と検査条件設定値との統計処理や統計分析を挙げることができる。すなわち、特定の検査条件において検出された欠陥種類のヒストグラム、特定の欠陥種類を検出した検査条件種類のヒストグラム、および特定の欠陥を検出した特定の検査条件の検査条件設定値の平均値、標準偏差などを挙げることができる。
【００１２】
また、本発明の外観記憶装置のうち、前記欠陥情報入力部と前記欠陥情報記憶部とを備える装置、または前記欠陥情報入力部と前記欠陥情報記憶部と前記解析表示部とを備える装置では、前記欠陥情報記憶部に記憶された欠陥情報と前記検査工程設定情報との関係を解析して、その解析結果に応じて新たに前記検査工程設定情報を生成し前記記憶部に記憶できる構成とすることが好ましい。
この場合、欠陥情報記憶部に記憶された欠陥情報と検査工程設定情報との関係を解析して、その解析結果に応じて新たに前記検査工程設定情報を生成し記憶部に記憶できるので、例えば、検査条件設定値と特定の欠陥の検出率とが解析される場合、特定の欠陥の検出するための検査条件を、それまでの検査条件設定値のうちで最も検出率が高い条件に更新することができる。そのため、検査の学習機能を備えることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の外観検査装置によれば、検査工程に対応して予め記憶部に記憶された検査工程設定情報に基づいて、検査条件設定値を一括して制御部に設定できるので、検査条件設定値の設定が容易となり、例えば熟練した検査者が設定したような効率的な検査条件設定値を共通利用することができ、迅速かつ効率的な外観検査を行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下では、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
本発明の実施形態に係る外観検査装置について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る外観検査装置の概略構成について説明するための模式的な斜視説明図である。図２は、本発明の実施形態に係る外観検査装置の制御ブロック図である。
【００１５】
本実施形態の外観検査装置１は、被検体を照明してその反射光の画像を目視することにより、被検体の表面欠陥を検出する外観検査を行うものである。その概略構成は、図１に示すように、揺動機構１２（揺動部）、光源部８、照明光調整部５、広域照明部２（照明機構）、スリット照明部３（照明機構）、スポット照明部４（照明機構）、制御ユニット９、モニタ部１０、キーボード１６（検査条件入力部）およびマウス１７（検査条件入力部）からなる。
【００１６】
揺動機構１２は、被検体であるウエハ１３を保持し、適宜の制御信号に応じてウエハ１３の位置、姿勢を可変できるようにした機構であり、図示しないが、例えば駆動源として複数のモータを有する３軸方向の移動ステージ、３軸まわりの回転ステージなどを備える構成を採用することができる。そして適宜の制御信号をこれら駆動源の駆動信号に変換するための揺動機構駆動制御部４０（図２参照）を備えている。
【００１７】
光源部８は、例えばメタルハライドランプやハロゲンランプなどにより構成された略白色光を発生し、その出射光を光ファイバ１４に結合して導光できるようにした光源であり、光源駆動部４２（図２参照）を介して点灯、消灯を制御できるようになっている。
【００１８】
照明光調整部５は、光ファイバ１４により導光された光の光学特性を適宜に変換、調整した状態で所定の照明機構に出射するための機構である。本実施形態では、フィルターホイール６、調光ホイール７を備え、それぞれにより波長特性を変換し、光強度を照明光調整制御部４１（図２参照）を介して調整できるようになっている。
照明光調整部５から出射された光は、複数の光ファイバ１５により広域照明部２、スリット照明部３、スポット照明部４のいずれかの照明機構に選択的に導光されるようになっている。この切替動作も照明光調整制御部４１により制御される。
【００１９】
フィルターホイール６は、例えばステッピングモータなどの回転手段（不図示）により、回転可能に設けられた回転円板６ａの外周部に特性の異なる光学フィルタ６ｂ…を配列したものである。そして、照明光調整制御部４１により定角回転手段を駆動し、光学フィルタ６ｂのうちの１つを、光ファイバ１４の出射口に選択的に移動することができる構成とされている。
光学フィルタ６ｂの例としては、被検体の膜ムラを見やすくする波長選択フィルタがある。膜ムラを観察するために、膜ムラによる干渉を観察しやすくなるよう適当な波長間隔をもつ複数のバンドパスフィルタなどを挙げることができる。
調光ホイール７は、例えばステッピングモータなどの回転手段（不図示）により、回転可能に設けられた回転円板の外周部に光透過率の異なる調光帯を設けたものである。そして、照明光調整制御部４１により回転手段を駆動し、適宜の光透過率の領域を光ファイバ１４の出射口に移動させることができる構成とされている。
調光帯は、例えば透過率が連続または不連続に変化するＮＤフィルタなどから構成してもよいが、本実施形態では、目の粗さを変化させたメッシュにより構成されている。
【００２０】
広域照明部２は、光ファイバ１５から出射された光から、ウエハ１３の略全面に照射する広域照明光を形成する照明機構である。その概略構成は、光ファイバ１５により導光された光を拡散光として出射する出射口２ａ、出射口２ａからの出射光を偏向する反射ミラー２ｂ、反射ミラー２ｂの反射光を集光して平行光または収束光にするための正のパワーを有するフレネルレンズ１１Ａ、フレネルレンズ１１Ａを透過した光を必要に応じて適宜の散乱状態にする液晶散乱板１１Ｂとからなる。
【００２１】
ウエハ１３は、フレネルレンズ１１Ａの焦点位置の物体側に配置され、液晶散乱板１１Ｂを出射した光はウエハ１３上の広範囲の領域、例えばウエハ１３の全面、半分、４分の１などの広範囲の領域を照射できるようになっている。
出射口２ａは、フレネルレンズ１１Ａに対して光軸上で相対位置可変に設けられ、それにより、フレネルレンズ１１Ａから出射される光の収束位置を無限遠も含めて可変できるようになっている。そのため、相対位置の変化に応じて、広域照明部２からは、収束光と平行光とを切り替えて照射できるようになっている。
本実施形態では、液晶散乱板１１Ｂの散乱度合と、出射口２ａおよびフレネルレンズ１１Ａの相対位置とは、広域照明光制御部４５により可変できるようになっている。すなわち、広域照明光制御部４５は、液晶散乱板１１Ｂの駆動電圧を変化させることにより、液晶散乱板１１Ｂの光散乱特性を可変することができる。具体的には、電源を入れ、電圧をかけることにより透明な板として作用させ、収束光を基板に透過照射する。また、電源を切り電圧の印加を遮断することにより、不透明となり白色光を基板に照射する。また、出射口２ａを例えば不図示のモータなどで移動させてフレネルレンズ１１Ａとの距離を可変できるようになっている。
【００２２】
スリット照明部３は、照明光調整部５を経て光ファイバ１５により導光される光を、一方向に延びるスリット状の照明光に変換する照明機構である。スリット照明部３は、例えば、複数の光ファイバを端面がスリット状の細長い矩形領域に並ぶように配列することにより構成することができる。また、図示しないが出射口に液晶散乱板１１Ｂと同様な液晶散乱板が設けられている。
そして、スリット照明制御部４３により位置、姿勢が制御される不図示の移動機構により支持され、ウエハ１３上の適宜の位置に適宜の角度でスリット状の照明光を照射できるようになっている。また、スリット照明制御部４３によりスリット照明の散乱度合が可変できるようになっている。
【００２３】
スポット照明部４は、照明光調整部５を経て光ファイバ１５により導光される光を、ウエハ１３上で所定光束径となるスポット状の照明光に変換する照明機構である。スポット照明部４は、例えば、光ファイバ１５から出射される拡散光を集光するレンズなどの光学素子により構成することができる。また、図示しないが出射口に液晶散乱板１１Ｂと同様な液晶散乱板が設けられている。
そして、スポット照明制御部４４により位置、姿勢が制御される不図示の移動機構により支持され、ウエハ１３上の適宜の位置に適宜の角度でスポット状の照明光を照射できるようになっている。また、スポット照明制御部４４によりスポット照明の散乱度合が可変できるようになっている。
【００２４】
以上に説明した光源部８、照明光調整部５、光ファイバ１４、１５、および複数の照明機構である広域照明部２、スリット照明部３、スポット照明部４は、外観検査装置１において、被検体を照明する照明部を構成している。
【００２５】
制御ユニット９は、外観検査装置１の全体制御を行うためのもので、その概略構成は、図２に示すように、制御部３５、メモリ３６、記憶部３７、入出力制御部３８、および外部制御部３９（制御部）からなる。
【００２６】
制御部３５は、メモリ３６にロードされる制御プログラムに応じて入出力制御部３８、外部制御部３９との間で、制御信号や、検査条件設定値またそれらが検査工程の種類ごとにまとめられた検査工程設定情報、欠陥情報などのデータなどを送受信できるようになっている。そして、例えばハードディスクなどの記憶媒体からなる記憶部３７に対して、複数のデータを適宜のファイルなどとして記憶し、必要に応じて記憶部３７から読み出すことができるようになっている。
このように、記憶部３７は、複数の検査条件設定値、検査工程設定情報を記憶する記憶部、また欠陥情報を記憶する欠陥情報記憶部を兼ねている。
また、制御部３５は、検査工程設定情報を選択して外部制御部３９に対して検査条件設定値を設定する設定情報選択部を構成している。
また、制御部３５は、メモリ３６に適宜の解析プログラムをロードすることにより、記憶部３７に記憶されたデータを適宜解析し、その結果をモニタ部１０に表示できるようになっている。この場合、制御部３５とモニタ部１０とは解析表示部を構成している。
【００２７】
入出力制御部３８は、検査条件設定値を入力する入力画面（以下、単に設定入力画面と称する）を形成したり欠陥情報や欠陥情報の解析結果を表示したりするモニタ部１０、検査条件設定値などを入力するキーボード１６、および設定入力画面を操作して検査条件設定値を選択入力するマウス１７が電気的に接続され、それらの入力信号を内部データに変換して制御部３５に送るデバイスである。
ここで検査条件設定値とは、外観検査装置１により外観検査を行うための用いる選択的な機構、例えば広域照明部２、スリット照明部３、スポット照明部４などの機構を選択したり、それらを含めたすべての機構の動作モードを選択したりするための選択情報、あるいはそれらの機構の動作を設定するために制御情報や数値情報である。これらは、数値で表されていてもよいが、文字、記号やマウスクリックなどで入力されるものであってもよい。
【００２８】
外部制御部３９は、制御ユニット９の外部に設けられた駆動制御部である揺動機構駆動制御部４０、照明光調整制御部４１、光源駆動部４２、スリット照明制御部４３、スポット照明制御部４４、および広域照明光制御部４５と電気的に接続されている。そして、入出力制御部３８から入力されるとともに、制御部３５により検査工程に対応した検査工程設定情報としてまとめられた複数の検査条件設定値をそれぞれ該当する外部の駆動制御部に対する制御信号として送出できるようになっている。
検査工程設定情報は、互いに識別できる名前が付けられて、例えばファイルなどの適宜の単位で記憶部３７に記憶されたデータ集合体である。以下では、検査工程設定情報をレシピと略称することにする。
【００２９】
次に、本実施形態の外観検査装置１の動作について説明する。
図３は、本発明の実施形態に係る外観検査装置のレシピを作成する動作について説明するためのフローチャートである。図４は、本発明の実施形態に係る外観検査装置のレシピ作成時の操作画面の一例について説明するための模式説明図である。図５は、本発明の実施形態に係る外観検査装置の動作について説明するためのフローチャートである。図６は、本発明の実施形態に係る外観検査装置の検査時の操作画面の一例について説明するための模式説明図である。
【００３０】
外観検査装置１は、電源が投入されると、制御部３５の初期化され、外観検査を行うための制御プログラムがロードされて自動実行される。そして、モニタ部１０に、例えば選択メニュー形式のメニュー画面（不図示）が表示され、キーボード１６、マウス１７などによる入力によりメニュー選択が可能となる。
メニュー画面の選択肢には、ウエハ１３の品種、工程と、検査する欠陥の種類とに応じたレシピを作成する「レシピ作成モード」と、すでに作成済みのレシピを記憶部３７から呼び出して、内容を確認したり、編集して新たなレシピを作成したりできる「レシピ表示・編集モード」と、外観検査を行い欠陥情報を記憶部３７に記憶する「検査モード」と、記憶部３７に記憶された欠陥情報を表示したり解析したりする「結果表示・解析モード」とが含まれる。
【００３１】
ここで、ウエハ１３の品種とは、ウエハ上に構築する回路パターンやウエハ径の違いに基づく種類である。また、ウエハ１３の工程とは、同一品種の製造工程段階の違いに基づく種類である。
レシピは、品種、工程が同一で、１つの欠陥種類のみを検査する場合を１つの検査工程に対応して作成してもよいし、品種、工程が同一で、複数の欠陥種類を順次検査する複数の検査工程に対して１つ作成してもよい。この場合、複数の検査工程を順次自動的に実行するか、複数の検査工程の中からそれぞれの検査工程を選択的に実行することができる。
以下では、複数の検査工程を含むレシピの場合で説明する。
【００３２】
レシピ作成モードを選択すると、図３に示すような動作が行われる。
本実施形態のレシピ作成モードは、適切な検査条件設定値を見出すために検査を試行しつつレシピを作成を支援するモードである。レシピ作成モードを選択すると記憶部３７に記憶されているレシピ作成支援プログラムが立ち上がる。
ステップＳ１では、例えばキーボード１６から作成レシピ名を所定の規約に基づいて入力する。例えばｒｅｃｉｐｅ１と入力する。この名称は、他のレシピと識別するためのもので、記憶部３７に記憶されるファイル名にも用いられる。
ステップＳ２では、モニタ部１０の画面が図４に示すような操作画面１００に切り替わる。操作画面１００は、複数の操作入力部を有するＧＵＩ画面からなる。この画面では、以下のステップに応じて必要な操作入力部が入力可能な状態となるように構成されている。設定の前後関係がある場合には、後から設定する設定値の入力はロックされる。
レシピ名表示入力部４８には、ステップＳ１で入力したレシピ名が表示される。
ここで、図示しないが、入力したレシピ名が記憶部３７に記憶されているものと一致していると、同名のレシピが存在することを警告し、再入力するか、既存レシピを基に新規レシピを作成するか問い合わせる画面が表示される。例えば、入力ミスなどで再入力する必要がある場合には、再入力を応答すると、レシピ名表示入力部４８が入力可能な状態となる。そして適切な名称に変更してからステップＳ３に移行する。
【００３３】
一方、外観検査装置１では、レシピ作成モードに既存のレシピを呼び出すことができる。すなわち問い合わせに応じて、既存レシピを基に新規レシピを作成する、を選択して以下のステップに進むこともできる。この動作は後述するものとし、以下では新規のレシピを作成する場合について説明する。
【００３４】
ステップＳ３では、不図示のロボットアームなどにより、ウエハ１３を揺動機構１２に保持する。このとき、検査者は、品種表示部２０、工程表示部２１にそれぞれの名称を入力する。例えば、キーボード１６を用いて、それぞれ１０００１、Ｐ０００１と入力する。
ただし、ウエハ１３を自動搬送するシステムなどによりこれらの名称が自動的に判読される場合は、そのシステムから自動入力するようにしてもよい。
ここで、レシピ作成のために使用するウエハ１３は、予め欠陥が検出され、その欠陥の種類が判明しているものが使用される。そして、ウエハ１３は、１枚のウエハ上に欠陥が複数あることが望ましい。また、ウエハ１３に意図的に欠陥を作成してもよい。
また、例えばプルダウンメニューからなる検査条件選択入力部２８をマウス１７で操作して、検査する欠陥種類の名称を選択する。例えば「欠陥Ａ」を選択する。この名称は、好適な検査条件が決定した場合にレシピを登録する名称として用いられる。
欠陥の種類としては、例えば、ゴミ、キズ、異物付着、素子欠陥、膜ムラ、エッジカット異常、エッジ欠け、エッジ異物付着などの基本的な種類、あるいは必要に応じてそれらを形状、大きさや形成原因などで細分類したものを挙げることができる。
以上の入力が終了すると、照明種類選択部２９の入力可能となり、ステップＳ４に移行する。
【００３５】
ステップＳ４では、レシピ作成支援プログラムによりレシピを作成する照明の種類が自動選択される。また必要により照明種類選択部２９から照明の種類を選択することもできる。照明種類選択部２９は、例えばプルダウンメニューからなり、マウス１７などにより操作できる。
本実施形態では、まず、収束光照明、すなわち広域照明部２からウエハ１３に向けて収束光を照射するモードが選択される。制御部３５は、記憶部３７から、収束光照明モード時の照明条件のデフォルト値を呼び出し、外部制御部３９に送出する。
外部制御部３９は、受信したデフォルト値に応じて、光源駆動部４２、照明光調整制御部４１、広域照明光制御部４５に制御信号を送出し、デフォルト設定に基づいた動作を実行させる。
例えば、光源部８が点灯され、照明光が所定光量（例えば、フル出力の５０％）の白色光（フィルタなし）となるように、照明光調整部５の調光ホイール７、フィルターホイール６の位置を回転する。そして液晶散乱板１１Ｂを、電圧を印加することにより透明とする。また、出射口２ａとフレネルレンズ１１Ａとの相対位置が調整されて、ウエハ１３の所定範囲、例えば全面に収束光照明が照射される。ここでは主に異物やキズなどからの散乱光の観察を行う。
ここで、フィルタのデフォルト値は、揺動条件を決める際に、フィルタの影響により見にくくなる場合があるので、それを避けるためにフィルタなしが設定されている。バンドパスフィルタを用いる場合には同様の理由から、デフォルト値として半値幅が十分に広いフィルタを用いることが好ましい。
【００３６】
デフォルト設定されたこれらの検査条件設定値は、既設定値として、図４に示すように操作画面１００上の既設定値表示部４７に表示される。なお、簡単のため、図示は、表示および入力インターフェースの一部のみを模式的に示している。
既設定値に隣接して、それらの設定値を変更するための照明種類選択部２９、光量調整部３０、波長入力部３１などが設けられている。これらは、必要に応じて、適宜の入力形式を採用できる。例えば、波長入力部３１はプルダウンメニューから選択する形式であり、光量調整部３０は、スライドバーにより入力する形式である。その他の形式として、空欄に数値入力する形式や、ラジオボタンにより選択する形式など周知のＧＵＩを適宜採用することができる。照明種類選択部２９により種類を選択した場合は、後述するそれぞれの照明に対応したステップに移行する。
【００３７】
このような収束光がウエハ１３に照射されると、ウエハ１３はマクロ的には略平滑な反射面になっているため照明光を偏向する。すなわち、空間の略１点に反射光が収束する。
一方、ウエハ１３上にゴミ、キズ、異物付着、素子欠陥など、光を散乱するような欠陥が存在すると、一部の照明光が散乱され、収束点からずれた位置に到達する。そのような位置でウエハ１３を観察すると、暗視野照明と同じ効果が得られ、ウエハ１３上の反射光が観察されないかわりに、このような欠陥に由来する散乱光が観察されるので、目視により欠陥を検出することができる。
【００３８】
ステップＳ５では、検査者の位置から欠陥に由来する散乱光を最もよく観察できるような位置を探すために、揺動機構１２の位置、姿勢を移動して、それらの最適な設定値を検討する。
揺動機構１２の位置は、電源投入と同時に初期値に設定され、図４に示す操作画面１００上の既設定値表示部４７に既設定値として表示される。本実施形態では、所定軸からの傾きが４５度、揺動機構１２の支持面内の回転位置が０度、ウエハ１３の中心位置が基準位置から１０ｃｍなどの条件が表示されている。
揺動機構１２の位置、姿勢を可変するには、例えば、傾き入力部３２、回転入力部３３、高さ入力部３４などに、マウス１７のカーソルを移動し、矢印キーやマウスホイールなどを操作して、設定値をスクロールする。制御部３５は、それらの入力値を検出すると、外部制御部３９に送り、外部制御部３９は、それらを制御信号に変換して、揺動機構駆動制御部４０に送出する。
以下同様にして、操作入力が制御部３５により処理されて外部制御部３９に伝達されるが、簡単のため、その過程の説明は繰り返さないことにする。
【００３９】
揺動機構駆動制御部４０は、それらの制御信号に基づいて、移動ステージ、回転ステージを駆動し、揺動機構１２の位置、姿勢を変更し、欠陥が最もよく見える条件を検討する。最適な条件が見つかったら登録ボタン２７Ａにより登録を行い、ＮＥＸＴボタン３５を押すことによりステップＳ６に移行する。
なお、この操作は、例えばジョイスティック、操作レバー、操作ダイヤルなどの他の検査条件入力部を用いて行うようにしてもよい。また、ＮＥＸＴボタン３５を押さなくても、登録ボタン２７Ａが押され一定時間が過ぎても次の入力操作が行われない等の場合は、レシピ作成支援プログラムにより自動的に次の照明種類に移行するようにしてもよい。
【００４０】
ステップＳ６では、膜厚ムラ（以下膜ムラ）の検査を行うため広域照明部２を収束光照明から散乱光照明に変更する。図４には図示されていない散乱状態を可変する入力インターフェースを操作して散乱状態設定値を入力し、広域照明光制御部４５から液晶散乱板１１Ｂに制御信号を送出して、液晶散乱板１１Ｂの散乱度合を変更させ、散乱板として作用させる。通常は、液晶散乱板の印加電圧を切ることにより散乱板とする。そして、ステップＳ７に移行する。
【００４１】
ステップＳ７では、より良好な膜ムラの検査条件を得るためのフィルタの種類を検討する。すなわち、波長入力部３１を操作して、照明光調整制御部４１に制御信号を送出し、フィルターホイール６により波長選択フィルタ等で構成された光学フィルタ６ｂを切り替えて、膜ムラ欠陥が最もよく見える条件を検討する。なお、波長入力部３１を操作する方法以外に、一定時間毎にフィルタを自動切り替えするようにしてもよい。
最適な条件が見つかったら登録ボタン２７Ａにより登録を行い、ステップＳ８に移行する。
【００４２】
ステップＳ８では、より良好な検査条件を得るための散乱光の光量を検討する。すなわち、光量調整部３０のスライドバーをマウス１７で操作して、光量の設定値を変更する。それにより設定値に応じた制御信号が外部制御部３９から照明光調整制御部４１に送出され、調光ホイール７が駆動され透過率が制御される。そして、光量を変更して膜ムラ欠陥が最もよく見える条件を検討する。最適な条件が見つかったら、マウス１７で登録ボタン２７Ａを押し登録する。
ステップＳ４〜Ｓ８で設定された検査条件設定値がそれぞれ異物や膜ムラ欠陥用に登録され、レシピとして記憶部３７内にデータ集合体として記憶される。例えば、適宜の名称が付けられたデータファイルとして記憶され、品種１０００１、工程Ｐ０００１における欠陥Ａのレシピ部分として、制御部３５により呼び出しが可能となる。
そして、次の照明種類のレシピ部分を構築するためにＮＥＸＴボタン３５を押すことによりステップＳ９に移行する。
【００４３】
ステップＳ９では、検査条件選択入力部２８により検査する欠陥の種類を選択する。レシピ作成支援プログラムは、スリット照明モードを選択する。すると、外部制御部３９が照明光調整制御部４１に制御信号を送出し、照明光調整部５の出射光の導光先を広域照明部２からスリット照明部３に切り替える。すなわち広域照明部２を消灯し、スリット照明を点灯する。
スリット照明による検査は、スリット状の光をウエハ１３に対して斜め方向から照射してウエハ１３上をなめるように移動することにより、ゴミ、キズ、異物付着などの欠陥を検出するものである。この場合も、これらの欠陥により散乱光が生じるので、ウエハ１３からの正反射光が進む方向と異なる方向から見ると、散乱光のみが観察され、欠陥の位置を検出することができる。スリット照明は狭い範囲を照射するため単位面積当たりの光量を上げることができるので、広域照明光では見にくいより小さな欠陥を検出することができる。
【００４４】
ステップＳ１０〜Ｓ１３では、ステップＳ５〜Ｓ８と同様にして、揺動位置、スリット照明光の散乱状態、フィルタ種類、光量を変更し、欠陥が最もよく見える条件を順次検討する。最適な条件が見つかったらそれぞれ登録ボタン２７Ａを押して、レシピを登録し、ステップＳ１４に移行する。
【００４５】
ステップＳ１４では、検査条件選択入力部２８により検査する欠陥の種類を選択し、照明種類選択部のＮＥＸＴボタン３５によりスポット照明モードに切り替える。すると、外部制御部３９が照明光調整制御部４１に制御信号を送出し、照明光調整部５の出射光の導光先をスリット照明部３からスポット照明部４に切り替える。すなわちスリット照明を消灯し、スポット照明を点灯する。
スポット照明による検査は、スポット状の光により、ウエハ１３の一部を明るく照明するもので、例えば、ウエハ１３の外周部に照射してウエハ１３を回転させるなどして、ウエハ１３の外周部に特有の欠陥などを検査するのに好適である。例えば、ウエハ１３のエッジカット異常、エッジ欠け、エッジ異物付着などの欠陥を検出することができる。
【００４６】
ステップＳ１７〜Ｓ１８では、ステップＳ５〜Ｓ８と同様にして、揺動位置、スリット照明光の散乱状態、フィルタ種類、光量を変更し、欠陥が最もよく見える条件を順次検討する。最適な条件が見つかったらそれぞれ登録ボタン２７Ａを押してレシピを登録する。
他にウエハ１３の検査を行わない場合は、終了ボタン２７Ｂを押すことにより、レシピ作成モード終了処理を行う。すなわち、ウエハ１３の位置を初期状態に戻して、ウエハ１３を外観検査装置１から取り外し、検査待機状態に入る。モニタ部１０の画面は、不図示のメニュー画面に切り替えられる。
このようにして、マクロ検査に準じた工程を行いながら、照明種類、欠陥の種類毎に、それぞれの検査条件設定値を最適化した新規のレシピを作成することができる。
【００４７】
上記の説明では、検査条件設定値は、それぞれ最適な１つの値に設定する例で説明したが、被検体のバラツキを考慮して、最適値の近傍に幅を持たせて設定し、実際の検査時は、その幅内で検査条件設定値を変化させて複数の検査工程を行うようなレシピを作成してもよい。その場合、最適値を入力した後、範囲設定ボタン４６を押す。すると、範囲設定のための画面が現われ、範囲の上下限や範囲内を変化させるステップ幅などの入力が行えるようになっている。
このような範囲設定が有効な検査条件設定値として、例えば揺動条件を挙げることができる。
【００４８】
また、レシピ作成モードでは、ステップＳ２で、既存のレシピ名を入力し、問い合わせに応じて、既存レシピを基に新規レシピを作成することを選択することもできる。この場合、新規レシピ名の入力が促す画面が表示されるので、新規レシピ名を入力する。以下、上記と略同様に各ステップを進むことができるが、上記の既設定値がデフォルト値ではなく、最初に呼び出した既存のレシピ中の検査条件設定値にセットされる点が異なる。そして、それらの値を基に実際に検査を行いながら設定値を変更してみて新規の検査条件設定値を入力していくことができる。
特に、既存のレシピの検査条件設定値をそのまま用いることもできる。その場合、スキップボタン２７Ｃを押すことにより、その設定値での検査を省略して、次の検査条件設定値を設定するステップにジャンプすることができる。
そして、終了ボタン２７Ｂを押すと、新しいレシピが、記憶部３７に記憶される。
【００４９】
次に、レシピ表示・編集モードについて説明する。
操作画面（不図示）からレシピ・編集モードを選択すると、モニタ部１０に、レシピ作成モードと同様な図４のような操作画面１００に切り替わる。レシピ作成モードと異なるのは、表示や編集結果が外観検査装置１の動作にただちに反映されなず、編集をオフラインで行うことができる点である。したがって、単に既存のレシピの内容を確認したり、検査を試行するまでもなく編集できる事項について編集やコピーを行ったりすることができる。
【００５０】
次に、作成済みのレシピを用いて検査を行う検査モードの動作について説明する。
本実施形態の検査モードは、記憶部３７に記憶されたレシピを用いて、被検体を順次検査して被検体の良否を判定するためのモードである。また、それらの欠陥情報はすべて記憶され、後述する学習機能に用いることができる。
【００５１】
操作画面（不図示）から検査モードを選択すると、図５に示すような動作が行われる。
ステップＳ１００では、不図示の操作画面から検査に使用するレシピを選択する。
ステップＳ１１０では、モニタ部１０に図６に示すような操作画面１１０が表示される。そして、検査開始ボタン２４を押すと検査が開始される。
操作画面には、被検体であるウエハ１３の品種名、工程名をそれぞれ表示する品種表示部２０、工程表示部２１、欠陥種類に対応する検査条件名を表示する検査条件表示部２２、欠陥情報を表示する結果表示部２３などの表示部が設けられている。
また、検査条件を手動で切り替えるための条件切替ボタン２６、欠陥種類毎に数を計上するための欠陥計上ボタン２５などの入力部が設けられている。
【００５２】
ステップＳ１２０では、不図示のロボットアームなどにより、ウエハ１３を揺動機構１２に保持する。このとき自動搬送システムにより搬送されるカセットから、所定スロットに納められているウエハ１３が取り出される。そして、そのスロット番号に応じてウエハ１３の品種名、工程名が読み取られ、外観検査装置１に自動入力される。そして、品種表示部２０、工程表示部２１に表示される。
ステップＳ１３０では、レシピに基づいた検査工程に従って検査が実行される。このとき、レシピには、レシピ作成モードで設定した欠陥種類に応じた検査条件設定値が記憶されているので、所定の順序で欠陥種類ごとに検査が実行される。例えば、欠陥Ａ、欠陥Ｂ…などの順に検査が順次実行される。
ステップＳ１４０では、検査者が、欠陥の有無と種類とを判定し、種類を欠陥計上ボタン２５から入力する。このとき、検査条件名とは異なる欠陥を検出した場合も、該当する欠陥計上ボタン２５を押すことにより検出された欠陥をすべて入力する。これらの欠陥情報はすべて記憶部３７に記憶される。すなわち、記憶部３７は欠陥情報記憶部を兼ねており、例えば検査条件設定値と検出された欠陥との対応などを記憶することができる。
そして、未検査品の有無を判定し、未検査品がない場合は、検査モードを終了する。未検査品がある場合は、ステップＳ１５０に移行する。
ステップＳ１５０では、未検査のウエハ１３をロードし、ステップＳ１２０からステップＳ１４０を繰り返す。
【００５３】
例えば、結果表示部２３に示されている例では、スロット番号００１のウエハ１３は、すべての欠陥について良品と判断された。またスロット番号００２のウエハ１３は、欠陥Ｂの検査条件で不良品と判定された。現在は、スロット番号００３のウエハ１３を欠陥Ａの検査条件で検査中である。
【００５４】
上記では、レシピに記憶されている複数の検査工程設定情報を自動的に切り替えて、欠陥種類に応じて順次検査する例で説明した。この場合、設定情報選択部である制御部３５により複数の検査工程設定情報がレシピに記憶されている順序に選択されていることになる。一方、図６の条件切替ボタン２６を検査者が押す入力を行うことにより、制御部３５に対してその条件切替ボタン２６に対応した検査工程情報を選択するように手動設定することもできる。
【００５５】
次に、結果表示・解析モードについて説明する。
図７、８は、それぞれ本発明の実施形態に係る外観検査装置による結果表示・解析モードの実行例を示すグラフである。横軸は、それぞれ欠陥種類、検査条件を示し、縦軸は、度数を示す。
外観検査装置１では、記憶部３７に記憶した欠陥情報を解析することにより、レシピ作成支援およびレシピ学習機能を備えている。この結果表示・解析モードは、先の検査モードの途中でも切り替えることができ、必要により、レシピを変更することが可能となっている。
結果表示・解析モードが選択されると、メモリ３６に解析プログラムがロードされ、制御部３５により解析が実行される。そして解析結果をモニタ部１０にグラフや表などとして表示することができる。
解析の例としては、記憶部３７に記憶された欠陥情報のデータの統計解析を挙げることができる。
例えば、図７に示すグラフは、欠陥Ｂの欠陥種類に応じて作成されたレシピで検査したときに実際に検出された欠陥種類のヒストグラムである。本例では、欠陥Ｂが検出された度数が最も高くなっているが、欠陥Ａも欠陥Ｂの半分程度検出されている。したがって、検査者は、このレシピが欠陥Ａも比較的検出しやすい条件に設定されていることを理解することができるので、必要に応じてレシピを修正することができる。または、このレシピを用いるときは、欠陥Ａにも注目して検査するとよい、といったノウハウが得られる。
また、もし、図７のようなグラフが欠陥Ａを検出するためのレシピで表示された場合は、欠陥Ａに対しては適切でないことが分かる。この場合、このレシピの欠陥種類を欠陥Ｂに変更してもよい。例えば、このような解析を定期的に実行して、既存のレシピを欠陥の検出頻度が最も高いレシピのみをその欠陥種類を検査するレシピとして残したり、変更したりする、といった管理を行ってもよい。
図８に示すグラフは、特定の欠陥種類、例えば欠陥Ａが検出されたレシピのヒストグラムである。例えば、条件ｃのレシピで最も検出される度数が大きくなっている。このグラフでは、レシピと検出される欠陥種類との関係を検証することができる。
【００５６】
このような解析結果は、検査者がグラフなどを見て、レシピの有効性などを定量的・定性的に容易に把握することができ、熟練度の少ない検査者であっても、レシピ作成の精度を向上することができる。なお、ヒストグラム表示は、解析結果の表示の一例であって、他の表示形式を採用してもよい。例えば、相関を示す散布図や曲線当てはめしたグラフなど、適宜のグラフ表示を採用することができる。また、平均、分散などの統計的な代表値を数値表示してもよい。
【００５７】
他の解析の例として、多変量解析などの統計解析手法を用いて検査条件設定値の最適値を求める解析などを挙げることができる。
また、レシピ作成モードを用いて、検査条件設定値を決定するための実験的なレシピを作成し、それにより欠陥情報を蓄積し、結果表示・解析モードによりそれぞれの検査条件設定値の最適値を解析するようにすれば、レシピを実験的に自動作成することもできる。
【００５８】
以上に説明したように、本実施形態の外観検査装置１によれば、レシピ作成モードにより検査を行いながらレシピを作成することができ、そのレシピを記憶して外観検査に利用することができる。したがって、熟練度の低い検査者であっても、迅速かつ効率的に外観検査を行うことができる。また、一度作成したレシピを共通利用することにより、同様な検査工程を繰り返す際に検査条件設定値の設定を正確かつ迅速に行うことができる。
また、表示・編集モードおよび結果表示・解析モードにより、それらのレシピを他のレシピの作成に転用したり、改良したりすることにより効率的なレシピ作成を行うことができる。
【００５９】
なお、上記の説明では、広域照明部２の照明の種類として、収束光の場合について説明したが、平行光を照明に用いてもよいことは言うまでもない。平行光は、収束光と同様にゴミ、キズ、異物付着、素子欠落などの検出に用いることができ、特に、収束光の場合に比べてより大きな被検体にも広範囲に照射できるという利点がある。
【００６０】
またマクロ検査では、被検体を肉眼視で直接観察して検査するように説明したが、撮像装置を介してモニターに表示してそれを目視して検査するものも目視マクロ検査に含まれるものとする。
また、上記の説明では、検査条件設定値として、照明条件の設定値と揺動条件の設定値とを含む場合の例で説明したが、検査対象によっては、いずれか一方の設定値のみであってもよいし、検査手段が他にもある場合は、その検査条件設定値を含んでいてもよい。
【００６１】
また、上記の説明で、検査者が複数いて、検査者全員の統計データを解析し、レシピをより最適なものに変更するものとしたが、個人毎の統計データを取れるように個人名を入力し、個人毎の最適なレシピに変更できるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施形態に係る外観検査装置の概略構成について説明するための模式的な斜視説明図である。
【図２】本発明の実施形態に係る外観検査装置の制御ブロック図である。
【図３】本発明の実施形態に係る外観検査装置のレシピを作成する動作について説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の実施形態に係る外観検査装置のレシピ作成時の操作画面の一例について説明するための模式説明図である。
【図５】本発明の実施形態に係る外観検査装置の動作について説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の実施形態に係る外観検査装置の検査時の操作画面の一例について説明するための模式説明図である。
【図７】本発明の実施形態に係る外観検査装置による結果表示・解析モードの実行例を示すグラフである。
【図８】本発明の実施形態に係る外観検査装置による結果表示・解析モードの実行例を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６３】
１  外観検査装置
２  広域照明部（照明機構）
３  スリット照明部（照明機構）
４  スポット照明部（照明機構）
５  照明光調整部
８  光源部
９  制御ユニット
１０  モニタ部
１１Ａ  フレネルレンズ
１１Ｂ  液晶散乱板
１２  揺動機構（揺動部）
１３  ウエハ（被検体）
１６  キーボード（検査条件入力部）
１７  マウス（検査条件入力部）
３５  制御部
３７  記憶部
３９  外部制御部（制御部）
１００、１１０  操作画面
【図１】
2006300775.tif 000003
【図２】
2006300775.tif 000004
【図３】
2006300775.tif 000005
【図４】
2006300775.tif 000006
【図５】
2006300775.tif 000007
【図６】
2006300775.tif 000008
【図７】
2006300775.tif 000009
【図８】
2006300775.tif 000010