(57)【要約】  【課題】  磁気転写によって信号を記録した磁気記録媒体の信号読み取りにおいて信号再生時にサブパルスによる誤認識を発生しない信号処理方法および磁気記録再生装置を提供する。  【解決手段】  トラックに沿って情報に対応した磁気ビット42が磁気転写法で記録されてなる磁気記録媒体２の磁気ヘッドによる信号読み取りにおいて、連続した磁気ビット42の間に、３ビット相当分以上のスペース44がある場合に、磁気ヘッドによるトラックに沿った磁気ビット42の読み取りで、スペース44内のサブパルス発生領域Ｆの信号読み取りを無効とする。信号の読み取りをしないか、読み取りを行っても有効な信号として処理しない。【選択図】          図２
2006092596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラックに沿って情報に対応した磁気ビットが磁気転写法で記録されてなる磁気記録媒体の磁気ヘッドによる信号読み取りにおいて、
連続した磁気ビットの間に、３ビット相当分以上のスペースがある場合に、前記磁気ヘッドによる前記トラックに沿った磁気ビットの読み取りで、前記スペース内のサブパルス発生領域の信号読み取りを無効とすることを特徴とする磁気記録媒体の信号処理方法。
【請求項２】
前記サブパルス発生領域は、前記スペースの最初の１／２ビット相当分もしくは１ビット相当分および／または前記スペースの最後の１／２ビット相当分もしくは１ビット相当分の領域であることを特徴とする請求項１記載の信号処理方法。
【請求項３】
前記磁気記録媒体に記録された情報が、振幅サーボに使用されるバーストビット信号であることを特徴とする請求項１または２に記載の信号処理方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかの信号処理方法を用いて磁気記録媒体のサーボトラッキングを行うことを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項５】
磁気転写用マスター担体のトラックに沿って形成されたビットエレメントは、トラック幅方向端部が丸みを帯びている形状を有し、該マスター担体により信号が磁気転写された磁気記録媒体を用いることを特徴とする請求項４に記載の磁気記録再生装置。
【請求項６】
磁気記録媒体のトラックに沿って記録された磁気ビットが振幅サーボに使用されるバースト信号であり、その幅方向の端部が隣接するバースト信号の幅方向の端部とオーバーラップして記録されてなり、該磁気記録媒体を用いることを特徴とする請求項４または５に記載の磁気記録再生装置。
【請求項７】
磁気記録媒体のトラックに沿って記録された磁気ビットが振幅サーボに使用されるバースト信号であり、隣接して記録されたバースト信号の磁気ビットの位相が互いにずれて記録された磁気記録媒体を用いることを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載の磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トラックに沿って磁気ビットが磁気転写法で記録されてなる磁気記録媒体の信号読み取りにおける信号処理方法および磁気記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、微細凹凸パターンにより転写情報を担持した磁気転写用マスター担体と、転写を受ける磁気記録層を有する被転写媒体としての磁気記録媒体（スレーブ媒体）とを密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に転写記録する磁気転写方法が知られている。この磁気転写方法は、マスター担体と磁気記録媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している（例えば特許文献１、２参照）。
【０００３】
この磁気転写手法を磁気記録媒体上にヘッド位置決め用サーボ信号を記録するために用いることが既に上記特許文献１、２等において提案されている。
【０００４】
一方、磁気転写方法における技術的な問題点の一つとして、マスター担体から磁気記録媒体への信号の転写において、磁気記録媒体上に不明瞭な磁気記録部（反転磁化）が発生するという問題がある。この不明瞭な磁気記録部の存在により、磁化パターンの読出し波形においてサブパルスが検出されるため、磁気再生装置においては該サブパルスを再生信号として認識しエラーを発生する可能性がある。この不明瞭な磁気記録部により発生するサブパルスを観測する方法は例えば特許文献３、４等に開示されている。
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献２】特開平１０−２６９５６６号公報
【特許文献３】特開２００２−９３０６５号公報
【特許文献４】特開２００２−４２３０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、転写信号が例えばサーボ信号である場合において、磁気転写後の磁気記録媒体上に磁気ビットが３ビット相当長を超えて記録されないスペースがあると、不明瞭な磁気記録部によるサブパルスの発生を完全に無くすことは困難であり、このサブパルスによりトラッキング性能が阻害される。一例を図６に模式図を示して説明する。
【０００６】
図６(ａ)は、マスター担体のトラック方向断面の一部、同図(ｂ)は、同図(ａ)のマスター担体によって磁化パターンが転写された磁気記録媒体の対応する部分の磁化パターン、同図(ｃ)は、該磁化パターンから検出される読出し波形を模式的に示したものである。
【０００７】
マスター担体１０１には所望の情報に基づく凹凸パターンが形成されている。凹凸パターンは様々なビット長の凸部および凹部を含むものであり、そのうち最も短いビット長（トラック方向長さ）をＢminとしたとき、３ビット相当長以上すなわちＬ≧３Ｂminの長さＬを有するスペース（凹部）が多数存在する。このマスター担体１０１は、例えばＮｉ等の磁性体からなる、表面に所望の情報に基づく凹凸パターンを有する基板１０１ａと、該基板１０１ａの凹凸パターン面上に配された磁性層１０１ｂとからなる。このマスター担体１０１の磁性層１０１ｂが形成された面と、予め磁気記録層がトラックに沿った一方の向きに直流磁化された磁気記録媒体の該磁気記録層とを密着させた状態で直流磁化の向きと逆向きの転写磁界を印加することにより、図６(ｂ)に示すような磁化パターンが磁気記録媒体に記録される。このとき、前述の長さＬを有するスペースに対応する領域内の両端に不明瞭な磁気記録部１０４が生じ、図６(ｂ)に示す磁化パターンから同図(ｃ)に示すような読出し波形が検出される。図示のとおり、不明瞭な磁気記録部１０４に対応してサブパルス１０５が検出される。すなわち、磁気記録媒体を再生する再生装置において、このようなサブパルスが検出され、これが再生信号として誤認識されるという不具合が生じる虞がある。例えばサーボパターンのバースト信号のスペース部位の両端に発生するサブパルスは、サーボ信号部の開始および終了のタイミングの誤認識によるサーボタイミングのずれを生じ、サーボトラッキングが不能になる等のエラーを発生させる可能性がある。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑み、磁気転写によって信号を記録した磁気記録媒体の信号読み取りにおいて信号再生時にサブパルスによる誤認識を発生しない磁気記録媒体の信号処理方法および磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の磁気記録媒体の信号処理方法は、トラックに沿って情報に対応した磁気ビットが磁気転写法で記録されてなる磁気記録媒体の磁気ヘッドによる信号読み取りにおいて、連続した磁気ビットの間に、３ビット相当分以上のスペースがある場合に、前記磁気ヘッドによる前記トラックに沿った磁気ビットの読み取りで、前記スペース内のサブパルス発生領域の信号読み取りを無効とすることを特徴とするものである。
【００１０】
前記「信号読み取りを無効にする」とは、信号の読み取りをしないか、または、読み取りを行っても有効な信号として処理しない、すなわち再生信号として認識しないことを意味する。
【００１１】
また、前記サブパルス発生領域すなわち信号無効領域は、前記スペースの最初の１／２ビット相当分もしくは１ビット相当分および／または前記スペースの最後の１／２ビット相当分もしくは１ビット相当分の領域であることが好適である。
【００１２】
前記磁気記録媒体に記録された情報が、振幅サーボに使用されるバーストビット信号であることが好適である。
【００１３】
本発明の磁気記録再生装置は、本発明の信号処理方法を用いて磁気記録媒体のサーボトラッキングを行うことを特徴とするものである。
【００１４】
その際、磁気転写用マスター担体のトラックに沿って形成されたビットエレメントは、トラック幅方向端部が丸みを帯びている形状を有し、該マスター担体により信号が磁気転写された磁気記録媒体を用いるのが好適である。
【００１５】
また、磁気記録媒体のトラックに沿って記録された磁気ビットが振幅サーボに使用されるバースト信号であり、その幅方向の端部が隣接するバースト信号の幅方向の端部とオーバーラップして記録されてなり、該磁気記録媒体を用いるのが好適である。
【００１６】
さらに、磁気記録媒体のトラックに沿って記録された磁気ビットが振幅サーボに使用されるバースト信号であり、隣接して記録されたバースト信号の磁気ビットの位相が互いにずれて記録された磁気記録媒体を用いるのが好適である。
【００１７】
「磁気転写用マスター担体」としては、凹凸パターンを表面に有する磁性体基板のみからなるもの、凹凸パターンを表面に有する基板と該基板上の少なくとも凸部上面に積層された磁性層とからなるもの、平板基板上に表面に凹凸パターンを有する磁性層が形成されてなるもの等が挙げられる。なお、ここでは、凹凸パターンを表面に有する基板と該基板の凹部に埋め込まれた磁性層とからなるもの、すなわち表面が凹凸パターン形状とされているもののみならず、凹部が磁性層で埋め込まれて表面が平坦とされたものを含むものとする。但し、凹凸パターンを表面に有する基板と該基板の凹部に埋め込まれた磁性層とからなるマスター担体においては、表面が凹凸パターン形状とされているマスター担体の凹部と凸部とは逆に、基板の凹部に埋め込まれた磁性層部分が上述の凸部に相当し、基板の凸部が上述の凹部に相当する。
【００１８】
なお、磁気ヘッドによってトラックを走査している際に、３ビット相当長以上のスペースを磁気ヘッドの再生ヘッドによって検出しつつ、信号読み取りを制御することは困難であり、別途に３ビット長以上のスペースの検知手段を設置するか、例えばサーボパターンでは記録されている磁気ビットの配列が既知であるので、信号読み取りに応じて次に３ビット相当長以上のスペースがあることの認識に基づいて、サブパルス発生領域を判定して磁気ヘッドによる信号読み取りを無効とする処理を実行することが実現可能である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の信号処理方法は、トラックに沿って情報に対応した磁気ビットが磁気転写法で記録されてなる磁気記録媒体の磁気ヘッドによる信号読み取りにおいて、連続した磁気ビットの間に、３ビット相当分以上のスペースがある場合に、このスペース内のサブパルス発生領域の信号読み取りを無効とするため、磁気転写時に磁気記録媒体に不明瞭な磁気記録部が発生しても、それに伴う信号再生時のサブパルスを検知することなく信号の誤認識を防止することができる。
【００２０】
本発明の磁気記録再生装置は、サブパルス発生領域の信号読み取りを無効とする信号処理により、信号再生時のサブパルスを検知することなく信号の誤認識を防止することができ、それによりサーボ信号等を誤認識することなく検知して高精度なトラッキングサーボが実現可能である。
【００２１】
また、ビットエレメントの端部が丸みを帯びている形状のマスター担体により転写された磁気記録媒体を用いると、エッジ品質の揃った磁気ビットを得ることができる。
【００２２】
また、振幅サーボに使用されるバースト信号が隣接するバースト信号の幅方向の端部とオーバーラップして記録された磁気記録媒体を用いると、各トラック内における磁気ビットの記録領域を大きくすることができ、各ビットの記録領域のトラック幅方向端部において記録にじみ、記録減磁等が生じていてもそれによる影響を小さくし、位置サーボの精度低下を抑制することができる。
【００２３】
さらに、振幅サーボに使用されるバースト信号が隣接して記録されたバースト信号との位相がずれて形成されたマスター担体により転写された磁気記録媒体を用いると、磁気転写時のトラック幅方向に隣接配置されたバースト信号間の無信号スペース部位への磁界の吹き出しが少なく、この部位へのノイズ信号の磁化記録を低減でき、ノイズの少ないバースト信号の検出に基づく精度のよいトラッキングが行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。この実施形態では磁気記録媒体に記録された信号として振幅サーボ信号の例を示している。
【００２５】
図１は、本発明の信号処理方法に用いる磁気記録媒体２と、それへ信号を磁気転写によって記録するための磁気転写用マスター担体３とを示す斜視図である。磁気記録媒体２は、例えば、両面または片面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体である。また、本実施形態においては、円盤状の基板２１の片面に面内磁気記録層２２を備えた（図４参照）記録面２ｂが形成されたものを示している。
【００２６】
マスター担体３の表面には、サーボ信号に応じた微細凹凸パターンが形成されたサーボ領域Ｐが設けられている。サーボ領域Ｐは一般にトラック１周内に６０〜２００個程度設けられている。
【００２７】
図２(ａ)はマスター担体２の１トラックの一部を示す平面図、同図（ｂ）は同図(ａ)のIIｂ−IIｂ断面図、同図(ｃ)は磁気転写によりマスター担体から磁気記録媒体上に設けられる磁化パターンの模式平面図、同図(ｄ)は本発明の信号処理方法により同図(ｃ)の磁化パターンから再生磁気ヘッドが検波した読取り波形を示す模式図である。
【００２８】
図２(ａ)および同図(ｂ)に示すように、マスター担体２は、基本的に、表面に凹凸パターンを有する基板３ａと磁性層３ｂとから構成されている。磁性層３ｂは、少なくとも凸部上面に形成されていればよい。図２(ａ)では、トラック幅を一点鎖線で示し、そのトラック内に形成されている凹凸パターンを示し、信号を担持する信号凹凸パターンは所定範囲の周期で形成された凹部３１と凸部３２から構成されており、最短ビット長をＢminとしたときに、トラック方向に３ビット相当長以上の長さＬ≧３Ｂminを有する凹部３１を備える。
【００２９】
後述の磁気転写方法により、図２(ａ)の凹凸パターンを有する磁気転写マスター担体から、図２(ｃ)に示す磁化パターンが磁気記録媒体上に転写記録される。マスター担体２の表面の凹部３１と凸部３２の凹凸パターンに応じて磁化反転したパターンが形成され、後述するように、凹部３１に対応する部位が磁化反転され、凸部３２に対応する部位がそれぞれ逆向きに磁化された磁気ビット４２が記録されてなる磁化パターンが形成されている。
【００３０】
例えば、後述の振幅サーボでは上記磁気ビット４２が連続して複数記録されたバースト部の間に、磁気ビット４２が３ビット相当以上の長さ記録されていないスペース４４がある。つまり、マスター担体２上の信号凹凸パターン(ａ)で３Ｂmin以上のトラック方向長さを有する凹部３１に対応する、信号磁化パターン(ｃ)におけるトラック方向に３Ｂmin以上の長さを有する一方向磁化領域によるスペース４４が存在する。
【００３１】
そして、図６により説明したように、このスペース４４内の両端のサブパルス発生領域Ｆにサブパルスの原因となる不明瞭な磁気記録部（図２では図示せず）が発生するが、このサブパルス発生領域Ｆの磁気ヘッド（図示せず）による信号読み取りを無効とする本発明の信号処理方法により、サブパルスを検知しないようになっている。
【００３２】
図２の例では、磁気ヘッドにより読み取ったサブパルス発生領域Ｆの信号を再生信号として認識しないことで信号読み取りを無効とした処理を行い、これにより得られた読出し波形は、図２(ｄ)に示すように磁化パターンのペース４４の部位ではサブパルスを検知せず平坦なものとなる。すなわち、磁気記録再生装置においては、ヘッドから図２(ｄ)のような読出し波形を検出し、この磁気記録再生装置においてはサブパルスは再生信号として認識されない。
【００３３】
前記サブパルス発生領域Ｆは、スペース４４の最初の１／２ビット相当分もしくは１ビット相当分および／またはスペース４４の最後の１／２ビット相当分もしくは１ビット相当である。このサブパルス発生領域Ｆの信号読み取りを無効とすることで、磁気転写時に磁気記録媒体３に不明瞭な磁気記録部が発生しても、その影響を実質的に排除でき、それに伴う信号再生時のサブパルスを検知することなく信号の誤認識を防止することができる。なお、サブパルス発生領域Ｆすなわち信号読み取り無効領域は、スペース４４の全体であってもよく、特に、不明瞭な磁気記録部が形成されるサブパルスが発生する部位の全部を含むのが好ましいが、一部または主要部でもサブパルス抑制効果が十分に得られる。
【００３４】
一方、上記実施形態では、サブパルス発生領域Ｆより読み取った信号を有効な信号として処理しない、すなわち再生信号として認識しないことで信号読み取りを無効にしているが、その他、磁気ヘッドによって前記サブパルス発生領域Ｆの信号読み取りをしないことで無効としてもよい。
【００３５】
これらの場合において、磁気ヘッドによってトラックを走査している際に、３ビット相当長以上のスペース４４を磁気ヘッドによって検出しつつ、同じ磁気ヘッドでサブパルス発生領域Ｆの信号読み取りを無効とする信号読み取り制御を行うことは困難であり、別途に３ビット長以上のスペースの検知手段を設置するか、前述のように、例えば磁気記録媒体２のトラックに記録されたサーボパターンの磁気ビットの配列は既知で、それを記憶し信号読み取りに応じて照合することで、次に３ビット相当長以上のスペースがあることの認識に基づいて、サブパルス発生領域Ｆを判定して磁気ヘッドによる信号読み取りを無効とする処理を実行するものである。
【００３６】
なお、例えば、信号凹凸パターンがサーボ信号である場合、信号凹凸パターンの周期λは、マスター担体を用いてサーボパターンが磁気転写される磁気記録媒体を再生する磁気記録再生装置のサーボチャネル回路において定められている信号形式に応じて定められる。
【００３７】
本実施形態ではサーボ信号の磁気転写による記録を想定して記述しているが、転写信号はサーボ信号に限られるものではなく、種々のデータ信号を転写するものとすることもできる。所望のデータに応じた信号凹凸パターンにトラック方向に３Ｂmin以上の長さを有する凹部が存在する場合、サブパルス発生領域Ｆの信号読み取りを無効とする信号処理を行えばよい。
【００３８】
次に、磁気転写用マスター担体３を用いて磁気記録媒体２へ情報を転写する磁気転写方法について説明する。
【００３９】
図１では、磁気記録媒体２とマスター担体３が互いに離間した状態を示したが、実際の磁気転写は、磁気記録媒体２の記録面２ｂとマスター担体３の転写パターン面とを密着させた状態で行う。図３は、磁気転写装置１の概略構成を示す斜視図である。
【００４０】
磁気転写装置１は、マスター担体３と磁気記録媒体２とを保持する転写ホルダー１０、転写ホルダー１０の両面から荷重をかけて押圧しマスター担体３と磁気記録媒体２とを密着させる不図示の押圧手段、転写ホルダー１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加手段５５を備えている。
【００４１】
磁界印加手段５５は、転写ホルダー１０の両側に配設された電磁石装置５０，５０を備えてなり、この電磁石装置５０の転写ホルダー１０の半径方向に延びるギャップ５１を有するコア５２にコイル５３が巻き付けられてなる。両電磁石装置５０，５０はトラック方向と平行な同一の向きの磁界を発生させるものである。また、磁界印加手段５５としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成してもよい。垂直記録の場合の磁界印加手段は、転写ホルダー１０の両側に配設された、極性の異なる電磁石または永久磁石から構成することができる。すなわち、垂直記録の場合は、トラック面に垂直な方向に転写用磁界を発生させるものである。
【００４２】
また、磁界印加手段５５は、転写ホルダー１０の開閉動作を許容するように、両側の電磁石装置５０，５０が接離移動するか、電磁石装置５０，５０間に転写ホルダー１０が挿入されるように電磁石装置５０，５０またはホルダー１０が移動するようになっている。
【００４３】
転写ホルダー１０は、相対的に接離移動可能な片側ホルダー１１と他側ホルダー１２とを備え、その内部に形成される内部空間に、磁気記録媒体２とマスター担体３とを中心位置を合わせた状態で重ね合わせて保持するものである。片側ホルダー１１および他側ホルダー１２の背面の中心位置には、それぞれ支持軸が突設され、装置本体に支持され、回転機構に連係されて磁気転写時に回転駆動される。
【００４４】
マスター担体３は転写パターン面と反対側の裏面が片側ホルダー１１に保持され、磁気記録媒体２は片側ホルダー１１にマスター担体の転写パターン面と磁気記録面が対峙するように搬入される。その後、他側ホルダー１２が片側ホルダー１１側に近接移動されて両ホルダー１１、１２間にマスター担体３と磁気記録媒体２を挟むように保持する。両ホルダー１１、１２は不図示の押圧手段により背面から押圧されてマスター担体３と磁気記録媒体を密着保持する。
【００４５】
次に、上記磁気転写装置１による磁気転写方法について説明する。上記磁気転写装置１の転写ホルダー１０は、一組のマスター担体３により複数の磁気記録媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず片側ホルダー１１にマスター担体３を位置を合わせて保持させておく。そして、片側ホルダー１１と他側ホルダー１２とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化した磁気記録媒体２を中心位置を合わせてセットした後、他側ホルダー１２を片側ホルダー１１に接近移動させる。磁気記録媒体２およびマスター担体３を挟むように保持収容した転写ホルダー１０の両ホルダー１１、１２の背面から押圧手段により荷重押圧し、磁気記録媒体２とマスター担体３とに均一に密着力を加え密着させる。
【００４６】
その後、転写ホルダー１０の両側に電磁石装置５０を接近させ、転写ホルダー１０を回転させつつ電磁石装置５０によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３の転写パターンに応じた磁化パターンを磁気記録媒体２の磁気記録層に転写記録する。
【００４７】
図４は、磁気記録媒体２である面内磁気記録媒体への磁気転写の基本工程を説明するための図であり、図４(ａ)は磁界を一方向に印加して磁気記録媒体を初期直流磁化する工程、(ｂ)はマスター担体と磁気記録媒体とを密着させて初期直流磁界とは略反対方向に磁界を印加する工程、(ｃ)は磁気転写後の磁気記録媒体の記録再生面の状態をそれぞれ示す図である。
【００４８】
図４(ａ)に示すように、予め磁気記録媒体２にトラック方向の一方向の初期直流磁界Ｈinを印加して磁気記録層２２の磁化を初期直流磁化させておく。その後、図４(ｂ)に示すように、この磁気記録媒体２の記録面２ｂとマスター担体３の転写パターン面とを密着させ、磁気記録媒体２のトラック方向に前記初期直流磁界Ｈinとは逆方向の転写用磁界Ｈduを印加する。磁気記録媒体２とマスター担体３の転写パターンの密着した箇所において、転写用磁界Ｈduは、マスター担体３の凸部に吸い込まれ、この部分に対応する磁気記録媒体２の磁化は反転せずその他の凹部に対応する部分の初期磁化が反転する。その結果、図４(ｃ)に示すように、磁気記録媒体２の下側記録面２ｂの磁気記録層２２にはマスター担体３の凹凸パターンに応じた情報（例えばサーボ信号）が磁気的に転写記録される。
【００４９】
このような磁気転写工程を経て、図２(ａ)に示すマスター担体３表面の凹凸パターンから磁気記録媒体２上において同図(ｃ)に示す磁化パターンが記録される。
【００５０】
本実施形態においては、磁気記録媒体２が片面にのみ磁気記録面を有するものとしたが、磁気記録媒体としては両面に磁気記録面を有するものを用いてもよく、この場合には、磁気記録媒体２の両記録面への磁気転写は同時になされてもよいし、片面ずつ順次なされてもよい。
【００５１】
なお、初期直流磁界および転写用磁界は、磁気記録媒体の保磁力、マスター担体および磁気記録媒体の比透磁率等を勘案して定められた値を採用する必要がある。
【００５２】
次に、図５に基づいて振幅サーボパターンの磁気転写について説明する。この図５はマスター担体３の一部の拡大平面図であり、磁気記録媒体２に記録する振幅サーボパターンすなわちサーボ信号に対応する凹凸パターン３０（サーボ転写パターン）が形成されている。
【００５３】
同心円状もしくはらせん状に形成されたトラックＴnに振幅サーボ用の凹凸パターン３０が記録される。振幅サーボ信号は、磁気ディスク記録媒体の場合、中心部から等間隔で略放射状に延びる細幅の領域に形成されるサーボ領域Ｐ内に記録される信号であり、再生時に磁気ヘッドのトラッキングサーボに用いられる信号である。
【００５４】
トラックＴnは、データトラックＤとガードバンドＧがトラック幅方向ｒに順次隣接して形成されている。なお、データトラックＤの幅ＷdとガードバンドＧの幅Ｗgを合わせた幅Ｗtがいわゆるトラックピッチに相当する。ここで、このトラックピッチＷtを好ましくは２００ｎｍ程度以下とする。
【００５５】
振幅サーボ用凹凸パターン３０は、トラック方向ｘに順にＡ，Ｂ，ＣおよびＤバーストからなる再生振幅サーボによる位置制御のためのバーストビット信号で構成されるが、図５には４トラックＴn+1〜Ｔn+4の一部に記録されているＡバーストおよびＢバーストを形成するＡバーストビット列Ａ１，Ａ２およびＢバーストビット列Ｂ１，Ｂ２の部分のみ示し、各バーストビット列は各々複数の矩形状のバーストビットエレメント３２１ａ，３２２ａ，３２１ｂ，３２２ｂの列状配置で構成される。
【００５６】
なお、磁気記録媒体２の磁化パターンにおいては、図５の斜線で示す部分が磁気ビット４２となる。
【００５７】
上記Ａバーストビット列Ａ１，Ａ２およびＢバーストビット列Ｂ１，Ｂ２の記録領域は、データトラックＤの幅方向の略中央より隣接するデータトラックＤの幅方向の略中央に跨って配置され、Ａバーストビット列Ａ１，Ａ２とＢバーストビット列Ｂ１，Ｂ２がトラック幅方向ｒに交互に記録される。また、不図示のＣバーストおよびＤバーストを形成するＣバーストビット列およびＤバーストビット列は、前記ＡおよびＢバーストビット列と同様のバーストビットで構成され、その記録領域は一方が奇数トラックに他方が偶数トラックに、それぞれデータトラックＤの幅中央を中心として略１トラックピッチＷtの長さに記録される。
【００５８】
図５のマスター担体３上の振幅サーボ用凹凸パターン３０を、これが転写記録された磁気記録媒体２での磁化パターンとして説明すれば、磁気ヘッドはデータトラックＤを通るようにサーボにより位置決めがされる。磁気ヘッドのトラック幅方向長は一般にデータトラック幅Ｗdよりも短い。図中矢印ｘはトラック方向を示し、矢印ｒはトラック幅方向を示すものである。なお、矢印ｒは磁気ディスク媒体の径方向と一致するものである。
【００５９】
磁気ヘッドを第２のトラックＴn+2に位置決めするために、Ａバーストビット列Ａ１およびＢバーストビット列Ｂ２が用いられ、Ａバーストビット列Ａ１は第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨っており、Ｂバーストビット列Ｂ２は第２のトラックＴn+2および第３のトラックＴn+3に跨っている。上記第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨って記録されているＡバーストビット列Ａ１は、第１のトラックＴn+1上に磁気ヘッドを位置決めするためにも用いられるものであり、一方、第２のトラックＴn+2および第３のトラックＴn+3に跨って記録されているＢバーストビット列Ｂ２は、第３のトラックＴn+3上に磁気ヘッドを位置決めする際にも用いられるものである。
【００６０】
そして、第２のトラックＴn+2を走行する磁気ヘッドには、Ａバーストビット列Ａ１とＢバーストビット列Ｂ２からの再生振幅が同等となるように位置サーボがかかり第２のトラックＴn+2に位置決めされる。
【００６１】
上記の振幅サーボにおいて、第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨って記録されているＡバーストビット列Ａ１と、第３のトラックＴn+3および第４のトラックＴn+4に跨って記録されているＡバーストビット列Ａ２とは、略１トラックピッチ幅Ｗtの間隔（前述のスペース４４に相当する無信号領域）をもって、トラック幅方向ｒに隣り合って記録されるものであるが、両者は互いのトラック方向ｘ（磁気ディスク回転方向）の位相が異なるように、図示の場合には１つのバーストビットのｘ方向幅に相当する位相αがずれるように配置されている。Ｂバーストビット列Ｂ１，Ｂ２のにおいても同様に、１トラックピッチ幅Ｗtに相当する間隔を持って隣り合うＢバーストビット列Ｂ１とＢバーストビット列Ｂ２の間で、各バーストビットの位相がそれぞれα分だけずれて配置されている。
【００６２】
このように、Ａ，Ｂ，ＣおよびＤの各バーストビット列の各々において、トラック幅方向ｒに隣り合うバーストビット列（例えば、Ａバーストビット列におけるＡ１バーストビット列とＡ２バーストビット列）の間での相互の位相を異ならせた振幅サーボによると、マスター担体３のバーストビットエレメント３２１ａとバース卜ビットエレメント３２２ａの配置に対して磁気転写のための磁界が印加されると、各バーストビットエレメントが磁化されて、各エレメントのトラック方向ｘの両端部がそれぞれ十極と−極に磁化されることになるが、トラック幅方向ｒに隣接するバーストビットエレメント３２１ａとバーストビットエレメント３２２ａの間では位相が異なるため、片方のバーストビットエレメント３２１ａから噴出す磁界と、他方のバーストビットエレメント３２２ａから噴出す磁界とが打ち消しあい、磁界が感知されないので、ノイズを検出することがなくなり、磁気ヘッドの正確なトラッキングが可能となる。
【００６３】
上記位相のズレ量αは、バーストビットエレメントのトラック方向ｘの端部位置つまり発生する磁界極性がずれるように設定するものであり、図示の場合には、極性が全く異なるように位相が１８０゜（すなわち、１ビット長）だけずらせる最適条件に設定しているが、それより小さなずれ量に設定しても十分な効果がある。具体的には、９０゜〜１８０゜の範囲のずれで有効である。
【００６４】
なお、上記振幅サーボパターン１０における図示していないＣバーストビット列およびＤバーストビット列においても同様に、前記ＡおよびＢバーストビット列の位相ずれに応じて、１トラックピッチ幅Ｗtに相当する間隔を持って隣り合うＣおよびＤバーストビット列の位相をずらして極性が異なる位置に、例えば前述のα分だけずれてそれぞれ配置してもよい。
【００６５】
また、図２に示した磁気ビット４２のエレメント形状は矩形状であるが、図５に示すビットエレメント形状のように、トラック幅方向端部（角部）がいずれも丸みを帯びている形状の方が、エレメント作製におけるエッジ品質が揃い、前述の磁界の噴出しが少ないので好ましい。また、トラック幅方向ｒに対して傾斜した平行四辺形などに形成してもよい。
【００６６】
さらに、図５に示すビットエレメント形状のように、Ａバーストビット列およびＢバーストビット列のそれぞれの記録領域のトラック幅方向ｒの長さをトラックピッチＷtよりも長くし、トラック方向ｘで見たときに両バーストビット列の記録領域がデータトラックＤの幅方向中心部位でトラック幅方向ｒにオーバーラップするように形成してもよい。
【００６７】
この場合には、バーストビットをトラックピッチＷtと略同一長さに記録した場合に比べて、各バーストビットエレメントがいずれもデータトラックＤの幅方向中心を越えた領域に記録されているため、再生信号の振幅を大きくすることができる。
【００６８】
また、バーストビット列の各ビット（エレメント）のトラック方向ｘの長さに対するトラック幅方向ｒの長さの比（アスペクト比）が２以下である。これは、振幅サーボパターンの場合、サーボ領域Ｐは内周と外周とで、サーボのバースト信号のトラック方向の長さが相違し、外周で長く、内周で短くなることから、上記アスペクト比は内周より外周の方が２以下に小さくなる。このアスペクト比が小さいバーストビットエレメントから噴出する磁界が大きい円弧となり、その分だけノイズが大きくなる。従って、このようなアスペクト比が２以下となるような小さな値のエレメントが形成される領域で、位相をずらすことによるノイズ低減効果が大きく発揮され、再生信号の検出によりサーボ機能を確保できる。
【００６９】
上述したサーボ信号を記録した磁気記録媒体２を用いる磁気記録再生装置（図示せず）は、磁気ヘッドと、この磁気ヘッドに対向して配置されるプリフォーマットされた磁気記録媒体と、磁気ヘッドを駆動させる手段と、磁気記録媒体を駆動させる手段と、磁気ヘッドとの間で信号を授受して処理する記録再生信号処理手段とを備えてなる。
【００７０】
そして、磁気記録媒体のプリフォーマットがトラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を有する振幅サーボパターンを含み、サブパルス発生領域Ｆの信号読み取りを無効とすることで、ノイズが少ない再生信号の振幅を大きくすることができるので、精度の高い位置サーボを実現することができる。
【００７１】
マスター担体３の基板３ａはＮｉ、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、セラミックス、合成樹脂等からなるものを用いることができるが、Ｎｉからなるもの、もしくはＮｉを主成分とする合金からなるものが特に好ましい。
【００７２】
磁性層３ｂの磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いることができ、特に好ましいのはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。特にＦｅ70Ｃｏ30が好ましい。なお、基板３ａ上に配される磁性層３ｂとしては、軟磁性もしくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層を用いることにより、より良好な転写を行うことができる。さらに、磁性層は、基板の飽和磁化よりも高い飽和磁化値を有するものであることが好ましい。
【００７３】
表面に凹凸パターンを有する基板３ａの作製は、スタンパー法、フォトリソグラフィー法等を用いて行うことができる。パターンドマスター担体３の作製例は、まず、信号パターンに応じた凹凸パターン（凹凸パターンの凹部と凸部が反転したものを含む）を表面に有する第１の原盤を作製し、この第１の原盤を用いて電鋳により上記凹凸パターンを表面に有する金属板を作製する方法により得ることができる。
【００７４】
表面に凹凸パターンを有する第１の原盤は、フォトリソグラフィー法等を用いて製造することができる。以下、シリコンウエハーを用いて原盤を作製する方法を説明するが、シリコンウエハーの代わりに、石英板またはガラス板を使用することもできる。
【００７５】
まず、表面が平滑なディスク状のシリコンウエハー上にポジ型電子線レジスト層をスピンコート等で設ける。これを回転させながら上記の信号パターンに対応して変調した電子ビームでレジスト層に照射を与え、レジスト層全面を上記信号パターン状に照射する。例えば、この信号パターンが磁気ディスクに使用されるサーボ信号の場合には、一定の間隔をおいて同心円状に形成される多数（例えば、数万）のトラックの各トラック上に、一定間隔で複数（例えば、２００）設けられるセクターの各セクターの一部に、円周方向に延びるサーボ信号に相当するパターンの照射を与える。このようにして、レジスト全面にパターンの照射を与えた後、レジストを現像処理して電子ビームで照射された部分のレジストをシリコンウエハー上から除去し、凸部がレジストで構成され、照射部のレジストが除去されてシリコンウエハー表面が露出した部分が凹部を構成する凹凸形状をその表面に有するシリコンウエハー、すなわち第１の原盤が得られる。
【００７６】
このようにして作製された第１の原盤を用いて、電鋳が行われる。すなわち、上記第１の原盤の凹凸表面上に、必要により、ニッケルまたは銀などの金属をスパッタリング、蒸着または無電解メッキして、薄い導電性膜を形成してから、Ｎｉを前記凸部の高さよりも十分に厚くなるように電気メッキする。その後、電気メッキされたＮｉと第１の原盤とを剥離することにより、表面に前記サーボ信号に相当する、前記電子ビームで照射された部分が凸部を構成する凹凸のパターンを有するＮｉ板（以下、第１の鋳型という）が得られる。このようにして得られた第１の鋳型をそのままで、または更にその凹凸表面に磁性層３ｂおよび保護層をこの順に設けたものを、パターンドマスター担体として使用する。
【００７７】
また、前記第１の鋳型を第２の原盤として更に電鋳を行って表面に凹凸を有するＮｉ板（以下、第２の鋳型という）を作製し、これをそのままで、または更にその凹凸表面上に磁性層３ｂおよび保護層をこの順に設けた上で、パターンドマスター担体として使用することもできる。この場合、第１の原盤を作製する際に、(１)電子線レジストとしてネガ型のものを使用し、かつサーボ信号に相当する信号パターン状に電子線を照射するか、または(２)電子線レジストとしてポジ型のものを使用し、かつサーボ信号に相当する信号パターンの反転パターン状に電子線を照射することが好ましい。この態様においては、第２の原盤から複数のパターンドマスター担体を作製することができる利点がある。
【００７８】
また、第２の原盤をスタンパーとして使用して、スタンパー法で凹凸の表面を有する樹脂製のディスクを成形し、その凹凸表面上に磁性層３ｂおよび保護層をこの順に設けたものをマスター担体とすることも可能である。
【００７９】
一方、前記と同様にして、第１の原盤を作製した後、その表面をエッチング処理すると、凸部を形成しているレジストがエッチングレジストとして機能するので、凹部に相当する部分のシリコンウエハーの表面を選択的にエッチングすることができる。このようにエッチング処理してから、凸部を構成するレジストを除去することによって、シリコンウエハー自体の表面に凹凸のパターンを有する第３の原盤が得られる。この第３の原盤を用いて、上記と同様にして電鋳を行うことにより、表面に凹凸を有するＮｉ板（第３の鋳型）を作製することができる。この第３の鋳型をそのままで、または更にその凹凸表面上に磁性層３ｂおよび保護層をこの順に設けて、マスター担体とすることもできる。この態様の場合も、第３の原盤から複数のマスター担体を作製することができる。
【００８０】
マスター担体３の凸部高さ（凹凸パターンの深さ）は、２０〜５００ｎｍの範囲が好ましく、より好ましくは４０〜１００ｎｍである。この凹凸パターンがサンプルサーボ信号である場合は、トラック方向となる円周方向よりも半径方向に長い矩形状の凸部が形成される。
【００８１】
基板の凹凸パターン上への磁性層３ｂの形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、電気メッキ、無電解メッキのようなメッキ法などを用いて行う。磁性層３ｂの厚み（凸部上面の磁性層の厚み）は、２０〜５００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは３０〜１００ｎｍである。
【００８２】
また、この凸部表面の磁性層３ｂの上に３〜３０ｎｍのカーボンまたはダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護層を設けることが好ましく、さらに潤滑剤層を設けても良い。また、磁性層３ｂと保護層の間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤を設けることにより、磁気記録媒体との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などを抑制し、耐久性をより向上させることができる。
【００８３】
なお、磁気記録媒体２およびマスター担体３の構成としては、上記実施形態のものに限らず、基本的にサブパルスが発生するようなスペース４４を備えた磁化パターンが記録された磁気記録媒体よりの信号読み取りであればよい。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明の実施形態にかかるマスター担体および磁気記録媒体の斜視図
【図２】（ａ）実施形態にかかるマスター担体の１トラックの一部の平面図、（ｂ）マスター担体の一部の断面図、（ｃ）磁気記録媒体上の磁化パターン模式図および（ｄ）再生波形模式図
【図３】磁気転写装置の概略構成を示す斜視図
【図４】磁気転写工程を示す図
【図５】磁気転写用マスター担体の一部拡大平面図
【図６】従来技術の問題点を説明するための模式図
【符号の説明】
【００８５】
２    磁気記録媒体
３    磁気転写用マスター担体
3a    基板
3b    磁性層
31    凹部
32    凸部
42    磁気ビット
44    スペース
Ｆ    サブパルス発生領域
【図１】
2006092596.tif 000003
【図２】
2006092596.tif 000004
【図３】
2006092596.tif 000005
【図４】
2006092596.tif 000006
【図５】
2006092596.tif 000007
【図６】
2006092596.tif 000008