(57)【要約】  【課題】  多用な形状のフレームに貼付けられたフィルムシートを、そのフレームの形状に沿いつつ切断するようなフレームマウンタを提供することにある。  【解決手段】  サーキュラ２０が円方向に回転移動し、さらにこのサーキュラ２０上でテンショナ６０・カッターガイド４０・パイロットプレート５０が半径方向に平行移動するような構成を採用し、これら回転移動と平行移動とを組み合わせて、フレーム３００と同一形状のカッターガイド４０に沿ってカッタ部１３０が倣い方式で移動し、フィルムシートを切断するようなフレームマウンタ１０００とした。【選択図】  図１
2006026833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームの開口に張り渡されたフィルムシートを機械的に切り取るフレームマウンタであって、
起倒または昇降可能になされたカッターベースと、
カッターベースに回転可能に支持されたサーキュラと、
サーキュラ上で水平方向に移動可能に支持されたスライダと、
サーキュラの外側に配置されるカッターガイドと、
スライダに取付けられ、カッターガイドにスライダを沿わせる被ガイド部と、
スライダとともに移動するカッタ部と、
を備え、フレームの形状と略一致するカッターガイドに沿ってカッタ部を移動させてフレームのフィルムシートを切り取ってマウンティングすることを特徴とするフレームマウンタ。
【請求項２】
請求項１記載のフレームマウンタにおいて、
前記被ガイド部は、
スライダに取付けられるパイロットプレートと、
パイロットプレートに取付けられるフォロワと、
テンショナと、
テンショナに取付けられるフォロワと、
テンショナに固定されている第１軸と、
パイロットプレートに設けられ、第１軸を水平移動可能に収容する第１軸収容部と、
第１軸をパイロットプレート側へ引っ張るように付勢するフォロワ付勢部と、
テンショナに固定されている第２軸と、
パイロットプレートに設けられ、テンショナの位置決めをしつつ第２軸を収容する第２軸収容部と、
を備え、第２軸を第２軸収容部に入れてカッターガイドを二個のフォロワで挟持し、パイロットプレート側のフォロワでスライダの位置決めをすることを特徴とするフレームマウンタ。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載のフレームマウンタにおいて、
スライダに固定されるとともに、サーキュラを貫通してカッターベース下側まで突出しているシャフトホルダと、
シャフトホルダに回動自在に軸支されるスライドシャフトと、
スライドシャフトの軸方向を中心に回転させる回転力をスライドシャフトに付勢する回転力付勢部と、
を備え、スライドシャフトの端部に前記カッタ部が設けられ、このカッタ部は、
スライドシャフトの端部に設けられるカッタホルダと、
スライドシャフトの軸と離間した位置でカッタホルダに軸支される丸カッタと、
を備え、カッターベースを倒した際、または、カッターベースを降した際、前記カッタ部の丸カッタはフレーム側と当接してスライドシャフトが回転するとともに、回転力付勢部によりフィルムシートを切り取る押圧力が付与されることを特徴とするフレームマウンタ。
【請求項４】
請求項３に記載のフレームマウンタにおいて、
前記カッタホルダは、
スライドシャフトの軸方向に対して垂直方向にカッタホルダを軸支するホルダ軸と、
カッタホルダをスライドシャフトに対して略垂直となるように付勢する丸カッタ位置決め部と、
を備え、フレームの変化点では、スライドシャフトの軸方向に対する丸カッタの角度を変化点で連続的に追従させつつ変化させ、滑らかな切断形を形成することを特徴とするフレームマウンタ。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの回転方向の位置を制限する回転方向ストッパを備えることを特徴とするフレームマウンタ。
【請求項６】
請求項３〜請求項５の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの軸方向の位置を調節する軸方向位置決め部を備えることを特徴とするフレームマウンタ。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記カッターガイドはサーキュラの半径方向において、二個のフォロワが一定間隔となるようなガイド形状を有することを特徴とするフレームマウンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレームに貼付けたフィルムシートを切り取ってフレーム用の形状にフィルムシートを調製するフレームマウンタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程では、棒状のシリコン単結晶がスライシングされて薄い円板状のウェハーが切り出される。このウェハーは、表面が研磨されて鏡面状に仕上げられた後、薄膜形成、リソグラフィ、エッチング、不純物導入、洗浄、熱処理等が施され、ＶＬＳＩ・ＣＭＯＳ等のチップが格子状に複数割り付けられたウェハーとなる。
【０００３】
このウェハー上で格子状に割り付けられた複数のチップから一片のチップへ分割するために、専用のカッターにより一片のチップに切り離されるダイシングが行われる。これら一片のチップがダイボンディング・ワイヤボンディング・パッケージングされ、ＩＣチップが製造されることとなる。
【０００４】
さて、上記した半導体製造工程で、ウェハーに対して、薄膜形成、リソグラフィ、エッチング、不純物導入、洗浄、熱処理等を行う場合に、直に触ることが許されないウェハーの取り扱いを容易ならしめるため、製造工程途中のウェハーは、ウェハーフレームと呼ばれる治具上に取り付けられた上で取り扱われている。作業員・製造装置はこのウェハーフレームを把持・握持することでウェハーに触れることなくウェハーを取り扱うことができる。
【０００５】
このウェハーフレームの一般的な例について説明する。図１６はウェハーフレームの構成図であり、図１６（ａ）は表面図、図１６（ｂ）はＸ−Ｘ線側断面図、図１６（ｃ）は裏面図である。図１６（ａ），図１６（ｃ）で示すように、ウェハーフレーム２００は一部切り欠き（図１６（ａ）では上側）を有する環状の板であり、中央孔には伸縮性を有するフィルムシート２０１が張り渡されている。このフィルムシート２０１には、図１６（ａ）で示される側のみに接着剤が塗布されており、皺等がないように張り渡された状態でウェハーフレーム２００に貼り付けられる。さらに、このフィルムシート２０１の中央部にはウェハー２０２が配置・固着されることとなる。このようなウェハー２０２ではウェハーフレーム２００を把持して搬送などが行われるため、換言すればウェハー２０２に直接に接触することがなくなり、ウェハー２０２に対して塵埃の付着・過度な力が掛かるという事態の発生を回避している。
【０００６】
このようなウェハー２０２の取り付けを実現するため、図示しないが専用の装置が開発されており、フィルムシート２０１が張り渡されたウェハーフレーム２００に対し、ウェハー２０２の位置決めを行いつつ取付けることが可能になされている。
【０００７】
また、ローラによりフィルムシートをウェハーフレーム２００に押しつけてウェハーフレーム２００にフィルムシートを貼付け、このフィルムシートを切断してウェハーフレーム２００を完成させる装置であるフレームマウンタも各種開発がなされている。例えば特許文献１では、リングフレーム（先のウェハーフレームに相当）に貼付けられた接着テープ（先のフィルムシートに相当）を貼付け、リングフレーム上を丸カッタ状の切断機が移動して、リングフレームに沿って切断するような従来技術が開示されている。
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−２７４１１１号公報      （段落番号００１９，図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図１６で示した従来技術および特許文献１でも明らかなように、ウェハーフレーム２００はリング状であって、フィルムシート２０１も円状に切断するのが一般的であった。
しかしながら近年では、取扱いの利便性から、各種ＬＳＩ・ＤＳＰや回路基板などもこのようなウェハーフレーム２００を用いて搬送するような場合がある。特に半導体製造工程では四角試料（例えばプリント基板など）を扱う機会が増えている。この場合、現状では円形用のウェハーフレーム２００に角形試料を搭載して使用しているため、積載数の増加を妨げている。そこで、積載数を増加させるため、例えば、図１７（ａ），（ｂ）で示すような樽型のフレーム３００や、図１８（ａ），（ｂ）で示すような四角型のフレーム４００を採用することが考えられる。このような状況のため、多種形状のフレームに対応してフィルムシートを切断・貼付けするフレームマウンタが必要とされている。
【００１０】
しかしながら、現状では円形のような単純なフレームに対応してフィルムシートを切断するフレームマウンタは存在するが、それ以外の形状のフレームに対し、フィルムシートを切断・貼付けできるフレームマウンタは存在せず、切断を手作業で行うか、積載数を減らして円形用のウェハーフレームを採用し、円形用のフレームマウンタで作業してフィルムシートを切断・貼付けしているのが実情であった。
【００１１】
さらに、このようなフレームマウンタでは新たな問題が生じるものであった。例えば、仮に四角形のフレームがあったとすると、直線部分では切断は容易であるが、四隅などでは連続的に切断するのが困難であり、機械化が困難であった。このような事情からも、作業員が手作業によりカッターで切断するのが実情であった。
特許文献１のような切断装置では、先に挙げたように四角型フレームの四隅や樽型フレームの円から線に変化する部分では特に対応が困難であり、新たな機構を採用する必要があった。フレーム中の基板などの積載数を増加させると共に効率的な切断作業を可能にしたいという要請があった。
【００１２】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、多用な形状のフレームに貼付けられたフィルムシートを、そのフレームの形状に沿いつつ切断するようなフレームマウンタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の請求項１に係るフレームマウンタは、
フレームの開口に張り渡されたフィルムシートを機械的に切り取るフレームマウンタであって、
起倒または昇降可能になされたカッターベースと、
カッターベースに回転可能に支持されたサーキュラと、
サーキュラ上で水平方向に移動可能に支持されたスライダと、
サーキュラの外側に配置されるカッターガイドと、
スライダに取付けられ、カッターガイドにスライダを沿わせる被ガイド部と、
スライダとともに移動するカッタ部と、
を備え、フレームの形状と略一致するカッターガイドに沿ってカッタ部を移動させてフレームのフィルムシートを切り取ってマウンティングすることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項２に係るフレームマウンタは、
請求項１記載のフレームマウンタにおいて、
前記被ガイド部は、
スライダに取付けられるパイロットプレートと、
パイロットプレートに取付けられるフォロワと、
テンショナと、
テンショナに取付けられるフォロワと、
テンショナに固定されている第１軸と、
パイロットプレートに設けられ、第１軸を水平移動可能に収容する第１軸収容部と、
第１軸をパイロットプレート側へ引っ張るように付勢するフォロワ付勢部と、
テンショナに固定されている第２軸と、
パイロットプレートに設けられ、テンショナの位置決めをしつつ第２軸を収容する第２軸収容部と、
を備え、第２軸を第２軸収容部に入れてカッターガイドを二個のフォロワで挟持し、パイロットプレート側のフォロワでスライダの位置決めをすることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項３に係るフレームマウンタは、
請求項１または請求項２記載のフレームマウンタにおいて、
スライダに固定されるとともに、サーキュラを貫通してカッターベース下側まで突出しているシャフトホルダと、
シャフトホルダに回動自在に軸支されるスライドシャフトと、
スライドシャフトの軸方向を中心に回転させる回転力をスライドシャフトに付勢する回転力付勢部と、
を備え、スライドシャフトの端部に前記カッタ部が設けられ、このカッタ部は、
スライドシャフトの端部に設けられるカッタホルダと、
スライドシャフトの軸と離間した位置でカッタホルダに軸支される丸カッタと、
を備え、カッターベースを倒した際、または、カッターベースを降した際、前記カッタ部の丸カッタはフレーム側と当接してスライドシャフトが回転するとともに、回転力付勢部によりフィルムシートを切り取る押圧力が付与されることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項４に係るフレームマウンタは、
前記カッタホルダは、
スライドシャフトの軸方向に対して垂直方向にカッタホルダを軸支するホルダ軸と、
カッタホルダをスライドシャフトに対して略垂直となるように付勢する丸カッタ位置決め部と、
を備え、フレームの変化点では、スライドシャフトの軸方向に対する丸カッタの角度を変化点で連続的に追従させつつ変化させ、滑らかな切断形を形成することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項５に係るフレームマウンタは、
請求項３または請求項４に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの回転方向の位置を制限する回転方向ストッパを備えることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の請求項６に係るフレームマウンタは、
請求項３〜請求項５の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記スライドシャフトの軸方向の位置を調節する軸方向位置決め部を備えることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の請求項７に係るフレームマウンタは、
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載のフレームマウンタにおいて、
前記カッターガイドはサーキュラの半径方向において、二個のフォロワが一定間隔となるようなガイド形状を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
以上のような本発明によれば、多用な形状のフレームに貼付けられたフィルムシートを、そのフレームの形状に沿いつつ切断するようなフレームマウンタを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
続いて、本発明を実施するための最良の形態のフレームマウンタについて図に基づいて説明する。図１は本形態のフレームマウンタ１０００の平面図である。図２は同じくフレームマウンタ１０００のＡ−Ａ線断面図である。図３は同じくフレームマウンタ１０００の底面図である。図４はパイロットプレート５０およびテンショナ６０の拡大平面図である。図５はパイロットプレート５０およびテンショナ６０の拡大図であり、図５（ａ）はＢ−Ｂ線断面図、図５（ｂ）は底面図である。図６はパイロットプレート５０およびテンショナ６０の動作説明図であり、図６（ａ）は取付前を示す図、図６（ｂ）は取付け途中図、図６（ｃ）は取付け図である。図７は、カッタ部１３０の動作説明図であり、図７（ａ）はカッターベース１０上昇時のカッタ部１３０を示す図、図７（ｂ）はカッターベース１０下降時のカッタ部１３０を示す図である。図８は各部の説明図であり、図８（ａ）は回転力付勢部１６０を説明するＣ−Ｃ線断面図、図８（ｂ）は回転方向ストッパ１７０を説明するＤ−Ｄ線断面図である。図９は、丸カッタ位置決め部１８０の説明図であり、図９（ａ）は切断時を示す図、図９（ｂ）は切断開始時を示す図である。なお、これら図は、図面の見やすさを特に優先し、簡略な図面としている。また、フレーム３００については図１７で示した樽型のフレーム３００であって従来技術と同じであるため、従来技術の説明と同じ符号を用いて説明する。
【００２２】
本形態のフレームマウンタ１０００では、倣い方式でのフィルム切断を行う装置であり、図１〜図９で示すように、カッターベース１０、サーキュラ２０、スライダ３０、カッターガイド４０、パイロットプレート５０、テンショナ６０、サーキュラ用Ｖ溝ベアリング７０、スライダ用Ｖ溝ベアリング８０、スライドシャフト１００、前側シャフトホルダ１１０、後側シャフトホルダ１２０、カッタ部１３０、軸方向付勢部１４０、軸方向位置決め部１５０、回転力付勢部１６０、回転方向ストッパ１７０、丸カッタ位置決め部１８０を備えている。
【００２３】
続いて個々の構成について説明する。
カッターベース１０は、図１〜図３で示すように、平板であって孔１１（図２参照）が形成されている。カッターベース１０は、図示しない基台に蝶番などを介して起倒可能に取付けられていたり、または、図示しない昇降機構に取付けられて昇降可能になされている。
【００２４】
サーキュラ２０は、図１〜図４で示すように、回転体（本形態では円形回転板）であり、カッターベース１０の孔１１の上側に回転可能に支持される。この支持は、サーキュラ２０の外周に、Ｖ凸状に形成したＶ凸ガイド部２１を配置し、また、外周にＶ溝を有するサーキュラ用Ｖ溝ベアリング７０をサーキュラ２０の周囲に配置し、サーキュラ用Ｖ溝ベアリング７０がＶ凸ガイド部２１に嵌め込まれた状態としてサーキュラ２０を回動させることで支持している。特に下側のカッターベース１０に孔部１１があるために採用された構成であるが、本形態のような回転支持部はコスト上昇も招くことなく、円滑に回転支持できる。
なお、回転支持部は他の周知技術を用いても良く、例えばサーキュラ２０を大型のスラスト軸受けで支持するようにしても良い。
【００２５】
スライダ３０は、図１，図２，図４，図７で示すように、長方形板状であって、サーキュラ２０の上側で水平方向に移動可能に支持される。この支持は、スライダ３０の外周をＶ凸状に形成したＶ凸ガイド部３１（特に図７（ａ）参照）を配置し、また、外周にＶ溝を有するスライダ用Ｖ溝ベアリング８０を、サーキュラ２０の上であってスライダ３０の周囲に配置し、スライダ用Ｖ溝ベアリング８０がスライダ３０を平行移動させることで支持している。
なお、平行移動支持部は他の周知技術を用いても良く、例えばスライダ３０を大型のスライド軸受けで両側で支持するようにしても良い。
【００２６】
カッターガイド４０は、図１で示すように、図１７の樽型のフレーム３００と略同じ形状を有しており、カッタ部１３０によるフィルムシートを切断する際のガイド機能を有している。このカッターガイド４０は、図２で示すように柱部４１によりカッターベース１０の上側であってサーキュラ２０の外側に配置されている。
【００２７】
パイロットプレート５０は、図２，図４，図５で示すように、スライダ３０に取付けられている。このパイロットプレート５０には、回転グリップ５１（図２参照）、第１軸収容部５２（図４参照）、第２軸収容部５３（図４参照）、フォロワ５４（図５参照）、軸５５（図５参照）、ナット５６（図５参照）、フォロワ付勢部５７（図４参照）、抜け止めねじ５８（図４参照）を備えている。図５で示すように、スライダ３０の上に取付けられたパイロットプレート５０には、カッターガイド４０の内側を倣うための基準接触子となるフォロワ５４が設けられる。このフォロワ５４は、軸５５が回動自在に取付けられており、この軸５５はナット５６によりパイロットプレート５０から脱落しないようになされる。これらの動作については後述する。
【００２８】
テンショナ６０は、図２，図４，図５で示すように、パイロットプレート５０の先端に平行移動自在に配置され、第１軸６１（図４参照）、第２軸６２（図４参照）、フォロワ６３（図５参照）、軸６４（図５参照）、ナット６５（図５参照）を備えている。
テンショナ６０には、カッターガイド４０の外側を倣うための基準接触子となるフォロワ６３が設けられる。フォロワ６３は、軸６４が回動自在に取付けられており、この軸６４はナット６５によりテンショナ６０から脱落しないようになされる。
図４で示すように、テンショナ６０に固定された長軸の第１軸６１はパイロットプレート５０の第１軸収容部５２に、また、テンショナ６０に固定された短軸の第２軸６２は、パイロットプレート５０の第２軸収容部５３にそれぞれ収容されている。第１軸収容部５２を貫通して反対側に突出する第１軸６１にはフォロワ付勢部５７により付勢され、抜け止めねじ５８により抜け止めされる。フォロワ付勢部５７によりテンショナ６０は内周側へ移動するように付勢される。
これにより、短軸の第２軸６２とともにテンショナ６０を引出すと長軸の第１軸６１を回転軸として半回転する。この状態では、カッターガイド４０の交換が可能となる。
【００２９】
サーキュラ用Ｖ溝ベアリング７０は、先に説明したが、図１で示すようにカッターベース１０に回動可能となるように軸支されており、Ｖ溝内にサーキュラ２０のＶ凸ガイド部２１が嵌め込まれている。
スライダ用Ｖ溝ベアリング８０は、先に説明したが、図１で示すように、サーキュラ２０に回動可能となるように軸支されており、Ｖ溝内にスライダ３０のＶ凸ガイド部３１が嵌め込まれている。
【００３０】
スライドシャフト１００は、図２，図３で示すように棒状に形成されている。
前側シャフトホルダ１１０および後側シャフトホルダ１２０は、図２で示すように、それぞれスライダ３０に固定されるとともに、サーキュラ２０の前側貫通孔２２および後側貫通孔２３を貫通してカッターベース１０の下側まで突出している。スライドシャフト１００は、樹脂軸受けなどのすべり軸受け１１１，１２１を介して、前側シャフトホルダ１１０および後側シャフトホルダ１２０に回転自在に軸支されている。
【００３１】
カッタ部１３０は、図２，図３で示すように、スライドシャフト１００の先端部に取付けられており、詳しくは図７（ａ）で示すように、カッタホルダ１３１、ホルダ軸１３２、丸カッタ１３３を備えている。
カッタホルダ１３１は、スライドシャフト１００の先端部で、上下のホルダ軸１３２により軸支され、スライドシャフト１００に対して回動自在（図９（ａ），（ｂ）参照）に設けられる。このカッタホルダ１３１には、スライドシャフト１００の軸と離間した位置（図７（ａ）では斜め右下）で、丸カッタ１３３が、ベアリングを介して滑らかに回動するようにカッタホルダ１３１に軸支される。なお、動作については後述する。
【００３２】
軸方向付勢部１４０は、図２，図３で示すように、後側シャフトホルダ１２０とスライドシャフト１００とに渡されて付勢する圧縮ばねであって、カッタ部１３０側へスライドシャフト１００が移動するように付勢している。
【００３３】
軸方向位置決め部１５０は、図２，図３で示すように、スライドシャフト１００の後端に螺設されたねじ部に螺挿されるナットであり、カッタ部１３０側へ移動しようとするスライドシャフト１００へ断面ハット状の受け筒部１５１を介して後側シャフトホルダ１２０に当接して、抜け止めとなっている。この軸方向位置決め部１５０を回転させると、スライドシャフト１００が前後方向（図２で左右方向）に移動してカッタ部１３０の位置を調整する。
【００３４】
回転力付勢部１６０は、図８（ａ）で示すように、ロッド１６１、ばね１６２、位置決め部１６３を備えている。このばね１６２は引っ張りばねとなっており、このばね１６２の付勢力により、カッタ部１３０は、通常は、図７（ａ）の位置で安定している。
後述するがカッターベース１０を倒した際、または、カッターベース１０を降した際、図７（ｂ）で示すように、カッタ部１３０の丸カッタ１３３はフレーム３００側と当接すると同時にスライドシャフト１００も回転する。すると、図８（ａ）のロッド１６１も回転してばね１６２が伸びてフィルムシート３０１を切り取る押圧力が付与される。また、丸カッタ１３３とフレーム３００との間の距離がフレーム据え付け時に異なる場合でも、高さの違いを吸収しつつ付勢するため、適正圧力でフィルムシート３０１を切断できる。
【００３５】
回転方向ストッパ１７０は、図８（ｂ）で示すように、ロッド１７１、第１ストッパ１２、第２ストッパ１７３を備えている。
スライドシャフト１００が回転すると同時にロッド１７１も回転するが、一定角度以上回転すると第１ストッパ１２、第２ストッパ１７３に当接するため、スライドシャフト１００の回転が制限される。
【００３６】
丸カッタ位置決め部１８０は、図９（ａ），（ｂ）で示すように、カッタホルダ側取付け部１８１、スライドシャフト側取付け部１８２、位置付勢ばね１８３を備えている。
この丸カッタ位置決め部１８０により、カッタ部１３０は、通常では図９（ｂ）のように斜め方向を向いている。フィルムシート３０１の切断開始時に、丸カッタ１３３は斜め方向に向いているため、フレーム３００の外側の位置からフィルムシート３０１を切断することとなり、誤ってフレーム内側（中央孔側）のフィルムシート３０１を傷つけることがなく（フレーム内側のフィルムシートが傷つくと破断する）、不良品を発生させるおそれが少ない。
【００３７】
続いてこのフレームマウンタ１０００の各部の動作について説明する。
まず、カッターガイド４０に沿って動く、パイロットプレート５０およびテンショナ６０の動作について説明する。
例えば、図６（ａ）で示す状態でフレーム３００の形状に応じたカッターガイド４０（本形態では樽型）を選択して、柱部４１上に取付ける。さらに、フレーム３００にフィルムシートを貼付けて切断前の状態で、所定位置に載置する（図２参照）。
【００３８】
続いて、図６（ａ）で示すように、テンショナ６０を矢印ａ方向に引っ張ると、フォロワ付勢部５７の付勢力に抗しながら、図６（ｂ）で示すようにカッターガイド４０の外周部側に引き出され、ここで、矢印ｂ方向に回動させるともに第２軸６２を第２軸収容部５３の位置に合わせて、矢印ｃ方向に移動させて、第２軸６２を第２軸収容部５３内に挿入する。そして、フォロワ付勢部５７の付勢力によりさらに矢印ｃ方向へ移動して、図６（ｃ）で示すように、カッターガイド４０をフォロワ５４，６３で挟み込んだ状態とする（図５（ａ），（ｂ）参照）。
【００３９】
この際、図１０のカッターガイドのノッチ部４２の説明図で示すような、ノッチ部４２内にテンショナ６０側のフォロワ６３が位置しており、停止位置を保持する。このノッチ部４２は、カッター原点である。
続いて、カッターベース１０を倒す、または、降下させると、カッタ部１３０は、図７（ｂ）で示すように矢印ｄ方向に移動して丸カッタ１３３がフィルムシート３０１に当接する状態となる。このとき丸カッタ１３３は、図９（ｂ）のように斜めに位置している。
このカッタベース１０が移動する際、先に説明したノッチ部４２にフォロワ６３が入り込んでいるため、テンショナ６０が移動するようなことはない。
【００４０】
続いて切断位置にセットを終了したあと切断を開始する。図１１〜図１４は切断動作の説明図である。なお、先に説明したノッチ部４２は、図１０で示すように、ノッチ部４２の傾斜に緩急を付け、時計回り方向には回転し易くし、また、反時計回り方向には、回転しにくくなるようにして、作業者に直感的に切断回転方向を示唆するようになされており、作業者は時計回りを選択する。
この際、パイロットプレート５０に設けた回転グリップ５１を握り、図１の切断位置からカッターガイド４０の円弧部に沿って図１１で示すように時計方向（矢印ｅ方向）に移動していく。カッターガイド４０に沿ってテンショナ６０・パイロットプレート５０・スライダ３０が半径方向に移動するとともにサーキュラ２０が回転する。このスライダ３０の移動に追従してスライドシャフト１００が移動し、カッタ部１３０の丸カッタ１３３がフレーム３００上を移動していく。この際、カッタ部１３０ではカッタホルダ１３１に牽引された丸カッタ１３３が追従し、図９（ａ）で示すように、スライドシャフト１００に対して略垂直に維持されながら切断していく。また、丸カッタ１３３がフレーム３００の上下方向の高さに追従して上下動しても、スライドシャフト１００の回転でその変化を吸収する。
【００４１】
続いて、図１０で示すようにカッターガイド４０の直線部に沿って移動していき（矢印ｆ方向）、再度、円弧部に沿って、図１１，図１２と移動して（矢印ｇ，ｈ方向）、最終的に図１のカッター原点に戻るものである。一回転させると外側（テンショナ６０側）にあるフォロワ６３は原点位置でノッチ部４２に嵌り軽い衝撃と音がするが、３０ｍｍ程度通りすぎてから戻すと、完全に切断される。
このようにしてフィルムシートの切断がなされる。本形態のフレームマウンタ１０００はこのようなものである。
【００４２】
なお、円形以外の形状で切断するためには丸カッタ１３３を軽い操作力で任意の位置に移動させる事が求められる。この点について図を参照しつつ説明する。図１５はカッターガイド４０の変化点におけるフォロワ位置の説明図であり、図１５（ａ）は改良前のカッターガイド４０の変化点を示す図、図１５（ｂ）は改良後のカッターガイド４０の変化点を示す図である。
【００４３】
この構造では回転中の抵抗は主にカッターガイド４０により発生する。パイロットプレート５０のフォロワ５４と、テンショナ６０のフォロワ６３と、はカッターガイド４０を挟み、付勢力で常に最短距離になろうとして、倣いの基準となる内側の接触子（フォロワ５４）をカッターガイド４０の内側に密着させる。このためパイロットプレート５０とテンショナ６０との間隔が変化点では重くなる傾向が現れる。この傾向は回転角度に対する距離の変化が急激になるほど顕著になる。
【００４４】
例えば、図１５（ａ）で示すように、樽型のカッターガイド４０の変化点では、円弧状部では距離ａを保っているが、フィルム切断方向が急激に変化する変化点を過ぎるとａよりも長い距離ｂとなるため、フォロワ５４，６３が急激に広がって付勢力に抗する力が加わるため、テンショナ６０とパイロットプレート５０の間隔が離れる時に回転が重くなるように感じる。
フォロワ付勢部５７の付勢力に起因するこの現象は、フォロワ５４，６３がカッターガイド４０から離れる事を防ぐ対策（フォロワ付勢部５７の付勢力強化）と矛盾する。また、カッターガイド４０内側は倣いの基準としており、形状は限定される。
【００４５】
そこで、以下の構造で滑らかな回転を得る。
（１）まず、図１５（ｂ）で示すように、カッターガイド４０の形状を、フォロワ５４，６３間の距離ａが一定になるように、製作する。この場合、カッターガイド４０の内周側（フォロワ５４の接触側）はフィルムシートの切断形状を決定するためそのままにし、カッターガイド４０の外周側を除去することで製作する。また、カッターガイド４０の変化点の内周側では図１５（ｂ）で示すように多少の曲線を与えるとより滑らかな移動を実現できるが、内周側は変化を与えないようにしても良い。
なお、フォロワ５４，６３の間隔は「テンショナ６０の長軸」による直線移動のため、回転中心を通る放射線上の間隔となる。この結果カッターガイド４０の幅は、変化点に近づくにつれて幅が狭くなり、変化点から遠くなるにつれて広くなる形状となる。これは、「回転中心とカムフォロワを結ぶ線」がガイドと傾斜する所では、傾斜の影響で最短距離がカムフォロワの間隔より短くなるためである。
また、この状態では傾斜による回転力が発生するが、回転ムラに影響するような大きな力では無いためここでは無視する。外形線は「直線や円弧を繋げた近似線」でも同様の効果を得る。
このようにすることで、カッターガイド４０の変化点でフォロワ５４，６３が急激に移動してスライダ３０やサーキュラ２０に力が加わる事象をなくし、回転が重くならないようにする。
【００４６】
さらに以下のような対策も有効である。
（２）慣性も主な要因と考え、主にアルミ材を使用して可動部の軽量化を対策とした。
（「丸棒類」及び「V溝ベアリングとの摺動部」を除く）
（３）サーキュラ２０とスライダ３０の摩擦低減も効果的であるため、本発明ではサーキュラ用Ｖ溝ベアリング７０，スライダ用Ｖ溝ベアリング８０を採用して摩擦低減を実現している。
（４）カッタ部１３０では丸カッタ１３３をボールベアリング（図示せず）で保持して、回転を容易にしている。
（５）倣い方式のため、カッターガイド４０の接触子としてフォロワ５４，６３を使用して、接触抵抗を低減させている。
【００４７】
以上本発明の実施形態について説明した。しかしながら、本発明では各種の変形が可能である。
例えば、フレームは図１７で示した樽型であるものとして説明した。しかしながら、図１８で示す四角型のフレームにフィルムシートをマウントするような場合、四角型のカッターガイド（図示せず）に交換することで切断形状の変更が可能である。
【００４８】
回転移動に外周にＶ溝を有する回転軸受けを使用しているが現用周知の他の方法による回転支持体により回転移動させる構成を採用できる。
同様に、直線移動に外周にＶ溝を有する回転軸受けを使用しているが現用周知の他の方法による直線移動体により直線移動させる構成を採用できる。
【００４９】
以上本形態のフレームマウンタ１０００では、
（１）円形以外の形状でもフィルムシートを切断する事ができる。
（２）カッターガイド４０の交換で他の形状に変更する事ができる。
（３）環状切断時の抵抗トルクの変動が少ない。
という効果を奏しうるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明を実施するための最良の形態のフレームマウンタの平面図である。
【図２】本発明を実施するための最良の形態のフレームマウンタのＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明を実施するための最良の形態のフレームマウンタの底面図である。
【図４】パイロットプレートおよびテンショナの拡大平面図である。
【図５】パイロットプレートおよびテンショナの拡大図であり、図５（ａ）はＢ−Ｂ線断面図、図５（ｂ）は底面図である。
【図６】パイロットプレートおよびテンショナの動作説明図であり、図６（ａ）は取付前を示す図、図６（ｂ）は取付け途中図、図６（ｃ）は取付け図である。
【図７】カッタ部の動作説明図であり、図７（ａ）はカッターベース上昇時のカッタ部を示す図、図７（ｂ）は下降時のカッタ部を示す図である。
【図８】各部の説明図であり、図８（ａ）は回転力付勢部を説明するＣ−Ｃ線断面図、図８（ｂ）は回転方向ストッパを説明するＤ−Ｄ線断面図である。
【図９】丸カッタ位置決め部の説明図であり、図９（ａ）は切断時を示す図、図９（ｂ）は切断開始時を示す図である。
【図１０】カッターガイドのノッチ部の説明図である。
【図１１】切断動作の説明図である。
【図１２】切断動作の説明図である。
【図１３】切断動作の説明図である。
【図１４】切断動作の説明図である。
【図１５】カッターガイドの変化点におけるフォロワ位置の説明図であり、図１５（ａ）は改良前のカッターガイドの変化点を示す図、図１５（ｂ）は改良後のカッターガイドの変化点を示す図である。
【図１６】フレームの構成図であり、図１６（ａ）は表面図、図１６（ｂ）はＸ−Ｘ線側断面図、図１６（ｃ）は裏面図である。
【図１７】樽型のフレームの構成図で、図１７（ａ）は表面図、図１７（ｂ）は裏面図である。
【図１８】四角型のフレームの構成図で、図１８（ａ）は表面図、図１８（ｂ）は裏面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０００：フレームマウンタ
１０：カッターベース
１１：孔
２０：サーキュラ
２１：Ｖ凸ガイド部
２２：前後貫通孔
２３：後側貫通孔
３０：スライダ
３１：Ｖ凸ガイド部
４０：カッターガイド
４１：柱部
４２：ノッチ部
５０：パイロットプレート
５１：回転グリップ
５２：第１軸収容部
５３：第２軸収容部
５４：フォロワ
５５：軸
５６：ナット
５７：フォロワ付勢部
５８：抜け止めねじ
６０：テンショナ
６１：第１軸
６２：第２軸
６３：フォロワ
６４：軸
６５：ナット
７０：サーキュラ用Ｖ溝ベアリング
８０：スライダ用Ｖ溝ベアリング
１００：スライドシャフト
１１０：前側シャフトホルダ
１１１：すべり軸受け
１２０：後側シャフトホルダ
１２１：すべり軸受け
１３０：カッタ部
１３１：カッタホルダ
１３２：ホルダ軸
１３３：丸カッタ
１４０：軸方向付勢部
１５０：軸方向位置決め部
１６０：回転力付勢部
１６１：ロッド
１６２：ばね
１６３：位置決め部
１７０：回転方向ストッパ
１７１：ロッド
１７２：第１ストッパ
１７３：第２ストッパ
１８０：丸カッタ位置決め部
１８１：カッタホルダ側取付け部
１８２：スライドシャフト側取付け部
１８３：位置付勢ばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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