(57)【要約】【課題】  液漏れを回避すると共に、紫外線に対する耐久性を向上させ、深紫外域での透過率を向上させることができる深紫外線透過接着剤と、その深紫外線透過接着剤を使用した基板を提供する。【解決手段】  下記の化学式で表わされる物質からなり、深紫外線が透過する深紫外線透過接着剤と、その深紫外線透過接着剤を使用した基板。    ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）２ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２    ｎは、２ｍ＋１（ｍは自然数）で表わされる奇数【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の化学式で表わされる物質からなり、深紫外線が透過する深紫外線透過接着剤。
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）２ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ｎは、２ｍ＋１（ｍは自然数）で表わされる奇数
【請求項２】
２枚のレンズが深紫外線透過接着剤によって貼り合せられていて、その深紫外線透過接着剤が下記の化学式で表わされる物質からなり、深紫外線が透過する深紫外線透過接着剤である基板。
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）２ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ｎは、２ｍ＋１（ｍは自然数）で表わされる奇数
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、深紫外線透過接着剤と、その深紫外線透過接着剤を使用した基板、とくに２３０ｎｍ付近までの紫外線を高い透過率で透過させることができる深紫外線透過接着剤と、その深紫外線透過接着剤を使用した基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、紫外域、特に深紫外域で用いられる半導体検査装置その他の精密機械検査装置等では、レンズ部材の貼り合わせに通常の接着剤が使えないことから、フッ素系オイル等の充填材が用いられている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
また、特許文献３、４には、ＣＸ２＝ＣＹ２〔ここで、Ｘが−Ｆまたは−ＣＦ３でありそしてＹはＨである〕と０から２５モル％の１種以上の単量体ＣＲａＲｂ＝ＣＲｃＲｄここで、Ｒａ、ＲｂおよびＲｃ、は、各々独立して、ＨまたはＦから選択され、そしてＲｄは、−Ｆ、−ＣＦ３、−ＯＲｆ〔ここで、ＲｆはＣｎＦ２ｎ＋１ｌ（ここで、ｎ＝１から３）である〕、−ＯＨ（Ｒｃ＝Ｈの時）およびＣｌ（Ｒａ、ＲｂおよびＲｃ＝Ｆの時）から成る群から選ばれるから作られていてこの場合には前記ＣＲaＲb＝ＣＲcＲdがほぼランダム（ｒａｎｄｏｍ）な様式で共重合体の中に入り込んでいるか或はそれと４０から６０モル％の１種以上の単量体ＣＲaＲb＝ＣＲcＲdから作られていてこの場合には前記ＣＲaＲb＝ＣＲcＲdがほぼ交互（ａｌｔｅｒｎａｔｉｎｇ）様式で共重合体の中に入り込んでいる非晶質ビニル共重合体が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１３７６１４号公報
【特許文献２】特開２００３−１８５８０８号公報
【特許文献３】特表２００３−５１４９５５号公報（ＷＯ０１／３７０４３Ａ１）
【特許文献４】特表２００３−５１４９５６号公報（ＷＯ０１／３７０４４Ａ１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１、２に開示されたフッ素系オイルでは、液漏れを生じる可能性がある。その場合、作業性が著しく低くなってしまう。
【０００５】
また、特許文献３、４に開示された接着剤（すなわち、１８７−２６０ｎｍの波長のところに示す吸収光度／ミクロン（Ａ／ミクロメートル）が、≦１である紫外透過性材料（ｕｌｔｒａｖｉｉｏｌｅｔ  ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ）を提供する接着剤）では、Ｃｙｔｏｐ（登録商標）およびＴｅｆｌｏｎ（登録商標）の単量体の合成が困難である。それとともに、これらの単量体の合成も困難である。そのため、結果的に高価になってしまう。
【０００６】
そこで、本発明は、液漏れを回避すると共に、紫外線に対する耐久性を向上させ、深紫外域での透過率を向上させることができる深紫外線透過接着剤と、その深紫外線透過接着剤を使用した基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決手段を例示すると、次のとおりである。すなわち、
（１）下記の化学式で表わされる物質からなり、深紫外線が透過する深紫外線透過接着剤。
【０００８】
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）２ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ｎは、２ｍ＋１（ｍは自然数）で表わされる奇数
（２）２枚のレンズが深紫外線透過接着剤によって貼り合せられていて、その深紫外線透過接着剤が下記の化学式で表わされる物質からなり、深紫外線が透過する深紫外線透過接着剤である基板。
【０００９】
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）２ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ｎは、２ｍ＋１（ｍは自然数）で表わされる奇数
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、化学式ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）２ｎ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２について、ｍが１の場合と、ｍが２の場合を詳細に説明する。
【００１１】
ｎ＝２×１＋１（ｍ＝１）の場合、
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）６−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
の化学式で表示される深紫外線透過接着剤（１）が得られる。
【００１２】
ｎ＝２×２＋１（ｍ＝２）の場合、
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）１０−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
の化学式で表示される深紫外線透過接着剤（２）が得られる。
【００１３】
なお、前述の２つの接着剤に限らず、本発明は、その他、例えば、次のような化学式で表わされる深紫外線透過接着剤であってもよい。
【００１４】
ｍが３の場合、
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）１４−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
ｍが４の場合、
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ２−Ｏ−（ＣＨ２）１８−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ２
なお、ＵＴ−１０、ＯＣＴ−２、シロキサン、シリコーン等の添加剤、基板表面へのプライマー処理を行ない、剥離などの防止策を講じていることが好ましい。
【実施例】
【００１５】
図１は、本発明の１つの実施例を示す。
【００１６】
前述の深紫外線透過接着剤（１）（２）について接着実験を行った。
【００１７】
使用する基板は、石英レンズ３と、蛍石（ＣａＦ２）レンズ４とを貼り合せたものとし、それらのレンズ３、４間に前述の深紫外線透過接着剤（１）、（２）を使用した。
【００１８】
必要に応じて、前述の添加剤５を添加してもよい。
【００１９】
石英レンズ３の方から矢印６の方向にＵＶ照射をした。
【００２０】
紫外線（ＵＶ）の照射条件は、波長３６５ｎｍで、３００あるいは４５０ｍＷ／ｃｍ２であった。
【００２１】
紫外線（ＵＶ）を照射して、一定時間ごとに基板の外観（白濁、黄変の有無など）を確認するとともに、透過率の測定を行なった。
【００２２】
表１において、Ａ、Ｂについては接着剤（１）を使用し、Ｃについては接着剤（２）を使用した。
【表１】
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【００２３】
図２は、Ｃについての所定の照射時間毎の透過率の変化を示す。
【００２４】
この場合、添加剤は加えず、プライマー処理はされていない。紫外線の波長は３６５ｎｍで、３００ｍＷ／ｃｍ２の照射条件である。
【００２５】
また、図３は、２３０ｎｍの紫外線の所定の照射時間毎の透過率変化を示す。
【００２６】
この場合、添加剤は加えず、プライマー処理はされていない。紫外線の波長は３６５ｎｍで、３００ｍＷ／ｃｍ２の照射条件である。
【００２７】
これより明らかなように、２３０ｎｍ付近までの透過率を約９２％程度有する紫外線透過接着剤を得ることができた。すなわち、より深紫外域まで化学変化等の劣化を起こすことなく対応が可能となった。
【００２８】
また、接着剤Ｃで耐紫外線性能が約６０時間程度まで達成することができ、より紫外線耐久性能の高い接着剤を得ることができた。
【００２９】
さらに、照明光学系等に上述した貼り合せレンズを適用し、紫外線耐久性を試験したところ、白濁および剥離等が発生したが、貼り合せレンズ間にプラスチックビーズ等を挿入することにより、白濁および剥離等を防止することができた。
【００３０】
なお、使用する基板（光学部品）は、前述の実施例に限定されず、たとえば２枚の石英レンズ３を貼り合わせたものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の１つの実施例による深紫外線透過接着剤を使用した基板の一例を示す。
【図２】接着剤Ｃについての所定の照射時間毎の透過率の変化を示す。
【図３】接着剤Ｃに関する２３０ｎｍの紫外線の所定の照射時間毎の透過率変化を示す。
【符号の説明】
【００３２】
１、２  接着剤
３  石英レンズ
４  蛍石レンズ
５  添加剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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