(57)【要約】【課題】  検査対象面の傷を検出する複数の探傷コイルを備えた渦流探傷装置のマルチコイル式プローブにおいて、安価に製造でき、かつ、各探傷コイルと検査対象面との間隔のばらつきを無くして傷の検査精度の向上を図れるようにする。【解決手段】  導線を巻回してなる複数の探傷コイル９と、検査対象面Ｔ１に対向する前面１１ａ側に各探傷コイル９の端面９ａを向けた状態で前記探傷コイル９を支持する保持部１１とを備え、前記保持部１１が、可撓性を有する渦流探傷装置のマルチコイル式プローブを提供する。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導線を巻回してなる複数の探傷コイルと、検査対象面に対向する前面側に各探傷コイルの端面を向けた状態で前記探傷コイルを支持する保持部とを備えた渦流探傷装置のマルチコイル式プローブであって、
前記保持部が、可撓性を有することを特徴とする渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
【請求項２】
前記保持部が、弾性変形可能な弾性材料からなることを特徴とする請求項１に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
【請求項３】
検査対象面に接触させる前記保持部の前面が湾曲して形成されていることを特徴とする請求項２に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
【請求項４】
前記保持部のうち、少なくとも前記前面に沿う一方向について相互に隣り合う前記探傷コイルの間に、弾性変形可能な易変形部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
【請求項５】
前記易変形部が、少なくとも前記前面若しくは該前面の反対側に位置する前記保持部の背面から窪んで形成された切欠部からなることを特徴とする請求項４に記載のマルチコイル式プローブ。
【請求項６】
前記保持部が、前記探傷コイルの端面側に配され、かつ前記検査対象面に接触させるコーティング層を備えることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
【請求項７】
前記保持部のうち、相互に隣り合う前記探傷コイルの間に、前記保持部の湾曲を検出する曲げセンサが設けられ、
前記曲げセンサの検出結果に基づいて前記探傷コイルからの検出信号を補正することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
【請求項８】
前記保持部が、その移動方向の前端部に位置する前記前面に、テーパ状に形成されたテーパ部を備えることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、コイルによる磁束変化を与えたときに導電部材に生じる渦電流の変化から検査対象面の傷を検出する渦流探傷装置に関し、特に、検査効率を高めるために複数の探傷コイルを用いる渦流探傷装置のマルチコイル式プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のマルチコイル式プローブを用いた傷の検出においては、検査対象面の傷の検出を精度よく行うために、各探傷コイルと検査対象面との間隔（リフトオフ量）を一定に保持する必要がある。したがって、航空機の外装部品や各種プラントのパイプ等のように、湾曲した表面や凹凸を有する表面が検査対象面となる場合には、湾曲した検査対象面に各探傷コイルを追従させる必要がある。
そこで、従来では、これに対処するものとして、可撓性を有するフィルム基板の表面に複数の探傷コイルのパターンを印刷配線により形成したマルチコイル式プローブがある（例えば、特許文献１参照。）。また、上記のフィルム基板を円柱状の軸体に巻き付け、軸受を介してこの軸体を支持軸に回転可能に支持したマルチコイル式プローブがある（例えば、特許文献２参照。）。
【０００３】
さらに、従来では、導線を巻回した探傷コイルをマルチコイル式プローブの厚さ方向に重ねたものもある（例えば、特許文献３参照）。このマルチコイル式プローブでは、一方の探傷コイル（以下、励磁コイルと呼ぶ）において交流磁場を発生させ、この交流磁場により検査対象面に渦電流を発生させる。そして、マルチコイル式プローブの表面側に配された他方の探傷コイル（以下、検出コイルと呼ぶ）において前記渦電流を検知し、隣り合う検出コイルの相互間に生じる電圧差に基づいて傷を検出する。この構成においては、傷の検出に対する斜めリフトオフの影響を無くすことができる。なお、斜めリフトオフとは、検査対象面に対して、これに対向するマルチコイル式プローブの表面が傾斜した状態を示している。すなわち、探傷コイルと検査対象面との距離が探傷コイル毎に異なることを示している。
また、従来では、複数の探傷コイルと各探傷コイルに対応する距離センサとをプリント基板に設けたマルチコイル式プローブがあり（例えば、特許文献４参照）、距離センサからの距離信号に基づいて検出コイルの探傷信号を補正することにより、傷の検出に対する斜めリフトオフの影響を無くしている。
【特許文献１】特開平１１−５１９０５号公報
【特許文献２】特開平１１−１８３４４１号公報
【特許文献３】特許第３３４３８６０号公報
【特許文献４】特開２００１−５６３１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１，２に記載のマルチコイル式プローブにおいては、プリント基板の表面に探傷コイルのパターンを形成するため、導線を巻回するタイプの探傷コイルと比較して、検査対象の表面形状や材質に応じた探傷コイルの設計変更が困難であるという問題がある。そして、プリント基板に探傷コイルのパターンをエッチング等により形成する構成の場合には、探傷コイルの設計変更を行う毎に上記パターン用の型を作成する必要があるため、マルチコイル式プローブの製造コストが増加するという問題がある。
さらに、プリント基板に探傷コイルのパターンを形成する場合には、コイル形状やコイルの巻数の自由度が小さいために、分解能が高く、高い感度を有する探傷コイルを形成することが困難であるという問題もある。また、プリント基板を利用した構成の場合には、相互に隣り合う探傷コイルのパターンの影響によってノイズが発生する虞もある。
【０００５】
また、特許文献３，４に記載のマルチコイル式プローブにおいては、渦電流に基づいて隣り合う検出コイルの相互間に生じる電圧差や、距離センサからの距離信号に基づいて検出コイルの探傷信号の補正によって斜めリフトオフの影響を無くすように構成されているが、検査対象面の曲率が大きい場合や、検査対象面の形状が複雑である場合には、リフトオフ量が大きくなって検査感度が低下するという問題がある。
さらに、特許文献４に記載のマルチコイル式プローブにおいては、別途距離センサを設けているため、マルチコイル式プローブを構成する部材点数が多くなり、その製造コストが高くなるという問題がある。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、導線を巻回するタイプの探傷コイルを用いて安価に製造でき、かつ、各探傷コイルと検査対象面との間隔のばらつきを無くして検査精度の向上を図れる渦流探傷装置のマルチコイル式プローブの提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、この発明は、導線を巻回してなる複数の探傷コイルと、検査対象面に対向する前面側に各探傷コイルの端面を向けた状態で前記探傷コイルを支持する保持部とを備えた渦流探傷装置のマルチコイル式プローブであって、前記保持部が、可撓性を有することを特徴とする渦流探傷装置のマルチコイル式プローブを提供する。
【０００７】
この発明に係るマルチコイル式プローブにおいては、検査対象面の傷を検出する際には、保持部の前面を検査対象面に接触させる。ここで、保持部は可撓性を有しているため、検査対象面が曲面に形成されていても、保持部を湾曲させて保持部の前面と検査対象面との間に隙間ができることを防止できる。したがって、保持部に支持された各探傷コイルの端面と検査対象面とのリフトオフ量を一定に保持できると共に、斜めリフトオフの発生も防止できる。
【０００８】
また、前記保持部が、弾性変形可能な弾性材料からなることを特徴とするマルチコイル式プローブを提供する。
この発明に係るマルチコイル式プローブによれば、検査対象面が曲面に形成されていても、弾性材料からなる保持部を弾性変形させることにより、保持部の前面と検査対象面とを容易に密着させることができる。
【０００９】
さらに、検査対象面に接触させる前記保持部の前面が湾曲して形成されていることを特徴とするマルチコイル式プローブを提供する。
この発明に係るマルチコイル式プローブによれば、保持部を曲面からなる検査対象面に接触させる際に、保持部の弾性変形の量を少なくできるため、保持部の前面と検査対象面とをさらに容易に密着させることができる。すなわち、例えば、保持部の前面が凹状に形成されている場合には、凸状の曲面からなる検査対象面に対する保持部の変形量を少なくできる。
【００１０】
また、前記保持部のうち、少なくとも前記前面に沿う一方向について相互に隣り合う前記探傷コイルの間に、弾性変形可能な易変形部が形成されていることを特徴とするマルチコイル式プローブを提供する。
さらに、前記易変形部が、少なくとも前記前面若しくは該前面の反対側に位置する前記保持部の背面から窪んで形成された切欠部からなることを特徴とするマルチコイル式プローブを提供する。
これらの発明に係るマルチコイル式プローブによれば、検査対象面に沿うように保持部を湾曲させる際には、各易変形部を弾性変形させればよいため、探傷コイルに応力が発生することを抑制し、保持部を容易に湾曲させることができる。また、易変形部を切欠部から形成した場合には、探傷コイルに応力が発生することを確実に防止できる。
【００１１】
さらに、前記保持部が、前記探傷コイルの端面側に配され、かつ前記検査対象面に接触させるコーティング層を備えることを特徴とするマルチコイル式プローブを提供する。
この発明に係るマルチコイル式プローブによれば、検査対象面の傷を検出する際には、コーティング層を検査対象面に接触させた状態で保持部を移動させるため、探傷コイルの端面が検査対象面に接触することを防止して探傷コイルの保護を図ることができる。
【００１２】
また、前記保持部のうち、相互に隣り合う前記探傷コイルの間に、前記保持部の湾曲を検出する曲げセンサが設けられ、前記曲げセンサの検出結果に基づいて前記探傷コイルからの検出信号を補正することを特徴とするマルチコイル式プローブを提供する。
検査対象面に沿って保持部を湾曲させた場合には、相互に隣り合う探傷コイルの端面の間隔が変化するため、検査対象面の実際の傷と探傷コイルにおいて検出した傷の情報との間で、微少な差が生じる。この発明に係るマルチコイル式プローブおいては、前述した探傷コイルの間隔が変化しても、この変化を曲げセンサにおいて検出できるため、曲げセンサの検出結果に基づいて各探傷コイルからの検出信号を補正することにより、より正確な傷の検出を行うことができる。
【００１３】
さらに、前記保持部が、その移動方向の前端部に位置する前記前面に、テーパ状に形成されたテーパ部を備えることを特徴とするマルチコイル式プローブを提供する。
この発明に係るマルチコイル式プローブによれば、保持部の前面を検査対象面に接触させた状態で保持部を移動させる際に、移動方向の前方に検査対象面から突出する突起等の障害物が存在しても、障害物がテーパ部に接触するため、テーパ部によって保持部の前面まで滑らかに案内されることになる。したがって、障害物の有無にかかわらず保持部を検査対象面に対して滑らかに移動させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のマルチコイル式プローブによれば、保持部に支持された各探傷コイルの端面と検査対象面とのリフトオフ量を一定に保持できると共に、斜めリフトオフの発生も防止できるため、探傷の検査感度の低下を防止できる。また、マルチコイル式プローブは導線を巻回するタイプの探傷コイルにより構成されているため、検査対象に応じたマルチコイル式プローブを安価に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明による一実施形態について図１〜５を参照して詳細に説明する。
図１に示すように、この実施の形態に係るマルチコイル式プローブ１は、電源回路及び制御部を内蔵する探傷装置本体３と、マルチコイル式プローブ１及び探傷装置本体３を相互に接続するケーブル５と共に渦流探傷装置７を構成するものである。探傷装置本体３には、電源スイッチ等の各種操作スイッチ４が設けられると共に、表示装置である液晶モニター６が設けられている。
マルチコイル式プローブ１は、図２に示すように、導線を巻回してなる複数の探傷コイル９と、検査対象面Ｔ１に対向する前面１１ａ側に各探傷コイル９の端面９ａを向けた状態で探傷コイル９を支持する保持部１１とを備えている。各探傷コイル９は、ドーナツ型の空芯コイルによって構成されており、その空芯コイルは、例えばスピンドル型自動巻線機によって巻かれている。これら探傷コイル９は、前述したケーブル５にそれぞれ電気的に接続されている。
【００１６】
保持部１１は、弾性変形可能なシリコン樹脂からなるコイルホルダ本体１３と、探傷コイル９の端面９ａ側に配されたコーティング層１５とを備えている。
コイルホルダ本体１３には、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する略円筒状の収容孔１７が複数形成されており、これら収容孔１７に各々探傷コイル９が収容されている。これら収容孔１７はコイルホルダ本体１３の長手方向（Ｘ方向）に沿って例えば２列に、かつ各列の収容孔１７がオフセットするように配置されている。なお、各探傷コイル９は、その周縁部を収容孔１７の内周面に接着剤Ｇで固定することによりコイルホルダ本体１３に対して固定されている。ここで使用する接着剤Ｇとしては、例えば、ＵＶ接着剤、瞬間接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコン系接着剤等、硬化後に適度な弾性を有するものが挙げられる。
【００１７】
また、コイルホルダ本体１３は、その表面１３ａから裏面（背面）１３ｂ側に向けて幅方向（Ｙ方向）の寸法が漸次大きくなるように形成されている。すなわち、コイルホルダ本体１３の幅方向の端部に位置する表面１３ａには、テーパ状に形成されたテーパ部２１が設けられている。
コーティング層１５は、弾性変形可能なシート状のシリコン樹脂から形成されており、コイルホルダ本体１３に形成された断面視略矩形状の凹部１９に接着して固定されている。このコーティング層１５の表面１５ａはコイルホルダ本体１３の表面１３ａと共に、検査対象面Ｔ１に対向する保持部１１の前面１１ａを構成している。また、このコーティング層１５の裏面１５ｂは、コイルホルダ本体１３の収容孔１７に収容された探傷コイル９の端面９ａにも接触している。
【００１８】
以上のように構成されたマルチコイル式プローブ１の製造方法について、以下に記述する。
はじめに、図３に示すように、収容孔１７、凹部１９及びテーパ部２１を有するコイルホルダ本体１３を形成しておく。この収容孔１７の内径は、探傷コイル９の外径寸法よりも大きく形成されている。次いで、平坦面に形成された表面２５ａから突出する段部２３を備えた治具２５を用意し、前記表面２５ａと平行な平坦面に形成された段部２３の搭載面２３ａから突出する複数の位置決めピン２７にそれぞれ探傷コイル９を取り付ける。これら位置決めピン２７は、コイルホルダ本体１３の収容孔１７と同様に、段部２３の長手方向（Ｘ方向）に沿って２列に、かつ各列の位置決めピン２７がオフセットする位置に配されている。
各位置決めピン２７の外径は、探傷コイル９の内径よりも微少に小さく形成されている。すなわち、例えば、探傷コイル９の内径が１．０８ｍｍの場合には位置決めピン２７の外径を１．０６ｍｍとしておく。したがって、各探傷コイル９をそれぞれの位置決めピン２７に取り付けることにより、隣り合う探傷コイル９を等間隔に保持できる。
【００１９】
治具２５に対する探傷コイル９の位置決めが終了した後には、図４に示すように、凹部１９の底面１９ａが段部２３の搭載面２３ａに接触するように、かつ、コイルホルダ本体１３の表面１３ａが治具２５の表面２５ａに接触するように、コイルホルダ本体１３を治具２５に載置する。すなわち、コイルホルダ本体１３の凹部１９の寸法は、治具２５の段部２３の寸法と略一致している。この状態においては、探傷コイル９が各収容孔１７に収容されることになる。また、この状態においては、探傷コイル９及びコイルホルダ本体１３が共に治具２５に固定されるため、探傷コイル９とコイルホルダ本体１３との相対的な位置が決定される。
そして、この状態において、接着剤Ｇにより各探傷コイル９とコイルホルダ本体１３とを固定する。ここで、コイルホルダ本体１３は弾性を有しているため、接着の際には各探傷コイル９を搭載面２３ａに押しつけながら行うことが好ましい。これにより、Ｚ方向に関して複数ある探傷コイル９の端面９ａの位置を確実に揃えることができる。
最後に、探傷コイル９を固定したコイルホルダ１３を治具２５から取り外し、図２に示すように、コーティング層１５を凹部１９に接着することによりマルチコイル式プローブ１の製造が終了する。
なお、この製造の際には、コイルホルダ本体１３を治具２５に載置した後に、探傷コイル９を位置決めピン２７に取り付けるとしても構わない。
【００２０】
このマルチコイル式プローブ１により、検査対象面の傷の検出を行う際には、図２（ｂ）に示すように、検査対象面Ｔ１に保持部１１の前面１１ａを接触させた状態で、コイルホルダ本体１３の幅方向（Ｙ方向）にマルチコイル式プローブ１を移動させる。この際には、マルチコイル式プローブ１の移動方向の前方に検査対象面Ｔ１から突出する突起等の障害物が存在していても、障害物がテーパ部２１に接触するため、テーパ部２１によって保持部１１の前面１１ａまで滑らかに案内されることになる。
なお、検査対象面Ｔ１が平坦面である場合には、保持部１１を弾性変形させることなく、コーティング層１５全体を検査対象面Ｔ１に接触させることができる。
また、テーパ部２１は、テーパ状に形成されることに限らず、例えば、保持部１１の側面と前面１１ａとを滑らかに結ぶ略凸状の曲面形状に形成されるとしてもよい。
【００２１】
また、図５（ａ）に示すように、検査対象面Ｔ１が凸状の曲面である場合には、保持部１１の前面１１ａが凹状となるように保持部１１を弾性変形させることにより、コーティング層１５全体を検査対象面Ｔ１に接触させることができる。さらに、図５（ｂ）に示すように、検査対象面Ｔ１が凹状の曲面である場合には、保持部１１の前面１１ａ側が凸状となるように保持部１１を弾性変形させることにより、コーティング層１５全体を検査対象面に接触させることができる。すなわち、検査対象面Ｔ１の湾曲の有無にかかわらず、全ての探傷コイル９のリフトオフ量をコーティング層１５の厚さ寸法に相当する所定量に保持することができる。
なお、図５においては、保持部１１の移動方向に垂直な方向、すなわち保持部１１の長手方向にわたって保持部１１が弾性変形している状態を示しているが、保持部１１は前記移動方向の平行方向、すなわち保持部１１の幅方向にわたって弾性変形することも可能である。
【００２２】
上記のように、本実施形態のマルチコイル式プローブ１によれば、検査対象面Ｔ１の湾曲の有無にかかわらず、全ての探傷コイル９のリフトオフ量を一定に保持できると共に、斜めリフトオフの発生も防止できるため、探傷の検査感度の低下を防止できる。また、マルチコイル式プローブ１は導線を巻回するタイプの探傷コイル９により構成されているため、マルチコイル式プローブ１を安価に製造することができる。
さらに、検査対象面Ｔ１が曲面に形成されていても、弾性材料からなる保持部１１を弾性変形させることにより、保持部１１の前面１１ａと検査対象面Ｔ１とを容易に密着させることができる。
【００２３】
また、コーティング層１５を検査対象面Ｔ１に接触させた状態で保持部１１を移動させるため、傷の検出の際に探傷コイル９の端面９ａが検査対象面Ｔ１に接触することを防止して探傷コイル９の保護を図ることもできる。
さらに、保持部１１の移動方向の前方に検査対象面Ｔ１から突出する突起等の障害物が存在しても、テーパ部２１によって保持部１１の前面１１ａまで滑らかに案内されるため、障害物の有無にかかわらず保持部１１を検査対象面Ｔ１に対して滑らかに移動させることができる。
【００２４】
なお、上記の実施形態においては、収容孔１７が略円筒状に形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、図６に示すように、収容孔１７にコイルホルダ本体１３の裏面１３ｂ側に向けて漸次拡径するテーパ部２９を形成するとしてもよい。このように構成した場合には、接着剤Ｇがテーパ部２９に沿って流れ込みやすくなるため、接着剤Ｇを探傷コイル９まで確実に到達させて、探傷コイル９とコイルホルダ本体１３とを容易に、かつ確実に固定することができる。
また、コーティング層１５は、弾性変形可能なシート状のシリコン樹脂から形成されるとしたが、これに限ることはなく、少なくともシート状の弾性体であればよい。すなわち、コーティング層１５は、例えば、シート状のテフロン（登録商標）樹脂から形成されていても構わない。ただし、コーティング層１５は、傷の検出を行う際に検査対象面Ｔ１に対して直接擦れるため、耐摩耗性に優れる材料から形成されることが好ましい。
さらに、コーティング層１５は、コイルホルダ本体１３に接着固定する構成としたが、これに限ることはなく、例えば、コイルホルダ本体１３と同じ材料で一体的に形成するとしても構わない。
【００２５】
また、コーティング層１５は、コイルホルダ本体１３の凹部１９に接着固定されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、シリコン樹脂やウレタン樹脂、テフロン（登録商標）樹脂を凹部１９に充填して形成されるとしても構わない。
さらに、各探傷コイル９は、接着剤Ｇによりコイルホルダ本体１３に固定されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、図７に示すように、探傷コイル９が収容孔１７に埋まるように、シリコン樹脂やウレタン樹脂、テフロン（登録商標）樹脂等の充填剤３１を収容孔１７に充填して探傷コイル９をコイルホルダ本体１３に固定しても構わない。そして、この構成の場合には、探傷コイル９を収容孔１７に埋めると同時にコーティング層１５を形成しても構わない。
また、コイルホルダ本体１３は、シリコン樹脂から形成されるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも弾性変形可能な弾性材料であればよい。すなわち、コイルホルダ本体１３は、例えば、ポリウレタンから形成されるとしても構わない。
【００２６】
さらに、各探傷コイル９とコイルホルダ本体１３とを相互に固定する際には、各探傷コイル９を搭載面２３ａに押し付けながら行うとしたが、具体的には、例えば、図８，９に示すように、押圧部材３１により探傷コイル９を押さえつけるとしても構わない。
すなわち、押圧部材３１は、矩形枠状の薄板に形成されたフレーム本体部３３と、フレーム本体部３３の内方空間を２つの中空部分に区画する区画部３５と、フレーム本体部３３及びから各中空部分に突出する複数のバネ部３７とを備えている。これらフレーム本体部３３、区画部３５及びバネ部３７は一体的に形成されている。区画部３５は、互いに対向するフレーム本体部３３の一対の辺に沿って形成されている。
【００２７】
バネ部３７は、フレーム本体部３３の厚さ方向にも突出しており、その先端が前記厚さ方向に沿ってフレーム本体部３３に近づく方向に弾性変形可能となっている。フレーム本体部３３から突出する各バネ部３７は、区画部３５から突出する各バネ部３７に対向して配されている。各々対向する一対のバネ部３７は、１つの探傷コイルを押圧するバネユニット３９を構成している。各バネユニット３９は、フレーム本体部３３をコイルホルダ本体１３の裏面１３ｂに配した状態において、それぞれ収容孔１７に挿入可能な位置に配されている。
【００２８】
この押圧部材３１を用いて各探傷コイル９をコイルホルダ本体１３に固定する方法について以下に説明する。
はじめに、前述した実施形態と同様に、治具２５の位置決めピン２７にそれぞれ探傷コイル９を取り付け、コイルホルダ本体１３を治具２５に載置する。次いで、絶縁材料からなる略円板状の中間部材４１を探傷コイル９の上端面９ｂに載置し、各バネユニット３９が収容孔１７に挿入されるようにフレーム本体部３３及び区画部３５をコイルホルダ本体１３の裏面１３ｂ側に配する。この状態において、各バネ部３７の先端は中間部材４１に接触し、フレーム本体部３３及び区画部３５はコイルホルダ本体１３の裏面１３ｂに接触していない。
なお、中間部材４１は、バネ部３７の先端が探傷コイル９に接触して探傷コイル９を傷つけることを防止するものである。また、この中間部材４１の外縁部には切欠部４１ａが形成されており、この切欠部４１ａを介して探傷コイル９の一対の導線９ｃを収容孔１７からコイルホルダ本体１３の裏面１３ｂ側に引き出すことができるようになっている。
【００２９】
そして、上述した状態から押し付け部材４３によりフレーム本体部３３及び区画部３５全体をコイルホルダ本体１３の裏面に押し付けると、各探傷コイル９がバネ部３７の弾性力によって搭載面２３ａに押し付けられることになる。その後、押し付け部材４３による押し付けを保持したままで、接着剤により各探傷コイル９及び中間部材４１とコイルホルダ本体１３とを固定する。なお、この固定の際には、押圧部材３１を探傷コイル９や中間部材４１、コイルホルダ本体１３に固定しても良いし、固定しなくても構わない。ただし、押圧部材３１を固定する場合には、押圧部材３１を弾性変形可能な材料から構成する必要がある。
上述のように、押圧部材３１を用いて各探傷コイル９をコイルホルダ本体１３に固定する場合には、全ての探傷コイル９を同時に搭載面２３ａに押し付けることができるため、マルチコイル式プローブ１の製造時間を短縮できる。
【００３０】
また、前述した実施形態において、保持部１１はその前面１１ａが平坦面となるように構成されるとしたが、これに限ることはなく、その前面１１ａが曲面となるように構成されるとしても構わない。すなわち、例えば、図１０に示すように、保持部１１の前面１１ａが保持部１１の長手方向に湾曲する凸状の曲面に形成されるように、保持部１１を構成するとしてもよい。
この構成の場合には、図１１（ａ）に示すように、保持部１１を凹状の曲面からなる検査対象面Ｔ１に接触させる際に、保持部１１の弾性変形の量を少なくできるため、保持部１１の前面１１ａと検査対象面Ｔ１とをさらに容易に密着させることができる。
なお、図１１（ｂ），（ｃ）に示すように、この保持部１１を平坦面や凸状の曲面からなる検査対象面Ｔ１に接触させる際には、前面１１ａを検査対象面Ｔ１に近づける方向に保持部１１を弾性変形させる必要がある。したがって、保持部１１は、検査頻度の高い検査対象面Ｔ１の形状に合わせた形状に形成することが好ましい。
【００３１】
また、上述した実施形態に加えて、例えば、図１２に示すように、相互に隣り合う探傷コイル９の間に位置する保持部１１の前面１１ａ及び背面１３ｂから窪んで形成された切欠部（易変形部）５１〜５４を形成するとしてもよい。これら切欠部５１〜５４は、保持部１１の幅方向及び長手方向にわたってそれぞれ形成されている。また、幅方向に延びる切欠部５３，５４は、長手方向にわたって延びる切欠部５１，５２に対して直交しないように交差している。
この構成の場合には、図１３に示すように、検査対象面Ｔ１に沿うように保持部１１を湾曲させる際には、各切欠部５１〜５４を弾性変形させればよいため、探傷コイル９に応力が発生することを抑制し、保持部１１を容易に湾曲させることができる。
【００３２】
なお、上記の切欠部５１〜５４は、各列の探傷コイル９がオフセットする位置に配されている場合のものであるが、各列の探傷コイル９を保持部１１の幅方向に並べて配する場合には、例えば、図１４に示すように、保持部１１の幅方向に延びる切欠部（易変形部）５５，５６を保持部１１の長手方向にわたって延びる切欠部５１，５２に対して直交するように形成してもよい。この構成の場合にも、前述と同様に、探傷コイル９に応力が発生することを抑制し、保持部１１を容易に湾曲させることができる。
【００３３】
また、上記のように、切欠部５１，５２を保持部１１の幅方向及び長手方向にわたってそれぞれ形成することに限らず、少なくとも保持部１１の前面１１ａに沿う一方向について相互に隣り合う探傷コイル９の間のみに切欠部を形成すればよい。すなわち、例えば、図１５に示すように、保持部１１の長手方向に隣り合う探傷コイル９の間のみに切欠部５５，５６を保持部１１の幅方向にわたって形成するとしてもよい。この構成の場合には、保持部１１を湾曲させる際に、保持部１１をその長手方向に容易に湾曲させることができる。
なお、上述した切欠部５１〜５６は、保持部１１の前面１１ａ及び背面１３ｂに形成されるとしたが、これに限ることはなく、前面１１ａ若しくは背面１３ｂのいずれか一方に形成されるとしても構わない。
【００３４】
また、上述した実施形態に加えて、例えば、図１６に示すように、相互に隣り合う各探傷コイル９の間に、保持部１１の湾曲を検出する曲げセンサ５９を設けるとしても構わない。この曲げセンサ５９は、保持部１１の背面１３ｂに接着固定されており、保持部１１の背面１３ｂと共に伸び縮みすることで保持部１１の湾曲を検出するものである。この曲げセンサの検出結果は、探傷コイル９からの検出信号の補正に利用される。
この構成においては、検査対象面Ｔ１に沿って保持部１１を湾曲して相互に隣り合う探傷コイル９の間隔が変化しても、曲げセンサ５９の検出結果に基づいて探傷コイル９からの検出信号を補正することにより、検査対象面Ｔ１の実際の傷と探傷コイル９において検出した傷の情報との間で生じる微少な差をなくすことができ、より正確な傷の検出を行うことができる。
【００３５】
すなわち、例えば、図１７（ａ）に示すように、保持部１１の前面１１ａが平坦となる状態から、図１７（ｂ）に示すように、保持部１１の前面１１ａが凹状となった場合には、前面１１ａにおいて隣接する探傷コイル９間の距離Ｌが短くなる。この状態においては、曲げセンサ５９が、背面１３ｂと共に凸状に伸び、前述の距離Ｌが短くなったことを検出する。そして、曲げセンサ５９の検出結果に基づいて各探傷コイル９からの検出信号を補正する。
また、例えば、図１７（ｃ）に示すように、保持部１１の前面１１ａが凸状となった場合には、前面１１ａにおいて隣接する探傷コイル９間の距離Ｌが長くなる。この状態においては、曲げセンサ５９が、背面１３ｂと共に凹状に縮み、前述の距離Ｌが長くなったことを検出する。そして、曲げセンサ５９の検出結果に基づいて各探傷コイル９からの検出信号を補正する。
【００３６】
さらに、保持部１１は、弾性変形可能な弾性材料からなるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも可撓性を有するものであればよい。すなわち、保持部１１は、例えば、塑性変形可能な材料から構成されるとしてもよい。
また、探傷コイル９は、ドーナツ型の空芯コイルによって構成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、楕円型や８の字型の空芯コイルによって構成されるとしても構わない。
【００３７】
さらに、探傷コイル９は、スピンドル型自動巻線機によって巻かれるとしたが、これに限らず、例えば、手巻きで巻かれるとしても良い。
また、探傷コイル９は空芯コイルによって構成されるとしたが、これに限ることはなく、芯を有する構成であっても構わない。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】この発明の一実施形態に係るマルチコイル式プローブを用いて構成される渦流探傷装置を示す斜視図である。
【図２】この発明の一実施形態に係るマルチコイル式プローブを示しており、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図３】図２のマルチコイル式プローブの製造工程を示す斜視図である。
【図４】図２のマルチコイル式プローブの製造工程を示す断面図である。
【図５】図２のマルチコイル式プローブを検査対象面に配した状態を示しており、（ａ）は検査対象面が凸状の曲面である場合の断面図、（ｂ）は検査対象面が凹状の曲面である場合の断面図である。
【図６】この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す断面図である。
【図７】この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す断面図である。
【図８】この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの製造に用いる押圧部材を示す斜視図である。
【図９】この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの製造工程を示す断面図である。
【図１０】この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す概略斜視図である。
【図１１】図１０のマルチコイル式プローブを検査対象面に配した状態を示しており、（ａ）は検査対象面が凹状の曲面である場合の断面図、（ｂ）は検査対象面が平坦面である場合の断面図、（ｃ）は検査対象面が凸状の曲面である場合の断面図である。
【図１２】この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す斜視図である。
【図１３】図１２のマルチコイル式プローブを検査対象面に配した状態を示す断面図である。
【図１４】この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す斜視図である。
【図１５】この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す斜視図である。
【図１６】この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す概略断面図である。
【図１７】図１６のマルチコイル式プローブにおいて、隣接する２つの探傷コイルの間隔を示しており、（ａ）は保持部の前面が平坦となる場合の要部断面図、（ｂ）は保持部の前面が凹状となる場合の要部断面図、（ｃ）は保持部の前面が凸状となる場合の要部断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  マルチコイル式プローブ
９  探傷コイル
９ａ  端面
１１  保持部
１１ａ  前面
１３ｂ  背面
１５  コーティング層
２１  テーパ部
５１〜５６  切欠部（易変形部）
５９  曲げセンサ
Ｔ１  検査対象面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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