(57)【要約】    【課題】  本発明は、簡易かつ迅速に、液滴吐出ヘッドの流路内の液体を液体貯留部内に移動させ、回収する方法を提供することを目的とする。    【解決手段】  本発明は、ノズル孔（２６）と、底部に液体送出口（１８）を備える液体貯留部（１６）と、を有し、ノズル孔（２６）と液体送出口（１８）とが流路（１３）により連通されている液滴吐出ヘッド（１０）を用いて液体を吐出した後、流路（１３）内の液体を液体貯留部（１６）内に回収する方法であって、液体送出口（１８）が、液体貯留部（１６）内の液面上に出るまで、液滴吐出ヘッド（１０）を傾ける第１工程と、液滴吐出ヘッドの液体貯留部が形成された面（１４）に密着し、液体貯留部を覆うキャッピング部材（６２）を有する吸引手段（６０）により、流路（１３）内の液体が液体貯留部（１６）に移動するまで吸引する第２工程と、を含む液体回収方法を提供するものである。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル孔と、底部に液体送出口を備える液体貯留部と、を有し、該ノズル孔と該液体送出口とが流路により連通されている液滴吐出ヘッドを用いて液体を吐出した後、該流路内の液体を該液体貯留部内に回収する方法であって、
前記液体送出口が、前記液体貯留部内の液面上に出るまで、前記液滴吐出ヘッドを傾ける第１工程と、
前記液滴吐出ヘッドの前記液体貯留部が形成された面に密着し、該液体貯留部を覆うキャッピング部材を有する吸引手段により、前記流路内の液体が前記液体貯留部に移動するまで吸引する第２工程と、を含む液体回収方法。
【請求項２】
前記第１工程において、前記液体貯留部が形成された面に、気液分離フィルターを密着させて前記液滴吐出ヘッドを傾ける、請求項１に記載の液体回収方法。
【請求項３】
前記第１工程において、前記液滴吐出ヘッドを９０度傾ける、請求項１または２に記載の液体回収方法。
【請求項４】
ノズル孔と、底部に液体送出口を備える液体貯留部と、を有し、該ノズル孔と該液体送出口とが流路により連通されている液滴吐出ヘッドを装着して用いる液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドを所定の角度に傾けて固定することが可能な液滴吐出ヘッド固定手段と、
前記液滴吐出ヘッドを所定の角度に傾けて固定したときに、前記液体貯留部を覆って、前記液滴吐出ヘッドの前記液体貯留部が形成された面に密着させることが可能なキャッピング部材を有する吸引手段と、を備える液滴吐出装置。
【請求項５】
前記液滴吐出ヘッドを所定の角度に傾けて固定したとき、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズルが形成された面に付着した汚染物質を除去することが可能なワイピング手段を備える、請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の液滴吐出装置に装着して用いられる液滴吐出ヘッドであって、
前記所定の角度に固定されたとき、前記液体送出口が、前記液体貯留部の底部において、該底部の中心よりも高い位置に配置される、液滴吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドから、液体を効率よく回収する方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、核酸やタンパク質、細胞等の生体由来物質をプローブとして基板上に固定化したいわゆるマイクロアレイを用い、生体分子間の結合の特異性を利用して、サンプル中の標的物質を検出・測定する方法が広く用いられている。
【０００３】
特開平１１−１８７９００号公報（特許文献１）には、このようなマイクロアレイを作製する方法として、標的物質に対して特異的に結合可能であるプローブを含む液体を、インクジェット法により固相表面に吐出し、該固相表面にプローブを付着させることを特徴とするプローブの固相へのスポッティング方法が開示されている。
【０００４】
また、標的物質をハイスループットに検出するため、マイクロアレイには、微小な領域に多種類のプローブ分子を固定する必要がある。このような必要性に応えるものとして、特開２００４−１６０９０４号公報（特許文献２）には、複数の液体貯留部を有する第１の基板と、前記複数の液体貯留部にそれぞれ独立に連通する複数の流路を有する第２の基板と、前記複数の流路にそれぞれ独立に連通し、液滴を吐出する複数のノズルを有する一または複数のヘッドチップとを備えたインクジェットヘッドが開示されている。このようなインクジェットヘッドによれば、それぞれ異なる試料を搭載した複数の液体貯留部と、マイクロアレイのスポットの配置に対応させた複数のノズル孔とが、それぞれ流路で連通されているので、多数のプローブを微小領域に固定したマイクロアレイを高速に作製することができる。
【特許文献１】特開平１１−１８７９００号公報
【特許文献２】特開２００４−１６０９０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
マイクロアレイの作製に使用される試料液体は高価であり、入手が困難なものも多く、吐出後、液滴吐出ヘッド内に残った試料液体は回収できるようになっていることが望ましい。しかしながら、液体貯留部内の液体は回収することができても、インクジェットヘッドの液体貯留部とノズル孔とを連通させる流路は極めて微細であるため、流路内に流入した液体を回収するのは困難である。液体貯留部側から吸引して流路内の液体を回収する方法もあるが、液体貯留部に液体が収容されたまま吸引すると泡立ちが生じ、液体貯留部に気泡が発生し、その後の液体の採取や再充填が困難になるという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、簡易かつ迅速に、流路内の液体を液体貯留部内に移動させ、回収する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る液体回収方法は、ノズル孔と、底部に液体送出口を備える液体貯留部と、を有し、該ノズル孔と該液体送出口とが流路により連通されている液滴吐出ヘッドを用いて液体を吐出した後、該流路内の液体を該液体貯留部内に回収する方法であって、前記液体送出口が、前記液体貯留部内の液面上に出るまで、前記液滴吐出ヘッドを傾ける第１工程と、前記液滴吐出ヘッドの前記液体貯留部が形成された面に密着し、該液体貯留部を覆うキャッピング部材を有する吸引手段により、前記流路内の液体が前記液体貯留部に移動するまで吸引する第２工程と、を含むことを特徴とする。
【０００８】
このような構成によれば、液体貯留部の底部にある液体送出口が、液面上に露出した状態で吸引が行われるので、流路内の液体を泡立てることなく、液体貯留部に回収することができる。液体貯留部に回収された液体は、公知の方法で容易に採取して別の容器に移すことが可能である。また、本発明に係る液体回収方法は、流路内に汚れや気泡が付着して詰まりが生じた場合にも利用することができ、流路内の液体と共に汚れや気泡を液体貯留部内に移動させて詰まりを解消し、再度吐出に供することができる。なお、キャッピング部材は、第１工程を行った後で液体貯留部形成面に密着させてもよいし、第１工程を行う前から密着させておいてもよい。
【０００９】
上記第１工程においては、液体貯留部が形成された面に、気液分離フィルターを密着させて液滴吐出ヘッドを傾けることが好ましい。ここで、気液分離フィルターとは、気体のみ透過させて、液体を透過させないフィルターを意味し、この条件を満たす限り、その材料や形状等は特に限定されない。気液分離フィルターを用いることによって、液滴吐出ヘッドを傾けても液体貯留部の液体が外に流出することがなく、また、気体を透過させるので吸引を行う際に障害とならない。
【００１０】
上記第１工程においては、液滴吐出ヘッドを９０度傾けることが好ましい。９０度傾けることによって、液滴吐出ヘッドのノズルが形成された面に付着した汚染物質をワイピングによって除去することが容易となる。
【００１１】
また、本発明は、上記課題を解決するために、ノズル孔と、底部に液体送出口を備える液体貯留部と、を有し、該ノズル孔と該液体送出口とが流路により連通されている液滴吐出ヘッドを装着して用いる液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドを所定の角度に傾けて固定することが可能な液滴吐出ヘッド固定手段と、前記液滴吐出ヘッドを所定の角度に傾けて固定したときに、前記液体貯留部を覆って、前記液滴吐出ヘッドの前記液体貯留部が形成された面に密着させることが可能なキャッピング部材を有する吸引手段と、を備える液滴吐出装置置をも提供する。
【００１２】
このような構成によれば、液体の吐出、液滴吐出ヘッドを所定の角度に傾けた状態での固定、液体貯留部側からの吸引、という一連の作業を一つの装置で行うことができ、流路内の液体を効率よく液体貯留部に回収することができる。また、流路内に汚れや気泡による詰まりが生じた際も、同一の装置内で詰まりを解消し、迅速に再度の吐出を行うことができる。
【００１３】
また、本発明に係る液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドを所定の角度に傾けて固定したとき、液滴吐出ヘッドのノズルが形成された面に付着した汚染物質を除去することが可能なワイピング手段を備えることが好ましい。このような構成によれば、液体の吐出、流路内の液体の液体貯留部への回収、およびノズル形成面の洗浄を、同一の装置で効率よく行うことができる。また、流路に液体が満たされた状態でノズル形成面のワイピングを行うと隣接ノズル孔間でコンタミネーションが生じやすいが、本発明に係る装置によれば、流路内の液体を液体貯留部に回収してからワイピングを行うことができるので、コンタミネーションも生じにくい。
【００１４】
本発明はまた、本発明に係る液滴吐出装置に装着して用いられる液滴吐出ヘッドであって、前記所定の角度に固定されたとき、前記液体送出口が、前記液体貯留部の底部において、該底部の中心よりも高い位置に配置される、液滴吐出ヘッドをも提供する。
【００１５】
このような構成によれば、液滴吐出ヘッドを傾けた際に、液体貯留部内の液体の量が比較的多くても、送出口を液面上に露出させやすい。液体送出口は、液滴吐出ヘッドを十分に傾けた際に、液体貯留部の底部において該底部の上から三分の一よりも高い位置にあるとより好ましく、液体貯留部の底部において該底部の上から四分の一よりも高い位置にあるとさらに好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１および図２は、本発明に係る液体回収方法の各工程を示す説明図であり、図１（Ａ）に断面図が示されたインクジェットヘッド１０は、本発明に係る液体回収方法による液体の回収に適した、本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例である。
（インクジェットヘッド）
ここで、まず、図３〜５を用いて、インクジェットヘッド１０の構成を説明する。図３は、インクジェットヘッド１０の概略斜視図である。インクジェットヘッド１０には、図示されたように液体貯留部であるリザーバ１６が、８行×１２列で９６個設けられている。汎用されるマイクロタイタープレートのウェルの数および配置に従ってリザーバ１６を設けることによって、マイクロタイタープレートから分注機等を使用して各リザーバに液体を供給することができる。
【００１８】
一方、リザーバが形成された面１４に対向する面１２の中央に、ノズル孔２６が設けられ（図１（Ａ）参照）、ノズル孔２６とリザーバ１６底部の液体送出口（後述）とは、流路１３（後述）で連通されている。
【００１９】
このような構成のインクジェットヘッド１０は、例えば、図４に図示された基板３０、４０および５０を積層し、さらに、図５に示されたヘッドチップ２０を接着することによって形成することができる。
【００２０】
図４（Ａ）は、インクジェットヘッド１０の最下層となる基板３０の平面図である。基板３０には、基板４０を積層することによって流路１３の一部を形成する溝３２が９６本形成されている。溝３２は、基板３０の周縁部から中央に向かって集束し、各溝３２の基板周縁側の末端は、リザーバ１６に設けられた液体送出口（後述）のピッチ（形成間隔）と一致していている。一方、各溝３２の基板中央側の末端には、吐出する液体に加圧する加圧室に接続する貫通孔が設けられている。
【００２１】
図４（Ｂ）は、基板３０上に積層される基板４０の平面図である。基板４０には８行×１２列で９６個の貫通孔４２が形成されている。貫通孔４２のピッチは、リザーバ１６のピッチに一致している。
【００２２】
図４（Ｃ）は、基板４０上に積層される基板５０の平面図である。基板５０には、貫通孔４２よりも大きな直径を有する貫通孔５２が９６個形成されており、基板５０を基板４０上に積層することによって、貫通孔５２がリザーバ１６を形成する一方、貫通孔４２の上端が、リザーバ１６の液体送出口１８となる。図４（Ｃ）には、基板４０と基板５０を重ねた際の、貫通孔４２の位置を点線で示している。貫通孔４２と貫通孔５２の形成ピッチは等しいが、貫通孔４２は貫通孔５２の中心には配置されず、すべての貫通孔において図中、中心より右寄りの位置に配置されている。このような構成とすることによって、基板５０の図中左側の辺を紙面上に固定し、図中右側の辺が紙面手前に出るように、インクジェットヘッド１０を傾けたとき、液体送出口１８の位置が、液体貯留部１６の底部において、該底部の中心よりも高い位置に配置される。
【００２３】
基板３０、４０および５０は、ガラス、樹脂等の材料で形成することができ、溝や貫通孔は、エッチング、射出成形等、材料に適した方法によって形成することができる。基板３０〜５０を積層し、熱溶着、または接着剤等を用いる方法により接着した後、さらに、基板３０の中央にヘッドチップを接着して、インクジェットヘッド１０が完成する。
【００２４】
図５にヘッドチップの一例として、静電駆動方式のヘッドチップ２０の拡大断面図を示す。説明の便宜上、基板４０および５０は省略し、基板３０のみ示している。ヘッドチップ２０は、電気的に接続するだけで単独で加圧室の加圧手段を作動させ、ノズル孔から液滴を吐出可能な構成となっており、電極１０８が形成された電極基板１２１、加圧室２２を形成する加圧室基板１２２、およびノズル孔２６が形成されたノズル基板１２３により構成されている。加圧室２２、ノズル孔２６は、リザーバ１６と同数設けられ、それぞれ一対一で対応している。加圧室２２に流入した液体は、図示しない共通電極と電極１０８との間に電圧を加え、振動板１０９が弾性変位することによって加圧され、ノズル孔２６から吐出される。尚、電極基板１２１には、図中下側の面から溝が形成され、その天井部に電極１０８が形成されているため、電極１０８と振動板１０９との間にはわずかな空隙（エアギャップ）が形成されている。加圧室基板１２２、ノズル基板１２３、電極基板１２１の材料は特に限定されないが、吐出する液体に生体試料が含まれる場合には、ガラス、シリコン等が適している。
【００２５】
このような構成のヘッドチップ２０を、基板３０の中央部に接着することにより、電極基板および加圧室基板１２２に設けられた貫通孔が、基板３０の貫通孔に接続し、図示しないリザーバと加圧室２２が連通され、インクジェットヘッド１０が完成する。インクジェットヘッド１０は、例えば、図６に例示されるような液滴吐出装置２００に装着して用いられるが、液滴吐出装置２００については後述する。
【００２６】
尚、本発明においては、ノズル孔２６先端から、リザーバの液体送出口１８に到る部分のすべてを流路１３と呼ぶ。従って、以下、「流路１３」という用語は、加圧室２２や、基板３０〜５０を積層した後の溝３２や貫通孔４２を含む概念で用いられる。
（液体回収方法）
次に、本発明に係る液体回収方法を用いて、インクジェットヘッド１０の流路１３からリザーバ１６に液体を回収する工程を説明する。
【００２７】
図１（Ａ）は、図３におけるＩＡ−ＩＡ線に沿ったインクジェットヘッド１０の概略断面図である。但し、説明の便宜上、実際にはＩＡ−ＩＡ線に沿った断面には現れない流路１３が、ノズル孔２６まで連続するように示され、また、リザーバ１６ｃまたは１６ｊ以外のリザーバに接続する基板４０の貫通孔４２は省略されている。
【００２８】
図１（Ａ）は、リザーバ１６内の液体を吐出した後の様子を示している。吐出後、液体送出口１８ｃ、１８ｊからノズル孔２６ｃ、２６ｊをそれぞれ接続する流路１３ｃおよび１３ｊは、液体に満たされている。このように、液体送出口１８が液体によって封止された状態でリザーバ１６側から吸引すると、流路１３内の液体が、液体送出口１８からリザーバ１６内の液体中に急激に流入する際、泡立ちが生じやすい。気泡が発生すると、リザーバ１６や流路１３の内壁に付着し、詰まりが生じたり、その後リザーバ１６内の液体の回収がきれいに行いにくくなったりするなどの問題がおこる可能性がある。
【００２９】
次に、図１（Ｂ）に示すように、インクジェットヘッド１０を液滴吐出装置のインクジェットヘッドホルダー２１２に固定する。インクジェットヘッドホルダー２１２は、インクジェットヘッド１０を任意の角度に傾けて固定することが可能である。インクジェットホルダー２１２については、後述する。
【００３０】
続いて、図１（Ｃ）に示すように、吸引手段６０を、矢印Ａの方向に移動させて、インクジェットヘッド１０のリザーバ形成面１４に密着させる。吸引手段６０は、リザーバ１６のすべて覆ってリザーバ形成面１４に密着可能なキャッピング部材６２を備えている。キャッピング部材６０の材料は特に限定されないが、外周部分を弾性材料とすることによって、リザーバ形成面１４に密着させやすくなる。弾性材料としてはブチルゴム等が適している。
【００３１】
さらに、吸引手段６０は、キャッピング部材６２の内側に気液分離フィルター６４を有しており、吸引手段６０をリザーバ形成面１４に密着させると、気液分離フィルター６４は、その裏面に配置されたポリウレタンなどのフォームによってリザーバ１６の開口部に密着する。吸引手段６０を密着させた状態を維持して、液体送出口１８が液面上に露出するまで、インクジェットヘッドホルダー２１２を矢印Ｂの方向に９０度回転させ固定する。尚、このとき、気液分離フィルター６４は液体を透過させないので、リザーバ１６内の液体は流出しない。
【００３２】
図２（Ａ）に、回転後の状態を示す。リザーバ１６内の液面は、リザーバ形成面１４に垂直となり、送出口１８が液面上に露出する。そこで、この状態のまま、吸引手段６０を作動させて矢印の方向に吸引する。こうすることによって、流路１３内の液体は、送出口１８からリザーバ１６内に回収される。送出口１８は液体によって封止されていないので、リザーバ１６に流れ込む際、泡立ちを生じることもない。また、気液分離フィルター６４は、気体のみ透過させて、液体を透過させないので、吸引を阻害することもなく、またリザーバ１６内の液体が流出することもない。
【００３３】
こうして、図２（Ｂ）に示すように、流路１３内に収容されていた液体は、上述した簡易な工程によって、すべてリザーバ内に回収され、この後、リザーバからの液体の回収は、公知の方法によって容易に行うことができる。
【００３４】
また、図示されるように、ノズル孔先端まで液体が充填されていないので、この状態でヘッドチップ２０のノズル孔形成面をワイピングすれば、隣接するノズル孔間で汚染が生じることなく、当該ノズル孔形成面に付着した汚れを除去することができる。
【００３５】
尚、本発明に係る液体回収方法は、最終的に液体をインクジェットヘッド以外の容器に回収することを目的とする場合のみでなく、流路の内壁に試料や気泡が付着して詰まりを生じた場合にも利用することができる。本発明に係る液体回収方法によれば、インクジェットヘッド１０を十分に傾けて吸引するという簡易な工程によって、容易に詰まりを解消することができ、再び吐出に供するまでの工程および時間を短縮することが可能である。
（液滴吐出装置）
次に、上述した本発明に係る液体回収方法を好適に行うことができる液滴吐出装置について説明する。
【００３６】
図６に、本発明に係る液滴吐出装置の一例として、マイクロアレイ製造装置２００を示す。マイクロアレイ製造装置２００は、上述した本発明に係るインクジェットヘッド１０を装着して用いられるものである。
【００３７】
マイクロアレイ製造装置２００は、ガラス等の基板２０２上に生体分子を含む試料溶液の液滴を複数配置して作製されるマイクロアレイを製造するためのものであり、複数の基板２０２を載置可能に構成されたテーブル２０４と、インクジェットヘッド１０をＹ方向に自在に移動させるためのＹ方向駆動軸２１６と、テーブル２０４をＸ方向に自在に移動させるためのＸ方向駆動軸２１４と、を備える。また、インクジェットヘッド１０を任意の角度に傾けて固定することが可能なインクジェットヘッドホルダー２１２と、インクジェットホルダー２１２をＺ方向に自在に移動させるためのＺ方向駆動軸２１８と、をも備えている。インクジェットヘッドホルダー２１２を、図６中、左方向から見た様子を示す説明図を図７に示す。インクジェットヘッドホルダー２１２は、Ｚ方向駆動軸側の端部に回転軸２２０を有しており、この回転軸を中心に、矢印の方向にインクジェットヘッド１０を回転させ、所定の角度で固定することができるものである。
【００３８】
さらに、マイクロアレイ製造装置２００には、インクジェットヘッド１０を所定の角度に傾けて固定したときに、そのリザーバ１６を覆って、リザーバ形成面１４に密着させることが可能なキャッピング部材６２を有する吸引手段６０をも備えている。吸引手段６０は、図示されない吸引ポンプに接続され、キャッピング部材内の気体を吸引することができる。吸引手段６０は、例えば、Ｚ方向駆動軸２１８に、インクジェットヘッド１０とは独立して移動できるように取り付けておくことができる。また、吸引手段６０のキャッピング部材は、図示されないキャッピング部材駆動手段によって、インクジェットヘッド１０のリザーバ形成面１４に密着させた状態で任意の角度に傾けることが可能な構成となっていてもよい。かかる構成の場合、キャッピング部材６２内部に気液分離フィルターを装着しておけば、インクジェットヘッド１０のリザーバ１６の開口部に気液分離フィルターを密着させた状態で、インクジェットヘッド１０を傾けることが可能となる。
【００３９】
マイクロアレイ製造装置２００では、Ｘ方向駆動軸２１４およびＹ方向駆動軸２１６を作動させて、インクジェットヘッド１０を基板２０２の上方に移動させ、その後Ｚ方向駆動軸２１８を作動させて、インクジェットヘッド１０と基板２０２との距離を調整し、基板に向けて液体を吐出する。
【００４０】
吐出の終了後は、まずＺ方向駆動軸２１８を作動させてインクジェットヘッド１０を上昇させ、Ｘ方向駆動軸２１４およびＹ方向駆動軸２１６を作動させて適当な位置まで移動させる。続いて、キャッピング部材駆動手段を作動させて、キャッピング部材６２をインクジェットヘッド１０のリザーバ形成面１４に密着させる。次に、キャッピング部材駆動手段およびインクジェットヘッドホルダー２１２を作動させ、液体送出口１８（図１参照）が液面上に露出するまでインクジェットヘッド１０を傾ける。この状態で吸引手段６０の吸引ポンプを作動させて吸引し、インクジェットヘッド１０の流路１３中の液体をリザーバ１６に回収する。その後、リザーバ１６内からは、公知の方法に従って、分注機等により、容易に液体を回収できる。
【００４１】
また、汚染物質や気泡によって流路１３に詰まりが生じた場合は、同様に、インクジェットヘッド１０を適当な位置に移動させ、本発明に係る液体回収方法によって、流路１３内の液体をリザーバ１６内に回収し、詰まりを解消することができる。解消後は、キャッピング部材をリザーバ形成面１４から外し、インクジェットヘッドホルダー２１２を回転させて、インクジェットヘッド１０を吐出できる角度に戻し、図示されていないノズル面キャッピング手段を用いて吸引することにより流路１３を再充填した後、Ｘ方向駆動軸２１４、Ｙ方向駆動軸２１６、Ｚ方向駆動軸２１８を適宜作動させて、インクジェットヘッドホルダー１０を基板２０２の上方に移動させ、吐出を行うことができる。
【００４２】
尚、液滴吐出装置２００は、インクジェットヘッド１０のヘッドチップ２０におけるノズル形成面に付着した汚れを除去するための、図示されないワイピング手段を備えていてもよい。ワイピング手段としては、例えば上記ノズル形成面に密着させられるゴムのブレードが挙げられる。本発明に係る液体回収方法により、流路１３内の液体をリザーバ１６内に回収した後で、ワイピング手段によってワイピングを行えば、隣接するノズル孔２６間でコンタミネーションが生じにくい。
【００４３】
以上のように、本発明に係る液体回収方法によれば、試料液体の吐出後、流路１３内の液体をリザーバ１６内に回収することができるので、高価な試料や貴重なサンプルも無駄なく回収して再度使用することができる。また、詰まりが生じた場合、詰まりの解消、および再度の吐出という工程を、繰り返し効率よく行うことも可能である。
【００４４】
なお、本発明は上述した実施形態の内容に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において、種々に変更して実施することが可能である。例えば、液滴吐出ヘッドの構成は、ノズル孔と、底部に液体送出口を備える液体貯留部と、を有し、ノズル孔と液体送出口とが流路により連通されており、所定の角度に固定されたときに、液体送出口が液面上に露出するものである限り特に限定されず、基板３０、４０、５０を積層するのではなく、射出成型等によって、一体的に形成されたものであってもよい。また、液体貯留部の数や配置も限定されず、目的に応じて変更できる。加圧手段は、静電駆動方式、圧電駆動方式のいずれであってもよい。さらに、液滴吐出ヘッドを傾ける角度は、９０度でなくてもよく、液体送出口が液面上に露出すればよい。また、インクジェットヘッドホルダーは、インクジェットヘッドを任意の角度に固定できるものであってもよいし、所定の角度のみで固定可能なものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明にかかる液体回収方法の工程を示す説明図である。
【図２】本発明にかかる液体回収方法の工程を示す説明図である。
【図３】液滴吐出ヘッドを示す概略斜視図である。
【図４】積層して液滴吐出ヘッドを構成する基板の平面図である。
【図５】ヘッドチップの構成を示す概略断面図である。
【図６】液滴吐出装置を示す概略斜視図である。
【図７】液滴吐出ヘッド固定手段の動作を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０…液滴吐出ヘッド、１２…ノズル孔形成面、１３…流路、１４…リザーバ形成面、１６…リザーバ（液滴貯留部）、２０…ヘッドチップ、２２…加圧室、２６…ノズル孔、３０、４０、５０…基板、４２、５２…貫通孔、６０…吸引手段、６２…キャッピング部材、６４…気液分離フィルター、１０８…電極、１０９…振動板、１２１、１２２、１２３…基板、２００…液滴吐出装置、２１２…液滴吐出ヘッド固定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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