(57)【要約】      （修正有）【課題】下位系からの特殊処理を要する事象の発生の通知を受信可能とし、特殊処理の指図を該下位系に行なうことを可能とする上位系としてコンピュータに機能させるためのコンピュータ実行可能なプログラムを提供すること。【解決手段】製品の製造計画を支援する処理をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、該コンピュータに、前記製造計画に従って作業工程を管理する下位系処理システムから受信した該製造計画に対する特殊処理を依頼する依頼情報に基づいて、該特殊処理の対象となるロットを特定して表示ユニットに一覧表示させる第一表示手順と、前記製造計画に従ってなされた処理結果を含むウエハー情報に基づいて、ロット内の切れ目を視覚的に認識できるようにウエハー毎の該ウエハー情報又はロット毎のロット情報を一覧で表示する第二表示手順とを実行させる。【選択図】  図１
2006048115.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の製造計画を支援する処理をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、該コンピュータに、
前記製造計画に従って作業工程を管理する下位系処理システムから受信した該製造計画に対する特殊処理を依頼する依頼情報に基づいて、該特殊処理の対象となるロットを特定して表示ユニットに一覧表示させる第一表示手順と、
前記製造計画に従ってなされた処理結果を含むウエハー情報に基づいて、ロット内の切れ目を視覚的に認識できるようにウエハー毎の該ウエハー情報又はロット毎のロット情報を一覧で表示する第二表示手順とを実行させることを特徴とするコンピュータ実行可能なプログラム。
【請求項２】
該コンピュータに、オペレータによる特殊作業の入力要求に応じて、前記処理結果に基づいて再作業可能な作業項目の一覧を表示する第三表示手順を更に実行させることを特徴とする請求項１記載のコンピュータ実行可能なプログラム。
【請求項３】
該コンピュータに、オペレータが設定した転用先の品目に対応づけられた仕様情報と、転用元の品目に対応づけられた仕様情報とに基づいて、転用元の品目から転用先の品目への変更が可能か否かをチェックするチェック手順を更に実行させることを特徴とする請求項１又は２記載のコンピュータ実行可能なプログラム。
【請求項４】
製品の製造計画を支援する製造計画支援システムにおいて、
前記製造計画に従って作業工程を管理する下位系処理システムから受信した該製造計画に対する特殊処理を依頼する依頼情報に基づいて、該特殊処理の対象となるロットを特定して表示ユニットに一覧表示させる第一表示手段と、
前記製造計画に従ってなされた処理結果を含むウエハー情報に基づいて、ロット内の切れ目を視覚的に認識できるようにウエハー毎の該ウエハー情報又はロット毎のロット情報を一覧で表示する第二表示手段とを実行させることを特徴とする製造計画支援システム。
【請求項５】
製品の製造計画を支援する製造計画支援方法において、コンピュータに、
前記製造計画に従って作業工程を管理する下位系処理システムから受信した該製造計画に対する特殊処理を依頼する依頼情報に基づいて、該特殊処理の対象となるロットを特定して表示ユニットに一覧表示させる第一表示手順と、
前記製造計画に従ってなされた処理結果を含むウエハー情報に基づいて、ロット内の切れ目を視覚的に認識できるようにウエハー毎の該ウエハー情報又はロット毎のロット情報を一覧で表示する第二表示手順とを実行させることを特徴とする製造計画支援方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、下位系からの特殊処理を要する事象の発生の通知を受信可能とし、特殊処理の指図を該下位系に行なうことを可能とする上位系としてコンピュータに機能させるためのコンピュータ実行可能なプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、製品を製造及び販売する企業では、製品に関する受注情報の追加やその変更に追随した生産体制を実現するために、ネットワーク連携によって、受注情報の変更を取り込むだけで、その変更を考慮した受注に対応した生産計画を可能とする生産管理方法が提案されている（例えば、特許文献１）
【特許文献１】特開平６−２１４９９６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の生産管理方法では、製品例えば半導体（ウエハー）等の製造工程を考慮した方法ではなかった。
【０００４】
例えば、半導体の製造生産を管理する部門においても、上記従来技術のように、販売、生産、会計等の計画管理システムとしての上位系処理システムと半導体の製造工程を管理する工程管理システムとしての下位系処理システムとの連携を行っている。上位系から下位系に対して指図が発行され、下位系側では指図に基づいて作業を実施し、所定の工程が完了すると入庫実績を上位系に送信するシステムである。
【０００５】
通常であれば、発行した製品の製造計画を指示する指図と入庫実績との対応付けによって整合がとられており問題は発生しない。しかしながら、製造工程において様々な原因により特殊処理（再洗浄／再検査／再包装等）が発生する場合がある。このような場合、従来のシステムでは、特殊処理について考慮されていないため、下位系側にてローカルにロットを生成し作業を継続する方法がとられ、上位系に対する実績の指図と異なるといった問題があった。また、このようなローカルな処置では、下位系側での人の判断によって独自に処理が判断されてしまうこともあり、上位系との情報連携にミスが発生することもあった。
【０００６】
従って、本発明の目的は、下位系からの特殊処理を要する事象の発生の通知を受信可能とし、特殊処理の指図を該下位系に行なうことを可能とする上位系としてコンピュータに機能させるためのコンピュータ実行可能なプログラムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明は、製品の製造計画を支援する処理をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、該コンピュータに、前記製造計画に従って作業工程を管理する下位系処理システムから受信した該製造計画に対する特殊処理を依頼する依頼情報に基づいて、該特殊処理の対象となるロットを特定して表示ユニットに一覧表示させる第一表示手順と、前記製造計画に従ってなされた処理結果を含むウエハー情報に基づいて、ロット内の切れ目を視覚的に認識できるようにウエハー毎の該ウエハー情報又はロット毎のロット情報を一覧で表示する第二表示手順とを実行させるように構成される。
【０００８】
このようなプログラムを実行するコンピュータでは、下位系からの特殊処理を要する事象の発生の通知を受信可能とし、特殊処理の指図を該下位系に行なうことを可能とする。
【０００９】
上記課題を解決するための手段として、本発明は、製品の製造計画を支援する製造計画支援システム、及び、製品の製造計画を支援する製造計画支援方法とすることもできる。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、下位系からの特殊処理を要する事象の発生の通知を受信可能とし、上位系から特殊処理の指図を該下位系に行なうことを可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
本発明の一実施形態に係るロット生成支援システムは、販売、生産、会計等の計画管理システムとしての上位系処理システムと半導体の製造工程を管理する工程管理システムとしての下位系処理システムとのネットワーク連携によって構成され、例えば、図１に示すような機能構成を有する。
【００１３】
図１は、ロット生成システムの機能構成の例を示す図である。図１に示すロット生成支援システム１０００は、半導体（以下、ウエハーと言う）を製品とし、その製造に係る作業計画及び作業工程を管理するシステムである。ウエハーは、原料となる物質を円柱状に結晶成長させたインゴットから、１００枚のウエハーを製造できる程度のロットを数個切り出して、その切り出されたロットをスライスして複数の作業工程を経ることによって完成される製品である。
【００１４】
図１に示すロット生成支援システム１０００において、上位系処理システム１００と下位系処理システム３００とは、ネットワーク２で接続されており、ネットワーク２を介して、上位系処理システム１００から通常の作業及び特殊作業に関して指図が下位系処理システム３００へ発行され、下位系処理システム３００から通常の作業及び特殊作業に関して作業実績及び入庫実績が上位系処理システム１００へ通知される。
【００１５】
このように一貫して上位系処理システム１００が特殊作業を含めて作業指図を下位系処理システム３００に行なう仕組みとすることによって、作業工程中に発生した様々な原因による特殊作業に対する指図を上位系処理システム１００及び下位系処理システム３００において一様に認識することが可能となる。本実施形態において、指図とは、作業工程の計画のことを示す。
【００１６】
上位系処理システム１００は、主に、作業指図部１１０と、特殊作業指図部１２０と、在庫入庫管理部１３０と、指図完了部１４０と、ウエハー構成情報マスタＤＢ１４２と、社内規格情報マスタＤＢ１４４とを有する。
【００１７】
作業指図部１１０は、通常の作業の指図の作成を支援する処理部であって、在庫一覧表示部１１２と、指図作成部１１４と、第一指図発行部１１６とを有する。
【００１８】
在庫一覧表示部１１２は、上位系処理システム１００のオペレータの指示によって、在庫入庫管理部１３０からオペレータの指示に応じた在庫情報を取得して在庫一覧画面を作成して表示するための処理部である。指図作成部１１４は、オペレータが表示された在庫一覧画面にて在庫状況を確認後に、オペレータによって成される上位系処理システム１００への指示に応じて、必要となる作業指図の作成を支援する処理部である。第一指図発行部１１６は、指示作成部１１４によって作成された作業指図を発行するための処理部であり、ウエハー構成情報マスタＤＢ１４２において、作業指図の対象となったウエハーのロット毎に作業指図に係る情報を登録する。
【００１９】
特殊作業指図部１２０は、作業工程３９０にて発生した様々な状況に対応すべく転用依頼管理ＤＢ３４０に基づいて行なわれる下位系処理システム３００からの通知に応じて、ウエハーの転用指図を支援する処理部であって、対象ロット一覧表示部１２２と、転用処理部１２４と、第二指図発行部１２６とを有する。
【００２０】
対象ロット一覧表示部１２２は、下位系処理システム３００から受信した転用依頼情報に基づいて、対象となるロットの一覧を表示するための処理部である。転用処理部１２４は、転用可能か否かをロットの仕様に基づいて判断することによって、ロットの転用処理を支援する処理部である。第二指図発行部１２６は、ロットの転用を下位系処理システム３００へ指図すると共に、転用する際に必要となる作業工程を指図する。
【００２１】
在庫入庫管理部１３０は、下位系処理システム３００から受信した入庫実績情報に基づいて、在庫入庫管理を行なう処理部であり、ウエハーのロット毎に作業実績情報をウエハー構成情報マスタＤＢ１４２に反映させる。
【００２２】
指図完了部１４０は、在庫入庫管理部１３０が下位系処理システム３００から受信した入庫実績情報の内容をウエハー構成情報マスタＤＢ１４２に反映させたことを受けて、対応する指図毎に原価管理処理を行い、その指図の完了処理を行なう処理部である。
【００２３】
指図実績管理部１５０は、下位系処理システム３００から受信した作業実績情報に基づいて、作業実績、すなわち各工程の進捗の実績の管理を行う処理部であり、ウエハー毎の作業実績はウエハー構成情報マスタＤＢに反映される。
【００２４】
ウエハー構成情報マスタＤＢ１４２は、ウエハーのロット毎に指図内容を管理するデータベースである。社内規格情報マスタＤＢ１４４は、品目毎に社内規格内容を管理するデータベースである。
【００２５】
下位系処理システム３００は、作業指示部３１０と、作業実績報告部３２０と、入庫実績報告部３３０と、転用依頼管理ＤＢ３４０とを有する。
【００２６】
作業指示部３１０は、上位系処理システム１００の作業指図部１１０から発行され、ネットワーク２を介して送信された指図情報（元指図と言う）に基づいて、工程計画に応じた工程毎の作業指示を作成し、作業工程３９０へ指示を出す。作業工程３９０は、指示された作業内容に従って、加工、検査、包装等の工程を実行する。また、作業指示部３１０は、上位系処理システム１００の特殊作業指図部１２０から発行され、ネットワーク２を介して送信された指図情報（新指図と言う）に基づいて、対象となるロットに必要とされる工程毎の作業指示（特殊作業指示）を作成し、作業工程３９０へ指示を出す。
【００２７】
作業実績報告部３２０は、指図に基づく一連の作業工程が終了すると、作業実績情報を生成して、ネットワーク２を介して上位系処理システム１００へ通知する。
【００２８】
本発明の一実施形態に係るロット生成支援システムを構成する上位系処理システムは、コンピュータ装置であって、図２に示すようなハードウェア構成を有する。図２は、上位系処理システムのハードウェア構成を示す図である。
【００２９】
図２において、上位系処理システム１００は、コンピュータによって制御される装置であって、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５１と、メモリユニット５２と、表示ユニット５３と、出力ユニット５４と、入力ユニット５５と、通信ユニット５６と、記憶装置５７と、ドライバ５８とで構成され、システムバスＢに接続される。ここで通信ユニット５６を不要としても良い。
【００３０】
ＣＰＵ５１は、メモリユニット５２に格納されたプログラムに従って上位系処理システム１００を制御する。メモリユニット５２は、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read-Only Memory）等にて構成され、ＣＰＵ５１にて実行されるプログラム、ＣＰＵ５１での処理に必要なデータ、ＣＰＵ５１での処理にて得られたデータ等を格納する。また、メモリユニット５２の一部の領域が、ＣＰＵ５１での処理に利用されるワークエリアとして割り付けられている。
【００３１】
表示ユニット５３は、ＣＰＵ５１の制御のもとに必要な各種情報を表示する。出力ユニット５４は、プリンタ等を有し、オペレータからの指示に応じて各種情報を出力するために用いられる。入力ユニット５５は、マウス、キーボード等を有し、オペレータが上位系処理システム１００が処理を行なうための必要な各種情報を入力するために用いられる。
【００３２】
通信ユニット５６は、上位系処理システム１００が例えばインターネット、ＬＡＮ（Local Area Network）等を介して下位系処理システム３００と接続する場合に、下位系処理システム３００との間の通信制御をするための装置である。
【００３３】
記憶装置５７は、例えば、ハードディスクユニットにて構成され、各種処理を実行するプログラム等のデータを格納する。
【００３４】
上位系処理システム１００よって行われるレイアウト方法での処理を実現するプログラムは、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read-Only Memory）等の記憶媒体５９によって上位系処理システム１００に提供される。即ち、プログラムが保存された記憶媒体５９がドライバ５８にセットされると、ドライバ５８が記憶媒体５９からプログラムを読み出し、その読み出されたプログラムがシステムバスＢを介して記憶装置５７にインストールされる。そして、プログラムが起動されると、記憶装置５７にインストールされたプログラムに従ってＣＰＵ５１がその処理を開始する。
【００３５】
尚、プログラムを格納する媒体としてＣＤ−ＲＯＭに限定するものではなく、コンピュータが読み取り可能な媒体であればよい。本発明に係る処理を実現するプログラムは、通信ユニット５６によってネットワークを介してダウンロードし、記憶装置５７にインストールするようにしても良い。
【００３６】
また、下位系処理システムも上記同様のハードウェア構成を有するコンピュータ装置である。
【００３７】
本発明に係る特殊作業指示処理の概要について図３及び図４で説明する。図３は、特殊作業指示処理を説明するためのフローチャート図である。
【００３８】
図３において、上位系処理システム１００は、オペレータが特殊作業指示を容易に行なえるように、下位系処理システム３００から受信した転用依頼情報、ウエハー構成情報マスタＤＢ１４２、社内規格情報マスタＤＢ１４４等を用いて、工程進捗、ロット構成、規格情報などを示すロット情報によって、特殊作業指示支援処理を実行する（ステップＳ１１）。特殊作業指示支援処理は、対象ロット一覧表示部１２２及び転用処理部１２４によって実行される。特殊作業指示支援処理中のオペレータによる選択及び決定事項に基づいて、特殊作業指示用の新指図を作成し、下位系処理システム３００へ送信する（新指図発行）（ステップＳ１２）。
【００３９】
特殊作業指示用の新指図を上位系処理システム１００から受信すると、下位系処理システム３００は、作業指示部３１０によって特殊作業指示を作成する（ステップＳ１３）。その特殊作業指示に従って作業工程が実行される。この作業工程が終了すると、下位系処理システム３００は、作業実績報告部３２０によって作業実績報告を作成し（ステップＳ１４）、入庫実績報告部３１０によって入庫実績報告が作成される（ステップＳ１５）。作業実績報告と入庫実績報告とは、夫々、上位系処理システム１００に通知される。
【００４０】
上位系処理システム１００では、在庫入庫管理部１３０によって自動的に（オペレータによる介入なしに）製品（ウエハー）の在庫入庫処理が実行され（ステップＳ１６）、ステップＳ１２にて発行した新指図に対する指図完了処理を実行する（ステップＳ１７）。
【００４１】
次に、新指図を発行するまでの処理について詳細を図４で説明する。図４は、新指図発行までの処理について詳細を説明するためのフローチャート図である。
【００４２】
図４において、上位系処理システム１００は、下位系処理システム３００より転用依頼情報を受信すると（ステップＳ２１）、特殊作業部１２０によって、転用依頼情報に基づいて、上位系処理システム１００内のロット情報格納領域に転用対象となるロットに係る情報を格納する（ステップＳ２２）。転用依頼情報には、元指図に関する情報、元指図の工程進捗情報（最終作業区）などが示される。
【００４３】
上位系処理システム１００の対象ロット一覧表示部１２２は、オペレータの指示に応じて、該ロット情報格納領域を参照することによって、転用依頼のあった対象ロット一覧を作成して表示ユニット５３に表示する（ステップＳ２３）。オペレータは、対象ロット一覧から特殊作業指示の対象となるロットを特定する。
【００４４】
転用処理部１２４は、オペレータが特定したロットのロット構成情報をウエハー構成情報マスタＤＢ１４２から抽出して、オペレータによって選択された親ロット又はインゴットロットのロットのくくりに従って、抽出したロット構成情報のセットを作成し、セットと次のセットとの間にロット切れ目を設けて、全スロットの情報を画面表示する（ステップＳ２４）。具体的には、ウエハー構成情報マスタＤＢ１４２の親ロットＮｏ．又はインゴットロットＮｏ．を検索して、オペレータが特定したロットが、異なる複数の種類の親ロット又はインゴットロットから構成されていることを検出した場合に、同一の親ロット毎又は同一のインゴットロット毎にくくり、１つのセットとする処理を行う。そして、オペレータに対しては、例えば、空行を挿入したり、表示色を変えたりして、セット間の切れ目を認識しうるように、画面表示を行う。
【００４５】
オペレータがロット切れ目で区切られた先頭スロットを選択すると、再加工の開始工程を自動表示しつつ、各指図単位におけるロット情報が表示ユニット５３に表示される（ステップＳ２５）。転用処理部１２４は、下位系処理システム３００から受信した転用依頼情報を参照して、どの作業工程が完了しなかったのかをチェックして、どこから再加工を行なうかを示す開始工程（完了しなかった最終作業区）を初期表示し、オペレータにガイドする。
【００４６】
オペレータがガイドされた開始工程に基づいて作業指示を設定すると、転用処理部１２４は、作業指示が設定されたロットの規格をチェックする（ステップＳ２６）。転用処理部１２４は、社内規格情報マスタＤＢ１４４を参照することによって、ロットの規格（仕様）情報を取得する。転用処理部１２４は、元指図の情報から元の品目を特定し、これに関連付けられる規格情報を取得する。また、転用処理部１２４は、オペレータが選択した先の品目に関連付けられる規格情報を取得する。そして、転用処理部１２４は、元の品目の規格情報が示す値と先の品目の規格情報が示す値とが許容範囲にあるか否かをチェックする。例えば、抵抗値等が規格情報によって指定される上限値及び下限値を満たす範囲であるか否かがチェックされる。このようにして、転用元の規格が転用先の規格を満たすことがチェックされる。
【００４７】
規格が満たされることを確認した後にオペレータによって指図の発行が指示されると、第二指図発行部は、特殊作業指示用の新指図を作成し下位系処理システム３００へ発行する（ステップＳ２７）。
【００４８】
次に、特殊作業部１２０での処理にて参照される、ウエハー構成情報マスタＤＢ１４２と社内規格情報ＤＢ１４４とについて図５及び図６で説明する。
【００４９】
図５は、ウエハー構成情報マスタＤＢのデータ構成例を示す図である。図５において、ウエハー構成情報マスタＤＢ１４２は、ウエハー毎にウエハーに関するウエハー構成情報を管理し、製品を特定するための品目コード、製品を製造した工場を示す工場コード、ウエハー２５枚組みのロットを特定するロットＮｏ．、ウエハーが保管されているスロットを識別するスロット位置、親ロットを特定する親ロットＮｏ．、親ロットが切り出されたインゴットロットを特定するインゴットロットＮｏ．、指図を特定する製造指図番号、指図に基づく開始作業区、指図に基づく終了作業区、指図が登録された登録日付、指図が最後に更新された最終更新日等の項目を有する。
【００５０】
ウエハー構成情報マスタＤＢ１４２において、例えば、ウエハーの１つは、ロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ａ」のロットでくくられるウエハーの１つであってスロット位置「１」に保管されており、品目コード「1-300-xxx-xx-00」で特定される製品として、工場コード「１０００」で示される工場で製造されたことを示している。また、このウエハーは、インゴットロットＮｏ．「Ｒ１２３４５−００３Ａ」から切り出された親ロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１」からスライスされたウエハーであることを示している。更に、このウエハーは、親ロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１」から製造される際に指定された製造指図番号「７１１０」に従って製造され、開始作業区「ＡＳＷ０１０」から「ＡＳＷ０５０」までの作業工程が完了したことを示している。この製造指図番号「７１１０」によって識別される指図内容（指図情報）は、登録日付「２００４／５／１０（２００４年５月１０日）」に初めて登録され、その後、更新が少なくとも１回は成されて、最後に更新されたのは、最終更新日「２００４／５／２４（２００４年５月２４日）」であることを示している。
【００５１】
このデータ構成例では、ロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ａ」の場合が示されているが、通常、親ロットから１００枚程が製造され、２５枚組みを１つのロットとしてくくられ、１から２５の番号で特定されるスロットに１枚ずつ保管される。
【００５２】
例えば、親ロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１」から作り出されたロットは、ロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ａ」、「ＡＢＣ０００１Ｂ」、「ＡＢＣ０００１Ｃ」、「ＡＢＣ０００１Ｄ」のように親ロットＮｏ．にアルファベット１文字「Ａ」から「Ｄ」が付加された番号によって特定される。
【００５３】
その他、アルファベット「Ｍ」が付加されたロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」は、２５枚のウエハーが２つの親ロットからスライスされ１つのロットとしてくくられていることを示す。このようなロットをミックスロットという。２つの親ロットとは、同一のインゴットロットから切り出される２つの親ロットを示す場合と、２つのインゴットロット夫々から切り出された２つの親ロットを示す場合等がある。
【００５４】
図６は、社内規格情報マスタＤＢのデータ構成例を示す図である。図６において、社内規格情報マスタＤＢ１４４は、品目毎に規格に関する規格情報を管理し、製品を特定するための品目コード、製品の仕様として指定される規格項目、日本語で示される規格項目（日本語）、測定点、測定器などを特定する識別子で示す測定方法、製品としての社内規格の上限値を指定する社内規格（上限）、製品としての社内規格の下限値を指定する社内規格（下限）、例えば社内規格（上限）と社内規格（下限）との範囲内における値で示される狙値を示す社内規格（狙値）、社内規格（上限）、社内規格（下限）、及び社内規格（狙値）の単位を示す社内規格（単位）、製品の仕様を特定するスペックＮｏ．等の項目を有する。
【００５５】
社内規格情報マスタＤＢ１４４において、例えば、品目コード「1-300-xxx-xx-00」で特定される製品には、スペックＮｏ．「ＡＢＣ０００１」によって特定される仕様によって、規格項目「PW_DIAMETER」、「FILM_THICKNESS_maximum」等が要求されていることを示している。規格項目「PW_DIAMETER」は、規格項目（日本語）「ＰＷ直径」を意味し、規格項目「PW_DIAMETER」について、測定点「ａ５」で測定方法（測定器）「１」で特定される測定器によって測定することが指定されている。また、その測定器による測定値が社内規格（上限）「３０．２」から社内規格（下限）「２９．９」の範囲内であることが条件とされ、製品として社内規格（狙値）「３０」が好ましい値であることが示されている。これら値の単位は、社内規格（単位）「ＭＭ」である。規格項目「FILM_THICKNESS_maximum」についても同様である。
【００５６】
次に、特殊作業指図部１２０によって表示ユニット５３に表示し、オペレータがガイドする画面例について説明する。
【００５７】
図７は、対象ロット一覧を表示する画面例を示す図である。図７において、画面５００は、下位系処理システム３００から受信した転用依頼情報に基づいて、特殊作業指図が必要となるロットの一覧を表示するための画面であり、画面を終了するためのボタン５０１と、設定を取り消すためのボタン５０２と、表示方法をインゴットロット毎にするためのボタン５０３と、表示方法を親ロット毎にするためのボタン５０４と、ミックスロットを表示するためのボタン５０５と、指図単位毎に特殊作業用の作業工程を決定するための画面へ遷移するためのボタン５０６と、ロットのくくり（ロット単位）毎に特殊作業用の作業工程を決定するための画面へ遷移するボタン５０７と、対象ロット一覧を表示する表示域５０８とを有する。
【００５８】
オペレータは、表示ユニット５３に表示されたが画面５００の表示域５０８を参照することによって、特殊作業を必要とするロットの一覧を確認することができる。
【００５９】
オペレータは、例えば、インゴットロットを表示するために、ボタン５０３をクリックすることによってインゴットロット毎の表示方法を選択し、ロット単位決定画面に遷移するためにボタン５０７をクリックすると、例えば、図８のような画面が表示ユニット５３に表示される。
【００６０】
図８は、ロット単位毎に特殊作業用の作業工程を決定するための画面例を示す図である。図８において、画面５２８は、ミックスロットの詳細情報を表示する画面であって、前の画面に戻るためのボタン５２１と、画面を終了するためのボタン５２２と、設定を取り消すためのボタン５２３と、確定するためのボタン５２４と、ミックスロットのウエハーの情報を表示する表示域５２８とを有する。
【００６１】
画面５２８の表示域５２８では、インゴットロット毎にウエハーの情報が表示され、指図の切れ目に１行が挿入されることによる切れ目３ａが設けられている。この切れ目３ａが表示されることによって、オペレータは、特殊作業用の指図を設定すべきウエハーのセットを視覚的に容易に知ることができる。切れ目３ａは、視覚的に容易に認識できるように、例えば、特定の色にて表示されるようにしても良い。
【００６２】
オペレータは、ロットの切れ目３ａを境にして、先頭スロットを選択することによって、図９に示すような画面５４０が表示ユニット５３に表示され、特殊作業用の指図を設定することができる。
【００６３】
一方、オペレータは、図７に示す画面５００において、ボタン５０３をクリックすることによってインゴットロット毎の表示方法を選択、或いは、ボタン５０４をクリックすることによって親ロット毎の表示方法を選択し、ボタン５０６をクリックして、指図単位で特殊作業用の指図を決定するための画面に遷移することができる。オペレータによるボタン５０６のクリックに応じて、例えば、図９に示すような画面５４０が表示ユニット５３に表示される。
【００６４】
図９は、指図単位で特殊作業用の指図を決定するための画面例を示す図である。図９において、画面５４０は、前の画面に戻るためのボタン５４１と、画面を終了するためのボタン５４２と、設定を取り消すためのボタン５４３と、設定した特殊作業を実行するためのボタン５４４と、作業指示を入力するためのボタン５４５と、同一の指図が成されているロット毎の作業工程に関する情報を表示する表示域５４８と、オペレータによって選択されたロットに関する元指図の最終作業区を表示する表示域５４９とを有する。
【００６５】
表示域５４８にロット毎の作業工程に関する情報が表示されると、最終作業区５４７に元指図に従って行なわれた作業工程における最終作業区が設定される。最終作業区とは、何らかの理由によって、元指図に指定される全工程を終了することができなかった場合における最後に行なわれた作業工程を示す情報である。
【００６６】
表示域５４８では、指図単位毎に行が挿入され切れ目３ｂが作成される。この切れ目３ｂによって、オペレータは、例えば、ロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」が２つの指図「０００１」と「０００２」とに分割されることを視覚的に容易に知ることができる。切れ目３ｂは、視覚的に容易に認識できるように、例えば、特定の色にて表示されるようにしても良い。
【００６７】
例えば、オペレータが指図単位「０００２」のロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」を選択し、作業指示を入力するためのボタン５４５をクリックすると、図１０に示すような作業区分（作業項目）を選択するための画面が表示ユニット５３に表示される。
【００６８】
図１０は、作業区分を選択するための画面例を示す図である。図１０において、画面５５０は、元指図の最終作業区に基づいて、自動的に再加工を行なうべき工程を、選択可能な作業区分の一覧によって表示する画面である。例えば、選択可能な作業区分として、「再洗浄のみ（参照作業セット）」、「再検査のみ（参照作業セット）」、「再包装のみ（参照作業セット）」、「再洗浄⇒転用（再洗浄した後転用）」、「再検査⇒転用（再検査した後転用）」、「再包装⇒転用（再包装した後転用）」、「再加工⇒転用（再加工した後転用）」等が一覧として表示される。
【００６９】
特殊作業指図部１２０は、各最終作業区に対応させて再作業が可能な作業区分（作業項目）を予めデータベースなどによって管理することによって、再加工を行なうべき工程を自動的に表示することができる。
【００７０】
画面５５０は、図９に示す画面５４０の上に重なるようにして表示しても良い。
【００７１】
例えば、オペレータが「再洗浄⇒転用」を選択すると、指図単位「０００２」のロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」の最終作業区５４７に「再洗浄⇒転用」が設定される。オペレータによる特殊作業のための作業区分の選択によって、最終作業区５４７に初期表示されていた最終作業区が選択された作業区分と置き換わるため、指図単位「０００２」のロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」が選択された際には、表示域５４９に「元指図の最終作業区はＡＳＷ０８０です。」のように表示される。従って、オペレータは、特殊作業用に作業区分を設定した後でも元指図の最終作業区が何であったかを知ることができる。
【００７２】
図９に戻って、その他、オペレータは、転用品目、及び指図開始日などを設定すると、転用元及び転用先の品目コードに関連付けられる製品の仕様を満たすための規格項目の値が自動的にチェックされる。従って、転用されることによって仕様を満たさない製品が製造されてしまうことを事前に防ぐことができる。
【００７３】
このような操作によって、例えば、指図単位「０００２」のロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」に対して、「再洗浄⇒転用（再洗浄した後転用）」の特殊作業が指図され、元指図において品目コード「3-331-31-00」によって特定される製品の製造を、転用品目「3-331-32-00」によって特定される製品に転用されることが指定される。
【００７４】
このように、例えば、指図単位「０００１」のロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」のうち９枚が元指図による全作業工程を終了しており、指図単位「０００２」のロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」の１６枚が何らかの状況によって元指図による全作業工程を終了できなかった場合、ロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」の９枚とロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」の１６枚との間に切れ目３ｂが挿入されるため、オペレータは、容易に転用するための特殊作業が必要であることを認識することができ、指図単位「０００２」のロットＮｏ．「ＡＢＣ０００１Ｍ」の１６枚を他の製品へ転用するための指図を容易に設定することができる。
【００７５】
上述したように、本発明によると、上位系処理システム１００が下位系処理システム３００から特殊作業を要する転用依頼情報を受信し、上位系処理システム１００から特殊作業の指図を行なうことができるため、上位系処理システム１００及び下位系処理システム３００にて矛盾なく特殊作業に関する状況を把握することができ、通常の指図の発行と特殊作業用の指図の発行とを一貫して上位系処理システム１００から行なうことができる。
【００７６】
また、指図の設定を支援する画面において、ロットのくくり毎、或いは、異なる指図単位毎に切れ目が挿入されるため、オペレータは、所定の２５枚組のウエハーのロット単位で指図を完了することができなかったロットを視覚的に見極めることができる。
【００７７】
また、作業区分を再度設定する場合、図１０に示す画面５５０のように、再作業可能な作業工程を自動的に表示させることができるため、オペレータによる設定を容易にすることができる。
【００７８】
また、転用先の品目コードがオペレータによって設定されると、転用元及び転用先の品目コードに関連付けられる製品の仕様を満たすための規格がチェックされるため、転用後の製品が仕様を満たさないといったミスを防ぐことが可能となる。
【００７９】
以上の説明に関し、更に以下の項を開示する。
（付記１）
製品の製造計画を支援する処理をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、該コンピュータに、
前記製造計画に従って作業工程を管理する下位系処理システムから受信した該製造計画に対する特殊処理を依頼する依頼情報に基づいて、該特殊処理の対象となるロットを特定して表示ユニットに一覧表示させる第一表示手順と、
前記製造計画に従ってなされた処理結果を含むウエハー情報に基づいて、ロット内の切れ目を視覚的に認識できるようにウエハー毎の該ウエハー情報又はロット毎のロット情報を一覧で表示する第二表示手順とを実行させることを特徴とするコンピュータ実行可能なプログラム。
（付記２）
該コンピュータに、オペレータによる特殊作業の入力要求に応じて、前記処理結果に基づいて再作業可能な作業項目の一覧を表示する第三表示手順を更に実行させることを特徴とする付記１記載のコンピュータ実行可能なプログラム。
（付記３）
該コンピュータに、オペレータが設定した転用先の品目に対応づけられた仕様情報と、転用元の品目に対応づけられた仕様情報とに基づいて、転用元の品目から転用先の品目への変更が可能か否かをチェックするチェック手順を更に実行させることを特徴とする付記１又は２記載のコンピュータ実行可能なプログラム。
（付記４）
製品の製造計画を支援する製造計画支援システムにおいて、
前記製造計画に従って作業工程を管理する下位系処理システムから受信した該製造計画に対する特殊処理を依頼する依頼情報に基づいて、該特殊処理の対象となるロットを特定して表示ユニットに一覧表示させる第一表示手段と、
前記製造計画に従ってなされた処理結果を含むウエハー情報に基づいて、ロット内の切れ目を視覚的に認識できるようにウエハー毎の該ウエハー情報又はロット毎のロット情報を一覧で表示する第二表示手段とを実行させることを特徴とする製造計画支援システム。
（付記５）
オペレータによる特殊作業の入力要求に応じて、前記処理結果に基づいて再作業可能な作業項目の一覧を表示する第三表示手段を更に実行させることを特徴とする付記４記載の製造計画支援システム。
（付記６）
品目毎に仕様情報に基づいて一つ以上の規格項目を対応づけて管理する仕様情報管理データベースと、
前記仕様情報管理データベースから取得した、オペレータが設定した転用先の品目に対応づけられた仕様情報と、転用元の品目に対応づけられた仕様情報とに基づいて、転用元の品目から転用先の品目への変更が可能か否かをチェックするチェック手段を更に実行させることを特徴とする付記４又は５記載の製造計画支援システム。
（付記７）
製品の製造計画を支援する製造計画支援方法において、コンピュータに、
前記製造計画に従って作業工程を管理する下位系処理システムから受信した該製造計画に対する特殊処理を依頼する依頼情報に基づいて、該特殊処理の対象となるロットを特定して表示ユニットに一覧表示させる第一表示手順と、
前記製造計画に従ってなされた処理結果を含むウエハー情報に基づいて、ロット内の切れ目を視覚的に認識できるようにウエハー毎の該ウエハー情報又はロット毎のロット情報を一覧で表示する第二表示手順とを実行させることを特徴とする製造計画支援方法。
【００８０】
本発明は、具体的に開示された実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】ロット生成システムの機能構成の例を示す図である。
【図２】上位系処理システムのハードウェア構成を示す図である。
【図３】特殊作業指示処理を説明するためのフローチャート図である。
【図４】新指図発行までの処理について詳細を説明するためのフローチャート図である。
【図５】ウエハー構成情報マスタＤＢのデータ構成例を示す図である。
【図６】社内規格情報マスタＤＢのデータ構成例を示す図である。
【図７】対象ロット一覧を表示する画面例を示す図である。
【図８】ロット単位毎に特殊作業用の作業工程を決定するための画面例を示す図である。
【図９】指図単位で特殊作業用の指図を決定するための画面例を示す図である。
【図１０】作業区分を選択するための画面例を示す図である。
【符号の説明】
【００８２】
５１        ＣＰＵ
５２        メモリユニット
５３        表示ユニット
５４        出力ユニット
５５        入力ユニット
５６        通信ユニット
５７        記憶装置
５８        ドライバ
５９        記憶媒体
１００      上位系処理システム（計画管理システム）
１１０      作業指図部
１１２      在庫一覧表示部
１１４      指図作成部
１１６      第一指図発行部
１２０      特殊作業指図部
１２２      対象ロット一覧表示部
１２４      転用処理部
１２６      第二指図発行部
１３０      在庫入庫管理部
１４０      指図完了部
１４２      ウエハー構成情報マスタＤＢ
１５０      指図実績管理部
１４４      社内規格情報マスタＤＢ
３００      下位系処理システム（工程管理システム）
３１０      作業指示部
３２０      作業実績報告部
３３０      入庫実績報告部
３４０      転用依頼管理ＤＢ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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