(57)【要約】【課題】ピンホール等色ヌケ部、異物混入、付着と言ったカラーフィルタの欠陥を、容易、且つ、良好に修復し、製造コスト削減が可能なカラーフィルタ修正方法の提供を課題とする。【解決手段】透明基板上に、遮光層及び、各色の着色層を、所定パターンで配列して構成されたカラーフィルタの遮光層、若しくは着色層に発生したピンホール欠陥を、インクジェット法によって着色部を形成して、被覆する修正方法において、ピンホール部及び該ピンホール部の周辺部に、表面張力調整層を形成し、ピンホール部内のみ前記表面張力調整層を除去した後、当該遮光層、若しくは着色層に対応する着色材料をインクジェットヘッドから吐出して、ピンホール欠陥を修正するカラーフィルタ修正方法を提供する。【選択図】図４
2006106524.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に、遮光層及び、各色の着色層を、所定パターンで配列して構成されたカラーフィルタの遮光層、若しくは着色層に発生したピンホール欠陥を、インクジェット法によって着色部を形成して、被覆する修正方法において、ピンホール部及び該ピンホール部の周辺部に、表面張力調整層を形成し、ピンホール部内のみ前記表面張力調整層を除去した後、当該遮光層、若しくは着色層に対応する着色材料をインクジェットヘッドから吐出して、ピンホール欠陥を修正することを特徴とするカラーフィルタ修正方法。
【請求項２】
透明基板上に、遮光層及び、各色の着色層を、定められたパターンで配列して構成されたカラーフィルタの遮光層、若しくは着色層に発生した異物欠陥を、紫外〜赤外レーザ光照射で除去した後、インクジェット法で着色部を形成して、被覆する修正方法において、異物欠陥上および該異物欠陥の周辺に表面張力調整層を形成した後に、紫外〜赤外レーザ光照射で異物欠陥と一緒に前記表面張力調整層を除去し、当該遮光層、若しくは着色層に対応する着色材料をインクジェットヘッドから吐出して、欠陥を修正することを特徴とするカラーフィルタ修正方法。
【請求項３】
前記表面張力調整層は、熱硬化性樹脂とシリコーン化合物、若しくはフッ素化合物を含有して撥インク性を有し、インクジェットヘッドからピンホール部に吐出された後に、乾燥して形成されることを特徴とする請求項１あるいは２に記載のカラーフィルタ修正方法。
【請求項４】
前記ピンホール部内の前記表面張力調整層を除去する手段として、紫外レーザ光を照射することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ修正方法。
【請求項５】
インクジェットヘッド用の前記着色材料は、顔料を含有する液体であり、所定厚に於ける周辺着色層との色差が、ΔＥａｂ＜５以下であることを特徴とする請求項１あるいは２に記載のカラーフィルタ修正方法。
【請求項６】
前記インクジェットヘッドは、電圧を印加すると変形するピエゾ素子を用いて、インクを吐出させるピエゾ方式のヘッドであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のカラーフィルタ修正方法。
【請求項７】
透明基板上に、遮光層及び、各色の着色層を、所定パターンで配列して構成されたカラーフィルタにおいて、前記遮光層あるいは前記着色層のいずれか一方あるいは両方の上に、表面張力調整層を有することを特徴とするカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーテレビ、パーソナルコンピュータに使用されるカラー液晶ディスプレイ(ＬＣＤ)の構成部材であるカラーフィルタ(ＣＦ)の製造工程に於いて、ピンホール欠陥及び、異物欠陥部分の修正に好適なカラーフィルタの修正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータや、薄型カラーテレビの発達に伴い、カラーＬＣＤの需要が増加しており、特に、後者は大型化が進展している。しかしながら、基板の大型化に対して、ＬＣＤやカラーフィルタ工程で高い歩留りを維持することは困難であり、加えて、部材の中でもコスト比重が高いＣＦは、カラーＬＣＤの普及に向け、一層のコストダウンが要求されている。
【０００３】
カラーフィルタは、透明基板上に、カラー表示に不可欠な、例えば、Ｒ(赤）、Ｇ(緑）、Ｂ(青)各色の着色層と、カラーＬＣＤの表示コントラスト向上目的で設けられる金属皮膜やＢｋ(黒)の遮光層を、所定のパターンに配列したものであり、多くの製造方法が知られている。以下に幾つかの方法を説明する。
【０００４】
カラーフィルタの製造方法として染色法、顔料分散法、電着法、印刷法などが挙げられる。染色法は、透明基板上に染色性高分子材料を塗布し、所定形状にフォトリソ法でパターニングした後、染色液に浸漬して着色する工程をＲ、Ｇ、Ｂ各色で繰り返し、着色層を形成する方法である。顔料分散法は、透明基板上に顔料を分散した感光性樹脂材料を、スピンコーターなどで塗布後、フォトリソ法でパターニングする工程を、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色で繰り返し、着色層を形成する方法である。電着法は、透明基板上に透明電極パターンを形成した後、顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して電着する工程を各色で繰り返し、着色層を得る方法である。印刷法は、顔料が分散された熱硬化型インキを、パターニングされた印刷板に転移させた後、透明基板上に、直接印刷若しくは、オフセット印刷によってパターン形成する工程を各色で繰り返して、着色層を形成する方法である。必要に応じて、これらの方法による着色層形成前に、透明基板上にＣｒ等の金属膜や黒(Ｂlk)色顔料からなる遮光層パターンが形成される。
【０００５】
前記の方法によって、カラーフィルタの製造は可能であるが、現状は、良好な色特性や、位置精度、コストなどから、顔料分散法が良く用いられている。但し、どの製造方法であっても、基板の大型化に伴うカラーフィルタ面内のゴミや異物の増加によって、全くの無欠陥でカラーフィルタを製造することが困難になるため、大型基板使用などの材料コスト上昇と合わせて考慮すると、将来に渡るコスト低減が難しい状況になりつつある。
【０００６】
そこで、カラーフィルタに発生したピンホール欠陥や異物欠陥を修正して良品化し、全体的な製造コストを低減させることが、製造歩留りの向上と共に、重要となってくる。
【０００７】
カラーフィルタの遮光層や着色層にピンホール等の色ヌケが発生した場合は、適切な色濃度を有するインキを修正用針先に付けた後、修正部に塗布して乾燥させて修正する方法や(特許文献１参照)、適切な色の感光性着色フィルムを、必要部位に熱転写した後、露光/現像/乾燥させて修正する方法(特許文献２参照)などが知られている。しかし、インキ塗布量不足を補う重ね塗布に時間が掛かったり、修正に要する部材や工程が多くて、時間とコストが掛かると言う問題がある。
【０００８】
また、インクジェットヘッドから、着色インキをピンホール等色ヌケ部に吐出し、修正する方法が提案されている(特許文献３、４参照)。インクジェット方式のカラーフィルタ修正は、高速なインク吐出が可能であり、修正部へのインク重ね打ちで、塗布量増加させて色濃度を上げる場合でも、短時間の修正が可能と言う特徴を有する。
【０００９】
しかし、遮光層や着色層を、インクジェット方式以外の方法、前記、顔料分散法や他方法で形成した場合は、インクと遮光層、着色層間の表面張力差から、修正インクが、ピンホール等色ヌケ部から周辺部へと流動し易く、必要な色濃度を得難いと言う問題がある。
【００１０】
また、遮光層や着色層中や上に、埋め込まれたり、付着した異物を除去する方法として、レーザ光照射で異物を除去し、再度着色する方法が提案されている(特許文献５参照)が、異物除去後のピンホール等色ヌケ部を着色する時に、前記の問題が発生することには、変わりない。
【特許文献１】特開平０８−１８２９４９号公報
【特許文献２】特開平０５−２１０００９号公報
【特許文献３】特開平１１−２７１７５２号公報
【特許文献４】特開２００３−６６２１８号公報
【特許文献５】特開平０５−７２５２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、ピンホール等色ヌケ部、異物混入、付着と言ったカラーフィルタの欠陥を、容易、且つ、良好に修復し、製造コスト削減が可能なカラーフィルタ修正方法の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、
透明基板上に、遮光層及び、各色の着色層を、所定パターンで配列して構成されたカラーフィルタの遮光層、若しくは着色層に発生したピンホール欠陥を、インクジェット法によって着色部を形成して、被覆する修正方法において、ピンホール部及び該ピンホール部の周辺部に、表面張力調整層を形成し、ピンホール部内のみ前記表面張力調整層を除去した後、当該遮光層、若しくは着色層に対応する着色材料をインクジェットヘッドから吐出して、ピンホール欠陥を修正することを特徴とするカラーフィルタ修正方法である。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、
透明基板上に、遮光層及び、各色の着色層を、定められたパターンで配列して構成されたカラーフィルタの遮光層、若しくは着色層に発生した異物欠陥を、紫外〜赤外レーザ光照射で除去した後、インクジェット法で着色部を形成して、被覆する修正方法において、異物欠陥上および該異物欠陥の周辺に表面張力調整層を形成した後に、紫外〜赤外レーザ光照射で異物欠陥と一緒に前記表面張力調整層を除去し、当該遮光層、若しくは着色層に対応する着色材料をインクジェットヘッドから吐出して、欠陥を修正することを特徴とするカラーフィルタ修正方法である。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、
前記表面張力調整層は、熱硬化性樹脂とシリコーン化合物、若しくはフッ素化合物を含有して撥インク性を有し、インクジェットヘッドからピンホール部に吐出された後に、乾燥して形成されることを特徴とする請求項１あるいは２に記載のカラーフィルタ修正方法である。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、
前記ピンホール部内の前記表面張力調整層を除去する手段として、紫外レーザ光を照射することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ修正方法である。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、
インクジェットヘッド用の前記着色材料は、顔料を含有する液体であり、所定厚に於ける周辺着色層との色差が、ΔＥａｂ＜５以下であることを特徴とする請求項１あるいは２に記載のカラーフィルタ修正方法である。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、
前記インクジェットヘッドは、電圧を印加すると変形するピエゾ素子を用いて、インクを吐出させるピエゾ方式のヘッドであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のカラーフィルタ修正方法である。
【００１８】
請求項７に記載の発明は、
透明基板上に、遮光層及び、各色の着色層を、所定パターンで配列して構成されたカラーフィルタにおいて、前記遮光層あるいは前記着色層のいずれか一方あるいは両方の上に、表面張力調整層を有することを特徴とするカラーフィルタである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、表面張力調整層を修正部周辺に形成することによって、インクジェットヘッドから吐出される着色材料が、修正部上や周辺で過剰に流動すること無く、修正部内へと有効に堆積されるため、修正部と周辺部の色差が少なく、修正部が目立たないカラーフィルタの欠陥修正が可能となる．
【００２０】
また、本発明によれば、カラーフィルタ基板大型化による欠陥増加に対しても、高い修正能力を持って対応できるため、最終歩留まりが良好で、コスト低減が可能なカラーフィルタ修正方法を提供することができる． 
本発明に使用するインクジェットヘッドは、機械的圧力でインクを吐出するピエゾ方式なので、インク加熱に対する考慮が不要であり、欠陥修正用着色材料の選択肢を狭めることがない．
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、カラーフィルタ１の基本構造を示す縦断面図である。ガラスなどの透明基板１０の表面上に、金属膜あるいは黒色顔料（カーボン等）を用いた遮光層１１が形成され、その格子間には、赤色(Ｒ)、緑色(Ｇ)及び青(Ｂ)顔料、若しくは、同色の染料を含有する着色層１２が形成されている。この着色層１２の表面上には、必要に応じて透明樹脂からなる保護膜が被覆され、その上にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる透明電極１４が形成される。ＩＴＯのパターン形状による液晶配向が必要となる場合には、フォトリソ法やレーザ光加工によって、透明電極１４にパターニングを施す。
【００２２】
また、最近は、ＬＣＤの性能向上要求に伴い、透明電極１４上に、液晶配向を制御するＭＶＡ(Multi Vertical Alignment)層１５や、カラーフィルタ基板とＴＦＴ(Thin Film Transistor)基板間距離を、適正な値に規制するためのＰＳ(Photo Spacer)層１６を、別途、ＩＴＯ上に設けることがある。
【００２３】
図２は、カラーフィルタでストライプ配列のものの平面図である。モザイク配列や、デルタ配列にする場合もある。
【００２４】
カラーフィルタの修正方法、ここでは顔料分散法で形成されたカラーフィルタの修正について説明する。他方式によって形成されたカラーフィルタの場合も、修正方法の差は、特に無い。
【００２５】
１．遮光層１１の修正は、遮光層製造ラインに付随する光学的な検査機(図示せず)を用いて、遮光層内外の異物と、遮光層内のピンホールを検出し、欠陥種類、位置、大きさで分類、ＮＧ規格となる欠陥位置情報を記録した後、レーザリペア機構及び、インクジェットヘッドを使用して実施する。光学的な検査機による欠陥の検出は、遮光層１１が形成されている上面から検査光を照射し、反射光及び透過光をＣＣＤカメラで受光し、カラーフィルタ全体を走査しながら、ＣＣＤカメラからの信号強度を、パターン毎に比較解析することで実施する。
【００２６】
図３及び図５に、遮光層１１の修正の様子を示した。遮光層１１の外に有るＮＧ規格の異物欠陥３３は、遮光層用レジストに内在する異物や、製造装置による発塵、異物の付着などに起因するもので、前記光学的な検査機から欠陥位置情報を修正機構２に取得し、レーザリペア機構２１を必要位置に移動させた後、紫外〜赤外レーザ光によって異物欠陥を除去して、良品とされる。
【００２７】
次に、遮光層１１内に有るＮＧ規格の異物欠陥３２の場合は、前記と同様に欠陥位置情報を修正機構２に取得、表面張力調整層用の溶液を、専用のインクジェットヘッド２３から異物欠陥部に吐出して、周辺部を含めて被覆した後、紫外〜赤外レーザ光によるレーザリペア機構２１によって、異物欠陥を除去する。異物欠陥の除去後に、黒色顔料若しくは染料を含有する黒色の着色材を、インクジェットヘッド２４から除去部分に吐出、被覆し、修正部（着色部）３４を得る。この時、黒色着色材の光学濃度が低く、修正部の規格濃度に不足する場合には、黒色着色材の吐出回数を増加させて修正を行うが、インク吐出毎にレーザリペア機構２１の赤外レーザ光によって加熱を行い、被覆インク径の増加を抑制することも、修正部の光学濃度向上に有効である。
【００２８】
遮光層内のピンホール欠陥３１は、前記光学的な検査機から位置情報を修正機構２に取得、インクジェットヘッド２３をピンホール欠陥部に移動させ、表面張力調整層用の溶液を吐出して、ピンホール欠陥及び欠陥周辺部を被覆した後、レーザリペア機構２２の紫外レーザ光によって、ピンホール欠陥内の表面張力調整層を除去し、黒色の着色材をインクジェットヘッド２４から吐出、被覆して、修正を行い、着色部を得る。
【００２９】
２．着色層１２の修正は、前記遮光層と同様に、ＲＧＢ各色の着色層製造ラインに付随する光学的な検査機(図示せず)を用いて、着色層内の異物４２とピンホール４１を検出し、欠陥種類、位置、大きさで分類、ＮＧ規格となる欠陥位置情報を記録した後、レーザリペア機構及び、インクジェットヘッドを使用して実施する。通常は、ＲＧＢ各色の着色層、場合によっては、反射表示用ＲＧＢを含めた各色の着色層が形成された後、透明電極１４が形成される前に、修正が行われる。
【００３０】
図４及び図５に、着色層１２の修正の様子を示した。着色層１２にあるＮＧ規格の異物欠陥は、着色層用レジストに内在する異物や、製造装置による発塵、各工程で付着するレジスト滓や異物などに起因するもので、前記光学的な検査機から欠陥位置情報を修正機構２に取得、必要な修正機構を必要位置に移動させた後、表面張力調整層用の溶液を、専用のインクジェットヘッド２３から異物欠陥部に吐出して、周辺部を含めて被覆し、次に、紫外〜赤外レーザ光によるレーザリペア機構２１によって、異物欠陥を除去する。異物欠陥の除去後に、ＲＧＢ各色顔料若しくは染料を含有するＲＧＢの各色着色材の内、必要な色のインクジェットヘッド２５を、修正位置に移動させ、異物除去部分に吐出、被覆し、修正部（着色部）４３を得る。また、修正部４３の周囲には、表面張力調整層１３を有する構成となる。この時、ＲＧＢ各色の着色材の光学濃度が低く、修正部の規格濃度に不足する場合には、インクの吐出回数を増加させて修正を行う。
ここでも、遮光層と同様に、インク吐出毎にレーザリペア機構２１の赤外レーザ光によって加熱を行っても良い。
【００３１】
着色層内のピンホール欠陥４１は、前記光学的な検査機から位置情報を修正機構２に取得、インクジェットヘッド２３をピンホール欠陥部４１に移動させ、表面張力調整層用の溶液を吐出して、ピンホール欠陥及び欠陥周辺部を被覆した後、レーザリペア機構２２の紫外レーザ光によって、ピンホール欠陥内の表面張力調整層を除去し、ＲＧＢの着色材の内、修正に必要な色のインクジェットヘッド２４を移動させ、ピンホール欠陥部に吐出、被覆して、修正を行い、着色部を得る。
この時、レーザリペア機構２１と２２のレーザが、紫外レーザである場合には、一つのレーザリペア機構で代用することが可能であり、紫外レーザとしては、He-CdレーザやYAGレーザの３倍以上の高調波レーザなどが使用される。
【００３２】
着色層の修正に使用する着色材は、着色層と同じ顔料や染料であることが、修正部と周囲との濃度差、色差を抑える上で望ましいが、周囲との色差がΔＥａｂ＜５であれば、判別が困難となるので、インクジェットヘッドからの吐出、被覆量の調整を行えば、着色材に使用する顔料や染料は、着色層と異なっても差し支えない。
【００３３】
また、修正後のカラーフィルタは、次工程処理、例えば、遮光層の修正後の着色層形成工程や、着色層形成後の透明電極形成工程前に、修正部を局所的に、若しくはカラーフィルタ全体に熱処理を施して、修正部を熱硬化させておくことが、次工程での修正部の膨潤や剥離防止の上から、望ましい。必要に応じて、光硬化剤を混合した着色材を使用し、光硬化を併用することも可能である。
【００３４】
表面張力調整層は、樹脂と表面張力を調整する撥インク成分を含有しており、樹脂材料としては、透明であること、変色や褪色がないこと、カラーフィルタとしての諸耐性があることなどの性能が要求される。その代表例としては、ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステルなどのアクリル系樹脂が挙げられるが、前記要求性能が満たされるものであれば、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリビニル樹脂等の材料種を用いることができる。
【００３５】
撥インク成分としては、前記透明樹脂材料との相溶性が良好で、着色材との接触角が６０°以上となるものが望ましく、主鎖または側鎖に有機シリコーンを有するシロキサン成分を含有するシリコーン樹脂やシリコーンゴムなどのシリコーン系化合物や、フッ化ビニリデン、フッ化ビニル、三フッ化エレレンなどのフッ素系化合物が用いられる。
【００３６】
表面張力調整層用の溶液は、前記透明樹脂と撥インク成分を、適性な表面張力と溶解性を有する有機溶剤に溶解して得られる。有機溶剤としては、インクジェット吐出時の安定性や、ノズル詰まり耐性から、表面張力範囲３５ｍＮ／ｍ以下で、且つ、沸点が１３０℃以上のものが好ましく、具体的には、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール、２−エトキシエチルアセテート、２−ブトキシエチルアセテート、２−メトキシエチルアセテート、２−エトキシエチルエーテル、２−(２−エトキシエトキシ)エタノール、２−(２−ブトキシエトキシ)エタノール、２−(２−エトキシエトキシ)エチルアセテート、２−(２−ブトキシエトキシ)エチルアセテート、２−フェノキシエタノール、ジエチレングリコールジメチルエーテルなどを挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、前記要件を満たす溶剤ならば用いることができる。必要に応じて２種類以上の溶剤を混合して用いても良い。
【００３７】
また、表面張力調整層の形成を、インクジェット方式以外の方式、例えば、ディスペンス方式で行う場合には、トルエン、キシレン、シクロヘキサノン、エチルセルソルブなどの沸点と表面張力の異なる溶剤の使用が可能である。
【００３８】
表面張力調整層形成後の欠陥部の修正に使用する遮光層、及び着色層用の着色材は、インクジェットヘッドからの吐出適性を有するように、着色用顔料、分散用樹脂、分散剤、溶媒などから構成されている。
【００３９】
着色用顔料の具体例としては、遮光層用には、カーボンブラック、着色層用には、ＰｉｇｍｅｎｔＲｅｄ９，１９，３８，４３，９７，１２２，１２３，１４４，１４９，１６６，１６８，１７７，１７９，１８０，１９２，２１５，２１６，２０８，２１６，２１７，２２０，２２３，２２４，２２６，２２７，２２８，２４０，  ＰｉｇｍｅｎｔＢｌｕｅ １５，１５：６，１６，２２，２９，６０，６４，  Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ７，３６，  Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２０，２４，８６，８１，８３，９３，１０８，１０９，１１０，１１７，１２５，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５３，１５４，１６６，１６８，１８５，  Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ３６，   Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ２３などがあり、要求の色相を得るために２種類以上が混合されることもある。また、これらの顔料に限定されるものではない。
【００４０】
分散用の樹脂としては、カゼイン、ゼラチン、ポリビニールアルコール、カルボキシメチルアセタール、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、メラニン樹脂などが用いられ、顔料分散性との関係で適宜選択される。耐熱性や耐光性を考慮すると、アクリル樹脂が好ましい。
【００４１】
顔料の分散向上に分散剤を用いる場合は、非イオン性界面活性剤として、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテルなどが、また、イオン性界面活性剤として、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリ脂肪酸塩、脂肪酸塩アルキルリン酸塩、テトラアルキルアンモニウム塩などが、その他、有機顔料誘導体、ポリエステルなどがあげられる。一種類の分散剤を単独で、また、二種類以上を混合してもよい。
【００４２】
溶媒は、前記した表面張力調整層用の有機溶剤と同様のものが使用可能であり、要求される溶解性、経時安定性、乾燥性などの特性と、顔料分散性、樹脂溶解性の関係から適宜選択される。
【００４３】
インクジェットヘッドは、ピエゾ方式であり、インクの粒子化周波数は５〜１００ＫＨｚ程度、ノズル径は５〜８０μｍ程度であり、インクの詰まりなどを考慮して、１ヘッドにノズルを１０以上組み込んだ装置が好適である。表面張力調整液、遮光層着色材、着色層用ＲＧＢ各着色材用に専用のヘッドを５個配置して、混色を防止する必要がある。 
【実施例１】
【００４４】
以下に本発明の実施例を具体的に説明する。
［着色材の調製］メタクリル酸２０部、メチルメタクリレート１０部、ブチルメタクリレート５５部、ヒドロキシエチルメタクリレート１５部を、乳酸ブチル３００ｇに溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５部を加え７０℃にて５時間の反応によりアクリル共重合樹脂を得た。アクリル共重合樹脂を樹脂濃度が１０％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈し、アクリル共重合樹脂の希釈液とした。希釈液８０．１ｇに対し、ＲＧＢ用顔料及びカーボンブラック各１９．０ｇ、分散剤０．９ｇを添加し、３本ロールにて混練し、黒色、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色ワニスを得た。各色の着色ワニスに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して顔料濃度が１２〜１５％、粘度が１５ｃｐｓとなるよう調整し、黒色、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色の着色材を製作した。
【００４５】
［表面張力調整液の調製］前記着色材と同様の手順でアクリル共重合樹脂の希釈液を製造し、アクリル共重合樹脂に対して５％の重量のジメチルポリシランを添加し、粘度が１５ｃｐｓとなるようプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの添加量を調整した。
【００４６】
［カラーフィルタの修正］前記着色材と同等の顔料を使用し、顔料分散方式で製造されたカラーフィルタを使用して修正を行った。
製造ラインの光学検査装置で位置データを取得した遮光層、着色層の異物欠陥周辺に、１２ｐｌ、１８０ｄｐｉヘッド(セイコーインスツルメンツ社製)を搭載したインクジェット修正装置により、表面張力調整液を吐出、被覆し、オーブンで７０℃１５分の乾燥を行い、異物欠陥の約１５０μｍ周辺に表面張力調整層を形成した。
次に、前記遮光層、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色着色層の異物欠陥に、第三高調波ＹＡＧレーザ光(355nm、2mJ/パルス、ＨＯＹＡ社製)を照射して、異物欠陥を除去して、５０μｍ□のピンホールを形成した。
黒色、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色毎に異なるインク供給系を有する１２ｐｌ、１８０ｄｐｉヘッド(セイコーインスツルメンツ社製)のインクジェット修正装置から、形成された各色のピンホールに、前記黒色、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色の着色材を吐出し、ピンホールを着色材で被覆した。この時、Ｇ色の着色材については、光学濃度が不足していたため、３回３６ｐｌの重ね打ちを行った。
修正後のカラーフィルタは、オーブンによる２００℃１５分の乾燥後、ＩＴＯ工程以降の後工程を実施し、修正部と周囲との色差が５以下であり、目視では修正部を認識し得ない良好なカラーフィルタを得ることができた。
【００４７】
なお、実施例において、カラーＬＣＤ用カラーフィルタで説明したが、これに限定されるものではなく、色を分離して表示させるで用途あれば、どのようなカラーフィルタで実施してもよい。例えば、ＣＣＤ用カラーフィルや、投影装置用カラーフィルタに、本発明を適用してもよい。
【００４８】
以上、説明したように、本発明によれば、表面張力調整層を形成することで、インクジェットヘッドから吐出される着色材が、過剰に流動すること無く、修正部内へと有効に堆積されるため、修正部と周辺部の色差が少なく、修正部が目立たないカラーフィルタの欠陥修正が可能である。また、高い修正能力を持っているため、大板化などによる欠陥数増加に対しても、少ない台数の修正装置で対応可能なため、高い最終歩留まりの維持と共に、コスト低減が可能である。 
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】カラーフィルタの基本構造を示す縦断面図。
【図２】図１に示したカラーフィルタの平面図。
【図３】カラーフィルタの遮光層での欠陥状態と修正状態を示した図である。
【図４】カラーフィルタの着色層での欠陥状態と修正状態を示した図である。
【図５】カラーフィルタの修正機構の概略図である。
【符号の説明】
【００５０】
１…カラーフィルタ
２…修正機構
１０…ガラス基板
１１…遮光層
１２…着色層
１３…表面張力調整層
１４…透明電極
１５…ＭＶＡ層
１６…ＰＳ層
２０…移動ステージ
２１…レーザリペア機構(紫外〜赤外レーザ)
２２…レーザリペア機構(紫外レーザ)
２３…インクジェットヘッド(表面張力調整層形成用)
２４…インクジェットヘッド(遮光層修正用)
２５…インクジェットヘッド(ＲＧＢ着色層修正用)
３１…ピンホール欠陥(遮光層内)
３２…異物欠陥(遮光層内)
３３…異物欠陥(遮光層外)
３４…修正部(遮光層内)
４１…ピンホール欠陥(着色層内)
４２…異物欠陥(着色層内)
４３…修正部(着色層内)
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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