(57)【要約】【課題】露光すべき板状のワークをワークチャック上に高速で下降させてもワークの浮き上がりを発生させることなく近接露光を行うことのできる近接露光装置を提供する。【解決手段】ワークチャック１３の上面部に吸引口１９を取り囲むように浮揚防止溝２１を設けるとともに、浮揚防止溝２１に連通する排気通路をワークチャック１３内に設け、ワークＷとワークチャック１３との間に存在する気体を浮揚防止溝２１からワークチャック１３の外部に逃がすことができるようした。【選択図】図１
2006303083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークチャックの上面部に互いに区画された複数の吸引口を有し、露光すべき板状のワークを前記吸引口によりワークチャック上に吸着せしめて近接露光を行う近接露光装置において、
前記ワークチャックの上面部に前記吸引口を取り囲むように浮揚防止溝を設けるとともに、該浮揚防止溝に連通する排気通路を前記ワークチャック内に設けたことを特徴とする近接露光装置。
【請求項２】
請求項１記載の近接露光装置において、前記浮揚防止溝及び前記吸引口を波形に形成したことを特徴とする近接露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶表示パネルの製造工程などで用いられる近接露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造工程などで用いられる近接露光装置として、従来、図４に示されるものがある。同図において、符号１１は近接露光装置のベース、１２はベース１１の上方に設けられたマスクステージであって、このマスクステージ１２の下方には、露光すべき板状のワークＷを載置するためのワークステージＷＳが設けられている。このワークステージＷＳには、ワークＷを吸着するワークチャック１３が設けられている。
【０００３】
マスクステージ１２は、ベース１１の上面部から立ち上げられた複数本の支柱１４により水平に支持されている。また、マスクステージ１２はマスクホルダ１５を有しており、このマスクホルダ１５に保持されたフォトマスクＭには、マスクステージ１２の中央部に形成された開口部１２１を通じて露光用の光が照射されるようになっている。
ワークステージＷＳはベース１１の上面部に設けられた送り機構１６により図中Ｘ及びＹ方向に送り駆動されるようになっており、送り機構１６のＹ方向移動テーブル１６１上には、ワークＷを上下方向（図中Ｚ方向）に昇降駆動する昇降機構１７が搭載されているとともに、マスクステージ１２に対するワークＷの平行度を調整する平行度調整機構１８が搭載されている。
【０００４】
また、ワークチャック１３はプレート状に形成されており、このワークチャック１３の上面部には、互いに区画された複数の吸引口１９（図５参照）が設けられている。これらの吸引口１９はワークチャック１３内に形成された吸気通路２０（図６参照）を介して図示しないバキューム装置の吸気口と連通しており、従って、ワークチャック１３上に載置されたワークＷは、吸引口１９によりワークチャック１３上に吸着した状態で近接露光されるようになっている。
このような近接露光装置では、ワークＷをワークチャック１３上に吸着させた状態で近接露光を行うことができるため、ワークチャック１３を図中Ｘ，Ｙ及びＺ方向に動かしたときにワークＷが位置ずれを起こすことを防止できるという利点を有している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ワークチャック１３の上方に搬送されたワークＷをワークチャック１３上に高速で下降させると、ワークＷとワークチャック１３との間に存在する気体が逃げ場を失い、図７に示すように、ワークＷに押されてワークチャック１３上の吸引口１９に入り込む。このため、上述した近接露光装置では、ワークＷをワークチャック１３上に高速で下降させると、吸引口１９内の排気が間に合わず、吸引口１９の内部圧力が上昇する。その結果、ワークＷがワークチャック１３から浮き上がって位置ずれを起しやすくなるという問題点があった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、露光すべき板状のワークをワークチャック上に高速で下降させてもワークの浮き上がりを発生させることなく近接露光を行うことのできる近接露光装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明は、ワークチャックの上面部に互いに区画された複数の吸引口を有し、露光すべき板状のワークを前記吸引口によりワークチャック上に吸着せしめて近接露光を行う近接露光装置において、前記ワークチャックの上面部に前記吸引口を取り囲むように浮揚防止溝を設けるとともに、該浮揚防止溝に連通する排気通路を前記ワークチャック内に設けたことを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１記載の近接露光装置において、前記浮揚防止溝及び前記吸引口を波形に形成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１の発明に係る近接露光装置によれば、ワークとワークチャックとの間に存在する気体を浮揚防止溝からワークチャックの外部に逃がすことができるため、露光すべき板状のワークをワークチャック上に高速で載置してもワークの浮き上がりを発生させることなく近接露光を行うことができる。
請求項２の発明に係る近接露光装置によれば、前記浮揚防止溝及び前記吸引口を波形に形成したことで、浮揚防止溝の実長さを長くできるため、より浮揚防止効果を得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図１〜図３を参照して本発明の一実施形態について説明するが、図４〜図７に示したものと同一部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は割愛する。
図１は本発明の一実施形態に係る近接露光装置の要部を示す図であり、同図に示されるように、ワークチャック１３の上面部には、互いに区画された複数の吸引口１９が設けられていると共に浮揚防止溝２１が吸引口１９を取り囲むように設けられている。
【０００９】
浮揚防止溝２１は波形に形成されており、ワークチャック１３の内部には、浮揚防止溝２１内に入り込んだ気体をワークチャック１３の外部に排出するための排気通路２２（図２参照）が設けられている。
また、排気通路２２は穴加工の他、溝をワークチャック１３の端面まで延長し、周囲へ排気しても良い。さらに、排気効率を高めるため、浮揚防止溝は吸引口より深く形成されることが好ましい。
【００１０】
このような構成において、ワークチャック１３の上方に搬送されたワークＷをワークチャック１３上に高速で下降させると、図３に示すように、ワークＷとワークチャック１３との間に存在する気体がワークＷの下降と共に浮揚防止溝２１内に入り込む。そして、浮揚防止溝２１内に入り込んだ気体は排気通路２２を通ってワークチャック１３の外部に排出されるため、ワークＷがワークチャック１３から浮き上がった状態になることを防止できる。
【００１１】
したがって、上述した実施形態ではワークチャック１３の上面部に吸引口１９を取り囲むように浮揚防止溝２１を設けるとともに、浮揚防止溝２１に連通する排気通路２２をワークチャック１３内に設けたことで、ワークＷとワークチャック１３との間に存在する気体を浮揚防止溝２１からワークチャック１３の外部に逃がすことができるため、ワークＷをワークチャック１３上に高速で下降させてもワークＷの浮き上がりを発生させることなく近接露光を行うことができる。
【００１２】
なお、ワークの下降によるワークチャック内の体積変化は、次式で表される。
ΔＶ＝Ａ・ｖ・Δｔ      ‥‥（１）
ただし、Ａ：吸引口の開口面積（ｍ２）
ｖ：ワークの下降速度（ｍ／ｈ）
Δｔ：ワークの下降時間
また、吸引口内の圧力ＰＨがワークチャックの周囲圧力Ｐ０よりも高くなった場合に、ワークチャックのエッジ部から漏れ出す気体の流量は次式で表される。
【００１３】
【数１】
2006303083.tif 000003
【００１４】
ただし、Ｂ：吸引口の周囲長（ｍ）
ｈ：ワークの浮き上り量（図８参照）
Ｌ：ワークチャックのエッジ部長さ（図８参照）
μ：ワークチャックのエッジ部から漏れ出す気体の粘度（Ｐａ・ｓ）
式（１）と式（２）及び排気量Ｑとの和が釣り合うためには、次式が成立する。
【００１５】
【数２】
2006303083.tif 000004
【００１６】
ここで、内部圧力ＰＨの圧力上昇によりワークがワークチャックから浮揚しないようにするためには、ワーク自身の自重に対して真空エリアの面積によって決まる浮揚力を小さくしなくてはならない。これにより、内部圧力ＰＨの最大値が求まる。また、ワークの許容される最大速度は周囲長Ｂに比例することが式（３）からわかる。したがって、ワークの下降速度を速くするためには、吸引口１９を波形に形成することが好ましく、また吸引口１９を複数に区画することが有効である。また、浮揚防止溝を波形にすることで、実長さを長くすることも有効である。
【００１７】
また、パターンが転写されたワークをワークチャック上から引き剥がす場合、周囲長Ｂを長くすると、漏れ出し量が増えるとワークの浮き上り量ｈは小さくなる。しかし、周囲長Ｂを長くすることによりワークの移動速度ｖの最大値も大きくなる。これを、式（２）及び式（３）にて確認すると、ワークをワークチャックから引き剥がす時の許容速度は、次式に示されるように、吸引口１９内の圧力を元に戻す時の給気量に比例するが、周囲長Ｂとは無関係であることがわかる。
２Ｑ＝Ａ・ｖ・Ｐ０      ‥‥（４）
【００１８】
したがって、吸引口１９を複数に区画する場合、図９に示すように、吸引口１９の周囲長比が１０となるように区画することによってワークの許容速度を従来よりも１０倍まで速められることが確認された。
上述した実施形態では、浮揚防止溝を波形に形成したが、区画の増加によって十分な効果が得られる場合、浮揚防止溝は波形でなく、直線形状とすることで成形が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る近接露光装置の要部を示す図である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】図２に示す浮揚防止溝の作用を説明するための説明図である。
【図４】近接露光装置の概略構成を示す図である。
【図５】図４に示すワークチャックの平面図である。
【図６】図５のVＩ−VＩ断面図である。
【図７】従来の近接露光装置においてワークをワークチャック上に高速で下降させた場合の問題点を説明するための説明図である。
【図８】ワークの下降によるワークチャック内の圧力上昇を説明するための説明図である。
【図９】ワークチャックの上面部に形成された吸引口の周囲長比を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
Ｗ  ワーク
Ｍ  フォトマスク
１１  ベース
１２  マスクステージ
ＷＳ  ワークステージ
１３  ワークチャック
１４  支柱
１５  マスクホルダ
１６  ワークチャック送り機構
１７  ワークチャック昇降機構
１８  平行度調整機構
１９  吸引口
２０  吸気通路
２１  浮揚防止溝
２２  排気通路
【図１】
2006303083.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006303083.tif 000009
【図６】
2006303083.tif 000010
【図７】
2006303083.tif 000011
【図８】
2006303083.tif 000012
【図９】
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