(57)【要約】【課題】  収納された半導体ウエハー４を容易に出し入れできる枚葉収納容器を提供する。【解決手段】  内部に１枚の半導体ウエハー４を収納する容器本体２と、この容器本体２に取り付けられる蓋体３とを備えた枚葉収納容器１である。容器本体２が、半導体ウエハー４を載置する底板部５と、この底板部５の周囲に形成された周壁部６とを備え、底板部５が周壁部６よりも高い位置まで隆起させて形成した。容器本体２の底板部５には、半導体ウエハー４を底板部５との間に隙間を空けた状態で支持するための複数の薄板支持凸条８を備えた。蓋体３天板部２１の内側面には、容器本体２の底板部５に載置された半導体ウエハー４の周縁部を支持する複数のリテーナー２４を備えた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に１枚の薄板を収納する容器本体と、当該容器本体に取り付けられる蓋体とを備えた枚葉収納容器において、
上記容器本体が、上記薄板を載置する底板部と、当該底板部の周囲に形成された周壁部とを備えると共に、上記底板部が上記周壁部よりも高い位置まで隆起させて形成され、
上記蓋体が、上記容器本体の底板部に載置された上記薄板をその上側から覆う天板部と、当該天板部の周囲に設けられて上記薄板を収納する空間を形成する周壁部とを備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体の底板部に設けられ、上記薄板を当該底板部との間に隙間を空けた状態で支持するための複数の薄板支持凸条を備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項３】
請求項２に記載の枚葉収納容器において、
上記薄板支持凸条が、上記容器本体の中心側を低く、外周側を高くするように傾斜させて形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の枚葉収納容器において、
上記薄板支持凸条が、放射状に延ばして形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項５】
請求項２又は３に記載の枚葉収納容器において、
上記薄板支持凸条が、複数本平行に配設したものを一組として、それらを放射状に延ばして形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項６】
請求項２ないし５のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体に、上記薄板支持凸条に載置された上記薄板の周縁部に当接して当該薄板の横滑りを防止する係止片を設けたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項７】
請求項６に記載の枚葉収納容器において、
上記係止片が、上記薄板支持凸条に載置された上記薄板の外径よりも若干大きな円周上に複数配設されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の枚葉収納容器において、
上記係止片の当接面が、上記薄板の周縁に沿って湾曲されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記蓋体の天板部の内側面に、上記底板部に載置された上記薄板の周縁部を支持する複数のリテーナーを備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１０】
請求項９に記載の枚葉収納容器において、
上記リテーナーが弾性体で形成されると共に、
上記蓋体の天板部の内側面に、上記リテーナーが取り付けられるリテーナー嵌合部を備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１１】
請求項１０に記載の枚葉収納容器において、
上記リテーナーが、上記リテーナー嵌合部に嵌合する基部と、当該基部から上記薄板側に延出して形成され上記薄板の周縁部に当接して当該薄板をその径方向内方及び下方へ弾性的に押圧する撓み片とから構成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１２】
請求項２ないし１１のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記薄板支持凸条が、上記薄板の周縁部と点接触、線接触又は面接触により最小面積で接触することを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１３】
請求項２ないし１２のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記薄板支持凸条の断面形状が、上記薄板との接触部分に向けて細くなるように形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体と蓋体とが、ヒンジによって結合され、フックによって固定されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１５】
請求項１４に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体と蓋体との間にシール部材が設けられ、これら容器本体と蓋体とが上記ヒンジによって結合されて上記フックによって固定された状態で内部が気密に封止されることを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１６】
請求項１４又は１５に記載の枚葉収納容器において、
上記ヒンジで上記容器本体に結合された上記蓋体が、９０度から１８０度の範囲の開き角で上記容器本体から分離されることを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１７】
請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体と蓋体とがほぼ同じ形状に形成され、当該蓋体を閉じた状態で当該蓋体に上側の枚葉収納容器の容器本体が嵌り込んで、複数段に積み重ねることができることを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１８】
請求項１ないし１７のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体と蓋体とがほぼ同じ形状に形成され、これら容器本体と蓋体とを互いに閉じた状態でこれらの合わせ部分が面一になることを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１９】
請求項１ないし１８のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記蓋体又は上記容器本体のいずれか一方又は両方に相手側に対向して設けられ、当該蓋体を当該容器本体に被せるときに、これら蓋体と容器本体とが互いにずれないように案内する蓋体ガイドを備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２０】
請求項１ないし１９のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体又は上記蓋体の一方又は両方が非帯電性の高分子材料で形成されると共に、少なくとも上記蓋体が透明高分子材料で形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２１】
請求項１ないし２０のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記蓋体の周縁に、持ち運びのための係止用フランジが設けられたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２２】
請求項１ないし２１のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体の底板部又は上記蓋体の天板部の一方又は両方が、その中央部の肉厚を周縁部の肉厚よりも厚く形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハー、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して保管、輸送、製造工程等において使用される枚葉収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハー等の薄板を収納して保管、輸送等するための枚葉収納容器は一般に知られている。この枚葉収納容器の一例としては特許文献１に記載のロボット用パッケージがある。このロボット用パッケージでは、ウエハーを収納するコンパートメントを有している。ウエハーは、このコンパートメント内へ挿入されて、保管、輸送等が行われる。
【０００３】
また、浅い皿状の容器本体と蓋体とから構成された枚葉収納容器もある。
【特許文献１】特表平５−５０８７４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上述のようなロボット用パッケージの場合は、ウエハーをコンパートメントに対して出し入れするのが容易でなく、作業性が悪い。
【０００５】
これに対して、浅い皿状の容器本体と蓋体とから構成された枚葉収納容器の場合は、上記ロボット用パッケージよりもウエハーの出し入れが容易になるが、この場合も、ウエハーを上方から取り出す必要がある。皿状の容器本体の場合、収納されたウエハーの周囲に容器本体の壁部があるため、搬送装置の真空ピンセットを横から挿入することはできない。このため、ウエハーを上方から取り出す必要があり、その作業性が悪いという問題点がある。
【０００６】
また、ウエハーが大型化すると、強度の問題から、ウエハーの周縁部のみを支持して上方へ持ち上げるのは容易でなく、この点でも、作業性が悪いという問題がある。
【０００７】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、収納されたウエハーを容易に出し入れできる枚葉収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、内部に１枚の薄板を収納する容器本体と、当該容器本体に取り付けられる蓋体とを備えた枚葉収納容器において、上記容器本体が、上記薄板を載置する底板部と、当該底板部の周囲に形成された周壁部とを備えると共に、上記底板部が上記周壁部よりも高い位置まで隆起させて形成され、上記蓋体が、上記容器本体の底板部に載置された上記薄板をその上側から覆う天板部と、当該天板部の周囲に設けられて上記薄板を収納する空間を形成する周壁部とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
上記底板部を上記周壁部よりも高い位置まで隆起させて形成することで、上記底板部に載置された上記薄板の周囲の障害物が無くなる。これにより、搬送装置の真空ピンセット等を薄板の下側にその横方向から挿入して持ち上げることができるようになる。
【００１０】
上記容器本体の底板部には、上記薄板を当該底板部との間に隙間を空けた状態で支持するための複数の薄板支持凸条を備えることが望ましい。
【００１１】
これにより、上記薄板と底板部との隙間に搬送装置の真空ピンセット等を挿入して薄板を持ち上げることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の枚葉収納容器によれば、大径の薄板の場合も、枚葉収納容器に対して容易に出し入れすることができると共に、確実に支持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の枚葉収納容器は、大径の半導体ウエハー等の薄板を収納して、保管、輸送等するための容器である。
【００１４】
枚葉収納容器１は、図１〜３に示すように主に、容器本体２と、蓋体３とから構成され、四隅を丸くした四角形状に形成されている。これら容器本体２及び蓋体３は、非帯電性の透明高分子材料で形成されている。非帯電性にすることで、塵埃等の吸着を防止している。また、透明高分子材料にすることで、内部の状態を確認できるようにしている。なお、容器本体２と蓋体３とは、その両方ともに非帯電性の高分子材料にする場合以外に、いずれか一方のみを非帯電性の高分子材料で形成してもよい。また、両方とも透明高分子材料で形成する場合以外に、蓋体３のみを透明高分子材料で形成してもよい。少なくとも蓋体３を透明高分子材料で形成すれば、内部の状態を確認できる。
【００１５】
容器本体２は、薄板としての１枚の半導体ウエハー４を収納するための部材である。この容器本体２は、図４〜９に示すように、半導体ウエハー４を載置する底板部５と、この底板部５の周囲に形成された周壁部６とから構成されている。
【００１６】
底板部５は、収納された半導体ウエハー４を支持する部分である。この底板部５は、周壁部６よりも高い位置まで隆起させて形成されている。これは、半導体ウエハー４を底板部５の上に載置するとき及び底板部５に載置された半導体ウエハー４を取り出すときに周壁部６が障害にならないようにするためである。即ち、搬送装置の真空ピンセット(図示せず)等に支持された半導体ウエハー４を底板部５に載置した後、この半導体ウエハー４と底板部５との間から真空ピンセット等を横方向に抜き取ったり、底板部５に載置された半導体ウエハー４の横方向からこの半導体ウエハー４の下側へ真空ピンセット等を挿入して持ち上げたりするときに、周壁部６が障害にならないようにするためである。
【００１７】
底板部５の上側面には、薄板支持凸条８と、係止片９とが設けられている。
【００１８】
薄板支持凸条８は、半導体ウエハー４を底板部５との間に隙間を空けた状態で支持するための部材である。薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部に複数本（本実施形態では８本）設けられている。各薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部から中心に向けて放射状に延ばして形成されている。薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部から中心に向けて細くなる、くさび状に形成されている。さらに、薄板支持凸条８の円周方向の断面形状は、半導体ウエハー４との接触部分に向けて細くなるようにほぼ三角形状に形成されている。薄板支持凸条８の断面形状をほぼ三角形状にすることで、半導体ウエハー４の周縁部と点接触するようになっている。なお、この接触部分は、点接触以外に、線接触又は面接触でもよい。薄板支持凸条８の形状、半導体ウエハー４の寸法、要求される強度等を考慮した上で、可能な最小面積で接触するように、薄板支持凸条８の形成を設定する。
【００１９】
これにより、薄板支持凸条８には、半導体ウエハー４に作用する力を均一にして、半導体ウエハー４に均一な保持力を作用させる働きが生じる。これは、次の理由による。まず、薄板支持凸条８は、リテーナー２４と相まって、半導体ウエハー４を底板部５の中心に配置させる機能を備えている。即ち、薄板支持凸条８がくさび状に形成されて傾斜していることで、この薄板支持凸条８に半導体ウエハー４の周縁部が載置されると、この半導体ウエハー４に底板部５の中心方向へ働く力が作用する。また、リテーナー２４によっても、半導体ウエハー４に底板部５の中心方向へ働く力が作用する。リテーナー２４は、半導体ウエハー４の周縁部を下方と径方向内方へ押圧するが、そのうちの下方へ押圧する力が、薄板支持凸条８のくさび状の傾斜部分に載置された半導体ウエハー４の周縁部に作用することで、半導体ウエハー４を底板部５の中心方向へ押圧する力が発生する。さらに、この力は、半導体ウエハー４がリテーナー２４から離れれば弱くなり、近づけば強くなる。リテーナー２４自身が持つ半導体ウエハー４を径方向内方へ押圧する力も同様である。一方、薄板支持凸条８と半導体ウエハー４とは接触面積が小さくて摩擦抵抗も小さいため、半導体ウエハー４は上記押圧力によって容易に移動し得る。このため、半導体ウエハー４はその周囲に複数配設された各リテーナー２４及び薄板支持凸条８によって、押圧力が釣り合う位置に移動する。
【００２０】
この結果、上記リテーナー２４自身と薄板支持凸条８自身とが持つ径方向内方への押圧力、及びリテーナー２４と薄板支持凸条８とが協働して発生する径方向内方への押圧力によって、半導体ウエハー４を底板部５の中心に移動させたところで釣り合って半導体ウエハー４に作用する力を均一にして、半導体ウエハー４に均一な保持力が作用する。このため、薄板支持凸条８には、リテーナー２４と協働することで、半導体ウエハー４に作用する力を均一にして、半導体ウエハー４に均一な保持力を作用させる働きが生じる。
【００２１】
薄板支持凸条８は、四角形の底板部５の各辺に２本ずつ設けられている。隣接する２つの薄板支持凸条８の間は、搬送装置の真空ピンセット等よりも広い間隔に設定されている。これにより、搬送装置の真空ピンセットが、隣接する２つの薄板支持凸条８の間を通って半導体ウエハー４の出し入れをするようになっている。なお、薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部に８本設けたが、真空ピンセットの出し入れの邪魔にならない範囲で、７本以下又は９本以上でもよい。さらに、薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部近傍に設けたが、真空ピンセットの出し入れの邪魔にならない範囲で、底板部５の全面に設けてもよい。
【００２２】
係止片９は、各薄板支持凸条８に載置された半導体ウエハー４の周縁部に当接して半導体ウエハー４の横滑りを防止するための部材である。係止片９は、薄板支持凸条８の端部に設けられている。係止片９は、薄板支持凸条８に載置された半導体ウエハー４の外径よりも若干大きな円周上の位置に配設されている。さらに、係止片９の当接面は、半導体ウエハー４の周縁に沿って湾曲して形成されている。半導体ウエハー４が横滑りした場合は、この係止片９の湾曲した当接面が半導体ウエハー４の周縁部に当接して横滑りを防止する。
【００２３】
底板部５は、その中央部の肉厚を周縁部の肉厚よりも厚くなるように設定されている。これは、底板部５に要求される強度を保つためであり、要求される強度に応じた肉厚に設定される。肉厚の変化と共に円錐形状等に湾曲させて形成してもよい。例えば、中心位置の最大肉厚を５ｍｍ、周縁部の最小肉厚を２ｍｍとして、その肉厚をなだらかに変化させて底板部５を構成する。このとき、必要に応じて、肉厚の変化と共に円錐形状等に湾曲させて形成する。この構成によって、要求される強度を確保した状態で、底板部５の裏面の補強リブを省略し、凹凸部分を無くして洗浄しやすく液切れのよい形状にしている。即ち、洗浄効率の向上を図っている。
【００２４】
周壁部６は、図９に示すように、底板部５の周縁部から下方へ垂下して形成されている。周壁部６は、２段に段差を設けて構成されている。一段目６Ａの段差の上面には、その全周に亘ってシール溝１２が設けられ、このシール溝１２にシール材１３が取り付けられている。容器本体２に蓋体３を被せることで、蓋体３の周壁部２２の一段目２２Ａにおける段差の下面がシール材１３に当接してこのシール材１３を押し潰し、枚葉収納容器１内を気密に封止するようになっている。この周壁部６の一段目６Ａは、後述する蓋体３の凹状嵌合部（２２Ｂ）に嵌合する凸状嵌合部となっている。
【００２５】
二段目６Ｂは、後述する蓋体３の凸状嵌合部（２２Ａ）に嵌合する凹状嵌合部となっている。二段目６Ｂの段差には、図４〜図７に示すように、ヒンジ嵌合部１５と、フック嵌合部１６が設けられている。ヒンジ嵌合部１５には、蓋体３を容器本体２に対して回動可能に支持する後述のヒンジ１７が嵌合される。このヒンジ嵌合部１５は、後述するヒンジ１７の嵌合片１７Ａとほぼ同じ寸法に形成された凹部によって構成されている。このヒンジ嵌合部１５に、ヒンジ１７の嵌合片１７Ａが嵌合して、きつく結合される。
【００２６】
フック嵌合部１６は、後述するフック１８が嵌合するための凹部である。このフック嵌合部１６と後述する蓋体３のフック嵌合部２９との間にフック１８が嵌合されて蓋体３を容器本体２に固定する。フック嵌合部１６は、フック１８とほぼ同じ寸法に形成された凹部によって構成されている。容器本体２のフック嵌合部１６と蓋体３のフック嵌合部２９とを合わせることで、フック１８とほぼ同じ形状の凹部になるように構成されている。フック嵌合部１６の両側壁には、円柱状の嵌合突起１９が設けられている。この嵌合突起１９は、後述するフック１８の嵌合凹部１８Ｂに嵌合して、容器本体２と蓋体３とを固定する。
【００２７】
ヒンジ１７は、図１０及び図１１に示すように、２つの嵌合片１７Ａ、１７Ｂと、各嵌合片１７Ａ、１７Ｂの間の薄肉部１７Ｃとから構成されている。各嵌合片１７Ａ、１７Ｂは、各ヒンジ嵌合部１５、２８にそれぞれ嵌合して、容器本体２と蓋体３とを互いに連結するための部材である。薄肉部１７Ｃは、摺動部分を無くして塵埃等の発生を抑えて蓋体３を回動可能に支持するための部材である。
【００２８】
ヒンジ１７は、容器本体２に対して蓋体３が９０度〜１８０度の開き角になったところで、蓋体３及び容器本体２から分離でき、また接合できるようになっている。具体的には、蓋体３が容器本体２に対して９０度〜１８０度の開き角で、ヒンジ１７が容器本体２及び蓋体３の各ヒンジ嵌合部１５、２８に対して着脱可能になっている。このヒンジ１７は、破損等した場合は、新しいヒンジ１７に交換する。即ち、ヒンジ１７が破損等した場合は、このヒンジ１７のみの部品交換で済むようにしている。
【００２９】
フック１８は、容器本体２のフック嵌合部１６と蓋体３のフック嵌合部２９とにそれぞれ嵌合して容器本体２と蓋体３とを互いに結合するための部材である。フック１８は、図１２及び図１３に示したように、本体部１８Ａと、嵌合凹部１８Ｂと、取っ手部１８Ｃとから構成されている。本体部１８Ａは、ほぼ四角形板状に形成され、容器本体２のフック嵌合部１６と蓋体３のフック嵌合部２９とで形成される四角形の凹部に嵌合するようになっている。
【００３０】
嵌合凹部１８Ｂは、各フック嵌合部１６、２９の各嵌合突起１９、３０に嵌合して蓋体３を容器本体２側に固定するための部材である。この嵌合凹部１８Ｂは、回動用嵌合凹部１８Ｂ１と、結合用嵌合凹部１８Ｂ２とから構成されている。回動用嵌合凹部１８Ｂ１は、嵌合突起１９、３０に嵌合してフック１８を回動可能に支持するための部分である。この回動用嵌合凹部１８Ｂ１は、その内側面形状を円弧状に形成されると共に、その両端部に回り込み部２０を設けて、嵌合突起１９、３０に嵌合した状態で抜けづらくなっている。これにより、フック１８は容器本体２側に回動可能に取り付けられている。
【００３１】
結合用嵌合凹部１８Ｂ２は、蓋体３を容器本体２に固定するときに嵌合突起１９、３０に嵌合すると共に、蓋体３を開くときに嵌合突起１９、３０から取り外すための部分である。この結合用嵌合凹部１８Ｂ２は、嵌合突起１９、３０に対して容易に嵌合、取り外しができると共に、蓋体３を容器本体２に堅固に固定する必要があるため、外側面（図１２の上側面）にのみ回り込み部２０を設けている。内側面は平坦面状にして、嵌合突起１９、３０の出し入れの際に障害にならないようにしている。これにより、蓋体３が容器本体２に対して開こうとする方向に力が作用すると、嵌合突起１９、３０を回り込み部２０が外側から覆うように支持してフック１８が外れるのを防止する。また、フック１８を嵌合、取り外しする場合は、片方にしか設けられていない回り込み部２０が嵌合突起１９、３０に対して軽い障害になるだけで、軽い力で容易に嵌合、取り外しできるようになっている。
【００３２】
取っ手部１８Ｃは、フック１８を嵌合、取り外しする際に、指で持つ部分である。この取っ手部１８Ｃを指で持って、結合用嵌合凹部１８Ｂ２を嵌合突起１９、３０に嵌合させて、蓋体３を容器本体２に固定したり、結合用嵌合凹部１８Ｂ２を嵌合突起１９、３０から取り外して蓋体３を開いたりする。
【００３３】
なお、フック１８は、その取っ手部１８Ｃを上に向けて取り付けても、下に向けて取り付けてもよい。
【００３４】
蓋体３は、図１４及び図１５に示すように、容器本体２とほぼ同じ形状に形成されている。これにより、枚葉収納容器１を積み重ねたときに、上側の枚葉収納容器１の容器本体２が下側の枚葉収納容器１の蓋体３に嵌り込んで、安定してかつコンパクトに積層できるようになっている。例えば、本実施形態の枚葉収納容器１の一例では、その全高が４１ｍｍのとき、２段積み重ねて７６ｍｍとなった。これに対して、従来の枚葉収納容器では、枚葉収納容器の全高が４９．５ｍｍのとき、２段積み重ねて９０ｍｍであった。これにより、重ねる枚数が増えれば、従来技術に比べて、その積層高さを大幅に低減できる。
【００３５】
蓋体３は具体的には、天板部２１と周壁部２２と蓋体ガイド２３とから構成されている。天板部２１は、容器本体２の底板部５に載置された半導体ウエハー４をその上側から覆う部材である。天板部２１は、底板部５と同様に、その中央部の肉厚を周縁部の肉厚よりも厚くしている。これは、天板部２１に要求される強度を保つためであり、要求される強度に応じた肉厚に設定されている。これにより、天板部２１の裏面の補強リブを省略して、凹凸部分を無くして洗浄効率の向上を図っている。
【００３６】
蓋体３の天板部２１の内側面には、後述するリテーナー２４が嵌め込まれるリテーナー嵌合部(図示せず)が設けられている。このリテーナー嵌合部は、天板部２１の内側面に８個設けられている。各リテーナー嵌合部は、天板部２１の内側面のうち、容器本体２の底板部５に載置された半導体ウエハー４の周縁部に臨ませて設けられている。
【００３７】
周壁部２２は、天板部２１の周囲から下方へ垂下して形成されている。この周壁部２２は、容器本体２の周壁部６と同様に、２段に段差を設けて構成されている。これにより、蓋体３が容器本体２に被せられた状態で当該容器本体２の底板部５と蓋体３の天板部２１及び周壁部２２とによって半導体ウエハー４を収納する空間が形成されている。一段目２２Ａは、容器本体２の凹状嵌合部（６Ｂ）にその下側から嵌合する凸状嵌合部となっている。二段目２２Ｂは、容器本体２の凸状嵌合部（６Ａ）にその上側から嵌合する凹状嵌合部となっている。 
周壁部２２の段差のうち一段目２２Ａの下面には、その全周に亘って当接面が設けられている。この当接面が容器本体２側のシール材１３に当接して枚葉収納容器１内を気密に封止するようになっている。二段目２２Ｂは、その外周面が容器本体２に形成された段差の二段目６Ｂの外周面と面一になるように形成されている。即ち、容器本体２と蓋体３とを互いに閉じた状態（図１参照）でこれらの合わせ部分が面一になるように形成されている。これは、シール材１３を設けずに、面一の合わせ部分にシール用テープを貼る場合があるためである。
【００３８】
蓋体ガイド２３は、蓋体３を容器本体２に被せるときに、これら蓋体３と容器本体２とが互いにずれないように案内するためのガイドである。この蓋体ガイド２３は、蓋体３のフック嵌合部２９の両側から内側へ張り出して形成され、蓋体３が容器本体２に被さったとき、容器本体２の周壁部６に対して僅かな隙間を空けた状態で対向して位置するようになっている。これにより、蓋体ガイド２３は、蓋体３がヒンジ１７を中心に回動して容器本体２に被さったときに、蓋体３がずれた場合に案内する。蓋体３は２つのヒンジ１７で支持されているため通常ずれることはないが、何らかの原因で蓋体３が容器本体２に対してずれた場合に、蓋体ガイド２３が容器本体２の周壁部６に当接して案内する。なお、蓋体ガイド２３は、容器本体２側に設けてもよい。容器本体２及び蓋体３の両側に設けてもよい。
【００３９】
蓋体３のうち、容器本体２のヒンジ嵌合部１５に対向する位置にはヒンジ嵌合部２８が設けられている。ヒンジ嵌合部２８には、蓋体３を容器本体２に対して回動可能に支持するヒンジ１７が嵌合される。このヒンジ嵌合部２８は、ヒンジ嵌合部１５と同様に、ヒンジ１７の嵌合片１７Ａとほぼ同じ寸法に形成された凹部によって構成されている。このヒンジ嵌合部２８に、ヒンジ１７の嵌合片１７Ａが嵌合して、きつく結合される。
【００４０】
蓋体３のうち、容器本体２のフック嵌合部１６に対向する位置にはフック嵌合部２９が設けられている。フック嵌合部２９は、容器本体２のフック嵌合部１６とミラー対象でほぼ同じ構成になっている。このフック嵌合部２９と容器本体２のフック嵌合部１６とが合さることで、フック１８とほぼ同じ寸法及び形状の凹部を構成する。
【００４１】
フック嵌合部２９の両側壁には、容器本体２のフック嵌合部１６の嵌合突起１９と同様の円柱状の嵌合突起３０が設けられている。この嵌合突起３０は、後述するフック１８の嵌合凹部１８Ｂに嵌合して、容器本体２と蓋体３とを固定する。
【００４２】
天板部２１の上側面の周縁には、枚葉収納容器１を持ち運ぶための係止用フランジ３１が設けられている。この係止用フランジ３１は、天板部２１から水平に張り出した板材によって構成されている。係止用フランジ３１は、ヒンジ嵌合部２８及びフック嵌合部２９が位置する方向に対向して２つ設けられている。この係止用フランジ３１は、搬送装置側のアーム部(図示せず)の形状に応じて、その設置位置、形状等が適宜設定される。
【００４３】
リテーナー２４は、容器本体２の底板部５に載置された半導体ウエハー４の周縁部を支持するための部材である。このリテーナー２４は、弾性を有する合成樹脂で形成されている。リテーナー２４は、図１６及び図１７に示すように、基部２５と、撓み片２６とから構成されている。基部２５は、蓋体３の天板部２１のリテーナー嵌合部に嵌合する部分である。基部２５は、ほぼ四角環状に形成され、そのうちの２つの角部に突起２５Ａを設けてリテーナー嵌合部の形状に合わせている。この基部２５が、突起状のリテーナー嵌合部に嵌合することで、リテーナー２４がリテーナー嵌合部に確実に取り付けられる。リテーナー嵌合部は蓋体３に設けられた四角柱または類似形状の突起形状をしており、この突起を前記四角環状の基部２５に嵌合することによってリテーナー２４を蓋体３に取り付けることができる。
【００４４】
撓み片２６は、半導体ウエハー４に当接して支持するための部分である。撓み片２６は、基部２５から半導体ウエハー４側に延出して形成されている。撓み片２６は、基端片部２６Ａと、先端片部２６Ｂと、薄肉部２６Ｃとから構成されている。撓み片２６は、弾性を有する合成樹脂で形成されているため、基端片部２６Ａと先端片部２６Ｂも撓むが、特に薄肉部２６Ｃがよく撓み、この薄肉部２６Ｃを中心にして、基端片部２６Ａと先端片部２６Ｂとが撓んで、半導体ウエハー４を弾性的に支持している。さらに、先端片部２６Ｂは基端片部２６Ａに対して傾斜させて形成されているため、この先端片部２６Ｂが半導体ウエハー４の周縁部に当接すると、この先端片部２６Ｂが半導体ウエハー４をその径方向内方及び下方へ弾性的に押圧するようになっている。
【００４５】
以上のように構成された枚葉収納容器１は、次のようにして使用される。
【００４６】
半導体ウエハー４を収納するときは、半導体ウエハー搬送装置の載置台(図示せず)に枚葉収納容器１が設置されて、フック１８が外されて蓋体３が開かれる。この状態で、搬送装置の真空ピンセットが半導体ウエハー４を支持して底板部５の直上まで移動される。次いで、真空ピンセットが降ろされて、半導体ウエハー４が底板部５の薄板支持凸条８上に載置される。この状態で、半導体ウエハー４と底板部５との間には真空ピンセットよりも広い隙間が確保され、真空ピンセットは半導体ウエハー４に接触することなく、そのまま引き出される。次いで、蓋体３が閉じられて、フック１８が取り付けられる。
【００４７】
このとき、枚葉収納容器１内では、蓋体３の内側面のリテーナー２４が半導体ウエハー４の周縁部に当接して、半導体ウエハー４をその周縁部から支持している。これにより、半導体ウエハー４の上側は、リテーナー２４で支持されて、径方向内方及び下方へ押圧支持されている。さらに、半導体ウエハー４の下側は、薄板支持凸条８で支持されている。これにより、半導体ウエハー４は、上下から挟まれた状態で、さらに中心に向けて押圧されている。これにより、薄くて広い半導体ウエハー４を確実に支持している。
【００４８】
このとき、枚葉収納容器１の内部は、シール材１３によって密封されている。なお、場合によっては、シール材１３を設けずに、容器本体２と蓋体３とを互いに閉じた状態で面一になるこれらの合わせ部分にテープを巻いて封止することもある。
【００４９】
この状態で、フランジ部３１を搬送装置のアーム部で結合して枚葉収納容器１を持ち上げ、搬送する。
【００５０】
枚葉収納容器１内の半導体ウエハー４を取り出すときは、フック１８を外して蓋体３を開き、真空ピンセットを半導体ウエハー４と底板部５の隙間に挿入する。次いで、真空ピンセットを上げて半導体ウエハー４を持ち上げ、移動させる。
【００５１】
枚葉収納容器１を洗浄するときは、フック１８を容器本体２及び蓋体３の両方から取り外し、さらにヒンジ１７を容器本体２と蓋体３とから抜き取って外す。さらに、リテーナー２４もリテーナー嵌合部から取り外す。シール材１３もシール溝１２から取り外す。
【００５２】
次いで、これらを個別に洗浄して乾燥させた後、ヒンジ１７、フック１８等を取り付ける。
【００５３】
以上のように、枚葉収納容器１によれば、次のような効果を奏する。
【００５４】
（１）  容器本体２の底板部５を周壁部６よりも高い位置まで隆起させて形成したので、真空ピンセット等の半導体ウエハー４の支持手段を、容器本体２の横方向から半導体ウエハー４の下側に挿入することができるようになる。この結果、枚葉収納容器１の収納された半導体ウエハー４を容易に出し入れすることができるようになる。
【００５５】
（２）  容器本体２の底板部５に、この底板部５と半導体ウエハー４との間に隙間を空けた状態で支持するための薄板支持凸条８を備えたので、真空ピンセット等を半導体ウエハー４の下側に確実に挿入することができる。
【００５６】
（３）  薄板支持凸条８を、容器本体２の中心側を低く、外周側を高くするように傾斜させて形成したので、半導体ウエハー４の下側面の周縁部にだけ接触して半導体ウエハー４を支持することができるようになる。
【００５７】
（４）  薄板支持凸条８は、放射状に延ばして形成されたので、半導体ウエハー４をその周縁部から安定して支持することができる。
【００５８】
（５）  容器本体２の底板部５に係止片９を設けたので、この係止片９が薄板支持凸条８に載置された半導体ウエハー４の周縁部に当接して半導体ウエハー４の横滑りを防止するため、枚葉収納容器１の搬送中等に半導体ウエハー４がずれるのを防止することができる。
【００５９】
（６）  係止片９が、薄板支持凸条８に載置された半導体ウエハー４の外径よりも若干大きな円周上に複数配設されたので、半導体ウエハー４が容器本体２の中心位置と整合した状態で載置されているときには、半導体ウエハー４と係止片９とは互いに接触せず、半導体ウエハー４がずれたときに係止片９が半導体ウエハー４の周縁部に接触して半導体ウエハー４のずれを防止することができる。
【００６０】
（７）  係止片９の当接面が、半導体ウエハー４の周縁に沿って湾曲して形成されているため、半導体ウエハー４が急激にずれて係止片９と半導体ウエハー４とが激しく接触しても、湾曲した係止片９の当接面が半導体ウエハー４の周縁と広い範囲で接触して、安全に支持する。
【００６１】
（８）  蓋体３の天板部２１の内側面に、容器本体２の底板部５に載置された半導体ウエハー４の周縁部を支持する複数のリテーナー２４を備えたので、容器本体２に蓋体３を被せた状態で、薄板支持凸条８に載置された半導体ウエハー４をその周縁から支持して、横滑りを防止することができる。
【００６２】
（９）  リテーナー２４が弾性体で形成されると共に、蓋体３の天板部２１の内側面にリテーナー２４が取り付けられるリテーナー嵌合部を備えたので、枚葉収納容器１を使用する際にリテーナー２４をリテーナー嵌合部に取り付け、洗浄する際にはリテーナー２４をリテーナー嵌合部から取り外して、洗浄効率を向上させている。
【００６３】
（１０）  リテーナー２４が、リテーナー嵌合部に嵌合する基部２５と、基部２５から半導体ウエハー４側に延出して形成され半導体ウエハー４の周縁部に当接して半導体ウエハー４をその径方向内方及び下方へ弾性的に押圧する撓み片２６とから構成されたので、容器本体２の薄板支持凸条８に載置された半導体ウエハー４を、上記撓み片２６でその径方向内方及び下方へ弾性的にかつ安定して、押圧支持することができる。
【００６４】
（１１）  薄板支持凸条８が、半導体ウエハー４の周縁部と点接触、線接触又は面接触により最小面積で接触するように構成されたので、薄板支持凸条８が半導体ウエハー４に必要以上に接触して、半導体ウエハー４の下側面を傷つけることを防止することができる。
【００６５】
（１２）  薄板支持凸条８の断面形状が、半導体ウエハー４との接触部分に向けて細くなるように形成されたので、半導体ウエハー４の周縁部と点接触、線接触又は面接触により最小面積で接触させることができ、薄板支持凸条８が半導体ウエハー４に必要以上に接触して、半導体ウエハー４の下側面を傷つけることを防止することができる。
【００６６】
（１３）  容器本体２と蓋体３とが、ヒンジ１７によって結合され、フック１８によって固定されたので、蓋体３を容器本体２に容易に固定することができると共に容易に開くことができるようになる。
【００６７】
（１４）  容器本体２と蓋体３との間にシール材１３が設けられ、これら容器本体２と蓋体３とがヒンジ１７によって結合されてフック１８によって固定された状態で内部が気密に封止されるため、半導体ウエハー４が収納された状態で、蓋体３を容器本体２に被せて固定するだけで、半導体ウエハー４を容易にかつ確実に気密状態に保持できる。
【００６８】
（１５）  ヒンジ１７で容器本体２に結合された蓋体３が、９０度から１８０度の開き角で容器本体２から分離されるため、洗浄作業の場合に、蓋体３を容易に取り外して洗浄することができる。これにより、洗浄作業性が向上する。
【００６９】
（１６）  容器本体２と蓋体３とがほぼ同じ形状に形成され、蓋体３を閉じた状態でこの蓋体３に上側の枚葉収納容器１の容器本体２が嵌り込んで、複数段に積み重ねることができるようにしたので、複数の枚葉収納容器１を容易にかつ安定して積み重ねることができる。さらに、下側の枚葉収納容器１の蓋体３に上側の枚葉収納容器１の容器本体２が嵌り込んで積み重ねるため、その積層高さがあまり高くならないで、コンパクトに積みかねることができる。
【００７０】
（１７）  容器本体２と蓋体３とがほぼ同じ形状に形成され、これら容器本体２と蓋体３とを互いに閉じた状態でこれらの合わせ部分が面一になるようにしたので、この合わせ部分にテープを巻くことで枚葉収納容器１内を封止することができる。
【００７１】
（１８）  容器本体２又は蓋体３の一方又は両方が非帯電性の高分子材料で形成されたので、塵埃等を吸着して半導体ウエハー４が汚染されるのを防止することができる。さらに、少なくとも蓋体３が透明高分子材料で形成されたので、半導体ウエハー４が収納された枚葉収納容器１の内部状態を確認することができる。
【００７２】
（１９）  蓋体３に、容器本体２に対向して蓋体ガイド２３を設けたので、この蓋体ガイド２３が、蓋体３を容器本体２に被せるときに、これら蓋体３と容器本体２とが互いにずれないように案内して、安全にかつ正確に蓋体３を閉じることができる。これにより、蓋体３側のリテーナー２４が容器本体２側の半導体ウエハー４の周縁部に確実に当接して半導体ウエハー４を支持することができる。
【００７３】
（２０）  蓋体３の周縁に、持ち運びのための係止用フランジ３１が設けられたので、枚葉収納容器１を搬送する場合に、搬送装置のアーム部で係止用フランジ３１を掴んで容易に搬送することができる。
【００７４】
（２１）  容器本体２の底板部５又は蓋体３の天板部２１の一方又は両方が、その中央部の肉厚を周縁部の肉厚よりも厚く形成されたので、補強リブを設ける必要が無くなり、凹凸部分を無くしている。この結果、容器本体２及び蓋体３が洗浄しやすく液切れのよい形状になり、洗浄効率の向上を図ることができる。
【００７５】
［変形例］
上記実施形態では、薄板支持凸条８を放射状に配設したが、複数本平行に配設したものを一組として、それらを放射状に延ばして形成してもよい。真空ピンセットの挿入の邪魔にならない状態の配列の薄板支持凸条８であればよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００７６】
また、薄板支持凸条８は２本を一組として、四角形の底板部５の各辺（周縁部）の４ヶ所に設けたが、真空ピンセットの挿入の邪魔にならない範囲で、底板部５の中心から周縁まで配設して底板部５の全面に設けても良い。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器を断面状態で示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器をフック側から示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器をヒンジ側から示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体の要部を示す正面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体を裏面から示す斜視図である。
【図７】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体に半導体ウエハーを載置した状態を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体に半導体ウエハーを載置した状態を断面状態で示す斜視図である。
【図９】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体の要部を示す拡大斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のヒンジを正面側から示す斜視図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のヒンジを裏面側から示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のフックを正面側から示す斜視図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のフックを裏面側から示す斜視図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の蓋体を上側から示す斜視図である。
【図１５】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の蓋体を下側から示す斜視図である。
【図１６】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のリテーナーを上側から示す斜視図である。
【図１７】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のリテーナーを下側から示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７８】
１：枚葉収納容器、２：容器本体、３：蓋体、４：半導体ウエハー、５：底板部、６：周壁部、８：薄板支持凸条、９：係止片、１０：蓋体ガイド、１２：シール溝、１３：シール材、１５：ヒンジ嵌合部、１６、２９：フック嵌合部、１７：ヒンジ、１７Ａ、１７Ｂ：嵌合片、１７Ｃ：薄肉部、１８：フック、１８Ａ：本体部、１８Ｂ：嵌合凹部、１８Ｂ１：回動用嵌合凹部、１８Ｂ２：結合用嵌合凹部、１８Ｃ：取っ手部、１９、３０：嵌合突起、２０：回り込み部、２１：天板部、２２：周壁部、２４：リテーナー、２５：基部、２５Ａ：突起、２６：撓み片、２６Ａ：基端片部、２６Ｂ：先端片部、２６Ｃ：薄肉部、２８：ヒンジ嵌合部、２９：フック嵌合部、３１：係止用フランジ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2006303246.tif 000005
【図４】
2006303246.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2006303246.tif 000009
【図８】
2006303246.tif 000010
【図９】
2006303246.tif 000011
【図１０】
2006303246.tif 000012
【図１１】
2006303246.tif 000013
【図１２】
2006303246.tif 000014
【図１３】
2006303246.tif 000015
【図１４】
2006303246.tif 000016
【図１５】
2006303246.tif 000017
【図１６】
2006303246.tif 000018
【図１７】
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