(57)【要約】【課題】  透明基板の傷をパターンの欠陥として誤検出することを防止する。【解決手段】  板面上にパターン４が形成された透明基板２の欠陥を検査するための透明基板検査装置１００である。透明基板２に照明光を照射する照明装置１と、この照明装置１とは透明基板２を挟んで反対側に配置された撮像装置３とを備える。透明基板２の少なくとも片面を該透明基板２と屈折率が近似する液体５に浸した状態で、透明基板２の欠陥を検出する欠陥検出装置８を備える。前記板面上のパターン４は、前記照明光に対して非透過性を有しており、撮像装置３により撮像された画像に基づき透明基板２の欠陥を検出する。これにより、透明基板２に傷７がある場合に傷７と透明基板２との界面での屈折が生じないようにでき、傷７をパターン４の欠陥として誤検出することが防止される。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板面上にパターンが形成された透明基板の欠陥を検査するための透明基板検査装置において、
前記透明基板に照明光を照射する照明装置と、この照明装置とは前記透明基板を挟んで反対側に配置された撮像装置と、前記透明基板の少なくとも片面を該透明基板と屈折率が近似する液体に浸すとともに、前記透明基板の板面方向を前記照明装置からの照射光の進行方向に対し交差させた状態で、前記透明基板の欠陥を検出する欠陥検出装置と、を備え、前記板面上のパターンは、前記照明光に対して非透過性を有しており、前記撮像装置により撮像された画像に基づき前記透明基板の欠陥を検出することを特徴とする透明基板検査装置。
【請求項２】
前記欠陥検出装置は、前記板面上のパターンを記憶するパターン記憶部と、前記撮像装置により取得した画像と前記パターン記憶部に記憶されたパターンとを比較して、欠陥の有無を判断する比較判定部と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載の透明基板検出装置。
【請求項３】
前記透明基板の全面を前記液体に浸した状態で前記撮像装置による前記撮像を行う構造とされていることを特徴とする請求項１又は２に記載の透明基板検査装置。
【請求項４】
前記液体を貯留した液体容器と、
前記液体容器内の前記液体中に前記透明基板の全面が浸された状態で該透明基板を搬送する搬送機構と、
を更に備え、
前記搬送機構において前記照明装置と前記撮像装置との間に位置する部分には、前記照明装置からの光を前記透明基板に照射可能とさせる開口が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の透明基板検査装置。
【請求項５】
前記透明基板の片面のみを前記液体に浸した状態で前記撮像装置による前記撮像を行う構造とされていることを特徴とする請求項１又は２に記載の透明基板検査装置。
【請求項６】
前記液体を貯留した液体容器と、
前記液体容器内の前記液体中に前記透明基板の下面が浸された状態で該透明基板を搬送する搬送機構と、
を更に備え、
前記搬送機構において前記照明装置と前記撮像装置との間に位置する部分には、前記照明装置からの光を前記透明基板に照射可能とさせる開口が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の透明基板検査装置。
【請求項７】
前記搬送機構は、前記透明基板を搬送する複数のローラを備えて構成されていることを特徴とする請求項４又は６に記載の透明基板検査装置。
【請求項８】
上端が開口し、その上端に達するまで前記液体を貯留した液体容器を更に備え、
前記液体容器の上端の開口に前記透明基板を載置し該透明基板の下面を前記液体に浸した状態で、前記撮像装置による前記撮像を行う構造とされていることを特徴とする請求項１又は２に記載の透明基板検査装置。
【請求項９】
前記照明装置及び前記撮像装置を前記透明基板に沿って移動させながら、前記撮像装置による前記撮像を行うことを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載の透明基板検査装置。
【請求項１０】
板面上にパターンが形成された透明基板の欠陥を検査する方法において、
前記透明基板の少なくとも片面を該透明基板と屈折率が近似する液体に浸す過程と、前記透明基板の板面方向を前記照明装置からの照射光の進行方向に対し交差させた状態で、前記透明基板を照明装置により照射する過程と、前記透明基板を挟んで前記照明装置とは反対側に配置された撮像装置により前記透明基板を撮像する過程と、
前記照明光に対して非透過性を有している前記基板上のパターンを前記撮像装置により撮像して得られる画像に基づき欠陥検出装置に記憶されているパターンと比較して前記透明基板の欠陥を検出する過程と、
を備えることを特徴とする透明基板検査方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の透明基板検査方法によって欠陥が検査された前記透明基板を具備したことを特徴とする平面型表示パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明基板検査装置、透明基板検査方法、及び、この検査方法により検査された透明基板を有する平面型表示パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、プラズマディスプレイパネル（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ：ＰＤＰ）や液晶表示パネル（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ：ＬＣＤ）などの平面型表示パネルが知られている。
【０００３】
平面型表示パネルは、一般に、ガラス基板或いはその他の透明な材質からなる一対の透明基板を備えている。すなわち、平面型表示パネルは、例えば、前面側透明基板及び背面側透明基板を相互に対向した配置で備え、これら両基板の間に表示セルを備えている。
【０００４】
ところで、平面型表示パネルの透明基板の板面上には、電極或いはその他の構成要素がパターン化して形成されている。
【０００５】
従来、このような透明基板の欠陥を検査する技術がある。
【０００６】
図１は、透明基板の板面上のパターンを検査する従来の透明基板検査装置１０００を示す模式的な正面図である。
【０００７】
図１に示すように、従来の透明基板検査装置１０００は、水平に配置された透明基板１００２の下方に配置された照明装置１００１と、この照明装置１００１とは透明基板１００２を挟んで反対側、すなわち透明基板１００２の上方に配置された撮像装置１００３と、を備えている。また、透明基板１００２の表面上には微細なパターン形状のパターン１００４が形成されている。
【０００８】
このような従来の透明基板検査装置１０００によれば、照明装置１００１によりガラス基板１００２を照明することにより、透明基板１００２を透過する透過光を撮像装置１００３側に照射しながら、該撮像装置１００３によりガラス基板１００２の画像を取得し、この画像を解析することによって、ガラス基板１００２の欠陥を検出することができる。
【０００９】
検出される欠陥は、透明基板１００２上に形成されたパターン１００４の欠陥や、ガラス基板１００２上の異物・汚れなどである。また、検出されるパターン１００４の欠陥としては、例えば、パターン１００４の欠け、断線、はみ出し、短絡などがある。
【００１０】
また、本発明に関する先行技術文献としては、例えば、特許文献１，２がある。
【００１１】
このうち特許文献１の技術は、基板上に接着剤層を介してパターンが形成されている場合に、その基板を介して相互に対向するように照明手段と撮像手段を配置し、パターンの検査を行う技術において、基板上の接着剤層の表面の凹凸をパターンの欠陥として誤検出（特許文献１では過検出）してしまうことを防止する目的で、接着剤層の表面に液体を塗布するものである。
【００１２】
より具体的には、特許文献１の技術はＴＡＢテープにおけるパターンの欠陥を検査するものであり、テープリールより送り出されたＴＡＢテープを、一旦、液体（アルコール）にくぐらせることにより接着剤層の表面に液体を塗布した後で、大気中にてパターンの検査を行い、検査後のＴＡＢテープを巻き取りリールに巻き取り回収するものである。
【００１３】
また、特許文献２の技術は、ガラスなどの透明体の内部の欠陥を検査する技術において、透明体をそれと屈折率が近い液体に埋没させた状態で、照射範囲が絞られたレーザービームを透明体に照射しながら走査させ、散乱光を目視にて観察するものである。
【００１４】
より具体的には、特許文献２の技術においては、該文献中の図２に示すように、基板状の透明体を検査対象とする場合に、その板面に交差する方向にレーザービームを照射するのではなく、その板面方向と平行にレーザービームを照射する。
【特許文献１】特開２００４−３６１３２９号公報
【特許文献２】特開平１−２５０８４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、図１に示す従来技術では、例えば透明基板１００２の裏面に傷１００５が存在する場合、この傷１００５をパターン１００４の欠陥として誤検出してしまう可能性がある。
【００１６】
なぜなら、大気中で傷１００５の部分からガラス基板１００２内に入射する光は、傷１００５の無い部分からガラス基板１００２内に入射する光とは異なる屈折をするので、撮像装置１００２にて取得した画像において、傷１００５と対応する部位の輝度階調が、傷１００５の無い部分と比べて低下するためである。同様に、透明基板１００２の表面に傷（図示略）が存在する場合も、この傷をパターン１００４の欠陥として誤検出してしまう可能性がある。
【００１７】
本発明が解決しようとする課題には、上記した問題が一例として挙げられる。
【００１８】
なお、特許文献１の技術では、基板上に接着剤層を介してパターンが形成されている場合に、接着剤層の表面に液体を塗布するものであるため、基板の板面に傷がある場合には、やはり、この傷をパターンの欠陥として誤検出してしまう。
【００１９】
つまり、特許文献１の技術では上記の問題を解決することができない。
【００２０】
更に、特許文献１の技術では、テープリールより送り出されたＴＡＢテープを、一旦、液体にくぐらせて接着剤層の表面に液体を塗布した後で、大気中にてパターンの検査を行い、検査後のＴＡＢテープを巻き取りリールに巻き取り回収するため、ＴＡＢテープの送り出し→液体の塗布→パターンの検査→ＴＡＢテープの巻き取り回収という一連の作業を途中で中断した後で再開することができないという問題がある。なぜなら、作業を中断すると接着剤層表面の液体が乾燥してしまい、好適な検査ができなくなるためである。
【００２１】
また、特許文献２の技術は、透明体の内部の欠陥を検出するためのものであり、基板の板面に形成された傷を誤検出してしまうことを防止する技術とは全く相違する。
【００２２】
更に、特許文献２の技術では、その図２に示すように、基板型の透明体を検査対象とする場合には、その板面に交差する方向にレーザービームを照射するのではなく、その板面方向と平行にレーザービームを照射する。よって、レーザービームは基板の板面を通過しないので、そもそも基板の板面（表側の面、或いは、裏側の面）上に形成されたパターンの形状を検査することが不可能である。
【００２３】
また、特許文献２の技術は、透明体の一部に欠陥がある場合に、その欠陥部分からの顕著な散乱光を目視で容易に認識できるような構成となっている。つまり、特許文献２の技術では、目視により乱反射を観察することによって欠陥を判定するため、そもそも微細なパターンの欠陥を検出することができない。
【００２４】
以上のことから、特許文献１、２では上記の課題を解決することができない。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
請求項１に記載の発明は、板面上にパターンが形成された透明基板の欠陥を検査するための透明基板検査装置において、前記透明基板に照明光を照射する照明装置と、この照明装置とは前記透明基板を挟んで反対側に配置された撮像装置と、前記透明基板の少なくとも片面を該透明基板と屈折率が近似する液体に浸すとともに、前記透明基板の板面方向を前記照明装置からの照射光の進行方向に対し交差させた状態で、前記透明基板の欠陥を検出する欠陥検出装置と、を備え、前記板面上のパターンは、前記照明光に対して非透過性を有しており、前記撮像装置により撮像された画像に基づき前記透明基板の欠陥を検出することを特徴としている。
【００２６】
また、請求項１０に記載の発明は、板面上にパターンが形成された透明基板の欠陥を検査する方法において、前記透明基板の少なくとも片面を該透明基板と屈折率が近似する液体に浸す過程と、前記透明基板の板面方向を前記照明装置からの照射光の進行方向に対し交差させた状態で、前記透明基板を照明装置により照射する過程と、前記透明基板を挟んで前記照明装置とは反対側に配置された撮像装置により前記透明基板を撮像する過程と、前記照明光に対して非透過性を有している前記基板上のパターンを前記撮像装置により撮像して得られる画像に基づき欠陥検出装置に記憶されているパターンと比較して前記透明基板の欠陥を検出する過程と、を備えることを特徴としている。
【００２７】
また、請求項１１に記載の平面型表示パネルは、請求項１０に記載の透明基板検査方法によって欠陥が検査された前記透明基板を具備したことを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、実施形態を説明する。
【００２９】
本実施形態に係る透明基板検査装置は、板面（表側或いは裏側の面）上にパターンが形成された透明基板の欠陥を検査するための透明基板検査装置において、前記透明基板に光を照射する照明装置と、この照明装置とは前記透明基板を挟んで反対側に配置された撮像装置と、前記透明基板の少なくとも片面を該透明基板と屈折率が近似する液体に浸すとともに、前記透明基板の板面方向を前記照明装置からの照射光の進行方向に対し交差させた状態で、前記透明基板の欠陥を検出する欠陥検出装置と、を備え、前記板面上のパターンは、前記照明光に対して非透過性を有しており、前記撮像装置により撮像された画像に基づき前記透明基板の欠陥を検出することを特徴としている。
【００３０】
本実施形態に係る透明基板検査装置によれば、前記透明基板の少なくとも片面を該透明基板と屈折率が近似する液体に浸すとともに、前記透明基板の板面方向を前記照明装置からの照射光の進行方向に対し交差させた状態で、前記透明基板の欠陥を検出する欠陥検出装置と、を備え、前記板面上のパターンは、前記照明光に対して非透過性を有しており、前記撮像装置により撮像された画像に基づき前記透明基板の欠陥を検出するので、ガラス基板或いはその他の透明基板の板面上に傷がある場合にその傷をパターンの欠陥として誤検出してしまうことを防止ないしは抑制することができる。なぜなら、透明基板と液体との屈折率が相互に近似するため、透明基板と液体との界面を通過する際の光の屈折を防止ないしは抑制でき、撮像装置にて取得した画像において、傷と対応する部位と傷が無い部位との輝度階調の差が生じないようにできるためである。このように、透明基板の傷をパターンの欠陥として誤検出してしまうことを防止ないしは抑制することにより、パターンの欠陥や透明基板上の異物・汚れといった、検出すべき欠陥のみを的確に検出することができるので、パターン検査の信頼性が向上する。なお、検出されるパターンの欠陥は、例えば、パターンの欠け、断線、はみ出し、短絡などである。
【００３１】
また、前記透明基板の少なくとも片面を該透明基板と屈折率が近似する液体に浸した状態で撮像装置により撮像するので、透明基板において液体に浸された面が乾燥することがない。よって、一連の検査作業を中断し再開することも任意に行うことができる。
【００３２】
また、透明基板の処理工程には、例えば洗浄処理などのウェット処理が含まれるが、本実施形態に係る透明基板検査装置をそのようなウェット処理を行うウェット設備に組み込むことにより、設備の省スペース及び欠陥を検出した場合の前工程への迅速なフィードバックが可能となる。透明基板上へのパターン形成後の洗浄処理では、例えば純水が用いられるが、水の屈折率はガラス基板などの透明基板の屈折率に近いため、そのような洗浄処理装置に本実施形態に係る透明基板検査装置を組み込み、上記のように欠陥を検査することが可能である。
【００３３】
本実施形態に係る透明基板検査装置においては、前記欠陥検出装置は、前記板面上のパターンを記憶するパターン記憶部と、前記撮像装置により取得した画像と前記パターン記憶部に記憶されたパターンとを比較して、欠陥の有無を判断する比較判定部と、を備えていることが好ましい一例であり、これにより、好適に基板の欠陥を検出することができる。
【００３４】
本実施形態に係る透明基板検査装置においては、前記透明基板の全面を前記液体に浸した状態で前記撮像装置による前記撮像を行う構造とされていることが好ましい一例であり、これにより、透明基板の表側及び裏側の何れの面に傷がある場合でも、この傷の誤検出を防止ないしは抑制することが可能となる。
【００３５】
この場合、前記液体を貯留した液体容器と、前記液体容器内の前記液体中に前記透明基板の全面が浸された状態で該透明基板を搬送する搬送機構と、を更に備え、前記搬送機構において前記照明装置と前記撮像装置との間に位置する部分には、前記照明装置からの光を前記透明基板に照射可能とさせる開口が形成された構造とすることが好ましい一例である。この場合、搬送機構により透明基板を搬送しながら照明装置による照明と撮像装置により撮像とを行うので、照明装置及び撮像装置の規模を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。また、搬送機構において照明装置と撮像装置との間に位置する部分には開口が形成されているので、搬送機構が検査の妨げとなることがない。
【００３６】
或いは、本実施形態に係る透明基板検査装置においては、前記透明基板の片面のみを前記液体に浸した状態で前記撮像装置による前記撮像を行う構造とされていることも好ましく、これにより、少ない液体量にて上記のように欠陥を検査することが可能となる。
【００３７】
この場合、前記液体を貯留した液体容器と、前記液体容器内の前記液体中に前記透明基板の下面が浸された状態で該透明基板を搬送する搬送機構と、を更に備え、前記搬送機構において前記照明装置と前記撮像装置との間に位置する部分には、前記照明装置からの光を前記透明基板に照射可能とさせる開口が形成された構造とすることが好ましい一例である。この場合も、搬送機構により透明基板を搬送しながら撮像装置により撮像を行うので、撮像装置の規模を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。また、搬送機構において照明装置と撮像装置との間に位置する部分には開口が形成されているので、搬送機構が検査の妨げとなることがない。
【００３８】
本実施形態に係る透明基板検査装置においては、前記搬送機構は、例えば、前記透明基板を搬送する複数のローラを備えて構成されていることが好ましく、これにより、好適に透明基板を搬送することが可能となる。
【００３９】
また、本実施形態に係る透明基板検査装置においては、上端が開口し、その上端に達するまで前記液体を貯留した液体容器を更に備え、前記液体容器の上端の開口に前記透明基板を載置し該透明基板の下面を前記液体に浸した状態で、前記撮像装置による前記撮像を行う構造とされていることも好ましい。この場合、液体中に透明基板の全体や下部を浸す場合と比べて透明基板のハンドリングが容易となるという利点がある。
【００４０】
本実施形態に係る透明基板検査装置においては、前記照明装置及び前記撮像装置は位置が固定であっても良いが、或いは、前記照明装置及び前記撮像装置が可動とされ、前記照明装置及び前記撮像装置を前記透明基板に沿って移動させながら、前記撮像装置による前記撮像を行う構成とされていることも好ましい。この場合、前記照明装置及び前記撮像装置を移動させる移動手段が必要となるが、この移動手段は液体に浸す必要がない。また、照明装置及び撮像装置を透明基板に沿って移動させながら、照明装置による照明と撮像装置による撮像とを行うので、照明装置及び撮像装置の規模を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。
【００４１】
また、本実施形態に係る透明基板検査方法は、板面上にパターンが形成された透明基板の欠陥を検査する方法において、前記透明基板の少なくとも片面を該透明基板と屈折率が近似する液体に浸す過程と、前記透明基板の板面方向を前記照明装置からの照射光の進行方向に対し交差させた状態で、前記透明基板を照明装置により照射する過程と、前記透明基板を挟んで前記照明装置とは反対側に配置された撮像装置により前記透明基板を撮像する過程と、前記照明光に対して非透過性を有している前記基板上のパターンを前記撮像装置により撮像して得られる画像に基づき欠陥検出装置に記憶されているパターンと比較して前記透明基板の欠陥を検出する過程と、を備えることを特徴としている。このため、本実施形態に係る透明基板検査方法によれば、本実施形態に係る透明基板検査装置と同様の効果が得られる。
【００４２】
また、本実施形態に係る平面型表示パネルは、本実施形態に係る透明基板検査方法によって欠陥が検査された前記透明基板を備えることを特徴としている。よって、本実施形態に係る平面型表示パネルは、透明基板における欠陥の有無が的確に検査された平面型表示パネルとすることができる。なお、本実施形態に係る平面型表示パネルとしては、例えば、プラズマディスプレイパネルや液晶表示装置が挙げられる。これら平面型表示パネルの構造は従来周知であるので説明を省略する。
【実施例１】
【００４３】
図２は実施例１に係るガラス基板検査装置（透明基板検査装置）１００を示す模式的な正面図、図３はガラス基板検査装置１００の主要なブロック構成を示すブロック図である。
【００４４】
図２に示すように、実施例１に係るガラス基板検査装置１００は、板面上に微細なパターン４が形成されたガラス基板（透明基板）２の欠陥を検出するためのものであり、ガラス基板２に光を照射する照明装置１と、この照明装置１とはガラス基板２を挟んで反対側に配置された撮像装置（カメラ）３と、屈折率がガラス基板２と近似する液体５を内部に貯留し、該液体５内にガラス基板２を浸漬するための液体容器６と、この液体容器６内においてガラス基板２を略水平に保持する図示しない保持手段と、を備えている。
【００４５】
照明装置１は、光源として、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ或いはメタルハライドランプを備えて構成されている。なお、ガラス基板２の板面上のパターン４は、照明装置１の照明光に対して非透過性を有している。
【００４６】
この照明装置１は、例えば、液体容器６の下方に配置され、光を上方に向けて照射する。
【００４７】
また、撮像装置３は、例えば、ＣＣＤラインセンサ或いはＣＣＤカメラなどからなる。
【００４８】
この撮像装置３は、例えば、液体容器６の上方に配置され、照明装置１側を向いている。
【００４９】
図３に示すように、ガラス基板検査装置１００は、更に、撮像装置３により取得した画像に基づきガラス基板２の欠陥を自動的に検出する欠陥検出装置８を備えている。
【００５０】
この欠陥検出装置８は、例えば、予め基準となるパターン形状の画像（基準画像）を記憶保持するパターン記憶部８１と、このパターン記憶部に記憶保持された基準画像と撮像装置３により取得された画像（取得画像）とを比較して、ガラス基板２の欠陥の有無を判断する比較判定部８２と、を備えている。
【００５１】
ガラス基板２は、例えば、平面型表示パネルの前面側のガラス基板或いは背面側のガラス基板であることが挙げられる。平面表示パネルとしては、例えば、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）や液晶表示パネル（ＬＣＤ）が挙げられる。これらの場合、ガラス基板２の表面上に形成されたパターン４は、例えば、電極であることが挙げられる。なお、ガラス基板２は、その他（平面表示パネル以外）の用途のガラス基板であっても良い。
【００５２】
液体容器６の形状・寸法と、該液体容器６内の液体５の量は、該液体容器６内にガラス基板２を浸漬することによりガラス基板２の全面（全ての面）が液体５に浸された状態となるように設定されている。
【００５３】
液体容器６は、透明材からなり、照明装置１からの照射光をガラス基板２を介して撮像装置３側に透過可能となっている。
【００５４】
また、液体容器６内の液体５は、例えば、水或いは有機溶剤（アルコールなど）であることが挙げられる。
【００５５】
次に、動作を説明する。
【００５６】
ガラス基板２の欠陥を検出するためには、予め、ガラス基板２を液体容器６内の液体５中に浸漬し、該ガラス基板２を保持手段により水平状態に保持させた状態とする。
【００５７】
つまり、ガラス基板２の全面を液体５に浸した状態とするとともに、ガラス基板２の板面方向が照明装置１からの照射光の進行方向に対し直交（交差）するようにガラス基板２を配置する。
【００５８】
この状態で照明装置１によりガラス基板２を照明することによってガラス基板２を透過する透過光を撮像装置３側に照射しながら、該撮像装置３によりガラス基板２の画像を取得し、この画像を欠陥検出装置８により解析する。
【００５９】
これにより、ガラス基板２の欠陥、すなわち、ガラス基板２の表面上に形成されたパターン４の欠陥（欠け、断線、はみ出し、短絡など）や、ガラス基板２の表面又は裏面の異物・汚れなどを検出することができる。
【００６０】
更に、欠陥検出装置８により欠陥を自動的に解析するので、微細なパターン４の欠陥を好適に検出することができる。
【００６１】
また、ガラス基板２が、屈折率が近似する液体５に浸された状態となっているため、ガラス基板２に傷７がある場合であっても、この傷７の部分において照明装置１からの入射光の乱反射が防止ないしは抑制される。よって、傷７を検出することがなく、パターン４の欠陥のみを検出することができる。なお、図２には傷７がガラス基板２の裏側に形成されている例を示しているが、実施例１ではガラス基板２の全面が液体５に浸された状態であるので、傷７がガラス基板２の表側に形成されている場合も、同様に、傷７を検出することがないようにできる。
【００６２】
以上のような実施例１によれば、板面上にパターン４が形成されたガラス基板２の欠陥を検査するためのガラス基板検査装置１００において、ガラス基板２に光を照射する照明装置１と、この照明装置１とはガラス基板２を挟んで反対側に配置された撮像装置３と、ガラス基板２の少なくとも片面（具体的には、例えば、表側及び裏側の両面）を該ガラス基板２と屈折率が近似する液体４に浸すとともに、ガラス基板２の板面方向を照明装置１からの照射光の進行方向に対し交差（具体的には、直交）させた状態で、ガラス基板２の欠陥を検出する欠陥検出装置８と、を備え、前記板面上のパターン４は、前記照明光に対して非透過性を有しており、撮像装置３により撮像された画像に基づきガラス基板２の欠陥を検出するので、ガラス基板２の板面（表側の面或いは裏側の面）上に傷７がある場合にその傷７をパターン４の欠陥として誤検出してしまうことを防止ないしは抑制することができる。なぜなら、ガラス基板２と液体５との屈折率が相互に近似するため、ガラス基板２と液体５との界面を通過する際の光の屈折を防止ないしは抑制でき、撮像装置３にて取得した画像において、傷７と対応する部位と傷が無い部位との輝度階調の差が生じないようにできるためである。このように、ガラス基板２の傷をパターン４の欠陥として誤検出してしまうことを防止ないしは抑制することにより、パターン４の欠陥やガラス基板４上の異物・汚れといった、検出すべき欠陥のみを的確に検出することができ、パターン検査の信頼性が向上する。
【００６３】
また、ガラス基板２の少なくとも片面を該ガラス基板２と屈折率が近似する液体５に浸した状態で撮像装置３により撮像するので、ガラス基板２において液体５に浸された面が乾燥することがない。よって、一連の検査作業を中断し再開することも任意に行うことができる。
【００６４】
また、ガラス基板２の処理工程には、例えば洗浄処理などのウェット処理が含まれるが、実施例１に係るガラス基板検査装置１００をそのようなウェット処理を行うウェット設備に組み込むことにより、設備の省スペース及び欠陥を検出した場合の前工程への迅速なフィードバックが可能となる。
【００６５】
なお、上記の実施例１の場合、撮像装置３と照明装置１との配置は、相互に対向する配置であればどのような配置であっても良い。すなわち、上記の実施例１では撮像装置３が上、照明装置１が下である例を説明したが、例えば、撮像装置３が下、照明装置１が上であっても良いし、撮像装置３が左右何れか一方に配置され、照明装置１が左右何れか他方に配置されても良いし、撮像装置３と照明装置１とが相互に対向するのであれば、その他の任意の配置であっても良い。
【実施例２】
【００６６】
図４は実施例２に係るガラス基板検査装置（透明基板検査装置）２００を示す模式的な正面断面図である。
【００６７】
なお、ガラス基板検査装置２００の構成要素のうち、上記の実施例１に係るガラス基板検査装置１００におけるのと同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００６８】
図４に示すように、実施例２に係るガラス基板検査装置２００は、ガラス基板２の欠陥を検出するためのものであり、照明装置１と、撮像装置３と、屈折率がガラス基板２と近似する液体５を内部に貯留し、該液体５内にガラス基板２を浸漬するための液体容器６と、欠陥検出装置８と、を備えている。
【００６９】
実施例２の場合も、液体容器６内においてガラス基板２の全面を液体５に浸した状態で撮像装置３による撮像を行うようになっている。
【００７０】
ここで、実施例２の場合、液体容器６は、例えば、不透明な材質からなっているが、照明装置１と対向する液体容器６の底面には開口６１が形成され、この開口６１内には、透明材からなる検査窓２２１が配設されている。
【００７１】
また、液体容器６の内部において、検査窓２２１の上方位置で、且つ、後述するローラ群２１２よりも上方位置には、上端が開口した半筐体２３０が配置されている。この半筐体２３０は、その下部が液体５に浸されている。更に、この半筐体２３０の底面には開口２３１が開口され、この開口２３１内には、透明材からなる検査窓２２２が配設されている。
【００７２】
つまり、検査窓２２２と検査窓２２１との間は液体５で満たされた状態である。
【００７３】
撮像装置３は、半筐体２３０内に配置され、検査窓２２１を介してガラス基板２を撮像する。
【００７４】
実施例２に係るガラス基板検査装置２００は、更に、液体容器６内の液体５中にガラス基板２の全面が浸された状態で該ガラス基板２を搬送する搬送機構２１０を備えている。
【００７５】
この搬送機構２１０は、例えば、複数のローラ２１１からなるローラ群２１２と、これらローラ２１１を互いに同一方向に回転駆動させる図示しない駆動手段と、を備えて構成されている。
【００７６】
ローラ群２１２を構成する複数のローラ２１１は、各々の回転軸方向が互いに平行となるとともに、これらローラ２１１の協働によりガラス基板２を略水平状態に保持できるように、所定間隔に配列されている。
【００７７】
ここで、ローラ群２１２において、照明装置１と撮像装置３との間に位置する部分には、ローラ２１１が配設されていない空白部分、すなわち、開口２１２ａが形成されている。
【００７８】
この開口２１２ａは、照明装置１からの照射光をガラス基板２を介して撮像装置３側に透過可能とさせる。
【００７９】
次に、動作を説明する。
【００８０】
ガラス基板２の欠陥を検出するためには、予め、ガラス基板２を液体容器６内の液体５中に浸漬し、ローラ群２１２により水平に保持させた状態する。
【００８１】
つまり、ガラス基板２の全面を液体５に浸した状態とするとともに、ガラス基板２の板面方向が照明装置１からの照射光の進行方向に対し直交するようにガラス基板２を配置する。
【００８２】
この状態で照明装置１により照明を行うとともに、搬送機構２１０によりガラス基板２を例えば図４の矢印Ａ方向に搬送しながら、撮像装置３によりガラス基板２の画像を取得し、この画像を欠陥検出装置８により解析する。
【００８３】
これにより、上記の実施例１と同様に、ガラス基板２の欠陥を検出することができるとともに、ガラス基板２に傷がある場合であっても傷を検出することがなく、パターンの欠陥や異物・汚れなどの検出すべき欠陥のみを検出することができる。なお、実施例２でもガラス基板２の全面が液体５に浸された状態であるので、傷がガラス基板２の表側に形成されているか裏側に形成されているかにかかわらず同様に、傷を検出しないようにできる。
【００８４】
以上のような実施例２によれば、上記の実施例１と同様の効果が得られる他に、以下の効果が得られる。
【００８５】
すなわち、実施例２の場合、液体５を貯留した液体容器６と、液体容器６内の液体５中にガラス基板２の全面が浸された状態で該ガラス基板２を搬送する搬送機構２１０と、を更に備え、搬送機構２１０において照明装置１と撮像装置３との間に位置する部分には、照明装置１からの光をガラス基板２に照射可能とさせる開口２１２ａが形成され、搬送機構２１０によりガラス基板２を搬送しながら照明装置１による照明と撮像装置３による撮像とを行うので、照明装置１及び撮像装置３をガラス基板２の全面に亘る寸法とする必要がない。よって、照明装置１及び撮像装置３の規模を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。また、搬送機構２１０において照明装置１と撮像装置３との間に位置する部分には開口２１２ａが形成されているので、搬送機構２１０が検査の妨げとなることがない。
【実施例３】
【００８６】
図５は実施例３に係るガラス基板検査装置（透明基板検査装置）３００を示す模式的な正面断面図である。
【００８７】
なお、ガラス基板検査装置３００の構成要素のうち、上記の実施例２に係るガラス基板検査装置２００におけるのと同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００８８】
図５に示すように、実施例３に係るガラス基板検査装置３００は、ガラス基板２の欠陥を検出するためのものであり、照明装置１と、撮像装置３と、液体容器６と、欠陥検出装置８と、搬送機構２１０と、を備えている。
【００８９】
ただし、実施例３に係るガラス基板検査装置３００は、ガラス基板２の片面のみを液体５に浸した状態で撮像装置３による撮像を行う構造とされている。
【００９０】
すなわち、実施例３の場合、搬送機構２１０は、液体容器６内の液体５中にガラス基板２の下面が浸された状態（ガラス基板２の上面は液体５に浸されていない状態）で該ガラス基板２を搬送する。
【００９１】
つまり、このようにして搬送機構２１０がガラス基板２を搬送できるように、液体容器６内の液体５の量と、液体容器６内における搬送機構２１０の鉛直位置が設定されている。
【００９２】
また、実施例３の場合、ガラス基板検査装置３００は、半筐体２３０を備える必要がない。
【００９３】
次に、動作を説明する。
【００９４】
ガラス基板２の欠陥を検出するためには、予め、ガラス基板２を液体容器６内の液体５中に浸漬し、該ガラス基板２を保持手段により水平状態に保持させた状態とする。
【００９５】
つまり、ガラス基板２の片面（下面）のみを液体５に浸した状態とするとともに、ガラス基板２の板面方向が照明装置１からの照射光の進行方向に対し直交するようにガラス基板２を配置する。
【００９６】
この状態で、上記の実施例２と同様に、照明装置１により照明を行うとともに、搬送機構２１０によりガラス基板２を例えば図５の矢印Ａ方向に搬送しながら、撮像装置３によりガラス基板２の画像を取得し、この画像を欠陥検出装置８により解析する。
【００９７】
これにより、上記の実施例２と同様に、ガラス基板２の欠陥を検出することができるとともに、ガラス基板２に傷がある場合であっても傷を検出することがなく、パターンの欠陥や異物・汚れなどの検出すべき欠陥のみを検出することができる。
【００９８】
ただし、実施例３の場合、ガラス基板２の片側（下面）のみが液体５に浸されているので、ガラス基板２の他方の面（上面）に傷が存在する場合には、この傷を誤検出してしまう可能性がある。
【００９９】
以上のような実施例３によれば、液体５を貯留した液体容器６と、液体容器６内の液体５中にガラス基板２の下面が浸された状態で該ガラス基板２を搬送する搬送機構２１０と、を更に備え、搬送機構２１０において照明装置１と撮像装置３との間に位置する部分には、照明装置３からの光をガラス基板２に照射可能とさせる開口２１２ａが形成されているので、実施例２と同様の効果が得られる。
【０１００】
更に、実施例３の場合、ガラス基板２の片面のみを液体５に浸した状態で撮像装置３による撮像を行う構造とされているので、上記の実施例１及び２と比べて液体５の量が少なくて済む。
【０１０１】
なお、上記の実施例２、３では、複数のローラ２１１を備える搬送機構２１０を例示したが、搬送機構としては、メカチャック式やゲージング搬送など、画像に歪みが発生しない方式であれば何でも良い。
【実施例４】
【０１０２】
図６は実施例４に係るガラス基板検査装置（透明基板検査装置）４００を示す模式的な正面断面図である。
【０１０３】
なお、ガラス基板検査装置４００の構成要素のうち、上記の実施例３に係るガラス基板検査装置３００におけるのと同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１０４】
図６に示すように、実施例４に係るガラス基板検査装置４００は、ガラス基板２の欠陥を検出するためのものであり、照明装置１と、撮像装置３と、屈折率がガラス基板２と近似する液体５を内部に貯留し、該液体５内にガラス基板２を浸漬するための液体容器６と、欠陥検出装置８と、を備えている。
【０１０５】
実施例４の場合、液体容器６は、該液体容器６の開口した上端に達するまで液体５を貯留しており、液体容器６の上端の開口にガラス基板２を略水平に載置し、該ガラス基板２の下面を液体５に浸した状態で、撮像装置３による撮像を行う構造とされている。
【０１０６】
更に、実施例４の場合、照明装置１及び撮像装置３が図６に示す水平方向Ａに可動とされ、照明装置１及び撮像装置３をガラス基板２に沿って水平に移動（走査）させながら、撮像装置３による撮像を行う構成とされている。
【０１０７】
すなわち、実施例４に係るガラス基板検査装置４００は、照明装置１及び撮像装置３を互いに同期させて図６に示す水平方向Ａに移動させる移動手段（図示略）を備えている。
【０１０８】
これら移動手段は、液体に浸す必要がないので、移動手段には防液（防水など）対策が必要ない。従って、透明基板を搬送手段により搬送する場合の搬送手段と比べて、これら移動手段を安価に構成することが可能である。また、照明装置及び撮像装置を透明基板に沿って移動させながら、照明装置による照明と撮像装置による撮像とを行うので、照明装置及び撮像装置の規模を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。
【０１０９】
また、照明装置１及び撮像装置３を移動させる構成となっていることに伴い、実施例４の場合の検査窓２２１は、実施例３の場合と比べて水平方向の寸法が大きい。つまり、検査窓２２１は、照明装置１及び撮像装置３の全走査範囲に亘る寸法とされている。
【０１１０】
なお、ガラス基板２は、単に液体容器６の上端の開口に載置するだけでも良いが、本実施例４では、液体容器６の開口には、ガラス基板２の下面を吸着・固定する吸着面４０１が形成され、ガラス基板２が液体容器６の上端の開口に位置決めされるようになっている。
【０１１１】
このため、例えば、検査中にガラス基板２が液体容器６の開口上を滑走し、ガラス基板２の位置がずれてしまうことがない。
【０１１２】
なお、吸着面４０１は、具体的には、例えば、図示していないが、吸引用チューブを通じて吸着パッドが設けられており、吸引によりガラス基板２を固定したり、ガラス基板２を上下からゴムなどの緩衝材を用いて挟み込むことにより固定させる構造となっている。
【０１１３】
次に、動作を説明する。
【０１１４】
ガラス基板２の欠陥を検出するためには、予め、ガラス基板２を液体容器６の上端の開口に載置し、吸着面４０１上に吸着させて位置決めする。これにより、ガラス基板２の下面を液体５に浸した状態とする。
【０１１５】
この状態で、照明装置１により照明を行うとともに、照明装置１及び撮像装置３をガラス基板２に沿うように水平方向に移動させながら、撮像装置３によりガラス基板２の画像を取得し、この画像を欠陥検出装置８により解析する。
【０１１６】
これにより、上記の各実施例と同様に、ガラス基板２の欠陥を検出することができるとともに、ガラス基板２に傷がある場合であっても傷を検出することがなく、パターンの欠陥や異物・汚れなどの検出すべき欠陥のみを検出することができる。
【０１１７】
以上のような実施例４によれば、上端が開口し、その上端に達するまで液体５を貯留した液体容器６を備え、液体容器６の上端の開口にガラス基板２を載置し該ガラス基板２の下面を液体５に浸した状態で、撮像装置３による撮像を行う構造とされているので、結果的に、上記の実施例３と同様の効果が得られる。
【０１１８】
更に、実施例４の場合、ガラス基板２の下面のみを液体５に浸すので、液体５中にガラス基板２の全体を浸す実施例１、２や、ガラス基板２の下部を浸す実施例３と比べてガラス基板２のハンドリングが容易となるという利点がある。
【０１１９】
また、実施例４の場合、照明装置１及び撮像装置３を移動させる移動手段（図示略）が必要となるが、この移動手段は液体５に浸す必要がないので、移動手段には防液（防水など）対策が必要ない。また、照明装置１及び撮像装置３をガラス基板２に沿って移動させながら、照明装置１による照明と撮像装置３による撮像とを行うので、照明装置１及び撮像装置３の規模を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。
【０１２０】
なお、上記の各実施例では、透明基板としてガラス基板２を例示したが、ガラス以外のその他の材質（例えば、樹脂）からなる透明基板であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】従来の透明基板検査装置を示す正面断面図である。
【図２】実施例１に係るガラス基板検査装置を示す正面図である。
【図３】図２のガラス基板検査装置の主要なブロック構成を示すブロック図である。
【図４】実施例２に係るガラス基板検査装置を示す正面図である。
【図５】実施例３に係るガラス基板検査装置を示す正面図である。
【図６】実施例４に係るガラス基板検査装置を示す正面図である。
【符号の説明】
【０１２２】
１００    ガラス基板検査装置（透明基板検査装置）
１        照明装置
２        ガラス基板（透明基板）
３        撮像装置
４        パターン
５        液体
８        欠陥検出装置
８１      パターン記憶部
８２      比較判定部
２００    ガラス基板検査装置（透明基板検査装置）
２１０    搬送機構
２１１    ローラ
２１２ａ  開口
３００    ガラス基板検査装置（透明基板検査装置）
４００    ガラス基板検査装置（透明基板検査装置）
【図１】
2006349599.tif 000003
【図２】
2006349599.tif 000004
【図３】
2006349599.tif 000005
【図４】
2006349599.tif 000006
【図５】
2006349599.tif 000007
【図６】
2006349599.tif 000008