(57)【要約】【課題】マスターディスクに付着した塵埃や繊維くず等の異物を高精度で判別する。【解決手段】一対のホルダ部２２によって保持された一対のマスターディスクの間に被転写用の磁気ディスク４６を供給し、被転写用の磁気ディスクの両面にマスターディスクをそれぞれ圧接させ、圧接された被転写用の磁気ディスクとマスターディスクとに磁界を加えて一対のマスターディスク上の磁気パターンをそれぞれ被転写用の磁気ディスクの両面に転写させる磁気転写に使用されるマスターディスクの検査方法。光照射手段より照射光の光軸がマスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し１〜３０度の角度をなすようにして照射光を照射し、照射された光の反射光を撮像素子により撮像してマスターディスクの表面の汚染状態を検査する。【選択図】  図１
2006127684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その表面に形成された多数の突起状パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、
前記マスターディスクのパターンを被転写用ディスクに転写させる転写手段と、
光照射手段より照射光の光軸が前記マスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなすようにして前記照射光を照射し、照射された光の反射光を撮像素子により撮像して前記マスターディスクの表面の汚染状態を検査する検査手段と、
を具備したことを特徴とする転写装置。
【請求項２】
その表面に形成された多数の突起状磁性層パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、
前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段と、
光照射手段より照射光の光軸が前記マスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなすようにして前記照射光を照射し、照射された光の反射光を撮像素子により撮像して前記マスターディスクの表面の汚染状態を検査する検査手段と、
を具備したことを特徴とする転写装置。
【請求項３】
前記検査手段により検査された前記マスターディスクの表面の汚染箇所を選択的にクリーニングするクリーニング手段を具備した請求項１又は２に記載の転写装置。
【請求項４】
前記ホルダ部によって保持された前記マスターディスクに対向するように被転写用ディスクを供給する供給手段と、
前記保持手段を作動させ、前記被転写用ディスクに前記マスターディスクを圧接させる駆動手段とを具備した請求項１、２又は３に記載の転写装置。
【請求項５】
ホルダ部に保持され、その表面に形成された多数の突起状磁性層パターンを有するマスターディスクに対向するように被転写用ディスクを供給する供給工程と、
供給された前記被転写用ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、
前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写工程と、
光照射手段より照射光の光軸が前記マスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなすようにして前記照射光を照射し、照射された光の反射光を撮像素子により撮像して前記マスターディスクの表面の汚染状態を検査する検査工程と、
を具備したことを特徴とする転写方法。
【請求項６】
その表面に形成された多数の突起状磁性層パターンを有するマスターディスクに対向するように被転写用ディスクを供給し、前記マスターディスクのパターンを前記被転写用ディスクに転写させるために使用されるマスターディスク表面の汚染状態を検査するマスターディスクの検査方法であって、
光照射手段より照射光の光軸が前記マスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなすようにして前記照射光を照射し、照射された光の反射光を撮像素子により撮像して前記マスターディスクの表面の汚染状態を検査することを特徴とするマスターディスクの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写方法、装置及びマスターディスクの検査方法に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する際の不良品の発生を防止するのに有効な転写方法、装置及びマスターディスクの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。
【０００３】
従来、この種の磁気転写技術として各種の提案がなされている（たとえば、特許文献１〜３参照。）。このうち、特許文献１は、被転写用ディスクを自動搬送しながら両面にマスターディスクを密着させて磁気転写を行う際の作業効率を向上させる旨の提案である。特許文献２は、マスターディスクのサーボ領域をデータ領域よりも凸状に形成して、転写信号の信号脱落等の欠陥を防ぐ旨の提案である。
【０００４】
ところが、このような従来技術においても、転写不良が多く転写歩留りが悪く、また、頻繁にマスターディスクを交換しなければならないという問題点が指摘されている。
【０００５】
すなわち、磁気転写を行う際に、マスターディスクと転写されるハードディスク（スレーブディスク）とを密着させる必要があるが、この環境における清浄度が悪いと、微粒子やゴミ等により、転写不良となったり、マスターディスクの表面に傷等を発生させることが多い。
【０００６】
特に、このようなマスターディスクの繰り返しの使用により、周辺環境で発生している塵埃や繊維くず等がマスターディスクの表面に付着しやすくなる。そして、塵埃や繊維くず等の異物がマスターディスクの表面に付着した状態でスレーブディスクと密着させた場合、異物を中心とした所定範囲において、マスターディスクとスレーブディスクとの密着が不十分となり、転写不良となりやすい。そして、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題があった。
【０００７】
また、マスターディスクとスレーブディスクとの密着を繰り返すことにより、上記異物のマスターディスク表面への付着力が増加していき、以降の密着転写において、同様の転写不良のものを再生産することとなりやすい。
【０００８】
更に、上記異物のマスターディスク表面への付着により、マスターディスクの表面を変形させたり、マスターディスクの表面に傷を発生させたりし、マスターディスクの正常な機能を損う問題をも生じる。
【０００９】
これに対し、特許文献３のように、検査部位にレーザ光を照射し、反射光をラインセンサの回転走査で取り込んだ画像によりマスターディスクの異物を検査する方法において、異物検査実行時に取り込んだ画像に対して、画像処理の段階でパターン溝部分をマスクエリアとして事前に画像処理ユニット内で登録しておき、その部分をマスクして、本来の異物による凸形状の欠陥部と切り分ける提案がなされている。
【特許文献１】特開２００４−８７０９９号公報
【特許文献２】特開２００２−７４６５５号公報
【特許文献３】特開２００２−３７２５０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、このようなレーザ散乱方式による検査は、パターン部のようには凹凸があった場合、パターン部が異物と同様に光を反射し、パターン部と異物欠陥との区別が困難である。また、パターン部はマスクせざるを得ないため、品質上最も重要なサーボ領域の検査ができない。更に、パターン部の凸状部はデータ領域より高く形成されているため、より影響を受けやすいという問題点があった。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、マスターディスクより塵埃や繊維くず等の異物を容易に判別でき、これに対応して異物を容易に除去することにより、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができるとともに、密着転写作業の生産性を向上させることができる転写方法、装置及びマスターディスクの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するために、本発明は、その表面に形成された多数の突起状パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、前記マスターディスクのパターンを被転写用ディスクに転写させる転写手段と、光照射手段より照射光の光軸が前記マスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなすようにして前記照射光を照射し、照射された光の反射光を撮像素子により撮像して前記マスターディスクの表面の汚染状態を検査する検査手段と、を具備したことを特徴とする転写装置を提供する。
【００１３】
本発明によれば、マスターディスクの表面の汚染状態を検査する検査手段において、光軸がマスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなすようにして照射光が照射され、照射された光の反射光を撮像素子により撮像する。これにより、本来の異物と誤認され易いマスターディスク上の特定パターンからの反射光を減少させながら、品質に最も悪影響を与える特定パターン上の異物を高感度に検出できる。
【００１４】
なお、「ディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度」とは、ディスクの表面（平面）に対する傾斜角度も、ディスクの表面（平面）における半径に対する傾斜角度も含み、ディスクの表面の被検査部分に仮想的に引いた半径線に対するトータルの傾斜角度が０度以上、３０度以下であることを意味する。
【００１５】
また、光軸の傾斜角度が０度であれば被検査部分が照射されないようにも考えられるが、光照射手段よりの光束は所定の断面サイズを有することより、被検査部分は有効に照射され得る。
【００１６】
また、本発明は、ホルダ部に保持され、その表面に形成された多数の突起状磁性層パターンを有するマスターディスクに対向するように被転写用ディスクを供給する供給工程と、供給された前記被転写用ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写工程と、光照射手段より照射光の光軸が前記マスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなすようにして前記照射光を照射し、照射された光の反射光を撮像素子により撮像して前記マスターディスクの表面の汚染状態を検査する検査工程と、を具備したことを特徴とする転写方法を提供する。
【００１７】
また、このために、本発明は、その表面に形成された多数の突起状磁性層パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段と、光照射手段より照射光の光軸が前記マスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなすようにして前記照射光を照射し、照射された光の反射光を撮像素子により撮像して前記マスターディスクの表面の汚染状態を検査する検査手段と、を具備したことを特徴とする転写装置を提供する。
【００１８】
本発明によれば、マスターディスクの表面の汚染状態を検査する検査手段において、光軸がマスターディスクの表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなすようにして照射光が照射され、照射された光の反射光を撮像素子により撮像する。これにより、本来の異物と誤認され易いマスターディスク上の特定パターンからの反射光を減少させながら、品質に最も悪影響を与える特定パターン上の異物を高感度に検出できる。
【００１９】
なお、被転写用ディスクは、磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種媒体を指すものである。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように、本発明によれば、本来の異物と誤認され易いマスターディスク上の特定パターンからの反射光を減少させながら、品質に最も悪影響を与える特定パターン上の異物を高感度に検出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付図面に従って、本発明に係る転写方法、装置及びマスターディスクの検査方法の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係る転写装置である磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク用カセットの概要を示す斜視図である。磁気転写装置１０は、装置本体１２とクリーンユニット１４とよりなる。
【００２２】
装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面である。この装置本体１２は、周辺をクリーンユニット１４に囲われ、清浄度が確保されるようになっている。
【００２３】
クリーンユニット１４の天井部には、装置の内部にクリーンエアを供給するクリーンエア送風ユニット（図示略）が設けられている。このクリーンエア送風ユニットは、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタと、送風ファンにより構成され、装置の内部に、ダウンフローによる清浄度クラス１００未満のクリーンエアが供給できるようになっている。
【００２４】
クリーンエア送風ユニットより吹き出されたクリーンエアは、外部に排出されるようになっている。このため、図１に示されるように、ベース６０上において、装置本体１２の各機構が配置されていない空き領域には、排気手段としての排気ファン６４が複数配設されている。
【００２５】
ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容する供給用カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしての排出用カセット５６が設けられている。供給用カセット３８と排出用カセット５６とは同一形状のものが採用されている。
【００２６】
図２に示されるように、供給用カセット３８及び排出用カセット５６は、スレーブディスク４０がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっている。すなわち、カセットの内面に並行して形成された複数の溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の外周が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。
【００２７】
ベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。
【００２８】
図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダ部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着または接着により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。
【００２９】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。
【００３０】
固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、カップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。そして、固定側ホルダ２３は、装置本体１２に固定されている。一方、移動側ホルダ２４は、駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。
【００３１】
以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、図３に示されるように、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。
【００３２】
図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間歇駆動される。すなわち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止しするようになっている。
【００３３】
更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より左側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より右側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。
【００３４】
ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、供給用カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。
【００３５】
ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク排出カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。
【００３６】
ディスク供給ユニット２６により、供給用カセット３８から取り出されたスレーブディスク４０は、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して、相対的に位置決めが行われ、マスターディスク４６に設けられる空隙越しにホルダユニット２２によって吸着されて受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着されて保持される。固定側ホルダ２３の内側にはスレーブディスク４０の内径付近を吸着する吸着溝（図示略）が設けられ、この吸着溝によりスレーブディスク４０が吸着保持される。
【００３７】
ディスク供給ユニット２６は、図２に示されるように、スレーブディスク４０の内径を把持するための２片の保持具であるチャック４２ａ、４２ｂからなるチャック機構４２と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、チャック４２ａ、４２ｂを回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４から構成される。
【００３８】
すなわち、ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック４２ａ、４２ｂを、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック４２の向きを反転するようになっている。
【００３９】
ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、ディスク排出カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。
【００４０】
ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持する２つの保持具であるチャック５２ａ、５２ｂからなるチャック機構５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック５２ａ、５２ｂを回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。
【００４１】
すなわち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック５２ａ、５２ｂを、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック５２の向きを反転するようになっている。
【００４２】
図４に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のチャック４２ａ、４２ｂには認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット３０で視覚認識される。
【００４３】
この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスク供給用カセット３８が設けられた側面と反対の側面に近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。
【００４４】
認識ユニット３０には位置決め手段としての制御手段３０Ａが接続され、制御手段３０Ａは認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。
【００４５】
位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。
【００４６】
このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３０Ａにティーチングされている。
【００４７】
一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、チャック機構４２のチャッキング動作によってチャック４２ａ、４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３０Ａに予めティーチングされている。
【００４８】
これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。
【００４９】
コイルユニット３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側にコイルを離間して配置したものである。このコイルユニット３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。
【００５０】
次に、本発明の特徴部分である、マスターディスク４６、４６の表面の汚染状態を検査する検査手段と、この検査手段により検査されたマスターディスク４６、４６の表面の汚染箇所を選択的にクリーニングするクリーニング手段について説明する。
【００５１】
図１における、ディスク排出工程位置８６のホルダユニット２２の側面には、検査手段及びクリーニング手段が設けられている。なお、図１においては、検査手段のうち、撮像素子であるＣＣＤカメラ１６と光照射手段である照明手段１７のみ図示されており、クリーニング手段は退避してホルダユニット２２の反対側面にあることより、図示されていない。
【００５２】
図５は、検査手段とホルダユニット２２との位置関係を示す斜視図であり、図６は、同じく正面図であり、図７は、同じく平面図である。この検査手段は、撮像素子であるＣＣＤカメラ１６と、照明手段１７と、ミラー１８とよりなる。このうち、ＣＣＤカメラ１６は、カメラ本体１６Ａとレンズ鏡筒１６Ｂより構成される。このＣＣＤカメラ１６は、既述の制御手段３０Ａと接続されている。
【００５３】
ＣＣＤカメラ１６は、支持手段１６Ｃにより支持されており、制御手段３０Ａの指示によりＸ軸回り及びＺ軸回りに若干量回転可能となっており、マスターディスク４６、４６の双方の被検査部位に対応できるようになっている。
【００５４】
更に、ＣＣＤカメラ１６は、検査終了時に、ディスク排出ユニット３４の各ロボット３５、３６、３７と干渉しないように、退避可能となっている。
【００５５】
このＣＣＤカメラ１６のレンズ鏡筒１６Ｂに使用されるレンズの解像度及び明るさは重要である。したがって、このレンズとして０．５〜２倍の高解像度レンズを使用する場合、レンズの解像度は、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましい。
【００５６】
このレンズの明るさは、マスターディスク４６、４６の表面の汚染（付着物）の散乱光を検出するため、口径が大きい方が好ましく、Ｆ値で８以下が好ましく、Ｆ６以下がより好ましい。
【００５７】
ＣＣＤカメラ１６のセンサ部として、ラインイメージセンサ以外にエリアイメージセンサも使用できる。この場合、いずれのセンサであっても、センサの感度と画素数が大きいほど検出感度が上げられる。その意味で、センサの画素ピッチは１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましい。センサの画素数はラインイメージセンサでは５０００〜８０００画素が好ましく、エリアイメージセンサでは６００万画素クラスが好ましい。
【００５８】
なお、ＣＣＤカメラ１６のセンサ部がラインイメージセンサの場合、回転したまま画像を取り込むが、エリアイメージセンサの場合には、停止して画像を取り込むか、高輝度ストロボで静止画像を取り込む必要がある。
【００５９】
照明手段１７は、ホルダユニット２２により吸着保持されたマスターディスク４６、４６のうち、検査する方のマスターディスク４６を斜方より照明するものである。この照明手段１７としては、ハロゲン光光源が好ましく採用できる。特に、マスターディスク４６、４６の表面の汚染が微小な付着物である場合、これを検出できるべく、波長が６００ｎｍ以下の緑、青成分が大きいメタルハライド光源が好ましく採用できる。
【００６０】
照明手段１７より照射される照明光の輝度も重要であり、少なくとも１０万Ｌｘのものが好ましい。照明光の輝度が１０万Ｌｘ以上あると、サブミクロンクラスの付着物も検出が可能である。
【００６１】
なお、照明手段１７が１個設けられているが、照明手段１７を２個設け、同一光軸上の反対側からも照明すると、マスターディスク４６の被検査部位における輝度が向上するとともに、片側からの照明では反射しにくい付着物も光らせることができ、更に検出感度を上げられる。
【００６２】
これ以外の構成として、反対側の照明手段の代わりに反射鏡を置く構成も採用できる。この場合、凹面鏡等の反射鏡で集光すれば、マスターディスク４６の被検査部位を効率よく照明することができる。
【００６３】
なお、照明手段１７からの照明が結像用のミラー１８に当たると、フレアなどのノイズ成分となるため、照明光はレンズ等で充分に絞り込む必要がある。
【００６４】
また、照明手段１７として、ハロゲン光光源に代えて高輝度レーザも使用できる。この場合、アルゴンレーザやＹＡＧ２倍波レーザ等の波長が短い方が検出感度の点で好ましい。
【００６５】
また、偏光は被検査部位の面に平行であるＳ偏光を使用した方が、よりパターンの反射が減少する点で好ましい。偏光は通常の照明手段でもパターン反射を減少させる効果があるが、照明手段の明るさを充分に上げないと、輝度が減少し検出感度が下がる場合がある。同様に偏光板を乱反射時に発生するＰ偏光のみを通過するように、ＣＣＤカメラ１６の受光レンズに付けてもよい。その場合も、光源の輝度をできるだけ上げておくことが好ましい。
【００６６】
照明手段１７は、図示しない支持手段により支持されており、制御手段３０Ａの指示によりＸ軸回り及びＹ軸回りに若干量回転可能となっており、マスターディスク４６、４６の双方の被検査部位に対応できるようになっている。そして、照明手段１７の光軸がマスターディスク４６の表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなして支持されるようになっている。
【００６７】
ミラー１８は、図示しない支持手段により、ホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間に配されている。このミラー１８は、マスターディスク４６の表面に対して傾斜して配されており、マスターディスク４６の被検査部位の映像が、ミラー１８を介してＣＣＤカメラ１６で撮像できる位置に配されている。
【００６８】
このミラー１８は、両表面が鏡面に形成されており、制御手段３０Ａの指示によりＺ軸回りに若干量回転可能となっており、マスターディスク４６、４６の双方の被検査部位に対応できるようになっている。
【００６９】
更に、ミラー１８は、検査終了時に、ホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間より、外部に退避可能となっている。
【００７０】
ミラー１８のサイズは、ＣＣＤカメラ１６のレンズ鏡筒１６Ｂに使用されるレンズに見合った十分な大きさ（レンズ口径と同等）であることが好ましい。また、ミラー１８は高精度な表面反射鏡であることが好ましい。
【００７１】
ミラー１８の表面精度は１／４波長以下が好ましく、１／１０波長以下がより好ましい。なお、ホルダユニット２２の開き間隔が充分であるか、片側ずつシフトできるなどの構造であれば、ミラー１８を使わない方式がより望ましい。
【００７２】
検査手段の以上の構成により、マスターディスク４６のサーボ信号等の磁化パターンに対応して作製される凹凸パターンを含め、マスターディスク４６の表面が検査可能となっている。そして、ＣＣＤカメラ１６により撮像されたマスターディスク４６の被検査部位の情報（欠点（汚染）およびその位置情報）が、既述の制御手段３０Ａに記憶されるようになっている。
【００７３】
なお、検査手段として、上記の構成のもの以外に、たとえば、マスターディスク４６の表面にレーザ光をスキャンして、この反射光をフォトマルやフォトダイオード等で捕らえ、反射光の変化で付着塵埃を検査する方法や、マスターディスク４６の表面にハロゲン光等の光を照射して、ＣＭＯＳラインイメージセンサ、エリアイメージセンサ等で反射光を捕らえて検査する方法等、公知の各種検査方法が採用できる。
【００７４】
なお、この場合であっても、光照射手段の光軸がマスターディスク４６の表面の被検査部分における径方向に対し０〜３０度の角度をなして支持されるようになっていることが必要である。
【００７５】
次に、クリーニング手段について説明する。図８は、クリーニング手段とホルダユニット２２との位置関係を示す斜視図である。クリーニング手段は、エアノズル１９と吸引ノズル２０よりなる。
【００７６】
エアノズル１９は、先端部が小径の円筒状部材であり、図示しないエア供給源よりの高圧ジェット流を、マスターディスク４６の被清浄化部位へ吹き付けできるようになっている。すなわち、エアノズル１９は、図示しない支持手段により、ホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間に移動できるようになっており、また、制御手段３０Ａの指示によりＸ軸回り及びＺ軸回りに若干量回転可能となっており、マスターディスク４６、４６の双方の被清浄化部位に対応できるようになっている。
【００７７】
エアノズル１９には、図示しないフィルタ及び超音波笛が内蔵されており、振動が付与されたクリーンエアが噴出できるようになっている。
【００７８】
吸引ノズル２０は、断面が矩形の薄い筒状部材であり、図示しない吸引手段に接続されている。この吸引ノズル２０は、図示しない支持手段により、ホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間であって、エアノズル１９に対向する位置に移動できるようになっており、エアノズル１９により吹き付けられた高圧ジェット流のエア、及びマスターディスク４６上の異物を吸引できるようになっている。
【００７９】
クリーニング手段の以上の構成により、制御手段３０Ａに記憶された被検査部位の情報（欠点（汚染）およびその位置情報）にしたがって、マスターディスク４６上の欠点（汚染）が選択的（局所的）に除去可能となっている。
【００８０】
なお、クリーニング手段として、上記の構成のもの以外に、たとえば、ドライアイスの微粒子の吹き付け手段、エキシマレーザの部分的照射手段、弱粘着性を有するクリーニングローラ又はクリーニングシートを押し付ける構成のもの、クリーニングクロスによってワイピングする構成のもの、回転するマスターディスク４６の表面にグライドヘッドを近接させるバーニッシング手段等、公知の各種クリーニング方法が採用できる。
【００８１】
次に、上記のように構成された磁気転写装置の運転方法について説明する。図９は、磁気転写装置の運転方法について説明するフローチャートである。
【００８２】
運転開始により、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）がディスク供給カセット３８内のスレーブディスク４０を把持して、順次１枚づつ取り出す（ステップＳ−１０）。
【００８３】
取り出されたスレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置８２に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される（ステップＳ−１２）。
【００８４】
このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。
【００８５】
ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。
【００８６】
次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。
【００８７】
この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、チャック機構４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出されるスレーブディスク４０の中心とが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９により、スレーブディスク４０が位置決めされる。
【００８８】
次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される。
【００８９】
次いで、移動側ホルダ２４をロボット７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する（ステップＳ−１４）。
【００９０】
次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ（ステップＳ−１６）、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置８４に位置決めする。そして、コイルユニット３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ（ステップＳ−１８）、ホルダユニット２２を回転させながら両側から磁界を加える（ステップＳ−２０）。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。
【００９１】
磁気転写後、コイルユニット３２、３２を初期の位置に退避させ（ステップＳ−２２）、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置８６に位置決めする（ステップＳ−２４）。
【００９２】
次いで、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる（ステップＳ−２６）。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。
【００９３】
次いで、検査手段のミラー１８をホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間に移動させるとともに、ＣＣＤカメラ１６と、照明手段１７とを適正位置に調整し、マスターディスク４６の付着物検査を行い、被検査部位の情報（欠点（汚染）およびその位置情報）を、制御手段３０Ａに記憶させる（ステップＳ−２８）。
【００９４】
付着物検査の結果、制御手段３０Ａが良好（ＯＫ）と判断した場合には、定常フローの次ステップ（ステップＳ−３０）に移り、制御手段３０Ａが不良（ＮＧ）と判断した場合には、クリーニング手段によるクリーニング工程（マスタークリーニング）に移る（ステップＳ−４０）。
【００９５】
クリーニング工程（ステップＳ−４０）において、検査手段のミラー１８をホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間より退避させるとともに、エアノズル１９と吸引ノズル２０をホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間の所定位置に移動させる。
【００９６】
そして、エアノズル１９より、振動が付与されたクリーンエアが噴出され、マスターディスク４６上の異物を除去するとともに、吸引ノズル２０により、吹き付けられた高圧ジェット流のエア、及びマスターディスク４６上の異物を吸引する。これにより、マスターディスク４６上の欠点（汚染）が選択的（局所的）に除去される。
【００９７】
次いで、検査手段のミラー１８をホルダユニット２２内部の２枚のマスターディスク４６、４６の間に移動させるとともに、ＣＣＤカメラ１６と、照明手段１７とを適正位置に調整し、マスターディスク４６の付着物の再検査を行う（ステップＳ−４４）。
【００９８】
付着物再検査の結果、制御手段３０Ａが良好（ＯＫ）と判断した場合には、定常フローの次ステップ（ステップＳ−３０）に移り、制御手段３０Ａが不良（ＮＧ）と判断した場合（たとえば、連続して同じ部位のエラーが検出された場）には、自動運転を停止し、汚染されたマスターディスク４６を新品のマスターディスク４６に交換するとともに、汚染されたマスターディスク４６のオフラインのクリーニングを行う（ステップＳ−４６）。
【００９９】
汚染されたマスターディスク４６のオフラインのクリーニングを行う場合、欠陥（付着物）の情報は検査装置から位置情報としてＬＡＮ等を介してオフラインクリーナーに出力すればよい。また、マスターディスク４６に位置決め用の孔やマークをあらかじめ施しておき、それを基にオンラインの場合の位置とオフラインの場合の位置を合わせることもできる。
【０１００】
マスターディスク４６のオフラインのクリーニングとしては、超音波洗浄ヘッドによるメガソニック振動を与えた液体洗浄、超音波加振ヘッドによる洗浄槽の液中又は気中での超音波振動洗浄、電解脱脂洗浄、超音波振動を与えた気体の吹き付け、トラック幅より大きい幅を持つグライドヘッドによるグライドクリーニング、グライドクリーニング後の超音波洗浄、エキシマレーザ照射による焼却洗浄、プラズマクリーニングなどが使用できる。
【０１０１】
なお、グライドヘッドの浮上量は４０ｎｍ以下にして、グライドクリーニングするのが好ましい。また、上記のようなマスターディスク４６の全体クリーニングは、新たなマスターディスク４６を磁気転写装置１０にセットする前に施すようにしてもよい。
【０１０２】
定常フローにおいて、次ステップ（ステップＳ−３０）では、ディスク排出ユニット３４のチャック５２が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０の内径を把持する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。
【０１０３】
次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック５２により把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック５２を含めて上下方向の向きが反転される。
【０１０４】
次いで、スレーブディスク４０及びチャック５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によってディスク排出カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０をディスク排出カセット５６内に順次１枚づつ収納する。
【０１０５】
上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。
【０１０６】
以上、本発明に係る磁気転写方法、装置及びマスターディスクの検査方法の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【０１０７】
たとえば、上記実施形態において、新しいマスターディスク４６のセット後は、保管時やセット時に、付着力がまだ弱い塵埃が付着することがあるので、転写を行う前に高圧エア等の比較的弱い全面クリーニングを行うとより良い。
【０１０８】
そして、その後、ステップＳ−２８において初回検査を行い、欠点でないパターン反射や、パターン外での微小凹み等、品質に影響のない初期欠点を登録する。このデータを元に転写後の検査の初期からの増加のみを対象とし、過剰検出を抑える。これにより、パターンについても浮動２値化のベースとしても利用でき、更に過剰検査を抑えることができる。
【０１０９】
また、上記実施形態において、マスターディスク４６の付着物検査とスレーブディスク４０の排出とを同一の工程位置（図１における、ディスク排出工程位置８６）で行っているが、これを別々の工程位置で行ってもよい。
【０１１０】
更に、上記実施形態において、磁気ディスクの転写について説明されているが、本発明は、磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種媒体の転写にも好適に適用できる。
【０１１１】
また、磁気転写装置１０の構成も、上記実施形態のロータリーインデックス方式に限定されるものではなく、インラインインデックス方式等各種の態様のものが採用できる。
【実施例】
【０１１２】
磁気転写装置１０を使用して、マスターディスク４６の付着物検査を行った。この際、本発明の実施例として、図５〜図７に示される検査手段（ＣＣＤカメラ１６、照明手段１７及びミラー１８）を使用した。照明手段１７として２５０Ｗのメタルハライド光源とファイバー及び集光レンズと赤外カットフィルターを使用した。
【０１１３】
照明手段１７の光軸がマスターディスク４６の表面の被検査部分における径方向に対し３度の角度をなすように調整した。より詳細には、ディスクの表面（平面）に対する傾斜角度が３度であり、ディスクの表面（平面）における半径に対する傾斜角度が０度であるように調整した。
【０１１４】
比較例として、同様に図５〜図７に示される検査手段（ＣＣＤカメラ１６及びミラー１８）を使用した。ただし、照明手段１７に代えて、１５０Ｗのハロゲンランプとファイバー及び集光レンズと赤外カットフィルターを使用した。そして、この光源の光軸がマスターディスク４６の表面の被検査部分における径方向に対し４５度の角度をなすように調整した。
【０１１５】
図１０は、ＣＣＤカメラ１６により撮像した画像の例である。このうち、（Ａ）は、比較例の結果であり、（Ｂ）は、実施例の結果である。
【０１１６】
図１０（Ａ）において、突起状磁性層パターンがライン状に高い反射を示すために、飽和してパターンの周辺までＣＣＤの電荷が漏れていることが読み取れる。
【０１１７】
一方、図１０（Ｂ）において、付着物の輝度が変わらずに、突起状磁性層パターンの輝度は十分に低下していることが読み取れる。
【０１１８】
図１１は、図１０の画像を２値化した後の画像である。図１１の（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ図１０の（Ａ）及び（Ｂ）に対応する。
【０１１９】
図１１（Ａ）の比較例において、２値化した後でも、パターンの周辺までＣＣＤの電荷が漏れている。したがって、比較例においては、パターン部分はマスクせざるを得ず多くの付着物を見逃す恐れがあることとなる。
【０１２０】
一方、図１１（Ｂ）の実施例において、２値化した後において、付着物のみが検出されていることが読み取れる。
【０１２１】
なお、図１２は、上記付着物検査に使用したマスターディスク４６を示す図であり、（Ａ）は、測定部位を示し、（Ｂ）は、（Ａ）の円内の拡大図である。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図
【図２】ディスク用カセットにスレーブディスクを出し入れする状態を示す斜視図
【図３】ホルダユニットの構成を示す断面図
【図４】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図
【図５】検査手段とホルダユニットとの位置関係を示す斜視図
【図６】同じく正面図
【図７】同じく平面図
【図８】クリーニング手段とホルダユニットとの位置関係を示す斜視図
【図９】磁気転写装置の運転方法について説明するフローチャート
【図１０】ＣＣＤカメラにより撮像した画像の例
【図１１】図１０の画像を２値化した後の画像
【図１２】付着物検査に使用したマスターディスクを示す図
【符号の説明】
【０１２３】
１０…磁気転写装置、１２…装置本体、１４…クリーンユニット、１６…ＣＣＤカメラ、１７…照明手段、１８…ミラー、１９…エアノズル、２０…吸引ノズル、２２…ホルダユニット（保持手段）、２３…固定側ホルダ、２４…移動側ホルダ、２６…ディスク供給ユニット、３２…コイルユニット、３４…ディスク排出ユニット、３８…ディスク供給カセット、４０…スレーブディスク（被転写用ディスク）、４６…マスターディスク、５６…ディスク排出カセット、７０…ロボット（駆動手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006127684.tif 000009
【図８】
2006127684.tif 000010
【図９】
2006127684.tif 000011
【図１０】
2006127684.tif 000012
【図１１】
2006127684.tif 000013
【図１２】
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