(57)【要約】【課題】  渦電流探傷用マルチコイルを用いた非破壊検査において、被検査体の表面に凹凸があってもリフトオフノイズの発生を抑制することにある。【解決手段】  本発明の渦電流探傷用マルチコイルプローブは、渦電流探傷用コイル２がフレキシブルプリント基板１の一方の面に複数個設けてある。その基板１の他方の面には突起物４が複数個形成されている。その突起物４の最突端は渦電流探傷用コイル２の中心線５の延長上に配置されている。【効果】  渦電流探傷検査時には、被検査体の表面に突起物の突端が点接触して渦電流探傷用コイルと被検査体の表面との間の距離を一定に保つので、リフトオフ量が一定に設定され、リフトオフ量の変動によるリフトオフノイズの発生が無い。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の一方の面に設けられた複数個の渦電流探傷用コイルと、
前記一方の面とは反対の位置に面する前記基板の他方の面に、前記渦電流探傷用コイルの中心線延長上に設けられた複数個の突起物と、
を備えている渦電流探傷用マルチコイルプローブ。
【請求項２】
請求項１において、前記基板は前記渦電流探傷用コイルと結線された電気配線が施されているフレキシブルプリント基板である渦電流探傷用マルチコイルプローブ。
【請求項３】
フレームと、
前記フレームに被検査体の方向へ進退自在に設けられた複数個の渦電流探傷用コイルと、
前記渦電流探傷用コイルの前記被検査体に面する側に配置されて前記コイルと一体にされている複数個の突起物と、
を備えている渦電流探傷用マルチコイルプローブ。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項において、前記突起物の硬度は、前記被検査体の硬度以上とされている渦電流探傷用マルチコイルプローブ。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項において、前記突起物の前記被検査体側の部分は部分球面状又は錘状の形状に形成されている渦電流探傷用マルチコイルプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、渦電流探傷法に用いられる渦電流探傷用マルチコイルプローブに係わり、特に表面凹凸を有する被検査体の探傷を行うのに好適な渦電流探傷用マルチコイルプローブに関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
渦電流探傷法（以下、ＥＣＴと呼称する。）とは、主に表面欠陥を被検査体表面に流れる渦電流の変化から検出する手法であり、非破壊検査手法として広く普及している。更に、近年ではＥＣＴ検査の高速化を図るために、複数のコイルを規則的に配列した渦電流探傷用マルチコイルプローブ（以下、マルチコイルＥＣＴプローブと呼称する。）が普及しており、曲面形状等の複雑形状を有する被検査体の探傷を行うために、例えば、柔軟性を有する基板上にコイルを配置したフレキシブル型マルチコイルプローブが提案されている（例えば、特許文献１参照）。柔軟性を有する基板には、基板上に配置した渦電流探傷用のコイルに電流を流すための配線が施されたものもある（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３４４３６０号公報
【非特許文献１】財団法人エネルギー総合工学研究所  平成１５年度  革新的実用原子力技術開発提案公募事業  「構造材適応型の電磁誘導非破壊検査システムの実用化開発」  成果報告書、ｐ.３７ 平成１５年３月
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１及び非特許文献１に記されているフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブは、滑らかな表面状態を有する曲面形状被検査体の探傷を行うのに、柔軟な基板がその表面状態に沿って柔軟に屈曲するので好適である。
【０００５】
しかしながら、例えば、被検査体の曲面がグラインダ加工を受けて、局所的に表面に凹凸を有する曲面形状被検査体の検査においては、渦電流探傷用のコイルと被検査体の表面との間の間隔（リフトオフ）が変動するためにリストオフノイズと称するノイズ信号が本来探傷したい欠陥による検出信号と同時に渦電流探傷用のコイルが発生させる。
【０００６】
そのため、被検査体の表面の欠陥の検出性，長さ測定性及び高さ測定性などの探傷性能を著しく低下させる問題があった。また、被検査体と基板が直接接触する構造であったため、基板が摩耗することで基板に施された配線が断線する問題があった。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、探傷性能の低下を抑制できるマルチコイルＥＣＴプローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の目的を達成するための手段は、基板と、前記基板の一方の面に設けられた複数個の渦電流探傷用コイルと、前記一方の面とは反対の位置に面する前記基板の他方の面に、前記渦電流探傷用コイルの中心線延長上に設けられた複数個の突起物とを備えている、あるいは、フレームと、前記フレームに被検査体の方向へ進退自在に設けられた複数個の渦電流探傷用コイルと、前記渦電流探傷用コイルの前記被検査体に面する側に配置されて前記コイルと一体にされている複数個の突起物とを備えていることを特徴としている渦電流探傷用マルチコイルプローブである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、渦電流探傷用マルチコイルプローブを走査した際にも、複数の突起物が渦電流探傷用マルチコイルプローブのコイルと被検査体表面との間隔を極力一定に保つので、探傷性能の低下を抑制できる。
【００１０】
そのため、表面凹凸を有する曲面形状被検査体においても、好適な検査を実施でき、
ＥＣＴ検査の適用範囲の拡大に貢献する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施例では、渦電流探傷用マルチコイルプローブの被検査体との接触部が前記被検査体に点接触する形状の複数の突起物に形成されている渦電流探傷用マルチコイルプローブの構成を有する。
【００１２】
その構成によれば、渦電流探傷用マルチコイルプローブを走査しても、突起物が被検査体の表面との間隔を一定の間隔に維持するので、リフトオフノイズが抑制できる。そのため、渦電流探傷用マルチコイルプローブの探傷性能の低下が抑制できる。
【実施例１】
【００１３】
第１実施例による渦電流探傷用マルチコイルプローブは、図１のように、屈曲性に富んで柔軟性のあるプラスチック製の基板１と、その基板の上面に固定された複数個の渦電流探傷用コイル２と、その基板１の下面に各渦電流探傷用コイル２の真下において形成された部分球面形状又は錘状の突起物４と、前記基板１にエッチングで高密度に配線した銅配線とから構成される。基板１としては、プラスチックの中でも耐熱性や機械的強度の良いポリイミド樹脂製のフィルム（フィルム厚が０.１５ミリ ）を用いることが好ましい。
【００１４】
その渦電流探傷用コイル２とは、励磁コイル，検出コイル又は励磁・検出兼用コイルであり、それらのコイルには、銅配線が結線されて、渦電流探傷用マルチコイルプローブ外の電源からコイルへ通電したり、コイルからの信号を渦電流探傷用マルチコイルプローブに接続されている渦電流探傷装置の信号処理装置へと電送する際の渦電流探傷用マルチコイルプローブ内での電送路として用いられる。
【００１５】
このような基板１は、屈曲性がよく物体表面形状に沿って柔軟に変形するので、フレキシブルプリント基板と称せられ、フレキシブルプリント基板を採用した電流探傷用マルチコイルプローブは基板がリジッドなものに比較して柔軟性があることからフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブと称せられている。
【００１６】
基板１は、成型用の金型にプラスチックを流し込む成型加工やプラスチック板を切削加工する方法などで製造される。基板１に装備される突起物４は、金型に突起物の型も加工しておき、その金型による成型加工によって、あるいは、プラスチック板から基板１を切削加工で製造する際に、突起物４も同時に切削加工で成型することによって基板１と一体に製造される。
【００１７】
基板１内に銅配線を電気配線として施すことで、渦電流探傷用コイル２から直接的に電線をフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブの外に引き出すものに比べてそのプローブの取扱い時の断線防止が可能となる。また、部分球面または錘状の突起物４を備えたことで突起物４を被検査体の表面に接触させてそのプローブを走査するので、基板１の摩耗による基板内の電気配線（銅配線）の断線を抑えることができる。更に、基板１に熱や触媒等で硬化する材料を用いてある場合には、基板１を作成した後に、突起物４を熱や触媒等で硬くすれば、基板１の耐摩耗性を向上し、フレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブの寿命を向上できる。
【００１８】
突起物４は、図１（ｄ）図のように球面の一部分を成す形状である部分球面形状と、図１（ｅ）図のように円錐や多角錘などの錘状の例がかかげられるが、被検査体の表面に点接触で接触する形状であればどの様な形状でも良い。いずれの場合も、渦電流探傷用コイル２の中心線５の延長上に突起物４の最突端部位が位置するように渦電流探傷用コイル２と突起物４との配置関係が整えられている。
【００１９】
本発明を適用したフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブでは、表面凹凸を有する曲面形状部の検査においても、リフトオフによるノイズ信号が発生しない原理を以下に説明する。図７のように、滑らかな曲面を表面６に有する被検査体７のその表面に対して、従来のフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブを適用して探傷した場合は、基板を被検査体の表面に押し付けると、基板と被検査体との間に隙間が生じないので、フレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブをその表面に沿って走査しても、基板上に配置した渦電流探傷用コイルと被検査体の間隔（リフトオフ）が常に一定に保たれる。そのため、リストオフによるノイズ信号が発生しない探傷が可能である。
【００２０】
しかし、グラインダ等で被検査体７の表面６を研摩した後においては、その表面６が図７の中央の図のように凹凸状態となる。そのような凹凸状態では、局所的な表面凹凸により、基板上に配置した渦電流探傷用コイルと被検査体７の表面との間隔がフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブを走査する際に変動する。そのため、リフトオフによるノイズ信号が発生し、探傷性能が悪化する等の問題が生じる。また、従来のフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブでは、被検査体７と基板とが直接接触するため、フレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブを走査する際に基板が摩耗し、基盤内に施されている電気配線が断線する等の問題があった。
【００２１】
一方、本発明の実施例を適用したフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブでは、基板１の被検査体７の表面６との接触部に、部分球面状の突起物４を備えている。そのため、本発明の実施例における基板１を被検査体７の表面６に押し付けた際に突起物４が凸凹状の表面６に点接触して、基板１上に配置した渦電流探傷用コイル２と被検査体７の距離が突起物４の突出長さ相当の一定に保たれる。
【００２２】
そのため、表面６が凹凸状態においても、渦電流探傷用コイル２と被検査体７の表面６との間の間隔がフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブを走査した際にも変化せず、リフトオフの変動によるノイズ信号が渦電流探傷用コイル内に誘導されることは無く、リフトオフノイズの発生を抑制できる。
【００２３】
また、突起物４が被検査体７に接触するので、フレキシブル型マルチコイルプローブの基板１に施されている電気配線にまで摩耗が進行するまでに従来よりも時間がかかり、断線防止事故にいたるまでのプローブ寿命が飛躍的に延命化できる。
【実施例２】
【００２４】
本発明の実施例２を、図２に示す。実施例２は、既述の実施例１を改良したもので、改良内容を以下に解説し、その他の構成や作用は既述の実施例１と同じである。
【００２５】
図２に示したフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブの基板１は、表裏両面が平坦なフレキシブルプリント基板１に突起物４を機械的に固定したものである。突起物４は部分球面状あるいは錘状の形状を有し、材質は炭化ホウ素，工業用ダイヤモンド，工業用ルビー等の高硬度材料を採用している。その材料の硬度は被検査体７の表面６の硬度よりも高い硬度を示している。
【００２６】
その突起物４は、図２（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）のように、渦電流探傷用コイル２の中心線５の延長上に突起物４の最突端部位が位置するように渦電流探傷用コイル２と突起物４との配置関係が整えられている。このように配置された突起物４は、基板１に接着した複数層のプラスチック板８で突起物４の周囲を基板１とで挟んで基板に固定されている。プラスチック板８は基板の柔軟性を損なわないように、及び突起物４の最突端部がプラスチック板８よりの外側に突き出るようにその厚さを配慮する。
【００２７】
そのほかの機械的固定方法としては、基板１に雌ネジ穴を開け、突起物４に加工した雄ネジをそのネジ穴に螺合させて基板１と突起物４とを固定する方法もある。
【実施例３】
【００２８】
本発明の実施例３を、図３に示す。実施例３は、既述の実施例１を改良したもので、改良内容を以下に解説し、その他の構成や作用は既述の実施例１と同じである。
【００２９】
図３に示したフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブの基板１は、表裏両面が平坦なフレキシブルプリント基板１に突起物４を接着剤９で固定したものである。突起物４は部分球面状あるいは錘状の形状を有し、材質は炭化ホウ素，工業用ダイヤモンド，工業用ルビー等の高硬度材料を採用している。その材料の硬度は被検査体７の表面６の硬度よりも高い硬度を示している。
【００３０】
その突起物４は、図３（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）のように、渦電流探傷用コイル２の中心線５の延長上に突起物４の最突端部位が位置するように渦電流探傷用コイル２と突起物４との配置関係が整えられている。このように配置された突起物４は基板１に接着剤９で接着されて固定される。
【００３１】
このタイプのフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブは簡単に突起物４を取付けられるが、突起物４の脱落が問題となりそうな接着剤９の接着力低下を引き起こす環境で使用する場合は別の実施例１や実施例２の固定方法を採用した方がよい。
【実施例４】
【００３２】
図４に示した第４実施例は、コイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブの例である。コイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブのフレーム１０には、図２（ａ）（ｂ）（ｃ）のように、被検査体の表面に対向する面に、複数のコイルホルダ３をフレーム１０から突き出る方向へ進出したりフレーム１０側へ戻る方向へ退避したり出来るようにされている。このような被検査体の方向へ進退自在にされているコイルホルダ３は次のようにしてフレーム１０に装着される。このフレーム１０は探傷作業中に被検査体側へ押しあてがわれても変形することの無い剛性を持たせてある。
【００３３】
即ち、フレーム１０に形成されている開口１１は、フレーム１０の下面において狭い口径とされ、内側ではそれよりも広い口径とされている。その開口１１の内側には、前記狭い開口よりも幅広なつば部１２を有するコイルホルダ３が上下動自在に挿入され、その一部下部がフレーム１０の下面から下方へ突き出ている。そのコイルホルダ３の上端部分と開口の上端部分との間にはコイルバネ１３が設けられて、そのコイルバネ１３が常にコイルホルダ３を開口１１から突き出すようにコイルホルダ３にバネ力を加えている。
【００３４】
開口から突き出されたコイルホルダ３の突端部は、図２（ｄ）（ｆ）のような部分球面状または図２（ｅ）（ｇ）のような円錐や多角錐などの錘状の形状を有する突起物４として成型され、その突起物４がその最突端部で被検査体の表面に点接触する形状とされている。
【００３５】
コイルホルダ３の内側は、中空となっていて、その中には渦電流探傷用コイル２が内蔵され、渦電流探傷用コイル２の中心線５の延長線上に突起物４の最突端部が位置するように渦電流探傷用コイル２と突起物４との位置関係が配慮されている。渦電流探傷用コイル２には電気配線が結線され励磁用の電力や検出信号の伝送用に用いられる。このようにして、コイルホルダ３の先端に成型した突起物４は渦電流探傷用コイル２とコイルホルダ３を介して一体となっている。
【００３６】
このようなコイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブは、渦電流探傷用コイル２が渦電流探傷装置の信号処理装置や電源に接続されて用いられる。渦電流探傷検査を実施する際には、フレーム１０を被検査体の表面に向けて押すことによって、コイルホルダ３をその表面に押し付ける。その押し付けにより、被検査体の表面に突起物４が点接触する。その被検査体の表面が凹凸を有する場合には、凸部に接触した突起部が成型されているコイルホルダ３は、凹部に接触したコイルホルダ３よりも大きく開口１１内にコイルバネ
１３の力に逆らって押し入る。
【００３７】
このようにして、その凹凸によって各コイルホルダ３の開口１１内への押し入り寸法が相違しますが、その押し入り動作には、渦電流探傷用コイル２がコイルホルダ３と同量だけ押し入れ方向に移動しますので、渦電流探傷用コイル２と被検査体の表面との間隔（リフトオフ量）は一定に保たれます。そのため、リフトオフノイズの発生を抑制することが出来ます。
【００３８】
コイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブを走査して検査位置を被検査体の表面に沿って移動させても、渦電流探傷用コイル２と被検査体の表面との間隔（リフトオフ量）は一定に保たれますので、リフトオフノイズの発生を抑制することが出来ます。
【００３９】
図４の例ではコイルバネ１３をコイルホルダ３のサスペンションとして用いて検査表面の凹凸に追従させたが、コイルバネ１３の代わりにガス圧，水圧，油圧を用いたシリンダ装置でコイルホルダ３のサスペンションを構成しても良い。また、ゴム等の弾性体の中にコイルホルダ３を抜けないように埋め込み、その弾性体の弾性力を利用してコイルホルダ３をサスペンスしてもよい。
【００４０】
コイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブを走査する際に、コイルホルダ３と同材質の突起物４の摩耗が問題となる場合は、コイルホルダや突起物４の材料として熱硬化性プラスチックを採用して、少なくとも突起物４を熱硬化により耐摩耗性を向上できる。
【実施例５】
【００４１】
図５に示した第５実施例は、既述の第４実施例のコイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブを改良した例である。改良内容を以下に説明し、ここで説明しない構成や作用は第４実施例と同じなのでその説明を省略する。即ち、改良点は、コイルホルダ３と突起物４とを別々に作成し、コイルホルダ３の端部に突起物４をはめ込むことで機械的にコイルホルダ３と突起物４を一体化する。
【００４２】
その一体化のために、コイルホルダ３の端部には逆ハの字型の断面を有する孔１４を加工しておく。その孔１４には、図５（ｄ）（ｅ）（ｆ）（ｇ）のように、突起物４をはめ込んで、突起物４の突端はコイルホルダ３から突き出しておく。
【００４３】
突起物４の摩耗が問題となる場合は、突起物４の材料として、炭化ホウ素，工業用ダイヤモンド，工業用ルビー等の高硬度材料を採用することで耐摩耗性の問題は解決する。このように、突起物４の材料をコイルホルダ３の材料とは相違する材料に選択して、必要に応じた材料が選択できる。
【実施例６】
【００４４】
図６に示した第６実施例は、既述の第４実施例のコイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブを改良した例である。改良内容を以下に説明し、ここで説明しない構成や作用は第４実施例と同じなのでその説明を省略する。即ち、改良点は、コイルホルダ３と突起物４とを別々に作成し、図５（ｄ）（ｅ）（ｆ）（ｇ）のように、コイルホルダ３の端部に突起物４を接着剤９で接着してコイルホルダ３と突起物４を一体化する。
【００４５】
突起物４の摩耗が問題となる場合は、突起物４の材料として、炭化ホウ素，工業用ダイヤモンド，工業用ルビー等の高硬度材料を採用することで耐摩耗性の問題は解決する。このように、突起物４の材料をコイルホルダ３の材料とは相違する材料に選択して、必要に応じた材料が選択できる。
【００４６】
このタイプのコイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブは簡単に突起物４をコイルホルダ３に取付けられるが、突起物４の脱落が問題となりそうな環境で使用する場合は第４実施例や第５実施例のような別の固定方法を突起物４をコイルホルダ３へ固定する方法として採用することが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、渦電流探傷法による非破壊検査を実施する際に、渦電流探傷装置に接続して用いられる渦電流探傷用マルチコイルプローブに利用される。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１実施例によるフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブを示す図にして、（ａ）図はそのプローブの立面図、（ｂ）図はそのプローブの下面図、（ｃ）図はそのプローブの右側面図、（ｄ）図は部分球面状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｅ）図は錘状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｆ）図は（ｄ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図、（ｇ）図は（ｅ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図である。
【図２】本発明の第２実施例によるフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブを示す図にして、（ａ）図はそのプローブの立面図、（ｂ）図はそのプローブの下面図、（ｃ）図はそのプローブの右側面図、（ｄ）図は部分球面状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｅ）図は錘状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｆ）図は（ｄ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図、（ｇ）図は（ｅ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図である。
【図３】本発明の第３実施例によるフレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブを示す図にして、（ａ）図はそのプローブの立面図、（ｂ）図はそのプローブの下面図、（ｃ）図はそのプローブの右側面図、（ｄ）図は部分球面状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｅ）図は錘状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｆ）図は（ｄ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図、（ｇ）図は（ｅ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図である。
【図４】本発明の第４実施例によるコイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブを示す図にして、（ａ）図はそのプローブの立面図、（ｂ）図はそのプローブの下面図、  （ｃ）図はそのプローブの右側面図、（ｄ）図は部分球面状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｅ）図は錘状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｆ）図は（ｄ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図、（ｇ）図は（ｅ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図である。
【図５】本発明の第５実施例によるコイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブを示す図にして、（ａ）図はそのプローブの立面図、（ｂ）図はそのプローブの下面図、  （ｃ）図はそのプローブの右側面図、（ｄ）図は部分球面状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｅ）図は錘状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｆ）図は（ｄ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図、（ｇ）図は（ｅ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図である。
【図６】本発明の第６実施例によるコイル押付型マルチコイルＥＣＴプローブを示す図にして、（ａ）図はそのプローブの立面図、（ｂ）図はそのプローブの下面図、  （ｃ）図はそのプローブの右側面図、（ｄ）図は部分球面状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｅ）図は錘状の突起物を用いた場合のそのプローブのａ−ａ断面図、（ｆ）図は（ｄ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図、（ｇ）図は（ｅ）図の丸印で囲った部位の拡大断面図である。
【図７】従来例と本発明の実施例によるＥＣＴ検査で、フレキシブル型マルチコイルＥＣＴプローブを表面凹凸を有する被検査体の曲面部にそのプローブをあてがった状態を説明する図である。
【符号の説明】
【００４９】
１…基板、２…渦電流探傷用コイル、３…コイルホルダ、４…突起物、５…中心線、６…表面、７…被検査体、８…プラスチック板、９…接着剤、１０…フレーム、１１…開口、１２…つば部、１３…コイルバネ、１４…孔。
【図１】
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【図２】
2006300791.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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