(57)【要約】【課題】  電子部品が実装された回路基板のセットや取り出しを簡単に手際よく行うことができ、そのセット時や取り出し時の回路基板が基板検査用治具の位置決めピンやプローブピンに接触するような危惧のない簡単な基板保持構造の基板検査装置を得ることにある。【解決手段】  固定側ベース３と可動側ベース２の一方のベースに基板検査用治具７を、かつ他方のベースに基板押え治具５をそれぞれ装着し、前記可動側ベース２を昇降させる基板検査装置において、基板検査用治具７と基板押え治具５との間に引き出し構造の基板保持ユニット１２を配置し、この基板保持ユニット１２を可動側ベース２に追従昇降させるように構成したものである。【選択図】        図１
2006138808.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
治具装着用の固定側ベースと可動側ベースを上下に備え、その一方のベースに複数のプローブピンおよび基板位置決めピンを有する基板検査用治具を、かつ他方のベースに基板押え治具をそれぞれ着脱可能に装着し、前記可動側ベースを前記固定側ベースとの相対方向に昇降させる基板検査装置において、前記固定側ベースと可動側ベースとの間に配置されて検査対象の回路基板が取り出し可能にセットされる引き出し構造の基板保持ユニットと、この基板保持ユニットを前記基板検査用治具と基板押え治具との間で前記可動側ベースに追従して昇降するように支持し、かつ前記可動側ベースの開離位置では前記基板検査用治具と基板押え治具から離れた中間位置に前記基板保持ユニットを保持するユニット支持手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
基板保持ユニットは、ユニット支持手段で支持されて固定側ベースと可動側ベースとの間に昇降可能に配置されて可動側ベースに追従昇降する左右一対の引き出し用レールと、これらの引き出し用レールにスライド可能に支持された基板保持枠とからなっていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
基板保持枠には、これにセットされる回路基板のサイズに応じて当該回路基板の周縁部を前記基板保持枠との間で挟持する基板挟持機構が、平面Ｘ−Ｙ方向へ移動可能に搭載されていることを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
ユニット支持手段は、可動側ベースに一体的に設けられて基板保持枠の両側部を昇降可能にガイドする複数のガイドロッドと、これらのガイドロッドに設けられて可動側ベースの開離位置で前記引き出し用レールを当接支承して前記基板保持枠を基板検査用治具と基板押え治具との中間位置に保持するストッパとからなっていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項５】
ユニット支持手段は、引き出し用レールを支持して当該引き出し用レールを自動的に昇降駆動するレール昇降駆動手段からなっていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項６】
可動側ベースを昇降駆動するベース昇降駆動手段と、基板保持枠を収納位置と引き出し位置に駆動するモータと、それらベース昇降駆動手段とモータを自動制御する制御器とを備えていることを特徴とする請求項１から請求項５のうちのいずれか１項記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電子部品等が実装された回路基板の電気的性能を検査する基板検査装置に係わり、特に基板セット時におけるプローブピン等の損傷を防止できるようにした基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板検査装置として、例えば、複数のプローブピンおよび基板位置決めピン（以下、単に位置決めピンという）を有する基板検査用治具が装着された下側ベースと、基板押え用のサポートを有する基板押え治具が装着された上側ベースとを備え、電子部品が実装された回路基板を手作業により前記基板検査用治具と基板押え治具との間に外側方から差し入れて前記位置決めピンにセットし、この状態で前記上側治具もしくは下側治具のいずれか一方を基板プレス方向に作動させて前記プローブピンを回路基板の被検査部に当接させる構造としたものは既に知られている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
また、従来の他の基板検査装置として、上下一対の検査用治具間に配置する基板保持枠を備え、その基板保持枠を前記検査用治具とは別系統のＸ−Ｙ移動機構に着脱可能に取り付け、前記基板保持枠に嵌め込みセットされた検査対象回路基板をＸ−Ｙ方向に移動させる構造としたものもある（例えば、特許文献３参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−４３４８９号公報（第２頁、図２）
【特許文献２】特開平８−３３４５４９号公報（第２頁、図１）
【特許文献３】特開平１１−３４４５３９号公報（第２頁及び第５頁、図１及び図１６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の基板検査装置は以上のように構成されているので、特許文献１，２の場合、電子部品が実装された検査対象の回路基板を手作業により下側の基板検査用治具と上側の基板押え治具との間に差し入れて前記基板検査用治具の位置決めピンにセットする際、及び検査後の回路基板を取り出す際に、前記回路基板がプローブピンに接触して当該プローブピンや回路基板の損傷を招き易いという課題があった。また、前述のような回路基板のセット作業や取り出し作業は、当該回路基板がプローブピンに接触しないように慎重に行わなければならないため、作業性が非常に悪いという課題があった。
【０００６】
一方、特許文献３では、Ｘ−Ｙ移動機構によって基板保持枠をＸ−Ｙ方向に移動させ得るため、上下の検査用治具間より外側方に前記基板保持枠をスライドさせた状態で当該基板保持枠に対する回路基板の取り付けセットおよび取り出しが可能であるとも考えられるが、前記Ｘ−Ｙ移動機構は、前記基板保持枠とは別体のＸ方向レールとＹ方向レールおよびスライダー等からなっており、このため、部品点数が多く構造が複雑で装置全体が大型化し、かつ装置の調整やメンテナンスが煩雑になるという課題があった。また、前記Ｘ−Ｙ移動機構は、前記検査用治具の系統とは別に制御する必要が生じるという課題があった。特に、前記Ｘ−Ｙ移動機構に取り付けられた基板保持枠は、サイズの異なる回路基板をセットする際には、そのサイズに対応した寸法の基板保持枠と取り替えなければならず、このため、１つの基板保持枠で様々なサイズの回路基板に適応させることができないという課題があった。
【０００７】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、電子部品が実装された回路基板のセットや取り出しを簡単に手際よく行うことができ、そのセット時や取り出し時の回路基板が基板検査用治具の位置決めピンやプローブピンに接触するような危惧のない簡単な基板保持構造を実現することができる基板検査装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る基板検査装置は、治具装着用の固定側ベースと可動側ベースを上下に備え、その一方のベースに複数のプローブピンおよび基板位置決めピンを有する基板検査用治具を、かつ他方のベースに基板押え治具をそれぞれ着脱可能に装着し、前記可動側ベースを前記固定側ベースとの相対方向に昇降させる基板検査装置において、前記固定側ベースと可動側ベースとの間に配置されて検査対象の回路基板が取り出し可能にセットされる引き出し構造の基板保持ユニットと、この基板保持ユニットを前記固定側ベースと可動側ベースとの間で前記可動側ベースに追従して昇降するように支持し、かつ前記可動側ベースの開離位置では前記基板検査用治具と基板押え治具から離れた中間位置に前記基板保持ユニットを保持するユニット支持手段とを備えたものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、固定側ベースと可動側ベースのそれぞれに装着された基板検査用治具と基板押え治具との間に、前記可動側ベースに追従して昇降する引き出し構造の基板保持ユニットを配置し、前記可動側ベースが前記固定側ベースから開離した位置では、前記基板検査用治具と基板押え治具との間でそれらの治具から離れた中間単独位置に前記基板保持ユニットが保持されるように構成したので、その基板保持ユニットを外側方に引き出して当該基板保持ユニットに回路基板を取り付けセットおよび取り外しを行うことができ、その取り付けセット時や取り外し時の回路基板が基板検査用治具の位置決めピンやプローブピンに接触する危惧がないので、その接触に起因した前記位置決めピンやプローブピン及び回路基板等の破損を防止することができるという効果がある。また、検査対象の回路基板がセットされて基板検査用治具と基板押え治具との間の収納位置に保持された基板保持ユニットは、前述のように可動側ベースに追従して昇降するので、前記回路基板の検査時に当該回路基板を前記位置決めピンおよびプローブピンに対してスムーズかつ正確に位置決め動作させることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による基板検査装置を示す概略的な側面図、図２は図１中の引き出し式基板保持ユニットを示す平面図、図３は図２の要部を示す拡大斜視図である。
図１に示す基板検査装置は、装置本体（基板検査用プレス機の機台）１の上下に配置された可動側ベース２と固定側ベース３とを備えている。前記可動側ベース２は、前記装置本体１の上部に設置されたプレスシリンダ４のピストンロッド４ａ下端に連結されて当該プレスシリンダ４の伸縮作動で昇降駆動されるようになっている。そして、前記可動側ベース２の下面には、基板押え用の複数のサポート６を有する基板押え治具５が着脱可能に装着されている。一方、前記装置本体１の下部に配置された固定側ベース３上には、複数のプローブピン８と位置決めピン９を有する基板検査用治具７が着脱可能に装着されている。なお、前記プローブピン８および位置決めピン９はそれぞれ上昇方向の付勢力を有して伸縮可能となっており、また、前記位置決めピン９は尖鋭テーパ状の頭部（以下、テーパ頭部という）９ａを有している。
【００１１】
前記可動側ベース２と固定側ベース３との間には、検査対象の回路基板３０が取り出し可能にセットされる引き出し構造の基板保持ユニット１２が配置されている。この基板保持ユニット１２は、前記可動側ベース２と一体のユニット支持手段１０によって、前記基板押え治具５と基板検査用治具７との間で前記可動側ベース２に追従して昇降するように支持されており、それらの具体的な関連構成について以下に説明する。
【００１２】
この実施の形態１において、前記ユニット支持手段１０は、前記可動側ベース２の下面に一体的に突設されて前記サポート６よりも長く垂下する前後左右のガイドロッド１０ａと、これらのガイドロッド１０ａの下部に一体的に設けられて前記可動側ベース２の上昇開離位置で前記基板押え治具５と基板検査用治具７との中間位置に前記基板保持ユニット１２を独立保持するストッパ１０ｂとからなっている。一方、前記基板保持ユニット１２は、前記ガイドロッド１０ａにスラストベアリング１１（図１参照）を介して昇降可能に取り付けられ前記ストッパ１０ｂ上に接離可能に当接保持された左右一対の引き出し用レール１３と、これらの引き出し用レール１３に両側部がスライド自在に嵌め込み支持された引き出し式の基板保持枠１４とからなっている。なお、前記基板保持枠１４は前面１４ａに取手１５を有している。
【００１３】
ここで、前記引き出し用レール１３は、基板検査時のプレス過程（可動側ベース２の下降動作過程）で固定側ベース３の基板検査用治具７上に当接し、その当接後においても前記ガイドロッド１０ａの下降を許容する取り付け構成となっている。このような引き出し用レール１３に両側部が支持された基板保持枠１４は、前記可動側ベース２に装着された基板押え治具５の上昇開離位置で、その基板押え治具５のサポート６と基板検査用治具７のプローブピン８および位置決めピン９のそれぞれとは接触しないように前記基板押え治具５と基板検査用治具７との中間位置に前記ストッパ１０ｂで保持される。
【００１４】
また、前記基板保持枠１４には平面Ｘ−Ｙ方向に水平移動可能な基板挟持機構１６が搭載されている。この基板挟持機構１６はサイズの異なる回路基板３０を挟持可能とするもので、前記基板保持枠１４の両側枠壁１４ｂに跨って前後方向へスライド可能に取り付けられた基板位置調整バー１７と、この基板位置調整バー１７に左右方向（長手方向）へスライド可能に取り付けられた可動ストッパ１８とを備えた構成となっている。
【００１５】
さらに詳しく説明すると、前記基板保持枠１４の両側枠壁１４ｂには、前記引き出し用レール１３の内側で当該引き出し用レール１３に平行する左右のガイド溝１９が設けられており、これらのガイド溝１９をスライド可能に貫通する調整ネジ２０で前記基板位置調整バー１７の両端部が前記基板保持枠１４に前後方向へ移動可能に締付け固定されるようになっている。また、前記基板位置調整バー１７においても、その長手方向（前記ガイド溝１９と直交する）方向に延びるガイド溝２１が設けられ、このガイド溝２１をスライド可能に貫通する調整ネジ２２によって前記可動ストッパ１８が前記基板位置調整バー１７に移動可能に取り付けられている。ここで、前記基板保持枠１４の前面１４ａ側の枠壁内面と前記基板位置調整バー１７との対向壁面には、断面Ｌ字形状をなして互いに平行する基板支持段部１４ｃ，１７ａ（図２参照）が設けられ、これらの基板支持段部１４ｃ，１７ａ上に跨って回路基板３０が嵌め込みセットされるようになっている。
【００１６】
前記回路基板３０は電子部品が実装されているもので、その基板検査時に前記位置決めピン９のテーパ頭部９ａを嵌入させるための位置決め孔３１（図１参照）を有している。
【００１７】
次に動作について説明する。
回路基板３０をセット前の基板検査装置において、基板押え治具５が装着された可動側ベース２は図１に示すように上昇開離位置に保持されているため、基板保持ユニット１２の引き出し用レール１３はガイドロッド１０ａのストッパ１０ｂ上に当接して基板押え治具５と基板検査用治具７との間の中立位置に独立保持された状態となっている。この状態において、基板保持枠１４を前方に引き出し、この基板保持枠１４に回路基板３０を嵌め込みセットする。そのセットに際しては、前記基板保持枠１４上の基板挟持機構１６における基板位置調整バー１７および可動ストッパ１８を前記回路基板３０のサイズに応じた位置にスライド調整してそれぞれの調整ネジ２０，２２で固定しておく。この状態において、前記基板保持枠１４と基板位置調整バー１７の基板支持段部１４ｃ，１７ａ上に回路基板３０を載置することで、前記基板保持枠１４に回路基板３０を嵌め込みセットする。
【００１８】
そのセット後に前記基板保持枠１４を引き出し用レール１３に沿って基板押え治具５と基板検査用治具７との間の収納位置に押し込む。これにより、前記回路基板３０の位置決め孔３１が基板検査用治具７の位置決めピン９との対応位置に位置決めされる。この状態において、プレスシリンダ４を伸長起動させると、可動側ベース２と基板押え治具５とガイドロッド１０ａおよび基板保持ユニット１２とが一体的に下降する。そして、前記基板保持ユニット１２の引き出し用レール１３が基板検査用治具７上に当接するとほぼ同時に、前記位置決めピン９のテーパ頭部９ａが回路基板３０の位置決め孔３１に嵌入する。これにより、前記回路基板３０は、その検査対象部位がプローブピン８との対向位置に位置決めされて前記位置決めピン９により前記基板支持段部１４ｃ，１７ａから浮き上がった状態に保持される。
【００１９】
このようにして、前記回路基板３０の検査対象部位がプローブピン８との対応位置に位置決め保持され、かつ前記引き出し用レール１３が基板検査用治具７上に当接した状態においても、前記可動側ベース２は下降動作を継続する。このとき、その可動側ベース２と一体のガイドロッド１０ａは基板保持ユニット１２を基板検査用治具７上に置き去り状態に下降動作を継続する。そして、前記可動側ベース２と一体に下降する基板押え治具５のサポート６が回路基板３０を押圧することにより、当該回路基板３０の検査対象部位がプローブピン８に当接して前記回路基板３０の性能検査が電気的に実施される。その検査終了後には、前記プレスシリンダ４で可動側ベース２が上昇駆動されることにより、その上昇過程でガイドロッド１０ａのストッパ１０ｂが引き出し用レール１３の下面に当接して基板保持ユニット１２および回路基板３０が一体的に上昇し、それらの基板保持ユニット１２および回路基板３０は図１に示すように基板検査用治具７のプローブピン８および基板押え治具５のサポート６から離れて前記基板押え治具５と基板検査用治具７との中間位置に独立保持される。その状態で基板保持枠１４が引き出されて当該基板保持枠１４から検査済みの回路基板３０が取り出される。
【００２０】
以上説明した実施の形態１によれば、基板押え治具５が装着されてプレスシリンダ４で昇降駆動される可動側ベース２にガイドロッド１０ａを一体的に設け、そのガイドロッド１０ａに左右一対の引き出し用レール１３を昇降可能に取り付け、それらの引き出し用レール１３に基板保持枠１４の両側部をスライド自在に支持させると共に、前記ガイドロッド１０ａには、前記可動側ベース２の上昇開離位置で基板押え治具５のサポート６と基板検査用治具７のプローブピン８および位置決めピン９のそれぞれから離れて前記基板押え治具５と基板検査用治具７との中間位置に前記引き出し用レール１３を独立保持するストッパ１０ｂを設けることにより、引き出し構造の基板保持ユニット１２を実現するように構成したので、前記可動側ベース２の上昇開離位置で基板押え治具５と基板検査用治具７との中間位置に保持された基板保持枠１４を外方に引き出して当該基板保持枠１４に検査対象の回路基板３０をセットすることができ、そのセット時の回路基板３０が前記サポート６やプローブピン８および位置決めピン９等に接触するようなことがないので、その接触に起因して回路基板３０やサポート６およびプローブピン８、位置決めピン９等が破損するのを防止することができるという効果がある。
【００２１】
また、前記実施の形態１によれば、前記可動側ベース２の基板押え治具５と固定側ベース３の基板検査用治具７との間に基板保持ユニット１２を配置し、その基板保持ユニット１２上に平面Ｘ−Ｙ方向へ水平移動可能な基板挟持機構１６を搭載するように構成したので、基板検査装置全体の大型化を抑止できると共に、サイズの異なる回路基板３０であっても、これを共通の基板保持枠１４に安定性よく確実にセットすることができると共に、前記基板挟持機構１６の調整やメンテナンスを容易に実施できるという効果がある。
【００２２】
実施の形態２．
図５はこの発明の実施の形態２による基板検査装置を示す概略的な側面図であり、図１〜図４と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
前記実施の形態１では、基板押え治具５が装着された上側のベース２をプレスシリンダ４で昇降駆動される可動側ベースとし、基板検査用治具７が装着された下側のベース３を固定側ベースとしたが、この実施の形態２では、前記実施の形態１とは逆に上側のベース２を固定側ベースとして下側のベース３を可動側ベースとし、その下側の可動側ベース３をプレスシリンダ４で昇降駆動するように構成したもので、その他の構成は前記実施の形態１と同じである。このような構成とした実施の形態２の場合も前記実施の形態１と同様の作用効果が得られる。
【００２３】
実施の形態３．
図６はこの発明の実施の形態３による基板検査装置を示す概略的な側面図であり、図１〜図４と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施の形態３では、前記実施の形態１，２による基板検査装置を制御器２３によって全自動化する構成としたものである。すなわち、この実施の形態３による基板検査装置は、その自動化のために、基板保持ユニット１２の引き出し用レール１３に取り付けられたモータ２４と、このモータ２４の回転出力を基板保持枠１４のスライド駆動力に変換して当該基板保持枠１４に伝達する動力伝達機構（図示せず）と、前記基板保持枠１４に設けられて回路基板３０の有無を検知する基板検知センサ２５と、基板保持枠１４の収納端側に配置されて当該基板保持枠１４が所定の収納位置に収納されたか否かを検知する基板保持枠検知センサ２６と、プレスシリンダ４の作動媒体供給系統に設けられた電磁バルブ２７とを備え、前記制御器２３が前記基板検知センサ２５および基板保持枠検知センサ２６からの入力信号に基づいてプレスシリンダ４およびモータ２４を自動制御する構成としたものである。
【００２４】
次に、前記制御器２３による基板検査装置の自動制御機能の説明を兼ねた動作について説明する。
可動側ベース２が上昇開離位置に保持された図６の状態において、回路基板３０がセットされていない基板保持枠１４を基板押え治具５と基板検査用治具７との間の収納位置より外方に引き出すと、基板保持枠検知センサ２６がＯＦＦとなり、前記引き出し位置の基板保持枠１４に回路基板３０をセットすると、基板検知センサ２５がＯＮとなることにより、制御器２３は前記基板保持枠検知センサ２６からのＯＦＦ信号と前記基板検知センサ２５からのＯＮ信号（基板セット信号）を入力する。それらの入力信号に基づいて前記制御器２３はモータ２４に基板保持枠１４を収納する方向の起動信号を出力する。
【００２５】
これにより、前記モータ２４が起動して前記基板保持枠１４を収納方向に駆動し、当該基板保持枠１４が前記収納位置に到達した時点で基板保持枠検知センサ２６がＯＮ信号を制御器２３に出力することにより、その制御器２３は、前記モータ２４を停止させた後に電磁バルブ２７にプレスシリンダ４を伸長動作させる方向の開信号を出力する。これにより、前記プレスシリンダ４が伸長動作して可動側ベース２を下降駆動し、当該可動側ベース２が所定の下降位置（基板プレス位置）に到達した時点で前記プレスシリンダ４が停止して前記実施の形態１と同様に回路基板３０の電気的検査が実行される。そして、回路基板３０の検査終了後には、その検査終了信号を制御器２３が入力することにより、当該制御器２３は前記モータ２４に基板保持枠１４を引き出す方向の起動信号を出力して基板保持枠１４が自動的に引き出されることにより、その基板保持枠１４から検査済みの回路基板３０を取り出すことができる。
【００２６】
以上説明した実施の形態３によれば、基板保持枠１４を引き出し方向と収納方向にスライド駆動するモータ２４と、前記基板保持枠１４に回路基板３０がセットされたか否かを検知する基板検知センサ２５と、前記基板保持枠１４が所定の収納位置に収納された否かを検知する基板保持枠検知センサ２６と、前記基板検知センサ２５および基板保持枠検知センサ２６のそれぞれから検知信号を入力し、その検知信号に基づいて前記モータ２４およびプレスシリンダ４系統の電磁バルブ２７を前述のように駆動制御する制御器２３とを備え付けるように構成したので、前記基板保持枠１４を引き出し方向と収納方向に自動的に移動させることができると共に、検査対象の回路基板３０がセットされた基板保持枠１４が収納位置に到達した時点でプレスシリンダ４を自動的に昇降作動させることができ、基板検査装置全体の自動化を実現できるという効果がある。
【００２７】
実施の形態４．
図７はこの発明の実施の形態４による基板検査装置を示す概略的な側面図であり、図１〜図４と同一または相当部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施の形態４では、前記実施の形態１から前記実施の形態３におけるガイドロッド１０ａに代えて基板保持ユニット１２を昇降駆動可能に支持するユニット支持シリンダ（レール昇降駆動手段）２８を適用し、このユニット支持シリンダ２８をプレスシリンダ４に関連作動させるように制御器２３で自動制御するユニット支持手段として構成したものである。すなわち、可動側ベース２の基板押え治具５と固定側ベース３の基板検査用治具７との間に配置する基板保持ユニット１２の引き出し用レール１４の後端側を縦型のユニット支持シリンダ２８のピストンロッド上端に片持ち支持させたものである。そして、前記ユニット支持シリンダ２８の作動媒体供給系統に電磁バルブ２９を設け、この電磁バルブ２９と前記プレスシリンダ４系統の電磁バルブ２７とを制御器２３で関連制御するものである。
【００２８】
次に、前記制御器２３の機能説明を兼ねた動作について説明する。
可動側ベース２が上昇開離位置に保持された図７の状態において、基板保持枠１４を取手１５で外方に引き出して当該基板保持枠１４に前記実施の形態１の場合と同様に回路基板３０を嵌め込みセットする。そのセット後に前記基板保持枠１４を所定の収納位置まで押し込むと、制御器２３からのバルブ制御信号でユニット支持シリンダ２８の電磁バルブ２９が切り換えられて前記ユニット支持シリンダ２８が短縮作動する。これにより、基板保持ユニット１２が下降し、基板保持枠１４に保持された回路基板３０の位置決め孔３１が基板検査用治具７の位置決めピン９のテーパ頭部９ａに嵌まり込む。この状態においても前記ユニット支持シリンダ２８が短縮作動を継続して基板保持ユニット１２が下降継続することにより、前記位置決めピン９によって回路基板３０が基板保持枠１４から浮き上がった状態に保持される。
【００２９】
そして、前記基板保持ユニット１２はユニット支持シリンダ２８の短縮限界位置まで下降して停止すると、前記制御器２３からのバルブ制御信号でプレスシリンダ４の電磁バルブ２７が切り換え制御されてプレスシリンダ４が伸長作動する。これにより、可動側ベース２と一体に基板押え治具５が下降し、当該基板押え治具５のサポート６が前記位置決めピン９の上昇付勢力に抗して回路基板３０を押し下げる。これにより、前記回路基板３０の検査対象部位がプローブピン８に当接して前記回路基板３０の性能が電気的に検査される。その検査終了後には、前記制御器２３からのバルブ制御信号でプレスシリンダ４の電磁バルブ２７とユニット支持シリンダ２８の電磁バルブ２９が、この順序で時間差的に切り換えられてプレスシリンダ２７が短縮作動し、かつユニット支持シリンダ２８が伸長作動することにより、前記可動側ベース２に追従して基板保持ユニット１２が上昇し、その上昇過程で位置決めピン９上の回路基板３０が基板保持枠１４で保持される。
【００３０】
そして、前記プレスシリンダ２７およびユニット支持シリンダ２８の停止位置では、前記基板保持ユニット１２が基板押え治具５のサポート６と基板検査用治具７のプローブピン８および位置決めピン９から離れて可動側ベース２と固定側ベース３との中間位置に独立保持される。そこで、前記基板保持枠１４を引き出せば、当該基板保持枠１４から回路基板３０を前記サポート６やプローブピン８および位置決めピン９に接触させることなく取り出すことができる。
【００３１】
以上説明した実施の形態４によれば、可動側ベース２の基板押え治具５と固定側ベース３の基板検査用治具７との間に配置した基板保持ユニット１２をユニット支持シリンダ２８で支持するように構成したので、前記基板保持ユニット１２を前記実施の形態１の場合と同様に可動側ベース２に追従して昇降作動させることができる。このため、前記実施の形態１の場合と同様に、基板保持枠１４に対する回路基板３０のセット時および取り出し時に当該回路基板３０がサポート６やプローブピン８および位置決めピン９に接触するようなことがないという効果がある。
【００３２】
なお、この実施の形態４においても、前記実施の形態３におけるモータ２４と基板検知センサ２５および基板保持枠検知センサ２６を設けることによって、基板検査装置全体の自動化を実現できるものである。また、前記各実施の形態では、可動側ベース２および基板保持ユニット１２の昇降駆動手段としてプレスシリンダ４およびユニット支持シリンダ２８を適用したが、それらのプレスシリンダ４およびユニット支持シリンダ２８は、前記可動側ベース２および基板保持ユニット１２を自動機械的に昇降駆動できるものであれば、いかなる昇降駆動手段であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】この発明の実施の形態１による基板検査装置を示す概略的な側面図である。
【図２】図１中の引き出し式の基板保持ユニットを示す平面図である。
【図３】図２の要部を示す拡大斜視図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】この発明の実施の形態２による基板検査装置を示す概略的な側面図である。
【図６】この発明の実施の形態３による基板検査装置を示す概略的な側面図である。
【図７】この発明の実施の形態４による基板検査装置を示す概略的な側面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  装置本体、２  上側ベース、３  下側ベース、４  プレスシリンダ、４ａ  ピストンロッド、５  基板押え治具、６  サポート、７  基板検査用治具、８  プローブピン、９  位置決めピン、９ａ  テーパ頭部、１０  ユニット支持手段、１０ａ  ガイドロッド、１０ｂ  ストッパ、１２  基板保持ユニット、１３  引き出し用レール、１４  基板保持枠、１４ａ  前面、１４ｂ  両側脇壁、１４ｃ  基板支持段部、１５  取手、１６  基板挟持機構、１７  基板位置調整バー、１７ａ  基板支持段部、１８  可動ストッパ、１９  ガイド溝、２０  調整ネジ、２１  ガイド溝、２２  調整ネジ、２３  制御器、２４  モータ、２５  基板検知センサ、２６  基板保持枠検知センサ、２７  電磁バルブ、２８  ユニット支持シリンダ、２９  電磁バルブ、３０  回路基板、３１  位置決め孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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