(57)【要約】【課題】  複数装置間で行われるデータ通信の障害が生じた際に、データ通信の設定内容を変更可能にするとともに、短時間で容易に障害の原因究明を行うことができる通信設定方法等を提供する。【解決手段】  露光装置等の装置に設けられる装置端末の表示画面には、装置を制御する装置コントローラと装置との間で行われる通信内容及び通信設定内容等を示すウィンドウＷＤが表示される。ウィンドウＷＤには、装置と装置コントローラとの間で行われた通信の内容（通信ログ）が表示される第１表示領域Ｒ１と、通信エラーに関する情報（通信エラーログ）、又は通信の設定内容に関する情報（オンライン制御情報）が表示される第２表示領域Ｒ２とが設けられている。通信ログと通信エラーログ又はオンライン制御情報は、ウィンドウＷＤ内に内において同期して関連付けられた形態で表示される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の制御装置間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信の前記設定内容を決定する通信設定方法において、
前記データ通信の設定の設定内容を変更可能とし、
前記データ通信の設定の変更履歴情報を保持し、
前記データ通信実行中の所定点での設定に関する情報を、前記変更履歴情報に基づいて求め、
前記変更履歴情報に基づいて求められた前記所定点での設定情報に応じて、前記複数の制御装置間で実行されるデータ通信の設定内容を決定する
ことを特徴とする通信設定方法。
【請求項２】
前記データ通信の設定は、前記制御装置が具備する通信機能を制御するためのシステム・パラメータ設定又はシステム・プロトコル設定を含むことを特徴とする請求項１記載の通信設定方法。
【請求項３】
前記データ通信の設定は、イベント・レポート設定又はアラーム設定に関する情報を含むことを特徴とする請求項１記載の通信設定方法。
【請求項４】
前記変更履歴情報に含まれる過去の設定内容を再びアクティブにすることを特徴とする請求項１記載の通信設定方法。
【請求項５】
前記所定点としてデータ通信が実行された期間中の特定時刻を指定することにより、前記特定時刻に対応するデータ通信の設定情報を前記変更履歴情報から求めることを特徴とする請求項１記載の通信設定方法。
【請求項６】
前記所定点として前記データ通信に関するログデータ中の特定データ部分を指定することにより、この特定データ部分に対応するデータ通信の設定情報を前記変更履歴情報から求めることを特徴とする請求項１記載の通信設定方法。
【請求項７】
前記データ通信に関するログデータと、前記ログデータ中の特定データ部分に対応するデータ通信の設定情報とを表示装置の同一画面上に同時に表示し、
前記表示装置の表示内容に基づいて前記複数の制御装置間で実行されるデータの通信の設定を行う
ことを特徴とする請求項１記載の通信設定方法。
【請求項８】
前記データ通信に関するログデータと、前記ログデータ中の特定データ部分に対応するエラーログデータとを同時に表示し、
この表示内容に基づいて前記複数の制御装置間で実行されるデータ通信の設定を行う
ことを特徴とする請求項１記載の通信設定方法。
【請求項９】
複数装置間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示する表示方法であって、
前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを表示することを特徴とする表示方法。
【請求項１０】
前記データ通信の設定内容に関する情報は、前記データ通信を実行する装置が具備する通信機能を制御するためのシステム・パラメータ設定又はシステム・プロトコル設定に関する情報を含むことを特徴とする請求項９記載の表示方法。
【請求項１１】
前記データ通信の設定内容に関する情報は、イベント・レポート設定又はアラーム設定に関する情報を含むことを特徴とする請求項９記載の表示方法。
【請求項１２】
前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報は、時刻情報を含むことを特徴とする請求項９記載の表示方法。
【請求項１３】
前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報は、前記データ通信に関するログデータに基づいて表示されることを特徴とする請求項９記載の表示方法。
【請求項１４】
前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを表示装置の同一画面上に同時に表示することを特徴とする請求項９記載の表示方法。
【請求項１５】
デバイス製造システム中の複数装置間で所定設定に基づくデータ通信を実行することにより前記複数装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造方法であって、
前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを表示し、
表示内容に基づいて前記複数装置間で実行される前記データ通信の設定内容を決定し、
決定された設定内容に応じて複数装置間でデータ通信を実行して前記複数装置を用いてデバイスを製造する
ことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１６】
前記デバイス製造システム中の複数装置は、少なくとも、デバイスパターンを基板に露光する露光装置と、
前記露光装置に接続されるホストコンピュータと
を含むことを特徴とする請求項１５記載のデバイス製造方法。
【請求項１７】
前記データ通信の設定内容に関する情報として、前記データ通信を実行する装置が具備する通信機能を制御するためのシステム・パラメータ設定又はシステム・プロトコル設定を表示することを特徴とする請求項１５記載のデバイス製造方法。
【請求項１８】
前記データ通信の設定内容に関する情報として、イベント・レポート設定又はアラーム設定に関する情報を表示することを特徴とする請求項１５記載のデバイス製造方法。
【請求項１９】
前記タイミングに関する情報として、前記設定内容に基づいて前記データ通信が実行された時刻に関する情報を表示することを特徴とする請求項１５記載のデバイス製造方法。
【請求項２０】
前記タイミングに関する情報として、前記データ通信に関するログデータ中で前記設定に対応する特定データ部分を表示することを特徴とする請求項１５記載のデバイス製造方法。
【請求項２１】
前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを同一画面上に同時に表示することを特徴とする請求項１５記載のデバイス製造方法。
【請求項２２】
複数装置間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示装置の画面上に表示する表示プログラムであって、
前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを前記表示装置の画面上に表示することを特徴とする表示プログラム。
【請求項２３】
複数装置間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示する表示システムであって、
前記複数装置とデータ通信可能に接続され、表示画面を備えた表示装置を含み、
前記表示装置の表示画面上に、前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを表示することを特徴とする表示システム。
【請求項２４】
通信機能を備えた複数のデバイス製造装置を含み、前記複数のデバイス製造装置間で所定設定に基づくデータ通信を実行することにより前記複数装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造システムであって、
前記複数のデバイス製造装置とデータ通信可能に接続され、表示画面を備えた表示装置を含み、
前記表示装置の表示画面上に、前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを表示し、
表示内容に基づいて決定される前記複数装置間の前記データ通信の設定内容に応じて複数装置間でデータ通信を実行して、前記複数装置を用いてデバイスを製造する
ことを特徴とするデバイス製造システム。
【請求項２５】
表示画面上に複数装置間で実行されるデータ通信に関する情報を表示画面上に表示するための表示方法であって、
前記データ通信に関するログデータを前記表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示することを特徴とする表示方法。
【請求項２６】
前記データ通信の所定設定に関する情報は、前記データ通信を実行する装置が具備する通信機能を制御するためのシステム・パラメータ設定又はシステム・プロトコル設定に関する情報を含むことを特徴とする請求項２５記載の表示方法。
【請求項２７】
前記データ通信の設定内容に関する情報は、イベント・レポート設定又はアラーム設定に関する情報を含むことを特徴とする請求項２５記載の表示方法。
【請求項２８】
前記データ通信の設定変更履歴情報を保持し、
前記設定変更履歴情報と前記ログデータとを関連付けることにより、前記データ通信の所定設定に関する情報と前記ログデータとを関連付けて表示する
ことを特徴とする請求項２５記載の表示方法。
【請求項２９】
前記データ通信の変更履歴情報を保持し、
データ通信の設定変更履歴情報は、設定変更が実施された時刻に関する情報を含み、
前記通信エラー情報は、通信エラーが発生した時刻に関する情報を含み、
前記設定変更履歴情報の時刻情報、又は、前記通信エラーの発生した時刻に関する時刻情報と、前記ログデータに含まれる時刻情報とに基づいて、前記通信エラー情報又は前記データ通信の設定情報と前記ログデータとを関連付けて表示する
ことを特徴とする請求項２５記載の表示方法。
【請求項３０】
デバイス製造システム中の複数装置間で所定設定に基づくデータ通信を実行することにより前記複数装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造方法であって、
前記データ通信に関するログデータを表示装置の表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示し、
表示内容に基づいて前記複数装置間で実行される前記データ通信の設定内容を決定し、
決定された設定内容に応じて複数装置間でデータ通信を実行して前記複数装置を用いてデバイスを製造する
ことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項３１】
前記デバイス製造システム中の複数装置は、少なくとも、デバイスパターンを基板に露光する露光装置と、
前記露光装置に接続されるホストコンピュータと
を含むことを特徴とする請求項３０記載のデバイス製造方法。
【請求項３２】
前記データ通信の設定内容に関する情報として、前記データ通信を実行する装置が具備する通信機能を制御するためのシステム・パラメータ設定又はシステム・プロトコル設定を表示することを特徴とする請求項３０記載のデバイス製造方法。
【請求項３３】
前記データ通信の設定内容に関する情報として、イベント・レポート設定又はアラーム設定に関する情報を表示することを特徴とする請求項３０記載のデバイス製造方法。
【請求項３４】
前記データ通信の変更履歴情報を保持し、
データ通信の設定変更履歴情報として、設定変更が実施された時刻に関する情報を含む情報を保持し、
前記通信エラー情報として、通信エラーが発生した時刻に関する情報を含む情報を保持し、
前記設定変更履歴情報の時刻情報、又は、前記通信エラーの発生した時刻に関する時刻情報と、前記ログデータに含まれる時刻情報とに基づいて、前記通信エラー情報又は前記データ通信の設定情報と前記ログデータとを関連付けて表示する
ことを特徴とする請求項３０記載のデバイス製造方法。
【請求項３５】
複数装置間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示装置の画面上に表示する表示プログラムであって、
前記データ通信に関するログデータを前記表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示することを特徴とする表示プログラム。
【請求項３６】
複数装置間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示する表示システムであって、
前記複数装置とデータ通信可能に接続され、表示画面を備えた表示装置を含み、
前記表示装置の表示画面上に、前記データ通信に関するログデータを前記表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示することを特徴とする表示システム。
【請求項３７】
通信機能を備えた複数のデバイス製造装置を含み、前記複数のデバイス製造装置間で所定設定に基づくデータ通信を実行することにより前記複数装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造システムであって、
前記複数のデバイス製造装置とデータ通信可能に接続され、表示画面を備えた表示装置を含み、
前記表示装置の表示画面上に、前記データ通信に関するログデータを前記表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示し、
表示内容に基づいて決定される前記複数装置間の前記データ通信の設定内容に応じて複数装置間でデータ通信を実行して、前記複数装置を用いてデバイスを製造する
ことを特徴とするデバイス製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数装置間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を設定する通信設定方法、当該情報を表示する表示方法、表示プログラム、及び表示システム、並びに通信機能を備える装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造方法及び製造システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子、液晶表示素子、撮像素子（ＣＣＤ（Charge Coupled Device：電荷結合素子）等）、薄膜磁気ヘッド、その他のデバイスは、半導体ウェハ又はガラスプレート等の基板に対して、薄膜形成処理、フォトリソグラフィ処理、不純物の拡散処理等の各種の処理を施して製造される。デバイスの製造工場内では、上記の各種処理を行うラインが設けられており、先のラインで処理を終えた基板を次のラインに受け渡して順次処理を施すことにより所期の機能を有するデバイスが製造される。
【０００３】
デバイスの製造工場内には、全てのラインの処理状況を統轄管理するメインホスト、ラインの各々を個別に制御するライン制御ホスト、各ラインに設けられた複数の装置（例えば、基板処理装置又は露光装置）を管理する装置管理ホスト、及び各装置毎に設けられた装置コントローラが設けられている。上記のメインホストは最上位に位置付けられており、ライン制御ホストはメインホストの下位に、装置装置管理ホストはライン制御ホストの下位にそれぞれ位置付けられており、装置コントローラは最下位に位置付けられている。
【０００４】
これらメインホスト、ライン制御ホスト、装置管理ホスト、及び装置コントローラが、上位又は下位に位置付けられているホスト又はコントローラとの間で制御情報及び装置の動作状況を示す各種情報を通信して予め設定された工程順で基板に対して処理を行うことによりデバイスが製造される。また、各ラインに設けられた複数の装置の各々には、製造工場内で作業する作業者（オペレータ）により処理条件が入力されるとともに、装置の動作状況を表示して装置とオペレータとのインターフェイスの役割を果たす装置端末が設けられている。この装置端末は装置コントローラとの間で通信を行い、オペレータによって入力された処理条件を装置コントローラに送信し、又は装置コントローラで収集された装置状況を示す情報を受信して表示装置に表示する。
【０００５】
また、以下の特許文献１には、半導体デバイス等の製造ラインに配置された複数の装置と基板を搬送する無人搬送車との間で双方向通信により送受信されるデータの通信ログ（ログデータ）を不揮発性メモリに書き込み、外部から問い合わせがあったときに、その記録内容を外部に出力して表示する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−２９９３６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述した装置毎に設けられた装置コントローラと装置端末との間で行われる通信は、予め設定された両者に共通した通信設定内容に従って行われる。この通信設定内容は、例えばオペレータが装置端末を用いて設定される。ここで、仮に装置コントローラと装置端末との間の通信に問題が生じた場合には、何れの側が原因で問題が生じたのかを解析する必要がある。従来は、通信コントローラで記録された通信ログと装置端末で記録された通信ログ及びログデータとを手作業で個別に読み出して表示装置に表示させ、各々のログデータの内容を時刻毎に照らし合わせて原因究明を行っていた。
【０００７】
しかしながら、かかる作業は多大な労力が必要になるという問題があった。また、装置コントローラと装置端末との間の通信に関する設定は、オペレータが装置端末を用いて変更するすることができるが、従来は装置コントローラと装置端末との間で行われた通信内容をログデータとして記録するだけで、過去に設定された通信設定内容が記録されていないため、装置コントローラと装置端末との間の通信に問題が生じた場合に、通信設定内容を考慮した解析を行うことができないという問題があった。更に、装置コントローラのログデータは装置を一時的に停止させてからでなければ収集することができないものがあり、極めて煩雑であるとともにスループット（単位時間に処理することができる基板の枚数）を低下させる一因になっていた。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、複数装置間で行われるデータ通信の障害が生じた際に、データ通信の設定内容を変更可能にするとともに、短時間で容易に障害の原因究明を行うことができる通信設定方法、当該情報を表示する表示方法、表示プログラム、及び表示システム、並びにデバイス製造方法及び製造システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
上記課題を解決するために、本発明の第１の観点による通信設定方法は、複数の制御装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信の前記設定内容を決定する通信設定方法において、前記データ通信の設定の設定内容を変更可能とし、前記データ通信の設定の変更履歴情報を保持し、前記データ通信実行中の所定点での設定に関する情報を、前記変更履歴情報に基づいて求め、前記変更履歴情報に基づいて求められた前記所定点での設定情報に応じて、前記複数の制御装置間で実行されるデータ通信の設定内容を決定することを特徴としている。
この発明によると、複数の制御装置間で実行されるデータ通信の設定の変更履歴情報が保持され、この保持された変更履歴情報に基づいてデータ通信実行中の所定点での設定に関する情報が求められ、求められた所定点での設定情報に応じて複数の制御装置間で実行されるデータ通信の設定内容が決定される。
また、本発明の第１の観点による通信設定方法は、複数装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示する表示方法であって、前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを表示することを特徴としている。
この発明によると、複数装置間で実行されるデータ通信の設定内容に関する情報と、その設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とが表示される。
また、本発明の第１の観点によるデバイス製造方法は、デバイス製造システム中の複数装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）間で所定設定に基づくデータ通信を実行することにより前記複数装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造方法であって、前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを表示し、表示内容に基づいて前記複数装置間で実行される前記データ通信の設定内容を決定し、決定された設定内容に応じて複数装置間でデータ通信を実行して前記複数装置を用いてデバイスを製造することを特徴としている。
この発明によると、複数装置間で実行されるデータ通信の設定内容に関する情報と、その設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とが表示され、この表示内容に基づいて決定されるデータ通信の設定内容に応じて複数装置間でデータ通信が実行され、これら複数装置を用いてデバイスが製造される。
また、本発明の第１の観点による表示プログラムは、複数装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示装置（６４）の画面上に表示する表示プログラムであって、前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを前記表示装置の画面上に表示することを特徴としている。
また、本発明の第１の観点による表示システムは、複数装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示する表示システムであって、前記複数装置とデータ通信可能に接続され、表示画面を備えた表示装置（６４）を含み、前記表示装置の表示画面上に、前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを表示することを特徴としている。
また、本発明の第１の観点によるデバイス製造システムは、通信機能を備えた複数のデバイス製造装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）を含み、前記複数のデバイス製造装置間で所定設定に基づくデータ通信を実行することにより前記複数装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造システムであって、前記複数のデバイス製造装置とデータ通信可能に接続され、表示画面を備えた表示装置（６４）を含み、前記表示装置の表示画面上に、前記所定設定の設定内容に関する情報と、前記データ通信が前記設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報とを表示し、表示内容に基づいて決定される前記複数装置間の前記データ通信の設定内容に応じて複数装置間でデータ通信を実行して、前記複数装置を用いてデバイスを製造することを特徴としている。
上記課題を解決するために、本発明の第２の観点による表示方法は、表示画面（６４）上に複数装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）間で実行されるデータ通信に関する情報を表示画面上に表示するための表示方法であって、前記データ通信に関するログデータを前記表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示することを特徴としている。
この発明によると、データ通信中に発生する通信エラーに関する情報又はデータ通信の設定に関する情報が、ログデータと関連付けた形態で表示される。
また、本発明のデバイス製造方法は、デバイス製造システム中の複数装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）間で所定設定に基づくデータ通信を実行することにより前記複数装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造方法であって、前記データ通信に関するログデータを表示装置（６４）の表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示し、表示内容に基づいて前記複数装置間で実行される前記データ通信の設定内容を決定し、決定された設定内容に応じて複数装置間でデータ通信を実行して前記複数装置を用いてデバイスを製造することを特徴としている。
また、本発明の表示プログラムは、複数装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示装置（６４）の画面上に表示する表示プログラムであって、前記データ通信に関するログデータを前記表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示することを特徴としている。
また、本発明の表示システムは、複数装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）間で所定設定に基づいて実行されるデータ通信に関する情報を表示する表示システムであって、前記複数装置とデータ通信可能に接続され、表示画面を備えた表示装置（６４）を含み、前記表示装置の表示画面上に、前記データ通信に関するログデータを前記表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示することを特徴としている。
また、本発明のデバイス製造システムは、通信機能を備えた複数のデバイス製造装置（４０ａ〜４０ｃ，…、５０ａ〜５０ｃ，…）を含み、前記複数のデバイス製造装置間で所定設定に基づくデータ通信を実行することにより前記複数装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造システムであって、前記複数のデバイス製造装置とデータ通信可能に接続され、表示画面を備えた表示装置（６４）を含み、前記表示装置の表示画面上に、前記データ通信に関するログデータを前記表示画面上に表示するとともに、前記データ通信中に発生する通信エラーに関する情報、又は、前記データ通信の所定設定に関する情報を、前記ログデータと関連付けた形態で表示し、表示内容に基づいて決定される前記複数装置間の前記データ通信の設定内容に応じて複数装置間でデータ通信を実行して、前記複数装置を用いてデバイスを製造することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、データ通信の設定内容が変更された後であっても、変更前の設定内容に基づいたデータ通信を再現することができる。この結果として、例えばデータ通信の設定内容が変更される前のデータ通信で生じた問題の原因を、設定内容の変更後に短時間で容易に究明することができるという効果がある。
また、本発明によれば、データ通信に問題が生じたタイミングの設定内容を容易に確認することができ、その結果としてデータ通信で生じた問題の原因を短時間で究明することができるという効果がある。
また、本発明によれば、複数装置を用いてデバイスが製造されている最中にデータ通信の問題が生じた場合には、装置を停止させることなくデータ通信の設定を変更することができ、スループット（単位時間に処理することができる基板の枚数）の低下を防止することができるという効果がある。
また、本発明によれば、通信エラーに関する情報又はデータ通信の設定に関する情報とログデータとが関連付けた形態で表示されるため、データ通信で生じた問題の原因究明の効率を高めることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による通信設定方法、表示方法、表示プログラム、表示システム、並びにデバイス製造方法及び製造システムについて詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態によるデバイス製造システムの全体構成を示すブロック図である。図１に示すデバイス製造システムは、例えば半導体製造工場等のデバイス製造工場内に設けられる。図１に示す通り、本実施形態のデバイス製造システムは、メインホスト１０、ライン制御ホスト２０ａ〜２０ｄ，…、装置管理ホスト３０ａ，３０ｂ，…、装置コントローラ４０ａ〜４０ｃ，…、基板処理装置又は露光装置等の装置５０ａ〜５０ｃ，…、及び装置端末６０を含んで構成されている。尚、装置５０ｂ，５０ｃ，…にも装置端末６０と同様の装置端末が設けられているが、図１では図示を省略している。
【００１２】
メインホスト１０は、デバイス製造工場内に設けられた全てのラインの処理状況を統轄管理するものであり、ライン制御ホスト２０ａ〜２０ｄ，…はデバイス製造工場内に設けられたラインの各々を個別に制御するものである。メインホスト１０とライン制御ホスト２０ａ〜２０ｄ，…はローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）（以下、単に「ネットワーク」という）Ｎ１によって相互に接続されている。ネットワークＮ１を介してメインホスト１０からライン制御ホスト２０ａ〜２０ｄ，…へ各種の制御情報が送信されるとともに、ライン制御ホスト２０ａ〜２０ｄ，…からメインホスト１０へ各ラインの状況を示す情報を送信される。
【００１３】
デバイス製造工場内には、基板上に薄膜を形成する薄膜形成ライン、基板に対してフォトリソグフラフィー処理を行うフォトリソライン、基板に対して不純物を添加する拡散ライン、及び基板のダイシング及びパッケージング等を行う組み立てライン等のラインが設けられている。上記のライン制御ホスト２０ａ〜２０ｄ，…はこれらのラインにそれぞれ設けられている。尚、ライン制御ホスト２０ａ〜２０ｄ，…は、メインホスト１０の下位に位置付けられている。
【００１４】
ライン制御ホスト２０ａ〜２０ｄ，…の各々にはネットワークを介して下位に位置付けられる装置管理ホストが接続されている。図１に示す例では、フォトリソラインに設けられたライン制御ホスト２０ｂにネットワークＮ２を介して接続された装置管理ホスト３０ａ，３０ｂ，…を図示している。これら装置管理ホスト３０ａ，３０ｂ，…は、フォトリソラインに設けられた複数の装置を装置の種類毎に管理するものである。例えば、装置管理ホスト３０ａは、フォトリソグラフィー処理で行われるエッチングに用いられる薬液を供給する薬液供給装置を管理し、装置管理ホスト３０ｂは基板に対して露光処理を行う露光装置を管理する。
【００１５】
装置管理ホスト３０ａ〜３０ｄ，…の各々にはネットワークを介して下位に位置付けられる制御装置としての装置コントローラが接続されている。図１に示す例では、装置管理ホスト３０ｂにネットワークＮ３を介して接続された装置コントローラ４０ａ〜４０ｃ，…を図示している。この装置コントローラ４０ａ〜４０ｃ，…は、フォトリソラインに設けられた複数の装置５０ａ〜５０ｃ，…と通信線Ｎ４１〜Ｎ４３，…を介してそれぞれ接続されており、装置５０ａ〜５０ｃ，…の各々を個別に管理制御するものである。装置コントローラ４０ａ〜４０ｃ，…各々の内部にはハードディスク等の記録装置が設けられており、装置５０ａ〜５０ｃ，…との間で行われるデータ通信の内容（通信ログ）、通信エラーに関する情報（通信エラーログ）が記録装置に記録される構成となっている。
【００１６】
装置５０ａ〜５０ｃ，…は、例えば、マスクに形成されたパターンを基板上に露光する露光装置又基板処理装置である。ここで、基板処理装置とは、上記の露光装置と基板に対してフォトレジスト等の感光剤を塗布するコータ及び露光装置により露光処理が行われた基板の現像を行うデベロッパとが設けられた装置である。装置５０ａ〜５０ｃ，…の各々には、オペレータが装置５０ａ〜５０ｃ，…の各々に対して各種の処理条件等を入力するとともに、装置５０ａ〜５０ｃ，…が備える通信機能を制御するためのオンライン制御情報（所定設定の設定内容に関する情報）を設定し、更には装置５０ａ〜５０ｃ，…の動作状況を表示することで装置５０ａ〜５０ｃ，…とオペレータとのインターフェイスの役割を果たす装置端末６０（装置５０ｂ，５０ｃ，…に対して設けられた装置端末の図示は省略）が設けられている。尚、以下の説明では、装置５０ａと装置コントローラ４０ａとの間で行われるデータ通信を代表例に挙げて説明する。
【００１７】
ここで、上記のオンライン制御情報として設定される項目には、システム・パラメータ設定、システム・プロトコル設定、イベント・レポート設定、及びアラーム設定がある。システム・パラメータ設定とは、装置５０ａ内に設けられたオンライン制御ソフトの動作を制御するためのパラメータの設定であり、システム・プロトコル設定とは、装置５０ａと装置コントローラ４０ａとの間の通信インターフェイスを制御するための装置５０ａ内の通信パラメータの設定である。また、イベント・レポート設定とは装置５０ａにおいて生じた事象（イベント）を装置コントローラ４０ａに通知するイベント・レポートの有効・無効設定、及び有効と設定したイベント・レポートにおいて必要なデータを定める設定である。更に、アラーム設定とは、装置５０ａ内で生じたエラーに関する情報の装置コントローラ４０ａへの通知（アラーム報告）の有効・無効設定である。
【００１８】
装置端末６０は、本体部６１、キーボート６２、マウス６３、及びＣＲＴ（Cathode Ray Tube）又は液晶表示装置等の表示装置６４を備えている。オペレータがキーボート６２又はマウス６３を操作することで装置に対する各種の処理条件及びオンライン制御情報等を入力することができるとともに、装置５０ａの動作状況が表示装置６４に表示される構成となっている。また、装置端末６０が備える本体部６１の内部にはハードディスク等の記録装置が設けられており、装置コントローラ４０ａとの間で行われるデータ通信の内容（通信ログ：通信の設定内容に基づいて実行されたタイミングに関する情報）、通信エラーに関する情報（通信エラーログ）、及びオペレータの指示により設定されたオンライン制御情報の履歴（変更履歴情報）が記録装置に記録される構成となっている。尚、通信ログ及び通信エラーログは、装置５０ａに記録されたものを装置端末６０が収集することにより、記録装置に記録される。
【００１９】
また、装置端末６０の本体部６１には、装置端末６０に設けられた記録装置に記録された通信ログ、通信エラーログ、及びオンライン制御情報の履歴を、オペレータの操作に応じて表示装置６４に表示するプログラム、及び装置５０ａに記録される各種のログを収集する期間を制御するプログラムが設けられている。オペレータがキーボード６２又はマウス６３を操作して前者のプログラムを起動することにより表示装置６４にウィンドウが表示されて通信内容の解析・表示が可能な状態となり、後者のプログラムを起動することにより表示装置６４にウィンドウが表示されてログ収集期間の設定が可能な状態となる。尚、ウィンドウの表示方法は、表示装置６４の表示領域全体に表示してもよく、又は表示領域の一部に表示しても良い。
【００２０】
図２は、通信内容の解析を行う際に、装置端末６０の表示装置６４に表示されるウィンドウの表示内容を概説するための図である。図２に示す通り、装置端末６０の表示装置６４に表示されるウィンドウＷＤは、大別すると２つの表示領域に分けられる。１つの表示領域は装置コントローラ４０ａと装置端末６０との間で行われたデータ通信の内容（通信ログ）を表示する第１表示領域Ｒ１であり、他の表示領域はオペレータの操作により装置５０ａと装置コントローラ４０ａとの通信エラーに関する情報、イベント・レポート設定に関する情報、及びアラーム設定に関する情報の何れか１つを選択的に表示する第２表示領域Ｒ２である。図２に示す例では、第１表示領域Ｒ１がウィンドウＷＤの左部分に配置されるとともに第２表示領域Ｒ２が右部分に配置されているが、これらの表示領域の配置は任意で良い。
【００２１】
第２表示領域Ｒ２の表示内容の選択は、ウィンドウＷＤ内に第１表示領域Ｒ１及び第２表示領域Ｒ２とは異なる部分に配置される選択領域Ｃ１に表示されたラジオボタンＲＢ１〜ＲＢ３の何れか１つを択一的に選択することで行われる。図２に示す例では、語句“Error Log”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１を選択すると通信エラーに関する情報が表示され、語句“Event Report”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ２を選択するとイベント・レポート設定に関する情報が表示され、語句“Alarm”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ３を選択するとアラーム設定に関する情報が表示される。
【００２２】
第１表示領域Ｒ１の表示内容と、第２表示領域Ｒ２の表示内容とは各々無関係に表示される訳ではなく、各々の内容が関連付けられた形態で表示される。但し、各々無関係に表示することも可能であるのは言うまでもない。かかる形態で通信ログと、通信エラーに関する情報、イベント・レポート設定に関する情報、及びアラーム設定に関する情報の何れかの情報とを表示することにより、装置５０ａと装置コントローラ４０ａとの間のデータ通信の障害が生じた際に、短時間で容易に障害の原因究明を行うことが可能となる
【００２３】
また、第２表示領域Ｒ２は２つの部分表示領域に分割される。ラジオボタンＲＢ１が選択された場合には、通信エラー履歴を表示する部分表示領域Ｒ２１と、オペレータの操作により部分表示領域Ｒ２１の通信エラー履歴から一行が選択されたときのその通信エラーの詳細を表示する部分表示領域Ｒ２２とに分割される。また、ラジオボタンＲＢ２が選択された場合には、イベント・レポート設定履歴を表示する部分表示領域Ｒ２３と、オペレータの操作により部分表示領域Ｒ２３のイベント・レポート設定履歴から一行が選択されたときのそのイベント・レポート設定の詳細を表示する部分表示領域Ｒ２４とに分割される。
【００２４】
更に、ラジオボタンＲＢ３が選択された場合には、アラーム設定履歴を表示する部分表示領域Ｒ２５と、オペレータの操作により部分表示領域Ｒ２５のアラーム設定履歴から一行が選択されたときのそのアラーム報告の有効・無効を設定するためのアラームリストを表示する部分表示領域Ｒ２６とに分割される。第２表示領域Ｒ２を２つの部分表示領域に分割し、一方の部分表示領域に履歴を表示し、他方の部分領域に詳細な情報又はリストを表示することにより、必要とする情報を短時間で得ることができる。以下、表示装置６４に表示されるウィンドウＷＤの表示内容について詳細に説明する。
【００２５】
図３〜図５はウィンドウＷＤの表示画面を示す図であって、図３は通信ログと通信エラーに関する情報とを表示した表示画面であり、図４は通信ログとイベント・レポート設定に関する情報とを表示した表示画面であり、図５は通信ログとアラーム設定に関する情報とを表示した表示画面である。図３〜図５に示す通り、ウィンドウＷＤの左部部には通信ログを表示する第１表示領域Ｒ１が配置され、ウィンドウＷＤの右部分には第２表示領域Ｒ２が配置されている。また、ウィンドウＷＤ内であって、第２表示領域Ｒ２の上方にはラジオボタンＲＢ１〜ＲＢ３が設けられた選択領域Ｃ１が配置されている。
【００２６】
オペレータがキーボード６２又はマウス６３を操作して選択領域Ｃ１のラジオボタンＲＢ１を選択した場合には、図３に示す通り、第２表示領域Ｒ２には通信エラーに関する情情報（通信エラーログ）が表示され、ラジオボタンＲＢ２を選択した場合には、図４に示す通り、第２表示領域Ｒ２にはオンライン制御情報の一種であるイベント・レポート設定に関する情報が表示される。また、ラジオボタンＲＢ３を選択した場合には、図５に示す通り、オンライン制御情報の一種であるアラーム設定に関する情報が表示される。このように、本実施形態では、選択領域Ｃ１に設けられたラジオボタンＲＢ１〜ＲＢ３の何れかを選択することにより、ウィンドウＷＤの右部分に配置された第２表示領域Ｒの表示内容を切り換え可能になっている。
【００２７】
また、図３〜図５に示す通り、第１表示領域Ｒ１の上方には、第１表示領域Ｒ１の表示内容と第２表示領域Ｒ２の表示内容との時間的な同期を取るための時間設定部ＴＳが配置されている。この時間設定部ＴＳは、日時の設定方法を選択する選択領域Ｃ２、日時を入力する日時入力領域ＴＢ、及び同期表示を実行するボタンＢを含んで構成されている。選択領域Ｃ２には、語句“Input”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１１、語句“Present Time”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１２、語句“CommLog Point”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１３、及び語句“ErrLog Point”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１４が設けられている。この時間設定部ＴＳは、図３〜図５に示す表示画面の何れの表示画面でも表示されて使用される。
【００２８】
オペレータの操作により語句“Input”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１１が選択されると、日時入力領域ＴＢがアクティブ（入力可能状態）になり、オペレータがキーボード６２を操作して日時入力領域ＴＢに任意の日時を入力することが可能になる。通信ログが複数のファイルに記録されており、且つ通信ログ以外の関連する情報を呼び出したい場合に、オペレータがラジオボタンＲＢ１１を選択するとともに日時入力領域ＴＢに任意の日時を入力してボタンＢを押下すれば、入力した日時又はその日時に最も近い日時の情報（図３に示す例では、指定日時の通信ログ及び指定日時の通信エラーに関する情報）が自動的に検索され、検索された情報が時間的な同期が取られて第１表示領域Ｒ１及び第２表示領域Ｒ２にそれぞれ表示される。
【００２９】
オペレータの操作により語句“Present Time”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１２が選択されると、アクティブではない日時入力領域ＴＢに選択されたタイミングでの現在時刻が表示され、更にオペレータがボタンＢを押下すれば、その時刻の情報又はその時刻に最も近い日時の情報（図３に示す例では、その時刻の通信ログ及びその時刻の通信エラーに関する情報）が検索され、検索された情報が時間的な同期が取られて第１表示領域Ｒ１及び第２表示領域Ｒ２にそれぞれ表示される。
【００３０】
また、第１表示領域Ｒ１からオペレータの操作により表示内容の一部が選択された上で語句“CommLog Point”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１３が選択され、ボタンＢが押下されると、通信ログ内の選択された通信メッセージに関連した情報（図３に示す例では、選択された通信ログに関連する通信エラーに関する情報）が検索され、検索された情報が第１表示領域Ｒ１に表示されている内容と時間的な同期が取られて第２表示領域Ｒ２に表示される。
【００３１】
更に、第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１からオペレータの操作により表示内容の一部が選択された上で、語句“ErrLog Point”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１４が選択され、ボタンＢが押下されると、選択された情報（図３に示す例では、選択された通信エラー履歴）に関連した情報（図３に示す例では、その通信エラーが生じた時点の通信ログ）が検索され、検索された情報が第２表示領域Ｒ２に表示されている内容と時間的な同期が取られて第１表示領域Ｒ１に表示される。
【００３２】
次に、図３〜図５の表示画面に共通して表示される第１表示領域Ｒ１の表示内容の詳細について説明する。図６は、第１表示領域Ｒ１に表示される通信ログの一例を示す図である。通信ログは、装置コントローラ４０ａと装置５０ａとの間でやりとりされた複数の情報（メッセージ）を記録したものである。尚、図６に示す例では、４つのメッセージｍ１〜ｍ４を図示している。各メッセージは、装置コントローラ４０ａと装置５０ａとの間で通信が行われた日付及び時刻が記録された行から始まり、この行に続いて実際の通信内容が複数行に亘って記録されている。通信内容が記録された行数は一定ではないため、１つのメッセージは、通信が行われた日付及び時刻が記録された行から次の通信が行われた日付及び時刻が記録された行の直前の行までである。
【００３３】
図６に示す通信ログのうち、例えばメッセージｍ１については、最初の行を参照すると、２００３年１月２２日の１３時１分３１秒３３に装置コントローラ４０ａと装置５０ａとの間でやりとりされたものであることが専門的な知識を有しない者でも分かる。しかしながら、その行以降に記録されたメッセージの具体的な内容は専門的な知識を有するものでなければ容易に解読することは困難である。オペレータがマウス６３を操作してスクロールバーＳＬ１を上下させることにより、過去の任意の時点における通信ログを第１表示領域Ｒ１に表示させることができる。尚、時間設定部ＴＳを用いて設定された日時又はその日時に最も近い日時のメッセージは、他のメッセージとは異なる表示（例えば、赤色表示、ハイライト表示等）がなされる。図３に示す表示画面ではメッセージｍ３が、図４に示す表示画面ではメッセージｍ１２が、図５に示す表示画面ではメッセージｍ２３が他のメッセージとは異なる表示がなされている。
【００３４】
次に、第２表示領域Ｒ２の表示内容の詳細について説明する。図３に示す表示画面において、第２表示領域Ｒ２は、通信エラー履歴を表示する部分表示領域Ｒ２１と通信エラーの詳細を表示する部分表示領域Ｒ２２とからなる。尚、図３に示す例では部分表示領域Ｒ２１と部分表示領域との間に、時間設定部ＴＳを用いて設定された日時又はその日時に最も近い日時の通信エラー履歴の日時を表示する時間表示領域Ｄ１が設けられている。
【００３５】
通信エラー履歴は、エラーが生じた日付及び時刻、並びにエラーの種類を示す情報が１行にまとめられており、部分表示領域Ｒ２１に複数行に亘って表示される。オペレータがマウス６３を操作してスクロールバーＳＬ２を上下させることにより、過去の任意の時点における通信エラー履歴を部分表示領域Ｒ２１に表示させることができる。尚、時間設定部ＴＳを用いて設定された日時又はその日時に最も近い日時の通信エラー履歴は、他の通信エラー履歴とは異なる表示（赤色表示、ハイライト表示等）がなされる。図３に示す表示画面では通信エラー履歴Ｈ１が他の通信エラー履歴とは異なる表示がなされている。尚、図３においては、部分表示領域Ｒ２２に表示される通信エラーの詳細についての図示は省略している。
【００３６】
ウィンドウＷＤ内に通信ログと通信エラー履歴とを同時に表示するのは、装置５０ａで通信エラーが生じたか否かを容易にするためである。つまり、オペレータが第１表示領域Ｒ１に表示されている通信ログを確認している場合に、装置５０ａと装置コントローラ４０ａとの間でやりとりされるメッセージが想定外のものであると確認されたとき、第２表示領域Ｒ２に表示される通信エラーに関する情報を参照することで、容易にその確認を行うことができる。また、通信エラーが生じたときに、装置５０ａと装置コントローラ４０ａとの間でどのようなメッセージのやりとりが行われていたのかを容易に確認することができる。
【００３７】
次に、図４に示す表示画面において、第２表示領域Ｒ２は、イベント・レポート設定履歴を表示する部分表示領域Ｒ２３と、イベント・レポート設定の詳細を表示する部分表示領域Ｒ２４とからなる。また、部分表示領域Ｒ２３に付随して、オペレータによって選択されたイベント・レポート設定履歴の詳細を部分領域Ｒ２３に表示させるためのボタンＢ１が設けられている。イベント・レポート設定履歴は、設定された日付及び時刻、並びに設定者を示す情報が１行にまとめられており、部分表示領域Ｒ２３に複数行に亘って表示される。
【００３８】
オペレータがマウス６３を操作してスクロールバーＳＬ３を上下させることにより、過去の任意の時点におけるイベント・レポート設定履歴を部分表示領域Ｒ２３に表示させることができる。尚、時間設定部ＴＳを用いて設定された日時又はその日時に最も近い日時のイベント・レポート設定履歴は、他のイベント・レポート設定履歴とは異なる表示（赤色表示、ハイライト表示等）がなされる。図４に示す表示画面ではイベント・レポート設定履歴Ｈ２が他のイベント・レポート設定履歴とは異なる表示がなされている。部分表示領域Ｒ２４には、イベント・レポート設定の詳細がツリー形式で表示される。イベント・レポート設定の詳細が部分表示領域Ｒ２４に収まらない場合には、オペレータがマウス６３を操作してスクロールバーＳＬ４を上下させることにより、イベント・レポート設定の詳細のオペレータが所望する部分を部分表示領域Ｒ２４に表示させることができる。
【００３９】
ここで、イベント・レポート設定の詳細を表示する理由を説明する。装置５０ａにおいて生じた事象（イベント）を装置コントローラ４０ａに通知するイベント・レポートは、ＳＥＭＩ準拠のプロトコル（SECS-II）で規定されているＳ６，Ｆ１１メッセージを用いて行われる。図７は、イベント・レポートのデータ構造を示す図である。図７中の“ＣＥＩＤ”は装置５０ａから装置コントローラ４０ａに通知されるイベントを識別するための識別子（以下、通知イベントＩＤという）を示しており、“ＲＰＴＩＤ”はデータであるＶＩＤをある固まりでまとめたグループのＩＤ（以下、レポートＩＤという）であり、ＶＩＤはデータ毎に割り当てられるＩＤである。
【００４０】
図７に示す通り、データであるＶＩＤはレポートＩＤ（ＲＰＴＩＤ）によってある固まりにまとめられた上で通知イベントＩＤ（ＣＥＩＤ）に付加される。レポートＩＤ（ＲＰＴＩＤ）にデータであるＶＩＤを結びつける操作と、通知イベントＩＤ（ＣＥＩＤ）にレポートＩＤ（ＲＰＴＩＤ）を結びつける操作とをリンクといい、このリンクにより通知イベントＩＤ（ＣＥＩＤ）、レポートＩＤ（ＲＰＴＩＤ）、及びデータであるＶＩＤはツリー構造を有することになる。
【００４１】
図７に示すデータ構造に従って生成されるイベント・レポートのメッセージ構造を図８に示す。図８は、イベント・レポートのメッセージ構造の一例を示す図である。図８に示す例では、符号Ｐ１で指し示す箇所にデータＩＤが記されており、符号Ｐ２で指し示す箇所にイベントを識別するための通知イベントＩＤが記されている。また、符号Ｐ３，Ｐ４で指し示す箇所にレポートＩＤが記されている。また、符号Ｐ３で指し示す箇所に記されたレポートＩＤに対して符号Ｐ５を付した箇所のデータがリンクされており、符号Ｐ４で指し示す箇所に記されたレポートＩＤに対して符号Ｐ６を付した箇所のデータがリンクされているのが分かる。
【００４２】
図９は、図８のメッセージ構造に従って実際に生成されるイベント・レポートの一例を示す図である。このイベント・レポートは、通信ログとして第１表示領域Ｒ１に表示される（図４では、メッセージｍ１２として表示されている）。オペレータが図８に示すメッセージ構造を知っている場合には、図９に示すイベント・レポートを参照することにより、符号Ｐ１２で指し示す箇所に値が「１０００」である通知イベントＩＤが記されており、符号Ｐ１３，Ｐ１４で指し示す箇所に値が「１００１」、「２００１」であるレポートＩＤがそれぞれ記されていることを判別できる。更に、通知イベントＩＤの値を知っている場合には、その値からイベント・レポートの種類を認識することができる。
【００４３】
しかしながら、レポートＩＤにはある固まりでまとめられたデータがリンクされているため、通信ログとして第１表示領域Ｒ１に表示されたイベント・レポートを見ただけでは、符号Ｐ１３で指し示す箇所に記されたレポートＩＤに対してリンクされたデータ（符号Ｐ１５を付した箇所のデータ）、及び、符号Ｐ１４で指し示す箇所に記されたレポートＩＤに対してリンクされたデータ（符号Ｐ１６を付した箇所のデータ）が何のデータであるかを判別することはできない。そこで、オペレータがデータの種別を容易に判断できるように、部分表示領域Ｒ２４にイベント・レポート設定の詳細を表示している。部分表示領域Ｒ２４に表示される内容は、通知イベントＩＤ（ＣＥＩＤ）、レポートＩＤ（ＲＰＴＩＤ）、ＶＩＤ、通知イベントＩＤの有効・無効を示す情報、通知イベントＩＤについてのコメント、ＶＩＤについてのコメントである。
【００４４】
具体的には、図４の部分表示領域Ｒ２４を参照すると、符号Ｐ２３で指し示すレポートＩＤは値が「１００１」であり、このレポートＩＤには、ＶＩＤが「１００」の日時データ（clock）がリンクされていることが容易に分かる。また、符号Ｐ２４で指し示すレポートＩＤは値が「２００１」であり、このレポートＩＤには、ＶＩＤが「２００」の補正値Ｘ（Offset-X)とＶＩＤが「２０１」の補正値Ｙ（Offset-Y)とがリンクされていることが容易に分かる。このように、装置５０ａにおいて生じた事象（イベント）を装置コントローラ４０ａに通知するイベント・レポートの設定内容（イベント・レポート設定）の詳細と、その設定によって実際に行われたイベント・レポートの通信結果（通信ログ）とを同時にウィンドウＷＤに表示することで、イベント・レポートに含まれるデータの種別を容易に判別することができるようになる。
【００４５】
次に、図５に示す表示画面において、第２表示領域Ｒ２はアラーム設定履歴を表示する部分表示領域Ｒ２５と、アラーム報告の有効・無効を設定するためのアラームリストを表示する部分表示領域Ｒ２６とからなる。また、部分表示領域Ｒ２５に付随して、オペレータによって選択されたアラーム設定履歴の内容を部分領域Ｒ２６に表示させるためのボタンＢ２が設けられている。アラーム設定履歴は、アラーム報告が設定された日付及び時刻、並びに設定者を示す情報が１行にまとめられており、部分表示領域Ｒ２５に複数行に亘って表示される。
【００４６】
オペレータがマウス６３を操作してスクロールバーＳＬ４を上下させることにより、過去の任意の時点におけるアラーム設定履歴を部分表示領域Ｒ２５に表示させることができる。尚、時間設定部ＴＳを用いて設定された日時又はその日時に最も近い日時のアラーム設定履歴は、他のアラーム設定履歴とは異なる表示（赤色表示、ハイライト表示等）がなされる。図５に示す表示画面ではアラーム設定履歴Ｈ３が他のアラーム設定履歴とは異なる表示がなされている。
【００４７】
部分表示領域Ｒ２６には、オペレータによって選択されたアラーム設定履歴の設定内容が表示される。図５に示す例では、アラーム報告の種別毎に割り振られた識別子（ＡＬＩＤ）と、そのアラーム報告の名称とが表示されている。また、部分表示領域Ｒ２６に付随して、部分表示領域Ｒ２６に表示するアラーム設定の内容を選択するための選択領域Ｃ３が設けられている。この選択領域Ｃ３には、語句“All”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ２１、語句“Enable”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ２２、及び語句“Disable”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ２３が設けられており、オペレータがこれらラジオボタンＲＢ２１〜ＲＢ２３の何れか１つを択一的に選択することで部分表示領域Ｒ２６の表示内容を切り換えることができる。
【００４８】
語句“All”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ２１を選択すると、全ての種別のアラーム報告が部分表示領域Ｒ２６に表示され、語句“Enable”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ２２を選択すると設定が有効になっているアラーム報告が部分表示領域Ｒ２６に表示され、語句“Disable”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ２３を選択すると設定が無効になっているアラーム設定が部分表示領域Ｒ２６に表示される。
【００４９】
ウィンドウＷＤ内に通信ログとアラーム設定に関する情報とを同時に表示するのは、アラーム設定の内容確認を容易にするためである。例えば、本来であれば装置コントローラ４０ａに報告される筈であるのアラーム報告が装置５０ａから送信されていない場合等に、その時点で第２表示領域Ｒ２に表示されるアラーム設定の内容を確認すれば、その原因がオペレータの設定ミスによるものであるのが、他の原因によるものであるかを容易に確認することができる。
【００５０】
以上、通信ログと通信エラーログ又はオンライン制御情報の履歴とが表示されるウィンドウＷＤの表示画面について説明したが、これらの情報のうちの通信ログ及び通信エラーログを含めたログは装置５０ａに記録されており、装置端末６０が装置５０ａに記録されたログを収集し、収集したログをウィンドウＷＤに表示している。装置５０ａに記録されるログの収集期間は図１０に示すウィンドウＷＤ１を用いて設定することができる。図１０は、装置５０ａに記録されるログの収集期間を設定するウィンドウＷＤ１の表示画面を示す図である。図１０に示すウィンドウＷＤ１は、装置端末６０に設けられたログを収集する期間を制御するプログラムを起動することで表示装置６４に表示される。
【００５１】
図１０に示すウィンドウＷＤ１には、ログの収集を開始する日付を入力する入力ボックスＢＸ１と収集を終了する日付を入力する入力ボックスＢＸ２とが設けられている。また、装置５０ａは複数のユニットが協働して基板に対する露光処理等の処理を行っているが、各ユニットの動作結果を示すログがユニット毎に作成される。このため、ウィンドウＷＤ１には、収集したいログのカテゴリーを選択するチェックボックスＣＢが設けられている、図１０においては、５つのチェックボックスが設けられており、オペレータがこれらの中の１つ又は複数のチェックボックスにチェックマークをつけることにより収集されるログのカテゴリが選択される。
【００５２】
また、ウィンドウＷＤ１には、収集したログの保存先のフォルダを直接指定するフォルダ名入力欄ＦＢと、保存先のフォルダを選択させるためのボタンＢ３とが設けられている。フォルダ名入力欄ＦＢにはオペレータによるキーボード６２の操作内容に応じたフォルダ名が直接入力される。また、オペレータがマウス６３を操作してボタンＢ３を押下すると、保存先のフォルダの一覧が表示された子ウィンドウが表示され、オペレータがフォルダの一覧から１つのフォルダを選択すると選択されたフォルダ名がフォルダ名入力欄ＦＢに入力される。更に、ウィンドウＷＤ１には、ログ収集の実行を開始させるボタンＢ４と、ウィンドウＷＤ１を閉じてログを収集する期間を制御するプログラムを終了させるボタンＢ５が設けられている。
【００５３】
装置端末６０は装置５０ａに記録されたログを収集して記録装置に記録している。装置５０ａ内において、ログはファイル形式で複数記録されており、装置５０ａと装置コントローラ４０ａとの間で行われる通信に問題が生じた場合には、従来は何れのログを収集するかを考慮する必要があった。また、ログの収集を行う場合には装置５０ａを一旦停止させてログが記録されたファイルを一旦クローズしなければ収集できないものもある。このように、従来はログの収集に煩雑な作業が必要になっていたが、図１０に示すウィンドウＷＤ１を用いてログの収集期間及び収集するログのカテゴリを選択すれば、煩雑な作業をすることなく必要なログが装置端末６０に記録される。
【００５４】
次に、図３〜図５を参照して、通信エラーの解析手順について説明する。オペレータの操作により装置端末６０に設けられたプログラムが起動されると、ウィンドウＷＤが初期状態で表示される。ここで、初期状態にあるウィンドウＷＤでは、ラジオボタンＲＢ１が選択されており、第２表示領域Ｒ２には部分表示領域Ｒ２１，Ｒ２２が配置されているとする。尚、初期状態では第１表示領域Ｒ１及び第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１，Ｒ２２には通信ログ等の表示がなされていないものとする。尚、デフォルトとして最新の情報表示を行うよう構成しても良い。
【００５５】
初期状態のウィンドウＷＤが表示装置６４に表示されている状態において、オペレータがキーボード６２又はマウス６３を操作して時間設定部ＴＳの選択領域Ｃ２に設けられたラジオボタンＲＢ１１を選択すると日時入力領域ＴＢがアクティブになる。オペレータがキーボード６２を操作してアクティブになっている日時入力領域に所望の日時（例えば、２００４年１月２３日の１時２３分）を入力した上でマウス６３を操作してボタンＢを押下する。以上の操作がなされると、装置端末６０の記録装置に記録されている通信ログが読み出されてオペレータによって指定された日時の前後の通信ログの内容が第１表示領域Ｒ１に表示されるとともに、通信エラーログが読み出されてオペレータによって指定された日時の前後の通信エラー履歴が第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１に表示されて、ウィンドウＷＤの表示内容は図３に示す通りになる。
【００５６】
このとき、第１表示領域Ｒ１に表示される通信ログ（メッセージ）のうち、オペレータによって指定された日時又はその日時に最も近い日時のメッセージ（図３に示す例ではメッセージｍ３）のみが例えば赤色表示され、他のメッセージは黒色表示される。また、第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１に表示される通信エラー履歴のうち、オペレータによって指定された日時又はその日時に最も近い日時の通信エラー履歴（図３に示す例では通信エラー履歴Ｈ１）のみが例えば赤色表示され、他のメッセージは黒色表示されるとともに、赤色表示されている通信エラー履歴の日時が時間表示領域Ｄ１に表示される。このように、通信ログと通信エラー履歴とが同期して関連付けられた形態で表示される。図３に示す表示がなされている状態で、オペレータがマウス６３を操作して部分表示領域Ｒ２１に表示されている通信エラー履歴の何れかを選択すると、選択された通信エラー履歴の詳細が部分表示領域Ｒ２２に表示される。
【００５７】
次に、オペレータがマウス６３を操作して選択領域Ｃ１に設けられたラジオボタンＲＢ２を選択したとすると、装置端末６０の記録装置に記録されたオンライン制御情報が読み出され、ウィンドウＷＤの表示画面は図４に示す表示画面に切り替わる。つまり、第２表示領域Ｒ２に部分表示領域Ｒ２３，Ｒ２４が設けられた表示画面に切り替わる。第２部分表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２３には、記録装置から読み出されたオンライン制御情報の一種であるイベント・レポート設定の履歴であるイベント・レポート設定履歴のうち、オペレータによって指定された日時の前後のイベント・レポート設定履歴が表示される。
【００５８】
このとき、第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２３に表示されるイベント・レポート設定の履歴のうち、オペレータによって指定された日時において有効だったイベント・レポート設定履歴（図４に示す例ではイベント・レポート設定履歴Ｈ２）のみが例えば赤色表示され、他のメッセージは黒色表示される。このように、通信ログとイベント・レポート設定履歴とが同期して関連付けられた形態で表示される。図４に示す表示がなされている状態で、オペレータがマウス６３を操作して部分表示領域Ｒ２３に表示されているイベント・レポート設定履歴の何れかを選択した上でボタンＢ１を押下すると、選択されたイベント・レポート設定履歴の詳細が部分表示領域Ｒ２４に表示される。これにより、イベント・レポート設定の内容を参照しながら第１表示領域Ｒ１に表示された通信ログを解析することができる。
【００５９】
次に、オペレータがマウス６３を操作して選択領域Ｃ１に設けられたラジオボタンＲＢ３を選択したとすると、装置端末６０の記録装置に記録されたオンライン制御情報が読み出され、ウィンドウＷＤの表示画面は図５に示す表示画面に切り替わる。つまり、第２表示領域Ｒ２に部分表示領域Ｒ２５，Ｒ２６が設けられた表示画面に切り替わる。第２部分表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２５には、記録装置から読み出されたオンライン制御情報の一種であるアラーム設定の履歴であるアラーム設定履歴のうち、オペレータによって指定された日時の前後のアラーム設定履歴が表示される。
【００６０】
このとき、第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２５に表示されるアラーム設定履歴のうち、オペレータによって指定された日時で有効だったアラーム設定履歴（図５に示す例ではアラーム設定履歴Ｈ３）のみが例えば赤色表示され、他のメッセージは黒色表示される。このように、通信ログとアラーム設定履歴とが同期して関連付けられた形態で表示される。図５に示す表示がなされている状態で、オペレータがマウス６３を操作して部分表示領域Ｒ２５に表示されているアラーム設定履歴の何れかを選択した上でボタンＢ２を押下すると、アラーム設定の内容が表示される。
【００６１】
オペレータの操作によって選択領域Ｒ３に設けられたボタンＲＢ２１が選択されている場合には全ての種別のアラーム報告が表示され、ラジオボタンＲＢ２２が選択されている場合には設定が有効になっているアラーム報告が表示され、ラジオボタンＲＢ２３が選択されている場合には設定が無効になっているアラーム設定が表示される。これにより、アラーム設定の内容を参照しながら第１表示領域Ｒ１に表示された通信ログを解析することができる。
【００６２】
以上、時間設定部ＴＳの選択領域Ｃ２に設けられたラジオボタンＲＢ１１（語句“Input”に付随して設けられたラジオボタン）を選択し、所望の時間を設定する場合の操作について説明したが、オペレータが語句“Present Time”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１２を選択した場合には、日時入力領域ＴＢに選択されたタイミングでの現在時刻が表示される。尚、ここでは選択領域Ｃ１に設けられたラジオボタンＲＢ１が選択されているものとする。
【００６３】
この状態でオペレータがマスク６３を操作してボタンＢを押下すると、記録装置に記録されている収集済みの最新の通信ログのうち、その時刻又はその時刻に最も近い時刻のメッセージのみが例えば赤色表示され、他のメッセージは黒色表示される。また、第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１に表示される通信エラー履歴のうち、オペレータによって指定された日時又はその日時に最も近い日時の通信エラー履歴のみが例えば赤色表示され、他のメッセージは黒色表示されるとともに、赤色表示されている通信エラー履歴の日時が時間表示領域Ｄ１に表示される。このように、語句“Present Time”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１２を選択した場合にも、通信ログとアラーム設定履歴とが同期して関連付けられた形態で表示される。
【００６４】
また、オペレータがマウス６３を操作して選択領域Ｃ１に設けられたラジオボタンＲＢ２を選択したとすると、装置端末６０の記録装置に記録されたオンライン制御情報が読み出され、第２部分表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２３には、イベント・レポート設定履歴が通信ログと同期して関連付けられた形態で表示される。更に、オペレータがマウス６３を操作して選択領域Ｃ１に設けられたラジオボタンＲＢ３を選択したとすると、装置端末６０の記録装置に記録されたオンライン制御情報が読み出され、第２部分表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２５には、アラーム設定履歴が通信ログと同期して関連付けられた形態で表示される。
【００６５】
尚、第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１に通信エラー履歴が表示され、部分表示領域Ｒ２３にイベント・レポート設定履歴が表示され、部分表示領域Ｒ２５にアラーム履歴が表示された後の操作は、語句“Input”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１１を選択した場合と同様である。つまり、部分表示領域Ｒ２１，Ｒ２３，Ｒ２５に表示された履歴から何れか１つを選択することにより、各履歴の内容の詳細を部分表示領域Ｒ２２，Ｒ２４，Ｒ２６に表示させることができる。
【００６６】
次に、語句“CommLog Point”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１３を選択する場合の操作について説明する。第１表示領域Ｒ１に通信ログが表示されている状態でオペレータがマウス６３を操作して所望のメッセージを選択すると、選択されたメッセージが例えば赤色表示される。次にラジオボタンＲＢ１３を選択すると、選択されたメッセージの時刻がアクティブではない日時入力領域ＴＢに表示される。尚、ここでは選択領域Ｃ１に設けられたラジオボタンＲＢ１が選択されているものとする。
【００６７】
次いで、オペレータがマウス６３を操作してボタンＢを押下すると、装置端末６０の記録装置に記録された通信エラーログが読み出されて日時入力領域ＴＢに表示された時刻の前後の通信エラー履歴が第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１に表示される。このとき、第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１に表示される通信エラー履歴のうち、日時入力領域ＴＢに表示された時刻の通信エラー履歴のみが例えば赤色表示され、他のメッセージは黒色表示されるとともに、赤色表示されている通信エラー履歴の日時が時間表示領域Ｄ１に表示される。このように、第１表示領域Ｒ１に表示されている通信ログから所望のメッセージを選択し、選択したメッセージに関連する通信エラーログを通信ログに同期させて且つ関連付けた形態で表示させることができる。
【００６８】
オペレータがマウス６３を操作して選択領域Ｃ１に設けられたラジオボタンＲＢ２を選択した場合、及び選択領域Ｃ１に設けられたラジオボタンＲＢ３を選択した場合の何れの場合であっても、上記と同様の操作を行うことにより、オペレータの操作により選択された通信ログのメッセージに関連するイベント・レポート設定履歴、又はアラーム設定履歴を通信ログに同期させて且つ関連付けた形態で部分表示領域Ｒ２３，Ｒ２５の各々に表示させることができる。
【００６９】
尚、第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１に通信エラー履歴が表示され、部分表示領域Ｒ２３にイベント・レポート設定履歴が表示され、部分表示領域Ｒ２５にアラーム履歴が表示された後の操作は、ラジオボタンＲＢ１１，ＲＢ１２を選択した場合と同様である。つまり、部分表示領域Ｒ２１，Ｒ２３，Ｒ２５に表示された履歴から何れか１つを選択することにより、各履歴の内容の詳細を部分表示領域Ｒ２２，Ｒ２４，Ｒ２６に表示させることができる。
【００７０】
次に、語句“ErrLog Point”に付随して設けられたラジオボタンＲＢ１４を選択する場合の操作について説明する。第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１に通信エラー履歴が表示されている状態でオペレータがマウス６３を操作して所望の通信エラー履歴を選択すると、選択されたエラー履歴が例えば赤色表示される。次にラジオボタンＲＢ１４を選択すると、選択された通信エラー履歴の時刻がアクティブではない日時入力領域ＴＢに表示される。
【００７１】
次いで、オペレータがマウス６３を操作してボタンＢを押下すると、装置端末６０の記録装置に記録された通信エラーログが読み出されて日時入力領域ＴＢに表示された時刻の前後の通信ログ（メッセージ）が第１表示領域Ｒ１に表示される。このとき、第１表示領域Ｒ１に表示されるメッセージのうち、日時入力領域ＴＢに表示された時刻のメッセージのみが例えば赤色表示され、他のメッセージは黒色表示される。このように、第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２１に表示されている通信エラー履歴から所望の通信エラー履歴を選択し、選択した通信エラー履歴に関連する通信ログ（メッセージ）を通信エラー履歴に同期させて且つ関連付けた形態で表示させることができる。
【００７２】
以上、通信ログと通信エラーログ又はオンライン制御情報の履歴とを同期させて関連付けた形態でウィンドウＷＤに表示させる場合の操作方法について説明したが、本実施形態においては、通信ログとオンライン制御情報とが表示されている表示画面（図４又は図５に示す表示画面）において、過去の設定内容を再現することもできる。例えば、図４に示す表示画面が表示装置６４に表示されている状態、つまり第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２３にイベント・レポート設定履歴が表示されている状態で、過去のイベント・レポート設定を再現する場合には、オペレータがマウス６３を操作して部分表示領域Ｒ２３に表示されている何れかのイベント・レポート設定履歴を選択する。
【００７３】
仮に、選択したいイベント・レポート設定履歴が部分表示領域Ｒ２３に表示されていない場合には、スライドバーＳＬ３を上下させて目的とするイベント・レポート設定を部分表示領域Ｒ２３に表示させた上で選択する。尚、選択領域Ｃ２に設けられたラジオボタンＲＢ１１を用いて日時を指定し、又は第１表示領域Ｒ１に表示されている通信ログ中のメッセージを選択するとともにラジオボタンＲＢ１３を用いて目的とするイベント・レポート設定履歴を探して選択しても良い。オペレータが選択したイベント・レポート設定履歴に対して所定の操作（例えば、マウス６３に設けられたボタンのダブルクリック）を行うと、選択されたイベント・レポート設定履歴の設定内容が装置端末６０の記録装置から読み出され、その設定内容が装置コントローラ４０ａと装置５０ａとの双方で設定される。この設定が完了すると設定内容がアクティブになり、以後の通信は変更された設定内容に従って行われる。
【００７４】
また、図５に示す表示画面が表示装置６４に表示されている状態、つまり第２表示領域Ｒ２の部分表示領域Ｒ２５にアラーム設定履歴が表示されている状態で、過去のアラーム設定を再現する場合には、オペレータがマウス６３を操作して部分表示領域Ｒ２５に表示されている何れかのアラーム設定履歴を選択する。選択したいアラーム設定履歴が表示されていない場合には、スライドバーＳＬ４を上下させて目的とするアラーム設定を部分表示領域Ｒ２３に表示させた上で選択する。このときも、選択領域Ｃ２に設けられたラジオボタンＲＢ１１を用いて日時を指定し、又は第１表示領域Ｒ１に表示されている通信ログ中のメッセージを選択するとともにラジオボタンＲＢ１３を用いて目的とするアラーム設定履歴を探して選択しても良い。
【００７５】
オペレータが選択したアラーム設定履歴に対して所定の操作（例えば、マウス６３に設けられたボタンのダブルクリック）を行うと、選択されたアラーム設定履歴の設定内容が装置端末６０の記録装置から読み出され、その設定内容が装置コントローラ４０ａと装置５０ａとの双方で設定される。この設定が完了すると設定内容がアクティブになり、以後の通信は変更された設定内容に従って行われる。
【００７６】
装置コントローラ４０ａと装置５０ａとの間で行われる通信の問題が発生する原因を究明する場合において、その問題の発生が再現するか否かを確認する必要性が生ずることがある。本実施形態においては、装置端末６０の記録装置にオンライン制御情報の履歴を記録しているため、過去の設定内容を再現させることができる。この結果として、問題の原因究明に要する時間の短縮を図ることができるとともに、原因究明に要する手間を省くことができる。また、装置５０ａが動作している間に通信の問題が生じた場合には、以前の設定に戻すこともできる。
【００７７】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に制限されず、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態においては、装置５０ａ〜５０ｃ，…の各々に装置端末６０が設けられた構成を例に挙げて説明したが、複数の装置に対して１つの装置端末６０を設けた構成であってもよい。かかる構成の場合には、装置５０ａ〜５０ｃ，…と、対応して設けられた装置コントローラ６０ａ〜６０ｃ，…との間の通信ログと通信エラーログ又はオンライン制御情報の履歴等を個別のウィンドウに表示させても良く、又は１つのウィンドウに切り換えて表示させても良い。
【００７８】
また、上記実施形態においては、オンライン制御情報の一種であるイベント・レポート設定に関する情報又はアラーム設定に関する情報を通信ログとともにウィンドウＷＤに表示させ、これらの履歴に基づいて設定内容を変更する場合を例に挙げて説明した。しかしながら、通信ログと同時に表示させる情報はこれらの情報に限られる訳ではなく、システム・パラメータ設定又はシステム・プロトコル設定に関する情報等の他のオンライン制御情報であっても良い。これらの情報を表示させた場合にも、その設定履歴に基づいて通信に係る設定内容を変更させることができる。
【００７９】
また、上記実施形態において装置５０ａ〜５０ｃ，…に設けられる露光装置は、国際公開第９９／４９５０４号公報に開示されているような液浸法を用いる露光装置であってもよく、液浸法を用いない露光装置であってもよい。液浸法を用いる露光装置は、投影光学系ＰＬとウェハＷとの間を局所的に液体で満たす液浸露光装置、特開平６−１２４８７３号公報に開示されているような露光対象の基板を保持したステージを液槽の中で移動させる液浸露光装置、特開平１０−３０３１１４号公報に開示されているようなステージ上に所定深さの液体槽を形成し、その中に基板を保持する液浸露光装置の何れの露光装置であっても良い。
【００８０】
また、上記の露光装置は、半導体素子の製造に用いられてデバイスパターンを半導体ウェハ上へ転写する露光装置、液晶表示素子（ＬＣＤ）等を含むディスプレイの製造に用いられてデバイスパターンをガラスプレート上へ転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられてデバイスパターンをセラミックウェハ上へ転写する露光装置、及びＣＣＤ等の撮像素子の製造に用いられる露光装置等の何れであっても良い。更には、光露光装置、ＥＵＶ露光装置、Ｘ線露光装置、及び電子線露光装置等で使用されるレチクル又はマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウェハ等に回路パターンを転写する露光装置であっても良い。
【００８１】
次に、マイクロデバイスの製造方法について説明する。図１１は、マイクロデバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造工程の一例を示すフローチャートである。図１１に示すように、まず、ステップＳ１０（設計ステップ）において、マイクロデバイスの機能・性能設計（例えば、半導体デバイスの回路設計等）を行い、その機能を実現するためのパターン設計を行う。引き続き、ステップＳ１１（マスク製作ステップ）において、設計した回路パターンを形成したマスク（レチクル）を製作する。一方、ステップＳ１２（ウェハ製造ステップ）において、シリコン等の材料を用いてウェハを製造する。
【００８２】
次に、ステップＳ１３（ウェハ処理ステップ）において、ステップＳ１０〜ステップＳ１２で用意したマスクとウェハを使用して、後述するように、リソグラフィ技術等によってウェハ上に実際の回路等を形成する。次いで、ステップＳ１４（デバイス組立ステップ）において、ステップＳ１３で処理されたウェハを用いてデバイス組立を行う。このステップＳ１４には、ダイシング工程、ボンティング工程、及びパッケージング工程（チップ封入）等の工程が必要に応じて含まれる。最後に、ステップＳ１５（検査ステップ）において、ステップＳ１４で作製されたマイクロデバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経た後にマイクロデバイスが完成し、これが出荷される。
【００８３】
図１２は、半導体デバイスの場合における、図１１のステップＳ１３の詳細なフローの一例を示す図である。図１２において、ステップＳ２１（酸化ステップ）においてはウェハの表面を酸化させる。ステップＳ２２（ＣＶＤステップ）においてはウェハ表面に絶縁膜を形成する。ステップＳ２３（電極形成ステップ）においてはウェハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップＳ２４（イオン打込みステップ）においてはウェハにイオンを打ち込む。以上のステップＳ２１〜ステップＳ２４のそれぞれは、ウェハ処理の各段階の前処理工程を構成しており、各段階において必要な処理に応じて選択されて実行される。
【００８４】
ウェハプロセスの各段階において、上述の前処理工程が終了すると、以下のようにして後処理工程が実行される。この後処理工程では、まず、ステップＳ２５（レジスト形成ステップ）において、ウェハに感光剤を塗布する。引き続き、ステップＳ２６（露光ステップ）において、上で説明したリソグラフィシステム（露光装置）及び露光方法によってマスクの回路パターンをウェハに転写する。次に、ステップＳ２７（現像ステップ）においては露光されたウェハを現像し、ステップＳ２８（エッチングステップ）において、レジストが残存している部分以外の部分の露出部材をエッチングにより取り去る。そして、ステップＳ２９（レジスト除去ステップ）において、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらの前処理工程と後処理工程とを繰り返し行うことによって、ウェハ上に多重に回路パターンが形成される。
【００８５】
各種デバイスは、デバイス製造工場の複数のラインに設けられた各種装置（基板処理装置、露光装置、その他の装置）がウェハに対して上記のデバイス製造方法に示す処理を順に施すことにより製造される。ここで、デバイス製造工場の各ラインに設けられた装置の動作はその装置に対応して設けられた装置コントローラにより制御される。各装置の動作結果を示す情報及び装置コントローラとの間の通信内容はログとして装置内に記憶される。
【００８６】
各種装置に設けられた装置端末は、装置と装置コントローラとの間で行われる通信の設定内容の履歴（オンライン制御情報の履歴）を記録し、また装置に記憶されているログを収集して通信ログ又は通信エラーログとして記録する。装置端末に設けられたプログラムは、オペレータの操作内容に応じて装置端末に記録された通信ログ、通信エラーログ、又は通信の設定内容の履歴を読み出し、通信ログと通信エラーログ又はオンライン制御情報の履歴とをウィンドウ内に同期させ、且つ関連付けた形態で表示する。また、オペレータの操作内容に応じて通信の設定内容の履歴を選択し、装置と装置コントローラとの間の通信の設定内容を変更する。通信の設定内容が変更されると、変更後の設定内容に従って装置と装置コントローラとの間の通信が行われる。本実施形態では、以上説明した装置と装置コントローラとの間における通信ログと通信エラーログ又は通信の設定内容との表示、又は通信の設定内容の変更が実行されてデバイスが製造される。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明の一実施形態によるデバイス製造システムの全体構成を示すブロック図である。
【図２】通信内容の解析を行う際に、装置端末６０の表示装置６４に表示されるウィンドウの表示内容を概説するための図である。
【図３】通信ログと通信エラーに関する情報とを表示した表示画面である。
【図４】通信ログとイベント・レポート設定に関する情報とを表示した表示画面である。
【図５】通信ログとアラーム設定に関する情報とを表示した表示画面である。
【図６】第１表示領域Ｒ１に表示される通信ログの一例を示す図である。
【図７】イベント・レポートのデータ構造を示す図である。
【図８】イベント・レポートのメッセージ構造の一例を示す図である。
【図９】図８のメッセージ構造に従って実際に生成されるイベント・レポートの一例を示す図である。
【図１０】装置５０ａに記録されるログの収集期間を設定するウィンドウＷＤ１の表示画面を示す図である。
【図１１】マイクロデバイスの製造工程の一例を示すフローチャートである。
【図１２】半導体デバイスの場合における、図１１のステップＳ１３の詳細なフローの一例を示す図である。
【符号の説明】
【００８８】
４０ａ〜４０ｃ，…    装置コントローラ（制御装置、デバイス製造装置）
５０ａ〜５０ｃ，…    装置、デバイス製造装置
６０                  装置端末
６４                  表示装置（表示画面）
【図１】
2006129148.tif 000003
【図２】
2006129148.tif 000004
【図３】
2006129148.tif 000005
【図４】
2006129148.tif 000006
【図５】
2006129148.tif 000007
【図６】
2006129148.tif 000008
【図７】
2006129148.tif 000009
【図８】
2006129148.tif 000010
【図９】
2006129148.tif 000011
【図１０】
2006129148.tif 000012
【図１１】
2006129148.tif 000013
【図１２】
2006129148.tif 000014