(57)【要約】【課題】迅速にかつ簡単にスクリーン印刷を行う。【解決手段】スキージ４５がスキージホルダ４９に固定された後、コントローラは、印刷ヘッド４１をスキージ取付調整部４６まで移動させ、接触部６７を、スキージ４５の両端部の直下に配置されるようにする。ねじ駆動部５５によって、スキージ４５を徐々に下降させ、スキージ４５の先端４５ａが、両接触部６７，６７の基準面６７ａ，６７ａに同時に接触して、両圧力センサからの出力信号を受けた場合に、スキージ４５の先端４５ａと印刷ステージ３９の載置面３９ａとが、平行状態となったものと判断する。【選択図】図８
2006341409.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンが印刷される被印刷物を載置する載置台と、前記所定のパターンを持つスクリーン版と、前記スクリーン版を介して前記被印刷物に印刷用ペーストを塗布するためのスキージとを備えてなるスクリーン印刷装置であって、
前記スキージの前記スクリーン版に接触する接触部位が、前記載置台の載置面に対して略平行となるように平行度調整を行うための平行度調整機構を備え、
前記平行度調整機構は、前記載置面からの高さが略等しい複数の基準位置への前記接触部位の変位を検出することによって、前記接触部位が、前記載置面に対して、略平行であるか否かを検出する平行度検出手段を有し、
前記スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能な構成となされていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記平行度調整機構は、その上部に前記載置面に平行な基準面が形成された基準部材を有し、平行度検出を行う場合に、前記スキージを前記基準部材へ向けて降下させたときに、前記接触部位が前記基準面に接触可能なように、前記基準部材が配置されていることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記基準部材は、前記スクリーン版の設置領域の側方の外側領域に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記スクリーン版は、前記基準部材と前記載置台との間に設置されていることを特徴とする請求項１又は２記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
印刷を行う際には、前記基準部材を、前記スクリーン版の印刷領域の外側領域に退避させる基準部材移動手段を備えたことを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
前記平行度調整機構は、前記接触部位が前記基準面に接触する複数の前記基準部材を有し、前記平行度検出手段は、前記基準面に対する前記スキージの前記接触部位の接触状態／非接触状態を検出するための複数の接触検出手段を有することを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項７】
前記接触検出手段は、前記基準部材に埋め込まれた圧力センサを有していることを特徴とする請求項６記載のスクリーン印刷装置。
【請求項８】
前記スキージを支持するスキージ支持体と、前記スキージを前記スキージ支持体によって支持された状態で変位させるスキージ変位手段と、前記接触検出手段から出力された検出信号に基づいて、前記スキージの前記接触部位の前記載置面に対する平行度を判定する平行度判定手段とを備えてなることを特徴とする請求項６又は７記載のスクリーン印刷装置。
【請求項９】
平行度調整を行う際に、前記スキージ変位手段が、前記基準部材の前記基準面の上方から、前記接触部位を前記基準面へ向けて前記スキージを降下させ、前記接触部位が、複数の前記基準部材の前記基準面に略同時に接触し、複数の前記接触検出手段から略同時に前記検出信号が出力されると、前記平行度判定手段は、前記検出信号に基づいて、前記スキージの前記接触部位の前記載置面に対する平行度を判定することを特徴とする請求項８記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１０】
前記スキージの前記接触部位は、線状又は平面状に成形されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１１】
所定のパターンが印刷される被印刷物を載置台に載置し、前記所定のパターンを持つスクリーン版を介して、前記被印刷物に、スキージによって印刷用ペーストを塗布するスクリーン印刷方法であって、
平行度調整機構によって、前記スキージの前記スクリーン版に接触する接触部位が、前記載置台の載置面に対して略平行となるように平行度調整を行う平行度調整工程を含み、
前記平行度調整工程は、平行度検出手段によって、前記載置面からの高さが略等しい複数の基準位置への前記接触部位の変位を検出することによって、前記接触部位が、前記載置面に対して、略平行であるか否かを検出する平行度検出工程を含み、
前記スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能なようになされていることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項１２】
前記平行度調整機構は、その上部に前記載置面に平行な基準面が形成された基準部材を有し、平行度検出を行う場合に、前記基準部材は、前記スキージを前記基準部材へ向けて降下させたときに、前記接触部位が前記基準面に接触可能なように、配置されることを特徴とする請求項１１記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１３】
前記基準部材は、前記スクリーン版の設置領域の側方の外側領域に配置されることを特徴とする請求項１１又は１２記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１４】
前記スクリーン版は、前記基準部材と前記載置台との間に設置されることを特徴とする請求項１１又は１２記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１５】
印刷を行う際に、基準部材移動手段によって、前記基準部材を、前記スクリーン版の印刷領域の外側領域に退避させることを特徴とする請求項１４記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１６】
前記平行度調整機構は、前記接触部位が前記基準面に接触する複数の前記基準部材を有し、前記平行度検出手段は、前記基準面に対する前記スキージの前記接触部位の接触状態／非接触状態を検出するための複数の接触検出手段を有することを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか１に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１７】
前記接触検出手段は、前記基準部材に埋め込まれた圧力センサを有していることを特徴とする請求項１６記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１８】
前記スキージをスキージ支持体によって支持し、前記スキージを前記スキージ支持体によって支持された状態でスキージ変位手段によって変位させ、平行度判定手段によって、前記接触検出手段から出力された検出信号に基づいて、前記スキージの前記接触部位の前記載置面に対する平行度を判定することを特徴とする請求項１６又は１７記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１９】
平行度調整を行う際に、前記スキージ変位手段が、前記基準部材の前記基準面の上方から、前記接触部位を前記基準面へ向けて前記スキージを降下させ、前記接触部位が、複数の前記基準部材の前記基準面に略同時に接触し、複数の前記接触検出手段から略同時に前記検出信号が出力されると、前記平行度判定手段は、前記検出信号に基づいて、前記スキージの前記接触部位の前記載置面に対する平行度を判定することを特徴とする請求項１８記載のスクリーン印刷方法。
【請求項２０】
前記スキージの前記接触部位は、線状又は平面状に成形されていることを特徴とする請求項１１乃至１９のいずれか１に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項２１】
共に誘電体層及び電極層が形成された第１の基板及び第２の基板を封止層を介して互いに対向するように配置し、接合するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
所定の前記誘電体層又は／及び前記電極層を請求項１１乃至２０のいずれか１に記載の方法を用いて、前記被印刷物としての前記第１の基板又は／及び前記第２の基板に形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２２】
プラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、前記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに前記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、画像信号のフォーマット変換を行い、前記モジュールに送信するインタフェースを前記モジュールに電気的に接続する第３の工程とを含むプラズマ表示装置の製造方法であって、
前記第１の工程では、請求項２１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法が実施されることを特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、スクリーン印刷装置、スクリーン印刷方法及びプラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマ表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）ともいう）を主要部として含むプラズマ表示装置は、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）ディスプレイや液晶表示装置等に比べて、ちらつきがなく、表示コントラスト比が大きく、薄型大画面化が可能であり、応答速度が速い等の利点を有し、近年、情報処理機器のディスプレイとして利用されている。
このプラズマ表示装置は、放電により発生した紫外線を蛍光体に照射することによって可視光を取り出して表示を行うディスプレイであり、動作方式により、電極が誘電体で被覆されて間接的に交流放電の状態で動作させるＡＣ型のものと、電極が放電空間に露出されて直流放電の状態で動作させるＤＣ型のものとに略大別され、特にＡＣ型のものは、比較的簡単な構造で上述したような大画面化が容易に実現できるので、広く用いられている。
このようなＡＣ型のプラズマ表示装置の主要部を構成するプラズマディスプレイパネルは、ガラス等の透明材料からなる前面基板と背面基板とが対向するように配置されて、両基板間にプラズマを発生させる放電ガス空間が形成されて概略構成されている。
【０００３】
また、ＡＣ型のプラズマ表示装置のなかで、プラズマディスプレイパネルにおいて、放電セル（以下、セルともいう）を形成する上述したような一対の基板のうちの一方の基板である前面基板の内面に、水平方向に沿って平行に走査電極と維持電極（共通電極）とからなる行電極を配置すると共に、他方の基板である背面基板の内面に、上記行電極と直交するように垂直方向に沿ってデータ電極（アドレス電極）からなる列電極を配置した３電極面放電型の構成のものは、前面基板において行われる面放電時に発生する高エネルギのイオンによる影響を抑えることができるので、長寿命化が図れるため、最も広く採用されている。
【０００４】
この３電極面放電型のＡＣ型のプラズマ表示装置は、背面基板のデータ電極と前面基板の走査電極との間で表示（発光）すべき放電セルを選択する書込放電を行い、次に、前面基板の走査電極と維持電極との間で選択したセルの面放電による維持放電（表示放電）を行うように構成されている。
また、このようなプラズマディスプレイパネルにおいては、背面基板の内面に赤色、緑色、及び青色の各蛍光体層を配置するとともに、前面基板の内面の上記各蛍光体層にそれぞれ対向する位置に赤色、緑色、及び青色の各カラーフィルタ層を配置するように構成されている。セル内の放電によって発生する紫外線により、これらの各色の蛍光体が発光して、多色発光が可能となる。
上記プラズマ表示装置の主要部を構成するプラズマディスプレイパネル１は、図１に示すように、前面基板２と、背面基板３とが互いに対向するように配置され、前面基板２と背面基板３との間に放電ガス空間４が形成されて概略構成されている。
【０００５】
前面基板２は、ガラス等の透明材料からなる前面ガラス基板５と、前面ガラス基板５の内面に行方向に沿って互いに平行に形成された酸化錫やＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明電極６ａ，７ａ及び透明電極６ａ，７ａの一部に積層されそれぞれ抵抗値を小さくするためのＡｌ，Ｃｕ、Ａｇ等からなるバス電極６ｂ，７ｂを有する走査電極６及び維持電極７と、走査電極６及び維持電極７を被覆するＰｂＯ（酸化鉛）のような低融点ガラス等からなる透明誘電体層８と、動作中に発生する放電から透明誘電体層８を保護するために、二次電子放出係数が大きく、耐スパッタ性に優れたＭｇＯ（酸化マグネシウム）等からなる保護膜９とを備えてなっている。
【０００６】
また、背面基板３は、ガラス等の透明材料からなる背面ガラス基板１１と、背面ガラス基板１１の内面に列方向に沿って互いに平行に形成されたＡｌ，Ｃｕ、Ａｇ等からなるアドレス電極１２と、アドレス電極１２を被覆する白色誘電体層１３と、Ｈｅ（ヘリウム）、Ｎｅ（ネオン）、Ｘｅ（キセノン）等の放電用ガスが単独で又は混合されて充填され上記放電ガス空間４を確保するとともに個々の放電セルを区切るために垂直方向に沿って形成された低融点ガラス等からなる隔壁１４と、隔壁１４によって画成される放電セルの底部や側部に配置され放電用ガスの放電により発生する紫外線を可視光に変換する赤色、緑色、及び青色の各蛍光体層に塗り分けられた蛍光体層１５とを備えてなっている。
ここで、蛍光体材料のうち、赤色蛍光体としては、（Y，Gｄ）BO：Eu、（Y，Gｄ）BO３：Eu、緑色蛍光体としては、Zn２SiO４：Mn、青色蛍光体としては、BaMgAl１０O１７：Euが用いられる。
【０００７】
プラズマディスプレイパネル１は、前面基板２と背面基板３とを、１００μｍ程度のギャップを隔てて互いに対向した状態で、電極対の延長方向（行方向）とアドレス電極１２の延長方向（列方向）とが互いに直交するように、かつ、両基板間に放電ガス空間４が形成されるように、貼り合わせて配置し、その周縁部を、封止剤としての例えば、低融点ガラスからなるフリットガラスをによって気密封着して製造される。
すなわち、背面基板３の周縁部に、フリットガラスを塗布した後、前面基板２と背面基板３とを貼り合わせた状態で、低融点ガラスが軟化する３００℃〜５００℃の温度で加熱する焼成処理を施し、フリットガラスを溶かして、前面基板２と背面基板３とを接合して封着しパネル状とする。ここで、隔壁１４によって放電セルが画成されている。
【０００８】
前面ガラス基板５上に、透明誘電体層８やバス電極６ｂ，７ｂを形成する場合、及び背面ガラス基板１１上に、隔壁１４や、白色誘電体層１３、蛍光体層１５、アドレス電極１２を形成する場合には、例えば、スクリーン印刷法が用いられる。
スクリーン印刷法では、図２に示すようなスクリーン印刷装置１７を用いて、誘電体層や電極層を形成する。
このスクリーン印刷装置１７は、図２乃至図５に示すように、前面ガラス基板５や背面ガラス基板１１等の被印刷物としてのガラス基板Ｓを水平な状態で支持する印刷ステージ１８と、ガラス基板Ｓに絶縁性ペーストや導電性ペースト等の印刷用ペーストＰを塗布するための印刷ヘッド１９と、印刷ヘッド１９を水平面に沿って変位させるためのヘッド移動部８（不図示）と、ガラス基板Ｓと印刷ヘッド１９との間に配置され、所定のパターンで開口部２１ａが形成されたスクリーン２１と、印刷ヘッドを構成するスキージ２２を取り付ける際の平行調整等を行うためのスキージ取付調整部２９と、構成各部を制御するためのコントローラ（不図示）とを備えてなっている。
【０００９】
印刷ステージ１８は、水平な載置面１８ａにガラス基板Ｓを載置した状態で、吸着によってガラス基板Ｓを固定する。また、印刷ステージ１８には、コンベア部が埋め込まれ、被印刷物の搬入及び搬出が自動的なされるように構成されている。
印刷ヘッド１９は、平板状のスキージ２２と、スキージ２２を保持するスキージホルダ２３と、スキージ２２を保持したスキージホルダ２３を鉛直方向に沿って変位させるストローク部２４と、印刷ペーストＰを印刷開始位置まで掻き戻すスクレーパ２５と、ストローク部２４及びスクレーパ２５が搭載されたキャリア２６とを有している。
【００１０】
スキージ２２は、硬質ウレタンや、合成樹脂等からなっている。スキージ２２は、スキージホルダ２３に固定した後、スキージホルダ２３に対して平行な状態になるように、その先端が研磨機によって研磨される。
ストローク部２４は、鉛直方向に沿った駆動を行うためのシリンダ駆動部２７と、傾き補正を行うためのねじ駆動部２８とを有している。また、シリンダ駆動部２７は、エアシリンダを有している。また、ねじ駆動部２８は、ステッピングモータとボールねじとを有している。
ヘッド移動部は、印刷ヘッド１９を案内部３１，３１の案内によって、水平面に沿って変位させるエアシリンダを有している。
【００１１】
スキージ取付調整部２９は、スキージ交換時等にスキージ２２をスキージホルダ２３に取り付ける際のスキージ２２の先端２２ａの印刷ステージ１８の載置面１８ａに対する平行調整や、スキージのスクリーン２１に対する押込量（荷重）調整、スキージ２２及びスキージホルダ２３の自重を考慮したストローク部２４の背圧調整（自重キャンセル）を行うために用いられる。
スキージ取付調整部２９は、スキージ２２の先端２２ａが接触する水平な基準面３２ａを有する接触部３２が、支柱部３３，３３に支持された梁状部３４に取り付けられ、例えば、接触部３２に圧力センサが埋め込まれて概略構成されている。梁状部３４に取り付けられた接触部３２は一対設けられている。
【００１２】
次に、図２乃至図５を参照して、このスクリーン印刷装置１７を用いた成膜方法について説明する。
図２に示すように、ガラス基板Ｓを印刷ステージ１８上に吸着固定し、ガラス基板Ｓ上にスクリーン２１を配置し、スキージ２２を、図２中矢印Ｘの向きに並行移動させる。
これによって、図２及び図３に示すように、スキージ２２の先端２２ａで、印刷用ペーストＰとしてのガラスペーストをスクリーン２１の開口部２１ａを介してガラス基板Ｓ上に塗布する。
【００１３】
ここで、図３に示すように、スクリーン２１の開口部２１ａにおいては、塗布されるガラスペースト層の厚さは、スキージ２２によって圧縮されたスクリーン２１の厚さに対応している。すなわち、膜厚は、印刷中のスキージ２２の先端２２ａと、スクリーン２１の開口部２１ａの縁部と、ガラス基板Ｓの表面とで囲まれた領域の容積Ｑで決定されることとなる。
したがって、この容積Ｑは、スキージ２２の先端２２ａがスクリーン２１を押し付ける力が変化すると、スクリーン２１の開口部２１ａへのスキージ２２の先端２２ａの食込量、及び押し付けられてスクリーン２１が圧縮されることによるスクリーン２１の厚さの減少によって変化する。
【００１４】
スキージ２２が、印刷開始位置から印刷終了位置まで矢印Ｘの向きに並行移動した後、スクレーパ２５が印刷用ペーストＰを印刷開始位置まで矢印Ｘと逆向きに掻き戻し、再びスキージ２２による印刷用ペーストＰが開始され、所定回数繰り返される。こうして、ガラス基板Ｓ上に所定のパターンのガラスペースト層が形成される。
スキージ２２は、使用によりその先端２２ａが磨耗して丸くなり、磨耗が進むと、上述した容積Ｑに影響を及ぼし、塗布されたガラスペースト層の膜厚が変動するため、印刷中であってもスキージ２２を交換しなければならない場合がある。
【００１５】
スキージ２２を交換する場合には、スキージ２２をスキージホルダ２３に取り付けるときに、印刷に先だって、ガラスペースト層の厚さ（膜厚）を一定の厚さで安定させるために、平行調整、押込量調整及び背圧調整を行う。
まず、スキージ２２をスキージホルダ２３に固定する。スキージ２２は、スキージホルダ２３に固定した後、例えば、その先端がスキージホルダ２３の先端に対して平行な状態になるように、その先端が研磨機によって研磨される。
スキージ２２が印刷ヘッド１９に搭載された状態では、一般には、スキージ２２の先端２２ａと印刷ステージ１８の載置面１８ａとは、平行状態とはなっていない。スキージ２２の両端側で、スクリーン２１への荷重を均等にするために平行調整を行う。
【００１６】
各梁状部３４に取り付けられた接触部３２との干渉を避けるために、スクリーン２１を取り外した後、印刷ステージ１８の両側（スキージ２２の幅方向に沿った両側）に退避されていた各梁状部３４に取り付けられた接触部３２を、タイミングベルトを有する移動機構（不図示）によって、スキージ２２直下の両端部に移動させる。
次に、ねじ駆動部２８によって、スキージ２２をねじ駆動部２８による移動範囲のうち最上端に移動させる。次に、シリンダ駆動部２７によって、スキージ２２をシリンダ駆動部２７による移動範囲のうち最下端に移動させる 。
【００１７】
次に、ねじ駆動部２８によって、スキージ２２を徐々に下降させ、スキージ２２の先端２２ａが、いずれか一方の接触部３２の基準面３２ａに接触すると、圧力センサからの出力信号により、コントローラがねじ駆動部２８を停止させる。
スキージ２２の先端２２ａが、両接触部３２，３２の基準面３２ａ，３２ａに同時に接触して、両圧力センサからの出力信号を受けた場合に、コントローラは、スキージ２２の先端２２ａと印刷ステージ１８の載置面１８ａとが、平行状態とはなったものと判断する。
【００１８】
なお、両圧力センサによる接触の検知位置が、印刷ステージ１８の載置面１８ａと一致するように調整がなされる。
平行調整を行うことによって、スキージ２２の先端２２ａのスクリーン２１への荷重が均一となり、スクリーン２１の圧縮量が均一となり、スクリーン２１の開口部２１ａからガラス基板Ｓに供給される印刷用ペーストＰの膜厚が均一となる。
【００１９】
次に、押込量調整を行う。
設定したい押込量と、印刷の際に設定するスクリーン２１と印刷ステージ１８の載置面１８ａとのギャップ（クリアランス量）に応じた補正値を、ねじ駆動部２８を駆動させて補正する。
この押込量調整によって、使用回数で異なるスキージ２２のべろ長に合わせて、印刷ステージ１８の載置面１８ａに対してスキージ２２の先端２２ａが十分に押し込まれた状態となるように押込量が調整される。
【００２０】
次に、背圧調整を行う。
ストローク部２４のシリンダ駆動部２７の下降側圧力を０とし、次に、上昇側圧力を０とする。次に、上昇側圧力を徐々に上げる。スキージ２２及びスキージホルダ２３の自重を上昇側圧力が越えると、スキージ２２が上昇し始める。このスキージ２２上昇開始直前の圧力に上昇側圧力を調整する。
これによって、部品毎に異なるスキージ２２及びスキージホルダ２３の自重をキャンセルして、スキージ２２を交換した後も一定の荷重がスキージ２２の先端２２ａに加わるようになる。
この背圧調整によって、スキージ２２及びスキージホルダ２３の自重と上昇側圧力とのバランスが取れたこととなり、下降側圧力がこのままスキージ２２に伝達されるものと見なすことができる。
【００２１】
スキージをスキージホルダに取り付ける際に、専用の治具を用いて、スキージの平行度及び平坦度を調整する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。平行度及び平坦度を調整した状態で、スキージが取り付けらえたスキージホルダを、印刷ヘッドに取り付ける。
しかしながら、スキージを保持したスキージホルダを印刷ヘッドに取り付けた状態では、スキージホルダの部品としての寸法精度や、スキージの先端を研磨する場合の研磨機の精度、スキージホルダを印刷ヘッドに固定する際の取付精度等に依存するが、印刷ステージの載置面に対してスキージの先端は、十分に平行状態となっておらず、上述したような平行調整は不可欠である。
【特許文献１】特開平０８−０５６０７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
解決しようとする問題点は、上記従来技術では、スキージを交換する際に、時間と手間がかかるという点である。
すなわち、スキージを交換する際には、平行調整等を行う必要があり、印刷作業中の場合、スクリーンを取り外さなければならず、作業が煩雑となる。特に、大型のプラズマディスプレイパネル等の製造の際に用いられるスクリーンの寸法は、２２００ｍｍ〜２８００ｍｍと大きいために、取り扱いが困難で、作業性が悪い。
この発明が解決しようとする課題としては、上記のような従来のスキージ交換時の調整方法を用いた場合に発生する問題点が一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、所定のパターンが印刷される被印刷物を載置する載置台と、上記所定のパターンを持つスクリーン版と、上記スクリーン版を介して上記被印刷物に印刷用ペーストを塗布するためのスキージとを備えてなるスクリーン印刷装置に係り、上記スキージの上記スクリーン版に接触する接触部位が、上記載置台の載置面に対して略平行となるように平行度調整を行うための平行度調整機構を備え、上記平行度調整機構は、上記載置面からの高さが略等しい複数の基準位置への上記接触部位の変位を検出することによって、上記接触部位が、上記載置面に対して、略平行であるか否かを検出する平行度検出手段を有し、上記スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能な構成となされていることを特徴としている。
【００２４】
また、請求項１１記載の発明は、所定のパターンが印刷される被印刷物を載置台に載置し、前記所定のパターンを持つスクリーン版を介して、前記被印刷物に、スキージによって印刷用ペーストを塗布するスクリーン印刷方法に係り、平行度調整機構によって、前記スキージの前記スクリーン版に接触する接触部位が、前記載置台の載置面に対して略平行となるように平行度調整を行う平行度調整工程を含み、前記平行度調整工程は、平行度検出手段によって、前記載置面からの高さが略等しい複数の基準位置への前記接触部位の変位を検出することによって、前記接触部位が、前記載置面に対して、略平行であるか否かを検出する平行度検出工程を含み、前記スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能なようになされていることを特徴としている。
【００２５】
また、請求項２１記載の発明は、共に誘電体層及び電極層が形成された第１の基板及び第２の基板を封止層を介して互いに対向するように配置し、接合するプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、所定の上記誘電体層又は／及び上記電極層を請求項１１乃至２０のいずれか１に記載の方法を用いて、上記被印刷物としての上記第１の基板又は／及び上記第２の基板に形成することを特徴としている。
【００２６】
また、請求項２２記載の発明は、プラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、上記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに上記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、画像信号のフォーマット変換を行い、上記モジュールに送信するインタフェースを上記モジュールに電気的に接続する第３の工程とを含むプラズマ表示装置の製造方法に係り、上記第１の工程では、請求項２１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法が実施されることを特徴としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、この発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００２８】
図６は、この発明の実施形態における第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの構成を示す斜視図、図７は、同プラズマディスプレイパネルの製造方法を説明するための工程図、図８は、同プラズマディスプレイパネルの製造方法において用いられるスクリーン印刷装置の構成を概略的に示す側面図、図９は、同スクリーン印刷装置の構成を概略的に示すブロック図、図１０及び図１１は、同スクリーン印刷装置の調整方法を説明するための背面図、また、図１２は、同スクリーン印刷装置の動作を説明するための側面図である。
【００２９】
この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法では、前面基板及び背面基板を構成する所定の誘電体層及び電極層を形成する際に、スクリーン印刷法を用いる。すなわち、背面基板の誘電体層としての隔壁、白色誘電体層、蛍光体層、及び電極層としてのアドレス電極、並びに、前面基板の誘電体層としての透明誘電体層及び電極層としてのバス電極は、スクリーン印刷装置を用いて形成される。
なお、この例では、スクリーン印刷法によって成膜する各工程では、それぞれ専用のスクリーン印刷装置を用いる。
このスクリーン印刷装置３７は、図８及び図９に示すように、被印刷物としてのガラス基板３８を水平な状態で支持する印刷ステージ３９と、ガラス基板３８に絶縁性ペーストや導電性ペースト等の印刷用ペースト４０を塗布するための印刷ヘッド４１と、印刷ヘッド４１を水平面に沿って変位させるためのヘッド移動部４２と、ガラス基板３８と印刷ヘッド４１との間に配置され、所定のパターンで開口部が形成されたスクリーン４３を支持するスクリーン支持部４４と、スクリーン４３の設置領域外に配置され、印刷ヘッド４１を構成するスキージ４５を取り付ける際の平行調整等を行うためのスキージ取付調整部４６と、構成各部を制御するためのコントローラ４７とを備えてなっている。
【００３０】
印刷ステージ３９は、水平な載置面３９ａにガラス基板３８を載置した状態で、吸着によってガラス基板３８を固定する。すなわち、吸着ボックス４８を経由する吸気経路に沿って吸気が行われることによって、ガラス基板３８が載置面３９ａに吸着固定される。
また、印刷ステージ３９には、コンベア部が埋め込まれ、ガラス基板３８の搬入及び搬出が自動的なされるように構成されている。
印刷ヘッド４１は、平板状のスキージ４５と、スキージ４５を挟み込んで保持するスキージホルダ４９と、スキージ４５を保持したスキージホルダ４９を鉛直方向に沿って変位させる一対のストローク部５１と、印刷ペースト４０を印刷開始位置まで掻き戻すスクレーパ５２と、ストローク部５１及びスクレーパが５２が搭載されたキャリア５３とを有している。
【００３１】
スキージ４５は、硬質ウレタンや、合成樹脂等からなっている。スキージ４５は、スキージホルダ４９に固定した後、例えば、その先端４５ａがスキージホルダ４９の先端に対して平行な状態になるように、その先端４５ａが研磨機によって研磨される。
ストローク部５１は、鉛直方向に沿った駆動を行うためのシリンダ駆動部５４と、傾き補正を行うためのねじ駆動部５５とを有している。また、シリンダ駆動部５４は、エアシリンダ５６と、上昇用及び下降用のエアを導入するための電磁弁５７，５８とを有している。また、ねじ駆動部５５は、ステッピングモータ５９とボールねじ６１とを有している。
ヘッド移動部４２は、印刷ヘッド４１を案内部６２，６２の案内によって、水平面に沿って変位させるエアシリンダ６３と、前進用及び後退用のエアを導入するための電磁弁６４，６５とを有している。
【００３２】
スキージ取付調整部４６は、スキージ交換時等にスキージ４５をスキージホルダ４９に取り付ける際のスキージ４５の先端４５ａの印刷ステージ３９の載置面３９ａに対する平行調整や、スキージ４５のスクリーン４３に対する押込量調整、スキージ４５及びスキージホルダ４９の自重を考慮したストローク部５１の背圧調整を行うために用いられる。
平行調整は、スキージ４５の両端側で、スクリーン４３への荷重を均等にするために行われる。スキージ４５の先端４５ａのスクリーン４３への荷重が均一となることによって、スクリーン４３の圧縮量が均一となり、スクリーン４３の開口部からガラス基板３８に塗布される印刷ペースト４０の膜厚が均一となる。
【００３３】
押込量調整では、使用回数で異なるスキージ４５のべろ長に合わせて、印刷ステージ３９に対してスキージ４５の先端４５ａが十分に押し込まれた状態で押込量を調整する。
背圧調整は、部品毎に異なるスキージ４５及びスキージホルダ４９の自重をキャンセルして、スキージ４５を交換した後も一定の荷重をスキージ４５の先端４５ａに加わるようにする。
スキージ取付調整部４６は、スキージ４５の先端４５ａが接触する水平な基準面６７ａを有する一対の接触部６７，６７が、支柱部６８に支持された梁状部６９の両端部に取り付けられ、接触部６７，６７に埋め込まれた圧力センサ７１，７１が設けられて概略構成されている。
なお、この例では、スキージ取付調整部４６は、操作部７５が配置された正面側に配置される。
【００３４】
コントローラ４７は、ＣＰＵ（中央処理装置）等を有してなる制御部７３と、制御部７３が実行する処理プログラムや各種データ等を記憶するための記憶部７４と、操作スイッチ等からなる操作部７５と、表示部７６と、ねじ駆動部５５のステッピングモータ５９を駆動するためのモータ駆動部７７と、圧力センサ７１，７１からの出力信号に基づいて、スキージの先端の平行度の検知を行うための平行度検知部７８とを備えたコンピュータ等の情報処理装置によって構成されている。
制御部７３は、記憶部７４に記憶された各種処理プログラムを実行し、記憶部７４に確保された各種レジスタやフラグを用いて、構成各部を制御し、印刷処理や、平行度検知処理、押込量調整処理等を実行する。
【００３５】
印刷処理は、ヘッド移動部４２やストローク部５１を駆動するためのステッピングモータ５９を駆動するモータ駆動制御処理や、電磁弁５７，５８及び電磁弁６４，６５を制御する電磁弁開閉制御処理を含んでいる。
平行度検知処理では、例えば、スキージ４５を接触部６７，６７へ向けて下降させて、スキージ４５の先端４５ａが、両接触部６７，６７の基準面６７ａ，６７ａに同時に接触して、平行度検知部７８から平行検出信号を受けた場合に、ストローク部５１を停止させると共に、スキージ４５の先端４５ａと印刷ステージ３９の載置面３９ａとが、平行状態となったものと判断し、例えば、表示部７６に平行状態である旨のメッセージを表示させる。
【００３６】
また、平行度検知処理では、スキージ４５の先端４５ａが、一方の接触部６７のみが基準面６７ａに接触して、平行度検知部７８から非平行検出信号を受けた場合に、ストローク部５１を停止させると共に、スキージ４５の先端４５ａと印刷ステージ３９の載置面３９ａとが、非平行状態であるものと判断し、例えば、表示部７６に非平行状態である旨のメッセージを表示させる。
押込量調整処理では、共に、予め設定された押込量、及びスクリーン４３と印刷ステージ３９の載置面３９ａとのギャップに基づいて補正値を算出し、この補正値に基づいてねじ駆動部５５を駆動させて補正する。
【００３７】
記憶部７４は、内部記憶装置と、外部記憶装置とからなり、制御部が実行する印刷処理プログラムや、平行度検知処理プログラム、押込量調整処理プログラム等の各種処理プログラム等が記憶されたプログラム記憶領域と、設定情報等の各種情報が記憶された情報記憶領域とを有している。設定情報としては、プラズマディスプレイパネルの製造方法のうちのスクリーン印刷法を用いる所定の成膜工程において、予め設定された押込量等を含んでいる。
内部記憶装置は、ＲＯＭやＲＡＭ等の半導体メモリからなる。外部記憶装置は、ＦＤ（フレキシブル・ディスク）が装着されるＦＤドライバ、ＨＤ（ハード・ディスク）が装着されるＨＤドライバ、ＭＯ（光磁気）ディスクが装着されるＭＯディスクドライバ、あるいはＣＤ（コンパクト・ディスク）−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ（Recordable）、ＣＤ−ＲＷ（ReWritable）やＤＶＤ（デジタル・ビデオ・ディスク）−ＲＯＭ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ等が装着されるＣＤ／ＤＶＤドライバ等からなる。
操作部７５は、操作スイッチ等からなる。表示部７６は、液晶ディスプレイ、あるいはプラズマディスプレイなどからなる。
平行度検知部７８は、両圧力センサ７１，７１から略同時に検知信号を受けた場合に、平行検出信号を制御部７３へ送り、一方の圧力センサ７１のみから検知信号を受けた場合に、非平行検出信号を制御部７３へ送る。
【００３８】
次に、図８乃至図１２を用いて、この例のスクリーン印刷装置を用いた成膜方法について述べる。
まず、事前の調整方法について述べる。
スキージ４５を取り付ける場合には、スキージ４５をスキージホルダ４９に取り付けるときに、印刷に先だって、ガラスペースト層の厚さ（膜厚）を一定の厚さで安定させるために、平行調整、押込量調整及び背圧調整を行う。
まず、スキージ４５をスキージホルダ４９に固定する。スキージ４５は、スキージホルダ２３に固定した後、例えば、その先端がスキージホルダ４９の先端に対して平行な状態になるように、その先端が研磨機によって研磨される。
【００３９】
次に、スクリーン印刷装置を起動し、所定の調整開始操作を行うと、コントローラ４７の制御部７３は、ヘッド移動部４２を駆動させて、印刷ヘッド４１をスキージ取付調整部４６まで移動させる。こうして、接触部６７が、スキージ４５の両端部の直下に配置されるようにする。
次に、制御部７３は、ねじ駆動部５５を駆動させて、スキージ４５をねじ駆動部５５による移動範囲のうち最上端に移動させる。次に、シリンダ駆動部５４によって、スキージ４５をシリンダ駆動部５４による移動範囲のうち最下端に移動させる 。
【００４０】
次に、制御部７３は、ねじ駆動部５５を駆動させて、スキージ４５を徐々に下降させ、スキージ４５の先端４５ａが、いずれか一方の接触部６７の基準面６７ａに接触すると、圧力センサ７１からの出力信号を受け取ることにより、ねじ駆動部５５を停止させる。
制御部７３は、スキージ４５の先端４５ａが、両接触部６７，６７の基準面６７ａ，６７ａに同時に接触して、両圧力センサ７１，７１からの出力信号を受けた場合に、スキージ４５の先端４５ａと印刷ステージ３９の載置面３９ａとが、平行状態となったものと判断する。
【００４１】
なお、両圧力センサ７１，７１による接触の検知位置が、印刷ステージ３９の載置面３９ａと一致するように調整がなされる。
平行調整を行うことによって、スキージ４５の先端４５ａのスクリーン４３への荷重が均一となり、スクリーン４３の圧縮量が均一となり、スクリーン４３の開口部からガラス基板３８に供給される印刷用ペースト４０の膜厚が均一となる。
【００４２】
次に、押込量調整を行う。
制御部７３は、設定したい押込量と、印刷の際に設定するスクリーン４３と印刷ステージ３９の載置面３９ａとのギャップ（クリアランス量）に応じた補正値を、ねじ駆動部５５を駆動させて補正する。
この押込量調整によって、使用回数で異なるスキージ４５のべろ長に合わせて、印刷ステージ３９の載置面３９ａに対してスキージ４５の先端４５ａが十分に押し込まれた状態となるように押込量が調整される。
【００４３】
次に、背圧調整を行う。
ストローク部５１のシリンダ駆動部５４の下降側圧力を０とし、次に、上昇側圧力を０とする。次に、上昇側圧力を徐々に上げる。スキージ４５及びスキージホルダ４９の自重を上昇側圧力が越えると、スキージ４５が上昇し始める。このスキージ４５の上昇開始直前の圧力に上昇側圧力を調整する。
【００４４】
これによって、部品毎に異なるスキージ４５及びスキージホルダ４９の自重をキャンセルして、スキージ４５を交換した後も一定の荷重がスキージ４５の先端４５ａに加わるようになる。
この背圧調整によって、スキージ４５及びスキージホルダ４９の自重と上昇側圧力とのバランスが取れたこととなり、下降側圧力がこのままスキージ４５に伝達されるものと見なすことができる。
【００４５】
こうして、事前準備としての、平行調整、押込量調整及び背圧調整が完了すると、図１２に示すように、ガラス基板３８を印刷ステージ３９上に吸着固定し、ガラス基板３８上にスクリーン４３を配置する。この後、制御部７３は、ヘッド移動部４２を駆動させて、印刷ヘッド４１を印刷開始位置まで移動させる。
次に、印刷ペースト４０を供給させながら、制御部７３は、印刷ヘッド４１を移動させて、スキージ４５の先端２２ａで、印刷ペースト４０をスクリーン４３の開口部から被印刷物としてのガラス基板３８に供給させ、ガラス基板３８上に、所定のパターンで成膜を行う。
【００４６】
スキージ４５が、印刷開始位置から印刷終了位置まで矢印Ａの向きに並行移動した後、制御部７３は、スクレーパ５２を移動させて印刷用ペースト４０を印刷開始位置まで矢印Ａと逆向きに掻き戻し、再びスキージ４５による印刷用ペースト４０が開始され、所定回数繰り返される。こうして、ガラス基板３８上に所定のパターンのガラスペースト層が形成される。
なお、スキージ４５は、使用によりその先端４５ａが磨耗して丸くなり、磨耗が進むと、上述した容積Ｑに影響を及ぼし（図３参照。）、塗布されたガラスペースト層の膜厚が変動するため、膜厚を監視して、許容限度を越えて磨耗が進んだと判断される場合は、印刷中であっても、印刷ヘッド４１をスキージ取付調整部４６の配置位置（調整位置）まで移動させて、磨耗したスキージ４５を取り外し、研磨済のスキージ４５をスキージホルダ４９に取り付けて交換し、この際にも、上述した調整を行う。
また、所定の厚さのガラスペースト層の形成においては、印刷用ペースト４０を塗布する毎に、乾燥工程を実施する。すなわち、印刷と乾燥とを交互に繰り返して実施する。
【００４７】
次に、図６及び図７を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。
このプラズマディスプレイパネルの製造方法では、図５に示すように、前面基板８１を製造するために、前面ガラス基板８２の内面に水平方向Ｈに沿って平行に透明電極８３ａ，８４ａを、例えばスパッタ法等によって形成する（ステップＳＡ１１（図７））。
次に、抵抗値を小さくするためのバス電極８３ｂ，８４ｂを水平方向に沿って透明電極４３ａ，４４ａの上に（図６においては下面側に）、上述したスクリーン印刷装置３７を用いて、スクリーン印刷法によって形成する（ステップＳＡ１２）。
【００４８】
まず、スキージ４５をスキージホルダ４９に取り付ける。スキージ４５をスキージホルダ４９に取り付けるに当っては、印刷に先だ立つ事前の調整方法として、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行う。
次に、ガラス基板３８として、前面ガラス基板８２が形成された透明電極８３ａ，８４ａを、印刷ステージ３９上に吸着固定し、前面ガラス基板８２上に所定のパターンが形成されたスクリーン４３を配置する。この後、制御部７３は、ヘッド移動部４２を駆動させて、印刷ヘッド４１を印刷開始位置まで移動させる。
次に、印刷ペースト４０として、導電性ペーストを供給しながら、制御部７３は、印刷ヘッド４１を移動させて、スキージ４５の先端２２ａで、印刷ペースト４０をスクリーン４３の開口部から前面ガラス基板８２に供給させ、前面ガラス基板８２の透明電極８３ａ，８４ａ上に、所定のパターンで成膜を行う。
ここで、例えば、電極材料として銀を選択する場合は、銀粉体とガラスフリットと有機バインダとからなる銀ペーストを導電性ペーストとして、スクリーン印刷によってパターニングする。
【００４９】
スキージ４５が、印刷開始位置から印刷終了位置まで矢印Ａ（図１２参照）の向きに並行移動した後、制御部７３は、スクレーパ５２を移動させて印刷用ペースト４０を印刷開始位置まで矢印Ａと逆向きに掻き戻す。この工程では、銀ペーストの印刷を、例えば、１回とする。
こうして、前面ガラス基板８２の透明電極８３ａ，８４ａ上に、所定のパターンで銀ペースト層が成膜される。
この後、銀ペーストを焼成処理して、有機バインダの焼失とガラスフリットの軟化を行い、バス電極パターンを前面ガラス基板８２に固着させてバス電極８３ｂ，８４ｂを形成する。
これによって、透明電極８３ａ，８４ａ及びバス電極８３ｂ，８４ｂとから走査電極８３及び維持電極８４が形成される。
【００５０】
次に、走査電極８３及び維持電極８４を被覆する透明誘電体層８５を、上述したスクリーン印刷装置３７を用いて、スクリーン印刷法によって形成する（ステップＳＡ１３）。
事前の調整方法として、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行った後、走査電極８３及び維持電極８４が形成された前面ガラス基板８２を、印刷ステージ３９上に吸着固定し、前面ガラス基板８２上にスクリーン４３を配置し、ヘッド移動部４２によって、印刷ヘッド４１を印刷開始位置まで移動させる。
次に、印刷ペースト４０として、絶縁性ペーストを供給しながら、印刷ヘッド４１を移動させて、スキージ４５の先端２２ａで、印刷ペースト４０をスクリーン４３の開口部から前面ガラス基板８２に供給し、前面ガラス基板８２の走査電極８３及び維持電極８４上に、成膜を行う。
ここで、ガラスフリットと有機バインダとからなるガラスペーストを絶縁性ペーストとして、スクリーン印刷によってガラスペースト層を形成する。
【００５１】
スキージ４５が、印刷開始位置から印刷終了位置まで矢印Ａ（図１２参照）の向きに並行移動した後、スクレーパ５２が印刷用ペースト４０を印刷開始位置まで矢印Ａと逆向きに掻き戻し、再びスキージ４５による印刷用ペースト４０が開始され、所定回数繰り返される。こうして、前面ガラス基板８２の走査電極８３及び維持電極８４上に、所定の膜厚のガラスペースト層を形成する。
ここで、印刷中に、スキージ２２の先端２２ａが丸くなり、磨耗が進んだと判断された場合は、スキージ４５を交換する。この際にも、スクリーン４３を一旦取り外すことなく、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行う。
この後、ガラスペーストを焼成処理して、有機バインダの焼失とガラスフリットの軟化を行い、透明誘電体を前面ガラス基板８２に固着させて透明誘電体層８５を形成する。
次に、透明誘電体層８５を放電から保護するための保護膜８６を、例えば、真空蒸着法やイオンプレーティング法等を用いて形成する（ステップＳＡ１４）。こうして、前面基板８１が完成する。
【００５２】
一方、図６に示すように、背面基板８８を製造するために、背面ガラス基板８９の上面に垂直方向に沿って平行にアドレス電極９１を、スクリーン印刷法によって形成する（ステップＳＢ１１（図７））。
事前の調整方法として、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行った後、印刷ペースト４０としての導電性ペーストを、ガラス基板３８としての背面ガラス基板８９に供給し、背面ガラス基板８９上に、所定のパターンで成膜を行う。
ここで、例えば、電極材料として銀を選択する場合は、銀粉体とガラスフリットと有機バインダとからなる銀ペーストを導電性ペーストとして、スクリーン印刷によってパターニングする。この工程では、銀ペーストの印刷を、例えば、１回とする。
こうして、背面ガラス基板８９上に、所定のパターンで銀ペースト層が成膜される。
この後、銀ペーストを焼成処理して、有機バインダの焼失とガラスフリットの軟化を行い、アドレス電極パターンを背面ガラス基板８９に固着させてアドレス電極９１を形成する。
次に、アドレス電極９１を被覆する白色誘電体層９２を、スクリーン印刷法によって形成する（ステップＳＢ１２）。
【００５３】
事前の調整方法として、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行った後、印刷ペースト４０としての絶縁性ペーストを、ガラス基板３８としてのアドレス電極９１が形成された背面ガラス基板８９に供給し、アドレス電極９１が形成された背面ガラス基板８９上に、成膜を行う。
ここで、ガラスフリットと有機バインダとからなるガラスペーストを絶縁性ペーストとして、スクリーン印刷によってガラスペースト層を形成する。
【００５４】
この工程では、上記印刷処理が所定回数繰り返される。こうして、アドレス電極９１が形成された背面ガラス基板８９上に、所定の膜厚のガラスペースト層を形成する。
ここで、印刷中に、スキージ２２の先端２２ａが丸くなり、磨耗が進んだと判断された場合は、スキージ４５を交換する。この際にも、スクリーン４３を一旦取り外すことなく、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行う。
この後、ガラスペーストを焼成処理して、有機バインダの焼失とガラスフリットの軟化を行い、誘電体層を背面ガラス基板８９に固着させて白色誘電体層９２を形成する。
【００５５】
次に、白色誘電体層９２上に、電荷の移動を制限し、誤灯を防止するために、放電セルを画成するストライプ状の隔壁９３を、スクリーン印刷法によって形成する（ステップＳＢ１３）。
事前の調整方法として、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行った後、印刷ペースト４０としての絶縁性ペーストを、ガラス基板３８としてのアドレス電極９１及び白色誘電体層９２が背面ガラス基板８９に供給し、白色誘電体層９２上にガラスペースト層を形成する。
ここで、ガラスフリットと有機バインダとからなるガラスペーストを絶縁性ペーストとして、スクリーン印刷によってガラスペースト層を形成する。
この工程でも、印刷処理を所定回数繰り返し、所定の膜厚のガラスペースト層を形成する。
ここで、印刷中に、スキージ２２の先端２２ａが丸くなり、磨耗が進んだと判断された場合は、スキージ４５を交換する。この際にも、スクリーン４３を一旦取り外すことなく、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行う。
この後、ガラスペーストを焼成処理して、有機バインダの焼失とガラスフリットの軟化を行い、隔壁９３を形成する。
【００５６】
次に、隔壁９３，９３間に蛍光体層９４を、スクリーン印刷法によって形成する（ステップＳＢ１４）。蛍光体層９４は、赤色、緑色、及び青色の蛍光体層９４ｒ，９４ｇ，９４ｂからなっている。
この工程でも、各色の蛍光体層の形成のために、事前の調整方法として、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行った後、蛍光体と有機バインダとからなる蛍光体ペーストを、印刷ペースト４０として供給して、印刷処理を所定回数繰り返し、所定の膜厚の蛍光体ペースト層を形成する。
ここで、印刷処理中に、スキージ２２の先端２２ａが丸くなり、磨耗が進んだと判断された場合は、スキージ４５を交換する。この際にも、スクリーン４３を一旦取り外すことなく、上述した平行調整、押込量調整及び背圧調整を行う。
この後、蛍光体ペーストを焼成処理して、有機バインダの焼失を行い、蛍光体層９４ｒ（９４ｇ，９４ｂ）を形成する。
【００５７】
次に、背面ガラス基板８９の周縁部に、ディスペンス法によってシール（封止）層を形成し、これを焼成して、背面基板８８を完成させる（ステップＳＢ１５）。
次に、前面基板８１と背面基板８８とを１００μｍ程度のギャップを隔てて互いに対向させた状態で、電極対の延長方向（行方向）とアドレス電極９１の延長方向（列方向）とが互いに直交するように、かつ、両基板間に放電ガス空間が形成されるように、貼り合わせて配置し（ステップＳＣ１６（図６））、その周縁部を、例えば、フリットガラスからなる封止剤によって気密封着する（ステップＳＣ１７）。
すなわち、背面基板８８の周縁部に封止剤を塗布した後、前面基板８１と背面基板８８とを貼り合わせた状態で焼成処理を施し、フリットガラスを溶かして、前面基板８１と背面基板８８を接合してパネル状とする。ここで、隔壁９３によって放電セルが画成されている。
【００５８】
次に、こうして封着が完了したパネル状の前面基板８１及び背面基板８８を加熱炉内に導入するとともに、通気管を介して、前面基板８１と背面基板８８との間に形成された放電ガス空間と接続して、放電ガス空間内の排気を行いながら、真空加熱を行い、放電ガス空間に例えばＨｅ（ヘリウム）やＮｅ（ネオン）、Ｘｅ（キセノン）を含む混合希ガスからなる放電ガスを所定の圧力で導入して充填した後、通気管を過熱によってチップオンし、開口端部を閉塞する（ステップＳＣ１８）。このようにして、放電ガス空間内に放電ガスが充填される。
次に、放電セル内で放電を発生させて、一定時間継続させることで、放電を安定化させる（ステップＳＣ１９）。
このようにして、放電ガス空間内に放電ガスが充填されて、プラズマディスプレイパネル９６が完成する。
【００５９】
このように、この例の構成によれば、スクリーン印刷装置３７では、スキージ４５を取り付ける際の平行調整等を行うためのスキージ取付調整部４６がスクリーン４３の設置領域外に配置されているので、前面基板８１のバス電極８３ｂ，８４ｂ及び透明誘電体層８５の形成工程と、背面基板８８のアドレス電極９１、白色誘電体層９２、隔壁９３及び蛍光体層９４の形成工程とをスクリーン印刷法を用いて実施する場合に、このスクリーン印刷装置３７を用いることによって、例えば、スキージ４５を交換時のスキージ４５の先端４５ａが載置面３９ａに対して平行となるように調整する平行調整で、スクリーン４３を取り除く必要がないため、迅速にかつ簡単にスクリーン印刷を行うことができる。
したがって、プラズマディスプレイパネル９６の生産性を向上させることができる。
【実施例２】
【００６０】
図１３は、この発明の実施形態における第２の実施例であるプラズマディスプレイパネルの製造方法において用いられるスクリーン印刷装置の構成を概略的に示す側面図である。
この例が上述した第１の実施例と大きく異なるところは、スキージ取付調整部をスクリーン４３の上方の印刷領域と重ならない位置に配置した点である。
これ以外の構成は、上述した第１の実施例の構成と略同一であるので、その説明を簡略にする。
【００６１】
この例のスクリーン印刷装置３７Ａは、図１３に示すように、被印刷物としてのガラス基板３８を水平な状態で支持する印刷ステージ３９と、ガラス基板３８に絶縁性ペーストや導電性ペースト等の印刷用ペースト４０を塗布するための印刷ヘッド４１と、印刷ヘッド４１を水平面に沿って変位させるためのヘッド移動部４２と、ガラス基板３８と印刷ヘッド４１との間に配置され、所定のパターンで開口部が形成されたスクリーン４３を支持するスクリーン支持部４４と、スクリーン４３の周縁部上方の印刷領域と重ならない位置に配置され、印刷ヘッド４１を構成するスキージ４５を取り付ける際の平行調整等を行うためのスキージ取付調整部９８と、構成各部を制御するためのコントローラ４７とを備えてなっている。
【００６２】
この例のスキージ取付調整部９８は、案内部６２，６２に垂下状態で取り付けられ、スキージ４５の先端４５ａが接触する水平な基準面９９ａを有する一対の接触部９９，９９が、上端部が案内部６２，６２の底部に取り付けられた垂下体１０１，１０１によって支持された取付部材１０２の両端部に取り付けられ、接触部９９，９９に埋め込まれた圧力センサが設けられて概略構成されている。
ここで、接触部９９，９９は、スクリーン４３の上方の印刷領域と重ならず、かつ、印刷開始位置の近傍に配置されるように垂下体１０１，１０１及び取付部材１０２によって支持されている。
スキージ調整部９８は、スキージ交換時等にスキージ４５をスキージホルダ４９に取り付ける際のスキージ４５の先端４５ａの印刷ステージ３９の載置面３９ａに対する平行調整や、スキージ４５のスクリーン４３に対する押込量調整、スキージ４５及びスキージホルダ４９の自重を考慮したストローク部５１の背圧調整を行うために用いられる。
【００６３】
次に、図１３を用いて、この例のスクリーン印刷装置を用いた成膜方法について述べる。
まず、事前の調整方法について述べる。
スキージ４５を交換する場合には、スキージ４５をスキージホルダ４９に取り付けるときに、印刷に先だって、ガラスペースト層の厚さ（膜厚）を一定の厚さで安定させるために、平行調整、押込量調整及び背圧調整を行う。
まず、スキージ４５をスキージホルダ４９に固定する。スキージ４５は、スキージホルダ２３に固定した後、例えば、その先端がスキージホルダ４９の先端に対して平行な状態になるように、その先端が研磨機によって研磨される。
【００６４】
次に、制御部７３は、ヘッド移動部４２を駆動させて、印刷ヘッド４１をスキージ取付調整部４６まで移動させる。こうして、接触部６７を、スキージ４５の両端部の直下に配置されるようにする。
次に、制御部７３は、ねじ駆動部５５を駆動させて、スキージ４５をねじ駆動部５５による移動範囲のうち最上端に移動させる。次に、制御部７３は、シリンダ駆動部５４を駆動させて、スキージ４５をシリンダ駆動部５４による移動範囲のうち最下端に移動させる 。
【００６５】
次に、制御部７３は、ねじ駆動部５５を駆動させて、スキージ４５を徐々に下降させ、スキージ４５の先端４５ａが、いずれか一方の接触部９９の基準面９９ａに接触すると、上記圧力センサから出力信号を受け取ることにより、ねじ駆動部５５を停止させる。
制御部７３は、スキージ４５の先端４５ａが、両接触部９９，９９の基準面９９ａ，９９ａに同時に接触して、両圧力センサからの出力信号を受けた場合に、スキージ４５の先端４５ａと印刷ステージ３９の載置面３９ａとが、平行状態となったものと判断する。
【００６６】
一方の圧力センサからのみ出力信号を受けた場合には、制御部７３は、スキージ取付調整部４６を構成する一対のストローク部５１，５１のうち少なくとも一方を駆動させて、平行度のずれに応じてスキージホルダ４９の傾きを修正する。
なお、両圧力センサによる接触の検知位置が、印刷ステージ３９の載置面３９ａと一致するように調整がなされる。
平行調整を行うことによって、スキージ４５の先端４５ａのスクリーン４３への荷重が均一となり、スクリーン４３の圧縮量が均一となり、スクリーン４３の開口部からガラス基板３８に供給される印刷用ペースト４０の膜厚が均一となる。
【００６７】
次に、押込量調整を行う。
制御部７３は、設定したい押込量と、印刷の際に設定するスクリーン４３と印刷ステージ３９の載置面３９ａとのギャップ（クリアランス量）に応じた補正値を、ねじ駆動部５５を駆動させて補正する。
この押込量調整によって、使用回数で異なるスキージ４５のべろ長に合わせて、印刷ステージ３９の載置面３９ａに対してスキージ４５の先端４５ａが十分に押し込まれた状態となるように押込量が調整される。
【００６８】
次に、背圧調整を行う。
ストローク部５１のシリンダ駆動部５４７の下降側圧力を０とし、次に、上昇側圧力を０とする。次に、上昇側圧力を徐々に上げる。スキージ４５及びスキージホルダ４９の自重を上昇側圧力が越えると、スキージ４５が上昇し始める。このスキージ４５の上昇開始直前の圧力に上昇側圧力を調整する。
【００６９】
これによって、部品毎に異なるスキージ４５及びスキージホルダ４９の自重をキャンセルして、スキージ４５を交換した後も一定の荷重がスキージ４５の先端４５ａに加わるようになる。
この背圧調整によって、スキージ４５及びスキージホルダ４９の自重と上昇側圧力とのバランスが取れたこととなり、下降側圧力がこのままスキージ４５に伝達されるものと見なすことができる。
【００７０】
こうして、事前準備としての、平行調整、押込量調整及び背圧調整が完了すると、図１３に示すように、ガラス基板３８を印刷ステージ３９上に吸着固定し、ガラス基板３８上にスクリーン４３を配置する。この後、制御部７３は、ヘッド移動部４２を駆動させて、印刷ヘッド４１を調整位置から印刷開始位置まで移動させる。
接触部９９，９９は、印刷開始位置の近傍に配置されているので、この場合の調整位置から印刷開始位置までの移動距離は、僅かな距離である。
次に、印刷ペースト４０を供給しながら、制御部７３は、印刷ヘッド４１を移動させて、スキージ４５の先端２２ａで、印刷ペースト４０をスクリーン４３の開口部から被印刷物としてのガラス基板３８に供給し、ガラス基板３８上に、所定のパターンで成膜を行う。
【００７１】
スキージ４５が、印刷開始位置から印刷終了位置まで矢印Ａの向きに並行移動した後、制御部７３は、スクレーパ５２を移動させて印刷用ペースト４０を印刷開始位置まで矢印Ａと逆向きに掻き戻し、再びスキージ４５による印刷用ペースト４０が開始され、所定回数繰り返される。こうして、ガラス基板３８上に所定のパターンのガラスペースト層が形成される。
なお、スキージ４５は、使用によりその先端４５ａが磨耗して丸くなり、磨耗が進むと、上述した容積Ｑに影響を及ぼし（図３参照。）、塗布されたガラスペースト層の膜厚が変動するため、印刷中であってもスキージ４５を交換し、この際にも、上述した調整を行う。
【００７２】
このように、この例の構成によれば、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
加えて、スキージ調整部９８を、スクリーン４３の設置領域外に配置させずに、スクリーン４３の上方の印刷領域と重ならない位置に配置したので、案内部６２を延長させて、印刷ヘッド４１をスクリーン４３の設置領域外まで移動させる必要がないため、装置を小型化し、装置の設置面積を縮小し、省スペース化を実現することができる。
また、例えば、接触部９９，９９は、印刷開始位置の近傍に配置されているので、印刷ヘッド４１の移動距離を短くでき、無用な動きをさせることがないため、迅速に印刷を行うことができる。
したがって、プラズマディスプレイパネルの生産性を一段と向上させることができると共に、装置の省エネルギ化に寄与し、コストを低減することができる。
【実施例３】
【００７３】
図１４は、この発明の実施形態における第３の実施例であるプラズマ表示装置の製造方法によって製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。
この例のプラズマ表示装置１０３は、図１４に示すように、モジュール構造を有するものとして設計されており、具体的には、アナログインタフェース（以下、ＩＦという）１０４とＰＤＰモジュール１０５とから構成されている。
【００７４】
アナログＩＦ１０４は、同図に示すように、クロマ・デコーダを有するＹ／Ｃ分離回路１０６と、Ａ／Ｄ変換回路１０７と、ＰＬＬ回路を有する同期信号制御回路１０８と、画像フォーマット変換回路１０９と、逆γ（ガンマ）変換回路１１１と、システムコントロール回路１１２と、ＰＬＥ制御回路１１３とから構成されている。
概略的には、アナログＩＦ１０４は、受信したアナログ映像信号をデジタル映像信号に変換した後、このデジタル映像信号をＰＤＰモジュール１０５に供給する。例えば、テレビチューナから発信されたアナログ映像信号は、Ｙ／Ｃ分離回路１０６において、ＲＧＢの各色の輝度信号に分解された後、Ａ／Ｄ変換回路１０７において、デジタル映像信号に変換される。
【００７５】
この後、ＰＤＰモジュール１０５の画素構成と映像信号の画素構成とが異なる場合には、画像フォーマット変換回路１０９において、必要な画像フォーマットの変換が行われる。ＰＤＰの入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号は、ＣＲＴの特性に合わせて、予め補正されている（γ変換されている）。
このため、Ａ／Ｄ変換回路１０７において、映像信号のＡ／Ｄ変換を行った後、逆γ変換回路１１１において、映像信号に対して逆γ変換を施し、線形特性に復元されたデジタル映像信号を生成する。このデジタル映像信号は、ＲＧＢ映像信号としてＰＤＰモジュール１０５に出力される。
【００７６】
アナログ映像信号には、Ａ／Ｄ変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路１０８に内蔵されているＰＬＬ回路がアナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック及びデータクロック信号を生成し、ＰＤＰモジュール１０５に出力する。
アナログＩＦ１０４のＰＬＥ制御回路１１３は輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には、表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には、表示輝度を低下させる。
【００７７】
システムコントロール回路１１２は、各種制御信号をＰＤＰモジュール１０５に出力する。ＰＤＰモジュール１０５は、さらに、デジタル信号処理・制御回路１１４と、パネル部１１５と、Ｄ／Ｄコンバータを内蔵するモジュール内電源回路１１６とから構成されている。
デジタル信号処理・制御回路１１４は、入力ＩＦ信号処理回路１１７と、フレームメモリ１１８と、メモリ制御回路１１９と、ドライバ制御回路１２１とから構成されている。
例えば、入力ＩＦ信号処理回路１１７に入力された映像信号の平均輝度レベルは、入力ＩＦ信号処理回路１１７内の入力信号平均輝度レベル演算回路（不図示）によって計算され、例えば、５ビットデータとして出力される。また、ＰＬＥ制御回路１１３は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定し、入力ＩＦ信号処理回路１１７内の輝度レベル制御回路（不図示）に入力する。
【００７８】
パネル部１１５は、ＰＤＰ９６と、走査電極を駆動する走査ドライバ１２２と、データ電極を駆動するデータドライバ１２３と、ＰＤＰ９６及び走査ドライバ１２２にパルス電圧を供給する高圧パルス回路１２４と、高圧パルス回路１２４からの余剰電力を回収する電力回収回路１２５とから構成されている。
ＰＤＰ９６は、例えば１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。ＰＤＰ９６は、走査ドライバ１２２が走査電極を制御し、データドライバ１２３がデータ電極を制御することにより、これらの画素のうちの所定の画素の点灯又は非点灯が制御され、所望の表示が行われる。
なお、ロジック用電源がデジタル信号処理・制御回路１１４及びパネル部１１５にロジック用電源を供給している。さらに、モジュール内電源回路１１６は、表示電源から直流電力を供給され、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換した後、パネル部１１５に供給している。
【００７９】
次に、図１４を参照して、この例のプラズマ表示装置１０３の製造方法について概略的に説明する。
まず、ＰＤＰ９６と、走査ドライバ１２２と、データドライバ１２３と、高圧パルス回路１２４と、電力回収回路１２５とを一基板上に配置し、パネル部１１５を形成する。さらに、パネル部１１５とは別個にデジタル信号処理・制御回路１１４を形成する。
このようにして形成されたパネル部９５及びデジタル信号処理・制御回路１１４を一つのモジュールとして組み立て、ＰＤＰモジュール１０５を形成する。さらに、ＰＤＰモジュール１０５とは別個にアナログＩＦ１０４を形成する。
このように、ＰＤＰモジュール１０５とは別個にアナログＩＦ１０４を形成した後、双方を電気的に接続することによって、プラズマ表示装置１０３が完成する。
【００８０】
このように、プラズマ表示装置１０３をモジュール化することによって、プラズマ表示装置１０３を構成する他の構成部品とは別個に独立にプラズマ表示装置１０３を製造することが可能となり、例えば、プラズマ表示装置１０３が故障した場合には、ＰＤＰモジュール１０５毎交換することによって、補修の簡素化及び迅速化を図ることができる。
【００８１】
以上、この発明の実施例を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。
例えば、上述した実施形態では、比較的大画面のプラズマディスプレイパネルの製造に適用する場合について述べたが、プラズマディスプレイパネルを製造する場合以外にも、電子デバイスの製造や、プリント配線基板への半田クリームの印刷等、一般にスクリーン印刷を行う場合に適用できる。
【００８２】
また、ヘッド移動部及びストローク部によってスキージを駆動する場合について述べたが、スキージを固定して印刷ステージを変位させるようにしても良い。
バス電極や、アドレス電極を形成する場合には、スクリーン印刷法に代えて、例えばスパッタ法を用いるようにしても良い。また、白色誘電体層は、スクリーン印刷法に代えて、テーブルコータ法等を用いて形成しても良い。また、隔壁は、スクリーン印刷法に代えて、サンドブラスト法や、リフトオフ法、感光性ペースト法、転写法等を用いても良い。
【００８３】
また、ヘッド移動部では、エアシリンダに代えて、油圧シリンダを用いても良い。また、ヘッド移動部による水平方向駆動は、タイミングベルトを介してモータによって行っても良いし、ボールねじを用いて駆動させても良い。
また、スキージの形状は、平板形に限らず、角棒形（例えば四角柱状や三角柱状）でも良いし、剣形や箆形であっても良い。また、スキージは、必ずしも単一でなくても良く、少なくとも先端部が一体化されていれば分割されていても良い。これによって、磨耗が激しい箇所が特定している場合に、この部分のみ交換することによって、コストを低減することができる。
【００８４】
また、圧力センサの設置箇所は、圧力を検知可能な部位であれば、直接接触する部位でなくても良い。また、圧力センサを用いる場合について述べたが、光センサを用いて非接触状態で検知するようにしても良い。
この場合、スキージの両端の直下に、それぞれ、光照射部及び受光部をスキージの移動領域を挟んで配置して、スキージを降下させて、両受光部で略同時に遮光されたときに、スキージの先端が載置面に対して平行であると見なすようにしても良い。
また、必ずしも、スキージを降下させなくても、センサ側を上昇させて、平行度を検出するようにしても良い。また、光学的に検出する場合には、静止させた状態で検出するようにしても良い。
【００８５】
また、平行度調整を行う場合に、平行度調整手段を構成する一対のストローク部のうち少なくとも一方を駆動させて、平行度のずれに応じてスキージホルダの傾きを修正するようにしても良いし、平行度調整手段として、スキージを保持したスキージホルダを所定の角度傾動させる傾動手段を設け、平行度のずれに応じてスキージホルダを傾動させて、スキージホルダに取り付けられた塗布具の先端が載置面に対して略平行となるように補正するようにしても良い。
また、例えば、スキージの先端の基準面への接触を、表示部でのメッセージ表示に代えて、表示灯の点灯等によって、報知するようにしても良い。
【００８６】
また、スキージの先端の磨耗の監視のために、印刷した膜厚を計測する膜厚計測部を設けるようにしても良い。
また、接触部及び圧力センサは、２つに限らず、３つ以上設けても良いし、両端部以外の中間部に設けて、平行度及び平坦度を検知するようにしても良い。
また、スキージ取付調整部は、背面側に配置しても良い。
また、平行度調整手段を構成する一対のストローク部のうち少なくとも一方を駆動させて、平行度のずれに応じてスキージホルダの傾きを修正するようにしても良い。
【００８７】
また、上述した実施例では、各工程で用いるスクリーン印刷装置を、それぞれ専用のものを用いる場合について述べたが、同一のものを用いても良い。但し、同一のものを用いる場合でも、スクリーンやスキージは、原則としてその工程に専用のものを用いる。
また、第２の実施例では、スキージ取付調整部の位置を固定した場合について述べたが、印刷時に退避可能なように、スキージ取付調整部の移動機構（基準部材移動手段）を設けて、調整作業終了後、印刷動作開始前に、スキージ取付調整部をスクリーンの設置領域の外側に退避するようにしても良い。
【００８８】
上記実施形態の第１の実施例及び第２の実施例のスクリーン印刷装置は、所定のパターンが印刷される被印刷物を載置する載置台と、所定のパターンを持つスクリーン版と、スクリーン版を介して被印刷物に印刷用ペーストを塗布するためのスキージとを備えてなるスクリーン印刷装置であって、スキージのスクリーン版に接触する接触部位が、載置台の載置面に対して略平行となるように平行度調整を行うための平行度調整機構を備え、平行度調整機構は、載置面からの高さが略等しい複数の基準位置への接触部位の変位を検出することによって、接触部位が、載置面に対して、略平行であるか否かを検出する平行度検出手段を有し、スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能な構成となされているスクリーン印刷装置を、その上位概念の実施形態としているものである。
【００８９】
この上位概念を構成するスクリーン印刷装置を用いることによって、スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能な構成となされているので、スキージの接触部位が載置台の載置面に対して略平行となるように平行調整を行うときに、スクリーン版を取り除く必要がないため、迅速にかつ簡単にスクリーン印刷を行うことができる。
【００９０】
上記実施形態の第１の実施例及び第２の実施例のスクリーン印刷法を用いた誘電体層（プラズマディスプレイパネルの前面基板の透明誘電体層、並びに背面基板の隔壁、白色誘電体層及び蛍光体層）及び電極層（プラズマディスプレイパネルの前面基板のバス電極、及び背面基板のアドレス電極）の形成工程は、所定のパターンが印刷される被印刷物を載置台に載置し、所定のパターンを持つスクリーン版を介して、被印刷物にスキージによって印刷用ペーストを塗布するスクリーン印刷方法であって、平行度調整機構によって、スキージのスクリーン版に接触する接触部位が、載置台の載置面に対して略平行となるように平行度調整を行う平行度調整工程を含み、平行度調整工程は、平行度検出手段によって、載置面からの高さが略等しい複数の基準位置への接触部位の変位を検出することによって、接触部位が、載置面に対して、略平行であるか否かを検出する平行度検出工程を含み、スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能なようになされているスクリーン印刷方法を、その上位概念の実施形態としているものである。
【００９１】
この上位概念を構成するスクリーン印刷方法を実施することによって、平行調整工程では、スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能なようにされているので、スクリーン版を取り除く必要がないため、迅速にかつ簡単にスクリーン印刷を行うことができる。
【００９２】
上記実施形態の第１の実施例及び第２の実施例のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、共に誘電体層及び電極層が形成された第１の基板及び第２の基板を封止層を介して互いに対向するように配置し、接合するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、所定の誘電体層又は／及び電極層を第１の基板又は／及び第２の基板に形成する工程で、所定のパターンが印刷される被印刷物としての第１の基板又は第２の基板を載置台に載置し、所定のパターンを持つスクリーン版を介して、第１の基板又は第２の基板に、スキージによって印刷用ペーストを塗布するスクリーン印刷方法であって、平行度調整機構によって、スキージのスクリーン版に接触する接触部位が、載置台の載置面に対して略平行となるように平行度調整を行う平行度調整工程を含み、平行度調整工程は、平行度検出手段によって、載置面からの高さが略等しい複数の基準位置への接触部位の変位を検出することによって、接触部位が、載置面に対して、略平行であるか否かを検出する平行度検出工程を含み、スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能なようになされているスクリーン印刷方法を実施するプラズマディスプレイパネルの製造方法を、その上位概念の実施形態としているものである。
この上位概念を構成するプラズマディスプレイパネルの製造方法を実施することによって、誘電体層又は／及び電極層を第１の基板又は／及び第２の基板に形成する工程で、迅速にかつ簡単にスクリーン印刷を行うことができるので、生産性を向上させることができる。
【００９３】
また、上記実施形態の第３の実施例のプラズマディスプレイパネルを備えたプラズマ表示装置の製造方法は、プラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともにプラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、画像信号のフォーマット変換を行い、モジュールに送信するインタフェースを上記モジュールに電気的に接続する第３の工程とを含むプラズマ表示装置の製造方法であって、第１の工程では、所定の誘電体層又は／及び電極層を第１の基板又は／及び第２の基板に形成する工程で、所定のパターンが印刷される被印刷物としての第１の基板又は第２の基板を、載置台に載置し、所定のパターンを持つスクリーン版を介して、第１の基板又は第２の基板に、スキージによって印刷用ペーストを塗布するスクリーン印刷方法であって、平行度調整機構によって、スキージのスクリーン版に接触する接触部位が、載置台の載置面に対して略平行となるように平行度調整を行う平行度調整工程を含み、平行度調整工程は、平行度検出手段によって、載置面からの高さが略等しい複数の基準位置への接触部位の変位を検出することによって、接触部位が、載置面に対して、略平行であるか否かを検出する平行度検出工程を含み、スクリーン版が設置された状態で、平行度調整が可能なようになされているスクリーン印刷方法を実施するプラズマディスプレイパネルの製造方法を含むプラズマ表示装置の製造方法を、その上位概念の実施形態としているものである。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】従来技術を説明するための説明図であって、プラズマディスプレイパネルの構成を説明するための説明図である。
【図２】従来技術を説明するための説明図であって、従来のスクリーン印刷装置の構成を説明するための側面図である。
【図３】従来技術を説明するための説明図であって、同スクリーン印刷装置の動作を説明するための説明図である。
【図４】従来技術を説明するための説明図であって、同スクリーン印刷装置の調整方法を説明するための背面図である。
【図５】従来技術を説明するための説明図であって、同スクリーン印刷装置の調整方法を説明するための側面図である。
【図６】この発明の実施形態における第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの構成を示す斜視図である。
【図７】同プラズマディスプレイパネルの製造方法を説明するための工程図である。
【図８】同プラズマディスプレイパネルの製造方法において用いられるスクリーン印刷装置の構成を概略的に示す側面図である。
【図９】同スクリーン印刷装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図１０】同スクリーン印刷装置の調整方法を説明するための背面図である。
【図１１】同スクリーン印刷装置の調整方法を説明するための背面図である。
【図１２】同スクリーン印刷装置の動作を説明するための側面図である。
【図１３】この発明の実施形態における第２の実施例であるプラズマディスプレイパネルの製造方法において用いられるスクリーン印刷装置の構成を概略的に示す側面図である。
【図１４】この発明の実施形態における第３の実施例であるプラズマ表示装置の製造方法によって製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００９５】
３７，３７Ａ      スクリーン印刷装置
３８      ガラス基板（被印刷物）
３９      印刷ステージ（載置台）
３９ａ      載置面
４０      印刷用ペースト
４２      ヘッド移動部（スキージ変位手段）
４３      スクリーン（スクリーン版）
４５      スキージ
４５ａ      先端（接触部位）
４６      スキージ取付調整部（平行度調整機構）
４９      スキージホルダ（スキージ支持体）
５１      ストローク部（スキージ変位手段）
６７      接触部（基準部材）
６７ａ      基準面
７１      圧力センサ（平行度検出手段の一部、接触検出手段）
７３      制御部（平行度判定手段の一部）
７８      平行度検知部（平行度判定手段の一部）
８２      前面ガラス基板（被印刷物、第１の基板又は第２の基板）
８３ｂ，８４ｂ      バス電極（電極層）
８５      透明誘電体層（誘電体層）
８９      背面ガラス基板（被印刷物、第１の基板又は第２の基板）
９１      アドレス電極（電極層）
９２      白色誘電体層（誘電体層）
９３      隔壁（誘電体層）
９４      蛍光体層（誘電体層）
９６      プラズマディスプレイパネル
１０３      プラズマ表示装置
【図１】
2006341409.tif 000003
【図２】
2006341409.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2006341409.tif 000013
【図１２】
2006341409.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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