(57)【要約】【課題】ワーク表面の加工液や切粉の洗浄手段に特徴がある硬質脆性板の側辺加工装置に関し、洗浄水の使用量を低減してワーク加工時のランニングコストを低減する。【解決手段】加工後のワーク表面の洗浄を局部的に行うことにより、洗浄装置の構造の単純化と洗浄水の使用量の低減とを図り、更に加工液や切粉のワーク中央部への拡散を抑制する手段を設けることにより、ワーク表面の洗浄が効果的に行われるようにした。工具３に対するテーブル１の相対送り方向における工具３の下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる水流５ａを生成する水ノズル５と、この水ノズルの更に下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる空気流６ａを生成する空気ノズル６とが配置されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク側辺加工用の工具(3)と、この工具によるワーク加工部へ加工液を供給する加工液供給装置(4)と、ワークを載置するテーブル(1)とを備え、前記工具に対するテーブルの前記ワーク側辺方向の相対送りにより側辺加工を行う硬質脆性板の側辺加工装置において、
テーブル(1)の前記相対送り方向における工具(3)の下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる水流(5a)を生成する水ノズル(5)と、この水ノズルの更に下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる空気流(6a)を生成する空気ノズル(6)とが配置されていることを特徴とする、硬質脆性板の側辺加工装置。
【請求項２】
ワーク(2)の前記相対送り方向と直交する幅方向内側の工具(3)と略対向する位置に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向いて流れる空気流を生成する第２の空気ノズル(7)が配置されていることを特徴とする、請求項１記載の側辺加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶基板の辺の面取加工などに用いる硬質脆性板の側辺加工装置に関するもので、特に加工後にワーク表面に残存する加工液や切粉の洗浄手段に特徴がある上記装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パソコンやテレビ、携帯電話などのディスプレイ装置として用いられる液晶パネルは、大面積のガラス板に複数の表示デバイスをマトリックス状に形成した後、その基板を個々のパネルの寸法に割断することによって製作されている。割断した基板の端面には鋭いエッジが形成されるので、回転砥石でこのエッジの面取加工を行っている。回転砥石によるガラス板の研削加工時には、加工液（一般的には純水）が必要であり、加工時には細かい切粉も発生する。この加工液や切粉は、加工されたガラス板の表面に付着するので、これを洗浄する必要がある。
【０００３】
図６は、水流と空気噴流による洗浄装置を設けた従来のガラス基板の面取加工装置の一例を模式的に示した斜視図である。装置は、ワークであるガラス基板２を支持するテーブル１と、回転砥石３とを備えており、テーブル１を砥石３に対してワークの加工側辺２ａの延在方向に相対移動させることにより、当該側辺の面取加工を行う。
【０００４】
加工部（砥石３とワーク２との接触部）には、加工液ノズル４で加工液が供給されている。加工液の大部分は、回転する砥石３によって加工部の外側へはじき出されるが、一部はワーク２の表面上に残留し、また加工により生じた切粉の一部も加工液と共にワーク表面に付着する。そこで図の装置では、洗浄装置１３でワーク２の上面全体に洗浄水を流し、ワーク２の幅寸法より大きい長さを備えたエアナイフなどと呼ばれる空気ノズル８から空気を膜状に噴出して、ワーク表面の加工液や切粉を除去している。
【特許文献１】特開２００３‐３１２８４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の側辺加工装置では、研削加工時にワーク表面に付着した加工液や切粉を除去するためにワークの表面全体に洗浄水を流して洗浄を行っているため、洗浄水（ディスプレイ用のガラス基板の洗浄には、純水が用いられる）の消耗量が多く、ランニングコスト（加工コスト）が高くなるという問題があった。また、ワーク表面全体に洗浄水をかけて洗浄を行うので、洗浄装置が大型となり、またワーク表面を均一に洗浄する必要があることから、洗浄装置に要求される精度も高くなり、従って洗浄装置の構造が複雑になり、価格も高くなる問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、硬質脆性板の側辺加工装置において、加工後のワーク表面の洗浄を局部的に行うことにより、洗浄装置の構造の単純化と洗浄水の使用量の低減とを図ることによって上記課題を解決したものであり、更に加工液や切粉のワーク中央部への拡散を抑制可能な砥石構造や、当該拡散を積極的に抑制する手段を設けることにより、ワーク表面の洗浄が効果的に行われるようにしたものである。
【０００７】
すなわち、本願請求項１の発明に係る硬質脆性板の側辺加工装置は、ワーク側辺加工用の工具３と、この工具によるワーク加工部へ加工液を供給する加工液供給装置４と、ワークを載置するテーブル１とを備え、前記工具に対するテーブルの前記ワーク側辺方向の相対送りにより側辺加工を行う硬質脆性板の側辺加工装置において、テーブル１の前記相対送り方向における工具３の下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる水流５ａを生成する水ノズル５と、この水ノズルの更に下流側に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向かって流れる空気流６ａを生成する空気ノズル６とが配置されていることを特徴とするものである。
【０００８】
また本願請求項２の発明は、上記手段を備えた側辺加工装置において、更に、ワーク２の前記相対送り方向と直交する幅方向内側の工具３と略対向する位置に、ワーク側辺部の表面に沿ってその側辺の内側から外側に向いて流れる空気流を生成する第２の空気ノズル７が配置されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
加工時に加工液や切粉が付着するのはワークの側辺部表面であり、この部分に付着した加工液や切粉が工具３のワーク送り方向直後の下流側を流れる水流５ａでワーク２の側辺外側へと流され、更にこれに続く空気流６ａで洗浄水もワークの側辺外側へと流されるので、ワーク表面を効率的に洗浄することができ、洗浄に必要な純水の量が少なくて済み、ランニングコストを低減できる。
【００１０】
特にワークの加工側辺２ａの上下に、ワーク２との接触部２ｂで当該側辺の内側から外側に向かう方向に回転する上下２個の回転砥石３ａ、３ｂを備える側辺加工装置では、上記砥石３ａ、３ｂの回転に随伴して加工部にワーク側辺の内側から外側に向いて流れる空気流１０が生じ、加工液や切粉のワーク中央部への拡散が抑制されて、加工液や切粉がワーク側辺部に留まるので、この発明の水ノズル５及び空気ノズル６により、ワーク表面の効果的な洗浄が可能になる。
【００１１】
請求項２の発明では、工具３による加工部に第２空気ノズル７からの空気流１１により、加工液や切粉のワーク中央部への拡散がより積極的に阻止されるので、本願発明の水ノズル５及び空気ノズル６によるワーク表面の効果的な洗浄が可能である。
【００１２】
また、ワーク表面全体を洗浄する従来装置に比べて、洗浄面積が小さくなるので、装置も小型で構造も簡単になり、装置自体もより安価に提供できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、この発明の実施形態を説明する。図１ないし図３は、この発明の最も好ましい実施形態の一例を示した図で、図１は要部の斜視図、図２は面取加工中のワーク側辺部をワークの送り方向下流側から見た図、図３は全体の機器配置とノズルからの水流及び空気流の流れの方向を示す平面図、図４は加工液供給部分の砥石と加工液ノズルとの拡大部分断面図、図５は加工液ノズルを砥石側から見た図である。
【００１４】
図において、１はテーブル、２はテーブル１上に真空圧等で吸着保持されたワーク（ガラス基板）、３はワーク側辺２ａの面取加工用の砥石ユニット、４は加工液ノズル、５は洗浄水ノズル、６は空気ノズル、７は第２の空気ノズル、８はエアナイフ、９はワーク搬出用のコンベアである。
【００１５】
砥石ユニット３、ノズル４、５、６、エアナイフ８及びコンベア９は、定位置に設けられており、テーブル１及びこれに吸着保持されたワーク２は、加工するワーク側辺２ａと平行な図の矢印Ａ方向に移動する。この移動時に砥石ユニット３に設けた上下の回転砥石３ａ、３ｂがワーク側辺２ａの上下のエッジに略４５度の角度で接触して、当該エッジの面取加工を行う。このとき、加工液ノズル４から砥石３ａ、３ｂの周面に加工液（純水）が供給される。
【００１６】
上下の砥石３ａ、３ｂは、ワーク側辺２ａのエッジを内側から外側へと研削するように、図２に矢印Ｂで示す方向に回転しており、この回転に伴う空気流１０が図３に示すように、ワーク側辺２ａの内側から外側へと流れている。図に示した上下の砥石３ａ、３ｂは、それぞれ１本の砥石軸１２ａ、１２ｂに軸方向に間隔を置いて固定された３枚の砥石車からなっており、上下各３枚の砥石車が交互に相手側砥石車の間隔部分に位置している。ワーク２は、その側辺２ａをテーブル１から張り出させた状態で支持されており、下側砥石３ｂとテーブル１とが干渉しないようになっている。
【００１７】
第２空気ノズル７は、上下の砥石３ａ、３ｂと対向するようにワーク２の側辺部上下に設けられて、上下の砥石３ａ、３ｂとワーク側辺２ａとの接触部に向けて第２空気流１１を噴射している。第２空気流１１は、図３に示すように、ワーク側辺２ａの内側から外側へ、かつワーク２の送り方向下流側から上流側へと向く斜めの方向に噴射されている。前述した砥石３ａ、３ｂの回転により生ずる空気流１０の作用により、ワーク側辺２ａの加工部に供給される加工液や当該加工部で発生する切粉は、ワーク側辺２ａの内側から外側へと搬送されて、当該加工液や切粉がワークの中央部に拡散するのが抑制される。
【００１８】
図示装置に設けられている第２空気ノズル７は、ワーク加工部にワークの内側から外側へと流れる空気流１１を積極的に付与して加工液や切粉がワーク中央部に拡散するのを防止し、ワーク２への加工液や切粉の付着がワーク側辺部の狭い範囲に留まるようにしている。
【００１９】
砥石３のワーク送り方向下流側には、ワーク側辺２ａから内側寄りのワーク２の上下に、ワーク２の上下面に沿ってワーク内側から外側へと流れる水流５ａ及び空気流６ａを生成するように噴出口５ｂ、６ｂをワーク側辺側に向けた水ノズル５と空気ノズル６とがこの順序で配置されている。
【００２０】
水ノズル５及び空気ノズル６の配置位置は、ワーク側辺部の加工液や切粉が付着するおそれのある部分全体を水流５ａで洗浄可能な位置とし、例えば第２空気ノズル７を設けないときは、加工液や切粉の付着領域が広がるから、水ノズル５の配置位置は、ワークの幅方向（送り方向から見た幅方向）の内側に後退した位置となる。空気ノズル６は、水ノズル５から流出する洗浄水をワーク表面から除去する作用をなすもので、水ノズル５よりワーク送り方向下流側のワーク幅方向内側の位置に配置される。
【００２１】
図の装置では、空気ノズル６の更にワーク送り方向下流側に従来装置と同様なエアナイフ８を配置しているが、これは側辺加工装置からワーク２をコンベア９へと搬出する際に、ワーク表裏面の水の除去を確実に保証するために従来装置に設けていたものをそのまま設けたものである。
【００２２】
図４及び５は、上記実施形態で用いた砥石３への加工液の供給構造を示したものである。図に示すように、加工液ノズル４には砥石３の周面が遊隙を持って嵌まり込む円弧状の凹所４ａが複数枚（図では３枚）の砥石車に対向するように複数箇所設けられており、その凹所の底部に加工液供給用のノズル孔４ｂが開口している。ノズル孔４ｂから流出する加工液は、凹所４ａの壁面と砥石３の外周面との間に形成される遊隙を通って、砥石３の周面に付着した状態でワークの加工部へと搬送される。砥石３への加工液供給ノズルの構造として、図４、５に例示するような構造を用いることにより、ノズル孔４ｂから流出する加工液と回転する砥石周面との衝突による加工液の飛散が防止され、加工液がワークの中央部に拡散するのをより有効に防止することができる。
【００２３】
次に上記構成を備えた実施例装置の作用について説明する。加工しようとするワークの側辺２ａに臨んで回転する上下の砥石３ａ、３ｂは、ワーク２の側辺２ａ方向への移動により、側辺２ａの面取加工を行って行く。このとき、加工部に供給される加工液及び加工部で発生する切粉は、砥石の回転に伴う空気流１０及び第２空気ノズル７から噴出する第２空気流１１により、大部分が加工される側辺２ａの外側へと送りだされるが、一部はワーク側辺部のワーク表面に付着する。
【００２４】
水ノズル５及び空気ノズル６も定位置に設けられているため、砥石ユニット３部分を通過したワーク側辺部は、水ノズル５の配置位置に達したときに、水流５ａによって洗浄され、更に空気ノズル６の配置位置に達したときに、空気流６ａによってワーク表面に付着した洗浄水が除去される。そして、加工済ワークがテーブル１から搬出コンベア９へと搬出される際にエアナイフ８から噴出する膜状の空気流によってワーク２の上下面が空気洗浄される。
【００２５】
なお、砥石ユニット３は、ワーク２の幅寸法に応じてワーク幅方向に移動させる必要があるが、このとき、水ノズル５、空気ノズル６及び第２空気ノズル７も砥石ユニット３の幅方向の移動量に応じて幅方向に移動する。すなわち、実際の装置では、ワークの幅寸法に合せて位置調整可能な砥石側フレームに砥石ユニット３、水ノズル５、空気ノズル６及び第２空気ノズル７を設けてやればよい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】実施例装置の要部の斜視図
【図２】面取加工中のワーク側辺部をワークの送り方向下流側から見た図
【図３】全体の機器配置とノズルからの水流及び空気流を示す平面図
【図４】砥石への加工液供給部分の拡大部分断面図
【図５】加工液ノズルを砥石側から見た斜視図
【図６】従来装置の一例を示す図
【符号の説明】
【００２７】
１  テーブル
２  ワーク
３  砥石ユニット（工具）
４  加工液ノズル
５  洗浄水ノズル
６  空気ノズル
７  第２空気ノズル
【図１】
2006026766.tif 000003
【図２】
2006026766.tif 000004
【図３】
2006026766.tif 000005
【図４】
2006026766.tif 000006
【図５】
2006026766.tif 000007
【図６】
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