(57)【要約】  【課題】  従来より確実に容器内から容器外に粒子を排出することができる粒子排出装置及び粒子排出方法を提供する。  【解決手段】  粒子排出装置１０は、開口部９０ａを有した容器９０の内壁に付着した粒子を容器９０内から開口部９０ａを介して容器９０外に排出するために容器９０に運動させるモータ１３、円盤１４、球面軸受１５、シャフト１６、ユニバーサルジョイント１７及び容器固定プレート１８を備え、モータ１３、円盤１４、球面軸受１５、シャフト１６、ユニバーサルジョイント１７及び容器固定プレート１８は、容器９０内から開口部９０ａに向かう矢印１０ａで示す第１の方向に容器９０に慣性力を加える第１の運動と、矢印１０ａで示す第１の方向と直交する矢印１０ｂで示す第２の方向に容器９０に慣性力を加える第２の運動とを同時に容器９０に行わせる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有した容器の内壁に付着した粒子を前記容器内から前記開口部を介して前記容器外に排出するために前記容器に運動させる運動手段を備え、
前記運動手段は、前記容器内から前記開口部に向かう第１の方向に前記容器に慣性力を加える第１の運動と、前記第１の方向と直交する第２の方向に前記容器に慣性力を加える第２の運動とを同時に前記容器に行わせることを特徴とする粒子排出装置。
【請求項２】
前記運動手段は、前記容器に対する前記第２の方向を変更しながら前記第２の運動を前記容器に行わせることを特徴とする請求項１に記載の粒子排出装置。
【請求項３】
前記容器内の前記粒子を前記容器外から前記開口部を介して電界によって吸引する吸引手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の粒子排出装置。
【請求項４】
前記運動手段によって前記容器に加えられる慣性力のうち、前記第１の方向に加えられる慣性力と、前記第２の方向に加えられる慣性力との割合を変更する割合変更手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の粒子排出装置。
【請求項５】
前記容器内の前記粒子の動きを検出する動き検出手段を備え、
前記割合変更手段は、前記動き検出手段の検出結果に基づいて前記割合を変更することを特徴とする請求項４に記載の粒子排出装置。
【請求項６】
前記容器内から前記開口部を介して前記容器外に排出される前記粒子の量を検出する粒子量検出手段を備え、
前記割合変更手段は、前記粒子量検出手段の検出結果に基づいて前記割合を変更することを特徴とする請求項４に記載の粒子排出装置。
【請求項７】
開口部を有した容器の内壁に付着した粒子を前記容器内から前記開口部を介して前記容器外に排出するために前記容器に運動させる運動ステップを備え、
前記運動ステップは、前記容器内から前記開口部に向かう第１の方向に前記容器に慣性力を加える第１の運動と、前記第１の方向と直交する第２の方向に前記容器に慣性力を加える第２の運動とを同時に前記容器に行わせることを特徴とする粒子排出方法。
【請求項８】
前記運動ステップは、前記容器に対する前記第２の方向を変更しながら前記第２の運動を前記容器に行わせることを特徴とする請求項７に記載の粒子排出方法。
【請求項９】
前記容器内の前記粒子を前記容器外から前記開口部を介して電界によって吸引する吸引ステップを備えたことを特徴とする請求項７に記載の粒子排出方法。
【請求項１０】
前記運動ステップによって前記容器に加えられる慣性力のうち、前記第１の方向に加えられる慣性力と、前記第２の方向に加えられる慣性力との割合を変更する割合変更ステップを備えたことを特徴とする請求項７に記載の粒子排出方法。
【請求項１１】
前記容器内の前記粒子の動きを検出する動き検出ステップを備え、
前記割合変更ステップは、前記動き検出ステップの検出結果に基づいて前記割合を変更することを特徴とする請求項１０に記載の粒子排出方法。
【請求項１２】
前記容器内から前記開口部を介して前記容器外に排出される前記粒子の量を検出する粒子量検出ステップを備え、
前記割合変更ステップは、前記粒子量検出ステップの検出結果に基づいて前記割合を変更することを特徴とする請求項１０に記載の粒子排出方法。
【請求項１３】
前記割合変更ステップは、前記容器内の形状に合わせて前記割合を時間的に変更することを特徴とする請求項１０に記載の粒子排出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、開口部を有した容器の内壁に付着した粒子を容器内から開口部を介して容器外に排出する粒子排出装置及び粒子排出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、容器の内壁に静電気で付着した粒子を容器内から容器外に排出する粒子排出装置として、ガラス微粒子堆積体製造容器の内面にイオン化ガスを吹き付けて、容器内に蓄積された静電気を中和しながらガラス微粒子を飛散させ、排気管又は減圧吸引器具によってガラス微粒子を容器内から容器外に排出するものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
なお、従来の粒子排出装置においては、容器内の凹部や角部にイオン化ガスを十分に供給することができなければガラス微粒子を中和させることが難しいので、ガラス微粒子を壁面から分離するためにイオン化ガスの流速を大きくする必要がある。
【特許文献１】特開２００１−１９４４２号公報（第２−３頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の粒子排出装置においては、イオン化ガスの流速を大きくすると容器内で気流の乱れが生じ気流の急激な曲部ではガラス微粒子が気流から外れてしまい、イオン化ガスの流速が小さい場所にガラス微粒子が滞留するか、容器内でランダムにガラス微粒子が飛散してしまうので、ガラス微粒子を容器内から容器外に排出することができないという問題があった。
【０００５】
本発明は、従来の問題を解決するためになされたもので、従来より確実に容器内から容器外に粒子を排出することができる粒子排出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の粒子排出装置は、開口部を有した容器の内壁に付着した粒子を前記容器内から前記開口部を介して前記容器外に排出するために前記容器に運動させる運動手段を備え、前記運動手段は、前記容器内から前記開口部に向かう第１の方向に前記容器に慣性力を加える第１の運動と、前記第１の方向と直交する第２の方向に前記容器に慣性力を加える第２の運動とを同時に前記容器に行わせる構成を有している。
【０００７】
この構成により、本発明の粒子排出装置は、容器の内壁に付着した粒子を第２の方向の慣性力によって容器の内壁から分離して容器と粒子との間の静電気力を弱めると同時に、容器との間の静電気力が弱まった粒子を第１の方向の慣性力によって容器内から開口部を介して容器外に排出するので、従来より確実に容器内から容器外に粒子を排出することができる。
【０００８】
また、本発明の粒子排出装置は、前記運動手段は、前記容器に対する前記第２の方向を変更しながら前記第２の運動を前記容器に行わせる構成を有している。
【０００９】
この構成により、本発明の粒子排出装置は、容器に対する第２の方向を固定して第２の運動を容器に行わせる場合と比較して、容器の内壁の広範囲にわたって容器の内壁から粒子を分離することができ、より確実に粒子を容器内から容器外に排出することができる。
【００１０】
また、本発明の粒子排出装置は、前記容器内の前記粒子を前記容器外から前記開口部を介して電界によって吸引する吸引手段を備えた構成を有している。
【００１１】
この構成により、本発明の粒子排出装置は、より確実に容器内から容器外に粒子を排出することができる。
【００１２】
また、本発明の粒子排出装置は、前記運動手段によって前記容器に加えられる慣性力のうち、前記第１の方向に加えられる慣性力と、前記第２の方向に加えられる慣性力との割合を変更する割合変更手段を備えた構成を有している。
【００１３】
この構成により、本発明の粒子排出装置は、効率良く容器内から容器外に粒子を排出することができる状態で容器に運動させることができる。
【００１４】
また、本発明の粒子排出装置は、前記容器内の前記粒子の動きを検出する動き検出手段を備え、前記割合変更手段は、前記動き検出手段の検出結果に基づいて前記割合を変更する構成を有している。
【００１５】
この構成により、本発明の粒子排出装置は、容器内の粒子の動きに基づいて容器の運動状態を変更することができるので、より効率良く容器内から容器外に粒子を排出することができる。
【００１６】
また、本発明の粒子排出装置は、前記容器内から前記開口部を介して前記容器外に排出される前記粒子の量を検出する粒子量検出手段を備え、前記割合変更手段は、前記粒子量検出手段の検出結果に基づいて前記割合を変更する構成を有している。
【００１７】
この構成により、本発明の粒子排出装置は、容器内から開口部を介して容器外に排出される粒子の量に基づいて容器の運動状態を変更することができるので、より効率良く容器内から容器外に粒子を排出することができる。
【００１８】
また、本発明の粒子排出方法は、開口部を有した容器の内壁に付着した粒子を前記容器内から前記開口部を介して前記容器外に排出するために前記容器に運動させる運動ステップを備え、前記運動ステップは、前記容器内から前記開口部に向かう第１の方向に前記容器に慣性力を加える第１の運動と、前記第１の方向と直交する第２の方向に前記容器に慣性力を加える第２の運動とを同時に前記容器に行わせる構成を有している。
【００１９】
この構成により、本発明の粒子排出方法は、容器の内壁に付着した粒子を第２の方向の慣性力によって容器の内壁から分離して容器と粒子との間の静電気力を弱めると同時に、容器との間の静電気力が弱まった粒子を第１の方向の慣性力によって容器内から開口部を介して容器外に排出するので、従来より確実に容器内から容器外に粒子を排出することができる。
【００２０】
また、本発明の粒子排出方法は、前記運動ステップは、前記容器に対する前記第２の方向を変更しながら前記第２の運動を前記容器に行わせる構成を有している。
【００２１】
この構成により、本発明の粒子排出方法は、容器に対する第２の方向を固定して第２の運動を容器に行わせる場合と比較して、容器の内壁の広範囲にわたって容器の内壁から粒子を分離することができ、より確実に粒子を容器内から容器外に排出することができる。
【００２２】
また、本発明の粒子排出方法は、前記容器内の前記粒子を前記容器外から前記開口部を介して電界によって吸引する吸引ステップを備えた構成を有している。
【００２３】
この構成により、本発明の粒子排出方法は、より確実に容器内から容器外に粒子を排出することができる。
【００２４】
また、本発明の粒子排出方法は、前記運動ステップによって前記容器に加えられる慣性力のうち、前記第１の方向に加えられる慣性力と、前記第２の方向に加えられる慣性力との割合を変更する割合変更ステップを備えた構成を有している。
【００２５】
この構成により、本発明の粒子排出方法は、効率良く容器内から容器外に粒子を排出することができる状態で容器に運動させることができる。
【００２６】
また、本発明の粒子排出方法は、前記容器内の前記粒子の動きを検出する動き検出ステップを備え、前記割合変更ステップは、前記動き検出ステップの検出結果に基づいて前記割合を変更する構成を有している。
【００２７】
この構成により、本発明の粒子排出方法は、容器内の粒子の動きに基づいて容器の運動状態を変更することができるので、より効率良く容器内から容器外に粒子を排出することができる。
【００２８】
また、本発明の粒子排出方法は、前記容器内から前記開口部を介して前記容器外に排出される前記粒子の量を検出する粒子量検出ステップを備え、前記割合変更ステップは、前記粒子量検出ステップの検出結果に基づいて前記割合を変更する構成を有している。
【００２９】
この構成により、本発明の粒子排出方法は、容器内から開口部を介して容器外に排出される粒子の量に基づいて容器の運動状態を変更することができるので、より効率良く容器内から容器外に粒子を排出することができる。
【００３０】
また、本発明の粒子排出方法は、前記割合変更ステップは、前記容器内の形状に合わせて前記割合を時間的に変更する構成を有している。
【００３１】
この構成により、本発明の粒子排出方法は、容器内の形状に合わせて容器の運動状態を時間的に変更することができるので、より効率良く容器内から容器外に粒子を排出することができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明は、従来より確実に容器内から容器外に粒子を排出することができる粒子排出装置及び粒子排出方法を提供することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００３４】
（第１の実施の形態）
まず、第１の実施の形態に係る粒子排出装置の構成について説明する。
【００３５】
図１に示すように、本実施の形態に係る粒子排出装置１０は、互いに位置関係が固定された固定部１１及び固定プレート１２と、固定部１１に固定されたモータ１３と、モータ１３の出力軸１３ａに接続された円盤１４と、モータ１３の出力軸１３ａの回転軸１３ｂから所定の距離だけ離れて円盤１４に固定された球面軸受１５と、一端で球面軸受１５に回転可能に接続されたシャフト１６と、シャフト１６を固定プレート１２に回転可能に連結したユニバーサルジョイント１７と、シャフト１６の他端に連結されて容器９０を固定する容器固定プレート１８と、容器固定プレート１８に固定された容器９０の開口部９０ａに連結する連結部１９ａを有したホース１９と、容器９０内からホース１９を介して排出される粒子を貯蔵する図示していない貯蔵容器とを備えている。
【００３６】
なお、モータ１３、円盤１４、球面軸受１５、シャフト１６、ユニバーサルジョイント１７及び容器固定プレート１８は、容器９０内から開口部９０ａに向かう矢印１０ａで示す第１の方向に遠心力によって容器９０に慣性力を加える第１の運動と、矢印１０ａで示す第１の方向と直交する矢印１０ｂで示す第２の方向に遠心力によって容器９０に慣性力を加える第２の運動とを同時に容器９０に行わせる運動ステップを行うようになっており、運動手段を構成している。
【００３７】
また、容器固定プレート１８は、ユニバーサルジョイント１７から容器固定プレート１８に向かう方向に開口部９０ａが開口する状態で容器９０を固定するようになっている。
【００３８】
次に、粒子排出装置１０の粒子排出方法について説明する。
【００３９】
粒子排出装置１０は、モータ１３が駆動されると、容器９０が傾いた状態で容器９０に回転軸１３ｂを中心に矢印１３ｃで示す方向に円運動を行わせる。
【００４０】
容器９０は、回転軸１３ｂ周りの円運動を粒子排出装置１０によって行わせられるとき、ヨー角が一定である姿勢をとる。したがって、図２に示すように、容器９０の内壁に付着した粒子９１の状態は、回転軸１３ｂ周りの円運動に起因する遠心力１０ｃに基づく矢印１０ｂで示す第２の方向の慣性力によって容器９０の内壁に押し付けられる状態（図２（ａ）参照。）や、回転軸１３ｂ周りの円運動に起因する遠心力１０ｃに基づく矢印１０ｂで示す第２の方向の慣性力によって容器９０の内壁から分離する状態（図２（ｂ）参照。）に回転軸１３ｂ周りの円運動の１周期の中で変化する。また、容器９０内の粒子９１は、回転軸１３ｂ周りの円運動に起因する遠心力１０ｃに基づく矢印１０ａで示す第１の方向の慣性力によって矢印１０ａで示す第１の方向に移動させられる。
【００４１】
以上に説明したように、粒子排出装置１０は、容器９０の内壁に付着した粒子を矢印１０ｂで示す第２の方向の慣性力によって容器９０の内壁から分離して容器９０と粒子との間の静電気力を弱めると同時に、容器９０との間の静電気力が弱まった粒子を矢印１０ａで示す第１の方向の慣性力によって容器９０内から開口部９０ａを介して容器９０外に排出するので、従来より確実に容器９０内から容器９０外に粒子を排出することができる。
【００４２】
また、粒子排出装置１０は、容器９０に対する矢印１０ｂで示す第２の方向を変更しながら第２の運動を容器９０に行わせるので、容器９０自身には回転運動を行わせないことによって図３に示すように容器９０に対する矢印１０ｂで示す第２の方向を固定して第２の運動を容器９０に行わせる場合と比較して、容器９０の内壁の広範囲にわたって容器９０の内壁から粒子を分離することができ、より確実に粒子を容器９０内から容器９０外に排出することができる。
【００４３】
なお、粒子排出装置１０は、容器９０内からホース１９を介して粒子を貯蔵容器に排出する構成になっているが、容器９０の開口部９０ａに直接連結した袋状の貯蔵容器に排出する構成になっていても良い。
【００４４】
また、粒子排出装置１０は、容器９０に回転軸１３ｂ周りの円運動と、容器９０自身の回転運動とを行わせることによって第１の運動及び第２の運動を同時に容器９０に行わせるようになっているが、回転軸１３ｂ周りの円運動、容器９０自身の回転運動、容器９０自身の直線運動又はそれらを組み合わせた運動によって第１の運動及び第２の運動を同時に容器９０に行わせるようになっていれば良い。
【００４５】
（第２の実施の形態）
まず、第２の実施の形態に係る粒子排出装置の構成について説明する。
【００４６】
なお、本実施の形態に係る粒子排出装置の構成のうち、本発明の第１の実施の形態に係る粒子排出装置１０（図１参照。）の構成と同様な構成については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４７】
図４に示すように、本実施の形態に係る粒子排出装置の構成は、ホース１９の容器９０との連結部１９ａに配置された金属板２１と、金属板２１に電界を発生させる電源２２とを粒子排出装置１０が備えた構成と同様である。
【００４８】
なお、金属板２１及び電源２２は、容器９０内の粒子を容器９０外から開口部９０ａを介して電界によって吸引する吸引ステップを行うようになっており、吸引手段を構成している。
【００４９】
次に、本実施の形態に係る粒子排出装置の粒子排出方法について説明する。
【００５０】
なお、本実施の形態に係る粒子排出装置の動作のうち、本発明の第１の実施の形態に係る粒子排出装置１０（図１参照。）の動作と同様な動作については、説明を省略する。
【００５１】
本実施の形態に係る粒子排出装置は、予め実験等で測定された容器９０内の粒子の帯電の状態に合わせた適切な電圧を電源２２によって金属板２１にかける。したがって、容器９０内の粒子の吸引に適した電界が金属板２１から発生する。そして、本実施の形態に係る粒子排出装置は、発生した電界によって、容器９０内の粒子を開口部９０ａを介して吸引する。
【００５２】
以上に説明したように、本実施の形態に係る粒子排出装置は、容器９０内の粒子を容器９０外から開口部９０ａを介して電界によって吸引するので、より確実に容器９０内から容器９０外に粒子を排出することができる。
【００５３】
（第３の実施の形態）
まず、第３の実施の形態に係る粒子排出装置の構成について説明する。
【００５４】
なお、本実施の形態に係る粒子排出装置の構成のうち、本発明の第１の実施の形態に係る粒子排出装置１０（図１参照。）の構成と同様な構成については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５５】
図５に示すように、本実施の形態に係る粒子排出装置３０の構成は、固定部１１に固定されてモータ１３を回転軸１３ｂの矢印３１ａで示す延在方向に直線運動させる直動アクチュエータ３１と、直動アクチュエータ３１を駆動制御するコントローラ３２と、矢印３１ａで示す方向に対して直交し回転軸１３ｂを通る直線上を移動可能に球面軸受１５を支持し円盤１４に固定されたリニアガイド３３とを粒子排出装置１０が備えた構成と同様である。
【００５６】
なお、直動アクチュエータ３１、コントローラ３２及びリニアガイド３３は、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち、矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力と、矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力との割合を変更する割合変更ステップを行うようになっており、割合変更手段を構成している。
【００５７】
次に、粒子排出装置３０の粒子排出方法について説明する。
【００５８】
なお、粒子排出装置３０の動作のうち、本発明の第１の実施の形態に係る粒子排出装置１０（図１参照。）の動作と同様な動作については、説明を省略する。
【００５９】
コントローラ３２によって直動アクチュエータ３１が駆動されると、直動アクチュエータ３１によってモータ１３及び円盤１４が矢印３１ａで示す方向に移動する。モータ１３及び円盤１４が矢印３１ａで示す方向に移動すると、円盤１４に固定されたリニアガイド３３によって球面軸受１５が円盤１４に対して矢印３１ａで示す方向に対して直交する方向に移動し、回転軸１３ｂ及び球面軸受１５の間の距離が図５（ａ）や図５（ｂ）に示すように変化する。したがって、回転軸１３ｂに対するシャフト１６の傾斜角度３０ａは、例えば図６（ａ）〜図６（ｃ）に示すように変化する。
【００６０】
そして、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち、矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力と、矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力との割合は、傾斜角度３０ａが小さくなると、矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力の割合が大きくなり、傾斜角度３０ａが大きくなると、矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力の割合が大きくなる。
【００６１】
以上に説明したように、粒子排出装置３０は、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち、矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力と、矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力との割合を変更することができるので、効率良く容器９０内から容器９０外に粒子を排出することができる状態で容器９０に運動させることができる。
【００６２】
例えば、図７（ａ）に示すように容器９０の内壁に凸部９０ｂがあるとき、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力の割合が大きいと、容器９０の内壁の凸部９０ｂに粒子９１が引っ掛かるので容器９０内から容器９０外に粒子９１を排出することが困難であるが、粒子排出装置３０は、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力の割合が大きくなるように設定されると、容器９０の内壁の凸部９０ｂに引っ掛かっていた粒子９１を容器９０内から容器９０外に排出することができるようになる。
【００６３】
なお、図７（ａ）に示すように容器９０の内壁に凸部９０ｂがあるときについて説明したが、図７（ｂ）に示すように容器９０の内壁に凹部９０ｃがあるときも同様である。
【００６４】
（第４の実施の形態）
まず、第４の実施の形態に係る粒子排出装置の構成について説明する。
【００６５】
なお、本実施の形態に係る粒子排出装置の構成のうち、本発明の第３の実施の形態に係る粒子排出装置３０（図５参照。）の構成と同様な構成については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００６６】
図８に示すように、本実施の形態に係る粒子排出装置４０の構成は、容器固定プレート１８に固定された加速度センサ４１を粒子排出装置３０が備えた構成と同様である。
【００６７】
なお、加速度センサ４１は、容器９０に作用する衝撃力や振動を検出することによって容器９０内の粒子の動きを検出する動き検出ステップを行うようになっており、動き検出手段を構成している。
【００６８】
また、コントローラ３２は、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち、矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力と、矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力との割合を変更するように、加速度センサ４１の検出結果に基づいて直動アクチュエータ３１を駆動制御するようになっている。
【００６９】
次に、粒子排出装置４０の粒子排出方法について説明する。
【００７０】
なお、粒子排出装置４０の動作のうち、本発明の第３の実施の形態に係る粒子排出装置３０（図５参照。）の動作と同様な動作については、説明を省略する。
【００７１】
容器９０の内壁に粒子が付着している状態では容器９０に衝撃力は作用しないが、容器９０の内壁に付着していた粒子が容器９０の内壁から分離して容器９０内を運動すると、粒子が容器９０に衝突して容器９０に衝撃力が発生する。また、粒子が容器９０の内壁上を滑っているか転がっている状態では、容器９０に振動が発生する。
【００７２】
そして、容器９０に発生した衝撃力や振動を加速度センサ４１が検出すると、コントローラ３２は、加速度センサ４１の検出結果に基づいて直動アクチュエータ３１を駆動制御する。
【００７３】
即ち、粒子排出装置４０は、容器９０に衝撃力や振動が発生していないとき、即ち、容器９０の内壁に粒子が付着しているときは、コントローラ３２で直動アクチュエータ３１を駆動することによって、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力の割合を大きくし、容器９０の内壁に付着している粒子を容器９０の内壁から分離する。また、粒子排出装置４０は、容器９０に衝撃力や振動が発生しているとき、即ち、容器９０の内壁に付着していた粒子が容器９０の内壁から分離して容器９０内を運動しているときは、コントローラ３２で直動アクチュエータ３１を駆動することによって、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力の割合を大きくし、容器９０内を運動している粒子を容器９０の開口部９０ａを介して容器９０外に排出する。
【００７４】
以上に説明したように、粒子排出装置４０は、容器９０内の粒子の動きに基づいて容器９０の運動状態を変更することができるので、より効率良く容器９０内から容器９０外に粒子を排出することができる。
【００７５】
なお、粒子排出装置４０は、動き検出手段として加速度センサ４１を備えているが、容器９０内の粒子の動きを検出することができる構成であれば動き検出手段として加速度センサ４１以外の構成を備えていても良い。例えば、粒子排出装置４０は、容器９０外から容器９０内の状態を視認することができる場合、容器９０内の粒子を撮影するカメラを動き検出手段として備えていても良い。
【００７６】
（第５の実施の形態）
まず、第５の実施の形態に係る粒子排出装置の構成について説明する。
【００７７】
なお、本実施の形態に係る粒子排出装置の構成のうち、本発明の第３の実施の形態に係る粒子排出装置３０（図５参照。）の構成と同様な構成については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００７８】
図９に示すように、本実施の形態に係る粒子排出装置５０の構成は、ホース１９の容器９０との連結部１９ａに配置されたカメラ５１を粒子排出装置３０が備えた構成と同様である。
【００７９】
なお、カメラ５１は、容器９０内から開口部９０ａを介して容器９０外に排出される粒子の量を検出する粒子量検出ステップを行うようになっており、粒子量検出手段を構成している。
【００８０】
また、ホース１９の連結部１９ａは、容器９０内から開口部９０ａを介して容器９０外に排出される粒子の量がカメラ５１によって撮影されるように、透明な部材で構成されている。
【００８１】
また、コントローラ３２は、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち、矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力と、矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力との割合を変更するように、カメラ５１の検出結果に基づいて直動アクチュエータ３１を駆動制御するようになっている。
【００８２】
次に、粒子排出装置５０の粒子排出方法について説明する。
【００８３】
なお、粒子排出装置５０の動作のうち、本発明の第３の実施の形態に係る粒子排出装置３０（図５参照。）の動作と同様な動作については、説明を省略する。
【００８４】
粒子排出装置５０は、動作開始後、容器９０内から開口部９０ａを介して容器９０外に排出される粒子の量が所定の量未満であることをカメラ５１が検出しているとき、コントローラ３２で直動アクチュエータ３１を駆動することによって、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力の割合と、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力の割合とを所定の時間間隔で交互に増大させる。
【００８５】
一方、粒子排出装置５０は、容器９０内から開口部９０ａを介して容器９０外に排出される粒子の量が所定の量以上であることをカメラ５１が検出しているとき、コントローラ３２で直動アクチュエータ３１を停止させることによって、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力及び矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力の割合を維持する。
【００８６】
以上に説明したように、粒子排出装置５０は、容器９０内から開口部９０ａを介して容器９０外に排出される粒子の量に基づいて容器９０の運動状態を変更することができるので、より効率良く容器９０内から容器９０外に粒子を排出することができる。
【００８７】
（第６の実施の形態）
第６の実施の形態に係る粒子排出装置の構成は、本発明の第３の実施の形態に係る粒子排出装置３０（図５参照。）の構成と同様であるので、粒子排出装置３０の構成と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００８８】
本実施の形態に係る粒子排出装置の粒子排出方法について説明する。
【００８９】
なお、本実施の形態に係る粒子排出装置の動作のうち、本発明の第３の実施の形態に係る粒子排出装置３０（図５参照。）の動作と同様な動作については、説明を省略する。
【００９０】
本実施の形態に係る粒子排出装置は、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち、矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力と、矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力との割合を、容器９０内の形状に合わせて時間的に変更するように利用者によって設定される。
【００９１】
例えば、図７（ａ）に示すように容器９０の内壁に凸部９０ｂがあるとき、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち矢印１０ａで示す第１の方向に加えられる慣性力の割合が大きいと、容器９０の内壁の凸部９０ｂに粒子９１が引っ掛かるので容器９０内から容器９０外に粒子９１を排出することが困難であるが、本実施の形態に係る粒子排出装置は、モータ１３によって容器９０に加えられる慣性力のうち矢印１０ｂで示す第２の方向に加えられる慣性力の割合が所定の時間間隔で大きくなるように利用者によって設定されると、容器９０の内壁の凸部９０ｂに引っ掛かっていた粒子９１を容器９０内から容器９０外に排出することができるようになる。
【００９２】
なお、図７（ａ）に示すように容器９０の内壁に凸部９０ｂがあるときについて説明したが、図７（ｂ）に示すように容器９０の内壁に凹部９０ｃがあるときも同様である。
【００９３】
以上に説明したように、本実施の形態に係る粒子排出装置は、容器９０内の形状に合わせて容器９０の運動状態を時間的に変更することができるので、より効率良く容器９０内から容器９０外に粒子９１を排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る粒子排出装置の正面図
【図２】（ａ）図１に示す粒子排出装置によって運動させられている容器の正面断面図  （ｂ）図２（ａ）に示す状態から粒子排出装置によって１８０°の円運動をさせられた状態での容器の正面断面図
【図３】（ａ）図１に示す粒子排出装置とは異なる粒子排出装置によって運動させられている容器の正面断面図  （ｂ）図３（ａ）に示す状態から粒子排出装置によって１８０°の円運動をさせられた状態での容器の正面断面図
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る粒子排出装置の容器近傍部分の正面図
【図５】（ａ）本発明の第３の実施の形態に係る粒子排出装置の正面図  （ｂ）図５（ａ）に示す状態とは異なる状態での図５（ａ）に示す粒子排出装置の正面図
【図６】（ａ）図５に示す粒子排出装置によって運動させられている容器の正面断面図  （ｂ）図６（ａ）に示す状態とは異なる状態で図５に示す粒子排出装置によって運動させられている容器の正面断面図  （ｃ）図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す状態とは異なる状態で図５に示す粒子排出装置によって運動させられている容器の正面断面図
【図７】（ａ）図６に示す容器であって内壁に凸部がある容器の凸部近傍の正面断面図  （ｂ）図６に示す容器であって内壁に凹部がある容器の凹部近傍の正面断面図
【図８】本発明の第４の実施の形態に係る粒子排出装置の正面図
【図９】本発明の第５の実施の形態に係る粒子排出装置の正面図
【符号の説明】
【００９５】
１０  粒子排出装置
１３  モータ（運動手段）
１４  円盤（運動手段）
１５  球面軸受（運動手段）
１６  シャフト（運動手段）
１７  ユニバーサルジョイント（運動手段）
１８  容器固定プレート（運動手段）
２１  金属板（吸引手段）
２２  電源（吸引手段）
３０  粒子排出装置
３１  直動アクチュエータ（割合変更手段）
３２  コントローラ（割合変更手段）
３３  リニアガイド（割合変更手段）
４０  粒子排出装置
４１  加速度センサ（動き検出手段）
５０  粒子排出装置
５１  カメラ（粒子量検出手段）
９０  容器
９０ａ  開口部
９１  粒子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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