(57)【要約】      （修正有）【課題】天井空間を利用して、多数の物品を保管できるようにし、物品載置台が水平面で傾いて設置されていても載置台に合わせた姿勢で受け渡し、ロードポート等との間の物品の受け渡しを簡単な制御で実行でき、昇降する横移動手段を提供する。【解決手段】天井走行車８の走行レール６の側方にサイドバッファ４０を設けて、棚４１，４２を多段に配置する。天井走行車８には、リニアガイド３２とボールネジ２６等からなる昇降手段を設けて、横移動部１６を昇降させる。【選択図】図１
2006282382.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井空間に設けた走行レールの側方に物品載置台を設けると共に、天井走行車には昇降駆動部を前記載置台と走行レールの下方との間で横移動させるための横移動手段を設けたシステムにおいて、
前記載置台には物品載置用の棚を多段に設けると共に、天井走行車には前記横移動手段を昇降させるための昇降手段を設けたことを特徴とする、天井走行車システム。
【請求項２】
前記昇降駆動部を水平旋回させるための手段を設けたことを特徴とする、請求項１の天井走行車システム。
【請求項３】
走行レールの下方のロードポートとの間で物品を受け渡しする場合、前記昇降手段を動作させずに、昇降駆動部で昇降台を昇降させて受け渡しするようにしたことを特徴とする、請求項１または２の天井走行車システム。  
【請求項４】
前記昇降手段を、天井走行車の走行方向の前後に設けた少なくとも一対の昇降ガイドと被ガイド体、及び横移動部の昇降を駆動するための駆動手段とを含むように構成したことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかの天井走行車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は天井走行車システムに関し、特にその物品の保管能力の向上に関する。
【背景技術】
【０００２】
発明者らは、天井走行車の走行レールの側方の天井空間内に、バッファを設けることを提案した（特許文献１）。この天井走行車システムでは、天井走行車に横移動部を設けて、昇降駆動部を走行レールに対して横方向に移動させ、サイドのバッファとの間で物品を受け渡しする。発明者はここで、サイドのバッファの保管能力を更に増すことを検討して、この発明に到った。
【特許文献１】特願２００４−１８６３１２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、天井空間を利用してより多くの物品を保管できるようにすることにある。
請求項２の発明での課題は、物品載置台が水平面内で傾いて設置されている場合も、物品を載置台に合わせた姿勢で受け渡すことができるようにすることにある。
請求項３の発明での課題は、ロードポートなどとの間の物品の受け渡しを、簡単な制御で実行できるようにすることにある。
請求項４の発明での課題は、横移動手段を昇降させるための具体的な構成を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、天井空間に設けた走行レールの側方に物品載置台を設けると共に、天井走行車には昇降駆動部を前記載置台と走行レールの下方との間で横移動させるための横移動手段を設けたシステムにおいて、前記載置台には物品載置用の棚を多段に設けると共に、天井走行車には前記横移動手段を昇降させるための昇降手段を設けたことを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、前記昇降駆動部を水平旋回させるための手段を設ける。水平旋回手段は、好ましくは横移動手段と昇降駆動部との間に設ける。
【０００６】
また好ましくは、走行レールの下方のロードポートとの間で物品を受け渡しする場合、前記昇降手段を動作させずに、昇降駆動部で昇降台を昇降させて受け渡しする。
【０００７】
特に好ましくは、前記昇降手段を、天井走行車の走行方向の前後に設けた少なくとも一対の昇降ガイドと被ガイド体、及び横移動部の昇降を駆動するための駆動手段とを含むように構成する。昇降ガイドと被ガイド体は、一方を天井走行車本体側に、他方を横移動部等の昇降する部材の側に設ける。駆動手段には、ボールネジや、ベルト、ロープ、ワイヤなどの部材、あるいはリニアモータなどを用いる。
【発明の効果】
【０００８】
この発明では、走行レールの側方に設けた載置台に多段に物品を保管して、天井走行車との間で物品を受け渡しできるので、天井空間を利用してより多くの物品を保管できる。
【０００９】
請求項２の発明では、昇降駆動部を水平旋回させることができるので、物品載置台の物品載置部が水平面内で傾いて設置されている場合も、物品の受け渡しができる。
【００１０】
請求項３の発明では、走行レールの下方のロードポートとの間で物品を受け渡しする場合、昇降手段を動作させずに、昇降駆動部で昇降台を昇降させて受け渡しするので、制御が簡単になる。
【００１１】
請求項４の発明では、昇降ガイドと被ガイド体とで横移動手段の昇降をガイドし、駆動手段で横移動手段を昇降駆動できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１３】
図１〜図５に、実施例とその変形とを示す。図において、２は天井走行車システムで、クリーンルームなどの内部に設けられ、３は天井空間で、４はその下方の地上空間である。走行レール６は天井空間３に設けられ、７はその支柱で、８は天井走行車である。天井走行車８の走行部１０は走行レール６内を走行し、通信受電部１２は走行レール６から非接触給電などにより受電すると共に、通信線を兼ねる給電線などを利用して通信を行う。１４は天井走行車８の本体フレームで、１６は横移動部、１８はθドライブ、２０は昇降駆動部、２２は昇降台で、物品２４を把持／解放自在にチャックする。物品２４は例えば半導体基板のカセットである。
【００１４】
２６は本体フレーム１４側に設けたボールネジで、２８はその駆動モータで、本体フレーム１４の例えば下部などに設ける。横移動部１６にはナット３０を設けて、ボールネジ２６の回転により昇降するようにし、本体フレーム１４の走行方向前後に例えば一対のリニアガイド３２，３２を設けて、横移動部１６側の被ガイド体３４をガイドする。ボールネジ２６〜被ガイド体３４により横移動部１６の昇降手段を構成し、昇降手段で横移動部１６〜昇降台２２を昇降させる。３６は天井走行車８の走行方向の前後に設けた落下防止カバーで、その下部の爪を出没させることにより物品２４の落下を防止する。天井走行車８が図１の例えば右から左へと走行するとすると、前側の落下防止カバーに先入品センサ３７を設けて、サイドバッファ４０の上下の棚４１，４２の先入品の有無を検出する。好ましくは先入品センサ３７は検出ビームの向きを回動自在にして、上側の棚４１と下側の棚４２について、それぞれ先入品の有無を検出できるようにする。
【００１５】
サイドバッファ４０は走行レールの側方下部にあり、例えば２段の棚４１，４２を備えて物品２４を上下に重ねて配置できるようにし、図１の鎖線で示すように、３段以上の棚を設けてもよい。そして棚４１では物品２４の底面を、天井走行車８で搬送中の物品の底面よりやや低い高さとする。ここでボールネジ２６やリニアガイド３２による昇降手段の昇降ストロークを、物品２４の高さ程度にすると、サイドバッファ４０側で２段に配置した物品２４を受け渡しできる。昇降ストロークを２物品分の高さ程度にすると、サイドバッファ４０側で物品２４を３段に配置しても受け渡しできる。
【００１６】
４４は走行レール６の直下に設けた下方バッファで、４６は図示しない処理装置に設けたロードポートであり、図１では下方バッファ４４とロードポート４６を上下に重ねて示すが、これらは平面視で重なり合わない位置に設けて、互いの干渉を防止する。４７はサイドバッファ４０の支柱、４８は下方バッファ４４の支柱である。
【００１７】
図２に示すように、リニアガイド３２と被ガイド体３４は、天井走行車の走行方向の前後に一対設けるが、より多数設けても良く、また横移動部１６側にリニアガイド３２を設け、本体フレーム１４側に被ガイド体３４を設けても良い。ボールネジ２６やモータ２８、ナット３０は、実施例では走行方向の前後一方に設けるが、走行方向の前後双方に設けても良い。
【００１８】
横移動部１６の機構を説明すると、５０はボールネジ、５４はフレーム５２に取り付けたナットである。ベルト５６はフレーム５２に取り付けたプーリーと噛み合い、ベルト５６の固定部５８は横移動部１６に固定され、固定部６０はθドライブに固定されている。この結果ボールネジ５０を駆動して、ナット５４を移動させると、フレーム５２が移動し、これに伴って固定部６０はナット５４の２倍のストロークで移動する。この結果、θドライブ１８が横移動部１６に対して横移動される。
【００１９】
図３に示すθドライブ１８では、ギア付きのリング６２の下側に昇降駆動部を取り付け、このリングを回動モータ６４により回動させて、昇降駆動部の向きを回動させる。昇降駆動部は３６０°回動できる必要はなく、所定の角度範囲で回動できればよい。
【００２０】
サイドバッファ４０の下段の棚４２との間の物品２４の受け渡しでは、ボールネジ２６等の昇降手段を用いて横移動部１６を下降させ、次いで横移動部１６によりθドライブ１８〜昇降台２２を棚４２上へ横移動させ、さらに昇降台２２を昇降して、物品２４を受け渡しする。最後の昇降台の昇降は、昇降駆動部２０で行っても、あるいはボールネジ２６等からなる昇降手段で行っても良い。昇降台２２の棚４２からの復帰は、前記の逆の手順で行う。サイドバッファ４０の上段の棚４１との間の物品の移載では、例えば昇降手段を用いず、横移動部１６によりθドライブ１８〜昇降台２２を棚４２上へ横移動させ、次いで昇降台２２を昇降して、物品２４を受け渡しする。この手順に代えて、横移動部１６によりθドライブ１８〜昇降台２２を棚４２上へ横移動させた後に、ボールネジ２６等の昇降手段で昇降台２２を昇降させても良い。なお天井走行車８内への復帰は前記の逆の手順で行う。
【００２１】
ロードポート４６との間の物品の受け渡しでは、昇降手段を用いず、昇降駆動部２０のみを用いて昇降台を昇降させる。このため制御が簡単になる。下方バッファ４４との間の移載でも、昇降手段を用いず昇降駆動部２０のみで受け渡しを行うと、制御が簡単である。ただし例えば下方バッファ４４の物品の載置面を下側の棚４２の載置面と揃えるような場合、ボールネジ２６等の昇降手段のみを用いて移載を行うことも可能である。
【００２２】
図４に示すように、棚４１，４２にはキネマチックピン４９などを設けて、物品の底部の溝などと係合してガイドできるようにする。棚４１，４２にはこれ以外にＩＤリーダや、天井走行車側から先入品の有無を検出する際に、先入品無しを示すためのカラーテープ、あるいは天井走行車との通信用の通信端末やメモリなどを設けても良い。３本のキネマチックピン４９の取り付け角度が標準値から外れていることに対しては、天井走行車８のθドライブ１８で昇降駆動部２０を介して昇降台２２を回動させることで対処する。図４では、上下の棚４１，４２を共通の支柱４７で支持したが、図５のサイドバッファ７０のように、上側の棚７１を支柱７３で、下側の棚７２を支柱７４で、別々に支持しても良い。
【００２３】
実施例ではボールネジ２６を用いて横移動部１６を昇降駆動したが、ベルトやロープ、ワイヤあるいはリニアモータなどで昇降駆動してもよい。実施例では横移動部１６はθドライブ１８を、走行レールの横方向の一方にのみ出没させる。そこで横移動部１６の他方の側面はフリーで、この部分にリニアガイド３２やボールネジ２６などを設けてもよい。またθドライブ１８は設けなくても良い。
【００２４】
実施例では以下の効果が得られる。
(1)  サイドバッファ４０に多段に物品を重ねて配置できるので、天井走行車システムでの物品の保管能力が増す。
(2)  昇降手段により横移動部を昇降させるので、サイドバッファの任意の段の棚と直接物品を受け渡しできる。
(3)  θドライブで物品の向きを回動させることができるので、サイドバッファでのキネマチックピン４９の配置などが傾いている場合でも、受け渡しに支障が生じない。
(4)  ロードポート４６との間の受け渡しでは、昇降手段を用いず、昇降駆動部２０のみを用いて昇降台を昇降させる。このため制御が簡単になる。下方バッファ４４との間の移載でも、昇降手段を用いず昇降駆動部２０のみで受け渡しを行うと、制御が簡単である。ただし、例えば下方バッファ４４の物品の載置面を下側の棚４２の載置面と揃えるような場合、ボールネジ２６等の昇降手段のみを用いて移載を行うことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施例の天井走行車システムの要部ブロック図
【図２】実施例で用いた天井走行車を、横移動部の上部で切り欠いて示す水平方向部分断面図
【図３】実施例で用いた天井走行車のθドライブの構造を示す図
【図４】実施例で用いたサイドバッファの斜視図
【図５】変形例のサイドバッファの斜視図
【符号の説明】
【００２６】
２          天井走行車システム
３          天井空間
４          地上空間
６          走行レール
７          支柱
８          天井走行車
１０        走行部
１２        通信受電部
１４        本体フレーム
１６        横移動部
１８        θドライブ
２０        昇降駆動部
２２        昇降台
２４        物品
２６        ボールネジ
２８        モータ
３０        ナット
３２        リニアガイド
３４        被ガイド体
３６        落下防止カバー
３７        先入品センサ
４０        サイドバッファ
４１，４２  棚
４４        下方バッファ
４６        ロードポート
４７，４８  支柱
４９        キネマチックピン
５０        ボールネジ
５２        フレーム
５４        ナット
５６        ベルト
５８，６０  固定部
６２        ギア付きリング
６４        回動モータ
７０        サイドバッファ
７１，７２  棚
７３，７４  支柱    
【図１】
2006282382.tif 000003
【図２】
2006282382.tif 000004
【図３】
2006282382.tif 000005
【図４】
2006282382.tif 000006
【図５】
2006282382.tif 000007