(57)【要約】【課題】  マスク本体への傷付き防止に加えて、万一、マスクと感光剤との間に微小なごみ等の異物が介在した場合でも所定範囲内の大きさであれば異物の影響を受けることなく正常なパターンを形成できるような露光用マスクを提供する。【解決手段】  露光用のマスクにおけるマスク本体１０の感光剤２０側の面に保護フィルム１５を設け、該保護フィルムに光拡散機能を持たせた。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンを持つ露光用のマスクを通して感光剤に露光を行うに際し、マスクと感光剤との間に光拡散機能を持つ部材を介在させることを特徴とする露光方法。
【請求項２】
前記光拡散機能を持つ部材として、すりガラス、または透明樹脂に、光拡散機能を付与するための微粒子を分散させた部材を用いることを特徴とする請求項１に記載の露光方法。
【請求項３】
露光用のマスクにおけるマスク本体の感光剤側の面に保護フィルムを設け、該保護フィルムに光拡散機能を持たせたことを特徴とする露光用マスク。
【請求項４】
前記保護フィルムとして、すりガラス、または透明樹脂に、光拡散機能を付与するための微粒子を分散させたフィルムを用いることを特徴とする請求項３に記載の露光用マスク。
【請求項５】
露光用のマスクにおける感光剤側の面に設けられる保護フィルムであって、光拡散機能を持たせたことを特徴とする保護フィルム。
【請求項６】
すりガラス、または透明樹脂に、光拡散機能を付与するための微粒子を分散させたフィルムから成ることを特徴とする請求項５に記載の保護フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプリント配線板などを作製する際に適用される露光方法及びそれに使用される露光用マスクに関し、特に密着露光もしくはギャップ露光に適した露光方法及び露光用マスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、プリント配線板の作製は、以下のような工程を含む。基板材料の表面に感光剤を塗布し、この感光剤の表面にフォトマスクの露光用パターンが形成された面を密着、もしくは数十μｍ程度離して感光剤表面とフォトマスクを対向させる。そして、フォトマスクを介して感光剤を露光した後、フォトマスクを剥離して感光剤を現像し、更にエッチング処理、感光剤除去を施すことにより露光用パターンで規定されたパターンを形成する。
【０００３】
上記の工程を図２を参照して説明する。ここでは、コア層３１の表裏両面に銅箔による導体パターン層３２が形成された基材３０の導体パターン層３２を所望のパターンに形成する場合について説明する。図２の左側にはパターン形成の流れを示し、右側には途中のいくつかの工程における基材３０を断面図で示す。
【０００４】
図２において、基材３０を用意し（ａ）、その表裏の導体パターン層３２に感光剤３３を塗布する（ｂ）。塗布された感光剤３３に所望のパターンを持つフォトマスク３４を密着させてＵＶ光による露光を行い（ｃ，ｃ−１）、感光剤３３の露光された部位を硬化させる（ｃ−２）。
【０００５】
フォトマスク３４を剥離して現像を行い、硬化した部位以外の感光剤３３を除去する（ｄ）。続いて、感光剤３３より露出した部分の銅箔を除去するエッチング処理を行う（ｅ）。更に、硬化している感光剤３３の除去（ｆ）、検査、洗浄等を行う（ｇ）ことで、プリント配線板が得られる。なお、必要に応じて積層を行う（ｈ）ことで多層プリント配線板（図示せず）が得られる。
【０００６】
ところで、フォトマスクの一例として、透明な基材上に露光用パターンが形成された乳剤層を有し、感光剤の付着を防止するためもしくは乳剤層を保護するために、乳剤層上（感光剤側の面上）に数μｍ厚の透明の保護フィルムを貼り合わせたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
あるいはまた、フォトマスク用の保護フィルムとして、ポリエステル基材の片面にフォトマスクに貼着するための粘着剤を有し、反対面には感光剤からの剥離を容易にするための離型層を有するものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
ところが、上記のような各種の保護フィルムを貼着したフォトマスクを使用した場合であっても、図３に示すように、マスク本体４０を保護している保護フィルム４１の表面あるいは感光剤４２の表面に微細なごみ等の異物が存在すると、以下のような問題点が発生する。つまり、保護フィルム４１と感光剤４２との間に存在する異物が実質上平行光であるＵＶ光を遮ってしまい、影となることによってその部分の感光剤４２は反応しない。感光剤４２が反応しなかった部位はその後の工程（図２で言えば、工程ｄ〜ｆ）で反応してしまうため、フォトマスクで規定された正常なパターンが形成できない。勿論、上記のような工程で対象となる異物というのは、数十μｍ程度以下の微小な大きさの塵埃の類いである。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−２７８０４７号公報
【特許文献２】特開平９−２３０５８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、マスク本体への傷つき防止に加えて、万一、マスクと感光剤との間に微小なごみ等の異物が介在した場合でも所定範囲内の大きさであれば異物の影響を受けることなく正常なパターンを形成できるような露光方法及び露光用マスクを提供することにある。
【００１１】
本発明はまた、上記の露光用マスクに適した保護フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明による露光方法は、所定のパターンを持つ露光用のマスクを通して感光剤に露光を行うに際し、マスクと感光剤との間に光拡散機能を持つ部材を介在させることを特徴とする。
【００１３】
本発明によればまた、露光用のマスクにおけるマスク本体の感光剤側の面に保護フィルムを設け、該保護フィルムに光拡散機能を持たせたことを特徴とする露光用マスクが提供される。
【００１４】
本発明によれば更に、露光用のマスクにおける感光剤側の面に設けられる保護フィルムであって、光拡散機能を持たせたことを特徴とする保護フィルムが提供される。
【００１５】
なお、前記保護フィルムとしては、すりガラス、または透明樹脂に、光拡散機能を付与するための微粒子を分散させたフィルムを用いることができる。
【００１６】
前記保護フィルムは、接着剤あるいは粘着剤層を介してマスク本体に貼り合わされたもので良い。前記保護フィルムのうち、特に前記透明樹脂に、光拡散機能を付与するための微粒子を分散させて成る保護フィルムの場合は、マスク本体にコーティングにより一体化形成されたものであっても良い。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、マスク本体と感光剤との間に光拡散機能を有する保護フィルムを介在させるようにしたことにより、マスク本体の傷付き防止、マスク本体への感光剤の付着防止に加えて、保護フィルムと感光剤との間に、あるサイズ以下の異物が介在した場合に発生していた異常パターンの形成を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１を参照して本発明による露光用マスクの好ましい実施の形態について説明する。
【００１９】
図１において、露光用マスク１は、マスク本体１０と保護フィルム１５とから成る。保護フィルム１５は、マスク本体１０の感光剤２０に面する側、ここでは下面に設けられ、光拡散機能、ここではＵＶ光の拡散機能を有する。
【００２０】
光拡散機能を有する保護フィルム１５を持つ露光用マスク１を使用することにより、万一、ＵＶ光の通過域に微小な異物が存在していた場合であっても、保護フィルム１５内で拡散したＵＶ光が異物の下側に位置する感光剤２０にも届くことにより、異物による影は異物のサイズよりも十分に小さな無視できる大きさとなり、感光剤２０に結像することは無い。なお、保護フィルム１５の厚さを従来の保護フィルムの厚さより大きくすることで異物の下側にＵＶ光が届き易くなり、光拡散効果を増大させることができる。
【００２１】
なお、図１、図３では、便宜上、保護フィルムと感光剤との間にスペースが存在するように描いているが、密着露光の場合、実際にはスペースはほとんど無い。一方、ギャップ露光の場合は保護フィルムと感光剤との間に数十μｍ程度のスペースがある。
【００２２】
上記のような光拡散機能を有する保護フィルム１５による異物の結像防止効果の一例は以下の通りである。
【００２３】
図３で説明したような光拡散機能を持たない保護フィルムの場合、異物のサイズが例えば３０μｍ程度より小さければその影が感光剤に結像することは無いが、３０μｍ程度を超えると影が感光剤に結像する。
【００２４】
これに対し、本形態のような光拡散機能を有する保護フィルム１５を使用した場合、上記と同様、異物のサイズが３０μｍ程度より小さければその影が感光剤に結像することは無い。そして、異物のサイズが４０μｍ程度までは光拡散機能により異物の影が感光剤に結像することを防止できる。
【００２５】
なお、図１では図示を省略しているが、保護フィルム１５におけるマスク本体１０側の面にはマスク本体１０へ貼り合わせるための粘着剤層あるいは接着剤層が設けられ、保護フィルム１５における感光剤２０側の面には感光剤２０からの剥離を容易にするための離型層が設けられる。つまり、保護フィルム１５の一方の面に粘着剤層あるいは接着剤層と剥離紙とが積層され、他方の面には離型剤が塗布される。
【００２６】
次に、上記の光拡散機能を有する保護フィルムを実現するための幾つかの例を説明する。
【００２７】
光拡散機能を有する保護フィルムの最も簡単な例は、すりガラスで実現することができる。
【００２８】
光拡散機能を有する保護フィルムの第２の例は、透明樹脂に光拡散機能を付与するための微粒子を分散させることで実現される。透明樹脂材料としては、ＵＶ光の透過率の高い材料、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等を使用することができる。一方、光拡散機能を付与するための微粒子としては、その結晶が光学的等方性を有する材料、特に非晶質材料、例えばシリカ、ポリ４フッ化エチレン、ポリエーテルサルフォン、ポリイミド、ポリジビニルベンゼン等を使用することができる。あるいはまた、上記の各微粒子材料は表面処理が施されたものであっても良く、形状も任意形状で良い。
【００２９】
上記第２の例の変形例として、ＵＶ光の透過率の高い透明樹脂にメタクリル系樹脂を使用し、微粒子として平均粒径０．１〜２０μｍ以下の無機微粒子、例えば酸化チタンあるいは硫酸バリウム等を分散させることで保護フィルムが実現される。
【００３０】
上記第２の例及びその変形例の場合、保護フィルム１５は、例えばスピンコーティング法、つまり溶剤とともに上記微粒子を分散させた樹脂材料を回転体に滴下させてフィルムを得るようにして作製される。また、保護フィルム１５を粘着剤層あるいは接着剤層と剥離紙との積層体によりマスク本体１０から取り外し可能にしているが、マスク本体１０に一体化するように形成されても良い。この場合、溶剤とともに上記微粒子を分散させた樹脂材料を、ロールコーティング法、バーコーティング法、スプレーコーティング法、エアナイフコーティング法、ディップコーティング法等の公知の方法によりマスク本体１０に塗布、乾燥、硬化させる。
【００３１】
なお、ＵＶ光は、ＵＶランプ等の光源からの光をミラー等の光学系を通して平行光成分のみを取り出すため実質上平行光であるが、保護フィルム１５の光散乱機能により、前述したサイズよりも小さい異物であれば、その下側にＵＶ光が入り込んで影の結像を小さくする。一方、この光拡散機能によれば、露光用マスク１のパターンで規定される結像の幅や長さに影響が出るが、この影響はあらかじめ知ることができるので、露光用マスク１のパターン設計時に、幅や長さについてこの影響を考慮したパターン設計が行われることは言うまでも無い。
【００３２】
いずれにしても、マスク本体１０の厚さのサイズは１７５μｍ程度であり、保護フィルム１５の厚さのサイズは８〜２０μｍ程度が好ましい。
【００３３】
上述した保護フィルムの構成材料やサイズは一例にすぎず、特に微粒子は光拡散機能を付与することができる材料であれば周知の如何なる材料が用いられても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、密着露光もしくはギャップ露光用であればどのような形式の露光方法及び露光用マスクにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明による露光用マスクの好ましい実施の形態を説明するための断面図である。
【図２】本発明が適用されるプリント配線板の製造工程を一部を説明するための図である。
【図３】従来の露光用マスクを説明するための断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１    露光用マスク
１０、４０    マスク本体
１５、４１    保護フィルム
２０、３３、４２    感光剤
３０    基材
３１    コア層
３２    導体パターン層
３４    フォトマスク
【図１】
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【図２】
2006317693.tif 000004
【図３】
2006317693.tif 000005