(57)【要約】【課題】シアリング干渉縞を形成するための一対の平行平板の近接対向する第１，２の反射面が衝突することを防止し、衝突による破損を回避できるシアリング干渉計測装置を提供する。【解決手段】シアリング干渉縞を形成するための一対の近接対向した平板の内面による第１の反射面２ａと第２の反射面３ａにおいて、衝突回避手段により第１、２の反射面２ａ、３ａが衝突することを防止する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源装置から射出され被検物を通過した被検波を僅かにずらして重畳させてシアリング干渉縞を形成し、前記シアリング干渉縞を測定することにより前記被検物の透過波面を測定するシアリング干渉計測装置において、
シアリング干渉縞を形成するための一対の近接対向した平板の内面による第１の反射面と第２の反射面とを有するシアリング発生手段と、
前記第１、２の反射面が衝突することを防止する衝突回避手段と、
を備えることを特徴とするシアリング干渉計装置。
【請求項２】
前記第１、２の反射面間の間隔を測定する手段を更に備えることを特徴とする請求項１記載のシアリング干渉計測装置。
【請求項３】
前記衝突回避手段として、前記第１，２の反射面間に配設されたリング状部材を備えることを特徴とする請求項１記載のシアリング干渉計測装置。
【請求項４】
前記衝突回避手段として、前記第１，２の反射面間の前記間隔の最小間隔を規定する最小間隔調整機構を備えることを特徴とする請求項１記載のシアリング干渉計測装置。
【請求項５】
前記衝突回避手段として、前記第１，２の反射面間の前記間隔が最小間隔になったことを検出する最小間隔検出機構を備えることを特徴とする請求項１記載のシアリング干渉計測装置。
【請求項６】
前記衝突回避手段として、前記第１，２の反射面間の平行度調整を行なう平行度調整手段と、
前記平行度調整時に前記第１、２の反射面の衝突を回避するために前記シアリング干渉縞を測定する際の前記間隔よりも十分大きな間隔に維持させる手段と、
を備えることを特徴とする請求項１記載のシアリング干渉計測装置。
【請求項７】
前記シアリング干渉縞を測定するために前記間隔を変化させるための第１の駆動機構と、
前記平行度調整を行なうために前記間隔を変化させるための第２の駆動機構と、
を備えることを特徴とする請求項６記載のシアリング干渉計測装置。 
【請求項８】
前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構とが、各々、前記平行平板の異なる方の板に対して別々に設けられていることを特徴とする請求項７記載のシアリング干渉計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シアリング干渉縞の解析により、被検物、例えば、プラスチックレンズ等の光学素子の透過波面を３次元的に測定するシアリング干渉計測装置に関する。 
【背景技術】
【０００２】
近年、レーザプリンタ、カメラ等の光学機器に使用される光学レンズ、その他の光学素子として、プラスチック材料による成形品が普及している。このようなプラスチック成形レンズは、ガラス研磨レンズに比して、非球面レンズの製作性に優れ、安価であるが、製造上の屈折率分布が不安定で、レンズ内部に不均一性を生ずることが多い。レンズ内部の屈折率の不均一性は、光学特性に大きく影響を及ぼし、画質、解像度の劣化等の原因となる。このようなことから、光学レンズ内部の屈折率分布を高精度に測定し、光学レンズの均質性を評価する必要がある。
【０００３】
このような光学レンズの屈折率を測定する方法として、各種方法があるが、その一つに、シアリング干渉縞を利用する方法がある（例えば、特許文献１参照）。例えば、特許文献１によれば、屈折率分布の存在するプラスチック材料の屈折率分布を測定するために被検物を通過したレーザ光を分割し、僅かにずらし重畳させることによりシアリング干渉縞を形成させ、そのシアリング干渉縞を測定することにより被検物の透過波面を測定するようにしている。
【０００４】
ここに、特許文献１に示されるシアリング干渉計全体の構成は図示を省略するが（特許文献１、図２参照）、このシアリング干渉計中で用いられているシアリング発生部の構成例を図１６に示す。このシアリング発生部１は、光源装置から射出された可干渉な光線が被検物を通過した後の光路上に配設される一対の平行平板２，３により構成されている。これらの平行平板２，３は互いに平行かつ一定の間隔ｄをあけて近接対向させてなり、対向する内面同士は面精度が高い研磨面として形成され、第１の反射面２ａと第２の反射面３ａとされ、外面側は各々無反射面２ｂ，３ｂとされている。
【０００５】
このような構成により、被検物を透過した被検波ａの一部が平行平板２の第１の反射面２ａにより反射され、残りが透過し、この平行平板２を透過した被検波ａの一部が平行平板３の第２の反射面３ａにより反射されて第１の反射面２ａ側に戻り、この平行平板２内を屈折しながら通過する。平行平板２の第１の反射面２ａによって反射された被検波ａの一部と、平行平板３の第２の反射面３ａによって反射された被検波ａの残りの一部は、シアリング発生部１から互いに平行に射出する。このように通過した被検波ａはシアリング発生部１によって光路が分割され、第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄに比例した横シフト量を持って重畳される２つの互いに平行な被検波となり、シアリング干渉が生じることになる。
【特許文献１】特開平９−２５７５９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このシアリング干渉縞を測定して被検物の屈折率分布を算出するが、その際に平行平板２，３における第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄの値が必要となる。このため、反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄを正確に設定するか、或いは、間隔ｄを正確に測定できなければ、高精度な屈折率分布を求めることができない。さらに、シアリング干渉縞を効率よく発生させるためには平行平板２，３における第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄを数１０μｍ〜１００μｍの微小間隔に設定しなくてはならない。このような微小な面間隔を正確に測定することは一般的に大変難しいが、上述した公報例では、このような微小な面間隔を正確に測定する点については言及されていない為、これら反射面同士が衝突する虞がある。
【０００７】
そこで、本発明は、シアリング干渉縞を形成するための一対の平行平板の近接対向する第１，２の反射面が衝突することを防止し、衝突による破損を回避できるシアリング干渉計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の発明は、光源装置から射出され被検物を通過した被検波を僅かにずらして重畳させてシアリング干渉縞を形成し、シアリング干渉縞を測定することにより被検物の透過波面を測定するシアリング干渉計測装置において、シアリング干渉縞を形成するための一対の近接対向した平板の内面による第１の反射面と第２の反射面とを有するシアリング発生手段と、第１、２の反射面が衝突することを防止する衝突回避手段と、を備える。
【０００９】
従って、第１、２の反射面が衝突することを防止し、衝突による破損を回避できる。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のシアリング干渉計測装置において、前記第１、２の反射面間の間隔を測定する手段を更に備える。
【００１１】
従って、第１，２の反射面間の間隔を測定することが可能となり、被検物の透過波面を高精度に求めることができる。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１記載のシアリング干渉計測装置において、前記衝突回避手段として、前記第１，２の反射面間に配設されたリング状部材を備える。
【００１３】
従って、請求項１記載の発明を実現する上で、簡単な構成で済む上に、形状がリング状になっているため、第１，２の反射面に入射する光線を遮ることがなく、規制部材を設けるために２つの平行平板の大きさを大きくする必要がなく、低コスト化を図れる。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項１記載のシアリング干渉計測装置において、前記衝突回避手段として、前記第１，２の反射面間の前記間隔の最小間隔を規定する最小間隔調整機構を備える。
【００１５】
従って、第１，２の反射面間の間隔の最小間隔を規定する最小間隔調整機構を備えるので、第１，２の反射面間の間隔を予め最適化することが可能となり、被検物の透過波面を高精度に求めることができる。
【００１６】
請求項５記載の発明は、請求項１記載のシアリング干渉計測装置において、前記衝突回避手段として、前記第１，２の反射面間の前記間隔が最小間隔になったことを検出する最小間隔検出機構を備える。
【００１７】
従って、請求項１記載の発明を実現する上で、平行平板を移動させる駆動装置が仮に暴動したとしても、最小間隔検出機構が最小間隔になった場合にはそれを検出するので、その時点でそれ以上の移動を規制させることにより、平行平板の第１，２の反射面同士が接触することがなく、２つの平行平板が破壊されることを防止できる。
【００１８】
請求項６記載の発明は、請求項１記載のシアリング干渉計測装置において、前記衝突回避手段として、前記第１，２の反射面間の平行度調整を行なう平行度調整手段と、前記平行度調整時に前記第１、２の反射面の衝突を回避するために前記シアリング干渉縞を測定する際の前記間隔よりも十分大きな間隔に維持させる手段と、を備える。
【００１９】
従って、この種の装置においては第１，２の反射面間の平行度が重要であり、平行度調整手段を備えるが、その平行度調整は、シアリング干渉縞を測定する際の第１，２の反射面間の間隔より十分大きい間隔を保持しながら行わせるので、平行度調整に際して平行平板同士が接触することがなく、２つの平行平板が破壊されることを防止できる。
【００２０】
請求項７記載の発明は、請求項６記載のシアリング干渉計測装置において、前記シアリング干渉縞を測定するために前記間隔を変化させるための第１の駆動機構と、前記平行度調整を行なうために前記間隔を変化させるための第２の駆動機構と、を備える。
【００２１】
従って、シアリング干渉縞の測定時の第１，２の反射面間の間隔を変化させるための第１の駆動機構と、平行度調整を行なうために第１，２の反射面間の間隔を変化させるための第２の駆動装置とを別個に設けることにより、第１の駆動機構はシアリング干渉縞測定を行なうためだけの高精度な駆動機構にすることができ、第１，２の反射面間の間隔を高精度に測定することが可能となり、被検物の透過波面を高精度に求めることができる。
【００２２】
請求項８記載の発明は、請求項７記載のシアリング干渉計測装置において、前記第１の駆動機構と前記第２の駆動機構とが、各々、前記平行平板の異なる方の板に対して別々に設けられている。
【００２３】
従って、第１の駆動機構と第２の駆動機構が一対の平行平板の異なる板に対して別々に設けられているので、高精度な駆動を行なう第１の駆動機構を駆動させるときに、精度のあまり要求されない第２の駆動機構の駆動案内などのガタに起因する振動などが発生せず、第１の駆動機構はシアリング干渉縞の測定を行なうためだけの高精度な駆動機構にすることができ、第１，２の反射面間の間隔を高精度に測定することが可能となり、被検物の透過波面を高精度に求めることができる。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１記載の発明によれば、第１、２の反射面が衝突することを防止し、衝突による破損を回避できる。
【００２５】
請求項２記載の発明によれば、第１，２の反射面間の間隔を測定することが可能となり、被検物の透過波面を高精度に求めることができる。
【００２６】
請求項３記載の発明によれば、請求項１記載の発明を実現する上で、簡単な構成で済む上に、形状がリング状になっているため、第１，２の反射面に入射する光線を遮ることがなく、規制部材を設けるために２つの平行平板の大きさを大きくする必要がなく、低コスト化を図れる。
【００２７】
請求項４記載の発明によれば、第１，２の反射面間の間隔の最小間隔を規定する最小間隔調整機構を備えるので、第１，２の反射面間の間隔を予め最適化することが可能となり、被検物の透過波面を高精度に求めることができる。
【００２８】
請求項５記載の発明によれば、請求項１記載の発明を実現する上で、平行平板を移動させる駆動装置が仮に暴動したとしても、最小間隔検出機構が最小間隔になった場合にはそれを検出するので、その時点でそれ以上の移動を規制させることにより、平行平板の第１，２の反射面同士が接触することがなく、２つの平行平板が破壊されることを防止できる。
【００２９】
請求項６記載の発明によれば、この種の装置においては第１，２の反射面間の平行度が重要であり、平行度調整手段を備えるが、その平行度調整は、シアリング干渉縞を測定する際の第１，２の反射面間の間隔より十分大きい間隔を保持しながら行わせるので、平行度調整に際して平行平板同士が接触することがなく、２つの平行平板が破壊されることを防止できる。
【００３０】
請求項７記載の発明によれば、シアリング干渉縞の測定時の第１，２の反射面間の間隔を変化させるための第１の駆動機構と、平行度調整を行なうために第１，２の反射面間の間隔を変化させるための第２の駆動装置とを別個に設けることにより、第１の駆動機構はシアリング干渉縞測定を行なうためだけの高精度な駆動機構にすることができ、第１，２の反射面間の間隔を高精度に測定することが可能となり、被検物の透過波面を高精度に求めることができる。
【００３１】
請求項８記載の発明によれば、第１の駆動機構と第２の駆動機構が一対の平行平板の異なる板に対して別々に設けられているので、高精度な駆動を行なう第１の駆動機構を駆動させるときに、精度のあまり要求されない第２の駆動機構の駆動案内などのガタに起因する振動などが発生せず、第１の駆動機構はシアリング干渉縞の測定を行なうためだけの高精度な駆動機構にすることができ、第１，２の反射面間の間隔を高精度に測定することが可能となり、被検物の透過波面を高精度に求めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明の第一の実施の形態を図１ないし図４に基づいて説明する。本実施の形態は、例えば、図１６で示したようなシアリング発生部１を殆どそのまま用いるものであり（図２参照）、図１６で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示す。従って、シアリング干渉計自体も、例えば、前述した特開平９−２５７５９１号公報に示されるような干渉計を用い得る。
【００３３】
図１はシアリング発生部１の外観構成を示す斜視図であり、ここでは、後述する実施の形態の構成も併せて図示されている。
【００３４】
シアリング発生部１の側面図を示す図２において、被検物（図示せず）を通過し、紙面左側から入射したレーザ光（被検波ａ）は、平行平板２の無反射面２ｂを通過して入射する。その後、一部の光が平行平板２の第１の反射面２ａで反射されると同時に一部が通過し、平行平板３の第２の反射面３ａにおいて反射する。これらの反射光は再び平行平板２，３を通過し、シアリング発生部１から射出される。このとき、第１，２の反射面２ａ，３ａが間隔ｄだけ隔てられているため、２つの平行光は、光軸と直角な方向（紙面の横方向）に間隔ｄに比例した僅かな距離だけ平行にずれている。このため、２つの光束は重畳し合い干渉し、シアリング干渉縞を発生する。このシアリング干渉縞を測定することにより被検物の透過波面を知ることができる。この際、間隔ｄの値を用いて透過波面を算出するため、透過波面を正確に知るには間隔ｄの値を正確に知る必要がある。
【００３５】
そこで、本実施の形態では、シアリング発生部１に対してこの間隔ｄを非接触方式で測定する間隔測定手段として、レーザ偏向走査測定手段４を備えているものである。 
このレーザ偏向走査測定手段４による測定原理を図３を参照して説明する。図３において、レーザ光源５から射出された光束は、クロックパルスに同期して高速に回転しポリゴンモータ等とともに偏向走査手段を構成するポリゴンミラー６で走査されると同時にコリメートレンズ７により平行ビームになり測定物８を偏向走査する。図３においては、測定物８は間隔ｄを有する２つの物体８Ａ，８Ｂであり、これらの物体８Ａ，８Ｂによって遮られなかった光は、集光手段としての集光レンズ９により変換手段としての受光素子１０に導かれ、受光素子１０において受光した光束を検出し電圧なる電気信号に変換する。このように発生する電圧とポリゴンモータに対するクロックパルスの計測により物体８Ａ，８Ｂ間の間隔ｄを測定することが可能となる。この測定方式は、ポリゴンモータの正確な回転とクロックパルスの正確な計測により、隙間ｄの距離を１μｍ以下のオーダーで測定することが可能である。これは、平行平板２，３の第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄを測定するには十分な精度である。
【００３６】
そこで、図４に示すように測定物８として平行平板２，３に適用することにより、第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄを正確に測定できることが判る。さらに、本実施の形態のレーザ偏向走査測定手段４によれば、平行平板２，３に全く接触しない非接触な間隔測定手段であるので、平行平板２，３の表面に傷や変形などを生じさせて測定誤差の要因を発生させることを防止でき、また、実際に変形などが全くないので高精度に測定することができる。
【００３７】
本発明の第二の実施の形態を図１、図５ないし図９に基づいて説明する。第一の実施の形態で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明も省略する（以降の実施の形態でも、同様とする）。本実施の形態は、間隔測定手段であるレーザ偏向走査測定手段４と平行平板２，３との位置関係が図５に示すようにθ方向（回転方向）にずれていた場合でも対処し得るように構成したものである。まず、このようなずれを生じている場合の不具合について図５を参照して説明する。レーザ偏向走査測定手段４と平行平板２，３との位置関係が図５に示すようにθ方向（回転方向）にずれていた場合、図５からも明らかなように、コリメートレンズ７よる平行ビーム（即ち、レーザ偏向走査測定手段４の光軸方向）と第１，２の反射面２ａ，３ａとが平行ではないので、これらの第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄの測定値には誤差を生じてしまう。ここに、これらの平行平板２，３は、その間隔ｄを正確に設定することは大変重要であるが、それと同時に如何に平行に保つかということも重要である。このため、このようなシアリング干渉計では、特に図示しないが、平行平板２，３間の平行度を調整する平行度調整機構を備えている。そこで、平行度調整機構により、平行平板２，３間の平行度を調整する際に、図５に示すような状況が当然生じ得るが、このときに第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄの値を正確に把握できないことも問題である。これは、平行平板２，３（第１，２の反射面２ａ，３ａ）がこのレーザ偏向走査測定手段４の光軸方向に対して幅を持っていることが原因と考えられる。
【００３８】
そこで、本実施の形態では、一対のナイフエッジ、即ち、この光軸方向に対して幅を持たない部材を平行平板２，３における第１，２の反射面２ａ，３ａと等価的な位置に対向させて設置し、これらの部材間の間隔に関して上述の原理に基づいてレーザ偏向走査測定手段４により測定させるようにしたものである。そして、これを目的とする第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄとすることにより、この間隔ｄを正確に求め得ると同時に図５のように傾いた状況においても誤差が生じることがない。
【００３９】
図６はこの仕組みを説明するための原理図である。即ち、一対のナイフエッジ１１，１２をその先端エッジ側を第１，２の反射面２ａ，３ａと同一面となるように設置し、ナイフエッジ１１，１２のエッジ間間隔をレーザ偏向走査測定手段４より測定する。 
図１は、実際に平行平板２，３の周囲を保持するホルダ１３，１４に対してこれらのナイフエッジ１１，１２が固定的に取付けられている状態が併せて示されている。即ち、ナイフエッジ１１，１２はホルダ１３，１４を介して、第１の反射面２ａの近傍かつ同一面内の位置と、第２の反射面３ａの近傍かつ同一面内の位置とに各々位置させて互いに対向するように平行平板２，３に固定されている。
【００４０】
より詳細な配置例を図７及び図８に示す。図７は図１において矢印Ａ方向に見た側面図、図８は図１において矢印Ｂ方向に見た平面図であり、これらのナイフエッジ１１，１２はレーザ偏向走査測定手段４の光軸方向には幅を持たないが(図８参照)、これに直交する方向には若干の幅を有している（図７参照）。
【００４１】
このような構成によれば、図９に示すようにレーザ偏向走査測定手段４の光軸方向と平行平板２，３の第１，２の反射面２ａ，３ａとがθ方向（回転方向）にずれていた場合でも、第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄがナイフエッジ１１，１２間の間隔に常に等価に現れるので、ナイフエッジ１１，１２のエッジ間間隔をレーザ偏向走査測定手段４により測定することで、第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄを正確に測定することができる。
【００４２】
本発明の第三の実施の形態を図１０に基づいて説明する。本実施の形態では、シアリング発生部１に対して間隔ｄを非接触方式で測定する間隔測定手段として、イメージセンサなる１次元ＣＣＤ１５を用いた光学式計測手段１６を用いたものである。この光学式計測手段１６としては、１次元ＣＣＤ１５を受光素子１０に代えて用いれば、レーザ偏向走査測定手段４をそのまま用いることができる。１次元ＣＣＤ１５は第１，２の反射面２ａ，３ａの間隔ｄ方向に読取画素を配設させたものである。
【００４３】
本実施の形態によれば、１次元ＣＣＤ１５の読取画素は、一般に、数μｍの大きさであるが、集光レンズ９によってナイフエッジ１１，１２の像（即ち、第１，２の反射面２ａ，３ａ間の像）を拡大してこの１次元ＣＣＤ１５に結像させて検出することにより、１μｍ以下の精度で間隔ｄを測定することが可能となる。
【００４４】
本発明の第四の実施の形態を図１、図１１及び図１２に基づいて説明する。まず、図１に示すように、ホルダ１３，１４には各々平行平板２，３をその厚み方向（即ち、間隔接離方向）に移動させるための駆動ステージ１７，１８が別個に設けられている。ホルダ１３に対して設けられた駆動ステージ１７は第１の駆動機構として機能し、シアリング干渉縞を測定する際に平行平板２を移動させるために用いられ、その駆動は数十ｎｍのオーダで行われる。そのため、駆動ステージ１７の駆動アクチュエータには圧電素子などの高精度駆動アクチュエータが用いられる。このような高精度な駆動アクチュエータは駆動の分解能は高いが、フルストロークで送ることができる駆動距離はせいぜい数百μｍである。
【００４５】
一方、ホルダ１４に対して設けられた駆動ステージ１８は第２の駆動機構として機能し、平行平板２，３間の平行度調整を行なうために平行平板３を移動させるために用いられ、その駆動は数十μｍのオーダで行われる。即ち、駆動ステージ１８は主に平行平板２，３間の間隔を大きく数ｍｍ程度まで引き離す目的で用いられる。この際、特に図示しないが、ホルダ１３，１４内に収納された角度調整用アクチュエータによりシアリング干渉縞の計測のために平行平板２，３の平行度が調整される。この調整後、駆動ステージ１８を用いて平行平板３を移動させることより第１，２の反射面２ａ，３ａ間をシアリング干渉縞の計測に最適な間隔ｄまで近付ける。このように駆動ステージ１７，１８をシアリング干渉縞の測定用と平行平板２，３の平行度調整用との２つのユニットに分けることにより、シアリング干渉縞の測定のための駆動ステージ１７は、シアリング干渉縞の測定のための最適な分解能や精度を持ったものを使うことが可能となり、測定の精度が向上する。また、これら２つの駆動ステージ１７，１８はホルダ１３，１４各々に取付け、決して同じホルダに２つの駆動ステージが取付けられないようにする。なぜならば、２つの駆動ステージ１７，１８が同じホルダに取付けられていると、高精度な駆動ステージ１７を駆動したときに、駆動ステージ１８に存在する送りネジガタや案内の剛性不足に起因する振動が発生しやすく、駆動ステージ１７の駆動精度が損なわれる可能性があるからである。
【００４６】
平行平板２，３の平行度調整を行った後に、駆動ステージ１７を用いてシアリング干渉縞の計測を行なうに最適な位置まで近付ける。この距離は数１０μｍ〜１００μｍ位と大変小さい。このため、駆動ステージ１７をコントロールするコントローラに何らかの異常が発生したときには平行平板２，３が衝突する可能性がある。衝突することにより平行平板２，３は傷つき、測定精度が低下する。
【００４７】
この点、本実施の形態では、図１１及び図１２に示すように、平行平板２，３間に規制部材である薄いリング状部材１９がスペーサとして設けられている。このリング状部材１９は第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔を一定以上、具体的には、リング状部材１９の厚み以上に規制するためのものである。このリング状部材１９は平行平板２，３の何れかの内面側に接着などにより固定されて設けられるが、リング状であり中央部分は光線が通過するので、シアリング干渉縞の形成には影響しない。このようなリング状部材１９を介在させることにより、駆動ステージ１７の駆動に異常を来した場合でも平行平板２，３が直接衝突することがなく（ｄ＞ｄ′）、平行平板２，３が傷付くことにより測定精度が低下することもない。
【００４８】
本発明の第五の実施の形態を図１及び図１３に基づいて説明する。本実施の形態では、シアリング発生部１に対して第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔の最小間隔を規定するための最小間隔調整機構２０が付加されている。この最小間隔調整機構２０は、例えば一方のホルダ１４にその厚み方向に進退自在に設けられて他方のホルダ１３の対向面との間の距離ｄ′が可変な複数の調整ねじ２１を主体として構成されている。
【００４９】
このような構成において、調整ねじ２１の突出長さを調整し、その先端と対向するホルダ１３の対向面との距離ｄ′を調整することで、ｄ＞ｄ′となるように設定すれば、平行平板２，３同士が最接近しても調整ねじ２１がホルダ１３の対向面に接することで最低でもｄ−ｄ′＞０なる最小間隔は維持でき、平行平板２，３同士が接触することを防止できる。ここに、第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔ｄの最小値は数十μｍと大変小さいが、調整ねじ２１の突出長さを微妙に調整すれば平行平板２，３の衝突の危険を回避しつつ理想の値まで間隔ｄを小さくすることができる。
【００５０】
本発明の第六の実施の形態を図１４及び図１５に基づいて説明する。本実施の形態では、シアリング発生部１に対して第１，２の反射面２ａ，３ａ間の間隔が最小間隔まで接近した場合にそれを検出するための最小間隔検出機構２２が付加されている。この最小間隔検出機構２２は、フォトインタラプタ方式のもので、例えば、平行平板２を保持したホルダ１３側に固定されて所定位置に配設されたセンサ部２３と、平行平板３を保持したホルダ１４側に固定されてホルダ１４の移動に伴いセンサ部２３に対して進退する薄板による遮光板２４とにより構成されている。センサ部２３は周知の如く上向きコ字状に形成されて発光ダイオード２５と受光素子２６とを対向配置させたもので、発光ダイオード２５・受光素子２６間の遮光板２４よる光線の断続を検出するものである。図１５（ａ）は遮光板２４がセンサ部２３内に入り込んでおらず、発光ダイオード２５・受光素子２６間を遮光していないので受光素子２６に受光量に応じた電圧が発生し得る状態を示し、図１５（ｂ）は遮光板２４がセンサ部２３内に入り込み、発光ダイオード２５・受光素子２６間を遮光しており受光素子２６に光が届かず出力電圧が生じない状態を示している。
【００５１】
従って、受光素子２６において遮光板２４によってこのような電圧変化が起こり得る位置が最小間隔に対応する図１４中に示す境界線２７となるようにセンサ部２３を配置させることにより、平行平板２又は３を駆動ステージ１７又は１８により接近方向に移動させた場合において最小間隔となる位置まで移動したことを検出でき、その位置で駆動ステージ１７又は１８を停止させることにより、平行平板２，３同士の衝突を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の各実施の形態を併せて示す斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施の形態のシアリング発生部を示す側面図である。
【図３】間隔測定原理を示す側面図である。
【図４】レーザ偏向走査測定手段の構成例を示す側面図である。
【図５】本発明の第二の実施の形態を説明するための側面図である。
【図６】本発明の第二の実施の形態の構成例を示す側面図である。
【図７】そのナイフエッジ配置を示す側面図である。
【図８】その平面図である。
【図９】測定状態例を示す側面図である。
【図１０】本発明の第三の実施の形態を示す側面図である。
【図１１】本発明の第四の実施の形態を示す分解斜視図である。
【図１２】その側面図である。
【図１３】本発明の第五の実施の形態を示す側面図である。
【図１４】本発明の第六の実施の形態を示す側面図である。
【図１５】そのセンサ部の構成及び動作を示す斜視図である。
【図１６】公報記載のシアリング発生部の構成例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１    シアリング発生部 
２    平行平板 
２ａ  第１の反射面 
３    平行平板 
３ａ  第２の反射面 
４    間隔測定手段 
５    レーザ光源 
６    偏向走査手段 
９    集光手段 
１０  変換手段 
１１，１２  ナイフエッジ 
１５  イメージセンサ 
１６  光学式計測手段 
１７  第１の駆動機構 
１８  第２の駆動機構 
１９  規制部材、リング状部材 
２０  最小間隔調整機構 
２２  最小間隔検出機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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