(57)【要約】【課題】  印刷パターンのエッジ部分におけるにじみ不良やかすれ不良の発生を抑制し、寸法精度が高く面積ばらつきの少ない印刷パターンを形成することができるスクリーン印刷版及び電子部品の製造方法を得る。【解決手段】  メッシュ部分１１と版膜部分１２とを有するスクリーン印刷版。メッシュ部分１１には、貫通する複数のメッシュ開口１３が設けられるとともに、被印刷体に対向する面側において印刷パターンに対応する平面図形を有する凹部１４が形成されている。凹部１４の内側壁には、導電ペーストが移動可能な逃げ部として、経路穴１５が形成されている。スキージングによって導電ペーストを凹部１４に圧入して供給したときに、凹部１４から外にあふれ出そうとする余分の導電ペーストは経路穴１５に侵入する。これにより、スクリーン印刷版１０のメッシュ部分１１の凹部１４から外に導電ペーストがあふれ出るのが抑えられる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷用ペーストを通過させるメッシュ部分と、該印刷用ペーストの通過を阻止する版膜部分とを備え、
前記メッシュ部分には貫通する複数のメッシュ開口を有するとともに、被印刷体に対向する対向面に印刷パターンに相応する凹部を有しており、かつ、前記複数のメッシュ開口が前記凹部の内側壁との間にマージンを有して前記凹部の内側領域に分布しており、
前記凹部の内側壁に導電ペーストが移動可能な逃げ部が形成されていること、
を特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項２】
前記印刷用ペーストが導電ペーストであることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のスクリーン印刷版を用いて、セラミックシート上に内部電極の印刷パターンを形成する工程を備えたことを特徴とする電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷に用いられるスクリーン印刷版及び該印刷版を用いた電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、積層セラミックコンデンサなどの電子部品の分野において、内部電極を形成する際に、スクリーン印刷が用いられる。このスクリーン印刷により、導電ペーストが、所定形状の内部電極を形成すべく、所定形状に対応するパターンで印刷される。このような内部電極の印刷パターンは、その電子部品に対して定められた仕様を満足するために、高い寸法精度が要求される。
【０００３】
従来用いられていたスクリーン印刷版の一例を図９に示す。このスクリーン印刷版５０は、ニッケルのような金属からなり、電気メッキにより得られた金属膜をもって構成され、図９において破線で囲まれた領域からなる導電ペーストを通すメッシュ部分５１と、導電ペーストを通さない版膜部分５２とを有している。
【０００４】
メッシュ部分５１には、貫通する複数のメッシュ開口５３が設けられるとともに、図１０に示す被印刷体６０に対向する面に印刷パターンに対応する平面図形を有する凹部５４が形成されている。また、複数のメッシュ開口５３は、凹部５４のマージンＭａ，Ｍｂを除く領域に分布されている。なお、図１０のＸ−Ｘ線に沿う断面を示す図１１にも現れているように、マージンＭは、凹部５４の全周にわたって形成されている。
【０００５】
前記スクリーン印刷版５０を用いて印刷を実施するに際し、図１０に示すように、スキージ６１は矢印Ａ方向に移動される。このスキージ６１の移動により、導電ペースト６２が、メッシュ開口５３及び凹部５４を通して被印刷体６０上に付与される。しかしながら、この導電ペースト６２は、スキージ６１の移動に応じて凹部５４内において不均一な挙動を示し、このことが印刷パターンのエッジにおけるかすれ、またはにじみの原因となることが知られている。
【０００６】
即ち、図１０に示すように、スキージ６１の移動方向Ａに見たとき、スキージングの始端側マージンＭａには導電ペースト６２が充分に回り込まないため、スクリーン印刷版５０を被印刷体６０から離したときに得られる印刷パターンは、始端側において印刷パターンのエッジがかすれる傾向がある。これに対し、スキージングの終端側マージンＭｂでは、導電ペースト６２が過剰気味となって、図１０及び図１１において矢印Ｂで示すように、凹部５４の開口周縁からスクリーン印刷版５０とそれに対向する被印刷体６０との間に導電ペースト６２がはみ出そうとする。このため、スクリーン印刷版５０を被印刷体６０から離したときに得られる印刷パターンは、このスキージングの終端側においてにじむ傾向がある。このことから、前記スクリーン印刷版５０を用いて積層セラミックコンデンサの内部電極を印刷すると、静電容量が所期の範囲からばらつき、その結果、製品の歩留まりの向上に対する障害となっていた。
【０００７】
前記問題点を解消するため、特許文献１には、図１０において、スキージ６１の移動方向Ａに見たとき、スキージ６１の移動の始端側における凹部５４のマージンＭａを終端側における凹部５４のマージンＭｂに比べてより短くし、スキージ６１の移動の始端側における凹部５４の体積の割合を小さくする一方、スキージ６１の移動の終端側における凹部５４の体積の割合を大きくすることにより、スクリーン印刷版５０の凹部５４内における導電ペースト６２の不均一な挙動を緩和し、印刷パターンのエッジに発生するかすれやにじみを改善することが提案されている。
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載されたスクリーン印刷版にあっても、凹部の体積自体は前記スクリーン印刷版５０の凹部５４の体積と変化はないので、スキージ６１によって凹部に導電ペースト６２が圧入されると、圧力の逃げ場がなく、凹部の開口周縁から導電ペースト６２がスクリーン印刷版とそれに対向する被印刷体６０との間にはみ出し、印刷にじみとなるという問題点を完全に改善するのは困難であった。
【特許文献１】特開平７−３０９０７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで、本発明の目的は、印刷パターンのエッジ部分におけるにじみ不良やかすれ不良の発生を抑制し、寸法精度が高く面積ばらつきの少ない印刷パターンを形成することができるスクリーン印刷版及び電子部品の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するため、本発明に係るスクリーン印刷版は、印刷用ペーストを通過させるメッシュ部分と、該印刷用ペーストの通過を阻止する版膜部分とを備え、前記メッシュ部分には貫通する複数のメッシュ開口を有するとともに、被印刷体に対向する対向面に印刷パターンに相応する凹部を有しており、かつ、前記複数のメッシュ開口が前記凹部の内側壁との間にマージンを有して前記凹部の内側領域に分布しており、前記凹部の内側壁に導電ペーストが移動可能な逃げ部が形成されていることを特徴とする。
【００１１】
前記凹部は、その内側壁に導電ペーストが移動可能な逃げ部を有しているので、スキージにより導電ペーストが凹部に圧入され導電ペーストが供給されたときに、凹部から外にあふれ出そうとする余分の導電ペーストが逃げ部に侵入し、凹部から導電ペーストがにじみ出るのが抑えられる。
【００１２】
また、本発明に係る電子部品の製造方法は、前記スクリーン印刷版を用いて、セラミックシート上に内部電極の印刷パターンを形成する工程を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、スキージによって導電ペーストが圧入されて導電ペーストが凹部に供給されたときに、凹部から外にあふれ出そうとする余分の導電ペーストは凹部の内側壁に形成された逃げ部に侵入するので、凹部から外に導電ペーストがにじみ出るのが抑えられ、エッジ部分に、にじみやかすれがなく、寸法精度が高く面積ばらつきの少ない印刷パターンを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係るスクリーン印刷版及び電子部品の製造方法の実施例を添付図面を参照して説明する。
【００１５】
（第１実施例、図１〜図５）
本発明の第１実施例であるスクリーン印刷版の構成を図１〜図３に示す。このスクリーン印刷版１０は、既に説明した従来のスクリーン印刷版と同様に、ニッケルのような金属からなり、電気メッキにより得られた金属膜をもって構成され、図１において、破線で囲まれた領域からなるメッシュ部分１１と、版膜部分１２とを有している。
【００１６】
メッシュ部分１１には、上下面に貫通する複数のメッシュ開口１３が設けられるとともに、後述する被印刷体２０（図４及び図５参照）に対向する面に印刷パターンに対応する平面図形を有する凹部１４が形成されている。また、複数のメッシュ開口１３は、凹部１４のマージンＭ（図３参照）を除く領域に分布されている。
【００１７】
メッシュ部分１１は、図２に示すように、スクリーン印刷版１０にマトリックス状に形成されており、本第１実施例では、それぞれのメッシュ部分１１のサイズをＬ＝１６００μｍ、Ｗ＝６００μｍ、凹部の深さｄ＝２０μｍとしている。そして、スクリーン印刷版１０の凹部１４のマージンＭを取り囲む四つの内側壁には、導電ペースト２２が移動可能な逃げ部として、４μｍ×４μｍ角の経路穴１５をそれぞれ形成している。これら経路穴１５は、図３に示すように、凹部１４の深さｄの１／２の位置に形成しており、スクリーン印刷版内１０を格子状に縦横に走るように形成している。
【００１８】
このように、スクリーン印刷版１０のメッシュ部１１の凹部１４の内側壁に前記経路穴１５を設けておけば、図４及び図５（図４のＹ−Ｙ線に沿う断面）に示すように、スキージ２１を矢印Ａ方向に移動させ、導電ペースト２２を凹部１４に圧入して供給したときに、凹部１４から外にあふれ出そうとする余分の導電ペースト２２は経路穴１５に侵入する。これにより、スクリーン印刷版１０のメッシュ部分１１の凹部１４から外に導電ペースト２２があふれ出るのが抑えられ、印刷パターンのエッジ部分に生じる、にじみやかすれが改善される。
【００１９】
なお、印刷パターンのエッジ部分に生じる、にじみやかすれの前記改善効果については、本第１実施例と特許文献１に記載の比較例を用いた実験により確認した。即ち、スクリーン印刷版１０を用いて導電ペースト２２のパターンを１μｍの膜厚を目標として形成したとき、第１実施例及び比較例における印刷パターンのにじみ量、印刷面積のばらつきを次の要領（１）及び（２）により測定して比較した。また、これら第１実施例及び比較例によるスクリーン印刷版を用いて長さ１６ｍｍ、幅及び高さ０８ｍｍサイズの積層コンデンサを製作し、その静電容量のばらつきを次の要領（３）により測定して比較した。その結果を表１に示す。
【００２０】
（１）にじみ量：寸法誤差（実印刷パターン寸法−印刷パターン寸法）を印刷１ショット内の２５個のパターンについて算出した。実印刷パターン寸法は、スキージ移動方向の最大長さを測定した。
（２）印刷面積：印刷１ショット内の２５個のパターンについて、画像解析装置を用いて実測し、ＣＶ値を算出した。
（３）静電容量ばらつき：温度補償用誘電体シート（５μｍ）に、第１実施例のスクリーン印刷版及び比較例のスクリーン印刷版を用いてパターンを形成し、焼き上げチップ厚みが０．８ｍｍになるように前記誘電体シートを積層し、長さ１．６ｍｍ、幅及び高さ０．８ｍｍサイズの積層コンデンサを製作してその静電容量を測定した。得られた測定値からＣＶ値を算出した。
【００２１】
【表１】
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【００２２】
前記表１から、第１実施例であるスクリーン印刷版１０を用いることにより、比較例であるスクリーン印刷版を用いたものに比較して、印刷パターンのエッジ部におけるにじみ量、印刷面積及び静電容量が大幅に改善されていることが分かる。
【００２３】
（第２実施例、図６〜図８）
第２実施例であるスクリーン印刷版の一部分の構成を図６〜図８に示す。このスクリーン印刷版３０は、図１〜図５を参照して説明した第１実施例であるスクリーン印刷版１０において、その凹部１４のマージンＭを取り囲む四つの内側壁に、前記経路穴１５に代えて、導電ペースト２２が移動可能な逃げ部として凹溝１６を形成したものである。なお、図６〜図８において、図１〜図５に対応する部分には同じ符号を付して示し、重複した説明は省略する。
【００２４】
凹溝１６は、図７及び図８に示すように、幅ｗ＝４μｍ、深さｔ＝２０μｍのサイズを有しており、スクリーン印刷版３０の凹部１４の内壁面に一巡するように形成されている。また、スクリーン印刷版３０のメッシュ部分１１は、第１実施例のものと同様に、マトリックス状に形成されており、それぞれのサイズもＬ＝１６００μｍ、Ｗ＝６００μｍ、凹部１４の深さをｄ＝２０μｍとしている。
【００２５】
本第２実施例にあっても、印刷パターンのエッジ部分に生じる、にじみやかすれの改善の効果については、第１実施例と同様の条件により確認した。その結果を表２に示す。
【００２６】
【表２】
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【００２７】
前記表２から、本第２実施例であるスクリーン印刷版３０も第１実施例であるスクリーン印刷版１０と同様に、印刷パターンのエッジ部におけるにじみ量、印刷面積及び静電容量が比較例よりも大幅に改善されていることが分かる。
【００２８】
（他の実施例）
本発明に係るスクリーン印刷版及び電子部品の製造方法は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々の構成とすることができる。
【００２９】
例えば、前記実施例では積層セラミックコンデンサを例にとって説明したが、本発明は積層セラミックコンデンサのほか、積層コイルやセラミック積層体内にコンデンサやインダクタンスが形成された複合電子部品などにも適用することができる。また、スクリーン印刷版１０，３０のメッシュ部分１１の凹部１４の内壁面に形成される経路穴１５や凹溝１６についても、その詳細な形状などは任意である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施例であるスクリーン印刷版の一部破断部分斜視図である。
【図２】図１に示したスクリーン印刷版の全体平面図である。
【図３】図２の部分縦断面図である。
【図４】図１に示したスクリーン印刷版による印刷説明図である。
【図５】図４のＹ−Ｙ線断面図である。
【図６】本発明の第２実施例であるスクリーン印刷版の一部破断部分斜視図である。
【図７】図６に示したスクリーン印刷版のメッシュ部の凹部の平面図である。
【図８】図６に示したスクリーン印刷版の部分縦断面図である。
【図９】従来のスクリーン印刷版の一部破断部分斜視図である。
【図１０】図９に示したスクリーン印刷版による印刷説明図である。
【図１１】図１０のＸ−Ｘ断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０，３０…スクリーン印刷版
１１…メッシュ部分
１２…版膜部分
１３…メッシュ開口
１４…凹部
１５…経路穴
１６…凹溝
２０…被印刷体
２１…スキージ
２２…導電ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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