(57)【要約】【課題】装置故障等のトラブルや、調整作業の必要の際にも、充分なクリーン度が確保でき、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができる磁気転写装置を提供する。【解決手段】開口部１４Ａが開口扉１４Ｂによって開閉可能となっているクリーンユニット１４と、この内部に配されたホルダ部２２により磁気パターンを有する一対のマスターディスク４６を保持する保持手段と、マスターディスクの間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、被転写用ディスクの両面にマスターディスクをそれぞれ圧接させる駆動手段と、一対のホルダ部に磁界を加えてのマスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段と、ホルダ部同士を密着させることにより内部に密閉空間を形成させる密閉手段と、開口扉を開く前に密閉手段を作動させてホルダ部同士の内部に密閉空間を形成させるインターロック手段とを備える。【選択図】  図５
2006127686.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部が開口扉によって開閉可能となっているクリーンユニットと、
前記クリーンユニットの内部に配された一対のホルダ部により磁気パターンを有する一対のマスターディスクを保持するディスク保持手段と、
前記クリーンユニットの内部において、前記一対のホルダ部によって保持された前記一対のマスターディスクの間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、
前記保持手段を作動させ、前記被転写用ディスクの両面に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させる駆動手段と、
前記クリーンユニットの内部において、前記一対のホルダ部に磁界を加えて前記一対のマスターディスクの磁気パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面に転写させる磁界印加手段と、
前記クリーンユニットの内部において、前記一対のホルダ部同士を密着させることにより、該一対のホルダ部同士の内部に密閉空間を形成させる密閉手段と、
前記開口扉を開いて前記クリーンユニット内部を通常雰囲気に解放する前に、前記密閉手段を作動させて前記一対のホルダ部同士の内部に密閉空間を形成させるインターロック手段と、
を備えていることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記密閉手段を作動させた際に、前記マスターディスク同士の接触が避けられるように前記ホルダ部における前記マスターディスクの保持位置が設定されている請求項１に記載の磁気転写装置。
【請求項３】
前記クリーンユニットの上部にエアフィルタが設けられており、前記一対のホルダ部の周縁に清浄度クラス３以下のクリーンエアが供給可能となっているとともに、前記クリーンユニットの上部であって、前記開口部の内側にエアカーテン手段が設けられており、
前記開口扉を開いて前記クリーンユニット内部を通常雰囲気に解放する前に、前記エアカーテン手段を作動させて前記開口部の内側にエアカーテンを形成させるインターロック手段が設けられている請求項１又は２に記載の磁気転写装置。
【請求項４】
前記クリーンユニットの上部にエアフィルタが設けられており、前記一対のホルダ部の周縁に清浄度クラス３以下のクリーンエアが供給可能となっているとともに、該クリーンエアの流量が２段階以上に変更可能となっており、
前記開口扉を開いて前記クリーンユニット内部を通常雰囲気に解放する前に、前記エアフィルタから供給されるクリーンエアの流量を増加させるインターロック手段が設けられている請求項１又は２に記載の磁気転写装置。
【請求項５】
前記インターロック手段が強制解除可能となっている請求項１〜４のいずれか１項に記載の磁気転写装置。
【請求項６】
前記密閉手段の作動の有無を作業者に知らせる判別手段が設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の磁気転写装置。
【請求項７】
前記開口扉が開かれ、かつ前記密閉手段が作動されていない状態を作業者に知らせる警報手段が設けられている請求項１〜６のいずれか１項に記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気転写装置に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する磁気転写装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。
【０００３】
従来、この種の磁気転写技術として各種の提案がなされている（たとえば、特許文献１〜３参照。）。このうち、特許文献１は、磁気転写を行う際に、１つのハンドラーの間欠駆動により、作業効率を向上させる旨の提案である。
【０００４】
特許文献２は、磁気転写を行う際の、マスターディスクと転写されるハードディスク（スレーブディスク）との位置決めに画像認識を導入し、位置決め精度の向上を図る旨の提案である。特許文献３は、磁気転写を行う際のクリーン度を向上させて、マスターディスクの寿命を向上させる旨の提案である。
【特許文献１】特開２００１−２５０２２７号公報
【特許文献２】特開２００１−３５１２３２号公報
【特許文献３】特開２００１−３５１２３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来技術において、マスターディスクの寿命が短く、頻繁にマスターディスクを交換しなければならないという問題点が指摘されている。すなわち、磁気転写を行う際に、マスターディスクと転写されるハードディスク（スレーブディスク）とを密着させる必要があるが、この環境におけるクリーン度が悪いと、微粒子やゴミ等によりマスターディスクの表面に傷を発生させることが多い。
【０００６】
このため、従来の磁気転写装置もクリーン度の良好なブース内に設置されることが多く、また、特許文献３のように、クリーンエアの滞留を生じないような工夫を施すことも提案されている。
【０００７】
ところが、クリーン度の良好なブース内に装置を設置し、この中で磁気転写を行っても、装置故障等のトラブルや、調整作業の必要のため、クリーンブースのカバー、扉等を開ける場合も多い。このような場合、僅かな時間であっても、クリーンブースの内部にクリーン度の悪い外気（室内空気）が混入することがある。そのような場合、微粒子やゴミ等がマスターディスクの表面に付着し、転写の際にマスターディスクの表面に傷を発生させることとなる。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、装置故障等のトラブルや、調整作業の必要の際にも、充分なクリーン度が確保でき、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができる磁気転写装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明は、開口部が開口扉によって開閉可能となっているクリーンユニットと、前記クリーンユニットの内部に配された一対のホルダ部により磁気パターンを有する一対のマスターディスクを保持するディスク保持手段と、前記クリーンユニットの内部において、前記一対のホルダ部によって保持された前記一対のマスターディスクの間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、前記保持手段を作動させ、前記被転写用ディスクの両面に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させる駆動手段と、前記クリーンユニットの内部において、前記一対のホルダ部に磁界を加えて前記一対のマスターディスクの磁気パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面に転写させる磁界印加手段と、前記クリーンユニットの内部において、前記一対のホルダ部同士を密着させることにより、該一対のホルダ部同士の内部に密閉空間を形成させる密閉手段と、前記開口扉を開いて前記クリーンユニット内部を通常雰囲気に解放する前に、前記密閉手段を作動させて前記一対のホルダ部同士の内部に密閉空間を形成させるインターロック手段と、を備えていることを特徴とする磁気転写装置を提供する。
【００１０】
本発明によれば、一対のホルダ部同士の内部に密閉空間を形成させる密閉手段を備え、開口扉を開いてクリーンユニット内部を通常雰囲気に解放する前に、密閉手段を作動させ、ホルダ部同士の内部に密閉空間を形成させるインターロック手段が設けられている。したがって、装置故障等のトラブルや、調整作業の必要の際にも、充分なクリーン度が確保でき、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができる。
【００１１】
なお、「密閉空間」とは、外部との通気が遮断されている状態の内部空間を意味し、外部の汚染された（クリーン度の悪い）空気が侵入しない意である。
【００１２】
また、「通常雰囲気」とは、クリーンルーム等の特別にクリーン度がコントロールされた環境以外の、一般的な室内雰囲気を意味する。
【００１３】
本発明において、前記密閉手段を作動させた際に、前記マスターディスク同士の接触が避けられるように前記ホルダ部における前記マスターディスクの保持位置が設定されていることが好ましい。このように、マスターディスク同士の接触が避けられるようになっていれば、クリーン度の確保と相俟って、マスターディスクへの傷の発生が防止でき、本発明の効果を一層発揮できる。
【００１４】
また、本発明において、前記クリーンユニットの上部にエアフィルタが設けられており、前記一対のホルダ部の周縁に清浄度クラス３以下のクリーンエアが供給可能となっているとともに、前記クリーンユニットの上部であって、前記開口部の内側にエアカーテン手段が設けられており、前記開口扉を開いて前記クリーンユニット内部を通常雰囲気に解放する前に、前記エアカーテン手段を作動させて前記開口部の内側にエアカーテンを形成させるインターロック手段が設けられていることが好ましい。
【００１５】
このように、エアフィルタが設けられ、ホルダ部の周縁にクリーンエアが供給されるとともに、開口部の内側にエアカーテン手段が設けられ、開口扉を開く前にエアカーテンが形成させるのであれば、外部からのクリーン度の悪い空気の流入が抑制でき、本発明の効果を一層発揮できる。
【００１６】
なお、「エアフィルタ」とは、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等を意味する。
【００１７】
また、本発明において、前記クリーンユニットの上部にエアフィルタが設けられており、前記一対のホルダ部の周縁に清浄度クラス３以下のクリーンエアが供給可能となっているとともに、該クリーンエアの流量が２段階以上に変更可能となっており、前記開口扉を開いて前記クリーンユニット内部を通常雰囲気に解放する前に、前記エアフィルタから供給されるクリーンエアの流量を増加させるインターロック手段が設けられていることが好ましい。
【００１８】
このように、エアフィルタが設けられ、ホルダ部の周縁にクリーンエアが供給されるとともに、開口扉を開く前にクリーンエアの流量を増加させるのであれば、外部からのクリーン度の悪い空気の流入が抑制でき、本発明の効果を一層発揮できる。
【００１９】
また、本発明において、前記インターロック手段が強制解除可能となっていることが好ましい。このように、インターロック手段が強制解除できれば、メンテナンス作業等の際に便利である。
【００２０】
また、本発明において、前記密閉手段の作動の有無を作業者に知らせる判別手段が設けられていることが好ましい。このように、密閉手段の作動の有無が容易に判別できれば、作業者にとっての、誤った動作を防ぐことが容易となる。この判別手段としては、表示灯（パトライト等）、操作盤の表示、警報音等、公知の各種手段が採用できる。
【００２１】
また、本発明において、前記開口扉が開かれ、かつ前記密閉手段が作動されていない状態を作業者に知らせる警報手段が設けられていることが好ましい。このように、マスターディスクを汚染させる可能性の高い状態にあるときに警報がなされれば、作業者にとって便利である。この警報手段としては、表示灯（パトライト等）、操作盤の表示、警報音等、公知の各種手段が採用できる。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明によれば、装置故障等のトラブルや、調整作業の必要の際にも、充分なクリーン度が確保でき、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面に従って、本発明に係る磁気転写装置の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係る磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク用カセットの概要を示す斜視図である。この磁気転写装置１０は、装置本体１２と、この装置本体１２の全体を覆うクリーンユニット１４よりなる。先ず、装置本体１２の構成について説明する。
【００２４】
この装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面であり、後述するクリーンユニット１４の開口側である。
【００２５】
ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容するディスク供給カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしてのディスク排出カセット５６が設けられている。ディスク供給カセット３８とディスク排出カセット５６とは同一形状のものが採用されている。
【００２６】
図２に示されるように、ディスク供給カセット３８及びディスク排出カセット５６は、スレーブディスク４０がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっている。すなわち、カセットの内面に並行して形成された複数の溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の外周が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。
【００２７】
ベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。
【００２８】
図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダ部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着または接着により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０（図示略）を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。
【００２９】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。
【００３０】
固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、クッション材２３Ａを介してカップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、クッション材２４Ａを介して表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。
【００３１】
また、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４の裏面（マスターディスク４６が固定される面の反対面）の中心には、それぞれ軸部材２３Ｂ、２４Ｂが立設されている。この軸部材２３Ｂは、装置本体１２に固定されている。一方、軸部材２４Ｂは、駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。更に、固定側ホルダ２３の外周縁の近傍には、Ｏリング２５が固定されている。
【００３２】
以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、図３（Ａ）に示されるように、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。
【００３３】
一方、スレーブディスク４０の転写を行ったり、後述するインターロック手段により密閉手段を作動させ、ホルダユニット２２の内部に密閉空間を形成させたりする際には、図３（Ｂ）に示されるように、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とがＯリング２５を介して接する状態になり、ホルダユニット２２の内部に密閉空間が形成される。これにより、ホルダユニット２２の内部には、充分なクリーン度が確保でき、マスターディスク４６の寿命を飛躍的に向上させることができる。
【００３４】
なお、上記の密閉手段は、軸部材２４Ｂに接続される駆動手段と、Ｏリング２５等より構成される。
【００３５】
また、図３（Ｂ）に示されるように、ホルダユニット２２の内部において、マスターディスク４６、４６同士の間には所定のクリアランスが形成されるようになっており、マスターディスク４６、４６同士の接触が避けられるように構成されている。また、図示は省略したが、スレーブディスク４０が供給される際も、ホルダユニット２２の状態は、図３（Ｂ）に示される状態と略同様である。
【００３６】
図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間歇駆動される。すなわち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止するようになっている。
【００３７】
更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より左側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より右側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。
【００３８】
ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク供給カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。
【００３９】
ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク排出カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。
【００４０】
ディスク供給ユニット２６により、ディスク供給カセット３８から取り出されたスレーブディスク４０は、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して、相対的に位置決めが行われ、マスターディスク４６に設けられる空隙越しにホルダユニット２２によって吸着されて受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着されて保持される。固定側ホルダ２３の内側にはスレーブディスク４０の内径付近を吸着する吸着溝（図示略）が設けられ、この吸着溝によりスレーブディスク４０が吸着保持される。
【００４１】
ディスク供給ユニット２６は、図２に示されるように、スレーブディスク４０の内径を把持するための２片の保持具であるチャック４２ａ、４２ｂからなるチャック機構４２と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、チャック４２ａ、４２ｂを回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４から構成される。
【００４２】
すなわち、ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック４２ａ、４２ｂを、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック４２の向きを反転するようになっている。
【００４３】
ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、ディスク排出カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。
【００４４】
ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持する２つの保持具であるチャック５２ａ、５２ｂからなるチャック機構５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック５２ａ、５２ｂを回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。
【００４５】
すなわち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック５２ａ、５２ｂを、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック５２の向きを反転するようになっている。
【００４６】
図４に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のチャック４２ａ、４２ｂには認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット３０で視覚認識される。
【００４７】
この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスクディスク供給カセット３８が設けられた側面と反対の側面にほど近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。
【００４８】
認識ユニット３０には位置決め手段としての制御手段３０Ａが接続され、制御手段３０Ａは認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。
【００４９】
位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。
【００５０】
このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３０Ａにティーチングされている。
【００５１】
一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、チャック機構４２のチャッキング動作によってチャック４２ａ、４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３０Ａに予めティーチングされている。
【００５２】
これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。
【００５３】
コイルユニット３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側にコイルを離間して配置したものである。このコイルユニット３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。
【００５４】
次に、本発明の特徴部分であるクリーンユニット１４及びこれに付随する構成について説明する。図５は、クリーンユニット１４の外形を示す斜視図である。なお、図５において、既述の装置本体１２の図示は省略されている。
【００５５】
このクリーンユニット１４は、装置本体１２の主要部が配される上半分の前面に開口部１４Ａを備え、この開口部１４Ａが観音開きの開口扉１４Ｂ、１４Ｂによって開閉可能となっている。クリーンユニット１４の上半分の他の３面は、透明壁により密閉状態になるように構成されている。
【００５６】
クリーンユニット１４の天井部前後方向の中央には、装置内部にクリーンエアを供給するクリーンエア送風ユニット１６が設けられている。このクリーンエア送風ユニット１６は、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタと、送風ファンにより構成され、ホルダユニット２２の周縁に、ダウンフローによる清浄度クラス３以下のクリーンエアが供給できるようになっている。
【００５７】
クリーンエア送風ユニット１６を挟んで、クリーンユニット１４の天井部の前方及び後方には、エアカーテン手段１７、１８が設けられている。このエアカーテン手段１７、１８は、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタと、送風ファンにより構成され、クリーンエア送風ユニット１６からの送風エアよりも速い流速のクリーンエアを送風して、クリーンユニット１４の開口部１４Ａの面及びクリーンユニット１４の奥側にエアカーテンを形成するものである。
【００５８】
クリーンエア送風ユニット１６及びエアカーテン手段１７、１８より吹き出されたクリーンエアは、外部に排出されるようになっている。このため、図１に示されるように、ベース６０上において、装置本体１２の各機構が配置されていない空き領域には、排気手段としての排気ファン６４が複数配設されている。
【００５９】
開口扉１４Ｂ、１４Ｂの先端辺の上端部及び下端部には、それぞれカバーロック機構１９（４箇所）が設けられている。このカバーロック機構１９は、開口扉１４Ｂ、１４Ｂの閉鎖状態を固定するロック機構であり、後述する解放スイッチ９４Ａ又は強制解放スイッチ９４Ｂの操作により開口扉１４Ｂ、１４Ｂの閉鎖状態を解放する機構である。
【００６０】
各カバーロック機構１９には、図示しない開閉検出センサが設けられており、この開閉検出センサにより、開口扉１４Ｂ、１４Ｂの開閉状態が検出できるようになっている。
【００６１】
開口扉１４Ｂ、１４Ｂの先端辺近傍の上下方向中央部には取っ手２０、２０が設けられている。この取っ手２０、２０は、開口扉１４Ｂ、１４Ｂの閉鎖状態が解放された際に、手動操作により開口扉１４Ｂ、１４Ｂを開く（観音開き）ために使用される。
【００６２】
開口扉１４Ｂの下方であって、クリーンユニット１４の正面右端部近傍には、スイッチボックス９４が設けられ、このスイッチボックス９４には、解放スイッチ９４Ａと強制解放スイッチ９４Ｂが設けられている。
【００６３】
これら解放スイッチ９４Ａと強制解放スイッチ９４Ｂは、いずれも装置本体１２の制御手段（図示略）に接続されており、それぞれが押動操作された際に、制御手段を介して以下の所定の動作を行う。
【００６４】
すなわち、解放スイッチ９４Ａは、押動操作された際に、インターロック手段を起動し、密閉手段（軸部材２４Ｂに接続される駆動手段と、Ｏリング２５等）を作動させ、ホルダユニット２２の内部に密閉空間を形成させ、また、エアカーテン手段１７、１８を作動させ、クリーンユニット１４の開口部１４Ａの面及びクリーンユニット１４の奥側にエアカーテンを形成させ、その後、カバーロック機構１９、１９…を作動させ、開口扉１４Ｂ、１４Ｂの閉鎖状態を解放する。
【００６５】
一方、強制解放スイッチ９４Ｂは、押動操作された際に、ホルダユニット２２の状態の如何にかかわらず、カバーロック機構１９、１９…を作動させ、開口扉１４Ｂ、１４Ｂの閉鎖状態を解放する。すなわち、強制解放スイッチ９４Ｂは、インターロック手段を強制解除する手段である。
【００６６】
なお、強制解放スイッチ９４Ｂを押動操作した際に、エアカーテン手段１７、１８の作動を行う状態と、作動を行わない状態とに切り換えられるべく、その旨の切り換え手段（スイッチ）が操作パネル（図示略）に設けられている。
【００６７】
また、図１に示されるクリーンユニット１４の右側後部の上面には、パトライト９０が設けられている。このパトライト９０は、密閉手段の作動の有無を作業者に知らせる判別手段と、密閉手段が作動されていない状態を作業者に知らせる警報手段を兼ねている。
【００６８】
このように、密閉手段（図３に示される、軸部材２４Ｂに接続される駆動手段と、Ｏリング２５等）の作動の有無が容易に判別できれば、作業者にとっての、誤った動作を防ぐことが容易となる。また、マスターディスク４６、４６を汚染させる可能性の高い状態にあるときに警報がなされれば、作業者にとって便利である。
【００６９】
判別手段と、警報手段との区別は、パトライト９０の表示色を異ならせるとともに、警報音を併用することにより、容易に行える。
【００７０】
次に、上記のように構成された磁気転写装置の運転方法について説明する。先ず、定常時の運転方法について説明する。
【００７１】
運転開始により、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）がディスク供給カセット３８内のスレーブディスク４０を把持して、順次１枚ずつ取り出す。
【００７２】
取り出されたスレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置８２に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される。
【００７３】
このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。
【００７４】
ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。
【００７５】
次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。
【００７６】
この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、チャック機構４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出されるスレーブディスク４０の中心とが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９により、スレーブディスク４０が位置決めされる。
【００７７】
次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される。
【００７８】
次いで、移動側ホルダ２４をロボット７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する。
【００７９】
次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置８４に位置決めする。そして、コイルユニット３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ、ホルダユニット２２を回転させながら両側から磁界を加える。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。
【００８０】
磁気転写後、コイルユニット３２、３２を初期の位置に退避させ、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置８６に位置決めする。
【００８１】
次いで、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。
【００８２】
次いで、ディスク排出ユニット３４のチャック５２が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０の内径を把持する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。
【００８３】
次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック５２により把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック５２を含めて上下方向の向きが反転される。
【００８４】
次いで、スレーブディスク４０及びチャック５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によってディスク排出カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０をディスク排出カセット５６内に順次１枚ずつ収納する。
【００８５】
上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。
【００８６】
以上の定常時の運転中において、装置故障等のトラブルや、異常事態の発生により運転を緊急停止させる場合がある。また、運転準備中の調整作業も頻繁に行われる。その際、クリーンユニット１４の開口扉１４Ｂ、１４Ｂを開ける必要がある。以下、この作業について説明する。
【００８７】
クリーンユニット１４の開口扉１４Ｂ、１４Ｂを開ける際に、ホルダユニット２２の内部にマスターディスク４６、４６が収容されており、汚染を防ぐ必要がある場合には、解放スイッチ９４Ａの押動操作を行う。
【００８８】
これにより、インターロック手段が起動され、密閉手段（軸部材２４Ｂに接続される駆動手段と、Ｏリング２５等）を作動させ、ホルダユニット２２の内部に密閉空間を形成させ、また、エアカーテン手段１７、１８を作動させ、クリーンユニット１４の開口部１４Ａの面及びクリーンユニット１４の奥側にエアカーテンを形成させ、その後、カバーロック機構１９、１９…を作動させ、開口扉１４Ｂ、１４Ｂの閉鎖状態を解放する。
【００８９】
一方、強制解放スイッチ９４Ｂは、押動操作された際に、ホルダユニット２２の状態の如何にかかわらず、カバーロック機構１９、１９…を作動させ、開口扉１４Ｂ、１４Ｂの閉鎖状態を解放する。すなわち、強制解放スイッチ９４Ｂは、インターロック手段を強制解除する手段である。
【００９０】
なお、強制解放スイッチ９４Ｂを押動操作した際に、エアカーテン手段１７、１８の作動を行う状態と、作動を行わない状態とに切り換えられるべく、その旨の切り換え手段（スイッチ）が操作パネル（図示略）に設けられている。
【００９１】
また、図１に示されるクリーンユニット１４の右側後部の上面には、パトライト９０が設けられている。このパトライト９０は、密閉手段の作動の有無を作業者に知らせる判別手段と、密閉手段が作動されていない状態を作業者に知らせる警報手段を兼ねている。
【００９２】
このように、密閉手段（図３に示される、軸部材２４Ｂに接続される駆動手段と、Ｏリング２５等）の作動の有無が容易に判別できれば、作業者にとっての、誤った動作を防ぐことが容易となる。また、マスターディスク４６、４６を汚染させる可能性の高い状態にあるときに警報がなされれば、作業者にとって便利である。
【００９３】
判別手段と、警報手段との区別は、パトライト９０の表示色を異ならせるとともに、警報音を併用することにより、容易に行える。
【００９４】
以上で説明したように、本発明によれば、ホルダユニット２２の内部に密閉空間を形成させる密閉手段を備え、開口扉１４Ｂ、１４Ｂを開き、クリーンユニット１４内部を通常雰囲気に解放する前に、密閉手段を作動させ、ホルダユニット２２の内部に密閉空間を形成させるインターロック手段が設けられている。したがって、装置故障等のトラブルや、調整作業の必要の際にも、ホルダユニット２２の内部を充分なクリーン度にでき、マスターディスク４６、４６の寿命を飛躍的に向上させることができる。
【００９５】
以上、本発明に係る磁気転写装置の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【００９６】
たとえば、上記実施形態において、クリーンエア送風ユニット１６と、この前方及び後方に設けられるエアカーテン手段１７、１８によりホルダユニット２２の周縁部のクリーン度を担保する構成となっているが、これに代えて、又はこれとともに、クリーンユニット１４内部を通常雰囲気に解放する前に、クリーンエア送風ユニット１６よりの送風量（クリーンエアの流量）を増加させる構成も採用でき、略同様な効果が得られる。
【００９７】
また、ホルダユニット２２の構成等も、上記の実施形態に限定されるものではなく、各種の態様のものが採用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図
【図２】ディスク用カセットにスレーブディスクを出し入れする状態を示す斜視図
【図３】ホルダユニットの構成を示す断面図
【図４】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図
【図５】クリーンユニットの構成を示す斜視図
【符号の説明】
【００９９】
１０…磁気転写装置、１２…装置本体、１４…クリーンユニット、２２…ホルダユニット（保持手段）、２３…固定側ホルダ、２４…移動側ホルダ、２６…ディスク供給ユニット、３０…認識ユニット、３２…コイルユニット、３４…ディスク排出ユニット、３８…ディスク供給カセット、４０…スレーブディスク（被転写用ディスク）、４６…マスターディスク、５６…ディスク排出カセット、（送風手段）、６４…排気手段（排気ファン）、７０…ロボット（駆動手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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