(57)【要約】【課題】  本発明は、圧縮機吸入圧力を所定値に制御でき、且つ、弁が故障しても圧縮機に流入する流量がゼロにならず、サージング現象の防止、圧縮機の破損をカバーすることができる圧縮装置を提供することを目的とする。【解決手段】  そのために、本発明の圧縮装置は、原動機で駆動される圧縮機と、前記圧縮機の吸入口に接続された吸入配管と、前記吸入配管に介装された吸入側圧力調節弁と、前記吸入側圧力調節弁の上流側と下流側とを接続する小流量連続流れ流路とを備えた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
原動機で駆動される圧縮機と、
前記圧縮機の吸入口に接続された吸入配管と、
前記吸入配管に介装された吸入側圧力調節弁と、
前記吸入側圧力調節弁の上流側と下流側とを接続する小流量連続流れ流路と
を備えたことを特徴とする圧縮装置。
【請求項２】
原動機で駆動される圧縮機と、
前記圧縮機の吸入口に接続された吸入配管と、
前記圧縮機の吐出口に接続された吐出配管と、
前記吸入配管に介装された吸入側圧力調節弁と、
前記吸入側圧力調節弁の上流側と下流側とを接続する小流量連続流れ流路と、
前記吸入配管に設けられ前記圧縮機の吸入口圧力を検出する吸入側圧力計と、
前記吸入側圧力計にて検出された吸入口圧力値に基づき前記吸入側圧力調節弁の開度を制御する吸入圧力制御器と
を備えたことを特徴とする圧縮装置。
【請求項３】
原動機で駆動される圧縮機と、
前記圧縮機の吸入口に接続された吸入配管と、
前記圧縮機の吐出口に接続された吐出配管と、
前記吸入配管に介装された吸入側圧力調節弁と、
前記吸入側圧力調節弁の上流側と下流側とを接続する小流量連続流れ流路と、
前記吸入側圧力調節弁の上流側に設けられ流入する流体の圧力を検出する入口ヘッダ圧力計と、
前記入口ヘッダ圧力計にて検出された流入流体の圧力値に基づき前記吸入側圧力調節弁の開度を制御する吸入圧力制御器と
を備えたことを特徴とする圧縮装置。
【請求項４】
前記吐出配管に接続された放出用配管と、
前記放出用配管に介装された大気放出弁と、
前記吸入配管に設けられ前記圧縮機に吸入される流体の流量を検出する吸入側流量計と、
前記吸入側流量計にて検出された吸入流体の流量値が所定値を超えたときに前記大気放出弁を開放する放出弁制御器と
を備えたことを特徴とする請求項２又は３に記載の圧縮装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸気タービン、ガスタービン及び電動モータ等の原動機（モータ）で駆動する遠心型等の圧縮装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図６に図示のように、取扱うガスの分子量が大幅に変化するような運転条件であっても、圧縮機１のサージングの発生を確実に防止するために、圧縮機１の回転数Ｎ、吸込ガス温度Ｔｓ、吐出ガス温度Ｔｄ、吸込圧力Ｐｓ、吐出圧力Ｐｄ、吸込流量オリフィス差圧ΔＰｓを計測し、これらからガス分子量ＭＷや吸込流量Ｑｓを求め、さらに分子量に基づくサージング発生流量係数を求め、圧縮機の運転中の吸込流量係数が、サージング発生流量係数に近付くと、リサイクル弁５を開いて吐出ガスを吸込側へ導入するようにしたものがある（例えば、特許文献１。）。
【０００３】
図６に図示の従来の圧縮機１の運転時における、運転状況を図７、図８について説明する。
まず、圧縮機１の吸込側の圧力が低いときの運転状況を図７について説明する。
図７（ａ）は、横軸に体積流量、縦軸に吐出圧力をとり、回転数がＮ１、Ｎ２、Ｎ３（Ｎ１＞Ｎ２＞Ｎ３）の場合の圧縮機１の性能曲線を示している。
また、サージラインとサージ防止の流量制御をおこなうためアンチサージ制御ライン（設定値）も示している。
【０００４】
圧縮機１は、吐出圧力が所定の目標圧力になるように運転されており、体積流量は、回転数に応じて目標圧力ラインに沿って変化する。
この場合、回転数は最小回転数Ｎ３から最大回転数Ｎ１まで変更可能となっており、最大流量ＦＨ１は、目標圧力ラインと最大回転数Ｎ１との交点である運転点Ａで達成される。
最小流量ＦＬ１は、回転数Ｎ２と最小回転数Ｎ３の中間の運転点Ｂで実現できる。
なお、運転点Ｂはアンチサージ制御ライン上にあり、これ以上体積流量が少なくなるのをリサイクル弁５を開くことで防止している。
【０００５】
このときの圧縮機１を駆動する原動機２の消費動力を図７（ｂ）に示す。
図７（ｂ）のグラフ上の運転点Ａが最大流量ＦＨ１時の原動機２の消費動力を示し、運転点Ｂが最小流量ＦＬ１時の原動機２の消費動力を示す。
この図中に示す原動機２の最大出力より運転点Ａ、Ｂ共に消費動力は小さいため、問題なく運転できる。
【０００６】
次に、圧縮機１の吸込側の圧力が高いときの運転状況を図８について説明する。
図８（ａ）に示すように、運転点Ｃにおいて、流量は最大流量ＦＨ２、回転数はＮ１となる。
また運転点Ｄにおいて、流量は最小流量ＦＬ２、回転数はＮ３となる。
回転数Ｎ３は、変更可能な最低回転数である。
このとき、アンチサージ制御ラインには到達しておらず、リサイクル弁５は全閉のままである。
【０００７】
しかしながら、消費動力は図８（ｂ）に示すように、最大流量ＦＨ２時の運転点Ｃにおいて、原動機２は最大出力をオーバーしており、原動機２はオーバートルクでトリップする。
したがって、原動機２の最大出力ＦＨ２に等しい運転点Ｅ（回転数Ｎ１以下）以下の流量でないと運転ができずトリップする問題点がある。
【０００８】
この問題点を解決するために、図９、又は図１０に示すものが想定される。
しかしながら、図９、又は図１０に示すものにも問題点があり、これについて説明する。
【０００９】
まず、図９に示す第１の想定例ついて説明する。
これは、図６に図示の従来の圧縮機の制御方法の問題点を解決するために、入口側配管５０に入口側圧力調節弁１５を設置し、吸入配管５１に吸入側圧力計１１を設置する。
そして、吸入側圧力計１１の検出値を制御量として、圧縮装置制御装置２０の入口側圧力制御器２８により、圧力調節弁１５を制御する。
この構成によれば、常に遠心圧縮機１の吸入圧を一定にすることができるため、圧縮機１の吸込側の圧力の設定値を、図７に示すように、原動機２の最大出力以上にならないように低めに設定しておけば、入口ヘッダ３の圧力が高くなっても、原動機２はオーバトルクでトリップすることはない。
【００１０】
また、図９に示す第１の想定例のものでは、入口側圧力制御器２８により、入口ヘッダ３の圧力が高く、且つ、出口ヘッダ７への流出流量がゼロのとき、入口側圧力調節弁１５は全閉となる。
このとき、リサイクル弁制御器２１でのアンチサージング制御によりリサイクル弁５が開くため、圧縮機１の流量は規定値となり、サージに入ることはない。
しかしながら、入口側圧力調節弁１５が全閉になるということは、吸入圧力は所定値に制御される保証はなく、オーバートルクとなる高目の吸入圧力になる可能性があり、トリップすることがある。
このような問題点が、図９に示す第１の想定例のものにはあった。
【００１１】
次に、図１０に示す第２の想定例ついて説明する。
これは、図６に図示の従来の圧縮機の制御方法の問題点を解決するために、吸入配管５１に吸入側圧力調節弁８を設置し、吸入配管５１に吸入側圧力計１１を設置する。
そして、吸入側圧力計１１の検出値を制御量として、圧縮装置制御装置２０の吸入圧力制御器２３により、吸入側圧力調節弁８を操作する。
この構成によれば、常に圧縮機１の吸入圧を一定に制御することができ、圧縮機１の吸込側の吸入圧力は、オーバートルクの発生する圧力まで上昇することはなく、トリップは回避できる。
【００１２】
また、図９に示す第１の想定例のものの問題点であった出口ヘッダ７への流出流量がゼロでも、この吸入側圧力調節弁８は、全閉になることはない。
このとき、リサイクル弁制御器２１でのアンチサージ制御により、圧縮機１の流量は設定流量に保持されており、この流量を流すためには、吸入側圧力調節弁８は開いていることになる。
この吸入側圧力調節弁８が開いていることは、吸入圧力制御器２３による吸入圧制御ができることを示しており、圧縮機１の吸込側の吸入圧力が、オーバートルクの発生する圧力まで上昇することはなく、トリップすることはない。
【００１３】
しかし、図１０に示す第２の想定例のものは、次の問題点をもっており、実際に使用されることはほとんどない。
一般に弁は故障することを考慮する必要があり、仮に吸入側圧力調節弁８が故障して瞬時に全閉になると、圧縮機１に流入する流量は瞬時にゼロとなり、サージング現象が発生し、圧縮機１が破損する恐れがある。
なお、弁の故障は図９に示す第１の想定例のものでも起こりうるが、入口側圧力調節弁１５が故障すると、リサイクル弁５を開けることでカバーできる。
また、リサイクル弁５が故障すれば、出口ヘッダ７への流出流量を多くするか、圧縮機１の出口に設置してある大気放出弁１４を開くことでカバーできる。
しかし、図１０に示す第２の想定例のものでは、吸入側圧力調節弁８が故障した場合はカバーするものがない。
【００１４】
【特許文献１】特開平７−１２０９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、このような、問題点を解決しようとするものであり、圧縮機吸入圧力を所定値に制御でき、且つ、弁が故障しても圧縮機に流入する流量がゼロにならず、サージング現象の防止、圧縮機の破損をカバーすることができる圧縮装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の問題点に対し本発明は、以下の各手段を以って課題の解決を図る。
（１）第１の手段の圧縮装置は、原動機で駆動される圧縮機と、前記圧縮機の吸入口に接続された吸入配管と、前記吸入配管に介装された吸入側圧力調節弁と、前記吸入側圧力調節弁の上流側と下流側とを接続する小流量連続流れ流路とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
（２）第２の手段の圧縮装置は、原動機で駆動される圧縮機と、前記圧縮機の吸入口に接続された吸入配管と、前記圧縮機の吐出口に接続された吐出配管と、前記吸入配管に介装された吸入側圧力調節弁と、前記吸入側圧力調節弁の上流側と下流側とを接続する小流量連続流れ流路と、前記吸入配管に設けられ前記圧縮機の吸入口圧力を検出する吸入側圧力計と、前記吸入側圧力計にて検出された吸入口圧力値に基づき前記吸入側圧力調節弁の開度を制御する吸入圧力制御器とを備えたことを特徴とする。
【００１８】
（３）第３の手段の圧縮装置は、原動機で駆動される圧縮機と、前記圧縮機の吸入口に接続された吸入配管と、前記圧縮機の吐出口に接続された吐出配管と、前記吸入配管に介装された吸入側圧力調節弁と、前記吸入側圧力調節弁の上流側と下流側とを接続する小流量連続流れ流路と、前記吸入側圧力調節弁の上流側に設けられ流入する流体の圧力を検出する入口圧力計と、前記入口圧力計にて検出された流入流体の圧力値に基づき前記吸入側圧力調節弁の開度を制御する吸入圧力制御器とを備えたことを特徴とする。
【００１９】
（４）第４の手段の圧縮装置は、上記第２又は３の手段において、前記吐出配管に接続された放出用配管と、前記放出用配管に介装された大気放出弁と、前記吸入配管に設けられ前記圧縮機に吸入される流体の流量を検出する吸入側流量計と、前記吸入側流量計にて検出された吸入流体の流量値が所定値を超えたときに前記大気放出弁を開放する放出弁制御器とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
特許請求の範囲に記載の各請求項に係る発明の圧縮装置は、上記の（１）〜（４）に記載の各手段を採用しており、圧縮機の入口圧力を吸入側圧力調節弁により制御しているため、吸入圧力が高いとき運転ができずトリップするという現象は回避できる。
更に、吸入側圧力調節弁が故障しても小流量連続流れ流路があるため圧縮機に流入する流量がゼロにならず、サージング現象の防止、圧縮機の破損を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の各実施の形態を図１〜図５に基づいて説明する。
図１は本発明の第１の実施の形態に係る圧縮装置の全体構成図、図２は本発明の第２の実施の形態に係る圧縮装置の全体構成図、図３は図２の吸入圧力制御器における関数発生器の説明図、図４は図２の吸入圧力制御器における関数発生器のその他の例の説明図、図５は本発明の第３の実施の形態に係る圧縮装置の全体構成図である。
【００２２】
まず、図１に基づき本発明の第１の実施の形態に係る圧縮装置につき説明する。
図１に図示のように、入口ヘッダ３は入口側配管５０に接続され、入口側配管５０の下流側は吸入配管５１に接続され、吸入配管５１の下流側は圧縮機１の吸入口に接続されている。
圧縮機１の回転軸は、図示略のクラッチ等を介して蒸気タービン、電動モータ等の原動機（モータ）２に連結されている。
【００２３】
また、入口側配管５０には、管内を流れるガス等の流体の逆流を防止する入口側逆止弁４が介装されている。
更に、吸入配管５１は吸入側圧力調節弁８が介装され、吸入側圧力調節弁８の上流側と下流側とを接続する小流量連続流れ流路５８が設けられている。
即ち、吸入側圧力調節弁８と小流量連続流れ流路５８とは並列に設置されており、吸入配管５１の上流側から流れてきた流体の多くは吸入側圧力調節弁８を通り、一部は小流量連続流れ流路５８通った後、合流し、圧縮機１の吸入口に流入するようになっている。
【００２４】
なお、本実施の形態においては、小流量連続流れ流路５８は、吸入側圧力調節弁８の上流側と下流側とを接続する配管と、この配管に介装されたオリフィス９により構成されている。
オリフィス９は、可動部分がなく閉鎖することはないため、オリフィス９のサイズをサージング現象を防止できる最小限流量を確保できる大きさにしておけば、破損にいたるサージング現象は回避される。
【００２５】
また、一般の手動弁をオリフィス９の変わりに用いても良い。
手動弁の場合、人が操作しないかぎり誤動作することはない。
また、小流量連続流れ流路５８は、上述の構成に換えて、全体的に或いは部分的に細く流体抵抗となるような配管のみで構成しても良い。
【００２６】
更に、小流量連続流れ流路５８は、吸入側圧力調節弁８に、ある開度以下には閉じることのないように機械的なストッパを設けた形態のもの、或いは弁体の一部分を切り欠いたもの、弁体に小さな孔を開けたものでも良い。
要は、小流量連続流れ流路５８は、可動部がなく、或いは誤作動しても完全に閉鎖することのない構成のものであれば良い。
【００２７】
圧縮機１の吐出口は吐出配管５２に接続され、吐出配管５２の下流側は出口側配管５３に接続され、出口側配管５３の下流側は出口ヘッダ７に接続されている。
出口側配管５３には、管内を流れるガス等の流体の逆流を防止する出口側逆止弁６が介装されている。
【００２８】
また、入口側配管５０と吸入配管５１との配管合流点５５と、吐出配管５２と出口側配管５３との配管分岐点５６とは、リサイクル配管５４により接続され、リサイクル配管５４にはリサイクル弁５が介装されている。
【００２９】
上述の構成において、入口ヘッダ３から供給されたガス等の流体は、入口側配管５０、入口側逆止弁４、吸入配管５１、吸入側圧力調節弁８及びオリフィス９を介して、圧縮機１により吸引され圧縮される。
圧縮機１によって圧縮された流体は、吐出配管５２、出口側配管５３及び出口側逆止弁６を介して出口ヘッダ７に貯蔵される。
また、リサイクル弁５は、アンチサージ制御機能も持っており、圧縮機１がサージング状態に入ったときに、速やかにその状態から抜け出すために開いて吐出圧力を低下させる機能を有している。
【００３０】
また、圧縮機１の吸入口付近の吸入配管５１には、圧縮機１に吸入される流体の吸入口圧力を検出する吸入側圧力計１１、及び流量を検出する吸入側流量計１０が取り付けられている。
更に、圧縮機１の吐出口付近の吐出配管５２には、圧縮機１から吐出する流体の吐出口圧力を検出する吐出側圧力計１２が取り付けられている。
【００３１】
これらの原動機２、吸入側圧力調節弁８及びリサイクル弁５は、原動機制御器２２、リサイクル弁制御器２１及び吸入圧力制御器２３を有する圧縮装置制御装置２０により制御される。
即ち、原動機制御器２２は、吐出側圧力計１２にて検出された吐出口圧力を受信して、所定の吐出圧力になるように原動機２の回転数を制御する。
また、リサイクル弁制御器２１は、吸入側流量計１０にて検出された吸入流体の流量を受信して、圧縮機１がサージング状態にならないようにリサイクル弁５の開度を制御する。
更に、吸入圧力制御器２３は、吸入側圧力計１１にて検出された吸入口圧力を受信して、所定の吸入圧力になるように吸入側圧力調節弁８の開度を制御する。
【００３２】
なお、上述の各計測機器、或いは各操作盤から出力される各計測値、或いは出力信号は、言うまでもなく一般に用いられている所定の電気信号に変換されたものである。
更に、圧縮装置制御装置２０はコンピュータの形態をなしており、各制御器等は、それを実行するプログラム、シーケンスブロック、或いはメモリの形態をなしているが、これに限定されるものではなく、個々の電気回路により構成するようにしても良い。
【００３３】
本発明の第１の実施の形態に係る圧縮装置は、上述の構成により、圧縮機１の吸入圧力を吸入側圧力計１１で検出し、吸入圧力制御器２３にてこの検出値を一定とするように吸入側圧力調節弁８を制御しているため、図６に図示の従来技術、図９、図１０に図示の想定例の問題点である吸入圧力が高いときに圧縮機１を駆動する原動機２がオーバートルクとなりトリップするという現象は回避できる。
【００３４】
また、図９に図示の第１の想定例における、出口ヘッダ７への流出流量がゼロのとき、吸入圧力の制御が不能になるという問題点は、吸入配管５１の配管合流点５５より下流側に吸入側圧力調節弁８を設置しており、アンチサージ制御によって所定流量以上の流量が吸入側圧力調節弁８に流れるため、吸入圧力制御は常にできることになる。
【００３５】
また、図１０に図示の第２の想定例における、吸入側圧力調節弁８が故障し全閉となったとき、圧縮機１の破損を回避する他の手段がないという問題点は、吸入側圧力調節弁８と並列的に小流量連続流れ流路５８を設けることにより、例え吸入側圧力調節弁８が故障し全閉になっても、小流量連続流れ流路５８があるため圧縮機１に流入する流量がゼロにならず、サージング現象、及び圧縮機１の破損は防止される。
【００３６】
次に、図２、図３、図４に基づき本発明の第２の実施の形態に係る圧縮装置につき説明する。
本実施の形態に係る圧縮装置も、第１の実施の形態（図１）と同様に、圧縮機１、原動機２、リサイクル弁５、吸入側圧力調節弁８、小流量連続流れ流路５８、各配管類、圧縮装置制御装置２０等を備えている。
第１の実施の形態（図１）と異なる点は、吸入側圧力調節弁８を制御するために、吸入配管５１ではなく、入口側配管５０の圧力を検出している。
【００３７】
即ち、吸入側圧力調節弁８より上流側の吸入配管５１、入口側配管５０、或いは入口ヘッダ３に入口ヘッダ圧力計１３が設けられている。
そして、圧縮装置制御装置２０内の吸入圧力制御器２３ａは、入口ヘッダ圧力計１３にて検出された入口圧力を受信して、吸入側圧力調節弁８の開度を、入口圧力が低い場合は全開にし、高い場合は全閉にするように制御する。
【００３８】
この吸入圧力制御器２３ａにおける入口圧力と弁開度との変換関数は、例えば、図３に図示のように、入口圧力が低い場合は弁開度を全開にし、入口圧力が高くなるに従い弁開度を小さくして行き、所定の高圧力以上では弁開度を全閉にする関数とすることができる。
或いは、この変換関数は、図４に図示のように、入口圧力がある値をこえたとき、弁を全閉し、ある値以下では全開する関数でも良い。
ある値とは、図８の状態となる入口ヘッダ圧力の下限値とすれば良い。
入口ヘッダ圧力がこの下限値以下であれば、図７の状態であり、原動機２の最大出力より消費動力は小さくなっており、トルクオーバーでトリップすることはないことは明白である。
【００３９】
本発明の第２の実施の形態に係る圧縮装置は、上述のごとく構成されており、吸入側圧力調節弁８より上流側の入口圧力が検出され、吸入圧力制御器２３ａにて図３、図４に図示のような関数により弁開度が演算されて、吸入側圧力調節弁８が制御される。
従って、吸入側圧力調節弁８の開度は、入力ヘッダ圧力が高いときは小さくなり、また入口ヘッダ圧力が低いときは大きくなるように制御されるため、圧縮機１の吸入口圧力は、ほぼ一定に保たれる。
このため、本発明の第１の実施の形態と同様に、図６に図示の従来技術、図９、図１０に図示の想定例の問題点である吸入圧力が高いときに圧縮機１を駆動する原動機２がオーバートルクとなりトリップするという現象は回避できる。
【００４０】
また、本発明の第１の実施の形態に係る圧縮装置と同様に、吸入側圧力調節弁８が故障し全閉になっても、小流量連続流れ流路５８があるため圧縮機１に流入する流量がゼロにならず、サージング現象、及び圧縮機１の破損は防止される。
【００４１】
次に、図５に基づき本発明の第３の実施の形態に係る圧縮装置につき説明する。
本実施の形態に係る圧縮装置も、第１の実施の形態（図１）と同様に、圧縮機１、原動機２、吸入側圧力調節弁８、小流量連続流れ流路５８、各配管類、圧縮装置制御装置２０等を備えている。
第１の実施の形態（図１）と異なる点は、サージング現象を回避するために設置した図１に図示のリサイクル配管５４とリサイクル弁５がなく、そのかわりに大気、又はフレアスタックに放出する放出用配管５７と大気放出弁１４がありこれでサージング現象の発生を防止するようになっている。
【００４２】
即ち、図５に図示のように、吐出配管５２（或いは、出口側配管５３）には、放出用配管５７が接続され、放出用配管５７には、大気放出弁１４が介装されている。
そして、圧縮装置制御装置２０には、図１に図示のリサイクル弁制御器２１に替えて放出弁制御器２７が設けられている。
この圧縮装置制御装置２０内の放出弁制御器２７は、吸入側流量計１０にて検出された吸入流体の流量を受信して、吸入流体の流量が低下した場合には、放出弁制御器２７を開放することにより圧縮機１の体積流量を増加させて、圧縮機１がサージング状態にならないようにする。
【００４３】
本実施例においても、本発明の第１、２の実施の形態に係る圧縮装置と同様に、吸入側圧力調節弁８が故障し全閉になっても、小流量連続流れ流路５８があるため圧縮機１に流入する流量がゼロにならず、サージング現象、及び圧縮機１の破損は防止される。
【００４４】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明は上記の各実施の形態に限定されず、本発明の範囲内でその具体的構造に種々の変更を加えてよいことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る圧縮装置の全体構成図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る圧縮装置の全体構成図である。
【図３】図２の吸入圧力制御器における関数発生器の説明図である。
【図４】図２の吸入圧力制御器における関数発生器のその他の例の説明図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る圧縮装置の全体構成図である。
【図６】従来の圧縮機の制御方法の構成図である。
【図７】従来の圧縮機の入口ヘッダ圧が低いときの作用説明図である。
【図８】従来の圧縮機の入口ヘッダ圧が高いときの作用説明図である。
【図９】圧縮装置の第１の想定例の全体構成図である。
【図１０】圧縮装置の第２の想定例の全体構成図である。
【符号の説明】
【００４６】
１    圧縮機
２    原動機
３    入口ヘッダ
４    入口側逆止弁
５    リサイクル弁
６    出口側逆止弁
７    出口ヘッダ
８    吸入側圧力調節弁
９    オリフィス
１０  吸入側流量計
１１  吸入側圧力計
１３  入口ヘッダ圧力計
１２  吐出側圧力計
１４  大気放出弁
１５  入口側圧力調節弁
２０  圧縮装置制御装置
２１  リサイクル弁制御器
２２  原動機制御器
２３  吸入圧力制御器
２３ａ  吸入圧力制御器
２７  放出弁制御器
２８  入口側圧力制御器
５０  入口側配管
５１  吸入配管
５２  吐出配管
５３  出口側配管
５４  リサイクル配管
５５  配管合流点
５６  配管分岐点
５７  放出用配管
５８  小流量連続流れ流路
【図１】
2006316759.tif 000003
【図２】
2006316759.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006316759.tif 000009
【図８】
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【図９】
2006316759.tif 000011
【図１０】
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