(57)【要約】【課題】  リニア型磁気テープの走行時に、摺動面とリニア型磁気テープの間のスペーシングの低減とリニア型磁気テープの走行安定性の向上が図られた磁気ヘッド、例えばサーボ信号記録が可能とされた磁気ヘッドを提供する。【解決手段】  リニア型磁気テープとの摺動面４に、周囲が閉じた第１及び第２の有底キャビティ６ａ及び６ｂが形成され、この有底キャビティの少なくとも１つが、リニア型磁気テープに対向して、リニア型磁気テープの走行領域４ａの幅内のみに形成された構成とする。【選択図】      図１
2006127730.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニア型磁気テープの記録用素子および／または再生用素子を備えた磁気ヘッドであって、
リニア型磁気テープとの摺動面に、周囲が閉じた有底キャビティが少なくとも１つ以上形成され、該有底キャビティの少なくとも１つが、上記リニア型磁気テープに対向して、該リニア型磁気テープの走行領域幅内のみに形成された
ことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
上記摺動面の少なくとも一部がフラット面とされた
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
上記有底キャビティの容積の合計が０．０２５ｍｍ３以上とされた
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
上記有底キャビティ内に、磁気シールド材を備えた
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
少なくとも上記記録用素子が、２組以上並置され、
該２組以上の記録用素子間に、上記有底キャビティの少なくとも１つが配置された
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項６】
上記２組以上の記録用素子が形成された摺動面に、上記記録用素子に対応した数の有底キャビティが形成され、上記２組以上の記録用素子間に、上記有底キャビティの少なくとも１つが配置された複数のヘッドチップと、
該複数のヘッドチップを支持する共通の基台となるヘッドキャリアとを有する
ことを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッド。
【請求項７】
少なくとも、上記記録用素子の一部に、サーボ信号記録用素子を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項８】
上記摺動面の、上記テープの走行方向に対する前縁及び後縁の少なくとも一方に、補強材が設けられた
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項９】
上記リニア型磁気テープが、媒体の走行時に、静止時に比して上記キャビティの開口に近接する
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項１０】
リニア型磁気テープの記録用素子および／または再生用素子を備えた磁気ヘッドを有する磁気記録再生装置であって、
上記磁気ヘッドを構成する摺動面に、周囲が閉じた有底キャビティが少なくとも１つ以上形成され、該有底キャビティの少なくとも１つが、上記リニア型磁気テープに対向して、該リニア型磁気テープの走行領域幅内のみに形成された
ことを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項１１】
リニア型磁気テープの記録用素子および／または再生用素子を備えた磁気ヘッドの製造方法であって、
上記記録用素子および／または再生用素子を有するヘッドチップと、該ヘッドチップの基台となるヘッドキャリアとによって、同一キャビティの周面と底面とを構成する
ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
リニア型磁気テープの記録用素子および／または再生用素子を備えた磁気ヘッドの製造方法であって、
上記記録用素子および／または再生用素子を有するヘッドチップと、該ヘッドチップに対して、上記リニア型テープとの摺動面とは異なる側から取着されるバックコアとによって、同一キャビティの周面と底面とを構成する
ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
上記キャビティの周面の少なくとも一部に、磁気シールド材を設置する
ことを特徴とする請求項１１に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
上記ヘッドキャリア上に、少なくとも上記記録用素子を、２組以上並置し、該２組以上の記録用素子間に、上記有底キャビティの少なくとも１つが配置する
ことを特徴とする請求項１１に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
上記２組以上の記録用素子が形成された摺動面に、上記記録用素子に対応した数の有底キャビティを形成し、上記２組以上の記録用素子間に、上記有底キャビティの少なくとも１つを配置する
ことを特徴とする請求項１１に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
少なくとも、上記記録用素子の一部に、サーボ信号記録用素子を形成する
ことを特徴とする請求項１１に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１７】
少なくとも、記録用素子の一部に、サーボ信号記録用素子を有し、かつリニア型磁気テープとの摺動面に、周囲が閉じた有底キャビティが少なくとも１つ以上形成され、上記有底キャビティの少なくとも１つが、上記リニア型磁気テープの走行領域幅内のみに対向配置されてなる磁気ヘッドにて、上記サーボ信号が記録されている
ことを特徴とするリニア型磁気テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッド、磁気記録再生装置、磁気ヘッドの製造方法、及び磁気テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
リニア型磁気テープは、記録容量あたりのコストが安価であることや、記録される情報すなわちデータの保存精度すなわち長期信頼性に優れることから、データバックアップにおける記録媒体として広く用いられようとしている。
近年、記録媒体において、容量の増大及び記録再生速度の向上に対する要求が益々強くなり、リニア型磁気テープにおいても、記録密度の増大化、転送レートの上昇、テープ走行速度の向上及び高周波記録などが求められている。
【０００３】
このリニア型磁気テープシステムにおいては、磁気テープの長手方向の走行方向に沿って直線的にデータの記録再生が行われる。
図４０は、このリニア型磁気テープにおける一例のフォーマットを示す模式図である。この例におけるリニア型磁気テープは、サーボ信号が記録された多数本のサーボバンド（Servo band）が、それぞれ磁気テープの長手方向に沿って形成され、これらサーボバンド間に、データバンド（Data band）が配置され、長手方向と直交する幅方向の両端に、余裕をもたせるためのテープエッジガードバンド（Tape edge guard band）が配置された構成を有する。
【０００４】
１つのサーボバンドの幅としてサーボバンド幅（Servo band width）が、１つのサーボバンドと１つのデータバンドによる幅としてサーボバンドピッチ（Servo band pitch）が、それぞれ規定されている。
また、データバンドには、記録トラック（図示せず）を有する多数本のデータトラック（Data Track）が、磁気テープの長手方向に沿って、幅方向に多数本並置形成され、大容量化が図られている。
【０００５】
ここで磁気テープが長手方向に、例えばBOT（Beginning of Tape）からEOT（End of Tape）に向ってForward方向に走行する際、いわゆるLateral Tape Motionと呼称される、テープの長手方向に垂直な方向について、数μｍ〜数十μｍ程度の動きが発生することから、特にデータトラック幅が例えば数μｍ以下の幅狭とされた場合には、テープの垂直方向の動きに応じて磁気ヘッドを高速に追従させる必要が生じる。
【０００６】
このため、磁気記録再生ヘッドは、データを書き込みまたは読み出しを行う際に、テープに予め書き込まれたサーボ位置信号を読み出し、位置情報を計算しながら、特定のトラック位置に追従できるよう高速にヘッドを垂直方向に動かす必要がある。このように、リニア型磁気記録再生装置においては、データ記録密度が高くなり、データトラック幅が狭くなるにつれ、磁気テープに対しデータを書き込み、または読み出しをおこなうためには、リニア型磁気記録再生装置に搭載された磁気ヘッドの精密な位置決めが必要であると共に、トラック位置の基準信号となるサーボデータの書き込み精度が重要となる。
【０００７】
サーボ信号は、サーボライターと呼ばれる専用のサーボ信号書き込み装置にて、テープにサーボ信号が書き込まれる事となるが、例えばＬＴＯテープフォーマットでは、いわゆるTiming Based Servo方式が採用されている。サーボ書き込みデータとしては、図４１に示されるように、いわゆる“ハの字”状の連続したデータを書き込むこととなる。
ここでサーボ信号を読み出した場合、例えばヘッドの位置がサーボバンドのセンターライン（Servoband centerline）より上方にある場合、サーボ信号におけるＡバースト（A Burst）とＢバースト（B Burst）及びＣバースト（C Burst）とＤバースト（D Burst）の各時間間隔すなわちAB及びCDは狭くなる。
【０００８】
反対に、図４１に示すように、サーボバンドのセンターラインより下方にある場合（Typical servo location trajectory）、このサーボ信号（Typical servo readbacksignal）におけるＡＢ及びＣＤの時間間隔（AB distance、CD distance）は広くなる。従って、リニア型磁気記録再生装置に搭載された磁気ヘッドのサーボ読み出し素子にて、予め書き込まれたサーボ信号を読み出し、時間間隔ＡＢ及びＣＤを計測してSubframe1及びSubframe2を規定することにより、Servo frameを規定してリニア型磁気記録再生装置に搭載された磁気ヘッドの位置出しを行うことが出来る。
【０００９】
しかしながら、図４２Ａ及びＢに示されるように、サーボライターの書き込み時の問題として、ヘッドとテープの、つまりサーボヘッド摺動面とリニア型磁気テープとの距離、スペーシングによるサーボ信号出力不足、異物の巻き込み等によるサーボ信号のドロップアウト、ヘッドの磨耗に起因してサーボヘッドとテープ間のスペーシングが増加するヘッド寿命、更にはサーボ信号記録について生産性を向上させるためには、例えば５ｍ／ｓ以上の高速テープスピードにてサーボ信号の書き込みを行うことが好ましいが、テープ走行速度が上昇すると、サーボヘッドの摺動面に向かって、走行するリニア型磁気テープによって摺動面近傍に巻き込まれる空気の量が増加し、所謂スペーシングが増大して例えばテープに対する記録磁界の安定化が困難となるなどの問題が生じる。
【００１０】
また、特にサーボヘッドの前方のエッジ磨耗が進むことにより、サーボヘッド前縁での空気の遮断効果が少なくなり、摺動面近傍の気圧低下が不足し、スペーシングが増加することが問題となる。
また、生産性を向上させるためサーボ信号書き込み時のテープスピードを上げた場合、スペーシングが増加する問題もある。
ヘッド摺動面とテープの間のスペーシングについては、テープの機械特性により、例えば図４２Aに示すように摺動面前方から後方にかけてスペーシングが減少する傾向もあることから、スペーシングによるサーボ信号の問題としては、Ａ及びＢ−Ｂｕｒｓｔ、Ｃ及びＤ−Ｂｕｒｓｔの順にサーボ信号を書き込んだ場合、例えば図４２Bに示すようにＡ及びＣの出力が、Ｂ及びＤに比べ小さくなる問題もある。
【００１１】
図２２Ａ及び図２２Ｂは、従来の磁気ヘッドの構造を示す概略断面図である。
従来のリニア型磁気テープの記録再生に用いられてきた磁気ヘッドとしては、図２２Ａに示すような、記録用素子や再生用素子が形成された摺動面が湾曲面とされた所謂Ｒ型の円筒型磁気ヘッド１０１が挙げられる。
【００１２】
しかし、この円筒型磁気ヘッド１０１は、湾曲面とされた摺動面１０４がリニア型磁気テープ１１０に柔軟に接触できる特徴を有する一方、媒体近傍の空気が直接に摺動面に巻き込まれてしまう。
このため、記録再生特性の確保、例えば上述の再生出力の安定化のために、リニア型磁気テープの走行速度は０．５ｍ／ｓ程度が限界であった。
【００１３】
これに対し、テープ走行速度の向上を目的として、記録用素子および／または再生用素子を有するヘッドの摺動面とテープ型記録媒体との間のスペーシングを低減する種々の提案がなされている。
例えば、図２２Ｂに示すような、湾曲面とされた摺動面に、両端を開放して形成された凹部すなわちスリットを形成し、スリットのエッジにより媒体近傍の空気の流れを遮断することを特徴とするスリット付き円筒型磁気ヘッド２０１が提案された。
【００１４】
このスリット付き円筒型磁気ヘッド２０１は、スリット２０８のエッジ２０９が、リニア型磁気テープ２１０に接触する構造を有し、このエッジ２０９で走行してくる媒体近傍の空気の流れを遮断することにより、摺動面２０４の気圧が低下し、リニアテープ型磁気テープ２１０と摺動面２０４との間のスペーシングが低減される。このフラット型磁気ヘッドにおいて、リニア型磁気テープ２１０の走行速度は４．０ｍ／ｓ程度まで改善されることとなった。
【００１５】
また、図２３Ａ及び図２３Ｂは、記録用素子や再生用素子が形成された摺動面の少なくとも一部、例えば記録用および／または再生用素子が臨む部分が平面とされた、所謂フラット型の磁気ヘッド３０１の概略断面図及び概略構成図を示す。
このフラット型磁気ヘッド３０１は、少なくとも一部が平面とされた摺動面３０４のエッジ２０９が強くリニア型磁気テープ３１０に接触する構造を有し、このエッジ３０９で、走行してくる媒体近傍の空気の流れが遮断されることにより、摺動面３０４の近傍の気圧が低下し、リニアテープ型磁気テープ３１０と摺動面３０４との間のスペーシングが低減される。
【００１６】
しかし実際には、このフラット型磁気ヘッドにおいてもテープの走行速度は４．０ｍ／ｓ程度しか許容されず、通常のスリット付き円筒型磁気ヘッドに比しても改善が少ないことが確認された。
【００１７】
すなわち、リニア型磁気テープに対する情報の記録および／または再生は、記録用および／または再生用素子が形成された磁気ヘッドによってなされるが、テープ走行速度が上昇すると、磁気ヘッドの、リニア型磁気テープとの摺動面に向かって、走行するリニア型磁気テープによって摺動面近傍に巻き込まれる空気の量や状態が変化し、記録／再生素子が形成された摺動面とリニア型磁気テープとの距離、所謂スペーシングが増大して、例えば再生出力の安定化が困難となるなど種々の問題が生じる。
【００１８】
これらの問題に対し、図２４Ａ及び図２４Ｂに概略断面図及び概略斜視図を示すように、フラットな領域を持つ磁気ヘッドの摺動面４０４と、空気層の分布を減少させる目的のスリット４０８とスリット４０８と、フラットな磁気ヘッド摺動面４０４のラップ角を５度未満となるようなアウトリガー４１１と、両端を閉塞して形成された凹部すなわちキャビティ４０６を有する磁気ヘッドの提案がなされた（例えば特許文献１参照）。
また、磨耗によるスペーシング発生の問題を解決するために、図４３に示されるように、サーボヘッドの前縁を耐磨耗性材料で構成し、ヘッドエッジの磨耗の低減を図った磁気ヘッドの提案もなされている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開2000-207800号公報
【特許文献２】特開2004-5960号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかし本発明者らは、摺動面にキャビティが形成された磁気ヘッドにおいて、特定の条件を備えたキャビティによる場合にのみ上述のスペーシングが低減されるものであり、この条件に適合しない限りキャビティ特有の効果が発揮されないことを見出した。
すなわち、上述の特許文献１においては、例えば長さが２．０ｍｍ未満とされるとか、例えば深さが０．５μｍ〜数μｍとされた極小キャビティによって磁気ヘッドを構成する提案がなされているが、この場合、リニア型磁気テープの走行速度の上昇に対応することは困難であり、必ずしもスペーシングを十分に低減できない場合がある。
【００２０】
また、上述の特許文献１に記載の磁気ヘッドによれば、磁気ヘッドの摺動面上を走行するリニア型磁気テープの幅に比して小または大または同程度とされたキャビティによって磁気ヘッドを構成する提案もなされている。しかし、本発明者らは、リニア型磁気テープの幅に対するキャビティの幅の大小によってスペーシングの量が大きく変化し、リニア型磁気テープの走行安定性までもが変動することを見出したことから、従来は困難とされてきた速度領域における走行を可能とする磁気ヘッドの構成を提案するに至ったものである。
【００２１】
更に、従来は、例えば摺動面に２組の記録再生素子部を有する磁気ヘッドによってテープに信号を記録する際、一方の記録素子で書かれた信号に対して他方の再生素子にて照合を行うにあたり、記録用素子の記録磁界が再生用素子に影響することを回避するために、例えば磁気ヘッドの摺動面に形成された２組の記録再生素子部の間に磁気シールド材が挿入された構成を有していたが、記録磁界の影響を低減するためには２組の記録再生素子部の距離が大とされる必要もあり、各記録再生素子部が形成されたチップを間に磁気シールド材を挟み込んで貼り合わせる製造方法による場合には、磁気シールド材をいずれの記録再生素子部に対しても近接配置できず、設置箇所を形成することにも機械加工が必要で、手間がかかるという問題があった。
【００２２】
一方、上述の特許文献２に記載の磁気ヘッドによる場合には、サーボヘッドの磨耗に関して改善がなされるものの、サーボ信号出力不足、ドロップアウトに関する改善を期待することが難しく、更には生産性を向上するための、サーボ信号書き込みテープスピードを増加させることも困難である。
すなわち、上述のスペーシングが低減されるのは特定の条件を備えたキャビティによる場合のみであることから、この条件に適合しない限りキャビティ特有の効果が発揮されないこととなり、生産性向上のための高速テープスピードでのサーボ信号書き込みに対応することや、長期信頼性を確保することが難しくなることから、ヘッドの磨耗耐性のみを向上させても、磁気ヘッドに要求される改善をもたらす最適な構成とは言い難い。
【００２３】
例えば、上述の特許文献２に記載の磁気ヘッドにおいては、基本的にヘッド寿命を改善するものであるから、上述したＴｉｍｉｎｇ  Ｂａｓｅｄ  Ｓｅｒｖｏ  ＳｙｓｔｅｍにおけるＡＣ部、ＢＤ部における出力差ならびにドロップアウトの問題を解決することは困難である。
【００２４】
本発明は、記録再生素子が形成された摺動面上でのリニア型磁気テープの安定走行を、より高い速度領域において可能とする磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを有する磁気記録再生装置、磁気ヘッドの製造方法、及びリニア型磁気テープを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明に係る磁気ヘッドは、リニア型磁気テープの記録用素子および／または再生用素子を備えた磁気ヘッドであって、リニア型磁気テープとの摺動面に、周囲が閉じた有底キャビティが少なくとも１つ以上形成され、該有底キャビティの少なくとも１つが、上記リニア型磁気テープに対向して、該リニア型磁気テープの走行領域幅内のみに形成された
ことを特徴とする。
【００２６】
また、本発明は、上記磁気ヘッドにおいて、上記摺動面の少なくとも一部がフラット面とされたことを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドにおいて、上記有底キャビティの容積の合計が０．０２５ｍｍ３以上とされたことを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドにおいて、上記有底キャビティ内に、磁気シールド材を備えたことを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドにおいて、少なくとも上記記録用素子が、２組以上並置され、該２組以上の記録用素子間に、上記有底キャビティの少なくとも１つが配置されたことを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドにおいて、上記２組以上の記録用素子が形成された摺動面に、上記記録用素子に対応した数の有底キャビティが形成され、上記２組以上の記録用素子間に、上記有底キャビティの少なくとも１つが配置された複数のヘッドチップと、該複数のヘッドチップを支持する共通の基台となるヘッドキャリアとを有することを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドにおいて、少なくとも、上記記録用素子の一部に、サーボ信号記録用素子を有することを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドにおいて、上記摺動面の、上記テープの走行方向に対する前縁及び後縁の少なくとも一方に、補強材が設けられたことを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドにおいて、上記リニア型磁気テープが、媒体の走行時に、静止時に比して上記キャビティの開口に近接することを特徴とする。
【００２７】
本発明に係る磁気記録再生装置は、リニア型磁気テープの記録用素子および／または再生用素子を備えた磁気ヘッドを有する磁気記録再生装置であって、上記磁気ヘッドを構成する摺動面に、周囲が閉じた有底キャビティが少なくとも１つ以上形成され、該有底キャビティの少なくとも１つが、上記リニア型磁気テープに対向して、該リニア型磁気テープの走行領域幅内のみに形成されたことを特徴とする。
【００２８】
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、リニア型磁気テープの記録用素子および／または再生用素子を備えた磁気ヘッドの製造方法であって、上記記録用素子および／または再生用素子を有するヘッドチップと、該ヘッドチップの基台となるヘッドキャリアとによって、同一キャビティの周面と底面とを構成することを特徴とする。
【００２９】
また、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、リニア型磁気テープの記録用素子および／または再生用素子を備えた磁気ヘッドの製造方法であって、上記記録用素子および／または再生用素子を有するヘッドチップと、該ヘッドチップに対して、上記リニア型テープとの摺動面とは異なる側から取着されるバックコアとによって、同一キャビティの周面と底面とを構成することを特徴とする。
【００３０】
また、本発明は、上記磁気ヘッドの製造方法において、上記キャビティの周面の少なくとも一部に、磁気シールド材を設置することを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドの製造方法において、上記ヘッドキャリア上に、少なくとも上記記録用素子を、２組以上並置し、該２組以上の記録用素子間に、上記有底キャビティの少なくとも１つが配置することを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドの製造方法において、上記２組以上の記録用素子が形成された摺動面に、上記記録用素子に対応した数の有底キャビティを形成し、上記２組以上の記録用素子間に、上記有底キャビティの少なくとも１つを配置することを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気ヘッドの製造方法において、少なくとも、上記記録用素子の一部に、サーボ信号記録用素子を形成することを特徴とする。
【００３１】
本発明に係るリニア型磁気テープは、少なくとも、記録用素子の一部に、サーボ信号記録用素子を有し、かつリニア型磁気テープとの摺動面に、周囲が閉じた有底キャビティが少なくとも１つ以上形成され、上記有底キャビティの少なくとも１つが、上記リニア型磁気テープの走行領域幅内のみに対向配置されてなる磁気ヘッドにて、上記サーボ信号が記録されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３２】
本発明による磁気ヘッドによれば、リニア型磁気テープとの摺動面に、周囲が閉じた有底キャビティが少なくとも１つ以上形成され、該有底キャビティの少なくとも１つが、上記リニア型磁気テープに対向して、該リニア型磁気テープの走行領域幅内のみに形成された構成としたことから、リニア型磁気テープの走行時に、キャビティが形成されない場合に比して摺動面とリニア型磁気テープの間の流体例えば空気の膨張が促進され、気圧の低下によってスペーシングの低減とリニア型磁気テープの走行安定性の向上が図られる。
【００３３】
これにより、従来の磁気ヘッドにおける設定に比べ、小さなラップアングル、低いテンションの条件にて、記録再生及びサーボ信号の書き込みが可能となることから、磁気ヘッドの磨耗の問題が回避されることになり、従来と比べ長寿命の磁気ヘッドの提供が可能となる。
【００３４】
特に、例えば摺動面の少なくとも一部がフラット面とされたフラット型磁気ヘッドにおいては、走行するリニア型磁気テープの近傍の空気が、摺動面に至る前にヘッドのエッジにて積極的にかき取られることから、摺動面とリニア型磁気テープとの間の気圧を更に低下させることができる。また、後述するように、キャビティの効果を得るには、キャビティの容積の合計を０．０２５ｍｍ３以上とする必要があり、この場合には、リニア型磁気テープと磁気ヘッドの摺動面との間のスペーシングの改善を可能にするものである。
【００３５】
また、本発明による磁気ヘッド及び磁気記録再生装置によれば、例えばキャビティがリニア型磁気テープに対向する上述の走行領域内にのみ形成される構成とすることによって、リニア型磁気テープの走行時にはキャビティが低気圧状態を保持された閉空間とすることができ、負圧によって、静止時に比して上記キャビティの開口に近接する構成とすることができ、従来は困難とされてきた速度領域においてリニア型磁気テープを走行させることができることから、後述するようにリニア型磁気テープの走行を、１２ｍ／ｓ以上の速度領域においても安定的に行うことが可能とされる。
【００３６】
また、本発明による磁気ヘッド及び磁気記録再生装置によれば、キャビティ内に磁気シールド材を備えた構成としたことから、特に容積を十分に大としてキャビティを構成した場合に、例えば記録用素子の記録磁界に対応した形状寸法を有するシールド材を、記録用素子に十分近い位置すなわちキャビティ内に配置形成することができることから、この記録磁界による再生用素子への影響いわゆるクロスフィードを低減ないし回避することができる。
【００３７】
また、キャビティがサーボ記録素子の前方にある場合、キャビティ内にあるエッジによりテープの付着物を取り除く効果も期待できることから、サーボ信号記録時のドロップアウトの問題も回避することが出来る。
【００３８】
更に、本発明による磁気ヘッドの製造方法によれば、後述するように、記録用素子および／または再生用素子を有するヘッドチップと、このヘッドチップの基台となるヘッドキャリアとによって、同一キャビティの周面すなわち側面と底面とを構成することから、エッチングによってキャビティを区画形成する場合に比して製造を簡略化して行うことができる。
そして、磁気ヘッド内に磁気シールド材を設置するために特段の手間を必要とせず、記録再生素子部例えば記録用素子に十分近いキャビティ内に設置することによって磁気ヘッドの製造を行うことが可能とされるなど、本発明構成によれば、重要かつ多くの効果を挙げることができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明するが、本発明は、この実施の形態に限られるものでない。まず、本発明による磁気ヘッドの実施の形態例を、本発明による磁気記録再生装置の実施の形態例とともに説明する。
【００４０】
＜磁気ヘッド及び磁気記録再生装置の第１の実施の形態例＞
図１Ａ及び図１Ｂは、本発明による磁気ヘッドの、第１の実施形態例における一例の構成を示す概略斜視図及び概略断面図を示す。
この実施の形態例において、本発明による磁気記録再生装置の主要部を構成する磁気ヘッド１は、図１Ａに示すように、それぞれ例えば複数の記録用素子および／または再生用素子すなわち磁気ヘッド素子が配列されて成る多チャンネル構成による第１及び第２のヘッドチップ２ａ及び２ｂと、これら第１及び第２のヘッドチップ２ａ及び２ｂが配置されて一体化される基台となるヘッドキャリア３とを有して成る。
【００４１】
第１及び第２のヘッドチップ２ａ及び２ｂは、リニア型磁気テープ（図示せず）に対する共通の摺動面４を有し、この摺動面４内に、記録用素子および／または再生用素子による第１及び第２の磁気ヘッド部５ａ及び５ｂと、周囲が閉じられた第１及び第２の有底キャビティ６ａ及び６ｂとが形成され、第１及び第２の有底キャビティ内には例えば銅板による磁気シールド材が配置形成されて成る。また、この実施の形態例では、第１及び第２のヘッドチップ２ａ及び２ｂの貼り合わせ部に段差が形成され、この段差によって両端が開放されたスリット８が形成される。
【００４２】
磁気ヘッド１の摺動面４に対向配置されるリニア型磁気テープ１０は、走行時には、図１Ｂに示すように、この実施の形態例ではフラット型とされた磁気ヘッド摺動面４のエッジ部９ａもしくは９ｂによって近傍の空気をかき取られ、更に第１及び第２の有底キャビティ６ａ及び６ｂ上部において、後述するように摺動面４とのスペーシングがより小とされる。
【００４３】
図２Ａ及び図２Ｂは、本発明による磁気ヘッド１の、リニア型磁気テープ１０に対する摺動面４近傍の模式的斜視図及び模式的断面図である。
図２Ａに示すように、磁気ヘッド１は、ヘッドチップ２の摺動面４に、周囲すなわち周面が閉じられた有底キャビティ６が少なくとも１つ以上形成され、この有底キャビティ６の少なくとも１つが、リニア型磁気テープ１０に対向する走行領域４ａの幅内のみに、つまりリニア型磁気テープ１０に比して幅を小として形成された構成を有する。
【００４４】
リニア型磁気テープ１０は、図示しないが、例えばその長手方向に延在するサーボバンドが複数本、磁気テープ１０の幅方向に所定の間隔をもって並置配列され、これらサーボバンドに挟まれてデータバンドが形成される。
サーボバンドには予めサーボ信号が記録されており、各データバンドには、磁気テープ１０の長手方向に沿って形成された多数本のデータトラックが並列して形成される。
【００４５】
一方、磁気ヘッド１には、磁気テープ１０の上述したサーボバンドのサーボ信号を再生するサーボ信号再生素子と、多数のデータトラックの選択された複数のトラックに対して記録および／または再生がなされる複数の記録用素子および／または再生用素子とが、磁気テープ１０との摺動面４に並んで、磁気テープ１０の幅方向に配列されて成る。
【００４６】
そして、この磁気ヘッド１の、磁気テープ１０が走行する走行領域４ａにおいて、上述した複数の記録用素子および／または再生用素子が、選択されたデータトラックの選択された一部のデータトラックに正対する構成とされ、磁気ヘッド１に対する磁気テープ１０の往復駆動によって、記録および／または再生がなされる。
【００４７】
このとき、サーボ信号再生用の再生素子によってサーボ信号を読み出し、これによって磁気ヘッド１のアクチュエータの微調整制御手段を制御してトラッキングサーボがなされる。各磁気ヘッド部はこのように構成され、更に本発明においては、この記録用素子および／または再生用素子を有する磁気ヘッド部が、図１Ａに示すように、例えば２組対向した構成とすることができる。
【００４８】
磁気ヘッド１は、図１Ａに示すように、記録用素子および／または再生用素子を有する磁気ヘッド部が形成されたヘッドチップが２組互いに対向して配置される所謂２バンプ（２ｂｕｍｐ）型の磁気ヘッド構成とすることができ、一方のヘッドチップの磁気ヘッド部によって信号の記録を行う場合に、他方のヘッドチップの磁気ヘッド部によって磁気テープの記録部の信号の再生を行うことによって、記録された信号の確認（モニター）を行うことができる。
【００４９】
上述の構成によれば、図２Ｂに示すように、走行するリニア型磁気テープ１０がエッジ部９で近傍の空気をかき取られることによって摺動面４上の気圧が低下し、更にキャビティ６の幅がリニア型磁気テープ１０の幅に比して小とされたことから、摺動面４上に残存する流体例えば空気がキャビティ内に引き込まれて膨張することによって摺動面４上の気圧が更に低下する。したがって、エッジ部９近傍では若干のスペーシングが形成されるものの、摺動面４とリニア型磁気テープ１０とのスペーシング、すなわち磁気テープ１０と記録用素子および／または再生用素子との間のスペーシングが大幅に低減されるものである。
【００５０】
次に、摺動面４とリニア型磁気テープ１０の間の、スペーシングの測定結果について説明する。
図３Ａ及び図３Ｂは、上述の本発明構成による磁気ヘッドにおけるスペーシングの、テープ走行速度１ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、摺動面のエッジに対するリニア型磁気テープの接触角いわゆるラップアングル（Wrap Angle）１．５ｄｅｇ、キャビティ容積３.５ｍｍ３における測定結果を示す。図３Ａは摺動面４の垂直上方から測定した遠近位置情報の測定結果を、図３Ｂは摺動面４の水平方向から測定した高低位置情報の測定結果を、それぞれ示す。
【００５１】
なお、遠近位置情報は摺動面４の上方から測定しているため、測定源に近い位置にある、つまり摺動面とリニア型磁気テープ１０のスペーシングが大きな箇所ほど色が薄く表示されている。
図３Ａ及び図３Ｂの測定結果から、上述の本発明構成によれば、テープ走行速度１ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇ、キャビティ容積３.５ｍｍ３におけるスペーシングは、エッジ部を除き略５０ｎｍにとどまることが確認できる。
【００５２】
図４Ａ及び図４Ｂは、上述の本発明構成による磁気ヘッドにおけるスペーシングの、テープ走行速度４ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇ、キャビティ容積３.５ｍｍ３における測定結果を示す。図４Ａは摺動面４の垂直上方から測定した遠近位置情報の測定結果を、図４Ｂは摺動面４の水平方向から測定した高低位置情報の測定結果を、それぞれ示す。
図４Ａ及び図４Ｂの測定結果から、上述の本発明構成によれば、テープ走行速度を４ｍ／ｓに上昇させても、スペーシングはエッジ部を除き略５０ｎｍにとどまることが確認できる。
【００５３】
図５Ａ及び図５Ｂは、上述の本発明構成による磁気ヘッドにおけるスペーシングの、テープ走行速度８ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇ、キャビティ容積３.５ｍｍ３における測定結果を示す。図５Ａは摺動面４の垂直上方から測定した遠近位置情報の測定結果を、図５Ｂは摺動面４の水平方向から測定した高低位置情報の測定結果を、それぞれ示す。
図５Ａ及び図５Ｂの測定結果から、上述の本発明構成によれば、テープ走行速度を８ｍ／ｓに上昇させても、スペーシングはエッジ部を除き略５０ｎｍにとどまることが確認できる。スペーシングは、走行速度１ｍ／ｓの場合と殆ど変化していない。
【００５４】
図６Ａ及び図６Ｂは、キャビティが形成されていない従来のフラット型磁気ヘッドにおけるスペーシングの、テープ走行速度１ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇにおける測定結果を示す。図６Ａは摺動面の垂直上方から測定した遠近位置情報の測定結果を、図６Ｂは摺動面の水平方向から測定した高低位置情報の測定結果を、それぞれ示す。
図６Ａ及び図６Ｂの測定結果から、キャビティが形成されていない従来の構成による場合、テープ走行速度１ｍ／ｓにおけるスペーシングは、略５０ｎｍ程度であることが確認できる。
【００５５】
図７Ａ及び図７Ｂは、キャビティが形成されていない従来のフラット型磁気ヘッドにおけるスペーシングの、テープ走行速度４ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇにおける測定結果を示す。図７Ａは摺動面の垂直上方から測定した遠近位置情報の測定結果を、図７Ｂは摺動面の水平方向から測定した高低位置情報の測定結果を、それぞれ示す。
図７Ａ及び図７Ｂの測定結果から、キャビティが形成されていない従来の構成による場合、テープ走行速度４ｍ／ｓにおけるスペーシングは、略６５ｎｍにまで大きくなっていることが確認できる。
【００５６】
図８Ａ及び図８Ｂは、キャビティが形成されていない従来のフラット型磁気ヘッドにおけるスペーシングの、テープ走行速度８ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇにおける測定結果を示す。図８Ａは摺動面の垂直上方から測定した遠近位置情報の測定結果を、図８Ｂは摺動面の水平方向から測定した高低位置情報の測定結果を、それぞれ示す。
図８Ａ及び図８Ｂの測定結果から、キャビティが形成されていない従来の構成による場合、テープ走行速度８ｍ／ｓにおけるスペーシングは、略７５ｎｍにまで大きくなっていることが確認でき、テープの走行速度の上昇に対してスペーシングの増大は免れないことがわかる。
【００５７】
以上の測定結果より、磁気ヘッドの摺動面にキャビティが形成された構成をとることによって、摺動面とリニア型磁気テープとのスペーシングが低減され、テープの走行速度が上昇した場合にも一定のスペーシングを維持できることが確認できた。
また、テープ走行速度が１ｍ／ｓ〜８ｍ／ｓの間で一定のスペーシングを維持できることが確認できたことから、本発明構成によれば、１２ｍ／ｓ以上のテープ走行速度に対してもスペーシングの増大化を抑制でき、例えば２４ｍ／ｓ程度のテープ走行速度においても、従来に比して小さなスペーシングによる十分な記録再生特性が得られると考えられる。
【００５８】
次に、上述したテープの走行速度をパラメータとして、ラップアングルの変化に対するスペーシングの変化を測定した結果について説明する。
図９Ａ及び図９Ｂは、本発明構成による磁気ヘッドにおいて、リニア型磁気テープのテープテンションが０．５Ｎ及び１Ｎとされた場合のスペーシング測定結果を示す。いずれのテープテンションにおいても、テープの走行速度及びラップアングルの変化に対してスペーシングは殆ど変化しておらず、略５０ｎｍ程度から最大でも５５ｎｍ程度にとどまることが確認できる。
【００５９】
図１０Ａ及び図１０Ｂは、キャビティが形成されない従来の構成による磁気ヘッドにおいて、リニア型磁気テープのテープテンションが０．５Ｎ及び１Ｎとされた場合のスペーシング測定結果を示す。いずれのテープテンションにおいても、テープの走行速度ごとに、ラップアングルの変化に対してスペーシングが異なる変化を示しており、最大で９０ｎｍ程度となるなど、本発明構成における測定に対して大となっている。
【００６０】
この測定結果から、本発明による磁気ヘッドによれば、テープ走行速度の上昇によるスペーシング増加量の低減のみならず、ラップアングルの選定によるスペーシング増加量の低減を図ることができることから、この磁気ヘッドを有する磁気記録再生装置におけるラップアングルの許容角が拡大され、リニア型磁気テープの走行をより安定的に行うことのできる磁気記録再生装置を、従来に比して自由に構成することが可能とされる。
【００６１】
次に、本発明による磁気ヘッドにおける、キャビティの幅がリニア型磁気テープに比して幅を小とされ、特にリニア型磁気テープに対向する走行領域内にのみ形成される構成による、上述のスペーシングの変化について検討した結果について説明する。
図１１Ａ及び図１１Ｂは、キャビティの幅を２０ｍｍとし、リニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による、テープ走行速度１ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇ、キャビティ長さ０．５ｍｍ、キャビティ深さ１０ｕｍにおける測定結果を示す。図１１Ａは摺動面の垂直上方から測定した遠近位置情報の測定結果を、図１１Ｂは摺動面の水平方向から測定した高低位置情報の測定結果を、それぞれ示す。
【００６２】
図１１Ａ及び図１１Ｂの測定結果から、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による場合には、図１１Ａ中に矢印ａで示すテープ走行方向に対してキャビティよりも前方にあたる側のスペーシングは５０ｎｍ程度となるものの、キャビティよりも後方にあたる側のスペーシングは７０ｎｍ程度となってしまい、キャビティの前後におけるスペーシングの差によってリニア型磁気テープの走行が不安定になることがわかる。
【００６３】
図１２Ａ及び図１２Ｂは、キャビティの幅を２０ｍｍとし、リニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による、テープ走行速度４ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇ、キャビティ長さ０．５ｍｍ、キャビティ深さ１０ｕｍにおける測定結果を示す。図１２Ａは摺動面の垂直上方から測定した遠近位置情報の測定結果を、図１２Ｂは摺動面の水平方向から測定した高低位置情報の測定結果を、それぞれ示す。
【００６４】
図１２Ａ及び図１２Ｂの測定結果から、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による場合には、テープ走行方向に対してキャビティよりも前方にあたる側のスペーシングは６０ｎｍ程度となってしまい、本発明による、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して小とされた構成による場合と異なり、わずかなテープ走行速度の上昇によってスペーシングが容易に変化してしまうことがわかる。更に、テープ走行方向に対してキャビティよりも後方にあたる側のスペーシングは７０ｎｍ以上の大きなものとなってしまい、図７に示した従来のフラット型磁気ヘッドによる場合に比しても悪化してしまうことが確認できた。
【００６５】
図１３Ａ及び図１３Ｂは、キャビティの幅を２０ｍｍとし、リニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による、テープ走行速度８ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇ、キャビティ長さ０．５ｍｍ、キャビティ深さ１０ｕｍにおける測定結果を示す。図１３Ａは摺動面の垂直上方から測定した遠近位置情報の測定結果を、図１３Ｂは摺動面の水平方向から測定した高低位置情報の測定結果を、それぞれ示す。
【００６６】
図１３Ａ及び図１３Ｂの測定結果から、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による場合には、テープ走行方向に対してキャビティよりも前方にあたる側のスペーシングは８０ｎｍ程度となってしまい、やはりテープ走行速度の上昇によってスペーシングが増大化してしまうことがわかる。更に、テープ走行方向に対してキャビティよりも後方にあたる側のスペーシングは９０ｎｍ程度の大きなものとなってしまい、図８に示した従来のフラット型磁気ヘッドによる場合に比して悪化してしまうことが確認できた。
【００６７】
この測定結果から、本発明による磁気ヘッドによれば、摺動面にキャビティが形成されるのみならず、このキャビティを、リニア型磁気テープに対向する走行領域内に、リニア型磁気テープに比して小とされた幅とされた構成とすることによって、摺動面とリニア型磁気テープの間のスペーシングを特に低減することができると考えられる。
【００６８】
次に、キャビティの容積と上述のスペーシングの変化について検討した結果について説明する。
図１４Ａ及び図１４Ｂは、リニア型磁気テープと磁気ヘッドの摺動面との関係を示す模式的上面図と、キャビティの容積の変化に対する、テープ走行速度８ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇにおけるスペーシングの変化量の測定結果とを示す。
【００６９】
測定は、図１４Ａに矢印ａ及びｂで示すキャビティの幅及び長さとキャビティの深さ（図示せず、紙面直交方向）を変化させ、これによる容積の変化とスペーシングの変化とを観測することによって行った。
図１４Ｂに示すように、キャビティの容積を大とするほどスペーシングは低減されるが、容積が０．０２５ｍｍ３未満ではスペーシングに変化がないことが確認できた。したがって、本発明による磁気ヘッドは、キャビティの容積の合計を０．０２５ｍｍ３以上とした構成とすることが望ましい。
【００７０】
＜磁気ヘッド及び磁気記録再生装置の第２の実施の形態例＞
図２６Ａ及び図２６Ｂは、本発明による磁気ヘッドの第２の実施の形態例における一例の構成を示す概略斜視図及び概略断面図を示す。
この実施の形態例において、本発明による磁気記録再生装置（サーボ信号記録装置）の主要部を構成する磁気ヘッド（サーボ信号記録用磁気ヘッド）は、図２６Ａに示すように、少なくとも、一部がサーボ信号記録用とされた複数の記録素子から成る多チャンネル構成によるヘッドチップから成る。なお、記録用素子以外に再生用素子が設けられた構成とすることができる。
【００７１】
本実施形態例において、磁気ヘッド３１は、ヘッドチップ３２を有し、このヘッドチップ３２の上面に、リニア型磁気テープ（図示せず）に対する摺動面３４を有し、この摺動面３４内に、少なくとも、一部がサーボ信号記録用とされた記録用素子からなる磁気ヘッド部３５と、周囲が閉じられた有底キャビティ３６とが形成される。
【００７２】
磁気ヘッド３１の摺動面３４は、図２６Ｂに示すように、少なくとも一部がフラット面とされ、この摺動面３４に対向配置されるリニア型磁気テープ（図示せず）は、走行時には、磁気ヘッド摺動面３４のエッジ部によって近傍の空気をかき取られ、更に有底キャビティ３６において減圧されることにより、後述するように摺動面３４とのスペーシングがより小とされる。
【００７３】
図２７Ａ及び図２７Ｂは、本実施形態例における磁気ヘッド３１の、リニア型磁気テープ４０に対する摺動面３４近傍の模式的斜視図及び模式的断面図である。
図２７Ａに示すように、磁気ヘッド３１は、ヘッドチップ３２の摺動面３４に、周囲すなわち周面が閉じられた有底キャビティ３６が少なくとも１つ以上形成され、この有底キャビティ３６の少なくとも一部例えば全てが、リニア型磁気テープ４０に対向する走行領域３４の幅内のみに、つまりリニア型磁気テープ４０に比して幅を小として形成された構成を有する。
【００７４】
リニア型磁気テープは、図４０に示したように、例えばその長手方向に延在するサーボバンドが複数本、磁気テープの幅方向に所定の間隔をもって並置配列され、これらサーボバンドに挟まれてデータバンドが形成される。
サーボバンドには、例えばTiming based Servo方式の場合、図４１に示すようなサーボ信号が記録され、各データバンドには、磁気テープの長手方向に沿って形成された多数本のデータトラックが並列して形成される。
【００７５】
上述の構成によれば、図２７Ｂに示すように、走行するリニア型磁気テープ４０がエッジ部３９で近傍の空気をかき取られることによって摺動面３４上の気圧が低下し、更にキャビティ３６の幅がリニア型磁気テープ４０の幅に比して小とされたことから、摺動面３４上に残存する流体例えば空気がキャビティ３６内に引き込まれて膨張することによって摺動面上の気圧が更に低下する。したがって、エッジ部３９近傍では若干のスペーシングが形成されるものの、摺動面３４とリニア型磁気テープ４０とのスペーシング、すなわち磁気テープ４０と記録用素子および／または再生用素子による磁気ヘッド部３５との間のスペーシングが大幅に低減されるものである。
【００７６】
ここで、本実施形態例におけるキャビティ３６の効果について説明する。
図２８Ａは、上述の本発明構成による磁気ヘッド３１における、テープ走行速度１ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、摺動面３４のエッジに対するリニア型磁気テープ４０の接触角いわゆるラップアングル（Wrap Angle）１ｄｅｇの評価条件にて、摺動面３４のテープ走行方向に沿う長さ（図２８Ａ中矢印ｄ図示）２ｍｍ、テープ幅１２．７ｍｍ、キャビティ３６のテープ走行方向に沿う長さ（図２８Ｂ中矢印ｃ図示）０．５ｍｍ、キャビティ幅３．５ｍｍ、キャビティ容積３.５ｍｍ３とした場合のスペーシングを測定した結果を示す。
この条件におけるスペーシングの測定結果を実線で示すのに対し、比較例として、評価条件は同じとし、キャビティの無い、いわゆる単純なフラット形状を用いてスペーシングを測定した結果を点線で示す。
【００７７】
図２８Ａの測定結果から、上述の本発明構成によれば、テープ走行速度１ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１ｄｅｇ、キャビティ容積３.５ｍｍ３、及びキャビティに無いフラットヘッドにおけるスペーシングは、エッジ部を除き略４０ｎｍにとどまることが確認できる。
【００７８】
図２８Ｂは、上述の本発明構成による磁気ヘッドにおける、テープ走行速度４ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１ｄｅｇの評価条件にて、摺動面３４のテープ走行方向に沿う長さ２ｍｍ、テープ幅１２．７ｍｍ、キャビティ３６のテープ走行方向に沿う長さ０．５ｍｍ、キャビティ幅３．５ｍｍ、キャビティ容積３.５ｍｍ３とした場合のスペーシングを測定した結果を示す。
この条件におけるスペーシングの測定結果を実線で示すのに対し、比較例として、評価条件は同じとし、キャビティの無い、いわゆる単純なフラット形状を用いてスペーシングを測定した結果を点線で示す。
【００７９】
図２８Ｂの測定結果から、上述の本発明構成によれば、テープ走行速度を４ｍ／ｓに上昇させても、スペーシングはエッジ部を除き略４０ｎｍにとどまることが確認できる。しかしながら、キャビティの無いフラット形状の場合、スペーシングはエッジ部を除き、６０ｎｍ〜７０ｎｍとなり、キャビティのある場合に比べ、スペーシングが劣化していることがわかる。
【００８０】
図２８Ｃは、上述の本発明構成による磁気ヘッドにおける、テープ走行速度８ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１ｄｅｇの評価条件にて、摺動面３４のテープ走行方向に沿う長さ２ｍｍ、テープ幅１２．７ｍｍ、キャビティ３６のテープ走行方向に沿う長さ０．５ｍｍ、キャビティ幅３．５ｍｍ、キャビティ容積３.５ｍｍ３とした場合のスペーシングを測定した結果を示す。
この条件におけるスペーシングの測定結果を実線で示すのに対し、比較例として、評価条件は同じとし、キャビティの無い、いわゆる単純なフラット形状を用いてスペーシングを測定した結果を点線で示す。
【００８１】
図２８Ｃの測定結果から、上述の本発明構成によれば、テープ走行速度を８ｍ／ｓに上昇させた場合、キャビティの前方のスペーシングは増加するものの、キャビティ後方のスペーシングは、略４０ｎｍにとどまることが確認できる。従ってキャビティの後方に記録素子を配置することで安定した書き込みが期待できる。しかしながら、キャビティの無いフラット形状の場合、スペーシングはエッジ部を除き、７５ｎｍ〜９０ｎｍとなり、キャビティのある場合に比べ、スペーシングが劣化していることがわかる。
【００８２】
以上の測定結果より、サーボ信号記録用磁気ヘッドの摺動面にキャビティが形成された構成をとることによって、摺動面とリニア型磁気テープとのスペーシングが低減され、テープの走行速度が上昇した場合にも一定のスペーシングを維持できることが確認できた。
また、テープ走行速度が１ｍ／ｓ〜８ｍ／ｓの間で一定のスペーシングを維持できることが確認できたことから、本発明構成によれば、１２ｍ／ｓ以上のテープ走行速度に対してもスペーシングの増大化を抑制でき、例えば２４ｍ／ｓ程度のテープ走行速度においても、従来に比して小さなスペーシングによる十分な記録再生特性が得られると考えられる。
【００８３】
次に、上述したテープの走行速度をパラメータとして、ラップアングルの変化に対するスペーシングの変化を測定した結果について説明する。
図２９Ａ及び図２９Ｂは、本発明構成による磁気ヘッドにおいて、リニア型磁気テープのテープテンションが０．５Ｎ及び１Ｎとされた場合のスペーシング測定結果、及びキャビティが形成されない従来の構成による磁気ヘッドにおいて、リニア型磁気テープのテープテンションが０．５Ｎ及び１Ｎとされた場合のスペーシング測定結果を示す。キャビティのある場合においては、いずれのテープテンションにおいても、テープの走行速度４ｍ／ｓ及び８ｍ／ｓ、及びラップアングル１°〜３°の変化に対してスペーシングは殆ど変化しておらず、略４０ｎｍ程度から最大でも４５ｎｍ程度にとどまることが確認できる。
【００８４】
しかしながら、キャビティが形成されない従来の構成による磁気ヘッドにおいては、いずれのテープテンションにおいても、テープの走行速度ごとに、ラップアングルの変化に対してスペーシングが異なる変化を示しており、最大で８０ｎｍ程度となるなど、本発明構成における測定に対して大となっている。
【００８５】
この測定結果から、本発明による磁気ヘッドによれば、テープ走行速度の上昇によるスペーシング増加量の低減のみならず、ラップアングルの選定によるスペーシング増加量の低減を図ることができることから、このサーボ信号記録用磁気ヘッドを有するサーボライターにおけるラップアングルの許容角の拡大、及びテープテンション範囲の拡大は、特に低ラップアングル、低テープテンションにおいて、サーボ信号記録用磁気ヘッドの磨耗を抑制することもでき、リニア型磁気テープの走行をより安定的に行うことが可能であることから、且つ長寿命なサーボ信号記録用磁気ヘッドを有するサーボライターを、提供すること可能にするものである。
【００８６】
次に、本発明による磁気ヘッド（サーボ記録用磁気ヘッド）における、キャビティの幅がリニア型磁気テープに比して幅を小とされ、特にリニア型磁気テープに対向する走行領域内にのみ形成された構成について検討した結果を説明する。
この検討においては、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して大とした構成においてスペーシングの変化を測定し、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して小とした構成の有効性を検証した。
【００８７】
図３０Ａは、キャビティの幅を２０ｍｍとし、リニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による、テープ走行速度１ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇ、テープ幅１２．７ｍｍ、キャビティ長さ０．５ｍｍ、キャビティ深さ１０ｕｍにおけるスペーシングの測定結果を示す。
この条件におけるスペーシングの測定結果を実線で示すのに対し、比較例として、評価条件は同じとし、キャビティの無い、いわゆる単純なフラット形状を用いてスペーシングを測定した結果を点線で示す。
【００８８】
図３０Ａに示す測定結果から、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による場合には、図１１Ａ中に矢印ａで示すテープ走行方向に対してキャビティよりも前方にあたる側のスペーシングは５０ｎｍ程度となるものの、キャビティよりも後方にあたる側のスペーシングは７０ｎｍ程度となってしまい、キャビティの前後におけるスペーシングの差によってリニア型磁気テープの走行が不安定になることがわかる。
【００８９】
図３０Ｂは、キャビティの幅を２０ｍｍとし、リニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による、テープ走行速度４ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇ、テープ幅１２．７ｍｍ、キャビティ長さ０．５ｍｍ、キャビティ深さ１０ｕｍにおけるスペーシングの測定結果を示す。
この条件におけるスペーシングの測定結果を実線で示すのに対し、比較例として、評価条件は同じとし、キャビティの無い、いわゆる単純なフラット形状を用いてスペーシングを測定した結果を点線で示す。
【００９０】
図３０Ｂの測定結果から、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による場合には、テープ走行方向に対してキャビティよりも前方にあたる側のスペーシングは６０ｎｍ程度となってしまい、本発明による、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して小とされた構成による場合と異なり、わずかなテープ走行速度の上昇によってスペーシングが容易に変化してしまうことがわかる。更に、テープ走行方向に対してキャビティよりも後方にあたる側のスペーシングは７０ｎｍ以上の大きなものとなってしまい、図２４に示した従来のフラット型磁気ヘッドによる場合に比しても悪化してしまうことが確認できた。
【００９１】
図３０Ｃは、キャビティの幅を２０ｍｍとし、リニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による、テープ走行速度８ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇ、テープ幅１２．７ｍｍ、キャビティ長さ０．５ｍｍ、キャビティ深さ１０ｕｍにおけるスペーシングの測定結果を示す。
この条件におけるスペーシングの測定結果を実線で示すのに対し、比較例として、評価条件は同じとし、キャビティの無い、いわゆる単純なフラット形状を用いてスペーシングを測定した結果を点線で示す。
【００９２】
図３０Ｃの測定結果から、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による場合には、テープ走行方向に対してキャビティよりも前方にあたる側のスペーシングは８０ｎｍ程度となってしまい、本発明による、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して小とされた構成による場合と異なり、わずかなテープ走行速度の上昇によってスペーシングが容易に変化してしまうことがわかる。更に、テープ走行方向に対してキャビティよりも後方にあたる側のスペーシングは９０ｎｍ以上の大きなものとなってしまい、図２４に示した従来のフラット型磁気ヘッドによる場合に比しても悪化してしまうことが確認できた。
【００９３】
図３０Ａ〜図３０Ｃの測定結果から、キャビティの幅をリニア型磁気テープの幅に比して大とした構成による場合には、テープ走行方向に対してキャビティよりも前方にあたる側のスペーシングは、例えばテープ走行速度８ｍ／ｓの場合に８０ｎｍ程度となってしまい、テープ走行速度の上昇によってスペーシングが増大化してしまうことがわかる。
更に、テープ走行方向に対してキャビティよりも後方にあたる側のスペーシングは９０ｎｍ程度の大きなものとなってしまい、図２４に示した従来のフラット型磁気ヘッドによる場合に比して悪化してしまうことが確認できた。
【００９４】
この測定結果から、本発明による磁気ヘッドによれば、摺動面にキャビティが形成されるのみならず、このキャビティを、リニア型磁気テープに対向する走行領域内に、リニア型磁気テープに比して小とされた幅とされた構成とすることによって、摺動面とリニア型磁気テープの間のスペーシングを特に低減することが確認できた。
【００９５】
次に、キャビティの容積と上述のスペーシングの変化について検討した結果について説明する。
図３１Ａ及び図３１Ｂは、リニア型磁気テープと磁気ヘッドの摺動面との関係を示す模式的上面図と、キャビティの容積の変化に対する、テープ走行速度８ｍ／ｓ、テープテンション０．５Ｎ／１２．７ｍｍ、ラップアングル１．５ｄｅｇにおけるスペーシングの変化量の測定結果とを示す。
【００９６】
測定は、図３１Ａに矢印ａ及びｂで示すキャビティの幅及び長さとキャビティの深さ（図示せず、紙面直交方向）を変化させ、これによる容積の変化とスペーシングの変化とを観測することによって行った。
図３１Ｂに示すように、キャビティの容積を大とするほどスペーシングは低減されるが、容積が０．０２５ｍｍ３未満ではスペーシングに変化がないことが確認できた。したがって、本発明による磁気ヘッドは、キャビティの容積の合計を０．０２５ｍｍ３以上とした構成とすることが望ましい。
【００９７】
続いて、本発明による磁気ヘッドの製造方法の実施の形態例について、図面を参照して説明する。
【００９８】
＜磁気ヘッドの製造方法の第１の実施の形態例＞
本実施形態例、すなわち第１の実施の形態例では、まず、例えばアルチック（アルミナ−炭化チタン）よりなる基板２１上に、配線などのパターン（図示せず）をスパッタやエッチング及びメッキなどによって形成し、図１５Ａに示すように、最終的に得る磁気ヘッドを構成する磁気ヘッド部５（図示せず）を有する記録再生素子パターン２２を区画形成する。
続いて、図１５Ｂに示すように、この記録再生素子パターンに沿って基板２１の切断を行い、図１５Ｃに示すようにバーチップ２３を得る。
【００９９】
次に、図１６Ａに示すように、最終的に得る磁気ヘッドを構成するヘッドチップの幅を規定する、例えばアルチックやチタン酸カルシウムによる第１及び第２のサイドバー２４ａ及び２４ｂをバーチップ２３に隣接配置し、バーチップ２３の記録再生素子パターン２２が形成された上面から、図１６Ｂに示すように、バーチップ２３とサイドバー２４ａ及び２４ｂとに渡る、アルチックよりなる第１のカバー２５ａを例えば接着によって被着形成する。
【０１００】
次に、図１７Ａに示すように、バーチップ２３の、第１のカバー２５ａが被着形成された面すなわち記録再生素子パターンが形成された面とは反対側に、機械加工によって溝２３ａを形成した後、この溝２３ａが形成された面に対して、バーチップ２３とサイドバー２４ａ及び２４ｂとに渡る、アルチックよりなる第２のカバー２５ｂを例えば接着によって被着形成してアレイ構造体２６を得る。
続いて、図１７Ｂに示すように、バーチップ２３に被着形成された第１のカバー２５ａを、最終的に得る磁気ヘッドを構成するヘッドチップごとに切断する。
【０１０１】
次に、図１８Ａに示すように、バーチップ２３と、サイドバー２４ａ及び２４ｂと、第２のカバー２５ｂとを同時に切断することにより、図１８Ｂに示すように、アレイ構造体２６から最終的に得る磁気ヘッドを構成するヘッドチップ２を得る。
続いて、図１９Ａに示すように、最終的に得る磁気ヘッドの摺動面となる面を上面とし、この上面から第１及び第２のカバー２５ａ及び２５ｂに対して、ポリッシュ研磨とスライス加工によって、あたり幅及びシャープエッジを形成し、図１９Ｂに示すようにヘッドチップ２の外形状の選定を行う。
【０１０２】
次に、図２０Ａに示すように、最終的に得る磁気ヘッドを構成するキャビティとなる溝２３ａ内に、非磁性材例えば銅板による磁気シールド材７を挿入し、例えば接着によって溝２３ａの側面に固定して設置した後、図２０Ｂに示すように、例えば第１のヘッドチップ２ａと第２のヘッドチップ２ｂを互いに貼り合わせ、予め第２のカバー２５ｂに対して行った外形状の選定に基づいて、スリット８を形成する。
【０１０３】
この実施の形態例においては、各ヘッドチップ２ａ及び２ｂを構成する第１及び第２の磁気ヘッド部５ａ及び５ｂを、第１及び第２の有底キャビティ７ａ及び７ｂを挟んで対向配置する構成とすることにより、最終的に得る磁気ヘッドにおける一方の磁気ヘッド部からの記録磁界が、他方の磁気ヘッド部を構成する例えば再生用素子に影響することを防ぐための磁気シールド材を、特段の手間をかけることなく各磁気ヘッド部の至近位置に配置形成することができる。
【０１０４】
第１のヘッドチップ２ａと第２のヘッドチップ２ｂを貼り合わせた後、図２１に示すように、これらのヘッドチップ２ａ及び２ｂをアルミニウムまたは真鍮よりなるヘッドキャリア３上に載置固定するとともに、各ヘッドチップを構成する溝２３ａの底面側の開口をヘッドキャリア３で塞ぐことにより、第１及び第２の有底キャビティ７ａ及び７ｂの側面と底面とを、ヘッドチップ２ａ及び２ｂとヘッドキャリア３とによって、本発明による磁気ヘッドを得る。
【０１０５】
＜磁気ヘッドの製造方法の第２の実施の形態例＞
本実施形態例、すなわち第２の実施の形態例では、まず、図３２Ａに示すように、例えばＭｎＺｎＦｅ２Ｏ４やＮｉＺｎＦｅ２Ｏ４などのフェライトよりなる基板５１に、キャビティを形成するための溝加工を行って溝５２を形成する。
その後、図３２Ｂに示すように、磁気ヘッドの多数個取り、すなわち一連の作業により同時に多数の磁気ヘッドを得ることが可能となるよう、加工後の基板５１をいくつか張り合わせる。
その後、図３２Ｃに示すように、磁路形成のための充填材例えばガラスを充填するための充填溝５３を形成するガラス溝加工を、基板５１に対して行う。
【０１０６】
その後、図３３Ａに示すように、各基板５１にそれぞれ形成された充填溝５３に充填材例えばガラス５４を充填する。
その後、図３３Ｂに示すように、例えばポリッシュ研磨などによって、充填材５４の盛り上がりを平坦化するための平坦化処理を、基板５１の表面に施す。
その後、図３３Ｃに示すように、例えば、リニア型テープの走行方向に直交する向きにハの字状に形成されるように、例えば一部サーボ信号記録用とされた記録用素子による記録ギャップ（Ｇａｐ）を形成する。
このギャップの形成は、図示しないが、例えばＳｉＯ２などのＧａｐ材を例えばスパッタによって被着形成し、続いてレジスト塗布、露光、レジスト除去、不要すなわち過剰な磁性材除去のためのエッチング、レジスト除去、Ｆｅ−ＴａまたはＮｉ−Ｆｅ等の磁性膜スパッタ、研磨の工程を行うことにより行い、図に示されるようなハの字のＧａｐを持つ磁性膜を構成する。
【０１０７】
その後、図３４Ａに示すように、機械加工によりチップ分断用の溝加工を行い、続いて、摺動面のポリッシュ研磨を行う。
その後、図３４Ｂに示すように、基板５１を反転させ、裏面研削を行う。
その後、図３４Ｃに示すように、最終的に得る磁気ヘッドを構成するヘッドチップ３２ごとに分断する。
【０１０８】
その後、図３５Ａに示すように、例えば磁性材よりなるバックコア３３をヘッドチップ３２に対し裏面から接着することで、最終的に得る磁気ヘッドの磁路を形成すると共に、ヘッドチップに形成されている溝５２の底部を塞ぐことによって、有底キャビティ３６を形成する。
その後、図３５Ｂに示すように、磁界形成用の導線となる巻線５８を設け、図３５Ｃに示すように、磁気ヘッド３１を得る。巻線５８のための空間とキャビティ３６とを、位置を水平方向に関してずらして設けることにより、キャビティ３６の底をバックコア３３によって形成することができる。
【０１０９】
なお、図３６に示すように、磁気ヘッド３１のエッジ部３９の磨耗を抑えるために、エッジ部３９を例えばアルチックやチタン酸カルシウム等による、少なくとも摺動面３４を構成する材料に比して耐磨耗性に優れた補強材５９により構成することも可能である。
【０１１０】
＜磁気ヘッドの製造方法の第３の実施の形態例＞
本実施形態例、すなわち第３の実施の形態例では、まず、図３７Ａに示すように、例えばフェライトよりなる第１の基材８１ａにより例えばセラミックよりなる第２の基材８１ｂが挟み込まれてなる基板８１を用意する。
その後、図３７Ｂに示すように、磁気ヘッド素子の多数個化、すなわち一連の作業により同時に例えば多チャンネル化のための多数の磁気ヘッド素子の作成が可能となるよう、基板８１に、最終的に多数の磁気ヘッドに対応する位置に、テープの走行方向に沿う縦溝を形成する。
その後、図３７Ｃに示すように、キャビティを形成するための溝８２を、最終的に得る磁気ヘッドにおけるテープの走行方向とは直交する方向に横溝として形成する。
【０１１１】
その後、図３８Ａに示すように、例えばセラミックよりなる、一方の主面が上述の縦溝及び横溝に対応する形状とされたカバー８７を用意し、図３８Ｂに示すように、基板８１の溝形成側すなわち上面に被着形成する。
その後、図３８Ｃに示すように、例えばポリッシュ研磨などによって、カバー８７の余剰部を研磨除去し、第１および第２の基材８１ａ及び８１ｂを露出させると同時にキャビティ８６を形成する。
【０１１２】
その後、図３９Ａに示すように基板８１の裏面にも研磨を施し、続いて、図３９Ｂに示すように、例えば、リニア型テープの走行方向に直交する向きにハの字状に形成されるように、例えば一部サーボ信号記録用とされた記録用素子による記録ギャップ（Ｇａｐ）を形成する。
このギャップの形成は、図示しないが、Ｇａｐ材を例えばスパッタによって被着形成し、続いてレジスト塗布、露光、レジスト除去、不要すなわち過剰な磁性材除去のためのエッチング、レジスト除去、Ｆｅ−ＴａまたはＮｉ−Ｆｅ等の磁性膜スパッタ、研磨の工程を行うことにより行い、図に示されるようなハの字のＧａｐを持つ磁性膜を構成する。
【０１１３】
その後、図３９Ｃに示すように、バックコア８３をヘッドチップ８２に対し裏面から接着することで、最終的に得る磁気ヘッドの磁路を形成する。
この実施形態例における製造方法によれば、摺動面に、それぞれ対応してキャビティが設けられた多数の磁気ヘッド部８５を有する磁気ヘッドを製造することが可能となる。
【０１１４】
以上の実施の形態例で説明したように、本発明による磁気ヘッドによれば、リニア型磁気テープとの摺動面に、周囲が閉じた有底キャビティが少なくとも１つ以上形成され、この有底キャビティ少なくとも１つの全てが、上記リニア型磁気テープに対向して、リニア型磁気テープの走行領域幅内のみに形成された構成としたことから、リニア型磁気テープの走行時に、キャビティが形成されない場合に比べて、摺動面とリニア型磁気テープ間の空気の膨張が促進され、気圧の低下すなわち負圧によってスペーシングの低減とリニア型磁気テープの走行安定性の向上が図られる。
【０１１５】
特に、例えば摺動面の少なくとも一部がフラット面とされたフラット型磁気ヘッドにおいて、走行するリニア型磁気テープの近傍の空気が、摺動面に至る前にヘッドのエッジでかき取られることから、摺動面とリニア型磁気テープとの間の気圧を低下させることができ、更にキャビティの容積に応じて、気圧を更に低下させることが出来る。そして、キャビティの容積の合計が０．０２５ｍｍ３以上に構成することにより、スペーシングの改善を可能とするものである。
【０１１６】
また、本発明による磁気ヘッド及び磁気記録再生装置によれば、リニア型磁気テープの走行時にはキャビティが低気圧状態を保持された閉空間とすることができることから、負圧によって、静止時に比して上記キャビティの開口に近接する構成とすることができ、従来は困難とされてきた速度領域、例えば１２ｍ／ｓ以上の速度領域においても安定的に行うことが可能とされる。
【０１１７】
また、キャビティ内に磁気シールド材を備えた構成とすることで、特に容積を十分に大としてキャビティを構成した場合に、例えば記録用素子の記録磁界に対応した形状寸法を有するシールド材を、記録用素子に十分近い位置に配置形成されることから、この記録磁界による再生用素子への影響いわゆるクロスフィードを低減ないし回避することができる。
【０１１８】
更に、本発明による磁気ヘッドの製造方法によれば、記録用素子および／または再生用素子を有するヘッドチップと、このヘッドチップの基台となるヘッドキャリアとによって、同一キャビティの周面すなわち側面と底面とを構成することから、エッチングによってキャビティを区画形成する場合に比して製造を簡略化して行うことができ、この磁気シールド材を設置するために特段の手間を必要とせず、記録再生素子部例えば記録用素子に十分近いキャビティ内に磁気シールド材を設置することによって磁気ヘッドの製造を行うことが可能とされるものである。
【０１１９】
更に、本発明によるリニア型磁気テープによれば、上述した本発明による磁気ヘッドにより、サーボ信号などの記録信号の、より確実な記録がなされるものである。
【０１２０】
なお、本発明による磁気ヘッド、磁気記録再生装置、磁気ヘッドの製造方法及びリニア型磁気テープは、上述の実施の形態例に限られるものではない。
例えば、上述の実施の形態例では、フラット型磁気ヘッドの例を説明したが、本発明による磁気ヘッドを、他の形状の磁気ヘッド例えば円筒型磁気ヘッドで構成することもできるし、本発明による磁気記録再生装置も、記録と再生の少なくともいずれか一方のみが可能とされた装置構成とすることも可能である。
また、有底キャビティの形状も、直方体状に限らず種々の形状とすることができるし、キャビティ内にシールド材を設けない構成や、或いはシールド材に代えて他の部材を設ける構成とすることもできる。
【０１２１】
また、機械加工によりキャビティを形成するのみでなく、例えば所謂エッジングによりキャビティを形成することも可能であるし、図２５にて示されるようにキャビティの形状及び数を任意に設定することも可能である。複数のキャビティがある場合、リニア型磁気テープに対向する走行領域内にキャビティが設置されていれば良い。また、キャビティに対する磁気ヘッド部の位置についても任意に設定できる。
【０１２２】
また、上述の実施の形態例では、有底キャビティの数と記録用素子の組数すなわち磁気ヘッド部の数とが同数すなわち２つとされた例を説明したが、本発明による磁気ヘッドにおいては、必ずしも同数とされなくとも、任意の数とされた構成を有していればよい。
更に、磁気ヘッド部を構成する記録用素子の組数に比して再生用素子の組数が小とされた構成とすることも可能であるし、ラップアングルなどについてもリニア型磁気テープの材料によって新たに選定し得る。
【０１２３】
また、上述の実施の形態例では、ヘッドキャリアまたはバックコアがキャビティの底部を直接形成する例について説明したが、本発明はこれに限られず、磁気ヘッドの特性を阻害しない限り、ヘッドキャリアまたはバックコアとヘッドチップとの間に例えば板状の他の部材を挟みこむ製造工程を設けることもできるなど、ヘッドチップとバックコア及びヘッドキャリアの少なくとも一方とによって、キャビティの周面と底面とを構成するものであれば良い。
【０１２４】
また、ここでは機械加工によりキャビティを形成する方法について説明をしたが、例えばエッジングによりキャビティを形成することも可能であるし、キャビティの形状及び数を任意に設定することも可能である。複数のキャビティがある場合、リニア型磁気テープに対向する走行領域内にキャビティが設置されていれば良い。また、キャビティに対する記録素子の位置についても任意に設定できるなど、本発明は、種々の変更及び変形をなされ得る。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】図１Ａ及び図１Ｂは、それぞれ、本発明による磁気記録再生装置の要部である磁気ヘッドの一例の構成を示す概略斜視図及び概略断面図である。
【図２】図２Ａ及び図２Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドと、磁気ヘッドの摺動面を走行するリニア型磁気テープとの関係の一例を示す概略斜視図及び概略断面図である。
【図３】図３Ａ及び図３Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの摺動面に沿ってリニア型磁気テープを走行させたときの、摺動面と磁気テープとの間のスペーシングを、摺動面の垂直上方及び水平側方から測定した結果の一例を示す模式図である。
【図４】図４Ａ及び図４Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの摺動面に沿ってリニア型磁気テープを走行させたときの、摺動面と磁気テープとの間のスペーシングを、摺動面の垂直上方及び水平側方から測定した結果の他の例を示す模式図である。
【図５】図５Ａ及び図５Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの摺動面に沿ってリニア型磁気テープを走行させたときの、摺動面と磁気テープとの間のスペーシングを、摺動面の垂直上方及び水平側方から測定した結果の他の例を示す模式図である。
【図６】図６Ａ及び図６Ｂは、それぞれ、従来の磁気ヘッドの摺動面に沿ってリニア型磁気テープを走行させたときの、摺動面と磁気テープとの間のスペーシングを、摺動面の垂直上方及び水平側方から測定した結果を示す模式図である。
【図７】図７Ａ及び図７Ｂは、それぞれ、従来の磁気ヘッドの摺動面に沿ってリニア型磁気テープを走行させたときの、摺動面と磁気テープとの間のスペーシングを、摺動面の垂直上方及び水平側方から測定した結果を示す模式図である。
【図８】図８Ａ及び図８Ｂは、それぞれ、従来の磁気ヘッドの摺動面に沿ってリニア型磁気テープを走行させたときの、摺動面と磁気テープとの間のスペーシングを、摺動面の垂直上方及び水平側方から測定した結果を示す模式図である。
【図９】図９Ａ及び図９Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの摺動面に沿って、一定のテープテンションで磁気テープを走行させたときのスペーシングを、テープ走行速度をパラメータとしてラップアングル毎に測定した結果の一例を示す模式図である。
【図１０】図１０Ａ及び図１０Ｂは、それぞれ、従来の磁気ヘッドの摺動面に沿って、一定のテープテンションで磁気テープを走行させたときのスペーシングを、テープ走行速度をパラメータとしてラップアングル毎に測定した結果の一例を示す模式図である。
【図１１】図１１Ａ及び図１１Ｂは、それぞれ、幅が磁気テープに比して大とされた有底キャビティを有する磁気ヘッドの摺動面に沿って磁気テープを走行させたときのスペーシングを、摺動面の垂直上方及び水平側方から測定した結果の例を示す模式図である。
【図１２】図１２Ａ及び図１２Ｂは、それぞれ、幅が磁気テープに比して大とされた有底キャビティを有する磁気ヘッドの摺動面に沿って磁気テープを走行させたときのスペーシングを、摺動面の垂直上方及び水平側方から測定した結果の例を示す模式図である。
【図１３】図１３Ａ及び図１３Ｂは、それぞれ、幅が磁気テープに比して大とされた有底キャビティを有する磁気ヘッドの摺動面に沿って磁気テープを走行させたときのスペーシングを、摺動面の垂直上方及び水平側方から測定した結果の例を示す模式図である。
【図１４】図１２Ａ及び図１２Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドにおける、キャビティの体積と、磁気ヘッドの摺動面と磁気テープとの間のスペーシングとの関係の測定結果の説明に供する模式図及び測定結果である。
【図１５】図１５Ａ〜図１５Ｃは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。
【図１６】図１６Ａ及び図１６Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。
【図１７】図１７Ａ及び図１７Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。
【図１８】図１８Ａ及び図１８Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。
【図１９】図１９Ａ及び図１９Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。
【図２０】図２０Ａ及び図２０Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。
【図２１】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。
【図２２】図２２Ａ及び図２２Ｂは、それぞれ、従来の磁気ヘッドの構成を示す概略断面図である。
【図２３】図２３Ａ及び図２３Ｂは、それぞれ、従来の磁気ヘッドの構成を示す概略断面図及び概略斜視図である。
【図２４】図２４Ａ及び図２４Ｂは、それぞれ、従来の磁気ヘッドの構成を示す概略断面図及び概略斜視図である。
【図２５】図２５は、本発明による磁気ヘッドの他の例を示す概略斜視図である。
【図２６】図２６Ａ及び図２６Ｂは、それぞれ、本発明による磁気記録再生装置の要部である磁気ヘッドの他の例の構成を示す概略斜視図及び概略断面図である。
【図２７】図２７Ａ及び図２７Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドと、磁気ヘッドの摺動面を走行するリニア型磁気テープとの関係の他の例を示す概略斜視図及び概略断面図である。
【図２８】図２８Ａ〜図２８Ｃは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドの摺動面に沿ってリニア型磁気テープを走行させたときの、摺動面と磁気テープとの間のスペーシングを、摺動面の水平側方から測定した結果の他の例を示す模式図である。
【図２９】図２９Ａ及び図２９Ｂは、それぞれ、従来の磁気ヘッドの摺動面に沿って、一定のテープテンションで磁気テープを走行させたときのスペーシングを、テープ走行速度をパラメータとしてラップアングル毎に測定した結果の他の例を示す模式図である。
【図３０】図３０Ａ〜図３０Ｃは、それぞれ、磁気ヘッドの摺動面に沿って、キャビティに比して幅狭のリニア型磁気テープを走行させたときの、摺動面と磁気テープとの間のスペーシングを、摺動面の水平側方から測定した結果の他の例を示す模式図である。
【図３１】図３１Ａ及び図３１Ｂは、それぞれ、本発明による磁気ヘッドにおける、キャビティの体積と、磁気ヘッドの摺動面と磁気テープとの間のスペーシングとの関係の測定結果の説明に供する模式図及び測定結果である。
【図３２】図３２Ａ〜図３２Ｃは、それぞれ、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の例の説明に供する工程図である。
【図３３】図３３Ａ〜図３３Ｃは、それぞれ、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の例の説明に供する工程図である。
【図３４】図３４Ａ〜図３４Ｃは、それぞれ、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の例の説明に供する工程図である。
【図３５】図３５Ａ〜図３５Ｃは、それぞれ、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の例の説明に供する工程図である。
【図３６】本発明に係る磁気ヘッドの他の例の構成を示す斜視図である。
【図３７】図３７Ａ〜図３７Ｃは、それぞれ、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の例の説明に供する工程図である。
【図３８】図３８Ａ〜図３８Ｃは、それぞれ、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の例の説明に供する工程図である。
【図３９】図３９Ａ〜図３９Ｃは、それぞれ、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の例の説明に供する工程図である。
【図４０】リニア型磁気テープのサーボ信号記録の説明に供する模式図である。
【図４１】リニア型磁気テープのサーボ信号記録の説明に供する模式図である。
【図４２】図４２Ａ及び図４２Ｂは、それぞれ、従来の磁気ヘッドにおける、スペーシングの説明に供する模式図と、サーボ信号記録の説明に供する模式図である。
【図４３】従来の磁気ヘッドの構成を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【０１２６】
１・・・磁気ヘッド（磁気記録再生装置）、２・・・ヘッドチップ、２ａ・・・第１のヘッドチップ、２ｂ・・・第２のヘッドチップ、３・・・ヘッドキャリア、４・・・摺動面、４ａ・・・走行領域、５・・・磁気ヘッド部、５ａ・・・第１の磁気ヘッド部、５ｂ・・・第２の磁気ヘッド部、６・・・キャビティ、６ａ・・・第１のキャビティ、６ｂ・・・第２のキャビティ、７・・・磁気シールド材、７ａ・・・第１の磁気シールド材、７ｂ・・・第２の磁気シールド材、８・・・スリット、９，９ａ，９ｂ・・・エッジ部、１０リニア型磁気テープ、２１・・・基板、２２・・・記録再生素子パターン、２３・・・バーチップ、２３ａ・・・溝、２４ａ・・・第１のサイドバー、２４ｂ・・・第２のサイドバー、２５ａ・・・第１のカバー、２５ｂ・・・第２のカバー、２６・・・アレイ構造体、３１・・・磁気ヘッド（磁気記録再生装置）、３２・・・ヘッドチップ、３３・・・バックコア、３４・・・摺動面、３４ａ・・・走行領域、３５・・・磁気ヘッド部、３６・・・キャビティ、３９・・・エッジ部、４０リニア型磁気テープ、５１・・・基板、５２・・・溝、５３・・・充填溝、５４・・・充填材、５５・・・磁性膜、５６・・・分断溝、５８・・・巻線、５９・・・補強材、８１・・・基板、８１ａ・・・第１の基材、８１ｂ・・・第２の基材、８２・・・溝、８３・・・バックコア、８５・・・磁気ヘッド部、８６・・・キャビティ、８７・・・カバー、８８・・・巻線、１０１・・・円筒型磁気ヘッド、２０１・・・スリット付き円筒型磁気ヘッド，３０１，４０１・・・フラット型磁気ヘッド、５０１・・・従来の磁気ヘッド、５１０・・・リニア型磁気テープ、６０１・・・従来の磁気ヘッド、６０２・・・ヘッドチップ、６０４・・・摺動面、６０５・・・磁気ヘッド部
【図１】
2006127730.tif 000003
【図２】
2006127730.tif 000004
【図９】
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【図１０】
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【図１４】
2006127730.tif 000007
【図１５】
2006127730.tif 000008
【図１６】
2006127730.tif 000009
【図１７】
2006127730.tif 000010
【図１８】
2006127730.tif 000011
【図１９】
2006127730.tif 000012
【図２０】
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【図２１】
2006127730.tif 000014
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
2006127730.tif 000020
【図２８】
2006127730.tif 000021
【図２９】
2006127730.tif 000022
【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
2006127730.tif 000025
【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
2006127730.tif 000032
【図４０】
2006127730.tif 000033
【図４１】
2006127730.tif 000034
【図４２】
2006127730.tif 000035
【図４３】
2006127730.tif 000036
【図３】
2006127730.tif 000037
【図４】
2006127730.tif 000038
【図５】
2006127730.tif 000039
【図６】
2006127730.tif 000040
【図７】
2006127730.tif 000041
【図８】
2006127730.tif 000042
【図１１】
2006127730.tif 000043
【図１２】
2006127730.tif 000044
【図１３】
2006127730.tif 000045