(57)【要約】【課題】減速比の調整が容易な高減速比のアクチュエータを実現し、アーム回転用ガススプリング等の不要な蓋開閉装置を提供する。【解決手段】回転動力を出力するモータ６１と、モータからの回転動力を入力し減速して出力する第１減速機６２と、第１減速機からの回転を入力し減速して出力する第２減速機６３とを備えたアクチュエータ６０であって、第１減速機６２は、モータからの回転動力により回転する第１歯車６１ａ及び第１歯車に噛み合う第２歯車６２ｃを有する平歯車機構６２ａと、平歯車機構の回転出力を更に減速する差動歯車減速機構６２ｄとで構成され、第２減速機６３は、第１減速機の回転出力により回転する第１歯車６２ｂ及び第１歯車に噛み合う第２歯車６３ｃを有する平歯車機構６３ａと、平歯車機構の回転出力を更に減速する差動歯車減速機構６３ｄとで構成されている。【選択図】図５
2006317009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転動力を出力するモータ（６１）と、
前記モータからの回転動力を入力し減速して出力する第１減速機（６２）と、
前記第１減速機からの回転を入力し減速して出力する第２減速機（６３）とを備えたアクチュエータであって、
前記第１減速機は、前記モータからの回転動力により回転する第１歯車（６１ａ）及び該第１歯車に噛み合う第２歯車（６２ｃ）を有する平歯車機構（６２ａ）と、該平歯車機構の回転出力を更に減速する差動歯車減速機構（６２ｄ）とで構成され、
前記第２減速機は、前記第１減速機の回転出力により回転する第１歯車（６２ｂ）及び該第１歯車に噛み合う第２歯車（６３ｃ）を有する平歯車機構（６３ａ）と、該平歯車機構の回転出力を更に減速する差動歯車減速機構（６３ｄ）とで構成されたことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記第１減速機の第１歯車（６１ａ）が前記モータの出力部に支持されるとともに、前記第１減速機の平歯車機構（６２ａ）と前記モータの間に前記第１減速機の差動歯車減速機構（６２ｄ）が配置され、かつ、
前記第２減速機の第１歯車（６２ｂ）が前記第１減速機の差動歯車減速機構（６２ｄ）の出力部に支持されるとともに、前記第２減速機の平歯車機構（６３ａ）と前記第１減速機の間に前記第２減速機の差動歯車減速機構（６３ｄ）が配置されたことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記第１減速機の平歯車機構が、前記モータの出力を減速する減速機構であり、前記第２減速機の平歯車機構が、前記第１減速機の出力を減速する減速機構であることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
ケース（９１）及び蓋（９２）を有する容器（９０）の前記蓋を開閉する装置であって、
請求項１に記載のアクチュエータ（６０）と、
前記アクチュエータにより駆動される回転軸（２１）を有し該回転軸を前記ケース上で回転可能に支持する軸部（２０）と、
前記蓋及び前記回転軸を連結する連結部（４０）とを備え、
前記アクチュエータにより前記回転軸が駆動されるとき前記蓋が開閉されるようにしたことを特徴とする蓋開閉装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ及びこれを備えた蓋開閉装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、容器の蓋を開閉する蓋開閉装置として、容器に回転自在に支持されている軸と一体に回転するように連結されたアームを介して容器に開閉可能に蓋が設けられ、アームを回転させることができるガススプリングと、軸を回転させることができるウォームギアとを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００１−２１０３９号公報（第３頁、第３−４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上述した従来の蓋開閉装置においては、軸を回転させるウォームギアのみならず、アームを回転させるガススプリングを必要としていたので、装置が大型化するという問題があった。
【０００４】
本発明は、従来の問題を解決するためになされたもので、従来と比較して小型化することができる蓋開閉装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記目的達成のため、（１）回転動力を出力するモータと、前記モータからの回転動力を入力し減速して出力する第１減速機と、前記第１減速機からの回転を入力し減速して出力する第２減速機とを備えたアクチュエータであって、前記第１減速機は、前記モータからの回転動力により回転する第１歯車及び該第１歯車に噛み合う第２歯車を有する平歯車機構と、該平歯車機構の回転出力を更に減速する差動歯車減速機構とで構成され、前記第２減速機は、前記第１減速機の回転出力により回転する第１歯車及び該第１歯車に噛み合う第２歯車を有する平歯車機構と、該平歯車機構の回転出力を更に減速する差動歯車減速機構とで構成されたことを特徴とするものである。
【０００６】
この構成により、平歯車機構の減速比の調整だけで第１減速機又は第２減速機の減速比調整が容易に可能な高減速比のアクチュエータとなり、ガススプリングの不要な蓋開閉装置が実現可能となる。
【０００７】
本発明のアクチュエータにおいては、（２）前記第１減速機の第１歯車が前記モータの出力部に支持されるとともに、前記第１減速機の平歯車機構と前記モータの間に前記第１減速機の差動歯車減速機構が配置され、かつ、前記第２減速機の第１歯車が前記第１減速機の差動歯車減速機構の出力部に支持されるとともに、前記第２減速機の平歯車機構と前記第１減速機の間に前記第２減速機の差動歯車減速機構が配置されたものであるのがよい。
【０００８】
さらに、本発明のアクチュエータにおいては、（３）前記第１減速機の平歯車機構が、前記モータの出力を減速する減速機構であり、前記第２減速機の平歯車機構が、前記第１減速機の出力を減速する減速機構であるのが好ましい。
【０００９】
一方、本発明の蓋開閉装置は、（４）ケース及び蓋を有する容器の前記蓋を開閉する装置であって、上記（１）項に記載のアクチュエータと、前記アクチュエータにより駆動される回転軸を有し該回転軸を前記ケース上で回転可能に支持する軸部と、前記蓋及び前記回転軸を連結する連結部とを備え、前記アクチュエータにより前記回転軸が駆動されるとき前記蓋が開閉されるようにしたことを特徴とする。
【００１０】
この構成により、蓋が自重によって閉じるのを、ガススプリングでなく軸部側のアクチュエータによって抑制することができ、従来と比較して装置を小型化することができる。
また、蓋が自重によって閉じてしまうのを第１減速機及び第２減速機を有するアクチュエータによって確実に防止することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、減速比調整が容易に可能な高減速比のアクチュエータを実現することができ、その結果、そのアクチュエータによってガススプリングの不要な小型化の蓋開閉装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００１３】
まず、本実施の形態に係る蓋開閉装置の構成について説明する。
【００１４】
図１及び図２に示すように、本実施の形態に係る蓋開閉装置１０は、ケース９１及び蓋９２を有する半導体製造用の真空チャンバ（容器）９０に備えられており、回転軸２１を有しケース９１に支持された軸部２０と、蓋９２及び回転軸２１に連結されたアーム部４０と、回転軸２１を駆動するアクチュエータ６０とを備えている。
【００１５】
ここで、真空チャンバ９０のケース９１は、蓋９２と接触するシール部材としての図示していないＯリングを開口面９１ａ上に有している。なお、ケース９１のＯリングの厚みは、蓋９２と接触していない場合に１ｍｍである。また、蓋９２は、ケース９１とは反対側にプレート９２ａを有している。
【００１６】
また、軸部２０は、ケース９１の４つの側面のうちの１つの側面９１ｂに固定されたベース２２と、回転軸２１を回転可能に支持するベアリングユニット２３と、ベアリングユニット２３をベース２２に固定したベアリングブラケット２４と、アクチュエータ６０をベース２２に固定したアクチュエータブラケット２５とを備えている。すなわち、軸部２０は、アクチュエータ６０により駆動される回転軸２１をケース９１上で回転可能に支持している。
【００１７】
また、アーム部４０は、回転軸２１に固定されたアーム４１、４２と、アーム４１、４２にそれぞれ固定された板バネ４３、４４と、板バネ４３に固定されるとともに蓋９２に固定されたバネ座プレート４５、４６と、板バネ４４に固定されるとともに蓋９２に固定されたバネ座プレート４７、４８と、アーム４１に固定されたブロック４９と、ブロック４９に固定されてブロック４９及びプレート９２ａの間隔５０ａ（図３参照。）を計測するセンサ５０とを備えている。すなわち、アーム部４０は、蓋９２及び回転軸２１を連結する連結部となっている。
【００１８】
また、板バネ４３は、例えば金属材料によって形成されており、蓋９２が閉じられているときに屈曲角度４３ａが１０５°であり、矢印１１で示す蓋９２の厚み方向でのバネ定数、矢印１２で示す回転軸２１の延在方向でのバネ定数、矢印１１で示す方向及び矢印１２で示す方向と略直交する矢印１３で示す方向でのバネ定数がそれぞれ７４Ｎ／ｍｍ、３３６Ｎ／ｍｍ、９００Ｎ／ｍｍである。なお、板バネ４４の構成は板バネ４３の構成と同一である。
【００１９】
なお、軸部２０は、ケース９１の開口面９１ａと、ケース９１のＯリングに接触する蓋９２の面９２ｂとが成す角度９０ａ（図４参照。）が１０５°より大きくなることをアーム４１に接触することによって防止するストッパ２６を備えている。
【００２０】
また、アクチュエータ６０は、図５に示すように、動力回転を出力する第１出力部としての出力部６１ａを有したモータ６１と、モータ６１の出力部６１ａから回転を入力する第１入力部としての入力部６２ａ及び回転を出力する第２出力部としての出力部６２ｂを有しモータ６１の出力を減速比１／５７で減速する第１減速機６２と、第１減速機６２の出力部６２ｂから回転を入力する第２入力部としての入力部６３ａ及び回転軸２１（図２参照。）に回転を出力する第３出力部としての出力部６３ｂを有し第１減速機６２の出力を１／１４１の減速比で減速する第２減速機６３とを備えている。即ち、第１減速機６２及び第２減速機６３は、モータ６１の出力を減速比１／８０３７で減速して回転軸２１に伝達するようになっており、第２減速機６３の減速比は第１減速機６２の減速比より大きく（高減速比に）なっている。
【００２１】
また、第１減速機６２は、１段目減速機構であり入力部６２ａを構成する平歯車６２ｃと、２段目減速機構である差動歯車減速機構６２ｄ（遊星差動歯車減速機構）とからなる２段減速機である。なお、モータ６１の出力部６１ａに設けた第１歯車は、これに噛み合う第２歯車としての平歯車６２ｃと共に、モータ６１の出力を１／５以上１／１未満の減速比で減速又は１／１の比で伝達する平歯車機構を構成している。
【００２２】
同様に、第２減速機６３は、１段目減速機構であり入力部６３ａを構成する平歯車６３ｃと、２段目減速機構である差動歯車減速機構６３ｄ（遊星差動歯車減速機構）とからなる２段減速機である。なお、第１減速機６２の出力部６２ｂに設けた第１歯車は、これと噛み合う第２歯車としての平歯車６３ｃと共に、第１減速機６２の出力を１／５以上１／１未満の減速比で減速又は１／１の比で伝達する平歯車機構を構成している。また、図５に示すように、差動歯車減速機構６２ｄは平歯車６２ｃとモータ６１の間に、差動歯車減速機構６３ｄは平歯車６３ｃと第１減速機６２の間に、それぞれ配置されており、第１減速機６２は第２減速機６３より小径である。
【００２３】
ここで、第２減速機６３の減速比の逆数（以下「速比値」という。）をＲ２とし、蓋９２が開いているときに第２減速機６３の出力部６３ｂに加えられるトルクの最大値をＴＬとし、第１減速機６２の入力部６２ａにトルクが加えられないときに第１減速機６２の出力部６２ｂを回転させるために必要なトルクをＴＲ１とし、第２減速機６３の入力部６３ａにトルクが加えられないときに第２減速機６３の出力部６３ｂを回転させるために必要なトルクをＴＲ２とし、第２減速機６３の出力部６３ｂに加えられるトルクに対する第２減速機６３の出力部６３ｂに加えられるトルクのうち第２減速機６３による機械的損失を受けて残るトルクの比をη２とすると、速比値Ｒ２は、最大値ＴＬと、トルクＴＲ２との差と、比η２との積と、トルクＴＲ１との商より大きくなるように、即ち、数１を満たすように設定されている。
【００２４】
【数１】
2006317009.tif 000003
【００２５】
具体的に説明すると、図１に示す蓋開閉装置１０においては、図４に示すように蓋９２がケース９１のＯリングから微小距離だけ離れているときに第２減速機６３の出力部６３ｂに加えられるトルク４６０６Ｎ・ｍが最大値ＴＬであり、トルクＴＲ１が３３Ｎ・ｍであり、トルクＴＲ２が１５４Ｎ・ｍであり、比η２が０．８であり、速比値Ｒ２が１４１であるので、速比値Ｒ２は数２に示すように数１を満たしている。
【００２６】
【数２】
2006317009.tif 000004
【００２７】
また、蓋開閉装置１０は、モータ６１の出力を制御する図示しない制御部を備えている。
【００２８】
また、ブロック４９は、図１に示すように制御部によって蓋９２が閉じられているときにプレート９２ａとの間隔５０ａ（図３参照。）が１ｍｍになり、図４に示すように蓋９２がケース９１のＯリングから微小距離だけ離れているときに間隔５０ａが３ｍｍになるように、アーム４１に対する位置が調整されている。
【００２９】
次に、蓋開閉装置１０の動作について説明する。
【００３０】
（１）蓋開閉装置１０が蓋９２を開くときの動作
蓋９２が図１に示すように閉じられているとき、アーム４１、４２が板バネ４３、４４及びバネ座プレート４５〜４８を介して蓋９２をケース９１側に押しているので、ケース９１のＯリングは、蓋９２によって圧縮されている。また、ブロック４９及びプレート９２ａの間隔５０ａ（図３参照。）は１ｍｍになっており、板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度は１０５°になっている。
【００３１】
ここで、蓋開閉装置１０が蓋９２を開くとき、制御部は、回転軸２１がアクチュエータ６０によって矢印２１ａで示す方向に回転させられるように、モータ６１を駆動する。具体的には、制御部は、回転軸２１の回転速度が０．１３ｓｅｃで０ｄｅｇ／ｓｅｃから０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ａで示す方向に回転させた後、アクチュエータ６０に回転軸２１を０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃで１２．１８ｓｅｃの間矢印２１ａで示す方向に回転させ、更に回転軸２１の回転速度が０．１３ｓｅｃで０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃから０ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ａで示す方向に回転させる。
【００３２】
したがって、バネ座プレート４５〜４８、板バネ４３、４４及びアーム４１、４２を介して回転軸２１に連結された蓋９２は、ケース９１のＯリングとの粘着状態から開放されてケース９１のＯリングから離れる。
【００３３】
なお、蓋９２が開くとき、アーム４１、４２が板バネ４３、４４を蓋９２側とは反対側に引っ張るので、板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度は１０５°より大きくなる。また、ブロック４９及びプレート９２ａの間隔５０ａ（図３参照。）も１ｍｍより大きくなる。
【００３４】
そして、制御部は、ケース９１のＯリングとの粘着状態から開放された蓋９２の揺れを低減するためにアクチュエータ６０を２ｓｅｃの間停止した後、再び回転軸２１がアクチュエータ６０によって矢印２１ａで示す方向に回転させられるように、モータ６１を駆動する。具体的には、制御部は、回転軸２１の回転速度が１．０６ｓｅｃで０ｄｅｇ／ｓｅｃから１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ａで示す方向に回転させた後、アクチュエータ６０に回転軸２１を１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃで８７．７０５ｓｅｃの間矢印２１ａで示す方向に回転させ、更に回転軸２１の回転速度が１．０６ｓｅｃで１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃから０ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ａで示す方向に回転させる。
【００３５】
なお、蓋開閉装置１０が蓋９２を開くとき、回転軸２１は上述した一連の動作によって矢印２１ａで示す方向に合計で約９５．６°回転させられるが、板バネ４３、４４が変形するので、ケース９１の開口面９１ａと、蓋９２の面９２ｂとが成す角度９０ａ（図４参照。）は９５．６°にならず９５°になる。
【００３６】
（２）蓋開閉装置１０が蓋９２を閉じるときの動作
ケース９１の開口面９１ａと、蓋９２の面９２ｂとが成す角度９０ａ（図４参照。）が９５°である場合に蓋開閉装置１０が蓋９２を閉じるとき、制御部は、回転軸２１がアクチュエータ６０によって矢印２１ｂで示す方向に回転させられるように、モータ６１を駆動する。具体的には、制御部は、回転軸２１の回転速度が１．０６ｓｅｃで０ｄｅｇ／ｓｅｃから１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ｂで示す方向に回転させた後、アクチュエータ６０に回転軸２１を１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃで８７．７０５ｓｅｃの間矢印２１ｂで示す方向に回転させ、更に回転軸２１の回転速度が１．０６ｓｅｃで１．０５９ｄｅｇ／ｓｅｃから０ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ｂで示す方向に回転させる。
【００３７】
そして、制御部は、蓋９２の揺れを低減するためにアクチュエータ６０を２ｓｅｃの間停止した後、再び回転軸２１がアクチュエータ６０によって矢印２１ｂで示す方向に回転させられるように、モータ６１を駆動する。具体的には、制御部は、回転軸２１の回転速度が０．１３ｓｅｃで０ｄｅｇ／ｓｅｃから０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ｂで示す方向に回転させた後、アクチュエータ６０に回転軸２１を０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃで１２．１８ｓｅｃの間矢印２１ｂで示す方向に回転させ、更に回転軸２１の回転速度が０．１３ｓｅｃで０．１３ｄｅｇ／ｓｅｃから０ｄｅｇ／ｓｅｃになるようにアクチュエータ６０に回転軸２１を一定の加速度で矢印２１ｂで示す方向に回転させる。
【００３８】
したがって、バネ座プレート４５〜４８、板バネ４３、４４及びアーム４１、４２を介して回転軸２１に連結された蓋９２は、ケース９１のＯリングを圧縮する状態でケース９１のＯリングに接触する。
【００３９】
なお、蓋９２が閉じているとき、アーム４１、４２が板バネ４３、４４を蓋９２側に押しているので、板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度は１０５°になる。また、ブロック４９及びプレート９２ａの間隔５０ａ（図３参照。）も１ｍｍになる。
【００４０】
また、蓋開閉装置１０が蓋９２を閉じるとき、回転軸２１は上述した一連の動作によって矢印２１ｂで示す方向に合計で約９５．６°回転させられるが、板バネ４３、４４が変形するので、ケース９１の開口面９１ａと、ケース９１のＯリングに接触する蓋９２の面９２ｂとが成す角度９０ａ（図４参照。）は−０．６°にならず０°になる。
【００４１】
なお、蓋開閉装置１０が蓋９２を開くときか、蓋開閉装置１０が蓋９２を閉じるときかに関わらず、蓋９２が開いているときに蓋９２の自重によって第２減速機６３の出力部６３ｂにトルクが加えられると、蓋９２の自重によって第２減速機６３の入力部６３ａを介して第１減速機６２の出力部６２ｂに伝達されるトルクは、数３に示す値以下になる。
【００４２】
【数３】
2006317009.tif 000005
【００４３】
したがって、トルクＴＲ１が数３に示す値より大きければ、即ち、数４を満たせば、第１減速機６２の出力部６２ｂは蓋９２の自重によって回転させられることはない。
【００４４】
【数４】
2006317009.tif 000006
【００４５】
蓋開閉装置１０は、速比値Ｒ２が数１を満たすように設定されているので、トルクＴＲ１が数４を満たしており、蓋９２が開いているときにアクチュエータ６０によって蓋９２が自重によって閉じることを抑制する。
【００４６】
なお、速比値Ｒ２と、ケース９１の開口面９１ａ及び蓋９２の面９２ｂが成す角度９０ａ（図４参照。）と、モータ６１の定格トルクに対する蓋９２を閉じるときに必要なモータ６１のトルクの比率との関係は例えば図６に示すようになる。即ち、速比値Ｒ２が数２に示す１０７．９以下である８１であって角度９０ａが約４５°より大きい場合には、蓋９２を閉じるためにモータ６１のトルクが必要であるので、蓋開閉装置１０は蓋９２が自重によって閉じることを抑制することができるが、速比値Ｒ２が８１であって角度９０ａが約４５°以下の場合には、蓋９２を閉じるためにモータ６１のトルクが不要であるので、蓋開閉装置１０は蓋９２が自重によって閉じることを抑制することができない。一方、速比値Ｒ２が数２に示す１０７．９より大きい１４１であるときは、角度９０ａが０°以上９０°以下の場合に常に蓋９２を閉じるためにモータ６１のトルクが必要であるので、蓋開閉装置１０は蓋９２が自重によって閉じることを抑制することができる。
【００４７】
以上に説明したように、蓋開閉装置１０は、蓋９２が自重によって閉じることを、蓋９２を駆動するアクチュエータ６０によって抑制することができるので、従来のガススプリングが不要となり、従来と比較して装置を小型化することができる。
【００４８】
また、蓋開閉装置１０は、ウォームギアと比較してモータ６１から蓋９２への動力の伝達効率が高い差動歯車減速機構６２ｄ及び差動歯車減速機構６３ｄによって蓋９２が自重によって閉じることを抑制するので、ウォームギアによって蓋が自重によって閉じることを抑制するものと比較して、モータ６１から蓋９２への動力の伝達効率を向上することができる。すなわち、高減速比のアクチュエータ６０によって蓋９２が自重により閉じてしまうのを確実に防止することができる。
【００４９】
また、アクチュエータ６０は、１段目減速機構である平歯車６２ｃ又は平歯車６３ｃの減速比の調整だけで第１減速機６２又は第２減速機６３の減速比を調整可能であるので、第１減速機６２又は第２減速機６３の減速比の調整を容易にすることができる。
【００５０】
なお、蓋開閉装置１０は、上述したように、蓋９２が矢印１１で示す蓋９２の厚み方向に移動することを板バネ４３、４４によって許容するので、蓋９２が閉じられるときに蓋９２をケース９１のＯリングに衝撃なく接触させるとともに、蓋９２をケース９１のＯリングに均一な圧力で密着させることができる。したがって、蓋開閉装置１０、ケース９１及び蓋９２が組み立てられるときに蓋開閉装置１０、ケース９１及び蓋９２を現物で位置合わせして調整する工程を省略することができるとともに、ケース９１のＯリングの耐久性を維持することができる。
【００５１】
また、蓋開閉装置１０は、板バネ４３、４４の矢印１１、１２、１３で示す方向でのバネ定数がそれぞれ７４Ｎ／ｍｍ、３３６Ｎ／ｍｍ、９００Ｎ／ｍｍであり、矢印１２、１３で示す方向でのバネ定数が矢印１１で示す方向でのバネ定数と比較して大きいので、矢印１１で示す方向での蓋９２の移動を許容しつつ、矢印１２、１３で示す方向での蓋９２の揺れを抑制することができる。
【００５２】
また、蓋開閉装置１０は、蓋９２が閉じられているときに板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が１０５°であって鋭角ではなく、蓋９２が開閉するときに板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が鋭角になることがないので、蓋９２が開閉するときに板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が鋭角になるものと比較して、蓋９２が開閉することによる板バネ４３、４４の繰り返し疲労を生じ難い。また、蓋開閉装置１０は、蓋９２が閉じられているときに板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が鋭角ではなく、板バネ４３、４４に負荷が加わっていないときの板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度も鋭角ではないので、板バネ４３、４４に負荷が加わっていないときの板バネ４３の屈曲角度４３ａ及び板バネ４４の屈曲角度が鋭角であるものと比較して、板バネ４３、４４を容易に成型することができる。
【００５３】
また、蓋開閉装置１０は、板バネ４３、４４がバネ座プレート４５〜４８を介して蓋９２に固定されているが、板バネ４３、４４が蓋９２に直接固定されていても良い。
【００５４】
また、蓋開閉装置１０は、板バネ４３、４４がそれぞれ単一の弾性部材によって構成されているが、板バネ４３、４４がそれぞれ複数の弾性部材によって構成されていても良い。
【００５５】
また、蓋開閉装置１０は、蓋９２に固定されたプレート９２ａとブロック４９との間隔５０ａ（図３参照。）をセンサ５０が計測するようになっているが、蓋９２にプレート９２ａが固定されていない場合、蓋９２とブロック４９との間隔をセンサ５０が計測するようになっていても良い。
【００５６】
また、蓋開閉装置１０は、ケース９１の４つの側面のうちの１つの側面９１ｂに固定されているので、ケース９１の４つの側面のうちの側面９１ｂ以外の側面に液晶体等の製品を出し入れするための出し入れ口を形成させることができる。
【００５７】
また、蓋開閉装置１０は、半導体製造用の真空チャンバ９０の蓋９２を開閉するようになっているが、真空チャンバ９０以外の容器の蓋を開閉するようになっていても良い。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
以上のように、本発明は、従来と比較して小型の回動アクチュエータを実現し、小型の蓋開閉装置を提供することができるという効果を奏し、例えば半導体製造用の真空チャンバの蓋のような容器の蓋を開閉する蓋開閉装置に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係る蓋開閉装置の一実施形態の側面図で、その真空チャンバの蓋を閉じた状態を示している
【図２】図１に示す一実施形態の蓋開閉装置の上面図
【図３】図１に示す一実施形態の蓋開閉装置の一部側面断面図
【図４】図１に示す一実施形態の真空チャンバの蓋を微小角度だけ開いた状態での側面図
【図５】図１に示す一実施形態の蓋開閉装置のアクチュエータの断面図
【図６】図５に示すアクチュエータの第２減速機の速比値と、図１に示す真空チャンバのケース及び蓋が成す角度と、図５に示すアクチュエータのモータの定格トルクに対する蓋を閉じるときに必要なモータのトルクの比率との関係を示す図
【符号の説明】
【００６０】
１０  蓋開閉装置
２０  軸部
２１  回転軸
４０  アーム部（連結部）
６０  アクチュエータ
６１  モータ（動力出力手段）
６１ａ  出力部（第１出力部、第１歯車）
６２  第１減速機
６２ａ  入力部（第１入力部、１段目減速機構、平歯車機構）
６２ｂ  出力部（第２出力部、第１歯車）
６２ｃ  平歯車（第２歯車）
６２ｄ  差動歯車減速機構（２段目減速機構）
６３  第２減速機
６３ａ  入力部（第２入力部、１段目減速機構、平歯車機構）
６３ｂ  出力部（第３出力部）
６３ｃ  平歯車（第２歯車）
６３ｄ  差動歯車減速機構（２段目減速機構）
９０  真空チャンバ（容器）
９１  ケース
９２  蓋
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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