(57)【要約】【課題】放射線照射管の数を削減しつつ被照射体における照射必要領域全域に放射線を照射する。【解決手段】遮蔽容器１０内に軸線Ａを中心として回転自在に配設された回転台２３と、回転台２３における軸線Ａを中心とする同一円周上の位置に直線移動自在に配設されて、ディスク状体７が載置されるトレイおよびトレイを回転自在に支持する基台を有する回転台１１ａ，１１ｂと、回転台２３によって照射位置に移動させられた回転台１１ａのトレイ上に放射線を照射する放射線照射部１３と、回転台１１ａを直線移動させると共にトレイを回転させる回転台駆動機構１４とを備えている。【選択図】図２
2006127713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遮蔽容器と、
前記遮蔽容器内に第１の軸線を中心として回転自在に配設された第１の回転台と、
前記第１の回転台における前記第１の軸線を中心とする同一円周上の位置に直線移動自在に配設されて前記遮蔽容器内に収容されると共に、被照射体が載置されるトレイおよび当該トレイを回転自在に支持する基台を有する複数の第２の回転台と、
前記第１の回転台によって照射位置に移動させられた１つの前記第２の回転台における前記トレイ上に放射線を照射する放射線照射部と、
長さ方向に沿って直線移動自在かつ軸線を中心として回転自在に前記遮蔽容器に挿入された駆動シャフト、および前記駆動シャフトを直線移動させると共に回転させる回転移動機構を有し、前記照射位置に移動した前記第２の回転台の前記トレイに当該駆動シャフトの一端側を接触させた状態で、前記回転移動機構によって当該駆動シャフトを移動させつつ回転させることにより、当該第２の回転台を直線移動させると共に当該トレイを回転させる回転台駆動機構とを備えている放射線照射装置。
【請求項２】
前記回転移動機構は、前記遮蔽容器の外部に配設されている請求項１記載の放射線照射装置。
【請求項３】
前記被照射体の回転平面内における回転方向と直交する方向に沿った前記放射線の照射幅が、当該被照射体における当該放射線の環状照射必要領域の幅よりも小さく、かつ前記回転台駆動機構による前記第２の回転台の直線移動距離が、前記環状照射必要領域の幅以上に規定されている請求項１または２記載の放射線照射装置。
【請求項４】
前記照射位置に位置する前記第２の回転台を前記駆動シャフトによって直線移動させられる方向とは逆の方向に常時付勢する付勢部材を備え、
前記各第２の回転台は、一端側に前記トレイが取り付けられると共に他端側に第１の接触ローラが取り付けられ、かつ前記基台に回転自在に支持された回転シャフトを備え、
前記回転台駆動機構は、前記駆動シャフトの前記一端側に取り付けられた第２の接触ローラを備え、
前記回転移動機構は、前記駆動シャフトを直線的に移動させて前記第１の接触ローラと前記第２の接触ローラとを接触させると共に、当該第２の接触ローラで当該第１の接触ローラを押動させることにより、前記付勢部材の付勢力に抗して前記第２の回転台を直線移動させ、かつ当該駆動シャフトを回転させることにより、当該第２の接触ローラで当該第１の接触ローラを回転させて前記トレイを回転させる請求項１から３のいずれかに記載の放射線照射装置。
【請求項５】
前記回転移動機構は、前記遮蔽容器の外部に位置する前記駆動シャフトの他端側に連結されて当該駆動シャフトを回転させる第１のモータと、当該第１のモータを前記駆動シャフトの移動方向に沿って移動させる移動機構とを備えている請求項１から４のいずれかに記載の放射線照射装置。
【請求項６】
前記移動機構は、ガイドレール、当該ガイドレールにスライド自在に取り付けられたスライド体、当該スライド体に螺合されたスクリュー、およびスクリューを回動させる第２のモータとを備え、前記スライド体に前記第１のモータが取り付けられている請求項５記載の放射線照射装置。
【請求項７】
前記回転台駆動機構は、前記トレイに載置された前記被照射体の外周側に前記放射線を照射するときには前記トレイの回転速度を遅くし、内周側に前記放射線を照射するときには当該トレイの回転速度を速くする請求項１から６のいずれかに記載の放射線照射装置。
【請求項８】
前記回転台駆動機構は、前記トレイに載置された前記被照射体の外周側に前記放射線を照射するときには前記第２の回転台の移動速度を遅くし、内周側に前記放射線を照射するときには当該第２の回転台の移動速度を速くする請求項１から６のいずれかに記載の放射線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線照射のための放射線照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から光情報記録媒体としてＣＤ（コンパクトディスク）やＤＶＤ（デジタルバーサタイルディスク）等の光ディスクが実用化されているが、最近では、発振波長が４００ｎｍ程度の青紫色半導体レーザの開発が進んでおり、このような青紫色半導体レーザを用いてＤＶＤよりも高密度記録の可能な高密度ＤＶＤ等の次世代の高密度光ディスクの開発が行われている。
【０００３】
このような次世代の高密度光ディスクとして現在考えられている層構成の例を図１０に示す。この高密度光ディスク９１は、基材９２と、基材９２の表面（同図では上面）に形成された情報層９３と、情報層９３を覆うようにして情報層９３の上に形成された光透過層９４およびハードコート層９５とを備えて構成されている。この光ディスク９１は、波長が３５０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の範囲内の青色または青紫色のレーザー光（一例として、波長が４０５ｎｍのレーザー光）がハードコート層９５および光透過層９４の側から照射されることによってデータの記録および読出しが可能に構成されている。これらのハードコート層９５および光透過層９４は、その形成時に硬化させるために、塗布後に放射線としての紫外線が照射される。このため、特にハードコート層９５等をラジカル重合性二重結合を有するシリコーン化合物およびフッ素化合物等の材料から形成する場合、反応開始剤を添加したときにはハードコート層９５等としての特性が劣ることがあり、反応開始剤を添加しないときには、紫外線照射では硬化が困難であり、充分な品質のハードコート層９５を形成するのが困難である（下記特許文献１，２，３および４参照）。
【０００４】
上述のような従来技術の問題点を解決するために、本出願人は、特開２００４−１１０９６７において、被照射体を回転させながら２０〜１００ｋＶ程度の加速電圧の電子線を放射線として照射することにより、紫外線では硬化が困難なハードコート層等を容易に硬化できるようにした電子線照射装置を提案している。この場合、被照射体における電子線の照射必要領域全域に電子線を照射し得るように複数本の電子線照射管（放射線照射管）を配設している。
【特許文献１】特開平４−０１９８３９号公報
【特許文献２】特開平１１−１６２０１５号公報
【特許文献３】特開平７−２９２４７０号公報
【特許文献４】特開２０００−６４０４２号公報
【特許文献５】特開２００４−１１０９６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、本出願人が提案した電子線照射装置には、以下のような改善すべき課題がある。すなわち、この電子線照射装置では、複数の電子線照射管を使用して、被照射体における電子線の照射必要領域全域に電子線を照射している。しかしながら、装置を構成する他の部品と比較して電子線照射管が高価なため、装置コストが上昇する結果、装置コストを低減すべきとの改善すべき課題がある。
【０００６】
本発明は、かかる改善すべき課題を解決すべくなされたものであり、放射線照射管の数を削減しつつ被照射体における照射必要領域全域に放射線を照射し得る放射線照射装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく本発明に係る放射線照射装置は、遮蔽容器と、前記遮蔽容器内に第１の軸線を中心として回転自在に配設された第１の回転台と、前記第１の回転台における前記第１の軸線を中心とする同一円周上の位置に直線移動自在に配設されて前記遮蔽容器内に収容されると共に、被照射体が載置されるトレイおよび当該トレイを回転自在に支持する基台を有する複数の第２の回転台と、前記第１の回転台によって照射位置に移動させられた１つの前記第２の回転台における前記トレイ上に放射線を照射する放射線照射部と、長さ方向に沿って直線移動自在かつ軸線を中心として回転自在に前記遮蔽容器に挿入された駆動シャフト、および前記駆動シャフトを直線移動させると共に回転させる回転移動機構を有し、前記照射位置に移動した前記第２の回転台の前記トレイに当該駆動シャフトの一端側を接触させた状態で、前記回転移動機構によって当該駆動シャフトを移動させつつ回転させることにより、当該第２の回転台を直線移動させると共に当該トレイを回転させる回転台駆動機構とを備えている。
【０００８】
この場合、前記遮蔽容器の外部に回転移動機構を配設する構成を採用することができる。
【０００９】
また、前記被照射体の回転平面内における回転方向と直交する方向に沿った前記放射線の照射幅が、当該被照射体における当該放射線の環状照射必要領域の幅よりも小さく、かつ前記回転台駆動機構による前記第２の回転台の直線移動距離が、前記環状照射必要領域の幅以上に規定する構成を採用することができる。
【００１０】
また、前記照射位置に位置する前記第２の回転台を前記駆動シャフトによって直線移動させられる方向とは逆の方向に常時付勢する付勢部材を備え、前記各第２の回転台は、一端側に前記トレイが取り付けられると共に他端側に第１の接触ローラが取り付けられ、かつ前記基台に回転自在に支持された回転シャフトを備え、前記回転台駆動機構は、前記駆動シャフトの前記一端側に取り付けられた第２の接触ローラを備え、前記回転移動機構は、前記駆動シャフトを直線的に移動させて前記第１の接触ローラと前記第２の接触ローラとを接触させると共に、当該第２の接触ローラで当該第１の接触ローラを押動させることにより、前記付勢部材の付勢力に抗して前記第２の回転台を直線移動させ、かつ当該駆動シャフトを回転させることにより、当該第２の接触ローラで当該第１の接触ローラを回転させて前記トレイを回転させる構成を採用することができる。
【００１１】
また、前記回転移動機構は、前記遮蔽容器の外部に位置する前記駆動シャフトの他端側に連結されて当該駆動シャフトを回転させる第１のモータと、当該第１のモータを前記駆動シャフトの移動方向に沿って移動させる移動機構とを備えて構成されている。
【００１２】
また、前記移動機構は、ガイドレール、当該ガイドレールにスライド自在に取り付けられたスライド体、当該スライド体に螺合されたスクリュー、およびスクリューを回動させる第２のモータとを備え、前記スライド体に前記第１のモータが取り付けられて構成されている。
【００１３】
また、前記回転台駆動機構は、前記トレイに載置された前記被照射体の外周側に前記放射線を照射するときには前記トレイの回転速度を遅くし、内周側に前記放射線を照射するときには当該トレイの回転速度を速くする。
【００１４】
また、前記回転台駆動機構は、前記トレイに載置された前記被照射体の外周側に前記放射線を照射するときには前記第２の回転台の移動速度を遅くし、内周側に前記放射線を照射するときには当該第２の回転台の移動速度を速くする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る放射線照射装置によれば、被照射体に対して放射線を照射しているときに、回転台駆動機構によって駆動シャフトを移動させつつ回転させることにより、放射線が照射されている被照射体を回転させつつ、移動させることができるため、放射線照射部に設けられた放射線照射管の数を削減することができると共に、被照射体の環状照射必要領域全域に放射線を照射することができる。
【００１６】
また、本発明に係る放射線照射装置によれば、遮蔽容器の外部に回転移動機構を配設したことにより、放射線照射部によって放射線が照射される遮蔽容器内への回転移動機構やその配線などの放射線の照射によって劣化する部材の配設を回避することができる。
【００１７】
また、本発明に係る放射線照射装置によれば、被照射体の回転平面内における回転方向と直交する方向に沿った放射線の照射幅を被照射体における放射線の環状照射必要領域の幅よりも小さく、かつ回転台駆動機構による第２の回転台の直線移動距離を環状照射必要領域の幅以上に規定することにより、放射線照射部に設けられた放射線照射管の数を削減したとしても、被照射体の環状照射必要領域全域に放射線を確実に照射することができる。
【００１８】
また、本発明に係る放射線照射装置によれば、回転移動機構が、駆動シャフトを直線的に移動させて第１の接触ローラと第２の接触ローラとを接触させると共に、第２の接触ローラで第１の接触ローラを押動させて、付勢部材の付勢力に抗して第２の回転台を直線移動させ、かつ駆動シャフトを回転させて、第２の接触ローラで第１の接触ローラを回転させてトレイを回転させることにより、簡易な構造でありながら回転台を照射位置において確実に直線往復動させることができる。
【００１９】
また、本発明に係る放射線照射装置によれば、遮蔽容器の外部に位置する駆動シャフトの他端側に連結されて駆動シャフトを回転させる第１のモータと、第１のモータを駆動シャフトの移動方向に沿って移動させる移動機構とを備えて回転移動機構を構成したことにより、放射線照射部によって放射線が照射される遮蔽容器内への、モータ等の電気部品や電気部品に対する配線などの放射線の照射によって劣化する部材の配設を回避することができる。
【００２０】
また、本発明に係る放射線照射装置によれば、移動機構が、ガイドレール、スライド体、スクリューおよび第２のモータとを備え、スライド体に第１のモータを取り付けたことにより、回転台駆動機構が、トレイの回転速度と、回転台の移動速度とを独立して制御することができる。
【００２１】
また、本発明に係る放射線照射装置によれば、回転台駆動機構が、トレイに載置された被照射体の外周側に放射線を照射するときにはトレイの回転速度を遅くし、内周側に放射線を照射するときにはトレイの回転速度を速くすることにより、被照射体における放射線の照射部位に対する単位時間当たりの放射線吸収線量を被照射体の半径方向の位置に拘わらず一定に制御することができる結果、被照射体の環状照射必要領域全域に放射線を均一に照射することができる。
【００２２】
また、本発明に係る放射線照射装置によれば、回転台駆動機構が、トレイに載置された被照射体の外周側に放射線を照射するときには第２の回転台の移動速度を遅くし、内周側に放射線を照射するときには第２の回転台の移動速度を速くすることにより、被照射体における放射線の照射部位に対する単位時間当たりの放射線吸収線量を被照射体の半径方向の位置に拘わらず一定に制御することができる結果、被照射体の環状照射必要領域全域に放射線を均一に照射することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明に係る放射線照射装置の最良の形態について、図面を参照して説明する。
【００２４】
最初に、放射線照射装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００２５】
放射線照射装置１は、図１に示すように、本体装置２、真空装置３、窒素ガス源４、被照射体搬送装置５および制御装置６を備え、窒素雰囲気内で被照射体（本例では一例としてディスク状体）７の表面に放射線（本例では一例として電子線）を照射する。
【００２６】
本体装置２は、図１，２に示すように、遮蔽容器１０、複数（一例として２つ）の回転台１１ａ，１１ｂ（以下、回転台１１ａ，１１ｂともいい、特に区別しないときには回転台１１ともいう）、各回転台１１を第１の軸線Ａ（以下、軸線Ａともいう）を中心として公転させる公転機構１２、放射線照射部１３、および回転台駆動機構１４を備えている。この場合、回転台１１ａ，１１ｂは、本発明の第２の回転台を構成する。
【００２７】
遮蔽容器１０は、一例としてステンレス鋼を用いて中空の直方体に形成されている。また、遮蔽容器１０の天板１０ａには、ディスク状体７を遮蔽容器１０内に挿入するための挿入孔１０ｂと電子線照射用の照射窓１０ｃとが軸線Ａを中心として１８０度ずれて対向する位置に形成されている。また、図２に示すように、遮蔽容器１０の１つの側壁１０ｄには、両端面中央に挿通孔１５ａがそれぞれ開口された円筒体１５が装着されている。この場合、円筒体１５は、遮蔽容器１０と同様にしてステンレス鋼を用いて形成されている。また、側壁１０ｄにおける円筒体１５の上方部位には、後述する移動機構３４を取り付けるための取付板１０ｆが延設されている。
【００２８】
各回転台１１は、図５に示すように、ディスク状体７が載置されるトレイ１６、回転シャフト１７、接触ローラ１８（本発明における第１の接触ローラ）および基台１９を備えて構成されて、遮蔽容器１０内に収容されている。この場合、回転シャフト１７が軸受２０，２０を介して円筒状の基台１９の中心に回転自在に取り付けられ、トレイ１６は回転シャフト１７の一端側（同図中の上端側）に取り付けられている。また、接触ローラ１８は、回転シャフト１７の他端側（同図中の下端側）に取り付けられている。この構成により、トレイ１６および接触ローラ１８は、回転シャフト１７の軸線を中心として基台１９に回転自在に支持される。また、基台１９には、ストッパ２１が取り付けられている。
【００２９】
公転機構１２は、図２に示すように、回転軸２２、回転台（本発明における第１の回転台）２３、モータ２４、スライドガイド機構２５，２５、ストッパ２６，２６、および付勢部材（一例としてコイルスプリング）２７，２７を備え、回転台１１ａ，１１ｂを挿入孔１０ｂの直下に位置させてディスク状体７を入れ替えするための入替位置と、軸線Ａを挟んで入替位置から１８０度ずれた反対の位置であってディスク状体７に電子線を照射するための照射位置とに、回転台１１ａ，１１ｂを移動させる。この場合、回転軸２２は、遮蔽容器１０の底板１０ｅに、その軸線を軸線Ａに一致させた状態で貫通して配設されている。回転台２３は、図６に示すように、１組の対向辺（同図中の上下辺）の各々に長方形状の支持部２３ａ，２３ａが離間して直角に延設された方形の板体に形成されている。また、回転台２３は、図２に示すように、回転軸２２における遮蔽容器１０内に位置する一端側（同図中の上端側）に取り付けられて、軸線Ａを中心として回動自在に遮蔽容器１０内に収容されている。モータ２４は、遮蔽容器１０の外部に突出する回転軸２２の他端側（同図中の下端側）に取り付けられて、軸線Ａを中心として回転軸２２を回動させる。
【００３０】
スライドガイド機構２５，２５は、図２，６に示すように、回転台２３における支持部２３ａ，２３ａが延設された各対向辺にそれぞれ配設されて、各回転台１１を支持部２３ａの延出方向に沿って直線移動自在に支持する。具体的には、各スライドガイド機構２５，２５は、図６に示すように、一例として各支持部２３ａ，２３ａの下面（同図中の紙面手前側の面）に、支持部２３ａ，２３ａの延出方向に沿って互いに平行に取り付けられたガイドレール２５ａ，２５ａと、支持部２３ａ，２３ａの延出方向に沿って直線移動自在（スライド自在）に各ガイドレール２５ａ，２５ａに取り付けられたスライド体２５ｂ，２５ｂと、各スライド体２５ｂ，２５ｂ間に架け渡して取り付けられた支持板２５ｃとを備えて構成されている。この場合、支持板２５ｃの中心には、円形の貫通孔２５ｄが形成されている。各回転台１１は、図５に示すように、貫通孔２５ｄから回転シャフト１７の下端側が突出するようにして支持板２５ｃの上面に固定されている。各ストッパ２６，２６は、図２，６に示すように、回転台２３の上面（図６では紙面奥側の面）における軸線Ａ寄りの位置に、各回転台１１ａ，１１ｂで挟まれるようにしてそれぞれ配設されている。各ストッパ２６，２６は、スライドガイド機構２５，２５によって直線移動自在に支持されている各回転台１１ａ，１１ｂに取り付けられたストッパ２１，２１と当接することにより、各回転台１１の軸線Ａ方向への移動を規制する。この構成により、各スライドガイド機構２５，２５の支持板２５ｃ，２５ｃに取り付けられた各回転台１１，１１は、回転台２３における軸線Ａを中心とする同一円周上の位置に、支持部２３ａ，２３ａの延出方向と平行な方向に直線移動自在に固定される。各支持板２５ｃ，２５ｃ同士は、図２，５，６に示すように、各々の側面（図６では左右の側面）間に架け渡して配設されたコイルスプリング２７，２７で連結されている。この構成により、各回転台１１ａ，１１ｂは、支持板２５ｃ，２５ｃを介して一対のコイルスプリング２７，２７で連結される結果、回転台２３の中心（軸線Ａ）に向けて常時付勢される。また、各スライドガイド機構２５では、各回転台１１の直線移動距離が後述するディスク状体７における環状照射必要領域の幅Ｗ２以上になるように、ガイドレール２５ａ，２５ａおよびスライド体２５ｂ，２５ｂの長さが設定されている。
【００３１】
放射線照射部１３は、１本の電子線照射管（放射線照射管の一例。図示せず）を備え、図１，２に示すように、遮蔽容器１０の天板１０ａにおける照射窓１０ｃの形成部位に、照射窓１０ｃを閉塞するようにして取り付けられ、照射窓１０ｃから遮蔽容器１０の内部に電子線を照射する。この場合、図９に示すように、回転台１１に載置されたディスク状体７の表面に放射線照射部１３によって照射される電子線の照射幅（ディスク状体７の回転平面内における回転方向Ｂと直交する方向（ディスク状体７の半径方向）Ｃに沿った電子線の照射幅）Ｗ１は、ディスク状体７における電子線の環状照射必要領域の幅Ｗ２よりも小さく規定されている。
【００３２】
回転台駆動機構１４は、図２に示すように、駆動シャフト２８、接触ローラ２９（本発明における第２の接触ローラ）、軸受３０、スライドガイド機構３１、カップリング３２、モータ（第１のモータ）３３、および移動機構３４を備え、スライドガイド機構２５によって直線移動自在に回転台２３に取り付けられた各回転台１１ａ，１１ｂのうちの照射位置に位置している回転台１１を直線移動させる。この場合、モータ３３と移動機構３４とで本発明における回転移動機構を構成する。
【００３３】
具体的には、駆動シャフト２８は、図２に示すように、遮蔽容器１０の側壁１０ｄを貫通して配設された円筒体１５の各挿通孔１５ａに、その長手方向に沿って摺動自在、かつ軸線を中心として回動自在に挿通された状態で、遮蔽容器１０に取り付けられている。また、駆動シャフト２８は、円筒体１５内に位置する部位（中央側部位）に円環状のフランジ部２８ａが形成されると共に、フランジ部２８ａの外周面に形成された凹状溝（図示せず）内にリング状のシール部材（Ｏリング）２８ｂが装着されている。このシール部材２８ｂにより、遮蔽容器１０の内部と外部との間の気密性が確保されている。また、シール部材２８ｂは、一般的に樹脂材料で形成されるが、ステンレス鋼製の円筒体１５内に配設されることにより、電子線の照射に起因した劣化が回避されている。また、駆動シャフト２８における遮蔽容器１０の内部に位置する一端側（図２中の左端側）には、接触ローラ２９が、その軸線を駆動シャフト２８の軸線と一致させて取り付けられている。また、駆動シャフト２８の一端は、スライドガイド機構３１に固定された軸受３０によって回動自在に支持されている。また、駆動シャフト２８の他端は、カップリング３２を介してモータ３３の出力軸３３ａに連結されている。
【００３４】
スライドガイド機構３１は、図２，７に示すように、遮蔽容器１０における底板１０ｅの内面に互いに平行に配設された一対のガイドレール３１ａ，３１ａと、各ガイドレール３１ａ，３１ａに取り付けられると共に、各ガイドレール３１ａ，３１ａに沿って直線移動自在な一対のスライド体３１ｂ，３１ｂとを備え、一対のスライド体３１ｂ，３１ｂ間に掛け渡して取り付けられた軸受３０をガイドレール３１ａ，３１ａの長さ方向に沿って直線移動自在に支持する。
【００３５】
移動機構３４は、図２に示すように、ガイドレール３５ａおよびスライド体３５ｂを有するスライドガイド機構３５と、ガイドレール３５ａと平行に配設されると共にスライド体３５ｂに螺合されたスクリュー３６と、スクリュー３６を回動させるモータ（第２のモータ）３７とを備えている。また、移動機構３４は、遮蔽容器１０の側壁１０ｄに駆動シャフト２８の長さ方向に沿って延設された取付板１０ｆの下面に取り付けられている。この場合、スクリュー３６は、ガイドレール３５ａに取り付けられた一対の軸受３８，３８によってその両端側が回動自在に支持されている。また、スライド体３５ｂには、カップリング３２が取り付けられている。この構成により、移動機構３４は、作動したモータ３７によってスクリュー３６が回動した際に、スクリュー３６と螺合するスライド体３５ｂがガイドレール３５ａに沿って直線移動することにより、スライド体３５ｂに取り付けられたカップリング３２およびモータ３３、さらにはモータ３３の出力軸３３ａが連結された駆動シャフト２８を、駆動シャフト２８の長さ方向に沿って直線移動させる。
【００３６】
真空装置３は、図１に示すように、遮蔽容器１０に連結されて、遮蔽容器１０内を減圧する。窒素ガス源４は、減圧状態の遮蔽容器１０内に窒素ガスを供給する。被照射体搬送装置５は、同図に示すように、一対の搬送トレイ部５１，５２と、両端部に搬送トレイ部５１，５２が取り付けられると共に中央に連結された回動軸５３を中心として搬送トレイ部５１，５２を回動させる回動部５４とを備えている。この場合、搬送トレイ部５１，５２は、上下動機構５５、ステンレス鋼製の蓋体５６、および蓋体５６の下方に配設された吸着部５７をそれぞれ有している。上下動機構５５は、蓋体５６および吸着部５７を独立して上下方向に移動可能に構成されている。この構成により、被照射体搬送装置５は、遮蔽容器１０の外部に配設されたディスク受渡部６１と、入替位置している回転台１１との間で、ディスク状体７を搬送する。また、搬送トレイ部５１，５２は、ディスク受渡部６１から回転台１１にディスク状体７を搬送した後に、その蓋体５６によって遮蔽容器１０の挿入孔１０ｂを閉塞可能に構成されている。制御装置６は、遮蔽容器１０の外部に配設されると共に、放射線照射装置１に含まれている各構成要素に対する制御を行い、ディスク状体７に対する電子線の照射処理を実行する。
【００３７】
次いで、放射線照射装置１によるディスク状体７への電子線の照射処理について、図８を参照して説明する。なお、図２に示すように、照射位置に位置する回転台１１ａのトレイ１６上には、電子線照射が完了したディスク状体７が既に載置され、入替位置に位置する回転台１１ｂのトレイ１６上には、電子線未照射の新たなディスク状体７が既に載置されているものとする。また、遮蔽容器１０の挿入孔１０ｂは、搬送トレイ部５２の蓋体５６によって閉塞されているものとする。また、駆動シャフト２８および接触ローラ２９は待機位置（図２に示す位置）に位置しているものとする。また、ディスク受渡部６１に供給されるディスク状体７は、従来例で説明した波長のレーザー光によってデータの記録および読出しが可能に構成された光ディスク９１と同じ層構造を有する光情報媒体であって、図外のスピンコート装置により、その表面に樹脂材料を含む光透過層が形成され、さらに、この光透過層の表面に潤滑剤からなるハードコート層が形成されている。また、制御装置６は、放射線照射部１３に対して電子線の照射を開始させ、また回転台駆動機構１４のモータ３３を作動させて駆動シャフト２８の回転を開始させているものとする。
【００３８】
制御装置６は、まず、公転機構１２を作動させることにより、遮蔽容器１０内において、照射位置に位置する照射済みのディスク状体７を入替位置に移動させると共に、入替位置している新たなディスク状体７を照射位置に移動させる（ステップ１００）。具体的には、制御装置６は、公転機構１２のモータ２４を作動させることにより、回転台２３を１８０度回転させて各回転台１１ａ，１１ｂの位置を入れ替える。これにより、照射位置に位置していた回転台１１ａ（電子線の照射が完了したディスク状体７が載置された回転台）が入替位置に移動し、入替位置に位置していた回転台１１ｂ（新たなディスク状体７が載置された回転台）が照射位置に移動する。
【００３９】
次いで、制御装置６は、被照射体搬送装置５を作動させることにより、ディスク受渡部６１に供給されている新たなディスク状体７をディスク受渡部６１の上方に移動させると共に、遮蔽容器１０内の入替位置に位置している照射済みのディスク状体７を遮蔽容器１０の外部に移動させる。具体的には、被照射体搬送装置５は、まず、各上下動機構５５，５５を作動させて各搬送トレイ部５１，５２の各吸着部５７を下方に移動させると共に、各吸着部５７，５７を作動させる。これにより、搬送トレイ部５１の吸着部５７が、ディスク受渡部６１に供給されているディスク状体７を吸着し、搬送トレイ部５２の吸着部５７が、入替位置に位置している回転台１１ａのトレイ１６に載置されているディスク状体７を吸着する（ステップ１０１）。続いて、被照射体搬送装置５は、各上下動機構５５を作動させて、各搬送トレイ部５１，５２の蓋体５６および吸着部５７をそれぞれ上方に移動させる。これにより、搬送トレイ部５１は、ディスク受渡部６１に供給された新たなディスク状体７を吸着保持して、ディスク受渡部６１の上方に搬送する。また、搬送トレイ部５２は、遮蔽容器１０の挿入孔１０ｂを閉塞していた蓋体５６を上方に移動させて挿入孔１０ｂを開放させると共に、回転台１１ａに支持されていたディスク状体７を吸着して挿入孔１０ｂから遮蔽容器１０の外部（挿入孔１０ｂの上方）に搬送する。
【００４０】
次いで、制御装置６は、被照射体搬送装置５を作動させることにより、搬送トレイ部５１，５２の位置を入れ替えさせる（ステップ１０２）。具体的には、被照射体搬送装置５は、回動部５４を作動させることにより、回動軸５３を中心として搬送トレイ部５１，５２を１８０度回転させる。これにより、搬送トレイ部５１は、ディスク受渡部６１の上方から挿入孔１０ｂの上方に移動し、搬送トレイ部５２は、挿入孔１０ｂの上方からディスク受渡部６１の上方に移動する。
【００４１】
次いで、制御装置６は、被照射体搬送装置５を作動させることにより、搬送トレイ部５１によって保持されている新たなディスク状体７を入替位置に位置している回転台１１ａのトレイ１６上に載置させ、搬送トレイ部５２によって保持されている照射済みのディスク状体７をディスク受渡部６１上に載置させる（ステップ１０３）。具体的には、被照射体搬送装置５は、各上下動機構５５，５５を作動させることにより、それぞれの蓋体５６，５６および吸着部５７，５７を下方に移動させる。これにより、搬送トレイ部５１は、遮蔽容器１０の挿入孔１０ｂを介してディスク状体７を回転台１１ａのトレイ１６上に搬送すると共に蓋体５６で挿入孔１０ｂを閉塞する。一方、搬送トレイ部５２は、ディスク状体７をディスク受渡部６１上に搬送する。続いて、制御装置６は、各吸着部５７，５７によるディスク状体７の吸着動作を停止させた後に、各上下動機構５５，５５を作動させることによって各吸着部５７，５７を若干上方に移動させる。これにより、搬送トレイ部５１によって回転台１１ａに搬送されたディスク状体７は、回転台１１ａのトレイ１６上に載置される。また、回転台２３に取り付けられている回転台１１ａは、搬送トレイ部５１の吸着部５７が上方に移動したため、吸着部５７に干渉されることなく、回転台２３と共に回転可能な状態となる。一方、搬送トレイ部５２によって搬送されたディスク状体７は、ディスク受渡部６１上に載置される。ディスク受渡部６１上に載置された照射済みのディスク状体７は、他の搬送機構（図示せず）により、次の処理工程に搬送される。また、その後、さらに他の搬送機構（図示せず）により、新たなディスク状体７がディスク受渡部６１上に供給される。
【００４２】
次いで、制御装置６は、真空装置３を作動させて遮蔽容器１０内を減圧した後、窒素ガス源４に対して遮蔽容器１０内への窒素ガスの供給を開始させることにより、遮蔽容器１０内を窒素雰囲気に置換する（ステップ１０４）。
【００４３】
次いで、制御装置６は、照射位置に位置している回転台１１ｂのトレイ１６に載置されているディスク状体７の放射線照射部１３方向への直線移動を開始させる（ステップ１０５）。具体的には、制御装置６は、移動機構３４のモータ３７を作動させてスクリュー３６を回転させることにより、遮蔽容器１０から離反する方向にスライド体３５ｂを移動させる。これにより、スライド体３５ｂに取り付けられているカップリング３２もスライド体３５ｂと共に移動を開始する結果、カップリング３２に連結されている駆動シャフト２８が、待機位置から遮蔽容器１０の外部に徐々に引き出される。その後、駆動シャフト２８がある程度引き出されて、図３に示すように、駆動シャフト２８の一端側に取り付けられている接触ローラ２９が回転台１１ｂの接触ローラ１８に接触した時点から、駆動シャフト２８と共に移動する接触ローラ２９による接触ローラ１８に対する押動が開始される。これにより、回転台１１ｂが放射線照射部１３方向に移動し始める。この場合、移動機構３４は、各回転台１１ａ，１１ｂが取り付けられている各支持板２５ｃ，２５ｃ間に掛け渡された一対のコイルスプリング２７，２７の付勢力に抗して、駆動シャフト２８を介して回転台１１ｂを放射線照射部１３方向に移動させる。
【００４４】
また、接触ローラ２９が接触ローラ１８に当接した時点から、駆動シャフト２８の回転力が、接触ローラ２９および接触ローラ１８を介して回転シャフト１７に伝達される結果、回転台１１ｂのトレイ１６に支持されたディスク状体７が回転し始める（ステップ１０６）。その後、制御装置６は、移動機構３４による駆動シャフト２８の引き出し動作と、モータ３３による駆動シャフト２８の回転動作とを継続させる。その結果、回転台１１ｂに載置されたディスク状体７は、遮蔽容器１０内の照射位置において、回転しつつ、照射窓１０ｃ側に向けて直線移動する。また、ディスク状体７は、回転状態を維持したまま、電子線の照射部位が図９に示す環状照射必要領域（幅：Ｗ２）の内周縁側の位置Ｄに達するまで移動する。この結果、ディスク状体７における電子線の環状照射必要領域全体に対して電子線の照射が行われる。
【００４５】
この際に、制御装置６は、モータ３７の回転数を一定に制御するときには、電子線の照射部位が環状照射必要領域における外周側から内周側に向かうまでの間（具体的には照射部位が位置Ｅに達した時点から位置Ｄに達するまでの間）、電子線の照射部位が外周側から内周側に向かうに従ってモータ３３の回転数を徐々に上昇させる。これにより、トレイ１６に載置されているディスク状体７の外周側に電子線を照射するときにはトレイ１６の回転速度が遅くなり、内周側に電子線を照射するときにはトレイ１６の回転速度が速くなる。したがって、ディスク状体７における電子線の照射部位における線速度がほぼ一定に制御される。この結果、ディスク状体７における電子線の照射部位における単位時間当たりの電子線吸収線量がディスク状体７の半径方向の位置に拘わらず一定に制御されるため、ディスク状体７全域（具体的には、環状照射必要領域全域）に電子線が均一に照射される。一方、制御装置６は、モータ３３の回転数を一定に制御するときには、電子線の照射部位が環状照射必要領域における外周側から内周側に向かうまでの間（具体的には照射部位が位置Ｅに達した時点から位置Ｄに達するまでの間）、電子線の照射部位が外周側から内周側に向かうに従ってモータ３７の回転数を徐々に上昇させる。これにより、トレイ１６に載置されているディスク状体７の外周側に電子線を照射するときにはトレイ１６の直線移動速度が遅くなり、内周側に電子線を照射するときにはトレイ１６の直線移動速度が速くなる。したがって、このときにも、ディスク状体７における電子線の照射部位における単位時間当たりの電子線吸収線量がディスク状体７の半径方向の位置に拘わらず一定に制御されるため、環状照射必要領域全域に電子線が均一に照射される。
【００４６】
制御装置６は、回転台１１ｂが図４に示す位置まで移動して、ディスク状体７の環状照射必要領域（幅：Ｗ２）における内周縁側の位置Ｄまで電子線の照射を実行した後に、モータ３７を逆回転させることにより、スライド体３５ｂを遮蔽容器１０の側壁１０ｄ側に向けて移動させる。これにより、駆動シャフト２８および接触ローラ２９が待機位置に向けて移動する（ステップ１０７）。なお、この待機位置への駆動シャフト２８等の移動時において、放射線照射部１３による電子線の照射を停止させることもできるし、モータ３３による駆動シャフト２８の回転動作を停止させることもできる。また、駆動シャフト２８および接触ローラ２９を待機位置に移動させた場合、回転台１１ｂは、一対のコイルスプリング２７，２７から軸線Ａ方向に向かう付勢力を常時受けているため、回転台１１ｂのストッパ２１が回転台２３のストッパ２６に当接するまで、接触ローラ１８と接触ローラ２９とが接触した状態を維持しつつ、駆動シャフト２８と共に軸線Ａ方向に移動する。回転台１１ｂのストッパ２１が回転台２３のストッパ２６と当接した後は、回転台１１ｂの軸線Ａ方向への移動が規制されるため、接触ローラ２９は、接触ローラ１８と離間して、駆動シャフト２８と共に待機位置に向けて移動する。また、接触ローラ２９が接触ローラ１８と離間することにより、駆動シャフト２８の回転力が回転シャフト１７に伝達されなくなる結果、ディスク状体７の回転が停止する。制御装置６は、駆動シャフト２８および接触ローラ２９が図２に示す待機位置まで移動した時点で、モータ３７の回転を停止させて移動機構３４の作動を停止させる（ステップ１０８）。これにより、照射位置している回転台１１ｂのトレイ１６に載置されていたディスク状体７に対する電子線の照射処理が完了する。
【００４７】
この状態では、照射位置に位置している回転台１１ｂのトレイ１６上には、電子線照射が完了したディスク状体７が載置され、入替位置に位置している回転台１１ａのトレイ１６上には、電子線未照射のディスク状体７が載置され、遮蔽容器１０の挿入孔１０ｂは、搬送トレイ部５１の蓋体５６によって閉塞されている。すなわち、上記したステップ１００を実行可能な状態となる。以後、制御装置６は、上記ステップ１００からステップ１０８を繰り返し実行することにより、ディスク受渡部６１に連続して供給される新たなディスク状体７に対する電子線の照射処理を連続して実行する。
【００４８】
このように、この放射線照射装置１によれば、ディスク状体７に対して電子線を照射しているときに、回転台駆動機構１４によって駆動シャフト２８を直線移動させつつ回転させることにより、電子線が照射されているディスク状体７を回転させつつ、直線移動させることができるため、放射線照射部１３に設けられた電子線照射管（放射線照射管）の数を例えば１本にまで削減することができると共に、ディスク状体７の環状照射必要領域全域に電子線を照射することができる。
【００４９】
また、この放射線照射装置１では、装置１駆動シャフト２８における遮蔽容器１０内に位置する一端側が、接触ローラ２９、接触ローラ１８および回転シャフト１７を介して照射位置に位置する回転台１１のトレイ１６に連結され、遮蔽容器１０の外部に位置する他端側が、遮蔽容器１０の外部に位置するモータ３３に連結されて、駆動シャフト２８が、モータ３３によって回転させられつつ、遮蔽容器１０の外部に位置する移動機構３４（モータ３３と共に回転移動機構を構成する）によって直線移動される。また、回転台２３も遮蔽容器１０の外部に配設されたモータ２４によって回転される。したがって、この放射線照射装置１によれば、放射線照射部１３によって電子線が照射される遮蔽容器１０内への、モータ等の電気部品や電気部品に対する配線などの電子線の照射によって劣化する部材の配設を回避することができる。
【００５０】
また、ディスク状体７の回転平面内における回転方向と直交する方向に沿った電子線の照射幅Ｗ１が、ディスク状体７における電子線の環状照射必要領域の幅Ｗ２よりも小さく、かつ回転台駆動機構１４による回転台１１の直線移動距離が、環状照射必要領域の幅Ｗ２以上に規定したことにより、放射線照射部１３に設けられた電子線照射管の数を削減した（例えば１本に削減した）としても、ディスク状体７の環状照射必要領域全域に電子線を確実に照射することができる。
【００５１】
また、照射位置に位置する回転台１１を駆動シャフト２８によって直線移動させられる方向とは逆の方向に常時付勢するコイルスプリング２７を備え、モータ３３が、駆動シャフト２８を直線的に移動させて接触ローラ２９と接触ローラ１８とを接触させると共に、接触ローラ２９で接触ローラ１８を押動させて、コイルスプリング２７の付勢力に抗して回転台１１を直線移動させ、かつ駆動シャフト２８を回転させて、接触ローラ２９で接触ローラ１８を回転させてトレイ１６を回転させることにより、簡易な構造でありながら回転台１１を照射位置において確実に直線往復動させることができる。また、コイルスプリング２７の付勢力による回転台１１の移動を所定の位置で規制するストッパ２１，２６を設け、コイルスプリング２７の付勢力によって移動される回転台１１の移動方向に対する駆動シャフト２８の移動量を回転台１１よりも大きく規定することにより、簡易な構造でありながら、接触ローラ１８および接触ローラ２９を接触状態および非接触状態の両状態に確実に移行させることができ、回転台２３による各回転台１１の公転と共に、駆動シャフト２８による回転台１１の直線移動を確実に実行することができる。
【００５２】
また、駆動シャフト２８を回転させるモータ３３と、駆動シャフト２８を直線移動させる移動機構３４とを別体として備えたことにより、回転台駆動機構１４が、トレイ１６の回転速度と、回転台１１の直線移動速度（つまり、トレイ１６の直線移動速度）とを独立して制御することができる。したがって、トレイ１６の直線移動速度を一定にしたときには、電子線の照射部位がディスク状体７の外周側から内周側に向かうに従ってモータ３３の回転数、つまりトレイ１６の回転数を徐々に上昇させ、一方、トレイ１６の回転数を一定にしたときには、電子線の照射部位がディスク状体７の外周側から内周側に向かうに従ってモータ３７の回転数を徐々に上昇させてトレイ１６の直線移動速度を徐々に上昇させることにより、ディスク状体７における電子線の照射部位に対する単位時間当たりの電子線吸収線量をディスク状体７の半径方向の位置に拘わらず一定に制御することができる結果、ディスク状体７の環状照射必要領域全域に電子線を均一に照射することができる。
【００５３】
なお、本発明は上記の構成に限定されない。例えば、上記したような回転台２３に回転台１１を２つ配設して、入替位置に移動した回転台１１に対して、電子線照射済みのディスク状体７を取り出すと共に、新たなディスク状体７を載置する構成に代えて、例えば回転台２３に回転台１１を３つ配設し、電子線照射済みのディスク状体７の回転台１１からの取り出しと、新たなディスク状体７の回転台１１への載置とを別の位置で実行する構成を採用することもできる。また、駆動シャフト２８を遮蔽容器１０から引き出す過程において電子線を照射する構成に代えて、駆動シャフト２８を遮蔽容器１０内に戻す過程において電子線を照射する構成を採用することもできる。さらに、コイルスプリング２７によって常時接近する方向に付勢されている各回転台１１ａ，１１ｂの一方を駆動シャフト２８によって他方から離反させるように押動させる構成に代えて、各回転台１１ａ，１１ｂを回転台２３に互いに離反する方向に常時付勢されるようにコイルスプリング（付勢部材）を配設すると共に、回転台２３の軸線Ａ寄りに照射窓１０ｃおよび放射線照射部１３を配設して、駆動シャフト２８で回転台１１を軸線Ａ方向に押動させる構成を採用することもできる。
【００５４】
また、上記構成では、ディスク状体７における環状照射必要領域に対して、その外周側から内周側にかけて一回だけ電子線を照射しているが、引き続き、内周側から外周側にかけて電子線を再度照射することもできる。また、上記の移動機構３４では、スクリュー３６を用いてスライド体３５ｂを直線移動させているが、スクリュー３６に代えて、ベルトやチェーンなどの無限軌道を利用することもできる。また、上記の例では、放射線として放射線照射部１３から電子線を照射させているが、ディスク状体７の構成によっては紫外線を照射させる構成を採用することもできる。また、被照射体としてディスク状体７を例に挙げて説明したが、平面形状が多角形や楕円形などの被照射体についても、本発明に係る放射線照射装置を適用できるのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】放射線照射装置１の構成を示す平面図である。
【図２】図１における本体装置２のＳ−Ｓ線断面図であって、駆動シャフト２８および接触ローラ２９が待機状態のときの断面図である。
【図３】図１における本体装置２のＳ−Ｓ線断面図であって、接触ローラ２９と接触ローラ１８とが当接した時点での断面図である。
【図４】図１における本体装置２のＳ−Ｓ線断面図であって、電子線の照射部位が環状照射必要領域の内周側に達した時点での断面図である。
【図５】図１における本体装置２のＴ−Ｔ線断面図である。
【図６】公転機構１２の構成を説明するための回転台２３の底面図である。
【図７】スライドガイド機構３１からモータ３３にかけての平面図である。
【図８】放射線照射装置１によるディスク状体７への電子線の照射処理を示すフローチャートである。
【図９】ディスク状体７における環状照射必要領域と放射線照射部１３による電子線の照射部位との関係を説明するためのディスク状体７の要部拡大図である。
【図１０】光ディスク９１の層構造を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  放射線照射装置
７  ディスク状体（被照射体）
１０  遮蔽容器
１１ａ，１１ｂ  回転台（第２の回転台）
１３  放射線照射部
１４  回転台駆動機構
１６  トレイ
１７  回転シャフト
１９  基台
２３  回転台（第１の回転台）
２７  コイルスプリング
２８  駆動シャフト
２９  接触ローラ
３３  モータ
３４  移動機構
３５ａ  ガイドレール
３５ｂ  スライド体
３６  スクリュー
３７  モータ（第２のモータ）
Ａ  第１の軸線
【図１】
2006127713.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006127713.tif 000008
【図７】
2006127713.tif 000009
【図８】
2006127713.tif 000010
【図９】
2006127713.tif 000011
【図１０】
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