(57)【要約】【課題】画像処理に必要なメモリ容量を必要最小限にするとともに、画像処理に要する時間を短縮することのできる画像処理方法及び装置を提供する。【解決手段】画像処理部７０を構成するＣＰＵ７４は、ＲＩＰ８から送信されたランレングスデータを一旦メモリメモリ８４に格納した後、ランレングスデータの状態で平行移動処理、拡大縮小処理、変形処理を行って露光部７２のバッファ９０に送信する。露光部７２を構成する解凍変換処理部９２は、バッファ９０に格納された画像処理後のランレングスデータをビットマップデータに展開し、バッファ９４を介してＤＭＤコントローラ４２に送信し、ＤＭＤ３６を駆動して基板に二次元画像を露光記録する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの方向に平行移動処理する際、前記ラインデータの一端部側の前記ラン長データに対して移動量に応じた画素数を加算する一方、前記ラインデータの他端部側の前記ラン長データから前記移動量に応じた画素数を減算することを特徴とする画像処理方法。
【請求項２】
二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの配列方向に平行移動処理する際、前記ビットマップデータの一端側の前記ラインデータに係る前記ライン数データに対して移動量に応じたライン数を加算する一方、他端側の前記ラインデータに係る前記ライン数データから前記移動量に応じたライン数を減算することを特徴とする画像処理方法。
【請求項３】
二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの方向に拡大縮小処理する際、前記ラン長データに対して拡大率又は縮小率に応じた画素数を加算又は減算することを特徴とする画像処理方法。
【請求項４】
二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの配列方向に拡大縮小処理する際、前記ライン数データに対して拡大率又は縮小率に応じたライン数を加算又は減算することを特徴とする画像処理方法。
【請求項５】
二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの方向に変形処理する際、前記ラインデータを配列方向の複数のブロックに分割し、前記各ブロックにおいて、前記ラインデータの一端部側の前記ラン長データに対して当該ブロックの変形量に応じた画素数を加算する一方、前記ラインデータの他端部側の前記ラン長データから当該ブロックの前記変形量に応じた画素数を減算することを特徴とする画像処理方法。
【請求項６】
二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの配列方向に変形処理する際、前記各ラインデータの前記ラン長データを前記ラインデータの方向の複数のブロックに分割し、前記各ブロックを変形量に応じて変位させた後、前記各ブロックの変位後の位置におけるラン長データを新たなラン長データに設定することを特徴とする画像処理方法。
【請求項７】
二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータを画像処理する画像処理装置であって、
前記ランレングスデータを記憶する記憶手段と、
前記ライン数データ及び／又は前記ラン長データを画像処理条件に従って処理する画像処理手段と、
を備えることを特徴とする画像処理装置。
【請求項８】
請求項７記載の装置において、
前記画像処理手段は、前記二次元画像の前記ラインデータの方向に対する移動量を画像処理条件とし、前記ラインデータの一端部側の前記ラン長データに対して前記移動量に応じた画素数を加算する一方、前記ラインデータの他端部側の前記ラン長データから前記移動量に応じた画素数を減算する処理を行うことを特徴とする画像処理装置。
【請求項９】
請求項７記載の装置において、
前記画像処理手段は、前記二次元画像の前記ラインデータの配列方向に対する移動量を画像処理条件とし、前記ビットマップデータの一端側の前記ラインデータに係る前記ライン数データに対して前記移動量に応じたライン数を加算する一方、他端側の前記ラインデータに係る前記ライン数データから前記移動量に応じたライン数を減算する処理を行うことを特徴とする画像処理装置。
【請求項１０】
請求項７記載の装置において、
前記画像処理手段は、前記二次元画像の前記ラインデータの方向に対する拡大率又は縮小率を画像処理条件とし、前記ラン長データに対して前記拡大率又は前記縮小率に応じた画素数を加算又は減算する処理を行うことを特徴とする画像処理装置。
【請求項１１】
請求項７記載の装置において、
前記画像処理手段は、前記二次元画像の前記ラインデータの配列方向に対する拡大率又は縮小率を画像処理条件とし、前記ライン数データに対して拡大率又は縮小率に応じたライン数を加算又は減算する処理を行うことを特徴とする画像処理装置。
【請求項１２】
請求項７記載の装置において、
前記画像処理手段は、前記二次元画像の前記ラインデータの方向に対する変形量を画像処理条件とし、前記ラインデータを配列方向の複数のブロックに分割し、前記各ブロックにおいて、前記ラインデータの一端部側の前記ラン長データに対して当該ブロックの前記変形量に応じた画素数を加算する一方、前記ラインデータの他端部側の前記ラン長データから当該ブロックの前記変形量に応じた画素数を減算する処理を行うことを特徴とする画像処理装置。
【請求項１３】
請求項７記載の装置において、
前記画像処理手段は、前記二次元画像の前記ラインデータの配列方向に対する変形量を画像処理条件とし、前記各ラインデータの前記ラン長データを前記ラインデータの方向の複数のブロックに分割し、前記各ブロックを前記変形量に応じて変位させた後、前記各ブロックの変位後の位置におけるラン長データを新たなラン長データに設定する処理を行うことを特徴とする画像処理装置。
【請求項１４】
請求項７〜１３のいずれか１項記載の装置において、
前記二次元画像を記録する画像記録媒体の所定位置に形成されたアラインメントマークを読み取り、前記画像処理条件を取得する画像処理条件取得手段を備えることを特徴とする画像処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラインデータ単位でランレングス符号化処理された二次元画像データの画像処理方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、画像データに基づき、所望の二次元画像を描画面上に形成する描画装置が種々知られている。
【０００３】
このような描画装置として、例えば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子を利用し、画像データに応じて光ビームを変調して露光を行う露光装置が提案されている。ＤＭＤは、シリコン等の半導体基板上のメモリセル（ＳＲＡＭアレイ）に微小なマイクロミラーを二次元状に多数配置して構成したものであり、メモリセルに蓄積される電荷による静電気力を制御することによってマイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させ、この反射面の角度変化により所望の位置に描画点を形成して画像を形成することができる。
【０００４】
上記のＤＭＤを用いた装置として、露光ステージに位置決めされた記録媒体に対してＤＭＤを所定方向に相対移動させるとともに、ＤＭＤを構成するメモリセルに複数の描画点データからなるフレームデータを供給し、ＤＭＤのマイクロミラー群によって描画点群を時系列的に順次形成することにより、所望の二次元画像を記録媒体に形成する露光装置が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
ところで、露光ステージに対する記録媒体の装着位置にずれがあったり、記録媒体自体が温度や湿度の影響により伸縮していると、二次元画像を高精度に形成することができない。このような不具合を解消するため、例えば、記録媒体の所定位置にアラインメントマークを形成しておき、このアラインメントマークを読み取って位置ずれ情報を取得し、位置ずれ情報に基づいてＤＭＤに供給する描画点データを補正する処理が行われる。
【０００６】
補正処理の方法としては、二次元画像が傾いている場合において、画像の回転を水平・垂直方向の平行移動に分解し、ビットマップデータに対する回転補正を各方向への画像データのビットシフト及び論理演算で行うようにしたものがある（特許文献２参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−５０４６９号公報
【特許文献２】特開平６−６８２４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２に開示された従来技術では、ビットマップデータからなる二次元画像を処理して回転補正を行っているため、二次元画像のサイズが大きいと、処理対象となるデータ量が膨大となって、処理に必要なメモリ容量が増大するだけでなく、処理に長時間を要してしまう。
【０００９】
本発明は、前記の課題を解決するためになされたもので、画像処理に必要なメモリ容量を必要最小限にするとともに、画像処理に要する時間を短縮することのできる画像処理方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の課題を解決するため、本発明は、二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの方向に平行移動処理する際、前記ラインデータの一端部側の前記ラン長データに対して移動量に応じた画素数を加算する一方、前記ラインデータの他端部側の前記ラン長データから前記移動量に応じた画素数を減算することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの配列方向に平行移動処理する際、前記ビットマップデータの一端側の前記ラインデータに係る前記ライン数データに対して移動量に応じたライン数を加算する一方、他端側の前記ラインデータに係る前記ライン数データから前記移動量に応じたライン数を減算することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの方向に拡大縮小処理する際、前記ラン長データに対して拡大率又は縮小率に応じた画素数を加算又は減算することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの配列方向に拡大縮小処理する際、前記ライン数データに対して拡大率又は縮小率に応じたライン数を加算又は減算することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの方向に変形処理する際、前記ラインデータを配列方向の複数のブロックに分割し、前記各ブロックにおいて、前記ラインデータの一端部側の前記ラン長データに対して当該ブロックの変形量に応じた画素数を加算する一方、前記ラインデータの他端部側の前記ラン長データから当該ブロックの前記変形量に応じた画素数を減算することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータの画像処理方法であって、
前記二次元画像を前記ラインデータの配列方向に変形処理する際、前記各ラインデータの前記ラン長データを前記ラインデータの方向の複数のブロックに分割し、前記各ブロックを変形量に応じて変位させた後、前記各ブロックの変位後の位置におけるラン長データを新たなラン長データに設定することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、二次元画像を構成する複数のラインデータからなるビットマップデータを、繰り返される同一の前記ラインデータのライン数を表すライン数データと、前記ラインデータを構成する連続する同一の画素データの画素数を表すラン長データとを用いて符号化処理したランレングスデータを画像処理する画像処理装置であって、
前記ランレングスデータを記憶する記憶手段と、
前記ライン数データ及び／又は前記ラン長データを画像処理条件に従って処理する画像処理手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明は、前記二次元画像を記録する画像記録媒体の所定位置に形成されたアラインメントマークを読み取り、前記画像処理条件を取得する画像処理条件取得手段を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の画像処理方法及び装置では、圧縮された二次元画像データに対して所望の画像処理を行った後、ビットマップデータに変換するため、処理対象となるデータ量が少なく、画像処理に必要なメモリ容量を必要最小限にすることができるとともに、所望の画像処理を迅速に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、本発明の画像処理方法及び装置が適用される実施形態である露光記録システム４を示す。
【００２０】
露光記録システム４は、描画データを作成し、ベクトルデータとして出力するＣＡＤ装置６と、ＣＡＤ装置６から送信されたベクトルデータをラスタイメージデータであるビットマップデータに変換した後、このビットマップデータをランレングス符号化処理し、圧縮されたランレングスデータとして出力するラスタイメージプロセッサ（ＲＩＰ）８と、ＲＩＰ８から送信されたランレングスデータに対して所望の画像処理を施した後、ランレングスデータをビットマップデータに展開し、このビットマップデータに基づき、記録媒体に二次元画像を露光記録する露光記録装置１０とから基本的に構成される。
【００２１】
ここで、露光記録装置１０は、ビットマップデータに基づいて積層プリント配線基板等の露光処理を行う装置であり、図２に示すように構成される。
【００２２】
すなわち、露光記録装置１０は、複数の脚部１２によって支持された変形の極めて小さい定盤１４を備え、この定盤１４上には、２本のガイドレール１６を介して露光ステージ１８が矢印Ｙ方向に往復移動可能に設置される。露光ステージ１８には、感光材料が塗布された矩形状の基板Ｆが吸着保持される。
【００２３】
定盤１４の中央部には、ガイドレール１６を跨ぐようにして門型のコラム２０が設置される。このコラム２０の一方の側部には、基板Ｆの所定位置に形成されたアラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを含む画像を撮像するＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂ（画像処理条件取得手段）が固定され、コラム２０の他方の側部には、基板Ｆに対して画像を露光記録する複数の露光ヘッド２４ａ〜２４ｊが位置決め保持されたスキャナ２６が固定される。ＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂには、ロッドレンズ６２ａ、６２ｂを介してストロボ６４ａ、６４ｂが装着される。ストロボ６４ａ、６４ｂは、基板Ｆを感光することのない赤外光からなる照明光をＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂの撮像域に照射する。
【００２４】
アラインメントマーク６０ａ〜６０ｄは、露光ステージ１８に対する基板Ｆの装着位置のずれ、基板Ｆの変形等を検出するためのもので、画像が描画される基板Ｆと明確に区別することのできるスルーホール、あるいは、基板Ｆに露光記録されたマークからなり、露光ステージ１８によって搬送される基板Ｆの隅角部近傍に形成されている。なお、アラインメントマーク６０ａ〜６０ｄは、露光記録される画像に影響を与えることのない部位であれば、基板Ｆの隅角部近傍以外の部位に形成されていてもよい。また、基板Ｆの変形等に対する補正精度に応じた所望の数からなるマークを形成することもできる。
【００２５】
露光ヘッド２４ａ〜２４ｊは、基板Ｆの移動方向（矢印Ｙ方向）と直交する方向に２列で千鳥状に配列される。図３は、各露光ヘッド２４ａ〜２４ｊの構成を示す。露光ヘッド２４ａ〜２４ｊには、例えば、光源ユニット２８を構成する複数の半導体レーザから出力されたレーザビームＬが合波され光ファイバ３０を介して導入される。レーザビームＬが導入された光ファイバ３０の出射端には、ロッドレンズ３２、反射ミラー３４及びデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）３６が順に配列される。
【００２６】
ここで、ＤＭＤ３６は、図４に示すように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）３８の上に格子状に配列された多数のマイクロミラー４０を揺動可能な状態で配置したものであり、各マイクロミラー４０の表面には、アルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。ＳＲＡＭセル３８にＤＭＤコントローラ４２から描画データに従ったデジタル信号が書き込まれると、その信号に応じて各マイクロミラー４０が所定方向に傾斜し、その傾斜状態に従ってレーザビームＬのオンオフ状態が実現される。
【００２７】
オンオフ状態が制御されたＤＭＤ３６によって反射されたレーザビームＬの射出方向には、拡大光学系である第１結像光学レンズ４４、４６、ＤＭＤ３６の各マイクロミラー４０に対応して多数のレンズを配設したマイクロレンズアレー４８、ズーム光学系である第２結像光学レンズ５０、５２が順に配列される。なお、マイクロレンズアレー４８の前後には、迷光を除去するとともに、レーザビームＬを所定の径に調整するためのマイクロアパーチャアレー５４、５６が配設される。
【００２８】
各露光ヘッド２４ａ〜２４ｊに組み込まれるＤＭＤ３６は、図５及び図６に示すように、高い解像度を実現すべく、基板Ｆの移動方向（矢印Ｙ方向）に対して所定角度傾斜した状態に設定される。すなわち、ＤＭＤ３６を基板Ｆの移動方向に対して傾斜させることにより、ＤＭＤ３６を構成するマイクロミラー４０の矢印Ｙ方向と直交する方向（矢印Ｘ方向）に対する間隔を狭くし、これによって、矢印Ｘ方向に記録される画像の解像度を高くすることができる。矢印Ｙ方向の解像度は、基板Ｆの移動速度によって調整することができる。なお、各露光ヘッド２４ａ〜２４ｊにより一度に露光される範囲である露光エリア５８ａ〜５８ｊは、露光ヘッド２４ａ〜２４ｊ間の継ぎ目が生じることのないよう、矢印Ｘ方向に重畳するように設定される。
【００２９】
露光記録装置１０の制御回路は、ＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂを用いて取得したアラインメントマーク６０ａ〜６０ｄの位置データに基づき、ランレングスデータに対して所望の画像処理を行う画像処理部７０と、画像処理されたランレングスデータを解凍してビットマップデータに展開し、ＤＭＤ３６を駆動して基板Ｆに二次元画像を露光記録する露光部７２とを備える。
【００３０】
画像処理部７０は、画像処理を行うＣＰＵ７４（画像処理手段）を有する。ＣＰＵ７４には、ＲＩＰ８から送信された描画データであるランレングスデータを受信するインタフェース（Ｉ／Ｆ）７６と、ＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂによって撮像したアラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを含む画像データを受信するインタフェース（Ｉ／Ｆ）７８と、受信したランレングスデータをハードディスクドライブ（ＨＤＤ）８０を介して記憶するハードディスク（ＨＤ）８２と、ランレングスデータ及びアラインメント情報をＨＤ８２から読み出して記憶するとともに、ＣＰＵ７４によって画像処理されたランレングスデータを記憶するメモリ８４（記憶手段）と、画像処理されたランレングスデータを露光部７２に送信するインタフェース（Ｉ／Ｆ）８６とがバス８８を介して接続される。
【００３１】
露光部７２は、画像処理部７０のＩ／Ｆ８６から送信されたランレングスデータを一旦記憶するバッファ９０と、バッファ９０に記憶されたランレングスデータを解凍してビットマップデータに展開した後、ＤＭＤ３６を構成する複数のマイクロミラー４０の配列に従ったフレームデータに変換する解凍変換処理部９２と、フレームデータを一時記憶するバッファ９４と、バッファ９４に記憶されたフレームデータに基づき、ＤＭＤ３６を構成するマイクロミラー４０を制御し、基板Ｆに二次元画像を露光記録するＤＭＤコントローラ４２とを備える。
【００３２】
本実施形態の露光記録システム４は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その動作及び作用効果について説明する。
【００３３】
先ず、ＣＡＤ装置６を用いて、基板Ｆに露光記録する二次元画像の描画データを作成する。この描画データは、ベクトルデータとしてＲＩＰ８に送信される。ＲＩＰ８は、ベクトルデータをラスタイメージデータとしてのビットマップデータに変換する。なお、図７に示すように、ＲＩＰ８で生成されるビットマップデータ１００は、矢印Ｘ方向に多数の画素を形成する二値画像データを配列したラインデータ９６を矢印Ｙ方向に多数配列して構成される。
【００３４】
ＲＩＰ８は、ラインデータ９６を単位として、ビットマップデータ１００を矢印Ｙ方向の先頭ラインから最終ラインまで順次ランレングス符号化処理し、圧縮されたランレングスデータに変換する。この場合、ランレングスデータは、以下のように構成される。
【００３５】
すなわち、ビットマップデータ１００の０の二値画像データを白、１の二値画像データを黒と表現し、図８に示すように、ランレングスデータ９８を、ラインデータ９６の先頭ラインを二値画像データが全て白の符号化データ９９とし、次いで、２ライン目の符号化データ９９、…、ｉライン目の符号化データ９９、…、最終ラインの符号化データ９９として継続して構成する。なお、最終ラインの符号化データ９９も全て白とする。
【００３６】
また、各ラインの符号化データ９９は、矢印Ｙ方向に繰り返される同一のラインデータ９６のライン数を表すライン数データを先頭に設定し、次いで、各ラインの先頭から矢印Ｘ方向に、白の二値画像データが連続する画素数であるラン長を示す白ランデータ、黒の二値画像データが連続する画素数であるラン長を示す黒ランデータを交互に配列し、最後にラインデータ９６の終端を表すライン終端データを設定する。
【００３７】
ライン数データは、２バイトに固定し、リトルエンディアンで記録する。先頭ラインのラインデータ９６が全て白でないときには、ライン数データを０とした符号化データ９９を作成し、それに続けて先頭ラインの符号化データ９９を配列する。最終ラインのラインデータ９６が全て白でないときも同様に、最終ラインの符号化データ９９に続けてライン数を０とした符号化データ９９を作成して配列する。
【００３８】
ラン長データ（白ランデータ、黒ランデータ）は、バイト単位で可変長とし、必ず白ランデータから開始して白ランデータで終了するものとする。ラインデータ９６が黒から開始される場合又は黒で終了する場合には、開始位置又は終了位置の白ランデータを０として設定する。ラン長データが白ランデータであるか黒ランデータであるかは、各符号化データ９９の先頭から数えたラン長データが奇数番目であるか偶数番目であるかによって判定する。
【００３９】
ライン終端データは、４バイトに固定した終端を識別可能な特定データとする。
【００４０】
さらに、図９に例示するように、各ラン長データ１０１は、最下位ビット（ＬＳＢ）から最上位ビット（ＭＳＢ）に掛けて７ビットずつに分割し、分割部分に１ビットの継続フラグｆを挿入することで１バイトを基本構成とする符号化されたラン長データ１０３とする。ラン長データ１０３に割り当てられるバイト数は、ラン長データ１０１の大きさに応じ、後述する拡大縮小処理を行う際のオーバーフローを防止できる余裕を持たせて設定する。
【００４１】
具体的には、割当バイト数をＮとした場合、ラン長データ１０３のｋ（＝１〜Ｎ）番目のバイトの０〜６ビットにラン長データ１０１のｂ１ビット〜ｂ２ビットを設定する。なお、ＬＳＢを０ビットとして、
ｂ１＝７×（Ｎ−ｋ）
ｂ２＝ｂ１＋６
である。ＬＳＢから８ビット目に挿入される継続フラグｆを０とし、それ以外の部分に挿入される継続フラグｆを１とすれば、０に設定された継続フラグｆを検索することで白ランデータと黒ランデータとの境界を判別することができる。
【００４２】
ＲＩＰ８において、上記の規則に従ってビットマップデータ１００からランレングス符号化処理して得られたランレングスデータ９８は、Ｉ／Ｆ７６を介して露光記録装置１０に送信され、ＨＤＤ８０によりＨＤ８２に記憶される。
【００４３】
一方、露光記録装置１０では、露光ステージ１８に基板Ｆを吸着保持させた後、露光ステージ１８をスキャナ２６側に移動させ、基板Ｆに形成されたアラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを含む画像をＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂにより撮像する。撮像されたアラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを含む画像データは、Ｉ／Ｆ７８を介してＣＰＵ７４に送信される。ＣＰＵ７４は、アラインメントマーク６０ａ〜６０ｄの画像データから、露光ステージ１８に対する各アラインメントマーク６０ａ〜６０ｄの位置データを算出し、その位置データに基づき、露光ステージ１８に対する基板Ｆの装着位置ずれ、基板Ｆの変形等を調整するためのアラインメントデータを算出してメモリ８４に記憶する。
【００４４】
次いで、ＣＰＵ７４は、ＨＤ８２に記憶されている圧縮された描画データであるランレングスデータを読み出してメモリ８４に記憶させた後、アラインメントデータを用いてランレングスデータに対するアラインメント処理を行う。
【００４５】
この場合、アラインメント処理としては、図１０に示すように、アラインメントマーク６０ａ〜６０ｄの位置データに基づいて検出された基板Ｆの位置に応じて、露光ステージ１８を基準に設定されたランレングスデータを平行移動させて基板Ｆに対応させる処理、図１１に示すように、基板Ｆのサイズに応じてランレングスデータを拡大又は縮小する処理、図１２又は図１３に示すように、基板Ｆの形状に応じてランレングスデータを変形する処理がある。以下、これらの処理について詳細に説明する。
【００４６】
（Ａ）平行移動処理
（ａ−１）矢印Ｘ方向への平行移動処理
図１４は、ビットマップデータ１００（図７参照）を構成するラインデータ９６を矢印Ｘ方向に平行移動するときのイメージを表す。この場合、ラインデータ９６を矢印Ｘ方向に画素数ｗｘだけ移動させるものとすると、移動後のラインデータ９６′は、移動によって生じた画素数ｗｘの空白部分に０（白）のデータを挿入する一方、ラインデータ９６からはみ出した部分のデータを削除して設定される。矢印Ｘ方向と反対方向に平行移動する場合も同様である。これらの処理を全てのラインデータ９６に対して行うことにより、ビットマップデータ１００が矢印Ｘ方向に平行移動される。
【００４７】
これに対して、ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｘ方向に平行移動させる場合には、例えば、符号化データ９９の各ラン長データに対して図１５に示す処理を行い、修正された符号化データ９９′を作成する。
【００４８】
先ず、図９に示すラン長データ１０３から継続フラグｆのデータを除去してラン長データ１０１（図９参照）に復号するとともに、符号化データ９９のライン数データ側からラン長データ１０１を順次加算し、各白ランデータ及び各黒ランデータの位置における累算された画素数を示す累算ラン長テーブルを作成する。
【００４９】
すなわち、白ランデータ又は黒ランデータの各ラン長データをＬ（ｉ）（ｉ＝１〜Ｍ、ｉ：ライン数データ側から数えたラン番号、Ｍ：１ラインの符号化データ９９を構成するラン番号の最大値）として、累算ラン長テーブルＴＬ（ｉ）は、
ＴＬ（ｉ）＝ＴＬ（ｉ−１）＋Ｌ（ｉ）
（但し、ＴＬ（０）＝０）
として作成される。
【００５０】
次いで、符号化データ９９のライン数データ側の先頭の白ランデータのラン長データＬ（１）にラインデータ９６の移動量である画素数ｗｘを加算し、
Ｌ（１）＝Ｌ（１）＋ｗｘ
と修正する。
【００５１】
また、累算ラン長テーブルＴＬ（ｉ）を用いて、ラインデータ９６の先頭から（ｘｌｅｎ−ｗｘ）番目の画素を含むラン番号ｋを求める（ｘｌｅｎ：ラインデータ９６の画素数）。この場合、ラン番号ｋは、
ＴＬ（ｋ−１）≦（ｘｌｅｎ−ｗｘ）≦ＴＬ（ｋ）
（但し、Ｌ（ｋ）＞０）
の関係を満たす値として求めることができる。そして、求められたラン番号ｋのラン長データＬ（ｋ）を、
Ｌ（ｋ）＝（ｘｌｅｎ−ｗｘ）−ＴＬ（ｋ−１）
として修正する。なお、図１５は、ｋ＝Ｍの場合を例示したものであり、ｋ＜Ｍの場合には、ラン番号ｋのラン長データＬ（ｋ）を上式に従って修正するとともに、ラン番号（ｋ＋１）〜Ｍのラン長データＬ（ｋ＋１）〜Ｌ（Ｍ）を０に修正する。
【００５２】
以上の処理を全ての符号化データ９９に対して行うことにより、ビットマップデータ１００を矢印Ｘ方向に平行移動させた場合と同等の効果を得ることができる。
【００５３】
ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｘ方向と反対方向に画素数ｗｘだけ平行移動させる場合には、累算ラン長テーブルＴＬ（ｉ）を用いて、ラインデータ９６の先頭から（ｗｘ＋１）番目の画素を含むラン番号ｋを求める。この場合、ラン番号ｋは、
ＴＬ（ｋ−１）≦（ｗｘ＋１）≦ＴＬ（ｋ）
（但し、Ｌ（ｋ）＞０）
の関係を満たす値として求めることができる。そして、求められたラン番号ｋのラン長データＬ（ｋ）を、
Ｌ（ｋ）＝ＴＬ（ｋ）−（ｗｘ−ＴＬ（ｋ−１））
として修正する。なお、ｋ＞１の場合には、ラン番号ｋのラン長データＬ（ｋ）を上式に従って修正するとともに、ラン番号（ｋ−１）〜１のラン長データＬ（ｋ−１）〜Ｌ（１）を０に修正する。
【００５４】
また、符号化データ９９のライン終端データ側の最終の白ランデータのラン長データＬ（Ｍ）にラインデータ９６の移動量である画素数ｗｘを加算し、
Ｌ（Ｍ）＝Ｌ（Ｍ）＋ｗｘ
と修正する。
【００５５】
以上の処理を全ての符号化データ９９に対して行うことにより、ビットマップデータ１００を矢印Ｘ方向と反対方向に平行移動させた場合と同等の効果を得ることができる。
【００５６】
（ａ−２）矢印Ｙ方向への平行移動処理
図１６は、ビットマップデータ１００を矢印Ｙ方向に平行移動するときのイメージを表す。この場合、ビットマップデータ１００を構成するラインデータ９６を矢印Ｙ方向にライン数ｗｙだけ移動させるものとすると、移動後のビットマップデータ１００′は、移動によって生じたライン数ｗｙの空白部分に０（白）のデータを挿入する一方、ビットマップデータ１００からはみ出した部分のデータを削除する処理が行われる。矢印Ｙ方向と反対方向に平行移動する場合も同様である。
【００５７】
これに対して、ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｙ方向に平行移動させる場合には、例えば、符号化データ９９に対して図１７に示す処理を行い、修正された符号化データ９９′からなるランレングスデータ９８′を作成する。
【００５８】
先ず、ランレングスデータ９８の先頭ラインのライン数データに対して、ラインデータ９６の矢印Ｙ方向の移動量であるライン数ｗｙを加算する。
【００５９】
次に、各符号化データ９９を構成するライン数データを最終ラインから順次加算し、各ラインにおける累算されたライン数を示す累算ライン数テーブルを作成し、この累算ライン数テーブルを用いて、最終ライン側からの累算ライン数がライン数ｗｙとなるまで、各符号化データ９９のライン数データを減算して０に設定し、移動後のランレングスデータ９８′を作成する。
【００６０】
図１７は、最終ラインのライン数データからライン数ｗｙ１を減算して０とするとともに、最終ラインに続くラインのライン数データから残りのライン数ｗｙ２（ｗｙ１＋ｗｙ２＝ｗｙ）を減算してランレングスデータ９８′とした場合を例示したものである。
【００６１】
ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｙ方向と反対方向にライン数ｗｙだけ平行移動させる場合には、ランレングスデータ９８の最終ラインのライン数データに対してライン数ｗｙを加算する一方、先頭ライン側から累算したライン数がライン数ｗｙとなるまで符号化データ９９のライン数データを０に設定する処理を行うことで、移動後のランレングスデータ９８′を作成する。
【００６２】
（Ｂ）拡大縮小処理
（ｂ−１）矢印Ｘ方向への拡大縮小処理
図１８は、ビットマップデータ１００（図７参照）を構成するラインデータ９６を矢印Ｘ方向に拡大するときのイメージを表す。この場合、矢印Ｘ方向の拡大率からラインデータ９６に挿入する画素数（図１８では４画素）を算出し、その画素数からなるデータをラインデータ９６の矢印Ｘ方向に略均等に挿入することにより、拡大後のラインデータ９６′が得られる。なお、挿入される各データは、ラインデータ９６の挿入位置に応じた０（白）又は１（黒）のデータとして設定される。ビットマップデータを矢印Ｘ方向に圧縮する場合には、算出した画素数のデータをラインデータ９６から略均等に間引く。これらの処理を全てのラインデータ９６に対して行うことにより、ビットマップデータ１００が矢印Ｘ方向に拡大又は縮小される。
【００６３】
これに対して、ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｘ方向に拡大する場合には、ラインデータ９６毎の符号化データ９９のラン長データに対して図１９に示す加算処理を行い、修正された符号化データ９９′を作成する。
【００６４】
すなわち、拡大前のラインデータ９６の矢印Ｘ方向の画素数をｘｌｅｎ０、拡大後の画素数をｘｌｅｎ１とすると、挿入する画素数ｎは、
ｎ＝｜ｘｌｅｎ１−ｘｌｅｎ０｜
である。ラインデータ９６の先頭からの各画素の挿入位置ｐｘ（ｋ）は、挿入する画素番号をｋ（ｋ＝１〜ｎ）として、
ｐｘ（ｋ）＝ＩＮＴ（ｋ・ｘｌｅｎ０／（ｎ＋１））
（但し、ＩＮＴは整数化を表す関数）
として求めることができる。
【００６５】
一方、矢印Ｘ方向への平行移動処理の場合と同様に、図９に示すラン長データ１０３から継続フラグｆのデータを除去してラン長データ１０１に復号するとともに、符号化データ９９のライン数データ側からラン長データ１０１を順次加算して累算ラン長テーブルを作成する。
【００６６】
次に、画素の挿入位置ｐｘ（ｋ）のラン番号を累算ラン長テーブルを用いて求め、各ランに挿入される画素数を算出する。そして、各ラン長データに算出した画素数を加算してラン長データを修正する。
【００６７】
以上の処理を全ての符号化データ９９に対して行うことにより、ビットマップデータ１００を矢印Ｘ方向に拡大させた場合と同等の効果を得ることができる。
【００６８】
ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｘ方向に縮小する場合には、拡大処理の場合と同様にして算出した画素数ｎ及び挿入位置ｐｘ（ｋ）に基づき、画素を間引くためのラン番号を求め、各ラン長データを修正すればよい。
【００６９】
（ｂ−２）矢印Ｙ方向への拡大縮小処理
図２０は、ビットマップデータ１００（図７参照）を矢印Ｙ方向に拡大するときのイメージを表す。この場合、矢印Ｙ方向の拡大率からビットマップデータ１００に挿入するラインデータ９６のライン数（図２０では２ライン）を算出し、そのライン数のラインデータ９６をビットマップデータ１００の矢印Ｙ方向に略均等に挿入することにより、拡大後のビットマップデータ１００′が得られる。なお、図２０に示すように、挿入されるラインデータＹ１、Ｙ２は、挿入位置に隣接するラインデータＹ１、Ｙ２をコピーしたデータとして設定される。ビットマップデータ１００を矢印Ｙ方向に圧縮する場合には、算出したライン数のラインデータ９６を略均等に間引く。
【００７０】
これに対して、ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｙ方向に拡大する場合には、例えば、符号化データ９９のライン数データに対して図２１に示す加算処理を行い、修正された符号化データ９９′からなるランレングスデータ９８′を作成する。
【００７１】
すなわち、拡大前のビットマップデータ１００におけるラインデータ９６の矢印Ｙ方向のライン数をｙｌｅｎ０、拡大後のライン数をｙｌｅｎ１とすると、挿入するライン数ｎは、
ｎ＝｜ｙｌｅｎ１−ｙｌｅｎ０｜
である。先頭ラインからの各ラインの挿入位置ｐｙ（ｋ）は、挿入するライン番号をｋ（ｋ＝１〜ｎ）として、
ｐｙ（ｋ）＝ＩＮＴ（ｋ・ｙｌｅｎ０／（ｎ＋１））
（但し、ＩＮＴは整数化を表す関数）
として求めることができる。
【００７２】
一方、各符号化データ９９を構成するライン数データを先頭ラインから順次加算し、各ラインにおける累算されたライン数を示す累算ライン数テーブルを作成し、この累算ライン数テーブルを用いて、各ラインの挿入位置ｐｙ（ｋ）に該当する符号化データ９９、及び、その符号化データ９９に加算するライン数を算出する。そして、当該符号化データ９９のライン数データに算出したライン数を加算して符号化データ９９′を作成する。
【００７３】
ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｙ方向に縮小する場合には、拡大処理の場合と同様にして算出したライン数ｎ及び挿入位置ｐｙ（ｋ）に基づき、符号化データ９９のライン数データを減算すればよい。
【００７４】
（Ｃ）変形処理
（ｃ−１）矢印Ｘ方向への変形処理
図２２は、ビットマップデータ１００を矢印Ｘ方向に剪断状態に変形するときのイメージを表す。この場合、ビットマップデータ１００の矢印Ｘ方向に対する最大の変形量を画素数ｗｘとすると、ビットマップデータ１００を矢印Ｙ方向にライン数ｙｌｅｎ／（ｗｘ＋１）からなる（ｗｘ＋１）個のブロックデータ１０４に分割する。なお、ｙｌｅｎは、ビットマップデータ１００の矢印Ｙ方向のライン数である。そして、ブロックデータ１０４を構成する各ラインデータ９６を、
ｔｘ＝ＩＮＴ（ｙ／（ｙｌｅｎ／（ｗｘ＋１）））
（但し、ＩＮＴは整数化を表す関数、ｙ＝０〜（ｙｌｅｎ−１））
として設定される画素数ｔｘずつ矢印Ｘ方向に徐々に移動させる。そして、各ブロックデータ１０４の移動によって生じた各空白部分には、０（白）のデータを挿入する一方、ビットマップデータ１００からはみ出した部分のデータを削除し、ブロックデータ１０４′を作成する。矢印Ｘ方向と反対方向に変形する場合も同様である。
【００７５】
これに対して、ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｘ方向に剪断状態に変形させる場合には、図１５に示す「（ａ−１）矢印Ｘ方向への平行移動処理」の場合と同様に、選択された各符号化データ９９を構成するライン数データ側の先頭の白ランデータに画素数ｔｘを加算する一方、ライン終端データ側の白ランデータから画素数ｔｘを順次減算することで、符号化データ９９′を作成する。
【００７６】
以上の処理を全ての符号化データ９９に対して行うことにより、ビットマップデータ１００を矢印Ｘ方向に剪断状態に変形させた場合と同等の効果を得ることができる。
【００７７】
ランレングスデータ９８を矢印Ｘ方向と反対方向に変形する場合には、各符号化データ９９のライン終端データの直前の白ランデータに画素数ｔｘを加算する一方、ライン数データ側の白ランデータから画素数ｔｘを順次減算すればよい。
【００７８】
（ｃ−２）矢印Ｙ方向への変形処理
図２３は、ビットマップデータ１００を矢印Ｙ方向に剪断状態に変形するときのイメージを表す。この場合、ビットマップデータ１００の矢印Ｙ方向に対する最大の変形量を画素数ｗｙとすると、ビットマップデータ１００を矢印Ｘ方向に画素数ｘｌｅｎ／（ｗｙ＋１）からなる（ｗｙ＋１）個のブロックデータ１０６に分割する。なお、ｘｌｅｎは、ビットマップデータ１００の矢印Ｘ方向の画素数である。そして、各ブロックデータ１０６を、
ｔｙ＝ＩＮＴ（ｘ／（ｘｌｅｎ／（ｗｙ＋１）））
（但し、ＩＮＴは整数化を表す関数、ｘ＝０〜（ｘｌｅｎ−１））
として設定されるライン数ｔｙずつ矢印Ｙ方向に徐々に移動させる。そして、各ブロックデータ１０６の移動によって生じた各空白部分には、０（白）のデータを挿入する一方、ビットマップデータ１００からはみ出した部分のデータを削除し、ブロックデータ１０６′を作成する。矢印Ｙ方向と反対方向に変形する場合も同様である。
【００７９】
これに対して、ランレングスデータ９８からなる描画データを矢印Ｙ方向に剪断状態に変形させる場合には、先ず、各ブロックデータ１０６の矢印Ｘ方向の終端画素位置ｐｘ（ｋ）を算出する。終端画素位置ｐｘ（ｋ）は、
ｐｘ（ｋ）＝ＩＮＴ（（ｋ＋１）・ｘｌｅｎ／（ｗｙ＋１））−１
（但し、ｋ＝０〜ｗｙ）
として求められる。なお、ｋは、矢印Ｘ方向の先頭からのブロックデータ１０６の番号である。
【００８０】
次に、ランレングスデータ９８を構成する各符号化データ９９のラン長データを復号し、各白ランデータ及び各黒ランデータのラン長データからなるラン長データテーブルを作成するとともに、符号化データ９９のライン数データ側からラン長データを順次加算した累算ラン長テーブルをランレングスデータ９８のライン毎に作成する。
【００８１】
ラン長データテーブル及び累算ラン長テーブルを用いて、各ブロックデータ１０６の終端画素位置ｐｘ（ｋ）において符号化データ９９のラン長データを分割し、新たなラン長データテーブルを作成する。例えば、図２４に示すように、ラン長データａ１の白ランデータと、ラン長データａ２の黒ランデータと、ラン長データａ３の白ランデータとを有する符号化データ９９のラン長データテーブル１０８がある場合、ｋ番目のブロックデータ１０６の終端画素位置ｐｘ（ｋ）の画素が含まれるラン長データの位置を累算ラン長テーブルを用いて算出し、該当するラン長データａ２の黒ランデータを、終端画素位置ｐｘ（ｋ）に従ってラン長データａ４及びａ５の２つの黒ランデータに分割し、新たなラン長データテーブル１０８′を作成する。ここで、ａ４＋ａ５＝ａ２である。
【００８２】
全ての符号化データ９９に対して、各ブロックデータ１０６の終端画素位置ｐｘ（ｋ）においてラン長データを分割して新たなラン長データテーブル１０８′を作成した後、各符号化データ９９をブロックデータ１０６毎に矢印Ｙ方向にライン数ｔｙだけ移動させてラン長データテーブル１０８′同士を連結する。
【００８３】
図２５及び図２６は、矢印Ｙ方向に隣接するラインデータ９６を構成するラン長データテーブル１１０ａ、１１０ｂ、１１１ｂを各ブロックデータ１０６の終端画素位置ｐｘ（ｋ）で分割し、矢印Ｙ方向に移動させることにより作成された新たなラン長データテーブル１１２、１１４の説明である。
【００８４】
図２５の場合、ラン長データテーブル１１０ｂがラン長データｂ２、ｂ３の黒ランデータで分割されているため、ラン長データテーブル１１０ｂの一部を矢印Ｙ方向に移動させて連結されたラン長データテーブル１１２は、ラン長データａ１の白ランデータと、ラン長データ（ａ４＋ｂ３）の黒ランデータと、ラン長データｂ４の白ランデータとによって構成される。
【００８５】
一方、図２６の場合には、ラン長データテーブル１１１ｂがラン長データｂ３、ｂ４の白ランデータで分割されているため、ラン長データテーブル１１１ｂの一部を矢印Ｙ方向に移動させて連結されたラン長データテーブル１１４は、ラン長データａ１の白ランデータと、ラン長データａ４の黒ランデータと、ラン長データｂ４の白ランデータと、ラン長データｂ５の黒ランデータとによって構成される。
【００８６】
以上のようにして作成された新たなラン長データテーブル１１２又は１１４を用いてラン長データを再度符号化し、各ラインの符号化データ９９′を作成することにより、ビットマップデータ１００を矢印Ｙ方向に剪断状態に変形させた場合と同等の効果を得ることができる。
【００８７】
ランレングスデータ９８を矢印Ｙ方向と反対方向に変形する場合においても同様である。
【００８８】
上述したランレングスデータに対する各アラインメント処理は、メモリ８４上で行われ、アラインメント処理後のランレングスデータもメモリ８４上に記憶される。この場合、アラインメント処理が圧縮されたランレングスデータを用いて行われるため、ビットマップデータ１００を用いる場合に比較してデータ量が格段に少なく、従って、処理自体を迅速に行うことができるとともに、メモリ８４を大容量とする必要もない。
【００８９】
なお、ランレングスデータに対する平行移動処理、拡大圧縮処理及び変形処理を組み合わせて行うこともできる。
【００９０】
次に、アラインメント処理されたランレングスデータは、Ｉ／Ｆ８６を介して露光部７２にバッファ９０に一旦記憶される。露光部７２の解凍変換処理部９２は、バッファ９０に格納されたランレングスデータを解凍してビットマップデータに展開する。次いで、解凍変換処理部９２は、このビットマップデータをＤＭＤ３６を構成する複数のマイクロミラー４０に設定したアドレス連続方向の配列からなるフレームデータに変換し、バッファ９４に記憶させる。
【００９１】
露光記録装置１０は、露光ステージ１８をスキャナ２６側からＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂ側に移動させ、ＤＭＤコントローラ４２は、バッファ９４に記憶されたフレームデータをＤＭＤ３６に供給し、基板Ｆに所望の画像を露光記録する。
【００９２】
すなわち、光源ユニット２８から出力されたレーザビームＬは、光ファイバ３０を介して各露光ヘッド２４ａ〜２４ｊに導入される。導入されたレーザビームＬは、ロッドレンズ３２から反射ミラー３４を介してＤＭＤ３６に入射する。
【００９３】
一方、ＤＭＤコントローラ４２は、バッファ９４からフレームデータを読み出し、ＤＭＤ３６を構成する各マイクロミラー４０をオンオフ制御する。ＤＭＤ３６を構成する各マイクロミラー４０により所望の方向に選択的に反射されたレーザビームＬは、第１結像光学レンズ４４、４６によって拡大された後、マイクロアパーチャアレー５４、マイクロレンズアレー４８及びマイクロアパーチャアレー５６を介して所定の径に調整され、次いで、第２結像光学レンズ５０、５２により所定の倍率に調整されて基板Ｆに導かれる。露光ステージ１８は、定盤１４に沿って移動し、基板Ｆには、露光ステージ１８の移動方向と直交する方向に配列される複数の露光ヘッド２４ａ〜２４ｊにより所望の二次元画像が露光記録される。この場合、アラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを基準とする目標位置に所望の二次元画像が露光記録される。
【００９４】
なお、上述した露光記録装置１０は、例えば、多層プリント配線基板（ＰＷＢ：Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｗｉｒｉｎｇ  Ｂｏａｒｄ）の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト（ＤＦＲ：Ｄｒｙ  Ｆｉｌｍ  Ｒｅｓｉｓｔ）の露光、液晶表示装置（ＬＣＤ）の製造工程におけるカラーフィルタの形成、ＴＦＴの製造工程におけるＤＦＲの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）の製造工程におけるＤＦＲの露光等の用途に好適に用いることができる。また、本発明は、インクジェット記録ヘッドを備えた描画装置にも同様して適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本実施形態の露光記録システムのブロック図である。
【図２】本実施形態の露光記録装置の構成図である。
【図３】本実施形態の露光記録装置における露光ヘッドの概略構成図である。
【図４】本実施形態の露光ヘッドを構成するＤＭＤの説明図である。
【図５】本実施形態の露光記録装置における露光ヘッドと、露光ステージに位置決めされた基板との関係説明図である。
【図６】本実施形態の露光記録装置における露光ヘッドと、基板上の露光エリアとの関係説明図である。
【図７】本実施形態の露光記録装置により記録されるビットマップデータの説明図である。
【図８】ビットマップデータから圧縮されたランレングスデータのデータ構造の説明図である。
【図９】ランレングスデータを構成するラン長データの説明図である。
【図１０】画像の平行移動処理の説明図である。
【図１１】画像の縮小処理の説明図である。
【図１２】画像の矢印Ｘ方向に対する変形処理の説明図である。
【図１３】画像の矢印Ｙ方向に対する変形処理の説明図である。
【図１４】ビットマップデータを構成するラインデータの矢印Ｘ方向に対する平行移動処理の説明図である。
【図１５】ランレングスデータの矢印Ｘ方向に対する平行移動処理の説明図である。
【図１６】ビットマップデータの矢印Ｙ方向に対する平行移動処理の説明図である。
【図１７】ランレングスデータの矢印Ｙ方向に対する平行移動処理の説明図である。
【図１８】ビットマップデータを構成するラインデータの矢印Ｘ方向に対する拡大処理の説明図である。
【図１９】ランレングスデータの矢印Ｘ方向に対する拡大処理の説明図である。
【図２０】ビットマップデータの矢印Ｙ方向に対する拡大処理の説明図である。
【図２１】ランレングスデータの矢印Ｙ方向に対する拡大処理の説明図である。
【図２２】ビットマップデータの矢印Ｘ方向に対する変形処理の説明図である。
【図２３】ビットマップデータの矢印Ｙ方向に対する変形処理の説明図である。
【図２４】ランレングスデータの矢印Ｙ方向に対する変形処理の説明図である。
【図２５】ランレングスデータの矢印Ｙ方向に対する変形処理の説明図である。
【図２６】ランレングスデータの矢印Ｙ方向に対する変形処理の説明図である。
【符号の説明】
【００９６】
４…露光記録システム                  ６…ＣＡＤ装置
８…ＲＩＰ                            １０…露光記録装置
１８…露光ステージ                    ２２ａ、２２ｂ…ＣＣＤカメラ
２４ａ〜２４ｊ…露光ヘッド            ３６…ＤＭＤ
６０ａ〜６０ｄ…アラインメントマーク  ７０…画像処理部
７２…露光部                          ７４…ＣＰＵ
８２…ＨＤ                            ８４…メモリ
９０、９４…バッファ                  ９２…解凍変換処理部
９６…ラインデータ                    ９８、９８′…ランレングスデータ
９９、９９′…符号化データ            １００、１００′…ビットマップデータ
１０１、１０３…ラン長データ          １０４、１０６…ブロックデータ
１０８、１１０ａ、１１０ｂ、１１２、１４４…ラン長データテーブル
Ｆ…基板
【図１】
2006331151.tif 000003
【図２】
2006331151.tif 000004
【図３】
2006331151.tif 000005
【図４】
2006331151.tif 000006
【図５】
2006331151.tif 000007
【図６】
2006331151.tif 000008
【図７】
2006331151.tif 000009
【図８】
2006331151.tif 000010
【図９】
2006331151.tif 000011
【図１０】
2006331151.tif 000012
【図１１】
2006331151.tif 000013
【図１２】
2006331151.tif 000014
【図１３】
2006331151.tif 000015
【図１４】
2006331151.tif 000016
【図１５】
2006331151.tif 000017
【図１６】
2006331151.tif 000018
【図１７】
2006331151.tif 000019
【図１８】
2006331151.tif 000020
【図１９】
2006331151.tif 000021
【図２０】
2006331151.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
2006331151.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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