(57)【要約】【課題】支持部材に接合しなくても、簡便な方法で正確な測定の可能な圧電アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。【解決手段】同一平面上に複数の変位素子が並設されてなる圧電アクチュエータの評価方法であって、前記複数の変位素子のうち特定の変位素子について所定の入力電圧に対して蓄積される電荷量Ｑを測定することにより、前記特定の変位素子の圧電特性を推定するとともに、前記複数の変位素子の圧電特性の分布を評価することを特徴とする。【選択図】図１
2006343222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一平面上に複数の変位素子が並設されてなる圧電アクチュエータの評価方法であって、前記複数の変位素子のうち特定の変位素子について所定の入力電圧に対して蓄積される電荷量Ｑを測定することにより、前記特定の変位素子の圧電特性を推定するとともに、前記複数の変位素子の圧電特性の分布を評価することを特徴とする圧電アクチュエータの評価方法。
【請求項２】
前記圧電アクチュエータが、振動板の上に共通電極、圧電セラミック層がこの順に形成され、前記圧電セラミック層の表面に複数の個別電極が形成され、前記共通電極と、前記個別電極と、これらの電極で挟持された圧電セラミック層とで変位素子が形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの評価方法。
【請求項３】
前記変位素子を非拘束部とし、前記変位素子以外の部位を拘束部とするように保持部材によって前記圧電アクチュエータを固定することを特徴とする請求項１または２記載の圧電アクチュエータの評価方法。
【請求項４】
前記圧電アクチュエータを、真空チャックを用いて前記保持部材に固定することを特徴とする請求項３記載の圧電アクチュエータの評価方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の圧電アクチュエータの評価方法によって圧電定数を推定して不良品を排除し、しかる後に良品である前記圧電アクチュエータを流路部材に固定することを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。
【請求項６】
前記液滴吐出装置が印刷ヘッドであることを特徴とする請求項５記載の液滴吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電変位素子及び圧電アクチュエータに関し、より詳しくは例えば加速度センサ、ノッキングセンサ、ＡＥセンサ等の圧電センサ、燃料噴射用インクジェクター、インクジェットプリンタ用印刷ヘッド、圧電共振子、発振器、超音波モーター、超音波振動子、フィルタ等に適し、特に広がり振動、伸び振動、厚み立て振動を利用した印刷ヘッドとして好適に用いられる圧電体アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電セラミックスを利用した製品としては、例えば圧電アクチュエータ、フィルタ、圧電共振子（発信子を含む）、超音波振動子、超音波モーター、圧電センサ等がある。
【０００３】
これらの中で、圧電アクチュエータは、電気信号に対する応答速度が１０−６秒台と非常に高速であるため、半導体製造装置のＸＹステージの位置決め用圧電アクチュエータやインクジェットプリンタの印刷ヘッドに用いられる圧電アクチュエータ等に応用されている。
【０００４】
インクジェット方式を利用した印刷ヘッドは、例えば図８（ａ）に示したように、圧電アクチュエータ５１が、流路部材５３の上に設けられた構造を有する（例えば、特許文献１参照）。流路部材５３は、複数のインク加圧室５３ａが隔壁５３ｂによって仕切られ、インク加圧室５３ａは圧電アクチュエータ５１に当接するように並設されている。
【０００５】
圧電アクチュエータ５１は、共通電極の役割を兼ねた導電性の振動板５５上に圧電セラミック層５４が設けられ、圧電セラミック層５４の上に表面電極５６を設けられている。表面電極５６は、図８（ｂ）に示したように、圧電セラミック層５４の表面に複数配列されることにより、複数の圧電変位部５７が形成されたものである。この圧電アクチュエータ５１は、インク加圧室５３ａの直上に表面電極５６が位置するようにして流路部材５３上に配置している。
【０００６】
上記のような印刷ヘッドは、共通電極５５と所定の表面電極５６との間に電圧を印加して該表面電極５６直下の圧電セラミック層５４を変位させることにより、インク加圧室５３ａ内のインクを加圧して、流路部材５３の底面に開口したインク吐出口５８よりインク滴を吐出する。
【０００７】
このような印刷ヘッドに用いられる圧電アクチュエータは、複数の変位素子を支持基板に接着し、積層圧電体素子の電極部と支持基板の配線パターンとを導電性接着剤等で電気的に接続する。その後、個々の圧電素子に一定の電圧を印加し、各変位素子の変位量を測定することが行われている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平１１−３４３２１号公報
【特許文献２】特開２００３−３９６５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２に記載の評価方法では、圧電アクチュエータを支持部材に接合してから圧電アクチュエータの不良の判別を行うため、製造工数が増えると共に、不良が発生した時には支持部材と、支持部材に接合する工程が無駄になり、コスト上昇の大きな要因となっていた。
【０００９】
ところが、径方向振動モードｄ３１を利用した変位素子が基板表面に複数並んだ圧電アクチュエータの場合には、支持部材を接合しないで変位量を評価すると、隣接する変位素子が振動の干渉を起こして、電圧を印加していないのに変位してしまって、正確な変位量の測定が困難であるという問題があった。
【００１０】
従って、本発明は、支持部材に接合しなくても、簡便な方法で正確な測定の可能な圧電体アクチュエータの評価方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の圧電アクチュエータの評価方法は、同一平面上に複数の変位素子が並設されてなる圧電アクチュエータの評価方法であって、前記複数の変位素子のうち特定の変位素子について所定の入力電圧に対して蓄積される電荷量Ｑを測定することにより、前記特定の変位素子の圧電特性を推定するとともに、前記複数の変位素子の圧電特性の分布を評価することを特徴とするものである。
【００１２】
特に、前記圧電アクチュエータが、振動板の上に共通電極、圧電セラミック層がこの順に形成され、前記圧電セラミック層の表面に複数の個別電極が形成され、前記共通電極と、前記個別電極と、これらの電極で挟持された圧電セラミック層とで変位素子が形成されていることが好ましい。
【００１３】
また、前記変位素子を非拘束部とし、前記変位素子以外の部位を拘束部とするように保持部材によって前記圧電アクチュエータを固定することが好ましい。
【００１４】
さらに、前記圧電アクチュエータを、真空チャックを用いて前記保持部材に固定することが好ましい。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置の製造方法は、上記の圧電アクチュエータの評価方法によって圧電定数を推定して不良品を排除し、しかる後に良品である前記圧電アクチュエータを流路部材に固定することを特徴とするものである。
【００１６】
特に、前記液滴吐出装置が印刷ヘッドであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、圧電素子に蓄積される電荷量Ｑと、圧電定数又は変位量と、に相関関係があることを知見し、電荷量Ｑを測定することによって、その値から圧電特性を算出又は予測して圧電アクチュエータの圧電特性及びその分布情報を得るものであり、これにより、支持部材に接合しなくても、簡便な方法で正確な測定の可能とすることができる。
【００１８】
即ち、本発明の圧電アクチュエータの測定装置は、圧電アクチュエータ等の圧電体を支持部材に接合することなく、また、圧電体を切断することなく、簡便な方法によって、個々の圧電素子の電荷量Ｑを測定することによって、変位や圧電定数ｄ３１を精度よく評価することが可能となり、また、本発明の印刷ヘッドの製造方法を用いると、圧電アクチュエータの不良の判別後に流路部材と圧電アクチュエータを接着するので、不良を低減し、コストを低減することができる。
【００１９】
従来は支持部材を接合してから変位を測定もしくは圧電定数を測定していたのに対し、個々の変位素子について所定の入力電圧に対して変位素子に蓄積される電荷量Ｑを測定することにより、接合無しで、かつ圧電素子を切断することなく個々の圧電素子の圧電特性を精度良く簡便に測定することが可能となり、その結果、電荷量Ｑの値から圧電アクチュエータとしての変位量を推定でき、また、この方法を用いて圧電アクチュエータの不良判別を迅速に且つ正確に行い、そのプロセスを簡略化し、低コスト化に寄与することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明は、複数の変位素子を具備する圧電アクチュエータの評価方法に関するものである。例えば、図１に示したように、振動板３の上に複数の変位素子７が形成されている圧電アクチュエータを評価するものである。
【００２１】
本発明において評価対象となる圧電アクチュエータは、振動板上に複数の変位素子が設けられたものである。このような圧電アクチュエータの構造の一例を図２に示した。
【００２２】
圧電アクチュエータ１１は、振動板１３と、振動板１３上に順次形成された内部電極１５、圧電セラミック層１４、及び複数の表面電極１６とを具備し、変位素子１７が表面電極１６と内部電極１５とで挟持された圧電セラミック層１４とで構成され、振動板１３上には複数の変位素子１７が形成されている。
【００２３】
このような変位素子の大きさは、例えば縦１０ｍｍ、横１０ｍｍの振動板の上に、２個以上、特に５０個以上、更には１００個以上、より好適には２００個以上集積されており、これらの変位特性とそのばらつきを精度良く、しかも簡便な方法によって評価することが必要となっている。
【００２４】
本発明によれば、圧電アクチュエータ１１の厚みが１００以下、特に８０μｍ以下、更には６０μｍ以下であることが好ましい。このような薄層の圧電アクチュエータ１１であっても、容易に評価することができ、しかも迅速に評価することができる。さらに、破壊や欠損もなく、正確な測定評価を行うことができる。
【００２５】
なお、共通電極と個別電極が複数ずつ繰り返し積層された積層体からなっていても、本発明を好適に適応することが可能である。例えば、図３に示したように、圧電アクチュエータ２１は、圧電セラミック層２４の内部又は表面に複数の電極が設けられ、共通電極２５と個別電極２６とが交互に設けられている。また、厚み方向に対して同じ位置に配置された個別電極２６は、お互いに電気的に接続され、共通電極２５と個別電極２６とこれらの電極に挟持された圧電セラミック層２４とで変位素子が形成されている。
【００２６】
従って、厚み方向に対して同じ位置に配置された個別電極２６はすべて同電位となり、また、共通電極２５も全てが電気的に連結されて同電位となるとともに、共通電極２５と個別電極２６との間で変位が生じ、複数の層が変位するため、変位量が助長され、大きな変位を発生することができる。このような圧電アクチュエータでも、本発明の評価方法を好適に適応することが可能である。
【００２７】
圧電アクチュエータの保持方法については、基板や治具の上に載置しても良いし、或いは、クランプ等により機械的に保持しても良いが、特に、真空チャックを用いて圧電アクチュエータを固定することが好ましい。真空チャックを用いれば、圧電アクチュエータの脱着が容易で、しかも吸着力を制御すれば、薄い圧電アクチュエータであっても破壊することが少なく、歩留りを高め、その結果コスト削減に寄与することが容易となる。
【００２８】
なお、真空チャックとは、圧電アクチュエータの一方の主面を減圧にしてその際の吸引力によって圧電アクチュエータを保持するものである。
【００２９】
また、圧電アクチュエータは、測定に先立って固定される際に、保持部材を用いて固定されるのが好ましい。例えば、図４に示したように、減圧容器１２３の試料固定部１２４と真空ポンプに連結された排気管（図示せず）に接続された真空排気口１２５を通して減圧容器１２３の内部が減圧状態になる。
【００３０】
従って、圧電アクチュエータ１２１、保持部材１２２を減圧容器１２３の試料固定部１２４の上に載置すると、保持部材１２２に設けられた吸引孔１２８を介して圧電アクチュエータ１２１の一部が吸引され、その吸引力で圧電アクチュエータ１２１が保持される。
【００３１】
保持部材１２２に設けられた吸引孔１２８は、表面電極１２６又は変位素子１２７よりも僅かに大きい程度の大きさにして変位素子１２７の外周部を固定するものであり、保持部材１２２に設けられた振動溝１２９によって変位素子１２７が自由に変位することができるようになっている。
【００３２】
このように、圧電アクチュエータ１２１の保持には、圧電アクチュエータを拘束し、且つ圧電アクチュエータ１２１に設けられた変位素子の変位を可能にすることが好ましく、複数の変位素子のうち、一部の変位素子の外周部を個々に拘束することができる手段を備えることが望ましい。
【００３３】
また、本発明における保持方法は、上述したように、変位素子を非拘束部とし、変位素子以外の部位を拘束部となるように前記圧電アクチュエータ１２１を保持部材に固定することが好ましい。これにより、実際に流路部材に接着剤等で固定した時と同じ状態を再現することができ、さらに液体吐出装置に近い特性を得ることができるため、より正確な測定を迅速に行うことが期待できる。例えば、１００μｍ以下の薄い圧電アクチュエータ１２１は、割れを防止するために、特定の保持具に固定するのが良い。
【００３４】
また、保持部材として、複数の吸引孔及び／又は溝を備えた保持板を用い、その上に圧電アクチュエータを載置した状態で保持するのが良い。このような保持部材は、印刷ヘッドに用いる流路部材と類似の材質や類似の形状及び大きさを有していることが、印刷ヘッドとして使用する状態を再現することによって、より正確な評価を行う上で好ましい。
【００３５】
そして、上述したように、隣接点との干渉を抑制するために、個々の変位素子の外周部を固定することが好ましい。全ての変位素子を測定しない場合であっても、測定する変位素子の外周部を固定させ、振動させることが、より正確な評価のために必要であり、更に全ての変位素子を外周部で固定させることが望ましい。
【００３６】
例えば、変位素子の外周部に保持部材の複数の吸引孔が配置するように、圧電アクチュエータを保持部材に載置し、減圧して保持することができる。これは、いわゆる真空チャックであり、多数の変位素子をその外周部で同時に保持すること及びそれを離脱させることが容易であり、また、薄い圧電アクチュエータであってもより安全に測定することができる。その結果、隣接する変位素子との干渉を抑制でき、変位特性をより精度良く評価することが可能となる。
【００３７】
このような多数の変位素子が設けられた構造に対しては、本発明の評価方法を用いることによって短時間で、圧電アクチュエータの保持部材への脱着が容易で、正確な評価を行うことが可能となり、特に測定する変位素子の数が多いほどその効果が大きい。
【００３８】
本発明の圧電アクチュエータの評価方法は、複数の変位素子の所定の入力電圧に対して変位素子に蓄積される電荷量Ｑを測定し、その値から圧電特性を見積もり評価するものである。
【００３９】
具体的には、測定する変位素子の分極特性として、ソーヤタワーの回路を用いて所定電圧時の電荷量Ｑを測定することができる。
【００４０】
本発明によれば、駆動に利用している圧電アクチュエータの振動モードは径方向振動であるので本来、圧電定数としてはｄ３１で評価すべきであるが上述したように同一基板内に複数の変位素子を有する場合、隣接する素子の振動干渉でｄ３１を正確に評価することが困難であるため、種々の評価手法に関して検討した結果、変位素子に蓄積される電荷量Ｑと径方向振動モードにおける圧電定数は密接な関連があることを見出した。
【００４１】
図５はソーヤタワーの回路を用いた電荷量Ｑ測定例を示したものである。さらに図６は所定の入力電圧に対して変位素子に蓄積された電荷量Ｑと変位の関係を示したものであり、電荷量Ｑと変位は相関関係がある。従って、あらかじめ、これらを比較して校正曲線を作成しておけば、電荷量Ｑを測定することによって、製品としての圧電アクチュエータを、簡便に、且つ正確に評価することができる。
【００４２】
測定方法に関しては図７に示すように、圧電アクチュエータ１５１を保持装置１５２に固定し、圧電アクチュエータ１５１の個々の変位素子に正極、負極を設け、ソーヤタワーの回路を用いてアクチュエータの両極にそれぞれ触診用プローブ１５３のプローブ端子を接続する。また、所望により、端子の接続を確認するため、ＣＣＤカメラ１５５による映像をモニタ１５６で確認しながら作業を行うことができる。
【００４３】
この操作は、単独の変位素子についての測定であっても良いし、複数の変位素子についての測定であっても良い。例えば、複数の変位素子に対して、それぞれ電気的に接続し、同時に、或いは順次これらの変位素子について電荷量Ｑを測定すれば良い。
【００４４】
このように、平面上に複数の変位素子が形成されている場合、特に、支持部材に接合しなくても、電荷量Ｑを測定することによって圧電特性を評価することが容易にできる。
【００４５】
本発明の液滴吐出装置の製造方法は、上記の圧電アクチュエータの評価方法によって評価した圧電定数に基づいて不良品を排除し、しかる後に良品である圧電アクチュエータのみを流路部材に接着し、固定することが重要である。これにより、簡便でしかも短時間に正確な測定・評価を行えるので、工程を簡略化し、製造コストを低減し、歩留まりを向上することができる。
【００４６】
この製造方法は、特にインクジェット方式のプリンタ等に使用される印刷ヘッドの製造方法として好適である。即ち、圧電アクチュエータを流路部材に接着する前に、圧電アクチュエータの個々の変位素子の圧電特性のバラツキ、異常素子を検査確認できるため、アクチュエータ単体での性能を保証することが可能となるとともに部材コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の圧電アクチュエータの評価方法の対象となる圧電アクチュエータの側面図である。
【図２】本発明の圧電アクチュエータの評価方法の対象となる圧電アクチュエータの構造を示すための断面図である。
【図３】本発明の圧電アクチュエータの評価方法の対象となる他の圧電アクチュエータの構造を示すための断面図である。
【図４】本発明の圧電アクチュエータの固定方法を示すための斜視図である。
【図５】本発明のソーヤタワーの回路を用いて測定した入力電圧に対する蓄積された電荷量Ｑを示したものである。
【図６】本発明の電荷量Ｑと変位の関係を示したものである。
【図７】本発明の圧電アクチュエータの電荷量Ｑの測定ブロック図を示したものである。
【図８】従来の印刷ヘッドの構造を示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１、１１、２１、１２１・・・圧電アクチュエータ
３、１３・・・振動板
７、１７、２７、１２７・・・変位素子
１４、２４・・・圧電セラミック層
１５、２５・・・共通電極
１６、２６、１２６・・・個別電極
【図１】
2006343222.tif 000003
【図２】
2006343222.tif 000004
【図３】
2006343222.tif 000005
【図４】
2006343222.tif 000006
【図５】
2006343222.tif 000007
【図６】
2006343222.tif 000008
【図７】
2006343222.tif 000009
【図８】
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