(57)【要約】【課題】ノズルプレートがヘッド部に接着される際に、ノズルプレートの反りを抑制しつつ、接着剤がノズル孔の内面に流れ込むことを確実に防止し、且つ、気泡が発生することによるノズル孔間の連通状態を防止してインク滴の密着力の向上及びインク滴の吐出精度を維持する。【解決手段】複数のインク室２３を有するヘッド部２と、複数のノズル孔３１のそれぞれが複数のインク室２３に連通するように接着面３Ａ側がヘッド部２の端部に接着されたノズルプレート３であって、接着面３Ａ側における複数のノズル孔３１のそれぞれを個別に含む範囲に凹形状を呈する複数の接着剤溜部３２を有するノズルプレート３と、を備える。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のインク室を有するヘッド部と、
複数のノズル孔のそれぞれが前記複数のインク室に連通した状態で、接着面が前記ヘッド部の端部に接着されたノズルプレートであって、前記接着面における前記複数のノズル孔のそれぞれを個別に含む範囲に凹形状を呈する複数の接着剤溜部を有するノズルプレートと、を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記複数の接着剤溜部は、前記接着面における全面がそれぞれ前記複数のインク室に対向していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記複数の接着剤溜部は、前記接着面において長方形を呈することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記複数のノズル孔は、断面形状が円形状であり、
前記複数の接着剤溜部のそれぞれは、前記接着面において前記複数のノズル孔の同心円形状を呈することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記複数の接着剤溜部は、前記複数のノズル孔に連通していない凹部を備えたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレートを形成するシートにレーザを照射して前記複数の接着剤溜部及び前記複数のノズル孔を形成する工程と、
前記シートにレーザを照射してカッティングを行って複数の前記ノズルプレートを切り出す工程と、
接着剤を用いて前記ノズルプレートを前記ヘッド部に接着する工程と、をこの順に含むことを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ノズルプレートに形成された複数のノズル孔からインク滴を吐出するインクジェットヘッド及びこのインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリンタにおいては、インパクト印字装置に代わって、カラー化、多階調化に対応し易いインクジェットプリンタ等のノンインパクト印字装置が急速に普及しつつある。
【０００３】
インクジェットプリンタは、インクジェットヘッドを有し、画像データに基づいて用紙等にインク滴を吐出することで画像形成を行う。インクジェットヘッドは、複数のインク室を有するヘッド部、複数のインク室のそれぞれに連通した複数のノズル孔を有するノズルプレート等から構成される。
【０００４】
このインクジェットヘッドを構成するノズルプレートは、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン等の高分子材料で形成され、接着面においてヘッド部に接着される。ノズル孔は、形状の精度を向上させる観点からエキシマレーザ等のレーザを用いて形成される。具体的には、ノズルプレートのノズル孔が加工される箇所に対応する透明な部分が設けられたアブレーションマスクを介して、ノズルプレートに接着面側からエキシマレーザを照射する。
【０００５】
ノズルプレートのエキシマレーザが照射された箇所の高分子材料は、エキシマレーザを吸収するので分子結合が切られ、分子又は原子に分解される。この分解された分子又は原子を蒸発させることにより飛散させることでノズル孔が形成される。
【０００６】
なお、インク滴の吐出精度を維持するために接着剤を用いてノズルプレートをヘッド部に接着する際に余剰の接着剤がノズル孔に流れ込まないようにする必要がある。
【０００７】
また、ノズル孔は、インク滴の吐出精度を向上させるためにノズルプレートの接着面側の断面積の方が外部に面する側の断面積よりも大きいテーパ形状を呈している。
【０００８】
ここで、インクジェットヘッドのノズル孔に要求される条件は、孔径の変動が小さいこと及びテーパ角が大きいことである。孔径の変動が大きいとテーパ形状の内周面が滑らかな形状になり難く、ノズル孔の内部を通過するインクの抵抗となる。そのため、インク滴の吐出精度に影響を与えることになる。また、ノズル孔のテーパ角が小さいと、テーパ角の大きいノズル孔に比べて容積が小さくなるので、吐出するインク滴の体積が大きい場合に吐出後に外部からノズル孔を介してインク室に気泡が侵入してしまう。
【０００９】
ノズル孔の内部のインクは、ノズル孔径の大きい側から小さい側に向かう方向に引き付けられ易いので、テーパ角の大きなノズル孔ほどインクを吐出し易く、また空気を吸い込み難くなる。
【００１０】
ところが、エキシマレーザは、精度の高い均一な形状のノズル孔を形成できる一方で、テーパ角を大きくできない欠点がある。通常、インクジェットヘッドのノズル孔のテーパ角は片側で１０〜２０°必要であるが、エキシマレーザを用いるとテーパ角が４〜８°程度のノズル孔しか形成できない。
【００１１】
そこで、エキシマレーザを用いて必要なテーパ角を確保するため、近年のインクジェットヘッドの製造方法には、例えば、複数のアブレーションマスクを使用して複数回のレーザ照射を行い、ノズル孔に階段状にテーパを形成する工程を含んだ構成のものがある（例えば特許文献１，２参照。）。
【００１２】
しかし、必要なテーパ角を確保するために段差部を設けて階段状にノズル孔が形成されるので、従来の段差部のないテーパ状のノズル孔に比べて孔径の大きいノズル孔が形成され、ヘッド部にノズルプレートを接着する際、従来よりも接着剤がノズル孔の内部に流れ込み易くなってしまっていた。
【００１３】
そのため、ノズル孔の内周面に固着した接着剤の突起がインクの流れを妨げるので、ノズル孔からのインクの一回あたりの吐出量が減少してしまう問題があった。また、接着剤によりノズル孔が塞がれてインクの吐出ができなくなる問題もあった。
【００１４】
そこで、これらの問題を解決するために、近年のインクジェット装置には、図１０に示すようなノズルプレート２００のノズル孔２１０の周辺において余剰の接着剤を逃がすための溝部２２０を形成したインクジェットヘッドを備えた構成のものがある（例えば、特許文献３〜６参照。）。
【特許文献１】特開平５−７７４２５号公報
【特許文献２】特開平９−６６６０６号公報
【特許文献３】実開昭６３−１８９６３７号公報
【特許文献４】特開平７−１１７２３０号公報
【特許文献５】特開平１１−２２７１９４号公報
【特許文献６】特開２００２−３０７６８７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、上述の特許文献３〜６の構成では、図１１に示すように、ヘッド部３００にノズルプレート２００を接着する際にノズル孔２１０と溝部２２０との間にある余剰の接着剤２５０のうちの一部は溝部２２０に流れ込むが、残りはノズル孔２１０に流れ込んでしまう可能性がある。また、余剰の接着剤２５０が溝部２２０に流れ込む際に気泡を含む場合があり、気泡の熱膨張や接着剤の侵食等によってノズル孔２１０間を連通してしまう可能性がある。さらに、この気泡によってノズルプレート２００とヘッド部３００との密着力が低下してしまう。しかも、図１０に示す溝部２２０のような溝形状を有する構成では、ノズルプレート２００が反ってしまう可能性がある。
【００１６】
この発明の目的は、ノズルプレートがヘッド部に接着される際に、ノズルプレートの反りを抑制しつつ、接着剤がノズル孔の内面に流れ込むことを確実に防止し、且つ、気泡が発生することによるノズル孔間の連通状態を防止してインク滴の密着力の向上及びインク滴の吐出精度を維持するインクジェットヘッド及びこのインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
この発明は、上記の課題を解決するために、以下の構成を備えている。
【００１８】
（１）複数のインク室を有するヘッド部と、
複数のノズル孔のそれぞれが前記複数のインク室に連通した状態で、接着面が前記ヘッド部の端部に接着されたノズルプレートであって、前記接着面における前記複数のノズル孔のそれぞれを個別に含む範囲に凹形状を呈する複数の接着剤溜部を有するノズルプレートと、を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【００１９】
この構成においては、ノズルプレートのヘッド部との接着面に凹形状の複数の接着剤溜部が形成されている。また、接着面において、複数の接着剤溜部のそれぞれが連通することなく形成され、複数のノズル孔のそれぞれが個別に各接着剤溜部に含まれる。そのため、ノズルプレートがヘッド部に接着される際、ノズル孔に流れ込もうとする余剰の接着剤が全て接着剤溜部に流れ込む。
【００２０】
（２）前記複数の接着剤溜部は、前記接着面における全面がそれぞれ前記複数のインク室に対向していることを特徴とする。
【００２１】
この構成においては、複数の接着剤溜部のそれぞれの接着面における全面が各インク室に対向した状態でノズルプレートとヘッド部とが接着され、接着剤溜部がヘッド部の壁面に対向することがない。したがって、ヘッド部の壁面と接着剤溜部の一部とで凹部が形成されることがなく、接着剤溜部の一部に空気が溜まることがない。
【００２２】
（３）前記複数の接着剤溜部は、前記接着面において長方形を呈することを特徴とする。
【００２３】
この構成においては、接着面において複数の接着剤溜部が長方形を呈している。接着面における接着剤溜部の面の範囲は隣接する他の接着剤溜部に連通しない限られた範囲に制限されるが、形状が長方形なので制限された範囲内において最大限の大きさが確保される。また、接着面における接着剤溜部の面の範囲が、対向するインク室に制限される場合であっても、制限された範囲内において最大限の大きさが確保される。
【００２４】
（４）前記複数のノズル孔は、断面形状が円形状であり、
前記複数の接着剤溜部のそれぞれは、前記接着面において前記複数のノズル孔の同心円形状を呈することを特徴とする。
【００２５】
この構成においては、接着面における複数の接着剤溜部のそれぞれが複数のノズル孔の同心円形状を呈している。したがって、接着剤溜部の外周形状が同形状であるので、ノズルプレートがヘッド部に接着される際、余剰の接着剤が一部に偏らずに均等に接着剤溜部に流れ込む。
【００２６】
（５）前記複数の接着剤溜部は、前記複数のノズル孔に連通していない凹部を備えたことを特徴とする。
【００２７】
この構成においては、複数の接着剤溜部のそれぞれに、各ノズル孔に連通していない凹部が形成されている。したがって、余剰の接着剤が接着剤溜部に流れ込んだ際に、この凹部にも流れ込む。
【００２８】
（６）（１）〜（５）の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレートを形成するシートにレーザを照射して前記複数の接着剤溜部及び前記複数のノズル孔を形成する工程と、
前記シートにレーザを照射してカッティングを行って複数の前記ノズルプレートを切り出す工程と、
接着剤を用いて前記ノズルプレートを前記ヘッド部に接着する工程と、をこの順に含むことを特徴とする。
【００２９】
この構成においては、ノズルプレートを形成するためのシートに複数の接着剤溜部及び複数のノズル孔が形成された後、シートがカッティングされて複数のノズルプレートが形成される。次に、接着剤でノズルプレートとヘッド部とが接着される。したがって、レーザによって精度よく接着剤溜部及びノズル孔が形成され、ノズルプレートがヘッド部接着される際、ノズル孔に流れ込もうとする余剰の接着剤が全て接着剤溜部に流れ込む。
【発明の効果】
【００３０】
この発明によれば、以下の効果を奏することができる。
【００３１】
（１）接着面における複数のノズル孔のそれぞれを個別に含む範囲に凹形状を呈する複数の接着剤溜部を備えることによって、接着剤を用いてヘッド部にノズルプレートを接着する際、ノズル孔に流れ込もうとする余剰の接着剤を全て接着剤溜部に流れ込ませることができるので、ノズル孔に接着剤が流れ込むことを確実に防止できる。また、余剰の接着剤が接着剤溜部に流れ込む際に気泡を含んでもノズル孔から外部に排出できる。これらにより、インク滴の吐出精度を維持することができ、ノズルプレートとヘッド部との密着力を向上させることができる。さらに、接着面において、各ノズル孔を個別に含むように、且つ、それぞれが連通していない状態で複数の接着剤溜部を形成しているので、ノズルプレートが反ってしまうこともない。
【００３２】
（２）複数の接着剤溜部の接着面における全面のそれぞれを複数のインク室に対向させることによって、インク滴の吐出精度に影響を与える接着剤溜部の一部に空気が溜まることを防止することができる。
【００３３】
（３）接着面における複数の接着剤溜部を長方形に形成することによって、制限された範囲内で接着面における接着剤溜部の面の範囲を最大限の大きさにすることができ、ノズルプレートとヘッド部との密着力を向上させることができる。
【００３４】
（４）接着面における複数の接着剤溜部のそれぞれを複数のノズル孔の同心円形状に形成することによって、余剰の接着剤をノズル孔の周囲に均等に固着させることができるので、接着剤がノズル孔の周囲の一部に偏って固着することがなく、インク滴の吐出に影響を与えることを防止できる。
【００３５】
（５）複数の接着剤溜部のそれぞれに、各ノズル孔に連通していない凹部を形成することによって、より多くの量の余剰の接着剤を接着剤溜部に流れ込ませることができるので、より確実にノズル孔に接着剤が流れ込むことを防止できる。
【００３６】
（６）レーザを用いて接着剤溜部及びノズル孔の形成及びノズルプレートの切り出しを行うことによって、精度よくノズルプレートを形成でき、生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、この発明の最良の実施形態に係るインクジェットヘッドを図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００３８】
図１及び図２は、この発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの構成を示す概略図である。インクジェットヘッド１は、画像形成を行うインクジェットプリンタ等を構成するインクジェット装置に備えられ、画像データに基づいて用紙等にインク滴を吐出する。
【００３９】
また、インクジェットヘッド１は、ヘッド部２及びノズルプレート３等から構成されている。ヘッド部２は、ヘッド基板２１及び蓋２２等から構成され、内部に複数のインク室２３を備えている。インク室２３は、インクを収容している。
【００４０】
ヘッド基板２１は、それぞれがインク室２３を構成する複数の溝２１１を備え、電圧の印加によって剪断変形してインク室２３の容積を変化させることでインク滴をノズル孔３１から吐出する。また、ヘッド基板２１は、分極処理を施したチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）やチタン酸鉛（ＰＺ）などの圧電セラミック材料からなる圧電性基板で形成されている。
【００４１】
蓋２２は、溝２１１の開口部に対向するようにヘッド基板２１に接着され、インク室２３の一部を構成している。
【００４２】
ヘッド部２の製造は、ダイヤモンドブレードを用いて、ヘッド基板２１に溝深さ約３００μｍ、幅約１００μｍに複数の溝２１１を形成する。次に、蒸着装置、スパッタリング装置又はプラズマＣＶＤ装置を用いて、溝２１１の壁面（側面）にＣｕ、Ａｌ、Ｃｒ、Ａｕ等の導電性を有する金属膜を約１μｍ程度の膜厚となるように時間を調節しながら成膜し、圧電駆動用の電極膜２１２を形成する。これにより、ヘッド基板２１が形成される。
【００４３】
次に、蓋２２のヘッド基板２１との接着面を研磨加工し、さらにヘッド基板２１の蓋２２との接着面上の不要な電極膜を除去して研磨加工を施する。その後、ヘッド基板２１と蓋２２とを接着剤を用いて接着する。これにより、ヘッド部２が形成される。
【００４４】
ノズルプレート３は、複数のノズル孔３１を備え、接着面においてノズル孔３１のそれぞれが各インク室２３に連通した状態でヘッド部２に接着される。複数のノズル孔３１は、一列に配置されインク室２３に収容されているインクを吐出する。
【００４５】
また、ノズルプレート３は、厚さ約５０μｍ程度のポリイミド等の高分子材料で形成されている。複数のノズル孔３１は、レーザ加工装置等を用いて形成される。次に、製造したノズルプレート３のノズル孔３１が、ヘッド基板２１のインク室２３の中心位置となるように位置合わせを行い、５μｍ程度の均一な厚さに接着剤が塗布されたヘッド部２の壁面にノズルプレート３を加圧接着することで、ヘッド部２とノズルプレート３とが接着される。
【００４６】
図３は、接着面３Ａ側から見たノズルプレート３の構成を示す概略図である。図４は、図３に示すＡ−Ａ′断面を示す断面図である。ノズルプレート３には、複数のノズル孔３１のそれぞれの周辺に接着剤溜部３２が形成されている。複数の接着剤溜部３２は、図４に示すように、ノズルプレート３の接着面３Ａにおいて凹形状を呈し、ノズル孔３１に連通している。
【００４７】
また、複数の接着剤溜部３２は、余剰の接着剤を収容する。接着剤４０によってノズルプレート３がヘッド部２に接着される際、余剰の接着剤４０は、接着面３Ａから溢れてノズル孔３１に向かって流れ込もうとするが、図４に示すように各接着剤溜部３２に流れ込み固着する。したがって、ノズル孔３１に余剰の接着剤４０が流れ込んでしまうのを確実に防止できる。これにより、ノズル孔３１に接着剤４０が流れ込んで壁面に固着してインクの一回あたりの吐出量が少なくなることを防止でき、またノズル孔３１を塞いでしまうことを防止できる。
【００４８】
なお、接着剤溜部３２の容積が小さいと、余剰の接着剤４０を十分に収容できず、ノズル孔３１に流れ込み易くなるので、余剰の接着剤４０を十分に収容できる容積とする必要がある。
【００４９】
本実施形態において、表１に示すように、ヘッド部２の壁面に塗布する接着剤の厚さを５μｍとした場合において、接着剤溜部３２の深さをノズル孔３１の深さの半分とし、開口面３２ａ及び底面３２ｂの面積を変化させてノズルプレート３とヘッド部２との接着剤がノズル孔３１に流れ込むか否かの実験を行った。ここで、表１の開口面３２ａ及び底面３２ｂの面積は、接着面３Ａ側のノズル孔３１の面積との比で表している。
【００５０】
表１に示すように、ノズル孔３１の面積に対し接着剤溜部３２の開口面３２ａ及び底面３２ｂの面積が１．５倍以上における場合では、余剰の接着剤４０がノズル孔３１に流れ込まなかった。
【００５１】
【表１】
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【００５２】
なお、本実施形態では、接着剤溜部３２の深さをノズル孔３１の深さの半分としたが、特にこれに限定されるものではなく、余剰の接着剤を収容するのに好適な接着剤溜部３２の容積を確保できることを条件に接着剤溜部３２とノズル孔３１との関係を適宜設定できる。また、本実施形態では開口面３２ａ及び底面３２ｂの面積及び形状を同一にしているが、接着剤溜部３２が余剰の接着剤を収容するのに十分な容積となることを条件に接着剤溜部３２及びノズル孔３１を異なる面積又は形状とすることもできる。
【００５３】
なお、接着剤溜部３２は、接着面３Ａにおいて全面がインク室２３に対向していることが望ましい。つまり、開口３２ａ及び底面３２ｂの前面がインク室２３に対向していることが望ましい。図５に示すように全面が対向していないと、ノズルプレート３がヘッド部２に接着される際、接着剤溜部３２のインク室２３に対向していない箇所であるヘッド部２の壁面と接着剤溜部３２とが対向する空隙部（本発明の凹部に相当する。）が形成されるので、インク滴の吐出の際にインク等に含まれている気泡４５がこの空隙部に入り込む虞があるからである。つまり、インク滴の吐出においてヘッド基板２１が剪断変形する時に気泡４５がダンパーの役目をして、インク滴を吐出するためのエネルギを吸収してしまうため、吐出精度の低下の原因となるからである。
【００５４】
また、接着剤溜部３２は、図６に示すように、ノズルプレート３の接着面３Ａ側に開口した凹部３４を底面３２ｂに形成してもよい。凹部３４は、ノズル孔３１には連通せず、接着剤溜部３２に流れ込んできた余剰の接着剤４０を収容する。これによって、より多くの量の余剰の接着剤４０を接着剤溜部３２に流れ込ませることができるので、ヘッド部２とノズルプレート３との密着力の向上を図ることができる。
【００５５】
本実施形態では、接着剤溜部３２をインク室２３の形状に沿って長方形に形成しているが特にこれに限定されるものではない。例えば、図７に示すように、円形のノズル孔３１に同心円形状になるように接着部材溜部３２を形成してもよい。これにより、接着剤溜部３２の外周形状が同一となるので、余剰の接着剤４０が偏って流れ込んで固着することを防止でき、インク滴の吐出に影響を与えることを防止できる。
【００５６】
なお、ノズルプレート３の接着面３Ａにおける接着剤溜部３２の形状を長方形にすると、接着面３Ａにおける接着剤溜部３２の面の範囲は隣接する他の接着剤溜部３２に連通しない限られた範囲に制限されるが、この制限された範囲内で接着面３Ａにおける接着剤溜部３２の面の範囲を最大限の大きさに形成することができ、ヘッド部２とノズルプレート３との密着力を向上させることができる。
【００５７】
ノズルプレート３は、図４に示すようにノズルプレート３が多数個取りされる高分子材料のシート１２にレーザ照射装置からレーザを照射することで形成される。
【００５８】
レーザ照射装置は、アブレーションマスク５０、レンズ５１、図示しないレーザ照射部等を備え、シート１２にアブレーションマスク５０及びレンズ５１を介して図８に示す矢印方向のエキシマレーザ等のレーザを照射する。
【００５９】
アブレーションマスク５０は、ノズル孔列５０Ａ、接着剤溜部枠列５０Ｂ、長枠５０Ｃ及び短枠５０Ｄが形成されている。ノズル孔列５０Ａは、単一のノズルプレート３に形成されるべき複数のノズル孔３１の列に対応するパターンである。接着剤溜部枠列５０Ｂは、単一のノズルプレート３に形成されるべき複数の接着剤溜部３２の列に対応するパターンである。長枠５０Ｃ及び短枠５０Ｄは、シート１２からノズルプレート３を切り出す際に用いられ、単一のノズルプレート３の外周の長辺及び短辺に対応したパターンである。
【００６０】
本実施形態におけるアブレーションマスク５０は、例えば、石英基板上にアルミでノズル孔列５０Ａ等のパターンを作っておいて、更にその上に２種類の誘電体膜を交互に多層積層した全反射膜を形成し、次いでアルミを溶かして所望のパターンを形成することで製造される。
【００６１】
アブレーションマスク５０及びレンズ５１を介して照射する際、例えば、レンズ５１によって１／４に縮小されたノズル孔列５０Ａ等の形状がシート１２に照射される。
【００６２】
シート１２は、外枠に幅２ｃｍのワーキングスペース１２Ａと、このワーキングスペースの内側に幅１ｃｍ以上のマージン領域１２Ｂが設けられている。ノズルプレート３は、シート１２のワーキングスペース１２Ａ及びマージン領域１２Ｂよりも内側に形成される。
【００６３】
ノズルプレート３の形成は、まず単一のノズルプレート３に形成されるべき複数のノズル孔３１の列を一単位とするノズル孔３１列を、シート１２に形成すべきノズルプレート３の個数分だけ形成する。具体的には、載置されているシート１２に対してアブレーションマスク５０を一定の位置に移動させる。次に、レーザをアブレーションマスク５０のノズル孔列５０Ａにのみ透過させてシート１２に照射する。これにより、単一のノズル孔３１列が形成される。
【００６４】
その後、アブレーションマスク５０を設定されたピッチ移動間距離だけ移動させて再びアブレーションマスク５０を介してシート１２にレーザを照射して単一のノズル孔３１列を形成し、この動作を繰り返すことによってシート１２上にノズルプレート３の個数分だけノズル孔３１列が形成される。
【００６５】
次に、単一のノズルプレート３に形成されるべき複数の接着剤溜部３２の列を一単位とする接着剤溜部３２列を、シート１２に形成すべきノズルプレート３の個数分だけ形成する。具体的には、シート１２の端（角）に形成された一のノズル孔３１列において中心に位置するノズル孔３１の配置位置に基づいて、アブレーションマスク５０の接着剤溜部枠列５０Ｂにおいて中心に位置する接着剤溜部枠の移動位置をアライメントする。
【００６６】
その後、レーザをアブレーションマスク５０の接着剤溜部枠列５０Ｂにのみ透過させてシート１２に照射する。これにより、シート１２に単一の接着剤溜部３２列が形成される。次に、アライメントは行わずにアブレーションマスク５０をピッチ移動間距離だけ移動させて再びレーザを照射して接着剤溜部３２列を形成し、この動作を繰り返して図９に示すようなノズル孔３１列及び接着剤溜部３２列が形成された状態となる。
【００６７】
なお、アライメントは、レーザ照射装置に備えられる図示しない撮像手段によって撮像されたノズル孔３１列の画像データに基づいて行う。
【００６８】
次に、シート１２から多数個のノズルプレート３を切り出す。具体的には、上述と同様にシート１２の端（角）に形成された一のノズル孔３１列において中心に位置するノズル孔３１の配置位置に基づいて、アブレーションマスク５０の長枠５０Ｃの移動位置をアライメントする。その後、レーザをアブレーションマスク５０の長枠５０Ｃにのみ透過させてシート１２に照射してカッティングする。これにより、シート１２にノズルプレート３の外周の長辺が形成される。
【００６９】
次に、上述と同様にシート１２の端（角）に形成された一のノズル孔３１列において中心に位置するノズル孔３１の配置位置に基づいて、アブレーションマスク５０の短枠５０Ｄの移動位置をアライメントする。その後、レーザをアブレーションマスク５０の短枠５０Ｄにのみ透過させてシート１２に照射してカッティングする。これにより、シート１２にノズルプレート３の外周の短辺が形成される。上記動作を繰り返し行うことによって、シート１２から多数個のノズルプレート３が切り出される。
【００７０】
なお、ノズル孔３１等の深さ形状は、レーザのショット数、もしくはレーザのパワーを制御することによって形成される。
【００７１】
本実施形態においては、ノズル孔３１、接着剤溜部３２の形成、及び、ノズルプレート３の切り出しを単一のアブレーションマスク５０を用いているので、θずれを発生することがなく、精度よくノズルプレート３を形成でき、生産性を向上させることができる。
【００７２】
以上のように、ノズルプレート３のノズル孔３１の周辺に接着剤溜部３２を形成することにで、余剰の接着剤４０のノズル孔３１４への流れ込みを確実に防止することができ、ヘッド部２とノズルプレート３との密着力を向上させることができる。
【００７３】
また、余剰の接着剤４０が接着剤溜部３２に流れ込む際に気泡を含んでも、ノズル孔３１と接着剤溜部３２とが連通しているので、気泡をノズル孔３１から外部に排出できる。これにより、ヘッド部２とノズルプレート３との接着力を強力にでき、高い密着性を確保することができる。さらに、接着面３Ａ側において各ノズル孔３１を含むように複数の接着剤溜部３２を形成しているので、ノズルプレート３が反ってしまうこともない。
【００７４】
なお、本発明の実施形態では、インクジェットプリンタに用いられるインクジェット装置のインクヘッドについて説明したが、製造装置等に用いるインクジェット装置のインクヘッドにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】この発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの構成を示す概略図である。
【図２】同インクジェットヘッドの構成を示す簡略図である。
【図３】同インクジェットヘッドに備えられるノズルプレートの一部の構成を示す概略図である。
【図４】図３に示すＡ−Ａ′断面を示す断面図である。
【図５】インクジェットヘッドに備えられるノズルプレートの構成を示す断面図である。
【図６】この発明の実施形態に係るインクジェットヘッドに備えられるノズルプレートの一部の構成を示す断面図である。
【図７】同インクジェットヘッドに備えられるノズルプレートの一部の構成を示す上面図である。
【図８】ノズルプレートを製造する際に用いるアブレーションマスクの構成を示す斜視図である。
【図９】シート状のノズルプレートの状態を示す上面図である。
【図１０】従来のノズルプレートの構成を示す概略図である。
【図１１】従来のノズルプレートの構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【００７６】
１−インクジェットヘッド
２−ヘッド部
３−ノズルプレート
３Ａ−接着面
２３−インク室
３１−ノズル孔
３２−接着剤溜部
３２ａ−開口面
３２ｂ−底面
３４−凹部
４０−接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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