(57)【要約】  【課題】確認作業が容易なパターンレイアウト方法を提供する。  【解決手段】確認位置座標指定ファイル１およびガラス基板パターンレイアウト図ファイル６からパターンレイアウトの一部の領域を自動的にモニタに表示させる。パターンレイアウトの一部の領域の確認内容を確認履歴データファイル７に保存させる。確認履歴データファイル７に保存したパターンレイアウトの確認内容を確認することによりパターンレイアウトの確認作業が効率良くなる。パターンレイアウトの確認作業効率を向上できる。  【選択図】図１
2006317529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンのパターンレイアウト、およびこのパターンレイアウト上の複数の位置確認座標を記憶装置に読み出し可能に保存し、
この記憶装置に保存された前記パターンレイアウトを読み出し、
前記記憶装置に前記パターンレイアウトを保存させ、
前記パターンレイアウト上の確認位置座標を前記記憶装置から読み出し、
前記確認位置座標を前記記憶装置に保存させるパターンレイアウト方法であって、
前記記憶装置に保存されたいずれかの前記確認位置座標の領域に相当する前記パターンレイアウトの少なくとも一部を前記記憶装置から読み出して表示手段に表示させ、
この表示手段に表示した前記パターンレイアウトの一部の確認内容を前記記憶装置に保存させる
ことを特徴とするパターンレイアウト方法。
【請求項２】
所定のパターンは、液晶表示装置のアレイ基板を製造するためのパターンである
ことを特徴とする請求項１記載のパターンレイアウト方法。
【請求項３】
所定のパターンのパターンレイアウト、およびこのパターンレイアウト上の複数の位置確認座標を読み出し可能に保存した記憶装置と、
この記憶装置に保存された前記パターンレイアウトを読み出すレイアウト読出手段と、
前記記憶装置に前記パターンレイアウトを保存させるレイアウト保存手段と、
前記パターンレイアウト上の確認位置座標を前記記憶装置から読み出す確認座標読出手段と、
前記確認位置座標を前記記憶装置に保存させる確認座標保存手段と、
前記記憶装置に保存されたいずれかの前記確認位置座標の領域に相当する前記パターンレイアウトの一部が前記記憶装置から前記レイアウト読出手段および確認座標読出手段にて読み出されて表示される表示手段と、
この表示手段に表示した前記パターンレイアウトの一部の確認内容を前記記憶装置に保存させる確認内容保存手段と
を具備したことを特徴とするパターンレイアウト装置。
【請求項４】
所定のパターンは、液晶表示装置のアレイ基板を製造するためのパターンである
ことを特徴とする請求項３記載のパターンレイアウト装置。
【請求項５】
所定のパターンのパターンレイアウト、およびこのパターンレイアウト上の複数の位置確認座標を記憶装置から読み出し可能に保存するステップと、
この記憶装置に保存された前記パターンレイアウトを読み出すステップと、
前記記憶装置に前記パターンレイアウトを保存させるステップと、
前記パターンレイアウト上の確認位置座標を前記記憶装置から読み出すステップと、
前記確認位置座標を前記記憶装置に保存させるステップとを具備したパターンレイアウトプログラムであって、
前記記憶装置に保存されたいずれかの前記確認位置座標の領域に相当する前記パターンレイアウトの少なくとも一部を前記記憶装置から読み出して表示手段に表示させるステップと、
この表示手段に表示した前記パターンレイアウトの一部の確認内容を前記記憶装置に保存させるステップと
を具備したことを特徴とするパターンレイアウトプログラム。
【請求項６】
所定のパターンは、液晶表示装置のアレイ基板を製造するためのパターンである
ことを特徴とする請求項５記載のパターンレイアウトプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定のパターンのパターンレイアウト方法、その装置およびそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶に代表されるフラットパネルディスプレイを用いた表示装置としては、携帯電話器、テレビジョン表示あるいはグラフィックスディスプレイ用などの大型で高密度なフラットパネルディスプレイが開発されている。そして、この種の表示装置は、アレイ基板上に所定の配線や各パターンを形成することによって製造されている。また、このアレイ基板上の配線や各パターンを設計するためには、コンピュータ上のＣＡＤ（Computer-Aided Design）ソフト上にパターンレイアウトとして描画することによって設計される。そして、このパターンレイアウト作業は、製造上あるいは性能上から多くの制約条件や各種確認事項などがあり、これら制約条件および確認事項を守る必要がある。
【０００３】
また、ＣＡＤ上に入力したパターンレイアウトが制約条件や確認事項を守っているかを、一人の設計者だけで確認したのでは、失敗しやすい。このため、このＣＡＤ上に入力したパターンレイアウトを、複数の設計者によって確認させる必要がある。そこで、この種の液晶表示装置用のパターンレイアウト方法としては、アレイ基板上の回路のパターンの設計作業の中で、コンタクトのパターンの配置と配線のパターンの変更とを自動化する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２０００−１１４３８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した液晶表示装置用のパターンレイアウト方法では、アレイ基板上の回路のパターンの設計作業の中で、コンタクトのパターンの配置と配線のパターンの変更とを自動化しているに過ぎない。このため、設計したパターンレイアウトを手作業で拡大して、不具合がないか確認する必要があり、入力座標間違いによる表示違いが発生しやすく、再確認作業に時間が掛かる上、設計ミスの防止施策としても不十分であるという問題を有している。
【０００５】
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、確認作業が容易なパターンレイアウト方法、その装置およびそのプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、所定のパターンのパターンレイアウト、およびこのパターンレイアウト上の複数の位置確認座標を記憶装置に読み出し可能に保存し、この記憶装置に保存された前記パターンレイアウトを読み出し、前記記憶装置に前記パターンレイアウトを保存させ、前記パターンレイアウト上の確認位置座標を前記記憶装置から読み出し、前記確認位置座標を前記記憶装置に保存させるパターンレイアウト方法であって、前記記憶装置に保存されたいずれかの前記確認位置座標の領域に相当する前記パターンレイアウトの少なくとも一部を前記記憶装置から読み出して表示手段に表示させ、この表示手段に表示した前記パターンレイアウトの一部の確認内容を前記記憶装置に保存させるものである。
【０００７】
そして、記憶装置に保存された所定のパターンのパターンレイアウト上のいずれかの確認位置座標の領域に相当するパターンレイアウトの少なくとも一部を、この記憶装置から読み出して表示手段に表示させる。この後、この表示手段に表示したパターンレイアウトの一部の確認内容を記憶装置に保存させる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、記憶手段に保存させたパターンレイアウトの少なくとも一部の確認内容を確認することによって、所定のパターンのパターンレイアウトの確認作業が効率良くなるから、このパターンレイアウトの確認作業が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施の形態の液晶表示装置用のパターンレイアウト方法を図１および図２を参照して説明する。
【００１０】
このパターンレイアウト方法は、フラットパネルディスプレイ表示装置としての図示しない液晶表示装置のアレイ基板のガラス基板上に形成するマスク設計用やレクチル設計用などのマスクパターンやレクチルパターンなどのパターンレイアウトの設計方法である。
【００１１】
具体的に、このパターンレイアウト方法は、図示しないステッパ式の露光装置を用いて生産されるアレイ基板のガラス基板上のマスクパターンやレクチルパターンなどのレイアウト方法である。ここで、このステッパ式の露光装置とは、アレイ基板のガラス基板上の全面を一度に露光せず複数回に分けて繰り返して露光する装置である。
【００１２】
そして、このパターンレイアウト方法は、まずパターンレイアウトを描画する上での制約条件などの総数Ｎの確認項目についての確認内容と、このパターンレイアウト上の予め設定した確認位置座標とのそれぞれを記憶させたデータファイルを、確認位置座標指定ファイル１として、所定のフォーマットで準備する。
【００１３】
この後、この準備した確認位置座標指定ファイル１を、に示すパターンレイアウト装置としてのコンピュータ２に収容されている記憶装置としてのメモリに読出し可能に記憶させて保存させる。
【００１４】
すなわち、このコンピュータ２のメモリには、マスクパターンやレクチルパターンなどのパターンレイアウトと、このパターンレイアウト上の複数の位置確認座標とのそれぞれが読み出し可能に保存されて記憶されている。なお、このパターンレイアウトは、アレイ基板を製造するためのパターンレイアウトである。
【００１５】
そして、この確認位置座標指定ファイル１をメモリから読み出してコンピュータ２の図示しない演算手段としての処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）に読み込ませる（ステップ１）。
【００１６】
この後、この読み込んだ確認位置座標指定ファイル１中の確認項目の総個数Ｎをコンピュータ２のＣＰＵにて算出させる（ステップ２）。
【００１７】
次いで、１番目の確認項目ｎ（＝１）から（ステップ３）順に、このｎ番目の確認項目における確認位置座標に基づいて、コンピュータ２のＣＰＵに収容されている図示しないＣＡＤ（Computer-Aided Design：コンピュータ援用設計システム）上のマスクパターンやレクチルパターンなどどのガラス基板パターンレイアウト図が保存されているガラス基板パターンレイアウト図ファイル６から、ガラス基板パターンレイアウト図の一部である所定の確認位置座標の領域に相当する部分をコンピュータ２の表示手段としての画面であるモニタ３上に表示させる（ステップ４）。
【００１８】
そして、このステップ４にてコンピュータ２のモニタ３上に表示させたパターンレイアウトが、確認位置座標指定ファイル１に記憶されている確認内容と整合する所望のパターンであるか否かを設計者が確認する（ステップ５）。
【００１９】
この後、このステップ５にて確認した結果である確認内容を、コンピュータ２に取り付けられている入力手段としてのキーボード装置４やマウス５などを用いて入力させて、このコンピュータ２のメモリに予め記憶されている確認履歴データファイル７に保存させて記憶させる（ステップ６）。
【００２０】
ここで、このコンピュータ２のキーボード装置４およびマウス５は、このコンピュータ２のメモリに保存されているパターンレイアウトを読み出すレイアウト読出手段であるとともに、このメモリにパターンレイアウトを保存させるレイアウト保存手段である。また、これらキーボード装置４およびマウス５は、確認位置座標指定ファイル１中の所望する確認位置座標をメモリから読み出す確認座標読出手段であるとともに、この所定の確認位置座標をメモリに保存させる確認座標保存手段でもある。さらに、これらキーボード装置４およびマウス５は、コンピュータ２のモニタに表示させたパターンレイアウトの一部の確認内容をメモリに保存させる確認内容保存手段でもある。
【００２１】
次いで、確認位置座標指定ファイル１中の全ての確認項目（ｎ＝Ｎ）についてステップ４からステップ６までを繰り返し（ステップ７）、これら全ての確認項目の確認が終わったら終了させる（ステップ８）。
【００２２】
上述したように、上記一実施の形態によれば、確認位置座標を指定する確認位置座標指定ファイル１およびガラス基板パターンレイアウト図ファイル６から所定のパターンレイアウトの一部の領域を自動的に表示させ、このパターンレイアウトの一部の領域を設計者が確認した内容を確認履歴データファイル７に保存させる構成とした。
【００２３】
この結果、この確認履歴データファイル７に保存させたパターンレイアウトの確認内容を確認することによって、液晶表示装置のアレイ基板のガラス基板上に形成するマスク設計用やレクチル設計用などのマスクパターンやレクチルパターンなどのパターンレイアウトの確認作業が効率良くなる。このため、これらマスクパターンやレクチルパターンなどのパターンレイアウトの確認作業効率を向上できるから、このパターンレイアウトの確認作業を容易にできる。
【００２４】
よって、これらマスクパターンやレクチルパターンなどの設計期間を短縮でき、これらマスクパターンやレクチルパターンなどの設計ミスを低減できる。したがって、ＣＡＤ上に作成したレイアウトパターンを手作業で確認する場合に比べ、短時間に高精度な液晶表示装置を得ることができる。
【００２５】
具体的に、ＣＡＤ上に作成したレイアウトパターンを手作業で確認する場合には、確認時間に１時間程度掛かっていたが、上述のように確認位置座標指定ファイル１およびガラス基板パターンレイアウト図ファイル６から所定のパターンレイアウトを自動的に表示させて、このレイアウトパターン中の確認位置座標に相当した領域を設計者が確認した内容を確認履歴データファイル７に保存させることにより、この確認作業の作業時間が１０分間程度になったから、この確認作業を約１／６に短縮できるとともに、設計ミスを低減できることが分かった。
【００２６】
なお、上記各実施の形態の動作をコンピュータ読み取り可能な液晶表示装置用のパターンレイアウトプログラムとしたり、計算機にて自動的に計算できる液晶表示装置用のＣＡＤソフトウエアとしたりすることもできる。さらに、これらパターンレイアウトプログラムあるいはＣＡＤソフトウエアを記録した光ディスクあるいは磁気ディスクその他の記録媒体に格納し、この記録媒体を計算機に自動的に動作させるために用いることもできる。
【００２７】
また、上記各実施の形態では、液晶表示装置のアレイ基板のガラス基板上に形成するマスクパターンやレクチルパターンなどのパターンレイアウト方法について説明したが、この液晶表示装置のアレイ基板や対向基板上にパターニングする種々の配線パターン、レジストパターンあるいはマスクパターンや、液晶表示装置以外のフラットパネルディスプレイ表示装置などにパターニングする種々のパターンであっても対応させて用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１の実施の形態のパターレイアウト方法を示すフローチャートである。
【図２】同上パターンレイアウト方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２９】
２    パターンレイアウト装置としてのコンピュータ
３    表示手段としてのモニタ
【図１】
2006317529.tif 000003
【図２】
2006317529.tif 000004