(57)【要約】【課題】  搬入カセットから搬出カセットに移送するに際して、部品を傷付ける虞れが殆どなく、移送時間の短縮化も図るようにする。【構成】  突き下げピン３０及び吸着コレット５０の先端部を搬入カセット１０の粘着シート１１の裏面に当接させて半導体チップ１を突き下げ、突き下げられた半導体チップ１を搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ又は２０Ｃで受け止め、その受け止め面２０１Ａ、２０１Ｂ又は２０１Ｃの粘着シート２１Ａ、２１Ｂ又は２１Ｃ上に貼り付けるようにする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬入カセットの粘着シート上に貼り付けられた複数の部品を剥離して搬出カセット上に移送する部品移送装置において、複数の部品が貼り付けられた粘着シートが下面に張り付け可能な搬入カセットと、先端部が搬入カセットの開口を通じて粘着シートの裏面に当接可能な突き下げピンと、突き下げピンの基端部に連結されており且つ突き下げピンの先端部が粘着シートの裏面に当接して部品を剥離させる剥離位置から搬入カセットに接触しない退避位置にかけて垂直方向に相対的に移動させるピン移動機構と、突き下げピンの先端部の当接に伴う搬入カセットの粘着シートの凸状変形により突き下げられた部品を受け止めるための受け止め面を有しており且つ受け止め面に当該部品を貼り付けるための粘着シートが取り付けられた搬出カセットと、搬入カセット及び搬出カセットを移動させるカセット移動機構と、搬入カセット上の複数の部品を搬出カセット上に順次移送させるのに必要なシーケンスパターンに従ってピン移動機構及びカセット移動機構を制御する制御部とを具備したことを特徴とする部品移送装置。
【請求項２】
請求項１記載の部品移送装置において、部品に比べて若干小さな寸法を有した中空筒体であり且つ内部に突き下げピンが挿通される吸着コレットと、吸着コレットの基端部に連結され且つ吸着コレットの先端部が粘着シートの裏面に当接する吸着位置と搬入カセットに接触しない退避位置にかけて吸着コレットを垂直方向に相対的に移動させるコレット移動機構とを備えており、制御部は、搬入カセット上の部品を搬出カセット上に移送させるに際して、コレット移動機構を動作させて吸着コレットの先端部を吸着位置に移動させた後、ピン移動機構を動作させて突き下げピンの先端部を剥離位置に移動させる機能を有した構成となっていることを特徴とする部品移送装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の部品移送装置において、突き下げピンは先端部が先細り状に形成されていることを特徴とする部品移送装置。
【請求項４】
搬出カセットが複数備えられた請求項１、２又は３記載の部品移送装置において、制御部は、搬入カセット上の複数の部品のランク又は種類を測定する測定装置から測定データが入力されており、搬入カセット上の複数の部品を搬出カセットに順次移送させるに際して、測定データに含まれる当該部品のランク又は種類を認識し、当該ランク又は種類に対応付けられた搬出カセットを当該部品の移送先として設定する機能を有した構成となっていることを特徴とする部品移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は搬入カセットの粘着シートに貼付けられた複数の部品を剥離して搬出カセット上に移送する部品移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
このように移送される部品の代表例として発光ダイオード、抵抗、コンデンサ等の電子部品がある。これらの部品については、製造された後、粘着シートに貼り付けられ、粘着シートのまま搬入カセットにセットされることが多い。そして、検査装置により搬入カセット上の部品のランクが測定され、部品移送装置により粘着シート上の部品が剥離され、そのランクに対応付けた搬出カセットに順次移送される。
【０００３】
従来の部品移送装置は吸着コレットにより部品を吸着させる吸着式のもの（例えば、特許文献１等参照）、剥離ホイールと突き下げコレットにより部品を剥離させるホイール式のもの（例えば、特許文献２等参照）がある。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−４３８３２号公報
【特許文献２】特開平０８−３７３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来例による場合、吸着式については吸着コレットによる吸着時、ホイール式については剥離ホイールによる剥離時にいずれも部品に傷が付く虞れがある。また、粘着シート上の部品を剥離した後に所定の搬出カセットに移送させることが必要であるときには、部品移送装置としてホイール式より吸着式のものを使用するのが一般的である。ところが、吸着コレットを搬入カセットから搬出カセットまで移動させることが必要であり、その移動距離が長く、この点で部品の移送時間の短縮化を図ることが困難である。
【０００６】
本発明は上記した背景の下で創作されたものであり、その目的とするところは、搬入カセットから搬出カセットに移送するに際して部品を傷付ける虞れが殆どなく、移送時間の短縮化も図ることが可能な部品移送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の部品移送装置は、搬入カセットの粘着シート上に貼り付けられた複数の部品を剥離して搬出カセット上に移送する装置であって、複数の部品が貼り付けられた粘着シートが下面に張り付け可能な搬入カセットと、先端部が搬入カセットの開口を通じて粘着シートの裏面に当接可能な突き下げピンと、突き下げピンの基端部に連結されており且つ突き下げピンの先端部が粘着シートの裏面に当接して部品を剥離させる剥離位置から搬入カセットに接触しない退避位置にかけて垂直方向に相対的に移動させるピン移動機構と、突き下げピンの先端部の当接に伴う搬入カセットの粘着シートの凸状変形により突き下げられた部品を受け止めるための受け止め面を有しており且つ受け止め面に当該部品を貼り付けるための粘着シートが取り付けられた搬出カセットと、搬入カセット及び搬出カセットを移動させるカセット移動機構と、搬入カセット上の複数の部品を搬出カセット上に順次移送させるのに必要なシーケンスパターンに従ってピン移動機構及びカセット移動機構を制御する制御部とを具備している。
【０００８】
好ましくは、部品に比べて若干小さな寸法を有した中空筒体であり且つ内部に突き下げピンが挿通される吸着コレットと、吸着コレットの基端部に連結され且つ吸着コレットの先端部が粘着シートの裏面に当接する吸着位置と搬入カセットに接触しない退避位置にかけて吸着コレットを垂直方向に相対的に移動させるコレット移動機構とを備えると良い。この場合、制御部は、搬入カセット上の部品を搬出カセット上に移送させるに際して、コレット移動機構を動作させて吸着コレットの先端部を吸着位置に移動させた後、ピン移動機構を動作させて突き下げピンの先端部を剥離位置に移動させる機能を有した構成のものを用いる。
【０００９】
好ましくは、突き下げピンに関して、先端部が先細り状に形成されたものを用いることが望ましい。また、制御部に関しては、搬入カセット上の複数の部品のランク又は種類を測定する測定装置から測定データが入力されており、搬入カセット上の複数の部品を搬出カセットに順次移送させるに際して、測定データに含まれる当該部品のランク又は種類を認識し、当該ランク又は種類に対応付けられた搬出カセットを当該部品の移送先として設定する機能を有した構成のものを用いてもかまわない。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１に係る部品移送装置による場合、突き下げピンの先端部を搬入カセットの粘着シートの裏面に当接させて部品を突き下げ、突き下げられた部品を搬出カセットで受け止めるとともにその受け止め面の粘着シート上に貼り付け、この一連の過程で搬入カセットから搬出カセットに部品を移送させる構成となっている。即ち、搬入カセットから搬出カセットに移送するに際して、部品が突き下げピンの先端部及び搬出カセットの受け止め面に直接に接触せず、粘着シートを通じて間接的に接触するようになっており、そのため部品を傷付ける虞れが殆どない。また、搬入カセットの真下に搬出カセットが位置している状態で部品の移送が行われることから、ストロークが短く、これに伴って移送時間の短縮化も図ることができ、これらの点で装置としての高性能化を図ることが可能になる。
【００１１】
本発明の請求項２に係る部品移送装置による場合、吸着コレットにより部品が粘着シートを通じて吸着され、これにより常に安定した姿勢状態で突き下げピンにより突き下げられる構成となっているので、突き下げられた部品を搬出カセットの粘着シート上に安定して貼り付けることが可能になり、この点で装置としての高性能化を図ることが可能になる。
【００１２】
本発明の請求項３に係る部品移送装置による場合、突き下げピンにより粘着シートを通じて部品が突き下げられると、搬入カセットの粘着シートによる接着力が弱くなる構成となっているので、突き下げられた部品を搬出カセットの粘着シート上に確実に貼り付けることが可能になり、この点で装置としての高性能化を図ることが可能になる。
【００１３】
本発明の請求項４に係る部品移送装置による場合、搬入カセット上の複数の部品をそのランク又は種類に対応付けられた搬出カセットに順次移送するに際し、搬出カセットの種類が多くても、移送時間が大幅に長くなることがなく、この点で装置としての高性能化を図ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。ここに例として掲げる部品移送装置Ａは、発光ダイオード１（部品）の製造工程ライン上に設置されるものであり、搬入カセット１０の粘着シート１１上に貼り付けられた複数の発光ダイオード１を剥離し、これらの電気的／光学的特性のランクに応じて所定の搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに順次移送する装置である。
【００１５】
なお、発光ダイオード１の電気的／光学的特性のランクは、製造工程ライン上の移送装置Ａの前段に設置された測定装置９０により測定される。測定装置９０から出力される測定データは、搬入カセット１０又は粘着シート１１の面上における発光ダイオード１の位置を示す位置データと当該発光ダイオード１の電気的／光学的特性のランク（ここではＡ、Ｂ、Ｃの３段階）を示すランクデータから構成されており、粘着シート１１上に貼り付けられた全ての発光ダイオード１についての測定データを一単位として後述する制御部８０に出力するようになっている。
【００１６】
部品移送装置Ａは、複数の発光ダイオード１が貼り付けられた粘着シート１１が下面に張り付け可能な搬入カセット１０と、先端部が搬入カセット１０の開口１０１を通じて粘着シート１１の裏面に当接可能な突き下げピン３０と、突き下げピン３０の基端部に連結されたピン移動機構４０と、内部に突き下げピン３０が挿通される吸着コレット５０と、吸着コレット５０の基端部に連結されたコレット移動機構６０と、突き下げピン３０の先端部の当接に伴う搬入カセット１０の粘着シート１１の凸状変形により突き下げられた発光ダイオード１を受け止め、受け止め面２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃに発光ダイオード１を貼り付けるための粘着シート２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃが取り付けられた搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃと、搬入カセット１０及び搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを各々移動させるカセット移動機構７０と、搬入カセット１０上の複数の発光ダイオード１を搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに順次移送させるのに必要なシーケンスパターンに従って、ピン移動機構４０、コレット移動機構６０及びカセット移動機構７０を制御する制御部８０とを備えた構成となっている。以下、各部の詳細を説明する。
【００１７】
搬入カセット１０については、製造工程ライン上、測定装置９０により測定された後の発光ダイオード１を搬送するのに使用される円状枠体のカセットであり、その内部が開口１０１となっている。搬入カセット１０の裏面にポリプロピレン等の合成樹脂からなる粘着シート１１が外枠１０２を用いて取り付けられている。粘着シート１１の粘着面には複数の発光ダイオード１がウエハーをダンシングしたときの配列で貼り付けられている。このような搬入カセット１０がカセット移動機構７０の上側アーム７２の先端部に係合可能になっている（詳しいことは後述する）。
【００１８】
搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃについては、製造工程ライン上、ランクＡ、Ｂ、Ｃの発光ダイオード１を各々搬送するために使用される直方体のカセットであり、その上面が受け止め面２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃとなっている。受け止め面２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃにはポリプロピレン等の合成樹脂からなる粘着シート２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃが取り付けられている。粘着シート２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃの粘着面には搬入カセット１０から移送された発光ダイオード１が貼り付け可能になっている。このような搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃがカセット移動機構７０の下側アーム７４の先端部に一定間隔を開けて係合可能になっている（詳しいことは後述する）。
【００１９】
突き下げピン３０については、吸着コレット５０の内径に比べて若干小さな外径を有する棒状体であり、先端部が先細り状に形成されている。例えば、図２に示すように先端面が平坦に形成されたタイプ、凹部が形成されたタイプ、凸部が形成されたタイプのものがあるが、発光ダイオード１を搬入カセット１０の粘着シート１１から容易に剥離する一方、搬出カセット２０Ａの粘着シート２１Ａ等に確実に貼り付けることが可能なものを適宜選択すると良い。なお、突き下げピン３０は吸着コレット５０に挿入されて垂直方向に移動自在に支持されている。
【００２０】
ピン移動機構４０については、中空配置されたモータ送り機構であって、突き下げピン３０を垂直方向に移動させるようになっている。即ち、突き下げピン３０の先端部が粘着シート１１の裏面に当接して発光ダイオード１を剥離させる剥離位置と搬入カセット１０及び上側アーム７２に接触しない退避位置とにかけて、突き下げピン３０を移動させるようになっている。
【００２１】
吸着コレット５０については、発光ダイオード１に比べて若干小さな外径を有した中空筒体であって、図外の真空ポンプが接続されており、内部に突き下げピン３０が挿通されるようになっている。なお、吸着コレット５０は中空支持されたスライドベアリング５１により垂直方向に移動自在に支持されている。
【００２２】
コレット移動機構６０については、ピン移動機構４０の近くに中空配置されたモータ送り機構であって、吸着コレット５０を垂直方向に移動させるようになっている。即ち、吸着コレット５０の先端部が粘着シート１１の裏面上に当接する吸着位置と搬入カセット１０及び上側アーム７２に接触しない退避位置とにかけて、吸着コレット５０を垂直方向に移動させるようになっている。
【００２３】
カセット移動機構７０については、板状の上側アーム７２を水平方向に移動させる上側ＸＹテーブル７１と、板状の下側アーム７４を水平方向及び垂直方向に移動させる下側ＸＹＺテーブル７３とを有した構成となっている。上側アーム７２の先端部には穴７２１が形成されており、その下面には搬入カセット１０が係合可能になっている。また、上側アーム７２の先端部に搬入カセット１０が下向きに取り付けられると、搬入カセット１０の開口１０１と穴７２１とが連通するようになっている。一方、下側アーム７４の先端部の上面には、搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃが所定間隔を開けて係合可能になっている。
【００２４】
上側ＸＹテーブル７１は、コレット移動機構６０の近くに中空配置されており、上側アーム７２を水平方向に大きなストロークで移動させ、これにより搬入カセット１０を図外の搬入カセット着脱装置で受け渡し可能な受け渡し位置と突き下げピン３０等の真下位置とにかけて移動させるようになっている。一方、上側アーム７２を水平方向に小さなストロークで移動させ、これにより搬入カセット１０上に配列された発光ダイオード１の全てについて突き下げピン３０等の真下位置に位置合わせ可能になっている。
【００２５】
下側ＸＹＺテーブル７３は、上側ＸＹテーブル７１の真下位置に中空配置されており、下側アーム７４を水平方向に大きなストロークで移動させ、これにより搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ又は２０Ｃを図外の搬出カセット着脱装置で受け渡し可能な受け渡し位置と突き下げピン３０等の真下位置とにかけて移動させるようになっている。一方、下側アーム７４を水平方向及び垂直方向に小さなストロークで移動させ、これにより搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ又は２０Ｃを搬入カセット１０に近接可能にするとともに、搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ又は２０Ｃの各部品アドレス位置に突き下げピン３０等の真下位置に位置合わせ可能になっている。
【００２６】
制御部８０については、ここでは制御用ＰＣを用いている。即ち、搬入カセット着脱装置及び搬出カセット着脱装置から出力された各種信号以外に、測定装置９０から出力された測定データが入力されており、内蔵メモリに予め記録されたシーケンスパターンに従って、ピン移動機構４０、コレット移動機構６０、上側ＸＹテーブル７１及び下側ＸＹＺテーブル７３をシーケンス制御する構成となっている。特に、搬入カセット１０上の複数の発光ダイオード１を搬出カセット２０に順次移送させるに際して、測定データに含まれるランクデータを認識し、当該ランクに対応付けられた搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを当該発光ダイオード１の移送先として設定する機能が含まれている。
【００２７】
制御部８０により実現されるシーケンス動作は以下の通りである。
【００２８】
まず、搬入カセット１０上の発光ダイオード１に関する測定データが測定装置９０から入力されると、これを内蔵メモリに記録する。その後、搬入カセット着脱装置から搬入カセット１０が上側アーム７２の先端部にセットされた旨を知らせる信号が入力されると、所定のタイミングで上側ＸＹテーブル７１を動作させて、搬入カセット１０を受け渡し位置から突き下げピン３０等の真下位置に移動させる。
【００２９】
そして、内蔵メモリ上の測定データを読み出し、当該測定データに含まれる位置データに基づいて上側ＸＹテーブル７１を動作させ、当該発光ダイオード１を突き下げピン３０等の真下位置に持っていく。その一方で、当該測定データに含まれるランクデータに基づいて下側ＸＹＺテーブル７３を動作させて、当該発光ダイオード１のランクに対応付けられた搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを突き下げピン３０等の真下位置に持っていく。即ち、読み出された測定データに含まれるランクデータを認識し、例えば、発光ダイオード１のランクがＡであるときには当該発光ダイオード１の移送先として搬出カセット２０Ａを設定し、突き下げピン３０等の真下位置に搬出カセット２０Ａが来るように下側アーム７４を移動させる。発光ダイオード１のランクがＢ又はＣであるときは、突き下げピン３０等の真下に搬出カセット２０Ｂ又はＣが来るように下側アーム７４を上記と同様に移動させる。
【００３０】
このような位置合わせが行われると、ピン移動機構４０及びコレット移動機構６０を動作させ、突き下げピン３０及び吸着コレット５０を大きく降下させ、退避位置から搬入カセット１０の粘着シート１１の裏面より若干上方の近接位置に各々移動させる。その後、上記真空ポンプを動作させるとともにコレット移動機構６０を動作させる。これにより吸着コレット５０を近接位置から吸着位置に移動させ、その先端部を搬入カセット１０の粘着シート１１の裏面上の半導体チッフ１の貼付裏側箇所に当接させる。
【００３１】
そしてコレット移動機構６０に僅かに遅れてピン移動機構４０を動作させる。これにより突き下げピン３０を近接位置から剥離位置に移動させ、その先端部を搬入カセット１０の粘着シート１１の裏面に当接させて粘着シート１１を部分的に凸状変形させる。これにより発光ダイオード１が突き下げられる。突き下げられた発光ダイオード１については、そのランクがＡであるときには、搬出カセット２０Ａの受け止め面２０１Ａで受け止められ粘着シート２１Ａに貼り付けられる。ランクＢ、Ｃの発光ダイオード１については、搬出カセット２０Ｂ、２０Ｃの受け止め面２０１Ｂ、２０１Ｃで受け止められ粘着シート２１Ｂ、２１Ｃに上記と同様に貼り付けられる。
【００３２】
突き下げピン３０を剥離位置に移動させた後、ピン移動機構４０及びコレット移動機構６０を逆動作させ、突き下げピン３０を剥離位置から近接位置に、吸着コレット５０を吸着位置から近接位置に各々移動させる。
【００３３】
上記処理が終了すると、内蔵メモリ上の次の測定データを読み出し、上記と同様の処理を行なう。これを繰り返し行うと、この過程で搬入カセット１０上の全ての発光ダイオード１が搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのいずれかに順次移送される。
【００３４】
このように全ての処理が終了すると、ピン移動機構４０及びコレット移動機構６０を動作させ、突き下げピン３０及び吸着コレット５０を待機位置に戻し、その後、上側ＸＹテーブル７１を逆動作させて、搬入カセット１０を受け渡し位置に移動させる。
【００３５】
また、上記処理の途中において、搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ又は２０Ｃに移送した発光ダイオード１の個数が所定以上になったときは、割り込み処理を行う。即ち、下側ＸＹＺテーブル７３を動作させて、搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを上記搬出カセット着脱装置の受け渡し位置に移動させる。そして、同装置により新たな搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ又は２０Ｃが下側アーム７４の先端部にセットされた旨を知らせる信号が入力されると、下側ＸＹＺテーブル７３を逆動作させて、搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを搬出カセット着脱装置の受け渡し位置から突き下げピン３０等の真下位置に移動させる。これで割り込み処理が終了となる。
【００３６】
上記のように構成された部品移送装置Ａによる場合、突き下げピン３０の先端部及び吸着コレット５０の先端部が、搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの受け止め面２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃに発光ダイオード１に直接に接触せず、搬入カセット１０の粘着シート１１、搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの粘着シート２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃを通じて間接的に接触するようになっているので、発光ダイオード１を搬入カセット１０から搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに移送するに際して、発光ダイオード１が傷付く虞れがなくなる。
【００３７】
また、突き下げピン３０の先端部が先細り状になっているので、発光ダイオード１が突き下げられると、その度合いに応じて粘着シート１１の発光ダイオード１に対する実質的な接着面積が小さくなり、これに伴って接着力が徐々に弱くなる。よって、搬出カセット２０側の粘着シート２１の粘着力を搬入カセット１０側の粘着シート１１の粘着力に比べて大きくする等の特別な工夫をしなくても、搬入カセット１０の粘着シート２１上の発光ダイオード１を搬出カセット２０上の粘着シート２１Ａ、２１Ｂ又は２１Ｃに確実に貼り付けて移送することが可能になる。
【００３８】
しかも吸着コレット５０により発光ダイオード１が粘着シート１１を通じて吸着され、これにより常に安定した姿勢状態で突き下げピン３０により突き下げられるようになっているので、たとえ発光ダイオード１が搬入カセット１０の粘着シート２１上に正常でない姿勢状態で貼り付けられていても、搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの受け止め面２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃの粘着シート２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ上に安定して貼り付けることができる。
【００３９】
さらに、搬入カセット１０の真下位置で搬出カセット２０Ａ、２０Ｂ又は２０Ｃに発光ダイオード１の移送が行われることから、従来の吸着式のものに比べて、ストロークが短く、これに伴って移送時間の短縮化を図ることができる。これらの点で装置としての高性能化を図ることが可能になる。
【００４０】
なお、本発明に係る部品移送装置は発光ダイオードに限定されず、あらゆる部品に対応可能であるのは勿論、例えば、搬入カセット及び搬出カセットの台数を変更したり、吸着コレットを省略したり、先細り形状でない突き下げピンを使用したりしても良く、突き下げピンや搬入カセット等を移動させる方法についても上記に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態に係る部品移送装置の模式的構成図である。
【図２】同装置の突き下げピンの例を説明するための図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【符号の説明】
【００４２】
Ａ  部品移送装置
１  発光ダイオード（部品）
１０  搬入カセット
１１  粘着シート
２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ  搬出カセット
２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ  粘着シート
３０  突き下げピン
４０  ピン移動機構
５０  吸着コレット
６０  コレット移動機構
７０  カセット移動機構
８０  制御部
９０  測定装置
【図１】
2006080337.tif 000003
【図２】
2006080337.tif 000004