(57)【要約】【課題】  簡易な構成によって、球面収差を低減することのできる光ピックアップ装置を提供する。【解決手段】  ミラー４の基板２１の裏面では、基板２１のｘ軸（ｔａｎ方向の中心軸）に沿った扇形領域３１，３２において基板２１の厚みが大きくなっている。圧電素子２３は、基板２１の裏面に接着され、半径方向の全方向に同一比率で伸縮することにより、ミラー４の面形状を変化させる。基板２１の突起部の寸法は、ミラー４のミラー面への入射角がθのときに、その伸縮により、ミラー４の面形状のｔａｎ方向の曲率半径に対するｒａｄ方向の曲率半径の比が（ｃｏｓ（２θ）＋１）／２となるように設定される。【選択図】        図９
2006092603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源から出射されたレーザ光をミラーで反射させて、反射光を対物レンズで光記録媒体に集光させる光ピックアップ装置において、
レーザ光を反射させる厚みを有する円形のミラーと、
前記ミラーの裏面に接着され、前記ミラーの面に垂直な方向に厚みを有し、かつ前記ミラーの裏面と接着する側の面が円形の圧電素子を含むミラーアクチュエータを備え、
前記圧電素子は、前記接着する側の円形の面の中心が前記ミラーの円形の裏面の中心と一致するように接着され、
前記圧電素子は、印加される電圧に応じて、前記接着する側の円形の面の半径方向の全方向に同一比率で伸縮することにより、前記ミラーの面形状を変化させ、
前記ミラーの面への入射角が略４５度であり、
前記ミラーの厚さは、前記圧電素子の伸縮により、前記ミラーの面形状のタンジェンシャル方向の曲率半径に対するラジアル方向の曲率半径の比が略１／２となるように設定され、
前記ミラーの裏面は、ラジアル方向に延在する中心線を挟んで互いに線対称に配置された第１および第２の扇形領域と、タンジェンシャル方向に延在する中心線を挟んで互いに線対称に配置された第３および第４の扇形領域とに分割され、
前記第１および第２の扇形領域における前記ミラーの厚さに対する前記第３および第４の扇形領域における前記ミラーの厚さの比は略１０／３３であり、
前記第１および第２の扇形領域の各々の領域角は略５度である、光ピックアップ装置。
【請求項２】
レーザ光源から出射されたレーザ光をミラーで反射させて、反射光を対物レンズで光記録媒体に集光させる光ピックアップ装置において、
レーザ光を反射させる厚みを有する円形のミラーと、
前記ミラーの裏面に接着され、前記ミラーの面に垂直な方向に厚みを有し、かつ前記ミラーの裏面と接着する側の面が円形の圧電素子を含むミラーアクチュエータを備え、
前記圧電素子は、前記接着する側の円形の面の中心が前記ミラーの円形の裏面の中心と一致するように接着され、
前記圧電素子は、印加される電圧に応じて、前記接着する側の円形の面の半径方向の全方向に同一比率で伸縮することにより、前記ミラーの面形状を変化させ、
前記ミラーの裏面は、ラジアル方向に延在する中心線を挟んで互いに線対称に配置された第１および第２の扇形領域と、タンジェンシャル方向に延在する中心線を挟んで互いに線対称に配置された第３および第４の扇形領域とに分割され、
前記第１および第２の扇形領域における前記ミラーの厚さと、前記第３および第４の扇形領域における前記ミラーの厚さとの比は、前記ミラーの面形状のタンジェンシャル方向の曲率半径に対するラジアル方向の曲率半径の比が１以下になるように設定されている、光ピックアップ装置。
【請求項３】
レーザ光源から出射されたレーザ光をミラーで反射させて、反射光を対物レンズで光記録媒体に集光させる光ピックアップ装置において、
レーザ光を反射させる厚みを有する円形のミラーと、
前記ミラーの裏面に接着され、前記ミラーの面に垂直な方向に厚みを有し、かつ前記ミラーの裏面と接着する側の面が円形の圧電素子を含むミラーアクチュエータを備え、
前記圧電素子は、前記接着する側の円形の面の中心が前記ミラーの円形の裏面の中心と一致するように接着され、
前記圧電素子は、印加される電圧に応じて、前記接着する側の円形の面の半径方向の全方向に同一比率で伸縮することにより、前記ミラーの面形状を変化させ、
前記ミラーの裏面は、ラジアル方向に延在する中心線を挟んで互いに線対称に配置された第１および第２の扇形領域と、タンジェンシャル方向に延在する中心線を挟んで互いに線対称に配置された第３および第４の扇形領域とに分割され、
前記第１および第２の扇形領域における前記ミラーの厚さは、前記第３および第４の扇形領域よりも厚く、
前記第１、第２、第３および第４の扇形領域の各々の領域角は、前記ミラーの面形状のタンジェンシャル方向の曲率半径に対するラジアル方向の曲率半径の比が１以下になるように設定されている、光ピックアップ装置。
【請求項４】
前記第１、第２、第３および第４の扇形領域の各々の領域角とミラーの厚さは、前記ミラーの面への入射角がθのときに、前記圧電素子の伸縮により、前記ミラーの面形状のタンジェンシャル方向の曲率半径に対するラジアル方向の曲率半径の比が（ｃｏｓ（２θ）＋１）／２となるように設定されている、請求項２または請求項３に記載の光ピックアップ装置。
【請求項５】
レーザ光源から出射されたレーザ光をミラーで反射させて、反射光を対物レンズで光記録媒体に集光させる光ピックアップ装置において、
レーザ光を反射させる厚みを有する円形のミラーと、
前記ミラーの裏面に接着され、前記ミラーの面に垂直な方向に厚みを有し、かつ前記ミラーの裏面と接着する側の面が円形の圧電素子を含むミラーアクチュエータを備え、
前記圧電素子は、前記接着する側の円形の面の中心が前記ミラーの円形の裏面の中心と一致するように接着され、
前記圧電素子は、印加される電圧に応じて、前記接着する側の円形の面の半径方向の全方向に同一比率で伸縮することにより、前記ミラーの面形状を変化させ、
前記ミラーの裏面には、タンジェンシャル方向に延在する中心線に沿って、前記ミラーの面形状のタンジェンシャル方向の曲率半径に対するラジアル方向の曲率半径の比を１以下にするための突起部が設けられている、光ピックアップ装置。
【請求項６】
前記突起部の寸法は、前記ミラーの面への入射角がθのときに、前記圧電素子の伸縮により、前記ミラーの面形状のタンジェンシャル方向の曲率半径に対するラジアル方向の曲率半径の比が（ｃｏｓ（２θ）＋１）／２となるように設定されている、請求項５に記載の光ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ピックアップ装置に関し、特に、球面収差を補正する機能を有する光ピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ(Compact Dick)、またはＤＶＤ(Digital Versatile Disk)などの光ディスクの再生を行なう装置は、光ディスクからの情報を光学的に読出すために光ピックアップ装置を備えている。
【０００３】
光ピックアップ装置では、レーザ光源から出射されたレーザ光をミラーで反射させて、反射光を対物レンズにより集光して、光ディスクの記録面の所望のトラックに照射させ、そのトラックで反射した戻り光を光検出器で検出することにより、そのトラックの情報の読出しを行なう。
【０００４】
ところで、この対物レンズで集光される光に球面収差が生じる場合がある。球面収差とは、対物レンズで集光される光線のうち、光軸から遠い周辺部の光線が集光される位置と、光軸に近い中心部の光線が集光される位置がずれることをいう。このような球面収差が発生すると、光ディスクの良好な再生が行なわれない。
【０００５】
そこで、対物レンズが所定の光ディスクの厚さの球面収差を補正するように設計される。しかし、光ディスクの厚さにむらがある場合には、補正量が適合しないときに球面収差が生じる。また、光ディスクの記録層が多層であると、別の層にジャンプしたときに補正量が適合しないため、球面収差が生じる。
【０００６】
このような球面収差を防止する方法として、たとえば、特許文献１では、液晶素子を用いて球面収差分の位相変調を行なう方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１４１７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の特許文献１では、液晶素子を用いて位相変調を行なうため、光ピックアップ装置の構成が複雑となり、コストも高くなる。
【０００８】
それゆえに、本発明の目的は、簡易な構成によって、球面収差を低減することのできる光ピックアップ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係わる光ピックアップ装置は、レーザ光源から出射されたレーザ光をミラーで反射させて、反射光を対物レンズで光記録媒体に集光させる光ピックアップ装置において、レーザ光を反射させる厚みを有する円形のミラーと、ミラーの裏面に接着され、ミラーの面に垂直な方向に厚みを有し、かつミラーの裏面と接着する側の面が円形の圧電素子を含むミラーアクチュエータを備える。圧電素子は、接着する側の円形の面の中心がミラーの円形の裏面の中心と一致するように接着される。圧電素子は、印加される電圧に応じて、接着する側の円形の面の半径方向の全方向に同一比率で伸縮することにより、ミラーの面形状を変化させる。ミラーの面への入射角は略４５度である。ミラーの厚さは、圧電素子の伸縮により、ミラーの面形状のタンジェンシャル方向の曲率半径に対するラジアル方向の曲率半径の比が略１／２となるように設定される。ミラーの裏面は、ラジアル方向に延在する中心線を挟んで互いに線対称に配置された第１および第２の扇形領域と、タンジェンシャル方向に延在する中心線を挟んで互いに線対称に配置された第３および第４の扇形領域とに分割される。第１および第２の扇形領域におけるミラーの厚さに対する第３および第４の扇形領域におけるミラーの厚さの比は略１０／３３であり、第１および第２の扇形領域の各々の領域角は略５度である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係わる光ピックアップ装置によれば、ミラーと圧電素子で球面収差を補正するので、液晶素子を用いて球面収差分の位相変調を行なう従来に比べ、簡易な構成によって、球面収差を低減することができる。また、ミラーのタンジェンシャル方向の中心線に沿った領域の厚みを他の領域よりも厚くすることにより、ミラーの面形状のタンジェンシャル方向の曲率半径に対するラジアル方向の曲率半径の比を小さく設定するので、圧電素子の制御の簡単化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００１２】
本実施の形態は、球面収差量を最小とするような異方性の厚みを有する圧電素子を含むミラーアクチュエータを備えた光ピックアップ装置に関する。
【００１３】
図１は、光ピックアップ装置の光学系の要部を示す。同図を参照して、この光ピックアップ装置は、レーザ光源１と、コリメータ２と、偏光ビームスプリッタ３と、円形の立上げ／収差補正ミラー４と、対物レンズ５と、シリンドルカルレンズ７と、光検出器８と、ミラーアクチュエータ１０とからなる。
【００１４】
レーザ光源１は、レーザ光１３を出射する。コリメータ２は、レーザ光１３を平行光１１とする。立上げ／収差補正ミラー４は、平行光１１を立上げ方向、すなわち、光ディスク６が存在する方向に反射して、反射光１２とする。対物レンズ５は、反射光１２を光ディスク６の情報記録面に照射する。
【００１５】
情報記録面のピット列によって光強度が変調された反射光１２は、対物レンズ５を通り、立上げ／収差補正ミラー４で反射し、偏光ビームスプリッタ３で反射し、シリンドルカルレンズ７で集束させられて、光検出器８に入力される。
【００１６】
この光検出器８に入射された光に基づいて、光ディスク６の再生、対物レンズ５のフォーカスおよびトラッキング制御が行なわれる。
【００１７】
また、図示しない制御回路は、光検出器８に入射された光を中心部の光と周辺部の光に分離し、それぞれのフォーカス位置を検出することで球面収差量を測定する。そして、図示しない制御回路は、測定した球面収差量に応じて、立上げ／収差補正ミラー４を支持しているミラーアクチュエータ１０を制御して、立上げ／収差補正ミラー４のミラー面（表面）の形状を変化させることで、球面収差量を減少させる。
【００１８】
図２（ａ）は、立上げ／収差補正ミラー４のミラー面の形状が通常のとき、つまり平面のときの、反射光１２の光路を示す。同図に示すように、球面収差が生じている。
【００１９】
図２（ｂ）は、立上げ／収差補正ミラー４のミラー面の形状を変化させたとき、つまりミラー面が曲面のときの、反射光１２の光路を示す。同図に示すように、ミラー面の形状を変化させることによって、球面収差量が減少している。
【００２０】
図３（ａ）は、立上げ／収差補正ミラー４およびミラーアクチュエータ１０の構成を示す断面図である。図３（ａ）において、立上げ／収差補正ミラー４は、概略、円板状の基板２１の表面に反射膜２２を形成したものである。立上げ／収差補正ミラー４の形状については、後に詳述する。ミラーアクチュエータ１０は、圧電素子２３と、支持枝２４と、固定部２５を含む。立上げ／収差補正ミラー４の基板２１の中央部は、支持枝２４により固定部２５の中央部に固定される。
【００２１】
圧電素子２３は、ＰＺＴ薄膜２６を２枚の電極２７，２８で挟んだものであり、立上げ／収差補正ミラー４の基板２１の裏面に接着されている。圧電素子２３の基板２１の裏面と接着する側の面は、円（正確には、円の中心に支持枝２４を通す孔を開けた円環形）であり、その円の中心は、ミラーの円形の裏面の中心と一致する。圧電素子２１は、ミラー面に垂直な方向に厚みを有する。ＰＺＴ薄膜２６の分極方向は、ミラー面に垂直な方向に設定されている。
【００２２】
圧電素子２３の電極２７，２８間に電圧を印加すると、圧電素子２３は伸縮する。すなわち、圧電素子２１の電極２７，２８間に正の電圧を印加すると、圧電素子２３は、図３（ｂ）に示すように、立上げ／収差補正ミラー４の基板２１と接着している側の円形の面の半径方向の全方向に同一比率で伸張する。これにより、圧電素子２３と接着している立上げ／収差補正ミラー４は、凹状にたわみ、それにより、反射光１２は、集束光となる。
【００２３】
一方、圧電素子２１の電極２７，２８間に負の電圧を印加すると、圧電素子２３は、立上げ／収差補正ミラー４の基板２１と接着している側の円形の面の半径方向の全方向に同一比率で圧縮する。これにより、圧電素子２３と接着している立上げ／収差補正ミラー４は、凸状にたわみ、それにより、反射光１２は、発散光となる。
【００２４】
ところで、図４に示すように、ミラー角が４５度のため、立上げ／収差補正ミラー４のミラー面に入射される平行光１１のスポット形状は、楕円となる。ここで、ミラー角とは、立上げ／収差補正ミラー４のミラー面（表面）の形状が通常のときの、ミラー面への平行光１１の入射角をいう。
【００２５】
図４において、タンジェンシャル（ｔａｎ）方向とは、ミラー面に平行な方向であり、
かつ立上げ／収差補正ミラー４に入射される光のうち、光ディスク６の面に最も近い光の入射位置と、最も遠い光の入射位置とを結ぶ方向である。ラジアル（ｒａｄ）方向は、ミラー面に平行な方向であり、かつｔａｎ方向に垂直な方向である。
【００２６】
このようにスポット形状が楕円の場合には、立上げ／収差補正ミラー４を、ｔａｎ方向とｒａｄ方向に同一量だけたわませたとしても（つまり、ｔａｎ方向の曲率とｒａｄ方向の曲率が同一でも）、球面収差量は減少しない。
【００２７】
図５は、曲率半径と球面収差量との関係を示す図である。同図は、ミラー角が４５度のときに、光ディスクの素材厚ごとに、補正なし時の球面収差量と、補正したときのｔａｎ方向の曲率半径およびｒａｄ方向の曲率半径と、その補正による球面収差量とを示す。同図に示すように、ｔａｎ方向の曲率半径をｒａｄ方向の曲率半径の２倍にすると、球面収差量が最小となる。
【００２８】
したがって、本実施の形態では、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、ｔａｎ方向の曲率半径ａがｒａｄ方向の曲率半径ｂの２倍となるように、立上げ／収差補正ミラー４をたわませる。図６（ａ）は、立上げ／収差補正ミラー４のミラー面の全体形状を示し、図６（ｂ）は、立上げ／収差補正ミラー４のミラー面のｔａｎ方向の形状を示し、図６（ｃ）は、立上げ／収差補正ミラー４のミラー面のｒａｄ方向の形状を示す。
【００２９】
なお、以上の説明では、ミラー角が４５度のときに、立上げ／収差補正ミラー４のｔａｎ方向の曲率半径がｒａｄ方向の曲率半径の２倍となるようにすることで、球面収差量を最小にしたが、ミラー角が４５度以外の場合について、次に説明する。
【００３０】
図７は、ミラー角度ごとに、球面収差量が最小となるｔａｎ方向の曲率半径に対するｒａｄ方向の曲率半径の比率を示す図である。同図の関係を式で表すと、ミラー角がθのときに、ｔａｎ方向の曲率半径に対するｒａｄ方向の曲率半径の比は、（ｃｏｓ（２θ）＋１）／２となる。そして、このような曲率半径の比を実現するためには、立上げ／収差補正ミラー４のｔａｎ方向およびｒａｄ方向の厚みを変化させることが必要となる。
【００３１】
すなわち、圧電素子１２は、上述したように、単一の電位の値により、半径方向への同一比率の伸縮量が制御され、ｔａｎ方向とｒａｄ方向とで別個に伸縮量を調整することができない。そこで、立上げ／収差補正ミラー４の厚みをｔａｎ方向とｒａｄ方向でそれぞれ適切な量に設計することにより、ｔａｎ方向の曲率半径に対するｒａｄ方向の曲率半径の比は、（ｃｏｓ（２θ）＋１）／２となるようにする。つまり、立上げ／収差補正ミラー４の厚みが薄いほど、圧電素子２１の伸縮によって、立上げ／収差補正ミラー４がたわみやすいという性質を利用する。
【００３２】
図８は立上げ／収差補正ミラー４の基板２１の裏面を示す図であり、図９は基板２１を裏側から見た斜視図である。図８および図９において、基板２１は円形であり、その中央に円柱状の支持枝２４が立設されている。基板２１のｔａｎ方向に延在する中心線をｘ軸とし、基板２１のｒａｄ方向に延在する中心線をｙ軸とし、基板２１の厚み方向をｚ軸とする。
【００３３】
基板２１の裏面は、中心点Ｏで交差する２本の直線Ｌ１，Ｌ２によって４つの扇形領域３１〜３４に分割されている。直線Ｌ１はｘ軸を＋θ／２だけ回転させたものであり、直線Ｌ２はｘ軸を−θ／２だけ回転させたものである。扇形領域３１と３２はｙ軸を挟んで線対称に配置され、扇形領域３３と３４はｘ軸を挟んで線対称に配置される。
【００３４】
扇形領域３１，３２における基板２１の厚さは、扇形領域３３，３４における基板２１の厚さよりも大きく設定される。すなわち、扇形領域３１，３２において、基板２１は突起している。扇形領域３１，３２の突起部のため、立上げ／収差補正ミラー４は、ｒａｄ方向にたわみ易く、ｔａｎ方向にたわみ難くなる。したがって、扇形領域３１，３２の厚みｔｘと、扇形領域３３，３４の厚みｔと、扇形領域３１，３２の領域角θとを調整することにより、圧電素子２１の伸縮したときの立上げ／収差補正ミラー４のｔａｎ方向の曲率半径とｒａｄ方向の曲率半径との比を所望の値に設定することができる。
【００３５】
以下、立上げ／収差補正ミラー４の製作方法について具体的に説明する。立上げ／収差補正ミラー４は小型の方が好ましいが、４５度で傾設された立上げ／収差補正ミラー４に対して３ｍｍ径のレーザ光が照射されることからレーザ光のずれを考慮し、図１０に示すように、立上げ／収差補正ミラー４の直径は６ｍｍとし、支持枝２４の直径は０．６ｍｍとした。また、４５度で傾設されているため、立上げ／収差補正ミラー４のｘ軸上での変形変位とｙ軸上での変形変位との比が１：２となるように変形させる。したがって、一様厚ではなく、図８および図９で示したように、厚みに変化を持たすことにより立上げ／収差補正ミラー４の剛性を異ならせ、一様な駆動力を発生させるだけで異なった変位の変形を生じさせ、トロイダル球面を作る。駆動電圧は±３０Ｖ以下とし、外周部分で最大±２．１μｍの変位を必要とする。
【００３６】
このような動作仕様を満たすミラー形状をＦＥＭ（有限要素法）により求めた。解析条件として、圧電素子２３は、圧電係数がｄ３１＝５０×１０−１２ｍ／Ｖで膜厚が１．０μｍのＰＺＴ薄膜２６を含むものを使用し、電極２７，２８間電圧は２０Ｖとした。扇形領域３３，３４における基板２１の厚さをｔ＝５０μｍと固定し、扇形領域３１，３２における基板２１の厚さｔｘとその領域角θをパラメータとし解析を行なったところ、図１０に示すように、最適な数値はｔｘ＝１６５μｍ，θ＝５度となった。扇形領域３１，３２の厚さｔｘ＝１６５μｍに対する扇形領域３３，３４の厚さｔ＝５０μｍの比は、５０／１６５＝１０／３３である。
【００３７】
図１１は、変形時における立上げ／収差補正ミラー４表面のｘ軸とクロスする領域およびｙ軸とクロスする領域における変形変位量を示す図である。レーザ光が照射されるミラー４の中心Ｏから半径２ｍｍの範囲内では滑らかな曲線を描き、理想曲線とほぼ一致している。また、外周部分における必要変位である２．１μｍを満たし、Ｘ軸方向とｙ軸方向の変位比もほぼ１：２になっている。
【００３８】
図１２は、変形時における立上げ／収差補正ミラー４表面の円周方向の変形変位を示す図である。円周位置ψは、ｘ軸からの角度を示している。半径ｒが１ｍｍ、２ｍｍ、３ｍｍの各位置で変形変位を測定した。ミラー外周部ではトロイダル球面と大きく異なっているが、レーザ光のビームスポットが照射される中心部では、理想のトロイダル球面に近い形状となっていることが分かる。
【００３９】
図１３は、立上げ／収差補正ミラー４の表面での波面収差による光学解析を行なった結果を示す図であり、補正前後での収差の量を示している。補正により、非点収差は増加したが、球面収差が大幅に減少し、コマ収差は変わらず、トータルで収差が減少した。また、球面収差を改善したことによって、非点収差、球面収差、コマ収差以外の高次収差に悪影響を及ぼしていないことが分かった。したがって、多層化された光ディスク６を通ることにより発生する球面収差を初期中心位置、レンズシフト時とも大幅に減らすことができた。また、補正後のビームスポットを調べたところ、補正後の収差はほとんど無く、一点で像を結んでいることが分かった。
【００４０】
次に、立上げ／収差補正ミラー４およびミラーアクチュエータ１０の製作工程を示す。まず、両面酸化膜の付いたＳｉ基板４０を用意し、図１４（ａ）に示すように、扇形領域３１，３２および支持枝２４を作るためのＡｌマスク４１をパターニングする。図１４（ｂ）に示すように１１５μｍだけＳｉをエッチングした後、図１４（ｃ）に示すように支持枝２４に対応する部分のみを残してＡｌマスクを除去する。そして図１４（ｄ）に示すように８５μｍだけＳｉをエッチングし、扇形領域３１，３２の突起部と支持枝２４を作る。
【００４１】
次に、図１４（ｅ）（ｆ）に示すように、Ｐｔ電極２７をスパッタした後にリフトオフでパターニングし、さらに、ＰＺＴ薄膜２６、Ｐｔ電極２８の各々をスパッタおよびリフトオフして圧電素子２３を形成する。次いで図１４（ｇ）に示すように、裏返しにしてミラー面となる円形領域にＡｌ反射膜２２をパターニングする。次に図１４（ｈ）に示すように、貫通エッチングを行なって不要な部分を除去し、円形の立上げ／収差補正ミラー４が完成する。
【００４２】
以上のように、本実施の形態に係わる光ピックアップ装置によれば、ミラー角がθのときに、立上げ／収差補正ミラー４のｔａｎ方向の曲率半径に対するｒａｄ方向の曲率半径の比が（ｃｏｓ（２θ）＋１）／２となるように、立上げ／収差補正ミラー４のｔａｎ方向およびｒａｄ方向の厚みをそれぞれ調整するので、球面収差量を最小にすることができる。
【００４３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】この発明の一実施の形態による光ピックアップ装置の光学系の要部を示す図である。
【図２】図１に示した立上げ／収差補正ミラーの反射光の光路を示す図である。
【図３】図１に示した立上げ／収差補正ミラーおよびミラーアクチュエータの構成および動作を示す図である。
【図４】立上げ／収差補正ミラーのミラー面に入射される平行光のスポット形状を示す図である。
【図５】立上げ／収差補正ミラーの曲率半径と球面収差量との関係を示す図である。
【図６】立上げ／収差補正ミラーのミラー面の形状を示す図である。
【図７】ミラー角度ごとに、球面収差量が最小となるｔａｎ方向の曲率半径に対するｒａｄ半径の曲率半径の比率を示す図である。
【図８】立上げ／収差補正ミラーの基板の裏面を示す図である。
【図９】立上げ／収差補正ミラーの基板を裏側から見た斜視図である。
【図１０】立上げ／収差補正ミラーの基板の寸法を示す図である。
【図１１】変形時の立上げ／収差補正ミラー表面における径方向の距離と変形変位との関係を示す図である。
【図１２】変形時の立上げ／収差補正ミラー表面における円周方向の位置と変形変位との関係を示す図である。
【図１３】補正前と補正後の収差を示す図である。
【図１４】立上げ／収差補正ミラーおよびミラーアクチュエータの製作工程を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  レーザ光源、２  コリメータ、３  偏光ビームスプリッタ、４  立上げ／収差補正ミラー、５  対物レンズ、６  光ディスク、７  シリンドルカルレンズ、８  光検出器、１０  ミラーアクチュエータ、１１  平行光、１２  反射光、１３  レーザ光、２１  基板、２２  反射膜、２３  圧電素子、２４  支持枝、２５  固定部、２６  ＰＺＴ薄膜、２７，２８  電極、３１〜３４  扇形領域、４０  Ｓｉ基板、４１  Ａｌマスク。
【図１】
2006092603.tif 000003
【図２】
2006092603.tif 000004
【図３】
2006092603.tif 000005
【図４】
2006092603.tif 000006
【図５】
2006092603.tif 000007
【図６】
2006092603.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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