(57)【要約】【課題】この発明は一対の軸受体の軸芯にずれが生じないよう、ロールブラシを回転可能に支持することができるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。【解決手段】ブラシ軸にブラシ部が設けられたロールブラシによって所定方向に搬送される基板を洗浄するブラシ洗浄装置であって、  第１の支軸３１を回転可能に支持した第１の軸受体２７と、第２の支軸３１を回転可能に支持した第２の軸受体２７と、第１の支軸にブラシ軸３６の一端を分解可能に連結する嵌め合い継ぎ手３８と、第２の支軸にブラシ軸の他端を分解可能に連結するねじ止め継ぎ手３９と、第１の軸受体と第２の軸受体のどちらか一方を揺動可能に支持した球面軸受２９と、第１の軸受体と第２の軸受体のどちらかに支持された支軸を介してロールブラシを回転駆動する駆動源４８とを具備する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブラシ軸にブラシ部が設けられたロールブラシによって所定方向に搬送される基板を洗浄するブラシ洗浄装置であって、
第１の支軸を回転可能に支持した第１の軸受体と、
第２の支軸を回転可能に支持した第２の軸受体と、
上記第１の支軸に上記ブラシ軸の一端を分解可能に連結する第１の継ぎ手と、
上記第２の支軸に上記ブラシ軸の他端を分解可能に連結する第２の継ぎ手と、
上記第１の軸受体と第２の軸受体のどちらか一方を揺動可能に支持した球面軸受と、
上記第１の軸受体と第２の軸受体のどちらかに支持された支軸を介して上記ロールブラシを回転駆動する駆動源と
を具備したことを特徴とするブラシ洗浄装置。
【請求項２】
上記球面軸受によって揺動可能な一方の軸受体に支持された一方の支軸とブラシ軸を連結する一方の継ぎ手は、このブラシ軸と上記支軸とをこれらに形成された凹部と凸部との嵌合によって結合する嵌め合い継ぎ手であって、他方の継ぎ手は上記ブラシ軸と他方の支軸とをねじ止め結合するねじ止め継ぎ手であることを特徴とする請求項１記載のブラシ洗浄装置。
【請求項３】
上記ロールブラシは軸線を水平にして配置されていて、
上記球面軸受による上記軸受体の支持位置は、この軸受体に支持された支軸と上記ブラシ軸との上記嵌め合い継ぎ手による連結を外したときに、上記軸受体が自重によって上記支軸の上記ブラシ軸に連結される端部が上昇する方向に回動する位置であることを特徴とする請求項２記載のブラシ洗浄装置。
【請求項４】
上記ロールブラシは軸線を垂直よりも小さな角度で傾斜させて配置されていて、
上記球面軸受による上記軸受体の支持位置は、この軸受体に支持された支軸と上記ブラシ軸との上記嵌め合い継ぎ手による連結を外したときに、上記軸受体が自重によって上記支軸の上記ブラシ軸に連結される端部が前方に向かって回動する位置であることを特徴とする請求項１記載のブラシ洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は所定方向に搬送される基板をロールブラシによって洗浄処理するブラシ洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。
【０００３】
つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、レジストが除去された部分をエッチングする。そして、エッチング後に基板からレジストを除去するという一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。
【０００４】
このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液などの処理液によって基板を処理する工程、さらに処理液による処理後に洗浄液によって洗浄する工程が必要となる。
【０００５】
基板を洗浄する洗浄工程において、たとえば基板に付着した処理液を洗浄除去するような場合には、処理槽内を搬送される基板に対し、シャワーノズルによって洗浄液を噴射することで、基板から処理液を洗浄除去することが可能である。
【０００６】
しかしながら、基板にパーティクルなどの汚れが強固に付着しているような場合、基板に単に洗浄液を噴射するだけでは汚れを確実に洗浄除去することができない。したがって、そのような場合には処理槽内を搬送される基板をロールブラシによって洗浄するということが行われる。
【０００７】
上記ロールブラシはブラシ軸を有し、このブラシ軸の両端部を除く部分にはブラシ毛を取着したブラシ部が設けられている。上記ブラシ軸の両端部には継ぎ手を介して支軸が連結される。一対の支軸はそれぞれ軸受体に回転可能に支持されている。各軸受体は洗浄槽内に設けられた架台などの取付け部に取付け固定されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
最近では基板が大型化する傾向にある。基板が大型化すると、上記ロールブラシは基板の幅寸法に応じて長尺化することになる。ロールブラシが長尺化すると、このブラシ軸の両端部に連結される支軸を回転可能に支持するための一対の軸受体の間隔が大きくなる。
【０００９】
上記ロールブラシを回転可能に支持する一対の軸受体の軸芯が高精度に一致していないと、これら軸受体に支持されたロールブラシが円滑に回転しなくなり、上記支軸や軸受体が早期に損傷することになる。
【００１０】
しかしながら、所定の間隔で離間する一対の軸受体を、上記取付け部に軸芯を高精度に一致させて取付け固定するということは容易でないから、その取付け作業に多くの手間が掛かったり、取付け精度が十分に得られずに軸受体や支軸の早期損傷を招くなどのことがあった。
【００１１】
この発明は、ロールブラシを回転可能に支持する一対の軸受体の軸芯を、簡単かつ高精度に一致させることができるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、ブラシ軸にブラシ部が設けられたロールブラシによって所定方向に搬送される基板を洗浄するブラシ洗浄装置であって、
第１の支軸を回転可能に支持した第１の軸受体と、
第２の支軸を回転可能に支持した第２の軸受体と、
上記第１の支軸に上記ブラシ軸の一端を分解可能に連結する第１の継ぎ手と、
上記第２の支軸に上記ブラシ軸の他端を分解可能に連結する第２の継ぎ手と、
上記第１の軸受体と第２の軸受体のどちらか一方を揺動可能に支持した球面軸受と、
上記第１の軸受体と第２の軸受体のどちらかに支持された支軸を介して上記ロールブラシを回転駆動する駆動源と
を具備したことを特徴とするブラシ洗浄装置にある。
【００１３】
上記球面軸受によって揺動可能な一方の軸受体に支持された一方の支軸とブラシ軸を連結する一方の継ぎ手は、このブラシ軸と上記支軸とをこれらに形成された凹部と凸部との嵌合によって結合する嵌め合い継ぎ手であって、他方の継ぎ手は上記ブラシ軸と他方の支軸とをねじ止め結合するねじ止め継ぎ手であることが好ましい。
【００１４】
上記ロールブラシは軸線を水平にして配置されていて、
上記球面軸受による上記軸受体の支持位置は、この軸受体に支持された支軸と上記ブラシ軸との上記嵌め合い継ぎ手による連結を外したときに、上記軸受体が自重によって上記支軸の上記ブラシ軸に連結される端部が上昇する方向に回動する位置であることが好ましい。
【００１５】
上記ロールブラシは軸線を垂直よりも小さな角度で傾斜させて配置されていて、
上記球面軸受による上記軸受体の支持位置は、この軸受体に支持された支軸と上記ブラシ軸との上記嵌め合い継ぎ手による連結を外したときに、上記軸受体が自重によって上記支軸の上記ブラシ軸に連結される端部が前方に向かって回動する位置であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
この発明によれば、ロールブラシのブラシ軸の両端にそれぞれ継ぎ手を介して連結される支軸を支持する一対の軸受体の一方を、球面軸受によって揺動可能に支持したから、一対の軸受体の軸芯にずれがあっても、球面軸受によって支持された軸受体が上下左右方向に揺動してそのずれが補正されるため、一対の軸受体によるロールブラシの支持精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１８】
図１乃至図６はこの発明の第１の実施の形態であって、図１に示すこの発明の横型のブラシ洗浄装置は処理槽１を備えている。この処理槽１内には図２に示すように複数の搬送ローラ２からなる搬送機構３が設けられている。これらの搬送ローラ２は所定方向に回転駆動される。上記処理槽１の一端には搬入口４が形成され、この搬入口４から処理槽１内に、たとえば液晶表示パネルなどに用いられるガラス製の基板Ｗが搬入される。処理槽１内に搬入された基板Ｗは上記搬送ローラ２によって搬送され、上記処理槽１の他端に形成された搬出口５から搬出されるようになっている。
【００１９】
図１に示すように、上記処理槽１は上面に形成された開口部７が蓋体６によって開閉できる構成となっている。上記処理槽１内には、この処理槽１内を上記搬送ローラ２によって搬送される基板Ｗ（図２に示す）をブラシ洗浄するブラシユニット１１が後述するように設置されている。さらに、処理槽１の底部は排液管８を介して廃液タンク９に接続されている。
【００２０】
上記ブラシユニット１１は図１、図３及び図４に示すようにフレーム１２を有する。このフレーム１２は連結部１３及びこの連結部１３の両端に一体形成された一対の脚部１４によって側面形状が門型に形成されている。連結部１３及び脚部１４の断面形状は上方及び外側が開放したＵ字状になっている。一対の脚部１４の下端には連結板１５が取り付け固定されている。
【００２１】
一対の脚部１４の両側面にはそれぞれ一対のリニアガイド２２が平行かつ上下方向に沿って設けられている。各一対のリニアガイド２２にはそれぞれ上部可動板２３と下部可動板２４とがこれらの内面に固定された複数のスライダ２５をスライド可能に係合させて設けられている。つまり、上部可動板２３と下部可動板２４とは上記リニアガイド２２に沿って上下動可能となっていて、それぞれが図示しない上下駆動機構によって上下方向に位置決め調整できるようになっている。
【００２２】
一対の脚部１４の両側面に設けられた各上部可動板２３にはそれぞれ上部軸受体２７が設けられ、同じく下部可動板２４にはそれぞれ下部軸受体２８が設けられている。各一対の上部、下部軸受体２７,２８のうちの一方はこの発明の第１の軸受体であり、他方は第２の軸受体である。
【００２３】
図４と図５に示すように、一方の脚部１４に設けられた上部軸受体２７と下部可動板２４はその一側面が各上下可動板２３，２４に設けられた球面軸受２９によって３６０度方向に揺動可能に支持されている。この球面軸受２９は図５に示すように上記各可動板２３，２４に取付け固定された球形支持体２９ａを有し、この球形支持体２９ａが上記上部軸受体２７の一側面に開放して形成された球形凹部２９ｂに嵌め込まれている。なお、球形凹部２９ｂは、球形支持体２９ａが抜け出るのを阻止するため、半球形状よりも大きな球形状に形成されている。
【００２４】
図５に示すように、上記球面軸受２９の球形支持体２９ａによる上記各軸受体２７，２８の支持位置は、この各軸受体２７，２８の重心位置Ｇから所定寸法前方へずれた位置に設定されている。それによって、各軸受体２７，２８は外力が加わらない状態においては、図４に鎖線で示すように球面軸受２９の球形支持体２９ａにより支持された位置を支点として自重により前端側が上昇する傾斜状態となっている。図４では上部軸受体２７が回動した状態だけを鎖線で示している。  
なお、各軸受体２７,２８の重心位置Ｇは、たとえば軸受体２７，２８に錘を設けるなどして自重により前端側が上昇する方向に回動するよう調整することが可能である。
【００２５】
各軸受体２７,２８には、各軸受体２７，２８に内蔵された一対の軸受３０（図５に示す）によってそれぞれ支軸３１が回転可能に支持されている。一対の上部軸受体２７に支持された一対の支軸３１には上部ロールブラシ３２が取り付けられ、一対の下部軸受体２８に支持された一対の支軸３１には下部ロールブラシ３３が取り付けられる。なお、各一対の上部、下部軸受体２７,２８に支持された一対の支軸３１のうちの一方はこの発明の第１の支軸であり、他方は第２の支軸である。
【００２６】
すなわち、上部ロールブラシ３２と下部ロールブラシ３３はそれぞれブラシ軸３６及びこのブラシ軸３６の両端部を除く部分に設けられたブラシ毛からなるブラシ部３７とによって形成されていている。
【００２７】
そして、各ロールブラシ３２，３３は、そのブラシ軸３６の一端と球面軸受２９によって揺動可能に支持された一方の上部、下部軸受体３７，３８に支持された支軸３１とが第１の継ぎ手である、嵌め合い継ぎ手３８によって分解可能に連結され、上記ブラシ軸３６の他端と他方の上部、下部軸受体３７，３８に支持された支軸３１とが第２の継ぎ手である、ねじ止め継ぎ手３９によって分解可能に連結されている。
【００２８】
図３に示すように、上記嵌め合い継ぎ手３８とねじ止め継ぎ手３９は、ブラシ軸３６の両端に設けられた第１のフランジ４１と、各支軸３１の一端に設けられた第２のフランジ４２とを有する。上記嵌め合い継ぎ手３８は、図６に示すように第１のフランジ４１に十字状の凸部４３が形成され、第２のフランジ４２に十字状の凹部４４が形成されている。上記凸部４３と凹部４４は嵌合する。それによってブラシ軸３６の一端と支軸３１とは一体的に回転するよう連結される。
【００２９】
上記ねじ止め継ぎ手３９は、図３に示すように第１、第２のフランジ４１，４２の対応する位置に形成された図示しない通孔に通されたボルト４６にナット４７を螺合することで、ブラシ軸３６と支軸３１とが一体的に回転するよう連結されている。
【００３０】
ねじ止め継ぎ手３９によって連結された支軸３１を支持した一方の上部、下部軸受体２７,２８にはその支軸３１を回転駆動する駆動源４８が設けられている。各駆動源４８は上部ロールブラシ３２と下部ロールブラシ３３を基板Ｗの搬送方向と逆方向に回転駆動する。それによって、基板Ｗは上部ロールブラシ３２と下部ロールブラシ３３の間を、これらロールブラシ３２，３３の回転方向と逆方向に搬送される。
【００３１】
図２に示すように、上部ロールブラシ３２及び基板Ｗの上面にはノズル４９によって洗浄液が供給される。それによって、基板Ｗは上部ロールブラシ３２と下部ロールブラシ３３とによって上下面がブラシ洗浄される。
【００３２】
このような構成のブラシ洗浄装置によれば、それぞれ一対の上部軸受体２７及び下部軸受体２８に支持された支軸３１に、嵌め合い継ぎ手３８とねじ止め継ぎ手３９によって上部ロールブラシ３２及び下部ロールブラシ３３を連結する際、組み立て精度や製作精度などによって各一対の上部軸受体２７及び下部軸受体２８の軸芯がずれていることがある。
【００３３】
一対の上部軸受体２７及び下部軸受体２８の軸芯にずれがあると、各ロールブラシ３２,３３の支持精度が低下し、支軸３１や軸受体２７,２８が早期に損傷する虞がある。
【００３４】
しかしながら、一方の支軸３１を支持したそれぞれ一方の上下部軸受体２７，２８は、各可動板２３，２４に設けられた球面軸受２９によって３６０度方向に揺動可能に支持されている。
【００３５】
そのため、各一対の上部、下部軸受体２７，２８の軸芯にずれがあっても、各上下部軸受体２７，２８に支持された支軸３１に各ロールブラシ３２,３３のブラシ軸３６の一端と他端を嵌め合い継ぎ手３８とねじ止め継ぎ手３９によって連結すれば、嵌め合い継ぎ手３８によって連結された支軸３１を支持した各一対の上部、下部軸受体２７，２８の一方が軸芯のずれ量に応じて揺動する。
【００３６】
つまり、左右一対の各軸受体２７,２８の軸芯が一致した状態で、各ロールブラシ３２,３３のブラシ軸３６の一端と他端とに連結された一対の支軸３１が支持される。したがって、支軸３１や各軸受体２７，２８に無理な力が加わることなく各ロールブラシ３２,３３を回転させることができるから、これら支軸３１や各軸受体２７，２８が早期に損傷するのを防止することができる。
【００３７】
修理や点検などのときに各ロールブラシ３２,３３を各軸受体２７，２８から取り外す場合には、まず上部ロールブラシ３２のブラシ軸３６の一端と支軸３１とを連結したねじ止め継ぎ手３９を分解する。ねじ止め継ぎ手３９を分解したならば、その上部ロールブラシ３２の分解された一端部を上方へ持ち上げる。それによって、球面軸受２９に支持された上部軸受体２７が上部ロールブラシ３２とともに球面軸受２９を支点として上方へ回動する。
【００３８】
ついで、上部ロールブラシ３２を軸方向に引けば、ブラシ軸３６と支軸３１とを連結した嵌め合い継ぎ手３８の凸部４３と凹部４４とが外れるから、上部ロールブラシ３２を左右一対の上部軸受体２７から取り外すことができる。上部ロールブラシ３２を取り外したならば、下部ロールブラシ３３も同様に取り外せばよい。
【００３９】
各ロールブラシ３２,３３を各一対の軸受体２７，２８から取り外すと、球面軸受２９に支持された一方の上部、下部軸受体２７，２８は、自重によりその球形支持部２９ａを支点としてブラシ軸３６が連結される第２のフランジ４２側が上昇する方向に回動し、その状態でバランスする。つまり、支軸３１の一端に設けられた第２のフランジ４２に形成された凹部４４が上方を向いた状態となる。
【００４０】
そのため、分解した各ロールブラシ３２,３３を組み込む際、上記凹部４４にブラシ軸３６の端部に設けられた第１のフランジ４１の凸部４３が嵌め込み易いから、嵌め合い継ぎ手３８の連結を容易に行なうことができる。
【００４１】
嵌め合い継ぎ手３８を連結したならば、各ロールブラシ３２，３３を上昇した状態から水平方向へ回動し、ブラシ軸３６の他端と他方の支軸３１とをねじ止め継ぎ手３９によって連結すればよい。なお、一対のロールブラシ３２,３３の組み込みは、下部ロールブラシ３３を組み込んでから上部ロールブラシ３２を組み込むようにすればよい。
【００４２】
図７と図８はこの発明の第２の実施の形態を示す。この実施の形態は基板Ｗを所定の角度、たとえば７５度の角度で傾斜させて搬送しながらブラシ洗浄する縦型のブラシ洗浄装置である。
【００４３】
縦型のブラシ洗浄装置は洗浄槽５１を有する。この洗浄槽５１内には図７に示すように、傾斜方向上方に位置する前側ロールブラシ３２Ａと、後方に位置する後側ロールブラシ３３Ａとがブラシ軸３６を所定の間隔で離間させて設けられている。
【００４４】
各ブラシ軸３６の上端には嵌め合い継ぎ手３８によって支軸３１が連結され、下端にはねじ止め継ぎ手３９によって支軸３１が連結されている。各支軸３１はそれぞれ上部軸受体５２及び下部軸受体５３によって回転可能に支持されている。なお、嵌め合い継ぎ手３８とねじ止め継ぎ手３９は第１の実施の形態に示したものと同じ構成である。
【００４５】
上部軸受体５２は、洗浄槽５１の上面に設けられた上部支持板５５に第１の実施の形態と同様、球面軸受２９によって揺動可能に支持されている。この場合、上部軸受体５２は自重によって下端が前方に向かって回動するよう、重心よりも下端寄りの位置が上記球面軸受２９によって支持されている。
【００４６】
上記下部軸受体５３は洗浄槽５１の下面に設けられた下部支持板５６に取付け固定されている。各下部軸受体５６３には各ロールブラシ３２Ａ,３３Ａを回転駆動する駆動源４８が設けられている。  
なお、前側ロールブラシ３３Ａと後側ロールブラシ３３Ｂとは図示しない間隔調整機構によって間隔の調整ができるようになっている。
【００４７】
このような構成の縦型のブラシ洗浄装置によれば、上部支持板５５に設けられた上部軸受体５２と、下部支持板５６に設けられた下部軸受体５３との軸芯にずれがあっても、上部軸受体５２は球面軸受２９によって揺動可能に設けられているから、一対のロールブラシ３２,３３を組み込む際、上記球面軸受２９に支持された上部軸受体５２が軸芯のずれに応じて揺動する。
【００４８】
したがって、一対の軸受体５２，５３にそれぞれロールブラシ３２，３３を組み込めば、これら軸受体３２，３３の軸芯のずれが自動的に補正されるから、ロールブラシ３２，３３を回転させても、そのブラシ軸３６や上下一対の軸受体５２,５３に無理な力が生じるのを防止することができる。
【００４９】
上部軸受体５２と下部軸受体５３とに支持された支軸３１からたとえば前側ロールブラシ３２を取り外すと、上部軸受体５２は球面軸受２９により支持された位置が重心の位置よりも下方であるから、図８に示すように下端が洗浄槽５１の前面側に向かって回動し、重心位置と重量とがバランスした角度となる。
【００５０】
上部軸受体５２に支持された支軸３１には、嵌め合い継ぎ手３８の凸部４３が形成された第１のフランジ４１が連結されている。そのため、前側ロールブラシ３２Ａを取り外すと、上記第１のフランジ４１の凸部４３が見易い状態或いは前側ロールブラシ３２Ａ側の第２のフランジ４２を合わせ易い状態になるから、取り外した前側ロールブラシ３２Ａを組み込むときに、嵌め合い継ぎ手３８の連結を容易に行なうことが可能となる。
【００５１】
後側ロールブラシ３３Ａを取り外したときにも上部軸受体５２が同様に揺動するから、後側ロールブラシ３３Ａを組み込みも容易に行なうことができる。
【００５２】
この発明は上記各実施の形態に限られず、たとえは嵌め合い継ぎ手は、各フランジに形成される凹部と凸部をそれぞれ十字状としたが、十字状でなく、直線状や矩形状などであってもよく、要は互いの嵌合によって回転が伝達される形状であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】この発明の第１の実施の形態を示す横型のブラシ洗浄装置の縦断面図。
【図２】上記ブラシ洗浄装置の概略的構成を示す側面図。
【図３】ブラシユニットの平面図。
【図４】ブラシユニットの一端部を示す正面図。
【図５】球面軸受及びその球面軸受によって支持された軸受体を示す一部断面下平面図。
【図６】嵌め合い継ぎ手の一方のフランジと他方のフランジを示す分解斜視図。
【図７】この発明の第２の実施の形態を示す縦型のブラシ洗浄装置の概略的構成図。
【図８】前側ロールブラシを取り外したときの上部軸受体の動きを示す説明図。
【符号の説明】
【００５４】
２７，５２…上部軸受体、２８，５３…下部軸受体、２９…球面軸受、２９ａ…球形支持部、２９ｂ…球形支持部、３１…支軸、３２，３３，３２Ａ，３３Ａ…ロールブラシ、３６ａ…ブラシ軸、３７…ブラシ部、４８…駆動源。
【図１】
2006341230.tif 000003
【図２】
2006341230.tif 000004
【図３】
2006341230.tif 000005
【図４】
2006341230.tif 000006
【図５】
2006341230.tif 000007
【図６】
2006341230.tif 000008
【図７】
2006341230.tif 000009
【図８】
2006341230.tif 000010