(57)【要約】【課題】  不要共振を抑制でき、トラッキングサーボの高速化・高帯域化に十分に対応できる磁気ヘッド装置及びこれを備えたテープドライブ装置を提供する。【解決手段】  前面部（テープ摺動面）に複数の磁気ヘッド素子がトラック幅方向に配列されたヘッドチップ２２と、このヘッドチップ２２を支持するキャリア２４と、ヘッドチップ２２をトラック幅方向に微小移動させる微動アクチュエータ２３と、ヘッドチップ２２の背面部から導出され、磁気ヘッド素子と制御基板２７との間で電気信号の授受を行うフレキシブル配線基板２５とを備え、このフレキシブル配線基板２５のねじり変形部位に相当する第１屈曲面部２５Ａに対し、そのねじり剛性を低下させるための複数の透孔４１を設ける。この構成により、第１屈曲面部２５Ａにおけるフレキシブル配線基板２５のねじり変形が容易となり、ヘッドチップ２２の不要共振を抑制できる。【選択図】        図３
2006127603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気テープの長手方向に延在するデータトラックが、当該磁気テープの幅方向に複数配列形成されたリニアテープ用の磁気ヘッド装置であって、
前面部に複数の磁気ヘッド素子がトラック幅方向に配列されたヘッドチップと、
前記ヘッドチップを支持するキャリアと、
前記ヘッドチップと前記キャリアとの間に取り付けられ、当該ヘッドチップをトラック幅方向に移動させるトラック追従機構と、
前記ヘッドチップの背面部から導出され、前記磁気ヘッド素子と外部制御部との間で電気信号の授受を行うフレキシブル配線基板とを備え、
前記フレキシブル配線基板のねじり変形部位には、当該部位のねじり剛性を低下させるための加工処理が施されている
ことを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
前記フレキシブル配線基板のねじり変形部位は、前記ヘッドチップの背面側から当該ヘッドチップの前面側に折り返して形成された屈曲面部である
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項３】
前記屈曲面部には、複数の透孔が形成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項４】
前記透孔は、トラック幅方向と交差する方向に延在するスロットである
ことを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項５】
前記屈曲面部には、トラック幅方向と交差する方向に複数のスリットが形成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項６】
前記トラック追従機構は、一対のバイモルフ素子が、前記ヘッドチップのトラック幅方向の長さに対応する間隔をもって互いに対向するように、各々の一端が前記キャリアに固定されたツインバイモルフ型アクチュエータであって、これら一対のバイモルフ素子の各々の他端に、前記ヘッドチップが連結されている
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項７】
磁気テープの長手方向に延在するデータトラックが、当該磁気テープの幅方向に複数配列形成されたリニアテープ用の磁気ヘッド装置を備えたテープドライブ装置であって、
前記磁気ヘッド装置は、
前面部に複数の磁気ヘッド素子がトラック幅方向に配列されたヘッドチップと、
前記ヘッドチップを支持するキャリアと、
前記ヘッドチップと前記キャリアとの間に取り付けられ、当該ヘッドチップをトラック幅方向に移動させるトラック追従機構と、
前記ヘッドチップの背面部から導出され、前記磁気ヘッド素子と制御部との間で電気信号の授受を行うフレキシブル配線基板とを備え、
前記フレキシブル配線基板のねじり変形部位には、当該部位のねじり剛性を低下させるための加工処理が施されている
ことを特徴とするテープドライブ装置。
【請求項８】
前記フレキシブル配線基板のねじり変形部位は、前記ヘッドチップの背面側から当該ヘッドチップの前面側に折り返して形成された屈曲面部である
ことを特徴とする請求項７に記載のテープドライブ装置。
【請求項９】
前記屈曲面部には、複数の透孔が形成されている
ことを特徴とする請求項８に記載のテープドライブ装置。
【請求項１０】
前記透孔は、トラック幅方向と交差する方向に延在するスロットである
ことを特徴とする請求項９に記載のテープドライブ装置。
【請求項１１】
前記屈曲面部には、トラック幅方向と交差する方向に複数のスリットが形成されている
ことを特徴とする請求項８に記載のテープドライブ装置。
【請求項１２】
前記トラック追従機構は、一対のバイモルフ素子が、前記ヘッドチップのトラック幅方向の長さに対応する間隔をもって互いに対向するように、各々の一端が前記キャリアに固定されたツインバイモルフ型アクチュエータであって、これら一対のバイモルフ素子の各々の他端に、前記ヘッドチップが連結されている
ことを特徴とする請求項７に記載のテープドライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気テープの長手方向に延在するデータトラックが、当該磁気テープの幅方向に複数配列形成されたリニアテープ用の磁気ヘッド装置及びこれを備えたテープドライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えばコンピュータシステムで取り扱うデータ量の多大化により、そのバックアップ装置として磁気テープを用いたデータストレージシステムの需要が大きい。このデータストレージシステムとして、リニアテープドライブ方式によるストレージシステムがある。
【０００３】
図８は、リニアテープシステム（例えばＬＴＯ（Linear Tape Open））におけるテープフォーマットを模式的に示したもので、磁気テープＴの長手方向に沿って延在する複数のサーボバンドＳＢ（ＳＢ１，ＳＢ２，ＳＢ３，・・・）が、磁気テープＴの幅方向に並置配列され、これらサーボバンドＳＢ間で仕切られて複数のデータバンドＤＢ（ＤＢ１，ＤＢ２，ＤＢ３，・・・）が形成されている。これらデータバンドＤＢには、それぞれ磁気テープＴの長手方向に、多数のデータトラック（図示略）が平行配列されている。
【０００４】
磁気テープＴは、多チャンネル型の磁気ヘッドＨＤによって、選択されたデータバンドにおいて、複数のデータトラックが、同時に、記録・再生される構造となっている。磁気ヘッドＨＤは、例えば図９に示すように、記録用磁気ヘッド素子部１Ｗ及び再生用磁気ヘッド素子部１Ｒの組でなる複数の記録再生磁気ヘッド素子１Ｄが、トラック幅方向に２列配列されている。各列の記録再生磁気ヘッド素子１Ｄの配置間隔は、同一データバンドＤＢにおけるデータトラックの間隔に対応している。また、各列の記録再生磁気ヘッド素子１Ｄの列の両端には、データバンドＤＢの両側のサーボバンドＳＢからのサーボ信号を読み出すサーボ信号再生用磁気ヘッド素子部１Ｓが配置されている。
【０００５】
一方、磁気テープＴは、磁気ヘッドＨＤに対して往復摺動移行するが、この往復移行に際し、磁気ヘッドＨＤが、テープの幅方向に所定量移行することによって、異なる複数のデータトラックに対して記録ないしは再生を行うようにしている。そして、記録時は、その往路及び復路において、それぞれ磁気テープＴの移行によって先行する側（リーディング側）の列にある記録用磁気ヘッド素子部１Ｗによって対応するトラックに対する信号記録を行い、同時にこの記録状態を、後方側（トレイリング側）の列の再生用磁気ヘッド素子部１Ｒによってモニタする。一方、再生時は、２列の再生用磁気ヘッド素子部１Ｒのいずれかによって、記録されたデータ信号の再生がなされる。
【０００６】
そして、上述した記録、再生において、磁気ヘッド素子列の両端のサーボ信号再生用磁気ヘッド素子部１Ｓによって、その記録、再生がなされるデータバンドＤＢを挟む両側のサーボバンドＳＢからサーボ信号を読み出し、これによって、対象のデータトラックに対する磁気ヘッドＨＤの微小移動によるトラッキングサーボを行うようにしている。
【０００７】
このようなリニアテープフォーマットドライブでは、磁気ヘッドＨＤは、選択されたデータバンドの選択された組のデータトラックに、対応する磁気ヘッド素子を位置させるための粗動追従機構と、上述したサーボ信号によるトラッキングサーボを行うための微動追従機構（トラック追従機構）によって、それぞれ磁気テープＴの幅方向の移行がなされる。これは、より高密度化するトラック密度に対応するためと、より高速追従するためのトラッキングサーボの高帯域化の要求からである。
【０００８】
そして従来より、ＬＴＯやＤＬＴ、ＱＩＣ等のリニア系テープドライブシステムにおける磁気ヘッド装置では、トラッキング動作に柔軟に追従しながらテープドライブ装置側の制御部（制御基板）との安定した電気的導通を確保するために、フレキシブル配線基板（ＦＰＣ；Flexible Printed Circuit）が採用されている（図１０〜図１２）。
【０００９】
図１０は従来の磁気ヘッド装置１の全体斜視図、図１１は磁気ヘッド装置１の要部の構成を示す正面側斜視図、図１２はフレキシブル配線基板の引き回しの様子を示す磁気ヘッド装置１の背面側斜視図である。
【００１０】
従来の磁気ヘッド装置１は、前面（テープ摺動面）側に複数の磁気ヘッド素子が形成されたヘッドチップ２と、このヘッドチップ２をテープ幅方向に微小移動させる微動アクチュエータ（微動追従機構）３と、ヘッドチップ２を微動アクチュエータ３を介して支持するキャリア４と、ヘッドチップ２の背面側に取り付けられた一対のフレキシブル配線基板５，５と、これらフレキシブル配線基板５，５を各々支持するサポート部材６，６とで構成されている。
なお、図１２においては説明を分かり易くするために、微動アクチュエータ３、キャリア４及びサポート部材６，６の図示は省略している。
【００１１】
フレキシブル配線基板５は、例えばポリイミド系のプラスチックフィルム上に、ヘッドチップ２の各磁気ヘッド素子と制御基板７との間を電気的に接続する配線パターンが形成され、ヘッドチップ２の背面側から前面側へ略１８０度折り返されてなる第１屈曲面部５Ａと、ヘッドチップ２の上方側から下方側へ略１８０度折り返されてなる第２屈曲面部５Ｂと、ヘッドチップ２の下方側から横方向へ略９０度折り曲げられてなる第３屈曲面部５Ｃとを有している。
【００１２】
キャリア４は、図示しない粗動アクチュエータ（粗動追従機構）に支持されており、この粗動アクチュエータの駆動によって、ヘッドチップ２、微動アクチュエータ３、キャリア４、フレキシブル配線基板５及びサポート部材６が一体となって、粗動トラッキングがなされるようになっている。この粗動トラッキング動作に対し、フレキシブル配線基板５の第２，第３屈曲面部５Ｂ，５Ｃが柔軟に対応することによって、ヘッドチップ２と制御基板７との間の安定した電気的導通が確保される。
【００１３】
一方、微動アクチュエータ３は、ヘッドチップ２のトラック幅方向（本例ではヘッドチップ２の長手方向）の長さに対応する間隔をもって対向する上下一対のバイモルフ素子で構成されたツインバイモルフ型アクチュエータでなり、これら一対のバイモルフ素子の各々の一端がキャリア４に固定され、他端がヘッドチップ２の上下端部にそれぞれ連結されている。微動アクチュエータ３は、サーボ信号に合わせてヘッドチップ２に微動なトラッキング動作を行わせる。この微動トラッキング動作に対し、フレキシブル配線基板５，５は、その第１屈曲面部５Ａをねじり変形させて対応することにより、安定した電気的導通を確保する。
【００１４】
このように、フレキシブル配線基板５は、ヘッドチップ２の粗動／微動のそれぞれの動作に柔軟に対応しながら、安定した電気的導通を確保するための部品であり、テープドライブ装置の大きさや構成上の制約に対応し必要とする駆動範囲に合わせた屈曲面部５Ａ〜５Ｃを設けることにより、ヘッドチップ２をトラッキング動作に追従させる。
【００１５】
なお、本出願の発明に関連する先行技術文献を以下に示す。
【００１６】
【特許文献１】特開平５−３２５１０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
近年、データ量の爆発的な増大により、テープ系ストレージシステムにおいても容量の増大が急務となっており、その実現のために記録密度の向上が求められている。このような中で、データをサーペンタインに記録する、いわゆるリニア型磁気記録テープシステムにおいては、線記録密度を上げることもさることながら、トラック密度（ＴＰＩ；Track Per Inch）をいかに上げられるかが記録容量を向上させる鍵を握っている。そして、トラッキングサーボの高速化・高帯域化と、多チャンネル化によるフレキシブル配線基板５の多層配線化が必須となりつつある。
【００１８】
しかしながら、上述した従来の磁気ヘッド装置１においては、トラッキングサーボの高速化・高帯域化に伴って、トラッキング動作の高速追従性が低下し、アクチュエータの駆動に対して良好なレスポンスが得られにくくなってきているという問題がある。
【００１９】
これは、フレキシブル配線基板５が持つ剛性によるもので、特に、トラッキングサーボの高速化・高帯域化が進むにつれて、微動トラッキング動作時にねじり変形する第１屈曲面部５Ａのねじり剛性が無視できなくなり、これが原因でフレキシブル配線基板５が微動トラッキング動作に柔軟に追従できず、サーボ帯域において不要共振を発生させる等の悪影響を与える要因となっている。
【００２０】
また、高記録密度化によりチャンネル数が増加し、フレキシブル配線基板５の多層配線化が進むと、フレキシブル配線基板５の大型化、高重量化および高剛性化を招き、これが微動トラッキング動作時の追従性低下に更に拍車をかけ、レスポンス遅れにより高精度なトラッキングサーボ制御がますます困難になる。
【００２１】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、不要共振を抑制でき、トラッキングサーボの高速化・高帯域化に十分に対応できる磁気ヘッド装置及びこれを備えたテープドライブ装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
以上の課題を解決するに当たり、本発明は、前面部に複数の磁気ヘッド素子がトラック幅方向に配列されたヘッドチップと、このヘッドチップを支持するキャリアと、これらヘッドチップとキャリアとの間に取り付けられ、当該ヘッドチップをトラック幅方向に移動させるトラック追従機構と、ヘッドチップの背面部から導出され、磁気ヘッド素子と外部制御部との間で電気信号の授受を行うフレキシブル配線基板とを備え、フレキシブル配線基板のねじり変形部位には、当該部位のねじり剛性を低下させるための加工処理が施されている。
【００２３】
フレキシブル配線基板のねじり変形部位としては、ヘッドチップの背面側から当該ヘッドチップの前面側に折り返して形成された屈曲面部が対応する。
【００２４】
そして、この屈曲面部のねじり剛性を低下させるための加工処理としては、当該屈曲面部に形成した複数の透孔とすることができ、これらの透孔は、トラック幅方向と交差する方向に延在するスロット形状とすることができる。この構成により、トラック幅方向へのヘッドチップのトラッキング移動追従性を高められ、多チャンネル化によりフレキシブル配線基板が大型化、厚大化、高重量化しても、サーボ帯域において不要共振を発生させることなく、安定かつ柔軟なサーボ追従性を確保できる。
【００２５】
なお、上記屈曲面部に対し、トラック幅方向と交差する方向に複数のスリットを形成する場合にも、上述と同様な効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００２６】
以上述べたように、本発明によれば、フレキシブル配線基板のねじり変形部位に、当該部位のねじり剛性を低下させるための加工処理が施されているので、トラック幅方向へのヘッドチップのトラッキング移動追従性を高められ、多チャンネル化によりフレキシブル配線基板が大型化、厚大化、高重量化しても、サーボ帯域において不要共振を発生させることなく、安定かつ柔軟なサーボ追従性を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２８】
図１は本発明の実施の形態によるテープドライブ装置１０の概略構成図である。
リニアテープドライブ装置１０は、磁気テープ１１の巻回部（テープリール）１２を有するテープカートリッジ１３が装着されるカートリッジ装着部１４と、後述する本発明に係る磁気ヘッド装置２１と、テープカートリッジ１３から引き出された磁気テープ１１を磁気ヘッド装置２１に案内する、例えば複数のガイドピンやガイドローラ等の案内体１５ＧＲを有する磁気テープ案内手段１５とを有している。
【００２９】
図示の例では、テープカートリッジ１３内に配置された磁気テープ１１の第１の巻回部１２と対になる第２の巻回部（テープ巻取部）１６がカートリッジ１３外に配置され、これら第１及び第２の巻回部１２と１６との間に磁気ヘッド装置２１を通じて、磁気テープ１１が往復移行するようになされている。
【００３０】
磁気テープ１１は、図８で説明した磁気テープＴにおけるのと同様に、その長手方向に沿って延長する複数のサーボバンドＳＢ（ＳＢ１，ＳＢ２，ＳＢ３，・・・）が、テープの幅方向に、所要の間隔を保持して並置され、これらサーボバンドＳＢ間で仕切られて複数のデータバンドＤＢ（ＤＢ１，ＤＢ２，ＤＢ３，・・・）が形成される。これらデータバンドＤＢには、それぞれテープの長手方向に多数のデータトラックが、例えば１６本あるいは３２本等の所定本数、平行に配列されている。
【００３１】
次に、本発明に係る磁気ヘッド装置２１の構成について、図２〜図４を参照して説明する。ここで、図２は磁気ヘッド装置２１の全体斜視図、図３は磁気ヘッド装置２１の要部の構成を示す正面側斜視図、図４はフレキシブル配線基板の引き回しの様子を示す磁気ヘッド装置２１の背面側斜視図である。
【００３２】
本実施の形態の磁気ヘッド装置２１は、前面（テープ摺動面）側に複数の磁気ヘッド素子が形成されたヘッドチップ２２と、このヘッドチップ２２をテープ幅方向に微小移動させる微動アクチュエータ（微動追従機構）２３と、ヘッドチップ２２を微動アクチュエータ２３を介して支持するキャリア２４と、ヘッドチップ２２の背面部から導出され、ヘッドチップ２２と制御基板２７との間で電気信号の授受を行う一対のフレキシブル配線基板２５，２５と、これらフレキシブル配線基板２５，２５を各々支持するサポート部材２６，２６とで構成されている。
なお、図４においては説明を分かり易くするために、微動アクチュエータ２３、キャリア２４及びサポート部材２６の図示は省略している。
【００３３】
ヘッドチップ２２は、アルチック（ＡｌＴｉＣ）等の基板上にヘッドチップ素子が形成された一対の長方形状のヘッドチップ素子を互いに接合して構成されている。そして、図９に模式的に示した磁気ヘッドＨＤと同様に、磁気テープのデータトラックに対する記録用磁気ヘッド素子部１Ｗと再生用磁気ヘッド素子部１Ｒとを組とする複数の記録再生磁気ヘッド素子１Ｄが、例えば１６個あるいは３２個、トラック幅方向に、インラインに配列されている。これらインラインに配列された磁気ヘッド素子列は所定の間隔で２列に配列され、各列それぞれの対応する磁気ヘッド素子１Ｄが、同一トラック上に位置するように配列されている。更に、磁気ヘッド素子１Ｄの各列の両端には、サーボ信号再生用磁気ヘッド素子部１Ｓがそれぞれ形成されている。
【００３４】
各列の磁気ヘッド素子１Ｄは、データバンドＤＢにおける所定の本数分のデータトラック間隔をもって間欠的に配置され、磁気テープ１１の繰り返し往復走行に応じて、キャリア２４を後述する粗動アクチュエータによってトラック幅方向に移行させることによって順次、各データトラックに対する記録ないしは再生を行うようにしている。
【００３５】
この磁気ヘッド構成において、磁気テープ１１の往路または復路にあって、一方の列の磁気ヘッド素子１Ｄの記録用磁気ヘッド素子部１Ｗによって、対応するデータトラックに対する記録を行うとき、このデータトラックの記録状態を、このデータトラックに位置する他方の列の磁気ヘッド素子１Ｄの再生用磁気ヘッド素子部１Ｒによってモニタするようにしている。
【００３６】
なお、本実施の形態では、図９に示したように、各列の磁気ヘッド素子１Ｄは、再生用磁気ヘッド素子部１Ｒよりも記録用磁気ヘッド素子部１Ｗが外方側に位置する記録再生磁気ヘッド素子１Ｄとして構成されている。なお、これに限らず、再生用磁気ヘッド素子部１Ｒよりも記録用磁気ヘッド素子部１Ｗが内方側に位置するように構成されていてもよい。
【００３７】
微動アクチュエータ２３は、図５に模式的に示したように、ヘッドチップ２２のヘッドチップ２２の長手方向（磁気テープ１１の幅方向）の長さに対応する間隔をもって対向する上下一対のバイモルフ素子３１，３１で構成されたツインバイモルフ型アクチュエータでなり、本発明の「トラック追従機構」に対応している。
【００３８】
これら一対のバイモルフ素子３１，３１の各々の一端はキャリア２４に固定され、他端はチップベース３２，３２を介してヘッドチップ２２の上下端部にそれぞれ連結されている。チップベース３２は、中間部においてコの字型に屈曲された、例えばカーボン繊維入りの樹脂等の導電性を有する材料によって形成されている。
【００３９】
バイモルフ素子３１は、それぞれ一対の圧電体３１ａ，３１ｂが、各一方の面の電極を共通の電極３１Ｅ０として接合され、各両外側面の電極をそれぞれ第１及び第２の電極３１Ｅ１及び３１Ｅ２としている。その一方の例えば第２の電極３１Ｅ２を接地電位とし、他方の電極３１Ｅ１に、サーボ信号の再生磁気ヘッド素子部１Ｓから得られた信号をバイモルフドライバ回路を通して所定のトラッキングサーボを得るに適切な電圧として印加する。
【００４０】
この構成において、両バイモルフ素子３１の接地電位側に、導電性を有するチップベース３２を機械的かつ電気的に連結し、これらチップベース３２に対してヘッドチップ２２を連結して、両バイモルフ素子３１の接地電極３１Ｅ２に、ヘッドチップ２２を接地している。
【００４１】
そして、上述した一対のバイモルフ素子３１からなるツインバイモルフ型アクチュエータによって微動アクチュエータ２３が構成され、ヘッドチップ２２の微動追従が行われる。この微動アクチュエータ２３は、バイモルフ素子３１にトラッキング制御信号を印加することによりバイモルフ素子３１を撓曲させ、これら間に配置されたヘッドチップ２２をその多チャンネル配列方向、すなわちトラック幅方向に微小移動させて、磁気ヘッド素子を対応するデータトラックにトラッキングさせるように動作する。
微動アクチュエータ６７は、例えば±１５０ボルトで±２０μｍ以下の変位量を得ることができるものであり、これによって、トラッキングエラーを許容偏差内に抑えることが可能となる。
【００４２】
キャリア２４は、図６に模式的に示す粗動アクチュエータ３５に支持されている。この粗動アクチュエータ３５の駆動によって、ヘッドチップ２２、微動アクチュエータ２３、キャリア２４、フレキシブル配線基板２５及びサポート部材２６は、それぞれ一体となってトラック幅方向に移動可能とされている。
【００４３】
粗動アクチュエータ３５は、例えばリニアテープドライブ装置のシャーシ等の固定基板に取り付けられたステッピングモータ等の駆動部３６を有する。この駆動部３６の回転軸３７は、その軸方向がトラック幅方向に配置され、この回転軸３７に連結具３８を介してボールネジ３９が回転可能に一体に連結されている。そして、キャリア２４には、ボールネジ３９と螺合するネジ孔４０が貫通形成されている。このように、駆動部３６の回転軸３７の回転によりボールネジ３９を回転させることによって、このボールネジ３９に沿ってキャリア２４をトラック幅方向に粗動移動させるようにしている。
【００４４】
一方、一対のフレキシブル配線基板２５は、例えばポリイミド系のプラスチックフィルム上に、ヘッドチップ２の各磁気ヘッド素子１Ｄ，１Ｓと制御基板２７との間を電気的に接続する配線パターンが形成されてなる。フレキシブル配線基板２５は、ヘッドチップ２２の背面側と制御基板２７との間に機械的かつ電気的に接続され、図２〜図４に示した態様で引き回されている。
【００４５】
すなわち、各々のフレキシブル配線基板２５は、ヘッドチップ２２の背面側から前面側へ略１８０度外側へ折り返されてなる第１屈曲面部２５Ａと、ヘッドチップ２２の上方側から下方側へ略１８０度外側へ折り返されてなる第２屈曲面部２５Ｂと、ヘッドチップ２２の下方側から横方向へ略９０度外側へ折り曲げられてなる第３屈曲面部２５Ｃとを有している。
なお、両サポート部材２６は、これらフレキシブル配線基板２５の各屈曲面部２５Ａ〜２５Ｃを安定に保持するためのもので、それぞれキャリア２４に一体的に取り付けられている。
【００４６】
フレキシブル配線基板２５の各屈曲面部２５Ａ〜２５Ｃのうち、屈曲面部２５Ｂ及び屈曲面部２５Ｃは、粗動アクチュエータ３５の駆動による磁気ヘッド装置２１のトラック幅方向の移動に柔軟に追従して、ヘッドチップ２２と制御基板２７との間の安定した電気的導通を確保する。一方、屈曲面部２５Ａは、微動アクチュエータ２３によるヘッドチップ２２のトラック幅方向の微小移動に追従してねじり変形することにより、ヘッドチップ２２と制御基板２７との間の安定した電気的導通を確保する。
【００４７】
ここで本発明では、このフレキシブル配線基板２５のねじり変形部位である上記第１屈曲面部２５Ａに対し、当該第１屈曲面部２５Ａのねじり剛性を低下させるための加工処理が施されている。
【００４８】
上記加工処理として、本実施の形態では、図３及び図４に示したように、この第１屈曲面部２５Ａに対して複数の透孔４１を形成している。特に、これらの透孔４１は、トラック幅方向（ヘッドチップ２２の微小移動方向）と交差する方向（本例では直交する方向）に各々平行して延在するスロット（長孔）で構成されている。
【００４９】
以上のようにして第１屈曲面部２５Ａのねじり剛性を低下させることにより、ヘッドチップ２２の微小移動時にねじり変形がし易くなり、ヘッドチップ２２の追従動作に柔軟性を持たせることが可能となり、サーボ帯域における不要共振を抑制することができる。
【００５０】
透孔４１は、勿論、第１屈曲面部２５Ａ上の配線領域を避けて形成されるものとする。また、透孔４１を構成するスロットの形成長は、第１屈曲面部２５Ａの屈曲範囲以上であることが好ましく、本例のように、当該第１屈曲面部２５Ａを介して連接された対向関係にある２つの平面部２５Ａ１，２５Ａ２の領域にわたって形成されると、更に好ましい。透孔４１の形成幅や形成本数は、特に限定されず、仕様等に応じて適宜設定可能である。
【００５１】
一方、第１屈曲面部２５Ａのねじり剛性を低下させる他の加工処理として、上述したスロット形状の透孔４１を当該第１屈曲面部２５Ａに形成する代わりに、トラック幅方向と交差する方向に各々平行して複数のスリットを形成するようにしても、上述と同様な効果を得ることができる。
【００５２】
以上のように構成される本実施の形態の磁気ヘッド装置２１においては、上述した粗動アクチュエータ３５によってキャリア２４がトラック幅方向に移動される。これにより、ヘッドチップ２２は、磁気テープ１１の選定された所定のデータバンドにおける所定の幅方向の位置に移動され、それぞれの記録再生磁気ヘッド素子１Ｄが目的とするデータトラックに対向する。
【００５３】
このとき、サーボ信号再生磁気ヘッド素子部１Ｓは、この選択されたデータトラックの両側に位置するサーボバンドからサーボ信号を検出する。このサーボ信号の検出信号はフレキシブル配線基板２５を介して制御基板２７へ送られるとともに、この検出信号に対応したトラッキング制御信号電圧が微動アクチュエータ２３に印加される。これにより、ヘッドチップ２２をトラック幅方向に微小移動し、記録再生磁気ヘッド素子を各データトラックに対してトラッキング制御する。
【００５４】
本実施の形態によれば、フレキシブル配線基板２５の第１屈曲面部２５Ａに複数の透孔４１を形成しているので、当該第１屈曲面部２５Ａのねじり剛性が低下して、ねじり変形が容易となる。これにより、チップヘッド２２のトラック幅方向における微小移動に柔軟に追従できるようになり、サーボ帯域におけるヘッドチップ２２の不要共振を抑制して、磁気ヘッド装置２１の高精度なトラッキングサーボ機能を確保することができる。
【００５５】
本発明の効果を汎用のサーボアナライザを用いて確認した。図７Ａは、フレキシブル配線基板２５の第１屈曲面部２５Ａに透孔４１を形成していない従来構造のフレキシブル配線基板（図１２）を備えた磁気ヘッド装置の周波数特性を示している。対して図７Ｂは、透孔４１を有するフレキシブル配線基板２５を備えた本発明の磁気ヘッド装置２１の周波数特性を示している。
【００５６】
ここで、フレキシブル配線基板２５はポリイミド製で、その平面部２５Ａ１（図４）の形成長は２１ｍｍ、第１屈曲面部２５Ａの形成長（屈曲領域の長さ）は１９ｍｍ、厚さは０．０７ｍｍ、幅は１８．３ｍｍとし、透孔４１の形成本数は４、形成長は２３ｍｍ、形成幅は０．９ｍｍとした。
【００５７】
図７Ａ及び図７Ｂから明らかなように、本発明の透孔４１を備えた磁気ヘッド装置２１によれば、従来構造の磁気ヘッド装置において５００Ｈｚ近傍（Ｐ点）で発生していた不要共振が大きく抑制されていることがわかる。
また、本発明（図７Ｂ）によれば、従来構造（図７Ａ）に比べて、１．５ｋＨｚ程度までの出力特性がなだらかであるので、サーボ帯域の高帯域化にも十分に対応でき、トラッキングサーボの安定化を図れるようになる。
【００５８】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００５９】
例えば以上の実施の形態では、フレキシブル配線基板２５のねじり変形部位である第１屈曲面部２５Ａに対し、そのねじり剛性を低下させる加工処理として複数のスロット状の透孔４１を形成した例について説明したが、透孔４１の形状はスロット状に限らず、丸孔や角孔あるいはこれらの複合形状であってもよい。
【００６０】
また、上記加工処理として、フレキシブル配線基板２５の第１屈曲面部２５Ａのフィルム厚を他の領域よりも薄く形成したり幅を小さくする等して、ねじり剛性を低下させる処理も含まれる。
【００６１】
更に、以上の実施の形態では、フレキシブル配線基板２５を第１〜第３屈曲面部２５Ａ〜２５Ｃを有する形態でヘッドチップ２２と制御基板２７との間で引き回した例を説明したが、フレキシブル配線基板２５の引き回し形態は上記に限らず、テープドライブ装置の内部構成等に応じて適宜変更することが可能である。この場合にも、フレキシブル配線基板のねじり変形部位に対して、そのねじり剛性を低下させるための加工処理を施すことにより、上述と同様な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施の形態によるテープドライブ装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態による磁気ヘッド装置２１の構成を示す斜視図である。
【図３】図２における要部の拡大図である。
【図４】磁気ヘッド装置２１の背面側の斜視図であり、ヘッドチップ２２とフレキシブル配線基板２５のみ示している。
【図５】微動アクチュエータ２３を構成するツインバイモルフ型アクチュエータの側面図である。
【図６】キャリア２４の背面側から見た粗動アクチュエータ３５の構成図である。
【図７】磁気ヘッド装置の周波数特性を示す図であり、Ａは従来品、Ｂは発明の実施品である。
【図８】リニアテープ用のテープフォーマットの説明図である。
【図９】リニアテープ用の磁気ヘッド素子の形成例を示すヘッドチップ正面図である。
【図１０】従来の磁気ヘッド装置１の構成を示す斜視図である。
【図１１】図１０の要部拡大図である。
【図１２】従来の磁気ヘッド装置１の背面側の斜視図であり、ヘッドチップ２とフレキシブル配線基板５のみ示している。
【符号の説明】
【００６３】
１Ｄ…記録再生磁気ヘッド素子、１Ｓ…サーボ信号再生用磁気ヘッド素子部、１０…テープドライブ装置、１１…磁気テープ、１３…テープカートリッジ、２１…磁気ヘッド装置、２２…ヘッドチップ、２３…微動アクチュエータ、２４…キャリア、２５…フレキシブル配線基板、２５Ａ…第１屈曲面部、２５Ｂ…第２屈曲面部、２５Ｃ…第３屈曲面部、２７…制御基板、３１…バイモルフ素子、３５…粗動アクチュエータ、４１…透孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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