(57)【要約】【課題】ブロック１０に対するプランジャー１８の先端位置精度が優れたプローブ１２の組付け構造を提供する【解決手段】プランジャー１８の径大部２０の突出側に先端部の外周から径大部２０の外周に連なる斜面２８を形成し、狭搾孔１６の径大部２０側に径大部２０側の径が大きい面取状の斜面３０を形成する。狭搾孔１６の斜面３０に径大部２０の斜面２８が当接することで、狭搾孔１６の中心軸にプランジャー１８の中心軸が一致するように位置決めがなされ、ブロック１０に対するプランジャー１８の先端位置の精度が向上する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記径大部の突出側に前記先端部の外周から前記径大部の外周に連なる斜面を形成し、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成して構成したことを特徴とするプローブの組付け構造。
【請求項２】
ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記径大部の突出側に突出方向の径が小さい面取状の斜面を形成し、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成して構成したことを特徴とするプローブの組付け構造。
【請求項３】
ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記径大部の突出側に前記先端部の外周から前記径大部の外周に連なる斜面を形成して構成したことを特徴とするプローブの組付け構造。
【請求項４】
ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成し、しかも前記斜面の径大部側の径を前記径大部の径より大きく形成して構成したことを特徴とするプローブの組付け構造。
【請求項５】
ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成し、前記径大部を突出側が径の小さい階段状の複数の段差部で形成するとともにこれらの複数の段差部の肩部の稜を結ぶ面が前記狭搾部の前記面取状の斜面と同じ角度となるように形成して構成したことを特徴とするプローブの組付け構造。
【請求項６】
ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成し、前記径大部を突出側が径の小さい複数のフランジ状部で形成するとともにこれらの複数のフランジ状部の肩部の稜を結ぶ面が前記狭搾部の前記面取状の斜面と同じ角度となるように形成して構成したことを特徴とするプローブの組付け構造。
【請求項７】
ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成し、前記径大部を前記プランジャーの先端方向から見て中心軸に対して放射状の板状部または突起状部で形成するとともにこれらの板状部または突起状部の突出側を結ぶ面が突出方向の径が小さい斜面を形成するように構成したことを特徴とするプローブの組付け構造。
【請求項８】
請求項１または２記載のプローブの組付け構造において、前記狭搾孔に形成した前記斜面と、前記径大部に形成した前記斜面とを、同じ角度で形成して構成したことを特徴とするプローブの組付け構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブが組み付けられるブロックに対してプランジャーの先端位置精度が向上するようにしたプローブの組付け構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のブロックに対するプローブの組付け構造の一例を図１２に示す。図１２は、従来のブロックに対するプローブの組付け構造の一例の要部の縦断面図である。図１２において、ブロック１０にはプローブ１２が組み付けられる収容孔１４が設けられ、その外端部に狭搾孔１６が設けられる。そして、プローブ１２のプランジャー１８は、その先端部が狭搾孔１６から外方に突出するとともにプランジャー１８に設けた径大部２０が狭搾孔１６の通過を阻止されて突出方向への移動が規制される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述の従来のブロック１０に対するプローブ１２の組付け構造にあっては、狭搾孔１６内をプランジャー１８が軸方向に自由に移動できるようにするためには、プランジャー１８と狭搾孔１６の間にある程度の隙間が必要である。そこで、狭搾孔１６の中心軸に対して、隙間による遊びの分だけプランジャー１８の中心軸の位置にずれを生じるとともに傾きが生じ、プランジャー１８の先端位置に大きなずれｄが生ずる。この結果、ブロック１０に対してプランジャー１８の先端位置精度が十分に得られない。そこで、プランジャー１８を当接させる対象物が、ＩＣチップの極めて微細なパターン等であると、プランジャー１８の先端位置精度は検査や測定精度に大きな影響を及ぼす。
【０００４】
本発明は、上述したごとき従来のプローブの組付け構造の事情に鑑みてなされたもので、ブロックに対するプランジャーの先端位置精度が優れたプローブの組付け構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かかる目的を達成するために、本発明のプローブの組付け構造は、ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記径大部の突出側に前記先端部の外周から前記径大部の外周に連なる斜面を形成し、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成して構成されている。
【０００６】
また、ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記径大部の突出側に突出方向の径が小さい面取状の斜面を形成し、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成して構成しても良い。
【０００７】
そして、ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記径大部の突出側に前記先端部の外周から前記径大部の外周に連なる斜面を形成し構成することもできる。
【０００８】
さらに、ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成し、しかも前記斜面の径大部側の径を前記径大部の径より大きく形成して構成することも可能である。
【０００９】
そしてまた、ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成し、前記径大部を突出側が径の小さい階段状の複数の段差部で形成するとともにこれらの複数の段差部の肩部の稜を結ぶ面が前記狭搾部の前記面取状の斜面と同じ角度となるように形成して構成しても良い。
【００１０】
またさらに、ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成し、前記径大部を突出側が径の小さい複数のフランジ状部で形成するとともにこれらの複数のフランジ状部の肩部の稜を結ぶ面が前記狭搾部の前記面取状の斜面と同じ角度となるように形成して構成することもできる。
【００１１】
さらにまた、ブロックに設けた狭搾孔からプローブのプランジャーの先端部が突出するとともに前記プランジャーに設けた径大部が前記狭搾孔で通過を阻止されて突出方向への移動が規制されるプローブの組付け構造において、前記狭搾孔の前記径大部側に前記径大部側の径が大きい面取状の斜面を形成し、前記径大部を前記プランジャーの先端方向から見て中心軸に対して放射状の板状部または突起状部で形成するとともにこれらの板状部または突起状部の突出側を結ぶ面が突出方向の径が小さい斜面を形成するように構成することも可能である。
【００１２】
そしてさらに、前記狭搾孔に形成した前記斜面と、前記径大部に形成した前記斜面とを、同じ角度で形成して構成することもできる。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１および２記載のいずれのプローブの組付け構造にあっても、狭搾孔に形成した斜面に径大部に形成した斜面が当接することで、狭搾孔の中心軸にプランジャーの中心軸が一致するように位置決めがなされ、プランジャーの先端位置の精度が向上する。しかも、狭搾孔とプランジャーの間の隙間によりプランジャーの位置精度が影響されないので、プランジャーの軸方向移動が自由に出来るだけの十分な隙間を設けることができる。
【００１４】
請求項３記載のプローブの組付け構造にあっては、径大部に設けた先端部の外周から径大部の外周に連なる斜面の先端側の部分が狭搾孔に挿入され、この斜面により狭搾孔の中心軸にプランジャーの中心軸が一致するように位置決めがなされ、プランジャーの先端位置の精度が向上する。
【００１５】
請求項４記載のプローブの組付け構造にあっては、請求項３と同様に、狭搾孔に設けた斜面に径大部の先端側の部分が挿入され、斜面により狭搾孔の中心軸にプランジャーの中心軸が一致するように位置決めがなされ、プランジャーの先端位置の精度が向上する。
【００１６】
請求項５および６記載のいずれのプローブの組付け構造にあっても、狭搾孔に形成した斜面に、径大部を形成する複数の段差部またはフランジ状部の肩部の稜を結ぶ面による斜面が当接することで、狭搾孔の中心軸にプランジャーの中心軸が一致するように位置決めがなされ、請求項１および２と同様に、プランジャーの先端位置の精度が向上する。
【００１７】
請求項７記載のプローブの組付け構造にあっては、狭搾孔に形成した斜面に、径大部を形成する中心軸に放射状の板状部または突起状部の突出側を結ぶ面により形成する斜面が当接することで、狭搾孔の中心軸にプランジャーの中心軸が一致するように位置決めがなされ、請求項１および２と同様に、プランジャーの先端位置の精度が向上する。しかも、径大部が中心軸に対して放射状の板状部または突起状部からなり、軽量化が容易であるとともに、引き抜き加工などにより製造が容易である。
【００１８】
請求項８記載のプローブの組付け構造にあっては、狭搾孔に形成した斜面と径大部に形成した斜面の角度が同じであるために、狭搾孔の斜面に径大部の斜面がぴったりと当接でき、狭搾孔の中心軸にプランジャーの中心軸が一致するように確実な位置決めがなされ、プランジャーの先端位置の精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の第１実施例を図１および図２を参照して説明する。図１は、本発明のプローブの組付け構造の第１実施例の縦断面図である。図２は、図１の要部の拡大図である。図１および図２において、ブロック１０に設けられた収容孔１４の両側の外端部には、それぞれ円形の狭搾孔１６、１６が形成される。そして、この収容孔１４に両端可動型のプローブ１２が配設される。このプローブ１２の構造は、チューブ２２の両端側にそれぞれプランジャー１８、１８が中間カシメ２４、２４により軸方向にある範囲で移動自在であるが抜け出せないように設けられ、しかもチューブ２２内にスプリングコイル２６が縮設されて両端側のプランジャー１８、１８が突出方向に弾性付勢されている。さらに、プランジャー１８、１８に設けた断面円形の径大部２０、２０の突出側（狭搾孔１６、１６に当接して通過が阻止されて抜けが規制される側）に、狭搾孔１６、１６から外方に突出する先端部の外周から径大部２０、２０の外周に連なる斜面２８、２８が形成されている。また、狭搾孔１６、１６の径大部２０、２０側にも、径大部２０、２０側の径が大きな面取状の斜面３０、３０が形成される。しかも、径大部２０、２０に形成された斜面２８、２８と狭搾孔１６、１６に形成された斜面３０、３０の角度は同じに設定される。
【００２０】
かかる構成において、スプリングコイル２６の弾力により、プランジャー１８、１８の径大部２０、２０の斜面２８、２８が、狭搾孔１６、１６の斜面３０、３０に当接することで、斜面２８、２８、３０、３０により狭搾孔１６、１６の中心軸にプランジャー１８、１８の中心軸が一致するように位置決めがなされる。しかも、円錐面の一部からなる同じ角度の斜面２８、２８、３０、３０が当接することで、より確実に位置決めがなされる。もって、ブロック１０に対して、プランジャー１８、１８の先端位置の精度を向上させ得る。また、狭搾孔１６、１６とプランジャー１８、１８の間の隙間によって、プランジャー１８、１８の先端位置がずれるようなことがなく、プランジャー１８、１８が軸方向に自由に移動できるだけの十分な隙間を設けることも可能である。かかる作用効果により、本発明のプローブの組付け構造は、ブロック１０に対するプランジャー１８、１８の先端位置精度が簡単な構造により大幅に改善され、ＩＣチップの微細なパターン等の検査や測定等に好適である。
【００２１】
本発明の第２実施例を図３を参照して説明する。図３は、本発明のプローブの組付け構造の第２実施例の縦断面図である。図３に示す第２実施例にあっては、プローブ１２の一端は第１実施例と同様に可動型にプランジャー１８が配設されるが、他端はプランジャー１８がチューブ２２にカシメ３２られて固定型に配設されている。このカシメ３２により固定型として配設されたプランジャー１８にあっても、先端部の外周と径大部２０に連なる斜面２８が形成され、固定型のプランジャー１８であっても、狭搾孔１６の中心軸に位置決めされる。
【００２２】
本発明の第３実施例を図４を参照して説明する。図４は、本発明のプローブの組付け構造の第３実施例の縦断面図である。図４に示す第３実施例にあっては、第１実施例と同様に両端可動型であるが、プランジャー１８、１８に対して、チューブ２２の両端がカシメ３４、３４られて、プランジャー１８、１８が軸方向に移動自在でしかも抜け出ないように形成されている。第１実施例と同様に、プランジャー１８、１８の先端部に設けられた径大部２０、２０の斜面２８、２８が狭搾孔１６、１６の斜面３０、３０に当接して、狭搾孔１６、１６の中心軸にプランジャー１８、１８の中心軸が一致するように位置決めされる。
【００２３】
本発明の第４実施例を図５を参照して説明する。図５は、本発明のプローブの組付け構造の第４実施例の要部の縦断面拡大図である。図５に示す第４実施例にあっては、プランジャー１８の径大部２０の突出側に、突出方向の径が小さい面取状の斜面３６が形成され、狭搾孔１６には径大部２０側に径大部２０側の径が大きな面取状の斜面３０が設けられている。径大部２０の斜面３６と狭搾孔１６の斜面３０は同じ角度に設定される。図５に示す第４実施例にあっても、第１実施例と同様に、径大部２０の斜面３６が狭搾孔１６の斜面３０に当接して、狭搾孔１６の中心軸にプランジャー１８の中心軸が一致するように位置決めされる。
【００２４】
本発明の第５実施例を図６を参照して説明する。図６は、本発明のプローブの組付け構造の第５実施例の要部の縦断面拡大図である。図６に示す第５実施例にあっては、プランジャー１８の径大部２０の突出側に、先端部の外周から径大部２０の外周に連なる斜面２８が形成されているが、狭搾孔１６の径大部２０側には面取状の斜面３０が設けられていない。図６に示す第５実施例のかかる構造にあっても、径大部２０の斜面２８の先端側の一部分が狭搾孔１６に挿入されることにより、斜面２８に案内されて狭搾孔１６の中心軸にプランジャー１８の中心軸が一致するように位置決めされる。
【００２５】
本発明の第６実施例を図７を参照して説明する。図７は、本発明のプローブの組付け構造の第６実施例の要部の縦断面拡大図である。図７に示す第６実施例にあっては、プランジャー１８の径大部２０の突出側には斜面２８が形成されておらず、狭搾孔１６の径大部２０側には面取状の斜面３０が設けられる。しかも、この斜面３０の径大部２０側の径が、径大部２０の外径よりも大きく設定される。図７に示す第６実施例のかかる構造にあっても、狭搾孔１６の斜面３０に径大部２０の先端側が当接されることで、斜面３０に案内されて狭搾孔１６の中心軸にプランジャー１８の中心軸が一致するように位置決めされる。
【００２６】
本発明の第７実施例を図８を参照して説明する。図８は、本発明のプローブの組付け構造の第７実施例の要部の縦断面拡大図である。図８に示す第７実施例にあっては、プランジャー１８の径大部２０が突出側が径の小さい階段状の２つの段差部２０ａ，２０ｂで形成されるとともに、これらの２つの段差部２０ａ，２０ｂの肩部の稜を結ぶ面が突出側の径が小さな斜面となるように形成される。狭搾孔１６の径大部２０側には面取状の斜面３０が設けられる。しかも、径大部２０の２つの段差部２０ａ，２０ｂの肩部の稜を結ぶ面で形成される斜面が、狭搾孔１６の斜面３０に同じ角度で当接するようになされる。図８に示す第７実施例のかかる構造にあっても、狭搾孔１６の斜面３０に径大部２０の２つの段差部２０ａ，２０ｂの肩部の稜を結ぶ面で形成される斜面が当接されることで、斜面３０に案内されて狭搾孔１６の中心軸にプランジャー１８の中心軸が一致するように位置決めされる。
【００２７】
本発明の第８実施例を図９を参照して説明する。図９は、本発明のプローブの組付け構造の第８実施例の要部の縦断面拡大図である。図９に示す第８実施例にあっては、プランジャー１８の径大部２０が突出側が径の小さい２つのフランジ状部２０ｃ、２０ｄで形成されるとともに、これらの２つのフランジ状部２０ｃ、２０ｄの肩部の稜を結ぶ面が突出側の径が小さな斜面となるように形成される。狭搾孔１６の径大部２０側には面取状の斜面３０が設けられる。しかも、径大部２０の２つのフランジ状部２０ｃ、２０ｄの肩部の稜を結ぶ面で形成される斜面が、狭搾孔１６の斜面３０に同じ角度で当接するようになされる。図９に示す第８実施例のかかる構造にあっても、狭搾孔１６の斜面３０に径大部２０の２つのフランジ状部２０ｃ、２０ｄの肩部の稜を結ぶ面で形成される斜面が当接されることで、斜面３０に案内されて狭搾孔１６の中心軸にプランジャー１８の中心軸が一致するように位置決めされる。
【００２８】
本発明の第９実施例を図１０を参照して説明する。図１０は、本発明のプローブの組付け構造の第９実施例の要部を示し、（ａ）は縦断面拡大図であり、（ｂ）はプランジャーを先端方向から見た図である。図１０に示す第９実施例にあっては、プランジャー１８の径大部２０が、先端方向から見て中心軸に対して放射状の板状部２０ｅ、２０ｅ…で形成されるとともにこれらの板状部２０ｅ、２０ｅ…の突出側を結ぶ面が突出方向の径が小さい斜面となるように形成される。狭搾孔１６の径大部２０側には面取状の斜面３０が設けられる。しかも、径大部２０の放射状の板状部２０ｅ、２０ｅ…の突出側を結ぶ面で形成される斜面が、狭搾孔１６の斜面３０に同じ角度で当接するようになされる。図１０に示す第９実施例のかかる構造にあっても、狭搾孔１６の斜面３０に径大部２０の放射状の板状部２０ｅ、２０ｅ…の突出側を結んで形成される斜面が当接されることで、斜面３０に案内されて狭搾孔１６の中心軸にプランジャー１８の中心軸が一致するように位置決めされる。この第９実施例にあっては、プランジャー１８を引き抜き加工することなどにより、放射状の板状部２０ｅ、２０ｅ…からなる径大部２０を容易に構成できる。
【００２９】
本発明の第１０実施例を図１１を参照して説明する。図１１は、本発明のプローブの組付け構造の第１０実施例の要部を示し、（ａ）は縦断面拡大図であり、（ｂ）はプランジャーを先端方向から見た図である。図１１に示す第１０実施例が図１０に示す第９実施例と相違するとところは、プランジャー１８の径大部２０が、先端方向から見て中心軸に対して放射状の突起状部２０ｆ、２０ｆ…で形成されることにある。これらの突起状部２０ｆ、２０ｆ…の突出側を結ぶ面が突出方向の径が小さい斜面となるように形成され、この斜面が、狭搾孔１６の斜面３０に同じ角度で当接するようになされる。図１１に示す第１０実施例のかかる構造にあっても、第９実施例と同様の作用効果が得られる。
【００３０】
なお、上記第１ないし第６実施例では、狭搾孔１６および径大部２０は、いずれも中心軸と直角方向の断面が円形であって、形成される斜面２８、３０、３６は、いずれも円錐面の一部分であるが、これに限られず、狭搾孔１６と径大部２０が中心軸に対する直角方向の断面が相似形であれば、斜面が角錐面の一部分であっても良い。また、第１ないし第４実施例において、狭搾孔１６に設ける斜面３０と、径大部２０に設ける斜面２８、３６が、同じ角度で設けれれているが、必ずしも同じ角度でなくても良く、異なる角度であっても良いことは容易に理解されるであろう。そして、第７および第８実施例において、段差部２０ａ、２０ｂおよびフランジ状部２０ｃ、２０ｄの数は複数であれば良く、上記実施例に限られず、３つ以上であっても良い。さらに、第９および第１０実施例において、放射状の板状部２０ｅ、２０ｅ…および突起状部２０ｆ、２０ｆ…の中心軸に対する直角方向の断面形状ならびに板状部２０ｅ、２０ｅ…および突起状部２０ｆ、２０ｆ…の数が、上記実施例に限られないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明のプローブの組付け構造の第１実施例の縦断面図である。
【図２】図１の要部の拡大図である。
【図３】本発明のプローブの組付け構造の第２実施例の縦断面図である。
【図４】本発明のプローブの組付け構造の第３実施例の縦断面図である。
【図５】本発明のプローブの組付け構造の第４実施例の要部の縦断面拡大図である。
【図６】本発明のプローブの組付け構造の第５実施例の要部の縦断面拡大図である。
【図７】本発明のプローブの組付け構造の第６実施例の要部の縦断面拡大図である。
【図８】本発明のプローブの組付け構造の第７実施例の要部の縦断面拡大図である。
【図９】本発明のプローブの組付け構造の第８実施例の要部の縦断面拡大図である。
【図１０】本発明のプローブの組付け構造の第９実施例の要部を示し、（ａ）は縦断面拡大図であり、（ｂ）はプランジャーを先端方向から見た図である。
【図１１】本発明のプローブの組付け構造の第１０実施例の要部を示し、（ａ）は縦断面拡大図であり、（ｂ）はプランジャーを先端方向から見た図である。
【図１２】従来のブロックに対するプローブの組付け構造の一例の要部の縦断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１０  ブロック
１２  プローブ
１４  収容孔
１６  狭搾孔
１８  プランジャー
２０  径大部
２０ａ，２０ｂ  段差部
２０ｃ、２０ｄ  フランジ状部
２０ｅ  板状部
２０ｆ  突起状部
２８、３０、３６  斜面
【図１】
2006300581.tif 000003
【図２】
2006300581.tif 000004
【図３】
2006300581.tif 000005
【図４】
2006300581.tif 000006
【図５】
2006300581.tif 000007
【図６】
2006300581.tif 000008
【図７】
2006300581.tif 000009
【図８】
2006300581.tif 000010
【図９】
2006300581.tif 000011
【図１０】
2006300581.tif 000012
【図１１】
2006300581.tif 000013
【図１２】
2006300581.tif 000014