(57)【要約】【課題】  流体の吸引手段で高い流量精度を実現可能として粉塵などの微粒子を高精度に測定することができ、その吸引手段を長寿命、低コストで実現することができ、また、実運転前や校正作業前に必要なパージ作業を短時間で実行すること。【解決手段】  流体を吸引して排出する吸引手段にファンモータ１３を適用し、このファンモータ１３の吸引及び排出によって流れる流体の流量を流量計１１によって計測し、更に、流量制御部１２によって、その計測された流量に応じて、当該流量が一定となるようにファンモータ１３の回転数を制御する。これによって、ファンモータ１３の回転数が、流量計１１で計測される流量が一定となるように制御されるので、流体の流量が一定となり、微粒子検出部３における微粒子の測定が高精度に実行される。【選択図】      図１
2006138833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を吸引して排出する吸引手段によって流体を流路に流し、この流れる流体に光源からの出射光を照射し、この照射時に流体中に含まれる微粒子での散乱光を受光素子で受光し、この受光に応じて受光素子から出力される電気信号から微粒子の数及び大きさを演算して求める微粒子測定装置において、
前記吸引手段として用いたファンモータと、
前記ファンモータの吸引及び排出によって流れる流体の流量を計測する流量計と、
前記流量計によって計測された流量に応じて、当該流量が一定となるように前記ファンモータの回転数を制御する第１の制御手段と
を備えたことを特徴とする微粒子測定装置。
【請求項２】
前記演算された微粒子の粒子径が予め定められた粒子径より大きい場合、及び微粒子の数が予め定められた粒子数より多い場合の何れかの場合に、前記ファンモータの回転速度を速くする指令を前記第１の制御手段へ出力する第２の制御手段
を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の微粒子測定装置。
【請求項３】
前記第２の制御手段は、前記演算された微粒子の粒子径が予め定められた粒子径以下となり、且つ、微粒子の数が予め定められた粒子数以下となるまで、前記ファンモータの回転速度を更に速くする指令を前記第１の制御手段へ出力する
ことを特徴とする請求項２に記載の微粒子測定装置。
【請求項４】
前記流体の流路の吸入口に取り付けられ、所定粒子径の微粒子を濾過するフィルタ
を更に備えたことを特徴とする請求項２または３に記載の微粒子測定装置。
【請求項５】
流体を吸引して排出する吸引手段によって流体を流路に流し、この流れる流体に光源からの出射光を照射し、この照射時に流体中に含まれる微粒子での散乱光を受光素子で受光し、この受光に応じて受光素子から出力される受光信号がしきい値よりも大きい場合に微粒子を検出したと判定する微粒子測定装置において、
前記吸引手段での流体の吸引流量を検出し、この検出された吸引流量に基づき前記しきい値を設定変更するしきい値設定手段
を備えたことを特徴とする微粒子測定装置。
【請求項６】
前記しきい値設定手段は、予め測定された吸引流量と前記受光信号との大きさの相関式と等しい傾きとされた当該吸引流量としきい値との相関式を保持し、この相関式から前記吸引手段での吸引流量に対応するしきい値を算出し、この算出されたしきい値を微粒子検出用のしきい値として新たに設定する
ことを特徴とする請求項５に記載の微粒子測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームなどの粉塵を管理する領域において、粉塵などの微粒子の数と大きさを計測する微粒子測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の微粒子測定装置は、気体等の流体を当該微粒子測定装置の内部に吸引して外部に排気し、この際、内部に流れる流体に光源からのレーザ光を照射し、この照射時に流体中に含まれる微粒子での散乱光を受光素子で受光するように構成されている。そして、その受光に応じて受光素子から出力される電気信号から微粒子の数及び大きさ（粒径）を演算して求めるようになっている。
この種の従来の微粒子測定装置として、例えば特許文献１に記載のものがある。この文献１の微粒子測定装置は図８に示すように、ノズル１０１と、吸引ノズル１０２と、チャンバー１０３と、光源１０４と、真空ポンプ１０５などを備えて構成されている。
【０００３】
この微粒子測定装置は、真空ポンプ１０５が駆動されると、ノズル１０１から粉塵を含む流体が吸引されてチャンバー１０３へ噴射される。この噴出された流体は、チャンバー１０３内を通って更に吸引ノズル１０２を通り真空ポンプ１０５で吸引され、外部に排出される。この際、チャンバー１０３内において、光源１０４からの光が流体に照射され、この照射時に流体中に含まれる微粒子での散乱光が図示せぬ受光素子で受光される。そして、その受光に応じて受光素子から出力される電気信号から微粒子の数と大きさが演算によって求められる。
【特許文献１】特開平１−２６５１３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記の特許文献１の微粒子測定装置においては、微粒子を検出するチャンバー１０３内に流体を流す手段として真空ポンプ１０５が用いられている。この真空ポンプ１０５は、流体を吸引して排出する際に脈動を伴うので流量変動が大きい。このため、高い流量精度が求められる微粒子測定装置では、悪影響を及ぼすという問題がある。更に、真空ポンプ１０５は、一般的に数千時間と寿命が短く、コストが高いという問題がある。
【０００５】
一方、微粒子測定装置は、高精度で微粒子を測定するために、実際使用する前に微粒子測定装置内の付着している粉塵などを除去して清浄する必要がある。通常、微粒子測定装置を長時間試運転させるパージ作業（清浄化作業）が必要となる。
また、微粒子測定装置の校正においては、粒子径の揃った標準粒子（ＰＳＬ粒子：真球状ポリスチレンラッテックス粒子）を吸引させて、そのときの粒子検出信号と粒子計数値によって粒子計数精度を校正する方法が一般的である。このとき、微粒子測定装置の吸引口にはフィルタを設けることにより清浄な気流が吸引されるが、微粒子測定装置内に標準粒子以外の挨などの付着があると、その埃が剥がれて標準粒子と一緒に検出されるので、正しく校正ができない。このため、校正作業前には必ず長時聞のパージ作業が必要となるので、微粒子測定装置の校正に時間が掛かるという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、流体の吸引手段で高い流量精度を実現可能として粉塵などの微粒子を高精度に測定することができ、その吸引手段を長寿命、低コストで実現することができ、また、実運転前や校正作業前に必要なパージ作業を短時間で実行することができる微粒子測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１による微粒子測定装置は、流体を吸引して排出する吸引手段によって流体を流路に流し、この流れる流体に光源からの出射光を照射し、この照射時に流体中に含まれる微粒子での散乱光を受光素子で受光し、この受光に応じて受光素子から出力される電気信号から微粒子の数及び大きさを演算して求める微粒子測定装置において、前記吸引手段として用いたファンモータと、前記ファンモータの吸引及び排出によって流れる流体の流量を計測する流量計と、前記流量計によって計測された流量に応じて、当該流量が一定となるように前記ファンモータの回転数を制御する第１の制御手段とを備えたことを特徴とする。
この構成によれば、ファンモータの回転数が、流量計で計測される流量が一定となるように制御されるので、流体の流量が一定となり、これによって微粒子の測定を高精度に実行することができる。また、ファンモータは、寿命が長く安価で消費電力も低いので、流体の吸引手段を長寿命、低コストで実現することができる。
【０００８】
また、本発明の請求項２による微粒子測定装置は、請求項１において、前記演算された微粒子の粒子径が予め定められた粒子径より大きい場合、及び微粒子の数が予め定められた粒子数より多い場合の何れかの場合に、前記ファンモータの回転速度を速くする指令を前記第１の制御手段へ出力する第２の制御手段を更に備えたことを特徴とする。
この構成によれば、流体の吸引流量が増大するので、流路内に留まっている挨の排気、流路内壁に付着した埃の剥がれが加速され、早期に流路内を清浄することができる。
【０００９】
また、本発明の請求項３による微粒子測定装置は、請求項２において、前記第２の制御手段は、前記演算された微粒子の粒子径が予め定められた粒子径以下となり、且つ、微粒子の数が予め定められた粒子数以下となるまで、前記ファンモータの回転速度を更に速くする指令を前記第１の制御手段へ出力することを特徴とする。
この構成によれば、ファンモータの回転速度を速くしても演算される微粒子の大きさが予め定められた粒子径以下となり、且つ、微粒子の数が予め定められた粒子数以下とならない場合、つまり流路内壁に予め定められた粒子径よりも大きく且つ所定数よりも多い数の微粒子が付着した状態では、ある程度回転速度を上げても、その付着した微粒子が取れない。そこで、更に回転速度を上げて吸引流量を増大させるようにしたので、付着微粒子を取ることが可能となる。また、このように制御した場合、流路内の清浄化を自動で行うことができる。
【００１０】
また、本発明の請求項４による微粒子測定装置は、請求項２または３において、前記流体の流路の吸入口に取り付けられ、所定粒子径の微粒子を濾過するフィルタを更に備えたことを特徴とする。
この構成によれば、フィルタによって流体に含まれる塵や埃が取り除かれて微粒子測定装置の流路に吸入されるので、清浄化をより効率良く短時間で行うことができる。
【００１１】
また、本発明の請求項５による微粒子測定装置は、流体を吸引して排出する吸引手段によって流体を流路に流し、この流れる流体に光源からの出射光を照射し、この照射時に流体中に含まれる微粒子での散乱光を受光素子で受光し、この受光に応じて受光素子から出力される受光信号がしきい値よりも大きい場合に微粒子を検出したと判定する微粒子測定装置において、前記吸引手段での流体の吸引流量を検出し、この検出された吸引流量に基づき前記しきい値を設定変更するしきい値設定手段を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、様々な長さのサンプリングチューブを吸引手段に装着することによって発生する圧力損失により、吸引流量が変動しても、常に吸引流量に基づく適正なしきい値を設定することができるので、正しく微粒子の検出の判定を行うことができる。
【００１２】
また、本発明の請求項６による微粒子測定装置は、前記しきい値設定手段は、予め測定された吸引流量と前記受光信号との大きさの相関式と等しい傾きとされた当該吸引流量としきい値との相関式を保持し、この相関式から前記吸引手段での吸引流量に対応するしきい値を算出し、この算出されたしきい値を微粒子検出用のしきい値として新たに設定することを特徴とする。
この構成によれば、吸引流量と受光信号との大きさが略直線となる相関関係があるので、この相関式の傾きに等しくされた吸引流量としきい値との相関式を参照して、現在の吸引流量に対応するしきい値を求め、このしきい値を用いて微粒子検出の判定を行えば正確に判定することが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように本発明によれば、流体の吸引手段で高い流量精度を実現可能として粉塵などの微粒子を高精度に測定することができ、その吸引手段を長寿命、低コストで実現することができ、また、実運転前や校正作業前に必要なパージ作業を短時間で実行することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。但し、本明細書中の全図において相互に対応する部分には同一符号を付し、重複部分においては後述での説明を適時省略する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る微粒子測定装置の構成を示す斜視図である。
図１に示す微粒子測定装置１０は、ノズル２と、微粒子検出部３と、チューブ４，６と、流量計１１と、ファンモータ１３と、フィルタ７と、流量制御部（第１の制御手段）１２と、微粒子演算部１４とを備えて構成されている。特徴構成は、ファンモータ１３を用い、このファンモータ１３と微粒子検出部３との間にチューブ４を介して流量計１１を接続し、更に、流量制御部１２によって、流量計１１で計測される流体の流量を示す流量信号１５に応じて、その流量が一定となるようにファンモータ１３の回転数を回転数制御信号１６で制御するようにしたことにある。
【００１５】
このような構成の微粒子測定装置１０は、クリーンルーム等の粉塵を管理する部屋に配置されて、次のような微粒子の測定動作を行う。
まず、ファンモータ１３が起動されると、ノズル２から部屋の粉塵を含む流体が吸引されて微粒子検出部３へ噴射される。この噴出された流体は、微粒子検出部３の内部を通過する。この際、微粒子検出部３の内部において、流体に光が照射され、この照射時に流体中に含まれる微粒子での散乱光が受光素子で受光される。そして、その受光に応じて受光素子から出力される電気信号１８が微粒子演算部１４に入力され、この微粒子演算部１４において微粒子の数及び大きさが演算によって求められる。
【００１６】
このように微粒子検出部３を通過した流体は、流量計１１で流量が計測されながらチューブ６を通過してファンモータ１３で吸引され、フィルタ７でろ過されて部屋へ排出される。この経路通過の際には、流量計１１での流量の計測に応じて得られる流量信号１５が流量制御部１２へ出力される。
流量制御部１２では、その流量信号１５に応じて、流量計１１で計測される流量が一定となるようにファンモータ１３の回転数を制御するための回転数制御信号１６が生成され、この回転数制御信号１６がファンモータ１３へ出力される。これによって、流量計１１で計測される流量が一定となるように、ファンモータ１３の回転数が制御される。
【００１７】
この制御によって、微粒子検出部３の内部を流れる流体の流量が一定となるので、微粒子検出部３における微粒子の測定が高精度に実行される。
このような第１の実施の形態の微粒子測定装置１０によれば、流体を吸引して排出する吸引手段にファンモータ１３を適用し、このファンモータ１３の吸引及び排出によって流れる流体の流量を流量計１１によって計測し、更に、流量制御部１２によって、その計測された流量に応じて、当該流量が一定となるようにファンモータ１３の回転数を制御するようにした。
【００１８】
これによって、ファンモータ１３の回転数が、流量計１１で計測される流量が一定となるように制御されるので、流体の流量が一定となり、これによって微粒子の測定を高精度に実行することができる。また、ファンモータ１３は、寿命が長く安価で消費電力も低いので、流体の吸引手段を長寿命、低コストで実現することができる。
【００１９】
（第２の実施の形態）
図２は、本発明の第２の実施の形態に係る微粒子測定装置の構成を示す斜視図である。
図２に示す微粒子測定装置２０が、図１に示した微粒子測定装置１０と異なる点は、パージ作業制御部（第２の制御手段）２１を備えたことにある。
パージ作業制御部２１は、ノズル２、微粒子検出部３などの流体が通過する流路内部に付着している挨を清浄するためのパージ作業が自動で行われるように制御するものである。
【００２０】
このパージ作業制御は、微粒子演算部１４で演算された微粒子の数及び大きさを示す微粒子測定結果情報２３を参照し、予め定めた粒子径（所定粒子径とも称す）より大きい粒子を検出している状態｛又は微粒子の数（所定粒子数とも称す）が予め定められた粒子数より多い数を検出している状態｝であればファンモータ１３の回転速度を速くする指令の回転速度変更指令信号２４を流量制御部１２へ出力し、所定粒子径より大きい粒子（又は所定粒子数より多い数）を検出しない状態が予め定められた時間継続した場合はファンモータ１３の回転速度を通常の速度に戻す指令の回転速度変更指令信号２４を出力するようになっている。
【００２１】
また、ファンモータ１３は、回転速度を速くするための回転速度変更指令信号２４が入力された場合、その回転速度が、通常の微粒子を測定する状態と比較して２倍以上とされるようになっている。これは、ファンモータ１３の回転速度変化に応じて吸引流量が増大することにより、流路内に留まっている挨の排気、流路内壁に付着した埃の剥がれが加速され、早期に微粒子測定装置２０の内部を清浄化することができる回転速度である。
【００２２】
このような構成の微粒子測定装置２０による実運転前又は校正作業前に必要なパージ作業の動作を説明する。
まず、ファンモータ１３が起動されると、ノズル２から部屋の粉塵を含む流体が吸引されて微粒子検出部３へ導かれ、この流体への光照射時に流体中に含まれる微粒子での散乱光が受光素子で受光される。この受光に応じて受光素子から出力される電気信号１８が微粒子演算部１４に入力され、ここで微粒子の数及び大きさが演算によって求められ、この微粒子測定結果情報２３がパージ作業制御部２１へ出力される。
【００２３】
パージ作業制御部２１では、その微粒子測定結果情報２３が参照され、所定粒子径より大きい粒子（又は所定粒子数より多い数）を検出している状態であれば、ファンモータ１３の回転速度を速くするための回転速度変更指令信号２４が流量制御部１２へ出力される。これに応じて流量制御部１２からファンモータ１３の回転速度を通常の２倍以上とするための回転速度制御信号１６がファンモータ１３へ供給され、ファンモータ１３が通常の２倍以上の速度で回転する。
【００２４】
これによって、吸引流量が増大するので、流路内に留まっている挨の排気、流路内壁に付着した埃の剥がれが加速され、早期に微粒子測定装置２０の内部が清浄化される。
一方、その内部の清浄化が行われない場合、即ち、パージ作業制御部２１において、所定粒子径より大きい粒子（又は所定粒子数より多い数）を検出している状態が継続している場合は、更に回転速度を速くするための回転速度変更指令信号２４が出力され、これに応じてファンモータ１３が更に高速で回転する。
【００２５】
その後、パージ作業制御部２１において、所定粒子径より大きい粒子（又は所定粒子数より多い数）を検出しない状態が予め定められた時間継続したことが検出された場合、ファンモータ１３の回転速度を通常の速度に戻すための回転速度変更指令信号２４が流量制御部１２へ出力される。
このような第２の実施の形態の微粒子測定装置２０によれば、パージ作業制御部２１によって、流路内に所定粒子径（又は所定粒子数）の粒子が存在する場合、ファンモータ１３の回転数を増大させてパージ作業を実施するようにしたので、実運転前や校正作業前に流路内の埃を短時間で除去して清浄化を行うことができる。
【００２６】
また、パージ作業制御部２１を常時制御状態としておけば、その清浄化を行うパージ作業を自動で行うことができる。
更に、パージ作業制御部２１にて、所定粒子径より大きい粒子（又は所定粒子数より多い数）を検出しない状態が予め定められた時間継続したことが検出された際にファンモータ１３の回転速度が通常速度に戻された場合に、ブザーやランプ点灯等によって利用者に報知可能なようにすれば、利用者が微粒子測定装置２０の清浄化状態を認識することができる。
【００２７】
この他、図３に示す微粒子測定装置３０のように、ノズル２の流体吸入口にフィルタ２６を取り付ければ、フィルタ２６によって流体に含まれる塵や埃が取り除かれてノズル２に吸入されるので、パージ作業制御部２１によるパージ作業をより効率良く短時間で行うことができる。
更に、パージ作業制御部２１は、流路内に存在する微粒子が、所定粒子径以下で且つ所定粒子数以下となるまで、流量制御部１２への指令によりファンモータ１３の回転数を増大させてパージ作業を実施するようにしてもよい。
【００２８】
これによって、ファンモータ１３の回転速度を速くしても演算される微粒子の大きさが予め定められた粒子径以下となり、且つ、微粒子の数が予め定められた粒子数以下とならない場合、つまり流路内壁に予め定められた粒子径よりも大きく且つ所定数よりも多い数の微粒子が付着した状態では、ある程度回転速度を上げても、その付着した微粒子が取れない。
そこで、上記のように更に回転速度を上げて吸引流量を増大させるようにしたので、付着微粒子を取ることが可能となる。
【００２９】
（第３の実施の形態）
図４は、本発明の第３の実施の形態に係る微粒子測定装置の構成を示す斜視図である。
図４に示す微粒子測定装置４０が、図１に示した微粒子測定装置１０と異なる点は、流量制御部１２に代え、しきい値設定部４１を備えた点にある。
しきい値設定部４１は、流量信号１５から現在の吸引流量Ｑ１を検知し、この吸引流量Ｑ１に対応するしきい値Ｔｈを算出し、このしきい値Ｔｈを微粒子演算部１４−１に設定するものである。また、微粒子演算部１４−１が、その設定されたしきい値Ｔｈを用いて、所定の大きさの微粒子の検出を判定するようにした。
【００３０】
上記の吸引流量Ｑ１としきい値Ｔｈとの関係を、次の微粒子測定装置４０における微粒子の測定動作の説明中に合わせて説明する。但し、本微粒子測定装置４０においては、ノズル２の流体吸込み口に、着脱自在なサンプリングチューブ４２が装着されている状態を示す。また、微粒子測定装置４０は、クリーンルーム等の粉塵を管理する部屋に配置されているとする。
【００３１】
まず、ファンモータ１３が起動されると、ノズル２から部屋の粉塵を含む流体が吸引されて微粒子検出部３へ噴射される。この噴出された流体は、微粒子検出部３の内部を通過する。この際、微粒子検出部３の内部において、流体に光が照射され、この照射時に流体中に含まれる微粒子での散乱光が受光素子で受光される。そして、その受光に応じて受光素子から出力される電気信号１８が微粒子演算部１４−１に入力され、この微粒子演算部１４において、電気信号１８のレベルがしきい値Ｔｈよりも大きければ、所定の大きさの微粒子が検出されたと判断される。
【００３２】
ここで、微粒子検出部３において、微粒子の散乱光によって得られる受光信号（＝電気信号１８）レベル（縦軸）の一例を図５に示す。
図５に示す受光信号レベルの波形は、同じ粒子径の粒子を吸引したときにサンプリングチューブ４２が有る場合と、無い場合との２つの異なる条件で取得したデータを時間軸（横軸）に重ね合わせてグラフ化したものである。サンプリングチューブ４２が有る場合の波形がａ１、無い場合の波形がａ２である。
【００３３】
この図５より、サンプリングチューブ４２の有無で受光信号レベルの大きさが異なることがわかる。この受光信号レベルの差異の要因について説明する。
サンプリングチューブ４２を装着した場合は、チューブ４２による圧力損失が発生するためチューブ４２の無いときと比較すると、吸引流量（流速）が減少する。この吸引流量の減少によって、ノズル２から吸引された流体内に含まれる微粒子の移動速度が低下する。このため、微粒子が微粒子検出部３内の光源の出射光で照射される時間が大きくなって、微粒子の散乱光量が大きくなるため受光素子から出力される受光信号（＝電気信号１８）も増大する。
【００３４】
このため、チューブ４２を装着している場合には、チューブ４２の無いときに微粒子演算部１４−１に設定されたしきい値Ｔｈを、そのまま使用して微粒子を検出すると、想定している微粒子の大きさとは異なった大きさの粒子を検出することになるので、検出精度が悪化する。
例えば、図５に破線で示す位置にしきい値Ｔｈを設定していた場合は、同じ大きさの粒子であるにもかかわらず、ａ１のチューブ４２が有る場合には検出されるが、ａ２のチューブ４２が無い場合には受光信号レベルがしきい値Ｔｈ以下となり検出されないことになる。
【００３５】
このチューブ４２の有無で説明した現象は、チューブ４２の長さの違いによっても同様に発生する。チューブ４２の長さの変化は、チューブによる圧力損失の変化であって、微粒子検出部３からは流量計１１により吸引流量Ｑ１の変化として検知される。
この吸引流量Ｑ１と受光信号レベルＰとの関係を図６に示す。この図６より、吸引流量Ｑ１が大きくなると受光信号レベルＰが小さくなることがわかる。この両者の相関関係は、次式（１）で示すように、ほぼ直線近似される。
Ｐ＝α×Ｑ＋β  …（１）
Ｐ：受光信号レベル
Ｑ：吸引流量
α：直線近似式の定数（傾き）
β：直線近似式の定数（切片）
【００３６】
このように、チューブ長に比例する吸引流量Ｑによって受光信号レベルＰが変化することから、微粒子の有無を判断するしきい値Ｔｈも吸引流量Ｑ１に応じて変更する必要がある。図７に、しきい値Ｔｈと吸引流量Ｑ１との相関関係を示す。このとき、下式（２）で示される直線の傾きは、上式（１）で示した傾きαに等しくする。
Ｔｈ＝α×Ｑ＋Ｔｈ０  …（２）
【００３７】
しきい値設定部４１は、その式（２）のしきい値Ｔｈと吸引流量Ｑ１との相関関係を予め保持しており、流量信号１５から得た吸引流量Ｑ１を、その相関式（２）に当てはめることによってしきい値Ｔｈを算出するようになっている。
つまり、しきい値設定部４１は、流量計１１から入力される流量信号１５より現在の吸引流量Ｑ１を検出し、次に、吸引流量Ｑ１としきい値Ｔｈとの相関式（２）から、吸引流量Ｑ１に対応するしきい値（例えばＴｈ１）を算出し、このしきい値Ｔｈｌを微粒子演算部１４−１へ出力して設定する。
【００３８】
微粒子演算部１４−１は、微粒子検出部３からの受光信号である電気信号１８のレベルが、新たに設定されたしきい値Ｔｈよりも大きければ、所定の大きさの微粒子が検出されたと判定し、これに応じて微粒子の数と大きさを演算する。
このような第３の実施の形態の微粒子測定装置４０によれば、様々な長さのサンプリングチューブ４２をノズル２に装着することによって発生する圧力損失により、吸引流量Ｑ１が変動しても、常に吸引流量Ｑ１に応じた適正なしきい値Ｔｈを設定することで正しく微粒子の測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る微粒子測定装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る微粒子測定装置の構成を示すブロック図である。
【図３】第２の実施の形態に係る微粒子測定装置の変形例の構成を示すブロック図である。
【図４】第３の実施の形態に係る微粒子測定装置の変形例の構成を示すブロック図である。
【図５】第３の実施の形態に係る微粒子測定装置において、同径粒子の吸引時にサンプリングチューブ有無の２条件で取得した受光信号レベルを時間軸に重ね合わせたグラフである。
【図６】受光信号レベルと吸引流量との相関関係図である。
【図７】しきい値と吸引流量との相関関係図である。
【図８】従来の微粒子測定装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００４０】
２  ノズル
３  微粒子検出部
４，６  チューブ
７，２６  フィルタ
１０，２０，３０，４０  微粒子測定装置
１１  流量計
１２  流量制御部
１３  ファンモータ
１４，１４−１  微粒子演算部
１５  流量信号
１６  回転数制御信号
１８  電気信号
２３  微粒子測定結果情報
２４  回転速度変更指令信号
４１  しきい値設定部
４２  サンプリングチューブ
Ｔｈ  しきい値
【図１】
2006138833.tif 000003
【図２】
2006138833.tif 000004
【図３】
2006138833.tif 000005
【図４】
2006138833.tif 000006
【図５】
2006138833.tif 000007
【図６】
2006138833.tif 000008
【図７】
2006138833.tif 000009
【図８】
2006138833.tif 000010