(57)【要約】【課題】互換性を有し、且つ確実な取付が可能な中間鏡筒を有する顕微鏡装置及び中間鏡筒を提供する。【解決手段】対物レンズ６を有する顕微鏡本体１、対物レンズ６を通る観察光軸ａに垂直な平面と平行な２つの側面にそれぞれ位置決め部材としてのオスアリ７０１（１３１）とメスアリ７０２（１３２）を有し、これらオスアリ７０１（１３１）とメスアリ７０２（１３２）を介して観察光軸ａ方向に積み重ね可能とした第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３、顕微鏡本体１に設けられ観察光軸ａに垂直な平面と平行な面にメスアリ１０１を有するアーム部１ｃを具備し、これら第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３及びアーム部１ｃは、位置決め部材を介して位置決めされた状態で相対向する面が当接される当て付け面７０３、７０４、１３３、１３４、１０２を有する【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズを有する顕微鏡本体と、
前記対物レンズを通る観察光軸に垂直な平面に対して平行な２つの側面に、それぞれ位置決め部材を有し、該位置決め部材を介して前記観察光軸方向に複数個積み重ね可能とした中間鏡筒と、
前記顕微鏡本体に設けられ、前記対物レンズを通る観察光軸に垂直な平面に対して平行な支持面を有し、該支持面に前記中間鏡筒の位置決め部材に対応する位置決め部材を有する中間鏡筒支持部材と、を具備し、
前記中間鏡筒及び前記中間鏡筒支持部材は、前記位置決め部材を介して位置決めされた状態で相対向する面が当接される当接支持部を有することを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記対物レンズの上方に前記中間鏡筒支持部材が位置され、該中間鏡筒支持部材上方の前記観察光軸に沿って前記中間鏡筒が１個又は複数個載置されることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記対物レンズの下方に前記中間鏡筒支持部材が位置されるとともに、該中間鏡筒支持部材下方の前記観察光軸に沿って前記中間鏡筒が１個又は複数個配置されることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
前記中間鏡筒及び中間鏡筒支持部材のそれぞれの当て付け面が当接された状態を保持する保持手段を有することを特徴とする請求項２又は３記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
前記中間鏡筒は、前記観察光軸に直交する光軸を有し、さらに前記光軸と前記観察光軸との交点に回転可能な偏向素子が配置されたことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【請求項６】
対物レンズを有する顕微鏡本体の前記対物レンズを通る観察光軸に沿って複数個積み重ね可能に設けられる中間鏡筒であって、
前記観察光軸に垂直な平面に対して平行な２つの側面にそれぞれ形成され、前記顕微鏡本体又は積み重ねられる他の中間鏡筒に対し位置決め固定される位置決め部材と、
前記位置決め部材を介して前記顕微鏡本体又は前記他の中間鏡筒に位置決めされた状態で前記顕微鏡本体又は前記他の中間鏡筒の相対向する面が当接される当接支持部と
を具備したことを特徴とする中間鏡筒。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体の顕微鏡観察に用いられる顕微鏡装置及び中間鏡筒に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体素子の製造においては、ウェハの大型化が進み、１枚のウェハから多数のチップやＩＣ等を生産することにより生産性の向上が図られている。また、このようなウェハの大型化が、さらに進められることも容易に予想される。一方、ＦＰＤを利用した家電製品の普及に伴ない、ＬＣＤの製造も目覚しいものがあり、このようなＬＣＤについても大型化が進み、これに伴い基板素材として用いられるガラス板も大型化が進められている。
【０００３】
ところで、これらの半導体素子やＬＣＤの製造工程において、ウエハやガラス板の観察、測定、検査などに顕微鏡装置が広く用いられている。通常は、ウエハやガラス板などの被検体を顕微鏡装置のステージ上に載置し、ステージを自在に動かしながら被検体上の任意の点を観察するようにしている。しかし、被検体の大型化などが進むと、これまでの状態のままで被検体の観察を行なうのが難しくなる。特に、ステージに載らないような大きい形状のものの場合は、被検体が載置されている装置に対して対物レンズ、中間鏡筒、観察ユニットを取付けて観察することがあり、観察が難しくなっている。さらに被検体の大型化だけでなく、多枝にわたる種類や複雑形状化にともない、様々な方法が行われる。  そこで、これら被検体の観察を行なう際には、様々な中間鏡筒が用いられている。中間鏡筒として代表的なものは、光源からの照明光を試料に導く投光管があり、その他に、検鏡者に対するアイポイントの高さを調整するアダプタ、寸法測定や写真撮影等を目的とした分光ユニット、コンフォーカルユニット、オートフォーカスのセンサユニットなど種々のものがある。これらは、投光管と組み合わされるなどして顕微鏡装置に多段に重ねて用いられることが多い。
【０００４】
一方、半導体素子やＬＣＤは、ウエハやガラス板を表面からだけでなく裏面側からも観察したいという要求がある。しかしながら、裏面観察のため、これらウエハやガラス板を裏返しすることは、その大きさや、表面保護の観点から困難となっており、このため下面側からの観察を行なう手段も必要になっている。
【０００５】
従来、中間鏡筒を着脱可能に設けた顕微鏡装置中間鏡筒として、例えば、特許文献１に開示されたものが知られている。この顕微鏡装置を図９により簡単に説明する。図において、１００は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１００は、べース部１００ａとステージを支持する支柱部１００ｂと対物レンズを支持するアーム部１００ｃとからなっている。そして、アーム部１００ｃに対して、中間鏡筒２００が着脱自在に設けられている。中間鏡筒２００は、下面に設けられたオスアリ２００aをアーム部１００ｃ側に設けられたメスアリ１００ｅに挿入し、セットビスによって位置決め固定されている。さらに、中間鏡筒２００は、アーム部１００ｃに装着された状態で、顕微鏡本体１００の支柱部１００ｂの上面に当接する支持部２００ｂと、支柱部１００ｂとアーム部１００ｃの境界部に当接する支持部２００ｃとを有し、これら支持部２００ｂ、２００ｃをビス４００を介して顕微鏡本体１００側に締付け固定している。
【０００６】
このような中間鏡筒２００によれば、オスアリ２００aによる位置決めと支持部２００ｂ、２００ｃによる固定により、顕微鏡本体１００に確実に位置決め固定できるとともに、取り外しも可能となり、これにより、他の顕微鏡装置への取り付けも可能になって、ユーザの利便性がよくコスト的にも有利にできる。
【特許文献１】特開平１０-１４２５０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、このような中間鏡筒２００の上に、さらに他の中間鏡筒を重ねて設けるような場合、中間鏡筒２００上での他の中間鏡筒の位置決めは、不図示のアリなどを用いることで可能であるが、中間鏡筒２００と同様にしてビスを用いて顕微鏡本体１に固定しようとすると、中間鏡筒２００でのビス４００の固定位置とずらしてビスを配置する必要がある。このため、各中間鏡筒の間で互換性を保つことが難しく、観察条件により中間鏡筒の数が変更になったり、順序を入れ替えるなどの要求に対応できないという問題を生じる。
【０００８】
このため、特許文献１のものは、２段目以上の中間鏡筒については、アリによる位置決めと固定だけになるが、これでは、例えば、被検体の下側から観察を行なうような場合、すなわち倒立状態に組み付けたとき、自重により中間鏡筒自身が変形したり、落下するおそれがあり、被検体下側からの観察に対応可能な取付けができないという問題があった。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、互換性を有し、且つ確実な取付けが可能な中間鏡筒を有する顕微鏡装置及び中間鏡筒を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１記載の発明は、対物レンズを有する顕微鏡本体と、前記対物レンズを通る観察光軸に垂直な平面に対して平行な２つの側面に、それぞれ位置決め部材を有し、該位置決め部材を介して前記観察光軸方向に複数個積み重ね可能とした中間鏡筒と、前記顕微鏡本体に設けられ、前記対物レンズを通る観察光軸に垂直な平面に対して平行な支持面を有し、該支持面に前記中間鏡筒の位置決め部材に対応する位置決め部材を有する中間鏡筒支持部材と、を具備し、前記中間鏡筒及び前記中間鏡筒支持部材は、前記位置決め部材を介して位置決めされた状態で相対向する面が当接される当接支持部を有することを特徴としている。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記対物レンズの上方に前記中間鏡筒支持部材が位置され、該中間鏡筒支持部材上方の前記観察光軸に沿って前記中間鏡筒が１個又は複数個載置されることを特徴としている。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記対物レンズの下方に前記中間鏡筒支持部材が位置されるとともに、該中間鏡筒支持部材下方の前記観察光軸に沿って前記中間鏡筒が１個又は複数個配置されることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項２又は３記載の発明において、前記中間鏡筒及び中間鏡筒支持部材のそれぞれの当て付け面が当接された状態を保持する保持手段を有することを特徴としている。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記中間鏡筒は、前記観察光軸に直交する光軸を有し、さらに前記光軸と前記観察光軸との交点に回転可能な偏向素子が配置されたことを特徴としている。
【００１５】
請求項６記載の発明は、対物レンズを有する顕微鏡本体の前記対物レンズを通る観察光軸に沿って複数個積み重ね可能に設けられる中間鏡筒であって、前記観察光軸に垂直な平面に対して平行な２つの側面にそれぞれ形成され、前記顕微鏡本体又は積み重ねられる他の中間鏡筒に対し位置決め固定される位置決め部材と、前記位置決め部材を介して前記顕微鏡本体又は前記他の中間鏡筒に位置決めされた状態で前記顕微鏡本体又は前記他の中間鏡筒の相対向する面が当接される当接支持部とを具備したことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、互換性を有し、例えば、正立、倒立のどちの観察状態に対しても、確実な取付けが可能な中間鏡筒を有する顕微鏡装置及び中間鏡筒を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００１８】
(第１の実施の形態)
図１は、本発明の第１の実施の形態にかかる正立型の顕微鏡装置の概略構成を示している。図において、１は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１は、水平に配置されたベース部１ａが設けられ、このベース部１ａには、直立した胴部１ｂが設けられている。また、胴部１ｂの先端には、ベース部１ａに対し平行に配置される中間鏡筒支持部材としてのアーム部１ｃが設けられている。
【００１９】
ベース部１ａには、ステージ２が設けられている。ステージ２は、被検体３を載置するもので、焦準ハンドル４の操作により不図示の焦準機構を介して観察光軸ａに沿って上下方向に移動可能となり、被検体３の焦点合わせができるようになっている。
【００２０】
アーム部１ｃの先端部下方には、ステージ２に対向させてレボルバ５が設けられている。レボルバ５には、複数の対物レンズ６が装着されている。これら対物レンズ６は、レボルバ５の回転によって所望するものが観察光軸ａ上に切換えられるようになっている。
【００２１】
アーム部１ｃ上方には、例えば、投光管などの第１の中間鏡筒７が配置されている。この第１の中間鏡筒７には、光源８が設けられている。また、第１の中間鏡筒７内部には、光源８から発せられる照明光の光路に沿って投光レンズ９およびハーフミラー１０が設けられている。ハーフミラー１０は、光源８からの照明光を観察光軸ａに沿って対物レンズ６側に反射し、対物レンズ６を介して被検体３に照射し、被検体３からの観察光軸ａに沿った反射光を透過するようになっている。
【００２２】
第１の中間鏡筒７は、対物レンズ６を通る観察光軸ａに垂直な平面に対して平行な２つの側面に孔部７ａ、７ｂが形成されている。これら孔部７ａ、７ｂのうち、アーム部１ｃと対応する側の孔部７ａには、位置決め部材としてのオスアリ７０１が形成され、また、アーム部１ｃと反対側の孔部７ｂには、他の位置決め部材としてのメスアリ７０２が形成されている。なお、７０１ａは、オスアリ７０１の当接面、７０２ａは、メスアリ７０２の当接面である。
【００２３】
顕微鏡本体１のアーム部１ｃ（中間鏡筒支持部材）には、第１の中間鏡筒７の孔部７ａに対応する位置、つまり、対物レンズ６を通る観察光軸ａに垂直な平面に対して平行な支持面に孔部１ｃ１が形成されている。この孔部１ｃ１には、位置決め部材としてメスアリ１０１が形成されている。このメスアリ１０１は、オスアリ７０１に対応するもので、アーム部１ｃ上方に第１の中間鏡筒７を配置した状態で、オスアリ７０１が挿入され、第１の中間鏡筒７の観察光軸ａ方向での位置決めを行なう。また、メスアリ１０１側にはセットビス１２が備えられている。セットビス１２は、メスアリ１０１にオスアリ７０１を挿入した状態で締付けることで、第１の中間鏡筒７を観察光軸ａと垂直な平面内での位置決め固定がなされる。なお、１０１ａは、メスアリ１０１の当接面である。
【００２４】
また、第１の中間鏡筒７には、孔部７ａ、７ｂが形成される側面に当て付け面７０３、７０４が形成されている。この場合、当て付け面７０３は、当接面７０１ａと同じ高さになるように設定され、当て付け面７０４は、当接面７０２ａと同じ高さになるように設定されている。
【００２５】
アーム部１ｃには、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０３に対応する位置に当て付け面１０２が形成されている。この当て付け面１０２は、当接面１０１ａ同じ高さになるように設定され、アーム部１ｃ上方に第１の中間鏡筒７を位置決め固定されたとき、当て付け面７０３が当接され、アーム部１ｃの重力方向へのたわみを防止するようにしている。
【００２６】
第１の中間鏡筒７上には、他の中間鏡筒として第２の中間鏡筒１３が配置されている。この第２中間鏡筒１３も第１の中間鏡筒７と同様に観察光軸ａに垂直な平面と平行な２つの側面に孔部１３ａと不図示の孔部が形成されている。第１の中間鏡筒７と対応する孔部１３ａには、位置決め部材としてオスアリ１３１が一体に形成され、第１の中間鏡筒と反対側の孔部（不図示）には、位置決め部材として不図示のメスアリが一体に形成されている。これらオスアリ１３１と不図示のメスアリは、第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１及びメスアリ７０２と全く同一の形状及び寸法に形成されている。１３１ａは、オスアリ１３１の当接面である。
【００２７】
また、第２の中間鏡筒１３には、孔部１３ａと不図示の孔部が形成されるそれぞれの側面に当て付け面１３３，１３４が形成されている。これらの当て付け面１３３，１３４についても、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０３、７０４と全く同じに形成されている。
【００２８】
このような第２の中間鏡筒１３は、第１の中間鏡筒７のメスアリ７０２にオスアリ１３１を挿入し、当接面１３１ａを第１の中間鏡筒７の当接面７０２ａ当接させた状態でセットビス１４を締付けることで、観察光軸ａと垂直な平面内で位置決め固定される。このとき当て付け面１３３と７０４は当接する。
【００２９】
第２の中間鏡筒１３上には、接眼レンズ１６を有する観察鏡筒１５が配置されている。この観察鏡筒１５は、第２の中間鏡筒１３のメスアリ（不図示）に対応する不図示のオスアリが一体に形成され、このオスアリを第２の中間鏡筒１３のメスアリ（不図示）に挿入し、不図示のセットビスにより位置決め固定される。この場合、不図示のオスアリは、第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１と全く同一の形状及び寸法に形成されている。
【００３０】
このような構成において、顕微鏡本体１のアーム部１ｃに形成されるメスアリ１０１に第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１を挿入し、セットビス１２を締付けることで、第１の中間鏡筒７が観察光軸ａ方向及び観察光軸ａと垂直な平面内での位置決め固定することができる。この場合、顕微鏡本体１のアーム部１ｃに形成される付け面１０２に第１の中間鏡筒７の当て付け面７０３が当接されているので、オスアリ７０１とメスアリ１０１とを支点に第１の中間鏡筒７が、この第１の中間鏡筒７の重量によってたわむのを防ぐことができる。
【００３１】
また、第１の中間鏡筒７上に、さらに第２中間鏡筒１３を取り付ける場合も、第１の中間鏡筒７に形成されるメスアリ７０２に第２の中間鏡筒１３のオスアリ１３１を挿入し、セットビス１４を締付けることで、第１の中間鏡筒７の場合と同様に位置決め固定することができる。この場合も、第１の中間鏡筒７に形成される当て付け面７０４に第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３３が当接されるので、メスアリ７０２とオスアリ１３１を支点に、第２の中間鏡筒１３が、この第２の中間鏡筒１３の重量によってたわむのを防ぐことができる。
【００３２】
したがって、このようにすれば、顕微鏡本体１のアーム部１ｃ上に多段に配置される第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３は、アーム部１ｃのメスアリ１０１に第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１を挿入し、セットビス１２で固定し、第１の中間鏡筒７のメスアリ７０２に第２の中間鏡筒１３のオスアリ１３１を挿入し、セットビス１４で固定する構成としたので、これら第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３のアーム部１ｃ上での着脱を簡単に行なうことができる。また、第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１とメスアリ７０２、第２の中間鏡筒１３のオスアリ１３１とメスアリ（不図示）は、同一の形状及び寸法に形成され、互換性を有しているので、アーム部１ｃ上への取付け順序を観察状態に合わせて任意に変更することも可能である。さらに、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３のアーム部１ｃ上での固定は、それぞれセットビス１２、１４による１箇所であるが、アーム部１ｃの当て付け面１０２に第１の中間鏡筒７の当て付け面７０３が当接され、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４に第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３３が当接されるので、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３がたわむのを確実に防止でき、アーム部１ｃ上に安定して中間鏡筒を積み重ね固定できる。
【００３３】
なお、上述した実施の形態では、第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１及びメスアリ７０２の当接面７０１ａ、７０２ａ、第２の中間鏡筒１３のオスアリ１３１の当接面１３１ａは、それぞれ当て付け面７０３、７０４、１３３と別々の面として形成したが、同一面であってもかまわない。また、オスアリ７０１とメスアリ１０１、メスアリ７０２とオスアリ１３１がそれぞれ挿入された状態で、それぞれの当て付け面が当てつくように構成されていれば、当て付け面はどのような高さでもかまわない。ただし、複数段の中間鏡筒を取り付けた際にも常に当てつくように取り付け互換をもって当て付け面を設ける必要がある。
【００３４】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００３５】
図２は、本発明の第２の実施の形態にかかる倒立型の顕微鏡装置の概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００３６】
この場合、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３を用いて、被検体３を下側から観察できるように、これら第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３を倒立状態、すなわち、図１で述べた使用状態と上下逆さにして取り付けるようにしている。
【００３７】
図において、２１は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体２１は、中間鏡筒支持部材として水平に配置されたベース部２１ａが設けられている。このベース部２１ａ上には、複数の対物レンズ６を保持するレボルバ５が駆動部２２を介して配置されている。駆動部２２は、レボルバ５を観察光軸ａに沿って上下動させるもので、被検体３の焦点合わせができるようになっている。駆動部２２は、手動であっても電動であってもかまわない。勿論、被検体３が載置されている不図示のステージ側が上下動して焦点合わせを行なうようにしてもかまわない。
【００３８】
また、ベース部２１ａの下方に、第１の中間鏡筒７が配置されている。この場合、ベース部２１ａには、第１の中間鏡筒７の孔部７ａに対応する位置に孔部２１ａ１が形成されている。この孔部２１ａ１には、メスアリ２１１が形成されている。このメスアリ２１１は、第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１に対応するもので、ベース部２１ａの下方に第１の中間鏡筒７を配置した状態で、オスアリ７０１が挿入され、第１の中間鏡筒７の位置決めを行なう。また、メスアリ２１１側にはセットビス１２が備えられ、メスアリ２１１にオスアリ７０１を挿入した状態で締付けることで、第１の中間鏡筒７を観察光軸ａと垂直な平面内での位置決め固定する。
【００３９】
また、ベース部２１ａには、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０３に対応する位置に当て付け面２１３が形成されている。この当て付け面２１３は、メスアリ１０１の開口端面と同じ高さになるように設定され、ベース部２１ａ下方に第１の中間鏡筒７が位置決め固定されたとき、当て付け面７０３が当接される。
【００４０】
また、第１の中間鏡筒７の下方に、第２の中間鏡筒１３が配置されている。この第２の中間鏡筒１３も図１で示した向きと上下反転させた状態で、第１の中間鏡筒７のメスアリ７０２に対してオスアリ１３１を挿入し、セットビス１４にて位置決め固定される。この場合も、第１の中間鏡筒７の下方に第２の中間鏡筒１３が位置決め固定されたとき、当て付け面１３３が第１の中間鏡筒７側の当て付け面７０４に当接される。
【００４１】
第２の中間鏡筒１３の下方には、例えばカメラ等の観察ユニット２４が配置されている。この観察ユニット２４には、第２の中間鏡筒１３のメスアリ１３２に対応するオスアリ２４１が形成され、このオスアリ２４１を第２の中間鏡筒１３のメスアリ１３２に挿入し、セットビス１７により位置決め固定される。この場合、オスアリ２４１は、第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１と全く同一の形状及び寸法に形成されている。
【００４２】
なお、ベース部２１ａは、第１の中間鏡筒７に取付けた光源８との干渉を避けるため、開口部２１ａ２が形成されている。このようにベース部２１ａは、中間鏡筒と干渉する可能性のある箇所には、適宜開口部を形成する。
【００４３】
顕微鏡本体２１のベース部２１ａには、枠体２１ｂが設けられている。この枠体２１ｂは、紙面垂直方向は開口になっており、第１の中間鏡筒７、第２の中間鏡筒１３及び観察ユニット２４の取り付けに支障をきたさないようになっている。
【００４４】
枠体２１ｂには、保持手段として第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３の重力方向の質量を受け止めるための支持部２５が配置されている。この支持部２５は、枠体２１ｂに回転軸２６が貫通して設けられ、この回転軸２６の両端にハンドル２７が固定されている。回転軸２６は、ピニオンで構成されており、ハンドル２７の操作により回転可能になっている。また、回転軸２６のピニオンと噛合うように、ラック２８が保持部材２９に配置され、ハンドル２７の回転操作に連動して、図示矢印方向、つまり重力方向に沿って上下動するようになっている。この場合、保持部材２９は、第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４に重力方向下側から当てつく位置に配置されている。勿論、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３の他に、さらに他の中間鏡筒が配置された場合や、第１の中間鏡筒７又は第２の中間鏡筒１３の一方のみ場合のように中間鏡筒が１段もしくは複数段であっても、ハンドル２７の回転操作に連動させて保持部材２９の高さを調整することで対応することができる。
【００４５】
なお、枠体２１ｂには、支持部２５の保持部材２９の上下運動を妨げないための開口部２１ｂ１及び観察ユニット２４が例えばカメラのようなものであった場合、これらの取り付けや装置の引き回しの邪魔にならないようにするための開口部２１ｂ２が設けられている。
【００４６】
このような構成においても、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３を倒立の状態に取り付ける場合は、顕微鏡本体２１のベース部部２１ａに対して、第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１をベース部２１ａ側のメスアリ２１１に挿入し、セットビス１２を締付けることで位置決め固定する。また、第２の中間鏡筒１３についても、第１の中間鏡筒７のメスアリ７０２に対してオスアリ１３１を挿入し、セットビス１４を締付けることで位置決め固定する。この場合、ベース部２１ａの当て付け面２１３に第１の中間鏡筒７の当て付け面７０３、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４に第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３３がそれぞれ当て付けた状態で、支持部２５においてハンドル２７を回転操作し保持部材２９を重力方向に沿って移動させ、保持部材２９が第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４に重力方向下側から当てつくように調整する。
【００４７】
したがって、このようにしても、第１の実施の形態と同様な効果を得ることができる。この場合、ベース部２１ａ下方での第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３の固定は、それぞれオスアリ７０１及びメスアリ２１１、オスアリ１３１及びメスアリ７０２を支点とした片持ち状態となるため、強度や光学性能上不利になるが、保持部材２９を中間鏡筒１３の当て付け面１３４に重力方向下側から当てつけるようにしたので、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３が重力方向にたわむのを確実に防止することができる。
【００４８】
なお、この第２の実施の形態についても、第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１及びメスアリ７０２の当接面７０１ａ、７０２ａ、第２の中間鏡筒１３のオスアリ１３１の当接面１３１ａが、それぞれ当て付け面７０３、７０４、１３３と同一面であってもかまわない。また、オスアリ７０１とメスアリ１０１、メスアリ７０２とオスアリ１３１がそれぞれ挿入状態で、それぞれの当て付け面が当てつくように構成されていれば、当て付け面はどのような高さでもかまわない。ただし、複数段の中間鏡筒を取り付けた際にも常に当てつくように取り付け互換をもって当て付け面を設ける必要がある。また、さらに、保持部材２９はラックとピニオンの動作により上下動可能にする構成としたが、使用する中間鏡筒の種類が決まっている場合には、取り付ける中間鏡筒に応じたブロック状の保持部材を枠体２１ｂと中間鏡筒の間に柱を立てるように挟み込むように介在させるようにしてももよい。
【００４９】
(第２の実施の形態の変形例)
次に、本発明の第２の実施の形態の変形例を説明する。
【００５０】
図３は、第２の実施の形態の変形例の概略構成を示すものである。この場合、ベース部、投光管、中間鏡筒等のアリ部分の構成は、第２の実施の形態と同様なので、簡便化のためアリの向きだけを表示し、さらに図２と同一部分には、同符号を付している。
【００５１】
第２の実施の形態では、枠体２１ｂに設けられる支持部２５に、重力方向に沿って上下動可能な保持部材２９を設けるようにしていたが、顕微鏡によっては、枠体に相当する部材が無いものもある。この場合は、第２の実施の形態で述べたような構成を実現することができない。
【００５２】
そこで、この第２の実施の形態の変形例では、枠体の無い場合においても、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３が重力方向にたわむのを防止できるようにしている。  
この場合、顕微鏡本体２１のベース部２１ａには、保持手段としての保持枠３１が設けられている。この保持枠３１は、略コ字形状をしており、相対向する側部３１ａの間で第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３を挟持するとともに、底部３１ｂを第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４に当接可能にしている。また、相対向する側部３１ａには、長孔３１ｃが設けられている。この長孔３１ｃには、固定部材としてネジ３２が設けられ、このネジ３２によりベース部２１ａに対して保持枠３１の着脱を可能にしている。また、保持枠３１は、ネジ３２を緩めることで長孔３１ｃの方向に上下動可能で、底部３１ｂが第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４に下側から当てつく位置に調整されている。
【００５３】
なお、保持枠３１は、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３の厚みや、装着される段数によって側部３１ａの長さや長孔３１ｃの長さの異なるものを使用するようにしてもよい。  
その他は、第１の実施の形態と同様である。
【００５４】
このような構成において、ベース部２１ａに対して第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３を取り付ける際に、保持枠３１の底部３１ｂが第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４に当てつくように覆いかぶせ、ネジ３２によってべース部２１ａに仮固定する。その後、ネジ３２を緩めたまま長孔３１ｃの方向に保持枠３１を移動させ、べース部２１ａ、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３の全ての当て付け面、つまりベース部２１ａの当て付け面２１３と第１の中間鏡筒７の当て付け面７０３、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４と第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３３が全て当てついた状態で、底部３１ｂを第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４に当接させるとともに、ネジ３２をべース部２１ａにねじ込み、保持枠３１をべース部２１ａに固定する。
【００５５】
したがって、このようにしても、保持枠３１を第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４に重力方向下側から当てつけるようにしたことで、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３がアリ部を支点とした片持ちの状態を確実に防止することができる。また、倒立の状態で使う場合にべース部２１ａに枠体を必要とせず、保持枠３１とネジ３２のみで構成できるため、シンプルでコストメリットが高い。
【００５６】
なお、このような保持枠３１は、図１で述べた正立型の顕微鏡装置にも適用できる。この場合は、保持枠３１を第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４の上部から、覆いかぶせるように装着し、アーム部に対して固定するようになる。このようにすれば、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３のアリ部を固定したときの浮き上がりを防止し、確実に顕微鏡本体に対して固定することができ、光学性能上も有利にできる。
【００５７】
(第３の実施の形態)
次に、本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００５８】
図４（ａ）（ｂ）は、本発明の第３の実施の形態にかかる倒立型の顕微鏡装置の概略構成を示すものである。この場合、ベース部、第１の中間鏡筒、第２の中間鏡筒のそれぞれのアリ部分の構成は、第２の実施の形態と同様なので、簡便化のためアリの向きだけを表示し、さらに図２と同一部分には、同符号を付している。
【００５９】
この場合、第１の中間鏡筒７は、当て付け面７０３の幅方向の２個所に他方の当て付け面７０４まで貫通する２個の孔部４１が形成されている。これら孔部４１は、当て付け面７０４側が径の大きなザグリ穴４１ａに形成されている。同様にして、第２の中間鏡筒１３にも、当て付け面１３３の幅方向の２個所に他方の当て付け面１３４まで貫通する２個の孔部４２が形成されている。これら孔部４２は、当て付け面１３４側が径の大きなザグリ穴４２ａに形成されている。この場合、これら孔部４１、４２は、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４に第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３３を当て付けた状態で連通するような位置関係になっている。
【００６０】
また、ベース部２１ａには、ネジ穴４３が形成されている。このネジ穴４３は、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４に第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３３を当て付けた状態で連通する孔部４１、４２に対応する位置に設けられている。
【００６１】
孔部４１、４２には、固定部材としてネジ４４が挿入される。このネジ４４は、孔部４１、４２より大径で、ザグリ穴４１ａ、４２ａに収まる程度の大きさの頭部４４ａを有するとともに、周面にベース部２１ａのネジ穴４３にねじ込まれるネジ部４４ｂが形成されている。
【００６２】
なお、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３では、中央部を光学系が通ることが多いので、それぞれの孔部４１、４２は、光学系の邪魔にならないような位置を考慮して、できるだけ端部に設ける必要がある。また、ここではネジ４４は、２箇所設けるようにしたが、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３の重量等を考慮して本数を増減させることは構わない。この場合は、孔部４１、４２もそれに合わせて変更する必要がある。
【００６３】
このような構成において、べース部２１ａに対して第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３を取り付けた後、第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４側から孔部４２にネジ４４を挿入する。ネジ４４は、第２の中間鏡筒１３及び第１の中間鏡筒７の孔部４２、４１を介してベース部２１ａのネジ穴４３まで達する。この状態で、ネジ４４のネジ部４４ｂをベース部２１ａのネジ穴４３にねじ込むと、ネジ４４の頭部４４ａが孔部４２のザグリ穴４２ａで止まるまでねじ込まれる。これにより、べース部２１ａ、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３の全ての当て付け面、つまりベース部２１ａの当て付け面２１３と第１の中間鏡筒７の当て付け面７０３、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４と第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３３が全て当てついた状態で、これらをベース部２１ａに固定できる。
【００６４】
この場合、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３の、それぞれの孔部４１、４２は、光学系の邪魔にならない位置に配置されているので、光学性能を妨げることなく、べース部２１ａに固定することができる。また、第１の中間鏡筒７の孔部４１、第２の中間鏡筒１３の孔部４２は、それぞれザグリ穴４１ａ、４２ａを設けているので、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３の取付順序を変えても同じようにして取付けることができる。
【００６５】
したがって、このようにすれば、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３に形成される孔部４１、４２と、これら孔部４１、４２に挿通されベース部２１ａにねじ込まれるネジ４４により構成されるので、ベース部２１ａに固定するための構成が簡単となり、価格的に安価にできる。
【００６６】
なお、このようなネジ４４を用いた固定方法は、図１で述べた正立型の顕微鏡装置にも適用できる。この場合は、ネジ４４を第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３４の上部から相通してアーム部にねじ込み固定するようになる。このようにしても、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３のアリ部を固定したときの浮き上がりを防止し、確実に顕微鏡本体に対して固定することができ、光学性能上有利にできる。また、ネジ４４は、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３の厚みや、装着される段数によって長さの異なるものを用意してもよいし、被検体３等にぶつからない程度の長さのものを使用しても良い。
【００６７】
(第３の実施の形態の変形例１)
次に、本発明の第３の実施の形態の変形例１を説明する。
【００６８】
図５は、第３の実施の形態の変形例１の概略構成を示すものである。この場合、ベース部、第１の中間鏡筒、第２の中間鏡筒のそれぞれのアリ部分の構成は、第２の実施の形態と同様なので、簡便化のためアリの向きだけを表示し、さらに図２と同一部分には、同符号を付している。
【００６９】
この変形例１では、ネジ４４に代えて磁石を用いるようにしている。この場合、第１の中間鏡筒７は、当て付け面７０３に磁石５１が設けられている。この磁石５１は、ベース部２１ａの当て付け面２１３に直接接触しないように当て付け面７０３から突出しないように設けられている。ベース部２１ａの当て付け面２１３は、鉄等の磁性体の金属で構成する。勿論、べース部２１ａ全体が磁性体の金属であってもよいし、当て付け面２１３のみが磁性体の金属であってもよい。また、磁石５１は、当て付け面７０３が、べース部２１ａ側の当て付け面２１３に強固に吸着される程度の吸引力を有するものが用いられる。
【００７０】
同様に、第２の中間鏡筒１３の第１の中間鏡筒７に対応する当て付け面１３３にも磁石５２が設けられている。この場合も、磁石５１は、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４に直接接触しないように当て付け面１３３から突出しないように設けられている。また、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４も、鉄等の磁性体の金属で構成し、磁石５２は、当て付け面１３３が、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４に強固に吸着される程度の吸引力を有するものが用いられる。その他の構成は、第３の実施の形態２と同様である。
【００７１】
このような構成において、第１の中間鏡筒７をべース部２１ａに取り付けると磁石５１の磁力により当て付け面２１３に吸着され、重力方向に対してべース部２１ａ側に保持される。同様に第２の中間鏡筒１３を第１の中間鏡筒７に取り付けると、磁石５２の磁力で当て付け面７０４に吸着され、重力方向に対して第１の中間鏡筒７側に保持される。
【００７２】
したがって、このようにすれば、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３にそれぞれ設けられた磁石５１，５２によって構成されるため、べース部２１ａに固定するための構成を簡単にできる。また、べース部２１ａのメスアリ２１１に第１の中間鏡筒７オスアリ７０１を挿入し取り付けると同時に、磁石５１により重力方向に保持でき、同様に、第１の中間鏡筒７のメスアリ７０２に第１の中間鏡筒７のオスアリ１３１を挿入し取り付けると同時に、磁石５２により重力方向に保持できるので、これらの取り付けが極めて簡単にできる。
【００７３】
なお、このような構成は、図１で述べた正立型の顕微鏡装置にも適用できる。また、磁石５１、５２は、第１の中間鏡筒７の当て付け面７０３、第２の中間鏡筒１３の当て付け面１３３にそれぞれ設けたが、メスアリを形成したべース部２１ａの当て付け面２１３と第１の中間鏡筒７の当て付け面７０４側に設けるようにしてもよい。
【００７４】
(第３の実施の形態の変形例２)
次に、本発明の第３の実施の形態の変形例２を説明する。
【００７５】
図６は、第３の実施の形態の変形例２の概略構成を示すものである。この場合、ベース部、第１の中間鏡筒、第２の中間鏡筒のそれぞれのアリ部分の構成は、第２の実施の形態と同様なので、簡便化のためアリの向きだけを表示し、さらに図２と同一部分には、同符号を付している。
【００７６】
この変形例２では、被検体３を下から観察する場合、各中間鏡筒は、重力方向に対してぶら下がる形ではなくべース部上に載置する構成にしている。そして、このような取り付けの場合でも、中間鏡筒を確実に固定できるように構成されている。
【００７７】
この場合、レボルバ５の駆動部２２は、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３と同様にメスアリ２２１と当て付け面２２２が設けられ、第１の中間鏡筒７のオスアリ７０１に対して位置決め固定されている。また、ベース部２１ａには、オスアリ２１２が設けられ、第２の中間鏡筒１３のメスアリ１３２が挿入されている。
【００７８】
駆動部２２の当て付け面２２２には、この当て付け面２２２に対応する側面まで貫通する孔部６１が形成されている。この孔部６１は、両開口端に径の大きなザグリ穴６１ａ、６１ｂに形成されている。第１の中間鏡筒７にも、当て付け面７０３から他方の当て付け面７０４まで貫通する孔部６２が形成されている。これら孔部６２は、両開口端に径の大きなザグリ穴６２ａ、６２ｂに形成されている。さらに、中間鏡筒１３にも、当て付け面１３３から他方の当て付け面１３４まで貫通する孔部６３が形成されている。これら孔部６３は、両開口端に径の大きなザグリ穴６３ａ、６３ｂに形成されている。
【００７９】
この場合、これら孔部６１，６２，６３は、駆動部２２、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３をそれぞれ当て付けた状態で連通するような位置関係になっている。
【００８０】
また、ベース部２１ａには、ネジ穴６４が形成されている。このネジ穴６４は、連通される孔部６１，６２，６３に対応する位置に設けられている。
【００８１】
これら孔部６１，６２，６３には、固定部材としてネジ６５が挿入される。このネジ６５は、孔部６１，６２，６３より大径で、ザグリ穴６１ａ、６１ｂ，６２ａ，６２ｂ、６３ａ、６３ｂに収まる程度の大きさの頭部６５ａを有するとともに、周面にベース部２１ａのネジ穴６４にねじ込まれるネジ部６５ｂが形成されている。
【００８２】
このような構成において、べース部２１ａ上に第２の中間鏡筒１３、第１の中間鏡筒７及び駆動部２２を順に取り付けた後、ネジ６５を駆動部２２側から孔部６１、さらに第１の中間鏡筒７、第２の中間鏡筒１３のそれぞれの孔部６２、６３を介してベース部２１ａのネジ穴６４まで挿通し、この状態で、ネジ部６５ｂをベース部２１ａのネジ穴６４にねじ込むと、ネジ６５の頭部６５ａが孔部６１のザグリ穴６１ａで止まるまでねじ込まれる。これにより、べース部２１ａ上に駆動部２２、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３をそれぞれ当て付けた状態で固定することができる。
【００８３】
このようにすれば、べース部２１ａ上に第２の中間鏡筒１３、第１の中間鏡筒７及び駆動部２２を取り付けた状態で、これらをネジ６５のねじ込みにより簡単に固定することができる。また、駆動部２２、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３にそれぞれ形成された孔部６１，６２，６３は、両開口端にザグリ穴６１ａ、６１ｂ，６２ａ，６２ｂ、６３ａ、６３ｂが形成されるので、例えば、図４で述べたようにべース部２１ａの下方に第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３を取り付けたい場合でも、ネジ６５のべース部２１ａのネジ穴６４へのねじ込みにより、これらを確実に固定できる。
【００８４】
なお、このようなネジ６５を用いた固定方法は、図１で述べた正立型の顕微鏡装置にも適用できる。この場合も、第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３のアリ部を固定したときの浮き上がりを防止し、確実に顕微鏡本体に対して固定することができ、光学性能上有利にできる。
【００８５】
(第４の実施の形態)
次に、本発明の第４の実施の形態を説明する。
【００８６】
図７は、本発明の第４の実施の形態の概略構成を示すもので、図６と同一部分には、同符号を付している。
【００８７】
この第４の実施の形態でも、中間鏡筒は、重力方向に対してぶら下がる形ではなくべース部上に載置する構成にしている。この場合、第１の中間鏡筒７は、光源８からの光路の光軸上ｌと観察光軸ａの直交する交点に偏向光素子としてのハーフミラー７１が回転可能に設けられている。このハーフミラー７１は、不図示のツマミが設けられていて、このツマミを回すことにより、図示実線の状態から破線状態に切換えられ、観察光軸ａに沿った照明光の折り返し方向を反転できるようになっている。
【００８８】
このようなハーフミラー７１を有する第１の中間鏡筒７を用いれば、この第１の中間鏡筒７を図６の場合と上下反対にして配置できるので、ベース部２１ａにメスアリ２１１を有し、レボルバ５の駆動部２２にオスアリ２２３を有するものを用いることができる。そして、この場合も、べース部２１ａ上に第２の中間鏡筒１３、第１の中間鏡筒７及び駆動部２２を順に取り付けた後、ネジ６５を駆動部２２側から孔部６１から第１の中間鏡筒７、第２の中間鏡筒１３のそれぞれの孔部６２、６３を介してベース部２１ａのネジ穴６４まで挿通し、この状態で、ネジ部６５ｂをベース部２１ａのネジ穴６４にねじ込むと、ネジ６５の頭部６５ａが孔部６１のザグリ穴６１ａで止まるまでねじ込まれる。これにより、べース部２１ａ上に駆動部２２、第１の中間鏡筒７及び第２の中間鏡筒１３をそれぞれ当て付けた状態で固定することができる。
【００８９】
したがって、このようにすれば、第１の中間鏡筒７内の照明光路上に配置されるハーフミラー７１を回転可能に構成したことにより、べース部２１ａ側をメスアリ２１１にして、第２の中間鏡筒１３側のオスアリ１３１を挿入して取付けることができるので、取付け時の視認性がよく組立作業を容易にでき、使い勝手を改善できる。
【００９０】
(第５の実施の形態)
次に、本発明の第５の実施の形態を説明する。
【００９１】
図８は、本発明の第５の実施の形態の概略構成を示すものである。第４の実施の形態では、第１の中間鏡筒７の偏向素子としてのハーフミラーを回転可能とする構成としたが、偏向素子として、例えばプリズムを用いている場合や、観察法切り替え等のための手段を有する中間鏡筒では、場所的な制約や光学性能等の確保の観点から、偏向素子の向きを変えることができない場合がある。
【００９２】
第５の実施の形態では、中間鏡筒に対し、個別に用意されたメスアリとオスアリを取り付けできるように構成している。この場合、８１は投光管などの中間鏡筒で、この中間鏡筒８１の相対向する側面に開口部８１１、８１２が形成されている。
【００９３】
開口部８１１は、開口端に嵌合部８１１ａが形成され、また、開口部８１２も、開口端に嵌合部８１２ａが形成されている。そして、この嵌合部８１２ａには、オスアリ８２１を有するアリ部材８２が配置されている。このアリ部材８２は、嵌合部８１１ａに嵌め込まれ、当て付け面８１１ｂに当て付けた状態でビス８３により一体に固定されている。また、開口部８１２には、メスアリ８３１を有するアリ部材８４が配置されている。このアリ部材８４は、嵌合部８１２ａに嵌め込まれ、当て付け面８１２ｂに当て付けた状態でビス８５により一体に固定されている。
【００９４】
この場合、オスアリ８２１側の当接面８２１ａと中間鏡筒８１内部を通る光路の光軸ｌまでの距離ｔ１と、メスアリ８３１側の当接面８３１ａから上述の光軸ｌまでの距離ｔ２が等しくなるように構成されている。アリ部材８２、８４を交換して取付けた場合も、ｔ１とｔ２が等しくなるように構成されている。また、アリ部材８２、８４は、開口部８１１、８１２への取付位置を交換可能になっていることから、それぞれのアリ部材８２、８４を固定するためのビス８３、８５の配置は同じになっている。
【００９５】
なお、８６は、中間鏡筒８１内部を通る照明光路上に配置されたハーフミラーなどの偏光素子である。  
このようにすれば、オスアリ８２１を有するアリ部材８２とメスアリ８３１を有するアリ部材８４に対して、中間鏡筒８１に形成される嵌合部８１１ａと８１２ａ、ビス８３と８５のそれぞれの配置が同じに構成されるので、これらアリ部材８２、８４を交換可能に取付けることができる。また、オスアリ８２１の当接面８２１ａと光軸ｌまでの距離ｔ１と、メスアリ８３１の当接面８３１から光軸ｌまでの距離ｔ２が等しくなるように構成されているので、アリ部材８２、８４を交換して取り付けたときも、光路長に変化を生じることがなく、オスアリ８２１とメスアリ８３１を光学的性能を維持したまま交換取り付けすることができる。このように中間鏡筒８１に対しオスアリ８２１とメスアリ８３１を交換可能に取付けるようにしたので、偏向素子８６を回転できないような場合でも、不図示の相手方のメスアリに対し、常にオスアリ８２１を挿入するような構成にできるので、中間鏡筒８１の取付け時の視認性がよく組立作業を容易にでき、使い勝手を改善できる。
【００９６】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。例えば、上述した実施の形態では、一貫して第１の中間鏡筒７と第２の中間鏡筒１３の２個を取付ける場合を説明したが、これらいずれか一方、或いはに他の中間鏡筒を取付ける場合にも適用できる。
【００９７】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる正立型の顕微鏡装置の概略構成を示す図。
【図２】本発明の第２の実施の形態にかかる倒立型の顕微鏡装置の概略構成を示す図。
【図３】第２の実施の形態の変形例の概略構成を示す図。
【図４】本発明の第３の実施の形態にかかる倒立型の顕微鏡装置の概略構成を示す図。
【図５】第３の実施の形態の変形例１の概略構成を示す図。
【図６】第３の実施の形態の変形例２の概略構成を示す図。
【図７】本発明の第４の実施の形態の概略構成を示す図。
【図８】本発明の第５の実施の形態の概略構成を示す図。
【図９】従来の顕微鏡装置の一例の概略構成を示す図。
【符号の説明】
【００９９】
１…顕微鏡本体、１ａ…ベース部
１ｂ…胴部、１ｃ…アーム部
１ｃ１…孔部、１０１…メスアリ
１０２…当て付け面、２…ステージ
３…被検体、４…焦準ハンドル
５…レボルバ、６…対物レンズ
７…第１の中間鏡筒、７ａ．７ｂ…孔部
７０１…オスアリ、７０２…メスアリ
７０１ａ．７０２ａ…当接面
７０３．７０４…当て付け面
８…光源、９…照明レンズ
１０…ハーフミラー、１２．１４、１７…セットビス
１３…第２の中間鏡筒、１３ａ…孔部
１３１…オスアリ、１３１ａ…当接面
１３２…メスアリ、１３３．１３４…当て付け面
１５…観察鏡筒、１６…接眼レンズ、２１…顕微鏡本体
２１ａ…ベース部、２１ａ１…孔部
２１ａ２…開口部、２１ｂ…枠体、２１ｂ１…開口部
２１ｂ２…開口部、２１１…メスアリ
２１２…オスアリ、２１３…当て付け面
２２…駆動部、２２１…メスアリ
２２２…当て付け面、２４…観察ユニット
２５…支持部、２６…回転軸
２７…ハンドル、２８…ラック
２９…保持部材、３１…保持枠
３１ａ…側部、３１ｂ…底部、３１ｃ…長孔
３２…ネジ、４１…孔部、４１．４２…孔部
４１ａ．４２ａ…ザグリ穴、４３…ネジ穴
４４…ネジ、４４ａ…頭部、４４ｂ…ネジ部
５１．５２…磁石、６１〜６３…孔部
６１ａ．６１ｂ〜６３ａ．６３ｂ…ザグリ穴
６４…ネジ穴、６５…ネジ、６５ａ…頭部
６５ｂ…ネジ部、７１…ハーフミラー、８１…中間鏡筒
８１１．８１２…開口部、８１１ａ、８１２ａ…嵌合部
８１１ｂ、８１２ｂ…当て付け面、８２．８４…アリ部材
８２１…オスアリ、８２１ａ…当接面、８３１…メスアリ
８３１ａ…当接面、８３、８５…ビス、８６…偏向素子
【図１】
2006343660.tif 000003
【図２】
2006343660.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006343660.tif 000009
【図８】
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【図９】
2006343660.tif 000011