(57)【要約】【課題】膜厚、解像度、パターン形状、耐熱性、透明性、耐熱変色性、耐溶剤性等に優れたマイクロレンズを形成でき、また保存安定性も良好な感放射線性樹脂組成物等を提供する。【解決手段】  感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）（ａ）酸性官能基を有する重合性不飽和化合物１０〜５０重量％、（ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物２０〜６０重量％および（ｃ）他の重合性不飽和化合物５〜４０重量％（但し、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量％）を重合して得られるアルカリ可溶性共重合体、（Ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物を必須成分とする重合性不飽和化合物、並びに（Ｃ）光重合開始剤を含有することを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）（ａ）酸性官能基を有する重合性不飽和化合物１０〜５０重量％、（ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物２０〜６０重量％および（ｃ）他の重合性不飽和化合物５〜４０重量％（但し、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量％）を重合して得られるアルカリ可溶性共重合体、（Ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物を必須成分とする重合性不飽和化合物、並びに（Ｃ）光重合開始剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
【請求項２】
さらに（Ｄ）熱重合性化合物を含有する請求項１の感放射線性樹脂組成物。
【請求項３】
マイクロレンズ形成用である請求項１または請求項２に記載の感放射線性樹脂組成物。
【請求項４】
請求項３の感放射線性樹脂組成物から形成されてなるマイクロレンズ。
【請求項５】
ベースフィルム上に請求項１または請求項２に記載の感放射線性樹脂組成物からなる感放射線層を積層してなる感放射線性ドライフィルム。
【請求項６】
少なくとも下記（イ）〜（ニ）の工程を下記する記載順で含むことを特徴とするマイクロレンズの形成方法。
（イ）請求項３に記載の感放射線性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程、
（ロ）該被膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
（ハ）照射後の被膜を現像する工程、
（ニ）現像後の被膜を加熱処理する工程。
【請求項７】
（ニ）の工程における加熱処理の温度が１６０℃以下であることを特徴とする請求項６に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項８】
（イ）の工程において、請求項５に記載の感放射線性ドライフィルムの感放射線性層を基板表面に転写して、感放射線性樹脂組成物の被膜を基板上に形成することを特徴とする請求項６または請求項７に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項９】
請求項４に記載のマイクロレンズを具備してなる液晶表示素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感放射線性樹脂組成物、当該感放射線性樹脂組成物から形成されたマイクロレンズとその形成方法、および当該マイクロレンズを具備する液晶表示素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子は、フラットパネルディスプレイの中でも、高精彩な表示性能、低消費電力、高い信頼性、あらゆるサイズに対応できる柔軟性、薄型軽量などの優れた特徴から、近年最も広く使用されているが、パソコンやワープロなどのＯＡ機器、液晶テレビ、携帯電話、プロジェクターなどの普及に伴い、その表示性能と低消費電力化に対する要求がますます厳しくなっている。
これらの要求に応えるものとして、特許文献１〜４に、マイクロレンズアレイを設け、開口部に外光またはバックライトの光を集光させることにより、液晶表示素子の輝度やコントラストを向上させる方法が提案されている。これらの方法では多くの場合、マイクロレンズが存在する集光層から液晶画素開口部への焦点距離が非常に短いため、マイクロレンズを形成する材料と平坦化膜との屈折率差を大きくとり、かつレンズの曲率半径を精密に制御する必要がある。
【０００３】
このような液晶表示素子用のマイクロレンズを形成する方法としては、ガラス基板をドライエッチングして凹みを形成し、それを高屈折率の紫外線硬化型樹脂で埋める方法、レンズパターンを形成したのち加熱処理することにより、パターンをメルトフローさせてそのままレンズとして利用する方法、感放射線性樹脂組成物からパターンを形成してメルトフローさせることにより所定形状のマスクを作製し、このマスクを介しドライエッチングして、下地に所定のレンズ形状を転写する方法等が挙げられる。しかし、このような方法では何れの場合も、マイクロレンズの形成プロセスが煩雑で高コストであり、工業的に十分とはいえなかった。
そこで、マイクロレンズに要求される諸特性、例えば、膜厚、解像度、パターン形状、透明性、耐熱性、耐溶剤性等を満足でき、また保存安定性が良好であり、かつ簡便な方法でマイクロレンズを形成しうる感放射線性樹脂組成物の開発が強く求められている。
【０００４】
さらに、液晶表示素子には、近年における普及に伴って、軽量化や製造コストの低減に対する要求も高まってきている。
そのため、従来使用されてきたガラスに変わり、特許文献５に開示されているように、樹脂基板を使用する試みがなされてきており、それに伴い樹脂基板の変形や黄変を避けるべく、低い加熱温度でマイクロレンズを形成しうる感放射線性樹脂組成物および方法の開発が強く求められている。
【０００５】
また、感放射線性樹脂組成物を用いた液晶表示素子用のマイクロレンズを形成する方法は、その多くが有機溶剤を含む樹脂組成物をスピンコート法、ディッピング法やスプレー法などの手法によって、基板上に塗膜を形成する工程を経ている。このような方法では、所定の膜厚を得るための条件出しに要する時間が必要であったり、有機溶剤の揮発など環境面での問題が指摘されていた。
そこで、環境面の問題がなく、従来のマイクロレンズの形成方法と比較して、短時間でかつ低コストなマイクロレンズの形成方法の開発も望まれている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１５４１８１号公報
【特許文献２】特開２００１−１１７１１４号公報
【特許文献３】特開平１１−１０９４１７号公報
【特許文献４】特開平１０−２６８３０５号公報
【特許文献５】特開２０００−１００８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その課題は、加熱処理の温度を低温とした場合でも、膜厚、解像度、パターン形状、耐熱性、透明性、耐熱変色性、耐溶剤性等に優れたマイクロレンズを形成でき、また保存安定性も良好な感放射線性樹脂組成物を提供することにある。
本発明の他の課題は、前記優れた特性を併せ有するマイクロレンズを、感放射線性ドライフィルムを用いる場合を含む簡便なプロセスで形成でき、また加熱処理の温度を低温としても形成することができる、マイクロレンズの形成方法を提供することにある。
本発明のさらに他の課題は、当該マイクロレンズを具備する液晶表示素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、第一に、
（Ａ）（ａ）酸性官能基を有する重合性不飽和化合物１０〜５０重量％、（ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物２０〜６０重量％および（ｃ）他の重合性不飽和化合物５〜４０重量％（但し、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量％）を重合して得られるアルカリ可溶性共重合体、（Ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物を必須成分とする重合性不飽和化合物、並びに（Ｃ）光重合開始剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物、
からなる。
本発明でいう「放射線」は、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、電子線、分子線、γ線、シンクロトロン放射線、プロトンビ−ム等を含むものを意味する。
【０００９】
本発明は、第二に、
マイクロレンズ形成用である前記感放射線性樹脂組成物（以下、「マイクロレンズ形成用感放射線性樹脂組成物」ともいう。）、
からなる。
【００１０】
本発明は、第三に、
マイクロレンズ形成用感放射線性樹脂組成物から形成されてなるマイクロレンズ、
からなる。
【００１１】
本発明は、第四に、
ベースフィルム上に前記感放射線性樹脂組成物からなる感放射線層を積層してなる感放射線性ドライフィルム、
からなる。
【００１２】
本発明は、第五に、
少なくとも下記（イ）〜（ニ）の工程を下記する記載順で含むことを特徴とするマイクロレンズの形成方法、
（イ）マイクロレンズ形成用感放射線性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程、
（ロ）該被膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
（ハ）照射後の被膜を現像する工程、
（ニ）現像後の被膜を加熱処理する工程、
からなる。
前記マイクロレンズの形成方法においては、（ニ）工程の加熱処理の温度を１６０℃以下とすることができる。
【００１３】
本発明は、第六に、
前記マイクロレンズを具備してなる液晶表示素子、
からなる。
【００１４】
以下、本発明について詳細に説明する。
感放射線性樹脂組成物
−（Ａ）共重合体−
本発明における（Ａ）成分は、（ａ）酸性官能基を有する重合性不飽和化合物（以下、「（ａ）重合性不飽和化合物」という。）１０〜５０重量％、（ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物（以下、「（ｂ）重合性不飽和化合物」という。）２０〜６０重量％および（ｃ）他の重合性不飽和化合物５〜４０重量％（但し、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量％）からなるアルカリ可溶性共重合体（以下、「（Ａ）共重合体」という。）からなる。
【００１５】
（ａ）重合性不飽和化合物において、酸性官能基としては、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基等を挙げることができ、特に好ましくはカルボキシル基である。
カルボキシル基を有する（ａ）重合性不飽和化合物（以下、「（ａ１）重合性不飽和化合物」という。）としては、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸や、アクリル酸またはクロトン酸のα−位がハロアルキル基、アルコキシル基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基等の置換基で置換された化合物等の不飽和モノカルボン酸類；マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその酸無水物類；前記不飽和ジカルボン酸中の一方のカルボキシル基の水素原子がメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、フェニル基、ｏ−トリル基、ｍ−トリル基、ｐ−トリル基等の置換基で置換されたハーフエステル類；前記不飽和ジカルボン酸中の一方のカルボキシル基がアミド基に変換されたハーフアミド類；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとコハク酸とのモノエステル化物、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとマレイン酸とのモノエステル化物、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとヘキサヒドロフタル酸とのモノエステル化物（以下、「２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチル（メタ）アクリレート」と表記する。）等のカルボキシル基含有（メタ）アクリル酸エステル類等を挙げることができる。
これらの（ａ１）重合性不飽和化合物のうち、（メタ）アクリル酸、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチル（メタ）アクリレート等が好ましい。
本発明において、（ａ）重合性不飽和化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができるが、特に、（メタ）アクリル酸と２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチル（メタ）アクリレートとを併用することが好ましい。
【００１６】
（Ａ）共重合体中に占める（ａ）重合性不飽和化合物の含有率は、１０〜５０重量％であり、好ましくは２０〜４０重量％である。この場合、（ａ）重合性不飽和化合物の含有率が１０重量％未満であると、得られる共重合体がアルカリ現像液に溶解し難くなって現像後に膜残りを生じ、十分な解像度を得ることが困難となるおそれがあり、一方５０重量％を超えると、得られる共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性が大きくなりすぎて、放射線照射部の膜減りが大きくなる傾向がある。
【００１７】
（ｂ）重合性不飽和化合物としては、例えば、シクロペンチル（メタ）アクリレート、１−メチルシクロペンチル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、１−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、２−ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
これらの（ｂ）重合性不飽和化合物のうち、特にトリシクロデカニル（メタ）アクリレートが好ましい。
本発明において、（ｂ）重合性不飽和化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００１８】
（Ａ）共重合体中に占める（ｂ）重合性不飽和化合物の含有率は、２０〜６０重量％であり、好ましくは３０〜５０重量％である。この場合、（ｂ）重合性不飽和化合物の含有率が２０重量％未満であると、得られる共重合体の分子量が十分に上がらず、十分膜厚の被膜の形成が困難となるおそれがあり、一方６０重量％を超えると、得られる共重合体の溶剤ないし有機溶媒に対する溶解性が低下する傾向がある。
【００１９】
（ｃ）他の重合性不飽和化合物は、主として（Ａ）共重合体の機械的特性をコントロールする目的で使用されるものである。
（ｃ）他の重合性不飽和化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸エステル類、前記（ａ１）重合性不飽和化合物について例示した不飽和ジカルボン酸のジエステル類、芳香族ビニル化合物、共役ジオレフィン類、ニトリル基含有不飽和化合物、塩素含有不飽和化合物、アミド結合含有不飽和化合物、脂肪酸ビニルエステル類等を挙げることができる。
【００２０】
前記（メタ）アクリル酸エステル類としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−ペンチル（メタ）アクリレート、ネオペンチル（メタ）アクリレート、４−ｉ−ペンチルヘキシル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、プロパルギル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、アントラセニル（メタ）アクリレート、アントラキノニル（メタ）アクリレート、ピペロニル（メタ）アクリレート、サリチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェネチル（メタ）アクリレート、クレシル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、トリフェニルメチル（メタ）アクリレート、クミル（メタ）アクリレート、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、ペンタフルオロエチル（メタ）アクリレート、ヘプタフルオロ−ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ヘプタフルオロ−ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、２−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）エチル（メタ）アクリレート、３−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）プロピル（メタ）アクリレート、フリル（メタ）アクリレート、フルフリル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、α−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン、β−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン等を挙げることができる。
【００２１】
前記不飽和ジカルボン酸のジエステル類としては、例えば、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジメチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジメチル、イタコン酸ジエチル等を挙げることができる。
前記芳香族ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−メトキシスチレン等を挙げることができる。
前記共役ジオレフィン類としては、例えば、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等を挙げることができる。
前記ニトリル基含有不飽和化合物としては、例えば、（メタ）アクリロニトリル、シアン化ビニリデン等を挙げることができる。
前記塩素含有不飽和化合物としては、例えば、塩化ビニル、塩化ビニリデン等を挙げることができる。
前記アミド結合含有不飽和化合物としては、例えば、（メタ）アクリルアミド、マレイン酸ジアミド、フマル酸ジアミド等を挙げることができる。
前記脂肪酸ビニルエステル類としては、例えば、酢酸ビニル、プロピロン酸ビニル等を挙げることができる。
【００２２】
これらの（ｃ）他の重合性不飽和化合物のうち、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、スチレン、１，３−ブタジエン、イソプレン等が好ましい。
本発明において、（ｃ）他の重合性不飽和化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができるが、特に、スチレンとテトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレートとの併用、あるいはスチレンと１，３−ブタジエンおよび／またはイソプレンとの併用が好ましい。
（Ａ）共重合体中に占める（ｃ）他の重合性不飽和化合物の含有率は、５〜４０重量％であり、好ましくは１０〜３５重量％である。
【００２３】
（Ａ）共重合体のポリスチレン換算重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」という。）は、好ましくは２，０００〜１００，０００、さらに好ましくは５，０００〜５０，０００である。この場合、（Ａ）共重合体のＭｗが２，０００未満であると、アルカリ現像性、残膜率、パターン形状、耐熱性等が低下する傾向があり、一方１００，０００を超えると、感度やパターン形状が低下する傾向がある。
また、（Ａ）共重合体のＭｗとポリスチレン換算数平均分子量（以下、「Ｍｎ」という。）との比（Ｍｗ／Ｍｎ）は、通常、１．０〜５．０、好ましくは１．０〜３．０である。
【００２４】
（Ａ）共重合体は、（ａ）重合性不飽和化合物、（ｂ）重合性不飽和化合物および（ｃ）他の重合性不飽和化合物を、例えば、適当な溶剤中、ラジカル重合開始剤の存在下に重合することによって製造することができる。
前記重合に用いられる溶剤としては、例えば、
メタノール、エタノール、ジアセトンアルコール等のアルコール類；テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、ジオキサン等のエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のエチレングリコールアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等のジエチレングリコールアルキルエーテル類；
【００２５】
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルモノエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルプロピオネート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン等のケトン類；
【００２６】
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ｎ−プロピル、ヒドロキシ酢酸ｎ−ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ｎ−プロピル、乳酸ｎ−ブチル、３−ヒドロキシプロピオン酸メチル、３−ヒドロキシプロピオン酸エチル、３−ヒドロキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−ヒドロキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ｎ−プロピル、メトキシ酢酸ｎ−ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸ｎ−プロピル、エトキシ酢酸ｎ−ブチル、ｎ−プロポキシ酢酸メチル、ｎ−プロポキシ酢酸エチル、ｎ−プロポキシ酢酸ｎ−プロピル、ｎ−プロポキシ酢酸ｎ−ブチル、ｎ−ブトキシ酢酸メチル、ｎ−ブトキシ酢酸エチル、ｎ−ブトキシ酢酸ｎ−プロピル、ｎ−ブトキシ酢酸ｎ−ブチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−メトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−エトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−エトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸メチル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸エチル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸メチル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸エチル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−メトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−エトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸メチル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸エチル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸メチル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸エチル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−ブチル等の他のエステル類
等を挙げることができる。
これらの溶剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００２７】
前記ラジカル重合開始剤としては、例えば、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）等のアゾ化合物；ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド、ｔ−ブチルペルオキシピバレート、１，１’−ビス（ｔ−ブチルペルオキシ）シクロヘキサン等の有機過酸化物や、過酸化水素等を挙げることができる。ラジカル重合開始剤として過酸化物を用いる場合には、還元剤を併用してレドックス型開始剤としてもよい。
本発明において、（Ａ）共重合体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００２８】
−（Ｂ）重合性不飽和化合物−
本発明における（Ｂ）成分は、脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物（以下、「（Ｂ１）重合性不飽和化合物」という。）を必須成分とし、（Ｃ）光重合開始剤の存在下における放射線の照射により重合する重合性不飽和化合物からなる。
（Ｂ１）重合性不飽和化合物としては、例えば、シクロペンチル（メタ）アクリレート、１−メチルシクロペンチル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、１−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、２−ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
これらの（Ｂ１）重合性不飽和化合物のうち、特にトリシクロデカニル（メタ）アクリレートが好ましい。
本発明において、（Ｂ１）重合性不飽和化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００２９】
本発明において、（Ｂ）重合性不飽和化合物成分中に占める（Ｂ１）重合性不飽和化合物の含有率は、好ましくは５〜８０重量％、さらに好ましくは１０〜７０重量％である。この場合、（Ｂ１）重合性不飽和化合物の含有率が５重量％未満であると、放射線照射部の膜減りが大きくなるおそれがあり、一方８０重量％を越えると、所望とするレンズ形状が得られ難くなるおそれがある。
【００３０】
また、（Ｂ１）重合性不飽和化合物以外の（Ｂ）重合性不飽和化合物としては、例えば、１個のエチレン性不飽和結合を有する化合物（以下、「他の１官能重合性不飽和化合物」という。）、２個のエチレン性不飽和結合を有する化合物（以下、「他の２官能重合性不飽和化合物」という。）、３個以上のエチレン性不飽和結合を有する化合物（以下、「他の多官能重合性不飽和化合物」という。）を挙げることができる。
他の１官能重合性不飽和化合物としては、例えば、１価アルコールのモノ（メタ）アクリレート類、好ましくは、下記式（１）で表わされる化合物を挙げることができる。
【００３１】
【化１】
2006343709.tif 000002
〔式（１）中、ｎは０〜８の整数であり、Ｒ1 は水素原子または炭素数１〜９の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。〕
【００３２】
式（１）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−１０１（ｎ＝約２、Ｒ1 ＝Ｈ）、同Ｍ−１０２（ｎ＝約４、Ｒ1 ＝Ｈ）、同Ｍ−１１１〔ｎ＝約１、Ｒ1 ＝ｎ−Ｃ9 Ｈ19（ｎ−ノニル基、以下同様。）〕、同Ｍ−１１３（ｎ＝約４、Ｒ1 ＝ｎ−ノニル基）、同Ｍ−１１４（ｎ＝約８、Ｒ1 ＝ｎ−ノニル基）、同Ｍ−１１７（ｎ＝２．５、Ｒ1 ＝ｎ−ノニル基）〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕、ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５６４（ｎ＝約２．３、Ｒ1 ＝Ｈ）〔日本化薬（株）製〕等を挙げることができる。
【００３３】
また、式（１）で表わされる化合物以外の他の１官能重合性不飽和化合物としては、例えば、商品名で、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＣ−１１０Ｓ、同  ＴＣ−１２０Ｓ〔以上、日本化薬（株）製〕、Ｖ−１５８、Ｖ−２３１１〔以上、大阪有機化学工業（株）製〕や、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル等の不飽和カルボン酸ジエステルなど、（Ａ）共重合体における（ａ）重合性不飽和化合物、（ｂ）重合性不飽和化合物あるいは（ｃ）他の重合性不飽和化合物について例示した化合物と同様のものを挙げることができる。
【００３４】
次に、他の２官能重合性不飽和化合物としては、例えば、２価アルコールのジ（メタ）アクリレート類、好ましくは、下記式（２）で表わされる化合物、下記式（３）で表わされる化合物、下記式（４）で表わされる化合物等を挙げることができる。
【００３５】
【化２】
2006343709.tif 000003
〔式（２）中、ｎおよびｍはそれぞれ０〜８の整数であり、各Ｒ2 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示す。〕
【００３６】
【化３】
2006343709.tif 000004
〔式（３）中、Ｅは炭素数２〜８の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基を示し、ｉは１〜１０の整数である。〕
【００３７】
【化４】
2006343709.tif 000005
〔式（４）中、各Ｒ2 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、各Ｍは相互に独立に２価アルコールの残基を示し、Ｎは２塩基酸の残基を示し、ｊは０または１である。〕  
【００３８】
式（２）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−２１０（ｎ＝約２、ｍ＝約２、Ｒ2 ＝メチル基）〔東亜合成化学工業（株）製〕、ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５５１（ｎ＋ｍ＝約４、Ｒ2 ＝メチル基）、同  Ｒ−７１２（ｎ＋ｍ＝約４、Ｒ2 ＝Ｈ）〔以上、日本化薬（株）製〕等を挙げることができる。
【００３９】
また、式（３）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−２４０〔Ｅ＝−ＣＨ2 ＣＨ2 −、ｉ＝約４〕、同Ｍ−２４５〔Ｅ＝−ＣＨ2 ＣＨ2 −、ｉ＝約９〕〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕、
ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＤＤＡ〔Ｅ＝−（ＣＨ2)6 −、ｉ＝１〕、
同  ＮＰＧＤＡ〔Ｅ＝−ＣＨ2 Ｃ（ＣＨ3 ）2 ＣＨ2 −、ｉ＝１〕、
同  ＴＰＧＤＡ〔Ｅ＝−ＣＨ2 ＣＨ（ＣＨ3 ）−、ｉ＝１〕、
同  ＰＥＧ４００ＤＡ〔Ｅ＝−ＣＨ2 ＣＨ2 −、ｉ＝約８〕〔以上、日本化薬（株）製〕、ライトアクリレート１．９−ＮＤＡ〔Ｅ＝−（ＣＨ2)8 −、ｉ＝１〕等を挙げることができる。
【００４０】
また、式（４）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−６１００、同Ｍ−６２００、同Ｍ−６２５０、同Ｍ−６３００、同Ｍ−６４００、同Ｍ−６５００〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕等を挙げることができる。
【００４１】
さらに、前記以外の他の２官能重合性不飽和化合物としては、下記式（５−１）で表される化合物〔商品名ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＸ−２２０、日本化薬（株）製〕、下記式（５−２）で表される化合物〔商品名ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＸ−６２０、日本化薬（株）製〕や、商品名で、ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６、同Ｒ−６０４、同ＭＡＮＤＡ〔日本化薬（株）製〕、Ｖ−２６０、Ｖ−３１２、Ｖ−３３５ＨＰ〔以上、大阪有機化学工業（株）製〕等を挙げることができる。
【００４２】
【化５】
2006343709.tif 000006
〔式（５−１）中、ｐおよびｑはそれぞれ０〜２の整数で、ｐ＋ｑ＝２である。〕
〔式（５−２）中、ｒおよびｓはそれぞれ０〜４の整数で、ｒ＋ｓ＝４である。〕
【００４３】
次に、他の多官能重合性不飽和化合物としては、例えば、３価以上のアルコールのポリ（メタ）アクリレート類、好ましくは、下記式（６）で表わされる化合物、下記式（７）で表わされる化合物、下記式（８）で表わされる化合物、下記式（９）で表わされる化合物等を挙げることができる。
【００４４】
【化６】
2006343709.tif 000007
〔式（６）中、ｎは０〜８の整数であり、Ｒ3 は水素原子、水酸基またはメチル基を示す。〕
【００４５】
【化７】
2006343709.tif 000008
〔式（７）中、Ｇは酸素原子またはメチレン基を示す。〕
【００４６】
【化８】
2006343709.tif 000009
〔式（８）中、各Ｒ2 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、各Ｘは相互に独立に３価アルコールの残基を示し、Ｙは２塩基酸の残基を示し、ｔは０〜１５の整数である。〕
【００４７】
【化９】
2006343709.tif 000010
〔式（９）中、ＡはＣＨ2 ＝ＣＨＣＯ−を示し、ｕは１または２であり、ａは２〜６の整数、ｂは０〜４の整数で、ａ＋ｂ＝６である。〕
【００４８】
式（６）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−３０９（ｎ＝０、Ｒ＝メチル基）、同Ｍ−３１０（ｎ＝約１、Ｒ＝メチル基）〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＭＰＴＡ（ｎ＝０、Ｒ＝メチル基）〔日本化薬（株）製〕、Ｖ−２９５（ｎ＝０、Ｒ＝メチル基）、Ｖ−３００（ｎ＝０、Ｒ＝水酸基）〔以上、大阪有機化学工業（株）製〕等を挙げることができる。
【００４９】
また、式（７）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−４００〔東亜合成化学工業（株）製〕等を挙げることができる。
【００５０】
また、式（８）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−７１００、同Ｍ−８０３０、同Ｍ−８０６０、同Ｍ−８１００、同Ｍ−９０５０〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕等を挙げることができる。
【００５１】
また、式（９）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡ−２０（ｕ＝約１、ａ＝約２、ｂ＝約４）、同  ＤＰＣＡ−３０（ｕ＝約１、ａ＝約３、ｂ＝約３）、同  ＤＰＣＡ−６０（ｕ＝約１、ａ＝約６、ｂ＝約０）、同  ＤＰＣＡ−１２０（ｕ＝約２、ａ＝約６、ｂ＝約０）〔以上、日本化薬（株）製〕、Ｖ−３６０、Ｖ−ＧＰＴ、Ｖ−３ＰＡ、Ｖ−４００〔以上、大阪有機化学工業（株）製〕等を挙げることができる。
【００５２】
これらの（Ｂ１）重合性不飽和化合物以外の（Ｂ）重合性不飽和化合物のうち、他の２官能重合性不飽和化合物および他の多官能重合性不飽和化合物が好ましく、さらに好ましくは、式（４）で示される化合物、式（８）で示される化合物等である。
本発明において、（Ｂ１）重合性不飽和化合物以外の（Ｂ）重合性不飽和化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００５３】
本発明における（Ｂ）重合性不飽和化合物の使用量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは５〜１５０重量部、さらに好ましくは１０〜１００重量部である。この場合、（Ｂ）重合性不飽和化合物の使用量が５重量部未満であると、放射線の照射時の感度が低下しやすく、また所望のレンズ形状が得られ難くなるおそれがあり、一方１５０重量部を超えると、（Ａ）共重合体との相溶性が悪くなり、塗膜表面に膜荒れを生じるおそれがある。
【００５４】
−（Ｃ）光重合開始剤−
本発明における（Ｃ）成分は、放射線の照射により、（Ｂ）重合性不飽和化合物の重合を開始しうる活性種（例えば、ラジカル等）を生じる光重合開始剤からなる。
このような（Ｃ）光重合開始剤としては、例えば、ベンジル、ジアセチル等のα−ジケトン類；ベンゾイン等のアシロイン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類；チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、チオキサントン−４−スルホン酸等のチオキサントン類；ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；アセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、α，α’−ジメトキシアセトキシベンゾフェノン、２，２’−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン類；アントラキノン、１，４−ナフトキノン等のキノン類；フェナシルクロライド、トリブロモメチルフェニルスルホン、トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等のハロゲン化合物；ジ−ｔ−ブチルペルオキシド等の過酸化物；２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド類；１−（９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル）−ノナン−１，２−ノナン−２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル）−ノナン−１，２−ノナン−２−オキシム−Ｏ−アセタート、１−（９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル）−ペンタン−１，２−ペンタン−２−オキシム−Ｏ−アセタート、１−（９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル）−オクタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−（１，３，５−トリメチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−ブチル−６−（２−エチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１，２−オクタジオン−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１，２−ブタンジオン−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１，２−ブタンジオン−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−２−（Ｏ−アセチルオキシム）、１，２−オクタジオン−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１，２−オクタジオン−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−２−〔Ｏ−（４―メチルベンゾイルオキシム）〕等のＯ−アシルオキシム類等を挙げることができる。
【００５５】
また、（Ｃ）光重合開始剤の市販品としては、商品名で、イルガキュア１８４、同５００、同６５１、同９０７、同３６９、同３７９、同ＣＧ２４−６１（以上、チバガイギー社製）、ルシリンＬＲ８７２８、ルシリンＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）、ダロキュア１１１６、同１１７３（以上、メルク社製）、ユベクリルｐ３６（ＵＣＢ社製）等を挙げることができる。
【００５６】
これらの（Ｃ）光重合開始剤のうち、好ましくは、２−メチル〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン等のアセトフェノン類や、フェナシルクロライド、トリブロモメチルフェニルスルホン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等である。
本発明において、（Ｃ）光重合開始剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができ、また１種以上の放射線増感剤と併用することもできる。
【００５７】
本発明における（Ｃ）光重合開始剤の使用量は、（Ｂ）重合性不飽和化合物１００重量部に対して、通常、０．０１〜１００重量部、好ましくは０．０１〜５０重量部、さらに好ましくは０．５〜４０重量部である。この場合、（Ｃ）光重合開始剤の使用量が０．０１重量部未満であると、感度が低下する傾向があり、一方１００重量部を超えると、（Ａ）共重合体や（Ｂ）重合性不飽和化合物との相溶性が悪くなったり、得られる樹脂組成物の保存安定性が低下する傾向がある。
【００５８】
−添加剤−
本発明の感放射線性樹脂組成物には、加熱により重合するが、放射線の照射によっては重合しない熱重合性化合物を添加することができる。
このような熱重合性化合物としては、好ましくは８０〜２５０℃、さらに好ましくは８０〜１６０℃、特に好ましくは１００〜１５０℃で熱重合するものが望ましい。
マイクロレンズ形成用感放射線性樹脂組成物において、特に加熱処理の温度を１６０℃以下としてマイクロレンズを形成する場合には、熱重合性化合物を添加することが好ましい。
熱重合性化合物は、一般的には単量体であるが、その分子量は特に制限されず、オリゴマー程度の分子量を有していてもよい。
熱重合性化合物としては、分子内に熱重合性の官能基、例えば、エポキシ基、エピスルフィド基、オキセタニル基等を、１個以上あるいは１種以上有する化合物を挙げることができる。但し、後述する接着助剤のうち、エポキシ基を有する官能性シランカップリング剤も、エポキシ基を有する熱重合性化合物に含まれる。
【００５９】
熱重合性化合物のうち、エポキシ基を１個有する化合物としては、例えば、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、ｎ−プロピルグリシジルエーテル、ｉ−プロピルグリシジルエーテル、ｎ−ブチルグリシジルエーテル、ｓｅｃ−ブチルグリシジルエーテル、ｔ−ブチルグリシジルエーテル等のアルキルグリシジルエーテル類；エチレングリコールモノグリシジルエーテル、プロピレングリコールモノグリシジルエーテル、１，４−ブタンジオールモノグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールモノグリシジルエーテル等のアルキレングリコールモノグリシジルエーテル類；ポリエチレングリコールモノグリシジルエーテル、ポリプロピレンモノグリシジルエーテル等のポリアルキレングリコールモノグリシジルエーテル類；フェニルグリシジルエーテル、ｏ−トリルグリシジルエーテル、ｍ−トリルグリシジルエーテル、ｐ−トリルグリシジルエーテル、ｏ−エチルフェニルグリシジルエーテル、ｍ−エチルグリシジルエーテル、ｐ−エチルフェニルグリシジルエーテル等のアリールグリシジルエーテル類等のグリシジル基を有する化合物や、
【００６０】
〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕メチルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エチルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｎ−プロピルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｉ−プロピルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｎ−ブチルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｓｅｃ−ブチルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｔ−ブチルエーテル等の〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕アルキルエーテル類；エチレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、プロピレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、１，４−ブタンジオールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、１，６−ヘキサンジオールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル等のアルキレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル類；ポリエチレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、ポリプロピレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル等のポリアルキレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル類；〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕フェニルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｏ−トリルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｍ−トリルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｐ−トリルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｏ−エチルフェニルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｍ−エチルフェニルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｐ−エチルフェニルエーテル等の〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕アリールエーテル類等の３，４−エポキシシクロヘキシル基を有する化合物
等を挙げることができる。
【００６１】
また、エポキシ基を２個以上有する化合物としては、例えば、
ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、ビスフェノールＳジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＡＤジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールＳジグリシジルエーテル等のビスフェノール化合物のジグリシジルエーテル類；
エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、１，４−ブタンジオールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル等の多価アルコールのポリグリシジルエーテル類；
ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル等のポリアルキレングリコールジグリシジルエーテル類；
エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン等の脂肪族多価アルコールに１種または２種以上のアルキレンオキサイド（例えば、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド等）を付加することにより得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル類；
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂；ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂；フェノールノボラック型エポキシ樹脂；クレゾールノボラック型エポキシ樹脂；ポリフェノール型エポキシ樹脂；他の脂環族エポキシ樹脂、他の脂肪族ポリグリシジルエーテル、高級多価脂肪酸のポリグリシジルエステル類；エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油や、
【００６２】
以下商品名で、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂として、エピコート８２５、同８２８、同８３４、同１００１、同１００２、同１００３、同１００４、同１００７、同１００９、同１０１０、同８０００、同８０３４〔以上、ジャパンエポキシレジン（株）製〕等；ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂として、エピコート８０７〔ジャパンエポキシレジン（株）製〕等；フェノールノボラック型エポキシ樹脂として、エピコート１５２、同１５４、同１５７Ｓ６５〔以上、ジャパンエポキシレジン（株）製〕、ＥＰＰＮ２０１、同２０２（以上、日本化薬（株）製）等；クレゾールノボラック型エポキシ樹脂として、ＥＯＣＮ１０２、同１０３Ｓ、同１０４Ｓ、同１０２０、同１０２５、同１０２７〔以上、日本化薬（株）製〕、エピコート１８０Ｓ７５〔ジャパンエポキシレジン（株）製〕等；ポリフェノール型エポキシ樹脂として、エピコート１０３２Ｈ６０、同ＸＹ−４０００〔以上、ジャパンエポキシレジン（株）製〕等；他の脂環族エポキシ樹脂として、ＣＹ−１７５、同１７７、同１７９、アラルダイトＣＹ−１８２、同１９２、１８４〔以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製〕、ＥＲＬ−４２０６、同−４２２１、同−４２３４、同−４２９９（以上、Ｕ．Ｃ．Ｃ社製）、ショーダイン５０９〔昭和電工（株）製〕、エピクロン２００、同４００〔以上、大日本インキ（株）製〕、エピコート８７１、同８７２〔以上、ジャパンエポキシレジン（株）製〕、ＥＤ−５６６１、同−５６６２〔以上、セラニーズコーティング（株）製〕等；他の脂肪族ポリグリシジルエーテルとして、エポライト１００ＭＦ〔共栄社化学（株）製〕、エピオールＴＭＰ〔日本油脂（株）製〕等のほか、
【００６３】
２個以上の３，４−エポキシシクロヘキシル基を有する化合物として、３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸の〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エステル、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル−５，５−スピロ−３，４−エポキシ）シクロヘキサンメタジオキサン、ビス〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕アジペート、ビス〔（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシル）メチル〕アジペート、３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキサンカルボン酸の（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシル）エステル、メチレンビス（３，４−エポキシシクロヘキサン）、ジシクロペンタジエンジエポキサイド、エチレングリコールのビス〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、エチレングリコールのビス（３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸）エステル、３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸の〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エステルとカプロラクトンとの反応生成物等；
エポキシ基と３，４−エポキシシクロヘキシル基とを有する化合物として、１，２：８，９−ジエポキシリモネン等
等を挙げることができる。
【００６４】
また、エピスルフィド基を有する化合物としては、例えば、前記エポキシ基を１個または２個以上有する化合物中のエポキシ基を、例えば非特許文献１に示された方法に準拠して、エピスルフィド基に変換した化合物等を挙げることができる。
【００６５】
【非特許文献１】Ｊ．Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ.,Ｖｏｌ．２８，ｐ．２２９（１９６３）
【００６６】
また、オキセタニル基を１個有する化合物としては、例えば、３−メチル−３−メトキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メトキシメチルオキセタン、３−メチル−３−エトキシメチルオキセタン、３−エチル−３−エトキシメチルオキセタン、３−メチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−フェノキシメチルオキセタン、３−エチル−３−フェノキシメチルオキセタン、３−メチル−３−ベンジルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−ベンジルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−〔（２−エチルヘキシルオキシ）メチル〕オキセタン、３−エチル−３−〔（２−エチルヘキシルオキシ）メチル〕オキセタン、３−メチル−３−（Ｎ−ｎ−ブチルアミドメトキシ）オキセタン、３−エチル−３−（Ｎ−ｎ−ブチルアミドメトキシ）オキセタンを挙げることができる。
【００６７】
また、オキセタニル基を２個以上有する化合物としては、例えば、
３，７−ビス（３−オキセタニル）−５−オキサノナン、３，３’−〔１，３−（２−メチレニル）プロパンジイルビス（オキシメチレン）〕ビス（３−エチルオキセタン）、１，４−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシメチル〕ベンゼン、ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕テレフタレート、１，２−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシメチル〕エタン、１，３−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシメチル〕プロパン、エチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジエチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、トリエチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、テトラエチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジシクロペンテニルビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、トリシクロデカンジイルジメチレンビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、トリメチロールプロパントリス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、１，４−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕ブタン、１，６−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕ヘキサン、ペンタエリスリトールトリス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ポリエチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジペンタエリスリトールヘキサキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジペンタエリスリトールペンタキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジペンタエリスリトールテトラキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、
【００６８】
ジペンタエリスリトールヘキサキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとカプロラクトンとの反応生成物、ジペンタエリスリトールペンタキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとカプロラクトンとの反応生成物、ジトリメチロールプロパンテトラキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ビスフェノールＡビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとエチレンオキサイドとの反応生成物、ビスフェノールＡビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとプロピレンオキサイドとの反応生成物、水添ビスフェノールＡビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとエチレンオキサイドとの反応生成物、水添ビスフェノールＡビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとプロピレンオキサイドとの反応生成物、ビスフェノールＦビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとエチレンオキサイドとの反応生成物
等を挙げることができる。
【００６９】
これらの熱重合性化合物のうち、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸の〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エステル、ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕テレフタレート等が好ましい。
【００７０】
前記熱重合性化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
熱重合性化合物の添加量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは１００重量部以下、さらに好ましくは５０重量部以下である。この場合、熱重合性化合物の添加量が１００重量部を超えると、得られる樹脂組成物の現像性が損なわれるおそれがある。  
【００７１】
本発明の感放射線性樹脂組成物には、プレベーク時の熱かぶりによる現像性の低下を抑えるために、熱重合禁止剤を添加することができる。
このような熱重合禁止剤としては、例えば、ピロガロール、ベンゾキノン、ヒドロキノン、メチレンブルー、ｔ−ブチルカテコール、メチルヒドロキノン、ｎ−アミルキノン、ｎ−アミロイロキシヒドロキノン、ｎ−ブチルフェノール、フェノール、ヒドロキノンモノ−ｎ−プロピルエーテル、４，４’−〔１−｛４−（１− [４−ヒドロキシフェニル] −１−メチルエチル）フェニル｝エチリデン〕ジフェノール、１，１，３−トリス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−３−フェニルプロパン等を挙げることができる。
これらの熱重合禁止剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
熱重合禁止剤の添加量は、熱重合性化合物１００重量部に対して、好ましくは５重量部以下、さらに好ましくは３重量部以下である。
【００７２】
本発明の感放射線性樹脂組成物には、塗布性、消泡性、レベリング性等を向上させるために、界面活性剤を添加することができる。
このような界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤等を挙げることができる。
前記フッ素系界面活性剤としては、商品名で、例えば、ＢＭ−１０００、同−１１００（以上、ＢＭ  ＣＨＩＭＩＥ社製）、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１８３〔以上、大日本インキ化学工業（株）製〕、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１〔以上、住友スリーエム（株）製〕、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１，同Ｓ−１４５、同Ｓ−３８２，同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６〔以上、旭硝子（株）製〕等を挙げることができる。
【００７３】
また、前記シリコーン系界面活性剤としては、商品名で、例えば、ＳＨ−２８ＰＡ、同−１９０、同−１９３、ＳＺ−６０３２、ＳＦ−８４２８、ＤＣ−５７、同−１９０〔以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製〕、ＫＰ３４１〔信越化学工業（株）製〕、エフトップＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５２〔以上、新秋田化成（株）製〕等を挙げることができる。
また、前記ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンｎ−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンｎ−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレート等のポリオキシエチレンジアルキルエステル類等を挙げることができる。
さらに、前記以外の界面活性剤として、商品名で、例えば、ポリフローＮｏ．５７、同Ｎｏ．９０〔以上、共栄社化学（株）製〕等を挙げることができる。
これらの界面活性剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
界面活性剤の添加量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは５重量部以下、さらに好ましくは２重量部以下である。この場合、界面活性剤の添加量が５重量部を超えると、塗布時に塗膜の膜荒れが生じやすくなる傾向がある。
【００７４】
本発明の感放射線性樹脂組成物には、基板との接着性を向上させるために、接着助剤を添加することができる。
このような接着助剤としては、例えば、カルボキシル基、メタクリロイル基、ビニル基、イソシアネート基、エポキシ基等の反応性置換基を有するシランカップリング剤が好ましく、より具体的には、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等を挙げることができる。
これらの接着助剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
接着助剤の添加量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは２０重量部以下、さらに好ましくは１０重量部以下である。
【００７５】
本発明の感放射線性樹脂組成物には、（Ａ）共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性を調節するために、溶解促進剤や溶解制御剤を添加することができる。即ち、（Ａ）共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性が低すぎる場合は、その溶解性を高めて、アルカリ現像時の（Ａ）共重合体の溶解速度を適度に増大させる作用を有する溶解促進剤を配合することができる。逆に、（Ａ）共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性が高すぎる場合は、その溶解性を制御し、アルカリ現像時の（Ａ）共重合体の溶解速度を適度に減少させる作用を有する溶解制御剤を配合することができる。
【００７６】
前記溶解促進剤および溶解制御剤としては、特に限定されるものではないが、感放射線性樹脂組成物のプレベーク、露光、現像等の工程において化学変化しない化合物が好ましい。
溶解促進剤としては、例えば、ベンゼン環数が２〜６個程度の低分子量のフェノール性化合物を挙げることができ、より具体的には、ビスフェノール類、トリス（ヒドロキシフェニル）メタン類等を挙げることができる。
また、溶解制御剤としては、例えば、ナフタレン、フェナントレン、アントラセン、アセナフテン等の芳香族炭化水素類；アセトフェノン、ベンゾフェノン、フェニルナフチルケトン等のケトン類；メチルフェニルスルホン、ジフェニルスルホン、ジナフチルスルホン等のスルホン類等を挙げることができる。
これらの溶解促進剤および溶解制御剤はそれぞれ、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００７７】
溶解促進剤および溶解制御剤の添加量は、使用される（Ａ）共重合体の種類に応じて適宜調整することができるが、それぞれ（Ａ）共重合体１００質量部に対して、好ましくは５０質量部以下、さらに好ましくは３０質量部以下である。
【００７８】
本発明の感放射線性樹脂組成物には、アルカリ現像液に対する溶解性を微調整するために、カルボキシル基および／またはカルボン酸無水物基を有する化合物（以下、「カルボン酸系添加剤」という。）を添加することができる。
カルボン酸系添加剤としては、例えば、酢酸、プロピオン酸、ｎ−酪酸、イソ酪酸、ｎ−吉草酸、イソ吉草酸、安息香酸、けい皮酸等のモノカルボン酸類；乳酸、２−ヒドロキシ酪酸、３−ヒドロキシ酪酸、サリチル酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、ｏ−ヒドロキシけい皮酸、ｍ−ヒドロキシけい皮酸、ｐ−ヒドロキシけい皮酸、５−ヒドロキシイソフタル酸、シリンギン酸等のヒドロキシモノカルボン酸類；シュウ酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、マレイン酸、イタコン酸、ヘキサヒドロフタル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、１，２−シクロヘキサンジカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、１，２，３，４−シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸等の多価カルボン酸類；無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、ドデセニルコハク酸無水物、無水トリカルバニル酸、無水マレイン酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水ハイミック酸、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、３，４，３’，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールビス（トリメリテート）二無水物、グリセリントリス（トリメリテート）三無水物等の酸無水物類を挙げることができる。
これらのカルボン酸系添加剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
カルボン酸系添加剤の添加量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは１０重量部以下、さらに好ましくは５重量部以下である。
【００７９】
さらに、本発明の感放射線性樹脂組成物には、充填材、着色剤、粘度調整剤等を、感放射線性樹脂組成物の本来の特性を損なわない範囲、好ましくは合計添加量が、得られる組成物全体の５０重量％以下となる範囲で添加することもできる。
前記充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、タルク、ベントナイト、ジルコニウムシリケート、粉末ガラス等を挙げることができる。
これらの充填材は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
また、前記着色剤としては、例えば、アルミナ白、クレー、炭酸バリウム、硫酸バリウム等の体質顔料；亜鉛華、鉛白、黄鉛、鉛丹、群青、紺青、酸化チタン、クロム酸亜鉛、ベンガラ、カーボンブラック等の無機顔料；ブリリアントカーミン６Ｂ、パーマネントレッド６Ｂ、パーマネントレッドＲ、ベンジジンイエロー、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン等の有機顔料；マゼンタ、ローダミン等の塩基性染料；ダイレクトスカーレット、ダイレクトオレンジ等の直接染料；ローセリン、メタニルイエロー等の酸性染料等を挙げることができる。
これらの着色剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
また、前記粘度調整剤としては、例えば、ベントナイト、シリカゲル、アルミニウム粉末等を挙げることができる。
これらの粘度調整剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００８０】
本発明の感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）共重合体、（Ｂ）重合性不飽和化合物、（Ｃ）光重合開始剤および必要に応じて使用される添加剤を均一に混合し、また基板上への塗布作業を容易とする目的で、有機溶媒で希釈して、液状組成物とすることが好ましい。
前記有機溶媒としては、感放射線性樹脂組成物を構成する各成分を均一に溶解ないし分散させることができ、該各成分と反応せず、適度の揮発性を有するものが好ましい。
このような有機溶媒としては、例えば、前記（Ａ）共重合体を製造する重合について例示した溶剤と同様の有機溶媒のほか、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアニリド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を挙げることができる。
【００８１】
これらの有機溶媒のうち、溶解性、各成分との反応性および塗膜形成の容易性から、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル等の多価アルコールのアルキルエーテル類；エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の多価アルコールのアルキルエーテルアセテート類；乳酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル等の他のエステル類；ジアセトンアルコール等のケトン類等が好ましい。
前記有機溶媒は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
有機溶媒の使用量は、感放射線性樹脂組成物の具体的な用途、塗布方法などに応じて適宜選定することができる。
【００８２】
本発明の感放射線性樹脂組成物を調製する際には、充填材や顔料を添加しない場合は、通常の方法で撹拌混合するだけでよく、充填材や顔料を添加する場合は、ディゾルバー、ホモジナイザー、３本ロールミル等の分散機を用いて分散混合させればよい。また、本発明の感放射線性樹脂組成物は、必要に応じて、調製後にメッシュ、メンブレンフィルター等によりろ過して使用に供してもよい。
【００８３】
本発明の感放射線性樹脂組成物は、好ましくは液状組成物あるいは感放射線性ドライフィルムとして、特に、液晶表示素子用のマイクロレンズの形成に極めて好適に使用することができる。
【００８４】
マイクロレンズ
本発明のマイクロレンズは、本発明のマイクロレンズ形成用感放射線性樹脂組成物から形成されてなるものである。
本発明のマイクロレンズは、各種のＯＡ機器、液晶テレビ、携帯電話、プロジェクター等の液晶表示素子を始めとして、ファクシミリ、電子複写機、固体撮像素子等のオンチップカラーフィルターの結像光学系、光ファイバコネクタ等に極めて好適に使用することができる。
【００８５】
感放射線性ドライフィルム
本発明の感放射線性ドライフィルムは、ベースフィルム、好ましくは可とう性のベースフィルム上に、本発明の感放射線性樹脂組成物からなる感放射線層を積層してなるものである。
感放射線性ドライフィルムは、ベースフィルム上に、感放射線性樹脂組成物を好ましくは液状組成物として塗布したのち乾燥することにより、感放射線層を積層して形成することができる。
【００８６】
感放射線性ドライフィルムのベースフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂フィルムを使用することができる。また、これらの合成樹脂フィルムの表面には、適度の離型性をもたせるために、例えばシリコーン系離型剤を塗布または焼き付けておくこともできる。
ベースフィルムの厚さは１５〜１２５μｍの範囲が適当である。
ベースフィルム上に感放射線層を積層する際の塗布方法としては、特に限定されるものでないが、例えば、アプリケーターコート法、バーコート法、ロールコート法、カーテンフローコート法等の適宜の方法を採用することができる。
得られる感放射線層の膜厚は、１０〜３０μｍ程度が好ましい。
【００８７】
また、感放射線性ドライフィルムは、未使用時に、その感放射線層上にさらにカバーフィルムを積層して保存することもできる。
このカバーフィルムは、未使用時の感放射線層を安定に保護しておくためのものであり、使用時に除去される。したがって、カバーフィルムは、未使用時には剥がれず、使用時には容易に剥がすことができるように、適度な離型性を有する必要がある。このような条件を満たすカバーフィルムとしては、例えば、ＰＥＴフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂フィルムの表面にシリコーン系離型剤を塗布または焼き付けしたフィルムを使用することができる。
カバーフィルムの厚さは、通常、２５μｍ程度で十分である。
【００８８】
マイクロレンズの形成方法
本発明のマイクロレンズの形成方法は、少なくとも下記（イ）〜（ニ）の工程を下記する記載順で含んでいる。
（イ）本発明のマイクロレンズ形成用感放射線性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程、
（ロ）該被膜の少なくとも一部に放射線を照射（以下、「露光」という。）する工程、
（ハ）露光後の被膜を現像する工程、
（ニ）現像後の被膜を加熱処理（以下、「ベーク」という。）する工程。
【００８９】
以下、これらの工程について説明する。
−（イ）工程−
この工程においては、感放射線性樹脂組成物を、液状組成物として使用する方法、あるいは感放射線性ドライフィルムとして使用する方法（以下、「ドライフィルム法」という。）のいずれも用いることができる。
【００９０】
感放射線性樹脂組成物を液状組成物として使用する場合は、該液状組成物を基板上に塗布し、プレベークを行うことにより、被膜を形成する。
使用できる基板としては、ガラス基板、樹脂基板、シリコンウエハーや、これらの表面に各種の金属層が形成された基板等を挙げることができる。
液状組成物の塗布方法としては、特に限定されるものでないが、例えば、スプレーコート法、ロールコート法、回転コート法、バーコート法等の適宜の方法を採用することができる。
プレベークの条件は、感放射線性樹脂組成物の構成成分の種類や使用割合などによっても異なるが、通常、６０〜１３０℃で３０秒間〜１５分間程度である。
得られる被膜の膜厚は、プレベーク後の値として、１０〜３０μｍ程度が好ましい。
【００９１】
また、ドライフィルム法の場合は、カバーフィルムが積層されている場合はそれを剥離したのち、感放射線性ドライフィルムを、その感放射線層が基板側となるように、常圧熱ロール圧着法、真空熱ロール圧着法、真空熱プレス圧着法等の適宜の圧着手法を用いて、適当な熱と圧力を加えながら、基板に圧着することにより、感放射線層を基板表面に転写して、基板上に感放射線性樹脂組成物の被膜を形成する。
【００９２】
−（ロ）工程−
この工程においては、形成された感放射線性樹脂組成物の被膜の少なくとも一部に露光する。被膜の一部に露光する際には、通常、所定パターンのフォトマスクを介して露光する。
露光に用いられる放射線としては、特に限定されるものではなく、使用される（Ｃ）光重合開始剤の種類等に応じて、例えば、ｇ線（波長４３６ｎｍ）やｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外線、ＫｒＦエキシマレーザー等の遠紫外線、シンクロトロン放射線等のＸ線、電子線等の荷電粒子線等を適宜選択することができるが、これらの放射線のうち、紫外線が好ましく、特に、ｇ線および／またはｉ線を含む放射線が好ましい。
また、露光量は、５０〜１０，０００Ｊ／ｍ2 程度が好ましい。
（イ）工程でドライフィルム法を用いたときは、感放射線性ドライフィルムに用いたベースフィルムは、露光前に剥離除去してもよく、また露光後、現像前に剥離除去してもよい。
【００９３】
−（ハ）工程−
この工程においては、露光された被膜を現像液、好ましくはアルカリ現像液により現像して、未露光部を除去することにより、所定形状のパターンを形成する。
前記アルカリ現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジエチルアミノエタノール、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ [５．４．０] −７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ [４．３．０] −５−ノネン等の塩基性化合物の水溶液を挙げることができる。
前記塩基性化合物の水溶液には、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加することもできる。
なお、アルカリ現像液で現像したのちは、通常、例えば流水洗浄等により洗浄する。
また、顔料や充填材等の不溶性成分を含有しない感放射線性樹脂組成物の場合には、当該組成物を構成する各成分を溶解する各種の有機溶媒を現像液として使用することもできる。
【００９４】
現像方法としては、特に限定されるものではなく、液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法、シャワー法等の適宜の方法を採用することができる。
現像時間は、感放射線性樹脂組成物の組成などによっても異なるが、通常、常温で３０〜３００秒間程度である。
マイクロレンズの形成に用いられる従来の感放射線性樹脂組成物では、現像時間が最適条件から２０〜２５秒程度超過すると、形成されたパターンに剥がれが生じるため、現像時間を厳密に制御する必要があったが、本発明のマイクロレンズ形成用感放射線性樹脂組成物の場合、最適現像時間からの超過時間が３０秒以上となっても、良好なパターンを形成でき、製品歩留りの面で有利である。
【００９５】
−（ニ）工程−
この工程においては、現像後の被膜を、例えば、ホットプレート、オーブン等の加熱装置によりベークすることにより、該被膜を硬化させつつ、所定のレンズ形状にメルトフローさせて、マイクロレンズを形成することができる。
ベークの条件は、感放射線性樹脂組成物の構成成分の種類や使用割合、所望するパターン形状、加熱装置などによっても異なるが、ホットプレートの場合は、例えば、１５０〜２４０℃で１〜３０分間程度であり、オーブンの場合は、１５０〜２４０℃で３〜９０分間程度である。樹脂基板など耐熱性の低い基板を使用したときは、ベークの温度を１６０℃以下、好ましくは１００〜１５０℃とすることが望ましい。また、ベークに際しては、２回以上加熱処理するステップベーク法等を採用することもできる。
【発明の効果】
【００９６】
本発明の感放射線性樹脂組成物は、解像度が高く、保存安定性、塗布性等に優れ、優れた特性バランスを有する高精細なマイクロレンズおよびマイクロレンズアレイを形成することができる。
また、本発明のマイクロレンズは、膜厚、解像度、パターン形状、透明性、耐熱性、耐熱変色性、耐溶剤性等の特性バランスに優れており、特に、各種のＯＡ機器、液晶テレビ、携帯電話、プロジェクター等の液晶表示素子に極めて好適に使用することができる。
また、本発明のマイクロレンズの形成方法によると、優れた特性を有する高精細なマイクロレンズおよびマイクロレンズアレイを簡便なプロセスで形成することができる。さらに、ドライフィルム法による本発明のマイクロレンズの形成方法では、所定の膜厚を得るための条件出しに要する時間が不溶で、有機溶剤の揮発など環境面の問題もない。
【実施例】
【００９７】
以下に、実施例および比較例を示して、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
合成例１
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４．０ｇ、溶剤としてジエチレングリコールジメチルエーテル１００．０ｇおよびジエチレングリコールモノメチルエーテル５０．０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸１５．０ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート１５．０ｇ、トリシクロデカニルメタクリレート４０．０ｇ、スチレン１５．０ｇおよびテトラヒドロフルフリルメタクリレート１５．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−１) とする。
【００９８】
合成例２
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビス−２，４−ジメチルバレロニトリル４．０ｇ、溶剤としてジエチレングリコールジエチルエーテル１００．０ｇおよび乳酸エチル１５０．０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸１０．０ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート１５．０ｇ、トリシクロデカニルメタクリレート４０．０ｇ、スチレン１５．０ｇおよびテトラヒドロフルフリルメタクリレート２０．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−２) とする。
【００９９】
合成例３
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４．０ｇ、溶剤としてジアセトンアルコール１５０．０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸２０．０ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート１５．０ｇ、トリシクロデカニルメタクリレート４０．０ｇ、スチレン１５．０ｇおよびイソプレン５．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−３) とする。
【０１００】
合成例４
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）４．０ｇ、溶剤として３−エトキシプロピオン酸エチル１５０．０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸１５ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート１５．０ｇ、トリシクロデカニルメタクリレート４５．０ｇ、スチレン１５．０ｇおよびイソプレン１０．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−４) とする。
【０１０１】
合成例５
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４．０ｇ、溶剤として３−メトキシプロピオン酸メチル１５０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸２０ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート１５ｇ、トリシクロデカニルメタクリレート４５ｇ、スチレン１５．０ｇおよび１，３−ブタジエン５．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−５) とする。
【０１０２】
合成例６
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４．０ｇ、溶剤として３−メトキシプロピオン酸メチル１５０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸１５ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート１５ｇ、トリシクロデカニルメタクリレート４５ｇ、スチレン１５．０ｇおよび１，３−ブタジエン１０．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−６) とする。
【０１０３】
実施例１
液状組成物の調製
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−１）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート２．０ｇ、アロニックスＭ８１００を２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６を１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）を調製した。
−保存安定性の評価−
液状組成物（Ｓ−１）を４０℃のオーブン中で１週間保存して、保存前後における粘度の増加率（％）により評価した。粘度の増加率が５％以内のとき、保存安定性が良好であるといえる。評価結果を表１に示す。
【０１０４】
パターン状薄膜の形成
ガラス基板上にスピンナーを用いて、液状組成物（Ｓ−１）を塗布したのち、１００℃のホットプレート上で５分間プレベークして、被膜を形成した。
次いで、得られた被膜に所定パターンのフォトマスクを介して、波長３６５ｎｍにおける強度が２００Ｗ／ｍ2 の紫外線を５秒間露光した。その後、０．５重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液により、２５℃で２分間シャワー現像したのち、純水で１分間洗浄して、パターンを形成した。その後、被膜を２２０℃のオーブン中で６０分間ベークして硬化させることにより、膜厚１９．４μｍのパターン状薄膜を得た。
次いで、下記の要領で評価を行った。評価結果を表１に示す。
【０１０５】
−解像度の評価−
パターン状薄膜について、ライン／スペース＝１０μｍ／１０μｍのパターンが解像できている場合を○、ライン／スペース＝２０μｍ／２０μｍのパターンを解像できている場合を△、両者のパターンが解像できていない場合を×として、評価した。
−パターン形状の評価−
パターン状薄膜について、ライン／スペース＝５０μｍ／５０μｍあるいは３０μｍ／３０μｍのパターンを透過型電子顕微鏡で観察し、図１のいずれの形状に該当するかを評価した。（ａ）のような半凸レンズ形状であるとき、パターン形状が良好である。
【０１０６】
−耐熱性の評価−
パターン状薄膜を２２０℃のオーブン中で６０分間加熱して、加熱前後における膜厚の減少率（％）により評価した。膜厚の減少率が５％以内のとき、耐熱性が良好であるといえる。
−透明性の評価−
パターン状薄膜の波長４５０ｎｍでの透過率（％）を、分光光度計１５０−２０型ダブルビーム〔日立製作所（株）製〕により測定して評価した。この透過率が８９％以上のとき、透明性は良好であるといえる。
【０１０７】
−耐熱変色性の評価−
パターン状薄膜を２２０℃のオーブン中で６０分間加熱し、加熱前後におけるパターン状薄膜の波長４５０ｎｍでの透過率を、分光光度計１５０−２０型ダブルビーム〔日立製作所（株）製〕により測定して、透過率の減少率（％）により評価した。透過率の減少率が５％以内のとき、耐熱変色性が良好であるといえる。
−耐溶剤性の評価−
パターン状薄膜を形成したガラス基板を、５０℃のＮ−メチルピロリドン中に１５分間浸漬して、浸漬前後におけるパターン状薄膜の膜厚の変化率（％）〔＝（浸漬後の膜厚−浸漬前の膜厚）×１００／浸漬前の膜厚〕により評価した。膜厚の変化率が±５％以内のとき、耐溶剤性が良好であるといえる。
【０１０８】
実施例２
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−１）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート２．０ｇ、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＤＤＡ２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６を１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−２）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−２）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１０９】
実施例３
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−１）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート２．０ｇ、アロニックスＭ３０９を２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６を１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ、添加剤としてエピコート８２８を２．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−３）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−３）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１１０】
実施例４
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−２）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート２．０ｇ、ライトアクリレート１．９−ＮＤＡ２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６を１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−４）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−４）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１１１】
実施例５
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−３）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート２．０ｇ、アロニックスＭ８１００を２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  ＭＡＮＤＡ１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−５）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−５）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１１２】
実施例６
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−４）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート２．０ｇ、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＮＰＧＤＡを２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＸ−２２０を１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−６）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−６）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１１３】
実施例７
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−５）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート２．０ｇ、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡ−２０を２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＸ−６２０を１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ、添加剤として３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸の〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エステル２．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−７）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−７）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１１４】
実施例８
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−６）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート２．０ｇ、アロニックスＭ９０５０を２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−６０４を１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ、添加剤としてビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕テレフタレート２．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−８）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−８）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１１５】
実施例９
感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）をアプリケーターを用いて、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルム上に塗布し、塗膜を１００℃で５分間プレベークして、感放射線層の膜厚が２５μｍの感放射線性ドライフィルムを作製した。その後、ガラス基板の表面に感放射線性ドライフィルムの感放射線層が当接されるように重ね合わせ、熱圧着法で圧着して、感放射線性ドライフィルムをガラス基板に転写した。
次いで、基板上の感放射線性ドライフィルムからベースフィルムを剥離除去したのち、実施例１と同様にして、パターン状薄膜を形成して評価した。
また、下記の要領で転写性の評価を行った。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１１６】
−転写性の評価−
感放射線性ドライフィルムをガラス基板に転写してベースフィルムを剥離除去した際に、感放射線層がガラス基板上に均一に転写できた場合を「○」、感放射線層が部分的にベースフィルム上に残ったり、感放射線層がガラス基板表面に密着しなかったりするなど、ガラス基板に感放射線層を均一に転写できなかった場合を「×」として評価した。
【０１１７】
実施例１０
実施例９において、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−２）を用いた以外は、実施例９と同様にして、感放射線性ドライフィルムを作製した。
次いで、基板上の感放射線性ドライフィルムからベースフィルムを剥離除去したのち、実施例１と同様にして、パターン状薄膜を形成して評価し、また実施例９と同様にして、転写性の評価を行った。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１１８】
実施例１１
実施例１において、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−７）を用い、パターン状薄膜を１５０℃のホットプレート上で５分間ベークして硬化させた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１１９】
実施例１２
実施例１において、（Ｃ）成分として２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン０．１ｇを用いた以外は、実施例１と同様にして、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−９）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−９）をアプリケーターを用いて、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルム上に塗布し、塗膜を１００℃で５分間プレベークして、感放射線層の膜厚が２５μｍの感放射線性ドライフィルムを作製した。その後、ガラス基板の表面に感放射線性ドライフィルムの感放射線層が当接されるように重ね合わせ、熱圧着法で圧着して、感放射線性ドライフィルムをガラス基板に転写した。
次いで、基板上の感放射線性ドライフィルムからベースフィルムを剥離除去したのち、実施例１と同様にして、パターン状薄膜を形成して評価し、また実施例９と同様にして、転写性の評価を行った。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１２０】
実施例１３
実施例７において、（Ｃ）成分として２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン０．１ｇを用いた以外は、実施例７と同様にして、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−10）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−10）をアプリケーターを用いて、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルム上に塗布し、塗膜を１００℃で５分間プレベークして、感放射線層の膜厚が２５μｍの感放射線性ドライフィルムを作製した。その後、ガラス基板の表面に感放射線性ドライフィルムの感放射線層が当接されるように重ね合わせ、熱圧着法で圧着して、感放射線性ドライフィルムをガラス基板に転写した。
次いで、基板上の感放射線性ドライフィルムからベースフィルムを剥離除去したのち、実施例１と同様にして、パターン状薄膜を形成して評価し、また実施例９と同様にして、転写性の評価を行った。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１２１】
実施例１４
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−１）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート４．４ｇ、アロニックスＭ８１００を０．４ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６を０．２ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−11）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−11）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１２２】
実施例１５
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−６）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、（Ｂ）成分としてトリシクロデカニルメタクリレート４．４ｇ、アロニックスＭ９０５０を０．４ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−６０４を０．２ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ、添加剤としてビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕テレフタレート２．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−12）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−12）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１２３】
比較例１
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−１）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、重合性不飽和化合物としてアロニックスＭ８１００を２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６を１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（ｓ−１）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（ｓ−１）を用いた以外は、実施例１と同様にして、保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１２４】
比較例２
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−１）１０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル１０．０ｇに溶解して、重合性不飽和化合物としてＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＤＤＡ２．０ｇおよびＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６を１．０ｇ、（Ｃ）成分として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名ルシリンＴＰＯ）２．０ｇおよびイルガキュア６５１を１．０ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（ｓ−２）を調製した。
次いで、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（ｓ−２）を用いた以外は、実施例９と同様にして、感放射線性ドライフィルムを作製して、ガラス基板に転写した。
次いで、基板上の感放射線性ドライフィルムからベースフィルムを剥離除去したのち、実施例１と同様にして、パターン状薄膜を形成して評価し、また実施例９と同様にして、転写性の評価を行った。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表１に示す。
【０１２５】
【表１】
2006343709.tif 000011
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】マイクロレンズの断面形状を示す模式図である。
【図１】
2006343709.tif 000012