(57)【要約】【課題】電気二重層キャパシタの電解液を注入する装置構成が簡略化し、その製造コストも低廉で、また良好な電池特性の電気二重層キャパシタの量産。【解決手段】真空チャンバー１０は電気二重層キャパシタ（キャパシタ１１）と電解液タンク１２とを格納している。電解液タンク１２は通気配管１２１と供給配管１２２とを備える。真空チャンバー１０はバルブ１０１とバルブ１０２とを備える。ここで、バルブ１０１を閉、バルブ１０２を開に設定し、真空チャンバー１０内を減圧して供給配管１２２を介してキャパシタ１１内のガスを吸引し、このガスを通気配管１２１とバルブ１０２とを介して排出した後、バルブ１０２を閉、バルブ１０１を開に設定し、真空チャンバー１０内を加圧して供給配管１２２を介して電解液タンク１２内の電解液をキャパシタ１１に供給する。【選択図】図１
2006080106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気二重層キャパシタと電解液タンクとを格納した真空チャンバーを備え、
前記電解液タンクは、通気配管と、電解液を前記キャパシタに供給する供給配管とを備え、
前記真空チャンバーは、給気バルブと減圧バルブとを備え、
前記給気バルブを閉じると共に前記減圧バルブを開いて真空チャンバー内を減圧することにより、前記供給配管を介して前記キャパシタ内のガスを吸引し、このガスを前記通気配管と減圧バルブとを介して排出する脱気工程と、
その後、前記減圧バルブを閉じると共に給気バルブを開いて真空チャンバー内を加圧することにより、前記供給配管を介して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給する電解液供給工程と
を有することを特徴とする電気二重層キャパシタの電解液注入方法。
【請求項２】
電気二重層キャパシタと電解液タンクとを格納した真空チャンバーと、この真空チャンバーの内圧を制御して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給する真空制御手段とを備え、
前記電解液タンクは、通気配管と、電解液を前記キャパシタに供給する供給配管とを備え、
前記真空制御手段は、真空チャンバー内を減圧することにより、前記供給配管を介して前記キャパシタ内のガスを吸引排出する脱気工程と、その後、この真空チャンバー内を加圧することにより、前記供給配管を介して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給する電解液供給工程とを実行すること
を特徴とする電気二重層キャパシタの電解液注入方法。
【請求項３】
前記真空制御手段は、前記真空チャンバー内を減圧する吸引手段と、前記真空チャンバー内を加圧するガス導入手段とを備え、
前記吸引手段は、真空ポンプと前記真空チャンバーとを連接する配管に減圧バルブを備え、
前記ガス導入手段は、前記真空チャンバーと減圧バルブとを連接する配管部に給気バルブを備えた配管を接続してなり、
前記ガス導入手段が前記給気バルブを閉じると共に前記吸引手段が減圧バルブを開いて前記真空チャンバー内を減圧することにより、前記供給配管を介して前記キャパシタ内のガスを吸引し、このガスを前記通気配管と減圧バルブとを介して排出する脱気工程と、
その後、前記吸引手段が前記減圧バルブを閉じると共に前記ガス導入手段が前記給気バルブを開いて真空チャンバー内を加圧することにより、前記供給配管を介して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給する電解液供給工程と
を有することを特徴とする請求項２記載の電気二重層キャパシタの電解液注入方法。
【請求項４】
前記真空チャンバーは複数の電気二重層キャパシタを格納していること
を特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の電気二重層キャパシタの電解液注入方法。
【請求項５】
前記脱気工程と前記電解液供給工程からなる手順を複数実行して、前記電気二重層キャパシタ内の各セルの電解液含浸状態を均一化すること
を特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の電気二重層キャパシタユニットの電解液注入方法。
【請求項６】
電気二重層キャパシタと電解液タンクとを格納した真空チャンバーを備え、
前記電解液タンクは、通気配管と、電解液を前記キャパシタに供給する供給配管とを備え、
前記真空チャンバーは、給気バルブと減圧バルブとを備え、
前記給気バルブを閉じると共に前記減圧バルブを開いて真空チャンバー内を減圧することにより、前記供給配管を介して前記キャパシタ内のガスを吸引し、このガスを前記通気配管と減圧バルブとを介して排出した後、前記減圧バルブを閉じると共に給気バルブを開いて真空チャンバー内を加圧することにより、前記供給配管を介して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給すること
を特徴とする電気二重層キャパシタの電解液注入装置。
【請求項７】
電気二重層キャパシタと電解液タンクとを格納した真空チャンバーと、この真空チャンバーの内圧を制御して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給する真空制御手段とを備え、
前記電解液タンクは、通気配管と、電解液を前記キャパシタに供給する供給配管とを備え、
前記真空制御手段は、真空チャンバー内を減圧することにより、前記供給配管を介して前記キャパシタ内のガスを吸引排出した後、この真空チャンバー内を加圧することにより、前記供給配管を介して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給すること
を特徴とする電気二重層キャパシタユニットの電解液注入装置。
【請求項８】
前記真空制御手段は、前記真空チャンバー内を減圧する吸引手段と、前記真空チャンバー内を加圧するガス導入手段とを備え、
前記吸引手段は、真空ポンプと前記真空チャンバーとを連接する配管に減圧バルブを備え、
前記ガス導入手段は、前記真空チャンバーと減圧バルブとを連接する配管部に給気バルブを備えた配管を接続してなり、
前記ガス導入手段が前記給気バルブを閉じると共に前記吸引手段が減圧バルブを開いて前記真空チャンバー内を減圧することにより、前記供給配管を介して前記キャパシタ内のガスを吸引し、このガスを前記通気配管と減圧バルブとを介して排出した後、前記吸引手段が前記減圧バルブを閉じると共に前記ガス導入手段が前記給気バルブを開いて真空チャンバー内を加圧することにより、前記供給配管を介して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給すること
を特徴とする請求項７記載の電気二重層キャパシタの電解液注入装置。
【請求項９】
前記真空チャンバーは複数の電気二重層キャパシタを格納していること
を特徴とする請求項６から８のいずれか１項に記載の電気二重層キャパシタの電解液注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電気二重層キャパシタの製造工程における電解液注入方法とその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図６はバイポーラ型電極を用いた多積層型の電気二重層キャパシタに電解液を注入する従来の装置システムを示した概略図である。また、図７はこの電気二重層キャパシタの概略図である。
【０００３】
電気二重層キャパシタは分極性電極に電解質中のアニオン、カチオンを正極、負極側に物理吸着させて電気を蓄えることを原理としている。多積層型の電気二重層キャパシタ１１（以下、キャパシタ１１と称する）としては、図７に示したように、二枚の平板状の活性炭電極１１４をイオンが通過可能なセパレータ１１５を介して積層して構成した電気二重層キャパシタ（単セル）をさらに平板状の導電性部材（中間集電極１１２）を介して複数積層してなるものがある。ここで、活性炭電極１１４と中間集電極１１２の外周部には内部の電解質が漏れ出さないように、シールを行なうためのパッキン１１７が挟み込まれている。また、パッキン１１７は中間集電極１１２が短絡しないように積層間で絶縁も兼ねている。そして、キャパシタの組み立てを行なう際には、必要な耐電圧分のセルを上述のように多積層し（単セル耐電圧２．５Ｖ程度）最後にエンドプレート１１８で締め付けることにより密平構造が保たれている。
【０００４】
キャパシタ１１は金属電極端面の集電極板１１６にリード線を取り付ければユニット内で直列接続となり、「単セル耐電圧×積層数」だけの耐電圧を持つことになる。このキャパシタ１１は、一般的な巻き取り方式を用いた同一容量のキャパシタと比較してケーブル等を必要とせず、コンパクトに耐電圧が高く設計できるため設置面積を小さくすることができる。
【０００５】
キャパシタ１１の製造過程について簡単に説明すると、キャパシタ１１は、中間集電極１１２を介して前記単セルを複数積層し、これを集電極板１１６によって挟み込んだ後に、エンドプレート１１８で締付けることで構成される。このとき、集電極板１１６間は、一定空間の確保と中間集電板１１２の保持とが可能となるように、パッキン１１７によってシールされている。そして、このキャパシタ１１内に電解液が導入されることで、前記単セルを構成している活性炭電極１１４及びセパレータ１１５に電解液が含浸される。また、電解液導入の際には、キャパシタ１１の一ヶ所に電解液導入するための電解液注入コネクタ１１１を設け、この一ヶ所から各セルを仕切る中間集電極１１２の連通孔１１３を介して、全てのセルに電解液が行き渡るようにしている。
【０００６】
図６に示された電解液注入装置は、キャパシタ６１を格納した真空チャンバー６０と、キャパシタ６１に電解液を注入するための電解液注入手段と、真空チャンバー６０を減圧するための真空ポンプ６４とを備える。
【０００７】
電解液注入手段は、電解液タンク６２に貯留された電解液をキャパシタ６１に供給する定量ポンプ６３とを備える。薬液タンク６２は、バルブ６と圧力計６２１とを備えている。また、電解液タンク６２と定量ポンプ６３を連結した配管部には、バルブ１が設置されている。さらに、定量ポンプ６３とキャパシタ６１とを連結した配管部には、キャパシタ６１内の圧力を監視するための圧力計６０１と、キャパシタ６１内の圧力を減圧するためバルブ２を備えた配管とが接続されている。この配管は真空チャンバー６０と真空ポンプ６４とを連結している配管に接続されている。
【０００８】
真空チャンバー６０はチャンバー内の圧力を監視するための圧力計６０２を備えている。また、真空チャンバー６０と真空ポンプ６４と連結する配管はバルブ３，５を備えている。このときバルブ３とバルブ５との間の配管部には不活性ガスを導入するためのバルブ４を備えた配管が接続されている。
【０００９】
次に、図６を参照しながら従来の電解液注入装置による電解液注入工程について説明する。
【００１０】
１）  バルブ２，３及び５を「開」に設定し、真空チャンバー６０とキャパシタ６１の減圧を行なう。このとき、キャパシタ６１内の吸着気体が完全に抜けるように、１Ｔｏｒｒ以下で約１５分減圧する。その後、バルブ２，３及び５を「閉」に設定する。
【００１１】
２）  バルブ１及び６を「開」に設定し、定量ポンプ６３を運転して電解液をキャパシタ６１内に導入する。
【００１２】
３）  キャパシタ６１内の圧力（圧力計６０１の測定値）と真空チャンバー６０内の圧力（圧力計６０２の測定値）との差が２０ｋＰａ以上になったら、定流量ポンプ６３を一時停止する。
【００１３】
４）  バルブ４及び５を「開」に設定し、真空チャンバー６０内に不活性ガスを導入して差圧を打ち消す。
【００１４】
５）  ２）の工程に戻り、キャパシタ６１内の圧力（圧力計６０１の測定値）が大気圧になり、電極細孔の気体層が電解液で埋まるまで繰り返す。
【００１５】
尚、この電解液注入装置と同類のものとしては、例えば以下の特許文献１〜３に示された電解液注入方法及びその装置がある。
【特許文献１】特開２０００−２０８３７４
【特許文献２】特開２０００−２０８３８１
【特許文献３】特開２０００−３４８９８９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、前記電解液注入工程は複雑で、煩雑な動作を複数繰り返す必要がある。このような方法を用いた理由としてパッキンによるセル間の耐圧が５０ｋＰａ程度しかないことがあげられる。電気二重層キャパシタ内と真空チャンバー内の圧力差が開くとパッキン間から電解液が漏洩し、前記キャパシタを構成しているセル全てに電解液を供給できない事態が生じる。これにより、良好な電池特性のキャパシタが製造できない場合がある。また、前述のような電解液注入工程を自動化すると、その制御も非常に複雑となる。このような装置構成では多額のコストがかかり、前記キャパシタの量産時の障害となる。
【００１７】
本発明は、かかる事情に鑑みなされたもので、その目的は、電気二重層キャパシタの電解液を注入する装置構成が簡略化し、その製造コストも低廉で、また良好な電池特性のキャパシタの量産ができる電気二重層キャパシタ、特にバイポーラ電極を用いた多積層型の電気二重層キャパシタの電解質注入方法とその装置の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
前記課題を解決するために、本発明に係る電気二重層キャパシタの電解質注入方法とその装置は、電気二重層キャパシタと電解液タンクとを格納した真空チャンバーを備え、前記電解液タンクは、通気配管と、電解液を前記キャパシタに供給する供給配管とを備え、前記真空チャンバーは、給気バルブと減圧バルブとを備え、前記給気バルブを閉じると共に前記減圧バルブを開いて真空チャンバー内を減圧することにより、前記供給配管を介して前記キャパシタ内のガスを吸引し、このガスを前記通気配管と減圧バルブとを介して排出する脱気工程と、その後、前記減圧バルブを閉じると共に給気バルブを開いて真空チャンバー内を加圧することにより、前記供給配管を介して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給する電解液供給工程とを有することを特徴とする。
【００１９】
また、他の本発明に係る電気二重層キャパシタの電解質注入方法とその装置としては、電気二重層キャパシタと電解液タンクとを格納した真空チャンバーと、この真空チャンバーの内圧を制御して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給する真空制御手段とを備え、前記電解液タンクは、通気配管と、電解液を前記キャパシタに供給する供給配管とを備え、前記真空制御手段は、真空チャンバー内を減圧することにより、前記供給配管を介して前記キャパシタ内のガスを吸引排出する脱気工程と、その後、この真空チャンバー内を加圧することにより、前記供給配管を介して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給する電解液供給工程とを実行することを特徴とする。
【００２０】
前記真空制御手段としては、汎用の真空制御装置を採用してもよく、例えば、前記真空チャンバー内を減圧する吸引手段と、前記真空チャンバー内を加圧するガス導入手段とを備え、前記吸引手段は、真空ポンプと前記真空チャンバーとを連接する配管に減圧バルブを備え、前記ガス導入手段は、前記真空チャンバーと減圧バルブとを連接する配管部に給気バルブを備えた配管を接続してなり、前記ガス導入手段が前記給気バルブを閉じると共に前記吸引手段が減圧バルブを開いて前記真空チャンバー内を減圧することにより、前記供給配管を介して前記キャパシタ内のガスを吸引し、このガスを前記通気配管と減圧バルブとを介して排出した後、前記吸引手段が前記減圧バルブを閉じると共に前記ガス導入手段が前記給気バルブを開いて真空チャンバー内を加圧することにより、前記供給配管を介して前記電解液タンク内の電解液を前記キャパシタに供給するものがある。
【００２１】
以上の電気二重層キャパシタの電解質注入方法とその装置によれば、同一の真空チャンバー内に電気二重層キャパシタと電解液タンクを配置し同時に減圧を行ない、その後、前記真空チャンバーの内圧を増加させている（例えば大気圧に戻している）。このとき、この加圧により、電解液は電解質タンク内から押し出されて前記キャパシタに供給される。したがって、複雑な設備構成及びバルブ動作によらなくても、前記キャパシタに対する電解液注入が行なえる。また、前述のように汎用の真空制御装置を採用することで、電解液を注入するための複雑なシーケンスを組むことなく、自動運転が可能となり、電解液注入装置をより低廉に構成できる。尚、真空チャンバー内の圧力を増加させる際、給気バルブによって供給されるガスとしては例えば不活性ガスや乾燥空気等が挙げられる。
【００２２】
また、前記真空チャンバーには、複数の電気二重層キャパシタを格納すると、複数のキャパシタに対して同時に電解液を注入することができ、チャンバーの容積を許す限り、複数のキャパシタを格納することで、前記キャパシタの生産工程数がその分低減できる。このとき、電解液注入を行なうキャパシタの数量が変更になっても、圧力制御パターンを変更する必要がなく、プログラムを複数容易する必要がなくなる。また、電解液注入を行なうキャパシタの数量が変更になっても、圧力制御パターンが同じであれば、全て同一の条件（流量、流速）で電解液を注入することができ、個々のキャパシタの性能にバラツキが無くなり、製造されたキャパシタの品質が均一なものとなる。
【００２３】
さらに、前記電気二重層キャパシタの電解液注入方法とその装置において、前記脱気工程と前記電解液供給工程からなる手順を複数実行すると、前記真空チャンバー内に格納された電気二重層キャパシタ内の各セルの電解液含浸状態が均一化するので、前記キャパシタの品質が向上する。
【発明の効果】
【００２４】
以上のように、本発明の電気二重層キャパシタの電解液注入方法とその装置によれば、電気二重層キャパシタの電解液を注入するにあたり、その装置構成が簡略化し、その製造コストも低廉なものとなり、さらに良好な電池特性の電気二重層キャパシタを量産できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は本発明に係る電気二重層キャパシタの電解液注入方法（以下、電解液注入方法）の実施形態例である電解液注入装置の概略構成図である。
【００２６】
本実施形態例の電解液注入装置は、真空チャンバー１０内にバイポーラ型電気二重層キャパシタ（以下、キャパシタ１１）と電解液タンク１２とを格納している。真空チャンバー１０は、不活性ガスまたは乾燥空気を導入する給気バルブとしてのバルブ１０１と、真空チャンバー内を減圧する減圧バルブとしてのバルブ１０２とを備えている。バルブ１０２には真空ポンプ１３が接続されている。尚、真空チャンバー１０には、その内部の状態が確認できるように覗き窓を設けるとよい。
【００２７】
電解液タンク１２は、通気配管１２１と、電解液をキャパシタ１１に供給するための供給配管１２２とを備えている。供給配管１２２は導入チューブ１１０を介してキャパシタ１１の電解液注入コネクタ１１１に接続されている。配管１２２は電解液タンク１２内において底面付近まで引き込むとよい。一方、配管１２１は電解液タンク１２内に導入されている端部は液面に達しないように設けることが望ましい。
【００２８】
本実施形態例のキャパシタ１１の構成は前記背景技術のキャパシタ１１と同様の構成であるので、その詳細な説明は省略する。
【００２９】
図２（１）〜図２（３）を参照しながら本実施形態例に係る電解液注入方法の注入工程について説明する。
【００３０】
工程（１）  バルブ１０１を「閉」に設定、バルブ１０２を「開」に設定し、真空ポンプ１３を運転して真空チャンバー１０内を減圧する。このとき、キャパシタ１１内のガスが排出され電解液中に気泡となって放出される（図２（１））。そして、電解液中に溶けている二酸化炭素等のガスは減圧によって系外（真空チャンバー１０の外）に排出される。減圧時の真空度は１ｔｏｒｒ以下とするとよい。減圧を行なう時間は約２０分程度とされているが、キャパシタ１１から気泡が出なくなるまで適宜時間調整が行なわれる。
【００３１】
工程（２）  十分に減圧を行なった後、バルブ１０２を「閉」に設定、バルブ１０１を「開」に設定し、不活性ガスまたは乾燥空気を導入する。このとき、急激に圧力変化が起こらないように、バルブ１０１，１０２の開度を調節して約５分程度で真空チャンバー１０内の圧力を上昇させるとよい（本実施形態例では例えば大気圧に戻している）。真空チャンバー１０内の圧力が上昇すると、この加圧により電解液はキャパシタ１１内に移送されてゆく（図２（２））。
【００３２】
工程（３）  真空チャンバー１０内を加圧（本実施形態例では大気圧までに加圧）した後、キャパシタ１１内が電解液で満たされるまで、徐々に吸引されてゆく。予め設定した規定量が吸引されるまで放置する（図２（３））。
【００３３】
このように単一の真空チャンバー１０内にキャパシタ１１と電解液タンク１２とを設け、それぞれ接続することで、本実施形態の電解液注入装置ような非常に単純な装置構成をとることができる。また、本実施形態の電解液注入装置は、従来の方式と比較してバルブ、配管等が削減できるので、極めて安価に構成できる。さらに、バルブ２つのみを操作だけで、作業が完了するので、圧力制御を行なうような煩雑な作業を一切省くことができ、作業時間の短縮が図れる。
【００３４】
図５はキャパシタにおける各セルの電池特性を示した特性図で、特に（ａ）は１回のみの電解液注入動作（前記工程（１）〜（３）で示した電解液注入動作）を行なった場合の各セルの電池特性を、（ｂ）は２回の電解液注入動作を行なった場合の各セルの電池特性を示している。この試験においては５８積層のバイポーラ電極を用いた多積層の電気二重層キャパシタについて調べた。
【００３５】
図５（ａ）の特性図から明らかように、１回のみの電解液注入動作では、キャパシタ内の各セルに対して均等に電解液が含浸できない可能性があり、含浸が不十分なセルは内部抵抗が高く、静電容量が低くなり所定の電池特性が得られないことがわかった。特に、本構成のキャパシタでは両端のセルで含浸されにくい傾向にあることがわかる。すなわち、１回のみの電解液注入動作ではセルＮｏ．が１と５８のセルの内部抵抗が高く、静電容量が低く、充分に電解液が含浸できないことが確認された。
【００３６】
そして、図５（ｂ）の特性図から明らかなように、２回目の電解液注入動作で、各セルの電池特性は±３％以内に収まり、電解液が均等に含浸できることが確認された。このことは、前記電解液注入装置による電解液注入動作を少なくとも２回反復運転すれば良好な電池特性が得られることを示唆するものである。
【００３７】
このように、本実施形態例の電解液注入装置による電解液の注入動作を複数回実行すれば、キャパシタ内部の各セルの電解液含浸状態をより均一化することでき、良好な電池特性が得られ品質の向上が図れることが示された。
【００３８】
図３は本発明の第二の実施形態例を示した概略図である。
【００３９】
本実施形態例の電解液注入装置は、キャパシタ１１と電解液タンク１２とを格納した真空チャンバー１０と、真空制御手段２０と、真空ポンプ１３とを備える。
【００４０】
真空制御手段２０は、真空チャンバー１０の内圧を制御して電解液タンク１２内の電解液をキャパシタ１１に供給する。この真空制御手段としては汎用ものを採用すればよい。例えば、ＥＹＥＬＡ製のＮＶＣ−２０００が挙げられる。この真空制御装置は、エバポレータでの溶媒抽出等を目的に市販されており、減圧スロープ設定、減圧時間、リークスロープ設定、リーク時間等の設定及びプログラム運転も可能である。
【００４１】
前記真空制御装置の具体的な概略構成としては、真空チャンバー１０内を減圧する吸引手段と、真空チャンバー１０内を加圧するガス導入手段とを備える。前記吸引手段は真空チャンバー１０と真空ポンプ１３とを連接する配管に減圧バルブとしてバルブ２１を備えてなる。前記ガス導入手段は真空チャンバー１０とバルブ２１とを連接する配管部に給気バルブとしてバルブ２２を備えた配管を接続してなる。
【００４２】
本実施形態例に係る電解液注入システムの動作例は実施形態例１と同じであるので、その詳細な説明は実施形態例１に係る動作例の説明に譲る。
【００４３】
このように汎用の真空制御装置を取り付けることで、複雑なシーケンスを組むことなく自動運転が可能となり、自動電解液注入装置を極めて安価に構成できる。
【００４４】
図４は本発明の第三の実施形態例を示した概略図である。
【００４５】
本実施形態例に係る電解液注入装置は、前記実施形態例に係る電解液注入装置の真空チャンバー１０において、複数のキャパシタ１１を備えている。このときの電解液タンク１２及び電解液量はキャパシタ１１の数量に見合った量を投入しておく必要がある。減圧条件の設定、リーク条件の設定等はユニット数が変わっても特に変更する必要はない。尚、本実施形態では第二の実施形態例に係る電解液注入装置の真空チャンバー１０に複数のキャパシタ１１を備えているが、図１に示した第一の実施形態例に係る電解液注入装置の真空チャンバー１０に複数設けてもよい。
【００４６】
本実施形態例に係る電解液注入装置の動作例は実施形態例１と同じであるので、その詳細な説明は実施形態例１に係る動作例の説明に譲る。
【００４７】
このように複数のキャパシタ１１を単一のチャンバー１０に格納することで同時に複数のキャパシタ１１に対して電解液を注入することができる。また、真空チャンバー１０の容積を許す限り、キャパシタ１１を格納することで、キャパシタ１１の生産工程数がその分低減できる。さらに、電解液注入を行なうキャパシタ１１の数量が変更になっても、圧力制御パターンを変更する必要がなく、プログラムを複数容易する必要がなくなる。また、電解液注入を行なうキャパシタ１１の数量が変更になっても、圧力制御パターンが同じであれば、全て同一の条件（例えば流量、流速）で電解液を注入することができ、個々のキャパシタ１１の性能にバラツキが無くなり、製造されたキャパシタの品質が均一なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る電気二重層キャパシタの電解液注入方法（以下、電解液注入方法）の実施形態例である電解液注入システムの概略構成図。
【図２】本実施形態例に係る電解液注入方法の注入手順の説明図で、（ａ）は工程（１）の説明図、（ｂ）は工程（２）の説明図、（ｃ）は工程（３）の説明図。
【図３】本発明の第二の実施形態例を示した概略図。
【図４】本発明の第三の実施形態例を示した概略図。
【図５】キャパシタユニットにおける各セルの電池特性を示した特性図で、（ａ）は１回のみの電解液注入動作を行なった場合の各セルの電池特性を示した特性図、（ｂ）は２回の電解液注入動作を行なった場合の各セルの電池特性を示した特性図。
【図６】電気二重層キャパシタに電解液を注入する従来の装置システムを示した概略図。
【図７】電気二重層キャパシタの概略図。
【符号の説明】
【００４９】
１０…真空チャンバー、１０１，１０２…バルブ
１１…電気二重層キャパシタ、１１０…導入チューブ、１１１…電解液注入コネクタ
１２…電解液タンク、１２１…通気配管、１２２…供給配管
１３…真空ポンプ
２０…真空制御装置、２１，２２…バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図５】
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【図７】
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