(57)【要約】【課題】ディスクドライブ組み立て工程においてサーボ情報信号の偏心を除去する。【解決手段】本発明のディスクドライブ組み立て工程は、磁気ディスク５の表面に形成されたマーカー１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄとハブ２０の中心を光学的に検出し、その結果に基づいて位置決めピン２６ａ、２６ｂ、２６ｃの突出を調整することにより磁気ディスク５とハブ２０の偏心を補正する。【選択図】図１
2006127563.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状情報担体に形成されたマーカーの位置と
前記ディスク状情報担体を回転させるスピンドルモータの回転中心の位置と
を計測することにより
前記ディスク状情報担体と前記スピンドルモータの回転中心との相対位置を
調整する工程を含むディスクドライブ組み立て工程。
【請求項２】
ディスク状情報担体にサーボ情報信号を書き込むとともに前記サーボ情報信号の書き込み位置に対して一定の位置関係で前記ディスク状情報担体にマーカーを形成する工程を含む請求項１に記載のディスクドライブ装置の組み立て工程。
【請求項３】
磁気信号をディスク状情報担体に転写するための磁性体が配置された磁気転写マスターディスクと前記ディスク状情報担体を密着することによって前記磁気信号を前記ディスク状情報担体に転写すると同時に前記ディスク状情報担体の表面に凹部あるいは凸部によりマーカーを形成する工程を含む請求項２に記載のディスクドライブ組み立て工程。
【請求項４】
ディスク状情報担体に形成されたマーカーの位置を計測する手段、
前記ディスク状情報担体を回転させるスピンドルモータの回転中心を計測する手段、
前記ディスク状情報担体と前記回転中心との偏心を調整する手段を
含むディスクドライブ組み立て装置。
【請求項５】
ディスク状情報担体に形成されたマーカーの位置を光学的に計測する手段、
前記ディスク状情報担体を回転させるスピンドルモータの回転中心を光学的に計測する手段、
を含む請求項４に記載のディスクドライブ組み立て装置。
【請求項６】
ディスク状情報担体に記録されたサーボ情報の書き込み位置に対して一定の位置関係でマーカーが形成された前記ディスク状情報担体を含むディスクドライブ。
【請求項７】
ディスク状情報担体の表面に凹部あるいは凸部によってマーカーが形成された請求項６に記載のディスクドライブ。
【請求項８】
サーボ情報信号と
前記サーボ情報信号の記録位置と一定の位置関係に形成されたマーカーとを
含むディスク状情報担体。
【請求項９】
ディスク状情報担体の表面に凹部あるいは凸部によって形成されたマーカーを含む請求項８に記載のディスク状情報担体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク等のディスク状情報担体を用いるディスクドライブの組み立て工程、それに用いる組み立て装置、それらの工程や装置によって作製されるディスクドライブ装置やディスク状情報担体に関するもので、特にハードディスクドライブを作製する工程等に適する。
【背景技術】
【０００２】
現在、代表的な磁気ディスク装置であるハードディスクドライブは、すでに面記録密度が１Ｇｂｉｔ／ｓｑｉｎを越える装置が商品化され、数年後には１０Ｇｂｉｔ／ｓｑｉｎの実用化が議論されるほどの急激な技術進歩が認められる。
【０００３】
このような高記録密度を可能とした技術的背景には、線記録密度の向上もさることながら、わずか数μｍのトラック幅の信号をＳＮ良く再生できる磁気抵抗素子型ヘッドに依るところが大である。
【０００４】
また、高記録密度に伴い磁気記録媒体に対する浮動磁気スライダの浮上量の低減化も要求されてきており、浮上中も何らかの要因でディスク／スライダの接触が発生する可能性が増大している。このような状況下において、記録媒体にはより平滑性が要求されてきている。
【０００５】
ここで、ヘッドが狭トラックを正確に走査するためにはヘッドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たしている。このようなトラッキングサーボ技術を用いた現在のハードディスクドライブでは、ディスクの一周中、一定の角度間隔でトラッキング用のサーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記録されている。ドライブ装置は、ヘッドから一定時間間隔で再生されるこれらの信号によりヘッドの位置を検出し修正して、ヘッドが正確にトラック上を走査することを可能にしている。
【０００６】
上述した、サーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等はヘッドが正確にトラック上を走査するための基準信号となるものであるから、その書き込み（以下、フォーマティングと記す）には高い位置決め精度が必要である。現在のハードディスクドライブでは、光干渉を利用した高精度位置検出装置を組み込んだ専用のサーボ装置（以下サーボライタ）を用いて記録ヘッドを位置決めしてフォーマティングが行われている。
【０００７】
しかしながら、上記サーボライタによるフォーマティングには以下の課題が存在する。第１に、ヘッドを高精度に位置決めしながら多数のトラックにわたって信号を書き込むには多くの時間がかかる。生産性を上げるには多くのサーボライタを同時に稼働させなければならない。第２に、多くのサーボライタの導入、維持管理には多額のコストがかかる。これらの課題はトラック密度が向上し、トラック数が多くなるほど深刻である。
【０００８】
そこで、フォーマティングをサーボライタではなく、予め全てのサーボ情報が書き込まれたマスタと呼ばれるディスクとフォーマティングすべき磁気ディスクを重ね合わせ外部から転写用のエネルギーを与えることによりマスタの情報を磁気ディスクに一括転写する方式が提案されている。その一例として、特許文献１に示された磁気転写装置が挙げられる。
【０００９】
同公報には、基体の表面に、情報信号に対するパターン形状で強磁性材料からなる磁性部を形成してマスタディスクとし、このマスタディスクの表面を、強磁性薄膜あるいは強磁性粉塗布層が形成されたシート状もしくはディスク状磁気記録媒体の表面に接触させ、所定の磁界をかけることにより、マスタディスクに形成されている情報信号に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に磁気転写記録する方法が開示されている。
【００１０】
図９は、マスターディスクの構成を示す斜視図であり、１はマスターディスク、２はサーボ情報を磁気転写するため磁気ディスクと接触するランド部、３はランド部２の間に形成された溝部である。
【００１１】
図１０は、マスターディスク１の断面の一部を示すもので、４はランド部２の表面に形成された強磁性体薄膜である。この強磁性体薄膜４の配置パターンが磁気ディスクに磁気転写されるサーボ情報に対応している。溝部３はマスターディスクと磁気ディスクを密着させた時にマスターディスク１と磁気ディスクの間の空気を効率的に排出するために設けられ、その深さは数μｍから数十μｍである。
【００１２】
図１１は磁気転写の工程を説明する図であり、５は磁気ディスク、６はマスターディスク１を保持するためのマスター保持パッドであり、図示されない機構によりマスターディスクを吸着保持するとともに上下移動可能に支持する。７は磁気ディスク５を保持するディスクスタンド、９は磁気ディスクの中心孔８を通じてマスターディスク１と磁気ディスク５の間の空気を排出するための通気孔、１０は通気孔９に接続された３方弁、１１は吸引ポンプ、１２は給気ポンプである。また、矢印は空気の流れを示している。図１１（ａ）はマスターディスク１と磁気ディスク５を密着させる前の状態であり、給気ポンプ１２から３方弁１０、通気孔９、中心孔８を通って空気が流れ、マスターディスク１とダミーディスク５の間に空気が満たされて両者が離間している状態を示している。一方図１１（ｂ）は３方弁１０の流路が切り替えられ、中心孔８から通気孔９、３方弁１０、吸引ポンプ１１へと空気が流れ、マスターディスク１とダミーディスク５の間の空気が排出されるのでマスターディスク１とダミーディスク５が大気圧により圧着されている状態を示している。図１１（ｃ）は転写磁界を印可している状態を示しており、マグネット１６をマスターディスク１に接近させ、磁気ディスク５の周方向に回転させている。このとき、磁気ディスク５にサーボ情報が磁気転写される。マスターディスク１と磁気ディスク５を離間させるには、再び図１１（ｂ）の状態を経て図１１（ａ）の状態に戻せば良い。
【００１３】
しかし、上記磁気転写を用いる方法では、磁気ディスクをハードディスクドライブに組み込む前に磁気ディスク上にサーボ信号が書き込まれることから、サーボ信号の書き込み中心と磁気ディスクの回転中心が一致せず偏心するという問題がある。この偏心が大きいと、ハードディスクドライブの磁気ヘッドを磁気ディスクの一つのトラック上に十分な精度で位置決めすることが困難となる。
【００１４】
磁気ディスク上に転写されるサーボ信号の書き込み中心と磁気ディスクの回転中心が偏心する原因の一つは、サーボ信号を磁気転写する際に磁気ディスク中心と磁気転写されるサーボ信号の書き込み中心の位置が偏心するためである。
【００１５】
従来、この原因による偏心量を少なくする手段として特許文献２と特許文献３が提案されている。
【００１６】
特許文献２によれば、検査用磁気ディスク上に転写された磁気パターンを磁気現像し、その位置を光学的に計測する等の方法により磁気パターンの書き込み位置を測定し、その結果をもとにマスターディスクの保持位置や磁気ディスクの供給位置を所定の範囲に収まるよう監視するとしている。
【００１７】
また、特許文献３によれば、磁気転写装置内部で磁気転写された磁気ディスク上のサーボ信号を再生し、再生されたサーボ信号から磁気ディスクと転写されたサーボ信号の書き込み中心の偏心ベクトルを検出し、マスターディスクと磁気ディスクのの位置を調整してから再転写するとしている。
【００１８】
上記特許文献に記載された方法によれば磁気転写の際に磁気ディスクに転写されるサーボ信号の書き込み中心と磁気ディスク中心の偏心は少なくできる。
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献２】特開２００４−１８５７１６号公報
【特許文献３】特開２００３−２０８７１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、上記従来の方法では最終的にハードディスクドライブに組み込まれた後の磁気ディスクの回転中心とサーボ信号の書き込み中心の偏心を除去するのに限界があった。
【００２０】
図１２はハードディスクドライブの組み立て工程を示す図であり、１８はディスクドライブ、１９はヘッドアーム、２０は磁気ディスクを回転させるためのハブ、２１はハブに磁気ディスクを固定するためのクランプ、２２はクランプを固定するための固定ネジである。
【００２１】
まず図１２（ａ）に示すように、ハブ２０に磁気ディスク５の中心孔８を勘合させるようにして磁気ディスク５をはめ込む。次に図１２（ｂ）に示すように、クランプ２１をハブ２０にかぶせるようにはめ込み、その上から固定ネジ２２でクランプをハブ２０に固定する。磁気ディスク５はクランプ２１に押さえつけられてハブ２０に固定される。
【００２２】
磁気ディスク５をハブ２０にはめ込むために磁気ディスク５の中心孔８の内径はハブの外径より大きく作製されている。通常、磁気ディスクやハブの作製上のばらつきを考慮して、磁気ディスクの中心孔５の直径はハブ２０の直径より５０μｍ程度大きく設計されるのが普通である。そのため、磁気ディスク５の中心とハブの中心は偏心する。この時の偏心量や偏心の方向は一定でない。そのため磁気ディスク５と磁気ディスク５に書き込まれるサーボ信号の書き込み中心といくら正確に一致させたり制御しても、磁気ディスク５とハブ２０の偏心がばらつくので、サーボ信号の書き込み中心と磁気ディスク５の回転中心は偏心する。
【００２３】
このように、従来の方法では、最終的にドライブに組み込まれた時のサーボ信号の書き込み中心と磁気ディスクの回転中心の偏心を除去するのに限界があった。
【００２４】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、ディスクドライブにおけるサーボ信号の書き込み中心とディスクの回転中心の偏心が少ないディスクドライブ組み立て工程、ディスクドライブ組み立て装置、ディスクドライブ、ディスク状情報担体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明によるディスクドライブ組み立て工程は、ディスク状情報担体に形成されたマーカーの位置とディスク状情報担体を回転させるスピンドルモータの回転中心の位置とを計測することによりディスク状情報担体と前記スピンドルモータの回転中心との相対位置を調整する工程を含む。
【００２６】
好ましい実施形態において、ディスク状情報担体にサーボ情報信号を書き込むとともにサーボ情報信号の書き込み位置に対して一定の位置関係でディスク状情報担体にマーカーを形成する工程を含む。
【００２７】
好ましい実施形態において、磁気信号をディスク状情報担体に転写するための磁性体が配置された磁気転写マスターディスクとディスク状情報担体を密着することによって磁気信号を前記ディスク状情報担体に転写すると同時にディスク状情報担体の表面に凹部あるいは凸部によりマーカーを形成する工程を含む。
【００２８】
本発明によるディスクドライブ組み立て装置は、ディスク状情報担体に形成されたマーカーの位置を計測する手段、ディスク状情報担体を回転させるスピンドルモータの回転中心を計測する手段、ディスク状情報担体と前記回転中心との偏心を調整する手段を含む。
【００２９】
好ましい実施形態において、ディスク状情報担体に形成されたマーカーの位置を光学的に計測する手段、ディスク状情報担体を回転させるスピンドルモータの回転中心を光学的に計測する手段を含む。
【００３０】
本発明によるディスクドライブは、ディスク状情報担体に記録されたサーボ情報の書き込み位置に対して一定の位置関係でマーカーが形成されたディスク状情報担体を含む。
【００３１】
好ましい実施形態において、ディスク状情報担体の表面に凹部あるいは凸部によってマーカーが形成されたディディスク状情報担体を含む。
【００３２】
本発明によるディスク状情報担体は、サーボ情報信号とサーボ情報信号の記録位置と一定の位置関係に形成されたマーカーとを含む。
【００３３】
好ましい実施形態において、ディスク状情報担体の表面に凹部あるいは凸部によって形成されたマーカーを含む。
【発明の効果】
【００３４】
本発明のディスクドライブ組み立て工程、ディスクドライブ組み立て装置、ディスクドライブ、ディスク状情報担体によれば、磁気ヘッドのトラック追従精度が高まるとともにそのばらつきが小さくなり、高密度で記録された信号を良好に再生できるので大容量ディスクドライブの生産性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００３６】
まず、図１、図２および図３を参照する。図１は、本実施形態におけるディスクドライブ組み立て工程、ディスクドライブ組み立て装置およびディスク状情報担体を模式的に示す平面図であり、図２は正面図である。図１（ａ）と図２（ａ）は同じ状態を示し、図１（ｂ）と図２（ｂ）および図１（ｃ）と図２（ｃ）も同様である。図３は本実施形態におけるディスクドライブ組み立て工程の各ステップを示すフローチャートである。
【００３７】
図１に示されるように磁気ディスク５は、中心孔８の近傍に磁気ディスク５の表面を凹ませて形成した４つのマーカー１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄを備えている。また図１に一部示されているディスクドライブ組み立て装置は磁気ディスク５を３方向から押圧することによって把持し、磁気ディスク５の位置を紙面に平行な方向に自由に移動させることができる３組の位置決めピン２６ａ、２６ｂ、２６ｃと位置決めスライダー２７ａ、２７ｂ、２７ｃを備えている。位置決めピン２６ａは位置決めスライダー２７ａによって磁気ディスク５の半径方向に移動可能に支持されている。位置決めピン２６ｂと位置決めスライダー２７ｂおよび位置決めピン２６ｃと位置決めスライダー２７ｃも同様である。
【００３８】
また図２に示すように、本実施の形態におけるディスクドライブ組み立て装置はカメラ２３とランプ２４を備えておりハブ２０の近傍を撮影し、画像データを取得することができる。
【００３９】
以下、本実施形態におけるディスクドライブ組み立て工程を説明する。
【００４０】
まず、図３に示すステップＳＴ１では図１（ａ）および図２（ａ）に示すように、ディスクドライブ１８のハブ２０に磁気ディスク５の中心孔８を勘合させる。この状態では磁気ディスク５の中心はハブ２０の中心に対して偏心している。
【００４１】
次に図３のステップＳＴ２では、図１（ｂ）に示すようには３組の位置決めピン２６ａ、２６ｂ、２６ｃを磁気ディスク５の中心方向に押圧することよって磁気ディスク５を把持する。
【００４２】
次に図３のステップＳＴ３では図２（ｂ）に示すようにライト２４によって照明されたハブ２０近傍の画像をカメラ２３から画像入力処理装置２５が取り込む。
【００４３】
次に図３のステップＳＴ４では画像入力処理装置２５が取り込まれた画像データを処理することによって磁気ディスク５に設けられた４つのマーカー１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄとハブ２０の中心座標を計測する。
【００４４】
次に図３のステップＳＴ５ではステップＳＴ４の結果に基づいてハブ２０と磁気ディスク５の偏心ベクトルを計算する。
【００４５】
次に図３のステップＳＴ６では計算された磁気ディスク５とハブ２０の偏心量が許容範囲であるかどうかを判定し、許容範囲に収まっていない場合はステップＳＴ７へ収まっていればステップＳＴ８に進む。
【００４６】
図３のステップＳＴ７では、ディスク位置決め装置２８は画像入力処理装置２５から送られる偏心ベクトルのデータに基づき、３組の位置決めスライダー２７ａ、２７ｂ、２７ｃを駆動し３組の位置決めピン２６ａ、２６ｂ、２６ｃの押し出し量を変更して、磁気ディスク５の位置を調節する。図１（ｂ）は磁気ディスク５の位置が調整され、ハブ２０に対する磁気ディスク５の偏心が除去された状態を示す。
【００４７】
図３のステップＳＴ８では３組の位置決めピン２６ａ、２６ｂ、２６ｃが磁気ディスク５を把持している状態でクランプ２１をハブ２０に装着し、クランプネジ２２でクランプをハブに固定する。磁気ディスク５はクランプ２１に押さえつけられてハブ２０に固定される。
【００４８】
図３のステップＳＴ９では３組の位置決めピン２６ａ、２６ｂ、２６ｃを磁気ディスク５から後退させ、磁気ディスク５を拘束状態から解放する。
【００４９】
以上説明したように本発明の実施の形態においては、ディスクドライブ１８のハブ２０と磁気ディスク５に設けられた４つのマーカー１７ａ、１７ｂ、１７ｃ，１７ｄを光学的に検出することにより、ハブ２０と磁気ディスク５の偏心ベクトルを検出し、その結果に基づいて３組の位置決めピン２６ａ、２６ｂ、２６ｃで磁気ディスク５の位置を調節し、ハブ２０と磁気ディスク５の偏心を除去することができる。
【００５０】
次に、図３のステップＳＴ３とステップＳＴ４、およびステップＳＴ５について詳しく説明する。
【００５１】
図４は画像入力処理装置２５で行なわれる画像処理の過程を説明する図である。図４（ａ）はカメラ２３から取得される入力画像２９である。図２からわかるようにハブ２０の近傍を照明するために配置されたランプ２４から照射される光線はカメラ２３の光軸に対して傾いている。最近の磁気ディスク５の表面粗さは０．１ｎｍから数ｎｍ程度と非常に平滑なため、ランプ２３から磁気ディスク５の表面に照射された光はほとんど全反射されカメラ２３に入らない。しかしながら、磁気ディスク５の表面を凹ませて形成された４つのマーカー１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄや、ハブ２０の表面では光が乱反射されるのでその一部がカメラ２３に入射する。図４（ａ）において中央の大きな白丸がハブ２０の画像であり、その周囲にある小さい輝点が４つのマーカー１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄの画像である。なお、入力画像２９の周辺部に映っているのはランプの像である。
【００５２】
次に画像入力処理装置２８は入力画像を２値化する。図４（ｂ）は前記入力画像２９を所定の輝度しきい値を設定して２値化した２値化画像３０を示す。ここでは、不要なランプの画像をマスクをかけて取り除いている。
【００５３】
次に画像入力処理装置２８は２値化画像をもとに４つのマーカー１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄおよび、ハブ２０の領域を検出する。図４（ｃ）はそれらの検出領域を画像として示した領域検出画像３１である。４つのマーカー１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄに対応する４つのマーカー領域３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄとハブ２０に対応する領域３３が検出されていることがわかる。
【００５４】
最後に画像入力処理装置２８は上記５つの検出領域の中心座標を求め、４つのマーカー領域３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄの中心座標の平均座標とハブ領域の中心座標から偏心ベクトルを算出する。
【００５５】
以上説明したように本実施の形態によれば、磁気ディスク５とハブ２０の偏心を光学的に正確に検出することができる。
【００５６】
つぎに本実施の形態における磁気ディスクにマーカーを形成する工程を図５から図８を用いて説明する。
【００５７】
図５は本実施の形態に用いるマスターディスクの斜視図である。１３はマスターディスク１の中央に設けられた凹部でその深さは溝部３と同一である。１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは凹部１３の中に配置された４つの凸部であり、その高さはランド部２と等しい。ランド部２の詳細構造は図１０に示した従来のマスターディスクと等しい。
【００５８】
図６はマスターディスク１の平面図であり、磁気転写を行う際にマスターディスク１と磁気ディスク５をどのような位置関係で重ね合わせるかを示すために磁気ディスク５を点線で表示している。４つの凸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ，１４ｄは図１０に示した磁性薄膜４の配列パターンの中心に対して一定の距離Ｒｔで、９０度等角度に配列されている。さらに前記半径Ｒｔは磁気ディスク５の中心穴８の半径より大きく、サーボ情報が書き込まれる領域の半径よりは小さいことが重要である。このようなsマスターディスク１と磁気ディスク５を図６に示すような位置関係で重ね合わせ、図１１に示した工程で磁気転写を行なう。このとき磁気ディスク５にはマスターディスク１の磁性薄膜４の配列に対応したサーボ情報信号が磁気転写されると同時に、マスターディスク１の４つの凸部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ，１４ｄが接触した領域に凹みが形成される。すなわち同一のマスターディスク１を使用する限り、磁気ディスク５の表面に形成される磁気的なサーボ情報信号と４つの凹みによるマーカーは常に一定の位置関係を維持する。
【００５９】
次に、本実施の形態において、磁気ディスクにマーカーとなる凹みが形成される過程を説明する。
【００６０】
図７は前記凹みの形成過程を説明する図であり、マスターディスク１のひとつの凸部例えば１４ａの領域を拡大した断面図である。まずマスターディスク１と磁気ディスク５は図７（ａ）に示したように対向してセットされる。次には図７（ｂ）で示すようにマスターディスク１と磁気ディスク５は大気圧によって密着される。このとき図７（ｃ）に示すように凹部１３の領域ではマスターディスク１の基体が凹部１３に落ち込むように変形しようとする。そして凹部１３の領域にかかる大気圧のほとんどが凹部１３の中心にある凸部１４の先端部にかかる。凸部１４の先端の面積は非常に小さいので凸部１４の先端とダミーディスク５との接触応力は非常に大きくなる。前記接触応力がダミーディスク５の基体の弾性変形限界を超えると永久ひずみが残り、図７（ｄ）に示すようにダミーディスク５の表面に凹み１５が形成される。
【００６１】
図８は、一つのマーカーとなる凹み１５の顕微鏡観察画像である。
【００６２】
以上説明したように、本実施の形態では、同一のマスターディスクを用いて磁気転写とマーカーの形成を同時に行なう。その結果、磁気ディスクに記録されるサーボ情報信号の記録位置とマーカーの位置は常に一定の関係が維持される。
【００６３】
なお、本実施の形態では磁気ディスクに形成するマーカーの数を４つとしたが、２つ以上であればいくつでもよい。ただ、８個以上になるとマスターディスクの凸部と磁気ディスクの接触応力が減少するので凹みの形成が困難になるので好ましくない。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明によれば、プリフォーマットされた磁気ディスクをディスクドライブに組み込む場合のサーボ信号と回転中心の偏心が除去できるので、特に高密度のディスク状情報担体用いる大容量ハードディスクドライブを効率良く量産することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明によるディスクドライブ組み立て工程を示す平面図
【図２】本発明によるディスクドライブ組み立て工程を示す正面図
【図３】本発明によるディスクドライブ組み立て工程を示すフローチャート
【図４】本発明によるディスクドライブ組み立て工程における画像処理の過程を示す図
【図５】本発明によるディスクドライブ組み立て工程におけるマスターディスクの斜視図
【図６】本発明によるディスクドライブ組み立て工程におけるマスターディスクの正面図
【図７】本発明によるディスクドライブ組み立て工程におけるマーカーの形成過程を説明する図
【図８】本発明によるディスクドライブ組み立て工程における凹みの顕微鏡観察図
【図９】従来のディスクドライブ組み立て工程におけるマスターディスクの斜視図
【図１０】マスターディスクの構造を模式的に説明する部分断面図
【図１１】磁気転写の過程説明する断面図
【図１２】従来のディスクドライブ組み立て工程を示す平面図
【符号の説明】
【００６６】
１    マスターディスク
２    ランド部
３    溝部
４    強磁性薄膜
５    磁気ディスク
６    マスター保持パッド
７    ディスクスタンド
８    中心孔
９    通気孔
１０    三方弁
１１    吸引ポンプ
１２    給気ポンプ
１３    凹部
１４ａ    凸部
１４ｂ    凸部
１４ｃ    凸部
１４ｄ    凸部
１５    凹み
１６    マグネット
１７ａ    マーカー
１７ｂ    マーカー
１７ｃ    マーカー
１７ｄ    マーカー
１８    ディスクドライブ
１９    ヘッドアーム
２０    ハブ
２１    クランプ
２２    クランプネジ
２３    カメラ
２４    ランプ
２５    画像入力処理装置
２６ａ    位置決めピン
２６ｂ    位置決めピン
２６ｃ    位置決めピン
２７ａ    位置決めスライダー
２７ｂ    位置決めスライダー
２７ｃ    位置決めスライダー
２８    ディスク位置決め装置
２９    入力画像
３０    ２値化画像
３１    領域検出画像
３２ａ    マーカー領域
３２ｂ    マーカー領域
３２ｃ    マーカー領域
３２ｄ    マーカー領域
【図１】
2006127563.tif 000003
【図２】
2006127563.tif 000004
【図３】
2006127563.tif 000005
【図４】
2006127563.tif 000006
【図５】
2006127563.tif 000007
【図６】
2006127563.tif 000008
【図７】
2006127563.tif 000009
【図８】
2006127563.tif 000010
【図９】
2006127563.tif 000011
【図１０】
2006127563.tif 000012
【図１１】
2006127563.tif 000013
【図１２】
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