(57)【要約】【課題】  容易に、かつ安価に製造することができ、申し分のない開閉動作を行うことができるマイクロバルブを有するマイクロ化学チップを提供する。【解決手段】  第１の基板と、該第１の基板の一方の面側に接着される第２の基板とからなり、前記第１の基板又は第２の基板の少なくも何れか一方にマイクロチャネルが形成されているマイクロ化学チップにおいて、  前記第１の基板は、前記マイクロチャネルに連通する、上部が大気に開口した吐出室を有し、  前記第１の基板上面には、型枠と弁膜とからなるマイクロバルブが配設されており、  前記弁膜は前記吐出室を覆うように前記第１の基板上面に配設されており、  前記型枠は前記弁膜の外周縁に該弁膜と一体化されて配設されており、  前記弁膜は、前記吐出室の位置に対応する以外の位置に貫通孔を有し、  前記貫通孔の下部は前記第１の基板面により遮蔽されていて、貫通孔の上部には送入チューブが固着されていることを特徴とするマイクロ化学チップ。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と、該第１の基板の一方の面側に接着される第２の基板とからなり、前記第１の基板又は第２の基板の少なくも何れか一方にマイクロチャネルが形成されているマイクロ化学チップにおいて、
前記第１の基板は、前記マイクロチャネルに連通する、上部が大気に開口した吐出室を有し、
前記第１の基板上面には、型枠と弁膜とからなるマイクロバルブが配設されており、
前記弁膜は前記吐出室を覆うように前記第１の基板上面に配設されており、
前記型枠は前記弁膜の外周縁に該弁膜と一体化されて配設されており、
前記弁膜は、前記吐出室の位置に対応する以外の位置に貫通孔を有し、
前記貫通孔の下部は前記第１の基板面により遮蔽されていて、貫通孔の上部には送入チューブが固着されていることを特徴とするマイクロ化学チップ。
【請求項２】
前記第１の基板がポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）又はガラスから形成されており、前記型枠及び弁膜がＰＤＭＳから形成されており、前記型枠が第１の基板と恒久接着しており、前記弁膜が前記第１の基板と自己吸着していることを特徴とする請求項１記載のマイクロ化学チップ。
【請求項３】
前記弁膜は均一な厚さを有し、かつ、前記吐出室部分及び前記貫通孔配設部分以外の箇所に少なくとも１個の空気抜き穴が配設されていることを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロ化学チップ。
【請求項４】
前記弁膜は厚さの厚い部分と厚さの薄い部分に２分されており、前記貫通孔及び送入チューブは前記厚さの厚い部分に配設され、前記吐出室は前記厚さの薄い部分により覆われており、前記厚さの薄い部分の前記吐出室部分以外の箇所に少なくとも１個の空気抜き穴が配設されているいることを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロ化学チップ。
【請求項５】
前記マイクロバルブを２個以上有することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のマイクロ化学チップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマイクロバルブに関する。更に詳細には、本発明は、マイクロ流体デバイス内で流体制御素子として使用可能なマイクロバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は遺伝子解析などの化学／生化学分析などに広く使用されるマイクロ流体デバイスに関する。更に詳細には、本発明はマイクロ流体デバイスの基板内に形成された微細流路（マイクロチャネル）や反応容器内における流体の移送を制御するための逆止弁及び／又は開閉弁として機能するマイクロバルブに関する。
【０００３】
最近、マイクロスケール・トータル・アナリシス・システムズ（μＴＡＳ）又はラブ・オン・チップ(Lab-on-Chip)などの名称で知られるように、基板内にマイクロチャネルや反応容器及びポートなどの微細構造を設け、該微細構造内で物質の化学反応、合成、精製、抽出、生成及び／又は分析など各種の操作を行うように構成されたマイクロデバイスが提案され、一部実用化されている。このような目的のために製作された、基板内にマイクロチャネル、ポート及び反応容器などの微細構造を有する構造物は総称して「マイクロ流体デバイス」又は「マイクロチップ」と呼ばれる。マイクロ流体デバイスは遺伝子解析、臨床診断、薬物スクリーニングなどの化学、生化学、薬学、医学、獣医学分野のみならず、化学工業、環境計測などの幅広い用途に使用できる。常用サイズの同種の装置に比べて、マイクロ流体デバイスは(1)サンプル及び試薬の使用量が著しく少ない、(2)分析時間が短い、(3)感度が高い、(4)現場に携帯し、その場で分析できる、及び(5)使い捨てできるなどの利点を有する。
【０００４】
従来のマイクロ流体デバイス１００は、例えば、図７Ａ及びＢに示されるように、第１の基板１０１に少なくとも１本の微細流路（マイクロチャネル）１０２が形成されており、このマイクロチャネル１０２の少なくとも一端には入出力ポート１０３，１０４が形成されており、基板１０１の下面側に対面基板１０５が接着されている。この対面基板１０５の存在により、ポート１０３，１０４及びマイクロチャネル１０２の底部が封止される。入出力ポート１０３，１０４の主な用途は、(a)試薬や検体サンプルの注入（分注）、(b)廃液や生成物の取り出し、(c)気体圧力の供給（主に、送液のための正圧や負圧の印加）、(d)大気開放（送液時に発生する内圧の分散や、反応で生じたガスの解放）及び(e)密閉（液体の蒸発防止や故意に内圧を発生させる目的のため）などである。
【０００５】
このようなマイクロ流体デバイスには連続的な流体（例えば、液体又は気体）の流れや、微小液滴の移送を制御する目的で、マイクロチャネルの途中にマイクロバルブが配設されることがある。このようなマイクロバルブは例えば、特許文献１、特許文献２及び特許文献３に記載されている。
【０００６】
特許文献１の図１に記載されているマイクロバルブは、太い第１の導管と、この第１の導管より細径に形成されると共に、一方の端部が第１の導管と連通するように連接された複数本の細管と、この細管より大径に形成されると共に、細管の他方の端部と連通するように連接された第２の導管を有し、細管の内壁面は疎水性に形成されていることからなる。このマイクロバルブによれば、第１の導管内に液体を導入した際に、この液体を境界とした第１の導管側の圧力と第２の導管側の圧力との圧力差に応じて第１の導管内の液体に位置を任意に制御することができる。しかし、特許文献１のマイクロバルブでは、複数本の細管を形成するのが非常に困難であるばかりか、圧力差が大きすぎると細管が破損される危険性がある。また、この細管部分だけを特異的に疎水性にする処理も非常に困難である。更に、特許文献１のマイクロバルブの細管は、逆止弁としての機能は発揮できず、しかもポンプを使用しなければ圧力差を発生させることができない。
【０００７】
特許文献２の図３に記載されているマイクロバルブは、２つのポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）マイクロ流路チップと１枚のメンブレンからなり、バルブ領域において変位するメンブレンが弁座に離着して作動流体通路を開閉する弁機構を有する。更に、このマイクロバルブでは、バルブ領域において駆動流体の圧力が作用する圧力室を有する駆動流体通路が前記メンブレンに接着して形成されており、圧力室に駆動流体の圧力を給排することによってメンブレンを変位させて弁座と離着させて一方弁として開閉するように構成されている。しかし、特許文献２に記載されているマイクロバルブは、弁座に離着するメンブランが圧力室に向かって片方向に変位するだけなので、バルブ開時のメンブランと弁座との隙間が不十分であり、流体の流動性が低く脈流が発生する原因となっていた。また、駆動流体の圧力はガラスパイプを介して真空ポンプから供給されるので、装置全体が複雑かつ高価となる。
【０００８】
特許文献３の図１には、構成要素として含む２つの部材の少なくとも一方が、少なくとも部材の一方の表面に達し、かつ、流体の流路をなす欠損部を有し、両部材が欠損部形成面を接触面として接着され、かつ、前記部材の一方の非欠損部の一部に対して前記部材の他方が非接着部とされ、常態において、前記非接着部が前記非欠損部の一部に当接して前記流路を遮断し、前記非接着部を変形させたときに、該流路が導通する構成とされているマイクロ流体デバイスが図示されている。しかし、このような、非接着部が非欠損部の一部に当接して流路を遮断する構造のバルブは、２つの平板部材の“貼り合わせ”の行為を行うため、非接着部と非欠損部との当接箇所では流体の流れを完全に遮断することが困難であった。特に、流体が気体の場合には、当接箇所の微小な隙間から漏出が発生してしまう。
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−２７８１３号公報
【特許文献２】特許第３４１８７２７号明細書
【特許文献３】特開２００３−１３９６６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従って、本発明の目的は、容易に、かつ安価に製造することができ、申し分のない開閉動作を行うことができるマイクロバルブを有するマイクロ化学チップを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するための手段として請求項１に係る発明は、第１の基板と、該第１の基板の一方の面側に接着される第２の基板とからなり、前記第１の基板又は第２の基板の少なくも何れか一方にマイクロチャネルが形成されているマイクロ化学チップにおいて、
前記第１の基板は、前記マイクロチャネルに連通する、上部が大気に開口した吐出室を有し、
前記第１の基板上面には、型枠と弁膜とからなるマイクロバルブが配設されており、
前記弁膜は前記吐出室を覆うように前記第１の基板上面に配設されており、
前記型枠は前記弁膜の外周縁に該弁膜と一体化されて配設されており、
前記弁膜は、前記吐出室の位置に対応する以外の位置に貫通孔を有し、
前記貫通孔の下部は前記第１の基板面により遮蔽されていて、貫通孔の上部には送入チューブが固着されていることを特徴とするマイクロ化学チップである。
【００１２】
このマイクロ化学チップによれば、第１の基板の吐出室とマイクロバルブの弁膜の送入チューブ固着貫通孔との位置が偏心されているため、この“ずれ”た第１の基板上面部分が弁座となり、弁膜のバルブ動作を可能にする。
【００１３】
前記課題を解決するための手段として請求項２に係る発明は、前記第１の基板がポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）又はガラスから形成されており、前記型枠及び弁膜がＰＤＭＳから形成されており、前記型枠が第１の基板と恒久接着しており、前記弁膜が前記第１の基板と自己吸着していることを特徴とする請求項１記載のマイクロ化学チップである。
【００１４】
このマイクロ化学チップによれば、マイクロバルブを構成する型枠が第１の基板と恒久接着し、弁膜が弁座となる第１の基板に自己吸着している。そのため、弁膜を第１の基板上に安定的に位置させることができるばかりか、送入チューブから圧力を印加することにより弁膜を第１の基板上面から剥離させたり、圧力印加を止めることにより元の自己吸着状態に戻したりすることができる。その結果、マイクロバルブとしてスムーズに動作させることができる。
【００１５】
前記課題を解決するための手段として請求項３に係る発明は、前記弁膜は均一な厚さを有し、かつ、前記吐出室部分及び前記貫通孔配設部分以外の箇所に少なくとも１個の空気抜き穴が配設されていることを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロ化学チップである。
【００１６】
このマイクロ化学チップによれば、弁膜が均一な厚さを有するので製造が容易である。また、貫通孔に固着された送入チューブ内に空気が残っている場合、液体を加圧送入すると、最初にチューブ内の空気が吐出室からマイクロチャネルに送り込まれ、気泡となって液体の流れを遮断する可能性がある。ところが、空気抜き穴が配設されていると、チューブ内に残留していた空気が加圧送入されても、空気抜き穴から外部に除去され、吐出室からマイクロチャネル内に気泡が進入することが阻止される。
【００１７】
前記課題を解決するための手段として請求項４に係る発明は、前記弁膜は厚さの厚い部分と厚さの薄い部分に２分されており、前記貫通孔及び送入チューブは前記厚さの厚い部分に配設され、前記吐出室は前記厚さの薄い部分により覆われており、前記厚さの薄い部分の前記吐出室部分以外の箇所に少なくとも１個の空気抜き穴が配設されているいることを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロ化学チップである。
【００１８】
このマイクロ化学チップによれば、加圧送入チューブを厚さの厚い部分の弁膜に安定的に固着させることができ、厚さの薄い部分の弁膜により弁開閉動作をスムーズに行わせることができる。また、貫通孔に固着された送入チューブ内に空気が残っている場合、液体を加圧送入すると、最初にチューブ内の空気が吐出室からマイクロチャネルに送り込まれ、気泡となって液体の流れを遮断する可能性がある。ところが、空気抜き穴が配設されていると、チューブ内に残留していた空気が加圧送入されても、空気抜き穴から外部に除去され、吐出室からマイクロチャネル内に気泡が進入することが阻止される。
【００１９】
前記課題を解決するための手段として請求項５に係る発明は、前記マイクロバルブを２個以上有することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のマイクロ化学チップである。
【００２０】
このマイクロ化学チップによれば、複数個のマイクロバルブを共通のマイクロチャネルで相互に連通させることにより、送入試料を分配したり、混合したり、或いは秤量したりすることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のマイクロ化学チップでは、従来のような微細なマイクロチャネル内に配設されるマイクロバルブ機構に比べて、第１の基板上面に配設されるばかりか、マイクロバルブ自体も型枠と弁膜から構成され極めて構造が平易であり、製造が容易であるばかりか、コスト的にも安価である。更に、本発明のマイクロ化学チップでは、第１の基板上にマイクロバルブを配設するので、マイクロチャネル内に送入された液体又は気体などが供給源側に逆流することはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら本発明のマイクロバルブを集積化したマイクロ化学チップについて具体的に説明する。図１は本発明のマイクロバルブを集積化したマイクロ化学チップの一例の概要平面図である。図２は図１におけるII-II線に沿った断面図である。本発明のマイクロ化学チップ１は、第１の基板３とこの第１の基板３の下面側に接着される、第２の基板５とからなる。第１の基板３の上面にマイクロバルブ２０が接着されている。第１の基板３には、液体又は気体の出口となるべきポート９と、このポート９と吐出室１９を連通させるマイクロチャネル１５が配設されている。マイクロバルブ２０は、前記吐出室１９を遮蔽する弁膜２１と、この弁膜２１の外周を囲う型枠２３を有する。弁膜２１の前記吐出室１９に対応する位置と異なる位置に、気体又は液体を送るための送入チューブ７が接着剤１１などで固着されている。従って、送入チューブ７と吐出室１９との間の第１の基板３部分が弁座１７となる。図２ではマイクロチャネル１５が第１の基板３側に形成されているが、第２の基板５側に形成することもできる。
【００２３】
本発明のマイクロバルブ２０はポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）などのシリコーン樹脂から形成されており、型枠２３が第１の基板３と恒久接着しており、弁膜２１が第１の基板３と自己吸着していることが特徴である。恒久接着部分は強力な外力を受けても第１の基板３から剥離することはなく、剥離する前に裂けたりして破壊されてしまう。これに対して、自己吸着部分は外力を受けると第１の基板から剥離することができ、外力を除くと元通りに第１の基板に自己吸着する。従って、自己吸着部分に外力を加えたり除いたりすれば、弁膜２１をバルブのように開いたり閉じたりさせることができる。
【００２４】
図３は図２に示されたマイクロバルブ２０の動作を示す概要断面図である。送入チューブ７から液体又は気体を高圧で送入すると、自己吸着している弁膜２１が第１の基板３から剥離されて浮き上がり、その結果、弁膜２１と第１の基板３との間に隙間２７が発生し、この隙間２７を通して気体又は液体が吐出室１９に吐き出され、最終的にマイクロチャネル１５を経由して出口ポート９からチップ１の外部に取り出される。ＰＤＭＳ製の型枠２３が下部の第１の基板３と恒久接着しているので、型枠２３と一体成型された弁膜２１は、ずれたりすることなくスムーズに伸縮動作することができる。
【００２５】
第１の基板３の形成材料はＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）などのシリコーン樹脂又はガラス（例えば、石英ガラス）からなり、第２の基板５の形成材料はガラス（例えば、石英ガラス）又はシリコンからなることが好ましい。第１の基板３の形成材料がＰＤＭＳ又はガラスであれば、ＰＤＭＳ製のマイクロバルブ２０は第１の基板３に対して、型枠２３を恒久接着させ、弁膜２１を自己吸着させることができる。第１の基板３及び第２の基板５がガラス同士の場合、フッ化水素接合させることにより基板同士を恒久接着させることができ、第１の基板３がガラスで、第２の基板５がシリコンの場合、陽極接合させることにより基板同士を恒久接着させることができ、第１の基板３がＰＤＭＳであり、第２の基板がＰＤＭＳ又はガラスの場合、接着面をＯ２プラズマ処理することにより基板同士を恒久接着させることができる。
【００２６】
図４は本発明のマイクロバルブの別の概要断面図である。図５は図４におけるＶ−Ｖ線に沿った断面図である。図４及び図５に示される本発明のマイクロ化学チップ１Ａでは、マイクロバルブ２０Ａは、第１の基板３に恒久接着している型枠２３と、この型枠２３の内側に配置された弁膜２１Ａを有する。図１及び図２に示されたマイクロバルブ２０の弁膜２１と異なり、弁膜２１Ａは厚さの厚い部分３０と厚さの薄い部分３２とから構成されている。厚さの厚い部分３０には気体又は液体を送るための送入チューブ７が接着剤１１などで固着されている。厚さの薄い部分３２は吐出室１９を覆うように配置されている。厚さの薄い部分３２には空気抜き穴３４が開設されている。空気抜き穴３４は複数個設けることもできる。空気抜き穴３４は図１〜図３に示される均一な厚さを有する弁膜２１にも配設することができる。弁膜２１に空気抜き穴を配設する場合、その位置は吐出室部分及び前記貫通孔配設部分以外の箇所であることが好ましい。
【００２７】
図６は図５に示されたマイクロバルブ２０Ａの動作を示す概要断面図である。送入チューブ７から液体又は気体を高圧で送入すると、自己吸着している弁膜２１Ａが第１の基板３から剥離されて浮き上がり、その結果、弁膜２１Ａと第１の基板３との間に隙間２７が発生し、この隙間２７を通して気体又は液体が吐出室１９に吐き出され、最終的にマイクロチャネル１５を経由して出口ポート９からチップ１の外部に取り出される。送入チューブ７内に空気が残っている場合、液体を加圧送入すると、最初にチューブ内の空気が吐出室１９からマイクロチャネル１５に送り込まれ、気泡となって液体の流れを遮断する可能性がある。ところが、空気抜き穴３４が配設されていると、チューブ内に残留していた空気が加圧送入されても、空気抜き穴３４から外部に除去され、吐出室１９からマイクロチャネル１５内に進入することが阻止される。
【００２８】
図７は図１及び図２に示される本発明のマイクロ化学チップ１の製造方法の一例を説明する工程図である。ステップ（Ａ）において、第１の基板３と第２の基板５とを予め接合させた接合体の第１の基板３の上面の弁膜積層位置をマスク４０で遮蔽しながらエキシマＵＶ光で表面改質処理すると共に、マイクロバルブの型枠２３の接着面をエキシマＵＶ光などで表面処理する。ステップ（Ｂ）において、表面改質処理された型枠２３の処理面側を、表面改質処理された第１の基板３の処理面側に載置し、型枠２３を第１の基板３に恒久接着させる。ステップ（Ｃ）において、型枠２３の内側に弁膜２１を載置し、自己吸着させる。ステップ（Ｄ）において、型枠２３と弁膜２１との隙間にＰＤＭＳプレポリマー混合液４７を注入器４９で注入し、注入後、オーブン中で６５℃で４時間加熱するか若しくは１００℃で１時間加熱して硬化させ、型枠２３と弁膜２１とを完全に一体化させる。その後、ステップ（Ｅ）において、弁膜２１の開口部に送入チューブ７を接着剤１１で固着し、マイクロ化学チップ１を完成させる。
【００２９】
図８は本発明のマイクロ化学チップ１Ａの製造方法の一例を説明する工程図である。図７におけるステップ（Ａ）〜（Ｃ）と同様な処理により、第１の基板３の上面に、型枠を恒久接着させ、弁膜２１Ａを自己吸着させる（ステップＩ）。ステップ（ＩＩ）において、弁膜２１Ａの厚さの薄い部分３２と厚さの厚い部分３０との高さを一致させるためのマスク５１を、厚さの薄い部分３２の上面に自己吸着させる。マスク５１は例えば、ガラスなどで形成することができる。ステップ（ＩＩＩ）において、型枠２３と弁膜２１Ａとの隙間にＰＤＭＳプレポリマー混合液４７を注入器４９で注入し、注入後、オーブン中で６５℃で４時間加熱するか若しくは１００℃で１時間加熱して硬化させ、型枠２３と弁膜２１Ａとを完全に一体化させる。その後、ステップ（ＩＶ）において、マスク５１を取り除き、弁膜２１Ａの厚さの厚い部分３０の開口部に送入チューブ７を接着剤１１で固着し、マイクロ化学チップ１Ａを完成させる。
【００３０】
図９は本発明のマイクロバルブを複数個配設したマイクロ化学チップ１Ｂの一例の概要平面図である。マイクロ化学チップ１Ｂの第１の基板３の上面には３個のマイクロバルブ２０−１、２０−２及び２０−３が配設されている。このマイクロ化学チップ１Ｂで２種類の液体試料を混合使用とする場合、先ず、マイクロバルブ２０−１を閉じた状態に維持しながら、マイクロバルブ２０−２で第１の液体試料を吐出室１９−２に送出し、同時に、マイクロバルブ２０−３で第２の液体試料を吐出室１９−３に送出しておく。次いで、マイクロバルブ２０−１から気体（例えば、空気）を加圧してマイクロチャネル１５に送入すると、吐出室１９−２内の第１の液体試料と吐出室１９−３内の第２の液体試料は混合状態で出口ポート９に送り出される。
マイクロバルブ２０−１、２０−２及び２０−３をそれぞれ開状態又は閉状態で様々に組み合わせて動作させることにより逆止弁機能や秤量機能などの各種の操作を実施することができる。
【００３１】
マイクロチャネル１５の幅及び高さは数百ミクロン程度であり、ポート９の内径は数ミリ程度である。吐出室１９の容積は用途や使用目的に応じて適宜決定することができる。弁膜２１の厚さは数十ミクロン〜数十ミリ程度であることが好ましい。弁膜２１が薄いとバルブ動作はスムーズになるが、薄すぎると簡単に破けてしまい、一方、厚すぎると柔軟性に欠け、バルブ動作をスムーズに行うことが困難となる。弁膜２１が図４及び図５に示されるような厚さの異なる膜である場合、厚さの厚い部分３０の厚さ対厚さの薄い部分３２の厚さの比率が４：１程度であることが好ましい。型枠２３の幅及び高さは数ミリ〜数十ミリ程度であることが好ましい。型枠２３が十分な幅及び高さを有しないと弁膜２１を保護することが困難となる。
【実施例１】
【００３２】
（１）第１の基板の製造
先ず、４インチウエハ基板を準備した。プロセスの信頼性を得るために、レジストを使用する前にウエハ基板を洗浄・乾燥する必要があり、本実施例では、ピラニア・エッチング／クリーン（Ｈ２ＳＯ４およびＨ２Ｏ２）処理後、蒸留水でリンスした。その後、シリコンの表面酸化膜を除去するため、ＢＨＦ（バッファード弗酸）に１５分間浸し、蒸留水でリンスした。その後、表面の脱水のため、対流式のオーブン中で６０℃、３０分間程度ベークした。この表面処理済ウエハ上にＳＵ−８ネガティブフォトレジストを１０００ｒｐｍの回転速度で約２５秒間塗布し、溶媒を蒸発させ、膜を高密度化するためにソフトベークを６５℃で３０分間（ＳＴＥＰ１）、９５℃で９０分間（ＳＴＥＰ２）処理した。クーリング後、このレジスト膜上に、所定のパターンを有するマスクを被せ、露光装置（ユニオン光学製  ＰＥＭ−８００）で密着露光した。その後、レジスト膜の露光された部分の架橋を行うため６５℃で１５分間（ＳＴＥＰ１）、９５℃で２５分間（ＳＴＥＰ２）加温し、クーリング後、１−メトキシ−２−プロピル酢酸現像液で現像し、現像後、基板は短時間イソプロピルアルコール(IPA)でリンスした。その後、６５℃で３０分間乾燥後、１５０℃で５分間かけてハードベークし、マスターを完成させた。
このマスターの表面をフルオロカーボン（ＣＨＦ３）の存在下で反応性イオンエッチングシステムにより処理し、表面にＣＨＦ３剥離膜を形成した。マスターの剥離膜形成面上に、ＰＤＭＳプレポリマー混合液として、米国のダウ・コーニング社製のSYLGARD 184 SILICONE ELASTOMERを流し込み、脱気、加温（６５℃、４時間）した。４時間経過後、オーブンから取り出し、図２に示されるようなＰＤＭＳ製の第１の基板３をマスターから剥離した。得られた第１の基板３の厚さは２ｍｍであり、ポート９の内径は何れも２ｍｍであり、マイクロチャネル１５の幅は２００μｍ、高さは２００μｍ、長さは３０ｍｍであり、吐出室１９は内径２ｍｍの円柱状であった。
（２）型枠及び弁膜の製造
先ず、４インチウエハ基板を準備した。プロセスの信頼性を得るために、レジストを使用する前にウエハ基板を洗浄・乾燥する必要があり、本実施例では、ピラニア・エッチング／クリーン（Ｈ２ＳＯ４およびＨ２Ｏ２）処理後、蒸留水でリンスした。その後、シリコンの表面酸化膜を除去するため、ＢＨＦ（バッファード弗酸）に１５分間浸し、蒸留水でリンスした。その後、表面の脱水のため、対流式のオーブン中で６０℃、３０分間程度ベークした。この表面処理済ウエハ上にＳＵ−８ネガティブフォトレジストを１０００ｒｐｍの回転速度で約２５秒間塗布し、溶媒を蒸発させ、膜を高密度化するためにソフトベークを６５℃で３０分間（ＳＴＥＰ１）、９５℃で９０分間（ＳＴＥＰ２）処理した。クーリング後、このレジスト膜上に、所定のパターンを有するマスクを被せ、露光装置（ユニオン光学製  ＰＥＭ−８００）で密着露光した。その後、レジスト膜の露光された部分の架橋を行うため６５℃で１５分間（ＳＴＥＰ１）、９５℃で２５分間（ＳＴＥＰ２）加温し、クーリング後、１−メトキシ−２−プロピル酢酸現像液で現像し、現像後、基板は短時間イソプロピルアルコール(IPA)でリンスした。その後、６５℃で３０分間乾燥後、１５０℃で５分間かけてハードベークし、マスターを完成させた。
このマスターの表面をフルオロカーボン（ＣＨＦ３）の存在下で反応性イオンエッチングシステムにより処理し、表面にＣＨＦ３剥離膜を形成した。マスターの剥離膜形成面上に、ＰＤＭＳプレポリマー混合液として、米国のダウ・コーニング社製のSYLGARD 184 SILICONE ELASTOMERを流し込み、脱気、加温（６５℃、４時間）した。４時間経過後、オーブンから取り出し、型枠２３及び弁膜２１をマスターから剥離した。型枠２３の幅は２ｍｍ、高さは４ｍｍ、枠の内側の横は３４ｍｍ、縦は２４ｍｍであった。弁膜２１の高さは４ｍｍ、横３０ｍｍ、縦２０ｍｍであった。弁膜２１の所定箇所に内径２ｍｍの穴を機械的に穿設した。
（３）マイクロ化学チップの製造
前記第１の基板３よりも若干大きいサイズのガラス板を準備した。ガラス板の接着面をエチルアルコールで洗浄し、蒸留水でリンスした。その後、エキシマＵＶ光を照射し、ガラス板接着面の表面酸化物を除去した。このガラス板に前記ＰＤＭＳ製の第１の基板を恒久接着させた。ＰＤＭＳ製の第１の基板にマスクを被せてエキシマＵＶ光を照射して所定箇所を表面改質処理し、同時に、型枠の接着面をエキシマＵＶ光を照射して表面改質処理した。次いで、第１の基板の上面の所定箇所に型枠を載置し、恒久接着させ、次いで、型枠２３の内側に弁膜２１を配置し、第１の基板に自己吸着させた。型枠２３と弁膜２１との隙間に、ＰＤＭＳプレポリマー混合液として、米国のダウ・コーニング社製のSYLGARD 184 SILICONE ELASTOMERを流し込み、脱気、加温（６５℃、４時間）した。４時間経過後、オーブンから取り出し、型枠２３及び弁膜２１を一体化させた。弁膜２１の穴に外径２ｍｍのテフロン製送入チューブ７を、接着剤セメダインＰＰＸ（セメダイン（株）製）で固着させた。
（４）送液テスト
送入チューブ７から赤色に着色された水を圧力５０ｋＰａで送入したところ、弁膜２１が膨隆して赤色水が吐出室１９からマイクロチャネル１５を経てポート９に出てくるのが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明のマイクロバルブはマイクロ化学チップに限らず、その他のマイクロ流体デバイスにおける流体制御素子としても利用することができる。
本発明のマイクロバルブを有するマイクロ化学チップは、液体の他に、気体、懸濁液、分散液、微粒子粉体なども移動物体として移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明のマイクロバルブを有するマイクロ化学チップの一例の概要平面図である。
【図２】図１におけるII-II線に沿った断面図である。
【図３】図２におけるマイクロバルブの動作を説明する概念図である。
【図４】本発明のマイクロバルブを有するマイクロ化学チップの別の例の概要平面図である。
【図５】図４におけるV-V線に沿った断面図である。
【図６】図５におけるマイクロバルブの動作を説明する概念図である。
【図７】本発明のマイクロ化学チップの製造方法の一例を説明する工程図である。
【図８】本発明のマイクロ化学チップの製造方法の別の例を説明する工程図である。
【図９】本発明のマイクロバルブを複数個有するマイクロ化学チップの一例の概要平面図である。
【図１０】従来のマイクロ化学チップの一例の部分概要斜視図である。
【符号の説明】
【００３５】
１，１Ａ，１Ｂ  本発明のマイクロ化学チップ
３  第１の基板
５  第２の基板
７  送入チューブ
９  出力ポート
１１  接着剤
１５  マイクロチャネル
１７  弁座
１９  吐出室
２０，２０Ａ  マイクロバルブ
２１，２１Ａ  弁膜
２３  型枠
２７  弁膜と弁座との間に生じる隙間
３０  弁膜の膜厚の厚い部分
３２  弁膜の膜厚の薄い部分
３４  空気抜き穴
４０  マスク
４７  ＰＤＭＳプレポリマー混合液
４９  注入器
５１  マスク
１００  従来のマイクロ化学チップ
１０１  シリコン基板
１０２  マイクロチャネル
１０３，１０４  入出力ポート
１０５  対面基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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