(57)【要約】【課題】  静電気対策を備えた状態で手軽に移動できるようにした可搬式の除塵作業装置を提供する。【解決手段】  ワークが載置されるワーク載置面１１を有する作業台１０を含み、ワークをワーク載置面１１上に載置して、所定の除塵具にてワークに付着しているゴミを除去する除塵作業装置において、作業台１０が持ち運び可能な可搬式であり、イオン化された空気イオンを生成するイオン生成手段４８と、空気イオンを空気流に載せて空気放出口２３よりワーク載置面１１に供給するイオン供給手段４５とを作業台１０の周辺に一体的に備えた構成とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが載置されるワーク載置面を有する作業台を含み、上記ワークを上記ワーク載置面上に載置して、所定の除塵具にて上記ワークに付着しているゴミを除去する除塵作業装置において、
上記作業台が持ち運び可能な可搬式であり、イオン化された空気イオンを生成するイオン生成手段と、上記空気イオンを空気流に載せて空気放出口より上記ワーク載置面に供給するイオン供給手段とを上記作業台の周辺に一体的に備えていることを特徴とする除塵作業装置。
【請求項２】
上記ワーク載置面に、導電性を有し所定の電気配線を介して接地に接続される作業マットを備えていることを特徴とする請求項１に記載の除塵作業装置。
【請求項３】
上記イオン供給手段の上記空気放出口が、上記ワーク載置面の所定の辺に沿って配置され、上記空気イオンが、上記空気放出口より上記ワーク載置面の面方向に沿って供給されることを特徴とする請求項１または２に記載の除塵作業装置。
【請求項４】
上記イオン供給手段の上記空気放出口が、上記ワーク載置面に穿設された透孔からなることを特徴とする請求項１または２に記載の除塵作業装置。
【請求項５】
上記ワーク載置面が透明材よりなり、上記作業台内には上記ワーク載置面に光を照射するバックライトが設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の除塵作業装置。
【請求項６】
上記イオン生成手段として、正および負の空気イオンを生成する交流式イオナイザが用いられることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の除塵作業装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板などのワーク表面に付着しているゴミを例えば除塵ローラ（粘着ローラ）により除去する際に用いられる除塵作業装置に関し、さらに詳しく言えば、ワークに帯電している静電気を除去し得る環境を備えた除塵作業装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一例として、銅張り積層板から所定の回路配線を有する回路基板を製造する場合、フォトレジストの塗布，マスクをかけての露光そして現像などの各工程が行われるが、これに先だって銅張り積層板に付着しているゴミをきれいに除去する必要がある。
【０００３】
この種の除塵作業を行う場合、ワーク（上記の例では、銅張り積層板）に静電気が帯電していると、ゴミが取りづらく、また、清掃した面にゴミが再付着することもある。この静電気による弊害を防止するため、種々の提案がなされている。
【０００４】
その一つに、特許文献１に記載されているように、作業者の足下や作業机に導電マットを敷いて、静電気の蓄積を防ぐ方法がある。また、別の方法として、特許文献２に記載のイオン生成装置（エアイオナイザ）を適用して、ワークをイオン化された空気に晒して静電気を中和させる方法もある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３５１７９４号公報
【特許文献２】特開２００３−２０３７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
作業場の場所が決められていて移動することがない環境下では、静電気対策として上記した導電マットやエアイオナイザなどを一旦セットすればそれで済むが、例えば工程などの都合上、作業場の移動させる機会が多い環境下では、その都度、静電気対策を行わなければならない。
【０００７】
特に、エアイオナイザを用いる場合には、その効果を安定して発揮させるには、ワークとの距離を一定に保ったり、正負のイオンバランスを調整する必要がある。また、イオン化された空気の風向きなども配慮しなければならない、といった不便さがある。
【０００８】
したがって、本発明の課題は、静電気対策を備えた状態で手軽に移動できるようにした可搬式の除塵作業装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、ワークが載置されるワーク載置面を有する作業台を含み、上記ワークを上記ワーク載置面上に載置して、所定の除塵具にて上記ワークに付着しているゴミを除去する除塵作業装置において、上記作業台が持ち運び可能な可搬式であり、イオン化された空気イオンを生成するイオン生成手段と、上記空気イオンを空気流に載せて空気放出口より上記ワーク載置面に供給するイオン供給手段とを上記作業台の周辺に一体的に備えていることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、上記請求項１において、上記ワーク載置面に、導電性を有し所定の電気配線を介して接地に接続される作業マットを備えていることを特徴としている。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、上記請求項１または２において、上記イオン供給手段の上記空気放出口が、上記ワーク載置面の所定の辺に沿って配置され、上記空気イオンが、上記空気放出口より上記ワーク載置面の面方向に沿って供給されることを特徴としている。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、上記請求項１または２において、上記イオン供給手段の上記空気放出口が、上記ワーク載置面に穿設された透孔からなることを特徴としている。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、上記請求項１ないし４のいずれか１項において、上記ワーク載置面が透明材よりなり、上記作業台内には上記ワーク載置面に光を照射するバックライトが設けられていることを特徴としている。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、上記請求項１ないし５のいずれか１項において、上記イオン生成手段として、正および負の空気イオンを生成する交流式イオナイザが用いられることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明によれば、作業台が持ち運び可能な可搬式であり、イオン化された空気イオンを生成するイオン生成手段と、その空気イオンを空気流に載せて空気放出口よりワーク載置面に供給するイオン供給手段とを作業台の周辺に一体的に備えた構成としたことにより、作業台を移動させるにあたって、その都度、静電気対策を講ずる必要がなくなり、常に最適環境下でワークの除塵作業を行うことができる。
【００１６】
ワーク載置面に導電性を有し所定の電気配線を介して接地に接続される作業マットを備えるようにした請求項２に記載の発明によれば、より効果的な静電気対策を講ずることができる。
【００１７】
イオン供給手段の空気放出口をワーク載置面の所定の辺に沿って配置し、空気イオンを空気放出口よりワーク載置面の面方向に沿って供給するようにした請求項３に記載の発明によれば、ワーク載置面からワークを剥離する際に発生する剥離帯電を効果的に抑制することができる。
【００１８】
イオン供給手段の空気放出口をワーク載置面に穿設された透孔とした請求項４に記載の発明によれば、請求項３と同じく、ワーク載置面からワークを剥離する際に発生する剥離帯電を効果的に抑制することができる。
【００１９】
ワーク載置面を透明材とし、作業台内にその透明なワーク載置面に光を照射するバックライトを設けるようにした請求項５に記載の発明によれば、ワークが例えば透明なフィルム材である場合に、その清掃状態を良好に視認することができる。
【００２０】
イオン生成手段として、正および負の空気イオンを生成する交流式イオナイザを用いるようにした請求項６に記載の発明によれば、ワークに帯電している静電気を確実に除電することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に、図１ないし図６を参照して、本発明のいくつかの実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図１は本発明の第１実施形態に係る除塵作業装置の外観を示す斜視図，図２はその分解斜視図である。なお、被除塵物であるワークは、例えば回路基板，ガラス基板，フィルム材などであるが、いずれの実施形態においても、ワークは図示を省略している。
【００２２】
図１に示すように、第１実施形態に係る除塵作業装置１Ａは、ワークが載置される作業台１０と、ワークに付着しているゴミを除去する除塵具の一例としての除塵ローラ３０とを備える。除塵ローラ３０は粘着ローラ３１を有し、粘着ローラ３１はグリップ３２が有するハンガーフレーム３３により回転可能に支持される。粘着ローラ３１は、粘着性を有するゴム弾性体もしくは粘着テープから構成されてよい。除塵ローラ３０に代えて、例えば布材やブラシなどが用いられてもよい。
【００２３】
図２を併せて参照して、作業台１０は、ワークが載置されるワーク載置面１１と、ワーク載置面１１に隣接して配置される内部筐体４０をカバーするカバーハウジング２０とを備える。作業台１０は、導電性を有していることが好ましい。また、この例において、ワーク載置面１１には導電性の作業マット１２が置かれる。
【００２４】
カバーハウジング２０も導電性を有していることが好ましく、カバーハウジング２０の上面には、除塵ローラ３０を置くための溝２１が形成される。また、カバーハウジング２０の上面には、先端に図示しない粘着性のゴム材を有する除塵用スティック３４を差して置くための支持孔２２が形成される。カバーハウジング２０の正面の下部には、ワーク載置面１１（作業マット１２）に向けて空気を吹き出す空気吹出口２３が形成される。
【００２５】
内部筐体４０は、ネジなどにより作業台１０上に固定される。内部筐体４０には、イオン発生用高圧電源部４１，電源基盤４２，電源スイッチ４３，送風ファン４５，送風ファン４５の風量切替スイッチ４４および電源ソケット４６などが取り付けられる。内部配線は図示が省略されているが、電源ソケット４６は電源基盤４２と接続され、電源基盤４２からイオン発生用高圧電源部４１と送風ファン４５とに電力が供給される。
【００２６】
また、内部筐体４０には、多数の針状電極４８ａを有するイオン発生用の放電電極部４８が空気吹出口２３と対向するように配置される。電源ソケット４６には、電源コード４７から商用電源が供給されるが、電源コード４７にはアース線付き電源コードが用いられ、作業台１０および作業マット１２は内部配線および電源ソケット４６を介して電源コード４７のアース線と接続される。
【００２７】
電源スイッチ４３をオンにすると、イオン発生用高圧電源部４１から放電電極部４８に電力が供給され、針状電極４８ａにて空気イオン（イオン化された空気）が生成されるとともに、送風ファン４５が起動し、空気吹出口２３から作業マット１２に向けて空気イオンが供給される。
【００２８】
これにより、作業マット１２上に置かれるワークが空気イオンに晒され、ワークに帯電している静電気が空気イオンによって中和され除電されることになる。この場合、作業マット１２とイオン生成部である放電電極部４８との距離が一定に保たれ、また、風量切替スイッチ４４により送風ファン４５の送風量が調節可能であるため、作業マット１２上のワークに対して的確に空気イオンを供給することができる。
【００２９】
したがって、除塵ローラ３０によりワークに付着しているゴミをきれいに除去することができ、また、除塵ローラ３０をワーク上で転がす際の剥離帯電やワークを作業マット１２上から剥離する際の剥離帯電を抑制することができる。
【００３０】
次に、図３および図４により、本発明の第２実施形態について説明する。図３は第２実施形態に係る除塵作業装置１Ｂの外観斜視図，図４はワーク載置面部分の断面図である。なお、第２実施形態において、上記第１実施形態と同じであってよい構成要素には、その参照符号をそのまま用いる。
【００３１】
この除塵作業装置１Ｂでは、送風ファンを備えず、外部から圧縮空気を得るようにしている。そのため、作業台１０には、図示しない適当なホースを介して圧縮空気供給源と接続される圧縮空気取り入れ口１３が設けられる。
【００３２】
また、送風ファンを備えないことから、作業台１０は全体がフラットな筐体として形成され、その内部には、上記第１実施形態の送風ファン４５を除いたイオン発生用高圧電源部４１，電源基盤４２，電源スイッチ４３，電源ソケット４６および放電電極部４８などが収納される。
【００３３】
また、この除塵作業装置１Ｂにおいては、ワーク載置面１１（作業マット１２）の部分が作業台１０の天板１０ａより１段低く配置され、その天板１０ａとワーク載置面１１との隙間を空気吹出口２３としている。
【００３４】
したがって、圧縮空気取り入れ口１３から作業台１０内に流入した圧縮空気は、上記放電電極部４８にてイオン化され、その空気イオンが空気吹出口２３からワーク載置面１１に供給される。この例において、空気吹出口２３はワーク載置面１１の４辺に沿って配置されるが、少なくとも１辺に配置されればよい。
【００３５】
また、この除塵作業装置１Ｂでは、ワーク載置面１１を透明材とするとともに、図２に示すように、作業台１０内にワーク載置面１１に向けて光を照射するバックライト光源４９を備える。これによれば、ワークが例えば透明なフィルム材やフレキシブル基板である場合に、その清掃状態を良好に視認することができる。
【００３６】
また、この除塵作業装置１Ｂでは、図３に示すように、除塵ローラ３０とは別の小型な除塵ローラ３５と、これら除塵ローラ３０，３５に付着したゴミを除去するための転写ローラ３６を備える。転写ローラ３６には、除塵ローラ３０，３５よりも強粘着のローラが用いられる。
【００３７】
次に、図５を参照して、本発明の第３実施形態について説明する。この第３実施形態に係る除塵作業装置１Ｃは、上記第２実施形態と同じく、送風ファンを備えず、外部から圧縮空気を得るようにしており、そのため、作業台１０には、図示しない適当なホースを介して圧縮空気供給源と接続される圧縮空気取り入れ口１３が設けられる。
【００３８】
また、送風ファンを備えないことから、作業台１０は全体がフラットな筐体として形成され、その内部には、上記第１実施形態の送風ファン４５を除いたイオン発生用高圧電源部４１，電源基盤４２，電源スイッチ４３，電源ソケット４６および放電電極部４８などが収納される。
【００３９】
この除塵作業装置１Ｃにおいては、ワーク載置面１１（作業マット１２）に、図５の黒ドットで示す多数の空気吹出孔２３ａを備える点で、上記第１および第２実施形態と異なっている。空気吹出孔２３ａは作業台１０の内部と連通しており、作業台１０内の放電電極部４８にてイオン化された空気イオンが各空気吹出孔２３ａからワーク載置面１１上に供給される。
【００４０】
この空気吹出孔２３ａは、ワークの固定手段としても作用する。すなわち、圧縮空気取り入れ口１３を図示しない切替弁を介して負圧源に接続して、空気吹出孔２３ａを負圧吸着孔とすることにより、ワークをワーク載置面１１上に吸着固定することができる。
【００４１】
これによれば、特にフィルム状のワークをしっかりと固定できるため、ワークを除塵ローラ３０にて除塵する際、そのワークを別の押え治具にて押さえる必要がなくなる。また除塵後に、上記切替弁を圧縮空気源側に切り替えて空気吹出孔２３ａから空気イオンを吹き出すようにすれば、ワーク載置面１１上からワークを簡単に剥がすことができるとともに、剥離帯電をも抑制することができる。
【００４２】
なお、変形例として、ワーク載置面１１の周囲に例えば上記第２実施形態で説明した空気吹出口２３を設けて、上記した負圧吸着時に、その空気吹出口２３からは空気イオンを放出させるようにしてもよい。
【００４３】
また、この除塵作業装置１Ｃでは、作業台１０の両側面にガイド溝１０ｂを形成するとともに、除塵ローラ３０のハンガーフレーム３３の両端３３ａにガイド溝１０ｂに嵌合して摺動する図示しないガイドリブを設けて、除塵ローラ３０を自立した状態で作業台１０上を走行可能としている。なお、ガイド溝をハンガーフレーム３３側に設け、その相手方のガイドリブを作業台１０側に設けてもよい。
【００４４】
また、この除塵作業装置１Ｃでは、粘着ローラ３１に付着したゴミを除去する転写シート３６ａをワーク載置面１１の隣接した領域に配置し、作業を終えた粘着ローラ３１を転写シート３６ａ上に移動可能としている。転写シート３６ａは、上記第２実施形態における転写ローラ３６と同じく、粘着ローラ３１よりも強粘着のシート材からなる。
【００４５】
上記各実施形態において、空気イオンを生成する放電電極部４８は、正および負の空気イオンを生成する交流式イオナイザであることが好ましい。その一例を図６により説明する。
【００４６】
放電電極部４８は、針状電極４８ａと、その周りに配置されるほぼＣ字状のアース電極４８ｂとを備えるが、交流式イオナイザにおいては、電源コード４７から供給される商用電源（例えばＡＣ１００〜２００Ｖ）をイオン発生用高圧電源部（トランス）４１で昇圧して針状電極４８ａに印加する。直流電源を使用する場合には、交流に変換してから昇圧し針状電極４８ａに印加する。
【００４７】
これにより、針状電極４８ａとアース電極４８ｂとの間に高圧の電界が発生し、その電界が交流電界であるため、＋と−の両方のイオンが生成される。そのうちの＋イオンはワーク（帯電物）の−イオンに引き寄せられ、また、−イオンはワークの＋イオンに引きつけられることから、帯電物表面に帯電している静電気が中和される。
【００４８】
このようにして、ワークに帯電している静電気が除電されるのであるが、その効果は放電電極部とワークとの間の距離によって異なる。その間の距離が長くなると、その途中で空気イオンが消失してしまう。
【００４９】
この点、本発明の除塵作業装置によれば、放電電極部とワーク載置面との距離が一定に保たれているため、常に最適な除電環境を提供でき、かつ、容易に持ち運びができる可搬式であるため、工程の組み替えなどにも柔軟に対応することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明の除塵作業装置は、例えば回路基板，ガラス基板，フィルム材などの除塵作業に好適であるが、これ以外に静電気を嫌う除塵作業に広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る除塵作業装置を示す外観斜視図。
【図２】上記第１実施形態に係る除塵作業装置の分解斜視図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る除塵作業装置を示す外観斜視図。
【図４】上記第２実施形態に係る除塵作業装置の要部断面図。
【図５】本発明の第３実施形態に係る除塵作業装置を示す外観斜視図。
【図６】交流式イオナイザの構成を示す模式図。
【符号の説明】
【００５２】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ  除塵作業装置
１０  作業台
１１  ワーク載置面
１２  作業マット
２０  カバーハウジング
２３  空気吹出口
２３ａ  空気吹出孔
３０  除塵ローラ
３１  粘着ローラ
４１  イオン発生用高圧電源部
４２  電源基盤
４３  電源スイッチ
４５  送風ファン
４８  放電電極部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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