(57)【要約】【課題】  可視光照明によりワーク表面など外部から観察可能な部位に形成された文字等を観察したり、赤外光照明によりワーク裏側に形成された文字や回路パターン、あるいはモールドされた樹脂内部の文字や配線状況を確認するために、一つの光源で可視光と赤外光を個別に照射可能にする。【解決手段】  可視光及び赤外光を個別に照射するため、少なくとも可視光波長と赤外波長のスペクトルを含む光を照射する光源（２）と、その照射光に含まれる可視光及び赤外光のいずれか一方を透過させ他方を反射させることにより、透過光を一の光出射口（３Ａ）に導き、反射光を他の光出射口（３Ｂ）に導く光学系（４）を備えた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光及び赤外光を個別に照射可能な光源装置であって、少なくとも可視光波長と赤外波長のスペクトルを含む光を照射する光源と、その照射光に含まれる可視光及び赤外光のいずれか一方を透過させ他方を反射させることにより可視光と赤外光を分離して、赤外光を一の光出射口に導き、可視光を他の光出射口に導く光学系を備えたことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記透過光及び反射光の夫々の光路上に、夫々の光量を個別に調整する調光装置が配された請求項１記載の光源装置。
【請求項３】
前記夫々の光出射口に、可視光照明用ライトガイド及び赤外光照明用ライトガイドが接続された請求項１記載の光源装置。
【請求項４】
前記光学系が、光源となるランプの光を前方へ反射させる全反射型凹面鏡と、その光軸上に配された赤外透過性可視反射鏡を備え、その透過光軸上及び反射光軸上に前記光出射口が形成された請求項３記載の光源装置。
【請求項５】
前記光学系が、光源となるランプの光を前方へ反射させる全反射型凹面鏡と、その光軸上に配された可視透過性赤外反射鏡を備え、その透過光軸上及び反射光軸上に前記光出射口が形成された請求項３記載の光源装置。
【請求項６】
前記光学系が、光源となるランプの背面側に二重に配された内側凹面鏡及び外側凹面鏡からなり、内側凹面鏡が可視透過性赤外反射型に形成され、外側凹面鏡が可視反射型に形成されると共に、夫々の凹面鏡の光軸が異なる方向に向けられてなる請求項１記載の光源装置。
【請求項７】
前記光学系が、光源となるランプの背面側に二重に配された内側凹面鏡及び外側凹面鏡からなり、内側凹面鏡が赤外透過性可視反射型に形成され、外側凹面鏡が赤外反射型に形成されると共に、夫々の凹面鏡の光軸が異なる方向に向けられてなる請求項１記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可視光と赤外光を個別に照射可能な光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の製造工程においては、各ウェハを撮像したり、ボンディングされて樹脂モールドされたＬＳＩチップを撮像することにより、その識別文字を読み取って選択的な取り出し、並べ替え、仕分けを行ったり、またキズの有無などの製品検査を行ったりしている。
【０００３】
この場合に、ワークとなるウェハやチップの位置決めを行ったり、ワーク表面など外部から観察可能な部位に形成された文字等を観察する場合は、可視光照明により撮像し、ウェハの裏側に形成された文字や回路パターン、あるいはモールドされた樹脂内部の文字や配線状況を確認するためには赤外光を照射してその透過光を観察することにより確認している。
【特許文献１】特開２００２−８３２６５
【０００４】
このような場合、従来は、少なくとも、可視光を照射する可視光源と、赤外光を照射する赤外光源の二種類の光源装置を用意しなければならないため、その分、装置が大型化するだけでなく、電力消費量が多く、熱の発生量も大きくなるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで本発明は、一つの光源から可視光と赤外光を個別に照射可能にすることを技術的課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題を解決するために、本発明は、可視光及び赤外光を個別に照射可能な光源装置であって、照射光に少なくとも可視光波長と赤外波長のスペクトルを含む光源と、その照射光に含まれる可視光及び赤外光のいずれか一方を透過させ他方を反射させることにより可視光と赤外光を分離して、赤外光を一の光出射口に導き、可視光を他の光出射口に導く光学系を備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の光源装置によれば、光学系に例えば赤外透過性可視反射鏡を用いれば、光源から照射された照射光に含まれる赤外光は反射鏡を透過して一の光出射口に導かれ、可視光は反射鏡で反射されて他の光出射口に導かれ、それぞれの光出射口から個別に照射させることができる。
ここで、透過光である可視光の光路上と、反射光である赤外光の光路上の夫々に調光装置を設けておけば、可視光と赤外光を個別に光量調整することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本例では、一つの光源で可視光と赤外光を個別に照射可能にするという目的を、照明光に含まれる夫々の光を分岐させて夫々の光出射口に個別に導くことにより達成した。
【０００９】
図１は本発明に係る光源装置の一例を示す説明図、図２〜図３は他の実施形態を示す説明図である。
【実施例１】
【００１０】
図１に示す光源装置１は、可視光及び赤外光を個別に照射するもので、照射光に少なくとも可視光波長と赤外波長のスペクトルを含むハロゲンランプ（光源）２と、その照射光に含まれる可視光及び赤外光を分岐させて別々の光出射口３Ａ及び３Ｂに導く光学系４を備えている。
【００１１】
光学系４は、ランプ２の光を前方へ反射させて焦点に集光させる回転楕円反射面を有する全反射型凹面鏡５と、その光軸Ｘ上に配された波長選択型反射鏡６を備え、該反射鏡６により透過光軸ＸＡと反射光軸ＸＢに分岐され、それぞれの光軸ＸＡ及びＸＢ上に凹面鏡５の焦点ＰＡ及びＰＢが形成されるようになされている。
この波長選択型反射鏡６として、本例では赤外透過性可視反射鏡が用いられている。
【００１２】
前記光出射口３Ａ及び３Ｂは、各光軸ＸＡ及びＸＢ上に形成されると共に、バンドルファイバでなるライトガイド７Ａ及び７Ｂを接続するようになされ、その光入射端８Ａ及び８Ｂが各光軸ＸＡ及びＸＢ上に位置する焦点ＰＡ及びＰＢの近傍に配されている。
【００１３】
これにより、凹面鏡５で反射されて反射鏡６を透過した赤外光のほとんどがライトガイド７Ａに入射され、凹面鏡５で反射されて反射鏡６で反射された可視光のほとんどがライトガイド７Ｂに入射される。
【００１４】
なお、反射鏡６で分岐された各光軸ＸＡ及びＸＢ上には、透過光（赤外光）及び反射光（可視光）の夫々の光路上に、夫々の光量を個別に調整する調光装置９Ａ及び９Ｂが配されている。
この調光装置９Ａ及び９Ｂは、例えば、回転ディスクの半径方向に伸びるスリットを周方向に並べて、その開口率を周方向に徐々に変化させたものが用いられており、このディスクを回転させることにより光量調整を行うことができるようになっている。
また、可視光が入射される光入射端８Ｂの手前には、赤外成分を遮光する熱線カットフィルタ１０が配されている。
【００１５】
これによれば、ハロゲンランプ２から照射された照明光は、可視光成分も赤外成分も全反射型の凹面鏡５で反射されて焦点ＰＡに向かって集光するように進行する。
そして、赤外成分が反射鏡６を透過し、透過光軸ＸＡ上の焦点ＰＡで集光され、ライトガイド７Ａの光入射端８Ａに入射され、その光出射端（図示せず）から照射される。
また、可視光成分が反射鏡６で反射し、その反射光軸ＸＢ上の焦点ＰＢで集光され、ライトガイド７Ｂの光入射端８Ｂに入射され、その光出射端（図示せず）から照射される。
したがって、赤外観察したい部位へ赤外光照明用のライトガイド７Ａの光出射端を向ければ、その部位に赤外光が照射されるので赤外観察を行うことができ、可視光観察したい部位へ可視光照明用のライトガイド７Ｂの光出射端を向ければ、その部位に可視光が照射されるので可視光観察を行うことができる。
さらに、調光装置９Ａ及び９Ｂで必要に応じて可視光及び赤外光の光量調整を行うことにより、夫々の光を最適な光量で照射することができる。
【実施例２】
【００１６】
なお、前記波長選択型反射鏡６として、赤外透過性可視反射鏡に替え、可視透過性赤外反射鏡を用いても良い。
この場合は、ランプ２の可視光成分が反射鏡６を透過し、透過光軸ＸＡ上の焦点ＰＡで集光され、ライトガイド７Ａの光入射端８Ａに入射され、その光出射端（図示せず）から照射される。
【００１７】
また、赤外成分が反射鏡６で反射し、その反射光軸ＸＢ上の焦点ＰＢで集光され、ライトガイド７Ｂの光入射端８Ｂに入射され、その光出射端（図示せず）から照射される。
したがって、可視観察したい部位へ可視光照明用のライトガイド７Ａの光出射端を向ければ、その部位に可視光が照射されるので可視光観察を行うことができ、赤外観察したい部位へ赤外照明用のライトガイド７Ｂの光出射端を向ければ、その部位に赤外光が照射されるので赤外観察を行うことができる。
なお、この場合、熱線カットフィルタ１０は、鎖線図示の如く、透過光軸ＸＡ上の可視光が入射される光入射端８Ａの手前に配すればよい。
【実施例３】
【００１８】
図２は他の実施形態を示し、図１と重複する部分は同一符号を付して詳細説明を省略する。
本例の光源装置１１は、ライトガイド７Ａ及び７Ｂに替え、光出射口３Ａ及び３Ｂに配された投光レンズ１２Ａ及び１２Ｂを介して、その光を光出射口３Ａ及び３Ｂから直接投光させるようになっている。
【００１９】
なお、波長選択型反射鏡６として、赤外透過性可視反射鏡を用いれば、赤外光は透過光軸ＸＡに沿って進行し、投光レンズ１２Ａを介して光出射口３Ａから照射され、可視光は反射光軸ＸＢに沿って進行し、投光レンズ１２Ｂで屈折され、反射鏡１３により光出射口３Ｂに案内されて照射される。
【００２０】
また、波長選択型反射鏡６として、可視透過性赤外反射鏡を用いれば、この逆に、可視光は透過光軸ＸＡに沿って進行し、投光レンズ１２Ａを介して光出射口３Ａから照射され、赤外光は反射光軸ＸＢに沿って進行し、投光レンズ１２Ｂで屈折され、反射鏡１３により光出射口３Ｂに案内されて照射される。
【実施例４】
【００２１】
図３はさらに他の実施形態を示し、図１と重複する部分は同一符号を付して詳細説明を省略する。
本例の光源装置２１では、可視光から赤外光まで広帯域のスペクトル分布を有するハロゲンランプ２の可視光及び赤外光を分岐させて別々の光出射口３Ａ及び３Ｂに導く光学系２２が、ランプ２の背面側に二重に配された内側凹面鏡２３Ａ及び外側凹面鏡２３Ｂからなり、内側凹面鏡２３Ａが波長選択型反射鏡で形成され、外側凹面鏡２３Ｂが内側凹面鏡２３Ａを透過した光を反射する反射鏡で形成され、夫々の凹面鏡２３Ａ及び２３Ｂの光軸ＹＡ及びＹＢが異なる方向に向けられ、その光軸ＹＡ及びＹＢに光出射口３Ａ及び３Ｂが形成されている。
【００２２】
本例では、内側凹面鏡２３Ａとして可視光透過性赤外反射鏡が用いられ、外側凹面鏡２３Ｂとして可視光反射鏡が用いられている。
そして、光出射口３Ａ及び３Ｂに接続されるライトガイド７Ａ及び７Ｂの光入射端８Ａ及び８Ｂは、各凹面鏡２３Ａ及び２３Ｂの焦点ＱＡ及びＱＢの近傍に配されると共に、光入射端８Ａ及び８Ｂの手前側にはランプ２から直接照射される可視光及び赤外光をカットする可視光カットフィルタ２４及び熱線カットフィルタ２５と、調光装置９Ａ及び９Ｂが配されている。
【００２３】
これによれば、ランプ２の背面側に照射された赤外光成分は、内側凹面鏡２３Ａで反射されて光軸ＹＡに沿って光出射口３Ａに向かって進行する。
このとき、ランプ２から正面側に照射された可視光の一部が光出射口３Ａに向って進行するが、可視光カットフィルタ２４で遮光されるので、赤外光のみがライトガイド７Ａに入射されることになる。
これにより、赤外光をライトガイド７Ａの光出射端（図示せず）から照射できる。
【００２４】
また、ランプ２の背面側に照射された可視光成分は、内側凹面鏡２３Ａを透過し、外側凹面鏡２３Ｂで反射されて光軸ＹＢに沿って光出射口３Ｂに向かって進行する。
このとき、ランプ２から正面側に照射された赤外光の一部が光出射口３Ｂに向って進行するが、熱線カットフィルタ２５で遮光されるので、可視光のみがライトガイド７Ｂに入射される。
これにより、可視光をライトガイド７Ｂの光出射端（図示せず）から照射できる。
【実施例５】
【００２５】
なお、前記内側凹面鏡２３Ａとして、可視透過性赤外反射鏡に替え、赤外透過性可視反射鏡を用い、前記外側凹面鏡２３Ｂとして、可視光反射鏡に替え、赤外反射鏡を用いても良い。
この場合、ランプ２の背面側に照射された可視光成分は、内側凹面鏡２３Ａで反射されて光軸ＹＡに沿って光出射口３Ａに向かって進行する。
このとき、ランプ２から正面側に照射された赤外光の一部が光出射口３Ａに向って進行するが、熱線カットフィルタ２５で遮光されるので、可視光のみがライトガイド７Ａの光入射端８Ａに入射されることになる。
これにより、可視光をライトガイド７Ａの光出射端（図示せず）から照射できる。
【００２６】
また、ランプ２の背面側に照射された赤外光成分は、内側凹面鏡２３Ａを透過し、外側凹面鏡２３Ｂで反射されて光軸ＹＡに沿って光出射口３Ｂに向かって進行する。
このとき、ランプ２から正面側に照射された可視光の一部が光出射口３Ｂに向って進行するが、可視光カットフィルタ２４で遮光されるので、赤外光のみがライトガイド７Ｂの光入射端８Ｂに入射されることになる。
これにより、赤外光をライトガイド７Ｂの光出射端（図示せず）から照射できる。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
以上述べたように、本発明は、観察対象物に応じて可視光と赤外光を使い分けて観察する場合の照明に用いる光源装置の用途に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係る光源装置の一例を示す説明図。
【図２】他の実施形態を示す説明図。
【図３】他の実施形態を示す説明図。
【符号の説明】
【００２９】
１、１１、２１  光源装置
２  ハロゲンランプ（光源）
３Ａ、３Ｂ  光出射口
４、２２  光学系
５  全反射型凹面鏡
６  波長選択型反射鏡
７Ａ及び７Ｂ  ライトガイド
９Ａ及び９Ｂ  調光装置
１２Ａ、１２Ｂ  投光レンズ
【図１】
2006343430.tif 000003
【図２】
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【図３】
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