(57)【要約】【課題】  一対の基板の間隔を均一にすることができる液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】  ガラスウェハＷｆ内に複数形成された素子基板１１の周縁にスペーサを含んだシール剤によって形成されたシール部Ｓの線幅Ｗを、液滴吐出装置の線幅測定部によって測定する。そして、液滴吐出装置の液滴吐出部が、線幅Ｗに応じた量の液滴５３をシール部Ｓによって囲まれた液晶封入部２５にそれぞれ吐出する。すなわち、線幅Ｗが予め定めた線幅（以下、標準幅という）より細く形成されているシール部Ｓａに囲まれた液晶封入部２５には吐出量の多い液滴５３ａが吐出され、線幅Ｗが標準幅で形成されているシール部Ｓｂに囲まれた液晶封入部２５には予め定めた吐出量の液滴５３ｂが吐出される。線幅Ｗが標準幅より太く形成されているシール部Ｓｃに囲まれた液晶封入部２５には吐出量の少ない液滴５３ｃが吐出される。【選択図】      図２
2006317824.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成した液滴を封止するためのシール部に囲まれた液滴封入部に液滴を吐出する液滴吐出方法において、
前記液滴封入部の体積を測定する体積測定段階と、
前記体積に応じて前記液滴封入部に吐出する液滴の吐出量を決定する決定段階と、
前記液滴封入部に前記吐出量の液滴を吐出する吐出段階と
を備えたことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
請求項１の液滴吐出方法において、
前記体積測定段階は、前記シール部の幅及び高さの少なくとも一方を測定することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出方法において、
前記決定段階は、さらに、
少なくとも１つの基準値と前記体積とを比較する比較段階と、
前記比較段階による比較結果にそれぞれ対応した吐出量を選択する選択段階と
を備えたことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液滴吐出方法において、
前記液滴の重量を制御することによって前記吐出量を異ならせることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液滴吐出方法において、
前記液滴の吐出回数を制御することによって前記吐出量を異ならせることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項６】
基板に形成した液滴を封止するためのシール部に囲まれた液滴封入部に液滴を吐出する液滴吐出装置において、
前記液滴封入部の体積を測定する体積測定手段と、
前記体積に応じて前記液滴封入部に吐出する液滴の吐出量を決定する決定手段と、
前記液滴封入部に前記吐出量の液滴を吐出する吐出手段と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項６の液滴吐出装置において、
前記体積測定手段は、前記液滴封入部の体積を測定するセンサであることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルは、一対のガラス基板のうちの一方の周縁にシール剤を塗布し、そのシール剤で囲まれた液晶滴下領域にディスペンサを用いて液晶を滴下し（液晶滴下法）、シール剤にて一対のガラス基板を貼り合わせることによって液晶パネルが形成されていた。しかし、従来の滴下精度は±３％程度であったため、特に小型の液晶パネルでは一対のガラス基板の間隔のバラツキが大きくなるため用いられなかった。しかしディスペンサの改善、あるいはインクジェットによる液晶の滴下により小型の液晶パネルにおいても液晶滴下法が用いられるようになった（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００１−３３０８４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、プロジェクタ等で用いられるような小型の液晶パネルでは、液晶滴下領域の底面積が小さいため、シール剤の線幅のバラツキの液晶滴下領域の底面積に対する影響を無視することができなかった。そして、その液晶滴下領域の底面積の変動によって液晶滴下領域内に滴下された液晶の高さが変動するため、一対のガラス基板の間隔が変動していた。
【０００４】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、一対の基板の間隔を均一にすることができる液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題点を解決するために、本発明の液滴吐出方法は、基板に形成した液滴を封止するためのシール部に囲まれた液滴封入部に液滴を吐出する液滴吐出方法において、前記液滴封入部の体積を測定する体積測定段階と、前記体積に応じて前記液滴封入部に吐出する液滴の吐出量を決定する決定段階と、前記液滴封入部に前記吐出量の液滴を吐出する吐出段階とを備えた。
【０００６】
この発明によれば、液滴封入部の体積に応じた吐出量の液滴を同液滴封入部に吐出した。この結果、例えば、一対の基板のいずれか一方に液滴封入部を形成して一定の量の液滴を吐出するときと比較して、液滴封入部の体積より液滴の量が多くなることにより一対の基板の間隔が広くなったり、液滴封入部の体積より液滴の量が少なくなることにより一対の基板の間隔が狭くなったりすることがない。従って、一対の基板の間隔を均一にすることができる。
【０００７】
本発明の液滴吐出方法において、前記体積測定段階は、前記シール部の幅及び高さの少なくとも一方を測定する。この発明によれば、体積測定段階は、シール部の幅及び高さの少なくとも一方を測定する。この結果、例えば、シール部の高さが一定であるときはシール部の幅を測定するのみで液滴封入部の体積を測定することができる。また、例えば、大型の基板であって、シール部の幅よりも高さが液滴封入部の体積の変動に対して支配的であるとき、シール部の高さを測定するのみで液滴封入部の体積を測定することができる。さらに、例えば、シール部の幅及び高さを測定することによって、正確に液滴封入部の体積を測定することができる。従って、簡単でありながらも正確に一対の基板の間隔を均一にすることができる。
【０００８】
本発明の液滴吐出方法において、前記決定段階は、さらに、少なくとも１つの基準値と前記体積とを比較する比較段階と、前記比較段階による比較結果にそれぞれ対応した吐出量を選択する選択段階とを備えた。この発明によれば、決定段階は、少なくとも１つの基準値と液滴封入部の体積とを比較し、その比較結果にそれぞれ対応した吐出量を選択する。この結果、予め定めた吐出量を比較結果に応じて選択するのみで吐出量を決定することができるため、短時間で吐出量を決定することができる。従って、短時間で一対の基板の間隔を均一にすることができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出方法において、前記液滴の重量を制御することによって前記吐出量を異ならせる。この発明によれば、液滴の重量を制御することによって吐出量を異ならせるので、例えば、液滴の吐出に要する時間を制御することによって吐出される液滴の重量を変えることにより、吐出量を異ならせることができる。この結果、液滴の吐出回数を変更せずに吐出量を異ならせることができるので、短時間で液滴封入部の体積に応じた吐出量の液滴を吐出することができる。従って、短時間で一対の基板の間隔を均一にすることができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出方法において、前記液滴の吐出回数を制御することによって前記吐出量を異ならせる。この発明によれば、液滴の吐出回数を制御することによって吐出量を異ならせるので、液滴を吐出する装置の構成を変更することなく吐出量を異ならせることができる。この結果、簡単に液滴封入部の体積に応じた吐出量の液滴を吐出することができる。従って、簡単に一対の基板の間隔を均一にすることができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置は、基板に形成した液滴を封止するためのシール部に囲まれた液滴封入部に液滴を吐出する液滴吐出装置において、前記液滴封入部の体積を測定する体積測定手段と、前記体積に応じて前記液滴封入部に吐出する液滴の吐出量を決定する決定手段と、前記液滴封入部に前記吐出量の液滴を吐出する吐出手段とを備えた。
【００１２】
この発明によれば、液滴封入部の体積に応じた吐出量の液滴を同液滴封入部に吐出した。この結果、例えば、一対の基板のいずれか一方に液滴封入部を形成して一定の量の液滴を吐出するときと比較して、液滴封入部の体積より液滴の量が多くなるため一対の基板の間隔が広くなったり、液滴封入部の体積より液滴の量が少なくなるため一対の基板の間隔が狭くなったりすることがない。従って、一対の基板の間隔を均一にすることができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置において、前記体積測定手段は、前記液滴封入部の体積を測定するセンサである。この発明によれば、体積測定手段は液滴封入部の体積を測定するセンサであるため、小型であることから、吐出手段による液滴の吐出を妨げることがない。また、簡単に体積を測定することができるので、体積の測定によって液滴の吐出に要する時間が長くなることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図６に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置を使って形成された液晶パネルについて説明する。図１は液晶パネルの斜視図、図２はガラスウェハに複数形成された素子基板の正面図である。
【００１５】
図１において、液晶パネル１は、カラーフィルタ基板１０と、同カラーフィルタ基板１０と相対向し、カラーフィルタ基板１０側の側面（素子形成面１１ａ）に図示しない液晶分子が滴下された素子基板１１を備えている。そして、これら基板としてのカラーフィルタ基板１０と素子基板１１とがシール部Ｓを介して所定の間隔Ｄを隔てて貼り合わせることによって形成されている。素子基板１１は、四角板状の無アルカリガラス基板であって
、素子形成面１１ａには、Ｘ矢印方向に延びる複数の走査線１２が所定の間隔をおいて形成されている。各走査線１２は、それぞれ素子基板１１の一側端に配設される図示しない走査線駆動回路に電気的に接続されている。走査線駆動回路は、図示しない制御回路からの走査制御信号に基づいて、複数の走査線１２の中から所定の走査線１２を所定のタイミングで選択駆動し、その走査線１２に走査信号を出力するようになっている。
【００１６】
また、素子形成面１１ａには、前記走査線１２と直交するＹ矢印方向に延びる複数のデータ線１４が所定の間隔をおいて形成されている。各データ線１４は、それぞれ素子基板１１の一側端に配設される図示しないデータ線駆動回路に電気的に接続されている。データ線駆動回路は、図示しない外部装置からの表示データに基づいてデータ信号を生成し、そのデータ信号を対応するデータ線１４に所定のタイミングで出力するようになっている。
【００１７】
前記走査線１２と前記データ線１４の交差する位置には、対応する走査線１２及びデータ線１４に接続されて、ｉ行×ｊ列のマトリックス状に配列される複数の画素領域１６が形成されている。各画素領域１６内には、それぞれＴＦＴ等からなる図示しない制御素子とＩＴＯ等の透明導電膜からなる画素電極が形成されている。すなわち、本実施形態の液晶パネル１は、制御素子であるＴＦＴを備えた、いわゆるアクティブマトリックス方式の液晶パネルである。尚、前記走査線１２、データ線１４及び画素領域１６の上側には、素子形成面１１ａの全体にわたり、ラビング処理等による配向処理が施され、液晶分子の配向を設定可能にする図示しない配向膜が形成されている。
【００１８】
そして、前記走査線駆動回路が、走査線１２を線順次走査に基づき１本ずつ順次選択すると、画素領域１６の制御素子が順次、選択期間中だけオン状態になる。制御素子がオン状態となると、データ線駆動回路から出力されるデータ信号が、データ線１４及び制御素子を介して前記画素電極に出力される。すると、素子基板１１の図示しない画素電極とカラーフィルタ基板１０の図示しない対向電極の電位差に応じて、液晶分子の配向状態が、図示しない照明装置からの透過光あるいは外光の反射光を変調するように維持される。そして、変調された光が図示しない偏光板を通過するか否かによって、液晶パネル１に、カラーフィルタ基板１０を介した所望するフルカラーの画像が表示される。
【００１９】
図２に示すように、この素子基板１１はガラスウェハＷｆに等間隔で複数形成され、それら複数の素子基板１１間に形成された図示しないスクライブラインにて切断され、分割されることにより、１枚のガラスウェハＷｆから複数の素子基板１１を得る。なお、カラーフィルタ基板１０についても、同様に図示しないガラスウェハに複数形成され、スクライブラインにて切断されて分割されることにより、１枚のガラスウェハから複数のカラーフィルタ基板１０を得る。
【００２０】
各素子基板１１の素子形成面１１ａの周縁には、図示しないディスペンサで塗布されたシール剤によって、シール部Ｓが形成されている。本実施形態では、シール剤は、例えば紫外線硬化型樹脂等で形成されており、スペーサ２１（図５参照）を含んでいる。そして、このシール部Ｓを介して、カラーフィルタ基板１０と素子基板１１とが、スペーサ２１によって所定の間隔Ｄを隔てて貼り合わされる。シール部Ｓの線幅Ｗは、シール剤を塗布する圧力等によってガラスウェハＷｆ内の素子基板１１毎にそれぞれ異なっている。すなわち、本実施形態では、例えば、シール部Ｓａは線幅Ｗが予め定めた幅（以下、標準幅という）より細く、シール部Ｓｂは線幅Ｗが標準幅で、シール部Ｓｃは線幅Ｗが標準幅より太く形成されている。
【００２１】
また、シール剤を塗布する際にシール部Ｓの中心部２３の位置は予め定められていることから、シール部Ｓで囲まれた部分である液滴封入部としての液晶封入部２５の面積（体
積）は、シール部Ｓの線幅Ｗによって素子基板１１毎に異なっている。すなわち、シール部Ｓの線幅Ｗが細いとき液晶封入部２５の面積は予め定めた面積（以下、標準面積という）より大きくなり、シール部Ｓの線幅Ｗが太いとき液晶封入部２５の面積は標準面積より小さくなる。そして、この液晶封入部２５に、後述する液滴吐出装置３０の液滴吐出部３７（図５参照）によってその液晶封入部２５の面積に応じた量の液晶の液滴５３が吐出される。すなわち、液晶封入部２５の面積が標準面積より大きいとき吐出量の多い液滴５３ａが、液晶封入部２５の面積が標準面積であるとき吐出量が標準である液滴５３ｂが、液晶封入部２５の面積が標準面積より小さいとき、吐出量の少ない液滴５３ｃが吐出される。
【００２２】
次に、液晶封入部２５に液滴５３を吐出するために使用する液滴吐出装置３０について説明する。
図３及び図４に示すように、液滴吐出装置３０は、支持台３１を有し、その支持台３１には、搬送台３２が設けられている。搬送台３２は、支持台３１に対して図示しないＹ軸駆動機構により、Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に沿って往復移動するようになっている。
【００２３】
この搬送台３２には、ガラスウェハＷｆがその裏面Ｗｆｂ（素子基板１１の素子形成面１１ａ）を上側にして戴置され、ガラスウェハＷｆを、Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に搬送するようになっている。そして、搬送台３２によって搬送されるガラスウェハＷｆは、その裏面Ｗｆｂの各液晶封入部２５（図２参照）にそれぞれ液滴５３（図２参照）が吐出されるようになっている。
【００２４】
支持台３１には門形の支持フレーム３３が、Ｙ矢印方向（反Ｙ矢印方向）に移動する搬送台３２を跨ぐように立設されている。支持フレーム３３は、Ｘ矢印方向に沿って、支持台３１に架設されている。この支持フレーム３３には、Ｘ矢印方向に延びるガイドレール３４が配設されている。
【００２５】
ガイドレール３４には、キャリッジ３５が摺動可能に設けられている。このキャリッジ３５は、Ｘ軸駆動機構により、ガイドレール３４に沿って所定の速度（搬送速度Ｖ）で往復移動可能になっている。またキャリッジ３５には、体積測定手段としての線幅測定部３６及び吐出手段としての液滴吐出部３７が一体に設けられている。
【００２６】
線幅測定部３６は、本実施形態では、レーザセンサであって、半導体レーザ３８及び受光素子３９を備えている。そして、半導体レーザ３８から出力された光をガラスウェハＷｆに照射し、ガラスウェハＷｆにて反射する光を受光素子３９で受光することにより、シール部Ｓの線幅Ｗを測定するようになっている。なお、本実施形態では、各素子基板１１について、素子基板１１の図２における下辺であって、中心部分の線幅Ｗを測定する。
【００２７】
液滴吐出部３７は、本実施形態ではディスペンサであって、液晶が充填されたバレル４１と、このバレル４１の先端部に着脱自在に取付けられたノズル４３とを備えている。バレル４１の上端開口は着脱自在な蓋体４５によって閉塞され、この蓋体４５には圧縮空気の供給口４７が形成されている。供給口４７は、供給チューブ４９を介して空気供給部５１に接続されており、空気供給部５１は、空気を吸入して所定のタイミングで供給口４７に空気を送り込むようになっている。そして、空気供給部５１から供給口４７に圧縮空気を送り込むことにより、バレル４１内部の液晶を加圧して上記ノズル４３の先端開口から液滴５３（図５参照）が吐出される。
【００２８】
次に、上記のように構成した液滴吐出装置３０の電気的構成を図６に従って説明する。
図６において、決定手段としての制御部６１は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備え、ＲＯＭ等に格納された各種制御プログラム（例えば、液滴吐出量制御プログラム）に従って
、搬送台３２を移動させ、線幅測定部３６及び液滴吐出部３７を駆動させる。
【００２９】
また、ＲＯＭには、ガラスウェハＷｆに吐出する液滴５３の吐出量を決定するための基準値としての第１基準値Ｔ１及び第２基準値Ｔ２、供給時間ＳＴ、搬送速度Ｖ等が予め格納されている。第１基準値Ｔ１は、シール部Ｓの線幅Ｗが標準幅より太く、液滴５３の吐出量を減少するか否かを判断するための基準値である。第２基準値Ｔ２は、シール部Ｓの線幅Ｗが標準幅より細く、液滴５３の吐出量を増加するか否かを判断するための基準値である。
【００３０】
また、供給時間ＳＴは、供給口４７への圧縮空気を供給する時間であって、シール部Ｓの線幅Ｗと対応付けられて記憶されている。詳述すると、シール部Ｓの線幅Ｗが第１基準値Ｔ１より太いとき、液晶封入部２５の面積が標準面積より小さいため、液滴５３の吐出量（重量）を予め定められた吐出量より少なくするようなデータが記憶されている。つまり、供給時間ＳＴを予め定めた時間より短くすることにより、液晶の加圧時間を短縮し、吐出量を減少するようなデータが記憶されている。一方、シール部Ｓの線幅Ｗが第２基準値より細いとき、液晶封入部２５の面積が標準面積より大きいため、液滴５３の吐出量を予め定めた吐出量より多くする。つまり、供給時間ＳＴを予め定めた時間より長くすることにより、液晶の加圧時間を増加し、吐出量を増加するようなデータが記憶されている。また、シール部Ｓの線幅Ｗが第１基準値Ｔ１より小さく、第２基準値Ｔ２より大きいとき、液滴５３の吐出量を予め定めた吐出量とするようなデータが記憶されている。
【００３１】
制御部６１には、レーザ駆動回路６３が接続されている。制御部６１は、ガラスウェハＷｆに液滴５３を吐出する前に、所定のタイミングで駆動信号をレーザ駆動回路６３に出力するようになっている。レーザ駆動回路６３は、制御部６１からの駆動信号を受信すると、半導体レーザ３８に測定部駆動電圧を供給し、測定部駆動電圧が供給された半導体レーザ３８はガラスウェハＷｆに対してレーザ光Ｒを出射する。
【００３２】
そして、ガラスウェハＷｆにて反射されたレーザ光Ｒ（反射光）を受光素子３９が受光する。そして、制御部６１は、その受光した反射光の強さにより、レーザ光Ｒが反射した箇所がガラスウェハＷｆであるか、シール部Ｓであるかを判断する。そして、レーザ光Ｒが反射した箇所がシール部Ｓの一端であると検出したとき、制御部６１は、例えば、水晶安定化クロックによるレーザ光Ｒがシール部Ｓに照射された時間（以下、照射時間ＲＴという）の測定を開始する。そして、同様にシール部Ｓの他端を検出したとき、照射時間ＲＴの測定を終了し、その照射時間ＲＴをＲＡＭに記憶する。そして、制御部６１は、その照射時間ＲＴと搬送速度Ｖとの積を求めることによって線幅Ｗを算出し、その線幅ＷをＲＡＭに記憶する。
【００３３】
制御部６１は、供給部駆動回路６５が接続され、供給部駆動回路６５に駆動信号を出力する。供給部駆動回路６５は、制御部６１からの駆動信号に基づいて、空気供給部５１から供給口４７に圧縮空気を供給する。そして、圧縮空気が供給されると、バレル４１内の液晶が加圧され、ノズル４３の先端開口から液滴５３が素子基板１１に向かって吐出される。
【００３４】
制御部６１は、Ｘ軸モータ駆動回路６７が接続されて、Ｘ軸モータ駆動回路６７にＸ軸モータ駆動制御信号を出力するようになっている。Ｘ軸モータ駆動回路６７は、制御部６１からのＸ軸モータ駆動制御信号に応答して、前記線幅測定部３６及び液滴吐出部３７を往復移動させるＸ軸モータＭＸを正転又は逆転させるようになっている。例えば、Ｘ軸モータＭＸを正転させると、線幅測定部３６及び液滴吐出部３７はＸ矢印方向に移動し、逆転させると液滴吐出部３７は反Ｘ矢印方向に移動する。
【００３５】
制御部６１は、Ｙ軸モータ駆動回路６９が接続されて、Ｙ軸モータ駆動回路６９にＹ軸モータ駆動制御信号を出力するようになっている。Ｙ軸モータ駆動回路６９は、制御部６１からのＹ軸モータ駆動制御信号に応答して、前記搬送台３２を往復移動させるＹ軸モータＭＹを正転又は逆転させるようになっている。そして、例えば、Ｙ軸モータＭＹを正転させると、搬送台３２はＹ矢印方向に移動し、逆転させると搬送台３２は反Ｙ矢印方向に移動するようになっている。制御部６１には、基板検出装置７１が接続されている。基板検出装置７１は、ガラスウェハＷｆの端縁を検出可能な撮像機能等を備え、制御部６１によってノズル４３の直下を通過するガラスウェハＷｆの位置を算出する際に利用される。
【００３６】
制御部６１には、Ｘ軸モータ回転検出器７３が接続されて、Ｘ軸モータ回転検出器７３からの検出信号が入力される。制御部６１は、Ｘ軸モータ回転検出器７３からの検出信号に基づいて、Ｘ軸モータＭＸの回転方向及び回転量を検出し、液滴吐出部３７に対するガラスウェハＷｆのＸ矢印方向の移動方向及び移動量を演算する。
【００３７】
制御部６１には、Ｙ軸モータ回転検出器７５が接続されて、Ｙ軸モータ回転検出器７５からの検出信号が入力される。制御部６１は、Ｙ軸モータ回転検出器７５からの検出信号に基づいて、Ｙ軸モータＭＹの回転方向及び回転量を検出し、液滴吐出部３７に対するガラスウェハＷｆのＹ矢印方向の移動方向及び移動量を演算する。制御部６１には、入力装置７７が接続されている。入力装置７７は、起動スイッチ、停止スイッチ等の操作スイッチを有し、各スイッチの操作による操作信号を制御部６１に出力する。
【００３８】
次に、液滴吐出装置３０を使って液滴５３をガラスウェハＷｆに吐出し、液晶パネル１を形成する方法について説明する。なお、このとき、ガラスウェハＷｆは、その上に配置される配向膜がラビング処理されているとする。また、素子基板１１毎に、素子基板１１の周縁にシール部Ｓを形成するため予めディスペンサ等でシール剤が塗布され、そのシール部Ｓにて液晶封入部２５が形成されているとする。
【００３９】
まず、図３及び図４に示すように、ガラスウェハＷｆを、裏面Ｗｆｂが上側になるように搬送台３２に配置固定する。このとき、ガラスウェハＷｆは、支持フレーム３３がガラスウェハＷｆに形成された素子基板１１のうち、最も反Ｙ矢印側に位置する素子基板１１の上に配置されている。また、キャリッジ３５はガラスウェハＷｆがＸ矢印方向に移動したとき、そのキャリッジ３５の直下を、シール部Ｓ及び液晶封入部２５の中心部分が通過するようにセットされている。
【００４０】
この状態から、制御部６１は、Ｘ軸モータＭＸを駆動制御して搬送台３２を介してガラスウェハＷｆをＸ矢印方向に搬送させる。制御部６１は、Ｘ軸モータ回転検出器７３からの検出信号に基づいてガラスウェハＷｆがそのガラスウェハＷｆの最も反Ｘ矢印方向側及び反Ｙ矢印方向側に位置する素子基板１１の反Ｘ矢印方向側のシール部Ｓまで搬送されたかどうか演算する。そして、ガラスウェハＷｆが素子基板１１のシール部Ｓの反Ｘ矢印方向側の辺まで搬送されると、制御部６１は、ガラスウェハＷｆをＸ矢印方向に移動させながら、シール部Ｓの線幅Ｗを測定する。なお、本実施形態では、このシール部Ｓの線幅Ｗの測定が、体積測定段階に相当する。すなわち、半導体レーザ３８から素子基板１１（ガラスウェハＷｆ）に対してレーザ光Ｒを出射する。そして、素子基板１１またはシール部Ｓにて反射された反射光を受光素子３９が受光すると、制御部６１がシール部Ｓの線幅Ｗを演算し、ＲＡＭに記憶する。
【００４１】
シール部Ｓの線幅Ｗを測定すると、制御部６１は、そのシール部Ｓの線幅ＷとＲＯＭから読み出した第１及び第２基準値Ｔ１，Ｔ２とを比較し、これが比較段階に相当する。そして、その比較結果と対応する供給時間ＳＴをＲＯＭから読み出し、これが決定段階、選択段階に相当する。そして、その読み出した供給時間ＳＴに基づいて供給部駆動回路６５
に駆動信号を出力する。つまり、供給部駆動回路６５が、空気供給部５１から供給口４７に定められた供給時間ＳＴ、圧縮空気を供給する。その結果、バレル４１内の液晶がその供給時間ＳＴ、圧縮空気によって加圧され、ノズル４３の先端開口から、図２に示すように、線幅Ｗに応じた吐出量の液滴５３が吐出される。すなわち、液晶封入部２５の面積が標準面積より大きいとき吐出量の多い液滴５３ａが、液晶封入部２５の面積が標準面積であるとき吐出量が標準である液滴５３ｂが、液晶封入部２５の面積が標準面積より小さいとき、吐出量の少ない液滴５３ｃが吐出される。なお、本実施形態では、この液滴吐出部３７からの液滴５３の吐出が吐出段階に相当する。
【００４２】
これにより、例えば、液晶封入部２５の面積の大きさが標準面積より小さいにも関わらず、標準の吐出量の液滴５３ｂを吐出することによって液晶封入部２５の高さが高くなり、カラーフィルタ基板１０と素子基板１１との間隔Ｄが広くなることがない。一方、例えば、液晶封入部２５の面積の大きさが標準面積より大きいにも関わらず、標準の吐出量の液滴５３ｂを吐出することによって液晶封入部２５の高さが低くなり、カラーフィルタ基板１０と素子基板１１との間隔Ｄが狭くなることがない。従って、カラーフィルタ基板１０と素子基板１１との間隔Ｄを一定にすることができる。
【００４３】
以後、同様に制御部６１はガラスウェハＷｆを移動させながら、各列の素子基板１１毎にシール部Ｓの線幅Ｗを測定し、その線幅Ｗに応じた吐出量の液滴５３を吐出する。そして、ガラスウェハＷｆ上の全ての素子基板１１に液滴５３が吐出されると、制御部６１は、Ｙ軸モータＭＹを制御して、ガラスウェハＷｆを液滴吐出部３７の下方位置から退出させる。
【００４４】
液滴吐出工程が終了したガラスウェハＷｆは、組立工程に移る。すなわち、真空槽内でカラーフィルタ基板１０の形成されたガラスウェハと素子基板１１の形成されたガラスウェハＷｆとが離間した状態で位置合わせを行い、次いで、それら一対のガラスウェハを所定の圧力で加圧し、両ガラスウェハの貼り合わせを行う。貼り合わせを行った両ガラスウェハを真空槽から取りだし、大気中に置くと、両ガラスウェハ内外の圧力差によって液晶が広がり、両ガラスウェハ間の真空空間を埋める。そして、両ガラスウェハを所定の間隔Ｄにするように所定の圧力にて加圧し、紫外線照射ランプにより紫外線を照射してシール剤を硬化させる。さらに、スクライブラインで切断して分割することにより、所定の間隔Ｄのカラーフィルタ基板１０と素子基板１１との間に液晶が封入された液晶パネル１が完成する。
【００４５】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態によれば、線幅測定部３６が素子基板１１に形成されたシール部Ｓの線幅Ｗを測定し、液滴吐出部３７がその線幅Ｗに応じた吐出量の液滴５３を液晶封入部２５に吐出した。この結果、例えば、一定量の液滴５３を液晶封入部２５に滴下するときと比較して、シール部Ｓの線幅Ｗが変化することによって液晶封入部２５の面積が変化したときにも、液滴５３が液晶封入部２５から溢れたり、液滴５３が不足して液晶封入部２５に空白域ができたりすることがない。従って、一対の基板の間隔を均一にすることができるので、液晶パネル１の画質を向上することができる。
【００４６】
（２）本実施形態によれば、シール部Ｓを構成するシール剤にはスペーサ２１が含まれているため、液晶封入部２５の高さは一定となる。この結果、シール部Ｓの線幅Ｗ（面積）を測定するのみで、液晶封入部２５の体積に応じた液滴５３を吐出することができる。従って、簡単で小型な装置を用いて、簡単でありながらも一対の基板の間隔を均一にすることができる。
【００４７】
（３）本実施形態によれば、シール部Ｓの線幅Ｗは、シール部Ｓのうち反Ｘ矢印方向側
に位置する辺の中心部分のみ測定した。この結果、測定に要する時間を短縮することができることから、ひいては、液晶パネル１を作製する時間を短縮することができる。
【００４８】
（４）本実施形態によれば、シール部Ｓの線幅Ｗは、レーザセンサを用いて測定したので、小型の装置で簡単でありながらも正確に線幅Ｗを測定することができる。
（５）本実施形態によれば、液滴５３の吐出量は、供給時間ＳＴを変化させることによって変化させた。この結果、簡単でありながらも一対の基板の間隔を均一にすることができる。
【００４９】
（６）本実施形態によれば、第１基準値Ｔ１、第２基準値Ｔ２を設け、測定した線幅Ｗが第１及び第２基準値Ｔ１，Ｔ２を超えたか否かによって、３通りの吐出量の液滴５３（５３ａ，５３ｂ，５３ｃ）を吐出した。この結果、液滴５３の吐出量を決定するのに要する時間を短縮することができることから、ひいては、液晶パネル１の作製に要する時間を短縮することができる。
【００５０】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では、シール部Ｓのうち、最も反Ｘ矢印方向側に位置する辺の中心部分のみ測定したが、最も反Ｘ矢印方向側に位置する辺に限らず、最もＸ矢印方向側に位置する辺であってもよい。同様に、最もＹ矢印方向側に位置する辺であってもよいし、最も反Ｙ矢印方向側に位置する辺であってもよい。
【００５１】
○上記実施形態では、シール部Ｓのうち、最も反Ｘ矢印方向側に位置する辺の中心部のみ測定したが、一辺に限らず、シール部Ｓの各辺一カ所ずつ測定してもよい。また、シール部Ｓの各辺数カ所ずつ測定してもよい。これにより、一層正確に液晶封入部２５の体積を測定することができる。
【００５２】
○上記実施形態では、第１及び第２基準値Ｔ１，Ｔ２を設け、測定したシール部Ｓの線幅Ｗを第１及び第２基準値Ｔ１，Ｔ２と比較することによって、液晶封入部２５に吐出する液晶の量を３通りとした。これを、１つ、または３つ以上の基準値を設け、吐出する液滴５３の吐出量を決定してもよい。さらに、基準値を設けずに、シール部Ｓの線幅Ｗにそれぞれ対応させて液滴５３の吐出量を決定してもよい。
【００５３】
○上記実施形態では、液晶封入部２５に滴下する液滴５３は１滴であったが、複数滴であってもよい。
○上記実施形態では、シール部Ｓの線幅Ｗに応じた重量の液滴５３を１滴、液晶封入部２５に滴下したが、１滴当たりの液滴５３の重量を変えずに、シール部Ｓの線幅Ｗに応じた吐出回数で液滴５３を液晶封入部２５に滴下してもよい。
【００５４】
○上記実施形態では、シール部Ｓの線幅Ｗはレーザセンサで測定したが、光センサ等他のセンサで測定してもよい。
○上記実施形態では、素子基板１１毎に線幅Ｗを測定し、その測定した素子基板１１について、その都度線幅Ｗに応じた液滴５３を滴下した。これを、ガラスウェハＷｆの全ての素子基板１１の線幅Ｗを測定してから、それぞれの素子基板１１に対応した吐出量の液滴５３を滴下してもよい。このとき、ＲＡＭに素子基板１１毎の線幅Ｗを記憶させ、それぞれの線幅Ｗに応じた液滴５３を素子基板１１に吐出する毎に計算してもよいし、吐出量を素子基板１１毎に全て計算してＲＡＭに記憶してから、その吐出量に基づいてそれぞれ吐出してもよい。また、線幅Ｗの測定、液滴５３の吐出は、ガラスウェハＷｆ内の全ての素子基板１１に対して一斉に行うことに限らず、ガラスウェハＷｆ内の一列ずつ、一行ずつの素子基板１１に対して行ってもよい。
【００５５】
○上記実施形態では、シール部Ｓを構成するシール剤にはスペーサ２１が含まれていた。これを、シール剤にスペーサ２１を含ませず、別途、スペーサ２１を素子基板１１上に滴下してもよい。
【００５６】
○上記実施形態では、シール部Ｓの線幅Ｗのみ測定したが、シール部Ｓの高さを測定してもよい。これにより、例えば、シール部Ｓを構成するシール剤にスペーサ２１が含まれていないときであって、シール部Ｓの高さが一定でないときであっても、液晶封入部２５の体積を測定することができる。また、例えば、素子基板１１が大型であって、シール部Ｓの線幅Ｗよりも高さが液晶封入部２５の体積の変動に対して支配的であるとき、シール部Ｓの高さを測定するのみで液晶封入部２５の体積を測定することができる。
【００５７】
○上記実施形態では、シール部Ｓの線幅Ｗのみ測定したが、シール部Ｓの線幅Ｗと高さの両方を測定してもよい。これにより、液晶封入部２５の体積を一層正確に測定することができる。
【００５８】
○上記実施形態では、液滴吐出部３７はディスペンサであったが、インクジェット法を用いた装置であってもよい。
○上記実施形態では、ディスペンサでシール部Ｓを形成したが、これを、シール印刷でシール部Ｓを形成してもよい。
【００５９】
○上記実施形態では、素子基板１１にシール部Ｓを形成して液晶封入部２５に液滴５３を吐出したが、カラーフィルタ基板１０にシール部Ｓを形成して液晶封入部２５に液滴５３を吐出してもよい。
【００６０】
○上記実施形態では、液晶パネル１として具体化した。これに限らず、例えば有機ＥＬパネルであってもよく、あるいは平面状の電子放出素子を備え、同素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型ディスプレイ（ＦＥＤやＳＥＤ等）であってもよい。また、液晶パネル１は、これらのディスプレイのみでなく、他の電子機器に使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本実施形態の液晶パネルの斜視図。
【図２】同じく、ガラスウェハの要部平面図。
【図３】同じく、液滴吐出装置の概略正面図。
【図４】同じく、液滴吐出装置の概略平面図。
【図５】同じく、線幅測定部、液滴吐出部の拡大図。
【図６】同じく、液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。
【符号の説明】
【００６２】
１…液晶パネル、１０…カラーフィルタ基板、１１…素子基板、２１…スペーサ、２５…液晶封入部、３０…液滴吐出装置、３６…線幅測定部、３７…液滴吐出部、５３，５３ａ，５３ｂ，５３ｃ…液滴、６１…制御部、Ｄ…間隔、Ｓ，Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ…シール部、ＳＴ…供給時間、Ｔ１…第１基準値、Ｔ２…第２基準値、Ｖ…搬送速度、Ｗ…線幅、Ｗｆ…ガラスウェハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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