(57)【要約】【課題】  種々の入射角度に対し、試料が接触させられる薄膜層と誘電体部材との界面からの反射光の強度変化測定する表面プラズモンセンサー等の試料分析用測定装置において、低コストの単純な装置構成による高速の測定を行う。【解決手段】  表面プラズモンセンサー１０において、表面に金属膜１４が施されその金属膜１４の上に試料１６が接触させられる誘電体部材１２に対し、その金属膜１４と誘電体部材１２との界面に、種々の入射角度およびその入射角度に応じて変化する強度を有する光線成分からなる光線束を入射させる光入射系１８と、受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器３４であって、反射された光線束を受光するように固定配置された、測定用検出器３４とを設けた。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に薄膜層が施され該薄膜層の上に試料が接触させられる誘電体部材に対し、該薄膜層と該誘電体部材との界面に、種々の入射角度および該入射角度に応じて変化する強度を有する光線成分からなる光線束を発生させ入射させる光入射系と、
受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器であって、前記界面で反射された前記光線束を受光するように固定配置された、測定用検出器を備えていることを特徴とする試料分析用測定装置。
【請求項２】
前記光入射系が、前記光線束が包含する前記入射角度の範囲を変更する手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の試料分析用測定装置。
【請求項３】
前記光入射系が、前記光線束の全体のビーム径を変更する手段を備えていることを特徴とする請求項１または２記載の試料分析用測定装置。
【請求項４】
前記光入射系が発生させる前記光線束が、該光線束の中心光線の前記界面に対する入射平面内において、前記入射角度に応じて単調増加または単調減少するビーム断面強度を有するものであることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の試料分析用測定装置。
【請求項５】
前記光入射系が、前記光線束の中心光線の前記界面に対する入射平面に平行な平面内においてガウシアン状のビーム断面強度分布を有する光線を発生させ、該光線を前記界面に向けて収束または発散させることにより、前記光線束となすものであることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の試料分析用測定装置。
【請求項６】
前記測定用検出器が、前記界面で反射された前記光線束の、前記ガウシアン状のビーム断面強度分布の片側に相当する部分のみを受光するように配置されていることを特徴とする請求項５記載の試料分析用測定装置。
【請求項７】
前記光入射系と前記測定用検出器がハウジング内に固定配置されて包含されており、該ハウジングの第１の面に、前記薄膜層と前記誘電体部材を含む試料受け部が、前記薄膜層が外部に露出するように形成されることを特徴とする請求項１から６いずれか１項記載の試料分析用測定装置。
【請求項８】
前記光入射系が光源部を含み、該光源部と前記測定用検出器が、前記ハウジング内において、前記第１の面とは異なる第２の面上に固定配置されていることを特徴とする請求項７記載の試料分析用測定装置。
【請求項９】
前記界面で反射された前記光線束の、前記測定用検出器が受光する部分以外の部分の全部または一部が示す強度を検出する光量モニタ用検出器をさらに備えていることを特徴とする請求項６記載の試料分析用測定装置。
【請求項１０】
前記光入射系が発生させる前記光線束が、２方向の偏光が一定割合で混在したものであり、
前記界面で反射された前記光線束を、第１の偏光と第２の偏光に分割する偏光ビームスプリッタであって、該第１の偏光のみが前記測定用検出器により受光されるように配置された偏光ビームスプリッタと、
前記第２の偏光の全部または一部が示す強度を検出する光量モニタ用検出器をさらに備えていることを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載の試料分析用測定装置。
【請求項１１】
前記光入射系、前記測定用検出器および前記光量モニタ用検出器が、ハウジング内に固定配置されて包含されており、該ハウジングの第１の面に、前記薄膜層と前記誘電体部材を含む試料受け部が、前記薄膜層が外部に露出するように形成されることを特徴とする請求項９または１０記載の試料分析用測定装置。
【請求項１２】
前記光入射系が光源部を含み、該光源部、前記測定用検出器および前記光量モニタ用検出器が、前記ハウジング内において、前記第１の面とは異なる第２の面上に固定配置されていることを特徴とする請求項１１記載の試料分析用測定装置。
【請求項１３】
表面に薄膜層が施され該薄膜層の上に試料が接触させられる誘電体部材に対し、該薄膜層と該誘電体部材との界面に、種々の入射角度および該入射角度に応じて変化する強度を有する光線成分からなる光線束を発生させ入射させる光入射系と、受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器であって、前記界面で反射された前記光線束を受光するように固定配置された測定用検出器とを備えた試料分析用測定装置を使用して、前記試料の全反射減衰角を測定する測定方法であって、
前記試料を前記薄膜層の上に接触させていない状態で、前記光入射系により前記光線束を前記界面に入射させ、前記測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第１の測定信号を得る工程と、
前記試料を前記薄膜層の上に接触させた状態で、前記光入射系により前記光線束を前記界面に入射させ、前記測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第２の測定信号を得る工程と、
前記第１の測定信号と前記第２の測定信号の差分信号の大きさから、前記光線束をなす前記光線成分のうち、全反射減衰を受けた光線成分の入射角度を特定して、前記全反射減衰角とする工程を含むことを特徴とする測定方法。
【請求項１４】
表面に薄膜層が施され該薄膜層の上に試料が接触させられる誘電体部材に対し、該薄膜層と該誘電体部材との界面に、種々の入射角度および該入射角度に応じて変化する強度を有する光線成分からなる光線束を発生させ入射させる光入射系であって、該光線束の中心光線の前記界面に対する入射平面に平行な平面内においてガウシアン状のビーム断面強度分布を有する光線を発生させ、該光線を前記界面に向けて収束または発散させることにより、前記光線束となす光入射系と、受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器であって、前記界面で反射された前記光線束の、前記ガウシアン状のビーム断面強度分布の片側に相当する部分のみを受光するように固定配置された測定用検出器と、前記界面で反射された前記光線束の、前記測定用検出器が受光する部分以外の部分の全部または一部が示す強度を検出する光量モニタ用検出器とを備えた試料分析用測定装置を使用して、前記試料の全反射減衰角を測定する測定方法であって、
前記試料を前記薄膜層の上に接触させていない状態で、前記光入射系により前記光線束を前記界面に入射させ、前記測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第１の測定信号と、前記光量モニタ用検出器が受光した光全体の強度を表す第１のモニタ信号を得る工程と、
前記試料を前記薄膜層の上に接触させた状態で、前記光入射系により前記光線束を前記界面に入射させ、前記測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第２の測定信号と、前記光量モニタ用検出器が受光した光全体の強度を表す第２のモニタ信号を得る工程と、
前記第１の測定信号を前記第１のモニタ信号で除算した信号と、前記第２の測定信号を前記第２のモニタ信号で除算した信号との差分信号の大きさから、前記光線束をなす前記光線成分のうち、全反射減衰を受けた光線成分の入射角度を特定して、前記全反射減衰角とする工程を含むことを特徴とする測定方法。
【請求項１５】
表面に薄膜層が施され該薄膜層の上に試料が接触させられる誘電体部材に対し、該薄膜層と該誘電体部材との界面に、種々の入射角度および該入射角度に応じて変化する強度を有する光線成分からなり、２方向の偏光が一定割合で混在した光線束を発生させ入射させる光入射系と、前記界面で反射された前記光線束を、第１の偏光と第２の偏光に分割する偏光ビームスプリッタと、受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器であって、前記第１の偏光を受光するように固定配置された測定用検出器と、前記第２の偏光の全部または一部が示す強度を検出する光量モニタ用検出器とを備えた試料分析用測定装置を使用して、前記試料の全反射減衰角を測定する測定方法であって、
前記試料を前記薄膜層の上に接触させていない状態で、前記光入射系により前記光線束を前記界面に入射させ、前記測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第１の測定信号と、前記光量モニタ用検出器が受光した光全体の強度を表す第１のモニタ信号を得る工程と、
前記試料を前記薄膜層の上に接触させた状態で、前記光入射系により前記光線束を前記界面に入射させ、前記測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第２の測定信号と、前記光量モニタ用検出器が受光した光全体の強度を表す第２のモニタ信号を得る工程と、
前記第１の測定信号を前記第１のモニタ信号で除算した信号と、前記第２の測定信号を前記第２のモニタ信号で除算した信号との差分信号の大きさから、前記光線束をなす前記光線成分のうち、全反射減衰を受けた光線成分の入射角度を特定して、前記全反射減衰角とする工程を含むことを特徴とする測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料分析用測定装置および測定方法に関し、特に、試料に接触した薄膜層と誘電体部材との界面で光線を反射させて、反射光の強度に現れる変化を測定して試料の分析を行う測定装置、およびそのような測定装置を使用して試料の全反射減衰角を測定する測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、エバネッセント波を利用した試料分析用測定装置の１つとして、表面プラズモンセンサーが知られている。金属中においては、自由電子が集団的に振動して、プラズマ波と呼ばれる粗密波が生じる。そして、金属表面に生じるこの粗密波を量子化したものは、表面プラズモンと呼ばれている。表面プラズモンセンサーは、この表面プラズモンが光波によって励起される現象を利用して、試料の特性を分析するものであり、種々のタイプのセンサーが提案されている。そして、それらの中で特によく知られているものとして、Kretschmann配置と称される系を用いるものが挙げられる（たとえば特許文献１）。
【０００３】
上記の系を用いる表面プラズモンセンサーは、一般的に、たとえばプリズム状に形成された誘電体部材と、この誘電体部材の一表面に形成されて試料に接触させられる金属膜と、その金属膜と誘電体部材との界面に、全反射条件が得られるように種々の入射角度の光線を発生させ入射させる光入射系と、その界面で全反射した光線の強度を検出する検出器とを備えてなるものである。
【０００４】
このような構成の表面プラズモンセンサーにおいて、光線を金属膜に対して全反射角以上の特定入射角θＳＰで入射させると、その金属膜に接している試料中に電界分布をもつエバネッセント波が生じ、このエバネッセント波によって金属膜と試料との界面に表面プラズモンが励起される。エバネッセント光の波数ベクトルが表面プラズモンの波数と等しくて波数整合が成立しているとき、両者は共鳴状態となり（表面プラズモン共鳴）、光のエネルギーが表面プラズモンに移行するので、誘電体部材と金属膜との界面で全反射した光の強度が鋭く低下する全反射減衰という現象が生じる。この光強度の低下は、上記の検出器により暗線として検出される。
【０００５】
なお上記の表面プラズモン共鳴は、入射光線がｐ偏光のときにだけ生じる。したがって、光線がｐ偏光で入射するように予め設定しておく必要がある。
【０００６】
この光強度の低下が生じる特定入射角θＳＰ（以後全反射減衰角θＳＰと記載）より表面プラズモンの波数が解ると、試料の誘電率が求められる。すなわち表面プラズモンの波数をＫＳＰ、表面プラズモンの角周波数をω、ｃを真空中の光速、εｍとεｓをそれぞれ金属膜、試料の誘電率とすると、以下の関係がある。
【数１】
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【０００７】
試料の誘電率εｓが分かれば、所定の較正曲線等に基づいて試料の屈折率等が分かるので、結局、全反射減衰角θＳＰを測定することにより、試料の誘電率や屈折率に関連する特性を求めることができる。
【０００８】
また、表面プラズモンセンサーの他にも、エバネッセント波を利用した類似のセンサーとして、たとえば漏洩モードセンサーが知られている（たとえば非特許文献１）。この漏洩モードセンサーは基本的に、たとえばプリズム状に形成された誘電体部材と、この誘電体部材の一表面に形成されたクラッド層と、このクラッド層の上に形成されて、試料に接触させられる光導波層と、上記のクラッド層と誘電体部材との界面に、全反射条件が得られるように種々の入射角度の光線を発生させ入射させる光入射系と、その界面で全反射した光線の強度を検出する検出器とを備えてなり、その検出器による検出結果に基づいて、導波モードの励起状態を特定し、試料の分析を行うものである。
【０００９】
上記構成の漏洩モードセンサーにおいて、光線を誘電体部材を通してクラッド層に対して全反射角以上の入射角度で入射させると、このクラッド層を透過した後の光導波層においては、ある特定の波数を有する特定入射角の光のみが導波モードで伝搬するようになる。こうして導波モードが励起されると、入射光のほとんどが光導波層に取り込まれるので、全反射減衰が生じる。そして、導波光の波数は光導波層の上の試料の屈折率に依存するので、全反射減衰角θＳＰを知ることによって、試料の屈折率や、それに関連する試料の特性を分析することができる。
【００１０】
上述した表面プラズモンセンサーや漏洩モードセンサーは、創薬研究分野等において、所望のセンシング物質に結合する特定物質を見出すランダムスクリーニングへ使用されることがあり、この場合には上記の薄膜層（表面プラズモンセンサーの場合は金属膜であり、漏洩モードセンサーの場合はクラッド層および光導波層）上にセンシング物質を固定し、そのセンシング物質上に種々の被検体の溶液（液体試料）を添加し、所定時間が経過するごとに前述の全反射減衰角θＳＰを測定している。液体試料中の被検体が、センシング物質と結合するものであれば、この結合によりセンシング物質の屈折率が時間経過に伴って変化する。したがって、所定時間経過ごとに全反射減衰角θＳＰを測定し、全反射減衰角θＳＰに変化が生じているか否かを確認することにより、被検体とセンシング物質の結合が行われているか否か、すなわち被検体がセンシング物質と結合する特定物質であるか否かを判定することができる。このような特定物質とセンシング物質との組み合わせとしては、たとえば抗原と抗体あるいは抗体と抗体が挙げられる。そのようなものに関する具体的な測定としては、一例として、センシング物質をウサギ抗ヒトＩｇＧ抗体とし、被検体であるヒトＩｇＧ抗体との結合の有無検出とその定量分析を行う測定が挙げられる。
【００１１】
なお、液体試料中の被検体とセンシング物質の結合状態を測定するためには、必ずしも全反射減衰角θＳＰの角度そのものを検出する必要はない。たとえば、センシング物質に被検体が含まれた液体試料について、その後の全反射減衰角θＳＰの角度変化量を測定して、その角度変化量の大小に基づいて結合状態を測定することもできる。
【００１２】
表面プラズモンセンサーや漏洩モードセンサーにおいて、上述のように種々の入射角度を得る手法としては、１つには、細い光線を入射角度を変化させながら上記の界面に順次入射させる手法が知られている（たとえば特許文献２）。この場合、入射角度の変化に従って反射角度が変化する光線を、その反射角度の変化に同期して移動する小さな１セル型検出器や、反射角度の変化方向に沿って延びる１セル型または多セル型の検出器によって検出し、暗線が検出された際の入射角度を、全反射減衰角として特定することができる。
【００１３】
もう１つの手法としては、種々の入射角度の光線成分からなる太い光線束を、上記の界面に収束光状態あるいは発散光状態で入射させる手法が知られている（たとえば特許文献１および３）。この場合、種々の反射角度で反射した各光線成分を、それらすべてを受光できる方向に延びる多セル型のラインセンサーや２次元アレイセンサーによって検出し、暗線の検出位置に対応する光線成分の入射角度を、全反射減衰角として特定することができる。
【特許文献１】特開平６−１６７４４３号公報
【特許文献２】特開平１０−２３９２３３号公報
【特許文献３】特開平１０−１９７６８号公報
【非特許文献１】「分光研究」第４７巻 第１号（１９９８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、細い光線を入射角度を変化させながら順次入射させる手法では、入射角度を変化させる機構が煩雑となる、高速の処理が困難である等の問題があった。さらに、機械的な移動機構により入射角度を変化させる場合には、その移動機構の角度設定精度により検出精度が制限されるという問題もあった。
【００１５】
一方、種々の入射角度の光線成分からなる太い光線束を収束光状態あるいは発散光状態で入射させる手法では、多セル型のラインセンサーや２次元アレイセンサーといった高価な検出器が必要となる、暗線位置を検出するために複雑なアルゴリズムによる計算処理を要する等の問題があった。さらに、界面の凹凸や、暗線の広がり幅（特にレーザー以外の光源を用いた場合）の影響により、暗線位置の検出精度が制限されるという問題もあった。
【００１６】
本発明は、上記事情に鑑み、種々の入射角度に対し、試料が接触させられる薄膜層と誘電体部材との界面からの反射光の強度変化を、低コストの単純な装置構成で高速に測定できる試料分析用測定装置、ならびに、そのような試料分析用測定装置を使用して、単純な計算処理により試料の全反射減衰角を測定する方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
すなわち、本発明の試料分析用測定装置は、表面に薄膜層が施されその薄膜層の上に試料が接触させられる誘電体部材に対し、その薄膜層と誘電体部材との界面に、種々の入射角度およびその入射角度に応じて変化する強度を有する光線成分からなる光線束を発生させ入射させる光入射系と、受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器であって、上記の界面で反射された光線束を受光するように固定配置された、測定用検出器とを備えていることを特徴とするものである。
【００１８】
ここで、「受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器」とは、１セル型の検出器であってもよいし、ＣＣＤ等の多セル型の検出器を、全セルが受光した光の合計強度を表す積分信号を出力するように用いたものであってもよい。
【００１９】
また、上記の測定用検出器が「界面で反射された上記の光線束を受光するように固定配置」されているとは、反射された上記の光線束の全体を受光するように固定配置されていてもよいし、所望の範囲の反射角度（すなわち、所望の範囲の入射角度）の光線成分を含む、上記の光線束の一部のみを受光するように固定配置されていてもよい。
【００２０】
上記の本発明の試料分析用測定装置において、上記の光入射系は、上記の光線束が包含する入射角度の範囲を変更する手段を備えているものであってもよい。
【００２１】
また、上記の光入射系は、上記の光線束の全体のビーム径を変更する手段を備えているものであってもよい。
【００２２】
さらに、上記の光入射系が発生させる光線束は、その光線束の中心光線の上記の界面に対する入射平面内において、入射角度に応じて単調増加または単調減少するビーム断面強度を有するものであってもよい。
【００２３】
また、上記の光入射系は、光線束の中心光線の上記の界面に対する入射平面に平行な平面内においてガウシアン状のビーム断面強度分布を有する光線を発生させ、その光線を上記の界面に向けて収束または発散させることにより、上記の光線束となすものであってもよい。
【００２４】
さらに、上記の測定用検出器は、上記の界面で反射された光線束の、上記のガウシアン状のビーム断面強度分布の片側に相当する部分のみを受光するように配置されているものであってもよい。ここで、「上記のガウシアン状のビーム断面強度分布の片側に相当する部分」とは、上記のガウシアン状のビーム断面強度分布をその強度ピーク位置で二分割したとき、その一方に包含される部分を指すものとする。
【００２５】
また、上記の本発明の試料分析用測定装置は、上記の光入射系と上記の測定用検出器がハウジング内に固定配置されて包含されており、そのハウジングの第１の面に、上記の薄膜層と上記の誘電体部材を含む試料受け部が、薄膜層が外部に露出するように形成されるものであってもよい。その場合において、上記の光入射系が光源部を含み、その光源部と上記の測定用検出器が、ハウジング内において、上記の第１の面とは異なる第２の面上に固定配置されていることが好ましい。ここで、上記の試料受け部は、上記のハウジングと一体に形成されているものであってもよいし、その一部または全部が上記のハウジングから取外し可能とされているものであってもよい。
【００２６】
さらに、上記のように、測定用検出器を、ガウシアン状のビーム断面強度分布の片側に相当する部分のみを受光するように配置されたものとした場合には、上記の本発明の試料分析用測定装置は、上記の界面で反射された光線束の、上記の測定用検出器が受光する部分以外の部分の全部または一部が示す強度を検出する光量モニタ用検出器をさらに備えているものであってもよい。
【００２７】
また、上記の本発明の試料分析用測定装置においては、上記の光入射系が発生させる光線束が、２方向の偏光が一定割合で混在したものであり、上記の界面で反射された光線束を、第１の偏光と第２の偏光に分割する偏光ビームスプリッタであって、その第１の偏光のみが上記の測定用検出器により受光されるように配置された偏光ビームスプリッタと、上記の第２の偏光の全部または一部が示す強度を検出する光量モニタ用検出器がさらに備わったものであってもよい。
【００２８】
さらに、上記の本発明の試料分析用測定装置は、上記の光入射系、上記の測定用検出器および上記の光量モニタ用検出器が、ハウジング内に固定配置されて包含されており、そのハウジングの第１の面に、上記の薄膜層と上記の誘電体部材を含む試料受け部が、薄膜層が外部に露出するように形成されるものであってもよい。その場合において、上記の光入射系が光源部を含み、その光源部、上記の測定用検出器および上記の光量モニタ用検出器が、ハウジング内において、上記の第１の面とは異なる第２の面上に固定配置されていることが好ましい。ここでも、上記の試料受け部は、上記のハウジングと一体に形成されているものであってもよいし、その一部または全部が上記のハウジングから取外し可能とされているものであってもよい。
【００２９】
本発明の第１の測定方法は、表面に薄膜層が施されその薄膜層の上に試料が接触させられる誘電体部材に対し、その薄膜層と誘電体部材との界面に、種々の入射角度およびその入射角度に応じて変化する強度を有する光線成分からなる光線束を発生させ入射させる光入射系と、受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器であって、上記の界面で反射された光線束を受光するように固定配置された測定用検出器とを備えた試料分析用測定装置を使用して、上記の試料の全反射減衰角を測定する測定方法であって、上記の試料を上記の薄膜層の上に接触させていない状態で、上記の光入射系により上記の光線束を上記の界面に入射させ、上記の測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第１の測定信号を得る工程と、上記の試料を上記の薄膜層の上に接触させた状態で、上記の光入射系により上記の光線束を上記の界面に入射させ、上記の測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第２の測定信号を得る工程と、上記の第１の測定信号と上記の第２の測定信号の差分信号の大きさから、上記の光線束をなす光線成分のうち、全反射減衰を受けた光線成分の入射角度を特定して、上記の全反射減衰角とする工程を含むことを特徴とするものである。
【００３０】
本発明の第２の測定方法は、表面に薄膜層が施されその薄膜層の上に試料が接触させられる誘電体部材に対し、その薄膜層と誘電体部材との界面に、種々の入射角度およびその入射角度に応じて変化する強度を有する光線成分からなる光線束を発生させ入射させる光入射系であって、その光線束の中心光線の上記の界面に対する入射平面に平行な平面内においてガウシアン状のビーム断面強度分布を有する光線を発生させ、その光線をその界面に向けて収束または発散させることにより、上記の光線束となす光入射系と、受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器であって、上記の界面で反射された上記の光線束の、上記のガウシアン状のビーム断面強度分布の片側に相当する部分のみを受光するように固定配置された測定用検出器と、上記の界面で反射された上記の光線束の、上記の測定用検出器が受光する部分以外の部分の全部または一部が示す強度を検出する光量モニタ用検出器とを備えた試料分析用測定装置を使用して、上記の試料の全反射減衰角を測定する測定方法であって、試料を上記の薄膜層の上に接触させていない状態で、上記の光入射系により上記の光線束を上記の界面に入射させ、上記の測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第１の測定信号と、上記の光量モニタ用検出器が受光した光全体の強度を表す第１のモニタ信号を得る工程と、試料を上記の薄膜層の上に接触させた状態で、上記の光入射系により上記の光線束を上記の界面に入射させ、上記の測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第２の測定信号と、上記の光量モニタ用検出器が受光した光全体の強度を表す第２のモニタ信号を得る工程と、その第１の測定信号を前記第１のモニタ信号で除算した信号と、第２の測定信号を上記の第２のモニタ信号で除算した信号との差分信号の大きさから、上記の光線束をなす光線成分のうち、全反射減衰を受けた光線成分の入射角度を特定して、上記の全反射減衰角とする工程を含むことを特徴とするものである。
【００３１】
本発明の第３の測定方法は、表面に薄膜層が施されその薄膜層の上に試料が接触させられる誘電体部材に対し、その薄膜層と誘電体部材との界面に、種々の入射角度およびその入射角度に応じて変化する強度を有する光線成分からなり、２方向の偏光が一定割合で混在した光線束を発生させ入射させる光入射系と、上記の界面で反射された上記の光線束を、第１の偏光と第２の偏光に分割する偏光ビームスプリッタと、受光した光全体の強度を表す信号を出力する単一の測定用検出器であって、上記の第１の偏光を受光するように固定配置された測定用検出器と、上記の第２の偏光の全部または一部が示す強度を検出する光量モニタ用検出器とを備えた試料分析用測定装置を使用して、上記の試料の全反射減衰角を測定する測定方法であって、試料を上記の薄膜層の上に接触させていない状態で、上記の光入射系により上記の光線束を上記の界面に入射させ、上記の測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第１の測定信号と、上記の光量モニタ用検出器が受光した光全体の強度を表す第１のモニタ信号を得る工程と、試料を上記の薄膜層の上に接触させた状態で、上記の光入射系により上記の光線束を上記の界面に入射させ、上記の測定用検出器が受光した光全体の強度を表す第２の測定信号と、上記の光量モニタ用検出器が受光した光全体の強度を表す第２のモニタ信号を得る工程と、上記の第１の測定信号を上記の第１のモニタ信号で除算した信号と、上記の第２の測定信号を上記の第２のモニタ信号で除算した信号との差分信号の大きさから、光線束をなす光線成分のうち、全反射減衰を受けた光線成分の入射角度を特定して、前記全反射減衰角とする工程を含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の試料分析用測定装置によれば、受光した光全体の強度を表す信号を出力する固定配置された単一の測定用検出器を用いた低コストの単純な装置構成により、種々の入射角度および強度の光線成分からなる光線束の、反射光の強度変化を高速に測定することができる。とりわけ、その反射光の強度変化が、全反射減衰のように、上記の光線束をなす光線成分のうち特定の入射角度のものが所定割合の減衰や変調等を受けたことに起因するものであるときは、上記の低コストの単純な装置構成によって反射光の強度変化量を測定することにより、かかる減衰や変調等を受けた光線成分の入射角度を高速に特定して、試料の分析を行うことができる。
【００３３】
また、上記の光入射系を、上記の光線束が包含する入射角度の範囲を変更する手段を備えたものとした態様によれば、分析対象の試料に応じて、所望の範囲の反射角度（すなわち、所望の範囲の入射角度）について反射光の強度変化量を測定し、精確な試料の分析を行うことができる。たとえば、試料の全反射減衰角を測定する場合には、予想される全反射減衰角の範囲を包含するように入射角度の範囲を設定しておき、精確な測定を行うことができる。
【００３４】
さらに、上記の光入射系を、上記の光線束の全体のビーム径を変更する手段を備えたものとした態様によれば、広範な入射角度の光線成分に関して分析を行いたいときは大径の光線束を使用し、より絞った範囲の入射角度の光線成分に関して分析を行いたいときはより小径の光線束を使用することができる。たとえば、試料の全反射減衰角を測定する場合には、緩やかなビーム断面強度分布を有する大径の光線束を用いて大体の全反射減衰角を特定した後、よりシャープなビーム断面強度分布を有する小径の光線束を用いて、全反射減衰角をより精確に測定することができる。
【００３５】
また、光入射系が発生させる上記の光線束を、その光線束の中心光線の上記の界面に対する入射平面内において、入射角度に応じて単調増加または単調減少するビーム断面強度を有するものとした態様によれば、全反射減衰角のように、所定割合の減衰や変調等を受けた光線成分の入射角度を特定する際、より特定がし易くなる。
【００３６】
さらに、上記の光入射系を、ガウシアン状のビーム断面強度分布を有する光線を発生させ、その光線を前記界面に向けて収束または発散させることにより、上記の光線束となすものとした態様によれば、入射角度と強度に相関関係のある光線成分からなる光線束を、単純な装置構成により発生させることができる。
【００３７】
また、上記の測定用検出器を、反射された光線束の、ガウシアン状のビーム断面強度分布の片側に相当する部分のみを受光するように配置した態様によれば、全反射減衰角のように、所定割合の減衰や変調等を受けた光線成分の入射角度を特定する際、より特定がし易くなる。
【００３８】
さらに、光量モニタ用検出器を設けた態様によれば、測定用検出器により検出される反射光の強度変化が、試料による減衰や変調によるものであるのか、入射させられる光線束のパワー変動によるものであるのかを見極め、より精確な分析を行うことが可能となる。
【００３９】
また、上記の光入射系、測定用検出器、および設けられている場合には光量モニタ用検出器を、ハウジング内に固定配置して包含させた態様によれば、持運びがし易く、装置の移動ごとに光学素子のアラインメント調整をし直す必要のない試料分析用測定装置となすことができる。さらに、上記の光入射系の光源部、測定用検出器、および設けられている場合には光量モニタ用検出器を、１つの面上に固定配置した態様によれば、ハウジング外部との配線やインターフェースを１つの面に集約することができるので、装置の取扱い易さが一層向上する。
【００４０】
本発明の全反射減衰角の測定方法によれば、用いる試料分析用測定装置の構成が上記のとおり低コストかつ単純なものであることに加えて、全反射減衰角を特定するための計算処理も極めて単純なものとなるので、全体的なコストや負荷が極めて低い処理により、試料の全反射減衰角を測定し、試料の分析を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、図面により、本発明の例示的な実施形態を詳細に説明する。
【００４２】
図１は、本発明の試料分析用測定装置の第１の実施形態に係る表面プラズモンセンサー１０の構成を示す側面図である。
【００４３】
この表面プラズモンセンサー１０は、取外しおよび交換が可能な誘電体部材１２を含んでいる。この誘電体部材１２は、図示のとおり、概略四角錐の一部を切り取り、上部をカップ状とした形状を有しており、透明樹脂等から形成されている。誘電体部材１２の下方部分１２ａは、プリズムの役割を果たす。上方のカップ状の部分の底面には、たとえば金、銀、銅、アルミニウム等からなる金属膜１４が施され、その上に液体試料１６が接触させられる。液体試料１６の種類および測定の目的に応じて、金属膜１４の上側表面にセンシング物質（たとえば抗体）を固定しておいてもよい。
【００４４】
光入射系１８は、上記の誘電体部材１２と金属膜１４との界面、すなわち誘電体部材１２上方のカップ状の部分の底面に向けて、種々の入射角度および強度の光線成分からなる光線束を発生させ入射させるものである。本実施形態では、光入射系１８は、レーザー光源２０、偏波面保存ファイバー２２、コリメータレンズ２４、偏光板２６、発散レンズ２８、収束レンズ３０および３２からなり、レーザー光源２０によりガウシアン状のビーム断面強度を有する光線を発生させ、その光線を一旦拡大した後、上記の界面に向けて収束させつつ入射させる。このような構成により、上記の界面に入射する光線束は、種々の入射角θと、その入射角θと相関関係（ガウシアン分布）のある強度とを有する多数の光線成分を含むことになる。この入射角θは、全反射角以上の角度となるようにする。なお、図１の例では、誘電体部材１２と金属膜１４との界面で合焦するように光線を収束させているが、デフォーカス状態で入射させることとしてもよい。そのようにすれば、表面プラズモン共鳴の状態検出の誤差が平均化されて、測定精度が高められる。
【００４５】
偏光版２６は、レーザー光源２０により発生させられた光線から、表面プラズモン共鳴を引き起こす偏光、すなわちｐ偏光のみを抽出するためのものである。
【００４６】
光入射系１８により発生させられた上記の光線束は、誘電体部材１２と金属膜１４との界面で反射された後、固定配置された単一の測定用検出器３４によって受光される。測定用検出器３４は、受光した光全体の強度を表す信号を、信号処理部３６に出力する。この測定用検出器３４は、１セル型の検出器であってもよいし、ＣＣＤ等の多セル型の検出器を、全セルが受光した光の合計強度を表す積分信号を出力するように用いたものであってもよい。
【００４７】
以下、上記の図１の表面プラズモンセンサー１０を用いて、液体試料１６の全反射減衰角θＳＰを測定する処理について説明する。
【００４８】
まず、液体試料１６を誘電体部材１２のカップ状部分に滴下する前に、レーザー光源２０を駆動して、誘電体部材１２と金属膜１４との界面からの反射光の強度を表す信号ＳＢＡＳＥを、測定用検出器３４によって取得する。この信号ＳＢＡＳＥは、表面プラズモン共鳴による全反射減衰がない状態における、ガウシアン状のビーム断面強度を有する入射光線束全体の強度に対応するベースライン信号である。
【００４９】
次に、液体試料１６を誘電体部材１２のカップ状部分に滴下し、金属膜１４に接触させた状態で、レーザー光源２０を駆動して、反射光の強度を表す信号ＳＡＴＲを、測定用検出器３４によって取得する。この信号ＳＡＴＲは、上記のベースライン信号ＳＢＡＳＥの特定入射角に対応する部分に全反射減衰が生じた状態における、反射光線束全体の強度（図１の測定用検出器３４上に模式的に実線で示すビーム断面強度分布を積分したもの）に対応する信号である。
【００５０】
続いて、信号処理部３６が、差分信号ＳＢＡＳＥ−ＳＡＴＲを求め、その大きさから、全反射減衰を受けた光線成分の入射角度を特定して、全反射減衰角θＳＰとする。具体的には、本実施形態における信号処理部３６は、全反射減衰の大きさ、すなわち差分信号ＳＢＡＳＥ−ＳＡＴＲの大きさが、全反射減衰が生じた部分のベースライン強度Ｂ（図１参照）に一定値をかけ合わせた大きさに等しいという前提から、全反射減衰が生じた部分のベースライン強度Ｂを導出し、ベースライン強度と入射角度との関係を予め調べて規定した参照表を参照し、全反射減衰が生じた入射角度すなわち全反射減衰角θＳＰを特定する。このような処理により、受光した光全体の強度を表す信号を出力する固定配置された単一の測定用検出器を用いた低コストの単純な装置構成によりながら、全反射減衰角θＳＰを適切に導出することができる。また、上記の信号処理部３６における計算処理も非常に単純なものであるので、全体的なコストや負荷が極めて低い処理により、試料の全反射減衰角θＳＰを測定することができる。
【００５１】
なお、図１では、測定用検出器３４は反射された光線束の全体を受光するものであるように図示したが、これに限られず、一部のみを受光するものであってもよい。たとえば、測定用検出器３４は、界面で反射された光線束のガウシアン状のビーム断面強度分布の、全反射減衰が生じる部分が含まれると推定される側の片側に相当する部分のみを受光するように固定配置されたものであってもよい。
【００５２】
次に、本発明の試料分析用測定装置の第２の実施形態に係る表面プラズモンセンサー４０について説明する。図２は、この表面プラズモンセンサー４０の構成を示す側面図である。なお、以下の各実施形態の説明および各図においては、図１に示した表面プラズモンセンサー１０の各構成要素と同様の作用をする要素は、図１と同一の参照番号を付し、それらについては説明を省略する。
【００５３】
図２の表面プラズモンセンサー４０は、測定用検出器４２に加えて光量モニタ様検出器４４が設けられており、それら２つが信号処理部４６に接続されている点が、図１の表面プラズモンセンサー１０と異なる。測定用検出器４２と光量モニタ様検出器４４は、それぞれ固定配置された単一の検出器であり、受光した光全体の強度を表す信号を、信号処理部４６に出力するものである。測定用検出器４２は、誘電体部材１２と金属膜１４との界面で反射された光線束のガウシアン状のビーム断面強度分布の、全反射減衰が生じる部分が含まれると推定される側の片側に相当する部分を受光するように固定配置されている。光量モニタ用検出器４４は、上記と反対側の片側に相当する部分を受光するように固定配置されている。測定用検出器４２と光量モニタ様検出器４４は、それぞれ１セル型の検出器であってもよいし、ＣＣＤ等の多セル型の検出器を、全セルが受光した光の合計強度を表す積分信号を出力するように用いたものであってもよい。
【００５４】
以下、上記の図２の表面プラズモンセンサー４０を用いて、液体試料１６の全反射減衰角θＳＰを測定する処理について説明する。
【００５５】
まず、液体試料１６を誘電体部材１２のカップ状部分に滴下する前に、レーザー光源２０を駆動して、誘電体部材１２と金属膜１４との界面からの反射光の、ガウシアン状ビーム断面強度分布の一方の片側に相当する部分の強度を表す信号ＳＢＡＳＥを、測定用検出器４２によって取得する。同時に、他方の片側に相当する部分の強度を表す信号ＲＢＡＳＥを、光量モニタ用検出器４４によって取得する。
【００５６】
次に、液体試料１６を誘電体部材１２のカップ状部分に滴下し、金属膜１４に接触させた状態で、レーザー光源２０を駆動して、上記の一方の片側に相当する部分の強度を表す信号ＳＡＴＲを、測定用検出器４２によって取得する。同時に、他方の片側に相当する部分の強度を表す信号ＲＡＴＲを、光量モニタ用検出器４４によって取得する。
【００５７】
続いて、信号処理部４６が、規格化信号ＳＢＡＳＥ／ＲＢＡＳＥとＳＡＴＲ／ＲＡＴＲとの差分信号（ＳＢＡＳＥ／ＲＢＡＳＥ）−（ＳＡＴＲ／ＲＡＴＲ）を求め、その大きさから、全反射減衰を受けた光線成分の入射角度を特定して、全反射減衰角θＳＰとする。具体的には、本実施形態における信号処理部４６は、全反射減衰の大きさ、すなわち上記の差分信号の大きさが、全反射減衰が生じた部分の規格化ベースライン強度に一定値をかけ合わせた大きさに等しいという前提から、全反射減衰が生じた部分の規格化ベースライン強度を導出し、規格化ベースライン強度と入射角度との関係を予め調べて規定した参照表を参照し、全反射減衰が生じた入射角度すなわち全反射減衰角θＳＰを特定する。このような処理により、受光した光全体の強度を表す信号を出力する固定配置された単一の測定用検出器を用いた低コストの単純な装置構成によりながら、全反射減衰角θＳＰを適切に導出することができる。また、上記の信号処理部４６における計算処理も非常に単純なものであるので、全体的なコストや負荷が極めて低い処理により、試料の全反射減衰角θＳＰを測定することができる。また、光量モニタ用検出器４４を設けたことにより、測定用検出器４２により検出される反射光の強度変化のうち、レーザー光源２０のパワー変動等によるものを相殺し、全反射減衰による強度変化のみを検出して、より精確な分析を行うことが可能となる。
【００５８】
なお、上記の第２の実施形態においては、いずれの検出器が測定用検出器であっていずれの検出器が光量モニタ用検出器であるかを固定せずに、所期の全反射減衰角に合わせて、複数の検出器のいずれかを可換的に測定用検出器として使用し、残りを光量モニタ用検出器として使用することとしてもよい。
【００５９】
次に、本発明の試料分析用測定装置の第３の実施形態に係る表面プラズモンセンサー５０について、図３および４を用いて説明する。
【００６０】
図３は、第３の実施形態に係る表面プラズモンセンサー５０の構成を示す側面図である。この表面プラズモンセンサー５０は、集束レンズ３０と３２の間の、光線束が平行光化されている部分に、逆ガウシアンフィルター５２およびリニアウェッジフィルター５４が挿入されている点で、図１の表面プラズモンセンサー１０と異なる。図４の説明図に示すように、これらの逆ガウシアンフィルター５２およびリニアウェッジフィルター５４の組合せにより、界面入射前の光線束のビーム断面強度が、中心光線の界面に対する入射平面内において、入射角度に応じて単調増加または単調減少するものに変換される。これにより、入射平面内における光線束のベースライン強度が入射角度に応じて単調増加または単調減少するものとなるので、ベースライン強度に対して一定割合の全反射減衰を受けた光線成分の入射角度（全反射減衰角θＳＰ）が、より特定し易くなる。
【００６１】
次に、本発明の試料分析用測定装置の第４の実施形態に係る表面プラズモンセンサー６０について、図５の側面図を用いて説明する。
【００６２】
この第４の実施形態に係る表面プラズモンセンサー６０は、発散レンズ２８よりも屈折力の弱い発散レンズ６２が使用されており、発散レンズ６２と集束レンズ３０を含む光入射系１８の一部６４を、光軸に対して垂直に移動させる駆動部６６が設けられている点で、図１の表面プラズモンセンサー１０と異なる。発散レンズ６２の屈折力が弱いため、誘電体部材１２と金属膜１４との界面に入射する光線束が包含する入射角度の範囲、および測定用検出器３４に到達した際の光線束のビーム径は、図１の表面プラズモンセンサー１０の場合よりも小さくなっている。これにより、測定用検出器３４に到達した際の光線束のベースライン強度の勾配が大きくなるので、全反射減衰角θＳＰの変化に対する信号ＳＡＴＲの変化量が大きくなり、より感度の高い全反射減衰角θＳＰの測定が可能となる。ただし、これに伴い光線束が包含する入射角度の範囲が狭くなるため、測定可能な全反射減衰角θＳＰの範囲を広く確保するため、駆動部６６により光入射系１８の一部６４を移動可能とすることにより、所期の全反射減衰角θＳＰに合わせて光線束が包含する入射角度の範囲を変更できるような構成としている。なお、光入射系１８の一部のみを移動させる態様に限られず、レーザー光源２０まで含めた光入射系１８の全体を移動させることとしてもよい。
【００６３】
次に、本発明の試料分析用測定装置の第５の実施形態に係る表面プラズモンセンサー７０について、図６の側面図を用いて説明する。
【００６４】
この第５の実施形態に係る表面プラズモンセンサー７０は、発散レンズ２８と集束レンズ３０を含む光入射系１８の一部７２を、光軸に対して垂直に移動させる駆動部７４と、光軸に対して垂直に挿入可能な開口板７６が設けられている点で、図１の表面プラズモンセンサー１０と異なる。この表面プラズモンセンサー７０によれば、最初は開口板７６を挿入せずに、勾配が緩やかなビーム断面強度分布を有する大径の光線束を用いて大体の全反射減衰角θＳＰを特定した後、光入射系１８の一部７２を移動させて光線束の位置を上記の大体の全反射減衰角θＳＰに合わせ、開口板７６を挿入し、よりシャープなビーム断面強度分布を有する小径の光線束を用いて、全反射減衰角をより精確に測定することができる。なお、光線束のビーム径を変更する手段は、上記のような開口板に限られず、たとえば、レーザー光源自体に設けられたビーム径を変更するスイッチ等であってもよい。
【００６５】
次に、本発明の試料分析用測定装置の第６の実施形態に係る表面プラズモンセンサー８０について、図７の側面図を用いて説明する。
【００６６】
この第６の実施形態に係る表面プラズモンセンサー８０は、ｓ偏光とｐ偏光が相当割合で混在したレーザー光を発生させるレーザー光源８２を使用しており、反射された光線束をｓ偏光とｐ偏光に分割し、ｐ偏光のみが測定用検出器３４により受光されるように配置された偏光ビームスプリッタ８４と、分割されたｓ偏光を受光してその強度を示す信号を出力する光量モニタ用検出器８６とをさらに備え、測定用検出器３４と光量モニタ用検出器８６の両方が信号処理部８８に接続されている点で、図１の表面プラズモンセンサー１０と異なる。また、上記の第１から第５の実施形態では、偏光版２６は、ｐ偏光のみを抽出する角度に固定されていたが、本実施形態では、それより２０°から３０°傾斜させた角度に固定されている。レーザー光源８２としては、ｓ偏光とｐ偏光が１：３程度の割合で混在したレーザー光を発生させる、いわゆるスーパー・ルミネッセント・ダイオード（ＳＬＤ）等が適当である。信号処理部８８が行う処理は、図２の表面プラズモンセンサー４０中の信号処理部４６が行う上記に説明した処理と同様である。全反射減衰はｐ偏光に対してのみ生じるので、上記構成の表面プラズモンセンサー８０によれば、光量モニタ用検出器８６が受光するｓ偏光の光量は、全反射減衰の影響を受けず、レーザー光源８２のパワー変動等による光量の変化のみを反映したものとなる。したがって、この光量モニタ用検出器８６からの信号で測定用検出器３４からの信号を除算することにより、測定用検出器３４により検出される反射光の強度変化のうち、レーザー光源８２のパワー変動等によるものを相殺し、全反射減衰による強度変化のみを検出して、より精確な分析を行うことが可能となる。
【００６７】
以上、本発明の第１から第６の実施形態に係る表面プラズモンセンサーについて説明したが、これらの表面プラズモンセンサーは、光入射系と各検出器をハウジング内に固定配置して包含させた構成とすることもできる。
【００６８】
図８は、第１の実施形態に係る表面プラズモンセンサー１０に類似の構成要素を有する表面プラズモンセンサー９０の、ハウジング９２内に収められた構成の一例を示す側面図である。この表面プラズモンセンサー９０では、光入射系の光路中に、１枚のミラー９４が追加されている。また、図１に示す一体の誘電体部材１２に代えて、互いに分離可能なプリズム部９６とカップ部９８からなる誘電体部材が用いられている。図示のとおり、レーザー光源２０、偏波面保存ファイバー２２、コリメータレンズ２４、偏光板２６、ミラー９４、発散レンズ２８、収束レンズ３０および３２、プリズム部９６および測定用検出器３４は、ハウジング９２内に固定配置されている。プリズム部９６の上表面は、ハウジング９２の外側面に露出させられており、その上に、金属膜１４が施されたカップ部９８が取外し可能に取り付けられている。このプリズム部９６とカップ部９８からなる誘電体部材と金属膜１４とが、試料受け部を構成し、液体試料１６を金属膜１４に接触するように収容している。プリズム部９６とカップ部９８との間には、屈折率マッチング液が施されていてもよい。ハウジング９２外部との配線やインターフェースが必要なレーザー光源２０と測定用検出器３４は、１つの面上に纏めて配置されている。上記の第２から第６の実施形態に類似の構成要素を有する表面プラズモンセンサーについても、同様にハウジング化することができる。このようにハウジング化を行うことにより、持運びがし易く、移動ごとに光学素子のアラインメント調整をし直す必要のない表面プラズモンセンサーとなすことができる。
【００６９】
以上、本発明の第１から第６の実施形態に係る表面プラズモンセンサーについて詳細に説明したが、これらの表面プラズモンセンサーの使用態様は、上記のように液体試料を滴下しない状態での反射光強度を検出した上で、全反射減衰角θＳＰの絶対値を求める態様に限られない。たとえば、センシング物質に被検体が含まれた液体試料を金属膜上に滴下し、その後の全反射減衰角θＳＰの角度変化量を測定して、その角度変化量の大小に基づいて結合状態を測定すること等もできる。また、本発明の装置は表面プラズモンセンサーに限られるものでもなく、漏洩モードセンサー等であってもよい。
【００７０】
その他、上記の各実施形態は例示に過ぎず、本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲のみによって定められるべきものであることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の試料分析用測定装置の第１の実施形態に係る表面プラズモンセンサーの構成を示す側面図
【図２】本発明の試料分析用測定装置の第２の実施形態に係る表面プラズモンセンサーの構成を示す側面図
【図３】本発明の試料分析用測定装置の第３の実施形態に係る表面プラズモンセンサーの構成を示す側面図
【図４】図３の表面プラズモンセンサーの光入射系が有するフィルターの作用を示す説明図
【図５】本発明の試料分析用測定装置の第４の実施形態に係る表面プラズモンセンサーの構成を示す側面図
【図６】本発明の試料分析用測定装置の第５の実施形態に係る表面プラズモンセンサーの構成を示す側面図
【図７】本発明の試料分析用測定装置の第６の実施形態に係る表面プラズモンセンサーの構成を示す側面図
【図８】図１に類似の構成を有する表面プラズモンセンサーをハウジング化した例を示す側面図
【符号の説明】
【００７２】
１０、４０、５０、６０、７０、８０、９０    表面プラズモンセンサー
１２    誘電体部材
１４    金属膜
１６    液体試料
１８    光入射系
２０、８２    レーザー光源
３４、４２    測定用検出器
４４、８６    光量モニタ用検出器
８４    偏光ビームスプリッター
９２    ハウジング
【図１】
2006047000.tif 000004
【図２】
2006047000.tif 000005
【図３】
2006047000.tif 000006
【図４】
2006047000.tif 000007
【図５】
2006047000.tif 000008
【図６】
2006047000.tif 000009
【図７】
2006047000.tif 000010
【図８】
2006047000.tif 000011