(57)【要約】【課題】  微細な内径を有する電鋳管を提供する。【解決手段】  電鋳により細線材の周りに電着物または囲繞物を形成し、電着物または囲繞物から細線材を除去して製造される電鋳管であって、細線材３５を電着物５５または囲繞物から除去して形成される中空部の内形状が断面円形状を有するものは、中空部の内径が１０μｍ以上８５μｍ以下であり、中空部の内形状が断面多角形状を有するものは、中空部の内接円の直径が１０μｍ以上８５μｍ以下であり、細線材３５を除去して形成される中空部が複数個あり、中空部の間に、絶縁体の外面に導電層を設けて形成してある隔壁体を介在させて、各中空部の周りを形成する部分ごとに独立して電気伝導ができるように構成してある電鋳管である。【選択図】        図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電鋳により細線材の周りに電着物または囲繞物を形成し、電着物または囲繞物から細線材を除去して製造される電鋳管であって、
細線材を電着物または囲繞物から除去して形成される中空部の内形状が断面円形状を有するものは、中空部の内径が１０μｍ以上８５μｍ以下であり、中空部の内形状が断面多角形状を有するものは、中空部の内接円の直径が１０μｍ以上８５μｍ以下であり、
細線材を除去して形成される中空部が複数個あり、
中空部の間に、絶縁体の外面に導電層を設けて形成してある隔壁体を介在させて、各中空部の周りを形成する部分ごとに独立して電気伝導ができるように構成してあることを特徴とする、
電鋳管。
【請求項２】
肉厚が５μｍ以上５０μｍ以下であることを特徴とする、
請求項１記載の電鋳管。
【請求項３】
内面に電着物または囲繞物とは異なる材質の導電層が設けてあることを特徴とする、
請求項１又は２記載の電鋳管。
【請求項４】
内面に電着物または囲繞物とは異なる材質の導電層が設けてあり、更に、電着物または囲繞物と上記導電層との間には、当該導電層とは異なる材質の導電層が設けてあることを特徴とする、
請求項１又は２記載の電鋳管。
【請求項５】
隔壁体の外面に設けてある導電層が、中空部の一部を形成するように構成してあることを特徴とする、
請求項１，２，３又は４記載の電鋳管。
【請求項６】
隔壁体は、隣り合う中空部間に設けられる部分の厚みが、５μｍ以上５０μｍ以下であることを特徴とする、
請求項１，２，３，４又は５記載の電鋳管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気鋳造（本明細書では「電鋳」という）管の製造方法及び電鋳管、電鋳管を製造するための細線材に係り、更に詳しくは、微細な内径を有する電鋳管の製造方法及び電鋳管に関する。また、微細な内径を有する電鋳管を製造するための細線材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からＬＳＩ等の集積回路を製造する際には、半導体パターンが設計通りに出来上がっており、電気的導通が良好であるかどうかの検査が行われている。この検査は、多数のコンタクトプローブを備えた装置（本明細書では「プローブ装置」という）を用い、コンタクトプローブのピンを形成した各電極に接触させて行われる。コンタクトプローブは、所要長さを有する極細の管の内部にバネが設けてあり、ピンを管内に進退可能に設けた構造を有している。
【０００３】
ところで近年の半導体製造技術の進化は目覚ましいものがあり、集積度はますます高密度化する傾向にある。これに伴い電極の電気的導通を検査するプローブ装置においても最新の集積回路に対応できるように、コンタクトプローブの数を増やし（多ピン化）、線径も細くし（細線化）、コンタクトプローブ間の間隔もより狭く（狭ピッチ化）することが求められている。現在のコンタクトプローブ用の管は、外径が１１０μｍ、内径が８８μｍのものが世界最小とされている（例えば、非特許文献１参照）。
しかしながら、上記したように半導体製造技術はますます進化しているため、コンタクトプローブも更に小型化することが必要とされている。
【０００４】
また、微細な内径を有する管の必要性は、半導体産業以外の例えばバイオテクノロジーや医療の分野においても高まっている。
つまり、このような微細な内径を有する管の開発は産業界全体から強く要請されている。
【０００５】
本発明者は、電鋳に関する研究を行っており、以前に電鋳によって径小な管を製造することに成功している。このときの電鋳管は、中空部が断面円形状であり、内径が１２６μｍのものである（例えば、特許文献１参照）。従って、本発明者は電鋳技術を使えば、コンタクトプローブ用の微細な内径（中空部）を有する管もつくれるのではないかとの着想を得た。
【０００６】
そして更に研究を重ねたところ、直径が１０μｍから８５μｍまでの細線材を用い、この細線材の外面に最小５μｍの金属の膜を付着させることに成功した。そうして、この金属から上記細線材が除去できれば、微細な内径（中空部）を有する管がつくれることを知見した。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−４８９４７号公報
【非特許文献１】日経メカニカルＯＮ  ＬＩＮＥ、２００１年４月号、日経ＢＰ社、インターネット＜ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｄｍ．ｎｉｋｋｅｉｂｐ．ｃｏ．ｊｐ／ｆｒｅｅ／ｎｍｃ／ｋｉｊｉ／ｈ５５９／ｔ５５９ｇ．ｈｔｍｌ＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、電着（析出）させた金属から細線材を除去することは、電着した金属が細線材の外面に密着しているので、容易なことではなかった。
（本発明の目的）
本発明の目的は、
（１）中空部を複数備えた電鋳管の製造方法及び電鋳管を提供することにある。
（２）中空部を複数備えており、各中空部の周りを形成する部分ごとに独立して電気伝導が可能な電鋳管の製造方法及び電鋳管を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために講じた本発明の手段は次のとおりである。
第１の発明にあっては、
電鋳により細線材の周りに電着物または囲繞物を形成し、電着物または囲繞物から細線材を除去して製造される電鋳管であって、
細線材を電着物または囲繞物から除去して形成される中空部の内形状が断面円形状を有するものは、中空部の内径が１０μｍ以上８５μｍ以下であり、中空部の内形状が断面多角形状を有するものは、中空部の内接円の直径が１０μｍ以上８５μｍ以下であり、
細線材を除去して形成される中空部が複数個あり、
中空部の間に、絶縁体の外面に導電層を設けて形成してある隔壁体を介在させて、各中空部の周りを形成する部分ごとに独立して電気伝導ができるように構成してあることを特徴とする、電鋳管である。
【００１０】
第２の発明にあっては、
肉厚が５μｍ以上５０μｍ以下であることを特徴とする、第１の発明に係る電鋳管である。
【００１１】
第３の発明にあっては、
内面に電着物または囲繞物とは異なる材質の導電層が設けてあることを特徴とする、第１又は第２の発明に係る電鋳管である。
【００１２】
第４の発明にあっては、
内面に電着物または囲繞物とは異なる材質の導電層が設けてあり、更に、電着物または囲繞物と上記導電層との間には、当該導電層とは異なる材質の導電層が設けてあることを特徴とする、第１又は第２の発明に係る電鋳管である。
【００１３】
第５の発明にあっては、
隔壁体の外面に設けてある導電層が、中空部の一部を形成するように構成してあることを特徴とする、第１，第２，第３又は第４の発明に係る電鋳管である。
【００１４】
第６の発明にあっては、
隔壁体は、隣り合う中空部間に設けられる部分の厚みが、５μｍ以上５０μｍ以下であることを特徴とする、第１，第２，第３，第４又は第５の発明に係る電鋳管である。
【００１５】
細線材は、例えば、金属線材等のように全体が導電性材料で形成されたものを使用することもできるし、前記導電性材料の周りに導電層（例えば、メッキ等の金属やカーボン等）を設けたものを使用することもできる。また、合成樹脂線材等の絶縁性材料の細線材を用い、この周りに導電層（例えば、無電解メッキ等の金属やカーボン等）を設けて形成したもの等を使用することもできる。
更に、細線材の近傍に別体の導体を設けて、この導体に金属が電着（析出）するようにした場合では、上記した細線材の他に、更に合成樹脂線材等のように全体が絶縁性材料で形成されたもの（導電性の材料が設けられていないもの）を使用することもできる。
【００１６】
電鋳によって金属が電着する箇所の材質は、導電性を有していれば特に材質は限定するものではないが、金属を電着させ易くするために電気伝導率が良好なものを使用することが好ましい。例えば、鉄、ステンレス、銅、金、銀、真鍮、ニッケル、アルミニウム、カーボン等が使用できる。
【００１７】
また、細線材や、隔壁体の絶縁体を構成する絶縁性材料は、電気が極めて流れにくい不導体（絶縁体）や、温度等によって導体にも不導体にもなる半導体を用いることができる。絶縁性材料は、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、エンジニアプラスチック、化学繊維（合成繊維、半合成繊維、再生繊維、無機繊維）よりなるもの等を使用することができる。例えば、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリエチレン、架橋ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、エチレン／酢酸ビニル共重合体、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、アクリル樹脂、ポリ酢酸ビニル、ポリアクリロニトリル、モダクリル、ポリスチレン、スチレン／アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル／ブタジエン／スチレン三元共重合体、アセテート、トリアセテート、フッ素樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアリレート、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン、全芳香族ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリベンズウイミダゾール、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、ナイロン、アラミド、ポリウレタン、スパンデックス、ポリアルキレンパラオキシベンゾエート、ベンゾエート、ポリフルオロエチレン、プロミックス、レーヨン、キュプラ、ガラス繊維等を挙げることができる。
更に、絶縁性材料は、撚り合わせたり紡いだりしていない、いわゆるフィラメント糸を使用することもできるし、紡績糸を使用することもできる。
【００１８】
電鋳管の内形状や細線材の外形状で示す「断面円形状」という用語は、厳密に断面形状が円形状であるものを意味するものではなく、実質的に円形状のものや、楕円形状のものを含む概念として使用している。
【００１９】
電鋳管の内形状や細線材の外形状で示す「断面多角形状」という用語は、厳密に断面形状が多角形状であるものを意味するものではなく、例えば、角部に丸みが付けてあるようなものも含む、実質的に多角形状のものを含む概念として使用している。また、特に限定するものではないが、具体的に多角形状とは、略三角形状、略四角形状（長方形状、正方形状、菱形状、平行四辺形状を含む）、略五角形状、略六角形状等を挙げることができる。
【００２０】
細線材を溶かして除去する溶剤としては、例えば、アルカリ性溶液や酸性溶液等を挙げることができる。
【００２１】
電鋳管の用途としては、特に限定するものではないが、例えば、コンタクトプローブ用の管（バネを収容するケーシング）を挙げることができる。
【００２２】
「中空部の周りを形成する部分」とは、電鋳による電着物または囲繞物の場合もあるし、電着物または囲繞物とは異なる材質を有し、中空部の内面に設けられた導電層（隔壁体の導電層を含む）の場合もある。
【発明の効果】
【００２３】
細線材を除去して形成される中空部を複数個備えたものは、例えば、中空部が一つしか設けられていない管を複数並べて製造されていた部品と置き換えて使用することができる効果がある。この電鋳管によれば、個々の管を並べて設置する手間を無くすことができる。また、中空部の間の間隔も電着物または囲繞物で固定されているのでずれない効果がある。
【００２４】
中空部の間に、絶縁体の外面に導電層を設けて形成してある隔壁体を介在させて、各中空部の周りを形成する部分ごとに独立して電気伝導ができるようにしてあるものは、各中空部ごとに独立して電気伝導が可能である効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の実施の形態を図面に基づき更に詳細に説明する。
図１は本発明に係る電鋳管を製造するための電鋳装置の一例を示す断面説明図である。
まず、電鋳管を製造する電鋳装置について説明する。
【００２６】
電鋳装置１００は、電鋳槽１０と、この電鋳槽１０を内側に収容する外槽１１を備えている。電鋳槽１０及び外槽１１は上部が開口しており、電鋳槽１０内には運転時において常時電解液（電鋳液）２０が供給されている。こうして電解液２０が電鋳槽１０の上部からあふれ出して、外槽１１内に流れ込むようになっている。本実施の形態で電解液２０としては、例えば、スルファミン酸ニッケル液に光沢剤やビット防止剤を加えたものを使用している。
【００２７】
電鋳槽１０からあふれ出て外槽１１内に流れ込んだ電解液２０は、濾過装置（図示省略）によって濾過され、再び電鋳槽１０内に供給されている。つまり電解液２０は、運転時において電鋳槽１０と外槽１１の間を絶えず循環している。なお、電鋳槽１０に電解液２０を供給する供給手段は、公知手段が使用できる（図示省略）。
【００２８】
本実施の形態において電鋳槽１０の上部からあふれ出している部分の電解液２０は、便宜的にオーバーフロー部１２と称す。電鋳装置１００では、このオーバーフロー部１２において電鋳が行われる。電鋳手順については後述する。
【００２９】
電鋳槽１０の下部には、水平アジャスター装置１３が設けられている。この水平アジャスター装置１３は、電鋳槽１０を略水平に維持し、これにより電鋳槽１０の上部全域に略水平なオーバーフロー部１２が形成され、オーバーフロー部１２内の各所に電解液２０が均一に分布するようにできる。
【００３０】
符号４は、電鋳用の型部材（母材）となる細線材３０を保持する保持治具を示している。保持治具４は、所要長さを有する水平部材４０と、この水平部材４０の両端側に垂下させてある一対の垂設部材４１，４１を備えている。保持治具４は、垂設部材４１，４１が電鋳槽１０の側方に位置するように設けられている。
【００３１】
垂設部材４１，４１には、所要の長さを有する棒状の線材固定部材４２，４３が、それぞれ略水平方向に延びて設けられている。線材固定部材４２，４３は、垂設部材４１，４１に回転可能に設けられている。一方の線材固定部材４２の電鋳槽１０側の端部には、電極４４が設けられている。また、他方の線材固定部材４３の電鋳槽１０側の端部には、細線材３０を引っ張るテンション装置４５と、電極４４が設けられている。線材固定部材４２，４３には、細線材３０の一端と他端がそれぞれ固定されて、テンション装置４５によって緊張した状態で設けられる。
【００３２】
垂設部材４１，４１の間には、回転軸４６が回転可能に架設されている。符号４７は回転軸４６を駆動させる駆動モータを示している。回転軸４６は垂設部材４１，４１を貫通しており、両端側には歯車４８０，４８１が固着されている。
【００３３】
上記した線材固定部材４２，４３は、垂設部材４１，４１を貫通して設けてある。垂設部材４１を貫通した線材固定部材４２には、歯車４８２が固着されている。同様に垂設部材４１を貫通した線材固定部材４３には、歯車４８３が固着されている。こうして歯車４８０と歯車４８２、歯車４８１と歯車４８３とが噛み合わせてある。従って、駆動モータ４７を作動させて、回転軸４６と共に歯車４８０，４８１を回転させることにより、歯車４８２，４８３と線材固定部材４２，４３が回転し、ひいては細線材３０が回転するようにできる。細線材３０の回転速度は、特に限定するものではない。例えば、１５ｒ．ｐ．ｍ．以下に制御される。
【００３４】
線材固定部材４２，４３の外側の端部には、それぞれ導電性を有する電極接触部材４９，４９が設けられている。電極接触部材４９．４９は、保持治具４が電鋳槽１０の上方に配置されたときに、電鋳槽１０と外槽１１との間に設けられた電極部１４，１４と接触する。電極部１４，１４は電源のマイナス極と接続されている。従って、電極接触部材４９，４９は、電極部１４，１４と接触した状態で、電源のマイナス極と電気的に接続された状態となる。
【００３５】
符号１５は電源のプラス極と電気的に接続された電極部を示している。電極部１５は、電鋳槽１０の底部に設けられている。電極部１５は、例えば、チタン鋼からなるメッシュ状または穴あきのケース内に電鋳用の金属ペレット（例えば、ニッケルペレット）を収納して構成されたもの等が使用できる。
【００３６】
電鋳装置１００を使用した電鋳管の製造方法について説明する。
まず、線材固定部材４２，４３に細線材３０の一端部と他端部をそれぞれ固定させて、線材固定部材４２，４３の間で細線材３０を緊張した状態にする。このとき電解液２０は電鋳槽１０に供給されており、電鋳槽１０の上部からあふれ出して（オーバーフロー部１２を形成して）、外槽１１内に流れ込むようになっている。また、オーバーフロー部１２は、水平アジャスター装置１３によって電鋳槽１０を略水平にし、各所に電解液２０が均一に分布するように調整されている。
【００３７】
本実施の形態で細線材３０は、直径５０μｍの断面略円形状を有するステンレス製で、外方に引っ張る略１５００Ｎ／ｍｍ２の引張力をかけたときに横ひずみの変形量が断面積の１０％になるものを使用した。
【００３８】
次に、駆動モータ４７を作動させて、回転軸４６と共に歯車４８０，４８１を回転させる。これにより歯車４８２，４８３と線材固定部材４２，４３が回転し、細線材３０が回転する。
【００３９】
電極接触部材４９，４９を電極部１４，１４と接触させて、垂設部材４１，４１を電鋳槽１０の側方に位置させ、細線材３０のみをオーバーフロー部１２中に浸ける。電極接触部材４９，４９が電極部１４，１４と接触することにより、電極部１５が電源のプラス極と電気的に接続されているので、細線材３０が電源のマイナス極と電気的に接続された状態となって電鋳が始まる。こうして細線材３０の周りに金属（本実施の形態で示す電解液２０によればニッケル）が電着（析出）される。細線材３０の周りに電着する金属は電着物（または囲繞物）である。
【００４０】
細線材３０を所要時間オーバーフロー部１２内に浸け、電着した金属の外径が全長にわたり略７０μｍになるまで電鋳する。目標外径に到達したら、細線材３０をオーバーフロー部１２より取り出して電鋳を止める。金属の電着量（析出量）、つまり細線材に電着する金属の肉厚は、電流や電圧、電鋳時間等によって予め制御可能である。
【００４１】
電鋳装置１００では、各所にて電解液２０が均一に分布するようにオーバーフロー部１２が調整されており、しかも、細線材３０は回転させているので、仮に電解液２０内の電流密度に不均一な箇所が発生した場合であっても、細線材３０における金属の電着状態（析出状態）にはばらつきが生じ難い。従って、細線材３０の周囲には、全長にわたって略均等な肉厚を有するように金属が電着する。これにより電鋳管は、細線材３０を除去するだけで高精度のものが製造できる。
【００４２】
また、電鋳装置１００は、オーバーフロー部１２で電鋳しており、あふれ出た電解液２０は再び電鋳槽１０に戻って循環している。つまり、電鋳にあたってはオーバーフロー部１２が形成できれば良く、このため少量の電解液２０でも電鋳を行うことが可能である。
【００４３】
電鋳装置１００では、細線材３０を固定する線材固定部材４２，４３が、オーバーフロー部１２の外側に配置されるので、線材固定部材４２，４３は電解液２０に浸からない。従って、線材固定部材４２，４３等が電解液２０と反応して不純物を発生させるようなことがない。また、電解液２０が線材固定部材４２，４３等に付着して持ち出されてしまうこともなく、電鋳槽１０から電解液２０が無駄に減ることもない。
【００４４】
そして、周りに金属が電着した細線材３０を線材固定部材４２，４３から取り外し、最後に形成された電着物（囲繞物）から細線材３０を除去する。
【００４５】
細線材３０は、外面に電着物が密着しているので、単に、細線材３０を掴んで引っ張ったり、吸引したり、物理的に押し遣ったり、気体または液体を噴出して押し遣ったりするだけでは除去が困難である。従って、細線材３０は、以下に示す（１）  〜（４）  のいずれかの方法を用いて除去される。
【００４６】
（１）電着物を加熱して熱膨張させ、または細線材３０を冷却して収縮させて、電着物と細線材３０の間に隙間を形成し、細線材３０を掴んで引っ張るか、吸引するか、物理的に押し遣るか、気体または液体を噴出して押し遣るかのいずれかの方法を用いて除去する。
【００４７】
（２）洗浄剤を溶解させた液体中に浸したり、この液体をかけたりして、細線材３０と電着物とが接触している箇所を滑り易くする。そして、細線材３０を掴んで引っ張るか、吸引するか、物理的に押し遣るか、気体または液体を噴出して押し遣るかのいずれかの方法を用いて除去する。
【００４８】
（３）  細線材３０を一方または両方から引っ張って断面積が小さくなるように変形させる。そして、電着物と細線材３０の間に隙間を形成し、細線材３０を掴んで引っ張るか、吸引するか、物理的に押し遣るか、気体または液体を噴出して押し遣るかのいずれかの方法を用いて除去する。
【００４９】
（４）  細線材３０を熱によって溶かしたり、またはアルカリ性溶液や酸性溶液等の溶剤によって溶かしたりして除去する。
【００５０】
こうして細線材３０を除去することにより、残った電着物によって微細な内径（中空部）を有する電鋳管がつくられる。この電鋳管は、コンタクトプローブ用の管等として使用可能である。
【００５１】
材を除去するようにしたが、これは限定するものではない。例えば、図２に示すように、電着物５０の一端側に外径の大きな径大部５００を形成して、細線材３０を引っ張るか、吸引するか、物理的に押し遣るか、気体または液体を噴出して押し遣るかのいずれかの方法を用いて除去することもできる。このように径大部５００を形成することで、引き抜いたり押し遣ったりする際において、治具や工具が径大部５００の端面に引っ掛けることができる。従って、この場合では、電着物を固定した状態にして細線材３０が除去できるようになるので、細線材が除去し易くなる。なお、このように一部分の電着量を多くする作業は、他の電鋳装置に移し替えられて行われることもある。
【００５２】
また、上記実施の形態にて細線材３０は、直径５０μｍの断面略円形状を有するものを使用した。しかし、細線材の太さや断面形状はこれに限定するものではない。例えば、図３に示すように断面形状が四角形等の多角形状の細線材３１（角部に丸みが付けてある実質的に多角形状のものも含む）を使用することもできる。符号５１は電着物である。
【００５３】
上記した細線材は、断面形状が略円形状を有するものでは、外径が１０μｍ以上８５μｍ以下であれば、また、外形状が断面多角形状を有するものでは、内接円の直径が１０μｍ以上８５μｍ以下であれば、微細な内径を有する電鋳管の製造において使用できることが、本発明者の実験によりわかっている。
【００５４】
また、本実施の形態で示す細線材３０は、外方に引っ張る略１５００Ｎ／ｍｍ２の引張力をかけたときに横ひずみの変形量が断面積の１０％になるものを使用した。しかし、細線材の横ひずみの変形量は特に限定するものではない。本発明者が実験したところによれば、少なくとも断面積の５％以上の変形量があれば良いようである。
【００５５】
本実施の形態では直径５０μｍの断面略円形状を有する細線材３０の周りに、略１０μｍの肉厚で金属を電着させて、全体として略７０μｍの外径となるように形成したが、電着させる金属の肉厚は特に限定するものではない。本発明者が実験したところによれば、少なくとも略５μｍの肉厚を有するように細線材３０の周りに電着させることができれば、細線材３０を除去した後でも電鋳管が形成できることがわかっている。
【００５６】
本実施の形態で細線材３０はステンレス製のものを使用し、この細線材３０の周りに金属を直接電着させるようにした。しかし、電鋳装置１００で使用可能な細線材は、導電性を有するようにしてあれば特に限定するものではなく、例えば、芯部を金属や合成樹脂等でつくり、その外面に導電層（メッキ（金属層（膜））やカーボン等）を設けたもの等を使用することもできる。このような細線材を使用することにより、例えば、図４に示すように、外周面に金メッキ３２１を設けた細線材３２に電着物５２を形成した場合では、金メッキ３２１を電着物５２の内周面に残して、基線材３２０のみを除去することも可能である。この場合では、内周面に金メッキ３２１が施された電鋳管が形成できる。
【００５７】
内周面に金メッキ３２１が施された電鋳管は、金メッキ３２１を設けないときよりも電気伝導率を良くすることができるので、例えば、コンタクトプローブ用の管等の電気を伝導するのに適した部品として使用できる。
【００５８】
更に例えば、細線材は、上記したメッキ等による導電層の外周側に、更にこれとは材質の異なる他の導電層を設けたものを使用することもできる。例えば、電鋳により電着する金属がニッケルであり、金メッキ３３１の外周側に銅メッキ３３２が設けられた細線材３３の周りに電着物５３を形成した場合（図５参照）では、ニッケルは金よりも銅と密着性が良く、銅は金とも密着性が良いので、基線材３３０のみを除去して、ニッケルと銅と金が密着性の良好な状態で接着された電鋳管が形成できる。この電鋳管の内周面には金メッキ３３１が露出している。
【００５９】
このように外周部に導電層（例えば、金メッキ）が設けられた細線材を、断面積が小さくなるように変形させて析出した金属から除去する場合では、図６に示すように細線材３４の両端側に導電層（例えば、金メッキ３４０）を設けない部分（マスキング部３４１，３４１）を形成し、この導電層を設けていない部分を引っ張るようにすることが好ましい。このようにすることで引張力が導電層に直接かかり難くなり、導電層と基線材とが分離し易く、また、導電層と電着物５４との密着性も損なわれ難い。
【００６０】
図７は本発明に係る電鋳管を製造するための電鋳装置の他の例を示す断面説明図、
図８は図７で示す電鋳装置で使用する製造用治具を示す分解斜視説明図、
図９は図８で示す製造用治具を使用して製造される電鋳管を示す拡大断面説明図である。
電鋳装置１０１は、細線材を縦方向（図７において垂直方向）に緊張した状態で設けるタイプのものである。
【００６１】
電鋳装置１０１は、電鋳槽６０を備えている。電鋳槽６０は、内部に槽部６１を有し、上方が開口した箱状に形成してある。電鋳槽６０の上縁部には、外方に拡がる蓋載置部６２が全周にわたり設けてあり、蓋載置部６２には蓋体６４が電鋳槽６０の開口部を塞ぐように被せられている。
【００６２】
槽部６１の上方には掛止部６３が設けてある。掛止部６３には、電源のプラス極と電気的に接続された陽極部６６が取り付けてある。陽極部６６には収容体６６０が取り付けられており、収容体６６０には多数のニッケル球が詰められている。符号６５は、電源のマイナス極と電気的に接続された陰極部を示している。陰極部６５には、後述する製造用治具８と接続するための陰極線６５０が下方に垂らして設けてある。
【００６３】
本実施の形態では収容体６６０にニッケル球を詰めるようにしたが、収容体６６０に詰めるものはこれに限定するものではなく、析出させる金属の種類に応じて選択される。例えば、ニッケル、鉄、銅、コバルトなどを使用することができる。また、形状や構造も特に限定するものではない。
【００６４】
槽部６１の内部には治具固定用枠体７が収容してある。治具固定用枠体７には製造用治具８が五段に積み重ねて設けてある。
【００６５】
電鋳槽６０の槽部６１には電解液２１が充填してある。電解液２１は、陽極部６６及び治具固定用枠体７が完全に浸かるように入れてある。本実施の形態で電解液２１は、スルファミン酸ニッケルを主成分とするものを使用している。
【００６６】
図８を参照する。製造用治具８は複数本の細線材３５が張設可能であり、複数の中空部を有する電鋳管を製造するためのものである。なお、本実施の形態で示す細線材３５は、電鋳装置１００で使用したものと同じものを使用したので、説明は省略する。
【００６７】
製造用治具８は所要長さを有する板状の治具本体８０を備えている。治具本体８０の略中央部には、貫通した開口部８１が形成されている。図８において上下端側となる治具本体８０の両端側（短辺側）には、細線材３５を固定する固定部材８２，８３が、幅方向に所要間隔をもって複数個（具体的には８箇所ずつ）設けられている。本実施の形態で固定部材８２，８３はビス状のものを使用したが、これは特に限定するものではない。
【００６８】
また、固定部材８２，８３より更に内側の部分には、固定部材８２，８３が設けられた間隔よりも更に間隔を幅狭にして、それぞれ案内ピン８４が複数個（具体的には８箇所ずつ）設けられている。
【００６９】
更に、案内ピン８４より内側の部分となる開口部８１の近傍には、細線材３５の張設位置を決めるための位置決め部材８５，８５が設けられている。位置決め部材８５，８５は、治具本体８０の幅と略同じ長さを有する帯状の板状体であり、略中央部分には細線材３５を嵌め入れるためのＶ字状の溝（図では外れ防止部材８５０（後述）で覆われており見えない）が形成されている。この溝は、位置決め部材８５の全幅（図８において上下方向）にわたって、また長さ方向（図８において左右方向）に複数個（具体的には８箇所に）連設して形成されている。
【００７０】
各位置決め部材８５の上面側には、この位置決め部材８５と略同じ幅を有するが、長さの短い板状体で形成された外れ防止部材８５０を設けて、嵌めた細線材３５が溝から外れないようにしてある。本実施の形態で位置決め部材８５の溝は、隣り合う細線材３５との間に１０μｍの隙間が設けられるように形成したが、これは限定するものではなく、細線材３５の間隔は適宜設定可能である。
【００７１】
製造用治具８には、複数本（具体的には８本）の細線材３５が取り付けられる。各細線材３５は次のようにして取り付けられる。
まず、細線材３５の他端（図８において下側）に引張バネ８６を取り付ける。そして、細線材３５の一端（図８において上側）を固定部材８２で止める。固定部材８２で止めた細線材３５は、隣接する案内ピン８４，８４の間を通して、各位置決め部材８５に形成してある溝に嵌めて、位置決め部材８５，８５間に架け渡す。
【００７２】
溝に嵌めた細線材３５の他端側は、上端側と同様に隣接する案内ピン８４，８４の間を通して、引張バネ８６を固定部材８３で止める。細線材３５は、引張バネ８６の引張力によって、細線材３５の開口部８１と対応した部分が緊張した状態となって取り付けられる。
【００７３】
なお、製造用治具８において細線材３５は、隣り合うものとの間に１０μｍの隙間を有して取り付けられているが、図８で上記間隔は理解を容易にするために誇張して表している。
【００７４】
符号８７は隔壁部材８８を取り付けるための保持部材を示している。保持部材８７は、開口部８１の開口形状と略同じ大きさを有する長方形状の板状体で形成してある。
【００７５】
隔壁部材８８は、保持部材８７の図８における上下方向の長さと略同じ長さを有しており、厚みの薄い帯状形状を有している。詳しくは隔壁部材８８は、略８μｍの厚みを有する絶縁基部材８８０を備え、絶縁基部材８８０の表裏面に略２〜３μｍの厚みを有するメッキ等による導電層（膜）８８１が設けられた構造を有している。導電層８８１を形成する材質は、導電性を有していれば良く、特に限定するものではない。しかし、電鋳による電着物と密着性（接着性）が良好な性質を有するものが好ましい。
【００７６】
隔壁部材８８は、導電層８８１が対向するように所要間隔を設けて複数個（具体的には７個）並べて、保持部材８７の表面の略中央部に、図８の上下方向の全長に延びて着脱可能に取り付けてある。本実施の形態で隔壁部材８８は、上記した細線材３５が略１０μｍの隙間を形成して治具本体８０に取り付けられるようにしたので、これと対応するように同じく略１０μｍの間隔で取り付けてある。
【００７７】
隔壁部材８８が設けられた保持部材８７は、開口部８１を縦断して張設してある細線材３５間に、隔壁部材８８を側方（矢印方向）から差し込んで入れ、細線材３５の張力によって隔壁部材８８が狭持されることで治具本体８０に取り付けられる。つまり、細線材３５と隔壁部材８８（詳しくは導電層８８１）は接触している。
【００７８】
製造用治具８は、保持部材８７を上記したようにして治具本体８０に取り付け、電気が細線材３５に流れるように陰極線６５０を接続（図８では図示省略）した後に、槽部６１の治具固定用枠体７内に収容して、電解液２１中に浸けて電鋳する。なお、具体的な説明は省略するが、製造用治具８のうち開口部８１以外の箇所には、電解液２１が浸からないようにマスキング処理が施される。
【００７９】
電鋳装置１０１によれば、通電することにより細線材３５の周りと導電層８８１の表面に電着物が形成される。そして、電着物５５により細線材３５と隔壁部材８８が、所要の程度囲繞されたところで電鋳を止める。電着物５５の電着量（析出量）は、電流や電圧、電鋳時間等によって予め制御可能である。
【００８０】
電鋳を止めた製造用治具８は電解液２１から取り出され、再び、治具本体８０と保持部材８７に分解される。このとき隔壁部材８８は、析出した電着物５５によって細線材３５の間にて固定されているので、保持部材８７から分離される。その後、電着物５５により一体にされた細線材３５と隔壁部材８８を治具本体８０より取り外す。
【００８１】
そして、電着物５５と隔壁部材８８に機械加工を施して形状を整えて（図９参照）、電着物５５から細線材３５を除去する。なお、細線材３５の除去は、上記電鋳装置１００で製造されたものと同様の方法で行うので、説明は省略する。
こうして中空部が複数個（具体的には８個）ある電鋳管がつくられる。
【００８２】
うに隔壁部材８８が介在させてあるので、各中空部の周りを形成する部分ごとに独立して電気伝導が可能である。
【００８３】
なお、電鋳装置１０１でも、芯部を金属や合成樹脂等でつくり、その外面に導電層（メッキ（金属層（膜））やカーボン等）が設けられた細線材を使用することができる。更に、細線材の断面形状等も、電鋳装置１０１で示した細線材と同様に特に限定するものではない。
【００８４】
本実施の形態では細線材３５の間に隔壁部材８８を設けて電鋳したが、これは限定するものではなく、例えば、隔壁部材を設けず、細線材のみの状態で電鋳することも可能である。
【００８５】
電鋳管は、上記実施の形態で示す電鋳装置１００，１０１以外の他の形態の電鋳装置を使用して製造することもできる。また、電鋳装置で使用する製造用治具の種類も特に限定するものではない。
【００８６】
本実施の形態で示す具体的な寸法（大きさ、長さ）を表す数値は、理解を容易にするために記載したものであって、特に寸法を限定する意図はない。例えば、細線材の径、電着物の肉厚、細線材の変形量や引張力、導電層（膜）（メッキ等）の厚み、隔壁部材の厚み等がある。これらの寸法は、範囲を設定したものについてはその範囲内において、任意に設定可能である。
【００８７】
本実施の形態では、細線材の外面に電鋳による金属を電着させて細線材を覆うようにしたものを示したが、これは限定するものではなく、例えば、細線材の近傍に通電可能な導体（金属等）を設けて、この導体に電鋳による金属を電着させることで、細線材も電着する金属によって覆われるようにして電鋳管をつくることもできる。
【００８８】
上記実施の形態において電解液は、スルファミン酸ニッケルを主成分とするものを使用したが、電解液はこれに限定するものではなく、析出させる金属の種類に応じて選択される。電着（析出）する金属としては、例えばニッケル又はその合金、鉄又はその合金、銅又はその合金、コバルト又はその合金、タングステン合金、微粒子分散金属等の金属をあげることができる。また、上記金属を析出させる電解液としては、例えば塩化ニッケル、硫酸ニッケル、スルファミン酸第一鉄、ホウフッ化第一鉄、ピロリン酸銅、硫酸銅、ホウフッ化銅、ケイフッ化銅、チタンフッ化銅、アルカノールスルフォン酸銅、硫酸コバルト、タングステン酸ナトリウムなどの水溶液を主成分とする液、または、これらの液に炭化ケイ素、炭化タングステン、炭化ホウ素、酸化ジルコニウム、チッ化ケイ素、アルミナ、ダイヤモンドなどの微粉末を分散させた液が使用される。
【００８９】
また、電鋳槽内には電解液を攪拌するための攪拌手段を設けることもできる。攪拌手段としては、例えば、空気の噴き出しによるもの、電解液を吸い込み、再び電解槽内に吐き出すもの、回転可能な攪拌羽根（プロペラ）、超音波、振動等を使用することができる。しかし、攪拌手段はこれらに限定するものではない。
【００９０】
本明細書で使用している用語と表現は、あくまでも説明上のものであって、なんら限定的なものではなく、本明細書に記述された特徴およびその一部と等価の用語や表現を除外する意図はない。また、本発明の技術思想の範囲内で、種々の変形態様が可能であるということは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明は、微細な内径を有する電鋳管の製造方法及び電鋳管に適している。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明に係る電鋳管を製造するための電鋳装置の一例を示す断面説明図。
【図２】電着物の一端側に径大部を形成した状態を示す説明図。
【図３】断面略四角形状を有する細線材の周りに電着物を形成した状態を示す断面説明図。
【図４】外周面に導電層を設けた細線材の周りに電着物を形成した状態を示す断面説明図。
【図５】外周面に材質の異なる導電層を二層設けた細線材の周りに電着物を形成した状態を示す断面説明図。
【図６】両端側に導電層を設けない部分を形成した細線材の周りに電着物を形成した状態を示す説明図。
【図７】本発明に係る電鋳管を製造するための電鋳装置の他の例を示す断面説明図。
【図８】図７で示す電鋳装置で使用する製造用治具を示す分解斜視説明図。
【図９】図８で示す製造用治具を使用して製造される電鋳管を示す拡大断面説明図。
【符号の説明】
【００９３】
１００，１０１…電鋳装置、  １０…電鋳槽、  １１…外槽、  １２…オーバーフロー部、  １３…水平アジャスター装置、  １４…電極部、  １５…電極部、  ２０…電解液、  ２１…電解液、  ３０，３１，３２，３３，３４，３５…細線材、  ３２０…基線材、  ３２１…金メッキ、  ３３０…基線材、  ３３１…金メッキ、  ３３２…銅メッキ、  ３４０…金メッキ、  ３４１…マスキング部、  ４…保持治具、  ４０…水平部材、  ４１…垂設部材、  ４２…線材固定部材、  ４３…線材固定部材、  ４４…電極、  ４５…テンション装置、  ４６…回転軸、  ４７…駆動モータ、  ４８０，４８１…歯車、  ４８２，４８３…歯車、  ４９…電極接触部材、  ５０，５１，５２，５３，５４，５５…電着物、  ５００…径大部、  ６０…電鋳槽、  ６１…槽部、  ６２…蓋載置部、  ６３…掛止部、  ６４…蓋体、  ６５…陰極部、  ６５０…陰極線、  ６６…陽極部、  ６６０…収容体、  ７…治具固定用枠体、  ８…製造用治具、  ８０…治具本体、  ８１…開口部、  ８２…固定部材、  ８３…固定部材、  ８４…案内ピン、  ８５…位置決め部材、  ８５０…外れ防止部材、  ８６…引張バネ、  ８７…保持部材、  ８８  隔壁部材、  ８８０…絶縁基部材、  ８８１…導電層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006241597.tif 000009
【図８】
2006241597.tif 000010
【図９】
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