(57)【要約】【課題】  本発明は、インクジェット法により着色層を形成する際に、着色層に白抜けが生じることの少ない、高品質なカラーフィルタの製造方法や、その製造方法に用いられるカラーフィルタ製造用インクジェット装置を提供することを主目的としている。【解決手段】  上記目的を達成するために、本発明は、基材と、前記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの前記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、前記各線状遮光部間に形成され、かつ前記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、前記遮光部上は撥液性領域、前記線状遮光部および前記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの製造方法であって、  前記各開口部に、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置にインクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。【選択図】  図１
2006343518.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、前記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの前記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、前記各線状遮光部間に形成され、かつ前記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、前記遮光部上は撥液性領域、前記線状遮光部および前記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの製造方法であって、
前記各開口部に、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置にインクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記着色層形成工程は、前記着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、前記各開口部の角部から距離１以下の前記開口部側の位置に、前記着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように前記着色層形成用塗工液を塗布して前記着色層を形成する工程であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記着色層形成工程は、前記着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、前記着色層形成用塗工液の中心部が、距離１０以下の間隔をおいた平行なライン状に着弾するように前記着色層形成用塗工液を塗布して前記着色層を形成する工程であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
基材と、前記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの前記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、前記各線状遮光部間に形成され、かつ前記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、前記遮光部上は撥液性領域、前記線状遮光部および前記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの製造方法であって、
前記各開口部にインクジェット法により、着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、前記各開口部の角部から距離１以下の前記開口部側の位置に、前記着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように、前記着色層形成用塗工液をライン状に塗布して前記着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
基材と、前記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの前記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、前記各線状遮光部間に形成され、かつ前記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、前記遮光部上は撥液性領域、前記線状遮光部および前記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの着色層を形成する際に用いられるカラーフィルタ製造用インクジェット装置であって、
前記線状遮光部および前記連結遮光部により区画された前記各開口部に、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置に着色層形成用塗工液を塗布するために吐出部の位置を制御する位置制御手段を有することを特徴とするカラーフィルタ製造用インクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置に使用可能なカラーフィルタの製造方法、およびその製造方法に用いられるカラーフィルタ製造用インクジェット装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら、このカラー液晶ディスプレイが高価であることから、コストダウンの要求が高まっており、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタに対するコストダウンの要求が高い。
【０００３】
このようなカラーフィルタにおいては、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色パターンを備え、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われるものである。
【０００４】
従来より行われているカラーフィルタの製造方法としては、例えば染色法や顔料分散法等が挙げられる。しかしながら、いずれの方法も、Ｒ、Ｇ、およびＢの３色を着色するために、同一の工程を３回繰り返す必要があり、コスト高になるという問題や、工程を繰り返すため歩留まりが低下するという問題がある。
【０００５】
ここで、基材上に、光触媒と、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により濡れ性が変化する材料とを含有する光触媒含有層形成用塗工液を用いて光触媒含有層を形成し、パターン状に露光することにより、濡れ性が変化したパターンを形成する方法等が提案されている（特許文献１）。この方法によれば、上記光触媒含有層の濡れ性の差を利用して、容易に着色層を形成することが可能である。
【０００６】
また、このような方法を応用して、透明な基材と、その基材上に形成された遮光部と、この遮光部を覆うように形成された光触媒含有層とを有するパターニング用基板に、基材側からエネルギーを照射し、遮光部が形成されていない領域のみの光触媒含有層の特性を変化させる方法についても、提案されている（特許文献２）。この方法によれば、フォトマスク等を用いることなく、特性が変化したパターンを形成することができる、という利点を有している。そのため、例えばストライプ型カラーフィルタに用いられるストライプ状の着色層を形成する際に、この方法を利用することも検討されている。
【０００７】
ここで、ストライプ状の着色層を有するカラーフィルタにおいては、例えば図８（ａ）に示すように、各着色層パターン８と交差するように遮光部４が形成される。着色層形成用塗工液を塗布する際、遮光部４で区画された一つの開口部が必要とする着色層形成用塗工液の量に比べて、インクジェットの吐出部による吐出量が十分に小さくないため、開口部だけに着色層形成用塗工液を吐出すると、吐出部ごとの吐出量の誤差を修正できない。そのため、着色層パターン８と交差する遮光部４上にも着色層形成用塗工液を吐出することによって、ライン状の着色層パターン全体で吐出量の誤差を修正しているのである。しかしながら、上述した光触媒含有層を基材側から露光する方法を用いた場合には、遮光部に区画された開口部のみ、光触媒含有層の特性が変化し、各着色層パターンと交差する遮光部上の光触媒含有層の特性は変化しない。そのため、着色層形成用塗工液を塗布する際、上記着色層パターンと交差する遮光部上の光触媒含有層に着色層形成用塗工液を濡れ広がらせることができない。また上記着色層形成用塗工液は、通常、上記開口部の中心部付近に直線状に塗布されることから、着色層形成用塗工液の張力等により、例えば図８（ｂ）に示すように、遮光部４に区画された開口部の角部Ａ近傍に、着色層形成用塗工液１０を濡れ広がらせることが困難となる。したがって、この部分の着色層に白抜けが発生してしまう、という問題があった。
【０００８】
また、カラーフィルタの製造方法の他の例として、基材上に着色層を形成する着色層形成用塗工液を留めるためのバンクを形成し、このバンクにフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマ処理をし、バンクを撥液性としてインクジェット法により着色層を形成する方法も提案されている（特許文献３）。しかしながら、この場合においても、ストライプ状の着色層と交差する撥液性のバンク上に着色層形成用塗工液を濡れ広がらせることができず、上記と同様に、遮光部に区画された開口部の角部近傍で着色層に白抜けが発生するという問題があった。
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−０７４９２８号公報
【特許文献２】特開２００４−２１２９００号公報
【特許文献３】特開２０００−１８７１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、インクジェット法により着色層を形成する際に、着色層に白抜けが生じることの少ない、高品質なカラーフィルタの製造方法や、その製造方法に用いられるカラーフィルタ製造用インクジェット装置の提供が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、基材と、上記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの上記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、上記各線状遮光部間に形成され、かつ上記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、上記遮光部上は撥液性領域、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの製造方法であって、上記各開口部に、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置にインクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１２】
本発明によれば、上記遮光部上が撥液性領域、上記開口部上が親液性領域とされていることから、この濡れ性の差を利用して、上記開口部に高精細に着色層を形成することが可能となる。ここで一般的に、上記連結遮光部上が撥液性である場合には、上記開口部の角部近傍に着色層形成用塗工液を濡れ広がらせることが困難であり、この部分で白抜けが生じることとなる。しかしながら、本発明においては、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置に着色層形成用塗工液を塗布することから、着色層の白抜けが生じやすい開口部の角部近傍にも、着色層形成用塗工液を塗布することが可能となる。したがって、本発明によれば、上記角部近傍で白抜けが生じることの少ないものとすることができ、高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。
【００１３】
上記着色層形成工程は、上記着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、上記各開口部の角部から距離１以下の上記開口部側の位置に上記着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように上記着色層形成用塗工液を塗布して上記着色層を形成する工程であることが好ましい。これにより、白抜けの生じやすい角部に直接着色層形成用塗工液を塗布することができ、より白抜けの少ない高品質なカラーフィルタを製造することができる。
【００１４】
上記着色層形成工程は、上記着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、上記着色層形成用塗工液の中心部が、距離１０以下の間隔をおいた平行なライン状に着弾するように上記着色層形成用塗工液を塗布して上記着色層を形成する工程であることが好ましい。上記着色層形成工程において、平行なライン状で２回以上ずらした位置に着色層形成用塗工液を塗布していく際、ずらす幅が大きすぎる場合には、これらの間となる連結遮光部近傍で、着色層形成用塗工液が濡れ広がりづらくなり、白抜けが生じてしまう場合がある。そこで、上記間隔をおいた平行なライン状に着色層形成用塗工液を塗布することにより、上記部分で白抜けが生じることの少ないものとすることができるからである。
【００１５】
また、本発明は、基材と、上記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの上記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、上記各線状遮光部間に形成され、かつ上記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、上記遮光部上は撥液性領域、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの製造方法であって、上記各開口部にインクジェット法により、着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、上記各開口部の角部から距離１以下の上記開口部側の位置に、上記着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように、上記着色層形成用塗工液をライン状に塗布して上記着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１６】
本発明によれば、上記遮光部上が撥液性領域、上記開口部上が親液性領域とされていることから、この濡れ性の差を利用して、上記開口部に高精細に着色層を形成することが可能となる。ここで一般的に、上記連結遮光部上が撥液性である場合には、上記開口部の角部近傍に着色層形成用塗工液を濡れ広がらせることが困難であり、この部分で白抜けが生じることとなる。しかしながら、本発明においては、上記各開口部の角部から、所定の距離となる位置に、着色層形成用塗工液を着弾させて着色層を形成する。これにより、着色層形成用塗工液が濡れ広がりづらく、白抜けが生じやすい角部にも、着色層形成用塗工液が塗布されるものとすることができ、白抜けの少ない、高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。
【００１７】
また本発明は、基材と、上記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの上記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、上記各線状遮光部間に形成され、かつ上記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、上記遮光部上は撥液性領域、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの着色層を形成する際に用いられるカラーフィルタ製造用インクジェット装置であって、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された上記各開口部に、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置に着色層形成用塗工液を塗布するために吐出部の位置を制御する位置制御手段を有することを特徴とするカラーフィルタ製造用インクジェット装置を提供する。
【００１８】
一般的なカラーフィルタ製造用インクジェット装置は、各開口部の中央部付近にライン状に着色層形成用塗工液を一回塗布することにより、ストライプ状の着色層を形成するような構造とされている。そのため、上記連結遮光部が撥液性とされている場合には、開口部の角部近傍で着色層形成用塗工液が濡れ広がりづらく、この部分で白抜けが生じる場合がある。一方、本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置には、上記各開口部に、２回以上ずらした位置に着色層形成用塗工液を塗布するための位置制御手段が形成されていることから、着色層の白抜けが生じやすい開口部の角部近傍にも、着色層形成用塗工液を塗布することが可能となる。したがって、本発明によれば、上記角部近傍で白抜けが生じることの少ないものとすることができ、高品質なカラーフィルタを製造することが可能なカラーフィルタ製造用インクジェット装置とすることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、線状遮光部間に着色層形成用塗工液を塗布することが可能であり、白抜けを大幅に減少させた、高品質なカラーフィルタを製造することができるという効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明は、白抜けの少ない高品質なカラーフィルタの製造方法およびそれに用いられるカラーフィルタ製造用インクジェット装置に関するものである。以下、それぞれについて詳しく説明する。
【００２１】
Ａ．カラーフィルタの製造方法
まず、本発明におけるカラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタの製造方法には、着色層形成用塗工液の塗布方法の違いにより、２つの態様がある。以下、それぞれの態様についてわけて説明する。
【００２２】
１．第１の態様
まず、本発明のカラーフィルタの製造方法の第１の態様について説明する。本態様におけるカラーフィルタの製造方法は、基材と、上記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの上記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、上記各線状遮光部間に形成され、かつ上記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、上記遮光部上は撥液性領域、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの製造方法であって、上記各開口部に、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置にインクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とする方法である。
【００２３】
本態様におけるカラーフィルタの製造方法は、例えば図１に示すように、基材（図示せず）と、その基材上に、所定の間隔ｓをおいて形成された複数本の線状遮光部１および基材上に形成され、隣接する２本の上記線状遮光部１を連結する複数の連結遮光部２からなる遮光部と、隣接する２本の線状遮光部１間に形成され、かつ連結遮光部２を覆うように形成された着色層３とを有するカラーフィルタを製造する方法である。なお、上記着色層３の外側の領域には、通常、額縁遮光部６が形成されることとなる。
【００２４】
またこの際、線状遮光部上および連結遮光部からなる遮光部上は撥液性領域、上記線状遮光部と上記連結遮光部とにより区画された開口部上は親液性領域とされている。そのため、本態様によれば、遮光部の撥液性と開口部の親液性との濡れ性の差を利用して、高精細に着色層形成用塗工液を塗布することができ、高精細なパターン状に着色層を形成することができるのである。
【００２５】
ここで、一般的なカラーフィルタの製造方法において、ストライプ状の着色層を形成する際、上記連結遮光部が撥液性とされている場合には、上記連結遮光部上で着色層形成用塗工液が濡れ広がらず、上記線状遮光部間に、着色層形成用塗工液を濡れ広がらせることが困難である。そのため、着色層形成用塗工液の張力等により、例えば図８（ｂ）に示すように、遮光部４に区画された開口部５の角部Ａ近傍に、着色層形成用塗工液１０を濡れ広がらせることが困難となり、この部分で着色層に白抜けが発生する、という問題があった。
【００２６】
しかしながら、本態様においては、例えば図２（ａ）に示すように、上記各開口部５に平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置（例えばａ、ｂで示されるような位置）に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する着色層形成工程が行われる。これにより、例えば図２（ｂ）に示すように、連結遮光部２が撥液性とされている場合であっても、上記角部Ａ近傍に着色層形成用塗工液１０を塗布することができ、隣接する線状遮光部１´と線状遮光部１´´との間に、着色層形成用塗工液１０を、付着させることが可能となる。したがって、本態様によれば、着色層に白抜けの少ない、高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。
以下、本態様における着色層形成工程について詳しく説明する。
【００２７】
ａ．着色層形成工程
本態様における着色層形成工程は、遮光部により区画された各開口部に、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置にインクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する工程である。
【００２８】
ここで、本態様の線状遮光部とは、基材上に、所定の間隙をおいて等間隔に複数本形成されるものであって、遮光性を有するものとされる。なお、複数本が等間隔に形成されているとは、各線状遮光部の中心線どうしが、等間隔となるように形成されていることをいう。なお、線状遮光部は直線状に限らず、ジグザグ状に形成されていてもよい。
【００２９】
また、上記連結遮光部とは、隣り合う２本の線状遮光部を連結するように、所定の間隙をおいて、複数本形成されるものであって、遮光性を有するものとされる。なお、上記線状遮光部が直線状である場合には、連結遮光部は通常、線状遮光部と直交するように形成される。本態様において、このような連結遮光部は、隣り合う２本の線状遮光部いずれにも接するように形成されているものであってもよく、また、例えば図３に示すように、片側の線状遮光部１のみと接するように形成されていてもよい。また本態様でいう角部とは、線状遮光部および開口部の境界線と、連結遮光部および開口部の境界線との交点をいうこととする。なお、上記線状遮光部および連結遮光部からなる遮光部の形成は、一般的なストライプ状の着色層を有するカラーフィルタに用いられる遮光部と同様の材料を用いて同様の形成方法により形成されたものとすることができる。
【００３０】
遮光部は、例えばクロム等の金属を用いてスパッタ等により形成されたものであってもよく、また例えば、遮光性粒子を含有させた樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により形成されたもの等であってもよい。また上記樹脂組成物を用いて熱転写法等により形成されたものであってもよい。本態様は、上記遮光部が樹脂組成物を用いて形成されている場合に、特に有用である。これは、通常、上記樹脂組成物を用いて遮光部が形成された場合、例えばクロム等を用いて形成された遮光部と比較して、膜厚が厚いものとされるため、上述したような白抜けが生じやすいからである。
【００３１】
またさらに、本態様でいう、開口部とは、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された領域である。なお、上述したように、隣り合う２本の線状遮光部のうち、片側の線状遮光部のみと接するように連結遮光部が形成されている場合には、連結遮光部とその連結遮光部が接していない線状遮光部との隙間部分（例えば図３のＢで示される部分）も上記開口部に含まれることとする。
【００３２】
ここで、本工程は、上記各開口部に、平行なライン状で２回以上着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成する工程であるが、中でも２〜５回、特に２〜３回各開口部に着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成する工程であることが好ましい。これにより、隣接する上記線状遮光部間に着色層形成用塗工液を塗布することができ、着色層に白抜けが生じることの少ないものとすることができるからである。なお、本工程における上記着色層形成用塗工液の塗布は、各ラインごとに分けて行ってもよく、また複数ライン同時に行ってもよい。
【００３３】
また本態様においては、上記着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、上記各開口部の角部から距離１以下、特に１／４〜３／４の範囲、上記開口部側の位置に上記着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成することが好ましい。すなわち、例えば図４に示すように、上記各開口部５の角部Ａから上記距離、開口部５側となる領域（例えばｕで示される領域）内に、着弾した着色層形成用塗工液１０の中心部をつないだラインＬが含まれるように、上記着色層形成用塗工液１０を滴下することが好ましい。またこの際、線状遮光部の幅を１としたとき、着弾した上記着色層形成用塗工液と上記線状遮光部とが重なる幅（例えば図４において、ｖで示される幅）は、１／２以下とされることが好ましい。これにより、隣接する開口部に塗布される着色層形成用塗工液どうしが混色すること等のないものとすることができるからである。なお、上記着色層形成用塗工液１０の着弾径ｔは、水との接触角が１０５°の基板へ、着色層形成用塗工液の液滴を、上記開口部へ塗布する際と同条件で着弾させた場合における液滴の径をいうこととする。
【００３４】
上記領域に、着色層形成用塗工液を着弾させて着色層を形成することにより、白抜けの生じやすい角部近傍に、直接着色層形成用塗工液を塗布することができ、より白抜けの少ない高品質なカラーフィルタを製造することができる。
【００３５】
なお、例えば図２（ｂ）に示すように、それぞれの線状遮光部（１´および１´´）側に角部Ａが存在する場合等には、これらの角部Ａとそれぞれ最も近く塗布される着色層形成用塗工液の着弾位置の中心部をつないだラインが、それぞれ上記範囲に含まれるように、着色層形成用塗工液の塗布が行われることが好ましい。
【００３６】
またさらに、本態様においては、上記着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、着色層形成用塗工液の中心部が、距離１０以下、中でも３以下、特に１以下、間隔をおいた平行なライン状となるように、着色層形成用塗工液を２回以上塗布することが好ましい。例えば図５（ａ）に示すように、各開口部に、線状遮光部１に対して平行なライン状に、それぞれずらした位置（ａ、ｂで示される位置）に着色層形成用塗工液を塗布する際、ずらす幅ｗが大きすぎる場合には、例えば図５（ｂ）に示すように、上記連結遮光部２の撥液性によって、開口部５の中央部付近の連結遮光部２近傍で着色層形成用塗工液１０が濡れ広がりづらくなり、着色層形成用塗工液１０が塗布されない領域Ｘが生じてしまう。したがって、隣接して塗布される着色層形成用塗工液どうしの間隔を、上記範囲内とすることにより、これらの白抜けが生じることを減らすことができ、白抜けの少ない、高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。なお、上記間隔は、塗布された着色層形成用塗工液の着弾位置の中心部をつないだライン間の距離をいうこととする。
【００３７】
また上述したように、通常、着色層が形成されている外側の領域には、例えば図１に示すように、額縁遮光部６が形成されることとなる。この額縁遮光部の近傍においては、額縁遮光部と、線状遮光部と、額縁遮光部および線状遮光部を連結する連結遮光部とにより区画された開口部が形成されることとなるが、額縁遮光部と連結遮光部とが交わることにより形成される角部およびその近傍においても上記着色層形成用塗工液が濡れ広がりにくく、着色層に白抜けが発生しやすい。そこで、本態様においては、額縁遮光部と、線状遮光部と、額縁遮光部および線状遮光部を連結する連結遮光部とにより区画された開口部についても、線状遮光部と連結遮光部とにより区画される開口部と同様に、上述したように着色層形成用塗工液を塗布することが好ましい。
【００３８】
ここで、上記着色層形成用塗工液の塗布は、インクジェット法により行われるものであるが、その装置の種類等は特に限定されるものではない。例えば帯電したインクを連続的に噴射し磁場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を用いたインクジェット装置を用いることができる。
【００３９】
なお、本態様の着色層形成工程に用いられるインクジェット装置としては、上述したように、各開口部に対して２回以上着色層形成用塗工液を塗布することができるように、吐出部の位置を制御する制御手段が設けられているものであることが好ましい。このような位置制御手段を有するカラーフィルタ製造用インクジェット装置としては、例えば「Ｂ．カラーフィルタ製造用インクジェット装置」の項で説明するようなものが挙げられる。
【００４０】
また、本態様に用いられる着色層形成用塗工液としては、一般的にインクジェット法により着色層を形成する際に用いられるものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００４１】
ここで、本態様においては、上記遮光部上が撥液性領域、上記開口部上が親液性領域とされる。ここで、撥液性領域とは、上記着色層形成用塗工液との接触角が大きい領域をいうこととし、親液性領域とは、上記着色層形成用塗工液との接触角が小さい領域をいうこととする。なお、本態様においては、隣接する領域の液体との接触角より、液体との接触角が１゜以上低い場合には親液性領域、隣接する領域の液体との接触角より、液体との接触角が１゜以上高い場合には撥液性領域とすることとする。
【００４２】
上記遮光部上、すなわち撥液性領域の液体との接触角として具体的には、４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、１０°以上、中でも表面張力３０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上、特に表面張力２０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上であることが好ましい。また、純水との接触角が１１°以上であることが好ましい。これは、撥液性領域において上記液体との接触角が小さい場合は、撥液性が十分でなく、着色層形成用塗工液を塗布する際に、撥液性領域にも着色層形成用塗工液が付着する可能性があるからである。
【００４３】
また、上記開口部、すなわち親液性領域においては、４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が９°未満、好ましくは表面張力５０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下、特に表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下となるようなことが好ましい。また、純水との接触角は１０°以下であることが好ましい。開口部、すなわち親液性領域における液体との接触角が高い場合は、上記着色層形成用塗工液を、親液性領域においてもはじいてしまう可能性があり、着色層形成用塗工液を塗布した際に、着色層形成用塗工液が十分に塗れ広がらない等、着色層を形成することが難しくなる可能性があるからである。
【００４４】
なお、ここでいう液体との接触角は、種々の表面張力を有する液体との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定（マイクロシリンジから液滴を滴下して３０秒後）し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得たものである。また、この測定に際して、種々の表面張力を有する液体としては、純正化学株式会社製のぬれ指数標準液が用いられる。
【００４５】
上述した遮光部上を撥液性領域とし、上記開口部上を親液性領域とする方法としては特に限定されるものではない。例えば遮光部自体を撥液性を有するものとし、基材を親液性を有するものとする方法等としてもよく、また遮光部上に撥液性を有する層を形成して撥液性領域とし、上記基材上に親液性を有する層を形成して親液性領域とする方法等としてもよい。
【００４６】
本態様においては特に、基材および遮光部を覆うように、光触媒およびオルガノポリシロキサンを含有する光触媒含有層を形成する方法、または上記遮光部がフッ素を含有するものとする方法を用いることが好ましい。
【００４７】
上記光触媒含有層を用いた場合には、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により、液体との接触角が低下するように変化層とすることができるため、エネルギー照射された領域を親液性領域、エネルギー照射されていない領域を撥液性領域とすることができる。したがって、基材および遮光部を覆うように上記光触媒含有層を形成し、基材側からエネルギーを照射することにより、容易に遮光部が形成されていない開口部のみを親液性領域とすることができ、エネルギーが照射されない、遮光部上を撥液性領域とすることができるからである。なお、このような方法に用いられる上記光触媒含有層や、エネルギー照射方法等については、特開2004-361426公報に記載されているものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００４８】
一方、上記遮光部がフッ素を含有するものとした場合にも、上記遮光部上を撥液性領域とすることができる。ここで、上記遮光部におけるフッ素の存在は、Ｘ線光電子分光分析装置（XPS：ESCALAB  220i-XL）による分析において、遮光部の表面より検出される全元素中のフッ素元素の割合を測定することにより確認することができる。また、この際上記フッ素の割合としては、10％以上とされることが好ましい。
【００４９】
このように遮光部にフッ素を導入する方法としては、遮光部として樹脂製遮光部を用い、フッ素化合物を導入ガスとして用いたプラズマを照射する方法が用いられることが好ましい。これにより、容易に上記撥液性領域および親液性領域が形成されたものとすることができるからである。これは、上記プラズマ照射によれば、有機物にのみ上記フッ素化合物を導入することができる。したがって、基材として無機物を用い、全面に上記プラズマを照射することにより、容易に上記遮光部にのみフッ素化合物を導入することができ、フッ素化合物が導入された遮光部上を撥液性領域、基材が露出した領域を親液性領域とすることができるのである。
【００５０】
このような方法に用いられる導入ガスのフッ素化合物としては、例えばフッ化炭素（ＣＦ４）、窒化フッ素（ＮＦ３）、フッ化硫黄（ＳＦ６）等が挙げられる。また、上記プラズマの照射方法は、フッ素化合物を導入ガスとして用いてプラズマを照射し、上記遮光部上を撥液性とすることが可能であれば、特に限定されるものではなく、減圧下でプラズマ照射してもよく、また大気圧下でプラズマ照射してもよいが、本態様においては特に大気圧下でプラズマ照射が行われることが好ましい。これにより、減圧用の装置等が必要なく、コストや製造効率等の面から好ましいものとすることができるからである。このような大気圧プラズマの照射条件としては、以下のようなものとすることができる。例えば、電源出力としては、一般的な大気圧プラズマの照射装置に用いられるものと同様とすることができる。また、この際、照射されるプラズマの電極と、上記遮光部との距離は、０．２ｍｍ〜２０ｍｍ程度、中でも１ｍｍ〜５ｍｍ程度とされることが好ましい。またさらに、上記導入ガスとして用いられるフッ素化合物の流量は１Ｌ／ｍｉｎ〜１００Ｌ／ｍｉｎ程度、中でも５Ｌ／ｍｉｎ〜５０Ｌ／ｍｉｎ程度であることが好ましく、この際の基板搬送速度が０．１ｍ／ｍｉｎ〜１０ｍ／ｍｉｎ程度、中でも０．５ｍ／ｍｉｎ〜５ｍ／ｍｉｎ程度が好ましい。
【００５１】
また、本態様に用いられる基材としては、上記遮光部および着色層を形成可能なものであれば、特に限定されるものではなく従来よりカラーフィルタに用いられているもの等を用いることができる。具体的には石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等を挙げることができる。この中で特にコーニング社製７０５９ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、また、ガラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスであるため、アクティブマトリックス方式によるカラー液晶表示装置用のカラーフィルタに適している。本態様において基材は、通常透明なものが用いられるが、反射性の基板や白色に着色した基板でも用いることは可能である。また、基材は、必要に応じてアルカリ溶出防止用やガスバリア性付与その他の目的の表面処理を施したものを用いてもよい。また、例えば表面を親液性とするために、酸素ガスを導入ガスとして、上述したプラズマ等を照射する処理を行ったもの等であってよい。
【００５２】
なお、上述したように、上記遮光部に上記フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ照射を行う場合には、上記基材として無機材料からなるものが用いられることが好ましい。有機材料からなるものが用いられた場合には、上記遮光部だけでなく基材にもフッ素化合物が導入されてしまい、開口部を親液性領域とすることが困難となるからである。
【００５３】
ｂ．その他
本態様におけるカラーフィルタの製造方法においては、上記着色層形成工程を有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、上述した遮光部を形成する遮光部形成工程や、上記遮光部を撥液性領域とし、上記記開口部を親液性領域とする工程、上記着色層上にオーバーコート層を形成する工程等、必要に応じて適宜他の工程を有していてもよい。
【００５４】
２．第２の態様
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法の第２の態様について説明する。本態様におけるカラーフィルタの製造方法は、基材と、上記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの上記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、上記各線状遮光部間に形成され、かつ上記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、上記遮光部上は撥液性領域、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの製造方法であって、上記各開口部にインクジェット法により、着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、上記各開口部の角部から距離１以下の上記開口部側の位置に、上記着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように、上記着色層形成用塗工液をライン状に塗布して上記着色層を形成する着色層形成工程を有することを特徴とする方法である。
【００５５】
本態様におけるカラーフィルタの製造方法は、例えば図１に示すように、基材（図示せず）と、その基材上に、所定の間隔ｓをおいて形成された複数の線状遮光部１および基材上に形成され、隣接する２本の上記線状遮光部１を連結する連結遮光部２からなる遮光部と、隣接する２本の線状遮光部１間に形成され、かつ連結遮光部２を覆うように形成された着色層３とを有するカラーフィルタを製造する方法である。なお、上記着色層３の外側の領域には、通常、額縁遮光部６が形成されることとなる。
【００５６】
またこの際、線状遮光部上および連結遮光部からなる遮光部上は撥液性領域、上記線状遮光部と上記連結遮光部とにより区画された開口部上は親液性領域とされている。そのため、本態様によれば、遮光部の撥液性と開口部の親液性との濡れ性の差を利用して、高精細に着色層形成用塗工液を塗布することができ、高精細なパターン状に着色層を形成することができるのである。
【００５７】
上述したように、一般的なカラーフィルタの製造方法において、ストライプ状の着色層を形成する際、上記連結遮光部が撥液性とされている場合には、上記連結遮光部上で着色層形成用塗工液が濡れ広がらず、上記線状遮光部間に着色層形成用塗工液を濡れ広がらせることが困難である。そのため、着色層形成用塗工液の張力等により、例えば図８（ｂ）に示すように、遮光部４に区画された開口部の角部Ａ近傍に、着色層形成用塗工液１０を濡れ広がらせることが困難となり、この部分で着色層に白抜けが発生する、という問題があった。
【００５８】
一方、本態様においては、例えば図４に示すように、上記各開口部５の角部Ａから、所定の範囲内の距離となる位置に、着色層形成用塗工液１０を着弾させて着色層を形成する。これにより、着色層形成用塗工液が濡れ広がりづらい、上記角部においても、着色層形成用塗工液が塗布されるものとすることができ、白抜けの少ない、高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。
【００５９】
なお、本態様は、例えば図３に示されるように、上記連結遮光部２が、片側の線状遮光部１のみと接するように形成されている場合に特に有用である。この場合、連結遮光部と線状遮光部とが接している角部において、特に白抜けが生じやすい。したがって、本態様によれば、この部分での白抜けを減らすことができ、高品質なカラーフィルタを製造することができるからである。
以下、本態様における着色層形成工程について説明する。
【００６０】
ａ．着色層形成工程
本態様における着色層形成工程は、上記各開口部にインクジェット法により、上記線状遮光部に対して平行なライン状に、かつ着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、上記各開口部の角部から距離１以下、特に１／４〜３／４の範囲内、上記開口部側の位置に上記着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように、着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する工程である。すなわち、本工程においては、例えば図４に示すように、上記各開口部５の角部Ａから上記距離、開口部５側となる領域（例えばｕで示される領域）内に、着弾した着色層形成用塗工液１０の中心部をつないだラインＬが含まれるように、上記着色層形成用塗工液１０を滴下する。上記角部と着色層形成用塗工液の着弾位置とを、上記範囲内とすることから、上記角部近傍に白抜けの少ない高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。またこの際、線状遮光部の幅を１としたとき、着弾した上記着色層形成用塗工液と上記線状遮光部とが重なる幅（例えば図４において、ｖで示される幅）は、１／２以下とされることが好ましい。これにより、隣接する開口部に塗布される着色層形成用塗工液どうしが混色すること等のないものとすることができるからである。なお、上記着弾径の測定方法等については、上述した第１の態様と同様とすることができる。
【００６１】
なお、本態様に用いられる遮光部や着色層形成用塗工液、インクジェット装置、基材等については、上述した第１の態様と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００６２】
ｂ．その他
本態様におけるカラーフィルタの製造方法においては、上記着色層形成工程を有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、上述した遮光部を形成する遮光部形成工程や、上記遮光部を撥液性領域とし、上記開口部を親液性領域とする工程、上記着色層上にオーバーコート層を形成する工程等、必要に応じて適宜他の工程を有していてもよい。
【００６３】
Ｂ．カラーフィルタ製造用インクジェット装置
次に、本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置について説明する。本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置は、基材と、上記基材上に所定の間隔をおいて等間隔に形成された複数の線状遮光部および隣接する二つの上記線状遮光部間を連結する複数の連結遮光部からなる遮光部と、上記各線状遮光部間に形成され、かつ上記連結遮光部を覆うように形成された着色層とを有し、上記遮光部上は撥液性領域、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された複数の開口部上は親液性領域であるカラーフィルタの着色層を形成する際に用いられるカラーフィルタ製造用インクジェット装置であって、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された上記各開口部に、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置に着色層形成用塗工液を塗布するために吐出部の位置を制御する位置制御手段を有することを特徴とするものである。なお本発明においては、吐出部による吐出量の誤差を減らすため、各ラインに対して２つ以上の吐出部を用いて、着色層形成用塗工液の塗布を行ってもよい。
【００６４】
本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置は、例えば図１に示すように、基材（図示せず）と、その基材上に、所定の間隔ｓをおいて形成された複数の線状遮光部１および基材上に形成され、隣接する２本の上記線状遮光部１を連結する連結遮光部２からなる遮光部と、隣接する２本の線状遮光部１間に形成され、かつ連結遮光部２を覆うように形成された着色層３とを有するカラーフィルタを製造するために用いられるものである。またこの際、線状遮光部上および連結遮光部からなる遮光部上は撥液性領域、上記線状遮光部と上記連結遮光部とにより区画された開口部上は親液性領域とされている。
【００６５】
ストライプ状の着色層を形成する際に用いられる一般的なカラーフィルタの製造用のインクジェット装置は、隣接する線状遮光部間の中心部に、線状遮光部と平行に着色層形成用塗工液を１回塗布するような構成とされている。しかしながらこの場合、上記連結遮光部が撥液性とされている場合には、上記連結遮光部上で着色層形成用塗工液が濡れ広がらず、上記線状遮光部間に着色層形成用塗工液を塗布することが困難である。そのため、例えば図８（ｂ）に示すように、遮光部４に区画された開口部の角部Ａ近傍に、着色層形成用塗工液１０を濡れ広がらせることができず、この部分で着色層に白抜けが発生してしまっていた。
【００６６】
一方、本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置は、例えば図２（ａ）に示すように、上記各開口部５に、平行なライン状で２回以上、それぞれずらした位置（例えばａ、ｂで示されるような位置）に着色層形成用塗工液を塗布するように吐出部の位置を制御する位置制御手段を有している。そのため、例えば図２（ｂ）に示すように、連結遮光部２が撥液性とされている場合であっても、着色層形成用塗工液１０を、開口部の角部Ａ近傍に塗布することができ、隣接する線状遮光部１´と線状遮光部１´´との間に、着色層を形成することが可能となる。したがって、本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置を用いることにより、上記角部近傍で白抜けが生じることの少ないものとすることができ、高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。
【００６７】
本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置は、例えば図６に示すように、通常、着色層形成用塗工液を供給するための着色層形成用塗工液供給部３１や、この着色層形成用塗工液供給部３１から供給された着色層形成用塗工液を、ステージ３３に保持されたカラーフィルタ製造用基板３０上に吐出するための吐出部３２を有する構造とされる。また上記吐出部３２の位置が、上記位置制御手段３４によって制御されることとなる。なお、上記位置制御手段３４は、上記ステージ３３をＸ方向、Ｙ方向に移動させることにより、吐出部３２の位置を制御するものであってもよく、また例えば吐出部３２をＸ方向、Ｙ方向に移動させることにより、吐出部３２の位置を制御するものであってもよい。また、吐出部３２およびステージ３３の両方をそれぞれ、Ｘ方向、Ｙ方向に移動させることにより、吐出部３２の位置を制御するものであってもよい。
以下、本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置の各構成について説明する。
【００６８】
１．位置制御手段
まず、本発明に用いられる位置制御手段について説明する。本発明に用いられる位置制御手段は、上記線状遮光部および上記連結遮光部により区画された開口部に、平行なライン状で２回以上、中でも２回〜５回、特に２回〜３回、それぞれずらした位置に着色層形成用塗工液を塗布するために吐出部の位置を制御することが可能なものであれば、特に限定されるものではない。
【００６９】
上記位置制御手段による位置制御について、図７を用いて説明する。例えば１つの開口部５´内で、複数回（ａ１およびｂ１）着色層形成用塗工液の塗布を行った後、次の開口部５´´上に移動し、複数回（ａ２およびｂ２で示される位置）着色層形成用塗工液の塗布を行うように、吐出部の位置を制御するものであってもよい。また、例えば各開口部（５´、５´´、５´´´）上に１回ずつ（ａ１、ａ２、およびａ３）順番に吐出部を移動させて着色層形成用塗工液を塗布した後、また各開口部（５´、５´´、５´´´）に対して、上記塗布位置からずらした位置（ｂ１、ｂ２、およびｂ３）に、着色層形成用塗工液の塗布を行うように吐出部の位置を制御するもの等であってもよい。
【００７０】
なお、本発明においては、特に上記位置制御手段が、吐出部から吐出された上記着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、上記各開口部の角部から距離１以下、特に１／４〜３／４の範囲内、上記開口部側の位置に上記着色層形成用塗工液の中心部を着弾させるように吐出部の位置を制御するようなものであることが好ましい。このような位置に、着色層形成用塗工液を着弾させて着色層を形成することによって、より白抜けの少ない高品質なカラーフィルタを製造することができるからである。またこの際、線状遮光部の幅を１としたとき、着弾した上記着色層形成用塗工液と上記線状遮光部とが重なる幅が、１／２以下となるように、吐出部の位置を制御することが好ましい。これにより、隣接する開口部に塗布される着色層形成用塗工液どうしが混色すること等のないものとすることができるからである。なお、上記着弾径の測定方法等については、上述した「Ａ．カラーフィルタの製造方法」で説明した方法と同様とすることができる。また、上記位置に着弾させるとは、着弾した着色層形成用塗工液の中心部をつないだラインと上記角部との距離が、上記範囲内となるように、上記着色層形成用塗工液を滴下することをいう。
【００７１】
またさらに、本発明においては、上記位置制御手段が上記着色層形成用塗工液の着弾径を１としたとき、着色層形成用塗工液の中心部どうしの距離が１０以下、中でも３以下、特に１以下となるように間隔をおいて、線状遮光部に対して平行なライン状に、着色層形成用塗工液を２回以上塗布するように、吐出部の位置を制御するようなものであることが好ましい。隣接して塗布される着色層形成用塗工液どうしの間隔を、上記範囲内とすることにより、これらの間で白抜けが生じることを減らすことができるからである。なお、上記間隔は、塗布された着色層形成用塗工液の着弾位置の中心部をつないだライン間の距離をいうこととする。
【００７２】
２．吐出部
次に、本発明に用いられる吐出部について説明する。本発明に用いられる吐出部は、上記位置制御手段によって、制御された位置に、着色層形成用塗工液を塗布可能なものであれば、特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタ製造用インクジェット装置に用いられる吐出部と同様とすることができる。
【００７３】
ここで、上記吐出部に形成される吐出口の数は上記位置制御手段の位置制御方法によって適宜選択され、例えば一個のみ吐出口を有するものであってもよく、または複数個の吐出口を有するものであってもよい。
【００７４】
３．その他
本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置は、上記吐出部、および位置制御手段を有するものであれば、特に限定されるものではなく、上述したように、着色層形成用塗工液を供給する着色層形成用塗工液供給部や、例えば吐出された着色層形成用塗工液を乾燥させるための乾燥手段等を有するものであってもよい。なお、本発明において、上記着色層形成用塗工液が塗布される基材や遮光部等については、上述した「Ａ．カラーフィルタの製造方法」で説明したものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。また、上記カラーフィルタ製造用インクジェット装置により塗布される着色層形成用塗工液についても、一般的にインクジェット法により着色層を形成する際に用いられるものと同様とすることができるので、ここでの説明は省略する。
【００７５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００７６】
以下、本発明について、実施例および比較例を通じてさらに詳述する。
【００７７】
［実施例１］
（カラーフィルタ形成用基板の作製）
下記組成の混合物を９０℃に加熱して溶解し、１２０００ｒｐｍで遠心分離を行ない、その後、１μｍのグラスフィルタで濾過した。得られた水性着色樹脂溶液に、架橋剤として重クロム酸アンモニウムを１重量％添加して、遮光部形成用塗工液を調整した。
・カーボンブラック（三菱化学（株）製＃９５０）                      …４重量部
・ポリビニルアルコール
（日本合成化学（株）製ゴーセノールＡＨ−２６）              …０．７重量部
・イオン交換水                                                …９５．３重量部
続いてガラス基板からなる基材上に上記遮光部形成用塗工液を塗布し、膜厚が１．５μｍ、幅が２０μｍの線状遮光部および連結遮光部からなり、開口部が１２０μｍ×４００μｍの長方形である遮光部を形成した。
その後、上記カラーフィルタ形成用基板に対し、下記の条件で大気圧プラズマを照射した。
・導入ガス                ：  ＣＦ４        …１５ｌ/min.
・電極−基板間距離        ：  ２ｍｍ
・電源出力                ：  ２００Ｖ  −  ５Ａ
（撥液性評価）
上述した大気圧プラズマ照射により、遮光部上は撥液性領域、上記ガラス基板が露出した開口部は親液性領域となった。親液性領域、撥液性領域それぞれにおける純水との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製CA-Z型）を用いて測定した結果、親液性領域では、８°であり、撥液性領域では１１０°であった。
【００７８】
（着色部形成）
次に、水との接触角が１０５°の基板へ着色層形成用塗工液を滴下した際の着弾径が６５μｍとなるようにインクジェットヘッドを設定した。このインクジェットヘッドを用い、上記各開口部の角部から３０μｍ、開口部側の位置に着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように着色層形成用塗工液を線状遮光部と平行なライン状に塗布した。続いて、同一の開口部に、上記着色層形成用塗工液の着弾位置の中心部から６０μｍ離れた位置に着色層形成用塗工液の着弾位置の中心部がくるように、同様に着色層形成用塗工液を線状遮光部と平行なライン状に塗布した。
次いで、上記基板をホットプレート上で８０℃で１０分間加熱し、さらにクリーンオーブン内で２３０℃で３０分間熱処理を行い、着色層形成用塗工液を硬化させてカラーフィルタを作製した。
【００７９】
（白抜け評価）
得られたカラーフィルタの白抜け評価は、光学顕微鏡による観察および三次元非接触形状計測器（（株）菱化システム製マイクロマップ）による開口部の膜厚分布測定により行った。その結果、上記カラーフィルタにおいては、白抜けは観察されなかった。
【００８０】
[実施例２]
水との接触角が１０５°の基板へ着色層形成用塗工液を滴下した際の着弾径が４０μｍとなるように設定されたインクジェットヘッドを用い、実施例１と同様に作製されたカラーフィルタ形成用基板に、上記各開口部の角部から２０μｍ、開口部側の位置に着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように着色層形成用塗工液を線状遮光部と平行なライン状に塗布した。続いて、同一の開口部に、上記着色層形成用塗工液の着弾位置の中心部から８０μｍ離れた位置に着色層形成用塗工液の着弾位置の中心部がくるように、同様に着色層形成用塗工液を線状遮光部と平行なライン状に塗布した。
次いで、上記基板をホットプレート上で８０℃で１０分間加熱し、さらにクリーンオーブン内で２３０℃で３０分間熱処理を行い、着色層形成用塗工液を硬化させてカラーフィルタを作製した。
実施例１と同様にカラーフィルタを光学顕微鏡により観察したところ、連結遮光部中央部近傍で着色層に白抜けが生じていることが確認された。三次元非接触形状計測器により、開口部内の膜厚分布を調べたところ、白抜けにあたる領域の面積は開口部内の１％程度であり、実用性には支障がない程度の白抜けであることが確認された。
【００８１】
[実施例３]
実施例２と同様の条件で、実施例１と同様に作製されたカラーフィルタ形成用基板に、上記各開口部の角部から４０μｍ、開口部側の位置に着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように着色層形成用塗工液を線状遮光部と平行なライン状に塗布した。続いて、同一の開口部に、上記着色層形成用塗工液の着弾位置の中心部から４０μｍ離れた位置に着色層形成用塗工液の着弾位置の中心部がくるように、同様に着色層形成用塗工液を線状遮光部と平行なライン状に塗布した。
次いで、上記基板をホットプレート上で８０℃で１０分間加熱し、さらにクリーンオーブン内で２３０℃で３０分間熱処理を行い、着色層形成用塗工液を硬化させてカラーフィルタを作製した。
実施例１と同様にカラーフィルタを光学顕微鏡により観察したところ、開口部の各角部近傍で、着色層に白抜けが生じていることが確認された。三次元非接触形状計測器により、開口部内の膜厚分布を調べたところ、白抜けにあたる領域の面積は開口部内の１％程度であり、実用性には支障がない程度の白抜けであることが確認された。
【００８２】
[比較例]
水との接触角が１０５°の基板へ着色層形成用塗工液を滴下した際の着弾径が４０μｍとなるように設定されたインクジェットヘッドを用い、実施例１と同様に作製されたカラーフィルタ形成用基板に、上記各開口部中央の位置に着色層形成用塗工液の中心部が着弾するように着色層形成用塗工液を線状遮光部と平行なライン状に塗布した。
次いで、上記基板をホットプレート上で８０℃で１０分間加熱し、さらにクリーンオーブン内で２３０℃で３０分間熱処理を行ない、着色層形成用塗工液を硬化させてカラーフィルタを作製した。
実施例１と同様にカラーフィルタを光学顕微鏡により観察したところ、開口部の各角部近傍で着色層に白抜けが生じていることが確認された。三次元非接触形状計測器により、開口部内の膜厚分布を調べたところ、白抜けにあたる領域の面積は開口部内の５％程度であった。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明のカラーフィルタの一例を示す概略断面図である。
【図２】本発明の着色層形成工程を説明するための説明図である。
【図３】本発明に用いられる遮光部の形状を説明するための説明図である。
【図４】本発明の着色層形成工程を説明するための説明図である。
【図５】本発明の着色層形成工程を説明するための説明図である。
【図６】本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置の一例を説明する説明図である。
【図７】本発明のカラーフィルタ製造用インクジェット装置の位置制御手段を説明するための説明図である。
【図８】従来のカラーフィルタを説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００８４】
１  …線状遮光部
２  …連結遮光部
３  …着色層
４  …遮光部
５  …開口部
１０…着色層形成用塗工液
Ａ  …角部
【図１】
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【図２】
2006343518.tif 000004
【図３】
2006343518.tif 000005
【図４】
2006343518.tif 000006
【図５】
2006343518.tif 000007
【図６】
2006343518.tif 000008
【図７】
2006343518.tif 000009
【図８】
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