(57)【要約】【課題】  本発明は、徹底した軽量化の実現を図るとともに、ガスの圧力損失を少なくでき、また、製作費が安く、かつ施工性も優れる効果を備え、かつ汎用性のあるガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。【解決手段】        本発明は、以下の特徴を有する。（１）ガスの流れを制御するモジュールと、モジュールが搭載されるベースと、を有するガス供給集積ユニットにおいて、板状受け部３４とＵ字配管部３５とからなるＵ字配管部材１２を有すること。（２）モジュールとＵ字配管部材１２との間に配設され、ボルト３２によりベースに締結されるテンプレート１３を有すること。（３）テンプレート１３には、ベースとの締結部１３ａとＵ字配管部材１２の位置決め部１３ｂとからなる略コの字型断面が形成されていること。（４）ベースとして、レール１１を使用すること。【選択図】図１
2006046502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスの流れを制御するモジュールと、前記モジュールが搭載されるベースと、を有するガス供給集積ユニットにおいて、
板状受け部とＵ字配管部とからなるＵ字配管部材を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項２】
請求項１に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記モジュールと前記Ｕ字配管部材との間に配設され、ボルトにより前記ベースに締結されるテンプレートを有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項３】
請求項２に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記テンプレートには、前記ベースとの締結部と前記Ｕ字配管部材の位置決め部とからなる略コの字型断面が形成されていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載するいずれか一つのガス供給集積ユニットにおいて、
前記ベースとして、レールを使用することを特徴とするガス供給集積ユニット。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス供給集積ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガス供給集積ユニットの従来技術として、以下のような特許文献が存在する。
＜従来技術１＞
まず、特許文献１および特許文献２では、図８に示すように、ユニット１０１に対して上方向にネジ１３１を外すだけで容易に流体制御弁１２１の取り外しができるとする。また、排気手段１２２を流体制御弁１２１の近傍に取り付けることにより、流路内のガスの滞留を防止できるとする。
＜従来技術２＞
また、特許文献３および特許文献４では、図９に示すように、横流路ブロック２１１〜２１８を断面略凸形状とし、余分な肉厚部分が削除されるとして、ガス供給集積ユニット２０１の軽量化を図ろうとしている。
＜従来技術３＞
また、特許文献５および特許文献６では、図１０に示すように逆止弁３２１、パージ弁３２２、レギュレータ３２３、マスフローコントローラ３２４、ガス供給弁３２５などのモジュール数を少なくし、これらを一つのベースブロック３１１に搭載するとして、ガス供給集積ユニット３０１の軽量化を図ろうとしている。
【特許文献１】特許２５６８３６５号公報（第００１４−００１７段落、第１図）
【特許文献２】特許２８７５９５８号公報（第００１０−００１２段落、第１図）
【特許文献３】特開平１１−３５１５００号公報（第０００６−０００８段落、第２図）
【特許文献４】特開２０００−３５１４８号公報（第００１４段落、第２図）
【特許文献５】特開２００１−２２７６５７号公報（第００１１段落など、第１図）
【特許文献６】特開２００１−２３５０９９号公報（第００３４段落、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献における従来技術には以下の問題点がある。
図８に示すように、特許文献１および特許文献２では、出力弁ブロック１１３、方向変換ブロック１１４，１１５、入力ブロック１１６などを使用するが、いずれも流路部以外に余分な肉厚部分が存在し、重量が大きい。そのため、ユニット１０１全体の重量が大きくなってしまう。
また、特許文献１および特許文献２では、流路内のガスの滞留を防止するために別途排気手段１２２を取り付けなければならない。
また、図９に示すように、特許文献３および特許文献４では、横流路ブロック２１１〜２１８が自ら各モジュールを支えたり、流路スペースを確保する必要があるため、余分な肉厚部分を削除できる量には限界がある。そのため、搭載するモジュールなどによってはガス供給集積ユニット２０１の軽量化を図ることが困難な場合が生じてしまう。
また、特許文献５および特許文献６では、搭載できるモジュール数が制限され、ガス供給集積ユニット３０１の汎用化を図れなくなってしまう。
【０００４】
そこで本発明は、徹底した軽量化の実現を図るとともに、ガスの圧力損失を少なくでき、また、製作費が安く、かつ施工性も優れる効果を備え、かつ汎用性のあるガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のガス供給集積ユニットは、上記課題を解決するために以下のような構成上の特徴を有している。
（１）ガスの流れを制御するモジュールと、モジュールが搭載されるベースと、を有するガス供給集積ユニットにおいて、板状受け部とＵ字配管部とからなるＵ字配管部材を有すること。
（２）モジュールとＵ字配管部材との間に配設され、ボルトによりベースに締結されるテンプレートを有すること。
（３）テンプレートには、ベースとの締結部とＵ字配管部材の位置決め部とからなる略コの字型断面が形成されていること。
（４）ベースとして、レールを使用すること。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のガス供給集積ユニットは、次のように作用効果を奏する。
本発明のガス供給集積ユニットは、ガスの流れを制御するモジュールと、モジュールが搭載されるベースとを有するガス供給集積ユニットにおいて、板状受け部とＵ字配管部とからなるＵ字配管部材を有するので、Ｕ字配管部材自体に余分な肉厚部分が無くガス供給集積ユニットの軽量化を図ることができ、流路内にガスの滞留部分が発生せずガスの圧力損失を少なくすることができ、Ｕ字配管部材の加工方法が簡単で製作費を安くすることができ、このようなＵ字配管部材を使用することにより安い製作費でガス供給集積ユニットを組み立てることができ、Ｕ字配管部材を連ねて必要な数のモジュールを集積することができガス供給集積ユニットとしての汎用性を実現することができる。
【０００７】
本発明のガス供給集積ユニットは、モジュールとＵ字配管部材との間に配設され、ボルトによりベースに締結されるテンプレートを有するので、テンプレートの板厚の大きさの調整によって、モジュールの流路とＵ字配管部材の流路の接合部分に挟まれるガスケットの過剰な締め付けを防止でき、ガス供給集積ユニットの組み立て時における別途調整が不要で、その施工性が優れる。
【０００８】
本発明のガス供給集積ユニットは、テンプレートには、Ｕ字配管部材との接触部およびベースとの接触部とからなる略コの字型断面が形成されているので、テンプレートによりＵ字配管部材のライン方向の位置決めがなされ、ガス供給集積ユニットの組み立て時における別途調整が不要で、その施工性が優れる。
【０００９】
本発明のガス供給集積ユニットは、ベースとして、レールを使用するので、搭載品のライン方向の配置が自由であり、使用状況や目的に応じたガス供給集積ユニットの組み立てができ、その施工性が優れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係るガス供給集積ユニットの実施例について説明する。
【実施例１】
【００１１】
まず、実施例１として、ガス供給集積ユニット１の構成を説明する。図１は、ガス供給集積ユニット１の正面図と側面図を示す。
図１に示すように、ガス供給集積ユニット１はレール１１、Ｕ字配管部材１２、テンプレート１３を有している。そして、モジュールの集積の一例として、手動バルブモジュール２１、レギュレータモジュール２２、圧力センサ２３、バルブモジュール２４，２５、マスフローコントローラ２６、バルブモジュール２７を搭載している。
また、図２に示すように、Ｕ字配管部材１２は板状受け部３４とＵ字配管部３５で構成されている。
なお、図１における側面図に示すようにレール１１は２本使用され、その間にＵ字配管部材１２のＵ字配管部３５が配設されている。そのため、実際には外観からＵ字配管部３５は確認できないが、説明の都合上、図１における正面図では手前側のレール１１を取り外して示している。
【００１２】
ここで、上記に示したように、Ｕ字配管部材１２は板状受け部３４とＵ字配管部３５で構成されている。そのため、従来のように、金属のブロック体に対し単純に流路を成形した配管ブロックに比べ、余分な肉厚部分が無く、Ｕ字配管部材１２の軽量化を図ることができる。従って、このようなＵ字配管部材１２を使用することにより、ガス供給集積ユニット１全体において徹底した軽量化を図ることができる。
また、Ｕ字配管部３５として流路をＵ字形状にするので、流路内にガスの滞留部分が発生せず、ガスの圧力損失を少なくすることができる。
さらに、Ｕ字配管部材１２の加工方法は、市販の配管をＵ字に曲げたものを板状の部材に溶接などで接合させる方法などが考えられる。このように、加工方法は簡単なので製作費を安くすることができる。従って、このようなＵ字配管部材１２を使用することにより、安い製作費でガス供給集積ユニットを組み立てることができる。また、市販の配管を使用するので、そのサイズを適宜選定することにより、その使用場所に応じてＵ字配管部材１２の大きさを自由に変更することができる。
なお、図２の（ａ）上面図に示すように、Ｕ字配管部材１２には、ガス流路口１２ａと、ボルト３１を取り付けるためのネジ孔１２ｂが形成されている。
【００１３】
また、上記した各モジュールは、各々ボルト３１によりテンプレート１３を挟んでＵ字配管部材１２に締結されている。ここで、テンプレート１３の形状を図３に示す。このテンプレート１３は、その締結部１３ａにおいて、ボルト３２によりレール１１内のネジ止め部品３６に締結されている。そのため、各モジュールはテンプレート１３を介して間接的にレール１１に締結されていることになる。
さらに、テンプレート１３は、その位置決め部１３ｂにおいて、同時にＵ字配管部材１２をガス供給集積ユニット１のライン方向（ガス供給経路方向）に位置決めすることができる。そのため、Ｕ字配管部材１２の流路の位置が定まるので、モジュールの搭載時においてＵ字配管部材１２の流路とモジュールの流路との間の位置調整が容易となる。
【００１４】
また、上記のように、テンプレート１３により、Ｕ字配管部材１２はライン方向に位置決めがなされているが、図１１に示すように、高さ方向においてはレール１１との間にある程度のスペースを持たせている。そのため、ボルト３１によってＵ字配管部材１２と締結される各モジュールは、ボルト３１の締め付け度合いによりその設置高さを調整しながら搭載することができる。
さらに、ネジ止め部品３６はゴムなどの弾性部材であるので、ボルト３２の締め付け度合いによりテンプレート１３を介して、各モジュールの設置高さを調整しながら搭載することもできる。なお、同様の効果を得るために、ネジ止め部品３６とテンプレート１３の間にゴムワッシャーやバネ座金などを挟み込むこととしてもよい。
【００１５】
また、各モジュールの流路とＵ字配管部材１２の流路の接合部分には、ガス漏れを防止するためガスケット３３を挟む必要がある。ここで、図４に示すように、本発明ではモジュール（図４では手動バルブモジュール２１を参考例とする。）とＵ字配管部材１２の間にテンプレート１３が挟まれている。そのため、テンプレート１３の板厚の大きさを調整することにより、ガスケット３３のつぶし量を管理して、ガスケット３３の過剰な締め付けを防止することができる。従って、ガス供給集積ユニット１の組み立て時に、ガスケット３３の締め付けに対して余計な注意を払う必要はない。
なお、図３の（ａ）上面図に示すように、テンプレート１３には、上記のようにガスケット３３の過剰な締め付けを防止する役割を有するシール孔１３ｃ、ボルト３１を通すための通し孔１３ｄ、ボルト３２を通すための通し孔１３ｅが形成されている。
【００１６】
次に、本発明に係るガス供給集積ユニット１の組み立て方法を説明する。
（１）まず、レール１１を２本用意する。（２）このレール１１上に一つ目のテンプレート１３を任意の位置に位置決めし、ボルト３２で固定する。（３）次に、一つ目のＵ字配管部材１２をレール１１上に搭載し、一つ目のテンプレート１３の位置決め部１３ｂに接触させる。（４）次に、二つ目のテンプレート１３をレール１１上に搭載し、その位置決め部１３ｂを一つ目のＵ字配管部材１２に接触させてボルト３２で固定する。以降、このような方法で順次組み立てていき、これにボルト３１で締結しながら各モジュールを搭載することによりモジュールの集積を図ることができる。
【００１７】
以上のような実施例１の発明により、以下の効果が得られる。
本発明のガス供給集積ユニット１では、ガスの流れを制御するモジュールと、モジュールが搭載されるレール１１と、を有するガス供給集積ユニットにおいて、板状受け部３４とＵ字配管部３５とからなるＵ字配管部材１２を有するので、Ｕ字配管部材１２自体に余分な肉厚部分が無くガス供給集積ユニットの軽量化を図ることができ、流路内にガスの滞留部分が発生せずガスの圧力損失を少なくすることができ、Ｕ字配管部材１２の加工方法が簡単で製作費を安くすることができ、このようなＵ字配管部材１２を使用することにより安い製作費でガス供給集積ユニットを組み立てることができ、Ｕ字配管部材１２を連ねて必要な数のモジュールを集積することができガス供給集積ユニットとしての汎用性を実現することができる。
【００１８】
本発明のガス供給集積ユニット１では、モジュールとＵ字配管部材１２との間に配設され、ボルト３２によりレール１１に締結されるテンプレート１３を有するので、テンプレート１３の板厚の大きさの調整によって、モジュールの流路とＵ字配管部材１２の流路の接合部分に挟まれるガスケットの過剰な締め付けを防止でき、ガス供給集積ユニットの組み立て時における別途調整が不要で、その施工性が優れる。
【００１９】
本発明のガス供給集積ユニット１では、テンプレート１３に、レール１１との締結１３ａ部とＵ字配管部材１２の位置決め部１３ｂとからなる略コの字型断面が形成されているので、テンプレートによりＵ字配管部材１２のライン方向の位置決めがなされ、ガス供給集積ユニットの組み立て時における別途調整が不要で、その施工性が優れる。
【００２０】
本発明のガス供給集積ユニット１では、ベースとして、レール１１を使用するので、モジュールや配管ブロック１２やテンプレート１３などの搭載品のライン方向の配置が自由であり、使用状況や目的に応じたガス供給集積ユニット１の組み立てが図れ、その施工性が優れる。
【実施例２】
【００２１】
次に、実施例２として、ガス供給集積ユニット２の構成を説明する。
基本的に実施例１のガス供給集積ユニット１と共通するので、かかる共通点については説明を省略し、異なる特徴点を以下に説明する。
図５に示すように、ガス供給集積ユニット２はレール１１の代わりにベース１４を使用する点、テンプレート１５およびテンプレート１６の形状が異なる点、フランジ１７を使用する点で実施例１のガス供給集積ユニット１と異なる。
テンプレート１５の形状を図６に、テンプレート１６の形状を図７に示す。
ここで、テンプレート１５，１６の位置決め部１５ｂ，１６ｂの長さは、実施例１のテンプレート１３の位置決め部１３ｂよりも大きい。これにより、Ｕ字配管部材１２の設置空間を確保できるとともに、このテンプレート１５，１６を使用することにより、ガス供給集積ユニット全体において、より徹底した軽量化を図ることができる。
なお、図６，７の（ａ）上面図に示すように、テンプレート１５，１６には、上記のようにガスケット３３の過剰な締め付けを防止する役割を有するシール孔１５ｃ，１６ｃ、ボルト３１を通すための通し孔１５ｄ，１６ｄ、ボルト３２を通すための通し孔１５ｅ，１６ｅが形成されている。
【００２２】
次に、本発明に係るガス供給集積ユニット２の組み立て方法を説明する。
（１）まず、ベース１４にフランジ１７とテンプレート１５を取り付ける。（２）次に、テンプレート１５のブロック受け部１５ｆに一つ目のＵ字配管部材１２の一方側を載せ、その後一つ目のテンプレート１６をベース１４に取り付けつつＵ字配管部材１２の他方側を、このテンプレート１６の一方のブロック受け部１６ｆに載せる。（３）次に、このテンプレート１６の他方のブロック受け部１６ｆにＵ字配管部材１２の一方側を載せる。以降、このような方法で順次組み立てていき、これにボルト３１で締結しながら各モジュールを搭載することによりモジュールの集積を図ることができる。
【００２３】
以上のような実施例２の発明により、以下の効果が得られる。
本発明のガス供給集積ユニット２では、ガスの流れを制御するモジュールと、モジュールが搭載されるベース１４と、を有するガス供給集積ユニットにおいて、板状受け部３４とＵ字配管部３５とからなるＵ字配管部材１２を有するので、Ｕ字配管部材１２自体に余分な肉厚部分が無くガス供給集積ユニットの軽量化を図ることができ、流路内にガスの滞留部分が発生せずガスの圧力損失を少なくすることができ、Ｕ字配管部材１２の加工方法が簡単で製作費を安くすることができ、このようなＵ字配管部材１２を使用することにより安い製作費でガス供給集積ユニットを組み立てることができ、Ｕ字配管部材１２を連ねて必要な数のモジュールを集積することができガス供給集積ユニットとしての汎用性を実現することができる。
【００２４】
本発明のガス供給集積ユニット２では、モジュールとＵ字配管部材１２との間に配設され、ボルト３２によりベース１４に締結されるテンプレート１５，１６を有するので、テンプレート１３の板厚の大きさの調整によって、モジュールの流路とＵ字配管部材１５，１６の流路の接合部分に挟まれるガスケットの過剰な締め付けを防止でき、ガス供給集積ユニットの組み立て時における別途調整が不要で、その施工性が優れる。
【００２５】
本発明のガス供給集積ユニット２では、テンプレート１５，１６に、ベース１４との締結部１５ａ，１６ａとＵ字配管部材１２の位置決め部１５ｂ，１６ｂとからなる略コの字型断面が形成されているので、テンプレート１５，１６によりＵ字配管部材１２のライン方向の位置決めがなされ、ガス供給集積ユニットの組み立て時における別途調整が不要で、その施工性が優れる。
【００２６】
尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実施例１のガス供給集積ユニットの外観図である。
【図２】Ｕ字配管部材の形状を表す図である。（（ａ）上面図、（ｂ）上面図のＡ−Ａ断面、（ｃ）側面図を示す。）
【図３】実施例１のテンプレートの形状を表す図である。（（ａ）上面図、（ｂ）上面図のＡ−Ａ断面、（ｃ）側面図、（ｄ）背面図を示す。）
【図４】モジュールの流路と配管ブロックの流路の接合部分を表す図である。（（ａ）ボルトの締め付け前、（ｂ）ボルトの締め付け後を示す。）
【図５】実施例２のガス供給集積ユニットの外観図である。
【図６】実施例２のテンプレートの形状を表す図である。（（ａ）上面図、（ｂ）上面図のＡ−Ａ断面、（ｃ）側面図、（ｄ）背面図を示す。）
【図７】実施例２のテンプレートの形状を表す図である。（（ａ）上面図、（ｂ）上面図のＡ−Ａ断面、（ｃ）側面図、（ｄ）背面図を示す。）
【図８】特許文献１および特許文献２のガス供給集積ユニットの外観図である。
【図９】特許文献３および特許文献４のガス供給集積ユニットの外観図である。
【図１０】特許文献５および特許文献６のガス供給集積ユニットの外観図である。
【図１１】実施例１のガス供給集積ユニットにおいて、テンプレート周辺の拡大図である。
【符号の説明】
【００２８】
１  ガス供給集積ユニット
２  ガス供給集積ユニット
１１  レール
１２  配管ブロック
１３  テンプレート
１４  ベース
１５  テンプレート
１６  テンプレート
１７  フランジ
３３  ガスケット
３６  ネジ止め部品
【図１】
2006046502.tif 000003
【図２】
2006046502.tif 000004
【図３】
2006046502.tif 000005
【図４】
2006046502.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006046502.tif 000008
【図７】
2006046502.tif 000009
【図８】
2006046502.tif 000010
【図９】
2006046502.tif 000011
【図１０】
2006046502.tif 000012
【図１１】
2006046502.tif 000013