(57)【要約】【課題】分解しためっき治具の洗浄・乾燥が効率よく確実、迅速に行なえるようにする。【解決手段】乾燥装置本体３内に、複数に分解された分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３を縦置きの状態で支持する支持部材５と、縦置きの状態で支持された分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３の両面に対して洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズル７と、その洗浄水噴射ノズル７による洗浄完了後に両面へ向け乾燥風を噴射する乾燥風噴射ノズル９と、上下動しながら、洗浄及び乾燥が行なえるように前記洗浄水噴射ノズル７及び乾燥風噴射ノズル９を分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３に沿って上下動させる昇降装置１１とを備えるようにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥装置本体内に、めっき治具が複数に分解されその分解された分解めっき治具をそれぞれ縦置きの状態で支持する支持部材と、前記縦置きの分解めっき治具の両面に配置され、その両面に洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズルと、その洗浄水噴射ノズルによる洗浄完了後に、前記分解めっき治具の両面に乾燥風を噴射する乾燥風噴射ノズルと、前記洗浄水噴射ノズル及び乾燥風噴射ノズルを前記分解めっき治具に沿って上下動させる昇降装置とを備えていることを特徴とするめっき治具乾燥装置。
【請求項２】
前記支持部材は、対向して配置されると共に前記分解めっき治具の両端を支持する上方が開放された断面内向きコ字状のガイドレールとなっていることを特徴とする請求項１記載のめっき治具乾燥装置。
【請求項３】
対向して配置された前記支持部材は、洗浄水噴射ノズルと乾燥風噴射ノズルが上下動するための昇降スペースを有して並列に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載のめっき治具乾燥装置。
【請求項４】
前記洗浄水噴射ノズル及び乾燥風噴射ノズルは、周面に複数の噴射口が設けられた中空パイプ状の形状でその一端が前記、昇降装置の駆動用昇降体に、他端が昇降装置の従動用昇降体にそれぞれ固定支持され駆動用昇降体及び従動用昇降体とをつなぐ強度メンバとなっていることを特徴とする請求項１記載のめっき治具乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ等の表面にめっきを施した後のめっき治具を洗浄、乾燥するのに適するめっき治具乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に半導体等を実施するウエハ等の表面には銅めっきが施される。
【０００３】
ウエハの表面に銅めっきを施すにはめっき治具にウエハをセットし、めっき治具ごとめっき槽内に全体を沈めることでウエハ表面にめっきが施されるようになっている。
【０００４】
めっき完了後のめっき治具は複数に分解された後、水洗い、乾燥され再び再使用されるようになっている。
【０００５】
めっき治具の洗浄、乾燥は、めっき治具を複数に分解した後、１つ１つ手洗いを行ない、乾燥する。めっき治具の乾燥は表面に付着した水滴を市販のエアガン等を用いて高圧空気を噴射し吹き飛ばす手段を採っている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のめっき治具の洗浄、乾燥は手作業のため時間がかかることと、作業者によって作業完了後の洗浄にバラツキがでることと、乾燥時に吹き飛ばされた水滴が周囲に飛散する等の問題をかかえていた。
【０００７】
そこで、本発明は分解しためっき治具の洗浄、乾燥が効率よく確実に行なえるめっき治具乾燥装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明にあっては、乾燥装置本体内に、めっき治具が複数に分解されその分解された分解めっき治具をそれぞれ縦置きの状態で支持する支持部材と、前記縦置きの分解めっき治具の両面に配置され、その両面に洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズルと、その洗浄水噴射ノズルによる洗浄完了後に、前記分解めっき治具の両面に乾燥風を噴射する乾燥風噴射ノズルと、前記洗浄水噴射ノズル及び乾燥風噴射ノズルを前記分解めっき治具に沿って上下動させる昇降装置とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、分解した分解めっき治具を支持部材によって縦置きの状態で正しくセット支持することができる。また、縦置きに支持された分解めっき治具の両面に対して、上から下まで洗浄水噴射ノズルによって洗浄水を確実にあてることができる。また、洗浄完了後に乾燥風噴射ノズルによって上から下まで乾燥風を確実にあてることが可能となり、分解めっき治具を全領域面にわたって迅速に、かつ、確実にきれいにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
第１には、前記支持部材を、対向して配置すると共に前記分解めっき治具の両端を支持する上方が開放された断面内向きコ字状のガイドレールとし、分解めっき治具の両面を確実に露出させた状態で両端支持を可能とする。
【００１１】
第２には、対向して配置された前記支持部材を、洗浄水噴射ノズルと乾燥風噴射ノズルが上下動する昇降スペースを有して並列に配置し、コンパクトなレイアウト構造とする。
【００１２】
第３には、前記洗浄水噴射ノズル及び乾燥風噴射ノズルを、周面に複数の噴射口が設けられた中空パイプ状の形状とし、その一端を前記、昇降装置の駆動用昇降体に、他端を昇降装置の従動用昇降体にそれぞれ固定支持し、駆動用昇降体及び従動用昇降体とをつなぐ強度メンバとする。
【実施例】
【００１３】
以下、図１及び図７の図面を参照しながら本発明の実施の形態について具体的に説明する。
【００１４】
図１は本発明にかかるめっき治具乾燥装置の概要切断正面図。図２はめっき治具乾燥装置の概要切断側面図をそれぞれ示している。
【００１５】
めっき治具乾燥装置１は、乾燥装置本体３内に、一対の対向し合う支持部材５と洗浄水噴射ノズル７と乾燥風噴射ノズル９と昇降装置１１とをそれぞれ備えている。
【００１６】
乾燥装置本体３の本体ケースは底面と四周壁面とにより上方が開放されたボックス状に形成されると共に支脚部１３によって支持されている。上方の開放口となる中央部位は、出し入れ口１５となっていて、その出し入れ口１５は図３に示すよう取手１７を持って上方へ持ち上げることでヒンジ１９を支点として開閉する開閉可能な開閉蓋２１となっている。
【００１７】
支持部材５は、図５から図７に示すようにめっき治具２３をウエハ裏面板ガイドＧ−１、ホルダガイドＧ−２、裏面板ガイドＧ−３の３つに分解した際に、その分解した第１、第２、第３の分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３をそれぞれ縦置きの状態で両端支持するようになっている。
【００１８】
図４は支持部材５の配列状態を示したもので左側から第１の分解めっき治具Ｇ−１用の支持部材５、第２の分解めっき治具Ｇ−２用の支持部材５、第３の分解めっき治具Ｇ−３用の支持部材５となっている。
【００１９】
各支持部材５は補強板５ａによって対向して配置されると共に、大きさの異なる第１、第２、第３の分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３の両端をそれぞれ縦置きの状態で支持すると共に、その両端の支持領域を除いて両面全体が大きく露出するよう上方が開放された断面内向きコ字状のガイドレール５ｂとなっている。
【００２０】
ガイドレール５ｂの上方は、各分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３を上方から落し入れる挿入口となっている。挿入口の左右にはその挿入口へ向けガイドする左右一対のガイド板５ｃが設けられている。支持部材４と支持部材５の間は、前記洗浄水噴射ノズル７と乾燥風噴射ノズル９が上下に昇降できる昇降スペースｄが確保された寸法に設定され、整列配置とすることでコンパクトにまとめられた構造となっている。
【００２１】
洗浄水噴射ノズル７と乾燥風噴射ノズル９は、上下の関係に配置され左右に長い中空パイプ７ａの形状となっていて、その外周には噴射口７ｂが複数設けられた形状となっている。
【００２２】
洗浄水噴射ノズル７は、図外の洗浄水タンクと連通し、下降する時に例えば、純水等洗浄水が各分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３の両面へ向け噴射口７ｂから噴射されるようになっている。
【００２３】
乾燥風噴射ノズル９は、図外のエアコンプレッサと連通し、前記洗浄水噴射ノズル７による洗浄完了後において、下降時に高圧の空気が各分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３の両面へ向け噴射口９ｂから噴射されるようになっている。
【００２４】
この場合、洗浄水噴射ノズル７と乾燥風噴射ノズル９は形状が同一であるところから、独立して１本設け、それを切換弁によって洗浄水、あるいは、乾燥風がそれぞれ噴射されるよう切換制御される一本タイプの噴射ノズルとすることも可能である。
【００２５】
昇降装置１１は、駆動用昇降体２５と従動用昇降体２７とからなる構造となっている。駆動用昇降体２５は上下に長い昇降タワー２９内に配置され、駆動シリンダ３１の上昇取入口３１ａにエアが供給されることで上昇（図１矢印イ）可能となっている。また、下降取入口３１ｂにエアが供給されることで下降（図１矢印ロ）可能となっている。
【００２６】
従動用昇降体２７は、上下に長い昇降タワー３３内に配置されたガイドレール３５に沿って上下にスライド移動する摺動子３７に装着支持されている。
【００２７】
駆動用昇降体２５と従動用昇降体２７の下部には、前記中空パイプ７ａ，９ａに形成された洗浄水噴射ノズル７と乾燥風噴射ノズル９の両端がそれぞれ固定支持されている。
【００２８】
これにより、洗浄水噴射ノズル７と乾燥風噴射ノズル９は、駆動用昇降体２５と従動用昇降体２７とをつなぐ強度メンバとして機能し、部品点数を少なくしながら従動用昇降体２７は駆動用昇降体２５の上下動に対応して同時に上下動することが可能となっている。
【００２９】
このように構成されためっき治具乾燥装置１によれば、分解した第１、第２、第３の分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３を各支持部材５にセットした後、洗浄水噴射ノズル７による洗浄完了後に乾燥風噴射ノズル９から乾燥風を噴射することで、縦置きに支持された第１、第２、第３の分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３の両面に対して上から下まで全領域にわたって洗浄水及び乾燥風を確実にあてることができる。この結果、水滴等を四周に飛散させることなく、確実、かつ、迅速に作業を終了することができると共に、仕上がりのきれいな第１、第２、第３の分解めっき治具Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３が得られるようになる。
【００３０】
なお、支持部材５を多数備えた大型のめっき治具乾燥装置とすることで、めっき治具２３を一度に多数処理することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明にかかるめっき治具乾燥装置の概要切断正面図。
【図２】めっき治具乾燥装置の概要切断側面図。
【図３】めっき治具乾燥装置の概要切断平面図。
【図４】支持部材を平面から見た概要説明図。
【図５】めっき治具の全体の概要平面図。
【図６】図５のＡ−Ａ線断面図。
【図７】３つに分解した分解めっき治具の概要分解図。
【符号の説明】
【００３２】
３…乾燥装置本体
５…支持部材
５ｂ…ガイドレール
７…洗浄水噴射ノズル
９…乾燥風噴射ノズル
１１…昇降装置
２５…駆動用昇降体
２７…従動用昇降体
Ｇ−１，Ｇ−２，Ｇ−３…第１、第２、第３の分解めっき治具
ｄ…昇降スペース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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