(57)【要約】【課題】  構成の簡単な安価であり、白キズ及び点滅する白キズを確実に検出できる、固体撮像素子の白キズ検査装置を提供する。【解決手段】  固体撮像素子で撮像して得られた映像信号のレベルから固体撮像素子中の白キズを検査する際、前記白キズの電気信号レベルが不安定な状態で変動する場合でも検査を行える白キズ検査装置２０において、前記白キズと判定する基準レベルを設定するレベル設定部１６と、基準レベルを直流電圧信号に変換する判定信号発生部１５と、直流電圧信号と映像信号とを比較して、映像信号が直流電圧信号よりも大きい場合には、映像信号を選択し、直流電圧信号よりも小さい場合には、直流電圧信号を選択して出力させる比較回路部１３と、この比較回路部１３から出力された映像信号又は直流電圧信号から基準レベルを変換した直流電圧信号を差し引いて出力させる判定減衰回路部１４と、を有する。【選択図】      図１
2006129154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体撮像素子で撮像して得られた映像信号のレベルから前記固体撮像素子中の白キズを検査する際、前記白キズの電気信号レベルが不安定な状態で変動する場合でも検査を行える固体撮像素子の白キズ検査装置において、
前記白キズと判定する基準レベルを設定するレベル設定部と、
前記基準レベルを直流電圧信号に変換する判定信号発生部と、
前記直流電圧信号と前記映像信号とを比較して、前記映像信号が前記直流電圧信号よりも大きい場合には、前記映像信号を選択し、前記直流電圧信号よりも小さい場合には、前記直流電圧信号を選択して出力させる比較回路部と、
前記比較回路部から出力された前記映像信号又は前記直流電圧信号から前記基準レベルを変換した直流電圧信号を差し引いて出力させる判定減衰回路部と、
を有することを特徴とする固体撮像素子の白キズ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カメラ等に使用される固体撮像素子の白キズ検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ビデオカメラ、デジタルカメラ等においては、光学系で得た光学像を映像電気信号に変換するための光電変換素子としては、一般には、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ型撮像素子などの固体撮像素子が使用されている。
固体撮像素子は、複数の微細な受光ピクセル（光電変換素子）の集合体である。これらの受光ピクセルをすべて無欠陥に製造出来ることが望ましいが、実際には、製造工程での塵埃の問題等により、いくつかの受光ピクセルが欠陥となる場合がある。
【０００３】
この欠陥となった受光ピクセルのうち、映像出力として見たとき、白い点として、認識されるものがある。これらは、通常白キズと称される。この通常の白キズが目立たなくなるように補う手段として、この白キズを補正する機能がカメラに備えられているが、補正できる範囲には限界がある。
従って、固体撮像素子を、カメラに組み込みの生産ラインへ投入する前に、固体撮像素子単体で検査を行い、予め定められている白キズのレベル、個数等の判定基準によって、選別し、良品とみなされるものだけが使用される。
【０００４】
この白キズの検査方法としては、波形モニタあるいはオシロスコープを使用して映像信号を観測したり、固体撮像素子の信号出力を一画面分のデータとして画像メモリ等に取り込み、数値統計的に処理することが一般に行われている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２０００−９２３９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、これら固体撮像素子においては、白キズとしては、通常の白キズとは別に、モニタに表示した際に点滅するタイプの白キズがある。これは、信号レベルが時間的に任意に変動しているので、従来の測定方法で検出するのは困難であるという問題があった。
【０００６】
また、固体撮像素子の白キズ検査装置を、各生産拠点に配備する場合と、固体撮像素子を組み込んだカメラのメンテナンスを行うとサービス拠点に配備する場合とがあり、多数の白キズ検査装置を用意する必要がある。従って、固体撮像素子の検査装置としては、構成が簡単で安価であり、白キズの検出を的確に確実に行うことが出来る固体撮像素子の白キズ検査装置が望まれているという問題もあった。
【０００７】
そこで本発明は、固体撮像素子の白キズ検査装置において、構成の簡単な安価であり、白キズ及び点滅する白キズを確実に検出できる、固体撮像素子の白キズ検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、固体撮像素子で撮像して得られた映像信号のレベルから前記固体撮像素子中の白キズを検査する際、前記白キズの電気信号レベルが不安定な状態で変動する場合でも検査を行える固体撮像素子の白キズ検査装置において、前記白キズと判定する基準レベルを設定するレベル設定部と、前記基準レベルを直流電圧信号に変換する判定信号発生部と、前記直流電圧信号と前記映像信号とを比較して、前記映像信号が前記直流電圧信号よりも大きい場合には、前記映像信号を選択し、前記直流電圧信号よりも小さい場合には、前記直流電圧信号を選択して出力させる比較回路部と、前記比較回路部から出力された前記映像信号又は前記直流電圧信号から前記基準レベルを変換した直流電圧信号を差し引いて出力させる判定減衰回路部と、を有することを特徴とする固体撮像素子の白キズ検査装置を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、前記白キズと判定する基準レベルを設定するレベル設定部と、前記基準レベルを直流電圧信号に変換する判定信号発生部と、前記直流電圧信号と前記映像信号とを比較して、前記映像信号が前記直流電圧信号よりも大きい場合には、前記映像信号を選択し、前記直流電圧信号よりも小さい場合には、前記直流電圧信号を選択して出力させる比較回路部と、前記比較回路部から出力された前記映像信号又は前記直流電圧信号から前記基準レベルを変換した直流電圧信号を差し引いて出力させる判定減衰回路部と、を有するので、構成の簡単な安価であり、白キズ及び点滅する白キズを確実に検出できる固体撮像素子の白キズ検査装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態につき、好ましい実施例により、図面を参照して説明する。
【実施例】
【００１１】
図１は、本発明の固体撮像素子の白キズ検査装置の実施例を示すブロック図である。
図２は、本発明の固体撮像素子の白キズ検査装置におけるＭＩＸ部及びレベル５設定部の一例を示すブロック図である。
図３は、本発明の固体撮像素子の白キズ検査装置の実施例における信号の波形を示すグラフ図である。
【００１２】
図１に示すように、白キズ検査の対象となる固体撮像素子１１は、カメラ１０に組み込まれるようになっており、カメラ１０には、レンズユニット１８が設けられており、このレンズユニット１８により光学像が固体撮像素子１１上に結像するようになっている。
白キズ検査時には、レンズユニット１８にはキャップを被せて、固体撮像素子１１上には無光量状態にしておく。
【００１３】
固体撮像素子１１により光電変換して得られた電気信号（無光量なので黒レベル５の信号となる）は、カメラ１０に内蔵されたプロセス回路１２に送られ、ここで映像信号１に変換され、固体撮像素子の白キズ検査装置２０に送られる。
固体撮像素子の白キズ検査装置２０は、ＭＩＸ部（以下、信号合成部ともいう）１３、判定減衰部１４、判定信号発生部１５及びレベル５設定部１６より構成されている
【００１４】
カメラ１０のプロセス回路１２から出力された映像信号１は、ＭＩＸ部１３に送られる。
判定信号発生部１５は、レベル５設定部１６で指定した信号レベルに対応した所定の直流電圧信号２を発生して、これをＭＩＸ部１３へ送る。
ＭＩＸ部１３は、プロセス回路１２からの映像信号１と直流電圧信号２を合成してＭＩＸ信号（以下、合成信号ともいう）３を判定減衰部１４へ送る。ここで、信号の合成は、次の様に行われる。すなわち、映像信号１が直流電圧信号２より大きいときは、映像信号１をＭＩＸ信号３として出力する。逆に、映像信号１が直流電圧信号２より小さいときには、直流電圧信号２をＭＩＸ信号３として出力する。
【００１５】
一方、レベル設定部１６のレベル信号６は判定用レベル信号５として判定減衰部１４へ送られる。判定用レベル信号５の値は判定誤差を防止するために、レベル設定部１６のレベル信号６に△αを足した値でも良い。なお、判定用レベル信号５と直流電圧信号２とは、対応しており同一でもよい。
【００１６】
判定減衰部１４は、ＭＩＸ部１３から入力されたＭＩＸ信号３を判定用レベル信号５を参照して、ＭＩＸ信号３が判定用レベル信号５より大きいときはそのまま判定用映像信号４として出力する。ＭＩＸ信号３が判定用レベル信号５以下のとき、そのＭＩＸ信号３のレベル信号５を下げて判定用映像信号４として出力する。下げるレベルは黒レベルが望ましいが、白キズのレベル信号５と良好に判別できる範囲であれば良い。ここでは、判定レベル信号５を用いず、ＭＩＸ信号３の直流分をカットするようにしても良い。
判定減衰部１４から出力される判定用映像信号４はモニタ１７へ送られ画面表示される。
【００１７】
画面には、固体撮像素子１１より得られる映像信号１のうち、直流電圧信号２に対応する所定レベル信号以上の映像信号１は、白キズとして、表示されるので、これを目視で検出できる。白キズが点滅タイプの場合でも、所定時間画面表示を行っていれば、白キズとして確実に検出できる。
【００１８】
次に、図２を参照して、ＭＩＸ部１３と判定信号発生部１５の一例を説明する。
同図に示すように、ＭＩＸ部１３は、２個のトランジスタ２５、２６より構成される。トランジスタ２５、２６はエミッタフォロワとなっており、各コレクタには端子２２より所定の動作電圧Ｖｄが印加されている。トランジスタ２５のベースには、プロセス回路１２の出力に接続する端子２１より固体撮像素子１１により得られる映像信号１が供給されている。
【００１９】
判定信号発生部１５は、接続点２７を介して直列接続された２個の可変抵抗２８、２９より構成される。可変抵抗２９の接続点２７側ではない一端は接地されており、可変抵抗２８の接続点２７側ではない一端は端子２２に接続され、所定の動作電圧Ｖｄが印加されている。可変抵抗２８、２９をそれぞれ調整することにより、接続点２７に、動作電圧Ｖｄ以下の、ここでは図示しないレベル設定部１６で与えられるレベルに対応した直流電圧信号２を与えることが出来る。
【００２０】
一方、直流電圧信号２はトランジスタ２６のベースに印加されている。
従って、エミッタからは、トランジスタ２５に入力される映像信号１とトランジスタ２６に入力される直流電圧信号２の大きいほうが、ＭＩＸ信号３として端子２３に出力される。
【００２１】
次に、図３を参照して、上述した信号の各波形を説明する。なお、説明の便宜上、図３の（ａ）、図３の（ｂ）、図３の（ｃ）、図３の（ｄ）の各図においては、１ラインの信号波形を表示している。
図３の（ａ）は、白キズを含んだ固体撮像素子１１から得られる映像信号１を示す。ニは黒レベル信号を示す。Ｖｓは白キズと判定するレベル信号６に対応する直流電圧信号２を示す。波形イ、波形ロ、波形ハはいずれも黒レベル５ニより大きいが、波形イと波形ハが白キズとして検出されるべきものである。波形ロは、白キズとみなさなくても良いものである。
【００２２】
図３の（ｂ）は、判定信号発生部１５の出力であり直流電圧信号２（これは電圧Ｖｓである）を示し、直流電圧のレベルは、固体撮像素子１１の白キズの良否を判定するための基準となる信号であり、レベル設定部１６のレベル信号６に対応して変更することが可能である。
【００２３】
図３の（ｃ）は、ＭＩＸ部１３に入力された映像信号１と直流電圧信号２とを比較して、大きい（レベル信号の高い）ほうの信号が出力される。映像信号のうち、波形イと波形ハは、Ｖｓより大きいのでＭＩＸ信号３として出力され、それ以外の黒レベルニ及び波形ロに対応する位置では、直流電圧信号２（Ｖｓ）が出力される。
【００２４】
図３の（ｄ）には、ＭＩＸ部１３から判定減衰部１４に出力されたＭＩＸ信号３が、判定減衰部１４で加工、出力された判定用映像信号４を示す。判定減衰部１４では、直流分をカット（所定のレベル５に減衰でも良い）して出力する、すなわち、ＶｓをグランドレベルにしてＶｓよりも大きい信号は、Ｖｓ分を差し引いた信号レベルとして出力される。
【００２５】
この判定用映像信号をモニタ１７で表示すると、一様な略黒の画面に、波形イ及び波形ハは、周囲と対比して、明確に、白い点として表示される。これらは、すなわち、白キズとして認識識別できる。ここで、例えば、波形イが点滅タイプの白キズであっても、点滅して表示されるので、簡単に検出識別できる
また、白キズが規格内のときは、直流電圧信号２のレベルにより規格内の映像信号１は直流電圧信号２の電圧レベルにマスクされる。そして判定減衰部１４の出力は映像信号１が直流電圧信号２のレベル以下のためすべて減衰され、モニタ１７で表示すると一様な略黒の画面として認識することができる。
【００２６】
以上説明したように、本発明の固体撮像素子の白キズ検査装置によれば、安価で簡単な構成により、確実に、固体撮像素子の白キズを検査選別することができる。さらに、固体撮像素子における点滅する白キズのように、信号レベルが変動した場合でも点滅表示は視覚的に一目瞭然であり、これもまた、簡単、確実に固体撮像素子の白キズとして検査選別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の固体撮像素子の白キズ検査装置の実施例を示すブロック図である。
【図２】本発明の固体撮像素子の白キズ検査装置におけるＭＩＸ部及びレベル５設定部の一例を示すブロック図である。
【図３】本発明の固体撮像素子の白キズ検査装置の実施例における信号の波形を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００２８】
１…映像信号、２…直流電圧信号、３…ＭＩＸ信号（合成信号）、４…判定用映像信号、５…判定用レベル信号、６…レベル信号、１０…カメラ、１１…固体撮像素子、１２…プロセス回路、１３…ＭＩＸ部（比較回路部）、１４…判定減衰部、１５…判定信号発生部、１６…レベル設定部、１７…モニタ、１８…レンズユニット、２０…白キズ検査装置、２１…端子、２２…端子、２３…端子、２５…トランジスタ、２６…トランジスタ、２７…接続点、２８…可変抵抗、２９…可変抵抗。
【図１】
2006129154.tif 000003
【図２】
2006129154.tif 000004
【図３】
2006129154.tif 000005