(57)【要約】【課題】  低消費電力で且つノイズ発生の少ない電圧供給回路、及びその電圧供給回路を用いた固体撮像装置を提供する。【解決手段】  第１のクロックをバッファして第２のクロックを生成するクロックバッファ回路部200 と、入力電圧を前記第２のクロックによる制御の下、所定の電圧に昇圧し、昇圧電力として出力する昇圧回路部100 と、該昇圧回路部からの出力される昇圧電圧のレベルを検出する電圧検出回路部300 と、該電圧検出回路部による検出結果に応じ、前記クロックバッファ回路部に対する前記第１のクロックの入力を制御する制御回路部400 とで電圧供給回路を構成する。【選択図】        図  １
2006129127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のクロックをバッファして第２のクロックを生成するクロックバッファ部と、入力電圧を前記第２のクロックによる制御の下、所定の電圧に昇圧又は降圧し、昇圧電力として出力する昇圧回路部と、該昇圧回路部からの出力される昇圧又は降圧電圧のレベルを検出する電圧検出部と、該電圧検出部による検出結果に応じ、前記クロックバッファ部に対する前記第１のクロックの入力を制御する制御回路部とを有することを特徴とする電圧供給回路。
【請求項２】
前記昇圧回路部は、アノードに入力電圧が供給され、カソードが後段のダイオードのアノードに接続された、複数の直列接続のダイオードと、一端に前記第２のクロックが供給され、他端が前記直列接続のダイオード間のノードに接続された、複数のキャパシタとを有するチャージポンプ型昇圧回路であることを特徴とする請求項１に係る電圧供給回路。
【請求項３】
前記クロックバッファ部は、第１の電源と第２の電源との間に、制御端子に加える電圧により一方の端子から他方の端子への導通が制御される２つのトランジスタが直列に接続され、２つの前記トランジスタ間のノードから前記第２のクロックを出力する出力部と、前記トランジスタの前記制御端子に供給される、前記２つのトランジスタが異なるタイミングで導通するように位相がずらされた２つの前記第１のクロックが入力される入力部とを備えたバッファ回路を有することを特徴とする請求項１に係る電圧供給回路。
【請求項４】
前記電圧検出部は、前記昇圧回路部から出力される昇圧又は降圧電圧レベルを基準レベルと比較するコンパレータを有することを特徴とする請求項１に係る電圧供給回路。
【請求項５】
前記昇圧回路部の出力を、外部からの入力信号に応じ、前記所定の電圧とは異なる電圧に固定するスイッチング素子を更に備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に係る電圧供給回路。
【請求項６】
半導体基板上に形成されたフォトダイオードと、このフォトダイオードの信号を転送するための転送トランジスタと、該転送トランジスタにより転送された信号を増幅するための増幅トランジスタと、この増幅トランジスタを活性化するアドレス手段と、前記転送された信号を排出するリセットトランジスタとを少なくとも有する単位画素が、複数、マトリクス状に配列された画素部と、該画素部に対して、駆動に係る電圧を供給する、請求項１〜５のいずれか１項に係る電圧供給回路とが１チップ上に形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項７】
前記リセットトランジスタ又は前記転送トランジスタの少なくとも一方は、そのゲートに、前記電圧供給回路からの前記昇圧又は降圧電圧が入力されることを特徴とする請求項６に係る固体撮像装置。
【請求項８】
半導体基板上に形成されたフォトダイオードと、このフォトダイオードの信号を転送するための転送トランジスタと、該転送トランジスタにより転送された信号を増幅するための増幅トランジスタと、この増幅トランジスタを活性化するアドレストランジスタと、前記転送された信号を排出するリセットトランジスタとを少なくとも有する単位画素が、複数、マトリクス状に配列された画素部と、該画素部に対して、駆動に係る電圧を供給する、請求項１〜５のいずれか１項に係る電圧供給回路とが１チップ上に形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項９】
前記アドレストランジスタ、前記リセットトランジスタ、又は前記転送トランジスタの内の少なくとも１つのトランジスタは、そのゲートに、前記電圧供給回路からの前記昇圧又は降圧電圧が入力されることを特徴とする請求項８に係る固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電圧供給回路及びそれを用いた固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、チャージポンプ型昇圧回路は、例えばビデオカメラ、デジタルカメラなどの液晶表示用の高電圧発生回路等で使用されている。このチャージポンプ型昇圧回路は、１つのキャパシタとダイオードとで構成されるポンピングパケットを複数段、直列に接続し、各ポンピングパケットの昇圧により、例えばＬＳＩチップに対する電源電圧ＶＤＤよりも高い電圧を発生するものである。
【０００３】
例えば、図５は、一般的な昇圧回路の構成例を示すブロック構成図である。図５から分かるように、キャパシタＣ１〜Ｃ４とダイオードＤ１〜Ｄ５で構成されるチャージポンプ型昇圧回路と、複数のインバータ型バッファ回路Ｉ１〜Ｉ５で構成されるクロックバッファ部とを有している。なお、各インバータ型バッファ回路における、ＶＤＤは電源を示し、ＶＳＳはグランドを示している。
【０００４】
このような昇圧回路では、例えばキャパシタＣ１にクロック信号が入力されると、ノードＮＤ１の電圧はキャパシタＣ１の容量結合で電圧ＶＤＤ分（理想値）だけたたき上げられる。そのときのノードＮＤ１の電圧（Ｖ１）は、理想的に考えると、
Ｖ１＝ＶＤＤ＋α
となる。なお、αはノードＮＤ１の初期電位である。また、初期電位αは各ノードＮＤ１〜ＮＤ４において、ダイオードＤ１〜Ｄ４の閾値電圧の変化や初期状態等によって異なる。なお、ここでは正側電圧を昇圧する場合を説明したが、負側電圧を昇圧（＝降圧）する場合には、同様のクロックバッファ部によって各ノードの電圧をたたき下げることになる。
【０００５】
図６は、従来の電圧供給回路を用いた固体撮像装置、例えば特開平１１−２６７４０号公報に開示されている固体撮像装置の概略構成を示す回路構成図である。この固体撮像装置は、固体撮像素子（ＣＭＯＳイメージャ）10と該固体撮像素子10に電圧を供給するための電圧供給回路20及び外付け容量Ｃから構成されている。
【０００６】
次に、上記従来例の更に詳細な構成について説明する。固体撮像素子10の各画素（図示例では２×２の４画素Ｐxl11，Ｐxl12，Ｐxl21，Ｐxl22）は、光電変換部であるフォトダイオードＰＤと、該フォトダイオードＰＤの信号を検出部ＦＤに転送するためのトランジスタＭ１と、前記フォトダイオードＰＤの検出信号を増幅する増幅トランジスタＭ２と、前記検出部ＦＤの検出信号をリセットするリセットトランジスタＭ３と、各行を選択するための行選択トランジスタＭ４とから構成されており、前記画素を駆動するための垂直走査部50とレベルシフト部51，及び水平走査回路部70が配置されている。前記レベルシフト部51では、行選択トランジスタＭ４のゲート電圧を駆動するためのレベルシフタの電源として、電圧供給回路20からの出力ＶＤＤＨ（＞ＶＤＤ）が接続されている。つまり、この従来例では行選択トランジスタＭ４のゲートを駆動するためのレベルシフタの出力がＶＤＤＨ／ＶＳＳの２値となる。各画素Ｐxl11〜Ｐxl22からの信号は、垂直信号線１〜２，各画素間の特性バラツキをキャンセルするためのノイズキャンセル回路60，及び水平信号線３を通り増幅器４から出力される。ここで電圧供給回路20は、例えば図５に示したものと同様な構成のチャージポンプ型昇圧回路で構成され、その出力端子には電圧を保持するための外付け容量Ｃが接続されており、更に前述のようにレベルシフト部51に接続されている。このような構成の電圧供給回路20を用いることにより、電源電圧あるいはグランド以外の電圧を固体撮像素子10に供給することが容易に可能となる。
【特許文献１】特開平１１−２６７４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記のような構成の従来の昇圧回路において、ＶＤＤ電圧幅のクロックを用いて昇圧回路のキャパシタをたたき上げたり、たたき下げたりすると、所望の電位に到達してもＶＤＤ幅（ＶＤＤ−ＶＳＳ）の電位変化が起こり、レギュレータで制御したとしても、ＶＤＤ幅で電位が動いていることになる。つまり、不要にキャパシタとクロックバッファ部を駆動することによる、無駄な電力が生じることになる。更に、その駆動による電源あるいはグランドの揺らぎは周辺回路にノイズを発生させる要因ともなる。
【０００８】
本発明は、従来の電圧供給回路（昇圧回路）における上記問題点を解決するためになされたもので、低消費電力で、且つ、ノイズ発生の少ない電圧供給回路、及びこの電圧供給回路を用いた固体撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記問題点を解決するため、請求項１に係る発明は、第１のクロックをバッファして第２のクロックを生成するクロックバッファ部と、入力電圧を前記第２のクロックによる制御の下、所定の電圧に昇圧又は降圧し、昇圧電力として出力する昇圧回路部と、該昇圧回路部から出力される昇圧又は降圧電圧のレベルを検出する電圧検出部と、該電圧検出部による検出結果に応じ、前記クロックバッファ部に対する前記第１のクロックの入力を制御する制御回路部とで電圧供給回路を構成するものである。
【００１０】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る電圧供給回路において、前記昇圧回路部は、アノードに入力電圧が供給され、カソードが後段のダイオードのアノードに接続された、複数の直列接続のダイオードと、一端に前記第２のクロックが供給され、他端が前記直列接続のダイオード間のノードに接続された、複数のキャパシタとを有するチャージポンプ型昇圧回路であることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項３に係る発明は、請求項１に係る電圧供給回路において、前記クロックバッファ部は、第１の電源と第２の電源との間に、制御端子に加える電圧により一方の端子から他方の端子への導通が制御される２つのトランジスタが直列に接続され、２つの前記トランジスタ間のノードから前記第２のクロックを出力する出力部と、前記トランジスタの前記制御端子に供給される、前記２つのトランジスタが異なるタイミングで導通するように位相がずらされた２つの前記第１のクロックが入力される入力部とを備えたバッファ回路を有することを特徴とするものである。
【００１２】
請求項４に係る発明は、請求項１に係る電圧供給回路において、前記電圧検出部は、前記昇圧回路部から出力される昇圧又は降圧電圧レベルを基準レベルと比較するコンパレータを有することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれか１項に係る電圧供給回路において、前記昇圧回路部の出力を、外部からの入力信号に応じ、前記所定の電圧とは異なる電圧に固定するスイッチング素子を更に備えていることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項６に係る発明は、半導体基板上に形成されたフォトダイオードと、このフォトダイオードの信号を転送するための転送トランジスタと、該転送トランジスタにより転送された信号を増幅するための増幅トランジスタと、この増幅トランジスタを活性化するアドレス手段と、前記転送された信号を排出するリセットトランジスタとを少なくとも有する単位画素が、複数、マトリクス状に配列された画素部と、該画素部に対して、駆動に係る電圧を供給する、請求項１〜５のいずれか１項に係る電圧供給回路とが１チップ上に形成されて、固体撮像装置を構成するものである。
【００１５】
請求項７に係る発明は、請求項６に係る固体撮像装置において、前記リセットトランジスタ又は前記転送トランジスタの少なくとも一方は、そのゲートに、前記電圧供給回路からの前記昇圧又は降圧電圧が入力されることを特徴とするものである。
【００１６】
請求項８に係る発明は、半導体基板上に形成されたフォトダイオードと、このフォトダイオードの信号を転送するための転送トランジスタと、該転送トランジスタにより転送された信号を増幅するための増幅トランジスタと、この増幅トランジスタを活性化するアドレストランジスタと、前記転送された信号を排出するリセットトランジスタとを少なくとも有する単位画素が、複数、マトリクス状に配列された画素部と、該画素部に対して、駆動に係る電圧を供給する、請求項１〜５のいずれか１項に係る電圧供給回路とが１チップ上に形成されて、固体撮像装置を構成するものである。
【００１７】
請求項９に係る発明は、請求項８に係る固体撮像装置において、前記アドレストランジスタ、前記リセットトランジスタ、又は前記転送トランジスタの内の少なくとも１つのトランジスタは、そのゲートに、前記電圧供給回路からの前記昇圧又は降圧電圧が入力されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に係る発明によれば、昇圧回路部で昇圧又は降圧された電圧のレベルを検出し、この検出結果に応じて、昇圧回路部に対する第２のクロックの供給を制御することが可能となるので、昇圧回路部における不要な昇圧又は降圧動作を抑えることができ、消費電流の低減とノイズの発生を抑えることが可能となる。また請求項２に係る発明によれば、昇圧又は降圧電圧を、チャージポンプ方式で得ることが可能となる。また請求項３に係る発明によれば、バッファ回路に流れる貫通電流がなくなるので、消費電流を低減することが可能となる。また請求項４に係る発明によれば、昇圧回路部から出力される昇圧又は降圧電圧レベルに応じて、昇圧回路部に対する第２のクロックの供給の制御を行うことが可能となる。また請求項５に係る発明によれば、電圧供給回路の動作停止時に昇圧回路の出力電位を安定させることが可能となる。
【００１９】
請求項６に係る発明によれば、低消費電力でノイズの少ない固体撮像装置を実現することができる。また請求項７に係る発明によれば、電源電圧とは異なる昇圧又は降圧電圧による、リセットトランジスタ又は転送トランジスタの少なくとも一方の駆動が可能となる。また請求項８に係る発明によれば、低消費電力でノイズの少ない固体撮像装置を実現することができる。また請求項９に係る発明によれば、電源電圧とは異なる昇圧又は降圧電圧による、アドレストランジスタ、リセットトランジスタ、又は転送トランジスタの内の少なくとも１つのトランジスタの駆動が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【実施例】
【００２１】
まず、本発明に係る電圧供給回路の実施例について説明する。この実施例は、請求項１〜５に係る発明の実施例に対応するもので、図１は、本実施例に係る電圧供給回路の構成を示すブロック構成図である。この実施例に係る電圧供給回路は、外部電源電圧を昇圧する昇圧回路部100 と、該昇圧回路部100 に、第２のクロックたる駆動用クロックを供給することにより電圧を所定レベルに保持するクロックバッファ回路部200 と、前記昇圧回路部100 から出力される昇圧電圧レベルを検出する電圧検出回路部300 と、該電圧検出回路部300 による検出結果に応じて前記クロックバッファ回路部200 に対する、第１のクロックたる基本クロックの入力を制御する制御回路部400 と、電圧供給回路の動作停止時に前記昇圧回路部100 の出力を固定するためのスイッチング素子ＳＷから構成されている。
【００２２】
次に、本実施例の電圧供給回路の更に詳細な構成について説明する。まず、昇圧回路部100 の構成は一般的なものであり、例えば図５に示した昇圧回路部と同様に、ポンピングキャパシタＣ１〜Ｃ４とダイオードＤ１〜Ｄ５とからなるチャージポンプ型昇圧回路で構成されている。電圧検出回路部300 は、昇圧回路部100 の出力電圧レベルをモニタするものであり、レベルシフト回路310 ，比較器320 とを有する。そして、昇圧回路部100 の出力電圧レベルをレベルシフト回路310 でレベルシフトすることにより適切なレベルに変換し、この変換後のレベルを比較器320 によって、昇圧回路部100 により得たい所望の昇圧電圧に対応する基準レベルＶＲＥＦと比較し、その比較結果を制御回路部400 に出力するように構成されている。
【００２３】
制御回路部400 は、制御論理回路からなり電圧検出回路部300 における比較結果に基づいてクロックバッファ回路部200 への基本クロック（ＣＫ１，ＣＫ２クロック）の入力を制御するものである。クロックバッファ回路部200 は２つのバッファ回路210 ，220 からなり、昇圧回路部100 のポンピングキャパシタＣ１〜Ｃ４を駆動（ポンピング動作）するものである。各バッファ回路210 ，220 は、複数のバッファ210a，210b；220a，220bが多段に接続されてなり、少なくともその最終段のバッファ210b，220bの構成が、例えば図２の（Ａ）に示すように、第１の電源ＶＤＤと第２の電源ＶＳＳとの間にゲート端子に加える電圧により導通が制御される直列接続の２つのＭＯＳトランジスタからなり、２つのＭＯＳトランジスタ間のノードから前記昇圧回路部100 に供給する第２のクロックを出力する出力部と、前記２つのＭＯＳトランジスタが異なるタイミングで導通するように、各ＭＯＳトランジスタのゲート端子に前記制御回路部400 から供給される、図２の（Ｂ）に示すように位相がずらされた第１のクロックＣＫ１-1（ＣＫ２-1），ＣＫ１-2（ＣＫ２-2）が入力される入力部210c，220cとで構成されており、該バッファ回路210 ，220 の少なくとも最終段のバッファ210b，220bには貫通電流が流れない構成となっている。なお、本実施例では、バッファを２段に接続したもので説明しているが、バッファ回路210 ，220 の後段に接続される容量に応じて、バッファ210b，220bのゲート容量が増えるのに対応して、バッファ210a，220aの数を増加させてもよい。
【００２４】
更に、スイッチング素子ＳＷは、スタンバイモードが設定された場合（制御回路部400 へのＳＴＢＹ入力をＯＮした場合）などに、昇圧回路部100 の出力を第２の電圧に固定することにより、出力を安定させるものである。このスタンバイモードとは、本電圧供給回路及び後段の回路に、電源電圧ＶＤＤ自体は供給されているが、本電圧供給回路の動作を停止することによって後段の回路への電源供給を遮断するものである。
【００２５】
なお、この構成の電圧供給回路の出力側には、出力電圧を保持するための外付け容量Ｃ０が接続されている。また、この実施例では、制御回路部400 から出力される第１のクロックとして、位相をずらした２つの基本クロック（ＣＫ１，ＣＫ２）を用いた例を示しているが、位相をずらすクロックの生成については、本発明の特徴には直接関係しないため、その説明は省略する。
【００２６】
次に、上記構成の電圧供給回路の動作について説明する。電圧検出回路部300 は、レベルシフト回路310 にて、昇圧回路部100 で昇圧された電圧をレベルシフトした後、比較器320 で、基準電圧ＶＲＥＦと比較し、その比較結果を制御回路部400 に出力する。制御回路部400 は、比較結果が、所望の電圧に達していないことを示すものであるとき、クロックバッファ回路部200 に基本クロックを供給し続け、昇圧回路部100 による昇圧動作を継続させる。一方、比較結果が、所望の電圧に達したことを示しているとき、制御回路400 は、クロックバッファ回路部200 に出力する基本クロックの供給を停止することにより、昇圧回路部100 による昇圧動作を停止させる。
【００２７】
以上説明したように、本実施例に係る電圧供給回路では所望の電圧に達した後、昇圧回路部100 による不要なポンピング動作を停止させることにより、低消費電力でノイズの発生の少ないチャージポンプ型電圧供給回路を実現することができる。
【００２８】
また、図３は図１に示した電圧供給回路を降圧回路として用いる場合の昇圧回路部 100′の構成例を示すブロック図である。入力電圧（電源電圧）を降圧したい場合には、昇圧回路部を図３に示すような構成に変更することにより、ほぼ同様な回路構成で極性の異なる電圧供給回路を実現することが可能である。
【００２９】
次に、本発明に係る固体撮像装置の実施例について説明する。この実施例は、請求項６〜９に係る発明の実施例に対応するもので、実施例１に説明した電圧供給回路を、従来の技術において説明した固体撮像装置の電圧供給回路として適用したものである。図４は、本実施例に係る固体撮像装置の構成を示すブロック図である。この固体撮像装置は、従来の技術において説明した通り、固体撮像素子10と、電圧供給回路20′と、外付け容量Ｃとから構成されており、固体撮像素子10と電圧供給回路20′とは１チップ上に形成されている。
【００３０】
固体撮像素子10は、一般的なＣＭＯＳイメージャと同様な構成であり、光電変換部であるフォトダイオードＰＤと、該フォトダイオードＰＤの信号を検出部ＦＤに転送するための転送トランジスタＭ１と、前記フォトダイオードＰＤの検出信号を増幅する増幅トランジスタＭ２と、検出部ＦＤの検出信号をリセットするリセットトランジスタＭ３と、各行を選択するための行選択トランジスタＭ４とから構成された画素（図４では、便宜上、２×２の４画素Ｐxl11，Ｐxl12，Ｐxl21，Ｐxl22を示している）と、各行の画素を駆動するための信号を出力する垂直走査回路部50と、垂直走査回路部50から出力された信号のレベルを、各画素の、関係する各トランジスタの駆動に必要なレベルにシフトするためのレベルシフト部51と、各画素間の特性バラツキをキャンセルするためのノイズキャンセル回路60と、水平走査回路部70と、増幅器４とから構成されている。
【００３１】
電圧供給回路20′は、固体撮像素子10のレベルシフト部51に対して、レベルシフト後の電圧ＶＤＤＨ〔＞ＶＤＤ（電源電圧）〕を供給するものであり、ここでは、行選択トランジスタＭ４のゲートに加える駆動電圧をＶＳＳ（接地電圧）〜ＶＤＤＨのレベルにレベルシフトさせるために用いられている。
【００３２】
以上のように構成された固体撮像装置においては、各画素からの信号は、垂直信号線１，２，各画素間の特性バラツキをキャンセルするためのノイズキャンセル回路60，水平信号線３を通り増幅器４から出力される。
【００３３】
上記実施例のように、本発明に係る電圧供給回路を固体撮像素子への電圧供給源として用いることにより、容易に電源電圧ＶＤＤあるいは接地電圧ＶＳＳ以外の電圧を供給することが可能となり、低消費電力で、且つ、ノイズの少ない固体撮像装置の実現が可能となる。
【００３４】
なお、本実施例では、増幅トランジスタを活性化するアドレス手段として行選択（アドレス）トランジスタＭ４を用いたものを示したが、同等な機能を有するものであればこれに限らない。また、駆動電圧のレベルをＶＤＤＨのレベルにシフトする端子を行選択トランジスタＭ４のゲートとして説明したが、これに限らず、転送トランジスタあるいはリセットトランジスタへもレベルシフトした駆動電圧を印加するようにしてもよい。更に、電圧供給部20′から供給される電圧をＯＮ時のＶＤＤＨとしたものを示したが、レベルシフト部51から出力されるレベルシフト後の電圧レベルとしてＶＤＤ〜ＶＳＳＬ（ここで、ＶＳＳＬ＜ＶＳＳ）を得たい場合には、電圧供給回路20′を、ＶＳＳＬを生成するように構成し、レベルシフト部51に供給するようにしてもよい。また、レベルシフト部51は電源電圧、接地電圧の２つの電圧値に対するレベルシフトに限らず、多値（３値以上）に対するレベルシフトに適用できるように構成しても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係る電圧供給回路の実施例を示すブロック構成図である。
【図２】図１に示した電圧供給回路におけるクロックバッファ回路部の構成を示す回路構成図、及び動作を説明するための波形図である。
【図３】図１に示した電圧供給回路における昇圧回路部の変形例を示す回路構成図である。
【図４】本発明に係る固体撮像装置の実施例を示す回路構成図である。
【図５】従来の電圧供給回路（昇圧回路）の構成を示すブロック構成図である。
【図６】従来の電圧供給回路を用いた固体撮像装置の構成例を示す回路構成図である。
【符号の説明】
【００３６】
１，２  垂直信号線
３  水平信号線
４  増幅器
10  撮像素子
20，20′  電圧供給回路
50  垂直走査回路
51  レベルシフト部
60  ノイズキャンセル回路
70  水平走査回路
100 ， 100′  昇圧回路部
200   クロックバッファ回路部
210 ，220   バッファ回路
300   電圧検出回路部
310   レベルシフト回路
320   比較器
400   制御回路部
【図１】
2006129127.tif 000003
【図２】
2006129127.tif 000004
【図３】
2006129127.tif 000005
【図４】
2006129127.tif 000006
【図５】
2006129127.tif 000007
【図６】
2006129127.tif 000008