(57)【要約】【課題】シリコンウエーハの研削装置において、高価な装置を使用することなく、ウエーハの被加工面性状を改善できるインプロセスドレッシング装置を提供。【解決手段】被加工物１を研削加工する円板状砥石の環状砥粒面４の研削加工位置２から離隔した離隔位置９にある環状砥粒面13に隙間11を介してドレッシング板10を配置し、ドレッシング板10には製氷器14が連結されかつドレッシング板10上と離隔位置９にある環状砥粒面13との隙間11にはノズル12により供給された水15が氷結して連続して氷面16が形成されるようにされ、離隔位置９にある環状砥粒面13に対してドレッシング板10上に形成した氷面16を当接させ、被加工物１を研削しつつ離隔位置９にある環状砥粒面13が、氷面16を研削することによりドレッシング及び洗浄される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カップ砥石を含む円板状砥石の環状砥粒面を、シリコンウエーハを含む円板状被加工物に当接させ被加工物を研削する研削装置において、前記被加工物を研削加工する前記円板状砥石の環状砥粒面の研削加工位置から離隔した離隔位置にある環状砥粒面に隙間を介してドレッシング板を配置し、前記ドレッシング板には製氷器が連結され、かつ前記ドレッシング板上と離隔位置にある前記環状砥粒面との間の隙間にはノズルにより供給された水が氷結して連続して氷面を形成するようにされ、前記離隔位置にある環状砥粒面に対して前記ドレッシング板上に形成した氷面を当接させ、前記研削加工位置で円板状砥石の環状砥粒面で被加工物を研削しながら前記離隔位置にある環状砥粒面が、前記氷面を研削することによりドレッシング及び洗浄されるようにしたことを特徴とする研削砥石のドレッシング装置。
【請求項２】
前記製氷器は冷凍装置と冷媒配管で連結されたことを特徴とする請求項１記載の研削砥石のドレッシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カップ砥石を含む円板状砥石の環状砥粒面を、シリコンウエーハを含む円板状被加工物に当接させ被加工物を研削する研削装置の研削砥石砥粒面をドレッシング及び洗浄する研削砥石の砥粒面ドレッシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のシリコンウエーハの研削装置においては、ノードレッシング加工が求められたが、面粗さの低減、加工ダメージ低減などを含む被加工面性状の改善も強く求められ、研削砥石だけでの対応は困難となり、適切なインプロセスドレッシング装置が望まれた。しかしながら、従来のインプロセスドレッシング装置では砥粒、切屑及びごみなどが研削砥石の砥粒面に残留してしまうので、かかる研削砥石の砥粒面でウエーハを研磨すると、砥粒面中に残留する砥粒、切屑及びごみなどによって、ウエーハに傷がつくという課題があった。特許文献１では、ドレッシング装置ではないが、シリコンウエーハを遊離砥粒を含むスラリーを載せたパッドで研磨するときに、パッドの平坦度等を回復し目詰まりを解消させる、電着ホイールの砥粒層から突出量の大きい余剰砥粒を除去するためのツルーイング装置装置として、砥粒層で氷を研削する、電着砥石の余剰砥粒除去装置を開示する。
【特許文献１】特開２００２−１１３６６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の特許文献１の砥粒層で氷を研削する電着砥石の余剰砥粒除去装置では、ウエーハの研削装置のワーク吸着テーブルとは別に、氷を固着する冷凍チャックプレートを必要とし、氷を冷凍チャックプレート上に取り付け、取り外しする必要があり、かつ氷が研削された量だけ補うような冷凍チャックプレート昇降装置も必要となり、コスト高で作業性も悪いため、インプロセスドレッシング装置とすることはできなかった。
【０００４】
本発明の課題は、上述した従来技術の課題を解決した、シリコンウエーハの研削装置において、高価な装置を使用することなく、ウエーハの被加工面性状を改善できるインプロセスドレッシング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため本発明によると、カップ砥石を含む円板状砥石の環状砥粒面を、シリコンウエーハを含む円板状被加工物に当接させ被加工物を研削する研削装置において、前記被加工物を研削加工する前記円板状砥石の環状砥粒面の研削加工位置から離隔した離隔位置にある環状砥粒面に隙間を介してドレッシング板を配置し、前記ドレッシング板には製氷器が連結され、かつ前記ドレッシング板上と離隔位置にある前記環状砥粒面との間の隙間にはノズルにより供給された水が氷結して連続して氷面を形成するようにされ、前記離隔位置にある環状砥粒面に対して前記ドレッシング板上に形成した氷面を当接させ、前記研削加工位置で円板状砥石の環状砥粒面で被加工物を研削しながら前記離隔位置にある環状砥粒面が、前記氷面を研削することによりドレッシング及び洗浄されるようにしたことを特徴とする研削砥石のドレッシング装置により本発明の課題を解決した。
【発明の効果】
【０００６】
本発明では、被加工物を研削加工する円板状砥石の環状砥粒面の研削加工位置から離隔した離隔位置にある環状砥粒面に、ドレッシング板上に形成した氷面を当接させ、研削加工位置で円板状砥石の環状砥粒面で被加工物を研削しながら前記離隔位置にある環状砥粒面が、前記氷面を研削することによりドレッシング及び洗浄されるようにしたので、シリコンウエーハの研削装置において、高価な装置を使用することなく、ウエーハの被加工面性状を改善できるインプロセスドレッシング装置を提供するものとなった。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明を実施するための最良の形態につき、図面を参照して説明する。図１（ａ）は本発明を実施するための最良の形態の研削砥石のドレッシング装置の構成を示す概略ブロック図で、（ｂ）のＡ−Ａ線矢視方向で上面からみた装置の要部断面図で示し、（ｂ）は（ａ）のＢ矢視方向からみた装置の要部概略側面図で示す。
【０００８】
図１に示すように、本発明を実施するための最良の形態の研削砥石のドレッシング装置は、カップ砥石を含む円板状砥石３の環状砥粒面４を、シリコンウエーハを含む円板状被加工物１に当接させ被加工物１を研削する研削装置において、被加工物１を図示しない吸着チャックテーブルに取り付け、被加工物１を研削加工する円板状砥石の環状砥粒面４の研削加工位置２から、離隔した離隔位置９にある環状砥粒面13に、隙間11を介してドレッシング板10を配置し、ドレッシング板10には製氷器14が連結されかつドレッシング板10上と離隔位置９にある環状砥粒面13との隙間11にはノズル12により供給された水15が氷結して連続して氷面16が形成されるようにされ、離隔位置９にある環状砥粒面13に対してドレッシング板10上に形成した氷面16を当接させ、研削加工位置２で円板状砥石３の環状砥粒面４で被加工物１を研削しながら離隔位置９にある環状砥粒面13が氷面16を研削することにより洗浄されるようにした。５は円板状砥石３の台金、８は砥石スピンドル主軸である。図１（ｂ）に示すように、本発明の実施の形態では、製氷器14は冷凍装置17と冷媒配管18で連結されており、冷凍装置17は製氷器14から図示しない吸着チャックテーブルから離隔して配置されている。
【０００９】
かかる構成により、本発明では被加工物１を研削加工する円板状砥石３の環状砥粒面４の研削加工位置２から離隔した離隔位置９にある環状砥粒面13にドレッシング板10上に形成した氷面16を当接させ、研削加工位置２で円板状砥石３の環状砥粒面４で被加工物１を研削しながら離隔位置９にある環状砥粒面13が氷面16を研削することによりドレッシング及び洗浄されるようにしたので、シリコンウエーハの研削装置において、特許文献１のような高価でかつ別設置で電着ホイールに高い負荷をかける必要がなく、氷の取り付け、取り外しも不要な、ウエーハの被加工面性状を改善できるインプロセスドレッシング装置を提供するものとなった。またウエーハの非加工時に、氷を成長させるので、氷が研削された量だけ補うような冷凍チャックプレート昇降装置も必要としない。氷を削って生じる切屑は溶けて水になるので、廃液処理装置を追加する必要はなく、氷はシリコン切屑や、通常用いられるWAアルミナ、GC炭化シリコンを含むドレッシング材料に比べ軟らかいので、氷の切屑でウエーハを傷つけることはない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】（ａ）は本発明を実施するための最良の形態の研削砥石のドレッシング装置の構成を示す概略ブロック図で、（ｂ）のＡ−Ａ線矢視方向で上面からみた装置の要部断面図で示し、（ｂ）は（ａ）のＢ矢視方向からみた装置の要部概略側面図で示す。
【符号の説明】
【００１１】
１：被加工物      ２：環状砥粒面の研削加工位置    ３：円板状砥石
４：円板状砥石の環状砥粒面      ９：離隔位置      10：ドレッシング板
11：環状砥粒面とドレッシング板との間の隙間        12：ノズル    
13：離隔位置にある環状砥粒面    14：製氷器        15：水        16：氷面
【図１】
2006026804.tif 000003