(57)【要約】  【課題】  回転翼の軽量化を図るとともに、回転翼における遠心力に対する剛性（強度）を向上させた真空ポンプを提供すること。  【解決手段】  分子ポンプ１におけるロータ翼部７を、内環部材１０と、ロータブレード１１およびリング部材１２から構成する。内環部材１０は、円環状の部材であり、ＦＲＰ（繊維強化プラスチック）材によって形成する。ロータブレード１１は、シャフト９の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜し、軸の中心から放射状に伸びたタービンブレードであり、ＦＲＰ材によって形成する。リング部材１２は、ロータブレード１１の先端部を内接するようにして配設された円環状部材であり、ＦＲＰ材によって形成する。なお、ロータブレード１１は放射方向に、リング部材１２は周方向に強化繊維を配設する。  【選択図】  図２
2006046074.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気口と排気口を有し、気体移送機構を内包するケーシングと、
前記気体移送機構を構成する回転体と、
前記回転体の回転軸と、
前記回転軸を高速回転させるモータと、
を具備し、
前記回転体は、放射状に複数のロータブレードを有する回転翼と、前記回転翼の外周に前記ロータブレードの先端部を内接して設けられた円環状部材と、を備えたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記ロータブレードおよび前記円環状部材は、繊維強化プラスチックにより形成されていることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記円環状部材は、強化繊維が主に周方向または周方向と一定の小さな角度を持ってボビン巻に配置されていることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記ロータブレードは、強化繊維が主に放射方向に配置されていることを特徴とする請求項２または請求項３記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造装置や電子顕微鏡装置などに用いられる真空容器の排気処理を行う真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプを用いて排気処理を行い、内部が真空に保たれるような真空装置を用いる装置には、半導体製造装置、電子顕微鏡、表面分析装置、微細加工装置などがある。
また、各種ある真空ポンプのうち、高真空の環境を実現するために多用されるものに、ターボ分子ポンプがある。
ターボ分子ポンプは、吸気口および排気口を有するケーシングの内部でロータが高速回転するように構成されている。ケーシングの内周面には、ステータ翼が多段に配設されており、一方、ロータにはロータ翼が放射状にかつ多段に配設されている。ロータが高速回転すると、ロータ翼とステータ翼との作用により気体が吸気口から吸引され、排気口から排出されるようになっている。
【０００３】
近年、真空ポンプにおける排気量仕様の増大要求に伴って、ロータ翼およびロータの大型化が進んできている。
ロータ翼やロータ等の回転体が大型になると、重量も増大するため、回転体の定常回転時に必要となるトルクも増大してしまう。即ち、モータの慣性モーメント（イナーシャ）値が大きくなるため、必然的に駆動用モータも大型となってしまう。
しかし、一方では、環境問題等を考慮した装置の小型化、省エネルギー化の要求が高まっている。
そこで、従来、これらの要求に対応するための技術が、下記の特許文献をはじめ種々提案されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２２１１８６公報
【０００５】
特許文献１には、軸流真空ポンプ自体を大型化することなく排気性能を向上させる技術が提案されている。
詳しくは、ねじ溝型のターボ分子ポンプにおいて、回転体の外周面に螺旋状のロータ羽根を高比強度材料、例えば、ＣＦＲＰ（カーボン繊維強化樹脂）、ＡＦＲＰ（アラミド繊維強化樹脂）、セラミック、チタン、チタニウム合金によって形成する技術が開示されている。このように、ロータ羽根を高比強度材料で形成することによって、高速回転時の遠心力に対するロータ羽根の剛性を向上させることができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、放射状に配設されたブレードからなるターボ分子ポンプの回転翼を、特許文献１に記載されているようなＦＲＰ（繊維強化樹脂）によって形成した場合には、軽量化が容易に図れるものの、ブレードに作用する遠心力の応力集中への剛性を十分に備えることが困難であった。そのため、回転翼の回転速度が制限されてしまい、真空ポンプの排気性能を向上させることが困難であった。
そこで、本発明は、遠心力に対する剛性を向上させた回転翼を有する真空ポンプを提供することを第１の目的とする。
また、本発明は、回転翼の軽量化を図ることができる真空ポンプを提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明によれば、吸気口と排気口を有し、気体移送機構を内包するケーシングと、前記気体移送機構を構成する回転体と、前記回転体の回転軸と、前記回転軸を高速回転させるモータと、を具備し、前記回転体は、放射状に複数のロータブレードを有する回転翼と、前記回転翼の外周に前記ロータブレードの先端部を内接して設けられた円環状部材と、を備えることにより前記第１の目的を達成する。
【０００８】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明において、前記ロータブレードおよび前記円環状部材を、繊維強化プラスチックにより形成することにより前記第２の目的を達成する。
【０００９】
請求項３記載の発明では、請求項２記載の発明において、前記円環状部材は、強化繊維が主に周方向または周方向と一定の小さな角度を持ってボビン巻に配置されている。
なお、周方向と一定の小さな角度は、例えば、プラスマイナス交互につけることが好ましい。
【００１０】
請求項４記載の発明では、請求項２または請求項３記載の発明において、前記ロータブレードは、強化繊維が主に放射方向に配置されている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の発明によれば、回転翼の外周に円環状部材を配設することにより、ロータブレードに作用する遠心力を円環状部材で受けることができるため、ロータブレードにおける応力の集中を抑制することができ、回転翼の剛性を向上させることができる。
請求項２記載の発明によれば、ロータブレードおよび円環状部材を、繊維強化プラスチックにより形成することにより、回転翼の軽量化を図ることができるため、モータの負荷量を低減させることができる。また、破損時のエネルギーを小さくできる。
【００１２】
請求項３記載の発明によれば、円環状部材における強化繊維を周方向に配置することにより、円環状部材における遠心力の作用する方向の剛性を適切に向上させることができる。
請求項４記載の発明によれば、ロータブレードにおける強化繊維を放射方向に配置することにより、ロータブレードにおける遠心力の作用する方向の剛性を適切に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１〜図４を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る分子ポンプの概略構成を示した図である。
本実施の形態では、真空ポンプの一例としてターボ分子ポンプ部とねじ溝式ポンプ部を備えた、いわゆる複合翼タイプの分子ポンプを例に採り説明する。
分子ポンプ１の外装体を形成するケーシング２は、円筒状の形状をしており、ケーシング２の底部に設けられた円盤状のベース３と共に分子ポンプ１の筐体を構成している。
【００１４】
本実施の形態に係る分子ポンプ１では、ケーシング２は、吸気口４側の上部ケーシング２ａと排気口５側の下部ケーシング２ｂから構成されている。そして、上部ケーシング２ａおよび下部ケーシング２ｂは、上部ケーシング２ａの排気口５側端部に形成されたフランジ部を介してボルトによって締結されている。
なお、上部ケーシング２ａと下部ケーシング２ｂとの接合面には、気体のリークを防止するためのＯリング等のシール部材が配設されている。
そして、ケーシング２の内部には、分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物が収納されている。
【００１５】
これら排気機能を発揮する構造物は、大きく分けて回転自在に軸支されたロータ部とケーシング２に対して固定されたステータ部から構成される。
さらに、分子ポンプ１は、吸気口４側がターボ分子ポンプ部Ｔにより構成され、排気口５側がねじ溝式ポンプ部Ｓから構成されている。
ロータ部は、シャフト９、シャフト９に直接固定されたロータ本体部６、吸気口４側（ターボ分子ポンプ部Ｔ）に設けられたロータ翼部７と、排気口５側（ねじ溝式ポンプ部Ｓ）に設けられた円筒部材８などから構成されている。
【００１６】
ロータ本体部６は、その軸中心部分をボルト等の締結部材によってシャフト９に固定されている。
また、ロータ本体部６には、吸気口４方向に延びる中空円柱状のロータ翼固定部６ａが形成されている。そして、このロータ翼固定部６ａの径方向の外側領域にロータ翼部７が配設されている。
ロータ翼部７は、ボルトなどの締結部材によってロータ本体部６に固定され、円筒部材８は、ロータ本体部６と一体に形成されている。
なお、本実施の形態に係る分子ポンプ１では、ターボ分子ポンプ部Ｔにおけるロータ部は、ロータ翼部７が３段構成されている。
なお、ロータ翼部７の詳細な説明は後述する。
【００１７】
円筒部材８は、外周面が円筒形状をした部材であり、ねじ溝式ポンプ部のロータ部側を構成している。
シャフト９は、ロータ部の軸を構成する円柱部材である。
また、分子ポンプ１は、ロータ部を回転自在に軸支する軸受部２０、２１、ロータ部を高速回転させるモータ部２２などを備えている。
本実施の形態では、軸受部２０、２１を動圧ガス軸受としているが、これに限られるものではなく、ロータ部の変位をセンシングして、センシングした変位信号からコイルの発生する磁界を制御することにより、ロータ部を磁気浮上させる磁気軸受、転がり軸受など他の軸受を用いてもよい。
【００１８】
ケーシング２の内周側には、ステータ部が形成されている。このステータ部は、吸気口４側（ターボ分子ポンプ部）に設けられたステータ翼２３と、排気口５側（ねじ溝式ポンプ）に設けられたねじ溝スペーサ２４などから構成されている。
ステータ翼２３は、シャフト９の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してケーシング２の内周面からシャフト９に向かって伸びたブレードから構成されており、ターボ分子ポンプ部では、これらステータ翼２３が軸線方向に、ロータ翼部７と互い違いに複数段形成されている。各段のステータ翼２３は、円筒形状をしたスペーサ２５により互いに隔てられている。
【００１９】
ねじ溝スペーサ２４は、内周面にらせん溝が形成された円柱部材である。ねじ溝スペーサ２４の内周面は、所定のクリアランス（間隙）を隔てて円筒部材８の外周面に対面するようになっている。ねじ溝スペーサ２４内を輸送されるガスは排気口５に近づくにつれて圧縮されるようになっている。
これらステータ部はステンレスやアルミニウム合金などの金属を用いて構成されている。
ベース３は、円盤形状を有した部材であって、分子ポンプ１の基底部分を構成する。また、ベース３内には、タッチダウン時にシャフト９を回転自在に軸支する軸受部２６を備えている。
【００２０】
以上のように構成された分子ポンプ１は、以下のように動作する。
まず、モータ部２２が作動し、シャフト９を順方向に回転させる。軸受部２０、２１がシャフト９を浮上させることにより、ロータ部を非接触で空間中に軸支する。回転速度は例えば毎分３万回転程度である。
シャフト９の回転によってロータ部が回転すると、ロータ翼部７とステータ翼２３の作用により、吸気口４からガスが吸引され、下段に行くほど圧縮される。
ターボ分子ポンプ部Ｔで圧縮されたガスは、さらにねじ溝式ポンプ部Ｓで圧縮され、排気口５から排出される。
【００２１】
次に、ロータ部を構成するロータ翼部７について説明する。
図２（ａ）は本実施の形態に係るロータ翼部の構成を示した図であり、（ｂ）はロータ翼部の軸方向の断面を示した図であり、（ｃ）は、内環部材の外側面の様子を示した図である。
図２（ａ）に示すように、本実施の形態に係る分子ポンプ１におけるロータ翼部７は、内環部材１０と、ロータブレード１１およびリング部材１２から構成されている。
【００２２】
内環部材１０は、径方向（放射方向）に厚みを有する円環状の部材であり、ＦＲＰ（繊維強化プラスチック）材によって形成されている。
また、内環部材１０は、軸方向に貫通したボルト取付孔１３が複数形成されている。
内環部材１０は、図１に示すロータ翼固定部６ａと嵌合するように構成されている。
本実施の形態に係る分子ポンプ１では、内環部材１０、ロータブレード１１およびリング部材１２から構成されたロータ翼部７が３段重ね合わせた状態で、内環部材１０に設けられたボルト取付孔１３にボルトを貫通させて締結することにより、ロータ本体部６に固定されている。
なお、内環部材１０は、遠心力の影響が比較的小さいため、十分な比強度を保持する部材であればよく、ＦＲＰ材に限定されるものではない。例えば、アルミニウムなどの金属によって形成するようにしてもよい。
【００２３】
ロータブレード１１は、シャフト９の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜し、軸の中心から放射状に伸びたタービンブレードであり、ＦＲＰ材によって形成されている。
なお、本実施の形態では、複数のロータブレード１１によってターボ分子ポンプ部Ｔにおけるロータ翼（回転翼）が形成されている。
リング部材１２は、ロータブレード１１の先端部を内接するようにして配設された円環状部材である。リング部材１２は、ロータブレード１１と同様のＦＲＰ材によって形成されている。
【００２４】
ここで、ロータブレード１１およびリング部材１２を形成するＦＲＰ材について説明する。
ロータブレード１１およびリング部材１２を形成するＦＲＰ材とは、繊維強化プラスチック材の総称であり、その種類としては、ＡＦＲＰ（アラミド繊維強化プラスチック）、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）、ＧＦＲＰ（ガラス繊維強化プラスチック）等がある。この中でも、比強度の高いＣＦＲＰ材を用いることが望ましい。
ＦＲＰ材は、例えば、予め織ってある強化繊維（例えば、綾織りされた強化繊維）をマトリックス樹脂にプレス加工で重ね合わせて形成する補強繊維クロス方式や、連続した強化繊維束を一方向に引き揃えて加工するロービング方式によって形成されている。
本実施の形態に係るロータブレード１１は、補強繊維クロス方式によって形成されたＦＲＰ材をブレードの形状に一枚ずつカットして形成されている。
また、リング部材１２を形成するＦＲＰ材は、軸方向と直角方向にプラスマイナスの小さな角度を付けて繊維をボビンに巻き付けて、又はロービング方式で作られた主に一方方向に繊維が入ったプリプレグを円周方向に巻き重ねて形成されている。
なお、ＦＲＰ材は、十分な比強度を得られる場合においては、繊維を樹脂に混入しインジェクション方式を用いて形成するようにしてもよい。
【００２５】
ＦＲＰ材で用いられるマトリックス樹脂としては、ポリイミド、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル樹脂等がある。
しかし、分子ポンプ１の内部は、高温になるため、熱変形を防止するために熱硬化性の樹脂を用いることが好ましい。また、部材の腐食を防止するために、ロータブレード１１およびリング部材１２の表面に、耐腐食加工を施すことが好ましい。
また、強化繊維としては、前述したアラミド繊維、炭素繊維、ガラス繊維の他に、ＰＢＯ（ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール）繊維、ポリエステル繊維、炭化珪素繊維、ホウ素繊維、パルプ等の天然繊維、ステンレススチール繊維などを用いるようにしてもよい。また、ウィスカを用いてもよい。
【００２６】
一般に、ＦＲＰ材は、金属部材と比較して比重が小さく、強化繊維方向の比強度が高く、線膨張係数が小さい等の特徴がある。
例えば、ＣＦＲＰ製のロータブレード１１の重量をアルミニウム製と比較すると、３〜４割減とすることができる。
また、ＣＦＲＰ製のロータブレード１１の弾性率をアルミニウム製と比較すると、ＣＦＲＰ製：３５０ＧＰａ（ギガパスカル）に対してアルミニウム製：７０ＧＰａとなり、即ち、ＣＦＲＰ製の強度はアルミニウム製の５倍以上となる。
さらに、ＣＦＲＰ製のロータブレード１１の線膨張係数をアルミニウム製と比較すると、ＣＦＲＰ製：−１．１×１０〜４×１０／℃に対して、アルミニウム製：２３×１０／℃となる。なお、ＣＦＲＰ製の線膨張係数のマイナスは、縮み方向を示す。
【００２７】
本実施の形態によれば、このようなＦＲＰ材を用いることによって、ロータ翼部７の軽量化を図ることができるだけでなく、比強度の向上を容易に実現することができる。
ロータ翼部７の軽量化が図られると、モータの負荷を低減することができるため、その結果として省エネルギー化が実現できる。
さらに、モータの負荷が低減することにより、モータの出力容量を低減することが可能となる。これにより、小型のモータを使用することができるため、分子ポンプ１の小型化を図ることができる。
分子ポンプ１は、小型化されることにより、使用部材の小型化が図れるため製造コストの低減ができる。さらに、省エネルギー化が図れることにより運転コストの削減ができる。
また、ＦＲＰ材は線膨張係数が小さいため、即ち、温度変化に対する変形量が小さいため、高温となる分子ポンプ１の内部に配設した場合にも、その温度変化対する変形量を十分に許容することができる。
【００２８】
本実施の形態に係るロータ翼部７は、これらの内環部材１０、ロータブレード１１およびリング部材１２のそれぞれの部材間を溶接または接着剤によって接合することにより一体固定されている。
なお、部材間の接着に用いられる薬剤は、エポキシ樹脂を用いることが好ましい。この場合のエポキシ樹脂としては、接着過程において部材間に応力がかかってしまうことを避けるため、高温硬化タイプでなく常温硬化タイプのものを用いる方が好ましい。作業性を考慮するとＵＶ（紫外線）硬化タイプがより望ましい。
また、エポキシ樹脂の代わりに常温硬化タイプのポリイミド樹脂を用いるようにしてもよい。
【００２９】
また、本実施の形態では、図２（ｃ）に示すように、内環部材１０の外側面にロータブレード１１の中心軸方向の端部を嵌合させることにより、ロータブレード１１の位置決めをするブレード溝１４が設けられている。
ブレード溝１４は、軸方向に対してロータブレード１１の有する翼角度分傾斜した方向に延び、ロータブレード１１の厚みとほぼ同一の幅を有するスリット（溝）である。
ロータブレード１１をこのブレード溝１４に嵌め込むことにより、容易にロータブレード１１の位置決めをすることができる。そして、ロータブレード１１をブレード溝１４に嵌め込んだ状態、即ち、内環部材１０に仮固定した状態で接着処理を施す。
このように、ブレード溝１４を内環部材１０に設けることにより、ロータ翼部７の組立時における作業を容易にすること、即ち、組み立て作業効率を向上させることができる。
【００３０】
次に、ロータブレード１１およびリング部材１２における強化繊維の配置方向について説明する。
図３は、ロータ翼部７を構成するロータブレード１１およびリング部材１２の強化繊維の配置方向を示した図である。
図３に示すように、本実施の形態に係るロータ翼部７においては、ロータブレード１１は放射方向に、また、リング部材１２は周方向に強化繊維が配設されるように形成されている。このように、強化繊維を配設することによって、ロータブレード１１は放射方向に、また、リング部材１２は径方向（周方向）対する剛性が高くなる。
【００３１】
ここで、ロータブレード１１およびリング部材１２において、このような方向に強化繊維を設ける理由について説明する。
分子ポンプ１におけるロータ翼部７などの回転体は、排気処理の動作時に高速で回転するため、その回転運動によって大きな遠心力を受ける。
遠心力（Ｆ）は、Ｆ＝ｍｒω  （ｍ：質量、ｒ：半径、ω：角速度）で示される通り、中心から離れるほど大きくなるため、ロータブレード１１においては、その外周端部において最も大きな遠心力がはたらく。
ところが、本実施の形態に係る分子ポンプ１では、ロータブレード１１の先端部を内接するようにして、外周にリング部材１２が配設されている。
そのため、ロータブレード１１の受ける遠心力がリング部材１２に分散されるようになっている。即ち、ロータブレード１１の受ける遠心力の大部分をリング部材１２が受けるようになっている。
【００３２】
このように、本実施の形態では、リング部材１２がロータブレード１１にはたらく遠心力を受けるように構成されているため、ロータブレード１１の内径側における遠心力の応力を回避することができる。そのため、ロータブレード１１に大きな比強度を要求する必要がなくなる。
従って、本実施の形態のロータブレード１１は、撓みを抑制するための放射方向の比強度が十分であれば、ロータブレード１１の薄型化を図ることが容易にできる。そのため、ロータブレード１１は、図３に示すように、放射方向に強化繊維が配置されるように形成されていることが望ましい。
一方、リング部材１２は、ロータブレード１１から径方向に作用する遠心力と自重分の遠心力を受けるため、その周方向の強度（剛性）が要求される。そのため、リング部材１２は、図３に示すように、周方向に強化繊維が配置されるように形成されていることが望ましい。
【００３３】
リング部材１２を備えていない、従来のアルミニウム等の金属部材の一体形成によってロータ翼を形成している分子ポンプにおいては、ブレードに作用する遠心力を全てブレード自身で受けなければならない。そのため、従来の分子ポンプでは、ブレードに作用する応力を十分に受けるだけの強度を確保するために、ブレードの根本（付け根）部分、即ち、ブレード部とロータ本体部の境界領域の強度が高まるように形成されていた。
例えば、ロータ翼の内周側（中心軸方向）の厚みを外周側（外側）の厚みより厚く形成したり、ブレード部とロータ本体部の境界領域に大きなＲをもたせたりして、応力集中を抑制していた。
このように、従来の分子ポンプでは、ロータ翼の強度を確保するために、気体移送領域、詳しくは、気体の流路を形成する隣接するブレード間の開口流路面積が狭められてしまっていた。
【００３４】
一方、前述したように、本実施の形態のロータブレード１１は、ロータブレード１１の薄型化を容易に図ることができる。即ち、ロータブレード１１の厚みを従来よりも薄くすることができる。
そのため、本実施の形態によれば、気体流路の開口度をより大きくすることができることにより、コンダクタンス特性を向上させることができるため、分子ポンプ１の気体の排気性能を向上させることができる。
ロータブレード１１およびリング部材１２は、遠心力だけでなく分子ポンプ１内の差圧より曲げ応力が作用し、その弾性率（Ｅ）に基づいて変形する場合がある。しかし、本実施の形態によれば、ブレードの剛性を径方向に大きくすることにより、その変位量（変形量）を低減することができる。
また、リング部材１２を周方向に強化繊維が配置されるように形成することにより、周方向の引っ張り応力に対する強度を向上させることができる。
【００３５】
本実施の形態によれば、リング部材１２およびロータブレード１１を線膨張係数の小さいＦＲＰ材で形成することにより、温度変化による変形量を考慮したロータ翼部７とステータ翼２３（ステータ部）との間のクリアランス（隙間）を小さく設定することができる。このように、ロータ翼部７とステータ部との隙間（ギャップ）を小さくすることにより、この隙間を通過する気体が減少するため、即ち、翼部分を通過する気体が増加するため、分子ポンプ１の気体の排気性能を向上させることができる。
また、本実施の形態によれば、高速回転するロータ翼部７をＦＲＰ材で形成することにより、分子ポンプ１の異常時（破壊モード）において、その破壊衝撃が金属部材（例えば、アルミニウム）で形成した場合程に急激に発生することがないため、破壊時の衝撃トルク（最大トルク）を低減させることができる。
【００３６】
図４は、図２のＡ部に示す、ロータブレード１１およびリング部材１２との接合部の拡大図を示した図である。
前述した通り、本実施の形態に係るロータ翼部７は、これらの内環部材１０、ロータブレード１１およびリング部材１２のそれぞれの部材間を接着剤によって接合することにより一体固定されている。
ロータブレード１１は、リング部材１２との接合部（接着部）である先端部をリング部材１２の曲率に対応した曲線に沿ってカットするように形成することが望ましい。
しかし、ロータ翼部７の組立を容易にするために、ロータブレード１１におけるリング部材１２との接合部（接着部）を、図４に示すように、山形（三角）状に形成し、この三角の頂点（点ａ、点ｂ、点ｃ）の三点を接触させた状態で接着するようにしてもよい。
このように、三点接触によってロータブレード１１とリング部材１２とを接着することにより、ロータブレード１１の加工を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本実施の形態に係る分子ポンプの概略構成を示した図である。
【図２】（ａ）は本実施の形態に係るロータ翼部の構成を示した図であり、（ｂ）はロータ翼部の軸方向の断面を示した図であり、（ｃ）は、内環部材の外側面の様子を示した図である。
【図３】ロータ翼部を構成するロータブレードおよびリング部材の強化繊維の配置方向を示した図である。
【図４】図２のＡ部に示す、ロータブレードおよびリング部材との接合部の拡大図を示した図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    分子ポンプ
２    ケーシング
３    ベース
４    吸気口
５    排気口
６    ロータ本体部
７    ロータ翼部
８    円筒部材
９    シャフト
１０  内環部材
１１  ロータブレード
１２  リング部材
１３  ボルト取付孔
１４  ブレード溝
２０  軸受部
２１  軸受部
２２  モータ部
２３  ステータ翼
２４  ねじ溝スペーサ
２５  スペーサ
２６  軸受部
【図１】
2006046074.tif 000003
【図２】
2006046074.tif 000004
【図３】
2006046074.tif 000005
【図４】
2006046074.tif 000006