(57)【要約】【課題】高速な試験信号を複数のデバイスに供給する試験装置を提供することができる。【解決手段】複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、共通の試験パターンに基づく試験信号を出力する信号出力部と、信号出力部および第１の被試験デバイスの端子の間に設けられた第１のスイッチと、信号出力部および第２の被試験デバイスの端子の間に設けられた第２のスイッチと、第１の被試験デバイスの端子において信号出力部の出力信号を終端する第１の終端抵抗と、第２の被試験デバイスの端子において信号出力部の出力信号を終端する第２の終端抵抗と、信号出力部と第１の被試験デバイスの端子および第２の被試験デバイスの端子とが接続された場合に信号出力部から切り離され、信号出力部と第２の被試験デバイスの端子とが切断された場合に、第２の終端抵抗に代えて信号出力部に接続される代替抵抗とを備える試験装置を提供する。【選択図】図１
2006343146.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の被試験デバイスおよび第２の被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記第１の被試験デバイスおよび前記第２の被試験デバイスに供給する共通の試験パターンを生成するパターン発生器と、
前記試験パターンに基づく試験信号を出力する信号出力部と、
前記信号出力部および前記第１の被試験デバイスの端子の間に設けられ、前記信号出力部および前記第１の被試験デバイスの端子を接続するか否かを切り替える第１のスイッチと、
前記信号出力部および前記第２の被試験デバイスの端子の間に設けられ、前記信号出力部および前記第２の被試験デバイスの端子を接続するか否かを切り替える第２のスイッチと、
前記第１のスイッチおよび前記第１の被試験デバイスの端子の間において前記信号出力部の出力信号を終端する第１の終端抵抗と、
前記第２のスイッチおよび前記第２の被試験デバイスの端子の間において前記信号出力部の出力信号を終端する第２の終端抵抗と、
前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチが前記信号出力部と前記第１の被試験デバイスの端子および前記第２の被試験デバイスの端子とを接続した場合に前記信号出力部から切り離され、前記第２のスイッチが前記信号出力部と前記第２の被試験デバイスの端子との間を切断した場合に、前記第２の終端抵抗に代えて前記信号出力部に接続される代替抵抗と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記代替抵抗は、前記第１のスイッチが前記信号出力部と前記第１の被試験デバイスの端子との間を切断した場合、または、前記第２のスイッチが前記信号出力部と前記第２の被試験デバイスの端子との間を切断した場合に、前記第１の終端抵抗または前記第２の終端抵抗に代えて前記信号出力部に接続される請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記第１の終端抵抗は、前記第１のスイッチおよび前記第１の被試験デバイスの端子の間の配線と、グランドとの間に接続され、
前記第２の終端抵抗は、前記第２のスイッチおよび前記第２の被試験デバイスの端子の間の配線と、グランドとの間に接続され、
前記第１の被試験デバイスおよび前記第２の被試験デバイスのリーク電流を試験する場合に、前記第１の終端抵抗および前記第２の終端抵抗とグランドとの間を切断するグランド用スイッチ部を更に備える請求項１に記載の試験装置。
【請求項４】
前記信号出力部、前記第１のスイッチ、前記第２のスイッチ、前記第１の終端抵抗、前記第２の終端抵抗、および前記代替抵抗の組を複数備え、
それぞれの前記第１の終端抵抗は、対応する前記第１のスイッチおよび前記第１の被試験デバイスの間の配線に一端が接続され、他端が互いに接続されており、
前記グランド用スイッチ部は、互いに接続された複数の前記第１の終端抵抗の他端から第１グランドまでの間に設けられた終端用スイッチと、前記第１の終端抵抗の他端および前記終端用スイッチの間の配線と第２グランドとの間に設けられた第１の終端用コンデンサと、前記終端用スイッチおよび前記第１グランドの間の配線と第３グランドとの間に設けられた第２の終端用コンデンサとを有する
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記第２の終端用コンデンサは、前記第１の終端用コンデンサより静電容量が大きい請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記信号出力部から供給した前記試験信号に応じた前記第１の被試験デバイスおよび前記第２の被試験デバイスの動作に基づいて、前記第１の被試験デバイスおよび前記第２の被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記第２の被試験デバイスが不良であると判断した場合に、前記第２のスイッチを切断させ、前記代替抵抗を前記信号出力部に接続して前記第１の被試験デバイスを試験させる試験制御部と
を備える請求項１に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置に関する。特に本発明は、試験信号を複数の端子に共通に供給する試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣまたはＬＳＩ等の被試験デバイスを試験する試験装置においては、１つのドライバから出力する試験信号を複数の被試験デバイスに入力して、少ないハードウェア資源を用いてより多くの被試験デバイスを試験可能としている。図４は、このような試験装置におけるマザーボード４５０およびプローブカード４５５の構成を示す。
【０００３】
ドライバ４４０は、試験装置のテストヘッドに挿入されたテストモジュール内に設けられ、被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂを試験するための試験パターンに基づく共通の試験信号を被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂへ出力する。
【０００４】
マザーボード４５０は、パフォーマンスボードとも呼ばれる。マザーボード４５０は、試験装置のテストヘッド上に設置され、ドライバ４４０からの試験信号を伝送路４６０を介してプローブカード４５５へ伝播させる。プローブカード４５５は、マザーボード４５０の上に載置され、マザーボード４５０から入力される試験信号をプローブピンを介して被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂの端子へ入力させる。
【０００５】
プローブカード４５５は、ドライバ４４０および被試験デバイス５０ａの端子の間に設けられたスイッチ４７０と、ドライバ４４０および被試験デバイス５０ｂの端子の間に設けられたスイッチ４７１と、スイッチ４７０および被試験デバイス５０ａの端子を接続する伝送路４８０と、スイッチ４７１および被試験デバイス５０ｂの端子を接続する伝送路４８１とを備える。スイッチ４７０およびスイッチ４７１は、ドライバ４４０と被試験デバイス５０ａの端子との間、および、ドライバ４４０と被試験デバイス５０ｂの端子との間を接続するか否かをそれぞれ切り替える。
【０００６】
例えば、試験の結果いずれかの被試験デバイス５０が不良であった場合、当該被試験デバイス５０をドライバ４４０から切り離すことにより、他の被試験デバイス５０の試験を継続することができる。例えば、被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂのリーク電流試験において被試験デバイス５０ｂのリーク電流を検出した場合、スイッチ４７１をオフとして被試験デバイス５０ｂの端子をドライバ４４０から切り離すことにより、被試験デバイス５０ａのリーク電流試験を継続することができる。
【０００７】
なお、現時点で先行技術文献の存在を認識していないので、先行技術文献に関する記載を省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の従来技術において、被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂに供給される試験信号の波形の品質を高めるためには、伝送路４８０および伝送路４８１を短くし、被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂの近傍においてドライバ４４０からの試験信号を分岐させることが望ましい。しかしながらドライバ４４０と被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂとの間にリレー等のスイッチ４７０およびスイッチ４７１を設けると、伝送路４８０および伝送路４８１が長くなってしまう。この場合、プローブカード４５５と一方の被試験デバイス５０との接触部分において試験信号が反射し、他方の被試験デバイス５０へ入力される試験信号を乱す要因となる。
【０００９】
このため、上記の従来技術においては、高速にスイッチングする試験信号については波形の品質が大きく劣化するので、例えば１０ＭＨｚから３０ＭＨｚ等を超える高速な試験信号を複数の被試験デバイスに供給することが困難であった。
【００１０】
また、近年の被試験デバイス５０の多ピン化、および同時に試験する被試験デバイス５０の数を増加させる要求に応じて、必要なスイッチ４７０およびスイッチ４７１の数が増加しており、プローブカード４５５に実装するのは困難となっている。しかし、スイッチ４７０およびスイッチ４７１をマザーボード４５０に実装した場合、上記と同様に伝送路４８０および伝送路４８１が長くなってしまい、試験信号の波形の品質が低下してしまう。
【００１１】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験信号を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の形態によると、第１の被試験デバイスおよび第２の被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記第１の被試験デバイスおよび前記第２の被試験デバイスに供給する共通の試験パターンを生成するパターン発生器と、前記試験パターンに基づく試験信号を出力する信号出力部と、前記信号出力部および前記第１の被試験デバイスの端子の間に設けられ、前記信号出力部および前記第１の被試験デバイスの端子を接続するか否かを切り替える第１のスイッチと、前記信号出力部および前記第２の被試験デバイスの端子の間に設けられ、前記信号出力部および前記第２の被試験デバイスの端子を接続するか否かを切り替える第２のスイッチと、前記第１のスイッチおよび前記第１の被試験デバイスの端子の間において前記信号出力部の出力信号を終端する第１の終端抵抗と、前記第２のスイッチおよび前記第２の被試験デバイスの端子の間において前記信号出力部の出力信号を終端する第２の終端抵抗と、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチが前記信号出力部と前記第１の被試験デバイスの端子および前記第２の被試験デバイスの端子とを接続した場合に前記信号出力部から切り離され、前記第２のスイッチが前記信号出力部と前記第２の被試験デバイスの端子との間を切断した場合に、前記第２の終端抵抗に代えて前記信号出力部に接続される代替抵抗とを備える試験装置を提供する。
【００１３】
前記代替抵抗は、前記第１のスイッチが前記信号出力部と前記第１の被試験デバイスの端子との間を切断した場合、または、前記第２のスイッチが前記信号出力部と前記第２の被試験デバイスの端子との間を切断した場合に、前記第１の終端抵抗または前記第２の終端抵抗に代えて前記信号出力部に接続されてもよい。
【００１４】
前記第１の終端抵抗は、前記第１のスイッチおよび前記第１の被試験デバイスの端子の間の配線と、グランドとの間に接続され、前記第２の終端抵抗は、前記第２のスイッチおよび前記第２の被試験デバイスの端子の間の配線と、グランドとの間に接続され、前記第１の被試験デバイスおよび前記第２の被試験デバイスのリーク電流を試験する場合に、前記第１の終端抵抗および前記第２の終端抵抗とグランドとの間を切断するグランド用スイッチ部を更に備えてもよい。
【００１５】
前記信号出力部、前記第１のスイッチ、前記第２のスイッチ、前記第１の終端抵抗、前記第２の終端抵抗、および前記代替抵抗の組を複数備え、それぞれの前記第１の終端抵抗は、対応する前記第１のスイッチおよび前記第１の被試験デバイスの間の配線に一端が接続され、他端が互いに接続されており、前記グランド用スイッチ部は、互いに接続された複数の前記第１の終端抵抗の他端から第１グランドまでの間に設けられた終端用スイッチと、前記第１の終端抵抗の他端および前記終端用スイッチの間の配線と第２グランドとの間に設けられた第１の終端用コンデンサと、前記終端用スイッチおよび前記第１グランドの間の配線と第３グランドとの間に設けられた第２の終端用コンデンサとを有してもよい。
【００１６】
前記第２の終端用コンデンサは、前記第１の終端用コンデンサより静電容量が大きくてもよい。
【００１７】
前記信号出力部から供給した前記試験信号に応じた前記第１の被試験デバイスおよび前記第２の被試験デバイスの動作に基づいて、前記第１の被試験デバイスおよび前記第２の被試験デバイスの良否を判定する判定部と、前記第２の被試験デバイスが不良であると判断した場合に、前記第２のスイッチを切断させ、前記代替抵抗を前記信号出力部に接続して前記第１の被試験デバイスを試験させる試験制御部とを備えてもよい。
【００１８】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、高速な試験信号を複数のデバイスに供給する試験装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２１】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。試験装置１０は、複数の被試験デバイス５０（５０ａ、５０ｂ）に対し共通の試験信号を出力して、複数の被試験デバイス５０を試験する。試験装置１０は、１または複数のテストモジュール１１０と、マザーボード１５０と、プローブカード１５５と、試験制御部１００とを備える。
【００２２】
テストモジュール１１０は、試験装置のテストヘッド内に挿入され、被試験デバイス５０の試験に用いる試験パターンに基づいて、被試験デバイス５０に供給する共通の試験信号を出力する。テストモジュール１１０は、パターン発生器１２０と、波形成形器１３０と、信号入出力部１４０と、判定部１４５とを有する。ここで、テストモジュール１１０は、被試験デバイス５０の複数の端子に対応して、パターン発生器１２０、波形成形器１３０、信号入出力部１４０および判定部１４５の組を複数有してよい。
【００２３】
パターン発生器１２０は、試験制御部１００の指示に基づいて試験プログラムの命令シーケンスを実行し、被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂに供給する共通の試験パターンを生成する。波形成形器１３０は、試験パターンを受け取って整形し、試験パターンにより指定されたタイミングで信号入出力部１４０へ出力する。これにより波形成形器１３０は、当該試験パターンにより指定された波形を、当該試験パターンにより指定されるタイミングで生成する。信号入出力部１４０は、本発明に係る信号出力部の一例であり、波形成形器１３０により整形された試験パターンに基づく試験信号を、マザーボード１５０およびプローブカード１５５を介して被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂへ出力する。
【００２４】
判定部１４５は、信号入出力部１４０から供給した試験信号に応じた被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂの動作に基づいて、被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂの良否を判定する。すなわち例えば、判定部１４５は、試験信号に応じて被試験デバイス５０が出力する出力信号が期待値と異なる場合に、当該被試験デバイス５０を不良であると判定してもよい。また、被試験デバイス５０のリーク電流を試験する場合において、判定部１４５は、信号入出力部１４０から被試験デバイス５０の端子へと流れるリーク電流が所定の値以上であった場合に、当該被試験デバイス５０を不良であると判定してもよい。
【００２５】
マザーボード１５０は、試験装置１０のテストヘッド上に設置され、テストモジュール１１０からの試験信号をプローブカード１５５へ伝播させる。マザーボード１５０は、伝送路１６０と、伝送路１６１と、伝送路１６３と、スイッチ１７０と、スイッチ１７１と、代替抵抗１９５と、スイッチ１９６とを有する。プローブカード１５５は、マザーボード１５０の上に載置され、マザーボード１５０から入力される試験信号をプローブピン等を介して被試験デバイス５０ａ〜ｂの端子へ入力させる。プローブカード１５５は、伝送路１８０と、伝送路１８１と、伝送路１８２と、伝送路１８３と、終端抵抗１９０と、終端抵抗１９１とを有する。
【００２６】
伝送路１６０は、信号入出力部１４０内のドライバが出力する試験信号をスイッチ１７０、スイッチ１７１およびスイッチ１９６の一端に伝播させる。スイッチ１７０は、本発明に係る第１のスイッチの一例であり、信号入出力部１４０内のドライバおよび被試験デバイス５０ａの端子の間に設けられ、信号入出力部１４０および被試験デバイス５０ａの端子を接続するか否かを切り替える。伝送路１８０は、スイッチ１７０における伝送路１６０とは反対側の端部に接続され、伝送路１６０およびスイッチ１７０を介して受け取った試験信号を被試験デバイス５０ａの端子へ供給する。
【００２７】
終端抵抗１９０は、本発明に係る第１の終端抵抗の一例であり、被試験デバイス５０ａの端子の近傍に設けられ、スイッチ１７０および被試験デバイス５０ａの端子の間において信号入出力部１４０の出力信号を終端する。本実施形態に係る終端抵抗１９０は、スイッチ１７０および被試験デバイス５０ａの端子の間の配線と、グランドとの間に接続される。ここで、終端抵抗１９０は、例えば５０Ω等の一般の終端抵抗値としてもよい。これに代えて、終端抵抗１９０は、信号入出力部１４０内のドライバのドライブ能力に応じて例えば２００〜３００Ω等のより高い抵抗値として、端子部分における反射を低減してもよい。ここで、試験装置１０は、終端抵抗１９０と直列にスイッチを有し、通常の試験においては当該スイッチをオンとして終端抵抗１９０をグランドに接続し、リーク電流試験においては当該スイッチをオフとして終端抵抗１９０をグランドから切断してもよい。
【００２８】
伝送路１８１および伝送路１６１は、被試験デバイス５０ａの端子から出力される信号を信号入出力部１４０へ供給する。
【００２９】
スイッチ１７１、伝送路１８２、終端抵抗１９１、および伝送路１８３は、被試験デバイス５０ｂに対応して設けられ、上記のスイッチ１７０、伝送路１８０、終端抵抗１９０、および伝送路１８１と同様の機能及び構成を採る。すなわち、スイッチ１７１は、本発明の第２のスイッチの一例であり、信号入出力部１４０内のドライバおよび被試験デバイス５０ｂの端子の間に設けられ、信号入出力部１４０および被試験デバイス５０ｂの端子を接続するか否かを切り替える。伝送路１８２は、スイッチ１７１における伝送路１６０とは反対側の端部に接続され、伝送路１６０およびスイッチ１７１を介して受け取った試験信号を被試験デバイス５０ｂの端子へ供給する。
【００３０】
終端抵抗１９１は、本発明に係る第２の終端抵抗の一例であり、被試験デバイス５０ｂの端子の近傍に設けられ、スイッチ１７１および被試験デバイス５０ｂの端子の間において信号入出力部１４０の出力信号を終端する。本実施形態に係る終端抵抗１９１は、スイッチ１７１および被試験デバイス５０ｂの端子の間の配線と、グランドとの間に接続される。
【００３１】
伝送路１８３および伝送路１６３は、被試験デバイス５０ｂの端子から出力される信号を信号入出力部１４０へ供給する。
【００３２】
代替抵抗１９５は、スイッチ１７１が信号入出力部１４０と被試験デバイス５０ｂの端子との間を切断した場合に、終端抵抗１９１に代えて信号入出力部１４０に接続される。また、本実施形態に係る代替抵抗１９５は、終端抵抗１９０の代わりとしても用いられ、スイッチ１７０が信号入出力部１４０と被試験デバイス５０ａの端子との間を切断した場合に、終端抵抗１９０に代えて信号入出力部１４０に接続される。これに代えて、代替抵抗１９５は、それぞれの終端抵抗１９０から終端抵抗１９１に対応して個別に設けられてもよい。
【００３３】
ここで、代替抵抗１９５は、終端抵抗１９０および終端抵抗１９１と実質的に同一の抵抗値を有することがより好ましい。これにより、試験装置１０は、被試験デバイス５０ａ〜ｂに共通の試験信号を供給する場合、および、いずれかの被試験デバイス５０を切り離して他の被試験デバイス５０に試験信号を供給する場合のいずれにおいても、信号入出力部１４０のドライバに対する負荷をほぼ同一に保つことができ、信号入出力部１４０に接続される被試験デバイス５０の端子の数によらずほぼ同一の試験信号の波形を被試験デバイス５０へ供給することができる。
【００３４】
スイッチ１９６は、伝送路１６０の信号入出力部１４０と反対側の端部と、代替抵抗１９５との間に設けられ、代替抵抗１９５を当該端部に接続するか否かを切り替える。スイッチ１９６は、スイッチ１７０およびスイッチ１７１が信号入出力部１４０と被試験デバイス５０ａの端子および被試験デバイス５０ｂの端子とを接続した場合に、代替抵抗１９５を信号入出力部１４０から切り離す。一方、スイッチ１７０およびスイッチ１７１の一方が被試験デバイス５０の端子との間を切断した場合に、切断された被試験デバイス５０に対応する終端抵抗１９０または終端抵抗１９１に代えて代替抵抗１９５を信号入出力部１４０に接続する。
【００３５】
試験制御部１００は、被試験デバイス５０ａ〜ｂの試験を制御する。すなわち例えば、試験制御部１００は、まずスイッチ１７０およびスイッチ１７１をオンとし、スイッチ１９６をオフとして、被試験デバイス５０ａ〜ｂの対応する端子を信号入出力部１４０に接続する。そして、試験プログラムに基づく試験信号をテストモジュール１１０から出力させ、マザーボード１５０およびプローブカード１５５を介して被試験デバイス５０ａ〜ｂへ供給する。
【００３６】
試験の結果一方の被試験デバイス５０が不良であると判断した場合に、試験制御部１００は、不良と判断した被試験デバイス５０に対応するスイッチ１７０またはスイッチ１７１を切断させ、代替抵抗１９５を信号入出力部１４０に接続して他の被試験デバイス５０を試験させる。
【００３７】
以上に示した試験装置１０によれば、終端抵抗１９０および終端抵抗１９１を設けたので、被試験デバイス５０の端子部分における試験信号波形の反射を防ぐことができる。これにより、伝送路１８０および伝送路１８２が長い場合においても、一方の被試験デバイス５０の端子から反射した試験信号波形が他方の被試験デバイス５０の端子に供給すべき試験信号波形と干渉し、試験信号波形の品質が低下するのを防ぐことができ、高速にスイッチングする試験信号を高品質で被試験デバイス５０に供給することができる。ここで、本実施形態に係る試験装置１０においては、伝送路１８０および伝送路１８２を長くすることができるので、スイッチ１７０およびスイッチ１７１をマザーボード１５０に実装することができ、多ピン化および同時試験個数の増加の要求に応じつつ試験信号波形の品質低下を防ぐことができる。
【００３８】
また、終端抵抗１９０および終端抵抗１９１を設けたので、高速でスイッチングする試験信号に対しては終端抵抗１９０及び終端抵抗１９１により信号線を終端させることができる。また、終端抵抗１９０および終端抵抗１９１とそれぞれ直列にスイッチを設けた場合、リーク電流試験においては当該スイッチをオフとすることにより、信号線からグランドへ電流が流れるのを防ぐことができる。
【００３９】
また、スイッチ１７０またはスイッチ１７１が切断された場合に、切断された側の終端抵抗１９０または終端抵抗１９１に代えて信号入出力部１４０に接続される代替抵抗１９５を設けたので、同時に試験する被試験デバイス５０の数が変化した場合においても信号入出力部１４０に接続される負荷をほぼ同一に保つことができる。また、終端抵抗１９０および終端抵抗１９１に代えて共通の代替抵抗１９５を用いることで、終端抵抗１９０から終端抵抗１９１のそれぞれに対応して個別に代替抵抗１９５を設けた場合と比較してスイッチ１９６および代替抵抗１９５の数を低減することができる。
【００４０】
図２は、本実施形態に係る試験装置１０による試験信号の波形の一例を示す。
図２（ａ）は、終端抵抗１９０および終端抵抗１９１を設けない従来の試験装置において、スイッチ４７１を切断して１個の被試験デバイス５０ａに試験信号を供給した場合の試験信号波形を示す。図２（ｂ）は、従来の試験装置において、スイッチ４７０およびスイッチ４７１を接続して２つの被試験デバイス５０に試験信号を供給した場合の試験信号波形を示す。図２（ａ）（ｂ）に示した通り、終端抵抗１９０および終端抵抗１９１を設けない構成においては、複数の被試験デバイス５０に試験信号を供給すると、試験信号の反射により信号の品質が大きく低下する。
【００４１】
図２（ｃ）は、本実施形態に係る試験装置１０において、スイッチ１７１を切断して１個の被試験デバイス５０ａに試験信号を供給した場合の試験信号波形を示す。図２（ｄ）は、本実施形態に係る試験装置１０において、スイッチ１７０およびスイッチ１７１を接続して２つの被試験デバイス５０に試験信号を供給した場合の試験信号波形を示す。図２（ｃ）（ｄ）に示した通り、終端抵抗１９０および終端抵抗１９１を設ける構成においては、従来と比較して試験信号の品質低下を抑えることができる。
【００４２】
図３は、本実施形態の変形例に係る波形成形器１３０および信号入出力部１４０の一部を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図３に示した部分を除き図１と同様の機能および構成を採るため、以下相違点を除き説明を省略する。
【００４３】
本変形例に係る試験装置１０は、被試験デバイス５０の複数の端子に対応して、パターン発生器１２０、波形成形器１３０、信号入出力部１４０、判定部１４５、伝送路１６０（１６０ａ〜ｂ）、代替抵抗１９５、およびスイッチ１９６（１９６ａ〜ｂ）の組を複数有する。また、試験装置１０は、被試験デバイス５０ａの複数の端子に対応して、スイッチ１７０（１７０ａ〜ｂ）、伝送路１８０（１８０ａ〜ｂ）、終端抵抗１９０（１９０ａ〜ｂ）、伝送路１８１、および、伝送路１６１の組を複数有する。同様に試験装置１０は、被試験デバイス５０ｂの複数の端子に対応して、スイッチ１７１（１７１ａ〜ｂ）、伝送路１８２（１８２ａ〜ｂ）、終端抵抗１９１（１９１ａ〜ｂ）、伝送路１８１、および、伝送路１６３の組を複数有する。
【００４４】
終端用コンデンサ１９２、終端用スイッチ３００、および終端用コンデンサ３１０は、被試験デバイス５０ａに試験信号を供給する場合に終端抵抗１９０ａ〜ｂを終端として機能させ、被試験デバイス５０ａおよび被試験デバイス５０ｂのリーク電流を試験する場合に、終端抵抗１９０とグランドとの間を切断するグランド用スイッチ部として機能する。本実施形態において、複数の終端抵抗１９０は、各終端抵抗１９０に対応するスイッチ１７０および被試験デバイス５０ａの端子の間の配線に一端が接続され、他端が互いに接続される。そして、終端用スイッチ３００は、互いに接続された複数の終端抵抗１９０の他端から第１グランドＧＮＤ１までの間に設けられる。また、終端用コンデンサ１９２は、複数の終端抵抗１９０の他端、および終端用スイッチ３００の間の配線と、第２グランドＧＮＤ２との間に設けられる。終端用コンデンサ３１０は、終端用スイッチ３００および第１グランドＧＮＤ１の間の配線と、第３グランドＧＮＤ３との間に設けられる。ここで、第１グランドＧＮＤ１は、例えば試験装置１０の電源のグランドに接続された電源グランドであってよい。また、第２グランドＧＮＤ２は、プローブカード１５５の通常グランドに接続されてよく、第３グランドＧＮＤ３は、マザーボード１５０の通常グランドに接続されてよい。これらの第１グランドから第３グランドは、最終的には同一のグランドに接続されていてもよい。
【００４５】
ここで、終端用コンデンサ３１０は、終端用コンデンサ１９２より大きい静電容量を有する。すなわち例えば、終端用コンデンサ１９２は２００ｐＦであり、終端用コンデンサ３１０は１０μＦ等の静電容量に設定される。被試験デバイス５０ａの各端子に試験信号を供給して通常の試験を行う場合、終端用スイッチ３００はオンとされ、複数の終端抵抗１９０および第１グランドＧＮＤ１が接続される。この結果、終端抵抗１９０を試験装置１０全体の基準となる電源グランドに接続してグランドレベルを供給すると共に、終端抵抗１９０近傍に設けた終端用コンデンサ１９２により各信号線の切り替えに伴う電圧変動を低減することができる。また、より大きな電圧変動は、終端用コンデンサ３１０および第１グランドＧＮＤ１により低減される。したがって、例えば３個以上等の多数の端子に共通してグランド用スイッチ部を設けた場合においても、終端抵抗１９０により安定した終端機能を提供することができる。
【００４６】
一方、リーク電流試験においては、終端用コンデンサ３１０は、終端用スイッチ３００により第１グランドＧＮＤ１および終端用コンデンサ３１０から切り離される。これにより、リーク電流試験において終端用コンデンサ３１０に流入する電荷量を低減することができ、リーク電流の測定誤差を低減することができる。なお、試験制御部１００は、測定したリーク電流の値から終端用コンデンサ１９２に流入する電流値を減じた値を被試験デバイス５０ａのリーク電流値として利用者に提示してもよい。
【００４７】
終端用コンデンサ１９３、終端用スイッチ３０１、および終端用コンデンサ３１１は、上記の終端用コンデンサ１９２、終端用スイッチ３００、および終端用コンデンサ３１０と同様の機能および構成をとるため、説明を省略する。
【００４８】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。
【図２】本発明の実施形態に係る試験装置１０による試験信号の波形の一例を示す。
【図３】本発明の実施形態の変形例に係る波形成形器１３０および信号入出力部１４０の一部を示す。
【図４】従来の試験装置におけるマザーボード４５０およびプローブカード４５５の構成を示す。
【符号の説明】
【００５０】
１０  試験装置
５０ａ〜ｂ  被試験デバイス
１００  試験制御部
１１０  テストモジュール
１２０  パターン発生器
１３０  波形成形器
１４０  信号入出力部
１４５  判定部
１５０  マザーボード
１５５  プローブカード
１６０ａ〜ｂ  伝送路
１６１  伝送路
１６３  伝送路
１７０ａ〜ｂ  スイッチ
１７１ａ〜ｂ  スイッチ
１８０ａ〜ｂ  伝送路
１８１  伝送路
１８２ａ〜ｂ  伝送路
１８３  伝送路
１９０ａ〜ｂ  終端抵抗
１９１ａ〜ｂ  終端抵抗
１９２  終端用コンデンサ
１９３  終端用コンデンサ
１９５  代替抵抗
１９６  スイッチ
３００  終端用スイッチ
３０１  終端用スイッチ
３１０  終端用コンデンサ
３１１  終端用コンデンサ
４４０  ドライバ
４５０  マザーボード
４５５  プローブカード
４６０  伝送路
４７０  スイッチ
４７１  スイッチ
４８０  伝送路
４８１  伝送路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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