(57)【要約】【課題】クリーンルーム用空調機の熱源設備において、フリークーリングや動作動力の少ない装置を用いることにより、省エネルギー化されたより効率の良いクリーンルーム用空調熱源設備を提供すること。【解決手段】クリーンルーム２に空調エアＳＡを供給する給気通路３とクリーンルーム２からのエアを排気する排気通路４とが並設された外調機１と、給気通路３において吸湿を行うとともに排気通路４において放湿を行なう除湿ロータ１０と、外調機１の給気通路３と排気通路４とに亘って設けられたヒートパイプ１１と、冷凍機２２によって冷却された冷水が供給される冷水コイル１４と、冷却塔２０又は冷却塔２１によって冷却された冷却水が供給される冷却水コイル１２を備えたことにより、各装置の動作動力を削減し、省エネルギー化されたより効率の良いクリーンルーム用空調熱源設備とすることを可能にした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームに空調エアを供給する給気通路とクリーンルームからのエアを排気する排気通路とが並設された外調機本体と、
前記外調機本体の給気通路と排気通路とに亘って設けられ、回転されることにより給気通路において吸湿を行うとともに排気通路において放湿を行なう除湿ロータと、
前記除湿ロータに対し空調エアの下流側に設けられるとともに、前記外調機本体の給気通路と排気通路とに亘って設けられたヒートパイプと、
前記ヒートパイプに対し空調エアの下流側の給気通路に設けられ、冷凍機によって冷却された冷水が供給される冷水コイルと、
を備えたことを特徴とするクリーンルーム用空調熱源設備。
【請求項２】
前記給気通路の前記ヒートパイプと前記冷水コイルとの間には、冷却塔によって冷却された冷却水が供給される冷却水コイルが設けられていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム用空調熱源設備。
【請求項３】
前記冷却塔と前記冷凍機とはヘッダを介して連結され、冷却塔からの冷却水を前記ヘッダを介して前記冷凍機及び／又は前記冷却水コイルに供給可能としたことを特徴とする請求項２に記載のクリーンルーム用空調熱源設備。
【請求項４】
前記給気通路の前記除湿ロータの下流側には露点温度センサが設けられるとともに、露点温度センサの露点、温度に基づいて除湿ロータの回転速度を制御する制御部が設けられたことを特徴とする請求項１、２又は３のうちいずれか一つに記載のクリーンルーム用空調熱源設備。
【請求項５】
前記給気通路の前記冷却水コイルの下流側には温度センサが設けられ、温度センサの温度に基づき前記制御部は前記冷凍機、冷水ポンプをオン、オフ制御することを特徴とする請求項４に記載のクリーンルーム用空調熱源設備。
【請求項６】
前記冷却水コイルに供給される冷却水の水温を検知する水温センサが設けられ、水温センサの水温に基づいて前記制御部は前記冷凍機、冷水ポンプをオン、オフ制御することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のクリーンルーム用空調熱源設備。
【請求項７】
前記冷却塔は複数台設置され、各々の冷却塔は前記ヘッダを介して互いに接続されていることを特徴とする請求項３、４、５又は６のうちいずれか一つに記載のクリーンルーム用空調熱源設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの温度、湿度を調節する空調機の熱源設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体や精密機器等の製造、検査を行なうクリーンルームでは、高い精度を保つためにクリーンルーム内の温度、湿度が厳しく管理され、温度、湿度の調整には冷凍機や加熱機が従来から用いられている。図３は、従来のクリーンルーム用空調熱源設備の構成図である。
【０００３】
クリーンルーム用空調熱源設備の外調機３０には、外気ＯＡを取り込む給気通路４０が設けられている。給気通路４０内には予熱ヒータ３５、プレフィルター４１、ミドルフィルター４２、冷水コイル３６、再熱ヒータ３７、加湿器３８、ファン３９が給気通路４０の上流側から下流側に沿って順に設けられている。
【０００４】
冷水コイル３６には、冷凍機３３により冷却された冷水が供給され、冷水は冷水槽３４を介してポンプＰにより冷水コイル３６と冷凍機３３との間を循環する。冷凍機３３を冷却する冷却水は、冷却塔３２により冷却された水が使用される。
【０００５】
この構成において、例えば夏期は３２度、冬期は−３度程度の外気ＯＡがファン３９を駆動することにより、給気通路４０へ取り込まれたとする。まず、温度が低い冬期の外気ＯＡの場合、外気ＯＡは予熱ヒータ３５により１５度程度まで加熱される。夏期の外気ＯＡは加熱されずに予熱ヒータ３５を通過する。
【０００６】
予熱ヒータ３５を通過した外気ＯＡは、プレフィルター４１とミドルフィルター４２を通過し不要な塵やゴミが取り除かれる。その後、夏期の高温高湿な外気ＯＡは、冷凍機３３で冷却された７度の冷水が通過する冷水コイル３６により１１度程度まで冷却、及び除湿される。冬期は冷水コイルが停止され、低温低湿な外気ＯＡはそのまま通過する。
【０００７】
次に、外気ＯＡは再熱ヒータ３７によりクリーンルーム２において必要とされる温度に近い２２度付近まで再加熱される。再加熱された外気ＯＡは、加湿器３８により必要とされる４５％の湿度まで加湿され、それに伴い温度が２３度まで上昇し、空調エアＳＡとしてクリーンルーム３１へ供給される。空調後の排気エアＥＡは室外に放出される。
【０００８】
そして、このような構成のクリーンルーム用空調熱源設備は、低温（７度）の冷水を製造するため冷凍機３３をフル稼働させる必要があった。また、冷水槽３４を用いるため、冷水を送水する配管系が開放系となり、ポンプの台数が増え、冷水の搬送動力も増大していた。
【０００９】
このほか、加熱のためのヒータを２段階設ける等、従来のクリーンルーム用空調熱源設備の動作には多大な動力を必要としていた。このため、省エネルギー化の試みが行なわれ、例えば、湿度調整の必要が少ない室内から循環された空気を、外気のみを除湿する除湿コイルで除湿した外気と混合することにより、除湿に要する動力を低減させる空調方法及び空調設備が提案されている（例えば、特許文献１参照。)。
【特許文献１】特開２００４−２４５５４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献１に示されたような空調方法及び空調設備では、除湿が行なわれていても外気ＯＡの温度が目標温度より高温過ぎる、又は加湿後にまだ低温過ぎる場合が頻発する。そのため、冷凍機により製造された低温の冷水による再冷却や、ヒータによる再加熱を行なうことが多大にあり、十分な省エネルギー化がなされていない場合があった。
【００１１】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたもので、クリーンルーム用空調機の熱源設備において、フリークーリングや動作動力の少ない装置を用いることにより、省エネルギー化されたより効率の良いクリーンルーム用空調熱源設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の請求項１は前記目的を達成するために、クリーンルームに空調エアを供給する給気通路とクリーンルームからのエアを排気する排気通路とが並設された外調機本体と、前記外調機本体の給気通路と排気通路とに亘って設けられ、回転されることにより給気通路において吸湿を行うとともに排気通路において放湿を行なう除湿ロータと、前記除湿ロータに対し空調エアの下流側に設けられるとともに、前記外調機本体の給気通路と排気通路とに亘って設けられたヒートパイプと、前記ヒートパイプに対し空調エアの下流側の給気通路に設けられ、冷凍機によって冷却された冷水が供給される冷水コイルと、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項１によれば、夏期の高温高湿時、給気通路を通る空調エアが除湿ロータにより除湿される。除湿による潜熱変化で温度上昇した空調エアは、ヒートパイプで熱を奪われて温度が下がる。更に下流に位置する冷凍機で製造された冷水により目的の温度まで冷却される。冬期の低温低湿時には、ヒートパイプにより加熱されて空調エアの温度が上昇する。
【００１４】
従来は冷凍機で製造された冷水により除湿と冷却とを行なっていたため、高温高湿時は７度程度の低温の冷水を常に供給する必要があり、冷凍機をフル稼働させていた。しかし、既に低動力で動作する除湿ロータで除湿され、動力を必要としないヒートパイプで温度を下げられた空気が送られるので、１５度程度の比較的高い温度の冷水を供給すれば空気を必要な温度、湿度へ調整できる。また、冬期の低温低湿時には、ヒートパイプにより一次加熱が行なわれる。
【００１５】
これらにより、除湿、一次冷却、又は一次加熱に必要な動力が非常に少なくなり、冷凍機の動力も減少するため、省エネルギー化されたより効率の良い空調機熱源設備を提供できる。
【００１６】
本発明の請求項２は請求項１において、前記給気通路の前記ヒートパイプと前記冷水コイルとの間には、冷却塔によって冷却された冷却水が供給される冷却水コイルが設けられていることを特徴とする。
【００１７】
請求項２によれば、冷却塔によって冷却された冷却水により、ヒートパイプによって一次冷却された空調エアを更に冷却する。これにより、冷凍機の動力を低減させる。また、フリークーリングによる冷却のため、冷却水の製造に必要な動力が小さく、省エネルギー化されたより効率の良い空調機熱源設備が実現される。
【００１８】
本発明の請求項３は請求項２において、前記冷却塔と前記冷凍機とはヘッダを介して連結され、冷却塔からの冷却水を前記ヘッダを介して前記冷凍機及び／又は前記冷却水コイルに供給可能としたことを特徴とする。
【００１９】
請求項３によれば、冷却塔で冷却された冷却水は、冷却水コイルと冷凍機とで共用される。これにより、空調エアを目的の温度まで冷却できる冷却水を冷却塔で製造できる中間期には、冷凍機の運転を停止させて冷却塔で製造される冷却水をすべて冷却水コイルで利用できる。よって、冷凍機の動力を削減し、省エネルギー化されたより効率の良い空調機熱源設備が実現される。
【００２０】
本発明の請求項４は請求項１、２又は３のうちいずれか一つにおいて、前記給気通路の前記除湿ロータの下流側には露点温度センサが設けられるとともに、露点温度センサの露点、温度に基づいて除湿ロータの回転速度を制御する制御部が設けられたことを特徴とする。
【００２１】
請求項４によれば、除湿後の露点、温度に基づいて除湿ロータの回転速度が最適に制御される。これにより、効率の良い空調機熱源設備が実現できる。
【００２２】
本発明の請求項５は請求項４において、前記給気通路の前記冷却水コイルの下流側には温度センサが設けられ、温度センサの温度に基づき前記制御部は前記冷凍機、冷水ポンプをオン、オフ制御することを特徴とする。
【００２３】
請求項５によれば、冷却水コイルにより冷却された空調エアの温度を測定し、必要な温度より低い場合は冷凍機での冷却が不要であるため、冷凍機と冷水ポンプとをオフにする。測定された温度が高い場合はオンとして冷凍機での冷却を開始する。これにより、省エネルギー化されたより効率の良い空調機熱源設備が実現される。
【００２４】
本発明の請求項６は請求項４又は請求項５において、前記冷却水コイルに供給される冷却水の水温を検知する水温センサが設けられ、水温センサの水温に基づいて前記制御部は前記冷凍機、冷水ポンプをオン、オフ制御することを特徴とする。
【００２５】
請求項６によれば、冷却水コイルに供給される冷却水の温度を測定し、空調エアを目的の温度まで冷却するのに十分低い場合は冷凍機での冷却が不要であるため、冷凍機と冷水ポンプとをオフにする。高い場合はオンとして冷凍機での冷却を開始する。これにより、省エネルギー化されたより効率の良い空調機熱源設備が実現される。
【００２６】
本発明の請求項７は請求項３、４、５又は６のうちいずれか一つにおいて、前記冷却塔は複数台設置され、各々の冷却塔は前記ヘッダを介して互いに接続されていることを特徴とする。
【００２７】
請求項７によれば、冷凍機冷却用と冷却水コイル用との水は共用可能となり、冷凍機停止時はすべての冷却塔で製造された全ての冷却水を冷却水コイルへ供給可能となる。これにより、より効率の良い空調機熱源設備が実現される。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように、本発明のクリーンルーム用空調熱源設備によれば、フリークーリングや動作動力の少ない装置を用いることにより、省エネルギー化されたより効率の良いクリーンルームの温度、湿度管理を行なうことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルーム用空調熱源設備の好ましい実施の形態について詳説する。
【００３０】
最初に本発明に係るクリーンルーム用空調熱源設備の構成について説明する。図１はクリーンルーム用空調熱源設備の構成図である。
【００３１】
クリーンルーム用空調熱源設備の外調機１には、給気通路３、排気通路４が設けられ、給気通路３、排気通路４内には除湿ロータ１０、ヒートパイプ１１、冷却水コイル１２、加湿器１３、冷水コイル１４、再熱ヒータ１５と１７、ファン１６が備わっている。
【００３２】
クリーンルーム用空調熱源設備の外調機１は、各装置の動作を温度や湿度を計測するセンサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、及びＳ５の各センサの計測結果に基づき、各装置に接続されるインバータＩＮを介して中央制御装置２３により制御する。
【００３３】
ファン１６を駆動し、給気通路３へ取り込まれた外気ＯＡは、プレフィルター２４、及びミドルフィルター２５により外気中の塵やゴミが除去される。給気通路３へ取り込まれる外気ＯＡの温度と湿度は、外調機１の外部に設けられたセンサＳ５により計測される。
【００３４】
除湿ロータ１０は、吸湿部と放湿部を持ちシリカゲル等を使用した円盤状の吸湿材を回転させて除湿を行なう。除湿ロータ１０は吸湿部を給気通路３、放湿部を排気通路４側に設けられ、塵を除去された外気ＯＡの除湿を行なう。
【００３５】
除湿ロータ１０の給気通路３における下流側には露点温度センサであるセンサＳ１が設けられている。除湿ロータ１０の回転速度は、センサＳ１によって計測された除湿ロータ１０を通過した直後の外気ＯＡの露点温度に基づき制御される。露点温度に変化があった場合は、回転速度を変化させ除湿効率を調整する。
【００３６】
ヒートパイプ１１は、内部に凝縮液を封入した無動力の熱交換装置であり、一端に高温物体が接触すると内部で凝縮液が気化して高温物体の熱を奪い冷却が行なわれる。気化した凝縮液が他端へ移動し、他端に接触する低温物体により凝縮すると、接触している低温物体へ凝縮液から熱が放出されて加熱が行なわれる。
【００３７】
ヒートパイプ１１は、一端を除湿ロータ１０より下流側の給気通路３へ、他端を排気通路４へ設けられている。除湿ロータ１０により除湿された外気ＯＡは、給気通路３側のヒートパイプ１１に接触し、加熱、または冷却が行なわれる。
【００３８】
冷却水コイル１２は、水滴状の水を空気に当てることにより冷却を行なう密閉型の冷却塔２０、又は冷却塔２１により冷却された冷却水がポンプＰ１を介して供給される。冷却水コイル１２は、ヒートパイプ１１により冷却された外気ＯＡを必要に応じて冷却する。冷却水コイル１２の下流側には、冷却水コイル１２により冷却された外気ＯＡの温度を計測するセンサＳ２が設けられている。
【００３９】
冷却水コイル１２を通過した外気ＯＡは、必要に応じて加湿器１３により湿度が調整される。冷水コイル１４は、冷凍機２２で製造された冷水がポンプＰ３を介して供給されることにより冷却を行なう。加湿器１３を通過した外気ＯＡがクリーンルーム２に必要な温度よりも高温の場合は、冷水コイル１４にて更に冷却される。必要な温度より低温の場合は、再熱ヒータ１５により過熱される。
【００４０】
この時、冷凍機２２、冷却塔２０、及び冷却塔２１はヘッダ１８及びヘッダ１９を介して互いに連結される。更に、冷却塔２０の直後にはセンサＳ３、冷却塔２１の直後にはセンサＳ４が設けられ、それぞれの冷却塔により冷却された冷却水の温度が計測される。
【００４１】
冷凍機２２を運転する場合は、冷却塔２０、及び冷却塔２１にて冷却された冷却水が、ポンプＰ２を介して冷凍機２２にも供給され、冷却水コイル１２との両方で使用される。冷凍機２２が停止する場合は、ポンプＰ２及びポンプＰ３を停止させて冷却塔２０、及び冷却塔２１で冷却された冷却水のすべてが冷却水コイル１２へ供給される。
【００４２】
これらにより温度、湿度が調整された空調エアＳＡは、クリーンルーム２へ供給される。クリーンルーム２、又はクリーンルーム内の装置から排出される排気エアＥＡは、排気通路４を通りヒートパイプ１１へ送られる。ヒートパイプ１１により加熱、又は冷却された排気ＥＡは、除湿ロータ１０が放湿するのに必要な温度まで再熱ヒータ３７により加熱される。除湿ロータ１０から放湿された排気エアＥＡは外部へ排出される。
【００４３】
これらの構成により、本発明のクリーンルーム用空調熱源設備は、フリークーリングや動作動力の少ない装置を用いることにより、省エネルギー化されたより効率の良いクリーンルームの温度、湿度管理を行なうことが可能となる。
【００４４】
なお、本発明の実施の形態では、外調機１は中央制御装置２３により制御されているとしているが、外調機１に備わる装置ごとに制御装置を備え、ローカル制御により制御する形態でもよい。
【００４５】
次に、本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用空調熱源設備の作用について説明する。図２はクリーンルーム用空調熱源設備の稼働状況を示した表である。
【００４６】
図１に示す外調機１の給気通路３へ取り込まれる外気ＯＡの温度と湿度は、外調機１の外部に設けられたセンサＳ５により計測される。
【００４７】
外気ＯＡは図２に示すように夏期、冬期、中間期と温度、湿度が変化する。通常、夏期は高温高湿、冬期は低温低湿、中間期は状況により変化し、およそ夏期と冬期との中程度の温度、湿度となる。
【００４８】
本実施の形態では夏期は温度３２度、湿度６２％、冬期は温度−３度、湿度５０％の外気を取り込んだものとして説明する。しかし、外気の温度、湿度は天候や時間等により変化するため、本発明に係るクリーンルーム用空調熱源設備は、センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、及びＳ５の各センサの計測結果に基づき、各装置に接続されるインバータＩＮを介して中央制御装置２３によりリアルタイムで制御される。
【００４９】
給気通路３へ給気された外気ＯＡはプレフィルター２４と、ミドルフィルター２５により塵やゴミが除去され、除湿ロータ１０の吸湿部を通過し、夏期の外気ＯＡの湿度は７％程度となる。この時、潜熱変化によって外気ＯＡの温度が上昇し、夏期の外気ＯＡは５７度程度になる。
【００５０】
除湿ロータ１０の除湿効率は、除湿ロータ１０の下流側に設けられたセンサＳ１により計測された露点温度に基づき、除湿ロータ１０の回転速度を制御して調整される。中間期はセンサＳ１により計測された露点温度の状況に応じて除湿ロータの回転速度を制御して、外気ＯＡが除湿される。センサＳ５で計測された外気ＯＡの湿度が低湿度状態である場合、除湿が不要なため除湿ロータ１０を停止させる。
【００５１】
除湿ロータ１０を通過した外気ＯＡは、温度の状況に合わせてヒートパイプ１１により冷却、又は加熱される。排気通路４側に設けられたヒートパイプ１１には、クリーンルーム２から排出される２５度程度の排気エアＥＡが接触している。
【００５２】
除湿ロータ１０を通過して５７度程度まで温度が上昇した夏期の外気ＯＡは、給気通路３側のヒートパイプ１１に接触することにより、ヒートパイプ１１内の凝縮液を気化させて４５度程度まで冷却される。それにより湿度も１３％程度まで上昇する。
【００５３】
冬期で０度程度の外気ＯＡが給気通路３側のヒートパイプ１１に接触した場合は、排気通路４側で気化された凝縮液が給気通路３側で凝縮され、外気ＯＡが１５度程度まで加熱される。それに伴い湿度が２５％程度に下降する。中間期は除湿ロータ１０を通過した外気ＯＡの温度状況に応じてヒートパイプ１１により冷却、又は加熱が行なわれる。
【００５４】
ヒートパイプ１１を通過した外気ＯＡは必要に応じて冷却水コイル１２により冷却が行なわれる。冷却水コイル１２へは、ポンプＰ１を介して冷却塔２０又は冷却塔２１により冷却された冷却水が供給される。夏期の場合、３３度程度の冷却水が冷却塔２０、又は冷却塔２１で冷却され、２８度程度で冷却水コイル１２へ供給される。ヒートパイプ１１で４５度程度まで冷却された夏期の外気ＯＡは、冷却コイル１２によりさらに３２度程度まで冷却される。
【００５５】
冷却水コイル１２を通過した外気ＯＡは、必要に応じて加湿器１３で加湿される。ヒートパイプ１１で湿度２５％まで湿度が変化した冬期の外気ＯＡは、加湿器１３により６５％まで加湿され、温度も１７度程度まで上昇する。
【００５６】
加湿器１７を通過した外気ＯＡは、必要に応じて冷水コイル１４により更に冷却される。冷水コイル１４を通過する外気ＯＡは、既に除湿ロータ１０で除湿された空気であるため冷却のみ行なえばよく、冷水コイル１４へ供給される冷水は１５度程度の比較的高温の冷水でよい。これにより、冷凍機２２の動作動力が従来使用されるクリーンルーム用空調熱源設備よりも大幅に低減される。夏期の外気ＯＡは、冷水コイル１４によりクリーンルーム２に必要な温度である２３度まで冷却され、湿度は４５％まで上昇する。
【００５７】
冷水コイル１４を通過した外気ＯＡは、必要に応じて再熱コイル１５により再加熱される。冬期の外気ＯＡは、再熱コイル１５により２３度まで加熱され、湿度は４５％まで低下する。
【００５８】
また、中間期で外気温が比較的低い場合は、冷却塔２０、及び冷却塔２１で冷却された冷却水の温度が下がる。冷却水コイル１２の下流側に設けられたセンサＳ２により計測された外気ＯＡの温度がクリーンルーム２に必要な温度に達していた場合、ポンプＰ３が停止され冷水コイル１４は稼動停止とされる。それに伴い、ポンプＰ２も停止されて冷凍機２２が稼動停止され、冷却塔２０及び冷却塔２１で冷却される冷却水をすべて冷却水コイル１２で使用する。
【００５９】
更に、冷却塔２０、及び冷却塔２１の直後に設けられたセンサＳ３、センサＳ４により計測された冷却水の温度が、冷却水コイル１２が外気エアＯＡをクリーンルーム２に必要な温度まで十分冷却できる温度であった場合、同様に冷凍機２２、及び冷水コイル１４が稼動停止とされる。
【００６０】
センサＳ５で計測された外気温がクリーンルーム２に必要な温度よりも低い場合は、ポンプＰ１、Ｐ２、Ｐ３が停止され、冷凍機２２、冷水コイル１４、及び冷却水コイル１２の稼動が停止される。
【００６１】
このように温度、湿度が調整された空調エアＳＡは、クリーンルーム２へ供給される。クリーンルーム２、又はクリーンルーム内の装置から排出される排気エアＥＡは、排気通路４を通りヒートパイプ１１へ送られ、状況に応じて加熱、冷却を行ない再熱ヒータ３７へ送られる。再熱ヒータ３７では４５度程度まで排気エアＥＡを加熱し、加熱した排気エアＥＡを除湿ロータ１０の放湿部へ送る。除湿ロータ１０の放湿を行なった排気エアＥＡは外部へ排出される。
【００６２】
以上説明したように、本発明に係るクリーンルーム用空調熱源設備は、フリークーリングや動作動力の少ない装置を用いて動力を減らし、温度や湿度の状況に合わせて稼働状況を制御するので省エネルギー化されたより効率の良いクリーンルームの温度、湿度管理を行なうことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明に係るクリーンルーム用空調熱源設備の構成図。
【図２】クリーンルーム用空調熱源設備の稼働状況を示した表図。
【図３】従来使用されるクリーンルーム用空調熱源設備の構成図。
【符号の説明】
【００６４】
１、３０…外調機，２…クリーンルーム，３…給気通路，４…排気通路，１０…除湿ロータ，１１…ヒートパイプ，１２…冷却水コイル，１３、３８…加湿器，１４、３６…冷水コイル，１５、１７、３７…再熱ヒータ，１６、３９…ファン，１７…トルク検出機構，１８、１９…ヘッダ，２０、２１、３２…冷却塔，２２、３３…冷凍機，２３…中央制御装置，Ｓ１〜Ｓ５…センサ、ＯＡ…外気、ＳＡ…空調エア、排気エア…ＥＡ
【図１】
2006300392.tif 000003
【図２】
2006300392.tif 000004
【図３】
2006300392.tif 000005