(57)【要約】【課題】  特に、気圧変化による浮上量の変動と、スキュー角の変化による浮上量の変動の双方を適切に小さくできる磁気ヘッドスライダを提供することを目的としている。【解決手段】  トレーリング側に、横方向に分割して、第１の右側溝部２９、及び第１の左側溝部３０が形成され、第１の右側溝部２９及び第１の左側溝部よりもリーディング側に、横方向に分割して、第２の右側溝部３１、及び第２の左側溝部３２が形成され、各溝部の底面が負圧発生面となっている。そして第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａで生じる負圧（絶対値）は、第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａで生じる負圧（絶対値）よりも大きくなっている。これにより気圧変化による浮上量の変動及び、スキュー角の変化による浮上量の変動の双方を適切に小さくできる。【選択図】    図１
2006331532.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダと、前記スライダの空気流出端側に設けられた記録用および／または再生用の磁気素子とを有し、
前記スライダの空気流入端側から空気流出端側に向かう方向を縦方向と、前記縦方向と交差する方向を横方向としたとき、
前記スライダのディスク対向面には、前記空気流出端側に設けられた第１の負圧発生面と、前記第１の負圧発生面よりも前記空気流入端側に設けられた第２の負圧発生面と、を有し、
前記第１の負圧発生面と前記第２の負圧発生面は、それぞれ前記横方向に分割して設けられ、
前記第１の負圧発生面は前記第２の負圧発生面より負圧（絶対値）が大きいことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
前記ディスク対向面には、前記空気流出端側に、ディスク方向に向けて隆起し前記磁気素子の表面が露出する磁気素子面と、前記磁気素子面と同じ高さで隆起し、前記磁気素子面よりも前記空気流入端側に設けられた空気流入端側隆起面と、前記磁気素子面より高さが低く、前記空気流入端側隆起面よりも前記空気流出端側に位置する前記負圧発生面と、を有し、
各負圧発生面は、少なくとも前記空気流入側と前記横方向の両側が囲まれた溝部の底面で構成される請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
スライダと、前記スライダの空気流出端側に設けられた記録用および／または再生用の磁気素子とを有し、
前記スライダの空気流入端側から空気流出端側に向かう方向を縦方向と、前記縦方向と交差する方向を横方向としたとき、
前記スライダのディスク対向面には、前記空気流出端側に、ディスク方向に向けて隆起し前記磁気素子の表面が露出する磁気素子面と、前記磁気素子面と同じ高さで隆起し、前記磁気素子面よりも前記空気流入端側に設けられた空気流入端側隆起面と、前記磁気素子面より高さが低く、前記空気流入端側隆起面よりも前記空気流出端側に位置する負圧発生面と、を有し、
前記負圧発生面は、前記空気流出端側に設けられた第１の負圧発生面と、前記第１の負圧発生面よりも前記空気流入端側に設けられた第２の負圧発生面と、を有し、
前記第１の負圧発生面と前記第２の負圧発生面は、それぞれ前記横方向に分割して設けられ、
各負圧発生面は、少なくとも前記空気流入側と前記横方向の両側が囲まれた溝部の底面で構成されることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
前記ディスク対向面には、前記磁気素子面から前記空気流入端側へ、前記負圧発生面よりも高く前記磁気素子面以下の高さで延びる第１の延出面が形成され、少なくとも前記第１の延出面の前記横方向の両側に前記第１の負圧発生面が分割形成されている請求項２または３に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
前記ディスク対向面には、前記空気流入端側隆起面よりも前記空気流出端側に、前記磁気素子面と同じ高さであって前記横方向に分割して形成されたサイド隆起面が形成され、前記サイド隆起面は、前記負圧発生面よりも高く前記磁気素子面以下の高さで延びるサイド連結面を介して前記第１の延出面に連結されており、前記第１の延出面、前記サイド連結面及び前記サイド隆起面により囲まれた溝部の底面が前記第１の負圧発生面となっている請求項４記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項６】
前記空気流入端側隆起面から前記空気流出端側へ、前記負圧発生面よりも高く前記磁気素子面以下の高さの延出面が形成され、前記延出面には、少なくとも、前記スライダの前記横方向の両側から前記空気流出端側方向に向けて延びるサイド延出面と、前記サイド延出面の間に設けられた中央延出面とを、有し、前記中央延出面の横方向の両側に、前記サイド延出面を有して囲まれた２つの溝部が形成され、前記溝部の底面が夫々、前記第２の負圧発生面となっている請求項２ないし６のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項７】
前記磁気素子面と前記空気流入端側隆起面間は、前記第１の延出面と前記中央延出面が繋がった中央連結面によって連結されている請求項６記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項８】
前記中央連結面は、前記磁気素子面と同じ高さのレール面を有し、前記レール面は前記横方向に複数形成されるとともに、前記磁気素子面と前記空気流入端側隆起面間を連結し、前記レール面間には前記磁気素子面よりも低く負圧発生面よりも高い高さ寸法で形成されたステップ面が形成されている請求項７記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
前記空気流入端側隆起面は、前記横方向に分割して形成され、前記ステップ面が前記空気流入端側隆起面間に延出して形成されている請求項８記載の磁気ヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスクへの記録用及び／または再生用の磁気素子を備えた磁気ヘッドスライダに係わり、特に気圧変化やスキュー角の変化による浮上量の変動を低減できる磁気ヘッドスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、磁気ヘッドスライダのディスク対向面の形態が種々開示されている。
【０００３】
ところで磁気ヘッドスライダのディスク対向面には溝が掘られており、前記溝の底面が負圧を生じさせる面であり、隆起した面が正圧を生じさせる面となっている。前記溝及び隆起面の形状や前記ディスク対向面に占める溝及び隆起面の面積比率等を適正化することにより、磁気ヘッドスライダの浮上姿勢の安定化を目指すことは従来から行なわれていた。
【０００４】
ところで、前記浮上姿勢は、気圧変化や、磁気ディスクの小型化による周速の低下等に起因した空気流入量の減少によって不安定化しやすい。
【特許文献１】特開平１０−２８３６２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般的に、正圧を生じさせる前記隆起面は、磁気ヘッドスライダのリーディング側とトレーリング側のそれぞれに設けられ、前記負圧を生じさせる溝部の底面は前記リーディング側に形成された隆起面と、前記トレーリング側に形成された隆起面の間に形成されていた。
【０００６】
ところで特許文献１には前記負圧を生じさせる溝部の底面を、磁気ヘッドスライダの中央部分よりも後方側、すなわちトレーリング側（空気流出端側）に設けることが開示され、これにより浮上特性の向上を図っている。
【０００７】
しかし後述する実験によれば、例えば、特許文献１に開示された図２８に示す磁気ヘッドスライダでは、気圧変化による浮上量の変動を小さくすると、逆に、スキュー角の変化による浮上量の変動が大きくなり、一方、前記スキュー角の変化による浮上量の変動を小さくすると、前記気圧変化による浮上量の変動が大きくなってしまうことがわかった。すなわち特許文献１の図２８に示す磁気ヘッドスライダでは、気圧変化による浮上量の変動と、スキュー角の変化による浮上量の変動の双方を同時に小さくできなかった。
【０００８】
そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に、気圧変化による浮上量の変動と、スキュー角の変化による浮上量の変動の双方を適切に小さくできる磁気ヘッドスライダを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明における磁気ヘッドスライダは、
スライダと、前記スライダの空気流出端側に設けられた記録用および／または再生用の磁気素子とを有し、
前記スライダの空気流入端側から空気流出端側に向かう方向を縦方向と、前記縦方向と交差する方向を横方向としたとき、
前記スライダのディスク対向面には、前記空気流出端側に設けられた第１の負圧発生面と、前記第１の負圧発生面よりも前記空気流入端側に設けられた第２の負圧発生面と、を有し、
前記第１の負圧発生面と前記第２の負圧発生面は、それぞれ前記横方向に分割して設けられ、
前記第１の負圧発生面は前記第２の負圧発生面より負圧（絶対値）が大きいことを特徴とするものである。
【００１０】
本発明では、前記ディスク対向面に、第１の負圧発生面と、前記第１の負圧発生面よりも空気流入端側に第２の負圧発生面とを設け、しかも前記第１の負圧発生面と前記第２の負圧発生面を、それぞれ前記横方向に分割して設けている。さらに前記第１の負圧発生面で生じる負圧（絶対値）を前記第２の負圧発生面で生じる負圧（絶対値）より大きくしている。
【００１１】
これにより負圧が適切に空気流出端側で生じ、気圧変化による浮上量の変動を小さく抑えることができる。しかも前記第１の負圧発生面から見て空気流入端側に位置する第２の負圧発生面にも弱いながらも負圧が生じ、しかも前記第１の負圧発生面及び第２の負圧発生面をともに前記横方向に分割形成したことで、前記ディスク上での磁気ヘッドスライダの浮上位置が、前記ディスクの半径方向に変化し、スキュー角変化により前記ディスク対向面とディスク間を流れる空気流の方向が変わっても、正圧と負圧とをバランス良く保つことができ、前記ディスク上での磁気ヘッドスライダの位置変化による浮上量の変動（以下、これをスキュー角の変化による浮上量の変動と称する）も、前記気圧変化による浮上量の変動とともに小さくできる。
【００１２】
また本発明では、前記ディスク対向面には、前記空気流出端側に、ディスク方向に向けて隆起し前記磁気素子の表面が露出する磁気素子面と、前記磁気素子面と同じ高さで隆起し、前記磁気素子面よりも前記空気流入端側に設けられた空気流入端側隆起面と、前記磁気素子面より高さが低く、前記空気流入端側隆起面よりも前記空気流出端側に位置する前記負圧発生面と、を有し、
各負圧発生面は、少なくとも前記空気流入側と前記横方向の両側が囲まれた形状で形成されていることが好ましい。
【００１３】
また本発明における磁気ヘッドスライダは、
スライダと、前記スライダの空気流出端側に設けられた記録用および／または再生用の磁気素子とを有し、
前記スライダの空気流入端側から空気流出端側に向かう方向を縦方向と、前記縦方向と交差する方向を横方向としたとき、
前記スライダのディスク対向面には、前記空気流出端側に、ディスク方向に向けて隆起し前記磁気素子の表面が露出する磁気素子面と、前記磁気素子面と同じ高さで隆起し、前記磁気素子面よりも前記空気流入端側に設けられた空気流入端側隆起面と、前記磁気素子面より高さが低く、前記空気流入端側隆起面よりも前記空気流出端側に位置する負圧発生面と、を有し、
前記負圧発生面は、前記空気流出端側に設けられた第１の負圧発生面と、前記第１の負圧発生面よりも前記空気流入端側に設けられた第２の負圧発生面と、を有し、
前記第１の負圧発生面と前記第２の負圧発生面は、それぞれ前記横方向に分割して設けられ、
各負圧発生面は、少なくとも前記空気流入側と前記横方向の両側が囲まれた溝部の底面で構成されることを特徴とするものである。
【００１４】
このような磁気ヘッドスライダのディスク対向面の形状により、負圧と正圧のバランスが良好に保たれ、気圧変化による浮上量の変動及び、スキュー角の変化による浮上量の変動の双方を適切に小さくできる。
【００１５】
また本発明では、前記ディスク対向面には、前記磁気素子面から前記空気流入端側へ、前記負圧発生面よりも高く前記磁気素子面以下の高さで延びる第１の延出面が形成され、少なくとも前記第１の延出面の前記横方向の両側に前記第１の負圧発生面が分割形成されていることが好ましい。これにより空気が前記第１の延出面から前記磁気素子面に向けて導かれやすく、また前記磁気素子面に繋がる前記第１の延出面の両側に、第１の負圧発生面が形成されていることで、適切に負圧と正圧をバランス良く保つことができ、前記磁気ヘッドスライダの浮上姿勢の安定化をより適切に保つことができる。
【００１６】
また本発明では、前記ディスク対向面には、前記空気流入端側隆起面よりも前記空気流出端側に、前記磁気素子面と同じ高さであって前記横方向に分割して形成されたサイド隆起面が形成され、前記サイド隆起面は、前記負圧発生面よりも高く前記磁気素子面以下の高さで延びるサイド連結面を介して前記第１の延出面に連結されており、前記第１の延出面、前記サイド連結面及び前記サイド隆起面により囲まれた溝部の底面が前記第１の負圧発生面となっていることが好ましい。これにより、前記空気流出端側に、底面が前記第１の負圧発生面となっている前記溝部を適切に形成することができる。
【００１７】
また本発明では、前記空気流入端側隆起面から前記空気流出端側へ、前記負圧発生面よりも高く前記磁気素子面以下の高さの延出面が形成され、前記延出面には、少なくとも、前記スライダの前記横方向の両側から前記空気流出端側方向に向けて延びるサイド延出面と、前記サイド延出面の間に設けられた中央延出面とを、有し、前記中央延出面の横方向の両側に、前記サイド延出面を有して囲まれた２つの溝部が形成され、前記溝部の底面が夫々、前記第２の負圧発生面となっていることが好ましい。これにより前記第１の負圧発生面より小さいながらも負圧を生じる第２の負圧発生面を適切に形成することができる。
【００１８】
また本発明では、前記磁気素子面と前記空気流入端側隆起面間は、前記第１の延出面と前記中央延出面が繋がった中央連結面によって連結されていることが好ましく、より好ましくは、前記中央連結面は、前記磁気素子面と同じ高さのレール面を有し、前記レール面は前記横方向に複数形成されるとともに、前記磁気素子面と前記空気流入端側隆起面間を連結し、前記レール面間には前記磁気素子面よりも低く負圧発生面よりも高い高さ寸法で形成されたステップ面が形成されていることである。これにより、空気流入端側から空気流出端側に向けて流入された空気が、気圧変化等によって減少しても少ない空気を効率良くスムーズに前記磁気素子面にまで導くことができ、浮上姿勢の安定化をより適切に図ることが出来る。
【００１９】
また本発明では、前記空気流入端側隆起面は、前記横方向に分割して形成され、前記ステップ面が前記空気流入端側隆起面間に延出して形成されていることがさらに好ましい。これにより、空気を、前記空気流入端側隆起面側から磁気素子面に向けて、よりスムーズに導くことができ、浮上姿勢の安定化をより適切に図ることが出来る。
【発明の効果】
【００２０】
本発明では、ディスク対向面に、第１の負圧発生面と、前記第１の負圧発生面よりも空気流入端側に第２の負圧発生面とを設け、しかも前記第１の負圧発生面と前記第２の負圧発生面を、それぞれ横方向に分割して設けている。さらに前記第１の負圧発生面で生じる負圧（絶対値）を前記第２の負圧発生面で生じる負圧（絶対値）より大きくしている。
【００２１】
これにより負圧が適切に空気流出端側で生じ、気圧変化による浮上量の変動を小さく抑えることができる。しかも前記第１の負圧発生面から見て空気流入端側に位置する第２の負圧発生面にも弱いながらも負圧が生じ、しかも前記第１の負圧発生面及び第２の負圧発生面をともに前記横方向に分割形成したことで、前記ディスク上での磁気ヘッドスライダの浮上位置が、前記ディスクの半径方向に変化し、スキュー角変化により前記ディスク対向面とディスク間を流れる空気流の方向が変わっても、正圧と負圧とをバランス良く保つことができ、前記スキュー角の変化による浮上量の変動も、前記気圧変化による浮上量の変動とともに小さくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は、第１実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した斜視図、図２は、図１に示す磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、図３は前記磁気ヘッドスライダを支持部材に取り付けた磁気ヘッド装置の部分斜視図、図４は、本実施の形態の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上で停止している状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、図５は、本実施の形態の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上から浮上した後の状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、図６は、磁気ヘッド装置と磁気ディスクとの平面図、図７は、第２実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した平面図、図８は、第３実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した平面図、図９は、第４実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した平面図、である。
【００２３】
図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１は、磁気ヘッド装置Ｈの一部を構成する。前記磁気ヘッドスライダ１は、例えば図３に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１をディスク対向面２の逆面側から弾性支持する支持部材２２に取り付けられる。前記支持部材２２は板ばねのロードビーム１８と、その先部に設けられた薄い板ばねのフレキシャ（弾性支持部材）１７とを有して構成される（図４を参照）。
【００２４】
前記磁気ヘッド装置Ｈは、磁気ディスク装置内に搭載され、前記磁気ディスク装置内に設けられた磁気ディスクＤに磁気信号を記録したり、あるいは前記磁気ディスクＤに記録された磁気信号を再生する機能を有している。
【００２５】
図４は、前記磁気ディスク装置内に設けられた磁気ディスクＤ上に前記磁気ヘッド装置Ｈを構成する磁気ヘッドスライダ１が停止している状態を示している。図４に示す停止状態から磁気ディスクＤが回転することによって前記磁気ヘッドスライダ１が磁気ディスクＤ上に浮上し、上記した記録・再生が行われる（図５）。
【００２６】
図４に示すように、前記フレキシャ１７の下面には磁気ヘッドスライダ１がディスク対向面２の逆面側から接着固定されている。図４に示すように前記フレキシャ１７には、例えば図示上方向に突き出した球面状のピボットＰが形成されており、このピボットＰの先端がロードビーム１８に当接している。
【００２７】
図４の状態では前記磁気ヘッドスライダ１は、支持部材２２により磁気ディスクＤの記録面に対して弱い弾性力で付勢されている。図５に示すように、磁気ディスクＤが回転し始めると空気流を受けることで前記ピボットＰを揺動支点として、前記磁気ヘッドスライダ１のリーディング側端面Ｓｌが上方に持ち上がる。前記磁気ヘッドスライダ１は磁気ディスクＤ上に浮上すると、磁気ディスクＤのうねりに追従するように前記ピボットＰを揺動支点としてピッチ方向に揺動する。図５に示すように、磁気ヘッドスライダ１は磁気ディスクＤ上に浮上量δで浮上する。以下、「浮上量」というときは、図５に示すように、磁気素子５の表面から磁気ディスクＤ表面までの直線距離（最短距離）で表される。
【００２８】
図１，図２に示すように、磁気ヘッドスライダ１の空気流入端は、「リーディング側端面Ｓｌ」と呼ばれ、空気流出端は、「トレーリング側端面Ｓｔ」と呼ばれている。また以下では、側端面自体を示すのではなく、単に「リーディング側端面に向く方向や、リーディング側端面寄り」を「リーディング側Ｓｌ」と、「トレーリング側端面に向く方向や、トレーリング側端面寄り」を「トレーリング側Ｓｔ」と称する。また、以下では、前記リーディング側端面Ｓｌからトレーリング側端面Ｓｔへ向う方向を縦方向とし、前記縦方向と交差する方向を横方向とする。前記縦方向は図１，図２に示すＹ方向と一致している。また図示Ｘ方向は前記横方向の一つであるが、前記Ｘ方向は前記Ｙ方向と直交する方向であり、この実施形態における「横方向」とは必ずしも前記Ｙ方向と直交するＸ方向だけに限定されない。前記横方向は、前記縦方向（図示Ｙ方向）に対し交わる（cross）方向を意味し、「直交する」よりも広い概念である。ただし、以下では説明の便宜上、横方向（図示Ｘ方向）として説明する。
【００２９】
図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１は、例えばアルミナチタンカーバイトなどで形成されている。
【００３０】
図１，図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１のディスク対向面２には、トレーリング側Ｓｔに、磁気ディスクＤ方向に向けて、前記ディスク対向面２の底面２ａ（ここで言う「底面」とは、ディスク対向面２を図１，図２に示すように上向きにした状態にて、前記ディスク対向面２の最も低い位置にある面を指す）から隆起形成された磁気素子面４が形成されている。図１，図２に示すように、磁気素子５は、前記磁気ヘッドスライダ１のトレーリング側端面Ｓｔに形成され、例えば磁気抵抗効果を利用したスピンバルブ型薄膜素子に代表される再生用のＭＲ素子と、記録用のインダクティブ素子との複合素子であるか、あるいはＭＲ素子及びインダクティブ素子の一方のみで構成されたものである。図１，図２に示すように、前記磁気素子５の周囲はＡｌ２Ｏ３等の保護膜１９によって覆われており、前記保護膜１９も前記磁気素子面４の一部を成している。
【００３１】
前記磁気素子５の表面は前記磁気素子面４から露出しており、上記したように、前記磁気素子５によって磁気ディスクＤに対し記録や再生を行なう。
【００３２】
図１，図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１のリーディング側Ｓｌには、前記磁気素子面４と同じ高さで、前記ディスク対向面２の底面２ａから隆起形成されるとともに、横方向（図示Ｘ方向）に向けて２つに分割形成されたリーディング側隆起面（空気流入端側隆起面）６，７が設けられている。
【００３３】
さらに図１，図２に示すように、各リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａと前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａとの間には、前記磁気素子面４及びリーディング側隆起面６，７と同じ高さ寸法で形成されたレール面８，９が前記ディスク対向面２の底面２ａから隆起形成され、前記レール面８，９によって、各リーディング側隆起面６，７と磁気素子面４とが繋がっている。
【００３４】
図１，図２に示すように、前記レール面８，９の横方向（図示Ｘ方向）の両側には、それぞれ前記磁気素子面４と同じ高さのサイド隆起面１０，１１が前記ディスク対向面２の底面２ａから隆起形成されている。前記サイド隆起面１０，１１は、前記磁気ヘッドスライダ１が磁気ディスクＤ上でロール方向（図示Ｙ方向を軸として回転する方向）に傾いたときに、前記磁気ディスクＤ表面に対して傾く角度を抑制し、前記磁気ヘッドスライダ１の図示Ｘ方向における両側端部が磁気ディスクＤ上に衝突等するのを抑制するための正圧発生面として機能している。図１，図２に示すように、前記サイド隆起面１０，１１の平面形状は略Ｕの字状で形成され、開放端が前記リーディング側Ｓ１に向いている形状であるが、このような形状に限定されるものではない。例えば前記サイド隆起面１０，１１の平面形状はＶ字形状などであってもよい。ただし、前記サイド隆起面１０，１１の平面形状は、前記リーディング側Ｓ１が開放端となっている囲み形状で形成されていることが前記ロール方向への前記磁気ヘッドスライダ１の傾きを適切に抑制でき好ましい。
【００３５】
前記サイド隆起面１０，１１と同じ高さ位置にある前記磁気素子面４，リーディング側隆起面６，７、レール面８，９も、前記サイド隆起面１０，１１と同様に正圧発生面である。
【００３６】
次に、前記磁気素子面４等よりも一段低い面について説明する。図１，図２に示すように、非常に広い面積を有するリーディング側ステップ面１２ａは、前記リーディング側隆起面６、７のリーディング側端部６ｂ，７ｂからリーディング側端部Ｓｌにかけて形成されている。前記リーディング側ステップ面１２ａは、前記ディスク対向面２の底面２ａよりも高く前記リーディング側隆起面６、７よりも低い高さで形成されている。
【００３７】
さらに、前記リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａからトレーリング側Ｓｔに向けて幅寸法の小さいトレーリング側ステップ面１２ｂが、前記リーディング側ステップ面１２ａと同じ高さで形成されている。また図１，図２に示すように前記リーディング側隆起面６、７の内側端部６ｃ，７ｃ間から前記レール面８，９の内側端部８ａ，９ａ間には、前記リーディング側ステップ面１２ａと同じ高さの中央ステップ面１２ｃが形成されている。なお前記中央ステップ面１２ｃは、前記リーディング側ステップ面１２ｃと同じ高さであることに限定されず、また前記中央ステップ面１２ｃすべてが同一の高さでなくても、一部の高さが他の部位の高さと異なっている形態も本実施の形態に含まれる。ただし、前記中央ステップ面１２ｃすべてが、前記リーディング側ステップ面１２ａと同じ高さで形成されることが好ましい。
【００３８】
また図１，図２に示すように前記レール面９の右側端部（外側端部）９ｂには、前記トレーリング側ステップ面１２ｂと前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａ間を連結するレール側方ステップ面２１が、前記リーディング側ステップ面１２ａと同じ高さで形成されている。前記レール側方ステップ面２１は形成されなくてもよい。また前記レール面８の左側端部８ｂに前記レール側方ステップ面が形成されていてもよい。なお以下では、前記レール面８，９、中央ステップ面１２ｃ及び前記レール側方ステップ面２１を合わせて、前記リーディング側隆起面６，７と前記磁気素子面４間を連結する「中央連結面３３」と称する。
【００３９】
さらに図１，図２に示すように、前記トレーリング側ステップ面１２ｂの横方向（図示Ｘ方向）の両側にはトレーリング側Ｓｔに向けて延出するサイド延出面２３，２４が、前記リーディング側ステップ面１２ａと同じ高さで形成されている。
【００４０】
図２に示すように前記サイド隆起面１０，１１と、前記中央連結面３３との間が、サイド連結面２５，２６によって連結されている。前記サイド連結面２５，２６は前記リーディング側ステップ面１２ａと同じ高さで形成されている。前記サイド連結面２５，２６は前記サイド隆起面１０，１１のリーディング側端部１０ａ，１１ａに接続されている。また前記サイド連結面２５，２６は、ピボットＰの中心Ｐｏの位置よりもトレーリング側Ｓｔに形成されている。図２に示すピボットＰの中心Ｐｏの位置は前記ディスク対向面２と逆面側で当接するピボットＰの中心Ｐｏを前記スライダ１の膜厚方向（図示Ｚ方向）にて透写させた位置である。
【００４１】
また図１及び図２に示すように、前記サイド隆起面１０，１１のトレーリング側端部１０ｂ，１１ｂからは前記トレーリング側Ｓｔ方向に向けて延出する延出面２７，２８が形成されている。前記延出面２７，２８は前記リーディング側ステップ面１２ａと同じ高さで形成されている。
【００４２】
上記したように、リーディング側ステップ面１２ａ、トレーリング側ステップ面１２ｂ、レール側方ステップ面２１、サイド延出面２３，２４、サイド連結面２５，２６、延出面２７，２８は、すべて同じ高さで形成されており、これらの面は、特に正圧や負圧を生じさせる面として設けられたものではなく、例えば、リーディング側Ｓｌの空気流入端からトレーリング側Ｓｔの空気流出端に向けて空気を導きやすくするため等に設けられている。
【００４３】
図１，図２に示すように、スライダ１のトレーリング側Ｓｔには、前記中央連結面３３の横方向（図示Ｘ方向）の両側に、前記中央連結面３３、サイド連結面２５，２６、及びサイド隆起面１０，１１により囲まれた第１の溝部２９，３０が形成されている。以下、符号２９の溝部を、第１の右側溝部と、符号３０の溝部を、第１の左側溝部と称する。
【００４４】
また、前記第１の右側溝部２９及び第２の左側溝部３０よりもリーディング側Ｓｌに位置し、前記中央連結面３３の横方向（図示Ｘ方向）の両側に、前記中央連結面３３、トレーリング側ステップ面１２ｂ、及びサイド延出面２３，２４により囲まれた第２の溝部３１，３２が形成されている。以下、符号３１の溝部を、第２の右側溝部、符号３２の溝部を、第２の左側溝部と称する。
【００４５】
前記第１の右側溝部２９、第１の左側溝部３０、第２の右側溝部３１及び第２の左側溝部３２の各々の底面２９ａ，３０ａ，３１ａ，３２ａは、前記ディスク対向面２の底面２ａと一致し、図１，図２に示す実施形態では、図１，図２のようにディスク対向面２を上向きにしたときに最も低い位置にある面となっている。そして前記第１の右側溝部２９、第１の左側溝部３０、第２の右側溝部３１及び第２の左側溝部３２の各々の底面２９ａ，３０ａ，３１ａ，３２ａは負圧発生面である。前記底面２９ａを、第１の右側負圧発生面２９ａ、前記底面３０ａを、第１の左側負圧発生面３０ａ、前記前記底面３１ａを、第２の右側負圧発生面３１ａ、前記底面３２ａを、第２の右側負圧発生面３２ａと称する。
【００４６】
図１及び図２に示す本実施の形態では、上記したように、スライダ１のトレーリング側Ｓｔに、横方向（図示Ｘ方向）に分割して、前記第１の右側溝部２９、及び第１の左側溝部３０が形成され、前記第１の右側溝部２９及び第１の左側溝部３０よりもリーディング側Ｓｌに、横方向（図示Ｘ方向）に分割して、第２の右側溝部３１、及び第２の左側溝部３２が形成され、各溝部の底面が負圧発生面となっている。そして第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａで生じる負圧（絶対値）は、第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａで生じる負圧（絶対値）よりも大きくなっている。ここで、「第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａで生じる負圧（絶対値）」とは、前記第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａの夫々で生じる負圧の合計を指す。同様に、「第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａで生じる負圧（絶対値）」とは、第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａの夫々で生じる負圧の合計を指す。以下、同じである。なお第１の右側負圧発生面２９ａで生じる負圧（絶対値）が、前記第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａの各々で生じる負圧（絶対値）に比べて大きく、同様に、前記第１の左側負圧発生面３０ａで生じる負圧（絶対値）が、前記第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａの各々で生じる負圧（絶対値）よりも大きい関係となっていることが好ましい。
【００４７】
これにより、負圧は、トレーリング側Ｓｔにて効果的に発生し、正圧と負圧が特にトレーリング側Ｓｔにてバランス良く保たれ、気圧変化による浮上量の変動を小さく抑えることができる。また、第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａよりもリーディング側Ｓｌにある第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａに、小さい負圧が生じ、しかも前記第１の右側負圧発生面２９ａと第１の左側負圧発生面３０ａ、及び第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａが夫々、横方向（図示Ｘ方向）に分割形成されたことで、磁気ディスクＤ上での磁気ヘッドスライダ１の浮上位置が、図６のように前記磁気ディスクＤの半径方向に変化し、スキュー角が変化した場合でも、正圧と負圧をバランスよく保つことができ、前記磁気ディスクＤ上での前記スキュー角の変化による浮上量の変動を、前記気圧変化による浮上量の変動とともに小さくできる。
【００４８】
図１，図２に示すように、前記第１の右側溝部２９及び第１の左側溝部３０は、夫々、中央連結面３３、サイド連結面２５，２６、サイド隆起面１０，１１に囲まれた形状であるため、前記第１の右側溝部２９及び第１の左側溝部３０の底面が効果的に負圧を生じる負圧発生面２９ａ，３０ａとして機能し、特に第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａは、前記第２の右側溝部３１、及び第２の左側溝部３２に比べて、縦方向（Ｙ方向）に長い形状で形成されており、これにより、大きな負圧が生じる。
【００４９】
一方、前記第２の右側溝部３１、第２の左側溝部３２は夫々、中央連結面３３、トレーリング側ステップ面１２ｂ、サイド延出面２３，２４に囲まれた形状であるため、前記前記第２の右側溝部３１及び第２の左側溝部３２の底面も負圧が生じる負圧発生面となっている。しかし、サイド延出面２３，２４の縦方向（図示Ｙ方向）の長さが十分に長くなく、前記溝部３１，３２が十分に囲まれていないこと、前記第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の左側負圧発生面３２ａに隣接するリーディング側隆起面６，７で非常に大きな正圧が生じること等から、前記第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の左側負圧発生面３２ａで生じる負圧（絶対値）は、前記第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａで生じる負圧（絶対値）に比べて小さくなる。
【００５０】
また図１，図２に示す実施の形態では、各リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａと、前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａとの間を、前記磁気素子面４及び前記リーディング側隆起面６，７と同じ高さで隆起形成されたレール面８，９によって繋ぐとともに、前記リーディング側隆起面６，７間及びレール面８，９間に、前記磁気素子面４よりも低く底面２ａよりも高い高さ寸法を有する中央ステップ面１２ｃを設けている。
【００５１】
このように、前記磁気素子面４及び前記リーディング側隆起面６，７と同じ高さのレール面８，９によって前記磁気素子面４と前記リーディング側隆起面６，７の間を繋ぐことで、空気流入端側にある各リーディング側隆起面６，７で圧縮された空気が、段差等の障害がなく同一平面のレール面８，９及び中央ステップ面１２ｃを通って前記磁気素子面４にまで導かれやすく、気圧変化等によって流入空気量が減少しても、効率良く空気を前記磁気素子面４に集めることができ、適切な大きさの正圧を生じさせることができる。
【００５２】
また前記リーディング側隆起面６，７間及びレール面８，９間に設けられた中央ステップ面１２ｃに流入した空気は、図示Ｘ方向の両側にある、高さの高いリーディング側隆起面６，７及びレール面８，９で流入方向が適切に規制され、スムーズに磁気素子面４にまで流れる。
【００５３】
図２に示すように、前記レール面８，９の図示Ｘ方向にて相対向する内側端部８ａ，９ａはそれぞれ、前記リーディング側隆起面６，７の図示Ｘ方向にて相対向する内側端部６ｃ，７ｃに連続して形成されているため前記中央ステップ面１２ｃに流入した空気はスムーズに磁気素子面４にまで導かれる。
【００５４】
なお図１，図２では前記レール面８，９どうしは平行に形成されているが、そのような形態に限るものではない。
【００５５】
また、各リーディング側隆起面６，７の面積を足した面積は、前記磁気素子面４の面積よりも大きくなっている。図５で説明したように磁気ヘッドスライダ１は浮上時、リーディング側端面Ｓｌがトレーリング側端面Ｓｔよりも高く浮上する傾斜姿勢をとるようにするため、磁気ヘッドスライダ１のリーディング側Ｓｌがトレーリング側Ｓｔよりも強い正圧を受ける必要がある。このため、正圧発生面である各リーディング側隆起面６，７の面積を足した面積は前記磁気素子面４の面積よりも大きく形成されている。
【００５６】
図７ないし図９は図１及び図２に示す実施の形態のスライダ１のディスク対向面２の一部を変えた変形例である。
【００５７】
なお図７ないし図９は、いずれも図１及び図２と同様に、スライダ１のトレーリング側Ｓｔに、横方向（図示Ｘ方向）に分割して、前記第１の右側溝部２９、及び第１の左側溝部３０を形成し、前記第１の右側溝部２９及び第１の左側溝部３０よりもリーディング側Ｓｌに、横方向（図示Ｘ方向）に分割して、第２の右側溝部３１、及び第２の左側溝部３２を形成し、各溝部の底面を負圧発生面としている。さらに、第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａで生じる負圧（絶対値）を、第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａで生じる負圧（絶対値）よりも大きくしている点で共通している。
【００５８】
これにより、図７ないし図９に示す実施の形態においても、負圧は、トレーリング側Ｓｔにて効果的に発生し、正圧と負圧が特にトレーリング側Ｓｔにてバランス良く保たれ、気圧変化による浮上量の変動を小さく抑えることができる。また、スキュー角の変化によっても、正圧と負圧とをバランス良く保つことができ、前記スキュー角の変化による浮上量の変動を小さくできる。
【００５９】
図７に示す実施の形態では、リーディング側隆起面４０が、一つだけ形成されている。図７に示すレール面８，９は前記リーディング側隆起面４０に接続されていないが、接続されていてもよい。図１，図２に示す実施の形態に比べてリーディング側ステップ面１２ａから中間ステップ面１２ｃにかけて流れる空気流に乱れが生じたり、あるいは空気量が減少する可能性があるが、特許文献１等、従来の磁気ヘッドスライダに比べれば、気圧変化による浮上量の変動及びスキュー角の変化による浮上量の変動を小さく抑えることができる。
【００６０】
図８に示す実施の形態では、図１及び図２と異なって、前記磁気素子面４とリーディング側隆起面６，７間を連結していない。図８では、前記磁気素子面４に接続された前記レール面８，９はリーディング側Ｓｌに延出形成されているものの、前記リーディング側隆起面６，７とは接続されておらず、途中で切れている。また前記レール側方ステップ面２１も前記リーディング側隆起面７に接続されておらず、途中で切れている。図８に示すレール面８，９及びレール側方ステップ面２１は、前記磁気素子面４からリーディング側Ｓｌに延びる「第１の延出面」を構成している。
【００６１】
図８に示すように、前記サイド隆起面１０，１１と前記第１の延出面間はサイド連結面２５，２６を介して連結されており、前記サイド隆起面１０，１１、第１の延出面及びサイド連結面２５，２６に囲まれた第１の右側溝部２９及び第１の左側溝部３０の底面に、第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａが形成されている。
【００６２】
図８では、前記リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａからトレーリング側Ｓｔに向かってトレーリング側ステップ面１２ｂが形成されており、前記トレーリング側ステップ面１２ｂの図示Ｘ方向の両側からは、さらにトレーリング側Ｓｔに向けてサイド延出面２３，２４が延出形成されている。さらに図８に示すように前記サイド延出面２３，２４の間であって、ちょうど前記「第１の延出面」と長さ方向（図示Ｙ方向）にて対向する位置に前記トレーリング側ステップ面６から中央延出面４５が延出形成されている。そして図８に示す実施の形態では、前記中央延出面４５、トレーリング側ステップ面１２ｂ及びサイド延出面２３，２４により囲まれた第２の右側溝部３１及び第２の左側溝部３２の底面に、第１の右側負圧発生面３１ａ及び第１の左側負圧発生面３２ａが形成されている。
【００６３】
図８に示す実施の形態では、磁気素子面４とリーディング側隆起面６，７間が完全に連結されていないので、図１，図２に示す実施の形態に比べてリーディング側ステップ面１２ａから前記磁気素子面４にまで空気が流れる間に空気流が乱れたり、あるいは空気量が減少する可能性があるが、特許文献１等、従来の磁気ヘッドスライダに比べれば、気圧変化による浮上量の変動及びスキュー角の変化による浮上量の変動を小さく抑えることができる。
【００６４】
図９に示す実施の形態では、図７と同様にリーディング側隆起面４０が一つだけ形成されている。図９では前記磁気素子面４と前記リーディング側隆起面４０間が前記磁気素子面４及びリーディング側隆起面４０と同じ高さで形成された連結面４７により連結されており、図７のように二本のレール面８，９及び前記レール面８，９間に形成された中間ステップ面１２ｃにより連結された形状ではない。図９は、図７に示すレール面８，９間を前記レール面８，９と同じ高さで埋めた形態となっている。
【００６５】
図９に示す形態の磁気ヘッドスライダ１は、図１及び図２に示す実施の形態の磁気ヘッドスライダ１に比べて、気圧変化による浮上量の変動及びスキュー角の変化による浮上量の変動の双方を適切に小さく抑えることができないものの、特許文献１等、従来の磁気ヘッドスライダに比べて、気圧変化による浮上量の変動及びスキュー角の変化による浮上量の変動を小さく抑えることができる。
【実施例】
【００６６】
図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ（実施例）を作製した。
実験では、上記した磁気ヘッドスライダを、図３に示す支持部材２２に取り付け、図６に示すように磁気ディスクＤ上に浮上させた。このとき、図６に示すように、磁気ヘッドスライダの磁気ディスクＤ上の位置を、磁気ディスクＤの中心から半径方向に向けて変化させ、実験を行う各実験位置にて、平地（０ｍ、sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量と、高地（１０ｋｆｔ）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量を測定した。
【００６７】
その実験結果を図１２に示す。図１２に示すように、平地（０ｍ、sea level）の気圧下では、磁気ディスクＤ上での磁気ヘッドスライダの位置が変化することによって変わるスキュー角に対する浮上量の変動は非常に小さいことがわかった。高地（１０ｋｆｔ）の気圧下では、スキュー角の変化に対する浮上量の変動は、前記平地の気圧下に比べて大きくなるものの、次に示す比較例の磁気ヘッドスライダに比べて、気圧変化による浮上量の変動及びスキュー角の変化に対する浮上量の変動の双方を適切に小さくできることがわかった。
【００６８】
比較例１の磁気ヘッドスライダとして図１０に示す磁気ヘッドスライダを作製した。図１０の磁気ヘッドスライダと、図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１とを対比すると、図１０の磁気ヘッドスライダには、図１及び図２と異なってサイド延出面２３，２４が形成されていない。図１０に示すように、リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａに形成されたトレーリング側ステップ面１２ｂよりもトレーリング側Ｓｔには、溝部５０，５１が形成されているが、前記溝部５０，５１の底面は負圧発生面として機能していないと考えられる。それは前記サイド延出面２３，２４が形成されていないからであり、リーディング側Ｓｌから前記溝部５０，５１に流れた空気は、前記溝部５０，５１からスライダの外側に抜け出てしまい、この結果、負圧が前記溝部５０，５１で生じないと考えられる。また後述するように特許文献１の図２８とほぼ同じ形状の磁気ヘッドスライダを作製したところ、特許文献１の図２８の形状も、符号５のランド部と、符号２ｂの動圧発生部との間にある溝部で負圧が生じていないことがわかった。特許文献１の図２８の形状も図１０と同様に前記溝部にサイド延出面が形成されていない。このことから前記溝部の底面で適切に負圧を生じさせるには、前記溝部を、リーディング側Ｓｌと横方向（図示Ｘ方向）の両側とにより囲まれた形状で形成することが必要である。
【００６９】
ただし図１０に示す磁気ヘッドスライダでは、サイド隆起面１０，１１、サイド連結面２５，２６及び中央連結面３３で囲まれた溝部２９，３０の底面２９ａ，３０ａは図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダと同様、負圧発生面として機能している。すなわち図１０に示す磁気ヘッドスライダには、負圧発生面２９ａ，３０ａが２つ存在する。一方、図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１（実施例）には、前記負圧発生面２９ａ，３０ａ，３１ａ，３２ａは全部で４つある。そして図１０に示す磁気ヘッドスライダ（比較例１）と、図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ（実施例）を、図３に示す支持部材２２に取り付け、図６に示すように磁気ディスクＤ上に浮上させた。このとき、図６に示すように、磁気ヘッドスライダを、磁気ディスクＤの中心から、ちょうどディスク半径のほぼ中間にあたるの位置ＭＤ（ディスク中心から１１．６３ｍｍ）、前記位置ＭＤよりも内側の位置ＩＤ（ディスク中心から６．６３ｍｍ）、前記位置ＭＤよりも外側の位置ＯＤ（ディスク中心から１６．６３ｍｍ）のそれぞれで、平地（０ｍ、sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量と、高地（１０ｋｆｔ）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量を測定した。そして、高地の気圧下での気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量を、平地の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量で割った浮上量率（高地での磁気ヘッドスライダの浮上量／平地での磁気ヘッドスライダの浮上量）を、実施例及び比較例１の磁気ヘッドスライダにおいて求めた。その実験結果を図１３に示す。
【００７０】
図１３に示すように、前記浮上量率は、実施例のほうが比較例１よりも大きくなることがわかった。すなわち実施例のほうが比較例に比べて気圧変化による浮上量の変動を小さくできることがわかった。
【００７１】
次に比較例２の磁気ヘッドスライダとして図１１に示す磁気ヘッドスライダを作製した。図１１の磁気ヘッドスライダと、図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１とを対比すると、図１１の磁気ヘッドスライダには、図１及び図２と異なってサイド隆起面１０，１１と中央連結面３３間がサイド連結面２５，２６によって連結されていない。よって図１１に示す磁気ヘッドスライダには図１及び図２に示す第１の右側溝部２９及び第２の左側溝部３０が形成されておらず、当然、第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａも形成されていない。ただし図１１に示す磁気ヘッドスライダには図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダと同様に、中央連結面３３、トレーリング側ステップ面１２ｂ及びサイド延出面２３，２４で囲まれた溝部３１，３２が形成され、前記溝部３１，３２の底面３１ａ，３２ａは負圧発生面となっている。
【００７２】
したがって図１１に示す磁気ヘッドスライダ（比較例２）には、負圧発生面３１ａ，３２ａが２つ存在する。一方、図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１（実施例）には、前記負圧発生面２９ａ，３０ａ，３１ａ，３２ａは全部で４つある。そして図１１に示す磁気ヘッドスライダ（比較例１）と、図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ（実施例）を、図３に示す支持部材２２に取り付け、図６に示すように磁気ディスクＤ上に浮上させた。そして上記と同様の条件にて浮上量率の測定を行った。その実験結果を図１４に示す。
【００７３】
図１４に示すように、前記浮上量率は、実施例のほうが比較例２よりも大きくなることがわかった。すなわち実施例のほうが比較例２に比べて気圧変化による浮上量の変動を小さくできることがわかった。
【００７４】
この実験結果から、図１及び図２に示すように、スライダのトレーリング側Ｓｔに、横方向（図示Ｘ方向）に分割して、前記第１の右側溝部２９、及び第１の左側溝部３０を形成し、前記第１の右側溝部２９及び第１の左側溝部３０よりもリーディング側Ｓｌに、横方向（図示Ｘ方向）に分割して、第２の右側溝部３１、及び第２の左側溝部３２を形成し、各溝部の底面を負圧発生面とすることが好ましいことがわかった。すなわち４つの負圧発生面を形成することが好ましいことがわかった。
【００７５】
次に図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１の第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の左側負圧発生面３０ａで生じる負圧と、第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の右側負圧発生面３２ａで生じる負圧とを測定した。その結果、前記第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の右側負圧発生面３０ａで生じる負圧（合計の負圧）が−０．４５０ｇｆで、前記第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の左側負圧発生面３２ａで生じる負圧（合計の負圧）が−０．２３０ｇｆであり、負圧の絶対値は、前記第１の右側負圧発生面２９ａ及び第１の右側負圧発生面３０ａで生じる負圧（絶対値）のほうが前記第２の右側負圧発生面３１ａ及び第２の左側負圧発生面３２ａで生じる負圧（絶対値）よりも大きくなることがわかった。
【００７６】
次に、特許文献１に示す図２８とほぼ同様の形状の磁気ヘッドスライダを作製した。特許文献１の図２８に対する詳細な説明欄では、図２８に示す切欠部８１ａ，８１ｂの部分では負圧が発生していると記載されているが（特許文献１の[０１３４]欄）、特許文献１の図２８に示すランド部５と、動圧発生部２ｂとの間にある溝部について詳しい説明が無い。よって本発明者は特許文献１の図２８の磁気ヘッドスライダの前記切欠部８１ａ，８１ｂ及び溝部での負圧を測定した。すると前記切欠部８１ａ，８１ｂでは、−０．４５７ｇｆの負圧（合計の負圧）が生じていたが、リーディング側にある前記溝部では負圧が生じていないことがわかった。よって特許文献１の図２８に示す磁気ヘッドスライダは本実施例の磁気ヘッドスライダのように４つの負圧発生面が形成されておらず、２つの負圧発生面が存在するだけであった。
【００７７】
特許文献１に示す図２８の磁気ヘッドスライダ（比較例３）の気圧変化に対する浮上量率が、図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ（実施例）の場合とほぼ同様の前記浮上量率となるように、例えば、前記磁気ヘッドスライダ（比較例３）のランド部９ａ，９ｂの位置や溝の深さを若干変えると、図１５に示すように、磁気ヘッドスライダの浮上量（図５のδ）が、磁気ディスク中心からの磁気ヘッドスライダの位置によって大きく変動してしまい（実験では気圧をsea  levelとして行った）、前記スキュー角の変化に対する浮上量の変動を小さくすることができないことがわかった。
【００７８】
一方、特許文献１に示す図２８の磁気ヘッドスライダ（比較例３）の前記スキュー角の変化に対する浮上量の変動が、図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ（実施例）の場合とほぼ同様となるように調整すると、今度は、図１６に示すように、気圧変化に対する浮上量率が大きく低下することがわかった。
【００７９】
図１６には、図１及び図２に示す実施例の磁気ヘッドスライダの前記気圧変化に対する浮上量率も掲載されている。実施例に比べて比較例３の磁気ヘッドスライダでは大きく前記気圧変化に対する浮上量率が小さくなることがわかった。このことから比較例３の磁気ヘッドスライダの形状では、前記気圧変化に対する浮上量の変動、及び前記スキュー角の変化に対する浮上量の変動の双方を同時に小さくすることができないのに対し、実施例の磁気ヘッドスライダの形状では、前記気圧変化に対する浮上量の変動、及び前記スキュー角の変化に対する浮上量の変動の双方を同時に小さくすることができることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】第１実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した斜視図、
【図２】図１に示す磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、
【図３】前記磁気ヘッドスライダを支持部材に取り付けた磁気ヘッド装置の部分斜視図、
【図４】本実施の形態の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上で停止している状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、
【図５】本実施の形態の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上から浮上した後の状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、
【図６】磁気ヘッド装置と磁気ディスクとの平面図、
【図７】第２実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した平面図、
【図８】第３実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した平面図、
【図９】第４実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した平面図、
【図１０】比較例１の磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、
【図１１】比較例２の磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、
【図１２】高地（１０ｋｆｔ）の気圧下及び平地（sea level）の気圧下の夫々において、実施例の磁気ヘッドスライダを用いた場合における磁気ディスク中心からの前記磁気ヘッドスライダの位置と、浮上量との関係を示すグラフ、
【図１３】実施例の磁気ヘッドスライダと比較例１の磁気ヘッドスライダを用いて、平地（sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量に対する、高地（３０４８ｍ）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量の浮上量率（％）を、磁気ディスクＤ上の各位置ＩＤ，ＭＤ，ＯＤにて求めたグラフ、
【図１４】実施例の磁気ヘッドスライダと比較例２の磁気ヘッドスライダを用いて、平地（sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量に対する、高地（３０４８ｍ）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量の浮上量率（％）を、磁気ディスクＤ上の各位置ＩＤ，ＭＤ，ＯＤにて求めたグラフ、
【図１５】実施例の磁気ヘッドスライダと比較例３の磁気ヘッドスライダを用いた場合における磁気ディスク中心からの前記磁気ヘッドスライダの位置と、浮上量との関係を示すグラフ、
【図１６】実施例の磁気ヘッドスライダと比較例３の磁気ヘッドスライダを用いて、平地（sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量に対する、高地（３０４８ｍ）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量の浮上量率（％）を、磁気ディスクＤ上の各位置ＩＤ，ＭＤ，ＯＤにて求めたグラフ、
【符号の説明】
【００８１】
１  磁気ヘッドスライダ
２  ディスク対向面
４  磁気素子面
５  磁気素子
６、７、４０  リーディング側隆起面
８、９  レール面
１０、１１  サイド隆起面
１２  ステップ面
２３、２４  サイド延出面
２５、２６  サイド連結面
２９  第１の右側溝部
２９ａ  第１の右側負圧発生面
３０  第１の左側溝部
３０ａ  第１の左側負圧発生面
３１  第２の右側溝部
３１ａ  第２の右側負圧発生面
３２  第２の左側溝部
３２ａ  第２の左側負圧発生面
３３  中央連結面
４５  中央延出面
４７  連結面
Ｄ  磁気ディスク面
Ｓｌ  リーディング側端面
Ｓｔ  トレーリング側端面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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