(57)【要約】【課題】  金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができ、且つ、製品品質を損傷しない、トリミング線部の金属疲労促進装置およびトリミング線部の金属疲労促進方法を提供する。同時に、このようなトリミング線部の金属疲労促進装置を組込んだエッチング加工製品の製造装置を提供する。【解決手段】  ベルトの一面に金属ワークとを沿わせた状態で、その両側のロールにて押圧し、金属ワークにその搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部における金属疲労を促進させる、金属ワークのトリミング線部の金属疲労促進通路を備え、更に、前記隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段を備えている。【選択図】  図１
2006224247.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状に連続する金属シートがエッチング加工されて、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と不要部とを一体的に連結している帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させる、トリミング線部の金属疲労促進装置であって、金属ワークの搬送方向に進行しながら、その一方の面に金属ワークを沿わせるためのベルトと、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように（ジグザグに）配置された、複数のロールとを有し、前記凹側のロールと前記凸側のロール間において、前記ベルトと金属ワークとを沿わせた状態で、その両側のロールにて押圧し、金属ワークにその搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部における金属疲労を促進させる、金属ワークのトリミング線部の金属疲労促進通路を備え、更に、前記隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段を備えていることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。
【請求項２】
請求項１に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記金属ワークは磁性体からなり、前記金属ワーク制御手段は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつける磁石を配したものであることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。
【請求項３】
請求項２に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記他方の面側のロール自体に磁石を配していることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記ベルトと金属ワークとを、搬送方向に沿う平面上に配列された複数の第１の回転ロールと、前記搬送方向に沿う平面に平行な平面上、各々が各隣接する前記第１の回転ロール間に配され、且つ、一体で位置移動可能である複数の第２の回転ロールとの間で、搬送するもので、複数の第２の回転ロールを一体的に位置移動することにより、前記第１の回転ロールと前記第２の回転ロールとの距離（間隔）を制御するものであることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記ベルトの張力を調整するためのベルトテンションロール部を備えていることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載のトリミング線部の金属疲労促進装置を備えたことを特徴とするエッチング加工製品の製造装置。
【請求項７】
帯状に連続する金属シートがエッチング加工されて、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と不要部とを一体的に連結している帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させて製品と不要部とを分離しやすくする、トリミング線部の金属疲労促進方法であって、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように（ジグザグに）配置された複数のロールにより、案内されて、蛇行しながら、金属ワークの搬送方向に進行するベルトの一方の面側に沿わせて、金属ワークを搬送して、そのトリミング線部に金属疲労を進行させるもので、隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御することを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進方法。
【請求項８】
請求項７に記載のトリミング線部の金属疲労促進方法であって、前記金属ワークは磁性体からなり、前記金属ワーク制御部は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつけるものであることを特徴とするトリミング線部の金属疲労促進方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工素材である金属板材からエッチング加工により作製されるエッチング加工製品に関し、特に、シャドウマスク製品、リードフレーム製品等の加工素材である金属板材からのトリミング線部により分離を容易にする方法、装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラーＴＶ（ブラウン管）用のシヤドウマスクは、使用量の拡大に伴い量産化が進み、且つ、その使用目的によっては、ファイン化、大型化等が求められている。
このようなシヤドウマスクは、一般には、帯状に連続する金属板材６００を素材（図４（ａ））として用い、一貫ラインで生産されており、簡単には、帯状に連続する金属板材６００を連続ないし間欠的に移動させながら、製版、エッチングして、各シヤドウマスクの製品部（これをシヤドウマスクと言う）６１１の外周部が金属板材６００に保持されるようにして、且つ、該金属板材６００にシヤドウマスク６１１を面付けした状態にして外形加工される。（図４（ｂ））
そして、この後、図４（ｃ）に示すように、一旦、金属板材６００を断裁し、断裁された金属シート６１０、６１０Ａから各シヤドウマスク６１１を分離する（図４（ｄ））トリミング方法（オフライン方式）が一般には採られている。
金属板材６００から断裁された金属シートは、図４（ｃ）（ロ）に示すように、シヤドウマスク１個（単面付け）の外側に不要の金属板部６１２を付けた状態のもの、あるいは、図４（ｃ）（イ）に示すように、図４（ｃ）（ロ）のものを複数個１つのシートにした状態のものである。
このトリミング方法としては、あらかじめ、エッチングにより、シヤドウマスクの外周に、ハーフエッチング部およびまたは貫通孔部を形成したシヤドウマスクの外周線（以下トリミング線とも言う）を設けておき、シヤドウマスクの外周線（トリミング線とも言う）に合った押さえ型により、シヤドウマスクの製品部を押さえ、人が不要の金属板部６１２を持ち上げて、これを製品部から分離する第１の方法や、人手ではなく、装置が、不要の金属板部６１２を上下に折り曲げて分離する第２の方法等が採られていた。
尚、第１の方法や第２の方法によるトリミングは、エッチング加工ラインに組みこまれたものではなく、オフライントリミング方法とも呼ばれ、また、第２の方法で用いられる装置は、エッチング加工ラインに組みこまれたものではなく、オフライントリミング装置あるいはオフラインむしり機とも言われている
そしてまた、以下、エッチング加工ラインに組みこまれたトリミング方法をインライントリミング方法と言う。
【０００３】
しかし、これらの方法は、品種別の押さえ型が必要で、特に、装置による第２の方法においては、型のコストがかかり、段取り替えに時間がかかると言う問題があった。
また、トリミングには時間がかかり、効率的ではないと言う問題もある。
このため、トリミング作業の生産性向上、コスト削減のためトリミング工程のインライン化が図られている。
例えば、特開２００２−３７０１９７号公報（特許文献１）に記載のような、トリミング線部に金属疲労を与えて弱らせることなく、外むしりにより、製品部と不要部とを分離する方法が、本願出願人から提案されている。
尚、ここで、「外むしり」とは、製品部外側の不要部を引っ張り破断する際、製品部から外側に向かい引っ張りながら破断する方法を言う。
このインライントリミング方法には、製品のサイズや面付け、品種が異なる場合等において、種々問題があり、エッチング加工ラインで未だ実用化されていない。
【特許文献１】特開２００２−３７０１９７号公報
【０００４】
更に、図３に示す、本出願人による出願の特開２００１−２６６７４１号公報（特許文献２）に記載のように、エッチング加工ラインにインライン接続して、トリミング線部に金属疲労を与えて弱らせてから、製品部と不要部とを、分離するように引っ張る、インライントリミング方法が、本願出願人から提案されている。
図３に示すインライントリミング方法は、上下２つの搬送ベルト４５１、４５６で、搬送方向に対し上下する、凹凸形状の金属ワーク４２０の通路を形成し、製品とトリミング線部とを設けた金属ワーク４２０を、上下２つの搬送ベルト４５１、４５６で挟みながら搬送し、凹凸形状の金属ワークの通路を通過させ、金属ワークに、凹凸形状の金属ワークの通路形状に対応した折り曲げを与え、トリミング線部にて製品４１０と不要部４２０とを分離するものである。
ここでの金属ワーク４２０は、帯状に連続する金属シートをエッチング加工して、製品と、該製品の全周辺にハーフエッチング部と貫通孔部とからなり、ハーフエッチング部にて製品と不要部とを一体連結するトリミング線部とを設けている、帯状に連続するものである。
しかし、この方法においては、製品とトリミング線部とを設けた金属ワーク４２０を、上下２つの搬送ベルト４５１、４５６で挟みながら搬送し、凹凸形状の金属ワークの通路を通過させるため、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができなく、問題となっていた。
上下のロール４５３、４５８にベルトを張り、ニップした状態でシートを通した場合には、ベルトのなりに進んでいくため、確実にトリミング線部を弱らせることは困難である。
尚、図３において、Ｂ０は不要部と製品部を引っ張り分離する分離部である。
【特許文献２】特開２００１−２６６７４１号公報  また、特開２００１−２６６７４２号公（特許文献３）には、トリミング線部に金属疲労を与えて弱らせてから、製品部と不要部とを分離するインライントリミング方法で、製品と不要部とを分離する際に、金属ワークを磁石で引き付けて分離をし易くする方法も提案されている。  この方法の場合も、特開２００１−２６６７４１号公報に記載のものと、基本的に同じく、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができないという問題を抱えている。
【特許文献３】特開２００１−２６６７４２号公報
【０００５】
尚、ロールのみを用いて、金属ワークのトリミング線部に折曲げを与えて、トリミング線部を金属疲労させ弱らせる方法方法もあるが、この場合、波状のうねりの角度をつけると、トリミング線部が弱まるが、トリミング線部が破断し、製品部がロールに直接、接触して品質不良になる。
さらに、面付けの前部分と後部分においてはトリミング線部の弱らせ度合（金属疲労度合のこと）が変わる問題が起こる。
【０００６】
また、製品部と不要部とを分離するトリミングの前処理として、トリミング線部に金属疲労を促進して、トリミングを容易に行えるようにする方法が、本願発明者により、特願２００４−１７８９２９にて提案されている。
この方法は、いわば、特開２００１−２６６７４１号公報（特許文献２）に記載のトリミング線部の金属疲労促進方法を改善したもので、簡単には、第１のベルトと第２のベルトとの間を帯状の金属ワークの通路として、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す該金属ワークの通路を、金属ワークが通過するようにして、そのトリミング線部の金属疲労を促進するものであるが、前記通路の凹箇所あるいは凸箇所において、金属ワークと、金属ワークが搬送方向に直交する方向に突出する側のベルトとの間に間隙を発生させ、更に、搬送方向に対する金属ワークの曲げ変位量や各ベルトの曲げ角を制御して、前記通路を、金属ワークが通過するようにするものである。
しかしながら、このトリミング線部の金属疲労促進方法においても、金属ワークはベルトなりに進み、トリミング線部における折り曲げ効果が十分に得られず、金属疲労が十分に促進されないという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、近年、シャドウマスク等の金属のエッチング加工においては、生産性の面、コスト面から、インライントリミング方法が求められ、これに対応して、エッチング加工ラインにインライン接続して、トリミング線部に金属疲労を与えて弱らせてから、製品部と不要部とを、分離するように引っ張る、インライントリミング方法が、本願出願人により、特開２００１−２６６７４１号公報や、特開２００１−２６６７４２号公報に記載されるように、提案されているが、これらに記載のトリミング線部に金属疲労促進方法では、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができないという問題を抱えており、この対応が求められていた。
そして、特願２００４−１７８９２９にて提案した、トリミング線部に金属疲労を促進方法も、金属ワークはベルトなりに進み、実用レベルでは、やはり、トリミング線部における折り曲げ効果が十分に得られず、金属疲労が十分に促進されないという問題があり、その対応が求められていた。
本発明はこれに対応するもので、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができ、且つ、製品品質を損傷しない、トリミング線部の金属疲労促進装置およびトリミング線部の金属疲労促進方法を提供しようとするものである。
同時に、このようなトリミング線部の金属疲労促進装置を組込んだエッチング加工製品の製造装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のトリミング線部の金属疲労促進装置は、帯状に連続する金属シートがエッチング加工されて、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と不要部とを一体的に連結している帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させる、トリミング線部の金属疲労促進装置であって、金属ワークの搬送方向に進行しながら、その一方の面に金属ワークを沿わせるためのベルトと、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように（ジグザグに）配置された、複数のロールとを有し、前記凹側のロールと前記凸側のロール間において、前記ベルトと金属ワークとを沿わせた状態で、その両側のロールにて押圧し、金属ワークにその搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部における金属疲労を促進させる、金属ワークのトリミング線部の金属疲労促進通路を備え、更に、前記隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段を備えていることを特徴とするものである。
そして、上記トリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記金属ワークは磁性体からなり、前記金属ワーク制御手段は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつける磁石を配したものであることを特徴とするものであり、前記他方の面側のロール自体に磁石を配していることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかのトリミング線部の金属疲労促進装置であって、前記ベルトと金属ワークとを、搬送方向に沿う平面上に配列された複数の第１の回転ロールと、前記搬送方向に沿う平面に平行な平面上、各々が各隣接する前記第１の回転ロール間に配され、且つ、一体で位置移動可能である複数の第２の回転ロールとの間で、搬送するもので、複数の第２の回転ロールを一体的に位置移動することにより、前記第１の回転ロールと前記第２の回転ロールとの距離（間隔）を制御するものであることを特徴とするものである。
尚、ここでは、トリミング線部とは、製品を不要部から分離し易くするため、製品外周全体に沿い、エッチング加工により、ハーフエッチング部およびまたは貫通孔部を形成した、製品外周の線状部分を意味する。
また、ここで言う金属疲労の促進とは、トリミング線の一部が破断するものも含む。
上記において、金属ワークを搬送する方向を巨視的にみた、通路の凹凸を除いた直線的な方向を搬送方向としている。
また、回転ロールとは、ベアリング等で支持されて固定された、回転が可能であるロールのことで、ローラとも言う。
また、ここで、「第１の回転ロールと第２の回転ロールとの距離（間隔）」とは、複数の第１の回転ロールあるいは複数の第２の回転ロールをその上に配する、搬送方向に沿う平面に、直交する方向における、第１の回転ロールの中心（軸中心）と第２の回転ロールの中心（軸中心）との距離である。
【０００９】
本発明のエッチング加工製品の製造装置は、上記のいずれかのトリミング線部の金属疲労促進装置を備えたことを特徴とするものである。
【００１０】
本発明のトリミング線部の金属疲労促進方法は、帯状に連続する金属シートがエッチング加工されて、製品と、該製品の全周辺にトリミング線部とを設けて、製品と不要部とを一体的に連結している帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させて製品と不要部とを分離しやすくする、トリミング線部の金属疲労促進方法であって、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように（ジグザグに）配置された複数のロールにより、案内されて、蛇行しながら、金属ワークの搬送方向に進行するベルトの一方の面側に沿わせて、金属ワークを搬送して、そのトリミング線部に金属疲労を進行させるもので、隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御することを特徴とするものである。
そして、上記トリミング線部の金属疲労促進方法であって、前記金属ワークは磁性体からなり、前記金属ワーク制御部は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつけるものであることを特徴とするものである。
【００１１】
（作用）
本発明のトリミング線部の金属疲労促進装置は、このような構成にすることにより、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができ、且つ、製品品質を損傷しない、トリミング線部の金属疲労促進装置の提供を可能としている。
詳しくは、金属ワークの搬送方向に進行しながら、その一方の面に金属ワークを沿わせるためのベルトと、金属ワークの搬送方向に沿い、且つ、金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返すように（ジグザグに）配置された、複数のロールとを有し、前記凹側のロールと前記凸側のロール間において、前記ベルトと金属ワークとを沿わせた状態で、その両側のロールにて押圧し、金属ワークにその搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部における金属疲労を促進させる、金属ワークのトリミング線部の金属疲労促進通路を備え、更に、前記隣接するロール間における、金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きを抑え、金属ワークをベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段を備えていることにより、これを達成している。
即ち、金属ワークを、ベルトの一方の面側に沿わせて、ベルトとともに、前記複数のロールにより案内して金属ワークの搬送方向に対して直交する方向に凹凸を繰り返す蛇行動作をさせながら搬送し、そのトリミング線部に金属疲労を促進させるトリミング線部の金属疲労促進通路と、金属疲労の促進により破断されて発生する金属ワークのトリミング線部におけるベルトからの浮きをベルトに沿うように抑える金属ワーク制御手段を備えていることにより、これを達成している。
金属ワーク制御手段としては、金属ワークをベルトに沿うように制御することができれば、特に限定されないが、例えば、真空吸着、機械的な抑え部、空気圧等により金属ワークをベルトに沿うようにする制御する方式のものが挙げられる。
金属ワークが磁性体からなる場合には、前記金属ワーク制御手段は、前記ベルトの金属ワーク側の面でない他方の面側に、前記金属ワークをベルト側に磁力により引きつける磁石を配した請求項２に記載の形態が挙げられる。
更に、前記他方の面側のロール自体に磁石を配している形態も挙げられる。
特に、請求項２、請求項３に記載の形態は、金属ワークが磁性体からなることを利用して金属ワーク制御手段として磁石を配するもので、金属ワーク制御手段を簡単に構成できる。
そして、ベルトと金属ワークとを、搬送方向に沿う平面上に配列された複数の第１の回転ロールと、前記搬送方向に沿う平面に平行な平面上、各々が各隣接する前記第１の回転ロール間に配され、且つ、一体で位置移動可能である複数の第２の回転ロールとの間で、搬送するもので、複数の第２の回転ロールを一体的に位置移動することにより、前記第１の回転ロールと前記第２の回転ロールとの間隔を制御する請求項４の形態とすることにより、簡単に第１の回転ロールと第２の回転ロールとの間隔を制御することができるものとしている。
ベルトの張力を調整するためのベルトテンションロール部を備えている請求項５の構成とすることにより、各回転ロールのピッチ調整、変更や間隔の変更に際しても、ベルトを所望のテンションで張ることを可能としている。
これらより、結局、確実に安定して、且つ、製品品質を損傷しないで、トリミング線部の金属疲労を促進して弱らせることを可能としている。
【００１２】
本発明のエッチング加工製品の製造装置は、このような構成にすることにより、帯状のエッチング加工用の金属板素材から、エッチング加工製品を得るまでを、人手を入らない一貫ラインで行うことを可能としている。
【００１３】
本発明のトリミング線部の金属疲労促進方法は、このような構成にすることにより、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができ、且つ、製品品質を損傷しないトリミング線部の金属疲労促進方法の提供を可能としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、上記のように、金属ワークのトリミング線部に充分な金属疲労を与えることができ、且つ、製品品質を損傷しない、トリミング線部の金属疲労促進装置およびトリミング線部の金属疲労促進方法の提供を可能とした。
同時に、このようなトリミング線部の金属疲労促進装置を組込んだエッチング加工製品の製造装置の提供を可能とした。
これにより、インライントリミングで、製品品質を損傷しないで、確実に安定して、トリミングライン部に金属疲労を与えて弱らせることが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明の金属疲労促進装置の実施の形態の１例の概略構成図で、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ１部を拡大して示した図で、図１（ｃ）は帯状に連続する金属ワークを図１（ａ）に示す金属疲労促進装置に投入した場合の金属シートの状態を示した図で、図２は本発明のエッチング加工製品の製造装置の実施の形態の１例を示した概略構成図である。
尚、図１（ａ）中、点線の矢印１、矢印２は金属ワークの搬送方向で、実線矢印はベルトの進行方向を示した図である。
また、図１（ｃ）におけるδは第１の回転ロールと第２の回転ロールとの間隔（距離）である。
図１、図２において、１００は金属疲労促進装置、１１０、１１１はフレーム、１１３、１１３ａは（第２の回転ロールの）位置移動操作部、１１５は（第２の回転ロールの）固定部、１１６は（第１の回転ロールの）固定部、１２０はベルト、１３０は第１の回転ロール、１３５は第２の回転ロール、１４０は（トリミング線部の）金属疲労促進通路、１５０はベルトテンションコントロール部、１５１は可動回転ロール、１５２、１５３は回転ロール、１６０はモータ（ベルト駆動部とも言う）、１８０は金属ワーク（金属薄板とも言う）、１８０Ａは処理用基材、１８５はトリミング線部、１９０は磁石（金属ワーク制御手段）、２１０は加工用素材供給部、２２０は熱処理部、２３０は塗膜部、２４０、２４５はストレージ、２５０は露光部、２６０は現像処理部、２７０はエッチング加工部（エッチング処理部とも言う）、２８０はレジスト剥離部、２９０は洗浄処理部、３００はトリミング装置、３１０は不要部巻取り部、３２０は製品、３３０はロールである。      
【００１６】
はじめに、本発明のトリミング線部の金属疲労促進装置の実施の形態の１例を図１に基づいて説明する。
本例のトリミング線部の金属疲労促進装置は、帯状に連続する磁性体からなる金属シートをエッチング加工して、製品であるシャドウマスクと、製品の全周辺にハーフエッチング部と貫通孔部とからなり、ハーフエッチング部にて製品と不要部とを一体連結するトリミング線部とを設けている、帯状に連続する金属ワーク１８０から、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、トリミング線部に金属疲労を進行させて製品と不要部とを分離しやすくする、トリミング線部の金属疲労促進装置で、金属ワーク１８０を水平搬送するものである。
そして、金属ワーク１８０の搬送方向に進行しながら、その一方の面に金属ワーク１８０を沿わせるためのベルト１２０と、金属ワーク１８０の搬送方向に沿い、且つ、金属ワーク１８０の搬送方向に対して直交する鉛直方向に上下、即ち、凹凸を繰り返すようにジグザグに配置された、第１の回転ロール１３０と第２の回転ロール１３５からなる複数のロールとを有し、凹側の第２の回転ロール１３５と凸側の第１の回転ロール１３０との間において、ベルト１２０と金属ワーク１８０とを沿わせた状態で、その両側のロール（１３０、１３５）にて押圧し、金属ワーク１８０にその搬送方向に対して直交する鉛直方向に上下（凹凸）を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部における金属疲労を促進させる、金属ワークのトリミング線部の金属疲労促進通路１４０を備え、更に、隣接するロール（第１の回転ロール１３０と第２の回転ロール１３５）間における、金属ワーク１８０のトリミング線部におけるベルト１２０からの浮きを抑え、金属ワーク１８０をベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段としての磁石１９０を備えている。
図１（ｃ）に示すように、金属ワーク１８０は、ベルト１２０とともに、複数の第１の回転ロール１３０、複数の第２の回転ロール１３５により案内されて、金属ワークの搬送方向に対して直交する鉛直方向に上下（凹凸）を繰り返す蛇行をしながら、金属ワーク１８０のトリミング線部における金属疲労が促進される。
【００１７】
本例のトリミング線部の金属疲労促進装置においては、ベルト１２０と金属ワーク１８０とを、搬送方向（点線の矢印１、矢印２）に沿う水平面上に配列された複数の第１の回転ロール１３０と、各々が各隣接する前記第１の回転ロール１３０間に配され、前記搬送方向に沿う水平面に平行な別の水平面上に配列され、且つ、一体で鉛直方向に位置移動可能である複数の第２の回転ロール１３５との間で、搬送するもので、金属ワーク１８０を、ベルト１２０の上面（第２の回転ロール側の面）に沿わせて、ベルト１２０とともに、互い違いに第１の回転ロール１３０と第２の回転ロール１３５とからなる複数のロールにより案内して蛇行させながら搬送し、そのトリミング線部１８５において金属疲労を促進させるものである。
金属ワーク１８０には、折り曲げが繰り返し与えられ、これにより、金属ワーク１８０のトリミング線部１８５ａの金属疲労が促進される。
尚、図１（ａ）において、金属ワークは、図示していないが、矢印１から矢印２の方向に、第１の回転ロール１３０、第２の回転ロール１３５により形成されるトリミング線部の金属疲労促進通路１４０を通過して、トリミング線部の金属疲労促進の作業が行われる。
矢印１から矢印２の方向が搬送方向である。
【００１８】
本例のトリミング線部の金属疲労促進装置においては、複数の第２の回転ロール１３５を一体的固定している固定部１１５を（第２の回転ロールの）位置移動操作部１１３、１１３ａにて鉛直方向に位置移動することにより、図１（ｃ）に示す第１の回転ロール１３０と第２の回転ロール１３５との距離（間隔）δを調整するものである。
尚、ここでは、品質的に問題なく、金属ワーク１８０を搬送方向に直交する鉛直方向に所定の量だけ上下できるように、第１の回転ロール１３０と第２の回転ロール１３５との距離（間隔）δを設定する。
【００１９】
本例のトリミング線部の金属疲労促進装置においては、各第１の回転ロール１３０はフレーム１１１に保持された固定部１１６にベアリング部（図示していない）により支持されて回転するものであり、また、各第２の回転ロール１３５はフレーム１１０に支持された固定部１１５に一体的に保持されたベアリング部（図示していない）により支持されて回転するもので、第１の回転ロール１３０、第２の回転ロール１３５ともに、搬送方向に沿い、水平に配置されている。
フレーム１１０はその位置が固定され、位置移動操作部１１３、１１３ａにて鉛直方向の位置移動ができる。
位置移動操作部１１３、１１３ａとしては、特に限定されないが、例えば、ボルト、ネジを用いた構成が挙げられる。
【００２０】
ベルトテンションロール部１５０は、回転ロール１５２、１５３を固定し、可動回転ロール１５１を垂直方向移動させることによりベルトのテンションロールを行うものである。
これにより、各回転ロールによる押し込み量変更、あるいは第１の回転ロールのピッチ、第２の回転ロールのピッチ変更に際して、ベルト１２０の張力を調整することができる。
また、モータ１６０は、ベルト１２０を駆動するためのものである。
【００２１】
図１に示す本例のトリミング線部の金属疲労促進装置においては、帯状に連続する金属シートをエッチング加工して、製品と、該製品の全周辺にハーフエッチング部と貫通孔部とからなり、ハーフエッチング部にて製品と不要部とを一体連結するトリミング線部とを設けている、帯状に連続する金属ワークから、製品をトリミング線部にて分離するトリミングに先立ち、金属ワーク１８０を、矢印１から矢印２の方向に搬送しながら、金属疲労促進通路１４０を通過させ、これにより、金属ワーク１８０に、その搬送方向に直交する鉛直方向の凹凸を繰り返す蛇行動作を与えて、そのトリミング線部に金属疲労を促進させ、トリミング線部に金属疲労を進行させて製品と不要部とを分離し易くするが、特に、金属ワーク１８０が、金属疲労促進通路１４０を通過する際に、隣接するロール間に、金属ワークをベルトに沿うように制御する金属ワーク制御手段として磁石１９０を配しており、これにより、隣接するロール間における、トリミング線部の金属疲労した部分がベルトから浮き上がるのを抑制する。
このようにして、トリミング線部１８５におけるベルトからの浮きに起因する品質的な損傷を受けず、トリミング線部１８５における十分な金属疲労促進を可能にしている。
ここでは、金属ワーク１８０の搬送方向（矢印１から矢印２の方向）に沿い、且つ、金属ワーク１８０の搬送方向に対して直交する鉛直方向に凹凸を繰り返すように（ジグザグに）配置された複数のロール（第１の回転ロール１３０、第２の回転ロール１３５により、案内されて、蛇行しながら、金属ワーク１８０の搬送方向に進行するベルトの一方の面側に沿わせて、金属ワークを搬送して、そのトリミング線部に金属疲労を促進させるため、従来の金属ワークの両側にベルトを沿えて搬送し、金属疲労を促進する形態に比べて、十分な金属疲労の促進を可能としており、また、金属ワーク制御手段として磁石１９０を配していることにより、品質的な損傷を防止できるものとしている。
【００２２】
本例は１例で、本発明は、これに限定されるものではない。
例えば、本例は金属ワークの水平搬送を前提としたものであるが、水平でなくても同様の作用効果が得られれば良いことは言うまでもない。
本例では、複数の第１の回転ロール１３０と複数の第２の回転ロール１３５とを、それぞれ水平に配し、互いに平行とし間隔を一定としているが、第１の回転ロール１３０と第２の回転ロール１３５との間隔を搬送方向に若干の勾配をもたせる形態も挙げられる。
また、ベルト１２０の、金属ワーク１８０との接触部に、吸引クリーナを配置する形態も挙げることができる。
この場合、金属粉発生による影響のないものとできる。
【００２３】
次に、本発明のエッチング加工製品の製造装置の実施の形態の１例を図２に示し、簡単に説明する。
本例のエッチング加工製品の製造装置は、図１に示すトリミング線部の金属疲労促進装置１００をシャドウマスクの製造ラインにインライン接続し、更に、トリミング装置３００を接続したもので、簡単には、シャドウマスクの製造ライン装置で、帯状の金属薄板を加工素材として、フォトエッチング法により、帯状に連続する金属薄板をエッチング加工して、製品であるシャドウマスクと、製品の全周辺にハーフエッチング部と貫通孔部とからなり、ハーフエッチング部にて製品と不要部とを一体連結するトリミング線部とを設けている、帯状に連続する金属ワークを作製し、更に、連続して、トリミングを行い、製品と不要部とを分離するものである。
図２に示すように、順に、加工用素材供給部２１０、前処理部２２０、塗膜部２３０、ストレージ２４０、露光部２５０、ストレージ２４５、現像処理部２６０、エッチング処理部２７０、レジスト剥離部２８０、洗浄処理部２９０、金属疲労促進装置１００、トリミング装置３００、不要部巻き採り部３１０を配置し、加工用素材供給部２１０により、コイルに巻かれた金属薄板をコイル状態から帯状の加工用素材として供給し、シャドウマスク加工の各処理を行い、洗浄処理部２９０による洗浄処理を経て、製品部と不要部とからなる帯状の金属ワークにして、この状態で、金属疲労促進装置１００に帯状のまま投入し、トリミング線部の金属疲労を促進させた後、トリミング装置３００にて製品と不要部とを分離する。
尚、本例における加工用素材供給部２１０〜洗浄処理部２９０迄の各部やその処理は一般的でここでは、説明を省く。
金属疲労促進装置１００については、上記図１に示す実施の形態例の説明に代える。
また、トリミング装置３００としては、図３に示すような、引っ張りにより製品と不要部を分離する方式のものが挙げられるが、これに限定はされない。
本例は、１例で、必要に応じた処理部を設けても良いことは言うまでもない。
また、本例は、金属疲労促進装置１００をシャドウマスク製造ラインに組み入れたものであるが、これに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１（ａ）は本発明の金属疲労促進装置の実施の形態の１例の概略構成図で、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ１部を拡大して示した図で、図１（ｃ）は帯状に連続する金属ワークを図１（ａ）に示す金属疲労促進装置に投入した場合の金属シートの状態を示した図である。
【図２】本発明のエッチング加工製品の製造装置の実施の形態の１例を示した概略構成図である。
【図３】従来のインライントリミング方法を説明するための図である。
【図４】シャドウマスクの製造方法におけるトリミングを説明するための図である。
【符号の説明】
【００２５】
１００              金属疲労促進装置
１１０、１１１      フレーム
１１３、１１３ａ  （第２の回転ロールの）位置移動操作部
１１５            （第２の回転ロールの）固定部
１１６            （第１の回転ロールの）固定部
１２０              ベルト
１３０              第１の回転ロール
１３５              第２の回転ロール
１４０            （トリミング線部の）金属疲労促進通路
１５０              ベルトテンションコントロール部
１５１              可動回転ロール
１５２、１５３      回転ロール
１６０              モータ（ベルト駆動部とも言う）
１８０              金属ワーク（金属薄板とも言う）
１８０Ａ            処理用基材
１８５              トリミング線部
１９０              磁石（金属ワーク制御手段）
２１０              加工用素材供給部
２２０              熱処理部
２３０              塗膜部
２４０、２４５      ストレージ
２５０              露光部
２６０              現像処理部
２７０              エッチング加工部（エッチング処理部とも言う）
２８０              レジスト剥離部
２９０              洗浄処理部
３００              トリミング装置
３１０              不要部巻取り部
３２０              製品
３３０              ロール
４００              金属ワーク
４１０              シヤドウマスク
４２０              不要部
４５０              上側搬送部
４５１              搬送ベルト
４５３              ローラ
４５５              下側搬送部
４５６              搬送ベルト
４５８              ローラ
４６０              製品取り出し部
４６１              搬送ベルト
４６３              ローラ
４７０              金属ワークの通路
６００              フープ状の金属板材
６１０、６１０Ａ    金属シート
６１１              シヤドウマスク（シヤドウマスクの製品部）
６１１Ａ            開孔形成領域
６１２              不要の金属板部
６１４              トリミング線部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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