(57)【要約】【課題】  量産性に優れ、ポンプ性能を容易に変更可能な圧電ポンプ及びその性能調整方法を得る。【解決手段】  圧電振動子２０と、圧電振動子２０を液密に挟持するハウジング１１と、ハウジング１１に形成された一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと、該一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに装着された流れ方向が異なる一対の逆止弁４３Ａ、４３Ｂとを有する圧電ポンプにおいて、ハウジング１１と圧電振動子２０の間に、圧電振動子２０との間に可変容積室１３を形成する容積決定凹部３１と一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに対応する一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂとを有する間挿体３０を備える。さらに、上記間挿体３０とハウジング１１に、互いに嵌合して一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂと一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂとの位置を合致させる位置決め凹凸部３４Ａ、３４Ｂ、１８ｂ、１９ｂを形成した。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流電力供給により振動する圧電振動子と、この圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングと、このハウジングに形成された一対の流路用開口と、この一対の流路用開口に装着された流れ方向が異なる一対の逆止弁とを有する圧電ポンプにおいて、
前記ハウジングと前記圧電振動子との間に、該圧電振動子との間に可変容積室を形成する容積決定凹部と前記一対の流路用開口に対応する一対の連通穴とを有する間挿体を備え、
この間挿体と前記ハウジングに、互いに嵌合して該間挿体の一対の連通穴とハウジングの一対の流路用開口との位置を合致させる位置決め凹凸部を形成したことを特徴とする圧電ポンプ。
【請求項２】
請求項１記載の圧電ポンプにおいて、前記ハウジングの表裏面には、前記一対の流路用開口の外周に位置させて、該一対の流路用開口と一対の流路を液密に接続するＯリングを装着するためのＯリング溝と、該Ｏリング溝とは凹凸が反対の環状突起とが対で形成されており、前記間挿体は、前記容積決定凹部を有する面とは反対側の面に、前記一対の連通穴の外周に形成された環状溝を有し、この環状溝と前記ハウジングの環状突起とが前記位置決め凹凸部を構成している圧電ポンプ。
【請求項３】
請求項１または２記載の圧電ポンプにおいて、前記間挿体は、前記容積決定凹部を有する面に、前記一対の連通穴を結ぶ連結溝を有している圧電ポンプ。
【請求項４】
請求項１または２記載の圧電ポンプにおいて、前記間挿体は、前記一対の連通穴を連通させる連結穴を有している圧電ポンプ。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の圧電ポンプにおいて、前記間挿体の容積決定凹部は、外周部よりも中央部が深くなる態様で形成されている圧電ポンプ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の圧電ポンプにおいて、前記間挿体は金属製である圧電ポンプ。
【請求項７】
交流電力供給により振動する圧電振動子と、この圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングと、このハウジングに形成された一対の流路用開口と、この一対の流路用開口に装着された流れ方向が反対の逆止弁とを有する圧電ポンプにおいて、
前記ハウジングに対して着脱自在であり、該ハウジングと前記圧電振動子との間に可変容積室を形成する容積決定凹部と前記一対の流路用開口に対応する一対の連通穴とを有する間挿体を、前記容積決定凹部の大きさを異ならせて複数準備し、
前記ハウジングに装着する間挿体を交換することにより、前記可変容積室の大きさを調整することを特徴とする圧電ポンプの性能調整方法。
【請求項８】
請求項７記載の圧電ポンプの性能調整方法において、前記複数の間挿体には、さらに、前記容積決定凹部を有する面に前記一対の連通穴を結ぶ連結溝を異なる深さで設ける圧電ポンプの性能調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子を用いた圧電ポンプ及びその性能調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状の圧電振動子の振動によりポンプ作用を得る圧電ポンプは、圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングを有している。ハウジングには、圧電振動子との間に可変容積室を形成する凹部（可変容積室凹部）が形成されており、この可変容積室に連なる一対の流路に、流れ方向の異なる一対の逆止弁（可変容積室への流体流を許す逆止弁と可変容積室からの流体流を許す逆止弁）が設けられている。圧電振動子を振動させると、可変容積室の容積が変化し、この容積変化に伴い一対の逆止弁の一方が閉じて他方が開く動作を繰り返すことから、ポンプ作用が得られる。このような圧電ポンプは、薄型にできることから、例えば水冷ノート型パソコンの冷却水循環ポンプとして用いられている。
【０００３】
圧電ポンプの自吸力及び吐出力は、圧縮比が大きくなるほど、増大する。しかし、圧縮比が所定値を超えて大きくなりすぎると、流路内の流速が高速になりすぎて空気が抜けず、乱流を生じさせてしまうので、圧縮比は適切に制御する必要がある。従来では、圧電振動子の振動量は変化させずに可変容積室自体の容積を変化させることで、圧縮比を増減させている。つまり、圧縮比に応じて、ハウジングの可変容積室凹部の大きさ及び深さを定めている。このため、ハウジングは汎用性に乏しく、圧縮比の異なる圧電ポンプを製造する場合には、可変容積室凹部以外の構造は同一であっても、その都度、ハウジングの設計を変更しなければならなかった。このように、従来において圧電ポンプの圧縮比を変更することは、手間及びコストがかかり、容易ではなかった。
【０００４】
また近年では、量産性向上のため、例えばアルミニウム等からなる金属薄板をプレス加工することによりハウジングを形成したいという要望がある。しかしながら、圧電振動子の振動によって変形しないようハウジングの剛性を確保しようとすると、プレス加工可能な厚さまでハウジングを薄型化することができない。従来のハウジングは切削加工により形成している。
【特許文献１】実開平５−２１１８８号公報
【特許文献２】特開平２−２９４５７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、以上の問題意識に基づき、量産性に優れ、ポンプ性能を容易に変更可能な圧電ポンプ及びその性能調整方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、異なる性能（圧縮比、流速）の圧電ポンプにおいて、ハウジングを共通部品化し、可変容積室の大きさ及び形状を定める調整部材（間挿体）を個別に設ければ、調整部材の形状を変更することでポンプ性能を各個体毎に単独で調整できること、さらに、上記調整部材によって剛性を確保すれば、ハウジングを薄型化でき、プレス加工によりハウジングを形成できることに着眼したものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、交流電力供給により振動する圧電振動子と、この圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングと、このハウジングに形成された一対の流路用開口と、この一対の流路用開口に装着された流れ方向が異なる一対の逆止弁とを有する圧電ポンプにおいて、上記ハウジングと圧電振動子との間に、該圧電振動子との間に可変容積室を形成する容積決定凹部と上記一対の流路用開口に対応する一対の連通穴とを有する間挿体を備え、この間挿体とハウジングに、互いに嵌合して該間挿体の一対の連通穴とハウジングの一対の流路用開口との位置を合致させる位置決め凹凸部を形成したことを特徴としている。
【０００８】
上記構成によれば、間挿体とハウジングに形成した位置決め凹凸部を介して間挿体はハウジングに着脱自在であるから、ハウジングに装着する間挿体を変更することで、ポンプ性能を単独で容易に調整することが可能である。
【０００９】
ハウジングの表裏面には、一対の流路用開口の外周に位置させて、該一対の流路用開口と一対の流路を液密に接続するＯリングを装着するためのＯリング溝と、該Ｏリング溝とは凹凸が反対の環状突起とを対で形成することが好ましく、間挿体は、容積決定凹部を有する面とは反対側の面に、一対の連通穴の外周に形成された環状溝を有していることが好ましい。この場合には、間挿体の環状溝とハウジングの環状突起とにより、上記位置決め凹凸部を構成することができる。
【００１０】
間挿体は、容積決定凹部を有する面に、一対の連通穴を結ぶ連結溝を有していることが好ましい。この態様によれば、一対の連通穴の間を流れる液体の流速を速めることができる。一対の連通穴の間を流れる液体の流速は、連結溝が深くなるほど高速になる。上記連結溝の替わりに、一対の連通穴を結ぶ連結穴を設けてもよい。
【００１１】
間挿体の容積決定凹部は、ポンプ効率を上げるため、外周部よりも中央部が深くなる態様で形成されていることが好ましい。
【００１２】
間挿体は金属製であることが好ましい。圧電振動子の振動によるハウジングの変形を防止するためには、一定以上の耐性を備えることが必要である。この態様によれば、金属製の間挿体がハウジングに装着されるので、間挿体の耐性によってハウジングの変形を防止することができ、ハウジング自体は薄型化することができる。これにより、プレス加工を用いてハウジングを形成することが可能となり、量産性の向上を図れる。
【００１３】
また本発明の性能調整方法によれば、交流電力供給により振動する圧電振動子と、この圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングと、このハウジングに形成された一対の流路用開口と、この一対の流路用開口に装着された流れ方向が反対の逆止弁とを有する圧電ポンプにおいて、上記ハウジングに対して着脱自在であり、該ハウジングと圧電振動子との間に可変容積室を形成する容積決定凹部と一対の流路用開口に対応する一対の連通穴とを有する間挿体を、容積決定凹部の大きさを異ならせて複数準備し、ハウジングに装着する間挿体を交換することにより、可変容積室の大きさを調整することを特徴としている。
【００１４】
この態様によれば、可変容積室の大きさを調整して可変容積室の圧縮比を制御することができ、ポンプの自吸力及び吐出力を容易に変更可能である。
【００１５】
上記性能調整方法において、複数の間挿体には、さらに、容積決定凹部を有する面に一対の連通穴を結ぶ連結溝を異なる深さで設けることが好ましい。この場合には、ハウジングに装着する間挿体を交換することにより、可変容積室の大きさに加えて、一対の流路用開口間を流れる液体の流速も調整することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、量産性に優れ、ポンプ性能を容易に変更可能な圧電ポンプ及びその性能調整方法を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１〜図３は、本発明の一実施形態による圧電ポンプ１の構成を概略的に示している。図１は圧電ポンプ１の構成を示す分解斜視図であり、図２は圧電ポンプ１の構成を示す断面図（組立状態）であり、図３は圧電ポンプ１の各構成要素を分解して示す分解断面図である。圧電ポンプ１は、ハウジングカバー１０とハウジング１１の間に液密に狭着支持した圧電振動子２０を正逆振動させてポンプ作用を得る薄小型の圧電ポンプであり、例えば水冷ノートパソコンの冷却水循環ポンプとして用いられる。
【００１８】
ハウジングカバー１０は、圧電振動子２０の弾性変形を許容する許容凹部１０ａと、この許容凹部１０ａ内で圧電振動子２０の外周部を支持するリング状支持突起１０ｂと、圧電振動子２０の配線部材２４を許容凹部１０ａから外部へ引き出す挿通開口１０ｃとを有している。このハウジングカバー１０は、例えば厚さ０．８ｍｍのアルミ薄板（金属薄板）をプレス加工して形成することができ、ハウジング１１と一体に固定ブロック６０に固定（ネジ止め）される。
【００１９】
圧電振動子２０は、中心部の円形のシム２１と、シム２１の表裏面に積層形成した一対の圧電体２２とからなるバイモルフ型の圧電振動子である。シム２１は、導電性の金属薄板材料、例えば厚さ０．２ｍｍ程度のステンレス薄板から構成されている。一対の圧電体２２は、例えば厚さ０．３ｍｍ程度のＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3）から構成されるもので、その表裏方向に施された分極処理により同一の分極方向を有している。この一対の圧電体２２は、シム２１に対して全面的に導通するように接着され、シム２１側とは反対側の露出面には膜状電極２３が全面的に形成されている。膜状電極２３は、例えば導電ペーストを印刷することにより形成される。共通電極の一方をシム２１とし、他方を一対の圧電体２２の露出面（膜状電極２３）として配線部材２４から圧電振動子２０に交流電界を与えると、一対の圧電体２２の一方が伸び他方が縮む動作が繰り返され、圧電振動子２０が正逆に振動する。図１〜図３では圧電振動子２０の厚さを誇張して描いているが、実際の厚みは１．５ｍｍ未満である。
【００２０】
ハウジング１１と圧電振動子２０の間には、該圧電振動子２０との間に可変容積室１３を形成する容積決定凹部３１と、ハウジング１１に開口している一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに対応する一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂとを有する間挿体３０が設けられている。間挿体３０は、ポンプ性能（圧縮比、流速）を調整するための調整部材である。
【００２１】
ハウジング１１は、ハウジングカバー１０と同様に、例えば厚さ３．０ｍｍ程度のアルミ薄板をプレス加工して形成され、圧電振動子２０と対向する側の面（表面）に、圧電振動子２０よりも小径の円形凹部１２ａを有している。円形凹部１２ａには一対の流路用開口（流入用開口１４Ａ、流出用開口１４Ｂ）が開口し、該一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに、一対の逆止弁台座４１、４２を介してアンブレラ（逆止弁）４３Ａ、４３Ｂが設けられている。アンブレラ４３Ａは、流入用開口１４Ａから可変容積室１３への流体流を許してその逆の流体流を許さず、アンブレラ４３Ｂは、可変容積室１３から流出用開口１４Ｂへの流体流を許してその逆を許さない逆止弁である。
【００２２】
流路用開口１４Ａ、１４Ｂは、ハウジング１１とは別部材からなる逆止弁台座４１、４２の装着穴であって、逆止弁台座４１、４２を嵌合する嵌合穴１５Ａｉ、１５Ｂｉと、この嵌合穴１５Ａｉ、１５Ｂｉよりも小径の内方フランジ１５Ａｉｉ、１５Ｂｉｉとを有している。
【００２３】
一対の逆止弁台座４１、４２は、一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの嵌合穴１５Ａｉ、１５Ｂｉの内径に対応する外径を有する円板状をなしており、たとえばアルミニウム等の金属薄板をプレス加工することにより同一形状で形成されている。各逆止弁台座４１、４２には、円座４１ａ、４２ａの略中央に形成されたアンブレラ挿通支持穴（支持部）４１ｂ、４２ｂと、このアンブレラ挿通支持穴４１ｂ、４２ｂの外周に配置され、アンブレラ４３Ａ、４３Ｂによって開閉される複数の連通穴４１ｃ、４２ｃと、この連通穴４１ｃ、４２ｃの外周に設けた外周部４１ｄ、４２ｄとが備えられている。円座４１ａ、４２ａと外周部４１ｄ、４２ｄの間には若干の段差が生じており、円座４１ａ、４２ａは外周部４１ｄ、４２ｄよりも突出または窪んでいる。本実施形態では、円座４１ａ、４２ａが外周部４１ｄ、４２ｄよりも窪んでいる側の面を逆止弁台座４１、４２の表面４１ｅ、４２ｅとし、逆に突出している側の面を逆止弁台座４１、４２の裏面４１ｆ、４２ｆとする。
【００２４】
一方の逆止弁台座４１は、その表面４１ｅ側からアンブレラ挿通支持穴４１ｂにアンブレラ４３Ａの軸部を挿通して該アンブレラ４３Ａと一体化された後、裏面４１ｆ側から流入用開口１４Ａの嵌合穴１５Ａｉに挿入され、内方フランジ１５Ａｉｉに当接した状態で流入用開口１４Ａに設置される。他方の逆止弁台座４２は、その裏面４２ｆ側からアンブレラ挿通支持穴４２ｂにアンブレラ４３Ｂの軸部を挿通して該アンブレラ４３Ｂと一体化された後、該アンブレラ４３Ｂ側から流出用開口１４Ｂに挿入され、アンブレラ４３Ｂを介して内方フランジ１５Ｂｉｉに当接した状態で流出用開口１４Ｂに設置される。アンブレラ４３Ｂは、逆止弁台座４２と流出用開口１４Ｂの内方フランジ１５Ｂｉｉの間に挟持される。この設置状態で内方フランジ１５Ａｉｉ、１５Ｂｉｉと反対側の嵌合穴周縁αを変形させることにより、一対の逆止弁台座４１、４２はかしめ固定される。
【００２５】
またハウジング１１は、円形凹部１２ａの外周に突出形成された、圧電振動子２０と略同径のリング状支持面１６ｂを備えている。リング状支持面１６ｂには大径Ｏリング溝１７ａが形成され、この大径Ｏリング溝１７ａに装着された大径Ｏリング５１を介して、圧電振動子２０がリング状支持面１６ｂと上記ハウジングカバー１０のリング状突起１０ｂとの間に液密に挟持されている。
【００２６】
ハウジング１１の裏面（円形凹部１２ａを有する面とは反対側の面）には、一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの外周に位置させて、小径Ｏリング溝１８ａ、１９ａが形成されている。この小径Ｏリング溝１８ａ、１９ａに装着した小径Ｏリング５２を介して、ハウジング１１に開口している一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと一対の流路（流路端開口）６４Ａ、６４Ｂが液密に接続される。ハウジング１１は上述したようにプレス加工で形成されているため、ハウジング１１の表裏面の凹凸は対称になっている。つまり、ハウジング１１の表裏面には、一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの外周に位置させて、上記小径Ｏリング溝１８ａ、１９ａと、該小径Ｏリング溝１８ａ、１９ａとは凹凸が反対の環状突起１８ｂ、１９ｂとが対で形成されている。またハウジング１１の裏面には、円形凹部１２ａに対応する円形凸部１２ｂと、リング状支持面１６ｂに対応するリング状凹部１６ａと、大径Ｏリング溝１７ａに対応するＯリング突起１７ｂとが形成されている。
【００２７】
ハウジング１１の一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂが液密に接続される一対の流路６４Ａ、６４Ｂは、固定ブロック６０に設けられている。固定ブロック６０は、ハウジング裏面のリング状凹部１６ａ及びＯリング突起１７ｂに嵌合し、一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと一対の流路６４Ａ、６４Ｂとの位置を合致させる位置決め用の凹凸部（円形凹部６２、リング状凸部６６）を有している。この固定ブロック６０や流路６４Ａ、６４Ｂの形状は問わない。
【００２８】
以上の概略構成を有する圧電ポンプ１は、圧電振動子２０が正逆に振動（弾性変形）すると、可変容積室１３の容積が拡大する行程では、アンブレラ４３Ａが開いてアンブレラ４３Ｂが閉じるため、流入用開口１４Ａから可変容積室１３に液体を流入し、可変容積室１３の容積が縮小する行程では、アンブレラ４３Ｂが開いてアンブレラ４３Ａが閉じるため、可変容積室１３から流出用開口１４Ｂへ液体を流出する。このように圧電振動子２０が正逆に連続して振動（弾性変形）することで、ポンプ作用が得られる。
【００２９】
本実施形態は、ハウジング１１と圧電振動子２０の間に設けた間挿体３０に特徴を有するものである。以下では、図４及び図５を参照して、間挿体３０について詳細に説明する。
【００３０】
図４は間挿体３０を単体で示す模式平面図であり、図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿う断面であって、間挿体３０とハウジング１１の嵌脱関係を説明する図である。
【００３１】
間挿体３０は、ハウジング１１の円形凹部１２ａに全形が収納されるように、該円形凹部１２ａと同径またはやや小径の円板で形成されている。間挿体３０は、上述したように、圧電振動子２０との間に可変容積室１３を形成する容積決定凹部３１と、ハウジング１１に開口している一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに対応する一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂとを有している。容積決定凹部３１は、圧電振動子２０に対向する表面３０ａに例えば研磨加工等を施して形成したもので、間挿体３０の中央部が深く外周部が浅い凹部である。この容積決定凹部３１の形状及び深さに応じて、間挿体３０と圧電振動子２０との間に形成される可変容積室１３の大きさが変動する。
【００３２】
本実施形態の間挿体３０には、さらに、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂを結ぶ連結穴３３が備えられている。連結穴３３は、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂの直径以下の幅寸法で形成され、該一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂの間を最短距離で結んでいる。この連結穴３３が存在することにより、圧電振動子２０が振動したときに液体は一対の流入用開口１４Ａから流出用開口１４Ｂへ最短距離で流れるので、流速がアップする。一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの間を流れる液体の速度は、連結穴３３の幅寸法によって調整することができる。
【００３３】
間挿体３０の裏面（容積決定凹部３１を有する面３０ａと反対側の面）３０ｂには、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂの外周に位置させて、環状溝３４Ａ、３４Ｂが形成されている。環状溝３４Ａ、３４Ｂは、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂとハウジング１１の一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの位置を合致させるための位置決め用の溝であり、ハウジング１１の円形凹部１２ａに設けられた環状突起１８ｂ、１９ｂに嵌合自在に形成されている。この環状溝３４Ａ、３４Ｂと環状突起１８ｂ、１９ｂの嵌脱により、間挿体３０はハウジング１１（ハウジング１１の円形凹部１２ａ）に対して着脱自在である。間挿体３０をハウジング１１の円形凹部１２ａに装着すると、間挿体３０の外周部の表面位置がリング状支持面１６ｂの表面位置とほぼ同等の高さになる（図２参照）。
【００３４】
以上のように間挿体３０とハウジング１１を着脱自在に設ければ、間挿体３０（容積決定凹部３１、連結穴３３）の形状を変更すること（形状が異なる別の間挿体に交換すること）により、可変容積室１３の大きさを容易に変更することができ、可変容積室１３の圧縮比（自吸力、吐出力）を個別に制御することができる。
【００３５】
図６は別の実施形態による間挿体を単体で示す平面図、図７は図６のVII−VII線に沿う断面図である。この実施形態による間挿体１３０は、図４に示す連結穴３３の替わりに、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂを結ぶ連結溝１３５を備えた点以外は、上述の間挿体３０と同一の構成である。図６及び図７では、間挿体３０と同様の構成要素には図４及び図５と同一の符号を付してある。なお、図６のＶ−Ｖ線に沿う断面図は図５と同一である。
【００３６】
連結溝１３５は、間挿体１３０の表面（容積決定凹部３１を有する面）３０ａに、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂの直径以下の幅寸法で、該一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂの間を最短距離で結ぶように形成されている。連結溝１３５の深さは、図７に示されるように、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂとの接続側よりも中央部で深くなっている。この連結溝１３５が存在することにより、圧電振動子２０が振動したときに液体は一対の流入用開口１４Ａから流出用開口１４Ｂへ最短距離で流れるので、流速がアップする。一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの間を流れる液体の速度は、連結溝１３５の幅寸法が大きくなるほど、また、連結溝１３５の深さが深くなるほど、高速となる。すなわち、連結溝１３５の幅寸法及び深さによって、流速を制御することができる。
【００３７】
以上では、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂを結ぶ連結穴３３または連結溝１３５を有する実施形態について説明したが、これら連結穴３３及び連結溝１３５は必須ではなく、図８に示すように一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂを独立に（連通させずに）備えた間挿体２３０であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明による圧電ポンプの概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】同圧電ポンプの概略構成を示す断面図である
【図３】同圧電ポンプの構成要素を分解して示す断面図である。
【図４】図１の間挿体を単体で示す平面図である。
【図５】図４のV-V線に沿う断面図であって、間挿体とハウジングの嵌脱関係を説明する図である。
【図６】図４とは別実施形態の間挿体を単体で示す平面図である。
【図７】図６のVII-VII線に沿う断面図である。
【図８】図４及び図６とは別実施形態の間挿体を単体で示す平面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    圧電ポンプ
１０    ハウジングカバー
１１    ハウジング
１２ａ  円形凹部
１３    可変容積室
１４Ａ  流路用開口（流入用開口）
１４Ｂ  流路用開口（流出用開口）
１８ａ、１９ａ  小径Ｏリング溝
１８ｂ、１９ｂ  環状突起
２０    圧電振動子
３０    間挿体
３０ａ  表面
３０ｂ  裏面
３１    容積決定凹部
３２Ａ、３２Ｂ  連通穴
３３    連結穴
３４Ａ、３４Ｂ  環状溝
４１、４２  逆止弁台座
４３Ａ、４３Ｂ  アンブレラ（逆止弁）
５２    小径Ｏリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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