(57)【要約】  【課題】接触式三次元形状計測機の３軸移動機構等を非接触式として利用できることに着眼して、非接触式位置センサを代わりに取付けて転用による非接触式三次元形状計測方法を提供する。  【解決手段】接触式三次元形状計測機の本来接触式プローブが取付けられるべきヘッド６の原点位置に対する非接触式位置センサ２９の原点位置の原点較正データを予め作成しておき、駆動手段７ｘ，７ｙ，７ｚを駆動制御するように３軸移動機構８の移動範囲の移動始端位置及び移動終端位置を逐次指令し、ヘッド６の移動走査過程において非接触式位置センサ２９に対して所定の繰返し周期でトリガー指令を行い、移動始端位置及び移動終端位置並びに繰返し周期ごとの移動位置で規定されるヘッド６の原点位置を原点較正データに対応して較正して非接触式位置センサ８の原点位置を求めて、この原点位置における非接触式位置センサ８の非接触検知位置データにより計測対象物である車両ボデー９の三次元形状データを作成する。  【選択図】図１
2006349547.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接触式プローブが取付けられるヘッドと、このヘッドを支持すると共に、計測対象物に対面する水平方向、垂直方向及びこれらの軸に直交する方向に移動する３軸移動機構と、その３軸の移動位置をそれぞれ検知する移動位置センサと、ヘッドを移動走査させるように３軸移動機構を指令された移動位置に駆動する駆動手段とを備えることにより、接触式プローブの計測対象物への当接時点の移動位置センサの検知信号を基に計測対象物の三次元位置を逐次検知して三次元形状を計測するようになった接触式三次元形状計測機を、ヘッドに接触式プローブに代えて所定の二次元又は三次元の検知範囲の位置を検知する非接触式位置センサを取付けて非接触式に三次元形状を計測するように転用するための非接触式三次元形状計測方法であって、
前記ヘッドの原点位置に対する前記非接触式位置センサの原点位置の原点較正データを予め作成しておき、
前記駆動手段を駆動制御するように前記３軸移動機構の移動範囲の移動始端位置及び移動終端位置を逐次指令し、
前記ヘッドの前記移動走査過程において前記非接触式位置センサに対して所定の繰返し周期でトリガー指令を行い、
前記移動始端位置及び前記移動終端位置並びに前記繰返し周期ごとの前記移動位置で規定される前記ヘッドの原点位置を前記原点較正データに対応して較正して前記非接触式位置センサの原点位置を求めて、この原点位置における前記非接触式位置センサの非接触検知位置データにより前記計測対象物の三次元形状データを作成すること特徴とする非接触式三次元形状計測方法。
【請求項２】
接触式三次元形状計測機の移動位置センサがインクリメンタル式のリニアスケールであり、
非接触式位置センサの原点位置が、指令した始端位置及び移動終端位置で規定される較正した前記原点位置と、前記リニアスケールの前記移動始端位置から前記移動終端位置に至る繰返し周期ごとのカウント値とにより求められることを特徴とする請求項１記載の非接触式三次元形状計測方法。
【請求項３】
ヘッドが、計測対象物に対面する水平方向及びこの水平方向に直交する水平方向の軸線に対してローリング及びピッチング回転自在であり、ヘッドの原点位置及び非接触式位置センサの原点位置が、それぞれ前記ローリング及び前記ピッチング回転角に応じて較正されることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の非接触式三次元形状計測方法。
【請求項４】
非接触式位置センサが、所定の二次元範囲の距離をレーザ光に扇形走査により検知するレーザセンサであることを特徴とする請求項１又は請求項２又は請求項３記載の非接触式三次元形状計測方法。
【請求項５】
接触式プローブが取付けられるヘッドと、このヘッドを支持すると共に、計測対象物に対面する水平方向、垂直方向及びこれらの軸に直交する方向に移動する３軸移動機構と、その３軸の移動位置をそれぞれ検知する移動位置センサと、ヘッドを移動走査させるように３軸移動機構を指令された移動位置に駆動する駆動手段とを備えることにより、接触式プローブの計測対象物への当接時点の移動位置センサの検知信号を基に計測対象物の三次元位置を逐次検知して三次元形状を計測するようになった接触式三次元形状計測機を、ヘッドに接触式プローブに代えて所定の二次元又は三次元の検知範囲の位置を検知する非接触式位置センサを取付けて非接触式に三次元形状を計測するように転用した非接触式三次元形状計測装置であって、
前記ヘッドの原点位置に対して前記非接触式位置センサの原点位置を較正するための原点較正データを格納する原点較正データ格納手段と、前記駆動手段を駆動制御するように前記３軸移動機構の移動範囲の移動始端位置及び移動終端位置を逐次指令する移動範囲指令手段と、前記ヘッドの前記移動走査過程において前記非接触式位置センサに対して所定の繰返し周期でトリガー指令を行う検知指令手段と、前記繰返し周期ごとに前記移動位置センサの検知信号に応答して前記移動範囲内の３軸の移動位置データを作成する移動位置データ作成手段と、前記移動始端位置データ及び前記移動終端位置データ並びに前記移動位置データで規定される前記ヘッドの原点位置データを前記原点較正データに対応して較正して前記非接触式位置センサの原点位置データを作成し、この原点位置データについての前記非接触式位置センサの非接触検知位置データにより前記計測対象物の三次元形状データを作成する形状データ作成手段と、を備えたことを特徴とする非接触式三次元形状計測装置。
【請求項６】
接触式三次元形状計測機の移動位置センサがインクリメンタル式のリニアスケールであり、
形状データ作成手段が、前記非接触式位置センサの原点位置データを、指令した移動始端位置データ及び移動終端位置データで規定される較正された原点位置データと、前記移動始端位置及び前記移動終端位置間における前記リニアスケールの繰返し周期ごとのカウント値である移動位置データで規定した原点位置データとで作成することを特徴とする請求項５記載の非接触式三次元形状計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに直交する方向に移動する３軸移動機構に接触式プローブを取付けて移動走査することにより接触式に三次元形状を計測する計測機を、非接触式に三次元形状を計測するように転用するための非接触式三次元形状計測方法及び転用された計測機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１等により、互いに直交する３軸方向に移動する３軸移動機構に支持させた触針を逐次移動させつつ計測対象物に当接させて、三次元形状を計測する接触式の三次元形状計測装置は周知である。また、特許文献２等により、レーザ式距離センサを３軸移動機構に支持させて面状に移動走査する非接触式の計測装置も周知である。
【特許文献１】特開平１０−１９５０４号公報
【特許文献２】特開平６−２４９６２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
後者の非接触式によれば、計測対象物にセンサを接触させないで移動走査させ得ることにより相体的に高速に計測することができる。しかしながら、接触式三次元形状計測機が既に設備されている場合に、高速化を図るために非接触式三次元形状計測機を導入しようとすると、相応に設備コストが嵩むことになる。
【０００４】
本発明は、接触式三次元形状計測機の３軸移動機構等を非接触式として利用できることに着眼して、接触式三次元形状計測機の転用を前提にした非接触式三次元形状計測方法及び計測機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、この目的を達成するために、請求項１により、接触式プローブが取付けられるヘッドと、このヘッドを支持すると共に、計測対象物に対面する水平方向、垂直方向及びこれらの軸に直交する方向に移動する３軸移動機構と、その３軸の移動位置をそれぞれ検知する移動位置センサと、ヘッドを移動走査させるように３軸移動機構を指令された移動位置に駆動する駆動手段とを備えることにより、接触式プローブの計測対象物への当接時点の移動位置センサの検知信号を基に計測対象物の三次元位置を逐次検知して三次元形状を計測するようになった接触式三次元形状計測機を、ヘッドに接触式プローブに代えて所定の二次元又は三次元の検知範囲の位置を検知する非接触式位置センサを取付けて非接触式に三次元形状を計測するように転用するための非接触式三次元形状計測方法であって、ヘッドの原点位置に対する非接触式位置センサの原点位置の原点較正データを予め作成しておき、駆動手段を駆動制御するように３軸移動機構の移動範囲の移動始端位置及び移動終端位置を逐次指令し、ヘッドの移動走査過程において非接触式位置センサに対して所定の繰返し周期でトリガー指令を行い、移動始端位置及び移動終端位置並びに繰返し周期ごとの移動位置で規定されるヘッドの原点位置を原点較正データに対応して較正して非接触式位置センサの原点位置を求めて、この原点位置における非接触式位置センサの非接触検知位置データにより計測対象物の三次元形状データを作成すること特徴とする。
【０００６】
３軸移動機構に対して３軸のそれぞれに１個の座標値もしくは少なくとも１軸の座標値で移動始端及び終端位置がそれぞれ指令され、ヘッドを移動走査させる３軸移動機構は各移動範囲の移動始端から終端位置へ順に移動する。その間、非接触式位置センサのトリガー指令ごとに移動位置センサの検知信号が導出されて、その都度非接触式位置センサが位置検知を行う。接触式プローブの原点であるヘッドの原点位置に対して非接触式位置センサの原点位置を較正し、この較正された原点位置における非接触式の検知位置群により走査範囲の三次元形状が計測される。
【０００７】
その際、簡単な転用方法として、請求項２の発明により、接触式三次元形状計測機の移動位置センサがインクリメンタル式のリニアスケールであり、非接触式位置センサの原点位置が、指令した始端位置及び移動終端位置で規定される較正した原点位置と、リニアスケールの移動始端位置から移動終端位置に至る繰返し周期ごとのカウント値とにより求められる。非接触式位置センサの取付け位置を自在にするには、請求項３の発明により、ヘッドが、計測対象物に対面する水平方向及びこの水平方向に直交する水平方向の軸線に対してローリング及びピッチング回転自在であり、ヘッドの原点位置及び非接触式位置センサの原点位置が、それぞれローリング及びピッチング回転角に応じて較正される。非接触式位置センサとしては、請求項４の発明により、非接触式位置センサが、所定の二次元範囲の距離をレーザ光に扇形走査により検知するレーザセンサを用いることができる。
【０００８】
請求項１の方法を実施する装置としては、請求項５により、ヘッドの原点位置に対して非接触式位置センサの原点位置を較正するための原点較正データを格納する原点較正データ格納手段と、駆動手段を駆動制御するように３軸移動機構の移動範囲の移動始端位置及び移動終端位置を逐次指令する移動範囲指令手段と、ヘッドの移動走査過程において非接触式位置センサに対して所定の繰返し周期でトリガー指令を行う検知指令手段と、繰返し周期ごとに移動位置センサの検知信号に応答して移動範囲内の３軸の移動位置データを作成する移動位置データ作成手段と、前記移動始端位置データ及び前記移動終端位置データ並びに前記移動位置データで規定される前記ヘッドの原点位置データを前記原点較正データに対応して較正して前記非接触式位置センサの原点位置データを作成し、この原点位置データについての前記非接触式位置センサの非接触検知位置データにより前記計測対象物の三次元形状データを作成する形状データ作成手段と、を備えたことを特徴とする。その際、簡単な転用のために、請求項６の発明により、接触式三次元形状計測機の移動位置センサがインクリメンタル式のリニアスケールであり、形状データ作成手段が、非接触式位置センサの原点位置データを、指令した移動始端位置データ及び移動終端位置データで規定される較正された原点位置データと、移動始端位置及び移動終端位置間におけるリニアスケールの繰返し周期ごとのカウント値である移動位置データで規定した原点位置データとで作成する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１又は請求項５の発明によれば、接触式三次元形状計測機の回路装置部分を改造もしくは追加することにより、接触式三次元形状計測機の３軸移動機構を単位走査範囲で連続移動させると共に、その移動位置センサの検知信号を導出して、そのサンプリング時点の検知信号による移動位置と非接触式位置センサの非接触検知位置とにより、非接触式の三次元形状計測が可能になる。つまり、設備コストを節約して接触式から非接触式への転用が可能になる。その際、請求項２又は請求項６の発明によれば、接触式三次元形状計測機が移動位置センサとしてインクリメンタル式リニアスケールを備えることを前提に、その検知信号を取込むことにより、非接触式の三次元形状計測データが一層簡単な付加回路により作成可能になる。請求項３の発明によれば接触式プローブのヘッドが回転自在式である場合でも転用可能になり、請求項４の発明によれば単位走査範囲につき帯状の計測データが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１乃至図３を基に本発明の実施の形態による非接触式三次元形状計測方法を実施する計測機を説明する。接触式三次元形状計測機は、図２に示す感圧素子を先端に備えた接触式プローブ３９が着脱自在に取付けられる回転式のヘッド６を３軸移動機構８に支持するように構成されて、計測対象物として例えば車両ボデー９を載置させる基台１の両側に配置されている。この３軸移動機構は、計測対象物として例えば車両ボデー９を載置させる基台１の両側に配置されたＸ軸方向のガイドレール２と、先端部にヘッド６を備えて、車両ボデー９に離接する水平方向のＹ軸に沿って可動のロッド状のセンサ支持キャリッジ４と、このキャリッジを垂直のＺ軸に沿って昇降可能にガイドし、かつガイドレール２にＸ軸方向に可動にガイドされているスライダ式キャリッジ３とより構成されている。
【００１１】
ガイドレール２には、移動位置センサとしてリニアスケール５ｘ及びアクチュエータ６ｘが付属したＸ軸移動機構を内蔵し、その移動位置検知信号が指令信号に一致するように駆動手段７ｘにより駆動される。スライダ式キャリッジ３は、センサ支持キャリッジ４をＺ軸方向に昇降させるＺ軸移動機構を内蔵してリニアスケール５ｚ及びアクチュエータ６ｚが付属し、同様に駆動手段７ｚによりサーボ制御される。さらに、スライダ式キャリッジ３は、センサ支持キャリッジ４をＹ軸方向に進退させるＹ軸移動機構を内蔵してリニアスケール５ｙ及びアクチュエータ６ｙが付属し、駆動手段７ｙによりサーボ制御される。
【００１２】
接触式プローブ３９が取付けられるヘッド６の基部は、Ｘ軸に沿った軸線を中心にピッチング回転自在で、かつＹ軸に沿った軸線を中心にローリング回転自在であり、計測に際してこれらの回転角を適宜設定して、接触式プローブ３９を逐次計測対象物に当接させつつ３軸移動機構８を面状に移動させることにより、三次元形状が接触式に計測されるようになっている。
【００１３】
このような接触式三次元形状計測機を非接触式に転用するために、ヘッド６に、例えばレーザビームの扇形走査により１０ｃｍ前後のライン状２次元範囲の位置もしくは形状を三角測量の原理で検知する非接触式位置センサ２９が、代わりに取付けられると共に、これらを制御する回路装置として、パソコン１０を付属させる。このパソコンには、接触式で作動させるプログラムを一部共用すると共に、プログラムを追加して内蔵のメモリ、ＣＰＵ等を非接触式に作動させて、下記の各手段を構成するように機能させると共に、キーボード、マウス等の入力操作部１１、ディスプレイ部１２、プリンタ１３が付属している。このような非接触式三次元形状計測機は、基台１の反対側にも配置される。
【００１４】
即ち、ヘッド６の回転位置をサーボ制御により設定するために付属の制御部６ａに回転位置指令を行うヘッド位置指令手段２８と、本来接触式プローブ３９の回転中心位置である原点位置になるへッド６の原点位置を３軸移動機構８の機械的な誤差に対応した補正データを格納する補正データ格納手段２３ｂと、車両ボデー９に対してヘッド６を移動走査させて非接触式位置センサ２９の検知範囲を移動させるように、３軸移動機構８の移動範囲の始端位置及び終端位置を駆動手段７ｘ，７ｙ，７ｚに逐次指令する移動範囲指令手段２０と、３軸移動機構８が指令された終端位置へ移動する過程において、非接触式位置センサ２９に付属の制御部２９ａに対してトリガー指令を所定の繰返し周期に行う検知指令手段２１と、その繰返し周期ごとにリニアスケール５ｘ，５ｙ，５ｚの検知信号のカウント部２２ａにおけるカウント値に応答して移動範囲内の３軸それぞれの移動位置データを作成する移動位置データ作成手段２２と、ヘッド６の回転位置で規定されるへッド６の原点位置に対して非接触式位置センサ２９の原点位置を較正するための原点較正データを格納する原点較正データ格納手段２６と、移動範囲の始端・終端位置を規定する３軸の移動位置について前述の補正データで補正し、また非接触式位置センサ２９の原点位置として較正された三次元座標値を作成すると共に、これらの取得した三次元座標値と、その間を等分して発生するリニアスケール５ｘ，５ｙ，５ｚのカウント値による移動位置データを基に非接触式位置センサ２９の原点位置データを作成し、その各原点位置における非接触式位置センサ２９による非接触式検知位置データにより計測対象物の三次元形状データを作成する形状データ作成手段２３と、作成した三次元形状データを格納する形状データ格納手段２４と、ディスプレイ部１２の２次元画面又は仮想三次元画面における対応位置に三次元形状の三次元座標値をポイント表示させる表示制御手段２５と備えるように機能する。
【００１５】
移動範囲指令手段２０において、始端位置及び終端位置は、３軸方向にそれぞれ１個設定され、場合により２軸は不変で１軸方向のみ設定される。例えば、Ｘ軸方向に車両ボデー９の前後幅に対応して始端位置及び終端位置を設定し、その移動に伴ってボデー側面の変化形状に応じてＹ軸方向にも移動させることができる。さらに、次の単位走査範囲は、終端位置で非接触式位置センサ２９の検知範囲に対応する分だけＺ軸方向へ下降させて、Ｘ軸方向へ復動させるように設定する。以下、同様に複数の単位走査範囲で面状に移動走査されるように設定される。このように機能する移動範囲指令手段２０は、接触式のプログラムを流用することができる。尚、移動範囲指令手段２０は、移動位置指令を行うと共に、移動位置検知センサが検知した移動位置との差分データも作成することにより、駆動手段７ｘ、７ｙ、７ｚは単にその差分データに応じて駆動制御するようにも構成できる。
【００１６】
補正データ格納手段２３ｂには、３軸移動機構８の移動位置を基にヘッド６の原点位置、即ち本来の接触式プローブ３９の原点位置の三次元座標値が規定される際に、３軸のそれぞれの撓み或は温度等の影響で僅かに変動する位置誤差を考慮して、それぞれの軸の所定移動範囲ごとに原点位置の三次元座標値に対する補正データが格納されている。同様に、接触式のプログラムを流用することができる。
【００１７】
検知指令手段２１は、非接触式位置センサ２９に付属の制御部２９ａに１本ごとのレーザ光走査を外部トリガーで作動させるためのトリガー指令を所定の繰返し周期で行う。これにより、その都度Ｚ軸方向の所定範囲の位置データが検知され、単位移動範囲について帯状に面走査が行われる。繰返し周期は、レーザ光による検知速度及び３軸移動機構８の移動速度に対応して、所定の計測精度を確保できるように設定されている。例えば数１００μｍの移動ピッチでトリガー指令されるように設定される。
【００１８】
移動位置データ作成手段２２は、単位移動量ごとにパルスを出力するリニアスケール５ｘ，５ｙ，５ｚのインクリメンタル信号をカウントするカウント部２２ａのカウント値を検知指令手段２１の繰返し周期ごとに取込んで３軸の移動範囲を当分する移動位置データを作成する。
【００１９】
原点較正データ格納手段２６には、ヘッド６のローリング及びピッチング角に応じてその原点位置が変動する可能性があるために、その較正データが格納されると共に、この変動する原点位置に対して非接触式位置センサ２９の原点位置の三次元座標値を較正する演算式を原点位置較正データとして格納されている。特に、ヘッド６が非回転式、或は可変範囲が狭い場合、原点位置較正データとして演算式に代えて単に換算テーブルを格納しておくこともできる。
【００２０】
形状データ作成手段２３は、そのデータ格納部２３ａに、移動範囲指令手段２０から移動始端・終端位置データ、補正データ格納手段２３ｂの温度に対応した補正データ及びヘッド位置指令手段２８の指令した回転位置データを取込むと共に、移動位置データ作成手段２２の３軸の移動位置データを取込む。そして、指令した移動始端・終端位置につき、補正データで誤差補正し、ヘッド６のローリング及びピッチング角に応じて原点較正データ格納手段２６に格納された較正データに応じてヘッド６の原点位置の三次元座標値を求めると共に、次いでローリング及びピッチング角に応じて原点較正データ格納手段２６に格納された演算式を基にヘッド６の原点位置から非接触式位置センサ２９の原点位置の三次元座標値を取得する。さらに、この間に分布する移動位置データ作成手段２２で作成された３軸の移動位置データと併せて原点位置データを作成する。さらに、トリガー指令ごとに非接触式位置センサ２９のＺ軸方向の所定範囲の非接触式検知位置データを制御部２９ａから取込んで、帯状走査範囲の三次元形状データを作成して形状データ格納手段２４に格納する。
【００２１】
表示制御手段２５は、ヘッド６が移動走査範囲の終端位置に達するごとに、単位走査範囲について作成されて形状データ格納手段２４に格納された三次元座標値で規定された形状データをディスプレイ部１２の画面上の座標系にプロットし、順に単位走査範囲ごとに三次元形状がポイント群で表示する。また、入力操作部１１での選択操作により種々の画像が表示可能であり、例えば側面と上面とを併せた三次元形状を仮想三次元画面に表示する。両側の非接触式三次元形状計測機の計測が終了した時点で、車両ボデー９の全面の形状を回転式に表示する。
【００２２】
このように構成された非接触式三次元形状計測機の動作を図３のフローチャートを参照して説明する。パソコン１０において、予め入力操作部１１により、単位移動範囲ごとにその始端位置及び終端位置を順に設定し、ヘッド６の回転位置を指示しておく。例えば、車両ボデー９の側面前部から後方へに向けてＸ軸に沿って移動し、その端部においては側面形状の変化に応じてＹ軸方向にも多少移動させる。また、Ｚ軸方向へシフトさせつつＸ軸方向で往復動させる。計測に際して周囲温度を入力する。ヘッド６の回転位置は、単位走査範囲の切換え時に車両ボデー９の表面形状に応じて変更することができる。
【００２３】
次いで、動作開始を指示すると、カウント部２２ａのリセットの初期化が行われ、指令した移動範囲の移動始端位置について、ヘッド６のローリング及びピッチング角に応じたヘッド６の原点位置を誤差補正し、本来の接触式プローブ３９の原点位置データから非接触式位置センサ２９の原点位置データとして較正された正規の三次元座標値を取得しておく。ヘッド６が移動走査を開始し、非接触式位置センサ２９は、そのトリガー指令ごとにＺ軸方向の所定範囲の位置検知を行い、その都度リニアスケール５ｘ，５ｙ，５ｚのカウント値を取込むことにより、細かい移動ピッチで移動走査範囲について３軸移動機構８の移動位置データが作成される。移動終端位置に達した時点で、その移動終端位置の誤差補正及び較正された三次元座標値を取得する。これらの始端・終端の三次元座標値及びこれらの間を等分する移動位置データにより、非接触式位置センサ２９の原点位置データが作成される。これにより、この原点位置データを基準にした所属のＺ軸範囲の非接触検知位置データに応じて車両ボデー９の側面に対する帯状の三次元形状の計測データが得られる。因みに、本来の接触式三次元形状計測機からは接触式プローブ３９が当接したときのみ三次元座標値が取得されるために、非接触式位置センサ２９のトリガー指令ごとの原点位置データの取得は不可能である。
【００２４】
これにより、帯状範囲の形状データが、ディスプレイ部１２の座標系におけるそれぞれの三次元座標値に対応する位置にポイント群で表示される。接触式に比べて短時間に高密度に計測データが表示される。以下、ヘッド６の移動走査範囲が逐次シフトされることにより、側面全域の計測データが表示される。同様に、車両ボデー９の上面の計測も行われ。反対側非接触式三次元形状計測機でも計測され、全ての面について計測が終了した時点で、反対側の計測データも合成することにより、ディスプレイ部１２の仮想三次元画面において車両ボデー９の全域の形状を回転表示させて確認できる。
【００２５】
尚、前述の実施の形態において、ヘッド６のローリング及びピッチング角はサーボ制御により設定されるものとして説明したが、嵩張らない構造にするために、回転位置センサを付設することなく、オープンループで回転角を制御する方式の場合、誤差が大きくなる可能性があり、非接触式位置センサ２９の原点位置の較正が複雑になる可能性がある。このような三次元形状計測機のセンサ原点のキャリブレーション方法は、本出願人より、特願２００４−３５７９２９により提案されている。
【００２６】
さらに、パソコン１０に、入力操作部１１で併せて操作できるように接触式のプログラムも並存させて置くことにより、特に高精度の計測を行う必要がある場合に、接触式プローブ３９を装着してパソコン１０の動作を切換えることにより、接触式三次元形状計測機として機能させることもできる。尚、パソコンを別途に用意して、本来の装置から移動範囲の移動始端位置及び移動終端位置データ、リニアスケールの検知信号等を取込むことにより、非接触式三次元形状計測機を構成するようにもできる。また、非接触式位置センサとしては、面範囲を位置検知するセンサを採用して、ヘッドを相応に移動走査させることにより、同様に非接触式三次元形状計測機を構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の形態による非接触式三次元形状計測機の構成を説明する図である。
【図２】同非接触式三次元形状計測機のヘッドに本来取付けられるべき接触式プローブ部分を示す斜視図である。
【図３】同非接触式三次元形状計測機の動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００２８】
６  ヘッド
８  ３軸移動機構
９  車両ボデー
１０  パソコン
１１  入力操作部
１２  ディスプレイ部
２９  非接触式位置センサ
３９  接触式プローブ
【図１】
2006349547.tif 000003
【図２】
2006349547.tif 000004
【図３】
2006349547.tif 000005