(57)【要約】【課題】  インデックステーブルの複雑化を防止しつつ、θ方向へのズレ量の補正機能を設けること、及び、圧着時の位置決め時間を短縮すること、及び、熱等による位置決め誤差を減らし、精度良い位置決めを行えること。【解決手段】  インデックステーブル１７にＴＡＢ部品２を吸着保持するボンディングヘッド１８を等間隔に複数設け、ＴＡＢ部品供給部ａ、ＴＡＢ部品位置認識部ｂ、仮圧着部ｃの各ポジションを配置し、ＴＡＢ部品位置認識部ｂにてＴＡＢ部品２の所定位置からのθ方向へのズレ量をＴＡＢ部品位置認識カメラ２２により認識し、仮圧着部ｃにて仮圧着前にボンディングヘッド１８を前記θ方向へのズレ量に応じてインデックステーブル１７に対して回転させて補正を行うようにした液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法。【選択図】        図１
2006303204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルに対するＴＡＢ部品の供給及び仮圧着をインデックステーブル方式にて行う液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法において、
前記インデックステーブルにＴＡＢ部品を吸着保持するボンディングヘッドを等間隔に複数設け、これらのボンディングヘッドの間隔に一致させて少なくともＴＡＢ部品供給部、ＴＡＢ部品位置認識部、仮圧着部の各ポジションを配置し、ＴＡＢ部品位置認識部にてＴＡＢ部品の所定位置からのθ方向へのズレ量を画像処理手段により認識し、仮圧着部にて仮圧着前にボンディングヘッドを前記θ方向へのズレ量に応じてインデックステーブルに対して回転させて補正を行うようにしたことを特徴とする液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法。
【請求項２】
仮圧着部におけるθ方向の補正を行った後のＴＡＢ部品のθ方向へのズレ量を画像処理手段にて認識し、ズレ量の情報収集を複数回行い、その情報に基づいてズレ量を考慮したフィードバック補正を行うことを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法。
【請求項３】
仮圧着部にて仮圧着を行った後のＴＡＢ部品のＸ，Ｙ，θ方向へのズレ量を画像処理手段にて認識し、ズレ量の情報収集を複数回行い、液晶パネル載置側では前記情報に基づいてＸ，Ｙ方向へのズレ量を考慮したフィードバック補正を行い、ボンディングヘッド側では前記情報に基づいてθ方向へのズレ量を考慮したフィードバック補正を行うことを特徴とする請求項１又は２の何れかに記載の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法。
【請求項４】
液晶パネルに対するＴＡＢ部品の供給及び仮圧着をインデックステーブル上にて行う液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着装置において、
前記インデックステーブルにＴＡＢ部品を吸着保持し、かつインデックステーブルに対して回転可能なボンディングヘッドを等間隔に複数設け、これらのボンディングヘッドの間隔に一致させて少なくともＴＡＢ部品供給部、ＴＡＢ部品位置認識部、仮圧着部の各ポジションを配置し、ＴＡＢ部品位置認識部にはＴＡＢ部品の所定位置からのθ方向へのズレ量を認識する画像処理手段を有し、仮圧着部にはボンディングヘッドを前記θ方向へのズレ量に応じて回転させて補正を行うθ補正ユニットを設けたことを特徴とする液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着装置。
【請求項５】
上記インデックステーブルと同心円状で外縁部が円形状のベアリングならいテーブルを固定配置し、ボンディングヘッドにベアリングを設けると共にベアリングをベアリングならいテーブルの外縁部に当接する回転力を付勢し、仮圧着部にベアリングならいテーブルの外縁部から突出及び没入自在となるカムを設け、該カムの突出及び没入により仮圧着部に移動してきたベアリングをベアリングならいテーブルの外縁部から進退動させることでボンディングヘッドを回転させて位置補正を行うことを特徴とする請求項４に記載の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶パネルへのテープオートメーテッドボンデング部品（ＴＡＢ部品）圧着方法と装置に関し、更に詳しくは液晶パネルへのＴＡＢ部品の圧着時間の短縮を行うとともに、精度の良い圧着を行う圧着方法と装置に関する
【背景技術】
【０００２】
電子機器のディスプレイとして多用されている液晶パネル１は、図９に示すように、２枚のガラス基板を貼り合わせ、その間に液晶を封入すると共に、その周囲に、液晶駆動用のチップ部品を実装した基板が接続される。このチップ部品を実装する基板は、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）、システムオンフィルム（ＳＯＦ）、又は、テープオートメーテッドボンデング部品（ＴＡＢ部品）と呼ばれているものがあるが、以降の説明においてこれらの総称としてＴＡＢ部品２を用いる。
【０００３】
液晶パネル１のガラス基板のそれぞれの対向面に配線パターン（図示しない）が形成されており、図１０の液晶パネルの一部拡大平面図に示すように、液晶パネル１の縁部表面には配線パターンに接続された複数本の電極部３が導出されており、この電極部３が導出された部分にＴＡＢ部品２が実装されることになる。
【０００４】
上記ＴＡＢ部品２は、液晶駆動用のチップ部品４が載置され、液晶パネル１と接続する側の端部裏面に複数本の電極部５が設けられており、この電極部５は液晶パネル１側の電極部３と一致するように形成され、電極部５の両側部に輪状のアライメントマーク７が、液晶パネル１側の電極部３の両側部のアライメントマーク６と一致する間隔で施されている。また、液晶パネル１と接続する側と他端部側にも制御基板等と接続する電極部５が設けられている。
【０００５】
なお、液晶パネル１の角部には、液晶パネル１の位置決め作業のためのアライメントマーク８も設けられている。
【０００６】
上記液晶パネル１の電極３にＴＡＢ部品２を接続する方法としては、導電性粒子を含み粘着性を有する異方性導電テープ９（以下ＡＣＦテープ９という）を用いる方法が一般的であり、その方法は、液晶パネル１側の外縁に沿って長尺のＡＣＦテープ９を電極部３上に貼り付け、次に、ＡＣＦテープ９上にＴＡＢ部品２電極部５を圧着するものである。
【０００７】
ここで液晶パネル１へのＴＡＢ部品２の圧着サイクルの向上を目的として、４つのボンディングヘッドをＴＡＢ部品供給ポジション、ＴＡＢ部品位置決めポジション、ＴＡＢ部品仮圧着ポジション、及び、不良品となった場合のＴＡＢ部品排出ポジションの各々のポジションに回転させながら連続作業を行うインデックステーブル（ロータリー）方式が採用されている。
【０００８】
上記インデックステーブル方式では、ＴＡＢ部品供給ポジションにおいてはＴＡＢ部品をボンディングヘッドに供給し、図１１に示すように、ボンディングヘッド（図示せず）に接続されたボンディングヘッド軸１０の下端の吸着ノズル１１の吸着部１２にてＴＡＢ部品２の上面を吸着し、ＴＡＢ部品位置決めポジションにてボンディングヘッドの吸着力を少し弱めておき、保持されたＴＡＢ部品２に押し当てブロック１３を押し当てることにより、吸着部１２で吸着されたＴＡＢ部品２の吸着位置をずらして位置決め調整を行うことになる。
【０００９】
その後、ＴＡＢ部品仮圧着ポジションにてＴＡＢ部品２側のアライメントマーク７と液晶パネル１側のアライメントマーク６を合わせて仮圧着を行うが、このＴＡＢ部品仮圧着ポジションにて液晶パネル１をＸ，Ｙ，θ方向に駆動して位置決めを行う。
【００１０】
仮圧着後のＴＡＢ部品２は、次工程の本圧着位置にて本圧着が行われ、その後、検査カメラで位置ずれを検査し、位置ずれがあれば補正値を液晶パネル位置決め制御部にフィードバックを行う（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３２４３９７３号公報、第１頁、第２頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記インデックステーブル方式を用いた液晶パネルへのＴＡＢ部品貼付工程においては、以下に示すような問題があった。
【００１２】
（１）ボンディングヘッドの吸着部に吸着したＴＡＢ部品を位置補正する際、ＴＡＢ部品が押し当てブロックに接触するため、ＴＡＢ部品が変形したり、埃や塵等が発生する発塵問題がある。
【００１３】
（２）硬度の低いＴＡＢ部品や位置補正する基準面が平坦でないＴＡＢ部品では、押し当てブロックでの位置補正が困難であり、正確な位置補正ができない。
【００１４】
（３）圧着位置での液晶パネル側のθ方向への移動による位置決めは、最近の液晶パネルの大型化に伴い、回転半径が大きくなり、位置決めに時間を要する問題がある。
【００１５】
（４）上記（３）の問題を解決するために、ＴＡＢ部品のボンディングヘッド側にＸ，Ｙ，θ駆動機構を設けることも考えられるが、４つのボンディングヘッド全てに前記機構が必要となり、複雑化とコストアップにつながる問題がある。
【００１６】
（５）特許文献１では、本圧着終了後にフィードバック補正を行っており、圧着終了段階まで不良が発見できず、不良発生時のリペアも本圧着後では困難である。
【００１７】
（６）また、特許文献１では、４つのボンディングヘッド毎の特性は認識しておらず、ボンディングヘッド毎に応じたフィードバック補正が行えないため、ボンディングヘッド毎の誤差を吸収できない問題がある。
【００１８】
そこで、本発明の課題は、インデックステーブルの複雑化を防止しつつ、θ方向へのズレ量の補正機能を設けること、圧着時の位置決め時間を短縮すること、及び、熱等による位置決め誤差を減らし、精度良い位置決めを行えることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記のような課題を解決するため、請求項１の発明は、液晶パネルに対するＴＡＢ部品の供給及び仮圧着をインデックステーブル上にて行う液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法において、前記インデックステーブルにＴＡＢ部品を吸着保持するボンディングヘッドを等間隔に複数設け、これらのボンディングヘッドの間隔に一致させて少なくともＴＡＢ部品供給部、ＴＡＢ部品位置認識部、仮圧着部の各ポジションを配置し、ＴＡＢ部品位置認識部にてＴＡＢ部品の所定位置からのθ方向へのズレ量を画像処理手段により認識し、仮圧着部にて仮圧着前にボンディングヘッドを前記θ方向へのズレ量に応じてインデックステーブルに対して回転させて補正を行うようにしたことを特徴とする構成を採用したものである。
【００２０】
また、請求項２の発明は、上記請求項１に記載の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法において、仮圧着部におけるθ方向の補正を行った後のＴＡＢ部品のθ方向へのズレ量を画像処理手段にて認識し、ズレ量の情報収集を複数回行い、その情報に基づいてズレ量を考慮したフィードバック補正を行う構成を採用したものである。
【００２１】
また、請求項３の発明は、上記請求項１又は２に記載の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法において、仮圧着部にて仮圧着を行った後のＴＡＢ部品のＸ，Ｙ，θ方向へのズレ量を画像処理手段にて認識し、ズレ量の情報収集を複数回行い、液晶パネル載置側では前記情報に基づいてＸ，Ｙ方向へのズレ量を考慮したフィードバック補正を行い、ボンディングヘッド側では前記情報に基づいてθ方向へのズレ量を考慮したフィードバック補正を行う構成を採用したものである。
【００２２】
次に、請求項４の発明は、液晶パネルに対するＴＡＢ部品の供給及び仮圧着をインデックステーブル上にて行う液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着装置において、前記インデックステーブルにＴＡＢ部品を吸着保持し、かつインデックステーブルに対して回転可能なボンディングヘッドを等間隔に複数設け、これらのボンディングヘッドの間隔に一致させて少なくともＴＡＢ部品供給部、ＴＡＢ部品位置認識部、仮圧着部の各ポジションを配置し、ＴＡＢ部品位置認識部にはＴＡＢ部品の所定位置からのθ方向へのズレ量を認識する画像処理手段を有し、仮圧着部にはボンディングヘッドを前記θ方向へのズレ量に応じて回転させて補正を行うθ補正ユニットを設けた構成を採用したものである。
【００２３】
また、請求項５の発明は、上記請求項４に記載の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着装置において、上記インデックステーブルと同心円状で外縁部が円形状のベアリングならいテーブルを固定配置し、ボンディングヘッドにベアリングを設けると共にベアリングをベアリングならいテーブルの外縁部に当接する回転力を付勢し、仮圧着部にベアリングならいテーブルの外縁部から突出及び没入自在となるカムを設け、該カムの突出及び没入により仮圧着部に移動してきたベアリングをベアリングならいテーブルの外縁部から進退動させることでボンディングヘッドを回転させて位置補正を行う構成を採用したものである。
【発明の効果】
【００２４】
以上、請求項１の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法、及び請求項４の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着装置によれば、位置補正をＴＡＢ部品に非接触で行えるようにしたので、ＴＡＢ部品を破損することがなく、また発塵も起こさないと共に、ＴＡＢ部品の材質に依存せず、また、変則的な形状のＴＡＢ部品にも対応できる。
【００２５】
また、ＴＡＢ部品側のθ方向のずれを仮圧着部に移動してくると同時に補正できるため、液晶パネル側のθ方向の補正が不要になり、位置決め時間を短縮できるとともに大型液晶パネルであっても精度良く位置決めできる。
【００２６】
次に、請求項２の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法によれば、仮圧着部にて熱や機械誤差等によるθ方向へのズレが生じても、本圧着前にフィードバック補正をするため、不良品が発生してもリペアが容易であり、さらにボンディングヘッド毎に補正量をフィードバックできるため、装置特性を的確にフィードバックできる。
【００２７】
次に、請求項３の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法によれば、本圧着後のＴＡＢ部品に圧着によるＡＣＦテープやＴＡＢ部品の伸びによるＸ，Ｙ，θ方向のズレが生じていても、そのずれ量をＸ，Ｙ方向については液晶パネル載置側の例えば液晶パネルテーブル位置決め機構に、θ方向についてはＴＡＢ部品を吸着しているボンディングヘッド側のθ補正機構にそれぞれフィードバックするので、ボンディングヘッド毎に的確な補正量をフィードバックすることができる。
【００２８】
次に、請求項５の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着装置によれば、ボンディングヘッド毎に駆動機構を設けずにθ方向の補正を行えるようにしたので、装置の簡素化や軽量化が図れるとともに位置決め精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、この発明の実施の形態を図示例と共に説明するが、背景技術で説明したものと同一の部品は同一の符号を付して説明する。
【００３０】
図１は、この発明に係る液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法及び装置の一例を示す全体構成図であり、図１（Ａ）は液晶パネル１の移動工程を示すもので、パネル供給部→パネル端子清掃部→ＡＣＦ貼付部→仮圧着部→本圧着部(1)→本圧着部(2)→圧着ズレ検査部→パネル排出部と順次送られる。
【００３１】
まず、パネル供給部から供給された液晶パネルに対して、パネル端子清掃部にて薬液での自動拭き取り及びエアーブロー等により電極部を清掃し、次にＡＣＦ貼付部にて適宜手段にてＡＣＦテープを貼り付け、仮圧着部にてインデックステーブルの仮圧着部と重なることになる。
【００３２】
仮圧着部にて位置ずれしない程度にＴＡＢ部品が圧着され、その後の本圧着部(1)及び本圧着部(2)にて液晶パネルの長辺側及び短辺側それぞれに対して本圧着を行い、その後圧着ズレ検査部にて圧着ズレを検査し、パネル排出部にて次工程に送られる。
【００３３】
図１（Ｂ）はＴＡＢ部品のインデックステーブル付近の平面図であり、まず、ＴＡＢ部品供給リール１４に巻回されテープ状に連なったＴＡＢ部品は、ＴＡＢ部品打ち抜き装置１５にて型抜き状に打ち抜かれて個々のＴＡＢ部品２となり、ＴＡＢ部品供給テーブル１６にて１個ずつ取り出され、適宜手段にてインデックステーブル１７のＴＡＢ部品供給部ａに供給される。
【００３４】
円形のインデックステーブル１７には、４つのボンディングヘッド１８が、同一円周上に等間隔の配置で設けられ、このボンディングヘッド１８の配置間隔に等しい９０°の角度で一方（図示時計回り）へ間歇的に回転し、ボンディングヘッド１８の停止位置が、ＴＡＢ部品供給部ａ、ＴＡＢ部品位置認識部ｂ、仮圧着部ｃ、ＴＡＢ部品排出部ｄに設定されている。
【００３５】
インデックステーブル１７の下側には、インデックステーブル１７を間歇回転させるインデックステーブル駆動機構１９と、インデックステーブル１７と同心円状の固定されたベアリングならいテーブル２０が設置され、ボンディングヘッド１８に固定されたベアリング２１は、このベアリングならいテーブル２０の外縁部に当接しながらインデックステーブル１７の回転に従って移動していくようになっている。
【００３６】
前記ＴＡＢ部品位置確認部ｂには、一対のＴＡＢ部品位置確認カメラ２２が設置され、ボンディングヘッド１８に固定されているＴＡＢ部品の位置をこのＴＡＢ部品位置確認カメラ２２が捉えた画像により認識するようになっている。
【００３７】
前記仮圧着部ｃには、ベアリングならいテーブル２０の切欠にθ補正ユニット２３が組み込まれており、ボンディングヘッド１８側のベアリング２１との当接により、ボンディングヘッド１８をθ方向に補正するようになっており、また、仮圧着位置にて一対の位置決め用カメラ２４が設置されている。
【００３８】
前記ＴＡＢ部品排出部ｄでは、位置認識不可や補正不可と判定され前段の仮圧着部ｃにて液晶パネル１への仮圧着が行われなかったＴＡＢ部品２が送られ、適宜手段にてボンディングヘッド１８から排出される。
【００３９】
前記仮圧着部ｃの図示前側には、ＡＣＦ貼付部にて適宜手段にてＡＣＦテープ９が貼り付けられた液晶パネル１が載置される仮圧着部パネルテーブル２５が設けられており、この仮圧着部パネルテーブル２５上面に載置された液晶パネル１に対してＴＡＢ部品２が仮圧着され、その後液晶パネル１は本圧着部ｅの本圧着部パネルテーブル２６上に適宜手段（図示しない）で移送され、適宜手段による本圧着装置２７によりＴＡＢ部品２の本圧着が行われる。
【００４０】
図２は仮圧着部ｃの正面図であり、機台２８上にはモータ等によるインデックステーブル駆動機構１９が載置され、ベアリングならいテーブル２０も機台２８と適宜部材を介して接続固定されている。また、機台２８上のＴＡＢ部品位置認識部ｂにはＴＡＢ部品位置認識カメラ２２を駆動するカメラ駆動機構２９が設置されている。
【００４１】
インデックステーブル１７上に配置された各ボンディングヘッド１８において、それぞれインデックステーブル１７の上下を貫通するボンディングヘッド軸１０が軸方向に昇降動自在となって設けられ、インデックステーブル１７の下側のボンディングヘッド軸１０の下端部にはＴＡＢ部品２を吸着する吸着ノズル１１が取り付けられており、また、インデックステーブル１７の上側では、ボンディングヘッド軸１０の上端部が径が拡大された加圧部３０となり、この加圧部３０にはボンディングヘッド軸１０の外周に配置されたスプリング３１によって上方向への力が付与されている。
【００４２】
機台２８に立設された枠３２には仮圧着部ｃに位置するボンディングヘッド１８の加圧部３０を上から押圧することにより吸着ノズル１１を下降させるボンディングヘッド加圧シリンダ３３が固定されている。
【００４３】
なお、仮圧着部ｃの下部に設けられた一対の位置決め用カメラ２４は、ＴＡＢ部品２の種類・寸法の違いによるアライメントマーク７の間隔に応じ、図示矢印で示すように適宜手段で接近離反動可能となっており、これはＴＡＢ部品位置認識部ｂでのＴＡＢ部品位置認識カメラ２２についても同様である。
【００４４】
図３は、仮圧着部ｃのボンディングヘッド１８の平面図であり、円形状のボンディングヘッド１８は、インデックステーブル１７に対して回転可能となっており、ボンディングヘッド１８に固定ピン３４を介して取り付けられたブラケット３５と、インデックステーブル１７の固定側には収縮力を与えるスプリング３６が介在しており、ボンディングヘッド１８には図示反時計回りの方向へ回転力が加わっている。
【００４５】
図示点線で示すように、ボンディングヘッド１８の下面にはベアリング２１が固定されており、ボンディングヘッド１８に加わる図示反時計回りへの回転力により、ベアリング２１はベアリングならいテーブル２０の外縁に接触していることになる。
【００４６】
同じく図示点線で示すように、ベアリングならいテーブル２０の、仮圧着部ｃの若干右よりの位置にはθ補正ユニット２３が設けられ、このθ補正ユニットでは、ベアリングならいテーブル２０が切り欠けたテーブル切欠部３７が設けられ、このテーブル切欠部３７内にθ補正ユニット駆動機構３８によりベアリングならいテーブル２０の外縁部から進退自在となるカム３９が設けられ、このカム３９はベアリングならいテーブル２０の外縁部から突出も後退もしていない中立位置ではベアリングならいテーブル２０の外縁の円周と一致するようになっている。
【００４７】
図４は、仮圧着部ｃ付近の一部拡大右側側面図であり、ボンディングヘッド１８は、その周囲をインデックステーブル１７に対してクロスローラベアリング４０により回動自在に支持されており、吸着ノズル１１に接続するボンディングヘッド軸１０は、このボンディングヘッド１８に対してガイド４１により軸の円周方向の回転は規制され上下昇降動のみが自在となっている。
【００４８】
よって、ボンディングヘッド１８がインデックステーブル１７に対して角度θ回転すれば、吸着ノズル１１もボンディングヘッド１８に従い角度θ回転するようになっており、加圧シリンダ３３の下降により、図中二点鎖線で示すように、吸着ノズル１１はヒータ（図示しない）により本圧着より低温で加熱しながら液晶パネル１の上面にＴＡＢ部品２を押圧して圧着するようになっている。
【００４９】
また、仮圧着部ｃの下部には、圧着テーブル４２が設けられており、この圧着テーブル４２は、機台２８上でインデックステーブル１７の放射方向に設けられたレール４３に嵌合して適宜手段で進退動するスライダ４４上に設けられた上下方向に延びたレール４５に嵌合して圧着テーブル駆動機構４６により上下昇降動するスライダ４７に固定されており、仮圧着部ｃに対する進退動と上下昇降動が自在となっている。
【００５０】
この圧着テーブル４２は、位置決め用カメラ２４による画像処理時には邪魔にならないようインデックステーブル１７の軸側に後退しているが、図中二点鎖線で示すように、液晶パネル１を載置した仮圧着部パネルテーブル２５が圧着部ｃに臨んだ時、圧着テーブル４２は、前進と上昇動を行い、仮圧着部パネルテーブル２５から突出しているＴＡＢ部品２を圧着すべき液晶パネル１の一辺を下から支えるようになっている。
【００５１】
図５はθ補正ユニット２３の動作を示す図であり、図５（Ａ）はＴＡＢ部品２に対するθ補正を行わない場合であり、この場合はθ補正ユニット駆動機構はカム３９の先端部をベアリングならいテーブル２０の外周縁と一致させた中立位置としておき、ＴＡＢ部品位置認識部ｂから移動してくるボンディングヘッド１８に取り付けられたベアリング２１は、インデックステーブル１７の回転軸と同心円のベアリングならいテーブル２０の縁部に沿って移動し、仮圧着部ｃまで到達した際、カム３９の先端部に接触するが、この先端部がベアリングならいテーブル２０の外周と一致しているので、ボンディングヘッド１８は回動を行わず、従ってボンディングヘッド１８と一体に回動するボンディングヘッド軸１０も回動せず、吸着ノズル１１のθ方向への補正は行われない。
【００５２】
図５（Ｂ）はＴＡＢ部品２に反時計回り方向へのθ補正を行う場合であり、この場合はθ補正ユニット駆動機構はカム３９の先端部をベアリングならいテーブル２０の外周縁から内側に没入させた位置としておき、ＴＡＢ部品位置認識部ｂから移動してくるボンディングヘッド１８に取り付けられたベアリング２１は仮圧着部ｃまで到達した際、ベアリングならいテーブル２０より内側にあるカム３９の先端部まで没入し、その結果、ボンディングヘッド１８は反時計回り方向に回動し、それに従ってボンディングヘッド１８と一体に回動するボンディングヘッド軸１０も回動し、吸着ノズル１１はθ方向（反時計回り方向）へ補正が行われる。
【００５３】
図５（Ｃ）はＴＡＢ部品２に時計回り方向へのθ補正を行う場合であり、この場合はθ補正ユニット駆動機構はカム３９の先端部をベアリングならいテーブル２０の外周縁から外側に突出させた位置としておき、ＴＡＢ部品位置認識部ｂから移動してくるボンディングヘッド１８に取り付けられたベアリング２１は仮圧着部ｃまで到達した際、ベアリングならいテーブル２０より外側に突出したカム３９に沿って先端部までベアリングならいテーブル２０の外側に突出し、その結果、ボンディングヘッド１８は時計回り方向に回動し、それに従ってボンディングヘッド１８と一体に回動するボンディングヘッド軸１０も回動し、吸着ノズル１１はθ方向（時計回り方向）へ補正が行われる。
【００５４】
なお、上記した補正方法は、ＴＡＢ部品位置認識部ｂのＴＡＢ部品位置認識カメラにて得た位置情報に基づいて予めθ補正ユニットを作動させておくものであるが、ボンディングヘッド１８が仮圧着部ｃに到着してからθ補正ユニットを作動させてカム３９を進退動させてボンディングヘッド１８を回転させるようにすることも可能である。
【００５５】
図６はＴＡＢ部品２がθ方向への補正が行われた状態の動作図であり、まず、ＴＡＢ部品位置認識部ｂにてＴＡＢ部品位置認識カメラ２２によりＴＡＢ部品２のアライメントマーク７の位置を認識し、演算処理によりＴＡＢ部品２の規定位置からのθ方向への傾き（θ）を算出する。
【００５６】
次に、インデックステーブル１７の間歇回転によるＴＡＢ部品２のＴＡＢ部品位置認識部ｂから仮圧着部ｃへの移動途中にて、傾きθの情報に基づき仮圧着部ｃのθ補正ユニット２３を作動させる。なお、図６の場合の例では、ＴＡＢ部品２に対して反時計回り方向への補正が必要となるので、図５（Ｂ）に示したように傾きθの補正に必要なだけθ補正駆動機構３８によりカム３９を没入方向に移動させることとなる。
【００５７】
仮圧着部ｃにてθ方向の補正が行われたＴＡＢ部品２は、位置決め用カメラ２４にてアライメントマーク７の位置を確認し、その後、図７に示すように液晶パネル１側のアライメントマーク６をＴＡＢ部品２側のアライメントマーク７と一致させるように液晶パネル１側（仮圧着部パネルテーブル２５）を必要に応じてＸ，Ｙ方向に移動（図示ではＹ方向への移動）させ、位置合わせ後に仮圧着を行う。
【００５８】
この発明の液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着装置は上記説明した通りであるが、これらの実施形態に限定されるものではなく、インデックステーブルの形状やそのボンディングヘッドの数等、適宜変更して設計することができるし、アライメントマークについても実施例のものに限られず、種々の形状のものが利用できる。
【００５９】
図８は、液晶パネルへのＴＡＢ部品の圧着工程のチャート図を示すものであり、図１乃至図７で使用した符号を付しながら説明すると、右に示す液晶パネル１の供給経路では、まず最初に仮圧着部ｃの位置決めカメラ２４を利用して基準座標と液晶パネル１を載置した仮圧着部パネルテーブル２５の座標系を比較して、仮圧着部パネルテーブル２５をθ駆動して位置合わせをしてから作業を始める。
【００６０】
なお、仮圧着部パネルテーブル２５の座標系へのθ方向の位置合わせは予め適宜手段（図示しない）で行っておけば良い。このことにより、仮圧着時のθ方向位置決めはＴＡＢ部品２側のみで行える。
【００６１】
一方、ＴＡＢ部品２は、ＴＡＢ部品供給部ａからＴＡＢ部品位置認識部ｂにて必要に応じて粘着テープやブラシを用いた端子清掃が行われ、ＴＡＢ部品位置認識カメラ２２でアライメントマーク７が認識され、その際得られた位置情報より所定位置からのθずれ量を算出し、このθずれ量のデータをθ補正ユニット２３に転送し、θ補正ユニット２３を駆動してθずれ量を補正しておく。
【００６２】
仮圧着部ｃに移送された液晶パネル１は、位置決め用カメラ２４でＴＡＢ部品２及び液晶パネル１の両アライメントマークを認識する。この際、供給されたＴＡＢ部品２のθずれ量はθ補正ユニット２３により補正されている筈であるが、熱や誤差等により補正後の規定位置より外れていれば更にθ補正ユニット２３にθずれ量の情報のフィードバックを行う。
【００６３】
このフィードバック情報に基づいて更にθ補正ユニット２３を作動させて仮圧着前に補正を毎回行うこともできるが、θずれ量の情報の収集を各ボンディングヘッド毎に数回〜数十回行えば、その統計情報によりＴＡＢ部品２の仮圧着部ｃに載置された際のθずれ量がボンディングヘッド１８毎に予め予測できるようになり、θ補正ユニット２３にこれらの情報をフィードバックして更に精度良いθずれ量の補正が行えるようになる。
【００６４】
なお、液晶パネル１側にもθずれが生じていれば、仮圧着部パネルテーブル２５のθ方向への補正を行うことができる。
【００６５】
その後液晶パネル１を必要に応じてＸ，Ｙ方向に移動させ、ＴＡＢ部品２のアライメントマーク７に液晶パネル１のアライメントマーク６を合わせ、仮圧着を行い、その後、必要に応じ位置決め用カメラ２４でＴＡＢ部品仮圧着済の液晶パネル１の検査を行う。
【００６６】
仮圧着済の液晶パネル１についてＴＡＢ部品２のＸ，Ｙ，θずれ量を検査し、仮に圧着時のＡＣＦテープ９やＴＡＢ部品２の伸び等の原因によるＸ，Ｙ，θ方向のずれが生じていれば、これらのずれ量の情報の収集を各ボンディングヘッド毎に数回〜数十回行い、その統計情報によりＴＡＢ部品２の仮圧着部ｃで仮圧着された後のＸ，Ｙ，θずれ量がボンディングヘッド１８毎に予め予測できるようになり、仮圧着部パネルテーブル２５にＸ，Ｙ方向のずれ量の情報をフィードバックすると共に、θ補正ユニット２３にθずれ量の情報をフィードバックし、更に精度の良いＸ，Ｙ，θずれ量の補正が行えるようになる。
【００６７】
また、必要に応じて本圧着後に圧着ズレ検査部で検査したＸ，Ｙ，θずれ量を仮圧着部パネルテーブル２５及びθ補正ユニット２３にフィードバックし、Ｘ，Ｙ，θ補正することもできる。このことにより、更に精度の良いＸ，Ｙ，θずれ量の補正が行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】（Ａ）はこの発明の装置の全体構成図であり（Ｂ）はインデックステーブル付近の平面図。
【図２】この発明の仮圧着部の正面図
【図３】この発明の仮圧着部の平面図
【図４】この発明の仮圧着部の右側面図
【図５】（Ａ）乃至（Ｃ）はこの発明のθ補正ユニットの動作を示す平面図
【図６】ＴＡＢ部品のアライメント動作を示す平面図
【図７】仮圧着部でのアライメント動作を示す平面図
【図８】アライメント動作を示すチャート図
【図９】液晶パネルの平面図
【図１０】液晶パネルの一部拡大平面図
【図１１】従来のＴＡＢ部品の位置決め方法を示す説明図
【符号の説明】
【００６９】
ａ    ＴＡＢ部品供給部
ｂ    ＴＡＢ部品位置認識部
ｃ    仮圧着部
ｄ    ＴＡＢ部品排出部
１    液晶パネル
２    ＴＡＢ部品
３    電極部
４    チップ部品
５    電極部
６    アライメントマーク
７    アライメントマーク
８    アライメントマーク
９    ＡＣＦテープ
１０    軸
１１    吸着ノズル
１２    吸着部
１３    押し当てブロック
１４    ＴＡＢ部品供給リール
１５    ＴＡＢ部品打ち抜き装置
１６    ＴＡＢ部品供給テーブル
１７    インデックステーブル
１８    ボンディングヘッド
１９    インデックステーブル駆動機構
２０    ベアリングならいテーブル
２１    ベアリング
２２    ＴＡＢ部品位置認識カメラ
２３    θ補正ユニット
２４    位置決め用カメラ
２５    仮圧着部パネルテーブル
２６    本圧着部パネルテーブル
２７    本圧着装置
２８    機台
２９    カメラ駆動機構
３０    加圧部
３１    スプリング
３２    枠
３３    ボンディングヘッド加圧シリンダ
３４    固定ピン
３５    ブラケット
３６    スプリング
３７    テーブル切欠部
３８    θ補正ユニット駆動機構
３９    カム
４０    クロスローラベアリング
４１    ガイド
４２    圧着テーブル
４３    レール
４４    スライダ
４５    レール
４６    圧着テーブル駆動機構
４７    スライダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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