(57)【要約】【課題】  ノズル周辺に付着した液体や異物を容易に除去できると共に液滴のノズルへの流れがスムーズな積層ノズルプレート、及びこの積層ノズルプレートを備えた液滴吐出ヘッドを提供すると共に、保護プレートの段差孔、ノズルプレートのノズル、及び、連通孔プレートの連通孔を、高精度に位置合わせすることの可能な積層ノズルプレートの製造方法を提供する。【解決手段】  ノズルプレート１４の一の面にプールプレート１６を接合すると共に、ノズルプレート１４の他の面に保護プレート１２を接合し、その後、プールプレート１６に連通孔２４を形成すると共に、保護プレート１２に段差孔２２を形成する。そして、ノズルプレート１４にノズル２０を形成する。【選択図】  図４
2006224624.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルの形成されたノズルプレートと、
前記ノズルプレートに積層され、前記ノズルと連通される連通孔の形成された連通孔プレートと、
前記ノズルプレートを挟んで前記連通孔プレートと逆側に積層され、前記ノズルよりも大きい開口で前記ノズルを外部と連通させる段差孔の形成された保護プレートと、
を備え、
前記保護プレートの厚み方向に形成される前記段差孔の側壁の傾斜、及び、前記連通孔プレートの厚み方向に形成される前記連通孔の側壁の傾斜が、前記ノズルプレートへ近づくにしたがって小さくなる構成とされていることを特徴とする積層ノズルプレート。
【請求項２】
１つの前記段差孔が、複数の前記ノズルが形成される領域を包含するように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の積層ノズルプレート。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の積層ノズルプレートを備えた液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
液滴を吐出するノズルの形成されるノズルプレートと、前記ノズルと連通される連通孔の形成される連通孔プレートと、前記ノズルよりも大きい開口で前記ノズルを外部と連通させる段差孔の形成される保護プレートと、が積層された積層ノズルプレートの製造方法であって、
前記ノズルプレートの一の面に前記連通孔プレートを接合すると共に前記ノズルプレートの他の面に前記保護プレートを接合する接合工程と、
前記連通孔プレートに前記連通孔を形成すると共に前記保護プレートに前記段差孔を形成する孔形成工程と、
前記ノズルを形成するノズル形成工程と、
を有する、積層ノズルプレート製造方法。
【請求項５】
前記孔形成工程は、レジスト塗布処理、及びエッチング加工処理を含んでいることを特徴とする請求項４に記載の積層ノズルプレート製造方法。
【請求項６】
前記接合工程は、前記ノズルプレートと前記連通孔プレートとの熱融着処理、及び前記ノズルプレートと前記保護プレートとの熱融着処理、を含んでいることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の積層ノズルプレート製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出して画像を記録する液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドの構成部材である積層ノズルプレート、及び、この積層ノズルプレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数のノズルから液滴を吐出し、用紙等の記録媒体に印字を行う液滴吐出装置には、インクジェット記録装置があり、このインクジェット記録装置は、小型で安価、静寂性等の種々の利点があり、広く市販されている。特に、圧電素子を用いて圧力室内の圧力を変化させてインク滴を吐出するピエゾインクジェット方式や、熱エネルギーの作用でインクを膨張させてインク滴を吐出する熱インクジェット方式の記録装置は、高速印字、高解像度が得られる等、多くの利点を有している。
【０００３】
このようなインクジェット方式の記録装置においては、複数のノズルからインク滴を吐出した際に、インク滴がノズルの周辺に付着するのを防ぐため、ノズル表面に撥水膜が塗布されている。しかし、この撥水膜は、用紙がジャム等により浮き上がると、紙擦れにより擦傷ダメージを受けてしまい、インク吐出方向が傾いたり、インク滴径及び速度にばらつきが生じるなど、インクの吐出性能が悪化する。
【０００４】
この対策として、例えば、ノズルプレートに形成されたノズルの周囲に円形状の段差を設けたインクジェット記録ヘッドが提案されている。このインクジェット記録ヘッドは、ノズルを形成したノズルプレートに、ノズルに対応した円形状の開孔を有する金属プレートを接着することで、ノズルの周囲に円形状の段差を形成し、ノズル周辺の撥水膜に用紙が接触しないようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、特許文献１に記載のインクジェット記録ヘッドでは、ノズルプレートにノズルを形成した後、ノズルに対応した開口が形成された金属プレートを積層するので、積層する際に高精度の位置調整が必要となる。また、円形状の段差がノズルプレート面に対してほぼ直角であるため、段差の角部にインクや異物が溜まりやすい。
【特許文献１】特許第３１０８７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ノズル周辺に付着した液体や異物を容易に除去できると共に液滴のノズルへの流れがスムーズな積層ノズルプレート、及びこの積層ノズルプレートを備えた液滴吐出ヘッドを提供すると共に、保護プレートの段差孔、ノズルプレートのノズル、及び、連通孔プレートの連通孔を、高精度に配置することの可能な積層ノズルプレートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の積層ノズルプレートは、液滴を吐出するノズルの形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートに積層され、前記ノズルと連通される連通孔の形成された連通孔プレートと、前記ノズルプレートを挟んで前記連通孔プレートと逆側に積層され、前記ノズルよりも大きい開口で前記ノズルを外部と連通させる段差孔の形成された保護プレートと、を備え、前記保護プレートの厚み方向に形成される前記段差孔の側壁の傾斜、及び、前記連通孔プレートの厚み方向に形成される前記連通孔の側壁の傾斜が、前記ノズルプレートへ近づくにしたがって小さくなる構成とされていることを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載の積層ノズルプレートは、ノズルプレートにノズルが形成されており、ノズルプレートの片面に連通孔プレートが積層され、他の片面に保護プレートが積層されている。流路プレートにはノズルと連通された連通孔が形成されており、保護プレートにはノズルを外部と連通させるノズルよりも大きい開口の段差孔が形成されている。
【０００９】
本発明では、連通孔の側壁の傾斜が、ノズルプレートへ近づくにしたがって小さくなる構成とされているので、液体をスムーズに連通孔からノズルへと流動させることができる。
【００１０】
また、本発明では、段差孔の側壁の傾斜が、ノズルプレートへ近づくにしたがって小さくなる構成とされているので、ノズル周辺のインクや異物を段差孔から容易に除去することができる。
【００１１】
請求項２に記載の積層ノズルプレートは、請求項１に記載の積層ノズルプレートにおいて、１つの前記段差孔が、複数の前記ノズルが形成される領域を包含するように形成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
上記構成によれば、複数のノズルが形成される広い領域に段差孔を形成するので、段差孔の形成において、高精度な位置調整が不要となる。
【００１３】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドは、請求項１または請求項２に記載の積層ノズルプレートを備えたものである。
【００１４】
この液滴吐出ヘッドによれば、前記積層ノズルプレートを備えているので、液体をスムーズに連通孔からノズルへと流動させることができると共に、ノズル周辺のインクや異物を段差孔から容易に除去することができる。
【００１５】
請求項４に記載の積層ノズルプレートの製造方法は、液滴を吐出するノズルの形成されるノズルプレートと、前記ノズルと連通される連通孔の形成される連通孔プレートと、前記ノズルよりも大きい開口で前記ノズルを外部と連通させる段差孔の形成される保護プレートと、が積層された積層ノズルプレートの製造方法であって、前記ノズルプレートの一の面に前記連通孔プレートを接合すると共に前記ノズルプレートの他の面に前記保護プレートを接合する接合工程と、前記連通孔プレートに前記連通孔を形成すると共に前記保護プレートに前記段差孔を形成する孔形成工程と、を有している。
【００１６】
図８に示すように、接合前に段差孔Ｄ及び連通孔Ｒを形成して（図８（Ａ）参照）、その後に接合する（図８（Ｂ）参照）場合には、段差孔Ｄと連通孔Ｒとの位置合わせが難しく、ノズルＮの形成を段差孔Ｄの位置に合わせて形成すると、図８（Ｃ）に示すように、連通孔ＲとノズルＮとの相対位置がズレ、ノズルＮの形成を連通孔Ｒの位置に合わせて形成すると、図８（Ｄ）に示すように、段差孔ＤとノズルＮとの相対位置がズレてしまう。
【００１７】
そこで、上記積層ノズル製造方法では、まず、接合工程で、ノズルプレートの一の面に連通孔プレートを接合すると共に、ノズルプレートの他の面に保護プレートを接合する。この接合工程では、連通孔プレート、ノズルプレート、保護プレートの各々には、連通孔、ノズル、段差孔は未形成の状態である。次に、孔形成工程で、連通孔プレートに連通孔を形成すると共に、保護プレートに段差孔を形成する。このように、接合後に連通孔及び段差孔を形成することにより、接合前に段差孔及び連通孔を形成して、その後に接合する場合と比較して、連通孔、段差孔、及びノズルを、高精度に配置することができる。
【００１８】
請求項５に記載の積層ノズルプレート製造方法は、請求項４の積層ノズルプレート製造方法において、前記孔形成工程が、レジスト塗布処理、及びエッチング加工処理を含んでいることを特徴としている。
【００１９】
このように、段差孔及び連通孔の形成を、レジスト塗布処理、及びエッチング加工処理で行なうことにより、段差孔と連通孔とを容易に位置合わせすることができる。
【００２０】
請求項６に記載の積層ノズルプレート製造方法は、請求項４または請求項５に記載の積層ノズルプレート製造方法において、前記接合工程が、前記ノズルプレートと前記連通孔プレートとの熱融着処理、及び前記ノズルプレートと前記保護プレートとの熱融着処理、を含んでいることを特徴としている。
【００２１】
請求項６に記載の接合工程によれば、ノズルプレートと保護プレート、ノズルプレートと連通孔プレート、を熱融着で接合するので、接着剤を用いることなく、効率良く接合することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の積層ノズルプレートによれば、上記のように構成したので、ノズル周辺に付着した液体や異物を容易に除去できると共に、液滴のノズルへの流れをスムーズにすることができる。また、本発明の積層ノズルプレート製造方法によれば、保護プレートの段差孔、ノズルプレートのノズル、及び、連通孔プレートの連通孔を、高精度に位置合わせすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２４】
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態の積層ノズルプレート１０を有するインクジェット記録ヘッド４０を示す断面図である。
【００２５】
図１に示すように、インクジェット記録ヘッド４０は、保護プレート１２、ノズルプレート１４、及びプールプレート１６で構成された積層ノズルプレート１０を備えている。保護プレート１２の表面には、撥水膜１８が塗布されている。さらに、積層ノズルプレート１０を構成するプールプレート１６の上方には、連通孔プレート３０，３２と、圧力室プレート３４と、振動板３６とが位置合わせして積層され、接着剤などの接合手段によって接合されている。
【００２６】
積層ノズルプレート１０を構成するノズルプレート１４には、インクを吐出するノズル２０が形成されている。ノズルプレート１４の下部の保護プレート１２には、ノズル２０の周囲に段差孔２２が形成されている。図２にも示すように、保護プレート１２の厚み方向に形成される段差孔２２の側壁２２ａは、ノズルプレート１４に近づくにしたがって、傾斜角度αが小さくなる構成とされており、いわゆるお椀状に湾曲している。この段差孔２２によって、ノズル２０の周辺のノズル面２３が保護プレート１２のプレート面１９（撥水膜１８が塗布された保護プレート１２の表面）から凹状に後退している。これにより、印字時に浮き上がった記録媒体Ｐがノズル面２３に接触せず、ノズル２０の周辺の撥水膜１８が傷つかない。この撥水膜１８はノズル２０の周辺にインクが付着するのを防止するものであり、この撥水膜１８により、ノズル２０から吐出するインク滴が常にプレート面１９に対して垂直に吐出される。
【００２７】
また、段差孔２２の側壁２２ａは、いわゆるお椀状に湾曲しているので、記録媒体Ｐの先端部が段差孔２２に入り込みにくく、ジャム等の発生が防止される。さらに、ノズル２０の表面をメンテナンス時にワイパーで拭き取っても、段差孔２２内のインクや異物を容易に除去することができる。
【００２８】
一方、図１に示すように、積層ノズルプレート１０を構成するプールプレート１６には、ノズル２０と連通された連通孔２４が形成されている。図３にも示すように、プールプレート１６の厚み方向に形成される連通孔２４の側壁２４ａは、ノズルプレート１４に近づくにしたがって、傾斜角度βが小さくなる構成とされており、いわゆるお椀状に湾曲している。側壁２４ａがこのように湾曲されていることにより、インクをスムーズに連通孔２４からノズル２０へと流動させることができる。
【００２９】
また、連通孔プレート３０，３２には、連通孔４１，４３がぞれぞれ形成され、圧力室プレート３４には、圧力室４５が形成されている。ノズル２０、連通孔２４、及び連通孔４１，４３は、積層ノズルプレート１０、プールプレート１６、及び連通孔プレート３０，３２が積層された状態で連通し、圧力室プレート３４に形成された圧力室４５に繋がっている。
【００３０】
また、プールプレート１６には、インクプール２５が形成され、図示しないインク供給孔から供給されたインクが貯留されている。また、連通孔プレート３０，３２には、それぞれインクプール２５と連結するように供給孔４２，４４が形成されている。インクプール２５、供給孔４２，４４及び圧力室４５は、プールプレート１６と連通孔プレート３０，３２と圧力室プレート３４が積層された状態で連通している。なお、図示しないが、振動板３６の上部には、圧力室４５の上方に圧力発生手段としての単板型の圧電素子が取り付けられており、図示しないフレキシブル配線基板から駆動電圧が印加されるように構成されている。
【００３１】
このようなインクジェット記録ヘッド４０では、インクプール２５から供給孔４２，４４、圧力室４５、連通孔４３，４１、連通孔２４、ノズル２０へと連続するインクの通路が形成されている。インク供給孔（図示省略）から供給されインクプール２５に貯留されたインクは、供給孔４２，４４を経て圧力室４５内に充填される。そして、圧電素子（図示省略）に駆動電圧が印加されると、圧電素子とともに振動板３６がたわみ変形して圧力室４５を膨張又は圧縮させる。これによって、圧力室４５に体積変化が生じ、圧力室４５内に圧力波が発生する。この圧力波の作用によってインクが運動し、ノズル２０から外部へインク滴が吐出される。
【００３２】
次に、インクジェット記録ヘッド４０を構成する積層ノズルプレート１０の製造方法について説明する。
【００３３】
図４（Ａ）に示すように、ノズル２０を形成する前の板状のノズルプレート１４と、段差孔２２を形成する前の板状の保護プレート１２とを熱融着により接合すると共に、ノズルプレート１４と、連通孔２４を形成する前の板状のプールプレート１６とを熱融着により接合する。ノズルプレート１４と保護プレート１２、プールプレート１６とを熱融着により接着剤を用いずに接合することで、接合時に両者の位置調整をする必要がなく、効率良く接合することができる。ノズルプレート１４には、機械的強度、耐薬品性、薄膜化に優れた合成樹脂が用いることが好ましく、ポリイミドなどを用いることができる。ポリイミドを用いることで、従来のＳＵＳよりも加工しやすく、またインクに吐出エネルギーを与えた際にダンパ効果によりクロストークを抑制するという利点がある。保護プレート１２、プールプレート１６には、ＳＵＳなどの金属プレート、樹脂フィルム、液晶フィルム、又は樹脂プレートなどを用いることができる。
【００３４】
次いで、図４（Ｂ）に示すように、板状の保護プレート１２の表面、及び、プールプレート１６に、レジスト４８を形成する。このレジスト４８は、マスクを通してパターニングした後に不用部分を除去することで、段差孔２２の位置に対応した孔部４９Ａが形成され、連通孔２４の位置に対応した孔部４９Ｂが形成され、さらに、インクプール２５の位置に対応した孔部４９Ｃが形成される。そして、図４（Ｃ）に示すように、エッチングにより保護プレート１２に段差孔２２のパターンを形成すると共に、プールプレート１６に、連通孔２４、インクプール２５を形成し、レジスト４８を除去する。
【００３５】
段差孔２２は、図２に示すような、いわゆるお椀状のテーパー面とされた側壁２２ａを有する形状となる。この段差孔２２の深さは、例えば５μｍ〜２０μｍに設定することができる。また、連通孔２４についても、図３に示すような、いわゆるお椀状のテーパー面とされた側壁２４ａを有する形状となる。
【００３６】
次いで、図４（Ｄ）に示すように、保護プレート１２の表面、すなわちインクジェット記録ヘッド４０（図１参照）の吐出側表面に撥水膜１８を形成する。撥水膜１８は、スピンコート法などにより形成することができる。この撥水膜１８としては、４フッ化エチレン−６フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）、フッ化ビニリデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等のフッ素系樹脂を用いることができる。特に、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）が好ましい。
【００３７】
次いで、図４（Ｅ）に示すように、ノズルプレート１４にノズル２０を形成する。ノズル２０は、プールプレート１６の後方からエキシマーレーザ等で穿孔することにより形成することができる。このノズル２０は、段差孔２２の孔径より小さい口径に形成する。例えば、ノズルの口径を約２５μｍ、段差孔２２の直径を１００μｍ〜４００μｍに設定することができる。このようなノズル２０、段差孔２２、連通孔２４は、所定のパターンで複数形成され、これにより積層ノズルプレート１０が完成する。
【００３８】
その後、プールプレート１６側に、連通孔プレート３０，３２と、圧力室プレート３４とを接合し、圧力室プレート３４の開口を覆うように振動板３６を接合する。
【００３９】
上記のような積層ノズルプレート１０の製造方法によれば、まず、ノズルプレート１４、保護プレート１２、及び、プールプレート１６を接合するので、接合時に位置調整が必要でない。そして、接合後に、保護プレート１２に段差孔２２を形成すると共に、プールプレート１６に連通孔２４を形成し、その後ノズル２０を形成するので、ノズル２０、段差孔２２、及び連通孔２４を、高精度に配置することができる。
【００４０】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について図面に基づいて説明する。
【００４１】
図５は、本発明の第２実施形態のインクジェット記録ヘッド８０の積層ノズルプレート８１を示す斜視図である。なお、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００４２】
積層ノズルプレート８１は、図５に示すように、複数のノズル２０が１列に形成されたノズル領域８５を取り囲むように、保護プレート８２に段差孔８４が形成されている。保護プレート８２の厚み方向に形成される段差孔８４の側壁８４ａは、図６にも示すように、ノズルプレート１４に近づくにしたがって、ノズルプレート１４とのなす角度γが大きくなる構成とされている。
【００４３】
なお、ノズル２０の直径は約２５μｍ程度に設定することができ、ノズル領域８５の短手方向の幅は約１００μｍ〜４００μｍ程度に設定することができる。また、ノズル領域８５の長手方向の全長は、例えば約５０ｍｍに設定することができる。また、段差孔８４の深さは、５μｍ〜２０μｍに設定することができる。
【００４４】
この段差孔８４によって、ノズル２０の周辺のノズル領域８５が、保護プレート８２のプレート面８６（撥水膜１８が塗布された保護プレート８２の表面）から凹状に後退している。これにより、印字時に浮き上がった記録媒体Ｐがノズル領域８５に接触せず、ノズル２０の周辺の撥水膜１８が傷つかない。
【００４５】
なお、この積層ノズルプレート８１では、ノズル２０面をワイピングするワイパー（図示省略）がノズル領域８５の長手方向に移動するように構成されている。
【００４６】
次に、積層ノズルプレート８１の製造方法について説明する。
【００４７】
図７は、積層ノズルプレート８１の製造工程を、図６のＸ−Ｘ断面方向からみた図である。図７（Ａ）に示すように、ノズル２０を形成する前の板状のノズルプレート１４と、段差孔８４を形成する前の板状の保護プレート８２とを熱融着により接合すると共に、ノズルプレート１４と、連通孔２４を形成する前の板状のプールプレート１６とを熱融着により接合する。次いで、図７（Ｂ）に示すように、板状の保護プレート８２の表面、及び、プールプレート１６に、レジスト８８を形成する。このレジスト４８は、マスクを通してパターニングした後に不用部分を除去することで、段差孔８４の位置に対応した孔部８９Ａが形成され、連通孔２４の位置に対応した孔部８９Ｂが形成され、さらに、インクプール２５の位置に対応した孔部（図示省略）が形成される。そして、図７（Ｃ）に示すように、エッチングにより保護プレート８２に段差孔８４のパターンを形成すると共に、プールプレート１６に、連通孔２４、インクプール（図示省略）を形成し、レジスト８８を除去する。段差孔８４は、平面視した場合、図５に示すような略長方形状となり、その側壁８４ａは、ノズルプレート１４側に近いほど傾斜角度γが緩くなる構成とされる。
【００４８】
次いで、図７（Ｄ）に示すように、保護プレート８２の表面に撥水膜１８を形成する。そして、図７（Ｅ）に示すように、ノズルプレート１４にノズル２０を形成し、これにより積層ノズルプレート８１が完成する。
【００４９】
本実施形態では、積層ノズルプレート８１の段差孔８４を保護プレート８２の広い範囲に形成し、この段差孔８４の内側のノズル領域８５に複数のノズル２０を形成するので、ノズル２０毎に段差孔を作成する場合と比較して、段差孔８４の高精度な位置調整が不要となる。
【００５０】
なお、本実施形態の積層ノズルプレート８１では、複数のノズル２０が１列形成されているが、このような構成に限定されるものではなく、ノズル２０を複数列（２列以上）形成してもよい。
【００５１】
以上の第１、第２実施形態で説明したインクジェット記録ヘッドは、記録媒体Ｐ上へ画像（文字を含む）を記録するものであったが、本発明の液滴吐出ヘッドは、これに限定されるものではない。すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりする等、工業用的に用いられる液滴吐出装置全般に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】第１実施形態のインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。
【図２】図１に示すインクジェット記録ヘッドの積層ノズルプレートの段差孔付近を示す拡大斜視図である。
【図３】図１に示すインクジェット記録ヘッドの積層ノズルプレートの連通孔付近を示す拡大斜視図である。
【図４】第１実施形態の積層ノズルプレートの製造方法を説明する図である。
【図５】第２実施形態のインクジェット記録ヘッドのノズル面側の斜視図である。
【図６】第２実施形態のインクジェット記録ヘッドの一部の断面図である。
【図７】第２実施形態に係る積層ノズルプレートの製造方法を説明する図である。
【図８】従来の積層ノズルプレートの製造方法を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０  積層ノズルプレート
１２  保護プレート
１４  ノズルプレート
１６  プールプレート
１８  撥水膜
２０  ノズル
２２ａ      側壁
２２  段差孔
２３  ノズル面
２４ａ      側壁
２４  連通孔
４０  インクジェット記録ヘッド
８０  積層ノズルプレート
８２  保護プレート
８４ａ      側壁
８４  段差孔
８５  ノズル領域
８６  プレート面
【図１】
2006224624.tif 000003
【図２】
2006224624.tif 000004
【図３】
2006224624.tif 000005
【図４】
2006224624.tif 000006
【図５】
2006224624.tif 000007
【図６】
2006224624.tif 000008
【図７】
2006224624.tif 000009
【図８】
2006224624.tif 000010