(57)【要約】【課題】経時的に発生するダークフレームを抑制できる有機ＥＬ表示装置を得る。【解決手段】本発明の一態様における有機ＥＬ表示装置は、対向する電極間に有機発光層が挟持されてなる積層体４０が形成された素子基板１０と、積層体４０が外気と遮断される封止空間に配置されるように素子基板１０と対向してその一部がシール材を介して当接する封止基板２０と、封止基板２０上で、封止空間内に積層体４０と離間して配置される捕水材２２とを有する有機ＥＬ発光装置であって、捕水材２０は、吸水剤と不活性液体とを主成分とし、不活性液体を保持する多孔質体２５を、封止空間内の側壁部、及び積層体の側壁部のどちらか一方のみ接触するよう、若しくは封止空間内の側壁部及び積層体の側壁部のいずれとも接触しないように封止空間内に配設されているものを用いる。  【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する電極間に有機発光層が挟持されてなる積層体が形成された素子基板と、
該積層体が外気と遮断される封止空間に配置されるように該素子基板と対向してその一部がシール材を介して当接する封止基板と、
該封止基板上で、該封止空間内に該積層体と離間して配置される捕水材とを有する有機ＥＬ発光装置であって、
該捕水材は、吸水剤と不活性液体とを主成分とし、
該捕水材からの該不活性液体を捕捉保持する多孔質体を、該捕水材と該積層体との間の封止空間内の内壁上であって、かつ該封止空間内の側壁部及び該積層体のどちらか一方とのみ接触するよう、又は該封止空間内の側壁部及び該積層体のいずれとも接触しないように配設した有機ＥＬ発光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の有機ＥＬ発光装置において、
上記多孔質体は、通常の使用態様で上記捕水材の配置位置より重力方向に対して下方に設けられていることを特徴とする有機ＥＬ発光装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の有機ＥＬ発光装置において、
上記多孔質体は、上記捕水材の外周部の封止基板上又は／及び上記積層体の外周部の素子基板上に設けられていることを特徴とする有機ＥＬ発光装置。
【請求項４】
対向する電極間に有機発光層が挟持されてなる積層体が形成された素子基板と、
該積層体が外気と遮断される封止空間に配置されるように該素子基板と対向してその一部がシール材を介して当接する封止基板と、
該封止基板上で、該封止空間内に該積層体と離間して配置される捕水材とを有する有機ＥＬ発光装置であって、
該捕水材は、吸水剤と不活性液体とを主成分とし、
該捕水材からの該不活性液体を捕捉保持する表面付着部材を、該捕水材と該積層体との間の封止空間内の内壁上であって、かつ該封止基板にその一部が固設されるように配設した有機ＥＬ発光装置。
【請求項５】
請求項４に記載の有機ＥＬ発光装置において、
上記表面付着部材は、通常の使用態様で上記捕水材の配置位置より重力方向に対して下方に設けられていることを特徴とする有機ＥＬ発光装置。
【請求項６】
請求項4又は５に記載の有機ＥＬ発光装置において、
上記表面付着部材は、上記捕水材の外周部の封止基板又は／及び上記積層体の外周部の素子基板上に設けられていることを特徴とする有機ＥＬ発光装置。
【請求項７】
請求項４、５又は６に記載の有機ＥＬ発光装置において、
上記封止基板と上記表面付着部材が対向する空間において、上記不活性液体を保持することを特徴とする有機ＥＬ発光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ）発光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＦＰＤ(Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ)として有機ＥＬ（ＥＬｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイが注目されている。有機ＥＬディスプレイは、自発光表示素子であり、液晶表示素子と比較して視野角が広く、バックライトが不要なため薄型化が可能である。また、応答速度も速く、有機物が有する発光性の多様性から、次世代の表示装置として期待されている。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイは、画素となる有機ＥＬ素子を複数配置した有機ＥＬ表示パネルを備えている。この有機ＥＬ表示パネルは、例えば、平行なストライプ状に配列された陽極と、当該陽極に交差するように、かつ、平行なストライプ状に配列された陰極との交差部の間に有機ＥＬ層が挟持された構造となっている。この一つの交差部に、発光素子としての画素が形成せしめられている。有機ＥＬ表示パネルは、このような画素が無数にマトリックス状に配列されることにより構成されている。この有機ＥＬ表示パネルは、携帯電話の表示器や光源などとしての利用が期待されている。その製法や各種のデバイス構造について多くの研究がなられ、詳細な報告がなされている（非特許文献１）。
【０００４】
ところが、有機ＥＬ表示パネルは、時間経過により発光輝度、発光の均一性等の表示特性が劣化するという問題がある。有機ＥＬ表示パネル内の構成部品の表面に吸着している水分、あるいは有機ＥＬ表示パネル内に浸入した水分や酸素により発光層や有機層が劣化するためである。これにより、時間経過により画素領域の表示可能領域が減少する。そのため、本来表示領域であるにもかかわらず、経時的劣化等により表示できなくなってしまう領域（以下、「ダークフレーム」という）を抑制する技術が重要となる。
【０００５】
そこで、一般的に、有機ＥＬ表示パネルにおいては、有機ＥＬ表示パネル内に備えられた有機ＥＬ素子を外気と遮断するよう封止している。しかしながら、封止を施しても、実際には封止空間内に浸入する水分を完全に除去することはできない。このため、経時的にダークフレームを発生させてしまう。そこで、有機ＥＬ表示パネルにおいては、一般的に、封止された有機ＥＬ素子内に捕水材が配設されている。捕水材としては、１）パウダー型、２）シート型、３）ペースト型（例えば、特許文献１、特許文献２）のものが知られている。
【０００６】
上記パウダー型の捕水材は、粉末状の捕水材を発光部から隔離するために、粉末をしっかり保持して飛散しないようにする構造が必要である。そのため、構造が複雑化し、装置の大型化が避けられないという問題がある。また、粉末状のため作業性が悪いという問題もある。また、シート型の捕水材は、製造される有機ＥＬ素子の大きさに応じてシートの形状や大きさを調整する必要がある。そのため、さまざまなサイズ・形状の有機ＥＬディスプレイに適合させるのが困難であり、汎用性に問題がある。一方、ペースト型の捕水材は、ディスペンサ等を用い、ノズル等から塗出する塗布量を調整するだけで有機ＥＬディスプレイの大きさや形状如何にかかわらず簡易に捕水材を塗布することができる。そのため、汎用性が高く、製造工程も簡易であり低コスト化も実現できる。
【非特許文献１】「有機ＥＬ素子とその工業化最前線」  株式会社エヌ・ティ・エス出版、１９９８年１１月３０日
【特許文献１】特開２００３−３１７９３４号公報
【特許文献２】特開２００１−２１７０７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、本発明者は、上記ペースト型の捕水材においては経時的にダークフレームが出現してしまうことを突き止めた。その原因について鋭意検討を重ねたところ、以下のことを突き止めた。
ペースト型の捕水材を有する有機ＥＬ発光装置は、使用環境条件により捕水材の主成分の一つである不活性液体が経時的な過程において染出してしまう場合がある。かかる場合、不活性液体の表面張力により不活性液体が基板上に広がり、基板上においてその液膜面積を徐々に拡大していく。そして、経時的には、図１に示すように、不活性液体の液膜１３０が封止基板１２０の壁面を伝わり、素子基板１１０上にまで広がってしまう場合がある。不活性液体が、発光層を含む積層体１４０等に付着しても特には不具合は生じない。しかしながら、図１に示すように、素子基板１１０に不活性液体の液膜が広がった場合、封止用シール材１２３等を介して外気から浸入した水分が捕水材１２２によって捕水されずに、図中の矢印Ｗで示す経路により積層体１４０にトラップされてしまう。その結果、経時的にダークフレームが進行する。
有機ＥＬディスプレイのさらなる高寿命化を達成するために、ダークフレームを抑制することは極めて重要な課題である。
【０００８】
なお、ペースト型の捕水材を備える有機ＥＬディスプレイに関する課題について説明したが、有機ＥＬディスプレイに限定されるわけではなく、ペースト型の捕水材を備える、例えば、有機ＥＬ素子を用いた光源装置に対しても同様の課題が生じ得る。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ペースト型の捕水材を備える有機ＥＬ発光装置において、経時的なダークフレームの出現を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を重ね、下記態様において本件発明の目的を達成することを見出し、本件発明を完成するに至った。
【００１１】
本発明の第１の態様に係る有機ＥＬ発光装置は、対向する電極間に有機発光層が挟持されてなる積層体が形成された素子基板と、該積層体が外気と遮断される封止空間に配置されるように該素子基板と対向してその一部がシール材を介して当接する封止基板と、該封止基板上で、該封止空間内に該積層体と離間して配置される捕水材とを有する有機ＥＬ発光装置であって、該捕水材は、吸水剤と不活性液体とを主成分とし、該捕水材からの該不活性液体を捕捉保持する多孔質体を、該捕水材と該積層体との間の封止空間内の内壁上であって、かつ該封止空間内の側壁部及び該積層体のどちらか一方とのみ接触するよう、又は該封止空間内の側壁部及び該積層体のいずれとも接触しないように配設されるものである。
【００１２】
本発明の第１の態様に係る有機ＥＬ発光装置によれば、封止空間内に不活性液体を捕捉保持する多孔質体を配設しているので、捕水材の主成分の一つである不活性液体が使用環境条件により経時的に染出して不活性液体の液膜が拡大した場合であっても、不活性液体の液膜は多孔質体にトラップされ、素子基板１０に不活性液体の液膜が広がらない。その結果、図１に示すメカニズムによるダークフレームを抑制することができる。
【００１３】
本発明の第２の態様に係る有機ＥＬ発光装置は、上記態様において上記多孔質体が、通常の使用態様で上記捕水材の配置位置より重力方向に対して下方に設けられていることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明の第３の態様に係る有機ＥＬ発光装置は、上記態様において上記多孔質体が、上記捕水材の外周部の封止基板上又は／及び上記積層体の外周部の素子基板上に設けられていることを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の第４の態様に係る有機ＥＬ発光装置は、対向する電極間に有機発光層が挟持されてなる積層体が形成された素子基板と、該積層体が外気と遮断される封止空間に配置されるように該素子基板と対向してその一部がシール材を介して当接する封止基板と、該封止基板上で、該封止空間内に該積層体と離間して配置される捕水材とを有する有機ＥＬ発光装置であって、該捕水材は、吸水剤と不活性液体とを主成分とし、該捕水材からの該不活性液体を捕捉保持する表面付着部材を、該捕水材と該積層体との間の封止空間内の内壁上であって、かつ該封止基板にその一部が固設されるように配設されるものである。
【００１６】
本発明の第４の態様に係る有機ＥＬ発光装置によれば、捕水材の主成分の一つである不活性液体が使用環境条件により経時的に染出して、不活性液体の液膜が拡大していった場合であっても、この不活性液体を捕捉保持する表面付着部材を配設しているので、上記不活性液体の液膜が表面付着部材上において形成される。その結果、外気から浸入した水分が、図１に示すメカニズムによって、積層体にトラップされて経時的にダークフレームが出現するのを抑制することができる。
【００１７】
本発明の第５の態様に係る有機ＥＬ発光装置は、上記態様において上記表面付着部材が、少なくとも通常の使用態様で上記捕水材の配置位置より重力方向において下方に設けられていることを特徴とするものである。
【００１８】
本発明の第６の態様に係る有機ＥＬ発光装置は、上記態様において上記表面付着部材が、上記捕水材の外周部の封止基板又は／及び上記積層体の外周部の素子基板上に設けられていることを特徴とするものである。
【００１９】
本発明の第７の態様に係る有機ＥＬ発光装置は、上記態様において、上記封止基板と上記表面付着部材が対向する空間において、上記不活性液体を保持することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明においては、経時的に発生するダークフレームを抑制できる有機ＥＬ発光装置を提供することができるという優れた効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を適用した実施形態の一例について説明する。なお、本発明の趣旨に合致する限り、他の実施形態も本発明の範疇に属しうることは言うまでもない。
【００２２】
図２は、本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネルの構成を示す模式的上面図である。図３は、図２中のＡ−Ａ’断面図である。図２に示すように、本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１００は、陽極配線１、陽極補助配線２、陰極配線３、陰極補助配線４、絶縁膜開口部５、開口絶縁膜６、陰極隔壁７、コンタクトホール８、素子基板１０を備えている。また、図３に示すように、本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１００は、有機ＥＬ層９、捕水材２２、多孔質体２５、を備えている。なお、陽極配線１、陽極補助配線２、陰極配線３、陰極補助配線４、絶縁膜開口部５、開口絶縁膜６、陰極隔壁７、コンタクトホール８等をまとめて積層体４０ともいう。
【００２３】
素子基板１０としては、例えば、無アルカリガラス基板（例えば、旭硝子社製ＡＮ１００）、又は、アルカリガラス基板（例えば、旭硝子社製ＡＳ）を用いることができる。素子基板１０の厚みは、特に限定されないが、例えば０．７〜１．１ｍｍのものを用いることが好ましい。
【００２４】
陽極配線１は、図２に示すように素子基板１０上に複数本備え、それぞれが平行となるように配設されている。陽極配線１の材料としては、例えばＩＴＯを用いることが好ましい。
【００２５】
陽極補助配線２は、陽極配線１の端部において陽極配線１と電気的に接続され、かつ陽極配線１との接続部から素子基板１０の端部に向けて延設されるように配設されている。従って、陽極配線１と同じ本数の陽極補助配線２が形成されている。また、陽極配線１と同様にそれぞれが平行に配置されている。陽極補助配線２は、素子基板１０の端部側において異方性導電膜（以下、「ＡＣＦ」と略記する）を介してＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  ｂｏａｒｄ）やＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｅｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）等の外部配線と接続するための金属パッドとして機能する。このように構成することにより、外部に設けられた駆動回路から陽極補助配線２を介して陽極配線１に電流が供給されることになる。
【００２６】
陰極配線３は、図２に示すように複数本備え、それぞれが平行となるよう、かつ、上記陽極配線１と直交するように配設されている。陰極配線３は、通常はＡｌ又はＡｌ合金を使用する。他に、Ｌｉ等のアルカリ金属、Ａｇ，Ｃａ、Ｍｇ，Ｙ、Ｉｎやこれらを含む合金を用いることもできる。あるいは、透明導電膜を用いてもよい。陰極配線の厚さは、５０〜３００ｎｍ程度とする。
【００２７】
陰極補助配線４は、陰極配線３の端部において陰極配線３とコンタクトホール８を介して電気的に接続され、かつ、陰極配線３端部から素子基板１０の端部に向けて延設されるように配設されている。従って、陰極配線３と同じ本数の陰極補助配線５が形成されている。また、陰極配線３と同様にそれぞれが平行になるように配置されている。陰極補助配線４は、陽極補助配線２と同様に、その端部側においてＦＰＣやＴＣＰ等の外部配線と接続するための金属パッドとして機能する。なお、コンタクトホール８の大きさとしては、例えば２００μｍ×２００μｍとすることができる。
【００２８】
上記陰極補助配線４及び上記陽極補助配線２は、多層構造又は単層構造の金属膜により形成することができる。一例として、素子基板１０側からＭｏＮｂ層、Ａｌ層、ＭｏＮｂ層の順に積層せしめて多層構造体とすることができる。
【００２９】
開口絶縁膜６は、陽極配線１、陽極補助配線２、及び陰極補助配線４上にその一部を覆うように形成されている（図２及び図３参照）。そして、陽極配線１と陰極配線３が交差する位置に画素開口部５が設けられている。この画素開口部５が、後述する表示画素領域に相当することになる。例えば、開口絶縁膜６の膜厚を０．７μｍ、画素開口部５の大きさを３００μｍ×３００μｍとすることができる。
【００３０】
有機発光層９は、図２に示すように開口絶縁膜６の上に形成されており、陽極配線１と陰極配線３とに挟持された構造となっている。有機発光層９は、例えば、不図示のホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層により構成される。無論、これとは異なる層構成を有する場合もある。有機発光層９の厚さは、通常１００〜３００ｎｍ程度である。
【００３１】
陰極隔壁７は、図２に示すように陰極配線３と平行に配設されている。陰極隔壁７は、陰極配線３の配線同士が導通しないように、複数の陰極配線３を空間的に分離するための役割を担っている。陰極隔壁７の断面形状は、逆テーパ形状であることが好ましい。逆テーパ形状とは、陰極隔壁７の断面形状（図２中のＢ方向の断面形状）が素子基板１０から離間するにつれて断面幅（図２中のＢ方向）が大きくなる形状のことをいう。このように構成することにより、陰極隔壁７の側壁及び立ち上がり部分が陰となり、後述する陰極配線３の製造工程において、複数の陰極配線３を空間的に分離しやすくすることができる。陰極隔壁７の大きさとしては、例えば、高さが３．４μｍ、幅が１０μｍのものを用いることができる。
【００３２】
上記素子基板１０は、封止基板２０とシール材を介して貼り合わせられ、有機発光層９等が設けられた空間が封止せしめられている（以下、この空間を封止空間という）。封止を行うのは、有機発光層９が空気中の水分により劣化するのを避けるためである。封止基板２０としては、例えば厚さが０．７〜１．１ｍｍのガラス基板を使用する。素子基板１０と同様のものを用いてもよい。封止基板２０上であって、上記封止された空間内には上述した有機発光層９や陰極配線３等と間隙をもって捕水材２２が配設されている。すなわち、陽極配線４、有機発光層９、及び陰極配線３等を有し、有機ＥＬ素子となる積層体４０から離間して捕水材２２が配設される。
【００３３】
捕水材２２は、吸水剤と不活性液体とを主成分とするものである。吸水剤及び不活性液体は、それぞれ本発明の趣旨に反しない限り公知のものを用いることができる。吸水剤としては、例えば、酸化カルシウムＣａＯ、酸化バリウムＢａＯ等のアルカリ土類金属酸化物、ゼオライト、珪藻土などを用いることができる。また、不活性液体としては、例えば、不活性潤滑油（例えば、ダイキン化学工業（株）製の商品名デムナム）を用いることができる。
捕水材２２に含まれる吸水剤や不活性液体は、それぞれ１種類でもよいし、複数種類のものを用いていてもよい。捕水材２２は、吸水剤と不活性液体のみから構成されることが好ましいが、捕水性能及び塗布性能に影響を与えない範囲で添加剤を含んでいてもよい。
【００３４】
多孔質体２５は、外気中からの水分が不活性液体により捕水材２２に捕水される前に積層体４０に到達することを抑制できる位置に配設されている。すなわち、多孔質体２５は捕水材２２と積層体４０との間の封止空間５０の内壁上に配設されている。そして、多孔質体２５は、不活性液体を吸収して保持し、素子基板１０上に不活性液体の液膜ができないようにするための役割を担っている。
多孔質体２５は、例えば、封止基板２０上であって捕水材２２の外周部に、あるいは素子基板上１０であって積層体４０の外周部の基板上に配設されている。この際、多孔質体２５は、封止空間５０の側壁部２７（シール材を含む凹部の突状部側壁）及び積層体４０の側壁４１との両者のどちらか一方のみに接触するよう、若しくは封止空間５０の側壁部２７及び積層体４０の側壁４１との両者のいずれにも接触しないように配置する必要がある。シール材や部材間の当接部から侵入する水分が、捕水材２２によって捕水される経路を遮断しないためである。すなわち、多孔質体２５を封止空間の側壁部２７から積層体４０の側壁までに渡って素子基板１０上に配置した場合、多孔質体２５が、図１で説明したように、素子基板１０上に広がった不活性液体の液膜と同様に機能してしまうためである。
本実施形態においては、多孔質体２５は、図３に示すように、封止基板２０上における凹部を形成する底面の外周部に枠体状に配設されている。
【００３５】
多孔質体２５は、本発明の趣旨に反しない限り公知のものを用いることができる。好適なものとしては、例えば、ポリウレタンフォーム等のポリマーフォーム、発泡アルミニウム等の発泡金属、窒化ケイ素等のセラミックス発泡材料を挙げることができる。
多孔質体２５の大きさや材質等は、捕水材２２から流出する可能性のある不活性液体の最大量を考慮して決定する。
【００３６】
次に、本実施形態に係る有機ＥＬ発光装置の製造方法について図４〜８を用いつつ説明する。なお、下記の製造工程は有機ＥＬディスプレイの場合における典型的な一例であり、本発明の趣旨に合致する限り他の製造方法を採用することができることは言うまでもない。図４は、本実施形態に係る有機ＥＬ発光装置の製造工程を示すフローチャートである。図５は、素子基板１０と封止基板２０の構成を示す断面図、図６は素子基板１０及び封止基板２０の上面図である。図７は切断分離線を示す平面図、図８は切断分離後の断面図である。
【００３７】
ステップＳ１として、素子基板１０上に陽極配線材料を成膜する。例えば、陽極配線材料としてＩＴＯを用いる。成膜には、基板全面に均一性よく成膜する観点からスパッタや蒸着を用いて行うことが好ましい。例えば、ＤＣスパッタ法により１５０ｎｍのＩＴＯ膜を成膜する。
【００３８】
次いで、ステップＳ２として、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程により、上記ステップＳ１により成膜された陽極配線材料をパターニングする。これにより陽極配線１が形成される。エッチング工程は、ウエットエッチング法、又はドライエッチング法のいずれを用いてもよい。例えば、レジストとしてフェノールノボラック樹脂を使用する。エッチング工程は、ウエットエッチング法を採用し、処理液として塩酸及び硝酸の混合水溶液を使用する。剥離液として、例えばモノエタノールアミン水溶液を使用する。
【００３９】
続いて、ステップＳ３として、陽極配線の上に補助配線となる材料を成膜する。成膜には、基板全面に均一性よく成膜する観点からスパッタや蒸着により行うことが好ましい。補助配線材料としては、例えば、Ａｌ又はＡｌ合金などの低抵抗な金属材料を用いることができる。また、下地との密着性向上や、腐食防止等の観点からＡｌ膜の下層又は上層にＴｉＮやＣｒ等のバリア層を形成して、補助配線を多層構造体とすることができる。このバリア層も、スパッタや蒸着により成膜することができる。例えば、ＤＣスパッタ法により、総厚が４５０ｎｍのＣｒ／Ａｌ／Ｃｒの多層構造体を成膜する。
【００４０】
次に、ステップＳ４として、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程により、上記ステップＳ３により成膜された補助配線材料をパターニングする。これにより陽極補助配線２及び陰極補助配線４が形成される。例えば、ウエットエッチング法を採用し、処理液として燐酸、酢酸、硝酸の混合水溶液よりなるエッチング液を使用する。無論、これに限定されるものではなく、公知のエッチング液を用いることができる。なお、陽極材料と補助配線材料とを順に成膜した後に、補助配線材料と陰極配線材料とを順番にパターニングすることも可能である。
【００４１】
その後、ステップＳ５として、開口絶縁膜材料を成膜する。開口絶縁膜材料としては、例えば感光性ポリイミドを用いることができる。例えば、スピンコーティングによりポリイミドを成膜する。
【００４２】
次に、ステップＳ６として、開口絶縁膜材料のパターニングを行う。パターニングに際しては、表示領域となる画素開口部５及びコンタクトホール８が開口せしめられるようにパターニングを行う。感光性ポリイミドを用いる場合には、露光工程、現像工程の後にキュア工程を行い、図２及び図３に示すような絶縁膜開口部５及びコンタクトホール８を有する開口絶縁膜６のパターンを得る。例えば、画素開口部の大きさは、３００μｍ×３００μｍ、コンタクトホール８の大きさは２００μｍ×２００μｍとする。
【００４３】
続いて、ステップＳ７として陰極隔壁材料を成膜する。陰極隔壁としては、感光性ノボラック樹脂、感光性アクリル樹脂等を用いることができる。成膜方法としては、例えばスピンコート法を採用することができる。
【００４４】
その後、ステップＳ８として陰極隔壁材料のパターニングを行う。陰極隔壁７は、複数の陰極配線３が形成される位置の間隙に、図２に示すように陰極配線３と平行になるようにパターニングを行う。陰極隔壁５の断面形状（図２中のＢ方向の断面形状）は、逆テーパ構造とすることが好ましい。逆テーパ構造を得るためには、ネガタイプの感光性樹脂を用いることが好ましい。ネガタイプの感光性樹脂を用いると、露光工程において、陰極隔壁５の下層位置ほど光反応が不十分となり逆テーパ構造を容易に形成できるからである。
【００４５】
逆テーパ構造の陰極隔壁５を設けることにより、後述する陰極配線３の形成時に陰極配線３同士を空間的に分離することができる。これは、陰極配線３の蒸着時に、蒸着源から見て陰となる部分には蒸着が及ばないためである。ネガタイプの感光性ノボラック樹脂を用いた場合には、露光工程、現像工程の後にキュア工程を行い陰極配線５のパターンを得る。なお、後述するステップＳ９の前に、絶縁膜開口部５により露出するＩＴＯ層の表面改質を行うために、酸素プラズマ又は紫外線を照射する工程を加えてもよい。
【００４６】
続いて、ステップＳ９として有機発光層９をマスク蒸着する。例えば、不図示のホール注入層を４０ｎｍ、ホール輸送層を１０ｎｍ、発光層を６０ｎｍ、電子輸送層を３０ｎｍ、電子注入層５を０．５ｎｍとなるように順次蒸着する。
【００４７】
さらに、ステップＳ１０として陰極配線３を形成するための陰極配線材料をマスク蒸着する。マスク蒸着に変えて、スパッタリング、イオンプレーティングなどの物理的気相成長法（ＰＶＤ）により形成してもよい。例えば、Ａｌより構成される２００ｎｍの厚みの陰極配線３を形成する。
【００４８】
以上の工程により、素子基板１０上には複数の有機ＥＬ表示パネルが形成される。そして、後述する切断工程（ステップＳ１７）により一枚のマザーガラス基板から複数の有機ＥＬ表示パネルを得る。
【００４９】
次に、有機ＥＬ素子を封止するための封止基板を製造する工程について説明する。
まず、ステップＳ１１として、封止基板２０上に凹部形状の捕水材収容部２１を複数設ける。捕水材収容部２１は、図５に示すように素子基板１０上に設けられた有機ＥＬ素子（積層体４０）と対向する位置に離間して設ける。水分を捕獲するための捕水材２２を有機ＥＬ表示領域と対向する位置に設けるためである。捕水材収容部２１の凹部形状は、例えば、エッチングやサンドブラストにより形成する。
【００５０】
次いで、ステップＳ１２として、封止基板２０の捕水材収容部２１が設けられている面側に、図５に示すように多孔質体２５を配設する。多孔質体２５の配置位置は、使用環境条件により経時的に捕水材２２中から不活性液体が染出した場合に流出する可能性のある箇所に設ける。すなわち、少なくとも、通常の使用態様における状態で、捕水材２２より重力方向に対して同一の位置を含む下方になる可能性がある位置に多孔質体２５を設ける。本実施形態においては、図３に示すように、封止基板２０の凹部形状の底面部の外周部に枠体状に配設した。
【００５１】
続いて、ステップＳ１３として封止基板２０の捕水材収容部２１が設けられている面側に、図５に示すように封止用シール２３、飛散防止用シール２４を塗布する。封止用シール２３は、図６に示すように捕水材収容部２１が設けられている凹部を囲む外枠部に塗布する。この封止用シール２３は、有機ＥＬ表示領域１１を封止する役割を担う。有機ＥＬ表示領域１１は、図６に示すように封止用シールにより外周がすべて囲まれることになる。陰極補助配線４及び陽極補助配線２は、後述する外部の駆動回路と接続させるために、封止用シール２３外まで延設されるようにする。飛散防止用シール２４は、図６に示すように各有機ＥＬ表示パネル同士の間隙の中央部付近に設ける。飛散防止用シール２４は、後述する各有機ＥＬ表示パネル３０を分離するための基板の切断時に、切断端材が飛散するのを防止する役割を担う。
【００５２】
その後、ステップＳ１４として、ペースト状の捕水材２２を塗布する。塗布は、塗布ノズルにより行う。塗布量は、捕水材収容部２１の大きさに応じて適宜変更して適切な量が塗布されるようにする。
【００５３】
上記各シール材は、ディスペンサ等を用いて塗布することができる。封止用シール２３の材料としては、光カチオン重合型エポキシ樹脂などの感光性エポキシ樹脂を好適に用いることができる。飛散防止用シール２４にも同じ材料を使用することができる。これにより、製造工程を簡略化することができる。以上のようにして、封止基板２０を製造する。
【００５４】
その後、ステップＳ１５として素子基板１０と封止基板２０とを貼り合わせる（図５参照）。素子基板１０と封止基板２０とを位置合わせした後に、両基板を加圧し、各シール材にＵＶ光を照射する。これにより、素子基板１０と封止基板２０とが接着せしめられる。これにより、有機発光層９が形成された有機ＥＬ表示領域１１が封止される。
【００５５】
続いて、ステップＳ１６として、素子基板１０と封止基板２０とが貼り合わされた基板を、図７に示す点線４０及び点線５０に従って切断分離する。図中の点線４０は封止基板２０を切断する位置を、図中の点線５０は素子基板１０を切断する位置を示している。切断分離された基板は、図８に示すような構成となる。これにより、有機ＥＬ表示パネル３０ごとに分割されることになる。
【００５６】
最後に、ステップＳ１７として、駆動回路等を実装する。封止用シール２３の外側まで延設された陰極補助配線４及び陽極補助配線２の端部に、ＡＣＦを貼り付け、駆動回路が設けられたＴＣＰと接続する。例えば、日立化成製のアニソルム７１０６Ｕと補助配線の端子部とを８０℃、１．０ＭＰａ、圧着時間５ｓの条件下で仮圧着する。次いで、駆動回路が内蔵されたＴＣＰを、１７０℃、２．０ＭＰａ、圧着時間２０ｓの条件下で本圧着する。これにより、駆動回路を実装することができる。そして、有機ＥＬ表示パネル３０を筐体に取り付け、有機ＥＬディスプレイが完成する。
【００５７】
本実施形態によれば、捕水材２２から使用環境条件により経時的に不活性液体が染出した場合であっても、不活性液体は、図３の矢印Ｌに示す経路に従って流出し多孔質体２５により捕捉されて保持される。このため、不活性液体の液膜が素子基板１０上に広がることを抑制することができる（図１参照）。よって、素子基板１０上に広がった不活性液体の液膜を介して積層体４０に水分がトラップされることを抑制できる。その結果、経時的に発生するダークフレームを抑制することができる。
また、本実施形態によれば、多孔質体を捕水材の外周部上に枠体状に設けたので、封止空間内を有効に活用し、かつ、有機ＥＬディスプレイの配置をどの向きにしても、封止基板上を流出する不活性液体の液膜を吸収して保持することができる。
また、捕水材としてペースト型のものを用いたので、装置の小型化が可能であって、汎用性が高い有機ＥＬディスプレイを提供することができる。
近年、非画素領域の割合を小さくして画素領域を大きくする傾向にあるが、非画素領域の割合の縮小に伴って上記経時的なダークフレームの出現がより深刻となってしまうという問題があった。これは、封止空間内の側壁部と対向する積層体との距離が短くなるため、図１に示すような液膜が素子基板上により形成されやすくなってしまうためである。本実施形態によれば、このような場合においても効果的にダークフレームの発生を抑制することができる。
【００５８】
［変形例］
次に、上記実施形態の有機ＥＬ表示パネル１００とは異なる変形例について説明する。図９は、本変形例に係る有機ＥＬ装置の断面図である。なお、以降の説明において、上記実施形態と同一の要素部材は、同一番号を付し、適宜その説明を省略する。
【００５９】
本変形例に係る有機ＥＬ表示パネル１０１は、以下の点を除く基本的な構成は上記実施形態と同様である。すなわち、上記実施形態においては、捕水材２２から染出した不活性液体を捕捉して保持する手段として多孔質体２５を用いていたが、本変形例においては捕水材２２から染出した不活性液体を捕捉して保持する手段として表面付着部材２６を用いている点が異なる。
【００６０】
表面付着部材２６は、外気中からの水分が不活性液体により捕水材２２に捕水される前に積層体４０に到達することを抑制できる位置に配設されている。表面付着部材２６は、不活性液体を表面上に付着させて保持し、素子基板１０上に不活性液体の液膜が広がらないようにするための役割を担っている。
表面付着部材２６は、例えば、封止基板２０上であって捕水材２２の外周部にその一端部が固設されるように配設されている。
本変形例においては、図９に示すように、捕水材２２の直近の外周部に枠体状に封止基板２０との固設部を設け、表面付着部材の固設部に対する他端部が、封止空間の側壁部に向かう方向に形成されている。
【００６１】
表面付着部材２６としては、例えば、ポリエチレン、ポリイミド等の樹脂成形物（プラスチックフィルムやプラスチックシート等）を用いることができる。
【００６２】
表面付着部材２６を設けることにより、経時的に捕水材２２から染出した不活性液体は、図９中の矢印Ｌで示す経路に従って、表面付着部材２６上に広がる。不活性液体の表面張力により、不活性液体は表面付着部材２６上に広がり、液面の拡大に伴って表面付着部材２６と封止基板２０との対向面にまで回り込む。このため、不活性液体の液膜が素子基板１０上に広がることを抑制することができる。そして、素子基板１０上に広がった不活性液体の液膜を介して積層体４０に水分がトラップされることを抑制できる。その結果、経時的に発生するダークフレームを抑制することができる。
【００６３】
表面付着部材２６が封止基板２０に固設される端部とは反対側の表面付着部材他端部と、封止基板との対向距離を小さくなるような樹脂成形物により構成してもよい。このようにすることにより、表面付着部材他端部と封止基板２０との対向部において表面張力に加えて、毛細管現象を利用して、封止基板２０と対向する面側の表面付着部材２６面に不活性液体を誘導することができる。この際、毛細管現象による入り口部の対向距離に比して、その内部の対向空間の表面付着部材２６と封止基板の対向距離が大きくなるように設計し、不活性液体を当該空間に保持するようにしてもよい。
【００６４】
また、表面付着部材２６は、図９に示す配置に代えて、その固設部を封止基板２０の底面部における側壁部２７近傍に設け、その他端部が捕水材２２に近接するように配設してもよい。この場合、不活性液体の液膜は封止基板２０上を広がり、その後表面付着部材上に広がっていく。この際、表面付着部材他端部と封止基板との対向距離を毛細管現象を利用可能な距離に設定し、かつ、封止基板と対向する表面付着部材により形成される空間が広くなるようなものを用いることにより、不活性液体をその空間内に保持するようにしてもよい。また、不活性液体の最大染出量が多い場合には、表面付着部材を何重にも蛇行させて表面付着部材の表面積を確保してもよい。
【００６５】
表面付着部材としてフレキシビリティー性のあるフィルム等を採用する場合、表面付着部材が封止基板２０上に固設されていない部分が、有機ＥＬディスプレイの向きの変更等に伴って、積層体に付着しないように配慮する必要がある。表面付着部材の一部が積層体に付着することにより、外気から侵入した水分が捕水材に捕水される経路を遮断してしまう恐れがあるためである。
【００６６】
本変形例によれば、捕水材２２から経時的に不活性液体が染出した場合であっても、不活性液体の液膜は、封止基板２０及び表面付着部材に広がる。このため、不活性液体の液膜が素子基板１０上に広がることを抑制することができる。そして、素子基板１０上に広がった不活性液体の液膜を介して積層体４０に水分がトラップされることを抑制できる。その結果、経時的に発生するダークフレームを抑制することができる。
また、本変形例によれば、表面付着部材を捕水材の外周部上に枠体状に設けたので、封止空間内を有効に活用し、かつ、有機ＥＬディスプレイの移動や揺動が伴った場合においても、封止基板上を流出する不活性液体の液膜を表面付着部材により保持することができる。
【００６７】
なお、上記実施形態及び上記変形例においては、発明を有機ＥＬディスプレイに適用した例について示したが、捕水材を適用可能な装置に対して発明を利用可能である。例えば、有機ＥＬ素子を用いた光源装置に対しても利用可能である。この場合、上述の製造方法において、素子基板１０上に有機ＥＬ表示領域１１に代えて、面状の有機ＥＬ素子からなる有機ＥＬ発光領域を形成する。有機ＥＬ発光領域を封止用シール材２３で囲み、同様の工程により面状光源装置を製造する。これにより、均一で高輝度の面状光源装置を得ることができる。また、有機ＥＬ発光装置には有機ＥＬディスプレイ及び有機ＥＬ光源装置等の有機ＥＬ素子の発光を利用した装置が含まれるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】従来例におけるダークフレーム発生メカニズムを説明するための有機ＥＬ表示パネルの一部断面図。
【図２】本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネルの一構成例の模式的上面図。
【図３】図２のＡ−Ａ’切断線における部分断面図。
【図４】本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの製造方法を示すフローチャート。
【図５】本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの構成を示す断面図。
【図６】本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの構成を示す平面図。
【図７】本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの切断分離位置を示す平面図。
【図８】本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの切断分離後の構成を示す断面図。
【図９】変形例に係る有機ＥＬ表示パネルの部分断面図。
【符号の説明】
【００６９】
１  陽極配線
２  陽極補助配線
３  陰極配線
４  陰極補助配線
５  絶縁膜開口部
６  陰極隔壁
７  開口絶縁膜
８  コンタクトホール
９  有機発光層
１０  素子基板
１１  表示領域
２０  封止基板
２１  捕水材収容部
２２  捕水材
２３  封止用シール
２４  飛散防止用シール
２５  多孔質体
２６  表面付着部材
２７  封止空間側壁部
３０  有機ＥＬ表示パネル
４０  積層体
４１  積層体側壁部
５０  封止空間
１００  有機ＥＬ表示パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006127843.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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