(57)【要約】【課題】  液晶光学素子である液晶装置の膨らみあるいは凹みを防ぐ液晶装置を得る。【解決手段】  本発明は、情報を記録／再生するための光の光路上に配置され、波面収差を補償するために前記光に位相差を与える、少なくとも補正電極６０（図１において、補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７，を全て含んだ状態が補正電極６０）を有する第２基板３０と共通電極２１を有する第１基板２０とが間隙を設けて対向配置し該間隙に液晶５０をシール部材５１で封止した構成をなす液晶装置１において、前記第１基板２０と前記第２基板３０を接着し支持するすることで前記第１基板２０と前記第２基板３０との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材１０を前記第１基板２０の補正電極６０の中心軸上あるいは中心軸近傍、例えば補正電極４５の位置、に配設したことを特徴とする液晶装置である。【選択図】        図１
2006106374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報を記録／再生するための光の光路上に配置され、波面収差を補償するために前記光に位相差を与える、少なくとも補正電極を有する第１基板と共通電極を有する第２基板とが間隙を設けて対向配置し該間隙に液晶をシール部材で封止した構成をなす液晶装置において、
前記第１基板と前記第２基板を接着し支持するすることで前記第１基板と前記第２基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を前記１基板の補正電極の中心軸上あるいは中心軸近傍に配設したことを特徴とする液晶装置。
【請求項２】
情報を記録／再生するための光の光路上に配置され、波面収差を補償するために前記光に位相差を与える、少なくとも補正電極を有する第１基板と共通電極を有する第２基板とが間隙を設けて対向配置し該間隙に液晶をシール部材で封止した構成をなす液晶装置において、
補償すべき波面収差の分布に対応した形状を有する相互に絶縁された複数の部分電極よりなる前記補正電極の１の部分電極は該補正電極の中心軸を含む領域に配設されており、前記１の部分電極の上には前記第１基板と前記第２基板を接着し支持するすることで前記第１基板と前記第２基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を配設したことを特徴とする液晶装置。
【請求項３】
補償すべき波面収差の分布に対応した形状を有する相互に絶縁された複数の部分電極よりなる前記第１基板の前記補正電極が、ラジアル方向またはタンデンシャル方向の波面収差を補償する電極形状をなすことを特徴とする請求項１または２に記載の液晶装置。
【請求項４】
さらに前記液晶装置は、前記第２基板の前記第１基板と対向する面と反対側の面に少なくとも共通電極を有し該共通電極と対向して補正電極を有する第３基板が間隙を設けて配設され該間隙に液晶をシール部材で封止した構成をなし、前記第２基板と前記第３基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を前記第３基板の補正電極の中心軸上あるいは中心軸近傍に配設したことを特徴とする請求項１に記載の液晶装置。
【請求項５】
さらに前記液晶装置は、前記第２基板の前記第１基板と対向する面と反対側の面に少なくとも共通電極を有し該共通電極と対向して補正電極を有する第３基板が間隙を設けて配置し該間隙に液晶をシール部材で封止した構成をなし、前記第３基板の補償すべき波面収差の分布に対応した形状を有する相互に絶縁された複数の部分電極よりなる前記補正電極の１の部分電極は該補正電極の中心軸を含む領域に配設されており、前記１の部分電極の上には前記第２基板と前記第３基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を配設したことを特徴とする請求項２に記載の液晶装置。
【請求項６】
補償すべき波面収差の分布に対応した形状を有する相互に絶縁された複数の部分電極よりなる前記第３基板の前記補正電極が、タンデンシャル方向またはラジアル方向の波面収差を補償する電極形状をなすことを特徴とする請求項４または５に記載の液晶装置。
【請求項７】
前記接着支持部材が、ガラスビーズを接着剤で覆ったことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載の液晶装置。
【請求項８】
前記接着支持部材が、フォトレジスト材または感光性ポリイミド材であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載の液晶装置。
【請求項９】
情報を記録／再生するための光の光路上に配置され、波面収差を補償するために前記光に位相差を与える、少なくとも補正電極を有する第１基板と共通電極を有する第２基板と
が間隙を設けて対向配置し該間隙に液晶をシール部材で封止した構成をなす液晶装置の製造方法において、
前記第１基板と前記第２基板を接着し支持するすることで前記第１基板と前記第２基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を前記１基板の補正電極の中心軸上あるいは中心軸近傍に集中的に設ける接着支持部材配設工程を有することを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項１０】
前記接着支持部材配設工程が、接着材により覆われたガラスビーズよりなる接着支持部材をマスクを用いて所定の位置に集中して散布したことを特徴とする請求項９に記載の液晶装置。
【請求項１１】
前記接着支持部材配設工程が、フォトレジスト材または感光性ポリイミド材よりなる接着支持部材であり、該接着支持部材をホトマスクを用いて所定の位置に配設することを特徴とする請求項９に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項１２】
前記接着支持部材配設工程の後に、配向膜として配設された感光性の配向材に光を当て配向処理を行う工程を有することを特徴とする請求項１１に記載の液晶装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、レーザ光等を変調する液晶装置であるところの液晶光学素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光等の光を変調する液晶装置である液晶光学素子は、ＤＶＤの光ピックアップの収差補正などに使用されている。
この液晶光学素子により、ラジアルチルト補正、タンジェンシャルチルト補正、ＤＶＤ／ＣＤ補正、多層デイスクにおける板厚補正がある。
そして液晶光学素子（以下液晶セルと称する）は、その概要を示した透視平面図である図１０の如く構成される。
図１０の液晶セル（液晶光学素子）２００において、電極有する２枚の基板間に液晶を注入するための注入孔２５４を有する封止部材（シール部材）２５１と注入孔２５４を封孔する封孔材２５５とで液晶を基板間に封止している。
この液晶光学素子の液晶セル２００の基板上に配設する前記電極の配設形状（電極パターン形状）を適切に設定し配設することで、前記収差補正ができる。図１０の補正電極２６０が補正電極の形状の一例である。この補正電極２６０は一方の基板上に配設されており、対向する他方の基板には、略全面に一様に共通電極が配設されている。
【０００３】
ここで、液晶光学素子の適用例としてＤＶＤの光ピックアップについて図１１を用いて説明する。
図１１は、液晶光学素子である液晶セル２０４を光ピックアップに適用した場合の全体構成を示すブロック図である。この光ピックアップは、レーザ光源２０１とコリメートレンズ２０２と偏光ビームスプリッタ２０３と収差補正手段としての液晶セル２０４と、１／４波長板２０５と対物レンズ２０６と、集光レンズ２０８と受光器２０９を基本構成とする。
【０００４】
次にこの光ピックアップのレーザー光の経路とそれぞれの部材の機能について説明する。レーザ光源２０１から出たレーザ光は、コリメートレンズ２０２を介して偏光ビームスプリッタ２０３を通過した後、液晶セル２０４に入射する。
この液晶セル２０４を通過する際に、液晶セル２０４はレーザ光を変調して収差を補正する。その後１／４波長板２０５を通過して、対物レンズ２０６によりデイスク２０７に集光される。
そしてデイスク２０７にて反射された光ビームは、再び対物レンズ２０６、１／４波長板２０５、液晶セル２０４を経て、偏光ビームスプリッタ２０３により、光路を変更されて集光レンズ２０８を介して受光器２０９に集光される。
【０００５】
特許文献１には、液晶光学素子が収差を補正する動作あるいは作用が説明されている。
それによると上記波面収差を補償する液晶光学素子として、液晶層の両面に電極を配置した構成を有する液晶セルが知られており、この液晶セルは、対向する電極に電圧を印加することで液晶に電圧を加える。
この液晶に加えられる電圧に応じて液晶分子の配向性が変化することを利用して、電圧が加えられ制御された液晶を透過する光ビームの屈折率を変化させて光軸の傾きに起因する波面収差を補償している。
このように、液晶の部分毎に与える電圧を変化させ、光ビームに対する屈折率を変化させることにより、当該光ビームの光路長を液晶の部分毎に異ならせ、あるいは、部分毎に異なる位相差を与えることで、ディスクの情報記録面までの光路長を変化させて光軸の傾
きを打ち消している。
さらに、上記の液晶セルにおいて、光ビームの光路差を液晶の部分毎に実際に異ならせるための方法としては、例えば、当該液晶に駆動電圧を印加するための対向する透明電極を複数の部分に分割し、この分割した透明電極を組み合わせた構成とし、この各部分透明電極の各部分毎に印加する駆動電圧を変化させることによりそれぞれの分透明電極に対応する液晶の部分毎に光ビームの位相差を異ならせる方法がある。
【０００６】
この液晶光学素子である液晶セルの基本構成を液晶セルの説明図である図１２（図１２ａ、ｂ）を用いて説明をする。
図１２ａは液晶セル２００の平面図であり、図１２ｂは図１２ａにおけるＹ１−Ｙ１線の断面図である。
図１２ａと図１２ｂにおいて、液晶セル２００は、電極（透明電極）２２１，２６０と配向膜２２２，２３１とが形成された２枚の基板２２０，２３０を、電極が内側になる様にして、透明基板の周辺に配設される枠形状をなすシール部材２５１を介して、間隙を設けてシール材による接着で貼り合わせて形成される。
また、図１２に示すように、入射したレーザ光を変調する液晶光学素子となる液晶セルは、外周を枠状のシール部材２５１に囲まれており、その中央部にレーザ光径（図１０参照。符号２６０の円に相当）のレーザ光が入射することができる径の受光部（液晶２５０が配設される領域）が形成されている。
この様な液晶セルでは、レーザ光径の位置がずれても、またレーザ光径が大きくなっても不具合がないように余裕を持ってレーザ光受光面（有効径）を設計・製作している。ここにおいて、液晶光学素子の有効径は、通常円形、楕円、小判型の長円、等で形成される。
【０００７】
さらに、図１２を用いて液晶セル２００について説明すると、液晶セル２００は、図１２ａ、ｂに示すように、液晶セル２００の基板が重なった部分の４辺の外周をシール部材２５１で囲んであり，こので囲まれた領域を受光部とし、受光部にレーザ光の変調をする収差補正用の補正電極２６０が形成される。シール部材２５１の内部には液晶２５０が封止されており、液晶２５０と接する第１基板２２０と第２基板２３０の面には、ラビング処理された配向膜２２２，２３１が配設されている。
さらに、第２基板２３０は第１基板２２０より延出した延出部２３０ａを有し，この延出部２３０ａに外部端子電極共通電極接続配線２２１Ｗ，補正電極接続配線２３５Ｗ，２４０Ｗ，２４５Ｗが設けらている。この各種電極の接続配線の端部には、図示しないフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）が異方性導電接着材（絶縁性接着剤に導電粒子を混在させた接着材。これには絶縁粒子を混ぜることもある）で接着され接続される。このＦＰＣの液晶セルに接続された端部と反対側のＦＰＣ端部には、液晶駆動回路基板に接続されている。液晶駆動集積回路を前記ＦＰＣに実装する場合もある。あるいは、液晶駆動集積回路を第２基板２３０の延出部２３０ａの上に実装することもあるが、本発明においては、基板が０５ｍｍから０３ｍｍと薄いために、基板の割れ防止が必要である。
ＦＰＣを経由して送られてくる信号で液晶セル２００の液晶２５０が駆動される。
【０００８】
補正電極２６０と共通電極２２１の間の液晶２５０は、複数の電気的に絶縁された電極パター（電極形状）をなす補正電極２６０に印加される所定の電圧に基づいて駆動される。液晶２５０が駆動されると、図１１における対物レンズ２０６の光軸に対してディスク２０７が傾くときに発生する波面収差を補正し、ディスク２０７上の光スポットの収差による不良をを防ぐことができる。
この様な動作で，光ピックアップにおける再生データの読み取り精度を向上させている。
【０００９】
ここで、第１基板２２０の配設された共通電極２２１と第２基板２３０に配設された共
通電極接続配線２２１Ｗとの接続についてみる。
第１基板２２０と第２基板２３０は配向処理された後に、これらの基板間にシール部材２５１を配設して熱圧着して両基板を接着する。このときシール部材２５１には導電粒子２５３が絶縁性シール内スペーサ２５２と共に混入されており、この導電粒子２５３により図１２ｂに示すように，第１基板２２０の共通電極２２１と第２基板２３０上の共通電極接続配線２２１Ｗとが導通接続する。絶縁性シール内スペーサ２５２は、第１基板２２０と第２基板２３０の間の間隙寸法規定するためのものである。このため、電極が無いところには図１２ａの如くダミー電極２５６を設けると良い。
また、図１２ｂに於ける補正電極２６０と配向膜の間には、無機材（例えば、ＳｉＯ２）あるいは樹脂材の電気的絶縁膜を設けることもある。
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−９０４７９    号公報（収差セル電極）
【特許文献２】特開２００３−２７０６５６号公報（収差セルトランスファー）
【特許文献３】特開平１１−１２５８２６    号公報（感光性柱状ＳＰ／光配向）
【特許文献４】特開２０００−３５６７７８号公報（感光性接着粒子ＳＰ）
【特許文献５】特開２００２−１７４８０４号公報（環境で膨らむ）
【特許文献６】特開２００２−１８２２２５号公報（製造工程で凹凸）
【特許文献７】特開２００４−２５２２４２号公報（接着材の材料）
【特許文献８】特開２００４−１９１３９４号公報（接着材の材料）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記に示した構成のＤＶＤの光ピックアップは、ノートパソコン、携帯テレビ、ＰＤＡ、携帯ゲーム、携帯音楽録音再生装置への組み込みのため、部材をより小型化にすることが要求されている。液晶セル（液晶装置あるいは液晶光学素子）以外の部材は比較的容易にその要求に答え小型化とすることができるが、液晶セルの小型化を得るためには困難を極めている。現在の液晶セルの平面方向（光入射、出射面方向の液晶セル平面サイズ）サイズの要求は、２年前４−５ｍｍ角程度で合ったものが略３ｍｍ角にまで要求されてきている。
このように面方向サイズ（面方向の寸法）の小型化の要求があると共に、最近では液晶セルの厚み方向の小型化（薄型化）がさらに要求されている。
具体的には、液晶セルの基板厚みが従来０．５ｍｍであったものが、基板厚みを０．３ｍｍとするようになった。
この基板であるガラス基板が０．３ｍｍとなると面方向の大きさが３ｍｍ角といえども、また液晶注入治具を使っていても、液晶セルの空セルに液晶を注入し、注入孔を封孔して治具から液晶セルを外すと、対向する基板が厚み方向の内側に凹んだり、あるいは対向する基板が厚み方向に膨らんだ凸状態になってしまい、面精度不良で生産歩留まりを落とすとの大きな問題を生じている。図１３参照。
ＤＶＤ装置における収差補正手段としては、従来からメカニカル的に行ってきており、液晶光学素子は新たなる収差補正手段として製品に採用されたものである。このような液晶光学素子による収差補正手段は小型、構成が簡素、軽量、制度が良いなどの利点があるものの、現在ではメカニカル収差補正手段に比べ価格が高いのが唯一の欠点となっている。
【００１２】
このような液晶光学素子の歩留まりが悪となると、小型にしたのにコストが上がり、多くの利点を有す液晶光学素子を新たなる製品に採用されない、あるいは一部の高級製品に
留まるとの問題を解決できない状態が続くことになる。
さらに、この様な液晶光学素子は、液晶光学素子が湿度、温度の差の大きい環境で使用されることがある。特に小型軽量という特徴を有しているために携帯装置としての各種装置にもちいられる。このような用途のために、高温多湿という条件に対しての信頼性試験を満足した特性を有さねばならない。
【００１３】
そこで信頼性性試験を行った時の液晶セルの不良状態を説明するため図である図１３に示すような、液晶セルがその厚み方向に凹んだり膨らんだりする、破線で示される問題が生じた。
図１３ａは、液晶２５０が封止された部分が凹んだ不良を示している。図１３ｂは、液晶２５０が封止された部分が膨らんだ不良を示している。第１基板２２０は液晶を挟んで第２基板２３０と対向し、液晶２５０の周囲はシール部材が配設されて、液晶２５０をシール部材２５１、第１、第２基板２２０，２３０で封止している。
すなわち、高温高湿の環境条件の中に置いた後に常温に戻すと、液晶光学素子の液晶セルが図１３ａに示すように、実線で示された正常状態が破線で示されているように膨らむ現象が生じた。このように液晶セルが膨らむと液晶セルの平面方向の面が曲率を持ち、面精度が悪く、液晶セルによる光制御が正確に出来ないと言う問題を生じてしまった。
本出願人が先に出願したところの特許文献５（特開２００２−１７４８０４）にはこのような問題に関しての詳細な説明がされてい。
【００１４】
また、本出願人が出願したところの特許文献６（特開２００２−１８２２２５）には、液晶光学素子を製造する製造工程において、熱などの製造過程に与えられる熱などにより、製造工程内で液晶セルが図１３ａの破線で示したように液晶が注入された部分が膨らんだり、あるいは図１３ｂの破線で示すように液晶が注入された部分が凹んだりして液晶セルの平面方向の面が曲率を持ち、面精度が悪く、液晶セルによる光制御が正確に出来ないと言う問題を生じていることが説明されている。
このように製造工程で問題を生じると、生産歩留まりが低下し液晶光学素子の価格がより上昇してしまうために、精度、小型、軽量、簡単な構造等の利点を有する液晶光学素子に対する市場の要求に添っていても価格が高いために用いられずに結果、技術の進歩を遅らせると言う、光学素子の応用分野での産業上の発展を遅らせる問題も生じている。
【００１５】
そこで、本発明の目的は、液晶光学素子の上記した面精度を向上させると共に液晶光学素子の生産歩留まりを向上させ液晶光学素子の価格をを下げることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために本発明の第１の手段は、情報を記録／再生するための光の光路上に配置され、波面収差を補償するために前記光に位相差を与える、少なくとも補正電極を有する第１基板と共通電極を有する第２基板とが間隙を設けて対向配置し該間隙に液晶をシール部材で封止した構成をなす液晶装置において、前記第１基板と前記第２基板を接着し支持するすることで前記第１基板と前記第２基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を前記１基板の補正電極の中心軸上あるいは中心軸近傍に配設したことを特徴とする。
この特徴により、少なくとも液晶装置の膨らみあるいは凹みを防ぐ効果が得られる。
さらに、液晶装置による収差補正の動作に悪液晶を及ぼすことなく接着支持部材を液晶装置内に配設することができる効果を有する。
【００１７】
上記課題を解決するために本発明の第２の手段は、情報を記録／再生するための光の光路上に配置され、波面収差を補償するために前記光に位相差を与える、少なくとも補正電極を有する第１基板と共通電極を有する第２基板とが間隙を設けて対向配置し該間隙に液
晶をシール部材で封止した構成をなす液晶装置において、補償すべき波面収差の分布に対応した形状を有する相互に絶縁された複数の部分電極よりなる前記補正電極の１の部分電極は該補正電極の中心軸を含む領域に配設されており、前記１の部分電極の上には前記第１基板と前記第２基板を接着し支持するすることで前記第１基板と前記第２基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を配設したことを特徴とする。
この特徴により、少なくとも液晶装置の膨らみあるいは凹みを防ぐ効果が得られる。
さらに、液晶装置による収差補正の動作に悪液晶を及ぼすことなく接着支持部材を液晶装置内に配設することができる効果を有する。
【００１８】
上記課題を解決するために本発明の第３の手段は、本発明の第１または第２の手段において、補償すべき波面収差の分布に対応した形状を有する相互に絶縁された複数の部分電極よりなる前記第１基板の前記補正電極が、ラジアル方向またはタンデンシャル方向の波面収差を補償する電極形状をなすことを特徴とする。
この特徴により、少なくとも液晶装置の膨らみあるいは凹みを防ぐ効果が得られる。
さらに、液晶装置による収差補正の動作に悪液晶を及ぼすことなく接着支持部材を液晶装置内に配設することができる効果を有する。
【００１９】
上記課題を解決するために本発明の第４の手段は、本発明の第１の手段において、さらに前記液晶装置は、前記第２基板の前記第１基板と対向する面と反対側の面に少なくとも共通電極を有し該共通電極と対向して補正電極を有する第３基板が間隙を設けて配設され該間隙に液晶をシール部材で封止した構成をなし、前記第２基板と前記第３基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を前記第３基板の補正電極の中心軸上あるいは中心軸近傍に配設したことを特徴とする。
この特徴により、少なくとも液晶装置の膨らみあるいは凹みを防ぐ効果が得られる。
さらに、液晶装置による収差補正の動作に悪液晶を及ぼすことなく接着支持部材を液晶装置内に配設することができる効果を有する。
【００２０】
上記課題を解決するために本発明の第５の手段は、本発明の第２の手段において、さらに前記液晶装置は、前記第２基板の前記第１基板と対向する面と反対側の面に少なくとも共通電極を有し該共通電極と対向して補正電極を有する第３基板が間隙を設けて配置し該間隙に液晶をシール部材で封止した構成をなし、前記第３基板の補償すべき波面収差の分布に対応した形状を有する相互に絶縁された複数の部分電極よりなる前記補正電極の１の部分電極は該補正電極の中心軸を含む領域に配設されており、前記１の部分電極の上には前記第２基板と前記第３基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を配設したことを特徴とする。
この特徴により、少なくとも液晶装置の膨らみあるいは凹みを防ぐ効果が得られる。
さらに、液晶装置による収差補正の動作に悪液晶を及ぼすことなく接着支持部材を液晶装置内に配設することができる効果を有する。このため，液晶の制御がより正確できる。
【００２１】
上記課題を解決するために本発明の第６の手段は、本発明の第４または第５の手段において、補償すべき波面収差の分布に対応した形状を有する相互に絶縁された複数の部分電極よりなる前記第３基板の前記補正電極が、タンデンシャル方向またはラジアル方向の波面収差を補償する電極形状をなすことを特徴とする。
この特徴により、上記した効果が得られると共に、さらにタンデンシャル収差とラジアル収差を精度良く補償できる効果が得られる。光ピックアップの検出信号の精度が向上する効果を有する。
【００２２】
上記課題を解決するために本発明の第７の手段は、本発明の第１乃至第６の手段のいずれかの一の手段において、前記接着支持部材が、ガラスビーズを接着剤で覆ったことを特徴とする。
この特徴により、上記した効果が得られると共に、さらに、ガラスビーズを用いることが出来、液晶の屈折率と近いあるいは同じ屈折率の接着支持部材（ガラス材）を用いることが出来、接着支持部材を透過する光を均一にできる効果を有する。このことにより、光ピックアップの検出信号の精度が向上する効果を有する。
また、近年開発が盛んな、青色レーザ光を用いても接着支持部材が劣化しないため，信頼性の高い製品が得られる効果を有する。
【００２３】
上記課題を解決するために本発明の第８の手段は、本発明の第１乃至第６の手段のいずれかの一の手段において、前記接着支持部材が、フォトレジスト材または感光性ポリイミド材であることを特徴とする。
この特徴により、上記した効果が得られると共に、さらに、接着支持部材をホトレジストで製造できるため、工程の自動化が容易になり多量生産の製造コストを安くできる効果を有する。特に光配向膜を用いるとよりその効果が得られる。
正確に所定の位置に接着支持部材を配設できるので，液晶装置による収差補正の動作に悪液晶を及ぼすことなく接着支持部材を液晶装置内に配設することができる効果を有する。このため，液晶の制御がより正確できる。
【００２４】
上記課題を解決するために本発明の第９の手段は、情報を記録／再生するための光の光路上に配置され、波面収差を補償するために前記光に位相差を与える、少なくとも補正電極を有する第１基板と共通電極を有する第２基板とが間隙を設けて対向配置し該間隙に液晶をシール部材で封止した構成をなす液晶装置の製造方法において、前記第１基板と前記第２基板を接着し支持するすることで前記第１基板と前記第２基板との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材を前記１基板の補正電極の中心軸上あるいは中心軸近傍に集中的に設ける接着支持部材配設工程を有することを特徴とする。
この特徴により製造された液晶装置は、少なくとも液晶装置の膨らみあるいは凹みを防ぐ効果が得られる。
さらに、液晶装置による収差補正の動作に悪液晶を及ぼすことなく接着支持部材を液晶装置内に配設することができる効果を有する。
従来の製造工程を大きく変える必要が無いため、液晶装置の収差を補正し、さらに生産コスト，費用の上昇を抑えた液晶装置が得られる効果を有する。
【００２５】
上記課題を解決するために本発明の第１０の手段は、本発明の第９の手段において、前記接着支持部材配設工程が、接着材により覆われたガラスビーズよりなる接着支持部材をマスクを用いて所定の位置に集中して散布したことを特徴とする。
この特徴により、上記した効果が得られると共に、さらに、ガラスビーズを用いることが出来、液晶の屈折率と近い屈折率の接着支持部材（ガラス材）を用いることが出来、接着支持部材を透過する光を均一にできる効果を有する。このことにより、光ピックアップの検出信号の精度が向上する効果を有する。
また、近年開発が盛んな、青色レーザ光を用いても接着支持部材が劣化しないため，信頼性の高い製品が得られる効果を有する。
【００２６】
上記課題を解決するために本発明の第１１の手段は、本発明の第９の手段において、前記接着支持部材配設工程が、フォトレジスト材または感光性ポリイミド材よりなる接着支持部材であり、該接着支持部材をホトマスクを用いて所定の位置に配設することを特徴とする。
この特徴により、上記した効果が得られると共に、さらに、接着支持部材をホトレジストで製造できるため、工程の自動化が容易になり多量生産の製造コストを安くできる効果を有する。特に光配向膜を用いるとよりその効果が得られる。
正確に所定の位置に接着支持部材を配設できるので，液晶装置による収差補正の動作に悪液晶を及ぼすことなく接着支持部材を液晶装置内に配設することができる効果を有する
。このため，液晶の制御がより正確できる。
【００２７】
上記課題を解決するために本発明の第１２の手段は、本発明の第１１の手段において、前記接着支持部材配設工程の後に、配向膜として配設された感光性の配向材に光を当て配向処理を行う工程を有することを特徴とする。
この特徴により、上記した効果が得られると共に、さらに、接着支持部材をホトレジストで製造できるため、配向膜製造工程を含めた一連の工程の自動化が容易になり多量生産の製造コストを安くできる効果を有する。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の液晶装置であり液晶光学素子であり液晶セルは、補正電極全体に対する中心（液晶セルの構造によっては、液晶セルの中心あるいは中心軸のこともある）あるいは中心近傍に、接着機能を有する支持部材である接着支持部材１０を配設して上下基板を接着し、支持しているため、波面収差の補正を阻害せずに、液晶光学素子の面精度を向上させることができる効果を有する。
このことにより、液晶光学素子の面精度が向上するので、波面収差の補正精度が向上し、液晶光学素子の信頼性が向上する効果を有する。
また、本発明の液晶光学素子であり液晶セルは、補正電極全体に対する中心（液晶セルの製造構造によっては、液晶セルの中心あるいは中心軸のこともある）あるいは中心近傍に、接着機能を有する支持部材である接着支持部材１０を配設して上下基板を接着し、支持しているため、波面収差の補正を阻害せずに、液晶光学素子の平面方向での凹凸を防止できるため、液晶光学素子の生産歩留まりが向上する効果を有し、その結果液晶光学素子の価格をを下げる効果を有する。
また、本発明の液晶光学素子であり液晶セルは、補正電極全体に対する中心（液晶セルの製造構造によっては、液晶セルの中心あるいは中心軸のこともある）あるいは中心近傍に、液晶セル間隙調整用のスペーサの製造工程を適用して接着機能を有する支持部材である接着支持部材１０を配設して上下基板を接着し、支持することができるので、新たなる製造方法を用いる必要が無く、新たなる製造費用の上昇を来たすことなく上記したところの効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明は、情報を記録／再生するための光の光路上に配置され、波面収差を補償するために前記光に位相差を与える、少なくとも補正電極６０（図１において、補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７，を全て含んだ状態が補正電極６０）を有する第２基板３０と共通電極２１を有する第１基板２０とが間隙を設けて対向配置し該間隙に液晶５０をシール部材５１で封止した構成をなす液晶装置１において、前記第１基板２０と前記第２基板３０を接着し支持するすることで前記第１基板２０と前記第２基板３０との前記間隙を規定値に保持する接着支持部材１０を前記第１基板２０の補正電極６０の中心軸上あるいは中心軸近傍、例えば補正電極４５の位置、に配設したことを特徴とする液晶装置である。
この特徴により、少なくとも液晶装置の膨らみあるいは凹みを防ぐ効果が得られる。
さらに、液晶装置による収差補正の動作に支障をきたすことなく接着支持部材を液晶装置内に配設することができる効果を有する。
以下本発明の実施例を、図を用いて説明する。
【実施例１】
【００３０】
図１は本発明の第１の実施例を示す液晶セル１（液晶装置であり液晶光学素子である。以下同様。）の要部を示す斜視図である。図２は、図１のＸ１−Ｘ１の断面図をＸ１方向
から見た断面図である。図３は第２の基板上の平面方向の面に配設される補正電極等の電極形状を示す電極構成図である。この図３に図３ａと図３ｂとよりなる。図３ａはラジアル方向の波面収差を補償するための電極形状を示しており、図３ｂはタンジェンシャル方向の波面収差を補償するための電極形状を示している。
本発明の実施例１の液晶セル１は、図１、図２に示す如く、共通電極を内方に有する第１基板２０と複数の補正電極等を内方に有する第２基板３０が間隙を設けて対向配置いる。この間隙の周囲には枠形状をなす接着性のシール部材５１が配設される。このシール部材５１と各種部材が配設された第１と第２基板２０、３０とにより液晶５０が封止されている。液晶５０はシール部材５１の一部に設けられた開口である注入孔２５４（図１２参照）から注入された後に、注入孔２５４を封孔材２５５（図１２参照）で封止して液晶５０を基板間に封止する。（図１，２と共に図１１を参照）
【００３１】
さらに、図１に示す如く、第２基板３０は第１基板２０の端部より延出する部分である延出部３０ａを備えている。延出部３０ａには、液晶セル１の外部からの信号を液晶セル１に供給するための各種接続配線が配設されている。
また、図２に示す如くそれぞれの基板には、各種の部材よりなる層が設けられている。
第１基板２０の面上には、液晶５０に向かって、共通電極２１の層、配向膜２２の層が重ねられている。
第２基板３０の面上には、液晶５０に向かって、補正電極の層、絶縁膜３２の層、配向膜３１の層が重ねられている。
ここで、絶縁膜３２の層の役割は、液晶と配向膜とを挟み対向して配設される対向する電極の間が塵などによりショートを生じるのを防止するために設けられるものである。このため図２の如く、第２基板３０の面上ではなく、第１基板２０の面上の配向膜２２と共通電極２１の間であってもよい。
しかし、後述する如く、共通電極２１の全面は、すべて同じ電位、例えば図１、図２の如くおおよそ基板面の全面に配設する、とするのに対して、補正電極は図３に示す如く、分割された電極パターンを有し、分割された補正電極６０は個々の独立した電位を有するために分割された電極間のショート不良が生じる危険性が高い。
そこで、絶縁膜を補正電極上に設けて、このショート不良を防ぐ効果を得ることがよりよい。塵や、隣り合う補正電極のエッチング残渣によるショー等の不良を防ぐ効果も有する。
【００３２】
このように構成された第１、第２基板２０，３０の一方、あるいは両方の基板に前記した枠状のシール部材を基板上に配設するのだが、その前に補正電極６０（図２において、補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７，を全て含んだ状態が補正電極６０）の中心軸（液晶セルの中心でも良い、あるいは中心軸の近傍に接着支持部材１０を配設する。
いずれにしても、接着支持部材１０が配設される位置は、図４ａにおけるＸ軸とＹ軸の交点を基本とし、その交点の近傍に配設する。
また、図４ａの波面収差曲線がＸ軸と交わる点に配設しても良いが、Ｘ軸とＹ軸の交点に配設した場合の方が、液晶セルの膨らみあるいは凹みを抑制する効果は大きい。
この接着支持部材１０の補正電極に対する配設位置が大切なので、次に、図３ａを用いて補正電極の形状とその作用の説明を行う
【００３３】
図３ａは、第２の基板上の平面方向の面に配設される補正電極等の電極形状を示す電極構成図であり、ラジアル方向（例えば、図１２のディスク２０７の読み取りあるいは書き込み面上の径方向）の波面収差を補償するための電極形状を示した図である。
図３ａには補正電極接続配線３５ｗ，４０ｗ，４５ｗ及び共通電極接続配線２１Ｗが第２基板３０の延出部３０ａに設けられている。補正電極接続配線３５ｗは、シール部材５１の内に配設されている補正電極３５，３６に接続される。補正電極接続配線４０ｗは、
シール部材５１の内に配設されている補正電極４０，４１に接続される。補正電極接続配線４５ｗは、シール部材５１の内に配設されている補正電極４５，４６，４７に接続される。補正電極３５と補正電極４０は、それぞれ楕円島形状をなす。補正電極３５と補正電極４０は、補正電極６０の中心軸に配設されている補正電極４５を挟んで、且つ図３ａのＸ軸（図示せず。図面上で左右方向の軸）に対して対称な形状を成している。
また、この楕円島形状をなす補正電極３５と補正電極４０の周囲を囲む如く補正電極４５，４６，４７が配設されている。
さらに、補正電極４６の外側に補正電極４１が配設され、補正電極４７の外側に補正電極３６が配設されている。
ここで、本発明の実施例１では補正電極６０の中心軸を通るＸ軸に対象にそれぞれの補正電極を配設しているが、補正電極６０の中心軸からずれた位置を中心軸として設定し補正電極のパターン形状を決めても良い。このときには、液晶の制御が偏った制御を必要とする場合に有利となる。
【００３４】
図３ａのような補正電極の電極形状を有する液晶セルを用いて制御される光について簡単な説明を行うと。
液晶セルの液晶が印加電圧に応じて液晶分子の配向性が変化し、透過する光の屈折率がこの液晶分子の配向変化により変化することを利用して、液晶を透過する光の屈折率を変化させて光軸の傾きに起因する波面収差を補正している。
そこで、前記補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７とこれらの補正電極と対向する共通電極２１に補正電極接続配線３５ｗ，４０ｗ，４５ｗと共通電極接続配線２１ｗに外部から信号を与えることで、液晶の部分毎に与える電圧を変化させ、光に対する屈折率を変化させて、光の光路長を液晶の各部分毎に異ならせることで、部分毎に異なる位相差を光に与え、これにより情報記録面（例えば、ディスク２０７の面）までの光路長を変化させて光軸の傾きを打ち消している。
【００３５】
さらに図３ａの各補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７の形状あるいはパターン構成について説明する。
まず、補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７の全体の電極の大きさは、全体の補正電極６０の中心と対物レンズ２０６の光軸の位置とが一致している場合において対物レンズ２０６（図１１参照）を通過する光の範囲を補正電極の全体に投影した範囲が、図３ａに示す範囲となるような大きさとしている。
このような大きさに設定された図３ａに示される補正電極は、全ての補正電極の合わせた電極の中心を通ると共にラジアル方向に垂直な対称軸を中心としてＸ軸（図３ａの左右方向の軸）に線対称に配置された７つのパターンをなす補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７よりなるが、補正電極４５，４６，４７は１続きのパターンあるいは電極形状をなしており作用的にも同じである。そこで、動作的には５つのパターンに分割されているともいえる。
補正電極接続配線３５ｗに接続される補正電極３５，３６と補正電極接続配線４０ｗに接続される補正電極４０，４１と補正電極接続配線４５ｗに接続される補正電極４５，４６，４７は、それぞれの相互に絶縁されている。
補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７の電極形状は、対物レンズ２０６の移動方向がディスクの半径方向としての内周向きと外周向きの二通りの向きが存在するので、液晶セル１に対する対物レンズ２０６の相対位置ずれも内周向きと外周向きの双方に対応して構成する必要があり、このため補正電極の電極形状は位置ずれ方向の中心軸に対して線対称としている。
さらに、補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７は、独立して駆動制御される液晶の領域の分割を、ラジアル方向に発生する波面収差の分布と上記ラジアル方向の位置ずれとを考慮した形状とするために、図３ａに示す電極形状に分割している。
【００３６】
図３ａのこれらの補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７の内、補正電極３５と補正電極３６は同一の信号が印加され、一方補正電極４０と補正電極４１は同一の信号が印加される。
一方、補正電極４５，４６，４７の領域は波面収差の値が０（零）となる領域を含む領域である。
特に、補正電極３５に対応する液晶の領域と補正電極４０に対応する液晶の領域は対称的な形状であり、透過する光に与える位相差の値は逆極性となっており、その間に挟まれた補正電極４５の領域は波面収差がゼロとなる領域である。
このようにして、図１、図２、図３における第２基板上の補正電極が構成されている。
【００３７】
図１の構成に戻り、先に示したように、第１、第２基板２０，３０の一方、あるいは両方の基板に前記した枠状のシール部材を基板上に配設するまえに、補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７全体の補正電極６０の中心軸あるいは液晶セルの液晶が注入された補正領域の中心軸あるいは補正領域の中心軸の近傍であり、補正電極４５の上に接着剤を表面い備える接着スペーサ材よりなる接着支持部材１０を配設する。この接着支持部材を第１基板あるいは第２基板の上に形成する製造方法の説明は、後述する。
図３あるいは図２に示す如く、接着支持部材１０が第１基板と第２基板の液晶封止領域の略中心あるいは中央部に配設されて確実に上下基板を接着し支持するために液晶セルが外側に突出することを防ぎ、液晶セルの平面を平らに維持し平面精度を向上することができる。接着支持部材１０が第１基板と第２基板の液晶封止領域の略中心あるいは中央部に配設されているが、補正電極６０の中心軸と液晶封止領域の中心が異なる時には、横軸にレンズ径を，縦軸を波面収差量として光の波面収差グラフである図４ａのＸ軸とＹ軸の交点を中心あるいは中心軸として接着支持部材を配設する。
【００３８】
また、図４ａの波面収差曲線がＸ軸と交わる点に配設しても良いが、Ｘ軸とＹ軸の交点に配設した場合の方が、液晶セルの膨らみあるいは凹みを抑制する効果は大きい。
また、接着支持部材１０は、第１基板と第２基板の基板間隔を所定の間隔（本実施例では液晶セル厚みを５μｍとした。）を維持するスペーサとしての機能も併せ持つようにしているので、液晶セルが内側（液晶側）に凹もうとしても、接着支持部材１０により内側に凹むことが防げ、液晶セルの平面を平らに維持し平面精度を向上することができる。
本発明は、液晶セルの液晶注入部の平面方向の外形寸法が３ｍｍ角であり、液晶の厚みが５μｍであり、基板厚みが０．５ｍｍから０．３ｍｍを用いている。シール部材５１には導電粒子と絶縁粒子を入れてあるので、液晶セル１の全体の液晶厚みを制御するのはシール内スペーサで行い、シール部材で制御困難な液晶セル１の液晶封止部の領域も中心部及びその周辺の変形を防ぐのを接着支持部材１０で行っている。
図１，２を見ると、液晶層が基板の３倍にもなる寸法で図示されているが、上記した如く、基板厚みは０．３ｍｍから０．５ｍｍ（液晶セルにもよるが、基板厚みが０７ｍｍあるいは１．０ｍｍを用いる場合もある。）であり、液晶層は５μｍ前後であるために、実際には、基板間隔は図示できないくらいに狭いもである。このため、シール内スペーサや接着支持部材１０が楕円で示されているが、シール内スペーサは球形状をなす。一方、接着支持部材は、球形状あるいは四角柱、円柱のいずれも本発明では用いることができ本発明の効果を得ることができる。
【００３９】
このように接着支持部材１０を補正電極４５及びその近傍に接着支持部材１０を設ける構成をなす本発明は、問題を防ぐポイントに接着支持部材を配設しているので、接着支持部材１０の配設する数をすくなくするできる。このため接着支持部材１０の他に配設される液晶内間隔保持材（液晶内スペーサ）の数を少なくできる。あるいは、接着支持部材のほかに液晶内間隔保持材（液晶内スペーサ）を設けなくても良いが、このときには、シール部材内に液晶内間隔保持材（シール内スペーサ）が必要である。
液晶内スペーサ及び液晶内スペーサ外周隣接部を透過する光が、全く液晶で制御できな
い非制御光であるため、この非制御光が多いと波面収差を制度よく補正することが出来ない問題を生じるが、本発明は液晶ないスペーサを減らせるので、スペーサによって生じる非制御光を減らせ、波面収差を補償する精度を向上させる効果を有する。
さらに、本発明は、波面収差の値が０の領域に配設するため、波面収差の制御に悪影響を及ぼすことが無く、精度の良い波面収差の抑制できる効果を有する。
このように問題を解決するのに効果的な位置に接着支持部材を配設するために、その接着支持部材１０の数を少なくし、光漏れを防ぎ、液晶セルの平面精度を上げ、信頼性と生産歩留まりの向上が得られる効果を有する。
【００４０】
図１の構成に戻り、第１と第２基板２０，３０のそれぞれの面の少なくとも液晶が封止される面に設けられた配向膜２２，３２の表面をラビン装置を用いてランビングする。
このラビング方法として、光ラビンと布を用いたビングローラ方式があるが上記実施例１では、ラビングローラ方式を採用し配向膜材の表面を布で擦ることで配向膜材にラビング処理を施している。ラビングローラ方式を用いる時には、一方向からラビングを行うと接着支持部材１０の凸部でラビングの影と言うラビング欠陥を生じることがあるので、複数方向からのラビング処理を行うのが良い。
【００４１】
ラビング処理された第１または第２基板２０，３０の内の第２基板３０の上であり延出部３０ａを除いた領域にシール部材５１を枠状に印刷して配設する。シール部材５１には導電粒子５３が配設されている。
このシール部材は異方性導電シール部材と呼ばれ、樹脂材よりなる絶縁性接着材の中に導電粒子５３を混合してある。導電粒子５３のほかに絶縁粒子を混合する場合もある。この導電粒子５３あるいは導電粒子５３と絶縁粒子により液晶５０の層の厚みを規定している。しかし、本発明においては、接着支持部材１０をも共に働かさせて液晶５０の層の厚みを規定すると共に液晶セル１の平面方向の面精度を向上させている。
この異方性導接着剤によるシール部材が配設された第２基板３０に第１基板２０を重ねる。この後、第１基板２０と第２基板３０がシール部材５１を介して熱を加える熱圧着により接着される。
この接着工程により、第１基板２０に配設された共通電極２１は、導電粒子５３を介して第２基板３０の面上に配設された共通電極接続配線２１ｗと接続される。
【００４２】
図１、図２，図１１、図１３を参照しながら、更なる製造工程を説明すると、注入孔５４を有するシール部材５１と接着支持部材で接着された第１基板２０と第２基板３０との間の空隙あるいは間隙には、注入孔５４より液晶５０が注入されて、液晶５０が漏れないように封孔材５５で注入孔５４の封孔が行われる。この封孔により第１と第２基板２０，３０の間に液晶５０が封止される。
シール部材５１と接着支持部材１０の硬化方法としては、上記の如く熱硬化接着材を用いた熱圧着接着のほかに紫外線硬化型接着材を用いた光硬化接着があるが、本発明はいずれの方法を用いても良い。
また、液晶セル１の製造方法として、特許文献６に開示されているような、最終製品として単個の液晶セルとなる複数の液晶セルを大板基板（母基板）に形成して、シール部材と接着支持部材の接着工程終了後に短冊形状になるように切断し，この切断で注入孔が一方向に並んだで開口した短冊状複数個液晶セル実装基板が得られる。この状態の短冊状に一列に並んで一方向に注入孔を備えた短冊状複数個液晶セルに液晶を複数個の液晶セルに同時に注入し、注入孔を封孔し、短冊セル状態を単個の液晶セルとするためにさらに切断し、液晶が注入された単個の液晶セルを得る製造方法である多数個取りの液晶セル製造方法にも本願発明は適用できる。本発明の液晶セルは、液晶セル外形が小型のため、この複数個を同時に製造する製造方法で製造するのがより良い。
【００４３】
このように構成あるいは製造された本発明の液晶セル１は、図１に示される第２基板３
０の延出部３０ａの上に引出され配設されたところの共通電極接続配線２１ｗ、補正電極接続配線３５ｗ，４０ｗ，４５ｗがフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）の複数の配線電極と異方性導電接着材で接続される。このＦＰＣには、液晶を駆動する回路が実装されることがあるが、本発明は、この液晶駆動回路がＦＰＣに実装されている場合でも、実装されていない場合（このＦＰＣ以外の他基板に駆動回路が実装されて、ＦＰＣはこの他基板と液晶セル１の中継接続部材として働く。他にＣＯＧと言う集積回路実装方式があり、液晶セル１の第２基板３０の延出部に集積回路を実装するもので，このときにもＦＰＣに回路を実装しなくて済む。）でも、いづれの構成でも本発明が適用でき本発明の効果を得ることができる。
【００４４】
接着支持部材の配置される位置に関しては以下のことが言える。
図４ａは対物レンズのレンズ径方向に対する波面収差量を示した図である。図４ｂは、図４ａの波面収差を補正するために液晶セルに印加する電圧の大きさ（縦軸）を波面収差量と対比できるように示した図である。図５は、図４ｂの電圧を液晶セルに印加した結果の波面収差量を示しており、横軸は対物レンズのレンズ形寸法であり、縦軸は波面収差量を示している。
ディスク２０７が傾くと、波面収差であるコマ収差が生じ、最良像点に対してディスク２０７の直径方向の波面収差量が図４ａの如く分布する。
ここで、最良像点とは、波面収差を考慮した場合の実際の集光中心に当たり、もっとも波面収差が少ない点である。
図４ａに示されるように、ディスクに傾き（チルト）が発生すると波面収差は、像点の中心に対して対象になっている。
この波面収差に対応した電極を設けた液晶セル１を対物レンズ２０６（図１１参照）の前に置き、液晶５０（図１１で符号２０４）を制御して、液晶分子の複屈折を変化させ、液晶５０（２０４）を通過する光に位相差を与えて、ディスク２０７（図１１参照）が傾くことにより発生した収差を補正している。このため、液晶セル１の電極形状（電極パターン）は、左右対称な図３ａの如く形成される。
この図３ａの電極のパターンである補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７に、図４ｂの電圧を印加することで、図５の如く波面収差量が実質一定になり、波面収差が実質無くなる。このとき、共通電極２１はグランド（アース電位）としている。
そこで本発明は、図４ａに示された波面収差が大きい図４ａの上と下の山の頂上であり、図４ｂに示された液晶制御電圧を大きく印加する位置であり、液晶分子の複屈折を大きく変化させる位置に接着支持部材１０を配設することを避け、接着支持部材１０を配設しても波面収差の補正に与える影響が最も少ない図３ａの補正電極４５の位置であり全補正電極の略中心に配設したことをも特徴としている。
このような位置に接着支持部材を配設した本発明は、チルトの補正あるいは波面収差（例えばコマ収差、球面収差）を実質なくすことができ、さらに液晶セルの凹凸を抑え面精度を向上させた高品質、高信頼性、高性能な液晶セルあるいは液晶収差補正セルが得られる効果を有する。
上記のことは、補正電極が同心円状のリング、あるいは円形状であっても適用でき、このときには、円の中心あるいはリングの中心あるいは中心近傍に接着支持部材１０を配設する。
次に、接着支持部材１０を液晶セルに作りこむ製造方法の説明をする。
【００４５】
図６は接着支持部材１０を第２基板３０の上に配設し、その後シール部材を配設し、そして第１基板２０をシール材５１を介して第２基板３０に接着する工程を示している。
図６では、シール部材５１を第２基板３０の上に配設した後に第１基板２０を重ねているが、シール部材５１を、まず第１基板２０に配設した後に第１基板２０の上のシール部材５１の上に第２基板３０を重ねても良い。同様に、接着支持部材１０をまず第１基板２０に配設した後に第１基板２０の上にシール部材５１を配設し、第１基板２０の上のシー
ル部材５１の上に第２基板３０を重ねても良い。
一方、下記工程の説明では、接着支持部材１０をシール部材５１を配設する工程の前に配設するが、基板の上にシール部材５１を配設すると共に接着支持部材１０を基板の上に配設しても良く、基板の上にシール部材５１した後に接着支持部材１０を基板の上に配設しても良いが、発明者は下記工程で製造するのがよりよいと考える。
シール部材を接着支持部材の材料として用いる時には、導電粒子が混入していない絶縁性接着材と絶縁粒子よりなるシール部材を用いる。導電粒子を用いると上下基板に配設された電極が導電粒子を介してショートする問題が生じる危険がある。ただ、この電極間に絶縁膜が配設されていれば、ショートの問題が防げるので、導電粒子が混在していても良い。
【００４６】
図６を用いて製造方法の実施例１の説明を行う。図６において、図６ａは、配向膜材３１にラビングを行う工程を示している。第２基板３０上に補正電極６０を配設し、補正電極６０の上に絶縁膜３２を配設し、絶縁膜３２の上に配向膜材３１を配設した後に、ラビング装置８５を用いることで、配向膜材３１の上を布を巻いたローラで擦り配向膜３１を形成した状態をしめしている。
この配向膜３１の上に図６ｂに示すように、アクリル樹脂やエポキシ樹脂よりなる熱可塑性樹脂を接着皮膜１１ｂとして粒子１１ａの表面に被覆した接着支持部材１１を配設する。
この接着支持部材１１を散布するときに、補正電極４５あるいは補正電極全体の中心（中央）で有り補正電極４５の上に接着支持部材が配設され、補正電極４５の周囲には接着支持部材１１が配設されないように、散布位置に穴が空いたマスク部材を用いて散布する方法を用いても良いが、図６の実施例１では、接着支持部材の散布をする時には、マスクを用いないで行った。
表面を被覆される粒子１１ａとしては、ガラス材、プラスチック材、シリカ材、金属材、無機材料でを用いることができるが、光透過する材料がよい。また粒子の形状としては、球状、円柱状等を用いる。
前記接着支持部材１１は、液晶表示パネルで用いる液晶層の厚みを規定するあるいは一定の寸法とするためのスペーサでも良いが表皮が接着材である必要がある。
好ましくは、液晶と屈折率がほぼ同じガラス材を粒子１１ａに用いるのが良い。
【００４７】
図６ｃの部分的に光を照射する図に示す如く、第２基板３０の上に散布された接着支持部材１１の上にマスク（光を透過する部分に穴が空き、他の部分は遮光する部材）を重ね、この遮光膜の上から接着支持部材１１に向けて赤外線光（赤外線光レーザ）を照射する。
この赤外線光によりマスクを通過した光が当たった接着支持部材１１は、図６ｄに示す如く接着支持部材１１の被覆接着材が溶けて配向膜と仮接着する。
前記マスクは、補正電極４５あるいは補正電極全体の中心（中央）に対応したマスクの部位に光透過用の穴が空いている。
第２基板３０の上の目的とする位置の接着支持部材１１は基板３０の上に接着するが、基板上の他の場所にある接着支持部材は、基板上に接着されていない。そこで、接着支持部材が乗った基板を超音波洗浄工程に通すと、第２基板３０の上には、目的とする位置にのみ接着支持部材１１が配設された第２基板３０が得られる。（ここで、基板上と言っているが、実際には基板上の配向膜の上である。）
【００４８】
このように接着支持部材１１を第２基板３０の上に配設した後に、図６ｅに示す如くシール部材５１を第２基板３０の上に配設する。シール部材は熱可塑性のエポキシ樹脂よりなる絶縁樹脂に導電粒子５３と絶縁粒子を混入した。絶縁粒子は、導電粒子の数珠つながりを防ぐためと、シール部材で液晶層の厚みを規定するために混在させている。補正電極が配設された領域全体にスペーサを散布する場合には、シール部材内の絶縁粒子で厚みを
規定する機能を求めなくても良い場合もある。
第２基板３０の上にシール部材５１と接着支持部材１１を配設した後に、共通電極２１と配向処理された配向膜２２が配設された第１基板をシール部材５１と接着支持部材１１に重ね、熱圧着すると図６ｆの液晶セル１が得られる。
図６ｆに示されている如く、第１基板２０と第２基板３０は周辺の枠状のシール部材５１と補正電極全体の中心軸あるいは中心軸近傍に配設された接着支持部材により支持され接着された液晶セル１が得られる。
以上の説明では、接着支持部材１１を第２基板３０の上に設け、そのあとで第１基板２０を重ねたが、この逆の工程としても良い。接着支持部材１１を第１基板２０の上に設け、そのあとで第２基板３０を重ねても良い。
このように接着支持部材１１で第１基板と第２基板をしっかり接着するので、液晶セル１の中央部の膨らみ（例えば樽を横にした形状のように膨らむ）あるいは液晶セル１の中央部の凹み（例えば第１基板２０と第２基板３０が共に液晶５０側に凹むＸ形状の凹み）を完全に防止できる効果が得られる。
さらに、製造工程が、従来の液晶表示装置のスペーサ工程をそのまま用いて、液晶セル面不均一不良を防止することができるために、新たなる設備を必要とせず、コストダウンが得られる。
以上の説明では、接着支持部材１１を１つ（１個あるいは１本）で表現してきたが、接着支持部材の本数あるいは個数は、液晶光学素子の特性に悪影響を与えない範囲で適宜決める。
以上の説明では、粒子１１ａの表面を熱可塑性樹脂よりなる接着性被膜で覆ったが，
この粒子１１ａの表面を覆う接着性被膜を他の材料である紫外線硬化型接着材よりなる樹脂で覆っても，本願発明の効果は得られる。この紫外線硬化型樹脂を用いた時には、基板の上に接着支持部材を接着固定するために、紫外線を用いる必要がある。
すなわち、上記した図６ｃの工程に置いて、第２基板３０の上に散布された接着支持部材１１の上にマスク（光を透過する部分に穴が空き、他の部分は遮光する部材）を重ね、この遮光膜の上から接着支持部材１１に向けて紫外線を照射する。
【００４９】
上記製造方法の実施例１では、接着性支持部材１１の被覆接着材を光り硬化型樹脂としたが、さらに他の熱硬化型接着材を有する接着支持部材１１を用いたときの液晶セル１の製造方法の要部の説明を行う。
図６を用いて製造方法実施例２の説明を行う。
図６において、図６ａは、配向膜材３１にラビングを行う工程を示している。第２基板上に補正電極６０を配設し、補正電極６０の上に絶縁膜３２を配設し、絶縁膜３２の上に配向膜材３１を配設した後に、ラビング装置８５で配向膜材３１上を布を巻いたローラで擦り配向膜３１を形成する。
この配向膜３１の上に図６ｂに示すように、アクリル樹脂やエポキシ樹脂よりなる熱可塑性樹脂を接着皮膜１１ｂとして粒子１１ａの表面に被覆した接着支持部材１１を配設する。
表面を被覆される粒子１１ａとしては、ガラス材、プラスチック材、シリカ材、金属材、無機材料でを用いることができるが、光透過する材料がよい。また粒子の形状としては、球状、円柱状等を用いる。
前記接着支持部材１１は、液晶表示パネルで用いる液晶層の厚みを規定するあるいは一定の寸法とするためのスペーサでも良いが表皮が接着材である必要がある。好ましくは、液晶と屈折率がほぼ同じガラス材を粒子１１ａに用いるのが良い。
この接着支持部材１１を散布するときに、補正電極４５あるいは補正電極全体の中心で有り補正電極４５の上に接着支持部材が配設され、補正電極４５の周囲には接着支持部材１１が配設されないように、散布位置に穴が空いたマスク部材を用いて散布する。
この後、図６ｄに図示されるように接着支持部材１１を第２基板３０上の所定の位置に仮固定すれば、接着支持部材１１の不要な移動を防げる。仮固定の方法としては、接着支
持部材１１の部分に熱風などで部分的に熱を加えて仮接着する。
【００５０】
このように接着支持部材１１を散布した後に、図６ｅに示す如くシール部材５１を第２基板３０の上に配設する。シール部材は熱可塑性のエポキシ樹脂よりなる絶縁樹脂に導電粒子２５３（図１２ｂ参照）と絶縁粒子を混入した。
絶縁粒子は、導電粒子の数珠つながりを防ぐためと、シール部材で液晶層の厚みを規定するために混在させている。補正電極が配設された領域全体にスペーサを散布する場合には、シール部材内の絶縁粒子で厚みを規定する機能を求めなくても良い場合もある。
図６ｅは、第１基板２０上の共通電極２１と第２基板３０上の共通電極接続配線２１Ｗの間に配向膜２２，３１及び絶縁膜３２が介在し、シール部材５１内の導電粒子２５３（図１２ｂ参照）で両電極を接続できなくなるので、配向膜２２，３１及び絶縁膜３２をパターニングし、少なくとも導通を行う部分の配向膜２２，３１及び絶縁膜３２を除いておく。
上記説明では、シール部材５１内に導電粒子２５３を混在させて、第１基板２０上の共通電極２１と第２基板３０上の共通電極接続配線２１Ｗの間の導通を行ったが、他の導通を行う方法として、シール部材５１が配設された位置と隣接する位置あるいはシール部材と離れた位置に導通部位（領域）を設けて第１基板２０上の共通電極２１と第２基板３０上の共通電極接続配線２１Ｗの間の導通を行っても良い。
このときには、シール部材５１内に導電粒子２５３を混在させる必要はないが、シール内スペーサは基板間の間隙を規定するためにシール部材５１内に混在させるのが良い。
さらに第１基板２０上の共通電極２１と第２基板３０上の共通電極接続配線２１Ｗの間の導通を行う部位としては、枠状シール部材の枠内でも良いし枠外でも良い。
このときの導通を行うための部材としては、前記導電粒子を有する異方性導電シール部材と同じ部材を用いても良いし、絶縁性接着剤の中にカーボン微粒子あるいは金属微粒子を多く混在させた導電接着材を用いても良い。
この導電接着材は、導通作用が導通材の微粒子が上下電極間に多数集まって集合をなし集合内の微粒子がお互いに接続しながら最終的に上下電極間の導通が行われる。これに対して前記シール部材内に導電粒子を混在させた異方性導電シール部材の導通作用は少なくとも１個の粒子が上下電極間に挟まり上下電極間の導通を行う部材である。
本発明は、これらの部材や導通する部位を適宜選択するのが良い。
【００５１】
第２基板３０の上にシール部材５１と接着支持部材１１を配設した後に、共通電極２１と配向処理された配向膜２２が配設された第１基板をシール部材５１と接着支持部材１１に重ね、熱圧着すると図６ｆの液晶セル１が得られる。
図６ｆに示されている如く、第１基板２０と第２基板３０は周辺の枠状のシール部材５１と補正電極全体（図２の補正電極６０）の中心軸あるいは中心軸近傍に配設された接着支持部材により支持され接着された液晶セル１が得られる。
以上の説明では、接着支持部材１１を第２基板３０の上に設け、そのあとで第１基板２０を重ねたが、この逆の工程としても良い。
接着支持部材１１を第１基板２０の上に設け、この第１基板を第２基板３０を重ねても良い。
しかし、補正電極４５に位置あわせするときには、補正電極が配設された第２基板３０に接着支持部材を設けるのが、位置決めが容易であるので製造工程上のコストが少なくて済む。
このように接着支持部材１１で第１基板と第２基板をしっかり接着するので、液晶セル１の中央部の膨らみ（例えば樽を横にした形状のように膨らむ）あるいは液晶セル１の中央部の凹み（例えば第１基板２０と第２基板３０が共に液晶５０側に凹むＸ形状の凹み）を完全に防止できる効果が得られる。
さらに、製造工程が、従来の液晶表示装置のスペーサ工程をそのまま用いて、液晶セル面不均一不良を防止することができるために、新たなる設備を必要とせず、コストダウン
が得られる。
以上の説明では、接着支持部材１０、１１を１つ（１個あるいは１本）で表現してきたが、接着支持部材の本数あるいは個数は、液晶光学素子の特性に悪影響を与えない範囲で適宜決める。
【００５２】
次に、接着支持部材の製造方法の第３の実施例を接着支持部材工程図である図７を用いて説明を行う。
図７において、図７ａは、各種のパターン形状にパターニングされた補正電極６０と補正電極６０の上に絶縁膜３２と絶縁膜上に配向膜用材料３１ａを設けた状態を示している。
補正電極材６０としては、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）を用いているが他の電極用の材料でも良い。絶縁膜３２はＳｉＯ２を用いた。配向膜材３１ａは、ポリイミドなる材料を印刷法あるいあスピンナー法で塗布形成し焼成を行った。
次に、図７ｂに示すように、配向膜材３１ａの上に接着支持部材用材料１０ａを塗布する。接着支持部材用材料１０ａには感光性のレジスト（フォトレジスト（光で硬化する樹脂で化学メーカから各種の樹脂が販売されている）または感光性ポリイミドまたは感光性アクリル）を用い、印刷法若しくはスピンナー法等で４〜６μｍ（本実施例では５μｍ）の厚さに塗布し、９０℃の温度で５分程度プリベークを行なう。
接着支持部材用材料１０ａとしては、特許文献７に示されているような、東京応化工業社製のゴム系フォトレジスト  （例えばＯＭＲ８５、東京応化工業社製）を用いる。
また、接着支持部材用材料１０ａとして、感光性ポリイミドやフォトレジストを用いるが、フォトレジスト材に関しては、特許文献８に詳細に開示されている材料等を用いる。
【００５３】
次に、図７ｃの露光工程図に示すように、補正電極全体（図２における補正電極６０）の中心軸あるいは中心軸近傍あるいは補正電極４５の位置に光透過部分を有するフォトマスク８０を接着支持部材用材料１０ａの上に配置し、フォトマスク８０上方からフォトマスク８０下方の接着支持部材用材料１０ａに向けて、波長３６５ｎｍの紫外線を約２００〔ｍＪ／平方ｃｍ〕の強度で照射し、接着支持部材材の露光を行なった後、現像液で現像し、接着支持部材を部分的に形成する。
このとき、現像液には、有機アルカリ現像液を用いることが望ましい。この現像後に、現像液を純水で十分に洗い落とし、乾燥させる。このとき１８０℃の温度で１時間程度のポストベークを行なう。接着支持部材１０を配向膜用材料３１ａの上に形成した状態を図７ｄに示す。
次に、配向膜用材料３１ａを光ラビングする工程図である図７ｅを用いて、光ラビングの説明を行う。
上方から配向膜用材料３１ａに、Ｘｅランプを用いて直線偏光された波長２５４ｎｍの紫外線を約１〜２Ｊ／ｃｍ２の強度で照射を行なう。この場合、紫外線の入射角度（法線方向からの角度）を７０〜８０°に設定しておくことで、約１°のプレチルト角で液晶分子を配向させ得るような配向規制力を発現させることができるので、この条件を元に所定のプレチルト角を形成する。
ここで、配向膜と接着支持部材は、共に光（紫外線）に反応する材料を用いているため、接着支持部材の露光の時に、配向膜用材料に影響を与えるかもしれないので、配向膜用材料と接着支持部材用材料の光感度波長を露光量を異ならせる。
【００５４】
次に、接着支持部材の製造方法の第３の実施例を接着支持部材の製造の工程図である図８を用いて、さらになる接着支持部材の製造方法の第３の実施例の説明を行う。
図８ｆに示す如く、第１基板２０の上にＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等よりなる共通電極２１を配設する。次に、図８ｇの如く、共通電極２１の上にポリイミドよりなる配向膜用材料２２ａを印刷法あるいあスピンナー法で塗布形成し焼成を行う。
次に、図８ｈの露光工程図に示すように、配向膜用材料２２ａを光ラビングする。上方
から配向膜用材料３１ａに、Ｘｅランプを用いて直線偏光された波長２５４ｎｍの紫外線を約１〜２Ｊ／ｃｍ２の強度で照射を行なう。この場合、紫外線の入射角度（法線方向からの角度）を７０〜８０°に設定しておくことで、約１°のプレチルト角で液晶分子を配向させ得るような配向規制力を発現させることができるので、この条件を元に所定のプレチルト角を形成する。
【００５５】
次に、シール部材形成工程図である図８ｉに示す如く、シール部材５１を第１基板２０の上に配設する。シール部材５１は熱可塑性のエポキシ樹脂よりなる絶縁樹脂に導電粒子５３と絶縁粒子を混入した。絶縁粒子は、導電粒子の数珠つながりを防ぐためと、シール部材で液晶層の厚みを規定するためである。補正電極が配設された領域全体にスペーサを散布する場合には、シール部材内の絶縁粒子で厚みを規定する機能を求めなくても良い場合もある。
図８ｉは、第１基板２０上の共通電極２１と第２基板３０の上の共通電極接続配線２１Ｗの間に配向膜２２，３１及び絶縁膜３２が介在し、シール部材５１内の導電粒子２５３（図１２ｂ参照）で両電極を接続しようとしても接続できなくなるので、配向膜２２，３１及び絶縁膜３２をパターニングし、少なくとも導通を行う部分の配向膜２２，３１及び絶縁膜３２を除いておく。
【００５６】
次に、この共通電極２１と配向処理された配向膜２２が配設された第１基板２０を、第２基板３０に重ね、熱圧着すると図６ｊに示すところの液晶が注入されていない液晶セル１が得られる。図６ｆに示されている如く、第１基板２０と第２基板３０は周辺の枠状のシール部材５１と補正電極全体の中心軸あるいは中心軸近傍に配設された接着支持部材により支持され接着された液晶セル１が得られる。
【００５７】
以上の説明では、接着支持部材１１を第２基板３０の上に設け、そのあとで第１基板２０を重ねたが、この逆の工程としても良い。
接着支持部材１１あるいはシール部材あるいはこの両方を第１基板２０の上に設け、この第１基板を第２基板３０を重ねても良い。
しかし、補正電極４５に位置合わせするときには、第２基板３０に接着支持部材を設けるのが、位置決めが容易であるので製造工程上のコストが少なくて済む。
【００５８】
この第３の実施例では、接着支持部材１０は第２基板にしっかり接着するが第１基板との接着力が弱い。
このため、液晶セル１の中央部の膨らみ（例えば樽を横にした形状のように膨らむ）を抑えることがほとんどできない。一方、液晶セル１の中央部の凹み（例えば第１基板２０と第２基板３０が共に液晶５０側に凹むＸ形状の凹み）は完全に防止できる効果が得られる。
そこで、液晶セル１の中央部の膨らみ（例えば樽を横にした形状のように膨らむ）を抑え、液晶セル１の中央部の凹み（例えば第１基板２０と第２基板３０が共に液晶５０側に凹むＸ形状の凹み）を抑えるために、第２基板上の接着支持部材１０の第２基板３０側と反対側の端面である上面（第１基板に対向する面）に熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂を薄く塗布しておく。こうすると、シール接着材で第１基板２０と第２基板３０を接着するときの熱圧着時に前記接着支持部材１０の上面が第１基板２０側と接着される。
このことにより液晶セル１の中央部及び接着周辺が支持され、第１基板２０と第２基板３０が所定の間隔になるので、液晶セル１の中央部の膨らみ（例えば樽を横にした形状のように膨らむ）あるいは液晶セル１の中央部の凹み（例えば第１基板２０と第２基板３０が共に液晶５０側に凹むＸ形状の凹み）を完全に防止できる効果が得られる。
さらに、製造工程が、従来の液晶表示装置のスペーサを配設するスペーサ工程をそのまま用いて、液晶セル面の不均一不良を防止することができるために、新たなる設備を必要とせず、コストダウンが得られる。
【００５９】
以上の説明では、接着支持部材１０、１１を１つ（１個あるいは１本）で説明してきたが、接着支持部材の本数あるいは個数は、液晶光学素子の特性に悪影響を与えない範囲で適宜決める。
例えば、図４ａにおいては、Ｘ軸とＹ軸の交点に接着支持部材を設けるが、他の接着支持部材を設ける位置としては、波面収差曲線とＸ軸との交点、図４ａでは３箇所ある、に設けて本発明は実施することが出来、本発明の効果が得られる。
また、接着支持部材の製造方法の第３の実施例では、配向膜２２の配向処理を光照射で行っているので、接着支持部材の製造方法の第１の実施例及び第２の実施例で用いたラビング法による処理の接触処理と異なり非接触処理で配向処理を行なえるため、接着支持部材１０が形成された凸部分を有する基板上にでも容易に配向処理を施すことが可能となる。
このためラビング法で生じる接着支持部材の陰のように生じる配向ムラが生じない。
このような配向膜材としては、ポリイミド膜のように、直線偏光を照射することによって、偏光面と平行に高分子主鎖の異方的な光分解を引き起こす有機膜や、ＰＶＣｉ膜のように、直線偏光を照射することによって偏光面に平行な高分子側鎖が選択的に架橋する光架橋性有機膜が本発明に用いることができる。
【００６０】
接着支持部材の製造方法の第１，２の実施例では、波面収差の値が０（零）となる領域を含む領域である補正電極４５，４６，４７の領域に、接着支持部材１１としてガラスビーズの表面を接着材で覆ったスペーサを配設している。
このようにすると、ガラスビーズの屈折率を１．５とし、液晶分子の屈折率を１．５と設定すれば、波面収差値が零のところの接着支持部材を透過する光が受ける位相差と液晶を透過する光が受ける位相差をほぼ同じにできるので、接着支持部材１１を配設したことによる収差への悪影響、あるい収差の補正制御への支障を少なくする効果を得ることができる。
これに対して、接着支持部材の製造方法の第３の実施例では、感光性のレジスト（フォトレジストまたは感光性ポリイミド）なる樹脂を用いているので屈折率が１．６前後であるので、現在用いている液晶の屈折率１．５と同じでないので、接着支持部材１１を配設したことによる収差への悪影響、あるい収差の補正制御への支障を少なくする効果は、前記ガラスビーズを用いた場合より落ちる。
しかし、屈折率が１．６の液晶を用いれば、接着支持部材１１を配設したことによる収差への悪影響、あるい収差の補正制御への支障を少なくする効果を得ることができる。
【実施例２】
【００６１】
次に、液晶が２層からなる液晶光学素子である液晶装置１００の要部を示す分解斜視図である図９を用いて、本発明の第２の実施例の説明する。
図９に於ける補正電極としては、ラジアル方向の波面収差を補償するための補正電極形状を示す図３ａと、タンデンシャル方向の波面収差を補償するための補正電極形状を示す図３ｂとが用いられる。
図９に示した液晶装置１００は基板が３層構造をなしている。
図９において、タンデンシャル方向の波面収差を補償するための補正電極と配向膜とが下面側に配設された第３基板１４０が上方に配置される。
基板の両面に共通電極２１，７８が配設され、そのそれぞれの共通電極上に絶縁膜及び配向膜が配設された第２基板１２０が中央に配置される。
ラジアル方向の波面収差を補償するための補正電極と配向膜が配設された第１基板１１０が下方に配置される。
上から順（図９上で）に、タンデンシャル方向の波面収差を補償するための補正電極を有する第３基板１４０、タンデンシャル方向の波面収差補正用液晶層、共通電極を有する
第２基板１２０、ラジアル方向の波面収差補正用液晶層、ラジアル方向の波面収差補正用電極を有する第１基板１１０の順で配置され、液晶層はそれぞれの基板間に枠状シール部材で封止される。また、各液晶内には、接着支持部材１０，１５が少なくとも１箇所に配設されている。図９では各液晶層にそれぞれ１つの接着支持部材１０，１５を示したが，複数個を用いる場合もある。
第２基板１２０は第３基板１４０の端より図の如く延出する延出部１２０ａを有している。この延出部１２０ａの第３基板１４０側の面には、外部配線との接続用電極配線である引出配線が配設される。
同様に、第２基板１２０は第１基板１１０の端より図の如く延出している。この延出部１２０ａの第１基板１１０側の面には、外部配線との接続用電極配線である引出配線が配設される。
【００６２】
このように配設された第３基板１４０の周囲であり第２基板１２０との間には、導電粒子を混入した絶縁性接着材よりなる枠状のシール部材５１（図１参照）が配設される。また、補正電極全体（図２において補正電極６０に相当）における中心あるいは中心軸あるいはそれらの近傍の部分に接着支持部材１５が配設される。
このとき、接着支持部材１０，１５が配設される位置は、図４ａにおけるＸ軸とＹ軸の交点を基本とし、その交点の近傍に配設しても良い。
また、図４ａの波面収差曲線がＸ軸と交わる点に配設しても良いが、Ｘ軸とＹ軸の交点に配設した場合の方が、液晶装置１００の膨らみあるいは凹みを抑制する効果は大きい。
このシール部材５１（図２参照）と接着支持部材１５とで第３基板１４０と第２基板１２０が接着される。
【００６３】
同様に、上記の如く配設された第１基板１１０の周囲であり第２基板１２０との間には、導電粒子を混入した絶縁性接着材よりなる枠状のシール部材５１（図１参照）が配設される。また、補正電極全体に対する中心あるいは中心軸あるいはそれらの近傍の部分に接着支持部材１０が配設される。このシール部材５１（図２参照）と接着支持部材１０とで第１基板１１０と第２基板１２０が接着される。
【００６４】
このシール部材の中の導電粒子で、第３基板１４０上の補正電極接続配線６５Ｗ，７０Ｗ，７５Ｗが、第２基板１２０上の補正電極引出配線１２４，１２５，１２６と接続される。
同様に、シール部材の中の導電粒子で、第１基板１１０上の補正電極接続配線３５Ｗ，４０Ｗ，４５Ｗが、第２基板１２０の上（図９では第２基板の下面）の補正電極引出配線１２８，１２９，１３０と接続される。
以上の実施例では、異方性導電シール部材の中の導電粒子を用いて対向する上下基板に配設された電極間を接続したが、上下基板に配設された電極間を接続する部位（領域あるいは位置）として枠状シール部材の枠内でも良いし枠外でも良い。
このときの導通を行うための部材としては、前記導電粒子を有する異方性導電シール部材と同じ部材を用いても良いし、絶縁性接着剤の中にカーボン微粒子あるいは金属微粒子多量に混合した導電接着材を用いても良い。
この導電接着材の導通作用は、導通材の微粒子が上下電極間に多数集まって集合をなし集合内の微粒子がお互いに接続しながら最終的に上下電極間の導通が行われる。これに対して、前記シール部材内に導電粒子を混在させた異方性導電シール部材の導通作用は少なくとの１個の粒子が上下電極間に挟まり上下電極間の導通を行う部材である。
本発明は、これらの部材及び導通部位を適宜選択して用いても良い。
【００６５】
ここで、第１基板１１０と第３基板１４０に配設された補正電極の説明を行うが、ラジアル側補正電極は、第１の実施例の液晶光学素子の液晶セルの説明で、説明が済んでいるので、重複を避け、以下の説明ではタンジェンシャル方向のチルト（傾き）で生じる波面
収差の補償に関して説明を行う。
図３ｂは、図９の第３基板１４０の上（図９で基板下面側）の平面方向の面に配設される補正電極等の電極形状を示す電極構成図であり、タンデンシャル方向（例えば、図１２のディスク２０７の読み取りあるいは書き込み面上の径方向と直交する方向）の波面収差を補償するための電極形状を示した図である。
以下、図３ｂ、図９を用いて、図２を参照ししながら説明を行う。
【００６６】
図３ｂ、図９には補正電極接続配線６５ｗ，７０ｗ，７５ｗが第３基板１４０のシール部材が配設された位置まで引き出されて設けられている。補正電極接続配線６５ｗは、シール部材５１の中の導電粒子５３と接続され、さらに導電粒子５３を介して補正電極引出配線１２６に接続される。
同様に、補正電極接続配線７５ｗは、シール部材５１の中の導電粒子５３と接続され、さらに導電粒子５３を介して補正電極引出配線１２５に接続される。
同様に、補正電極接続配線７０ｗは、シール部材５１の中の導電粒子５３と接続され、さらに導電粒子５３を介して補正電極引出配線１２４に接続される。
一方、補正電極接続配線６５ｗは、液晶５０内に配設されている補正電極６６，６５と接続されている。
同様に、補正電極接続配線７５ｗは、液晶５０内に配設さている補正電極７７，７５、７６と接続されている。
同様に、補正電極接続配線７０ｗは、液晶５０内に配設さている補正電極７０，７１と接続されている。
補正電極６５と補正電極７０は、それぞれ略楕円形状をなす。さらに補正電極６５と補正電極７０は、補正電極全てを１面と仮定したときの中心に配設されている補正電極７５を挟んで、且つ図３ｂのＹ軸（図示せず。図面上で上下方向の軸）に対して対称な形状を成している。
また、この楕円形状をなす補正電極６５と補正電極７０の周囲を囲む如く補正電極７５，７６，７７が配設されている。
さらに、補正電極７６の外側に補正電極７１が配設され、補正電極７７の外側に補正電極６６が配設されている。
【００６７】
ここで、本発明の実施例２では補正電極の全てを１面と仮定したときの中心、あるいは液晶セル（図９の液晶装置１００の上側の液晶セル部）の中心軸である液晶が封止された領域の中心軸を用いて補正電極７５を配設しているが、前記中心からずれた位置を液晶セル部の中心軸として各種補正電極のパターン形状を決めても良い。このときには、液晶の制御を偏った制御とする場合に有利となる。
いずれにしても、接着支持部材１０，１５が配設される位置は、図４ａにおけるＸ軸とＹ軸の交点を基本とし、その交点の近傍に配設する。
また、図４ａの波面収差曲線がＸ軸と交わる点に配設しても良いが、Ｘ軸とＹ軸の交点に配設した場合の方が、液晶セル部の膨らみあるいは凹みを抑制する効果は大きい。
【００６８】
図３ｂあるいは図９の第３基板１４０に配設された補正電極の電極形状（電極パターン）を有する液晶セル部（図９の液晶装置１００の上側の液晶セル部）により制御される光について簡単な説明を行うと。
液晶セル部の液晶が印加電圧に応じて液晶分子の配向性が変化し、透過する光の屈折率がこの液晶分子の配向変化により変化することを利用して、液晶を透過する光の屈折率を変化させて光軸の傾きに起因する波面収差を補正している。
補正電極引出線１２４，１２５，１２６とタンジェンシャル側共通電極配線１２３に印加された外部からの信号が、補正電極接続配線６５ｗと，７０ｗ，７５ｗを経由し、前記補正電極６５，６６，７０，７１，７５，７６，７７とこれらの補正電極と対向する共通電極７８に信号が伝わり、この信号で、液晶の各電極毎に与える電圧を変化させ、光に対
する屈折率を変化させて、光の光路長を液晶の部分毎に異ならせて、液晶セルの部分毎に異なる位相差を光に与え、これにより情報記録面（例えば、ディスク２０７の面）までの光路長を変化させて光軸の傾きを打ち消している。
【００６９】
さらに図３ｂの各補正電極６５，６６，７０，７１，７５，７６，７７の形状あるいはパターン構成について説明する。
まず、補正電極６５，６６，７０，７１，７５，７６，７７の全体の電極の大きさは、全体の補正電極６０の中心と対物レンズ２０６の光軸の位置とが一致している場合において対物レンズ２０６（図１１参照）を通過する光の範囲を補正電極の全体に投影した範囲が、図３ｂに示す範囲となるような大きさとしている。
このような大きさに設定された図３ｂに示される補正電極は、全ての補正電極の合わせた電極の中心を通ると共にタンデンシャル方向に垂直な対称軸を中心としてＹ軸（図３ｂの上下方向の軸）に線対称に配置された７つのパターンをなす補正電極６５，６６，７０，７１，７５，７６，７７よりなる。補正電極７５，７６，７７は１続きのパターンあるいは電極形状をなしており作用的にも同じである。そこで、動作的には５つのパターンに分割されているともいえる。
補正電極接続配線６５ｗに接続される補正電極と補正電極接続配線７０ｗに接続される補正電極と補正電極接続配線７５ｗに接続される補正電極は、それぞれの相互に絶縁されている。
補正電極６５，６６，７０，７１，７５，７６，７７の電極形状は、タンジェンシャル方向の光軸の傾斜に起因する波面収差を補償するために独立して駆動制御される液晶の領域の分割を、タンデンシャル方向に発生する波面収差の分布とタンジェンシャル方向の光軸の傾斜とを考慮した形状とするために、図３ｂに示す電極形状に分割している。タンジェンシャル方向の光軸の傾斜に起因する波面収差を補償するためにはこのような電極分割形状としている。
図３ｂのこれらの補正電極６５，６６，７０，７１，７５，７６，７７の内、補正電極６５と補正電極６６は同一の信号が印加され、一方補正電極７０と補正電極７１は同一の信号が印加される。
一方、補正電極７５，７６，７７の領域は波面収差の値が０（零）となる領域を含む領域である。
特に、補正電極６５に対応する液晶の領域と補正電極７０に対応する液晶の領域は対称的な形状であり、透過する光に与える位相差の値は逆極性となっており、その間に挟まれた補正電極７５の領域は波面収差がゼロとなる領域である。
このように、図９における第３基板１４０上の補正電極が構成されている。
【００７０】
一方、第１基板上の補正電極は実施例１で述べた如く、図３ａの形状をなす補正電極形であり、共通電極と補正電極を配設される基板が逆になっている他は、図１と図２と同様な構成をなすので、図９に於けるラジアル方向の収差補正の説明は、補正電極引出配線に係わる説明を中心に行う。
図３ａは、図９の第１基板１１０の上（図９で第１基板の上面側）の平面方向の面に配設される補正電極等の電極形状を示す電極構成図であり、ラジアル方向（例えば、図１２のディスク２０７の読み取りあるいは書き込み面上の径方向）の波面収差を補償するための電極形状を示した図である。以下、図３ａ、図９を用いて、図２を参照しながら説明を行う。
補正電極接続配線３５ｗ，４０ｗ，４５ｗが第１基板１１０のシール部材が配設された位置まで引き出されて設けられている。補正電極接続配線３５ｗは、シール部材５１の中の導電粒子５３と接続され、さらに導電粒子５３を介して補正電極引出配線１３０に接続される。
同様に、補正電極接続配線４５ｗは、シール部材５１の中の導電粒子５３と接続され、さらに導電粒子５３を介して補正電極引出配線１２９に接続される。
同様に、補正電極接続配線４０ｗは、シール部材５１の中の導電粒子５３と接続され、さらに導電粒子５３を介して補正電極引出配線１２８に接続される。
一方、補正電極接続配線３５ｗは、液晶５０内に配設されている補正電極３５，３６と接続されている。
同様に、補正電極接続配線４５ｗは、液晶５０内に配設さている補正電極４５、４６、４７と接続されている。
同様に、補正電極接続配線７０ｗは、液晶５０内に配設さている補正電極４０，４１と接続されている。
【００７１】
補正電極３５と補正電極４０は、それぞれ略楕円形状をなす。さらに補正電極３５と補正電極４０は、補正電極全体を１面と仮定したときの中心に配設されている補正電極４５を挟んで、且つ図３ａのＸ軸（図示せず。図面上で左右方向の軸）に対して対称な形状を成している。
また、この略楕円形状をなす補正電極３５と補正電極４０の周囲を囲む如く補正電極４５，４６，４７が配設されている。
さらに、補正電極４６の外側に補正電４１が配設され、補正電極４７の外側に補正電極３６が配設されている。
ここで、本発明の実施例２では補正電極全てを１面と仮定したときの中心、あるいは液晶セル部（図９の液晶装置１００の下側の液晶セル部）の中心軸である液晶が封止された領域の中心軸を用いて補正電極７５を配設しているが、前記中心からずれた位置を液晶セル部の中心軸として各種補正電極のパターン形状を決めても良い。このときには、液晶の制御を偏った制御とする場合に有利となる。
いずれにしても、接着支持部材１０，１５が配設される位置は、図４ａにおけるＸ軸とＹ軸の交点を基本とし、その交点の近傍に配設する。
また、図４ａの波面収差曲線がＸ軸と交わる点に配設しても良いが、Ｘ軸とＹ軸の交点に配設した場合の方が、液晶セル部の膨らみあるいは凹みを抑制する効果は大きい。
【００７２】
図３ａあるいは、図９の第１基板１１０のに示すような補正電極の電極形状を有する液晶セル部（図９の液晶装置１００の下側の液晶セル部）を用いて制御される光について簡単な説明を行うと。
液晶セル部の液晶が印加電圧に応じて液晶分子の配向性が変化し、透過する光の屈折率がこの液晶分子の配向変化により変化することを利用して、液晶を透過する光の屈折率を変化させて光軸の傾きに起因する波面収差を補正している。
そこで、補正電極引出線１２８，１２９，１３０とラジアル側共通電極配線１２７に印加された外部からの信号を、補正電極接続配線３５ｗ，４０ｗ，４５ｗを経由して、前記補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７とこれらの補正電極と対向する共通電極２１に与えることで、液晶の各電極毎に与える電圧を変化させ、光に対する屈折率を変化させて、光の光路長を液晶の部分毎に異ならせることで、部分毎に異なる位相差を光に与え、これにより情報記録面（例えば、ディスク２０７の面）までの光路長を変化させて光軸の傾きを打ち消している。
【００７３】
さらに、図３ａの各補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７の形状あるいはパターン構成について説明する。
まず、補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７の全体の電極の大きさは、補正電極全体（図２の補正電極６０）の中心と対物レンズ２０６の光軸の位置とが一致している場合において対物レンズ２０６（図１１参照）を通過する光の範囲を補正電極の全体に投影した範囲が、図３ａに示す範囲となるような大きさとしている。
このような大きさに設定された図３ａに示される補正電極は、全ての補正電極の合わせた電極の中心を通ると共にラジアル方向に垂直な対称軸を中心としてＸ軸（図３ａの左右方向の軸）に線対称に配置された７つのパターンをなす補正電極３５，３６，４０，４１
，４５，４６，４７よりなる。さらに補正電極４５，４６，４７は、１続きのパターンあるいは電極形状をなしており作用的にも同じである。そこで、動作的には５つのパターンに分割されているともいえる。
補正電極接続配線３５ｗに接続される補正電極と補正電極接続配線４０ｗに接続される補正電極と補正電極接続配線４５ｗに接続される補正電極は、それぞれの相互に絶縁されている。
【００７４】
また、補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７の電極形状は、ラジアル方向の光軸の傾斜に起因する波面収差を補償するために独立して駆動制御される液晶の領域の分割を、ラジアル方向に発生する波面収差の分布とラジアル方向の光軸の傾斜とを考慮した形状とするために、図３ａに示す電極形状に分割している。ラジアル方向の光軸の傾斜に起因する波面収差を補償するためにはこのような電極分割形状としている。
図３ａのこれらの補正電極３５，３６，４０，４１，４５，４６，４７の内、補正電極３５と補正電極３６は同一の信号が印加され、補正電極４０と補正電極４１は同一の信号が印加される。
一方、補正電極４５，４６，４７の領域は波面収差の値が０（零）となる領域を含む領域である。
特に、補正電極３５に対応する液晶の領域と補正電極４０に対応する液晶の領域は、前記の如く対称的な形状であり、透過する光に与える位相差の値は逆極性となっており、その間に挟まれた補正電極７５の領域は波面収差がゼロとなる領域である。
このように、図９における第１基板１１０上の補正電極が配設される。
【００７５】
実施例２の液晶セルにおける接着支持部材１０，１５の製造方法及び製造工程は、実施例１の液晶セルにおける、製造方法の実施例１，２，３を用いて製造することができる。
【００７６】
上記の説明では、基板、電極としたが、これらの部材は、光を透過する光透過部材を用いる。
【００７７】
上記の実施例２では、第２基板の両面にラジアル方向の収差補正用共通電極とタンデンシャル方向の収差補正用共通電極を背中合わせに設けて、対向する第１基板側にラジアル方向の収差を補正する補正電極を設け、対向する第３基板側にタンデンシャル方向の収差を補正する補正電極を設けた構成を特徴とした実施例を開示した。
この基板上へ配設する電極の種類は、次の如く行っても良い。
第２基板の一方の基板面にラジアル方向の収差を補正する補正電極を設け、この電極に対向する第１基板の面にラジアル方向の収差補正用共通電極を設けて、さらに第２基板の他方の基板面にタンデンシャル方向の収差を補正する補正電極を設け、この電極に対向する第３基板側にタンデンシャル方向の収差を補正する収差補正用共通電極を設けても良い。
しかし、収差補正液晶装置をより小型にするために基板厚みを０．３−０．５ｍｍと薄くする今日においては、基板が薄く工程上あるいは基板取り扱いで基板が割れる事が多発する問題を抱えている。この課題を解決するためには、図９の本発明の第２実施例の如く他の基板に比べて大型で割れやすい基板である第２基板の両面に共通電極を略全面に配設した構成である「第２基板の両面にラジアル方向の収差補正用共通電極とタンデンシャル方向の収差補正用共通電極を背中合わせに設けて」とすれば、ベタ（全面）電極で基板割れを抑止できるので、生産歩留まりの向上が得られ、コストダウンの効果が得られる。電極としてはＩＴＯを用いるが、透過性が確保できる他の金属材料でも良い。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】図１は本発明の第１の実施例を示す液晶光学素子の要部を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のＸ１−Ｘ１の断面図を矢印方向から見た断面図である。
【図３】第２の基板上の平面方向の面に配設される補正電極等の電極形状を示す電極構成図である。図３ａはラジアル方向の波面収差を補償するための電極形状を示しており、図３ｂはタンジェンシャル方向の波面収差を補償するための電極形状を示している。
【図４】図４ａは対物レンズのレンズ径方向に対する波面収差量を示した図である。  図４ｂは、図４ａの波面収差を補正するために液晶セルに印加する電圧の大きさ（縦軸）を波面収差量と対比できるように示した図である。
【図５】図４ｂの電圧を液晶セルに印加した結果の補正された波面収差量を示しており、横軸は対物レンズのレンズ径寸法であり、縦軸は波面収差量を示した図である。
【図６】接着支持部材を第２基板の上に配設し、その後シール部材を配設し、そして第１基板をシール材５１を介して第２基板に接着する工程を示しており、接着支持部材の製造方法の第１、第２の実施例を示す接着支持部材製造工程図である。
【図７】接着支持部材の製造方法の第３の実施例を示す接着支持部材製造工程図である。
【図８】接着支持部材の製造方法の第３の実施例の図７のさらなる工程を示す接着支持部材製造工程図である。
【図９】本発明の第２実施例を示す液晶光学素子の要部を示す分解斜視図である。
【図１０】液晶光学素子であるところの液晶セルの概要を示した透視平面図である。
【図１１】液晶光学素子である液晶セルを光ピックアップに適用した場合の光ピックアップの全体構成を示すブロック図である。
【図１２】液晶光学素子であるところの液晶セルの基本構成あらわした説明図である。  図１２ａは液晶セルの平面図である。図１２ｂは図１２ａにおけるＹ１−Ｙ１線の断面図である。
【図１３】液晶セルの不良状態を説明するため図である。
【符号の説明】
【００７９】
１  液晶セル
１０  接着支持部材
１０ａ接着支持部材用材料
１１    接着支持部材
１１ａ  粒子
１１ｂ    接着材被覆
１５  接着支持部材
２０  第１基板
２１  共通電極
２１Ｗ  共通電極接続配線
２２  配向膜
２２ａ  配向膜材
３０  第２基板
３０ａ  延出部
３１  配向膜
３１ａ配向膜用材料
３２  絶縁膜
３５Ｗ、４０Ｗ、４５Ｗ  補正電極接続配線
３５、３６、４０、４１、４５、４６、４７  補正電極
５０  液晶
５１  シール部材
５２  シール内スぺーサ
５３  導電粒子
５４  注入孔
５５  封孔材
５６  ダミー電極
６０  補正電極
６５、６６、７０、７１、７５、７６、７７    補正電極
６５Ｗ、７０Ｗ、７５Ｗ  補正電極接続配線
７８  共通電極
８０フォトマスク
８５  ラビング装置
１００  液晶装置
１１０  第１基板
１２０  第２基板
１２１  タンジェンシャル側面
１２２  ラジアル側面
１２３  タンジェンシャル側共通電極配線
１２４，１２５、１２６  補正電極引出配線
１２７    ラジアル側共通配線
１２８，１２９、１３０    補正電極引出配線
１４０  第３基板
２００  液晶セル
２０１  レーザ光源
２０２  コリメートレンズ
２０３  偏光ビームスプリッタ
２０４  液晶セル
２０５  １／４波長板
２０６    対物レンズ
２０７    ディスク
２０８    集光レンズ
２０９    受光器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図６】
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