(57)【要約】【課題】  非常に高価な蛍光検出用の試薬を用いずに擬似的な蛍光発光を行って機器の調整や評価を行うことを可能とする。【解決手段】  蛍光標識物質の添付された試料に励起光を照射して前記蛍光標識物質から発光される蛍光の検出を行う蛍光検出装置に対して調整処理や評価処理を行うための調整用装置である。そして、平面状の基板１１Ａと、この基板１１Ａに設けられ複数の細孔１３が形成された遮光膜１２と、この基板１１Ａの裏面側に配置され前記蛍光の波長と同等の５７０ｎｍ±５ｎｍの波長で発光する発光ダイオード１５と、この発光ダイオード１５の発光強度を所定のパターンで変調するように駆動する駆動回路とを備えている。また、このような調整用装置を用いて、フォトセンサの検出信号から所定パターンで変調された信号を抽出して、この信号が大きくなるようにフォトセンサの位置を調整する。【選択図】        図１
2006300857.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起光を出力する半導体レーザ励起ＹＡＧの二次高調波レーザと、前記励起光を測定対象に集束させるとともに測定対象から発せられた蛍光を受ける対物レンズと、この対物レンズで受けた蛍光と前記励起光の反射ビームとを分離させるビームスプリッタと、該ビームスプリッタにより分離された蛍光を集束させる集束レンズと、集束された蛍光を受光して蛍光の検出を行うフォトセンサとを備え、蛍光標識物質の添付された試料に励起光を照射して前記蛍光標識物質から発光される蛍光の検出を行う蛍光検出装置に対して、前記フォトセンサの位置調整を行うための調整用装置であって、
平面状の基板と、
この基板に設けられ複数の細孔が形成された遮光膜と、
この基板の裏面側に配置され前記蛍光の波長と同等の５７０ｎｍ±５ｎｍの波長で発光する発光ダイオードと、
この発光ダイオードの発光強度を所定のパターンで変調するように当該発光ダイオードを駆動する駆動回路と、
を備えていることを特徴とする蛍光検出装置の調整用装置。
【請求項２】
蛍光標識物質の添付された試料に励起光を照射して前記蛍光標識物質から発光される蛍光の検出を行う蛍光検出装置に対して蛍光を検出する機構の調整を行うための調整用装置であって、
平面状の基板と、
この基板に設けられ複数の細孔が形成された遮光膜と、
この基板の裏面側に配置され前記蛍光の波長と同等の波長の光を発する発光手段とを備えたことを特徴とする蛍光検出装置の調整用装置。
【請求項３】
前記発光手段は、出力波長が５７０ｎｍ±５nmの発光ダイオードであることを特徴とする請求項２記載の蛍光検出装置の調整用装置。
【請求項４】
前記発光手段の発光強度を所定のパターンで変調するように当該発光手段を駆動させる駆動手段を備えていることを特徴とする請求項２又は３に記載の蛍光検出装置の調整用装置。
【請求項５】
励起光を出力するレーザ出力手段と、前記励起光を測定対象に集束させるとともに測定対象から発せられた蛍光を受ける対物レンズと、この対物レンズで受けた蛍光と前記励起光の反射ビームとを分離させるビームスプリッタと、該ビームスプリッタにより分離された蛍光を集束させる集束レンズと、集束された蛍光を受光して蛍光の検出を行うフォトセンサとを備え、蛍光標識物質の添付された試料に励起光を照射して前記蛍光標識物質から発光される蛍光の検出を行う蛍光検出装置において、前記フォトセンサの位置調整を行う蛍光検出装置の調整方法であって、
複数の細孔を有する遮光膜が形成された基板を前記測定対象となる位置に配置し、当該基板の前記励起光が照射される側の裏側で前記蛍光の波長と同等の波長の光を発光手段から出力させ、前記発光手段から前記細孔を通過し前記対物レンズと前記ビームスプリッタと前記集束レンズを介して前記フォトセンサの検出面に到達した光を当該フォトセンサにより検出させ、この検出信号を監視しながら当該検出信号が大きくなるように前記フォトセンサの位置を調整することを特徴とする蛍光検出装置の調整方法。
【請求項６】
前記フォトセンサの位置調整の際に、前記レーザ出力手段より励起光を出力させるとともに、前記発光手段を発光強度が所定パターンで変調するように駆動させ、前記フォトセンサの検出信号から前記所定パターンで変調された信号を抽出して、この信号が大きくなるように前記フォトセンサの位置を調整することを特徴とする請求項５に記載の蛍光検出装置の調整方法。
【請求項７】
前記対物レンズを光軸方向と当該光軸方向と交差する方向とに駆動することで前記励起光の焦点を２次元平面に沿って走査させるレンズアクチュエータを備えた前記蛍光検出装置において、
前記フォトセンサの位置調整の際に、前記レンズアクチュエータを作動させて前記励起光の焦点を所定の範囲内で移動させることを特徴とする請求項５又は６に記載の蛍光検出装置の調整方法。
【請求項８】
励起光を出力するレーザ出力手段と、前記励起光を測定対象に集束させるとともに測定対象から発せられた蛍光を受ける対物レンズと、この対物レンズで受けた蛍光と前記励起光の反射ビームとを分離させるビームスプリッタと、該ビームスプリッタにより分離された蛍光を集束させる集束レンズと、集束された蛍光を受光して蛍光の検出を行うフォトセンサとを備え、蛍光標識物質の添付された試料に励起光を照射して前記蛍光標識物質から発光される蛍光の検出を行う蛍光検出装置の製造方法であって、
前記レーザ出力手段、前記対物レンズ、前記ビームスプリッタ、前記集束レンズ、および前記フォトセンサを装置の機枠に取り付けて前記蛍光検出装置を組み立てる部品組立工程と、
前記部品組立工程中又は部品組立工程後に部品の固定位置の調整を行う調整工程とを有し、
前記調整工程において請求項５〜７の何れかに記載の蛍光検出装置の調整方法を用いて前記フォトセンサの位置調整を行うことを特徴とする蛍光検出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば生化学試料の成分測定を行う蛍光検出装置に対して機器調整を行うための調整用装置および調整方法、並びに、蛍光検出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
以前より、生化学の分野などにおいて、生化学試料に蛍光標識物質を含んだ試薬を添付し、励起光を当てながら蛍光の発光量を測定することで、試料に含まれている特定成分の定量測定を行うことが行われている。そして、このような測定を行う装置として蛍光検出装置が知られている。
【０００３】
また、従来、蛍光検出装置や顕微鏡の分野で様々な技術が提案されている。例えば特許文献１には、顕微鏡の光源として良質な白色光を生成する技術が開示されている。また、特許文献２には、蛍光検出装置において蛍光の測定を短時間に精度よく行うために光検出器の検出信号に対して種々の処理を行って蛍光検出の制度を上げる技術が開示されている。また、特許文献３には、標本の下側にＬＥＤ光源と光量調整用のメカニカルシャッターとを備えた光透過型顕微鏡が開示されている。
【特許文献１】特許第３２２８０９８号公報
【特許文献２】特開平０９−２１０９０７号公報
【特許文献３】特開２００１−２２１９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者らは、先に、唾液を検体として高分子の成分測定を行う蛍光検出装置として、対物レンズを高速駆動させるレンズアクチュエータを設け、対物レンズを光軸方向とそれと直交方向とに微小量だけ高速に駆動させるとともに、試料から発せられた蛍光を高開口数の対物レンズで受けてフォトセンサで検出することで、高速且つ正確な蛍光検出を可能とする装置を開発している。
【０００５】
蛍光検出装置にあっては、例えば、試料から発せられた蛍光を高感度に検出できるようにフォトセンサの位置を調整する必要がある。特に、フォトダイオードなどのセンサでは応答性能や感度を良くするために受光面の面積を小さくする必要があり、受光面の面積が小さくなれば、それだけフォトセンサの位置調整には厳しい精度が要求される。また、正しく蛍光検出が行われているか装置自体の評価を行う必要もある。
【０００６】
しかしながら、このような蛍光検出に必要な試薬は非常に高価なものであり、装置の調整や評価のためだけに、通常の測定と同様に試料に試薬を添付して用いたのではコスト的に大きな浪費となる。
【０００７】
この発明の目的は、蛍光検出用の試薬を用いずに擬似的な蛍光発光を行って機器の調整や評価を行うことの出来る蛍光検出装置の調整用装置、また、これを用いて調整コストや製造コストの低減を図れる蛍光検出装置の調整方法および製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するため、蛍光標識物質の添付された試料に励起光を照射して前記蛍光標識物質から発光される蛍光の検出を行う蛍光検出装置に対して蛍光を検出する機構の調整を行うための調整用装置であって、平面状の基板と、この基板に設けられ複数の細孔が形成された遮光膜と、この基板の裏面側に配置され前記蛍光と同等の波長の光を発する発光手段とを備えている構成とした。
【０００９】
このような手段によれば、試料からの蛍光発光に似せた擬似的な発光を行わせることが出来るので、この発光を用いて例えば蛍光検出装置のフォトセンサなどの位置調整、対物レンズを動作させたときの測定評価、或いは、装置全体の測定動作の評価を行うことが可能となる。それにより、実際の試料や試薬を用いて測定試験をする場合と比較してコストの低減を図ることが出来る。
【００１０】
具体的には、前記発光手段として出力波長が５７０ｎｍ±５nmのＬＥＤ（発光ダイオード）を用いることが出来る。蛍光検出装置では、試料に照射される波長５３２ｎｍの励起光と試料から発光される波長５７０ｎｍの蛍光とを分離する光学構成が通常備わっている。従って、調整装置から発せられる光の波長は蛍光波長と同等である必要があり、この波長の光を出力する発光手段としてＬＥＤを適用することが出来る。
【００１１】
望ましくは、前記発光手段の発光強度を所定のパターンで変調するように当該発光手段を駆動させる駆動手段を備えると良い。
【００１２】
蛍光検出装置では、蛍光を検出するフォトセンサに入射される光は、試料から発せられる蛍光だけでなく、励起光の漏れ光も僅かに入射されることになる。従って、調整用装置から蛍光と同波長の光をただ単調に出力しただけでは、励起光の漏れ光やその他の入射光と区別が付かずにフォトセンサ等の位置調整が困難になる場合がある。そこで、上記手段のように発光手段の発光強度を所定パターンで変調させて（例えば所定周波数で発光と停止とを変化させたり、所定周波数の正弦波で強度変化させるなど）、この変調パターンのセンサ信号を抽出することで、このセンサ信号の強度を見ながらフォトセンサ等の位置調整を容易に行うことが出来る。
【００１３】
また、本発明は、上記課題を解決するため、励起光を出力するレーザ出力手段（例えば半導体レーザ励起ＹＡＧの二次高調波５３２ｎｍレーザ：以下ＳＨＧ・ＹＡＧレーザと略す）と、前記励起光を測定対象に集束させるとともに測定対象から発せられた蛍光を受ける対物レンズと、この対物レンズで受けた蛍光と前記励起光の反射ビームとを分離させるビームスプリッタと、該ビームスプリッタにより分離された蛍光を集束させる集束レンズと、集束された蛍光を受光して蛍光の検出を行うフォトセンサとを備え、蛍光標識物質の添付された試料に励起光を照射して前記蛍光標識物質から発光される蛍光の検出を行う蛍光検出装置に対して、前記フォトセンサの位置調整を行う蛍光検出装置の調整方法であって、複数の細孔を有する遮光膜が形成された基板を前記測定対象となる位置に配置し、当該基板の前記励起光が照射される側の裏側で前記蛍光と同等の波長の光を発光手段から出力させ、前記発光手段から前記細孔を通過し前記対物レンズと前記ビームスプリッタと前記集束レンズを介して前記フォトセンサの検出面に到達した光を当該フォトセンサにより検出させ、この検出信号を監視しながら当該検出信号が大きくなるように前記フォトセンサの位置を調整する構成とした。
【００１４】
蛍光検出装置では、高速に且つ正確に蛍光検出を行うことが要求されるが、高速になればなるほどフォトセンサの検出感度や応答速度を上げる必要がある。また、そのためにはフォトセンサの受光面を小さくする必要があり、それに伴ってフォトセンサの位置調整が厳しくなってくる。そこで、上記のような方法により、受光面の小さなフォトセンサを用いた場合でも、試料から発せられた蛍光が確実に検出できるように、フォトセンサの位置調整を行うことが出来る。また、この位置調整の際、試料や試薬は不要なので、低コストに調整処理を行うことが出来る。
【００１５】
望ましくは、前記フォトセンサの位置調整の際に、前記レーザ出力手段より励起光を出力させるとともに、前記発光手段を発光強度が所定パターンで変調するように駆動させ、前記フォトセンサの検出信号から前記所定パターンで変調された信号を抽出して、この信号が大きくなるように前記フォトセンサの位置を調整すると良い。
【００１６】
これにより、励起光を出力した通常の測定状態を再現しながら位置調整を行うことが出来るとともに、フォトセンサへの励起光の漏れ光等の入射により、位置調整の指標となる発光手段からの光の検出信号と区別が付かなくなってしまうという不都合を回避することが出来る。
【００１７】
また、望ましくは、前記対物レンズを光軸方向と当該光軸方向と交差する方向とに駆動することで前記励起光の焦点を２次元平面に沿って走査させるレンズアクチュエータを備えた前記蛍光検出装置に対して、前記フォトセンサの位置調整の際に、前記レンズアクチュエータを作動させて前記励起光の焦点を所定の範囲内で移動させるようにすると良い。
【００１８】
これによりレンズアクチュエータを作動させた通常の測定状態を再現しながら位置調整が可能となり、通常の測定状態で最適となる位置調整を行うことが出来る。
【００１９】
また、上記のようなフォトセンサの位置調整を、蛍光検出装置の部品の組立工程又は組立後の調整工程で行うことにより、実際の試料や試薬を用いずにフォトセンサの位置調整を行うことが出来るので、製造コストの低減を図ることが出来る。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように、本発明に従うと、非常に高価な試薬を用いることなく擬似的な蛍光発生を行って蛍光検出装置のフォトセンサ等の位置調整を行うことが出来るという効果がある。また、それにより蛍光検出装置の調整や動作評価を低コストに実現できるという効果がある。また、それにより蛍光検出装置の製造コストの低減を図ることが出来るという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
図１は、この実施の形態の蛍光検出装置の調整用装置としての調整用ジグ１０の構成を示す斜視図である。
【００２３】
調整用ジグ１０は、試料の蛍光発光に似せた擬似的な光出力を行うもので、スルーホールプレート１１と、出力波長が５７０ｎｍ±５ｎｍのＬＥＤ１５と、図示略のＬＥＤ１５の駆動回路とから構成される。
【００２４】
スルーホールプレート１１は、透明基板１１Ａに例えばニッケル膜などの遮光膜１２を形成し、この遮光膜１２に複数の細孔１３を設けたものである。なお、遮光膜１２の上側には透明樹脂などにより保護膜を形成しても良い。細孔１３は、例えば直径が１μｍ程度或いはそれ以下のもので、レーザ加工やエッチング加工を用いて形成することが出来る。このような構成により、スルーホールプレート１１の片側から光を照射した場合に、細孔から他方の面に光が透過するようになる。
【００２５】
駆動回路からは、例えば所定周波数で変化する駆動電流が出力可能で、それによりＬＥＤ１５からの発光強度が所定周波数で変化するようにＬＥＤ１５を駆動するようになっている。
【００２６】
次に、上記の調整用ジグ１０を用いた調整処理の対象となる蛍光検出装置３０について説明する。
【００２７】
図２は、この蛍光検出装置の全体構成を示す図である。
【００２８】
この蛍光検出装置３０は、励起光となる５３２ｎｍのレーザ光を出力するＳＨＧ（２次高調波発生）・ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）レーザ３１と、励起光を反射して試料からの発光を透過させるビームスプリッタとしてのダイクロイックミラー３２と、励起光を試料が通過する流路へ集束させるとともに試料から発せられる蛍光を受ける高開口数（例えばＮＡ０．３や０．４５など）の対物レンズ３３と、電磁力により対物レンズを光軸方向と上記流路の直交方向との２軸に微小量だけ高速に変位させることが可能なレンズアクチュエータ３４と、ダイクロイックミラー３２を一部透過したＳＨＧ・ＹＡＧレーザ３１の出力を検出する出力モニタ用のフォトセンサ３５と、蛍光波長の光を選択的に透過させる光学フィルタであるエミッタ３６と、試料から発せられ対物レンズ３３で平行光にされた蛍光を集束させる集束レンズ３７と、集束された蛍光を微小な受光面で受けて検出するＡＰＤ（アバランシェ・フォトダイオード）やＰＩＮフォトダイオードからなる蛍光検出用のフォトセンサ３８と、各フォトセンサ３５，３８の検出電流を増幅して電圧信号等に変換するアンプ３９，４０と、蛍光検出用フォトセンサ３８のセンサ出力から出力モニタ用フォトセンサ３５のセンサ出力を除算することで測定信号から励起光の出力パワーの揺らぎの影響を除去する割算回路４１と、試料を載せたチップがセットされる図示略のステージ等を備えている。
【００２９】
このような蛍光検出装置３０において測定の対象となる試料は、例えば、試薬と撹拌されて透明なチップ５０に投入され、このチップ５０の中に形成されたマイクロ流路５１に電気泳動等により流される状態にされて、蛍光検出装置３０のステージにセットされる。
【００３０】
そして、レンズアクチュエータ３４の駆動により、励起光の焦点がマイクロ流路５１の一部で流路５１の断面を縦方向と横方向とにジグザグに高速走査するように移動することで、この断面を蛍光標識が通過した際に蛍光がはっせられ、そして、この蛍光が対物レンズ３３と集束レンズ３７とによりフォトセンサ３８の受光面に集束されて検出されるようになっている。
【００３１】
また、ＳＨＧ・ＹＡＧレーザ３１の出力の揺らぎがフォトセンサ３８の出力Ｓ１１に影響を与えるが、出力モニタ用フォトセンサ３５によりこの揺らぎＳ１２を検出し、割算回路４１でこの揺らぎの影響を除去することで、蛍光検出装置３０の出力端子Ｔ１からは蛍光検出を示す測定信号Ｓ１３が出力されるようになっている。
【００３２】
ここで、試料から発せられた蛍光をフォトセンサ３８に効率的に入射させるためには、対物レンズ３３により平行光にされた光線が集束レンズ３７により集束される点にフォトセンサ３８の受光面を設置する必要があり、受光面が小さい場合には非常に厳しい位置調整を要する。
【００３３】
次に、本実施の形態の調整用ジグ１０を用いた上記フォトセンサ３８の位置調整処理について説明する。ここでの位置調整は、蛍光検出装置３０の製造時、アセンブリ工程の最終段階やアセンブリ完了後の位置調整処理において行われたり、或いは、蛍光検出装置のメンテナンス時に行われるものである。
【００３４】
図３は、フォトセンサの位置調整処理時の状態を示す説明図、図４は、フォトセンサの位置調整時に出力される信号を示す波形図である。
【００３５】
フォトセンサ３８の位置調整処理では、先ず、初期設定として、蛍光検出装置３０のステージに調整用ジグ１０のスルーホールプレート１１を載置する。ここで、スルーホールプレート１１の遮光膜１２や細孔１３のある高さは、試料が投入されるチップ５０のマイクロ流路５１と同等の高さに形成しておくことで、ステージを通常測定時の高さにしたまま調整処理を実行することが出来る。また、蛍光検出装置３０の出力（出力端子Ｔ１の出力）にバンドパスフィルタを接続し、バンドパスフィルタを介した出力をモニタできるように設定する。
【００３６】
初期設定が済んだら、次に、ＳＨＧ・ＹＡＧレーザ３１を駆動させて５３２ｎｍのレーザを出力させる。そして、ステージをＸＹ方向（ステージに照射されるレーザの光軸に対して垂直な平面方向）に調整してレーザ光が細孔１３を透過する位置に設定する。
【００３７】
この状態で、調整用ジグのＬＥＤ１５に発光強度が所定周波数の正弦波（又はパルス波）で変化するような駆動電流を出力して、この周波数で強度変調された５７０ｎｍの光を出力させる。ここでの駆動電流の変調周波数は、上記バンドパスフィルタで信号を通過させる周波数帯に設定される。
【００３８】
さらに、レンズアクチュエータ３４を作動させて、対物レンズ３３をＺ方向（光軸方向）とＹ方向（光軸に対して直交方向）に所定の振幅で振動させて、実際の測定状態と同様の動作状態とする。なお、予めレーザの焦点が細孔１３の位置に来るように正確に設置すればこの対物レンズ３３の駆動は省略しても良い。
【００３９】
次に、上記の状態で、フォトセンサ３８をＸＹ方向（フォトセンサ３８に照射されるレーザの光軸に対して垂直な平面方向）に変位させて位置調整を行っていく。フォトセンサ３８を変位させると、蛍光検出装置３０からのセンサ信号（出力端子Ｔ１からの出力）は、図４（ａ）に示されるように励起光の漏れ光の入射によりフォトセンサ３８の変位に応じて大きくなったり小さくなったりなだらかに変化する信号Ｓ０と、細孔１３から出力される蛍光の焦点がフォトセンサ３８の受光面と合致したときに現れる蛍光検出による信号Ｓ１とが重なったものとなる。さらに、このセンサ信号をバンドパスフィルタに通すと、図４（ｂ）に示されるように、なだらかに変化する信号Ｓ０が除去されて、ＬＥＤ１５からの発光による信号のみが抽出される。
【００４０】
従って、バンドパスフィルタの出力をモニタしながら、その出力が最大となる点をフォトセンサ３８を変位させながら探して、そこにフォトセンサ３８を固定することで、蛍光検出に最適なフォトセンサ３８の位置調整が完了する。
【００４１】
以上のように、この実施の形態の調整用ジグ１０によれば、試料からの蛍光出力に似せた擬似的な発光を行わせることが出来るので、高価や試薬を用いることなく安価に、擬似的な蛍光測定時の状態を生成して、フォトセンサ３８の位置調整や蛍光検出装置３０の測定動作の評価処理を行うことが出来る。
【００４２】
また、調整用ジグ１０のＬＥＤ１５を所定パターンで変調させて出力させることで、例えば励起光の漏れ光などの影響が検出信号に現れるような場合でも、そこからＬＥＤ１５発光の検出信号だけを抽出することが出来る。従って、ＳＨＧ・ＹＡＧレーザ３１を駆動して実際の動作状態と同様の状態でフォトセンサ３８の位置調整を行った場合でも、ＬＥＤ１５の発光の検出信号を抽出して、それに基づき調整処理を容易に遂行することが出来る。
【００４３】
また、このような調整用ジグ１０を用いたフォトセンサ３８の調整処理により、蛍光検出装置の製造時の調整コストやメンテナンス時の調整コストを低減することが出来るという効果がある。
【００４４】
なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、センサの位置調整や測定動作の評価を行う蛍光検出装置の種類としては、図２に例示したものに限られず、様々なタイプの蛍光検出装置を対象とすることが出来る。また、調整する部品は蛍光測定用のフォトセンサに限られず、集束レンズの位置調整やダイクロイックミラーの位置調整や角度調整に用いることも出来る。
【００４５】
その他、調整用ジグの遮光膜の材質や細孔の形成法など、実施の形態で具体的に示した細部は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施の形態の位置調整用装置としての調整用ジグの構成を示す斜視図である。
【図２】調整処理や評価処理の対象となる蛍光検出装置の構成を示す図である。
【図３】フォトセンサの位置調整を行う際の状態を示す説明図である。
【図４】フォトセンサの位置調整時に出力される信号を示す波形図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０    調整用ジグ（調整用装置）
１１    スルーホールプレート
１１Ａ  基板
１２    遮光膜
１３    細孔
１５    ＬＥＤ（発光手段）
３０    蛍光検出装置
３１    ＳＨＧ・ＹＡＧレーザ（レーザ出力手段）
３２    ダイクロイックミラー（ビームスプリッタ）
３３    対物レンズ
３４    レンズアクチュエータ
３５    出力モニタ用のフォトセンサ
３６    エミッタ
３７    集束レンズ
３８    蛍光測定用のフォトセンサ
４１    割算回路
５０    チップ
５１    マイクロ流路
【図１】
2006300857.tif 000003
【図２】
2006300857.tif 000004
【図３】
2006300857.tif 000005
【図４】
2006300857.tif 000006