(57)【要約】 【課題】  種々の検出条件に対応可能な板状部材検出装置及び多光軸光電センサを提供する。【解決手段】  各センサユニット１０を各ブラケット２０のＬ字部材２０ａに固定しておく。そして、Ｌ字部材２０ａの取付部分２４と、予め取付部材３０のガイド溝３１内に挿入しておいたナット部材２０ｂとをネジ２６によって仮螺合させる。そして、この状態で、検出対象の複数の半導体ウエハＷの離間間隔に対応した間隔の位置で、ネジ２６を締め付けて各センサユニット１０のブラケット２０を本螺合させる。【選択図】  図１
2006046958.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに間隔を隔てて配列された複数の板状部材をそれぞれ検出するための板状部材検出装置であって、
所定の検出領域に向けて光を出射する投光手段、及び、その投光手段から出射され前記検出領域内に位置する前記各板状部材の表面又は裏面で反射した反射光を受光する受光手段を有するセンサユニットと、
前記複数のセンサユニットが、前記複数の板状部材の配列方向に沿って取り付けられる取付部材と、
前記複数のセンサユニットの全部又は一部のユニットを、前記取付部材に対し前記配列方向において変位可能に取り付けることで隣接する前記ユニット同士の離間距離を変更可能とする取付手段と、を備えることを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項２】
互いに間隔を隔てて配列された複数の板状部材をそれぞれ検出するための板状部材検出装置であって、
所定の検出領域に向けて光を出射する投光手段を有する投光ユニットと、
その投光ユニットに対して前記検出領域を挟んで対向配置され前記投光手段からの出射光を受光する受光手段を有する受光ユニットと、
複数の前記投光ユニット及び前記受光ユニットが、前記板状部材の配列方向に沿って交互に取り付けられる取付部材と、
前記複数の投光ユニット及び受光ユニットの全部又は一部のユニットを、前記取付部材に対し前記配列方向において変位可能に取り付けることで隣接する前記ユニット同士の離間距離を変更可能とする取付手段と、を備えることを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項３】
前記取付部材には、前記配列方向に沿って延びる突条部が設けられ、
前記取付手段は、前記ユニット側に設けられ、前記取付部材の前記突条部を把持する把持部を備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の板状部材検出装置。
【請求項４】
前記ユニット側には連結部が設けられ、
前記取付部材には、前記ユニットの前記連結部と連結可能であって前記配列方向に沿って形成された複数の被連結部からなる被連結部群を複数群備え、
これらの複数群の被連結部群は、互いに各被連結部間の配置間隔が異なるよう構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の板状部材検出装置。
【請求項５】
前記ユニット側には連結部が設けられ、
前記取付部材に取付可能な複数のプレート部材を備え、前記各プレート部材には、前記ユニットの前記連結部と連結可能であって前記配列方向に沿って形成された複数の被連結部からなる被連結部群がそれぞれ設けられ、
前記各プレート部材の前記各被連結部同士の配列間隔は、前記プレート部材毎に異なるよう構成され、
前記ユニットは、前記複数のプレート部材から選択したプレート部材の前記被連結部を介して前記取付部材に取り付けられることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の板状部材検出装置。
【請求項６】
前記各プレート部材は、前記取付部材に対し前記配列方向に沿って移動可能に取り付けられることを特徴とする請求項５に記載の板状部材検出装置。
【請求項７】
前記板状部材は、半導体ウエハであることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の板状部材検出装置。
【請求項８】
所定の検出領域を挟んで配置される投光器及び受光器を備え、前記投光器には互いに間隔を隔てて配列され前記検出領域に向けて光を出射する複数の投光ユニットが設けられ、前記受光器には前記各投光ユニットと対をなして対向配置される複数の受光ユニットが設けられて構成される多光軸光電センサであって、
前記投光器及び前記受光器には、前記複数のユニットが前記投光ユニットの配列方向に沿って取り付けられる取付部材と、
前記複数のユニットの全部又は一部のユニットを、前記取付部材に対し前記配列方向において変位可能に取り付けることで隣接する前記ユニット同士の離間距離を変更可能とする取付手段と、を備えることを特徴とする多光軸光電センサ。
【請求項９】
前記取付部材には、前記配列方向に沿って延びる突条部が設けられ、
前記取付手段は、前記ユニット側に設けられ、前記取付部材の前記突条部を把持する把持部を備えていることを特徴とする請求項８に記載の多光軸光電センサ。
【請求項１０】
前記ユニットには連結部が設けられ、
前記取付部材には、前記ユニットの前記連結部と連結可能であって前記配列方向に沿って形成された複数の被連結部からなる被連結部群を複数群備え、
これらの複数群の被連結部群は、互いに各被連結部間の配置間隔が異なるよう構成されていることを特徴とする請求項８に記載の多光軸光電センサ。
【請求項１１】
前記ユニット側には連結部が設けられ、
前記取付部材に取付可能な複数のプレート部材を備え、前記各プレート部材には、前記ユニットの前記連結部と連結可能であって前記配列方向に沿って形成された複数の被連結部からなる被連結部群がそれぞれ設けられ、
前記各プレート部材の前記各被連結部同士の配列間隔は、前記プレート部材毎に異なるよう構成され、
前記ユニットは、前記複数のプレート部材から選択したプレート部材の前記被連結部を介して前記取付部材に取り付けられることを特徴とする請求項８に記載の多光軸光電センサ。
【請求項１２】
前記各プレート部材は、前記取付部材に対し前記配列方向に沿って移動可能に取り付けられることを特徴とする請求項１１に記載の多光軸光電センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材検出装置及び多光軸光電センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば下記特許文献１には、カセット内に所定間隔隔てて配列された複数のウエハをそれぞれ検出するウエハセンサが開示されている。これは、複数組の投光部及び受光部を備え、各組の投光部及び受光部をそれに対応する各ウエハの検出領域を挟むように対向配置する。そして、上記検出領域内にウエハがなければ投光部からの光が受光部に入光する入光状態となる一方で、ウエハがあれば遮光状態となる。従って、受光部での受光量レベルの変化に基づき各ウエハの検出が可能になるのである。
【特許文献１】特開平１０−７０１７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、カセットに配列されるウエハ間の配列間隔は常に同じとは限らない。また、ウエハ自体の厚さもさまざまである。ところが、従来のものでは、各投光部及び受光部の配置位置が固定であったため、ウエハの厚さや配列間隔が異なるなど種々の検出条件に柔軟な対応ができないという問題があった。
【０００４】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、種々の検出条件に対応可能な板状部材検出装置及び多光軸光電センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明に係る板状部材検出装置は、互いに間隔を隔てて配列された複数の板状部材をそれぞれ検出するための板状部材検出装置であって、所定の検出領域に向けて光を出射する投光手段、及び、その投光手段から出射され前記検出領域内に位置する前記各板状部材の表面又は裏面で反射した反射光を受光する受光手段を有するセンサユニットと、前記複数のセンサユニットが、前記複数の板状部材の配列方向に沿って取り付けられる取付部材と、前記複数のセンサユニットの全部又は一部のユニットを、前記取付部材に対し前記配列方向において変位可能に取り付けることで隣接する前記ユニット同士の離間距離を変更可能とする取付手段と、を備えることを特徴とする。
なお、「受光手段での受光量に基づき検出動作を行う検出手段」は、センサユニット内に内臓されたものであってもよいが、これに限らず、例えば各受光手段からの受光量に応じた受光信号を受信する外部機器に設けた構成であってもよい。
【０００６】
請求項２の発明に係る板状部材検出装置は、互いに間隔を隔てて配列された複数の板状部材をそれぞれ検出するための板状部材検出装置であって、所定の検出領域に向けて光を出射する投光手段を有する投光ユニットと、その投光ユニットに対して前記検出領域を挟んで対向配置され前記投光手段からの出射光を受光する受光手段を有する受光ユニットと、複数の前記投光ユニット及び前記受光ユニットが、前記板状部材の配列方向に沿って交互に取り付けられる取付部材と、前記複数の投光ユニット及び受光ユニットの全部又は一部のユニットを、前記取付部材に対し前記配列方向において変位可能に取り付けることで隣接する前記ユニット同士の離間距離を変更可能とする取付手段と、を備えることを特徴とする。
なお、「受光手段での受光量に基づき検出動作を行う検出手段」は、受光ユニット内に内臓されたものであってもよいが、これに限らず、例えば各受光手段からの受光量に応じた受光信号を受信する外部機器に設けた構成であってもよい。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の板状部材検出装置において、、前記取付部材には、前記配列方向に沿って延びる突条部が設けられ、前記取付手段は、前記ユニット側に設けられ、前記取付部材の前記突条部を把持する把持部を備えていることを特徴とする。
なお、上記「突条部」は、取付部材の全長に亘って連続的に形成されたものであっても、或いは間欠的に形成されたものであってもよい。
また、「取付手段」は、ユニットに一体的に設けられたものであっても、或いは、後述する実施形態のように別体としてのブラケットであってもよい。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１又は請求項２に記載の板状部材検出装置において、前記ユニット側には連結部が設けられ、前記取付部材には、前記ユニットの前記連結部と連結可能であって前記配列方向に沿って形成された複数の被連結部からなる被連結部群を複数群備え、これらの複数群の被連結部群は、互いに各被連結部間の配置間隔が異なるよう構成されていることを特徴とする。
なお、「取付手段」は、ユニットに一体的に設けられたものであっても、或いは、後述する実施形態のように別体としてのブラケットであってもよい。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項１又は請求項２に記載の板状部材検出装置において、前記ユニット側には連結部が設けられ、前記取付部材に取付可能な複数のプレート部材を備え、前記各プレート部材には、前記ユニットの前記連結部と連結可能であって前記配列方向に沿って形成された複数の被連結部からなる被連結部群がそれぞれ設けられ、前記各プレート部材の前記各被連結部同士の配列間隔は、前記プレート部材毎に異なるよう構成され、前記ユニットは、前記複数のプレート部材から選択したプレート部材の前記被連結部を介して前記取付部材に取り付けられることを特徴とする。
なお、「連結部」は、ユニットに一体的に設けられたものであっても、或いは、後述する実施形態のようにユニットが固定される、別体としてのブラケットに設けられたものであってもよい。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項５に記載の板状部材検出装置において、前記各プレート部材は、前記取付部材に対し前記配列方向に沿って移動可能に取り付けられることを特徴とする。
【００１１】
請求項７の発明は、請求項１〜請求項６のいずれかに記載の板状部材検出装置において、前記板状部材は、半導体ウエハであることを特徴とする。
【００１２】
請求項８の発明に係る多光軸光電センサは、所定の検出領域を挟んで配置される投光器及び受光器を備え、前記投光器には互いに間隔を隔てて配列され前記検出領域に向けて光を出射する複数の投光ユニットが設けられ、前記受光器には前記各投光ユニットと対をなして対向配置される複数の受光ユニットが設けられて構成される多光軸光電センサであって、前記投光器及び前記受光器には、前記複数のユニットが前記投光ユニットの配列方向に沿って取り付けられる取付部材と、前記複数のユニットの全部又は一部のユニットを、前記取付部材に対し前記配列方向において変位可能に取り付けることで隣接する前記ユニット同士の離間距離を変更可能とする取付手段と、を備えることを特徴とする。
なお、「受光手段での受光量に基づき検出動作を行う検出手段」は、受光ユニット内に内臓されたものであってもよいが、これに限らず、例えば各受光手段からの受光量に応じた受光信号を受信する外部機器に設けた構成であってもよい。
【００１３】
請求項９の発明は、請求項８に記載の多光軸光電センサにおいて、前記取付部材には、前記配列方向に沿って延びる突条部が設けられ、前記取付手段は、前記ユニット側に設けられ、前記取付部材の前記突条部を把持する把持部を備えていることを特徴とする。
【００１４】
請求項１０の発明は、請求項８に記載の多光軸光電センサにおいて、前記ユニットには連結部が設けられ、前記取付部材には、前記ユニットの前記連結部と連結可能であって前記配列方向に沿って形成された複数の被連結部からなる被連結部群を複数群備え、これらの複数群の被連結部群は、互いに各被連結部間の配置間隔が異なるよう構成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項１１の発明は、請求項８に記載の多光軸光電センサにおいて、前記ユニット側には連結部が設けられ、前記取付部材に取付可能な複数のプレート部材を備え、前記各プレート部材には、前記ユニットの前記連結部と連結可能であって前記配列方向に沿って形成された複数の被連結部からなる被連結部群がそれぞれ設けられ、前記各プレート部材の前記各被連結部同士の配列間隔は、前記プレート部材毎に異なるよう構成され、前記ユニットは、前記複数のプレート部材から選択したプレート部材の前記被連結部を介して前記取付部材に取り付けられることを特徴とする。
【００１６】
請求項１２の発明は、請求項１１に記載の多光軸光電センサにおいて、前記各プレート部材は、前記取付部材に対し前記配列方向に沿って移動可能に取り付けられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
＜請求項１，２の発明＞
本構成によれば、取付手段によって各センサユニットの離間距離を変更可能に取付部材に対して取り付けることができる。つまり、様々な間隔で配列された複数の板状部材（請求項７では、半導体ウエハ）に対応した離間間隔にセンサユニットを配列することができる。
【００１８】
＜請求項３の発明＞
本構成によれば、ユニット（センサユニット、投光ユニット、受光ユニット）側に設けられた把持部によって取付部材の突条部を任意の位置で把持することで取り付けるようになっている。従って、突条部に対する把持位置を調整することで各ユニットの微妙な位置調整が可能となる。また、例えば取付部材に複数のネジ穴を形成したり、複数のネジを植設し、これらにユニットを連結する構成も考えられるが、このような構成に比べて単に突状部を形成する本構成は製造が容易であり、ひいては製造コストを安くすることができる。
【００１９】
＜請求項４の発明＞
本構成によれば、被連結部同士の配列間隔が互いに異なる複数種の連結部群の中から特定の連結部群を選択することで、様々な間隔で配列された複数の板状部材に対応した離間間隔にセンサユニットを配列することができる。
【００２０】
＜請求項５，６の発明＞
本構成によれば、被連結部同士の配列間隔が互いに異なる複数種のプレート部材の中から特定のプレート部材を選択することで、様々な間隔で配列された複数の板状部材に対応した離間間隔にセンサユニットを配列することができる。更に、請求項６の構成のように、各プレート部材は、取付部材に対し移動可能に取り付けられるから、当該プレート部材に取り付けられたセンサユニット群を一括で所望の位置に調整することが容易になる。
【００２１】
＜請求項８〜１２の発明＞
本発明の上記構成は、多光軸光電センサに適用することで、検出対象物の大きさなど、種々の検出条件に応じた光軸間隔に変更することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１について図１〜図４を参照しつつ説明する。
本実施形態に係るウエハ検出装置１は、例えば図示しないカセットに間隔を隔てて一列状に配列された複数の円盤状の半導体ウエハＷ（本発明の「板状部材」に相当）を一括検出するためのものである。
【００２３】
１．ウエハ検出装置の全体構成
図１は、本実施形態に係るウエハ検出装置１の斜視図である。このウエハ検出装置１は、複数のセンサユニット１０（同図ではそのうちの２台のみ図示）と、それら複数のセンサユニット１０のそれぞれに対応して設けられた複数のブラケット２０（本発明の「取付手段」に相当）と、複数のセンサユニット１０がブラケット２０を介して取り付けられる取付部材３０とを備えて構成されている。
【００２４】
（１）センサユニット
各センサユニット１０は、それぞれが検出対象とする半導体ウエハＷが存在し得る位置の下方に入り込んで上方に向けて光を出射し、半導体ウエハＷの裏面での反射光の有無に応じて変化する反射光の受光量に応じた受光信号を出力する、いわゆる反射型の光電センサである。各センサユニット１０からの受光信号は、図示しない制御装置に与えられ、ここで所定の閾値と比較されることで各センサユニット１０における半導体ウエハＷの検出の有無を判断するようになっている。
【００２５】
より具体的には、各センサユニット１０は、図１，２に示すように、全体として扁平箱形状のケース１１に覆われ、そのケース１１の先端側（図１，２の紙面左側）上面に投受光窓１２が設けられている。そして、この投受光窓１２の下方に位置するケース１１内部には、光軸を当該投受光窓１２に向けて並設された１組の投光素子１３及び受光素子１４が設けられている。また、ケース１１内部には、上記投光素子１３を駆動させるための投光回路（図示せず）と、受光素子１４から出力される受光量に応じた受光信号を増幅して出力する受光回路（図示せず）が設けられている。
【００２６】
ケース１１の後端面からは上記投光回路及び受光回路に電気的に接続された信号線１５が導出されている。また、ケース１１の両側面側には、上面より一段下がった１対の凹所１６，１６が切り欠き形成されている。各凹所１６の底部にはケース１１の下面まで達する挿通穴１７が貫通形成されている（図２参照）。
なお、本実施形態では、図２に示すように、各センサユニット１０は、信号線１５の先端に対し、例えばコネクタによって着脱可能になっている。勿論、信号線１５に対して着脱不能な構成であってもよいが、本実施形態のような構成であれば、例えば、故障などでセンサユニット１０を交換したり、センサユニット１０を清掃したりする場合に、当該センサユニット１０のみを信号線１５から取り外すことができ、作業性向上を図ることができる。
【００２７】
（２）ブラケット
各ブラケット２０は、それに対応する上記センサユニット１０を取付部材３０の任意の位置に取り付けるためのものである。具体的には、ブラケット２０は、Ｌ字部材２０ａとナット部材２０ｂから構成されている。
Ｌ字部材２０ａは、例えば金属製の矩形平板をＬ字状に折り曲げた形状をなす。こののうちＬ字の長辺部に相当するセンサ固定部分２１には、その先端側において上記センサユニット１０の各挿通穴１７に対応する位置に１対のネジ穴２２，２２が貫通形成されている（図２参照）。従って、センサユニット１０の１対の挿通穴１７，１７にそれぞれ挿通させたネジ２３，２３を、Ｌ字部材２０ａのネジ穴２２，２２に螺合することで、センサユニット１０をＬ字部材２０ａに固定することができる。
【００２８】
一方、Ｌ字の短辺部分に相当する取付部分２４には、図２に示すように、取付部材３０との対向方向に向かって突出するように曲げ形成された１対のガイド部２５，２５が設けられている。また、取付部分２４には、上記１対のガイド部２５，２５に挟まれる位置にネジ２６が挿通される挿通穴２７が貫通形成されている。
【００２９】
次いで、ナット部材２０ｂは、図２に示すように、全体として矩形平板状をなし、その中央に上記ネジ２６が螺合されるネジ穴２８が貫通形成されている。このナット部材２０ｂは、後述する取付部材３０のガイド溝３１内に挿入されて、Ｌ字部材２０ａの挿通穴２７に挿通されたネジ２６に螺合されることで、Ｌ字部材２０ａの取付部分２４とナット部材２０ｂとでガイド溝３１の両突条部３２，３２を挟み込んで把持する。従って、この取付部分２４及びナット部材２０ｂが本発明の「把持部」として機能する。
【００３０】
（３）取付部材
取付部材３０は、全体として上下方向（本発明の「配列方向」に相当）に延びる角柱状をなす。そして、４つの各側面には、互いに同形のガイド溝３１が取付部材３０の全長に亘って形成されている。各ガイド溝３１は、開放側（取付部材３０の側面側）の対向幅ｄ１がそれより奥側（ガイド溝３１の底面側）の対向幅ｄ２よりも狭く形成された断面Ｔ字状になっている。そして、開放側の対向幅ｄ１は、上記ナット部材２０ｂの幅よりも小さく、かつ、前述したブラケット２０の１対のガイド部２５，２５外面に当接する程度の間隔に形成されている。また、奥側の対向幅ｄ２は、上記ナット部材２０ｂの幅よりやや大きめに形成されている。なお、ガイド溝３１のうち対向幅ｄ１を持って開放側で対向する部分が本発明の突条部３２に相当する。以下、これらの部分を１対の突条部３２，３２という。
【００３１】
このような構成により、ガイド溝３１のうち対向幅ｄ２の奥側部分には、ナット部材２０ｂを上下方向に移動可能に挿入することができる。また、上記１対の突条部３２，３２間には、Ｌ字部材２０ａの１対のガイド部２５，２５を嵌め合わせた状態でやはり上下方向に移動可能に配することができる。
【００３２】
２．本実施形態の作用
さて、本実施形態では、まず各センサユニット１０を各ブラケット２０のＬ字部材２０ａに固定しておく。そして、Ｌ字部材２０ａの取付部分２４と、予め取付部材３０のガイド溝３１内に挿入しておいたナット部材２０ｂとをネジ２６によって仮螺合させる。そして、この状態で、検出対象の複数の半導体ウエハＷの離間間隔に対応した間隔の位置で、ネジ２６を締め付けて各センサユニット１０のブラケット２０を本螺合させる。これにより、図３に示すように、Ｌ字部材２０ａの取付部分２４とナット部材２０ｂとでガイド溝３１の突条部３２，３２が把持され、各センサユニット１０を取付部材３０に対して所望の位置に取り付けることが可能になるのである。そして、図４（Ａ）（Ｂ）に示すように、離間距離が異なる複数の半導体ウエハＷを検出する場合には、ネジ２６を緩めて各センサユニット１０を上下方向で移動させることで最適な離間距離で配列することができる。
【００３３】
なお、本実施形態における取付部材３０の４側面にはいずれも同形のガイド溝３１が形成されているため、どの側面にもセンサユニット１０を任意の位置に取り付けることができる。また、センサユニット１０から導出された信号線は、図１に示すように、センサユニット１０が配置された側面のガイド溝３１内や、その他の側面のガイド溝３１に引き回されるように配置される。このとき、図１，２に示すによう、ガイド溝３１に配置された信号線を覆うように断面コの字状のカバー部材３３をガイド溝３１に嵌合させる構成としている。
【００３４】
３．本実施形態の効果
（１）本実施形態によれば、ブラケット２０によって各センサユニット１０の離間距離を変更可能に取付部材３０に対して取り付けることができる。つまり、様々な間隔で配列された複数の半導体ウエハＷに対応した離間間隔にセンサユニット１０を配列することができる。なお、図４では、一定の離間間隔Ｄ１，Ｄ２に配列された半導体ウエハＷ群を一括で検出する場合を説明したが、これに限らず、複数の半導体ウエハＷが互いに異なる離間間隔で配列された場合であっても、本発明を適用することで適切な位置にセンサユニット１０をそれぞれ配置することができる。
【００３５】
（２）また、ブラケット２０を構成するＬ字部材２０ａとナット部材２０ｂとで取付部材３０の両突条部３２，３２を把持する構成になっている。また、この突条部３２は、取付部材３０の全長に亘って連続的に形成されている。従って、突条部３２，３２に対する把持位置を調整することで各センサユニット１０の微妙な位置調整が可能となる。
【００３６】
＜実施形態２＞
図５，６は（請求項５，６の発明に対応する）実施形態２を示す。前記実施形態との相違は、取付手段の構造にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００３７】
図５に示すように、本実施形態では、長方形状の複数種のプレート部材４０が設けられている。各プレート部材４０は、短手方向の幅が上記ナット部材２０ｂと同じ幅に形成され、ナット部材２０ｂと同様に、取付部材３０のガイド溝３１内に移動可能に挿入できるようになっている。それぞれのプレート部材４０には、ナット部材２０ｂのネジ穴２８と同じネジ穴４１（本発明の「被連結部」に相当）が複数個、その長手方向（本発明の「配列方向」に相当）に沿って貫通形成されている。そして、複数プレート部材４０は、同図（ａ）〜（ｃ）に示すように、互いにねじ穴４１と配置間隔が異なっている。また、ネジ２６は、本発明の「連結部」に相当する。
なお、各プレート部材４０は、上記実施形態１と同様、Ｌ字部材２０ａの取付部分２４とでガイド溝３１の両突条部３２，３２を挟み込んで把持する。従って、この取付部分２４及びプレート部材４０の組合せも請求３でいう「把持部」にも相当する。
【００３８】
従って、図６に示すように、複数種のプレート部材４０ａ，４０ｂ，４０ｃ．．．から特定のプレート部材４０を選択して各センサユニット１０を取り付けることで、様々な間隔で配列された複数の半導体ウエハＷに対応した離間間隔にセンサユニット１０を配列することができる。なお、図６（ａ）は、図５（ａ）に示すプレート部材４０ａを用いた場合の例であり、図６（ｂ）は、図５（ｂ）に示すプレート部材４０ｂを用いた場合の例である。
【００３９】
しかも、本実施形態では、各プレート部材４０のネジ穴４１が一定間隔で配置されているから、各センサユニット１０の離間間隔のばらつきを確実に防止することができる。更に、本実施形態では、各プレート部材４０は、取付部材３０のガイド溝３１内に沿って移動可能に挿入できるため、当該プレート部材４０に取り付けられたセンサユニット１０群を一括で所望の位置に調整することが容易になる。
【００４０】
＜実施形態３＞
図７は（請求項２，４の発明に対応する）実施形態３を示す。前記実施形態との相違は、ユニットの構成及び取付手段の構造にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００４１】
図７（ａ）に示すように、本実施形態の取付部材５０は、上記実施形態１の取付部材３０と同形をなし、異なる点は、各ガイド溝５１の底面に実施形態１のネジ穴２６と同様の複数のネジ穴５２（本発明の「被連結部群」に相当）が当該ガイド溝５１に沿って配列されている。そして、例えば４側面の各ガイド溝５１におけるネジ穴５２の配列間隔は互いに異なっている。
また、センサユニット５３は、図７（ｂ）（ｃ）に示すように、上方向及び下方向に光を出射する投光ユニット５３ａと、その投光ユニットからの光を受光する受光ユニット５３ｂとがあり、投光ユニット５３ａと受光ユニット５３ｂとが上下方向に沿って交互に配置される。
【００４２】
この構成であっても、取付部材５０のうち所望の配列間隔でネジ穴５２が形成されたガイド溝５１を選択して各センサユニット５５を配置することで、様々な間隔で配列された複数の半導体ウエハＷに対応した離間間隔にセンサユニット５５を配列することができる。なお、同図（ｂ）には、配列間隔Ｄ６のネジ穴５２に各投光ユニット５３ａ及び受光ユニット５３ｂを取り付けた場合であり、同図（ｃ）には、配列間隔Ｄ５（＜Ｄ６）のネジ穴５２に各投光ユニット５３ａ及び受光ユニット５３ｂを取り付けた場合である。
【００４３】
＜実施形態４＞
図８は、上記実施形態１の構成を、互いに対向配置される投光器及６１び受光器６２を備える多光軸光電センサ６０に適用した例を示す図である。投光器６１及び受光器６２は、実施形態１とほぼ同じ構成であり、異なる点は、センサユニットにある。投光器６１側のセンサユニットは、対向する受光器６２側に光を出射する投光素子６３を備える投光ユニット６５である。一方、受光器６２側のセンサユニットは、対向する投光器６１の各投光ユニット６５からの光を受光する受光素子６４を備える受光ユニット６６である。
このような構成であっても、検出対象物Ｗ’の大きさなど、種々の検出条件に応じて、各各投光ユニット６５及び受光ユニット６６が形成する光軸の間隔を変更することができる。なお、上記実施形態２又は実施形態３の構成を適用してもよい。
【００４４】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）実施形態１，２，４では、Ｌ字部材２０ａ側に連結部としてのネジ２６を挿通させた構成であったが、これに限らず、ナット部材２０ｂやプレート部材４０側にネジを設けて、Ｌ字部材２０ａの挿通穴２７に通し別で設けたナット部材で締め付ける構成であってもよい。また、互いに連結可能なものであればネジ及びネジ穴に限らず、開口穴及びそれに圧入される突出部や、互いに係合する係合部及び被係合部であってもよい。
【００４５】
（２）取付部材３０，５０に取り付けられるすべてのユニットが移動できる構成である必要は必ずしもない。例えば配列方向の両端に位置するユニットは移動不能になった構成であってもよい。
【００４６】
（３）前記実施形態１〜３では、板状部材としての半導体ウエハＷ（ウエハ）を被検出対象とした具体例を例示したが、例えば磁気ディスク基板、電子回路基板であってもよい。要するに、平板状であって、厚さが様々であったり、異なる配列間隔で配置され得るものであればよい。
【００４７】
（４）また、板状部材は、電気製品に用いられる基板に限られるものではなく、板状でありさえすれば、例えば、時計の文字盤や、ケースに備えた平板状の蓋体、プーリ、ワッシャ等であってもよい。
【００４８】
（５）図９には、上記実施形態１に対する変形例である。実施形態１との相違点は、ガイド部の形状にある。本実施形態では、各センサユニット１０は、それを取付部材３０に取り付けるための取付手段によって、その取付方向（連結方向）に沿った軸を中心に回動可能になっている。具体的には、ブラケット２０のＬ字部材２０ａが、上記ネジ２６が挿通される挿通穴２７を中心に回動できるようになっている。より具体的には、Ｌ字部材２０ａから突出した１対のガイド部２５’，２５’の外周面は、上記挿通穴２７を中心とした円弧形状になっている。従って、ネジ２６の本締め前であれば、センサユニット１０をそのネジ穴２６を中心に回動させて光軸方向を調整することができる。特に、カセット内において半導体ウエハＷがその両端で係止されている場合、半導体ウエハの自重によって中央部分が撓むことがある。そうすると、この撓みによって半導体ウエハＷへの投光光や半導体ウエハから反射光の光路が変わり検出精度に影響を与えるおそれがある。しかし、本変形例の構成であれば各センサユニット１０を適宜係動させることで撓みによる影響を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態１に係るウエハ検出装置の斜視図
【図２】ウエハ検出装置を分解した状態を示す斜視図
【図３】図１のＸ−Ｘ破断面におけるブラケットと取付部材との取付状態を示す断面図
【図４】配列間隔の異なる半導体ウエハに対応してセンサユニットの離間間隔を調整した場合を説明するための模式図
【図５】実施形態２のプレート部材を例示した模式図
【図６】各種のプレート部材を用いてセンサユニットを取り付けた状態を示す斜視図
【図７】実施形態３の取付部材と、その取付部材に投光ユニット及び受光ユニットを取り付けた状態を示す斜視図
【図８】実施形態４の多光軸光電センサの全体構成を示す簡略図
【図９】変形例に係るウエハ検出装置の斜視図
【符号の説明】
【００５０】
１…ウエハ検出装置（板状部材検出装置）
１０…センサユニット
２０…ブラケット（取付手段）
１３，６３…投光素子（投光手段）
１４，６４…受光素子（受光手段）
２６，５２…ネジ（連結部）
３０，５０…取付部材
３２…突条部
４０…プレート部材
４１…ネジ穴（被連結部）
５３ａ、６５…投光ユニット（ユニット）
５３ｂ、６６…受光ユニット（ユニット）
６０…多光軸光電センサ
６１…投光器
６２…受光器
Ｗ…半導体ウエハ（板状部材）
Ｗ’…検出対象物
【図１】
2006046958.tif 000003
【図２】
2006046958.tif 000004
【図３】
2006046958.tif 000005
【図４】
2006046958.tif 000006
【図５】
2006046958.tif 000007
【図６】
2006046958.tif 000008
【図７】
2006046958.tif 000009
【図８】
2006046958.tif 000010
【図９】
2006046958.tif 000011