(57)【要約】【課題】  短時間で容易にプローブのごみ取り、研磨が可能なオートハンドラを実現する。【解決手段】  プローブカードに対向してコンタクトプッシャーが配置されるオートハンドラにおいて、  通常のデバイス検査時には所定の検査動作ストロークで動作し研磨時には検査動作ストロークから研磨用テープの厚さ分が差し引かれた研磨動作ストロークで動作するコンタクトプッシャーを具備したことを特徴とするオートハンドラである。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードに対向してコンタクトプッシャーが配置されるオートハンドラにおいて、
通常のデバイス検査時には所定の検査動作ストロークで動作し研磨時には検査動作ストロークから研磨用テープの厚さ分が差し引かれた研磨動作ストロークで動作するコンタクトプッシャー
を具備したことを特徴とするオートハンドラ。
【請求項２】
通常のデバイス検査動作指令か研磨動作指令かを判定して前記コンタクトプッシャーに検査動作ストロークで動作するか研磨動作ストロークで動作するかを設定する設定回路
を具備したことを特徴とする請求項１記載のオートハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、短時間で容易にプローブのごみ取り、研磨が可能なオートハンドラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
オートハンドラに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３２８１５１号公報
【０００４】
テープ状デバイス用オートハンドラは、リールに巻かれたテープ状デバイスを自動的に測定位置まで逐次搬送し、ＩＣテスタのテスト結果にもとづいて選別する装置である。
図３は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【０００５】
１はテープ状デバイス、２Ａは供給リール、２Ｂは収容リール、３Ａは第１のスプロケット、３Ｂは第４のスプロケット、４Ａは第１のプーリ、４Ｂは第２のプーリ、５Ａと５Ｂはガイド、６Ａは第１のテンションプーリ、６Ｂは第２のテンションプーリ、７Ａは第２のスプロケット、７Ｂは第３のスプロケット、８はテープクランプ、９と１０はプッシャ、１１はパンチユニット、１２はプローブカード、１２Ａはプローブ、１３はアタッチメントユニット，１４はテストヘッド、１５，１５Ａ，１５Ｂはカメラ、１５Ｃは画像処理装置である。
【０００６】
図３では、供給リール２Ａに巻かれたテープ状デバイス１を収容リール２Ｂが巻き取る。
プッシャ９の両翼には第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂが配置され、第２のスプロケット７Ａと第３のスプロケット７Ｂは同期回転してテープ状デバイス１を走行させる。  プッシャ９の下面にはテープクランプ８が配置され、テープ状デバイス１はプッシャ９とテープクランプ８間を走行する。
【０００７】
プッシャ１０はプッシャ９を昇降させる。
プッシャ１０は、テープクランプ８とプッシャ９で保持されたテープ状デバイス１を降下させ、前記テープ状デバイス１をプローブカード１２に接触させて試験する。
【０００８】
図３のプローブカード１２はプッシャ９と対向する形で装置に保持される。
プローブカード１２とアタッチメントユニット１３は機械的または電気的に分離可能に接続される。
ＩＣテスタのテストヘッド１４は、上部にアタッチメントユニット１３を配置する。
【０００９】
図３では、テープ状デバイス１は第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂが同期して回転することによりテープ状デバイスのピッチ分送られ、供給リール２Ａからテンションプーリ６Ａ、第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂ、テンションプーリ６Ｂ、収容リール２Ｂの順に移動する。
【００１０】
第１のプーリ４Ａは第１のスプロケット３Ａと第１のテンションプーリ６Ａ間に配置され、第２のプーリ４Ｂは第４のスプロケット３Ｂとテンションプーリ６Ｂ間に配置される。
第１・第２のプーリ４Ａ・４Ｂは回転中心が固定され、円周面が転動してテープ状デバイス１を案内する。
ガイド５Ａは第１のプーリ４Ａと第１のテンションプーリ６Ａ間に配置され、ガイド５Ｂは第２のテンションプーリ６Ｂと第２のプーリ４Ｂ間に配置される。
ガイド５Ａ・５Ｂはテープ状デバイス１を介在させ、テープ状デバイス１を案内する。
【００１１】
図３では、テープ状デバイス１の屈曲や波うちを防止するためテープ状デバイス１にある程度の張力をかける。
すなわち、第１のテンションプーリ６Ａは、第１のプーリ４Ａと第２のスプロケット７Ａ間に配置され、テープ状デバイス１を上昇方向に押圧する。
第２のテンションプーリ６Ｂは、第３のスプロケット７Ｂと第２のプーリ４Ｂ間に配置され、テープ状デバイス１を上昇方向に押圧する。
【００１２】
ガイド５Ａは回転中心を固定し、第１のプーリ４Ａ第１のとテンションプーリ６Ａ間に配置され、テープ状デバイス１を案内する。
ガイド５Ｂは回転中心を固定し、テンションプーリ６Ｂと第２のプーリ４Ｂ間に配置され、テープ状デバイス１を案内する。
パンチユニット１１はガイド５Ｂと第２のプーリ４Ｂ間に配置される。
【００１３】
カメラ１５Ａは第１のプーリ４Ａとガイド５Ａ間に配置され、カメラ１５Ｂはパンチユニット１１と第２のプーリ４Ｂ間に配置される。
カメラ１５Ａとカメラ１５Ｂは画像処理装置１５Ｃに接続する。
カメラ１５Ａは測定前のテープ状デバイス１を撮像し、撮像データを画像処理装置１５Ｃに送出する。
カメラ１５Ｂはテープ状デバイス１を撮像し、カメラ１５Ａによる画像データと比較照合またはパンチユニット１１の打ち抜き指令と比較照合する。
【００１４】
カメラ１５はテストヘッド１４の下方に配置され、テストヘッド１４の中央中空穴を通して、テープ状デバイス１の画像を認識する。
カメラ１５は画像処理装置１５Ｃと接続され、テープ状デバイス１の接触位置を補正演算する。
【００１５】
以上の構成において、動作を説明する。第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂで位置決めされたテープ状デバイス１は、テープクランプ８とプッシャ９により固定される。
次に、プッシャ１０はテープクランプ８とプッシャ９を一体にしてテープ状デバイス１を、プローブカード１２のプローブ１２Ａにテープ状デバイス１が接触しない程度まで下降させる。
カメラ１５はテープ状デバイス１の画像データを取り込み、テープ状デバイス１の位置の補正量を算出する。
【００１６】
画像データを取り込み後、テープ状デバイス１の位置を補正後、テープ状デバイス１をプローブカード１２のプローブ１２Ａに接触するように下降させる。
次に、テープ状デバイス１がプローブ１２Ａに接触した状態で、ＩＣテスタ側にオートハンドラからテストスタート要求信号を送る。
テストが終了するとプッシャ９・１０は上昇し、第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂが回転して次のテープ状デバイス１が送られる。
【００１７】
図３では、第１・第２・第３・第４のスプロケット３Ａ・７Ａ・７Ｂ・３Ｂが反時計方向に同期して回転することにより、テープ状デバイス１は図３の左側から右側に送られていく。
図３では、テープ状デバイス１に無理な力が加わらないようにしているので、プッシャ９が降下前には、第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂ間のテープ状デバイス１はたわんでいる。
テープ状デバイス１のたわみをとって測定するため、図３では、第３のスプロケット７Ｂの回転を停止し、第２のスプロケット７Ａを時計方法に逆回転する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
このような装置においては、以下の間題点がある。
装置を使用して、プローブ１２Ａの先端にごみが付着した場合に、ごみを取るには、研磨用テープ３１を使用してプローブ１２Ａの先端を研磨する。
即ち、図５に示す如く、プローブ１２Ａの先端洗浄（研磨）は、テープ状デバイス１を取り外して研磨用テープ３１に置き換えて、且つ、プローブ１２Ａを曲げないようにコンタクトプッシャー１０の動作ストロークを変更して、コンタクトプッシャー１０の上下動作で研磨していた。
【００１９】
また、ロット作業の途中においては、コンタクトプッシャー１０の下降ストロークは、テープ状デバイス１をコンタクトするための１ポイントしかないため、テープ状デバイス１があるままでは、プローブ先端のごみを取るための研磨用テープ３１を使うのに、研磨用テープ３１の厚さ分ストロークを再セットしなくてはならず、時間がかかっていた。
また、オペレータのスキルが低い場合、その操作によりプローブ１２Ａを曲げてしまう事故が発生していた。
【００２０】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、コンタクトプッシャー１０の設定ストロークをデバイステープ検査用、プローブ研磨用の２箇所を設定可能とすることにより、プローブ研磨作業を容易に出来るオートハンドラを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のオートハンドラにおいては、
プローブカードに対向してコンタクトプッシャーが配置されるオートハンドラにおいて、
通常のデバイス検査時には所定の検査動作ストロークで動作し研磨時には検査動作ストロークから研磨用テープの厚さ分が差し引かれた研磨動作ストロークで動作するコンタクトプッシャーを具備したことを特徴とする。
【００２２】
本発明の請求項２のオートハンドラにおいては、請求項１記載のオートハンドラにおいて、
通常のデバイス検査動作指令か研磨動作指令かを判定して前記コンタクトプッシャーに検査動作ストロークで動作するか研磨動作ストロークで動作するかを設定する設定回路を具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
ロット作業の途中でも、プローブカードの研磨が容易にできるオートハンドラが得られる。
【００２４】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
通常のデバイス検査動作指令か研磨動作指令かを判定して、コンタクトプッシャーに検査動作ストロークで動作するか研磨動作ストロークで動作するかを設定する設定回路が設けられたので、外部のスイッチの操作によって、プローブカードに対して、所定の回数の研磨が容易にできるオートハンドラが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の動作説明図である。
図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図３との相違部分のみ説明する。
【００２６】
図１において、コンタクトプッシャー４１は、通常のデバイス検査時には所定の検査動作ストロークＡ１で動作し、研磨時には検査動作ストロークＡ１から研磨用テープの厚さ分が差し引かれた研磨動作ストロークＡ２で動作する。
【００２７】
設定回路４２は、通常のデバイス検査動作指令か研磨動作指令かを判定して、コンタクトプッシャー４１に検査動作ストロークで動作するか研磨動作ストロークで動作するかを設定する。
４３は設定回路４２に通常動作指令を送る通常動作指令回路である。
４４は設定回路４２に研磨動作指令を送る研磨スイッチである。
【００２８】
以上の構成において、コンタクトプッシャー４１に研磨用テープ３１の厚さを記録することにより、テープ状デバイス１の検査時は、通常動作指令回路４３からの信号により、検査動作ストロークＡ１で動作させる。
図２に示す如く、プローブ研磨時には研磨スイッチ４４の指令により研磨動作ストロークＡ２で動作させることにより、プローブ１２Ａを傷めることなく安全にプローブ１２Ａのごみ取り、研磨ができる。
【００２９】
この結果、ロット作業の途中でも、プローブ１２Ａの研磨が容易にできるオートハンドラが得られる。
通常のデバイス検査動作指令か研磨動作指令かを判定して、コンタクトプッシャー４１に検査動作ストロークで動作するか研磨動作ストロークで動作するかを設定する設定回路４２が設けられたので、外部のスイッチ４４の操作によって、プローブ１２Ａに対して、所定の回数の研磨が容易にできるオートハンドラが得られる。
【００３０】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図４】図３の要部構成説明図である。
【図５】図３の要部動作説明図である。
【符号の説明】
【００３２】
１      テープ状デバイス
２Ａ    供給リール
２Ｂ    収容リール
３Ａ    第１のスプロケット
３Ｂ    第４のスプロケット
４Ａ    第１のプーリ
４Ｂ    第２のプーリ
５Ａ    ガイド
５Ｂ    ガイド
６Ａ    第１のテンションプーリ
６Ｂ    第２のテンションプーリ
７Ａ    第２のスプロケット
７Ｂ    第３のスプロケット
８      テープクランプ
９      プッシャ
１０    プッシャ
１２    プローブカード
１２Ａ  プローブ
３１    研磨用テープ
４１    コンタクトプッシャー
４２    設定回路
４３    通常動作指令回路
４４    研磨スイッチ
Ａ１    検査動作ストローク
Ａ２    研磨動作ストローク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2006317240.tif 000006
【図５】
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