(57)【要約】【課題】メタルマスクの機能パターン調整に要する手間と時間を低減するとともに、メタルマスクの製造コストを低減する。【解決手段】メタルマスク１の機能パターン３の外周に沿って弾性領域４を設けた構成とし、弾性領域４の所定箇所を弾性変形付与手段７によって押圧することによって、機能パターン３を引っ張って、該機能パターン３の位置および形状を調整することによって、メタルマスク１の機能パターン調整に要する手間と時間を低減するとともに、メタルマスク１の製造コストを低減することができる。【選択図】図９
2006027000.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状のメタルマスク本体と、このメタルマスク本体に形成された機能パターンとを備えたメタルマスクにおいて、
前記メタルマスク本体に、弾性領域が前記機能パターンの外周に沿って設けられていることを特徴とするメタルマスク。
【請求項２】
メタルマスクの機能パターンを調整するための機能パターン調整用治具であって、
請求項１に記載のメタルマスクを着脱可能に保持する保持部材と、
この保持部材に設けられて、前記弾性領域の所定箇所を弾性変形させる弾性変形付与手段とを備えていることを特徴とする機能パターン調整用治具。
【請求項３】
メタルマスクの機能パターンを調整する機能パターン調整方法であって、
請求項１に記載のメタルマスクの弾性領域の所定箇所を弾性変形させることによって、前記機能パターンを引っ張って、該機能パターンの位置および形状を調整することを特徴とする機能パターン調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メタルマスクと、その機能パターンを調整する機能パターン調整用治具および機能パターン調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばメタルマスクの機能パターンを調整するにあたり、様々な技術が用いられている。
例えば特許文献1には、スクリーン版枠の内側にスクリーンメッシュをＸＹ方向に緊張させた状態で貼り付け、該スクリーンメッシュの中央部に、接着剤を介してメタルマスクを貼り付け、該メタルマスクの貼り付けシロの内側部分に位置するスクリーンメッシュを該メタルマスクの縁部に沿って切り抜くことによって、メタルマスクにスクリーンメッシュによってＸＹ方向の張力を導入し、この張力によってメタルマスクを張設する技術が記載されている。
この技術によれば、メタルマスクがスクリーンメッシュによって引っ張られているので、メタルマスクにしわやたるみを発生させることなく、メタルマスクを所定の寸法形状および機能パターン通りに作製できる。
【特許文献１】特開２００３−６４４６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、特許文献１に記載の技術では、スクリーン版枠の内側にスクリーンメッシュをＸＹ方向に緊張させた状態で貼り付けているので、このスクリーンメッシュの寸法を落ち着かせる時間が７時間程度必要となる。したがって、スクリーン版枠にスクリーンメッシュを貼り付けてからメタルマスクを該スクリーンメッシュに貼り付けるまでに、非常に時間がかかり、このため、機能パターンの調整終了までに非常に時間がかかるという問題がある。
また、メタルマスクごとにスクリーンメッシュが必要となり、その分製造コストがかかるという問題がある。
さらに、一々スクリーンメッシュにメタルマスクを接着固定しなければならないため、一度メタルマスクの調整に失敗すると、該メタルマスクのパターンは２度と再調整不可能であるという問題がある。
【０００４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、機能パターン調整に要する手間と時間を低減できるとともに、製造コストを低減できるメタルマスク、機能パターン調整用治具および調整方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、薄板状のメタルマスク本体と、このメタルマスク本体に形成された機能パターンとを備えたメタルマスクにおいて、
前記メタルマスク本体に、弾性領域が前記機能パターンの外周に沿って設けられていることを特徴とする。
【０００６】
ここで、前記メタルマスク本体は、厚みが２０〜１００μｍと非常に薄く、メタルマスク本体だけでは所定の形状を維持することが出来ず、容易にしわ、たるみを生じるようなものである。
また、機能パターンとは、電子部品を構成する基板に、例えば、回路パターン、スイッチパターン、抵抗体パターン、有機エレクトロルミネッセンス素子のパターン等の電子部品に機能上必要なパターンのことを意味する。
有機エレクトロルミネッセンス素子のパターンは、該素子を製造する際に用いられるような、ファイン化したライン幅１０〜１００μｍ、ライン間隔１０〜５００μｍ、ライン長０．１〜１００ｍｍの機能パターンである。
さらに、前記弾性領域とは、これを例えば押圧することによって、弾性変形し、その弾性復帰力によって、その内側に位置する機能パターンを引っ張って、機能パターンの位置および形状を調整する機能を有する領域のことを意味する。例えば、弾性領域は、機能パターン外周に略口字型のゴム等の弾性を持つ物質を置くことでも設けられるが、メッシュ状のパターンが好適である。メッシュ状のパターンとしては、スリット、三角形、四角形、ひし形、六角形等の多角形および円形、楕円形または、それらの組み合わせによるパターンが挙げられる。また、多角形の場合、各頂角に当たる部分は微小Ｒがついている（微小円弧形状となっている）。スリットの場合、その両端部に微小Ｒがついている（微小円弧形状となっている）。
さらに、メッシュ状のパターンは、メッシュを別途形成しておき、これを接着等によってメタルマスク本体に接着することによって設けてもよい。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、メタルマスク本体に、弾性領域が機能パターンの外周に沿って設けられているので、この弾性領域の所定箇所を例えば押圧して弾性変形させることによって、機能パターンを引っ張って、該機能パターンの位置および形状を調整することができる。
したがって、従来のように、スクリーン版枠にスクリーンメッシュを貼ってから、更にそのスクリーンメッシュにメタルマスクを貼り付けるといった時間と手間を必要としないので、パターン調整に要する手間と時間を低減できる。
また、メタルマスクごとにスクリーンメッシュが必要となることもなく、しかも、機能パターンの再調整も弾性領域を弾性変形させ直すことによって行え、メタルマスクに無駄が生じることがないので、製造コストも低減できる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、メタルマスクの機能パターンを調整するためのパターン調整用治具であって、
請求項１に記載のメタルマスクを着脱可能に保持する保持部材と、
この保持部材に設けられて、前記弾性領域の所定箇所を弾性変形させる弾性変形付与手段とを備えていることを特徴とする。
【０００９】
ここで、前記保持部材としては、例えばアルミ等の金属や樹脂等の剛性を持った下枠と上枠でメタルマスクを挟み込み、この状態でボルト等によって下枠と上枠とを締め付け保持出来るものであればよい。
また、前記弾性変形付与手段は、例えば、前記弾性領域の所定箇所を押圧したり、引っ張ったりして弾性変形させるものであれば、どのような構成のものでもよい。
弾性領域の所定箇所を押圧する場合、弾性領域の面と交差する方向（望ましくは垂直な方向）に、該弾性領域の所定箇所を押圧する。また、弾性領域の所定箇所を引っ張る場合、弾性領域の面と交差する方向または平行な方向に、該弾性領域の所定箇所を引っ張る。
さらに、弾性領域の所定箇所を押圧するタイプの弾性変形付与手段の場合、押圧方向の変位量を調整できるものであり、例えば保持部材に多数のパターン調整用ボルトを螺合しておき、このパターン調整用ボルトを適宜回すことによって弾性領域を押圧すればよい。  また、押圧するタイプおよび引っ張るタイプの双方の弾性変形付与手段としは、流体圧作動型ピストン＆シリンダー、電磁マグネット、ベローズ等のアクチュエーターを用いても良い。また、弾性領域に、樹脂等からなる可とう性を持った押え枠を設置し、該押え枠を介して弾性領域の所定箇所を押圧してもよい。
【００１０】
請求項２に記載の発明によれば、メタルマスクを保持部材によって保持した後、この保持されたメタルマスクの弾性領域の所定箇所を弾性変形付与手段によって弾性変形させることによって、機能パターンを引っ張って、該機能パターンの位置および形状を調整することができる。つまり、弾性変形付与手段によって、弾性領域の所定箇所を弾性変形させる力を強めたり、弱めたりすることで、機能パターンを引っ張る力を調整できるので、該機能パターンの位置および形状の調整を容易に行うことができるとともに、調整精度が向上する。
したがって、従来のように、スクリーン版枠にスクリーンメッシュを貼ってから、更にそのスクリーンメッシュにメタルマスクを貼り付けるといった時間と手間を必要としないので、パターン調整に要する手間と時間を低減できる。
また、メタルマスクごとにスクリーンメッシュが必要となることもなく、しかも、機能パターンの再調整も弾性領域を弾性変形付与手段によって弾性変形させ直すことによって行え、メタルマスクに無駄が生じることがないので、製造コストも低減できる。
さらに、機能パターンの再調整も機能パターンを固定しないため、弾性領域を弾性変形付与手段によって弾性変形させ直すことによって容易に行える。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、メタルマスクの機能パターンを調整するパターン調整方法であって、
請求項１に記載のメタルマスクの弾性領域の所定箇所を弾性変形させることによって、前記機能パターンを引っ張って、該機能パターンの位置および形状を調整することを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、メタルマスクの弾性領域の所定箇所を弾性変形させることによって、機能パターンを引っ張って、該機能パターンの位置および形状を調整するので、従来のように、スクリーン版枠にスクリーンメッシュを貼ってから、更にそのスクリーンメッシュにメタルマスクを貼り付けるといった時間と手間を必要としないので、パターン調整に要する手間と時間を低減できる。
また、メタルマスクごとにスクリーンメッシュが必要となることもなく、しかも、機能パターンの再調整も弾性領域を弾性変形させ直すことによって行え、メタルマスクに無駄が生じることがないので、製造コストも低減できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、メタルマスク本体に、弾性領域が機能パターンの外周に沿って設けられているので、この弾性領域の所定箇所を弾性変形させることによって、機能パターンを引っ張って、該機能パターンの位置および形状を調整することができ、よって、パターン調整に要する手間と時間を低減できる。
また、メタルマスクごとにスクリーンメッシュが必要となることもなく、しかも、機能パターンの再調整も弾性領域を弾性変形させ直すことによって行え、メタルマスクに無駄が生じることがないので、製造コストも低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明に係るメタルマスクの一例を示す概略平面図である。
図１に示すように、メタルマスク１は、薄板状のメタルマスク本体２と、このメタルマスク本体２の表面中央部に形成された機能パターン３とを備えている。メタルマスク本体２は平面視において長方形状に形成されており、その厚さは２０〜１００μｍとなっている。
また、メタルマスク本体２には、弾性領域４が機能パターン３の外周に沿って設けられている。弾性領域４は、平面視において略ロ字状に形成されており、その内側に機能パターン３が設けられている。弾性領域４は、メタルマスク本体２に機能パターン３を形成する際に同時に機能パターン３と同様のエッチング加工方法にてメッシュ状に形成されており、メッシュのパターンは、ハニカム形状（正六角形）となっている。但し、各頂角に当たる部分は微小Ｒがついている。また、加工方法としては他にプレス加工、レーザー加工等を用いても良い。
このような弾性領域４は、これを押圧することによって、弾性変形し、その弾性復帰力によって、その内側に位置する機能パターン３を引っ張って、機能パターン３の位置および形状を調整する機能を有している。
【００１５】
次に、前記メタルマスク１の機能パターン３を調整するための機能パターン調整用治具について説明する。
図２に示すように、機能パターン調整用治具（以下、調整用治具と略称する。）５は、保持部材６と弾性変形付与手段７と備えている。
保持部材６は、メタルマスク１を着脱可能に保持するものであり、下枠８と上枠９とを備えている。
【００１６】
下枠８は、アルミ等の金属や樹脂等の剛性体からなるものであり矩形枠状に形成されている。この下枠８の矩形状の開口部１０には、図３および図４に示すように、矩形状の接着用台座１１が挿入されている。この接着用台座１１は、アルミ等の金属や樹脂等の剛性体からなり、メタルマスク１の機能パターン３の調整が終了した際、メタルマスク１に図示しない蒸着治具枠を接着するときに用いるものであり、その上面には、矩形状の溝１２が形成されている。この溝１２によってメタルマスク１表面の回路パターン３と接着用台座１１上面とが直接接触することが無く、メタルマスク１の機能パターン３にキズがつくことが無い。また、接着用台座１１は、その上面が下枠８の上面と面一となるように、前記開口部１０に挿入されている。
また、下枠８の上面には、ボルト穴１５が下枠８の外周に沿って所定間隔で多数形成されている。さらに、下枠８の上面には、位置決め固定ピン１６が複数立設されている。これら固定ピン１６は、下枠８の一方の短辺の両端部と、２つの長辺中央部と、他方の短辺の中央部に、合計で５本立設されている。また、下枠８の上面には下枠溝１７が形成されている。この下枠溝１７は平面視において略ロ字状に形成されており、前記メタルマスク１の弾性領域４と平面視においてほぼ同形状に形成されている。
【００１７】
上枠９は、図２および図５に示すように、下枠８と同様に、アルミ等の金属や樹脂等の剛性体からなるものであり矩形枠状に形成されている。この上枠９の矩形状の開口部１８は、下枠８の開口部１０と同形同大に形成されている。上枠９の上面にはボルト挿通穴２０が上枠９の外周に沿って所定間隔で多数形成されている。これらボルト挿通穴２０はそれぞれ下枠８のボルト穴１５に対向して形成されている。また、上枠９の上面には、固定ピン挿通穴２１が複数形成されている。これら固定ピン挿通穴２１はそれぞれ上枠８の位置決め固定ピン１６に対向して複数形成されている。
【００１８】
そして、下枠８と上枠９とは、下枠８の位置決め固定ピン１６を上枠９の固定ピン挿通穴２１に挿通することで、下枠８に対する上枠９の位置決めを行い、上枠９のボルト挿通穴２０からボルト３２を挿通して、下枠８のボルト穴１５に螺合して締め付けることによって、着脱可能に接合されるようになっている。また、下枠８と上枠９との間にメタルマスク１を配置したうえで、これら下枠８と上枠９とを上記のようにして接合することによって、メタルマスク１は下枠８と上枠９によって挟みつけられ、これによって、下枠８と上枠９とによって構成される保持部材６が、メタルマスク１を着脱可能に保持できるようになっている。
【００１９】
前記弾性変形付与手段７は、前記保持部材６に設けられて、メタルマスク１の弾性領域４の所定箇所を押圧して弾性変形させるものであり、以下のように構成されている。
すなわち、保持部材６を構成する上枠９の上面には、図２および図５に示すように、前記ボルト挿通穴２０の内側でかつ開口部１８の外側に、小ボルト穴２５が開口部１８の縁部に沿って所定間隔で多数形成されている。これら小ボルト穴２５は、前記下枠８の下枠溝１７に沿っている。また、各小ボルト穴２５には、パターン調整用ボルト２６が螺合されており、これら調整用ボルト２６はそれを回すことによって、上枠９の下面から突出し、また回転量を調整することによって上枠９の下面からの突出長さ（押圧方向の変位量）を調整できるようになっている。
そして、このような構成の弾性変形付与手段７では、下枠８と上枠９とによってメタルマスク１を挟みつけて保持した状態で、所望の調整用ボルト２６を必要量だけ回すことによって、メタルマスク１の弾性領域４の所定箇所を押圧して弾性変形させ、これによって、機能パターン３を引っ張って、該機能パターン３の位置および形状を調整するようになっている。
【００２０】
次に、上記構成の調整用治具５を用いて、メタルマスク１の機能パターン３を調整する方法について図１１に示すフローチャートも参照して説明する。
まず、図３に示すように、下枠８の開口部１０に接着用台座１１を挿入する。次に、図６に示すように、メタルマスク１を下枠８上にセットする。この場合、メタルマスク本体２の外周部の所定箇所を、下枠８の位置決め固定ピン１６にそれぞれ当接することによって、下枠２上におけるメタルマスク１の平面方向の位置決めを行う。
【００２１】
次に、図７に示すように、メタルマスク１の上からメタルマスク押え３０を被せる。このメタルマスク押え３０は、剛性を持った材質で作られており、面は平坦に加工されている。また、メタルマスク押え３０は透明なものが好適であるが、透明でないものでもよい。
ここで、前記透明でかつ剛性を持った材質としては、例えばアクリル、塩化ビニール、ポリカーボネート、ガラスが挙げられ、透明でなくかつ剛性を持った材質としてはアルミ等の金属等が挙げられる。
そして、このメタルマスク押え３０の平坦な面で、メタルマスク１を押えることにより、回路パターン調整中に生ずるメタルマスク１のしわ、たるみ等を防止することができる。
【００２２】
次に、図８に示すように、メタルマスク１の弾性領域４に合わせて上から押え枠３１を置く。この押え枠３１は、樹脂等の可とう性を持った材質で作られており、平面視において弾性領域４と同形同大に形成されている。
さらに、図２および図９に示すように、押え枠３１の上から上枠９を下枠８に対して被せるとともに、下枠８の位置決め固定ピン１６を上枠９の固定ピン挿通穴２１に挿通することで、下枠８に対する上枠９の位置決めを行い、さらに、上枠９のボルト挿通穴２０からボルト３２を挿通して、下枠８のボルト穴１５に螺合して締め付けることによって、上枠９と下枠８とを強固に接合する。これによって、メタルマスク１はその外周部が下枠８と上枠９によって挟みつけられて保持される。
なお、ボルト３２は上枠９の長手方向中央部から両端に向かって順に締めていくようにする。
メタルマスク１の調整用治具５へのセットが終了したら、メタルマスク押え３０を取り外す。
【００２３】
次に、上枠９に取り付けたパターン調整用ボルト２６を締め付ける方向に回すと、このパターン調整用ボルト２６の先端部が、上枠９の下面から突出して、前記押え枠３１を介してメタルマスク１の弾性領域４を押圧して弾性変形させる。したがって、このパターン調整用ボルト２６を締めたり緩めたりすることによって、弾性領域４の押圧量（沈み量）を調整することができる。よって、この沈み量の差異から生ずる異方性の張力（弾性復帰力）によって、メタルマスク１は引っ張られ、しわ、たるみのない所定の形状となるとともに、該機能パターン３の位置および形状を調整する。このような調整は、機能パターン３上のＸＹ座標値の所定位置（所定座標）からのズレ量が、所定の範囲内となるまで行い、ズレ量が全て所定の範囲内に入ったところで、調整作業を終了する。その後は、調整された機能パターン３を維持した状態で、図示しない蒸着治具枠へ取り付ける。
【００２４】
このように、本実施の形態によれば、メタルマスク１を保持部材６によって保持した後、この保持されたメタルマスク１の弾性領域４の所定箇所を弾性変形付与手段７のパターン調整用ボルト２６によって押圧して弾性変形させることによって、機能パターン３を引っ張って、該機能パターン３の位置および形状を調整することができる。つまり、弾性変形付与手段７によって、弾性領域４の所定箇所を押圧する力を強めたり、弱めたりすることで、機能パターン３を引っ張る力を調整できるので、該機能パターン３の位置および形状の調整を容易に行うことができるとともに、調整精度が向上する。
したがって、従来のように、スクリーン版枠にスクリーンメッシュを貼ってから、更にそのスクリーンメッシュにメタルマスクを貼り付けるといった時間と手間を必要としないので、パターン調整に要する手間と時間を低減できる。
また、メタルマスク１ごとにスクリーンメッシュが必要となることもなく、しかも、機能パターン３の再調整も弾性領域４を弾性変形付与手段７のパターン調整用ボルト２６によって押圧し直す（弾性変形させ直す）ことによって行え、メタルマスク１に無駄が生じることがないので、製造コストも低減できる。
さらに、機能パターン３の再調整も機能パターン３を固定しないため、弾性領域４を弾性変形付与手段７によって押圧し直すことによって容易に行える。
【００２５】
なお、本実施の形態では、メタルマスク本体２に設ける弾性領域４を構成するメッシュのパターンは、図１０に示すような、ハニカム形状（正六角形）となっているが、これに限ることなく、例えば、以下に示すようなメッシュパターンであってもよい。
図１１は、メタルマスク本体２に、弾性領域４を平面視においてロ字状に設けたものを示している。なお、図１１においては、符号３ａで示す矩形状の領域内に機能パターンが形成されている。
弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１２に示すように、正方形状のパターンとなっている。すなわち、正方形状の微小孔４ａが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ａは対向する角が上下左右方向を向くようにして配置されている。図１２は図１１におけるＡ円部の拡大図である。そして、多数の正方形状の微小孔４ａからなるメッシュパターンは、弾性領域４全体に亙って同様に形成されている。
なお、前記各微小孔４ａを正方形から菱形に変更してもよい。この場合、菱形の対向する鋭角が左右方向を向くようにして、各微小孔４ａを配置してもよいし、菱形の対向する鋭角が上下方向を向くようにして、各微小孔４ａを配置してもよい。
【００２６】
また、弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１３に示すようなパターンであってもよい。このパターンでは、正方形状の微小孔４ｂが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｂは対向する辺が上下左右方向を向くようにして配置されている。そして、多数の正方形状の微小孔４ｂからなるメッシュパターンは、弾性領域４全体に亙って同様に形成されている。
【００２７】
さらに、弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１４に示すようなパターンであってもよい。このパターンでは、円形状の微小孔４ｃが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されている。そして、多数の円形状の微小孔４ｃからなるメッシュパターンは、弾性領域４全体に亙って同様に形成されている。
また、弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１５に示すようなパターンであってもよい。このパターンでは、楕円形状の微小孔４ｄが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｄはその長軸が上下方向を向くようにして配置されている。そして、多数の楕円形状の微小孔４ｄからなるメッシュパターンは、弾性領域４全体に亙って同様に形成されている。
なお、微小孔４ｄを、その長軸が左右方向を向くようして配置してもよい。
【００２８】
また、上記の例では、メタルマスク本体２の弾性領域４を平面視においてロ字状に形成したが、これに限ることなく、例えば、図１６に示すように、ロ字型の角部を面取りして形成された、平面視略八角形状に形成してもよい。この場合、弾性領域４は、対向する辺部を構成する４つの第１弾性領域４０と、対向する角部を構成する４つの第２弾性領域４１とから構成される。
弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１７に示すように、菱形形状のパターンとなっている。すなわち、上下方向に沿う第１弾性領域４０においては、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｅは対向する鋭角が上下方向を向くようにして配置されている。また、左右方向に沿う第１弾性領域４０においては、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｅは対向する鋭角が左右方向を向くようにして配置されている。
さらに、第２弾性領域４１では、対向する角が上下左右方向に対して４５度傾斜する方向を向くように、かつ対向する鈍角の一方がメタルマスク本体の中央部を向くようにして配置されている。
このようにして各微小孔４ｅを配置することによって、全ての微小孔４ｅは、その対向する鈍角の一方がメタルマスク本体の内側を向くようにして配置されている。図１７は図１６におけるＢ円部の拡大図である。そして、多数の菱形形状の微小孔４ｅからなるメッシュパターンは、４つの第１弾性領域４０、４つの第２弾性領域４１に亙ってそれぞれ同様に形成されている。
【００２９】
また、弾性領域４を構成するメッシュパターンは、図１８に示すようなパターンであってもよい。このパターンでは、図１７と同様に、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されている。但し、図１７と異なるのは、菱形形状の微小孔４ｅの向きである。
すなわち、上下方向に沿う第１弾性領域４０においては、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｅは対向する鈍角が上下方向を向くようにして配置されている。また、左右方向に沿う第１弾性領域４０においては、菱形形状の微小孔４ｅが多数規則的に上下左右に所定間隔で配置されており、かつ各微小孔４ｅは対向する鈍角が左右方向を向くようにして配置されている。
さらに、第２弾性領域４１では、対向する角が上下左右方向に対して４５度傾斜する方向を向くように、かつ対向する鋭角の一方がメタルマスク本体の中央部を向くようにして配置されている。
このようにして各微小孔４ｅを配置することによって、全ての微小孔４ｅは、その対向する鋭角の一方が内側を向くようにして配置されている。そして、多数の菱形形状の微小孔４ｅからなるメッシュパターンは、４つの第１弾性領域４０、４つの第２弾性領域４１に亙ってそれぞれ同様に形成されている。
【００３０】
なお、上記の例では、略八角形状の弾性領域４を構成するメッシュパターンを菱形形状としたが、これに限ることなく、例えば、ハニカム形状（正六角形）、正方形状、円形状、楕円形状としてもよい。また、正方形状の場合、その向きを９０度回転させて配置してもよい。
【実施例】
【００３１】
本発明のメタルマスクと機能パターン調整用治具を用いてメタルマスクの機能パターンの調整を行なうために、まず、所定の形状より小さくメタルマスクを作成する。
次に、該メタルマスク１を本発明の機能パターン調整用治具にセットする。
次に、予め作成しておいた測定プログラムを使って、（株）ソキア社製精密自動２次元座標測定機ＡＭＩＣ−７００でメタルマスクのパターンの座標を測定し、測定ポイント２２箇所のＸＹ座標値の所定位置（所定座標）からのズレ量を確認した。
【００３２】
次に、（株）ソキア社製精密自動２次元座標測定機ＡＭＩＣー７００を手動運転モードに切り替え、調整するポイントのＸＹ座標値を入力すると、入力した座標ポイントに検出部カメラが異動し、画像モニターの中心に先程入力したＸＹ座標値が来る。
まず、図１９に示すように、メタルマスク１上端部のパターン１９２のＸＹ座標値を入力、検出部カメラを異動させ、画像モニターで目視確認しながら、メタルマスク１延長線上に配置されているパターン調整用ボルト１４０で締め込み調整を行う。なお、図１９では、多数のパターン調整用ボルト２６の位置を特定するために、パターン調整用ボルトには、符号７０〜１４８の偶数番号を付してある。
パターン１９２のＸＹ座標値のズレが目視確認で修正されている事を確認したら、次に反対側のパターン１９０のＸＹ座標値を入力し、検出部カメラを異動させる。
画像モニターでパターンとのズレを目視確認しながら、Ｙ方向ズレをメタルマスク１延長線上に配置されているパターン調整用ボルト１００で調整を行なう。
パターン１９０のＸＹ座標値のズレが目視確認でほぼ修正されている事を確認したら、再度パターン１９２のＸＹ座標値のズレが目視確認でほぼ修正されている事を確認する。
【００３３】
同様の調整方法で、測定個所１６４、１６６、１８４、１８６の延長線上にあるパターン調整用ボルト２６を使用し、画像モニターでズレを確認しながら調整を行なう。
以上のパターンの調整を終了したら、開口パターン四隅１５０、１７０、１６０、１８０のＸＹ方向の調整を延長線上にあるパターン調整用ボルト２６を用い、対角の順番で行ない、１回目の調整を終了する。
以下、図２０に示す処理フローに従い、寸法測定→調整個所検討→調整の手順を全部で３回行なった結果、最終的なズレの量はＸ方向が−２．７〜＋１．２μｍ、Ｙ方向が−２．８〜＋２．２μｍであった。またズレ量の平均はＸ方向が−０．８μｍ、Ｙ方向が−０．５μｍであった。またばらつきはＸ方向σ＝１．３μｍ、Ｙ方向σ＝１．３μｍであった。
また、全ての調整、測定、測定データ確認に要した時間は９５分であった。
【００３４】
前示した調整前および１回目、２回目、３回目の調整結果を表１（ａ）に示す。（表中の数字は各調整ポイントの所定座標位置からのズレ量を示す。）
【００３５】
[比較例1]
次に比較例として特許文献１に記載の技術を使ってパターン調整を行った結果を示す。
特許文献１の第一過程においてスクリーン版枠に接着固定されたスクリーンメッシュにコンビネーション用メタルマスクを接着固定し、次に第二過程において、メタルマスクのパターン内のスクリーンメッシュを切り離した。
次に、予め作成しておいた測定プログラムを使って、（株）ソキア社製精密自動２次元座標測定機ＡＭＩＣ−７００でメタルマスクのパターンの座標を測定し、測定ポイント２９箇所のＸＹ座標値の所定位置（所定座標）からのズレ量を確認した。図２１に、メタルマスクの寸法測定箇所を符号２００〜２５８の偶数番号で示している。
ズレの量はＸ方向が−３．７〜＋３．６μｍ、Ｙ方向が−４．２〜＋２．０μｍであった。またズレ量の平均はＸ方向が＋０．２μｍ、Ｙ方向が−０．1μｍであった。またばらつきはＸ方向σ＝１．７μｍ、Ｙ方向σ＝１．７μｍであった。
特許文献１に記載の技術では、第一過程に要する時間が約７．５時間、第二過程に要する時間が約０．５時間であるが、調整は一度だけに限られ、やり直し及び微調整は不可能である。また、調整の度に新しいスクリーン版枠とメッシュを必要とするため、それらを準備する手間、時間および経費が別途発生する。調整結果を表１（ｂ）に示す。（表中の数字は各調整ポイントの所定座標位置からのズレ量を示す。）
【表１】
2006027000.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に係るメタルマスクの一例を示す概略平面図である。
【図２】本発明に係る機能パターン調整用治具の一例を示す断面図である。
【図３】本発明に係る機能パターン調整方法を説明するためのもので、接着用台座を回路パターン調整用治具にセットした状態を示す平面図である。
【図４】同、接着用台座を示す平面図である。
【図５】同、上枠を示す平面図である。
【図６】同、下枠にメタルマスクをセットした状態を示す平面図である。
【図７】同、メタルマスク上にメタルマスク押えをセットした状態を示す平面図である。
【図８】同、メタルマスク上に押え枠をセットした状態を示す平面図である。
【図９】同、上枠をセットした状態を示す平面図である。
【図１０】本発明に係るメタルマスクの弾性領域の一部を示すもので、そのメッシュパターンの拡大図である。
【図１１】本発明に係るメタルマスクの一例を示す概略平面図である。
【図１２】本発明に係るメタルマスクの弾性領域の一部を示すもので、そのメッシュパターンの第１例を示す拡大図である。
【図１３】同、メッシュパターンの第２例を示す拡大図である。
【図１４】同、メッシュパターンの第３例を示す拡大図である。
【図１５】同、メッシュパターンの第４例を示す拡大図である。
【図１６】本発明に係るメタルマスクの他の一例を示す概略平面図である。
【図１７】本発明に係るメタルマスクの弾性領域の一部を示すもので、そのメッシュパターンの第５例を示す拡大図である。
【図１８】同、メッシュパターンの第６例を示す拡大図である。
【図１９】同、機能パターン調整用治具にセットされたメタルマスクを、寸法測定箇所とともに示す平面図である。
【図２０】同、機能パターン調整方法のフローチャートである。
【図２１】従来のメタルマスクをその寸法測定箇所とともに示す平面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  メタルマスク
２  メタルマスク本体
３  機能パターン
４  弾性領域
５  機能パターン調整用治具
６  保持部材
７  弾性変形付与手段
【図１】
2006027000.tif 000004
【図２】
2006027000.tif 000005
【図３】
2006027000.tif 000006
【図４】
2006027000.tif 000007
【図５】
2006027000.tif 000008
【図６】
2006027000.tif 000009
【図７】
2006027000.tif 000010
【図８】
2006027000.tif 000011
【図９】
2006027000.tif 000012
【図１０】
2006027000.tif 000013
【図１１】
2006027000.tif 000014
【図１２】
2006027000.tif 000015
【図１３】
2006027000.tif 000016
【図１４】
2006027000.tif 000017
【図１５】
2006027000.tif 000018
【図１６】
2006027000.tif 000019
【図１７】
2006027000.tif 000020
【図１８】
2006027000.tif 000021
【図１９】
2006027000.tif 000022
【図２０】
2006027000.tif 000023
【図２１】
2006027000.tif 000024