(57)【要約】【課題】  ウエーハを出し入れする際の作業性を向上させたウエーハ収納ケースを提供する。【解決手段】  下ケース１０と上ケース２０とを有し、下ケース１０と上ケース２０との間に形成される収納空間にウエーハＷを収納するウエーハ収納ケース１００であって、下ケース１０の外周の一部分から当該下ケース１０の収納空間下の部分にかけて、ピンセットＰの先端部を挿入可能な切欠き１が設けられている。このような構成であれば、下ケース１０と上ケース２０との間に形成される収納空間にウエーハＷを収納する際に、ウエーハＷを保持したピンセットＰの先端部を切欠き１内に潜り込ませることができる。また、上記収納空間からウエーハＷを取り出す際も、ピンセットＰの先端部を切欠き１内に潜り込ませることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下ケースと上ケースとを有し、前記下ケースと前記上ケースとの間に形成される収納空間にウエーハを収納するウエーハ収納ケースであって、
前記下ケースの外周の一部分から当該下ケースの前記収納空間下の部分にかけて、ウエーハ保持用のピンセットの先端部を挿入可能な切欠きが設けられていることを特徴とするウエーハ収納ケース。
【請求項２】
前記切欠きを塞ぐカバーを有することを特徴とする請求項１に記載のウエーハ収納ケース。
【請求項３】
前記カバーは、その一部位が前記下ケースに回転可能に取り付けられており、その他部位が前記下ケース又は前記上ケースの所定部位に係止されることで前記切欠きを塞ぐようになっていることを特徴とする請求項２に記載のウエーハ収納ケース。
【請求項４】
下ケースと上ケースとを有し、前記下ケースと前記上ケースとの間に形成される収納空間にウエーハを収納するウエーハ収納ケースであって、
前記下ケースの外周の一部分から当該下ケースの前記収納空間下の部分にかけて設けられた切欠きと、
その一部位が前記下ケースに回転可能に取り付けられたカバーと、を有し、
前記カバーは、
その他部位が前記下ケース又は前記上ケースの所定部位に係止されることで前記切欠きを塞ぐようになっており、かつ、前記他部位と前記所定部位との係止が解かれると前記一部位を支点として回転し、その特定部位が前記収納空間に突出するようになっていることを特徴とするウエーハ収納ケース。
【請求項５】
前記切欠きの大きさは、ウエーハ保持用のピンセットの先端部を挿入可能な大きさであることを特徴とする請求項４に記載のウエーハ収納ケース。
【請求項６】
前記特定部位の前記ウエーハと接触する面に緩衝材が設けられていることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のウエーハ収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、下ケースと上ケースとを有し、下ケースと上ケースとの間に形成される収納空間にウエーハを収納するウエーハ収納ケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の従来技術としては、例えば特許文献１に開示されたものがある。即ち、この特許文献１には、断面くの字状に形成されたホルダを具備した収納ケースが開示されており、かかる収納ケースにあっては、ホルダによってウエーハを水平方向から挟持するようになっていた。
このような構成であると、ウエーハを水平方向の衝撃から防護することができる。さらに、ホルダのウエーハとの接触面がくの字状に形成されているため、垂直方向から衝撃が与えられた場合は、ウエーハを同じ位置で上下方向から均等に保持することができ、それゆえ、ウエーハに剪断応力を与えることがない。
【特許文献１】特開平８−２３６６０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
確かに、上記のような収納ケースであれば、内部に収納したウエーハを水平方向、垂直方向からの衝撃から防護することが可能である。
一方、このような収納ケース内にウエーハを入れたり取り出したりする際には、ウエーハの裏面を吸着保持する真空ピンセット等を用いて、ウエーハを保持する必要があるが、従来の収納ケースにあっては、下ケースにはピンセットの先端部を挿入するための十分な隙間がないため、ウエーハを配置したり取り出したりする際の作業性が悪い、という問題があった。
【０００４】
本発明は、このような解決すべき問題に着目してなされたものであって、ウエーハを出し入れする際の作業性を向上させたウエーハ収納ケースの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
〔発明１〕  上記目的を達成するために、発明１のウエーハ収納ケースは、下ケースと上ケースとを有し、前記下ケースと前記上ケースとの間に形成される収納空間にウエーハを収納するウエーハ収納ケースであって、前記下ケースの外周の一部分から当該下ケースの前記収納空間下の部分にかけて、ウエーハ保持用のピンセットの先端部を挿入可能な切欠きが設けられていることを特徴とするものである。
【０００６】
ここで、「ピンセット」としては、ウエーハの裏面を吸着保持するタイプのピンセット（即ち、真空ピンセット）や、ウエーハの周縁部をその表裏面側から挟持するタイプのピンセット等が挙げられる。
このような構成であれば、下ケースと上ケースとの間に形成される収納空間にウエーハを収納する際に、ウエーハを保持したピンセットの先端部を切欠き内に潜り込ませることができるので、ウエーハを下ケースに衝撃小さく配置することが容易である。また、上記収納空間からウエーハを取り出す際も、ピンセットの先端部を切欠き内に潜り込ませることができるので、ウエーハを下ケースから持ち上げることが容易である。
【０００７】
〔発明２，３〕
発明２のウエーハ収納ケースは、発明１のウエーハ収納ケースにおいて、前記切欠きを塞ぐカバーを有することを特徴とするものである。
【０００８】
また、発明３のウエーハ収納ケースは、発明２のウエーハ収納ケースにおいて、前記カバーは、その一部位が前記下ケースに回転可能に取り付けられており、その他部位が前記下ケース又は前記上ケースの所定部位に係止されることで前記切欠きを塞ぐようになっていることを特徴とするものである。
発明２及び発明３によれば、外部から収納空間内へのパーティクル等の流入をある程度防ぐことができる。
【０００９】
〔発明４，５〕  発明４のウエーハ収納ケースは、下ケースと上ケースとを有し、前記下ケースと前記上ケースとの間に形成される収納空間にウエーハを収納するウエーハ収納ケースであって、前記下ケースの外周の一部分から当該下ケースの前記収納空間下の部分にかけて設けられた切欠きと、その一部位が前記下ケースに回転可能に取り付けられたカバーと、を有し、前記カバーは、その他部位が前記下ケース又は前記上ケースの所定部位に係止されることで前記切欠きを塞ぐようになっており、かつ、前記他部位と前記所定部位との係止が解かれると前記一部位を支点として回転し、その特定部位が前記収納空間に突出するようになっていることを特徴とするものである。
【００１０】
また、発明５のウエーハ収納ケースは、発明４のウエーハ収納ケースにおいて、前記切欠きの大きさは、ウエーハ保持用のピンセットの先端部を挿入可能な大きさであることを特徴とするものである。
発明４及び発明５によれば、下ケースと上ケースとの間に形成される収納空間からウエーハを取り出す際に、特定部位の突出によってウエーハは下ケースの上方に押し上げられるので、ウエーハと下ケースとの間にピンセットの先端部を入れることが容易である。
【００１１】
また、上記収納空間にウエーハを収納する際も、ウエーハと下ケースとの間はカバーによって隙間が確保されるので、ウエーハと下ケースとの間にピンセットの先端部を入れることが容易である。
【００１２】
〔発明６〕  発明６のウエーハ収納ケースは、発明４又は発明５のウエーハ収納ケースにおいて、前記特定部位の前記ウエーハと接触する面に緩衝材が設けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
このような構成であれば、カバーの特定部位からウエーハに伝わる衝撃を小さくすることができるので、ウエーハの割れ防止に効果的である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
（１）第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態に係るウエーハ収納ケース（以下、単に「収納ケース」という。）１００の構成例を示す概念図である。
図１に示すように、この収納ケース１００は、下ケースと上ケースとの間にウエーハを１枚だけ収納するタイプのケースである。収納されるウエーハＷは、量産工程で製造される製品ウエーハ、又は試作デバイス（ＩＣ）が作りこまれた試作ウエーハ、若しくはＴＥＧ等が作りこまれた実験ウエーハ等である。この実施の形態では、ウエーハＷの一例として、表面にＩＣが形成され、かつ裏面が研磨処理された試作ウエーハを想定する。
【００１５】
図１に示すように、この収納ケース１００は、下ケース１０と、この下ケース１０と一対を成す上ケース２０と、下ケース１０に設けられた切欠き１と、この切欠き１を塞ぐカバー３と、を含んだ構成となっている。
図２（Ａ）及び（Ｂ）は、収納ケース１００の構成例を示す断面図である。
図２（Ａ）に示すように、下ケース１０と上ケース２０はそれぞれ、内側の底面が皿状に湾曲した形状となっている。そして、それらの内側を向かい合わせた状態で重なり合うことで、下ケース１０と上ケース２０との間にウエーハＷを収納するための空間（即ち、収納空間）Ｓを形成するようになっている。この収納空間Ｓの平面視での形状は例えばウエーハＷに対応して略円形であり、その水平方向の長さ（即ち、平面視での直径）はウエーハＷの直径とほぼ同じ又は、やや大きい程度である。
【００１６】
図２（Ｂ）に示すように、下ケース１０と、上ケース２０は、その一端部が蝶番（ちょうつがい）３１によって連結されており、この蝶番３１を支点として上ケース２０は下ケース１０に対して開閉するようになっている。また、上ケース２０の一端部は、カバー３を係止するための係止部２０ａとなっている。図２（Ａ）に示すように、この係止部２０ａは、収納空間Ｓを挟んで蝶番２１と向かい合う位置にある。
【００１７】
また、図２（Ａ）に示すように、上ケース２０の内側であって、その周縁部近傍には、押止部材２５が一定間隔で複数個取り付けられている。この押止部材２５は、ウエーハＷの表面側の周縁部を下ケース１０側へ押さえ止めるためのものであり、その構成材料は例えば弾性を示す樹脂である。
図１に戻って、下ケース１０には、外周の一部分からその収納空間下の部分にかけて切欠き１が設けられている。この切欠き１の形成位置は、例えば、収納空間を挟んで蝶番３１と向かい合う位置である。
【００１８】
図１に示すように、この切欠き１の幅長は、ウエーハＷ保持用のピンセットＰの先端部の幅長よりも大きい（即ち、ピンセットＰの先端部を収納空間下の部分まで無理なく挿入できる程度の大きさである。）。ピンセットＰは、ウエーハＷの裏面を吸着保持するタイプ（即ち、真空ピンセット）や、ウエーハＷの周縁部をその表裏面側から挟持するタイプのどちらを使用しても良いが、ここではその一例として、ウエーハＷの周縁部を表裏面側から挟持するタイプのものを図示している。
【００１９】
また、図１に示すように、この下ケース１０には、切欠き１を塞ぐカバー３が取り付けられている。図２（Ａ）に示すように、このカバー３は、その一端部３ｂが蝶番３３を介して切欠き１の収納空間Ｓ側の端部に取り付けられており、この蝶番３３を支点として回転可能となっている。このカバー３は、この蝶番３３を支点とした回転動作によって切欠き１を開閉するようになっている。
【００２０】
また、カバー３の他端部は、被係止部３ａとなっている。図２（Ａ）に示すように、この被係止部３ａは、収納空間Ｓを挟んで蝶番２１と向かい合う位置にあり、上ケース２０の係止部２０ａと係合可能な形状となっている。
この収納ケース１００では、この係止部２０ａと被係止部３ａとの係合（即ち、係止）によって、下ケース１０の切欠き１はカバー３で塞がれる。また、この係止によって、下ケース１０と上ケース２０とが重なり合った状態で、上ケース２０の蝶番３１を支点とした回転動作も止められ、下ケース１０と上ケース２０との間には閉じられた収納空間Ｓが形成される。係止部２０ａを含む上ケース２０、下ケース１０、被係止部３ａを含むカバー３及び蝶番３１，３３は、例えばプラスチック材によって構成されている。
【００２１】
上述した収納ケース１００によれば、下ケース１０にウエーハＷを配置する際に、ウエーハＷを保持したピンセットＰの先端部を切欠き１内に潜り込ませることができるので、ウエーハＷを下ケース１０に衝撃小さく配置することが容易である。また、蝶番３１を軸に上ケース２０を開き、下ケース１０からウエーハＷを取り出す際も、ピンセットＰの先端部を切欠き１内に潜り込ませることができるので、ウエーハＷを下ケース１０から持ち上げることが容易である。
【００２２】
従って、ウエーハＷを出し入れする際の作業性が高く、ウエーハＷの出し入れに要する作業時間の短縮が期待できる。また、ウエーハＷを出し入れする際に、ピンセットＰの先端部を切欠き１内に潜り込ませることでウエーハＷのハンドリングが安定するので、誤ってウエーハＷを落とし破損してしまう等の事故が発生しにくくなる、という効果も期待できる。さらに、収納空間Ｓ内にウエーハＷを収納している間は、切欠き１はカバー３によって覆われているので、外部から収納空間Ｓ内へのパーティクル等の流入をある程度防ぐことができる。
【００２３】
この第１実施形態では、収納ケース１００が発明１〜３の「ウエーハ収納ケース」に対応している。また、カバー３の一端部３ｂが発明３の「カバーの一部位」に対応し、カバー３の他端部である被係止部３ａが発明３の「カバーの他部位」に対応している。さらに、上ケース２０の一端部である係止部２０ａが発明３の「上ケースの所定部位」に対応している。
【００２４】
（２）第２実施形態
図３は、本発明の第２実施形態に係る収納ケース２００の構成例を示す概念図である。図３において、図１に示した収納ケース１００と同一の機能を有する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００２５】
図３に示すように、この収納ケース２００では、上ケース２０の開閉と、カバー３の開閉とが独立して行えるようになっている。例えば、下ケース１０の外周の一端部が、上ケース２０の係止部２０ａと対応する被係止部１０ａとなっている。また、切欠き１は、被係止部１０ａから離れた位置の外周の一端部から収納空間下の部分にかけて設けられており、この切欠き１の側面にカバー３を係止するストッパー１０ｃが設けられている。
【００２６】
このような構成であれば、第１実施形態と比べて、上ケース２０を開いただけではカバー３は動かないので、上ケース開閉時のウエーハＷへの衝撃を緩和することができる。また、例えば右利き用、左利き用というように、作業者にとって使用し易い位置に切欠き１を設けることで、ウエーハＷを出し入れする際の作業性をさらに高めることができる。
この第２実施形態では、収納ケース２００が発明１〜３の「ウエーハ収納ケース」に対応し、切欠き１の側面にあるストッパー１０ｂが発明３の「下ケースの所定部位」に対応している。
【００２７】
（３）第３実施形態
図４は、本発明の第３実施形態に係る収納ケース３００の構成例を示す概念図である。また、図５は、カバー３´の構成例を示す概念図である。図４において、図１に示した収納ケース１００と同一の機能を有する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００２８】
図４及び図５に示すように、この収納ケース３００では、下ケース１０に設けられた切欠き１の側面と、カバー３´の側面とにはそれぞれ対応する凹状、凸状のガイドが設けられており、これらのガイドに沿って下ケース１０からカバー３´を引き出したり、押し入れたりすることが可能となっている。また、このカバー３´の他端部に被係止部３ａが一体となって設けられている。
【００２９】
このような構成であれば、第２実施形態で説明した収納ケース２００と同様に、上ケース２０の開閉と、カバー３´の出し入れとをそれぞれ独立して行うことができ、上ケース２０を開いただけではカバー３´は動かないので、上ケース開閉時のウエーハＷへの衝撃を緩和することができる。また、第１、第２実施形態と比べて、カバー３´を回転可能に支持する蝶番３３（図１〜図３参照。）が不要であり、部品点数を少なくすることが可能である。
この第３実施形態では、収納ケース３００が発明１又は発明２の「ウエーハ収納ケース」に対応している。
【００３０】
（４）第４実施形態
図６は、本発明の第４実施形態に係る収納ケース４００の構成例を示す概念図である。
図６において、図１に示した収納ケース４００と同一の機能を有する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００３１】
図６に示すように、この収納ケース４００では、下ケース１０の外周の一部分から収納空間下の部分にかけて、ピンセットを挿入し易いように隙間（溝部）１´が設けられている。また、上ケース２０の外周の一部分には、この隙間１´を外側から覆うためのカバー２４が設けられている。
図示しないが、このカバー２４には係止部が設けられ、下ケース１０の隙間１´近傍の外周部分には被係止部が設けられており、これら係止部と被係止部との係合によって、隙間１´が覆われ、下ケース１０と上ケース２０との間には閉じられた収納空間が形成されるようになっている。
【００３２】
このような構成であれば、カバー２４を有する上ケース２０と、隙間１´を有する下ケース１０とを、例えば射出成型装置を用いてそれぞれ一体成型することが可能である。第１、第２実施形態のようにカバー３（図１〜図３参照。）を回転可能に支持する蝶番３３（図１〜図３参照。）を用意したり、第３実施形態のように下ケース１０とは別成型でカバー３´（図４参照。）を作成したりする必要がないので、製造コストを低く抑えることが可能である。
【００３３】
この第４実施形態では、収納ケース４００が発明１又は発明２の「ウエーハ収納ケース」に対応し、隙間１´が発明１又は発明２の「切欠き」に対応している。
（５）第５実施形態
図７は、本発明の第５実施形態に係る収納ケース５００の構成例を示す概念図である。また、図８（Ａ）及び（Ｂ）は、収納ケース５００の構成例を示す断面図である。図７、図８（Ａ）及び（Ｂ）において、図１、図２（Ａ）及び（Ｂ）に示した収納ケース１００と同一の機能を有する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００３４】
図７に示すように、この収納ケース５００は、切欠き１に設けられたカバー３を蝶番によって回転させるようにし、ウエーハを持ち上げるようにしたものである。
具体的には、図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、蝶番３３によって、カバー３はその中間部３ｂ´が切欠き１（図７参照。）の側面に回転可能に取り付けられている。このカバー３はその一端部３ｃに緩衝材３９を有すると共に他端部が被係止部３ａとなっており、被係止部３ａが上ケース２０の係止部２０ａに係止されることで切欠き１を塞ぎ、下ケース１０と上ケース２０との間に閉じられた収納空間Ｓが形成されるようになっている。ここで、緩衝材３９は、例えばゴム等の弾性を示す樹脂で構成されている。
【００３５】
また、図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、下ケース１０に設けられた切欠き１の側面には、カバー３の回転を制限するためのストッパー１５が設けられている。図８（Ｂ）では、このストッパー１５によって、カバー３の反時計周り方向への回転が制限されている。
この収納ケース５００では、上ケース２０による係止状態が解かれると、カバー３はその中間部３ｂ´を支点として回転し、緩衝材３９を先頭にその一端部３ｃが収納空間Ｓに突出するようになっている。
【００３６】
このような構成であれば、上記収納空間ＳからウエーハＷを取り出す際に、ウエーハＷはカバー３の一端部３ｃによって上方に押し上げられるので、ウエーハＷと下ケース１０との間にピンセットの先端部を入れることが容易である。カバー３のウエーハＷ裏面と接触する面には緩衝材３９が設けられているので、カバー３からウエーハＷに伝わる衝撃を小さくすることができ、ウエーハＷの割れ防止に効果がある。
【００３７】
また、下ケース１０と上ケース２０との間に形成される収納空間ＳにウエーハＷを収納する際も、ウエーハＷと下ケース１０との間はカバー３によって隙間が確保されるので、ウエーハＷと下ケース１０との間にピンセットＰの先端部を入れることが容易である。
この第５実施形態では、収納ケース５００が発明１及び発明２、並びに発明４〜６の「ウエーハ収納ケース」に対応している。また、カバー３の中間部３ｂ´が発明４〜６の「カバーの一部位」に対応し、カバー３の他端部である被係止部３ａが発明４〜６の「カバーの他部位」に対応している。さらに、カバー３の一端部３ｃが発明４〜６の「カバーの特定部位」に対応し、上ケース２０の係止部２０ａが発明４〜６の「上ケースの所定部位」に対応している。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】第１実施形態に係る収納ケース１００の構成例を示す概念図。
【図２】収納ケース１００の構成例を示す断面図。
【図３】第２実施形態に係る収納ケース２００の構成例を示す概念図。
【図４】第３実施形態に係る収納ケース３００の構成例を示す概念図。
【図５】カバー３´の構成例を示す概念図。
【図６】第４実施形態に係る収納ケース４００の構成例を示す概念図。
【図７】第５実施形態に係る収納ケース５００の構成例を示す概念図。
【図８】収納ケース５００の構成例を示す断面図。
【符号の説明】
【００３９】
１  切欠き、１´  隙間（溝部）、３，３´  ２４  カバー、３ａ  被係止部、３ｂ，３ｃ  一端部、３ｂ´  中間部、  １０  下ケース、２０  上ケース、２２ａ  係止部、２５  押止部材、３１，３３  蝶番、１００，２００，３００，４００，５００  収納ケース、Ｐ  ピンセット、Ｓ  収納空間、Ｗ  ウエーハ
【図１】
2006295022.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006295022.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2006295022.tif 000008
【図７】
2006295022.tif 000009
【図８】
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