(57)【要約】【課題】  残留気泡が原因である突然の不吐による印刷途中での印刷ぬけを発生させないインクジェットプリンターを提供する。【解決手段】  液体第２貯蔵部の流路幅Ｂと基板部の流路幅Ｗと基板の厚さｔとの関係にて、ｔ＝（Ｗ／２）×ｐただし０．１≦ｐ≦１０を満たすようにする。【選択図】  図１
2006224600.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が吐出する吐出口と、該吐出口から前記液体を吐出させるためのエネルギーを加える吐出エネルギー発生部と、該吐出エネルギー発生部を設けた基板と、該基板に隣接してなり液体吸収体等を内蔵しない液体第２貯蔵部と、前記液体を主に貯蔵する液体貯蔵部とを備え、前記基板と前記液体第２貯蔵部との接続位置での前記液体第２貯蔵部の流路幅Ｂと前記基板部の流路幅Ｗとの関係にて、
Ｗ＜Ｂ
を満たす液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記基板部の流路幅Ｗと前記基板の厚さｔにおいてｔ＝（Ｗ／２）×ｐなる関係にて、
０．１≦ｐ≦１０
なる関係が成立すること、また好ましくは
０．５≦ｐ≦４．６
なる関係が成立すること、さらに好ましくは
０．５≦ｐ≦４
なる関係が成立すること、を特徴とする液体噴射記録ヘッド。
【請求項２】
前記液体第２貯蔵部の流路幅をＢとした場合に、
２×ｔ×Ｗ２＜（４π／３）×（Ｂ／２）３
を満足する前記基板の厚さｔと前記基板部の流路幅Ｗとの組み合わせ寸法にて前記基板部の流路形状が形成されることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項３】
前記基板部の流路幅Ｗが前記基板の厚さｔ全体にわたり一様である請求項１乃至２に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項４】
前記基板部の流路が前記各吐出口の列のあいだ乃至中央に配されている請求項１乃至３に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項５】
前記吐出エネルギー発生部は、熱エネルギーを発生する電気熱変換体を有することを特徴とする請求項１乃至４に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項６】
液体噴射記録ヘッドを移動させる移動手段と、被記録媒体を搬送する搬送手段とを備え、請求項１乃至５のいずれかに記載の液体噴射記録ヘッドを搭載した液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被記録媒体上に高品位の画像を記録することができる液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。
【０００２】
本発明は、紙や布、革、不織布、ＯＨＰ用紙等の被記録媒体に記録する機器のすべてに適用可能である。具体的な適用機器としては、プリンタ、複写機、ファクシミリ等の事務機器等を挙げることができる。
【背景技術】
【０００３】
従来より液体噴射記録装置は、低騒音、低ランニングコスト、装置の小型化およびカラー化が容易である等の理由から、プリンタやファクシミリ等の記録装置として広く利用されている。
【０００４】
現在、インクジェットプリンタは、より高品位な画像を記録するためにノズルの高解像度化、インク液滴の小液滴化が進んでいる。また印刷の高速化のために駆動周波数の高速化、ノズルの高密度化、ノズル数の増加が図られている。このようなインクジェットプリンタとしては、例えば特開平１１−１９８３９４号に記載されるような構成が知られている。
【特許文献１】特開平１１−１９８３９４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
インクジェットプリンタは、近年においては写真画質をめざして更なる改良が続けられているが、利用するインク各色ともほぼベタ塗り印刷に近い形態で液体噴射記録ヘッドを稼働させるのが写真画質印刷の特徴である。これに加え印刷速度の更なる向上も図られている。本発明者は、液体噴射記録ヘッドを写真画質対応および高速化対応とするために検討した中において、以下のような課題を認識した。
【０００６】
すなわち、印刷速度の向上を図るために単位時間当たりに吐出する液滴数を増加させた結果、インク中の残留気体が原因である不吐による印刷途中での印刷ぬけが発生するという課題が出てきた。
【０００７】
残留気体の発生は、液体噴射動作から生じる圧力変動による液体噴射記録ヘッド内のインクからの気体の放出が原因の１つであるため、印刷速度の向上による単位時間当たりの噴射動作の増加は残留気体発生を増長する。またこの残留気体の放出は温度上昇によっても誘発される。温度が上昇するにつれて水中の気体溶解度が急速に減少することから明らかである。
【０００８】
液体噴射記録ヘッドが写真画質印刷や大版印刷など噴射動作率の高い環境で使用される場合、残留気体から生じる不吐問題は更に厳しくなる。
【０００９】
図５に液体噴射記録ヘッドの断面図を示す。液体噴射記録ヘッドを構成する基板４３０は、基板部の流路４４を通して液体第２貯蔵部４５により液体貯蔵部４８と接続する。接続部分には一般にフィルタ４７等が設置されている。インクは液体貯蔵部４８からフィルタ部４７、液体第２貯蔵部４５（コネクト部材４６により形成）を通して基板部の流路４４へ導かれる。その後各吐出口４１へ通じているノズル流路４３を介して吐出口４１まで充填される。
【００１０】
残留気体は、小さな気泡として存在したりまたそれらが合体してさらに大きな気泡として存在したりする。気泡の形状としては球形であったり空間の形状に即した形であったりする。いずれにしても残留気体は流路屈曲部や液流路狭窄部に蓄積することが種々の実機観察により判明している。残留気体が液流路屈曲部や液流路狭窄部に大量に蓄積した場合、残留気体は液体貯蔵部４８から供給されるインクの流れを遮断してしまう。その結果吐出口４１へのインクの供給を断ち、インクが吐出されずに突如、不吐状態になる。
【００１１】
とくにこのような原因に基づく不吐は記録装置の稼働中のいつ発生するか予測できず、印刷中に発生するわけであるからこの課題は記録装置として致命的である。またこのような不吐の発生を嫌って頻繁に回復動作（残留気体の吸引除去）を実行すれば多くのインクを無駄にする。
【００１２】
本発明の目的は、残留気体が原因である不吐による印刷途中での印刷ぬけを発生しない液体噴射記録ヘッドを提供することであり、さらにこれを搭載する液体噴射記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そこで本発明による液体噴射記録ヘッドは、液体が吐出する吐出口と、該吐出口から前記液体を吐出させるためのエネルギーを加える吐出エネルギー発生部と、該吐出エネルギー発生部を設けた基板と、該基板に隣接してなり液体吸収体等を内蔵しない液体第２貯蔵部と、前記液体を主に貯蔵する液体貯蔵部とを備え、前記基板と前記液体第２貯蔵部との接続位置での前記液体第２貯蔵部の流路幅Ｂと前記基板部の流路幅Ｗとの関係にて、
Ｗ＜Ｂ
を満たす液体噴射記録ヘッドにおいて、前記基板部の流路幅Ｗと前記基板の厚さｔにおいてｔ＝（Ｗ／２）×ｐなる関係にて、
０．１≦ｐ≦１０
なる関係が成立すること、また好ましくは
０．５≦ｐ≦４．６
なる関係が成立すること、さらに好ましくは
０．５≦ｐ≦４
なる関係が成立すること、を特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図７は、本発明に適用可能な液体噴射記録装置の斜視図である。記録装置１００の給紙位置に挿入された被記録媒体１０６は、送りローラ１０９によって記録ヘッドユニット１０３の記録可能領域へ搬送される。その記録可能領域における被記録媒体１０６の下部位置には、プラテン１０８が設けられている。キャリッジ１０１は、２つのガイド軸１０４，１０５によって、それらの延在方向（主走査方向）に沿って移動可能にガイドされており、記録領域を往復走査する。キャリッジ１０１の走査方向が主走査方向であり、被記録媒体１０６の搬送方向が副走査方向となる。キャリッジ１０１には、複数色のインク液滴を吐出するため記録ヘッドと、それぞれの記録ヘッドにインクを供給するための液体貯蔵部とを含む記録ヘッドユニット１０３が搭載されている。この例の液体噴射記録装置における複数色のインクは、ブラック（Ｂｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の４色である。各色の位置は順不同である。
【００１５】
キャリッジ１０１が移動可能な領域の左端の下部には、回復系ユニット１１０が配備されており、非記録動作時に記録ヘッドの吐出口部をキャッピングしたりする。この左端位置を記録ヘッドのホームポジションという。１０７はスイッチ部と表示素子部であり、スイッチ部は記録装置の電源のオン／オフや各種記録モードの設定時等に使用され、表示素子部は記録装置の状態を表示する役割をする。
【００１６】
図８は、記録ヘッドユニット１０３の斜視図である。本例の場合、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの各色インク（Ｂｋ，Ｃ，Ｍ，Ｙ）の液体貯蔵部が全て独立に交換可能な構成となっている。キャリッジ１０１には、Ｂｋのインク液滴、Ｃのインク液滴、Ｍのインク液滴、Ｙのインク液滴を吐出する記録ヘッド群１０２と、Ｂｋ用液体貯蔵部２０Ｋ、Ｃ用液体貯蔵部２０Ｃ、Ｍ用液体貯蔵部２０Ｍ、Ｙ用液体貯蔵部２０Ｙが搭載される。各液体貯蔵部は記録ヘッド群１０２と接続され、記録ヘッド群１０２の吐出口に連通するノズル流路内にインクを供給する。この例以外にも例えば、各色用の液体貯蔵部を任意の組み合わせで一体構造としてもよい。
【００１７】
図３（ａ）は記録ヘッド１０２の平面図、図３（ｂ）は記録ヘッド１０２内の発熱体位置の断面図である（図３（ａ）中の一点鎖線ＢＢ’位置）。
【００１８】
この例の液体噴射記録装置は、記録ヘッド１０２の各吐出口１に対応して電気熱変換体としての発熱体２を配置し、その発熱体２に記録情報に対応する駆動信号を印加することによって吐出口１からインク液滴を吐出させる記録方式を採用している。吐出口１のそれぞれに対応する発熱体２は、それぞれ独立に発熱可能な構成となっている。
【００１９】
発熱体２の発熱により急速に加熱されたノズル内のインクは膜沸騰により気泡を発生し、この生成気泡の体積変化により図４に示すようにインク液滴１１１が被記録媒体１０６に向かって吐出され、被記録媒体１０６上に文字や画像を形成する。吐出口１の各々には吐出口１に連通するインクのノズル流路３が設けられており、このノズル流路３の後方にはこれらノズル流路３にインクを供給するために基板部の流路４が形成されている（図４参照）。吐出口１の各々に対応するノズル流路３には前述したようにこれら吐出口１からインク液滴を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換体としての発熱体２や、これに電力を供給するための電極配線（不図示）が設けられている。これらの発熱体２や電極配線はシリコン等からなる基板３０表面に成膜技術によって形成される。発熱体２の上にはインクと発熱体２とが直接接触しないように保護膜（不図示）が形成されている。さらにこの基板３０上に樹脂やガラス材よりなる隔壁１０を積層することによって上記吐出口１、ノズル流路３、基板部の流路４等が構成される。
【００２０】
図６に記録ヘッドユニットを示す。このユニットの構成は、Ｂｋチップ２３０２と、Ｃチップ２３０３と、Ｍチップ２３０４と、Ｙチップ２３０５をフレーム２３０６に固定した構成である。それぞれのチップ２３０２，２３０３，２３０４，２３０５は、図３の記録ヘッド１０２と同様の構成となっている。各チップ２３０２〜２３０５の間隔は１／２インチとされ、図６中の主走査方向に等間隔に配置されている。各チップ２３０２〜２３０５の吐出口１（図３（ａ）参照）の数、つまりノズル数はそれぞれ２５６個であり、それらのノズル列は主走査方向に対しほぼ直交するように配置されている。
【００２１】
各ノズルは、約８４μｍのノズルピッチで１２８個のノズルが２列に配置されており、更にこの２列が「千鳥状」と呼ぶ形態（すなわち２列が半ピッチの約４２μｍずらしてある）で作製されている（図３（ａ））。これにより一度の主走査で２５６ノズル分のバンドを６００ｄｐｉの解像度で記録できる。なお、前述した各部寸法およびノズル数等は本発明を限定するものではない。
【００２２】
（従来例１）
従来例の液体噴射記録ヘッドを図５に示す。液体噴射記録ヘッドとして、吐出量８．５×（１０のマイナス１５乗）立方メートル、６００ｄｐｉのものを作製した。従来例１では基板部の流路４４の断面形状（図５参照）は面方位＜１００＞の異方性エッチングを実施して作製しているために台形である。ここで基板の厚さは６２５ミクロンで、基板部の最小流路幅を１５５ミクロン、基板部の最大流路幅を８００ミクロンとした。また、液体第２貯蔵部４５の流路幅Ｂを２ｍｍとした。
【００２３】
通常、記録ヘッドの稼働では吐出液滴数やこれに関わる数値をカウントすることによって液滴の不吐を未然に防ぐ目的で、あるカウント数に達すると記録ヘッド内の残留気体を除去すべく吸引回復動作へ移行するようにプログラムされているが、ここでは不吐の発生が実際にいつ生じるかを明確にするために、吸引回復動作への移行制御を解除した。
【００２４】
Ａ３サイズの用紙にシアン（Ｃ）色のベタ塗り印刷を実施したところ３枚程度にて残留気体（泡）が原因である不吐によって印刷に抜けが生じた。この状態直後にインクジェットヘッド内部を観察したところ、基板部の流路４４の部分および液体第２貯蔵部４５にわたり空気が入り込んでいる（占有している）のが確認された。
【００２５】
詳細な観察実験を行ったところ、吐出動作が回を重ねると同時にノズル流路４３を通じて基板部の流路４４の部分（面方位＜１００＞の異方性エッチングした面）に小さな気泡が付着して蓄積し始めることがわかった。さらにこれらの小さな気泡は合体を始めていくつかのものは浮力によって液体第２貯蔵部４５の方へ移動するが、いくつかのものは基板部の流路４４部分で合体・成長を繰り返しながらも付着したままとなることが観察された。この付着したまま拡大する気泡は液体貯蔵部４８からの液体（インク）の吐出口４１への供給を遮断し、不吐を引き起こして印刷に抜けを生じさせていた。
【００２６】
この観察結果から基板部の流路部４４の漏れ性を良くすることによって気泡の剥がれやすさを促進して浮力によって液体貯蔵部４８方向へ移動を促すことなどが試みられているが、劇的な改善効果は得られていない。
【００２７】
そこで本発明者は鋭意検討を重ねた結果、液体中の気体（気泡）は表面張力によって球形になりたがるという現象を積極的に利用することによって効果的に不要な泡を吐出口に近い位置から遠ざける方法を見い出した。またこの現象を効果的に引き起こさせる部材としては、残留気泡を引き剥がしたい基板３０を転用し、この基板３０の厚さｔと基板部の流路４の幅Ｗの寸法の組み合わせが設計パラメータとなる。以下実施例をもとに具体的にその方法を説明する。
【実施例１】
【００２８】
図１は本発明の具体的な実施例を示したものである。
【００２９】
通常、記録ヘッドの稼働では吐出液滴数やこれに関わる数値をカウントすることによって液滴の不吐を未然に防ぐ目的で、あるカウント数に達すると記録ヘッド内の残留気体を除去すべく吸引回復動作へ移行するようにプログラムされているが、ここでは不吐の発生が実際にいつ生じるかを明確にするために、本例でも従来例１同様、吸引回復動作への移行制御を解除した。
【００３０】
従来例１では基板部の流路４４の断面形状（図５参照）は面方位＜１００＞の異方性エッチングを実施して作製しているために台形であるのに対して、本実施例１では基板部の流路４の断面形状（図１参照）を矩形にした。作製にあたっては面方位＜１１０＞の異方性エッチングを実施して作製した。
【００３１】
本実施例１のヘッドとして、吐出量８．５×（１０のマイナス１５乗）立方メートル、６００ｄｐｉの液体噴射記録ヘッドを用意した。ここで基板の厚さｔは６２５ミクロンとし、基板部の流路幅Ｗを３００ミクロンとした。また、液体第２貯蔵部５の流路幅Ｂを２ｍｍとした。
【００３２】
本ヘッドを用いてＡ３サイズの用紙にシアン（Ｃ）色のベタ塗り印刷の実施を試みたところ内蔵したインクを使い切るまで、印刷に抜けを生じることなく印刷が続けられた（Ａ３用紙１９枚）。この直後にインクジェットヘッド内部を観察したところ、基板部の流路４の部分（面方位＜１１０＞の異方性エッチングした面）に大きな気泡等の付着は見られなかった。基板３０の厚さｔと基板部の流路４の幅Ｗの比は（ｔ／（Ｗ／２））＝４．１７である。
【実施例２】
【００３３】
本実施例２のヘッドにおいては、基板の厚さｔは６２５ミクロンとし、基板部の流路幅Ｗを２００ミクロンとした。その他の条件等はすべて実施例１に同じである。この場合もＡ３サイズの用紙にシアン（Ｃ）色のベタ塗り印刷の実施を試みたところ内蔵したインクを使い切るまで、印刷に抜けを生じることなく印刷が続けられた（Ａ３用紙１９枚）。この直後にインクジェットヘッド内部を観察したところ、基板部の流路４の部分（面方位＜１１０＞の異方性エッチングした面）に大きな気泡等の付着は見られなかった。基板３０の厚さｔと基板部の流路４の幅Ｗの比は（ｔ／（Ｗ／２））＝６．２５である。
【実施例３】
【００３４】
本実施例３のヘッドにおいては、基板の厚さｔは６２５ミクロンとし、基板部の流路幅Ｗを４００ミクロンとした。その他の条件等はすべて実施例１に同じである。この場合もＡ３サイズの用紙にシアン（Ｃ）色のベタ塗り印刷の実施を試みたところ内蔵したインクを使い切るまで、印刷に抜けを生じることなく印刷が続けられた（Ａ３用紙１９枚）。この直後にインクジェットヘッド内部を観察したところ、基板部の流路４の部分（面方位＜１１０＞の異方性エッチングした面）に大きな気泡等の付着は見られなかった。基板３０の厚さｔと基板部の流路４の幅Ｗの比は（ｔ／（Ｗ／２））＝３．１３である。
【実施例４】
【００３５】
本実施例４のヘッドにおいては、基板の厚さｔは６２５ミクロンとし、基板部の流路幅Ｗを１００ミクロンとした。その他の条件等はすべて実施例１に同じである。この場合もＡ３サイズの用紙にシアン（Ｃ）色のベタ塗り印刷の実施を試みたところＡ３用紙３枚めにて残留気体（泡）が原因である不吐によって印刷に抜けが生じた。この状態直後にインクジェットヘッド内部を観察したところ、基板部の流路４の部分および液体第２貯蔵部５にわたり空気が入り込んでいる（占有している）のが確認された。基板３０の厚さｔと基板部の流路４の幅Ｗの比は（ｔ／（Ｗ／２））＝１２．５である。
【実施例５】
【００３６】
本実施例５のヘッドにおいては、基板の厚さｔは３００ミクロンとし、基板部の流路幅Ｗを３００ミクロンとした。その他の条件等はすべて実施例１に同じである。この場合もＡ３サイズの用紙にシアン（Ｃ）色のベタ塗り印刷の実施を試みたところ内蔵したインクを使い切るまで、印刷に抜けを生じることなく印刷が続けられた（Ａ３用紙１９枚）。この直後にインクジェットヘッド内部を観察したところ、基板部の流路４の部分（面方位＜１１０＞の異方性エッチングした面）に大きな気泡等の付着は見られなかった。基板３０の厚さｔと基板部の流路４の幅Ｗの比は（ｔ／（Ｗ／２））＝２．０である。
【実施例６】
【００３７】
本実施例６のヘッドにおいては、基板の厚さｔは２００ミクロンとし、基板部の流路幅Ｗを３００ミクロンとした。その他の条件等はすべて実施例１に同じである。この場合もＡ３サイズの用紙にシアン（Ｃ）色のベタ塗り印刷の実施を試みたところ内蔵したインクを使い切るまで、印刷に抜けを生じることなく印刷が続けられた（Ａ３用紙１９枚）。この直後にインクジェットヘッド内部を観察したところ、基板部の流路４の部分（面方位＜１１０＞の異方性エッチングした面）に大きな気泡等の付着は見られなかった。基板３０の厚さｔと基板部の流路４の幅Ｗの比は（ｔ／（Ｗ／２））＝１．３３である。
【実施例７】
【００３８】
本実施例７のヘッドにおいては、基板の厚さｔは４００ミクロンとし、基板部の流路幅Ｗを３００ミクロンとした。その他の条件等はすべて実施例１に同じである。この場合もＡ３サイズの用紙にシアン（Ｃ）色のベタ塗り印刷の実施を試みたところ内蔵したインクを使い切るまで、印刷に抜けを生じることなく印刷が続けられた（Ａ３用紙１９枚）。この直後にインクジェットヘッド内部を観察したところ、基板部の流路４の部分（面方位＜１１０＞の異方性エッチングした面）に大きな気泡等の付着は見られなかった。基板３０の厚さｔと基板部の流路４の幅Ｗの比は（ｔ／（Ｗ／２））＝２．６７である。
【００３９】
以上に示した従来例１および実施例１乃至７の結果をもとに考察してみる。面方向＜１００＞の異方性エッチングによって作製した基板部の流路４の部分は重力の反対方向（上方向）に対して末広がり状に広がっているにもかかわらず球形の残留気泡のほとんどが付着したままとなっており、つまり浮力による残留泡の剥離除去は期待できない。但し、図２（ａ）に示すようにＢ＞Ｗという関係が成り立つ場合にてｔがＷよりも十分に小さい場合にはある程度の大きさになった残留気泡が異方性エッチング面にいつまでも付着していることはなく、浮力による剥離浮上が期待できる。しかし基板の強度確保という点で限界があり際限なく（ｔ／（Ｗ／２））を小さくすることはできない。
【００４０】
一方、パラメータ比（ｔ／（Ｗ／２））が“１”を超えるあたりから（図２（ｂ））状況が変わってくる。すなわち面方位＜１１０＞の異方性エッチング面に付着しながら拡大してきたほぼ球形の残留泡は両側のエッチング面に挟まれ、この場合両面への固着力が浮力に勝るため、浮力による剥離浮上は困難になる（図２（ｃ））。この現象は面方位＜１００＞の異方性エッチング面を導入しても同じである（図２（ｆ））。
【００４１】
この状態の後にさらに残留気体の合体が進行して残留気泡の体積が増加してくると、面方位＜１１０＞の異方性エッチング面を導入した場合と面方位＜１００＞の異方性エッチング面を導入した場合とで差が出てくる。すなわち面方位＜１００＞の異方性エッチング面を導入した場合は、残留気泡は基板部の流路４の末広がり面に即した状態で吐出口側および液体貯蔵部側の両方向へと拡大し（図２（ｆ））、このうち吐出口側に近い残留気泡の最前面が不幸にも吐出口を通じて外気と連通すると不吐状態となってしまう。
【００４２】
一方、基板部の流路４の作製に面方位＜１１０＞の異方性エッチング面を導入した場合は平行な両側のエッチング面に挟まれた部分の残留気体の体積（図２（ｄ）中のＤ−Ｄ線より下の気体体積。ノズル並び方向に単位長さあたりの最大気体体積はｔ×Ｗ）に比べて、液体第２貯蔵部へ突き出した部分の残留気体の体積（図２（ｄ）中のＤ−Ｄ線より上の気体体積）が大きくなると、気泡は領域的に広い液体第２貯蔵部内で球形になろうとし、ほぼ平行な両側のエッチング面に挟まれた部分の残留気体をも引きずり出して液体第２貯蔵部内で球形になる（図２（ｅ））。またこのように一旦液体第２貯蔵部へ抜けて球形になった残留気泡は吸引回復動作時以外には、もう二度と基板部の流路部へ入り込むことはない。この結果、吐出口へのインクの供給経路が広く確保され不吐が回避される。さらに詳細な検討によればこの現象を確実にかつ効果的に再現させるためにはＢ＞Ｗなる段差を設けること、かつ基板部の流路の幅Ｗは基板の厚みｔに渡ってほぼ一様であることが望ましい。
【００４３】
また、以上に示した従来例１および実施例１乃至７においては液体第２貯蔵部の流路幅を２ｍｍに固定した。これに対して、インクジェットヘッドの実装性向上の目的で上記液体第２貯蔵部の流路幅を小さくすることが画策される場合がある。この点に関する詳細な検討では、以下の条件が判明した。
【００４４】
２×ｔ×Ｗ２＜（４π／３）×（Ｂ／２）３
すなわち、この条件を満足するｔとＷとの組み合わせ寸法にて基板部の流路形状を形成すれば、液体第２貯蔵部内で球形となった残留気泡は液体第２貯蔵部の壁面両面に付着することなく、浮力により浮上してさらに吐出口１から遠ざかり、吐出口側に近い残留気泡の最前面が不幸にも吐出口を通じて外気と連通して不吐状態となってしまうことがなくなり、なお好適である。
【００４５】
また、基板部の流路を設ける位置が図９に示すように基板の中央ではなくエッジ部とした構成においても本発明は好適である。
【００４６】
上述のように本発明の液体噴射記録ヘッドおよびその装置は、基板部の流路４の作製に面方位＜１１０＞の異方性エッチングを導入したので、平行な両側のエッチング面に挟まれた部分の残留気体の体積に比べて液体第２貯蔵部へ突き出した部分の残留気体の体積が大きくなると気泡は領域的に広い液体第２貯蔵部内で球形になろうとし、平行な両側のエッチング面に挟まれた部分の残留気体をも引きずり出して液体第２貯蔵部内で球形になり、この結果吐出口へのインクの供給経路が広く確保されるために、残留気泡が原因である突然の不吐による印刷途中での印刷ねけを確実に回避できる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明におけるインクジェットヘッドの断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は本発明におけるインクジェットヘッドでの基板の厚さと基板部の流路幅と残留気泡の関係を説明するための断面図である。（ｆ）は従来例のインクジェットヘッドでの基板の厚さと基板部の流路幅と残留気泡の関係を説明するための断面図である。
【図３】（ａ）は本発明におけるインクジェットヘッドの平面図である。（ｂ）は本発明におけるインクジェットヘッドの断面図である。
【図４】本発明におけるインクジェットヘッドによる印字状態を説明するための図である。
【図５】従来例のインクジェットヘッドの断面図である。
【図６】各色用のチップをフレームに搭載した状態を説明するための図である。
【図７】本発明に適用可能な液体噴射記録装置の概略斜視図である。
【図８】本発明に適用可能な液体噴射記録ヘッドの概略斜視図である。
【図９】本発明における他の実施例であるインクジェットヘッドの断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  吐出口
２  発熱体
３  ノズル流路
４  基板部の流路
５  液体第２貯蔵部
６  コネクト部材
７  フィルタ部
８  液体貯蔵部
９  インク吸収体
１０  隔壁
１１  残留気体（泡）
２０Ｋ  Ｂｋ用タンク
２０Ｃ  Ｃ用タンク
２０Ｍ  Ｍ用タンク
２０Ｙ  Ｙ用タンク
３０  基板
４１  吐出口
４２  発熱体
４３  ノズル流路
４４  基板部の流路
４５  液体第２貯蔵部
４６  コネクト部材
４７  フィルタ部
４８  液体貯蔵部
４９  インク吸収体
５１  吐出口
５２  発熱体
５３  ノズル流路
５４  基板部の流路
５５  液体第２貯蔵部
５６  コネクト部材
５７  フィルタ部
５８  液体貯蔵部
５９  インク吸収体
１００  記録装置
１０１  キャリッジ
１０２  記録ヘッド群
１０３  記録ヘッドユニット
１０４  ガイド軸
１０５  ガイド軸
１０６  被記録媒体
１０７  スイッチ部／表示素子部
１０８  プラテン
１０９  送りローラ
１１０  回復系ユニット
１１１  インク液滴
４３０  基板
５３０  基板
２３０２  Ｂｋチップ
２３０３  Ｃチップ
２３０４  Ｍチップ
２３０５  Ｙチップ
２３０６  フレーム
【図１】
2006224600.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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