(57)【要約】【課題】  量産性に優れ、流量を容易に変更可能な設計自由度の高い圧電ポンプ及びその製造方法、並びに逆止弁構造を得る。【解決手段】  圧電振動子２０と、圧電振動子２０を液密に挟持するハウジング１１と、ハウジング１１に形成された一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと、該一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに流れ方向を異ならせて設けられる一対の逆止弁４３Ａ、４３Ｂとを有する圧電ポンプにおいて、一対の逆止弁４３Ａ、４３Ｂの支持部４１ｂ、４２ｂと該逆止弁４３Ａ、４３Ｂによって開閉される流路穴４１ｃ、４２ｃとを有する、ハウジング１１とは別部材からなる一対の逆止弁台座４１、４２を設け、この一対の逆止弁台座４１、４２を一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂにかしめ固定する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流電力供給により振動する圧電振動子と、この圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングと、このハウジングに形成された一対の流路用開口と、該一対の流路用開口に流れ方向を異ならせて設けられる一対の逆止弁とを有する圧電ポンプにおいて、
前記一対の逆止弁の支持部と該逆止弁によって開閉される流路穴とを有する、前記ハウジングとは別部材からなる一対の逆止弁台座を設け、この一対の逆止弁台座を前記一対の流路用開口にかしめ固定したことを特徴とする圧電ポンプ。
【請求項２】
請求項１記載の圧電ポンプにおいて、前記一対の流路用開口は、前記逆止弁台座を嵌合させる嵌合穴とこの嵌合穴より小径の内方フランジとを有しており、前記一対の逆止弁台座は、前記内方フランジに当接した状態で該内方フランジとは反対側の嵌合穴周縁を変形させてかしめ固定した圧電ポンプ。
【請求項３】
請求項１または２記載の圧電ポンプにおいて、前記一対の逆止弁台座は、表裏対称形状で同一に形成され、互いの表裏面を逆にして前記一対の流路用開口に固定されている圧電ポンプ。
【請求項４】
交流電力供給により振動する圧電振動子と、この圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングと、このハウジングに形成された一対の流路用開口と、この一対の流路用開口に流れ方向を異ならせて設けられる一対の逆止弁とを有する圧電ポンプにおいて、
前記一対の逆止弁の支持部と該逆止弁によって開閉される流路穴とを有する、前記ハウジングとは別部材からなる一対の逆止弁台座を形成する工程と、
前記ハウジングの一対の流路用開口に、前記一対の逆止弁台座を嵌合する嵌合穴とこの嵌合穴よりも小径の内方フランジを形成する工程と、
各流路用開口に各逆止弁台座を挿入して前記内方フランジに当接させ、該内方フランジの反対側の嵌合穴周縁を変形させてかしめ固定する工程と、
を有することを特徴とする圧電ポンプの製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の圧電ポンプの製造方法において、前記嵌合穴周縁を上方から下方に向かって垂直に押圧することにより、該嵌合穴周縁を前記逆止弁台座側に平面的に移動させて該逆止弁台座をかしめ固定する圧電ポンプの製造方法。
【請求項６】
請求項５記載の圧電ポンプの製造方法において、水平押圧面を有する治具を用いて、前記嵌合穴周縁を垂直に押圧する圧電ポンプの製造方法。
【請求項７】
請求項４ないし６のいずれか一項に記載の圧電ポンプの製造方法において、前記一対の逆止弁台座は、表裏対称形状で同一に形成し、支持した一対の逆止弁の流れ方向が反対になるように互いの表裏面を逆にして前記一対の流路用開口に固定する圧電ポンプの製造方法。
【請求項８】
一対の流路用開口を有するハウジングと、該一対の流路用開口に異なる方向の流体流を許容する一対の逆止弁とを備えた逆止弁構造において、
前記一対の逆止弁の支持部と該逆止弁によって開閉される連通穴とを有する、前記ハウジングとは別部材からなる一対の逆止弁台座を設け、この一対の逆止弁台座を前記一対の流路用開口にかしめ固定したことを特徴とする逆止弁構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子の振動によりポンプ作用を得る圧電ポンプ及びその製造方法、並びに逆止弁構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状の圧電振動子の振動によりポンプ作用を得る圧電ポンプは、圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングを有している。ハウジングには、圧電振動子との間に可変容積室を形成する凹部（可変容積室凹部）が形成されており、この可変容積室に連なる一対の流路に、流れ方向の異なる一対の逆止弁（可変容積室への流体流を許す逆止弁と可変容積室からの流体流を許す逆止弁）が設けられている。一対の逆止弁は、ハウジングに形成された台座部によって支持されており、この台座部に形成された複数の連通穴によって逆止弁の流量が規制されている。圧電振動子を振動させると、可変容積室の容積が変化し、この容積変化に伴い一対の逆止弁の一方が閉じて他方が開く動作を繰り返すことから、ポンプ作用が得られる。このような圧電ポンプは、薄型にできることから、例えば水冷ノート型パソコンの冷却水循環ポンプとして用いられている。
【特許文献１】実開平３−１１２５８９号公報
【特許文献２】特開平１０−２２０３５７号公報
【特許文献３】特開２００１−３８７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
一対の逆止弁の流量は、上述したように、ハウジングに形成した台座部の連通穴の大きさ及び数によって規制している。よって、逆止弁の流量が異なる圧電ポンプを製造する場合には、台座部以外の構造は同一であっても、その都度、ハウジングの設計を変更しなければならなった。このため、従来において逆止弁への流量を変更することは、手間及びコストがかかり、容易ではなかった。
【０００４】
また従来では、量産性向上及び低コスト化のため、例えばアルミニウム等からなる金属薄板をプレス加工することによりハウジングを形成したいという要望がある。しかしながら、プレス加工を用いると、台座部とその他のハウジングの部分とで厚さが異なるため、逆止弁への流量を規制する台座部を高精度に形成することは難易度が高く、高額の設備投資を必要とする。このため、プレス加工による量産化を導入できない現状にある。従来のハウジングは切削加工により形成されている。
【０００５】
本発明は、以上の問題意識に基づき、量産性に優れ、逆止弁への流量を容易に変更可能な設計自由度の高い圧電ポンプ及びその製造方法、並びに逆止弁構造を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、プレス加工による製造が困難な要因が、逆止弁への流量を規制する台座部がハウジングと一体構造であることに着眼してなされたものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、交流電力供給により振動する圧電振動子と、この圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングと、このハウジングに形成された一対の流路用開口と、該一対の流路用開口に流れ方向を異ならせて設けられる一対の逆止弁とを有する圧電ポンプにおいて、一対の逆止弁の支持部と該逆止弁によって開閉される流路穴とを有する、上記ハウジングとは別部材からなる一対の逆止弁台座を設け、この一対の逆止弁台座を一対の流路用開口にかしめ固定したことを特徴としている。
【０００８】
上記態様によれば、一対の逆止弁台座がハウジングと別部材であるから、ハウジングをプレス加工により形成して量産化及び低コスト化を図れることと一対の逆止弁台座を高精度に形成することの両立が可能である。これにより、流量が異なる複数の圧電ポンプにおいてハウジングを共通部品化でき、該ハウジングに装着する逆止弁台座を変更することで、流量を容易に変更することができる。また一対の逆止弁台座を一対の流路用開口に対してかしめ固定するので、液密性を保持しながら各逆止弁台座を簡単に固定でき、一対の逆止弁台座がハウジングと別部材であっても液洩れの心配がない。
【０００９】
一対の流路用開口は、逆止弁台座を嵌合させる嵌合穴とこの嵌合穴より小径の内方フランジとを有していることが好ましい。この場合に一対の逆止弁台座は、内方フランジに当接した状態で該内方フランジとは反対側の嵌合穴周縁を変形させることにより、かしめ固定することができる。
【００１０】
一対の逆止弁台座は、表裏対称形状で同一に形成され、互いの表裏面を逆にして一対の流路用開口に固定されていることが好ましい。この態様によれば、逆止弁台座の表裏面を逆にすることで異なる流れ方向の逆止弁を支持することができ、逆止弁の流れ方向毎に単独に逆止弁台座を備える必要がないので、低コスト化を図れる。
【００１１】
また本発明は、交流電力供給により振動する圧電振動子と、この圧電振動子の外周部を液密に挟持するハウジングと、このハウジングに形成された一対の流路用開口と、この一対の流路用開口に流れ方向を異ならせて設けられる一対の逆止弁とを有する圧電ポンプにおいて、一対の逆止弁の支持部と該逆止弁によって開閉される流路穴とを有する、上記ハウジングとは別部材からなる一対の逆止弁台座を形成する工程と、ハウジングの一対の流路用開口に、一対の逆止弁台座を嵌合する嵌合穴とこの嵌合穴よりも小径の内方フランジを形成する工程と、各流路用開口に各逆止弁台座を挿入して内方フランジに当接させ、該内方フランジの反対側の嵌合穴周縁を変形させてかしめ固定する工程とを有することを特徴としている。
【００１２】
逆止弁台座のかしめ固定は、嵌合穴周縁を上方から下方に向かって垂直に押圧することにより、該嵌合穴周縁を逆止弁台座側に平面的に移動させて行なうことが好ましい。ここで「平面的に移動させて」とは、嵌合穴周縁を構成する金属を逆止弁台座側に延長させることを意味している。より好ましくは、水平押圧面を有する治具を用いて、嵌合穴周縁を垂直に押圧する。嵌合穴周縁が水平押圧面で９０°上方から押圧されたとき、嵌合穴周縁に加わる押圧力は最大となり、嵌合穴周縁の移動量も最大となるから、嵌合穴周縁と逆止弁台座との密着性を最も高めることができる。
【００１３】
一対の逆止弁台座は、表裏対称形状で同一に形成し、支持した一対の逆止弁の流れ方向が反対になるように互いの表裏面を逆にして一対の流路用開口に固定することが好ましい。
【００１４】
また本発明は、圧電ポンプ以外の逆止弁構造にも適用可能である。すなわち本発明は、逆止弁構造の態様によれば、一対の流路用開口を有するハウジングと、該一対の流路用開口に異なる方向の流体流を許容する一対の逆止弁とを備えた逆止弁構造において、一対の逆止弁の支持部と該逆止弁によって開閉される連通穴とを有する、上記ハウジングとは別部材からなる一対の逆止弁台座を設け、この一対の逆止弁台座を一対の流路用開口にかしめ固定したことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、量産性に優れ、逆止弁への流量を容易に変更可能な設計自由度の高い圧電ポンプ及びその製造方法、並びに逆止弁構造を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１〜図３は、本発明の一実施形態による圧電ポンプ１の構成を概略的に示している。図１は圧電ポンプ１の構成を示す分解斜視図であり、図２は圧電ポンプ１の構成を示す断面図（組立状態）であり、図３は圧電ポンプ１の各構成要素を分解して示す分解断面図である。圧電ポンプ１は、ハウジングカバー１０とハウジング１１の間に液密に狭着支持した圧電振動子２０を正逆振動させてポンプ作用を得る薄小型の圧電ポンプであり、例えば水冷ノートパソコンの冷却水循環ポンプとして用いられる。
【００１７】
ハウジングカバー１０は、圧電振動子２０の弾性変形を許容する許容凹部１０ａと、この許容凹部１０ａ内で圧電振動子２０の外周部を支持するリング状支持突起１０ｂと、圧電振動子２０の配線部材２４を許容凹部１０ａから外部へ引き出す挿通開口１０ｃとを有している。このハウジングカバー１０は、例えば厚さ０．８ｍｍのアルミ薄板（金属薄板）をプレス加工して形成することができ、ハウジング１１と一体に固定ブロック６０に固定（ネジ止め）される。
【００１８】
圧電振動子２０は、中心部の円形のシム２１と、シム２１の表裏面に積層形成した一対の圧電体２２とからなるバイモルフ型の圧電振動子である。シム２１は、導電性の金属薄板材料、例えば厚さ０．２ｍｍ程度のステンレス薄板から構成されている。一対の圧電体２２は、例えば厚さ０．３ｍｍ程度のＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3）から構成されるもので、その表裏方向に施された分極処理により同一の分極方向を有している。この一対の圧電体２２は、シム２１に対して全面的に導通するように接着され、シム２１側とは反対側の露出面には膜状電極２３が全面的に形成されている。膜状電極２３は、例えば導電ペーストを印刷することにより形成される。共通電極の一方をシム２１とし、他方を一対の圧電体２２の露出面（膜状電極２３）として配線部材２４から圧電振動子２０に交流電界を与えると、一対の圧電体２２の一方が伸び他方が縮む動作が繰り返され、圧電振動子２０が正逆に振動する。図１〜図３では圧電振動子２０の厚さを誇張して描いているが、実際の厚みは１．５ｍｍ未満である。
【００１９】
ハウジング１１と圧電振動子２０の間には、ポンプ性能（圧縮比、流速）を調整する調整部材として、間挿体３０が設けられている。間挿体３０は、ハウジング１１の円形凹部１２ａに対応する円板形状をなし、圧電振動子２０との間に可変容積室１３を形成する容積決定凹部３１と、ハウジング１１の一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに対応する一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂと、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂを最短距離で結ぶ連結穴３３とを備えている。容積決定凹部３１は、圧電振動子２０に対向する表面３０ａに例えば研磨加工を施して形成され、間挿体中央部が深く外周部が浅くなっている。可変容積室１３の大きさは、容積決定凹部３１の形状及び深さにより調整することができる。連結穴３３は、圧電振動子２０が振動したときに液体を一対の流入用開口１４Ａから流出用開口１４Ｂへ最短距離で流がす流路を形成している。この連結穴３３の幅寸法によって、一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの間を流れる液体の速度を調整可能である。また間挿体３０の裏面３０ｂには、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂの外周に位置させて、環状溝３４Ａ、３４Ｂが形成されている。環状溝３４Ａ、３４Ｂは、一対の連通穴３２Ａ、３２Ｂとハウジング１１の一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの位置を合致させる位置決め用の溝であり、ハウジング１１の円形凹部１２ａに設けた環状突起１８ｂ、１９ｂに嵌合自在に形成されている。この環状溝３４Ａ、３４Ｂと環状突起１８ｂ、１９ｂの嵌脱により、間挿体３０はハウジング１１に対して着脱自在である。
【００２０】
ハウジング１１は、ハウジングカバー１０と同様に、例えば厚さ３．０ｍｍ程度のアルミ薄板をプレス加工して形成され、圧電振動子２０と対向する側の面（表面）に、圧電振動子２０よりも小径の円形凹部１２ａを有している。円形凹部１２ａには一対の流路用開口（流入用開口１４Ａ、流出用開口１４Ｂ）が開口し、該一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに、一対の逆止弁台座４１、４２を介してアンブレラ（逆止弁）４３Ａ、４３Ｂが設けられている。アンブレラ４３Ａは、流入用開口１４Ａから可変容積室１３への流体流を許してその逆の流体流を許さず、アンブレラ４３Ｂは、可変容積室１３から流出用開口１４Ｂへの流体流を許してその逆を許さない逆止弁である。
【００２１】
またハウジング１１は、円形凹部１２ａの外周に突出形成された、圧電振動子２０と略同径のリング状支持面１６ｂを備えている。リング状支持面１６ｂには大径Ｏリング溝１７ａが形成され、この大径Ｏリング溝１７ａに装着された大径Ｏリング５１を介して、圧電振動子２０がリング状支持面１６ｂと上記ハウジングカバー１０のリング状突起１０ｂとの間に液密に挟持されている。
【００２２】
ハウジング１１の裏面（円形凹部１２ａを有する面とは反対側の面）には、一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの外周に位置させて、小径Ｏリング溝１８ａ、１９ａが形成されている。この小径Ｏリング溝１８ａ、１９ａに装着した小径Ｏリング５２を介して、ハウジング１１に開口している一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと一対の流路（流路端開口）６４Ａ、６４Ｂが液密に接続される。ハウジング１１は上述したようにプレス加工で形成されているため、ハウジング１１の表裏面の凹凸は対称になっている。つまり、ハウジング１１の表裏面には、一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの外周に位置させて、上記小径Ｏリング溝１８ａ、１９ａと、該小径Ｏリング溝１８ａ、１９ａとは凹凸が反対の環状突起１８ｂ、１９ｂとが対で形成されている。またハウジング１１の裏面には、円形凹部１２ａに対応する円形凸部１２ｂと、リング状支持面１６ｂに対応するリング状凹部１６ａと、大径Ｏリング溝１７ａに対応するＯリング突起１７ｂとが形成されている。
【００２３】
ハウジング１１の一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂが液密に接続される一対の流路６４Ａ、６４Ｂは、固定ブロック６０に設けられている。固定ブロック６０は、ハウジング裏面のリング状凹部１６ａ及びＯリング突起１７ｂに嵌合し、一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと一対の流路６４Ａ、６４Ｂとの位置を合致させる位置決め用の凹凸部（円形凹部６２、リング状凸部６６）を有している。この固定ブロック６０や流路６４Ａ、６４Ｂの経路は問わない。
【００２４】
以上の概略構成を有する圧電ポンプ１は、圧電振動子２０が正逆に振動（弾性変形）すると、可変容積室１３の容積が拡大する行程では、アンブレラ４３Ａが開いてアンブレラ４３Ｂが閉じるため、流入用開口１４Ａから可変容積室１３に液体を流入し、可変容積室１３の容積が縮小する行程では、アンブレラ４３Ｂが開いてアンブレラ４３Ａが閉じるため、可変容積室１３から流出用開口１４Ｂへ液体を流出する。このように圧電振動子２０が正逆に連続して振動（弾性変形）することで、ポンプ作用が得られる。
【００２５】
上記圧電ポンプ１では、一対のアンブレラ４３Ａ、４３Ｂを支持する一対の逆止弁台座４１、４２が、ハウジング１１とは別部材からなる。本実施形態は、一対の逆止弁台座４１、４２及びその固定態様に特徴を有するものである。以下では、図４ないし図６を参照して、一対の逆止弁台座４１、４２について詳細に説明する。
【００２６】
図４及び図５は、ハウジング１１の一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと一対の逆止弁台座４１、４２の取付位置関係を示す平面図及び断面図である。流路用開口１４Ａ、１４Ｂは、ハウジング１１とは別部材からなる逆止弁台座４１、４２の装着穴であって、逆止弁台座４１、４２を嵌合する嵌合穴１５Ａｉ、１５Ｂｉと、この嵌合穴１５Ａｉ、１５Ｂｉよりも小径の内方フランジ１５Ａｉｉ、１５Ｂｉｉとを有している。
【００２７】
一対の逆止弁台座４１、４２は、図４に示すように一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂの嵌合穴１５Ａｉ、１５Ｂｉの内径に対応する外径を有する同一の円板形状をなし、例えばアルミニウム等の金属薄板をプレス加工することにより形成されている。各逆止弁台座４１、４２には、円座４１ａ、４２ａの略中央に形成されたアンブレラ挿通支持穴（支持部）４１ｂ、４２ｂと、このアンブレラ挿通支持穴４１ｂ、４２ｂの外周に配置され、アンブレラ４３Ａ、４３Ｂによって開閉される複数の連通穴４１ｃ、４２ｃと、この連通穴４１ｃ、４２ｃの外周に設けた外周部４１ｄ、４２ｄとが備えられている。円座４１ａ、４２ａと外周部４１ｄ、４２ｄの間には若干の段差が生じており、円座４１ａ、４２ａは外周部４１ｄ、４２ｄよりも突出または窪んでいる。本実施形態では、円座４１ａ、４２ａが外周部４１ｄ、４２ｄよりも窪んでいる側の面を逆止弁台座４１、４２の表面４１ｅ、４２ｅとし、逆に突出している側の面を逆止弁台座４１、４２の裏面４１ｆ、４２ｆとする。
【００２８】
一方の逆止弁台座４１は、図５に示されるように、その表面４１ｅ側からアンブレラ挿通支持穴４１ｂにアンブレラ４３Ａの軸部を挿通して該アンブレラ４３Ａと一体化された後、裏面４１ｆ側から流入用開口１４Ａの嵌合穴１５Ａｉに挿入され、内方フランジ１５Ａｉｉに当接した状態で流入用開口１４Ａに設置される。他方の逆止弁台座４２は、同図５に示されるように、その裏面４２ｆ側からアンブレラ挿通支持穴４２ｂにアンブレラ４３Ｂの軸部を挿通して該アンブレラ４３Ｂと一体化された後、該アンブレラ４３Ｂ側から流出用開口１４Ｂに挿入され、アンブレラ４３Ｂを介して内方フランジ１５Ｂｉｉに当接した状態で流出用開口１４Ｂに設置される。アンブレラ４３Ｂは、逆止弁台座４２と流出用開口１４Ｂの内方フランジ１５Ｂｉｉの間に挟持される。この設置状態（図６（ａ））で内方フランジ１５Ａｉｉ、１５Ｂｉｉと反対側の嵌合穴周縁αを変形させることにより、一対の逆止弁台座４１、４２はかしめ固定される。
【００２９】
図６は、一対の逆止弁台座４１、４２を一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂにかしめ固定する方法を説明する断面図である。ハウジング１１に設けた上記一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂと、ハウジング１１とは別部材からなる上記一対の逆止弁台座４１、４２は、予め、別工程により独立に形成されている。ハウジング１１及び一対の逆止弁台座４１、４２はそれぞれ、プレス加工により形成することが可能である。
【００３０】
上述のようにアンブレラ４３Ａ、４３Ｂを支持した一対の逆止弁台座４１、４２を一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂにそれぞれ設置したら（図６（ａ））、嵌合穴周縁αに対応する環状の水平押圧面７１を有する治具７０により、該嵌合穴周縁αを上方から下方に向かって垂直に押圧する。このとき、治具７０の水平押圧面７１は、図６（ｂ）に示すように、嵌合穴周縁α及び一対の逆止弁台座４１、４２に対して水平な位置関係となっている。ハウジング１１は押圧により変形容易なアルミ薄板（金属薄板）により形成してあるので、この押圧動作により、嵌合穴周縁αが一対の逆止弁台座４１、４２側へ平面的に移動して、該該嵌合穴周縁αと一対の逆止弁台座４１、４２とが密着固定される。ここで、嵌合穴周縁αが一対の逆止弁台座４１、４２側へ平面的に移動するとは、嵌合穴周縁αを構成する金属が各逆止弁台座４１、４２側へ延びることを意味している。上記押圧動作による嵌合穴周縁αの移動量は、水平面で９０°上方から押圧されたときに、最も大きな押圧力が加わることから最大となる。
【００３１】
別実施形態として、水平押圧面７１を有する治具７０の替わりに、図７に示す傾斜押圧面８１を有する治具８０を用いることも可能であるが、押圧面が傾斜していると、水平押圧面７１で押圧された場合よりも押圧力は小さくなり、嵌合穴周縁αの移動量は低減する。
【００３２】
以上のようにかしめ固定構造とすれば、一対の逆止弁台座４１、４２をハウジング１１とは別部材で設けても、一対の逆止弁台座４１、４２を一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂに対して簡単及び確実に、液密性を保持して固定することができる。
【００３３】
以上の本実施形態によれば、一対の逆止弁台座４１、４２をハウジング１１とは別部材で設けるので、ハウジング１１をプレス加工により形成して量産化及び低コスト化を図れることと一対の逆止弁台座４１、４２を高精度に形成することの両立が可能である。このように一対の逆止弁台座４１、４２とハウジング１１が別部材であれば、流量が異なる複数の圧電ポンプにおいてハウジング１１を共通部品化でき、該ハウジング１１に装着する逆止弁台座を変更することで、流量を容易に変更することができる。また本実施形態によれば、一対の逆止弁台座４１、４２を一対の流路用開口１４Ａ、１４Ｂ（ハウジング１１）に対してかしめ固定するので、液密性を保持しながら該一対の逆止弁台座４１、４２を簡単に固定でき、接着信頼性が高く、ハウジング１１の薄型化にも貢献できる。
【００３４】
以上では、圧電ポンプの逆止弁構造に適用した実施形態について説明したが、本発明は、圧電ポンプ以外の逆止弁構造にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明による圧電ポンプの概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】同圧電ポンプの概略構成を示す断面図である
【図３】同圧電ポンプの構成要素を分解して示す断面図である。
【図４】図１のハウジングと一対の逆止弁台座をそれぞれ単体で示す平面図である。
【図５】ハウジングと一対の逆止弁台座及び逆止弁との嵌脱関係を説明する断面図である。
【図６】水平押圧面を有する冶具を用いて一対の逆止弁台座をハウジングに固定する方法を説明する断面図である。
【図７】傾斜押圧面を有する冶具を用いて一対の逆止弁台座をハウジングに固定する方法を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１    圧電ポンプ
１０    ハウジングカバー
１１    ハウジング
１２ａ  円形凹部
１３    可変容積室
１４Ａ  流路用開口（流入用開口）
１４Ｂ  流路用開口（流出用開口）
１８ａ、１９ａ  小径Ｏリング溝
１８ｂ、１９ｂ  環状突起
２０    圧電振動子
３０    間挿体
３１    容積決定凹部
３２Ａ、３２Ｂ  連通穴
３３    連結穴
３４Ａ、３４Ｂ  環状溝
４１、４２  逆止弁台座
４１ａ、４２ａ  円座
４１ｂ、４２ｂ  アンブレラ挿通支持穴（支持部）
４１ｃ、４２ｃ  連通穴（流路穴）
４１ｄ、４２ｄ  外周部
４１ｅ、４２ｅ  表面
４１ｆ、４２ｆ  裏面
４３Ａ、４３Ｂ  アンブレラ（逆止弁）
７０、８０  冶具
７１  水平押圧面
８１  傾斜押圧面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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