(57)【要約】 【課題】  検査対象画像における輝点欠陥の有無の検査に必要な検査単位領域を優先的に形成することによって、検査効率を向上させることができる輝点欠陥検査方法を提供すること。【解決手段】  液晶パネルによって表示される検査対象画像をＣＣＤカメラによって撮像して得られる受光輝度分布データにおいて受光輝度が最大の始点カメラ画素Ｓを抽出し、これを始点として所定の併合輝度条件を満たす周囲のカメラ画素を順次併合することによって検査単位領域を形成する。この検査単位領域の検査の結果、この検査単位領域に輝点欠陥が含まれていないことがわかれば、検査対象画像全体においても輝点欠陥が含まれていないことがわかるので、これ以降、輝点欠陥の有無についての追加的な検査を行う必要がなくなり、検査コストを低減でき、検査時間を短縮化でき、検査効率を著しく向上させることができる。【選択図】 図７
2006106351.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示装置によって表示される検査対象画像を複数の撮像画素を有する撮像手段によって撮像し、前記各撮像画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データを取得する撮像工程と、
前記複数の撮像画素のうち前記受光輝度分布データにおいて受光輝度が最大の始点撮像画素を抽出し、これを始点として所定の併合輝度条件を満たす周囲の撮像画素を順次併合し、併合された撮像画素によって形成される撮像画素併合領域を順次拡張することによって検査単位領域を形成する検査単位領域形成工程と、
前記検査単位領域に含まれる各撮像画素での受光輝度に基づいて構成される領域輝度データを、所定の基準輝度データと比較し、両者の数値の差が所定の欠陥判定閾値以上であるとき、前記検査単位領域を欠陥領域であると判定する欠陥検査工程と、
を備えることを特徴とする画像検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の画像検査方法において、
前記検査単位領域形成工程では、前記始点撮像画素との受光輝度の差が所定の併合許容差以下である撮像画素を、前記併合輝度条件を満たす撮像画素と判定して併合する、
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の画像検査方法において、
前記検査単位領域形成工程では、前記撮像画素併合領域に併合された一の撮像画素と隣接する他の撮像画素を前記撮像画素併合領域に併合するか否かを判定する際、前記他の撮像画素の受光輝度が前記一の撮像画素の受光輝度以下である場合に限り、前記他の撮像画素は前記併合輝度条件を満たす撮像画素と判定されて前記撮像画素併合領域に併合され、前記撮像画素併合領域が拡張される、
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の画像検査方法において、
既に形成されている他の検査単位領域のいずれにも含まれていない未併合撮像画素のうち受光輝度が最大のものを前記始点撮像画素とすること、および、この始点撮像画素を始点として行う前記撮像画素の併合の対象を前記未併合撮像画素に限定すること、を条件として前記検査単位領域形成工程を複数回繰り返すことによって、複数の検査単位領域を形成する、
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項５】
請求項４に記載の画像検査方法において、
前記各検査単位領域についての前記各欠陥検査工程では、前記領域輝度データが、この検査単位領域における前記始点撮像画素の受光輝度の値として規定され、前記基準輝度データが、前記複数の検査単位領域のうち最大面積を有する最大検査単位領域に含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値として規定される、
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項６】
画像表示装置によって表示される検査対象画像を複数の撮像画素を有する撮像手段によって撮像し、前記各撮像画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データを取得する撮像工程と、
前記複数の撮像画素のうち前記受光輝度分布データにおいて受光輝度が最小の始点撮像画素を抽出し、これを始点として所定の併合輝度条件を満たす周囲の撮像画素を順次併合し、併合された撮像画素によって形成される撮像画素併合領域を順次拡張することによって検査単位領域を形成する検査単位領域形成工程と、
前記検査単位領域に含まれる各撮像画素での受光輝度に基づいて構成される領域輝度データを、所定の基準輝度データと比較し、両者の数値の差が所定の欠陥判定閾値以上であるとき、前記検査単位領域を欠陥領域であると判定する欠陥検査工程と、
を備えることを特徴とする画像検査方法。
【請求項７】
請求項６に記載の画像検査方法において、
前記検査単位領域形成工程では、前記始点撮像画素との受光輝度の差が所定の併合許容差以下である撮像画素を、前記併合輝度条件を満たす撮像画素と判定して併合する、
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載の画像検査方法において、
前記検査単位領域形成工程では、前記撮像画素併合領域に併合された一の撮像画素と隣接する他の撮像画素を前記撮像画素併合領域に併合するか否かを判定する際、前記他の撮像画素の受光輝度が前記一の撮像画素の受光輝度以上である場合に限り、前記他の撮像画素は前記併合輝度条件を満たす撮像画素と判定されて前記撮像画素併合領域に併合され、前記撮像画素併合領域が拡張される、
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項９】
請求項６から請求項８のいずれかに記載の画像検査方法において、
既に形成されている他の検査単位領域のいずれにも含まれていない未併合撮像画素のうち受光輝度が最小のものを前記始点撮像画素とすること、および、この始点撮像画素を始点として行う前記撮像画素の併合の対象を前記未併合撮像画素に限定すること、を条件として前記検査単位領域形成工程を複数回繰り返すことによって、複数の検査単位領域を形成する、
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の画像検査方法において、
前記各検査単位領域についての前記各欠陥検査工程では、前記領域輝度データが、この検査単位領域における前記始点撮像画素の受光輝度の値として規定され、前記基準輝度データが、前記複数の検査単位領域のうち最大面積を有する最大検査単位領域に含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値として規定される、
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記撮像工程では、前記検査対象画像を構成する前記画像表示装置の各画像画素を前記撮像手段によって撮像し、
前記欠陥検査工程では、前記各検査単位領域が欠陥領域であるか否かを判定することによって、前記各画像画素に欠陥領域が存在するか否かを検査する、
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項１２】
複数の撮像画素を有し、画像表示装置によって表示される検査対象画像を撮像して前記各撮像画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データを取得する撮像手段と、
前記複数の撮像画素のうち前記受光輝度分布データにおいて受光輝度が最大の始点撮像画素を抽出し、これを始点として所定の併合輝度条件を満たす周囲の撮像画素を順次併合し、併合された撮像画素によって形成される撮像画素併合領域を順次拡張することによって検査単位領域を形成する検査単位領域形成手段と、
前記検査単位領域に含まれる各撮像画素での受光輝度に基づいて構成される領域輝度データを、所定の基準輝度データと比較し、両者の数値の差が所定の欠陥判定閾値以上であるとき、前記検査単位領域を欠陥領域であると判定する欠陥検査手段と、
を備えることを特徴とする画像検査装置。
【請求項１３】
複数の撮像画素を有し、画像表示装置によって表示される検査対象画像を撮像して前記各撮像画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データを取得する撮像手段と、
前記複数の撮像画素のうち前記受光輝度分布データにおいて受光輝度が最小の始点撮像画素を抽出し、これを始点として所定の併合輝度条件を満たす周囲の撮像画素を順次併合し、併合された撮像画素によって形成される撮像画素併合領域を順次拡張することによって検査単位領域を形成する検査単位領域形成手段と、
前記検査単位領域に含まれる各撮像画素での受光輝度に基づいて構成される領域輝度データを、所定の基準輝度データと比較し、両者の数値の差が所定の欠陥判定閾値以上であるとき、前記検査単位領域を欠陥領域であると判定する欠陥検査手段と、
を備えることを特徴とする画像検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像検査方法および画像検査装置に関する。詳しくは、検査対象画像を複数の撮像画素を有する撮像手段によって撮像し、各撮像画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データを取得した上で、所定の併合輝度条件に従って各撮像画素同士を併合して検査単位領域を形成し、この検査単位領域を検査単位として検査対象画像における欠陥の有無を検査する画像検査方法、および、この画像検査方法を実施するための構成を備える画像検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査対象画像をＣＣＤカメラによって撮像して、各カメラ画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データ取得する撮像工程と、所定の併合輝度条件に従ってカメラ画素同士を併合して検査単位領域を形成する検査単位領域形成工程と、検査単位領域を検査単位として検査対象画像における色むら欠陥の有無を検査する色むら欠陥検査工程と、を備える画像検査方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
検査単位領域形成工程は、複数の検査単位領域が受光輝度分布データ上に隙間無く形成されるまで複数回繰り返し行われる。各検査単位領域形成工程では、特許文献１の図３に示されるラスタスキャンやジグザグスキャンによって、未だいずれの検査単位領域にも併合されていないカメラ画素を探索し、最初に見つかったカメラ画素を始点としてカメラ画素同士の併合を行い、検査単位領域を形成する。
色むら欠陥検査工程では、各検査単位領域に含まれる全カメラ画素の受光輝度を、その平均値で置き換えることによって、受光輝度分布データの書き換えを行う。書き換え後の受光輝度分布データは、各々一定の受光輝度を有する複数の検査単位領域によって構成されており、受光輝度分布データにおける受光輝度のむらを視認しやすい。したがって、特許文献１の画像検査方法によれば、書き換えられた受光輝度分布データに基づいて、検査対象画像における色むら欠陥の有無を容易に検査できる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２６６１２２号公報（第２〜６頁、図１〜１３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記の通り、特許文献１の画像検査方法は検査対象画像における色むら欠陥の有無を検査するための方法であり、輝点欠陥などの異常発光欠陥や、黒点欠陥などの異常非発光欠陥の有無の検査には適していない。
ここで、異常発光欠陥とは、検査対象画像における平均的な輝度よりも所定程度以上大きい輝度を有する欠陥のことであり、最大輝度の部分を頂点とする略山状の輝度分布を有する。また、異常非発光欠陥とは、検査対象画像における平均的な輝度よりも所定程度以上小さい輝度を有する欠陥のことであり、最小輝度の部分を谷底とする略谷状の輝度分布を有する。なお、異常発光欠陥と異常非発光欠陥とをまとめる場合、「異常発光／非発光欠陥」と表記する。
【０００５】
ところで、特許文献１では、ラスタスキャンやジグザグスキャンのような機械的な探索規則によって各検査単位領域の形成の始点となる始点カメラ画素を探索しているので、検査単位領域の形成順序が機械的に決定されてしまう。そのため、検査対象画像における異常発光／非発光欠陥を検出するためには、検査単位領域が受光輝度分布データ上に隙間無く形成されるまで検査単位領域形成工程を繰り返し、形成された全ての検査単位領域について異常発光／非発光欠陥の有無を検査する必要がある。このように、異常発光／非発光欠陥の検出には必ずしも必要ない検査単位領域を形成し、これらについての検査を一々行わなければならなかったため、検査効率が悪かった。また、必ずしも最大受光輝度のカメラ画素を始点としてカメラ画素の併合を行っているわけではないので、最大輝度の部分を頂点とする略山状の輝度分布を有する異常発光欠陥を検出する上での適切な検査単位領域が形成されるとは限らなかった。
【０００６】
本発明の目的は、検査対象画像における異常発光／非発光欠陥の有無の検査に必要な検査単位領域を優先的に形成することによって、検査効率を向上させることができる画像検査方法、および、この画像検査方法を実施するための構成を備える画像検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の画像検査方法は、画像表示装置によって表示される検査対象画像を複数の撮像画素を有する撮像手段によって撮像し、前記各撮像画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データを取得する撮像工程と、前記複数の撮像画素のうち前記受光輝度分布データにおいて受光輝度が最大の始点撮像画素を抽出し、これを始点として所定の併合輝度条件を満たす周囲の撮像画素を順次併合し、併合された撮像画素によって形成される撮像画素併合領域を順次拡張することによって検査単位領域を形成する検査単位領域形成工程と、前記検査単位領域に含まれる各撮像画素での受光輝度に基づいて構成される領域輝度データを、所定の基準輝度データと比較し、両者の数値の差が所定の欠陥判定閾値以上であるとき、前記検査単位領域を欠陥領域であると判定する欠陥検査工程と、を備えることを特徴とする。
ここで、検査単位領域とは、併合輝度条件を満たす撮像画素が周囲になくなり、拡張が停止した撮像画素併合領域のことをいう。また、領域輝度データは、例えば、検査単位領域に含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値、最大値、最小値として設定できる。また、基準輝度データは、例えば、予め設定された固定値でもよいし、受光輝度分布データに含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値として設定してもよい。
【０００８】
この画像検査方法は、検査対象画像における異常発光欠陥の有無を検査するための方法であり、以下、異常発光欠陥検査方法ということにする。
この異常発光欠陥検査方法では、検査単位領域形成工程において、受光輝度分布データ上で受光輝度が最大の始点撮像画素を抽出し、これを始点として撮像画素同士の併合を行って検査単位領域を形成している。検査単位領域が欠陥領域（異常発光欠陥領域）であれば、領域輝度データの数値が大きくなり、これと基準輝度データとの数値の差が欠陥判定閾値以上になるので、欠陥検査工程において、検査単位領域が欠陥領域であると判定され、検査対象画像に異常発光欠陥が存在していることがわかる。
【０００９】
以上の検査単位領域形成工程によって形成される検査単位領域は、最大受光輝度の撮像画素（始点撮像画素）を含んでいるので、検査対象画像に異常発光欠陥が存在していれば、そのうちの一つは、この検査単位領域に必ず含まれる。したがって、この検査単位領域における異常発光欠陥の有無を検査すれば、検査対象画像全体における異常発光欠陥の有無を検査できる。
この検査単位領域が欠陥検査工程において欠陥領域（異常発光欠陥領域）でないと判定されることによって、この検査単位領域に異常発光欠陥が含まれていないことがわかれば、検査対象画像全体においても異常発光欠陥が含まれていないことがわかるので、これ以降、異常発光欠陥の有無についての追加的な検査を行う必要がなくなり、検査コストを低減でき、検査時間を短縮化でき、検査効率を著しく向上させることができる。
また、検査単位領域形成工程では、最大受光輝度の撮像画素を始点として撮像画素の併合を行っているので、最大輝度の部分を頂点とする略山状の輝度分布を有する異常発光欠陥を検出する上での適切な検査単位領域を形成できる。
【００１０】
本発明の異常発光欠陥検査方法では、前記検査単位領域形成工程では、前記始点撮像画素との受光輝度の差が所定の併合許容差以下である撮像画素を、前記併合輝度条件を満たす撮像画素と判定して併合する、ことが好ましい。
ここで、併合許容差とは、例えば、予め設定された固定値でもよいし、受光輝度分布データに基づいて設定してもよい。
【００１１】
特許文献１の検査単位領域形成工程では、互いに隣接する撮像画素（カメラ画素）の受光輝度差（絶対値）が所定の併合許容差以下であれば併合輝度条件が満たされ、両撮像画素が併合されて撮像画素併合領域が拡張される。そのため、受光輝度分布データ上において受光輝度の変化がなだらかな部分では、常に併合輝度条件が満たされ、撮像画素同士の併合、すなわち、撮像画素併合領域の拡張が停止せず、必要以上に大きな検査単位領域が形成されてしまう。特許文献１は色むら欠陥を検査するものであるから、前記併合輝度条件を用いても問題ないが、検査単位領域が大きすぎると、異常発光欠陥のような局所的な欠陥を検出することが難しいので、特許文献１の併合輝度条件は、異常発光欠陥を検出するための条件としては不適当である。
【００１２】
これに対して、本発明の異常発光欠陥検査方法では、「始点撮像画素の受光輝度−併合される撮像画素の受光輝度≦併合許容差」を併合輝度条件として設定しているので、受光輝度分布データ上において受光輝度の変化がなだらかな部分であっても、最大受光輝度の始点撮像画素との受光輝度差が併合許容差を超える撮像画素があれば、この撮像画素は併合されず、撮像画素併合領域の拡張が停止する。したがって、特許文献１のように必要以上に大きな検査単位領域が形成されてしまうおそれが少なく、併合許容差を適当な値に設定することで局所的な異常発光欠陥を的確に検出できる。
【００１３】
また、本発明の異常発光欠陥検査方法では、前記検査単位領域形成工程では、前記撮像画素併合領域に併合された一の撮像画素と隣接する他の撮像画素を前記撮像画素併合領域に併合するか否かを判定する際、前記他の撮像画素の受光輝度が前記一の撮像画素の受光輝度以下である場合に限り、前記他の撮像画素は前記併合輝度条件を満たす撮像画素と判定されて前記撮像画素併合領域に併合され、前記撮像画素併合領域が拡張される、ことが好ましい。
【００１４】
特許文献１では、「｜一の撮像画素の受光輝度−他の撮像画素の受光輝度｜≦併合許容差」、を併合輝度条件として設定しているので、一の撮像画素の受光輝度と他の撮像画素の受光輝度との間の大小関係によらず、両撮像画素の受光輝度差（絶対値）が併合許容差以下であれば、他の撮像画素を撮像画素併合領域に併合している。
これに対して、本発明の異常発光欠陥検査方法では、「一の撮像画素の受光輝度≧他の撮像画素の受光輝度」を併合輝度条件として設定しているので、一の撮像画素以下の受光輝度を有する他の撮像画素に限り、撮像画素併合領域に併合している。言い換えれば、一の撮像画素よりも受光輝度が大きい他の撮像画素は撮像画素併合領域に併合されず、ここで撮像画素併合領域の拡張が停止する。そのため、この併合輝度条件の下で形成される検査単位領域は、始点撮像画素を頂点とする略山状の受光輝度分布を構成する一群の撮像画素によって形成される。したがって、受光輝度分布データ上に、各々略山状の受光輝度分布を有する複数の異常発光欠陥候補がある場合であっても、一つの検査単位領域には一つの異常発光欠陥候補のみを含ませることができる。そのため、この検査単位領域を検査単位として検査を行えば、最大輝度の部分を頂点とする略山状の輝度分布を有する異常発光欠陥を的確に検出できる。
【００１５】
なお、前記の二つの併合輝度条件、すなわち、条件１「始点撮像画素の受光輝度−併合される撮像画素（他の撮像画素）の受光輝度≦併合許容差」、および、条件２「一の撮像画素の受光輝度≧他の撮像画素の受光輝度」を同時に課せば、条件１によって、始点撮像画素との受光輝度差が併合許容差よりも大きな撮像画素が検査単位領域に併合されることがなくなるから、必要以上に大きな検査単位領域が形成されるのを防止でき、さらに、条件２によって、各撮像画素の受光輝度が山脈状の受光輝度分布を構成している場合であっても、その中から一の略山状の受光輝度分布を抽出でき、この一の略山状受光輝度分布を構成する撮像画素のみを検査単位領域に併合できるから、略山状の輝度分布を有する局所的な異常発光欠陥をより的確に検出できる。
【００１６】
また、本発明の異常発光欠陥検査方法では、既に形成されている他の検査単位領域のいずれにも含まれていない未併合撮像画素のうち受光輝度が最大のものを前記始点撮像画素とすること、および、この始点撮像画素を始点として行う前記撮像画素の併合の対象を前記未併合撮像画素に限定すること、を条件として前記検査単位領域形成工程を複数回繰り返すことによって、複数の検査単位領域を形成する、ことが好ましい。
【００１７】
この異常発光欠陥検査方法では、検査単位領域形成工程が複数回繰り返される。これによって形成される複数の検査単位領域を検査単位として検査対象画像を検査すれば、異常発光欠陥が複数存在する場合であっても、これらを看過することなく的確に検出できる。
なお、複数形成される検査単位領域については、その全てについて欠陥検査工程を行って異常発光欠陥の有無を検査してもよいし、また、検査単位領域の形成された順に欠陥検査工程を行うことによって、一部の検査単位領域についてのみ異常発光欠陥の有無を検査し、以降の検査単位領域についてはその検査を省略することもできる。
以下、後者の場合について説明する。各検査単位領域形成工程では、その時点での未併合撮像画素のうち受光輝度が最大のものを始点撮像画素として撮像画素の併合が行われるから、始点撮像画素の受光輝度は検査単位領域が繰り返されるにつれて段々小さくなっていく。そのため、ほとんどの場合において、領域輝度データの数値は、検査単位領域が繰り返されるにつれて段々小さくなっていくから、異常発光欠陥領域と判定される可能性は、最初に形成された検査単位領域が最も高く、以降段々低くなっていく。したがって、検査単位領域の形成された順に欠陥検査工程を行って異常発光欠陥領域であるか否かの検査を行えば、ある一の欠陥検査工程においてその検査単位領域が異常発光欠陥領域でないと判定されれば、その時点で、以降の検査単位領域も異常発光欠陥領域でないことがわかり、以降の欠陥検査工程を省略できる。
【００１８】
また、本発明の異常発光欠陥検査方法では、前記各検査単位領域についての前記各欠陥検査工程では、前記領域輝度データが、この検査単位領域における前記始点撮像画素の受光輝度の値として規定され、前記基準輝度データが、前記複数の検査単位領域のうち最大面積を有する最大検査単位領域に含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値として規定される、ことが好ましい。
【００１９】
最大検査単位領域は検査対象画像において最大の面積を占める検査単位領域であり、これに含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値は検査対象画像における平均的な輝度であると言える。そのため、最大検査単位領域に含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値を、検査対象画像における異常発光欠陥の有無を判定するための基準輝度データとして採用するのは合理的である。
各検査単位領域についての欠陥検査工程では、この検査単位領域における始点撮像画素の受光輝度を領域輝度データとして、これを基準輝度データと比較し、両者の差が欠陥判定閾値以上である場合には、この検査単位領域を異常発光欠陥領域であると判定する。
【００２０】
以上、本発明の異常発光欠陥検査方法について説明したが、続いて、本発明の異常非発光欠陥検査方法について説明する。
【００２１】
本発明の画像検査方法（異常非発光欠陥検査方法）は、画像表示装置によって表示される検査対象画像を複数の撮像画素を有する撮像手段によって撮像し、前記各撮像画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データを取得する撮像工程と、前記複数の撮像画素のうち前記受光輝度分布データにおいて受光輝度が最小の始点撮像画素を抽出し、これを始点として所定の併合輝度条件を満たす周囲の撮像画素を順次併合し、併合された撮像画素によって形成される撮像画素併合領域を順次拡張することによって検査単位領域を形成する検査単位領域形成工程と、前記検査単位領域に含まれる各撮像画素での受光輝度に基づいて構成される領域輝度データを、所定の基準輝度データと比較し、両者の数値の差が所定の欠陥判定閾値以上であるとき、前記検査単位領域を欠陥領域であると判定する欠陥検査工程と、を備えることを特徴とする。
【００２２】
この異常発光欠陥検査方法では、検査単位領域形成工程において、受光輝度分布データ上で受光輝度が最小の始点撮像画素を抽出し、これを始点として撮像画素同士の併合を行って検査単位領域を形成している。検査単位領域が欠陥領域（異常非発光欠陥領域）であれば、領域輝度データの数値が小さくなり、これと基準輝度データとの数値の差が欠陥判定閾値以上になるので、欠陥検査工程において、検査単位領域が欠陥領域であると判定され、検査対象画像に異常非発光欠陥が存在していることがわかる。
【００２３】
以上の検査単位領域形成によって形成される検査単位領域は、最小受光輝度の撮像画素（始点撮像画素）を含んでいるので、検査対象画像に異常非発光欠陥が存在していれば、そのうちの一つは、この検査単位領域に必ず含まれる。したがって、この検査単位領域における異常非発光欠陥の有無を検査すれば、検査対象画像全体における異常非発光欠陥の有無を検査できる。
この検査単位領域が欠陥検査工程において欠陥領域（異常非発光欠陥領域）でないと判定されることによって、この検査単位領域に異常非発光欠陥が含まれていないことがわかれば、検査対象画像全体においても異常非発光欠陥が含まれていないことがわかるので、これ以降、異常非発光欠陥の有無についての追加的な検査を行う必要がなくなり、検査コストを低減でき、検査時間を短縮化でき、検査効率を著しく向上させることができる。
また、検査単位領域形成工程では、最小受光輝度の撮像画素を始点として撮像画素の併合を行っているので、最小輝度の部分を谷底とする略谷状の輝度分布を有する異常非発光欠陥を検出する上での適切な検査単位領域を形成できる。
【００２４】
本発明の異常非発光欠陥検査方法では、前記検査単位領域形成工程では、前記始点撮像画素との受光輝度の差が所定の併合許容差以下である撮像画素を、前記併合輝度条件を満たす撮像画素と判定して併合する、ことが好ましい。
【００２５】
特許文献１の検査単位領域形成工程では、互いに隣接する撮像画素（カメラ画素）の受光輝度差（絶対値）が所定の併合許容差以下であれば併合輝度条件が満たされ、両撮像画素が併合されて撮像画素併合領域が拡張される。そのため、受光輝度分布データ上において受光輝度の変化がなだらかな部分では、常に併合輝度条件が満たされ、撮像画素同士の併合、すなわち、撮像画素併合領域の拡張が停止せず、必要以上に大きな検査単位領域が形成されてしまう。特許文献１は色むら欠陥を検査するものであるから、前記併合輝度条件を用いても問題ないが、検査単位領域が大きすぎると、異常非発光欠陥のような局所的な欠陥を検出することが難しいので、特許文献１の併合輝度条件は、異常非発光欠陥を検出するための条件としては不適当である。
【００２６】
これに対して、本発明の異常非発光欠陥検査方法では、「併合される撮像画素の受光輝度−始点撮像画素の受光輝度≦併合許容差」を併合輝度条件として設定しているので、受光輝度分布データ上において受光輝度の変化がなだらかな部分であっても、最小受光輝度の始点撮像画素との受光輝度差が併合許容差を超える撮像画素があれば、この撮像画素は併合されず、撮像画素併合領域の拡張が停止する。したがって、特許文献１のように必要以上に大きな検査単位領域が形成されてしまうおそれが少なく、併合許容差を適当な値に設定することで局所的な異常非発光欠陥を的確に検出できる。
【００２７】
また、本発明の異常非発光欠陥検査方法では、前記検査単位領域形成工程では、前記撮像画素併合領域に併合された一の撮像画素と隣接する他の撮像画素を前記撮像画素併合領域に併合するか否かを判定する際、前記他の撮像画素の受光輝度が前記一の撮像画素の受光輝度以上である場合に限り、前記他の撮像画素は前記併合輝度条件を満たす撮像画素と判定されて前記撮像画素併合領域に併合され、前記撮像画素併合領域が拡張される、ことが好ましい。
【００２８】
特許文献１では、「｜一の撮像画素の受光輝度−他の撮像画素の受光輝度｜≦併合許容差」、を併合輝度条件として設定しているので、一の撮像画素の受光輝度と他の撮像画素の受光輝度との間の大小関係によらず、両撮像画素の受光輝度差（絶対値）が併合許容差以下であれば、他の撮像画素を撮像画素併合領域に併合している。
これに対して、本発明の異常非発光欠陥検査方法では、「一の撮像画素の受光輝度≦他の撮像画素の受光輝度」を併合輝度条件として設定しているので、一の撮像画素以上の受光輝度を有する他の撮像画素に限り、撮像画素併合領域に併合している。言い換えれば、一の撮像画素よりも受光輝度が小さい他の撮像画素は撮像画素併合領域に併合されず、ここで撮像画素併合領域の拡張が停止する。そのため、この併合輝度条件の下で形成される検査単位領域は、始点撮像画素を谷底とする略谷状の受光輝度分布を構成する一群の撮像画素によって形成される。したがって、受光輝度分布データ上に、各々略谷状の受光輝度分布を有する複数の異常非発光欠陥候補がある場合であっても、一つの検査単位領域には一つの異常非発光欠陥候補のみを含ませることができる。そのため、この検査単位領域を検査単位として検査を行えば、最小輝度の部分を谷底とする略谷状の輝度分布を有する異常非発光欠陥を的確に検出できる。
【００２９】
なお、前記の二つの併合輝度条件、すなわち、条件１「併合される撮像画素（他の撮像画素）の受光輝度−始点撮像画素の受光輝度≦併合許容差」、および、条件２「一の撮像画素の受光輝度≦他の撮像画素の受光輝度」を同時に課せば、条件１によって、始点撮像画素との受光輝度差が併合許容差よりも大きな撮像画素が検査単位領域に併合されることがなくなるから、必要以上に大きな検査単位領域が形成されるのを防止でき、さらに、条件２によって、各撮像画素の受光輝度が山脈状の受光輝度分布を構成している場合であっても、その中から一の略谷状の受光輝度分布を抽出でき、この一の略谷状受光輝度分布を構成する撮像画素のみを検査単位領域に併合できるから、略谷状の輝度分布を有する局所的な異常非発光欠陥をより的確に検出できる。
【００３０】
また、本発明の異常非発光欠陥検査方法では、既に形成されている他の検査単位領域のいずれにも含まれていない未併合撮像画素のうち受光輝度が最小のものを前記始点撮像画素とすること、および、この始点撮像画素を始点として行う前記撮像画素の併合の対象を前記未併合撮像画素に限定すること、を条件として前記検査単位領域形成工程を複数回繰り返すことによって、複数の検査単位領域を形成する、ことが好ましい。
【００３１】
この異常非発光欠陥検査方法では、検査単位領域形成工程が複数回繰り返される。これによって形成される複数の検査単位領域を検査単位として検査対象画像を検査すれば、異常非発光欠陥が複数存在する場合であっても、これらを看過することなく的確に検出できる。
なお、複数形成される検査単位領域については、その全てについて欠陥検査工程を行って異常非発光欠陥の有無を検査してもよいし、また、検査単位領域の形成された順に欠陥検査工程を行うことによって、一部の検査単位領域についてのみ異常非発光欠陥の有無を検査し、以降の検査単位領域についてはその検査を省略することもできる。
以下、後者の場合について説明する。各検査単位領域形成工程では、その時点での未併合撮像画素のうち受光輝度が最小のものを始点撮像画素として撮像画素の併合が行われるから、始点撮像画素の受光輝度は検査単位領域が繰り返されるにつれて段々大きくなっていく。そのため、ほとんどの場合において、領域輝度データの数値は、検査単位領域が繰り返されるにつれて段々大きくなっていくから、異常非発光欠陥領域と判定される可能性は、最初に形成された検査単位領域が最も高く、以降段々低くなっていく。したがって、検査単位領域の形成された順に欠陥検査工程を行って異常非発光欠陥領域であるか否かの検査を行えば、ある一の欠陥検査工程においてその検査単位領域が異常非発光欠陥領域でないと判定されれば、その時点で、以降の検査単位領域も異常非発光欠陥領域でないことがわかり、以降の欠陥検査工程を省略できる。
【００３２】
また、本発明の異常非発光欠陥検査方法では、前記各検査単位領域についての前記各欠陥検査工程では、前記領域輝度データが、この検査単位領域における前記始点撮像画素の受光輝度の値として規定され、前記基準輝度データが、前記複数の検査単位領域のうち最大面積を有する最大検査単位領域に含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値として規定される、ことが好ましい。
【００３３】
最大検査単位領域は検査対象画像において最大の面積を占める検査単位領域であり、これに含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値は検査対象画像における平均的な輝度であると言える。そのため、最大検査単位領域に含まれる全撮像画素の受光輝度の平均値を、検査対象画像における異常非発光欠陥の有無を判定するための基準輝度データとして採用するのは合理的である。
各検査単位領域についての欠陥検査工程では、この検査単位領域における始点撮像画素の受光輝度を領域輝度データとして、これを基準輝度データと比較し、両者の差が欠陥判定閾値以上である場合には、この検査単位領域を異常非発光欠陥領域であると判定する。
【００３４】
本発明の異常発光欠陥検査方法または異常非発光欠陥検査方法では、前記撮像工程では、前記検査対象画像を表示する前記画像表示装置の各画像画素を前記撮像手段によって撮像し、前記欠陥検査工程では、前記各検査単位領域が欠陥領域であるか否かを判定することによって、前記各画像画素に欠陥領域が存在するか否かを検査する、ことが好ましい。
【００３５】
この異常発光／非発光欠陥検査方法では、ＣＣＤカメラのように複数の撮像画素を有する撮像手段によって画像表示装置の画像画素を撮像し、受光輝度分布データを取得する。この異常発光／非発光欠陥検査方法によれば、受光輝度分布データを基に形成される各検査単位領域を検査することにより、各画像画素における微小な欠陥領域（異常発光／非発光欠陥領域）の有無を的確に検査できる。
【００３６】
以上、本発明の異常発光／非発光欠陥検査方法について説明したが、以下、本発明の異常発光／非発光欠陥検査方法を実施するための構成を備える画像検査装置（異常発光／非発光欠陥検査装置）について説明する。
【００３７】
本発明の異常発光欠陥検査装置は、複数の撮像画素を有し、画像表示装置によって表示される検査対象画像を撮像して前記各撮像画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データを取得する撮像手段と、前記複数の撮像画素のうち前記受光輝度分布データにおいて受光輝度が最大の始点撮像画素を抽出し、これを始点として所定の併合輝度条件を満たす周囲の撮像画素を順次併合し、併合された撮像画素によって形成される撮像画素併合領域を順次拡張することによって検査単位領域を形成する検査単位領域形成手段と、前記検査単位領域に含まれる各撮像画素での受光輝度に基づいて構成される領域輝度データを、所定の基準輝度データと比較し、両者の数値の差が所定の欠陥判定閾値以上であるとき、前記検査単位領域を欠陥領域であると判定する欠陥検査手段と、を備えることを特徴とする。
この異常発光欠陥検査装置は、撮像手段によって前記異常発光欠陥検査方法における撮像工程を行い、検査単位領域形成手段によって同方法における検査単位領域形成工程を行い、欠陥検査手段によって同方法における欠陥検査工程を行う。そのため、検査対象画像における異常発光欠陥の有無の検査を効率良く行うことができる。
【００３８】
また、本発明の異常非発光欠陥検査装置は、複数の撮像画素を有し、画像表示装置によって表示される検査対象画像を撮像して前記各撮像画素での受光輝度により構成される受光輝度分布データを取得する撮像手段と、前記複数の撮像画素のうち前記受光輝度分布データにおいて受光輝度が最小の始点撮像画素を抽出し、これを始点として所定の併合輝度条件を満たす周囲の撮像画素を順次併合し、併合された撮像画素によって形成される撮像画素併合領域を順次拡張することによって検査単位領域を形成する検査単位領域形成手段と、前記検査単位領域に含まれる各撮像画素での受光輝度に基づいて構成される領域輝度データを、所定の基準輝度データと比較し、両者の数値の差が所定の欠陥判定閾値以上であるとき、前記検査単位領域を欠陥領域であると判定する欠陥検査手段と、を備えることを特徴とする。
この異常非発光欠陥検査装置は、撮像手段によって前記異常非発光欠陥検査方法における撮像工程を行い、検査単位領域形成手段によって同方法における検査単位領域形成工程を行い、欠陥検査手段によって同方法における欠陥検査工程を行う。そのため、検査対象画像における異常非発光欠陥の有無の検査を効率良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
＜第１実施形態＞
図１に、第１実施形態にかかる画像検査装置（異常発光欠陥検査装置）としての輝点欠陥検査装置１と、画像表示装置としての液晶パネル２を示す。
輝点欠陥検査装置１は、液晶パネル２によって表示される検査対象画像を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ１１と、ＣＣＤカメラ１１から入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換して出力するＡＤ変換器１２と、ＡＤ変換器１２から入力されるデジタル信号に基づいて画像処理を行い、検査対象画像における輝点欠陥の有無を検査する検査単位領域形成手段および欠陥検査手段としての画像処理部１３を備えて構成される。
［撮像工程］
前記の通り、ＣＣＤカメラ１１は、液晶パネル２によって表示される検査対象画像を撮像する。ＣＣＤカメラ１１は、その受光面に整列配置される多数の微小なカメラ画素（撮像画素）１１１を有している。ＣＣＤカメラ１１によって検査対象画像を撮像する際には、検査対象画像からの光が各カメラ画素１１１で受光される。各カメラ画素１１１は、その受光輝度に応じたアナログ信号を出力する。ＡＤ変換器１２は、このアナログ信号を、０から２５５までの間のデジタル信号値を有するデジタル信号に変換して出力する。このようにして、各カメラ画素での受光輝度は、０から２５５までの間のデジタル信号値に変換されてＡＤ変換器１２から出力され、画像処理部１３に入力される。画像処理部１３は、例えば、検査用に設けられたパーソナルコンピュータ等で構成される。
【００４０】
図２に、画像処理部１３に入力される、各カメラ画素１１１での受光輝度に対応するデジタル信号値により構成される受光輝度分布データの一例を示す。
この受光輝度分布データを構成するデジタル信号値の各々が、一つのカメラ画素１１１における受光輝度に対応する。各カメラ画素１１１はマトリックス状に配置されている。図２において、行（横の並び）は０００〜０３８、列（縦の並び）は０００〜０１４、によって表され、各カメラ画素１１１の位置は、（行番号、列番号）による位置座標によって表される。
図２の受光輝度分布データにおいては、中心部の受光輝度が大きく、周辺部の受光輝度が小さくなっている。これは、検査対象画像を構成する液晶パネル２の各画像画素２１（図３参照）をＣＣＤカメラ１１によって撮像しているためで、受光輝度が大きい中心部は画像画素２１を表し、受光輝度が小さい周辺部は、各画像画素２１を分離するために構成されるブラックマトリックス２２（図３参照）を表す。
【００４１】
図３に示されるように、液晶パネル２には、一般に、ＲＧＢ各色の画像画素２１が周期的に整列配置され、各画像画素２１の間には、各画像画素２１のスイッチングを行うＴＦＴ（薄膜トランジスタ）などが配置されるブラックマトリックス２２が構成されている。図２の受光輝度分布データは、例えば図３において点線によって囲まれる部分ＩＩをＣＣＤカメラ１１によって撮像して得られるデータである。したがって、図２は、一つの画像画素２１を、この画像画素２１よりも微小なカメラ画素１１１によって分割した図と解釈できる。以下、この図２の受光輝度分布データを利用して、各画像画素２１における微小な輝点欠陥の有無を検査する方法について述べる。
【００４２】
［画像画素抽出工程］
画像画素２１における輝点欠陥の有無を検査するためには、図２の受光輝度分布データからブラックマトリックス２２に対応する部分を除去し、画像画素２１に対応する部分を抽出する必要がある。
前記の通り、図２の中心部における画像画素２１の受光輝度と、周辺部におけるブラックマトリックス２２の受光輝度との間には差がある。そのため、受光輝度についての適切な画像画素抽出閾値を設定すれば、これとの比較によって画像画素２１とブラックマトリックス２２とを互いに分離でき、画像画素２１のみを抽出できる。本実施形態では、液晶パネル２の特性に基づいて画像画素抽出閾値を８０〜８５程度（デジタル信号値換算）に設定しており、この画像画素抽出閾値未満の受光輝度を有するカメラ画素１１１はブラックマトリックス２２を構成するものとして除去され、この画像画素抽出閾値以上の受光輝度を有するカメラ画素１１１は画像画素２１を構成するものとして抽出される。
図４に、図２の受光輝度分布データを処理して得られるデータを示すが、この図においては「００１」で示される領域が、画像画素抽出閾値によってブラックマトリックス２２を構成すると判定されて除去された領域である。
また、画像画素抽出閾値によって画像画素２１を構成すると判定されて抽出された領域（図４では、「００１」に包囲された領域）の周縁部分については、さらに追加的な処理が行われ、この周縁部分において比較的小さい受光輝度（図２では、８８〜１４３）を有するカメラ画素１１１が以降の各工程の処理対象から除外される。このように処理対象から除外された領域は、図４において「０００」によって示される。
以上の工程を通じて、図４においては「０００」および「００１」によって表される領域が除去され、残りの領域が処理対象領域Ａとして抽出される。処理対象領域Ａは、図２および図４において、太線によって包囲された領域として示される。以下、処理対象領域Ａに属するカメラ画素１１１を対象として、各工程が行われる。
【００４３】
［検査単位領域形成工程］
図２を用いて検査単位領域形成工程について説明する。
検査単位領域形成工程では、所定の併合輝度条件に従って処理対象領域Ａに属するカメラ画素１１１同士を順次併合し、併合されたカメラ画素１１１によって形成されるカメラ画素併合領域を順次拡張することによって検査単位領域を形成する。
検査単位領域形成工程は、処理対象領域Ａに属する全てのカメラ画素１１１がいずれかの検査単位領域に併合されるまで複数回繰り返し行われ、これによって、複数の検査単位領域が処理対象領域Ａ内に隙間無く形成される。
各検査単位領域形成工程では、既に形成されている他の検査単位領域のいずれにも含まれていない未併合カメラ画素のうち受光輝度が最大のものを始点カメラ画素として抽出し、これを始点として未併合カメラ画素を併合対象とするカメラ画素の併合を行って、検査単位領域を形成する。
【００４４】
以下、図２の受光輝度分布データについての具体的な処理について説明する前に、各検査単位領域形成工程における併合輝度条件について説明する。
併合輝度条件とは、各検査単位領域形成工程において、カメラ画素併合領域に併合された一のカメラ画素と隣接する他のカメラ画素を、このカメラ画素併合領域に併合するか否かを判定するための条件であり、具体的には以下の２つの条件として設定されている。
・条件１「他のカメラ画素の受光輝度と始点カメラ画素の受光輝度との差が所定の併合許容差ε以下であること」
・条件２「他のカメラ画素の受光輝度が一のカメラ画素の受光輝度以下であること」
この条件１および条件２を満たす他のカメラ画素は、一のカメラ画素を含むカメラ画素併合領域に併合され、カメラ画素併合領域が拡張される。このようにカメラ画素併合領域が順次拡張されることによって、最終的に一つの検査単位領域が形成される。
なお、条件１における併合許容差εは、検査目的に合わせて予め適切な値に設定されているものとする。併合許容差εは、例えば、各検査単位領域形成工程における始点カメラ画素の受光輝度の１５パーセント程度として設定してもよいし、また、始点カメラ画素の受光輝度によらない一定のデジタル信号値（例えば、２０）として設定してもよい。
【００４５】
図５（Ａ）を用いて、条件１について説明する。
図５（Ａ）は、条件１に基づくカメラ画素の併合の様子を模式的に例示する図である。なお、説明の簡略化のため、図５（Ａ）においては、条件１以外の併合輝度条件を考えないものとする。
さて、図５（Ａ）では、各カメラ画素Ａ〜Ｌが横軸方向に沿って配列され、縦軸によって各カメラ画素Ａ〜Ｌでの受光輝度が表される。この図では、受光輝度最大のカメラ画素Ａが始点カメラ画素として抽出されており、これを始点としてカメラ画素同士の併合が行われる。図５（Ａ）では、右方向に向かうカメラ画素併合の様子が示されている。
【００４６】
まず、始点カメラ画素Ａに、これと隣接するカメラ画素Ｂを併合するか否かを、条件１によって判定する。このとき、「カメラ画素Ｂ（他のカメラ画素）の受光輝度とカメラ画素Ａ（始点カメラ画素）の受光輝度との差が併合許容差ε（図示）以下であること（Ａ−Ｂ≦ε）」との条件１をカメラ画素Ｂは満たす（∵Ａ−Ｂ＜ε）ので、カメラ画素Ｂはカメラ画素Ａに併合される。
続いて、カメラ画素Ａにカメラ画素Ｂが併合されて形成されたカメラ画素併合領域Ａ〜Ｂにカメラ画素Ｃを併合するか否かを条件１によって判定し、以下同様に、カメラ画素併合領域に隣接するカメラ画素の併合の可否を条件１によって順次判定し、条件１を満たさないカメラ画素が現れるまでカメラ画素を順次併合し、カメラ画素併合領域を順次拡張していく。
図５（Ａ）では、カメラ画素Ａ〜Ｆの受光輝度が、Ａ−Ｂ＜Ａ−Ｃ＝Ａ−Ｄ＜Ａ−Ｅ＜Ａ−Ｆ＝ε、の関係を満たすので、カメラ画素Ｂ〜Ｆは条件１（Ａ−（Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ）≦ε、であること）を満たし、一つのカメラ画素併合領域Ａ〜Ｆに併合される。
次に、カメラ画素Ａ〜Ｆが併合されて形成されたカメラ画素併合領域Ａ〜Ｆにカメラ画素Ｇを併合するか否かを条件１によって判定する。このとき、Ａ−Ｇ＞ε、であるから、カメラ画素Ｇは条件１（Ａ−Ｇ≦ε、であること）を満たさず、カメラ画素併合領域Ａ〜Ｆに併合されない。したがって、カメラ画素併合領域の拡張はカメラ画素Ｆで停止し、検査単位領域の右端（図５（Ａ）中）が確定する。
【００４７】
続いて、図６（Ａ）を用いて、条件２について説明する。
図６（Ａ）は、条件２に基づくカメラ画素の併合の様子を模式的に例示する図である。なお、説明の簡略化のため、図６（Ａ）においては、条件２以外の併合輝度条件を考えないものとする。
さて、図６（Ａ）では、各カメラ画素Ａ〜Ｇが横軸方向に沿って配列され、縦軸によって各カメラ画素Ａ〜Ｇでの受光輝度が表される。この図では、受光輝度最大のカメラ画素Ａが始点カメラ画素として抽出されており、これを始点としてカメラ画素同士の併合が行われる。図６（Ａ）では、右方向に向かうカメラ画素併合の様子が示されている。
【００４８】
まず、始点カメラ画素Ａに、これと隣接するカメラ画素Ｂを併合するか否かを、条件２によって判定する。このとき、「カメラ画素Ｂ（他のカメラ画素）の受光輝度がカメラ画素Ａ（一のカメラ画素）の受光輝度以下であること（Ａ≧Ｂ）」との条件２をカメラ画素Ｂは満たす（∵Ａ＞Ｂ）ので、カメラ画素Ｂはカメラ画素Ａに併合される。
続いて、カメラ画素Ａにカメラ画素Ｂが併合されて形成されたカメラ画素併合領域Ａ〜Ｂにカメラ画素Ｃを併合するか否かを条件２によって判定し、以下同様に、カメラ画素併合領域に隣接するカメラ画素の併合の可否を条件２によって順次判定し、条件２を満たさないカメラ画素が現れるまでカメラ画素を順次併合し、カメラ画素併合領域を順次拡張していく。
図６（Ａ）では、カメラ画素Ａ〜Ｆの受光輝度が、Ａ＞Ｂ＞Ｃ＞Ｄ＝Ｅ＞Ｆ、の関係を満たすので、カメラ画素Ｂ〜Ｆは条件２を満たし、一つのカメラ画素併合領域Ａ〜Ｆに併合される。
次に、カメラ画素Ａ〜Ｆが併合されて形成されたカメラ画素併合領域Ａ〜Ｆにカメラ画素Ｇを併合するか否かを条件２によって判定する。このとき、Ｆ＜Ｇ、であるから、カメラ画素Ｇは条件２（Ｆ≧Ｇ、であること）を満たさず、カメラ画素併合領域Ａ〜Ｆに併合されない。したがって、カメラ画素併合領域の拡張はカメラ画素Ｆで停止し、検査単位領域の右端（図６（Ａ）中）が確定する。
【００４９】
図７（Ａ）に、条件１および条件２を共に課した場合の、カメラ画素併合の様子を模式的に例示する。図７（Ａ）には、最大受光輝度の始点カメラ画素Ｓを始点として、左右方向に向かってカメラ画素が順次併合される様子が示されている。
【００５０】
右方向に向かってカメラ画素の併合を行う際（Ｓ→Ｒ１→Ｒ２→・・・）には、まず、始点カメラ画素Ｓに、これと隣接するカメラ画素Ｒ１を併合するか否かを、条件１および条件２によって判定する。このとき、「カメラ画素Ｒ１（他のカメラ画素）の受光輝度とカメラ画素Ｓ（始点カメラ画素）の受光輝度との差が併合許容差ε（図示）以下であること（Ｓ−Ｒ１≦ε）」との条件１、および、「カメラ画素Ｒ１（他のカメラ画素）の受光輝度がカメラ画素Ｓ（一のカメラ画素）の受光輝度以下であること（Ｓ≧Ｒ１）」との条件２をカメラ画素Ｒ１は満たす（∵Ｓ−Ｒ１＜ε、かつ、Ｓ＞Ｒ１）ので、カメラ画素Ｒ１はカメラ画素Ｓに併合される。
以降、カメラ画素併合領域Ｓ〜Ｒｉ（ｉ＝１、２・・・）に、これと隣接するカメラ画素Ｒｉ＋１を併合するか否かを、条件１および条件２によって順次判定し、条件１および条件２の少なくとも一方を満たさないカメラ画素が現れるまでカメラ画素を順次併合し、カメラ画素併合領域を順次拡張していく。
図７（Ａ）では、カメラ画素Ｒ１〜Ｒ５は条件１および条件２を満たして併合されるが、カメラ画素Ｒ６は条件１（Ｓ−Ｒ６≦ε、であること）を満たさないので（∵Ｓ−Ｒ６＞ε）、併合されない。したがって、カメラ画素併合領域の右方向への拡張はカメラ画素Ｒ５で停止し、検査単位領域の右端（図７（Ａ）中）が確定する。
【００５１】
同様に、左方向に向かってカメラ画素の併合を行う際（Ｓ→Ｌ１→Ｌ２→・・・）は、カメラ画素併合領域Ｓ〜Ｌｉ（ｉ＝０、１、２・・・：但し、Ｌ０＝Ｓ、とする）に、これと隣接するカメラ画素Ｌｉ＋１を併合するか否かを、条件１および条件２によって順次判定し、条件１および条件２の少なくとも一方を満たさないカメラ画素が現れるまでカメラ画素を順次併合し、カメラ画素併合領域を順次拡張していく。
図７（Ａ）では、カメラ画素Ｌ１〜Ｌ３は条件１および条件２を満たして併合されるが、カメラ画素Ｌ４は条件２（Ｌ４≦Ｌ３、であること）を満たさないので（∵Ｌ４＞Ｌ３）、併合されない。したがって、カメラ画素併合領域の左方向への拡張はカメラ画素Ｌ３で停止し、検査単位領域の左端（図７（Ａ）中）が確定する。
【００５２】
以下、図２に戻って、各検査単位領域形成工程における具体的な処理について概説する。各検査単位領域形成工程では、以上に説明した条件１および条件２に従って、カメラ画素同士が順次併合され、検査単位領域が形成される。
【００５３】
〔第１検査単位領域形成工程〕
処理対象領域Ａに属するカメラ画素１１１のうち受光輝度が最大のものを探索し、これを第１始点カメラ画素Ｓ１として抽出する。図２では、位置座標（０３２、００９）にある受光輝度最大（１９９）のカメラ画素が、第１始点カメラ画素Ｓ１として抽出される。
続いて、第１始点カメラ画素Ｓ１を始点として、併合輝度条件（条件１および条件２）に従ってカメラ画素１１１同士の併合を行う。まず、始点カメラ画素Ｓ１の周囲４近傍のカメラ画素Ｎ１〜４を、始点カメラ画素Ｓ1に併合できるか否かを条件１および条件２によって判定する。なお、Ｓ１に併合できるか否かを判定するカメラ画素は、Ｓ１の周囲４近傍のカメラ画素Ｎ１〜４ではなく、Ｓ１の周囲８近傍のカメラ画素であってもよい。
【００５４】
条件１による判定は、始点カメラ画素Ｓ１と各カメラ画素Ｎ１〜Ｎ４との各受光輝度差Δ１〜４（＝Ｓ１−（Ｎ１〜４））を計算し、これを併合許容差εと比較することによって行われる。本実施形態では、併合許容差εが、始点カメラ画素Ｓｉ（ｉ＝１、２・・・）の受光輝度の関数ε（Ｓｉ）として設定されている。計算・比較結果を列記すると、Δ１＝１９９−１６３＝３６＞ε（Ｓ１）、Δ２＝１９９−１８７＝１２＜ε（Ｓ１）、Δ３＝１９９−１７５＝２２＜ε（Ｓ１）、Δ４＝１９９−１６８＝３１＞ε（Ｓ１）、となり、カメラ画素Ｎ２およびＮ３が条件１を満たすことが分かる（∵Δ２、Δ３＜ε）。
条件２については、始点カメラ画素Ｓ１が最大受光輝度を有するため、Ｓ１≧Ｎ１〜４、であり、カメラ画素Ｎ１〜４は条件２を満たす。
したがって、条件１および条件２を共に満たすのは、カメラ画素Ｎ２、Ｎ３であり、これが始点カメラ画素Ｓ１に併合される。
【００５５】
続いて、新たに併合されたカメラ画素Ｎ２またはＮ３に、これの周囲４近傍内にあるカメラ画素を併合できるか否かを条件１および条件２によって判定する。
カメラ画素Ｎ２の周囲４近傍にあるカメラ画素のうち、処理対象領域Ａに含まれるのは、カメラ画素Ｎ２の上に位置するカメラ画素Ｎ２１だけである。そこで、カメラ画素Ｎ２１をカメラ画素Ｎ２に併合できるか否かが条件１および条件２によって判定される。ここで、カメラ画素Ｎ２１は、条件２を満たす（Ｎ２１≦Ｎ２）が、条件１は満たさない（Δ２１＝Ｓ１−Ｎ２１＝５１＞ε（Ｓ１））ので、カメラ画素Ｎ２に併合されない。
また、カメラ画素Ｎ３の周囲４近傍にあるカメラ画素のうち、処理対象領域Ａに含まれるのは、カメラ画素Ｎ３の左に位置するカメラ画素Ｎ３１だけである。そこで、カメラ画素Ｎ３１をカメラ画素Ｎ３に併合できるか否かが条件１および条件２によって判定される。ここで、カメラ画素Ｎ３１は、条件２を満たす（Ｎ３１≦Ｎ３）が、条件１は満たさない（Δ３１＝Ｓ１−Ｎ３１＝４４＞ε（Ｓ１））ので、カメラ画素Ｎ３に併合されない。
【００５６】
このように、各カメラ画素Ｎ２、Ｎ３の周囲４近傍には条件１および条件２を満たすカメラ画素が存在しないので、この時点でカメラ画素の併合は終了する。こうして、カメラ画素Ｓ１、Ｎ２、Ｎ３からなる１個目の検査単位領域Ａ１が形成される。検査単位領域Ａ１は、処理結果データとしての図４においては、「００２」によって示される領域である。
【００５７】
〔第２検査単位領域形成工程〕
続いて、検査単位領域Ａ１に含まれない未併合カメラ画素（∈処理対象領域Ａ）のうち、受光輝度が最大の第２始点カメラ画素Ｓ２を抽出する。図２においては、（０３２、００８）に存在する受光輝度１６８のカメラ画素（前記のカメラ画素Ｎ４と同一）が第２始点カメラ画素Ｓ２として抽出される。以降、Ｓ２を始点として、条件１および条件２に従ってカメラ画素の併合を行う。その結果、Ｓ２の下に位置するカメラ画素（前記のカメラ画素Ｎ３１と同一）のみが併合されて２個目の検査単位領域Ａ２が形成される。Ａ２は、図４においては、「００３」によって示される領域である。
【００５８】
〔第３、４・・・検査単位領域形成工程〕
以降、同様にして、処理対象領域Ａ内の全てのカメラ画素がいずれかの検査単位領域に併合されるまで、検査単位領域形成工程が複数回繰り返される。図４に示されるように、本実施形態では、各検査単位領域形成工程によって、「００２」〜「０２８」で表される２７個の検査単位領域が処理対象領域Ａ内に隙間無く形成される。
【００５９】
［輝点欠陥検査工程］
この輝点欠陥検査工程では、各検査単位領域形成工程によって形成された検査単位領域を検査単位として、液晶パネル２の画像画素２１における微小な輝点欠陥の有無を検査する。
まず、検査の基準となる基準輝度データを取得するために、図４において複数形成された検査単位領域のうち最大面積を有する最大検査単位領域を抽出する。検査単位領域の面積は、これに含まれるカメラ画素の総数によって決まるので、最大検査単位領域は、１９個のカメラ画素を含むＡ３（「００４」によって示される領域）およびＡ７（「００８」によって示される領域）である。基準輝度データは、最大検査単位領域に含まれる全カメラ画素の受光輝度の平均値として規定される。したがって、最大検査単位領域Ａ３から１つ、Ａ７から１つ、計２つの基準輝度データが得られることになる。この２つの基準輝度データを両方とも使用して輝点欠陥の有無の検査を行うことはもちろん可能であるが、以下、説明の簡略化のため、いずれか一方の基準輝度データのみを輝点欠陥の有無の検査に使用することにする。なお、最大検査単位領域は処理対象領域Ａにおいて最大の面積を占める検査単位領域であり、これに含まれる全カメラ画素の受光輝度の平均値は処理対象領域Ａ（≒画像画素２１）における平均的な受光輝度であると言えるので、これを検査の基準として採用するのは合理的である。
【００６０】
さて、以上のようにして得られた基準輝度データＤｓを基に、各検査単位領域Ａｉ（ｉ＝１、２・・・）における輝点欠陥の有無を検査する。輝点欠陥の有無は、各検査単位領域Ａｉに属する始点カメラ画素Ｓｉの受光輝度を領域輝度データＤｉとして、この領域輝度データＤｉと基準輝度データＤｓとの差Ｄｉ−Ｄｓを所定の欠陥判定閾値Ｔと比較することによって行う。すなわち、Ｄｉ−Ｄｓ≧Ｔ、のときは、検査単位領域Ａｉは輝点欠陥を含む領域（輝点欠陥領域）であると判定され、また、Ｄｉ−Ｄｓ＜Ｔのときは、検査単位領域Ａｉは輝点欠陥を含まない領域であると判定される。なお、欠陥判定閾値Ｔは、検査目的に合わせてその都度適当な値に設定すればよい。Ｔは、例えば、基準輝度データＤｓの数値の１５パーセント程度として設定してもよいし、また、基準輝度データＤｓの数値によらない一定のデジタル信号値として設定してもよい。
【００６１】
各検査単位領域Ａｉにおける輝点欠陥の有無の検査は、検査単位領域の形成された順に、つまり、Ａ１→Ａ２→・・・の順に行われる。
ｋ個目の検査単位領域Ａｋ（ｋ＝１、２・・・）についての検査において、Ｄｋ−Ｄｓ＜Ｔ、となってＡｋが輝点欠陥領域でないことがわかれば、以降の検査単位領域Ａｋ＋１・・・についての検査を省略できる。
なぜなら、各検査単位領域Ａｉの領域輝度データＤｉを始点カメラ画素Ｓｉの受光輝度としているため、ｊ＞ｋ（ｊ＝ｋ＋１、ｋ＋２・・・）に対してＤｊ≦Ｄｋ（∵Ｓｊ≦Ｓｋ）となり、Ｄｋ−Ｄｓ＜Ｔ、であれば、Ｄｊ−Ｄｓ＜Ｔ、が必ず成立し、検査単位領域Ａｊ（Ａｋ＋１・・・）が輝点欠陥領域でないことが自動的にわかるからである。
【００６２】
本実施形態では、図４において「００２」によって表される第１検査単位領域Ａ１については、Ｄ１（＝Ｓ１＝１９９：図２参照）−Ｄｓ＞Ｔ、となり、Ａ１が輝点欠陥領域であると判定される。続いて、図４において「００３」によって表される第２検査単位領域については、Ｄ２（＝Ｓ２＝１６８：図２参照）−Ｄｓ＜Ｔ、となり、Ａ２が輝点欠陥領域でないと判定される。これによって、以降の検査単位領域Ａ３・・・も輝点欠陥領域ではないことがわかるので、Ａ３・・・についての検査は省略される。以上のように、図２の例においては、複数の検査単位領域のうち検査単位領域Ａ１のみが輝点欠陥領域であり、処理対象領域Ａ、すなわち、図３における画像画素２１には１個の輝点欠陥が存在することがわかる。
【００６３】
＜第１実施形態の効果＞
本実施形態では、各検査単位領域における輝点欠陥の有無の検査を、Ａ１→Ａ２→・・・の順に行うことによって、輝点欠陥の含まれていない検査単位領域（図２の例においては、Ａ３・・・）についての無駄な検査を省略できるから、検査効率を向上できる。
【００６４】
また、本実施形態では、図５（Ａ）、図６（Ａ）、図７（Ａ）によく示されるように、各検査単位領域形成工程において、受光輝度分布データ上で受光輝度が最大の始点カメラ画素を抽出し、これを始点としてカメラ画素同士の併合を行っている。これによって、最大輝度の部分を頂点とする略山状の輝度分布を有する輝点欠陥の有無の検査に好適な検査単位領域を形成できるから、画像画素２１（≒処理対象領域Ａ：図４参照）における輝点欠陥の有無の検査精度を向上させることができる。
【００６５】
また、本実施形態では、各検査単位領域形成工程において、条件１「始点カメラ画素の受光輝度−併合されるカメラ画素の受光輝度≦併合許容差ε（図５（Ａ）参照）」を併合輝度条件として設定しているので、検査単位領域を、始点カメラ画素との受光輝度差が併合許容差ε以下のカメラ画素（図５（Ａ）では、カメラ画素Ａ〜Ｆ）のみによって形成でき、検査単位領域が必要以上に大きくなるのを防止できる。したがって、局所的な輝点欠陥を的確に検出できる。
【００６６】
また、本実施形態では、各検査単位領域形成工程において、条件２「一のカメラ画素の受光輝度≧他のカメラ画素の受光輝度（図６（Ａ）参照）」が併合輝度条件として設定されているので、検査単位領域は、始点カメラ画素を頂点とする略山状の受光輝度分布を構成する一群のカメラ画素（図６（Ａ）では、カメラ画素Ａ〜Ｆ）によって形成される。輝点欠陥検査工程では、この検査単位領域を検査単位として検査を行っているので、最大輝度の部分を頂点とする略山状の輝度分布を有する輝点欠陥を的確に検出できる。
【００６７】
なお、本実施形態では、画像画素２１における輝点欠陥をより的確に検出するため、前記の条件１および条件２を同時に課している。図７（Ａ）に示されるように、各検査単位領域形成工程では、条件１によって、始点カメラ画素Ｓとの受光輝度差が併合許容差εよりも大きなカメラ画素Ｒ６、Ｒ７・・・が検査単位領域に併合されることがなくなるから、必要以上に大きな検査単位領域が形成されるのを防止できる。また、図７（Ａ）では、カメラ画素Ｓを頂点とする一方の山状受光輝度分布と、カメラ画素Ｌ５を頂点とする他方の山状受光輝度分布とによって山脈状の受光輝度分布が構成されているが、条件２によって、その中から一方の山状受光輝度分布のみを抽出でき、この一方の山状受光輝度分布を構成するカメラ画素Ｌ３〜Ｒ５のみを検査単位領域に併合できる。したがって、条件１および条件２により、略山状の輝度分布を有する局所的な輝点欠陥をより的確に検出できる。
【００６８】
＜第２実施形態＞
続いて、本発明の第２実施形態について説明する。
本発明の第１実施形態にかかる画像検査装置が、最大輝度の部分を頂点とする略山状の輝度分布を有する輝点欠陥を検査する輝点欠陥検査装置であったのに対し、本発明の第２実施形態にかかる画像検査装置は、最小輝度の部分を谷底とする略谷状の輝度分布を有する黒点欠陥（異常非発光欠陥）を検査する黒点欠陥検査装置である。本実施形態の黒点欠陥検査装置は、第１実施形態の輝点欠陥検査装置と基本的構成は同じである。以下、輝点欠陥検査装置と異なる部分について黒点欠陥検査装置の説明をする。
【００６９】
画像画素抽出工程では、前記第１実施形態と同様にして画像画素２１が抽出される。すなわち、受光輝度分布データ（図２参照）からブラックマトリックス２２に対応する部分を除去し、画像画素２１に対応する部分を抽出するために、受光輝度についての画像画素抽出閾値によって画像画素２１とブラックマトリックス２２とを互いに分離している。さて、画像画素２１に黒点欠陥が存在している場合でも、受光輝度分布データにおいて、黒点欠陥に対応する部分の受光輝度のほうが、ブラックマトリックス２２に対応する部分の受光輝度よりも大きいことが一般に知られている。そこで、画像画素抽出閾値を、ブラックマトリックス２２に対応する部分の受光輝度よりも大きく、黒点欠陥に対応する部分の受光輝度よりも小さく設定すれば、ブラックマトリックス２２を検査単位領域形成工程における処理対象から外すことができるとともに、黒点欠陥を処理対象領域Ａ（図２、４参照）に含めることができるので、以降の各工程を通じて黒点欠陥を適切に検出できる。
【００７０】
なお、ブラックマトリックス２２に対応する部分の受光輝度と、画像画素２１内の黒点欠陥に対応する部分の受光輝度との間に前記のような差がないような場合には、画像画素抽出閾値によって、ブラックマトリックス２２とともに黒点欠陥も処理対象から外されてしまうことになり、このままでは以降の各工程を通じて黒点欠陥を検出できない。このような場合は、画像画素抽出工程の処理を以下のように変更すればよい。すなわち、画像画素抽出閾値によって除去された部分（ブラックマトリックス２２と画像画素２１内の黒点欠陥）のうち、画像画素抽出閾値によって抽出された部分（画像画素２１から黒点欠陥を除いた部分）に包囲されている部分（黒点欠陥）も、以降の工程の処理対象として抽出することにする。このようにすれば、黒点欠陥を含む画像画素２１全体を、以降の工程の処理対象として抽出できるから、黒点欠陥の検出を適切に行うことができる
【００７１】
各検査単位領域形成工程では、既に形成されている他の検査単位領域のいずれにも含まれていない未併合カメラ画素のうち受光輝度が最小のものを始点カメラ画素として抽出し、これを始点として未併合カメラ画素を併合対象とするカメラ画素の併合を所定の併合輝度条件に従って行い、検査単位領域を形成する。
各検査単位領域形成工程において、カメラ画素併合領域に併合された一のカメラ画素と隣接する他のカメラ画素を、このカメラ画素併合領域に併合するか否かを判定するための併合輝度条件は、具体的には以下の２つの条件として設定されている。
・条件１「他のカメラ画素の受光輝度と始点カメラ画素の受光輝度との差が所定の併合許容差ε以下であること」
・条件２「他のカメラ画素の受光輝度が一のカメラ画素の受光輝度以上であること」
【００７２】
図５（Ｂ）は、条件１に基づくカメラ画素の併合の様子を模式的に例示する図である。
図５（Ｂ）では、カメラ画素Ａ〜Ｆの受光輝度が、Ｂ−Ａ＜Ｃ−Ａ＝Ｄ−Ａ＜Ｅ−Ａ＜Ｆ−Ａ＝ε、の関係を満たすので、カメラ画素Ｂ〜Ｆは条件１（（Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ）−Ａ≦ε、であること）を満たし、一つのカメラ画素併合領域に併合される。
また、カメラ画素Ｇは条件１（Ｇ−Ａ≦ε、であること）を満たさず（∵Ｇ−Ａ＞ε）、カメラ画素併合領域Ａ〜Ｆに併合されない。したがって、カメラ画素併合領域の拡張はカメラ画素Ｆで停止し、検査単位領域の右端（図５（Ｂ）中）が確定する。
【００７３】
図６（Ｂ）は、条件２に基づくカメラ画素の併合の様子を模式的に例示する図である。
図６（Ｂ）では、カメラ画素Ａ〜Ｆの受光輝度が、Ａ＜Ｂ＜Ｃ＜Ｄ＝Ｅ＜Ｆ、の関係を満たすので、カメラ画素Ｂ〜Ｆは条件２を満たし、一つのカメラ画素併合領域に併合される。
また、カメラ画素Ｇは条件２（Ｆ≦Ｇ、であること）を満たさず（∵Ｆ＞Ｇ）、カメラ画素併合領域Ａ〜Ｆに併合されない。したがって、カメラ画素併合領域の拡張はカメラ画素Ｆで停止し、検査単位領域の右端（図６（Ｂ）中）が確定する。
【００７４】
図７（Ｂ）は、条件１および条件２を共に課した場合の、カメラ画素併合の様子を模式的に例示する図である。図７（Ｂ）には、最小受光輝度の始点カメラ画素Ｓを始点として、左右方向に向かってカメラ画素が順次併合される様子が示されている。
右方向に向かってカメラ画素の併合を行う際、カメラ画素Ｒ１〜Ｒ５は条件１および条件２を満たして併合されるが、カメラ画素Ｒ６は条件１（Ｒ６−Ｓ≦ε、であること）を満たさないので（∵Ｒ６−Ｓ＞ε）併合されない。したがって、カメラ画素併合領域の右方向への拡張はカメラ画素Ｒ５で停止し、検査単位領域の右端（図７（Ｂ）中）が確定する。
同様に、左方向に向かってカメラ画素の併合を行う際、カメラ画素Ｌ１〜Ｌ３は条件１および条件２を満たして併合されるが、カメラ画素Ｌ４は条件２（Ｌ４≧Ｌ３、であること）を満たさないので（∵Ｌ４＜Ｌ３）併合されない。したがって、カメラ画素併合領域の左方向への拡張はカメラ画素Ｌ３で停止し、検査単位領域の左端（図７（Ｂ）中）が確定する。
【００７５】
［黒点欠陥検査工程］
黒点欠陥検査工程では、各検査単位領域形成工程によって形成された検査単位領域を検査単位として、液晶パネル２の画像画素２１における微小な黒点欠陥の有無を検査する。
まず、検査の基準となる基準輝度データを取得するために、複数形成された検査単位領域のうち最大面積を有する最大検査単位領域を抽出する。基準輝度データＤｓは、最大検査単位領域に含まれる全カメラ画素の受光輝度の平均値として規定される。
基準輝度データＤｓを基に、各検査単位領域Ａｉ（ｉ＝１、２・・・）における黒点欠陥の有無を検査する。黒点欠陥の有無は、各検査単位領域Ａｉに属する始点カメラ画素Ｓｉの受光輝度を領域輝度データＤｉとして、この領域輝度データＤｉと基準輝度データＤｓとの差Ｄｓ−Ｄｉを所定の欠陥判定閾値Ｔと比較することによって行う。すなわち、Ｄｓ−Ｄｉ≧Ｔ、のときは、検査単位領域Ａｉは黒点欠陥を含む領域（黒点欠陥領域）であると判定され、また、Ｄｓ−Ｄｉ＜Ｔのときは、検査単位領域Ａｉは黒点欠陥を含まない領域であると判定される。
【００７６】
各検査単位領域Ａｉにおける黒点欠陥の有無の検査は、検査単位領域の形成された順に、つまり、Ａ１→Ａ２→・・・の順に行われる。
ｋ個目の検査単位領域Ａｋ（ｋ＝１、２・・・）についての検査において、Ｄｓ−Ｄｋ＜Ｔ、となってＡｋが黒点欠陥領域でないことがわかれば、以降の検査単位領域Ａｋ＋１・・・についての検査を省略できる。
なぜなら、各検査単位領域Ａｉの領域輝度データＤｉを始点カメラ画素Ｓｉの受光輝度としているため、ｊ＞ｋ（ｊ＝ｋ＋１、ｋ＋２・・・）に対してＤｊ≧Ｄｋ（∵Ｓｊ≧Ｓｋ）となり、Ｄｓ−Ｄｋ＜Ｔ、であれば、Ｄｓ−Ｄｊ＜Ｔ、が必ず成立し、検査単位領域Ａｊ（Ａｋ＋１・・・）が黒点欠陥領域でないことが自動的にわかるからである。
【００７７】
＜第２実施形態の効果＞
本実施形態では、各検査単位領域における黒点欠陥の有無の検査を、Ａ１→Ａ２→・・・の順に行うことによって、黒点欠陥の含まれていない検査単位領域についての無駄な検査を省略できるから、検査効率を向上できる。
【００７８】
また、本実施形態では、図５（Ｂ）、図６（Ｂ）、図７（Ｂ）によく示されるように、各検査単位領域形成工程において、受光輝度分布データ上で受光輝度が最小の始点カメラ画素を抽出し、これを始点としてカメラ画素同士の併合を行っている。これによって、最小輝度の部分を谷底とする略谷状の輝度分布を有する黒点欠陥の有無の検査に好適な検査単位領域を形成できるから、画像画素２１（≒処理対象領域Ａ：図４参照）における黒点欠陥の有無の検査精度を向上させることができる。
【００７９】
また、本実施形態では、各検査単位領域形成工程において、条件１「併合されるカメラ画素の受光輝度−始点カメラ画素の受光輝度≦併合許容差ε（図５（Ｂ）参照）」を併合輝度条件として設定しているので、検査単位領域を、始点カメラ画素との受光輝度差が併合許容差ε以下のカメラ画素（図５（Ｂ）では、カメラ画素Ａ〜Ｆ）のみによって形成でき、検査単位領域が必要以上に大きくなるのを防止できる。したがって、局所的な黒点欠陥を的確に検出できる。
【００８０】
また、本実施形態では、各検査単位領域形成工程において、条件２「一のカメラ画素の受光輝度≦他のカメラ画素の受光輝度（図６（Ｂ）参照）」が併合輝度条件として設定されているので、検査単位領域は、始点カメラ画素を谷底とする略谷状の受光輝度分布を構成する一群のカメラ画素（図６（Ｂ）では、カメラ画素Ａ〜Ｆ）によって形成される。黒点欠陥検査工程では、この検査単位領域を検査単位として検査を行っているので、最小輝度の部分を谷底とする略谷状の輝度分布を有する黒点欠陥を的確に検出できる。
【００８１】
なお、本実施形態では、画像画素２１における黒点欠陥をより的確に検出するため、前記の条件１および条件２を同時に課している。図７（Ｂ）に示されるように、各検査単位領域形成工程では、条件１によって、始点カメラ画素Ｓとの受光輝度差が併合許容差εよりも大きなカメラ画素Ｒ６、Ｒ７・・・が検査単位領域に併合されることがなくなるから、必要以上に大きな検査単位領域が形成されるのを防止できる。また、図７（Ｂ）では、カメラ画素Ｓを谷底とする一方の谷状受光輝度分布と、カメラ画素Ｌ５を谷底とする他方の谷状受光輝度分布とによって山脈状の受光輝度分布が構成されているが、条件２によって、その中から一方の谷状受光輝度分布のみを抽出でき、この一方の谷状受光輝度分布を構成するカメラ画素Ｌ３〜Ｒ５のみを検査単位領域に併合できる。したがって、条件１および条件２により、略谷状の輝度分布を有する局所的な黒点欠陥をより的確に検出できる。
【００８２】
なお、本発明は前記の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、液晶パネル２の各画像画素２１における輝点／黒点欠陥の有無の検査について述べたが、本発明の異常発光／非発光欠陥検査方法によれば、プラズマディスプレイなどの各種の画像表示装置によって表示される画像における異常発光／非発光欠陥の有無も検査できる。
【００８３】
また、前記各実施形態では、各検査単位領域の領域輝度データを始点カメラ画素の受光輝度として設定していたが、本発明では、各検査単位領域の領域輝度データを、この検査単位領域に含まれる全カメラ画素の受光輝度の平均値、最大値、最小値などとして設定してもよい。また、一つの検査単位領域について複数の領域輝度データを設定して、これらに基づいて、この検査単位領域における輝点／黒点欠陥の有無を検査すれば、検査精度を高めることができる。
また、前記各実施形態では、基準輝度データを最大検査単位領域に含まれる全カメラ画素の受光輝度の平均値として設定していたが、本発明では、基準輝度データを最大検査単位領域に含まれる全カメラ画素の受光輝度の最大値、最小値などとして設定してもよい。また、基準輝度データを、受光輝度分布データ（図２参照）に含まれる全カメラ画素の受光輝度の平均値、最大値、最小値として設定してもよいし、受光輝度分布データのうち画像画素２１に対応する部分（≒処理対象領域Ａ）に含まれる全カメラ画素の受光輝度の平均値、最大値、最小値として設定してもよい。また、受光輝度分布データに含まれるカメラ画素の受光輝度によらない、各画像画素あるいは各画像表示装置に固有の一定の値として基準輝度データを設定してもよい。また、基準輝度データを複数設定し、これらに基づいて各検査単位領域における輝点／黒点欠陥の有無を検査すれば、検査精度を高めることができる。
【００８４】
また、前記各実施形態では、各検査単位領域形成工程を通じて形成された検査単位領域（図４参照）を検査単位として輝点／黒点欠陥の有無の検査を行っていたが、本発明では、各検査単位領域形成工程を通じて形成された複数の検査単位領域について、所定の併合領域輝度条件を満たす検査単位領域同士を順次併合して併合領域を形成する検査単位領域併合工程を行い、形成された併合領域を検査単位として輝点／黒点欠陥の有無を検査してもよい。なお、併合領域輝度条件は、各検査単位領域の領域輝度データの数値に関する条件として、前記各実施形態におけるカメラ画素についての併合輝度条件に準じて設定される。
【００８５】
また、前記各実施形態では、併合輝度条件として条件１および条件２を設定していたが、本発明では、撮像画素併合領域に併合された一の撮像画素と隣接する他の撮像画素を、この撮像画素併合領域に併合するか否かを判定するための併合輝度条件として、「一の撮像画素と他の撮像画素との受光輝度の差（絶対値）が所定の併合許容差以下であること」、などの条件を前記条件１および２の代わりに、あるいは、条件１および条件２に追加して設定してもよい。要するに、本発明では、検査単位領域形成工程において最大／最小受光輝度の始点撮像画素を始点として撮像画素の併合を行えばよく、その際の併合輝度条件は検査目的に合わせて適宜設定すればよい。
【００８６】
また、前記各実施形態においては、複数回の検査単位領域形成工程を連続して行い、検査単位領域を処理対象領域Ａ内に隙間無く形成（図４参照）した上で、各検査単位領域における輝点／黒点欠陥の有無の検査を行うことにしていたが、本発明では、一つの検査単位領域を形成すると、その都度、その検査単位領域における輝点／黒点欠陥の有無を検査することにしてもよい。この検査によって、ある検査単位領域に輝点／黒点欠陥が存在しないことがわかれば、前にも述べたとおり、以降の検査単位領域にも輝点／黒点欠陥が存在しないことが自動的にわかる。そのため、以降の検査単位領域は形成する必要がなく、これらの検査単位領域形成工程を省略できる。したがって、検査コストを低減でき、検査時間を短縮できるから、検査効率を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
本発明は、液晶パネル、液晶プロジェクタ、プラズマディスプレイなどの各種の画像表示装置によって表示される画像の検査、特に、画像表示装置の画像画素における輝点（異常発光）／黒点（異常非発光）欠陥の有無の検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の実施形態にかかる輝点欠陥検査装置、および、液晶パネルを示すブロック図。
【図２】輝点欠陥検査装置の画像処理部に入力される受光輝度分布データを示す図。
【図３】液晶パネル上に整列配置される画像画素とブラックマトリックスとを示す図。
【図４】受光輝度分布データを基に検査単位領域形成工程を行って得られるデータを示す図。
【図５】条件１に基づくカメラ画素の併合の様子を模式的に例示する図。
【図６】条件２に基づくカメラ画素の併合の様子を模式的に例示する図。
【図７】条件１および条件２を共に課した場合の、カメラ画素併合の様子を模式的に例示する図。
【符号の説明】
【００８９】
１…輝点欠陥検査装置、２…液晶パネル、１１…ＣＣＤカメラ、１２…ＡＤ変換器、１３…画像処理部、２１…画像画素、２２…ブラックマトリックス、１１１…カメラ画素。
【図１】
2006106351.tif 000003
【図２】
2006106351.tif 000004
【図３】
2006106351.tif 000005
【図４】
2006106351.tif 000006
【図５】
2006106351.tif 000007
【図６】
2006106351.tif 000008
【図７】
2006106351.tif 000009