(57)【要約】【課題】ウェハーを輸送する際に、信頼性の高い梱包体を提供すると共に、輸送費用の低コスト化を図ることを目的とする。【解決手段】ウェハー１の上面の全面には保護シート５を貼り付け、一方、ウェハー１の下面の全面にはダイシングテープ６を貼り付けた後、該複数のウェハー１間にウェハー１のサイズに合わせた寸法の第１の緩衝材７を挟み込んでウェハー１を重ね合わせ、最後に両端に第２の緩衝材８を配置し、全体をビニール袋９に包んで、ゴム、或いはテープ１０にて固定する。この発明によれば、ウェハー１の両面に、保護シート５とダイシングテープ６とを貼り付けて全面を覆っているので、ウェハー１の間に挟み込む第１の緩衝材７は、枠状に加工する必要がなく第１の緩衝材７の加工コストが大幅に削減できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウェハーを重ね合わせて梱包した梱包体であって、
ウェハーの上面の全面に光学面を保護する保護シートを貼り付けると共に、ウェハーの下面の全面にはダイシングテープを貼り付け、
該複数のウェハーを第１の緩衝材を間に挟んで重ね合わせた後、両端を第２の緩衝材にて保護したことを特徴とするウェハー用梱包体。
【請求項２】
複数のウェハーを重ね合わせて梱包した梱包体であって、
ウェハーの上面の全面に光学面を保護する保護シートを貼り付けると共に、ウェハーの下面の全面にはダイシングテープを貼り付けた上に、更に、前記保護シートを貼り付け、
該複数のウェハーを第１の緩衝材を間に挟んで重ね合わせた後、両端を第２の緩衝材にて保護したことを特徴とするウェハー用梱包体。
【請求項３】
前記第１の緩衝材は、ポリエチレンを発泡させた軟質のシート状であることを特徴とする請求項１又は２記載のウェハー用梱包体。
【請求項４】
前記第２の緩衝材は、ポリプロピレンの材質で所定の厚さを有したシート状であることを特徴とする請求項１又は２に記載のウェハー用梱包体。
【請求項５】
前記第１の緩衝材は、エンジニアリング・プラスチック・ダンボールであることを特徴とする請求項１又は２記載のウェハー用梱包体。
【請求項６】
前記第２の緩衝材は、エンジニアリング・プラスチック・ダンボールであることを特徴とする請求項１又は２に記載のウェハー用梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウェハー用梱包体に関し、特に中間製品であるウェハー状の光学部品を他工場に運送する際等に要求される簡易で信頼性の高いウェハー用梱包体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラや光ディスク記録再生装置等は、普及と共に低価格化の一途を辿り、それらに用いられる光学部品も低価格化が要求されているため、光学部品メーカーは、光学部品の製造コストの削減に日々努力している。
周知の通り、光学部品は、半導体部品を製造する際と同様にマザー基板（以降、ウェハーと称す）の状態で光学薄膜等のコーティングが一括処理され、その後、ダイシングを行って個片の光学部品に分割される。次に、洗浄の工程を経て１個ずつ目視検査して良品と不良品とに選別し、良品のみを梱包ケース等に収めて客先へ光学部品として納入している。
【０００３】
一方、上述したように、光学部品の光学特性を決定する光学薄膜のコーティングは、ウェハーにて一括処理することによってコストを安く抑えることが出来るが、ダイシングにより個片にされた光学部品単体での洗浄、検査、梱包において、特に目視検査は、人の手によらざるを得ないのが現状であり、光学部品のコストの低減化には限界がある。
そこで、光学部品メーカーでは、目視検査のような人海戦術が必要な工程を、人的コストの比較的安い国外へ移管し、人的コストを低く抑えることで全体的なコストの削減を行っている。このため、光学部品の製造工程の後工程で、コーティングしたウェハーを他の工場に運送する必要が生じるが、この輸送コストを低く抑えることも光学部品の低コスト化を図る上で重要である。
【０００４】
従来、ウェハーを梱包する手段として、枠状の口形緩衝材をウェハー間に配置し、ウェハーを幾重にも重ねてそれをパックする方法がある。
図３は、従来のウェハーの梱包手段の例である。図３に示す如く、ウェハー１を緩衝材２の間に挟み込み、これを幾重にも重ね、周囲を保護板で保護してゴム、或いはテープ等で固定する。この梱包手段は、緩衝材２を枠状とすることでウェハー１の光学面の有効面を開放し、ウェハー１の有効面の汚染などを防いでいるが、緩衝材２を枠状に打抜いた時に発生する切りカスがウェハー１と緩衝材２との間に挟まり、輸送時の振動による擦れによってウェハー１の有効面が損傷する欠点があった。
【０００５】
そこで、この欠点を防ぐ方法として、特開平１０−２３０９７５号公報に新たな梱包手段が開示されている。
図４は、特開平１０−２３０９７５号公報により開示された梱包手段に用いる緩衝材の外観図である。特開平１０−２３０９７５号公報により開示された梱包手段においては、図４に示したように、緩衝材3は、断面がＬ字形を呈し、Ｌ字に沿って内側にウェハー挿入溝４を複数設けたており、該四つの緩衝材３のウェハー挿入溝４に複数のウェハーの四角を挿入して立方体とし、ゴム、或いはテープ等を用いて固定する。この梱包手段によれば、ウェハーの角部を緩衝材３のウェハー挿入溝４に挿着させることにより、ウェハー間のギャップを確保してウェハーの有効面の保護を図り、ゴミ等の擦れによるウェハーの有効面の損傷を防いでいる。
【特許文献１】特開平１０−２３０９７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のＬ字形を呈する緩衝材は、様々な形状のウェハーに対応させる際に、ウェハーのサイズに合わせて種々の寸法の緩衝材を製作する必要があり、緩衝材を製作するための金型のコストの費用負担が大きなものとなる。従って、ウェハーの輸送コストも大きなものとなり、光学部品の低コスト化に障害となる。
本発明は、上述したような問題を解決するためになされたものであって、ウェハーを輸送する際に、信頼性の高い梱包体を提供すると共に、輸送費用の低コスト化を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明に係わるウェハー用梱包体は、以下の構成をとる。
請求項１に記載のウェハー梱包体は、複数のウェハーを重ね合わせて梱包した梱包体であって、ウェハーの上面の全面に光学面を保護する保護シートを貼り付けると共に、ウェハーの下面の全面にはダイシングテープを貼り付け、該複数のウェハーを緩衝材を間に挟んで重ね合わせた後、両端をダンプレートにて保護するよう構成する。
【０００８】
請求項２に記載のウェハー梱包体は、複数のウェハーを重ね合わせて梱包した梱包体であって、ウェハーの上面の全面に光学面を保護する保護シートを貼り付けると共に、ウェハーの下面の全面にはダイシングテープを貼り付けた上に、更に、前記保護シートを貼り付け、該複数のウェハーを緩衝材を間に挟んで重ね合わせた後、両端をダンプレートにて保護するよう構成する。
【０００９】
請求項３に記載のウェハー梱包体は、前記緩衝材が、ポリエチレンを発泡させた軟質のシート状であるよう構成する。
【００１０】
請求項４に記載のウェハー梱包体は、前記ダンプレートが、ポリプロピレンの材質で所定の厚さを有したシート状であるよう構成する。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１、３、及び４に記載の発明は、ウェハーの表面の全面を保護シートやダイシングテープで覆った上で、複数のウェハーを緩衝材を挟んで重ねた梱包体であり、ウェハーの表面に直接緩衝材が接触することがないので、運送中の振動や衝撃等による損傷や破損が生じる恐れがないと共に、ウェハーの下面にはダイシングテープを貼り付けているので、ウェハー輸送後の後工程において直ちにダイシングを行うことが出来、光学部品を製造する工程が簡易化される。又、緩衝材は、シート状のものをウェハーのサイズに合わせて切断すれば良く、緩衝材を製作するための金型も不要であり、ウェハーの輸送コストを低減する上で大きな効果を発揮する。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明の特徴の他、ダイシングテープの表面に保護シートを貼り付けたものであり、ダイシングテープの表面の汚染を防止して、ダイシングを行う際に安定した切断が可能となり、ウェハーの輸送後に行うダイシングの信頼性を向上させる上で大きな効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図示した実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。
本発明においては、ウェハーを輸送する際に、ウェハーの上面の全面に光学面を保護する保護シートを、ウェハーの下面の全面にダイシングテープを貼り付け、緩衝材を挟んで複数のウェハーを重ね合わせて梱包することとした。ウェハーの輸送後の後工程は、ウェハーのダイシングにより個片の光学部品に切断、洗浄、外観検査、梱包、出荷であるので、予めウェハーの下面にダイシングテープを貼り付けてウェハーの下面を保護して運送すると共に、輸送後は、ウェハーをそのままダイシング可能とした。従って、ウェハーの表面が、直接緩衝材と接触することがないので、簡易な梱包体で運送中の振動や衝撃等による損傷や破損を防止することが出来る。
【００１４】
図１は、本発明に係るウェハー用梱包体の第一の実施形態例を示す構造図であり、図１（ａ）は、梱包体の分解図を示し、図１（ｂ）は、梱包体をビニール袋でパックした様子を示す。本発明は図１に示す如く、ウェハー１の上面の全面には保護シート５を貼り付け、一方、ウェハー１の下面の全面にはダイシングテープ６を貼り付けた後、該複数のウェハー１間にウェハー１のサイズに合わせた寸法の第１の緩衝材７を挟み込んでウェハー１を重ね合わせ、最後に両端に第２の緩衝材８を配置し、全体をビニール袋９に包んで、ゴム、或いはテープ１０にて固定する。
【００１５】
この発明によれば、ウェハー１の両面に、保護シート５とダイシングテープ６とを貼り付けて全面を覆っているので、ウェハー１の間に挟み込む第１の緩衝材７は、枠状に加工する必要がなく第１の緩衝材７の加工コストが大幅に削減できると共に、ウェハー１を保護シート５、ダイシングテープ６、及び第１の緩衝材７により全面に渡って覆っているので、運送中の振動に対してウェハー１の動きが抑制され、ウェハー１と第１の緩衝材７との擦れにより発生するごみの問題がなく、破損や損傷の心配もない。
【００１６】
又、例えば、国外の運送先で、ビニール袋を開封しウェハー１を取り出す際も、ウェハー１は、保護シート５やダイシングテープ６により全面が覆われており、手垢やほこりがウェハー１の光学面に付着し汚染されることを防ぐことが出来る。
更に、国外の運送先で、ダイシングを行う際は、ウェハー１の上面の保護シート５をはがすだけでダイシング装置にセット出来、ウェハー１の洗浄やウェハー１にダイシングテープを貼る手間が省け、光学部品のコスト削減に貢献する。
【００１７】
又、従来のＬ字形を呈する緩衝材を使用した梱包手段と異なり、様々な形状のウェハーに対応させるために、ウェハーのサイズに合わせた緩衝材を製作するための金型を用意する必要がなく、従って、金型のコストの費用負担が削減され、ウェハーの輸送コストを低減して、光学部品の低コスト化を図る事が出来る。
【００１８】
本発明に使用される保護シート５としては、光学部品の表面保護材として適したもので、良好な初期粘着性と軽剥離性とを備え、シートの貼りあわせ時や剥離時に静電気による埃やごみの付着し難いものを使用することが望ましい。又、保護シート５を貼り付けたことによるウェハー１への汚染のレベルは、ミクロン単位として光学部品の光学特性に影響を与えないことが必要である。具体的には、例えば、４５μｍ程度の厚みのオレフィンフィルムに接着剤を塗布したものなどが商品化されている。そこで、このような特性を満足する保護シートをウェハー１に合わせて所定の寸法に切断し使用する。
【００１９】
一方、ダイシングテープ６は、ウェハー１をダイシングする際に使用されるもので、ウェハー１をダイシング装置の加工台に吸着する際に吸着を容易とすると共に、ダイシングにより個片となったチップが飛び散ることを防ぐものである。具体的には、例えば、厚さ７０〜１５０μｍ程度のＰＶＣ（塩化ビニール）や、ＰＯ（ポリオレフィン）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等に接着剤を塗布したものが使用される。ＰＶＣを用いたダイシングテープは安価であるが接着力が弱くダイシングの際、ブレードに損傷を与えることがあるが、ＰＯ、或いはＰＥＴを用いたダイシングテープは接着力が強くダイシングの際にブレードを損傷することはなく、紫外線を照射することによりウェハー１の取り外しが容易となって安定したダイシングが可能となる。本発明においては、運送先で行う後工程で先ずダイシングを行うため、運送前にウェハー１の下面に予めダイシングテープを貼り付け、ウェハー１の保護シートとしての機能も持たせた。そこで、このような特性を満足するダイシングテープをウェハー１に合わせて所定の寸法に切断し使用する。
【００２０】
次に、本発明に使用される第１の緩衝材７としては、発泡シート、弾性部材、エンジニアリング・プラスピック・ダンボール（ダンプレート）等の通常市販されている汎用的な緩衝材を使用可能であり、例えば、ポリエチレンを発泡させた軟質のシート緩衝材を、ウェハー１のサイズに合わせて所定の寸法に切断したものを使用する。
【００２１】
一方、第２の緩衝材８は、複数のウェハー１を重ね合わせたものの全体を保護するものであり、発泡シート、弾性部材、エンジニアリング・プラスピック・ダンボール（ダンプレート）等の通常市販されている汎用的な緩衝材を使用可能であり、例えば、汎用的な緩衝材や、建築用養生等として使用されているポリプロピレンの材質で厚さ２．５ｍｍ程度のシート状のもの等が使用可能で、ウェハー１のサイズに合わせて所定の寸法に切断して使用する。
【００２２】
次に、本発明に係るウェハー用梱包体について、第二の実施形態例について説明する。
ウェハーを個片の光学部品に切断する際に、ダイシング装置や、それに使用する治工具類等によっては、ウェハーの下面に貼り付けたダイシングテープ表面の汚染度（ごみ付着等）が懸念される場合がある。このような場合においては、ウェハーの下面にダイシングテープを貼り付けた後に、更に、ウェハーの上面に貼り付けた保護シートと同様な保護シートを貼り付け、ダイシングテープ表面を汚染から保護するようにする。
【００２３】
図２は、本発明に係るウェハー用梱包体の第二の実施形態例を示す構造図であり、図２（ａ）は、梱包体の分解図を示し、図２（ｂ）は、梱包体をビニール袋でパックした様子を示す。本発明は図２に示す如く、ウェハー１の上面の全面には保護シート５を貼り付け、一方、ウェハー１の下面の全面にはダイシングテープ６と、更に、その表面に保護シート５を貼り付けた後、該複数のウェハー１間にウェハー１のサイズに合わせた寸法の第１の緩衝材７を挟み込んでウェハー１を重ね合わせ、最後に両端に第２の緩衝材８を配置し、全体をビニール袋９に包んで、ゴム、或いはテープ１０にて固定する。
【００２４】
この発明によれば、ウェハー１の両面に保護シート５を貼り付けることにより、ウェハー１の全面を保護シート５により覆っているので、ウェハー１の間に挟み込む第１の緩衝材７は、第一の実施形態と同様に、枠状に加工する必要がないので第１の緩衝材７の加工コストが大幅に削減できる。又、ウェハー１を保護シート５及び第１の緩衝材７により保護しているので、運送中の振動に対してウェハー１の動きが抑制され、ウェハー１と第１の緩衝材７との擦れにより発生するごみの問題がなく、破損や損傷の心配もない。
又、例えば、国外の運送先で、ビニール袋を開封しウェハー１を取り出す際も、ウェハー１は、保護シート５により全面が覆われており、手垢やほこりがウェハー１の光学面に付着し汚染されることを防ぐことが出来る。
【００２５】
更に、国外の運送先で、ダイシングを行う際は、ウェハー１の上面の保護シート５と下面の保護シート５とをはがすだけでダイシング装置にセット出来、ウェハー１の洗浄やウェハー１にダイシングテープを貼る手間が省け、光学部品のコスト削減に貢献する。
そこで、従来のＬ字形を呈する緩衝材を使用した梱包手段と異なり、様々な形状のウェハーに対応させるために、ウェハーのサイズに合わせた緩衝材を製作するための金型を用意する必要がなく、従って、金型のコストの費用負担が削減され、ウェハーの輸送コストを低減して、光学部品の低コスト化を図る事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係るウェハー用梱包体の第一の実施形態例を示す構造図である。
【図２】本発明に係るウェハー用梱包体の第二の実施形態例を示す構造図である。
【図３】従来のウェハーの梱包手段の例である。
【図４】特開平１０−２３０９７５号公報により開示された梱包手段に用いる緩衝材の外観図である。
【符号の説明】
【００２７】
１・・ウェハー、
２・・緩衝材、
３・・ウェハー挿入溝、
４・・緩衝材、
５・・保護シート、
６・・ダイシングテープ、
７・・第１の緩衝材、
８・・第２の緩衝材、
９・・ビニール袋、
１０・・ゴム、或いはテープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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