(57)【要約】【課題】  コリオリ流量計におけるフローチューブの振動を安定させるとともに、フローチューブのメンテナンス性を向上させることが可能なフローチューブ保持部材を提供する。【解決手段】  フローチューブ保持部材２４は、十分に質量のある金属部材（剛体）であって、固着状態部分１７の着脱を自在とする分割式に形成されている。すなわち、フローチューブ保持部材２４は、上部側ブロック状部材２５及び下部側ブロック状部材２６からなる二つの部材と、上部側ブロック状部材２５及び下部側ブロック状部材２６を固定する例えばネジ２７等の複数の留め具とを備えて構成されている。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コリオリ流量計におけるフローチューブのチューブ集合部分を固着することにより形成した固着状態部分を着脱自在に挟み込む分割式の剛体からなる
ことを特徴とするフローチューブ保持部材。
【請求項２】
請求項１に記載のフローチューブ保持部材において、
前記固着状態部分に対応する溝を形成した一対のブロック状部材と、該一対のブロック状部材同士を固定する留め具とを備えて構成するとともに、前記一対のブロック状部材の一方に前記コリオリ流量計における筐体に対しての固定部を形成する
ことを特徴とするフローチューブ保持部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コリオリ流量計におけるフローチューブの固着状態部分に取り付けられるフローチューブ保持部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ流量計は、被計測流体の流通する流管の一端又は両端を支持し、その支持点回りに流管の流れ方向と垂直な方向に振動を加えたときに、流管（以下、振動が加えられるべき流管をフローチューブという）に作用するコリオリの力が質量流量に比例することを利用した質量流量計である。コリオリ流量計は周知のものであり、コリオリ流量計におけるフローチューブの形状は直管式と湾曲管式とに大別されている。
【０００３】
直管式のコリオリ流量計は、両端が支持された直管の中央部直管軸に垂直な方向の振動を加えたとき、直管の支持部と中央部との間でコリオリの力による直管の変位差、すなわち位相差信号が得られ、その位相差信号に基づいて質量流量を検知するように構成されている。このような直管式のコリオリ流量計は、シンプル、コンパクトで堅牢な構造を有している。しかしながら、高い検出感度を得ることができないという問題点もあわせ持っている。
【０００４】
これに対して、湾曲管式のコリオリ流量計は、コリオリの力を有効に取り出すための形状を選択できる面で、直管式のコリオリ流量計よりも優れており、実際、高感度の質量流量を検出することができている。尚、湾曲管式のコリオリ流量計としては、一本のフローチューブを備えるもの（例えば特許文献１参照）や、並列二本のフローチューブを備えるもの（例えば特許文献２参照）、或いは一本のフローチューブをループさせた状態に備えるもの（例えば特許文献３参照）などが知られている。
【０００５】
図８及び図９において、一本のフローチューブ１０１を二重にループさせてなる下記特許文献３のコリオリ流量計では、フローチューブ１０１が第一湾曲管部１０２と第二湾曲管部１０３と屈曲管部１０４とを有している。第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３は、第一湾曲管部１０２により形成されるチューブ形成面１０５（図中の仮想線に沿って形成される面）と、第二湾曲管部１０３により形成されるチューブ形成面１０６とが平行になるように互いが配置されている。屈曲管部１０４は、第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３を連結するために、これら第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３の間に存在するように配置形成されている。屈曲管部１０４は、図示のような状態に屈曲形成されている。
【特許文献１】特公平４−５５２５０号公報
【特許文献２】特許第２９３９２４２号公報
【特許文献３】特公平５−６９４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来技術にあっては、屈曲管部１０４が第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３間に存在する構造であることから、第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３の間隔が比較的広くなるようにフローチューブ１０１が形成されている。これにより、フローチューブ１０１を駆動するための駆動手段や、フローチューブ１０１に作用するコリオリの力に比例した位相差及び／又は振動周波数を検出するための検出手段の配置から、次のような問題点が生じている。
【０００７】
すなわち、駆動手段や検出手段を構成するコイル及びマグネットは、互いに近づけて配置する必要性があることから、第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３のような広い間隔となる場合では、コイルやマグネットを保持するための専用の保持部材を大きく形成しなければならず、この結果、駆動手段や検出手段の存在する部分の自重が大きくなってＳ／Ｎ比が減少してしまうという問題点が生じている。
【０００８】
そこで、本願発明者は上記問題点に対する検討を重ねた結果、一つの対策案を見出すに至った。この対策案は、一本のフローチューブを二重にループさせて形成した二つのチューブ形成面を、チューブ駆動側が所定の間隔で開く略Ｖ字状となるように配置し、この配置状態でチューブ駆動側の反対側を固着状態にするような形状のフローチューブを用いるという案であり、上記問題点を解消することができるという良好な結果が得られた。
【０００９】
ところで、本願発明者は、更に創意工夫を重ねて次のようなことも新たに見出した。すなわち、上記対策案のフローチューブに関し、剛体となるフローチューブ保持部材を上記固着状態部分に溶接すれば、フローチューブの振動の安定性を高めることができるということを見出した。また、本願発明者は、固着状態部分に溶接するフローチューブ保持部材の質量を高めると、フローチューブの振動を更に安定させることができるということも見出した。
【００１０】
しかしながら、固着状態部分にフローチューブ保持部材を溶接してしまうと、例えばフローチューブを交換しなければならない場合に、交換対応が困難又は不能になるという問題点を有している。
【００１１】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、コリオリ流量計におけるフローチューブの振動を安定させるとともに、フローチューブのメンテナンス性を向上させることが可能なフローチューブ保持部材を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の本発明のフローチューブ保持部材は、コリオリ流量計におけるフローチューブのチューブ集合部分を固着することにより形成した固着状態部分を着脱自在に挟み込む分割式の剛体からなることを特徴としている。
【００１３】
このような特徴を有する本発明によれば、フローチューブの固着状態部分に取り付けると、振動を安定させるという機能を発揮する。一方、分解してフローチューブの固着状態部分から取り外すと、例えばフローチューブに対するメンテナンスが行えるような状態になる。
【００１４】
請求項２記載の本発明のフローチューブ保持部材は、請求項１に記載のフローチューブ保持部材において、前記固着状態部分に対応する溝を形成した一対のブロック状部材と、該一対のブロック状部材同士を固定する留め具とを備えて構成するとともに、前記一対のブロック状部材の一方に前記コリオリ流量計における筐体に対しての固定部を形成することを特徴としている。
【００１５】
このような特徴を有する本発明によれば、一対のブロック状部材の各溝にフローチューブの固着状態部分を挟み込み、この状態から留め具で一対のブロック状部材同士を固定すると、フローチューブ保持部材の取り付けが完了する。一方、留め具を取り外して一対のブロック状部材を分割すると、フローチューブの取り外しが完了する。本発明のフローチューブ保持部材は、着脱が容易となる構造を有する。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に記載された本発明によれば、コリオリ流量計におけるフローチューブの振動を安定させることができるという効果を奏する。また、従来よりフローチューブだけの交換が不可能で、検出器（センサユニットであり流量計要部）一式交換を余儀なくされていた融通性のない構造から開放されるという効果を奏する。これにより、フローチューブのメンテナンス性を向上させることができるという効果を奏する。請求項２に記載された本発明によれば、より良いフローチューブ保持部材の形態を提供することができるという効果を奏する。請求項１、請求項２に記載された本発明は、意図的に詰まり易い流体計測において、フローチューブの交換が可能で常に安定した計測を提供するものであり、新分野への拡大を図ることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明のフローチューブ保持部材の一実施の形態を示すコリオリ流量計の図であり、（ａ）はフローチューブ保持部材を取り付けたフローチューブの斜視図、（ｂ）は二つのチューブ形成面を模式的に示した図である。また、図２はフローチューブの斜視図、図３は図１のＡ視方向の図、図４は固着状態となる部分の斜視図（断面を含む）、図５はフローチューブ保持部材の分解斜視図、図６（ａ）は二つのチューブ形成面の振動軌跡の変化を示す模式図、図６（ｂ）は比較例の振動軌跡の変化を示す模式図である。
【００１８】
図１において、コリオリ流量計１は、筐体２と、この筐体２の内部に収納されるフローチューブ３と、フローチューブ３に取り付けられる本発明のフローチューブ保持部材２４とを備えて構成されている。また、コリオリ流量計１は、駆動装置４、一対の振動検出センサ５、５、及び温度センサ（図示せず）を有するセンサ部（図示せず）と、このセンサ部からの信号に基づいて質量流量等の演算処理を行う信号演算処理部（図示せず）と、駆動装置４を励振するための励振回路部（図示せず）とを備えて構成されている。コリオリ流量計１は、フローチューブ３に分割式のフローチューブ保持部材２４を取り付けている点が特徴となっている。以下、図１ないし図５を参照しながら各構成部材について説明する。
【００１９】
上記筐体２は、曲げやねじれに強固な構造を有している。筐体２は、フローチューブ３等の流量計要部を保護することができるように形成されている。このような筐体２の内部には、アルゴンガス等の不活性ガスが充填されている。不活性ガスの充填により、フローチューブ３等への結露が防止されるようになっている。
【００２０】
上記フローチューブ３は、一本の測定用の流管を二重にループさせることにより形成されている。すなわち、フローチューブ３は、第一湾曲管部６とこれに連続する第二湾曲管部７とを有する図示のような形状に形成されている。フローチューブ３は、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７の他に、第一湾曲管部６に連続する流入管８と、第二湾曲管部７に連続する流出管９とを有している。
【００２１】
フローチューブ３は、流入口（図示省略）及び流出口（図示省略）の部分が直接又は間接的に筐体２に対して固定されている。また、フローチューブ３は、この中間が固着状態となり（後述する固着状態部分１７）、本発明のフローチューブ保持部材２４によって保持されている。本発明のフローチューブ保持部材２４は、筐体２に対して固定されている。
【００２２】
フローチューブ３の第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７は、それぞれ環状に形成され、また、略Ｖ字状に配置されている。ここで、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７の配置についてもう少し具体的に説明する。先ず、第一湾曲管部６により形成される面を第一チューブ形成面１０とし、また、第二湾曲管部７により形成される面を第二チューブ形成面１１とする。これら二つの第一、第二チューブ形成面１０、１１は、図１（ｂ）に示すように角度θを持って配置される。二つの第一、第二チューブ形成面１０、１１が角度θを持って配置されるということは、この二つの第一、第二チューブ形成面１０、１１が略Ｖ字状に配置されることになる。従って、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７は、略Ｖ字状に配置されることになる（略Ｖ字状の配置に関しては図３も参照）。
【００２３】
尚、上記角度θは鋭角であり、駆動装置４及び振動検出センサ５、５の形状により任意に決定されるものとする（駆動装置４及び振動検出センサ５、５を構成するそれぞれのコイル及びマグネット同士が、最小の保持部材を用いた状態で互いに近づくような角度θに設定されるものとする）。
【００２４】
図１中の矢線Ｐを垂直方向、矢線Ｑを水平方向と定義すると、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７は、共に水平方向に長くのびる略矩形の形状に形成されている（一例であるものとする。垂直方向に長くのびる略矩形の形状や、略楕円形、略円形の形状も可能であるものとする）。第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７は、これら二つに共通となる共通チューブ部分１２を有している。共通チューブ部分１２は、第一湾曲管部６と第二湾曲管部７との連続部分に相当する部分であって、真っ直ぐに形成されている。
【００２５】
第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７において、引用符号１３、１３は駆動側チューブ部分を示している。この駆動側チューブ部分１３、１３同士は、平行となるように形成されている。駆動側チューブ部分１３、１３は、真っ直ぐに形成されている。このような駆動側チューブ部分１３、１３の中央は、駆動装置４に対する取り付け位置となっている。
【００２６】
各駆動側チューブ部分１３の両端で垂直方向のチューブ部分１４、１４との連結部分は、振動検出センサ５、５に対する取り付け位置となっている。駆動装置４及び振動検出センサ５、５は、共通チューブ部分１２の位置から同じ高さで取り付けられるように設定されている。
【００２７】
図２において、引用符号１５、１５は固着側チューブ部分を示している。この固着側チューブ部分１５、１５は、共通チューブ部分１２に対して平行且つ接触し合うように形成されている。固着側チューブ部分１５、１５は、共通チューブ部分１２の両側に配置されている。このような固着側チューブ部分１５、１５は、共通チューブ部分１２に対して溶接されている。引用符号１６は溶接部分を示している。図４は共通チューブ部分１２及び固着側チューブ部分１５、１５が一括して溶接され、３つのチューブが剛体化して結合されている状態を示しており、ここでは剛体化して結合されている部分として固着状態部分１７が形成されている。図４は固着状態部分１７を拡大して図示したものである。
【００２８】
図２において、溶接部分１６の範囲Ｈは、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７の水平方向の長さよりも短く設定されている。尚、溶接部分１６の範囲Ｈは、ベンディングモードの振動（後述する）が生じ、この振動に伴う応力が共通チューブ部分１２及び固着側チューブ部分１５、１５の捻りに変換されるような範囲であれば特に限定しないものとする。溶接部分１６により、固着状態部分１７が上記範囲Ｈにおいて形成されている。固着状態部分１７には、本発明のフローチューブ保持部材２４が取り付けられている（後述する）。
【００２９】
第一湾曲管部６に連続する流入管８は、フローチューブ３の流入口（図示省略）を一端に有している。また、流入管８は、固着側チューブ部分１５に連続する部分を他端に有している。流入管８は、固着側チューブ部分１５に連続する部分が屈曲するように形成されている。また、その他の部分は真っ直ぐに形成されている。
【００３０】
第二湾曲管部７に連続する流出管９は、フローチューブ３の流出口（図示省略）を一端に有している。また、流出管９は、固着側チューブ部分１５に連続する部分を他端に有している。流出管９は、固着側チューブ部分１５に連続する部分が屈曲（共通チューブ部分１２及び他の固着側チューブ部分１５の下側を跨ぐような格好で屈曲）するように形成されている。また、その他の部分は真っ直ぐに形成されている。
【００３１】
流入管８及び流出管９の上記真っ直ぐに形成した部分は、同軸となるように配置されている。ここでは、流入管８及び流出管９を結ぶ軸が固着状態部分１７の軸（例えば共通チューブ部分１２の中心軸）に対して略平行となるように配置されている（一例であるものとする）。
【００３２】
フローチューブ３の材質は、ステンレス、ハステロイ、チタン合金等のこの技術分野において通常のものが用いられている。
【００３３】
本発明のフローチューブ保持部材２４は、十分に質量のある金属部材（剛体）であって、固着状態部分１７の着脱を自在とする分割式に形成されている。すなわち、フローチューブ保持部材２４は、例えば図中に示すような上部側ブロック状部材２５及び下部側ブロック状部材２６からなる二つの部材と、上部側ブロック状部材２５及び下部側ブロック状部材２６を固定する例えばネジ２７等の複数の留め具とを備えて構成されている。フローチューブ保持部材２４の材質は、ステンレス等のものが用いられている。
【００３４】
上部側ブロック状部材２５及び下部側ブロック状部材２６の各対向面には、三つの真っ直ぐな溝２８が形成されている。溝２８は、固着状態部分１７の形状に合わせて形成されている。固着状態部分１７は、溝２８を介して挟み込まれ、そして保持されるようになっている。下部側ブロック状部材２６には、筐体２に対して適宜手段で固定される固定部２９が形成されている（下部側ブロック状部材２６と筐体２とを別体にした場合である。尚、下部側ブロック状部材２６を筐体２に対し一体形成しても良いものとする）。
【００３５】
上記センサ部を構成する上記駆動装置４は、フローチューブ３の第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７を対向振動させるためのものであって、コイル１８とマグネット１９とを備えて構成されている。このような駆動装置４は、フローチューブ３の駆動側チューブ部分１３、１３の中央に、且つこれらによって挟まれるような状態で取り付けられている。駆動装置４は、最小の保持部材（符号省略）を用いた状態でコイル１８及びマグネット１９が互いに近づくように取り付けられている。
【００３６】
駆動装置４の作用について説明する。駆動装置４において吸引作用が生じると、マグネット１９がコイル１８に対して差し込まれるような状態になり、この結果、フローチューブ３の駆動側チューブ部分１３、１３同士が近接するようになる。これに対し、反発作用が生じると、駆動側チューブ部分１３、１３同士が離間するようになる。駆動装置４は、フローチューブ３が固着状態部分１７を有することから、この固着状態部分１７を中心にして回転方向に交番駆動させることができるように構成されている。
【００３７】
上記センサ部を構成する上記振動検出センサ５、５は、フローチューブ３の振動を検出するとともに、フローチューブ３に作用するコリオリの力に比例した位相差を検出するためのセンサであって、それぞれコイル２０とマグネット２１とを備えて構成されている（これに限らず、加速度センサ、光学的手段、静電容量式、歪み式（ピエゾ式）等の変位、速度、加速度のいずれかを検出する手段であればよいものとする）。
【００３８】
このような構成の振動検出センサ５、５は、フローチューブ３の各駆動側チューブ部分１３の両端で垂直方向のチューブ部分１４、１４との連結部分（一例であるものとする。コリオリの力に比例した位相差を検出することが可能な位置であれば他でも良いものとする）に取り付けられている。振動検出センサ５、５は、最小の保持部材（符号省略）を用いた状態でコイル２０及びマグネット２１が互いに近づくように取り付けられている。
【００３９】
コリオリ流量計１の内部には、特に図示しないが、基板等が設けられている。この基板には、筐体２の外部に引き出されるワイヤハーネスや、駆動装置４及び振動検出センサ５、５からの例えば電線が接続されている。
【００４０】
上記センサ部の一部を構成する温度センサは、コリオリ流量計１の温度補償をするためのセンサであって、適宜手段でフローチューブ３に取り付けられている。具体的な配置としては、例えば流入管８が好適であるものとする。温度センサから引き出される図示しない電線は、上記基板に接続されている。
【００４１】
上記信号演算処理部には、一方の振動検出センサ５からの、フローチューブ３の変形に関する検出信号、他方の振動検出センサ５からの、フローチューブ３の変形に関する検出信号、及び温度センサからの、フローチューブ３の温度に関する検出信号がそれぞれ入力されるように配線及び接続がなされている。このような信号演算処理部では、センサ部より入力された各検出信号に基づいて質量流量及び密度の演算がなされるように構成されている。また、信号演算処理部では、演算により得られた質量流量、密度が図示しない表示器に対して出力されるように構成されている。
【００４２】
上記励振回路部は、平滑部と比較部と目標設定部と可変増幅部と駆動出力部とを備えて構成されている。平滑部は、一方の振動検出センサ５（又は他方の振動検出センサ５）からの検出信号を取り出すように配線され、入力された検出信号を整流し平滑するとともに、その振幅に比例した直流電圧を出力することができるような機能を有している。比較部は、平滑部からの直流電圧と目標設定部から出力される目標設定電圧とを比較するとともに、可変増幅部の利得を制御して共振振動の振幅を目標設定電圧に制御することができるような機能を有している。
【００４３】
上記構成において、本発明のフローチューブ保持部材２４を取り付けたフローチューブ３に被計測流体を流すとともに、駆動装置４を駆動させてフローチューブ３の第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７を対向振動させると、振動検出センサ５、５の点でのコリオリの力によって生じる位相の差分により、質量流量が上記信号演算処理部で算出される。また、振動周波数から密度も算出される。
【００４４】
フローチューブ３は、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７が略Ｖ字状に配置され、また、固着状態部分１７を有することから、この固着状態部分１７を軸の中心としてベンディングモードの振動が生じる。駆動手段４の駆動によりフローチューブ３にベンディングモードの振動が生じると、この振動に伴う応力は上記軸方向の捻りに変換される。互いに発生するノイズ成分の振動はキャンセルされる。
【００４５】
本発明のコリオリ流量計１によれば、フローチューブ３の第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７を略Ｖ字状に配置するとともに、固着状態となる固着状態部分１７を有するものであることから、図６（ａ）に示すように振動軌跡２２のクロス（後述する）の大きさを小さくするとともに、変化も少なくすることができる。また、共通チューブ部分１２、固着側チューブ部分１５、１５を一体化していることから、ベンディングされた抗力が一轄され、Ｓ／Ｎ比の高い位相差信号を得ることができる（理由：従来では、図６（ｂ）に示すようにフローチューブ３の第一湾曲管部及び第二湾曲管部を非Ｖ字状に配置するとともに、基端を離れた位置に固着するものであることから、図６（ｂ）に示す２つの振動面が互いに独立して振動することになる。従って、２つの振動面の振動軌跡２３、２３は、第一湾曲管部及び第二湾曲管部の内側かつこれらの中央位置付近でクロスすることになる。従来の振動状態では、流体の挙動で振動軌跡２３、２３のクロスや変化が大きくなり、測定結果に影響を来すことになる）。
【００４６】
以上、図１ないし図６を参照しながら説明してきたように、本発明のフローチューブ保持部材２４を固着状態部分１７に取り付けると、この取り付けたフローチューブ保持部材２４の存在によって恰も固着状態部分１７の質量が増大したようになる。従って、上記ベンディングモードの振動が安定するという利点を有する。また、本発明のフローチューブ保持部材２４は着脱式であることから、メンテナンス性の良いコリオリ流量計１になるという利点を有する。尚、コリオリ流量計１は、駆動手段４や振動検出センサ５、５の存在する部分の自重が小さくなることから、従来よりもＳ／Ｎ比が格段に向上するという利点を有する。
【００４７】
次に、図７を参照しながらフローチューブ３の他の例を説明する。図７は流入口及び流出口を結ぶ軸と固着状態となる部分の軸とを略一致状態に配置した例を示す斜視図である。
【００４８】
上述の例（図１ないし図５の例）では、流入管８及び流出管９を結ぶ軸が固着状態部分１７の軸に対して略平行となるように配置されていたが、本発明では図７に示すような状態に配置しても良いものとする。すなわち、流入管８及び流出管９を結ぶ軸と、固着状態部分１７の軸とを略一致状態に配置するようなものを用いても良いものとする。図７からも分かるように、固着側チューブ部分１５に連続する部分の屈曲状態が上述の例よりも緩やかになるという利点を有する。
【００４９】
図７では固着状態部分１７の変更がないことから、本発明のフローチューブ保持部材２４が当然に取り付くものとする。
【００５０】
その他、本発明は本発明の主旨を変えない範囲で種々変更実施可能なことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明のフローチューブ保持部材の一実施の形態を示すコリオリ流量計の図であり、（ａ）はフローチューブ保持部材を取り付けたフローチューブの斜視図、（ｂ）は二つのチューブ形成面を模式的に示した図である。
【図２】フローチューブの斜視図である。
【図３】図１のＡ視方向の図である。
【図４】固着状態となる部分の斜視図（断面を含む）である。
【図５】フローチューブ保持部材の分解斜視図である。
【図６】（ａ）は二つのチューブ形成面の振動軌跡の変化を示す模式図、（ｂ）は比較例の振動軌跡の変化を示す模式図である。
【図７】流入口及び流出口を結ぶ軸と固着状態となる部分の軸とを略一致状態に配置した例を示す斜視図である。
【図８】従来例のコリオリ流量計のフローチューブを示す斜視図である。
【図９】図８のフローチューブの平面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  コリオリ流量計
２  筐体
３  フローチューブ
４  駆動装置
５  振動検出センサ
６  第一湾曲管部
７  第二湾曲管部
８  流入管
９  流出管
１０  第一チューブ形成面
１１  第二チューブ形成面
１２  共通チューブ部分
１３  駆動側チューブ部分
１４  垂直方向のチューブ部分
１５  固着側チューブ部分
１６  溶接部分
１７  固着状態部分
１８、２０  コイル
１９、２１  マグネット
２２、２３  振動軌跡
２４  フローチューブ保持部材
２５  上部側ブロック状部材
２６  下部側ブロック状部材
２７  ネジ（留め具）
２８  溝
２９  固定部
【図１】
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【図２】
2006349633.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006349633.tif 000006
【図５】
2006349633.tif 000007
【図６】
2006349633.tif 000008
【図７】
2006349633.tif 000009
【図８】
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【図９】
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