(57)【要約】【課題】  Ｓ／Ｎ比の向上を図ることが可能なコリオリ流量計を提供する。【解決手段】  コリオリ流量計１は、被計測流体を流す一本のフローチューブ３を二重にループさせたものを用いている。フローチューブ３は、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７を有している。フローチューブ３は、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７によって二つの第一、第二チューブ形成面１０、１１を有している。第一、第二チューブ形成面１０、１１は、略Ｖ字状に配置されている。言い換えれば、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７は、略Ｖ字状に配置されている。フローチューブ３は、固着状態となる部分１７を有している。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被計測流体を流す一本のフローチューブを二重にループさせて、該フローチューブにより二つのチューブ形成面を形成してなるコリオリ流量計において、
前記二つのチューブ形成面をチューブ駆動側が所定の間隔で開く略Ｖ字状となるように配置し、この配置状態で前記チューブ駆動側の反対側を固着状態となる部分として形成する
ことを特徴とするＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計。
【請求項２】
請求項１に記載のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計において、
前記フローチューブの流入口側となるチューブ部分及び流出口側となるチューブ部分と、前記二つのチューブ形成面に共通となるチューブ部分とを接するような状態で並べ、これら三つの前記チューブ部分の所定範囲を一括して固着することにより、前記固着状態となる部分を形成する
ことを特徴とするＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計において、
前記流入口及び前記流出口を結ぶ軸と、前記固着状態となる部分の軸とを略平行又は略一致状態に配置する
ことを特徴とするＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３いずれか記載のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計において、
前記固着状態となる部分に剛体を取り付ける
ことを特徴とするＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計。
【請求項５】
請求項４に記載のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計において、
前記剛体を、前記固着状態となる部分の着脱を自在とする分割式に形成する
ことを特徴とするＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定流体の質量流量及び／又は密度を得るためのコリオリ流量計に関し、詳しくは、被計測流体を流す一本のフローチューブを二重にループさせて、このフローチューブにより二つのチューブ形成面を形成してなるコリオリ流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ流量計は、被計測流体の流通する流管の一端又は両端を支持し、その支持点回りに流管の流れ方向と垂直な方向に振動を加えたときに、流管（以下、振動が加えられるべき流管をフローチューブという）に作用するコリオリの力が質量流量に比例することを利用した質量流量計である。コリオリ流量計は周知のものであり、コリオリ流量計におけるフローチューブの形状は直管式と湾曲管式とに大別されている。
【０００３】
直管式のコリオリ流量計は、両端が支持された直管の中央部直管軸に垂直な方向の振動を加えたとき、直管の支持部と中央部との間でコリオリの力による直管の変位差、すなわち位相差信号が得られ、その位相差信号に基づいて質量流量を検知するように構成されている。このような直管式のコリオリ流量計は、シンプル、コンパクトで堅牢な構造を有している。しかしながら、高い検出感度を得ることができないという問題点もあわせ持っている。
【０００４】
これに対して、湾曲管式のコリオリ流量計は、コリオリの力を有効に取り出すための形状を選択できる面で、直管式のコリオリ流量計よりも優れており、実際、高感度の質量流量を検出することができている。尚、湾曲管式のコリオリ流量計としては、一本のフローチューブを備えるもの（例えば特許文献１参照）や、並列二本のフローチューブを備えるもの（例えば特許文献２参照）、或いは一本のフローチューブをループさせた状態に備えるもの（例えば特許文献３参照）などが知られている。
【０００５】
図８及び図９において、一本のフローチューブ１０１を二重にループさせてなる下記特許文献３のコリオリ流量計では、フローチューブ１０１が第一湾曲管部１０２と第二湾曲管部１０３と屈曲管部１０４とを有している。第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３は、第一湾曲管部１０２により形成されるチューブ形成面１０５（図中の仮想線に沿って形成される面）と、第二湾曲管部１０３により形成されるチューブ形成面１０６とが平行になるように互いが配置されている。屈曲管部１０４は、第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３を連結するために、これら第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３の間に存在するように配置形成されている。屈曲管部１０４は、図示のような状態に屈曲形成されている。
【特許文献１】特公平４−５５２５０号公報
【特許文献２】特許第２９３９２４２号公報
【特許文献３】特公平５−６９４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来技術にあっては、屈曲管部１０４が第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３間に存在する構造であることから、第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３の間隔が比較的広くなるようにフローチューブ１０１が形成されている。これにより、フローチューブ１０１を駆動するための駆動手段や、フローチューブ１０１に作用するコリオリの力に比例した位相差及び／又は振動周波数を検出するための検出手段の配置から、次のような問題点が生じている。
【０００７】
すなわち、駆動手段や検出手段を構成するコイル及びマグネットは、互いに近づけて配置する必要性があることから、第一湾曲管部１０２及び第二湾曲管部１０３のような広い間隔となる場合では、コイルやマグネットを保持するための専用の保持部材を大きく形成しなければならず、この結果、駆動手段や検出手段の存在する部分の自重が大きくなることから、Ｓ／Ｎ比が減少してしまうという問題点が生じている。
【０００８】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、Ｓ／Ｎ比の向上を図ることが可能なコリオリ流量計を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の本発明のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計は、被計測流体を流す一本のフローチューブを二重にループさせて、該フローチューブにより二つのチューブ形成面を形成してなるコリオリ流量計において、前記二つのチューブ形成面をチューブ駆動側が所定の間隔で開く略Ｖ字状となるように配置し、この配置状態で前記チューブ駆動側の反対側を固着状態となる部分として形成することを特徴としている。
【００１０】
このような特徴を有する本発明によれば、フローチューブに形成される二つのチューブ形成面が略Ｖ字状に配置される構造になる。すなわち、二つのチューブ形成面のチューブ駆動側が所定の間隔で開き、チューブ駆動側の反対側が固着状態になるフローチューブを備えたコリオリ流量計になる。
【００１１】
本発明によれば、二つのチューブ形成面が略Ｖ字状に配置されることから、これを言い換えると、二つのチューブ形成面が任意の角度θを持って配置される、ということになる。角度θは、鋭角であり二つのチューブ形成面間に配置される駆動手段や検出手段の形状により決定される。具体的には、駆動手段や検出手段を構成する例えばコイル及びマグネット同士が最小の保持部材によって互いに近づくような角度θに設定される。これにより、駆動手段や検出手段が存在する部分の自重が小さくなり、測定結果に極力影響しないような構造になる。
【００１２】
二つのチューブ形成面が略Ｖ字状に配置されることは、二つのチューブ形成面に共通となるチューブ部分が屈曲しないものとなる。これにより、フローチューブの製造面やフローチューブ自体のサイズダウンに寄与する。
【００１３】
本発明によれば固着状態となる部分を有することから、この固着状態となる部分の軸を中心としてベンディングモードの振動が生じるような構造になる。駆動手段の駆動によりフローチューブにベンディングモードの振動が生じると、この振動に伴う応力は上記軸方向の捻りに変換される。互いに発生するノイズ成分の振動はキャンセルされる。
【００１４】
請求項２記載の本発明のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計は、請求項１に記載のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計において、前記フローチューブの流入口側となるチューブ部分及び流出口側となるチューブ部分と、前記二つのチューブ形成面に共通となるチューブ部分とを接するような状態で並べ、これら三つの前記チューブ部分の所定範囲を一括して固着することにより、前記固着状態となる部分を形成することを特徴としている。
【００１５】
このような特徴を有する本発明によれば、チューブ駆動側の反対側が恰も一つの軸上で固着されるような状態になる。二つのチューブ形成面が恰も一つの軸上で固着されると、駆動手段を駆動させた時の二つのチューブ形成面の振動軌跡の変化が少なくなる。
【００１６】
請求項３記載の本発明のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計は、請求項１又は請求項２に記載のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計において、前記流入口及び前記流出口を結ぶ軸と、前記固着状態となる部分の軸とを略平行又は略一致状態に配置することを特徴としている。
【００１７】
このような特徴を有する本発明によれば、フローチューブが流入口及び流出口を結ぶ軸方向にのびる形状になる。これにより、フローチューブの製造面やフローチューブ自体のサイズダウン等に寄与する。
【００１８】
請求項４記載の本発明のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計は、請求項１ないし請求項３いずれか記載のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計において、前記固着状態となる部分に剛体を取り付けることを特徴としている。
【００１９】
このような特徴を有する本発明によれば、駆動手段を駆動させると、フローチューブには固着状態となる部分の軸を中心としてベンディングモードの振動が生じる。このベンディングモードの振動は、剛体の存在によって一層安定する。尚、剛体の質量を高めると、振動がさらに安定することになる。
【００２０】
請求項５記載の本発明のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計は、請求項４に記載のＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計において、前記剛体を、前記固着状態となる部分の着脱を自在とする分割式に形成することを特徴としている。
【００２１】
このような特徴を有する本発明によれば、フローチューブのメンテナンスを必要とする場合などにおいて、剛体を分解する。これにより、フローチューブの取り外しが可能になる。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１に記載された本発明によれば、Ｓ／Ｎ比の向上を図ることが可能なコリオリ流量計を提供することができるという効果を奏する。また、請求項２に記載された本発明によれば、二つのチューブ形成面の振動軌跡の変化を小さくすることができるという効果を奏する。また、請求項３に記載された本発明によれば、フローチューブの製造面やフローチューブ自体のサイズダウン等に寄与することができるという効果を奏する。
【００２３】
また、請求項４に記載された本発明によれば、フローチューブに生じる振動を安定させることができるという効果を奏する。また、請求項５に記載された本発明によれば、メンテナンス時などにおけるフローチューブ取り外し作業を容易にすることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明に係るＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計の一実施の形態を示す図であり、（ａ）はフローチューブの斜視図、（ｂ）は二つのチューブ形成面を模式的に示した図である。また、図２はフローチューブの斜視図、図３は図１のＡ視方向の図、図４は固着状態となる部分の斜視図（断面を含む）、図５（ａ）は二つのチューブ形成面の振動軌跡の変化を示す模式図、図５（ｂ）は比較例の振動軌跡の変化を示す模式図である。尚、図中には本発明のコリオリ流量計の主要部のみが示され、他は省略されているものとする。
【００２５】
図１において、本発明のコリオリ流量計１は、筐体２と、この筐体２の内部に収納されるフローチューブ３とを備えて構成されている。また、本発明のコリオリ流量計１は、駆動装置４、一対の振動検出センサ５、５、及び温度センサ（図示せず）を有するセンサ部（図示せず）と、このセンサ部からの信号に基づいて質量流量等の演算処理を行う信号演算処理部（図示せず）と、駆動装置４を励振するための励振回路部（図示せず）とを備えて構成されている。本発明のコリオリ流量計１は、フローチューブ３の形状に特徴を有しており、従来と比べてＳ／Ｎ比が向上するようなものになっている。以下、図１ないし図４を参照しながら各構成部材について説明する。
【００２６】
上記筐体２は、曲げやねじれに強固な構造を有している。筐体２は、フローチューブ３等の流量計要部を保護することができるように形成されている。このような筐体２の内部には、アルゴンガス等の不活性ガスが充填されている。不活性ガスの充填により、フローチューブ３等への結露が防止されるようになっている。
【００２７】
上記フローチューブ３は、一本の測定用の流管を二重にループさせることにより形成されている。すなわち、フローチューブ３は、第一湾曲管部６とこれに連続する第二湾曲管部７とを有する図示のような形状に形成されている。フローチューブ３は、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７の他に、第一湾曲管部６に連続する流入管８と、第二湾曲管部７に連続する流出管９とを有している。
【００２８】
第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７は、それぞれ環状に形成され、また、略Ｖ字状に配置されている。ここで、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７の配置についてもう少し具体的に説明する。先ず、第一湾曲管部６により形成される面を第一チューブ形成面１０とし、また、第二湾曲管部７により形成される面を第二チューブ形成面１１とする。これら二つの第一、第二チューブ形成面１０、１１は、図１（ｂ）に示すように角度θを持って配置される。二つの第一、第二チューブ形成面１０、１１が角度θを持って配置されるということは、この二つの第一、第二チューブ形成面１０、１１が略Ｖ字状に配置されることになる。従って、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７は、略Ｖ字状に配置されることになる（略Ｖ字状の配置に関しては図３も参照）。
【００２９】
尚、上記角度θは鋭角であり、駆動装置４及び振動検出センサ５、５の形状により任意に決定されるものとする（駆動装置４及び振動検出センサ５、５を構成するそれぞれのコイル及びマグネット同士が、最小の保持部材を用いた状態で互いに近づくような角度θに設定されるものとする）。
【００３０】
図１中の矢線Ｐを垂直方向、矢線Ｑを水平方向と定義すると、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７は、共に水平方向に長くのびる略矩形の形状に形成されている（一例であるものとする。垂直方向に長くのびる略矩形の形状や、略楕円形、略円形の形状も可能であるものとする）。第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７は、これら二つに共通となる共通チューブ部分１２を有している。共通チューブ部分１２は、第一湾曲管部６と第二湾曲管部７との連続部分に相当する部分であって、真っ直ぐに形成されている。
【００３１】
第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７において、引用符号１３、１３は駆動側チューブ部分を示している。この駆動側チューブ部分１３、１３同士は、平行となるように形成されている。駆動側チューブ部分１３、１３は、真っ直ぐに形成されている。このような駆動側チューブ部分１３、１３の中央は、駆動装置４に対する取り付け位置となっている。
【００３２】
各駆動側チューブ部分１３の両端で垂直方向のチューブ部分１４、１４との連結部分は、振動検出センサ５、５に対する取り付け位置となっている。駆動装置４及び振動検出センサ５、５は、共通チューブ部分１２の位置から同じ高さで取り付けられるように設定されている。
【００３３】
図２において、引用符号１５、１５は固着側チューブ部分を示している。この固着側チューブ部分１５、１５は、共通チューブ部分１２に対して平行且つ接触し合うように形成されている。固着側チューブ部分１５、１５は、共通チューブ部分１２の両側に配置されている。このような固着側チューブ部分１５、１５は、共通チューブ部分１２に対して溶接されている。引用符号１６は溶接部分を示している。図４は共通チューブ部分１２及び固着側チューブ部分１５、１５が一括して溶接され、３つのチューブが剛体化して結合されている状態を示しており、ここでは剛体化して結合されている部分として固着状態部分１７が形成されている。図４は固着状態部分１７を拡大して図示したものである。
【００３４】
図２において、溶接部分１６の範囲Ｈは、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７の水平方向の長さよりも短く設定されている。尚、溶接部分１６の範囲Ｈは、ベンディングモードの振動（後述する）が生じ、この振動に伴う応力が共通チューブ部分１２及び固着側チューブ部分１５、１５の捻りに変換されるような範囲であれば特に限定しないものとする。溶接部分１６により、固着状態となる部分１７が上記範囲Ｈにおいて形成されている。
【００３５】
第一湾曲管部６に連続する流入管８は、フローチューブ３の流入口（図示省略）を一端に有している。また、流入管８は、固着側チューブ部分１５に連続する部分を他端に有している。流入管８は、固着側チューブ部分１５に連続する部分が屈曲するように形成されている。また、その他の部分は真っ直ぐに形成されている。
【００３６】
第二湾曲管部７に連続する流出管９は、フローチューブ３の流出口（図示省略）を一端に有している。また、流出管９は、固着側チューブ部分１５に連続する部分を他端に有している。流出管９は、固着側チューブ部分１５に連続する部分が屈曲（共通チューブ部分１２及び他の固着側チューブ部分１５の下側を跨ぐような格好で屈曲）するように形成されている。また、その他の部分は真っ直ぐに形成されている。
【００３７】
流入管８及び流出管９の上記真っ直ぐに形成した部分は、同軸となるように配置されている。ここでは、流入管８及び流出管９を結ぶ軸が固着状態となる部分１７の軸（例えば共通チューブ部分１２の中心軸）に対して略平行となるように配置されている（一例であるものとする）。
【００３８】
フローチューブ３の材質は、ステンレス、ハステロイ、チタン合金等のこの技術分野において通常のものが用いられている。
【００３９】
上記センサ部を構成する上記駆動装置４は、フローチューブ３の第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７を対向振動させるためのものであって、コイル１８とマグネット１９とを備えて構成されている。このような駆動装置４は、フローチューブ３の駆動側チューブ部分１３、１３の中央に、且つこれらによって挟まれるような状態で取り付けられている。駆動装置４は、最小の保持部材（符号省略）を用いた状態でコイル１８及びマグネット１９が互いに近づくように取り付けられている。
【００４０】
駆動装置４の作用について説明する。駆動装置４において吸引作用が生じると、マグネット１９がコイル１８に対して差し込まれるような状態になり、この結果、フローチューブ３の駆動側チューブ部分１３、１３同士が近接するようになる。これに対し、反発作用が生じると、駆動側チューブ部分１３、１３同士が離間するようになる。駆動装置４は、フローチューブ３が固着状態となる部分１７を有することから、この固着状態となる部分１７を中心にして回転方向に交番駆動させることができるように構成されている。
【００４１】
上記センサ部を構成する上記振動検出センサ５、５は、フローチューブ３の振動を検出するとともに、フローチューブ３に作用するコリオリの力に比例した位相差を検出するためのセンサであって、それぞれコイル２０とマグネット２１とを備えて構成されている（これに限らず、加速度センサ、光学的手段、静電容量式、歪み式（ピエゾ式）等の変位、速度、加速度のいずれかを検出する手段であればよいものとする）。
【００４２】
このような構成の振動検出センサ５、５は、フローチューブ３の各駆動側チューブ部分１３の両端で垂直方向のチューブ部分１４、１４との連結部分（一例であるものとする。コリオリの力に比例した位相差を検出することが可能な位置であれば他でも良いものとする）に取り付けられている。振動検出センサ５、５は、最小の保持部材（符号省略）を用いた状態でコイル２０及びマグネット２１が互いに近づくように取り付けられている。
【００４３】
本発明のコリオリ流量計１の内部には、特に図示しないが、基板等が設けられている。この基板には、筐体２の外部に引き出されるワイヤハーネスや、駆動装置４及び振動検出センサ５、５からの例えば電線が接続されている。
【００４４】
上記センサ部の一部を構成する温度センサは、コリオリ流量計１の温度補償をするためのセンサであって、適宜手段でフローチューブ３に取り付けられている。具体的な配置としては、例えば流入管８が好適であるものとする。温度センサから引き出される図示しない電線は、上記基板に接続されている。
【００４５】
上記信号演算処理部には、一方の振動検出センサ５からの、フローチューブ３の変形に関する検出信号、他方の振動検出センサ５からの、フローチューブ３の変形に関する検出信号、及び温度センサからの、フローチューブ３の温度に関する検出信号がそれぞれ入力されるように配線及び接続がなされている。このような信号演算処理部では、センサ部より入力された各検出信号に基づいて質量流量及び密度の演算がなされるように構成されている。また、信号演算処理部では、演算により得られた質量流量、密度が図示しない表示器に対して出力されるように構成されている。
【００４６】
上記励振回路部は、平滑部と比較部と目標設定部と可変増幅部と駆動出力部とを備えて構成されている。平滑部は、一方の振動検出センサ５（又は他方の振動検出センサ５）からの検出信号を取り出すように配線され、入力された検出信号を整流し平滑するとともに、その振幅に比例した直流電圧を出力することができるような機能を有している。比較部は、平滑部からの直流電圧と目標設定部から出力される目標設定電圧とを比較するとともに、可変増幅部の利得を制御して共振振動の振幅を目標設定電圧に制御することができるような機能を有している。
【００４７】
上記構成において、フローチューブ３に被計測流体を流すとともに、駆動装置４を駆動させてフローチューブ３の第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７を対向振動させると、振動検出センサ５、５の点でのコリオリの力によって生じる位相の差分により、質量流量が上記信号演算処理部で算出される。また、振動周波数から密度も算出される。
【００４８】
フローチューブ３は、第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７が略Ｖ字状に配置され、また、固着状態となる部分１７を有することから、この固着状態となる部分１７を軸の中心としてベンディングモードの振動が生じる。駆動手段４の駆動によりフローチューブ３にベンディングモードの振動が生じると、この振動に伴う応力は上記軸方向の捻りに変換される。互いに発生するノイズ成分の振動はキャンセルされる。
【００４９】
本発明のコリオリ流量計１によれば、上記構造からも分かるように、駆動手段４や振動検出センサ５、５の存在する部分の自重が小さくなることから、従来よりもＳ／Ｎ比を格段に向上させることができる。
【００５０】
また、本発明のコリオリ流量計１によれば、フローチューブ３の第一湾曲管部６及び第二湾曲管部７を略Ｖ字状に配置するとともに、固着状態となる固着状態部分１７を有するものであることから、図５（ａ）に示すように振動軌跡２２のクロス（後述する）の大きさを小さくするとともに、変化も少なくすることができる。また、共通チューブ部分１２、固着側チューブ部分１５、１５を一体化していることから、ベンディングされた抗力が一轄され、Ｓ／Ｎ比の高い位相差信号を得ることができる（理由：従来では、図５（ｂ）に示すようにフローチューブ３の第一湾曲管部及び第二湾曲管部を非Ｖ字状に配置するとともに、基端を離れた位置に固着するものであることから、図５（ｂ）に示す２つの振動面が互いに独立して振動することになる。従って、２つの振動面の振動軌跡２３、２３は、第一湾曲管部及び第二湾曲管部の内側かつこれらの中央位置付近でクロスすることになる。従来の振動状態では、流体の挙動で振動軌跡２３、２３のクロスや変化が大きくなり、測定結果に影響を来すことになる）。
【００５１】
次に、図６を参照しながら他の例を説明する。図６は固着状態となる部分に剛体を設けた例を示す斜視図である。
【００５２】
図６において、上記フローチューブ３の固着状態となる部分１７は、後述する上部剛体２５及び下部剛体２６を備える剛体２４によって保持されている。剛体２４は、十分に質量のある金属部材であって、固着状態となる部分１７の着脱を自在とする分割式に形成されている。すなわち、剛体２４は、例えば図中に示すような上部剛体２５及び下部剛体２６を有する二つの部材と、上部剛体２５及び下部剛体２６を固定するネジ等の複数の固定部材（図示省略）とを備えて構成されている。
【００５３】
上部剛体２５及び下部剛体２６の各対向面には、三つの真っ直ぐな溝２７が形成されている。溝２７は、固着状態となる部分１７の形状に合わせて形成されている。固着状態となる部分１７は、溝２７を介して挟み込まれ、そして保持されるようになっている。
【００５４】
下部剛体２６は、筐体２に固定されるものとする。下部剛体２６は、筐体２に対して一体であっても良いものとする。
【００５５】
上記構成において、固着状態となる部分１７に剛体２４を取り付けると、この取り付けた剛体２４によって恰も固着状態となる部分１７の質量が増大したようになる。従って、図６の例の場合では、剛体２４の取り付けによって上記ベンディングモードの振動が一層安定するという利点を有する。
【００５６】
続いて、図７を参照しながら更に他の例を説明する。図７は流入口及び流出口を結ぶ軸と固着状態となる部分の軸とを略一致状態に配置した例を示す斜視図である。
【００５７】
上述の例（図１ないし図４の例）では、流入管８及び流出管９を結ぶ軸が固着状態となる部分１７の軸に対して略平行となるように配置されていたが、本発明では図７に示すような状態に配置しても良いものとする。すなわち、流入管８及び流出管９を結ぶ軸と、固着状態となる部分１７の軸とを略一致状態に配置するようなものを用いても良いものとする。図７からも分かるように、固着側チューブ部分１５に連続する部分の屈曲状態が上述の例よりも緩やかになるという利点を有する。
【００５８】
その他、本発明は本発明の主旨を変えない範囲で種々変更実施可能なことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係るＶ字状の二つのチューブ形成面を有するコリオリ流量計の一実施の形態を示す図であり、（ａ）はフローチューブの斜視図、（ｂ）は二つのチューブ形成面を模式的に示した図である。
【図２】フローチューブの斜視図である。
【図３】図１のＡ視方向の図である。
【図４】固着状態となる部分の斜視図（断面を含む）である。
【図５】（ａ）は二つのチューブ形成面の振動軌跡の変化を示す模式図、（ｂ）は比較例の振動軌跡の変化を示す模式図である。
【図６】固着状態となる部分に剛体を設けた例を示す斜視図である。
【図７】流入口及び流出口を結ぶ軸と固着状態となる部分の軸とを略一致状態に配置した例を示す斜視図である。
【図８】従来例のコリオリ流量計のフローチューブを示す斜視図である。
【図９】図８のフローチューブの平面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１  コリオリ流量計
２  筐体
３  フローチューブ
４  駆動装置
５  振動検出センサ
６  第一湾曲管部
７  第二湾曲管部
８  流入管
９  流出管
１０  第一チューブ形成面
１１  第二チューブ形成面
１２  共通チューブ部分
１３  駆動側チューブ部分
１４  垂直方向のチューブ部分
１５  固着側チューブ部分
１６  溶接部分
１７  固着状態となる部分
１８、２０  コイル
１９、２１  マグネット
２２、２３  振動軌跡
２４  剛体
２５  上部剛体
２６  下部剛体
２７  溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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