(57)【要約】【課題】  側管のフランジ部と受光面板との融着強度及び気密性を向上させることができる光検出器を提供する。【解決手段】  光電子増倍管（光検出器）１は、金属製の側管２、受光面板３、ステム５及びリング状側管７によって形成された密封容器８を有している。密封容器８の内部には、受光面板３を通して入射した光を電子に変換するための光電面４と、この光電面４から放出された電子を増倍するための電子増倍部９と、この電子増倍部９により増倍された電子を出力信号として取り出すための陽極１２が配置されている。受光面板３は、側管２に形成されたフランジ部５１の外面（上面）５１ａ及び内縁面５１ｂに金属酸化膜を介して融着接合されている。【選択図】  図３
2006127971.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性をもった側管及び当該側管の一端部に接合された受光面板を有する密封容器と、前記密封容器内に設けられ、前記受光面板を通して入射した光を電子に変換する光電面と、前記密封容器内に設けられ、前記光電面から放出された電子を出力信号として取り出すための陽極とを備える光検出器において、
前記側管の一端部には、前記側管の内側に張り出したフランジ部が設けられ、
前記受光面板は、前記フランジ部に酸化膜を介して融着接合されていることを特徴とする光検出器。
【請求項２】
前記受光面板は、前記フランジ部の外面に前記酸化膜を介して融着接合された本体部と、前記本体部と一体化されていると共に前記フランジ部の内縁面によって画定される空間に入り込むように形成され、前記フランジ部の内縁面に前記酸化膜を介して融着接合された凸部とを有することを特徴とする請求項１記載の光検出器。
【請求項３】
前記受光面板は、表面に前記酸化膜が形成された前記フランジ部の外面上にガラス平板を載置した状態で、前記側管を加熱することにより形成されたものであることを特徴とする請求項２記載の光検出器。
【請求項４】
前記凸部の先端面及び前記フランジ部の内面には、導電性の薄膜が形成され、
前記凸部の先端面に形成された導電性の薄膜と前記フランジ部の内面に形成された導電性の薄膜とは、ワイヤボンディングにより接続されており、
前記光電面は、少なくとも前記凸部の先端面において前記導電性の薄膜を覆うように形成されていることを特徴とする請求項２または３記載の光検出器。
【請求項５】
前記密封容器内に設けられ、前記光電面から放出された電子を増倍して前記陽極に入射させる電子増倍部を更に備えることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の光検出器。
【請求項６】
前記受光面板の外側に配置され、放射線を光に変換して放出するシンチレータを更に備えることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の光検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電効果を用いる光電子増倍管等の光検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
光検出器の一つに光電子増倍管がある。光電子増倍管としては、筒状を成す側管の一側の端部に受光面板を、他側の端部にステムを各々備えて真空密封容器を構成し、受光面板の内側の面に光電子放出面（光電面）を設けると共に、この光電面に対向して複数段のダイノード及び陽極を積層して配設し、各段のダイノード及び陽極に各々接続した複数のステムピンを密封容器内から外部に導出するようにしてステムに挿着する構成を具備し、受光面板を通して入射した光を光電面で電子に変換し、この光電面から放出された電子を、各ステムピンを介して所定の電圧が印加された各ダイノードで順次増倍し、この増倍されて陽極に達した電子を電気信号としてステムピンの一つであるアノードピンを介して取り出す所謂ヘッドオン型の光電子増倍管が知られている。
【０００３】
このような光電子増倍管にあっては、真空密封容器を形成する金属側管の一端部に設けられたフランジ部に、ガラス製の受光面板を熱融着により接合したものがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−１２１８５号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような光電子増倍管では、側管のフランジ部と受光面板との融着界面の接合強度（融着強度）が高いことや、両者間の真空気密性が優れていることが望まれている。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、側管のフランジ部と受光面板との融着強度及び気密性を向上させることができる光検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、導電性をもった側管及び当該側管の一端部に接合された受光面板を有する密封容器と、密封容器内に設けられ、受光面板を通して入射した光を電子に変換する光電面と、密封容器内に設けられ、光電面から放出された電子を出力信号として取り出すための陽極とを備える光検出器において、側管の一端部には、側管の内側に張り出したフランジ部が設けられ、受光面板は、フランジ部に酸化膜を介して融着接合されていることを特徴とするものである。
【０００７】
このような光検出器を作る際には、例えば導電性をもった金属製の側管のフランジ部とガラス製の受光面板とを融着して接合する。このとき、フランジ部と受光面板との間に酸化膜を介在させた状態でフランジ部を加熱することにより、受光面板（ガラス）の融点を超えたあたりから、ガラスと酸化膜とが互いに拡散し、ガラスと金属とが混在した接合層（拡散層）が形成されるようになる。この拡散層によって、フランジ部と受光面板との融着界面における密着性が十分に高くなる。これにより、フランジ部と受光面板との接合強度が高くなり、更にはフランジ部と受光面板との真空気密性も高くなる。
【０００８】
好ましくは、受光面板は、フランジ部の外面に酸化膜を介して融着接合された本体部と、本体部と一体化されていると共にフランジ部の内縁面によって画定される空間に入り込むように形成され、フランジ部の内縁面に酸化膜を介して融着接合された凸部とを有する。このように受光面板に凸部を設けることにより、その分だけ側管のフランジ部と受光面板との融着長が長くなる。これにより、フランジ部と受光面板との接合強度及び真空気密性がより高くなる。
【０００９】
このとき、受光面板は、表面に酸化膜が形成されたフランジ部の外面上にガラス平板を載置した状態で、側管を加熱することにより形成されたものであることが好ましい。側管のフランジ部の外面上にガラス平板を載置した状態で側管を加熱すると、ガラス平板が溶け出し、これに伴ってフランジ部の内縁面によって画定される空間にガラス平板の中央部分が落し込まれ、凸部が形成されるようになる。このように一枚のガラス平板を用いて、凸部を有する受光面板を容易に且つ安価に形成することができる。
【００１０】
また、凸部の先端面及びフランジ部の内面には、導電性の薄膜が形成され、凸部の先端面に形成された導電性の薄膜とフランジ部の内面に形成された導電性の薄膜とは、ワイヤボンディングにより接続されており、光電面は、少なくとも凸部の先端面において導電性の薄膜を覆うように形成されていることが好ましい。光検出器を作る際には、上記のような凸部を有する受光面板を側管のフランジ部に融着接合した後に、凸部の先端面の縁部からフランジ部の内面にわたって導電性の薄膜を形成し、更に少なくとも凸部の先端面に光電面を形成することになる。ここで、凸部の先端面に形成される光電面は、凸部の先端面の縁部に形成された導電性の薄膜を覆うように形成される。この場合、上記の導電性の薄膜及び光電面を形成する前に、フランジ部の内面に形成されている不要な酸化膜を例えば化学研磨により除去する必要がある。しかし、このような化学研磨処理を行うと、フランジ部と受光面板の凸部との境界部分に窪みが生じるため、凸部の先端面及びフランジ部の内面に導電性の薄膜を形成したときに、凸部の先端面に形成された導電性の薄膜とフランジ部の内面に形成された導電性の薄膜とが電気的に接続されてない状態となる場合がある。そこで、凸部の先端面に形成された導電性の薄膜とフランジ部の内面に形成された導電性の薄膜とをワイヤボンディングで接続することにより、両者の電気的な接続が安定的に確保されるようになる。
【００１１】
ここで、上記光検出器の密封容器内に設けられ、光電面から放出された電子を増倍して陽極に入射させる電子増倍部を更に備えれば、上記作用を奏する好適な光電子増倍管が得られる。
【００１２】
また、上記光検出器の受光面板の外側に配置され、放射線を光に変換して放出するシンチレータを更に備えれば、上記作用を奏する好適な放射線検出装置が得られる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、受光面板を側管のフランジ部に酸化膜を介して融着接合するようにしたので、フランジ部と受光面板との融着強度及び気密性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら本発明に係る光検出器の好適な実施形態について説明する。なお、以下の説明における「上」、「下」等の語は図面に示す状態に基づく便宜的なものである。また、各図において同一又は相当の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１５】
図１及び図２は、本発明に係る光検出器の一実施形態として光電子増倍管を示す平面図及び底面図であり、図３は図１におけるIII-III線に沿う断面図である。図１〜図３において、光電子増倍管１は、外部から入射した光によって電子を放出し、その電子を増倍させて信号として出力させるための装置として構成されている。
【００１６】
光電子増倍管１は、略円筒形状をなす金属製の側管２を有している。側管２は、例えば鉄、ニッケル及びコバール金属の合金で形成されている。側管２の一端部（上端部）には、側管２の内側に張り出した環状のフランジ部５１が設けられ、側管２の他端部（下端部）には、側管２の外側に張り出した環状のフランジ部５２が設けられている。
【００１７】
側管２の上側の開口端にはガラス製の受光面板３が気密に固定され、受光面板３の内側表面には、受光面板３を通して入射した光を電子に変換するための光電子放出面（以下、光電面）４が形成されている。なお、これらの受光面板３及び光電面４については、後で詳述する。
【００１８】
側管２の下側の開口端には、円板状のステム５が配置されている。ここで、ステム５において、光電子増倍管１の密封容器８の形成時に真空となる側を内側（上側）とする。ステム５には、略円状の位置に周方向に互いに離間して配置された複数（１５本）の導電性のステムピン６が気密に挿着されている。具体的には、ステム５は、ベース材１４と、ベース材１４の上側（内側）に接合された上側押え材１５と、ベース材１４の下側（外側）に接合された下側押え材１６とを融着接合して成る３層構造とされている。ベース材１４は、例えばコバールを主成分とした絶縁性ガラスから構成された円板状の部材であり、上側押え材１５及び下側押え材１６は、コバールに例えばアルミナ系粉末を添加することにより、ベース材１４より高融点とされた絶縁性ガラスから構成された円板状の部材である。そして、ベース材１４と各ステムピン６とが融着されている。なお、ステム５の構造は、特に上記のような３層構造には限られず、ベース材のみからなる単層構造や、ベース材及び押え材からなる２層構造等であっても良い。
【００１９】
ステム５には、当該ステム５を側方から包囲するように金属製のリング状側管７が気密に固定されている。具体的には、リング状側管７は、ステム５のベース材１４に融着されている。リング状側管７の一端部（上端部）には、リング状側管７の外側に張り出した環状のフランジ部７ａが設けられている。このフランジ部７ａと側管２の下端部に形成されたフランジ部５２とが溶接されることで、側管２とリング状側管７とは気密に固定されている。
【００２０】
上記の側管２、受光面板３、ステム５及びリング状側管７によって、内部が真空状態に保たれた密封容器８が形成されている。このような密封容器８内には、光電面４から放出された電子を増倍するための電子増倍部９が収容されている。この電子増倍部９は、電子増倍孔を多数有する薄板状のダイノード１０が複数段（本実施形態では１０段）に積層されてブロック状に形成され、ステム５の上面に設置されている。各ダイノード１０の所定の縁部には、外側に突出するダイノード接続片１０ｃがそれぞれ形成され、各ダイノード接続片１０ｃの下面側には、ステム５に挿着された所定のステムピン６の先端部分が溶接固定されている。これにより、各ダイノード１０と各ステムピン６との電気的な接続がなされている。
【００２１】
さらに、密封容器８内において、電子増倍部９と光電面４との間には、光電面４から放出された電子を電子増倍部９に収束させて導くための平板状の収束電極１１が設置されている。また、最終段のダイノード１０ｂの一段上の段には、電子増倍部９により増倍され最終段のダイノード１０ｂより放出された電子を出力信号として取り出すための平板状アノード（陽極）１２が積層されている。
【００２２】
収束電極１１の四隅には、外側に突出する突出片１１ａがそれぞれ形成され、この各突出片１１ａに所定のステムピン６が溶接固定されることでステムピン６と収束電極１１との電気的な接続がなされている。また、アノード１２の所定の縁部にも、外側に突出するアノード接続片１２ａが形成され、このアノード接続片１２ａにステムピン６の一つであるアノードピン１３が溶接固定されることでアノードピン１３とアノード１２との電気的な接続がなされている。そして、図示しない電源回路に接続した各ステムピン６によって電子増倍部９及びアノード１２に所定の電圧が印加されると、光電面４と収束電極１１とは同電位に設定され、各ダイノード１０は積層順に上段から下段に行くに従って高電位に設定される。また、アノード１２は最終段のダイノード１０ｂよりも高電位に設定される。
【００２３】
以上のように構成された光電子増倍管１では、受光面板３側から光電面４に光（ｈν）が入射すると、この光電面４において光が光電変換されて密封容器８内に電子（ｅ−）が放出される。放出された電子は、収束電極１１によって電子増倍部９の一段目のダイノード１０ａに収束される。そして、電子は電子増倍部９内で順次増倍されていき、最終段のダイノード１０ｂから２次電子群が放出される。この２次電子群はアノード１２に導かれ、アノードピン１３を介して外部に出力される。
【００２４】
受光面板３及び光電面４を含む光電子増倍管１の上部構造について、図３及び図４により更に詳細に説明する。
【００２５】
受光面板３は、側管２に形成されたフランジ部５１の外面（上面）５１ａに融着接合された本体部３ａと、この本体部３ａと一体化されていると共にフランジ部５１の内縁面５１ｂによって画定される空間に入り込むように形成され、フランジ部５１の内縁面５１ｂに融着接合された凸部３ｂとを有している。内縁面５１ｂは、上面５１ａに対して略垂直な面である。受光面板３の上面と、受光面板３の下面つまり凸部３ｂの先端面Ｐは、実質的に平坦となっている。また、凸部３ｂの先端面Ｐは、フランジ部５１の内面５１ｃとほぼ面一となっている。
【００２６】
フランジ部５１の上面５１ａ及び内縁面５１ｂには、金属酸化膜（例えば鉄酸化膜）５３が形成されている。「金属酸化膜」とは、ワーク母材に含有される元素が酸素、加熱雰囲気中に曝されたときに酸素と結合することによって形成される膜状の金属酸化層である。従って、受光面板３の本体部３ａは、金属酸化膜５３を介してフランジ部５１の上面５１ａに融着され、受光面板３の凸部３ｂは、金属酸化膜５３を介してフランジ部５１の内縁面５１ｂに融着されている事になる。なお、側管２において、受光面板３と接合されるフランジ部５１の上面５１ａ及び内縁面５１ｂ以外の領域の表面には、金属酸化膜５３は形成されていない。
【００２７】
光電面４は、凸部３ｂの先端面Ｐ及びフランジ部５１の内面５１ｃに導電性の薄膜（例えばアルミ蒸着膜）５４を介して形成されている。導電性の薄膜５４は、側管２の内面及び受光面板３の下面の周縁部にわたって形成されている。このため、フランジ部５１の内面５１ｃ及び受光面板３の下面（凸部３ｂの先端面Ｐ）の周縁部に対しては、光電面４が導電性の薄膜５４の表面に形成され、凸部３ｂの先端面Ｐの中央部に対しては、光電面４が受光面板３の表面（凸部３ｂの先端面Ｐのうち導電性の薄膜５４が形成されていない領域）に直接形成されている。この受光面板３の表面に直接形成される面が光電面４の有効面となる。
【００２８】
フランジ部５１の内縁面５１ｂと凸部３ｂとの境界部分には、窪み５５が形成されている。この窪み５５は、フランジ部５１の内面５１ｃに形成された不要な金属酸化膜を化学研磨により除去する（後述）ことによって生じるものである。この状態で、導電性の薄膜５４及び光電面４を順次形成すると、窪み５５内に、フランジ部５１の内縁面５１ｂと凸部３ｂとの境界部分に形成されるはずの導電性の薄膜５４及び光電面４が入り込む。このため、凸部３ｂの先端面Ｐに形成された導電性の薄膜５４（薄膜５４ａとする）とフランジ部５１の内面５１ｃに形成された導電性の薄膜５４（薄膜５４ｂとする）との間に、電気的な接続が無い状態となる場合がある。このため、薄膜５４ａ，５４ｂ同士は、ワイヤ５６で接続（ワイヤボンディング）されて、電気的に接続される。
【００２９】
次に、側管２のフランジ部５１に受光面板３を取り付け、更に光電面４を形成する方法について説明する。まず図５（ａ）に示すように、側管２と、受光面板３の基となるガラス平板５７とを用意する。そして、例えば電気炉にて、側管２の全表面に金属酸化膜５３を形成する。
【００３０】
続いて、図５（ｂ）に示すように、側管２のフランジ部５１の上面５１ａ上にガラス平板５７を載置する。そして、図示しない融着治具等を用いて側管２を加熱する。なお、側管２の加熱手法しては、例えば高周波加熱等の誘導加熱を採用する。
【００３１】
このように側管２を加熱すると、ガラス平板５７はフランジ部５１に近い部分から溶け出す。その結果、図５（ｃ）に示すように、フランジ部５１の内縁面５１ｂによって画定される空間にガラス平板５７の中央部分（フランジ部５１の上面５１ａに接している領域を除く部分）が落とし込まれ、フランジ部５１の上面５１ａ及び内縁面５１ｂとガラス平板５７とが融着されるようになる。これにより、フランジ部５１の上面５１ａに融着された本体部３ａとフランジ部５１の内縁面５１ｂに融着された凸部３ｂとからなる受光面板３が形成されることとなる。
【００３２】
以上のように側管２の加熱によるガラス平板５７の溶融・落とし込みを利用することにより、１枚のガラス平板５７のみを使って、凸部３ｂを有する受光面板３を容易に且つ安価に作ることができる。また、そのように凸部３ｂを有する受光面板３を形成しながら、側管２のフランジ部５１に融着接合するので、光電子増倍管１の製造工程の簡素化を図ることが可能となる。
【００３３】
ここで、フランジ部５１の表面には金属酸化膜５３が形成されているので、図５（ｂ）に示すようにガラス平板５７がフランジ部５１に密着された状態で側管２を加熱すると、ガラス平板５７の融点を超えたあたりから、ガラス平板５７と金属酸化膜５３とが互いに拡散し、ガラスと金属とが混在した接合層（拡散層）が形成されるようになる。このため、フランジ部５１の表面に金属酸化膜５３を形成しない状態でフランジ部５１と受光面板３とを融着した場合に比べて、フランジ部５１と受光面板３との密着性が良くなり、フランジ部５１と受光面板３とのシール性（真空気密性）及び接合強度に対して有利となる。
【００３４】
続いて、後で側管２の内面に導電性の薄膜５４を形成したり、側管２の外面にメッキを施すこと等を考慮して、側管２の表面に露出している金属酸化膜５３を化学研磨により除去する。この処理を行うと、上述したようにフランジ部５１の内縁面５１ｂと受光面板３の凸部３ｂとの境界部分に窪み５５が形成される。
【００３５】
続いて、側管２の内面と受光面板３の下面（凸部３ｂの先端面Ｐ）の縁部とに導電性の薄膜５４を形成する。そして、側管２の内面に形成された導電性の薄膜５４と受光面板３の下面に形成された導電性の薄膜５４とをワイヤ５６でつなぐ、所謂ワイヤボンディングを施す。これにより、上記の窪み５５があっても、側管２の内面に形成された導電性の薄膜５４と受光面板３の下面に形成された導電性の薄膜５４との電気的接続が確保されるようになる。そして、フランジ部５１の内面５１ｃと受光面板３の凸部３ｂの先端面Ｐとに光電面４を形成する。光電面４は、例えば受光面板３の下面（凸部３ｂの先端面Ｐ）から側管２の内面にわたってアンチモンを蒸着し、これにアルカリ金属蒸着を反応させることで形成される。
【００３６】
ここで、具体的な例としては、フランジ部５１の内面５１ｃを含む側管２の内面全体から受光面板３の凸部３ｂの先端面Ｐの周縁部にわたって導電性の薄膜５４を形成し、凸部３ｂの先端面Ｐに形成された導電性の薄膜５４とフランジ部５１の内面５１ｃに形成された導電性の薄膜５４とをワイヤボンディングにより電気的に接続した。このとき、導電性の薄膜５４は凸部３ｂの先端面Ｐの周縁部に幅０．５ｍｍで形成され、その後、受光面板３の下面からフランジ部５１の内面５１ｃにわたって光電面４を形成することにより、有効径８ｍｍの光電面４を得た。
【００３７】
以上のように本実施形態にあっては、受光面板３が側管２のフランジ部５１の表面に形成された金属酸化膜５３を介してフランジ部５１に融着接合される構成としたので、上述したようにフランジ部５１と受光面板３との密着性が十分に高くなる。また、受光面板３を本体部３ａと凸部３ｂとからなる構成とすると共に、本体部３ａをフランジ部５１の上面５１ａに融着させ、凸部３ｂをフランジ部５１の内縁面５１ｂに融着させたので、受光面板３とフランジ部５１との融着長が十分長くとれる。これにより、受光面板３とフランジ部５１との融着界面における接合強度（融着強度）及びシール性を向上させることができる。
【００３８】
上記の光電子増倍管１の変形例を図６に示す。同図に示す光電子増倍管２０は、ステム５の中央部分に金属製の排気管１９を設けたものである。この排気管１９は、光電子増倍管２０の組み立て終了後に密封容器８の内部を真空ポンプ（図示しない）等によって排気して真空状態にするために利用することができる。その他の構成は、光電子増倍管１と同等である。
【００３９】
上記の光電子増倍管１の別の変形例を図７に示す。同図に示す光電子増倍管２６は、ステム５に固定したリング状側管７に、上記の側管２よりも長尺の側管２７を嵌め合わせて、リング状側管７の下端部に形成されたフランジ部７ａと側管２７の下端部に形成されたフランジ部２７ａとを溶接固定したものである。その他の構成は、図６に示す光電子増倍管２０と同等である。
【００４０】
図８は、本発明に係る光検出器の他の実施形態として、上述した光電子増倍管１を備えた放射線検出装置を示す構成図である。同図において、放射線検出装置２１は、光電子増倍管１の受光面板３の上側（外側）に設置され、放射線を光に変換して放出するシンチレータ２２を備えている。このような放射線検出装置２１は光電子増倍管１を有しているので、上述したように受光面板３と側管２のフランジ部５１との間の融着強度及びシール性を向上させることができる。
【００４１】
なお、本発明は、上記実施形態には限定されるものではない。例えば側管２のフランジ部５１の形状については、特に上記実施形態のものには限られず、例えば図９に示すように種々変形可能である。図９（ａ）に示すフランジ部５１は、上面５１ａに対して傾斜した内縁面５１ｂを有している。図９（ｂ）に示すフランジ部５１は、上面５１ａ及び内縁面５１ｂとそれぞれ隣り合う傾斜面５１ｄを有している。図９（ｃ）に示すフランジ部５１は、曲面状の内縁面５１ｂを有している。
【００４２】
また、上記実施形態では、光電面４を受光面板３の凸部３ｂの先端面Ｐからフランジ部５１の内面５１ｃにわたって形成したが、図１０に示すように、光電面４を受光面板３の凸部３ｂの先端面Ｐのみに形成し、受光面板３の凸部３ｂの先端面Ｐに形成した導電性の薄膜５４とフランジ部５１の内面５１ｃに形成した導電性の薄膜５４とをワイヤ５６でつなぐ構成としても良い。この場合、凸部３ｂの先端面Ｐの周縁部に形成される光電面４は、導電性の薄膜５４の表面上に形成されることになる。
【００４３】
また、上記実施形態では、ガラス平板５７の落とし込みを利用して、凸部３ｂを有する受光面板３を形成しながら、受光面板３を側管２のフランジ部５１に融着接合するようにしたが、本体部３ａ及び凸部３ｂからなる受光面板３を別に作り、その受光面板３をフランジ部５１に融着接合させても良い。
【００４４】
また、上記実施形態では、本体部３ａ及び凸部３ｂからなる受光面板３を使用したが、平板状の受光面板を使用することもできる。この場合には、平板状の受光面板を、フランジ部５１の外面５１ａまたは内面５１ｃに形成された金属酸化膜５３を介してフランジ部５１に融着接合する。
【００４５】
さらに、上記実施形態は、光検出器を光電子増倍管と、当該光電子増倍管を備えた放射線検出装置とに適用したものであるが、本発明の光検出器は、電子増倍部の無い電子管等にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る光検出器の一実施形態として光電子増倍管を示す平面図である。
【図２】図１に示した光電子増倍管の底面図である。
【図３】図１に示した光電子増倍管のIII-III線断面図である。
【図４】図３に示した光電子増倍管の上部の拡大断面図である。
【図５】図３に示した受光面板を形成しながら側管のフランジ部に融着接合する工程を示す側断面図である。
【図６】図３に示した光電子増倍管の変形例を示す側断面図である。
【図７】図３に示した光電子増倍管の別の変形例を示す側断面図である。
【図８】本発明に係る光検出器の他の実施形態として、図３に示した光電子増倍管を備えた放射線検出装置を示す構成図である。
【図９】側管の上端部に形成されたフランジ部の変形例を示す断面図である。
【図１０】図３に示した光電子増倍管の変形例における上部の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１,２０,２６…光電子増倍管（光検出器）、２,２７…側管、３…受光面板、３ａ…本体部、３ｂ…凸部、４…光電面、５…ステム、７…リング状側管、８…密封容器、９…電子増倍部、１２…アノード（陽極）、２１…放射線検出装置（光検出器）、２２…シンチレータ、５１…フランジ部、５１ａ…上面（外面）、５１ｂ…内縁面、５１ｃ…内面、５３…金属酸化膜、５４…導電性の薄膜、５６…ワイヤ、５７…ガラス平板。
【図１】
2006127971.tif 000003
【図２】
2006127971.tif 000004
【図３】
2006127971.tif 000005
【図４】
2006127971.tif 000006
【図５】
2006127971.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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