(57)【要約】【課題】  所望の形状及び径のレンズを有する光素子を容易に製造することにある。【解決手段】  光素子の製造方法は、樹脂材料の複数の液滴１０を吐出することにより、柱状部１３０の光学面１２８に樹脂材料からなるレンズ２６を形成することを含み、（ａ）光学面１２８の中央部２４を囲む仮想多角形２０の各頂点位置Ａ１〜Ａ６に樹脂材料の液滴を吐出することにより、樹脂材料１１〜１６からなる外壁部２２を形成し、（ｂ）外壁部２２により囲まれた位置に樹脂材料の液滴を吐出することにより、レンズ２６を外壁部２２と一体化させて形成する。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂材料の複数の液滴を吐出することにより、柱状部の光学面に前記樹脂材料からなるレンズを形成することを含み、
（ａ）前記光学面の中央部を囲む仮想多角形の各頂点位置に前記樹脂材料の液滴を吐出することにより、前記樹脂材料からなる外壁部を形成し、
（ｂ）前記外壁部により囲まれた位置に前記樹脂材料の液滴を吐出することにより、前記レンズを前記外壁部と一体化させて形成する、光素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の光素子の製造方法において、
前記（ａ）工程で、前記仮想多角形の１つの頂点位置において前記外壁部を形成するための必要量の前記樹脂材料の液滴を吐出した後に、他の頂点位置に前記樹脂材料の液滴を吐出する、光素子の製造方法。
【請求項３】
請求項１記載の光素子の製造方法において、
前記（ａ）工程で、前記仮想多角形の各頂点位置ごとに順番に前記樹脂材料の液滴を吐出する一連のサイクルを複数回繰り返して行う、光素子の製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の光素子の製造方法において、
前記（ａ）工程で、前記外壁部を前記仮想多角形の各頂点位置同士で連結するように形成する、光素子の製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の光素子の製造方法において、
前記仮想多角形の頂点位置は、前記光学面の周縁に沿って設けられている、光素子の製造方法。
【請求項６】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の光素子の製造方法において、
前記仮想多角形の頂点位置は、前記柱状部の周縁に沿って設けられている、光素子の製造方法。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の光素子の製造方法において、
前記（ａ）及び（ｂ）工程の吐出時の前記樹脂材料には希釈溶剤が添加されている、光素子の製造方法。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の光素子の製造方法において、
前記（ａ）及び（ｂ）の少なくとも一方の工程で、前記光素子を加熱しながら前記樹脂材料の液滴を吐出する、光素子の製造方法。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれかに記載の光素子の製造方法において、
前記（ａ）及び（ｂ）の少なくとも一方の工程で、前記樹脂材料の液滴をインクジェット方式により吐出する、光素子の製造方法。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれかに記載の光素子の製造方法において、
前記樹脂材料は熱硬化型材料からなり、
前記（ｂ）工程後に、前記光素子を加熱することにより、前記樹脂材料を硬化させることをさらに含む、光素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光素子の光学面（例えば面発光型半導体レーザであれば出射面）にレンズを製造する方法として、例えばレンズ材料からなる液滴を吐出した後、それを硬化させる方法が知られている。従来の方法によれば、光学面の中心点に液滴を複数回吐出させることにより、所望の径を有するレンズを形成する。しかし、これによれば、着弾したレンズ材料が周囲に流動してしまい、所望形状のレンズを形成することができないことがある。改善策として、レンズ材料の液滴を吐出する前に、液滴を着弾させる領域又はその周囲に親液処理又は撥液処理を行うことにより、レンズ材料の流動を防止する方法が知られているが、この方法によってもレンズ形状を所望の形状及び径に制御することは難しい。
【特許文献１】特開２０００−２８０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、所望の形状及び径のレンズを有する光素子を容易に製造することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
（１）本発明に係る光素子の製造方法は、樹脂材料の複数の液滴を吐出することにより、柱状部の光学面に前記樹脂材料からなるレンズを形成することを含み、
（ａ）前記光学面の中央部を囲む仮想多角形の各頂点位置に前記樹脂材料の液滴を吐出することにより、前記樹脂材料からなる外壁部を形成し、
（ｂ）前記外壁部により囲まれた位置に前記樹脂材料の液滴を吐出することにより、前記レンズを前記外壁部と一体化させて形成する。本発明によれば、樹脂材料からなる外壁部を形成した後に、外壁部により囲まれた位置に樹脂材料の液滴を吐出してレンズを形成するので、中央部に設けられた樹脂材料の流動が堰き止められ、レンズ形状を所望の形状及び径に制御することが容易になる。
【０００５】
（２）この光素子の製造方法において、
前記（ａ）工程で、前記仮想多角形の１つの頂点位置において前記外壁部を形成するための必要量の前記樹脂材料の液滴を吐出した後に、他の頂点位置に前記樹脂材料の液滴を吐出してもよい。これによれば、先に吐出した液滴が硬化する前に次の液滴を吐出することができる。そのため、樹脂材料の硬化が均一となり、所望形状の外壁部が形成しやすい。
【０００６】
（３）この光素子の製造方法において、
前記（ａ）工程で、前記仮想多角形の各頂点位置ごとに順番に前記樹脂材料の液滴を吐出する一連のサイクルを複数回繰り返して行ってもよい。これによれば、１つの頂点位置において、次の液滴が着弾するまでの時間が長くなるので、先に吐出した液滴が硬化し始めた後に次の液滴を吐出することができる。そのため、樹脂材料が周囲に流動するのを防止しやすい。
【０００７】
（４）この光素子の製造方法において、
前記（ａ）工程で、前記外壁部を前記仮想多角形の各頂点位置同士で連結するように形成してもよい。これによれば、外壁部によりほぼ閉じた領域を形成することができるので、中央部に設ける樹脂材料が流動するのを確実に防止することができる。
【０００８】
（５）この光素子の製造方法において、
前記仮想多角形の頂点位置は、前記光学面の周縁に沿って設けられていてもよい。
【０００９】
（６）この光素子の製造方法において、
前記仮想多角形の頂点位置は、前記柱状部の周縁に沿って設けられていてもよい。
【００１０】
（７）この光素子の製造方法において、
前記（ａ）及び（ｂ）工程の吐出時における前記樹脂材料には希釈溶剤が添加されていてもよい。
【００１１】
（８）この光素子の製造方法において、
前記（ａ）及び（ｂ）の少なくとも一方の工程で、前記光素子を加熱しながら前記樹脂材料の液滴を吐出してもよい。これによれば、着弾した樹脂材料に対して高表面張力が維持され、中央部に設ける樹脂材料が流動するのを確実に防止することができる。
【００１２】
（９）この光素子の製造方法において、
前記（ａ）及び（ｂ）の少なくとも一方の工程で、前記樹脂材料の液滴をインクジェット方式により吐出してもよい。これによれば、樹脂材料の吐出工程の容易化及び時間短縮を図ることができる。
【００１３】
（１０）この光素子の製造方法において、
前記樹脂材料は熱硬化型材料からなり、
前記（ｂ）工程後に、前記光素子を加熱することにより、前記樹脂材料を硬化させることをさらに含んでもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１〜図６は、本発明を適用した実施の形態に係る光素子の製造方法を説明する図である。図２は、図１のII−II線断面図である。
【００１６】
まず、図１及び図２に示すように光素子１００を用意する。光素子１００は、基板１１０と、柱状部１３０と、樹脂層１４０と、電極１５０，１５２と、を含む。本実施の形態では、光素子１００が面発光型半導体レーザである場合を例として説明する。
【００１７】
基板１１０は、半導体基板（例えばｎ型ＧａＡｓ基板）である。柱状部１３０は、基板１１０に支持されている。柱状部１３０は、例えば円柱形状をなしている。図１に示す例では、１つの基板１１０に１つの柱状部１３０を有するが、複数の柱状部１３０を有していてもよい。柱状部１３０の上面の中央部は、光（レーザ光）が出射する光学面１２８となっている。光学面１２８は、樹脂層１４０及び電極１５０から露出している。
【００１８】
図２に示す例では、基板１１０上に素子部１２０が形成され、素子部１２０の一部が柱状部１３０となっている。素子部１２０の断面形状は、凸型をなしている。基板１１０及び素子部１２０の両者の平面形状は、同一（例えば矩形）であってもよい。あるいは、素子部１２０の平面形状は基板１１０の平面形状よりも小さくてもよく基板１１０の一部が露出していてもよい。面発光型半導体レーザの場合、素子部１２０は共振器（垂直共振器）と呼ばれる。
【００１９】
素子部１２０は、例えば、ｎ型Ａｌ０．９Ｇａ０．１Ａｓ層とｎ型Ａｌ０．１５Ｇａ０．８５Ａｓ層とを交互に積層した４０ペアの分布反射型多層膜ミラーである第１ミラー（第１半導体層）１２２と、ＧａＡｓウエル層とＡｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓバリア層からなり、ウエル層が３層で構成される量子井戸構造を含む活性層１２３と、ｐ型Ａｌ０．９Ｇａ０．１Ａｓ層とｐ型Ａｌ０．１５Ｇａ０．８５Ａｓ層とを交互に積層した２５ペアの分布反射型多層膜ミラーである第２ミラー（第２半導体層）１２４と、が順次積層して構成されている。なお、第１ミラー１２２、活性層１２３、及び第２ミラー１２４を構成する各層の組成及び層数はこれに限定されるわけではない。また、活性層１２３は、キャリアの再結合が生じる層を有していればよく、単一量子井戸構造又は多重量子井戸構造のいずれを適用してもよい。
【００２０】
第２ミラー１２４は、例えばＣ，Ｚｎ，Ｍｇなどがドーピングされることによりｐ型にされ、第１ミラー１２２は、例えばＳｉ，Ｓｅなどがドーピングされることによりｎ型にされている。したがって、例えば第２ミラー１２４、不純物がドーピングされていない活性層１２３、及び第１ミラー１２２により、ｐｉｎダイオードが形成される。
【００２１】
第２ミラー１２４を構成する層のうち活性層１２３に近い領域に、酸化アルミニウムを主成分とする電流狭窄層１２５が形成されている。この電流狭窄層１２５は、リング状に形成されている。すなわち、この電流狭窄層１２５は、光学面１２８に平行な面で切断した場合における断面が同心円状である。
【００２２】
柱状部１３０は、少なくとも第２ミラー１２４を含む（例えば第２ミラー１２４、活性層１２３及び第１ミラー１２２の一部を含む）半導体積層体をいう。柱状部１３０は、素子部１２０の他の部分を介して、基板１１０の上方に形成されている。
【００２３】
樹脂層１４０は、柱状部１３０に接触して形成されている。樹脂層１４０は、基板１１０の上方であって柱状部１３０の周囲に形成され、柱状部１３０の上面の周縁に至るように形成されていてもよい。樹脂層１４０は、例えば、ポリイミド樹脂、フッ素系樹脂、アクリル樹脂、又はエポキシ樹脂などから形成することができる。
【００２４】
電極（第１の電極）１５０は、樹脂層１４０上に形成されている。図２に示すように、樹脂層１４０と電極１５０の間に、保護層（例えばＳｉＮ層）１４２が介在していてもよい。電極１５０は、柱状部１３０の上面の周縁に沿って連続して設けられている。電極１５０は、柱状部１３０の上面と接触する部分がリング状になっていてもよい。柱状部１３０の上面のうち、電極１５０の開口部１５４から露出する部分が光学面１２８となっている。電極１５０は、例えばＡｕ及びＺｎの合金とＡｕとの積層膜からなる。一方、電極（第２の電極）１５２は、基板１１０の裏面に形成されている。あるいは、電極１５２は、基板１１０の表面であって樹脂層１４０からの露出領域に形成されていてもよい。電極１５２は、例えばＡｕ及びＧｅの合金とＡｕとの積層膜からなる。これによれば、電極１５０，１５２によって、第１及び第２ミラー１２２，１２４の間の活性層１２３に電流を流すことができる。なお、電極１５０，１５２の材料は、上述に限定されず、例えばＴｉ，Ｎｉ，Ａｕ又はＰｔなどの金属やこれらの合金などが利用可能である。
【００２５】
なお、本実施の形態において用意する光素子１００は、面発光型半導体レーザに限定されるわけではなく、他の発光素子（例えば、半導体発光ダイオードや、有機ＬＥＤ）であってもよく、あるいは受光素子（例えばフォトダイオード）であってもよい。受光素子であれば、柱状部１３０の光学面が光の入射面となる。受光素子の場合、少なくとも光吸収層を有し、光吸収層はｐｉｎダイオードの中間層であってもよいし、ｐｎ接合ダイオードの界面の層であってもよい。
【００２６】
また、上述の各半導体において、ｐ型とｎ型を入れ替えてもよい。また、上述の例では、ＡｌＧａＡｓ系のものについて説明したが、発振波長に応じてその他の材料系、例えば、ＧａＩｎＰ系、ＺｎＳＳｅ系、ＩｎＧａＮ系、ＡｌＧａＮ系、ＩｎＧａＡｓ系、ＧａＩｎＮＡｓ系、ＧａＡｓＳｂ系の半導体材料を用いることも可能である。
【００２７】
本実施の形態では、図３〜図６に示すように、上述の光素子１００の光学面１２８にレンズ２６を形成する。詳しくは、液滴吐出法により複数の液滴１０を着弾させることにより、樹脂材料からなるレンズ２６を形成する。なお、図３〜図５は柱状部の上面の概略図を示している。
【００２８】
（１）まず、図３及び図４に示すように、光学面１２８の中央部２４を囲む仮想多角形２０の各頂点位置（頂点Ａ１〜Ａ６）に樹脂材料の液滴１０を吐出することにより、樹脂材料１１〜１６からなる外壁部２２を形成する。
【００２９】
樹脂材料は、所定波長の光を透過する光透過性樹脂材料（例えば透明樹脂材料）である。例えば、樹脂材料は、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、あるいはフッ素系樹脂を用いることができる。また、樹脂材料は、所定のエネルギー（熱又は光）を加えることにより硬化する性質を有している。樹脂材料が熱硬化型を有していれば、樹脂材料を設けた後に加熱することにより硬化させることができる。あるいは、樹脂材料が光硬化型（例えば紫外線硬化型）を有していれば、樹脂材料を設けた後に光（例えば紫外光）を照射することにより硬化させることができる。また、吐出時の樹脂材料には希釈溶剤が添加されていてもよい。こうすることにより、吐出する際の樹脂材料の粘度を調整（例えば低粘度化）することができる。希釈溶剤としてはすでに公知の溶剤を適用することができ、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、メトキシメチルプロピオネート、キシレン、トルエン、Ｎ−メチル−２−ピロリドンなどが挙げられる。
【００３０】
樹脂材料の液滴の吐出方法としては、インクジェット方式を適用することができる。インクジェット方式によれば、インクジェットプリンタ用に実用化された技術を応用することで、樹脂材料の液滴１０を短時間の処理でかつ容易に吐出することができる。インクジェットヘッドは、例えばインクジェットプリンタ用に実用化されたもので、圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ、あるいはエネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたバブルジェット（登録商標）タイプ等が使用可能であり、吐出面積および吐出パターンは任意に設定することが可能である。あるいは、その他の吐出方法として、ディスペンサによる吐出方式を適用してもよい。
【００３１】
次に、樹脂材料の液滴の吐出位置を説明する。
【００３２】
本工程では、樹脂材料の液滴１０は、光学面１２８の中央部２４を囲む仮想多角形２０の各頂点位置に吐出する。言い換えれば、本工程では、樹脂材料の液滴１０は、光学面１２８の中央部２４を避ける領域（例えば光学面１２８の端部）に吐出する。
【００３３】
仮想多角形２０は、図３に示すように例えば６個の頂点（頂点Ａ１〜Ａ６）を有する六角形（正六角形）であってもよい。あるいは、仮想多角形２０の形状は上述に限定されるものではなく、三角形、四角形、五角形などのその他の多角形であってもよい。仮想多角形２０が光学面１２８の中央部２４を中心とする正多角形であれば、外壁部２２をバランス良く配置することができるので、その後の工程で光学面１２８の中央部２４に設ける樹脂材料の流動を効果的に防止することができる。
【００３４】
本実施の形態では、仮想多角形２０の各頂点位置（頂点Ａ１〜Ａ６）は、光学面１２８の周縁に沿って設けられている。頂点Ａ１〜Ａ６の全部が光学面１２８の周縁に沿って設けられていてもよく、その一部のみが光学面１２８の周縁に沿って設けられていてもよい。光学面１２８の周縁とは、光学面１２８と電極１５０の境界部分に相当し、言い換えれば電極１５０の開口部１５４の端部に相当する（図２参照）。
【００３５】
次に、仮想多角形２０の各頂点位置（頂点Ａ１〜Ａ６）への液滴の吐出の順番について説明する。
【００３６】
第１例としては、図３に示すように、まず、樹脂材料の１回目の液滴１０を頂点Ａ１に吐出及び着弾させる。１回の吐出のみで外壁部２２を形成するための必要量が得られなければ、必要量が得られるまで液滴１０を頂点Ａ１に複数回吐出し続ける。そして、頂点Ａ１において外壁部２２を形成するために必要量の樹脂材料１１が得られれば、その後頂点Ａ２にも同様の工程を繰り返し、さらにその他の頂点Ａ３〜Ａ６にも同様の工程を行う。
【００３７】
こうして、図４に示すように、仮想多角形２０の複数の頂点位置（頂点Ａ１〜Ａ６）に樹脂材料１１〜１６を形成し、外壁部２２を形成することができる。これによれば、仮想多角形２０の１つの頂点位置において外壁部２２を形成するための必要量の樹脂材料の液滴を吐出した後に、他の頂点位置に樹脂材料の液滴を吐出するので、先に吐出した液滴が硬化する前に次の液滴を吐出することができる。そのため、樹脂材料の硬化が均一となり、所望形状の外壁部２２が形成しやすくなる。
【００３８】
第２例としては、まず、樹脂材料の１回目の液滴１０を頂点Ａ１に吐出及び着弾させ、１回の吐出のみ（又は複数回の吐出）で外壁部２２を形成するための必要量が得られなくても、次の頂点Ａ２に樹脂材料の液滴１０を吐出及び着弾させる。すなわち、仮想多角形２０の各頂点位置（頂点Ａ１〜Ａ６）ごとに順番に樹脂材料の液滴１０を吐出する一連のサイクルを複数回繰り返し行う。そして、所定回数のサイクルを繰り返し行うことにより、図４に示すように、外壁部２２を形成する。これによれば、１つの頂点位置において、次の液滴が着弾するまでの時間が長くなるので、先に吐出した液滴が硬化し始めた後に次の液滴を吐出することができる。そのため、樹脂材料の周囲への流動を効果的に防止することができる。
【００３９】
あるいは、複数の光素子１００が配列された状態（例えばウエハ状態又は治具上に配列された状態）で作業する場合、吐出装置のタクトタイムの向上、吐出位置決め精度上などの観点から、１つの光素子の頂点Ａ１に樹脂材料の液滴１０を吐出した後、他の光素子の頂点Ａ１に同様に吐出し、少なくとも２個以上の光素子の頂点Ａ１の吐出終了後に、同様の工程を次の頂点Ａ２に対して行うこともできる。このことは、上述の第１例及び第２例の両方に適用することができる。
【００４０】
なお、吐出の１回分の液滴量は、吐出回数、レンズ径の大きさ、光学面の面積などの各パラメータに基づいて適宜調整することができる。これにより、いずれかの頂点位置への１回目の吐出のみで外壁部２２を形成するための必要量を得ることも可能である。
【００４１】
図４に示すように、外壁部２２を仮想多角形２０の各頂点位置（頂点Ａ１〜Ａ６）同士で連結するように形成してもよい。すなわち、隣同士の頂点位置において樹脂材料が連結するように、樹脂材料の径の大きさを調整する。これによれば、外壁部２２により光学面１２８の中央部２４をほぼ閉じた領域にすることができるので、その後の工程で、光学面１２８の中央部２４に設ける樹脂材料の流動を確実に防止することができる。変形例として、上述の外壁部は、仮想多角形２０の各頂点位置ごとに分離して設けられていてもよい。すなわち、いずれかの頂点位置に設けられた樹脂材料は、隣の頂点位置に設けられた樹脂材料とは非接触となっていてもよい。
【００４２】
本工程において、樹脂材料の液滴１０の吐出は、光素子１００を加熱しながら行うことができる。これにより、樹脂材料に添加される希釈溶剤を蒸発させることができる。また、樹脂材料が熱硬化型であれば、樹脂材料の硬化反応を促進させることができる。この結果、着弾した樹脂材料に対して高表面張力が維持され、その後の工程において、光学面１２８の中央部２４に設ける樹脂材料の流動を効果的に防止することができる。なお、樹脂材料が光硬化型（例えば紫外線硬化型）であれば、光を照射しながら樹脂材料の液滴１０を吐出すると、光学面１２８に着弾した樹脂材料が光により硬化し始めるので、樹脂材料の流動を効果的に防止することができる。
【００４３】
（２）図５に示すように、外壁部２２により囲まれた位置（光学面１２８の中央部２４）に樹脂材料の液滴を吐出することにより、外壁部２２と一体化したレンズ２６を形成する。これによれば、樹脂材料からなる外壁部２２を形成した後に、外壁部２２により囲まれた位置に樹脂材料の液滴を吐出してレンズ２６を形成するので、中央部２４に設けられた樹脂材料の流動が堰き止められ、レンズ形状を所望の形状及び径に制御することが容易になる。
【００４４】
本工程で使用する樹脂材料としては、外壁部２２と同一材料を使用することができる。液滴の吐出方法として、上述のインクジェット方式などを適用してもよい。液滴の吐出位置は、外壁部２２により囲まれた位置であればよく、例えば光学面１２８の中央部２４に１回又は複数回吐出すればよい。本工程においても、樹脂材料の液滴の吐出は、光素子１００を加熱しながら行うことができるし、また光を照射しながら行うこともできる。吐出量としては、例えば図５に示すように、外壁部２２を含む一体的な球状が得られる程度に吐出すればよい。
【００４５】
（３）レンズ２６を形成した後、レンズ２６を構成する樹脂材料に所定のエネルギーを加えることにより硬化させる。エネルギー硬化の詳細は樹脂材料について説明した通りである。例えば、光素子１００を加熱することにより、レンズ２６を硬化させてもよい。また、光素子１００の加熱により、希釈材料を揮発させることができる。
【００４６】
こうして、図６に示すように、レンズ２６を含む光素子１０１を製造することができる。レンズ２６は、例えば球状の一部からなる形状をなし、光学面１２８上に設けられている。
【００４７】
（変形例）
図７〜図９は、本実施の形態の変形例を示す図であり、詳しくは柱状部の上面の概略図を示している。
【００４８】
本変形例においても上述と同様に、光学面１２８の中央部２４を囲む仮想多角形５０の各頂点位置（頂点Ｂ１〜Ｂ６）に樹脂材料の液滴４０を吐出することにより、樹脂材料４１〜４６からなる外壁部５２を形成し、外壁部５２により囲まれた中央部２４に再び液滴を吐出することにより、外壁部５２と一体化したレンズ５６を形成する。
【００４９】
本変形例では、仮想多角形５０の各頂点位置（頂点Ｂ１〜Ｂ６）は、柱状部１３０の周縁に沿って設けられている。頂点Ｂ１〜Ｂ６の全部が柱状部１３０の周縁に沿って設けられていてもよく、その一部のみが柱状部１３０の周縁に沿って設けられていてもよい。柱状部１３０の周縁が樹脂層１４０又は電極１５０により覆われている場合には、その樹脂層１４０又は電極１５０上に樹脂材料の液滴４０を吐出する。本変形例は、比較的大きいレンズ径を得る必要がある場合（例えば大径のレンズを有する受光素子を製造する場合）に特に効果的である。
【００５０】
あるいは、さらに大径のレンズを形成する場合には、樹脂材料の液滴を柱状部１３０の外側の領域に吐出及び着弾させることにより外壁部を形成してもよい。その場合には、仮想多角形の各頂点位置は、柱状部１３０の外側の領域に設けられることになる。
【００５１】
なお、本変形例のその他の詳細はすでに説明した内容を適用することができるので省略する。
【００５２】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施の形態で使用する光素子の平面図。
【図２】本発明の実施の形態で使用する光素子の断面図。
【図３】本発明の実施の形態に係る光素子の製造方法を示す図。
【図４】本発明の実施の形態に係る光素子の製造方法を示す図。
【図５】本発明の実施の形態に係る光素子の製造方法を示す図。
【図６】本発明の実施の形態に係る光素子の製造方法を示す図。
【図７】本発明の実施の形態の変形例に係る光素子の製造方法を示す図。
【図８】本発明の実施の形態の変形例に係る光素子の製造方法を示す図。
【図９】本発明の実施の形態の変形例に係る光素子の製造方法を示す図。
【符号の説明】
【００５４】
１０…液滴  １１…樹脂材料  ２０…仮想多角形  ２２…外壁部  ２４…中央部
２６…レンズ  ４０…液滴  ５０…仮想多角形  ５２…外壁部  ５６…レンズ
１０１…光素子
【図１】
2006224320.tif 000003
【図２】
2006224320.tif 000004
【図３】
2006224320.tif 000005
【図４】
2006224320.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006224320.tif 000008
【図７】
2006224320.tif 000009
【図８】
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【図９】
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