(57)【要約】【課題】  ミストの発生を抑えてフラッシング動作を良好に実施することができる液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの制御方法を提供する。【解決手段】  ノズル開口に連通する圧力発生室に付設されるアクチュエータに吐出駆動信号を供給して前記圧力発生室内に圧力を付与することにより前記ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドと、フラッシング駆動信号１６０を生成するフラッシング制御手段を少なくとも有する制御部とを具備し、フラッシング制御手段が、ノズル開口から液滴を４〜８（ｍ／ｓ）のスピードで吐出させる吐出振動を励起させる吐出信号１６１とノズル開口から液滴が吐出されない程度に圧力発生室内の液体に微振動を励起させる微振動信号１６２とを備えた一連のフラッシング駆動信号１６０を生成し、このフラッシング駆動信号１６０をアクチュエータに供給する。【選択図】      図５
2006224608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力発生室に付設されるアクチュエータに吐出駆動信号を供給して前記圧力発生室内に圧力を付与することにより前記ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドと、フラッシング駆動信号を生成するフラッシング制御手段を少なくとも有する制御部とを具備し、前記フラッシング制御手段が、前記ノズル開口から液滴を４〜８（ｍ／ｓ）のスピードで吐出させる吐出振動を励起させる吐出信号と前記ノズル開口から液滴が吐出されない程度に前記圧力発生室内の液体に微振動を励起させる微振動信号とを備えた一連のフラッシング駆動信号を生成し、該フラッシング駆動信号を前記アクチュエータに供給することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
請求項１において、前記圧力発生室内の液体の粘度を取得する粘度取得手段をさらに具備し、前記フラッシング制御手段は、前記粘度取得手段が取得した結果に基づいて前記フラッシング駆動信号を生成することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項３】
請求項２において、前記粘度取得手段は、環境温度を測定する測定手段を含み、少なくとも前記測定手段の測定結果に基づいて前記圧力発生室の液体の粘度を算出することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項４】
請求項２又は３において、前記粘度取得手段は、液滴が最後に吐出されてからの経過時間を計測する計測手段を含み、少なくとも前記計測手段の計測結果に基づいて前記圧力発生室の粘度を算出することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項５】
ノズル開口に連通する圧力発生室に付設されるアクチュエータに吐出駆動信号を供給して前記圧力発生室内に圧力を付与することにより前記ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドの制御方法であって、
前記ノズル開口から液滴を吐出させる吐出振動を励起させる吐出信号と前記ノズル開口から液滴が吐出されない程度に前記圧力発生室内の液体に微振動を励起させる微振動信号とを備えた一連のフラッシング駆動信号を前記アクチュエータに供給して、前記ノズル開口から４〜８（ｍ／ｓ）のスピードで液滴を吐出させることにより前記圧力発生室内の増粘した液滴を排出させることを特徴とする液体噴射ヘッドの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの制御方法に関し、特に、圧力発生室に供給されたインクを圧電素子又は発熱素子を介して加圧することによって、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドを備えたインクジェット式記録装置及びインクジェット式記録ヘッドの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置としては、例えば、圧電素子や発熱素子の圧力発生手段によって圧力発生室内に圧力を発生させ、圧力発生室に連通するノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録装置が挙げられる。
【０００３】
このようなインクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドには、前述したように圧力発生手段として圧力発生室内に駆動信号によりジュール熱を発生する抵抗線（発熱素子）を設けた電気熱変換式のものと、圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させてノズル開口からインク滴を吐出させる圧電振動式の２種類のものに大別される。また、圧電振動式のインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電素子を使用したものと、たわみ振動モードの圧電素子を使用したものの２種類が実用化されている。
【０００４】
これらのインクジェット式記録ヘッドでは、例えば、インクカートリッジ等から流路を介して圧力発生室にインクが供給され、駆動回路からの駆動信号によって、圧電素子等の圧力発生手段に所定のタイミングで駆動するエネルギが与えられることにより、圧力発生室内のインクが加圧されてノズル開口から吐出される。
【０００５】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、周囲の環境温度の変化に伴ってインクの粘度が増加し、ノズル開口の目詰まり等に起因する吐出不良が発生するという問題がある。そのため、通常、所定のタイミング、例えば、印刷開始時等に、ノズル開口からインク滴を吐出させることによって増粘したインクを排出し、吐出不良の発生を防止する、いわゆるフラッシング動作が行われている。
【０００６】
従来のフラッシング動作では、一般的には、インク滴を吐出させる吐出信号のみを組み合わせたフラッシング信号によって圧電素子等の圧力発生手段を駆動させ、これにより増粘したインクを排出させていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
しかしながら、このように吐出信号のみを組み合わせたフラッシング信号によって圧力発生手段を駆動させてフラッシング動作を行うと、比較的大量のインクを吐出させることになるため、ミストが多く発生してヘッドの周囲が汚れてしまうという問題がある。
【０００８】
また、ノズル開口からインク滴を吐出させない程度に圧力発生室内のインクに圧力を付与する微振動信号と、インク滴を吐出させる吐出信号とを組み合わせた駆動信号によって圧力発生手段を駆動させ、増粘したインクを撹拌すると共に排出させるようにしたものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００９】
このように微振動信号によってインクを撹拌すると共にインクを排出させることで、増粘したインクを良好に排出することができ且つミストの発生もある程度防止することができると考えられる。しかしながら、このようなフラッシング信号を用いてフラッシング動作を実行した場合でも、ミストの発生を十分に抑えることは難しい。
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−１０５６１３号公報（特許請求の範囲、第６図等）
【特許文献２】特開２００３−８０７０２号公報（特許請求の範囲、第７図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑み、ミストの発生を抑えてフラッシング動作を良好に実施することができる液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの制御方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室に付設されるアクチュエータに吐出駆動信号を供給して前記圧力発生室内に圧力を付与することにより前記ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドと、フラッシング駆動信号を生成するフラッシング制御手段を少なくとも有する制御部とを具備し、前記フラッシング制御手段が、前記ノズル開口から液滴を４〜８（ｍ／ｓ）のスピードで吐出させる吐出振動を励起させる吐出信号と前記ノズル開口から液滴が吐出されない程度に前記圧力発生室内の液体に微振動を励起させる微振動信号とを備えた一連のフラッシング駆動信号を生成し、該フラッシング駆動信号を前記アクチュエータに供給することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第１の態様では、フラッシング動作によって、圧力発生室内で増粘した液体を撹拌しながら吐出させるため、増粘した液体を排出することができる。特に、液滴を所定のスピードで吐出させることで、ミストの発生を抑えながら増粘した液滴を良好に排出することができる。なお、吐出スピードが４（ｍ／ｓ）よりも遅い場合は、増粘したインクを排出する能力がなく、また、ノズル開口からインク滴が吐出できたとしても吸収材に届く前にミストとなってしまい、所定の場所に着弾できない可能性が非常に高くなる。一方、吐出スピードが８（ｍ／ｓ）よりも速い場合には、サテライトドットが割れてミストとなりやすく、結果的にミストが大量に発生することになる。
【００１３】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記圧力発生室内の液体の粘度を取得する粘度取得手段をさらに具備し、前記フラッシング制御手段は、前記粘度取得手段が取得した結果に基づいて前記フラッシング駆動信号を生成することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第２の態様では、フラッシング動作によって、圧力発生室内の増粘したインクを効率的に排出することができる。
【００１４】
本発明の第３の態様は、第２の態様において、前記粘度取得手段は、環境温度を測定する測定手段を含み、少なくとも前記測定手段の測定結果に基づいて前記圧力発生室の液体の粘度を算出することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第３の態様では、圧力発生室内の液体の粘度の情報を比較的容易に取得することができる。
【００１５】
本発明の第４の態様は、第２又は３の態様において、前記粘度取得手段は、液滴が最後に吐出されてからの経過時間を計測する計測手段を含み、少なくとも前記計測手段の計測結果に基づいて前記圧力発生室の粘度を算出することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第４の態様では、圧力発生室内の液体の粘度の情報を比較的容易に取得することができる。
【００１６】
本発明の第５の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室に付設されるアクチュエータに吐出駆動信号を供給して前記圧力発生室内に圧力を付与することにより前記ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドの制御方法であって、前記ノズル開口から液滴を吐出させる吐出振動を励起させる吐出信号と前記ノズル開口から液滴が吐出されない程度に前記圧力発生室内の液体に微振動を励起させる微振動信号とを備えた一連のフラッシング駆動信号を前記アクチュエータに供給して、前記ノズル開口から４〜８（ｍ／ｓ）のスピードで液滴を吐出させることにより前記圧力発生室内の増粘した液滴を排出させることを特徴とする液体噴射ヘッドの制御方法にある。
かかる第５の態様では、フラッシング動作によって、圧力発生室内で増粘した液体を撹拌しながら吐出させるため、増粘した液体を排出することができる。特に、液滴を所定のスピードで吐出させることで、ミストの発生を抑えながら増粘した液滴を良好に排出することができる。なお、吐出スピードが４（ｍ／ｓ）よりも遅い場合は、増粘したインクを排出する能力がなく、また、ノズル開口からインク滴が吐出できたとしても吸収材に届く前にミストとなってしまい、所定の場所に着弾できない可能性が非常に高くなる。一方、吐出スピードが８（ｍ／ｓ）よりも速い場合には、サテライトドットが割れてミストとなりやすく、結果的にミストが大量に発生することになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、実施形態に基づいて本発明を詳しく説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を示す概略図である。図１に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００１８】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ３に沿ってプラテン８が設けられており、給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送されるようになっている。
【００１９】
このようなインクジェット式記録装置では、キャリッジ３がキャリッジ軸５に沿って移動されると共にインクジェット式記録ヘッドによってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。
【００２０】
ここで、このようなインクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドについて、図２及び図３を参照して説明する。なお、図２は、実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの概略を示す分解斜視図であり、図３は、図２の平面図及び断面図である。
【００２１】
図示するように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド１０を構成する流路形成基板１１は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１１には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１１の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４を介して連通されている。なお、連通部１３は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００２２】
また、流路形成基板１１の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、後述するマスク膜を介して接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．０１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０-6／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。
【００２３】
一方、このような流路形成基板１１の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜５５が形成されている。また、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．１〜０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子１００を構成している。ここで、圧電素子１００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子１００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子１００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子１００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子１００と当該圧電素子１００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。
【００２４】
そして、このような各圧電素子１００の上電極膜８０には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０がそれぞれ接続され、このリード電極９０を介して各圧電素子１００に選択的に電圧が印加されるようになっている。
【００２５】
また、流路形成基板１１上の圧電素子１００側の面には、圧電素子１００に対向する領域に圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接合されている。圧電素子１００は、この圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。さらに、保護基板３０には、流路形成基板１１の連通部１３に対応する領域にリザーバ部３２が設けられている。このリザーバ部３２は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の並設方向に沿って設けられており、上述したように流路形成基板１１の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１１０を構成している。
【００２６】
また、保護基板３０の圧電素子保持部３１とリザーバ部３２との間、すなわちインク供給路１４に対応する領域には、この保護基板３０を厚さ方向に貫通する接続孔３３が設けられている。さらに、保護基板３０の圧電素子保持部３１側とは反対側の表面には図示しない外部配線が設けられている。そして、各圧電素子１００から引き出されたリード電極９０は、この接続孔３３まで延設されており、例えば、ワイヤボンディング等により外部配線と接続される。
【００２７】
保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなる。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１１０に対向する領域には、厚さ方向に完全に除去された開口部４３が形成され、リザーバ１１０の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２８】
そして、このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１１０からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動ＩＣからの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００２９】
このようなインクジェット式記録ヘッドにおけるインク滴吐出の制御を行う制御ブロックを図４に示す。図４に示すように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、実際に印刷を行う機構部となる記録ヘッド１０と、この記録ヘッド１０の動作を制御する制御部１５０とを有する。
【００３０】
制御部１５０の印刷制御手段１５１は、記録ヘッド１０の印刷動作の制御を行う。すなわち、印刷信号の入力に伴って記録ヘッド駆動回路１５２を介して記録ヘッド１０に印刷を実行させる。
【００３１】
粘度取得手段１５３は、圧力発生室１２内のインクの粘度、特に、ノズル開口２１近傍のインクの粘度を取得する。例えば、本実施形態では、粘度取得手段１５３は、記録ヘッド１０の周囲の環境温度を測定する測定手段１５４と、ノズル開口２１からインク滴が最後に吐出されてからの経過時間を計測する計測手段１５５とを含み、粘度取得手段１５３は、これら測定手段１５４の測定結果及び計測手段１５５の計測結果からインクの粘度を算出する。なお、粘度取得手段１５３が、圧力発生室１２内のインクの粘度を直接測定するようにしてもよいことは言うまでもない。
【００３２】
フラッシング制御手段１５６は、粘度取得手段１５３が取得した圧力発生室１２内のインク粘度の情報に基づいて、フラッシング動作を実施するためのフラッシング駆動信号を生成し、このフラッシング駆動信号を、記録ヘッド駆動回路１５２を介して記録ヘッド１０に供給する。
【００３３】
なお、ここでいう「フラッシング動作」とは、印刷待機状態において、記録ヘッド１０をキャリッジ３やキャリッジ軸５で示されるようなキャリッジ機構によってそのホーム位置まで移動させ、図示しない吸収材に向けてインク滴を吐出させる動作のことをいう。そして、このようなフラッシング動作を実行することで、インクの増粘等によるノズル開口２１の詰まりを防止している。
【００３４】
ここで、フラッシング制御手段１５６が生成するフラッシング駆動信号について説明する。フラッシング駆動信号１６０は、例えば、図５（ａ）に示すように、インク滴を吐出させるための吐出信号１６１と、圧力発生室１２内のインクを撹拌する複数の微振動信号１６２とで構成されている。例えば、本実施形態では、１つの吐出信号１６１と、３つの微振動信号１６２とで一連のフラッシング駆動信号１６０が構成されている。そして、本発明では、このようなフラッシング信号１６０を圧電素子１００に印加することで、フラッシング動作時に、４〜８（ｍ／ｓ）の吐出スピードでインク滴が吐出されるようにしている。
【００３５】
そして、このような吐出信号１６１と微振動信号１６２とで構成されるフラッシング駆動信号１６０は、フラッシング制御手段１５６が、例えば、図５（ｂ）に示すような、インク滴を吐出するための吐出信号１７１と微振動信号１７２とが組み合わされた基本信号１７０から、粘度取得手段１５３が取得した情報に基づいて、吐出信号１７１（１６１）と所定数の微振動信号１７２（１６２）とを適宜選択することによって生成される。
【００３６】
このようなフラッシング駆動信号１６０を構成する吐出信号１６１の波形形状は、特に限定されないが、本実施形態は、印刷時に圧電素子１００に印加される吐出信号と同一の波形形状のものを用いている。なお、本実施形態では、印刷時に圧電素子１００に印加される吐出信号には、約７（ｎｇ）のインク滴を吐出する大ドット吐出信号と、約３．８（ｎｇ）のインク滴を吐出する小ドット吐出信号とが含まれ、これら大ドット吐出信号及び小ドット吐出信号は、印刷条件等に応じて適宜選択されて圧電素子１００に印加されるようになっている。そして、フラッシング駆動信号１６０に含まれる吐出信号１６１としては、これら大ドット吐出信号と小ドット吐出信号との何れを用いてもよいが、インクの粘度が比較的大きい場合には、後述するように小ドット吐出信号を用いるのが好ましい。
【００３７】
また、フラッシング駆動信号１６０を構成する吐出信号１６１の波形形状も特に限定されるものではない。また、吐出信号１６１の数は少なくとも一つ含まれていれば特に限定されず、粘度取得手段１５３が取得した情報に基づいて適宜決定されればよい。
【００３８】
そして、このようにフラッシング制御手段が、吐出信号と微振動信号とで構成される一連のフラッシング信号を生成すると共に圧電素子１００に印加して、４〜８（ｍ／ｓ）の吐出スピードでインク滴を吐出させてフラッシング動作を行うようにすることで、圧力発生室１２内のノズル開口２１近傍で増粘したインクを効果的且つ確実に排出することができる。したがって、インク滴を吐出する際に、飛行曲がり等の不安定吐出や、ノズル開口内に気泡を取り込むことによる吐出不良も防止でき、安定したインク吐出を行うことができる。さらに、フラッシング動作時のインク消費量を大幅に抑えられると共に、インク滴の吐出に伴うインクミストの発生も極めて少なく抑えることができ、ヘッドの汚れを防止することもできる。
【００３９】
なお、インクミストの抑制には、フラッシング動作時のインク吐出スピードを４〜８（ｍ／ｓ）とするのが特に効果的である。インク滴の吐出スピードが遅いとサテライトドットの発生は少ないものの、吐出速度が４（ｍ／ｓ）よりも遅い場合は、増粘したインクを排出する能力がなくなってしまう。また、仮にノズル開口からインク滴が吐出できたとしても、インク滴が着弾するまでに時間がかかることによって、フラッシングによって発生する風の影響を受けやすくなるため、吸収材に届く前にミストとなって浮遊してしまい、吸収材に着弾できない可能性が非常に高くなる。一方、インク滴の吐出スピードが速い場合は、直進する力が強いため周囲の風の影響は受けにくいもののサテライトドットが発生してしまう。特に、吐出スピードが８（ｍ／ｓ）よりも速い場合には、サテライトドットがさらに複数のサテライトドットに分裂して、大量のミストを発生させやすくなる。なお、ここでいう「サテライトドット」とは、メインドットのインク滴と同一の吐出パルスによって吐出されて、メインドットのインク滴に追随するかのように発生してしまうインク滴のことを指す。
【００４０】
ここで、図６〜図８に示す実施例１〜４及び比較例のフラッシング駆動信号を用いてフラッシング動作を行い、各フラッシング駆動信号を用いることでインク滴の飛行状態がどの程度回復しているか（回復状態）を調べた。また、同時に、フラッシング動作に用いたインクの消費量（比較例のフラッシング駆動信号でのフラッシング動作におけるインク消費量を１としたときの比率）を調べた。その結果を下記表１に示す。
【００４１】
なお、図６に示す実施例１のフラッシング駆動信号１６０Ａ及び実施例２のフラッシング駆動信号１６０Ｂは、何れも、上述した小ドット吐出信号１６１Ａと微振動信号１６２とで構成され、インク滴の吐出スピードが４〜８（ｍ／ｓ）となるようにしたものである。そして、実施例１のフラッシング駆動信号１６０Ａと実施例２のフラッシング駆動信号１６０Ｂとは、小ドット吐出信号１６１Ａを発生させるタイミングが異なる以外は同一である。一方、図７に示す実施例３のフラッシング駆動信号１６０Ｃ及び実施例４のフラッシング駆動信号１６０Ｄは、何れも、上述した大ドット吐出信号１６１Ｂと微振動駆動信号１６２とで構成されたものである。そして、実施例３のフラッシング駆動信号１６０Ｃは、吐出信号として大ドット吐出信号１６１Ｂが選択されている以外は実施例１のフラッシング駆動信号１６０Ａと同一であり、実施例４のフラッシング駆動信号１６０Ｄも、大ドット吐出信号１６１Ｂが選択されている以外は実施例２のフラッシング駆動信号１６０Ｂと同一である。また、図８に示す比較例のフラッシング駆動信号２００は、複数の吐出信号２０１のみで構成されており、各吐出信号２０１は、実施例３及び４の大ドット吐出信号１６１Ｂと同様の波形形状を有するものを選択した。
【００４２】
【表１】
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【００４３】
小ドット吐出信号１６１Ａを含む実施例１及び２のフラッシング駆動信号１６０Ａ，１６０Ｂの場合、インクの粘度に拘わらず、回復状態は全て良好であった。また、大ドット吐出信号１６１Ｂを含む実施例３及び４のフラッシング駆動信号１６０Ｃ，１６０Ｄの場合、インクの粘度が比較的大きいとインク滴に曲がりや吐出遅れ等が見られたものの、回復状態は比較例のフラッシング駆動信号２００の場合とほぼ同等かそれ以上であった。
【００４４】
さらに、実施例１〜４のフラッシング駆動信号１６０によってフラッシング動作を実施した場合のインク消費量は、比較例のフラッシング駆動信号２００を用いた場合と比較して、約１／６以下と大幅に低減することができた。すなわち、各実施例のフラッシング駆動信号を用いることで、比較的少量のインク吐出量で、比較例のときと同程度又はそれ以上にインク滴の吐出状態を回復させることができる。
【００４５】
（他の実施形態）
以上、本発明を実施形態に基づいて説明したが、勿論、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の本実施形態では、フラッシング制御手段１５６が、吐出信号１７１と微振動信号１７２とが組み合わされた基本信号１７０から、所定の信号を選択することによってフラッシング駆動信号１６０を生成するようにした例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図９に示すように、吐出信号１７１のみからなる第１の基本信号１７０Ａと、微振動信号１７２のみからなる第２の基本信号１７０Ｂとを設けておき、フラッシング制御手段１５６が、これら第１及び第２の基本信号１７０Ａ，１７０Ｂから、所定の吐出信号１７１（１６１）と微振動信号１７２（１６２）とを適宜選択することでフラッシング駆動信号１６０を生成するようにしてもよい。
【００４６】
また、上述の実施形態では、たわみ振動型のインクジェット式記録ヘッドを搭載したインクジェット式記録装置を例示して説明したが、これに限定されず、例えば、縦振動型のインクジェット式記録ヘッド、あるいは圧力発生室内に抵抗線を設けた電気熱変換式のインクジェット式記録ヘッド等、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドを搭載したインクジェット式記録ヘッドにも適用することができる。
【００４７】
さらに、本発明は、インクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録装置だけでなく、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。さらに、本発明の圧電素子の製造方法は、液体噴射ヘッドに利用されるものに限定されるものではなく、他のあらゆる装置、例えば、マイクロホン、発音体、各種振動子、発信子等に搭載される圧電素子及びその製造方法にも適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】実施形態１に係る記録装置の概略図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの概略斜視図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【図５】実施形態１に係るフラッシング駆動信号、基本信号の一例を示す図である。
【図６】実施例１及び２のフラッシング駆動信号を示す図である。
【図７】実施例３及び４のフラッシング駆動信号を示す図である。
【図８】比較例のフラッシング駆動信号を示す図である。
【図９】他の実施形態に係る基本信号及びフラッシング駆動信号を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０  インクジェット式記録ヘッド、  １１  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給路、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３１  圧電素子保持部、  ３２  リザーバ部、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １００  圧電素子、  １１０  リザーバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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