(57)【要約】【課題】  高剛性を得るための最適な気体膜厚さに設定することができるスライドテーブル装置を提供する。【解決手段】  複数の給気部７が設定されたスライドテーブル１の下面１ａの一部に吸気部９を設定したため、スライドテーブル１に下向きの力が作用し、高剛性を得るための最適な気体膜Ｍの厚さに設定することができる。給気部７がスライドテーブル１の周縁部寄りに位置しているため、給気部７間のスパンが大きくなり、軸受剛性がより向上する。吸気部９がスライドテーブル１の中央に位置しているため、吸気部９による下向きの力をスライドテーブル１の全体に作用させることができる。大気開放溝１０が形成されているため、給気部７と吸気部９の機能を独立して発揮させることができる。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライドテーブルの下面に設定された複数の給気部から高圧気体を噴出して静圧軸受となる気体膜を形成し、該気体膜を介してスライドテーブルを支持面上に非接触で支持するスライドテーブル装置であって、
前記スライドテーブルの下面の一部に吸気部を設定したことを特徴とするスライドテーブル装置。
【請求項２】
請求項１記載のスライドテーブル装置であって、
複数の給気部が、スライドテーブルの下面における周縁部寄り位置に設定され、吸気部がスライドテーブルの下面における中央寄り位置に設定されていることを特徴とするスライドテーブル装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のスライドテーブル装置であって、
給気部と吸気部との間に、大気開放溝が形成されていることを特徴とするスライドテーブル装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のスライドテーブル装置であって、
吸気部がスライドテーブルの下面に形成した凹部の底面に設定されていることを特徴とするスライドテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧軸受を利用したスライドテーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
静圧軸受を利用したスライドテーブル装置は、精密で滑らかな動きを行う工作機器や測定装置などに広く使用されている。この種のスライドテーブル装置としては、下面に複数の給気部を有するスライドテーブルが用いられ、給気部から高圧気体を噴射した状態で、スライドテーブルを支持面（平面状又はレール状）の上に支持する。
【０００３】
噴出された高圧気体により、スライドテーブルの下面と支持面との間には静圧軸受となる気体膜が形成され、該気体膜を介してスライドテーブルは支持面上に非接触で支持される。従って、起動時や運動時の摩擦が少なく、寿命が長いという特性を有している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３５２４２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような従来の技術にあっては、スライドテーブルの下面に設定された給気部から単に高圧気体を噴出する構造であったため、高剛性を得るための最適な気体膜厚さに設定することができなかった。
【０００５】
本発明は、このような従来の技術に着目してなされたものであり、高剛性を得るための最適な気体膜厚さに設定することができるスライドテーブル装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明は、スライドテーブルの下面に設定された複数の給気部から高圧気体を噴出して静圧軸受となる気体膜を形成し、該気体膜を介してスライドテーブルを支持面上に非接触で支持するスライドテーブル装置であって、前記スライドテーブルの下面の一部に吸気部を設定したことを特徴とする。
【０００７】
請求項２記載の発明は、複数の給気部が、スライドテーブルの下面における周縁部寄り位置に設定され、吸気部がスライドテーブルの下面における中央寄り位置に設定されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項３記載の発明は、給気部と吸気部との間に、大気開放溝が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項４記載の発明は、吸気部がスライドテーブルの下面に形成した凹部の底面に設定されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の発明によれば、スライドテーブルの下面の一部に吸気部を設定したため、スライドテーブルに下向きの力が作用し、高剛性を得るための最適な気体膜厚さに設定することができる。
【００１１】
請求項２記載の発明によれば、給気部がスライドテーブルの下面における周縁部寄り位置に設定されているため、給気部間のスパンが大きくなり、軸受剛性がより向上する。また、吸気部がスライドテーブルの下面の中央寄り位置に設定されているため、少ない数の吸気部でも、吸気部による下向きの力をスライドテーブルの全体に作用させることができる。
【００１２】
請求項３記載の発明によれば、給気部と吸気部との間に大気開放溝が形成されているため、給気部と吸気部とが近接配置されても、互いに影響を受けることなく、それぞれの機能を独立して発揮させることができる。
【００１３】
請求項４記載の発明によれば、吸気部が凹部の底面に形成されているため、吸気部の機能を広範囲に作用させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の最良の実施形態を図１〜図６に基づいて説明する。この実施形態に係るスライドテーブル１は、支持面としての石定盤２の表面上に、薄い気体膜Ｍを介して移動自在に支持される。このスライドテーブル１の上面には測定装置３が載置されている。測定装置３はアーム４にて支持されたプローブ５を有し、このプローブ５の先端を被検査製品６の表面に接触させながら移動させることにより、被検査製品６の表面形状を高精度で測定することができる。すなわち、スライドテーブル１の精度（剛性）がそのまま測定装置３の測定精度に影響するため、スライドテーブル１の精度（剛性）は高くなければならない。
【００１５】
そのために工夫された本実施形態のスライドテーブル１の構造を説明する。スライドテーブル１は全体として方形ブロック状で、その下面１ａには、四隅の角部と、その中間位置に、合計８個の給気部７が設定されている。すなわち、スライドテーブル１の下面１ａの周縁部に沿って、８個の給気部７を並べた構造になっている。
【００１６】
そして、下面１ａの中央部には四角形の凹部８が形成され、その底面中央に吸気部９が設定されている。更に、凹部８と各給気部７の間には、両者を区画する略「井」の字状の大気開放溝１０が形成されている。大気開放溝１０の端部は、スライドテーブル１の側面まで達し、そこで大気に開放されている。
【００１７】
スライドテーブル１の側面には、空気供給管１１と空気吸引管１２が突出状態で形成されている。空気供給管１１は、スライドテーブル１の内部の供給通路１３を介して各給気部７と連通している。給気部７には多孔質体１４が設けられ、多孔質体１４を介して空気Ａを噴出することができる。空気吸引管１２は吸引通路１５を介して吸気部９と連通している。
【００１８】
空気供給管１１には、空気供給チューブ１６が接続されている。空気吸引管１２には、空気吸引チューブ１７が接続されている。本来、空気供給チューブ１６と空気吸引チューブ１７には、両方とも二股パイプ１８を介して、空気圧送ポンプ１９からの高圧空気Ａが供給される構造になっているが、空気吸引チューブ１７の方だけ、途中に真空発生器２０が設けられている。従って、空気吸引チューブ１７では、この真空発生器２０により、高圧空気Ａの排出圧を利用して空気Ａを吸引している。そのため、空気圧送ポンプ１９を用意するだけで、空気供給と空気吸引の両方を行うことができ、空気吸引のために真空ポンプ等を準備する必要がない。
【００１９】
以上説明したように、スライドテーブル１の下面１ａからは、給気部７から高圧空気Ａを噴出し、吸気部９からは空気Ａを吸引する。従って、吸気部９が空気Ａを吸引することにより、スライドテーブル１に下向きの力が作用するため、高剛性を得るための最適な気体膜Ｍの厚さに設定することができる。吸気部９により下向きの力を作用させるため、磁石で下向きの力を発生させる場合のように、支持面を金属製にする必要はなく、本実施例のように石定盤２でも良い。
【００２０】
特に、給気部７がスライドテーブル１の下面における周縁部寄り位置に設定されているため、給気部７間のスパンが大きくなり、軸受剛性がより向上する。また、吸気部９がスライドテーブル１の下面１ａの中央に設定されているため、１つの吸気部９でも、下向きの力をスライドテーブル１の全体に作用させることができる。
【００２１】
更に、給気部７と吸気部９との間に大気開放溝１０が形成されているため、給気部７と吸気部９とが近接配置されても、互いに影響を受けることなく、それぞれの機能を独立して発揮させることができる。
【００２２】
加えて、吸気部９が凹部８の底面に形成されているため、吸気部９の機能を広範囲に作用させることができる。
【００２３】
尚、スライドテーブルの形状としては、図７に示すように、円盤状のスライドテーブル２１にしても良い。図７では、共通する部分に同一の符号が付されている。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
以上の実施形態では、支持面としての石定盤２の上に、ブロック状のスライドテーブル１、２１をフリーに移動させる例を示したが、例えば断面Ｔ型等のレールの支持面に対して、相応する形状のスライドテーブルを組み合わせ、レールの支持面とスライドテーブルの下面との間に気体膜を形成するようにして良い。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係るスライドテーブル装置を示す側面図。
【図２】スライドテーブルを示す斜視図。
【図３】スライドテーブルの下面側を示す斜視図。
【図４】スライドテーブルを示す底面図。
【図５】図４中矢ＳＡ−ＳＡ線に沿う断面図。
【図６】スライドテーブル内の通路と空気用のチューブを示す説明図。
【図７】スライドテーブルの変形例を示す底面部。
【符号の説明】
【００２６】
１、２１  スライドテーブル
１  下面
２  石定盤（支持面）
７  給気部
８  凹部
９  吸気部
１０  大気開放溝
Ａ  空気
Ｍ  気体膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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