(57)【要約】【課題】  プローブユニットが備えるガイド板からプローブ針が抜け落ちないようにすると共に、ガイド板からのプローブ針の突出量を均一に揃えることができる絶縁被膜付きプローブ針及びその製造方法を提供する。【解決手段】  先端２ａを被測定体の電極に接触させて被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針１において、金属導体２と、金属導体２の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁被膜３とを有し、その絶縁被膜３のうち被測定体側の端部３ａの厚さが、金属導体２の先端２ａ側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加しているように構成する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端を被測定体の電極に接触させて該被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針において、金属導体と、該金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁被膜とを有し、該絶縁被膜のうち前記被測定体側の端部の厚さが、前記金属導体の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加していることを特徴とする絶縁被膜付きプローブ針。
【請求項２】
前記絶縁被膜のうち、傾斜角度を有した両端部以外の絶縁被膜の平均膜厚が、６μｍ以上２５μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の絶縁被膜付きプローブ針。
【請求項３】
前記金属導体の直径をｄ（μｍ）とし、前記絶縁被膜のうち傾斜角度を有した両端部以外の絶縁被膜の平均膜厚をＴ（μｍ）としたとき、（０．０７×ｄ＋３）≦Ｔ≦（０．１２×ｄ＋１０）の関係を満たすことを特徴とする請求項２に記載の絶縁被膜付きプローブ針。
【請求項４】
前記絶縁被膜が、焼付けによるエナメル被膜であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の絶縁被膜付きプローブ針。
【請求項５】
被測定体側に露出する金属導体を、所定の試験用治具の案内穴から引き抜いて行う絶縁被膜ピール試験におけるピール強度が、０．７Ｎ以上であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の絶縁被膜付きプローブ針。
【請求項６】
先端を被測定体の電極に接触させて該被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針の製造方法であって、金属導体の外周に絶縁被膜を形成する工程と、前記絶縁被膜のうち前記被測定体側の端部の厚さが前記金属導体の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加するように前記絶縁被膜を剥離する工程と、を有することを特徴とする絶縁被膜付きプローブ針の製造方法。
【請求項７】
前記絶縁被膜を剥離する工程が、レーザー光を照射して剥離する工程、又は、刃物付き機械で剥離する工程であることを特徴とする請求項６に記載の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法。
【請求項８】
前記絶縁被膜を形成する工程が、長尺の金属導体の外周に絶縁被膜を連続して形成する工程、又は、予め所定長さに切断された金属導体に絶縁被膜を形成する工程であることを特徴とする請求項６又は７に記載の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法。
【請求項９】
前記絶縁被膜を形成する工程が、長尺の金属導体の外周に絶縁被膜を連続して形成する工程である場合において、前記絶縁被膜を連続して形成した後で前記絶縁被膜を剥離する工程前に、長尺の金属導体を所定の長さに切断する工程を有することを特徴とする請求項６又は７に記載の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法。
【請求項１０】
先端を被測定体の電極に接触させて該被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針の製造方法であって、前記絶縁被膜のうち前記被測定体側の端部の厚さが前記金属導体の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加するように、予め所定長さに切断された金属導体の少なくとも被測定体側の端部をマスキングした後に絶縁塗料を噴霧して絶縁被膜を形成する工程を有することを特徴とする絶縁被膜付きプローブ針の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絶縁被膜付きプローブ針及びその製造方法に関し、更に詳しくは、先端を被測定体の電極と接触させてその被測定体の電気的特性を安定して測定するための絶縁被膜付きプローブ針及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年では、携帯電話等に使用される高密度実装基板、又は、パソコン等に組み込まれるＢＧＡ（Ball Grid Array）やＣＳＰ（Chip Size Package）等のＩＣパッケージ基板等、様々な回路基板が多く用いられている。このような回路基板は、実装の前後の工程において、例えば直流抵抗値の測定や導通検査が行われ、その電気的特性の良否が検査されている。電気的特性の良否の検査は、電気的特性を測定する検査装置に接続された検査装置用治具（以下、「プローブユニット」という。）を用いて行われ、例えば、プローブユニットに装着されたプローブ針の先端を、その回路基板（以下、「被測定体」という。）の電極に接触させることにより行われている（例えば特許文献１を参照。）。
【０００３】
図１１は、従来の絶縁被膜付きプローブ針の一例を示す模式断面図であり、図１２は、従来の絶縁被膜付きプローブ針を備えるプローブユニットを用いて被測定体の電気的特性を検査する方法を説明するための模式断面図である。図１１に示す絶縁被膜付きプローブ針１０１は、ばね性を有した直線状の金属導体１０２の両端（１０２ａ，１０２ｂ）以外の領域に絶縁被膜１０３が被覆されており、被測定体１１１の電極１１２に接触する先端１０２ａと、検査装置側のリード線１５０（図１２参照）に接触する後端１０２ｂとからなる両端を有している。絶縁被膜１０３は、通常、絶縁塗料を噴霧する方法で形成されるが、噴霧した絶縁塗料は金属導体上で流動し易く、その結果、図１１に示すように、先端１０２ａ側の絶縁被膜端部１０３ａはなだらかな形状となる。このときの絶縁被膜端部１０３ａは、先端１０２ａ側から金属導体１０２の中央方向に向かって約３°程度の傾斜角度θで膜厚が増加した形態をなしている。
【０００４】
図１２に示すプローブユニット１００は、複数本から数千本の絶縁被膜付きプローブ針１０１と、そのプローブ針１０１の上部側を案内する上部案内穴付きのガイド板１３０と、プローブ針１０１の先端が被測定体１１１の電極１１２に接するようにプローブ１０１の下部側を案内する下部案内穴付きのガイド板１２０とを少なくとも備えている。電気的特性の検査は、プローブユニット１１０又は被測定体１１１を相対的に上下させ、プローブ針１０１の弾性力を利用して被測定体１１１の電極１１２にプローブ針１０１を所定の圧力で押し当てることにより行われる。このとき、電極１１２に押し当てられた力によって撓んだプローブ針１０１の後端１０２ｂはリード線１５０に強く接触し、被測定体１１２からの電気信号がそのリード線１５０を通って検査装置（図示しない。）に送られる。なお、被測定体１１１の電気的特性を検査する際の形態例として、予めプローブ針１０１とリード線１５０とが接触した状態を保持したまま、プローブユニット１１０と被測定体１１１とを位置決めする場合もある。図１２（Ｂ）中、符号１４０はリード線用の保持板を示している。
【０００５】
ところで、上記のプローブユニット１００を用いた電気的特性の検査において、プローブユニット１００からのプローブ針１０１の脱落防止は、図１２（Ｂ）に示すように、ガイド板１２０に設けられた案内穴にプローブ針１０１の絶縁被膜端部１０３ａが当たることによって行われている。こうした手段でプローブ針１０１の脱落を防止するため、プローブ針１０１は、その金属導体１０２の直径がガイド板１２０の案内穴の直径よりも小さく、絶縁被膜で被覆されたプローブ針１０１の直径がガイド板１２０の案内穴の直径よりも大きく、さらに、絶縁被膜端部１０３ａの部分で案内穴に引っ掛かるような厚さで被覆されている。
【０００６】
また、プローブユニット１００へのプローブ針１０１のセッティングは、ガイド板１３０に設けられた案内穴からプローブ針１０１を挿入することにより行われる。したがって、その案内穴は絶縁被膜で被覆されたプローブ針１０１の直径よりも大きい直径で形成されている。
【特許文献１】特開２００２−１３１３３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した従来の絶縁被膜付きプローブ針１０１は、絶縁被膜端部１０３ａの傾斜角度θが約３°程度と小さい角度であり、さらに、その絶縁被膜端部１０３ａの形状を揃える特別な加工は行われていない。そのため、プローブ針１０１が被測定体側の案内穴から抜け落ち易いという問題があったと共に、プローブ針１０１の絶縁被膜端部１０３ａの傾斜角度や形状にバラツキが生じていた。傾斜角度や形状のバラツキは、ガイド板１２０に設けられた案内穴にプローブ針１０１の絶縁被膜端部１０３ａが当たる位置を変動させるので、プローブ針１０１の先端１０２ａがガイド板１２０から突き出す突出量にバラツキを生じさせていた。プローブ針１０１の突出量のバラツキは、プローブ針１０１とリード線１５０との初期状態での接触を保持できない箇所を生じさせるという問題があると共に、測定対象となる電極１１２を移動させる際にプローブ針１０１の先端１０２ａが電極１１２の上面を引きずって損傷させるおそれがある。そうした損傷の発生を防ぐためには、プローブ針１０１と電極１１２との間の距離が長くなるように、プローブユニット１１０を上下させるストロークを長くしなければならないと言う難点がある。
【０００８】
また、被測定体１１１の電極１１２が金電極やはんだバンプで形成されている場合、プローブユニット１１０が下がって電極１１２にプローブ針１０１が押し当たると、プローブ針１０１の先端と電極１１２とが貼り付くように一瞬接着する。その後、検査が終わってプローブユニット１１０が上がるとき、プローブ針１０１の先端が電極１１２に貼り付いたままになり、ガイド板１２０の案内穴がプローブ針１０１の絶縁被膜端部１０３ａに押し当たってその絶縁被膜端部１０３ａに大きな応力が加わる。こうした応力によって、絶縁被膜端部１０３ａが削れたり剥離したりして、上記のようなプローブ針１０１の突出量のバラツキがより顕著になるという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、プローブユニットが備えるガイド板からプローブ針が抜け落ちないようにすると共に、ガイド板からのプローブ針の突出量を均一に揃えることができる絶縁被膜付きプローブ針を提供すること、及びその絶縁被膜付きプローブ針の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明の絶縁被膜付きプローブ針は、先端を被測定体の電極に接触させて該被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針において、金属導体と、該金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁被膜とを有し、該絶縁被膜のうち前記被測定体側の端部の厚さが、前記金属導体の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加していることを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、絶縁被膜のうち被測定体側の端部の厚さが金属導体の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加しているので、(i)プローブユニットが備えるガイド板からのプローブ針の抜け落ちをなくすことができ、(ii)被測定体側のガイド板に設けられた案内穴にプローブ針の絶縁被膜端部が当たる位置をあまり変動させないと共に、(iii)任意箇所の検査終了時にガイド板の案内穴がプローブ針の絶縁被膜端部に押し当たってその絶縁被膜端部に大きな応力が加わった場合であっても、絶縁被膜端部が削れたり剥離したりすることを抑制できる。その結果、プローブ針の先端がガイド板から突き出す突出量に大きなバラツキが生じることがなく、その突出量をより均一に揃えることができるので、プローブ針と検査装置のリード線との初期状態での接触を保持できない箇所の発生をなくすことができ、且つプローブユニットを上下させるストロークの変更を行う必要もない。さらに、本発明の絶縁被膜付きプローブ針は、絶縁被膜端部がテーパー状になっているので、プローブ針の軸心と被測定体側のガイド板に設けられた案内穴の中心軸とが一致する。その結果、検査時にガイド板と電極との位置決めを行えば、プローブ針と電極との位置決めも適切に行われることになり、正確な検査を行うことができる。また、テーパー状の絶縁被膜端部は、検査装置側のガイド板に設けられた案内穴への挿入を容易にさせるので、プローブユニットへのプローブ針のセッティングを容易に行うことができる。
【００１２】
本発明の絶縁被膜付きプローブ針は、上記本発明の絶縁被膜付きプローブ針において、前記絶縁被膜のうち、傾斜角度を有した両端部以外の絶縁被膜の平均膜厚が、６μｍ以上２５μｍ以下であることが好ましい。
【００１３】
この発明によれば、プローブ針と被測定体側のガイド板に設けられた案内穴とのクリアランスと、上記傾斜角度と、絶縁被膜端部が前記案内穴に当たることとを考慮すると、より確実にプローブユニットにセットするためには、上記範囲内の平均膜厚であることが好ましい。
【００１４】
本発明の絶縁被膜付きプローブ針は、上記本発明の絶縁被膜付きプローブ針において、前記金属導体の直径をｄ（μｍ）とし、前記絶縁被膜のうち傾斜角度を有した両端部以外の絶縁被膜の平均膜厚をＴ（μｍ）としたとき、（０．０７×ｄ＋３）≦Ｔ≦（０．１２×ｄ＋１０）の関係を満たすことが好ましい。
【００１５】
この発明によれば、プローブ針と被測定体側のガイド板に設けられた案内穴とのクリアランスと、上記傾斜角度と、絶縁被膜端部が前記案内穴に当たることとを考慮すると、より確実にプローブユニットにセットするためには、傾斜角度を有した両端部以外の絶縁被膜の平均膜厚が上記関係を満たすことが好ましい。
【００１６】
本発明の絶縁被膜付きプローブ針は、上記本発明の絶縁被膜付きプローブ針において、前記絶縁被膜が、焼付けによるエナメル被膜であることを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、絶縁被膜を焼付けエナメル被膜とすることによって、絶縁被膜を金属導体により強固に固着させることができる。その結果、任意箇所の検査終了時に被測定体側のガイド板の案内穴がプローブ針の絶縁被膜端部に押し当たってその絶縁被膜端部に大きな応力が加わった場合であっても、絶縁被膜端部が削れたり剥離したりすることを抑制できる。さらに、下記のように、本発明のプローブ針を被測定体の電気的特性測定用治具のガイド穴から引きぬいて行う絶縁被膜のピール試験におけるピール強度を０．７Ｎ以上に容易に向上させることができる。
【００１８】
本発明の絶縁被膜付きプローブ針は、上記本発明の絶縁被膜付きプローブ針において、被測定体側に露出する金属導体を、所定の試験用治具の案内穴から引き抜いて行う絶縁被膜ピール試験におけるピール強度が、０．７Ｎ以上であることを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、上記絶縁被膜ピール試験におけるピール強度が０．７Ｎ以上であるので、任意箇所の検査終了時にガイド板の案内穴がプローブ針の絶縁被膜端部に押し当たってその絶縁被膜端部に大きな応力が加わった場合であっても、絶縁被膜端部が削れたり剥離したりすることを抑制できる。その結果、プローブ針の先端がガイド板から突き出す突出量に大きなバラツキが生じることがなく、その突出量をより均一に揃えることができるので、プローブ針と検査装置のリード線との初期状態での接触を保持できない箇所の発生をなくすことができる。
【００２０】
また、この発明によれば、上記絶縁被膜ピール試験におけるピール強度が０．７Ｎ以上であるので、プローブユニットの待機状態時において、被測定体側のガイド板の案内穴にプローブ針の絶縁被膜端部を小さい応力で押し当てつつ、プローブ針の後端と検査装置側のリード線とを接触させておくことが可能となる。その結果、本発明のプローブ針とリード線との間の接触抵抗値を低く安定させることができ、被測定体の測定精度を向上させることができる。
【００２１】
上記課題を解決するための本発明の第１の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法は、先端を被測定体の電極に接触させて該被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針の製造方法であって、金属導体の外周に絶縁被膜を形成する工程と、前記絶縁被膜のうち前記被測定体側の端部の厚さが前記金属導体の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加するように前記絶縁被膜を剥離する工程と、を有することを特徴とする。
【００２２】
この発明によれば、絶縁被膜のうち被測定体側の端部の厚さが金属導体の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加するように絶縁被膜を剥離する工程を含むので、そうした工程を経て得られた絶縁被膜付きプローブ針は、上記本発明の絶縁被膜付きプローブ針のように、(i)プローブユニットが備えるガイド板からのプローブ針の抜け落ちをなくすことができ、(ii)被測定体側のガイド板に設けられた案内穴にプローブ針の絶縁被膜端部が当たる位置をあまり変動させないと共に、(iii)任意箇所の検査終了時にガイド板の案内穴がプローブ針の絶縁被膜端部に押し当たってその絶縁被膜端部に大きな応力が加わった場合であっても、絶縁被膜端部が削れたり剥離したりすることを抑制できる。
【００２３】
本発明の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法は、上記本発明の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法において、前記絶縁被膜を剥離する工程が、レーザー光を照射して剥離する工程、又は、刃物付き機械で剥離する工程であることが好ましい。
【００２４】
この発明によれば、レーザー光の照射又は刃物付き機械によって、絶縁被膜端部の傾斜角度を１０°以上７０°以下に容易に形成することができる。
【００２５】
本発明の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法は、上記本発明の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法において、前記絶縁被膜を形成する工程が、長尺の金属導体の外周に絶縁被膜を連続して形成する工程、又は、予め所定長さに切断された金属導体に絶縁被膜を形成する工程であることが好ましい。前記絶縁被膜を形成する工程が、長尺の金属導体の外周に絶縁被膜を連続して形成する工程である場合においては、前記絶縁被膜を連続して形成した後で前記絶縁被膜を剥離する工程前に、長尺の金属導体を所定の長さに切断する工程を有することが好ましい。
【００２６】
上記課題を解決するための本発明の第２の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法は、先端を被測定体の電極に接触させて該被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針の製造方法であって、前記絶縁被膜のうち前記被測定体側の端部の厚さが前記金属導体の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加するように、予め所定長さに切断された金属導体の少なくとも被測定体側の端部をマスキングした後に絶縁塗料を噴霧して絶縁被膜を形成する工程を有することを特徴とする。
【００２７】
この発明によれば、マスキングした金属導体に絶縁塗料を噴霧することにより、絶縁被膜のうち被測定体側の端部の厚さが金属導体の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加するように絶縁被膜を形成するので、得られた絶縁被膜付きプローブ針は、上記第１の製造方法と同様の(i)〜(iii)の作用効果を奏する。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の絶縁被膜付きプローブ針によれば、(i)プローブユニットが備えるガイド板からのプローブ針の抜け落ちをなくすことができ、(ii)被測定体側のガイド板に設けられた案内穴にプローブ針の絶縁被膜端部が当たる位置をあまり変動させないと共に、(iii)任意箇所の検査終了時にガイド板の案内穴がプローブ針の絶縁被膜端部に押し当たってその絶縁被膜端部に大きな応力が加わった場合であっても、絶縁被膜端部が削れたり剥離したりすることを抑制できるので、プローブ針の先端がガイド板から突き出す突出量に大きなバラツキが生じることがなく、その突出量をより均一に揃えることができる。その結果、プローブ針と検査装置のリード線との初期状態での接触を保持できない箇所の発生をなくすことができ、且つ、測定対象となる電極を移動させる際にプローブ針の先端が電極の上面を引きずって損傷させるのを防ぐための、プローブユニットを上下させるストロークの変更を行う必要もない。
【００２９】
また、本発明の絶縁被膜付きプローブ針によれば、絶縁被膜端部がテーパー状になっているので、プローブ針の軸心と被測定体側のガイド板に設けられた案内穴の中心軸とが一致する。その結果、検査時にガイド板と電極との位置決めを行えば、プローブ針と電極との位置決めも適切に行われることになり、電極とは異なる部分にプローブ針の先端が接触することのない正確な検査を行うことができる。
【００３０】
また、本発明の絶縁被膜付きプローブ針によれば、テーパー状の絶縁被膜端部は、検査装置側のガイド板に設けられた案内穴への挿入を容易にさせるので、プローブユニットへのプローブ針のセッティングを容易に行うことができる。
【００３１】
こうした本発明の絶縁被膜付きプローブ針は、金属導体からの絶縁被膜の剥離が起きにくいので、その寿命を延ばすことができる。
【００３２】
また、本発明の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法によれば、上記本発明の絶縁被膜付きプローブ針を容易に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の絶縁被膜付きプローブ針及びその製造方法について、図面を参照しつつ説明する。なお、本発明は下記の実施形態に限定されるものではない。
【００３４】
（絶縁被膜付きプローブ針）
図１は、本発明の絶縁被膜付きプローブ針の一例を示す模式断面図である。また、図２及び図３は、本発明の絶縁被膜付きプローブ針を備えたプローブユニットを用いて被測定体の電気的特性を検査する方法を説明するための模式断面図である。なお、図２と図３の違いは、図２の形態では検査前の初期状態でプローブ針１の後端２ｂとリード線５０とが接触しておらず、プローブ針１の絶縁被膜端部３ａに負荷が加わっていない場合であるのに対し、図３の形態では検査前の初期状態でプローブ針１の後端２ｂをリード線５０が押しており、プローブ針１の絶縁被膜端部３ａに負荷が加わっている点で相違している。
【００３５】
本発明の絶縁被膜付きプローブ針１（以下、単に「プローブ針１」ということがある。）は、図２及び図３に示すように、その先端２ａを被測定体１１の電極１２に接触させて被測定体１１の電気的特性を測定する検査に用いられるものであり、図１に示すように、金属導体２と、その金属導体２の少なくとも両端２ａ，２ｂ以外の領域に設けられた絶縁被膜３とを有している。なお、図１において、符号２ａは、被測定体側に配置されて被測定体１１の電極１２に接触する「先端」であり、符号２ｂは、検査装置側に配置されて検査装置（図示しない）のリード線５０に接触する「後端」である。
【００３６】
金属導体２としては、高い導電性と高い弾性率を有する金属線（「金属ばね線」ともいう。）が用いられる。金属導体２に用いられる金属としては、広い弾性域を持つ金属を挙げることができ、例えばベリリウム銅等の銅合金、タングステン、レニウムタングステン、鋼（例えば高速度鋼：ＳＫＨ）等を好ましく用いることができる。
【００３７】
金属導体２は、通常、上記の金属が所定の径の線状導体となるまで冷間又は熱間伸線等の塑性加工が施される。金属導体２の外径は、プローブユニット１０（図２を参照。）において隣り合う各プローブ針１の間隔に応じて２５〜５００μｍの範囲内から任意に選択することができる。また、プローブ針１をプローブユニット１０に装着し易くし、且つ、プローブユニット１０の使用時においてプローブ針１の先端２ａがガイド板２０の案内穴に引っかかることによりプローブ針１の動きが妨げられるのを防止する観点からは、金属導体２の真直度が高いことが好ましく、具体的には真直度が曲率半径Ｒで１０００ｍｍ以上であることが好ましい。真直度の高い金属導体２は、絶縁被膜３が設けられる前に予め直線矯正処理しておくか、後述のように絶縁被膜３が設けられた長尺の金属導体２を直線矯正処理することにより得ることができる。
【００３８】
金属導体２の先端２ａ及び後端２ｂの形状としては、半球状、コーン状又はフラット状等が挙げられる。それらの端部においては、金属導体２と、被測定体１１の電極１２又は検査装置のリード線５０との接触抵抗値の上昇を抑制するためのめっき層が金属導体２上に設けられていてもよい。めっき層を形成する金属としては、ニッケル、金、ロジウム等の金属や金合金等の合金を挙げることができる。めっき層は、単層であってもよいし複層であってもよい。複層のめっき層としては、ニッケルめっき層上に金めっき層が形成されたものを好ましく挙げることができる。
【００３９】
絶縁被膜３は、金属導体２に設けられて、被測定体の電気的特性を検査する際に隣接するプローブ針同士が接触することにより生じる短絡を防止するように作用すると共に、プローブ針１の軸心と被測定体側のガイド板２０に設けられた案内穴の中心軸とを一致させるように作用する。なお、絶縁被膜３は、金属導体２上、すなわち金属導体２の外周上に長手方向に亘って設けられていればよく、直接設けられていてもよいし、他の層を介して設けられていてもよい。
【００４０】
絶縁被膜３は、絶縁性を有する被膜であれば特に限定されないが、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、エポキシ樹脂及びフッ素樹脂からなる群より選ばれた少なくとも一種の樹脂で形成されていることが好ましい。なお、通常は一種類の樹脂により形成される。これらの樹脂からなる絶縁被膜は耐熱性が異なるので、検査の際に発生する熱を考慮して任意に選択することができる。例えば、より耐熱性が要求される場合には、絶縁被膜３がポリエステルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂又はフッ素樹脂等で形成されることが好ましい。
【００４１】
本発明においては、焼付けエナメル被膜を絶縁被膜３として用いることが好ましい。焼付けエナメル被膜は、後述するように塗料の塗布と焼付けの繰り返しにより形成されるので、金属導体との間の密着性が高く且つ被膜強度をより高いものとすることができる。その結果、後述する絶縁被膜ピール試験において所望のピール強度が得やすいという利点がある。
【００４２】
本発明の特徴は、金属導体２の少なくとも両端（２ａ，２ｂ）以外の領域に設けられた絶縁被膜２のうち、被測定体側の絶縁被膜端部３ａの厚さが、金属導体２の先端２ａ側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度θで増加していることにある。
【００４３】
被測定体側の絶縁被膜端部３ａを、前記範囲内の傾斜角度θで形成することによって、(i)プローブユニット１０が備えるガイド板２０からのプローブ針１の抜け落ちをなくすことができ、(ii)被測定体側のガイド板２０に設けられた案内穴にプローブ針１の絶縁被膜端部３ａが当たる位置をあまり変動させないと共に、(iii)任意箇所の検査終了時にガイド板２０の案内穴がプローブ針１の絶縁被膜端部３ａに押し当たってその絶縁被膜端部３ａに大きな応力が加わった場合であっても、絶縁被膜端部３ａが削れたり剥離したりすることを抑制できる。さらに、(iv)絶縁被膜端部３ａがテーパー状になっているので、プローブ針１の軸心と被測定体側のガイド板２０に設けられた案内穴の中心軸とが一致する。その結果、検査時にガイド板２０と電極１２との位置決めを行えば、プローブ針１と電極１２との位置決めも適切に行われることになり、正確な検査を行うことができる。また、(v)テーパー状の絶縁被膜端部３ａは、検査装置側のガイド板２０に設けられた案内穴への挿入を容易にさせるので、プローブユニット１０へのプローブ針１のセッティングを容易に行うことができる。
【００４４】
前記傾斜角度θが１０°未満のように緩やかな傾斜で形成されている場合には、ガイド板２０の案内穴にプローブ針１の絶縁被膜端部３ａが突き当たる位置が変動し易く、プローブ針１の先端２ａがガイド板２０から突き出す突出量にバラツキが生じ易くなる。一方、前記傾斜角度θが７０°を超えるように急な傾斜で形成されている場合には、テーパー状の端部３ａがガイド板２０の案内穴に適合（フィット）しないので、ガイド板２０の案内穴でプローブ針１先端２ａの金属導体の遊びが生じ、プローブ針１の軸心とガイド板２０の案内穴の中心軸とが一致しない。その結果、検査時にガイド板２０と電極１２との位置決めを行ったとしても、プローブ針１と電極１２との位置決めが適切に行われない場合が起こる。さらに、前記傾斜角度θが７０°を超える場合には、検査装置側のガイド板３０に設けられた案内穴にプローブ針１の絶縁被膜端部３ａが引っ掛かって挿入し難くなることがあり、プローブユニットへのプローブ針１のセッティングが手間取ることがある。
【００４５】
絶縁被膜端部３ａの形態は特に限定されず、例えば図１に示すように直線形状のテーパーであってもよいし、図４（Ａ）に示すように凹形状のテーパーであってもよいし、図４（Ｂ）に示すように凸形状のテーパーであってもよい。なお、図４は、絶縁被膜端部の傾斜角度θの説明図であり、傾斜角度θは、絶縁被膜３と金属導体２とがプローブ針１の先端２ａ側で接する点Ａと、絶縁被膜端部３ａの厚さが絶縁被膜端部３ａ以外の絶縁被膜３の厚さと同じ又は実質的に同じになる点Ｂとを結んだ直線Ｌと、金属導体面との角度で表される。なお、検査装置側の絶縁被膜端部は、上記被測定体側の絶縁被膜端部３ａと同様の形態であってもよいし、異なる形態であってもよい。
【００４６】
絶縁被膜３のうち、先端２ａ側の絶縁被膜端部３ａと後端２ｂ側の絶縁被膜端部とを除いた領域の絶縁被膜３は、６μｍ以上２５μｍ以下の範囲内の平均膜厚で形成されている。この範囲内の平均膜厚とすることにより、プローブ針１の電気絶縁性を確保でき、被測定体側のガイド板２０の案内穴からプローブ針１が抜け落ちるのを防ぐことができる。実際には、プローブ針１と被測定体側のガイド板２０に設けられた案内穴とのクリアランスと、絶縁被膜端部３ａの傾斜角度θと、絶縁被膜端部３ａが案内穴に当たることとを考慮し、より確実にプローブユニットにセットすることができる厚さに設定される。平均膜厚が６μｍ未満の場合には、プローブ針１の電気絶縁性が不十分な場合があると共に、被測定体側のガイド板２０の案内穴からプローブ針１が抜け落ちるおそれがある。一方、平均膜厚が２５μｍを超えると、絶縁被膜形成のための生産性が劣ることがある。
【００４７】
上記の平均膜厚は、通常、金属導体２の直径が大きいときは厚めに設定され、金属導体２の直径が小さいときは薄めに設定される。図５は、金属導体の直径ｄ（μｍ）と絶縁被膜の平均膜厚Ｔ（μｍ）との適切な範囲を示すグラフである。図５の関係からもわかるように、金属導体２の直径をｄ（μｍ）とし、絶縁被膜のうち傾斜角度を有した両端部以外の絶縁被膜の平均膜厚をＴ（μｍ）としたとき、（０．０７×ｄ＋３）≦Ｔ≦（０．１２×ｄ＋１０）、但しＴは６μｍ以上２５μｍ以下の関係を満たすことが好ましい。この関係式は、概ね、金属導体２の直径が大きくなるにしたがって平均膜厚が厚くなることを示している。
【００４８】
本発明のプローブ針１は、被測定体側に露出する金属導体を所定の試験用治具の案内穴から引き抜いて行う絶縁被膜ピール試験におけるピール強度が、０．７Ｎ以上を示すものであることが好ましい。図６は、絶縁被膜ピール試験方法を示す概略図であり、図７は、絶縁被膜ピール試験方法により得られた荷重−歪み曲線の一例を示すグラフである。
【００４９】
絶縁被膜ピール試験を行うための装置としては、図６に示すように、プローブ針１の金属導体２を挿入する案内穴を有した試験治具６３が固定治具６１に取り付けられ、その固定治具６１が荷重検出装置６２に取り付けられた形態からなるものを例示でできる。絶縁被膜ピール試験は、測定に供するプローブ針１の金属導体２を試験治具６３の案内穴に挿入し、案内穴から突出した金属導体２を掴持治具６４でくわえて引っ張ることにより行われる。この場合において、試験治具６３の案内穴の縁にプローブ針１の絶縁被膜端部３ａが当たるので、掴持治具６４を一定の速度で引っ張ることにより、金属導体２上に設けられた絶縁被膜のピール強度（引き剥がし強度）を、荷重検出装置６２で得られた荷重−歪み曲線のピーク強度７１で表すことができる。本願においては、後述の実施例で示すように、例えば、１０ｍｍ／分の速度で引き抜いたときの荷重−歪み曲線のピーク強度７１で表すことができる。なお、図７において、符号７２は絶縁被膜が剥がれていない領域を示す弾性変形領域であり、符号７３は絶縁被膜が剥がれている領域を示す永久変形領域である。
【００５０】
絶縁被膜ピール試験で測定されたピール強度が０．７Ｎ以上であることにより、任意箇所の検査終了時にガイド板２０の案内穴がプローブ針１の絶縁被膜端部３ａに押し当たってその絶縁被膜端部３ａに大きな応力が加わった場合であっても、絶縁被膜端部３ａが削れたり剥離したりすることを抑制できる。その結果、プローブ針１の先端２ａがガイド板２０から突き出す突出量に大きなバラツキが生じることがなく、その突出量をより均一に揃えることができるので、プローブ針１と検査装置のリード線５０との初期状態での接触を保持できない箇所の発生をなくすことができる。また、絶縁被膜ピール試験で測定されたピール強度が０．７Ｎ以上であることにより、図３に示すように、プローブユニット１０の待機状態時において、被測定体側のガイド板２０の案内穴にプローブ針１の絶縁被膜端部３ａを小さい応力で押し当てつつ、プローブ針１の後端２ｂと検査装置側のリード線５０とを接触させておくことが可能となる。その結果、本発明のプローブ針とリード線との間の接触抵抗値を低く安定させることができ、被測定体の測定精度を向上させることができる。
【００５１】
絶縁被膜ピール試験で測定されたピール強度が０．７Ｎ未満である場合には、上記の効果を奏しない場合がある、すなわち、絶縁被膜端部３ａが削れたり剥離したりして、案内穴からの金属導体２の突出量にバラツキが生じることがある。なお、ピール強度の上限は特に限定されないが、樹脂材料からなる絶縁被膜であれば例えば３Ｎ程度とすることができる。
【００５２】
（プローブ針の製造方法）
次に、本発明のプローブ針の製造方法について説明する。本発明のプローブ針の製造方法は、上述した本発明のプローブ針を製造する方法であって、以下の２つの方法に大別できる。
【００５３】
先ず、第１の製造方法について説明する。第１のプローブ針の製造方法は、金属導体２の外周に絶縁被膜３を形成する工程と、絶縁被膜３のうち被測定体側の端部３ａの厚さが金属導体２の先端２ａ側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度θで増加するように絶縁被膜を剥離する工程と、を少なくとも有する方法である。
【００５４】
絶縁被膜を形成する工程は、金属導体２の外周に絶縁被膜を形成する工程であり、具体的には、長尺の金属導体２の外周に連続して絶縁被膜を形成する工程と、予め所定の長さに切断された金属導体に絶縁被膜を形成する工程とを挙げることができる。
【００５５】
上記のうち、連続して絶縁被膜を形成する工程は、通常のエナメル線の製造装置（製造ライン）を用いることができる。すなわち、ボビン等の線材供線装置から繰出された線状の金属導体（以下、線材ともいう。）に、塗料槽にてエナメル塗料を塗布した後、その直後に設けたダイスやフェルト等の塗料絞り具で線材表面の塗布塗料を略均一厚さに扱き、その後その線材を電熱炉や熱風循環炉等の高温の焼付炉に導入し、炉内で線材上に塗布された塗料中の溶剤を揮発除去して塗料を反応硬化させ、硬化塗膜層を線材表面に形成して焼付炉から導出し、導出された線材を再び塗料槽、塗料絞り具及び焼付炉を通過させる工程を複数回繰り返し、線材表面に所望の厚さの硬化塗膜層を形成した後、キャプスタン等の引取装置により引取りボビン等の巻取装置に巻き取ることによって、連続して絶縁被膜を形成する。
【００５６】
なお、連続して絶縁被膜を形成する工程においては、絶縁被膜を連続して形成した後で絶縁被膜を剥離する工程前に、長尺の金属導体を所定の長さに切断する工程が設けられる。このときの切断には、例えば、市販の定尺切断機が用いられる。
【００５７】
また、上記のうち、予め所定の長さに切断された金属導体に絶縁被膜を形成する工程においては、所定の長さに切断された金属導体に絶縁塗料を噴霧し、又は、所定の長さに切断された金属導体を絶縁塗料に浸漬して、金属導体上に絶縁被膜を形成する。
【００５８】
以上のようにして、絶縁被膜が形成された所定長さの金属導体を作製した後、被測定体側の端部３ａが金属導体２の先端側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度θで膜厚が増加するように、絶縁被膜の一部を剥離する。こうした絶縁被膜の剥離は、レーザー光を照射して剥離する方法であってもよいし、刃物付き機械で剥離する方法であってもよく、これらの方法により、絶縁被膜端部３ａの傾斜角度θを１０°以上７０°以下に容易に形成することができる。
【００５９】
図８は、レーザー光を照射して絶縁被膜を剥離する方法の説明図である。図８では、絶縁被膜３が形成された所定長さの金属導体２について、被測定体側となる端部の絶縁被膜をレーザー光８１で剥離する方法を示している。レーザー光８１としては、例えばエキシマレーザーや炭酸ガスレーザーを用いることができる。剥離しない領域を、レーザー光８１が遮蔽されるマスク８２を配置してマスキングし、その後にレーザー光を照射することにより所望の傾斜角度θを有する絶縁被膜端部３ａを形成する。なお、レーザー光照射中は、図８に示すように、金属導体２を軸回転させて外周の絶縁被膜３を剥離する。
【００６０】
レーザー光を照射する方法による傾斜角度θの調整は、レーザー光の照射強度の調整と、絶縁被膜３とマスク８２間の距離の調整とにより制御することができる。すなわち、レーザー光８１が照射された部分とマスク８２によりマスキングされた部分との境界部分では、レーザー光照射時の熱により絶縁被膜に溶融が生じたり、マスク８２と絶縁被膜３との僅かな隙間からレーザー光８１がマスク８２の下に回り込むことにより、その境界部分の形状を変化させることができる。例えば、傾斜角度θを小さめにするためには、レーザー光の照射強度を高めて溶融の程度を増したり、マスク８２と絶縁被膜３との隙間を大きめにしてレーザー光の回り込みを多くしたりすることにより実現できる。また、傾斜角度θを大きめにするためには、レーザー光の照射強度を低くして溶融の程度を少なくしたり、マスク８２と絶縁被膜３との隙間を小さめにしてレーザー光の回り込みを少なくしたりすることにより実現できる。こうして、傾斜角度θを１０°〜７０°の範囲内に調整することができる。
【００６１】
図９は、刃物付き機械で絶縁被膜を剥離する方法の説明図である。図９では、絶縁被膜３が形成された所定長さの金属導体２について、被測定体側となる端部の絶縁被膜を刃物付き機械９１で剥離する方法を示している。刃物付き機械９１としては、電線業界において絶縁被膜の剥離に用いられる一般的な刃物付き機械（ストリッパーとも呼ばれている）が好ましく用いられる。剥離方法としては、刃物付き機械９１の刃先を、絶縁被膜端部３ａとなる所定位置に押し当てつつ（図９中の符号ａ）金属導体を相対的に回転させ、その後、金属導体２の先端２ａ方向に移動させる（図９中の符号ｂ）ことにより不要な絶縁被膜を剥離して、所望の傾斜角度θを有する絶縁被膜端部３ａを形成する。
【００６２】
刃物付き機械９１を用いた方法による傾斜角度θの調整は、刃先の角度の設定により行うことができる。例えば、傾斜角度θを小さめにするためには、刃先の角度の大きなものを使用することにより実現できる。また、傾斜角度θを大きめにするためには、刃先の角度の小さなものを使用することにより実現できる。こうして、傾斜角度θを１０°〜７０°の範囲内に調整することができる。
【００６３】
なお、レーザー光又は刃物付き機械を用いて所定の傾斜角度θを有する絶縁被膜端部３ａの形成後、又は形成前であってもよいが、必要に応じて、金属導体２の後端２ｂ側の絶縁被膜を剥離する。また、金属導体２の先端２ａ又は後端２ｂの形状は、金属導体２を所定の長さに切断した後であれば、絶縁被膜端部３ａの形成前又は形成後のいずれかのタイミングで端部加工される。この端部加工としては、例えば精密旋盤による加工や研磨加工等が挙げられ、半球状、コーン状又はフラット状等の形状に加工される。また、めっき皮膜が形成されていない金属導体を用いた場合には、必要に応じてめっき皮膜を形成する工程を加えてもよい。めっき皮膜形成工程は、絶縁被膜を形成する前、又は、金属導体の端部の絶縁被膜を剥離した後、に行うことが好ましい。
【００６４】
次に、第２の製造方法について説明する。第２のプローブ針の製造方法は、絶縁被膜３のうち被測定体側の端部３ａの厚さが金属導体２の先端２ａ側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加するように、予め所定長さに切断された金属導体２の少なくとも被測定体側の端部をマスキングした後に絶縁塗料を噴霧して絶縁被膜３を形成する工程を少なくとも有する方法である。
【００６５】
この方法は、先ず、所定長さに切断された金属導体２を準備し、準備された金属導体２のうち少なくとも被測定体側で絶縁被膜を形成する必要のない領域をマスキングし、その後、端部をマスキングした金属導体２上から絶縁塗料を噴霧する。なお、マスキングは、通常、マスキングテープを巻いたり、マスキングシートを密着することにより行われ、噴霧により絶縁被膜を形成した後に、そのマスキングを取り除くことにより、所定の傾斜角度θを有する絶縁被膜端部３ａが現れる。こうした方法により、絶縁被膜３のうち被測定体側の端部３ａの厚さが金属導体２の先端２ａ側から中央方向に向かって１０°以上７０°以下の範囲内の傾斜角度で増加するように形成することができる。
【００６６】
なお、上記第１の方法と同様、金属導体２の先端２ａ又は後端２ｂの形状は、金属導体２を所定の長さに切断した後であれば、絶縁被膜端部３ａの形成前又は形成後のいずれかのタイミングで端部加工される。また、めっき皮膜が形成されていない金属導体を用いた場合には、必要に応じてめっき皮膜を形成する工程を加えてもよい。
【００６７】
以上説明したように、本発明のプローブ針の製造方法によれば、所定の傾斜角度を有する絶縁被膜端部を容易に形成できる。その結果、こうした方法で製造されたプローブ針は、上記本発明の絶縁被膜付きプローブ針のように、(i)プローブユニットが備えるガイド板からのプローブ針の抜け落ちをなくすことができ、(ii)被測定体側のガイド板に設けられた案内穴にプローブ針の絶縁被膜端部が当たる位置をあまり変動させないと共に、(iii)任意箇所の検査終了時にガイド板の案内穴がプローブ針の絶縁被膜端部に押し当たってその絶縁被膜端部に大きな応力が加わった場合であっても、絶縁被膜端部が削れたり剥離したりすることを抑制できる。
【００６８】
（プローブ針を用いた電気的特性の検査方法）
次に、上述した本発明のプローブ針を用いた電気的特性の検査方法について説明する。
【００６９】
本発明のプローブ針１は、プローブユニットに装着されて回路基板等の被測定体の電気的特性の良否の検査に利用される。プローブユニット１０は、図２及び図３に示すように、複数本から数千本のプローブ針１と、プローブ針１を被測定体１１の電極１２にガイドするガイド板２０と、プローブ針１を検査装置のリード線５０にガイドするガイド板３０とを備えている。被測定体側のガイド板２０は金属導体２の直径よりも若干大きい案内穴を有し、その案内穴は一本一本のプローブ針１の金属導体２を電極２１にガイドする。一方、検査装置側のガイド板３０はプローブ針１の外径よりも若干大きい案内穴を有し、その案内穴は一本一本のプローブ針１の金属導体２をリード線５０にガイドする。
【００７０】
プローブユニット１０と被測定体１１は、被測定体１１の電気的特性を検査する際、プローブ針１と電極１２とが対応するように位置制御される。電気的特性の検査は、プローブユニット１０を上下させ、プローブ針１の弾性力を利用して被測定体１１の電極１２にプローブ針１の先端２ａを所定の圧力で押し当てることにより行われる。このとき、プローブ針１の後端２ｂはリード線５０に接触し、被測定体１１からの電気信号がそのリード線５０を通って検査装置（図示しない。）に送られる。なお、図２及び図３中、符号４０はリード線用の保持板を示している。
【実施例】
【００７１】
以下、実施例により本発明を更に詳しく説明する。
【００７２】
（実施例１）
金属導体として、予め真直度が曲率半径Ｒで１５００ｍｍに直線矯正された長尺の真直ベリリウム銅線（外径０．０９ｍｍ）を用いた。また、絶縁被膜用の塗料として、ポリウレタン樹脂系のエナメル塗料（東特塗料株式会社製、商品名；ＴＰＵ５１００）を用いた。先ず、ボビン等の線材供線装置から繰出された金属導体上に、上記エナメル塗料を焼き付けて、平均膜厚１０μｍの絶縁被膜を形成した。次に、絶縁被膜が形成された長尺の金属導体を切断して長さ３０ｍｍの絶縁被膜付き金属導体を切り出し、その絶縁被膜付き金属導体の両端部を研削加工することにより半球状に加工した。次に、刃物付き機械としてワイヤストリッパー（刃先角度：６０°）を用いて、プローブ針の先端部から３ｍｍまでの絶縁被膜を剥離した。剥離に際しては、ワイヤストリッパーで絶縁被膜に切り込みを入れつつ金属導体を回転させた後、金属導体の先端方向に移動させて絶縁被膜を剥離した。こうして実施例１のプローブ針（長さ３０ｍｍ）を作製した。得られたプローブ針の絶縁被膜端部３ａの傾斜角度θを顕微鏡写真から測定したところ、約６０°であった。
【００７３】
（実施例２）
絶縁被膜用の塗料としてフッ素樹脂系のエナメル塗料（デュポン社製、商品名：９５４−１００）を用い、絶縁被膜の剥離方法としてレーザー光照射を行った他は、実施例１と同様にして、実施例２のプローブ針（長さ３０ｍｍ）を作製した。なお、レーザー光照射は、レーザー光照射装置（キーエンス社製、型番；ＭＬ−９１１０、照射強度：１０ｍＪ／ｃｍ２）を用いて、プローブ針の先端部から３ｍｍまでの絶縁被膜を剥離した。剥離に際しては、アルミニウムからなるマスクを絶縁被膜に接した状態で配置し、金属導体を回転させながら外周上の絶縁被膜を剥離した。得られたプローブ針の絶縁被膜端部３ａの傾斜角度θを顕微鏡写真から測定したところ、約２０°であった。
【００７４】
（比較例１）
絶縁被膜用の塗料として実施例２と同様のフッ素樹脂系のエナメル塗料を用いた。プローブ針の先端部３ｍｍを残して、アルミニウムからなるマスキングシートを隙間を開けずに絶縁被膜上に配置し、金属導体表面の法線方向からエナメル塗料を噴霧して、絶縁被膜を形成した。この比較例１ではレーザー光照射による絶縁被膜の剥離を行わず、マスキングシートを外して、比較例１のプローブ針を作製した。得られたプローブ針の絶縁被膜端部３ａの傾斜角度θを顕微鏡写真から測定したところ、約３°であった。
【００７５】
（ピール試験結果）
実施例１，２及び比較例１のプローブ針を用いて絶縁被膜ピール試験を行った。絶縁被膜ピール試験は、図６に示した測定装置を用い、図７に示した評価方法により評価した。具体的には、荷重検出装置として引張試験機を用い、試験治具として直径０．０９５ｍｍの案内穴を有した治具を用いた。試験治具の案内穴に絶縁被膜を剥離した側の金属導体を挿入し、突き出た金属導体を掴持治具でくわえ、１０ｍｍ／分の速度で引っ張ることにより測定した。荷重−歪み曲線のピーク強度から、表１の結果が得られた。
【００７６】
【表１】
2006317412.tif 000003
【００７７】
（実施例３〜１１）
金属導体及び絶縁被膜用の塗料は実施例１と同様のものを用い、絶縁被膜の厚さを１２．６μｍとした。絶縁被膜の剥離方法は、実施例１の刃物付き機械により剥離する方法及び実施例２のレーザー光を照射して剥離する方法を選択して、様々な傾斜角度θを有する実施例３〜１１のプローブ針を作製した。なお、各実施例の傾斜角度θは、レーザー出力の調整又は刃先角度の調整により変化させた。得られたプローブ針の絶縁被膜端部３ａの傾斜角度θを顕微鏡写真から測定したところ、表２の値が得られた。
【００７８】
実施例３〜１１のプローブ針を用いて絶縁被膜ピール試験を行った。ピール試験は、引張速度を１ｍｍ／分とした以外は上記と同様の方法で行い、その結果を表２に示した。図１０は、表２の結果をグラフにしたものであり、絶縁被膜端部の傾斜角度θとピーク強度との関係を示すグラフである。表２及び図１０の結果からもわかるように、傾斜角度θが大きくなるほどピーク強度も大きくなることがわかった。なお、図１０の直線は、最小自乗法によるものであり、その式は、y=0.0277x＋0.6744であった。
【００７９】
【表２】
2006317412.tif 000004
【００８０】
（実施例１２〜２０）
金属導体の直径、絶縁被膜の厚さ、及び傾斜角度θを表３のようにした他は、実施例１と同様にして、実施例１２〜２０のプローブ針を作製した。実施例１２〜２０のプローブ針を用いて絶縁被膜ピール試験を行った。ピール試験は、実施例３〜１１と同じ方法で行い、その結果を表３に示した。この結果より、絶縁被膜が厚いほどピーク強度が高い傾向があることがわかった。
【００８１】
【表３】
2006317412.tif 000005
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の絶縁被膜付きプローブ針の一例を示す模式断面図である。
【図２】本発明の絶縁被膜付きプローブ針を備えたプローブユニットを用いて被測定体の電気的特性を検査する方法を説明するための模式断面図である。
【図３】本発明の絶縁被膜付きプローブ針を備えたプローブユニットを用いて被測定体の電気的特性を検査する方法を説明するための他の模式断面図である。
【図４】絶縁被膜端部の傾斜角度θの説明図である。
【図５】金属導体の直径ｄ（μｍ）と絶縁被膜の平均膜厚Ｔ（μｍ）との適切な範囲を示すグラフである。
【図６】絶縁被膜ピール試験方法を示す概略図である。
【図７】絶縁被膜ピール試験方法により得られた荷重−歪み曲線の一例を示すグラフである。
【図８】レーザー光を照射して絶縁被膜を剥離する方法の説明図である。
【図９】刃物付き機械で絶縁被膜を剥離する方法の説明図である。
【図１０】表２の結果をグラフにしたものであり、絶縁被膜端部の傾斜角度θとピーク強度との関係を示すグラフである。
【図１１】従来の絶縁被膜付きプローブ針の一例を示す模式断面図である。
【図１２】従来の絶縁被膜付きプローブ針を備えるプローブユニットを用いて被測定体の電気的特性を検査する方法を説明するための模式断面図である。
【符号の説明】
【００８３】
１  絶縁被膜付きプローブ針
２  金属導体
２ａ  先端
２ｂ  後端
３  絶縁被膜
３ａ  絶縁被膜端部
１０  プローブユニット
１１  被測定体
１２  電極
２０  被測定体側のガイド板
３０  検査装置側のガイド板
４０  リード線用の保持板
５０  リード線
６１  固定治具
６２  荷重検出装置
６３  試験治具
６４  掴持治具
７１  ピーク強度
８１  レーザー光
８２  マスク
９１  刃物付き機械
θ  傾斜角度
Ａ  絶縁被膜と金属導体とがプローブ針の先端側で接する点
Ｂ  絶縁被膜端部の厚さが絶縁被膜端部以外の絶縁被膜の厚さと同じ又は実質的に同じになる点
Ｌ  点Ａと点Ｂを結んだ直線
【図１】
2006317412.tif 000006
【図２】
2006317412.tif 000007
【図３】
2006317412.tif 000008
【図４】
2006317412.tif 000009
【図５】
2006317412.tif 000010
【図６】
2006317412.tif 000011
【図７】
2006317412.tif 000012
【図８】
2006317412.tif 000013
【図９】
2006317412.tif 000014
【図１０】
2006317412.tif 000015
【図１１】
2006317412.tif 000016
【図１２】
2006317412.tif 000017