(57)【要約】【課題】  支持部材と物品との接着を簡単に行うことができる物品固定装置および物品固定方法を提供する。【解決手段】  物品６をホールドして、基板５の表面から所定距離隔てた取付け位置に移動させ、当該位置にて保持する物品移動・保持装置１１と、少なくとも一つのエアーノズルＡＮを備え、当該エアーノズルＡＮから流出する細線状エアーＡにより、支持部材７の基板５に垂直な面が物品６の基板Ａに垂直な面に押接されるように当該支持部材を付勢するエアー付勢装置１２と、支持部材７の基板５側に接触する面および物品６に押接する側面に接着材Ｂを塗布する接着装置１３とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面から所定距離隔てた位置に、固定対象となる物品を、支持部材を介して取り付ける物品固定装置であって、
前記物品をホールドして、前記基板の表面から所定距離隔てた取付け位置に移動させ、当該位置にて保持する物品移動・保持装置と、
少なくとも一つのエアーノズルを備え、当該エアーノズルから流出する細線状エアーにより、前記支持部材の前記基板に垂直な面が前記物品の前記基板に垂直な面に押接されるように当該支持部材を付勢するエアー付勢装置と、
少なくとも、前記支持部材の前記基板側に接触する面および前記物品に押接する側面に接着材を塗布し、または、少なくとも、前記支持部材の前記基板側に接触している面および前記物品に押接している側面に接着材を供給する接着装置と、
を備えたことを特徴とする物品固定装置。
【請求項２】
前記基板に設けられた支持部材ガイドを備え、
前記支持部材は前記支持部材ガイドに載置されて前記エアー付勢装置により付勢されることを特徴とする請求項１に記載の物品固定装置。
【請求項３】
前記基板上の所定位置に前記支持部材を供給する支持部材供給装置を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の物品固定装置。
【請求項４】
基板の表面から所定距離隔てた位置に、固定対象となる物品を、支持部材を介して取り付ける物品固定方法であって、
前記物品をホールドして、前記基板の表面から所定距離隔てた取付け位置に移動させ当該位置にて保持する物品移動・保持工程と、
細線状エアーにより、前記支持部材の前記基板に垂直な面が前記物品の前記基板に垂直な面に押接されるように当該支持部材を付勢するエアー付勢工程と、
少なくとも、前記支持部材の前記基板側に接触する面および前記物品に押接する側面に接着材を塗布し、または、少なくとも、前記支持部材の前記基板側に接触している面および前記物品に押接している側面に接着材を供給する接着工程と、
を有することを特徴とする物品固定方法。
【請求項５】
前記エアー付勢工程では、前記支持部材を支持部材ガイドに載置して当該支持部材を付勢することを特徴とする請求項４に記載の物品固定方法。
【請求項６】
前記基板上の所定位置に前記支持部材を供給する支持部材供給工程を有することを特徴とする請求項４または５に記載の物品固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面から所定距離隔てた位置に、固定対象となる微細光学部品，微細電子部品等の物品を、支持部材を介して取り付ける物品固定装置および物品固定方法に関し、前記支持部材と前記物品との接着を簡単に行うことができる物品固定装置および物品固定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザダイオードやマイクロレンズの固定対象を基板面から所定位置隔てて固定する場合、支持部材（ステー）が用いられる。
一般に、精密光学装置では、固定対象の決め、および支持部材の位置決めには、位置決め精度が高い移動・固定装置（例えば、６軸マニピュレータ）が用いられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、支持部材を固定対象に接着する際には、固定対象を移動・固定装置に取り付けた状態で、他の移動・固定装置により支持部材を移動させている。
このため、移動・固定装置同士が物理的に干渉する（ぶつかり合う）こともあるため、移動・固定装置の制御の自由度が低くなるし、作業効率も低化する。
本発明は上記の問題を解決するために提案されたものであって、ステー等の支持部材と、固定対象となる微細光学部品，微細電子部品等の物品との接着を簡単に行うことができる物品固定装置および物品固定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の物品固定装置は、基板の表面から所定距離隔てた位置に、固定対象となる物品を、支持部材を介して取り付ける物品固定装置であって、前記物品をホールドして、前記基板の表面から所定距離隔てた取付け位置に移動させ、当該位置にて保持する物品移動・保持装置と、少なくとも一つのエアーノズルを備え、当該エアーノズルから流出する細線状エアーにより、前記支持部材の前記基板に垂直な面が前記物品の前記基板に垂直な面に押接されるように当該支持部材を付勢するエアー付勢装置と、少なくとも、前記支持部材の前記基板側に接触する面および前記物品に押接する側面に接着材を塗布し、または、少なくとも、前記支持部材の前記基板側に接触している面および前記物品に押接している側面に接着材を供給する接着装置とを備えたものである。
【０００５】
また、請求項２記載の物品固定装置は、請求項１に記載の物品固定装置において、前記基板に設けられた支持部材ガイドを備え、
前記支持部材は前記支持部材ガイドに載置されて前記エアー付勢装置により付勢されるものである。
【０００６】
また、請求項３記載の物品固定装置は、請求項１または２に記載の物品固定装置において、前記基板上の所定位置に前記支持部材を供給する支持部材供給装置を備えたものである。
【０００７】
また、請求項４記載の物品固定方法は、基板の表面から所定距離隔てた位置に、固定対象となる物品を、支持部材を介して取り付ける物品固定方法であって、前記物品をホールドして、前記基板の表面から所定距離隔てた取付け位置に移動させ当該位置にて保持する物品移動・保持工程と、細線状エアーにより、前記支持部材の前記基板に垂直な面が前記物品の前記基板に垂直な面に押接されるように当該支持部材を付勢するエアー付勢工程と、
少なくとも、前記支持部材の前記基板側に接触する面および前記物品に押接する側面に接着材を塗布し、または、少なくとも、前記支持部材の前記基板側に接触している面および前記物品に押接している側面に接着材を供給する接着工程とを有するものである。
【０００８】
また、請求項５記載の物品固定方法は、請求項４に記載の物品固定方法において、前記エアー付勢工程では、前記支持部材を支持部材ガイドに載置して当該支持部材を付勢するものである。
【０００９】
また、請求項５記載の物品固定方法は、請求項４または５に記載の物品固定方法において、前記基板上の所定位置に前記支持部材を供給する支持部材供給工程を有するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、固定対象となる微細光学部品，微細電子部品等の物品を位置決めした後に、ステー等の支持部材を細線状エアーにより前記物品に押接させつつ接着を行うようにした。これにより、支持部材と固定対象との接着を簡単に行うことができる。
【００１１】
また、支持部材を制御するために６軸等の精度の高い移動・固定装置を使用する必要がないので、支持部材用の移動・固定装置と固定対象用の移動・固定装置とが物理的に干渉するといった不都合は生じないし、物品固定装置の低コスト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明の物品固定装置の第１実施形態を示すブロック図である。図１において、物品固定装置１Ａは、基板５の表面から所定距離隔てた位置（所定高さ位置）に、固定対象となる物品６（本実施形態では概略直方体）を、支持部材７を介して取り付けることができる。
【００１３】
物品固定装置１Ａは、物品移動・保持装置１１と、エアー付勢装置１２と、接着装置１３と、支持部材供給装置１４と、紫外線照射装置１５を備えている。
物品移動・保持装置１１は、物品６をホールドして、基板５の表面から距離隔てた取付け位置（所定高さ位置）に移動させ当該位置にて保持する。本実施形態では、物品６は、例えば、１ｍｍ×１ｍｍ程度の微小な光学部品である。物品移動・保持装置１１は、物品移動保持機構１１１と、物品移動保持機構制御手段１１２とからなる。
【００１４】
エアー付勢装置１２は、少なくとも一つのエアーノズルを備え、当該エアーノズルから流出する細線状エアーにより、支持部材７の基板５に垂直な面が物品６の基板５に垂直な面に押接されるように、支持部材７を付勢する。エアー付勢装置１２は、エアーノズルＡＮとエアーノズル移動機構１２１と、エアーノズル移動機構制御手段１２２と、エアー制御手段１２３とからなる。
【００１５】
接着装置１３は、少なくとも、支持部材７の基板５側に接触する面および物品６に押接する側面に接着材（紫外線硬化樹脂）Ｂを塗布し、または、少なくとも、支持部材７の基板５側に接触している面および物品６に押接している側面に接着材Ｂを供給する。接着装置１３は、接着材ノズル移動機構１３１と、接着材ノズル移動機構制御手段１３２と、接着材供給制御手段１３３と、接着材ノズルＢＮとからなる。
【００１６】
支持部材供給装置１４は、基板５上の所定位置に支持部材７を供給することができる。支持部材供給装置１４は、支持部材供給機構１４１と、支持部材供給機構制御手段１４２とからなる。
紫外線照射装置１５は、接着材Ｂを硬化させることができる。紫外線照射装置１５は、紫外線制御手段１５１と紫外線ランプＵＶＬからなる。
【００１７】
図２は、本発明の物品固定装置の第２実施形態を示すブロック図である。図２において、物品固定装置１Ｂは、基板５に設けられた支持部材ガイド１６を備え、支持部材７の形態が異なること以外、図１の物品固定装置１Aとおおむね同じである。図２では、支持部材７は支持部材ガイド１６に載置されてエアー付勢装置１２により付勢される。
【００１８】
以下、図１に示した物品固定装置１Ａおよび図２に示した物品固定装置１Ｂの具体例を説明する。また、併せて本発明の物品固定方法について説明する。
図３（Ａ），（Ｂ）、図４（Ａ），（Ｂ）は、図１に示した物品固定装置１Ａによる物品固定の具体的例を示す図である。なお、本具体例では、接着工程における接着材Ｂの塗布を、エアー付勢工程により細線状エアーの付勢に併せて行っている。
まず、物品移動・保持工程では、図３（Ａ）に示すように、物品６をホールドして、基板５の表面から所定距離隔てた取付け位置に移動させ当該位置にて保持する。本具体例では、真空吸着装置の先端部Ｐにより物品６がホールドされている。また、物品移動・保持工程では、物品移動・保持装置１１は、Ｘ、Ｙ、Zの各軸の座標移動、および各軸についての回転の６軸により物品６を制御している。
【００１９】
次の、エアー付勢工程では、図３（Ｂ）に示すように、細線状エアーＡにより、支持部材７の基板５に垂直な面が物品６の基板５に垂直な面に押接されるように支持部材７を付勢する。
そして、接着工程では、図４（Ａ）に示すように、少なくとも、支持部材７の基板５側に接触した面および物品６に押接した側面に接着材Ｂを塗布する。この後、図４（Ｂ）に示すように紫外線ＵＶを照射し、接着材Ｂを硬化させる。
【００２０】
なお、図５（Ａ）に示すように、物品６と支持部材７には位置合わせを容易とするための突起および溝を形成しておくこともできる。図５（Ａ）では物品６に突起を形成し、支持部材７に溝を形成したが、物品６に溝を形成し、支持部材７に突起を形成するようにしてもよい。また、図５（Ｂ）示すように直方体の角部を物品６との位置合わせのための突起として使用することもできる。
【００２１】
図６（Ａ），（Ｂ）、図７（Ａ），（Ｂ）および図８は、図２に示した物品固定装置１Ｂによる物品固定の具体的例を示す図である。なお、本具体例では、接着工程における接着材Ｂの供給を、エアー付勢工程を開始する前に行っている。本具体例では、物品６をその一の側面と、この側面に対向する側面の双方に支持部材７が接着されるものとする。なお、また、図６（Ａ），（Ｂ）、図７（Ａ），（Ｂ）では、支持部材ガイド１６の一方のみを図示してある。
【００２２】
まず、物品移動・保持工程では、図６（Ａ）に示すように、物品６をホールドして、基板５の表面から所定距離隔てた取付け位置に移動させ当該位置にて保持する。
次の接着工程では、図６（Ｂ）に示すように、少なくとも、支持部材７の基板５側（本具体例では支持部材ガイド１６側）に接触する面および物品６に押接する側面に接着材Ｂを塗布する。
そして、エアー付勢工程では、図７（Ａ）に示すように、細線状エアーＡにより、支持部材７の基板５に垂直な面（本具体例では円柱体の一方の端面）が物品６の基板５に垂直な面に押接されるように支持部材７を付勢する。この後、図７（Ｂ）に示すように紫外線ＵＶを照射し、接着材Ｂを硬化させる。
同様にして、図８に示すように、物品６の他方の側面にも、支持部材７を接着する。
【００２３】
図９および図１０により物品６に電気配線を形成した実施形態を説明する。この場合、物品６は、例えば、レーザダイオードであり、図９では物品６にはパッドＰＡＤが形成され、支持部材７は導電性を有している。また、支持部材ガイド１６にはストリップラインＳＴLＰが形成されており、使用する接着材Ａとして、はんだペーストが使用される。本具体例では、熱処理により接着材Ａを硬化させているが、接着材Ａとして導電性の紫外線硬化型樹脂を使用して、紫外線により接着材Ａを硬化させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の物品固定装置の第１実施形態を示すブロック図である。
【図２】図２は、本発明の物品固定装置の第２実施形態を示すブロック図である。
【図３】図３は、第１実施形態の具体例を示す図であり、（Ａ）は物品移動・保持工程を示す図、（Ｂ）はエアー付勢工程を示す図である。
【図４】図４は、第１実施形態の具体例を示す図であり、（Ａ）は接着工程における塗布工程を示す図、（Ｂ）は紫外線により接着材を硬化させ工程を示す図である。
【図５】図５は、第１実施形態の実施に際して物品と支持部材との位置合わせを容易とするための説明図であり、（Ａ）は物品に突起を形成し、支持部材に溝を形成した例を示す図、（Ｂ）は直方体の角部を位置合わせのための突起として使用し、支持部材に溝を形成した例を示す図である。
【図６】図６は、第２実施形態の具体例を示す図であり、（Ａ）は物品移動・保持工程を示す図、（Ｂ）は接着工程における塗布工程を示す図である。
【図７】図７は、第２実施形態の具体例を示す図であり、（Ａ）はエアー付勢工程を示す図、（Ｂ）は紫外線により接着材を硬化させ工程を示す図である。
【図８】図８は、物品の対向する２つの側面に、支持部材を接着した様子を示す図である。
【図９】図９は、端子パッドが形成された物品を示す図である。
【図１０】図１０は、２つの支持部材により図９の物品を固定した様子を示す図である。
【符号の説明】
【００２５】
１Ａ  物品固定装置
１１  物品移動・保持装置
１２  エアー付勢装置
１３  接着装置
１４  支持部材供給装置
１５  紫外線照射装置
１６  支持部材ガイド
１１１  物品移動保持機構
１１２  物品移動保持機構制御手段
１２１  エアーノズル移動機構
１２２  エアーノズル移動機構制御手段
１２３  エアー制御手段
１３１  接着材ノズル移動機構
１３２  接着材ノズル移動機構制御手段
１３３  接着材供給制御手段
１４１  支持部材供給機構
１４２  支持部材供給機構制御手段
１５１  紫外線制御手段
Ａ  細線状エアー
Ｂ  接着材
ＡＮ  エアーノズル
ＢＮ  接着材ノズル
ＵＶＬ  紫外線ランプ
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図１】
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【図２】
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【図８】
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【図９】
2006224246.tif 000011
【図１０】
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