(57)【要約】【課題】  小型振動子に用いる圧電素板を安定に確実にその周波数測定を行うことを目的とする。【解決手段】  目的を実現するために本発明は圧電素板主面両面との間に隙間を有した圧電素板の周波数測定ジグにおいて、一定間隔を空けて対向する電極間に該圧電素板を垂直方向に挿入できる構造を持ち、前記対向電極間に該圧電素板を立てた状態で配置し、該対向電極から交流電圧を印加することで前記圧電素板の周波数を測定することにより課題を解決する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素板主面両面との間に隙間を有した圧電素板の周波数測定ジグにおいて、
一定間隔を空けて対向する電極間に該圧電素板を垂直方向に挿入できる構造を持ち、前記対向電極間に該圧電素板を立てた状態で配置し、該対向電極から交流電圧を印加することで前記圧電素板の周波数を測定することを特徴とする圧電素板の周波数測定ジグ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えば通信機器などに利用される小型の水晶素板を効率良く周波数測定を行う周波数測定を行う測定ジグに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
周波数調整は振動子に形成した電極を直接イオンガン、レーザなどを照射することで削除する方向で行う方法と、蒸着などで新たに電極金属を付加してマスローディングを行う方法とが取られている。しかし、これらの振動子は元来には圧電素板として、圧電素板の主面表面に電極金属を形成し、密閉構造のパッケージングを行うことで振動子の形態となる。
【０００３】
また昨今は生産性を重視し個片で無く振動子をシート状の集合形態状態でハンドリングして封止し、その後に周波数の調整を行う方法としてレーザ光線を用いた方法などの手法が取られている。このようにシート状の集合形態状態で振動子を製造することの考えからも、圧電素板単体で見た場合に圧電素板の外形寸法が非常に小さく、細かくなっていることが分かる。
【特許文献１】特開２００２−２９９９８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電素板の状態で周波数を測定する場合で、元来から採られていた基本的な方法のひとつに隙間（ギャップ）式の周波数測定方法がある。このギャップ式の周波数測定方法とは、平面板と、分銅と呼ばれる圧電素板とほぼ同等の大きさと適度の重さを持った導通部材（例えば金属材料）とで、前記の平面板と分銅との間に圧電素板を配置し、この両者（平面板と分銅）から圧電素板に対して交流電圧を印加することにより圧電素板の周波数を測定することができる基本的な圧電素板の周波数測定方法である。
【０００５】
従って、圧電素板の主面表面に対して、平面板と分銅とが安定して載置できる程度に圧電素板寸法の大きさがあれば、圧電素板として安定した周波数測定を行うことができるが、昨今では圧電素板の外形寸法が極小化していることから、前記のような平面板と分銅の組み合わせによる周波数測定が難しくなっている現状にある。
【０００６】
特に分銅を取って考えてみると、圧電素板の上に置く格好となるため、圧電素板の外形寸法が極小化傾向にあることから、その圧電素板上に置く分銅も小さくならざるを得ず、また分銅にも交流を印加する細線が付いて回ることで、この細線の剛性に分銅が影響されて、思うように圧電素板上に正確に、平坦に分銅を置くことが出来ない状況にもあることから、尚更に圧電素板の周波数測定を正確に行うことが難しくなっている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで上述の課題を解決するために本発明は、圧電素板主面両面との間に隙間を有した圧電素板の周波数測定ジグにおいて、一定間隔を空けて対向する電極間に該圧電素板を垂直方向に挿入できる構造を持ち、前記対向電極間に該圧電素板を立てた状態で配置し、該対向電極から交流電圧を印加することで前記圧電素板の周波数を測定することを特徴とする圧電素板の周波数測定ジグを用いたものである。
【０００８】
要するに、従来でのギャップ式の圧電素板の周波数測定で起こり得る、圧電素板に特に分銅が確実かつ正確に載置できない点を大幅に改善することができる。そのことにより、従来の課題を解決し本発明の特徴を評価することができる。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように本発明は、圧電素板をギャップ式により周波数測定を行う場合に、ギャップの変化を少なく押さえることから周波数の変動を小さくして周波数測定を行うことができる。そのことにより、製造工程における圧電素板形状での周波数測定の信頼性を向上させることで、製造工程で特に周波数測定工程の簡略化と作業の安定性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面に従ってこの発明の実施例を説明する。なお、各図において同一の符号は同様の対象を示すものとする。図１において、１は圧電素板で板厚３５０〜３０μｍ程度の水晶材料で構成されている。この圧電素板１の表裏面には、次工程で電極金属を形成し振動子を得ることになるが、ここで言う圧電素板１とは電極を付けない状態を示すものである。
【００１１】
図１はその圧電素板１の周波数を計測するための方法の概要を示したものである。図１に描画する図は、本発明の測定に用いる測定ジグ３である。絶縁材料でできた容器３の内壁には発振させるための電流を印加できる金属板が格納されている。この金属板は前記の圧電素板１の主面に対して電流をギャップ方式で印加することで、圧電素板１の周波数を測定するものである。なお、水晶素板１は測定ジグ３に対して垂直方向に挿入し、測定ジグ３の中では圧電素板が立った状態で周波数の測定を行う形態となっている。従って図示する図面上では、測定ジグ３に対して紙面の上下方向に圧電素板が配置する形態となっている。
【００１２】
図１（ａ）はこの測定ジグ３の基本的な構造を示したもので、圧電素板１の主面両面に非接触で電極体２を接近させた概念が基本となっている。その変形が図１（ｂ）に描画したもので、絶縁材料でできた容器３の内壁には圧電素板１を発振させるための電流を印加できる金属板（電極体）が格納された測定ジクを用いるものである。図１（ｂ）はジク内壁に金属板が露出し、圧電素板１とは直接当たることの無いギッャプ式で圧電素板１の周波数を測定するものである。なお、図１（ｃ）は図１（ｂ）の断面図で描画したものである。
【００１３】
一方図２には、測定ジグ３の内壁に金属板を埋設した格好を持ったもので、図１（ｂ）と同様の考え方で圧電素板１の周波数を測定することができる。この場合には測定ジグ３の内壁には金属板が露出しない構造であることからギッャプ方式で圧電素板１の周波数を測定する上で、ギャップの寸法を安定して決定できることから、より安定した周波数測定ができる。なお、図３は従来から用いられているギャップ方式の周波数測定方法を示したものである。
【００１４】
また、本実施例で説明する圧電素板１の研磨については、両面研磨により行うこととしているが、当然片面研磨で行っても良い。ただし、圧電素板１の平行度、平坦度を確保するには両面研磨が望ましい。
【００１５】
上述する実施例の記載で、特に図示はしていないが、測定ジグ３の内側で圧電素板１が電極２あるいは、測定ジグ１の内壁と適当な隙間を確保できる構造になっていることは当然である。また圧電素板１の主面に電極材料を形成した水晶振動子の形態であっても本発明の測定ジグ３を応用し周波数測定を行うことができる事は言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の概念を示す斜視図である。
【図２】本発明の他の形態を示す斜視図である。
【図３】従来から用いられるギャップ式の周波数測定方法の概念図である。
【符号の説明】
【００１７】
１      圧電素板
２      電極（体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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