(57)【要約】【課題】インクの噴射異常を即時的且つ確実に検知することが可能な液滴噴射装置及び表示装置製造方法を提供する。【解決手段】塗布ヘッド１５内のアクチュエータの電圧値を含む電圧情報を取得する電圧情報取得部３４と、取得された電圧情報に基づいて塗布ヘッド１５の異常を検知し、インクが正常に噴射されているか否かを判定する検知判定部３６とを設ける。【選択図】図４
2006026584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧が印加されると変形するアクチュエータと、インクが充填されるインク室と、片方の面が前記前記アクチュエータと接着され、他方の面が前記インク室を封止し、前記アクチュエータに電圧が印加された際に該アクチュエータとともに変形する弾性体とを有し、該弾性体を変形させることにより前記インク室の容積を変化させ、これにより前記インクの液滴を該インク室から噴射させる液滴噴射装置であって、
前記アクチュエータの電圧値を含む電圧情報を取得する電圧情報取得手段と、
前記電圧情報に基づいて、前記インク室内の異常、前記アクチュエータの破損、前記アクチュエータと前記弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、前記インクが正常に噴射されているか否かを判定する検知判定手段と
を有することを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
インクが正常に噴射された際のアクチュエータの電圧値を含む正常時電圧情報を予め記憶する記憶手段を有し、
前記検知判定手段は、前記正常時電圧情報と、前記電圧情報取得手段により取得された電圧情報とを比較することにより、前記インク室内の異常、前記アクチュエータの破損、前記アクチュエータと前記弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、前記インクが正常に噴射されているか否かを判定する
ことを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項３】
前記検知判定手段により前記インクが正常に噴射されていないと判定された場合、前記アクチュエータへの電圧の印加を停止させる電圧印加停止手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴噴射装置。
【請求項４】
電圧が印加されると変形するアクチュエータと、インクが充填されるインク室と、片方の面が前記前記アクチュエータと接着され、他方の面が前記インク室を封止し、前記アクチュエータに電圧が印加された際に該アクチュエータとともに変形する弾性体とを用い、該弾性体を変形させることにより前記インク室の容積を変化させ、これにより前記インクの液滴を該インク室から噴射させ、該噴射されたインクにより画素を形成せしめる表示装置製造方法であって、
前記アクチュエータの電圧値を含む電圧情報を取得する電圧情報取得工程と、
前記電圧情報に基づいて、前記インク室内の異常、前記アクチュエータの破損、前記アクチュエータと前記弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、前記インクが正常に噴射されているか否かを判定する検知判定工程と
を有することを特徴とする表示装置製造方法。
【請求項５】
インクが正常に噴射された際のアクチュエータの電圧値を含む正常時電圧情報を予め記憶する記憶工程を有し、
前記検知判定工程は、前記正常時電圧情報と、前記電圧情報取得工程において取得された電圧情報とを比較することにより、前記インク室内の異常、前記アクチュエータの破損、前記アクチュエータと前記弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、前記インクが正常に噴射されているか否かを判定する
ことを特徴とする請求項４に記載の表示装置製造方法。
【請求項６】
前記検知判定工程において前記インクが正常に噴射されていないと判定された場合、前記アクチュエータへの電圧の印加を停止させる電圧印加停止工程を有することを特徴とする請求項４又は５に記載の表示装置製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクの液滴を対象物に向けて噴射させる液滴噴射装置と、前記のインクにより画素を形成させ、これによりディスプレイ等の表示装置を製造する表示装置製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ等の表示装置を製造するにあたっては、発光層材料であるインクを噴射させ、このインクにより画素を形成させる。  
このようなインク塗布方法の一例としては、インクを微小な液滴とし、これを基板等の対象物に向けて噴射させる方法（以下、適宜“Ｉ／Ｊ法”と呼称する）が挙げられる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２２１６１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、インクを噴射する塗布ヘッドに何らかの異常がある場合、適切な量のインクが噴射されないことがあり、異常の程度によっては、インクが全く噴射されないこともある。
【０００４】
例えば、図１２に示すように、塗布ヘッド１１５のノズルＥもしくはこれに対応するインク室に異常があると、これに起因するインクの不噴射あるいは噴射されるインクの量の不足（以下、適宜これらを“噴射異常”と呼称する）により基板１０９に筋ムラ（輝度ムラ）９１が生じてしまい、有機ＥＬディスプレイ等の品質を著しく低下させていた。
【０００５】
また、インクの噴射を行うにあたっては、事前に噴射異常が発生しているか否かが確認されるが、実際にインクの噴射が開始されてから噴射異常が発生することもあり、これを即座に検知できない場合、上記のような筋ムラが発生した基板等を製造し続けることとなり、噴射異常の発生以降は良品を１つも得られないこととなる。
【０００６】
しかし、噴射異常を即座に検知することは困難であり、この結果、当業者に多大な負担を強いていた。
【０００７】
このような事情に鑑み本発明は、インクの噴射異常を即時的且つ確実に検知することが可能な液滴噴射装置及び表示装置製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の本発明は、電圧が印加されると変形するアクチュエータと、インクが充填されるインク室と、片方の面がアクチュエータと接着され、他方の面がインク室を封止し、アクチュエータに電圧が印加された際にアクチュエータとともに変形する弾性体とを有し、弾性体を変形させることによりインク室の容積を変化させ、これによりインクの液滴をインク室から噴射させる液滴噴射装置であって、アクチュエータの電圧値を含む電圧情報を取得する電圧情報取得手段と、電圧情報に基づいて、インク室内の異常、アクチュエータの破損、アクチュエータと弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、インクが正常に噴射されているか否かを判定する検知判定手段とを有することを要旨とする。
【０００９】
請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の発明において、インクが正常に噴射された際のアクチュエータの電圧値を含む正常時電圧情報を予め記憶する記憶手段を有し、検知判定手段は、正常時電圧情報と、電圧情報取得手段により取得された電圧情報とを比較することにより、インク室内の異常、アクチュエータの破損、アクチュエータと弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、インクが正常に噴射されているか否かを判定することを要旨とする。
【００１０】
請求項３に記載の本発明は、請求項１又は２に記載の発明において、インクが正常に噴射されていないと判定された場合、アクチュエータへの電圧の印加を停止させる電圧印加停止手段を有することを要旨とする。
【００１１】
請求項４に記載の本発明は、電圧が印加されると変形するアクチュエータと、インクが充填されるインク室と、片方の面がアクチュエータと接着され、他方の面がインク室を封止し、アクチュエータに電圧が印加された際にアクチュエータとともに変形する弾性体とを用い、弾性体を変形させることによりインク室の容積を変化させ、これによりインクの液滴をインク室から噴射させ、噴射されたインクにより画素を形成せしめる表示装置製造方法であって、アクチュエータの電圧値を含む電圧情報を取得する電圧情報取得工程と、電圧情報に基づいて、インク室内の異常、アクチュエータの破損、アクチュエータと弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、インクが正常に噴射されているか否かを判定する検知判定工程とを有することを要旨とする。
【００１２】
請求項５に記載の本発明は、請求項４に記載の発明において、インクが正常に噴射された際のアクチュエータの電圧値を含む正常時電圧情報を予め記憶する記憶工程を有し、検知判定工程は、正常時電圧情報と、電圧情報取得工程において取得された電圧情報とを比較することにより、インク室内の異常、アクチュエータの破損、アクチュエータと弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、インクが正常に噴射されているか否かを判定することを要旨とする。
【００１３】
請求項６に記載の本発明は、請求項４又は５に記載の発明において、インクが正常に噴射されていないと判定された場合、アクチュエータへの電圧の印加を停止させる電圧印加停止工程を有することを要旨とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明においては、アクチュエータの電圧値を含む電圧情報を取得し、この電圧情報に基づいて、インク室内の異常、圧電素子の破損、圧電素子、弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知するため、インクの噴射異常を即時的且つ確実に検知することができる。
【００１５】
また、インクが正常に噴射された際のアクチュエータの電圧値を含む正常時電圧情報を予め記憶し、正常時電圧情報と、取得された電圧情報とを比較することにより、インク室内の異常、圧電素子の破損、圧電素子、弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知するため、インクの噴射異常を即時的且つ確実に検知することができる。
【００１６】
さらに、インクの噴射異常が発生した場合は、アクチュエータへの電圧の印加を停止させるため、筋ムラが発生した基板等が大量に製造されることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を提示しつつ本発明の液滴噴射装置及び表示装置製造方法について説明する。  
なお、以下の実施例は、あくまでも本発明の説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。したがって、当業者であれば、これらの各要素又は全要素を含んだ各種の実施例を採用することが可能であるが、これらの実施例も本発明の範囲に含まれる。  
また、以下の実施例を説明するための全図において、同一の要素には同一の符号を付与し、これに関する反復説明は省略する。
【実施例】
【００１８】
図１は、本発明の一実施例に係る液滴噴射装置１の斜視図である。  
この液滴噴射装置１は、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置を製造するためのものであり、インク塗布ボックス２と、インク補給ボックス３とを有し、インク塗布ボックス２とインク補給ボックス３は互いに隣接して配置され、共に架台４の上面に固定されている。
【００１９】
インク塗布ボックス２の内部には、Ｙ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８が積層されている。
【００２０】
Ｙ軸方向スライド板５は、架台４に固定されており、表面上には少なくとも１本の溝がＹ軸方向に設けられている。
【００２１】
一方、Ｙ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向スライド板５に形成された溝に沿って移動するための突機構（図示せず）を備え、この突機構を溝に嵌め込むことでＹ軸方向の移動が可能となる。
【００２２】
また、このＹ軸方向移動テーブル６の表面上にも少なくとも１本以上の溝がＸ軸方向に設けられている。これにより、Ｘ軸方向移動テーブル７も突機構を溝に嵌め込むことでＸ軸方向の移動が可能となる。したがって、Ｙ軸方向移動テーブル６は±Ｙ方向に滑動し、Ｘ軸方向移動テーブル７は±Ｘ方向に滑動する。
【００２３】
基板保持テーブル８は、基板吸着機構又は基板把持機構１０を備え、この基板吸着機構又は基板把持機構１０を用いて基板保持テーブル８上に基板９を密着固定させる。ここで基板吸着機構とは例えばゴム吸盤や吸引ポンプなどであり、本実施例における基板把持機構１０は、コの字型の挟み金具などである。
【００２４】
さらに、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７には、インクの塗布方向（Ｙ方向）とＹ軸方向移動テーブル６の移動方向を平行に保つ補正機構と、インクの塗布方向とＸ軸方向移動テーブル７の移動方向を直角に保つ補正機構、すなわちθ方向補正機構を備える。
【００２５】
本実施例におけるθ方向補正機構は、平坦面を有する回転盤で構成されており、これをＹ軸方向移動テーブル６やＸ軸方向移動テーブル７の下面又は層間に設けることにより、θ方向の回動を可能にし、両者の平行又は直交を保つ。
【００２６】
さらに、インク塗布ボックス２の内部には、Ｙ軸方向スライド板５に形成された溝と直交する方向において、Ｙ軸方向スライド板５を挟む両側に１組のコラム１１が立設されている。
【００２７】
このコラム１１には、Ｘ軸方向スライド板１２が横架されている。このＸ軸方向スライド板１２には、基板９面上にインクを噴射するための塗布ヘッドユニット１３が塗布ヘッドユニット把持部材１４によりＸ軸方向に滑動可能なように垂設されている。このＸ軸方向スライド板１２を設けることにより、インクのパターン塗布方向に対して直交する方向に塗布ヘッドユニット１３を移動させることができる。
【００２８】
この塗布ヘッドユニット１３の先端には塗布ヘッド１５が設けられており、パイプを介してインクタンク１７からインクの供給を受ける。このインクタンク１７は、さらに、インク補給タンク１８に接続されており、常にこのインク補給タンク１８からインクの供給が受けられる状態となっている。
【００２９】
塗布ヘッドユニット１３には、基板９面に対して垂直方向に上下移動可能な上下移動機構１６が設けられている。これにより塗布ヘッド１５と基板９との距離を所望の間隔に設定することができる。
【００３０】
インク塗布ボックス２の内部には、これらの機構の他に、塗布ヘッド１５のノズルのインク目詰まりを清掃するためのヘッドメンテユニット１９が設けられている。このヘッドメンテユニット１９は、Ｘ軸方向スライド板１２のスライド方向の延長線上に、基板９から離隔した位置に配置されており、塗布ヘッドユニット１３をＸ軸方向スライド板１２の終端まで移動させ、ヘッドメンテユニット１９の上部に配置することにより、ノズル孔の目詰まりを自動的に洗浄することができる。
【００３１】
なお、上記のＹ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７、Ｘ軸方向スライド板１２、上下移動機構１６等の駆動制御及び補正制御は制御部２０により行われる。この制御部２０は、架台４の内部に設けられており、塗布ヘッド１５から噴射されるインクの量もこの制御部２０により制御される。
【００３２】
図２は、図１の塗布ヘッド１５の模式図であり、図３は、その原理を示す図である。  
この塗布ヘッド１５は、電極２１と、アクチュエータ（圧電素子）２２、ダイヤフラム（弾性体）２３、インク室２４、オリフィスプレート２６及びノズル２７を備える。なお、本図においては、説明を容易にするため、アクチュエータ２２、インク室２４及びノズル２７をそれぞれ３個のみ記載している。
【００３３】
アクチュエータ２２は、ダイヤフラム２３と接着されており、電極２１を介して電圧が印可されると縮み、ダイヤフラム２３を上方に移動させる（図２の区間Ｔａ）。
【００３４】
ダイヤフラム２３が移動することにより、インク室２４の容積が増大するとともに内部の圧力が減少し、インク２５が図示しない流路からインク室２４内に補充される。
【００３５】
その後、印可電圧がゼロに戻ると（図２の区間Ｔｂ）、ダイヤフラム２３が元の状態に戻り、インク室２４が圧迫され、ノズル２７からインクの液滴２８が噴射される。
【００３６】
しかしながら、例えばインク室２４内に気泡２９が存在すると、アクチュエータ２２及びダイヤフラム２３により与えられた力が、気泡２９を圧縮することに使われてしまい十分な量の液滴２８が噴射されない場合（噴射量不足）や液滴２８が全く噴射されない場合（不噴射）がある。
【００３７】
また、インク室２４内のノズル２７付近に気泡２９やゴミ等の異物３０が存在すると、これらによりノズル２７が塞がれ、上記の噴射量不足や不噴射が起こる。
【００３８】
また、アクチュエータ２２とダイヤフラム２３が密着していない場合、力がダイヤフラム２３に適切に伝達されず、これを適切に変形させることができないため噴射量不足や不噴射が起こる。
【００３９】
また、アクチュエータ２２が破損（断線）している場合、ダイヤフラム２３を変形させることができないため不噴射が起こる。
【００４０】
なお、以降の説明においては、適宜、上記の噴射量不足及び不噴射を“噴射異常”と総称する。
【００４１】
図４は、図１の制御部２０の構成を示すブロック図である。  
この制御部２０は、制御中枢部３１、モータドライバ３２、噴射制御部３３、電圧情報取得部３４、ＡＤコンバータ３５、検知判定部３６及びメモリ３７からなる。
【００４２】
制御中枢部３１は、基板９の位置等を示すステージ位置信号、塗布ヘッド１５にインクの噴射を行わせるための噴射許可信号、図１の基板９上に形成される発光層の画素の配列等を示す塗布パターン信号等を噴射制御回路に送信する。
【００４３】
モータドライバ３２は、制御中枢部３１の制御を受けてＹ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７、Ｘ軸方向スライド板１２、上下移動機構１６等を制御し、これらのエンコーダ信号を噴射制御部３３へ送信する。
【００４４】
噴射制御部３３は、上記の信号から図中の指令波形を有する信号を生成し、これを塗布ヘッド１５に送信し、塗布ヘッド１５は、これに基づいてインクを噴射する。
【００４５】
図２のアクチュエータ２２は、いわば電気的信号を力学的エネルギーに変換するものであるため、アクチュエータ２２における電圧波形を測定することにより、アクチュエータ２２より先の部分、つまりダイヤフラム２３の機械的不可の状態を知ることができ、また、これによりインク室２４内部の状態を知ることができる。
【００４６】
電圧情報取得部３４は、図２の電極２１と接続され、アクチュエータ２２の電圧値や電圧波形を含む電圧情報を取得する。
【００４７】
通常、アクチュエータ２２には、数十Ｖから数百Ｖの電圧がかけられるため、電圧情報取得部３４は、電圧情報を取得するにあたって、電圧を取り扱いが容易な値（例えば１０Ｖ以下）に低下させる。
【００４８】
なお、電圧を低下させるのではなく、電圧値が１０Ｖ以下の波形のみを測定する構成とすることもできる。
【００４９】
また、電圧情報取得部３４内にエッジ検出回路を設けることもできる。以下の説明は、これを前提として行う。
【００５０】
電圧情報取得部３４は、図５に示すように、波形の立ち上がり点Ａを検出し、設定時間Ｔｃ及び情報取得時間Ｔｄにおける指令波形の立ち下がり後の電圧波形を観測可能な設定電圧範囲内、つまり図中の領域Ｂ内の電圧信号を取得する。
【００５１】
ＡＤコンバータ３５は、電圧情報取得部３４により取得された電圧情報をデジタル形式に変換し、これを逐次メモリ３７に記憶させる。
【００５２】
また、メモリ３７は、上記の情報だけでなく、インクが正常に噴射された際の電圧情報（以下、適宜“正常時電圧情報”とする）を予め記憶している。
【００５３】
なお、上記の電圧情報は、電圧波形情報（連続的な電圧値情報）を含み、単位時間毎の代表値等の形式で記憶されている。
【００５４】
検知判定部３６は、電圧情報取得部３４により取得された電圧情報と、正常時電圧情報とをメモリ３７から読み出し、両者を比較し、これにより上記のインク室２４内の異常、つまり気泡２９や異物３０の存在、アクチュエータ２２とダイヤフラム２３の接着不良、アクチュエータ２２の破損のうちの少なくともいずれかを検知し、噴射異常であるか否かを判定し、噴射異常であると判定した場合は、直ちにその旨を示す信号を制御中枢部３１に送信する。
【００５５】
制御中枢部３１は、上記の信号を受信すると、噴射停止信号を噴射制御部に送信し、これを受信した噴射制御部３３は、塗布ヘッド１５の動作を停止させる。
【００５６】
次に、上記の検知判定部３６における処理の詳細について説明する。  
気泡２９が存在する場合、アクチュエータ２２の機械的負荷のコンプライアンスが増加し、電圧波形は、図５に示すように振動的となる。
【００５７】
ここで、前記の正常時電圧情報に含まれる正常噴射時の電圧波形をメモリ３７から読み出し、その下限値をＶａとする。
【００５８】
次に、図４の電圧情報取得部３４に電圧情報（電圧波形）を連続的に取得させながら、その都度、その下限値Ｖｂを求め、先のＶａとの差分ΔＶ（=|Ｖａ|−|Ｖｂ|）を算出する。
【００５９】
次に、予め求めてある電圧差分閾値ΔＶｄｅｔとΔＶとの比較を行い、ΔＶの方が大きい場合は噴射異常が発生していると判定する。
【００６０】
また、図６に示すように、指令波形の立ち下がり後のある時点ｔ１での電圧値が予め求めてある電圧閾値Ｖｔｈより大である場合は噴射異常が発生していると判定する構成とすることもできる。
【００６１】
また、噴射後の残留振動の減衰率から噴射異常を判定する事も可能である。
【００６２】
なお、上記の処理においては、Ｘ軸を時間、Ｙ軸を電圧として気泡２９の検知を行ったが、これに限定されず、別の処理方法によっても気泡２９を検知できる。以下、その詳細について説明する。
【００６３】
まず、メモリ３７に記憶された正常時電圧情報に含まれる正常噴射時の電圧波形（所定のサンプリング時間で連続して取得した電圧値の集合）を読み出し、これをフーリエ変換することにより図７に示すパワースペクトルを求める。
【００６４】
なお、ここでは、塗布ヘッド１５とインク２５によって形成される系が有する幾つかの固有振動数のうち最も低周波のものに着目する。
【００６５】
次に、電圧情報取得部３４に電圧情報（電圧波形）を連続的に取得させながら、これをフーリエ変換し、その都度、ピーク値Ｐｂを求め、このピークの周波数ｆ１に対応する正常噴射時のパワー値Ｐａとの差分ΔＰ（=|Ｐｂ|−|Ｐａ|）を算出する。
【００６６】
次に、予め求めてあるパワー差分閾値ΔＰｄｅｔとΔＰとの比較を行い、ΔＰの方が大きい場合は噴射異常が発生していると判定する。
【００６７】
また、図８に示すように、ある周波数ｆ１におけるパワー閾値Ｐｔｈを予め求めておき、周波数ｆ１におけるパワー値がＰｔｈより大である場合は噴射異常であると判定する構成とすることもできる。
【００６８】
また、図９に示すように、周波数閾値Ｆｔｈを求めておき、パワー値のピークにおける周波数ｆ１がＦｔｈより小である場合は噴射異常が発生していると判定する構成とすることもできる。なお、図中のｆ２は正常噴射時のパワーピークにおける周波数を示している。
【００６９】
また、図１０に示すように、パワーのピーク値がパワー閾値Ｐｔｈより小であり、且つ、このピークの周波数ｆ１に対応する正常噴出時のパワー値より大であり、さらに周波数ｆ１が周波数閾値Ｆｔｈより小である場合、噴射異常ではないものの、噴射を続けると噴射異常に至る可能性のある不安定状態であると判定し、その旨をユーザ等に通知する構成とすることもできる。
【００７０】
なお、気泡２９が極度に大きい場合、上記の振動数が小となるかピーク自体が生じないため、この状態を検出することにより気泡２９を検知する。
【００７１】
次に、図２のアクチュエータ２２とダイヤフラム２３が密着していない場合、つまり接着不良である場合の処理の詳細について説明する。  
この場合、ダイヤフラム２３が適切に変形させることができないため、電圧波形は、図１１（ａ）の領域Ｃに示すようになる。したがって、この領域Ｃ内の波形を測定することにより上記の接着不良を検知することができる。
【００７２】
次に、アクチュエータ２２が破損している場合の処理の詳細について説明する。  
この場合、アクチュエータに電圧が印加されていないため、上記のような曲線等を有する電圧波形は生じず、図１１（ｂ）に示すように、図４の噴射制御部３３から図４の電極２１に送信された信号の矩形波のみが検出される。
【００７３】
したがって、図中の領域Ｄ内の波形を測定することによりアクチュエータ２２の破損を検知することができる。
【００７４】
次に、上記の液滴噴射装置１による画素の形成の一例について説明する。  
基板９（図１）上には、透明画素電極としてのＩＴＯ（Indium Tin Oxide）がパターンニングされ、これらの間には隔壁が設けられており、これにより開口部が形成されている。
【００７５】
まず、インクの液滴２８（図２）が塗布ヘッド１５（図１及び図２）により上記の開口部に塗布される。
【００７６】
なお、このインクには、ポリチオフェン誘導体等の正孔注入・輸送材料が含有されており、この正孔注入・輸送材料は、陽極側から後述の発光層に正孔（hole）を注入し、輸送させるためのものである。
【００７７】
上記の正孔注入・輸送材料が含有されたインクが塗布されると、溶媒除去、窒素雰囲気中における熱処理等が行われ、正孔注入・輸送層が形成される。
【００７８】
次に、発光材料が含有されたインクの液滴２８が塗布ヘッド１５により上記の正孔注入・輸送層上に塗布される。
【００７９】
上記の発光材料が含有されたインクが塗布されると、溶媒除去、窒素雰囲気中における熱処理等が行われ、発光層が形成される。
【００８０】
その後、別の装置によりＣａ、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｌ、Ｌｉ等を蒸着あるいはスパッタリングすることにより陰極を形成させ、さらに、エポキシ樹脂等により封止層を形成させることにより画素の形成が完了する。
【００８１】
また、上記の噴射異常の検知判定工程を有する表示装置製造方法も本発明の範囲に含まれる。
【００８２】
以上のとおり本発明においては、インクの噴射動作を実行中のアクチュエータにおける電圧情報に基づいてインクの噴射異常を検知するため、これを即時的且つ確実に検知することができる。
【００８３】
さらに、噴射異常の検知直後に塗布ヘッドの動作を停止させるため、筋ムラが発生している基板等を大量に製造し続けてしまうことを防止でき、その生産性を向上させることができる。
【００８４】
また、今後、有機ＥＬディスプレイに用いられる基板等がさらに大型化することが予想されており、これに伴い、１つの基板等における筋ムラの発生頻度も高くなる可能性があるが、インクの噴射異常を即時的且つ確実に検知可能な本発明によれば、上記のような状況下においても基板等の生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の一実施例に係る液滴噴射装置の斜視図である。
【図２】塗布ヘッドの模式図である。
【図３】塗布ヘッドの原理を説明するための図である。
【図４】制御部の構成を示すブロック図である。
【図５】噴射異常の検知判定方法の一例を説明するための図である。
【図６】噴射異常の検知判定方法の別の例を説明するための図である。
【図７】噴射異常の検知判定方法の別の例を説明するための図である。
【図８】噴射異常の検知判定方法の別の例を説明するための図である。
【図９】噴射異常の検知判定方法の別の例を説明するための図である。
【図１０】噴射異常の検知判定方法の別の例を説明するための図である。
【図１１】噴射異常時における電圧波形の別の例を示す図である。
【図１２】基板上の筋ムラを示す図である。
【符号の説明】
【００８６】
１…液滴噴射装置、２…インク塗布ボックス、３…インク補給ボックス、４…架台、５…Ｙ軸方向スライド板、６…Ｙ軸方向移動テーブル、７…Ｘ軸方向移動テーブル、８…基板保持テーブル、９…基板、１０…基板把持機構、１１…コラム、１２…Ｘ軸方向スライド板、１３…塗布ヘッドユニット、１４…塗布ヘッドユニット把持部材、１５…塗布ヘッド、１６…上下移動機構、１７…インクタンク、１８…インク補給タンク、１９…ヘッドメンテユニット、２０…制御部、２１…電極、２２…アクチュエータ、２３…ダイヤフラム、２４…インク室、２５…インク、２６…オリフィスプレート、２７…ノズル、２８…液滴、２９…気泡、３０…異物、３１…制御中枢部、３２…モータドライバ、３３…噴射制御部、３４…電圧情報取得部、３５…ＡＤコンバータ、３６…検知判定部、３７…メモリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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