(57)【要約】【課題】圧力室が形成される流路板が感光性樹脂からなり、感光性樹脂にフォトリソグラフィの手法で高剛性の圧力室を作成することにより、噴射特性が良好な液滴吐出ヘッドを、低コストで、簡易に製造する。【解決手段】複数のノズルを有するノズル板１と、各ノズルに対応する圧力室を形成する流路板１２と、圧力室１３からノズルに液体を連通させる連通孔１４を有する連通板１１と、圧力発生部材４からのエネルギーを圧力室１３に伝える弾性板３を有する液滴吐出ヘッドにおいて、流路板１２は感光性樹脂材料からなり、感光性樹脂材料より高いヤング率を有する金属材料からなる連通板１１にラミネートされている。感光性樹脂材料１２にマスクを用いて潜像を形成した後、エッチャントを用いて現像を行い所望の圧力室１３を作成する。連通板１１と流路板１２とは、接着層を介さずに直接接合することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、前記各ノズルに対応する圧力室を形成する流路板と、前記圧力室と前記ノズル間に液滴を連通させる連通板と、前記圧力室の一壁面を形成し圧力発生部材からのエネルギーを前記圧力室に伝える弾性板を有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路板は感光性樹脂材料からなり、また前記連通板は前記感光性樹脂材料より高いヤング率を有する材料からなり、前記流路板と前記連通板は直接接合されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記連通板は金属材料からなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記金属材料はステンレス系材料からなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、前記各ノズルに対応する圧力室を形成する流路板と、前記圧力室と前記ノズル間に液滴を連通させる連通板と、前記圧力室の一壁面を形成し圧力発生部材からのエネルギーを前記圧力室に伝える弾性板と、前記圧力発生部材の台座となるベース部材を有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路板は感光性樹脂材料からなり、また前記連通板は前記感光性樹脂材料より高いヤング率を有する材料からなり、前記流路板と前記連通板は直接接合され、前記連通板と前記ベース部材の熱膨張係数は略等しいことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記連通板と前記ベース部材は共に金属材料からなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記連通板と前記ベース部材は共にステンレス系材料からなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記感光性樹脂材料のヤング率は１ＧＰａ以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載された液滴吐出ヘッドを搭載していることを特徴とする画像形成装置。
【請求項９】
液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、前記各ノズルに対応する圧力室を形成し感光性樹脂材料からなる流路板と、前記圧力室と前記ノズル間に液滴を連通させ前記感光性樹脂材料より高いヤング率を有する流路板と、前記圧力室の一壁面を形成し圧力発生部材からのエネルギーを前記圧力室に伝える弾性板を有する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記連通板上に前記感光性樹脂材料を直接ラミネートした後、前記感光性樹脂材料に露光し潜像を形成し、エッチャントを用いて現像を行って所望形状の圧力室を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法に関し、より詳細には、液滴吐出ヘッドの圧力室を形成する流路板を感光性樹脂材料により形成することで、液滴吐出ノズルの高密度化を図るとともに、低コスト化を可能とする液滴吐出ヘッド、該液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
従来の液滴吐出ヘッドをインクジェットヘッドを例にして説明する。
図７は、従来の製造方法に基づいて作成されたインクジェットヘッドの例を示す図で、図７（Ａ）は全体斜視図、図７（Ｂ）は分解斜視図である。
図８は、インクジェットヘッドのフレームを示す図で、図８（Ａ）は平面図、図８（Ｂ）は正面図である。
図７に示すインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズル列が２列に穿設されているノズル板１と、各ノズルに対応する個別の圧力室が形成されている流路板２と、圧力室の１つの壁を形成しエネルギー発生手段と接合される振動板３と、圧電素子からなるエネルギー発生手段４と、エネルギー発生手段４を支えるベース部材５と、エネルギー発生手段４を駆動するための電力の供給経路であるＦＰＣ６と、フレーム７とから構成されている。ノズル板１、流路板２、振動板３は一体となって流路ユニットを形成し、エネルギー発生手段４、ベース部材５、ＦＰＣ６は一体となってアクチュエータユニットを形成する。
【０００３】
フレーム７は、その上平面１１に長手方向に開口１０が形成され、開口１０にアクチュエータユニットを内包する。また、開口１０の両側には流路ユニットに形成されている複数の圧力室へインクを供給する共通液室９が形成され、図示しないインクタンクから共通液室９にインクを供給する経路８が形成されている。
【０００４】
従来のインクジェットヘッドにおいて、流路板２はシリコン（Ｓｉ）や、ステンレス（ＳＵＳ）、ニッケル（Ｎｉ）等の金属材料を用いて作られることが多かった。その理由は、圧力室として十分な剛性を得、インクの噴射特性を安定させるためである。しかし、Ｓｉを使用し、フォトリソグラフィの手法を用いて加工する場合、その原材料費や加工費等でコストが高くなってしまう。また、ＳＵＳ等の金属をエッチング、電鋳、プレス等の方法を用いて加工する場合には、Ｓｉに比べて圧力室の寸法精度が劣り、良好な噴射特性を得にくい。
【０００５】
これらの問題を克服するため、圧力室の部材として感光性の樹脂を用いるインクジェットヘッド及びその製造方法が、特許文献１等で開示されている。圧力室を形成する部材の材質が感光性の樹脂であるため、フォトリソグラフィの手法を用いて所望の形状の圧力室を精度良く形成でき、しかもレジストを必要としないことから、工数も削減でき、コストの低減が可能となる点からも好ましい。また、材料費もＳｉと比べて低く抑えることができる。
【０００６】
一般に感光性樹脂をフォトリソグラフィの手法を用いて加工する際には、基板となる部材が必要である。この基板には高い平面度が要求され、また加工中の搬送による変形を避けるため、高い剛性も要求される。従来、この基板は感光性樹脂の加工が終了した段階で剥離除去されていた。しかしながら、剥離時に、感光性樹脂に引っ張り応力が作用することで、せっかく精度良く加工した圧力室が変形することは避けがたかった。また、剥離された感光性樹脂は剛性に乏しいため、取り扱いが難しく、その後の工程や搬送等で様々な力を受け、変形や歪みを生じることは避けがたかった。
【０００７】
また、圧力室が樹脂材料の場合、その剛性が低いことが問題になる。圧電素子からなるエネルギー発生手段から伝えられる圧力や振動が圧力室の隔壁に伝播し、個別の圧力室間で相互干渉を生じさせ、噴射特性上好ましくない結果を招く。同時に多数の圧電素子を駆動させた場合等には、圧力室の剛性が低いことが原因となって圧力室の隔壁が変形し、ノズル板面に振動を生じさせ、これも噴射特性上好ましくない結果を招くことになる。
【０００８】
これらの不具合を解消するために、ノズル形成部在と樹脂からなる圧力室形成部材との間に剛性の高い強化部材を挟み込む構成のインクジェット記録ヘッドが特許文献２に開示されている。しかしながら、このような構成では、強化部材と圧力室形成部材との界面に接着のための層がどうしても必要になる。この接着層は、一般に強化部材よりも剛性が劣るため、結果として前述の個別圧力室間相互干渉や、ノズル面の振動を抑える効果を低減させていた。
【０００９】
さらに、周囲の温度変化あるいは圧電素子自体の発熱等によりインクジェットヘッドに与えられる温度変化によって、各部材間に熱膨張／収縮によるひずみが生じて噴射特性に悪影響を及ぼす。圧力室を形成する部材に樹脂材料を使用した場合、そのヤング率が小さいために、他の部材の熱によるひずみの影響を受け、噴射特性が悪化することがあった。
【特許文献１】特開平１０−２４５７１号公報
【特許文献２】特開平６−９９５７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、前記したような実情に鑑みてなされたもので、圧力室を形成する部材である流路板が感光性樹脂からなり、圧力室をフォトリソグラフィの手法で製造し、接着剤の使用箇所を少なくすることにより、剛性が高く、高精度の圧力室を形成し、噴射特性が良好な液滴吐出ヘッド及び該液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置を低コストで、簡易に製造することを目的とする。また、熱膨張による圧力室や液滴吐出ヘッド全体の変形を軽微に抑え、噴射特性が安定した良好な液滴吐出ヘッドを低コストで、簡易に製造することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、前記各ノズルに対応する圧力室を形成する流路板と、前記圧力室と前記ノズル間に液滴を連通させる通板と、前記圧力室の一壁面を形成し圧力発生部材からのエネルギーを前記圧力室に伝える弾性板を有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路板は感光性樹脂材料からなり、また前記連通板は前記感光性樹脂材料より高いヤング率を有する材料からなり、前記流路板と前記連通板は直接接合されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記連通板は金属材料からなることを特徴とする。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記金属材料はステンレス系材料からなることを特徴とする。
【００１４】
請求項４の発明は、液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、前記各ノズルに対応する圧力室を形成する流路板と、前記圧力室と前記ノズル間に液滴を連通させる連通板と、前記圧力室の一壁面を形成し圧力発生部材からのエネルギーを前記圧力室に伝える弾性板と、前記圧力発生部材の台座となるベース部材を有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路板は感光性樹脂材料からなり、また前記連通板は前記感光性樹脂材料より高いヤング率を有する材料からなり、前記流路板と前記連通板は直接接合され、前記連通板と前記ベース部材の熱膨張係数は略等しいことを特徴とする。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記連通板と前記ベース部材は共に金属材料からなることを特徴とする。
【００１６】
請求項６の発明は、請求項５に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記連通板と前記ベース部材は共にステンレス系材料からなることを特徴とする。
【００１７】
請求項７の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記感光性樹脂材料のヤング率は１ＧＰａ以上であることを特徴とする。
【００１８】
請求項８の発明は、請求項１乃至７のいずれかに記載された液滴吐出ヘッドを搭載している画像形成装置であることを特徴とする。
【００１９】
請求項９の発明は、液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、前記各ノズルに対応する圧力室を形成する感光性樹脂材料からなる流路板と、前記圧力室と前記ノズル間に液滴を連通させ前記感光性樹脂材料より高いヤング率を有する流路板と、前記圧力室の一壁面を形成し圧力発生部材からのエネルギーを前記圧力室に伝える弾性板を有する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記連通板上に前記感光性樹脂材料を直接ラミネートした後、前記感光性樹脂材料に露光し潜像を形成し、エッチャントを用いて現像を行って所望形状の圧力室を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば次のような効果を奏する。
圧力室が形成される流路板を感光性樹脂材料で構成し、圧力室からノズル孔へと通ずる連通孔を有する連通板を前記感光性樹脂材料よりヤング率の高い材料で構成し、かつ両者の界面に接着層がない直接接合された構成とすることで、高剛性かつ高精度の圧力室が得られ、噴射特性が安定し良好なインクジェットヘッド等の液滴吐出ヘッドを、低コストで量産することができる。
また、連通板の材料として、剛性、加工性、コストの面で有利な金属材料を用いることで、より機械的剛性の高い液滴吐出ヘッドを安価に製造することが可能となる。さらに、金属材料の中でもステンレス系の材料を用いることで、剛性、加工性、コストの面に加えインクに対する接液性においても優れた液滴吐出ヘッドを安価に製造することが可能となる。
【００２１】
また、圧力室に圧力を発生させるエネルギー発生手段の台座となるベース部材が、連通板とほぼ同じ熱膨張係数を有する材料、あるいはベース部材と連通板とを同一の材料から形成することで、熱膨張による圧力室や液滴吐出ヘッド全体の変形を軽微に抑えることが可能となり、噴射特性が安定した良好なインクジェットヘッド等の液滴吐出ヘッドを得ることができる。特に、ヘッドが長尺化された場合に問題になってくる熱膨張による噴射特性劣化を最小限に抑えることができる。
【００２２】
さらに、圧力室を形成する流路板にはヤング率が１ＧＰａ以上の樹脂材料を用いることで、個別圧力室間の相互干渉やノズル板等の振動を抑制することができ、更なる噴射特性の向上が可能となる。
【００２３】
したがって、本発明の液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置等の画像形成装置では、画像品質が安定して良好であり、信頼性を向上させることができる。また、連通板上に感光性樹脂材料を直接ラミネートした後、前記感光性樹脂材料に露光し潜像を形成し、エッチャントを用いて現像を行って所望形状の圧力室を形成することで、噴射特性が優れた液滴吐出ヘッドを低コストで量産することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明は、インクジェットヘッド等の液滴吐出ヘッドにおいて、圧力室を形成する流路板が感光性樹脂からなり、フォトリソグラフィの手法で圧力室を製造することにより、接着剤の使用箇所を少なくし、高剛性で高精度の圧力室を形成して、液滴吐出ヘッドの噴射特性を良好に維持しつつ、より低コストで、簡易に製造することを目的とするもので、そのための構成は、液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、前記各ノズルに対応する個別の圧力室を形成する流路板と、前記圧力室と前記ノズル間に液体を連通させる連通孔を有する連通板と、前記圧力室の一壁面を形成し圧力発生部材からのエネルギーを前記圧力室に伝える弾性板を有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路板は感光性樹脂材料からなり、また前記連通板は前記感光性樹脂材料より高いヤング率を有する材料からなり、前記感光性樹脂材料は前記連通板に直接ラミネートされており、感光性樹脂材料に潜像を形成した後、エッチャントを用いて現像を行い所望の圧力室を作成することにより、前記流路板と前記連通板の接合界面に接着剤層を介さず、直接接合されているものである。
以下、本発明の実施例のインクジェットヘッドを図１〜図６を参照して説明する。
【実施例１】
【００２５】
図１は、本発明の実施例１によるインクジェットヘッドの分解斜視図、図２は、実施例１のインクジェットヘッドの部分断面図である。
実施例１のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズル列が２列に穿設されているノズル板１と、各ノズルに対応する個別の圧力室１３が形成されている流路板１２と、圧力室１３からノズルにインクを連通する連通孔１４を有する連通板１１と、圧力室１３の１つの壁を形成しエネルギー発生手段４と接合される振動板３と、圧電素子からなるエネルギー発生手段４と、エネルギー発生手段４を支えるベース部材５と、エネルギー発生手段４を駆動するための電力の供給経路であるＦＰＣ６と、フレーム７とから構成されている。連通版１１は接着剤層１５を介してノズル板１と接合され、流路板１２は接着剤層１６を介して振動版３と接合されている。連通版１１と流路板１２は、後述するように、接着剤層を介することなく直接接合されている。
【００２６】
実施例１のインクジェットヘッドは、図７に示す従来のインクジェットヘッドと比較すると、連通板１１及び流路板１２の構成において異なるが、他の構成においては同様の構成である。つまり、圧力室１３を形成する流路板１２は、感光性樹脂材料（例えば、ドライフィルムレジスト；ＤＦＲ等）から構成され、連通板１１はステンレス（ＳＵＳ）系の金属から構成されている。また、圧電素子等のエネルギー発生手段４の台座となるベース部材５にはステンレス系の金属材料が用いられている。なお、これらの部材を構成する材料は例示した材質に限られるものではない。
【００２７】
圧力室形成部材としての流路板１２は、現実的な膜厚が数１０μｍ〜１００μｍの感光性樹脂材料が用いられ、感光性樹脂材料のヤング率としては、１ＧＰａ以上必要であるが、実際には５０μｍの膜厚で、４ＧＰａ以上のヤング率であることが望ましい。これにより、圧力室を形成する部在を樹脂材料を使用して形成した場合においても、連通板のヤング率が１ＧＰａ以上であるために、個別圧力室間の相互干渉やノズル板等の振動を抑制することができ、また他の部材の熱によるひずみの影響を受けることが少なくなり噴射特性の向上が可能となる。
【００２８】
流路板及び連通板の製造工程について説明する。
図３は、流路板及び連通板の製造工程の一部を示す図である。
最初に、連通板１１となるステンレス（ＳＵＳ）系の金属部材を用意するが（図３（Ａ））、製造当初においては、連通板１１は流路板１２となる感光性樹脂材料の基板として機能する。
連通板１１となる金属部材上に流路板１２となるドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）をラミネートする（図３（Ｂ））。
次に、図示しないマスクを用いて所望のパターンをＤＦＲに露光し潜像を形成した後、所定のエッチャントを用いて現像を行い、所望の形状の圧力室１３を形成する（図３（Ｃ））。
その後、金属部材のノズル孔に対応する位置に連通孔１４を形成する。連通孔１４の形成には、例えばエッチング等の手法を用いる（図３（Ｄ））。
【００２９】
圧力室１３を形成する際に用いる金属部材が、そのまま連通板１１として機能するために、基板の剥離工程を必要としない。また、製造時にＤＦＲ単体での搬送を必要としないため、圧力室１３の寸法精度も高く維持することができる。そのため、噴射特性の良いインクジェットヘッドをより安価に製造することが可能になる。また、連通板１１と圧力室１３を形成する流路版１２は一体に形成されるために、従来必要であった両者の界面の接着剤層が存在しない構成を得ることができ、接着剤層が介在する構成に比べて圧力室の剛性を効率よく高めることが可能となり、噴射特性をさらに向上させることができる。  
【００３０】
図３（Ｄ）に示す連通版１１と流路板１２とが接着剤層を介在することなく直接接合された部材は、インクジェットヘッドに組み込まれ、連通版１１は接着剤層１５を介してノズル板１と接合され、流路板１２は接着剤層１６を介して振動版３と接合される。
【００３１】
以上のように、圧力室の構成部材である流路板として感光性樹脂を用いることにより、圧力室の形成にフォトリソグラフィ工法を利用でき、精度よく圧力室を形成することができる。また、材料自体が感光性を有するために、レジストを必要とせず、工数の低減による低コスト化が期待できる。また、感光性樹脂を用いる場合、工法上基板となる部材が必要である。基板としては、少なくとも感光性樹脂よりも剛性の高いものが必要である。また、この基板はそのまま液滴吐出ヘッドの構成要素（連通板）として使えることが望ましい。本発明の構成であれば、連通板と流路板の界面には接着剤層が必要でなく、圧力室の剛性の面からも望ましいものとなる。
【実施例２】
【００３２】
図４は、実施例２のインクジェットヘッドの部分断面図である。
実施例２のインクジェットヘッドは、ノズル板１にも樹脂材料を用いることで、連通板１１は製造時に流路板１２、ノズル板１の両方の基板として機能する。ノズル孔は例えばエキシマレーザ等を用いて加工される。
実施例２のインクジェットヘッドでは、ノズル板１と流路板２２の界面にも接着剤層が存在しないため、圧力室全体の剛性を更に高めることができる。
【００３３】
以上の実施例１，２のインクジェットヘッドでは、連通板１１とベース部材５の両者に同じステンレス系の金属材料が用いられているために、両者の熱膨張係数の差はない。このような構成にすることで、温度変化に対する圧力室の膨張や伸縮による噴射特性への影響を軽微にすることができる。
【００３４】
また、実施例１，２のインクジェットヘッドでは、圧力室１３を形成する流路板１２の感光性樹脂材料のヤング率が１ＧＰａ以上である。このような物性値の材料を用いることで、ノズル板面の振動や個別の圧力室間での相互干渉を軽微に抑えることができ、噴射特性を良好にすることが可能となる。
【実施例３】
【００３５】
次に、本発明に係るインクジェットヘッドを備えた実施例３の画像形成装置について説明する。
図５は、実施例３の画像形成装置の全体構成を示す側面図、図６は、同装置の要部を示す平面図である。
実施例３のインクジェット方式の画像形成装置は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材であるガイドロッド２１とガイドレール２２とでキャリッジ２３を主走査方向に摺動自在に保持し、主走査モータ２４でタイミングベルト２５を介して図６で矢示方向（主走査方向）に移動走査する。
【００３６】
このキャリッジ２３には、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する４個のインクジェットヘッド２７を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００３７】
また、キャリッジ２３には、インクジェットヘッド２７に各色のインクを供給するための各色のサブタンク２８を搭載している。このサブタンク２８には図示しないインク供給チューブを介してメインタンク（インクカートリッジ）からインクが補充供給される。
【００３８】
この実施形態では、サブタンク２８とインクジェットヘッド２７で液滴吐出装置を構成しているが、インクジェットヘッド２７を本発明に係る液滴吐出ヘッドで構成し、別途サブタンク２８を設ける構成とすることもできるし、あるいはサブタンクを用いないでインクカートリッジを搭載する構成とすることもできる。
【００３９】
一方、給紙カセット３０等の用紙積載部（圧板）３１上に積載した用紙３２を給紙するための給紙部として、用紙積載部３１から用紙３２を１枚ずつ分離給送する給紙ローラ（半月コロ）３３及び給紙ローラ３３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド３４を備え、この分離パッド３４は給紙ローラ３３側に付勢されている。
【００４０】
そして、この給紙部から給紙された用紙３２をインクジェットヘッド２７の下方側で搬送するための搬送部として、用紙３２を静電吸着して搬送するための搬送ベルト４１と、給紙部からガイド３５を介して送られる用紙３２を搬送ベルト４１との間で挟んで搬送するためのカウンタローラ４２と、略鉛直上方に送られる用紙３２を略９０°方向転換させて搬送ベルト４１上に倣わせるための搬送ガイド４３と、押さえ部材４４で搬送ベルト４１側に付勢された先端加圧コロ４５とを備えている。また、搬送ベルト４１表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ４６を備えている。
【００４１】
ここで、搬送ベルト４１は無端状ベルトであり、搬送ローラ４７とテンションローラ４８との間に掛け渡されて、副走査モータ５１からタイミングベルト５２及びタイミングローラ５３を介して搬送ローラ４７が回転されることで、図６のベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。なお、搬送ベルト４１の裏面側にはインクジェットヘッド２７による画像形成領域に対応してガイド部材４９を配置している。
【００４２】
また、図６に示すように、搬送ローラ４７の軸には、スリット円板５４を取り付け、このスリット円板５４のスリットを検知するセンサ５５を設けて、これらのスリット円板５４及びセンサ５５によってエンコーダ５６を構成している。
【００４３】
帯電ローラ４６は、搬送ベルト４１の表層に接触し、搬送ベルト４１の回動に従動して回転するように配置され、加圧力として軸の両端に各２．５Ｎをかけている。
【００４４】
また、キャリッジ２３の前方側には、図５に示すように、スリットを形成したエンコーダスケール６２を設け、キャリッジ２３の前面側にはエンコーダスケール６２のスリットを検出する透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ６３を設け、これらによって、キャリッジ２３の主走査方向位置（ホーム位置に対する位置）を検知するためのエンコーダ６４を構成している。
【００４５】
さらに、インクジェットヘッド２７で記録された用紙３２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト４１から用紙３２を分離するための分離部と、排紙ローラ７２及び排紙コロ７３と、排紙される用紙３２をストックする排紙トレイ７４とを備えている。
【００４６】
また、背部には両面給紙ユニット８１が着脱自在に装着されている。この両面給紙ユニット８１は搬送ベルト４１の逆方向回転で戻される用紙３２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ４２と搬送ベルト４１との間に給紙する。
【００４７】
このように構成した画像形成装置においては、給紙部から用紙３２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙３２はガイド３５で案内され、搬送ベルト４１とカウンタローラ４２との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド４３で案内されて先端加圧コロ４５で搬送ベルト３１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００４８】
このとき、図示しない制御回路によって高圧電源から帯電ローラ４６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト４１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト４１上に用紙３２が給送されると、用紙３２が搬送ベルト４１に静電力で吸着され、搬送ベルト４１の周回移動によって用紙３２が副走査方向に搬送される。
【００４９】
そこで、キャリッジ２３を移動させながら画像信号に応じてインクジェットヘッド２７を駆動することにより、停止している用紙３２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙３２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙３２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙３２を排紙トレイ７４に排紙する。
【００５０】
また、両面印刷の場合には、表面（最初に印刷する面）の記録が終了したときに、搬送ベルト４１を逆回転させることで、記録済みの用紙３２を両面給紙ユニット８１内に送り込み、用紙３２を反転させて（裏面が印刷面となる状態にして）再度カウンタローラ４２と搬送ベルト４１との間に給紙し、タイミング制御を行って、前述したと同様に搬送ベル４１上に搬送して裏面に記録を行った後、排紙トレイ７４に排紙する。
【００５１】
なお、本発明に係る画像形成装置は、プリンタ、ファクシミリ装置、複写装置、これらの複合機等にも適用することができる。また、インク以外の液体、例えばＤＮＡ試料やレジストパターン材料等を吐出する液滴吐出ヘッドや液滴吐出装置、或いはこれらを備える画像形成装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施例１によるインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施例１のインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図３】流路板及び連通板の製造工程の一部を示す図である。
【図４】実施例２のインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図５】実施例３の画像形成装置の全体構成を示す側面図である。
【図６】画像形成装置の要部を示す平面図である。
【図７】従来の製造方法で作成されたインクジェットヘッドの例を示す図で、図７（Ａ）は全体斜視図、図７（Ｂ）は分解斜視図である。
【図８】インクジェットヘッドのフレームを示す図で、図８（Ａ）は平面図、図８（Ｂ）は正面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…ノズル板、２…流路板、３…振動板、４…エネルギー発生手段、５…ベース部材、６…ＦＰＣ、７…フレーム、１１…連通板、１２…流路板、１３…圧力室、１４…連通孔、１５，１６…接着剤層、２１…ガイドロッド、２２…ガイドレール、２３…キャリッジ、２４…主走査モータ、２５…タイミングベルト、２７…インクジェットヘッド、２８…サブタンク、３０…給紙カセット、３２…用紙、３３…給紙ローラ、４１…搬送ベルト、４２…カウンタローラ、４５…先端加圧コロ、４６…帯電ローラ、４７…搬送ローラ、４８…テンションローラ、５１…副操作モータ、５２…タイミングベルト、５６，６４…エンコーダ、７２…排紙ローラ、７３…排紙コロ、７４…排紙トレイ、８１…両面給紙ユニット。
【図２】
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【図４】
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【図１】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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