(57)【要約】【課題】簡易な構成でありながら作業効率の向上を達成し得る搬送装置を提供する。【解決手段】回転テーブル２１と、搬送対象体としての基材１０１を載置可能に構成されると共に基材１０１を吸着によって保持するための吸気口３３ａがその表面に形成され、かつ吸気口３３ａにその吸気孔３４ａが連通するシャフト３４を有して回転テーブル２１に回転自在に配設された複数の載置部２３と、回転テーブル２１の回転によって停止位置Ｐ３に移動させられた載置部２３のシャフト３４と吸引装置９に連通する吸気管４３とを連結させる連結機構２４と、停止位置Ｐ３に移動させられた載置部２３を回転させる回転機構２５とを備えている。【選択図】図３
2006127709.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転テーブルと、搬送対象体を載置可能に構成されると共に当該搬送対象体を吸着によって保持するための吸気口がその表面に形成され、かつ前記吸気口に連通する第１吸気管を有して前記回転テーブルに回転自在に配設された複数の載置部と、前記回転テーブルの回転によって所定位置に移動させられた前記載置部の前記第１吸気管と吸気装置に連通する第２吸気管とを連結させる連結機構と、前記所定位置に移動させられた前記載置部を回転させる回転機構とを備えている搬送装置。
【請求項２】
前記載置部は、上下動可能に形成されると共に前記第１吸気管がその下部に配設されて構成され、
前記連結機構は、前記所定位置に移動させられた前記載置部の下方から上方に向けて前記第２吸気管を移動させることによって当該第２吸気管と前記第１吸気管とを連結させると共に当該載置部を当該第１吸気管と共に上方に向けて移動させる第１移動機構を備えている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記載置部は、被駆動用ホイールが取り付けられた前記第１吸気管としての中心軸を備え、
前記回転機構は、その回転軸に駆動用ホイールが取り付けられると共に前記被駆動用ホイールに近接または係合させられた当該駆動用ホイールを介して前記中心軸を中心として前記載置部を回転させるモータと、前記所定位置に移動させられた前記載置部の前記被駆動用ホイールと前記駆動用ホイールとが近接または係合するように前記モータを移動させる第２移動機構とを備えている請求項１または２記載の搬送装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の搬送装置と、前記所定位置に搬送された前記搬送対象体に放射線を照射する放射線照射部とを備えて前記搬送対象体に塗膜を形成する塗膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送対象体を搬送する搬送装置、およびその搬送装置を備えた塗膜形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送装置として、出願人は、特開２００４−２２７６７１号公報において、同公報中の製造装置に組み込まれてディスク状基材を搬送する搬送機構を開示している。この場合、この搬送機構は、円板状の搬送用ステージおよび回転機構などを備えて構成され、搬送用ステージを所定の角度ずつ回転させることで搬送用ステージにおける複数の載置用凹部に載置した各ディスク状基材を複数の作業位置に順次搬送可能に構成されている。この搬送機構を備えた製造装置では、各種作業を実行する複数の装置を搬送用ステージの周囲に配置することで、長尺の搬送装置に沿ってこれらの装置を配置する構成と比較して、製造装置全体としての占有面積を小さくすることが可能となっている。また、この製造装置では、例えば、搬送機構の搬送用ステージに載置したディスク状基材を打ち抜き機に移し替えることなく、搬送用ステージ上に載置した状態において中心孔の打ち抜き形成が可能なため、その分、作業効率の向上が可能となっている。
【特許文献１】特開２００４−２２７６７１号公報（第６−９頁、第４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、出願人が開示している従来の搬送機構には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、この搬送機構では、搬送用ステージにディスク状基材を載置した状態で中心孔の打ち抜き作業等を実行することで、作業効率の向上が可能となっている。しかしながら、例えば、カバー層やハードコート層を形成する塗膜形成装置にこの搬送機構を用いたときには、やや不都合がある。具体的には、カバー層用の樹脂材料やハードコート層用の樹脂材料をディスク状基材に塗布した後に、これらの樹脂材料を硬化させてカバー層やハードコート層を形成するときには、これらの樹脂材料を塗布したディスク状基材に対して、アニール装置や電子線照射装置を用いてアニール処理や電子線照射処理を実行した後に、紫外線照射処理を実行してこれらの樹脂材料を硬化させる。この場合、紫外線照射処理については、アニール処理や電子線照射処理とは異なり、熱や電子線を遮蔽する容器が不要なため、搬送用ステージにディスク状基材を載置した状態での作業が可能なものの、紫外線を均一に照射するためには、ディスク状基材を搬送用ステージ上で回転させつつ紫外線を照射する必要がある。しかしながら、従来の搬送機構には、ディスク状基材を回転させる回転機構や、回転の際の遠心力によるディスク状基材の落下を防止するための保持機構が備えられていないため、この搬送機構を用いて紫外線照射処理を実行するときには、搬送機構によって搬送されたディスク状基材を専用のターンテーブルに移し替える必要がある。したがって、この搬送機構をこの種の塗膜形成装置に用いたときには、作業効率の向上が困難となる。この場合、例えば、モータ等の回転機構や吸着によってディスク状基材を保持する吸着機構を個別的に備えた複数のターンテーブルを各載置用凹部に代えて搬送用ステージに設ける構成も考えられるが、この構成では、搬送機構が複雑となる。したがって、この構成を採用するのは困難である。
【０００４】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、簡易な構成でありながら作業効率の向上を達成し得る搬送装置および塗膜形成装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく本発明に係る搬送装置は、回転テーブルと、搬送対象体を載置可能に構成されると共に当該搬送対象体を吸着によって保持するための吸気口がその表面に形成され、かつ前記吸気口に連通する第１吸気管を有して前記回転テーブルに回転自在に配設された複数の載置部と、前記回転テーブルの回転によって所定位置に移動させられた前記載置部の前記第１吸気管と吸気装置に連通する第２吸気管とを連結させる連結機構と、前記所定位置に移動させられた前記載置部を回転させる回転機構とを備えている。
【０００６】
この場合、前記載置部を上下動可能に形成すると共に前記第１吸気管をその下部に配設し、前記所定位置に移動させられた前記載置部の下方から上方に向けて前記第２吸気管を移動させることによって当該第２吸気管と前記第１吸気管とを連結させると共に当該載置部を当該第１吸気管と共に上方に向けて移動させる第１移動機構を備えて前記連結機構を構成することができる。
【０００７】
また、被駆動用ホイールが取り付けられた前記第１吸気管としての中心軸を備えて前記載置部を構成し、その回転軸に駆動用ホイールが取り付けられると共に前記被駆動用ホイールに近接または係合させられた当該駆動用ホイールを介して前記中心軸を中心として前記載置部を回転させるモータと、前記所定位置に移動させられた前記載置部の前記被駆動用ホイールと前記駆動用ホイールとが近接または係合するように前記モータを移動させる第２移動機構とを備えて前記回転機構を構成することができる。
【０００８】
また、本発明に係る塗膜形成装置は、上記の搬送装置と、前記所定位置に搬送された前記搬送対象体に放射線を照射する放射線照射部とを備えている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る搬送装置によれば、回転テーブルの回転によって所定位置に載置部が移動させられたときに、連結機構がその載置部の第１吸気管と吸気装置に連通する第２吸気管とを連結させ、回転機構がその載置部を回転させることにより、回転機構や吸引機構を各載置部毎に個別的に設けることなく、１つの連結機構および１つの回転機構で載置部による搬送対象体の保持および搬送対象体の回転を行うことができるため、搬送装置を簡易に構成することができる。また、例えば、表面に樹脂材料を塗布した搬送対象体を回転させつつ樹脂材料に紫外線を照射して硬化させる工程を所定位置において実行する際に、載置部に載置した搬送対象体を載置部から他の装置に移し替えることなく、載置部に載置した状態のままの搬送対象体に対してその工程を実行することができる。このため、移し替えに要する時間を短縮できる分、その工程全体の工程時間を十分に短縮することができる。したがって、簡易な構成でありながら、その工程の作業効率を確実に向上させることができる。
【００１０】
また、本発明に係る搬送装置によれば、連結機構が第２吸気管を載置部の下方から上方に向けて移動させることによって第２吸気管と第１吸気管とを連結させることより、第２吸気管と第１吸気管との確実な連結および確実な連結解除を例えばエアシリンダで構成された第１移動機構を用いることで行うことができるため、連結機構を簡易に構成することができる。また、連結機構が第２吸気管を上方に向けて移動させて第１吸気管と共に載置部を上方に向けて移動させることにより、例えば、搬送対象体の表面に塗布した樹脂材料に紫外線を照射して硬化させる工程を所定位置において実行する際に、搬送対象体を載置部から離間させた状態で樹脂材料を硬化させることができるため、例えば、載置部に樹脂材料が付着していたとしても、紫外線の照射によってその樹脂材料が硬化して搬送対象体と載置部とが固着する事態を確実に防止することもできる。
【００１１】
また、本発明に係る搬送装置によれば、モータを移動させることによってモータの回転軸に取り付けられた駆動用ホイールを被駆動用ホイールに近接または係合させて載置部を回転させることにより、簡易な構成でありながら所定位置に移動させられた載置部の回転および回転停止を確実に行うことができる。
【００１２】
また、本発明に係る塗膜形成装置によれば、上記の搬送装置と所定位置に搬送された搬送対象体に放射線を照射する放射線照射部とを備えたことにより、載置部に載置した搬送対象体を載置部から他の装置に移し替えることなく、載置部に載置した状態のまま搬送対象体に塗布された樹脂材料を硬化させることができるため、移し替えに要する時間を短縮できる分、塗膜形成工程全体の工程時間を十分に短縮することができる。したがって、簡易な構成でありながら、塗膜形成工程の作業効率を確実に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る搬送装置および塗膜形成装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、塗膜形成装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１５】
塗膜形成装置１は、図１に示すように、アニール装置２、電子線照射装置３、紫外線照射装置４、搬出装置５、搬送装置６、移動機構７ａ〜７ｃ、制御部８および吸引装置９（図３参照）を備え、ディスク状の基材１０１の表面にカバー層（光透過層）やハードコート層などの塗膜を形成可能に構成されている。この場合、基材１０１は、一例として、波長が３５０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の範囲内の青色または青紫色のレーザー光を用いてデータの記録および読出しが行われる光ディスク用の基材であって、ポリカーボネイト等の樹脂材料で射出成形によって作製されている。
【００１６】
アニール装置２は、図外のスピンコート装置によって基材１０１の表面に塗布されたカバー層用の樹脂材料およびハードコート層用の樹脂材料に含まれている溶剤を揮発させるアニール処理を実行する装置であって、図１に示すように、停止位置Ｐ１の近傍に設置されている。この場合、アニール装置２には、基材１０１を装置内に挿入するための挿入孔２ａがその上面に形成されている。電子線照射装置３は、基材１０１の表面に塗布されたハードコート層用の樹脂材料に電子線を照射して硬化（半硬化）させる第１硬化処理を実行する装置であって、同図に示すように、停止位置Ｐ２の近傍に設置されている。この場合、電子線照射装置３には、基材１０１を装置内に挿入するための挿入孔３ａがその上面に形成されている。
【００１７】
紫外線照射装置４は、本発明における放射線照射部に相当し、図１に示すように、停止位置（本発明における所定位置）Ｐ３の近傍に設置されている。この場合、紫外線照射装置４は、紫外線発生部４ａを備えて構成され、基材１０１の表面に塗布されたカバー層およびハードコート層用の樹脂材料に紫外線（本発明における放射線の一例）を照射することによって両層を硬化（完全硬化）させる第２硬化処理を実行する。搬出装置５は、同図に示すように、停止位置Ｐ４の近傍に設置されている。この場合、搬出装置５は、例えばベルトコンベヤで構成されて、紫外線照射装置４による第２硬化処理が終了した基材１０１を次の工程が実行される位置に搬出する。
【００１８】
搬送装置６は、図２，３に示すように、回転テーブル２１、モータ２２、４つの載置部２３ａ〜２３ｄ（以下、区別しないときには「載置部２３」ともいう）、連結機構２４および回転機構２５を備え、本発明における搬送対象体としての基材１０１を搬送する。回転テーブル２１は、円板状に形成されると共にモータ２２の回転軸２２ａに取り付けられている。また、回転テーブル２１の外周部には、回転テーブル２１の中心軸をその中心とする同一円周上に載置部２３ａ〜２３ｄが等間隔で配設されている。モータ２２は、例えばダイレクトドライブモータであって、制御部８の制御に従って駆動および駆動停止することにより、回転テーブル２１を図１に示す矢印Ａの向きで９０度ずつ回転させることで、載置部２３を停止位置Ｐ１〜Ｐ４に順次移動させる。
【００１９】
載置部２３は、図３に示すように、トレイ３１、台座３２、保持部３３、シャフト３４、被駆動用ホイール３５、スプリング３６、接合部３７およびロータリーボールスプライン３８を備えている。トレイ３１は、同図に示すように、薄皿状に形成されると共に、載置した基材１０１を支持する平面視環状の突起３１ａ（図２も参照）が中央部に形成されて構成されて、台座３２を介して回転テーブル２１に固定されている。保持部３３は、円筒状に構成されると共に、基材１０１を載置可能にその上面が平坦に形成されている。また、保持部３３の上面（表面）には、基材１０１を吸着によって保持するための複数の吸気口３３ａ，３３ａ・・が形成されている。シャフト３４は、本発明における第１吸気管および中心軸に相当し、保持部３３における下部側の中心部に固定（配設）されている。また、シャフト３４は、長手方向に沿って貫通する吸気孔３４ａがその中心部に形成されると共に、ロータリーボールスプライン３８における内周の凸部に嵌合可能な溝が長手方向に沿ってその外周面に形成されて構成されている。この場合、シャフト３４は、ロータリーボールスプライン３８の回転に伴って回転すると共にロータリーボールスプライン３８によって上下動可能に保持されている。
【００２０】
被駆動用ホイール３５は、例えば、筒状の磁石で構成されて、図３に示すように、回転機構２５における駆動用ホイール５５の中心軸（モータ５３の中心軸５３ａ）とその仮想中心軸（つまりシャフト３４の中心軸）とが互いに直交するようにしてロータリーボールスプライン３８に取り付けられている。この場合、被駆動用ホイール３５は、モータ５３の回転力を非接触で伝達する磁気伝動機構を駆動用ホイール５５と相俟って構成し、駆動用ホイール５５（モータ５３）の回転に伴ってロータリーボールスプライン３８、シャフト３４および保持部３３を回転させる。スプリング３６は、同図に示すように、シャフト３４の先端部（同図では下端部）に取り付けられた接合部３７とロータリーボールスプライン３８との間に配設されて、シャフト３４および保持部３３をロータリーボールスプライン３８（回転テーブル２１）に対して相対的に下方に向けて付勢する。接合部３７は、シャフト３４の吸気孔３４ａに連通する吸気孔３７ａがその中心部に形成されると共に、後述する連結機構２４における接合部４２の接合面４２ｂに対して面的接触可能にその接合面（同図では下面）３７ｂが平坦に形成されて構成され、シャフト３４の先端部に取り付けられている。
【００２１】
連結機構２４は、図３に示すように、エアシリンダ４１、接合部４２および吸気管４３を備えている。エアシリンダ４１は、本発明における第１移動機構に相当し、停止位置Ｐ３近傍における回転テーブル２１の下方の位置に固定用金具４１ａを用いてモータ２２の取付台座に固定されている。この場合、エアシリンダ４１は、制御部８の制御に従ってロッド４１ｂを上下方向に伸縮させる。接合部４２は、本発明における第２吸気管の先端部であって、中心部に吸気孔４２ａが形成されると共に、載置部２３における接合部３７の接合面３７ｂに対して面的接触可能にその接合面（同図では上面）４２ｂが平坦に形成されている。また、接合部４２は、エアシリンダ４１のロッド４１ｂの先端部（同図では上端部）に取り付けられた保持部材４１ｃに配設されたベアリング４１ｄによって回転自在に保持されている。また、接合部４２の接合面４２ｂには、平面視円形の凹部が形成されて、この凹部には、Ｏリング４２ｃが配設されている。吸気管４３は、本発明における第２吸気管に相当し、その一端部が吸引装置９に連通し、その他端部が接合部４２の下端部に挿入されて吸気孔４２ａに連通する。
【００２２】
回転機構２５は、図３に示すように、ベース部５１、スライダ５２、モータ５３、エアシリンダ５４および駆動用ホイール５５を備えている。ベース部５１は、停止位置Ｐ３の近傍に配設されている。また、ベース部５１の上面には、レール５１ａが取り付けられている。スライダ５２は、ベース部５１のレール５１ａに嵌め合わされることにより、載置部２３の被駆動用ホイール３５に対して接離する方向に沿ってレール５１ａ上をスライド可能に構成されている。モータ５３は、中心軸５３ａがシャフト３４の中心軸と互いに直交するようにしてスライダ５２に固定されると共に、制御部８の制御に従って作動して、駆動用ホイール５５を介してシャフト３４を中心として載置部２３（保持部３３）を回転させる。エアシリンダ５４は、本発明における第２移動機構に相当し、ベース部５１に取り付けられている。この場合、エアシリンダ５４は、制御部８の制御に従ってロッド５４ａを伸縮させることにより、ロッド５４ａの先端部に固定されたスライダ５２、つまりモータ５３に取り付けられた駆動用ホイール５５を載置部２３の被駆動用ホイール３５に対して接離する方向に沿ってスライドさせる。駆動用ホイール５５は、例えば、円筒状（または円柱状）の磁石で構成されて、モータ５３における回転軸５３ａの先端部に取り付けられている。
【００２３】
移動機構７ａ〜７ｃ（以下、区別しないときには「移動機構７」ともいう）は、図１に示すように、回転機構７１、回転機構７１によって回転（回動）させられるアーム７２、およびアーム７２の先端部に配設されて基材１０１を保持する保持部７３を備えている。この場合、移動機構７ａは、停止位置Ｐ１の近傍に配設されて、制御部８の制御に従い、搬送装置６の載置部２３とアニール装置２との間で基材１０１を移動させる。また、移動機構７ｂは、停止位置Ｐ２の近傍に配設されて、制御部８の制御に従い、搬送装置６の載置部２３と電子線照射装置３との間で基材１０１を移動させる。さらに、移動機構７ｃは、停止位置Ｐ４の近傍に配設されて、制御部８の制御に従い、搬送装置６の載置部２３に載置されている塗膜形成後の基材１０１を搬出装置５に移動させる。
【００２４】
制御部８は、モータ２２を制御することにより、回転テーブル２１の回転および回転停止を制御する。また、制御部８は、連結機構２４のエアシリンダ４１を制御することにより、接合部４２を上下動させる。また、制御部８は、回転機構２５のエアシリンダ５４を制御することによってスライダ５２をスライドさせると共に、モータ５３を制御することによって駆動用ホイール５５の回転および回転停止を制御する。さらに、制御部８は、紫外線照射装置４による紫外線の照射を制御する。吸引装置９は、例えば、真空ポンプで構成されて、図３に示すように、吸気管４３を介して接合部４２の吸気孔４２ａに連通している。
【００２５】
次に、塗膜形成装置１の全体的な動作について、搬送装置６の動作を中心として、図面を参照して説明する。
【００２６】
この塗膜形成装置１では、電源投入時において、制御部８が、モータ２２を制御して載置部２３ａ〜２３ｄを初期位置に移動させる。具体的には、制御部８は、モータ２２を制御して、例えば図１に示す矢印Ａの向きに回転テーブル２１を回転（回動）させる。これに伴い、回転テーブル２１に配設されている載置部２３ａ〜２３ｄも矢印Ａの向きにそれぞれ移動させられる。次に、制御部８は、モータ２２を制御することにより、同図に示すように、載置部２３ａ〜２３ｄが停止位置Ｐ１，Ｐ４，Ｐ３，Ｐ２にそれぞれ位置したときに回転テーブル２１の回転を停止させる。
【００２７】
一方、アニール装置２は、図外のスピンコート装置によってカバー層用の樹脂材料およびハードコート層用の樹脂材料が塗布されて図外の搬入装置によって所定の時間間隔で装置内に搬入される基材１０１に対して、アニール処理を実行する。この場合、制御部８は、移動機構７ａを制御することにより、図１に示すように、アニール処理の完了した基材１０１をアニール装置２の挿入孔２ａから取り出して停止位置Ｐ１に停止している搬送装置６の載置部２３（同図では載置部２３ａ）に載置させる。
【００２８】
次に、制御部８は、モータ２２を制御して回転テーブル２１を矢印Ａの向きで９０度だけ回転させることにより、図４に示すように、載置部２３ａ〜２３ｄを停止位置Ｐ２，Ｐ１，Ｐ４，Ｐ３にそれぞれ移動させる。次いで、制御部８は、移動機構７ｂを制御して載置部２３ａに載置されているアニール処理済みの基材１０１を挿入孔３ａから電子線照射装置３内に移動させる。続いて、電子線照射装置３が、基材１０１の表面に電子線を照射してハードコート層用の樹脂材料を硬化させる第１硬化処理を実行する。次に、制御部８は、移動機構７ｂを制御することにより、第１硬化処理の完了した基材１０１を電子線照射装置３の挿入孔３ａから取り出して停止位置Ｐ２に停止している載置部２３（この場合２３ａ）に載置させる。次いで、制御部８は、モータ２２を制御して回転テーブル２１を矢印Ａの向きで９０度（初期位置から見て１８０度）だけ回転させることにより、図５に示すように、載置部２３ａ〜２３ｄを停止位置Ｐ３，Ｐ２，Ｐ１，Ｐ４にそれぞれ移動させる。
【００２９】
続いて、制御部８は、図６に示すように、連結機構２４のエアシリンダ４１を制御してロッド４１ｂを伸長させることにより、ベアリング４１ｄを介して保持部材４１ｃによって保持されている接合部４２を上動させる。つまり、制御部８は、吸気管４３を上動させる。この際に、接合部４２の接合面４２ｂと載置部２３における接合部３７の接合面３７ｂとが面的に接触することにより、吸気管４３、接合部４２の吸気孔４２ａ、接合部３７の吸気孔３７ａおよびシャフト３４の吸気孔３４ａが連通する。また、接合部４２に配設されているＯリング４２ｃが接合面４２ｂと接合面３７ｂとの接触によって押し潰されるため、接合部３７と接合部４２との間の気密性が確保される。次いで、制御部８は、吸引装置９を作動させる。この際に、エアーが、吸気口３３ａ、吸気孔３４ａ、吸気孔３７ａ、吸気孔４２ａおよび吸気管４３を通って吸引されて、基材１０１が載置部２３（保持部３３）に吸着される。
【００３０】
次に、制御部８は、回転機構２５のエアシリンダ５４を制御してロッド５４ａを伸長させることによってスライダ５２をスライドさせる。この際に、スライダ５２のスライドに伴ってモータ５３における回転軸の先端部に取り付けられている駆動用ホイール５５が載置部２３の被駆動用ホイール３５に近接する。次いで、制御部８は、モータ５３を制御することにより、駆動用ホイール５５を所定の回転速度で回転させる。これに伴って、駆動用ホイール５５に近接している被駆動用ホイール３５が磁気伝動によって回転し、被駆動用ホイール３５の回転に伴ってロータリーボールスプライン３８、シャフト３４および保持部３３が回転する。
【００３１】
続いて、制御部８は、連結機構２４のエアシリンダ４１を制御して、ロッド４１ｂをさらに伸長させる。この際に、ロッド４１ｂの伸長によって接合部４２が押し上げられることにより、接合部３７，４２が接合した状態でシャフト３４および保持部３３がスプリング３６による下方への付勢力に抗して上動させられる。この結果、図６に示すように、吸着によって保持部３３に保持されている基材１０１が回転しつつトレイ３１よりもやや上方に移動させられる。次に、制御部８は、紫外線照射装置４を制御することにより、保持部３３によって保持されている基材１０１に対して紫外線を照射する第２硬化処理を実行させる。この際に、基材１０１表面のカバー層用の各樹脂材料およびハードコート層用の各樹脂材料が紫外線の照射によって完全硬化する。これにより、基材１０１の表面にカバー層およびハードコート層が形成（成膜）される。
【００３２】
次いで、制御部８は、回転機構２５のモータ５３を制御して駆動用ホイール５５の回転を停止させると共に、エアシリンダ５４を制御してロッド５４ａを縮長させることによって駆動用ホイール５５と被駆動用ホイール３５とを離間させる。これにより、ロータリーボールスプライン３８、シャフト３４および保持部３３の回転が停止する。続いて、制御部８は、連結機構２４のエアシリンダ４１を制御してロッド４１ｂを縮長させる。この際に、ロッド４１ｂの縮長に伴ってスプリング３６の付勢力によって接合部４２が押し下げられることより、シャフト３４および保持部３３が下動させられる。次に、制御部８は、エアシリンダ４１を制御してロッド４１ｂをさらに縮長させる。この際に、接合部４２と接合部３７とが離間する結果、載置部２３による基材１０１の吸着が解除される。次いで、制御部８は、吸引装置９の作動を停止させる。
【００３３】
続いて、制御部８は、図７に示すように、モータ２２を制御して回転テーブル２１を矢印Ａの向きで９０度（初期位置から見て２７０度）だけ回転させることにより、載置部２３ａ〜２３ｄを停止位置Ｐ４，Ｐ３，Ｐ２，Ｐ１にそれぞれ移動させる。次に、制御部８は、移動機構７ｃを制御して載置部２３ａに載置されている成膜後の基材１０１を載置部２３ａから搬出装置５の上に移動させる。次いで、搬出装置５が、他の工程が実行される作業位置に成膜後の基材１０１を搬出する。続いて、制御部８は、上記の制御を繰り返して実行する。これにより、基材１０１に対するカバー層およびハードコート層の形成が繰り返して実行される。
【００３４】
このように、この搬送装置６および塗膜形成装置１によれば、回転テーブル２１の回転によって停止位置Ｐ３に載置部２３が移動させられたときに、連結機構２４がその載置部２３のシャフト３４と吸気装置９に連通する吸気管４３とを連結させ、回転機構２５がその載置部２３（つまり保持部３３）を回転させることにより、回転機構や吸引機構を各載置部２３毎に個別的に設けることなく、１つの連結機構２４および１つの回転機構２５で載置部２３による基材１０１の保持および基材１０１の回転を行うことができるため、搬送装置３および塗膜形成装置１を簡易に構成することができる。また、載置部２３に載置した基材１０１を載置部２３から他の装置に移し替えることなく、載置部２３に載置した状態のまま基材１０１に塗布された樹脂材料を硬化させることができるため、移し替えに要する時間を短縮できる分、塗膜形成工程全体の工程時間を十分に短縮することができる。したがって、簡易な構成でありながら、塗膜形成工程の作業効率を確実に向上させることができる。
【００３５】
また、この搬送装置６および塗膜形成装置１によれば、連結機構２４が吸気管４３を載置部２３の下方から上方に向けて移動させることによって吸気管４３とシャフト３４とを連結させることより、吸気管４３とシャフト３４との確実な連結および確実な連結解除をエアシリンダ４１を用いることで行うことができるため、連結機構２４を簡易に構成することができる。また、連結機構２４が吸気管４３を上方に向けて移動させてシャフト３４と共に載置部２３（つまり保持部３３）を上方に向けて移動させることにより、基材１０１をトレイ３１から離間させた状態で樹脂材料を硬化させることができるため、例えば、トレイ３１に樹脂材料が付着していたとしても、紫外線の照射によってその樹脂材料が硬化して基材１０１とトレイ３１とが固着する事態を確実に防止することもできる。
【００３６】
また、この搬送装置６および塗膜形成装置１によれば、モータ５３を移動させることによってモータ５３の回転軸に取り付けられた駆動用ホイール５５を被駆動用ホイール３５に近接させて載置部２３を回転させることにより、簡易な構成でありながら停止位置Ｐ３に移動させられた載置部２３の回転および回転停止を確実に行うことができる。
【００３７】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、４つの載置部２３ａ〜２３ｄを備えた例について上記したが、載置部２３の数は４つに限定されず、２以上の任意の数に変更することができる。また、連結機構２４および回転機構２５をそれぞれ複数備え、これらを複数の停止位置に配設する構成を採用することもできる。また、スピンコートによって樹脂材料を基材１０１に塗布する際にこの搬送装置６を用いることもできる。この場合、例えば、停止位置Ｐ３に搬送された基材１０１に樹脂材料を滴下して基材１０１を回転させることにより、搬送装置６から専用のターンテーブルに移し替えることなく載置部２３に載置した状態のまま基材１０１に樹脂材料を塗布することができる。また、本発明における放射線照射部としての紫外線照射装置４を備えた塗膜形成装置１を例に挙げて説明したが、紫外線照射装置４に代えて、電子線（本発明における放射線の他の一例）を搬送対象体に照射する電子線照射部を備えた塗膜形成装置に本発明を適用することもできる。また、アニール装置２、電子線照射装置３、紫外線照射装置４、搬出装置５および移動機構７とは別個独立して搬送装置６を単独で用いることもできる。この場合、基材１０１に限定されず、搬送装置６を用いて各種の搬送対象体を搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】塗膜形成装置１の平面図である。
【図２】搬送装置６の平面図である。
【図３】搬送装置６の断面図である。
【図４】回転テーブル２１を初期状態の位置から９０度回転させた状態の搬送装置６の平面図である。
【図５】回転テーブル２１を初期状態の位置から１８０度回転させた状態の搬送装置６の平面図である。
【図６】保持部３３が回転している状態の搬送装置６の断面図である。
【図７】回転テーブル２１を初期状態の位置から２７０度回転させた状態の搬送装置６の平面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  塗膜形成装置
６  搬送装置
２１  回転テーブル
２３，２３ａ〜２３ｄ  載置部
２４  連結機構
２５  回転機構
３３  保持部
３３ａ  吸気口
３４  シャフト
３５  被駆動用ホイール
３７  接合部
４１  エアシリンダ
４２  接合部
４３  吸気管
５３  モータ
５３ａ  中心軸
５４  エアシリンダ
５５  駆動用ホイール
１０１  基材
Ｐ３  停止位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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