(57)【要約】【課題】シリンダ装置において変位部材に対して様々な方向に生じる変位差を変位差吸収機構で吸収し、前記変位部材に対して変位力が作用した際に応力の発生を抑制して耐久性を向上させる。【解決手段】ピストンと連結されるピストンヨーク６２に係合孔６８を介してカプラー７０が設けられ、前記カプラー７０の上部にはカプラー挿入穴７４を介してスライダ２４が装着されている。そして、カプラー７０の下部に設けられた係合部材７２が、係合孔６８に対してシリンダチューブ２２の幅方向に若干量だけ変位自在に挿入され、前記スライダ２４のカプラー挿入穴７４が、カプラー７０の曲面部１３８ａ、１３８ｂに対して摺動自在となるように挿入されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に沿って延在するスリットを閉塞するベルトが装着され、流体圧出入ポートから供給された圧力流体の作用下にピストンが内部を軸線方向に沿って変位するシリンダ本体を備えたシリンダ装置の変位差吸収機構であって、
前記シリンダ本体に沿って軸線方向に変位自在に設けられる変位部材と、
前記ピストンに連結され、前記ピストンの変位を前記変位部材に伝達する変位伝達部材と、
前記変位部材と変位伝達部材との間に設けられ、前記変位部材の変位方向に対して略直交する直交面と、鉛直線を中心として一定半径からなる曲面とを有する変位差吸収部材と、
を備え、
前記変位差吸収部材は、前記直交面が前記変位部材及び変位伝達部材の少なくともいずれか一方に嵌合されると共に、前記曲面が前記変位部材及び変位伝達部材のうちの他方に嵌合されることを特徴とするシリンダ装置の変位差吸収機構。
【請求項２】
請求項１記載の変位差吸収機構において、
前記変位差吸収部材は、前記直交面が前記変位伝達部材に嵌合され、前記曲面が前記変位部材に嵌合されることを特徴とするシリンダ装置の変位差吸収機構。
【請求項３】
請求項１又は２記載の変位差吸収機構において、
前記曲面は、前記変位部材の変位方向に形成されることを特徴とするシリンダ装置の変位差吸収機構。
【請求項４】
請求項２又は３記載の変位差吸収機構において、
前記変位差吸収部材には、前記ベルトが挿通する挿通孔が形成されることを特徴とするシリンダ装置の変位差吸収機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダ本体に沿って変位する変位伝達部材と変位部材との間に生じる変位差を吸収し、前記変位部材から前記変位伝達部材へ付与される負荷を抑制することが可能なシリンダ装置の変位差吸収機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワークの搬送手段としてロッドレスシリンダのようなシリンダ装置が用いられている。この種のロッドレスシリンダは、シリンダ本体の内部にピストンが変位自在に設けられ、前記ピストンに連結されたピストンヨークが、前記シリンダ本体の上部に形成されたスリットを介して外部に露呈するように構成されている。そして、前記ピストンヨークに対してスライダが一体的に装着され、前記ピストンの変位作用下にスライダをシリンダ本体の軸線方向に沿って変位させてワークを搬送している。
【０００３】
このようなロッドレスシリンダでは、ワーク等からスライダに対して負荷（例えば、押圧力）が付与された際に、前記負荷によって前記ピストンが傾斜してピストンシール及び前記ピストンに不均一な荷重が生じることがある。その結果、前記ロッドレスシリンダでは前記負荷に起因して生じた変位差によってエア漏れや摺動抵抗の増加が発生し、前記スライダを軸線方向に沿って円滑に変位させることができないという問題がある。
【０００４】
そのため、スライダとピストンヨークの間に生じる変位差を吸収可能な変位差吸収機構を備えたロッドレスシリンダが提案されている。このロッドレスシリンダでは、スライダとして機能する案内要素と該案内要素に対して変位荷重を付与する荷重伝達要素との間に円盤状のベアリングを設け、前記案内要素を前記ベアリングの軸線を中心として略水平面上で回動自在に保持すると共に、前記ベアリングに対して鉛直方向に所定量だけ変位自在に保持している。すなわち、案内要素に負荷が付与された際、前記案内要素及び荷重伝達要素に生じる変位差を、前記案内要素がベアリングに対して変位することにより吸収する構成としている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されたロッドレスシリンダの変位差吸収機構では、案内要素に対して変位差が生じた際、前記案内要素の変位方向と略直交する鉛直方向、前記鉛直方向を中心とした回転方向の変位差しか吸収することができないという問題がある。
【０００６】
また、特許文献２に開示されたロッドレスシリンダの外部に設けられる変位差吸収機構では、係合凸部に形成された円弧面とスライダの両端面に連結された当接片とが線接触し、その当接部位を中心として前記スライダが変位することにより変位差を吸収する構成としている。しかしながら、上述した特許文献２のロッドレスシリンダでは、前記円弧面と当接片との接触面積が小さいため、変位方向への大きな負荷を許容することが困難であるという問題がある。
【０００７】
このような問題を解決するために、本出願人は、ロッドレスシリンダの外部に設けられるスライダの変位方向と略直交する水平方向、前記スライダの変位方向を中心とした回転方向の変位差を吸収可能であり、大きな変位差が生じた際にも対応可能なロッドレスシリンダに備えられた変位差吸収機構を提案している（特許文献３参照）。
【０００８】
このロッドレスシリンダでは、図１３に示されるように、シリンダチューブ１の上面に軸線方向に沿って変位自在に移動体２が設けられ、前記移動体２の両端部には変位差吸収機構３が設けられている。この変位差吸収機構３は、前記移動体２と一体的に設けられたスライダ４の端部に固定される一組のエンドカバー５ａ、５ｂと、一方の側面に円弧状の曲面部６、他方の側面に平面部７を有する一組のカプラー８ａ、８ｂとから構成され、前記カプラー８ａ、８ｂは板状のストッパ９ａ、９ｂを介して移動体２に設けられている。前記エンドカバー５ａ、５ｂの凹部１０にカプラー８ａ、８ｂの曲面部６が面接触した状態で摺動自在に挿入されている。
【０００９】
そして、移動体２の変位方向と略直交する水平方向に変位差が生じた場合、又は、鉛直線を中心とした回転方向に変位差が生じた場合には、カプラー８ａ、８ｂが前記移動体２との間に設けられたストッパ９ａ、９ｂの接触面を介して摺動変位することにより、前記移動体２に生じる変位差を吸収している。
【００１０】
上述した変位差吸収機構では、その部品点数が多く構造が複雑であると共に、前記変位差吸収機構をロッドレスシリンダの内部に設けることが困難である。
【００１１】
【特許文献１】特開昭６０−２３４１０６号公報
【特許文献２】特公平７−１０４１号公報
【特許文献３】特開平１１−９３９０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、前記の提案に関連してなされたものであり、変位部材から変位伝達部材へ伝達される様々な方向への変位差を吸収すると共に、前記変位部材に対して変位差が生じた際に応力の発生を抑制して耐久性を向上させることが可能であり、簡素な構成でシリンダ装置の内部に配設可能なシリンダ装置の変位差吸収機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記の目的を達成するために、本発明は、軸線方向に沿って延在するスリットを閉塞するベルトが装着され、流体圧出入ポートから供給された圧力流体の作用下にピストンが内部を軸線方向に沿って変位するシリンダ本体を備えたシリンダ装置の変位差吸収機構であって、
前記シリンダ本体に沿って軸線方向に変位自在に設けられる変位部材と、
前記ピストンに連結され、前記ピストンの変位を前記変位部材に伝達する変位伝達部材と、
前記変位部材と変位伝達部材との間に設けられ、前記変位部材の変位方向に対して略直交する直交面と、鉛直線を中心として一定半径からなる曲面とを有する変位差吸収部材と、
を備え、
前記変位差吸収部材は、前記直交面が前記変位部材及び変位伝達部材の少なくともいずれか一方に嵌合されると共に、前記曲面が前記変位部材及び変位伝達部材のうちの他方に嵌合されることを特徴とする。
【００１４】
本発明によれば、変位部材と変位伝達部材との間に変位差吸収部材を設け、前記変位差吸収部材に形成された直交面を、前記変位部材及び変位伝達部材のうちの少なくともいずれか一方に嵌合させると共に、前記変位差吸収部材の曲面を前記直交面が嵌合された変位部材又は変位伝達部材と異なる前記変位部材又は変位伝達部材に嵌合させている。このため、変位部材及び変位伝達部材のうちの少なくともいずれか一方が、前記直交面を介して前記変位部材の変位方向と略直交する方向に変位可能となると共に、前記曲面を介して鉛直線を中心として回動変位することができる。
【００１５】
従って、前記変位部材、変位伝達部材又はピストンに対して様々な方向（水平方向、鉛直方向、鉛直線を中心とした回転方向、変位部材の軸線を中心とした回転方向）に負荷が付与された際に、前記変位部材及び変位伝達部材が、前記変位差吸収部材の直交面及び曲面を介して相対的に直線及び回動の少なくとも一方で変位する。これにより、異なる方向から一度に付与された変位力による前記変位部材及び変位伝達部材の変位差を好適に吸収することができる。そのため、前記変位差による変位部材のがたつき等を防止することにより、従来技術に係る変位差吸収機構において生じていた前記変位部材の摺動抵抗及びエア漏れ等を低減してピストン及び変位部材をシリンダ本体に沿って円滑に変位させることができる。
【００１６】
また、変位差吸収部材の直交面及び曲面が、前記変位部材及び変位伝達部材の少なくとも一方と嵌合しているため、前記変位部材及び変位伝達部材の少なくともいずれか一方との接触面積を、従来の変位差吸収機構と比較して大きく確保することができる。その結果、前記変位部材又は変位伝達部材に負荷が付与された際に、前記負荷を直交面及び曲面によって従来よりさらに好適に分散させることができるため、それに伴って、前記変位差吸収機構における許容負荷を増大させることができる。
【００１７】
さらに、変位差吸収部材を変位部材と変位伝達部材との間に設けることにより、前記変位差吸収機構を変位部材の外部に設けている従来のシリンダ装置と比較してシリンダ装置の外形寸法が増大することがなく、前記変位差吸収機構を有するシリンダ装置の小型化を図ることができる。
【００１８】
さらにまた、変位差吸収部材を、前記直交面が前記変位伝達部材に嵌合され、前記曲面が前記変位部材に嵌合されるようにするとよい。これにより、変位差吸収部材は、変位部材に生じた変位差を、前記変位部材が曲面を介して回動変位することにより吸収すると共に、変位伝達部材に生じた変位差を、前記変位伝達部材が直交面を介して直線変位することにより吸収することができる。
【００１９】
またさらに、曲面を、変位部材の変位方向に形成するとよい。この場合には、前記曲面を変位部材の変位方向に設けることにより、前記変位部材に付与される変位方向の負荷を負担する面積を大きく確保することができるため、前記変位方向に付与された大きな負荷を許容することができる。
【００２０】
また、変位差吸収部材に、ベルトが挿通する挿通孔を形成することにより、シリンダ装置のより一層の小型化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００２２】
すなわち、変位部材及び変位伝達部材の少なくともいずれか一方が、変位差吸収部材の直交面及び曲面を介して相対的に直線及び回動の少なくとも一方で変位することにより、前記変位部材、変位伝達部材又はピストンに対して様々な方向に生じる変位差を好適に吸収することができる。そのため、変位部材に付与される負荷が前記変位伝達部材に対して付与されることがなく、前記変位部材をシリンダ本体に沿って円滑に変位させることができる。
【００２３】
また、変位差吸収部材は、その直交面及び曲面を介して嵌合される変位部材及び変位伝達部材の少なくともいずれか一方との接触面積を大きく確保することにより、前記変位部材及び変位伝達部材の少なくともいずれか一方に生じる変位差を好適に分散させ、変位差吸収機構において生じる応力を抑制して耐久性を向上させることができる。
【００２４】
さらに、変位差吸収部材を変位部材と変位伝達部材との間に設けると共に、ベルトが挿通する挿通孔を形成することにより、従来の変位差吸収機構を有するシリンダ装置と比較して外形寸法をより一層小型化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明に係るシリンダ装置の変位差吸収機構について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００２６】
図１において、参照符号２０は、本発明の実施の形態に係る変位差吸収機構が適用されたシリンダ装置を示す。
【００２７】
このシリンダ装置２０は、図１及び図２に示されるように、軸線方向に沿って長尺なシリンダチューブ（シリンダ本体）２２と、前記シリンダチューブ２２に取り付けられ、軸線方向に沿って進退自在なスライダ（変位部材）２４と、前記シリンダチューブ２２の端部にそれぞれ装着される一組のエンドブロック２６ａ、２６ｂと、前記シリンダチューブ２２とスライダ２４との間に設けられ、該スライダ２４に付与される負荷を吸収する変位差吸収機構２８（以下、単に吸収機構２８という）と、前記シリンダチューブ２２に装着される上ベルト（ベルト）３０と下ベルト３２を案内するベルト案内機構３４（図２参照）と、前記スライダ２４をシリンダチューブ２２に対して円滑にガイドするためのガイド機構３６（図３参照）とを備えている。
【００２８】
シリンダチューブ２２の内部には、図３及び図４に示されるように、軸線方向に沿って断面略菱形状のボア部３８が形成され、前記シリンダチューブ２２の上面には軸線方向に沿って開口したスリット４０が形成されている。そして、前記スリット４０を介してボア部３８が外部と連通している。
【００２９】
シリンダチューブ２２のスリット４０には、該スリット４０を上下両方向から塞ぐことによりシールする前記上ベルト３０と下ベルト３２が取り付けられている。上ベルト３０は、例えば、金属製材料からシート状に形成されており、下ベルト３２は、例えば、樹脂製材料から形成されている。
【００３０】
前記スリット４０の両側には、軸線方向に沿って延在する取付溝４２を介して一組の磁性体４４（例えば、永久磁石）が装着され、前記磁性体４４の磁力によって上ベルト３０が吸引されてスリット４０が上方より閉塞される。そして、前記上ベルト３０及び下ベルト３２の両端部は、シリンダチューブ２２の両端部にそれぞれ接続される一組のエンドブロック２６ａ、２６ｂにそれぞれ固定されている（図２参照）。
【００３１】
また、シリンダチューブ２２のボア部３８の近傍には、軸線方向に沿って延在する一組のバイパス通路４６ａ、４６ｂが形成され、前記バイパス通路４６ａ、４６ｂには圧力流体が流通する集中配管（図示せず）が接続される。
【００３２】
一方、シリンダチューブ２２の両側面には、軸線方向に沿って一組又は複数組のセンサ取付溝４８が形成され、前記センサ取付溝４８には、後述するピストン５２ａ、５２ｂの変位位置を検出するための位置検出センサ（図示せず）が装着される。
【００３３】
シリンダチューブ２２の上面には、図３に示されるように、前記スリット４０から軸線と直交する幅方向（矢印Ｘ方向）に所定間隔離間し、上方に向かって所定高さだけ突出した一組のガイド部５０ａ、５０ｂが形成されている。このガイド部５０ａ、５０ｂはシリンダチューブ２２の軸線方向に沿って延在し、前記ガイド部５０ａ、５０ｂには、ガイド機構３６を介してスライダ２４が軸線方向に沿って変位自在に係合されている。
【００３４】
シリンダチューブ２２のボア部３８には、図４及び図５に示されるように、該ボア部３８の断面形状に対応した一組のピストン５２ａ、５２ｂが進退自在に挿入されている。前記ピストン５２ａ、５２ｂの軸線方向に沿った一端部には、それぞれ突部５４が形成され、前記突部５４の周縁部には環状のシール部材５６が装着されている。すなわち、ピストン５２ａ、５２ｂがシリンダチューブ２２のボア部３８に挿入された際、前記ピストン５２ａ、５２ｂとボア部３８の内壁面との間がシール部材５６によってシールされ、前記ボア部３８の内部の気密が保持される。
【００３５】
また、ピストン５２ａ、５２ｂの突部５４には、エンドブロック２６ａ、２６ｂ側に向かって突出するようにシャフト部５８が設けられている。
【００３６】
一方のピストン５２ａと他方のピストン５２ｂとの間には、ウェアリング６０ａ、６０ｂを介してピストンヨーク（変位伝達部材）６２が挟持され、前記ピストン５２ａ、５２ｂと一体的に連結されている。このピストンヨーク６２は、ボア部３８の断面形状に対応して断面略菱形状に形成される挿通部６４と、前記挿通部６４の上方に略Ｔ字状に形成されるヨーク部６６とを含む。
【００３７】
このピストンヨーク６２は、図３に示されるように、挿通部６４が前記ピストン５２ａ、５２ｂと同様にボア部３８の内部に挿入され、前記挿通部６４とヨーク部６６との接続部位６７が、スリット４０に挿通されて前記ヨーク部６６がシリンダチューブ２２の上部側となるように設けられている。
【００３８】
前記ヨーク部６６は、シリンダチューブ２２の幅方向（矢印Ｘ方向）に所定幅で拡幅して形成され、前記ヨーク部６６の略中央部には、図５に示されるように、幅方向（矢印Ｘ方向）に沿って延在する係合孔６８が形成されている。そして、略長方形状に形成される前記係合孔６８には、吸収機構２８のカプラー（変位差吸収部材）７０（後述する）がその下面に装着された係合部材７２（後述する）を介して装着されている。
【００３９】
スライダ２４は、図１〜図３に示されるように、断面略コ字状に形成され、シリンダチューブ２２と対向する下面側には、吸収機構２８のカプラー７０が挿入されるカプラー挿入穴７４が所定深さだけ窪んで形成されている（図６及び図７参照）。前記カプラー挿入穴７４には、図７及び図８に示されるように、略円弧状の一組の円弧面７６ａ、７６ｂが形成されると共に、シリンダチューブ２２の軸線と略平行な一組の内平面部７８ａ、７８ｂが形成されている。換言すると、スライダ２４の変位方向に一組の円弧面７６ａ、７６ｂが形成され、前記一方の円弧面７６ａ、７６ｂと他方の円弧面７６ａ、７６ｂの間となるように一組の内平面部７８ａ、７８ｂがスライダ２４の変位方向と略平行に形成されている。
【００４０】
また、スライダ２４には、図３に示されるように、該スライダ２４の幅方向（矢印Ｘ方向）に沿った両側部に鉛直下方向に向かって突出する一組の保持部８０ａ、８０ｂが形成され、前記保持部８０ａ、８０ｂは、その内部に設けられるガイド機構３６を介してシリンダチューブ２２のガイド部５０ａ、５０ｂに係合されている。このように、スライダ２４は、カプラー７０及びピストンヨーク６２を介してピストン５２ａ、５２ｂと一体的に装着された状態となるため、ピストン５２ａ、５２ｂの変位作用下に前記スライダ２４がガイド部５０ａ、５０ｂによってガイドされて軸線方向に変位する。
【００４１】
さらに、スライダ２４の下面には、図３及び図７に示されるように、シリンダチューブ２２のガイド部５０ａ、５０ｂと対向する位置に軸受８２が保持される保持溝８４がそれぞれ形成されている。この保持溝８４には、前記スライダ２４の軸線方向に沿った両端部に、前記保持溝８４の深さよりさらに深く形成された深溝部８６がそれぞれ形成されている。
【００４２】
そして、保持溝８４には、図１０に示されるように、両端部に突出したフランジ部８８を有する軸受８２が装着され、前記フランジ部８８が深溝部８６に係合されている。
【００４３】
また、軸受８２におけるフランジ部８８の端面には、それぞれエンドブロック２６ａ、２６ｂ側に向かって突出した凸部９０が形成され、前記フランジ部８８が深溝部８６に係合された際にスライダ２４の端面に形成された凹部９２に係合される。
【００４４】
スライダ２４の軸線方向に沿った両端面には、図１に示されるように、前記両端面を覆うようにそれぞれカバー部材９４がボルト９６を介して装着され、前記カバー部材９４の略中央部には係止部材９８が設けられている。前記係止部材９８は、カバー部材９４の端面より若干だけエンドブロック２６ａ、２６ｂ側に突出するように設けられている（図２参照）。これにより、例えば、シリンダチューブ２２に図示しないストッパ機構を設け、前記スライダ２４の端面を前記ストッパ機構に当接させて変位量を規制する際に、前記スライダ２４と前記ストッパ機構とが接触した際の衝撃が前記係止部材９８によって緩衝される。
【００４５】
図３及び図１０に示されるように、スライダ２４における一方の保持部８０ａには、複数（例えば、３個）の貫通孔１００が形成され、該貫通孔１００には、ガイド機構３６の第１軸受支持部材１０２（後述する）を固定するための固定ボルト１０４が挿通される。前記貫通孔１００は、スライダ２４の軸線方向に沿って所定間隔離間して形成されると共に、前記スライダ２４をシリンダチューブ２２に装着した際に、ガイド部５０ａの側面と略平行となるように所定角度傾斜して形成されている。
【００４６】
また、保持部８０ａには、前記貫通孔１００が形成された部位より下方にプラグ１０６が螺合される複数のねじ孔１０８が形成されると共に、前記スライダ２４をシリンダチューブ２２に装着した際に、シリンダチューブ２２のガイド部５０ａの側面に対して略直交するように形成されている。
【００４７】
エンドブロック２６ａ、２６ｂは、図１及び図２、図４に示されるように、ボア部３８の開口部を閉塞するようにシリンダチューブ２２の両端部にそれぞれ設けられ、前記エンドブロック２６ａ、２６ｂに形成されたねじ装着孔１１０に装着されたねじ部材１１２がシリンダチューブ２２のねじ穴１１４（図４参照）に螺合されることにより前記シリンダチューブ２２に一体的に組み付けられる。
【００４８】
このエンドブロック２６ａ、２６ｂには、図２に示されるように、上ベルト３０及び下ベルト３２が挿入される孔部１１６が上部に形成され、前記孔部１１６に挿入されている固定部材１１８を介して上ベルト３０及び下ベルト３２の端部が２本の固定ねじ１２０によってそれぞれ固定されている。
【００４９】
また、エンドブロック２６ａ、２６ｂの側面には、図示しない切換弁を介して圧力流体供給源に接続される第１ポート１２２及び第２ポート１２４が形成され、前記圧力流体供給源から圧力流体（例えば、圧縮エア）が第１及び第２ポート１２２、１２４に対して選択的に供給される。前記第１及び第２ポート１２２、１２４は、エンドブロック２６ａ、２６ｂの内部の図示しない通路、又は、シリンダチューブ２２に設けられたバイパス通路４６ａ、４６ｂを通じてシリンダチューブ２２内のシリンダ室１２６ａ、１２６ｂ（図２参照）にそれぞれ連通している。このシリンダ室１２６ａ、１２６ｂは、ボア部３８がエンドブロック２６ａ、２６ｂとピストン５２ａ、５２ｂとによって閉塞されることによりそれぞれ形成されている。
【００５０】
図１に示されるように、エンドブロック２６ａ、２６ｂの端面には外側ポート１２８が形成され、前記外側ポート１２８は、前記エンドブロック２６ａ、２６ｂの内部の図示しない通路、又は、シリンダチューブ２２に設けられたバイパス通路４６ａ、４６ｂを通じて前記シリンダチューブ２２内のシリンダ室１２６ａ、１２６ｂに連通している。なお、外側ポート１２８は、封止ねじ１３０が螺合されて塞がれている。
【００５１】
また、エンドブロック２６ａ、２６ｂには、図２に示されるように、シリンダチューブ２２と対向する内壁面側にピストン５２ａ、５２ｂの変位速度を減速させるための減速機構１３２が設けられている。
【００５２】
この減速機構１３２は、ピストン５２ａ、５２ｂと対向するようにエンドブロック２６ａ、２６ｂに円筒体１３４が装着され、前記円筒体１３４の内部には、環状溝を介してチェックパッキン１３６が装着されている。そして、ピストン５２ａ、５２ｂの軸線方向に沿った変位作用下に前記円筒体１３４の内部に前記ピストン５２ａ、５２ｂのシャフト部５８が挿入されることにより、前記円筒体１３４内の流体が、微小流路を有する図示しないバイパス流路を介して微小流量でシリンダ室１２６ａ、１２６ｂ側へと排出される。そのため、前記ピストン５２ａ、５２ｂが変位する際の変位抵抗となり、それに伴って、前記ピストン５２ａ、５２ｂの変位速度を徐々に減速させることができる。
【００５３】
吸収機構２８は、図６〜図８に示されるように、ピストンヨーク６２のヨーク部６６に装着される略円盤状のカプラー７０を含み、前記カプラー７０の外壁面には、略同一半径Ｃ１（図８参照）からなる一組の曲面部１３８ａ、１３８ｂと、シリンダチューブ２２の軸線と略平行に形成される一組の平面部１４０ａ、１４０ｂが形成されている。換言すると、カプラー７０の外壁面は、前記カプラー７０の中心より同一直径で形成される円弧面７６ａ、７６ｂが、シリンダチューブ２２の軸線に対して略平行、且つ、略対称に形成される一組の平面部１４０ａ、１４０ｂによって分断され、分断された円弧面７６ａ、７６ｂがそれぞれ一組の曲面部１３８ａ、１３８ｂとなる。
【００５４】
そして、前記カプラー７０は、図８に示されるように、スライダ２４の下面に形成されたカプラー挿入穴７４に挿入された際に、一組の曲面部１３８ａ、１３８ｂがカプラー挿入穴７４の円弧面７６ａ、７６ｂとそれぞれ対向して当接している。前記曲面部１３８ａ、１３８ｂの半径寸法Ｃ１は、前記円弧面７６ａ、７６ｂの内周半径Ｃ２と略同等（Ｃ１≒Ｃ２）となるように形成され、前記曲面部１３８ａ、１３８ｂと円弧面７６ａ、７６ｂとがそれぞれ当接している。
【００５５】
すなわち、スライダ２４が、カプラー７０の中心に形成される鉛直線Ｌを中心として矢印Ｗ方向に所定量だけ摺動しながら回動自在に設けられている。
【００５６】
また、一組の平面部１４０ａ、１４０ｂがカプラー挿入穴７４の内平面部７８ａ、７８ｂとそれぞれ対向し、前記平面部１４０ａ、１４０ｂと内平面部７８ａ、７８ｂとの間には所定間隔のクリアランスが形成されている。
【００５７】
このように、カプラー挿入穴７４の円弧面７６ａ、７６ｂ及び内平面部７８ａ、７８ｂは、カプラー７０の外周形状に対応するように形成されている。
【００５８】
さらに、図５に示されるように、カプラー７０の上面７７と曲面部１３８ａ、１３８ｂとの境界部位には、前記曲面部１３８ａ、１３８ｂの周方向に沿って所定角度（例えば、４５°）傾斜した面取部１４２ａ、１４２ｂがそれぞれ形成されている。
【００５９】
なお、カプラー７０は、一組の曲面部１３８ａ、１３８ｂと一組の平面部１４０ａ、１４０ｂとから構成される場合に限定されるものではなく、前記一方の曲面部１３８ａと他方の曲面部１３８ｂとが連続するような前記カプラー７０の中心を基準とした単一の円筒面から構成するようにしてもよい。
【００６０】
一方、カプラー７０の下部には、図７に示されるように、シリンダチューブ２２の軸線と略平行な一組の脚部１４４ａ、１４４ｂが形成され、前記カプラー７０の下面より突出した脚部１４４ａ、１４４ｂを介して略直方体状の係合部材７２が２本のボルト１４６で装着されている。この係合部材７２は、カプラー７０の略中央部に対してシリンダチューブ２２の軸線と略直交するように設けられ、前記カプラー７０における一組の脚部１４４ａ、１４４ｂの間となるように設けられている。そして、カプラー７０の底面と係合部材７２との間には、上ベルト３０が挿通されるベルト溝（挿通孔）１４８が形成されている。すなわち、カプラー７０がシリンダ装置２０に装着された際に、上ベルト３０が、前記ベルト溝１４８と係合部材７２との間のクリアランスを介して挿通されている。
【００６１】
この係合部材７２は、図７及び図９に示されるように、シリンダチューブ２２の軸線方向に沿った幅寸法Ｄ１が、係合孔６８の幅寸法Ｄ２と略同等（Ｄ１≒Ｄ２）に形成され、前記係合部材７２が係合孔６８に挿入された際、前記係合部材７２におけるシリンダチューブ２２の軸線と略直交する一組の嵌合面（直交面）１５０ａ、１５０ｂが前記係合孔６８の内壁面６８ａ、６８ｂにそれぞれ当接する。
【００６２】
また、前記シリンダチューブ２２の軸線と略直交する長手寸法Ｅ１が、図９に示されるように、前記係合孔６８の長手寸法Ｅ２より小さく形成されている（Ｅ１＜Ｅ２）。すなわち、係合部材７２が係合孔６８に対してシリンダチューブ２２の幅方向（矢印Ｘ方向）に若干量（Ｅ２−Ｅ１）だけ変位自在に設けられている。
【００６３】
さらに、係合部材７２がピストンヨーク６２の係合孔６８に挿入され、前記係合部材７２と係合孔６８とがシリンダチューブ２２の軸線方向（矢印Ｙ方向）に係合された状態であるため、前記ピストンヨーク６２が軸線方向に沿って変位する際に該ピストンヨーク６２と一体的にカプラー７０が変位する。
【００６４】
なお、カプラー７０をピストンヨーク６２に装着した際、曲面部１３８ａ、１３８ｂが、前記シリンダチューブ２２の軸線と略直交するエンドブロック２６ａ、２６ｂ側となるようにそれぞれ形成されると共に、平面部１４０ａ、１４０ｂがシリンダチューブ２２の側面と略平行となるように形成されている。
【００６５】
ベルト案内機構３４は、図２及び図５に示されるように、ピストン５２ａ、５２ｂの上部に設けられる一組の案内部材１５２ａ、１５２ｂと、前記ピストン５２ａ、５２ｂにそれぞれ連結されるウェアリング６０ａ、６０ｂとを含む。この案内部材１５２ａ、１５２ｂは、断面略Ｃ字状に形成されるベルトセパレート部１５４と、前記ベルトセパレート部１５４の略中央から一端部側に向かって突出したベルト押え部１５６と、前記ベルトセパレート部１５４及びベルト押え部１５６の側方に突出して形成される第１爪部１５８及び第２爪部１６０とから構成されている。
【００６６】
また、ベルトセパレート部１５４とベルト押え部１５６との間には、上ベルト３０が挿通される略矩形状のベルト孔１６２が形成されている。なお、図２に示されるように、断面略Ｃ字状に形成されるベルトセパレート部１５４の湾曲形状は、上ベルト３０及び下ベルト３２の摺動抵抗が過大とならないような形状に形成される。
【００６７】
ベルトセパレート部１５４は、上下に引き離されて湾曲した上ベルト３０及び下ベルト３２の間に挟まれ、前記上ベルト３０は、ベルトセパレート部１５４とスライダ２４の間に形成された空間部に沿って案内され、前記下ベルト３２はベルトセパレート部１５４とピストン５２ａ、５２ｂの間に形成された空間部に沿って案内されている。
【００６８】
ベルト押え部１５６は、下方側に向かって所定長だけ突出して形成される突起部１６４を有し、前記突起部１６４によって上ベルト３０をシリンダチューブ２２側に押圧することにより上ベルト３０と下ベルト３２とが近接する（図２参照）。
【００６９】
また、図５に示されるように、第１爪部１５８は、下方に向かって突出し、且つ、ベルトセパレート部１５４の両側に一組となるように形成されており、前記第１爪部１５８がピストンヨーク６２におけるヨーク部６６に形成される溝部１６６にそれぞれ装着される。そして、第２爪部１６０がヨーク部６６の下面に装着されることにより、ピストンヨーク６２と案内部材１５２ａ、１５２ｂとが一体的に強固に連結される。すなわち、スライダ２４が移動する際に、ベルトセパレート部１５４は、上ベルト３０と下ベルト３２とを離間させるように作用し、ベルト押え部１５６は、上ベルト３０と下ベルト３２とを近接させるように作用する。
【００７０】
ウェアリング６０ａ、６０ｂは、ボア部３８に対応した断面形状に形成され、その上面の略中央には略長方形状の切欠部１６８が形成されている。前記切欠部１６８の一端部側には、下ベルト３２を案内する略長方形状の下ベルト案内部１７０が形成されており、前記下ベルト案内部１７０は、一端部側がウェアリング６０ａ、６０ｂの外周面と略均等の高さ方向の位置に形成され、他端側が下方に若干湾曲して形成される。前記下ベルト案内部１７０の湾曲形状は、下ベルト３２を案内する際に、下ベルト３２の摺動抵抗が過大にならないような形状に形成される（図２参照）。
【００７１】
また、ウェアリング６０ａ、６０ｂの一端部に形成された孔部には磁石１７２が装着され、シリンダチューブ２２のセンサ取付溝４８（図１参照）に装着される図示しないセンサによって、前記磁石１７２の磁界を検知することにより、ピストン５２ａ、５２ｂの位置が検出される。そして、前記ピストン５２ａ、５２ｂのピン孔部１７４にピン部材１７６をそれぞれ圧入することにより、２つのピストン５２ａ、５２ｂがウェアリング６０ａ、６０ｂを介してピストンヨーク６２に対して互いに連結される。
【００７２】
ガイド機構３６は、図３及び図１０に示されるように、スライダ２４の保持部８０ａ、８０ｂにシリンダチューブ２２のガイド部５０ａ、５０ｂと対向するように設けられ、前記ガイド機構３６は、一方の保持部８０ａにガイド部５０ａの側面と対向して設けられる第１軸受支持部材１０２と、他方の保持部８０ｂにガイド部５０ｂと対向して設けられる第２軸受支持部材１７８と、前記第１軸受支持部材１０２と保持部８０ａとの間に挟持される第１弾性部材１８０と、前記第２軸受支持部材１７８と保持部８０ｂとの間に挟持される第２弾性部材１８２とを含む。
【００７３】
第１軸受支持部材１０２は、一方の保持部８０ａの内壁面に形成された装着溝１８４ａに装着され、前記保持部８０ａに形成される貫通孔１００を介して複数の固定ボルト１０４でスライダ２４に固定されている。
【００７４】
この第１軸受支持部材１０２は、例えば、アルミニウム材料等の金属製材料から形成され、一方のガイド部５０ａの側面に対して略直交して当接するように装着されている。
【００７５】
また、第１軸受支持部材１０２には、ガイド部５０ａと対向する側面に軸受８２が保持される保持溝１８６が軸線方向に沿って形成され、前記保持溝１８６は、スライダ２４の下面に形成される保持溝８４と略同一形状となるように形成されている。そして、前記第１軸受支持部材１０２に形成された深溝部１８８には軸受８２のフランジ部８８が係合されている。前記フランジ部８８の端面には、それぞれエンドブロック２６ａ、２６ｂ側に向かって突出した凸部９０が形成され、前記フランジ部８８が深溝部１８８に係合された際に第１軸受支持部材１０２の端面に形成された凹部９２に係合される。
【００７６】
一方、第１軸受支持部材１０２には、図３に示されるように、固定ボルト１０４が螺合されるねじ孔１０８に臨み、スライダ２４の保持部８０ａと当接する側面に装着穴１９０が形成され、前記装着穴１９０には第１弾性部材１８０が装着されている。
【００７７】
第１弾性部材１８０は、例えば、板ばね等のスプリングからなり、図１０に示されるように、波状に複数箇所が折曲するように形成されている。そして、第１弾性部材１８０は、第１軸受支持部材１０２側に向かって凸状となる複数の部位（例えば、３箇所）が装着穴１９０の内壁面に当接すると共に、凹状となる複数の部位（例えば、４箇所）がスライダ２４における装着溝１８４ａの内壁面に当接している。すなわち、第１弾性部材１８０の弾発力は、前記第１軸受支持部材１０２とスライダ２４の保持部８０ａとを離間する方向に向かって付勢している。
【００７８】
また、第１弾性部材１８０は、装着穴１９０の内壁面に当接した部位がスライダ２４の保持部８０ａに螺合された複数（例えば、３本）のプラグ１０６によって押圧されている。
【００７９】
第２軸受支持部材１７８は、図３及び図１０に示されるように、例えば、アルミニウム材料等の金属製材料から形成され、他方の保持部８０ｂの内壁面に形成された装着溝１８４ｂに装着されている。そして、前記第２軸受支持部材１７８は、装着溝１８４ｂに装着される部位が略水平状に形成されると共に、他方のガイド部５０ｂ側となる部位が前記ガイド部５０ｂの側面に対して略直交して当接するように形成されている。
【００８０】
また、第２軸受支持部材１７８には、ガイド部５０ｂと対向する側面に軸受８２が保持される保持溝１９２が軸線方向に沿って形成され、前記保持溝１９２は、スライダ２４の下面に形成される保持溝８４と略同一形状となるように形成されている。そして、前記第２軸受支持部材１７８の両端部に形成された深溝部１９４に軸受８２のフランジ部８８が係合されている。
【００８１】
フランジ部８８の端面には、それぞれエンドブロック２６ａ、２６ｂ側に向かって突出した凸部９０が形成され、前記フランジ部８８が深溝部１９４に係合された際に第１軸受支持部材１０２の端面に形成された凹部９２に係合される。
【００８２】
第２軸受支持部材１７８と装着溝１８４ｂの内壁面との間には、例えば、硬質のゴム製材料からなるプレート状の第２弾性部材１８２が挟持され、前記第２弾性部材１８２の略中央部には長手方向に沿ったスリット孔１９６が形成されている。そして、前記スリット孔１９６が、第２軸受支持部材１７８の側面に形成された凸状の係合凸部１９８に係合されることにより、前記第２軸受支持部材１７８に対する第２弾性部材１８２の相対的な変位が規制される。
【００８３】
このように、第２軸受支持部材１７８とスライダ２４との間に第２弾性部材１８２を設けることにより、前記第２弾性部材１８２の弾発力によって前記第２軸受支持部材１７８がガイド部５０ｂ側に向かって押圧されている。
【００８４】
また、スライダ２４の保持溝８４、前記スライダ２４に装着される第１及び第２軸受支持部材１７８に対して軸受８２をそれぞれ設け、前記軸受８２をシリンダチューブ２２のガイド部５０ａ、５０ｂに当接させることにより、前記スライダ２４をガイド部５０ａ、５０ｂとの間の嵌合面１５０ａ、１５０ｂに沿って円滑に変位させることができる。
【００８５】
本発明の実施の形態に係る変位差吸収機構が適用されたシリンダ装置２０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、スライダ２４及びピストン５２ａ、５２ｂが、一方のエンドブロック２６ａ側（矢印Ｂ方向）に変位している状態を初期位置として説明する。
【００８６】
先ず、この初期位置において、エンドブロック２６ａの第１ポート１２２に圧力流体（例えば、圧縮エア）を供給することにより、前記圧力流体がエンドブロック２６ａの図示しない通路を介してシリンダチューブ２２内の一方のシリンダ室１２６ａに導入される。そして、前記圧力流体による押圧作用下にピストン５２ａが他方のエンドブロック２６ｂ側（矢印Ａ方向）に押圧されることにより、ピストンヨーク６２及びカプラー７０を介して前記ピストン５２ａと一体的にスライダ２４がガイド部５０ａ、５０ｂのガイド作用下に軸線方向に沿って変位する。なお、この場合、第２ポート１２４は大気開放状態としておく。
【００８７】
その際、案内部材１５２ｂのベルト押え部１５６と下ベルト案内部１７０を介して閉じられていたスライダ２４の右側の上ベルト３０と下ベルト３２がスライダ２４の変位に伴ってベルトセパレート部１５４によって開かれる。また、反対に、案内部材１５２ａのベルトセパレート部１５４によって開かれていたスライダ２４の中央部近傍の上ベルト３０と下ベルト３２は、前記スライダ２４の変位に伴ってベルト案内機構３４のベルト押え部１５６及び下ベルト案内部１７０によって閉じられる。
【００８８】
すなわち、スライダ２４は、上ベルト３０及び下ベルト３２によってスリット４０をシールしてボア部３８を閉塞した状態でシリンダチューブ２２に沿って軸線方向（矢印Ａ方向）に変位する。
【００８９】
そして、スライダ２４がさらに他方のエンドブロック２６ｂ側（矢印Ａ方向）へと変位し、ピストン５２ｂの端部に設けられたシャフト部５８が円筒体１３４の内部に挿入されることにより、前記シャフト部５８の外周面とチェックパッキン１３６によって前記シャフト部５８と円筒体１３４の内部との間を流通する流体の流量が遮断され、その流体の流路が図示しないバイパス流路のみに制限される。そのため、前記ピストン５２ａ、５２ｂの変位速度が低下しながら変位し、前記ピストン５２ｂの端面が円筒体１３４の端面に当接することにより変位終端位置となる。
【００９０】
次に、図示しない切換弁を切り換えて第２ポート１２４に圧力流体を供給することにより、前記圧力流体がエンドブロック２６ｂの図示しない通路を通じてシリンダチューブ２２の他方のシリンダ室１２６ｂに導入される。そして、ピストン５２ｂが、前記圧力流体による押圧作用下に一方のエンドブロック２６ａ側（矢印Ｂ方向）に押圧され、前記ピストン５２ｂと共にスライダ２４がシリンダチューブ２２のガイド部５０ａ、５０ｂに沿って軸線方向（矢印Ｂ方向）に変位する。
【００９１】
その際、スライダ２４が他方のエンドブロック２６ｂ側に変位する場合とは反対に、案内部材１５２ａのベルト押え部１５６と下ベルト案内部１７０によって閉じられていた上ベルト３０と下ベルト３２が、前記案内部材１５２ａのベルトセパレート部１５４によって開かれ、また、案内部材１５２ｂのベルトセパレート部１５４によって開かれていた上ベルト３０と下ベルト３２は、ベルト押え部１５６及び下ベルト案内部１７０によって閉じられる。
【００９２】
そして、スライダ２４がさらに一方のエンドブロック２６ａ側（矢印Ｂ方向）へと変位し、ピストン５２ａに設けられたシャフト部５８が円筒体１３４の内部に挿入されることにより、前記ピストン５２ａ、５２ｂの変位速度が低下した後に前記ピストン５２ａの端面が円筒体１３４の端面に当接することにより停止して初期位置へと復帰する。
【００９３】
次に、例えば、スライダ２４に対して様々な方向から負荷が付与された際に、吸収機構２８によって前記スライダ２４に生じる変位差を吸収する機能について説明する。
【００９４】
先ず、図６に示されるように、スライダ２４に対して外部より該スライダ２４の軸線と略直交する水平方向（矢印Ｘ方向）に負荷が付与された場合には、カプラー７０が係合部材７２を介してピストンヨーク６２の係合孔６８内で前記スライダ２４の軸線と略直交する方向（矢印Ｘ方向）に変位する。詳細には、係合部材７２の嵌合面１５０ａ、１５０ｂが係合孔６８の内壁面６８ａ、６８ｂに沿って摺動しながら直線的に矢印Ｘ方向へと変位することにより、前記スライダ２４に生じた軸線と略直交する水平方向への変位差が吸収される。
【００９５】
次に、スライダ２４に対して略鉛直方向（矢印Ｙ方向）に負荷が付与された場合には、前記スライダ２４がカプラー挿入穴７４の円弧面７６ａ、７６ｂを介してカプラー７０の曲面部１３８ａ、１３８ｂに沿って略鉛直方向に摺動変位する。また、同時に、前記カプラー７０の係合部材７２が、その嵌合面１５０ａ、１５０ｂを介してピストンヨーク６２の係合孔６８の内壁面６８ａ、６８ｂに沿って略鉛直方向に変位する。これにより、前記スライダ２４に生じた鉛直方向への変位差が吸収される。
【００９６】
また、カプラー７０の鉛直線Ｌを中心としてスライダ２４に対して回転方向（矢印Ｗ方向）に負荷が付与された場合には、前記カプラー７０の曲面部１３８ａ、１３８ｂに対してスライダ２４が円弧面７６ａ、７６ｂを介して摺動しながら回動変位することにより、前記スライダ２４とカプラー７０との間において変位差を吸収することができる。すなわち、スライダ２４に対して鉛直線Ｌを中心とした回転方向（矢印Ｗ方向）への変位差を好適に吸収することができる。
【００９７】
最後に、スライダ２４の軸線を中心とした回転方向（矢印Ｚ方向）に負荷が付与された場合には、カプラー７０の係合部材７２が、嵌合面１５０ａ、１５０ｂと係合孔６８の内壁面６８ａ、６８ｂとの当接部位を介して回動変位することにより、前記カプラー７０とピストンヨーク６２との間において変位差を吸収することができる。すなわち、前記スライダ２４に付与された該スライダ２４の軸線を中心とした回転方向（矢印Ｚ方向）への変位差が吸収される。
【００９８】
以上のように、本実施の形態に係る変位差吸収機構が適用されたシリンダ装置２０では、スライダ２４に対してその軸線と略直交した水平方向（矢印Ｘ方向）、鉛直方向（矢印Ｙ方向）、鉛直線Ｌを中心とした回転方向（矢印Ｗ方向）、前記スライダ２４の軸線を中心とした回転方向（矢印Ｚ方向）に負荷が付与された場合に、吸収機構２８によって前記スライダ２４をカプラー７０に対して相対的に直線・回転変位させ、前記カプラー７０をピストンヨーク６２に対して相対的に直線・回転変位させることにより、前記スライダ２４に生じる変位差を好適に吸収することができる。
【００９９】
換言すると、スライダ２４及びピストンヨーク６２がカプラー７０を介して相対的に所定量だけ直線又は回転変位自在に設けられているため、前記スライダ２４、カプラー７０がそれぞれ相対的に変位することにより前記スライダ２４に対して様々な方向に生じる変位差を吸収することが可能となる。
【０１００】
この結果、スライダ２４に対して負荷が付与された場合においても、吸収機構２８によってその変位差を好適に吸収して前記スライダ２４をシリンダチューブ２２に対して円滑に変位させることができる。
【０１０１】
また、吸収機構２８では、スライダ２４の円弧面７６ａ、７６ｂに対してカプラー７０の曲面部１３８ａ、１３８ｂが当接すると共に、前記カプラー７０の係合部材７２が嵌合面１５０ａ、１５０ｂを介してピストンヨーク６２の係合孔６８と当接しているため、前記スライダ２４に付与された負荷を、前記円弧面７６ａ、７６ｂと曲面部１３８ａ、１３８ｂとの接触部位、前記係合部材７２と係合孔６８との接触部位で負担することができる。
【０１０２】
そのため、変位部材に付与される変位方向の負荷を負担する接触部位の面積、すなわち、前記スライダ２４、カプラー７０及びピストンヨーク６２との接触面積を、従来の変位差吸収機構と比較して増大させることができる。これにより、前記変位方向への負荷を、接触部位において好適に分散させることができ、それに伴って、従来の変位差吸収機構より大きな負荷を負担することが可能となる。
【０１０３】
換言すれば、吸収機構２８における軸線方向の投影面積を大きく確保することができるため、前記変位方向の負荷が付与された際に応力の発生を抑制し、耐久力を向上させることができる。
【０１０４】
さらに、吸収機構２８を構成するカプラー７０が、ピストン５２ａ、５２ｂに連結されたピストンヨーク６２とスライダ２４との間に内装され、且つ、前記カプラー７０と係合部材７２との間には上ベルト３０を挿通させるベルト溝１４８が形成されているため、前記上ベルト３０が外部に露呈することがなく、且つ、変位差吸収機構をスライダの外部に設けている従来のシリンダ装置と比較してシリンダ装置の外形寸法が増大することがない。そのため、前記吸収機構２８を有するシリンダ装置２０の小型化を図ることができる。
【０１０５】
次に、変形例に係る変位差吸収機構３００を図１１及び図１２示す。なお、上述した本実施の形態に係る変位差吸収機構２８と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０６】
この変形例に係る変位差吸収機構３００では、カプラー３０２にシリンダチューブ２２の軸線と略直交する一組の平面部３０４ａ、３０４ｂと、前記シリンダチューブ２２の側面側に形成される円弧状の曲面部３０６ａ、３０６ｂとを有すると共に、スライダ３０８のカプラー挿入穴３１０が前記カプラー３０２の形状に対応して断面略円盤状に窪んで形成されている点で、本実施の形態に係る変位差吸収機構２８と相違している。
【０１０７】
このカプラー挿入穴３１０には、カプラー３０２が挿入された際に平面部３０４ａ、３０４ｂと対向する一組の内平面部３１２ａ、３１２ｂと、前記カプラー３０２の曲面部３０６ａ、３０６ｂに対向する一組の円弧面３１４ａ、３１４ｂが形成され、前記円弧面３１４ａ、３１４ｂには前記曲面部３０６ａ、３０６ｂが当接している。
【０１０８】
また、カプラー３０２の下部に設けられた係合部材７２は、図１２に示されるように、ピストン５２ａ、５２ｂに連結されたピストンヨーク６２の係合孔６８に挿入されている。
【０１０９】
この変位差吸収機構３００では、スライダ３０８に対して該スライダ３０８の軸線と略直交する水平方向（矢印Ｘ方向）に負荷が付与された場合には、カプラー３０２が、係合部材７２を介してピストンヨーク６２の係合孔６８の内壁面６８ａ、６８ｂに沿って摺動しながら前記スライダ３０８の軸線と略直交する方向（矢印Ｘ方向）に変位する。これにより、前記スライダ３０８に生じた軸線と略直交する方向への変位差を吸収することができる。
【０１１０】
また、スライダ３０８に対して鉛直方向（矢印Ｙ方向）に負荷が付与された場合には、前記スライダ３０８がカプラー３０２の曲面部３０６ａ、３０６ｂに沿って略鉛直方向に摺動変位すると共に、前記カプラー３０２の係合部材７２がピストンヨーク６２の係合孔６８の内壁面６８ａ、６８ｂに沿って略鉛直方向に変位する。これにより、前記スライダ３０８に対して鉛直方向に生じた変位差を吸収することができる。
【０１１１】
さらに、カプラー３０２の鉛直線Ｌを中心としてスライダ３０８に回転方向（矢印Ｗ方向）に負荷が付与された場合には、カプラー３０２の曲面部３０６ａ、３０６ｂに対してスライダ３０８の円弧面３１４ａ、３１４ｂが摺動しながら回動変位する。これにより、スライダ３０８が所定量だけカプラー３０２に対して回動することによりその変位差を吸収することができる。
【０１１２】
また、この変位差吸収機構３００では、スライダ３０８の円弧面３１４ａ、３１４ｂに対してカプラー３０２の曲面部３０６ａ、３０６ｂが当接し、前記カプラー３０２の係合部材７２がピストンヨーク６２の係合孔６８に当接しているため、前記スライダ３０８に付与された負荷を、前記円弧面３１４ａ、３１４ｂと曲面部３０６ａ、３０６ｂとの接触部位、前記係合部材７２と係合孔６８との接触部位で負担することが可能となる。
【０１１３】
すなわち、前記負荷を負担する前記スライダ３０８、カプラー３０２及びピストンヨーク６２との相互の接触面積を増大させることができるため、前記負荷を前記接触部位において好適に分散させることができる。
【０１１４】
なお、上述した変形例に係る変位差吸収機構３００では、スライダ３０８に付与される負荷が、単一の方向（例えば、水平方向、鉛直方向）から付与される場合について説明したが、これに特に限定されるものではなく、前記スライダ３０８に対して複数の異なる方向から一度に前記変位差が生じた場合においても変位差吸収機構３００によって好適に変位差を吸収することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本発明の実施の形態に係るシリンダ装置の斜視図である。
【図２】図１のシリンダ装置の軸線方向に沿った縦断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】図１のシリンダ装置の一部省略分解斜視図である。
【図５】図１のシリンダ装置におけるカプラー及びベルト案内機構の分解斜視図である。
【図６】図１のシリンダ装置におけるスライダと変位差吸収機構との係合状態を示す一部切欠斜視図である。
【図７】図１のシリンダ装置におけるスライダ及び変位差吸収機構のカプラーを下方から見た分解斜視図である。
【図８】図３のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図９】図６のピストンヨークのヨーク部に対してカプラーが係合された状態を示す一部横断面図である。
【図１０】図１のシリンダ装置におけるガイド機構の分解斜視図である。
【図１１】変形例に係る変位差吸収機構とピストンヨークとを示す分解斜視図である。
【図１２】図１１の変位差吸収機構のカプラーと該カプラーが係合されるスライダとを下方から見た状態を示す分解斜視図である。
【図１３】従来技術に係る変位差吸収機構を有するロッドレスシリンダの一部断面平面図である。
【符号の説明】
【０１１６】
２０…シリンダ装置                  ２２…シリンダチューブ
２４、３０８…スライダ              ２６ａ、２６ｂ…エンドブロック
２８、３００…変位差吸収機構        ３４…ベルト案内機構
３６…ガイド機構                    ５０ａ、５０ｂ…ガイド部
５２ａ、５２ｂ…ピストン            ６２…ピストンヨーク
６６…ヨーク部                      ７０、３０２…カプラー
７２…係合部材                      ７４、３１０…カプラー挿入穴
７６ａ、７６ｂ、３１４ａ、３１４ｂ…円弧面
７８ａ、７８ｂ、３１２ａ、３１２ｂ…内平面部
８０ａ、８０ｂ…保持部              ８２…軸受
１２２…第１ポート                  １２４…第２ポート
１２６ａ、１２６ｂ…シリンダ室      １３２…減速機構
１３８ａ、１３８ｂ、３０６ａ、３０６ｂ…曲面部
１４０ａ、１４０ｂ、３０４ａ、３０４ｂ…平面部
１４４ａ、１４４ｂ…脚部            １４８…ベルト溝
１５０ａ、１５０ｂ…嵌合面          １５２ａ、１５２ｂ…案内部材
１５４…ベルトセパレート部          １５６…ベルト押え部
【図１】
2006300173.tif 000003
【図２】
2006300173.tif 000004
【図３】
2006300173.tif 000005
【図４】
2006300173.tif 000006
【図５】
2006300173.tif 000007
【図６】
2006300173.tif 000008
【図７】
2006300173.tif 000009
【図８】
2006300173.tif 000010
【図９】
2006300173.tif 000011
【図１０】
2006300173.tif 000012
【図１１】
2006300173.tif 000013
【図１２】
2006300173.tif 000014
【図１３】
2006300173.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月10日(2006.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
また、スライダ２４の保持溝８４、前記スライダ２４に装着される第１及び第２軸受支持部材１０２、１７８に対して軸受８２をそれぞれ設け、前記軸受８２をシリンダチューブ２２のガイド部５０ａ、５０ｂに当接させることにより、前記スライダ２４をガイド部５０ａ、５０ｂとの間の嵌合面１５０ａ、１５０ｂに沿って円滑に変位させることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
また、カプラー３０２の下部に設けられた係合部材７２は、図１１に示されるように、ピストン５２ａ、５２ｂに連結されたピストンヨーク６２の係合孔６８に挿入されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2006300173.tif 000016
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2006300173.tif 000017
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2006300173.tif 000018