(57)【要約】【課題】  Ｏリングの交換作業において、回転軸の芯出し作業及び位相合わせ作業が不要な交換用Ｏリングを備えたシールユニットを提供する。【解決手段】  軸方向を貫通する貫通孔１４を有するハウジング２と、貫通孔１４を貫通する回転軸４と、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間に介装されたシール用Ｏリング６と、ハウジング２に取り付けられたホルダー８ａ，８ｂとを備えたシールユニット１において、回転軸４のうち貫通孔１４外にある部分に、それぞれ三つの交換用Ｏリング１８ａ〜１８ｃを装着し、各ホルダー８ａ，８ｂを、回転軸４の周方向に沿って、分割ホルダー８１ａと分割ホルダー８２ａに分割可能に形成し、ホルダー８ａ，８ｂのうち回転軸４の外周面と対向する面に、各交換用Ｏリング１８ａ〜１８ｃを格納する凹部２０をそれぞれ設ける。【選択図】    図３
2006300201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に貫通する貫通孔を有するハウジングと、前記貫通孔を貫通する回転軸と、前記回転軸の外周面と前記貫通孔の内周面との間に介装されるとともに回転軸の外周面及び貫通孔の内周面と接触するシール用Ｏリングと、を備えたシールユニットにおいて、
前記回転軸のうち前記貫通孔外にある部分に、一つ又は二つ以上の交換用Ｏリングを装着したことを特徴とする交換用Ｏリングを備えたシールユニット。
【請求項２】
前記ハウジングに取り付けられるとともに前記シール用Ｏリングの前記貫通孔外方への移動を規制する移動規制部材を備え、
前記移動規制部材の前記回転軸の外周面と対向する面に、前記交換用Ｏリングの少なくとも一部を格納可能な凹部を設けたことを特徴とする請求項１に記載した交換用Ｏリングを備えたシールユニット。
【請求項３】
前記ハウジングに取り付けられるとともに前記シール用Ｏリングの前記貫通孔外方への移動を規制する移動規制部材を備え、
前記移動規制部材は、前記回転軸の周方向に沿って連続するとともに回転軸の周方向に沿って複数に分割可能に形成され、
前記移動規制部材の前記回転軸の外周面と対向する面に、前記交換用Ｏリングを格納可能な凹部を設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載した交換用Ｏリングを備えたシールユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、真空環境で用いる回転導入機等に備えられるシールユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、クリーンルーム等の清浄環境、真空環境、圧力室等の高圧力環境、爆発性雰囲気等の特殊環境（以下、第二の空間と示す）へ、通常環境（以下、第一の空間と示す）から回転力を導入するために、回転導入機が用いられている。このような回転導入機は、回転動力源がおかれる第一の空間と第二の空間とを気密的に隔離するために、図５に示すようなシールユニットを備えている。
【０００３】
図５に示すように、このシールユニット１は、ハウジング２と、回転軸４と、二つのシール用Ｏリング６ａ，６ｂと、二つのホルダー８ａ，８ｂと、を備えている。
ハウジング２は隔壁１２に取り付けられ、第一の空間（図中に高圧空間と示す）と第二の空間（図中に低圧空間と示す）とを連通する貫通孔１４を有している。
回転軸４は貫通孔１４を貫通し、回転軸４の両端部のうち第一の空間側の端部は、カップリング２４ａを介して、回転動力源に備えられた高圧側回転軸２６と連結されており、回転軸４の両端部のうち第二の空間側の端部は、カップリング２４ｂを介して、第二の空間内に設けられた作業台等に備えられた低圧側回転軸２８と連結されている。
【０００４】
各シール用Ｏリング６ａ，６ｂは、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間に介装されており、回転軸４の外周面及び貫通孔１４の内周面と接触している。貫通孔１４内において、シール用Ｏリング６ａとシール用Ｏリング６ｂとの間には、すべり軸受１６が介装されている。
各ホルダー８ａ，８ｂは、各シール用Ｏリング６ａ，６ｂの貫通孔１４外方への移動を規制する移動規制部材として、ハウジング２の貫通孔１４の両端付近にそれぞれ取り付けられている。ホルダー８ａとすべり軸受１６によってシール用Ｏリング６ａが貫通孔１４内に保持され、ホルダー８ｂとすべり軸受１６によってシール用Ｏリング６ｂが貫通孔１４内に保持されている。
【０００５】
このようなシールユニット１を備えた回転導入機では、回転軸４の回転時に、各シール用Ｏリング６ａ，６ｂと回転軸４の外周面、又は各シール用Ｏリング６ａ，６ｂと貫通孔１４の内周面が互いに摺動する。このため、第一の空間と第二の空間との気密的な隔離状態を保持しながら、第一の空間から第二の空間へ回転力を導入することが可能となっている。
【０００６】
また、このような構成のシールユニット１では、磨耗等が生じたシール用Ｏリング６ａを新品のＯリングへと交換する際に、カップリング２４ａを介して連結されている回転軸４と高圧側回転軸２６とを分割している。また、磨耗等が生じたシール用Ｏリング６ｂを新品のＯリングへと交換する際にも同様に、カップリング２４ｂを介して連結されている回転軸４と低圧側回転軸２８とを分割している。
【０００７】
しかしながら、このような構成のシールユニット１では、シール用Ｏリング６ａの交換後は、分割した回転軸４と高圧側回転軸２６とを連結する必要があり、シール用Ｏリング６ｂの交換後は、分割した回転軸４と低圧側回転軸２８とを連結する必要がある。このとき、回転軸４と高圧側回転軸２６及び回転軸４と低圧側回転軸２８に対して、芯出し作業及び位相合わせ作業を行う必要がある。このため、各シール用Ｏリング６ａ，６ｂの交換作業を、例えば真空環境が必要な装置に対して行った場合等は、短時間で交換作業を行なわなければならず、また、狭い空間での作業となるため、芯出し及び位相合わせの精度を良好なものとすることが困難である。その結果、回転導入機の機能低下や寿命減少が生じてしまう。
【０００８】
このような問題を解決するために、特許文献１に記載されているようなシールユニットがある。このシールユニットは、ホルダーを回転軸の周方向に沿って分割可能に形成し、ホルダーの内部に、ホルダーと同様に分割されたシール部材を格納するものである。このようなシールユニットであれば、磨耗等が生じたシール用Ｏリングをシール部材へと交換する際に、連結されている複数の回転軸同士を分割する必要が無く、芯出し及び位相合わせの精度の低下が防止される。
【０００９】
また、上述した問題を解決するために、特許文献２に記載されているようなシールユニットもある。このシールユニットは、新品のＯリングがワイヤーによってシールユニットに繋留されており、Ｏリングの交換作業時には、ハウジングからシールユニットを取り外して、劣化が生じたＯリングを切断して除去するとともに、新品のＯリングをシールユニットに装着するものである。
【特許文献１】米国特許第５，３７０，４０１号明細書
【特許文献２】特開平９−１８９７８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に記載されているようなシールユニットでは、シール部材が回転軸の周方向に沿って分割されているため、シール部材によるシール性能が低く、第二の空間が高真空環境等の超低圧空間である場合には好適ではない。
また、特許文献２に記載されているようなシールユニットでは、Ｏリングの交換作業時に、ハウジングからシールユニットを取り外す必要があるため、Ｏリングの交換に要する時間は短縮されるものの、Ｏリングの交換後には芯出し作業及び位相合わせ作業が必要である。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたもので、Ｏリングの交換作業において、回転軸の芯出し作業及び位相合わせ作業が不要となるとともに、Ｏリングの交換作業が容易となる交換用Ｏリングを備えたシールユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明のうち、請求項１に記載した発明は、軸方向に貫通する貫通孔を有するハウジングと、前記貫通孔を貫通する回転軸と、前記回転軸の外周面と前記貫通孔の内周面との間に介装されるとともに回転軸の外周面及び貫通孔の内周面と接触するシール用Ｏリングと、を備えたシールユニットにおいて、
前記回転軸のうち前記貫通孔外にある部分に、一つ又は二つ以上の交換用Ｏリングを装着したことを特徴とするものである。
本発明によると、シール用Ｏリングの交換時に、交換対象となるシール用Ｏリングを除去するとともに、交換用Ｏリングを回転軸の軸方向に沿って移動させることにより、シール用Ｏリングを交換することが可能となる。
【００１２】
次に、請求項２に記載した発明は、請求項１に記載した発明であって、前記ハウジングに取り付けられるとともに前記シール用Ｏリングの前記貫通孔外方への移動を規制する移動規制部材を備え、
前記移動規制部材の前記回転軸の外周面と対向する面に、前記交換用Ｏリングの少なくとも一部を格納可能な凹部を設けたことを特徴とするものである。
本発明によると、ハウジングに取り付けられた移動規制部材によって、シール用Ｏリングの貫通孔外方への移動が規制されるため、シール用Ｏリングによるシール性能が維持される。また、移動規制部材の回転軸の外周面と対向する面に設けられた凹部に、交換用Ｏリングの少なくとも一部が格納されるため、交換用Ｏリングが確実に保持される。
【００１３】
次に、請求項３に記載した発明は、請求項１又は２に記載した発明であって、前記ハウジングに取り付けられるとともに前記シール用Ｏリングの前記貫通孔外方への移動を規制する移動規制部材を備え、
前記移動規制部材は、前記回転軸の周方向に沿って連続するとともに回転軸の周方向に沿って複数に分割可能に形成され、
前記移動規制部材の前記回転軸の外周面と対向する面に、前記交換用Ｏリングを格納可能な凹部を設けたことを特徴とするものである。
【００１４】
本発明によると、回転軸の周方向に沿って連続して形成された移動規制部材を、回転軸の周方向に沿って複数に分割可能に形成したため、移動規制部材を分割することによって、凹部に格納された交換用Ｏリングを取り出すことが可能となる。また、移動規制部材が回転軸の周方向に沿って連続して形成され、回転軸の外周面と対向する面に設けた凹部に交換用Ｏリングが完全に格納されるため、交換用Ｏリングの汚染が防止される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、シール用Ｏリングの交換作業において、回転軸の芯出し作業及び位相合わせ作業が不要となるため、シール用Ｏリングの交換作業が容易となるとともに、シールユニットのメンテナンスに要する時間が短縮される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
まず、図１及び図２を参照して本実施形態の構成を説明する。なお、図５に示した従来のシールユニットと同様の構成については、同一符号を付して説明する。
図１に示すように、本実施形態のシールユニット１は、回転導入機に備えられており、ハウジング２と、回転軸４と、二つのシール用Ｏリング６ａ，６ｂと、二つのホルダー８ａ，ホルダー８ｂとを備えている。
【００１７】
ハウジング２は、気密的に閉じた円筒であり、複数のボルト１０ａによって隔壁１２に取り付けられている。また、ハウジング２は、ハウジング２を軸方向に貫通して、第一の空間と第二の空間とを連通する貫通孔１４を有している。第二の空間は第一の空間よりも低圧の空間であり、第一の空間と第二の空間とは、ハウジング２及び隔壁１２によって気密的に隔離されている。貫通孔１４の中央付近において、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間には、円筒形状のすべり軸受１６が介装されている。
【００１８】
回転軸４は貫通孔１４を貫通しており、貫通孔１４内で回転可能となっている。回転軸４の一方の端部は第一の空間へ突出しており、他方の端部は第二の空間へ突出している。回転軸４の一方の端部は、例えば、モーター等の回転動力源に備えられた高圧側回転軸（図示せず）の端部と、カップリング（図示せず）等を介して連結されている。また、回転軸４の他方の端部は、例えば、作業台等に備えられた低圧側回転軸（図示せず）の端部と、カップリング（図示せず）等を介して連結されている。また、回転軸４のうち貫通孔１４外にある部分には、それぞれ三つの交換用Ｏリング１８ａ〜１８ｃが装着されている。各交換用Ｏリング１８ａ〜１８ｃは、例えば、フッ素ゴムやシリコンゴム等の弾性樹脂によって形成されており、回転軸４の軸方向に沿って移動自在となっている。
【００１９】
各シール用Ｏリング６ａ，６ｂは、各交換用Ｏリング１８ａ〜１８ｃと同様の材料によって形成されている。シール用Ｏリング６ａは、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間において、第一の空間とすべり軸受１６との間に、回転軸４の外周面及び貫通孔１４の内周面と接触した状態で介装されている。シール用Ｏリング６ｂは、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間において、第二の空間とすべり軸受１６との間に、回転軸４の外周面及び貫通孔１４の内周面と接触した状態で介装されている。これにより、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間は密封される。そして、回転軸４の回転時に、各シール用Ｏリング６ａ，６ｂと回転軸４の外周面、又は各シール用Ｏリング６ａ，６ｂと貫通孔１４の内周面が互いに摺動するため、第一の空間と第二の空間の気密的な隔離状態を保持しながら、第一の空間から第二の空間へ回転力を導入することが可能となっている。
【００２０】
ホルダー８ａは、シール用Ｏリング６ａの貫通孔１４外方への移動を規制する移動規制部材をなしており、複数のボルト１０ｂによってハウジング２に取り付けられている。また、ホルダー８ａは回転軸４の周方向に沿って連続する形状となっており、図２に示すように、回転軸４の周方向に沿って、分割ホルダー８１ａと分割ホルダー８２ａとに二等分に分割可能に形成されている。なお、図２中では、隔壁１２を省略している。ホルダー８ｂは、シール用Ｏリング６ｂの貫通孔１４外方への移動を規制する移動規制部材をなしており、ホルダー８ｂもホルダー８ａと同様に、複数のボルト１０ｂによってハウジング２に取り付けられている。また、ホルダー８ｂもホルダー８ａと同様に、回転軸４の周方向に沿って連続する形状となっており、回転軸４の周方向に沿って、分割ホルダー８１ｂと分割ホルダー８２ｂとに二等分に分割可能に形成されている。
【００２１】
各ホルダー８ａ，８ｂの内周面、すなわち、回転軸４の外周面と対向する面には、各交換用Ｏリング１８ａ〜１８ｃを格納する凹部２０がそれぞれ設けられている。各凹部２０内において、各交換用Ｏリング１８ａ〜１８ｃは、回転軸４の外周面のみと接触している。各ホルダー８ａ，８ｂのハウジング２と対向する面には、回転軸４の周方向に沿って連続するとともに、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間に介装される凸部２２が設けられている。
【００２２】
次に、図３及び図４を参照して本実施形態の作用・効果について説明する。
回転軸４を回転させて、各シール用Ｏリング６ａ，６ｂに磨耗等が生じ、各シール用Ｏリング６ａ，６ｂによるシール性能が低下した場合等は、以下に示す手順によって、各シール用Ｏリング６ａ，６ｂを交換用Ｏリング１８に交換する。なお、以下の説明は、シール用Ｏリング６ａ及びシール用Ｏリング６ｂを同時に交換する場合であるが、シール用Ｏリング６ａ又はシール用Ｏリング６ｂを個別に交換してもよい。
【００２３】
まず、図３及び図４に示すように、各ボルト１０ｂを外して、ホルダー８ａ及びホルダー８ｂをハウジング２から取り外した後、ホルダー８ａを分割ホルダー８１ａと分割ホルダー８２ａに分割し、ホルダー８ｂを分割ホルダー８１ｂと分割ホルダー８２ｂに分割する。なお、図４中には、ホルダー８ａのみを示しているが、ホルダー８ｂに関しても同様に分割する。
ホルダー８ａ及びホルダー８ｂを分割した後、シール用Ｏリング６ａ及びシール用Ｏリング６ｂを、貫通孔１４内から抜き出し、切断して除去する。なお、シール用Ｏリング６ａ及びシール用Ｏリング６ｂの除去は、ホルダー８ａ及びホルダー８ｂを分割する前でもよい。
【００２４】
次に、各交換用Ｏリング１８ａ〜１８ｃのうち、最もハウジング２に近い二つの交換用Ｏリング１８ａを、回転軸４の軸方向に沿って移動させ、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間に介装する。
二つの交換用Ｏリング１８ａを、それぞれ回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間に介装した後、分割ホルダー８１ａと分割ホルダー８２ａとを、凹部２０内に残りの各交換用Ｏリング１８ｂ，１８ｃを格納しつつ結合する。また、分割ホルダー８１ｂと分割ホルダー８２ｂとを、凹部２０内に残りの各交換用Ｏリング１８ｂ，１８ｃを格納しつつ結合する。
そして、ホルダー８ａ及びホルダー８ｂをハウジング２に取り付けて各ボルト１０ｂを締結し、シール用Ｏリング６ａ及びシール用Ｏリング６ｂの、交換用Ｏリング１８ａへの交換作業を終了する。
【００２５】
したがって、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットであれば、ホルダー８ａ，８ｂをハウジング２から取り外して分割することにより、新品の交換用Ｏリング１８を凹部２０内から取り出すことが可能となる。このため、シール用Ｏリング６ａ，６ｂの交換用Ｏリング１８への交換作業において、カップリング等を介して連結された複数の回転軸同士を分割する必要が無くなる。その結果、交換用Ｏリング１８に交換するＯリングの交換作業が容易となるとともに、回転軸同士の芯出し作業及び位相合わせ作業が不要となり、シールユニット１のメンテナンスに要する時間が短縮される。
【００２６】
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットであれば、交換用Ｏリング１８が分割されていないため、第二の空間が、例えば高真空環境等の超低圧空間であっても適用可能である。
さらに、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットであれば、ハウジング２に取り付けられたホルダー８によって、シール用Ｏリング６の貫通孔１４外方への移動が規制されているため、シール用Ｏリング６によるシール性能が保持される。
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットであれば、各ホルダー８ａ，８ｂが回転軸４の周方向に沿って連続して形成されており、交換用Ｏリング１８が凹部２０内に完全に格納されている。このため、交換用Ｏリング１８の汚染が防止されるとともに、回転軸４を回転させても交換用Ｏリング１８が凹部２０内に保持される。
【００２７】
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットであれば、交換用Ｏリング１８が、凹部２０内において回転軸４の外周面のみと接触しているため、回転軸４を回転させても、交換用Ｏリング１８に磨耗等が生じることが防止されている。このため、交換用Ｏリング１８の状態を、健全な状態で維持することが可能となる。
なお、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットでは、凹部２０内に三つの交換用Ｏリング１８ａ〜１８ｃを格納したが、これに限定されるものではない。すなわち、凹部２０内に、交換用Ｏリング１８を一つのみ格納してもよく、交換用Ｏリング１８を四つ以上格納してもよい。
【００２８】
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットでは、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間に、二つのシール用Ｏリング６ａ及びシール用Ｏリング６ｂを介装したが、これに限定されるものではない。すなわち、第一の空間と第二の空間とを気密的に隔離することが可能であれば、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間に、シール用Ｏリング６ａ又はシール用Ｏリング６ｂのいずれかを介装した構成としてもよい。この場合、シール用Ｏリング６ａのみを介装した場合は、ハウジング２にホルダー８ａのみを取り付け、シール用Ｏリング６ｂのみを介装した場合は、ハウジング２にホルダー８ｂのみを取り付ける。
【００２９】
さらに、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットでは、ホルダー８ａ及びホルダー８ｂを、回転軸４の周方向に沿って二等分に分割可能な形状としたが、これに限定されるものではない。すなわち、回転軸４の周方向に沿って複数に分割可能であれば、等分に分割されない構成でもよく、三つ以上に分割可能な構成としてもよい。
【００３０】
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットでは、シール用Ｏリング６の貫通孔１４外方への移動を規制する移動規制部材として、ホルダー８ａ及びホルダー８ｂを備えたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、スナップリングのように、回転軸４の周方向に沿って複数に分割可能ではなく、凹部２０を設けない構成の部材を移動規制部材としてもよい。この場合、Ｏリングの交換作業時には、交換用Ｏリング１８の有する弾性によって、交換用Ｏリング１８を外径方向へ拡張することにより、移動規制部材を乗り越えて、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間に、交換用Ｏリング１８を介装する。
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットでは、ホルダー８ａ及びホルダー８ｂを、共に回転軸４の周方向に沿って連続する形状に形成したが、これに限定されるものではなく、回転軸４の回転を阻害することの無い形状であれば、例えば、扇状に形成してもよい。
【００３１】
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットでは、すべり軸受１６と凸部２２によって、シール用Ｏリング６ａ及びシール用Ｏリング６ｂを貫通孔１４内に保持したが、これに限定されるものではない。すなわち、すべり軸受１６の代わりに、貫通孔１４の内周面に、シール用Ｏリング６ａ及びシール用Ｏリング６ｂを保持可能な凸部等を設けてもよい。また、ホルダー８ａ及びホルダー８ｂに凸部２２を形成せず、凸部２２の代わりに、シール用Ｏリング６ａとホルダー８ａとの間及びシール用Ｏリング６ｂとホルダー８ｂとの間に、円環部材を介装することにより、シール用Ｏリング６ａ及びシール用Ｏリング６ｂを貫通孔１４内に保持する構成としてもよい。
【００３２】
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットでは、ホルダー８をハウジング２に取り付けたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、第一の空間と第二の空間との気圧に大きな差がある場合等、シール用Ｏリング６が一方向へのみ移動する可能性がある場合や、第一の空間と第二の空間との気圧に殆ど差がない場合等、貫通孔１４内においてシール用Ｏリング６が殆ど移動しない場合は、ホルダー８を備えない構成としてもよい。
【００３３】
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットでは、第二の空間を第一の空間よりも低圧の空間としたが、これに限定されるものではなく、第一の空間と第二の空間とが等圧の空間であってもよい。また、第一の空間を第二の空間よりも低圧の空間としてもよい。
また、本実施形態の交換用Ｏリングを備えたシールユニットでは、貫通孔１４の中央付近において、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間にすべり軸受１６を介装したが、これに限定されるものではなく、転がり軸受等の他の軸受であってもよい。また、貫通孔１４の両端に回転軸４の支持軸受が備えられている場合等は、回転軸４の外周面と貫通孔１４の内周面との間にすべり軸受１６等の軸受を介装しない構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の交換用Ｏリングを備えたシールユニットを示す図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】Ｏリング交換作業時のシールユニットを示す図である。
【図４】分割したホルダーを示す図である。
【図５】従来のシールユニットを示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
１    シールユニット
２    ハウジング
４    回転軸
６    シール用Ｏリング
８    ホルダー
１０  ボルト
１２  隔壁
１４  貫通孔
１６  すべり軸受
１８  交換用Ｏリング
２０  凹部
２２  凸部
２４  カップリング
２６  高圧側回転軸
２８  低圧側回転軸
８１，８２  分割ホルダー
【図１】
2006300201.tif 000003
【図２】
2006300201.tif 000004
【図３】
2006300201.tif 000005
【図４】
2006300201.tif 000006
【図５】
2006300201.tif 000007