(57)【要約】【課題】  樹脂製中空ケースの成形過程で生じるバリ等を原因とするダストによる固体撮像素子の誤動作を防止し、さらに中空ケースの気密性を改良すること、あるいは樹脂製中空ケース自体の反りを改良することの少なくともいずれかを達成し、正確に撮像機能をさせることができる固体撮像装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】  中空ケースの内面部、金属製リード端子と中空ケース内面との境界部、及び中空ケースと透明板との接合部のいずれか１つの部位に、硬化樹脂形成組成物を硬化した硬化樹脂が配され、硬化樹脂のデュロメータ硬さがＡスケールで８０以下である固体撮像装置及びその製造方法。【選択図】  図１
2006303485.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略矩形の樹脂製底板とその周縁に略垂設された樹脂製側壁とから一体に形成されると共に、金属製リード端子が挿設され、開口部が透明板により閉塞された熱可塑性樹脂製中空ケースを有し、該中空ケースの内底面上に金属製アイランドが設置され、該アイランド上に固体撮像素子が固着された固体撮像装置であって、
（ａ）前記中空ケースの内面部、
（ｂ）前記金属製リード端子と前記中空ケース内面との境界部、及び
（ｃ）前記中空ケースと前記透明板との接合部、
の少なくとも１つの部位に、硬化性樹脂形成組成物を硬化した硬化樹脂が配され、前記硬化樹脂のデュロメータ硬さがＡスケールで８０以下であることを特徴とする
固体撮像装置。
【請求項２】
前記硬化樹脂は、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ユリア・メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、及び、アクリレート樹脂よりなる群から選択される少なくとも１種を含む請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記アイランドの幅方向両端に接触し、前記アイランドの長手方向に沿って延びた一対の突起部を備える請求項１又は２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記アイランドの側面に近接して、前記ケースの内底面に、その長手方向に沿って溝が配設されている請求項１〜３のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記硬化性樹脂形成組成物が紫外線硬化性である請求項１〜４のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
【請求項６】
（I）略矩形の樹脂製底板及び該底板の周縁に略垂設された樹脂製側壁とから一体に形成されると共に、金属製リード端子が挿設され、開口部が透明板により閉塞可能な熱可塑性樹脂製中空ケースを成形する工程と、
（II）該ケースの内底面に固体撮像素子を固着する工程と、
（III）該固体撮像素子の電極と該金属製リード端子をボンディングワイヤによって電気的に接続する工程と、
（IV）該ケース開口部を透明板で閉塞する工程とを、
この順番で備える固体撮像装置の製造方法であって、
（i）該ケース内面に硬化性樹脂形成組成物Ａを付与して硬化させ硬化樹脂Ａを形成させることにより、該ケース内面の少なくとも一部及び／又は該ケース内の該リード端子と該ケース内面との境界部を硬化樹脂により被覆する工程、及び、
（ii）該ケースの開口部の該透明板と接する部位へ硬化性樹脂形成組成物Ｂを付与し、透明板により該開口部を閉塞した後に、該硬化性樹脂形成組成物Ｂを硬化させた硬化樹脂Ｂにより、該開口部を封着する工程、
から選択される少なくとも１つの工程を有することを特徴とする
固体撮像装置の製造方法。
【請求項７】
前記硬化性樹脂形成組成物Ａの粘度が５，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以下である請求項６記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項８】
前記硬化性樹脂形成組成物Ａの硬化に伴う体積収縮率が５％以下である請求項６又は７に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項９】
前記硬化性樹脂形成組成物Ａが紫外線硬化性である請求項６〜８のいずれか１つに記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１０】
前記硬化性樹脂形成組成物Ａに紫外線照射して硬化樹脂Ａを形成する際に、該硬化樹脂Ａの重量が、硬化前の硬化性樹脂形成組成物Ａの重量の９９．８％以上１００％以下である請求項９に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１１】
前記工程（i）が、前記中空ケース内面に、紫外線硬化性の樹脂形成組成物Ａを付与し、封着された透明板を通して紫外線を照射し該樹脂形成組成物Ａを硬化樹脂Ａとすることにより、該中空ケース内面の少なくとも一部および該ケース内の金属製リード端子と樹脂部分との境界部分を硬化樹脂により被覆する工程である請求項９又は１０に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１２】
前記硬化性樹脂形成組成物Ｂの粘度が１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以上である請求項６〜１１のいずれか１つに記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１３】
前記硬化性樹脂形成組成物Ｂが紫外線硬化性である請求項６〜１２のいずれか１つに記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１４】
前記工程（ii）が、前記中空ケース上面と透明板との間に紫外線硬化性の樹脂形成組成物Ｂを付与し、該透明板を通して紫外線を照射し該樹脂形成組成物を硬化樹脂とすることにより該ケースを閉塞する工程である請求項１３に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項６〜１４のいずれか１つに記載の製造方法によって製造された固体撮像装置。
【請求項１６】
底板とその周縁に略垂設された側壁により構成される凹部を有する樹脂製のケース本体、
前記底板の内底面上に設けられ、固体撮像素子を固定するためのアイランド、
前記アイランド上に固定された固体撮像素子、
前記凹部内から前記側壁を貫通して前記ケース本体の外部に延びたリード端子、
前記固体撮像素子と前記リード端子とを接続するボンディングワイヤ、
前記アイランドの幅方向両端に接触し、前記アイランドの長手方向に沿って延びた一対の突起部、及び
前記突起部のそれぞれの外側側面に接触した第１の硬化樹脂を備えることを特徴とする
固体撮像装置。
【請求項１７】
前記ケース本体の凹部を閉塞する透明板と、
前記ケース本体と前記透明板との間に介在した第２の硬化樹脂と、
を備える請求項１６に記載の固体撮像装置。
【請求項１８】
前記第１の硬化樹脂と前記第２の硬化樹脂とが連続している請求項１７に記載の固体撮像装置。
【請求項１９】
前記第１の硬化樹脂が、前記ボンディングワイヤと前記リード端子との接続部を被覆している請求項１６〜１８のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、固体撮像装置には中空のガラス・セラミック型ケースが使用されてきたが、コスト高であるため、最近は樹脂製中空ケースが開発されつつある（特許文献１参照）。
しかしながら、樹脂中空製ケースを用いた固体撮像装置は実用化の上で、いくつかの問題点があった。
例えば、ケース成形時に樹脂融液が金型よりはみ出した余肉、いわゆるバリが生じることが多く、このバリが固体撮像装置の製造時にダストとなり、洗浄工程でも完全な除去が困難である。この結果、該樹脂中空製ケースを閉塞した後にダストの一部がケース内で飛散して、固体撮像素子の受光面に付着し、撮像素子の誤動作を引き起こすことがある。
また、樹脂製中空ケースを閉塞する蓋材としては、主に透明ガラスや透明樹脂等の透明板が用いられているが、ケースを形成する樹脂と、蓋材を形成する金属又はガラス等との熱膨張差が大きいため、通常、成形時や実装時の熱によるケースの反りなどの変形は大きくなる。このような変形があると、入射光の焦点にずれが生じ、固体撮像素子が画像を正確に読み取れなくなる等の問題が生じることがある。上記のような変形を防ぐため、蓋材をケースに貼り付ける際に使用する接着剤について、弾性率が５ＧＰａ以下のものを使用することが提案されている（特許文献２参照）。しかしながら、その効果は充分なものではなく、特に一次元イメージセンサのような長尺型のケースの場合には、依然として反りが発生しやすい。
このように、固体撮像装置が正確に機能しなくなるという問題があった。
【特許文献１】特開平６−１６３９５０号公報
【特許文献２】特開２０００−１２７１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、樹脂製中空ケースの成形過程で生じるバリ等を原因とするダストによる固体撮像素子の誤動作を防止し、さらに中空ケースの気密性を改良すること、あるいは樹脂製中空ケース自体の反りを改良することの少なくともいずれかを達成し、正確に撮像機能をさせることができる固体撮像装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明者らは鋭意検討した結果、上記樹脂製中空ケースを熱可塑性樹脂にて成形し、ケースの特定の部位に硬化性樹脂を用いた樹脂を備えることにより、上記課題の少なくとも１つを解決できることを見出し、本発明を完成するに至ったものである。すなわち、本発明は、下記［１］に示す固体撮像装置を提供する。
［１］略矩形の樹脂製底板とその周縁に略垂設された樹脂製側壁とから一体に形成されると共に、金属製リード端子が挿設され、開口部が透明板により閉塞された熱可塑性樹脂製中空ケースを有し、該中空ケースの内底面上に金属製アイランドが設置され、該アイランド上に固体撮像素子が固着された固体撮像装置であって、
（ａ）上記中空ケースの内面部、
（ｂ）上記金属製リード端子と上記中空ケース内面との境界部、及び
（ｃ）上記中空ケースと上記透明板との接合部、
のいずれか１つの部位に、硬化性樹脂形成組成物を硬化した硬化樹脂が配され、前記硬化樹脂の、デュロメータ硬さがＡスケールで８０以下であることを特徴とする固体撮像装置。
また、［２］硬化樹脂は、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ユリア・メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、及び、アクリレート樹脂よりなる群から選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。
また、本発明は固体撮像素子を備える金属製アイランド及び中空ケース内底面について、下記の［３］、［４］に示す固体撮像装置を提供する。
［３］上記アイランドの幅方向両端に接触し、上記アイランドの長手方向に沿って延びた一対の突起部を備える上記［１］又は［２］に記載の固体撮像装置。
［４］上記アイランドの側面に近接して、上記ケースの内底面に、その長手方向に沿って溝が配設されている上記［１］〜［３］のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
さらに、本発明は上記硬化樹脂形成組成物が下記の［５］であると製造上簡便であり、好ましい。
［５］該硬化性樹脂形成組成物が紫外線硬化性である上記［１］〜［４］のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
また、本発明は上記の固体撮像装置に係る下記の製造方法を提供するものである。
［６］（I）略矩形の樹脂製底板及び該底板の周縁に略垂設された樹脂製側壁とから一体に形成されると共に、金属製リード端子が挿設され、開口部が透明板により閉塞可能な熱可塑性樹脂製中空ケースを成形する工程と、
（II）該ケースの内底面に固体撮像素子を固着する工程と、
（III）該固体撮像素子の電極と該金属製リード端子をボンディングワイヤによって電気的に接続する工程と、
（IV）該ケース開口部を透明板で閉塞する工程とを、
この順番で備える固体撮像装置の製造方法であって、
（i）該ケース内面に硬化性樹脂形成組成物Ａを付与して硬化させ硬化樹脂Ａを形成させることにより、該ケース内面の少なくとも一部及び／又は該ケース内の該リード端子と該ケース内面との境界部を硬化樹脂により被覆する工程、及び、
（ii）該ケースの開口部の該透明板と接する部位へ硬化性樹脂形成組成物Ｂを付与し、透明板により該開口部を閉塞した後に、該硬化性樹脂形成組成物Ｂを硬化させた硬化樹脂Ｂにより、該開口部を封着する工程、
から選択される少なくとも１つの工程を有することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
ただし、下記の硬化性樹脂形成組成物Ａと硬化樹脂組成物Ｂは同一でも異なっていてもよい。
上記［６］の製造方法における硬化性樹脂形成組成物Ａが下記［７］〜［９］に記載のいずれかであると好ましい。
［７］上記硬化性樹脂形成組成物Ａの粘度が５，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以下である上記［６］記載の固体撮像装置の製造方法。
［８］上記硬化性樹脂形成組成物Ａの硬化に伴う体積収縮率が５％以下である上記［６］又は［７］に記載の固体撮像装置の製造方法。
［９］上記硬化性樹脂形成組成物Ａが紫外線硬化性であることを特徴とする上記［６］〜［８］のいずれか１つに記載の固体撮像装置の製造方法。
上記［９］に示した硬化性樹脂形成組成物Ａが紫外線硬化性であるとき、中でも下記の製造方法が好ましい。
［１０］上記硬化性樹脂形成組成物Ａに紫外線照射して硬化樹脂Ａを形成する際に、該硬化樹脂Ａの重量が、硬化前の硬化性樹脂形成組成物Ａの重量の９９．８％以上１００％以下である上記［９］に記載の固体撮像装置の製造方法。
［１１］上記工程（i）が、上記中空ケース内面に、紫外線硬化性の樹脂形成組成物Ａを付与し、封着された透明板を通して紫外線を照射し該樹脂形成組成物Ａを硬化樹脂Ａとすることにより、該中空ケース内面の少なくとも一部及び該ケース内の金属製リード端子と樹脂部分との境界部分を硬化樹脂により被覆する工程である上記［９］又は［１０］に記載の固体撮像装置の製造方法。
一方、上記［６］の製造方法における硬化性樹脂形成組成物Ｂが、下記［１２］〜［１３］に記載のいずれかであると、好ましい。
［１２］上記硬化性樹脂形成組成物Ｂの粘度が１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以上であることを特徴とする上記［６］〜［１１］のいずれか１つに記載の固体撮像装置の製造方法。
［１３］該硬化樹脂形成組成物Ｂが紫外線硬化性であることを特徴とする上記［６］〜［１２］のいずれか１つに記載の固体撮像装置の製造方法。
上記［１３］に示した硬化性樹脂形成組成物Ａが紫外線硬化性であるとき、中でも下記の製造方法が好ましい。
［１４］上記工程（ii）が、上記中空ケース上面と透明板との間に紫外線硬化性の樹脂形成組成物Ｂを付与し、該透明板を通して紫外線を照射し該樹脂形成組成物を硬化樹脂とすることにより該ケースを閉塞する工程である固体撮像装置の製造方法。
上記［６］〜［１４］に示す製造方法によれば、本発明の固体撮像装置、好ましくは上記［２］〜［５］に示す固体撮像装置を、容易に製造することができる。
【０００５】
このようにして、［１５］の固体撮像装置が製造される。
また、本発明は、下記［１６］に示す固体撮像装置を提供する。
［１６］底板とその周縁に略垂設された側壁により構成される凹部を有する樹脂製のケース本体、前記底板の内底面上に設けられ、固体撮像素子を固定するためのアイランド、前記アイランド上に固定された固体撮像素子、前記凹部内から前記側壁を貫通して前記ケース本体の外部に延びたリード端子、前記固体撮像素子と前記リード端子とを接続するボンディングワイヤ、前記アイランドの幅方向両端に接触し、前記アイランドの長手方向に沿って延びた一対の突起部（突堤部）、及び突起部のそれぞれの外側側面に接触した第１の硬化樹脂とを備えることを特徴とする固体撮像装置。
一対の突起部はアイランドの幅方向の移動を規制することができる。固体撮像素子の受光面は露出しており、十分な光量の光を当該受光面に入射させることができる。第１の硬化樹脂は、突起部の外側の側面によって堰き止められており、受光面上には存在しない。したがって、本固体撮像装置によれば、正確な撮像をすることができる。
【０００６】
また、本発明は、下記［１７］に示す固体撮像装置を提供する。
［１７］ケース本体の凹部を閉塞する透明板と、ケース本体と透明板との間に介在した第２の硬化樹脂とを備える上記［１６］に記載の固体撮像装置。第２の硬化樹脂は透明板とケース本体とを接着することができる。
また、本発明は、下記［１８］に示す固体撮像装置を提供する。
［１８］第１の硬化樹脂と第２の硬化樹脂とが連続している上記［１７］に記載の固体撮像装置。
第１の硬化樹脂と第２の硬化樹脂とは同一工程で塗布することができ、構造が単純化される。
また、本発明は、下記［１９］に示す固体撮像装置を提供する。
［１９］第１の硬化樹脂が、ボンディングワイヤとリード端子との接続部を被覆している上記［１６］〜［１８］のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
第１の硬化樹脂が接続部を被覆するため、この接続部の劣化を防止することができる。
【発明の効果】
【０００７】
上記記載の発明によれば、ダストによる固体撮像素子の誤動作を防止し、中空ケース内の気密性をより確実にすることができる。このためにケース外から水分が侵入してケース内で露結を防止することも可能となる。また、本発明によれば、透明板を封止した後の固体撮像装置の反りを著しく低減化することが可能となる。このような効果を併せ持つ固体撮像装置は、低コスト化が期待できる樹脂製中空ケースを備えた固体撮像装置の中でも、より実用性の優れた固体撮像装置を提供することができる。したがって、本固体撮像装置によれば、正確な撮像をすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、実施の形態に係る固体撮像装置及びその製造方法について説明する。同一要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【０００９】
本発明の固体撮像装置の一実施態様は、略矩形の樹脂製底板２２とその周縁に略垂設された樹脂製側壁２４とから一体に形成されると共に、金属製リード端子４０が挿設され、開口部が透明板２６により閉塞可能な樹脂製中空ケース２０であって、中空ケース２０内面の樹脂部分の少なくとも一部及びリード端子４０と樹脂部分との境界部が樹脂形成組成物を硬化した硬化樹脂３２によって被覆されている。
【００１０】
また、本発明の固体撮像装置の製造方法の一実施態様は、略矩形の樹脂製底板２２とその周縁に略垂設された樹脂製側壁２４とから一体に形成されると共に、金属製リード端子４０が挿設され、開口部が透明板２６により閉塞可能な樹脂製中空ケース２０の内底面に固体撮像素子１２を固定する工程、固体撮像素子１２の電極と金属製リード端子４０をボンディングワイヤ４２によって電気的に接続する工程、及び、中空ケース２０の内面に樹脂形成組成物を付与し硬化樹脂３２を形成させることにより、樹脂製ケース２０の内面の樹脂部分の少なくとも一部及びケース内のリード端子４０と樹脂部分との境界部を硬化樹脂により被覆する工程をこの順に含んでいる。
【００１１】
図１は、図２に示す固体撮像装置をリード端子の挿設部分において切断した断面概略図（Ｉ−Ｉ矢印断面図）である。
【００１２】
図１に示す本発明の固体撮像装置１０は、固体撮像素子１２を収納する樹脂製中空ケース２０、この中空ケースの開口部を閉塞する透明板２６を有し、この中空ケース２０の内部底面に設けられた金属製アイランド３０（以下、単に「アイランド」ともいう。）を固体撮像素子１２を固着するために有している。固体撮像素子１２は、透明板２６を通して撮像装置外から入射する光を撮像可能であり、この固体撮像素子１２が入射光に応答して記録された電気的情報は、固体撮像素子１２と電気的に接続されたリード端子４０等を通して、固体撮像装置１０外に取り出すことができる。
【００１３】
リード端子４０の替わりに、電極パッドに金属突起を設け、絶縁性フィルムと導体配線からなる配線基板が前記金属パッドを介して電気的に接続されるようにしても良い。
【００１４】
固体撮像素子１２は、入射光に応答して信号電荷を発生する画素の配列と画素配列の信号電荷を順次読み出す機能を有する読み出し部を有する。固体撮像素子は、好ましくは多数の画素配列を有する半導体撮像素子であり、一次元状画素配列の一次元イメージセンサ（リニアセンサ）と二次元状画素配列の二次元イメージ配列センサ（エリアセンサ）に大別される。本発明の固体撮像装置又はその製造方法には、固体撮像素子としてリニアセンサもエリアセンサも使用できるが、リニアセンサが好ましく使用できる。撮像素子としては、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ、ＣＭＤ、チャージインジェクションデバイス、赤外イメージセンサ等が例示できる。また、リニアセンサの代表的な長さは、２〜１５ｃｍであり、好ましくは３〜１０ｃｍである。
【００１５】
本発明の固体撮像装置としては、ファクシミリ、スキャナ、バーコードリーダーが例示できる。
【００１６】
樹脂製中空ケース２０は、略矩形の樹脂製底板２２と底板２２の周縁に略垂設された樹脂製側壁２４とから一体に形成されている。略矩形の樹脂製底板２２及び樹脂製側壁２４は機械的強度を具備するようにどちらも適当な厚さを有している。
【００１７】
樹脂製底板２２が「略矩形」とは、正方形及び矩形の形状の他にほぼ矩形の形状を含む意である。「ほぼ矩形」とは、平行な長辺を有するが、短辺が直線であっても長辺と直交していないか、又は短辺が直線でない形状、及び、きわめて縦長の楕円を含む意である。その他に、平行な長辺を有する中空ケース２０の底板形状は、矩形の四隅を欠いた形状、矩形の角が丸みを帯びている形状、あるいは短辺が直線ではなく半円状の形状も上記の「ほぼ矩形の形状」に含まれる。
【００１８】
樹脂製側壁２４は略矩形の樹脂製底板２２の周縁に略垂設されている。樹脂製側壁２４が樹脂製底板２２と接する形状と外形面積は樹脂製底板２２のそれらとほぼ同一である。「略垂設」とは、厳密に垂直に設けられた樹脂製側壁の他に、開口部に向かってやや広がって設けられた樹脂製側壁をも含む意である。「やや広がって」とは垂直方向から４５°以内、好ましくは３０°以内の傾斜を有することを言う。
【００１９】
以上の樹脂製底板の形状と樹脂製側壁の設置角度とを任意に組み合わせて中空ケースの全体形状とすることができる。中空ケースは、前記全体形状にかかわらず、中空ケース２０の内底面に金属性アイランドを設置することのできる領域を有する。
【００２０】
本発明に使用する樹脂製中空ケース２０には金属製リード端子４０が挿設（埋設）される。
【００２１】
リード端子４０は、固体撮像装置と外部回路とを電気的及び機械的に接続する。リード端子４０は金属製であり、金属製の公知のものを使用することができる。金属としては銅、銅合金、鉄合金が例示でき、銅や鉄５８％ニッケル４２％の合金である４２アロイを好ましく使用できる。これらの金属（合金）はメッキを施して使用することができ、メッキの材質としては、金、銀、ニッケル及びはんだが例示できる。
【００２２】
リード端子４０は、リードフレームを用い、中空ケース２０の成形時に樹脂組成物と一体に成形し、その後曲げや切断等の加工を施し、リード端子とするのが好ましい。
【００２３】
アイランド３０上に固着された固体撮像素子１２は、読み出した信号電荷を固体撮像装置１０の外部に導くためのリード端子４０と接続される。図１において、固体撮像素子１２は、ボンディングワイヤ４２でリード端子４０と接続されている。固体撮像素子から読み出した信号電荷を固体撮像装置の外部に導くために、ボンディングワイヤ等により該固体撮像素子の電極とリード端子とを接続している。ボンディングワイヤ４２は金属細線であり、金、アルミニウム、銅及びそれらを主成分とする合金からなるのが好ましい。ボンディングワイヤの接続方法は、導線の材質等によるが、ボールボンディング法やウェッジボンディング法等が挙げられる。
【００２４】
ボンディングワイヤ等による電気的配線を行った後に中空ケース２０の開口部を透明板２６で封着して固体撮像装置１０が得られる。封着には、放射線硬化性、湿気硬化性、又は熱硬化性の樹脂形成組成物を使用することができ、後に詳述する。
【００２５】
樹脂製側壁２４の開口部の内側周縁には、透明板をはめ込む切り込みを設けても良い。
【００２６】
中空ケース２０は透明板２６により閉塞される。ここで、透明板とは、撮像に使用する入射光、一般には可視光（４００〜７００ｎｍ）及び近赤外域において透過率が８０％以上、好ましくは９０％以上の板状部材をいう。撮像装置がバーコードリーダーである場合には、赤色半導体レーザの波長６５０ｎｍにおける透過率が重要である。
【００２７】
透明板２６の材質としては、ガラス、アクリル樹脂、ポリカーボネート、シクロオレフィン単位含有ポリマーが例示できる。
【００２８】
中空ケース開口部を透明板２６で閉塞した後に、熱硬化性又は光硬化性の接着剤ＲＥによりこの開口部を封止することができる。透明板２６を通して紫外線を照射してケース内面被覆用及び透明板封止用の樹脂形成組成物３２を硬化しても良い。ケース内面被覆用樹脂形成組成物３２を熱硬化した後に、透明板封止用の樹脂形成組成物（接着剤ＲＥ）を光硬化することもできる。ガラス又はシクロオレフィン単位含有ポリマーからなる透明板２６は、紫外線透過性及び耐熱性の観点から好ましく用いられる。
【００２９】
この中空ケース内面の樹脂部分の少なくとも一部及びリード端子４０と樹脂部分（ケース内面）の境界部は樹脂形成組成物を硬化した硬化樹脂３２によって被覆されている。この硬化樹脂３２による被覆により、中空樹脂ケース成形の際に生じたバリに基づくダストがケース内に混在していても、その飛散を防止することができ、かつ開口部に透明板２６を封止して閉塞された中空ケースの気密性をより確実にすることができるので撮像素子の誤動作が防止できる。ダストの発生を防ぐ目的及び気密性を向上させる目的からは、図１に図示されるように、中空ケース内面のすべて又はほとんどすべての樹脂部分並びに該樹脂部分／金属製リード端子部分の境界部のすべて及びリード端子４０の表面のすべてが硬化樹脂３２によって被覆されていることが好ましい。ここで、「ほとんどすべて」とはケース内面の樹脂部分の８０％以上をいう。
【００３０】
本発明の固体撮像装置の製造方法の一実施態様は、前記樹脂製中空ケース２０の内底面に固体撮像素子１２を固着する工程、固体撮像素子１２の電極と金属製リード端子４０をボンディングワイヤ４２によって電気的に接続する工程に引き続いて、中空ケース２０の内面に樹脂形成組成物を付与し硬化樹脂３２を形成させることにより、樹脂製ケース内面の樹脂部分の少なくとも一部及び該ケース内のリード端子４０と樹脂部分との境界部を硬化樹脂３２により被覆する工程を有する。
【００３１】
固体撮像素子１２を固着する前に中空ケース２０を洗浄することが好ましい。この洗浄には、超音波洗浄、ジェット洗浄、スプレー洗浄等の公知の洗浄方法を使用することができる。
【００３２】
透明板封止用及び中空ケース内面被覆用の硬化樹脂３２としては、公知の熱硬化性樹脂、湿気硬化性樹脂、可視光硬化性樹脂及び紫外線硬化性樹脂を使用することができ、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ユリア・メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、アクリレート樹脂などを例示することができる。これらの樹脂を形成する樹脂形成組成物は、樹脂を形成するモノマーやオリゴマーやポリマーに対して、必要に応じて重合開始剤、架橋剤、反応促進剤等の添加剤、シリカ等の無機充填材等を用途に合わせて適宜組み合わされたものからなる。透明板封止用の硬化樹脂、中空ケース内面被覆用の硬化樹脂には同一のものを用いても良いし、それぞれ別の硬化樹脂を用いても良い。
【００３３】
透明板封止用及び中空ケース内面被覆用の硬化樹脂３２としては、短時間で硬化させることができることから、上記の各種硬化性樹脂のうち紫外線硬化性樹脂を使用することが好ましく、透明板封止用及び中空ケース内面被覆用の硬化樹脂の両者が紫外線硬化性樹脂であることが最も好ましい。透明板封止用の硬化樹脂と中空ケース内面被覆用の硬化樹脂の両方が紫外線硬化性樹脂である場合、中空ケース内面を被覆した樹脂形成組成物と透明板を封止する樹脂形成組成物を、中空ケース上面を透明板で閉塞した後にケース上面から紫外線を照射することにより同時に硬化させることができ、製造コストを削減することができる。
【００３４】
紫外線硬化性樹脂としては、アクリレートモノマー、ポリエステルアクリレートオリゴマー、ウレタンアクリレートオリゴマー、エポキシアクリレートオリゴマーなどからラジカル重合によって形成されるアクリレート樹脂、エポキシ化合物、オキタセン化合物などからカチオン重合によって形成されるエポキシ樹脂、ポリシロキサン誘導体からラジカル重合あるいはカチオン重合によって形成されるシリコーン樹脂などが挙げられる。これらのなかで、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂が好ましく用いられる。
【００３５】
本発明で使用する紫外線硬化性の樹脂形成組成物は、紫外線（数十〜４００ｎｍ）の照射により硬化するものであれば良く、可視光（４００超〜７００ｎｍ）硬化性、熱硬化性、又は湿気硬化性の性質を併せ持つものでも良い。
【００３６】
中空ケース内面被覆用の紫外線硬化性の樹脂形成組成物は、紫外線の照射による硬化重量変化率（硬化前の樹脂形成組成物重量に対する硬化後の硬化樹脂の重量の百分率）が、９９．８％以上１００％以下であることが好ましく、９９．９％以上１００％以下であることがより好ましい。また、本発明の固体撮像装置としては、かかる硬化重量変化率を示す紫外線硬化性の樹脂形成組成物を、中空ケース内面の所定の部位に付与し、紫外線を照射して該所定の部位が被覆されてなることが好ましい。硬化後の硬化樹脂の重量が、硬化前の樹脂形成組成物の重量よりも大きく減少する場合、硬化時に揮発した成分が固体撮像素子に悪影響を及ぼす可能性があり、また、透明板を通して紫外線を照射した場合には揮発した成分が透明板に付着して曇りを生じる恐れがある。
【００３７】
該硬化重量変化率は以下の条件で測定する。硬化後の硬化樹脂の重量とは、直径約２５ｍｍの上面が開放されたガラス製の容器に、厚さ約３ｍｍとなるよう入れられた硬化前の樹脂形成組成物に対し、約３，０００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線（３６５ｎｍ）を２３℃、５０％ＲＨの雰囲気で照射して硬化させた硬化樹脂の硬化直後の重量であり、硬化前の樹脂形成組成物の重量とは、密閉された紫外線遮蔽性容器から出して上記ガラス製容器に入れた直後の樹脂形成組成物の重量である。
【００３８】
中空ケース開口部を封止するために使用する硬化樹脂も、上記の硬化重量変化率を有していることが好ましい。
【００３９】
樹脂形成組成物を中空ケース内面の少なくとも一部及び該リード端子４０と樹脂部分との境界部に付与する方法としては、ディスペンサを使用して樹脂形成組成物を中空ケース内にノズルから注入する方法が例示される。
【００４０】
図２は、固体撮像装置１０の平面図である。図３は、図２に示す固体撮像装置１０の斜視図である。同図では透明板は外してある。
【００４１】
金属製アイランド３０は、任意的な部材であり、固体撮像素子１２を固着するための平坦部として使用することができる。金属製アイランド３０を設ける場合、断面凹状の樹脂製中空ケース２０の内底面上にこれに接触するように形成することができる。このアイランド３０上に固体撮像素子１２を固着することができる。この固定手段には特に制限はない。固体撮像素子１２は接着剤、ハンダ等でアイランドに固着することができ、接着剤で固着することが好ましく、絶縁性の接着剤で固着することがより好ましい。固体撮像素子１２を固着するために使用する接着剤は、熱伝導率が高いことが好ましく、熱伝導率が１Ｗ／ｍＫ以上であることがより好ましく、３Ｗ／ｍＫ以上であることが更に好ましい。
【００４２】
中空ケースの内底面は、樹脂形成組成物を硬化した硬化樹脂３２によって被覆されている。
【００４３】
金属製アイランド３０を設ける場合、その形状は特に制限されないが、４以上の縦横比を有する矩形であることが好ましく、４〜１００の縦横比を有することがより好ましい。
【００４４】
アイランド長手方向の側縁の一箇所以上に隣接した切り欠きを設けることも好ましい。この隣接する切り欠きは、アイランドの対向する長辺の反対側から交互に設けられている。また、この切り欠きはアイランドの長手方向に一様に設けられてはおらず、隣接する切り欠き群を複数設ける場合には、一定の距離をおいてとびとびに設けることが好ましい。
【００４５】
アイランド３０は金属製であるが、金属としては銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、鉄合金が例示でき、銅、アルミニウム、アルミニウム合金、金メッキされた銅及び４２アロイを好ましく使用できる。アイランド３０は、長手方向に垂直な方向に突出した突出部を有していてもよく、該突出部はその一部をケースに埋設されて固定されたアイランド押さえ部を形成していてもよい。
【００４６】
本発明に使用する樹脂製中空ケースは、射出成形法、射出圧縮成形法、圧縮成形法、トランスファー成形法等により形成することができる。成形に使用できる樹脂は、成形可能な熱硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂に大別でき、いずれの樹脂も難燃性、電気絶縁性、強度・剛性の観点から選択することが好ましい。成形サイクルが短縮でき、成形コストが削減できるという観点からは、熱可塑性樹脂を使用し、射出成形法で中空ケースを形成することが好ましい。
【００４７】
中空ケースを製造するために使用できる熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂及び不飽和ポリエステル樹脂等が例示でき、フェノール樹脂、エポキシ樹脂が好ましく使用される。
【００４８】
また本発明に使用できる熱可塑性樹脂としては、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、フッ素樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、液晶性ポリマー、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂等が例示でき、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、液晶性ポリマーが好ましく使用される。これらの樹脂は単独で用いてもポリマーアロイとして複数を同時に用いても良い。液晶ポリマーは、流動性、耐熱性及び剛性に優れているために本発明において好ましく使用できる。
【００４９】
上記の樹脂の概要については、「高分子大辞典」（丸善株式会社発行、平成６年９月２０日）及びそれに引用された文献などに記載されている。
【００５０】
本発明に使用する中空ケースを形成する場合に、樹脂に適当な充填剤を加えた樹脂組成物を使用することができる。使用する充填剤は、強度や剛性、耐熱性の向上、寸法精度向上、線膨張係数低下等の目的から、適宜選択することができる。このような目的で使用することができる充填剤としては、ガラス繊維（ミルドガラスファイバー、チョップドガラスファイバーなど）、ガラスビーズ、中空ガラス球、ガラス粉末、マイカ、タルク、クレー、シリカ、アルミナ、チタン酸カリウム、ウォラストナイト、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、硫酸ソーダ、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、亜硫酸カルシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム、珪酸カルシウム、けい砂、けい石、石英、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化鉄、グラファイト、モリブデン、アスベスト、シリカアルミナ繊維、アルミナ繊維、石膏繊維、炭素繊維、カーボンブラック、ホワイトカーボン、珪藻土、ベントナイト、セリサイト、シラス、黒鉛などの無機フィラー、チタン酸カリウムウィスカ、アルミナウィスカ、ホウ酸アルミニウムウィスカ、炭化珪素ウィスカ、窒化珪素ウィスカなどの金属ウィスカ又は非金属ウィスカ類などを例示することができる。なお、遮光効果及びケース内部での光の乱反射防止効果等が得られるカーボンブラックを用いるのが好ましい。
【００５１】
次に、樹脂製ケース内面の少なくとも一部及びケース内のリード端子と樹脂部分との境界部を被覆する硬化樹脂３２について詳説する。
【００５２】
本発明の固体撮像装置１０の製造方法の一実施態様は、略矩形の樹脂製底板２２とその周縁に略垂設された樹脂製側壁２４とから一体に形成されると共に、金属製リード端子４０が挿設され、開口部が透明板２６により閉塞可能な樹脂製中空ケース２０を成形する工程、ケースの内底面に固体撮像素子１２を固着する工程、固体撮像素子１２の電極と金属製リード端子４０をボンディングワイヤ４２によって電気的に接続する工程、及び、中空ケース２０の内面に樹脂形成組成物を付与し硬化樹脂３２を形成させることにより、樹脂製ケース内面の少なくとも一部及び該ケース内のリード端子４０と樹脂部分との境界部を硬化樹脂３２により被覆する工程を、この順に含む固体撮像装置の製造方法であって、樹脂形成組成物の粘度が、２５℃において、１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以下である。
【００５３】
ここで、樹脂形成組成物の粘度は、ＪＩＳ  Ｋ７２３３に記載の単一円筒回転粘度計法に準拠して測定するものとする。樹脂形成組成物の粘度が１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以下であると、ケース２０内に供給された樹脂形成組成物の流動性が十分であり、短時間にケース２０内に薄膜として広がるため好ましい。
【００５４】
なお、中空ケース２０の形成後、固体撮像素子１２を固定する前に中空ケース２０を洗浄し、乾燥することが好ましい。この洗浄には、超音波洗浄、ジェット洗浄、スプレー洗浄等の公知の洗浄方法を使用することができる。
【００５５】
中空ケース内面被覆用の樹脂形成組成物は、２５℃における粘度が１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以下であることが好ましく、１０〜１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃであることがより好ましく、１０〜５，０００ｍＰａ・ｓｅｃであることがさらに好ましい。ここで、上記の粘度はＪＩＳ  Ｋ７２３３に記載の単一円筒回転粘度計法に準拠した測定により得られる値である。
【００５６】
硬化前の樹脂形成組成物の粘度が高いと、ディスペンサ（液体精密定量吐出装置）等での樹脂製ケース内面への樹脂形成組成物の付与に対する作業性が低下したり、気泡が混入したり、ケース内面を被覆した樹脂形成組成物の厚みが厚くなることにより紫外線照射による硬化が不十分となる恐れがある。
【００５７】
また、樹脂形成組成物の粘度調節若しくは体積収縮率の調節のため、又は、硬化樹脂のデュロメータＡ硬さを調節するために、単官能の硬化性成分を適宜多官能の硬化性成分に併用することができる。
【００５８】
透明板により開口部を封止するために、上記の中空ケース内面被覆用の硬化樹脂を使用することができる。透明板封止用の硬化樹脂、中空ケース内面被覆用の硬化樹脂には同一のものを用いても良いし、それぞれ別の硬化樹脂を用いても良い。
【００５９】
本発明に使用する硬化樹脂は、所定の押し込み硬さを有することが好ましい。
【００６０】
中空ケース内面被覆用の硬化樹脂３２は、ＪＩＳ  Ｋ７２１５に規定されるデュロメータ硬さ（ショア硬さ）がタイプＡで（「デュロメータＡ硬さ」ともいう。）８０以下であることが好ましく、１〜５０であることがより好ましく、１〜３０であることがさらに好ましい。デュロメータ硬さが上記の範囲であると、硬化樹脂が適度の硬さを有するために、硬化樹脂３２が樹脂製ケース内壁から剥離してダストを発生したりすることがなく、ケース内の気密性の低下を引き起こすこともなく、リード端子４０と撮像素子１２を接続するボンディングワイヤ４２の切断等を引き起こす恐れもないので好ましい。
【００６１】
開口部を透明体により封止ための接着層に用いる硬化樹脂（接着剤ＲＥ）も又デュロメータＡ硬さが８０以下であることが好ましく、１〜５０であることがより好ましく、１〜３０であることがさらに好ましい。接着剤ＲＥが上記デュロメータＡ硬さを有すると、接着層が適度の硬さを有するために、樹脂製ケース２０と透明板２６との線膨張係数の違いから生じる、透明板２６を封止した後における固体撮像装置の反りの発生を防止することができ、撮像素子の撮像性能に支障をきたす恐れを防止できるので好ましい。
【００６２】
体積収縮率は、ＪＩＳ  Ｋ６９０１：１９９９の付属書３に規定の方法に準じて、室温で硬化する樹脂の扱いを適用して、樹脂形成組成物及びこれを硬化した硬化物の密度を測定しこれらの値に基づき以下の式により体積収縮率を算出する。
【００６３】
体積収縮率＝（（Ｄ２−Ｄ１）／Ｄ２）×１００
【００６４】
ここで、Ｄ１は硬化する前の樹脂形成組成物の密度を示し、Ｄ２は硬化した硬化物の密度を示す。ＵＶ硬化反応は、主波長が３６５ｎｍの水銀灯を使用し、３，０００ｍＪ／ｃｍ2以上の紫外線を照射して得られた硬化樹脂について２３±０．１℃において測定するものとする。
【００６５】
室温より高い温度で硬化する樹脂組成物についても、上記付属書３に規定された方法により体積収縮率を測定することができる。具体的な測定操作は、エポキシ樹脂又は不飽和ポリエステル樹脂について規定された操作に準じる。
【００６６】
本発明に使用する樹脂形成組成物は、硬化に伴う体積収縮率が５％以下であることが好ましく、より好ましくは４％以下である。
【００６７】
体積収縮率が、上記の範囲であると、硬化樹脂の形成に伴って、ワイヤボンディングを傷めたりする懸念がなく、又、生成した硬化樹脂がケース内面から剥離したりしないので中空ケースの気密性が安定に維持できるので好ましい。
【００６８】
中空ケース開口端を、熱硬化性又は光硬化性の接着剤等により封止することができる。透明板を通して紫外線を照射してケース内面被覆用及び透明板封止用の樹脂形成組成物を同時に硬化しても良い。ケース内面被覆用樹脂形成組成物を熱硬化した後に、透明板封止用の樹脂形成組成物を光硬化することもできる。
【００６９】
次に、透明板をケースに貼り付ける接着剤ＲＥについて説明する。
【００７０】
本発明の固体撮像装置の製造方法の一実施態様は、略矩形の樹脂製底板２２及び底板２２の周縁に略垂設された樹脂製側壁２４とから一体に形成されると共に、金属製リード端子４０が挿設され、開口部を有する樹脂製中空ケース２０を成形する工程、固体撮像素子１２を中空ケース２０の内底面に固着する工程、固体撮像素子１２の電極と金属製リード端子４０を電気的に接続する工程、及び、中空ケースの開口部へ接着剤ＲＥを付与し、透明板２６により開口部を閉塞した後に、接着剤ＲＥを硬化させ開口部を封止する工程を含む固体撮像装置の製造方法であって、該接着剤ＲＥの粘度が１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以上であり、硬化後の接着剤ＲＥのデュロメータ硬さがＡスケールで８０以下である。
【００７１】
以下、詳説する。
本発明の固体撮像装置の製造方法で用いる接着剤ＲＥは、粘度が１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以上であることが好ましく、硬化後のデュロメータ硬さがＡスケールで８０以下であることが好ましい。ここで、接着剤ＲＥの粘度は、ＪＩＳ  Ｋ７２３３に記載の単一円筒回転粘度計法に準拠して測定するものとする。また、硬化後の接着剤ＲＥのデュロメータ硬さは、ＪＩＳ  Ｋ７２１５に記載の押込み硬さ測定法に準拠して測定するものとする。
【００７２】
本発明に使用する接着剤は、２５℃における粘度が１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以上であることが好ましく、１０，０００〜１５０，０００ｍＰａ・ｓｅｃであることがより好ましく、３０，０００〜１００，０００ｍＰａ・ｓｅｃであることがさらに好ましい。ここで、上記の粘度はＪＩＳ  Ｋ７２３３に記載の単一円筒回転粘度計法に準拠した測定により得られる値である。接着剤の粘度が１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以上であると、該中空ケースと透明板との間の接着剤層が十分な厚さを有し、該中空ケースに反りや歪みが発生しにくいため好ましい。
【００７３】
また、本発明に使用する接着剤ＲＥは、硬化後のデュロメータ硬さ（ショア硬さ）がタイプＡ（Ａスケール）で（「デュロメータＡ硬さ」ともいう。）８０以下であることが好ましく、１〜５０であることがより好ましく、１〜３０であることがさらに好ましい。ここで、上記のデュロメータ硬さは、ＪＩＳ  Ｋ７２１５に記載の押し込み硬さ測定法に準拠した測定により得られる値である。硬化後の接着剤のデュロメータ硬さが８０を超える値であると、樹脂製ケースと透明板との線膨張係数の違いから生じる、開口部を封止した後の固体撮像装置における反りの発生を防止することができず、固体撮像素子の撮像性能を低下させる。
【００７４】
接着剤ＲＥを該中空ケースの開口部へ付与する方法としては、公知の方法を用いることができ、ディスペンサを使用して目的部位に接着剤をノズルから付与する方法が例示される。
【００７５】
本発明に使用する接着剤ＲＥとしては、上記の粘度及デュロメータ硬さを満たす放射線硬化性、湿気硬化性、又は熱硬化性の接着剤を使用することができ、紫外線硬化性樹脂、可視光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、及び、湿気硬化性樹脂を使用することが好ましい。
【００７６】
また、本発明で使用する接着剤は、紫外線（数十〜４００ｎｍ）硬化性、可視光（４００超〜７００ｎｍ）硬化性、熱硬化性、又は湿気硬化性の性質を併せ持つものでも良い。
【００７７】
これらの樹脂の具体例として、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ユリア・メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂などを例示することができる。
【００７８】
中でも本発明に使用する接着剤としては、紫外線硬化性樹脂を使用することが好ましい。接着剤が紫外線硬化性樹脂であると、短時間で硬化させることができることから生産性に優れ、かつ硬化時にケースや透明板２６の温度上昇が低いことから、該中空ケース２０と透明板２６との線膨張係数の差により生じる反りや歪み等のストレスが発生しにくい。
【００７９】
紫外線硬化性樹脂は上述の通りである。
【００８０】
本発明に使用する接着剤には、必要に応じて重合開始剤、架橋剤、反応促進剤等の添加剤、シリカ等の無機充填材、ゴム成分等を用途に合わせて添加してもよく、これらの添加剤や充填材等を適宜組み合わせて使用してもよい。
【００８１】
また、接着剤の粘度調節のため、又は、硬化後の接着剤のデュロメータＡ硬さを調節するために、単官能の硬化性成分を適宜多官能の硬化性成分とすることができ、また、それらを併用することもできる。
【００８２】
本発明の固体撮像装置の製造方法の一実施態様は、略矩形の樹脂製底板２２及び底板２２の周縁に略垂設された樹脂製側壁２４とから一体に形成されると共に、金属製リード端子４０が挿設され、開口部を有する樹脂製中空ケース２０を成形する工程、固体撮像素子１２を中空ケース２０の内底面に固着する工程、固体撮像素子１２の電極と金属製リード端子４０を電気的に接続する工程、及び、中空ケース２０の開口部へ接着剤ＲＥを付与し、透明板２６により開口部を閉塞した後に、接着剤ＲＥを硬化させ開口部を封止する工程を含む。上記の各工程はそれ自体一般的な工程であり、公知の方法を用いることができる。
【００８３】
本発明に使用する中空ケース２０を形成する場合に、樹脂に適当な充填剤を加えた樹脂組成物を使用することができる。
【００８４】
以下、上述の固体撮像素子収納用ケースを備えた固体撮像装置の具体的な構成について説明する。
【００８５】
図４は、固体撮像素子収納用ケースを備えた固体撮像装置の詳細な分解斜視図である。
【００８６】
図４に示す本発明の固体撮像装置１０は、底板２２（図４には不図示、図１及び３等参照）とその周縁に略垂設された側壁２４により構成される凹部を有する樹脂製のケース本体２０、前記底板２２の内底面上に設けられ、固体撮像素子１２を固定するためのアイランド３０、前記アイランド３０上に固定された固体撮像素子１２、前記凹部内から前記側壁２４を貫通して前記ケース本体２０の外部に延びたリード端子４０、前記固体撮像素子１２と前記リード端子４０とを接続するボンディングワイヤ４２（図４には不図示、図１〜３等参照）、前記アイランド３０の幅方向両端に接触し、前記アイランド３０の長手方向に沿って延びた一対の突起部１０１（図４には不図示、図５〜７等参照）、及び前記突起部１０１のそれぞれの外側側面に接触した第１の硬化樹脂３２を備えることを特徴とする。
また、図４において、固体撮像素子収納用ケース１００は、固体撮像素子１２が内部に配置されるべき収納用凹部ＤＰを有し、長手方向Ｘの寸法が幅方向の寸法の３倍以上の樹脂製のケース本体（中空ケース）２０と、収納用凹部ＤＰの内部からケース本体２０の長手方向Ｘに平行な側壁２４を介して外部に延びた複数のリード端子４０を備えている。
【００８７】
この固体撮像装置は、固体撮像素子収納用ケース１００と、収納用凹部ＤＰ内に設けられた固体撮像素子１２と、収納用凹部ＤＰの開口を塞ぐ透明板２６とを備えている。図４におけるケース本体の長手方向と短手方向のアスペクト比は高く、３以上である。アスペクト比の高いケース本体２０の材料として液晶ポリマーを用いると、長手方向に揃った高分子の配向状態を得ることができ、耐熱性、強度特性、低熱膨張性に優れることとなる。また、上述のように、好適には、樹脂内に無機材料からなるフィラーを含む。すなわち、無機材料からなるフィラーが樹脂内に含まれることにより、更に剛性を高めることができる。液晶ポリマーと無機材料フィラーとの組み合わせにより相乗的に高剛性を有するケースを構成することができる。フィラーは、複数の繊維状体又は針状体からなり、個々の繊維状体又は針状体のアスペクト比は５以上であることが好ましい。
【００８８】
また、固体撮像素子１２のアスペクト比も３以上であることが好ましい。固体撮像素子１２は、一次元ＣＣＤ（ラインセンサ）である。アスペクト比の高い固体撮像素子１２は撓みやすいので、本発明は、このような固体撮像素子１２を使用する場合に特に効果的である。なお、固体撮像素子１２は、アイランド３０の長手方向両端部のみでアイランド３０に固定することとしてもよい。
【００８９】
固体撮像素子収納用ケース１００の長手方向両端部には、それぞれ補強部１０５が設けられている。補強部１０５は、側壁２４と一体的に形成されており、ケース本体２０の長手方向両端から、長手方向Ｘに沿って外方に突き出している。補強部１０５のＸＹ断面はケース本体２０の両端部と共に略Ｕ字型を構成している。補強部１０５は、側壁２４に垂直な方向の反りや撓みを抑制している。補強部１０５の内側の空間内には、リードフレームの一部が露出していてもよい。
【００９０】
ケース本体２０の側壁２４は、幅方向Ｙを深さ方向とし、長手方向Ｘに沿って延びた複数の凹部（肉盗み部：凹溝）１０４を有している。これにより、樹脂成形時の樹脂の流れを均一化し、且つ、軽量化を行うことができる。
【００９１】
図５は、スリット（切り欠き）１３２を有するアイランド３０を備えた固体撮像素子収納用ケース中央部の斜視図である。図６は、図５に示す固体撮像素子収納用ケースのｋ−ｋ断面図である。
【００９２】
ケース本体２０には、ケース本体２０の底板２２の長手方向Ｘに沿って底板２２と一体的に設けられた一対の樹脂製のリブ１０３が設けられている。一対のリブ１０３によって、これらの間に凹溝ＬＧＲが形成されている。ケース本体２０は、歪が生じやすいアスペクト比の高いものであって、且つ、樹脂からなるにも拘わらず、この装置では、長手方向Ｘの延びたリブ１０３を有することにより、ケース本体２０の長手方向Ｘに垂直な方向の反りや撓みを抑制することができる。リブ１０３の数は複数であることが好ましく、剛性を高める観点からは、リブ１０３は側壁２４の高さ方向Ｚの延長線上に位置することが好ましい。
【００９３】
固体撮像素子収納用ケース１００は、凹部ＤＰの底面上に設けられ、固体撮像素子１２が固定されるべきアイランド３０と、アイランド３０に連続しケース本体２０の長手方向に沿った側壁２４内へ延びたアイランド押さえ部３４とを備えている。アイランド押さえ部３４が側壁２４の内部へ延びているため、アイランド３０のケース本体２０に対する移動を規制することができ、したがって、アイランド３０のソリ（反り）及び固体撮像素子１２のソリを抑制し、その特性の劣化を抑制することができる。また、アイランド押さえ部３４を介して外部に放熱を行うこともできる。
【００９４】
アイランド３０は、その両端部を除く位置に、幅方向の一方端から他方端に向けて延びたスリット（切り欠き）１３２を備えている。スリット１３２の近傍のアイランド部分には容易に応力が集中して、このアイランド部分が撓み、また、膨張・収縮を吸収するため、固体撮像素子１２の撓みを抑制するこができる。
【００９５】
また、固体撮像素子収納用ケース２０は、アイランド３０に連続しケース本体２０の長手方向に沿った側壁２４内へ延びた少なくとも一対のアイランド押さえ部３４を備えている。一対のアイランド押さえ部３４は、長手方向Ｘに沿って離隔しており、スリット１３２は、一対のアイランド押さえ部３４間の中央位置Ｊの近傍に設けられている。アイランド押さえ部３４の位置は、アイランド３０の幅方向に沿ったアイランド押さえ部３４の中心線の位置で規定する。一対のアイランド押さえ部３４間の距離をＸ0とすると、一方のアイランド押さえ部３４の位置から中央位置Ｊまでの距離Ｘ1と、他方のアイランド押さえ部３４から中央位置Ｊまでの距離Ｘ2は、共にＸ0／２に等しい。
【００９６】
上述のように、一対のアイランド押さえ部３４が存在するため、アイランド３０のソリは抑制されるが、一対のアイランド押さえ部３４の位置が側壁２４に固定されているため、これらの間のアイランド３０の中央位置Ｊの近傍に応力がかかりやすくなる。この中央位置Ｊの近傍にスリット１３２が設けられているため、この位置で応力を吸収して、このアイランド部分が撓み、また、膨張・収縮を吸収するため、固体撮像素子１２の撓みを抑制するこができる。
【００９７】
スリット１３２は、第１のスリット１３２Ａ及び第２のスリット１３２Ｂを備え、第１のスリット１３２Ａは、アイランド３０の幅方向の一方端から他方端へ向けて延びており、第２のスリット１３２Ｂは、アイランドの幅方向の他方端から一方端へ向けて延びており、第１のスリット１３２Ａ及び第２のスリット１３２Ｂは、中央位置Ｊを挟んで配置されている。
【００９８】
この場合、第１のスリット１３２Ａの形成位置におけるアイランド３０の長手方向回りの捻れの向きと、第２のスリット１３２Ｂの形成位置におけるアイランド３０の長手方向回りの捻れの向きとが逆向きとなるため、アイランド３０の長手方向回りの捻れを相殺することができ、アイランド３０の両端部の長手方向回りの捻れを抑制するこができる。また、第１のスリット１３２Ａと第２のスリット１３２Ｂとの間のアイランド３０上の１点Ｐの回りに、第１のスリット１３２Ａ及び第２のスリット１３２Ｂが点対称の傾向を有するため、アイランド３０が長手方向の熱膨張をした場合に、アイランド３０の長手方向の中心線に対するアイランド３０の幅方向移動が抑制される。
【００９９】
スリット１３２の最深部Ｄは、曲面で構成されている。この曲面は、アイランド３０の厚み方向に平行なＺ軸を中心とした円筒面を部分的に含む。この場合、スリット１３２の形成部位におけるアイランド３０に応力が集中した場合、最深部Ｄにおける局所的な応力集中を緩和することができるため、アイランド３０の耐久性に優れることとなる。また、スリットの最深部が曲面で構成されることにより、成形時のバリ発生を低減することも可能となる。
【０１００】
スリット１３２の内部には、比較的軟らかい硬化樹脂３２が充填されており、スリット１３２の形成部位におけるアイランド３０が容易に撓み、また、膨張・収縮を吸収することができる。硬化樹脂３２は、ケース本体２０の内面部に塗布されており、また、リード端子４０とケース本体２０の内面との境界部にも塗布されている。硬化樹脂３２及びＲＥは、デュロメータ硬さがＡスケールで８０以下である。
【０１０１】
また、ケース本体２０は、アイランド３０の幅方向両端に接触する一対の突起部（突堤部）１０１を備えている。突起部１０１は、アイランド３０の長手方向に沿って延びている。一対の突起部１０１はアイランド３０の幅方向の移動を規制することができる。該突起部の短手方向の幅は、０．１〜１ｍｍであると好ましく、０．２〜０．５ｍｍであるとさらに好ましい。また、一対の突起部の幅はそれぞれ異なっていてもよい。ケース本体１００は、アイランド３０の長手方向に沿って延びた一対の凹溝ＳＧＲを備えており、各突起部１０１の側面は、それぞれ各凹溝ＳＧＲの一方の側面を構成している。すなわち、アイランド３０の側面に近接して、ケースの内底面に、その長手方向に沿って凹溝（溝）ＳＧＲが配設されている、なお、突起部１０１は、スリット１３２の形成位置には設けられておらず、スリット１３２の形成部位におけるアイランド３０が容易に変形できるようになっている。
【０１０２】
また、固体撮像素子１２の受光面は露出しており、十分な光量の光を当該受光面に入射させることができる。第１の硬化樹脂３２は、突起部１０１の外側の側面によって堰き止められており、受光面上には存在しない。したがって、本固体撮像装置によれば、正確な撮像をすることができる。
【０１０３】
透明板２６（図４参照）がケース本体２０の凹部ＤＰを閉塞しているが、ケース本体２０と透明板２６との間には第２の硬化樹脂ＲＥが介在している。すなわち、ケース本体２０と透明板２６との接合部に硬化樹脂ＲＥが存在する。第２の硬化樹脂ＲＥは透明板２６とケース本体２０とを接着することができる。
【０１０４】
また、第１の硬化樹脂３２と第２の硬化樹脂ＲＥとは連続している、すなわち、第１の硬化樹脂と第２の硬化樹脂とは一部が接していることが好ましい。第１の硬化樹脂３２と第２の硬化樹脂ＲＥとは同一工程で塗布することができるため、構造が単純化される。なお、第１の硬化樹脂３２は、ボンディングワイヤ４２とリード端子４０との接続部を被覆しており（図１参照）、この接続部の劣化を防止することができる。
【０１０５】
図７は、分割されたアイランドを備えた固体撮像素子収納用ケース中央部の斜視図である。
【０１０６】
一対のアイランド３０，３０はケース本体２０の長手方向に沿って離間している。すなわち、アイランド３０，３０は分離しており、双方のアイランド３０，３０の間のケース本体部位２０Ａにアイランドが固定されていないため、このケース本体部位２０Ａが撓み易く、また、膨張・収縮を吸収することができ、固体撮像素子１２の撓みを抑制するこができる。また、下部にアイランドのない固体撮像素子の中央部分は、素子の下部からケース内底面まで空洞であってもよく、また、図７に示すようなアイランドと同じ高さの樹脂部分が形成されていてもよい。
【０１０７】
図８は、固体撮像素子収納用ケースの製造方法を説明するための図である。
【０１０８】
上述の固体撮像素子収納用ケースの射出成形を行う場合、対向面間に上述のケース形状のキャビティを有する第１金型Ｍ１と第２金型Ｍ２との間に、樹脂ＲＥ１を流し込む。第１金型Ｍ１と第２金型Ｍ２はケース成形用金型を構成する。第１金型Ｍ１と第２金型Ｍ２との間には、リードフレーム５０が挿入される。
【０１０９】
第２金型Ｍ２は、Ｚ方向に延びたテーパ状の樹脂導入孔Ｍ２１を有しており、樹脂導入孔Ｍ２１の先端部からＸ方向に延びる連絡通路Ｍ２２を有している。連絡通路Ｍ２２の先端部は、ゲート部を構成し、ここからキャビティ内に樹脂ＲＥ１が導入され、樹脂はＸ方向に沿ってキャビティ内を流れていく。したがって、樹脂ＲＥ１が液晶ポリマーである場合には、これを構成する高分子の配向がＸ方向に揃ってくるため好ましい。
【０１１０】
樹脂の充填、固化の後、第１金型Ｍ１を貫通した複数のエジェクタピンＥＰで、固化した樹脂を第２金型Ｍ２方向へ押すと、固体撮像素子収納用ケースが完成する。すなわち、本発明の方法は、金型Ｍ１，Ｍ２のキャビティ部に樹脂を注入・固化する工程を含んでいる。しかる後、アイランド３０上に固体撮像素子１２を固着し、続いて、固体撮像素子１２とリード端子４０をボンディングワイヤで電気的に接続し、最後に、ケースの上部開口部を透明板２６にて封止し、上述の固体撮像装置が完成する。
【０１１１】
以上、説明した通り、上述の固体撮像装置の製造方法の一実施態様は、（I）略矩形の樹脂製底板２２及び底板２２の周縁に略垂設された樹脂製側壁２４とから一体に形成されると共に、金属製リード端子４０が挿設され、開口部が透明板２６により閉塞可能な熱可塑性樹脂製中空ケース２０を成形する工程と、（II）ケース２０の内底面に固体撮像素子１２を固着する工程と、（III）固体撮像素子１２の電極と金属製リード端子４０をボンディングワイヤによって電気的に接続する工程と、（IV）ケース開口部を透明板２６で閉塞する工程とを、この順番で備えている。
【０１１２】
また、（i）ケース内面に樹脂形成組成物Ａを付与して硬化させ硬化樹脂Ａ（３２）を形成させることにより、ケース内面の少なくとも一部及び／又はケース内の該リード端子４０とケース内面との境界部を硬化樹脂により被覆する工程、及び、（ii）ケースの開口部の透明板２６と接する部位へ硬化性樹脂形成組成物Ｂ（ＲＥ）を付与し、透明板２６により開口部を閉塞した後に、硬化性樹脂形成組成物Ｂを硬化させた硬化樹脂Ｂにより、開口部を封着する工程から選択される少なくとも１つの工程を有している。
【０１１３】
硬化性樹脂形成組成物Ａの粘度は５，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以下であることが好ましく、この硬化性樹脂形成組成物Ａは、硬化性樹脂形成組成物Ａの硬化に伴う体積収縮率が５％以下の紫外線硬化性組成物であることが好ましく、硬化性樹脂形成組成物Ａに紫外線照射して硬化樹脂Ａを形成する際に、硬化樹脂Ａの重量が、硬化前の硬化性樹脂形成組成物Ａの重量の９９．８％以上１００％以下である。
【０１１４】
なお、工程（i）は、中空ケース内面に、紫外線硬化性の樹脂形成組成物Ａを付与し、封着された透明板２６を通して紫外線を照射し樹脂形成組成物Ａを硬化樹脂Ａとすることにより、中空ケース内面の少なくとも一部及びケース内の金属製リード端子４０と樹脂部分との境界部分を硬化樹脂３２により被覆する工程である。
【０１１５】
また、上述のように、硬化性樹脂形成組成物Ｂの粘度は１０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ以上であることが好ましい。
【０１１６】
硬化性樹脂形成組成物Ｂは紫外線硬化性であることが好ましく、上記工程（ii）は、中空ケース上面と透明板２６との間に紫外線硬化性の樹脂形成組成物Ｂ（ＲＥ）を付与し、透明板２６を通して紫外線を照射し樹脂形成組成物を硬化樹脂とすることによりケースを閉塞する工程である。
【実施例】
【０１１７】
以下、実施例を挙げて、本発明を詳細に説明する。
【０１１８】
（比較例１）
銅合金に金メッキを施したリードフレームを金型内にインサートし、液晶性ポリマー（スミカスーパー  Ｅ６００８  Ｂ（住友化学（株）製））を射出成形することによりリード端子が挿設された樹脂製中空ケース（幅５０ｍｍ×奥行き１０ｍｍ×高さ４ｍｍ、厚さ２ｍｍ）を得た。得られた樹脂製中空ケースをクラス１０００のクリーンルーム内で超純水にて洗浄後、５００ｍｌの超純水中に浸漬して２０秒間の超音波洗浄（３８ｋＨｚ）を実施し、樹脂製中空ケースを取り出した後の水に存在するダストの数を測定した。ダスト数の測定には液中パーティクルカウンター  ＣＬＳ−７００（ＰＭＳ社製）を使用した。測定の結果、超音波洗浄後の水中に存在する大きさが２ミクロン以上のダストは約１，０３０個／ｍｌであった。
【０１１９】
（実施例１）
比較例１で得られた樹脂製中空ケース内面に、ディスペンサを使用して紫外線硬化性のシリコーン樹脂形成組成物（（株）スリーボンド製  ＴＢ３１６１）を塗布した後に、水銀ランプにより約３，０００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線（３６５ｎｍ）を照射して樹脂形成組成物を硬化させた。得られた樹脂製中空ケースに対して比較例１と同様にしてダスト数の測定を実施した。測定の結果、超音波洗浄後の水中に存在する大きさが２ミクロン以上のダストは約１８０個／ｍｌであり、ケース内面を樹脂でコートすることによりケース内面からのダストの脱落が大きく抑制される効果が確認された。なお、上記ＴＢ３１６１のＵＶ硬化重量変化率は、９９．９３％であった。
【０１２０】
（比較例２）
比較例１で得られた樹脂製中空ケースに対し、ケース上面の透明板封止位置にディスペンサを使用して紫外線硬化性の上記シリコーン樹脂形成組成物（（株）スリーボンド製  ＴＢ３１６１）を塗布した後、ガラス製の透明板でケース上面を閉塞してから水銀ランプにより約３，０００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線（３６５ｎｍ）を照射して樹脂形成組成物を硬化させ、中空ケースを密閉した。得られた中空ケースに対してヘリウムガスリーク試験機  ＨＥＬＥＮ  Ａ−２５０Ｍ−ＬＤ（アネルバテクニクス（株）製）を使用して気密性を評価した結果、ヘリウムガスのリークが検出された。
【０１２１】
（実施例２）
実施例１で得られたケース内面を硬化樹脂で被覆した樹脂製中空ケースに対して、比較例２と同様にして上面を透明板で閉塞した中空ケースを得た。得られた中空ケースに対して比較例２と同様にして気密性を評価した結果、ヘリウムガスのリークはほとんど検出されず、ケース内面の樹脂部分／金属製リード端子部分の境界を硬化樹脂でコートすることによりケースの気密性が向上する効果が確認された。
【０１２２】
（実施例３）
実施例１で製造したリード端子付きの樹脂製中空ケースを、クラス１０００のクリーンルーム内で超純水にて洗浄後、５００ｍｌの超純水中に浸漬して２０秒間の超音波洗浄（３８ｋＨｚ）を実施し、樹脂製中空ケースを洗浄乾燥した。この樹脂製ケースの内定面にリニアセンサを接着剤で固定した後、ボンディングワイヤでリニアセンサとリード端子とを配線した。
【０１２３】
配線済みの樹脂製中空ケースの内面に、ディスペンサを使用して紫外線硬化性の前記シリコーン樹脂形成組成物（（株）スリーボンド製  ＴＢ３１６１）を塗布し、さらに透明板と開口部との間にも同じシリコーン樹脂組成物を塗設した後、水銀ランプにより約３，０００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線（３６５ｎｍ）を照射して樹脂形成組成物を硬化させて、固体撮像装置を得た。得られた樹脂製中空ケースを観察したところ、透明板には曇りは確認されなかった。
【０１２４】
（実施例４）
銅合金に金メッキを施したリードフレームを金型内にインサートし、液晶性ポリマー（スミカスーパー  Ｅ６００８  Ｂ（住友化学（株）製））を射出成形することによりリード端子が挿設された樹脂製中空ケース（幅５０ｍｍ×奥行き１０ｍｍ×高さ４ｍｍ、厚さ２ｍｍ）を得た。
【０１２５】
上記のリード端子付きの樹脂製中空ケースを、クラス１０００のクリーンルーム内で超純水にて洗浄後、５００ｍｌの超純水中に浸漬して２０秒間の超音波洗浄（３８ｋＨｚ）を実施し、樹脂製中空ケースを洗浄乾燥した。この樹脂製ケースの内定面にリニアセンサを接着剤で固着した後、ボンディングワイヤでリニアセンサとリード端子とを配線した。
【０１２６】
配線済みの樹脂製中空ケースの内面にディスペンサを使用して紫外線硬化性のシリコーン樹脂形成組成物（（株）スリーボンド製  ＴＢ３０８０、２５℃における粘度は５００ｍＰａ・ｓｅｃであり、体積収縮率は、２．７％であった。）を供給し、さらに透明板２６と開口部との間にも同じシリコーン樹脂組成物（接着剤ＲＥ）を膜状に付与した。ディスペンサでケース内面に供給した樹脂形成組成物は、ケース内面にほぼ均一に薄く広がった。水銀ランプにより約３，０００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線（３６５ｎｍ）を照射して樹脂形成組成物を硬化させて、固体撮像装置を得た。
【０１２７】
上記ＴＢ３０８０を硬化した樹脂試験片は、デュロメータＡ硬さが、Ａ１０であった。
紫外線硬化後も硬化樹脂のケース内面からの剥離は認められなかった。
【０１２８】
（比較例３）
実施例４において、（株）スリーボンド製  ＴＢ３０８０を使用する替わりに、（株）スリーボンド製  ＴＢ３１６４（粘度５０，０００ｍＰａ・ｓｅｃ、体積収縮率０．３９％、硬化後のデュロメータＡ硬さが、Ａ３０）を使用する以外は全く同様に実施した。ディスペンサで供給された樹脂形成組成物（硬化樹脂３２）は、ケース内面に均一に広がることがなく、又、ケース内面と硬化樹脂組成物との間に気泡が残りやすかった。
【０１２９】
（比較例４）
実施例４において、（株）スリーボンド製  ＴＢ３０８０を使用する替わりに、（株）スリーボンド製  ＴＢ３０２６（粘度１９，０００ｍＰａ・ｓｅｃ、体積収縮率７．５％、硬化後のデュロメータＤ硬さが、Ｄ８５）を使用する以外は全く同様に実施した。ディスペンサで供給された樹脂形成組成物（硬化樹脂３２）は、ケース内面に均一に広がることがなく、又、紫外線照射により硬化した樹脂はケース内面から部分的に剥離しているのが確認された。
【０１３０】
（実施例５）
銅合金に金メッキを施したリードフレームを金型内にインサートし、液晶性ポリマー（スミカスーパー  Ｅ６００８  Ｂ（住友化学（株）製））を射出成形することによりリード端子が挿設された樹脂製中空ケース（幅５０ｍｍ×奥行き１０ｍｍ×高さ４ｍｍ、厚さ２ｍｍ）を得た。
【０１３１】
上記のリード端子付きの樹脂製中空ケースを、クラス１０００のクリーンルーム内で超純水にて洗浄後、５００ｍｌの超純水中に浸漬して２０秒間の超音波洗浄（３８ｋＨｚ）を実施し、樹脂製中空ケースを洗浄乾燥した。この樹脂製ケースの内底面にリニアセンサを接着剤で固定した後、ボンディングワイヤでリニアセンサとリード端子とを配線した。
【０１３２】
配線済みの樹脂製中空ケースを乾燥後、その開口部にディスペンサを使用して紫外線硬化性接着剤  ロックタイト５０８８（ヘンケルジャパン（株）製、２５℃における粘度：６５，０００ｍＰａ・ｓｅｃ）を付与し、透明板により該開口部を閉塞した後、水銀ランプにより約３，０００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線（３６５ｎｍ）を照射して接着剤を硬化させて、固体撮像装置を得た。
【０１３３】
上記ロックタイト５０８８を硬化した樹脂試験片は、デュロメータＡ硬さが３０であった。
【０１３４】
得られた固体撮像装置において、該ケース底板の長手方向の両端を結ぶ直線を基準とした最大反り量は２０μｍであった。
【０１３５】
（比較例５）
実施例５において、接着剤として紫外線硬化性接着剤  ＸＥ１７−３０３（ＧＥ東芝シリコーン（株）製、２５℃における粘度：４，０００ｍＰａ・ｓｅｃ、硬化後のデュロメータＡ硬さ：１７）を使用した以外は、実施例１と全く同様にして固体撮像装置を製造した。
得られた固体撮像装置の最大反り量は５５μｍであった。
【０１３６】
（比較例６）
実施例５において、接着剤として紫外線硬化性接着剤（ケミテック（株）製、２５℃における粘度：６００ｍＰａ・ｓｅｃ、硬化後のデュロメータＤ硬さ：８０）を使用した以外は、実施例１と全く同様にして固体撮像装置を製造した。なお、デュロメータＤ硬さはデュロメータＡ硬さと同様、ＪＩＳ  Ｋ７２１５に記載の押し込み硬さ測定法に準拠した測定により求めた。
【０１３７】
得られた固体撮像装置の最大反り量は１０２μｍであり、透明板と樹脂製ケース開口部の接着面の一部に剥離が見られた。
【図面の簡単な説明】
【０１３８】
【図１】本発明の固体撮像装置の一例をその装置中央部で切断した断面概略図である。
【図２】本発明の固体撮像装置に使用できる樹脂製中空ケースの一例を示す平面図である。
【図３】本発明の固体撮像装置に使用する樹脂製中空ケースの一例を模式的に示す斜視図である。硬化樹脂は図示していない。
【図４】固体撮像素子収納用ケースを備えた固体撮像装置の一例の詳細な分解斜視図である。
【図５】切り欠きを有するアイランドを備えた固体撮像素子収納用ケース中央部の一例を示す斜視図である。
【図６】図５に示す固体撮像素子収納用ケースのｋ−ｋ断面図である。
【図７】分割されたアイランドを備えた固体撮像素子収納用ケース中央部の一例を示す斜視図である。
【図８】固体撮像素子収納用ケースの製造方法の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１３９】
１０：固体撮像装置
１２：固体撮像素子
２０：樹脂製中空ケース（ケース本体）
２０Ａ：ケース本体部位
２２：樹脂製底板
２４：樹脂製側壁
２６：透明板
３０：金属製アイランド
３２：硬化樹脂（樹脂形成組成物）
３４：アイランド押さえ部
４０：リード端子
４２：ボンディングワイヤ
５０：リードフレーム
１００：固体撮像素子収納用ケース
１０１：突起部
１０３：リブ
１０４：肉盗み部
１０５：補強部
１３２，１３２Ａ，１３２Ｂ：スリット
ＲＥ：接着剤
ＬＧＲ：一対のリブの間の凹溝
ＳＧＲ：ケース内底面におけるアイランドの長手方向に沿って延びた凹溝
ＤＰ：ケース内部の凹部
Ｊ：一対のアイランド押さえ部間の中央位置
Ｘ0：一対のアイランド押さえ部間の距離
Ｘ1，Ｘ2：アイランド押さえ部から中央位置Ｊまでの距離
Ｐ：アイランド上の第１のスリット１３２Ａと第２のスリット１３２Ｂとの間の点
Ｄ：スリットの最深部
Ｍ１，Ｍ２：金型
ＲＥ１：樹脂
Ｍ２１：樹脂導入孔
Ｍ２２：連絡通路
ＥＰ：エジェクタピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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