(57)【要約】【課題】  圧電振動片を容易かつ精度よくマウントできる圧電デバイス用パッケージ、及びこれを利用した圧電デバイスを提供すること。【解決手段】  互いに平行であって長手方向に沿った２つの長い内壁４６，４７、及びこの長い内壁に対して略直角となるようにして短手方向に沿った２つの短い内壁４８，４９により囲まれたキャビティＳと、このキャビティＳ内の底面に設けられた２つのマウント電極３１，３２とを備えた圧電デバイス用のパッケージであって、２つのマウント電極３１，３２の各々は、少なくとも短い内壁４８，４９に隣接しないようにして、２つの長い内壁４６，４７のそれぞれに沿って配置されている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行であって長手方向に沿った２つの長い内壁、及びこの長い内壁に対して略直角となるようにして短手方向に沿った２つの短い内壁により囲まれたキャビティと、このキャビティ内の底面に設けられた２つのマウント電極とを備えた圧電デバイス用のパッケージであって、
前記２つのマウント電極の各々は、少なくとも前記短い内壁に隣接しないようにして、前記２つの長い内壁のそれぞれに沿って配置されている
ことを特徴とする圧電デバイス用のパッケージ。
【請求項２】
前記マウント電極は、その長手方向の略中心が前記長い内壁の長手方向の中央付近に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス用のパッケージ。
【請求項３】
前記マウント電極は、前記キャビティ内の底面に対して高台となっていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の圧電デバイス用のパッケージ。
【請求項４】
前記キャビティ内の底面には、長手方向の一端付近に凹部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電デバイス用のパッケージ。
【請求項５】
前記キャビティ内の底面には、長手方向の両端付近に凹部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電デバイス用のパッケージ。
【請求項６】
前記キャビティ内の底面には、前記キャビティ内と外部とを連通する貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電デバイス用のパッケージ。
【請求項７】
基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片と、
互いに平行であって長手方向に沿った２つの長い内壁、及びこの長い内壁に対して略直角となるようにして短手方向に沿った２つの短い内壁により囲まれたキャビティを有し、このキャビティ内の底面に設けられた２つのマウント電極を有するパッケージと
を備えた圧電デバイスであって、
前記２つのマウント電極の各々は、少なくとも前記短い内壁に隣接しないようにして、前記２つの長い内壁のそれぞれに沿って配置されており、
前記圧電振動片は、前記マウント電極と接合される固定部が、前記基部と接合している構成とされている
ことを特徴とする圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片を収容するためのキャビティを有する圧電デバイス用パッケージ、及びこのパッケージを利用した圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は、従来の圧電デバイスの概略平面図である。
この図において、圧電デバイス１は圧電振動子の例を示しており、パッケージ２内に圧電振動片３が収容されている。
パッケージ２は、圧電振動片３を収容するキャビティ８を有している。キャビティ８は、隣接する内壁が略直角となるように形成された内壁２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに囲まれており、キャビティ８内の底面には、圧電振動片３と接合されるマウント電極４ａ，４ｂが設けられている。
マウント電極４ａは、短手方向に沿った内壁２ｄと長手方向に沿った内壁２ａとの双方に隣接するようにして、角部に配置されている。また、マウント電極４ｂも短手方向に沿った内壁２ｄと長手方向に沿った内壁２ｃとの双方に隣接するようにして、角部に配置されている。そして、マウント電極４ａ，４ｂは、互いに接触しないように所定の間隔Ｗを空けて、異極とされている。
【０００３】
圧電振動片３は、基部６と、この基部６から互いに平行に延びる振動腕７，７とを有しており、基部６がパッケージ２に接合されて、片持ち式に接合固定された所謂音叉型の圧電振動片となっている。すなわち、上述したマウント電極４ａ，４ｂの上に導電性接着剤５，５を塗布し、この導電性接着剤５，５の上に圧電デバイス１の基部６を載置して、圧電振動片３をパッケージ２にマウントするようにしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２６６７６３公開特許公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、近年、圧電デバイス１の小型化はめざましく、圧電振動片３をマウントする領域も小さくせざるを得ない。すなわち、所定の発振周波数を確保するには、圧電振動片３の振動腕７，７の長さを変えないことが好ましく、このため、圧電デバイス１を小型化するには、いきおい基部６を極小化せざるを得なくなり、この極小化された基部６と接合するマウント電極４ａ，４ｂも小型化を極めているといってよい。
したがって、この極小化されたマウント電極４ａ，４ｂを、従来のように、パッケージ２の角部に正確に形成することは困難となってきている。しかも、この隅にある極小化されたマウント電極４ａ，４ｂに接着剤５，５を正確に塗布して、精度よく圧電振動片３をマウントすることは、さらに困難になってきている。
【０００６】
本発明は、圧電振動片を容易かつ精度よくマウントできる圧電デバイス用パッケージ、及びこれを利用した圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的は、第１の発明によれば、互いに平行であって長手方向に沿った２つの長い内壁、及びこの長い内壁に対して略直角となるようにして短手方向に沿った２つの短い内壁により囲まれたキャビティと、このキャビティ内の底面に設けられた２つのマウント電極とを備えた圧電デバイス用のパッケージであって、前記２つのマウント電極の各々は、少なくとも前記短い内壁に隣接しないようにして、前記２つの長い内壁のそれぞれに沿って配置されている圧電デバイス用のパッケージにより達成される。
【０００８】
第１の発明の構成によれば、マウント電極は、少なくとも短い内壁に隣接しないように形成されている。このため、少なくとも、マウント電極をキャビティ内の角部に配置しなくてもよい分、マウント電極の形成が容易となり、また、マウント電極に接着剤を塗布し易くなる。
また、２つのマウント電極の各々は、２つの長い内壁のそれぞれに沿って配置されているので、短い内壁に沿って配置するよりも大きく形成できる。さらに、この２つの長い内壁は互いに平行となっているため、マウント電極同士の短絡を気にすることなく、マウント電極を長手方向に沿って大きく形成できる。したがって、マウント電極の形成が容易となり、また、マウント電極に接着剤を塗布し易くなる。
さらに、マウント電極を長手方向に沿って大きく形成すれば、長手方向について接着剤が圧電振動片を支持する部分が増えて、圧電振動片をマウントする際、長手方向の端部が厚み方向に傾いて接合されることも有効に防止できる。
かくして、圧電振動片を容易かつ精度よくマウントできる圧電デバイス用パッケージを提供することができる。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記マウント電極は、その長手方向の略中心が前記長い内壁の長手方向の中央付近に配置されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、マウント電極は、その長手方向の略中心が長い内壁の長手方向の中央付近に配置されているため、キャビティ内の角部に近づくことを第１の発明よりも回避でき、第１の発明に比べて、圧電振動片の容易かつ精度のよいマウントを可能にする。
【００１０】
第３の発明は、第１または第２のいずれかの発明の構成において、前記マウント電極は、前記キャビティ内の底面に対して高台となっていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、マウント電極は、キャビティ内の底面に対して高台となっているので、このマウント電極に接合固定される圧電振動片は、キャビティ内の底面から相当の高さを有することになる。したがって、圧電振動片がキャビティ内の底面側に振れたとしても、圧電振動片がキャビティ内の底面に接触することを有効に防止できる。
【００１１】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記キャビティ内の底面には、長手方向の一端付近に凹部が形成されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、キャビティ内の底面には、長手方向の一端付近に凹部が形成されているので、パッケージに接合する圧電振動片の長手方向の一端が厚み方向に振れたとしても、キャビティ内の底面に接触することを防止できる。
【００１２】
第５の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記キャビティ内の底面には、長手方向の両端付近に凹部が形成されていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、キャビティ内の底面には、長手方向の両端付近に凹部が形成されているので、パッケージに接合する圧電振動片の長手方向の両端が厚み方向に振れたとしても、キャビティ内の底面に接触することを防止できる。
【００１３】
第６の発明は、第１ないし第５の発明のいずれかの構成において、前記キャビティ内の底面には、前記キャビティ内と外部とを連通する貫通孔が形成されていることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、キャビティ内の底面には、キャビティ内と外部とを連通する貫通孔が形成されている。このため、圧電振動片を接着剤でパッケージに接合し、蓋体を接着剤でパッケージに接合した後であっても、この貫通孔を通じて、接着剤からでたガスを排出することができる。
ところで、第１の発明で説明したように、パッケージは、長手方向に沿いながら大きくマウント電極を形成した分、キャビティ内の容積は減少することになる。したがって、貫通孔からキャビティ内のガスを排出し易くなる。
【００１４】
また、上述の目的は、第７の発明によれば、基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片と、互いに平行であって長手方向に沿った２つの長い内壁、及びこの長い内壁に対して略直角となるようにして短手方向に沿った２つの短い内壁により囲まれたキャビティを有し、このキャビティ内の底面に設けられた２つのマウント電極を有するパッケージとを備えた圧電デバイスであって、前記２つのマウント電極の各々は、少なくとも前記短い内壁に隣接しないようにして、前記２つの長い内壁のそれぞれに沿って配置されており、前記圧電振動片は、前記マウント電極と接合される固定部が、前記基部と接合している構成とされている圧電デバイス用パッケージにより達成される。
【００１５】
第７の発明の構成によれば、２つのマウント電極の各々は、少なくとも短い内壁に隣接しないようにして、２つの長い内壁のそれぞれに沿って配置されているため、第１の発明と同様に、マウント電極の形成が容易となり、また、マウント電極に接着剤を塗布し易くなる。
また、圧電振動片は、マウント電極と接合される固定部が、基部と接合している構成とされているので、この固定部とマウント電極との位置を合わせて、圧電振動片をマウントすることになる。この際、マウント電極は、上述のように、キャビティ内の角部に配置されておらず、また、長手方向に沿いながら大きく形成されているので、圧電振動片の固定部とマウント電極との位置を正確に合わ易く、圧電振動片を精度よくマウントできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１および図２は、本発明の第１の実施形態に係る圧電デバイス３０であって、図１は圧電デバイス３０の概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線概略切断断面図である。
尚、圧電デバイスとは、圧電振動子や圧電発振器等の名称にかかわらず、パッケージ内に圧電振動片を収容した全ての製品を意味する。
また、図１および図２の平行斜線で示した部分は、理解の便宜のために示したものであり、断面等を表すものではない。
【００１７】
これらの図の圧電デバイス３０は、圧電振動子を構成した例を示しており、パッケージ３６内に圧電振動片２０を収容している。
この圧電デバイス用のパッケージ３６は、本実施形態では、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される第１の基板３０ａおよび第２の基板３０ｂを積層した後、焼結して形成されている。
【００１８】
第１の基板３０ａは、その内側に所定の孔を形成することで、第２の基板３０ｂに積層した場合に、パッケージ３６の内側に所定の内部空間Ｓを形成するようにされている。この内部空間Ｓが、圧電振動片２７を収容するためのキャビティＳとなる。
具体的には、第１の基板３０ａに設けられた孔は、水平断面が略矩形状になっており、このため、キャビティＳ内の隣接する内壁は互いに略直角となっている。すなわち、キャビティＳは、互いに平行であって長手方向に沿った長い内壁４６，４７と、この長い内壁４６，４７に対して略直角となるように接して短手方向に沿った２つの短い内壁４８，４９とにより囲まれるようにして形成されている。
【００１９】
また、第１の基板３０ａの図２において上部に開口した側の開口端面には、低融点ガラス等のロウ材４４が適用されて蓋体３９が接合されており、これにより、キャビティＳは蓋封止されている。なお、蓋体３９は、蓋封止した後であっても、圧電振動片２０に設けられた励振電極あるいは錘等にレーザ光をあてて、質量削減方式で周波数調整できるように、光を透過する材料、例えばガラスから形成されている。
【００２０】
また、キャビティＳ内の底面、すなわち第２の基板３０ｂのキャビティＳに露出する面には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成した２つのマウント電極３１，３２が設けられている。
このマウント電極３１，３２の各々は、図２に示されるように、第２の基板３０ｂのビアホール内の導電部３５を介して、実装端子部３８，３８に接続されており、これにより互いに異極となって、圧電振動片に駆動電圧を供給する電極となる。
【００２１】
ここで、この一対のマウント電極３１，３２の各々は、少なくとも短い内壁４８，４９に隣接しないようにして、２つの長い内壁４６，４７のそれぞれに沿って配置されている。
具体的には、本実施形態のマウント電極３１，３２は、互いに平行に形成された長い内壁４６，４７に隣接して配置されている。そして、マウント電極３１，３２は、その長手方向の略中心Ｐ３が、長い内壁４６，４７の長手方向の中央付近に配置されており、中心Ｐ３から両端に向かって均等に伸びるように形成されている。
【００２２】
そして、マウント電極３１，３２の上面に、接着剤４３，４３として、シリコーン系またはエポキシ系あるいはポリイミド系等の導電性接着剤が塗布され、この接着剤４３，４３の上に圧電振動片２０が載置されて、接着剤４３，４３が硬化することで、マウント電極３１，３２と圧電振動片２０とが電気的機械的に接続されている。
なお、図１および図２では、接着剤４３に導電性接着剤を用いているが、本発明はこれに限られず、例えば、電気的な接続はワイヤボンディングで行い、接着剤には機械的にのみ接合される接着剤を用いるようにしてもよい。
【００２３】
圧電振動片１２は、例えば水晶等で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。
本実施形態の場合、圧電振動片２０は、小型に形成して必要な性能を得るために、基部２６から図１において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕２４，２５を備えている。
【００２４】
基部２６は、一対の振動腕２４，２５を支持するための部分である。また、本実施形態の基部２６は、圧電振動片２０をマウント電極３１，３２に接合するための２つの固定部２７，２８を支持するための部分でもある。すなわち、振動腕２４，２５と基部２６と固定部２７，２８とは一体に形成されており、固定部２７，２８は、圧電振動片２０をマウントした際、マウント電極３１，３２の各々の位置に合致するように形成されている。
【００２５】
具体的には、固定部２７，２８は、基部２６から一対の振動腕２４，２５の各外側に、振動腕２４，２５を挟むようにして一対形成されており、パッケージ３６の長い内壁４６，４７と同じ方向に互いに平行に延びるように形成されている。
そして、振動腕２４，２５の水平面の振れを避けるように（図１の点線に示す振動した振動腕２４，２５に接触しないように）、振動腕２４，２５よりも所定の長さＬ１だけ短く形成されるとともに、振動腕２４，２５のそれぞれの外側の側面から所定の幅Ｗ１だけ離れて形成されている。より好ましくは、幅方向（短手方向）について、振動腕２４，２５が振動した場合の振動腕２４，２５の先端の位置Ｐ１と、固定部２７，２８の位置Ｐ２とが略同じようにされている。
【００２６】
振動腕２４，２５は、その表裏面のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝が形成されており（図示せず）、断面がＨ型となっている。そして、長溝内に励振電極３３ａ，３４ａが形成され、長溝内の励振電極３３ａと対向するようにして、振動腕２４の側面に励振電極３４ａが形成されており、長溝内の励振電極３４ａと対向するようにして、振動腕２５の側面に励振電極３３ａが形成さいる。
そして、励振電極３４ａは、基部２６に引き出された引出し電極３４ｃを介して、固定部２７の少なくともマウント電極３１側の表面に形成された電極部３４ｂと接続され、また、励振電極３３ａは、基部２６に引き出された引出し電極３３ｃを介して、固定部２８の少なくともマウント電極３２側の表面に形成された電極部３３ｂと接続されている。
このように、長溝を設け、長溝内の電極とこれに対向する側面の電極とを異極となるよう配置して、各腕内の電界効率を高めて、振動腕２４，２５の小型化を可能としている。
【００２７】
本発明の第１の実施形態は以上のように構成されており、マウント電極３１，３２は、少なくとも短い内壁４８，４９に隣接しないように形成されているため、少なくとも、マウント電極３１，３２をキャビティＳ内の角部に配置しなくてもよい。
また、マウント電極３１，３２の各々は、２つの長い内壁４６，４７のそれぞれに沿って配置され、そして、長い内壁４６，４７は互いに平行となっている。このため、互いに異極となるマウント電極３１，３２同士の短絡を気にすることなく、マウント電極３１，３２を長手方向に沿って大きく形成できる。
したがって、マウント電極３１，３２の形成が容易となり、また、マウント電極３１，３２に接着剤４３，４３を塗布し易くなる。
さらに、マウント電極３１，３２を長手方向に沿って大きく形成すれば、圧電振動片２０をマウントする際に、図２の点線で示すように圧電振動片２０の長手方向の端部２０ａ，２０ｂが厚み方向に傾いて接合されてしまうようなことを有効に防止できる。
【００２８】
図３および図４は、本発明の第２の実施形態に係る圧電デバイス５０であって、図３は圧電デバイス５０の概略平面図、図４は図３のＢ−Ｂ線概略切断断面図である。
なお、図３では、理解の便宜のために、圧電振動片を省略して作図している。また、図３および図４の平行斜線で示した部分は、理解の便宜のために示したものであり、断面等を表すものではない。
これらの図において、図１および図２の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
【００２９】
圧電デバイス５０が図１および図２の圧電デバイス３０と主に異なるは、マウント電極３１，３２が、キャビティＳ内の底面に対して高台となっている点である。
具体的に、本第２の実施形態においては、マウント電極３１，３２は、パッケージ３６内に設けられた導電パターン５２を介して、実装端子部３８，３８と接続されている。そして、図４の一点鎖線で示した図に示されるように、第２の基板３０ｂのキャビティＳに露出した導電パターン５２は、タングステン５２ａをメタライズした上に、ニッケル５２ｂおよび金５２ｃをメッキして形成されている。
【００３０】
ここで、マウント電極３１，３２も、この導電パターン５２を形成する際のタングステン５２ａ、ニッケル５２ｂおよびメッキ５２ｃを利用して形成されているが、マウント電極３１，３２を形成する位置には、タングステンメタライズ５２ａの上に、さらにタングステン５４をメタライズし、これにより、マウント電極３１，３２を導電パターン５２よりも厚く形成している。
【００３１】
本発明の第２の実施形態は以上のように構成されており、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。さらに、マウント電極３１，３２は、キャビティＳ内の底面に対して高台となっているので、圧電振動片２０はキャビティＳ内の底面から相当の高さを有することになる。したがって、圧電振動片２０の固定部２７，２８と振動腕２４，２５との距離が離れたことで、圧電振動片２０がキャビティＳ内の底面側に振れ易くなったとしても、圧電振動片２０がキャビティＳ内の底面に接触することを有効に防止できる。
【００３２】
図５ないし図７は、本発明の第３の実施形態に係る圧電デバイス６０であって、図５は圧電デバイス６０の概略平面図、図６は図５のＣ−Ｃ線概略切断断面図、図７は図５のＤ−Ｄ線概略切断断面図である。
なお、図５では、理解の便宜のために、圧電振動片に設けられた長溝や励振電極等を省略している。また、図７の平行斜線で示す部分は断面ではなく、各電極を示している。
これらの図において、図１および図２の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
圧電デバイス６０が図１および図２の圧電デバイス３０と異なるは、パッケージの内側底面に凹部と貫通孔が設けられている点である。
【００３３】
すなわち、圧電デバイス６０のキャビティＳ内の底面には、長手方向の一端付近に第１の凹部６７が形成されている。この第１の凹部６７は、最も発振周波数に影響を及ぼす振動腕２４，２５の基部２６側とは反対側である先端付近に対応して直下に形成されており、振動腕２４，２５の自由端側の先端が、キャビティＳ内の底面方向（図６のＦ１方向）に振れたとしても、振動腕２４，２５がキャビティＳ内の底面に接触することを防止するための有底の孔である。本実施形態では、第１の凹部６７は、パッケージ３６の底部を２枚の基板３６ｂ，３６ｃにより形成し、キャビティＳ側の基板３６ｃに貫通孔を形成し、基板３６ｃを基板３６ｄの上に積層することで形成されている。
【００３４】
また、圧電デバイス６０のキャビティＳ内の底面には、長手方向の第１の凹部６７と反対側に第２の凹部６８も形成されており、これにより、長手方向の両端付近に凹部が形成されるようになっている。この第２の凹部６８は、圧電振動片２０の振動腕２４，２５側とは反対側の端部付近に対応して形成されており、圧電振動片２０の基部２６やこの基部２６と固定部２７，２８とを一体的に接続する部分が、キャビティＳ内の底面側に振れたとしても、キャビティＳ内の底面に接触することを防止するための有底の孔である。そして、この第２の凹部６８も、第１の凹部６７と同様に、キャビティＳ側の基板３６ｃに貫通孔を形成し、この基板３６ｃを基板３６ｄの上に積層することで形成されている。
【００３５】
さらに、圧電デバイス６０のキャビティＳ内の底面には、キャビティＳ内と外部とを連通する貫通孔６２が形成されている。この貫通孔６２は、例えば圧電振動片２０を接着剤４３でマウントし、パッケージ３６をロウ材４４で蓋封止した後に、接着剤４３やロウ材４４から発生したガスを排出するための孔であり、ガスを排出した後に溶融した封止材６４で封止されるようになっている。
具体的には、貫通孔６２は、マウント電極３１とマウント電極３２との間に挟まれるように配置されている。そして、キャビティＳ側の基板３６ｃに設けられた貫通孔６２ｂと、主面が外部に露出した最下層の基板３６ｄに設けられ、貫通孔６２ｂよりも大きな貫通孔６２ａとから形成され、基板３６ｃを基板３６ｄに積層した場合に段部６６が形成されるようになっている。段部６６は、溶融前の封止材６４を貫通孔６２に載置した場合に、溶融前の封止材６４が貫通孔６２を通り抜けてしまうことを防止するための手段である。
【００３６】
また、図７に示すように、本第３の実施形態では、マウント電極３１は基板３６ｃのビアホール内の導電部７２と接続され、この導電部７２は基板３６ｄの表面に設けられた導電パターン７４を介して実装端子部３８と接続されている。また、マウント電極３２も同様にビアホール内の導電部や導電パターンを介して実装端子部３８と接続されている。
【００３７】
本発明の第３の実施形態は以上のように構成されており、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。また、パッケージ３６のキャビティＳ内の底面には、圧電振動片２０の長手方向の両端付近に凹部が形成されている。したがって、圧電振動片２０の固定部２７，２８と振動腕２４，２５との距離が離れたことで、圧電振動片２０がキャビティＳ内の底面側に振れ易くなったとしても、圧電振動片２０がキャビティＳ内の底面に接触することを有効に防止できる。
さらに、パッケージ３６のキャビティＳ内の底面には、キャビティＳ内と外部とを連通する貫通孔６２が形成されている。このため、圧電振動片２０をマウントする際の接着剤４３が従来に比べて多く用いられ、この接着剤４３からガスが多く発生したとしても、貫通孔６２からガスを排出して、発振周波数に及ぼす悪影響を防止することができる。
【００３８】
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る圧電デバイスの概略平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線概略切断断面図。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る圧電デバイスの概略平面図。
【図４】図３のＢ−Ｂ線概略切断断面図。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る圧電デバイスの概略平面図。
【図６】図５のＣ−Ｃ線概略切断断面図。
【図７】図５のＤ−Ｄ線概略切断断面図。
【図８】従来の圧電デバイスの概略平面図。
【符号の説明】
【００４０】
３０，５０，６０・・・圧電デバイス、２０・・・圧電振動片、２４，２５・・・振動腕、２６・・・基部、２７，２８・・・固定部、３１，３２・・・マウント電極、３６・・・パッケージ、４６，４７・・・長い内壁、４８，４９・・・短い内壁、Ｓ・・・キャビティ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006197477.tif 000008
【図７】
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【図８】
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