(57)【要約】【課題】  単純マトリックス方式でも素子基板とカラーフィルタ基板との間の導通剤の検査を行うことができる液晶パネル、液晶パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法を提供する。【解決手段】  カラーフィルタ基板６に検査用電気配線８を有し、素子基板１に検査用電極５を有することにより、液晶パネル１０におけるカラーフィルタ基板６と素子基板１との間の電気抵抗を液晶駆動素子等を介さずに直接測定することにより液晶パネル１０の検査をする。【選択図】図１
2006053286.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ基板と素子基板とを有する液晶パネルであって、
前記カラーフィルタ基板は、複数の縞状透明電極と、
前記カラーフィルタ基板と前記素子基板とを、前記素子基板が有する縞状電気配線及び縞状電気配線と電気的に接続されている画素用透明電極とを介さずに電気的に接続するために、少なくとも２本以上の前記縞状透明電極と電気的に接続された少なくとも１本以上の検査用電気配線と、を有し、
前記素子基板は、前記カラーフィルタ基板が有する複数の前記縞状透明電極に対応して電気的に接続された複数の素子電極と、
複数の前記素子電極と電気的に接続された少なくとも１つ以上の共通電極と、
前記カラーフィルタ基板が有する少なくとも１本以上の前記検査用電気配線に対応して電気的に接続された複数の検査用電極と、を有し、
前記カラーフィルタ基板と前記素子基板とを電気的に接続するために、前記素子基板が有する複数の前記素子電極と、前記カラーフィルタ基板が有する複数の前記縞状透明電極とを電気的に接続するための導通剤と、を有する液晶パネル。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶パネルであって、
前記カラーフィルタ基板に前記縞状透明電極とは別の検査用縞状透明電極を有し、
前記検査用縞状透明電極は前記検査用電気配線と電気的に接続されている液晶パネル。
【請求項３】
請求項１に記載の液晶パネルであって、
前記カラーフィルタ基板が有する全ての前記縞状透明電極が前記検査用電気配線と電気的に接続されている液晶パネル。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液晶パネルであって、
前記検査用電極が複数の前記素子電極の一部である液晶パネル。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液晶パネルにおける前記カラーフィルタ基板と前記素子基板の電気的接続状態を検査する液晶パネルの検査装置であって、
前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う電気測定手段と、を有する液晶パネルの検査装置。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液晶パネルにおける前記カラーフィルタ基板と前記素子基板の電気的接続状態を検査する液晶パネルの検査装置であって、
前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行うＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段と、を有する液晶パネルの検査装置。
【請求項７】
請求項５に記載の液晶パネルの検査装置であって、
前記電気測定手段における電気測定データを取得する電気測定データ取得手段と、
前記電気測定データの適否を判定する電気測定データ判定手段と、を有する液晶パネルの検査装置。
【請求項８】
請求項６に記載の液晶パネルの検査装置であって、
前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得するＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段と、
前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定するＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段と、を有する液晶パネルの検査装置。
【請求項９】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液晶パネルにおける前記カラーフィルタ基板と前記素子基板の電気的接続状態を検査する液晶パネルの検査装置であって、
前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う電気測定手段と、
前記電気測定手段における電気測定データを取得する電気測定データ取得手段と、
前記電気測定データの適否を判定する電気測定データ判定手段と、
前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行うＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段と、
前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得するＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段と、
前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定するＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段と、を有する液晶パネルの検査装置。
【請求項１０】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液晶パネルにおける前記カラーフィルタ基板と前記素子基板の電気的接続状態を検査する液晶パネル検査方法であって、
電圧印加手段により前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する手順と、
電気測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う手順と、を有する液晶パネルの検査方法。
【請求項１１】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液晶パネルにおける前記カラーフィルタ基板と前記素子基板の電気的接続状態を検査する液晶パネルの検査方法であって、
電圧印加手段により前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する手順と、
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行う手順と、を有する液晶パネルの検査方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の液晶パネルの検査方法であって、
電気測定データ取得手段により、前記電気測定手段における電気測定データを取得する手順と、
電気測定データ判定手段により、前記電気測定データの適否を判定する手順と、を有する液晶パネルの検査方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の液晶パネルの検査方法であって、
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得する手順と、
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する手順と、を有する液晶パネルの検査方法。
【請求項１４】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液晶パネルにおける前記カラーフィルタ基板と前記素子基板の電気的接続状態を検査する液晶パネルの検査方法であって、
電圧印加手段により前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する手順と、
電気測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う手順と、
電気測定データ取得手段により、前記電気測定手段における電気測定データを取得する手順と、
電気測定データ判定手段により、前記電気測定データの適否を判定する手順と、
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行う手順と、
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得する手順と、
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する手順と、を有する液晶パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話等の表示画面に使用される液晶パネルの検査方法に係り、より具体的には液晶パネルが有する素子基板とカラーフィルタ基板との間の電気的接続の検査をうける液晶パネル、液晶パネルの検査方法及び液晶パネルの検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの検査方法は、実際に液晶パネルを点灯させるのが一般的である。しかし、液晶パネル点灯検査のときに点灯した液晶パネルでも、実際に使用しているうちに線欠陥等の不良が発生することがあった。すなわち、液晶パネルの点灯不良が発生する原因は、液晶パネルが有する基板間の導電不良が主要因の１つであることがわかってきた。
【０００３】
ここで、液晶パネルの構造について簡単に説明する。液晶パネルは、液晶表示素子が形成されている素子基板と、カラーフィルタ基板とを重ね合わせた構造となっている。素子基板とカラーフィルタの間の電気的な接続は、素子基板に形成されている電極とカラーフィルタに形成されている透明電極との間に導通剤を形成して行われる。本液晶パネルの駆動方式は、ＭＩＭ（Metal Insulator Metal）で形成されるダイオードで液晶を駆動させる方式、すなわち単純マトリックス方式である。したがって、カラーフィルタ基板に形成される透明電極は縞状の透明電極が複数配列されている。それぞれの縞状透明電極同士は電気的に孤立しており、素子基板に備えられている共通電極と液晶を駆動させるダイオード等の素子と電気的に接続されている。カラーフィルタ基板と素子基板とを電気的に接続するための導通剤としては、樹脂等に導電性金属をコーティングさせた、いわゆる導電性樹脂が用いられる。
【０００４】
上記のように検査時に点灯した液晶パネルが、使用中に点灯不良が発生するのは、液晶パネルを構成する基板間の導電粒子の接触数が少ない、あるいは導電粒子の接触状態が悪いことが導電不良を引き起こすということがわかった。したがって、使用中に導電不良を起こすような潜在的な液晶パネルの不良を検査するためには、導通剤の電気的接続状態、すなわち電気抵抗測定等を行う方法を用いる。
【０００５】
しかし、上記のように形成されている液晶パネルにおいては、通常カラーフィルタ基板の透明電極に電圧を供給する共通電極と、液晶を駆動させるための画素電極しか有していないので、直接それら基板間の電気抵抗を測定することは困難である。すなわち、この場合の電流経路は、共通電極、素子電極、導通剤、透明電極、液晶、画素電極となっている。このとき、液晶は非常に電気抵抗が高いため、導通剤の抵抗が測定できなくなる。
【０００６】
そこで、例えば、特許文献１では、液晶を介さないような電流経路を得るために、素子基板にもう１つ検査用電極を形成し、その検査用電極と透明電極とを電気的に接続させておくことにより、高抵抗の液晶を介することなく導通剤の抵抗を測定することができるようにしている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−１２７６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１の液晶パネルの構造では、液晶をＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子で駆動させる方式、すなわちアクティブ・マトリックス方式しか導通剤の抵抗を測定することができない。
【０００９】
本発明の目的は、単純マトリックス方式またはＭＩＭ方式でも、素子基板とカラーフィルタ基板の間の導通剤の検査を行うことができる液晶パネル、液晶パネルの検査方法及び液晶パネルの検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、カラーフィルタ基板と素子基板とを有する液晶パネルであって、前記カラーフィルタ基板は、複数の縞状透明電極と、前記カラーフィルタ基板と前記素子基板とを、前記素子基板が有する縞状電気配線及び縞状電気配線と電気的に接続されている画素用透明電極とを介さずに電気的に接続するために、少なくとも２本以上の前記縞状透明電極と電気的に接続された少なくとも１本以上の検査用電気配線と、を有し、前記素子基板は、前記カラーフィルタ基板が有する複数の前記縞状透明電極に対応して電気的に接続された複数の素子電極と、複数の前記素子電極と電気的に接続された少なくとも１つ以上の共通電極と、前記カラーフィルタ基板が有する少なくとも１本以上の前記検査用電気配線に対応して電気的に接続された複数の検査用電極とを有し、前記カラーフィルタ基板と前記素子基板とを電気的に接続するために、前記素子基板が有する複数の前記素子電極と、前記カラーフィルタ基板が有する複数の前記縞状透明電極とを電気的に接続するための導通剤とを有する液晶パネルであることを要旨とする。
この構成によれば、カラーフィルタ基板に検査用電気配線を有し、素子基板に検査用電極を有することにより、電流経路は検査用電極から、共通電極、素子電極、縞状透明電極、検査用電気配線、別な縞状透明電極、別な素子電極、共通電極、別な検査用電極となり、液晶パネルにおけるカラーフィルタ基板と素子基板との間の電気抵抗を液晶駆動素子等を介さずに直接測定することができる。
【００１１】
また、本発明は、上記発明のパネルであって、前記カラーフィルタ基板に検査用縞状透明電極を有し、前記検査用縞状透明電極は前記検査用電気配線と電気的に接続されている液晶パネルであることを要旨とする。
この構成によれば、カラーフィルタ基板に検査用縞状透明電極を有することにより、製品として使用する縞状透明電極で電気的な検査を行わずに済む。
【００１２】
また、本発明は、上記発明のパネルであって、前記カラーフィルタ基板が有する全ての前記縞状透明電極が前記検査用電気配線と電気的に接続されている液晶パネルであることを要旨とする。
この構成によれば、縞状透明電極が検査用電気配線で全て電気的に接続されていることにより、素子基板とカラーフィルタ基板の間の電気的な検査を全ての縞状透明電極で行うことができる。したがって、より詳細な液晶パネルの電気的な検査を行うことができる。
【００１３】
また、本発明は、上記発明のパネルであって、前記検査用電極が複数の前記素子電極の一部である液晶パネルであることを要旨とする。
【００１４】
また、本発明は、上記発明の液晶パネルを検査する液晶パネルの検査装置であって、前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う電気測定手段とを有する液晶パネルの検査装置であることを要旨とする。
この装置によれば、この装置が有する電圧印加手段により、検査用電極と共通電極との間に電圧を印加することができる。そして、電気測定手段によりこの検査用電極と共通電極との間の電気測定を行うことができる。すなわち、この電気測定により液晶パネルの素子基板とカラーフィルタ基板との間の電気的な検査を行うことができる。
【００１５】
また、本発明は、上記発明の液晶パネルを検査する液晶パネルの検査装置であって、前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行うＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段とを有する液晶パネルの検査装置であることを要旨とする。
この装置によれば、この装置が有する電圧印加手段により、検査用電極と共通電極との間に電圧を印加することができる。そして、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により液晶パネルの素子基板とカラーフィルタ基板との間の電気的な検査をより詳細に行うことができる。すなわち、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ（InfraRed-Optical Beam Induced Resistance CHange）測定法とは、測定箇所に赤外線レーザを照射し、その箇所の温度変化による電気抵抗の変化を画面上に表示させる測定方法である。したがって、測定箇所の電流経路や電気配線の欠陥の情報を詳細に得ることができる。
【００１６】
また、本発明は、上記発明の装置であって、前記電気測定手段における電気測定データを取得する電気測定データ取得手段と、前記電気測定データの適否を判定する電気測定データ判定手段とを有する液晶パネルの検査装置であることを要旨とする。
この装置によれば、電気測定手段における検査用電極と共通電極の電気測定データを、電気測定データ取得手段により取得する。次に、電気測定データ判定手段により、電気測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネルの検査の合否判定を本装置で行うことができる。
【００１７】
また、本発明は、上記発明の装置であって、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得するＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段と、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定するＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段とを有する液晶パネルの検査装置であることを要旨とする。
この装置によれば、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段における検査用電極と共通電極のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により取得する。次に、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネルの検査の合否判定を本装置でより詳細に行うことができる。
【００１８】
また、本発明は、上記発明の液晶パネルを検査する液晶パネルの検査装置であって、前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う電気測定手段と、前記電気測定手段における電気測定データを取得する電気測定データ取得手段と、前記電気測定データの適否を判定する電気測定データ判定手段と、前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行うＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段と、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得するＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段と、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定するＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段とを有する液晶パネルの検査装置であることを要旨とする。
この装置によれば、この装置が有する電圧印加手段により、検査用電極と共通電極との間に電圧を印加することができる。そして、電気測定手段によりこの検査用電極と共通電極との間の電気測定を行うことができる。すなわち、この電気測定により液晶パネルの素子基板とカラーフィルタ基板との間の電気的な検査を行うことができる。次に、電気測定手段における検査用電極と共通電極の電気測定データを、電気測定データ取得手段により取得する。次に、電気測定データ判定手段により、この電気測定解析手段の結果を基にして電気測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネルの検査の合否判定を本装置で行うことができる。さらに、電圧印加手段により、検査用電極と共通電極との間に電圧を印加してあるので、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により液晶パネルの素子基板とカラーフィルタ基板との間のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定を行うことができる。すなわち、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段における検査用電極と共通電極のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により取得する。次に、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネルの検査の合否判定を本装置でより詳細に行うことができる。
【００１９】
また、本発明は、上記発明の液晶パネルを検査する液晶パネル検査方法であって、電圧印加手段により前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する手順と、電気測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う手順とを有する液晶パネルの検査方法であることを要旨とする。
この方法によれば、電圧印加手段により、検査用電極と共通電極との間に電圧を印加することができる。そして、電気測定手段によりこの検査用電極と共通電極との間の電気測定を行うことができる。すなわち、この電気測定により液晶パネルの素子基板とカラーフィルタ基板との間の電気的な検査を行うことができる。
【００２０】
また、本発明は、上記発明の液晶パネルを検査する液晶パネル検査方法であって、電圧印加手段により前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する手順と、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行う手順とを有する液晶パネルの検査方法であることを要旨とする。
この方法によれば、電圧印加手段により、検査用電極と共通電極との間に電圧を印加することができる。そして、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により液晶パネルの素子基板とカラーフィルタ基板との間の電気的な検査をより詳細に行うことができる。すなわち、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法とは、測定箇所に赤外線レーザを照射し、その箇所の温度変化による電気抵抗の変化を画面上に表示させる測定方法である。したがって、測定箇所の電流経路や電気配線の欠陥の情報を詳細に得ることができる。
【００２１】
また、本発明は、上記発明の液晶パネルの検査方法であって、電気測定データ取得手段により、前記電気測定手段における電気測定データを取得する手順と、電気測定データ判定手段により、前記電気測定データの適否を判定する手順とを有する液晶パネルの検査方法であることを要旨とする。
この方法によれば、電気測定手段における検査用電極と共通電極の電気測定データを、電気測定データ取得手段により取得する。次に、電気測定データ判定手段により、電気測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネルの検査の合否判定を行うことができる。
【００２２】
また、本発明は、上記発明の液晶パネルの検査方法であって、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得する手順と、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する手順とを有する液晶パネルの検査方法であることを要旨とする。
この方法によれば、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段における検査用電極と共通電極のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により取得する。次に、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネルの検査の合否判定をより詳細に行うことができる。
【００２３】
また、本発明は、上記発明の液晶パネルを検査する液晶パネル検査方法であって、電圧印加手段により前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する手順と、電気測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う手順と、電気測定データ取得手段により、前記電気測定手段における電気測定データを取得する手順と、電気測定データ判定手段により、前記電気測定データの適否を判定する手順と、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行う手順と、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得する手順と、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する手順とを有する液晶パネルの検査方法であることを要旨とする。
この方法によれば、電圧印加手段により、検査用電極と共通電極との間に電圧を印加することができる。そして、電気測定手段によりこの検査用電極と共通電極との間の電気測定を行うことができる。すなわち、この電気測定により液晶パネルの素子基板とカラーフィルタ基板との間の電気的な検査を行うことができる。次に、電気測定手段における検査用電極と共通電極の電気測定データを、電気測定データ取得手段により取得する。次に、電気測定データ判定手段により、電気測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネルの検査の合否判定を行うことができる。さらに、電圧印加手段により、検査用電極と共通電極との間に電圧を印加してあるので、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により液晶パネルの素子基板とカラーフィルタ基板との間のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定を行うことができる。すなわち、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段における検査用電極と共通電極のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により取得する。次に、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネルの検査の合否判定をより詳細に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
（第１実施形態）
本発明に係る実施形態の液晶パネル及びその液晶パネルを用いた液晶パネルの検査方法について図１及び図２を用いて説明する。
【００２５】
本発明で検査する液晶パネルは素子基板１（図１（ａ）参照）とカラーフィルタ基板６（図１（ｂ）参照）とを備えている。まず、素子基板１の構造について説明する。
【００２６】
図１（ａ）は、本実施形態の液晶パネルが有する素子基板の模式平面図である。
素子基板１の表面には、素子電極２、共通電極３、液晶駆動用電極４、検査用電極５、画素用縞状配線１３が形成されている。
【００２７】
素子電極２は、素子基板１の両端近傍に縦に一列に配置された複数の矩形で形成されている。同図では、左側のものを素子電極２ａ、右側のものを素子電極２ｂと表示している。素子電極２は、カラーフィルタ基板６（図１（ｂ）参照）に形成されている縞状透明電極７（図１（ｂ）参照）と、樹脂等に導電性金属をコーティングさせた、いわゆる導電性樹脂等を用いた導通剤（図１（ｃ）参照）で電気的に接続されている。なお、本発明での透明電極とは、透光性を有する材料、例えばＩＴＯ等で形成された電極として捉えてもよい。
【００２８】
素子基板１は、左側下部側に配置された共通電極３ａと、右側下部に配置された共通電極３ｂとを有している。共通電極３ａは、素子電極２ａと、一方共通電極３ｂは素子電極２ｂと、それぞれ電気的に接続されている。共通電極３ａは、各素子電極２ａ同士は、共通電極内でも電気的に孤立しており、駆動させる素子に対応した素子電極２ａに対して電圧を印加することができる。これは、共通電極３ｂでも同様である。
【００２９】
液晶駆動用電極４は、素子基板１の下部側の略中央部に横長の矩形に形成されており、液晶駆動用電極と電気的に接続されている。また、液晶駆動用電極４は、画素用縞状配線１３と電気的に接続されている。
【００３０】
検査用電極５は、素子基板１の両側の共通電極３の下側に２つの矩形で形成されている。左側にある２つの検査用電極５ａ及び５ｂは、共通電極３ａを介して、それぞれ所定の素子電極２ａに接続されている。これは、右側にある検査用電極５ｃ及び５ｄでも同様である。なお、検査用電極５は、素子電極２と同様に形成されていてもよい。
【００３１】
次にカラーフィルタ基板について説明する。
図１（ｂ）は、液晶パネルが有するカラーフィルタ基板の模式平面図である。カラーフィルタ基板６の表面には、縞状透明電極７と検査用電気配線８が形成されている。
【００３２】
縞状透明電極７は、同図に示すカラーフィルタ基板６に対して横長の矩形に交互に左右に所定量オフセットされるように配置されている。すなわち、同図において、カラーフィルタ基板６の最上部に形成されている縞状透明電極７ａと、そのすぐ下の縞状透明電極７ｂとは、縞状透明電極７ａは右側にずれて配置され、一方、縞状透明電極７ｂは左側にずれて配置されている。縞状透明電極７は、導電性樹脂等で形成された導通剤を介して、素子基板１の素子電極２と電気的に接続される。なお、縞状透明電極７は、ＩＴＯ（Indium Titanium Oxide）等の透明かつ導電性のある材料で形成されている。
【００３３】
検査用電気配線８は、所定の縞状透明電極７同士を電気的に接続する。検査用電気配線８は、右側にずれている縞状透明電極７同士、あるいは、左側にずれている縞状透明電極同士を接続する。同図においては、カラーフィルタ基板６の最上部に形成されている縞状透明電極７ａと最下部から２番目に形成されている縞状透明電極７ｃとが検査用電気配線８で電気的に接続されている。同様に、カラーフィルタ基板６の最上部から２番目に形成されている縞状透明電極７ｂと最下部に形成されている縞状透明電極７ｄとが検査用電気配線８で電気的に接続されている。ここで、検査用電気配線８は導電性の材料で形成されていればよい。さらに望ましくは、縞状透明電極７と同様の材料、すなわち透明導電材料で形成する。縞状透明電極７と検査用電気配線８を同じ材料で形成することは、製造工程上においても、あるいは液晶パネル１０の品質上においても望ましい。
【００３４】
図１（ｃ）は、本実施形態における液晶パネルの模式断面図である。同図においては、下側に図示されている基板がカラーフィルタ基板６であり、その上には縞状透明電極７、検査用電気配線８が図示されている。縞状透明電極７の上には、例えば、樹脂等に導電性金属をコーティングさせた導電性樹脂等の導通剤９が存在している。一方、液晶及び液晶駆動素子を有する素子基板１は、同図では、カラーフィルタ基板６の上部に配置されており、カラーフィルタ基板６に対向する面に素子電極２が存在する。素子電極２は、導通剤９の上に配置されている。導通剤９は、縞状透明電極７及び素子電極２と電気的に接続されている。すなわち、導通剤９によって、素子基板１とカラーフィルタ基板６は電気的に接続されている。また、素子基板１における素子電極２の間の中央部には、画素用縞状配線１３が形成されている。
【００３５】
次に、本実施形態での液晶パネルの検査方法について説明する。プローバ−とテスタを有する電気測定装置を用い、液晶パネル１０の素子基板１に形成された共通電極３ａと検査用電極５ａとの間に電圧印加手段により電圧を印加する。すなわち、プローバ−とテスタを有する電気測定装置を用い、液晶パネル１０の素子基板１に形成された共通電極３ａと検査用電極５ａとにプローブ針を接触させ、電圧を印加する。このときの液晶パネル１０における電流経路は、検査用電極５ａ、共通電極３ａ、素子電極２ａ、導通剤９ａ、縞状透明電極７ａ、検査用電気配線８、縞状透明電極７ｃ、導通剤９ｂ、別な素子電極２ａ、共通電極３ａ、そして検査用電極５ｂとなる。
【００３６】
また、導通剤９ａとは、素子電極２ａと縞状透明電極７ａとを電気的に接続している導通剤を指し、導通剤９ｂとは、素子電極２ａと縞状透明電極７ｂとを電気的に接続している導通剤を指している。
【００３７】
このように、本実施形態における液晶パネル１０が有するカラーフィルタ基板６には、検査用電気配線８が形成されており、また、素子基板１には検査用電極５を有しているので、導通剤９の電気的接続不良を電気的に測定することができる。すなわち、従来は共通電極３と液晶駆動用電極４との間に電圧を印加する必要があり、液晶パネルの検査は点灯検査しかできなかったが、本実施形態の液晶パネルにおいては、液晶を駆動させる必要がないので、導通剤９の電気接続不良を測定することができる。
【００３８】
なお、検査用電極５は、共通電極３の下側ではなく、素子電極２が形成されている列の一部に形成しておいてもよい。また、一方の検査用電極５が共通電極３であってもよい。このような構造においても、本実施形態の作用効果が得られる。
【００３９】
図２は、カラーフィルタ基板６に形成された検査用電気配線８の配置における別例を示している。
図２（ａ）では、同図に示すカラーフィルタ基板６に形成されている最上部の縞状透明電極７と最下部の縞状透明電極７との左右端を、検査用電気配線８で電気的に接続している。この液晶パネル１０について、上記のように電気測定を行うことにより、４箇所の導通剤９についての検査をすることができる。
【００４０】
図２（ｂ）では、同図に示すカラーフィルタ基板６に形成されている縞状透明電極７において、左側に形成されている検査用電気配線８を、最上部の縞状透明電極７と最下部から２番目の縞状透明電極７と電気的に接続している。また、右側に形成されている検査用電気配線８を、略中央の２本の縞状透明電極７と電気的に接続している。この液晶パネル１０について、上記のように電気測定を行うことにより、上下部の導通剤９と中央部の導通剤９についての検査をすることができる。
【００４１】
図２（ｃ）では、検査用電気配線８を１つおきに縞状透明電極７と接続している。ここで、縞状透明電極７は交互に左右ずらして形成されている。したがって、左側に形成されている検査用電気配線８は、左側にずれた、隣合う縞状透明電極７と電気的に接続している。右側の検査用電気配線８も同様である。このように検査用電気配線８をすべての縞状透明電極７と電気的に接続させている。この液晶パネル１０について、上記のように電気測定を行うことにより、ほぼすべての導通剤９についての検査をすることができる。
【００４２】
図２（ｄ）では、液晶パネルの表示に使用する縞状透明電極７とは別に検査用縞状透明電極７Ａを有する。同図では、検査用縞状透明電極７Ａは、カラーフィルタ基板６の上部側と下部側に形成されている。また、検査用縞状透明電極７Ａは、縞状透明電極７よりも細く形成される。上部側の検査用縞状透明電極７Ａと上部側の縞状透明電極７とを検査用電気配線８で電気的に接続している。また、下部側も同様に検査用縞状透明電極７Ａと縞状透明電極７を検査用電気配線８で接続している。この液晶パネル１０について、上記のように電気測定を行うことにより、上下部の導通剤９についての検査をすることができる。また、液晶パネル１０の検査による表示部の悪影響を防止することができる。すなわち、製品として使用する縞状透明電極で電気的な検査を行わずに済む。これにより、液晶パネル１０の検査による液晶パネル点灯不良の発生を低減することができる。
【００４３】
なお、本実施形態においては、液晶駆動用電極４を備えた素子基板２を有する液晶パネル１０について説明したが、液晶駆動用電極４がない単純マトリックス方式の液晶パネル１０においても、本実施形態と同様の効果が得られる。
【００４４】
第１実施形態の効果を以下に記載する。
（１）カラーフィルタ基板６に検査用電気配線８を有し、素子基板１に検査用電極５を有することにより、電流経路は検査用電極５ａから、共通電極３ａ、素子電極２ａ、縞状透明電極７、検査用電気配線８、別な縞状透明電極７、別な素子電極２ａ、共通電極、別な検査用電極５ｂとなり、液晶パネル１０におけるカラーフィルタ基板６と素子基板１との間の電気抵抗を液晶駆動素子等を介さずに直接測定することができる。
（２）縞状透明電極７が検査用電気配線８で全て電気的に接続されていることにより、素子基板１とカラーフィルタ基板６の間の電気的な検査を全ての縞状透明電極７で行うことができる。したがって、より詳細な液晶パネル１０の電気的な検査を行うことができる。
（３）カラーフィルタ基板６に検査用縞状透明電極７Ａを有することにより、製品として使用する縞状透明電極７で電気的な検査を行わずに済む。これにより、液晶パネル１０の検査による液晶パネル点灯不良の発生を低減することができる。
【００４５】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態を図３を用いて説明する。
図３は、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ（InfraRed-Optical Beam Induced Resistance CHange）測定方法を説明する液晶パネルの模式断面図である。液晶パネル１０の構造は、図１（ｃ）と同様である。カラーフィルタ基板６は、図１（ｂ）あるいは図２（ａ）〜（ｄ）で示した基板である。
【００４６】
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定による液晶パネルの検査方法について説明する。第１実施形態と同様に、素子基板１の共通電極３と検査用電極５とに電圧印加手段により電圧を印加する。液晶パネル１０に上記のように電圧を印加した状態で、素子基板１側から赤外線レーザ１１を所望の範囲に照射する。赤外線レーザ１１を照射された加熱領域１２は、部分的に熱せられ、温度が上昇する。加熱領域１２の温度上昇により、加熱領域１２の電気抵抗が変化する。この加熱による電気抵抗の変化によって引き起こされる電流の変化を検出する。なお、赤外線レーザ１１は、液晶パネル１０全体を走査することが可能である。したがって、特に検査したい部分、すなわち導通剤９が存在している領域で、かつ電圧印加手段により電流が流れている部分について、このＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定を行うことで、効率的に導通剤９の導通状態を電気測定よりも詳細に検査することができる。
【００４７】
ここで、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法の原理について説明する。ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法は、電気配線などに赤外線レーザを照射し、局所的な加熱を行う。その加熱による抵抗変化に伴う電流変化を検出する測定法である。赤外線レーザ１１を走査しながら電流変化を輝度変化に換算して、モニター等の表示部に画像として検出結果を出力させる。電流が流れている電気配線に赤外線レーザ１１を照射すると、電気配線が金属性である場合、すなわち、温度が上昇すると電気抵抗が上昇する性質を有する場合には、電気抵抗が増大する。したがって、検出される電流は減少する。電流の大きさを輝度換算し、すなわち、電流値の大小を輝度の明暗に対応させて、表示部に表示することにより、赤外線レーザ１１で加熱する加熱領域１２についての状態を把握することができる。例えば、液晶パネル１０の素子基板１とカラーフィルタ基板６とを電気的に接続している導通剤９に含まれている導電性粒子について、実際に電気伝導に寄与している個数を把握することができる。したがって、局所領域での電気特性が画像データとして取得することができ、導通剤９の欠陥を直接的に把握することができる。また、導電性粒子が小さい場合においても、ＩＲ−ＯＢＩＣＨ法により導電性粒子の導通の有無を検出することができる。
【００４８】
第２実施形態の効果について以下に記載する。
（４）電圧印加手段により、検査用電極５と共通電極３との間に電圧を印加して、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定により液晶パネル１０の素子基板１とカラーフィルタ基板６との間の電気的な検査をより詳細に行うことができる。ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法とは、測定箇所に赤外線レーザを照射し、その箇所の温度変化による電気抵抗の変化を画面上に表示させる測定方法である。したがって、測定箇所の電流経路や電気配線の欠陥の情報を得ることができる。
【００４９】
（第３実施形態）
第３実施形態について図４〜図６を用いて説明する。
図４は、本実施形態で使用する液晶パネルの検査装置の電気的構成を示すブロック図である。液晶パネルの検査装置１０１は、コンピュータ１０２、液晶パネル測定装置１１０、入力部１１４及び表示部１１５を備えている。
【００５０】
コンピュータ１０２には、ＣＰＵ１０３、ＲＯＭ１０４、ＲＡＭ１０５、バス１０６、測定装置用インタフェイス部１０７、入力インタフェイス部１０８及び出力インタフェイス部１０９を備えている。測定装置用インタフェイス部１０７は液晶パネル測定装置１１０と、入力インタフェイス部１０８は入力部１１４と、出力インタフェイス部１０９は表示部１１５と電気的に接続されている。
【００５１】
液晶パネル測定装置１１０は、電圧印加部１１１、テスタ１１２及びＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定装置１１３とを備えている。液晶パネル測定装置１１０は、コンピュータ１０２と測定装置用インタフェイス部１０７を介して電気的に接続されている。入力部１１４は、キーボードあるいは液晶パネルの検査装置の操作ボタン等を用いており、コンピュータ１０２と入力インタフェイス部１０８を介して電気的に接続されている。表示部１１５は、例えば、ディスプレイや印刷装置等を用いており、コンピュータ１０２と出力インタフェイス部１０９を介して電気的に接続されている。
【００５２】
図５は、液晶パネルの検査装置の機能的構成を示すブロック図である。液晶パネルの検査装置１０１の機能的手段は、コンピュータ１０２が主に有しており、測定方法選択手段１１７、電圧印加手段１１６、電気測定手段１１８、電気測定データ取得手段１１９、電気測定データ判定手段１２０、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段１２１、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段１２２及びＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段１２３の機能で構成されている。
【００５３】
電圧印加手段１１６では、電圧印加プログラムをＲＯＭ１０４から読み出す。ＣＰＵ１０３で電圧印加プログラムにより演算処理を行い、その電圧印加演算結果データをＲＡＭ１０５に一時的に記憶する。また、その電圧印加演算データをＲＡＭ１０５からバス１０６及び測定装置用インタフェイス部１０７を介して、液晶パネル測定装置１１０の電圧印加部１１１に送信する。
【００５４】
測定方法選択手段１１７では、液晶パネル１０の測定を行うための初期化を行うと、ＲＯＭ１０４に記憶されている測定方法選択プログラムが読み出され、ＣＰＵ１０３で演算処理され、バス１０６及び出力インタフェイス１０９を介してディスプレイ等の表示部１１５に測定方法の選択手段を表示する。その表示をユーザが確認し、入力部１１４は、測定選択データを受け付け、そのデータを入力インタフェイス部１０８及びバス１０６を介してＣＰＵ１０３で演算処理される。その選択手段演算データはＲＡＭ１０５に一時的に記憶される。また、その選択手段演算データを、ＲＡＭ１０５からバス１０６、測定装置用インタフェイス部１０７を介して液晶パネル測定装置１１０に送信する。
【００５５】
電気測定手段１１８では、測定方法選択手段１１７での判断に基づき、電気測定プログラムをＲＯＭ１０４から読み出す。ＣＰＵ１０３で電気測定プログラムの演算処理を行い、その電気測定演算データをＲＡＭ１０５に一時的に記憶する。また、その電気測定演算データをＲＡＭ１０５からバス１０６及び測定装置用インタフェイス部１０７を介して、液晶パネル測定装置１１０のテスタ１１２に送信する。
【００５６】
電気測定データ取得手段１１９では、液晶パネル測定装置１１０のテスタ１１２が有する電気測定データを、測定装置用インタフェイス部１０７及びバス１０６を介してＲＡＭ１０５に一時的に記憶する。また、この電気測定データをＲＡＭ１０５から読み出して、バス１０６及び出力インタフェイス部１０９を介して表示部１１５に表示させることができる。
【００５７】
電気測定データ判定手段１２０では、ＲＯＭ１０４、ＲＡＭ１０５あるいは入力部１１４等で事前に取得している判定条件データと、ＲＯＭ１０４から電気測定データ判定プログラムとを読み出し、ＣＰＵ１０３にて演算処理を行う。この電気測定判定データをＲＡＭ１０５に一時的に記憶する。また、この電気測定判定データをＲＡＭ１０５から読み出して、バス１０６及び出力インタフェイス部１０９を介して表示部１１５に表示させることができる。
【００５８】
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段１２１では、測定方法選択手段１１７での判断に基づき、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定プログラムをＲＯＭ１０４から読み出す。ＣＰＵ１０３でＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定プログラムの演算処理を行い、そのＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定演算データをＲＡＭ１０５に一時的に記憶する。また、そのＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定演算データをＲＡＭ１０５からバス１０６及び測定装置用インタフェイス部１０７を介して、液晶パネル測定装置１１０のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定装置１１３に送信する。
【００５９】
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段１２２では、液晶パネル測定装置１１０のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定装置１１３が有するＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを、測定装置用インタフェイス部１０７及びバス１０６を介してＲＡＭ１０５に一時的に記憶する。また、このＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データをＲＡＭ１０５から読み出して、バス１０６及び出力インタフェイス部１０９を介して表示部１１５に表示させることができる。
【００６０】
ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段１２３では、ＲＯＭ１０４、ＲＡＭ１０５あるいは入力部１１４等で事前に取得している判定条件データと、ＲＯＭ１０４からＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定プログラムとを読み出し、ＣＰＵ１０３にて演算処理を行う。このＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定判定データをＲＡＭ１０５に一時的に記憶する。また、このＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定判定データをＲＡＭ１０５から読み出して、バス１０６及び出力インタフェイス部１０９を介して表示部１１５に表示させることができる。
【００６１】
図６は、本実施形態の液晶パネルの検査方法の流れを示すフローチャートである。
ステップＳ１０では、液晶パネル１０に対して電圧の印加を行う。液晶パネル測定装置１１０に液晶パネル１０をセットし、液晶パネル１０の共通電極３及び検査用電極５に電圧印加部１１１としてのプローバ（図示せず）のプローブ針を接触させ、電圧を印加する。これにより、第１実施形態で説明したように液晶あるいは液晶駆動素子を介することなく、液晶パネル１０における素子基板１の素子電極、カラーフィルタ基板６の縞状透明電極７、検査用電気配線８、素子基板１とカラーフィルタ基板６とを電気的に接続するための導通剤９を通る経路で電流を流すことができる。なお、電圧印加部１１１は、液晶パネル１０に電圧を直接印加するプローバとしたが、プローバ全体を統御するテスタ１１２まで含めた電気測定装置としてもよい。
【００６２】
ステップＳ２０では、液晶パネル１０について電気測定を行うか否かを選択する。液晶パネルの検査装置１０１の表示部１１５に、電気測定を行うかどうかの選択を促す表示を行う。ユーザは、入力部１１４にて、電気測定の有無の選択を行い、電気測定を行う場合はステップＳ３０に進み、そうでなければステップＳ６０に進む。
【００６３】
ステップＳ３０では、液晶パネル１０の電気測定を行う。液晶パネル測定装置１１０の電圧印加部１１１としてのプローバにより、電圧を印加したときの液晶パネル１０の電気抵抗等をテスタ１１２で測定する。
【００６４】
ステップＳ４０では、液晶パネルの検査装置１０１にて電気測定データの取得を行う。ステップＳ３０で測定した電気測定データは、液晶パネルの検査装置１０１へ送信され、コンピュータ１０２に一時的に記憶される。
【００６５】
ステップＳ５０では、ステップＳ４０の電気測定データを用いて、液晶パネル１０の電流値の判定を行う。例えば、液晶パネルの検査装置１０１に予め、電流値の判定データを入力しておき、その電流の判定値と実測値とを比較して判定値以上の電流値であれば、検査されている液晶パネル１０は合格とし、そうでなければ不合格として判定する。判定データは、印加電圧と判定値となる電流値を最初にテーブルあるいは式として液晶パネルの検査装置に入れておく。例えば、印加電圧が１０Ｖの場合には、判定電流値を１ｍＡとし、１Ｖの場合には０．１５ｍＡとして、液晶パネルの判定を行う。液晶パネル１０が合格とされた場合には、次のステップＳ６０に進み、不合格とされた場合には液晶パネル１０の検査を終了する。この判定結果は、液晶パネルの検査装置１０１の表示部１１５に表示される。なお、液晶パネル１０がステップＳ５０で不合格と判定されても次のステップＳ６０に進んでもよい。不合格とされた液晶パネル１０をさらに検査したい場合には有効である。また、液晶パネル１０の検査を電気測定だけで終了することもできる。液晶パネルの電流判定値において確実に合否を判定できる場合には、液晶パネル１０の検査の時間短縮に貢献できる。
【００６６】
ステップＳ６０では、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定を行うか否かを選択する。液晶パネルの検査装置１０１の表示部１１５に、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定を行うかどうかの選択を促す表示を行う。ユーザは、入力部１１４にて、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定の有無の選択を行い、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定を行う場合はステップＳ７０に進み、そうでなければ液晶パネル１０の検査を終了する。なお、ステップＳ２０で電気測定を行わない選択をして、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定のみを行う選択も可能である。ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定の方が、電気測定よりも詳細なデータを得ることができる利点がある。
【００６７】
ステップＳ７０では、液晶パネル１０のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定を行う。液晶パネル測定装置１１０の電圧印加部１１１としてのプローバにより、液晶パネル１０に電圧を印加して、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定装置１１３にて測定を行う。ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定においては、測定中のデータも画像データとして液晶パネルの検査装置１０１の表示部１１５に表示される。
【００６８】
ステップＳ８０では、液晶パネルの検査装置１０１にてＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの取得を行う。ステップＳ７０で測定したＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データは、液晶パネルの検査装置１０１へ送信され、コンピュータ１０２に一時的に記憶される。ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データは、液晶パネルの検査装置１０１の表示部１１５に表示される。
【００６９】
ステップＳ９０では、ステップＳ８０のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを用いて液晶パネル１０の判定を行う。ステップＳ５０の電流値判定と同様に、例えば、液晶パネルの検査装置１０１に予め、導通剤９に含まれる導電性粒子が電気伝導に寄与している個数の割合の判定データを入力しておき、その判定値と実測値とを比較して判定値以上の個数であれば、検査されている液晶パネル１０は合格とし、そうでなければ不合格として判定する。ここで、電気伝導に寄与している導電性粒子の個数の割合Ｗとは、電気伝導率に寄与している導電性粒子の個数を、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定で観察される導電性粒子の個数で除した値である。判定基準は、例えば、Ｗが５０％以上の場合は検査されている液晶パネル１０は合格と判定し、Ｗが５０％未満の場合には不合格と判定する。この判定結果は、液晶パネルの検査装置１０１の表示部１１５に表示される。
【００７０】
なお、電圧印加手段１１６は、ステップＳ１０を実行するコンピュータ１０２及び電圧印加部１１１により構成されている。また、測定方法選択手段１１７は、ステップＳ２０及びステップＳ６０を実行するコンピュータ１０２及び入力部１１４により構成されている。また、電気測定手段１１８は、ステップＳ３０を実行するコンピュータ１０２及びテスタ１１２により構成されている。また、電気測定データ取得手段１１９は、ステップＳ４０を実行するコンピュータ１０２及びテスタ１１２により構成されている。また、電気測定データ判定手段１２０は、ステップＳ５０を実行するコンピュータ１０２により構成されている。また、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段１２１は、ステップＳ７０を実行するコンピュータ１０２及びＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定装置１１３により構成されている。また、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段１２２は、ステップＳ８０を実行するコンピュータ１０２及びＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定装置１１３により構成されている。また、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段１２３は、ステップＳ９０を実行するコンピュータ１０２により構成されている。
【００７１】
第３実施形態においても、第１実施形態の効果（１）〜（３）及び第２実施形態の効果（４）が得られる。さらに以下の効果も得られる。
（５）電気測定手段１１８により取得した検査用電極５と共通電極３の電気測定データを、電気測定データ取得手段１１９により取得する。次に、電気測定データ判定手段１２０により、電気測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネル１０の検査の合否判定を行うことができる。
（６）ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段１２１における検査用電極５と共通電極３のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段１２２により取得する。次に、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段１２３により、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネル１０の検査の合否判定をより詳細に行うことができる。
（７）電圧印加手段１１６により、検査用電極５と共通電極３との間に電圧を印加することができる。そして、電気測定手段１１８によりこの検査用電極５と共通電極３との間の電気測定を行うことができる。すなわち、この電気測定により液晶パネル１０の素子基板１とカラーフィルタ基板６との間の電気的な検査を行うことができる。次に、電気測定手段１１８における検査用電極５と共通電極３の電気測定データを、電気測定データ取得手段１１９により取得する。次に、電気測定データ判定手段１２０により、電気測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネル１０の検査の合否判定を行うことができる。さらに、電圧印加手段１１６により、検査用電極５と共通電極３との間に電圧を印加してあるので、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により液晶パネルの素子基板とカラーフィルタ基板との間でＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定を行うことができる。すなわち、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段１２１における検査用電極５と共通電極３のＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により取得する。次に、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段１２３により、ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する。これにより、液晶パネル１０の検査の合否判定をより詳細に行うことができる。
【００７２】
以下、上記実施形態から導き出される技術的思想を記載する。
【００７３】
（１）請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液晶パネルにおける前記カラーフィルタ基板と前記素子基板の電気的接続状態を検査する液晶パネル検査方法であって、コンピュータの電圧印加手段により前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する手順と、コンピュータ電気測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う手順とを有する液晶パネルの検査方法。
【００７４】
（２）請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液晶パネルにおける前記カラーフィルタ基板と前記素子基板の電気的接続状態を検査する液晶パネルの検査方法であって、コンピュータの電圧印加手段により前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する手順と、コンピュータのＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行う手順とを有する液晶パネルの検査方法。
【００７５】
（３）請求項９に記載の液晶パネルの検査方法であって、コンピュータの電気測定データ取得手段により、前記電気測定データ手段における電気測定データを取得する手順と、コンピュータの電気測定データ判定手段により、前記電気測定データの適否を判定する手順とを有する液晶パネルの検査方法。
【００７６】
（４）請求項１０に記載の液晶パネルの検査方法であって、コンピュータのＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得する手順と、コンピュータのＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する手順とを有する液晶パネルの検査方法。
【００７７】
（５）請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液晶パネルにおける前記カラーフィルタ基板と前記素子基板の電気的接続状態を検査する液晶パネルの検査方法であって、コンピュータの電圧印加手段により前記検査用電極と前記共通電極との間に電圧を印加する手順と、コンピュータの電気測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間の電気測定を行う手順と、コンピュータの電気測定データ取得手段により、前記電気測定データ手段における電気測定データを取得する手順と、コンピュータの電気測定データ判定手段により、前記電気測定データの適否を判定する手順と、コンピュータのＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段により前記検査用電極と前記共通電極との間をＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定法にて測定を行う手順と、コンピュータのＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データを取得する手順と、コンピュータのＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段により、前記ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データの適否を判定する手順とを有する液晶パネルの検査方法。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】（ａ）は、本発明の第１実施形態における液晶パネルが有する素子基板を示す模式平面図。（ｂ）は液晶パネルが有するカラーフィルタ基板を示す模式平面図、（ｃ）は液晶パネルの模式断面図。
【図２】本発明の第１実施形態におけるカラーフィルタ基板を示す模式平面図。
【図３】第２実施形態におけるＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定を説明する模式断面図。
【図４】第３実施形態における液晶パネルの検査装置の電気的構成を示すブロック図。
【図５】第３実施形態における液晶パネルの検査装置の機能的構成を示すブロック図。
【図６】第３実施形態における液晶パネルの検査方法を説明するフローチャート。
【符号の説明】
【００７９】
１…素子基板、２…素子電極、３…共通電極、４…液晶駆動用電極、５…検査用電極、６…カラーフィルタ基板、７…縞状透明電極、７a…検査用縞状透明電極、８…検査用電気配線、９…導通剤、１０…液晶パネル、１１…赤外線レーザ、１２…加熱領域、１３…画素用縞状配線、１０１…液晶パネルの検査装置、１０２…コンピュータ、１０３…ＣＰＵ、１０４…ＲＯＭ、１０５…ＲＡＭ、１０６…バス、１０７…測定装置用インタフェイス部、１０８…入力インタフェイス部、１０９…出力インタフェイス部、１１０…液晶パネル測定装置、１１１…電圧印加部、１１２…テスタ、１１３…ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定装置、１１４…入力部、１１５…表示部、１１６…電圧印加手段、１１７…測定方法選択手段、１１８…電気測定手段、１１９…電気測定データ取得手段、１２０…電気測定データ判定手段、１２１…ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定手段、１２２…ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ取得手段、１２３…ＩＲ−ＯＢＩＲＣＨ測定データ判定手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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