(57)【要約】【課題】  ステージのストローク調整を簡単に、しかも所望するストローク範囲を正確に設定することができる顕微鏡ステージを提供する。【解決手段】  顕微鏡本体に固定された下ステージ１０３、下ステージ１０３に対して直線移動可能に設けられた中ステージ１０２、中ステージ１０２に対して該中ステージ１０２の移動方向と直交する方向に直線移動可能に設けられた上ステージ１０１、中ステージ１０２に設けられ、該中ステージ１０２と上ステージ１０１の移動を操作するステージ移動操作ハンドル１０７を備えた顕微鏡ステージであって、中ステージ１０２および上ステージ１０１の移動範囲を任意の範囲に調整する移動範囲調整手段を操作する操作部４０６、４０７（５０５、５０６）をステージ移動操作ハンドル１０７の近傍に配置した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡本体に固定された下ステージと、該下ステージに対して直線移動可能に設けられた中ステージと、この中ステージに対して該中ステージの移動方向と直交する方向に直線移動可能に設けられた上ステージと、前記中ステージに設けられ、前記中ステージと上ステージの移動を操作するステージ移動操作ハンドルとを備えた顕微鏡ステージにおいて、
前記中ステージおよび上ステージの移動範囲を任意の範囲に調整する移動範囲調整手段と、該移動範囲調整手段を操作する操作手段を具備し、
前記操作手段を前記ステージ移動操作ハンドルの近傍に配置したことを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項２】
顕微鏡本体に固定された下ステージと、該下ステージに対して直線移動可能に設けられた中ステージと、この中ステージに対して該中ステージの移動方向と直交する方向に直線移動可能に設けられた上ステージを備えた顕微鏡ステージにおいて、
前記下ステージ上の該下ステージに対する前記中ステージの移動方向に沿って配置され、且つそれぞれ独立して回転可能に支持される１対のシャフトと、これらシャフトに各別設けられ、これらシャフトの回転に応じて前記中ステージの移動方向に沿って移動可能にした範囲調整部材とを有し、前記範囲調整部材の移動位置で決定される、これら範囲調整部材の間の範囲で前記中ステージの移動範囲を調整可能にした第１の移動範囲調整手段と、
前記中ステージ上の該中ステージに対する前記上ステージの移動方向に沿って配置され、且つそれぞれ独立して回転可能に支持される１対のシャフトと、これらシャフトに各別設けられ、これらシャフトの回転に応じて前記上ステージの移動方向に沿って移動可能にした範囲調整部材とを有し、前記範囲調整部材の移動位置で決定される、これら範囲調整部材の間の範囲で前記上ステージの移動範囲を調整可能にした第２の移動範囲調整手段と、
を具備したことを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項３】
前記第１および第２の移動範囲調整手段は、それぞれ１対のシャフトが平行に配置され、これらシャフトに設けられる範囲調整部材は、それぞれの移動範囲が前記中ステージ及び上ステージの移動方向に沿った異なる位置に設定されることを特徴とする請求項２記載の顕微鏡ステージ。
【請求項４】
前記第１および第２の移動範囲調整手段は、それぞれ１対のシャフトが直線方向に一列に配置され、一方のシャフトは、中空部を有し、該中空部に、他方のシャフトと連結され、該他方のシャフトを回転させる補助シャフトを挿通したことを特徴とする請求項２記載の顕微鏡ステージ。
【請求項５】
前記第１および第２の移動範囲調整手段は、それぞれ１対のシャフトが直線方向に一列に配置され、一方のシャフトは、中空部を有し、該中空部に、前記一方のシャフト又は他方のシャフトに選択的に連結され、前記一方のシャフト又は他方のシャフトを回転させる補助シャフトを挿通したことを特徴とする請求項２記載の顕微鏡ステージ。
【請求項６】
前記補助シャフトは、前記一方のシャフトの中空部に沿って直線移動可能になっていて、該移動方向に応じて一方のシャフト又は他方のシャフトに選択的に連結されることを特徴とする請求項５記載の顕微鏡ステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡に用いられる顕微鏡ステージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡には、試料を載置するためのステージが設けられているが、このような顕微鏡ステージとしては、Ｘ方向（顕微鏡正面から見て左右方向）とＹ方向（顕微鏡正面から見て前後方向）への水平移動を可能にした構成のものが一般的である。
【０００３】
図３０は、従来の顕微鏡ステージの概略構成を示すもので、上ステージ１０１、中ステージ１０２、下ステージ１０３の３枚の構成からなっている。中ステージ１０２には、微動操作可能なＸ−Ｙ移動操作ハンドル１０７が固定されており、図３１に示すようにハンドル１０７ａを回すことでプーリ２０１aを回転させてベルト２０１bを駆動させ、ベルト２０１bと上ステージ１０１に固定された押さえ部２０１cを移動させ、上ステージ１０１をＸ方向に微動移動させるようにしている。
【０００４】
同様に、中ステージ１０２（及び上ステージ１０１）をＹ方向に微動移動させる場合は、図３２に示すようにハンドル１０７ｂを回す。すると、この回転がプーリ３０１a及びベルト３０１bに伝わり、該ベルト３０１bと下ステージ１０３に固定された押さえ部３０１cが移動して中ステージ１０２（及び上ステージ１０１）がＹ方向に微動移動する。
【０００５】
一方、上ステージ１０１をＸ−Ｙ方向に粗移動させる場合は、図３０に示す粗動操作グリップ１０６に具備されたクラッチレバー１０６ａを引くことにより、図示しないワイヤーで連結されたベルト２０１ｂ，３０１ｂと押さえ部材２０１ｃ，３０１ｃの固定が解除され、粗動操作グリップ１０６の移動による上ステージ１０１の粗動移動が可能となる。
【０００６】
ところで、最近、顕微鏡は、観察対象物として半導体ウエハや液晶パネルなどの製品検査に用いられることが増加している。ところが、このような半導体ウエハや液晶パネルは、製品によって大きさの異なることがあり、このような大きさの異なる観察対象物を顕微鏡等によって観察する場合、ステージに必要とされる移動ストローク(ステージの水平移動距離)が異なってくる。このことは、観察対象物の大きさに関係なく、ステージの移動ストロークを一定にすると、仮に、観察対象物が小さいような場合、ステージの移動量が余分に存在するため、オーバーランして再度観察対象物を探し直すという煩わしさがあった。
【０００７】
そこで、大きさの異なる観察対象物毎に最適なストロークを有するステージを用意することが考えられるが、これでは、ステージの種類が多くなり、特に、ユーザは、観察対象物の大きさに応じてストロークの異なる顕微鏡ステージを用意しなければならないため、コスト的な面での負担が大きくなるという問題を生じる。
【０００８】
このような問題を解決するため、大きなストロークのステージにストローク位置を規制する機構を具備させた顕微鏡ステージが考えられている。例えば、特許文献１には、複数のピンを下位ステージの予め施されているネジ穴に取り付け、移動する上位ステージの溝と下位ステージ側のピンが当てつく範囲でストローク位置を決めるようにした顕微鏡ステージが開示されている。
【特許文献１】特開２００３−２４１１０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが、特許文献１に開示されるものでは、顕微鏡観察時に、観察対象物の大きさに合わせてステージのストローク位置の決定や特定の二点間で位置決めを行う場合、ステージ上から観察対象物を取り外したのち、ピンを下位ステージに取り付けなけれぱならず、また、その際、透過照明が邪魔になるので、この透過照明についても取外ししなれければならず、このための作業に多大な手間がかかり煩わしい。また、下位ステージに予め施されているネジ穴にピンを取り付けるようになるため、ネジ穴の位置に応じた段階的なストローク位置調整のみとなり所望する位置範囲を正確に設定するということができない。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ステージのストローク調整を簡単に、しかも所望するストローク範囲を正確に設定することができる顕微鏡ステージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の発明は、顕微鏡本体に固定された下ステージと、該下ステージに対して直線移動可能に設けられた中ステージと、この中ステージに対して該中ステージの移動方向と直交する方向に直線移動可能に設けられた上ステージと、前記中ステージに設けられ、前記中ステージと上ステージの移動を操作するステージ移動操作ハンドルとを備えた顕微鏡ステージにおいて、前記中ステージおよび上ステージの移動範囲を任意の範囲に調整する移動範囲調整手段と、該移動範囲調整手段を操作する操作手段を具備し、前記操作手段を前記ステージ移動操作ハンドルの近傍に配置したことを特徴としている。
【００１２】
請求項２記載の発明は、顕微鏡本体に固定された下ステージと、該下ステージに対して直線移動可能に設けられた中ステージと、この中ステージに対して該中ステージの移動方向と直交する方向に直線移動可能に設けられた上ステージを備えた顕微鏡ステージにおいて、前記下ステージ上の該下ステージに対する前記中ステージの移動方向に沿って配置され、且つそれぞれ独立して回転可能に支持される１対のシャフトと、これらシャフトに各別設けられ、これらシャフトの回転に応じて前記中ステージの移動方向に沿って移動可能にした範囲調整部材とを有し、前記範囲調整部材の移動位置で決定される、これら範囲調整部材の間の範囲で前記中ステージの移動範囲を調整可能にした第１の移動範囲調整手段と、前記中ステージ上の該中ステージに対する前記上ステージの移動方向に沿って配置され、且つそれぞれ独立して回転可能に支持される１対のシャフトと、これらシャフトに各別設けられ、これらシャフトの回転に応じて前記上ステージの移動方向に沿って移動可能にした範囲調整部材とを有し、前記範囲調整部材の移動位置で決定される、これら範囲調整部材の間の範囲で前記上ステージの移動範囲を調整可能にした第２の移動範囲調整手段と、を具備したことを特徴としている。
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記第１および第２の移動範囲調整手段は、それぞれ１対のシャフトが平行に配置され、これらシャフトに設けられる範囲調整部材は、それぞれの移動範囲が前記中ステージ及び上ステージの移動方向に沿った異なる位置に設定されることを特徴としている。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記第１および第２の移動範囲調整手段は、それぞれ１対のシャフトが直線方向に一列に配置され、一方のシャフトは、中空部を有し、該中空部に、他方のシャフトと連結され、該他方のシャフトを回転させる補助シャフトを挿通したことを特徴としている。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記第１および第２の移動範囲調整手段は、それぞれ１対のシャフトが直線方向に一列に配置され、一方のシャフトは、中空部を有し、該中空部に、前記一方のシャフト又は他方のシャフトに選択的に連結され、前記一方のシャフト又は他方のシャフトを回転させる補助シャフトを挿通したことを特徴としている。
【００１６】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明において、前記補助シャフトは、前記一方のシャフトの中空部に沿って直線移動可能になっていて、該移動方向に応じて一方のシャフト又は他方のシャフトに選択的に連結されることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ステージのストローク調整を簡単に、しかも所望するストローク範囲を正確に設定することができる顕微鏡ステージを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００１９】
（第１の実施の形態）
図１〜図４は、本発明の第１の実施の形態にかかる顕微鏡ステージに適用されるをストローク範囲調整機構について示している。
【００２０】
図１は、ステージ全体の斜視図を示している。この場合、顕微鏡ステージは、上ステージ１０１、中ステージ１０２、下ステージ１０３の３枚の構成からなっている。中ステージ１０２には、微動操作可能なＸ−Ｙ移動操作ハンドル１０７が固定され、上ステージ１０１には、クラッチレバ−１０６aを有する粗動操作グリップ１０６が固定されている。
【００２１】
下ステージ１０３のＸ方向に沿った側面には、ステージ全体のＹ方向のストローク範囲を調整する操作手段としての操作部４０６、４０７が配置されている。また、中ステージ１０２のＹ方向に沿った側面には、ステージ全体のＸ方向のストローク範囲を調整する操作手段としての操作部５０５、５０６が配置されている。この場合、これら操作部４０６、４０７、５０５、５０６は、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル１０７の近傍に配置されている。
【００２２】
図２は、第１の移動範囲調整手段としてのＹ方向のストローク範囲調整機構を説明するための下ステージ１０３を下から見た平面図である。下ステージ１０３には、Ｙ方向に沿って開口部１０３１が形成され、この開口部１０３１に沿って２本のシャフト４０１,４０２が平行に配置されている。これらシャフト４０１,４０２の一方端部には、操作部４０６、４０７が各別に取付けられている。
【００２３】
シャフト４０２（４０１）は、図４に示すように下ステージ１０３の開口部１０３１両端の側壁１０３１ａに設けられた穴部１０３１ｂに圧入固定されたラジアルベアリング４０８、４０９により回転可能に支持されている。また、シャフト４０１,４０２には、図２に示すように、シャフトねじ部４０１a、４０２aが形成されている。この場合、シャフトねじ部４０１a、４０２aは、Ｙ方向に沿った異なる位置に配置されている。
【００２４】
これらシャフトねじ部４０１a、４０２aには、ストロークの範囲調整を行なうための範囲調整部材４０３、４０４が設けられている。これら範囲調整部材４０３、４０４は、対応するシャフト４０１,４０２の回転に伴い、シャフトねじ部４０１a、４０２aに沿ってＹ方向に移動するようになっている。
【００２５】
また、図４に示すようにシャフト４０２（４０１）の一方端には、操作部４０７（４０６）がビス４０７ａ（４０６ａ）により固定され、他方端には、留め金４１０がネジ止め固定されている。
【００２６】
図３は、図２の側面方向から見た範囲調整部材４０４（４０３）の断面図を示している。中ステージ１０２下面には、Ｙ方向、つまりシャフト４０２（４０１）に沿って溝１０２aが形成されている。この溝１０２aのＹ方向の略中央位置には、ストッパ４０５が不図示のネジにより固定されている。このストッパ４０５は、範囲調整部材４０３、４０４が当接されることで、中ステージ１０２のＹ方向の移動範囲を規制するものである。
【００２７】
また、範囲調整部材４０４（４０３）は、ねじ穴４０４b（４０３ｂ）を有し、このねじ穴４０４b（４０３ｂ）にシャフトねじ部４０２a（４０１ａ）が螺装されている。さらに範囲調整部材４０４（４０３）には、接触部４０４a（４０３ａ）が一体に設けられている。この接触部４０４a（４０３ａ）は、溝１０２a内に嵌め込まれている。これにより、シャフト４０２（４０１）を回転することにより、接触部４０４a（４０３ａ）とともに範囲調整部材４０４（４０３）が溝１０２aに沿ってＹ方向に直線移動可能となっている。
【００２８】
一方、図５は、第２の移動範囲調整手段としてのＸ方向のストローク範囲調整機構を説明するための中ステージ１０２を下から見た平面図である。中ステージ１０２には、Ｘ方向に沿って開口部１０２１が形成され、この開口部１０２１に沿って２本のシャフト５０３、５０４が平行に配置されている。これらシャフト５０３、５０４には、操作部５０５、５０６が各別に取付けられている。この場合もシャフト５０３、５０４の両端は、図４で述べたのと同様に、中ステージ１０２のＸ方向の不図示の側壁に設けられたラジアルベアリングにより回転可能に支持されている。また、シャフト５０３,５０４は、シャフトねじ部５０３ａ,５０４ａが形成されている。この場合、シャフトねじ部５０３ａ,５０４ａは、Ｘ方向に沿った異なる位置に配置されている。
【００２９】
シャフトねじ部５０３a,５０４aには、ストロークの範囲調整を行なうための範囲調整部材５０１,５０２が設けられている。これら範囲調整部材５０１,５０２は、一体に設けられた接触部（不図示）が上ステージ１０１のＸ方向に沿って形成された溝(不図示)に嵌め込まれていて、シャフト５０３,５０４を回転することにより、範囲調整部材５０１,５０２が不図示の溝に沿ってＸ方向に直線移動可能となっている。また、上ステージ１０１の不図示の溝のＸ方向の略中央位置には、ストッパ５０７が不図示のネジにより固定されている。このストッパ５０７は、範囲調整部材５０１,５０２が当接されることで、上ステージ１０１のＸ方向の移動範囲を規制するものである。
【００３０】
次に、このように構成したストローク範囲調整機構の作用を説明する。
【００３１】
まず、Ｙ方向のストローク範囲の調整を説明する。この場合、操作部４０７を回転操作する。すると、シャフト４０２が回転し、接触部４０４aとともに範囲調整部材４０４が溝１０２aに沿ってＹ方向に直線移動し、この移動によりＹ方向の移動範囲の一方の規制位置が設定される。同様にして、操作部４０６を回転操作すると、シャフト４０１が回転し、接触部４０３aとともに範囲調整部材４０３が溝１０２aに沿ってＹ方向に直線移動し、この移動によりＹ方向の移動範囲の他方の規制位置が設定される。これにより、中ステージ１０２のＹ方向の移動は、ストッパ４０５が範囲調整部材４０３、４０４に当接して規制される範囲となり、中ステージ１０２のＹ方向のストローク範囲が設定される。
【００３２】
一方、Ｘ方向のストローク範囲の調整を行なうには、操作部５０５を回転操作する。すると、シャフト５０４が回転し、範囲調整部材５０２が不図示の溝に沿ってＸ方向に直線移動し、この移動によりＸ方向の移動範囲の一方端部が設定される。同様にして、操作部５０６を回転操作すると、シャフト５０３が回転し、範囲調整部材５０１が不図示の溝に沿ってＸ方向に直線移動し、この移動によりＸ方向の移動範囲の他方端部が設定される。これにより、上ステージ１０１のＸ方向の移動は、ストッパ５０７が範囲調整部材５０２，５０１に当接して規制される範囲となり、上ステージ１０１のＸ方向のストローク範囲が設定される。
【００３３】
したがって、このようにすれば、上ステージ１０１、中ステージ１０２、下ステージ１０３で構成される顕微鏡ステージの水平方向のストローク範囲の調整を行なうためのＸＹ方向のストローク範囲調整機構を、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル１０７の近傍に配置される操作部４０６、４０７及び操作部５０５、５０６により操作することができるので、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル１０７と同様に、手元でストローク範囲の調整を行なうことができるようになり、かかるストローク調整を簡単に行なうことができ、使い易さを、より向上させることができる。
【００３４】
また、操作部４０６、４０７（５０５、５０６）の回転操作に連動する２本のシャフト４０１,４０２（５０３,５０４）の回転に応じた範囲調整部材４０３、４０４（５０１,５０２）の直線方向の移動によりＸＹ方向のそれぞれのストローク範囲を調整することができるので、従来の段階的なストローク調整と比べ、所望するストローク範囲を正確に設定することができる。また、操作部４０６、４０７（５０５、５０６）の回転させるだけの操作なので、ストローク範囲調整のための時間を大幅に短縮することもできる。
【００３５】
(第２の実施の形態)
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００３６】
図６〜図９は、本発明の第２の実施の形態にかかる顕微鏡ステージに適用されるストローク範囲調整機構について示すもので、図１および図２と同一部分には、同符号を付している。
【００３７】
図６は、Ｙ方向のストローク範囲調整機構を説明するための下ステージ１０３を下から見た平面図である。下ステージ１０３には、Ｙ方向に沿って開口部１０３１、１０３２，１０３３が形成され、開口部１０３１，１０３３に対応させてシャフト６０２、６０１が直線方向に一列に配置されている。シャフト６０２、６０１は、回転可能に支持され、また、周面には、シャフトねじ部６０２a、６０１aが形成されている。これらシャフトねじ部６０２a、６０１aには、ストロークの範囲調整を行なうための範囲調整部材６０４、６０３が設けられている。これら範囲調整部材６０４、６０３は、対応するシャフト６０２,６０１の回転に伴い、シャフトねじ部６０２a、６０１aに沿ってＹ方向に移動するようになっている。
【００３８】
図７は、図６の側面方向から見たストローク範囲調整機構の断面図を示している。この場合、シャフト６０２は、中空部６０２ｂを有し、この中空部６０２ｂに沿って補助シャフトとしてのシャフト６０１１が挿通されている。このシャフト６０１１には、シャフト６０１が連結されている。シャフト６０１は、開口部１０３３両端の側壁１０３３ａに設けられた穴部１０３３ｂに圧入固定されたラジアルベアリング６２１、６２２により回転可能に支持されている。また、シャフト６０２は、開口部１０３３両端の側壁１０３１ａに設けられた穴部１０３１ｂに圧入固定されたラジアルベアリング６２３、６２４により回転可能に支持されている。
【００３９】
そして、シャフト６０２の一方端には、操作部６３１が固定され、また、シャフト６０１１の一方端には、操作部６３２が固定され、操作部６３１によりシャフト６０２を回転操作可能とし、操作部６３２によりシャフト６０１１を介してシャフト６０１を回転操作可能にしている。
【００４０】
なお、シャフト６０１は、シャフト６０１１との連結側と反対側端部に留め金４１０が固定されている。
【００４１】
図８は、図７に示すＡ部の拡大図を示している。この場合、シャフト６０２の先端部には、操作部６３１が取り付けられている。また、シャフト６０２の中空部６０２ｂに配置されたシャフト６０１１の先端には、操作部６３２がビス６３２ａにより固定されている。シャフト６０２の中空部６０２ｂには、シャフト６０２とシャフト６０１１の間にラジアルベアリング６２５が圧入固定され、シャフト６０１１の回転をスムーズにしている。
【００４２】
図９は、図７に示すＢ部の拡大図を示している。この場合、シャフト６０１の先端には、連結部６０５が設けられている。この連結部６０５は、先端部に鍔部６０５ａを有し、この鍔部６０５ａ端面に凹部６０５ｂが形成されている。また、凹部６０５ｂの底面には、シャフト６０１の中心線の延長線上に沿ったねじ穴６０５ｃが形成され、このねじ穴６０５ｃを介してシャフト６０１端面にビス６０５ｄをねじ込むことで、シャフト６０１先端に一体に固定されている。一方、シャフト６０１１の先端にも、連結部６０６が設けられている。この連結部６０６は、連結部６０５の凹部６０５ｂに嵌合される形状を有するもので、端面に凹部６０６ａが形成されている。また、凹部６０６ａには、シャフト６０１１の中心線の延長線上に沿った穴６０６ｂが形成され、この穴６０６ｂを介してシャフト６０１１端面にビス６０６ｃをねじ込むことで、シャフト６０１１先端に一体に固定されている。そして、これらの連結部６０５と６０６は、連結部６０５の凹部６０５ｂに連結部６０６を嵌合した状態で、ビス６０７により一体に固定されている。
【００４３】
シャフト６０２の中空部６０２ｂには、シャフト６０２とシャフト６０１１の間にラジアルベアリング６２６が圧入固定され、シャフト６０１１の回転をスムーズにしている。
【００４４】
なお、ここでは、Ｙ方向のストローク範囲調整機構のみを示したが、Ｘ方向のストローク範囲調整機構についても、中ステージ１０２に対して同様にして構成されている。
【００４５】
次に、このように構成したストローク範囲調整機構の作用を説明する。
【００４６】
まず、Ｙ方向のストローク範囲の調整を説明する。この場合、操作部６３１を回転操作すると、シャフト６０２が回転する。これにより、第１の実施の形態で述べたのと同様に、中ステージ１０２下面に形成された不図示の溝に沿って範囲調整部材６０４がＹ方向に直線移動し、この移動によりＹ方向の移動範囲の一方の規制位置が設定される。同様にして、操作部６３２を回転操作すると、シャフト６０１１、連結部６０６、６０５を介してシャフト６０１が回転する。これにより、第１の実施の形態で述べたと同様に、中ステージ１０２下面に形成された不図示の溝に沿って範囲調整部材６０３がＹ方向に直線移動し、この移動によりＹ方向の移動範囲の他方の規制位置が設定される。これにより、中ステージ１０２のＹ方向の移動は、不図示のストッパが範囲調整部材６０３、６０４に当接して規制される範囲となり、中ステージ１０２のＹ方向のストローク範囲が設定される。
【００４７】
一方、Ｘ方向のストローク範囲の調整についても、同様な操作が行われ、上ステージ１０１のＸ方向のストローク範囲が設定される。
【００４８】
したがって、このようにしても、第１の実施の形態と同様な効果を得ることができる。また、２本のシャフト６０２、６０１を直線方向に一列に配置する構成としたので、ストローク範囲調整機構の幅方向の占有スペースを小さくすることができ、その分、下ステージ１０３のＹ方向に沿った開口部１０３１、１０３２，１０３３の幅寸法を小さくできるので、下ステージ１０３の剛性を高めることができる。
【００４９】
(第３の実施の形態)
次に、本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００５０】
図１０〜図１３は、本発明の第３の実施の形態にかかる顕微鏡ステージに適用されるストローク範囲調整機構について示すもので、第２の実施の形態と同様な構成部分には、同符号を付している。
【００５１】
図１０は、Ｙ方向のストローク範囲調整機構を説明するための下ステージ１０３を下から見た平面図である。下ステージ１０３には、Ｙ方向に沿って開口部１０３１、１０３２，１０３３が形成され、開口部１０３１，１０３３に対応させてシャフト７０１、７０２が直線方向に一列に配置されている。シャフト７０１、７０２は、回転可能に支持され、また、周面には、シャフトねじ部７０１a、７０２aが形成されている。これらシャフトねじ部７０１a、７０２aには、ストロークの範囲調整を行なうための範囲調整部材７０３、７０４が設けられている。これら範囲調整部材７０３、７０４は、対応するシャフト７０１,７０２の回転に伴い、シャフトねじ部７０１a、７０２aに沿ってＹ方向に移動するようになっている。
【００５２】
図１１は、図１０の側面方向から見たストローク範囲調整機構の断面図を示している。この場合、シャフト７０１は、中空部７０１ｂを有し、この中空部７０１ｂに沿って補助シャフトとしてのシャフト７０１１が挿通されている。このシャフト７０１１は、回転可能で、しかも中空部７０１ｂの軸方向に移動可能になっている。シャフト７０１は、開口部１０３１両端の側壁１０３１ａに設けられた穴部１０３１ｂに圧入固定されたラジアルベアリング７２３、７２４により回転可能に支持されている。また、シャフト７０２は、開口部１０３３両端の側壁１０３３ａに設けられた穴部１０３３ｂに圧入固定されたラジアルベアリング７２１、７２２により回転可能に支持されている。
【００５３】
そして、シャフト７０１１の一方端には、操作部７０５が固定され、この操作部７０５によりシャフト７０１１の回転と軸方向に沿った移動操作を可能にしている。
【００５４】
なお、シャフト７０２は、シャフト７０２と反対側端部に止め金４１０が固定されている。
【００５５】
図１２（ａ）は、図１１に示すＡ部の拡大図を示している。この場合、シャフト７０１の端部は、側壁１０３１ａに設けられた穴部１０３１ｂに圧入固定されたラジアルベアリング７２４により回転可能に支持されている。また、シャフト７０１の中空部７０１ｂに配置されたシャフト７０１１の先端には、操作部７０５がビス７０５ａにより固定されている。
【００５６】
図１２（ｂ）は、図１１に示すＢ部の拡大図を示している。この場合、シャフト７０２の先端には、連結部７１１が設けられている。この連結部７１１は、一方端部に鍔部７１１ａを有し、この鍔部７１１ａ端面に断面を多角形、例えば六角形をした凹部７１１ｂが形成されている。また、凹部７１１ｂの底面には、シャフト７０２の中心線の延長線上に沿ったねじ穴７１１ｃが形成され、このねじ穴７１１ｃを介してシャフト７０１端面にビス７１１ｄをねじ込むことで、シャフト７０２先端に一体に固定されている。
【００５７】
また、シャフト７０１のシャフト７０１側端部には、鍔部７０１ａが形成されている。この鍔部７０１ａ端面には、連結部７１２が設けられている。この連結部７１２には、断面を多角形、例えば六角形をした穴部７１２ａが形成されている。
【００５８】
一方、シャフト７０１の中空部７０１ｂに配置されたシャフト７０１１先端には、連結具７０１１ａが一体に形成されている。この連結具７０１１ａは、シャフト７０２の連結部７１１又はシャフト７０１の連結部７１２に連結可能にしたもので、先端部に連結部７１１の凹部７１１ｂに嵌合可能な、断面を多角形、例えば六角形をした連結部７０１１ｂ、基端部に連結部７１２に嵌合可能な、断面を多角形、例えば六角形をした連結部７０１１ｃがそれぞれ形成され、シャフト７０１１の軸方向に沿った移動により連結部７１１又は連結部７１２に選択的に連結されるようになっている。
【００５９】
なお、ここでは、Ｙ方向のストローク範囲調整機構のみを示したが、Ｘ方向のストローク範囲調整機構についても、中ステージ１０２に対して同様にして構成されている。
【００６０】
次に、このように構成したストローク範囲調整機構の作用を説明する。
【００６１】
まず、Ｙ方向のストローク範囲の調整を説明する。この場合、図１３（ａ）に示すように操作部７０５を引き操作すると、シャフト７０１１の軸方向に沿った図示矢印方向の移動により連結具７０１１ａの連結部７０１１ｃがシャフト７０１の連結部７１２の穴部７１２ａに嵌合される。この状態で、操作部７０５を回転操作すると、シャフト７０１が回転する。これにより、第１の実施の形態で述べたと同様に、中ステージ１０２下面に形成された不図示の溝に沿って範囲調整部材７０３がＹ方向に直線移動し、この移動によりＹ方向の移動範囲の一方の規制位置が設定される。
【００６２】
次に、図１３（ｂ）に示すように操作部７０５を押し操作すると、シャフト７０１１の軸方向に沿った図示矢印方向の移動により連結具７０１１ａの連結部７０１１ｂが、今度は、シャフト７０２の連結部７１１の凹部７１１ｂに嵌合される。この状態で、操作部７０５を回転操作すると、シャフト７０２が回転する。これにより、第１の実施の形態で述べたのと同様に、中ステージ１０２下面に形成された不図示の溝に沿って範囲調整部材７０４がＹ方向に直線移動し、この移動によりＹ方向の移動範囲の他方の規制位置が設定される。これにより、中ステージ１０２のＹ方向の移動は、不図示のストッパが範囲調整部材７０３、７０４に当接して規制される範囲となり、中ステージ１０２のＹ方向のストローク範囲が設定される。
【００６３】
一方、Ｘ方向のストローク範囲の調整についても、同様な操作が行われ、上ステージ１０１のＸ方向のストローク範囲が設定される。
【００６４】
したがって、このようにしても、第１の実施の形態及び第２の実施の形態と同様な効果を得ることができる。また、シャフト７０１の中空部７０１ｂに挿通されたシャフト７０１１を軸方向に移動させることで、シャフト７０１又は７０２と選択的に連結し、さらに操作部７０５によりシャフト７０１１を回転することで、シャフト７０１又は７０２を回転させることができるので、ストローク範囲調整のための全ての操作を共通の操作部７０５で行なうことができ、さらに、操作が簡単になるとともに、構成も簡単にすることができる。また、共通の操作部７０５とすることで、範囲調整部材７０３、７０４の位置調整をそれぞれ行うことにより、操作個所を間違えるような誤操作も防止することができる。
【００６５】
(第４の実施の形態)
次に、本発明の第４の実施の形態を説明する。
【００６６】
この場合、第４の実施の形態にかかる顕微鏡ステージについては、図１と同様なので、同図を援用するものとする。
【００６７】
図１４〜図１６は、本発明の第４の実施の形態にかかる顕微鏡ステージに適用されるストローク範囲調整機構について示すもので、ここでは、第２の実施の形態と同様な構成部分には、同符号を付している。
【００６８】
この場合、下ステージ１０３のＹ方向に沿って配置されたシャフト６０１、６０２と平行に断面を直方体形状にしたシャフト８０５が配置されている。このシャフト８０５は、後述する固定部材８０６、８０７とともに、シャフト６０１、６０２の回転を規制する回転規制手段を構成するもので、下ステージ１０３のＹ方向に沿った開口部１０３１、１０３３の側壁１０３１ａ、１０３３ａを貫通して設けられている。また、側壁１０３１ａ、１０３３ａの貫通穴１０３１ｃ、１０３３ｃは、シャフト８０５の径より大きくなっていて、シャフト８０５全体をシャフト６０１、６０２に向かう方向、つまり軸方向と直交する方向に移動可能にしている。また、シャフト８０５は、シャフト６０２の操作部６３１と同じ方向の端部に操作部８０４が固定され、また、操作部８０４と反対側端部に留め金８０３が固定されている。
【００６９】
シャフト８０５の両端部には、固定部材８０６、８０７が設けられている。これら固定部材８０６、８０７は、摩擦係数の高い、例えばゴム材のような材料からなるもので、シャフト８０５全体のシャフト６０１、６０２に向かう方向の移動により、シャフト６０１、６０２の一部（ねじの切っていない部分）に当接し、シャフト６０１、６０２の回転を阻止するようになっている。
【００７０】
このような構成において、操作部８０４を操作して、シャフト８０５をシャフト６０１、６０２に向かう方向（図面の上方向）に移動させ、固定部材８０６、８０７をシャフト６０１、６０２の一部（ねじの切っていない部分）に当接させる（図１６の状態）。これにより、摩擦係数の高い固定部材８０６,８０７のシャフト６０１、６０２への当接により、これらシャフト６０１、６０２の回転が抑制され、範囲調整部材６０３、６０４の位置が固定される。
【００７１】
したがって、このようにすれば、必要に応じてシャフト６０１、６０２の回転を規制し、容易にストローク範囲調整機構での調整操作ができないようにしたので、ステージ水平移動の粗動移動時などに、ストローク範囲が変化してしまうようなことがなくなり、安定してストローク範囲の設定を維持することができる。
【００７２】
このような第４の実施の形態の構成は、上述した第１乃至第３の実施の形態に適用することができる。
【００７３】
(第５の実施の形態)
次に、本発明の第５の実施の形態を説明する。
【００７４】
図１７〜図２０は、本発明の第５の実施の形態にかかる顕微鏡ステージに適用されるストローク範囲調整機構について、さらにステージのストローク範囲の調整で粗動調整を行うことができる減速機構を示すもので、第３の実施の形態と同様な構成部分には、同符号を付している。
【００７５】
図１７は、粗微動機構を上から見た下ステージ１０３の斜視図を示す。この場合、ストローク範囲調整機構の直線方向にシャフト７０２とともに一列に配置されたシャフト７０１と平行にシャフト９０１が配置される。シャフト９０１は、開口部１０３１両端の側壁１０３１ａを貫通して設けられ、回転可能で、しかも軸方向に移動可能になっている。
【００７６】
図１８、図１９は、図１７のＡ部の拡大図を示している。この場合、シャフト９０１は、側壁１０３１ａを貫通した開口部１０３２側先端には、断面を多角形、例えば六角形をした連結具９０１ａが一体に形成されている。また、開口部１０３２の側壁には、外径の大きな歯車９０２が回転可能に設けられている。この歯車９０２の回転中心には、穴部９０２ａが形成されている。この穴部９０２ａは、断面を多角形、例えば六角形に形成したもので、シャフト９０１を引き操作したとき、連結具９０１ａが嵌合され、歯車９０２を回転させるようにしている。
【００７７】
シャフト７０１には、減速機構としての歯車９０２と常時噛合された外径の小さな歯車９０３が設けられている。この歯車９０３は、シャフト９０１の連結具９０１ａが歯車９０２の穴部９０２ａに嵌合された状態で、このシャフト９０１の回転をシャフト７０１に伝えるようにしている。一方、シャフト７０２の側壁１０３３ａを貫通した開口部１０３２側先端には、凹部７１１ｂを有する連結部７１１が設けられている。この連結部７１１は、周面に外径の小さな歯車９０５が設けられている。この歯車９０５に隣接して外径の大きな歯車９０４が配置されている。この歯車９０４は、開口部１０３２の側壁に回転可能に設けられ、常時、歯車９０５に噛合され減速機構を構成している。また、歯車９０４の回転中心には、穴部９０４ａが形成されている。この穴部９０４ａは、断面を多角形、例えば六角形に形成したもので、シャフト９０１を押し操作したとき、連結具９０１ａが嵌合され、シャフト９０１の回転を歯車９０４、９０５を介してシャフト７０２に伝えるようにしている。
【００７８】
なお、ここでは、Ｙ方向のストローク範囲の粗動調整機構のみを示したが、Ｘ方向のストローク範囲の粗動調整機構についても中ステージ１０２に対して同様にして構成されている。
【００７９】
このような構成において、まず、図２０（ａ）に示すようにシャフト９０１を押し操作すると、シャフト９０１先端の連結具９０１ａが歯車９０４の回転中心の穴部９０４ａに嵌合される。この状態からシャフト９０１を回転操作すると、シャフト９０１の回転は、歯車９０４より歯車９０５に伝えられ、シャフト７０２が回転する。これにより、シャフト７０２の回転に応じて範囲調整部材７０４が移動し、Ｙ方向のストローク範囲の一方の規制位置の粗動調整を行うことができる。
【００８０】
次に、図２０（ｂ）に示すようにシャフト９０１を引き操作すると、今度は、シャフト９０１先端の連結具９０１ａが歯車９０２の回転中心の穴部９０２ａに嵌合される。この状態からシャフト９０１を回転操作すると、シャフト９０１の回転は、歯車９０２より歯車９０３に伝えられ、シャフト７０１が回転する。これにより、シャフト７０１の回転に応じて範囲調整部材７０３が移動し、Ｙ方向のストローク範囲の他方の規制位置の粗動調整を行うことができる。
【００８１】
一方、Ｘ方向のストローク範囲についても、同様な操作が行われ、上ステージ１０１のＸ方向のストローク範囲の粗動調整が行われる。
【００８２】
したがって、このようにすれば、必要に応じて、ストローク範囲の移動を粗動、微動で行うことができる。
【００８３】
なお、各シャフトに取付ける歯車の関係を、上述した組み合わせと逆にして、加速機構を構成すれば、ストローク範囲調整の微動操作を実現することができる。
【００８４】
(第６の実施の形態)
次に、本発明の第６の実施の形態を説明する。
【００８５】
図２１〜２５は、第６の実施の形態にかかる顕微鏡ステージの概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００８６】
この第６の実施の形態では、ステージのＹ方向、Ｘ方向にそれぞれ移動範囲を表示する移動範囲表示手段を設置し、ステージのＹ方向、Ｘ方向の移動範囲の位置を視認できるようにしている。
【００８７】
図２１は、ステージの左右方向、つまりＸ方向のスケールを示している。この場合、上ステージ１０１の前側にＸ方向に沿ってスケール１００１が設けられている。
【００８８】
図２２に、図２１のＡ部の拡大図、図２３にストローク指示部材１００２の構成を示している。スケール１００１には、ストローク指示部材１００２，１００３が設けられている。これらストローク指示部材１００２，１００３は、Ｘ方向のストローク範囲を指示するもので、スケール１００１に沿って形成された上ステージガイド穴１０１ａに沿って移動可能になっている。ストローク指示部材１００２は、Ｌ形状をしたもので、先端部が上ステージ１０１上面に配置され、基端部が上ステージガイド穴１０１ａを介して上ステージ１０１内部に導入されている。そして、ストローク指示部材１００２の基端部は、範囲調整部材１００４にビス１００５により固定され、範囲調整部材１００４とともに移動可能になっている。ストローク指示部材１００３についても同様で、不図示の他の範囲調整部材に固定され、この範囲調整部材とともに移動可能になっている。
【００８９】
一方、図２４は、ステージの前後方向、つまりＹ方向のスケールを示し、図２５は図２４のＡ部の拡大図を示している。この場合、下ステージ１０３の側面のＹ方向に沿ってスケール１１０１を設け、中ステージ１０２の側面にスケール１１０１に対応させて指標１１０２を設けている。
【００９０】
このような構成において、いま、ステージの左右、Ｘ方向のスケールを読み取るには、ストローク指示部材１００２、１００３の位置から、スケール１００１の目盛りを読み取ることにより、ステージのＸ方向のストローク範囲を確認することができる。
【００９１】
また、ステージの前後、Ｙ方向のスケールを読み取るには、ステージを前後方向に動かし、ステージが範囲調整部材に当て付く位置で、指標１１０２の位置をスケール１１０１で読み取り、ステージのＹ方向のストローク範囲の位置を確認する。
【００９２】
したがって、このようにすれば、ステージの前後(Ｙ)方向、左右(Ｘ)方向のストローク範囲を事前に確認することができるので、あらかじめ、試料の寸法がわかっているような場合は、ステージのストローク範囲を予め調整してから、試料観察を行なうことができる。
【００９３】
なお、第１の実施の形態で述べたように、２つの範囲調整部材５０１,５０２が同一軸線状にない場合は、指示部材１００２、１００３の取付方向を左右逆向きにすればよい。
【００９４】
(第７の実施の形態)
次に、本発明の第７の実施の形態を説明する。
【００９５】
第７の実施の形態は、弾性部材を用いたストローク範囲規制機構を示している。
【００９６】
図２６、図２７は、本発明の第７の実施の形態にかかる顕微鏡ステージに適用されるストローク範囲調整機構について示すもので、第１の実施の形態と同様な構成部分には、同符号を付している。
【００９７】
図２６は、ストローク範囲調整機構の要部の断面図を示している。この場合、下ステージ１０３のＹ方向に沿って配置されたシャフト１２０２は、周面に範囲調整部材１２０１が螺装されるねじ部１２０２ｂが形成されたもので、開口部１０３１両端の側壁１０３１ａに設けられた穴部１０３１ｂに圧入固定されたラジアルベアリング１２０７、１２０８により回転可能に支持されている。また、シャフト１２０２は、一方端部に操作部１２０６が取付けられ、他方の端部に留め金１２０５が固定されている。
【００９８】
図２７（ａ）は、図２６のＡ部の拡大図を示している。この場合、開口部１０３１の側壁１０３１ａの穴部１０３１ｂ周面に段部１０３１ｄが形成され、また、シャフト１２０２の穴部１０３１ｂへの挿通端部周面にも段部１２０２ａが形成されている。そして、これら段部１０３１ｄと１２０２ａの間に、弾性部材としてのばね１２０３が挿入されている。このばね１２０３は、シャフト１２０２に対し、軸方向に沿って操作部１２０６側への弾性力を作用するものである。
【００９９】
図２７（ｂ）は、図２６のＢ部の拡大図を示している。この場合も、開口部１０３１の側壁１０３１ａの穴部１０３１ｂ周面に段部１０３１ｃが形成されている。そして、この段部１０３１ｃと操作部１２０６の端部との間にばね１２０４が挿入されている。このばね１２０４は、シャフト１２０２に対し、軸方向に沿って留め金１２０５側への弾性力を作用するものである。
【０１００】
このようにすると、シャフト１２０２の軸方向にばね１２０３、１２０４の弾性力が常時作用されており、ステージ移動の粗動操作の際に範囲調整部材１２０１に強い力が加わることがあっても、これらばね１２０３、１２０４の弾性力により、この時の力を吸収することができるので、シャフト１２０２に形成されるねじ部１２０２ｂに余計な力がかからないようにでき、スムーズな粗動操作を実現することができる。
【０１０１】
なお、この第７の実施の形態は、第１の実施の形態に適用することを前提で説明したが、第２、第３の実施の形態でも同様の構成を取ることができる。
【０１０２】
第２の実施の形態の場合は、図７に示すシャフト６０２の両端と側壁１０３１ａとの間にばねを介在させ、また、シャフト６０１の両端と側壁１０３３ａとの間にばねを介在させるようになる。一方、第３の実施の形態の場合は、図１１に示すシャフト７０１の両端と側壁１０３１ａとの間にばねを介在させ、また、シャフト７０２の両端と側壁１０３３ａとの間にばねを介在させるようになる。
【０１０３】
（変形例）
第５の実施の形態では、ストローク範囲の粗微動を第３の実施の形態に適用した例を説明したが、第１及び第２の実施の形態にも、同様に適用することができる。
【０１０４】
図２８は、第１の実施の形態に適用した粗微動機構の例すもので、図４と同一部分には、同符号を付している。
【０１０５】
この場合、シャフト４０２（４０１）と並べて粗動操作部１３０３が配置されている。この粗動操作部１３０３には、外径が大きい歯車１３０１を取り付けられている。この歯車１３０１は外径が小さい歯車１３０２と噛み合っており、この歯車１３０２はシャフト４０２（４０１）に固定されている。これにより、粗動燥作部１３０３を回転させることにより、歯車１３０１を介して歯車１３０２が回転して、シャフト４０２（４０１）を回転させることにより、第１の実施の形態と同様の機構で、範囲調整部材４０４（４０３）を水平方向に動かすことができ、ストローク範囲調整の粗動を行うことができる。
【０１０６】
また、図２９は、第２の実施の形態に適用した粗微動機構の例すもので、図７と同一部分には、同符号を付している。
【０１０７】
この場合、開口部１０３１の側壁１０３１ａの間には、シャフト６０２と平行にシャフト１４０１が配置されている。このシャフト１４０１は、中空部１４０１ａを有し、この中空部１４０１ａには、シャフト１４０２が回転可能に支持されている。これらシャフト１４０１、１４０２には、それぞれ粗動操作部１４０３ａ、１４０３ｂが設けられている。シャフト１４０１の粗動操作部１４０３ａ側端部には、外径の大きな歯車１４０４が取り付けられている。この歯車１４０４は外径が小さい歯車１４０５と噛み合っており、この歯車１４０５はシャフト６０２に固定されている。一方、シャフト１４０２の粗動操作部１４０３ｂと反対側端部には、外径の大きな歯車１４０６が取り付けられている。この歯車１４０６は、側壁１０３３ａに回転可能に支持されている。この歯車１４０６は外径が小さい歯車１４０７と噛み合っており、この歯車１４０７はシャフト６０１に固定されている。これにより、粗動燥作部１４０３ａを回転させることにより、歯車１４０４を介して歯車１４０５が回転して、シャフト６０２を回転させることにより、範囲調整部材６０４を水平方向に動かすことができ、また、粗動燥作部１４０３ｂを回転させることにより、歯車１４０６を介して歯車１４０７が回転して、シャフト６０１を回転させることにより、範囲調整部材６０３を水平方向に動かすことができるようになり、第２の実施の形態と同様の機構で、ストローク範囲調整の粗動を行うことができる。
【０１０８】
この場合も、各シャフトに取付ける歯車の関係を上述した組み合わせと逆にして、加速機構を構成すれば、ストローク範囲調整の微動操作を実現することができる。
【０１０９】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【０１１０】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる顕微鏡ステージの全体を示す斜視図。
【図２】顕微鏡ステージのＹ方向のストローク範囲調整機構を示す平面図。
【図３】図２の側面方向から見た範囲調整部材の断面図。
【図４】ストローク範囲調整機構の全体の断面図。
【図５】顕微鏡ステージのＸ方向のストローク範囲調整機構を示す平面図。
【図６】本発明の第２の実施の形態のＹ方向のストローク範囲調整機構を示す平面図。
【図７】図６の側面方向から見たストローク範囲調整機構の断面図。
【図８】図７に示すＡ部の拡大図。
【図９】図７に示すＢ部の拡大図。
【図１０】本発明の第３の実施の形態のＹ方向のストローク範囲調整機構を示す平面図。
【図１１】図１０の側面方向から見たストローク範囲調整機構の断面図。
【図１２】図１１に示すＡ、Ｂ部の拡大図
【図１３】Ｙ方向のストローク範囲の調整を説明するための図。
【図１４】本発明の第４の実施の形態のストローク範囲調整機構を示す断面図。
【図１５】図１４の要部の拡大図。
【図１６】ストローク範囲の調整を固定した状態を説明するための図。
【図１７】本発明の第５の実施の形態の粗微動機構を上から見た下ステージの斜視図。
【図１８】図７のＡ部の拡大図。
【図１９】図７のＡ部の拡大図。
【図２０】粗微動機構の動作を説明するための図。
【図２１】本発明の第６の実施の形態のステージのＸ方向のスケールを示す図。
【図２２】図２１のＡ部の拡大図。
【図２３】ストローク指示部材の構成を示ず図。
【図２４】ステージのＹ方向のスケールを示す図。
【図２５】図２４のＡ部の拡大図。
【図２６】本発明の第７の実施の形態のストローク範囲調整機構の要部の断面図。
【図２７】図２６のＡ，Ｂ部の拡大図。
【図２８】本発明の変形例の粗微動機構の例す図。
【図２９】本発明の他の変形例の粗微動機構の例す図。
【図３０】従来の顕微鏡ステージの概略構成を示すず。
【図３１】従来の顕微鏡ステージの中ステージを示す図。
【図３２】従来の顕微鏡ステージのＹ移動ガイドを示す図。
【符号の説明】
【０１１２】
１０１…上ステージ、１０１ａ…上ステージガイド穴
１０２…中ステージ、１０２a…溝
１０３…下ステージ、１０４…ホルダ載置部
１０６…粗動操作グリップ、１０７…Ｙ移動操作ハンドル
１０７ａ…ハンドル、１０７ｂ…ハンドル
２０１a…プーリ、２０１b…ベルト
３０１a…プーリ、３０１b…ベルト
３０２…留め金、４０１…シャフト
４０２…シャフト、４０１ａ、４０２ａ…ねじ部
４０３．４０４…範囲調整部材、４０３a、４０４ａ…接触部
４０３ｂ、４０４b…ねじ穴、４０５…ストッパ
４０６．４０７…操作部、４０７ａ…ビス
４０８．４０９…ラジアルベアリング、４１０…留め金
５０２．５０１…範囲調整部材、５０３．５０４…シャフト
５０５．５０６…操作部、５０７…ストッパ
６０１．６０２…シャフト、６０１ａ．６０２ａ…ねじ部
６０１１…シャフト、６０２ｂ…中空部
６０３．６０４…範囲調整部材、６０５…連結部
６０５ａ…鍔部、６０５ｂ…凹部、６０５ｃ…ねじ穴
６０５ｄ…ビス、６０６…連結部、６０６ａ…凹部
６０６ｂ…穴、６０６ｃ…ビス、６０７…ビス
６２１〜６２６…ラジアルベアリング、６３１…操作部
６３２…操作部、６３２ａ…ビス、７０１．７０２…シャフト
７０１ａ…鍔部、７０１ｂ…中空部、７０１１…シャフト
７０１１ａ…連結具、７０１１ｂ、７０１１ｃ…連結部
７０３．７０４…範囲調整部材、７０５…操作部
７０５ａ…ビス、７１１…連結部、７１１ａ…鍔部
７１１ｂ…凹部、７１１ｃ…ねじ穴、７１１ｄ…ビス
７１２…連結部、７１２ａ…穴部
７２１．７２２…ラジアルベアリング
７２３．７２４…ラジアルベアリング
８０３…留め金、８０４…操作部、８０５…シャフト
８０６．８０７…固定部材、９０１…シャフト
９０１ａ…連結具、９０２〜９０５…歯車
９０２ａ…穴部、９０４ａ…穴部
１００１…スケール、１００２．１００３…ストローク指示部材
１００４…範囲調整部材、１００５…ビス
１１０１…スケール、１１０２…指標
１０２１…開口部、１０３１〜１０３３…開口部
１０３１ａ．１０３３ａ…側壁、１０３１ａ．１０３３ａ…穴部
１０３１ｃ．１０３３ｃ…貫通穴、１０３１ｄ…段部
１２０１…範囲調整部材、１２０２…シャフト
１２０２ａ…段部、１２０５…留め金、１２０６…操作部
１２０７．１２０８…ラジアルベアリング
１３０１…歯車、１３０２…歯車
１３０３…粗動操作部、１４０１．１４０２…シャフト
１４０１ａ…中空部、１４０３ａ．１４０３ｂ…粗動操作部
１４０４〜１４０７…歯車
【図１】
2006243557.tif 000003
【図２】
2006243557.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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