(57)【要約】【課題】穴や溝への不要な接着剤のはみ出しを改善したインクジェットヘッドの製造方法を提供する【解決手段】貫通孔又は溝を各々有する複数のプレートを、接着剤層を介して積層し、内部に液体流路を形成した液体流路部材を形成するとともに、該液体流路部材の表面に圧電アクチュエータを接合するインクジェットヘッドの製造方法において、前記接着剤を弾性体からなる接着剤転写シートに塗布し、該接着剤転写シートにダミー部材を接触させて、該接着剤転写シートの表面に塗布された接着剤を前記ダミー部材に転写した後、前記接着剤転写シートに前記プレートを接触させて、前期接着剤転写シートの表面に残留する接着剤を、前記プレートに転写することを特徴とする【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔又は溝を各々有する複数のプレートを、接着剤層を介して積層し、内部に液体流路を形成した液体流路部材を形成するとともに、該液体流路部材の表面に圧電アクチュエータを接合するインクジェットヘッドの製造方法において、前記接着剤を弾性体からなる接着剤転写シートに塗布し、該接着剤転写シートにダミー部材を接触させて、該接着剤転写シートの表面に塗布された接着剤を前記ダミー部材に転写した後、前記接着剤転写シートに前記プレートを接触させて、前記接着剤転写シートの表面に残留する接着剤を、前記プレートに転写することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記ダミー部材が、前記プレートよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記接着剤転写シートに塗布した接着剤を前記プレートに転写する前に、ダミー部材への接着剤の転写を２回以下とすることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記複数のプレートの積層に当り、当接する一対のプレート当接面のいずれか一方に接着剤を塗布し、他方のプレート当接面には接着剤を塗布しないことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
接着層厚みが０．３〜２μｍであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドの製造方法に関し、特に、圧電体の振動を利用した印刷ヘッドに好適なインクジェットヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
印刷ヘッドは、例えば流路部材に設けられた液体圧力室内の液体を加圧し、液体加圧室から、液滴を噴出し、記録媒体に記録するものである。このような流路部材は、貫通孔又は溝を各々有する複数のプレートを、接着剤層を介して積層して液体流路が形成されている。
【０００３】
例えば、従来のインクジェット印刷ヘッドでは、インク室、圧力室、ノズル等のインク流路を構成するために、複数のプレートを積層し、プレート同士を接着剤で接着していた（例えば、特許文献１）。
【０００４】
例えば、図４は従来のインクジェット印刷ヘッドの構成を模式的に示した断面図である。図４によれば、インクジェット印刷ヘッドは、ノズルプレート１２１と、プールプレート１２２と、供給孔プレート１２３と、封止プレート１２４と、圧力室プレート１２５と、振動プレート１２６とを積層したものに、圧電アクチュエータやヒータ等の圧力発生装置１２７が取り付けられている。
【０００５】
ノズルプレート１２１には、インクを噴出させるためのノズル孔１２８が形成され、ノズル孔１２８は、プールプレート１２１、供給孔プレート１２３および封止プレート１２４内に設けられているノズル連通孔１２９を介して、圧力室プレート１２５に設けられている圧力室１３０とつながっており、圧力室１２８は、封止プレート１２４に形成されている供給連通路１３１と供給孔プレート１２３に形成されている供給孔１３２とを介して、プールプレート１２１に形成されているインクプール１３３に接続している。
【０００６】
各プレートは接着材を介して積層接着されており、積層接着の張り合わせには、接着剤が用いられていた。とこらが、各プレートには、ノズルやノズル連通孔等の非常に微小な径の穴や溝が設けられているため、これらの穴が接着剤によって埋まるという問題や、肉盛り１３５ａ、１３５ｂによって流れが阻害され、ノズル孔１２８から正常な液滴噴出ができないという問題があった。
【０００７】
そこで、接着剤を弾性体の板材に塗布し、板材上に塗布された接着剤の薄層を各プレートに転写し、積層した複数のプレートを押圧、接着、固定することが提案されている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開平５−３３００６７号公報
【特許文献２】特開平３−１９７０５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の接着方法では、逃げ溝を設けることで接着剤の流路へのはみ出しは減少するという利点があるものの、板材上に塗布された接着剤を十分に薄層化することが難しく、必要量以上にプレートに転写されてしまい、接着時に接着剤がはみ出して穴や溝からなるインク流路を塞いでしまうため、インクの吐出量や吐出速度がばらつく、あるいはインクが吐出しないノズルが発生するという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、穴や溝への不要な接着剤のはみ出しを改善したインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、貫通孔又は溝を各々有する複数のプレートを、接着剤層を介して積層し、内部に液体流路を形成した液体流路部材を形成するとともに、該液体流路部材の表面に圧力発生装置を接合するインクジェットヘッドの製造方法において、前記接着剤を弾性体からなる接着剤転写シートに塗布し、該接着剤転写シートにダミー部材を接触させて、該接着剤転写シートの表面に塗布された接着剤を前記ダミー部材に転写した後、前記接着剤転写シートに前記プレートを接触させて、前記接着剤転写シートの表面に残留する接着剤を、前記プレートに転写することを特徴とする。
【００１１】
特に、前記ダミー部材が、前記プレートよりも大きいことが好ましい。
【００１２】
前記接着剤転写シートに塗布した接着剤を前記プレートに転写する前に、ダミー部材への接着剤の転写を２回以下とすることが好ましい。
【００１３】
前記複数のプレートの積層に当り、当接する一対のプレート当接面のいずれか一方に接着剤を塗布し、他方のプレート当接面には接着剤を塗布しないことが好ましい。
【００１４】
接着層厚みが０．３〜２μｍ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、ダミー部材を接着剤転写シートに接触させて接着剤転写シートに塗布された余分な接着剤を除去した後に、接着剤転写シートにプレートを接触させると、適量の接着剤を各プレートに転写することができ、各プレートに形成された穴や溝への不要な接着剤のはみ出しを顕著に改善できるとの新規な知見に基づき、その結果、インクの吐出ばらつきを改善し、またインク流路のつまりによって発生するインクの不吐出を防止することができる。
【００１６】
即ち、従来のように、接着剤転写シートに接着剤を塗布し、その接着剤を直接プレートに直接転写する場合には、必要以上の接着剤がプレート上に付着し、余剰の接着剤がプレートの孔や溝の一部又は全部に流れ込んでいた。しかし、本発明のように、接着剤転写シートの上に塗布された接着剤を、一旦、ダミー部材に転写する場合には、余剰の接着剤がダミー部材に転写されて除去され、しかも接着剤転写シート上の接着剤は、ほぼ均一の厚みとなる。従って、その接着剤転写シートにプレートを接触させることにより、適量の接着剤をプレートに転写することができ、プレートの孔や溝を埋めることを抑制でき、ごく少量の接着剤が孔や溝のエッジ部に付着する程度となり、接着剤がはみ出した場合でも、液体の流通を大きく阻害することはなくなる。
【００１７】
そして、このようなプレートを積層・接着しても、孔や溝に接着剤が流れ込むことがなくなり、穴や溝への不要な接着剤のはみ出しを改善したインクジェットヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
まず、本発明のインクジェットヘッドの製造方法によって作製されるインクジェットヘッドの構造について説明する。なお、インクジェットヘッドを構成する圧力発生装置として圧電アクチュエータを用いた場合を例として説明する。
【００１９】
図１は、本発明のインクジェットヘッドの構造を示すもので、（ａ）は概略断面図、（ｂ）はノズル孔側から見た平面図、（ｃ）は圧力発生装置側から見た平面図であるである。
【００２０】
図１によれば、流路部材の上に圧電アクチュエータ等からなる振動発生装置７が設けられた構造を有し、例えば、振動発生装置７は、振動板の上に、共通電極と、活性層となる圧電セラミック層と、該圧電セラミック層の表面に設けられた個別電極とが、順次形成されてなるものである。そして前記圧電セラミック層の表面に複数の個別電極を設けることによって、圧電セラミック層を共通電極と個別電極とで挟持してなる圧電変位素子が振動板上に複数配列せしめることになる。そして、共通電極と個別電極との間に電圧を印加することによって、個別電極直下の圧電セラミック層に圧電振動を発生させることができる。
【００２１】
本発明の液体流路部材は、例えば、図１に示したように、ノズルプレート１と、プールプレート２と、供給孔プレート３と、封止プレート４と、圧力室プレート５と、振動プレート６とを積層したものからなり、振動プレート６に圧力発生装置７が取り付けられている。
【００２２】
ノズルプレート１には、液体を噴出させるためのノズル孔８が形成され、ノズル孔８は、プールプレート２、供給孔プレート３および封止プレート４内に設けられているノズル連通孔９を介して、圧力室プレート５に設けられている圧力室１０とつながっており、圧力室１０は、封止プレート４に形成されている供給連通路１１と供給孔プレート３に形成されている供給孔１２とを介して、プールプレート２に形成されている液体プール１３に接続している。
【００２３】
そして、液体プール１３から、供給孔１２、供給連通路１１、圧力室１０、ノズル連通孔９を通ってノズル孔８に至るまで、液体流路が形成されている。このような構成の流体流路が、流体流路部材に複数設けられており、図１（ｂ）、（ｃ）に示したように、ノズルプレート１には複数のノズル孔８が形成され、各ノズル孔８に対応した圧力発生装置が、振動プレート６に設けられている。
【００２４】
そして、圧力発生装置として用いた圧電アクチュエータの駆動により振動プレートが振動し、圧力室１０の容積を変化させ、ノズル孔８から液滴を噴出させることができる。なお、液滴噴出がノズル孔８毎になるように、圧力発生装置７は、お互いに独立して制御されている。
【００２５】
なお、各プレートの組み合わせ及び層構成等の流路部材の構造は、図１のものに限定されるものではなく、どのような組み合わせに対しても本発明を適応することができる。また、圧電アクチュエータは、振動プレートの上に形成しているが、アクチュエータの表面が圧力室１０の壁面を形成するように、接合していても良い。
【００２６】
圧電アクチュエータの構造も、圧力室の容積を変化させることができ、液滴をノズル孔８から吐出させることができれば、どのようなものでも使用できる。また、圧電アクチュエータ以外の圧力発生装置を使用することもできる。例えば、静電方式や加熱方式を例示できる。
【００２７】
流路部材を構成するプレート１〜６は、金属、セラミックス、樹脂等の所望の材料を用いることができるが、加工性の点で金属を用いることが好ましい。特に、プレート材質として、Ｆｅ−Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる、少なくとも1種によって形成されていることが望ましい。これにより、耐インク性に優れた流路を形成することができる。
【００２８】
金属製の各プレート１〜６は、圧延法等によって得られ、所望により、貫通孔又は溝を形成することができる。孔及び溝の加工には、金型による打ち抜きやエッチング等の周知の手法を採用することができる。
【００２９】
プレート１〜６は、接着剤層を介して積層され、且つ接着されており、各プレート１〜６に設けられた貫通孔や溝の組み合わせによって、流路部材の内部に液体流路を形成することができる。
【００３０】
そして、圧電アクチュエータ等の圧力発生装置から圧力が発生すると、ノズル孔８付近のノズル連通孔９に充填された液体が、液滴として外部に吐出されるが、それに伴って、噴出された液滴の容積分の液体が圧力室１０からノズル連通孔９に供給され、圧力室１０にはノズル連通孔９に供給して不足した分を供給連通路１１から補給し、同様に供給連通路１１へは供給孔１２を介して液体プール１３から供給される。
【００３１】
その際に、接着剤のはみ出し量を少なくして、液体の流通を妨げないようにすることが重要である。例えば、図２又は３のように、肉盛り５ａ、５ｂを小さくして液体の流れを阻害しないため、ノズル孔１２８から所定の量の液滴が、所定の速度で噴出することができる。なお、図２は接着剤の粘性を比較的に大きくした場合、図３は接着剤の粘性を比較的に小さくした場合の図１の一部分を拡大した説明図である。また、図１と共通部分には同じ番号を付与した。
【００３２】
次に、本発明のインクジェットヘッドの製造方法について説明する。
【００３３】
まず、所望の貫通孔や溝を具備する各プレート１〜６及び圧電アクチュエータを準備する。これらのプレート１〜６は、厚みが０．０３〜０．３ｍｍで、プレート１〜６は構造及び部位に会わせて所望の厚みにすることができる。
【００３４】
次いで、これらのプレート１〜６を、接着する。接着剤としては、圧電アクチュエータや流路部材に影響を及ぼさないために、熱硬化温度が８０〜２００℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのが、圧電アクチュエータに残留応力が生じるのを抑制でき、圧電アクチュエータの圧電特性が低下するのを防止できるという理由で好ましい。
【００３５】
接着は、本発明によれば、（１）接着剤転写シートに接着剤を塗布する塗布工程、（２）接着剤転写シートに塗布された接着剤をダミー部材に転写する適量化工程、（３）接着剤転写シートに残った接着剤をプレートに転写する転写工程、接着剤を転写したプレートと、このプレートと接着する他のプレートを接合する接着工程、の４つの工程を具備することが重要である。
【００３６】
（塗布工程）
塗布工程においては、接着剤転写シートの上に、ドクターブレード法、ロールコータ法、ダイコーター法及びスクリーン印刷法等の周知の手法により、接着剤を接着剤転写シートの上に塗布する。この際に、接着剤は必ずしも均一の厚みではなく、凹凸があるが、できるだけ、凹凸は小さくしておくことが好ましい。
【００３７】
塗布工程において、接着剤転写シートに塗布した接着剤の量は、プレート間の接着に使用する接着剤の量よりもわずかに多い程度が、接着剤の塗布されない部位の発生を効果的に抑制できるため、好ましい。具体的には、接着剤転写シートに塗布した接着塗布層の厚みは、２〜２０μｍ、特に２〜１５μｍ、更には２〜１０μｍ、であることが、接着剤転写量の安定化という理由で、好ましい。
【００３８】
また、接着剤の塗布は、１度の塗布で行っても、複数の回数で塗布しても、或いは、部分的な塗布でも、全体的な塗布でも、或いはこれらを組み合わせても、所望の部位に接着剤を塗布できれば良い。
【００３９】
（適量化工程）
塗布工程で接着剤転写シートの表面に塗布され、形成された接着層の量が適量値よりも多いため、ダミー部材に転写して、余剰の接着剤を除去することができる。また、接着剤剤転写シートの接着剤塗布面にダミー部材を接触させることによって、接着剤転写シートの表面に残留する接着剤の凹凸を低減せしめることができ、接着層の厚みを均一化することができる。
【００４０】
ダミー部材は、実際に接着するプレートよりも外形寸法が大きいことが、ダミー部材への転写領域内にプレートの位置合わせを行うのが容易になる点で好ましい。具体的な材料としては、アルミナ、Ｍｏ、４２アロイ（Ｆｅ―４２Ｎｉ合金）、Ｃｕ、ＳＵＳ３１６鋼、及び塩化ビニールを例示できる。
【００４１】
また、ダミー部材は、表面が平滑で大きな主面を有するものが好ましい。具体的には、プレート、台盤形状等の平板であるのが好ましい。
【００４２】
上記接着剤転写シートに塗布した接着剤をダミー部材へ接触させて余剰接着剤を適正化する処理を２回以下にとどめるのが好ましい。これにより、プレートへの接着剤の必要十分な転写量が確保され、接着剤不足により流路間に不要な連通が発生することを容易に抑制でき、インクの吐出量や吐出速度を容易に安定させることも容易となる。
【００４３】
接着剤転写シートにダミー部材を接触させる場合、両者の材質や表面状態にもよるが、接着剤転写シートの表面に形成された接着塗布層のおよそ３０〜７０％の接着剤がダミー部材へ転写されるため、予め、除去量を測定しておけば、残留する接着剤の厚みを調整することができる。
【００４４】
また、適量化工程において、接触した接着剤転写シートとダミー部材とを引き離す際に、接着面に垂直な方向に引き離す方法とすることが好ましい。
【００４５】
（転写工程）
適量化工程にて余剰の接着剤を除去した接着剤転写シートの接着剤塗布面に、所望のプレートを接触させて、接着剤転写シート表面の接着剤の一部をプレートの表面に転写する。接着剤転写シートの表面に形成された接着層の接着剤のうち、３０〜７０％の量が転写されるため、適量化工程を経た接着層の厚みを制御することによって、プレートへの転写量を制御することができる。
【００４６】
プレートの大きさは、接着剤転写シートの大きさよりも小さくなるようにすることが1回で全面に転写でき、転写量の制御のために好ましい。
【００４７】
（接着工程）
転写工程において接着剤を転写したプレートと、他のプレートとを接着する。接着には、接合のための加圧を行うこともできる。加圧圧力としては、０．０５〜１ＭＰａ、特に０．１〜０．５ＭＰａであるのが、接着層厚み制御のために好ましい。
【００４８】
接着剤の硬化は、架橋反応が進んで起こるから、加熱および加圧保持した状態で硬化が終了するように処理することが好ましい。なお、接着に際しては、お互いの位置を合わせ、接着をすることは言うまでもない。
【００４９】
このようにして接着した接合体は、内部の液体通路への接着剤のはみ出しを抑制することができ、その結果、流路の閉塞を効果的に防止することができる。即ち、本発明によれば、ダミー部材への接着剤の転写を行うことで、必要量以上に接着剤がプレートに転写されることがなくなり、プレートの貫通孔又は溝の部分へ接着剤がはみ出さず、インク流路となる部分を塞いでしまうことを防止できるため、インクの吐出量や吐出速度がばらつく、あるいはインクが吐出しないノズルが発生するという問題を改善できる。
【００５０】
なお、一組のプレート間の接着を行って積層体を作製した後、他の接着剤を転写したプレートを積層体にさらに接着しても良いし、複数のプレートを一度に積層し、一度に硬化処理して接着しても良い。また、本発明の製造方法を、全てのプレート間の接着に適応しても良いし、一部の接着に適応することもできる。
【００５１】
接着面における接着剤は、少なくとも一方の表面にあれば接着されるが、接着剤の厚み制御、プレートに設けられた貫通孔や溝への接着剤量の侵入を考慮すれば、どちらか一方のみに接着剤を転写しておくのが良い。
【００５２】
ダミー部材は流路部材となるプレートよりも大きいことが好ましい。また、ダミー部材に接着剤が転写された領域内に、確実に次に接着剤を転写するプレートを接触させるためには、ダミー部材は前記プレートより縦横共に１０ｍｍ以上、好ましくは２０ｍｍ以上大きい方が良い。
【００５３】
ダミー部材の表面は平面であることが好ましい。貫通孔、深い溝又は大きな突起などを排除した方が、接着剤量の制御を精密に行う点で好ましい。
【００５４】
プレートの積層に当り、当接する一対のプレート当接面のいずれか一方に接着剤を塗布し、他方のプレート当接面には接着剤を塗布しないことが好ましい。当接面の一方のみに接着剤を塗布することで、接着剤量が必要以上に増えることを防ぎ、流路への接着剤のはみ出しを容易に制御することができる。
【００５５】
接着層厚みは０．３〜２μｍ、特に０．３〜１．５μｍ、更には０．５〜１．５μｍであることが好ましい。これにより、必要十分な接着材料を確保するのが容易になり、接着不良による流路間の不要な連通の発生を抑制するのも容易になり、且つ余剰の接着剤が流路へはみ出すのを抑制するのも容易となり、その結果、インク吐出量や、吐出速度が安定する。
【００５６】
以上、本発明の実施形態について示したが、本発明は上述した実施形態のみに限らず、本発明の主旨を逸脱しない範囲で変更や改良したものにも適用できることは言うまでもない。
【００５７】
また、本発明は、液体吐出装置やマイクロポンプ等の液体を送り出す機構を具備する装置に応用できる。
【実施例】
【００５８】
上記の塗布工程、適量化工程、転写工程、及び接着工程を繰り返し行って、図１の液体流路部材を作製した。
【００５９】
塗布工程においては、接着剤転写シートの表面に、接着剤をスキージにて塗布した。塗布した際の接着剤転写シートの表面に形成された接着塗布層の厚みを表１に示した。
【００６０】
適量化工程においては、ダミー部材としてダミープレートを準備し、接着剤転写シートに接触させて余分な接着剤を除去した。ダミー部材への転写回数を表１に示した。なお、接着剤としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂を用いた。
【００６１】
転写工程では、余分な接着剤を除去した接着剤転写シートに、流路を構成するステンレス製のプレートを接触させて、接着剤転写シートに残留する接着剤をプレートに転写した。
【００６２】
この一連の工程を、各流路を構成するプレート毎に繰返し、これらのプレートの位置を合わせて積層して積層体を形成し、しかる後に複数のプレートの積層体を、表１に示した圧力で加圧しながら１５０℃で３０分加熱して接着剤を硬化させた。なお、接着剤の転写は、接着面の一方のプレートのみに接着剤を転写し、他方のプレートの接着面には接着剤を転写せずに重ね合わせた。
【００６３】
得られた液体流路部材に、圧電アクチュエータの圧電素子が圧力室と同じ位置になるように位置合せをして、圧電アクチュエータを液体流路部材に接合した。接合は、加圧しながら１５０℃で３０分加熱して接着剤（エポキシ系接着剤）を硬化させた。接着剤の厚みを表１に示した。
【００６４】
プレート間の接着剤が不十分で、複数の圧力室間を連通するような空間がプレート間に形成されているかどうかを確認するため、リーク試験を行った。リーク試験は、流路内に６０ｋＰａの圧力を７０秒間加えたまま保持し、その圧力が維持されるかどうか、また、圧力が減少するかを調べ、リークの有無を判断した。２ｋＰａ以上の圧力低下がある場合には、リークが有ると判断した。
【００６５】
次に、液滴が正常に噴射するかどうかを調べるため、ノズル孔１００個のうち、３０個のノズル孔についてインクの吐出試験を行った。即ち、インク滴の吐出速度をインク滴の飛翔状態をストロボで高速連続撮影して測定した。ストロボの発光間隔とインク滴の移動距離から吐出速度を算出した。そして、吐出速度の最大値と最小値の差から、その範囲が１．５ｍ／ｓｅｃ以下を◎、１．５ｍ／ｓｅｃを超え２．５ｍ／ｓｅｃ以下を○、２．５ｍ／ｓｅｃを超えるものを×として表示した。
【００６６】
結果を表１に示した。
【表１】
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【００６７】
本発明の試料Ｎｏ．４〜１５は、吐出試験において、閉塞したノズル孔はなく、また、吐出速度の最大値と最小値との差、即ちばらつきは２．３ｍ／ｓｅｃ以下と最大値の２１％以下であった。
【００６８】
一方、ダミー部材への転写を行わない本発明の範囲外の試料Ｎｏ．１では、リーク試験においてリークが観測された。また、吐出ばらつきが４．１ｍ／ｓｅｃと最大値の４０％であった。
【００６９】
また、ダミー部材への転写を行わない本発明の範囲外の試料Ｎｏ．２、３では、吐出しない不吐出ノズルがそれぞれ３個、５個あり、液体流路が閉塞していた。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの構造を示すもので、（ａ）は概略断面図、（ｂ）はノズル孔側の平面図、（ｃ）は圧力発生装置側の平面図である。
【図２】本発明の図１（ａ）の概略部分拡大図である。
【図３】本発明の図１（ａ）の概略部分拡大図である。
【図４】従来のインクジェットヘッドの構造を示すもので、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は概略部分断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１・・・ノズルプレート
２・・・プールプレート
３・・・供給孔プレート
４・・・封止プレート
５・・・圧力室プレート
６・・・振動プレート
７・・・圧力発生装置
８・・・ノズル孔
９・・・ノズル連通孔
１０・・・圧力室
１１・・・供給連通路
１２・・・供給孔
１３・・・液体プール
【図１】
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【図２】
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【図３】
2006192584.tif 000006
【図４】
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