(57)【要約】【課題】  温度が変化しても常に一定の振れ角でマイクロミラーを揺動させることが可能なマイクロミラースキャナを提供する。【解決手段】  本発明に係るマイクロスキャナ１０は、揺動可能に支持されたマイクロミラー及びこれを静電力を利用して揺動駆動するための電極を具備するマイクロミラーデバイス１と、前記電極間に交流電圧を印加する交流電源２と、マイクロミラーに向けて照射したレーザ光Ｌの反射光Ｌ’がマイクロミラーの揺動に応じて走査される所定位置に配設された光検出素子３と、光検出素子によって反射光が検出されたタイミングと予め定めたタイミングとのずれ量を検出し、当該検出したずれ量をマイクロミラーの振れ角変動量に換算し、当該換算した振れ角変動量を補正するように前記交流電圧の電圧値を調整する演算制御装置４とを備えている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
揺動可能に支持されたマイクロミラーと、当該マイクロミラーを静電力を利用して揺動駆動するための電極間に交流電圧を印加する交流電源とを具備するマイクロミラースキャナであって、
前記マイクロミラーに向けて照射したレーザ光の反射光が前記マイクロミラーの揺動に応じて走査される所定位置に配設された光検出素子と、
前記光検出素子によって前記反射光が検出されたタイミングに基づいて、前記交流電源によって印加される交流電圧の電圧値を調整する演算制御装置とを更に備え、
前記演算制御装置は、前記光検出素子によって前記反射光が検出されたタイミングと予め定めたタイミングとのずれ量を検出し、当該検出したずれ量を前記マイクロミラーの振れ角変動量に換算し、当該換算した振れ角変動量を補正するように前記交流電圧の電圧値を調整することを特徴とするマイクロミラースキャナ。
【請求項２】
請求項１に記載のマイクロミラースキャナと、前記マイクロミラースキャナが具備する前記マイクロミラーに向けてレーザ光を出射するレーザ光源とを備えることを特徴とするレーザ光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、交流電圧を印加することによって生じる静電力を用いてマイクロミラーを揺動させるように構成されたマイクロミラースキャナ及びこれを用いたレーザ光走査装置に関し、特に温度の変化によって生じるマイクロミラーの振れ角の変動を補正し、温度が変化しても常に一定の振れ角でマイクロミラーを揺動させることが可能なマイクロミラースキャナ及びこれを用いたレーザ光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、レーザを用いたプリンタ、複写機、プロジェクタ等に使用されるレーザ光走査装置の走査機構として、ポリゴンミラースキャナが多用されている。斯かるポリゴンミラースキャナは、軸周りに回転駆動される多角柱状のポリゴンミラーを具備し、レーザ光源から出射したレーザ光を前記ポリゴンミラーの反射面で逐次反射させることにより、レーザ光を走査することが可能とされている。
【０００３】
一方、近年では装置の小型化の要請により、上記ポリゴンミラースキャナに代えて、シリコンなどの半導体製造プロセス等における技術を応用して種々の機械要素の小型化を実現するＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて作製されるマイクロミラースキャナが種々提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。斯かるマイクロミラースキャナには、シリコン基材にＭＥＭＳ技術を用いて、サスペンションビームによって揺動可能に支持されたマイクロミラーや、マイクロミラーを揺動駆動するための交流電圧が印加される電極などが形成されており、前記電極間に交流電圧を印加することによって生じる静電力によってマイクロミラーが揺動するように構成されている。そして、マイクロミラーの固有振動数（共振周波数）と一致する周波数の交流電圧を印加することにより生じる共振現象によって、小さな駆動力でも大きなマイクロミラーの振れ角（揺動する角度範囲）を得ることを可能としている。
【特許文献１】特開２００２−３１１３７６号公報
【特許文献２】特開２００３−１５０６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のようなシリコン基材の共振現象を利用したマイクロミラースキャナには、温度変化によってシリコン基材のヤング率が変化し、これに伴い共振特性（最大共振周波数）が変化するため、揺動周波数を一定とした場合（印加する交流電圧の周波数を一定とした場合）には、マイクロミラーの振れ角が温度変化によって変動してしまうという問題がある。一例を挙げて説明すれば、マイクロミラーの温度が変化しても印加する交流電圧の周波数を変更しない限り揺動周波数は変化しないものの、図５に示すように、マイクロミラーの温度が上昇するに従って、マイクロミラーの振れ角が小さくなってしまうという問題がある。このようにマイクロミラーの振れ角が変動すれば、マイクロミラーに向けて照射したレーザ光の反射光が走査される範囲が変動することになる。従って、レーザプリンタのように一定の周波数でレーザ光を走査させる必要がある場合には、マイクロミラーの揺動周波数も一定としなければならず、その結果、前述のように温度によって走査範囲が変動してしまうという問題が生じる。
【０００５】
特許文献１及び２には、上記のようなマイクロミラーの振れ角の温度依存性について開示も示唆もなく、従ってマイクロミラーの振れ角の変動を補正することについても当然開示も示唆もなされていない。
【０００６】
本発明は、斯かる従来技術の問題を解決するべくなされたものであり、温度の変化によって生じるマイクロミラーの振れ角の変動を補正し、温度が変化しても常に一定の振れ角でマイクロミラーを揺動させることが可能なマイクロミラースキャナ及びこれを用いたレーザ光走査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
斯かる課題を解決するべく、本発明は、揺動可能に支持されたマイクロミラーと、当該マイクロミラーを静電力を利用して揺動駆動するための電極間に交流電圧を印加する交流電源とを具備するマイクロミラースキャナであって、前記マイクロミラーに向けて照射したレーザ光の反射光が前記マイクロミラーの揺動に応じて走査される所定位置に配設された光検出素子と、前記光検出素子によって前記反射光が検出されたタイミングに基づいて、前記交流電源によって印加される交流電圧の電圧値を調整する演算制御装置とを更に備え、前記演算制御装置は、前記光検出素子によって前記反射光が検出されたタイミングと予め定めたタイミングとのずれ量を検出し、当該検出したずれ量を前記マイクロミラーの振れ角変動量に換算し、当該換算した振れ角変動量を補正するように前記交流電圧の電圧値を調整することを特徴とするマイクロミラースキャナを提供するものである。
【０００８】
斯かる発明によれば、マイクロミラーに向けて照射したレーザ光の反射光がマイクロミラーの揺動に応じて走査される所定位置に光検出素子が配設される。ここで、マイクロミラーの温度が変化しても、印加する交流電圧の周波数が一定である限りマイクロミラーの揺動周波数は変化しないがその振れ角が変動するため、光検出素子によって反射光が検出されるタイミングも、マイクロミラーの温度に応じて変動することになる。本発明によれば、光検出素子によって反射光が検出されたタイミングと予め定めたタイミング（例えば、マイクロミラーが適切な振れ角である場合に反射光が検出されるであろうタイミングを予め定めたタイミングとして設定する）とのずれ量（ずれ時間）が演算制御装置によって検出されることになる。そして、演算制御装置は、検出したずれ量をマイクロミラーの振れ角変動量に換算する。より具体的に説明すれば、例えば、演算制御装置には、ずれ量と振れ角変動量との対応関係が予め記憶され、当該記憶した対応関係に基づいて前記検出したずれ量を振れ角変動量に換算することになる。さらに、演算制御装置は、換算した振れ角変動量を補正するように交流電圧の電圧値を調整する。より具体的に説明すれば、演算制御装置には、例えば、交流電圧の電圧値とマイクロミラーの振れ角との対応関係（ほぼ比例関係になる）が予め記憶され、当該記憶した対応関係に基づいて振れ角変動量が０となるように（すなわち、調整後の振れ角が前記予め定めたタイミングに対応する振れ角と等しくなるように）、交流電圧の電圧値を調整することになる。従って、以上の構成を有する本発明に係るマイクロミラースキャナによれば、温度の変化によって生じるマイクロミラーの振れ角の変動が補正され、温度が変化しても常に一定の振れ角でマイクロミラーを揺動させることが可能である。
【０００９】
また、本発明は、前記マイクロミラースキャナと、前記マイクロミラースキャナが具備する前記マイクロミラーに向けてレーザ光を出射するレーザ光源とを備えることを特徴とするレーザ光走査装置としても提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るマイクロミラースキャナによれば、温度の変化によって生じるマイクロミラーの振れ角の変動が補正され、温度が変化しても常に一定の振れ角でマイクロミラーを揺動させることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の一実施形態について、レーザプリンタに適用する場合を例に挙げて説明する。
【００１２】
図１は、本発明の一実施形態に係るマイクロスキャナを具備するレーザ光走査装置の概略構成を示す図であり、図１（ａ）はレーザ光走査装置の概略構成を、図１（ｂ）は光検出素子の位置関係を示す。図１（ａ）に示すように、本実施形態に係るレーザ光走査装置１００は、マイクロミラースキャナ１０と、後述するようにマイクロミラースキャナ１０が具備するマイクロミラーに向けてレーザ光Ｌを出射するレーザ光源（本実施形態ではレーザダイオード）２０とを備えている。その他、本実施形態に係るレーザ光走査装置１００は、レーザ光源２０から出射されたレーザ光Ｌを平行光にするためのコリメータレンズ３０と、前記マイクロミラーにおけるレーザ光Ｌの反射光Ｌ’を感光体Ｐ上で結像するためのｆθレンズ４０及びシリンドリカルミラー５０とを備えている。以上の構成を有するレーザ光走査装置１００において、マイクロミラースキャナ１０が具備するマイクロミラーを揺動させることにより、レーザ光源２０から出射したレーザ光Ｌの反射光Ｌ’が感光体Ｐ上でプリント幅分だけ走査されることになる。
【００１３】
マイクロミラースキャナ１０は、マイクロミラーデバイス１と、交流電源２と、光検出素子（本実施形態ではフォトダイオード）３と、演算制御装置４とを備えている。
【００１４】
図２Ａは、本実施形態に係るマイクロミラーデバイスの概略構成を示す斜視図である。また、図２Ｂは、図２Ａに示すマイクロミラーデバイスの上層基板の概略構成を示す平面図であり、図２Ｃは、図２Ａに示すマイクロミラーデバイスの下層基板の概略構成を示す平面図である。図２Ａ〜図２Ｃに示すように、本実施形態に係るマイクロミラーデバイス１は、シリコン材から形成された上層基板１Ａと絶縁材料（例えばガラス材）から形成された下層基板１Ｂとが上下に積層された構造を有している。なお、本実施形態に係るマイクロミラーデバイス１は、エッチングや成膜など公知のＭＥＭＳ技術を適用することにより当業者であれば容易に作製することが可能であるため、その具体的な製造方法については説明を省略する。
【００１５】
図２Ａ又は図２Ｂに示すように、上層基板１Ａには、中央に楕円状のマイクロミラー１１が形成されていると共に、その揺動軸（図２Ｂに示すＸ軸）方向両端部に、それぞれ接続部１２を介してサスペンションビーム１３Ａ、１３Ｂが形成されており、マイクロミラー１１はサスペンションビーム１３Ａ、１３Ｂによって揺動軸周りに揺動可能に支持されている。
【００１６】
サスペンショビーム１３Ａ、１３Ｂの揺動軸方向端部（マイクロミラー１１に接続されている側と反対側の端部）は、Ｓ字型トーションバー構造のヒンジ１５Ａ、１５Ｎを介して、アンカーとなる接着パッド１４Ａ、１４Ｂにそれぞれ接続されている。また、サスペンショビーム１３Ａには、接着パッド１４Ｃ〜１４Ｅと、Ｓ字型トーションバー構造のヒンジ１５Ｂ〜１５Ｇとが形成されており、ヒンジ１５Ｂ及び１５Ｃは接着パッド１４Ｃに、ヒンジ１５Ｄ及び１５Ｅは接着パッド１４Ｄに、ヒンジ１５Ｆ及び１５Ｇは接着パッド１４Ｅにそれぞれ接続されている。同様にして、サスペンショビーム１３Ｂには、接着パッド１４Ｆ〜１４Ｈと、Ｓ字型トーションバー構造のヒンジ１５Ｈ〜１５Ｍとが形成されており、ヒンジ１５Ｈ及び１５Ｉは接着パッド１４Ｆに、ヒンジ１５Ｊ及び１５Ｋは接着パッド１４Ｇに、ヒンジ１５Ｌ及び１５Ｍは接着パッド１４Ｈにそれぞれ接続されている。
【００１７】
また、サスペンションビーム１３Ａ、１３Ｂの揺動軸と直交する軸（図２Ｂに示すＹ軸）方向の端部には、電極としてＹ軸方向に延びる揺動櫛歯１８Ａ、１８Ｂが形成されており、上層基板１Ａの本体１９に形成された電極としてのＹ軸方向に延びる固定櫛歯１９Ａ、１９Ｂと揺動軸方向に沿って交互に配置されている。
【００１８】
一方、図２Ｃに示すように、下層基板１Ｂには、上層基板１Ａに形成されたマイクロミラー１１とサスペンションビーム１３Ａ、１３Ｂとを揺動軸周りに揺動可能とするべく、マイクロミラー１１に対応する位置に楕円形の掘り込み領域１６が形成され、サスペンションビーム１３Ａ、１３Ｂに対応する位置に矩形の掘り込み領域１６Ａ、１６Ｂが形成されている。また、下層基板１Ｂには、上層基板１Ａと下層基板１Ｂとが積層された状態で上層基板１Ａに形成された接着パッド１４Ａ〜１４Ｈの裏面をそれぞれ固着するべく、固定用パッド１７Ａ〜１７Ｈが形成されている。
【００１９】
以上に説明した構成を有するマイクロミラーデバイス１において、揺動櫛歯１８Ａ、１８Ｂと固定櫛歯１９Ａ、１９Ｂとの間に交流電源２から交流電圧を印加すれば、揺動櫛歯１８Ａ、１８Ｂと固定櫛歯１９Ａ、１９Ｂとの間に静電力が作用し、これによりマイクロミラー１１は、接着パッド１４Ｃ〜１４Ｈを固定端とし、ヒンジ１５Ａ〜１５Ｎの弾性力に抗しながら揺動軸周りに揺動することになる。
【００２０】
図１（ａ）に示すように、交流電源２は、マイクロミラーデバイス１が具備する電極（すなわち、揺動櫛歯１８Ａ、１８Ｂ及び固定櫛歯１９Ａ、１９Ｂ）に接続されており、前記電極間に交流電圧を印加する。なお、交流電源２によって印加される交流電圧の周波数（揺動周波数）及び電圧値は、演算制御装置４によって制御可能に構成されている。
【００２１】
図１（ａ）に示すように、光検出素子３は、レーザ光源２０からマイクロミラー１１に向けて照射したレーザ光Ｌの反射光Ｌ’がマイクロミラー１１の揺動に応じて走査される所定位置に配設されており、反射光Ｌ’が光検出素子３の光電変換面に入射した時に演算制御装置４に対して検出信号を出力するように構成されている。より具体的に説明すれば、図１（ａ）又は図１（ｂ）に示すように、光検出素子３は、温度変化によって最もマイクロミラー１１の振れ角が小さくなる場合における走査範囲の端部位置を通る反射光Ｌ１’よりも内方で、且つ、有効走査範囲（実際にプリント幅として使用する走査範囲）の端部位置を通る反射光Ｌ２’よりも外方の位置に配設される。なお、光検出素子３としては、従来のポリゴンミラースキャナで用いられている走査方向（水平方向）の同期をとるための光検出素子をそのまま用いることも可能である。
【００２２】
図１（ａ）に示すように、演算制御装置４は、光検出素子３及び交流電源２に接続されており、光検出素子３によって反射光Ｌ’が検出されたタイミング（すなわち、光検出素子３から前記検出信号が出力されたタイミング）に基づいて、交流電源２によって印加される交流電圧の電圧値を調整するように構成されている。以下、図３を適宜参照しつつ、演算制御装置４の動作についてより具体的に説明する。
【００２３】
図３は、本実施形態に係る演算制御装置の動作を説明するための説明図であり、図３（ａ）は温度の変化によって生じるマイクロミラーの振れ角の変動を示す説明図を、図３（ｂ）は温度の変化によって生じる光検出素子の出力信号の変動を表すタイムチャートを示す。図３（ａ）に示すように、マイクロミラー１１の温度がＴ１からＴ２に変化すれば、マイクロミラー１１の振れ角（マイクロミラー１１が揺動する角度範囲を意味し、走査領域の中心位置Ｃを通る反射光Ｌ’の光路と走査領域の端部を通る反射光Ｌ’の光路とが成す角に等しい）がθ１からθ２に変動することになる。
【００２４】
より具体的に説明すれば、マイクロミラー１１の温度がＴ１である時、マイクロミラー１１が揺動することによりその反射光Ｌ’は、点Ｃを通り点Ｃ１に到達するまで図３（ａ）の紙面右方向に走査され、点Ｃ１に到達した後には点Ｃを経て点Ｃ１’に到達するまで図３（ａ）の紙面左方向に走査される。そして、点Ｃ１’に到達した後には点Ｃを経て点Ｃ１に到達するまで図３（ａ）の紙面右方向に走査される。以上の動作が繰り返され、反射光Ｌ’は点Ｃ１と点Ｃ１’とを結ぶ線分上を往復走査されることになる。一方、マイクロミラー１１の温度がＴ２である時、マイクロミラー１１が揺動することによりその反射光Ｌ’は、点Ｃを通り点Ｃ２に到達するまで図３（ａ）の紙面右方向に走査され、点Ｃ２に到達した後には点Ｃを経て点Ｃ２’に到達するまで図３（ａ）の紙面左方向に走査される。そして、点Ｃ２’に到達した後には点Ｃを経て点Ｃ２に到達するまで図３（ａ）の紙面右方向に走査される。以上の動作が繰り返され、反射光Ｌ’は点Ｃ２と点Ｃ２’とを結ぶ線分上を往復走査されることになる。
【００２５】
ここで、マイクロミラー１１の温度がＴ１からＴ２に変化することにより、上記のようにその振れ角はθ１からθ２に変動するが、マイクロミラー１１の揺動周波数は変化しない。すなわち、マイクロミラー１１の温度がＴ１の時に、反射光Ｌ’が点Ｃを通ってから点Ｃ１、点Ｃ、点Ｃ１’を経て再び点Ｃを通るまでに要する時間（揺動周期）と、マイクロミラー１１の温度がＴ２の時に、反射光Ｌ’が点Ｃを通ってから点Ｃ２、点Ｃ、点Ｃ２’を経て再び点Ｃを通るまでに要する時間（揺動周期）とは等しいことになる。換言すれば、マイクロミラー１１の温度がＴ１の時に、反射光Ｌ’が点Ｃを通ってから点Ｃ１に到達するまでに要する時間（揺動周期の１／４）と、マイクロミラー１１の温度がＴ２の時に、反射光Ｌ’が点Ｃを通ってから点Ｃ２に到達するまでに要する時間（揺動周期の１／４）とは、等しい時間（図３（ｂ）に示す時間Ｔ）となる。
【００２６】
従って、図３（ａ）に示すように光検出素子３の配設位置が固定されている限り、図３（ｂ）に示すように、反射光Ｌ’が点Ｃを通過してから最初に点Ｃ１又は点Ｃ２に到達するまでの時間において、温度Ｔ１の時の光検出素子３の検出信号Ｄ１（光検出素子３に反射光Ｌ’が入射したことを示すオン信号）の方が、温度Ｔ２の時の光検出素子３の検出信号Ｄ２よりも遅れて出力されることになる。
【００２７】
演算制御装置４は、光検出素子３によって反射光が検出されたタイミング（すなわち、図３（ｂ）に示す検出信号Ｄ１、Ｄ２が出力されたタイミング）と予め定めたタイミング（図３（ｂ）に示す基準信号Ｄが出現するタイミング）とのずれ量（ずれ時間）を検出するように構成されている。より具体的には、目標とするタイミング（マイクロミラー１１が予め設定した適切な振れ角θである場合に光検出素子３によって反射光Ｌ’が検出されるであろうタイミング）で出現し、マイクロミラー１１の揺動周波数（交流電源２によって印加される交流電圧の周波数）に同期した基準信号Ｄを発生させる一方、光検出素子３の検出信号Ｄ１（Ｄ２）をマイクロミラー１１の揺動周波数（交流電源２によって印加される交流電圧の周波数）に同期させ、各信号Ｄ、Ｄ１（Ｄ２）を適宜のコンパレータ等で検出する。そして、検出した各信号Ｄ、Ｄ１（Ｄ２）の時間差を適宜のカウンタ等で計数することにより、前記ずれ量（ずれ時間）を算出するように構成されている。
【００２８】
なお、マイクロミラー１１は揺動するため、前述のように反射光Ｌ’は往復走査され、一揺動周期の間に光検出素子３に２回（往路及び復路でそれぞれ１回ずつ）入射することになる。これにより、光検出素子３の検出信号Ｄ１（Ｄ２）は、一揺動周期の間に２回出力されることになる。従って、演算制御装置４は、適宜の分周回路等を具備することにより、反射光Ｌ’の往路又は復路の何れか一方に対応する検出信号のみを抽出し、検出信号Ｄ１（Ｄ２）とするように構成されている。
【００２９】
また、演算制御装置４には、前記ずれ量（ずれ時間）と振れ角変動量（振れ角θ１（θ２）と適切な振れ角θとの差）との対応関係が予め記憶されている。斯かる対応関係は、振れ角θ、マイクロミラー１１の揺動周波数、光検出素子３の配設位置等に基づいて理論的に求めても良いし、実験的に算出することも可能である。そして、演算制御装置４は、前記記憶した対応関係に基づき、前記算出したずれ量（ずれ時間）を振れ角変動量に換算する。
【００３０】
さらに、演算制御装置４には、マイクロミラー１１の温度が所定の一定温度（例えば、室温）である場合における、交流電源２によって印加される交流電圧の電圧値とマイクロミラー１１の振れ角との対応関係が予め記憶されている。斯かる対応関係は、実験的に算出することが可能であり、図４に示すように、ほぼ比例関係になる。そして、演算制御装置４は、前記記憶した対応関係に基づいて振れ角変動量が０となるように（すなわち、調整後の振れ角が適切な振れ角θと等しくなるように）、交流電圧の電圧値を調整することになる。より具体的に説明すれば、図４に示すように、振れ角がθよりも小さいθ１である場合（すなわち、振れ角変動量がθ１−θ＜０である場合）には、調整前の交流電圧の電圧値をＶ−Ｖ１だけ上昇させる一方、振れ角がθよりも大きいθ２である場合（すなわち、振れ角変動量がθ２−θ＞０である場合）には、調整前の交流電圧の電圧値をＶ２−Ｖだけ低減するように調整することになる。
【００３１】
従って、以上に説明した構成を有するマイクロスキャナー１０によれば、温度の変化によって生じるマイクロミラー１１の振れ角の変動が補正され、温度が変化しても常に一定の振れ角θでマイクロミラー１１を揺動させることが可能である。これにより、一定の周波数でレーザ光を走査させるレーザ光走査装置１００の走査幅（マイクロミラー１１におけるレーザ光Ｌの反射光Ｌ’の感光体Ｐ上での走査幅）が温度に関わらず安定することになるため、レーザプリンタの走査機構として用いる上で非常に好ましいものである。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るマイクロスキャナを具備するレーザ光走査装置の概略構成を示す図であり、図１（ａ）はレーザ光走査装置の概略構成を、図１（ｂ）は光検出素子の位置関係を示す。
【図２Ａ】図２Ａは、本実施形態に係るマイクロミラーデバイスの概略構成を示す斜視図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、図２Ａに示すマイクロミラーデバイスの上層基板の概略構成を示す平面図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、図２Ａに示すマイクロミラーデバイスの下層基板の概略構成を示す平面図である。
【図３】図３は、図１に示す演算制御装置の動作を説明するための説明図であり、図３（ａ）は温度の変化によって生じるマイクロミラーの振れ角の変動を示す説明図を、図３（ｂ）は温度の変化によって生じる光検出素子の出力信号の変動を表すタイムチャートを示す。
【図４】図４は、図１に示す交流電源によって印加される交流電圧の電圧値とマイクロミラーの振れ角との対応関係を模式的に示す図である。
【図５】図５は、マイクロミラーの温度とマイクロミラーの振れ角との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１・・・マイクロミラーデバイス
２・・・交流電源
３・・・光検出素子
４・・・演算制御装置
１０・・・マイクロミラースキャナ
１１・・・マイクロミラー
２０・・・レーザ光源
１００・・・レーザ光走査装置
Ｌ・・・レーザ光
Ｌ’・・・反射光
【図１】
2006220745.tif 000003
【図２Ａ】
2006220745.tif 000004
【図２Ｂ】
2006220745.tif 000005
【図２Ｃ】
2006220745.tif 000006
【図３】
2006220745.tif 000007
【図４】
2006220745.tif 000008
【図５】
2006220745.tif 000009