(57)【要約】 【課題】  ワークを把握する爪を設けた移動ボディを固定ボディにチャック軸線方向進退可能に備えた引き込み式チャック装置を提供するものである。【解決手段】  固定ボディ３の内側に移動ボディ４をチャック軸線方向進退可能に設ける。移動ボディ４にワークを把握する爪２５を設け、該爪２５は移動ボディ４内に摺動可能に設けたウェッジプランジャ１０に係合されている。移動ボディ４にチャック軸線前方に引き込み力制御用推力Ｆ２を作用させる。その状態で、ウェッジプランジャ１０を引き込み爪２５でワークを把握すると共に移動ボディ４に引き込み力制御用推力Ｆ２より大きな爪操作推力Ｆ１を作用させ、推力Ｆ１，Ｆ２の差により移動ボディ４をチャック軸線後方に移動する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定ボディに移動ボディをチャック軸線方向進退可能に備え、移動ボディに爪をチャック半径方向に移動するように設け、該爪を移動ボディと共にチャック軸線後方へ引き込み可能とした引き込み式チャック装置において、爪移動用の駆動手段によるチャック軸線方向への爪操作推力により爪がワークを把握するように構成し、チャック軸線方向に引き込み力制御用推力を発生する引き込み力制御手段を設け、その引き込み力制御用推力が前記移動ボディに作用するように構成したことを特徴とする引き込み式チャック装置。
【請求項２】
爪がワークを把握した時に移動ボディに爪操作推力をチャック軸線方向に作用するように構成し、爪操作推力に対して、引き込み力制御用推力の大きさを大小可変とし、爪操作推力と引き込み力制御用推力との差で移動ボディをチャック軸線方向に移動可能に構成したことを特徴とする請求項１記載の引き込み式チャック装置。
【請求項３】
爪操作推力をチャック軸線後方に作用するように構成し、固定ボディ内側に移動ボディを軸線方向に進退するように嵌装して移動ボディ背面側を圧力室とするシリンダ構造として引き込み力制御手段を構成し、その圧力室に供給される流体圧により移動ボディにチャック軸線前方に引き込み力制御用推力を作用するように構成したことを特徴とする請求項２記載の引き込み式チャック装置。
【請求項４】
固定ボディに移動ボディをチャック軸線方向進退可能に備え、移動ボディに爪をチャック半径方向に移動するように設け、該爪でワークを把握して移動ボディと共にチャック軸線後方へ引き込むようにしたワークチャッキング方法において、爪でワークを把握する時のチャック軸線後方に作用する爪操作推力を移動ボディに作用するようにし、その爪操作推力より大きく設定したチャック軸線前方への引き込み力制御用推力を移動ボディに作用させて移動ボディを固定ボディに対する前進端位置に位置させ、次に前記爪操作推力を作用させて爪を移動してワークを把握し、次いで前記引き込み力制御用推力を爪操作推力より小さな推力に変化させ、爪操作推力と引き込み力制御用推力の差により移動ボディをチャック軸線後方へ移動してワークを把握した状態の爪をチャック軸線後方に引き込むようにしたことを特徴とするワークチャッキング方法。
【請求項５】
固定ボディに移動ボディをチャック軸線方向進退可能に備え、移動ボディに爪をチャック半径方向に移動するように設け、該爪でワークを把握して移動ボディと共にチャック軸線後方へ引き込むようにしたワークチャッキング方法において、爪でワークを把握する時のチャック軸線前方に作用する爪操作推力を移動ボディに作用するようにし、チャック軸線前方への引き込み力制御用推力を移動ボディに作用させて移動ボディを固定ボディに対する前進端位置に位置させ、次に前記爪操作推力を作用させて爪を移動してワークを把握し、次いで前記引き込み力制御用推力を爪操作推力より大きな推力に変化させてチャック軸線後方へ作用させ、爪操作推力と引き込み力制御用推力の差により移動ボディをチャック軸線後方へ移動してワークを把握した状態の爪をチャック軸線後方に引き込むようにしたことを特徴とするワークチャッキング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、爪に把握されたワークをチャック側に引き込み可能な引き込み式チャック装置に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に記載のように、リヤボディに移動ボディをチャック軸線方向に進退可能に備え、リヤボディと移動ボディの軸方向間には付勢部材が介在され、リヤボディに対して移動ボディがチャック軸線前方に押付けられ、爪をチャック半径方向へ移動するプランジャがワーク把握時に移動ボディと一体化し、プランジャのチャック軸線後方への引き込みにより移動ボディをチャック軸線後方へ引き込み可能とした引き込み式チャック装置が公知である。また、特許文献２のものも略同様に、リヤボディに対して付勢部材でチャック軸線前方に付勢された移動ボディがワーク把握時にプランジャのチャック軸線後方への移動でチャック軸線後方へ引き込まれるようになっている。
【０００３】
特許文献３に記載のように、チャックをシリンダ状本体内に摺動自在に設け、シリンダ装置により爪をチャック半径方向へ移動可能とし、回転シリンダ装置によりチャックをシリンダ状本体に対しチャック軸線方向に進退可能としたものも公知である。
【０００４】
特許文献４には、円筒状の本体の内側にピストン本体が摺動可能に設けられ、ピストン本体のピストン部が円筒状の本体のシリンダ室に嵌合され、また、ピストン本体の先端部にはモータにより駆動される送りねじ軸により開閉する爪を備えたものが開示してある。この技術のものでは、シリンダ室に作動油を供給することでピストン本体が円筒状の本体の軸線方向に進退可能となっている。
【０００５】
上記特許文献１、２の技術では、リヤボディに対して移動ボディを付勢部材でチャック軸線前方に付勢しており、プランジャによるワーク把握動作と同時、もしくは、ワーク把握動作後に、プランジャにより移動ボディのチャック軸線後方への引き込み動作を行う構造であるので、把握力を増大させると引き込み力も大きくなり、薄板状のワークの場合、ストッパに当接したワークの爪に把持された端部の歪が大きくなる問題がある。また、把握力を増大させると小径ワークを把握した場合に、把握力の反力で爪がチャック半径方向外側に浮き上がり、これに伴ってワークがチャックの前面（ストッパ）から大きく浮き上がる問題がある。
【０００６】
また、ワークの把握とチャック軸線後方への引き込みを独立して行うことができないので、ワーク把握時にプランジャのチャック軸線後方への移動により移動ボディが移動し、ワークが引き込まれることになり、ワーク基準面の直角度が悪い場合、チャックの前面にワーク基準面が押付けられた際にワークが斜めになり、その斜めの状態でワークを把握することになるので、ワークの直角度がでない問題がある。
【０００７】
更に、リヤボディに対して移動ボディを付勢部材で付勢しているので、付勢部材の付勢力よりも小さな把握力の場合、ワークの引き込み動作ができない問題がある。更にまた、ワークの把握と引き込みを独立して行えないので、把握力が決定されると引き込み力も決まってしまい、把握力を変更すると引き込み力も変化するので、引き込み量の変化、もしくは付勢部材の交換が必要となる。
【０００８】
特許文献３のものは、ワーク加工時にワークの把握位置を変化させるものであり、爪でワークをボディ側に引き込むものではない。また、特許文献４のものは、ロボットによりワークを取り付ける際に爪を本体に対して下降し、ロボットと爪との干渉を防止するものであり、爪でワークを引き込むものではない。また、特許文献３、４は、爪操作推力と引き込み力制御用推力との差で爪をチャック軸線後方に引き込むものではない。
【特許文献１】特開２００３−１５０７号公報
【特許文献２】アメリカ特許第３４６０８４９号公報
【特許文献３】実公昭６０−３５５２４号公報
【特許文献４】実公平１−１５４８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この発明は、ワークを把握する爪を設けた移動ボディを固定ボディにチャック軸線方向進退可能に備えた引き込み式チャック装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の引き込み式チャック装置は、固定ボディに移動ボディをチャック軸線方向進退可能に備え、移動ボディに爪をチャック半径方向に移動するように設け、該爪を移動ボディと共にチャック軸線後方へ引き込み可能とした引き込み式チャック装置において、爪移動用の駆動手段によるチャック軸線方向への爪操作推力により爪がワークを把握するように構成し、チャック軸線方向に引き込み力制御用推力を発生する引き込み力制御手段を設け、その引き込み力制御用推力が前記移動ボディに作用するように構成したことを特徴とする。
【００１１】
爪がワークを把握した時に移動ボディに爪操作推力をチャック軸線方向に作用するように構成し、爪操作推力に対して、引き込み力制御用推力の大きさを大小可変とし、爪操作推力と引き込み力制御用推力との差で移動ボディをチャック軸線方向に移動可能に構成したことを特徴とする。
【００１２】
爪操作推力をチャック軸線後方に作用するように構成し、固定ボディ内側に移動ボディを軸線方向に進退するように嵌装して移動ボディ背面側を圧力室とするシリンダ構造として引き込み力制御手段を構成し、その圧力室に供給される流体圧により移動ボディにチャック軸線前方に引き込み力制御用推力を作用するように構成したことを特徴とする。
【００１３】
固定ボディに移動ボディをチャック軸線方向進退可能に備え、移動ボディに爪をチャック半径方向に移動するように設け、該爪でワークを把握して移動ボディと共にチャック軸線後方へ引き込むようにしたワークチャッキング方法において、爪でワークを把握する時のチャック軸線後方に作用する爪操作推力を移動ボディに作用するようにし、その爪操作推力より大きく設定したチャック軸線前方への引き込み力制御用推力を移動ボディに作用させて移動ボディを固定ボディに対する前進端位置に位置させ、次に前記爪操作推力を作用させて爪を移動してワークを把握し、次いで前記引き込み力制御用推力を爪操作推力より小さな推力に変化させ、爪操作推力と引き込み力制御用推力の差により移動ボディをチャック軸線後方へ移動してワークを把握した状態の爪をチャック軸線後方に引き込むようにしたことを特徴とする。
【００１４】
固定ボディに移動ボディをチャック軸線方向進退可能に備え、移動ボディに爪をチャック半径方向に移動するように設け、該爪でワークを把握して移動ボディと共にチャック軸線後方へ引き込むようにしたワークチャッキング方法において、爪でワークを把握する時のチャック軸線前方に作用する爪操作推力を移動ボディに作用するようにし、チャック軸線前方への引き込み力制御用推力を移動ボディに作用させて移動ボディを固定ボディに対する前進端位置に位置させ、次に前記爪操作推力を作用させて爪を移動してワークを把握し、次いで前記引き込み力制御用推力を爪操作推力より大きな推力に変化させてチャック軸線後方へ作用させ、爪操作推力と引き込み力制御用推力の差により移動ボディをチャック軸線後方へ移動してワークを把握した状態の爪をチャック軸線後方に引き込むようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本願装置では、爪移動用の駆動手段によるチャック軸線方向への爪操作推力により爪がワークを把握し、引き込み力制御手段による引き込み力制御用推力の大きさが可変に移動ボディに作用するようにして、ワーク把握状態の爪を移動ボディと共にチャック軸線方向後方へ引き込み可能としたから、引き込み力制御用推力を設定することで爪操作推力と独立して爪を移動ボディと共に引き込む際の引き込み力を設定可能である。これにより爪操作推力に対して引き込み力を極端に弱く設定できるため、薄板状のワークでも歪を小さくしてチャック側に密着できる。また、小さな爪操作推力でワークを把握しても、爪操作推力より引き込み力制御用推力を小さく設定できるので、その小さな爪操作推力で移動ボディの引き込み動作が行える。
【００１６】
また、小径ワークの把握時に爪操作推力が大きいため爪のチャック半径方向外側への浮き上がり（変形）によるワークのチャック前面側からの浮き上がりが大きい場合でも、移動ボディの引き込み量を大きくしても、特許文献１のようにバネで移動ボディを付勢しているもののように爪操作推力を増大させること無く引き込め、ワークをチャック前面に確実に密着できる。
【００１７】
また、引き込み力制御用推力を制御することで、爪操作推力を変化させることなく引き込み力を任意に制御して移動ボディの引き込み量を調整できるので、ワークのチャック軸線後方のワーク基準面の外形に対する直角度が悪い場合でも、ワーク基準面をチャック前面に押付けることなくワークの外形を基準として把握した状態でワークのチャック軸線前方の端面を加工できるので、ワーク外形に対するワークの端面の垂直度を高精度に出すことができる。
【実施例】
【００１８】
本願発明の実施例について図１、図２に基づいて説明する。図１に示すように引き込み式チャック装置１のチャックボディ２は、図示しない工作機械の主軸に装着される固定ボディ３と、固定ボディ３内にチャック軸線方向進退可能に嵌装された移動ボディ４とから構成されている。固定ボディ３はフロントボディ５とフロントボディ５の背面を塞ぐバックプレート６とからなり、バックプレート６が図示しない主軸先端に固着される。バックプレート６には同心に圧流体の流路７が設けられた流路部材８が一体に固着されている。移動ボディ４はフロントボディ５の摺動孔９内に摺動可能に嵌装されている。移動ボディ４にはウェッジプランジャ１０をチャック軸線方向進退可能に嵌合する嵌合孔１１が設けられている。ウェッジプランジャ１０の後端にはドロースクリュ１２の先端が螺着されている。
【００１９】
ドロースクリュ１２は流路部材８を貫通してバックプレート６後方に突出しており、ドロースクリュ１２の後端は、図示しない主軸後端に設けた周知の回転シリンダの如き駆動源に連結されたドローパイプ１３の先端に螺合され、これらウェッジプランジャ１０とドロースクリュ１２とドローパイプ１３と回転シリンダとから爪移動用の駆動手段１４が構成されており、爪移動用の駆動手段１４と前記チャックボディ２とで引き込み式チャック装置をなしている。このドロースクリュ１２には、流路１５が設けられており、流路１５の一端がドローパイプ１３の流路１６と連通されており、流路１６は図示しない制御手段により圧流体の供給圧力を調整可能な圧流体供給源としての圧力調整手段（流量制御弁）を備えた油圧源に接続されている。また、ドロースクリュ１２と流路部材８との間には、流路１７が形成され、流路１７を介して流路１５の他端と流路部材８の流路７の一端とが接続している。固定ボディ３と移動ボディ４との間で移動ボディ４の背面側は圧力室１８とされ、圧力室１８には流路７の他端が接続され、前記油圧源に接続されたシリンダ構造として引き込み力制御手段１９を構成している。各流路７，１５，１６，１７を介して圧力室１８に供給される流体圧（油圧）により、移動ボディ４には、チャック軸線前方に引き込み力制御用推力Ｆ２が作用するように構成されている。
【００２０】
フロントボディ５のチャック軸線前方には、円周方向に所定角度間隔で半径方向の爪通過孔２０が複数（本願実施例では３箇所）形成されている。この爪通過孔２０と対応して移動ボディ４のチャック軸線前方には、円周方向に所定角度間隔で半径方向のガイド溝（図示せず）が複数形成されている。各ガイド溝には、マスタジョウ２１が半径方向移動可能に案内されている。マスタジョウ２１は、マスタジョウ２１のウェッジ部２２が前記ウェッジプランジャ１０のウェッジ溝２３と係合され、ウェッジプランジャ１０の前後動による楔作用で半径方向に開閉移動するようになっている。マスタジョウ２１は爪通過孔２０から固定ボディ前面３ａに突出してトップジョウ２４が螺着固定され、ワークを把握する爪２５を構成している。尚、２６はトップジョウ２４に係合され爪２５と一体に移動しガイド溝をシールするシール部材である。また、２７は、固定ボディ３を主軸に連結する連結ボルトである。
【００２１】
次に、動作について説明する。先ず、図１に示すワークを把握していない状態では回転シリンダによりドローパイプ１３、ドロースクリュ１２を介してウェッジプランジャ１０がチャック軸線前方に移動されて爪２５がチャック半径方向外側に開いた状態となっている。また、各流路７，１５，１６，１７を介して油圧源から圧油が圧力室１８に供給される。このとき圧油により移動ボディ４の背面４ａには引き込み力制御用推力Ｆ２がチャック軸線前方に作用し、この引き込み力制御用推力Ｆ２は爪２５がワークを把握するときのチャック軸線後方の爪操作推力Ｆ１より大きく設定してあり、爪操作推力Ｆ１と引き込み力制御用推力Ｆ２との差により、爪２５をチャック軸線方向に進退させる引き込み力がチャック軸線前方に作用し、移動ボディ４を図１に示す前進端位置に位置させてマスタジョウ２１の背面を押して爪２５を前進状態としている。この移動ボディ４が前進端位置にある状態でドローパイプ１３がチャック軸線後方に引かれると、ドロースクリュ１２を介してウェッジプランジャ１０が後退し、楔作用により爪２５がチャック半径方向内側に移動しワークを把握する。爪２５がワークを把握するとウェッジプランジャ１０はそれ以上後退できなくなるため、マスタジョウ２１との楔係合を介して爪操作推力Ｆ１が移動ボディ４に対して軸線方向に作用する。
【００２２】
次に、前記引き込み力制御用推力Ｆ２を爪操作推力Ｆ１より小さな推力に変化させると、爪操作推力Ｆ１と引き込み力制御用推力Ｆ２との差により発生する引き込み力がチャック軸線後方に作用し、爪２５と共に移動ボディ４がチャック軸線後方に引き込まれる。爪２５がチャック軸線後方に引き込まれると、爪２５に把握されたワークは固定ボディ３の前面３ａ（または固定ボディ前面３ａに設けた図示しないストッパ）に押し当てられて着座する。この時の引き込み力は、引き込み力制御用推力Ｆ２を爪操作推力Ｆ１より小さな適当な値に設定することでＦ１以下の任意の値とすることができる。この状態でワークの加工を行う。加工終了後、爪移動用の駆動手段１４をチャック軸線前方に作動し、更に、引き込み力制御手段１９により引き込み力制御用推力Ｆ２を爪操作推力Ｆ１より大きな推力として、爪２５と一緒に移動ボディ４を前進端位置に移動する。
【００２３】
次に第２の実施例について図３、図４により説明する。前記第１実施例と同一の部分には同一の番号を付けて説明を省略する。移動ボディ４の背面４ａには、押し引き軸２８が一体に固着されている。押し引き軸２８は図示しない主軸後端に設けた二重回転シリンダ２９の第１シリンダ３２の第１シリンダ室３３に収容された第１ピストン３４に突設された中空ロッド３５に連結されて引き込み力制御手段１９Ａが構成されている。引き込み力制御手段１９Ａは、第１シリンダ室３３への圧流体（圧油）を制御することで移動ボディ４の引き込み力制御用推力Ｆ２が制御可能となっている。この二重回転シリンダ２９は、第１シリンダ３２と第２シリンダ３６とに図示しない油圧源からの圧油を供給する分配器３０に、相対回転可能にシリンダ本体３１が挿着されており、シリンダ本体３１は主軸に結合されチャックボディ２と共に回転される。シリンダ本体３１に備えられた第１シリンダ３２と第２シリンダ３６とは、図４に示すように、シリンダ本体３１に第１シリンダ室３３と第２シリンダ室３７とが夫々設けられ、第１、第２シリンダ室３３，３７に夫々第１、第２ピストン３４，３８が嵌装されて成り、第１ピストン３４と一体の中空ロッド３５の中空孔３９内には第２ピストン３８と一体の小径ロッド４０が挿通されており、中空ロッド３５と小径ロッド４０とが夫々独立して二重回転シリンダ２９の軸線方向（チャック軸線方向）に進退するようになっている。小径ロッド４０の先端は押し引き軸２８を貫通してバックプレート６後方に突出するドロースクリュ１２の後端に連結されており、ウェッジプランジャ１０とドロースクリュ１２と小径ロッド４０と第２シリンダ３６とから爪移動用の駆動手段１４Ａが構成されている。
【００２４】
次に、動作について説明する。先ず、図３、図４に示すワークを把握していない状態で、第１シリンダ３２に圧流体を供給し、引き込み力制御手段１９Ａによる引き込み力制御用推力Ｆ２で移動ボディ４をチャック軸線前方に押圧する。次に、第２シリンダ３６に圧流体を供給し、駆動手段１４Ａにより爪操作推力Ｆ１でウエッジプランジャ１０をチャック軸線後方に移動し爪２５によりワークを外径把握する。このとき引き込み力制御用推力Ｆ２は爪操作推力Ｆ１より大きく設定されている。次に、引き込み力制御用推力Ｆ２を爪操作推力Ｆ１より小さくし、爪操作推力Ｆ１と引き込み力制御用推力Ｆ２との差の引き込み力で爪２５と一緒に移動ボディ４をチャック軸線後方に引き込み、ワークをチャック軸線後方に引き込む。前記第１の実施例と同様に引き込み力は引き込み力制御用推力Ｆ２を適宜な値にすることで任意に設定できる。
【００２５】
次に、図５に示す、第３の実施例として、駆動手段１４Ａにより爪操作推力Ｆ１をチャック軸線前方に作用させワークＷを内径把握し、その状態で移動ボディ４をチャック軸線後方に引き込むものについて説明する。これは第２の実施例においてトップジョウ２４を内径把握用のものに変更したものであるので、引き込み式チャック装置１Ａの説明は省略する。引き込み力制御手段１９Ａによりチャック軸線前方に引き込み力制御用推力Ｆ２を作用し移動ボディ４を前進端位置とした状態で、駆動手段１４Ａによる爪操作推力Ｆ１をチャック軸線前方に作用させ爪２５をチャック半径方向外側に移動しワークＷを内径把握する。ワークＷを内径把握した状態、即ち爪操作推力Ｆ１がチャック軸線前方に作用した状態で、爪操作推力Ｆ１より大きな値の引き込み力制御用推力Ｆ２をチャック軸線後方に作用させる。爪操作推力Ｆ１と引き込み力制御用推力Ｆ２との差により引き込み力がチャック軸線後方に作用し、ワークＷを爪２５で把握した状態で移動ボディ４がチャック軸線後方に引き込まれ、ワークＷがストッパ４１に当接する。この内径把握の場合には、爪操作推力Ｆ１より引き込み力制御推力Ｆ２を大きな任意な値とすることで、引き込み力を任意に設定することになる。
【００２６】
次に第４の実施例について図６により説明する。これは第３の実施例において、移動ボディ４に爪操作推力Ｆ１と引き込み力制御用推力Ｆ２を与える二重回転シリンダ４２の構造を変更したものであるので詳細な説明は省略する。この二重回転シリンダ４２を簡単に説明すると、図６に示すように、分配器４３に相対回転可能にシリンダ本体４４を備え、シリンダ本体４４の第１シリンダ４５内に第２シリンダ４６を備えている。第１シリンダ４５の第１シリンダ室４７はシリンダ本体４４に設けられ、第１シリンダ室４７内に第１ピストン４８が摺動可能に嵌合され、また、第１ピストン４８には第２シリンダ室４９が設けられ、第２シリンダ室４９に第２ピストン５０が摺動可能に嵌合されて構成されている。第１ピストン４８は、前記のように中空ロッド３５と連結されて引き込み力制御手段１９Ｂを構成している。また、第２ピストン５０は、前記のように小径ロッド４０と接続されて爪移動用の駆動手段１４Ｂを構成している。
【００２７】
引き込み式チャク装置１Ａは、ワークＷを把握していないときは、駆動手段１４Ｂにより爪操作推力Ｆ１をチャック軸線後方に作用せ、爪２５を閉じた状態となっている。また、引き込み力制御手段１９Ｂによりチャック軸線前方へ引き込み力制御用推力Ｆ２を作用して、移動ボディ４をチャック軸線前方に押し出し前進端位置としてある。ワークＷを把握する時には、駆動手段１４Ｂにより爪操作推力Ｆ１をチャック軸線前方に作用させ爪２５でワークＷを内径把握する。その爪２５がワークＷを把握した状態で引き込み力制御用推力Ｆ２をチャック軸線後方に作用させ移動ボディ４を引き込む。このとき第１ピストン４８内に第２シリンダ４６が構成されているので、爪操作推力Ｆ１は移動ボディ４のチャック軸線方向への進退には関係せず、引き込み力制御用推力Ｆ２が移動ボディ４の引き込み力になり、引き込み力制御用推力Ｆ２を適宜に設定することで、引き込み力を任意に設定できる。尚、第３、第４実施例で、ウェッジプランジャ１０のウェッジ溝２３とウェッジ部２２の傾斜を反対にすれば、前記第２実施例のように爪操作推力Ｆ１で移動ボディ４をチャック軸線後方に引き込む構造となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本願発明の引き込み式チャック装置の断面図である。
【図２】引き込み式チャック装置の正面図である。
【図３】第２の実施例の断面図である。
【図４】チャック装置に２重回転シリンダを設けた断面図である。
【図５】第３の実施例の断面図である。
【図６】第４の実施例の断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  引き込み式チャック装置
３  固定ボディ
４  移動ボディ
４ａ  移動ボディ背面
１４  爪移動用の駆動手段
１８  圧力室
１９  引き込み力制御手段
２５  爪
Ｆ１  爪操作推力
Ｆ２  引き込み力制御用推力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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