(57)【要約】【課題】  ウェーハキャリアのマニュアル搬送台車の走行安定性等を向上させる。【解決手段】  手押し操作により移動可能な台車本体１０１を有する搬送台車１００において、台車本体１０１に下段１０３および上段１０５の二つの段部を設ける。下段１０３に、ＦＯＵＰ１２１およびＦＯＵＰ１２３を保持する二組の下段アームを設ける。また、上段１０５に、ＦＯＵＰ１２５およびＦＯＵＰ１２７を保持する二組の上段アームを設ける。また、下段アームの中心を上段アームの中心に対して所定量オフセットさせるとともに、下段アームを水平に移動させる水平移動機構を有する引出部１０９を設ける。【選択図】      図１
2006114561.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
手押し操作により移動可能な台車本体と、
前記台車本体に設けられ、第一の段部と前記第一の段部の上部に設けられた第二の段部とを含む複数の段部と、
前記第一の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第一のキャリア保持部と、
前記第二の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第二のキャリア保持部と、
前記第一のキャリア保持部を水平に移動させる水平移動機構と、
を有し、
前記第一のキャリア保持部の中心を、前記第二のキャリア保持部の中心に対して所定量オフセットさせたことを特徴とするウェーハ搬送台車。
【請求項２】
請求項１に記載のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部の中心を、前記第二のキャリア保持部の中心に対して、当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に所定量オフセットさせたことを特徴とするウェーハ搬送台車。
【請求項３】
請求項１または２に記載のウェーハ搬送台車において、前記第一の段部は前記第二の段部に対し、当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に延出していることを特徴とするウェーハ搬送台車。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、前記第一の段部の当該ウェーハ搬送台車の設置面からの高さが、前記第二の段部と前記第一の段部との間隔の１／２以上であることを特徴とするウェーハ搬送台車。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、前記台車本体の底部の中央に、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿った方向に固定された固定輪を有することを特徴とするウェーハ搬送台車。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部に連結され、前記第一のキャリア保持部の移動方向に沿って前記第一のキャリア保持部とともに移動可能に構成された転倒防止手段を有することを特徴とするウェーハ搬送台車。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿って、前記第一のキャリア保持部が複数列設けられ、前記複数列の第一のキャリア保持部が前記進行方向に垂直な方向に個別に引き出し可能に構成されていることを特徴とするウェーハ搬送台車。
【請求項８】
請求項１乃至７いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、
当該ウェーハ搬送台車の設置面の法線方向から見たときに、
当該ウェーハ搬送台車の進行方向と垂直な方向に、前記第一の段部の端部と前記第二の段部の端部とのうち、外側の端部同士を結ぶ全幅にわたって延在する搬送バーが設けられていることを特徴とするウェーハ搬送台車。
【請求項９】
請求項１乃至８いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部が当該ウェーハ搬送台車の進行方向に垂直な両方向に平面移動可能に構成されていることを特徴とするウェーハ搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハキャリアの搬送台車に関し、とくに、手押し操作により移動可能な搬送台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハ径が３００ｍｍを超えるウェーハを複数収納して搬送する場合、キャリアの重量は７〜８ｋｇと重くなってしまい、人手で搬送するのは困難である。そのため、このようなキャリアの搬送は自動化されるようになっている。しかし、カスタムＬＳＩの製造工程や試作ライン等、自動化できないような場合は、キャリアの搬送を人手による手押し操作で行う必要がある。このような場合、人手で移動させる搬送台車（ＰＧＶ：person guided vehicle）を用いて、キャリアの搬送が行われる。たとえば、自動化されていない３００ｍｍ拡散ラインにおいては、一人が一つの３００ｍｍＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）を乗せることができるＰＧＶを用いて、各装置間、装置棚間の搬送を実施している。
【０００３】
そのような搬送台車の例として、特許文献１に記載の技術がある。特許文献１には、加工物である複数枚の半導体基板を収納する半導体基板用キャリアを荷台に載せ、人手で移動させ、半導体製造装置または半導体検査装置のステーションに荷台との間で半導体基板用キャリアの受け渡しをする搬送台車が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−２４３４７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記文献記載の従来技術は、一台の台車に一度に積載できる３００ｍｍＦＯＵＰは一個であった。このため、作業者が何度も往復操作を繰り返す必要があり、運搬作業の効率の点で改善の余地があった。
【０００５】
また、３００ｍｍＦＯＵＰでは、２００ｍｍキャリアに比べ、大きさが大きく、また、重量も増しているため、搬送ルート等の搬送レイアウトに制約があり、これに対応した走行安定性を確保するとともに、３００ｍｍＦＯＵＰの取り扱い時の人的・物的安全を確保することが課題となる。
【０００６】
３００ｍｍＦＯＵＰは２００ｍｍキャリアに比べ倍近い大きさがあり、すれ違い等を考えると、従来は一人で搬送可能な３００ｍｍＦＯＵＰは多くても２つ程度であった。また、搬送台車を２段構成とすることも考えられるが、ウェーハの搬送においては、その清浄度の確保の観点から、ＦＯＵＰの設置面について、発塵の多い床からの距離を一定間隔以上保つことが求められる。この要請により、ＦＯＵＰが設置される下段が床面から所定の高さ以上に位置するように設計する必要があった。このため、従来の技術水準において、下段の直上に上段が配置された場合、台車に重いキャリアを載せると、台車全体の重心が上昇し、転倒しやすくなる懸念があった。
【０００７】
また、転倒を防止して走行安定性を向上させるためには、キャリアの設置部を広く設けたい一方で、前述した搬送レイアウトの制約との関係では、できるだけ省スペース化する必要があった。このため、一度に複数の３００ｍｍＦＯＵＰを運搬可能なウェーハ搬送台車の走行安定性を向上させるためには、従来とは異なる設計思想が必要であった。
【０００８】
また、従来の技術水準において搬送台車を２段構成とすると、下段の設置位置が低すぎて積載物をとる際に腰をかがめる作業が必要となったり、上段の設置位置が高すぎて作業性が低下したりする。このため、上段または下段のどちらかの積み下ろしの作業性が低下し、断続的に作業を実施することが困難であった。
【０００９】
本発明は上記課題を解決するためになされたのものであり、ウェーハキャリアのマニュアル搬送台車の走行安定性等を向上させるものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、
手押し操作により移動可能な台車本体と、
前記台車本体に設けられ、第一の段部と前記第一の段部の上部に設けられた第二の段部とを含む複数の段部と、
前記第一の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第一のキャリア保持部と、
前記第二の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第二のキャリア保持部と、
前記第一のキャリア保持部を水平に移動させる水平移動機構と、
を有し、
前記第一のキャリア保持部の中心を、前記第二のキャリア保持部の中心に対して当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に所定量オフセットさせたことを特徴とするウェーハ搬送台車が提供される。
【００１１】
本発明によれば、第一のキャリア保持部の中心を第二のキャリア保持部の中心に対して設置面に水平に意図的に所定量オフセットさせている。このため、ウェーハの搬送において求められる第一の段部の設置面からの高さを充分に確保しつつ、複数段の段部のそれぞれにキャリア保持部を設ける場合にも、キャリア保持部にキャリアが設置されて、台車全体の重心の高さが上昇することによる搬送時の走行安定性の低下を抑制することができる。よって、一度に複数のキャリアを積載可能とし、また第一の段部の設置面からの高さを確保しつつ、走行時安定性を向上させることができる。
【００１２】
なお、第一の段部の設置面からの高さは、ウェーハ搬送台車が使用される半導体製造ラインにおいて要求される清浄度が確保できる程度であればよく、たとえば、前記第一の段部の当該ウェーハ搬送台車の設置面からの高さが、前記第二の段部と前記第一の段部との間隔の１／２以上である構成とすれば充分である。この構成によれば、第一のウェーハ保持部の高さを確保しつつ、第一のキャリア保持部および第二のキャリア保持部の積載物の積み下ろし作業の作業性をさらに向上させることができる。
【００１３】
また、本発明において、オフセットさせたとは、第一のキャリア保持部の中心を第二のキャリア保持部の中心に対してウェーハ搬送台車の設置面内で不一致となるように意図的にずらしていることを指し、第一のキャリア保持部の直上に第二のキャリア保持部が設けられた構成において非意図的に生じた位置ずれは含まない。オフセットさせた具体的な構成としては、たとえばそれぞれのキャリア保持部にキャリアを設置した状態で、上段と下段におけるキャリアの重心位置がずれている構成が挙げられる。
【００１４】
また、本発明においては、第一のキャリア保持部を水平に移動させる水平移動機構が設けられているため、下段に対応する第一の段部に設けられた第一のキャリア保持部への積載物の積み下ろし作業の際に、第一のキャリア保持部を水平移動させて作業することが可能となる。このため、複数の段部を有する構成としつつ、積み下ろし作業の作業性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、台車本体に設けられた第一のキャリア保持部の中心を、前記第二のキャリア保持部の中心に対してウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に所定量オフセットさせることにより、ウェーハキャリアのマニュアル搬送台車の走行安定性等を向上させる技術が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部の中心を、前記第二のキャリア保持部の中心に対して、当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に所定量オフセットさせた構成とすることができる。
【００１７】
第一のキャリア保持部の中心を第二のキャリア保持部の中心に対して設置面に水平でウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に意図的に所定量オフセットさせることにより、搬送時の走行安定性の低下をより一層確実に抑制することができる。このため、一度に複数のキャリアを積載可能とし、第一の段部の設置面からの高さを確保しつつ、走行時に台車が傾斜したり転倒したりすることをさらに確実に抑制することができる。
【００１８】
なお、本発明において、走行方向と垂直方向にオフセットされて配置されているとは、走行安定性が向上するように走行方向に垂直な方向のオフセット量を所定量有していることを指し、第一のキャリア保持部の中心が第二のキャリア保持部の中心に対して垂直方向に所定量位置ずれしている構成、具体的には第二の段部の幅の１割以上ずれるように位置ずれしている構成だけでなく、走行方向に垂直な方向のオフセット成分以外に走行方向のオフセット成分を有し、第一のキャリア保持部の中心が第二のキャリア保持部の中心に対して進行方向に対して斜めの方向に位置ずれしている構成を含む。
【００１９】
本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一の段部は前記第二の段部に対し、当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に延出していてもよい。こうすれば、下段に相当する第一のキャリア保持部の積載物の積み下ろし作業をさらに容易に行うことができるので、作業性の向上が可能となる。なお、本発明において、走行方向と垂直方向に延出しているとは、第一のキャリア保持部の積載物を走行方向に垂直な方向から取り出す際に取り出しやすいように、ウェーハ搬送台車の設置面と水平に第一のキャリア保持部が延出していることを指し、第一のキャリア保持部がウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に延出している構成だけでなく、第一のキャリア保持部がウェーハ搬送台車の進行方向に対して斜めの方向に延出している構成も含まれる。
【００２０】
本発明のウェーハ搬送台車において、前記台車本体の底部の中央に、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿った方向に固定された固定輪を有する構成とすることができる。底部の中央とは、並進搬送時にウェーハ搬送台車が回転しないような位置であればよく、ウェーハ搬送台車の進行方向に沿った方向における中央近傍であれば、台車本体の端部側であっても内側であってもよい。たとえば、この構成において、前記台車本体の底部に当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿って３列以上の車輪が設けられ、内側の前記車輪が固定輪である構成とすることができる。内側の車輪とは、最外列でない車輪のことであり、当該車輪の両側に別の車輪が設けられていることをいう。また、固定輪であるとは、車輪がウェーハ搬送台車の設置面内方向に回転せずに、進行方向に沿って進むように構成されていることをいう。このようにすれば、ウェーハ搬送台車の走行安定性をより一層向上させることができる。
【００２１】
本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部に連結され、前記第一のキャリア保持部の移動方向に沿って前記第一のキャリア保持部とともに移動可能に構成された転倒防止手段を有する構成とすることができる。こうすることにより、第一のキャリア保持部を引き出した際にも転倒をさらに確実に抑制できるので、積み下ろし作業の安定性をさらに向上させることができる。
【００２２】
本発明のウェーハ搬送台車において、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿って、前記第一のキャリア保持部が複数列設けられ、前記複数列の第一のキャリア保持部が前記進行方向に垂直な方向に個別に引き出し可能に構成されてもよい。こうすれば、下段の積載物の積み下ろし作業の安定性をより一層向上させることができる。
【００２３】
本発明のウェーハ搬送台車において、当該ウェーハ搬送台車の設置面の法線方向から見たときに、当該ウェーハ搬送台車の進行方向と垂直な方向に、前記第一の段部の端部と前記第二の段部の端部とのうち、外側の端部同士を結ぶ全幅にわたって延在する搬送バーが設けられていてもよい。こうするすることにより、作業者が搬送バーを押してさらに安定に走行させることが可能な構成とすることができる。
【００２４】
本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部が当該ウェーハ搬送台車の進行方向に垂直な両方向に平面移動可能に構成されていてもよい。こうすれば、下段の積載物の積み下ろし作業をより一層容易に行うことが可能となる。
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いてさらに詳細に説明する。なお、すべての図面において、共通の構成要素には同じ符号を付し、適宜説明を省略する。
【００２６】
図１は、本実施形態に係るキャリアのマニュアル搬送台車の構成を模式的に示す斜視図である。図２（ａ）〜図２（ｃ）は、図１に示した搬送台車１００の構成をさらに詳細に示す図である。図２（ａ）は、搬送台車１００の平面図である。また図２（ｂ）は、図１をＡ−Ａ’方向から見た図である。また図２（ｃ）は、図１をＢ−Ｂ’方向から見た図である。搬送台車１００は、半導体ウェーハ等の工作物が収納されたキャリアを手押し操作により移動させる。以下、キャリアが３００ｍｍＦＯＵＰである場合を例に、これらの図を参照して搬送台車１００の構成を詳細に説明する。
【００２７】
搬送台車１００は、手押し操作により移動可能な台車本体１０１に、キャリアを設置する下段１０３と上段１０５の互いに平行な２つの段部が設けられた構成である。下段１０３には、下段アーム１３５が搬送台車１００の進行方向（図中のＡ−Ａ’方向）に沿って二組並置されている。下段アーム１３５は、下段１０３上にＦＯＵＰ１２１またはＦＯＵＰ１２３を保持する。下段アーム１３５および下段１０３の底面は、キャリア保持部として機能する。また、上段アーム１３７は、上段１０５上にＦＯＵＰ１２５またはＦＯＵＰ１２７を保持する。上段アーム１３７および上段１０５の底面は、キャリア保持部として機能する。
【００２８】
このように、搬送台車１００には、上段１０５および下段１０３のそれぞれに２つずつのキャリア保持部が設けられているため、一台の搬送台車１００にＦＯＵＰ１２１〜ＦＯＵＰ１２７の４個の３００ｍｍＦＯＵＰを同時に設置して運搬することができる。
【００２９】
ＦＯＵＰ１２１〜ＦＯＵＰ１２７には、それぞれの両側面に、受け部１４３が設けられており、受け部１４３が搬送台車１００の下段アーム１３５または上段アーム１３７に保持されることにより、ＦＯＵＰが下段１０３または上段１０５のアームに保持される。
【００３０】
図１、図２（ａ）および図２（ｃ）に示したように、搬送台車１００では、設置面１１０の法線方向から見たときに、下段アーム１３５の中心を上段アーム１３７の中心に対して搬送台車１００の走行方向と垂直な方向（図中のＢ−Ｂ’方向）に所定量オフセットさせた構成、具体的には、下段アーム１３５および上段アーム１３７にそれぞれＦＯＵＰを設置した状態で、設置面１１０に水平な平面内において、ＦＯＵＰ１２１およびＦＯＵＰ１２３の重心位置を、それぞれ、ＦＯＵＰ１２５およびＦＯＵＰ１２７の重心位置に対して搬送台車１００の走行方向と垂直な方向にオフセットさせた構成となっている。
【００３１】
また、下段１０３には延出部１０７および引出部１０９が設けられている。延出部１０７は、上段１０５に対し、搬送台車１００の走行方向と垂直な方向に延出している部分である。
【００３２】
また、引出部１０９は、下段１０３に設けられた下段アーム１３５を水平に、具体的には搬送台車１００の進行方向に垂直な方向（図中Ｂ−Ｂ’方向）にスライド可能に構成されている。図１および図２（ａ）〜図２（ｃ）に示した搬送台車１００では、引出部１０９が延出部１０７の側にさらに延出可能となっている構成が例示されている。
【００３３】
なお、引出部１０９のスライド機構に特に制限はなく、公知の機構を適宜用いることができる。また、スライド機構とともに、引出部１０９を所定の位置で固定するストッパ機構を設けることもできる。ストッパ機構を設けることにより、搬送台車１００の安全性をさらに向上させることができる。
【００３４】
また、引出部１０９は、二組の下段アーム１３５を同時にスライドさせるように構成されていてもよいし、それぞれの下段アーム１３５を個別にスライドさせることができるような構成であってもよい。二組の下段アーム１３５が搬送台車１００の進行方向に垂直な方向に個別にスライド可能な構成とすることにより、下段１０３に積載されているＦＯＵＰ１２１およびＦＯＵＰ１２３の積み下ろし作業を限られたスペースでさらに効率よく行うことができる。
【００３５】
台車本体１０１の底部には、６つの車輪が設けられている。車輪は、搬送台車１００の進行方向に沿って、前列２輪、中列２輪、および後列２輪の３列６輪の配置となっており、中列の２輪が固定輪１１３、前列の２輪および後列の２輪は可動輪１１１である。台車本体１０１の底部中央に、搬送台車１００の進行方向に沿って固定された中列の固定輪１１３を設けることにより、並進時の走行安定性を向上させることができる。また、固定輪１１３の両側に可動輪１１１を設けることにより、固定輪１１３を回転軸として台車本体１０１を回転させることができるため、台車本体１０１の進行方向を容易に変えることが可能な構成とすることができる。
【００３６】
可動輪１１１および固定輪１１３と台車本体１０１との間には、防振機１１５が設けられている。防振機１１５は、たとえばバネやゴム等の弾性部材により構成することができる。弾性部材は、下段アーム１３５または上段アーム１３７がＦＯＵＰ１２１〜ＦＯＵＰ１２７を保持しているときにも、弾性限界内にある程度の弾性定数を有することが好ましい。このようにすれば、アームがＦＯＵＰを保持した状態で搬送台車１００を移動させた場合に搬送台車１００に振動が生じても、防振機１１５によりＦＯＵＰへの振動の影響が低減されるので、ＦＯＵＰに収納された加工物の損傷を防ぐことができる。また、振動の影響が低減されることにより、ＦＯＵＰに収容された加工物の歩留まり低下を防ぐこともできる。また、防振機１１５は、ゲル状材がシート状に成形された緩衝材シートとすることができる。こうすれば、簡素な構成で搬送台車１００の走行中の振動や衝撃の影響をさらに確実に低減させることができる。
【００３７】
下段１０３の引出部１０９の底面には、転倒防止機１３３が設けられている。転倒防止機１３３は、下段支柱１１９と下段支持輪１３１とからなる。下段支柱１１９は、下段アーム１３５を引き出し可能に構成された引出部１０９の底面に連結され、下段１０３の延出方向にＬ字状に屈曲しており、その端部に下段支持輪１３１が設けられている。下段支持輪１３１は、設置面１１０上を回転可能であるため、下段１０３の引出部１０９をスライドさせた際に、転倒防止機１３３が引出部１０９とともにスライド方向に沿って移動可能な構成となっている。このため、下段アーム１３５に保持されたＦＯＵＰ１２１またはＦＯＵＰ１２３を引き出した際にも、搬送台車１００の転倒を確実に抑制することができる。
【００３８】
台車本体１０１には、搬送台車１００の進行方向に沿った両端にそれぞれストッパ１１７が一つずつ設けられている。これにより、搬送台車１００を停止させて作業する際に、設置面１１０の所定の位置に搬送台車１００を固定しておくことができる。ストッパ１１７の構成に特に制限はなく、公知の構成を適宜採用することができるが、たとえば、ストッパ１１７の上面を作業者が踏んで設置面１１０に押しつけることにより、台車本体１０１が固定される構成とすることができる。
【００３９】
また、搬送台車１００には、台車本体１０１の下段１０３を固定する支柱に接続され、下段１０３から上段１０５の方向に向かうにつれて、台車本体１０１から搬送台車１００の進行方向に平行な方向に遠ざかるように設けられたバー支柱１３９と、２本のバー支柱１３９に接続されてこれらに保持された搬送バー１４１とが設けられている。また、図２（ｂ）に示したように、搬送台車１００では、バー支柱１３９が下段１０３よりも設置面１１０の台車本体１０１に接合されているため、走行安定性をさらに向上させることができる。
【００４０】
なお、搬送台車１００の進行方向に平行な方向に遠ざかるとは、バー支柱１３９の下端と上端とが、設置面１１０の法線方向から見たときに、搬送台車１００の進行方向に平行に位置ずれしていることを指し、支柱の下端と上端が搬送台車１００の進行方向に沿って位置ずれしている構成だけでなく、これらが搬送台車１００の進行方向に対して斜めの方向に位置ずれしている構成も含む。
【００４１】
搬送バー１４１は、設置面１１０に平行に設けられ、設置面１１０の法線方向から見たときに、搬送台車１００の進行方向に垂直な方向（Ｂ−Ｂ’方向）に、台車本体１０１の全幅にわたって、具体的には、下段１０３の端部と上段１０５の端部とのうち、外側の端部同士を結ぶ全幅にわたって延在している。このため、作業者は搬送バー１４１を把持して押すことにより、搬送台車１００を安定的に並進移動させることができ、搬送台車１００を並進させる際に設置面１１０内で搬送台車１００が回転することを抑制できる。なお、搬送台車１００では、搬送バー１４１は、台車本体１０１の両側に設けられているが、少なくとも一方の側に設けられていればよい。
【００４２】
次に、図１および図２（ａ）〜図２（ｃ）に示した搬送台車１００の効果を説明する。
搬送台車１００においては、ＦＯＵＰ設置部が下段１０３および上段１０５の２段構成になっており、下段１０３と上段１０５のそれぞれにＦＯＵＰが設置される下段アーム１３５および上段アーム１３７が設けられている。そして、下段１０３に延出部１０７を設け、下段アーム１３５と上段アーム１３７の中心位置に意図的に所定量のオフセットを設け、上段１０５と下段１０３とでＦＯＵＰの保管位置を階段状にずらした構成となっている。これにより、重心が上方に位置する二段構成でありながら、半導体製造ラインで使用される際の走行時の安定性を充分に確保するとともに、必要最低限のスライド幅および作業スペースでのＦＯＵＰの積み下ろし作業が可能となる。
【００４３】
搬送台車１００は半導体製造ラインで使用されるため、下段１０３は、その清浄度の確保の観点から、発塵の多い設置面１１０からの距離を一定間隔以上保った位置に設けられる。これにより、下段１０３の積載物の清浄度や、積載物の積み下ろし時の作業性が充分に確保される。こうした構成として、具体的には、下段１０３の設置面１１０からの高さを、上段１０５と下段１０３との間隔の１／２以上、好ましくは当該間隔以上とした構成が挙げられる。さらに具体的には、設置面１１０からの下段１０３および上段１０５の高さをそれぞれ５５０ｍｍ程度および９５０ｍｍ程度とすることができる。搬送台車１００では、下段１０３を設置面１１０から充分に高い位置に設置した場合にも、延出部１０７および引出部１０９を設けることにより、走行安定性および積載物の積み下ろし作業の作業性を向上させることができる。
【００４４】
延出部１０７の上段１０５端部からのＢ−Ｂ’方向への延出幅は、たとえば上段１０５の幅の１／１０以上、具体的には１００ｍｍ程度とすることができる。さらに具体的には、下段１０３のＢ−Ｂ’方向の幅をたとえば４５０ｍｍ程度とすることができる。こうすることにより、省スペース化を図りつつ、ＦＯＵＰ積載時の転倒をさらに確実に防止することができる。また、引出部１０９が、延出部１０７の端部からＢ−Ｂ’方向にたとえば２５０ｍｍ程度引き出し可能な構成とすることができる。こうすれば、下段１０３への積載物の積みおろし作業をさらに効率よく行うことができる。また、下段１０３のＡ−Ａ’方向の幅はたとえば１１００ｍｍ程度とすることができる。
【００４５】
また、下段１０３にスライド機構を有する引出部１０９が設けられている。これにより、下段アーム１３５を可動式とすることができるので、搬送時のコンパクト性を確保し、２００ｍｍラインと同等の省スペースでも、図１および図２（ａ）〜図２（ｃ）にて示した4個など一定の同時積載量が確保できる。
【００４６】
また、下段１０３のＦＯＵＰの積み下ろしを行う場合、引出部１０９を引き出すことによりＦＯＵＰ１２１およびＦＯＵＰ１２３の上部の空間が確保され、作業者が無理な姿勢をとらずに下段１０３のＦＯＵＰ１２１およびＦＯＵＰ１２３の積み下ろしが可能となり、作業性も確保される。また、このとき、図２（ｃ）に示したように、転倒防止機１３３も同時に引き出されるため、搬送台車１００がバランスを崩すこともなく、安全性も確保されている。
【００４７】
また、下段１０３に延出部１０７および引出部１０９が設けられているため、下段１０３と上段１０５との間隔をＦＯＵＰの大きさと同程度にまで狭めることが可能である。このため、下段１０３を設置面１１０から充分に高い位置に設けた場合にも、上段１０５が作業者の身長に対して高すぎる位置に設けられることがなく、上段１０５に設置されるＦＯＵＰ１２５およびＦＯＵＰ１２７の積み下ろしの作業性も充分に確保し、簡便で安全な積み下ろし作業が可能となる。
【００４８】
従来の技術水準においては、３００ｍｍＦＯＵＰの搬送台車を２段にする場合、上段を下段の直上に設ける構成が採用されると考えられる。この構成では、重いキャリアを設置すると、台車の重心が上昇し、転倒しやすくなる懸念があった。このため、キャリアの設置部を広く設けたい一方、通路の幅との関係でできるだけ省スペース化する必要があった。
【００４９】
また、上下の間隔を広げて取り出し作業スペースを確保することも考えられるが、特に半導体製造に関わる場合は、前述したようにＦＯＵＰなどを設置可能な下限位置に制約がある。また、作業者の身長を考慮した作業性や作業安全性の観点から、ＦＯＵＰなどを設置可能な高さ方向の上限位置が制約される。結果として、上下の間隔を拡大することは困難であった。
【００５０】
また、上下の設置位置の制約から、仮に下段のＦＯＵＰを単純に手前に引き出すことにより取り出し操作を行おうとする場合、２００ｍｍに比べ重量物である３００ｍｍＦＯＵＰの操作には危険が伴い、バランスを失って落下する恐れもあった。
【００５１】
このように、３００ｍｍＦＯＵＰ用マニュアル搬送台車において、２００ｍｍラインと同様に省スペース化しつつ、４個など一定積載量が可能なコンパクト性と、安全性も確保された操作性とを確保することが課題となっていたが、図１および図２（ａ）〜図２（ｃ）に示した搬送台車１００は、これらの課題を解決する構成となっており、一台に４個等の複数のＦＯＵＰを積載可能な構成でありながら、ＦＯＵＰの積載時に求められる床面からの高さを確保し、走行安定性および作業の安全性が充分に確保されている。また、省スペース化の観点でも好適な構成となっている。
【００５２】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００５３】
たとえば、以上においては、下段１０３が搬送台車１００の進行方向に垂直な一方向にスライド可能な構成の場合を例に説明したが、下段１０３が搬送台車１００の進行方向に垂直な両方向にスライド可能な構成とすることもできる。
【００５４】
また、以上においては、下段１０３が搬送台車１００の進行方向に垂直な一方向に延出している構成を例示したが、延出部１０７が進行方向に垂直な方向の両側に設けられていてもよい。
【００５５】
また、以上においては、下段１０３に二組の下段アーム１３５が設けられ、上段１０５に二組の上段アーム１３７が設けられた構成を例示したが、下段１０３または上段１０５に三組以上のアームが設けられた構成としてもよい。
【００５６】
また、以上においては、台車本体１０１の底部中央に固定輪１１３を設け、複数の下段アーム１３５が並んでいる方向に沿って搬送台車１００が進行する構成を例に説明したが、搬送台車１００の進行方向は一方向には限られず、複数の方向、たとえば図１におけるＡ−Ａ’方向およびこれに垂直なＢ−Ｂ’方向に進行可能な構成とすることもできる。
【００５７】
また、以上においては、可動輪１１１および固定輪１１３と台車本体１０１との間に防振機１１５が設けられている構成を例に説明したが、可動輪１１１および固定輪１１３として、防振機構を有する車輪を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】実施の形態に係るキャリアのマニュアル搬送台車の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】実施の形態に係るキャリアのマニュアル搬送台車の構成を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
１００  搬送台車
１０１  台車本体
１０３  下段
１０５  上段
１０７  延出部
１０９  引出部
１１０  設置面
１１１  可動輪
１１３  固定輪
１１５  防振機
１１７  ストッパ
１１９  下段支柱
１２１  ＦＯＵＰ
１２３  ＦＯＵＰ
１２５  ＦＯＵＰ
１２７  ＦＯＵＰ
１３１  下段支持輪
１３３  転倒防止機
１３５  下段アーム
１３７  上段アーム
１３９  バー支柱
１４１  搬送バー
１４３  受け部
【図１】
2006114561.tif 000003
【図２】
2006114561.tif 000004