(57)【要約】【課題】  液滴吐出法でレンズ等の光学部材を形成する場合に、光学部材の形成不良による電気光学素子の製造不良を低減することができる光学部材の製造方法を提供する。【解決手段】  液滴が親水性を有し、当該液滴を移動させるための部材も親水性を有することにより、第１部材移動工程により、部材の表面に液滴が吸着し、当該液滴と当該部材との間に界面張力が働き、第２部材移動工程により、当該液滴を当該界面張力によって、光学機能面上の光学部材を形成すべき領域に当該液滴を移動させる。【選択図】      図１
2006205542.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光機能または受光機能を有する光学機能面を備えた電気光学素子上に、前記電気光学素子の光学特性を向上させるための光学部材となる液状材料を、前記光学機能面に向けて吐出して液滴を形成する液滴形成工程と、
前記液滴に対し、前記光学部材を形成すべき領域に向けて前記光学機能面と平行な方向に力を加えることにより、前記光学機能面上の前記光学部材を形成すべき領域に、前記液滴を移動させる液滴移動工程と、
を有する光学部材の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部材の製造方法であって、
前記液滴は親水性を有し、
前記液滴移動工程では、
前記液滴を移動するための親水性を有する部材を、前記液滴と接触する位置まで移動させる第１部材移動工程と、
前記液滴と前記部材との間に働く界面張力によって、前記液滴を前記光学機能面上の前記光学部材を形成すべき領域に移動させるように、前記部材を移動させる第２部材移動工程と、
を含む光学部材の製造方法。
【請求項３】
発光機能または受光機能を有する光学機能面を備えた電気光学素子上に、前記電気光学素子の光学特性を向上させるための光学部材となる液状材料を、前記光学機能面に向けて吐出して液滴を形成する液滴形成工程と、
前記領域内に前記液滴の体積の半分以上が前記光学部材を形成すべき領域に含まれている場合、前記液滴に対し、前記光学機能面に対して略鉛直な方向において、下方から上方に向けた力を加えることにより、前記光学機能面上の前記光学部材を形成すべき領域に、前記液滴の一部を移動させる液滴移動工程と、
を有する光学部材の製造方法。
【請求項４】
発光機能または受光機能を有する光学機能面を備えた電気光学素子上に、前記電気光学素子の光学特性を向上させるための、紫外線硬化樹脂を用いた光学部材となる、親水性を有する液状材料を、前記光学機能面に向けて吐出して液滴を形成する液滴形成工程と、
前記領域内に前記液滴の体積の半分以上が前記光学部材を形成すべき領域に含まれている場合、前記液滴に対し、親水性を有する部材を前記光学機能面を備えた電気光学素子の表面の上方から、前記光学部材を形成すべき領域に向けて下降させ、前記液滴と接触する位置まで移動させる第１部材移動工程と、
前記光学機能面に対して略鉛直な方向において、前記部材と前記液滴との間に働く界面張力によって、前記液滴に下方から上方に向けた力を加えることにより、前記光学機能面上の前記光学部材を形成すべき領域に、前記液滴の一部を移動させる第２部材移動工程と、
前記液滴が前記光学部材を形成すべき領域に移動した後に、前記液滴に紫外線を照射することにより、前記液滴の一部を光学部材にする紫外線照射工程と、
前記部材と前記光学部材となる前記液滴とを切り離すように前記光学機能面に対して略垂直かつ上方に移動させる第３部材移動工程と、
を有する光学部材の製造方法。
【請求項５】
発光機能または受光機能を有する第１の光学機能面と第２の光学機能面とを備えた電気光学素子上に、前記電気光学素子の光学特性を向上させるための光学部材となる液状材料を、前記第１の光学機能面に向けて吐出して液滴を形成する液滴形成工程と、
前記液滴に対し、前記第１の光学機能面と平行な方向に力を加え、前記第１の光学機能面から前記第２の光学機能面まで連続的に前記液滴を伸張させる液滴伸張工程と、
を有する光学部材の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の光学部材の製造方法であって、
前記液滴は親水性を有し、
前記液滴伸張工程は、
前記液滴を移動するための親水性を有する部材を、前記液滴と接触する位置まで移動させる第１部材移動工程と、
前記第１の光学機能面から前記第２の光学機能面まで、連続的に前記液滴を伸張させるように前記部材を移動させる第２部材移動工程と、
を含む光学部材の製造方法。
【請求項７】
請求項２、４または６のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
前記部材は、棒材である光学部材の製造方法。
【請求項８】
請求項２、４または６のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
前記液滴移動工程において、前記部材を前記液滴に接触させる前に、前記部材と前記液滴が接触する前記部材の表面に、前記液状材料を付着させる液状材料付着工程と、を有する光学部材の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の光学部材の製造方法であって、
前記棒材の先端は、球面形状である光学部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、面発光型レーザのような発光機能を有する電気光学素子、またはフォトダイオード等の受光機能を有する電気光学素子の光学特性を向上させるための光学部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような電気光学素子の光学機能面上に例えばマイクロレンズ等のような光学部材が形成される場合がある。ここで、光学機能面とは、電気光学素子が面発光レーザ等の発光素子の場合には発光面、フォトダイオード等の受光素子の場合には受光面のことをいう。
上記の光学部材の製造方法は、例えば、特許文献１に開示されているように、ディスペンサ法や液滴吐出法等を用いている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１１９５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の製造方法では、ディスペンサ法では、液状材料を吐出する先端部が目詰まりを起こすことにより、当該材料の着弾位置が、光学部材を形成すべき位置からずれる可能性がある。また、液滴吐出法でも、光学部材を形成したい位置に液状材料を吐出させた場合、液滴吐出をする液滴吐出ヘッドの吐出口近傍の状態の変化による吐出不良が起こることで、ディスペンサ法と同様、当該材料の着弾位置が、光学部材を形成すべき位置からずれる可能性がある。着弾位置がずれると、光学部材が当該電気光学素子の光学特性の向上が図れないことから、製品的価値が低下し、場合によっては製造不良として処理されてしまう。
【０００５】
本発明の目的は、液滴吐出法でレンズ等の光学部材を形成する場合に、光学部材の形成不良による電気光学素子の製造不良を低減することができる光学部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明は、発光機能または受光機能を有する光学機能面を備えた電気光学素子上に、前記電気光学素子の光学特性を向上させるための光学部材となる液状材料を、前記光学機能面に向けて吐出して液滴を形成する液滴形成工程と、前記液滴に対し、前記光学部材を形成すべき領域に向けて前記光学機能面と平行な方向に力を加えることにより、前記光学機能面上の前記光学部材を形成すべき領域に、前記液滴を移動させる液滴移動工程と、を有することを要旨とする。
【０００７】
本発明に係る光学部材の製造方法によれば、液滴形成工程において、液滴が光学部材を形成すべき領域から外れた位置に形成されても、液滴移動工程により、当該光学部材を形成すべき領域に向けて液滴に対して平行な力を加え、光学機能面上の光学部材を形成すべき領域に液滴を移動させることから、電気光学素子の光学特性を向上させるための領域に光学部材を形成することができる。
【０００８】
また、本発明は、上記に記載の光学部材の製造方法であって、前記液滴は親水性を有し、前記液滴移動工程では、前記液滴を移動するための親水性を有する部材を、前記液滴と接触する位置まで移動させる第１部材移動工程と、前記液滴と前記部材との間に働く界面張力によって、前記液滴を前記光学機能面上の前記光学部材を形成すべき領域に移動させるように、前記部材を移動させる第２部材移動工程と、を含むことを要旨とする。
【０００９】
本発明に係る光学部材の製造方法によれば、液滴が親水性を有し、当該液滴を移動させるための部材も親水性を有することにより、第１部材移動工程により、部材の表面に液滴が吸着し、当該液滴と当該部材との間に界面張力が働き、第２部材移動工程により、当該液滴を当該界面張力によって、光学機能面上の光学部材を形成すべき領域に当該液滴を移動させることから、電気光学素子の光学特性を向上させるための領域に光学部材を形成することができる。
【００１０】
また、本発明は、発光機能または受光機能を有する光学機能面を備えた電気光学素子上に、前記電気光学素子の光学特性を向上させるための光学部材となる液状材料を、前記光学機能面に向けて吐出して液滴を形成する液滴形成工程と、前記領域内に前記液滴の体積の半分以上が前記光学部材を形成すべき領域に含まれている場合、前記液滴に対し、前記光学機能面に対して略鉛直な方向において、下方から上方に向けた力を加えることにより、前記光学機能面上の前記光学部材を形成すべき領域に、前記液滴の一部を移動させる液滴移動工程と、を有することを要旨とする。
【００１１】
本発明に係る光学部材の製造方法によれば、液滴形成工程において、液滴が光学部材を形成すべき領域から、液滴の体積の半分以上が前記光学部材を形成すべき領域に含まれている程度に外れた位置に形成された場合、液滴移動工程により、液滴に対し光学機能面に対して略鉛直な方向において、下方から上方に向けた力を加えることにより、液滴の一部を光学機能面上の光学部材を形成すべき領域に移動させることから、電気光学素子の光学特性を向上させるための領域に光学部材を形成することができる。
【００１２】
また、本発明は、発光機能または受光機能を有する光学機能面を備えた電気光学素子上に、前記電気光学素子の光学特性を向上させるための、紫外線硬化樹脂を用いた光学部材となる、親水性を有する液状材料を、前記光学機能面に向けて吐出して液滴を形成する液滴形成工程と、前記領域内に前記液滴の体積の半分以上が前記光学部材を形成すべき領域に含まれている場合、前記液滴に対し、親水性を有する部材を前記光学機能面を備えた電気光学素子の表面の上方から、前記光学部材を形成すべき領域に向けて下降させ、前記液滴と接触する位置まで移動させる第１部材移動工程と、前記光学機能面に対して略鉛直な方向において、前記部材と前記液滴との間に働く界面張力によって、前記液滴に下方から上方に向けた力を加えることにより、前記光学機能面上の前記光学部材を形成すべき領域に、前記液滴の一部を移動させる第２部材移動工程と、前記液滴が前記光学部材を形成すべき領域に移動した後に、前記液滴に紫外線を照射することにより、前記液滴の一部を光学部材にする紫外線照射工程と、前記部材と前記光学部材となる前記液滴とを切り離すように前記光学機能面に対して略垂直かつ上方に移動させる第３部材移動工程と、を有することを要旨とする。
【００１３】
本発明に係る光学部材の製造方法によれば、液滴形成工程において、紫外線硬化樹脂を用いた光学部材となる、親水性を有する液状材料により形成された液滴が、光学部材を形成すべき領域から、液滴の体積の半分以上が前記光学部材を形成すべき領域に含まれている程度に外れた位置に形成された場合においても、第１部材移動工程により、当該液滴に対し、親水性を有する部材を光学機能面を備えた電気光学素子の表面の上方から、光学部材を形成すべき領域に向けて下降させて当該部材を当該液滴と接触させ、第２部材移動工程により、光学機能面に対して略鉛直な方向において、液滴に下方から上方に向けた力を加えることにより、光学機能面上の前記光学部材を形成すべき領域に、液滴の一部を移動させ、紫外線照射工程により、当該液滴が光学部材を形成すべき領域に移動した後に、当該液滴に紫外線を照射することにより、前記液滴の一部を光学部材にすることから、電気光学素子の光学特性を向上させるための領域に光学部材を形成することができる。また、第３部材移動工程により、部材と光学部材となる前記液滴とを切り離すように光学機能面に対して略垂直かつ上方に移動させることから、紫外線照射工程により一部が光学部材となった液滴においては、当該棒材に接触する液滴の量が少なくなることで、当該液滴と当該部材との間の界面張力が弱くなることにより、当該部材を光学機能面に対して略垂直かつ上方に移動させることにより、液滴の形状、すなわち光学部材の形状を損なうことなく、当該部材と当該液滴を切り離すことができる。また、部材を上下に移動させるだけで液滴を光学部材を形成すべき領域に移動させることができる。
【００１４】
また、本発明は、発光機能または受光機能を有する第１の光学機能面と第２の光学機能面とを備えた電気光学素子上に、前記電気光学素子の光学特性を向上させるための光学部材となる液状材料を、前記第１の光学機能面に向けて吐出して液滴を形成する液滴形成工程と、前記液滴に対し、前記第１の光学機能面と平行な方向に力を加え、前記第１の光学機能面から前記第２の光学機能面まで連続的に前記液滴を伸張させる液滴伸張工程と、を有することを要旨とする。
【００１５】
本発明に係る光学部材の製造方法によれば、液滴形成工程により、第１の光学機能面に液滴を形成し、液滴伸張工程により、当該液滴に対し、第１の光学機能面と平行な方向に力を加え、前記第１の光学機能面から前記第２の光学機能面まで連続的に液滴を伸張させることから、液滴形成工程で液滴が形成される位置が、光学部材を形成すべき位置から外れても、第１の光学機能面、第２の光学機能面及び第１光学機能面と第２の光学機能面との間に、光学部材を形成することができる。したがって、第１の光学機能面及び第２の光学機能面の光学特性を向上させることができ、さらに、第１の光学機能面と第２の光学機能面との間に形成された光学部材を光導波路として機能させることができる。
【００１６】
また、本発明は、上記に記載の光学部材の製造方法であって、前記液滴は親水性を有し、前記液滴伸張工程は、前記液滴を移動するための親水性を有する部材を、前記液滴と接触する位置まで移動させる第１部材移動工程と、前記第１の光学機能面から前記第２の光学機能面まで、連続的に前記液滴を伸張させるように前記部材を移動させる第２部材移動工程と、を含むことを要旨とする。
【００１７】
本発明に係る光学部材の製造方法によれば、液滴が親水性を有し、当該液滴を移動させるための部材も親水性を有することにより、第１部材移動工程により、部材の表面に液滴が吸着し、当該液滴と当該部材との間に界面張力が働き、第２部材移動工程により、当該液滴を当該界面張力によって、第１の光学機能面から前記第２の光学機能面まで連続的に液滴を伸張させることから、液滴形成工程で液滴が形成される位置が、光学部材を形成すべき位置から外れても、第１の光学機能面、第２の光学機能面及び第１光学機能面と第２の光学機能面との間に、光学部材を形成することができる。
【００１８】
また、本発明は、上記に記載の光学部材の製造方法であって、前記部材は、棒材であることを要旨とする。
【００１９】
また、本発明は、上記に記載の光学部材の製造方法であって、前記液滴移動工程において、前記部材を前記液滴に接触させる前に、前記部材と前記液滴が接触する前記部材の表面に、前記液状材料を付着させる液状材料付着工程と、を有することを要旨とする。
【００２０】
また、本発明は、上記に記載の光学部材の製造方法であって、前記棒材の先端は、球面形状であることを要旨とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係る光学部材の製造方法を図１を用いて説明する。
図１（ａ）は、液滴形成工程を示す。光学機能面１１を有する電気光学素子１０上に、液滴２２をインクジェット法を用いて形成する。液滴吐出装置（図示せず）が有する液滴吐出ヘッド４０から、光学部材となる液状材料２１を、液滴ノズル４０ａから吐出させることにより、電気光学素子１０上の、光学部材を形成すべき領域に液滴２２を形成する。このとき、液状材料２１の状態、または液滴吐出ヘッド４０の液滴ノズル４０ａの近傍の状態の変化により、液滴吐出位置がずれる可能性がある。同図では、液滴２２が、光学機能面１１から右側にずれて形成されている場合を示している。
【００２２】
ここで、電気光学素子１０として用いられるのは、例えば、発光機能を有するものであれば、面発光型発光素子、面発光型レーザ、発光ダイオード、有機ＥＬ装置等であり、電気光学素子１０が受光機能を有するものであれば、フォトダイオード、受光素子として、ＭＳＭフォトディテクター、固体撮像素子（ＣＣＤ）等である。
【００２３】
また、液滴２２の形成方法として、本実施形態においては、液滴吐出法としてインクジェット法を用いている。なお、液滴２２を形成する方法は、インクジェット法だけでなく、ディスペンサ法でもよい。
【００２４】
本実施形態において、光学部材を形成すべき領域とは、光学機能面１１が形成されている領域とする。光学部材は、光学機能面１１の光学機能を向上させるために、通常は形成されるからである。光学機能面１１が発光面である場合には、光学部材を形成すべき領域の大きさ及び形状は、直径が約１５〜２０μｍの円または円に近い形状となっている。光学機能面１１が受光面である場合には、光学部材を形成すべき領域の大きさ及び形状は、直径が約４０〜５０μｍの円または円に近い形状となっている。
【００２５】
なお、液滴吐出ヘッド４０が有する液滴ノズル４０ａから吐出される液状材料２１は、親水性の液状の紫外線硬化樹脂を使用しており、当該液状材料に紫外線を照射することにより硬化する機能を有する。
【００２６】
図１（ｂ）は、液滴移動工程における第１部材移動工程を示す。液滴２２を移動させるための部材は、親水性を有する棒材３０であり、当該棒材３０の先端部は球面形状である。また、棒材３０は、少なくとも液滴２２と接触する部分の表面は、表面粗度が低い、すなわち滑らかに形成されている。
【００２７】
液滴吐出装置に備えられている棒材３０を、光学機能面１１の上方から下降させて、光学機能面１１の近傍にずれた状態で形成されている液滴２２と接触させる。このとき、棒材３０は、電気光学素子１０の表面とは接触させないようにすることが望ましい。棒材３０と電気光学素子１０とを接触させるところまで近づけた場合、棒材３０によって液滴２２、さらには電気光学素子１０が破壊される可能性が高くなるからである。
【００２８】
なお、本実施形態では、棒材３０は、表面に親水処理が施されたガラス棒を用いている。なお、液滴２２を移動させるための部材は、棒材３０に限らず、液滴２２を移動させることができる形状であればよく、例えば、へら形状の部材等でもよい。また、部材の材料はガラスだけでなく、親水性を有する材料であればよい。なお、第１部材移動工程において、棒材３０と液滴２２とを接触させる前に、液状材料付着工程により、棒材３０の先端部に適量の液状材料２１を、予め付着させておいてもよい。これは、形成されている液滴２２の液量が不足している可能性がある場合、または、棒材３０に付着して液滴２２の液量が不足してしまう場合等に有効である。また、棒材３０を液滴２２の上方から下降させて、液滴２２に接触させる際に、棒材３０を、例えば振動させながら接触させてもよい。例えば、棒材３０を、光学機能面１１の中心を含むように、２次元的に均一に振動させる。これにより、光学機能面１１から外れた領域に形成された液滴２２と、棒材３０が接触する確率がさらに高くなる。
【００２９】
図１（ｃ）は、液滴移動工程における第２部材移動工程を示す。棒材３０と液滴２２とは、お互いに親水性を有しているので、棒材３０と液滴２２との間には界面張力が働く。すなわち、棒材３０に液滴２２が界面張力により引き寄せられる。棒材３０と液滴２２との間に働く界面張力を用い、液滴２２が光学機能面１１のほぼ中央に位置するように棒材３０を移動する。これにより、液滴２２には、電気光学素子１０の表面に対して平行な力が加わり、液滴２２は光学機能面１１のほぼ中央に移動させることができる。同図では、棒材３０を左方向に移動させることにより、液滴２２を光学機能面１１のほぼ中央に移動させている。
【００３０】
図１（ｄ）は、第３部材形成工程及び光学部材形成工程を示す。液滴２２を光学機能面１１のほぼ中央に位置させた後、棒材３０を電気光学素子１０の上方に引き上げるように移動させる。このとき、液滴２２が接触している棒材３０の表面は、滑らかに形成されているので、液滴２２は滑り落ちるように棒材３０から引き離される。また、棒材３０の先端部分は球面形状を有しているので、棒材３０を引き上げるときに、液滴２２との接触状態が面接触から点接触に変化するため、界面張力が弱くなる。したがって、棒材３０を光学機能面１１に移動した液滴２２から、液滴２２の液量の損失を少なくするように引き離すことができる。これにより、液滴２２を光学部材を形成すべき領域、すなわち光学機能面１１のほぼ中央に移動させることができる。なお、棒材３０を液滴２２から引き離すときに、棒材３０を振動させてもよい。棒材３０を振動させながら、上方に移動させることにより、液滴２２が振動する力により、棒材３０からより滑り落ちやすくなる。
【００３１】
光学機能面１１のほぼ中央に液滴２２が移動した後、光学部材形成工程を行う。紫外線照射装置５０により、液滴２２に紫外線を照射する。液滴２２は、紫外線硬化樹脂で形成されているので、液滴２２が硬化することにより、光学部材としてのマイクロレンズ２３を光学機能面１１のほぼ中央に形成する。
【００３２】
上記の工程を行うことにより、マイクロレンズ２３を形成すべき領域から外れた領域に液滴２２が形成されても、棒材３０等を用いることにより、液滴２２に力を加え、当該液滴２２をマイクロレンズ２３を形成すべき領域に移動させることができる。したがって、マイクロレンズ２３の形成不良を低減させることができる。
【００３３】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態に係る光学部材の製造方法を図２を用いて説明する。本実施形態は、第１実施形態と同様の装置、部材を用いている。したがって、本実施形態で用いる装置及び部材の説明は割愛する。
図２（ａ）は、液滴形成工程を示す。これは、第１実施形態の液滴形成工程と同様である。ただし、本実施形態では、液滴２２が光学部材を形成すべき領域、すなわち光学機能面１１に液滴の体積の半分以上が含まれている程度に外れた位置に形成されている。
【００３４】
図２（ｂ）は、液滴移動工程における第１部材移動工程を示す。これは、第１実施形態の第１部材移動工程とほぼ同様である。ただし、本実施形態において、液滴２２を移動させるための部材としての棒材３０は、光学機能面１１のほぼ中央の上方から下降させ、液滴２２と接触させる。本実施形態における棒材の直径は、光学機能面が有する面積とほぼ同等としている。
【００３５】
なお、第１実施形態と同様に、棒材３０と液滴２２とを接触させる前に、液状材料付着工程により、棒材３０の先端部に適量の液状材料２１を、予め付着させておいてもよい。効果は、第１実施形態と同様である。また、第１実施形態と同様に、棒材３０と液滴２２とを接触させるときに、棒材３０を、例えば振動させながら接触させてもよい。その後、振動を停止させることにより、液滴を光学機能面１１上に移動させることができる。
【００３６】
図２（ｃ）は、液滴移動工程における第２部材移動工程及び紫外線照射工程を示す。第２部材移動工程では、液滴２２と接触している部材としての棒材３０を、電気光学素子１０の表面に対して、ほぼ垂直方向に、液滴２２との接触を保つよう程度に移動させる。液滴２２と棒材３０との間には、界面張力が働いているので、棒材３０が上方に移動することにより、液滴２２には電気光学素子１０の表面に対し、下方から上方に向かう力が加わる。したがって、液滴２２は光学機能面のほぼ中央に位置されるように移動する。本実施形態では、液滴２２が光学機能面１１から、液滴の体積の半分以上が含まれている程度に外れた位置に形成されているため、液滴２２の移動を、電気光学素子１０の表面に対して平行な動作を一切せず、上下方向だけの棒材３０の移動で行うことができる。
【００３７】
次に、紫外線照射工程を行う。液滴２２が光学機能面１１のほぼ中央に移動した後で、まだ液滴２２と棒材３０とが接触した状態において、紫外線照射装置５０により、液滴２２に対して紫外線照射し、液滴２２の、特に表面の一部を硬化させる。すなわち、液滴２２の一部は光学部材としてのマイクロレンズ２３となる。
【００３８】
図２（ｄ）は、第３部材移動工程及び光学部材形成工程を示す。第３部材移動工程では、一部硬化させた液滴２２から棒材３０を引き離すように、電気光学素子１０の上方に移動させる。液滴２２の一部が硬化していることにより、界面張力によって棒材３０に付着している液滴２２の液量は減少するので、棒材３０が上方に移動することによる液滴「２２の液量の損失は少なくなる。また、第１実施形態と同様に、棒材３０の先端部分は球面形状を有しているので、液滴２２の液量の損失を少なくするように引き離すことができる。なお、第１実施形態と同様に、棒材３０を液滴２２から引き離すときに、棒材３０を振動させてもよい。効果は、第１実施形態と同様である。
光学部材形成工程は、第１実施形態と同様である。
【００３９】
したがって、本実施形態でも第１実施形態と同様の効果が得られる。また、液滴２２が光学機能面１１から、液滴の体積の半分以上が含まれている程度に外れた位置に形成されているため、液滴２２を移動させるための棒材３０の移動を、電気光学素子１０に対して平行な動作をさせず、上下方向だけで移動させることができる。
【００４０】
（第３実施形態）
本実施形態は、２つの光学機能面を有する電気光学素子において、光学機能面の間に、例えば光導波路として機能するような光学部材の形成方法である。
本発明の第３実施形態に係る光学部材の製造方法を図３を用いて説明する。
図３（ａ）は、液滴形成工程を示す。本実施形態で使用する電気光学素子１０では、第１の光学機能面１１ａ及び第２の光学機能面１１ｂを備えている。第１の光学機能面１１ａは、発光機能を有し、一方、第２の光学機能面１１ｂは、受光機能を有している。液滴吐出工程では、第１実施形態と同様に、液滴吐出法を用いて液滴２２を、第１の光学機能面１１ａ上に液状材料２１を吐出することにより形成する。ここで、液滴２２は、後の第２部材移動工程により、第１の光学機能面１１ａから第２の光学機能面１１ｂまで伸張させることができる分の液量で形成する。また、液滴２２の中心は、第１の光学機能面１１ａの中央より第２の機能面１１ｂ側に形成する。
【００４１】
図３（ｂ）は、第１部材移動工程を示す。使用する部材としての棒材３０は、第１実施形態とほぼ同様である。棒材３０を、第１の光学機能面１１ａの上方から下降させて、第１の光学機能面１１ａの近傍に形成されている液滴２２と接触させる。なお、棒材３０と液滴２２とを接触させる前に、液状材料付着工程により、棒材３０の先端部に適量の液状材料２１を、予め付着させておいてもよい。これは、第１実施形態、第２実施形態と同様に、形成されている液滴２２の液量が不足している可能性がある場合、または、棒材３０に付着して液滴２２の液量が不足してしまう場合等に有効である。また、棒材３０に液状材料２１を付着させておくことにより、棒材３０と液滴２２との間に適切な界面張力を保つことが容易になることから、次の第２部材移動工程において、液滴２２をより伸張させやすくなる。
【００４２】
図３（ｃ）は、第２部材移動工程を示す。棒材３０に界面張力によって付着した液滴２２を、棒材３０を第１の光学機能面１１ａから第２の光学機能面１１ｂの方向へ、伸張させるように移動させる。これにより、第１の光学機能面１１ａの上から第２の光学機能面１１ｂの上までにかけて、伸張された液滴２２ａが形成される。液滴２２ａが形成された後、第１実施形態、第２実施形態と同様にして、棒材３０を電気光学素子１０の上方に引き上げるように移動させる。
【００４３】
図３（ｄ）は、光学部材形成工程を示す。これは、第１実施形態の光学部材形成工程と同様である。すなわち、伸張された液滴２２ａに紫外線照射装置５０により、紫外線を照射することによって、伸張された液滴２２ａが硬化し、マイクロレンズとしての機能も果たす光導波路２４を形成することができる。
【００４４】
なお、第１の光学機能面１１ａ及び第２の光学機能面１１ｂは、本実施形態に限定されず、第１の光学機能面１１ａが受光機能を有し、第２の光学機能面１１ｂが発光機能を有していてもよい。また、２つの光学機能面が発光機能または受光機能のみを有していてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】（ａ）〜（ｄ）は、第１実施形態における、光学部材の製造方法を示す模式図。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、第２実施形態における、光学部材の製造方法を示す模式図。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は、第３実施形態における、光学部材の製造方法を示す模式図。
【符号の説明】
【００４６】
１０…電気光学素子、１１…光学機能面、１１ａ…第１の光学機能面、１１ｂ…第２の光学機能面、２１…光学部材となる液状材料、２２…液滴、２２ａ…伸張された液滴、２３…光学部材としてのマイクロレンズ、２４…光学部材としての光導波路、３０…部材としての棒材、４０…インクジェットヘッド、４０ａ…ノズル、５０…紫外線照射装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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