(57)【要約】【課題】  絞り径が可変であると共に取り扱いが容易で、コストの低減が図れることができ、暗視野観察における照明の光量を最大限に確保することが可能であり、凹凸のない試料におけるピント合わせを容易に行うことができる顕微鏡落射照明装置及びこれを備える顕微鏡を提供すること。【解決手段】  光源１１からの光を試料Ｓへ照射する照明光学系と、対物レンズ６を介して試料Ｓの観察像を集光する観察光学系とを備え、落射照明装置１内で前記照明光学系の光束径を調整する羽根絞り２１を有し、羽根絞り２１を前記照明光学系の光路の共役位置Ｐ１と、共役位置Ｐ２との間で選択的に位置させる絞り装置１５を備えている。【選択図】  図１
2006071873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を試料へ照射する照明光学系と、対物レンズを介して前記試料の観察像を集光する観察光学系とを備える顕微鏡落射照明装置において、
前記照明光学系の光束径を調整する絞りを有し、前記顕微鏡落射照明装置内で該絞りを前記照明光学系の光路の前記試料と共役な位置と、前記光源と共役な位置との間で選択的に位置させる絞り装置を備えていることを特徴とする顕微鏡落射照明装置。
【請求項２】
前記絞り装置が、該照明光学系の光路上の前記試料と共役な位置と、前記光源と共役な位置との中点を回転軸として、前記絞りを回転させる回転機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡落射照明装置。
【請求項３】
前記絞り装置が、前記照明光学系の光路上の前記試料と共役な位置と、前記光源と共役な位置との間で、前記絞りを前記照明光学系の光路に沿ってスライド可能とするスライド機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡落射照明装置。
【請求項４】
前記絞り装置が、前記照明光学系の光路上の前記試料と共役な位置から前記光源と共役な位置に向かって前記絞りを付勢する付勢機構を備えていることを特徴とする請求項２または３に記載の顕微鏡落射照明装置。
【請求項５】
前記絞り装置が、前記照明光学系の光路上の前記試料と共役な位置と前記光源と共役な位置との間で前記絞りを位置決めする位置決め機構を備えていることを特徴とする請求項３に記載の顕微鏡落射照明装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の顕微鏡落射照明装置を備えることを特徴とする顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば顕微鏡に用いられる落射照明装置及びこれを備える顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡の照明光学系には、ムラなく明るい照明を行うことが可能なケーラー照明光学系が用いられている。このケーラー照明光学系は、照明の開口数と視野とを独立に変えることができるように、それぞれ絞りと視野絞りとを備えている。
絞りは、照明光源と対物レンズの後側焦点との共役な位置に配置され、絞り径の調節により光量調節を行ったり、照明の開口角を変えることで解像度を高めたり、コントラストを高めたりする働きがある。
一方、視野絞りは、試料と共役な位置に配置され、絞り径の調節により観察上の余計な光を遮断することでフレアの除去を行い、コントラストを高める働きがある。また、落射照明で鏡面のように表面に凹凸が少ない試料を観察する場合、視野絞りの開口部を視野よりも小さく絞り、視野絞りの像にピントを合わせることによって試料の表面にピントを容易に合わせることができる。
【０００３】
ところが、視野絞りは、落射照明において、対物レンズなどの光学系を照明光が通ることでフレアの発生が抑制され、このフレアによるコントラストの低下がわずかであることから、その効果が小さくなり、実状あまり使用されていないことが多い。また、暗視野観察が可能な落射照明装置では、視野絞り位置で暗視野光束径が最も大きくなるので、視野絞りによって光束が遮断され、暗視野照明光量の低下を招くことがある。
そこで、ピント合わせ用の絞りが視野絞り位置に挿脱自在に設けられた落射照明装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
これは、ピント合わせ用の絞りとして、不透明なものに開口を形成したものや、透明基板を用いている。これにより、絞りを構成している羽根やその他構成部品を削減することが可能であると共に、凹凸のない試料を観察する際のピント合わせも容易に行えるものである。
【特許文献１】特開２００１−４２２２５号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の落射照明装置においては、以下の問題がある。すなわち、上記従来の落射照明装置では、固定の絞りを用いているため、撮像素子のサイズの異なるＴＶカメラやデジタルスチルカメラなどでピントを合わせる際には、それぞれに対応する開口径を有する固定絞りを用意しなければならない。また、視野絞りでピントを合わせた後で試料表面の傷などを用いてピントの確認を行う際に、固定絞りを照明光路から外す必要があるので、操作が煩雑である。さらに、絞り部品は観察像として見えるため、それ自体の仕上げがきれいであることや、透明基板を用いた際には塵が付着していないことが要求され、取り扱いに注意が必要なだけでなく、コスト的にも高いものとなる。
【０００５】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、絞り径が可変であると共に取り扱いが容易で、コストの低減が図れる顕微鏡落射照明装置及びこれを備える顕微鏡を提供することを目的とする。
また、本発明は、暗視野観察における照明の光量を最大限に確保することが可能な顕微鏡落射照明装置及びこれを備える顕微鏡を提供することを目的とする。
また、本発明は、凹凸のない試料におけるピント合わせを容易に行うことができる顕微鏡落射照明装置及びこれを備える顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明にかかる顕微鏡落射照明装置は、光源からの光を試料へ照射する照明光学系と、対物レンズを介して前記試料の観察像を集光する観察光学系とを備える顕微鏡落射照明装置において、前記照明光学系の光束径を調整する絞りを有し、前記顕微鏡落射照明装置内で該絞りを前記照明光学系の光路の前記試料と共役な位置と、前記光源と共役な位置との間で選択的に位置させる絞り装置を備えていることを特徴とする。
【０００７】
この発明にかかる顕微鏡落射照明装置では、試料と共役な位置に絞りを位置させてこの開口の端部にピントを合わせることで試料へのピント合わせを行う。そして、光源と共役な位置に絞りを位置させて光源からの光量調節を行ったり、照明の開口角を調整することで解像やコントラストを高めたりする。ここで、絞りを試料と共役な位置と光源と共役な位置との間で選択的に位置させることができるので、使用頻度の低い視野絞りを別途設ける必要がなくなる。これにより、部品点数を削減してコストの低減が図れる。
また、観察者が、絞り装置の開口形状を適宜変更することで、所望の開口形状とすることができる。これにより、試料と共役な位置に絞りを位置させたときに、開口を小さくすることで開口の端部にピントを合わせることが容易となる。さらに、開口をピント合わせに用いることで塵などの付着による影響がなく、取り扱いが容易である。そして、開口の端部にピントを合わせた後、試料表面の傷などによってピントを確認する際に、開口を大きくすることで素早く傷などを発見することができる。
また、撮像素子サイズの異なる複数のカメラを使用する場合に、開口を適度に絞ったり、開放することで視野内に表すことが可能なので、システム性に優れる。さらに、視野絞りが設けられていないことによって、暗視野照明光量を最大限に確保することができる。
【０００８】
また、本発明にかかる顕微鏡落射照明装置は、前記絞り装置が、該照明光学系の光路上の前記試料と共役な位置と、前記光源と共役な位置との中点を回転軸として、前記絞りを回転させる回転機構を備えていることが好ましい。
この発明にかかる顕微鏡落射照明装置では、回転機構によって試料と共役な位置と光源と共役な位置との中点を回転軸として絞りが回転することで、絞りが試料と共役な位置と、光源と共役な位置とで選択的に位置することとなる。したがって、試料と共役な位置と光源と共役な位置との選択を行ったときに絞り装置が顕微鏡から突出することがない。
【０００９】
また、本発明にかかる顕微鏡落射照明装置は、前記絞り装置が、前記照明光学系の光路上の前記試料と共役な位置と、前記光源と共役な位置との間で、前記絞りを前記照明光学系の光路に沿ってスライド可能とするスライド機構を備えていることが好ましい。
この発明にかかる顕微鏡落射照明装置では、スライド機構によって試料と共役な位置と光源と共役な位置との間で絞りを移動させることで、絞りが試料と共役な位置と光源と共役な位置とで選択的に位置することとなる。したがって、上述と同様に、試料と共役な位置と光源と共役な位置との選択を行ったときに絞り装置が顕微鏡から突出することがない。
【００１０】
また、本発明にかかる顕微鏡落射照明装置は、前記絞り装置が、前記照明光学系の光路上の前記試料と共役な位置から前記光源と共役な位置に向かって前記絞りを付勢する付勢機構を備えていることが好ましい。
この発明にかかる顕微鏡落射照明装置では、試料と共役な位置に絞りを位置させて試料へのピント合わせを行う。ここで、絞りが付勢機構によって付勢されていることによって、絞りを試料と共役な位置から光源と共役な位置に容易に位置決めさせることができるので、操作ミスを確実に防止することができる。
【００１１】
また、本発明にかかる顕微鏡落射照明装置は、前記絞り装置が、前記照明光学系の光路上の前記試料と共役な位置と前記光源と共役な位置との間で前記絞りを位置決めする位置決め機構を備えていることが好ましい。
この発明にかかる顕微鏡落射照明装置では、試料と共役な位置と光源と共役な位置との間で絞りが位置決め保持されることで、例えば、後側焦点の異なる対物レンズと共役な位置に合わせることが容易となり、対物レンズの性能を最大限に引き出すことが可能となる。
【００１２】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記記載の顕微鏡落射照明装置を備えることを特徴とする。
この発明にかかる顕微鏡では、上述と同様に、コストの低減が図れる。また、暗視野観察における照明の光量を最大限に確保することができる。さらに、凹凸のない試料におけるピント合わせを容易に行うことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の顕微鏡落射照明装置及びこれを備える顕微鏡によれば、該顕微鏡落射照明装置内で絞りを試料と共役な位置と光源と共役な位置との間で選択的に位置させることができ、使用頻度の低い視野絞りを別途設ける必要がないので、部品点数を削減してコストの低減が図れる。
また、絞り装置の開口形状を適宜変更することで、試料と共役な位置に絞りを位置させ、開口を小さくすることで開口の端部にピントを合わせることが容易となる。そして、この後、試料表面の傷などによってピントを確認する際に、開口を大きくすることで素早く傷などを発見することができる。さらに、開口をピント合わせに用いることで塵などの付着による影響がなく、取り扱いが容易である。
また、撮像素子サイズの異なる複数のカメラを使用する場合に、絞りの開口形状が可変であるので、システム性に優れる。さらに、視野絞りが設けられていないことによって、暗視野照明光量を最大限に確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明にかかる落射照明装置の第１の実施形態について、図１から図４を参照しながら説明する。なお、図１は本実施形態における落射照明装置を備える顕微鏡の概略構成図であり、図２は図１の絞り装置を示すもので、（ａ）は上断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面矢視図、図３は図１と同様に絞り装置を示すもので、（ａ）は図２（ａ）におけるＢ−Ｂ断面矢視図、（ｂ）は側面図であり、図４は図３の回転軸の操作状態を示す側面図である。
【００１５】
本実施形態による落射照明装置１は、明視野照明であって、図１に示すような顕微鏡２に用いられている。
この顕微鏡２は、顕微鏡本体３と、試料Ｓを載置するステージ４と、顕微鏡本体３の照明装置収容部５に設けられて試料Ｓに照明光を照射する落射照明装置１と、落射照明装置１の構成要素であって顕微鏡本体３に取り付けられ試料Ｓの観察像を集光する対物レンズ６と、観察者が観察を行う接眼レンズ７と、対物レンズ６によるフォーカスを調整する照準ハンドル（図示略）と、試料Ｓ及び対物レンズ６の相対位置を変更するストロークハンドル（図示略）とによって構成されている。
【００１６】
落射照明装置１は、光源１１と、光源１１からの照明光を集光するコレクタレンズ１２と、対物レンズ６と、視野レンズ１３と、ハーフミラー１４と、光源１１の共役な位置Ｐ１及び試料Ｓの共役な位置Ｐ２を選択的に設置可能な絞り装置１５とで構成されている。
ここで、光源１１からの照明系光路Ａ１上には、光源１１に近いほうから順に、コレクタレンズ１２、絞り装置１５、視野レンズ１３、ハーフミラー１４、対物レンズ６が配置されている。また、試料Ｓからの観察系光路Ａ２上には、試料Ｓに近いほうから順に、対物レンズ６、ハーフミラー１４、接眼レンズ７が配置されている。
【００１７】
絞り装置１５は、図２及び図３に示すように、内部に羽根絞り（絞り）２１を備える絞り装置本体２２と、羽根絞り２１の開口径を調節する操作部２３と、共役位置Ｐ１及びＰ２の中間位置Ｐ３を回転中心として絞り装置１５を回転させる回転軸（回転機構）２４とを備えている。
【００１８】
絞り装置本体２２は、羽根絞り２１が照明系光路Ａ１に対して垂直で共役位置Ｐ１と合致する位置に配置されている。そして、絞り装置本体２２は、一端に照明系光路Ａ１と平行な方向であって共役位置Ｐ１からＰ２に向かって突出して形成された突出部２５を備えている。この突出部２５の中央には、回転軸２４に挿通される貫通孔２５Ａが形成されている。
また、羽根絞り２１は、その開口の中心に照明系光路Ａ１が通過する位置に配置されている。
【００１９】
操作部２３は、絞り装置本体２２の照明装置収容部５の側壁５Ａと対向する一端から側壁５Ａに向かって、側壁５Ａに形成されたＵ字孔２６を介して照明装置収容部５の外部に、突出して設けられており、絞り装置本体２２に対して押し引き動作を行うことで、絞り装置本体２２内部に設けられた開閉機構（図示略）により、羽根絞り２１を開閉するように構成されている。
【００２０】
回転軸２４は、側壁５Ａの中間位置Ｐ３と合致する位置に形成された貫通孔２７に挿通されたほぼ円柱形状をなす部材であって、照明装置収容部５の内部に位置する一端にフランジ部２４Ａが形成され、他端が小径部２４Ｂとなっている。そして、このフランジ部２４Ａと樹脂スペーサ２８及び皿バネ２９によって突出部２５を回転軸２４の軸回りに回転可能に挟持している。また、絞り装置本体２２は、回転軸２４に対してフランジ部２４Ａに形成された切り欠き２４Ｃで当接しており、回転軸２４の回転により絞り本体２２を共役位置Ｐ１と共役位置Ｐ２とに位置決めできるように構成されている。
そして、回転軸２４の小径部２４Ｂには、側壁５Ａを挟持するようにノブ３０が嵌合挿入されている。このノブ３０のラジアル方向には、ネジ３１が挿入されるタップ３０Ａが形成されている。
【００２１】
また、照明装置収容部５の底壁５Ｂの内面には、共役位置Ｐ１、Ｐ２にそれぞれ羽根絞り２１の位置決めを行うストッパーピン３２、３３が設けられている。
【００２２】
次に、このように構成された落射照明装置１を備える顕微鏡２を用いた試料Ｓの観察方法について、図１から図４を用いて説明する。
まず、ステージ４上に試料Ｓを載置する。そして、羽根絞り２１が共役位置Ｐ１に位置している状態より、以下のようにして羽根絞り２１を共役位置Ｐ２に位置させる。
【００２３】
図３（ｂ）に示す矢印Ｘ１方向にノブ３０を回転させると、図４（ａ）に示すように、照明系光路Ａ１から外れた位置を経由して、図４（ｂ）に示すように、再び照明系光路Ａ１に対して羽根絞り２１が垂直となる共役位置Ｐ２においてストッパーピン３３に当接し、絞り装置本体２２が位置決め固定される。このとき、操作部２３は、Ｕ字孔２６に沿った移動を行う。また、回転軸２４は、皿バネ２９の弾性力と樹脂スペーサ２８とによってガタ取りが行われているので、ノブ３０を円滑に回転させることができる。
【００２４】
次に、操作部２３を絞り装置本体２２に対して押し引き動作を行うことで羽根絞り２１の開口を小さくし、顕微鏡２の焦準ハンドルを適宜調節することで羽根絞り２１の開口の端部にピントを合わせる。さらに、羽根絞り２１の開口を大きくし、試料Ｓの表面の傷などを用いてピントを確認する。
続いて、上述と同様の手順により、羽根絞り２１を共役位置Ｐ２から共役位置Ｐ１に位置させる。そして、操作部２３を絞り装置本体２２に対して適宜押し引き動作を行うことで羽根絞り２１の開口を調節し、光源１１からの光量調節を行ったり、照明の開口角を調整することで解像やコントラストを高める。以上のようにして試料Ｓの観察を行う。
【００２５】
以上のように構成された落射照明装置１及びこれを備える顕微鏡２によれば、羽根絞り２１が共役位置Ｐ１、Ｐ２に対して回転軸２４の軸回りで回転させることで選択的に位置することができる。これにより、使用頻度の低い視野絞りを別途設ける必要がなくなり、部品点数を削減してコストを図ることができる。
また、視野絞りを設けないことによって、暗視野光束を遮ることがなく、暗視野照明光量を最大限に確保することができる。これにより、明るい暗視野観察が可能になる。
また、観察者が、羽根絞り２１の開口形状を適宜変更することができ、共役位置Ｐ２に羽根絞り２１を位置させたときに開口を小さくすることで、開口の端部にピントを合わせることが容易となる。そして、開口を用いたピント調整の後で、開口を大きくすることにより試料Ｓの表面の傷などを素早く発見することができる。
【００２６】
また、回転軸２４の軸回りで回転させることで羽根絞り２１を顕微鏡落射照明装置内の共役位置Ｐ１とＰ２との間で選択的に位置させており、羽根絞り２１が回転するときに照明装置収容部５から突出することがない。これにより、本発明を実現する構成で顕微鏡２が占有する空間が増大することがない。また、羽根絞り２１が照明装置収容部５に内蔵されており、塵などが付着することが抑制されるので、取り扱いが容易となる。
【００２７】
次に、本発明にかかる落射照明装置の第２の実施形態について、図５及び図６を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態で説明した構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。ここで、図５は絞り装置を示すもので、（ａ）は上断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ断面矢視図、図６は図５と同様に絞り装置を示す側面図である。
【００２８】
第２の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、第１の実施形態における落射照明装置１の絞り装置１５が中間位置Ｐ３の軸回りで回転することによって共役位置Ｐ１、Ｐ２の位置を選択しているのに対して、第２の実施形態における落射照明装置の絞り装置５０が共役位置Ｐ１とＰ２との間を照明系光路Ａ１に沿ってスライドすることによって共役位置Ｐ１、Ｐ２の位置を選択している点である。
【００２９】
すなわち、絞り装置５０は、図５及び図６に示すように、羽根絞り２１が照明系光路Ａ１に対して垂直で共役位置Ｐ１と合致する位置となるように配置されている。そして、この絞り装置５０は、内部に羽根絞り２１を備える絞り装置本体５１と、操作部２３とを備えている。
【００３０】
絞り装置本体５１は、照明装置収容部５２の側壁５２Ｂと対向する一端に後述するオスアリ（スライド機構）５６と摺動可能に係合するアリ溝（スライド機構）５１Ａが形成されており、側壁５２Ａと対向する一端にレバー５３が突出して設けられている。
レバー５３は、後述する照明装置収容部５２の側壁５２Ａに形成されたガイド孔５４を介して照明装置収容部５２の外部にその先端が突出することとなる。
操作部２３は、レバー５３と同様に、後述する照明装置収容部５２の側壁５２Ａに形成されたガイド孔５５を介して照明装置収容部５２の外部にその先端が突出することとなる。
【００３１】
照明装置収容部５２の側壁５２Ａには、操作部２３と合致し、共役位置Ｐ１、Ｐ２と平行な位置に貫通孔であるガイド孔５５が形成され、レバー５３と合致し、共役位置Ｐ１、Ｐ２と平行な位置に同じく貫通孔であるガイド孔５４が形成されている。
また、照明装置収容部５２の側壁５２Ｂには、上面視において共役位置Ｐ１、Ｐ２と重なる位置に、アリ溝５１Ａと係合し、絞り装置本体５１と摺動可能であるオスアリ５６が設けられている。
オスアリ５６の両端には、ネジ５８、（５７）と螺合するネジ穴が形成されており、ネジ５８、（５７）を螺合することにより、オスアリ５６が側壁５２Ｂに取り付け固定されることとなる。
そして、このネジ５８、（５７）の頭部５７Ａ、５８Ａは、照明装置収容部５２の内面に突出し、絞り装置５０を位置決めするように構成されている。
【００３２】
次に、このように構成された落射照明装置を備える顕微鏡を用いた試料Ｓの観察方法について説明する。
まず、上述した第１の実施形態と同様に、ステージ４上に試料Ｓを載置する。そして、羽根絞り２１が共役位置Ｐ１に位置している状態より、以下のようにして羽根絞り２１を共役位置Ｐ２に位置させる。
【００３３】
図６に示す矢印Ｘ２方向にレバー５３をスライドさせると、アリ溝５１Ａがオスアリ５６上を摺動する。そして、絞り装置本体５１がネジ５８の頭部５８Ａに当接し、羽根絞り２１が共役位置Ｐ２に位置決め固定される。
この後、同様の手順により試料Ｓの観察を行う。ここで、レバー５３を矢印Ｘ２とは反対方向へスライドさせると、絞り装置本体５１がネジ（５７）の頭部５７Ａに当接し、羽根絞り２１が共役位置Ｐ１に位置決め固定される。
【００３４】
以上のように構成された落射照明装置によれば、上述した第１の実施形態と同様の作用、効果を有する。
【００３５】
次に、本発明にかかる落射照明装置の第３の実施形態について、図７及び図８を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態で説明した構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。ここで、図７は絞り装置を示すもので、（ａ）は上断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＤ−Ｄ断面矢視図、図８は図７と同様に絞り装置を共役位置Ｐ２に位置させた状態を示す上断面図である。
【００３６】
第３の実施形態と第２の実施形態との異なる点は、第２の実施形態における落射照明装置の絞り装置５０がレバー５３を共役位置Ｐ２からＰ１にスライドさせることによって共役位置Ｐ２に位置する羽根絞り２１の移動を行っているのに対して、第３の実施形態における落射照明装置の絞り装置６０が引っ張りバネ（付勢機構）６１によって共役位置Ｐ２に位置する羽根絞り２１の移動を行っている点である。
【００３７】
すなわち、絞り装置６０は、図７に示すように、照明系光路Ａ１に対して垂直で共役位置Ｐ１と合致する位置に配置されている。そして、この絞り装置６０は、内部に羽根絞り２１を備える絞り装置本体６２と、操作部２３と、絞り装置本体６２を照明系光路Ａ１に対して平行な方向に移動可能とする直動ガイド可動部６３とを備えている。
【００３８】
絞り装置本体６２は、照明装置収容部５２の側壁５２Ｂと対向する一端に、後述する直動ガイド可動部６３の可動台（スライド機構）６６がネジ６４、６５によって取り付け固定されており、側壁５２Ａと対向する一端にレバー５３が突出して設けられている。
【００３９】
直動ガイド可動部６３は、可動台６６と、可動台６６と摺動可能であると共に可動台６６を案内するレール（スライド機構）６７と、可動台６６に対してバネ力を付与する引っ張りバネ６１とによって構成されている。
可動台６６の断面は、ほぼコ字状の形状を有している。
レール６７は、照明装置収容部５２の側壁５２Ｂに、上面視において共役位置Ｐ１から共役位置Ｐ２に亘って配置されており、ネジ６９、（６８）によって取り付け固定されている。
そして、このネジ６９、（６８）の頭部６８Ａ、６９Ａは、照明装置収容部５２の内面に突出して設けられており、可動台６６が当接することによって、羽根絞り２１を共役位置Ｐ１、Ｐ２にそれぞれ位置するように構成されている。
【００４０】
引っ張りバネ６１は、その伸縮方向が照明系光路Ａ１と平行になるように配置され、光源１１側の一端がバネ掛け７０によって側壁５２Ｂに取り付け固定されており、他端がネジ６４によって可動台６６に取り付け固定されている。
【００４１】
次に、このように構成された落射照明装置を備える顕微鏡を用いた試料Ｓの観察方法について説明する。
まず、上述した第１の実施形態と同様に、ステージ４上に試料Ｓを載置する。そして、羽根絞り２１が共役位置Ｐ１に位置している状態より、以下のようにして羽根絞り２１を共役位置Ｐ２に位置させる。
【００４２】
図７（ａ）において、レバー５３を共役位置Ｐ２の方向へスライドさせると、図８に示すように、可動台６６がレール６７上をスライドしてネジ６９の頭部６９Ａに当接し、羽根絞り２１が共役位置Ｐ２に位置決めされる。このとき、引っ張りバネ６１は伸張している。
この後、同様の手順により試料Ｓの観察を行う。ここで、レバー５３を離すことで引っ張りバネ６１によって共役位置Ｐ２から共役位置Ｐ１に向かってバネの弾性力によって付勢され、可動台６６がレール６７上をスライドする。そして、可動台６６がネジ（６８）の頭部６８Ａに当接し、羽根絞り２１が共役位置Ｐ１に位置決めされる。
【００４３】
以上のように構成された落射照明装置によれば、上述した第１または第２の実施形態と同様の作用、効果を有するが、引っ張りバネ６１の弾性力によって共役位置Ｐ２から共役位置Ｐ１に向かって羽根絞り２１が付勢されていることで、観察者がレバー５３を把持する手を離せば確実に羽根絞り２１を共役位置Ｐ１に位置させることができる。したがって、操作ミスを確実に防止することになる。
【００４４】
次に、本発明にかかる落射照明装置の第４の実施形態について、図９及び図１０を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態で説明した構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。ここで、図９は絞り装置を示すもので、（ａ）は上断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＥ−Ｅ断面矢視図であり、図１０は図９と同様に絞り装置を示すもので、絞り装置本体を係合位置Ｐ３に位置させた状態を示す上断面図である。
【００４５】
第４の実施形態と第２の実施形態との異なる点は、第２の実施形態における落射照明装置の絞り装置６０が絞り装置本体５１をオスアリ５６上でスライドさせて羽根絞り２１を移動させたが、第４の実施形態における落射照明装置の絞り装置８０が絞り装置本体８３に挿通された一対のシャフト（スライド機構）８１、８２に沿って絞り装置本体８３をスライドさせる点である。
【００４６】
すなわち、絞り装置８０は、図９に示すように、照明系光路Ａ１に対して垂直で共役位置Ｐ１と合致する位置に配置されている。そして、この絞り装置８０は、内部に羽根絞り２１を備える絞り装置本体８３と、操作部２３と、一対のシャフト８１、８２とを備えている。
【００４７】
絞り装置本体８３は、照明装置収容部５２の側壁５２Ｂと対向する下部にシャフト８１、８２をそれぞれ挿通可能な貫通孔８３Ａ、８３Ｂが設けられている。また、絞り装置本体８３の内部であって貫通孔８３Ａの近傍には、一端にボール（位置決め機構）８４が取り付けられて他端が止めネジ８５によって絞り装置本体８３に固定される圧縮バネ（位置決め機構）８６が設けられている。
【００４８】
シャフト８１、８２は、側壁５２Ｂに設けられている固定具８７にネジ８８によってそれぞれ取り付け固定されている。
そして、シャフト８１には、照明系光路Ａ１において共役位置Ｐ１の近傍であって共役位置Ｐ２側の位置Ｐ４と対応する箇所に断面Ｖ字状のＶ字溝（位置決め機構）８１Ａが形成されている。このＶ字溝８１Ａとボール８４と圧縮バネ８６と止めネジ８５とによって、いわゆるプランジャ機構が構成されており、Ｖ字溝８１Ａとボール８４とが平面視において重なったときに圧縮バネ８６によってボール８４がＶ字溝８１Ａに向かって付勢されてＶ字溝８１Ａとボール８４とが係合し、絞り装置本体８３を位置決めするように構成されている。
【００４９】
側壁５２Ｂから照明装置収容部５２の内面に向かって突出するストッパーピン８９、９０が設けられている。ストッパーピン８９、９０に絞り装置本体８３が当接することで、羽根絞り２１を共役位置Ｐ１、Ｐ２にそれぞれ位置するように構成されている。
【００５０】
次に、このように構成された落射照明装置を備える顕微鏡を用いた試料Ｓの観察方法について説明する。
まず、上述した第１の実施形態と同様に、ステージ４上に試料Ｓを載置する。そして、羽根絞り２１が共役位置Ｐ１に位置している状態より、以下のようにして羽根絞り２１を共役位置Ｐ２に位置させる。
【００５１】
図９（ａ）においてレバー５３を共役位置Ｐ２の方向へスライドさせると、絞り装置本体８３がシャフト８１、８２に沿ってスライドしてストッパーピン９０に当接し、羽根絞り２１が共役位置Ｐ２に位置決め固定される。
この後、同様の手順により試料Ｓの観察を行う。ここで、図１０に示すように羽根絞り２１が係合位置Ｐ４に至るとＶ字溝８１Ａとボール８４とが係合し、羽根絞り２１が係合位置Ｐ４で位置決め固定される。
【００５２】
以上のように構成された落射照明装置によれば、上述した第１の実施形態と同様の作用、効果を有するが、Ｖ字溝８１Ａとボール８４と圧縮バネ８６と止めネジ８５とで構成されたプランジャ機構によって羽根絞り２１が係合位置Ｐ４で位置決め固定されることで、例えば後側焦点の異なる対物レンズ６を用いた場合にその共役位置に合わせることが容易となり、対物レンズ６の性能を最大限に引き出すことが可能となる。
【００５３】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態において、絞り装置が心出し機構を備えていてもよい。
また、上記実施形態において、羽根絞りの各共役位置間の移動を手動で行っているが、例えばモータやソレノイドを用いた電動機構によって移動を行ってもよい。
また、第３の実施形態において、共役位置Ｐ１に向けて付勢する付勢機構を上記第１の実施形態に適用してもよい。
また、第４の実施形態において、共役位置Ｐ１とＰ２との間に羽根絞りを位置決めさせる位置決め機構を第２または第３の実施形態に適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１の実施形態における顕微鏡を示す該略図である。
【図２】図１における絞り装置を示すもので、（ａ）は上断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面矢視図である。
【図３】図１における絞り装置を示すもので、（ａ）は図２（ａ）におけるＢ−Ｂ断面矢視図、（ｂ）は側面図である。
【図４】回転軸の操作状態を示す側面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態における絞り装置を示すもので、（ａ）は上断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ断面矢視図である。
【図６】本発明の第２の実施形態における絞り装置を示す側面図である。
【図７】本発明の第３の実施形態における絞り装置を示すもので、（ａ）は上断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＤ−Ｄ断面矢視図である。
【図８】本発明の第３の実施形態における絞り装置を示すもので、絞り装置本体を試料の共役位置に位置させた状態を示す上断面図である。
【図９】本発明の第４の実施形態における絞り装置を示すもので、（ａ）は上断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＥ−Ｅ断面矢視図である。
【図１０】本発明の第４の実施形態における絞り装置を示すもので、絞り装置本体を係合位置に位置させた状態を示す上断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  顕微鏡落射照明装置
２  顕微鏡
６  対物レンズ
１１  光源
２１  羽根絞り（絞り）
１５、５０、６０、８０  絞り装置
２４  回転軸（回転機構）
５１Ａ  アリ溝（スライド機構）
５６  オスアリ（スライド機構）
６１  引っ張りバネ（付勢機構）
６６  可動台（スライド機構）
６７  レール（スライド機構）
８１、８２  シャフト（スライド機構）
８１Ａ  Ｖ字溝（位置決め機構）
８４  ボール（位置決め機構）
８６  圧縮バネ（位置決め機構）
Ｐ１  共役位置（試料と共役な位置）
Ｐ２  共役位置（光源と共役な位置）
Ｓ  試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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