(57)【要約】【課題】  本発明は、構造を簡素化し、高精度なセンサを容易に作製することのできる温度センサを提供することにある。【解決手段】  環境温度に応じて固定基材３を長手方向に伸縮させ、固定基材３の一端に設けた鏡面１３に、光源からの入射光を固定基材３の他端に固定された光ファイバ７から出射し、鏡面１３からの反射光を光ファイバ７に入射し、その反射光の光強度に基づいて固定基材３の環境温度を計測するようにしたものである。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状に形成され、一端に鏡面を有し、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材と、
先端が球形状に形成され、前記固定基材の他端に固定され、光源からの入射光を前記鏡面に出射し、前記鏡面からの反射光を受光する光ファイバとを備え、
前記反射光の強度に基づいて前記固定基材の環境温度を計測することを特徴とする温度センサ。
【請求項２】
前記固定基材は、一端が内部鏡面で閉じられた長尺筒状に形成され、前記光ファイバは、前記固定基材の他方の開口端に固定されることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
【請求項３】
前記固定基材は、開口部と対向する面に鏡面を有する長尺容器状に形成され、長手方向に沿って貫通孔が穿設された筒体が内面に固定された、挿入口を有する閉止部材によって開口部を閉止され、前記光ファイバは、前記閉止部材の挿入口に固定され、先端部が前記閉止部材の挿入口を通して前記筒体の貫通孔から挿入されることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
【請求項４】
前記固定基材は、長尺筒状に形成され、先端部に鏡面を有する光ファイバが一方の開口端に固定され、先端が球形状に形成された光ファイバが、前記先端部に鏡面を有する光ファイバと対向して他方の開口端に固定されることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
【請求項５】
長手方向に沿って貫通孔が穿設された筒体を有し、前記筒体の一方の開口端に挿入され、前記固定基材の一端に固定された光ファイバの先端に前記鏡面は設置され、先端が球形状に形成された光ファイバが前記固定基材の他端に固定され、前記鏡面と対向して前記筒体の他方の開口端に挿入されることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
【請求項６】
前記光源と前記光ファイバとの間に設けられ、前記入射光と前記反射光を分岐する分岐部と、
前記分岐部に接続され、前記鏡面からの前記反射光を受光して前記反射光の強度を検出する第１の受光部と、
前記分岐部に接続され、前記光源からの前記入射光を受光して前記入射光の強度を検出する第２の受光部と、
前記反射光と前記入射光との強度比に基づいて前記固定基材の環境温度を計測する計測部と、
を備えたことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１つに記載の温度センサ。
【請求項７】
長尺状に形成され、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材と、
先端が球形状に形成され、前記固定基材の一端に固定され、光源からの入射光を出射する第１の光ファイバと、
先端が球形状に形成され、前記固定基材の他端に固定され、前記第１の光ファイバと対向し、前記第１の光ファイバからの透過光を入射する第２の光ファイバとを備え、
前記透過光の光強度に基づいて前記固定基材の環境温度を計測することを特徴とする温度センサ。
【請求項８】
前記第２の光ファイバに接続され、前記第１の光ファイバからの前記透過光を受光して強度を検出する受光部と、
前記透過光の強度に基づいて前記固定基材の環境温度を計測する計測部と、
を備えたことを特徴とする請求項７に記載の温度センサ。
【請求項９】
前記強度値と前記温度値との関係を示す換算データを記憶するデータ記憶部と、
前記計測部により計測された強度値に応じて前記データ記憶部から温度値を読み出して表示する表示部とを備えたことを特徴とする請求項６又は８に記載の温度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバを用いて近接あるいは遠隔にある温度計測位置の温度を測定する温度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光ファイバを用いた温度センサは、遠隔地で温度が測定することができることや、測定点で電気信号を使用しないため、電磁雑音に強く、かつ防爆構造に構成することができるなど利点があることから開発されている。
【０００３】
この光ファイバを用いた温度センサは、例えば特許文献１に開示されたものがある。この温度センサは、回折格子が形成された光ファイバを、この光ファイバよりも高い剛性を有するとともに、複数の部材からなり、回折格子部の固定点間の熱膨張係数が所定の熱膨張係数である固定具に固定し、光ファイバ自身の熱膨張よりも大きな熱膨張が回折格子部で発生するので、回折格子での反射光波長を測定することにより温度を測定するようにしている。
【０００４】
また、光ファイバを用いた他の光学温度計としては、例えば特許文献２に開示されたものがある。この光学温度計における光分波合波部は、光の分岐比の波長特性が異なる２つの光カプラを有し、第１の光カプラは光源の光を光ファイバ温度センサに導き、光源からの光を光路に通さず、光ファイバ温度センサからの光を第２の光カプラに導き、第２の光カプラは光ファイバ温度センサからの光を２つに分離しそれぞれの光が２つの受光素子によって電気信号に変換され、温度演算部により電気信号を演算するようにしている。
【特許文献１】特開平８−１０１０７８号公報
【特許文献２】特開平５−２３１９５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に開示されているように回折格子が形成された光ファイバを用いた温度センサでは、温度を計測するために波長計や光スペクトラムアナライザなどの高価な装置が必要であり、それだけ部品点数が増え、複雑な構成となってしまうという問題があった。
【０００６】
また、温度を測定するために干渉を用いる方法や、上記特許文献２に開示された温度による発光素子を用いる方法などもあるが、いずれの場合も装置構成が複雑になってしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的としては、構造を簡素化し、高精度なセンサを容易に作製することのできる温度センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の発明は、上記課題を解決するため、長尺状に形成され、一端に鏡面を有し、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材と、先端が球形状に形成され、前記固定基材の他端に固定され、光源からの入射光を前記鏡面に出射し、前記鏡面からの反射光を受光する光ファイバとを備え、前記反射光の強度に基づいて前記固定基材の環境温度を計測することを要旨とする。
【０００９】
請求項２記載の発明は、上記課題を解決するため、前記固定基材は、一端が内部鏡面で閉じられた長尺筒状に形成され、前記光ファイバは、前記固定基材の他方の開口端に固定されることを要旨とする。
【００１０】
請求項３記載の発明は、上記課題を解決するため、前記固定基材は、開口部と対向する面に鏡面を有する長尺容器状に形成され、長手方向に沿って貫通孔が穿設された筒体が内面に固定された、挿入口を有する閉止部材によって開口部を閉止され、前記光ファイバは、前記閉止部材の挿入口に固定され、先端部が前記閉止部材の挿入口を通して前記筒体の貫通孔から挿入されることを要旨とする。
【００１１】
請求項４記載の発明は、上記課題を解決するため、前記固定基材は、長尺筒状に形成され、先端部に鏡面を有する光ファイバが一方の開口端に固定され、先端が球形状に形成された光ファイバが、前記先端部に鏡面を有する光ファイバと対向して他方の開口端に固定されることを要旨とする。
【００１２】
請求項５記載の発明は、上記課題を解決するため、長手方向に沿って貫通孔が穿設された筒体を有し、前記筒体の一方の開口端に挿入され、前記固定基材の一端に固定された光ファイバの先端に前記鏡面は設置され、先端が球形状に形成された光ファイバが前記固定基材の他端に固定され、前記鏡面と対向して前記筒体の他方の開口端に挿入されること要旨とする。
【００１３】
請求項６記載の発明は、上記課題を解決するため、前記光源と前記光ファイバとの間に設けられ、前記入射光と前記反射光を分岐する分岐部と、前記分岐部に接続され、前記鏡面からの前記反射光を受光して前記反射光の強度を検出する第１の受光部と、前記分岐部に接続され、前記光源からの前記入射光を受光して前記入射光の強度を検出する第２の受光部と、前記反射光と前記入射光との強度比に基づいて前記固定基材の環境温度を計測する計測部とを備えたことを要旨とする。
【００１４】
請求項７記載の発明は、上記課題を解決するため、長尺状に形成され、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材と、先端が球形状に形成され、前記固定基材の一端に固定され、光源からの入射光を出射する第１の光ファイバと、先端が球形状に形成され、前記固定基材の他端に固定され、前記第１の光ファイバと対向し、前記第１の光ファイバからの透過光を入射する第２の光ファイバとを備え、前記透過光の光強度に基づいて前記固定基材の環境温度を計測することを要旨とする。
【００１５】
請求項８記載の発明は、上記課題を解決するため、前記第２の光ファイバに接続され、前記第１の光ファイバからの前記透過光を受光して強度を検出する受光部と、前記透過光の強度に基づいて前記固定基材の環境温度を計測する計測部とを備えたことを要旨とする。
【００１６】
請求項９記載の発明は、上記課題を解決するため、前記強度値と前記温度値との関係を示す換算データを記憶するデータ記憶部と、前記計測部により計測された強度値に応じて前記データ記憶部から温度値を読み出して表示する表示部とを備えたことを要旨とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載の本発明によれば、環境温度に応じて固定基材を長手方向に伸縮させ、固定基材の一端に設けた鏡面に、光源からの入射光を、先端が球形状に形成され固定基材の他端に固定された光ファイバから出射し、鏡面からの反射光を光ファイバに入射し、その反射光の光強度に基づいて固定基材の環境温度を計測するようにしたので、温度センサの構造を小型化及び簡素化することができる。また、固定基材の材料固有の熱膨張を利用するため、高精度で信頼性の高いセンサを容易に作製することができる。また、光ファイバからの出射光の広がりを大きくできるので、距離の変化に対してパワー変化を敏感にすることができる。
【００１８】
請求項２記載の本発明によれば、固定基材を一端が内部鏡面で閉じられた長尺形状に形成し、光ファイバの先端部を固定基材の孔に挿入したので、鏡面に対して光ファイバを高精度に対向させ、センサとしての検出精度を向上させることができる。
【００１９】
請求項３記載の本発明によれば、固定基材を、開口部と対向する面に鏡面を有する長尺容器状に形成し、長手方向に沿って貫通孔が穿設された筒体が内面に固定された、挿入口を有する閉止部材によって開口部を閉止し、光ファイバの先端部を閉止部材の挿入口を通して筒体の貫通孔から挿入したので、鏡面に対して光ファイバを高精度に対向させ、センサとしての検出精度を向上させることができる。
【００２０】
請求項４記載の本発明によれば、固定基材を長尺筒状に形成し、先端部に鏡面を有する光ファイバを一方の開口端に固定し、先端が球形状に形成された光ファイバを、先端部に鏡面を有する光ファイバと対向して他方の開口端に固定したので、温度センサの構造を簡素化することができる。また、先端部に鏡面を有する光ファイバ及び先端が球形状に形成された光ファイバをそれぞれ固定基材の孔に挿入したことにより、それぞれの光ファイバを高精度に対向させ、センサとしての検出精度を向上させることができる。
【００２１】
請求項５記載の本発明によれば、先端に鏡面を有し、固定基材の一端に固定された光ファイバを筒体の一方の開口端に挿入し、先端が球形状に形成され、固定基材の他端に固定された光ファイバを鏡面と対向して筒体の他方の開口端に挿入したので、温度センサの構造を簡素化することができる。また、先端に鏡面を有する光ファイバ及び先端が球形状に形成された光ファイバを固定基材の貫通孔の一方及び他方のそれぞれから挿入したことにより、それぞれの光ファイバを高精度に対向させ、センサとしての検出精度を向上させることができる。
【００２２】
請求項６記載の本発明によれば、入射光と反射光を分岐部で分岐し、反射光を受光して反射光の光強度を第１の受光部で検出し、入射光を受光して入射光の光強度を第２の受光部で検出し、反射光と入射光との強度比に基づいて計測部で固定基材の環境温度を計測するようにしたので、高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【００２３】
請求項７記載の本発明によれば、環境温度に応じて固定基材を長手方向に伸縮させ、先端が球形状に形成され固定基材の一端に固定される第１の光ファイバからの透過光を、先端が球形状に形成され固定基材の他端に固定される第２の光ファイバに入射し、第１の光ファイバの透過光の強度に基づいて固定基材の環境温度を計測するので、温度センサの構造を簡素化することができる。また、固定基材の材料固有の熱膨張を利用するため、高精度で信頼性の高いセンサを容易に作製することができる。また、光ファイバからの出射光の広がりを大きくできるので、距離の変化に対してパワー変化を敏感にすることができる。
【００２４】
請求項８記載の本発明によれば、第１の光ファイバからの透過光を受光して透過光の強度を受光部で検出し、透過光の強度に基づいて計測部で固定基材の環境温度を計測するようにしたので、高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【００２５】
請求項９記載の本発明によれば、強度値と温度値との関係を示す換算データをデータ記憶部に記憶させ、計測部により計測された強度値に応じてデータ記憶部から温度値を読み出して表示部に表示することにより、高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２７】
（実施の形態の基本原理）
まず、本発明の一実施の形態における温度センサの基本原理を図１乃至図７に基づいて説明する。
【００２８】
図１は本発明の一実施の形態における対向型の温度センサの基本原理を示す構成図、図２（ａ）は一般の光ファイバを示す説明図，図２（ｂ）は本実施の形態における光ファイバを示す説明図、図３は本発明の一実施の形態における反射型の温度センサの基本原理を示す構成図、図４は反射型の温度センサの距離とパワーとの関係を示す説明図、図５は光ファイバ間の距離とパワーとの関係を示すグラフ、図６は光ファイバの先端形状と広がり角を示す説明図、図７は図６の関係を示すグラフ、図８は固定基材の線膨張係数と先球半径を示す図である。
【００２９】
図１に示すように、対向型の温度センサ１は、樹脂など光ファイバよりも線膨張係数の大きい材料から長尺板状に形成され、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材３と、この固定基材３上の一端に接着剤５を介して固定される第１の光ファイバ７と、固定基材３の他端に固定され、第１の光ファイバ７と対向するように配置され、図示しない光源からの光を第１の光ファイバ７に出射し、第１の光ファイバ７からの出射光を受光する第２の光ファイバ９とを備えて構成されている。
【００３０】
すなわち、温度センサ１は、図１に示すように第１の光ファイバ７と第２の光ファイバ９とが所定の間隔ｄをおいた状態で固定基材３上に対向して固定され、固定基材３の熱膨張により第１の光ファイバ７と第２の光ファイバ９との端面間の距離（間隔ｄ）が変化する構造としている。
【００３１】
また、第１の光ファイバ７及び第２の光ファイバ９は、図２（ｂ）に示すようにそれぞれファイバコア７ａ，９ａと、このファイバコア７ａ，９ａの周面を被覆するコアよりも屈折率のひくいクラッド７ｂ，９ｂとを備えている。
【００３２】
したがって、第１の光ファイバ７と第２の光ファイバ９との端面間の距離が変化すると、透過光の強度が変化するため、その光強度に基づいて固定基材３の環境温度を測定することができる。このとき、図２（ｂ）に示す本実施の形態のように第１の光ファイバ７及び第２の光ファイバ９の先端を丸くする先球加工を施してレンズの効果を持たせると、第１の光ファイバ７からの出射光の広がり角θ２を大きくすることができる。
【００３３】
また、第１の光ファイバ７からの出射光は、図２（ｂ）に示すように一旦交差してから広がり、その広がり角θ２が大きいと対向した第２の光ファイバ９で受光する光の量が距離変化により大きく減少することになる。これにより、透過光の強度変化の距離依存性を大きくすることができ、つまり距離の変化に対してパワー変化を敏感にすることができるため、第１の光ファイバ７と第２の光ファイバ９との固定間隔を小さくすることができ、線膨張係数の小さな固定基材でも大きなパワー変化が得られるようになる。
【００３４】
これに対し、図２（ａ）に示す第１の光ファイバ７Ａ及び第２の光ファイバ９Ａは、通常のファイバ先端切断（クリーブ）状態のものであり、その広がり角θ１は図２（ｂ）に示す広がり角θ２より小さくなる。
【００３５】
次に、反射型の温度センサの基本原理を図３に基づいて説明する。
【００３６】
図３に示すように、反射型の温度センサ１１は、固定基材３が樹脂や金属など光ファイバよりも線膨張係数の大きい材料から長尺板状に形成され、固定基材３の一端には鏡面部１３が立設され、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能に構成されている。この固定基材３上の他端には、接着剤５を介して光ファイバ７が固定され、この光ファイバ７は図示しない光源からの入射光を鏡面部１３に出射し、その鏡面部１３からの反射光を受光するように構成されている。
【００３７】
このように反射型の温度センサ１１の基本原理は、対向型の温度センサ１と略同様であるが、光ファイバ７に光ファイバ９を対向して配置させる代わりに鏡面部（ミラー）１３を対向配置し、鏡面部１３からの反射光の受光強度変化を測定することにより、温度を見積もるようにしている。なお、図４に示すように鏡面部１３が２点鎖線位置の場合が最大となる。
【００３８】
この、反射型の温度センサ１１は、対向型の温度センサ１に比べ、鏡面部１３への往復で光路長が２倍となるため、より小型の構造とすることができる。また、センサ部へのファイバが１本で済むため、センサ部が小型化できるだけでなく、光ファイバの取り回しも容易となる。
【００３９】
以上のような構成とすることで、対向型の温度センサ１及び反射型の温度センサ１１によれば、温度変化を光のパワー変化として測定することができるため、ＬＥＤなどの安価な光源、フォトダイオード（ＰＤ）などの安価な強度測定手段を使用することにより、安価な温度センサとすることができる。
【００４０】
また、対向型の温度センサ１及び反射型の温度センサ１１によれば、固定基材３の材料固有の熱膨張を利用するため、信頼性が高く、かつ高精度な温度センサとすることができる。
【００４１】
次に、第１の光ファイバ７と第２の光ファイバ９との端面間の距離（間隔ｄ）又は光ファイバ７と鏡面部１３との間の距離（間隔Ｄ＝ｄ／２）と、測定パワーとの関係を図５に基づいて説明する。
【００４２】
図５に示すように、第１の光ファイバ７と第２の光ファイバ９との端面間の距離（間隔ｄ）又は光ファイバ７と鏡面部１３との間の距離（間隔Ｄ＝ｄ／２）を変化させた場合の反射光強度を測定した。
【００４３】
図５によれば、図２（ａ）に示すように通常のファイバ先端切断（クリーブ）状態に比べ、図２（ｂ）に示すように先球加工した場合は、その距離依存性が大きく、つまり傾きが急峻になっていることが確認できた。これにより、図２（ｂ）に示す本実施の形態の先球加工ファイバでは、小さな距離変化で大きなパワー変動を得ることができる。
【００４４】
図６は光ファイバの先端形状と広がり角θ（度）を示し、図７は先端球形状の先球半径ｒ（μｍ）と光ファイバから出射した光の広がり角θ（度）を測定した結果を示す。なお、先球半径ｒは、光ファイバの先端形状を円弧で近似した場合の半径を表している。
【００４５】
図７によれば、先端球の先球半径ｒが小さくなるに従って広がり角θが大きくなることが確認され、先端球の形状、具体的には先端球の先球半径ｒの大小を制御することにより距離依存性を変化させられることが確認された。
【００４６】
次に、温度変化を与えた場合の温度センサの透過光強度について図８及び図９に基づいて説明する。
【００４７】
温度センサ装置１５は、ＬＥＤからなる光源１７と、樹脂など光ファイバよりも線膨張係数の大きい材料から長尺板状に形成され、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材３と、光源１７に一端が接続され、固定基材３上の一端に接着剤５を介して固定され、光源１７からの入射光を出射する第１の光ファイバ７と、固定基材３の他端に固定され、第１の光ファイバ７と対向するように配置され、第１の光ファイバ７からの出射光を受光する第２の光ファイバ９と、第２の光ファイバ９からの透過光を受光して透過光の光強度を検出する受光部としてのパワーメータ１９と、透過光の光強度に基づいて固定基材３の環境温度を計測する計測部としてのパソコン２１とを備えて構成されている。そして、固定基材３は、恒温槽２３内に収納されている。
【００４８】
具体的に、温度センサ装置１５は、図８に示すように固定基材３上に弧度半径ｒ＝１５μｍの第１の光ファイバ７及び第２の光ファイバ９を対向させて固定し、接着剤５で固定したサンプルを作製した。光ファイバ７および光ファイバ９を固定している接着剤５の間隔は２０ｍｍとしている。そして、使用したエポキシ樹脂の線膨張係数は、約８．０×１０-5／℃である。
【００４９】
次いで、温度センサ装置１５の作用を説明する。
【００５０】
まず、図８に示すように作製されたサンプルを恒温槽２３に収納し、２５℃から８０℃の温度変化を与えた場合の透過光強度を測定した。その結果を図９に示す。
【００５１】
図９によれば、温度上昇に伴って対向するファイバ間の距離が増加することに伴い、透過光パワーが減衰することが確認された。２５℃から８０℃と５５℃の変化で透過パワーが９割から１割へ大幅に変化していることも確認され、温度変化に対して感度の良好な構成とすることができることも確認できた。
【００５２】
なお、図９において、高温部で透過パワーが二山に分割されている理由は、対向するファイバ間距離が近すぎるからであり、固定距離を適切に設定することにより解消することができる。
【００５３】
次に、固定基材３の線膨張係数と距離依存性との関係について説明する。
【００５４】
温度センサに必要な線膨張係数と固定距離の関係について検討するに、図１に示すような対向型の場合には、接着剤５と接着剤５との間隔をＬとし、固定基材３の線膨張係数をα1、光ファイバの線膨張係数をα2とすると、測定温度範囲ΔＴだけ温度が変化した場合のファイバ端面間の距離変化Δｄは、Δｄ＝１×（α1−α2）×ΔＴとなる。
【００５５】
例えば、パワー変動範囲を０．２〜１の範囲で使用すると、  図５より図２（ｂ）に示す先球ファイバの場合、必要距離変化量はΔｄ＝３０μｍとなるのに対し、図２（ａ）に示す通常のクリーブの場合はその６倍の１８０μｍとなる。
【００５６】
このため、同じ線膨張係数α1の固定基材３を用いた場合、必要な固定間隔１は通常クリーブでは先球ファイバに比べ６倍必要になる。つまり、図１に示す例では先球ファイバを用いているので、固定間隔ｄが２０ｍｍであるが、通常のクリーブファイバで同様の結果を得ようとすると、固定間隔ｄが１２０ｍｍとなり、センサ部が非常に大きくなってしまう。
【００５７】
したがって、温度センサ１の大きさが決まり、固定基材３の線膨張が決まると、測定温度範囲で必要な距離変化Δｄが決まるので、先球ファイバに必要な広がり角（先球半径）θが求められることになる。なお、図３に示すような反射型の場合には、必要な距離変化Δｄが対向型に比べ半分になる。
【００５８】
（実施例１）
次に、温度センサ装置の実施例１を図１０及び図１１に基づいて説明する。図１０は本発明の実施例１の温度センサ装置を示すブロック図、図１１は図１０の演算部の動作を示すフローチャートである。なお、図１０では、図１乃至図４、図８で用いた符号と同一又は対応する部分に同一の符号を付して説明する。その他の実施例も同様である。
【００５９】
図１０に示すように、温度センサ装置２５は、ＬＥＤからなる光源１７と、エポキシ樹脂や金属など光ファイバよりも線膨張係数の大きい材料から長尺板状に形成され、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材３と、光源１７に一端が接続され、固定基材３上の一端に接着剤５を介して固定され、光源１７からの入射光を出射する先端が先球形状の第１の光ファイバ７と、固定基材３の他端に固定され、第１の光ファイバ７と対向するように配置され、第１の光ファイバ７からの透過光を出射する第２の光ファイバ９と、第２の光ファイバ９からの透過光を受光して透過光の光強度を検出する受光部としてのフォトダイオード（ＰＤ１）２７と、このフォトダイオード２７にて検出された透過光の光強度の電流値を電圧値に変換し増幅する増幅器（ＡＭＰ１）２９と、この増幅器２９にて増幅された光強度に対応した電圧値をデジタル化するＡ／Ｄ変換器３１と、フォトダイオード２７により検出された光強度値に応じて温度値に変換する計測部及びデータ記憶部としての演算部３３と、この演算部３３で得られた温度値の表示データを表示する表示部３５とを備えている。
【００６０】
次に、実施例１の温度センサ装置２５の作用を説明する。
【００６１】
実施例１の温度センサ装置２５は、固定基材３が環境温度に応じて長手方向に伸縮して第１の光ファイバ７と第２の光ファイバ９との端面間の距離が変化すると、透過光の強度が変化するため、その光強度に基づいて固定基材３の環境温度を測定するようにしたものである。
【００６２】
光源１７から出射された光は、第１の光ファイバ７の先端から出射される。そして、第２の光ファイバ９は第１の光ファイバ７からの出射光、つまり第１の光ファイバ７と第２の光ファイバ９との端面間の距離に応じた光を光ファイバ２にて受光し、その透過光の光強度がフォトダイオード２７により検出される。
【００６３】
フォトダイオード２７で検出された透過光の光強度の電流値は、増幅器２９で電圧値に変換し増幅された後、Ａ／Ｄ変換器３１にて増幅された透過光の光強度に対応した電圧値がデジタル化される。そして、演算部３３ではフォトダイオード２７により検出された光強度値に応じて温度値に変換される。
【００６４】
すなわち、演算部３３では、図１１に示すフローチャートのように、まずフォトダイオード２７で検出された透過光の光強度の電圧データを入力する（ステップＳ１０）。次いで、ステップＳ２０では、フォトダイオード２７で検出された透過光の光強度の電圧データを、図９に示す温度変化と透過光強度との関係に基づくテーブル上において温度データに変換する。さらに、ステップＳ３０では、温度データを表示部３５に表示させるために表示データに変換する。このように演算部３３で変換された温度値を示す表示データは、表示部３５に表示される。
【００６５】
このように実施例１の温度センサ装置２５によれば、環境温度に応じて固定基材３を長手方向に伸縮させ、第１の光ファイバ７からの出射光を第２の光ファイバ９で受光し、その透過光の光強度に基づいて固定基材３の環境温度を計測するので、温度センサの構造を簡素化することができる。また、固定基材３の材料固有の熱膨張を利用するため、高精度で信頼性の高いセンサを容易に作製することができる。
【００６６】
さらに、温度センサ装置２５によれば、透過光の光強度をフォトダイオード２７で検出し、透過光の光強度に基づいて演算部３３で固定基材３の環境温度を計測するようにしたので、高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【００６７】
そして、光強度値と温度値との関係を示す換算データを演算部３３に記憶させ、演算部３３により計測された光強度値に応じて演算部３３から温度値を読み出して表示部３５に表示することにより、高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【００６８】
（実施例２）
次に、温度センサ装置の実施例２を図１２に基づいて説明する。図１２は本発明の実施例２の温度センサ装置を示すブロック図である。
【００６９】
図１２に示すように、温度センサ装置３７は、ＬＥＤからなる光源１７と、エポキシ樹脂や金属など光ファイバよりも線膨張係数の大きい材料から長尺板状に形成され、一端に鏡面部１３が立設され、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材３と、光源１７に一端が接続され、固定基材３上の他端に接着剤５を介して固定され、光源１７からの入射光を出射する先端が先球形状の光ファイバ７と、この光ファイバ７に介在された分岐部としてのカプラ３９と、このカプラ３９に接続され反射光を受光して反射光強度を電流値に変換するフォトダイオード（ＰＤ１）２７と、このフォトダイオード２７にて検出された電流値を電圧値に変換し増幅する増幅器（ＡＭＰ１）２９と、この増幅器２９にて増幅された反射光強度に対応した電圧値をデジタル化するＡ／Ｄ変換器３１と、フォトダイオード２７により検出された光強度値に応じて温度値に変換する計測部としての演算部３３と、この演算部３３で得られた温度値の表示データを表示する表示部３５とを備えている。
【００７０】
次に、実施例２の温度センサ装置３７の作用を説明する。
【００７１】
実施例２の温度センサ装置３７は、固定基材３が環境温度に応じて長手方向に伸縮して光ファイバ７と鏡面部１３との間の距離が変化すると、光ファイバで受光する反射光強度が変化するため、その光強度に基づいて固定基材３の環境温度を測定するようにしたものである。
【００７２】
光源１７から出射された光は、光ファイバ７の先端から入射光として鏡面部１３に出射される。そして、鏡面部１３からの反射光、つまり光ファイバ７と鏡面部１３との間の距離に応じ変化する反射光を光ファイバ７で受光し、その反射光強度がカプラ３９を通してフォトダイオード２７により検出される。
【００７３】
フォトダイオード２７で検出された反射光強度の電流値は、増幅器２９で電圧値に変換し増幅された後、Ａ／Ｄ変換器３１にて増幅された反射光強度に対応した電圧値がデジタル化される。そして、演算部３３ではフォトダイオード２７により検出された光強度値に応じて温度値に変換される。
【００７４】
すなわち、演算部３３では、上述した図１１に示すフローチャートのように、まずフォトダイオード２７で検出された反射光強度の電圧データを入力する（ステップＳ１０）。次いで、ステップＳ２０では、フォトダイオード１１で検出された反射光強度の電圧データを、あらかじめ測定しておいた電圧データと温度との関係に基づくテーブル上において温度データに変換する。さらに、ステップＳ３０では、温度データを表示部３５に表示させるために表示データに変換する。このように演算部３３で変換された温度値を示す表示データは、表示部３５に表示される。
【００７５】
このように実施例２の温度センサ装置３７によれば、環境温度に応じて固定基材３を長手方向に伸縮させ、固定基材３に設けた鏡面部１３に光ファイバ７から光源１７からの入射光を出射して鏡面部１３からの反射光を入射し、その反射光強度に基づいて固定基材３の環境温度を計測するようにしたので、温度センサの構造を小型化及び簡素化することができる。また、固定基材３の材料固有の熱膨張を利用するため、高精度で信頼性の高いセンサを容易に作製することができる。
【００７６】
さらに、温度センサ装置３７によれば、入射光と反射光をカプラ３９で分岐し、鏡面部１３からの反射光を受光して反射光の光強度をフォトダイオード２７で検出し、反射光の光強度に基づいて演算部３３で固定基材３の環境温度を計測するようにしたので、高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【００７７】
そして、光強度値と温度値との関係を示す換算データを演算部３３に記憶させ、演算部３３により計測された光強度値に応じて演算部３３から温度値を読み出して表示部３５に表示することにより、高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【００７８】
（実施例３）
次に、温度センサ装置の実施例３を図１３及び図１４に基づいて説明する。図１３は本発明の実施例３の温度センサ装置を示すブロック図、図１４は図１３の演算部の動作を示すフローチャートである。
【００７９】
図１３に示すように、温度センサ装置４１は、ＬＥＤからなる光源１７と、エポキシ樹脂など光ファイバよりも線膨張係数の大きい材料から長尺板状に形成され、一端に鏡面部１３が立設され、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材３と、光源１７に一端が接続され、固定基材３上の他端に接着剤５を介して固定され、光源１７からの入射光を出射する先端が先球形状の光ファイバ７と、この光ファイバ７に介在された分岐部としてのカプラ３９とを備えている。
【００８０】
また、温度センサ装置４１は、カプラ３９に接続され、反射光を受光して反射光強度の電流値に変換する受光部としてのフォトダイオード（ＰＤ１）２７と、このフォトダイオード２７にて検出された反射光強度の電流値を電圧値に変換し増幅する増幅器（ＡＭＰ１）２９と、この増幅器２９にて増幅された反射光強度に対応した電圧値をデジタル化するＡ／Ｄ変換器３１とを備えている。
【００８１】
さらに、温度センサ装置４１は、カプラ３９に接続され、光源１からの入射光を受光して入射光の光強度を検出する第２の受光部としてのフォトダイオード（ＰＤ２）４３と、このフォトダイオード４３にて検出された入射光強度の電流値を電圧値に変換し増幅する増幅器（ＡＭＰ２）４５と、この増幅器４５にて増幅された入射光強度に対応した電圧値をデジタル化するＡ／Ｄ変換器４７とを備えている。
【００８２】
そして、温度センサ装置４１は、フォトダイオード２７により検出された反射光の光強度値と、フォトダイオード４３により検出された入射光の光強度値との光強度比値を演算し、この光強度比値に応じて温度値に変換する演算部３３と、この演算部３３で得られた温度値の表示データを表示する表示部３５とを備えている。
【００８３】
次に、実施例３の温度センサ装置４１の作用を説明する。
【００８４】
実施例３の温度センサ装置４１は、固定基材３が環境温度に応じて長手方向に伸縮して光ファイバ７と鏡面部１３との間の距離が変化すると、光ファイバで受光する反射光強度が変化するため、その光強度に基づいて固定基材３の環境温度を測定するようにしたものである。
【００８５】
光源１７から出射された光は、光ファイバ７の先端から鏡面部１３に出射される。そして、鏡面部１３からの反射光、つまり光ファイバ７と鏡面部１３との間の距離に応じ変化する反射光を光ファイバ７で受光し、その光強度がカプラ３９によりフォトダイオード２７により受光される。
【００８６】
フォトダイオード２７で検出された反射光強度の電流値は、電圧値に変換し増幅器２９で増幅された後、Ａ／Ｄ変換器３１にて増幅された反射光強度に対応した電圧値がデジタル化される。
【００８７】
他方、光源１７からの入射光は、光ファイバ７、カプラ３９を通してフォトダイオード４３により受光される。
【００８８】
フォトダイオード４３は、受光した入射光の光強度を検出する。フォトダイオード４３で検出された入射光強度の電流値は、電圧値に変換し増幅器４５で増幅された後、Ａ／Ｄ変換器４７にて増幅された反射光強度に対応した電圧値がデジタル化される。
【００８９】
演算部３３では、フォトダイオード２７により検出された反射光の光強度値と、フォトダイオード４３により検出された入射光の光強度値との光強度比値を演算し、この光強度比値に応じて温度値に変換する。
【００９０】
すなわち、演算部３３では、図１４に示すフローチャートのように、まずフォトダイオード２７で検出された反射光強度の電圧データ１を入力する（ステップＳ１１０）。次いで、ステップＳ１２０では、フォトダイオード４３により検出された入射光強度の電圧データ２を入力する。
【００９１】
さらに、ステップＳ１３０では、フォトダイオード２７により検出された反射光の光強度値と、フォトダイオード４３により検出された入射光の光強度値との光強度比値を算出する。次いで、ステップＳ１４０では、その光強度比値に応じてテーブル上において温度値に変換する。そして、ステップＳ１５０では、温度値を表示部３５に表示させるために表示データに変換する。このように演算部３３で変換された温度値を示す表示データは、表示部３５に表示される。
【００９２】
このように実施例３の温度センサ装置４１によれば、入射光と反射光をカプラ３９で分岐し、鏡面部１３からの反射光を受光して反射光の強度をフォトダイオード２７で検出し、光源からの入射光の強度をフォトダイオード４３で検出し、それらの比に基づいて演算部３３で固定基材３の環境温度を計測するようにしたので、光源強度の変化を補償する事ができるため高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【００９３】
また、光強度値と温度値との関係を示す換算データを演算部３３に記憶させ、演算部３３により計測された光強度値に応じて演算部３３から温度値を読み出して表示部３５に表示することにより、高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【００９４】
（実施例４）
次に、温度センサ装置の実施例４を図１５に基づいて説明する。図１５は本発明の実施例４の温度センサ装置を示すブロック図である。
【００９５】
図１５に示すように、温度センサ装置５１は、ＬＥＤからなる光源１７と、エポキシ樹脂や金属など光ファイバよりも線膨張係数の大きい材料から長尺筒状に形成され、一方の開口端にミラーの鏡面部１３を有し、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能な固定基材３Ａと、光源１７に一端が接続され、固定基材３Ａの他方の開口端に固定され、かつ先端部が固定基材３Ａの孔３ａに挿入され、光源１７からの入射光を鏡面部１３に出射し、鏡面部１３からの反射光を入射する先端が先球形状の光ファイバ７と、この光ファイバ７に介在された分岐部としてのカプラ３９とを備えている。この時孔３ａの直径は、挿入された光ファイバ７よりも、動作温度範囲内で大きくなる様に設定されている。
【００９６】
また、温度センサ装置５１は、カプラ３９に接続され、反射光を受光して反射光強度の電流値に変換する受光部としてのフォトダイオード（ＰＤ１）２７と、このフォトダイオード２７にて検出された反射光強度の電流値を電圧値に変換し増幅する増幅器（ＡＭＰ１）２９と、この増幅器２９にて増幅された反射光強度に対応した電圧値をデジタル化するＡ／Ｄ変換器３１とを備えている。
【００９７】
さらに、温度センサ装置５１は、カプラ３９に接続され、光源１からの入射光を受光して入射光の光強度を検出する第２の受光部としてのフォトダイオード（ＰＤ２）４３と、このフォトダイオード４３にて検出された入射光強度の電流値を電圧値に変換し増幅する増幅器（ＡＭＰ２）４５と、この増幅器４５にて増幅された入射光強度に対応した電圧値をデジタル化するＡ／Ｄ変換器４７とを備えている。
【００９８】
そして、温度センサ装置５１は、フォトダイオード２７により検出された反射光の強度値と、フォトダイオード４３により検出された入射光の強度値との比値を演算し、この値に応じて温度値に変換する演算部３３と、この演算部３３で得られた温度値の表示データを表示する表示部３５とを備えている。
【００９９】
次に、実施例４の温度センサ装置５１の作用を説明する。
【０１００】
実施例４の温度センサ装置５１は、固定基材３Ａが環境温度に応じて長手方向に伸縮して光ファイバ７と鏡面部１３との間の距離が変化すると、反射光強度が変化するため、その光強度に基づいて固定基材３Ａの環境温度を測定するようにしたものである。
【０１０１】
光源１７から出射された光は、光ファイバ７の先端から鏡面部１３に出射される。そして、鏡面部１３からの反射光、つまり光ファイバ７と鏡面部１３との間の距離に応じ変化する反射光を光ファイバ７で受光し、その光強度がカプラ３９によりフォトダイオード２７により受光される。
【０１０２】
フォトダイオード２７で検出された反射光強度の電流値は、増幅器２９で電圧値に変換し増幅された後、Ａ／Ｄ変換器３１にて増幅された反射光強度に対応した電圧値がデジタル化される。
【０１０３】
他方、光源１７からの入射光は、光ファイバ７、カプラ３９を通してフォトダイオード４３により受光される。
【０１０４】
フォトダイオード４３は、受光した入射光の光強度を検出する。フォトダイオード４３で検出された入射光強度の電流値は、増幅器４５で電圧値に変換し増幅された後、Ａ／Ｄ変換器４７にて増幅された反射光強度に対応した電圧値がデジタル化される。
【０１０５】
演算部３３では、フォトダイオード２７により検出された反射光の光強度値と、フォトダイオード４３により検出された入射光の光強度値との光強度比値を演算し、この光強度比値に応じて温度値に変換する。
【０１０６】
すなわち、演算部３３では、図１４に示す実施例３のフローチャートのように、温度値を示す表示データに変換され、この表示データが表示部３５に表示される。
【０１０７】
このように実施例４の温度センサ装置５１によれば、固定基材３Ａが長尺筒状に形成され、一方の開口端にミラーの鏡面部１３を有し、他方の開口端から固定基材３Ａの孔３ａに光ファイバ７の先端部を挿入するようにしたので、鏡面部１３に対して光ファイバ７を高精度に対向させ、センサとしての検出精度を向上させることができる。
【０１０８】
また、光強度値と温度値との関係を示す換算データを演算部３３に記憶させ、演算部３３により計測された光強度値に応じて演算部３３から温度値を読み出して表示部３５に表示することにより、高精度で信頼性の高いセンサを作製することができる。
【０１０９】
（実施例５）
次に、温度センサの実施例５を図１６に基づいて説明する。図１６は本発明の実施例５の温度センサを示す断面図である。
【０１１０】
図１６に示すように、温度センサ５３は、酸化ジルコニウム又はガラスなどから長尺筒状に形成された固定基材３Ａを有し、この固定基材３Ａは環境温度に応じて長手方向に伸縮可能に構成されている。
【０１１１】
この固定基材３Ａの一方の開口端には、接着剤などにより第１の光ファイバ７１が固定され、この光ファイバ７１の先端部には、金やアルミニウムなどから多層膜金属コートが施された鏡面部１３を有し、先端部が固定基材３Ａの孔３ａに挿入されている。
【０１１２】
また、固定基材３Ａの他方の開口端には、先端が先球形状に形成された第２の光ファイバ９１が接着剤などにより固定され、この第２の光ファイバ９１の先端部は、固定基材３Ａの孔３ａに挿入されて第１の光ファイバ７１と対向し、光源１７からの入射光を第１の光ファイバ７１に出射し、第１の光ファイバ７１からの反射光を入射するようにしている。この時孔３ａの直径は、挿入された光ファイバ７よりも、動作温度範囲内で大きくなる様に設定されている。
【０１１３】
なお、鏡面部１３からの反射光を受光し、その反射光の光強度を検出する受光部と、反射光の光強度に基づいて固定基材３Ａの環境温度を計測する計測部の構成は、図１０、図１２、図１３、図１５に示す構成と同様であるため、その説明を省略する。以下の各実施例も同様である。
【０１１４】
このように実施例５の温度センサ５３によれば、固定基材３Ａの一方の開口端から孔３ａに、先端に鏡面部１３を有する第１の光ファイバ７１を挿入するとともに、固定基材３Ａの他方の開口端から孔３ａに、第１の光ファイバ７１と対向するように第２の光ファイバ９１を挿入するようにしたので、鏡面部１３を有する第１の光ファイバ７１に第２の光ファイバ９１を高精度に対向させ、センサとしての検出精度を向上させることができる。
【０１１５】
（実施例６）
次に、温度センサの実施例６を図１７に基づいて説明する。図１７は本発明の実施例６の温度センサを示す断面図である。
【０１１６】
図１７に示すように、温度センサ５５は、アルミニウム又はナイロン６６などの筒体５７よりも線膨張係数の大きい材料から長尺状に形成された固定基材３Ｂを有し、この固定基材３Ｂは長手方向中央に段付凹部３ｂが形成され、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能に構成されている。
【０１１７】
固定基材３Ｂの段付凹部３ｂには、その長手方向に沿って筒体５７が固定され、この筒体５７は、酸化ジルコニウム又はガラスなどから形成され、固定基材３Ｂの長手方向に沿って貫通孔５７ａが穿設されている。
【０１１８】
固定基材３Ｂの一端には、第１の光ファイバ７１が接着剤５により固定され、第１の光ファイバ７１の先端部には、金やアルミニウムなどから多層膜金属コートが施された鏡面部１３を有し、先端部が筒体５７の貫通孔５７ａの一方から挿入されている。
【０１１９】
固定基材３Ｂの他端には、先端が先球形状の第２の光ファイバ９１が接着剤５により固定され、第２の光ファイバ９１の先端部は筒体５７の貫通孔５７ａ他方から挿入され、第１の光ファイバ７１と対向し、光源１７からの入射光を第１の光ファイバ７１に出射し、第１の光ファイバ７１からの反射光を入射するようにしている。この時孔３ａの直径は、挿入された光ファイバ７よりも、動作温度範囲内で大きくなる様に設定されている。
【０１２０】
このように実施例６の温度センサ５５によれば、筒体５７の貫通孔５７ａの一方から先端に鏡面部１３を有する第１の光ファイバ７１を挿入するとともに、筒体５７の貫通孔５７ａの他方から第１の光ファイバ７１と対向するように第２の光ファイバ９１を挿入するようにしたので、鏡面部１３を有する第１の光ファイバ７１に第２の光ファイバ９１を高精度に対向させ、センサとしての検出精度を向上させることができる。また筒体よりも線膨張係数の大きい材料を固定基材として用いる事で、単位温度変化あたり、大きな変化を得ることができるため小型化できる。
【０１２１】
（実施例７）
次に、温度センサの実施例７を図１８に基づいて説明する。図１８は本発明の実施例７の温度センサを示す断面図である。
【０１２２】
図１８に示すように、温度センサ５９は、アルミニウム又はナイロン６６などの筒体５７よりも、線膨張係数の大きい材料、長尺容器状に形成された固定基材３Ｃを有し、この固定基材３Ｃは、その開口部３ｃと対向する対向面に鏡面部１３を有し、環境温度に応じて長手方向に伸縮可能に構成されている。
【０１２３】
固定基材３Ｃの開口部３ｃは、閉止部材６１により閉止され、この閉止部材６１には光ファイバ７１の挿入口６１ａが形成されている。
【０１２４】
この閉止部材６１の内面には筒体５７が固定され、この筒体５７は、酸化ジルコニウム又はガラスなどから形成され、固定基材３Ｃの長手方向に沿って貫通孔５７ａが穿設されている。
【０１２５】
また、閉止部材６１の挿入口６１ａには、先端が先球形状の光ファイバ７１が固定され、この光ファイバ７１の先端部が閉止部材６１の挿入口６１ａを通して筒体５７の貫通孔５７ａから挿入され、光源１７からの入射光を鏡面部１３に出射し、その鏡面部１３からの反射光を入射するようにしている。
【０１２６】
このように実施例７の温度センサ５９によれば、光ファイバ７１の先端部を閉止部材６１の挿入口６１ａを通して筒体５７の貫通孔５７ａに挿入するようにしたので、鏡面部１３に光ファイバ７１を高精度に対向させ、センサとしての検出精度を向上させることができる。また、実施例５、６と異り筒体５７ａに挿入された光ファイバが筒体に固定されていても良いため、摩擦等の影響を低減でき、センサとしての検出精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】本発明の一実施の形態における対向型の温度センサの基本原理を示す構成図である。
【図２】（ａ）は一般の光ファイバを示す説明図，（ｂ）は本実施の形態における光ファイバを示す説明図である。
【図３】本発明の一実施の形態における反射型の温度センサの基本原理を示す構成図である。
【図４】反射型の温度センサの距離とパワーとの関係を示す説明図である。
【図５】光ファイバ間の距離とパワーとの関係を示すグラフである。
【図６】光ファイバの先端形状と広がり角を示す説明図である。
【図７】図６の関係を示すグラフである。
【図８】温度センサ装置の構成を示すブロック図である。
【図９】対向先球ファイバ透過パワーの温度依存性を示すグラフである。
【図１０】本発明の実施例１の温度センサ装置を示すブロック図である。
【図１１】図１０の演算部の動作を示すフローチャートである。
【図１２】本発明の実施例２の温度センサ装置を示すブロック図である。
【図１３】本発明の実施例３の温度センサ装置を示すブロック図である。
【図１４】図１３の演算部の動作を示すフローチャートである。
【図１５】本発明の実施例４の温度センサ装置を示すブロック図である。
【図１６】本発明の実施例５の温度センサを示す断面図である。
【図１７】本発明の実施例６の温度センサを示す断面図である。
【図１８】本発明の実施例７の温度センサを示す断面図である。
【符号の説明】
【０１２８】
１    温度センサ
３    固定基材
５    接着剤
７    第１の光ファイバ
９    第２の光ファイバ
１１    温度センサ
１３    鏡面
１５    温度センサ装置
１７    光源
１９    パワーメータ（受光部）
２１    パソコン（計測部）
２３    恒温槽
２５    温度センサ装置
２７    フォトダイオード（受光部）
２９    増幅器
３１    Ａ／Ｄ変換器
３３    演算部（計測部）
３５    表示部
３７    温度センサ装置
３９    カプラ（分岐部）
４１    温度センサ装置
【図１】
2006071549.tif 000003
【図２】
2006071549.tif 000004
【図３】
2006071549.tif 000005
【図４】
2006071549.tif 000006
【図５】
2006071549.tif 000007
【図６】
2006071549.tif 000008
【図７】
2006071549.tif 000009
【図８】
2006071549.tif 000010
【図９】
2006071549.tif 000011
【図１０】
2006071549.tif 000012
【図１１】
2006071549.tif 000013
【図１２】
2006071549.tif 000014
【図１３】
2006071549.tif 000015
【図１４】
2006071549.tif 000016
【図１５】
2006071549.tif 000017
【図１６】
2006071549.tif 000018
【図１７】
2006071549.tif 000019
【図１８】
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