(57)【要約】【課題】  光量検出装置によって前方光の内、書き込みに用いられないレーザーを利用してオートパワーコントロールを行う為、書き込みレーザーのパワーに近い値で補正を行うことができる。さらに、同一プリント基板上にスリットと光量検出機構を配置することで、コストダウンを実現可能である。さらにレーザー書き込み装置の電源投入時に所望の光量で点灯させて、光量検出装置の光量を監視することで、光量検出装置の劣化を防ぐ。【解決手段】  レーザー書き込み装置の光量検出装置であり、レーザー径を絞るスリットと同平面上に光量検出機構を配置して、スリットの形状外に放射されるレーザーの光量を検出することで、レーザーのオートパワーコントロールを行う。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー書き込み装置のレーザーのオートパワーコントロールを行う為の光量検出装置において、レーザー光源から放射されるレーザー光を平行光にするコリメータレンズと、前記レーザー光を所望の形状に絞るスリットと、前記スリットの近傍に配置され前記スリットの形状外に放射される光を検出する光検出機構を有することを特徴とする光量検出装置。
【請求項２】
前記光検出機構は前記スリットと同一基板で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光量検出装置。
【請求項３】
前記光検出機構は該スリットの周囲に複数個配置され、光量は該光検出機構の検出レベルを平均した値とすることを特徴とする請求項１に記載の光量検出装置。
【請求項４】
レーザーを用いたレーザー書き込み装置のレーザーのオートパワーコントロールを行う為の光量制御装置において、レーザー光源から放射されるレーザー光を平行光にするコリメータレンズと、前記レーザー光を所望の形状に絞るスリットとを有し、前記スリットの近傍に配置され前記スリットの形状外に放射されるレーザー光の光量を検出する光量検出手段と、前記光量検出手段の検出レベルをレーザーの駆動電流に変換するフィードバック制御の動作により、レーザー光源の出力光量を一定に制御する光量制御手段を有することを特徴とする光量制御装置。
【請求項５】
請求項４に記載の光量制御装置において、前記レーザー書き込み装置のレーザー点灯開始時に、前記レーザーを第一の発光量で発光させ、その時の前記光検出手段の検出レベルが所定のレベル範囲であることを確認した後に、第二の発光量で発光させることを特徴とする光量制御装置。
【請求項６】
請求項５に記載の光量制御装置において、第一の発光量で点灯させるときにはフィードバック制御手段のフィードバックループを切断し、第二の発光量で点灯させる時にはフィードバック制御手段のフィードバックループを接続することを特徴とする光量制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザーの光量を一定にする為のオートパワーコントロールを行う為の光量検出装置及び光量制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体レーザーを用いたレーザー書き込み装置では、レーザー光源は自己昇温や周囲温度の上昇によって素子の温度特性に従って発光効率が下がり、一定電流で駆動すると光量変動が生じる。この変動によって光のむらが生じ、画像出力等の出力形態にむらが発生する。この変動を防ぐ為、出力される光出力を一定に保つためのオートパワーコントロール（以下ＡＰＣと略す）を行い温度特性による発光量の変動を補正している。
【０００３】
一般に、半導体レーザーは図１に示すような素子を用いる。半導体レーザー発振子２００は活性層の端面２０１と２０２の２面から発する端面発光型半導体レーザーであり、レーザー光Ｌ１は端面２０１から、レーザー光Ｌ２は端面２０２からの前後２方向に発光される。レーザー光Ｌ１は画像露光の為に用いられ、他方から発光されるレーザーＬ２は光量検出用として図示しないフォトダイオードへ向けて照射される。
【０００４】
フォトダイオードでモニターしたレーザー光Ｌ２の光量を用いてレーザー光Ｌ１の光量制御を行う。このため、レーザー光Ｌ１とＬ２の光量変化率が常に一致しているとは限らない為、例えば後方光Ｌ２を用いて前方光Ｌ１の補正を行っても誤差が生じてしまう。また、２方向にレーザーを発光するため、レーザーの消費電力が大きくなってしまう。
【０００５】
露光用のレーザー光Ｌ１を用いてレーザーの光量調整を行う方法が特許文献１または特許文献２に記載されている。
【０００６】
特許文献１では面発光レーザーにおける前方光ＡＰＣに関するもので、その構成を図１２に示す。レーザー光源２２から発したレーザー光Ｌをハーフミラー２６によって２方向に分離する。分離された一方のレーザーＬｂがフォトダイオード２４に入力され、任意の時間で光量がモニターされ光量制御がなされる。ハーフミラー２６によって分離されたもう一方のレーザー光Ｌａは露光用として用いられる。またこの文献では、レーザー光源とハーフミラー及びフォトダイオードを同一パッケージ２５に収めることで省スペース化が可能となっている。
【０００７】
特許文献２ではレーザー光源から発せられた前方光のうちコリメータレンズ又は対物レンズの有効径以外に放射された光を検出する機構を設けている。この構成を図１３に示す。レーザー光源１０５から発せられたレーザー領域１０８の内コリメータレンズ１０３の有効径１０１内のレーザー光１０６は露光用として用いられる。一方コリメータレンズ１０３の有効径外のレーザー照射領域１０７は露光には用いられないレーザー領域である。このレーザー領域１０７内のレーザー光量を検知できるようなフォトダイオード１０２を配置し前方光の光量検出を行っている。この構成では露光領域のレーザーに影響を及ぼさず、かつハーフミラーを介さないので元のレーザー光源の発光量を多めに設定する必要がない。
【特許文献１】特開平９−１７２２２５号公報
【特許文献２】特開平４−３３２１８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、レーザー等の光学系のコストを下げるためには、前方光ＡＰＣの構成を少ない部品で行うことが必要であり、特許文献１のようなレーザーとフォトダイオードが一体型になっているので、レーザー素子自体がフォトダイオード分だけ高価になってしまう。
【０００９】
また、レーザーＡＰＣによる光量補正を精度よく行う為には、実際に書き込みに使用するレーザー光ほど光量制御の補正光安定精度が向上する。特許文献１ではハーフミラーを介しており、レーザー光源からの直接光ではない為、ハーフミラー反射率の温度特性変化によって前方光の光安定度に誤差が生じてしまう。
【００１０】
また、特許文献２ではレーザー光源１０５の発光温度特性変化によって放射角度が変化してしまい検知タイミングによって検出光量にばらつきが生じてしまう。
【００１１】
本発明は、以上の点に着目して成されたもので、実際に書き込むレーザーを用いる為に精度良く光量制御を行うことができ、省スペース化を実現するとともに安価な構成で光量検出機構を組むことが可能となり、また、安定したレーザーの光量補正を行うことができ、さらにレーザーが発振して装置が劣化してしまうことを防ぐことができる光量検出装置及び光量制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するため、本発明によれば、
レーザー書き込み装置のレーザーのオートパワーコントロールを行う為の光量検出装置において、レーザー光源から放射されるレーザー光を平行光にするコリメータレンズと、前記レーザー光を所望の形状に絞るスリットと、前記スリットの近傍に配置され前記スリットの形状外に放射される光を検出する光検出機構を有することを特徴とする光量検出装置を提供することで、実際に書き込むレーザーの光量を精度良く制御することができる。
【００１３】
さらに前記光検出機構は前記スリットと同一基板で構成されていることを特徴とする光量検出装置を提供することで、省スペース化を実現するとともに、安価な構成で光量検出機構を組むことが可能となる。
【００１４】
さらに前記光検出機構は該スリットの周囲に複数個配置され、光量は該複数の光検出機構の検出レベルを平均した値とすることを特徴とする光量検出装置を提供することで、光軸がスリットの中心からずれている場合でも安定した光量調整を行うことができる。
【００１５】
また、本発明のレーザーを用いたレーザー書き込み装置のレーザーのオートパワーコントロールを行う為の光量制御装置において、レーザー光源から放射されるレーザー光を平行光にするコリメータレンズと、前記レーザー光を所望の形状に絞るスリットとを有し、前記スリットの近傍に配置され前記スリットの形状外に放射されるレーザー光の光量を検出する光量検出手段と、前記光量検出手段の検出レベルをレーザーの駆動電流に変換するフィードバック制御の動作により、レーザー光源の出力光量を一定に制御する光量制御手段を有することを特徴とする光量制御装置を提供することで、光量調整の際に確実に光量検出手段の検出できていることを確認してから光量調整を行うので、過大なパワーのレーザーを放出してしまい検出機構を破壊することがなく、安全な制御を行うことができる。
【００１６】
さらに前記レーザー書き込み装置のレーザー点灯開始時に、前記レーザーを第一の発光量で発光させ、その時の前記光検出手段の検出レベルが所定のレベル範囲であることを確認した後に、第二の発光量で発光させることを特徴とする光量制御装置を提供することで、光量検出手段の検出レベルが正しいことを判定して光量調整を開始する為、光量検出手段の故障やレーザー光路が不適切であることによる検出レベルのエラーを光量検出手段が破壊する前に検知できる。
【００１７】
さらにレーザー書き込み装置のレーザー点灯開始時に、第一の発光量で点灯させるときにはフィードバック制御手段のフィードバックループを切断し、第二の発光量で点灯させる時にはフィードバック制御手段のフィードバックループを接続することを特徴とする光量制御装置を提供することで、光量検出手段の検出レベルが正しいことを判断できた場合にすぐにフィードバック制御を開始して、初期動作で適切な光量に設定が可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明はスリットの近傍に設けたフォトダイオードを用いてスリットの有効径外に照射される前方光を用いてＡＰＣを行うレーザー書き込み装置の光量検出装置を提供することで、実際に書き込むレーザーを用いる為に精度良く光量制御を行うことができる。
【００１９】
スリットと同一基板で構成されている光量検出装置を提供することで、省スペース化を実現するとともに、安価な構成で光量検出機構を組むことが可能となる。
【００２０】
また、レーザー光軸をスリットの中心軸がずれている場合にも複数個の光量検出装置を設けることで、安定したレーザーの光量補正を行うことができる。
【００２１】
さらに前方光を用いた光量制御装置において、書き込み装置の電源ＯＮ時の光量検出手段の検出電圧を確認することで、レーザーが発振して装置が劣化してしまうことを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて具体的に説明する。
【実施例１】
【００２３】
図２は本発明が用いられるレーザー書き込み装置の構成図である。図２を用いて、複数の光ビームを偏光するレーザー書き込み装置の動作について説明する。
【００２４】
図２においてレーザー書き込み装置は筐体１８によって一つのユニット化されているが、筐体が別体になっていても構わない。ユニットの動作中は回転鏡（ポリゴンミラー）１１が図示しないポリゴンモータによって矢印Ｃの向きに回転されている。ユニットの端部に配置されたレーザー光源１２から前方に放射されたレーザーはコリメータレンズ１３によって平行光となる。
【００２５】
ここで、コリメータレンズ１３はレーザー光源１２と一体型であっても構わない。平行光はスリット板１４を介して所定の径の光になり平面ミラー１５によって反射される。平面ミラー１５によって反射された平行光は、回転鏡１１に照射される。回転鏡１１によって反射されたレーザーは結像レンズ１６，１７や図示しないミラーを介して、図示しない感光体に照射され、画像データによって重み付けられた潜像画像が感光体上に描かれる。
【００２６】
また、レーザー書き込み装置には光ビームの走査方向に平行する図示しない主走査方向の書き出し位置を検出する主走査位置検出センサが配置されていても構わない。
【００２７】
図３にレーザー光源１２、コリメータレンズ１３及びスリット１４の位置関係を示す。
【００２８】
レーザー光源１２から放射されたレーザーはコリメータレンズ１３に入射されるが、レーザー光源１２の放射角度によって、コリメータレンズ１３の有効径外にも照射される。コリメータレンズ１３の有効径外のものは書き込みには用いられない。コリメータレンズ１３に入射されたレーザーは平行光となってスリット板１４に放射される。スリット板１４内に空けられたスリット３１で平行光のスポット径を一定にする。
【００２９】
ここで、平行光の径はスリット３１の径よりも大きくする必要がある。スリット３１によってスポット径が絞られた平行光は前述した反射ミラー１５に向けて放射されるが、スリット３１の有効径以外に入射された平行光（斜線にて表示する）はスリット板１４に遮られるため書き込みに用いられることは無い。
【００３０】
図４に本発明で用いられるスリット板１４を示す。スリット板１４の中に空けられたスリット３１の有効径以外に入射された平行光の部分を斜線で描く。斜線部分の一部を遮るようにフォトダイオード３２が配置される。
【００３１】
このとき、スリット板１４はプリント基板としてフォトダイオード３２はスリット板１４上に半田付けされており、プリント基板板上を配線されてコネクタ３５に接続されている。フォトダイオード３２は入射された平行光のうち、フォトダイオード３２によって遮られた光エネルギーをエネルギー変換して電圧として出力される。
【００３２】
図５にスリット板１４に放射された平行光のスリット径方向（Ｌ）の光エネルギー（Ｐｏ）分布を示す。Ｒｓｌｉｔはスリット３１の半径であり、Ｒｐｄはスリット３１の中心からフォトダイオード３２の中心までの距離を示す。スリット板１４に放射された平行光の光エネルギー分布はガウス分布となり、平行光の中心軸がスリットの中心軸と重なる時、フォトダイオード３２で検知される光量はＰｐｄ０となる。フォトダイオード３２の位置における光量の目標値をＰｔａｒｇｅｔとすると、ＡＰＣ時にはＰｔａｒｇｅｔの検出レベルになるようにレーザー光源１２の電流値を増減する。
【００３３】
図６にレーザー光源１２のＡＰＣ回路を示す。
【００３４】
図６において、区間信号をＨｉにしたことで、ある一定の光量でレーザー光源１１から放射された光はフォトダイオード３２によって電流として検出される。フォトダイオード３２の検出電流は電流／電圧変換器５２において電圧に変換される。コンパレータ回路５９によって目標光量Ｐｔａｒｇｅｔを電圧変換した目標電圧Ｖｔａｒｇｅｔと比較される。比較結果によって、検出電圧Ｖｄｔｃが目標電圧Ｖｔａｒｇｅｔよりも低い場合はＵＰ信号を出し、検出電圧Ｖｄｔｃが目標電圧Ｖｔａｒｇｅｔよりも高い場合はＤＯＷＮ信号を出力する。ＵＰまたはＤＯＷＮ信号は発振器５８と区間信号のＡＮＤによって生成されたカウンタクロックに同期してカウンタ５６はカウントアップまたはカウントダウン信号を出力する。
【００３５】
カウンタ５６のカウント信号はＤ／Ａ変換器５５によってアナログ電圧に変換され、駆動電流生成回路５４のコントロール信号となる。駆動電流生成回路５４は駆動電流値をタイミング回路５３に入力され、区間信号と画素データによって重み付けられてスイッチング回路５１へ信号を出力する。スイッチング回路５１はタイミング回路５２によって生成されたタイミングと電流値でレーザー光源１１を駆動する。以上のようにフィードバック制御が行われフォトダイオード３２の検出電圧は目標電圧Ｖｔａｒｇｅｔに近づく。
【００３６】
ＡＰＣ区間以外では区間信号をＬｏｗにすることで、カウンタ５６のクロック入力を止めて一定値の出力となる。その結果レーザー光源は決められた電流値で画素データに従ってオン／オフされることとなる。
【００３７】
スリット３１の周辺に取り付けられたフォトダイオード３２は平行光のガウス分布特性に従って目標光量Ｐｔａｒｇｅｔが決められ、Ｐｔａｒｇｅｔに対して補正を行うことでスリット３１中心の光量の補正を行うことができる。
【実施例２】
【００３８】
実施例１のレーザー書き込み装置において、複数のフォトダイオードを配置した場合の制御に関して説明する。
【００３９】
図７のように実施例１のスリット板１４のスリット３１周辺にフォトダイオード３３，３４を配置する。図７ではフォトダイオード３３，３４はスリット３１に対して１８０°対称に配置されているが、１８０°対称に配置されなくても、また、３個以上配置しても構わない。
【００４０】
スリット３１の中心からフォトダイオード３３および３４までの距離Ｒｐｄ２およびＲｐｄ１はＲｐｄ１＝Ｒｐｄ２の関係がある。平行光の中心軸がスリット３１の中心を通る場合は、平行光の光量はガウス分布を示す為フォトダイオード３３，３４の出力値はほぼ同じ値を示す。しかし、平行光の中心軸がスリット３１の中心を通らず、フォトダイオード３３，３４を結んだ直線上にずれている場合は、フォトダイオード３３と３４で検出される光量は異なる。
【００４１】
図８にフォトダイオード３３および３４で検出される光量を示す。スリット板１４に放射された平行光のスリット径方向（Ｌ）の光エネルギー（Ｐｏ）分布はガウス分布となる。平行光の中心がスリット３１の中心からずれると、フォトダイオード３３の光量は少なくなり、Ｐｐｄ２となる。一方フォトダイオード３４の光量は多くなり、Ｐｐｄ１となる。このときＰｐｄ１＞Ｐｐｄ２である。フォトダイオード３３または３４のどちらか一方の値を用いて光量制御を行うと、実際にレーザーが発するエネルギーは目標よりも大きい、もしくは小さい値となり、正確な光量調整ができなくなる。
【００４２】
これを補正する為のＡＰＣ回路を図９に示す。実施例１で用いた図６のＡＰＣ回路に加えてフォトダイオード３４における電流／電圧変換器６０とフォトダイオード３３，３４の電圧変換値を演算する演算回路６１がある。
【００４３】
演算回路６１はフォトダイオード３３と３４の出力値の平均値を求める。フォトダイオード３３の電流／電圧変換値をＶｐｄ２とし、フォトダイオード３４の電流／電圧変換値をＶｐｄ１とするとＶｐｄ１＞Ｖｐｄ２の関係がある。一般的にはスポット径に比べてフォトダイオード３３，３４の検知領域は広いので、フォトダイオード３３と３４の検出位置では検出レベルは直線近似できる為、平均値は（Ｖｐｄ１＋Ｖｐｄ２）／２と近似できる。コンパレータ５９でＶｔａｒｇｅｔと比較するＶｄｔｃはＶｄｔｃ＝（Ｖｐｄ１＋Ｖｐｄ２）／２となり、Ｖｄｔｃ≒Ｖｔａｒｇｅｔとなるようにフィードバック制御を行う。
【００４４】
フォトダイオードを３個以上使用した場合でも演算処理は同等の処理を行うことができる。
【００４５】
平均化を行うことでスリット３１の中心軸と平行光の中心軸が一致していない場合でも前方光の有効径外の部分を用いて光量を調整することができる。
【実施例３】
【００４６】
さらに本発明の実施の別の形態において、レーザー書き込み装置の電源をＯＮした直後にＡＰＣを始める前のフォトダイオード３２の出力特性からフォトダイオード３２又はレーザー光源１１の異常確認を行う。
【００４７】
図１１の回路ブロック図において、フォトダイオード３２から得られる検出電圧はＣＰＵ５０に入力されている。ＳＷ１はＤ／Ａ変換器５５に入力される値をＣＰＵ５０からの入力かカウンタ５６からの入力かを切り替え、またコンパレータ５９の入力を電圧源７０からの入力か検出電圧Ｖｄｔｃを入力するかを切り替える。ＣＰＵ５０は検出電圧をアナログ値として検出してＤ／Ａ変換器５５に適切な信号を与える。
【００４８】
図１０のフローチャートを用いて、初期確認の方法を示す。状態Ｓ２００においてレーザー書き込み装置に電源が投入されると、最初にフィードバック制御を行わないようにＳＷ１をＤ／Ａ変換器５５への入力がＣＰＵ５０になり、コンパレータ５９の入力部を電圧源７０側になるように切り替え、レーザー駆動電流設定値をフォトダイオード３２が劣化しないレベルのＩ１に設定する（Ｓ２０１）。このときＩ１はフォトダイオード３２の出力が検知できる最低レベルであることが望ましい。
【００４９】
設定後に区間信号をＨｉレベルに設定してレーザー光源１１を点灯する（Ｓ２０２）。このとき発振器５８はクロックを１パルスのみ出力するように制御してカウンタ５６がカウントアップもしくはカウントダウンしないように制御する。
【００５０】
レーザー光源１１がレーザーを出力することで、フォトダイオード３２には光量に応じた出力電流が流れ、電流／電圧変換器５２によって検出電圧Ｖｄｔｃ１が出力される。Ｖｄｔｃ１はＣＰＵ５０において、アナログ値として検知され、Ｖｄｔｃ１を閾値Ｖｉｎｉ１とレーザー駆動電流をＩ１で駆動させたときにフォトダイオード３２が検出できる最大出力電圧Ｖｍａｘ１との間であるかどうか判断する（Ｓ２０３）。
【００５１】
Ｓ２０３においてフォトダイオード３２の出力値がＶｉｎｉ１＞Ｖｄｔｃ１もしくはＶｄｔｃ１＞Ｖｍａｘ１の場合はレーザー光源１１が故障している、又はフォトダイオード３２が故障している、もしくはレーザー光路がスリット３１からずれていると考えられる。装置が故障している状態でフィードバック制御を行うと出力が発振してレーザー光源１１やフォトダイオード３２を劣化させてしまう危険があるのでＡＰＣを行わない。よって区間信号をＬｏｗレベルにしてレーザーの発光を止め（Ｓ２０９）、表示を出す等でエラーである旨をユーザーに伝える（Ｓ２１０）。
【００５２】
一方、Ｓ２０３においてフォトダイオード３２の出力電圧がＶｉｎｉ１＜Ｖｄｔｃ１＜Ｖｍａｘ１の範囲内であればフォトダイオード３２は正常に動作していると判断できるので、Ｓ２０４において区間信号をＬｏｗにすることで一度レーザーの発光を止め、電流設定値をＡＰＣの初期設定値Ｉ２と設定し（Ｓ２０５）、ＳＷ１をＤ／Ａ変換器５５への入力がカウンタ５６になり、コンパレータ５９の入力部をＶｄｔｃになるように切り替えてフィードバック制御回路に接続する（Ｓ２０６）。再び区間信号をＨｉにしてレーザーの発光を開始する（Ｓ２０７）。
【００５３】
このとき、ＳＷ１はＳ２０６においてフィードバック制御回路に切り替えられているので、自動的に光量制御が行われ、適切な光量に制御される。
【００５４】
このシーケンスによって、初期動作でフォトダイオード３２の出力特性からレーザー書き込み装置の故障を判断して、ＡＰＣ時にレーザーパワーが発振することによってフォトダイオード３２の劣化を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】一般的なレーザー光源の構成図である。
【図２】一般的なレーザー書き込み装置の構成図である。
【図３】本発明で用いられるレーザー光源とレンズとスリットの関係を表した図である。
【図４】本発明の実施例１におけるスリットとフォトダイオードの位置関係を表した図である。
【図５】本発明の実施例１における平行光の光エネルギーを表す図である。
【図６】本発明の実施例１における制御回路ブロック図である。
【図７】本発明の実施例２におけるスリットとフォトダイオードの位置関係を表した図である。
【図８】本発明の実施例２における平行光の光エネルギーを表す図である。
【図９】本発明の実施例２における制御回路ブロック図である。
【図１０】本発明の実施例３における制御シーケンスを示したフローチャートである。
【図１１】本発明の実施例３における制御回路ブロック図である。
【図１２】従来の技術の特許文献１の構成図である。
【図１３】従来の技術の特許文献２の構成図である。
【符号の説明】
【００５６】
１１    回転鏡（ポリゴンミラー）
１２    レーザー光源
１３    コリメータレンズ
１４    スリット板
１５    平面ミラー
１６，１７  結像レンズ
１８    筐体
３１    スリット
３２，３３，３４  フォトダイオード
３５    コネクタ
５０    ＣＰＵ
５１    スイッチング回路
５２，６０  電流／電圧変換器
５３    タイミング回路
５４    駆動電流発生回路
５５    Ｄ／Ａ変換器
５６    カウンタ
５７    ＡＮＤ回路
５８    発振器
５９    コンパレータ
６１    演算回路
７０    電圧源
２００  レーザー発振子
２０１，２０１  レーザー発光端面
【図１】
2006135148.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006135148.tif 000008
【図７】
2006135148.tif 000009
【図８】
2006135148.tif 000010
【図９】
2006135148.tif 000011
【図１０】
2006135148.tif 000012
【図１１】
2006135148.tif 000013
【図１２】
2006135148.tif 000014
【図１３】
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