(57)【要約】【課題】  従来の歯車を用いた回転伝達装置では、互いに係合する歯車の摺動接触部分に生じるフリクションの低減が望まれていた。【解決手段】  少なくとも入力歯車であるウォームギア２０と出力歯車である出力ギア２５とを備えると共に、歯車間で回転伝達を行う装置であって、互いに係合する歯車が、エステル油及び／又はエーテル油を基油とするグリースを介して摺動接触しており、互いに係合する歯車の少なくとも一方の摺動接触面に硬質炭素薄膜が形成してあると共に、硬質炭素薄膜の水素含有量を２０原子％以下とすることで、摺動接触部分のフリクションの大幅な低減を実現した。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも入力歯車と出力歯車とを備えると共に、歯車間で回転伝達を行う装置であって、互いに係合する歯車が、エステル油及び／又はエーテル油を基油とするグリースを介して摺動接触しており、互いに係合する歯車の少なくとも一方の摺動接触面に硬質炭素薄膜が形成してあると共に、硬質炭素薄膜の水素含有量が２０原子％以下であることを特徴とする回転伝達装置。
【請求項２】
硬質炭素薄膜の水素含有量が１０原子％以下であることを特徴とする請求項１に記載の回転伝達装置。
【請求項３】
硬質炭素薄膜の水素含有量が０．５原子％以下であることを特徴とする請求項１に記載の回転伝達装置。
【請求項４】
硬質炭素皮膜が形成される部材の基材の表面粗さが、硬質炭素薄膜の被覆前において、Ｒａで０．１μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の回転伝達装置。
【請求項５】
グリースが、カルシウム若しくはリチウムを含有する金属セッケン、又はウレア系化合物を増ちょう剤とすることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の回転伝達装置。
【請求項６】
硬質炭素薄膜の膜厚が、０．３〜２．０μｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の回転伝達装置。
【請求項７】
硬質炭素薄膜が、ＰＶＤ法により成膜したＤＬＣ薄膜であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の回転伝達装置。
【請求項８】
互いに係合する歯車が、エンジンの吸気経路等に設けるバルブ装置の駆動源として用いられる減速機構付モータの減速機構を構成するものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の回転伝達装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、歯車を用いた回転伝達装置に関し、例えば自動車用エンジンの吸気経路等に設けたバルブ装置の駆動源として使用する減速機構付モータにおいて、その減速機構に用いるのに好適な回転伝達装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えばエンジンのバルブ装置の駆動源には、減速機構付のモータが用いられる。この種のモータの減速機構は、一般的に、モータの回転軸に固定したウォームギアと、バルブ軸に連結する出力ギアを備えると共に、ウォームギアと出力ギアの間に、入力側から出力側へ回転伝達を行う適数のギアが介装してある。また、例えば出力ギアには、当該ギアの往復回動範囲を規制するストッパ構造が設けてあり、このストッパ構造によって当該ギアの往復回動範囲を規制することでバルブ軸の回動範囲を規制し、結果的にバルブの開閉位置を規制する。そして、これらのギアには、金属や樹脂の材料が使用されていることが周知である。
【０００３】
一方、近年では、地球の温暖化やオゾン層の破壊など地球規模での環境問題が大きくクローズアップされ、とりわけ地球の温暖化に大きな影響があるといわれているＣＯ２の削減については、各国でその規制値の決め方をめぐって大きな関心を呼んでいる。このＣＯ２削減については、自動車の燃費の低減を図ることが大きな課題の一つであり、各種の摺動機構を有する自動車においては、摩擦係数の低い摺動機構を実現して燃費低減を図るうえで、摺動材料と潤滑油が果たす役割は大きい。
【０００４】
自動車において、摺動材料の役割は、摩擦摩耗環境が苛酷な部位に対して耐摩耗性に優れ且つ低い摩擦係数を発現することであり、最近では、種々の硬質薄膜材料の適用が進んできている。そして、一般に、硬質炭素材料、とくにＤＬＣ（ダイヤモンド  ライク  カーボン）材料は、空気中や潤滑油不存在下における摩擦係数が、酸化チタン（ＴｉＮ）や窒化クロム（ＣｒＮ）といった耐摩耗性の硬質被膜材料と比べて低いことから低摩擦摺動材料として期待されている。
【０００５】
さらに、潤滑油における省燃費対策としては、１，低粘度化による、流体潤滑領域における粘性抵抗の低減、２，最適な摩擦調整剤と各種添加剤の配合による、混合及び境界潤滑領域下での摩擦損失の低減、が提言されており、摩擦調整剤としては、モリブデンジチオカルバメイト（ＭｏＤＴＣ）やモリブデンジチオフォスフェート（ＭｏＤＴＰ）といった有機モリブデン化合物を中心に多くの研究が成されており、従来の鋼材料から成る摺動面においては、使用開始初期に優れた低摩擦係数を示す有機モリブデン化合物を配合した潤滑油が適用され、効果を上げていた。
【０００６】
このようなＤＬＣ材料の摩擦特性や、有機モリブデン化合物の摩擦調整剤としての性能については、例えば非特許文献１及び２報告されている。
【非特許文献１】加納、他，日本トライボロジー学会予稿集，１９９９年５月，ｐ．１１〜１２
【非特許文献２】加納、他（Ｋａｎｏ  ｅｔ  ａｌ．），ワールド・トライボロジー・コングレス（Ｗｏｒｌｄ  Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ  Ｃｏｎｇｒｅｓｓ）２００１．９，Ｖｉｅｎｎａ，Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ  ｐ．３４２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、エンジンのバルブ装置の駆動源に用いられる減速機構付モータには、常にエンジンの高周波振動や吸気脈動が加わっており、当然のことながら減速機構を構成する各歯車の互いの係合部分にも高周波振動が伝わることとなる。このため、歯車の係合部分すなわち摺動接触部分のフリクションが大きくなると、その部分で温度が著しく上昇し、とくに樹脂製の歯車において溶損が生じる恐れがあるという問題点があり、摺動接触部分におけるフリクションを低減させるうえでの改善が望まれていた。
【０００８】
また、非特許文献１には、空気中において低摩擦性に優れる一般のＤＬＣ材料が、潤滑油存在下においては、その摩擦低減効果が必ずしも大きくないことが報告されており、また、非特許文献２によれば、このような摺動材料に有機モリブデン化合物を含有する潤滑油組成物を適用したとしても摩擦低減効果が充分発揮されないことがあることもわかってきた。
【０００９】
さらに、上記したように高周波振動を受ける環境下で使用される歯車の減速機構については、潤滑剤として潤滑油ではなくグリースが使用されるが、このようなグリースとＤＬＣなどの硬質炭素材料との併用については、未だ検討されていない。
【００１０】
本発明は、上記従来の状況に鑑みて成されたもので、少なくとも入力歯車と出力歯車とを備えると共に、歯車間で回転伝達を行う装置において、互いに係合する歯車の摺動接触部分に硬質炭素材料とグリースを採用することで、大幅なフリクションの低減を実現することができる回転伝達装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の回転伝達装置は、少なくとも入力歯車と出力歯車とを備えると共に、歯車間で回転伝達を行う装置であって、互いに係合する歯車が、エステル油及び／又はエーテル油を基油とするグリースを介して摺動接触しており、互いに係合する歯車の少なくとも一方の摺動接触面に硬質炭素薄膜が形成してあると共に、硬質炭素薄膜の水素含有量が２０原子％以下であることを特徴としており、これにより互いに係合する歯車の摺動接触部分におけるフリクションの大幅な低減を実現する。
【００１２】
また、本発明に係る回転伝達装置の好適形態は、上記グリースが、カルシウム若しくはリチウムを含有する金属セッケン、又はウレア系化合物を増ちょう剤とすることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の回転伝達装置は、少なくとも入力歯車と出力歯車とを備えると共に、歯車間で回転伝達を行う装置において、互いに係合する歯車の摺動接触部分にＤＬＣなどの硬質炭素材料と特定のグリースを採用したことにより、摺動接触部分のフリクションを大幅に低減することができる。
【００１４】
これにより、高周波振動等を受ける環境下で作動させた場合でも、互いに係合する歯車の摺動接触部分における温度上昇が抑制され、樹脂製の歯車を用いた場合でも同歯車の溶損を未然に防止することができ、また、上記のフリクション低減に伴って、伝達効率や耐摩耗性が向上するほか、耐高回転性能、耐高駆動力性能及び耐連続運転性能の向上も実現することができ、さらに、フリクション低減に伴って、歯車間のピッチを小さくすることが可能になり、その結果、歯車の法線ピッチを減少させることで歯打ち音の低減を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明について、さらに詳細に説明する。なお、本明細書において「％」は、特記しない限り質量百分率を表すものとする。さらに、本発明の回転伝達装置は、例えば歯車の種類や数などの構成の細部が以下の実施形態に限定されるものではない。
【００１６】
図１は、本発明に係わる歯車の回転伝達機構を備えた減速機構付モータを説明する図である。図示の減速機構付モータＭは、図２に示すように、自動車用エンジンの吸気経路に設けたバルブ装置の一例である可変吸気コントロールバルブ（タンブルコントロールバルブ）の駆動源として用いられる。
【００１７】
可変吸気コントロールバルブは、バタフライ式のバルブであって、インテークマニホルド１において、各気筒に対応する個々の吸気経路に設けてあり、低中速時に閉じることにより実効吸気ポートの長さを大きくし、また、高速時に開くことにより実効吸気ポートの長さを小さくして、夫々の回転域でのトルク向上を図るものである。
【００１８】
上記の可変吸気コントロールバルブは、インテークマニホルド１のフランジ２に形成したポート３を開閉する板状のバルブ４と、インテークマニホルド１に対して各ポート３内を通過するように貫通させたバルブ軸５を備えており、インテークマニホルド１内でバルブ軸５を回転自在に保持すると共に、このバルブ軸５にバルブ４がねじ止めしてある。
【００１９】
そして、可変吸気コントロールバルブは、バルブ軸５の端部とフランジ２との間にベアリング６及びリップシール７を介装し、フランジ２にパッキング３０を介して減速機構付モータＭを連結すると共に、同モータの出力部とバルブ軸５の一端部とを連結し、同モータＭによりバルブ軸５及びバルブ４を一体的に往復回動させてポート３の開閉を行う。
【００２０】
上記の減速機構付モータＭは、モータ本体１１を収容するモータケース１２と、モータケース１２の一部を構成するエンドブラケット１３と、減速機構を収容するギアケース１４と、ギアケース１４の端部に嵌合したキャップ１５とによって外観を構成しており、エンドブラケット１３には、図示しない外部電源との接続を行うためのコネクタ１６が一体的に設けてある。なお、上記減速機構が、本発明の回転伝達機構に相当する。
【００２１】
モータ本体１１は、軸線方向両側に突出した回転軸１７を備えていると共に、エンドブラケット１３内に設けたコイルばね１８によってギアケース１４側に付勢されている。モータ本体１１の回転軸１７は、エンドブラケット１３側では、同エンドブラケット１３の内側に設けた軸受１９により回転自在に保持してあり、また、ギアケース１４側には、減速機構を構成するウォームギア２０が固定してある。なお、回転軸１７には、ウォームギア２０を介して回転伝達を行うことでスラスト荷重が生じることから、軸受１９には、スラスト荷重及びラジアル荷重の両方に対処し得るメタル軸受を用いている。
【００２２】
減速機構は、上記したウォームギア２０のほか、モータ本体１１の回転軸１７に対して直交する伝達軸２１と、この伝達軸２１と平行な出力軸２２を備えると共に、伝達軸２１に、ウォームギア２０に係合するヘリカルギア２３と、これと同軸状態となるピニオンギア２４を備え、さらに、出力軸２２に、ピニオンギア２４に係合する出力ギア２５を備えている。出力ギア２５は、当該モータＭが往復回動を行うことから、その回動範囲に対応した部分のみに歯を有しており、内部には、例えばバルブ４の開度を間接的に検出するための回転検出用センサなどを設けることができる。
【００２３】
上記の減速機構では、入力歯車であるウォームギア２０の回転が、ヘリカルギア２３、伝達軸２１及びピニオンギア２４を介して、出力歯車である出力ギア２５に伝達されることとなる。これらのギア２０，２３，２４，２５は、金属製又は樹脂製であって、金属製同士の係合、樹脂製同士の係合、及び金属製と樹脂製との係合のいずれでも良い。
【００２４】
そして、上記構成を備えた減速機構付モータＭの減速機構では、ウォームギア２０とヘリカルギア２３が互いに係合して歯面同士が摺動接触し、また、ピニオンギア２４と出力ギア２５が互いに係合して歯面同士が摺動接触する。
【００２５】
これに対して、当該減速機構（回転伝達装置）では、ウォームギア２０とヘリカルギア２３との少なくとも一方の摺動接触面、及びピニオンギア２４と出力ギア２５との少なくとも一方の摺動接触面に、水素含有量が２０原子％以下である硬質炭素薄膜を形成し、夫々の摺動接触部分の間に、エステル油及び／又はエーテル油を基油とするグリースを介在させた状態にし、これにより摺動接触部分のフリクションを大幅に低減する。なお、硬質炭素薄膜は、金属製のギア及び樹脂製のギアのいずれにも形成することが可能であるが、より望ましくは少なくとも金属製のギアに形成するのが良い。
【００２６】
ここで、上記したような減速機構付モータＭにおける減速機構は、エンジンの高周波振動や圧力脈動（低圧側及び高圧側）を直接受ける環境下で使用されることから、このような環境をも考慮したうえでフリクション低減を図る必要がある。エンジンの種類と高周波振動及び圧力脈動の例を表１に示す。
【００２７】
【表１】
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【００２８】
そこで、本発明では、上述したように、互いに係合する歯車の摺動接触部分に、エステル油及び／又はエーテル油を基油とするグリースと、水素含有量が２０原子％以下である硬質炭素薄膜を用いることで、上記の環境下においても、摺動接触部分のフリクション低減を実現するものとしている。
【００２９】
これにより、高周波振動等を受ける環境下で作動させた場合でも、互いに係合する歯車の摺動接触部分における温度上昇が抑制され、樹脂製の歯車を用いた場合でも同歯車の溶損を未然に防止することができる。また、フリクション低減に伴って、伝達効率や耐摩耗性が向上するほか、耐高回転性能、耐高駆動力性能及び耐連続運転性能の向上も実現することができ、さらに、フリクション低減に伴って、歯車間のピッチを小さくすることが可能になるので、その結果、歯車の法線ピッチを減少させることで歯打ち音の低減を実現し得るものとなる。
【００３０】
そしてさらに、エンジンの吸気経路等に設けるバルブ装置の駆動源として用いられる減速機構付モータにおいて、その減速機構に本発明の回転伝達装置を用いることにより、モータの回転速度並びに応答速度の向上やトルクの向上を実現して、エンジンの性能向上に貢献することができる。
【００３１】
上記の硬質炭素薄膜としては、炭素を含有する結晶質又は非晶質の薄膜、とくに、ダイヤモンド薄膜及びＤＬＣ薄膜を挙げることができ、例えば、各種ＰＶＤ法、具体的には、アーク式イオンプレーティング法により形成したＤＬＣ薄膜（ダイヤモンドライクカーボン薄膜）であることが望ましい。
【００３２】
上記ＤＬＣ薄膜は、いわゆるＤＬＣ材料から構成されるものであって、このＤＬＣ材料は、炭素原子を主体として構成された非晶質のものであり、炭素原子同士の結合形態がダイヤモンド構造（ＳＰ３結合）とグラファイト結合（ＳＰ２結合）の両方から成る。
【００３３】
具体的には、炭素原子のみから成るａ−Ｃ（アモルファスカーボン）、水素を含有するａ−Ｃ：Ｈ（水素アモルファスカーボン）、及びチタン（Ｔｉ）やモリブデン（Ｍｏ）などの金属原子を一部に含むＭｅＣが挙げられるが、本発明においては、水素含有量が少ないものほど好ましく、水素含有量が２０原子％以下のもの、好ましくは１０原子％以下、特に０．５原子％以下、更には水素を含まないａ−Ｃ系（アモルファスカーボン系）材料を好適に用いることができる。
【００３４】
硬質炭素薄膜の膜厚としては、対象とする歯車の種類や要求性能、歯車を構成する夫々の材料の種類、摺動部の表面粗さなどに影響を受けるが、ＤＬＣ薄膜にあっては、例えば０．３〜２．０μｍ程度とするのが良い。
【００３５】
また、硬質炭素薄膜の形成前における基材の表面粗さも、対象とする歯車の種類や要求性能、歯車を構成する基材の種類、摺動部の表面粗さなどに影響を受けるが、歯車にＤＬＣ薄膜を適用するに際して、基材が鋼の場合には、硬質炭素薄膜の被覆前の表面粗さが、Ｒａで０．１μｍ以下にすることが好ましい。
【００３６】
さらに、基材がアルミニウム合金の場合は、Ｒａで０．０２μｍ以下、プラスチックの場合はＲａで０．１μｍ以下にすることが好ましい。
【００３７】
さらに、上記硬質炭素薄膜は、通常、互いに係合する歯車の少なくとも一方の摺動面全体に被覆されるが、少なくとも一方の摺動面の一部に被覆されてもよい。
【００３８】
次に、使用するグリースとしては、先述の如く、エステル油及び／又はエーテル油を基油とするものであるが、この基油は、エステル油又はエーテル油のみを含むものに限定されるものではなく、これら以外の天然油や合成油を含んでいてもよい。他の基油成分としては、鉱油やシリコーン油、フルオロカーボン油などを挙げることができる。
【００３９】
エステル油としては、潤滑剤の成分として使用できるものであれば、天然油であるか合成油であるかは不問であるが、具体例としては、ジトリデシルグルタレート、ジオクチルアジペート、ジイソデシルアジペート、ジトリデシルアジペート、ジオクチルセバケート、トリメチロールプロパンカプリレート、トリメチロールプロパンペラルゴネート、トリメチロールプロパンイソステアリネート、ペンタエリスリトール２−エチルヘキサノエート、ペンタエリスリトールペラルゴネートなどを挙げることができ、トリメチロールプロパンカプリレートが好適に用いられる。
【００４０】
エーテル油としては、潤滑剤の成分として使用できるものであれば、天然由であるか合成油であるかは不問である。具体例としては、ポリオキシアルキレングリコール、ジアルキルジフェニルエーテル及びポリフェニルエーテルなどを挙げることができ、ジアルキルジフェニルエーテルが好適である。
【００４１】
上述のような成分を含む基油は、代表的には１００℃における基油粘度が２〜１００ｍｍ２／ｓ程度、好ましくは２〜４０ｍｍ２／ｓ程度、さらに好ましくは１０〜２０ｍｍ２／ｓ程度となる。
【００４２】
なお、動粘度が２ｍｍ２／ｓ未満の場合には、充分な耐摩耗性が得られないうえに、蒸発特性が劣る可能性があるため好ましくない。一方、動粘度が１００ｍｍ２／ｓを超えると、低摩擦性能を発揮しにくく、低温性能が悪くなる可能性があるため好ましくない。
【００４３】
また、かかる基油の粘度指数は、代表的には１００以上、好ましくは１２０以上、さらに好ましくは１４０以上となる。粘度指数が高い基油を選択することにより、低温粘度特性に優れるだけでなく、オイル消費が少なく、低温粘度特性、省燃費性能及び摩擦低減効果に優れた組成物を得ることができる。
【００４４】
一方、上記グリースに含まれる増ちょう剤としては、各種の金属せっけん系材料や非金属せっけん系材料を挙げることができる。  金属せっけん系材料としては、高級脂肪酸のナトリウム、カルシウム、アルミニウム、リチウム、バリウム、銅及び鉛塩や、高級脂肪酸と低級脂肪酸又は二塩基酸などとの複合塩を挙げることができる。これらの金属せっけん系材料としては、カルシウムステアレート、リチウムヒドロキシステアレート、リチウムステアレート、ナトリウムステアレート及びアルミニウムステアレートが好適である。
【００４５】
また、非金属せっけん系材料としては、シリカゲルやベントナイトなどの無機系材料（有機増ちょう剤）、銅フタロシアニン、アリル尿素、イミド誘導体及びインダスレンブルーなどの有機系材料（無機増ちょう剤）を挙げることができる。これらの非金属せっけん系増ちょう剤としては、尿素系化合物、例えば、例えば、ジウレア、ナトリウムテレフタラメート及びＰＴＦＥが好適である。
【００４６】
上述したグリースには、上記基油及び増ちょう剤にも、酸化防止剤、清浄剤、摩耗防止剤及び固体潤滑剤などを添加することが可能である。
【００４７】
酸化防止剤としては、特に限定されるものではなく従来からグリースに使用されているものを挙げることでき、例えば、アミン化合物、フェノール、硫黄化合物及びカルバメートを挙げることができる。
【００４８】
また、清浄剤としては、特に限定されるものではなく従来からグリースに使用されているものを挙げることでき、例えば、スルホネート、フェネート、サシリレート及びアミン化合物を挙げることができる。
【００４９】
摩耗防止剤としては、特に限定されるものではなく従来からグリースに使用されているものを挙げることでき、例えば、リン酸エステル、ジアルキルジチオリン酸亜鉛、硫黄化合物及び塩化物を挙げることができる。
【００５０】
さらに、固体潤滑剤としては、特に限定されるものではなく従来からグリースに使用されているものを挙げることできる。
【００５１】
なお、上述のグリース自体の性状は、使用する摺動機構の目的や作動状況などに影響を受けるが、代表的には、ちょう度が２６５〜２９５程度、滴点が１００〜３００℃程度のものが好ましい。
【実施例】
【００５２】
以下、本発明を実施例及び比較例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００５３】
（実施例１〜４）
図３に示すように、シリンダ−オン−ディスク単体往復動摩擦試験機を用いて摩擦係数の測定を行うべく、シリンダー状試験片１００及びディスク状試験片２００をＳＵＪ２鋼で作成した。これらのシリンダー状試験片１００及びディスク状試験片２００が互いに係合する歯車に相当する。
【００５４】
次いで、ディスク状試験片２００の上部摺動面表面に、ＰＶＤアークイオン式イオンプレーティング法により、水素原子量０．５原子％以下、ヌープ硬度Ｈｋ＝２１７０ｋｇ／ｍｍ２、表面粗さＲｙ＝０．０３μｍ、厚さ０．５μｍのＤＬＣ薄膜を成膜し、シリンダー状試験片１００とディスク状試験片２００を摺動部材とする本例の摺動機構を製作した。
【００５５】
次に、表２に示すグリースを約０．３ｇ、シリンダー状試験片１００とディスク状試験片２００との間に塗布し、下記の条件下で摩擦試験を行い摩擦係数を測定した。試験片材料及びグリースの成分表示を表２に示す。また、試験１０分後における各例の摺動機構の摩擦係数をグラフ化して図４に示した。
【００５６】
［摩擦試験条件］
・試験装置    ；シリンダーオンディスク単体往復動摩擦試験機
・摺動側試験片；φ１５×２２ｍｍシリンダー状試験片
・相手側試験片；φ２４×７．９ｍｍディスク状試験片
・荷重        ；１００Ｎ（摺動側試験片の押し付け荷重）
・振幅        ；１．５ｍｍ
・周波数      ；５０Ｈｚ
・試験温度    ；８０℃
・測定時間    ；１０ｍｉｎ
【００５７】
（比較例１〜６）
ディスク状試験片２００にＤＬＣ薄膜を成膜しなかった以外は、実施例１〜４と同様の操作を繰り返し、摩擦係数を測定した。得られた結果を図４に示す。
【００５８】
【表２】
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【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係わる回転伝達装置を備えた減速機構付モータを説明する側部断面図（ａ）及び水平断面図（ｂ）である。
【図２】減速機構付モータを駆動源とする可変吸気コントロールバルブを説明するバルブ正面図である。
【図３】シリンダ−オン−ディスク単体往復動摩擦試験機を概略的に説明する斜視図である。
【図４】摩擦係数を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６０】
Ｍ    減速機構付モータ  
２０  ウォームギア（入力歯車）
２３  ヘリカルギア
２４  ピニオンギア
２５  出力ギア（出力歯車）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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