(57)【要約】【課題】  振動板の角部に隙間を確保して壁部と振動板との角部に接着剤を存在させないようにする。【解決手段】  弾性膜５０の少なくとも圧力発生室１２内側の面にＴｉＷ薄膜６２を形成した後にノズルプレート２０を接着する工程と、ＴｉＷ薄膜６２をエッチング除去するための過酸化水素水を通水してＴｉＷ薄膜６２を除去する工程とを備え、壁部１１と弾性膜５０とが当接する角部に接着剤を存在させないようにし、弾性膜５０の変位量の低下やばらつきを防止する。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を構成するための壁部及び振動板が接続された状態に形成された流路形成部材と、ノズル開口が穿設されたノズル形成部材とを接着剤で接着してなる液体噴射ヘッドの製造方法であって、
振動板の少なくとも圧力発生室内側の面に除去薄膜を形成した後にノズル形成部材と流路形成部材を接着する工程と、
ノズル形成部材と流路形成部材を接着した後に除去薄膜を除去する工程と
を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を構成するための壁部及び振動板が接続された状態に形成された流路形成部材と、ノズル開口が穿設されたノズル形成部材とを接着剤で接着してなる液体噴射ヘッドの製造方法であって、
振動板及び壁部の圧力発生室内側の面に除去薄膜を形成する工程と、
除去薄膜の表面側にレジストを形成する工程と、
振動板の圧力発生室内側の面のレジスト以外のレジストを露光除去して振動板の圧力発生室内側の面以外の除去薄膜を露出させる工程と、
露出した除去薄膜を除去する工程と、
その後、振動板の圧力発生室内側の面に除去膜が存在する状態でノズル形成部材と流路形成部材とを接着する工程と
を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２において、
ノズル形成部材はＳＵＳ材製であり、除去薄膜はＴｉＷであり、除去膜を除去するために用いる除去液は過酸化水素水であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１または２において、
ノズル形成部材はＳｉ単結晶材製であり、除去薄膜はＡｌであり、除去膜を除去するために用いる除去液は塩化第２鉄水溶液であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を構成するための壁部及び振動板が接続された状態に形成された流路形成基板と、ノズル開口が穿設されたノズル形成部材とを接着剤で接着してなる液体噴射ヘッドであって、
請求項１〜５のいずれかの製造方法で製造され、壁部上の接着剤と振動板との間に隙間があることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドに関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室に供給されたインクを圧力発生素子によって加圧することにより、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッドとして好適である。
【背景技術】
【０００２】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧力発生素子の一種である圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。そして、たわみ振動モードのアクチュエータを使用したものとしては、例えば、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものが知られている。また、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、圧力発生室を形成した流路形成基板に、インク滴を吐出するための複数のノズル開口を穿設したノズルプレートが接着剤によって接合された構造となっている。このため、上述したように圧力発生室（圧電素子）を高密度に配設すると、ノズルプレートと流路形成基板との接着面積が小さくなり、毛細管現象により接着剤が圧力発生室の振動板上に流れ出してしまう虞があった。振動板に接着剤が付着すると、振動板の自由な変位が妨げられ、変位量の低下を引き起こすことが考えられる。また、接着剤の流れ出し量がノズルによりばらつくので、変位量がばらついてしまうことになってしまう。
【０００３】
このような問題を解決するため、ノズルプレートを接着した後にアルカリ性に調整された液体を通水し、余剰な接着剤と振動板及び流路形成基板との接着力を低下させて余剰な接着剤(はみ出した接着剤)を剥離して除去する方法が考えられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、このようなアルカリ性に調整された液体を通水する方法では、ノズルプレートの接着部の接着力も低下し、ノズルプレートが剥離しやすくなる、といった問題が生じる虞があった。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１１４５５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑み、ノズル形成部材の接着部の接着力を低下させることなく接着剤のはみ出しを防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を構成するための壁部及び振動板が接続された状態に形成された流路形成部材と、ノズル開口が穿設されたノズル形成部材とを接着剤で接着してなる液体噴射ヘッドの製造方法であって、振動板の少なくとも圧力発生室内側の面に除去薄膜を形成した後にノズル形成部材と流路形成部材を接着する工程と、ノズル形成部材と流路形成部材を接着した後に除去薄膜を除去する工程とを備えたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第１の態様では、除去薄膜により接着剤の振動板へのはみ出しが防止され、ノズル形成部材の接着部の接着力を低下させることなく接着剤のはみ出しを防止することができる液体噴射ヘッドとすることができ、振動板の変位量の低下やばらつきを防止することができる。
【０００８】
上記課題を解決する本発明の第２の態様は、液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を構成するための壁部及び振動板が接続された状態に形成された流路形成部材と、ノズル開口が穿設されたノズル形成部材とを接着剤で接着してなる液体噴射ヘッドの製造方法であって、振動板及び壁部の圧力発生室内側の面に除去薄膜を形成する工程と、除去薄膜の表面側にレジストを形成する工程と、振動板の圧力発生室内側の面のレジスト以外のレジストを露光除去して振動板の圧力発生室内側の面以外の除去薄膜を露出させる工程と、露出した除去薄膜を除去する工程と、その後、振動板の圧力発生室内側の面に除去膜が存在する状態でノズル形成部材と流路形成部材とを接着する工程とを備えたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第２の態様では、除去薄膜により接着剤の振動板へのはみ出しが防止され、ノズル形成部材の接着部の接着力を低下させることなく接着剤のはみ出しを防止することができる液体噴射ヘッドとすることができ、振動板の変位量の低下やばらつきを防止することができる。
【０００９】
本発明の第３の態様は、第１または２の態様において、ノズル形成部材はＳＵＳ材製であり、除去薄膜はＴｉＷであり、除去膜を除去するために用いる除去液は過酸化水素水であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第３の態様では、ＴｉＷ薄膜により接着剤の振動板へのはみ出しが防止され、ＴｉＷ薄膜は過酸化水素水によって容易に除去されるので、振動板と圧力発生室との境界部に接着剤が残らないため、振動板の変位量の低下やばらつきを防止することができる。
【００１０】
本発明の第４の態様は、第１または２の態様において、ノズル形成部材はＳｉ単結晶材製であり、除去薄膜はＡｌであり、除去膜を除去するために用いる除去液は塩化第２鉄水溶液であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第４の態様では、Ａｌ薄膜により接着剤の振動板へのはみ出しが防止され、Ａｌ薄膜は塩化第２鉄水溶液によって容易に除去されるので、振動板と圧力発生室との境界部に接着剤が残らないため、振動板の変位量の低下やばらつきを防止することができる。
【００１１】
上記課題を解決する本発明の第５の態様は、液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を構成するための壁部及び振動板が接続された状態に形成された流路形成基板と、ノズル開口が穿設されたノズル形成部材とを接着剤で接着してなる液体噴射ヘッドであって、第１〜５の態様のいずれかの製造方法で製造され、壁部上の接着剤と振動板との間に隙間があることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、振動板の変位量の低下やばらつきのない液体噴射ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
図１には本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略を示す分解斜視、図２には図１の平面、及びＡ−Ａ’断面を示してある。
【００１３】
図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、壁部１１に仕切られた複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４を介して連通されている。なお、連通部１３は、後述する接合基板３０のリザーバ部３２と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００の一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００１４】
このような圧力発生室１２等は、弾性膜５０とは反対側の面から流路形成基板１０を異方性エッチングすることによって形成されている。異方性エッチングは、シリコン単結晶基板のエッチングレートの違いを利用して行われる。例えば、本実施形態では、流路形成基板１０が面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなるため、シリコン単結晶基板の（１１０）面のエッチングレートと比較して（１１１）面のエッチングレートが約１／１８０であるという性質を利用して行われる。すなわち、シリコン単結晶基板をＫＯＨ等のアルカリ溶液に浸漬すると、徐々に侵食されて（１１０）面に垂直な第１の（１１１）面と、この第１の（１１１）面と約７０度の角度をなし且つ上記（１１０）面と約３５度の角度をなす第２の（１１１）面とが出現する。かかる異方性エッチングにより、二つの第１の（１１１）面と斜めの二つの第２の（１１１）面とで形成される平行四辺形状の深さ加工を基本として精密加工を行うことができ、圧力発生室１２を高密度に配列することができる。
【００１５】
本実施形態では、各圧力発生室１２の長辺を第１の（１１１）面で、短辺を第２の（１１１）面で形成している。この圧力発生室１２は、流路形成基板１０をほぼ貫通して弾性膜５０に達するまでエッチングすることにより形成されている。なお、弾性膜５０は、シリコン単結晶基板をエッチングするアルカリ溶液に侵される量がきわめて小さい。
【００１６】
このような圧力発生室１２等が形成される流路形成基板１０の厚さは、圧力発生室１２を配設する密度に合わせて最適な厚さを選択することが好ましい。例えば、１インチ当たり１８０個（１８０ｄｐｉ）程度に圧力発生室１２を配置する場合には、流路形成基板１０の厚さは、１８０〜２８０μｍ程度、より望ましくは、２２０μｍ程度とするのが好適である。また、例えば、３６０ｄｐｉ程度と比較的高密度に圧力発生室１２を配置する場合には、流路形成基板１０の厚さは、１００μｍ以下とするのが好ましい。これは、隣接する圧力発生室１２間の壁部１１の剛性を保ちつつ、配列密度を高くできるからである。
【００１７】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズル形成部材の一種であるノズルプレート２０が接着剤を介して固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０-6／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又は不錆鋼などからなる。ここで、インク滴吐出圧力をインクに与える圧力発生室１２の大きさと、インク滴を吐出するノズル開口２１の大きさとは、吐出するインク滴の量、吐出スピード、吐出周波数に応じて最適化される。例えば、１インチ当たり３６０個のインク滴を記録する場合、ノズル開口２１は数十μｍの直径で精度よく形成する必要がある。
【００１８】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０（例えば、Ｔｉ／Ｉｒ／Ｐｔ）と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが、所定のプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。例えば、下電極膜６０はスパッタにより形成され、圧電体層７０が多数層形成される。１層目の圧電体層７０が形成された後、電極がイオンミーリングによりパターニングされ、その後レジストが除去される。
【００１９】
ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。
【００２０】
ここで、圧電素子３００を構成する下電極膜６０は、圧力発生室１２の両端部近傍でそれぞれパターニングされ、圧力発生室１２の並設方向に沿って連続的に設けられている。また、本実施形態では、各圧力発生室１２に対向する領域の下電極膜６０の端面は、絶縁体膜５５に対して所定角度で傾斜する傾斜面となっている。
【００２１】
また、圧電体層７０は、圧力発生室１２毎に独立して設けられ、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電材料からなる。
【００２２】
なお、上電極膜８０は、圧電体層７０と同様に圧力発生室１２毎に独立して設けられている。そして、各上電極膜８０には、例えば、金（Ａｕ）等からなる絶縁体膜５５上まで延設されるリード電極９０がそれぞれ接続されている。
【００２３】
また、このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００に対向する領域に、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した圧電素子保持部３１を有する接合基板３０が接合されている。また、接合基板３０には、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２が設けられている。さらに、接合基板３０上には、剛性が低く可撓性を有する材料で形成される封止膜４１と金属等の硬質の材料で形成される固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。なお、固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっており、リザーバ１００の一方面は封止膜４１のみで封止されている。
【００２４】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、外部配線を介して圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００２５】
上述した圧電体層７０の材料として、本実施形態では、チタン酸ジルコン酸鉛系の材料を用いたが、インクジェット式記録ヘッドに使用する材料としては、良好な変位特性を得られればチタン酸ジルコン酸鉛系の材料に限定されない。例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電性圧電性材料に、ニオブ、ニッケル、マグネシウム、ビスマス又はイッテルビウム等の金属を添加したリラクサ強誘電体等を用いてもよい。その組成は、圧電素子３００の特性、用途等を考慮して適宜選択すればよいが、例えば、ＰｂＴｉＯ３（ＰＴ）、ＰｂＺｒＯ３（ＰＺ）、Ｐｂ（ＺｒｘＴｉ１−ｘ）Ｏ３（ＰＺＴ）、Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−ＰｂＴｉＯ３（ＰＭＮ−ＰＴ）、Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−ＰｂＴｉＯ３（ＰＺＮ−ＰＴ）、Ｐｂ（Ｎｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−ＰｂＴｉＯ３（ＰＮＮ−ＰＴ）、Ｐｂ（Ｉｎ１／２Ｎｂ１／２）Ｏ３−ＰｂＴｉＯ３（ＰＩＮ−ＰＴ）、Ｐｂ（Ｓｃ１／３Ｔａ１／２）Ｏ３−ＰｂＴｉＯ３（ＰＳＴ−ＰＴ）、Ｐｂ（Ｓｃ１／３Ｎｂ１／２）Ｏ３−ＰｂＴｉＯ３（ＰＳＮ−ＰＴ）、ＢｉＳｃＯ３−ＰｂＴｉＯ３（ＢＳ−ＰＴ）、ＢｉＹｂＯ３−ＰｂＴｉＯ３（ＢＹ−ＰＴ）等が挙げられる。
【００２６】
上述したインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）において、弾性膜５０を有する流路形成基板１０の開口面側には、ノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤を介して固着されて製造されている。
【００２７】
図３乃至図６に基づいて液体噴射ヘッドの製造方法を説明する。
図３には接着剤が振動板にはみ出した状態の断面、図４乃至図６には本発明の一実施形態例に係る液体噴射ヘッドの製造方法の工程説明を示してある。
【００２８】
図３に示すように、流路形成基板１０には圧電素子３００により振動する振動板としての弾性膜５０が形成され、弾性膜５０を有する流路形成基板１０の開口面側には、ノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０がエポキシ系の接着剤６１を介して固着されて製造されている。
【００２９】
ノズルプレート２０と流路形成基板１０との接着面積が小さいため、毛細管現象により圧力発生室１２の角部を伝わって接着剤６１が圧力発生室１２の弾性膜５０上に流れ出して壁部１１と弾性膜５０とが当接する角部に接着剤が停滞する付着部６１ａを形成してしまう虞がある。弾性膜５０に付着部６１ａが形成されると、弾性膜５０の自由な変位が妨げられ、変位量の低下を引き起こすことが考えられる。また、接着剤６１の流れ出し量がノズルによりばらつくので、変位量がばらついてしまうことになってしまう。
【００３０】
このため、弾性膜５０に付着部６１ａが形成されないように液体噴射ヘッドが製造されている。即ち、弾性膜５０及び壁部１１の圧力発生室１２内側の面にＴｉＷ薄膜をスパッタにより形成し、ＴｉＷ薄膜の表面側にレジストを塗布し、壁部１１側から斜めに平行光束を入射させて弾性膜５０の圧力発生室１２内側の面のレジスト以外のレジストを露光除去して弾性膜５０の圧力発生室１２内側の面以外のＴｉＷ薄膜を露出させ、露出したＴｉＷ薄膜を除去するための過酸化水素水を通水して露出したＴｉＷ薄膜を除去し、その後、弾性膜５０の圧力発生室１２内側の面のレジストをアッシングにより除去し、弾性膜５０の圧力発生室１２内側の面にＴｉＷ薄膜が存在する状態でノズルプレート２０を接着し、ＴｉＷ薄膜を除去するための過酸化水素水を通水して弾性膜５０の圧力発生室１２内側のＴｉＷ薄膜を除去することで、弾性膜５０の角部に隙間を確保して壁部１１と弾性膜５０との角部に接着剤６１を存在させない（付着部６１ａを形成しない）ようにしている。
【００３１】
図４乃至図６に基づいて液体噴射ヘッドの製造方法を具体的に説明する。上記ＴｉＷ薄膜６２は、圧力発生室１２と弾性膜５０との境界部に一度形成されて、ノズルプレート２０と流路形成基板１０とが接着剤で接着された後にエッチング等で除去されることで、毛細管現象により圧力発生室１２の角部を伝わって圧力発生室１２の弾性膜５０上に流れ出した接着剤が圧力発生室１２と弾性膜５０との境界部分に残らないようにするための除去薄膜となる。
【００３２】
図４（ａ）に示すように、流路形成基板１０にＳｉの異方性エッチングにより壁部１１を形成して弾性膜５０を備えた圧力発生室１２を形成する。次に、図４（ｂ）に示すように、弾性膜５０及び壁部１１の圧力発生室１２内側の面にＴｉＷ薄膜６２をスパッタにより堆積させる。その後、図４（ｃ）に示すように、ＴｉＷ薄膜６２をエッチングするために、ＴｉＷ薄膜６２の表面側にレジスト６３を塗布する。
【００３３】
レジスト６３を塗布した後、図５（ａ）に示すように、壁部１１側から斜めに平行の光束６４を入射させてレジスト６３の底部以外を露光する。図５（ｂ）に示すように、露光していない部分のレジスト６３を現像液により除去して圧力発生室１２内側の面のレジスト６３ａを残す。次に、図５（ｃ）に示すように、過酸化水素水を通水して露出した壁部１１上のＴｉＷ薄膜６２のみをエッチング除去すると共に、弾性膜５０上の圧力発生室１２内側の面のＴｉＷ薄膜６２ａをレジスト６３ａとともに残す。
【００３４】
次に、図６（ａ）に示すように、弾性膜５０上の圧力発生室１２内側の面のレジスト６３ａをアッシングにより除去し、図６（ｂ）に示すように、弾性膜５０上の圧力発生室１２内側の面にＴｉＷ薄膜６２ａが存在する状態でノズルプレート２０を接着剤６１により接着する。この時、ノズルプレート２０と流路形成基板１０との接着面積が小さいため、毛細管現象により圧力発生室１２の角部を伝わって接着剤６１が圧力発生室１２の弾性膜５０のＴｉＷ薄膜６２ａ上に流れ出して付着部６１ａを形成することがある。図６（ｃ）に示すように、過酸化水素水を通水して弾性膜５０の圧力発生室１２内側のＴｉＷ薄膜６２ａをエッチング除去して弾性膜５０と付着部６１ａとの間に隙間６５を確保する。これにより、弾性膜５０の角部に隙間６５が確保されて壁部１１と弾性膜５０との角部に接着剤６１の付着部６１ａが存在しない状態になる。即ち、壁部１１上に残った接着剤６１と弾性膜５０との間には弾性膜５０を十分に変位させるための隙間が形成される。
【００３５】
これにより、弾性膜５０に接着剤６１が付着することがなくなり、ノズルプレート２０の接着部の接着力を低下させることなく接着剤６１のはみ出しを防止することができる液体噴射ヘッドとすることができ、弾性膜５０の変位量の低下やばらつきを防止することができる。
【００３６】
図７に基づいて液体噴射ヘッドの製造方法の他の実施形態例を説明する。図７には本発明の他の実施形態例にかかる液体噴射ヘッドの製造方法の工程説明を示してある。図７（ａ）（ｂ）は前述した図６（ｂ）（ｃ）の工程に対応するものであるため、図６（ａ）までに対応する工程は同一であり、同一部材には同一符号を付して詳細な説明は省略してある。
【００３７】
図７（ａ）に示すように、弾性膜５０の圧力発生室１２内側の面にＴｉＷ薄膜６２ａを残すと共に、壁部１１の下部にＴｉＷ薄膜６２ｃを残す状態にレジストを除去して過酸化水素水によるエッチングを行い、ＴｉＷ薄膜６２ａ、６２ｃが露出した状態で、ノズルプレート２０を接着剤６１により接着する。接着剤６１が圧力発生室１２の弾性膜５０のＴｉＷ薄膜６２ａ、６２ｃ上に流れ出して付着部６１ａを形成することがある。図７（ｂ）に示すように、過酸化水素水を通水して弾性膜５０の圧力発生室１２内側のＴｉＷ薄膜６２ａ、６２ｃを付着部６１ａとともにエッチング除去することで、弾性膜５０と壁部１１の角部に接着剤６１の付着部６１ａが存在しない状態になる。除去された接着剤等はノズルプレート２０のノズル開口２１から排出される。
【００３８】
これにより、圧力発生室１２内の弾性膜５０側の接着剤６１が完全に除去され、ノズルプレート２０の接着部の接着力を低下させることなく接着剤６１のはみ出しを防止することができる液体噴射ヘッドとすることができ、弾性膜５０の変位量の低下やばらつきを防止することができる。本実施形態例は、ノズルプレート２０のノズル開口２１から除去された接着剤等が排出できる場合には、弾性膜５０側の接着剤６１を完全除去できるので有効である。
【００３９】
尚、上述した実施形態例では、ノズルプレート２０としてＳＵＳ製のものを適用し、除去薄膜としてＴｉＷ薄膜６２を適用し、更に、除去液として過酸化水素水を適用した例を挙げて説明したが、ノズルプレート２０としてＳｉ製のものを適用し、除去薄膜としてＡｌ薄膜を適用し、更に、除去液として塩化第２鉄水溶液を適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、液滴を吐出する液体噴射ヘッドの製造方法、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室に供給されたインクを圧力発生素子によって加圧することにより、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの製造方法の分野で利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】接着剤が振動板にはみ出した状態の断面図である。
【図４】本発明の一実施形態例に係る液体噴射ヘッドの製造方法の工程説明図である。
【図５】本発明の一実施形態例に係る液体噴射ヘッドの製造方法の工程説明図である。
【図６】本発明の一実施形態例に係る液体噴射ヘッドの製造方法の工程説明図である。
【図７】本発明の他実施形態例に係る液体噴射ヘッドの製造方法の工程説明図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  接合基板、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ６０  下電極膜、  ６１  接着剤、  ６２  ＴｉＷ薄膜、  ６５  隙間、  ７０  圧電体層、  ７１  強誘電体膜、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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