(57)【要約】【課題】  本発明は、検出器配管の口径が小さくなった場合においても、必要なマイクロ波の伝播距離と伝播エネルギーを確保して、測定精度を向上させたマイクロ波式濃度計を提供することを目的とする。【解決手段】  被測定液体を流すための検出器配管６と、検出器配管を挟んで、一方の管壁に所定の間隔で配置されたマイクロ波の送信アンテナ３及び受信アンテナ５と、他方の管壁に対向配置された反射板４と、マイクロ波を発信するマイクロ波発信手段と、検出器配管内の前記被測定液体を伝播して受信アンテナにて受信されたマイクロ波の位相遅れを測定し、基準用測定液体の位相遅れとを比較し、その位相差を測定する位相差測定手段８と、位相差を被測定液体の液温に基づいて補正する液温補正手段９と、位相差に基づいて前記被測定液体に含まれる固形分の濃度を算出する濃度算出手段１０とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
送信アンテナからマイクロ波を送信し、この送信アンテナと受信アンテナとの間に位置する被測定液体を伝播したマイクロ波の伝播特性から、被測定液体に含有される混合物の濃度を求めるマイクロ波式濃度計において、
前記被測定液体が内部を流れる検出器配管と、
前記検出器配管の管壁に配置され、マイクロ波を送信する送信アンテナと、
前記送信アンテナの配置された側の管壁に配置され、マイクロ波を受信する受信アンテナと、
前記送信アンテナ及び受信アンテナと対向する側の前記検出器配管の管壁に配置されマイクロ波を反射する反射板と、
前記送信アンテナから送信されるマイクロ波を発信するマイクロ波発信手段と、
前記送信アンテナから送信され、前記検出器配管内の前記被測定液体を伝搬して前記受信アンテナにて受信されたマイクロ波の位相遅れθ２を測定し、また、予め前記検出器配管内に基準用測定液体を充満して前記被測定液体と同じ条件で測定したときのマイクロ波の位相遅れθ１とを比較し、その位相差△θ＝（θ２−θ１）を測定する位相差測定手段と、
前記位相差測定手段により測定された位相差△θを、前記被測定液体の液温に基づいて補正する液温補正手段と、
前記液温補正手段により得られた位相差に基づいて、前記被測定液体に含まれる固形分の濃度を算出する濃度算出手段とを備えたことを特徴とするマイクロ波式濃度計。
【請求項２】
前記反射板は、前記送信アンテナから送信されるマイクロ波が、前記受信アンテナの中心に集束される曲面形状の反射面としたことを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波式濃度計。
【請求項３】
送信アンテナからマイクロ波を送信し、この送信アンテナと受信アンテナとの間に位置する被測定対象を伝播したマイクロ波の伝播特性から、被測定液体に含有される混合物の濃度を求めるマイクロ波式濃度計において、
直線状の部分とその直線状の部分の両側で湾曲した湾曲部を有し、前記被測定液体が内部を流れる検出器配管と、
前記検出器配管の直線状の部分の管軸方向で互いに対向する湾曲部の一方の管壁に配置されマイクロ波を送信する送信アンテナと、
前記検出器配管の直線状の部分の管軸方向で互いに対向する湾曲部の他方の管壁に配置されマイクロ波を受信する受信アンテナと、
前記送信アンテナから送信されるマイクロ波を発信するマイクロ波発信手段と、
前記送信アンテナから送信され、前記検出器配管内の前記被測定液体を伝搬して前記受信アンテナにて受信されたマイクロ波の位相遅れθ２を測定し、また、予め前記検出器配管内に基準用測定液体を充満して被測定液体と同じ条件で測定したときのマイクロ波の位相遅れθ１とを比較し、その位相差△θ＝（θ２−θ１）を測定する位相差測定手段と、
前記位相差測定手段により測定された位相差△θを、前記被測定液体の液温に基づいて補正する液温補正手段と、
前記液温補正手段により得られた位相差に基づいて、前記被測定液体に含まれる固形分の濃度を算出する濃度算出手段と
を備えたことを特徴とするマイクロ波式濃度計。
【請求項４】
前記送信アンテナ、及び前記受信アンテナは、夫々アンテナ部と誘電体レンズとからなり、前記誘電体レンズを前記検出器配管の管壁に密着して固着したことを特徴とする請求項1乃至請求項３のいずれかに記載のマイクロ波式濃度計。
【請求項５】
前記検出器配管の内壁には、前記送信アンテナから送信されるマイクロ波が、前記受信アンテナの中心に集束される曲面形状の金属製の反射板を備えたことを特徴とする請求項３に記載のマイクロ波式濃度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波の伝播時間遅れに基づいて、被測定液体の濃度を測定するマイクロ波式濃度計に係り、特に、被測定液体を流す配管の口径が小さい場合において、測定精度を向上させたマイクロ波式濃度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定液体中に含まれる懸濁物質や溶解性物質等の混合物の濃度を測定する方式として超音波の減衰率を測定して濃度を求める超音波式濃度計や、光を用いて透過光減衰率や散乱光増加率等を測定して濃度を求める光学式濃度計が用いられている。
【０００３】
ところが、超音波式濃度計では、液体中に気泡が混入している場合にその影響を受けて測定誤差が増大するという問題があった。また、光学式濃度計においては、光を入射或いは受光する光学窓に汚れが付着するとその影響を受けて、やはり、その測定誤差が増大する問題があった。
【０００４】
そこで、最近ではこれらの気泡や汚れによる測定誤差の生じにくい機器としてマイクロ波式濃度計が開発され、実用化されるようになってきている。
【０００５】
図６は係るマイクロ波式濃度計の構成を示す構成図である。このマイクロ波式濃度計は、マイクロ波発振器３１から発信されたマイクロ波がパワースプリッタ３２により基準系経路と、測定系経路とに分配される。
【０００６】
まず、基準系経路を通るマイクロ波は、伝送ケーブル３２ａを介して位相差測定回路３８に導入される。一方、測定系経路を通るマイクロ波は、検出器配管３６の管壁に取り付けられたマイクロ波送信アンテナ３３から送信されたマイクロ波を、検出器配管３６の管壁に対向配置したマイクロ波の受信アンテナ３５で受信し、受信した信号を位相差測定部３８に導入する。
【０００７】
また、被測定液体は、濃度ゼロ（又は基準値）の基準用測定液体と、濃度ｘの被測定用液体との２種類があり、それぞれ個別に検出器配管３６に流されて、位相遅れθ１及びθ２が測定される。
【０００８】
すなわち、位相差測定部３８においては、マイクロ波発振器３１から伝送ケーブル３２ａを経由して直接受信するマイクロ波を位相基準とし、これに対して検出器配管３６内に被測定用液体を充填して流したときのマイクロ波の位相遅れθ２を測定し、検出器配管３６内に基準用測定液体（例えば、濃度ゼロとみなせる水道水）を充填して流したときのマイクロ波の位相遅れ位相差θ１を測定し、θ２とθ１とを比較し、位相差Δθ=（θ２−θ１）を求め、さらに、温度検出器３７で検出される液温から液温補正部３９で液温補正し、濃度演算部４０に送出する。
【０００９】
濃度演算部４０は、この温度補正された位相差Δθ、及び、予め校正された検量線に基づいて補正を行い、被測定液体の濃度ｘを求めている。
【００１０】
このようなマイクロ波式濃度計は次のような原理に基づいている。すなわち、被測定用液体中の懸濁物質または溶解性物質の濃度が変化すると被測定液体全体としての誘電率、導電率が変化する。誘電率、導電率が変化すると、被測定用液体中を伝播するマイクロ波の速度が変化する。
【００１１】
そこで、マイクロ波式濃度計は、このような濃度変化によるマイクロ波の速度変化を位相の変化として測定し、その位相変化の位相差△θが濃度に比例するという原理に基づいて測定している。
【００１２】
即ち、濃度ｘと位相差△θの関係は、
ｘ＝ｋ×Δθ         （数１）
でもとめられる。但し、k：係数
また、上記位相差Δθは、下記の理論式で求められることが知られている。  
【数２】
2006029935.tif 000003
【００１３】
但し、
Ｃo:真空中でのマイクロ波の伝播速度
ｄ:被測定流体層の厚さ(対向配置した場合、検出器配管の口径に相当する)
ω:入射するマイクロ波の角周波数
εo:真空の誘電率
εw：濃度ゼロの水の比誘電率
εs:被測定流体の比誘電率
σw:濃度ゼロの水の導電率
σ:被測定液体の導電率
以上のようなマイクロ波式濃度計は、前式から分かるように、被測定流体層の厚さｄに相当する検出器配管径が小さくなり、被測定液体中を伝播するマイクロ波の伝播距離が短くなると、検出されるマイクロ波の位相差△θも小さくなって、濃度の測定分解能が不足する問題がある。
【００１４】
検出器配管の口径が小さくなった場合、測定精度を低下させないためには、被測定液体を通過するマイクロ波の伝播距離を長くして、位相差Δθが大きく得られるようにするとともに、使用するマイクロ波の波長を短くして、伝播距離よりも短い波長とし、位相差Δθの検出に必要な測定分解能が得られるようにするため、マイクロ波の角周波数ωを高くしておく必要がある。
【００１５】
しかしながら、マイクロ波の角周波数ωを高くしてゆくと、被測定液体を透過するマイクロ波の減衰率が大きくなることから、一般的に、使用されるマイクロ波の周波数の上限値は制約がありその範囲としては、１乃至１０ＧＨｚの周波数が使用されている。
【００１６】
そこで、特開２００１−２５５２８５号公報においては、さらに小さな検出器配管の口径の場合でも測定分解能を確保するため、図６に示すように検出器配管の管壁に対向配置するマイクロ波の送信アンテナ３３と受信アンテナ３５の中心を管軸方向に距離Ｌずらし、傾斜角θの傾斜方向で配置する。
【００１７】
すると、そのマイクロ波の伝播距離ｄは、検出器配管の口径をＤとすると、ｄ＝（Ｄ２＋Ｌ２）１／２となるので、距離Ｌを大きくすることによって、マイクロ波の伝播距離ｄを長くし、位相差Δθの測定分解能の低下を改善する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００１−２５５２８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、上述したマイクロ波の送信アンテナと受信アンテナの対向するアンテナの中心位置を管軸方向にずらした方法においては、図６（b）に示すように、送信されるマイクロ波の放射エネルギーは、指向性があるため、送信アンテナ３３の中心軸が管軸ｘ方向にずれる放射方向の傾斜角θが大きくなるにしたがって、その放射エネルギーが徐々に低下する傾向にある。
【００１９】
したがって、口径Ｄが小さくなり送信アンテナと受信アンテナの間の距離を長くしようとすると、所定のＳ／Ｎを得るための伝播エネルギーを確保することが困難となるため、測定精度が確保できない問題がある。
【００２０】
本発明は、このような従来の問題点を解決するためになされたもので、検出器配管の口径が小さくなった場合においても、必要なマイクロ波の伝播距離と伝播エネルギーを確保して、測定精度を向上させたマイクロ波式濃度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記目的を達成するために、本発明に係る請求項１のマイクロ波式濃度計は、送信アンテナからマイクロ波を送信し、この送信アンテナと受信アンテナとの間に位置する被測定液体を伝播したマイクロ波の伝播特性から、被測定液体に含有される混合物の濃度を求めるマイクロ波式濃度計において、前記被測定液体が内部を流れる検出器配管と、前記検出器配管の管壁に配置され、マイクロ波を送信する送信アンテナと、前記送信アンテナの配置された側の管壁に配置され、マイクロ波を受信する受信アンテナと、前記送信アンテナ及び受信アンテナと対向する側の前記検出器配管の管壁に配置されマイクロ波を反射する反射板と、前記送信アンテナから送信されるマイクロ波を発信するマイクロ波発信手段と、前記送信アンテナから送信され、前記検出器配管内の前記被測定液体を伝搬して前記受信アンテナにて受信されたマイクロ波の位相遅れθ２を測定し、また、予め前記検出器配管内に基準用測定液体を充満して前記被測定液体と同じ条件で測定したときのマイクロ波の位相遅れθ１とを比較し、その位相差△θ＝（θ２−θ１）を測定する位相差測定手段と、前記位相差測定手段により測定された位相差△θを、前記被測定液体の液温に基づいて補正する液温補正手段と、前記液温補正手段により得られた位相差に基づいて、前記被測定液体に含まれる固形分の濃度を算出する濃度算出手段とを備えたことを特徴とする。
【００２２】
従って、本発明によれば、検出器配管の内壁に、被測定液体の流れを妨げることのない高導電率の金属性反射板を備え、被測定液体を伝播するマイクロ波伝播エネルギーを減衰させることなく、伝播距離を長くすることが出来る。
【００２３】
上記目的を達成するために、本発明に係る請求項３のマイクロ波式濃度計は、送信アンテナからマイクロ波を送信し、この送信アンテナと受信アンテナとの間に位置する被測定対象を伝播したマイクロ波の伝播特性から、被測定液体に含有される混合物の濃度を求めるマイクロ波式濃度計において、直線状の部分とその直線状の部分の両側で湾曲した湾曲部を有し、前記被測定液体が内部を流れる検出器配管と、前記検出器配管の直線状の部分の管軸方向で互いに対向する湾曲部の一方の管壁に配置されマイクロ波を送信する送信アンテナと、前記検出器配管の直線状の部分の管軸方向で互いに対向する湾曲部の他方の管壁に配置されマイクロ波を受信する受信アンテナと、前記送信アンテナから送信されるマイクロ波を発信するマイクロ波発信手段と、前記送信アンテナから送信され、前記検出器配管内の前記被測定液体を伝搬して前記受信アンテナにて受信されたマイクロ波の位相遅れθ２を測定し、また、予め前記検出器配管内に基準用測定液体を充満して被測定液体と同じ条件で測定したときのマイクロ波の位相遅れθ１とを比較し、その位相差△θ＝（θ２−θ１）を測定する位相差測定手段と、前記位相差測定手段により測定された位相差△θを、前記被測定液体の液温に基づいて補正する液温補正手段と、前記液温補正手段により得られた位相差に基づいて、前記被測定液体に含まれる固形分の濃度を算出する濃度算出手段とを備えたことを特徴とする。
【００２４】
従って、本発明によれば、送信アンテナと受信アンテナを検出器配管の湾曲部において、管軸方向で対向させて配置したので、被測定液体中の伝播距離を長くすることが可能なマイクロ波式濃度計を提供することが出来る。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように、本発明によれば、検出器配管の内壁に高導電率の金属製の反射板を備え、送信アンテナから送信されたマイクロ波を受信アンテナの中心に集束するようにしたので、マイクロ波の伝播エネルギーを低下させることなく、被測定液体中を伝播する伝播距離を長く出来るので、検出器配管の口径が小さくなった場合においても、測定精度を低下させることのないマイクロ波式濃度計を提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００２７】
図１乃至図２を参照して説明する。図１は実施例１のマイクロ波式濃度計の構成図である。
【００２８】
マイクロ波式濃度計は、マイクロ波を発信するマイクロ波発信器１と、マイクロ波発信器１から発信されたマイクロ波を基準系経路と測定系経路とに分配するパワースプリッタ２と、基準系経路からのマイクロ波を位相差測定部８に送信する伝送ケーブル２ａと、測定系経路からのマイクロ波を受信して、被測定液体を流す検出器配管６内の一方の管壁からマイクロ波を送信する送信アンテナと３と、この送信アンテナが設けられる側の管壁において、管軸方向で所定の距離２Ｌで配置された受信アンテナ５と、他方の管壁に送信アンテナ３及び受信アンテナ５と対向して設けられ、送信アンテナ３から送信されたマイクロ波を反射する反射板４と、受信アンテナ５で受信した測定系経路のマイクロ波と伝送ケーブル２ａから送信された基準系経路のマイクロ波との位相差を測定する位相差測定部８とからなる。
【００２９】
さらに、被測定液体の液温を測定する検出器配管６に設けられた温度検出器７によって位相差測定部８からの信号を補正する液温補正部９とこの液温補正部９の出力から濃度を求める濃度演算部１０とからなる。
【００３０】
また、被測定液体は、濃度ゼロ（又は基準値）の基準用測定液体と、濃度ｘの被測定用液体との２種類があり、それぞれ個別に検出器配管３６に流されて、位相遅れθ１及びθ２が測定される。
【００３１】
すなわち、位相差測定部８においては、マイクロ波発振器１から伝送ケーブル２ａを経由して直接受信するマイクロ波を位相基準とし、これに対して検出器配管３内に被測定用液体を充填して流したときのマイクロ波の位相遅れθ２を測定し、検出器配管６内に基準用測定液体（例えば、濃度ゼロとみなせる水道水）を充填して流したときのマイクロ波の位相遅れθ１を測定し、θ２とθ１とを比較し、位相差Δθ=（θ２−θ１）を求め、さらにその位相差Δθを、温度検出器７で検出される液温から液温補正部９で液温補正して、濃度演算部１０に送出する。
【００３２】
濃度演算部１０は、この温度補正された位相差Δθ、及び、予め校正された検量線に基づいて補正を行い、被測定液体の濃度ｘを求める。
【００３３】
次に、検出器配管６の管壁に備えるマイクロ波の送信アンテナ３、反射板４及び受信アンテナ５の詳細設定について、図２を参照して説明する。
【００３４】
被測定液体の流れる方向の、検出器配管６の管軸の中心をｘ軸とし、ｘ軸と直行する紙面と平行な上下方向の検出器配管６の管軸の中心をｚ軸とすると、送信アンテナ３及び受信アンテナ５の中心は、検出器配管６のｘ−ｚ軸平面の上部において、夫々のアンテナの中心間の距離２Ｌの間隔で、検出器配管６の一方の管壁に固着される。
【００３５】
そして、図２（ａ）に示すように、ｘ−ｚ軸平面の他方の対向する管壁には、反射板４が配置され、且つ、その中心をｚ軸として管軸方向の長さをＬｘ、図２（ｂ）に示すように、検出器配管６のｚ軸と直交するｙ軸方向の長さをＬｙとする反射面を形成し、送信されたマイクロ波が受信アンテナ４の中心に集束しやすい曲面形状に形成されて、検出器配管内壁に固着される。
【００３６】
さらに、詳細には、送信アンテナ３は、アンテナ部３ａと誘電体部３ｂとからなり、誘電体部３ｂの材質は、送信アンテナ３ａからの放射エネルギーが、検出器配管６の管壁から被測定液体中に減衰することなく伝播されるように、例えば、セラミックス等の高比誘電率の材質とし、接液する検出器配管６の内壁に沿って密着充填され、アンテナ部３と検出器配管６とは一体で固着成型される。
【００３７】
一方、反射板は、高導電率の金属製とし、マイクロ波が減衰しないように高反射率の材質としておく。
【００３８】
送信アンテナ３及び受信アンテナ５の指向性は、アンテナの構成によって種々選択できるが、誘電体部３ｂから送出された放射エネルギーの指向性は、一般に、図２（ｃ）に示すように、例えば、ｘ-ｚ平面においては送信アンテナ３のアンテナの中心からずれた傾斜角θの方向では減衰する傾向にある。
【００３９】
そこで、反射板４は、図２（ｂ）に示すように、反射するマイクロ波が、受信アンテナ４の中心に集束するように、検出器配管６の内壁形状と異なる曲面形状としておく。
【００４０】
一般に、検出器配管６の材質は、被測定液体６が変質しないようにＳＵＳ等の金属を使用するので、反射板４は、受信するエネルギーが確保できる場合は、検出器配管６の内壁面で代用しても良い。
【００４１】
以上のように構成したマイクロ波式濃度計は、検出器配管６の口径をＤとし、送信アンテナ３と受信アンテナ５との距離を２Ｌとすると、破線で示した送信アンテナ３と受信アンテナのアンテナ中心を結ぶマイクロ波の正反射成分の伝播距離ｄは、ｄ＝２×（Ｄ２＋Ｌ２）１／２となるので、送信アンテナと受信アンテナを対向配置させた従来の方式に比べて、２倍の伝送距離を確保できる。
【実施例２】
【００４２】
次に、実施例２について、図３を参照して説明する。実施例２の各部について、図１及び図２の実施例１に係るマイクロ波式濃度計の各部と同一部分は同一符号で示し、その説明を省略す。
【００４３】
この実施例が２、実施例1と異なる点は、送信アンテナ３及び受信アンテナ５の誘電体部３ｂ、５ｂに代えて、誘電体レンズ３ｃ、５ｃとし、送信アンテナ３及び受信アンテナ４のアンテナ中心から送信されるマイクロ波の指向性を向上させたことにある。
【００４４】
このように構成されたマイクロ波式濃度計は、送信アンテナ３からの放射エネルギーの正反射成分を強めるとともに、被測定液体と夫々のアンテナで反射されたマイクロ波の散乱成分を除去して、伝播されるエネルギー効率を高めることが出来る。
【実施例３】
【００４５】
次に、実施例３について、図４を参照して説明する。実施例２の各部について、図１及び図２の実施例１に係るマイクロ波式濃度計の各部と同一部分は同一符号で示し、その説明を省略す。
【００４６】
この実施例が３、実施例1と異なる点は、実施例1においては、送信アンテナ３及び受信アンテナ５と反射板とは、検出器配管６に対向配置して設けたが、本実施例３においては、検出器配管１６をＵ字形に両端部を曲げ、且つ、対向する両端部に送信アンテナ３と受信アンテナ５を管軸方向で対向配置させ、管壁に夫々のアンテナの面が平行に対向するようにして、マイクロ波が反射板４を介することなく直接伝播する放射エネルギー成分を強くした点にある。
【００４７】
このように構成されたマイクロ波式濃度計は、送信アンテナ３からの放射エネルギーを、反射板を介することなく直接受信アンテナに送信することが可能なので、伝播されるエネルギー効率を高めることが出来る。
【実施例４】
【００４８】
次に、実施例４について、図５を参照して説明する。実施例４の各部について、実施例３に係るマイクロ波式濃度計の各部と同一部分は同一符号で示し、その説明を省略す。
【００４９】
この実施例が４、実施例３と異なる点は、実施例３においては、本実施例３においては、検出器配管１６をＵ字形に両端部を曲げ、送信アンテナ３及び受信アンテナ５を管軸方向で対向配置させ、夫々の検出器管壁１６に夫々のアンテナの接液面を平行面として配置したが、本実施例４においては、検出器配管２６を曲げ、その両端の曲げ部分に送信アンテナ１３と受信アンテナ１５を対配置させ、且つ、検出器配管２６の直線部分に反射板１４を備えた点にある。
【００５０】
このとき検出器配管２６に接する送信アンテナ１３及び受信アンテナ１５の管壁傾斜曲面には誘電体レンズ３ｄ、５ｄを密着固定し、放射エネルギーが検出器測定管２６の上部方向に放射される成分を強くし、さらに、検出器測定管２６の上部に反射板１４を設けて、送信アンテナ１３から送信されたマイクロ波が受信アンテナ１５の中心に集束されるようにする。
【００５１】
このように構成されたマイクロ波式濃度計は、検出器配管２６を曲げた状態で、送信アンテナ１３と受信アンテナ１５を設けるので、被測定液体に含まれる固形物の堆積する恐れが少なく、保守性が用意である。
【００５２】
また、検出器配管２６を曲げるだけで伝播距離を長くし、送信アンテナ１３及び受信アンテナ１５内間反射するマイクロ波の散乱成分を抑えて受信することが可能で、検出器配管２６の口径が小さくなった場合においても、測定精度を低下させる恐れのないマイクロ波式濃度計を提供できる。
【００５３】
更に、本発明は、上述したような各実施の形態に何ら限定されるものではなく、本実施例では、濃度変化を位相差で検出する場合について説明したが、濃度変化を伝播エネルギーの強度変化、伝播周波数の変化、または、伝播速度のいずれの測定原理の場合においても適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１及び第２の実施例の構成図。
【図２】第１の実施例（検出器配管に設ける送信アンテナ、受信アンテナ及び反射板の）構成、構造を説明する図。
【図３】第２の実施例を説明する図。
【図４】第３の実施例を説明する図。
【図５】第４の実施例を説明する図。
【図６】従来のマイクロ波式濃度計の構成図。
【符号の説明】
【００５５】
１、３１  マイクロ波発信器
２、３２  パワースプリッタ
２ａ、３２ａ  送信ケーブル
３、１３、３３  送信アンテナ
３ａ  送信アンテナ部
３ｂ  誘電体部
３ｃ  誘電体レンズ
４、１４  反射板
５、１５、３５  受信アンテナ
５ａ  受信アンテナ部
５ｂ  誘電体部
５ｃ  誘電体レンズ
３ｄ、５ｄ  誘電体レンズ
６、１６、３６  検出器配管
７、３７  温度検出器
８、３８  位相差測定部
９、３９  液温補正部
１０、４０  濃度演算部
【図１】
2006029935.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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