(57)【要約】【課題】半導体や液晶等の製造プロセスにおける除電及び有機物除去が可能なイオン発生装置を提供する。【解決手段】搬送ライン１０のステージ１１をまたぐようにして設けられた門型の支持体９に、正負イオンを発生する複数のイオン発生素子２を備えるイオン発生装置１を設ける。イオン発生素子２は、搬送ライン１０のステージ１１に載置された被除電対象物１２に対向して配置されるようにして設ける。除電装置８から発生した正負イオンが被除電対象物１２に接触し、被除電対象物１２の除電と同時に、有機物を分解する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
正イオンとしてＨ３Ｏ＋(Ｈ２Ｏ)ｍ、負イオンとしてＯ２−(Ｈ２Ｏ)ｎ（但し、ｍおよびｎは０または自然数）を生成するイオン発生手段を備え、該イオン発生手段は、移動可能な被除電対象物に対向して配置され、該イオン発生手段から発生したイオンにより、被除電対象物の除電をすると同時に、被除電対象物の表面又はその周辺に存在する有機物を除去することを特徴とする除電及び有機物除去用のイオン発生装置。
【請求項２】
前記イオン発生手段は、沿面放電方式を利用してイオンを発生させることを特徴とする請求項１に記載のイオン発生装置。
【請求項３】
前記イオン発生手段は、正イオン発生部と負イオン発生部とが別々に設けられたことを特徴とする請求項１又は２に記載のイオン発生装置。
【請求項４】
前記イオン発生手段は、正イオン発生部と負イオン発生部とが交互に配置されたことを特徴とする請求項３記載のイオン発生装置。
【請求項５】
被除電対象物の帯電量を測定する帯電量測定手段と、前記イオン発生手段のイオン発生量を制御する制御手段とを備え、該制御手段は、前記帯電量測定手段による測定結果に基づいて、正イオン及び／又は負イオンの発生量を調整することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のイオン発生装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のイオン発生装置が、被除電対象物を搬送する搬送ラインに設けられたことを特徴とする除電装置。
【請求項７】
正イオンとしてＨ３Ｏ＋(Ｈ２Ｏ)ｍ、負イオンとしてＯ２−(Ｈ２Ｏ)ｎ（但し、ｍおよびｎは０または自然数）を生成させて、該正イオン及び負イオンにより、被除電対象物の除電をし、被除電対象物の表面又はその周辺に存在する有機物を除去することを特徴とする除電及び有機物除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体や液晶パネル等の製造プロセスにおける帯電及び有機物の除去をすることのできるイオン発生装置及びこれを使用した除電及び有機物除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体、液晶パネル等の製造プロセスにおいて、静電気が発生してしまうという問題があった。例えば、液晶の製造プロセスにおいては、絶縁体であるガラスを基板材料として用いているため、搬送時にステンレス等の金属ステージから持ち上げるだけで、剥離帯電により数ｋＶ以上の静電気が発生し、良品率を低下させる大きな要因になっている。
【０００３】
このため、除電器を用いて帯電を軽減させるのは不可欠であり、そこで、静電気対策として、除電器が用いられてきた。除電器は一般的に、針状電極に高電圧を印加し、正または負のイオンを発生させ、除電を行う対象物に送風等によりイオンを当てることで、除電を行っており、この方式でのイオン発生量のバランスの改善等が多数検討されている（特許文献１）。
【０００４】
また、従来、半導体の製造プロセスにおいては、ダスト異物が問題となっていたが、近年、微粒子除去技術の進歩でダスト異物の問題は解消されてきた。したがって、現在では、ダストによる問題発生よりも、半導体配線の微細化・高集積化に伴い、半導体等のプロセス中に残留する有機物が問題となっている。液晶等のディスプレイにおいては、ごくわずかな有機物による汚染が原因で、表示ムラが発生するという問題が発生してしまう。この残留有機物としては、例えば、フタル酸エステルやシロキサンが問題となっている。これらの物質は、配線被覆剤や内装材・装置の樹脂剤に添加されているため、発生を完全防止するのは困難とされている。フタル酸エステルやシロキサンは沸点が高いため、大気中の含有量はわずかであるが、微量ながら半導体基板上あるいは液晶配線基板上に付着し、問題を引き起こす原因となっている。
【０００５】
そこで、環境中の有機物低減のためには、例えば、特許文献２のようにケミカルフィルターを用いたり、スクラバー等を用いて、残留有機物の低減が図るのが一般的な方法である。
【０００６】
また、室内空間を清浄化し、除電用負イオンを発生させる方法として、特許文献３では、光電子放出材料上に除塵フィルターと光触媒及び／又は吸着材とを形成し、室内空気を通過させる方法が検討されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−２８９７９６号公報（段落００２１参照）
【特許文献２】特開平１０−３４０８７４号公報（段落００１３参照）
【特許文献３】特開２０００-３００９３６号公報（段落０００６参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１のような従来の除電方法においては、高電圧を印加するため、ＮＯｘやオゾンの生成の懸念があった。搬送経路にはたくさんの除電器を設置する必要があるので、個々の除電器のＮＯｘやオゾン等の生成量が微量であっても、工程内に数多くの除電器を設置することで結果的に生成量が多くなり、人体に悪影響を及ぼす可能性があった。
【０００９】
また、特許文献２のようにケミカルフィルターを用いても、工程中では有機物が発生し続けており、工程中で発生する有機物を完全に除去することができずに残留してしまう。また、ケミカルフィルターは高価であり、ケミカルフィルター使用によるランニングコストが高いという問題があった。
【００１０】
特許文献３のように、光電子放出材料上に除塵フィルターと光触媒及び／又は吸着材とを形成し、室内空気を通過させる方法においては、有機物を除去するために、光触媒や吸着剤を使用した後、別途イオン発生装置を設けている。このため、装置が複雑化し、装置が高価になるという欠点があった。
【００１１】
本発明は、上記課題に鑑み、半導体や液晶パネル等の製造プロセスにおける除電及び有機物除去が可能なイオン発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明は、正イオンとしてＨ３Ｏ＋(Ｈ２Ｏ)ｍ、負イオンとしてＯ２−(Ｈ２Ｏ)ｎ（但し、ｍおよびｎは０または自然数）を生成するイオン発生手段を備え、該イオン発生手段は、相対的に移動可能な被除電対象物に対向して配置され、該イオン発生手段から発生したイオンにより、被除電対象物の除電をすると同時に、被除電対象物の表面又はその周辺に存在する有機物を除去することを特徴とする除電及び有機物除去用のイオン発生装置である。
【００１３】
イオン発生手段によって、正負イオン、正イオンのみ、負イオンのみのいずれかのイオンを発生できる。そして、発生した正負イオンのうち、被除電対象物に帯電している電荷とは逆極性のイオンが被除電対象物に作用して、帯電電位を中和することにより、被除電対象物の除電が行われる。
【００１４】
正イオンとしてＨ３Ｏ＋(Ｈ２Ｏ)ｍ、負イオンとしてＯ２−(Ｈ２Ｏ)ｎを主たるイオンとして生成させるためには、空気中の分子に与えるエネルギーが、約５ｅＶとなるように放電エネルギーを調整することで、実現できる。本装置によると、ＮＯｘやオゾン等の生成量が少なく、工程内に大量に設置してもＮＯｘやオゾンが有害となることによる問題の発生がない。
【００１５】
また、正負両イオンによって下記化学反応（１）〜（２）によって活性種である過酸化水素Ｈ２Ｏ２、二酸化水素ＨＯ２またはヒドロキシラジカル・ＯＨを生成し、有機物を分解することができる。
【００１６】
Ｈ３Ｏ＋ ＋ Ｏ２−  →  ・ＯＨ  ＋  Ｈ２Ｏ２・・・（１）
Ｈ３Ｏ＋ ＋ Ｏ２−  →   ＨＯ２  ＋  Ｈ２Ｏ  ・・・（２）
【００１７】
このように、本イオン発生装置は、基板等の被除電対象物の除電と同時に被除電対象物の表面やその近傍に存在する有機物を分解することができる。なお、有機物とは、半導体等の被除電対象物の表面やその周囲に存在している種々の化学物質のことであって、これに限定されるものではないが、フタル酸エステルやシロキサンが挙げられる。これらの物質は、配線被覆剤や内装材・装置の樹脂剤に添加されているため継続的に発生するものであるが、本願発明によると、正イオンとしてＨ３Ｏ＋(Ｈ２Ｏ)ｍ、負イオンとしてＯ２−(Ｈ２Ｏ)ｎを主たるイオンとして発生させることにより、除電と同時にこれらの有機物を簡単に分解し除去することができる。フタル酸エステル等の分子量の大きな有機物は、ＣＯ２やＨ２Ｏといったレベル迄完全分解されなくても、分子の一部が分解されることで、分子量が小さくなり沸点が下がるため、基板に付着しにくくなり、有機物汚染の問題が起こらなくなる。
【００１８】
正イオンとしてＨ３Ｏ＋(Ｈ２Ｏ)ｍ、負イオンとしてＯ２−(Ｈ２Ｏ)ｎを主たるイオンとして発生させるための放電機構を有する素子としては、例えば沿面放電素子、コロナ放電素子、プラズマ放電素子等を挙げることができるがこれらのみに限られるものではない。また、放電素子の電極の形状や材質においても、針型などを含め、あらゆる形状、材質のものを選択することができる。
【００１９】
イオン発生手段は、上記のように種々の方式によりイオンを発生可能であるが、沿面放電方式を利用してイオンを発生させるのが好ましい。沿面放電を利用すれば、針状電極に電圧印加する方法に比べ、低電圧でイオンを発生することができる。
【００２０】
より具体的には、図１に示すように誘電体５を板形状の電極７とメッシュ形状の電極６とで挟み込んだ構造とする。電源３により板形状の電極７に正極と負極の電圧を交互に印加することによって、メッシュ形状電極６の端面で電界が集中して、空気中でプラズマ放電が起こり、プラズマ領域Ａが形成され、正負両イオンが生成される。
【００２１】
なお、これらの正負両イオンの発生、送出に必要な印加電圧は、イオン発生素子の構造にもよるが電極間のピークトゥーピーク（ｐｅａｋ  ｔｏ  ｐｅａｋ）電圧として２〜１０ｋＶ、好ましくは３〜７ｋＶの範囲とすることができる。このような設定にすることによって、上記イオンを発生するために必要な放電エネルギーが得られる。
【００２２】
針状電極を用いる方法においては、一般的に７ｋＶ以上の高電圧を印加するため異物が付着し堆積しやすく定期的な清掃が必要であるが、誘電体を用いた沿面放電方式においては低電圧を印加できる。そのため異物が堆積しにくいので、放電電極を殆ど清掃する必要が無いという利点がある。また、低電圧であるため、感電の危険性が殆ど無く安全であるという利点がある。更に、針状電極方式の場合、異常放電防止のために電極周辺に供給する空気として乾燥空気を用いる必要があったが、沿面放電方式の場合、低電圧でイオンを発生することができるため、通常の湿度２０〜９０％程度の空気を使用することができ、ランニングコストを低減できるという利点を有する。
【００２３】
イオン発生手段は、正イオン発生部と負イオン発生部とを別々に設けるのが好ましい。正イオン発生部と負イオン発生部とに分離することで、イオンの発生量を多くすることができる。一般的にイオンを発生させるためには、電極に交流電圧またはパルス電圧を印加する。交流電圧の印加では、正負電圧が交互に印加される。パルス電圧の印加では、一定時間、正または負のパルス信号が出力され、その後、逆極性のパルス信号が一定時間出力され、正負電圧が交互に印加される。この電圧印加方法においては、例えば、正電圧を印加し正イオンが発生した直後に、同じ電極によって逆極性の負イオンを発生させるため、正イオンと負イオンが衝突し再結合しやすいという問題があった。
【００２４】
本発明によれば、正イオン発生部と負イオン発生部を分離しているため、正イオンと負イオンとの衝突が減って、再結合する割合を低くすることができる。正負イオンの結合が緩和され、イオン発生量を多くすることができる。
【００２５】
正イオン発生部および負イオン発生部の配置は、限定されるものではないが、交互に配置するのが好ましい。均一に正イオンと負イオンとを被除電対象物に供給することができる。
【００２６】
被除電対象物の帯電量を測定する帯電量測定手段と、イオン発生手段のイオン発生量を制御する制御手段とを備え、該制御手段は、帯電量測定手段による測定結果に基づいて、正イオン及び／又は負イオンの発生量を調整するのが好ましい。
【００２７】
被除電対象物の帯電量を測定する装置によって帯電量を測定した結果に基づいて、イオン発生手段から発生するイオンの発生量を制御するもので、例えば、被除電対象物が負に帯電している場合は、負イオンは発生させずに正のイオンのみ発生させるか、又は、負イオンに対する正イオンの発生量を増やすものである。この制御方法では、被除電対象物の帯電状態によって、除電に適したイオンを多量に発生するため、基板を効率良く除電することができる。
【００２８】
上記イオン発生装置は、被除電対象物を搬送する搬送ラインに設けられる。イオン発生装置は、被除電対象物に対してその上方あるいは側方に配置される。側方に配置する場合、ファンを設けてイオンを被除電対象物に吹き付ければよい。上方に配置する場合は、イオンは自重によって下降するので、被除電対象物に供給できる。そして、搬送ライン上を搬送される被除電対象物に対してイオン発生装置から発生したイオンが作用して、除電および有機物除去が行われる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によると、空気中の分子に与えるエネルギーが、約５ｅＶとなるように放電エネルギーを調整することで、正イオンとしてＨ３Ｏ＋(Ｈ２Ｏ)ｍ、負イオンとしてＯ２−(Ｈ２Ｏ)ｎを主たるイオンとして生成させることにより、有害なＮＯｘやオゾン等を殆ど生成することなく除電することができ、同時に正負イオンの反応によって生成する、ヒドロキシラジカル（・ＯＨ）、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）、二酸化水素（ＨＯ２）の活性種によって、有機物の浄化を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
＜実施例１＞
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は沿面放電方式によるイオン発生装置の構成図、図２は本イオン発生装置を使用した除電装置の概略図、図３は本発明による正負イオン発生素子による有機物除去効果を確認するための試験方法の説明である。
【００３１】
本イオン発生装置１は、図１に示すように、正負イオンを発生するイオン発生素子２と、イオン発生素子２に高電圧を供給する電源３と、電源３の出力電圧を制御する制御部４とから構成される。
【００３２】
イオン発生素子２は、沿面放電方式によりイオンを発生する。イオン発生素子２は、平板状の誘電体５と、誘電体５の表面に設けられたイオン発生電極６と、裏面に設けられた電圧印加電極７とから構成される。イオン発生電極６はメッシュ状に形成され、また、電圧印加電極７は平板状に形成される。
【００３３】
電源３は、各イオン発生素子２の電極６、７に接続される。電源３は、正イオン及び負イオンを発生するのに十分な高電圧を発生する交流電源である。
【００３４】
制御部４は、マイクロコンピュータからなり、電源３のオンオフとともに、設定されたイオン発生量が得られるように、電圧印加電極７に出力する印加電圧を調整する。
【００３５】
このように構成されるイオン発生装置１の正負イオン発生の仕組みについて説明する。電圧印加電極７に、正電圧と負電圧とが交互に印加され、メッシュ状のイオン発生電極６の両側面と、電圧印加電極７の表面との間に電気力線が形成される。この電気力線に沿ってプラズマ領域Ａが形成される。そして、空気中での沿面放電により正負イオンが発生する。印加電圧を２〜１０ｋＶにすることにより、正イオンとしてＨ３Ｏ＋(Ｈ２Ｏ)ｍ、負イオンとしてＯ２−(Ｈ２Ｏ)ｎ（但し、ｍおよびｎは０または自然数）が発生する。
【００３６】
図２に、イオン発生装置１を使用した有機物除去機能を有する除電装置８を示す。除電装置８は、イオン発生装置１と、これを支持する支持体９とから構成される。すなわち、搬送ライン１０のステージ１１をまたぐようにして門型の支持体９が設けられ、支持体９のステージ１１と対向する下面に、複数のイオン発生素子２が一列に配置される。複数のイオン発生素子２は、搬送ライン１０のステージ１１に載置された被除電対象物１２に対向して配置される。各イオン発生素子２は、電源３に対して並列に接続される。このように構成された除電装置８が搬送方向に沿って２つ並んで設けられる。
【００３７】
除電装置８から発生した正負イオンが次々に発生してくる正負イオンによって押し出され、この圧力と自重とにより下に向って流れる。被除電対象物１２に接触し、被除電対象物１２の除電と同時に、有機物を分解する。なお、支持体９の上方にファンを設け、強制的に正負イオンを吹流し、被除電対象物１２に接触させるようにしてもよい。
【００３８】
（除電効果試験）
上記のように構成されるイオン発生装置１を用いた除電装置８について以下のような試験を行った。
【００３９】
搬送ライン３によって、４６５ｍｍ×３６０ｍｍ、厚み０.７ｍｍのガラス基板１２を搬送する。イオン発生素子２とガラス基板１２との距離は、１０ｃｍとなるように調整を行った。また、搬送ライン１０は、一定の方向に、２０ｃｍ／分の速度で搬送を行った。このような除電装置８を２０ｃｍの間隔で、図２に示すように２台並べて取り付けた。
【００４０】
除電装置８は、８個のイオン発生素子が一列に並べられている。イオン発生素子２は、図１に表す構造で、誘電体５の材料としてアルミナ基板を用い、電極間のピークトゥーピーク（ｐｅａｋ  ｔｏ  ｐｅａｋ）電圧として３．７ｋＶの交流波形を印加した。発生しているイオンの量を空気イオンカウンタ（株式会社ダン科学：８３-１０１１B）を用い測定を行った結果、基板上付近で正負イオン共に、４００万個/cm３であった。また、本イオン発生素子２より発生したイオンを飛行時間型質量分析装置で分析した結果、正イオンが、Ｈ３Ｏ＋(Ｈ２Ｏ)ｍ、負イオンがＯ２−(Ｈ２Ｏ)ｎであった。
【００４１】
除電装置８を作動させる前の除電装置８下部通過時における基板帯電量は、−２.１ｋＶであった。一方、２台の除電装置８を作動させた後の基板帯電量は−０.６ｋＶとなり、帯電量が大きく低減した。したがって、除電装置８には除電効果があることが分かる。
【００４２】
（有機物除去効果試験）
また、フタル酸エステル（ＤＥＰ）の減少効果を確認するため次の試験を行った。図３に示すように、本イオン発生素子２を、載置台１３の上に置かれた体積約１６リッターのガラス製容器１４の側壁内面に取り付け、容器１４内部にＤＥＰを入れたガラス皿１５を設置した。また、発生したイオンが容器１４内を拡散するようにファン１６を設けた。本容器１４を恒温槽内に設置し、２５℃で２４時間放置後、吸引サンプリング口１７より内部の空気を吸引し、吸着剤ＴＥＡＮＸ ＴＡ（登録商標）を入れたガラス管に１Ｌ／分の流速で、１０分間空気を通過させて、吸着剤に揮発したＤＥＰを吸着させた。なお、ガラス製容器１４内部が陰圧にならないように、清浄空気を充填した袋を清浄空気導入口１８に接続した。吸着剤に吸着したＤＥＰの定量分析には、キュリーポイントヘッドスペースサンプラー（日本分析工業製ＪＨＳ-１００Ａ）を接続したガスクロマトグラフ質量分析装置（ＧＣ−ＭＳ装置）を使用した。ヘッドスペースサンプラー内のサンプル加熱部にＤＥＰを吸着させた吸着剤をセットし、３００℃に加熱し脱着させて、液体窒素で冷却した二次吸着管に捕集し、一般的な金属板の高周波加熱法により２０秒間加熱して脱着させて、ＧＣ−ＭＳ装置内に導入し、分析を行った。
【００４３】
本方法により測定の結果、イオン発生装置１を作動させない状態では、容器内のＤＥＰの濃度は３.２ｐｐｂであった。次に、イオン発生装置１を作動させた状態で、上記と同じ条件で２４時間放置した後、ＤＥＰの濃度を評価した。その結果、ＤＥＰの濃度は１.１ｐｐｂであった。
【００４４】
本結果より、正負イオンを発生させることにより、基板の除電ができ、更に有機物の除去が可能であることが、明らかである。
【００４５】
＜実施例２＞
本実施例における除電装置８は、複数のイオン発生素子２のうちの一部は正イオンを発生し、その他のイオン発生素子２は負イオンを発生することを特徴とするものであり、その他の基本的な構成は上記実施例１と同様である。このように、正イオンを発生する正イオン発生部と、負イオンを発生する負イオン発生部とを独立して設けることにより、イオン発生量を増加させることができる。
【００４６】
詳しくは、複数のイオン発生素子２を一列に並べた除電装置において、半数のイオン発生素子２には、正のバイアス電圧を印加した状態にして、さらに正の２０ｋＨｚの交流電圧を印加した。なお、交流波形のピークツーピーク電圧は３.７ｋＶとし、最も電圧の低いところが、＋０.１ｋＶとなるようにバイアス電圧を設定した。残りのイオン発生素子２には、負のバイアス電圧を印加した状態にして、さらに負の２０ｋＨｚの交流電圧を印加した。なお、交流波形のピークツーピーク電圧は３.７ｋＶとし、最も電圧の最も０に近いところが、−０.１ｋＶとなるようにバイアス電圧を設定した。なお、正に印加するイオン発生素子２と、負に印加するイオン発生素子２は、交互になるように配置した。
【００４７】
このように構成した除電装置８を実施例１と同じ搬送ライン３上に配置し、除電装置８のイオン濃度を、空気イオンカウンタ（株式会社ダン科学：８３-１０１１B）を用いて測定した結果、イオン発生素子２から１０ｃｍの位置にて測定した結果、正負イオン共に９００万個／ｃｍ３となった。
【００４８】
一方、比較例として、すべてのイオン発生素子２の電圧印加電極７に、０Ｖを中心に正負に変動するピークツーピーク電圧３.７ｋＶ、２０ｋＨｚの交流電圧を印加し、同様にイオン濃度を測定した結果、４００万個／ｃｍ３となった。
【００４９】
本結果より、イオン発生素子２に印加する電圧を、正負に変化する交流波形から、正又は負にバイアスした波形とし、交互に配置することにより、高濃度のイオンを発生させることができ、除電を効率良く行うことが可能であることが明らかとなった。
【００５０】
＜実施例３＞
本実施例３では、被除電対象物に対して、その帯電量、帯電極性を測定する表面電位センサを設ける。制御部４は、表面電位センサによる測定結果に基づいて、正イオン及び／又は負イオンの発生量を調整することを特徴とするものであり、その他の構成は実施例１と同じである。表面電位センサは、イオン発生素子２よりも搬送方向上流側で、被除電対象物１２に非接触に配置される。
【００５１】
制御部４は、表面電位センサにより被除電対象物１２が負に帯電していることが検知された場合は、全てのイオン発生素子２の電圧印加電極７を負にバイアスし駆動を行うことにより、正イオンのみを発生させ、表面電位センサにより被除電対象物１２が正に帯電していることが検知された場合は、全てのイオン発生素子２の電圧印加電極７を正にバイアスし駆動を行うことにより、負イオンのみを発生させるように制御する。なお、イオン発生素子２の駆動条件は、実施例２で正又は負にバイアスした条件と同じにした。また、前者の場合、負イオンに対する正イオンの発生量を増やし、後者の場合、正イオンに対する負イオンの発生量を増やすようにしてもよい。被除電対象物１２の帯電量に応じてイオン発生素子２に印加する電圧を制御してもよく、不要な電力消費を減らすことができる。
【００５２】
被除電対象物１２が負に帯電している場合について説明する。表面電位センサにより被除電対象物１２が負に帯電していることが検知されると、制御部４は、全てのイオン発生素子２の電圧印加電極７に負のバイアス電圧を印加した状態にする。このときの除電装置８のイオン濃度を、空気イオンカウンタ（株式会社ダン科学：８３-１０１１B）を用い、イオン発生素子２から１０ｃｍの位置にて測定した結果、正イオンが８００万個／ｃｍ３、負イオンが１００個／ｃｍ３以下となった。
【００５３】
次に、本除電装置８を用い、実施例１と同じ条件にて基板帯電量を評価した。除電装置８を作動させる前の除電装置８下部における基板帯電量は、−２.１ｋＶであったのに対し、除電装置８を作動させた後の基板帯電量は−０.２ｋＶとなり、帯電量が大きく低減した。
【００５４】
以上から、正負両イオンを等量発生させた実施例１では、除電装置８を作動させた場合の帯電量が−０.６ｋＶであったのに対し、正イオンのみを発生させた本実施例では、除電装置８を作動させた後の基板帯電量は−０.２ｋＶとなっており、負イオンの除電に適した正イオンをより多量に発生させることによる効果が大きいことが明らかとなった。
【００５５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で上記実施形態に多くの修正及び変更を加え得ることは勿論である。上記実施形態においては、電流として交流電源を用いたが、これに限らず、電池、バッテリ等の直流電源を使用してもよい。このような電源を使用することにより、除電装置８の携帯性がよくなる。直流電源を使用する場合、正の直流電源と負の直流電源とを設け、直流電源を交互に切り替えることにより、正負の電圧が交互に印加されるようにすればよい。
【００５６】
除電装置８のイオン発生素子２を複数列に並べてもよい。そして、正イオン発生部と負イオン発生部とを交互に各列に割り当ててもよい。
【００５７】
また、図２に示す除電装置８において、上流側および下流側の除電装置８のうち、一方を正イオン発生用、他方を負イオン発生用にして、被除電対象物の帯電極性に応じていずれか一方の除電装置８のみを作動させてもよい。
【００５８】
あるいは、一方を除電用とし、被除電対象物の帯電極性に応じて正負いずれかのイオンを発生させる。他方を有機物除去用とし、正負イオンを発生させるようにイオンの発生を制御してもよい。
【００５９】
また、上記実施形態においては、イオン発生装置に対して、被除電対象物を移動させたが、被除電対象物を静止させ、イオン発生装置を移動させることにより、イオンを被除電対象物に接触させ、除電及び有機物除去を行うようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】沿面放電方式によるイオン発生装置の構成図
【図２】本イオン発生装置を使用した除電装置の概略図
【図３】本発明による正負イオン発生素子による有機物除去効果を確認するための試験方法の説明図
【符号の説明】
【００６１】
１    イオン発生装置
２    イオン発生素子
３    電源
４    制御部
５    誘電体
６    イオン発生電極
７    電圧印加電極
８    除電装置
９    支持体
１０  搬送ライン
１１  ステージ
１２  被除電対象物（ガラス基板）
１３  載置台
１４  ガラス容器
１５  ガラス皿
１６  ファン
１７  吸引サンプリング口
１８  清浄空気導入口
Ａ    プラズマ領域
【図１】
2006114326.tif 000003
【図２】
2006114326.tif 000004
【図３】
2006114326.tif 000005