(57)【要約】【課題】  投射光学系として反射光学系を採用する投射型画像表示装置において、投射光学系内への塵や埃の侵入を防止する。【解決手段】  ＤＭＤ３から投射光学系６の凹面ミラー２５に向かう光路は、ＤＭＤ３を保持する画像形成素子保持板４６、下側光学保持部材９の第１筒状部４１、及びカバーガラス５３により囲まれた密閉空間５４となっている。【選択図】図７
2006285044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像形成素子と、
複数の曲面ミラーを有し、前記画像形成素子により形成された画像をスクリーンに拡大投射する投射光学系と
前記画像形成素子を保持する光学部品保持部材と、前記画像形成素子と前記曲面ミラー間の光路に配置され、かつ前記光学部品保持部材に保持された透明防塵カバーとを備え、少なくとも前記画像形成素子の画像形成面を密閉する密閉構造体と
を備えることを特徴とする、投射型画像表示装置。
【請求項２】
前記画像形成素子は反射型画像形成素子であることを特徴とする、請求項１に記載の投射型画像表示装置。
【請求項３】
前記投射型画像表示装置は、前記画像形成素子の前記画像形成面に照明光を照射する照明光学系をさらに備え、
前記画像形成素子と対向して配置され、かつ前記光学保持部材に保持された前記照明光学系の光学部品が、前記密閉構造体の一部を構成することを特徴とする、請求項２に記載の投射型画像表示装置。
【請求項４】
前記透明防塵カバーで反射された前記画像形成素子から前記投射光学系に投射されるべき投射光が、前記画像形成素子で再度反射されて前記投射光学系に入射しないように、前記透明防塵カバーが配置されていることを特徴とする、請求項２又は請求項３に記載の投射型画像表示装置。
【請求項５】
前記画像形成素子の前記画像形成面は、入力された画像信号に応じて回転軸周りの回転角度が互いに異なるオン状態とオフ状態のいずれかに設定され、前記オン状態では前記照明光を前記投射光学系から前記スクリーンに導かれる方向に前記投射光として反射し、前記オフ状態では前記照明光を前記スクリーンに導かれない方向に反射する複数個のマイクロミラーを長辺と短辺を備える矩形状に二次元配置してなり、
前記マイクロミラーの前記回転軸は前記画像形成面の長辺と平行であり、
前記投影光と前記オン状態の前記マイクロミラーで反射された前記照明光はいずれも上方に導かれ、かつ
前記画像形成素子の前記画像形成面の法線である基準線に対する前記透明防塵カバーの角度が、以下の式で規定される範囲にあることを特徴とする、請求項３又は請求項４に記載の投射型画像表示装置。
2006285044.tif 000026
【請求項６】
前記画像形成素子の前記画像形成面は、入力された画像信号に応じて回転角度が互いに異なるオン状態とオフ状態のいずれかに設定され、前記オン状態では前記照明光を前記投射光学系から前記スクリーンに導かれる方向に前記投射光として反射し、前記オフ状態では前記照明光を前記スクリーンに導かれない方向に反射する複数個のマイクロミラーを二次元配置してなり、かつ
前記画像形成素子の前記画像形成面の法線である基準線に対する前記透明防塵カバーの角度は、反時計回りを正とすると負であり、かつ以下の式で規定される範囲にあることを特徴とする、請求項３又は請求項４に記載の投射型画像表示装置。
2006285044.tif 000027
【請求項７】
前記画像形成素子の前記画像形成面は、入力された画像信号に応じて回転軸周りの回転角度が互いに異なるオン状態とオフ状態のいずれかに設定され、前記オン状態では前記照明光を前記投射光学系から前記スクリーンに導かれる方向に前記投射光として反射し、前記オフ状態では前記照明光を前記スクリーンに導かれない方向に反射する複数個のマイクロミラーを長辺と短辺を備える矩形状に二次元配置してなり、
前記マイクロミラーの前記回転軸は前記画像形成面の長辺と平行であり、
前記投影光と前記オン状態の前記マイクロミラーで反射された前記照明光はいずれも上方に導かれ、かつ
前記画像形成素子の前記画像形成面の法線である基準線に対する前記透明防塵カバーの角度は、反時計回りを正とすると負であり、かつ以下の式で規定される範囲にあることを特徴とする、請求項３又は請求項４に記載の投射型画像表示装置。
2006285044.tif 000028
【請求項８】
前記透明防塵カバーが収差補正機能を有する曲面形状を有することを特徴とする、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の投射型画像表示装置。
【請求項９】
前記密閉構造体により密閉される空間のクリーン度がクラス５０００より高くクラス１００より低いことを特徴とする、請求項１から請求項８いずれか１項に記載の投射型画像表示装置。
【請求項１０】
前記画像形成素子を保持し、かつ前記光学保持部材に形成された開口に着脱可能に取り付けられる画像形成素子保持体と、
前記画像形成素子保持体と前記開口の周縁との間に介装された弾性部材とを備えることを特徴とする、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の投射型画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）等の反射型画像形成素子や透過型液晶素子等の透過型画像形成素子により形成された画像を拡大投射する投射型画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
投射型画像表示装置において画像形成素子によって形成された画像を拡大投射する投射光学系は、主としてレンズ等の屈折型光学素子により構成された屈折光学系と、主としてミラー等の反射型光学素子により構成された反射光学系に大別される。一般に、反射光学系は色収差が存在しないため、より高精細な画像が得られるという特徴を有する。
【０００３】
画像形成素子に塵や埃が付着すると、拡大投射された画像中にこれらの像が投射される等の現象を生じ、画質低下の原因となる。投射光学系として屈折光学系を採用する投射型画像表示装置に関し、画像形成素子への塵や埃の付着を防止するための構造が特許文献１及び２に開示されている。まず、特許文献１には、光学ハウジングの開口部を視野レンズとトリミングフィルタで密閉すると共に、この光学ハウジングに投射光学系の鏡筒を装着し、画像形成素子が収容された光ハウジング内を密閉した投射型画像表示装置が開示されている。また、特許文献２には、光源を除く光学系全体（画像形成素子を含む。）を密閉空間内に配置した投射型画像表示装置が開示されている。
【０００４】
しかし、投射光学系として反射光学系を採用する投射型画像表示装置については、画像形成素子への塵や埃の付着を有効に防止する構造は提案されていない。その理由は、反射光学系では密閉構造の採用が困難であることによる。具体的には、反射光学系は高感度であり、製造時に曲面ミラー等の反射型光学素子の位置や角度の調整が必要である。この調整を可能とするには、反射型光学素子へのアクセスを確保する必要があるので、密閉構造の採用が困難である。また、反射光学系内の光路は複数の反射型光学素子間を折れ曲がって延びるので、光路の占める空間が大きい。この点でも密閉構造の採用が困難である。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１７４４０７号公報
【特許文献２】特開２００３−３３７３８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、投射光学系として反射光学系を採用する投射型画像表示装置において、画像形成素子への塵や埃の侵入を防止することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明は、画像形成素子と、複数の曲面ミラーを有し、前記画像形成素子により形成された画像をスクリーンに拡大投射する投射光学系と前記画像形成素子を保持する光学部品保持部材と、前記画像形成素子と前記曲面ミラー間の光路に配置され、かつ前記光学部品保持部材に保持された透明防塵カバーとを備え、少なくとも前記画像形成素子の画像形成面を密閉する密閉構造体とを備えることを特徴とする、投射型画像表示装置を提供する。
【０００８】
画像形成素子と投射光学系の全体を密閉するのではなく、画像形成素子と透明防塵カバーとで挟まれる空間を密閉するので、製造時等における位置や角度の調整のための投射光学系の曲面ミラーへのアクセスを確保しつつ、画質低下の原因となる画像形成素子周辺への塵や埃の侵入を防止できる。
【０００９】
画像形成素子は、ＤＭＤ、反射型液晶素子等の反射型画像形成素子であっても、透過型液晶素子等の透過型画像形成素子であってもよい。
【００１０】
画像形成素子が反射型画像形成素子であり、投射型画像表示装置が画像形成素子の画像形成面に照明光を照射する照明光学系をさらに備える場合、前記画像形成素子と対向して配置され、かつ前記光学保持部材に保持された前記照明光学系の光学部品が、前記密閉構造体の一部を構成することが好ましい。照明光学系の光学部品が密閉構造体の一部を構成することで、密閉構造体を含む投射型画像表示装置全体を小型化できる。
【００１１】
画像形成素子が反射型画像形成素子である場合、透明防塵カバーで反射された投射光がオフ状態のマイクロミラーで反射され、投射光学系へ入射して不要光となるのを防止する必要がある。すなわち、前記透明防塵カバーで反射された前記画像形成素子から前記投射光学系に投射されるべき投射光が、前記画像形成素子で再度反射されて前記投射光学系に入射しないように、前記透明防塵カバーが配置されていることが好ましい。
【００１２】
具体的には、前記画像形成素子の前記画像形成面は、入力された画像信号に応じて回転軸周りの回転角度が互いに異なるオン状態とオフ状態のいずれかに設定され、前記オン状態では前記照明光を前記投射光学系から前記スクリーンに導かれる方向に前記投射光として反射し、前記オフ状態では前記照明光を前記スクリーンに導かれない方向に反射する複数個のマイクロミラーを長辺と短辺を備える矩形状に二次元配置してなり、前記マイクロミラーの前記回転軸は前記画像形成面の長辺と平行であり、かつ前記投影光と前記オン状態の前記マイクロミラーで反射された前記照明光はいずれも上方に導かれる場合、前記画像形成素子の前記画像形成面の法線である基準線に対する前記透明防塵カバーの角度が、以下の式（１）で規定される範囲にあることが好ましい。
【００１３】
【数１】
2006285044.tif 000003
【００１４】
また、透明防塵カバーの角度が反時計回りを正とすると負である場合、以下の式（２）で規定される範囲に透明防塵カバーの角度を設定することが好ましい。
【００１５】
【数２】
2006285044.tif 000004
【００１６】
また、透明防塵カバーの角度が反時計回りを正とすると負である場合、以下の式（３）で規定される範囲に透明防塵カバーの角度を設定してもよい。
【００１７】
【数３】
2006285044.tif 000005
【００１８】
前記透明防塵カバーが収差補正機能を有する曲面形状を有することが好ましい。透明カ防塵カバーが収差補正機能を有することで、光学的性能な向上と画像形成素子の画像形成面への塵や埃の付着防止を同時に実現できる。
【００１９】
密閉構造体で密閉される空間のクリーン度は、クラス５０００より高くクラス１００より低いことが好ましい。ここでクリーン度は、Fed-Std-209D（米国連邦規格209D）に基づくもので、０．５μmを対象とした１ＣＦ（キュービックフィート：１立方フィート（約２８．３リットル）中のパーティクル数の上限値である。クラス５０００以下のクリーン度では、拡大投射された画像中に投射された塵や埃の像による画質の低下が著しい。一方、クラス１００以上のクリーン度を実現するには非常に高価な設備が必要になるが、クラス５０００を上回るクリーン度であればクラス１００未満であっても塵や埃に起因する実用上問題となるような画質の低下は生じない。
【００２０】
投射型画像表示装置は、前記画像形成素子を保持し、かつ前記光学保持部材に形成された開口に着脱可能に取り付けられる画像形成素子保持体と、前記画像形成素子保持体と前記開口の周縁との間に介装された弾性部材とを備える。画像形成素子保持体と開口の周縁との間に弾性部材を介装することで、ピント調整等の調整のために光学部品保持部材と画像形成素子保持体の間隔を調整しても、密閉空間内の気密性を維持できる。
【００２１】
本明細書の開示は、特許請求の範囲に記載の発明以外に、画像形成素子や照明光学系が取り付けられていない状態で投射型画像表示装置の投射光学系を調整可能とすることを目的とする発明を含む。この発明は、複数の曲面ミラーを有し、画像形成素子により形成された画像を拡大投射する投射型画像表示装置の投射光学系を調整する方法であって、透光性を有し、かつ調整用図形（チャート）が形成された調整用部材を前記画像形成素子が取り付けられる位置に配置し、前記調整用部材に光を照射し、調整用部材の透過光である前記調整用図形の画像を前記投射光学系で拡大投射し、前記投射光学系で拡大投射された前記調整用図形の画像に基づいて、前記投射光学系の前記複数の曲面ミラーのうちの少なくとも一つを平行移動及び／又は回転させることを特徴とする投射型画像表示装置の投射光学系の調整方法である。
【００２２】
前記発明によれば、画像形成素子や画像形成素子に照明光を照射する照明光学系が画像形成装置に取り付けられていない状態であっても、ピント調整、コマ収差調整、非点収差調整、歪曲収差調整、台形歪補正等のために投射光学系が備える曲面ミラーの位置や姿勢を調整できる。
【００２３】
具体的には、前記投射型画像表示装置は、前記投射光学系を保持し、かつ前記画像形成素子を保持した画像形成素子保持体が取り付けられる光学部品保持部材を備え、前記調整用部材は、前記画像形成素子保持体に代えて前記光学部品保持部材に着脱可能に取り付けられる調整用部材保持体に保持され、前記調整用保持体を前記光学部品保持部材に取り付けることにより、前記調整用部材を前記画像形成素子が取り付けられる位置に配置する。
【００２４】
さらに具体的には、前記投射光学系は前記画像形成素子側から順に凹面ミラー、凸面ミラー、第１の自由曲面ミラー、及び第２の自由曲面ミラーを備え、前記投射光学系で拡大投射された前記調整用図形の画像に基づいて、少なくとも前記凹面ミラー及び前記第２の自由曲面ミラーを平行移動及び／又は回転させる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の投射型画像表示装置では、画像形成素子と投射光学系の全体を密閉するのではなく、光学部品保持部材と画像形成素子と前記曲面ミラー間の光路に配置された透明防塵カバーを備える密閉構造により、画像形成素子の画像形成面を密閉する。従って、製造時の位置や角度の調整のための投射光学系の曲面ミラーへのアクセスを確保しつつ、画質低下の原因となる画像形成素子周辺への塵や埃の侵入を防止できる。
【００２６】
また、画像形成素子が反射型画像形成素子である場合には、密閉構造体の一部を構成する透明防塵カバーの角度を適切に設定することにより、透明防塵カバーで反射された投射光がオフ位置にある反射型画像形成素子のマイクロミラーで反射され、投射光学系へ入射するのを防止できる。
【００２７】
さらに、透明カ防塵カバーが収差補正機能を有することで、光学的性能な向上と画像形成素子の画像形成面への塵や埃の付着防止を同時に実現できる。
【００２８】
さらにまた、密閉構造体で密閉される空間のクリーン度をクラス５０００より高くクラス１００より低く設定することで、過度にクリーン度を高めることによるコスト上昇を回避しつつ、拡大投射された画像中に塵や埃の像が投射されるのを確実に防止できる。
【００２９】
画像形成素子保持体と開口の周縁との間に弾性部材を介装することで、ピント調整等の調整のために光学部品保持部材に対する画像形成素子保持体の位置を調整しても、密閉空間内の気密性を維持できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
図１は本発明の投射型画像表示装置の実施形態であるリアプロジェクションテレビ（リアプロＴＶ）１を示す。リアプロＴＶ１のケーシング２内には、反射型画像形成素子の一例であるデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）３、このＤＭＤ３に照明光を照射する照明光学系４、及びＤＭＤ３で反射された投射光、すなわち画像を拡大投射する投射光学系５が収容されている。また、ケーシング２の前面上方には、投射光学系５で拡大された画像が２枚の平面ミラー６Ａ，６Ｂを介して投射されるスクリーン７が配設されている。
【００３１】
図２を併せて参照すると、ケーシング２内の下部には、照明光学系４を収容した筐体８に加え、下側光学部品保持部材９と上側光学部保持部材１０が収容されている。後に詳述するように、これら下側及び上側光学部品保持部材９，１０により、ＤＭＤ３と投射光学系５の光学部品が保持されている。図３及び図４を併せて参照すると、下側光学部品保持部材９はその上部外側に一対の台座部４３ａ，４３ｂを備え、これらの台座部４３ａ，４３ｂ上に上側光学部品保持部材１０が載置されている。
【００３２】
（ＤＭＤ）
ＤＭＤ３は入射する光を反射する方向によって空間的に変調する画像形成素子である。図１２を参照すると、ＤＭＤ３は、多数の微小なマイクロミラー１１Ａ，１１Ｂを二次元配置してなるミラー面（画像形成面）１２を備え、個々のマイクロミラー１１Ａ，１１Ｂの反射角度は互いに独立して２方向に切り換え可能である。個々のマイクロミラー１１Ａ，１１Ｂがスクリーン７上に投射される画像の画素に対応している。反射角度が２方向のうちの一方に設定されたマイクロミラー１１Ａは、「オン」の状態にある。このオン状態のマイクロミラー１１Ａで反射された照明光学系４からの光束は、投射光学系５及び平面ミラー６Ａ，６Ｂを介してスクリーン７上に投射される。一方、反射角度が２方向のうちの他方に設定されたマイクロミラー１１Ｂは、「オフ」の状態にある。このオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射された照明光学系４からの光束は投射光学系５に入射せず、スクリーン７上の黒い点として表示される。図８において、符号Ｌ１はオン状態のミラー１１Ａにより反射された投射光を示し、符号Ｌ２はオフ状態のミラー１１Ｂにより反射された光束（オフ光）を示す。本実施形態のミラー面１２は長辺（図においてＺ方向に延びる。）と短辺（図１においてＹ方向に延びる）とを備える矩形状であり、マイクロミラー１１Ａ，１１Ｂの回転軸はミラー面１２の長辺に対して平行である。ＤＭＤ３に下方から入射する照明光は、オン光、オフ光ともに上方に反射される。
【００３３】
（照明光学系）
図５及び図６を参照すると、照明光学系４は、例えば超高圧水銀ランプからなる放電ランプ１５、放物面鏡１６、コンデンサーレンズ１７Ａ，１７Ｂ、カラーホイール１８、インテグレータロッド１９、リレーレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ、絞り２１、ミラー２２、及びエントランスレンズ２３を備える。なお、図５において太破線は、結像関係を示している。
【００３４】
放電ランプ１５から放射された光は放物面鏡１６により平行光に変換され、コンデンサーレンズ１７Ａ，１７Ｂによりインテグレータロッド１９の入射面に集光される。インテグレータロッド１９の入射面近傍に配置されたカラーホイール１８の円周上には、赤、青、緑の色光をそれぞれ透過するカラーフィルタ１８が配置され、カラーホイール１８が回転することで、インテグレータロッド１９への入射光は時分割で色分解される。インテグレータロッド１９は、直方体のガラスロッドであり、ロッド内面で入射光を全反射させて重ね合わせることで、射出面から均一な強度分布を持つ光束を出射する。インテグレータロッド１９は内面に反射面を有する中空ロッドでもよい。リレーレンズ２０Ａ〜２０Ｂ、絞り２１、ミラー２２、及びエントランスレンズ２３により、インテグレータロッド１９の射出面の像がＤＭＤ３上に形成される。これにより、ＤＭＤ３は均一な光強度で照明される。
【００３５】
リレーレンズ２０Ａ〜２０Ｃとエントランスレンズ２３の間に配置されたミラー２２は、照明光の光路を図１において手前側に向かう方向から右斜め上に折り曲げる機能を有する。そのため、図７に最も明瞭に表れているように、照明光学系４からの照明光は、ＤＭＤ３に対して斜め下側から照射される。
【００３６】
（投射光学系）
図１、図７、及び図８を参照すると、投射光学系５は４枚の曲面ミラー２５，２８，３０，３１、２枚の収差補正板２７，２９、及び１個の可変絞り機構２６を備える。詳細には、ＤＭＤ３側から順に、凹面ミラー２５、可変絞り機構２６、第１収差補正板２７、凸面ミラー２８、第２収差補正板２９、第１自由曲面ミラー３０、及び第２自由曲面ミラー３１が配置されている。凹面ミラー２５は球面で、凸面ミラー２８は回転対象非球面である。これら投射光学系５が備える光学部品のうち、凹面ミラー２５、可変絞り機構２６、第１収差補正板２７、及び凸面ミラー２８が下側光学保持部材９に保持され、第１及び第２自由曲面ミラー３０，３１が上側光学保持部材１０に保持されている。
【００３７】
凹面ミラー２５はＤＭＤ３と対向して配置され、凸面ミラー２８は凹面ミラー２５と対向してやや上方に配置されている。同様に、第１自由曲面ミラー３０は凸面ミラー２８と対向してやや上方に配置され、第２自由曲面ミラー３１も第１自由曲面ミラー３０と対向してやや上方に配置されている。従って、ＤＭＤ３からの光束は、凹面ミラー２５、凸面ミラー２８、第１自由曲面ミラー３０、及び第２自由曲面ミラー３１で反射されて折れ曲がりつつ上方に向かい、第１平面ミラー６Ａへ出射される。
【００３８】
次に、図３、図４、図７、及び図８を参照して、下側光学部品保持部材９及びこれに保持された光学部品について詳述する。下側光学部品保持部材９は、全体として水平方向に延びる第１及び第２筒状部４１，４２を備える。第２筒状部４２は第１筒状部４１と連続して形成されており、第１筒状部４１よりも図７において左側上方に位置している。第１筒状部４１は、頂壁４１ａ、底壁４１ｂ、互いに対向する一対の側壁４１ｃ、一方の端部（図７において左側）の下側部を閉じる下側端部壁４１ｄ、及び一方の端部の上側部を閉じる上側端部壁４１ｅを備え、他方の端部（図７において右側）に開口部４１ｆが形成されている。
【００３９】
第２筒状部４２は、頂壁４２ａ、底壁４２ｂ、互いに対向する一対の側壁４２ｃ、及び一方の端部（図７において右側）の上側部を閉じる端部壁４２ｄを備え、他方の端部（図７において左側）に開口部４２ｅが形成されている。また、第２筒状部４２の外側に前述の台座部４３ａ，４３ｂが設けられている。第２筒状部４２の底壁４２ｂは第１筒状部４１の内部に僅かに突出しており、その下側に第１筒状部４１の下側端部壁４１ｄがあり、上側に第１筒状部４１の上側端部壁４１ｅがある。一方、第１筒状部４１の頂壁４１ａは第２筒状部４２の端部壁４２ｄまで延びている。
【００４０】
図７及び図８において右側（図３及び図４において手前側）に位置する第１筒状部４１の開口部４１ｆは、ＤＭＤ３を保持した画像形成素子保持板４６により密閉状態で閉鎖されている。なお、図３及び図４では、ＤＭＤ３の図示を省略している。
【００４１】
第１筒状部４１に対する画像形成素子保持板４６の取り付け構造を説明する。第１筒状部４１の開口部４１ｆ近傍には左右２個ずつで合計４個のねじ止め部４７ａ，４７ｃ，４７ｄ，４７ｆと左右１個ずつで合計２個の位置決め穴４７ｂ，４７ｅが設けられ、個々のねじ止め部４７ａ，４７ｃ，４７ｄ，４７ｆには雌ねじ部４８が形成されている。また、開口部４１ｆの四隅に対応する４個のねじ止め部４７ａ，４７ｃ，４７ｄ，４７ｆの先端には、当たり面４９が形成されている。画像形成素子保持板４６には、ねじ止め部４７ａ，４７ｃ，４７ｄ，４７ｆの雌ねじ部４８と対応する位置に６個の貫通孔４６ａが形成されている。これらの貫通孔４６ａに挿通したねじ５１をねじ止め部４７ａ，４７ｃ，４７ｄ，４７ｆに螺合することで画像形成素子保持板４６が第１筒状部４１に対して固定されている。画像形成素子保持板４６の四隅付近が４個の当たり面４９に当接し、それによって画像形成素子保持板４６は第１筒状部４１に対して所定の位置及び姿勢で保持される。
【００４２】
図３及び図９に示すように、画像形成素子保持板４６と開口部４１ｆの周縁との間には、矩形枠状の弾性部材５２が圧縮状態で介装されている。この弾性部材５２は画像形成素子保持板４６によって開口部４１ｆを気密状態で閉鎖する機能を有する。弾性部材５２の厚みは、画像形成素子保持板４６を取り付ける前、すなわち非圧縮状態では、図１０において符号αで示すように当たり面４９よりも弾性部材５２が突出するように設定している。ピント調整のために４つの当たり面４９に同一厚みのシムを配置し、投射光学系５に対するＤＭＤ３の距離を調整する場合がある。このような調整を行った場合でも、弾性部材５２の厚みを前述のように設定しておけば弾性部材５２が確実に画像形成素子保持板４６に当接し、開口部４１ｆが気密状態で閉鎖される。
【００４３】
図７及び図８において左側（図３及び図４において奥側）に位置する第１筒状部４１の下側端部壁４１ｄにも、開口部４１ｇが形成されている。この開口部の周縁に形成されたレンズ保持部４１ｈには、照明光学系４のエントランスレンズ２３が取り付けられている。下側端部壁４１ｄの開口部４１ｇはエントランスレンズ２３によって密閉状態で閉鎖されている。
【００４４】
また、図７及び図８において左側（図３及び図４において奥側）に位置する第１筒状部４１の上端部壁４１ｅには、第１筒状部４１の内部と第２筒状部４２の内部を連通させる開口部４１ｉが形成されている。ＤＭＤ３から投射光学系５の最初の光学部品である凹面ミラー２５に到る光路は、この開口部４１ｉを通る。この開口部４１ｉの周縁に形成されたカバー保持部４１ｊには、平坦な板ガラスからなるカバーガラス（透明防塵カバー）５３が取り付けられている。このカバーガラス５３によって上側端部壁４１ｅの開口部４１ｈが閉鎖されている。後に詳述するように、カバーガラス５３で反射された投射光がオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射され、投射光学系５へ入射するのを防止するために、カバーガラス５３の角度θｘを所定範囲に設定する必要がある。
【００４５】
以上の構造の第１筒状部４１の内部は、第１筒状部４１自体の頂壁４１ａ、底壁４１ｂ、側壁４１ｃ、下側端部壁４１ｄ、及び上側端部壁４１ｅに加え、画像形成素子保持板４６、弾性部材５２、照明光学系４のエントランスレンズ２３、並びにカバーガラス５３によって囲まれた密閉空間５４となっている。換言すれば、ＤＭＤ３のミラー面１２、照明光学系４からミラー面１２に入射する光路の最後の部分、及びＤＭＤ３から投射光学系５の最初の光学部品である凹面ミラー２５に向かう光路の最初の部分が密閉空間５４の内部にある。このようにＤＭＤ３の周辺を密閉空間５４とすることで、画質低下の原因となるＤＭＤ３周辺への塵や埃の侵入を防止できる。
【００４６】
カバーガラス５３の両面あるいはいずれか一方の面に収差補正機能を有する曲面を持たせてもよい。このようなカバーガラスは、ガラス成形、プラスチックの射出成型、あるいは平面ガラス基板の上にＵＶ硬化樹脂を複合成形することで得られる。カバーガラス５３の位置は光束が比較的収束しているため、熱の観点からガラス成形、ガラス基板上へのＵＶ硬化樹脂の複合成形が好ましい。カバーガラス５３に収差補正機能をもたせることで、光学的性能の高性能化とＤＭＤ３への塵、埃の付着を防止を同時に実現できる。
【００４７】
この密閉空間５４のクリーン度はクラス５０００より高くクラス１００より低い範囲で設定することが好ましい。ここでクリーン度は、Fed-Std-209D（米国連邦規格209D）に基づくもので、０．５μmを対象とした１ＣＦ（キュービックフィート：１立方フィート（約２８．３リットル）中のパーティクル数の上限値である。密閉空間５４のクリーン度がクラス５０００以下であると、拡大投射された画像中に投射される塵や埃の像により画質が著しく低下する。一方、密閉空間５４のクリーン度をクラス１００以上とするには非常に高価な設備が必要になるが、クラス５０００を上回るクリーン度であればクラス１００未満であっても塵や埃に起因する実用上問題となるような画質の低下は生じない。
【００４８】
第２筒状部４２の開口部４２ｅには凹面ミラー２５が取り付けられている（図２を併せて参照）。また、第２筒状部４２の内部には可変絞り機構２６が配設されている。第２筒状部４２の端部壁４２ｄにも開口部４２ｆが形成され、この開口部４２ｆの周縁に形成された保持部４２ｇに第１収差補正板２７が取り付けられている。また、保持部４２ｇよりも外側に形成されたミラー保持部４２ｈに凸面ミラー２８が取り付けられている。さらに、第２筒状部４２の外側上方に形成された保持部４２ｉに、第２収差補正板２９が取り付けられている。さらにまた、前述のように上側光学部品部材１０には、第１及び第２自由曲面ミラー３０，３１が取り付けられている。このように投射光学系５を構成する４枚の曲面ミラー２５，２８，３０，３１と２枚の収差補正板２７，２９は、いずれも密閉空間５４の外側に配置されている。従って、製造等の際に曲面ミラー２５，２８，３０，３１に容易にアクセスして、位置や角度の調整を実行できる。なお、投射光学系５のミラー調整については後に詳述する。
【００４９】
（カバーガラスの角度）
次に、図１１及び図１２を参照して、ＤＭＤ１２のミラー面１２の法線である基準線ｂに対するカバーガラス５３の角度θｘの設定について説明する。なお、本明細書では、図１３に示すように基準線ｂに対する光線及び反射面の角度の符号を定義する。まず、矢印Ａ１で示すように光線が進む向き又は反射面から法線が延びる向きが基準に対して反時計回りである場合、その角度θの符号を正とする。逆に、矢印Ａ２で示すように光線が進む向き又は反射面から法線が延びる向きが基準に対して時計回りである場合、その角度θの符号を負とする。
【００５０】
まず、種々の光の角度の定義を説明する。投射光の主光線ＰＰの基準線ｂに対する角度をθＰとする。また、紙面内方向における投射光のＦＮｏ（エフナンバー）に対する上側及び下側への投射光の拡がりの角度をθｆｙとする。さらに、投射光の拡がりの最も上側の光線（上側光線）ＰＵ及び最も下側の光線（下側光線）ＰＬの基準線ｂに対する角度を、それぞれθＵ及びθＬとする。次に、投射光の主光線ＰＰ、上側光線ＰＵ、及び下側光線ＰＬがカバーガラス５３で反射された反射光ＲＰ，ＲＵ、及びＲＬの基準線ｂに対する角度をそれぞれθｒＰ、θｒＵ、及びθｒＬとする。さらに、投射光の反射光ＲＰ，ＲＵ、及びＲＬがオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射された反射光ＧＰ、ＧＵ、及びＧＬの基準線ｂに対する角度をそれぞれθＧＰ、θＧＵ、及びθＧＬとする。さらにまた、オン状態のマイクロミラー１１Ａ及びオフ状態のマイクロミラー１１Ｂの基準線ｂに対する角度をそれぞれθｄＯＮ及びθｄＯＦＦとする。なお、図１１において符号ＩＰ、ＩＵ、ＩＬは、それぞれＤＭＤ３への入射光（照明光）の主光線、上側光線、及び下側光線を示す。
【００５１】
投射光の拡がりの角度θｆｙとＦＮｏには以下の式（４）の関係がある。
【００５２】
【数４】
2006285044.tif 000006
【００５３】
幾何学的関係より、上側光線ＰＵ及び下側光線ＰＬの角度θＵ，θＬは、主光線ＰＰの角度θＰと投射光の拡がりの角度θｆｙによって以下の式（５），（６）に示すように表される。
【００５４】
【数５】
2006285044.tif 000007
【００５５】
また、幾何学的関係及び式（５），（６）より、カバーガラス５３による上側光線ＰＵ及び下側光線ＰＬの反射光ＲＵ、ＲＬの角度θｒＵ、θｒＬは、カバーガラス５３の角度θｘ、主光線ＰＰの角度θＰ、及び投射光の拡がりの角度θｆｙによって以下の式（７），（８）に示すように表される。
【００５６】
【数６】
2006285044.tif 000008
【００５７】
さらに、幾何学的関係及び式（７），（８）より、投射光の反射光ＲＵ、ＲＬがオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射された反射光ＧＵ、ＧＬの角度θＧＵ、θＧＬは、オン状態及びオフ状態のマイクロミラー１１Ａ、１１Ｂの角度θｄＯＮ、θｄＯＦＦ、カバーガラス５３の角度θｘ、主光線ＰＰの角度θＰ、及び投射光の拡がりの角度θｆｙによって以下の式（７），（８）に示すように表される。
【００５８】
【数７】
2006285044.tif 000009
【００５９】
カバーガラス５３で反射された投射光がオフ状態のマイクロミラー１２で反射されて投射光学系５に入射すると、スクリーン７に写る不要光となりコントラストの低下等の画質低下の原因となる。照明光は下方側からＤＭＤ３に照射されているので、下側光線ＰＬのカバーガラス５３による反射光ＲＬがオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射された光線、すなわち反射光ＧＬが最も投射光学系５に入射しやすい。反射光ＧＬが投射光学系５に入射しない条件としては、反射光ＧＬの角度θＧＬが上側光線ＰＵの角度θＵよりも小さい必要がある。従って、反射光ＧＬの投射光学系５への入射を防止するには、以下の式（１１）の関係が設立する必要がある。
【００６０】
【数８】
2006285044.tif 000010
【００６１】
式（１１）の左辺に式（１０）を代入し、かつ右辺に式（５）を代入すると、以下の式（１２）が得られる。この式（１２）は、カバーガラス５３の角度θｘの下限を規定している。
【００６２】
【数９】
2006285044.tif 000011
【００６３】
カバーガラス５３の角度θｘ（符号は正）の値が大きい場合、すなわちカバーガラス５３の図１１及び図１２において上端側が下端側よりもＤＭＤ３へ大幅に近接している場合、ＤＭＤ３からの投射光はカバーガラス５３に対して斜めに入射するので、カバーガラス５３の表面反射による投射光の損失が大きい。この表面反射により損失を十分に低減するには、投射光のカバーガラス５３に対する入射角度が６０°未満であることが好ましい。照明光は下方側からＤＭＤ３に照射されており主光線ＰＰの角度θＰの符号は負であるので、投射光のうちカバーガラス５３に対する入射角度が最も大きいのは上側光線ＰＵである。従って、投射光のカバーガラス５３に対する入射角度が６０°未満であるという条件は、以下の式（１３）で表される。
【００６４】
【数１０】
2006285044.tif 000012
【００６５】
式（１３）の左辺第２項に式（５）を代入すると、以下の式（１４）が得られる。この式（１４）はカバーガラス５３の角度θｘの上限を規定する。
【００６６】
【数１１】
2006285044.tif 000013
【００６７】
式（１２）及び式（１４）より、カバーガラス５３の角度θｘは以下の式（１５）で規定される範囲に設定することが好ましい。角度θｘをこの範囲に設定することにより、カバーガラス５３で反射されたオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射されて投射光学系５に入射するのを防止し、かつカバーガラス５３の表面反射により損失も十分に低減できる。
【００６８】
【数１２】
2006285044.tif 000014
【００６９】
以下に示す表１は、オフ状態のマイクロミラー１１Ｂの角度θdOFF、投射光の拡がりの角度θｆｙ、上側光線ＰＰの角度θＰの具体的数値の組み合わせに対応する式（１５）の左辺及び式（１５）の右辺の値を示す。一般にオフ状態のマイクロミラー１１Ｂの角度θdOFFは−１０°〜−１４°程度であり、角度θdOFFが決まると、他の２種類の角度θｆｙ、θＰがとり得る値もある程度の範囲に限定される。表１に示す７種類の角度θdOFF、θｆｙ、及びθＰの組み合わせは、このように決まる値の組み合わせの例である。表１から明らかなように、角度θdOFF、θｆｙ、及びθＰのいずれの組み合わせであっても式（１５）の左辺の値はゼロに近い負の値（−１〜−６°）である。従って、式（１５）の条件を満たすカバーガラス５３の角度θｘは概ね正（θｘ＞０）であり、カバーガラス５３は図において下端が上端よりもＤＭＤ３に近接する姿勢となる。特にθｄＯＦＦ＝−θｆｙである場合、式（１５）から明らかなようにθｘ＞０となる。
【００７０】
【表１】
2006285044.tif 000015
【００７１】
一方、カバーガラス５３の角度θｘが負（θｘ＜０）であっても、ＤＭＤ３のミラー面１２からカバーガラス５３の上端までの距離Ｘ（図１１参照）が十分大きい場合、すなわちカバーガラス５３に対してＤＭＤ３が十分離れて配置されている場合には、オフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射された光線が投射光学系５に入射しない条件が存在する。以下、この条件について説明する。
【００７２】
距離Ｘが十分大きい場合、ＤＭＤ３の上端から出射された上側光線ＰＵのカバーガラス５３による反射光ＲＵがさらにオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射された光線（反射光ＧＵ）が最も投射光学系５に入射しやすい。この反射光ＧＵが投射光学系５に入射しない条件としては、反射光ＧＵの角度θＧＵが投射光の下側光線ＰＬの角度θＬよりも大きい必要がある。従って、反射光ＧＵの投射光学系５への入射を防止するには、以下の式（１６）の関係が成立する必要がある。
【００７３】
【数１３】
2006285044.tif 000016
【００７４】
式（１６）の左辺に式（９）右辺に式（６）を代入すると、以下の式（１７）の関係が得られる。この式（１７）はθｘが負である場合にオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射された光線が投射光学系５に入射しない条件を規定する。
【００７５】
【数１４】
2006285044.tif 000017
【００７６】
前述のようにオフ状態のマイクロミラー１１Ｂの角度θdOFFは−１０°〜−１４°程度であり、角度θdOFFが決まると角度θｆｙがとり得る値もある程度の範囲に限定される。表２は、このように決まる角度θdOFFとθｆｙの組み合わせと、それに対応する式（１７）の左辺の値を示す。角度θdOFFとθｆｙが表２に示す値である場合、カバーガラス５３の角度θｘは−１５〜−２０°程度未満となる。
【００７７】
【表２】
2006285044.tif 000018
【００７８】
式（１７）の条件を満たさない場合でも、ＤＭＤ３の上端から出射された上側光線ＰＵのカバーガラス５３による反射光ＲＵがＤＭＤ３のミラー面１２に照射されなければよい。換言すれば、ＤＭＤ３の上端から出射された上側光線ＰＵのカバーガラス５３による反射光ＲＵがＤＭＤ３のミラー面１２を含む仮想の平面に照射される位置（ＤＭＤ３のミラー面１２の上端からの距離Ｙ）が、ＤＭＤ３のミラー面１２の高さＨよりも大きければよい。この条件は以下の式（１８）で表される。
【００７９】
【数１５】
2006285044.tif 000019
【００８０】
幾何学的関係より、距離Ｙは以下の式（１９）で表される。
【００８１】
【数１６】
2006285044.tif 000020
【００８２】
式（１９）に式（５）、（９）を代入すると、以下の式（２０）が得られる。
【００８３】
【数１７】
2006285044.tif 000021
【００８４】
式（２０）を式（１８）に代入すると、以下の式（２１）が得られる。この式（２１）を満たすように、カバーガラス５３の角度θｘ及びＤＭＤ３のミラー面１２からカバーガラス５３までの距離Ｘを設定した場合も、カバーガラス５３で反射された投射光がオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射されて投射光学系５に入射するのを防止できる。
【００８５】
【数１８】
2006285044.tif 000022
【００８６】
一方、式（１９）を式（１８）に代入すると、以下の式（２２）が得られる。
【００８７】
【数１９】
2006285044.tif 000023
【００８８】
式（２２）に式（７）を代入すると以下の式（２３）が得られる。
【００８９】
【数２０】
2006285044.tif 000024
【００９０】
この式（２３）を満たすように、カバーガラス５３の角度θｘを設定した場合も、カバーガラス５３で反射された投射光がオフ状態のマイクロミラー１１Ｂで反射されて投射光学系５に入射するのを防止できる。
【００９１】
以下の表３は、ＤＭＤ３のミラー面１２の高さＨ、ＤＭＤ３のミラー面１２からカバーガラス５３の上端までの距離Ｘ、投影光の拡がりの角度θｆｙ、及び投影光の主光線ＰＰの角度θＰの具体的数値の組み合わせに対応する式（２３）の右辺の値を示す。
【００９２】
【表３】
2006285044.tif 000025
【００９３】
（ミラー調整）
次に、製造時等の画像形成素子保持板４６を第１筒状部４１に取り付ける前の状態での投射光学系５のミラー調整について説明する。
【００９４】
図１４に示すミラー調整に使用されるチャート保持部材６１は、画像形成素子保持板４６に代えて下側光学部品保持部材９の第１筒状部４１の開口部４１ｆに着脱自在に取り付け可能である。また、チャート保持部材６１には貫通孔６１ａが形成されており、この貫通孔６１ａを塞ぐように透明板６２が取り付けられている。貫通孔６１ａは画像形成素子保持板４６に保持されたＤＭＤ３と対応する位置に形成されている。詳細には、チャート保持部材６１を第１筒状部４１に取り付けると、貫通孔６１ａは画像形成素子保持板４６を第１筒状部４１に取り付けた際にＤＭＤ３が配置される箇所に位置する。透明板６２には、例えば図１５に示すような調整用の図形ないしはパターンであるチャート６３が形成されている。
【００９５】
ミラー調整時には、まずチャート保持部材６１を第１筒状部４１に取り付けて開口部４１ｆを塞ぐ。この際、透明板６２はリアプロＴＶ１の完成時にはＤＭＤ３が配置される箇所に位置している。次に、ミラー調整用の光源６４から透明板６２に光を照射する。透明板６２を透過した光はチャート６３に対応する画像を形成し、この画像は投射光学系５及び平面ミラー６Ａ，６Ｂを経てスクリーン７に投射される。スクリーン７に投射されたチャート６３の画像を参照しつつ投射光学系５が備える曲面ミラーの位置や角度を調整することで、ＤＭＤ３や照明光学系４をリアプロＴＶ１に取り付ける前の状態であっても、収差調整や歪の補正ができる。
【００９６】
投射光学系５が備える４枚の曲面ミラー、すなわち凹面ミラー２５、凸面ミラー２８、第１自由曲面ミラー３０、及び第２自由曲面ミラー３１のうち、凹面ミラー２５、第１自由曲面ミラー３０、及び第２自由曲面ミラー３１が調整の対象となる。
【００９７】
リアプロＴＶ１の厚さ方向をＸ軸、高さ方向をＹ軸、横方向をＺ軸とすると（図１参照）、個々の曲面ミラー毎の調整項目は以下の通りである。まず、凹面ミラー２５の調整には、主としてピント調整のためのＸ軸方向の平行移動、コマ収差調整のためのＹ軸周りの回転、及び非点収差調整のためのＺ軸周りの回転がある。次に、第１自由曲面ミラー３０の調整には、非点収差調整及び歪曲収差調整のためのＹ軸方向の平行移動、Ｙ軸周りの回転、及びＺ軸周りの回転に加え、任意の調整項目として倍率調整のためのＸ軸方向の平行移動がある。さらに、第２自由曲面ミラー３１の調整には、キーストーン（台形歪）補正のためのＹ軸周りの回転及びＺ軸周りの回転に加え、任意の調整項目として平行四辺形的歪の補正のためのＸ軸周りの回転がある。
【００９８】
図１６を参照して調整手順を説明する。まず、凹面ミラー２５をＸ軸方向に平行移動させてピント調整を行う（ステップＳ１）。次に、第２自由曲面ミラー３１をＹ軸及びＺ軸周りに回転させて台形歪の補正を行う（ステップＳ２）。続いて、凹面ミラー２５をＺ軸周りに回転させて非点収差調整を行う（ステップＳ３）。さらに、凹面ミラー２５をＹ軸周りに回転させてコマ収差調整を行う（ステップＳ４）。以上のピント調整、台形歪補正、非点収差調整、及びコマ収差調整（ステップＳ１〜Ｓ４）は必須項目である。
【００９９】
スクリーン７に投射されたチャート６３の画像を参照して必要があれば、ステップＳ５〜Ｓ７の調整を行う。まず、第１自由曲面ミラー３０をＹ軸方向に平行移動させて、非点収差（画面上下の片ボケ）を調整する（ステップＳ５）。次に、第１自由曲面ミラー３０をＺ軸周りに回転させて非点収差（画面下）の調整を行う（ステップＳ６）。続いて、第１自由曲面ミラー３０をＹ軸周りに回転させて、非点収差（画面左右の片ボケ）の調整を行う。
【０１００】
収差や歪が所望のレベルに低減されるまで、ステップＳ１〜Ｓ７の調整が繰り返される。また、以下のステップＳ８，Ｓ９の調整をさらに行うことが好ましい。ステップＳ８では、第２自由曲面ミラー３１をＸ軸周りに回転させ、平行四辺形歪の補正を行う。また、ステップＳ９では、第１自由曲面ミラー３０をＸ軸方向に平行移動させて倍率調整を行う。
【０１０１】
チャート保持部材６１を第１筒状部４１に取り付けた場合も、第１筒状部４１の内部は密閉空間となる。しかし、調整の対象となる凹面ミラー２５、第１自由曲面ミラー３０、及び第２自由曲面ミラー３１はいずれも密閉空間の外部に配置されているので、これらの曲面ミラーにアクセスして平行移動や回転させることは容易である。前記調整方法は、少なくとも４枚の曲面ミラーを含み、画像形成素子側から順に凹面、凸面が配置されている投射光学系に適用でき、ミラー面が、球面、非球面、又は自由曲面のいずれであってもよい。
【０１０２】
本発明は前記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、画像形成素子は、ＤＭＤのような反射型画像形成素子に限定されず、液晶素子等の透過型画像形成素子であってもよい。また、背面投射型画像表示装置であるリアプロジェクションテレビを例に本発明を説明したが、本発明はスクリーンの前方から画像を投射する前面投射型画像表示装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明の実施形態に係るリアプロジェクションテレビを示す模式図。
【図２】照明光学系及び投射光学系の外観の斜視図。
【図３】下側光学部品保持部材の斜視図。
【図４】下側光学部品保持部材の分解斜視図。
【図５】照明光学系の構成図。
【図６】図２のVI−VI線での断面図。
【図７】図２のVII−VII線での断面図。
【図８】図７の部分拡大図。
【図９】画像形成素子保持板の取付構造の部分平面図。
【図１０】画像形成素子保持板の取付構造の分解部分平面図。
【図１１】ＤＭＤ周辺の光路を示す模式図。
【図１２】マイクロミラーの姿勢と光路を示す模式図。
【図１３】光線及び光学素子の角度の符号の定義を説明するための図。
【図１４】チャート保持部材と下側光学部品保持部材を示す分解斜視図。
【図１５】チャートの一例を示す正面図。
【図１６】ミラー調整の手順を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
【０１０４】
１  リアプロジェクションテレビ
２  ケーシング
３  デジタルミラーデバイス素子
４  照明光学系
５  投射光学系
６Ａ，６Ｂ  平面ミラー
７  スクリーン
８  筐体
９  下側光学部品保持部材
１０  上側光学部品保持部材
１１Ａ，１１Ｂ  マイクロミラー
１２  ミラー面
１５  放電ランプ
１６  放物面鏡
１７Ａ，１７Ｂ  コンデンサーレンズ
１８  カラーホイール
１９  インテグレータロッド
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ  リレーレンズ
２１  絞り
２２  ミラー
２３  エントランスレンズ
２５  凹面ミラー
２６  可変絞り機構
２７  第１収差補正板
２８  凸面ミラー
２９  第２収差補正板
３０  第１自由曲面ミラー
３１  第２自由曲面ミラー
４１  第１筒状部
４１ａ  頂壁
４１ｂ  底壁
４１ｃ  側壁
４１ｄ  下側端部壁
４１ｅ  上側端部壁
４１ｆ，４１ｇ，４１ｉ  開口部
４１ｈ  レンズ保持部
４１ｊ  カバー保持部
４２  第２筒状部
４２ａ  頂壁
４２ｂ  底壁
４２ｃ  側壁
４２ｄ  端部壁
４２ｅ，４２ｆ  開口部
４２ｇ  保持部
４３ａ，４３ｂ  台座部
４６  素子保持板
４７ａ〜４７ｆ  ねじ止め部
４８  雌ねじ部
４９  当たり面
５１  ねじ
５２  弾性部材
５３  カバーガラス
５４  密閉空間
６１  チャート保持部材
６１ａ  貫通孔
６２  透明板
６３  チャート
【図１】
2006285044.tif 000029
【図２】
2006285044.tif 000030
【図３】
2006285044.tif 000031
【図４】
2006285044.tif 000032
【図５】
2006285044.tif 000033
【図６】
2006285044.tif 000034
【図７】
2006285044.tif 000035
【図８】
2006285044.tif 000036
【図９】
2006285044.tif 000037
【図１０】
2006285044.tif 000038
【図１１】
2006285044.tif 000039
【図１２】
2006285044.tif 000040
【図１３】
2006285044.tif 000041
【図１４】
2006285044.tif 000042
【図１５】
2006285044.tif 000043
【図１６】
2006285044.tif 000044