(57)【要約】【課題】  天秤構造のヘッド支持機構において、組み付けした後に荷重調整を容易に行なうことができるヘッド支持機構の荷重調整方法及び装置を提供する。【解決手段】  荷重支持点と、ヘッドスライダを支持するための先端部を具備しており荷重支持点を支点として先端部を上下動可能な支持アームと、荷重支持点が押し当たる金属板部材と、一端が支持アームに取り付けられた荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を調整する方法であって、支持アーム、荷重支持点、金属板部材及びばね部材を互いに組み付けた後、金属板部材の荷重支持点が押し当たる部分より金属板部材の固定部に近い部分を局部的に加熱することにより、金属板部材の押し当たる部分を荷重支持点から後退させることによって荷重調整を行なう。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷重支持点と、ヘッドスライダを支持するための先端部を具備しており前記荷重支持点を支点として前記先端部を上下動可能な支持アームと、前記荷重支持点が押し当たる金属板部材と、一端が前記支持アームに取り付けられた荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を調整する方法であって、前記支持アーム、前記荷重支持点、前記金属板部材及び前記ばね部材を互いに組み付けた後、前記金属板部材の前記荷重支持点が押し当たる部分より該金属板部材の固定部に近い部分を局部的に加熱することにより、前記金属板部材の前記押し当たる部分を前記荷重支持点から後退させることによって荷重調整を行なうことを特徴とするヘッド支持機構の荷重調整方法。
【請求項２】
前記組み付け時の荷重値を所望の荷重値より高くしておくことを特徴とする請求項１に記載の荷重調整方法。
【請求項３】
前記加熱を、レーザビームの照射によって行なうことを特徴とする請求項１又は２に記載の荷重調整方法。
【請求項４】
前記レーザビームを、前記金属板部材の前記荷重支持点が押し当たる面とは反対側の面に照射することを特徴とする請求項３に記載の荷重調整方法。
【請求項５】
前記金属板部材が前記支持アームとは別個の板部材であり、前記荷重支持点が前記支持アームに形成された複数の突起であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の荷重調整方法。
【請求項６】
前記金属板部材が前記支持アームの一部を構成する板部材であり、前記荷重支持点が前記支持アームとは別個の部材に形成された複数の突起であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の荷重調整方法。
【請求項７】
荷重支持点と、ヘッドスライダを支持するための先端部を具備しており前記荷重支持点を支点として前記先端部を上下動可能な支持アームと、前記荷重支持点が押し当たる金属板部材と、一端が前記支持アームに取り付けられた荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を調整する装置であって、荷重値が所望の荷重値より高くなるように互いに組み付けられた前記支持アーム、前記荷重支持点、前記金属板部材及び前記ばね部材の前記金属板部材の前記荷重支持点が押し当たる部分より該金属板部材の固定部に近い部分を局部的に加熱し、前記金属板部材の前記押し当たる部分を前記荷重支持点から後退させる加熱手段を備えたことを特徴とするヘッド支持機構の荷重調整装置。
【請求項８】
前記加熱手段が、レーザビームの照射手段であることを特徴とする請求項７に記載の荷重調整装置。
【請求項９】
前記レーザビームの照射手段が、レーザビームを前記金属板部材の前記荷重支持点が押し当たる面とは反対側の面に照射する手段であることを特徴とする請求項８に記載の荷重調整装置。
【請求項１０】
前記金属板部材が前記支持アームとは別個の板部材であり、前記荷重支持点が前記支持アームに形成された複数の突起であることを特徴とする請求項７から９のいずれか１項に記載の荷重調整装置。
【請求項１１】
前記金属板部材が前記支持アームの一部を構成する板部材であり、前記荷重支持点が前記支持アームとは別個の部材に形成された複数の突起であることを特徴とする請求項７から９のいずれか１項に記載の荷重調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッドや光ヘッドなどの記録及び／又は再生ヘッド素子を備えた浮上型ヘッドスライダを支持するための天秤構造ヘッド支持機構の荷重を調整する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクドライブ装置では、サスペンション等のヘッド支持機構の先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われる。
【０００３】
一般的な磁気ヘッドアセンブリは、磁気ヘッドスライダと、この磁気ヘッドスライダを支持する弾性を有するフレクシャ、このフレクシャを先端部で支持する弾性を有するロードビーム及びこのロードビームの後端部を支持するベースプレートからなるサスペンションと、このサスペンションを支持する剛性の高い支持アームとを主に備えており、磁気ヘッドスライダの磁気ディスク面方向への荷重はサスペンションのロードビームの途中に設けられた荷重曲げ部で発生している。
【０００４】
なお、本明細書において磁気ヘッドアセンブリとは、磁気ヘッド素子を備えた磁気ヘッドスライダとそのヘッド支持機構とを機械的、電気的に組み立てたアセンブリを称している。具体的には、磁気ヘッドスライダとサスペンションとのアセンブリの場合にはヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）と称し、磁気ヘッドスライダとこれを支持するサスペンション及び支持アームのアセンブリの場合にはヘッドアームアセンブリ（ＨＡＡ）と称し、ＨＡＡが複数積み重ねられる場合にはヘッドスタックアセンブリ（ＨＳＡ）と称している。
【０００５】
従来の一般的な磁気ヘッドアセンブリにおいて、磁気ヘッドスライダに印加される荷重を調整するには、サスペンションのみの状態で荷重を測定し、その測定値が適切でない場合にはサスペンションの荷重曲げ部にレーザ光を照射し、その剛性を変えて荷重を変化させている（例えば特許文献１）。
【０００６】
このような従来の一般的な磁気ヘッドアセンブリは、その後端部でサスペンションを支持する片持ち梁構造を有しているため、耐衝撃性が非常に低いという問題点を有しており、これを改善するために、剛性の高いアーム部材の一端に磁気ヘッドスライダを設けると共に他端に水平回動用のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）のコイル部を設け、このアーム部材を軸受け部を中心にして磁気ディスクの半径方向に回動可能に構成し、かつ、軸受け部を中心にしてＶＣＭ側のアーム部材と磁気ヘッドスライダ側のアーム部材との重量を釣り合わせて天秤構造となるように構成し、さらに、軸受け部に設けた板ばねをピボットで付勢することによって磁気ヘッドスライダに荷重を与えるようにした磁気ヘッドアセンブリが提案されている（例えば特許文献２）。
【０００７】
このような全体が天秤構造のヘッド支持機構を用いた磁気ヘッドアセンブリによれば、片持ち梁構造のヘッド支持機構を用いた磁気ヘッドアセンブリに比して、耐衝撃性を高めることが可能となるが、ディスク径の比較的大きい磁気ディスクドライブでは、アーム長が大きくなるために、固有振動数の１次曲げモード周波数を高めることが難しく、耐衝撃性を充分に確保することが困難となり、さらに、ＶＣＭによって天秤構造の釣り合いをとる構造であるため、複数のヘッド支持機構を重畳した磁気ディスク装置を構成することができない。
【０００８】
そこで、支持アームの先端部のみにおいて天秤構造を採用することが本出願人によって提案されている。この先端部天秤構造のヘッド支持機構を用いた磁気ヘッドアセンブリは、剛性の高い支持アームの先端部に、磁気ヘッドスライダ及びウェイト部材で釣り合いを保ち、板ばねで荷重支持点を付勢する天秤構造のアーム部材を設けたものである。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−２６０３５８号公報
【特許文献２】特開２００２−２３７１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述した全体天秤構造のヘッド支持機構及び先端部天秤構造のヘッド支持機構は、いずれも、アーム部材、板ばね、荷重支持点及び支持アーム又は軸受け部等を適切に組み合わせた状態としなければ、板ばねから荷重が発生しないので、最終的にアセンブリとなった後でなければ荷重値が確定しない。このため、従来の片持ち梁構造のヘッド支持機構のように、量産時に、最小限の部材のみで荷重を測定し、その測定値が適切でない場合にはその部材についてレーザ光照射による荷重調整をし、その後に組み付けを行なうことが不可能となる。その結果、荷重調整が非常に困難となり、調整を行なうこと自体が不可能な場合がある。
【００１１】
全体天秤構造のヘッド支持機構では、ＶＣＭのコイル部及び板ばねや磁気ヘッドスライダをアーム部材に組み付けた後に荷重測定を行ない、測定値が適切でない場合には、組み付けを一旦取り外して荷重調整を行ない、再度組み付けを行なう必要があった。
【００１２】
また、先端部天秤構造のヘッド支持機構では、ウェイト部材をアーム部材に取り付けると共に板ばねを支持アームに溶接した後に荷重測定を行ない、測定値が適切でない場合、この溶接した板ばねを支持アームから取り外すことが難しいので荷重調整を断念しそのヘッド支持機構を破棄する必要があり、歩留りの悪化を避けられなかった。
【００１３】
従って本発明の目的は、天秤構造のヘッド支持機構において、組み付けした後に荷重調整を容易に行なうことができるヘッド支持機構の荷重調整方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明によれば、荷重支持点と、ヘッドスライダを支持するための先端部を具備しており荷重支持点を支点として先端部を上下動可能な支持アームと、荷重支持点が押し当たる金属板部材と、一端が支持アームに取り付けられた荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を調整する方法であって、支持アーム、荷重支持点、金属板部材及びばね部材を互いに組み付けた後、金属板部材の荷重支持点が押し当たる部分より金属板部材の固定部に近い部分を局部的に加熱することにより、金属板部材の押し当たる部分を荷重支持点から後退させることによって荷重調整を行なうヘッド支持機構の荷重調整方法が提供される。
【００１５】
天秤構造を有するヘッド支持機構としての組み付けした後に、金属板部材の荷重支持点が押し当たる部分より固定部に近い部分を局部的に加熱することにより、金属板部材を変形させて、この押し当たる部分を荷重支持点から後退させている。これによって荷重支持点と金属板部材との距離が大きくなるので、荷重調整が行なわれる。従って、天秤構造を有するヘッド支持機構であっても、組み付け後に荷重調整を行うことができるから、荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。
【００１６】
組み付けの後かつ荷重調整前は、荷重値を所望の荷重値より高くしておくことが好ましい。
【００１７】
加熱を、レーザビームの照射によって行なうことが好ましく、この場合、レーザビームを、金属板部材の荷重支持点が押し当たる面とは反対側の面に照射することがより好ましい。
【００１８】
金属板部材が支持アームとは別個の板部材であり、荷重支持点が支持アームに形成された複数の突起であるか、又は、金属板部材が支持アームの一部を構成する板部材であり、荷重支持点が支持アームとは別個の部材に形成された複数の突起であることも好ましい。
【００１９】
本発明によれば、さらに、荷重支持点と、ヘッドスライダを支持するための先端部を具備しており荷重支持点を支点として先端部を上下動可能な支持アームと、荷重支持点が押し当たる金属板部材と、一端が支持アームに取り付けられた荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を調整する装置であって、荷重値が所望の荷重値より高くなるように互いに組み付けられた支持アーム、荷重支持点、金属板部材及びばね部材の金属板部材の荷重支持点が押し当たる部分より金属板部材の固定部に近い部分を局部的に加熱し、金属板部材の押し当たる部分を荷重支持点から後退させる加熱手段を備えたヘッド支持機構の荷重調整装置が提供される。
【００２０】
天秤構造を有するヘッド支持機構としての組み付けした後に、金属板部材の荷重支持点が押し当たる部分より固定部に近い部分を局部的に加熱することにより、金属板部材を変形させて、この押し当たる部分を荷重支持点から後退させている。これによって荷重支持点と金属板部材との距離が大きくなるので、荷重調整が行なわれる。従って、天秤構造を有するヘッド支持機構であっても、組み付け後に荷重調整を行うことができるから、荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。
【００２１】
加熱手段が、レーザビームの照射手段であることが好ましく、この場合、レーザビームを金属板部材の荷重支持点が押し当たる面とは反対側の面に照射する手段であることがより好ましい。
【００２２】
金属板部材が支持アームとは別個の板部材であり、荷重支持点が支持アームに形成された複数の突起であるか、又は、金属板部材が支持アームの一部を構成する板部材であり、荷重支持点が支持アームとは別個の部材に形成された複数の突起であることも好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、天秤構造を有するヘッド支持機構であっても、組み付け後に荷重調整を行うことができるから、荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
図１は本発明の一実施形態として、荷重調整を行なう天秤構造式の磁気ヘッドアセンブリの一例の構成を概略的に示す側面図である。この例は、全体天秤構造を有するヘッド支持機構を用いた場合である。
【００２５】
同図において、１０は磁気ディスクの表面と平行に設置されており、剛性の高いロードビーム１１をこの表面と平行な方向に回動させるための水平軸受部（ベアリングハウジング）、１２は水平軸受部１０に取り付けられたフランジプレート、１３はロードビーム１１の先端部に図示しない弾性を有するフレクシャを介して装着されており少なくとも１つの磁気ヘッド素子を備えた磁気ヘッドスライダ、１４は磁気ヘッドスライダ１３に印加される荷重を発生するための板ばね、１５はＶＣＭ用のコイルを有しておりロードビーム１１の後端部に取り付けられているコイルアセンブリ、１６ａ及び１６ｂはロードビーム１１に設けられており水平軸受部１０に取り付けられたフランジプレート１２に当接する２つの突起（荷重支持点）をそれぞれ示している。この磁気ヘッドアセンブリは、２つの突起１６ａ及び１６ｂを支点として天秤構造を有するヘッド支持機構を用いている。
【００２６】
図２は図１の磁気ヘッドアセンブリの荷重調整プロセスの流れを説明するためのフローチャートであり、図３はこの荷重調整プロセスの内容を説明するための（Ａ）側面図及び（Ｂ）平面図であり、図４は図３に示したフランジプレート１２の局部的加熱による変形を説明する側面図である。
【００２７】
まず、ロードビーム１１を水平軸受部１０に取り付け、その２つの突起１６ａ及び１６ｂをフランジプレート１２に当接させ、板ばね１４によって２つの突起１６ａ及び１６ｂの先端がフランジプレート１２に押し当たりこれら２つの突起１６ａ及び１６ｂを支点としてロードビーム１１を付勢し、さらに磁気ヘッドスライダ１３を装着することにより図１に示すごとく磁気ヘッドアセンブリの組み付けを行なう（ステップＳ１）。この組み付けを行なう場合、磁気ヘッドスライダ１３に印加される荷重が所望の範囲より高くなるように板ばね１４のスティフネス、反発力、板ばね１４とフランジプレート１２との距離等をあらかじめ設定しておく。
【００２８】
次いで、このように組み付けされた磁気ヘッドアセンブリにおいて、磁気ヘッドスライダ１３に印加されている荷重を測定し（ステップＳ２）、この測定した荷重が所望の範囲内に含まれているかどうかを判別する（ステップＳ３）。
【００２９】
測定した荷重が所望の範囲内に含まれていない場合は、レーザビームによる局部的加熱を行なって荷重値を低減させ（ステップＳ４）、その後、ステップＳ２へ戻って上述した処理を繰り返す。所望の範囲内に含まれていれば、荷重調整は行なわない。
【００３０】
レーザビームによる局部的加熱は、図３に示すように、フランジプレート１２の２つの突起１６ａ及び１６ｂが押し当たる部分１７ａ及び１７ｂより内側の部分１８ａ及び１８ｂに、突起１６ａ及び１６ｂが押し当たる面とは反対側の面から、即ち、図３（Ａ）において上側から、レーザビームを照射することにより、この部分を局部的に加熱するものである。金属板の場合、局部的に加熱された部分は冷却後に加熱された方向に反り曲がるので、図４（Ａ）に示すごとくフランジプレート１２の上面からレーザビーム４０を照射することにより、図４（Ｂ）ごとくこの部分１８ａ及び１８ｂでフランジプレート１２が上面方向に折れ曲がり変形する。その程度は数μｍから数十μｍの範囲である。
【００３１】
その結果、フランジプレート１２の突起１６ａ及び１６ｂが押し当たる面がこれら突起１６ａ及び１６ｂから後退するので、荷重が減少することとなり、荷重調整が行なわれる。
【００３２】
なお、レーザビームの照射は、突起が押し当たる部分１７ａ及び１７ｂより内側の（固定側の）部分をそれぞれ１点だけスポット照射しても良いが、図３（Ｂ）の直線１８ａ及び１８ｂに示すように、複数箇所のスポット照射又はスキャニング照射することが望ましい。
【００３３】
表１は、厚さの異なるフランジプレートのサンプルに対してレーザビームを照射して局部的加熱を行なった場合の荷重変化を実際に測定したデータである。
【００３４】
【表１】
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【００３５】
レーザビームを照射して局部的加熱を行なうことのみで、荷重を調整することができ、その場合、フランジプレートが薄くなるほど、レーザ加熱による荷重変化が大きくなっている。
【００３６】
このように本実施形態によれば、天秤構造を有する磁気ヘッドアセンブリであっても、各部品の組み付け後に荷重調整を簡単に行なうことができるから、荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。
【００３７】
図５は本発明の他の実施形態として、荷重調整を行なう天秤構造式の磁気ヘッドアセンブリの一例の構成を概略的に示す側面図である。この例も、全体天秤構造を有するヘッド支持機構を用いた場合である。
【００３８】
同図において、５０は磁気ディスクの表面と平行に設置されており、剛性の高いロードビーム５１をこの表面と平行な方向に回動させるための水平軸受部（ベアリングハウジング）、５３はロードビーム５１の先端部に図示しない弾性を有するフレクシャを介して装着されており少なくとも１つの磁気ヘッド素子を備えた磁気ヘッドスライダ、５４は磁気ヘッドスライダ５３に印加される荷重を発生するための板ばね、５５はＶＣＭ用のコイルを有しておりロードビーム５１の後端部に取り付けられているコイルアセンブリ、５６ａ及び５６ｂは水平軸受部５０に設けられておりロードビーム５１に当接する２つの突起（荷重支持点）をそれぞれ示している。この磁気ヘッドアセンブリは、２つの突起５６ａ及び５６ｂを支点として天秤構造を有するヘッド支持機構を用いている。
【００３９】
荷重調整プロセスは、図１の実施形態の場合とほぼ同様であるが、本実施形態においては、突起５６ａ及び５６ｂが水平軸受部５０側に取り付けられているため、レーザビームによる局部的加熱は、ロードビーム５１に対して行なわれる。即ち、ロードビーム５１の２つの突起５６ａ及び５６ｂが押し当たる部分より中心の部分に、突起５６ａ及び５６ｂが押し当たる面とは反対側の面から、即ち、図５において下側から、レーザビームを照射することにより、この部分を局部的に加熱することによって行なわれる。
【００４０】
本実施形態によれば、天秤構造を有する磁気ヘッドアセンブリであっても、各部品の組み付け後に荷重調整を簡単に行なうことができるから、荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。本実施形態におけるその他の作用効果等は、図１の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００４１】
図６は本発明のさらに他の実施形態として、荷重調整を行なう天秤構造式の磁気ヘッドアセンブリの一例の構成を概略的に示す側面図であり、図７は図６の磁気ヘッドアセンブリの一部を示す斜視図である。この例は、先端天秤構造を有するヘッド支持機構を用いた場合である。
【００４２】
これらの図において、６０は剛性の高い支持アーム、６１は支持アーム６０の先端部に設けられている２つの突起（荷重支持点）６６ａ及び６６ｂが当接しこれら突起６６ａ及び６６ｂを支点とした天秤構造を有するロードビーム、６３はフレクシャ６７を介してロードビーム６１の先端部に支持されている磁気ヘッドスライダ、６４は基部がロードビーム６１に一体となっておりかつ先端が支持アーム６０に溶接されることによってロードビーム６１と支持アーム６０とを連結し、２つの突起６６ａ及び６６ｂを介してロードビーム６１を付勢する板ばね、６５はロードビーム６１の後端部に固着されたウェイト部材、６８は磁気ヘッドスライダ６３を押圧する荷重ディンプルをそれぞれ示している。この磁気ヘッドアセンブリは、２つの突起６６ａ及び６６ｂを支点として天秤構造を有するヘッド支持機構を用いている。
【００４３】
荷重調整プロセスは、図１の実施形態の場合とほぼ同様であるが、本実施形態においては、突起６６ａ及び６６ｂが支持アーム６０側に取り付けられているため、レーザビームによる局部的加熱は、ロードビーム６１に対して行なわれる。即ち、支持アーム６０の２つの突起６６ａ及び６６ｂが押し当たる部分６９ａ及び６９ｂより中心側の部分７０ａ及び７０ｂに、突起６６ａ及び６６ｂが押し当たる面とは反対側の面から、即ち、図６において下側から、レーザビームを照射することにより、この部分７０ａ及び７０ｂを局部的に加熱することによって行なわれる。
【００４４】
本実施形態によれば、天秤構造を有する磁気ヘッドアセンブリであっても、各部品の組み付け後に荷重調整を簡単に行なうことができるから、荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。本実施形態におけるその他の作用効果等は、図１の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００４５】
以上述べた実施形態及び変更態様は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態として、荷重調整を行なう天秤構造式の磁気ヘッドアセンブリの一例の構成を概略的に示す側面図である。
【図２】図１の磁気ヘッドアセンブリの荷重調整プロセスの流れを説明するフローチャートである。
【図３】図２の荷重調整プロセスの内容を説明するための側面図及び平面図である。
【図４】図３に示したフランジプレートの加熱による変形を説明する側面図である。
【図５】本発明の他の実施形態として、荷重調整を行なう天秤構造式の磁気ヘッドアセンブリの一例の構成を概略的に示す側面図である。
【図６】本発明のさらに他の実施形態として、荷重調整を行なう天秤構造式の磁気ヘッドアセンブリの一例の構成を概略的に示す側面図である。
【図７】図６の磁気ヘッドアセンブリの一部を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  水平軸受部
１１、５１、６１  ロードビーム
１３、５３、６３  磁気ヘッドスライダ
１４、５４、６４  板ばね
１５  コイルアセンブリ
１６ａ、１６ｂ、５６ａ、５６ｂ、６６ａ、６６ｂ  突起（荷重支持点）
１７ａ、１７ｂ、６９ａ、６９ｂ  押し当たる部分
１８ａ、１８ｂ、７０ａ、７０ｂ  内側の部分
４０  レーザビーム
５５  コイルアセンブリ
６５  ウェイト部材
６７  フレクシャ
６８  荷重ディンプル
【図１】
2006172655.tif 000004
【図２】
2006172655.tif 000005
【図３】
2006172655.tif 000006
【図４】
2006172655.tif 000007
【図５】
2006172655.tif 000008
【図６】
2006172655.tif 000009
【図７】
2006172655.tif 000010