(57)【要約】【課題】本発明の目的は、搬送時にペリクルが動かず、容器を保管時にペリクルを変形させることなくしかもペリクルの出し入れに際し操作が簡単である容器を提供することにある。  【解決手段】ペリクルを容器の底面に対して平行に保持することができる平面を有し、該面は固定用の突起を有するものである箱と箱を覆う蓋からなり、箱と蓋はお互いに密着できるような部位を有するものであるペリクル用保管用容器である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルを容器の底面に対して平行に保持することができる平面を有し、該面は固定用の突起を有するものである箱と箱を覆う蓋からなり、箱と蓋はお互いに密着できるような部位を有するものであるペリクル用容器。
【請求項２】
箱が、その底面は中心部において凹凸を有しない平面であり、該平面より立ち上がった側面はペリクルを保持する平面を形成するように曲げられ、さらに底部に向かって曲げられ中心部において凹凸を有しない平面と同じ面を形成するように曲げられ、再度立ち上げられた形状を有するものである請求項１に記載の容器。
【請求項３】
箱の固定用の突起がペリクルの１辺の両端部を固定するものである請求項１に記載の容器。
【請求項４】
箱が固定用の突起によって両端部が固定されるペリクルの辺の対辺が位置する平面のペリクルが固定される外側にペリクル出入用治具を支える突起を有するものである請求項３に記載の容器。
【請求項５】
蓋が、平面から少なくとも２段階に絞られた形状を有するものである請求項１に記載の容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の形状の箱および蓋からなるペリクル用の容器に関する。詳しくは、ペリクルを箱底面に対し、平行に保持できる面と固定用突起を有する構造である容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路パターンなどの製造に際して、フォトマスクなどを保護すると同時に表面が汚染されないようにペリクルを装着している。ペリクルはペリクル膜を枠の一方に貼り付け、一方にフォトマスクなどに接着するための粘着剤の層を設けたものであり、運搬に際しては、粘着剤の層はテープにより保護しさらに、プラスチックなどの密閉容器に入れて搬送される。最近、液晶テレビパネルなどを製造するため大型のペリクルが利用されている。そのようなペリクルの為の容器は、従来のペリクルを固定し密閉できる容器をそのまま拡大しただけでは容器は十分な強度を有することができず、十分な強度を持たせるためには容器の厚みを大きくする必要があり、そうすると重くなるだけではなく、容器の自重による変形を考慮しなければならなくなる。
【０００３】
上記問題点を解決する方法として、容器の大きな面積を占める部分にリブを設けることが開示されている（特許文献１）。また、大型のペリクルを容器から出し入れする場合には、ペリクルをしっかりと保持する治具が必要であり治具が容易に操作できるような工夫も知られている（特許文献２）。
【特許文献１】特開２００１−１００３９４号公報
【特許文献２】特開２００４−３１８００６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、搬送時にペリクルが動かず、容器に入れた状態で保管する際にペリクルを変形させることなくしかもペリクルの出し入れに際し操作が簡単である容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者は、上記課題を解決する為に、鋭意検討し特定の形状を有する容器が上記目的を達成できることを見出し本発明を完成した。
【０００６】
即ち、本発明は、ペリクルを容器の底面に対して平行に保持することができる平面を有し、該面は固定用の突起を有するものである箱と箱を覆う蓋からなり、箱と蓋はお互いに密着できるような部位を有するものであるペリクル用容器である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の容器は、大型ペリクルを搬送時にトラブルがなく、容器中でペリクルを保管時に変形などの問題がなくしかもペリクルの出し入れに際し操作が簡単であることから工業的に極めて価値がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の容器について以下に図面を参照しながら説明する。まず、図１に示すように、箱の部分は、ペリクルを容器の底面に対して平行に保持するための平面2を有し、該面は底面3および底面4に対して平行になっている。この平行な部分にペリクル１が固定されるが、固定のための突起とは図３の21に示されるような形状が一例として示される。なお、本発明では、箱は、側面を底面4より立ち上げ折り曲げて平面2を形成しさらに底部に向かって曲げられ、底面3と同じ面で再度立ち上げる構造とすることで底面4と1つの面となり極めて安定にペリクルを保持できる。この底面3と同じ面で再度立ち上がる構造の部位で箱と蓋を密着させると簡単に密封ができる。なお、さらに5に示すようなリップ構造とすると蓋を取り外すとき操作が簡単である。図２に示すように底面の強度を増すためリブ12を設ける場合には、底面11を広い面積に渡って浮かせる必要があるので成形物の歪が緩和して変形したとき不安定となり好ましくない。また蓋も図２に示すように一段で絞った形状とすると強度が小さい。これに対して図１に示すように2段階以上に段階的に絞ると縦、横の両方向に対してリブを設けたことになり強度に優れ好ましい。なお、図３の21は、ペリクルを固定するための突起、23は保護テープを延長した固定用のテープ（このテープを粘着テープで固定することでペリクルをしっかりと箱に固定できる。）、22はペリクル出入用治具用のガイドを示す。ここで、ペリクル出入用治具とはペリクルを容器に入れたり出したりする場合に用いる用具であり種々の形状のものが公知であり例えば、前述の特許文献２にもペリクルホルダーとして開示されている。このような部位を設けると操作性がよくなる。21は、ペリクルの枠を固定できるようにペリクルの枠と接触する面が上方に向かって斜めに突き出た構造にするとか、逆L字状にしてペリクル枠が固定できるようにする工夫をすることもできる。また、蓋の取り外し易さを改善するため6のリップ構造を設けず蓋の立ち上がり部を延長してリップ構造５とし箱と粘着テープなどで容易に固定できるようにするとか、操作性を改善するなどの工夫、あるいはさらには箱と蓋との嵌合部を外側のみで接触し内側では接触させないようにして蓋を外す時に不必要に接触して樹脂の粉末が発生しないような工夫などすることは、好ましいことがある。上述のような構造であることは、一辺が５０ｃｍを越えるような大型のペリクル用の容器とするときより効果的である。
【０００９】
なお、箱、蓋の成形方法としては特に制限はないが一旦シート状の成形物を作った後、真空あるいは圧空成形で所望の形状とするのが好ましい。このような方法は公知であり特に製造方法は限定されない。
【００１０】
また、使用する材料としては、適度な剛性と耐衝撃性を有する熱可塑性樹脂であればどのようなものでも使用可能であるが特に、アクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、アクリロニトリルアクリル酸エステルブタジエン共重合体（アクリロニトリル樹脂）、ポリカーボネート-ＡＢＳアロイなどシート成形、真空圧空成形が容易で剛性と耐衝撃性に優れた樹脂が好ましく例示できる。
【実施例】
【００１１】
ABS樹脂の３ｍｍの厚さのシート（蓋用；筒中プラスチック(株）製タフエースT、箱用；筒中プラスチック(株）製タフエースR）を用いて、真空成形機で図１に示す構造の容器を作成した。平板上に静置したところ、製品保持面のを設計とおりに平面に保持することが出来た。７０００ｃｍ２以上の大きさのペリクルを保存したところ、変形などがなく十分な強度で保持できた。
【００１２】
外周部の絞り深さを浅くしたものも上記と同様に製作し、比較したが、外周部絞り深さの深い形状のケースのほうが、作業性、強度共に良好であった。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の１つの態様を示す図面である。
【図２】従来の容器の形状の一例を示す図面である。
【図３】本発明の別の１つの態様を示す図面である。
【符号の説明】
【００１４】
１  ペリクル
２  ペリクルを容器の底面に対し平行に保持することができる平面
３  底面
４  底面
５  蓋のリップ構造
６  箱のリップ構造
１１  底面
１２リブ
２１  ペリクルを固定する突起
２２  治具用ガイド
２３  固定用テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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