(57)【要約】【課題】  従来、難しかった供給ノズルに起因する生菌の繁殖状況を容易に調べることができる顕微鏡装置を提供する。【解決手段】  本発明の顕微鏡装置１は、基板ｓ１、及び、基板ｓ１の表面と一体に形成され、内部にメンブレンフィルタｓ２と吸収体ｓ３を有するコンテナｓ４からなる生菌観察用ウエハＳと、生菌観察用ウエハＳを所定の温度・時間で密閉保持する培養装置５０とを備え、生菌観察用ウエハＳを搬送アーム３３によりカセット２０から検査ステージ４１に搬送して供給ノズル４２ｃにより液体Ｅ（本実施形態では純水）を供給し、検査ステージ４１から培養装置５０に搬送して該培養装置５０により所定の温度・時間で保持し、培養装置５０から検査ステージ４１に搬送し、顕微鏡観察装置４０により供給ノズル４２ｃに起因する液体Ｅ中の生菌の繁殖状況を観察した後、再び検査ステージ４１からカセット２０へ搬送するように構成される。【選択図】  図５
2006243425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の生菌を採取する部材を有する生菌観察用ウエハを格納するカセットと、
前記生菌観察用ウエハの搬送を行う搬送アームと、
前記生菌観察用ウエハを保持する検査ステージ及び液浸系の対物レンズ及び前記対物レンズの先端と前記生菌観察用ウエハとの間に液体を供給する供給手段を含む顕微鏡観察装置と、
前記生菌観察用ウエハを所定の温度・時間で密閉保持する培養装置と、
前記生菌観察用ウエハを、前記搬送アームにより、前記カセットから前記検査ステージに搬送して前記供給手段により前記液体を供給し、前記検査ステージから前記培養装置に搬送して該培養装置により前記所定の温度・時間で保持し、前記培養装置から前記検査ステージに搬送し、前記顕微鏡観察装置により前記供給手段に起因する前記液体中の生菌の繁殖状況を観察した後、再び前記検査ステージから前記カセットへ搬送する制御装置とを備えたことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記生菌観察用ウエハは、基板、及び、前記基板の表面と一体に形成され、内部にメンブレンフィルタと吸収体を有するコンテナからなり、
前記所定の温度は、２５℃〜４０℃であり、
前記所定の時間は、２０時間〜１００時間であることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記コンテナは、目の大きさが１μｍ以下のメンブレンフィルタ、及び、高分子吸収体若しくはスポンジ状の多孔質吸収体を内蔵し、
前記生菌観察用ウエハは、外径が前記半導体ウエハと略同寸法に形成され、全厚が前記対物レンズと前記検査ステージとの間に収まる寸法に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
前記コンテナは開閉可能な蓋部材を有し、
前記生菌観察用ウエハを、前記搬送アームにより、前記培養装置内に搬送するときは前記蓋部材を閉じ、該培養装置内から取り出すときは前記蓋部材を開ける蓋開閉機構を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
試料を載置する検査ステージと、液浸系の対物レンズと、前記試料と前記対物レンズとの間に浸液を供給する供給手段とを備えた顕微鏡装置における浸液中の生菌繁殖状況の観察方法において、
前記試料の代わりに生菌を採取する採取部材を前記検査ステージに搬送するステップと、
前記供給手段により前記採取部材に前記浸液を供給するステップと、
前記浸液が供給された前記採取部材を培養装置に搬送するステップと、
前記培養装置を所定の温度で、所定時間作動させるステップと、
前記培養装置から前記採取部材を取り出し、前記検査ステージに搬送するステップと、
前記採取部材の前記浸液中の生菌繁殖状況を観察するステップとからなる顕微鏡装置における浸液中の生菌繁殖状況の観察方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の標本の外観観察を行う顕微鏡装置に関し、特に液浸系の対物レンズを有する顕微鏡観察装置を内蔵した顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路素子の製造工程では、半導体ウエハ等の標本に形成された回路パターンの欠陥や異物などの観察（外観観察）が、顕微鏡装置を用いて行われている。顕微鏡装置とは、標本を自動搬送する機構と、光学系の顕微鏡観察装置とを結び付けたものである。
【０００３】
このような半導体ウエハ等の外観観察を目的とする顕微鏡観察装置では、近年のパターン線幅の微細化に伴い、より高解像度の対物レンズが求められている。このような対物レンズにおける分解能Ｒは、結像に関与する光の波長をλとし、該対物レンズの開口数をＮ.Ａ.とし、定数をｋ（ただし、２線間の分解能を議論するときはｋ＝０．５を使用する）としたとき、次式（１）で表すことができる。
【０００４】
Ｒ    ＝ｋ×λ／Ｎ.Ａ.  …（１）
【０００５】
上記の式（１）より、波長λを（短く）変更することなく、対物レンズにおいて高い分解能Ｒを達成するためには、開口数Ｎ.Ａ.を上げることが有効であることが分かる。開口数Ｎ.Ａ.は、標本と対物レンズとの間の媒質の屈折率をｎとし、光軸と対物レンズの最も外側に入る光線とがなす角をθとしたとき、次式（２）で表すことが出来る。
【０００６】
Ｎ.Ａ.  ＝ｎ×ｓｉｎθ            …（２）
【０００７】
上記の式（２）より、標本と対物レンズの間に屈折率ｎの媒質を充填すれば、開口数Ｎ.Ａ.はｎ倍だけ向上することが分かる。これにより、標本と対物レンズの先端との間を屈折率ｎ＝１．０の空気で満たす乾燥系の対物レンズでは、（ｓｉｎθ≦１であるため）開口数Ｎ.Ａ.≦１までしか実現できない。そこで、標本と対物レンズとの間を屈折率ｎ＝１．３程度（ただし、波長に依存して変化する）水で満たすことによって、開口数Ｎ.Ａ.＞１を実現できる液浸系対物レンズを備えたものが知られている。
【０００８】
このような液浸系の対物レンズを備えた顕微鏡装置では、半導体ウエハの観察には通常純水が使用される。これは、近年の半導体の集積度や微細化の進展に伴い、周囲環境からの汚染（コンタミネーション）が製品の信頼性や歩留まりに大きな影響を及ぼすようになってきているため、よりウエハを清浄に保つことが要求されているからである。
【０００９】
しかしながら、純水のような貧栄養下にあっても、水中にわずかに存在する有機分を養分として繁殖する生菌が存在する。この生菌は、管壁等に貼り付いて繁殖し、コロニーを形成する。そして、殺菌されて死滅すると、コロニーは管壁から剥離して微粒子となって水中を漂って水を汚染し、ひどい場合には顕微鏡装置だけでなく純水製造装置にまで再使用不可能な損害を与えるおそれがある。したがって、純水を使用する場合であっても、十分な水の循環や殺菌が必要であるとともに、定期的なチェックを実施する必要がある。
【００１０】
例えば、ＡＳＴＭ  Ｆ６０−６８法（メンブレンフィルタ培養法）を用いて、定期的に顕微鏡装置における生菌の繁殖状況のチェックが行われている（例えば、特許文献１を参照）。このＡＳＴＭ  Ｆ６０−６８法とは、サンプル（例えば、上記例の場合は純水）をメンブレンフィルタで濾過し、該フィルタにより分離された微粒子及び微生物（生菌）を約３５℃の温度環境下で約２４時間培養し、顕微鏡観察装置等の手段を用いて繁殖したコロニーの数をカウントする方法である。
【特許文献１】特開平６−１３０００７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、ＡＳＴＭ  Ｆ６０−６８法（メンブレンフィルタ培養法）を用いて、標本と対物レンズとの間に純水を供給する供給ノズル付近の生菌繁殖状況のチェックをする際、該供給ノズルは顕微鏡装置の対物レンズの近傍に設置されているため、サンプルの採取が難しい上に、毎回顕微鏡装置を停止しなければならず、大変煩わしいという問題があった。
【００１２】
さらに、サンプルを所定の時間・温度で培養するための培養装置は、顕微鏡装置とは別個に設けられているため、採取したサンプルの生菌を培養する際は顕微鏡装置から培養装置へ運び、培養後は再び培養装置から顕微鏡装置へと運ばねばならず、手間がかかるという問題があった。
【００１３】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、従来、難しかった供給ノズルに起因する生菌の繁殖状況を容易に調査することができる顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
このような目的を達成するため、本発明は、複数の生菌を採取する部材を有する生菌観察用ウエハを格納するカセットと、前記生菌観察用ウエハの搬送を行う搬送アームと、前記生菌観察用ウエハを保持する検査ステージ及び液浸系の対物レンズ及び前記対物レンズの先端と前記生菌観察用ウエハとの間に液体を供給する供給手段（例えば、本実施形態における供給ノズル４２ｃ）を含む顕微鏡観察装置と、前記生菌観察用ウエハを所定の温度・時間で密閉保持する培養装置と、前記生菌観察用ウエハを、前記搬送アームにより、前記カセットから前記検査ステージに搬送して前記供給手段により前記液体を供給し、前記検査ステージから前記培養装置に搬送して該培養装置により前記所定の温度・時間で保持し、前記培養装置から前記検査ステージに搬送し、前記顕微鏡観察装置により前記供給手段に起因する前記液体中の生菌の繁殖状況を観察した後、再び前記検査ステージから前記カセットへ搬送する制御装置とを備えて構成される。
【００１５】
なお、前記生菌観察用ウエハは、基板、及び、前記基板の表面と一体に形成され、内部にメンブレンフィルタと吸収体を有するコンテナからなり、前記所定の温度は、２５℃〜４０℃であり、前記所定の時間は、２０時間〜１００時間であることが好ましい。
【００１６】
また、前記コンテナは、目の大きさが１μｍ以下のメンブレンフィルタ、及び、高分子吸収体若しくはスポンジ状の多孔質吸収体を内蔵し、前記生菌観察用ウエハは、外径が前記半導体ウエハと略同寸法に形成され、全厚が前記対物レンズと前記検査ステージとの間に収まる寸法に形成されていることが好ましい。
【００１７】
また、前記コンテナは開閉可能な蓋部材を有し、前記生菌観察用ウエハを、前記搬送アームにより、前記培養装置内に搬送するときは前記蓋部材を閉じ、該培養装置内から取り出すときは前記蓋部材を開ける蓋開閉機構を備えることが好ましい。
【００１８】
また、本発明は、試料を載置する検査ステージと、液浸系の対物レンズと、前記試料と前記対物レンズとの間に浸液を供給する供給手段とを備えた顕微鏡装置における浸液中の生菌繁殖状況の観察方法において、前記試料の代わりに生菌を採取する採取部材を前記検査ステージに搬送するステップと、前記供給手段により前記採取部材に前記浸液を供給するステップと、前記浸液が供給された前記採取部材を培養装置に搬送するステップと、前記培養装置を所定の温度で、所定時間作動させるステップと、前記培養装置から前記採取部材を取り出し、前記検査ステージに搬送するステップと、前記採取部材の前記浸液中の生菌繁殖状況を観察するステップとから構成される。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、半導体ウエハの外観観察するための顕微鏡装置に培養装置を備え、サンプルを採取するための生菌観察用ウエハの形状（外径及び全厚）を半導体ウエハとほぼ同様に形成して、該生菌観察用ウエハを、搬送アームにより、カセットから検査ステージに搬送して供給手段により液体を供給し、検査ステージから培養装置に搬送して該培養装置により所定の時間・温度で保持し、培養装置から検査ステージに搬送し、顕微鏡観察装置により供給手段に起因する液体中の生菌の繁殖状況を観察できるように構成したことにより、従来難しかった供給ノズルに起因する生菌の繁殖状況を容易に調査することができるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。図１に示すように、本発明の顕微鏡装置１は、半導体ウエハＷの外観観察を行うことができるとともに、生菌観察用ウエハＳを用いて供給ノズル４２ｃに起因する生菌の繁殖状況を容易に調査することができるものであり、装置フレーム１０と、装置フレーム１０に設置されたカセット２０と、ウエハ搬送装置３０と、顕微鏡観察装置４０と、培養装置５０と、蓋開閉機構６０と、それら各種装置を制御する制御装置（マイクロプロセッサ）とを備えて構成されている。
【００２１】
カセット２０は、側面の一方側が開口している箱であり、カセット載置台２１の上に設置されている。このカセット２０の内部には、互いに水平な複数段のスロットが上下に並んで設けられており、各スロット内には半導体ウエハＷが一枚ずつ収納されている。なお、このカセット２０の内部には、生菌観察用ウエハＳも格納することができる。なお、生菌観察用ウエハＳについては、後述する。
【００２２】
ウエハ搬送装置３０は、装置フレーム１０に固定されたベース部３１と、このベース部３１の上部に取り付けられた屈伸アーム３２と、屈伸アーム３２の先端部に取り付けられた搬送アーム３３と、この搬送アーム３３の先端部に設けられた吸着機構３４（図示せず）を備えて構成されている。そして、図示しない電動モータ等の作動により、その先端部に設けられた吸着機構３４により半導体ウエハＷ（及び生菌観察用ウエハＳ）を吸着しつつ、水平面内での屈伸作動を含む動作を行って、搬送アーム３３を水平姿勢のまま自在に移動させることができるようになっている。なお、本実施形態では、ウエハ搬送装置３０により、半導体ウエハＷがカセット２０と顕微鏡観察装置４０の検査ステージ４１との間を搬送され、生菌観察用ウエハＳがカセット２０と顕微鏡観察装置４０の検査ステージ４１との間及び検査ステージ４１と培養装置５０との間とで搬送されるようになっている。
【００２３】
顕微鏡観察装置４０は、図１及び図２に示すように、半導体ウエハＷ（及び生菌観察用ウエハＳ）を保持する検査ステージ４１と、この検査ステージ４１の上方を覆うように設置された観察装置４２とを有する。
【００２４】
検査ステージ４１は、試料台４１ａと、ＸＹＺステージ４１ｂと、自動焦点検出装置（不図示）とからなる。
【００２５】
試料台４１ａは、ＸＹＺステージ４１ｂにより鉛直方向に移動可能、及び、水平面内で移動可能に指示されている。なお、ウエハＷは、本実施形態では、カセット２０から搬送されて試料台４１ａの上面に載置され、例えば真空吸着により固定的に支持される。
【００２６】
ＸＹＺステージ４１ｂは、半導体ウエハＷ（及び生菌観察用ウエハＳ）の焦点合わせのときに、試料台４１ａを鉛直方向に移動させる。なお、この焦点合わせ動作は、自動焦点検出装置（不図示）がオートフォーカス機能を用いて行う。また、ＸＹＺステージ４１ｂは、半導体ウエハＷ（及び生菌観察用ウエハＳ）の予め定めた観察点を、接眼レンズ４２ａ及び対物レンズ４２ｂの視野内に位置決めする際に、試料台４１ａを水平面内で移動させる。
【００２７】
観察装置４２は、図２に示すように、接眼レンズ４２ａと、対物レンズ４２ｂと、供給ノズル４２ｃと、吸引ノズル４２ｄと、照明光源４２ｅとを備えて構成される。
【００２８】
対物レンズ４２ｂは、液浸系の対物レンズであり、その先端（下面）と半導体ウエハＷ（及び生菌観察用ウエハＳ）との間が液体Ｅで満たされたときに、光学系の収差が補正されるように設計されている。すなわち、対物レンズ４２ｂの先端が、液体Ｅに触れる部分となる。なお、ここでは、液体Ｅとして純水を想定しているが、これに限定されるものではない。例えば、アルコールや油など、用途に応じて他の溶媒を用いることも可能である。
【００２９】
供給ノズル４２ｃ及び吸引ノズル４２ｄは、液体Ｅを供給及び回収するためのものである。これらノズル４２ｃ，４２ｄは対物レンズ４２ｂの側面（若しくは外筒内部）に固定され、これらノズル４２ｃ，４２ｄの先端が対物レンズ４２ｂの先端近傍になるように配置される。
【００３０】
なお、本実施形態では、外観観察の開始時（若しくは生菌繁殖状況の調査開始時）は、定量吐出ポンプ４３により、純水源（純水製造装置など）４４で生成された液体（純水）Ｅを、供給ノズル４２ｃを介して、対物レンズ４２ｂの先端とウエハＷ（若しくは生菌観察用ウエハＳ）との間に一定量供給するようになっている。また、外観観察の終了時には、真空源４５で発生する負圧により、吸引ノズル４２ｄを介して、半導体ウエハＷ面から液体Ｅを吸引し、この吸引された液体Ｅは排水回収槽４６に回収されるようになっている。なお、生菌繁殖状況の調査終了時には、生菌観察用ウエハＳ面から液体Ｅの吸引は行わない。
【００３１】
照明光源４２ｅは、観察装置４２の本体に設けられ、半導体ウエハＷの外観観察及び生菌観察用ウエハＳの生菌繁殖状況を調査する（コロニー数を数える）ときに点灯して、ウエハＷ，Ｓを照らすものである。なお、観察波長として、本実施形態では可視域を想定している。ただし、これに限定されるものではなく、例えば、観察波長に紫外域を選んでもよい。この場合、接眼レンズ４２ａからの観察はできないため、接眼レンズ４２ａの代わりにＣＣＤカメラなどを設けて撮像し、モニタ装置に表示して観察する。
【００３２】
上記構成の観察装置４２では、接眼レンズ４２ａの視野位置に半導体ウエハＷ（若しくは生菌観察用ウエハＳ）の拡大像（パターン像）が形成され、この像により半導体ウエハＷの外観観察（若しくは生菌観察用ウエハＳの生菌の繁殖状況調査）が行われる。また、対物レンズ４２ｂの先端とウエハＷ，Ｓとの間を満たす液体Ｅの屈折率（＞１）に応じて対物レンズ４２ｂの開口数を１より大きくすることができ、乾燥系の装置（対物レンズの開口数≦１）と比較して解像度を確実に向上させることができる。
【００３３】
ここで、生菌観察用ウエハＳについて説明する。生菌観察用ウエハＳは、図３及び図４に示すように、基板ｓ１と、基板ｓ１の表面と一体に形成され、内部に目の大きさが１μｍ以下のメンブレンフィルタｓ２及び高分子吸収体（若しくはスポンジ状の多孔質吸収体）ｓ３を有するコンテナｓ４と、蝶番ｓ５を介してコンテナｓ４に開閉可能に取り付けられた蓋部材ｓ６と、この蓋部材ｓ６に形成され該蓋部材ｓ６を開閉するための突起ｓ７とを備えて構成される。このような構成の生菌観察用ウエハＳは、外径が半導体ウエハＷと略同寸法に形成され、全厚が対物レンズ４２ｂと検査ステージ４１との間に収まる寸法に形成されている。
【００３４】
なお、メンブレンフィルタｓ２の目の大きさは、一般に、純水中のような貧栄養下において生息できる生菌の大きさが０．３〜３μｍ程度であり、このような生菌の捕捉性を考慮すると、０．３μｍ前後であるとより好ましい。
【００３５】
また、基板ｓ１及びコンテナｓ４の材料には、ステンレス、テフロン（デュポン社製）、ＰＥＥＫ材（ポリエーテル・エーテル・ケトン）など、水に対して有機物や金属イオン等の溶出が少ないものを選択することが好ましい。
【００３６】
培養装置５０は、図１及び図５に示すように、生菌観察用ウエハＳを所定の温度・時間で密閉保持するためのものである。より詳しくは、ほぼ密閉された空間を形成するフレーム５１と、フレーム５１に開閉可能に設けられ、開放時（図１参照）にはフレーム５１により形成される空間内とウエハＳの授受を行うことが可能であり、閉止時（図５参照）にはフレーム５１内を密閉するゲートバルブ５２と、フレーム５１内に設けられ生菌観察用ウエハＳを載置するウエハ載置台５３と、フレーム５１内に設けられ、所定の時間、該フレーム５１内を所定温度に保持するヒーター５４及びクーラー５５（いずれも図示せず）とを備えて構成される。さらに、培養装置５０の外壁には断熱材が用いられており、外気の温度がフレーム５１内の温度に影響を与えることを防いでいる。なお、ここでいう所定の温度とは２５℃〜４０℃であり、所定の時間とは２０時間〜１００時間である。これらは、調査したい菌種や検査方法等に応じて適宜変更可能である。
【００３７】
蓋開閉機構６０は、図１及び図５に示すように、培養装置５０のゲートバルブ５２の手前に設けられており、生菌観察用ウエハＳが搬送アーム３３により培養装置５０内に搬送されるときには蓋部材ｓ６を閉じ、該培養装置５０内から取り出されるときには蓋部材ｓ６を開けるためのものである。より詳しくは、蓋開閉機構６０は、装置フレーム１０に固定された蓋開閉ベース部６１と、この蓋開閉ベース部６１の上部に取り付けられた蓋開閉アーム６２と、この蓋開閉アーム６２の先端部に設けられた引っ掛け金具６３とを備えて構成されている。そして、電動モータ（図示せず）等の作動により、図５中の一点鎖線の矢印で示すように、蓋開閉アーム６２を水平面内で回転させ、蓋開閉アーム６２の先端に取り付けられた引っ掛け金具６３により蓋部材ｓ６に形成されている突起ｓ７を引っ掛けて、生菌観察用ウエハＳの蓋部材ｓ６の開閉を行うことができるようになっている。
【００３８】
次に、顕微鏡装置１の動作について説明する。
【００３９】
はじめに、通常の半導体ウエハＷの外観観察を行う場合について説明する。まず、操作者により顕微鏡観察装置４０を用いた外観観察の開始の指示（例えば、スイッチの投入）がなされると、まず、半導体ウエハＷは、搬送アーム３３により吸着保持されて、カセット２０内から取り出され、ＸＹＺステージ４１ｂ上の試料台４１ｂに載置される。このとき、半導体ウエハＷは、搬送アーム３３に代わって試料台４１ｂに吸着保持される。次に、対物レンズ４２ｂの直下に半導体ウエハＷの観察したい部分が来るように、ＸＹＺステージ４１ｂによりウエハＷが載置された試料台４１ａを移動する。そして、供給ノズル４２ｃが対物レンズ４２ｂの先端とウエハＷとの間に液体Ｅを供給して、これにより操作者は接眼レンズ４２ａを介して半導体ウエハＷの表面の外観観察が可能となる。
【００４０】
半導体ウエハＷの外観観察が終了すると、吸引ノズル４２ｄが対物レンズ４２ｂの先端と半導体ウエハＷとの間から液体Ｅを吸引し、観察が終了した半導体ウエハＷは、再び搬送アーム３３によって、試料台４１ａから搬送されてカセット２０内に収納される。これにより、顕微鏡装置１の一連の動作は終了する。
【００４１】
次に、供給ノズル４２ｃに起因する生菌の繁殖状況の観察を行う場合について説明する。まず、生菌観察用ウエハＳは、搬送アーム３３により吸着保持されて、カセット２０内から取り出され、蓋部材ｓ６が開いたままで、ＸＹＺステージ４１ｂ上の試料台４１ｂに載置される。このとき、生菌観察用ウエハＳは、搬送アーム３３に代わって試料台４１ｂに吸着保持される。次に、供給ノズル４２ｃの吐出位置直下に、生菌観察用ウエハＳのメンブレンフィルタｓ２の部分が来るように、ＸＹＺステージ４１ｂによりウエハＳが載置された試料台４１ａを移動する。そして、供給ノズル４２ｃが対物レンズ４２ｂの先端とウエハＳとの間に液体Ｅを供給する。このとき、供給ノズル４２ｃから供給される液体Ｅ（純水）の量は、定量吐出ポンプ４３により正確に管理されており、所望量をメンブレンフィルタｓ２に滴下することができる。なお、適切な滴下量とは、メンブレンフィルタｓ２の下に充填された高分子吸収体（若しくはスポンジ状多孔質体）ｓ３が飽和する量である。
【００４２】
続いて、供給ノズル４２ｃにより純水を滴下された生菌観察用ウエハＳは、搬送アーム３３により試料台４１ａから、蓋開閉機構６０を経て蓋部材ｓ６を閉じた後、ゲートバルブ５２が開けられた培養装置５０内へと搬送される。そして、培養装置５０内にウエハＳが搬送されるとゲートバルブ５２は閉じ、ヒーター５４及びクーラー５５により内部温度が約２４時間、約３５℃に保たれる（ただし、これは標準的な温度であり、測定対象の生菌の種類に応じて適切な温度は若干異なることもある）。
【００４３】
２４時間経過後、培養装置５０のゲートバルブ５２を開けて、生菌観察用ウエハＳは、搬送アーム３３により培養装置５０内か、蓋開閉機構６０を経て蓋部材ｓ６を開けた後、再び試料台４１ａの上に搬送される。そして、試料台４１ａ上に載置されたウエハＳは、接眼レンズ４２ａの観察視野の範囲で、ＸＹＺステージ４１ｂを順次ステップ移動させながら、メンブレンフィルタｓ２上に発生した生菌コロニー数をカウントしていく。カウント終了後、搬送アーム３３により生菌観察用ウエハＳは試料台４１ａからカセット２０内へと戻される。これで、一連のウエハ観察処理は終了する。
【００４４】
ここで、供給ノズル４２ｃに起因する生菌を調べる場合について簡単に説明すると、まず、純水源（純水製造装置など）４４付近を循環する水を、本発明とは異なる手段で採取したものを所定の時間・温度で培養し、発生した生菌のコロニー数を記録する。次に、本発明の顕微鏡装置１を用いて、上記のように供給ノズル４２ｃ付近の水を採取し、培養装置５０にいれて前記と同様の所定の時間・温度で生菌観察用ウエハＳのメンブレンフィルタｓ２上で培養し、ここに発生した生菌のコロニー数を記録する。そして、これらコロニー数の比較を行えば、供給ノズル４２ｃに起因する生菌増加分を算出することができるようになっている。
【００４５】
以上のような本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば適宜改良可能である。
【００４６】
上記実施形態においてはカセット２０を１個搭載した場合について説明したが、これに限定されず、例えば、カセット２０を２個以上搭載可能にしておけば、生菌培養中でも通常通り半導体ウエハＷの外観観察をし続けることが可能となる。
【００４７】
また、培養後の生菌観察用ウエハＳを用いて繁殖したコロニーを顕微鏡で観察する場合、本実施形態のように接眼レンズ４２ａではなく、ＣＣＤ等の撮像素子を用いて画像を取得して画像処理によって自動で画像を取得すれば、作業性を著しく改善できる。また、画像取得時は、メンブレンフィルタｓ２の一定視野内で、検査ステージ４１を規則的にステッピングさせて所定ショット像を取得し、その全ショット内に映し出された全コロニーを定期的にモニタし続けることにより、供給ノズル４２ｃ付近における純水中の生菌数変化を知ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る顕微鏡装置の構成図である。
【図２】本発明に係る顕微鏡装置の内部に設置されている顕微鏡観察装置の側面図である。
【図３】本発明に係る生菌観察用ウエハの斜視図である。
【図４】本発明に係る生菌観察用ウエハの側断面図である。
【図５】本発明に係る生菌観察用ウエハを培養装置内に挿入する際の説明図である。
【符号の説明】
【００４９】
１    顕微鏡装置
１０  装置フレーム
２０  カセット
３０  ウエハ搬送装置
３１  ベース部
３２  屈伸アーム
３３  搬送アーム
３４  吸着機構
４０  顕微鏡観察装置
４１  検査ステージ
４１ａ  試料台
４１ｂ  ＸＹＺステージ
４２  観察装置（顕微鏡観察装置）
４２ａ  接眼レンズ
４２ｂ  対物レンズ
４２ｃ  供給ノズル（供給手段）
４２ｄ  吸引ノズル（吸引手段）
４２ｅ  照明光源
５０  培養装置
５１  フレーム
５２  ゲートバルブ
５３  ウエハ載置台
６０  蓋開閉機構
６１  蓋開閉ベース部
６２  蓋開閉アーム
６３  引っ掛け金具
Ｗ    半導体ウエハ
Ｓ    生菌観察用ウエハ
Ｅ    液体
【図１】
2006243425.tif 000003
【図２】
2006243425.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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