(57)【要約】【課題】  円筒状の継ぎ目のないマスクにおいて、網点やベタ図柄など大小画像が混在した連続図柄のデザインが可能であると共に、高耐久性を可能とするシームレスマスク構成体の提供【解決手段】  活性光線に実質的に透明な連続した円筒状基材とその表面に、継ぎ目なくマスク材が配置されたことを特徴とする円筒状マスク構成体。活性光線に実質的に透明な連続した円筒状基材上とその表面に、継ぎ目なくマスク材が配置されたことを特徴とする円筒状マスク構成体。【選択図】   図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性光線に実質的に透明な連続した円筒状基材と、その表面に継ぎ目なくマスク材が配置されたことを特徴とする円筒状マスク構成体。
【請求項２】
マスク材がバインダポリマーと少なくとも一つの赤外線を熱に変換する物質と非赤外部の活性光線領域に吸収を有する物質とを含み、赤外線照射により除去可能な材料で構成された請求項１記載の円筒状マスク構成体。
【請求項３】
マスク材がバインダポリマーと少なくとも一つの赤外線を熱に変換する物質と、熱により非赤外部の活性光線領域に於いて大きな吸収を有する化合物を生成できる物質を含み、赤外線照射により実質的に不透明となる請求項１記載の円筒状マスク構成体。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の円筒状マスク構成体の内側から活性光線に反応する被照射材に、露光によりマスクパターンを転写することを特徴とする連続パターンが付与された被照射材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は円筒状マスク構成体を通して活性光線を露光、複製処理を行う活性光線露光方式に関するもので、特に継ぎ目のない連続した図柄を大量に複製するための円筒状マスク構成体に関する。
【背景技術】
【０００２】
活性光線を用いた露光方式により大量複製する方式では、複製しようとする図柄に対応する陽画（ポジ）又は陰画（ネガ）の図柄を配したマスク材が使用されている。このようなマスク材としては湿式現像処理方式である旧来タイプの銀塩フィルムなどが一般的に使われている。最近では当該方式により発生する現像廃液の海洋投棄に関わる汚染問題対策から、非銀塩フィルムのような現像処理を必要としないでレーザー光を利用したマスクフィルム材料に切り替わってきている。この方式ではマスク材料がレーザー感応層であり紫外線吸収層でもあるため、その層を直接融除し図柄を形成できる。そのため、現像工程がないことから前記湿式銀塩方式に対しドライ式非銀塩方式と呼ばれている。
【０００３】
これらのマスク画像担体は、活性光線に対し透明で寸法安定性に優れたポリエステルフィルムなどのプラスチック材料や、ガラスなどの無機透明材料などが支持体として使用されており、その支持体表面には活性光線を実質的に透過しない不透明な層が図柄付けされ、活性光線マスク材として使用されている。これらのマスク画像担体はいずれもシート状のプラスチックフィルムやガラス板を基材としているため、連続模様の図柄には対応できていなかった。
【０００４】
活性光線を用いる露光方式により大量複製する場合のマスク材には、使用される活性光線に対する透過性能と遮蔽性能、更には透過部から遮蔽部にかけての透過性変化のシャープさ、いわゆる透過部から遮蔽部へと変化する部分の輪郭（フリンジと呼ぶ）のキレの良否や、マスク材が被照射材に対して密着して使用されるような場合には、被照射材に対するマスク材の密着性やマスク材の耐キズ性、表面耐磨耗性などその用途や使われ方によってそれらの要求特性に対する対応が求められる。
【０００５】
マスク材に要求される光学的な特性としては、活性光線に対する透過性と不透過性やその境界部分であるフリンジ部のキレの良さの特性が必要である。更に、活性光線に対する不透過性は、従来の銀塩フィルムのような無機の酸化銀粒子で構成されているマスク材は、その物理構造がために隠蔽性に優れ活性光線の波長依存性を受け難い特徴がある。他方、ドライフィルムと呼ばれるレーザー焼き飛ばしによるマスク材のような有機材料系のものでは、その分子構造に吸収する波長が依存するため、適用できる波長範囲は銀塩フィルムに比べおのずと限られる欠点がある。
【０００６】
マスク材を透して活性光線で大量複製する場合のマスク材の取り付け方法としては、従来は銀塩フィルムに代表されるフレキシブルなシート状のマスク材をそのまま、あるいは金属製の型枠に取り付けて固定して使ったり、ガラス板や透明プラスチック板など活性光線に透明で剛性のある板状基材、あるいは透明円筒状基材の表面に当該マスク材を巻きつけるように貼り付けて固定化して、被照射材に対してマスクを介して活性光線を照射し使用される。平面露光などの活性光線による露光の場合には、当該マスクを被照射材と重ね合わせたり一定の隙間を設けながら、当該活性光線を所定時間点灯したり、活性光線近くに設けた遮蔽板などシャッターを作動させて所定量を照射する方法が行われている。
【０００７】
一方、前述のような透明円筒状基材表面に設けたマスク材の場合活性光線は当該円筒状基材の中に配置されて構成し、被照射材の要求する活性光線量に見合った照射量は電流調整をしたり、円筒状基材の速度と連動する被照射材の移動速度を調整したりして、複製作業を休むことなく連続的に行う方法が行われる。この時、円筒状基材上のマスク材と被照射材の間は一般的には密着しながら行なわれるが、被照射材や活性光線の特性によっては一定の隙間を介した状態で活性光線露光が行なわれることもある。
しかし、従来から使用されているマスク材はいずれもマスク支持体がシート状であることから、連続的に被照射材に活性光線照射処理による複製作業を行うことはできたものの、連続模様図柄のような複雑な図柄には対応できていなかった（特許文献１および２）。
【０００８】
近年、コンデンサーや電磁波シールド分野向け電子材料に要求される緻密化、高精細化は利用される製品の要求性能に追随するためにその進展は著しく、その線解像性も２０ミクロンまたはそれ以下のより細い線解像性が要求されてきている。また、当該分野では競合が激しいことからコスト要求には強いものがあり、生産性においてもコスト低減がより可能な自動化且つ連続的な生産方式へ、更には製品化最終段階では所望の製品サイズを任意に選ぶことができるいわばサイズフリー化、すなわち連続図柄化にすることでこれまで最終製品サイズごとに生産してきたもののサイズ在庫の大幅な削減や、より高い生産性、低コスト化などへの追求が求められている。
【特許文献１】特願平８−３０５０３０号公報
【特許文献２】特願２００１−３２４８１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は複雑な連続模様の図柄はもちろん、従来のようにシート状のマスク材を透明な円筒状基材上に貼り込みをすることなく、マスク材と透明円筒状基材とが一体化した連続露光複製方式に使用できる円筒状マスク構成体の提供を目的とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、従来のようにシート状のマスク材を透明な円筒状基材上に貼り込みをすることなく、被照射材に対して連続模様図柄のような複雑な図柄の作成に対応できる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、緻密化、高精細化、高生産性、更にはサイズ制約のない連続図柄での複製の要求に答えるため鋭意研究を進めた結果、本発明をするに至った。
すなわち、本発明は以下の通りである。
１．活性光線に実質的に透明な連続した円筒状基材と、その表面に継ぎ目なくマスク材が配置されたことを特徴とする円筒状マスク構成体。
２．マスク材がバインダポリマーと少なくとも一つの赤外線を熱に変換する物質と非赤外部の活性光線領域に吸収を有する物質とを含み、赤外線照射により除去可能な材料で構成された１．記載の円筒状マスク構成体。
３．マスク材がバインダポリマーと少なくとも一つの赤外線を熱に変換する物質と、熱により非赤外部の活性光線領域に於いて大きな吸収を有する化合物を生成できる物質を含み、赤外線照射により実質的に不透明となる１．記載の円筒状マスク構成体。
４．１．〜３．のいずれかに記載の円筒状マスク構成体の内側から活性光線に反応する被照射材に、露光によりマスクパターンを転写することを特徴とする連続パターンが付与された被照射材の製造方法。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明について以下具体的に説明する。
本発明で使用される透明な円筒状基材は活性光線に実質的に透明ものである。円筒状基材としてはポリエステル、ポリカーボネートやアクリル樹脂など紫外線から可視光線域における透明性に優れ、且つ機械的な強度に優れたプラスチックであれば単体で利用できる。また活性光線に実質的に透明であれば、ガラス繊維などで強化した強化プラスチック類などの複合材料も使用することができる。さらに、無機材料としての汎用ガラスやパイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラスなども、高い紫外線〜可視光線透過性を有するため使用できる。
【００１３】
円筒状基材の機械的強度などによって円筒状基材の最適な厚みは異なるが、０．０２ｍｍ以上２５ｍｍ以下のものが一般的に使用できる。円筒状基材上に剥離可能な状態で円筒状基材を補助的に設けることができ、この場合薄いフィルムのようなものが円筒状基材への密着性の点で有利であるため好ましく、支持体となる円筒状基材を含めた円筒状マスク構成体全体の厚みとしては活性光線透過性、基材材料強度や取り扱い性などの点から１ｍｍ以上１０ｍｍ以下が望ましい。
マスク材には赤外線照射により除去可能であり、円筒状透明基材表面に塗工、もしくは実用上継ぎ目なく密着貼り付けできる材料が好ましい。
【００１４】
マスク材の不透明化のための材料は、可視光から紫外光にかけての活性光線遮蔽性に優れ、８３０ｎｍ以上の赤外線レーザーに感応性を有するものが使用できる。具体的には、特開平８−３０５０３０号公報や特開平９−１６６８７５号公報などに開示されているカーボンブラックやポリフタロシアニン化合物などの少なくとも１つの赤外線吸収性物質と、カーボンブラックやアルミニウムのような非赤外部の活性光線領域に吸収を有する物質と紫外光から可視光域の活性光線不透過性材料からなることが好ましい。
【００１５】
また、特開２０００−５６４４７号公報や特開２００１−２６０５５１号公報などに開示されている赤外光により非赤外の活性光線に不透明、すなわち紫外光から可視光域の活性光線に実質的に不透明となるマスク材も使用できる。このようなマスク材は、少なくとも１つの赤外線を熱に変換する物質と、熱により非赤外部の活性光線領域において大きな吸収を有する化合物を生成できる物質を含むものから構成されることが好ましい。
【００１６】
円筒状透明基材表面に赤外線感応性のマスク材を継ぎ目なく塗工する方法としては特開２００２−２８５４８号公報に開示されているロールコーター塗工方式や、特開２００２−２３３４８号公報に開示されているリングコーター法など公知の塗工方法が使用でき、それらの塗工方式や材料条件に合わせて塗工溶剤からなる最適な組成が選定される。特に、この塗工液の溶剤組成は円筒状透明基材表面への赤外線感応性のマスク材の密着性や均一性に重要な特性を与えるものである。
【００１７】
また、円筒状透明基材上にマスク材を塗工する際に赤外レーザー描画時のマスク材の融除を容易にしたり、基材へのマスク材の密着性を上げるための下地処理や下地層など下引き層を必要に応じて継ぎ目なく剥離可能な状態で設けることができる。また高価な円筒状透明基材を利用するような場合には、使用後に再利用する目的から円筒状透明基材の上に薄い透明材料を剥離可能な状態で設けた円筒状マスク構成体とすることもできる。このように、マスク材を設けるための円筒状透明基材には下地処理や下地層、さらには必要に応じ剥離可能な薄層などをマスク材と透明円筒基材の間に組み合わせることができる。
【００１８】
基材への密着性を上げるための下地処理や下地層などの下引き層としては、マスク材を均一塗工し易く補助したり、基材との密着性を上げるものとして柔軟で保存性に優れ、そして赤外線吸収性の低いＳＢＳやＳＩＳなどのゴム系樹脂材料などが上げられる。また、剥離可能な薄層としては継ぎ目のない熱シュリンク性ＰＥＴフィルムなどを用いることがその目的達成に効果がある。
【００１９】
赤外線感応性マスク材に図柄を描画する方法は特開平０８−３００６００号公報などに記載されている微小なスポットレーザー光により、赤外線感応性マスク材を融除して目的とするマスクを作成するものなどが知られている。また、グリッド線のような規則的な図柄をモアレ現象なく連続描画する方法としては、特開２００３−１９５４７０号公報に開示されている描画プログラムなどを利用して、モアレのない均一な連続マスクを作ることができる。
【００２０】
活性光線に透明な円筒状基材上で絵柄付けされたマスク材は、マスク材の耐久性を高めたり被照射材との密着性を最適化するため、その表面に活性光線照射に支障のない範囲で実質的に透明な材料を既知の塗工方法などを用い、耐キズ性保護膜層や密着改良層などオーバーコート層を設けることもできる。
耐キズ性保護膜層としてのオーバーコート層は、マスク材に損傷を与えず、使用する活性光線に対し実質的に透明で、基材及びマスク材との密着性が良いものが望ましいが、ポリアミド、ポリビニルアルコールなど基材やマスク材などを侵さない溶媒に可溶な樹脂が塗工に際しては好適である。また、密着改良層としては前記オーバーコート層そのものの厚みや硬さを選択することや、放射線重合メチルメタクリレート微粒子粉を内添したり、オーバーコート層の表面に前記微粒子粉を吹き付けたりして表面粗度を制御することにより行うことができる。
【００２１】
ケミカルランプや高圧水銀灯などの紫外線ランプや可視光ランプなど活性光線源を円筒状マスク構成体の内側に配置し、マスク構成体の内側から当該活性光線に反応する感光性樹脂等の被照射材に対し、密着又は隙間を設けて露光によりマスクパターンを転写することができる。このとき被照射材は円筒マスク構成体と同じ線速度で通常は送られ、その送り速度や光源の強さを調整することで感光性樹脂等の被照射材に適度な露光量を被照射材に連続パターンを付与することができる。
【００２２】
以下、本発明の円筒状マスク構成体の具体例を示す。
YAGレーザーに感応性を有し可視光から紫外線領域の活性光線に不透明なマスク材を、当該活性光線に実質的に透明な円筒状基材表面に継ぎ目なく均一に塗工し、円筒状マスク構成体を作成した。当該円筒状マスク構成体を高速で回転しながら、その表面にYAGレーザーで所定の高精細グリッド線図柄データを描画したところ、継ぎ目が全く気にならない均一な高精細グリッド線の連続図柄マスクが出来あがった。この画像部の線幅は２２ミクロンで、グリッド線間ピッチは２５４ミクロン、描画角度は４５度でキレの良い均一性に優れた再現を示し、マスク材を融除した後の円筒状基材表面は平滑でその透過濃度も実用十分なものであった。
【００２３】
本発明の円筒状マスク材構成体の活性光線遮蔽性能は被照射材の感光性能にもよるが、一般的に光学濃度ＯＤで２．０以上が好ましく、そのマスク材の活性光線透過部濃度（ＦＤ）はより高い透過性が望ましいが０．３以下であれば実用上使用可能である。光学濃度は透過濃度計Ｇｒｅｔａｇ  Ｄ２００ＩＩなどの公知の測定装置により測定することができる。
【実施例】
【００２４】
実施例に基づき、本発明の詳細を述べる。
外径２８７ｍｍ、肉厚約１０ｍｍ、長さ１ｍの市販アクリル樹脂製パイプを、圧縮空気を吹き付けて表面のクリーニングを行い表面に異物がないことを確認した。そのパイプを塗工装置であるリングコーターに立てかけ、リング状のニトリルゴムシートを取り付けた塗工釜を当該パイプの上限にセットした。次いで、当該釜に赤外線感応成分を溶解、分散させた塗工液ＸＢＬ−０３０Ｂ（商品名／旭化成ケミカルズ（株）製）を満たして、５００ｍｍ／ｍｉｎの均一な速度で塗工釜を押し下げた。アクリルパイプの表面にはムラやピンホールのない均一な黒い膜が形成され、その透過濃度ＯＤは４．６であった。
【００２５】
塗工液ＸＢＬ−０３０Ｂは、その主成分として小粒径カーボンブラックとバインダー樹脂としてＳＢＳポリマーからなり、更に塗膜形成後のカーボンブラック粒の分散性を高めるため高分子活性剤を少量添加したものからなる。このものは、酢酸エチル、酢酸ブチル、メトキシプロピルアセテート溶剤で約１３％の固形分濃度に調製され、その中にカーボンブラックを２０％含ませたものである。
【００２６】
赤外線感応層が表面に継ぎ目なく塗工されたアクリルパイプを、特別に作成したパイプの両端圧着方式の固定持具により芯出しをした上で保持し、レーザー描画装置（商品名：ＣＤＩ／販売元：エスコグラフィックス社）にセットした。レーザー出力８Ｗ、パイプ回転速度６００ｒｐｍ、描画解像度２５０９ｄｐｉで線幅３０ミクロン、線間ピッチ２５４ミクロン、格子線角度４５°の描画を行った。描画後得られたアクリルパイプ表面のマスクは、透明部には赤外線感応層の汚れのないシャープな格子線マスクが線幅２５ミクロンで得られ、格子線図柄の継ぎ目も目視では全く判らないものであった。このものの透明部の透過濃度（ＦＤ）は０．１２であった。
【００２７】
このアクリルパイプマスクを用いて作成した電磁波シールドフィルムは、旧来のポリエステル基材からなるシート状の銀塩フィルムの格子状図柄マスク（ＯＤ＝５．０、ＦＤ＝０．０４、線幅２５ミクロン、線間ピッチ２５４ミクロン、角度４５度）を透明アクリルパイプ表面に巻き付けて作成したものと遜色のない仕上がりであった。更には、銀塩フィルムによる従来マスクでは継ぎ目が明らかに目視できたのに対し前記アクリルパイプマスクによるもので作成したものは継ぎ目が全く判らない良好な仕上がりであった。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明は、マスク材と透明円筒状基材とが一体化した円筒状マスク構成体として、連続図柄印刷の分野において好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に於ける継ぎ目のない円筒状マスク構成体の断面図を示す。
【図１】
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