(57)【要約】【課題】露光装置の梱包、輸送及び設置に関わるコスト低減を図ることができると共に、設置後における装置立ち上げを迅速に行うことができる露光装置及び露光装置の梱包方法を提供する。【解決手段】装置本体部の天板２１上に支持された第２部分照明光学系ＩＯＰ２は、筐体２６，２７が固定天板２１Ａ上に取り付けられ、筐体２８，２９が可動天板２１Ｂ上に取り付けられている。可動天板２１Ｂは、固定天板２１Ａに対して回動可能に支持されており、露光装置の梱包時には、装置本体部から外方へ突出した態様の第１の位置から非突出の態様となる第２の位置へと回動させられ、その第２の位置において固定天板２１Ａとの相対的な位置関係が固定部材７９，８０により変位不能に保持される。そして、その状態において、第２部分照明光学系ＩＯＰ２は装置本体部と共に同じ梱包ケース内に梱包される。【選択図】      図７
2006135181.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンが形成されたマスクをエネルギービームにより照明する照明光学系の少なくとも一部が装置本体部に支持された露光装置において、
前記照明光学系の少なくとも一部は、前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へ非突出の状態で固定される固定鏡筒と、前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へ突出した態様となる第１の位置と前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へは非突出の態様となる第２の位置との間を変位可能な可動鏡筒と、当該可動鏡筒と前記固定鏡筒との間に設けられて前記可動鏡筒を前記第１の位置において前記固定鏡筒に対して位置合わせ可能とする位置合わせ機構とを備えた露光装置。
【請求項２】
前記位置合わせ機構は、前記固定鏡筒と可動鏡筒との相対的な位置関係が前記第１の位置においては常に同じ位置関係となるように前記可動鏡筒を固定鏡筒に対して位置合わせ保持する保持部材により構成されている請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記保持部材は、前記固定鏡筒に保持された光学素子と前記可動鏡筒に保持された光学素子とが互いに光学的位置調整された位置関係となるように前記可動鏡筒を固定鏡筒に対して位置合わせする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記可動鏡筒は、前記第１の位置と第２の位置との間を回動可能に支持されている請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記可動鏡筒は、前記第２の位置において固定鏡筒との相対的な位置関係が固定部材により変位不能に保持される請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記照明光学系の少なくとも一部は、露光動作中に可動する可動部を含まない請求項１〜請求項５のうち何れか一項に記載の露光装置。
【請求項７】
所定のパターンが形成されたマスクをエネルギービームにより照明する照明光学系の少なくとも一部が装置本体部に支持された露光装置の梱包方法において、
前記照明光学系の少なくとも一部は、前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へ非突出の状態で固定された固定鏡筒と、前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へ突出した態様となる第１の位置と前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へは非突出の態様となる第２の位置との間を変位可能な可動鏡筒とを備え、前記可動鏡筒を前記第２の位置に変位させて前記装置本体部と共に同じ梱包ケース内に梱包するようにした露光装置の梱包方法。
【請求項８】
前記可動鏡筒は、前記固定鏡筒との相対的な位置関係が前記第１の位置においては常に同じ位置関係となるように前記固定鏡筒に対して保持部材により位置合わせ保持されるものであり、梱包時には前記保持部材による前記第１の位置での固定鏡筒に対する位置合わせ保持状態が解除されて前記第２の位置へと変位される請求項７に記載の露光装置の梱包方法。
【請求項９】
前記可動鏡筒は、前記第１の位置と第２の位置との間を回動可能に支持されており、梱包時には前記第１の位置から回動されて第２の位置へと変位する請求項７又は請求項８に記載の露光装置の梱包方法。
【請求項１０】
前記可動鏡筒は、前記第２の位置において固定鏡筒との相対的な位置関係が固定部材により変位不能に保持される請求項７〜請求項９のうち何れか一項に記載の露光装置の梱包方法。
【請求項１１】
前記照明光学系の少なくとも一部は、露光動作中に可動する可動部を含まない請求項７〜請求項１０のうち何れか一項に記載の露光装置の梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体素子、液晶表示素子等を製造するリソグラフィ工程で用いられる露光装置及びその露光装置の梱包方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子等の製造プロセスにおけるリソグラフィ工程では、例えば特許文献１に記載されるような露光装置が用いられ、パターンが形成されたマスク又はレチクル（以下、「レチクル」と総称する。）をエネルギービームの照明光で照明することにより、前記パターンをウエハ等の基板上に転写するようにしている。この露光装置は、レチクルステージやウエハステージ等と共に装置本体部を構成する枠組形状の本体コラムを有しており、本体コラムには光源からの照明光によりレチクルを照明する照明光学系の鏡筒及びレチクルに形成されたパターンに対応した形状の照明光をウエハ上に投射する投影光学系の鏡筒が支持されている。
【０００３】
投影光学系の鏡筒は、本体コラムの一部を構成する鏡筒定盤に形成された円形開口内へ鉛直方向に沿うように挿入され、その円形開口の縁部に対して鏡筒の外周部に形成されたフランジが係止することにより、鏡筒全体が本体コラムの枠組内に位置するように支持されている。一方、照明光学系は、露光動作中に可動する可動部（例えば可動レチクルブラインド等）を含む可動部分光学系の鏡筒と、そのような可動部を含まない静止部分光学系の鏡筒とからなり、本体コラムには静止部分光学系の鏡筒（照明光学系の鏡筒の一部）が水平方向に沿うように支持されている。
【０００４】
すなわち、静止部分光学系の鏡筒は、その一端側が本体コラムの枠組内に位置するレチクルステージの上方に位置すると共に、その他端側が本体コラムの枠組外へ突出した態様で本体コラムに水平支持されている。そして、この静止部分光学系の鏡筒の他端側に対して可動部分光学系の鏡筒が鉛直方向に沿うようにして接続され、これら両鏡筒によりレチクルステージの上方位置と光源との間に照明光用の光路を形成する照明光学系の鏡筒が構成されている。
【０００５】
前述したような各光学系の鏡筒は、複数のレンズ及びミラー等からなる光学素子が鏡筒内に保持された構成をしており、鏡筒内に保持された各光学素子の相対的位置関係の調整は露光精度の向上を図るという観点から極めて重要である。そのため、従来から、各光学系の鏡筒が本体コラムへの支持状態を固定されて完成品態様とされた露光装置においては、各鏡筒内に保持された光学素子相互間の光学的位置調整が必須とされ、それらの位置調整が終了した後に、出荷用の輸送可能な梱包ケース内に梱包されるようになっている。
【特許文献１】特開２００２−２０３７６５号公報（段落番号［００３９］、図１、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記したような露光装置において、投影光学系の鏡筒は、その支持状態が本体コラムの形成する枠組内に鏡筒全体が位置する態様となるため、梱包に際しては、鏡筒全体が本体コラムに固定された状態のまま、装置本体部と共に同じ梱包ケース内に梱包される。その一方、照明光学系の鏡筒の場合は、もともと本体コラムに支持されていない可動部分光学系の鏡筒のみならず、静止部分光学系の鏡筒についても、その鏡筒全体が本体コラム上から取り外されて装置本体部とは別の梱包ケース内に別梱包される。
【０００７】
すなわち、静止部分光学系の鏡筒を本体コラムに固定した支持状態のままで装置本体部と共に同じ梱包ケース内に梱包しようとすると、可動部分光学系の鏡筒と接続されていた他端側部位が本体コラムの枠組外へ片持ち梁状に突出しているために、その突出分を見込んだ大容量の梱包ケースを使用することになる。ところが、かかる大容量の梱包ケースを使用した場合には、露光装置の装置本体部がケース内の中心位置から外れて梱包ケースの重心が片寄ってしまうことになるため、輸送時における梱包ケースの取り扱いが不安定となる等、輸送面での不便がある。そこで、従来から露光装置を出荷用に梱包する際には、装置本体部をケース内の中心に位置させて梱包できるように、装置本体部の本体コラム上から静止部分光学系の鏡筒全体を取り外し、当該鏡筒については可動部分光学系の鏡筒の場合と同様に、装置本体部とは別の梱包ケースに別梱包するようにしていた。
【０００８】
しかしながら、そのように静止部分光学系の鏡筒を本体コラム上から取り外して装置本体部とは別梱包にすると、次のような問題がある。すなわち、静止部分光学系の鏡筒は、露光装置の出荷前（すなわち、梱包前）において、投影光学系の鏡筒内に保持された光学素子との相対的な位置関係も光学的に調整される。そのため、梱包に際して静止部分光学系の鏡筒を本体コラム上から取り外して別梱包した場合は、梱包を解いた後の露光装置の設置時に投影光学系の鏡筒と照明光学系における静止部分光学系の鏡筒との相対的な位置関係を再び光学的に調整しなければならなくなり、装置立ち上げが遅延してしまうという問題があった。
【０００９】
また、静止部分光学系の鏡筒は、通常、鏡筒全体の重量が人力で持ち上げることの困難な重量（例えば３５０ｋｇ）であるため、露光装置の設置に際しては別梱包とされていた静止部分光学系の鏡筒を本体コラム上の支持位置まで持ち上げるのに大がかりな機械装置が必要となり、設置コストを上昇させてしまうという問題もある。さらに、装置本体部と別梱包にした場合には、梱包ケースの数も増えることになるため、梱包及び輸送コストを上昇させてしまうという問題もあった。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、露光装置の梱包、輸送及び設置に関わるコスト低減を図ることができると共に、設置後における装置立ち上げを迅速に行うことができる露光装置及び露光装置の梱包方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、露光装置に係る請求項１に記載の発明は、所定のパターンが形成されたマスクをエネルギービームにより照明する照明光学系の少なくとも一部が装置本体部に支持された露光装置において、前記照明光学系の少なくとも一部は、前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へ非突出の状態で固定される固定鏡筒と、前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へ突出した態様となる第１の位置と前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へは非突出の態様となる第２の位置との間を変位可能な可動鏡筒と、当該可動鏡筒と前記固定鏡筒との間に設けられて前記可動鏡筒を前記第１の位置において前記固定鏡筒に対して位置合わせ可能とする位置合わせ機構とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
この請求項１に記載の発明によれば、露光装置を梱包する際、装置本体部に支持された照明光学系の少なくとも一部は、その鏡筒全体のうち固定鏡筒が装置本体部に固定されたままで、可動鏡筒が第１の位置から第２の位置へと変位させられることにより装置本体部から外方へは非突出の態様となる。そのため、露光装置の梱包に際して、可動鏡筒の突出分を見込んだ大容量の梱包ケースを特別に用意する必要がなくなる。また、装置本体部に支持される照明光学系の少なくとも一部についても、その固定鏡筒及び可動鏡筒を含めた鏡筒全体が装置本体部と共に同じ梱包ケース内に梱包されることになるため、梱包及び輸送コストを低減できるようになる。
【００１３】
また、その梱包を解いて露光装置を設置する際には、第２の位置にあった可動鏡筒が再び元の第１の位置へと変位させられ、その第１の位置において位置合わせ機構により固定鏡筒に位置合わせされる。すなわち、装置本体部に支持される照明光学系の少なくとも一部は、その固定鏡筒が装置本体部に固定されたままであるため投影光学系の鏡筒との相対的位置関係が梱包前と何ら変わらない一方、その固定鏡筒に対する可動鏡筒の相対的な位置関係も梱包前の元の位置関係が簡単に再現される。そのため、露光装置の設置に際して、大がかりな機械装置を使用しなくとも、人力だけで装置本体部に支持される照明光学系の少なくとも一部の設置作業を完了できると共に、その設置状態では、装置本体部に共に支持される投影光学系の鏡筒と照明光学系の鏡筒との相対的な位置関係の調整作業も不要となるため、迅速に装置の立ち上げをできるようになる。
【００１４】
次に、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の露光装置において、前記位置合わせ機構は、前記固定鏡筒と可動鏡筒との相対的な位置関係が前記第１の位置においては常に同じ位置関係となるように前記可動鏡筒を固定鏡筒に対して位置合わせ保持する保持部材により構成されていることを特徴とする。
【００１５】
この請求項２に記載の発明によれば、装置本体部に支持された照明光学系の少なくとも一部は、その可動鏡筒が第１の位置において保持部材によって固定鏡筒に位置合わせ保持された場合、常に固定鏡筒と可動鏡筒との相対的な位置関係が同じ位置関係となり、梱包前の状態を梱包解除後の設置時に簡単に再現できる。
【００１６】
次に、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の露光装置において、前記保持部材は、前記固定鏡筒に保持された光学素子と前記可動鏡筒に保持された光学素子とが互いに光学的位置調整された位置関係となるように前記可動鏡筒を固定鏡筒に対して位置合わせすることを特徴とする。
【００１７】
この請求項３に記載の発明によれば、装置本体部に支持された照明光学系の少なくとも一部は、第２の位置から第１の位置へと変位させた可動鏡筒を固定鏡筒に対して保持部材により位置合わせ保持すると、両鏡筒にそれぞれ保持された光学素子が互いに光学的位置調整された位置関係となるため、露光装置の設置後における立ち上げ時間を良好に短縮できる。
【００１８】
次に、請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載の露光装置において、前記可動鏡筒は、前記第１の位置と第２の位置との間を回動可能に支持されていることを特徴とする。
【００１９】
この請求項４に記載の発明によれば、露光装置の梱包時及び設置時において変位させる可動鏡筒を人力で支持する必要がなく、回動可能に支持された可動鏡筒を第１の位置と第２の位置との間で回動させるだけでよいため、簡単に梱包及び設置作業を進行することができる。
【００２０】
次に、請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の露光装置において、前記可動鏡筒は、前記第２の位置において固定鏡筒との相対的な位置関係が固定部材により変位不能に保持されることを特徴とする。
【００２１】
この請求項５に記載の発明によれば、梱包された露光装置を輸送する際において、可動鏡筒が固定部材により第２の位置からの変位不能に保持されるため、輸送時に振動が加わったとしても露光装置における照明光学系周りの装置構造が可動鏡筒と衝突するような虞もない。
【００２２】
次に、請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のうち何れか一項に記載の露光装置において、前記照明光学系の少なくとも一部は、露光動作中に可動する可動部を含まないことを特徴とする。
【００２３】
この請求項６に記載の発明によれば、可動鏡筒を第１の位置と第２の位置との間で変位させたとしても、その可動鏡筒には露光動作中に可動する可動部が含まれていないため、露光不良に繋がるような故障が変位させたことにより生じることもない。
【００２４】
一方、露光装置の梱包方法に係る請求項７に記載の発明は、所定のパターンが形成されたマスクをエネルギービームにより照明する照明光学系の少なくとも一部が装置本体部に支持された露光装置の梱包方法において、前記照明光学系の少なくとも一部は、前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へ非突出の状態で固定された固定鏡筒と、前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へ突出した態様となる第１の位置と前記装置本体部に対して当該装置本体部から外方へは非突出の態様となる第２の位置との間を変位可能な可動鏡筒とを備え、前記可動鏡筒を前記第２の位置に変位させて前記装置本体部と共に同じ梱包ケース内に梱包するようにしたことを特徴とする。この請求項７に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明と同様の作用効果を奏し得る。
【００２５】
次に、請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の露光装置の梱包方法において、前記可動鏡筒は、前記固定鏡筒との相対的な位置関係が前記第１の位置においては常に同じ位置関係となるように前記固定鏡筒に対して保持部材により位置合わせ保持されるものであり、梱包時には前記保持部材による前記第１の位置での固定鏡筒に対する位置合わせ保持状態が解除されて前記第２の位置へと変位されることを特徴とする。この請求項８に記載の発明によれば、請求項２に記載の発明と同様の作用効果を奏し得る。
【００２６】
また、請求項９に記載の発明は、請求項７又は請求項８に記載の露光装置の梱包方法において、前記可動鏡筒は、前記第１の位置と第２の位置との間を回動可能に支持されており、梱包時には前記第１の位置から回動されて第２の位置へと変位することを特徴とする。この請求項９に記載の発明によれば、請求項４に記載の発明と同様の作用効果を奏し得る。
【００２７】
また、請求項１０に記載の発明は、請求項７〜請求項９のうち何れか一項に記載の露光装置の梱包方法において、前記可動鏡筒は、前記第２の位置において固定鏡筒との相対的な位置関係が固定部材により変位不能に保持されることを特徴とする。この請求項１０に記載の発明によれば、請求項５に記載の発明と同様の作用効果を奏し得る。
【００２８】
また、請求項１１に記載の発明は、請求項７〜請求項１０のうち何れか一項に記載の露光装置の梱包方法において、前記照明光学系の少なくとも一部は、露光動作中に可動する可動部を含まないことを特徴とする。この請求項１１に記載の発明によれば、請求項６に記載の発明と同様の作用効果を奏し得る。
【発明の効果】
【００２９】
請求項１〜請求項１１に係る本発明によれば、露光装置の梱包、輸送及び設置に関わるコスト低減を図ることができると共に、設置後における装置立ち上げを迅速に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明をステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置及びその露光装置の梱包方法に具体化した一実施形態を図１〜図８に基づき説明する。
図１に示すように、本実施形態の露光装置１０は、クリーンルーム（図示略）内の床面ＦＤ上に設置されるものであり、装置本体部１１、光源１２、投影光学系ＰＬ、及び照明光学系ＩＯＰを備えている。装置本体部１１は、床面ＦＤ上に固定されるベースプレートＢＰ、ベースプレートＢＰ上に組み上げ形成された枠組形状をなす本体コラム１３、本体コラム１３の枠組内に位置するようにベースプレートＢＰ上に配置されたウエハベース定盤１４、及びウエハベース定盤１４上に水平移動可能に設けられたウエハステージＷＳＴ等から構成されている。
【００３１】
ベースプレートＢＰ上においてウエハベース定盤１４を取り囲む複数箇所には、複数本（図１では手前側の２本のみ図示）の支柱１５が立設され、各支柱１５の上部には床面ＦＤからベースプレートＢＰ及び各支柱１５を介して上方側へ伝わる微振動をマイクロＧレベルで絶縁可能な防振ユニット１６がそれぞれ固定されている。各防振ユニット１６の上端部には鏡筒定盤１７が水平に支持され、その鏡筒定盤１７上には、複数本（図１では手前側の２本のみ図示）の内側支柱１８が立設されると共に、それら各内側支柱１８よりも外側となる位置に同じく複数本（図１では手前側の２本のみ図示）の外側支柱１９が立設されている。
【００３２】
各内側支柱１８の上端部にはレチクルベース定盤２０が水平に支持され、レチクルベース定盤２０上にはマスクとしてのレチクルＲを保持するレチクルステージＲＳＴが水平移動可能に設けられている。各外側支柱１９の上端部には天板２１が水平に支持され、この天板２１上に照明光学系ＩＯＰの一部（後述する第２部分照明光学系ＩＯＰ２）が支持されるようになっている。そして、本実施形態では、前述した各支柱１５、各防振ユニット１６、鏡筒定盤１７、各外側支柱１９、及び天板２１の一部（後述する固定天板２１Ａ）により枠組形状をなす本体コラム１３が構成されている。
【００３３】
本体コラム１３における鏡筒定盤１７の略中央には円形開口（図示略）が形成されており、その円形開口内に投影光学系ＰＬが光軸方向を鉛直方向に沿わせるようにして挿入支持されている。すなわち、投影光学系ＰＬは、その鏡筒の外周部に形成されたフランジＦＬＧが鏡筒定盤１７に形成された円形開口の縁部に係止することにより鏡筒全体が本体コラム１３（装置本体部１１）の枠組内に位置するように支持されている。そして、この投影光学系ＰＬを介して、レチクルＲに形成された回路パターンがウエハステージＷＳＴ上にウエハホルダ２２を介して保持されたウエハＷ上の各ショット領域に光源１２から出力されたエネルギービームに基づき転写されるようになっている。
【００３４】
図１に示すように、光源１２は、床面ＦＤ上におけるベースプレートＢＰの近傍に設置されており、ここでは波長１９２〜１９４ｎｍの間で酸素の吸収帯を避けるように狭帯化されたパルス紫外光をエネルギービームとして出力するＡｒＦエキシマレーザ光源が用いられている。なお、光源１２には、波長２４８ｎｍのパルス紫外光を出力するＫｒＦエキシマレーザ光源あるいは波長１５７ｎｍのパルス紫外光を出力するＦ２レーザ光源等を用いてもよい。また、光源１２は、クリーンルームよりクリーン度が低い別の部屋（サービスルーム）あるいはクリーンルームの床下に設けられるユーティリティスペースに設置されていてもよい。ちなみに、この光源１２は、図１では作図の都合上その図示が省略されているが、実際には遮光性のベローズ及びパイプを介してビームマッチングユニットＢＭＵの一端（入射端）に接続されている。そして、このビームマッチングユニットＢＭＵの他端（出射端）は、内部にリレー光学系を内蔵したパイプ２３を介して照明光学系ＩＯＰに接続されている。
【００３５】
図１に示すように、照明光学系ＩＯＰは、可動部分光学系としての第１部分照明光学系ＩＯＰ１と、静止部分光学系としての第２部分照明光学系ＩＯＰ２という２つの光学系により構成されている。第１部分照明光学系ＩＯＰ１は、光軸方向が鉛直方向に沿うように床面ＦＤ上に立設支持されており、その基端側（図１では下端側）に光源１２から出力されたパルス紫外光がビームマッチングユニットＢＭＵ及びパイプ２３を介して入射されるようになっている。一方、第２部分照明光学系ＩＯＰ２は、図１に示すように、装置本体部１１における本体コラム１３の天板２１上に光軸方向が水平方向に沿うように支持されており、その一端側（図１では右端側）が本体コラム１３（装置本体部１１）の枠組外へ突出した態様に支持されている。そして、この第２部分照明光学系ＩＯＰ２の本体コラム１３（装置本体部１１）から外方（図１では右方）へ突出した一端側部分に対して第１部分照明光学系ＩＯＰ１の先端側（図１では上端側）が可動部としての可動レチクルブラインド２４及び伸縮自在な蛇腹状部材２５を介して接続されている。
【００３６】
図２に示すように、第２部分照明光学系ＩＯＰ２は、複数の筐体２６〜２９及び連結部材３０，３１が光軸Ｐ方向に順次接合されてなる鏡筒ハウジング（鏡筒全体に相当する）３２を有しており、この鏡筒ハウジング３２が本体コラム１３の天板２１上に水平状態となるように支持されている。鏡筒ハウジング３２の水平方向一端側（図２では左端側）に位置する筐体２６内には、メインコンデンサレンズ３３とミラーＭ１及びレンズ３４が光学素子として保持され、レンズ３４の下方にはカバーガラス３５Ａが嵌め込まれている。鏡筒ハウジング３２の水平方向中央部に位置する筐体２７内には、リレー系レンズ３６が光学素子として保持されている。また、鏡筒ハウジング３２の水平方向他端側（図２では右端側）に位置する筐体２８内には、ミラーＭ２とレンズ３７が光学素子として保持され、レンズ３７の下方にはカバーガラス３５Ｂが嵌め込まれている。そして、この他端側の筐体２８の下端部に接合された筐体２９内には、固定レチクルブラインド３８が光学部材として保持されている。
【００３７】
図１及び図２に示すように、本体コラム１３の天板２１は、本体コラム１３の枠組内に位置する固定天板２１Ａと、本体コラム１３の枠組外に位置する可動天板２１Ｂとを備えている。固定天板２１Ａと可動天板２１Ｂとは、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の支持面となる各々の上面同士が面一となるように設けられており、露光装置１０の設置状態（図１及び図２の状態）では互いに対向する端面同士が当接するようになっている。固定天板２１Ａは、その下面側の複数箇所（例えば４箇所）が各外側支柱１９の上端部に固定されている。そして、可動天板２１Ｂは、固定天板２１Ａと可動天板２１Ｂとの間に設けられたヒンジ機構３９（図３，図５及び図６に図示）を介して固定天板２１Ａに対して鉛直方向に沿う軸線回りでの回動可能に支持されている。
【００３８】
図２に示すように、天板２１（固定天板２１Ａ及び可動天板２１Ｂ）上において、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２は、その筐体２６と筐体２７とが固定天板２１Ａ上に取付プレート４０，４１を介して取り付けられ、筐体２９を一体的に組み付けた筐体２８が可動天板２１Ｂ上に取付プレート４２を介して取り付けられている。本実施形態では、固定天板２１Ａ上に取り付けられる筐体２６と筐体２７が固定鏡筒に相当し、可動天板２１Ｂ上に取り付けられる筐体２８と筐体２９が可動鏡筒に相当する。固定天板２１Ａ上に取り付けられた筐体２６と筐体２７との間にはダクト状をなす連結部材３０が介装され、固定天板２１Ａ上に取り付けられた筐体２７と可動天板２１Ｂ上に取り付けられた筐体２８との間にはダクト状をなす連結部材３１が介装されている。
【００３９】
連結部材３０は、互いに対向する端部同士が嵌合関係にある一対の連結筒３０Ａ，３０Ｂにて構成されており、両連結筒３０Ａ，３０Ｂの嵌合し合う端部間には連結部材３０の軸方向長さを伸縮可能とする伸縮機構４３が設けられている。すなわち、一方の連結筒３０Ａの後端部外周面には雄ねじが形成され、この連結筒３０Ａの後端部に外嵌合する他方の連結筒３０Ｂの前端部内周面には雌ねじが形成されている。同様に、連結部材３１も、互いに対向する端部同士が嵌合関係にある一対の連結筒３１Ａ，３１Ｂにて構成されており、両連結筒３１Ａ，３１Ｂの嵌合し合う端部間には連結部材３１の軸方向長さを伸縮可能とする伸縮機構４４が設けられている。すなわち、一方の連結筒３１Ａの後端部外周面には雄ねじが形成され、この連結筒３１Ａの後端部に外嵌合する他方の連結筒３１Ｂの前端部内周面には雌ねじが形成されている。
【００４０】
ここで、天板２１（固定天板２１Ａ及び可動天板２１Ｂ）の具体的構成について、図３〜図５を参照しながら以下詳しく説明する。なお、以下の天板２１に関する説明において前後方向を示す場合は、図３における左方が「前方」、右方が「後方」、上方が「右方」、下方が「左方」を、それぞれ示すものとする。すなわち、例えば固定天板２１Ａの後端部という場合は、固定天板２１Ａにおける可動天板２１Ｂ側の端部をいうものとする。
【００４１】
図３に示すように、固定天板２１Ａは、その長手方向（前後方向）の略中央部に円形状の開口４５が形成されている。この開口４５は固定天板２１Ａが各外側支柱１９の上端部に固定された場合にレチクルステージＲＳＴ上に載置されたレチクルＲの直上に位置するものである。そして、この開口４５よりも少し可動天板２１Ｂ側（すなわち、後方側）となる位置で、固定天板２１Ａの短手方向（左右方向）の両側縁からは左右両側へ張り出し部４６が突出形成されている。また、固定天板２１Ａにおける左右両側縁の上面側には、下方へ僅かに低くなる段差部４７Ａが張り出し部４６の後側縁から固定天板２１Ａの後端部に至るまで形成されている。そして、左右両側縁の各段差部４７Ａのうち一方側となる右側縁の段差部４７Ａにおいて張り出し部４６の後側縁にかかる部分には、複数（本実施形態では３つ）のねじ孔４８が形成されている。
【００４２】
図３に一点鎖線で示すように、固定天板２１Ａの上面には、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２における筐体２６の取付プレート４０の取付領域４９が設定されており、この取付領域４９内における開口４５周りの複数箇所（本実施形態では四箇所）にはねじ孔５０が形成されている。同様に、固定天板２１Ａの上面には、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２における筐体２７の取付プレート４１の取付領域５１が設定されており、この取付領域５１内の複数箇所（本実施形態では取付領域５１内の四隅となる四箇所）にねじ孔５２が形成されている。
【００４３】
図３に示すように、固定天板２１Ａの右側縁において取付領域４９，５１よりも外側となる部分には、前後一対で一組をなす複数組（本実施形態では四組）のねじ孔５３が、取付領域４９の側方と取付領域５１の側方とに数組（二組）ずつ振り分けられ、各組間を前後に離間させて形成されている。また、取付領域４９の前側近傍には左右方向に離間させて一対のねじ孔５４ａが形成されると共に、取付領域４９と取付領域５１との間には前後方向に離間させて一対のねじ孔５４ｂが形成されている。さらに、固定天板２１Ａの後端縁には、左右一対で一組をなすねじ孔５５が固定天板２１Ａの左右両側に一組ずつ形成され、これら両組のねじ孔５５の左右方向略中間となる位置には左右で一対のねじ孔５６が形成されている。
【００４４】
一方、図３に示すように、可動天板２１Ｂは、その後端縁に第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２における筐体２９を挿通可能とする切欠５７が形成されている。可動天板２１Ｂにおける左右両側縁の上面側には、固定天板２１Ａにおける左右両側縁の上面側に形成された段差部４７Ａと前後方向に連続するように同様の段差部４７Ｂが可動天板２１Ｂの前端から後端に至るまで形成されている。
【００４５】
図３に一点鎖線で示すように、可動天板２１Ｂの上面には、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２における筐体２８の取付プレート４２の取付領域５８が設定されており、この取付領域５８内における切欠５７周りの複数箇所（本実施形態では四箇所）にはねじ孔５９が形成されている。また、図３に示すように、可動天板２１Ｂの右側縁において取付領域５８よりも外側となる部分には、前後一対で一組をなす複数組（本実施形態では二組）のねじ孔６０が各組間を前後に離間させて形成されている。さらに、可動天板２１Ｂの前端縁には、固定天板２１Ａ側のねじ孔５５と対応する左右各位置にねじ孔６１がそれぞれ形成されている。
【００４６】
図３（同図には破線で図示）及び図７に示すように、固定天板２１Ａの後端面からは左右で一対の凸部６２が後方へ向けて突設されると共に、可動天板２１Ｂの前端面からは左右で一対の凸部６３が前方へ向けて突設されている。両凸部６２，６３は、天板２１の厚さ方向を上下方向とした場合、可動天板２１Ｂ側の凸部６３の方が固定天板２１Ａ側の凸部６２よりも上方となる位置関係に設けられている。そして、固定天板２１Ａの後端面には可動天板２１Ｂ側の凸部６３を嵌合可能とする凹部６４が形成されると共に、可動天板２１Ｂの前端面には固定天板２１Ａ側の凸部６２を嵌合可能とする凹部６５が形成されている。すなわち、この凸部６２，６３と凹部６４，６５は、固定天板２１Ａと可動天板２１Ｂとが露光装置１０の設置時において互いに対向する端面同士（固定天板２１Ａの後端面と可動天板２１Ｂの前端面）を当接させた場合に嵌合し、固定天板２１Ａと可動天板２１Ｂとの相対的な位置関係（特に上下方向の位置関係）を位置合わせするようになっている。従って、この点で、凸部６２，６３及び凹部６４，６５は、本実施形態において可動天板２１Ｂを固定天板２１Ａに対して位置合わせする位置合わせ機構として機能することになる。
【００４７】
図４に示すように、固定天板２１Ａの後端部左側面には上下一対のねじ孔６６が形成されると共に、可動天板２１Ｂの前端部左側面には固定天板２１Ａ側の各ねじ孔６６と対応するように上下一対のねじ孔６７が形成されている。これら各ねじ孔６６，６７には、固定天板２１Ａと可動天板２１Ｂとが露光装置１０の設置時において互いに対向する固定天板２１Ａの後端面と可動天板２１Ｂの前端面とを当接させた場合に両天板２１Ａ，２１Ｂ間に跨って取り付けられる位置合わせ機構及び保持部材としての保持コマ６８（図４には一点鎖線で図示）の取付用ねじ（図示略）が螺入される。
【００４８】
図３，図５及び図６に示すように、固定天板２１Ａの後端部右側面からは先端部がカール状をなす上下一対の軸受け片６９が上下方向に所定間隔をおいて右外側方へ突設されている。一方、可動天板２１Ｂの前端部右側面からは右外側方へ向けて直方体形状をなす膨出部７０が形成され、この膨出部７０から先端部がカール状をなす上下一対の軸受け片７１が上下方向に所定間隔をおいて固定天板２１Ａ側となる前方へ突設されている。固定天板２１Ａ側の各軸受け片６９と可動天板２１Ｂ側の各軸受け片７１は、カール状をなす各先端部が上下方向へ交互に連続した直列状の軸受けを形作る位置関係に設けられており、そのようにして形作られた軸受け内には可動天板２１Ｂの回動中心となる支軸７２が挿着されている。そして、本実施形態では、これらの軸受け片６９，７１と支軸７２により固定天板２１Ａに対して可動天板２１Ｂを回動可能に支持するヒンジ機構３９が構成されている。
【００４９】
次に、本体コラム１３の天板２１（固定天板２１Ａ，可動天板２１Ｂ）上に対する第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２の装着構成及びその装着手順について図６等を参照しながら説明する。なお、図６は、露光装置１０の設置時において固定天板２１Ａと可動天板２１Ｂとが互いに対向する端面同士を当接させた状態を示している。
【００５０】
まず、天板２１における可動天板２１Ｂの位置が固定天板２１Ａに対して図１，図２及び図６に示す位置（以下、この位置のことを「第１の位置」という。）から移動しないように固定される。すなわち、可動天板２１Ｂは、ヒンジ機構３９を介して固定天板２１Ａに対して回動可能に支持されているため、鏡筒ハウジング３２の装着時にヒンジ機構３９の支軸７２を回動中心として回動（移動）する虞がある。そのため、天板２１（固定天板２１Ａ，可動天板２１Ｂ）上に第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２を装着する場合には、まず、可動天板２１Ｂが図６等に示す第１の位置において移動不能に固定（保持）される。
【００５１】
具体的には、固定天板２１Ａの後端面と可動天板２１Ｂの前端面とを両者に形成された凸部６２，６３と凹部６４，６５を互いに嵌合させて当接させる。そして、その状態において、固定天板２１Ａの後端部と可動天板２１Ｂの前端部との間を跨ぐようにして位置合わせ機構及び保持部材としての保持コマ７３が固定される。すなわち、固定天板２１Ａの後端部に形成されたねじ孔５５（図３参照）と可動天板２１Ｂの前端部に形成されたねじ孔６０（図３参照）とを利用して、可動天板２１Ｂを固定天板２１Ａに対して位置合わせ保持可能な保持コマ７３がねじ止めされる。また、このとき、固定天板２１Ａの後端部左側面に形成されたねじ孔６６（図４参照）と可動天板２１Ｂの前端部左側面に形成されたねじ孔６７（図４参照）とを利用して、同じく可動天板２１Ｂを固定天板２１Ａに対して位置合わせ保持可能な保持コマ６８がねじ止めされる。
【００５２】
また、固定天板２１Ａの右側縁上面において各ねじ孔５３（図３参照）が形成された各位置には、図６に示すように、複数（本実施形態では４つ）の左右方向位置決めコマ７４がねじ止めされる。同様に、可動天板２１Ｂの上面において各ねじ孔６０（図３参照）が形成された各位置にも複数（本実施形態では２つ）の左右方向位置決めコマ７４がねじ止めされる。これらの左右方向位置決めコマ７４には、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２における各筐体２６，２７，２８（２９）が取付プレート４０，４１，４２を介して天板２１上に取り付けられる際に、各取付プレート４０，４１，４２の右端縁が当接するようになっている。そして、各左右方向位置決めコマ７４に各取付プレート４０，４１，４２の右端縁が当接することにより、各筐体２６，２７，２８（２９）の配列方向（前後方向）と直交する方向（左右方向）の位置が規制されるようになっている。
【００５３】
また、図６に示すように、固定天板２１Ａの上面において、取付領域４９（図３参照）の前側近傍でねじ孔５４ａが形成された位置には前後方向位置決めコマ７５がねじ止めされる。同様に、固定天板２１Ａの上面において、取付領域４９（図３参照）と取付領域５１（図３参照）との間でねじ孔５４ｂが形成された位置には前後方向位置決めコマ７６がねじ止めされる。前後方向位置決めコマ７５には、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２における筐体２６の取付プレート４０の前端縁が当接することにより、筐体２６の配列方向（前後方向）の前端位置が規制されるようになっている。また、前後方向位置決めコマ７６には、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２における筐体２６の取付プレート４０の後端縁と筐体２７の取付プレート４１の前端縁が当接することにより、筐体２６と筐体２７との配列方向（前後方向）における相対的位置が規制されるようになっている。なお、筐体２８（筐体２９）の配列方向（前後方向）における位置の規制は可動天板２１Ｂの切欠５７（図３参照）に筐体２９の前側周面が接触することにより行われる。
【００５４】
そして、各コマ７４〜７６により位置決めされた各取付プレート４０，４１，４２は、筐体２６，２７と対応する取付プレート４０，４１が固定天板２１Ａ上の取付領域４９，５１にねじ７７により固定され、筐体２８と対応する取付プレート４２が可動天板２１Ｂ上の取付領域５８にねじ７７により固定される。なお、各取付プレート４０，４１，４２のうち、取付プレート４０と取付プレート４２は、ねじ７７を介して天板２１（固定天板２１Ａ及び可動天板２１Ｂ）上に取り付けられる前に、それらの上面に各々対応する筐体２６，２８がねじ止めにより固定される。これに対して、取付プレート４１は、ねじ７７を介して天板２１（固定天板２１Ａ）上に取り付けられた後、その上面に対応する筐体２７を一対のバンド７８により締付け固定するようになっている。なお、前述した左右方向位置決めコマ７４、前後方向位置決めコマ７５，７６、取付プレート４０〜４２及び筐体２６〜２９の天板２１上へ装着は、可動天板２１Ｂを各保持コマ６８，７３により第１の位置に位置合わせ保持する前に行ってもよい。
【００５５】
天板２１（固定天板２１Ａ及び可動天板２１Ｂ）上の所定位置に各取付プレート４０，４１，４２を介して各筐体２６〜２８（２９）が取り付けられると、次に、筐体２６と筐体２７との間、及び筐体２７と筐体２８との間に連結部材３０，３１が装着される。すなわち、連結部材３０の場合は、伸縮機構４３により収縮状態とされた後、筐体２６と筐体２７との間に配置され、その後、例えば一方の連結筒３０Ａを筐体２６に当接させた状態で伸縮機構４３により他方の連結筒３０Ｂが筐体２７側へ螺進させられることで伸長状態となる。そして、その伸長状態において、連結部材３０は、その両端が筐体２６と筐体２７に当接して両筐体２６，２７間を連結する介装状態となる。なお、連結部材３１の場合も、伸縮機構４４により収縮状態とされた後、筐体２７と筐体２８との間で伸縮機構４４により伸長状態とされ、その両端が筐体２７と筐体２８に当接して両筐体２７，２８間を連結する介装状態となる。
【００５６】
以上のように、可動天板２１Ｂが第１の位置において固定天板２１Ａに対して移動不能に位置決め保持され、天板２１上に各筐体２６〜２８（２９）及び各連結部材３０，３１が装着されると、露光装置１０は完成品態様となる。この完成品態様では、図２に示すように、固定天板２１Ａ上に取り付けられた固定鏡筒としての筐体２６，２７は、本体コラム１３（装置本体部１１）に対して本体コラム１３（装置本体部１１）から外方へ非突出の状態で支持される。その一方、可動天板２１Ｂ上に取り付けられた可動鏡筒としての筐体２８，２９は、本体コラム１３（装置本体部１１）に対して本体コラム１３（装置本体部１１）から外方へ突出した態様で支持された状態となる。
【００５７】
完成品態様とされた露光装置１０では、次に、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２内に保持された光学素子の光学的位置調整が行われる。すなわち、各各筐体２６〜２８（２９）内に保持されたメインコンデンサレンズ３３やミラーＭ１等の各光学素子が、第１部分照明光学系ＩＯＰ１内の各光学素子（フライアイレンズ等）や投影光学系ＰＬ内の各光学素子（各種ミラーやレンズ等）と互いに光学的に共役な位置関係となって保持されているか否かが検査される。具体的には、光源１２から出力したエネルギービームによりテストパターンが形成された検査用レチクル（図示略）を照射して、そのテストパターンが検査用ウエハ（図示略）に正確に転写されたか否かを判断する。
【００５８】
その結果、筐体２６〜２８（２９）内に保持された光学素子の位置調整が必要と判断された場合には、連結部材３０，３１が伸縮機構４３，４４により伸長状態から収縮状態にされて取り外される。そして、位置調整が必要と判断された光学素子を外部から視認できるようにし、その光学素子の筐体２６〜２８（２９）内での保持姿勢が微調整される。この場合、例えば筐体２７内又は筐体２８内に保持された光学素子（リレー系レンズ３６，ミラーＭ２等）の光学的位置調整をするときは、固定天板２１Ａと可動天板２１Ｂとに跨って固定されている各保持コマ６８，７３を取り外すとよい。そして、ヒンジ機構３９の支軸７２を回動中心として可動天板２１Ｂを回動させ、図７に示す位置（以下、この位置のことを「第２の位置」という。）へ変位させれば、筐体２７内又は筐体２８内の光学素子については保持姿勢の微調整がやりやすくなる。各光学素子相互の光学的位置調整が終了すると、露光装置１０は出荷のために梱包される。
【００５９】
梱包に際して、露光装置１０は、図７に示すように、検査時に第１の位置にあった可動天板２１Ｂが第２の位置へと変位させられる。なお、このとき筐体２７と筐体２８との間から連結部材３１は取り外され、各筐体２７，２８の露出した開口部位には閉塞キャップ（図示略）が嵌め込みされる。そして、第２の位置において、可動天板２１Ｂは固定天板２１Ａとの相対的な位置関係が露光装置１０の輸送時において変化しないように固定部材（例えばＬ字ブラケット）７９，８０を介して移動（変位）不能に固定（保持）される。すなわち、長尺状をなす固定部材７９の一端側（図７では下端側）を固定天板２１Ａの後端部の右側寄りに形成されたねじ孔５５と左右方向略中間位置に形成されたねじ孔５６とを利用して固定天板２１Ａに固定する。続けて、この固定部材７９の他端側（図７では上端側）を可動天板２１Ｂの凸部６３に形成されたねじ孔（図示略）を利用して可動天板２１Ｂに固定する。
【００６０】
また、固定部材７９より若干短い固定部材８０の一端側（図７では下端側）を固定天板２１Ａの張り出し部４６の後側縁にかかる部分に形成されたねじ孔４８を利用して固定天板２１Ａに固定する。続けて、この固定部材８０の他端側（図７では上端側）を可動天板２１Ｂ上に固定されている取付プレート４２の隅角に形成されているねじ孔８１を利用して取付プレート４２に固定し、この取付プレート４２を介して間接的に可動天板２１Ｂに固定する。すると、可動天板２１Ｂは、図７に示すように、第２の位置において固定天板２１Ａとの相対的な位置関係が両固定部材７９，８０により移動（変位）不能に固定（保持）される。その結果、可動天板２１Ｂ上に取り付けられた可動鏡筒としての筐体２８，２９は、本体コラム１３（装置本体部１１）に対して本体コラム１３（装置本体部１１）から外方へは非突出の態様で支持された状態となる。
【００６１】
そして次に、図８に示すように、露光装置１０は、出荷用の輸送可能な梱包ケース８２内に梱包される。この梱包ケース８２は、重量物である露光装置１０を載置可能な強度を有するベース８２ａと、このベース８２ａの上方域に露光装置１０の収容空間を形成してベース８２ａ上に被せられる有底筒形状のケース本体８２ｂとからなり、露光装置１０の梱包時にはケース本体８２ｂが予めベース８２ａ上から外される。そして、その状態において、図示しない持ち上げ用の機械装置を使用して、露光装置１０がベース８２ａ上に載置され、続けてケース本体８２ｂが露光装置１０を覆うようにベース８２ａ上に被せられる。その後、梱包ケース８２に対して必要な緊縛作業等を行えば、露光装置１０の梱包が完了し、露光装置１０は梱包態様で保管又は輸送に供される。
【００６２】
一方、このような梱包態様で輸送された露光装置１０を設置する際は、予定された設置場所に梱包ケース８２を載置した後、その梱包ケース８２の緊縛を解き、ベース８２ａ上からケース本体８２ｂを取り外す（なお、必要ある場合は、続けて、ベース８２ａを露光装置１０の下から取り外す）。そして、梱包時とは逆の手順で、固定部材７９，８０を取り外し、天板２１における可動天板２１Ｂを第２の位置から第１の位置へとヒンジ機構３９の支軸７２を回動中心として回動（変位）させる。そして、固定天板２１Ａの後端部の凸部６２及び凹部６４と可動天板２１Ｂの前端部の凹部６５及び凸部６３を嵌合させ、その状態において各保持コマ６８，７３を固定天板２１Ａと可動天板２１Ｂとの間を跨ぐように固定すればよい。
【００６３】
すると、各凸部６２，６３と各凹部６４，６５及び各保持コマ６８，７３の位置合わせ機能により、固定天板２１Ａ上に取り付けられた固定鏡筒としての筐体２６，２７と可動天板２１Ｂ上に取り付けられた可動鏡筒としての筐体２８，２９は、各筐体２６〜２９内に保持した各光学素子が互いに梱包前における光学的位置調整された位置関係となる。すなわち、可動天板２１Ｂが第１の位置において各凸部６２，６３と各凹部６４，６５及び各保持コマ６８，７３により位置合わせされた場合、固定鏡筒としての筐体２６，２７と可動鏡筒としての筐体２８，２９は、常に同じ位置関係となるようにされる。
【００６４】
したがって、本実施形態によれば、次のような効果を奏し得る。
（１）露光装置１０の梱包に際しては、梱包前状態で装置本体部１１から突出した態様の第１の位置にあった可動天板２１Ｂを装置本体部１１からは非突出の態様の第２の位置に変位させることにより、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２（鏡筒全体）を装置本体部１１と同じ梱包ケース８２内に梱包することができる。従って、梱包ケース８２の数量が多くなるのを抑制でき、その分、梱包及び輸送コストを低減することができる。
【００６５】
（２）また、露光装置１０の梱包に際して、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２を可動天板２１Ｂ上の各筐体２８，２９が装置本体部１１から外方へ突出した態様の支持状態としたままで装置本体部１１と同じ梱包ケース内に収めようとすると、その突出分を見込んだ大容量の梱包ケースが特別に必要となる。この点、本実施形態では、図８に示すように、可動天板２１Ｂ上の各筐体２８，２９を装置本体部１１から外方へは非突出の態様となる支持状態として梱包するため、大容量の梱包ケースを特別に用意する必要もなくなり、梱包コストの低減に寄与できる。
【００６６】
（３）露光装置１０の梱包を解いて設置する際には、各凸部６２，６３と各凹部６４，６５及び各保持コマ６８，７３が位置合わせ機能を発揮し、固定天板２１Ａ上の筐体２６，２７（固定鏡筒）と可動天板２１Ｂ上の筐体２８，２９（可動鏡筒）との相対的な位置関係が梱包前の元の位置関係に簡単に再現される。従って、露光装置１０の設置時に煩雑な位置合わせ作業が不要になり、装置立ち上げ時間を短縮できる。
【００６７】
（４）また、露光装置１０の設置に際して、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２に関する設置作業は、可動天板２１Ｂ上に取り付けられた可動鏡筒としての一部の筐体２８，２９を第２の位置から第１の位置へ移動させる作業だけであるので、人力だけで簡単に設置作業を完了できる。従って、大がかりな機械装置を使用しなくともよい分、設置コストの低減に寄与できる。
【００６８】
（５）梱包・輸送時の第２の位置から設置時の第１の位置へと変位させた可動天板２１Ｂを保持コマ６８，７３により固定天板２１Ａに対して位置合わせ保持すれば、可動天板２１Ｂ上の筐体２８，２９内の光学素子と固定天板２１Ａ上の筐体２６，２７内の光学素子とを梱包前の光学的位置調整された位置関係とできる。従って、この点でも、露光装置１０の設置後における装置立ち上げ時間の短縮に寄与できる。
【００６９】
（６）第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２に関する設置作業において、人力により第２の位置から第１の位置へと移動させられる可動天板２１Ｂ（及び各筐体２８，２９）は、移動させられる可動天板２１Ｂがヒンジ機構３９を介して固定天板２１Ａに回動可能に支持されたものであるため、人力でも簡単に移動できる。従って、露光装置１０の設置作業を簡単に進行でき、この点でも設置コストの低減に寄与できる。同様に、露光装置１０の梱包時においては可動天板２１Ｂを梱包前の第１の位置から第２の位置へ人力により簡単に移動することができる。従って、露光装置１０の梱包作業を簡単に進行でき、この点でも、梱包コストの低減に寄与できる。
【００７０】
（７）梱包された露光装置１０の輸送に際しては、可動天板２１Ｂが固定部材７９，８０により梱包・輸送時の第２の位置から変位不能に固定されるため、輸送途中に振動等が加わったとしても可動天板２１Ｂが露光装置１０における他の周辺部位に衝突したりするおそれを回避できる。
【００７１】
（８）可動天板２１Ｂ上の筐体２８，２９内に保持された光学素子の中には露光動作中に稼働する可動部（可動レチクルブラインド２４）を含んでいないため、可動天板２１Ｂを第１の位置と第２の位置との間で回動（変位）させたとしても、そのことで露光不良に繋がるような故障を招くこともない。
【００７２】
なお、実施形態は、以下のような別の実施形態（別例）に変更してもよい。
・可動天板２１Ｂ上に取り付けられる筐体２８，２９（可動鏡筒）内に保持される光学素子には可動レチクルブラインド等の可動部が含まれていてもよい。この場合でも、梱包コスト及び輸送コストの低減は図ることができる。
【００７３】
・可動天板２１Ｂは、第２の位置において固定部材７９又は固定部材８０の何れか一方だけにより変位不能に保持されるものであってもよい。また、固定部材７９と固定部材８０に加え、別の固定部材により更に強固に保持されるようにしてもよい。
【００７４】
・また、固定部材７９，８０としては、Ｌ字ブラケットを利用する以外に、他の形状の部材（例えば帯状ブラケットなど）を利用してもよく、要するに、固定天板２１Ａと可動天板２１Ｂとの間に架設される剛体部材であればよい。
【００７５】
・固定部材７９，８０は、その一端側が固定天板２１Ａ以外の本体コラム１３の構成部材（例えば外側支柱１９）に固定され、その他端側が可動天板２１Ｂ（又は可動天板２１Ｂ上の取付プレート４２）に固定されたものであってもよい。
【００７６】
・可動天板２１Ｂを第１の位置と第２の位置との間で回動可能に支持するヒンジ機構３９は、固定天板２１Ａ以外の本体コラム１３の構成部材（例えば外側支柱１９）から突設された軸受け片と可動天板２１Ｂ側から突設された軸受け片７１及び支軸７２により構成されるものであってもよい。
【００７７】
・可動天板２１Ｂを第１の位置と第２の位置との間で回動可能に支持する機構は、実施形態の両軸受け片６９，７１と支軸７２からなるヒンジ機構３９に限らず他の機構により実現してもよい。例えば、固定天板２１Ａ側から上方に軸部が突出した受け座片を側方へ突設し、その軸部に嵌合する軸孔が形成された載置片を可動天板２１Ｂの膨出部７０から突設するようにしてもよい。
【００７８】
・また、可動鏡筒としての各筐体２８，２９が取り付けられた可動天板２１Ｂは、必ずしも装置本体部１１（本体コラム１３）側に回動可能に支持された構成でなく、固定天板２１Ａとは着脱可能な分離構成であってもよい。この場合でも、露光装置１０の梱包時に大容量の梱包ケースを特別に仕様する必要はなく、また、その設置時に第２部分照明光学系ＩＯＰ２の鏡筒ハウジング３２に関する設置作業で移動させる必要のあるのは可動天板２１Ｂの部分だけであるため、梱包・輸送コスト及び設置コストの低減には寄与できる。
【００７９】
・保持部材としての保持コマ６８，７３は、保持コマ６８又は保持コマ７３の何れかであってもよい。また、保持コマ６８，７３の形状、取付位置、個数は、実施形態の形状、取付位置、個数に限定されるものではない。
【００８０】
・位置合わせ機構は、凸部６２と凹部６４の組み合わせ機構、凸部６３と凹部６５の組み合わせ機構、各保持コマ６８，７３のうち、少なくとも一つあればよい。
・光源１２の位置にも関係するが、照明光学系ＩＯＰは、第２部分照明光学系ＩＯＰ２に加えて第１部分照明光学系ＩＯＰ１についても装置本体部１１に支持される構成としてもよい。例えば、第１部分照明光学系ＩＯＰ１と第２部分照明光学系ＩＯＰ２を直列配置の配列構成とし、その照明光学系ＩＯＰにおける鏡筒ハウジングの光源１２側となる部分で露光装置１０の設置時には装置本体部１１から突出した態様となる部分について実施形態に示したような可動鏡筒としてもよい。
【００８１】
・実施形態では固定鏡筒として構成された筐体２６を固定天板２１Ａ上に固定する構成ではなく、例えば取付プレート４０が固定天板２１Ａ上をスライド移動するようにしてもよい。すなわち、装置本体部１１に対して装置本体部１１から非突出の態様で支持される筐体２６についても可動鏡筒として構成することが可能である。この場合、可動鏡筒として構成された筐体２６をメンテナンス時等に移動（変位）させれば、その筐体２６や筐体２７における光学素子のメンテナンス作業をやりやすくなる。なお、このように筐体２６を可動鏡筒とする構成は、固定天板２１Ａのうち筐体２６が取り付けられた天板部分を、筐体２７が取り付けられた天板部分に対して移動可能（例えばヒンジ機構を介して回動可能）に設けることによっても得られ、この場合も、可動鏡筒として構成された筐体２６をメンテナンス時等に移動（変位）させれば、その筐体２６や筐体２７における光学素子のメンテナンス作業をやりやすくなる。
【００８２】
・梱包ケース８２は、ケース本体８２ｂの上部が図８に二点鎖線で示すような形状をしていてもよい。
・実施形態では、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置に具体化したが、ステップ・アンド・リピット方式の縮小投影露光装置や、投影光学系を用いることなくマスクと基板とを近接配置あるいは密着させてマスクのパターンを基板に転写するプロキシミティ露光装置あるいはコンタクト露光装置に具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本実施形態の露光装置の全体構成を概略的に示す正面図。
【図２】第２部分照明光学系の支持構成を示す一部断面図。
【図３】天板の平面図。
【図４】天板の正面図。
【図５】天板の背面図。
【図６】可動天板が第１の位置にある場合の天板及び第２部分照明光学系の平面図。
【図７】可動天板が第２の位置にある場合の天板及び第２部分照明光学系の平面図。
【図８】露光装置の梱包状態を示す正断面図。
【符号の説明】
【００８４】
１０…露光装置、１１…装置本体部、２４…可動部としての可動レチクルブラインド、２６，２７…固定鏡筒としての筐体、２８，２９…可動鏡筒としての筐体、６２，６３…位置合わせ機構を構成する凸部、６４，６５…位置合わせ機構を構成する凹部、６８，７３…位置合わせ機構及び保持部材としての保持コマ、７９，８０…固定部材、８２…梱包ケース、ＩＯＰ…照明光学系、ＩＯＰ２…第２部分照明光学系。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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