(57)【要約】【課題】ファンフイルタユニットにおいて、クリーン空間でのフイルタ着脱を短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省スペース化および、フイルタの厚みに関らず汎用性のある固定金具を提供する。【解決手段】ファン１とモーター２からなるファンユニット３を内蔵したチャンバ４と、ファンユニット３の下流側に配設される１枚以上からなるフィルタ６と、このフィルタ６とチャンバ４の間に挿入される弾性を備えたパッキン５と、断面コ字形状の固定金具１１を有し、この固定金具１１は、一端にチャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８と、他端にフイルタ枠１２に係合するフイルタ押え部１０と、チャンバ４の側面とフイルタ４の側面に当接または近接する中央板部９とからなり、フイルタ４の側面に設けたＣ型形状のフイルタ枠１２とチャンバ４の表面との間を固定金具１１で挟持し、チャンバ４とフイルタ６を結合させるフイルタ取付構造体が得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターからなるファンユニットを内蔵したチャンバと、前記ファンユニットの下流側に配設される少なくとも１枚以上からなるフィルタと、このフィルタと前記チャンバの間に挿入される弾性を備えたパッキンと、断面コ字形状の固定金具を有し、この固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と、他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と、前記チャンバの側面と前記フィルタの側面に当接または近接する中央板部とからなり、前記フィルタの側面に設けたＣ型形状のフィルタ枠と前記チャンバの表面との間を前記固定金具で挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合してなるフィルタ取付構造体。
【請求項２】
固定金具は中央板部の両端より一対の側面押え部を立設し、この側面押え部はチャンバとフィルタのそれぞれ対向する側面に近接して設けた請求項１記載のフィルタ取付構造体。
【請求項３】
フィルタ押え部の幅寸法ａは、フィルタのフィルタ枠間の開口幅寸法ｂよりやや小なる寸法とした請求項１または請求項２記載のフィルタ取付構造体。
【請求項４】
チャンバ押え部先端部分に、開き形状のくの字部を備えた請求項１または請求項２記載のフィルタ取付構造体。
【請求項５】
固定金具のチャンバ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してチャンバ表面と圧接するチャンバ調整ボルトを有してなる請求項１または請求項２記載のフィルタ取付構造体。
【請求項６】
固定金具のフィルタ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してフィルタ枠の裏面と圧接するフィルタ調整ボルトを有してなる請求項１または請求項２記載のフィルタ取付構造体。
【請求項７】
チャンバ側面にチャンバ固定ボルトの取付穴を設け、固定金具の中央板部に前記チャンバ固定ボルトを通す開口穴を有してなる請求項１または請求項２記載のフィルタ取付構造体。
【請求項８】
固定金具はチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具からなり、このチャンバ側固定金具はチャンバ押え部と第１の中央板部と、この第１の中央板部に設けた第１の開口穴からなり、前記フィルタ側固定金具はフィルタ押え部と第２の中央板部と、この第２の中央板部に設けた第２の開口穴からなり、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴の少なくとも一方を長穴とした請求項７記載フィルタ取付構造体。
【請求項９】
フィルタ側固定金具の下端に設けた筐体固定フランジと、この筐体固定フランジに設けた開口部と、この開口部を通して筐体に固定する筐体固定ボルトを有してなる請求項８記載のフィルタ取付構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットのフィルタ取付け構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のフィルタ取付構造体は、形状の異なる接合部材やフックを組み合わせてフィルタを着脱可能に構成している（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−３３６８１５号公報（［０００１］〜［００２９］、図１〜図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のフィルタ着脱方法では、ファンボックスに固定金具を先に取り付けておく必要があり、設置後はシール性を向上するための微調整が難しいという課題があり、固定金具を現場で簡単に取り付けできるとともに、設置後もシール性を向上できることが要求されている。
【０００４】
また、フィルタ下面に接合部材を引っ掛ける構造とした場合は、ファンフィルタユニットを筐体に設置する際、フィルタ下面を直接筐体に固定することができなくなり、筐体設置において別部材が新たに必要となるという課題があり、直接筐体に固定できることが要求されている。
【０００５】
また、複数のフィルタを重ねて設置する場合に、全てのフィルタとファンボックスを省スペースで、横ずれしないように固定する間敏な方法がないという課題があり、複数のフィルタとファンボックスを省スペースで確実に固定できる構造が要求されている。
【０００６】
本発明は、このような従来のフィルタ着脱の課題を解決するものであり、フィルタ取付の準備作業を省いてフィルタ着脱を短時間におこなうことができ、また複数枚のフィルタを積層した場合のチャンバへのフィルタ固定が省スペースで確実に行え、またチャンバとフィルタの結合体を、筐体へ直接かつ簡単に固定できるフィルタ取付構造体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のフィルタ取付構造体は、上記目的を達成するために、ファンとモーターからなるファンユニットを内蔵したチャンバと、前記ファンユニットの下流側に配設される少なくとも１枚以上からなるフィルタと、このフィルタと前記チャンバの間に挿入される弾性を備えたパッキンと、断面コ字形状の固定金具を有し、この固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と、他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と、前記チャンバの側面と前記フィルタの側面に当接または近接する中央板部とからなり、前記フィルタの側面に設けたＣ型形状のフィルタ枠と前記チャンバの表面との間を前記固定金具で挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合させたものである。
【０００８】
また、他の手段は、固定金具は中央板部の両端より一対の側面押え部を立設し、この側面押え部はチャンバとフィルタのそれぞれ対向する側面に近接して設けたものである。
【０００９】
また、他の手段は、フィルタ押え部の幅寸法ａは、フィルタのフィルタ枠間の開口幅寸法ｂよりやや小となる寸法としたものである。
【００１０】
また、他の手段は、チャンバ押え部先端部分に、開き形状のくの字部を備えたものである。
【００１１】
また、他の手段は、固定金具のチャンバ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してチャンバ表面と圧接するチャンバ調整ボルトを有したものである。
【００１２】
また、他の手段は、固定金具のフィルタ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してフィルタ枠の裏面と圧接するフィルタ調整ボルトを有したものである。
【００１３】
また、他の手段は、チャンバ側面にチャンバ固定ボルトの取付穴を設け、固定金具の中央板部に前記チャンバ固定ボルトを通す開口穴を有したものである。
【００１４】
また、他の手段は、固定金具はチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具からなり、このチャンバ側固定金具はチャンバ押え部と第１の中央板部と、この第１の中央板部に設けた第１の開口穴からなり、前記フィルタ側固定金具はフィルタ押え部と第２の中央板部と、この第２の中央板部に設けた第２の開口穴からなり、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴の少なくとも一方を長穴としたものである。
【００１５】
また、他の手段は、フィルタ側固定金具の下端に設けた筐体固定フランジと、この筐体固定フランジに設けた開口部と、この開口部を通して筐体に固定する筐体固定ボルトを有したものである。
【００１６】
これらにより、フィルタ取付の準備作業を省いてフィルタ着脱を短時間におこなうことができ、また複数枚のフィルタを積層した場合のチャンバへのフィルタ固定が省スペースで確実に行え、またチャンバとフィルタの結合体を、筐体へ直接かつ簡単に固定できるフィルタ取付構造体が得られる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、チャンバと１枚もしくは複数枚のフィルタを同時かつ容易に接合できる効果のあるフィルタ取付構造体を提供できる。
【００１８】
また、チャンバとフィルタを結合したファンフィルタユニットを筐体に取りつける場合、チャンバとフィルタの脱離や横ズレを防止できる効果のあるフィルタ取付構造体を提供できる。
【００１９】
また、小型、省スペースで脱離や横ズレを防止できる効果のあるフィルタ取付構造体を提供できる。
【００２０】
また、チャンバにチャンバ押え部を着脱する際、力をかけることなく容易に着脱ができる効果が得られる。
【００２１】
また、チャンバ調整ボルトの締め具合の調整により固定時の固定圧力を調整ができることから、チャンバとフィルタとの固定時のシール性を向上できる効果が得られる。
【００２２】
また、チャンバ天面に余分な突起を設けることなく、チャンバとフィルタとの固定時のシール性を省スペースでできる効果が得られる。
【００２３】
また、チャンバとフィルタとの固定の際、不安全に外れることがなく、確実に固定できる効果が得られる。
【００２４】
また、フィルタの厚みが変更しても、フィルタを複数枚使用した場合でも、チャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具をフィルタの厚みに合わせてスライドすることで、容易に固定できる効果が得られる。
【００２５】
また、一つの固定金具で、チャンバとフィルタを固定することともに、チャンバとフィルタを固定したファンフィルタユニット本体を容易に手間をかけずに筐体に固定できる効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明の請求項１記載の発明は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と、他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と、前記チャンバの側面と前記フィルタの側面に当接または近接する中央板部とからなり、前記フィルタの側面に設けたＣ型形状のフィルタ枠と前記チャンバの表面との間を前記固定金具で挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合したものであり、固定金具を事前にチャンバに取り付ける必要がなく、チャンバと１枚以上のフィルタを設置現場で容易に接合することができるという作用を有する。
【００２７】
また、本発明の請求項２記載の発明は、固定金具は中央板部の両端より一対の側面押え部を立設し、この側面押え部はチャンバとフィルタのそれぞれ対向する側面に近接して設けたものであり、チャンバとフィルタの水平方向の位置を保ち、脱離や横ズレを防止することができるという作用を有する。
【００２８】
また、本発明の請求項３記載の発明は、フィルタ押え部の幅寸法ａは、フィルタのフィルタ枠間の開口幅寸法ｂよりやや小なる寸法としたものであり、固定金具の巾寸法が小さくなり、省スペースで脱離、横ズレしにくくなるという作用を有する。
【００２９】
また、本発明の請求項４記載の発明は、チャンバ押え部先端部分に、開き形状のくの字部を備えたことで、チャンバにチャンバ押え部を係脱する際、パッキンの弾性力に抗して力を少しかけるだけで容易に着脱ができるという作用を有する。
【００３０】
また、本発明の請求項５記載の発明は、固定金具のチャンバ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してチャンバ表面と圧接するチャンバ調整ボルトを有したものであり、チャンバとフィルタの固定時において、チャンバ調整ボルトの締め具合により固定時の固定圧力を調整して、シール性と結合力を向上できるという作用を有する。
【００３１】
また、本発明の請求項６記載の発明は、固定金具のフィルタ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してフィルタ枠の裏面と圧接するフィルタ調整ボルトを有したものであり、チャンバ天面に余分な突起を設けることなく、フィルタ調整ボルトの締め具合により固定圧力を調整して、チャンバとフィルタとの結合力とシール性の向上を省スペースで実現できるという作用を有する。
【００３２】
また、本発明の請求項７記載の発明は、チャンバ側面にチャンバ固定ボルトの取付穴を設け、固定金具の中央板部に前記チャンバ固定ボルトを通す開口穴を有したものであり、固定金具が不注意な操作で簡単に外れることがなく、フィルタとチャンバの確実な固定ができるという作用を有する。
【００３３】
また、本発明の請求項８記載の発明は、固定金具はチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具からなり、このチャンバ側固定金具はチャンバ押え部と第１の中央板部と、この第１の中央板部に設けた第１の開口穴からなり、前記フィルタ側固定金具はフィルタ押え部と第２の中央板部と、この第２の中央板部に設けた第２の開口穴からなり、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴の少なくとも一方を長穴としたものであり、フィルタやパッキンの厚みが変更した場合や、フィルタの枚数が増減した場合でも、長穴の寸法範囲内でチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具をスライドすることで、調整して固定することができるという作用を有する。
【００３４】
また、本発明の請求項９記載の発明は、フィルタ側固定金具の下端に設けた筐体固定フランジと、この筐体固定フランジに設けた開口部と、この開口部を通して筐体に固定する筐体固定ボルトを有したものであり、一つの固定金具で、チャンバとフィルタを結合することともに、チャンバとフィルタを固定したファンフィルタユニット本体を、容易に手間をかけずに筐体に固定することが実現できるという作用を有する。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３５】
（実施の形態１）
図１〜図３に示すように、ファン１とモーター２からなるファンユニット３をチャンバ４に内蔵し、ファンユニット３の下流側にゴムなどの弾性体よりなるパッキン５と１枚以上のフィルタ６を配設し、断面コ字状の固定金具１１で連結することによりファンフィルタユニット７を形成する。
【００３６】
固定金具１１は、一端にチャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８と、他端にフィルタ枠１２に係合するフィルタ押え部１０と、チャンバ４の側面とフィルタ６の側面に当接または近接する中央板部９とからなり、チャンバ４表面とフィルタ６の側面に設けられたＣ型形状のフィルタ枠１２との間を挟持するように連結している。
【００３７】
上記構成において、図３に示すように、まず固定金具１１を斜めにしてフィルタ押え部１０をフィルタ枠１２に係合させ、フィルタ押え部１０側を支点としてチャンバ押え部８を回動し、さらにチャンバ４表面に圧接状態で係合させることにより、チャンバ４とフィルタ６を挟み込んで結合させることができる。このとき、チャンバ４とフィルタ６の間にパッキン５が介在しているので、パッキン５の弾性力によりチャンバとフィルタ６間のシール性が確実に確保されることとなる。
【００３８】
また、チャンバ４の表面でチャンバ押え部８との接合部にテフロン（登録商標）製などのテープを貼ることで、固定金具１１の着脱時において、テープ表面の円滑性により、チャンバ押え部８が容易にスライドするため、着脱時に必要な力を軽減することができ、作業性が向上する。
【００３９】
（実施の形態２）
図４および図５に示すように、固定金具１１ａの中央板部９の左右両端より平行な一対の側面押え部１３を突設し、中央板部９の横幅内寸法はチャンバ４およびフィルタ６の横幅寸法よりやや大としている。
【００４０】
上記構成において、固定金具１１ａのフィルタ押え部１０をフィルタ枠１２に係合させ、チャンバ４とフィルタ６を挟み込んで結合させるときに、一対の側面押え部１３はチャンバ４およびフィルタ６の側面に近接して配置されるので、チャンバ４およびフィルタ６の水平方向への移動が阻止され、チャンバ４およびフィルタ６の脱離や横ズレを防止することができる。
【００４１】
（実施の形態３）
図６に示すように、フィルタ押え部１０ａの幅寸法ａは、フィルタ枠１２の開口幅寸法ｂよりやや小なる寸法とし、クリアランスを２ｍｍ以下とすることにより、フィルタ押え部１０ａがフィルタ枠１２の内側にわずかな隙間を介して入り込む寸法関係としている。
【００４２】
上記構成において、フィルタ押え部１０ａがフィルタ枠１２の開口部分で寸法規制されることから、フィルタ６に対して固定金具１１が左右にズレることを防止することができる。
【００４３】
また、固定金具１１に側面押え部１３を有している場合は、固定金具１１でチャンバ４の左右の移動を阻止することができ、チャンバ４とフィルタ６の位置ずれを確実に防止することができる。
【００４４】
（実施の形態４）
図７に示すように、チャンバ押え部８の先端部分に開き形状をした、くの字部８ａを形成している。
【００４５】
上記構成において、チャンバ押え部８の先端部分に、くの字部８ａを形成することにより、固定金具１１をチャンバ４に取り付けるときは、チャンバ押え部８の先端部分がチャンバ４の表面に当接しないので、入り難くなったりチャンバ４を傷付けることがなく、容易にチャンバ押え部８を係合させることができる。また、固定金具１１を外すときは、チャンバ押え部８のくの字部８ａに指先を当てて、引き上げるように回動することにより、容易に外すことができる。
【００４６】
（実施の形態５）
図８に示すように、固定金具１１のチャンバ押え部８に取付穴１４を設け、取付穴１４に螺合してチャンバ４表面と圧接するチャンバ調整ボルト１５を設けている。
【００４７】
上記構成において、チャンバ調整ボルト１５を締めることで、チャンバ４とフィルタ６間のパッキンが縮んで圧接するとともに、チャンバ４とフィルタ６間のパッキンを押しつけて、シール性を向上することができる。
【００４８】
（実施の形態６）
図９に示すように、固定金具１１のフィルタ押え部１０に取付穴１６を設け、取付穴１６に螺合してフィルタ枠の裏面１２ａと圧接するフィルタ調整ボルト１７を設けている。
【００４９】
上記構成において、フィルタ調整ボルト１７の締めこんでいくことで、チャンバ４表面とフィルタ枠１２との距離が縮むことから、チャンバ４とフィルタ６間のシール性を向上することができるとともに、フィルタ調整ボルト１７は、Ｃ型形状のフィルタ枠１２内に設けられていることから、ファンフィルタユニット７の外周部分に余分な突起を生じることが無く、省スペース化が図れる。
【００５０】
（実施の形態７）
図１０に示すように、チャンバ４側面にチャンバ固定ボルト１８の取付穴１９を設け、固定金具１１の中央板部９に前記チャンバ固定ボルト１８を通す開口穴２０が配置される。
【００５１】
上記構成において、チャンバ４とフィルタ６との固定の際、固定金具１１は、チャンバ固定ボルト１８で締め付けることで、ファンフィルタユニット７に確実に固定する。
【００５２】
なお、チャンバ押え部８の先端部分を開き形状の、くの字部８ａとするとともに、フィルタ押え部１０の先端部分を湾曲構造とした湾曲部１０ｂとすることで、ファンフィルタユニット７と固定金具１１の不用意な脱離防止ができるとともに、チャンバ４にチャンバ押え部８を着脱する際、大きな力をかけることなく容易に着脱ができることができ、かつチャンバ固定ボルト１８にて固定金具１１との確実に固定ができる。
【００５３】
（実施の形態８）
図１１および図１２に示すように、固定金具１１はチャンバ側固定金具２１とフィルタ側固定金具２２からなり、このチャンバ側固定金具２１はチャンバ押え部８と第１の中央板部２３と、この第１の中央板部２３に設けた第１の開口穴２４からなり、フィルタ側固定金具２２は、フィルタ押え部１０と第２の中央板部２５と、この第２の中央板部２５に設けた第２の開口穴２６からなり、第１の開口穴２４と第２の開口穴２６を通してチャンバ４側面に設けた取付穴１９に螺合するチャンバ固定ボルト１８を有し、第１の開口穴２４と第２の開口穴２６は長穴となっている。
【００５４】
上記構成において、チャンバ側固定金具２１とフィルタ側固定金具２２は、スライドできる構成であり、フィルタの厚みに合わせて、チャンバ固定ボルト１８を第１の開口穴２４内と第２の開口穴２６内をスライドして調節し締付けることで、１枚のフィルタ６の厚みが変わっても、またフィルタ６が複数枚積層する場合でも、フィルタ６の厚みに関わらず容易にかつ確実に固定することができる。
【００５５】
（実施の形態９）
図１２および図１３に示すように、フィルタ側固定金具２２の下端に設けた筐体固定フランジ２７と、この筐体固定フランジ２７に設けた開口部２８と、この開口部２８を通して筐体２９に固定する筐体固定ボルト３０を設けている。
【００５６】
上記構成において、チャンバ側固定金具２１とフィルタ側固定金具２２で、挟み込むようにチャンバ４とフィルタ６を固定したファンフィルタユニット７を、筐体２９に固定する際、筐体２９面と筐体固定フランジ２７を当接させ、筐体固定ボルト３０にて筐体２９と筐体固定フランジ３１を固定することにより、ファンフィルタユニット７本体を容易に手間をかけずに筐体に確実に固定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
固定金具を用いてパッキンを介在させた状態で、複数のフィルタのみを連結する用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施の形態１の正面図
【図２】同固定金具の外観斜視図
【図３】同正面図
【図４】本発明の実施の形態２の固定金具の外観斜視図
【図５】同正面図
【図６】本発明の実施の形態３の側面図
【図７】本発明の実施の形態４の正面図
【図８】本発明の実施の形態５の正面図
【図９】本発明の実施の形態６の正面図
【図１０】本発明の実施の形態７の正面図
【図１１】本発明の実施の形態８の固定金具の外観斜視図
【図１２】本発明の実施の形態８および９の正面図
【図１３】本発明の実施の形態９の固定金具の外観斜視図
【符号の説明】
【００５９】
１      ファン
２      モーター
３      ファンユニット
４      チャンバ
５      パッキン
６      フィルタ
８      チャンバ押え部
８ａ    くの字部
９      中央板部
１０    フィルタ押え部
１１    固定金具
１１ａ  固定金具
１２    フィルタ枠
１３    側面押え部
１４    取付穴
１５    チャンバ調整ボルト
１６    取付穴
１７    フィルタ調整ボルト
１８    チャンバ固定ボルト
１９    取付穴
２０    開口穴
２１    チャンバ側固定金具
２２    フィルタ側固定金具
２３    第１の中央板部
２４    第１の開口穴
２５    第２の中央板部
２６    第２の開口穴
２７    筐体固定フランジ
２８    開口部
２９    筐体
３０    筐体固定ボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2006071184.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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