(57)【要約】【課題】  搬送能力が高く、省スペース、低コストである基板搬送設備を提供すること。【解決手段】  基板を容器１２に収容した状態で搬送する、工程間搬送部１４と工程内搬送部１８とを有する基板搬送設備１０において、工程間搬送部をメインコンベヤ２２で構成したことを特徴としている。また、工程内搬送部は、メインコンベヤの分岐コンベヤ２２ｅから送り出された容器を受け入れる入庫コンベヤ３６と、入庫コンベヤに並設され、複数の容器を載置、保管することができる保管棚４０と、保管棚に並設され、容器をメインコンベヤに搬出する出庫コンベヤ３８と、入庫コンベヤ、保管棚、出庫コンベヤ、及び、当該工程内搬送部に係る基板処理装置の間で容器の受渡しを行う天井搬送装置４６とを備えることを特徴とする。【選択図】  図２
2006135030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板処理装置（２０）からなるベイ（１６）を複数含む施設において、基板を収納した容器（１２）を搬送するための基板搬送設備（１０）であって、
前記ベイ（１６）間における容器（１２）の搬送を行うメインコンベヤ（２２）を含む工程間搬送部（１４）と、
前記ベイ（１６）のそれぞれに対して設けられ、前記工程間搬送部（１４）から搬入された容器（１２）を当該ベイ（１６）内における所望の基板処理装置（２０）に搬送する工程内搬送部（１８）と
を具備し、
前記メインコンベヤ（２２）が前記工程内搬送部（１８）のそれぞれに容器（１２）を送り出す分岐コンベヤ（２２ｅ）を含み、
前記工程内搬送部（１８）が、
前記分岐コンベヤ（２２ｅ）から送り出された容器（１２）を受け入れる入庫コンベヤ（３６）と、
前記入庫コンベヤ（３６）の近傍に設けられ、複数の容器（１２）を載置、保管することができる保管棚（４０）と、
前記保管棚（４０）の近傍に設けられ、容器（１２）を前記メインコンベヤ（２２）に搬出する出庫コンベヤ（３８）と、
容器（１２）を吊支して昇降させるホイスト（５８）を有し、前記入庫コンベヤ（３６）、前記保管棚（４０）、前記出庫コンベヤ（３８）、及び、当該工程内搬送部（１８）に係る基板処理装置（２０）の間で容器（１２）の受渡しを行う天井搬送装置（４６）と
を備える、基板搬送設備。
【請求項２】
複数の基板処理装置（２０）からなるベイ（１６）を複数含む施設において、基板を収納した容器（１２）を搬送するための基板搬送設備（１０）であって、
前記ベイ（１６）間における容器（１２）の搬送を行うメインコンベヤ（２２）を含む工程間搬送部（１４）と、
前記ベイ（１６）のそれぞれに対して設けられ、前記工程間搬送部（１４）から搬入された容器（１２）を当該ベイ（１６）内における所望の基板処理装置（２０）に搬送する工程内搬送部（１８）と
を具備し、
前記メインコンベヤ（２２）が前記工程内搬送部（１８）のそれぞれに容器（１２）を送り出す分岐コンベヤ（２２ｅ）を含み、
前記工程内搬送部（１８）が、
前記分岐コンベヤ（２２ｅ）から送り出された容器（１２）を受け入れる入庫コンベヤ（３６）と、
前記入庫コンベヤ（３６）の近傍に設けられ、複数の容器（１２）を載置、保管することができる保管棚（４０）と、
前記保管棚（４０）の近傍に設けられ、容器（１２）を前記メインコンベヤ（２２）に搬出する出庫コンベヤ（３８）と、
前記保管棚（４０）の一部を構成するとともに、容器（１２）を前記出庫コンベヤ（３８）に搬送することができる出荷ステーション（４２）と、
容器（１２）を吊支して昇降させるホイスト（５８）を有し、前記入庫コンベヤ（３６）、前記保管棚（４０）、及び、当該工程内搬送部（１８）に係る基板処理装置（２０）の間で容器（１２）の受渡しを行う天井搬送装置（４６）と
を備える、基板搬送設備。
【請求項３】
前記天井搬送装置（４６）が、前記入庫コンベヤ（３６）と平行な第１方向に走行する第１台車（５０）と、前記第１方向に直交する第２方向に、前記第１台車（５０）に対して走行するとともに、前記ホイスト（５８）が取り付けられた第２台車（５６）とを有する、請求項１又は２に記載の基板搬送設備。
【請求項４】
前記入庫コンベヤ（３６）の少なくとも一部分がアキュムレート機能を有し、前記天井搬送装置（４６）が、前記アキュムレート機能を有する部分の上方に前記ホイスト（５８）を配置可能となっている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項５】
前記メインコンベヤ（２２）、前記入庫コンベヤ（３６）及び前記出庫コンベヤ（３８）の少なくとも一つが、ゾーン毎に独立して起動・停止を行うことのできる分散駆動型ローラコンベヤを含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項６】
前記分岐コンベヤ（２２ｅ）が容器（１２）の方向転換機能を有している、請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
【請求項７】
前記天井搬送装置（４６）が２台のホイスト（５８ａ，５８ｂ）を備える、請求項１〜６のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
基板を収納した容器（１２）を搬送するための基板搬送設備（１０）において用いられる天井搬送装置（４６）であって、
容器（１２）を吊支して昇降させるホイスト（５８ａ，５８ｂ）を２台備えている、天井搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハやフラットパネルディスプレイ用ガラスプレート等の基板を搬送するための搬送設備、及び、そのような基板搬送設備で用いられる天井搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場においては、ＣＶＤ装置やＰＶＤ装置、エッチング装置等のウェハ処理装置（本明細書では半導体ウェハを扱う装置全般をいい、試験装置等も含む意である）を例えば同種毎に集めて、所謂ベイを作り、処理すべき半導体ウェハを各ベイ内の装置間で搬送（工程内搬送：ｉｎｔｒａ−ｂａｙ  ｔｒａｎｓｐｏｒｔａｔｉｏｎ）したり、ベイ間で搬送（工程間搬送：ｉｎｔｅｒ−ｂａｙ  ｔｒａｎｓｐｏｒｔａｔｉｏｎ）したりすることが一般的である。
【０００３】
また、近年、半導体製造工場では、直径３００ｍｍの半導体ウェハの採用が進められている。３００ｍｍ径のウェハを用いる場合、ミニエンバロイメント（局所清浄空間）化の観点から、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と呼ばれる密閉容器にウェハを複数枚収納した状態で搬送を行うことが主流となっている。３００ｍｍ径のウェハを複数枚収容したＦＯＵＰは相当な重量があるため、人手による搬送は困難である。このため、搬送設備は自動化が求められている。
【０００４】
ところで、ＦＯＵＰに関しては、ウェハ処理装置のロードポート（入出庫口）が標準化（ＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１）されている。かかるロードポートは、上方からのアクセスに適している。そこで、下記の特許文献１に記載されているように、多くの半導体製造工場においては、自動搬送設備として、天井搬送装置がＦＯＵＰの工程間搬送及び工程内搬送に採用されている。この天井搬送装置は、工場建屋の上部空間を有効に利用するという利点がある。
【０００５】
なお、天井搬送装置を用いた場合、工程間搬送と工程内搬送との間の橋渡しとして、ストッカが各ベイの入出庫部に設置されている。ストッカは、保管棚とスタッカクレーンを備える自動倉庫の一種であり、ＦＯＵＰを一時的に保管して搬送タイミングを調整することができるようになっている。
【特許文献１】特開２０００−１８８３１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したような従来の搬送設備では、天井搬送装置自体の搬送能力が低く、コストも高いという問題がある。加えて、工程間搬送における天井搬送装置も、工程内搬送における天井搬送装置も搬送経路がループ状であるため、搬送順が固定されてしまい、これによっても搬送・処理能力が低くなっている。
【０００７】
また、半導体製造工場の建屋は清浄度の高いクリーンルームであることが要求されるため、単位容積当たりのコストが高く、省スペース化が求められているが、各ベイにストッカが必要であるため、省スペースの要請に応えられないという問題もある。更に、工程間搬送を担う天井搬送装置は、搬送能力を補うため、ショートカットができるように複線化されているが、これも省スペースを阻害する要因となっている。
【０００８】
同様な問題は、フラットパネルディスプレイ用のガラスプレートのような他の基板の搬送についても存する。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、搬送能力が高く、省スペース、低コストである基板搬送設備、及び、そのような基板搬送設備に適した天井搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、基板処理装置からなるベイを複数含む施設において、基板を収納した容器を搬送するための基板搬送設備であって、（Ａ）ベイ間における容器の搬送を行うメインコンベヤを含む工程間搬送部と、（Ｂ）ベイのそれぞれに対して設けられ、工程間搬送部から搬入された容器を当該ベイ内における所望の基板処理装置に搬送する工程内搬送部と、を具備するものに関する。また、本発明による基板搬送設備は、メインコンベヤが工程内搬送部のそれぞれに容器を送り出す分岐コンベヤを含み、工程内搬送部が、分岐コンベヤから送り出された容器を受け入れる入庫コンベヤと、入庫コンベヤの近傍に並設され、複数の容器を載置、保管することができる保管棚と、保管棚の近傍に設けられ、容器をメインコンベヤに搬出する出庫コンベヤと、容器を吊支して昇降させるホイストを有し、入庫コンベヤ、保管棚、出庫コンベヤ、及び、当該工程内搬送部に係る基板処理装置の間で容器の受渡しを行う天井搬送装置とを備えることを特徴としている。
【００１１】
また、保管棚から出庫コンベヤへの容器の搬送については、天井搬送装置を用いずに行ってもよい。例えば、保管棚の一部を構成するとともに、容器を出庫コンベヤに搬送することができる出荷ステーションを設けてもよい。
【００１２】
天井搬送装置は、入庫コンベヤと平行な第１方向に走行する第１台車と、第１方向に直交する第２方向に、第１台車に対して走行するとともに、ホイストが取り付けられた第２台車とを有する構成とするとよい。この構成では、ホイストを水平方向に自在に移動させることができ、所望の位置にホイストを配置することができる。
【００１３】
更に、入庫コンベヤの少なくとも一部分に、アキュムレート機能を持たせることが好ましい。従来のストッカとして入庫コンベヤを用い、省スペース化を図ることができるからである。この場合、待機された容器にランダムにアクセスできるよう、天井搬送装置を、アキュムレート機能を有する部分の上方にホイストを配置できることが有効となる。
【００１４】
また、メインコンベヤ、入庫コンベヤ及び出庫コンベヤの少なくとも一つは、ゾーン毎に独立して起動・停止を行うことのできる分散駆動型ローラコンベヤを含むことが好適である。間欠的な搬送が可能であり、搬送停止中、動力の消費やパッティクルの発生を抑制できるからである。また、分散駆動型ローラコンベヤはそれ自体、アキュムレート機能を有するものである。
【００１５】
基板処理装置にセットされる容器の向きを考慮して、分岐コンベヤは容器の方向転換機能を有するとよい。
【００１６】
天井搬送装置については、搬送効率の向上という観点から、２台のホイストを設けることが有効である。
【発明の効果】
【００１７】
以上述べたように、本発明によれば、工程間搬送部及び工程内搬送部の大部分が、天井搬送装置に代えてコンベヤとされているため、コンベヤ特有の低コスト、高搬送能力という利益を享受することができる。
【００１８】
また、工程内搬送部では、天井搬送装置を併用することにより、入庫コンベヤ及び出荷コンベヤは可能な限り短くすることができ、無用なコストを抑制することができる。
【００１９】
更に、保管棚を設けることで、ストッカが不要となり、省スペースを図ることが可能となっている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。図１は、本発明による基板搬送設備の一実施形態を概略的に示す全体図であり、図２は、その要部を示す斜視図である。また、図３は、工程内搬送部の構成を示す平面図であり、図４は、図３のIV−IV線に沿っての断面図である。
【００２１】
本実施形態に係る基板搬送設備１０は、半導体製造工場において半導体ウェハ（基板）をＦＯＵＰ（容器）１２に収納した状態で搬送するものであり、一つの工程間搬送部１４と、この工程間搬送部１４に沿って設けられた複数のベイ１６における工程内搬送部１８とを有する。工程間搬送部１４及び工程内搬送部１８は、工場建屋の上部空間に配置されている。これは、建屋内空間の有効利用を図るとともに、工場建屋の床面（図４の符号１９参照）に設置されるウェハ処理装置（基板処理装置）２０等の交換や保守管理を容易にするためでもある。
【００２２】
工程間搬送部１４は、ループ状のメインコンベヤ２２から構成されている。本実施形態に係るメインコンベヤ２２は、図１に示すように、互いに平行に配置された２本の長い直線部分（以下「長路部分」という）２２ａと、これらの長路部分２２ａの端部間を繋ぐ短い直線部分（以下「短路部分」という）２２ｂとからなっている。長路部分２２ａと短路部分２２ｂとの間には、ターンテーブル式コンベヤ２２ｃが配置されており、ＦＯＵＰ１２の向きを搬送方向に対して一定とすることができるようにしている。短路部分２２ｂを円弧状とすることも可能であるが、直線状の短路部分２２ｂを用いた方が、長路部分２２ａ，２２ａ間の間隔を小さくすることができ、省スペース化を図ることができる。このメインコンベヤ２２は、工場建屋の天井（図４の符号２３参照）から吊支されている。
【００２３】
メインコンベヤ２２は、複数のゾーンに区切られ、各ゾーンが独立して起動・停止することができる分散駆動型のローラコンベヤから構成されることが有効である。分散駆動型のローラコンベヤは、図５に明示するように、複数本のローラ２４で各ゾーンを構成し、そのうちの１本がモータを内蔵したモータローラ２４ａとなっている。モータローラ２４ａの駆動力は、隣合うローラ２４，２４（２４ａ）間に巻き掛けられた環状ベルト２６により伝えられる。各ローラ２４の両端部分にはウレタン２８が巻かれ、その上にＦＯＵＰ１２が置かれて搬送されるようになっている。従って、合成樹脂製のＦＯＵＰ１２と、金属製のローラ２４（２４ａ）との直接接触が防止され、パーティクル発生が抑制される。また、ゾーン毎に光センサ３０が設けられており、ＦＯＵＰ１２がそのゾーンに存在していない状態では、そのゾーンのモータローラ２４ａが駆動しないようにしている。これは、省エネルギーを可能とすることに加え、ローラの回転によるパーティクル発生や騒音を抑える効果を奏する。なお、以下で述べる他のローラコンベヤも全てこの図５に示すタイプのものとする。
【００２４】
このような分散駆動型のローラコンベヤをメインコンベヤ２２として用いることで、適当な区間でＦＯＵＰをアキュムレートして待機させることができ、半導体ウェハの処理待ちの調整をメインコンベヤ２２上で行うことが可能となる。
【００２５】
図示実施形態において、メインコンベヤ２２には、２本の長路部分２２ａ，２２ａ間を横断するショートカットローラコンベヤ３２が複数本、設けられている。これによって、搬送先となる工程内搬送部１８に最短のコースでＦＯＵＰ１２を搬送することができる。ショートカットローラコンベヤ３２と接続するメインコンベヤ２２の部分２２ｄには、ＦＯＵＰ１２の向きを搬送方向に対して一定とすべく、ターンテーブル式コンベヤが配置されている。
【００２６】
メインコンベヤ２２たるローラコンベヤは、それ自体、非常に搬送能力が高く、コストも低い。また、従来の天井搬送装置の場合には、図１及び図２に示すような直角なショートカットを形成することができず、搬送経路の複線化が必要となり、省スペース化が困難であったが、ローラコンベヤを採用することで、かかる問題は解消され、工程間搬送部１４における省スペース化を図ることが可能となっている。
【００２７】
工程間搬送部１４におけるメインコンベヤ２２により搬送されるＦＯＵＰ１２は、所定のベイ１６に送り込まれ、工程内搬送部１８によって所定のウェハ処理装置２０に搬送される。ベイ１６は、工程間搬送部１４におけるメインコンベヤ２２の外側に、その長路部分２２ａに沿って複数形成されている。各ベイ１６には複数のウェハ処理装置２０があり、これらは、メインコンベヤ２２の長路部分２２ａに直角な直線に沿って１列又は２列で並設されている。２列でウェハ処理装置２０が並べられる場合、図２〜図４に示すように、一方の列におけるウェハ処理装置２０のロードポート３４が他方の列に向くように配置される。また、各列におけるウェハ処理装置２０は、ロードポート３４が一直線に揃うように配置されている。
【００２８】
以下、図２〜図４を主に参照して、２列のウェハ処理装置２０からなるベイ１６の工程内搬送部１８について述べる。
【００２９】
各工程内搬送部１８は、工程間搬送部１４からベイ１６にＦＯＵＰ１２を送り込むための入庫コンベヤ３６を備えている。入庫コンベヤ３６は、ウェハ処理装置２０の各列に対して１本、設けられており、工程間搬送部１４におけるメインコンベヤ２２の長路部分２２ａから直角に延び、ウェハ処理装置２０の上方に配置されている。なお、工程間搬送部１４におけるメインコンベヤ２２の、入庫コンベヤ３６との接続部分２２ｅには、ＦＯＵＰの向きを調整するためのターンテーブル式コンベヤ（分岐コンベヤ）が配置されている。
【００３０】
本実施形態における入庫コンベヤ３６は、工程間搬送部１４のメインコンベヤ２２と同様、分散駆動型のローラコンベヤであるので、アキュムレート機能を有し、処理前の複数のＦＯＵＰ１２を待機させておくことができる。各入庫コンベヤ３６で待機可能なＦＯＵＰ１２の個数は、当該入庫コンベヤ３６に関連する列の全ウェハ処理装置２０の台数以上とすることが好ましい。このような個数のＦＯＵＰ１２を待機させることのできる入庫コンベヤ３６の長さは、図１〜図３から理解される通り、ウェハ処理装置２０の列の長さよりも相当に短くて済み、入庫コンベヤ３６の設置に要するコストを抑制する効果がある。
【００３１】
各工程内搬送部１８は、そのベイ１６で処理された半導体ウェハを収容したＦＯＵＰ１２を工程間搬送部１４に送り出すため出庫コンベヤ３８を備えている。出庫コンベヤ３８は、ウェハ処理装置２０の各列毎に設けてもよいが、図示実施形態では、出庫コンベヤ３８は１本で共用することとしている。出庫コンベヤ３８は、２本の入庫コンベヤ３６の中間位置で、これらと平行に延び、工程間搬送部１４のメインコンベヤ２２に接続されている。メインコンベヤ２２の、出庫コンベヤ３８との接続部分２２ｆは、他のコンベヤ同士の接続部分２２ｃ，２２ｄ，２２ｅと同様に、ターンテーブル式コンベヤとなっている。以下でも述べるが、本実施形態の工程内搬送部１８は、処理済みウェハを収容したＦＯＵＰ１２を一時的に保管する保管棚４０を備えているため、出庫コンベヤ３８は、ＦＯＵＰ１２のアキュムレート機能は不要であり、入庫コンベヤ３６に比して大幅に短くされている。
【００３２】
入庫コンベヤ３６と出庫コンベヤ３８との間には、保管棚４０が設けられている。保管棚４０は、ＦＯＵＰ１２を単に載置できる平板状のものであり、入出庫コンベヤ３６，３８と平行に延び、出庫コンベヤ３８の対面位置に隣接して配置されている。保管棚４０の長さは、一時保管が必要となると考えられるＦＯＵＰ１２の最大個数によって適宜定められるものである。
【００３３】
保管棚４０の一部は、出庫コンベヤ３８にＦＯＵＰ１２を移載すべく待機させる出庫ステーション４２となっている。本実施形態では、出庫ステーション４２は、２本の保管棚４０で共用できるよう両保管棚４０間に架け渡され、出庫コンベヤ３８の末端が出庫ステーション４２の中間部に接続している。また、本実施形態における出庫ステーション４２は、基本的には、正逆両方向の駆動が容易であるベルトコンベヤから構成されている。なお、出庫ステーション４２の一方の端部、すなわち一方の保管棚４０の部分はターンテーブル式コンベヤ４４となっていることが、出庫コンベヤ３８上の全てのＦＯＵＰ１２を同じ向きとすることができるので好適である。
【００３４】
本実施形態においては、入庫コンベヤ３６と保管棚４０との間にはＦＯＵＰ１２を降ろすのに十分な間隙が形成されている。この間隙の直下にウェハ処理装置２０のロードポート３４が配置される。
【００３５】
工程内搬送部１８は、更に、２台の天井搬送装置４６を備えている。各天井搬送装置４６は、一方の入庫コンベヤ３６と、保管棚４０と、その間のウェハ処理装置２０におけるロードポート３４との間でのＦＯＵＰ１２の受渡しを行うものである。
【００３６】
天井搬送装置４６は、図２〜図４に示すように、保管棚４０の工程間搬送部１４側の端部から、最も工程間搬送部１４から離れた位置にあるウェハ処理装置２０まで、入庫コンベヤ３６等と平行に延びる１対のメインレール４８を備えている。メインレール４８は、その間に入庫コンベヤ３６と保管棚４０とを挟む形で、工場建屋の天井２３に設置されている。メインレール４８，４８間には第１台車５０が設けられている。第１台車５０は、各メインレール４８に沿って走行可能なスライダ５２と、スライダ５２，５２間に横架された１対のサブレール５４とを備えている。サブレール５４はメインレール４８の方向（第１方向）に直交する第２方法に沿って延びており、サブレール５４，５４間には、更に、第２台車５６が設けられている。第２台車５６は、サブレール５４に沿って走行可能となっており、その中央部には、ＦＯＵＰ１２を吊支して昇降させるホイスト５８が設けられている。かかる構成においては、第１台車５０と第２台車５６をそれぞれ制御することで、ホイスト５８を、入庫コンベヤ３６のＦＯＵＰ待機部分、保管棚４０及びウェハ処理装置２０のロードポート３４の所望の上方位置に自在に配置することが可能となる。そして、ホイスト５８を制御することで、ＦＯＵＰ１２を把持し、入庫コンベヤ３６、保管棚４０及びウェハ処理装置２０のロードポート３４の間で自在に移載することができる。
【００３７】
なお、本実施形態では、メインレール４８はコの字状であり、第１台車５０のスライダ５２のガイドローラ６０がコの字状メインレール４８の内側を転動するよう配置されているため、第１台車５０のサブレール５４の高さはメインレール４８とほぼ同一となっている。また、サブレール５４と第２台車５６との間も同様な構成となっているため、ホイスト５８の基部は天井２３の近傍に位置することとなる。これは、入庫コンベヤ３６及び保管棚４０、更にこれらと同一高さとなる出庫コンベヤ３８、工程間搬送部１４のメインコンベヤ２２の設置位置を高くとることを可能とする。従って、工程間搬送部１４及び工程内搬送部１８の下側に広い空間を確保することができ、大型のウェハ処理装置２０も設置でき、装置レイアウトの自由度が増す。
【００３８】
上述したような構成の工程内搬送部１８では、工程間搬送部１４からＦＯＵＰ１２から送られて来ると、概ね次のような手順で搬送が行われる。
【００３９】
まず、搬送先のウェハ処理装置２０におけるロードポート３４のセット方向に合わせるために、工程間搬送部１４と工程内搬送部１８との間のターンテーブル式コンベヤ２２ｅにおいて、ＦＯＵＰ１２の向きが変更された後、入庫コンベヤ３６にＦＯＵＰ１２が送り込まれる。入庫コンベヤ３６に導入される前でのＦＯＵＰ１２の方向転換は必須ではないが、方向転換しておくことで、天井搬送装置４６等に方向転換機構を持たせる必要がなくなる。
【００４０】
入庫コンベヤ３６上では、ＦＯＵＰ１２は下流へと間欠的に送られ、所望のウェハ処理装置２０での処理が可能となるまで、その上で待機される。ウェハ処理装置２０の準備が整ったならば、天井搬送装置４６が駆動され、ＦＯＵＰ１２はホイスト５８によって吊り上げられ、第１及び第２の台車５０，５６により水平移動後、ロードポート３４の直上に配置される。そして、ＦＯＵＰ１２はホイスト５８により下降され、ロードポート３４上の所定位置にセットされる。この後、ＦＯＵＰ１２から半導体ウェハが取り出され、ウェハ処理装置２０において処理が進められる。
【００４１】
ウェハ処理装置２０での処理が終了した半導体ウェハはＦＯＵＰ１２に戻され、別のベイ１６におけるウェハ処理装置２０に搬送される。この場合、ＦＯＵＰ１２は、天井搬送装置４６により一旦、保管棚４０の適所に移動され、そこで保管され、次のウェハ処理装置２０への搬送タイミングを調整する。そして、搬送を行える状態となったならば、ＦＯＵＰ１２は天井搬送装置４６により出庫ステーション４２に移される。ＦＯＵＰ１２が出庫ステーション４２の端部のターンテーブル式コンベヤ４４に載せられた場合には、向きが変更された後、出庫コンベヤ３８に移載される。また、出庫ステーション４２の他端側に載せられた場合には、ＦＯＵＰ１２はそのままの向きで、出庫コンベヤ３８へと移載される。最終的に、ＦＯＵＰ１２は出庫コンベヤ３８から工程間搬送部１４のメインコンベヤ２２に搬送され、次のベイ１６へと搬送が続けられる。
【００４２】
前述したように、ＦＯＵＰ１２は入庫コンベヤ３６からウェハ処理装置２０に搬送され、また、ウェハ処理装置２０での処理が終了した後、ＦＯＵＰ１２は保管棚４０に搬送されて保管され、或いは、直接出庫ステーション４２に搬送されるが、その搬送は天井搬送装置４６により行われる。従来とは異なり、本実施形態に係る天井搬送装置４６は搬送経路がループ状とはなっておらず、水平面内の移動が自在であるため、所望の位置のＦＯＵＰ１２に直接アクセスすることが可能であり、且つ、目的位置まで直線的に搬送させることも可能である。このため、従来のようにループ状の経路をほぼ一周するような動きがなく、短時間での搬送が可能となり、効率が格段と向上する。
【００４３】
また、前述したように、工程内搬送部１８における搬送作業において、ストッカを用いていないので、ストッカに要するスペース及びコストが不要となる。
【００４４】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【００４５】
例えば、上記実施形態では、天井搬送装置４６には１台のホイスト５８しか設けられていないが、図６に示すように、２台のホイスト５８ａ，５８ｂを設けてもよい。なお、図６において、上記実施形態と同一又は相当部分には同一符号を付しその詳細な説明は省略する。通常、各ウェハ処理装置２０には、作業効率の観点から、二つのロードポート３４を設け、２個のＦＯＵＰ１２をセットすることができるようになっているため、同時に２個のＦＯＵＰ１２を搬送できることは有効である。また、ロードポート３４上で１個の処理済みウェハ入りＦＯＵＰ１２を新規なＦＯＵＰ１２に交換する際にも、一方のホイスト５８ａは空の状態とし、他方のホイスト５８ｂに新規なＦＯＵＰ１２を吊り下げていけば、天井搬送装置４６の移動距離を短縮することが可能となり便利である。
【００４６】
また、保管棚４０から出庫コンベヤ３８へのＦＯＵＰ１２の移載又は入荷コンベヤ３６から出庫コンベヤ３８へのＦＯＵＰ１２の移載も、図示のようなコンベヤに限らず、例えば天井搬送装置４６の搬送範囲を広げることにより、天井搬送装置４６で代替することも可能である。
【００４７】
更に、ベイ１６によってはウェハ処理装置２０が１列だけの場合もある。かかる場合には、入庫コンベヤ３６は１本だけとなる。なお、図７は、ウェハ処理装置２０が１列のみとなっているベイ１６に関する工程内搬送部１８を示す図であるが、２本の入庫コンベヤ３６ａ，３６ｂが設けられている。この形態では、ウェハ処理装置２０を前群（工程間搬送部１４側のグループ）２０Ａと後群２０Ｂとに分け、一方の入庫コンベヤ３６ａは、前群２０Ａのためのものとして、図１〜図４に示す入庫コンベヤ３６とほぼ同等のものである。後群２０Ｂについては、入庫コンベヤ３６ａとは別個に入庫コンベヤ３６ｂが延ばされている。なお、後群２０Ｂに対する搬送を行うため、天井搬送装置４６は２台用意され、また、出庫コンベヤ３８は延長されている。このような形態を採ることで、搬送能力を上げ、ベイ１６内のウェハ処理装置２０の処理効率を向上させることが可能となる。
【００４８】
また、上記実施形態では、メインコンベヤ２２、入庫コンベヤ３６及び出庫コンベヤ３８等は分散駆動型のローラコンベヤとしているが、ベルトコンベヤ等、他の型式のコンベヤの適用も考えられ得る。分岐コンベヤについてもターンテーブル式コンベヤ以外の型式が適用され得る。
【００４９】
更に、搬送する基板は半導体ウェハに限られず、フラットパネルディスプレイ用ガラスプレート等であってもよく、それを収容する容器もＦＯＵＰという名称のものに限られない。
【００５０】
更にまた、保管棚４０は入庫コンベヤ３６の延長上に配置することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明による基板搬送設備の一実施形態を概略的に示す全体平面図である。
【図２】図１の基板搬送設備の要部を示す斜視図である。
【図３】図１の基板搬送設備における工程内搬送部を示す平面図である。
【図４】図３のIV−IV線に沿っての断面図である。
【図５】本発明による基板搬送設備で用いられるローラコンベヤの一例を示す斜視図である。
【図６】本発明による基板搬送設備で用いられる天井搬送装置の変形例を示す下方からの斜視図である。
【図７】本発明による基板搬送設備の他の実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０…基板搬送設備、１２…ＦＯＵＰ（容器）、１４…工程間搬送部、１６…ベイ、１８…工程内搬送部、２０…ウェハ処理装置（基板処理装置）、２２…メインコンベヤ、２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆ…ターンテーブル式コンベヤ（分岐コンベヤ）、３２…ショートカットローラコンベヤ、３４…ロードポート、３６，３６ａ，３６ｂ…入庫コンベヤ、３８…出庫コンベヤ、４０…保管棚、４２…出庫ステーション、４６…天井搬送装置、５０…第１台車、５６…第２台車、５８，５８ａ，５８ｂ…ホイスト。
【図１】
2006135030.tif 000003
【図２】
2006135030.tif 000004
【図３】
2006135030.tif 000005
【図４】
2006135030.tif 000006
【図５】
2006135030.tif 000007
【図６】
2006135030.tif 000008
【図７】
2006135030.tif 000009