(57)【要約】【課題】対物レンズを数μｍオーダーの微小距離で移動させて位置調整を図る。【解決手段】レボルバにおける心調整機構において、ローター部材の対物レンズ取付穴の近傍に配置された、回転運動を光軸方向と直交する平面に沿う所定の方向への第１の直線運動に変換する第１の偏心カム手段と、ローター部材の対物レンズ取付穴の近傍に対物レンズ取付穴を挟んで第１の偏心カム手段と対向して配置されるとともに、回転運動を平面に沿う所定の方向と直交する方向への第２の直線運動に変換する第２の偏心カム手段と、第１の偏心カム手段と第２の偏心カム手段とにそれぞれ係合して、第１の直線運動に応じて第１の直線運動方向に移動するとともに、第２の直線運動に応じて第２の直線運動方向に移動する対物レンズ固定系部材とを有し、対物レンズ固定系部材を介してローター部に対物レンズを固定する。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能なローター部材の該回転軸線を中心とする同一円周上に形成された複数の対物レンズ取付穴に複数の対物レンズをそれぞれ配設するレボルバにおける心調整機構において、
ローター部材の対物レンズ取付穴の近傍に配置された、回転運動を光軸方向と直交する平面に沿う所定の方向への第１の直線運動に変換する第１の偏心カム手段と、
前記ローター部材の前記対物レンズ取付穴の近傍に前記対物レンズ取付穴を挟んで前記第１の偏心カム手段と対向して配置されるとともに、回転運動を前記平面に沿う前記所定の方向と直交する方向への第２の直線運動に変換する第２の偏心カム手段と、
前記第１の偏心カム手段と前記第２の偏心カム手段とにそれぞれ係合して、前記第１の直線運動に応じて前記第１の直線運動方向に移動するとともに、前記第２の直線運動に応じて前記第２の直線運動方向に移動する対物レンズ固定系部材と
を有し、
前記対物レンズ固定系部材を介して前記ローター部に対物レンズを固定する
ことを特徴とするレボルバにおける心調整機構。
【請求項２】
請求項１に記載のレボルバにおける心調整機構において、さらに、
前記対物レンズ固定系部材の前記第１の直線運動方向への移動をガイドするガイド手段と
を有することを特徴とするレボルバにおける心調整機構。
【請求項３】
回転可能なローター部材の該回転軸線を中心とする同一円周上に形成された複数の対物レンズ取付穴に複数の対物レンズをそれぞれ配設するレボルバにおける心調整機構において、
ローター部材の対物レンズ取付穴の近傍に配置された、前記対物レンズの光軸方向と直交する平面に垂直な軸線周りに回転可能とされた前記軸線に対して偏心した第１の偏心カム部と前記軸線と同心のカム部とを有する第１のカム手段と、
前記ローター部材の前記対物レンズ取付穴の近傍に前記対物レンズ取付穴を挟んで前記第１のカム手段と対向して配置されるとともに、前記平面に垂直な軸線周りに回転可能とされた前記軸線に対して偏心した第２の偏心カム部を有する第２のカム手段と、
前記第１のカム手段の回転に伴い前記第１のカム手段に対して前記平面に沿って移動可能かつ前記第２のカム手段の回転に伴い前記第２のカム手段に対して前記平面に沿って移動可能に配置されるとともに、前記平面に沿う所定の方向に延長するとともに前記第１の偏心カム部を配置して前記第１のカム手段の回転に伴う前記移動により前記第１の偏心カム部が前記所定の方向にのみ相対的に移動可能な第１の偏心カムガイド部と、前記平面に沿う前記所定の方向と直交する方向に延長するとともに前記カム部を配置して前記第１のカム手段の回転に伴う前記移動により前記カム部が前記直交する方向にのみ相対的に移動可能なカムガイド部と、前記直交する方向に延長するとともに前記第２の偏心カム部を配置して前記第１のカム手段または前記第２のカム手段の回転に伴う前記移動により前記第２の偏心カム部が前記直交する方向にのみ相対的に移動可能な第２の偏心カムガイド部とを有する対物レンズ固定系部材と
を有し、
前記第１のカム手段の回転に伴い前記対物レンズ固定系部材を前記直交方向へ移動し、前記第２のカム手段の回転に伴い前記対物レンズ固定系部材を前記所定の方向へ移動する
ことを特徴とするレボルバにおける心調整機構。
【請求項４】
請求項１、２または３のいずれか１項に記載のレボルバにおける心調整機構において、さらに、
前記ローター部材に対して前記対物レンズ固定系部材を付勢する付勢手段と
を有することを特徴とするレボルバにおける心調整機構。
【請求項５】
回転可能なローター部材の該回転軸線を中心とする同一円周上に形成された複数の対物レンズ取付穴に複数の対物レンズをそれぞれ配設したレボルバにおける焦点調整機構において、
ローター部材の対物レンズ取付穴を囲んで配設されかつ内周面に雌ねじを形成した筒形形状を備えるとともに、壁面に雌ねじを形成された径方向への貫通孔を穿設した対物レンズ固定系部材と、
外周面に雄ねじを形成された筒形形状を備えるとともに内径側に対物レンズを装着され、前記対物レンズ固定系部材の雌ねじと前記雄ねじとをねじ結合することにより、前記対物レンズ固定系部材に光軸方向に移動可能に固定される対物レンズ装着部材と、
前記貫通孔に形成された雌ねじとねじ結合する雄ねじを外周面に形成された結合部材と、
前記貫通孔内において、前記対物レンズ装着部材の前記雄ねじと前記結合部材との間に配置される弾性体と
を有し、
前記貫通孔内に前記結合部材をねじ込んで、前記弾性体を介して前記対物レンズ装着部材の前記雄ねじを押圧することにより、前記対物レンズ固定系部材と前記対物レンズ装着部材とを固定する
ことを特徴とするレボルバにおける焦点調整機構。
【請求項６】
請求項５に記載のレボルバにおける焦点調整機構において、
前記対物レンズ装着部材は、対向して配置された少なくとも一対の切り欠き部を頂部に形成した
ことを特徴とするレボルバにおける焦点調整機構。
【請求項７】
請求項１、２、３または４のいずれか１項に記載のレボルバにおける心調整機構において、
前記対物レンズ固定系部材は、前記ローター部材の前記対物レンズ取付穴を囲んで配設されかつ内周面に雌ねじを形成した筒形形状を備えるとともに、壁面に雌ねじを形成された径方向への貫通孔を穿設され、さらに、
外周面に雄ねじを形成された筒形形状を備えるとともに内径側に対物レンズを装着され、前記対物レンズ固定系部材の雌ねじと前記雄ねじとをねじ結合することにより、前記対物レンズ固定系部材に光軸方向に移動可能に固定される対物レンズ装着部材と、
前記貫通孔に形成された雌ねじとねじ結合する雄ねじを外周面に形成された結合部材と、  前記貫通孔内において、前記対物レンズ装着部材の前記雄ねじと前記結合部材との間に配置される弾性体と
を有し、
前記貫通孔内に前記結合部材をねじ込んで、前記弾性体を介して前記対物レンズ装着部材の前記雄ねじを押圧することにより、前記対物レンズ固定系部材と前記対物レンズ装着部材とを固定する
ことを特徴とするレボルバにおける心調整機構。
【請求項８】
請求項７に記載のレボルバにおける心調整機構において、
前記対物レンズ装着部材は、対向して配置された少なくとも一対の切り欠き部を頂部に形成した
ことを特徴とするレボルバにおける心調整機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レボルバにおける心調整機構および焦点調整機構に関し、さらに詳細には、各種顕微鏡などの光学機器に対して複数の対物レンズを切り換え可能に搭載する際に用いるレボルバにおける心調整機構および焦点調整機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、微細な加工制御を行うための装置として、加工対象を観察するための顕微鏡を搭載したレーザー加工装置（以下、「顕微鏡搭載型レーザー加工装置」と適宜に称する。）などが知られている。
【０００３】
こうした顕微鏡搭載型レーザー加工装置などにおいては、倍率の異なる複数の対物レンズをレボルバ（対物レンズ転換装置）に搭載しておき、レボルバを回転させて当該レボルバに搭載された対物レンズを切り換えて使用することにより、顕微鏡による加工対象の観察像の倍率を変更するようになされている。
【０００４】
また、近年においては、液晶ディスプレイ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ：ＬＣＤ）の欠陥部位を検出して修復するための装置として、顕微鏡搭載型レーザー加工装置を組み込んだＬＣＤリペア装置が用いられている。こうしたＬＣＤリペア装置においても、倍率の異なる複数の対物レンズを搭載したレボルバを備えた顕微鏡を用いており、レボルバを回転させて当該レボルバに搭載された対物レンズを切り換えて使用しながら、ＬＣＤの欠陥部位の検出および修復を行っている。
【０００５】
ところで、上記した倍率の異なる複数の対物レンズを搭載したレボルバにおいては、対物レンズを取り付けるための対物レンズ取付孔の加工精度や対物レンズの組立精度などに起因して、レボルバを回転させて使用する対物レンズを変更した際に、観察している像が視野の中心からずれてしまう、所謂、「視野ずれ」や、観察している像から焦点位置がずれてしまう、所謂、「焦点ずれ」が発生する場合がある。
【０００６】
顕微鏡においては、こうした視野ずれや焦点ずれの発生が大きな問題となることは勿論のことであるが、特に、上記したＬＣＤリペア装置に搭載された顕微鏡において視野ずれや焦点ずれが発生すると、ＬＣＤは、同形状の画素（セル）が多数連続しているために、対物レンズを変えることによって折角発見した欠陥部位を見失ってしまうことになるという深刻な問題を生じさせるものであった。
【０００７】
このため、レボルバを回転させることによる対物レンズの変更に伴い発生する視野ずれや焦点ずれを補正するための機構として、例えば、特許文献１として提示する特開平１１−２３７５５８号公報などに開示された手法が提案されている。
【０００８】
この特許文献１に開示された視野ずれを補正する機構たる心調整機構は、傾斜面を備えた調整カラーの光軸方向への移動を対物レンズ取付フランジの光軸に対して直交する方向への移動に転換することにより、対物レンズ取付フランジに取り付けられた対物レンズを光軸に対して直交する方向へ移動させて視野ずれの発生を補正しようとするものである。
【０００９】
しかしながら、上記した特許文献１に開示された心調整機構は、傾斜面を利用して光軸方向から当該光軸方向と直交する方向への移動方向の転換を図るものであるので、その移動自体が再現性に欠けるものとなり、対物レンズを、例えば、数μｍオーダーの微小距離で移動することにより位置調整をすることが極めて困難であるという問題点があった。
【００１０】
また、上記した特許文献１に開示された焦点ずれを補正する機構たる焦点調整機構は、第１ナット部材で焦点を調整した後に第２ナット部材を締め付け固定するという、所謂、「ダブルナット方式」を採用するものであるため、その焦点位置の調整作業が繁雑であるという問題点があった。
【特許文献１】特開平１１−２３７５５８号公報（第３頁〜第５頁、図３〜図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記したような従来の技術の有する種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、対物レンズを、例えば、数μｍオーダーの微小距離で移動させて位置調整を図ることを可能にしたレボルバにおける心調整機構を提供しようとするものである。
【００１２】
また、本発明は、煩雑な調整作業を行う必要なく、簡単な操作により対物レンズの焦点位置を調整することを可能にしたレボルバにおける焦点調整機構を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明によるレボルバにおける心調整機構は、回転可能なローター部材の該回転軸線を中心とする同一円周上に形成された複数の対物レンズ取付穴に複数の対物レンズをそれぞれ配設するレボルバにおける心調整機構において、ローター部材の対物レンズ取付穴の近傍に配置された、回転運動を光軸方向と直交する平面に沿う所定の方向への第１の直線運動に変換する第１の偏心カム手段と、上記ローター部材の上記対物レンズ取付穴の近傍に上記対物レンズ取付穴を挟んで上記第１の偏心カム手段と対向して配置されるとともに、回転運動を上記平面に沿う上記所定の方向と直交する方向への第２の直線運動に変換する第２の偏心カム手段と、上記第１の偏心カム手段と上記第２の偏心カム手段とにそれぞれ係合して、上記第１の直線運動に応じて上記第１の直線運動方向に移動するとともに、上記第２の直線運動に応じて上記第２の直線運動方向に移動する対物レンズ固定系部材とを有し、上記対物レンズ固定系部材を介して上記ローター部に対物レンズを固定するようにしたものである。
【００１４】
従って、本発明によるレボルバにおける心調整機構によれば、偏心カムの回転運動たる偏心カム運動を光軸と直交する平面上の直線運動に変換して、この直線運動を利用して対物レンズ固定系部材を移動することにより対物レンズの位置調整を行うようにしたのものであるので、対物レンズを、例えば、数μｍオーダーの微小距離で移動させて位置調整を図ることが可能になる。
【００１５】
ここで、本発明によるレボルバにおける心調整機構においては、さらに、上記対物レンズ固定系部材の上記第１の直線運動方向への移動をガイドするガイド手段を設けるようにしてもよい。このようにすると、上記対物レンズ固定系部材を上記第１の直線運動方向へ確実に移動することができるようになり、対物レンズのより精密な位置調整を図ることが可能になる。
【００１６】
また、本発明によるレボルバにおける心調整機構は、回転可能なローター部材の該回転軸線を中心とする同一円周上に形成された複数の対物レンズ取付穴に複数の対物レンズをそれぞれ配設するレボルバにおける心調整機構において、ローター部材の対物レンズ取付穴の近傍に配置された、上記対物レンズの光軸方向と直交する平面に垂直な軸線周りに回転可能とされた上記軸線に対して偏心した第１の偏心カム部と上記軸線と同心のカム部とを有する第１のカム手段と、上記ローター部材の上記対物レンズ取付穴の近傍に上記対物レンズ取付穴を挟んで上記第１のカム手段と対向して配置されるとともに、上記平面に垂直な軸線周りに回転可能とされた上記軸線に対して偏心した第２の偏心カム部を有する第２のカム手段と、上記第１のカム手段の回転に伴い上記第１のカム手段に対して上記平面に沿って移動可能かつ上記第２のカム手段の回転に伴い上記第２のカム手段に対して上記平面に沿って移動可能に配置されるとともに、上記平面に沿う所定の方向に延長するとともに上記第１の偏心カム部を配置して上記第１のカム手段の回転に伴う上記移動により上記第１の偏心カム部が上記所定の方向にのみ相対的に移動可能な第１の偏心カムガイド部と、上記平面に沿う上記所定の方向と直交する方向に延長するとともに上記カム部を配置して上記第１のカム手段の回転に伴う上記移動により上記カム部が上記直交する方向にのみ相対的に移動可能なカムガイド部と、上記直交する方向に延長するとともに上記第２の偏心カム部を配置して上記第１のカム手段または上記第２のカム手段の回転に伴う上記移動により上記第２の偏心カム部が上記直交する方向にのみ相対的に移動可能な第２の偏心カムガイド部とを有する対物レンズ固定系部材とを有し、上記第１のカム手段の回転に伴い上記対物レンズ固定系部材を上記直交方向へ移動し、上記第２のカム手段の回転に伴い上記対物レンズ固定系部材を上記所定の方向へ移動するようにしたものである。
【００１７】
従って、本発明によるレボルバにおける心調整機構によれば、例えば、光軸をＺ軸とするとともに当該光軸に対して直交する平面をＸＹ平面とするＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸よりなる直交座標系において、回転運動をＸ軸方向への直線運動に変換する第１の偏心カム部による対物レンズ固定系部材のＸ軸方向への移動機構と、回転運動をＹ軸方向への直線運動に変換する第２の偏心カム部による対物レンズ固定系部材の移動機構とがそれぞれ独立に構成されているので、対物レンズをＸＹ平面上における任意の方向へ微小距離で移動することができる。この際に、カム部とカムガイド部とがＸ軸方向への移動の際のガイドとなっているので、対物レンズ固定系部材のＸ軸方向への確実な移動が実現される。
【００１８】
さらには、第１の偏心カム部が第１の偏心カムガイド部内においてＹ軸方向にのみ移動可能であり、一方、第２の偏心カム部が第２の偏心カムガイド部内においてＸ軸方向にのみ移動可能であるので、これら第１の偏心カム部、第２の偏心カム部自身が対物レンズの移動の際のガイドの役割の作用をはたすことになり、第１の偏心カム部による対物レンズ固定系部材のＸ軸方向への移動時においてＹ軸位置がずれることはなく、第２の偏心カム部による対物レンズ固定系部材のＹ軸方向への移動時においてＸ軸位置がずれることはない。
【００１９】
ここで、本発明によるレボルバにおける心調整機構においては、さらに、上記ローター部材に対して上記対物レンズ固定系部材を付勢する付勢手段を設けるようにしてもよい。
【００２０】
また、本発明によるレボルバにおける焦点調整機構は、回転可能なローター部材の該回転軸線を中心とする同一円周上に形成された複数の対物レンズ取付穴に複数の対物レンズをそれぞれ配設したレボルバにおける焦点調整機構において、ローター部材の対物レンズ取付穴を囲んで配設されかつ内周面に雌ねじを形成した筒形形状を備えるとともに、壁面に雌ねじを形成された径方向への貫通孔を穿設した対物レンズ固定系部材と、外周面に雄ねじを形成された筒形形状を備えるとともに内径側に対物レンズを装着され、上記対物レンズ固定系部材の雌ねじと上記雄ねじとをねじ結合することにより、上記対物レンズ固定系部材に光軸方向に移動可能に固定される対物レンズ装着部材と、上記貫通孔に形成された雌ねじとねじ結合する雄ねじを外周面に形成された結合部材と、上記貫通孔内において、上記対物レンズ装着部材の上記雄ねじと上記結合部材との間に配置される弾性体とを有し、上記貫通孔内に上記結合部材をねじ込んで、上記弾性体を介して上記対物レンズ装着部材の上記雄ねじを押圧することにより、上記対物レンズ固定系部材と上記対物レンズ装着部材とを固定するようにしたものである。
【００２１】
従って、本発明によるレボルバにおける焦点調整機構によれば、弾性体の弾発力を利用して対物レンズ固定系部材に対して対物レンズ装着部材を保持しているので、対物レンズの焦点調整のために対物レンズ装着部材をねじに沿って回転させた後においても、その固定状態を実用上は問題なく保持することができる。
【００２２】
ここで、本発明によるレボルバにおける焦点調整機構においては、上記対物レンズ装着部材の頂部に、対向して配置された少なくとも一対の切り欠き部を形成するようにしてもよい。このようにすると、この切り欠き部にレンチなどの工具を係止することができるので、対物レンズ装着部材を容易に回転することができるようになる。
【００２３】
また、上記した本発明によるレボルバにおける心調整機構においては、上記した本発明によるレボルバにおける焦点調整機構を備えるようにしてもよい。このようにすると、対物レンズの視野ずれと焦点ずれとの補正を効率よく行うことができるようになる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明は、以上説明したように構成されているので、レボルバに搭載された対物レンズの視野ずれの補正作業を行う際に、対物レンズを、例えば、数μｍオーダーの微小距離で移動させて位置調整を図ることができるという優れた効果を奏する。
【００２５】
また、本発明は、以上説明したように構成されているので、レボルバに搭載された対物レンズの焦点ずれの補正作業を行う際に、煩雑な調整作業を要することなく、簡単な操作により対物レンズの焦点位置を調整することができるという優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付の図面に基づいて、本発明によるレボルバにおける心調整機構および焦点調整機構の実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。
【００２７】
図１には、本発明によるレボルバにおける心調整機構および焦点調整機構の実施の形態の一例を備えた顕微鏡装置を搭載したＬＣＤリペア装置１０の概略外観構成説明図が示されている。なお、図１（ａ）はＬＣＤリペア装置１０の概略外観正面図であり、図１（ｂ）は概略外観右側面図である。
【００２８】
ＬＣＤリペア装置１０は、マイクロコンピューターを用いて構成されていて装置全体の動作を制御するための装置制御部と、ＬＣＤ基板をＬＣＤリペア装置１０内に搬送するための基板搬送部と、基板搬送部から搬送されたＬＣＤ基板を載置して移動するステージ部と、レーザー加工によりＬＣＤ基板に対して微細な加工を行うためのレーザー光を発生して出射するレーザー発振部２０（図２を参照する。）と、レーザー発振部から出射されたレーザー光を集光して加工対象であるステージ部に載置されたＬＣＤ基板へ照射する顕微鏡部３０（図２を参照する。）との各装置部から構成されている。
【００２９】
なお、このＬＣＤリペア装置１０における上記した各装置部の構成ならびに作用は、後述する顕微鏡部３０のレボルバ３４（図２を参照する。）の構成ならびに作用を除いて従来より公知のＬＣＤリペア装置と同様であるので、レボルバ３４以外の各装置部の構成ならびに作用についてはその詳細な説明は省略する。
【００３０】
図２には、レーザー発振部２０および顕微鏡部３０の外観構成説明図が示されており、ＬＣＤリペア装置１０においては、レーザー発振部２０と顕微鏡部３０とは一体的に組み付けられて構成されている。
【００３１】
顕微鏡部３０は、レーザー発振部２０から出射されたレーザー光が入射される、所謂、接眼レンズ側の光学系を備えた顕微鏡ユニット３２と、顕微鏡ユニット３０に取り付けられた本発明による心調整機構および焦点調整機構を備えたレボルバ３４と、レボルバ３４に取り付けられた対物レンズ３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｄ、３６ｅと、顕微鏡ユニット３０を光軸方向たるＺ軸方向（図２における直交座標系を示す参考図を参照する。なお、図２における直交座標系を示す参考図においては、Ｘ軸およびＹ軸を便宜上示してあるが、本明細書においてＸ軸およびＹ軸とは、後述する４個の対物レンズ取付部４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄのそれぞれに対してＸＹ平面上における直交軸として定義されるものとする。）に移動する焦点合わせ用上下機構３８と備えている。
【００３２】
以下、本発明による心調整機構および焦点調整機構を備えたレボルバ３４の構成について説明する。
【００３３】
図３には、レボルバ３４に関する図２のＡ矢視概略外観構成説明図が示されているが、レボルバ３４は、Ｚ軸方向に延長する中心軸Ｏを回転軸線として中心軸Ｏ回りにモーター（図示せず。）の駆動により回動自在に配置されている。
【００３４】
即ち、レボルバ３４は、中心軸Ｏを回転軸線として中心軸Ｏ回りにモーター（図示せず。）の駆動により回動自在とされるとともに対物レンズ３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｄ、３６ｅをそれぞれ配置するために回転軸線たる中心軸Ｏを中心とする同一円周上に穿設された正円形状の５個の対物レンズ取付孔４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅを備えたローター部材４０と、４個の対物レンズ３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｄをそれぞれ取り付けるために対応する４個の対物レンズ取付孔４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄにそれぞれに配設された４個の対物レンズ取付部４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄとを備えている。なお、対物レンズ３６ｅは、従来より公知の手法により対物レンズ取付孔４０ｅに直接的に取り付けられている。
【００３５】
ここで、４個の対物レンズ取付孔４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄと対応する対物レンズ取付部４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄとはそれぞれ同一の構成を備えているので、以下の説明においては、対物レンズ３６ａを取り付けるための対物レンズ取付孔４０ａおよび対物レンズ取付部４２ａを中心に説明する。
【００３６】
図４には、対物レンズ３６ａを取り付けるための対物レンズ取付孔４０ａを形成したローター部材４０の周辺と対物レンズ取付部４２ａとを中心として示したレボルバ３４の要部詳細分解構成斜視図が示されており、図５には、対物レンズ３６ａを取り付けるための対物レンズ取付孔４０ａを形成したローター部材４０の周辺と対物レンズ取付部４２ａとを中心として示したレボルバ３４の要部概略縦断面構成図が示されている。
【００３７】
まず、ローター部材４０の対物レンズ取付孔４０ａの外周部位には、本発明による心調整機構としてＸ軸方向への移動を実現するためのＸ軸方向移動機構を構成する対物レンズ取付部４２ａの各構成部材を配置するためのＸ軸方向移動機構用貫通孔５０と、本発明による心調整機構としてＹ軸方向への移動を実現するためのＹ軸方向移動機構を構成する対物レンズ取付部４２ａの各構成部材を配置するためのＹ軸方向移動機構用貫通孔５２と、後述する３個の固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃにそれぞれ形成された雄ねじとそれぞれねじ結合して固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃを固定するための雌ねじを形成された３個のネジ孔５４ａ、５４ｂ、５４ｃが形成されている。
【００３８】
なお、Ｘ軸方向移動機構用貫通孔５０とＹ軸方向移動機構用貫通孔５２とは、対物レンズ取付孔４０ａを挟んで対向した位置、即ち、対物レンズ取付孔４０ａの中心点Ｏ’を通る直線Ｌ−Ｌ上に配置されており、３個のネジ孔５４ａ、５４ｂ、５４ｃは対物レンズ取付孔４０ａの外周に沿って約１２０°毎に順次に配置されている。
【００３９】
次に、対物レンズ取付部４２ａについて説明すると、対物レンズ取付部４２ａは、内周面に雌ねじ５６ａを形成された開口部５６ｂを備えた筒形形状を有するアジャストリング５６を備えている。アジャストリング５６には、Ｙ軸方向に延長するとともにＺ軸方向に貫通したＸ軸調整ガイド長孔５６ｃと、Ｘ軸方向に延長するとともにＺ軸方向に貫通したＹ軸調整ガイド長溝５６ｄと、ネジ孔５４ａ、５４ｂ、５４ｃと位置合わせしてそれぞれ配置されるとともにＺ軸方向に貫通して形成された３個の固定ねじ貫通孔５６ｅ、５６ｆ、５６ｇと、ＸＹ平面に沿って径方向に壁面を貫通するとともに開口部５６ｂ内周に沿って９０°に配置され内周面に雌ねじを形成された２個のロックスクリュー固定孔５６ｈ、５６ｉと、後述するＸ軸ピボットリング６２が配置されるＸ軸調整ガイド長孔５６ｃ近傍の底面にＸ軸方向に延長して形成されたＸ軸ピボットリングガイド溝５６ｋとが穿設されている。
【００４０】
この実施の形態では、ロックスクリュー固定孔５６ｈとロックスクリュー固定孔５６ｉとは９０°に配置したが、例えば、６０〜１２０°の範囲で任意に配置することができる。これは、ロックスクリュー固定孔５６ｈ、５６ｉにスクリューストッパー８８ａ、８８ｂを介してロックスクリュー８６ａ、８６ｂをねじ込んでアジャストリング５６に同焦リング８４を固定する際、同焦リング８４の雄ねじ８４ａがロックスクリュー８６ａ、８６ｂとＸＹ平面内で対向する方向のアジャストリング５６の雌ねじ５６ａにしっかりと噛み合って固定されるからである。これにより、同焦リング８４の雄ねじ８４ａとアジャストリング５６の雌ねじ５６ａを光軸方向（Ｚ軸方向）にガタつき無く回転させることが可能になり、対物レンズ３６ａの高さ（焦点位置）をバックラッシが発生しないように調整することができる。
【００４１】
なお、この実施の形態においては、ロックスクリュー固定孔を２個としたが、これに限られるものではなく、ロックスクリュー固定孔が１個の場合でもその役割を十分に果たすことができる。
【００４２】
対物レンズ取付部４２ａは、さらに、Ｘ軸方向移動機構用貫通孔５０を貫通してＸ軸調整ガイド長孔５６ｃ内に配置されるとともに下方端部に雄ねじ５８ａを形成したＸ軸偏心カムネジ５８（図６を参照する。）と、Ｘ軸偏心カムネジ５８の偏心カム部５８ｂに嵌入されるＸ軸偏心カムリング６０と、Ｘ軸偏心カムネジ５８の回転軸部５８ｃに嵌入されるＸ軸ピボットリング６２と、Ｘ軸偏心カムネジ５８に形成された雄ねじ５８ａとねじ結合する雌ねじ６４ａを形成したＸ軸カムシャフト６４と、Ｘ軸カムシャフト６４のシャフト部６４ｂに嵌入されるＸ軸シャフトリング６６と、Ｙ軸方向移動機構用貫通孔５２を貫通してＹ軸調整ガイド長溝５６ｄ内に配置されるとともに下方端部に雄ねじ６８ａを形成したＹ軸偏心カムネジ６８と、Ｙ軸偏心カムネジ６８の偏心カム部６８ｂに嵌入されるＹ軸偏心カムリング７０と、Ｙ軸偏心カムネジ６８に形成された雄ねじ６８ａとねじ結合する雌ねじ７２ａを形成したＹ軸カムシャフト７２と、Ｙ軸カムシャフト７２のシャフト部７２ｂに嵌入されるＹ軸シャフトリング７４と、中央に開口部７６ａを形成したドーナツ形状を備えるとともにＸ軸偏心カムネジ５８の頭部５８ｄを貫通させる貫通孔７６ｂとＹ軸偏心カムネジ６８の頭部６８ｄを貫通させる切り欠き溝７６ｃとネジ孔５４ａ、５４ｂ、５４ｃと位置合わせしてそれぞれ配置して形成された３個の固定ねじ貫通孔７６ｄ、７６ｅ、７６ｆとを穿設したリングワッシャー７６と、貫通孔７６ｄ、７６ｅ、７６ｆおよび貫通孔５６ｅ、５６ｆ、５６ｇをそれぞれ貫通してネジ孔５４ａ、５４ｂ、５４ｃにそれぞれねじ結合されてリングワッシャー７６とローター部材４０との間でアジャストリング５６を挟持する３個の固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃと、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃのねじ軸部に嵌入されてねじ頭部とリングワッシャー７６との間に配置される平座金８０ａ、８０ｂ、８０ｃおよびばね座金８２ａ、８２ｂ、８２ｃと、外周面に雌ねじ５６ａとねじ結合する雄ねじ８４ａを形成するとともに頂部に外周に沿って約４５°毎に８個のレンチ受け部８４ｂ、８４ｃ、８４ｄ，８４ｅ、８４ｆ、８４ｇ、８４ｈ、８４ｉを切り欠き形成しかつ内周面下部に雌ねじ８４ｊを形成した筒形形状の同焦リング８４と、ロックスクリュー固定孔５６ｈ、５６ｉの雌ねじとねじ結合する雄ねじを形成されていて当該雄ねじを当該雌ねじにねじ込むことによって端部により同焦リング８４の外周面を押圧してアジャストリング５６に対して同焦リング８４を固定する２個のロックスクリュー８６ａ、８６ｂと、同焦リング８４の外周面とロックスクリュー８６ａ、８６ｂとの間に配設される２個のスクリューストッパ８８ａ、８８ｂとを有して構成されている。
【００４３】
ここで、Ｘ軸方向移動機構については、Ｘ軸偏心カムネジ５８の回転軸心たる回転軸部５８ｃと偏心させて円形の外形を構成したＸ軸偏心カムリング６０および回転軸部５８ｃと同心円上に円形の外形を構成したピボットリング６２を挿通させたＸ軸偏心カムネジ５８によりＸ軸方向移動機構が構成され、また、Ｙ軸方向移動機構については、Ｙ軸偏心カムネジ６８の回転軸心と偏心させて円形の外形を構成したＹ軸偏心カムリング７０を挿通させたＹ軸偏心カムネジ６８により構成され、それぞれＸ軸調整ガイド長孔５６ｃ、Ｘ軸ピボットリングガイド溝５６ｋとＹ軸調整ガイド長溝５６ｄとにそれぞれ嵌入して配置される。これらＸ軸方向移動機構とＹ軸方向移動機構とは、光軸と直交する平面に垂直に立設されるものである。
【００４４】
また、アジャストリング５６に形成された貫通孔５６ｅ、５６ｆ、５６ｇは、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃの軸径よりも所定の裕度を持った開口径を備えているものとする。
【００４５】
なお、対物レンズ３６ａの下端部の外周面には雄ねじ３６ａａが形成されており、当該雄ねじ３６ａａを同焦リング８４の雌ねじ８４ｊにねじ込むことにより、対物レンズ３６ａは同焦リング８４に固定される。
【００４６】
次に、上記した各構成部材について詳細に説明するが、まず、Ｘ軸カムシャフト６４は、ローター部材４０に形成されたＸ軸方向移動機構用貫通孔５０の底部開口段部５０ａと係合する縁部６４ｍを備え、また、Ｙ軸カムシャフト７２は、ローター部材４０に形成されたＹ軸方向移動機構用貫通孔５２の底部開口段部５２ａと係合する縁部７２ｍを備えている。
【００４７】
そして、Ｘ軸カムシャフト６４は、雌ねじ６４ａと雄ねじ５８ａとをねじ結合することによりＸ軸偏心カムネジ５８にねじ込まれ、ローター部材４０に対してＸ軸偏心カムネジ５８を光軸方向（Ｚ軸方向）に沿って立設させるとともに回動自在に支持する。同様に、Ｙ軸カムシャフト７２は、雌ねじ７２ａと雄ねじ６８ａとをねじ結合することによりＹ軸偏心カムネジ６８にねじ込まれ、ローター部材４０に対してＹ軸偏心カムネジ６８を光軸方向（Ｚ軸方向）に沿って立設させるとともに回動自在に支持する。従って、後述するように、Ｘ軸方向またはＹ軸方向へ対物レンズ３６ａを移動させる調整作業の際にＸ軸偏心カムネジ５８またはＹ軸偏心カムネジ６８を軸心回りに回転すると、Ｘ軸カムシャフト６４またはＹ軸カムシャフト７２は、Ｘ軸偏心カムネジ５８またはＹ軸偏心カムネジ６８とともに軸心回りに回転する。
【００４８】
なお、Ｘ軸カムシャフト６４ならびにＹ軸カムシャフト７２の材料としては、例えば、真鍮などを用いることができる。
【００４９】
次に、Ｘ軸シャフトリング６６は、Ｘ軸カムシャフト６４とローター部材４０に形成されたＸ軸方向移動機構用貫通孔５０との間に、プラス公差をもって隙間無く圧入されるリングである。同様に、Ｙ軸シャフトリング７４は、Ｙ軸カムシャフト７２とローター部材４０に形成されたＹ軸方向移動機構用貫通孔５２との間に、プラス公差をもって隙間無く圧入されるリングである。
【００５０】
これらＸ軸シャフトリング６６ならびにＹ軸シャフトリング７４は、Ｘ軸カムシャフト６４ならびにＹ軸カムシャフト７２とローター部材４０との間のガタつきをなくすためと、Ｘ軸カムシャフト６４ならびにＹ軸カムシャフト７２が回転するときの摩擦を軽減するために挿入している。
【００５１】
なお、Ｘ軸シャフトリング６６ならびにＹ軸シャフトリング７４の材料としては、変形に強くかつ滑り易くかつ磨耗しない材料が好ましく、例えば、ＰＯＭ（ポリアセタール）などを用いることができる。具体的には、ジュラコン（商標）やデルリン（商標）などを用いることができる。
【００５２】
次に、Ｘ軸ピボットリング６２は、アジャストリング５６に形成されたＸ軸ピボットリングガイド溝５６ｋ内に収容され、アジャストリング５６をＸ軸方向へ移動する際のガイドをしている。Ｘ軸ピボットリング６２は、Ｘ軸ピボットリングガイド溝５６ｋに対してプラス公差を持ち、Ｘ軸偏心カムネジ５８を回転させたときにＹ軸方向にぶれないように作用しているとともに、Ｙ軸方向へ対物レンズ３６ａを移動させる調整作業の際には、Ｘ軸偏心カムリング６０とともに回転の支点となる。
【００５３】
なお、Ｘ軸ピボットリング６２の材料としては、変形に強くかつ滑り易くかつ磨耗しない材料が好ましく、例えば、ＰＯＭ（ポリアセタール）などを用いることができる。
【００５４】
次に、Ｘ軸偏心カムリング６０は、Ｘ軸偏心カムネジ５８とアジャストリング５６に形成されたＸ軸調整ガイド長孔５６ｃとの間にプラス公差をもって圧入され、Ｘ軸調整ガイド長孔５６ｃ内においてＸ軸偏心カムネジ５８がガタつきなく動くようにしている。
【００５５】
なお、Ｘ軸偏心カムリング６０の材料としては、変形に強くかつ滑り易くかつ磨耗しない材料が好ましく、例えば、ＰＯＭ（ポリアセタール）などを用いることができる。
【００５６】
次に、図６に示す偏心カム部５８ｂを備えたＸ軸偏心カムネジ５８は、Ｘ軸カムシャフト６４にねじ込まれ、Ｘ軸シャフトリング６６、Ｘ軸ピボットリング６２およびＸ軸偏心カムリング６０を一体的に固定する。また、Ｘ軸偏心カムネジ５８の頭部５８ｄには、十字形状の貫通孔５８ｅが穿設されており、Ｘ軸偏心カムネジ５８を軸心周りに回転する際には、貫通孔５８ｅにレンチなどの工具を差し込んで回すことができるようになされている。
【００５７】
このＸ軸偏心カムネジ５８は、Ｘ軸シャフトリング６６、Ｘ軸ピボットリング６２およびＸ軸偏心カムリング６０の固定、偏心カム部５８ｂの形成および十字形状の貫通孔５８ｅの形成という３つの機能を兼ね備えるものであるので、加工精度ならびに強度を高めるために、スレンレス鋼のＳＵＳ３０４（またはＳＵＳ３０３）などの材料を削り出して作製することが好ましい。
【００５８】
次に、Ｙ軸偏心カムリング７０について説明すると、Ｙ軸偏心カムリング７０は、Ｘ軸偏心カムリング６０と同様に、Ｙ軸偏心カムネジ６８とアジャストリング５６に形成されたＹ軸調整ガイド長溝５６ｄとの間にプラス公差をもって圧入され、Ｙ軸調整ガイド長溝５６ｄ内においてＹ軸偏心カムネジ６８がガタつきなく動くようにしている。
【００５９】
なお、Ｙ軸偏心カムリング７０の材料としては、変形に強くかつ滑り易くかつ磨耗しない材料が好ましく、例えば、ＰＯＭ（ポリアセタール）などを用いることができる。
【００６０】
このＹ軸偏心カムリング７０は、Ｙ軸方向へ対物レンズ３６ａを移動させる調整作業の際には、Ｙ軸調整ガイド長溝５６ｄ内で回転運動することにより、Ｘ軸ピボットリング６２を回転中心としたアジャストリング５６の動きを作り出し、また、Ｘ軸方向へ対物レンズ３６ａを移動させる調整作業の際には、Ｙ軸方向へぶれないようにガイドとして作用する。
【００６１】
次に、偏心カム部６８ｂを備えたＹ軸偏心カムネジ６８は、Ｘ軸偏心カムネジ５８と同様に、Ｙ軸カムシャフト７２にねじ込まれ、Ｙ軸シャフトリング７４およびＹ軸偏心カムリング７０を一体的に固定する。また、Ｙ軸偏心カムネジ６８の頭部６８ｄには、Ｘ軸偏心カムネジ６８と同様に十字形状の貫通孔６８ｅが穿設されており、Ｙ軸偏心カムネジ６８を軸心周りに回転する際には、貫通孔６８ｅにレンチなどの工具を差し込んで回すことができるようになされている。なお、Ｙ軸偏心カムネジ６８は、Ｘ軸偏心カムネジ６８と同様な構成であるので、図６を援用することによりその詳細な図示を省略する。
【００６２】
このＹ軸偏心カムネジ６８は、Ｙ軸シャフトリング７４およびＹ軸偏心カムリング７０の固定、偏心カム部６８ｂの形成および十字形状の貫通孔６８ｅの形成という３つの機能を兼ね備えるものであるので、加工精度ならびに強度を高めるために、スレンレス鋼のＳＵＳ３０４（またはＳＵＳ３０３）などの材料を削り出して作製することが好ましい。
【００６３】
そして、Ｙ軸偏心カムネジ６８は、Ｙ軸方向へ対物レンズ３６ａを移動させる調整作業の際には、Ｙ軸調整ガイド長溝５６ｄ溝内で回転運動することにより、Ｘ軸ピボットリング６２を回転中心としたアジャストリング５６の動きを作り出し、また、Ｘ軸方向へ対物レンズ３６ａを移動させる調整作業の際には、Ｙ軸方向にぶれないようなガイドとして作用する。
【００６４】
次に、アジャストリング５６は、内周面に雌ねじ５６ａを形成しており、この雌ねじ５６ａに雄ねじ８４ａをねじ結合させて、対物レンズ３６ａを取り付ける同焦リング８４がねじ込まれる。このアジャストリング５６に対する同焦リング８４のねじ込みを位置を調整することにより、対物レンズ３６ａの光軸方向（Ｚ軸方向）の位置が上下に変化し、これにより対物レンズ３６ａの高さ（焦点位置）を調整することができる。
【００６５】
なお、アジャストリング５６の材料としては、例えば、アルミＡ５０５６を用いることができ、表面に白アルマイト処理を用いたが、さらに、その表面にタフラム処理を施す異により耐久性が向上し、より好ましい。
【００６６】
次に、リングワッシャー７６は、アジャストリング５６の移動によりＸ軸方向およびＹ軸方向へ対物レンズ３６ａを移動させる調整作業による同心を調整した後に、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃを用いてローター部材４０の上面に対してアジャストリング５６を固定するためのものである。
【００６７】
なお、リングワッシャー７６の材質としては、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃで締め上げる関係上、しなった後に元に戻ることを考慮して、例えば、ばね材であるＳＵＳ３０４  ＣＳＰ−Ｈなどを用いることが好ましい。
【００６８】
次に、同焦リング８４は、雌ねじ８４ｊと雌ねじ３６ａａとをねじ結合させることにより、対物レンズ３６ａを固定するものである。また、雄ねじ８４ａと雌ねじ５６ａとのねじ結合位置を調整することにより、アジャストリング５６上で同焦リング８４を光軸方向（Ｚ軸方向）に上下に移動させることができる。
【００６９】
なお、同焦リング８４の材料としては、例えば、真鍮を用いることができ、表面に無電解ニッケルメッキを施すことが好ましい。こうした無電解ニッケルメッキを施すことにより、錆の発生を抑止することができるとともに、雄ねじ８４ａと雌ねじ５６ａとの嵌合状態を良好に維持することができるようになる。
【００７０】
次に、スクリューストッパ８８ａ、８８ｂは、弾発力を備えるとともに、低摩擦、耐摩耗性、耐衝撃性に極めてすぐれた樹脂などの弾性体により形成することが好ましく、例えば、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷ−ＰＥ）により作製する。
【００７１】
次に、ロックスクリュー８６ａ、８６ｂは、長期に渡りレボルバー３４を使用しても脱落することがないように、ゆるみ止めスクリューを用いて構成する。
【００７２】
以上の構成において、上記した各構成部材を組み立ててレボルバ３４を構成するには、Ｘ軸方向移動機構側においては、ローター部材４０のＸ軸方向移動機構用貫通孔５０内にＸ軸シャフトリング６６とＸ軸カムシャフト６４とを挿入し、Ｘ軸ピボットリング６２およびＸ軸偏心カムリング６０を挿通したＸ軸偏心カムネジ５８をＸ軸カムシャフト６４にねじ込んで固定する。一方、Ｙ軸方向移動機構側においては、ローター部材４０のＹ軸方向移動機構用貫通孔５２内にＹ軸シャフトリング７４とＹ軸カムシャフト７２とを挿入し、Ｙ軸偏心カムリング７０を挿通したＹ軸偏心カムネジ６８をＹ軸カムシャフト７２にねじ込んで固定する。
【００７３】
上記のようにしてＸ軸方向移動機構およびＹ軸方向移動機構を組み立てた後に、Ｘ軸調整ガイド長孔５６ｃにＸ軸偏心カムネジ５８を挿通するとともに、Ｙ軸調整ガイド長溝５６ｄにＹ軸偏心カムネジ６８を挿通するようにして、対物レンズ取付孔４０ａを囲んでアジャストリング５６をローター部材４０上に載置し、さらにアジャストリング５６の上面にリングワッシャー７６を載置する。
【００７４】
そして、ネジ孔５４ａ、５４ｂ、５４ｃと固定ねじ貫通孔５６ｅ、５６ｆ、５６ｇと固定ねじ貫通孔７６ｄ、７６ｅ、７６ｆとをそれぞれ位置合わせして、平座金８０ａ、８０ｂ、８０ｃおよびばね座金８２ａ、８２ｂ、８２ｃを介して、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃによりローター部材４０とアジャストリング５６とリングワッシャー７６とを一体的に連結する。
【００７５】
即ち、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃにばね座金８２ａ、８２ｂ、８２ｃおよび平座金８０ａ、８０ｂ、８０ｃを挿通した後に、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃをリングワッシャー７６の固定ねじ貫通孔７６ｄ、７６ｅ、７６ｆおよびアジャストリング５６の固定ねじ貫通孔５６ｅ、５６ｆ、５６ｇ内に貫通させてローター部材４０のネジ孔５４ａ、５４ｂ、５４ｃにネジ結合することにより、ローター部材４０に対してアジャストリング５６が付勢されて、アジャストリング５６は所定の裕度をもって相対移動可能な状態でローター部材４０に保持されることになる。
【００７６】
次に、同焦リング８４をアジャストリング５６にねじ込み、その後に、アジャストリング５６の側面のロックスクリュー固定孔５６ｈ，５６ｉにスクリューストッパー８８ａ、８８ｂを介してロックスクリュー８６ａ、８６ｂをねじ込んでアジャストリング５６に同焦リング８４を固定して、レボルバ３４の組立を完了する。
【００７７】
上記のようにして組み立てられたレボルバ３４の同焦リング８４に、対物レンズ３６ａをねじ込み固定する。
【００７８】
こうして組み立てられたレボルバ３４に固定された対物レンズ３６ａの視野ずれを補正するには、Ｘ軸偏心カムネジ５８を回転することによりＸ軸方向にアジャストリング５６を移動させ、これによりアジャストリング５６に同焦リング８４を介して固定された対物レンズ３６ａをＸ軸方向に移動するとともに、Ｙ軸偏心カムネジ６８を回転することによりＹ軸方向にアジャストリング５６を移動させ、これによりアジャストリング５６に同焦リング８４を介して固定された対物レンズ３６ａをＹ軸方向に移動することによって、対物レンズ３６ａをＸＹ平面上の任意の位置に移動させて、対物レンズ３６ａの視野ずれを補正する。
【００７９】
ここで、図７（ａ）（ｂ）を参照しながら、Ｘ軸偏心カムネジ５８を回転した際におけるＸ軸方向移動機構の動作、即ち、Ｘ軸偏心カムリング６０とＸ軸ピボットリング６２とＸ軸調整ガイド長孔５６ｃとＸ軸ピボットリングガイド溝５６ｋとの間における連係動作の詳細について説明する。なお、図７（ａ）（ｂ）に示す符号Ｒ１、Ｒ２は、Ｘ軸偏心カムネジ５８を回転した際におけるＸ軸方向移動機構の動作を説明するための仮想的な基準線である。また、図７（ａ）（ｂ）においては、上記した各構成部材の連係動作の理解を容易にするために各構成部材の関係を概念的に示しており、各構成部材の大きさの比率については図４〜図６に示すものと必ずしも一致するものではない。
【００８０】
図７（ａ）（ｂ）に示すように、Ｘ軸ピボットリングガイド溝５６ｋは、Ｘ軸方向に延長する略矩形状を備えており、その短辺とＸ軸ピボットリング６２の直径とが一致するように寸法設定されている。また、Ｘ軸調整ガイド長孔５６ｃは、Ｙ軸方向に延長する長円形状を備えており、そのＸ軸方向に延長する短径とＸ軸カムリング６０の直径とが一致するように寸法設定されている。
【００８１】
ここで、Ｘ軸方向移動機構においては、アジャストリング５６に形成されたＸ軸調整ガイド長孔５６ｃ内に、移動させたい方向（Ｘ方向）に垂直な方向で偏心カムたるＸ軸偏心カムリング６０を挿入している。
【００８２】
従って、Ｘ軸偏心カムネジ５８を、例えば、図７（ａ）（ｂ）に示す矢印Ｄ方向へ回転すると、アジャストリング５６に形成されたＸ軸調整ガイド長孔５６ｃの中でＸ軸偏心カムリング６０が回転するときに、Ｘ軸偏心カムリング６０の回転運動がアジャストリング５６のＸ軸方向の動きに変換されることになる（図７（ａ）（ｂ）の（１）→図７（ａ）（ｂ）の（２））。
【００８３】
ここで、アジャストリング５６をＹ軸方向へ移動しないためのガイドがないと、上記したＸ軸方向移動機構における偏心カム運動は完全に直線運動には変換されない。
【００８４】
ところが、このＸ軸方向移動機構においては、Ｘ軸ピボットリング６２をＸ軸偏心カムリング６０の直下に配置するとともにアジャストリング５６内に形成したＸ軸ピボットリングガイド溝５６ｋ内に収容しているので、Ｘ軸偏心カムネジ５８を、例えば、図７（ａ）（ｂ）に示す矢印Ｄ方向へ回転すると、Ｘ軸偏心カムリング６０による偏心カム運動は、Ｘ軸ピボットリング６２によりＹ軸方向の運動を規制されてＸ軸方向のみに変換されることになる（図７（ａ）（ｂ）の（１）→図７（ａ）（ｂ）の（２）、図８）。同時に、Ｘ軸偏心カムネジ５８の回転時にはＹ軸偏心カムネジ６８が回転しないので、Ｙ軸偏心カムネジ６８もアジャストリング５６のＹ軸方向への運動を規制することになる。
【００８５】
換言すれば、Ｘ軸ピボットリング６２の回転中心は、当該Ｘ軸ピボットリング６２の中心軸と一致するので、回転してもその位置が変わることはない。ところが、Ｘ軸偏心カムリング６０の回転中心は偏心しているので、Ｘ軸偏心カムリング６０はＸ軸ピボットリング６２の回転軸を中心として遊星運動することになる。ここで、Ｘ軸偏心カムリング６０を図７（ａ）（ｂ）に示す矢印Ｄ方向へ回転すると、Ｘ軸偏心カムリング６０がＸ軸調整ガイド長孔５６ｃを介してアジャストリング５６を図７において上方（Ｘ軸方向）に押し上げようとする。ところが、Ｘ軸ピボットリング６２は、Ｘ軸方向に延長するＸ軸ピボットリングガイド溝５６ｋ内に収容されているためＹ軸方向に移動することができず、これよりＸ軸偏心カムリング６０の回転運動がアジャストリング５６のＸ軸方向への運動に変換されることになる。
【００８６】
以上において説明したように、Ｘ軸方向移動機構においては、Ｘ軸偏心カムネジ５８を回転すると、Ｘ軸偏心カムネジ５８、Ｘ軸偏心カムリング６０、Ｘ軸ピボットリング６２、アジャストリング５６に形成されたＸ軸調整ガイド長孔５６ｃおよびＸ軸ピボットリングガイド溝５６ｋの連係動作により、光軸（Ｚ軸）周りの回転運度をＸ軸方向への直線運動に変換しており、これにより対物レンズ３６ａのＸ軸方向への視野ずれを補正することができる。
【００８７】
次に、Ｙ軸方向移動機構の動作を説明すると、Ｙ軸方向移動機構においては、Ｙ軸偏心カムネジ６８の回転運動をそのままＹ軸方向への運動として利用しているものであり、Ｙ軸調整ガイド長溝５６ｄとＹ軸カムリング６０とは、Ｙ軸調整ガイド長溝５６ｄのＹ軸方向に延長する短辺とＹ軸偏心カムリング６０の直径とが一致するように寸法設定されている。
【００８８】
従って、Ｙ軸偏心カムネジ６８を回転させると、アジャストリング５６はＸ軸ピボットリング６２を回転中心とした回転運動をすることになり、これによりアジャストリング５６のＹ軸方向への運動が実現される（図９を参照する）。
【００８９】
ここで、上記したＸ軸方向移動機構ならびにＹ軸方向移動機構による視野ずれの最大調整量を±０．５ｍｍとするならば、対物レンズ３６ａ中心位置で少なくとも±０．６ｍｍの移動を確保しなければならない。このために、Ｙ軸偏心カムネジ６８付近では±１．２ｍｍの移動量を必要とすることになるが、上記したようにＹ軸方向移動機構がＹ軸偏心カムネジ６８を回転運動を基本にした擬似的な直線運動をとるので、Ｙ軸方向の調整時にＸ軸方向への多少のずれが発生する。
【００９０】
しかしながら、例えば、Ｙ軸方向への移動量を±０．５８ｍｍとした場合に、Ｘ軸ピボットリング６２からの距離Ｒが２２．７５ｍｍとすると、そのＹ軸方向への最大移動時にアジャストリング５６は約１．４６°回転する。このときのＸ軸方向へのずれ量は、
５８０μｍ×ｓｉｎ１．４６°＝１４．８μｍ
となる（図９を参照する。）。即ち、対物レンズのＹ軸方向の最大移動時５８０μｍに対して、１４．８μｍのＸ軸方向のズレを生じることになるが、これは実用上は全く問題のないレベルである。
【００９１】
次に、レボルバ３４の固定された対物レンズ３６ａの焦点ずれの補正について説明するが、このレボルバ３４においては、アジャストリング５６に挿入した同焦リング８４に対物レンズ３６ａを装着することによって、同焦リング８４を回転させることにより対物レンズ３６ａの高さ方向を移動できる機構になっている。同焦リング８４は、図１０に示すように、アジャストリング５６のロックスクリュー固定孔５６ｈ、５６ｉにスクリューストッパー８８ａ、８８ｂを介してロックスクリュー８６ａ、８６ｂをねじ込むことにより、ロックスクリュー８６ａ、８６ｂにより雄ねじ８４ａを側面から固定するようになされている。
【００９２】
ここで、ロックスクリュー８６ａ、８６ｂと雄ねじ８４ａとの間には、樹脂製のスクリューストッパー８８ａ、８８ｂが介挿されているので、ロックスクリュー８６ａ、８６ｂを強く締めても同焦リング８４の雄ねじ８４ａに対して弾発力を備えたスクリューストッパ８８ａ、８８ｂが雄ねじ８４ａの形状のとおりに適度に潰れて、同焦リング８４雄ねじ８４ａを破損する恐れがない。
【００９３】
また、ロックスクリュー８６ａ、８６ｂを強く締め付けると、同焦リング８４にある程度のトルクを掛けないと回転しなくなるが、図１１ならびに図１２に示すように、二股に分かれたレンチ１００の対向する一対の係止突部１００ａ、１００ｂを同焦リング８４のレンチ受け部８４ｂ、８４ｃ、８４ｄ、８４ｅ、８４ｆ、８４ｇ、８４ｈ、８４ｉの対向するいずれか一対、例えば、レンチ受け部８４ｅ、８４ｉに係止して、把持部１００ｃを把持して矢印Ｅ方向または矢印Ｆ方向に回動すれば、同焦リング８４を容易に回転することができる。
【００９４】
このように、二股に分かれたレンチ１００を用いるため、係止突部１００ａ、１００ｂを同焦リング８４のレンチ受け部８４ｂ、８４ｃ、８４ｄ、８４ｅ、８４ｆ、８４ｇ、８４ｈ、８４ｉの対向するいずれか一対、例えば、レンチ受け部８４ｅ、８４ｉに係止したままの状態で、同焦リング８４を矢印Ｅ方向と矢印Ｆ方向とのいずれの方向にも回転することができる。
【００９５】
なお、上記のようにしてレンチ１００を用いて同焦リング８４を回転させた後においても、スクリューストッパー８８ａ、８８ｂの適度な潰れ具合とその潰れに伴う弾発力によって、同焦リング８４を押圧して固定を保持することができる。即ち、同焦リング８４を回転させて焦点の調整した後にロックスクリュー８６ａ、８６ｂを再度締める必要がないので、焦点調整後におけるロック時の調整ずれが発生することはない。
【００９６】
なお、レンチ１００の二股部位を対物レンズの外径よりも大きく拡げるように構成することにより、対物レンズを同焦リング８４に装着したままで焦点の調整を行うことができる。
【００９７】
以下に、上記した構成のレボルバ３４を備えた顕微鏡の出荷時において、工場において行われる視野ずれおよび焦点ずれの補正の手順の一例を説明する。
【００９８】
手順１：レボルバ３４のローター部材４０における対物レンズ取付孔４０ｅには、対物レンズ３６ｅが直接的に取り付けられることになるが、この対物レンズ取付孔４０ｅを直接取り付ける場所を基準にして、対物レンズ３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｄ、３６ｅ間の視野と焦点とを合わせていく。この基準となる対物レンズ取付孔４０ｅ（以下、適宜に「基準穴」と称する。）には、通常、取り付ける対物レンズ群なかでの最高倍率のものを取り付ける。
【００９９】
手順２：まず、基準穴たる対物レンズ取付孔４０ｅに取り付けた対物レンズ取付孔３６ｅで観察し、その画面内の目標物に位置を合わせる。例えば、ＬＣＤリペア装置においては、ディスプレイ装置の画面内に中心十字線を描くことができるものがあり、こうした装置においては中心十字線と目標物を合わせる。
【０１００】
手順３：次に、調整したい対物レンズが光軸上に位置するように、レボルバー３４を回転する。ここで、対物レンズに視野ずれや焦点ずれがある場合には、視野ずれにより上記したディスプレイ装置の画面の中心十字線からずれていることになり、また、焦点位置も違うためにその観察像がボケることになる。
【０１０１】
手順４：視野ずれの補正（本明細書においては、適宜に「同心調整」と称する。）を行う前に、まず、焦点位置の補正（本明細書においては、適宜に「同焦調整」と称する。）を行う。即ち、レンチ１００を用いて同焦リング８４を回して焦点を合わせる。これにより、同焦調整は終了し、次に、同心調整に入る。
【０１０２】
手順５：アジャストリング５６をローター部材４０に固定している３個の固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃを少し緩める。このとき、ばね座金８２ａ、８２ｂ、８２ｃの反発力があるので、アジャストリング５６は脱落することなくローター部材４０と密着状態にある。
【０１０３】
手順６：上記したＸ軸方向移動機構ならびにＹ軸方向移動機構を用いて、手順２で設定した目標物を画面中心位置に捕らえるように調整する。アジャストリング５６はローター部材４０と密着しているが、Ｘ軸方向移動機構ならびにＹ軸方向移動機構の偏心カム運動により、アジャストリング５６はローター部材４０上を摺動して移動する。
【０１０４】
手順７：目標物が画面中心に合ったならば、手順５で緩めた３個の固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃを増し締めして固定し、同心調整を終了する。
【０１０５】
従って、本発明による心調整機構および焦点位置調整機構を備えたレボルバ３４においては、対物レンズを挟んで対向する位置に偏心カムを配置することでＸＹ平面上での位置調整を行うようにしたが、その際に、Ｘ軸側には回転軸と偏心させて円形の外形を構成した偏心カムとは別に回転軸と同心円上に円形の外形を構成したカムを設けてＸ軸方向へのスライドガイドとして作用させるようにしたため、Ｘ軸方向へ偏心カムの回転に伴うスライドにより、回転に応じた偏心量だけ対物レンズを、例えば、数μｍオーダーの微小距離で変位させることができるとともに、極めて再現性の良い調整が可能となる。
【０１０６】
また、Ｙ軸側においては、Ｘ軸側を支点とした回転運動により、回転に応じた偏心量に支点からの比率を乗じた距離をＹ軸方向に移動可能となっている。Ｙ軸側においては、Ｘ軸側を支点として中心に移動することができるので、対物レンズを、例えば、数μｍオーダーの微小距離で変位させることができるとともに、極めて再現性の良い調整が可能となる。
【０１０７】
さらに、対物レンズの視野ずれを調整した後には、リングワッシャー７６を介して固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃで固定するようにしたので、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃを締め込む際の回転トルクを絶縁することができ、調整後のずれをなくすことができる。
【０１０８】
さらにまた、リングワッシャー７６およびアジャストリング５６をばね座金８２ａ、８２ｂ、８２ｃで付勢しているので、調整時とロック時とに焦点のずれがない視認性の良い調整が可能となる。
【０１０９】
また、対物レンズの焦点ずれを調整するためにレンチ１００を用いて同焦リング８４を回転させた後においても、スクリューストッパー８８ａ、８８ｂの適度な潰れ具合と潰れに伴う弾発力によって、同焦リング８４を押圧して固定を保持することができる。このため、同焦リング８４を回転させて焦点の調整した後にロックスクリュー８６ａ、８６ｂを再度締める必要がないので、焦点調整後におけるロック時の調整ずれが発生することはない。
【０１１０】
なお、レンチ１００の二股部位を対物レンズの外径よりも大きく拡げるように構成することにより、対物レンズを同焦リング８４に装着したままで焦点の調整を行うことができる。
【０１１１】
また、ロックスクリュー８６ａ、８６ｂの加工精度が多少悪くても、スクリューストッパー８８ａ、８８ｂを介して同焦リング８４を押圧するため、トルクムラが発生し難く調整がし易い。
【０１１２】
次に、図１４には、本発明の第２の実施の形態が示されている。この図１４は、図４に対応する図であり、対物レンズを取り付けるための対物レンズ取付孔を形成したローター部材の周辺と対物レンズ取付部とを中心として示した要部詳細分解構成斜視図である。
【０１１３】
なお、図１４においては、図１乃至図１３に示す本発明の第１の実施の形態の構成と同一または相当する構成には同一の符号を付して示すことにより、その構成ならびに作用の詳細な説明は省略するものとする。
【０１１４】
また、図１４においては、図１乃至図１３に示す本発明の第１の実施の形態の構成と異なる部分のみが示されており、図示されていない他の構成については、図１乃至図１３に示す本発明の第１の実施の形態の構成と同様である。
【０１１５】
以下、本発明の第２の実施の形態について説明するが、ここで、図１乃至図１３に示す本発明の第１の実施の形態においては、材料を削り出した一体構造の加工品としてＸ軸偏心カムネジ５８（図６参照）やＹ軸偏心カムネジ６８を構成したが、これは心調整機構部をできるだけ小さくするための工夫であった。もし、心調整機構を設けるのに十分な場所が取れる場合には、図１４の本発明の第２の実施の形態に示すように、偏心カムネジを幾つかの部品に分割することでコストを抑えて製作することが可能になる。
【０１１６】
つまり、図６に示すＸ軸偏心カムネジ５８は、市販品である六角穴付きスクリュー５８ｈと偏心カム５８ｉとで構成することができる。一方、Ｙ軸偏心カムネジ６８は、市販品である六角穴付きスクリュー６８ｈと偏心カム６８ｉとで構成することができる。これにより、複雑な形状をもったＸ軸偏心カムネジ５８やＹ軸偏心カムネジ６８を一体で削り出して製作する必要がなくなり、Ｘ軸偏心カム５８ｉとＹ軸偏心カム６８ｉを製作するのみとなり製造コストを抑えることができる。
【０１１７】
次に、加工構成部材について詳細を説明すると、まず、Ｘ軸カムシャフト６４ｈは、ローター部材４０に形成されたＸ軸方向移動機構用貫通穴５０の底部開口段部５０ａと係合する縁部６４ｍを備え、また、Ｙ軸カムシャフト７２ｈはローター部材４０に形成されたＹ軸方向移動機構用貫通穴５２の底部開口段部５２ａと係合する縁部７２ｍを備えている。
【０１１８】
Ｘ軸カムシャフト摺動部６４ｊやＹ軸カムシャフト摺動部７２ｊは、Ｘ軸方向移動機構用貫通穴５０やＹ軸方向移動機構用貫通穴５２に対してマイナス公差で製作されており、Ｘ軸カムシャフト６４ｈやＹ軸カムシャフト７２ｈはＸ軸方向移動機構用貫通穴５０やＹ軸方向移動機構用貫通穴５２の中で、軸心回りに十分回転可能な構造とされている。
【０１１９】
図１４に示した第２の実施の形態においては、図１乃至図１３に示す第１の実施の形態とは異なり、Ｘ軸シャフトリング６６やＹ軸シャフトリング７４を廃止している。このため、Ｘ軸カムシャフト６４ｈやＹ軸カムシャフト７２ｈはＸ軸方向移動機構用貫通穴５０やＹ軸方向移動機構用貫通穴５２の中で、多少のガタつきが発生し心調整機構の最大移動量を減ずることになるが、設計時にこのガタつきを予測しＸ軸偏心カム５８ｉやＹ軸偏心カム６８ｉの偏心量を大きくすることで移動量を減ずることなく製作することができる。Ｘ軸カムシャフト６４ｈやＹ軸カムシャフト７２ｈの材料としては、例えば、真鍮などを使用することができる。
【０１２０】
Ｘ軸方向移動機構用貫通穴５０に挿通されたＸ軸カムシャフト６４ｈは、Ｘ軸ピボットリング取付部６４ｉがローター部材４０から飛び出すことになる。このＸ軸ピボットリング取付部６４ｉに、Ｘ軸ピボットリング６２をその取り付け穴６２ａを介して取り付ける。これにより、Ｘ軸ピボットリング６２はＸ軸カムシャフト６４ｈと同心に取り付けられる。次に、市販品の六角穴付きスクリュー５８ｈをＸ軸偏心カム５８ｉの取り付け穴５８ｋにねじ込み、Ｘ軸カムリング６０をＸ軸偏心カム５８ｉの取付部５８ｊに挿通し、Ｘ軸偏心カム５８ｉとＸ軸カムリング６０と一体になった六角穴付きスクリュー５８ｈをＸ軸ピボットリング６２を通してＸ軸カムシャフト６４ｈの雌ねじ６４ｋにねじ込み固定することで、図１乃至図１３に示す第１の実施の形態におけるＸ軸方向移動機構と同様な機構部を構築することができる。
【０１２１】
ここで、Ｘ軸ピボットリング６２の材料としては、図１乃至図１３に示す第１の実施の形態と同様に、変形に強くかつ滑り易くかつ磨耗しない材料が好ましいのでＰＯＭを使用している。また、図１４に示した第２の実施の形態では、Ｘ軸カムリング６０としてはステンレス鋼のＳＵＳ３０４（またはＳＵＳ３０３）を使用したが、図１乃至図１３に示す第１の実施の形態と同様に、変形に強くかつ滑り易くかつ磨耗しない材料が好ましいのでＰＯＭを使用してもよい。さらに、Ｘ軸偏心カム５８ｉは、ステンレス鋼のＳＵＳ３０４（またはＳＵＳ３０３）を使用することができる。
【０１２２】
次に、Ｙ軸方向移動機構については、上記したＸ軸方向移動機構と同様な構造を採用することにより、図１乃至図１３に示す第１の実施の形態におけるＹ軸方向移動機構と同様な機構部を構築することができる。
【０１２３】
即ち、市販品の六角穴付きスクリュー６８ｈをＹ軸偏心カム６８ｉの取り付け穴６８ｋにねじ込み、Ｙ軸カムリング７０をＹ軸偏心カム６８ｉの取付部６８ｊに挿通し、Ｙ軸偏心カム６８ｉとＹ軸カムリング７０と一体になった六角穴付きスクリュー６８ｈをＹ軸カムシャフト７２ｈの雌ねじ７２ｋにねじ込み固定することで、図１乃至図１３に示す第１の実施の形態におけるＹ軸方向移動機構と同様な機構部を構築することができる。
【０１２４】
また、この図１４に示す第２の実施の形態においては、図１乃至図１３に示す第１の実施の形態におけるリングワッシャー７６に代えて、３個のドーナツ型のワッシャー８１ａ、８１ｂ、８１ｃを用いている。
【０１２５】
従って、図１４に示す第２の実施の形態では、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃにばね座金８２ａ、８２ｂ、８２ｃ、平座金８０ａ、８０ｂ、８０ｃおよびワッシャー８１ａ、８１ｂ、８１ｃを挿通した後に、固定ねじ７８ａ、７８ｂ、７８ｃをアジャストリング５６の固定ねじ貫通孔５６ｅ、５６ｆ、５６ｇ内に貫通させてローター部材４０のネジ孔５４ａ、５４ｂ、５４ｃにネジ結合することにより、ローター部材４０に対してアジャストリング５６が付勢されて、アジャストリング５６は所定の裕度をもって相対移動可能な状態でローター部材４０に保持されることになる。
【０１２６】
なお、上記した実施の形態は、以下の（１）〜（９）に示すように変形することができるものである。
【０１２７】
（１）上記した実施の形態においては、対物レンズ固定系部材たるアジャストリング５６に対物レンズ装着部材たる同焦リング８４をねじ結合して、同焦リング８４とアジャストリング５６とを介してローター部材４０に対して対物レンズ３６ａを配置するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論である。例えば、アジャストリング５６に対物レンズ３６ａを直接取り付けたり、あるいは、焦点ずれの補正機構として公知の焦点位置調整機構を介して対物レンズ３６ａをアジャストリング５６に取り付けるようにしてもよい。
【０１２８】
（２）上記した実施の形態においては、対物レンズ固定系部材たるアジャストリング５６に対物レンズ装着部材たる同焦リング８４をねじ結合することにより、対物レンズ３６ａの焦点の調整を行うようにしたが、これに限られるものではないことは勿論である。例えば、ローター部材４０の対物レンズ取付穴４０ａを囲むようにして内周面に雌ねじを形成するとともに壁面に雌ねじを形成された径方向への貫通孔を穿設した筒形形状部材を配設し、これに同焦リング８４をねじ結合することにより、対物レンズ３６ａの焦点の調整を行うようにしてもよい。なお、この場合には必要に応じて、視野ずれの補正機構として公知の心調整機構を設けるようにしてもよい。
【０１２９】
（３）上記した実施の形態においては、Ｘ軸偏心カムネジ５８、Ｘ軸偏心カムリング６０、Ｘ軸ピボットリング６２、Ｘ軸カムシャフト６４およびＸ軸シャフトリング６６をそれぞれ別体として構成し、これら別体として構成した部材を組み付けて一体化した。
【０１３０】
この際に、Ｘ軸偏心カムリング６０、Ｘ軸ピボットリング６２およびＸ軸シャフトリング６６を樹脂により構成すると、部品間に隙間を持たせることなく接合および回転自由な構成を実現できるので、バックラッシ（カムを正転及び反転した時に動作の遅れを生じさせないこと）のない操作性を実現することができる。しかしながら、これに限られるものではないことは勿論であり、金属あるいは樹脂などにより全体を予め一体成形してもよいし、あるいは、適宜の部材のみを別体として構成して組み付けるようにしてもよい。
【０１３１】
（４）上記した実施の形態においては、Ｙ軸偏心カムネジ６８、Ｙ軸偏心カムリング７０、Ｙ軸カムシャフト７２およびＹ軸シャフトリング７４をそれぞれ別体として構成し、これら別体として構成した部材を組み付けて一体化した。この際に、Ｙ軸偏心カムリング７０およびＹ軸シャフトリング７４を樹脂により構成すると、部品間に隙間を持たせることなく接合および回転自由な構成を実現できるので、バックラッシ（カムを正転及び反転した時に動作の遅れを生じさせないこと）のない操作性を実現することができる。しかしながら、これに限られるものではないことは勿論であり、金属あるいは樹脂などにより全体を予め一体成形してもよいし、あるいは、適宜の部材のみを別体として構成して組み付けるようにしてもよい。
【０１３２】
（５）上記した実施の形態においては、ローター部材４０側から順にＸ軸ピボットリング６２とＸ軸偏心カムリング６０とを配置したが、これに限られるものではないことは勿論であり、Ｘ軸ピボットリング６２とＸ軸偏心カムリング６０との配置関係を逆転させて、ローター部材４０側から順にＸ軸偏心カムリング６０とＸ軸ピボットリング６２とを配置してもよい。その場合には、アジャストリング５６に形成するＸ軸調整ガイド長孔５６ｃとＸ軸ピボットリングガイド溝５６ｋとの配置も適宜に変更すればよい。
【０１３３】
（６）上記した実施の形態においては、同心調整の際における具体的な調整量についての詳細な説明は省略したが、例えば、以下のように設定することができる。
【０１３４】
調整範囲：±０．６ｍｍ（保証値：±０．５ｍｍ）
１８０°での偏心量
Ｘ軸：０．６ｍｍ（移動量：１．２ｍｍ）
Ｙ軸：１．２ｍｍ（移動量：２．４ｍｍ）
（７）上記した実施の形態においては、Ｘ軸偏心カムネジ５８として頭部５８ｄに十字形状の貫通孔５８ｅが穿設されたものを用いたが、これに限られるものではないことは勿論である。例えば、図１３に示すＸ軸偏心カムネジ１５８のように、頭部５８ｄの頂部に六角レンチが係合可能な六角穴１５８ｅを形成したものを用いてもよい。このＸ軸偏心カムネジ１５８の材質としては、クロムモリブデン鋼のＳＣＭ２３５やスレンレス鋼の４４０Ｃなどを用いることができる。成形終了後に焼き入れをすると六角穴１５８ｅの強度を一層向上することができ、Ｘ軸偏心カムネジ１５８の耐用期間を長くすることができる。なお、図１３においては、理解を容易にするために、図６に示すＸ軸偏心カムネジ５８と同一あるいは相当する構成には図６と同一の符号を付して示してある。
【０１３５】
（８）上記した実施の形態においては、付勢手段として、ばね座金８２ａ、８２ｂ、８２ｃを用いたが、これに限られるものではないことは勿論であり、コイルスプリングや板ばねなどを使用することも可能である。
【０１３６】
（９）上記した実施の形態ならびに上記した（１）〜（８）に示す変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１３７】
本発明は、複数の対物レンズを備えた顕微鏡はもとより、そうした顕微鏡を搭載した各種の装置、例えば、顕微鏡搭載型レーザー加工装置やＬＣＤリペア装置などに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３８】
【図１】図１は、本発明によるレボルバにおける心調整機構および焦点調整機構の実施の形態の一例を備えた顕微鏡装置を搭載したＬＣＤリペア装置の概略外観構成説明図であり、図１（ａ）はＬＣＤリペア装置の概略外観正面図であり、図１（ｂ）は概略外観右側面図である。
【図２】図２は、図１に示すＬＣＤリペア装置におけるレーザー発振部および顕微鏡部の外観構成説明図である。
【図３】図３は、レボルバに関する図２のＡ矢視概略外観構成説明図である。
【図４】図４は、対物レンズを取り付けるための対物レンズ取付孔を形成したローター部材の周辺と対物レンズ取付部とを中心として示したレボルバの要部詳細分解構成斜視図である。
【図５】図５は、対物レンズを取り付けるための対物レンズ取付孔を形成したローター部材の周辺と対物レンズ取付部とを中心として示したレボルバの要部概略縦断面構成図である。
【図６】図６は、Ｘ軸偏心カムネジの構成説明図であり、図６（ａ）は正面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）のＢ矢視図である。
【図７】図７は、Ｘ軸偏心カムネジを回転した際におけるＸ軸方向移動機構の動作、即ち、Ｘ軸偏心カムリングとＸ軸ピボットリングとＸ軸調整ガイド長孔とＸ軸ピボットリングガイド溝との間における連係動作の詳細を示す説明図であり、図７（ａ）はＸ軸ピボットリングの断面の動きを示し、図７（ｂ）はＸ軸偏心カムリングの断面の動きを示す。
【図８】図８は、Ｘ軸偏心カムネジを回転した際におけるＸ軸方向移動機構の動作の説明図である。
【図９】図９は、Ｙ軸偏心カムネジを回転した際におけるＹ軸方向移動機構の動作の説明図である。
【図１０】図１０は、スクリューストッパーを介してロックスクリューによりアジャストリングに同焦リングを固定した状態を示す要部断面図である。
【図１１】図１１は、対物レンズの焦点調整を行う状態を示した要部概略構成斜視図である。
【図１２】図１２は、対物レンズの焦点調整を行う状態を示した概略構成上面図である。
【図１３】図１３は、他の実施の形態のＸ軸偏心カムネジの構成説明図であり、図１３（ａ）は正面図であり、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＧ矢視図である。
【図１４】図１４は、本発明の第２の実施の形態を示し、対物レンズを取り付けるための対物レンズ取付孔を形成したローター部材の周辺と対物レンズ取付部とを中心として示した図４に対応する要部詳細分解構成斜視図であり、図１乃至図１３に示す本発明の第１の実施の形態の構成と同一または相当する構成するには同一の符号を付して示す。
【符号の説明】
【０１３９】
１０      ＬＣＤリペア装置
２０      レーザー発振部
３０      顕微鏡部
３２      顕微鏡ユニット
３４      レボルバ
３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｄ、３６ｅ      対物レンズ
３８      焦点合わせ用上下機構
４０      ローター部材
４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ      対物レンズ取付孔
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ              対物レンズ取付部
５６      アジャストリング
【図１】
2006071985.tif 000003
【図２】
2006071985.tif 000004
【図３】
2006071985.tif 000005
【図４】
2006071985.tif 000006
【図５】
2006071985.tif 000007
【図６】
2006071985.tif 000008
【図７】
2006071985.tif 000009
【図８】
2006071985.tif 000010
【図９】
2006071985.tif 000011
【図１０】
2006071985.tif 000012
【図１１】
2006071985.tif 000013
【図１２】
2006071985.tif 000014
【図１３】
2006071985.tif 000015
【図１４】
2006071985.tif 000016