(57)【要約】【課題】  広範囲な流量に対して安定したガス圧力が得られ、しかもよりコンパクトな形状の圧力調整器を提供する。【解決手段】  弁座を閉塞・離反させるポペットが連結されたダイヤフラムを使用した直動式の第１段減圧装置と第２段減圧装置を、直列に結合した二段式の圧力調整器であって、ダイヤフラム裏側のダイヤフラムを調整するロードスプリングを収容した調整バネ室を真空に保ち、減圧された低圧ガスの流路を調整バネ室とハウジングの間に設ける構造にする。【選択図】              図１
2006053727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヤフラムを使用した直動式の第１段減圧装置と第２段減圧装置を直列に結合した二段式の圧力調整器であって、高圧ガスの入口を有する円盤状の端末キャップに円筒状の第１のハウジングを嵌合させて接続し、さらに該第１のハウジングの他端に減圧ガスの出口を有する円筒状の第２のハウジングを嵌合させて接続したものであって、前記第１のハウジングまたは第２のハウジング内に収納された第１段減圧装置及び第２段減圧装置は、ダイヤフラムとロードスプリングからなる可動圧力調整機構と、ポペットと弁座シートからなる流体の流れを選択的に調整するための流量調整機構とを備え、前記第１段減圧装置２の高圧ガス入口から導入された高圧ガスが前記第１段減圧装置の可動圧力調整機構によって制御された流量調整機構を通して所定の圧力まで減圧された後、前記第２段減圧装置に導入され、前記第２段減圧装置の可動圧力調整機構によって制御された流量調整機構を通して所定の圧力まで減圧されて、前記第２段減圧装置の低圧ガス出口より排出されるように構成されてなることを特徴とする圧力調整器。
【請求項２】
前記可動圧力調整機構は、キャップの開口端にダイヤフラムを取付け、該ダイヤフラムの背面にダイヤフラムプレートを介してロードスプリングを配置して、該ロードスプリングの他端をスプリングボトムで抑え、さらに前記キャップの他端中心部にねじ込んだアジャスティングスクリューを前記スプリングボトムに当接させ、該アジャスティングスクリューを回転させることによりロードスプリングを伸縮させて、前記ダイヤフラムが膨張・収縮する変位量を調整可能に構成されてなることを特徴とする請求項１に記載の圧力調整器。
【請求項３】
前記流量調整機構は、前記ダイヤフラムにステイを介して連結された一端が円錐状の先端部を有するポペットを具備し、該ステイは弁座シート５中心部に設けられたロート状の弁座部を貫通しており、前記ダイヤフラムの膨張・収縮に伴ってポペットも移動して、前記ポペットの先端部が弁座部に嵌合・解放することにより、高圧ガスが弁座シート５通過・停止可能となるように構成されてなることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧力調整器。
【請求項４】
前記ポペットは断面が正方形であって、前記第１段減圧装置の円盤状の端末キャップ、もしくは該端末キャップに嵌合接続された円筒状の第１のハウジングの中心部に形成された断面が円形の凹部に内接して、該凹部内を軸方向に沿って移動可能に構成し、かつポペットの中心部には高圧ガスが流れる溝を有しており、高圧ガスが前記溝の途中から前記断面が円形の凹部と断面が正方形のポペットとの間隙に排出されるように構成されてなることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の圧力調整器。
【請求項５】
前記ダイヤフラムプレートとキャップとで囲まれて、内部にロードスプリングを有する調整バネ室内を真空に維持したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の圧力調整器。
【請求項６】
前記キャップと第１のハウジングの間、もしくは前記第２のキャップと第２のハウジングの間に減圧されたガスの流路を設けてなることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の圧力調整器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の圧力調整器に関するもので、より詳しくは小型で広範囲の流量にわたって安定した低い圧力流体を提供することができる圧力調整器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造装置や燃料電池システムでは、高圧圧縮ガス容器から高圧で供給されるガスを閉止弁の下流側に圧力調整器を設けて低圧のガスにして使用することが一般的に行われている。このような流体供給システムにおいては、前記高圧圧縮ガス容器に連結される圧力調整器は、流体が高圧圧縮ガス容器から排出されて使用される時に、流体の流量が変化しても常に一定の低圧圧力を維持することが要求され、また一定時間使用されて高圧圧縮ガス容器内の残留ガスの圧力が低下しても、常に一定の低圧圧力を維持することが要求される。
【０００３】
一般的な圧力調整器の一例として、周縁部がハウジングに固定されたベローズ又はダイアフラムを使用した圧力調整器が知られている（例えば、特許文献１参照。）。図９に周縁部がハウジングに固定されたベローズを使用した圧力調整器の断面構造を示す。図９に示す圧力調整器５０は、チャンバー５２を内部に有するハウジング５１と、該ハウジング５１に設けられた前記チャンバー５２に連通する入口５３及び出口５４と、これら入口５３と出口５４との間の流体の流れを選択的に調整するための流量調整手段６０とを有する圧力調整器であって、該流量調整手段６０は、前記チャンバー５２の中に固定された圧力調整室５５と、ベローズ５６と、該ベローズ５６の動きを調整する可動圧力調整部材５７及び前記ベローズ５６と連動して移動可能なポペット５８とを主体として構成されている。
この圧力調整器５０では、ベローズ５６はチャンバー５２内の圧力と圧力調整室５５内に設定される圧力に見合った量だけ伸縮する。さらにベローズ５６が伸縮すると、それに伴って該ベローズ５６に直結されたポペット５８も紙面左右方向の移動することができる。
【０００４】
今、入口５３に高圧ガス源が接続され、出口５４側が閉鎖されて出口５４側のガス流量が零の状態で、ポペット５８の先端部５８ａがハウジング５１の弁座部５１ａに嵌り込み、弁座部５１ａが閉塞状態になった時にのベローズ５６の膨らみ量と釣り合うように圧力調整室５５内の圧力を調整しておく。
次に、この状態で出口５４側のガスを流すとチャンバー５２内の圧力が低下して、ベローズ５６は膨張する。
ベローズ５６が膨張すると該ベローズ５６に直結されたポペット５８は紙面左方向に移動して、ポペット５８の先端部５８ａがハウジング５１の弁座部５１ａから離れるのでガス流路５９が形成される。
【０００５】
ガス流路５９が形成されると、高圧ガス源から供給される高圧ガスがガス流路５９を通ってチャンバー５２内に流入してチャンバー５２の圧力が高まり、チャンバー５２の圧力が高まるとベローズ５６が圧力調整室５５内の設定圧力に達するまで収縮する。
ベローズ５６が収縮すると、それに伴って該ベローズ５６に直結されたポペット５８は紙面右方向に移動して、ポペット５８の先端部５８ａがハウジング５１の弁座部５１ａに嵌り込み、弁座部５１ａが閉塞状態になる。
このようにして弁座部５１ａの開閉を繰り返すことにより、入口５３から入った高圧ガスは減圧されて出口５４を通して供給される。
【特許文献１】特開平０３−１４９４７２号公報
【０００６】
さらに、半導体製造装置のように低圧ガスを低流量で正確に制御する必要がある場合には、図１０に示すように前述の構造の圧力調整器を２段直列に連結した圧力調整器７０が使用されている。この圧力調整器７０は１次圧力調整器７１と２次圧力調整器７２を直列の連結したものであって、各圧力調整器７１，７２の内部機構は先の圧力調整器５０とほぼ同様である。
入口７３から供給された高圧ガスは、１次圧力調整器７１で減圧されて連結管７５を通して２次圧力調整器７２に入り、所定の圧力まで減圧されて出口７４から所望の行程に供給される。図中Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３はそれぞれ圧力計であり、７６は安全弁である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図９に示す圧力調整器５０では、流量調整手段６０を組み立てる際にベローズ５６や可動圧力調整部材５７を組み込んだ後、キャップ６１を被せて圧力調整室５５を形成する。さらに、圧力調整室５５内に所定圧力の気体を封入して圧力調整している。
このため圧力調整器５０を使用中に周囲に環境温度が変化すると、この圧力調整室５５内の気体が膨張・収縮してベローズ５６の膨張・収縮量は可動圧力調整部材５７の設定圧力のより定められた量からずれてしまう。従って正確な減圧圧力を得ることが困難となる問題がある。
また、図１０に示す圧力調整器７０では高圧ガスの入口７３に対して横方向に長く、ガス流路を連結管７５で接続する構造であるため、ますます横方向に長く大型の圧力調整器のなってしまい、各種製造工程に組み込むためには特別な部品を準備しなければならないという欠点があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決して広範囲な流量に対して安定したガス圧力が得られ、しかもよりコンパクトな形状の圧力調整器とし、特に一般に広く使用されている規格品である穴径２２ｍｍの一般工業用容器内にも組み込み可能な圧力調整器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため本発明の圧力調整器は、ダイヤフラムを使用した直動式の第１段減圧装置と第２段減圧装置を直列に結合した二段式の圧力調整器であって、高圧ガスの入口を有する円盤状の端末キャップに円筒状の第１のハウジングを嵌合させて接続し、さらに該第１のハウジングの他端に減圧ガスの出口を有する円筒状の第２のハウジングを嵌合させて接続したものであって、前記第１のハウジングまたは第２のハウジング内に収納された第１段減圧装置及び第２段減圧装置は、ダイヤフラムとロードスプリングからなる可動圧力調整機構と、ポペットと弁座シートからなる流体の流れを選択的に調整するための流量調整機構とを備え、前記第１段減圧装置の高圧ガス入口から導入された高圧ガスが前記第１段減圧装置の可動圧力調整機構によって制御された流量調整機構を通して所定の圧力まで減圧された後、前記第２段減圧装置に導入され、前記第２段減圧装置の可動圧力調整機構によって制御された流量調整機構を通して所定の圧力まで減圧されて、前記第２段減圧装置の低圧ガス出口より排出されるように構成した圧力調整器とした。
【００１０】
圧力調整器をこのように構成すればコンパクトな形状の圧力調整器となり、例えば第１及び第２のハウジングを外径２１ｍｍのパイプで構成すれば、特に一般に広く使用されている規格品である穴径２２ｍｍの一般工業用容器内にも組み込み可能な圧力調整器となる。  また、可動圧力調整機構と流量調整機構の作用により、広範囲な流量に対して安定した低圧ガス圧力が得られる圧力調整器となる。
【００１１】
本発明の圧力調整器では、前記可動圧力調整機構は、キャップの開口端にダイヤフラムを取付け、該ダイヤフラムの背面にダイヤフラムプレートを介してロードスプリングを配置して、該ロードスプリングの他端をスプリングボトムで抑え、さらに前記キャップの他端中心部にねじ込んだアジャスティングスクリューを前記スプリングボトムに当接させ、該アジャスティングスクリューを回転させることによりロードスプリングを伸縮させて、前記ダイヤフラム７が膨張・収縮する変位量を調整可能に構成することが好ましい。
また、前記流量調整機構は、前記ダイヤフラムにステイを介して連結された一端が円錐状の先端部を有するポペットを具備し、該ステイは弁座シートの中心部に設けられたロート状の弁座部を貫通しており、前記ダイヤフラムの膨張・収縮に伴ってポペット４も移動して、前記ポペットの先端部が弁座部に嵌合・解放することにより、高圧ガスが弁座シートを通過・停止可能となるように構成することが好ましい。
任意の広範囲な流量に対して安定した低ガス圧力を得るためである。
【００１２】
本発明の圧力調整器では、前記ポペットは断面が正方形であって、前記第１段減圧装置の円盤状の端末キャップ、もしくは該端末キャップに嵌合接続された円筒状の第１のハウジングの中心部に形成された断面が円形の凹部に内接して、該凹部内を軸方向に沿って移動可能に構成し、かつポペットの中心部には高圧ガスが流れる溝を有しており、高圧ガスが前記溝の途中から前記断面が円形の凹部と断面が正方形のポペットとの間隙に排出されるように構成することができる。
なるべくコンパクトにして、しかも広範囲な流量に対して安定した低ガス圧力を得るためである。
【００１３】
本発明の圧力調整器では、前記ダイヤフラムプレートとキャップとで囲まれて内部にロードスプリングを有する調整バネ室内を真空に維持することが好ましい。
使用中に周囲に環境温度が変化しても、調整バネ室内には膨張・収縮する気体が無いので、ダイヤフラムの膨張・収縮量は可動圧力調整部材によって定められた設定圧力によって正確に規制されるので、正確な減圧圧力を得ることができる。
また、本発明の圧力調整器では、前記キャップと第１のハウジングの間、もしくは第２のキャップと第２のハウジングの間に減圧されたガスの流路を設けることが好ましい。
よりコンパクトな減圧調整器とするためである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、広範囲な流量に対して安定したガス圧力が得られ、しかもよりコンパクトな形状の圧力調整器となるので、特に一般に広く使用されている規格品である穴径２２ｍｍの一般工業用容器内にも組み込み可能な圧力調整器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を使用して本発明を詳細に説明する。
まず、本発明で使用するダイヤフラム式圧力調整器の作動原理を図を使用して説明する。
図５ないし図８は、ダイヤフラム式圧力調整器の一連の作動原理を説明する図である。  図５はダイヤフラム式圧力調整器４０の構造を示す図であって、高圧ガス入口４４と低圧ガス出口４７を有するハウジング４１に、頂部にキャップ状の押しネジ４３を備えたキャップ４２が嵌合させてある。ハウジング４１の内部には、高圧ガス入口４４から通じる１次室４５と低圧ガス出口４７に通じる２次室４６があり、さらにハウジング４１の中央部には、スリーブ４９がねじ込んである。スリーブ４９には第１の窪み２５と第２の窪み２６が設けてあり、第１の窪み２５は前記１次室４５とつながり、第２の窪み２６は前記２次室４６とつながっている。第１の窪み２５と第２の窪み２６との間は狭くなっていてガス通路３４を形成し、先端に弁座２７が設けられている。
スリーブ４９の第１の窪み２５内には、小スプリング２８に支持されたポペット２９があり、第２の窪み２６内にはダイヤフラム３５に接合されたステム３６が挿入されており、該ステム３６と前記ポペット２９とはガス通路３４を貫通したステイ３７を介して連結されている。
【００１６】
さらに、キャップ４２内のダイヤフラム３５で仕切られた調整バネ室４８の内部には、ダイヤフラム３５に当接するスプリングヘッド３８とスプリングボトム３９に挟まれたロードスプリング９が収納されており、押しネジ４３を調節して前記スプリングボトム３９の位置を調整することにより、ダイヤフラム３５の変位範囲を調整することができるようになっている。
【００１７】
図５は、高圧ガス入口４４から高圧ガス負荷がかかり、低圧ガスの使用を停止して低圧ガス出口４７を閉じた状態で、ダイヤフラム３５が押しネジ４３の押圧と釣り合っていてポペット２９が小スプリング２８によって持ち上がり、弁座２７を塞いでいる状態を示している。
【００１８】
次に、低圧ガス出口４７に所定の低圧ガスを得るには、図６に示すように押しネジ４３を回転させてロードスプリング１９を所定の量だけ圧縮し、その圧縮力でダイヤフラム３５を２次室４６側に押し下げる。
ダイヤフラム３５が２次室４６側に押し下げられると、ダイヤフラム３５に連結してあるステム３６とポペット２９が連動して小スプリング２８に抗して紙面下方に移動するので、ポペット２９ば弁座２７から離れてスリーブ４９の弁座２７を解放してガス通路３４が貫通する。
ガス通路３４が貫通すると高圧ガス入口４４から入った高圧ガスは、１次室４５からガス通路３４を通って２次室４６に入り、ダイヤフラム３５を紙面上方に押し上げる。
図７は、２次室４６の圧力が上がり、ダイヤフラム３５を押し上げる力がロードスプリング９の圧縮力と釣り合って、弁座２７にポペット２９がおしつけられて１次室４５から２次室４６へのガスの流れが停止して２次室の圧力が安定した状態を示している。
【００１９】
次に、図８に示すように低圧ガス出口４７から低圧ガスを流すと２次室４６の圧力が低下し、ダイヤフラム３５を押し上げるガス圧よりもロードスプリング１９の圧縮力の方が大きくなり、ダイヤフラム３５は２次室４６側に押し下げられる。するとポペット２９が弁座２７から離れて、ガス通路３４が貫通して１次室４５から２次室４６に向かってガスが流れ込む。２次室４６に流れ込むガス量と２次室４６から流出するガス量とが等しくなるとポペット２９の動きは止まり、２次室４６のガス圧力は安定する。
このようにダイヤフラム３５と連動するポペット２９の働きに依って、低圧ガス出口４７側のガス圧力は、ガスの流量にかかわらず設定値通りの安定した圧力を示すものとなる。
【００２０】
上述のような減圧機構を利用して、高圧ガスの圧力を２段式で減圧するようにしたのが本発明の圧力調整器である。
図１に、本発明の圧力調整器の断面構造を示す。また、図２には図１に示す本発明の圧力調整器１の第１段減圧装置の断面構造を拡大して示す。
本発明の圧力調整器１は、ダイヤフラム７を使用した直動式の第１段減圧装置２と第２段減圧装置３を直列に結合した二段式の圧力調整器であって、該第１段減圧装置２及び第２段減圧装置３はそれぞれダイヤフラム７，７とロードスプリング９，９からなる可動圧力調整機構２１，３１と、ポペット４，４と弁座シート５，５からなる流体の流れを選択的に調整するための流量調整機構２２，３２とを備えている。
そして本発明の圧力調整器１の前記第１段減圧装置２の高圧ガスの入口６から導入された高圧ガスは、前記第１段減圧装置２の可動圧力調整機構２１によって制御された流量調整機構２２を通して所定の圧力まで減圧された後、前記第２段減圧装置３に導入され、さらに前記第２段減圧装置３の可動圧力調整機構３１によって制御された流量調整機構３２を通して所定の圧力まで減圧されて、前記第２段減圧装置３の低圧ガスの出口３３より排出されるように構成されている。
このように２段の減圧装置を直列に結合させることにより、より小型にしかも細い直線状にした圧力調整器とすることができる。
第１段減圧装置２と第２段減圧装置３の作動機構は同じなので、以下に第１段減圧装置２を中心にして説明する。
【００２１】
本発明の圧力調整器１の第１段減圧装置２は、高圧ガスの入口６を有する円盤状の端末キャップ１３に円筒状の第１のハウジング１４を嵌合させて接続し、さらに該第１のハウジング１４の他端に減圧ガスの出口３３を有する円筒状の第２のハウジング２４を嵌合させて接続し、前記第１のハウジング１４内に当該第１段減圧装置２が収納されている。
【００２２】
そして前記可動圧力調整機構２１は、図２に示すようにキャップ１２の開口端にダイヤフラム７を取付け、該ダイヤフラム７の背面にダイヤフラムプレート８を介してロードスプリング９を配置して、該ロードスプリング９の他端をスプリングボトム１０で抑え、前記キャップ１２の他端中心部にねじ込んだアジャスティングスクリュー１１を前記スプリングボトム１０に当接させ、該アジャスティングスクリュー１１を回転させることにより前記ダイヤフラム７が膨張・収縮する可動変位量を調整可能に構成されている。
キャップ１２には凹部１６が形成されており、この凹部１６の内部にダイヤフラムプレート８、ロードスプリング９及びスプリングボトム１０が収納されていて、ロードスプリング９が伸縮可能になっている。
【００２３】
また、キャップ１２の一端の中心には孔１７が貫通しており、この孔１７にアジャスティングスクリュー１１が挿入されている。アジャスティングスクリュー１１の一端はスプリングボトム１０に当接しており、前進・後退させることができるようになっている。アジャスティングスクリュー１１の他端にはキャッププラグ１９が嵌合接合されていて、気密を保って孔１７に挿入されている。
【００２４】
ここで、ロードスプリング９を含むダイヤフラム７とキャップ１２とで囲まれた空間の内部、すなわち調整バネ室１８の内部を真空にしておくが重要である。調整バネ室１８の内部を真空にしておくと、周囲の環境温度が変化しても体積変化を起こす気体が調整バネ室１８には存在しないので、ダイヤフラム７の変位量に影響は及ばない。したがって、より精密な圧力制御をすることが可能になる。
調整バネ室１８の内部を真空にするには、組み立て時に真空に排気した後密封すればよい。
【００２５】
また、前記流量調整機構２２は、前記ダイヤフラム７にステイ１５を介して連結された、一端が円錐状の先端部４ａを有するポペット４を具備し、該ステイ１５は弁座シート５の中心部に設けられたロート状の弁座部５ａを貫通しており、前記ダイヤフラム７の膨張・収縮に伴ってポペット４も移動して、前記ポペット４の先端部４ａが弁座部５ａに嵌合・離反することにより、高圧ガスが弁座シート５を通過・停止可能となるように構成されている。
【００２６】
図２に示す前記ポペット４は断面が正方形であって、前記第１段減圧装置２の円盤状の端末キャップ１３に嵌合接続された円筒状の第１のハウジング１４の中心部に形成された断面が円形の凹部１３ａに内接して、該凹部１３ａ内を軸方向に沿って移動可能に構成されており、かつポペット４の中心部には高圧ガスが流れる溝（図示省略）を有しており、高圧ガスがこの溝の途中から前記断面が円形の凹部１３ａと断面が正方形のポペット４との間隙に排出されるように構成されている。
このように構成することにより、高圧ガスの流路がポペット４内部に確保できるので、装置を直線状に細く構成することができる。
【００２７】
さらに、図２に示す第１段減圧装置２においては、前記キャップ１２と第１のハウジング１４の間に減圧ガスの流路３０を設けてある。
ポペット４内部を通過した高圧ガスは前記流量調整機構２２で減圧された後、前記ダイヤフラム７の表面に沿って形成された空間２３を通って前記減圧ガスの流路３０を流れていく。
減圧されたガスの流路をこのように確保することにより、装置全体を細く直線的に構成することができるので、よりコンパクトな形状の圧力調整器となり、特に第１のハウジング１４及び第２のハウジング２４を外形２１ｍｍとして構成すれば、一般に広く使用されている規格品である穴径２２ｍｍの一般工業用容器内にも組み込み可能な圧力調整器となる。
【００２８】
ここで、減圧されたガスの流れを図３を使用して説明する。
図２は、低圧ガスの使用を停止して減圧されたガスの流れを止め、ポペット４の先端部４ａが弁座５ａを閉塞させた状態でロードスプリング９の押圧が調整されて均衡を保っている場合を示している。
次に、低圧ガスの使用を開始して減圧されたガスの流れが生じると、図３に示すようにダイヤフラム７の紙面左側の空間２３の圧力が低下するので、ダイヤフラム７は矢印で示すように紙面左側に向かって変位する。
ダイヤフラム７が変位するのに伴ってダイヤフラム７に連結されているポペット４も矢印で示すように紙面左側に向かって変位して、ポペット４の先端部４ａは弁座５ａから離反する。すると弁座部分にガス流路２０が形成され、ポペット４から排出されたガスは弁座５ａを通過して、ダイヤフラム７と端末キャップ１３との間に形成された狭い空間を流れ、図３に示す矢印に沿ってキャップ１２とハウジング１４の間に形成された減圧ガスの流路３０を流れて行く。
【００２９】
減圧されたガスは、第１段減圧装置２では減圧ガスの流路３０に沿って流れて第２段減圧装置３の第２のポペット４に流れ込み、さらにもう一段階減圧される。
第２段減圧装置３では所定の低圧まで減圧された後、第２の減圧ガスの流路３０を流れて低圧ガスの出口３３から排出されている。
【００３０】
以上、主に第１段減圧装置２について説明したが、第２段減圧装置３に関しても構造はほとんど同じで、動作も同じであるから詳しい説明は省略する。
図１に示すように第２段減圧装置３では中程度に減圧されたガスが引き続き第２のポペット４に導入され、可動圧力調整機構３１及び流量調整機構３２でさらに減圧されて、第２のハウジング２４の一端に設けられた低圧ガスの出口３３から排出されている。
【００３１】
このような圧力調整器を使用した場合の低圧ガスの流量と低圧ガスの圧力変化の関係を図４に示す。
図４は、図１に示した圧力調整器１を使用して、第１段減圧装置２の高圧ガス入口６に３．７ＭＰａの高圧窒素ガスを減圧した場合の、第２段減圧装置３の低圧ガス出口３３の圧力を示したものである。ここで、第１段減圧装置２での減圧圧力は０．６〜０．８ＭＰａに設定した。
図に示すように流通開始直後には急激に圧力が低下するものの、流量が１ＮＬ／ｍｉｎを越える頃から流量が４ＮＬ／ｍｉｎ迄は圧力がほぼ安定し、ガス流量の精密制御に充分耐えうるものであった。
本発明の圧力調整器においては、ダイヤフラムとして厚さ５０μｍのものを使用することで、大気圧から負圧に至るまでの範囲で圧力を精密に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の圧力調整器の断面構造を示す図である。
【図２】本発明の圧力調整器の第１段減圧装置の断面構造を示す図である。
【図３】本発明の圧力調整器の第１段減圧装置のガス流路を説明する図である。
【図４】図１に示す本発明の圧力調整器のガス流量と圧力との関係を示す図である。
【図５】本発明の圧力調整器の作動原理を説明する図である。
【図６】図５に続く本発明の圧力調整器の作動原理を説明する図である。
【図７】図６に続く本発明の圧力調整器の作動原理を説明する図である。
【図８】図７に続く本発明の圧力調整器の作動原理を説明する図である。
【図９】従来の圧力調整器の一例の断面構造を示す図である。
【図１０】従来の圧力調整器の他の例を示す図で、（ａ）は平面図を（ｂ）は正面図を示す。
【符号の説明】
【００３３】
１・・・・・圧力調整器、２・・・・・第１段減圧装置、３・・・・・第２段減圧装置、４・・・・・ポペット、５・・・・・弁座シート、６・・・・・・入口、７・・・・・・ダイヤフラム、  ８・・・・・・ダイヤフラムプレート、９・・・・・・ロードスプリング、１１・・・・・・アジャスティングスクリュー、１２・・・・・・キャップ、１３・・・・・・端末キャップ、１４・・・・・・第１のハウジング、１５・・・・・・ステイ、１６・・・・・・凹部、１７・・・・・・孔、１８・・・・・・調整バネ室、１９・・・・・・キャッププラグ、２０・・・・・・ガス流路、２１，３１・・・・・・可動圧力調整機構、２２，３２・・・・・・流量調整機構、２３・・・・・・空間、２４・・・・・・第２のハウジング、２９・・・・・・ポペット、３０・・・・・・減圧ガスの流路、３３・・・・・・出口、３５・・・・・・ダイヤフラム、４０・・・・・・圧力調整器、４１・・・・・・ハウジング、４５・・・・・・１次室、４６・・・・・・２次室、４８・・・・・・調整バネ室、５０，７０・・・・・・圧力調整器、５１・・・・・・ハウジング、５２・・・・・・チャンバー、５３・・・・・・高圧ガス入口、５４・・・・・・低圧ガス出口、５５・・・・・・圧力調整室、５６・・・・・・ベローズ、５７・・・・・・可動圧力調整部材、５８・・・・・・ポペット、６０・・・・・・流量調整手段、７１・・・・・・第１段減圧装置、７２・・・・・・第２段減圧装置、７５・・・・・・連結管
【図１】
2006053727.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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