(57)【要約】【課題】第１のモジュールを利用して該ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵することにより、該ウェーハわく貯蔵ボックスのアクセスをより迅速且つ確実にできるようにすることにある。【解決手段】本発明は、ウェーハわく貯蔵ボックス２１の貯蔵に使用される貯蔵キャビネット装置に関し、貯蔵キャビネット本体２２と、該貯蔵キャビネット本体２２内に取り付けられ、該ウェーハわく貯蔵ボックス２１を貯蔵する第１のモジュール２３と、該貯蔵キャビネット本体２２内に取り付けられ、該第１のモジュール２３を制御して該ウェーハわく貯蔵ボックス２１の使用情報を表示する制御キャビネット２４と、を備える貯蔵キャビネット装置２０である。【選択図】      図２
2006135283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵に用いられる貯蔵キャビネット装置であって、
貯蔵キャビネット本体と、
前記貯蔵キャビネット本体に設けられ、前記ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵するための第１のモジュールと、
前記キャビネット本体に設けられ、前記第１のモジュールを制御して前記ウェーハわく貯蔵ボックスの使用情報を表示する手段を有した制御キャビネットと、
を備えてなることを特徴とする貯蔵キャビネット装置。
【請求項２】
前記制御キャビネットには、対照式センサが設けられ、これにより前記ウェーハわく貯蔵ボックスが、制御キャビネットの狭長な支持フレームに近接することを感応し、
前記対照式センサは、走査器を有し、この走査器を起動して前記ウェーハわくボックス上のバー・コードを走査し、且つ、該ウェーハわく貯蔵ボックスの基本データを読み取るようにしたことを特徴とする請求項１に記載の貯蔵キャビネット装置。
【請求項３】
前記制御キャビネットには、キー・ボードが設けられ、前記キー・ボード使用者の入力に寄与するように傾斜角度を有し、且つ、前記走査器は、該キー・ボードの底板部位に取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の貯蔵キャビネット装置。
【請求項４】
前記制御キャビネットは、スクリーンを有し、前記スクリーンは、前記ウェーハわく貯蔵ボックスの基本データを表示し、前記ウェーハわく貯蔵ボックスは、前記第１のモジュール内から前記基本データを取り出せるように切欠を具備していることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の貯蔵キャビネット装置。
【請求項５】
前記第１のモジュールは、複数個の貯蔵区間を有し、各貯蔵区間は、前記ウェーハわく貯蔵ボックスが該貯蔵区間に置き入れられるようにいずれも狭長開口を有し、
前記制御キャビネットには、チップ読取り装置又は磁気カード読み取り装置が設けられており、以て、前記ウェーハわく貯蔵ボックス上のチップ又は磁気カードを読み取り、
前記各貯蔵区間には、端末感応スイッチが設けられ、前記端末感応スイッチによって前記ウェーハわく貯蔵ボックスが既に該貯蔵区間の予定位置に到達したことを検出すると共に、前記第１のモジュールに設けた表示ランプを起動し、
前記貯蔵区間には、製品キーがあり、該製品キーは、メーン・フレームにより設定され、以て前記ウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵位置を確定し、
前記キャビネット装置は、さらに他のサイズのウェーハのわく貯蔵ボックスを置くための第２のモジュール及び第３のモジュールを備えた複数の連結キャビネットを有し、
前記メーン・フレームは、プログラマブル制御器（ＰＬＣ）により複数の連結キャビネットが制御され、且つ、該連結キャビネットには、表示器が設置され、前記表示器によって該連結キャビネットのナンバーを表示するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の貯蔵キャビネット装置。
【請求項６】
前記連結キャビネット内には、剰余酸素計量器および流量計が設けられ、これらにより該連結キャビネット内の剰余酸素ガス量を検出し、且つ、該連結キャビネット内の窒素ガス含量を補充するようにした請求項１または請求項５に記載の貯蔵キャビネット装置。
【請求項７】
物の貯蔵に用いられる貯蔵キャビネット装置であって、
貯蔵キャビネット本体と、
前記貯蔵キャビネット本体に設けられ、前記物を貯蔵する第１の貯蔵装置と、
前記貯蔵キャビネット本体に設けられ、前記第１の貯蔵装置を制御して前記物の使用情報表示する制御装置と、
を備えてなることを特徴とする貯蔵キャビネット装置。
【請求項８】
前記キャビネット装置は、ウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵に用いられ、そして前記物件はウェーハわく貯蔵ボックスであり、
且つ、前記第１の貯蔵装置は、第１のモジュールであり、前記制御装置は、制御キャビネットであり、
前記制御キャビネットには、対照式センサが設けられてあり、これにより前記ウェーハわく貯蔵ボックスの支持フレームへの近接を感応し、
前記対照式センサは、走査器を起動して前記ウェーハわく貯蔵ボックス上のバー・コードを走査し、且つ該ウェーハわく貯蔵ボックスの基本データを読み取るようにしたことを特徴とする請求項７に記載の貯蔵キャビネット装置。
【請求項９】
前記制御キャビネットには、キー・ボードが取り付けられてあり、そして使用者の入力に寄与するように該キー・ボードには、傾斜角度を有し、且つ、前記走査器は、該キー・ボード底板部位に取り付けられていることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の貯蔵キャビネット装置。
【請求項１０】
ウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵に用いられるキャビネット装置であって、
貯蔵キャビネット本体と、
前記貯蔵キャビネット装置本体に設けられ、複数個の貯蔵区間を有し、且つ、前記複数個の各貯蔵区間には、前記ウェーハわく貯蔵ボックスを該貯蔵区間に置き入れる開口を有し、これにより該ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵する第１のモジュールと、
を備えてなることを特徴とする貯蔵キャビネット装置。
【請求項１１】
前記貯蔵キャビネット本体に設けられ、前記第１のモジュールを制御する他、前記ウェーハわく貯蔵ボックスの使用情報を表示する制御キャビネットを備え、
前記制御キャビネットには、前記ウェーハわく貯蔵ボックスの狭長支持フレームへの近接を感応する対照式センサが取り付けられている、ことを特徴とする請求項１０に記載の貯蔵キャビネット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハわく貯蔵ボックスを収納する貯蔵キャビネット装置に係り、特に、ウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵に利用され、ウェーハわく貯蔵ボックスを随時取り出して再利用することに便利なウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵キャビネット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体メーカが汎用しているウェーハとしては、４インチ，８インチ又は１２インチのもの等、多種多様な大きさのものが提供される。当該ウェーハの使用した残りを貯蔵の必要がある場合、当該ウェーハの使用した残りのものを、ウェーハわく貯蔵ボックスに入れて貯蔵して置き、将来、当該ウェーハを使用する際にウェーハわく貯蔵ボックスから、再度、取り出して使用するようにしている。
【０００３】
図１は従来例で使い残りのウェーハをウェーハわく貯蔵ボックス内に置いた態様を示す立体見取り図である。図１に示すように、ウェーハわく貯蔵ボックス１０には、静電袋１１が置かれ、そして静電袋１１内にウェーハ１２が置かれ、ウェーハ１２の上に上カバープレート１３を被せて貯蔵する。このようにウェーハ１２を貯蔵したウェーハわく貯蔵ボックス１０には、将来、ウェーハ１２を再使用する必要がある場合、そのウェーハ１２を随時取り出して、チップ切り割り動作を行えるように、妥当な保管手続を施す必要がある。
【０００４】
しかしながら、現在のところ、ウェーハわく貯蔵ボックス１０を大量に貯蔵する装置がないので、製品管理上、重大なトラブルを来す他、ウェーハわく貯蔵ボックス１０を取り出す時には、逐一、各ウェーハわく貯蔵ボックスを検視する必要があって、非常に煩わしく非効率な作業であった。
【０００５】
そこで、如何にウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵する場合の管理を改善し、該ウェーハわく貯蔵ボックスの再使用時に逐一検視する不便を解消することが本発明の課題であり、これに応じて、実験、テスト及び研究を重ねたところ、ついに新規なウェーハわく貯蔵ボックスを案出することができた。これにより、従来の各ウェーハわく貯蔵ボックスを逐一検視しなければならない欠点を克服した他、該ウェーハわく貯蔵ボックスの再使用において、その再使用する際の過程がより迅速、且つ便利であるという目的をなし遂げた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の主たる目的は、第１のモジュールを利用して該ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵することにより、該ウェーハわく貯蔵ボックスのアクセスをより迅速且つ確実にできるようにすることにある。  
本発明の次の目的は、制御キャビネットを運用して該第１のモジュールを制御することにより、該ウェーハわく貯蔵ボックスの使用情報の表示に寄与することにある。  
本発明の他の目的は、対照式センサを使用して該ウェーハわく貯蔵ボックスの近接を感応すると共に、走査器を起動してウェーハわく貯蔵ボックス上のバー・コードを走査できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明により提供されるウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵キャビネット装置は、ウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵に利用されるものであって、貯蔵キャビネット本体と、該貯蔵キャビネット本体に設けられ、該ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵する第１のモジュールと、該貯蔵キャビネット本体に設けられ、該第１のモジュールを制御して該ウェーハわく貯蔵ボックスの使用情報を表示する制御キャビネットと、を備えてなる。  
前記本発明のキャビネット装置において、該制御キャビネットには、対照式センサが設けられてあり、これにより、該ウェーハわく貯蔵ボックスが支持フレームに近接することを感応し、
該対照式センサは、走査器を起動して該ウェーハわく貯蔵ボックス上のバー・コードを走査し、且つ該ウェーハわく貯蔵ボックスの基本データを読み取り、
該制御キャビネットには、キー・ボードが設けられてあり、そして該キー・ボード使用者の入力に寄与するように傾斜角度を有し、且つ、該走査器は、該キー・ボードの底板部位上に取付けられてあり、及び／又は
該制御キャビネットには、スクリーンが設けられてあり、以て該ウェーハわく貯蔵ボックスの基本データを表示すると共に、該ウェーハわく貯蔵ボックスには、該第１のモジュール内から該基本データを取出せるように切欠を具備している。  
また、前記本発明の貯蔵キャビネット装置において、該第１のモジュールには、複数個の貯蔵区間が設けられてあり、そして各該複数個貯蔵区間には、該ウェーハわく貯蔵ボックスが該貯蔵区間に置き入れられるようにいずれも開口を有すると共に、該制御キャビネットにはチップ読取り装置又は磁気カード読取装置が設けられてあり、以て該ウェーハわく貯蔵ボックス上のチップまたは磁気カードを読み取り、
該各複数個貯蔵区間には、端末感応スイッチが設けられてあり、以て該ウェーハわく貯蔵ボックスが既に貯蔵区間の予定位置に到達したことを確定すると共に、該第１のモジュール上の表示ランプを起動し、
該貯蔵区間には、製品キーがあり、且つ、該製品キーは、メーン・フレームにより設定され、以て該ウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵位置を確定し、
該貯蔵キャビネット装置は、更に複数の１２インチウェーハのわく貯蔵ボックスを置くための第２及び第３のモジュールを備え、
該第１、２及び第３のモジュールは、連結キャビネット内に位置し、そして該メーン・フレームはプログラマブル制御器（ＰＬＣ）により８個の連結キャビネットが制御され、且つ、該連結キャビネットには、表示機が設置され、以て該連結キャビネットのナンバーを表示し、及び／又は
該連結キャビネット内には、剰余酸素計量器及び流量計が設けられてあり、これにより該連結キャビネット内の剰余酸素ガス量を検出し、且つ、該連結キャビネット内の窒素ガス含量を補充する。  
また、前記本発明の貯蔵キャビネット装置において、更に複数個の８インチウェーハのわく貯蔵ボックスを置くための第２、第３及び第４のモジュールを備えてなる。  
さらには、前記目的を達成するために、物件の貯蔵に利用される貯蔵キャビネット装置は、キャビネット装置本体と該キャビネット装置本体内に取付けられ、該第１の貯蔵装置を制御して該物件の使用情報を表示する制御装置と、を備えてなる。  
前記本発明の貯蔵キャビネット装置において、ウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵に使用され、そして該物は、ウェーハわく貯蔵ボックスであり、且つ、該第１の貯蔵装置は、第１のモジュールであり、該制御装置は、制御キャビネットであり、
該制御キャビネットには対照式センサが設けられてあり、これにより該ウェーハわく貯蔵ボックスの狭長支持フレームへの近接を感応し、
該対照式センサは、走査器を起動して該ウェーハわく貯蔵ボックス上のバー・コードを走査し、且つ、該ウェーハわく貯蔵ボックスの基本データを読み取り、及び／または
該制御キャビネットには、キー・ボードが取付けられてあり、そして使用者の入力に寄与するように該キー・ボードには、傾斜角度を有し、且つ該走査器は該キー・ボードの底板部位に取付けられている。  
さらに、前記目的を達成するために提供されるウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵キャビネット装置は、ウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵に使用されるものであって、貯蔵キャビネット本体と、貯蔵キャビネット本体に設けられ、複数個の貯蔵区間を有し、且つ、該複数個の各貯蔵区間には、該ウェーハわく貯蔵ボックスを該貯蔵区間に置き入れる狭長開口を有し、これにより該ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵する第１のモジュールを備えてなる。  
前記本発明のキャビネット装置において、さらに、該貯蔵キャビネット本体に設けられ、該第１のモジュールを制御するほか、該ウェーハわく貯蔵ボックスの使用情報を表示する制御キャビネットを備え、及び／又は
該制御キャビネットには、該ウェーハわく貯蔵ボックスの狭長支持フレームへの近接を感応する対照式センサが取り付けられている。
【０００８】
そして、本発明は、前記アイデアの説明により、運用されたウェーハわく貯蔵ボックスのキャビネット装置は、確かに第１のモジュールを利用して該ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵することができると共に、該ウェーハわく貯蔵ボックスのアクセスがより迅速且つ確実に達成される他、制御キャビネットを運用して第１のモジュールを制御し、該ウェーハわく貯蔵ボックスの使用情報の表示に寄与する特色を有する。  
本発明の技術的手段は、以下、図面を参照して示す好適な実施形態を説明することにより、一層理解できるよう。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の技術的手段によれば、前記目的を達成できるウェーハわく貯蔵ボックスを格納して保管する貯蔵キャビネット装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図２は、本発明のウェーハわく貯蔵ボックスを収納して保管可能な貯蔵キャビネット装置の好適な実施形態の立体見取り図である。
【００１１】
図２において、２０はウェーハわく貯蔵ボックス２１を貯蔵する貯蔵キャビネット装置である。この貯蔵キャビネット装置２０は、制御キャビネット２４と、少なくとも一つ以上の連結キャビネット２９３を有する貯蔵キャビネット本体２２を備える。制御キャビネット２４は、制御装置２４、対照式センサ２５、支持部材（支持フレーム）２６、キー・ボード２８、表示用スクリーンとしてのモニタ２９、メーン（ホスト）・フレーム２９２を備える。また、連結キャビネット２９３には、第１のモジュール２３、第２のモジュール２３２、第３のモジュール２３３および表示器２９４を備える。そして、この制御キャビネット２４において、第１のモジュール２３を制御してウェーハわく貯蔵ボックス２１の使用情報を表示する。
【００１２】
前記制御キャビネット装置２４に設けた対照式センサ２５は、ウェーハわく貯蔵ボックス２１が狭長（細長い）支持フレーム２６に近接することを感応して検出する。対照式センサ２５は図３に示す走査器３０を起動し、以て、ウェーハわく貯蔵ボックス２１上のバー・コードを走査し、そのウェーハわく貯蔵ボックス２１の基本データを読み取る。制御キャビネット装置２４に設けたキー・ボード２８は、図３に示すように使用者の入力の利便に寄与する傾斜角度θを有して設置される。キー・ボード２８の底板部位３１上には走査器３０が取り付けられている。また、制御キャビネット装置２４の表示用スクリーン２９はウェーハわく貯蔵ボックス２１の基本データを表示する。また、ウェーハわく貯蔵ボックス２１の端には切欠１４が設けられており（図１参照）、この切欠１４は第１のモジュール２３内から取り出す際に寄与する。
【００１３】
図４は、図２における第１のモジュール２３内の複数個貯蔵区間の立体見取図である。図４において、第１のモジュール２３には、２５個の貯蔵区間４０が設けられており、各複数貯蔵区間４０は、いずれも図２に示すように狭長開口２９１を有し、以て、ウェーハわく貯蔵ボックス２１を貯蔵区間４０に置き入れるのに供する。
【００１４】
前記制御キャビネット装置２４は走査器３０を利用してバー・コード２７を走査する方式も、チップ読取装置又は磁気カード読取り装置（図示せず）に取り替えることができる。この場合、図７に示すウェーハわく貯蔵ボックス７０上のチップ７１又は図８に示されるようなウェーハわく貯蔵ボックス８０の磁気カード８１を読み取るようにする。
【００１５】
図４に示すように、複数個貯蔵区間４０にはいずれも端末感応スイッチ４１を有しており、以て、ウェーハわく貯蔵ボックス２１が既に貯蔵区間４０の予定位置４２に到達したことを確定すると共に、第１モジュール２３上の表示ランプ５０（図５参照）を起動して点灯する。
【００１６】
貯蔵区間４０には製品キー（例えば、番号１．１．１．０８インチで第１の制御キャビネット装置２４により制御された第１の連結キャビネット２９３の第１モジュールの第８個の貯蔵区間４０のものを代表させる）があり、該製品キーは、メーン（ホスト）・フレーム２９２により設定され、以て、ウェーハわく貯蔵ボックス２１の貯蔵位置を確定する。
【００１７】
貯蔵キャビネット装置２０は、さらに複数個１２インチウェーハのわく貯蔵ボックスを置く第２及び第３のモジュール２３２，２３３を備えている。貯蔵キャビネット装置２０の第１、第２及び第３のモジュール２３，２３２，２３３は連結キャビネット２９３内に位置しており、そしてメーン・フレーム２９２は、プログロマブル制御器（ＰＬＣ；図示せず）により８個の連結キャビネット（図では１個の連結キャビネット２９３のみを表示している）を制御でき、且つ、連結キャビネット２９３には、連結キャビネット２９３のナンバー（例えば、番号１．１で表す第１個の連結キャビネット２９３の第１のモジュール２３）を表示する表示器２９４が取り付けられている。
【００１８】
さらに、連結キャビネット２９３内には、剰余酸素測量器６０及び流量計６１が設けられてあり（図６参照）、これにより連結キャビネット２９３内の剰余酸素ガス量及び補充連結キャビネット６１内の窒素ガス含量を検出する。また、複数個８インチウェーハのわく貯蔵ボックスを置くために、第１、第２及び第３のモジュール２３，２３２，２３３の代りに第１、第２、第３及び第４のモジュール（図示せず）を備えるようにしてもよい。
【００１９】
また、主要技術の観点によれば、本発明による貯蔵キャビネット装置２０は、物件（例えばウェーハわく貯蔵ボックス２１）を貯蔵することに応用され、貯蔵キャビネット本体２２と、この貯蔵キャビネット本体２２内に取り付けられ、該物件を貯蔵する第１の貯蔵装置２３と、前記貯蔵キャビネット本体２２内に取り付けられ、前記第１の貯蔵装置２３を制御して該物件の使用情報を表示する制御キャビネット装置２４とを備えてなる。この場合の貯蔵キャビネット装置２０はウェーハわく貯蔵ボックス２１の貯蔵に使用される。そして、該物件はウェーハわく貯蔵ボックス２１であり、第１の貯蔵装置２３は、第１のモジュール２３であり、制御キャビネット装置２４は、制御キャビネット２４である。
【００２０】
本実施形態の該物件は、必ずしもウェーハわく貯蔵ボックス２１ではなく、その他の細部の部分は前記に説明したとおりであるので、ここでは、その詳細な説明を省略する。
【００２１】
また、他の実行可能な角度から見れば、本発明にかかるウェーハわく貯蔵ボックスの貯蔵キャビネット装置２０は、ウェーハわく貯蔵ボックス２１に使用され、貯蔵キャビネット本体２２と、貯蔵キャビネット本体２２内に取付けられた第１のモジュール２３とを備え、そして第１のモジュール２３は、複数個貯蔵区間４０を有すると共に、各複数個の貯蔵区間４０はいずれも狭長開口２９１を有し、これによりウェーハわく貯蔵ボックス２１を貯蔵する際に、ウェーハわく貯蔵ボックス２１の貯蔵区間４０への置入れに供する。当然、この場合の貯蔵キャビネット装置２０はさらに貯蔵キャビネット本体２２内に取り付けられた第１のモジュール２３を制御して、ウェーハわく貯蔵ボックス２１の使用情報を表示する制御キャビネット装置２４を備えてもよい。本実施形態中の貯蔵キャビネット装置２０は必ずしも制御キャビネット装置２４を設ける必要がなく、その他の細部の部分は前記に説明したとおりであるのでその詳細な説明を省略する。
【００２２】
要するに、本発明は確かに新規な設計で第１のモジュールを利用して該ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵することにより，該ウェーハわく貯蔵ボックスのアクセスをより迅速且つ確実にさせ、且つ制御キャビネットを運用して該第１のモジュールを制御したので、該ウェーハわく貯蔵ボックスの使用情報の表示に大きく寄与した。
【００２３】
前記実施の形態は本発明の技術的手段をより具体的に理解できるために挙げたもので、当然本発明の技術的思想は、これに限定されず、添付のクレームの範囲を逸脱しない限り、当業者による単純な設計変更、付加、修飾、置換はいずれも本発明の技術的範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】使い残りのウェーハをウェーハわく貯蔵ボックス内に置いた従来のものの態様を示す立体見取り図である。
【図２】本発明のウェーハわく貯蔵ボックスのキャビネット装置の好適な実施形態の立体見取図である。
【図３】図２におけるキャビネット装置のキー・ボード及びその底板上に取付けられた走査器の側面見取図である。
【図４】図２におけるキャビネット装置の第１のモジュール内の複数個貯蔵区間の立体見取図である。
【図５】図２におけるキャビネット装置の第１のモジュール上の表示ランプの立体見取図である。
【図６】図２におけるキャビネット装置の第１のモジュール内の剰余酸素計量器及び流量計の立体見取図である。
【図７】本発明にかかるキャビネット装置のウェーハわく貯蔵ボックスの他の読取り型式の立体見取図である。
【図８】本発明にかかるキャビネット装置のウェーハわく貯蔵ボックスの又他の読取り型式の立体見取図である。
【符号の説明】
【００２５】
１０  ウェーハわく貯蔵ボックス
１１  静電袋
１２  ウェーハ
１３  上カバープレート
１４  切欠
２０  貯蔵キャビネット装置
２１  ウェーハわく貯蔵ボックス
２２  貯蔵キャビネット本体
２３  第１のモジュール
２３２  第２のモジュール
２３３  第３のモジュール
２４  制御キャビネット
２５  対照式センサ
２６  狭長支持フレーム
２７  バー・コード
２８  キー・ボード
２９  スクリーン
２９１  狭長開口
２９２  メーン・フレーム
２９３  連結キャビネット
２９４  表示器
３０  走査器
θ  傾斜角度
３１  底板部位
４０  貯蔵区間
４１  端末感応スイッチ
４２  予定位置
５０  表示ランプ
６０  剰余酸素計量器
６１  流量計
７０  ウェーハわく貯蔵ボックス
７１  チップ
８０  ウェーハわく貯蔵ボックス
８１  磁気カード
【図１】
2006135283.tif 000003
【図２】
2006135283.tif 000004
【図３】
2006135283.tif 000005
【図４】
2006135283.tif 000006
【図５】
2006135283.tif 000007
【図６】
2006135283.tif 000008
【図７】
2006135283.tif 000009
【図８】
2006135283.tif 000010