(57)【要約】【課題】  走査レンズ及びケーシングの小型化を図りつつ、走査レンズの形状誤差感度の低い走査光学系を提供すること。【解決手段】  半導体レーザー１０からの光束をポリゴンミラー１４で反射、偏向させ、ｆθレンズ２０を介して走査対象面３０上にスポットを形成する。ｆθレンズ２０は、第１，第２レンズ２１，２２から構成され、第１レンズ２１のポリゴンミラー１４側の面は、回折レンズ構造が形成された回折面２１ａである。回折レンズ構造は、光軸Ａｘ1を中心とした同心円状に形成された輪帯構造を有し、軸上の回折パワーがゼロであり、軸外の回折パワーが正であり、これにより形状誤差感度を低く保ちつつ、主走査方向の像面湾曲を補正することができる。【選択図】  図１
2006220718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束を発生する光源部と、
前記光源部から発する光束を副走査方向に収束させるアナモフィック光学素子と、
該アナモフィック光学素子により収束された光束を反射、偏向させるポリゴンミラーと、
該ポリゴンミラーにより反射された光束を被走査面上で主走査方向に走査するスポットとして収束させる結像光学系とを備え、
前記結像光学系は、単数または複数の単レンズから構成される走査レンズと、該走査レンズの少なくとも一面に形成された回折レンズ構造とを含み、前記回折レンズ構造は、前記走査レンズにより発生する主走査方向の像面湾曲を補正する作用を持つことを特徴とする走査光学系。
【請求項２】
前記回折レンズ構造は、主走査方向の屈折パワーを有するレンズに形成されていることを特徴とする請求項１に記載の走査光学系。
【請求項３】
前記回折レンズ構造が形成されたレンズ面は、全面にわたって均一の屈折パワーを有することを特徴とする請求項２に記載の走査光学系。
【請求項４】
前記回折レンズ構造は、軸上の回折パワーがゼロであり、軸外の回折パワーが正であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の走査光学系。
【請求項５】
前記回折レンズ構造の回折パワーの最大値φMAXが、前記走査レンズの副走査方向の倍率ｍSに対して以下の条件、
８×ｍS2−３＜φMAX＜１０×ｍS2
を満たすことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の走査光学系。
【請求項６】
前記回折レンズ構造は、該回折レンズ構造が形成されているレンズ面の光軸に対して回転対称な同心円状の輪帯構造を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の走査光学系。
【請求項７】
前記回折レンズ構造が形成されたレンズは、プラスチックレンズであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の走査光学系。
【請求項８】
前記走査レンズは、複数の単レンズから構成され、前記回折レンズ構造が形成されたレンズは、前記ポリゴンミラーに最も近い位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の走査光学系。
【請求項９】
前記回折レンズ構造の主走査方向に対する１ミリ当りの回折輪帯数の最大値Ｌ[本/ｍｍ]が、前記走査レンズの副走査方向の倍率ｍSに対して以下の条件、
１０×ｍS2−４＜Ｌ＜１３×ｍS2
を満たすことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の走査光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザープリンタ等に内蔵されるレーザースキャンニングユニット(ＬＳＵ)に用いられる走査光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査光学系は、レーザー光源からの光束をポリゴンミラー等の偏向器により偏向、走査させ、ｆθレンズのような走査レンズを介して感光体ドラム等の走査対象面上にスポットとして結像させる。感光体ドラム上のスポットは、ポリゴンミラーの回転に伴って主走査方向に走査し、この際レーザー光をオンオフ変調することにより走査対象面上に静電潜像を形成する。
【０００３】
近年、レーザープリンタの小型化や低価格化の要求を受けて、コンパクトで低コストのＬＳＵが求められている。コンパクトで低コストのＬＳＵを提供するためには、走査レンズの光軸方向の厚さと主走査方向の幅とを小さくすると共に、走査光学系を収容するケーシングを小型化する必要がある。一般に走査レンズ及びケーシングはプラスチックの射出成形により形成されるため、これらを小型化することにより、単位金型数当りの成形取り個数を増加させ、成形サイクル時間を短縮することにより生産性を向上させ、かつ、材料費を低減できる。
【０００４】
走査レンズの主走査方向の幅を小さくするには、走査レンズをできるだけポリゴンミラーに近づけることが望ましい。また、これによりケーシングを小型化することもできる。このような走査光学系は、例えば特許文献１〜３に記載されている。
【特許文献１】特開平５−３２３２２２号公報
【特許文献２】特開２００１−１７４７３９号公報
【特許文献３】特開２００１−３４３６０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のように走査レンズをポリゴンミラーに近づけて配置すると、レンズ形状の誤差に対する光学性能の劣化の度合い(形状誤差感度)が大きくなり、誤差の許容量が小さく製造が困難になるという問題がある。
【０００６】
一般に、構成枚数の少ない走査レンズで光学系の諸収差を良好に補正するために非球面が利用されるが、特許文献１〜３に開示されるような小型の走査レンズにおいては、良好な光学性能を維持するため、非球面のサグ量(軸上の曲率半径を持つ球面からの形状のずれ量)が大きく、かつ、高次の非球面係数による複雑な形状の非球面を使用している。すなわち、収差補正機能の多くの部分を非球面形状が負担している。このため、非球面形状がわずかに設計値からずれても、光学性能が大きく劣化する。また、走査レンズの形状の誤差は、走査対象面上では走査レンズの副走査方向の倍率に応じて拡大されて影響するため、上記特許文献に記載される走査光学系では、走査レンズの副走査方向の倍率の高さも形状誤差感度を高める要因となる。
【０００７】
本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、走査レンズ及びケーシングの小型化を図りつつ、走査レンズの形状誤差感度の低い走査光学系を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明にかかる走査光学系は、上記の目的を達成させるため、従来非球面の作用を用いて補正していた主走査方向の像面湾曲を、回折レンズ構造を付加することにより補正するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
すなわち、本発明の走査光学系は、光束を発生する光源部と、光源部から発する光束を副走査方向に収束させるアナモフィック光学素子と、アナモフィック光学素子により収束された光束を反射、偏向させるポリゴンミラーと、ポリゴンミラーにより反射された光束を被走査面上で主走査方向に走査するスポットとして収束させる結像光学系とを備え、結像光学系は、単数または複数の単レンズから構成される走査レンズと、走査レンズの少なくとも一面に形成された回折レンズ構造とを含み、回折レンズ構造は、走査レンズにより発生する主走査方向の像面湾曲を補正する作用を持つことを特徴とする。
【００１０】
回折レンズ構造は、主走査方向の屈折パワーを有するレンズに形成されることが望ましい。また、回折レンズ構造が形成されたレンズ面は、全面にわたって均一の屈折パワーを有すること、すなわち、球面であることが望ましい。
【００１１】
さらに、回折レンズ構造は、軸上の回折パワーがゼロであり、軸外の回折パワーが正であることが望ましい。そして、回折レンズ構造の回折パワーの最大値φMAXが、走査レンズの副走査方向の倍率ｍSに対して以下の条件(１)、
８×ｍS2−３＜φMAX＜１０×ｍS2…(１)
を満たすことが望ましい。
【００１２】
また、回折レンズ構造は、回折レンズ構造が形成されているレンズ面の光軸に対して回転対称な同心円状の輪帯構造を有する。さらに、回折レンズ構造が形成されたレンズは、プラスチックレンズであることが望ましく、走査レンズが複数の単レンズから構成される場合には、回折レンズ構造が形成されたレンズは、ポリゴンミラーに最も近い位置に配置されていることが望ましい。
【００１３】
さらに、回折レンズ構造の主走査方向に対する１ミリ当りの回折輪帯数の最大値Ｌ[本/ｍｍ]が、走査レンズの副走査方向の倍率ｍSに対して以下の条件(２)、
１０×ｍS2−４＜Ｌ＜１３×ｍS2…(２)
を満たすことが望ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、回折レンズ構造により得られる回折パワーにより主走査方向の像面湾曲を補正したことにより、非球面形状を利用する場合と比較して、成形時の形状の誤差による光学性能の劣化の度合い(形状誤差感度)を低くすることができる。したがって、走査レンズ及びケーシングの小型化を図りつつ、走査レンズの許容誤差が大きくし、製造を容易にすることができる。
【００１５】
また、回折レンズ構造を屈折パワーを持つレンズに形成することにより、平行平面板に回折レンズ構造を形成した補正素子を用いる場合より光学素子の数を削減することができる。このとき、回折レンズ構造が形成される面を球面にすることにより、非球面を用いた場合に大きくなる形状誤差感度を低く抑えることができる。
【００１６】
さらに、軸状の回折パワーをゼロにすることにより形状誤差感度を低くし、かつ、軸外で正の回折パワーを持たせることにより、主走査方向の像面湾曲を補正することができる。なお、少なくとも条件(１)または(２)のいずれかを満たすことにより、主走査方向の像面湾曲を良好に補正することができる。
【００１７】
回折レンズ構造は、回転対称である方が製造が容易であり、金型に回折レンズ構造の母型を刻んでプラスチックレンズに転写するようにすると、コストを抑えることができる。また、ポリゴンミラーに最も近い位置に配置されるレンズは一般に主走査方向の強いパワーを持ち、主走査方向の像面湾曲に強い影響を持つため、このレンズ上に回折レンズ構造を形成することにより、像面湾曲を良好に補正することができる。さらに、ポリゴンミラーに近いレンズは小径であるため、短時間で金型に回折レンズ構造の母型を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明にかかる走査光学系の実施例を３例説明する。各実施例の走査光学系は、レーザープリンタのレーザー走査ユニットに使用され、入力される描画信号にしたがってON/OFF変調されたレーザー光を感光体ドラム等の走査対象面上で走査させ、静電潜像を形成する。この明細書では、走査対象面上でスポットが走査する方向を主走査方向、これに直交する方向を副走査方向と定義し、各光学素子の形状、パワーの方向性は、走査対象面上での方向を基準に説明することとする。また、主走査方向に対して平行で、走査レンズの光軸を含む平面を主走査面と定義する。
【実施例１】
【００１９】
実施例１にかかる走査光学系は、主走査面内の平面図である図１に示されるように、光源である半導体レーザー１０から発した発散光をコリメートレンズ１１により平行光束とし、副走査方向に正のパワーを有するシリンドリカルレンズ１２を介して偏向器であるポリゴンミラー１４に入射させる。図２は、ポリゴンミラー１４より走査対象面３０側の光学素子の配置を副走査方向から見た説明図である。ポリゴンミラー１４の反射面１４ａで反射、偏向されたレーザー光は、結像光学系を構成する走査レンズ(ｆθレンズ)２０を介して収束され、走査対象面３０上に主走査方向に走査するスポットを形成する。
【００２０】
半導体レーザー１０及びコリメートレンズ１１は光源部を構成し、シリンドリカルレンズ１２はアナモフィック光学素子に相当する。シリンドリカルレンズ１２は、コリメートレンズ１１側のレンズ面が副走査方向にのみ正のパワーを持つシリンダー面、ポリゴンミラー１４側のレンズ面が平面として構成されている。シリンドリカルレンズ１２のパワーは、シリンドリカルレンズ１２により形成される線像がポリゴンミラー１４の反射面１４ａの近傍に位置するよう定められている。
【００２１】
ポリゴンミラー１４で反射された光束は、主走査方向には図１に示すようにほぼ平行光として、副走査方向には図２に示すように発散光としてｆθレンズ２０に入射する。ｆθレンズ２０は、ポリゴンミラー１４側から第１レンズ２１と第２レンズ２２とが配列して構成されている。第１レンズ２１と第２レンズ２２とは、いずれもプラスチックレンズである。
【００２２】
実施例１においては、第１レンズ２１のポリゴンミラー１４側のレンズ面は、球面のベースカーブ上に主走査方向の像面湾曲を補正する作用を持つ回折レンズ構造が形成された回折面２１ａであり、第１レンズ２１の走査対象面３０側の面はトーリック面である。
【００２３】
回折レンズ構造は、光軸Ａｘ1を中心とした同心円状に形成された輪帯構造を有し、軸上の回折パワーがゼロであり、軸外の回折パワーが正であり、これにより形状誤差感度を低く保ちつつ、主走査方向の像面湾曲を補正することができる。
【００２４】
回折面の形状は、ｆθレンズ２０の光軸Ａｘ1からの距離ｈにおける光軸Ａｘ1と回折面との交点での接平面からのサグ量SAG(h)で表すことができ、かつ、そのサグ量SAG(h)は以下の式(i)で表される。
ＳＡＧ(ｈ)＝Ｘ(ｈ)＋Ｓ(ｈ)  …(i)
ここで、X(h)は回折面の巨視的形状(ベースカーブ)で、球面の場合には曲率半径をｒとして以下の(ii)式で表される。
X(h)＝h2／［r{1＋√(1−h2／r2)}］…(ii)
【００２５】
一方、回折面が持つべき光路長付加量Δφ(h)は、光軸Ａｘ1からの高さをｈ、ｎ次(偶数次)の光路差関数係数をＰnとして、以下の式(iii)により求められる。
Δφ(ｈ)＝Ｐ2ｈ2＋Ｐ4ｈ4＋Ｐ6ｈ6＋Ｐ8ｈ8＋Ｐ10ｈ10  …(iii)
式(i)中のＳ(ｈ)は、この光路長付加量Δφ(ｈ)に基づいて以下の式(iv)により求められる値であり、主走査方向に変化する階段状のサグ量を表す。
S(h)={|MOD(Δφ(h)＋C，−1)|−C}λ／{n−1+Dh2}  …(iv)
ここで、MOD（X、Y）はXをYで割った剰余を与える関数、Ｃは輪帯の境界位置の位相を設定する定数であり、0から1の任意の値をとる。また、Ｄは、光束が回折面２１ａに対して斜めに入射するために生じる位相付加量の変化を補正する係数である。
【００２６】
回折レンズ面の各輪帯の番号Ｎは、光軸上の領域を０として、以下の式(v)により表される。INT(X)は、Ｘの整数部分を与える関数である。
Ｎ＝INT(｜Δφ(h)＋C｜)  …(v)
【００２７】
一方、第２レンズ２２のポリゴンミラー１４側のレンズ面は、光軸Ａｘ1から離れた位置での副走査方向の曲率半径が主走査方向の断面形状とは無関係に設定された回転軸を持たない非球面(アナモフィック非球面)であり、主走査方向の断面形状X(y)は、光軸上での主走査方向の曲率半径をry0、円錐係数をκ、主走査方向のｎ次の非球面係数をＡＭnとして、以下の式(vi)、主走査方向の各位置yにおける副走査方向の曲率半径ｒz(y)は、光軸上での副走査方向の曲率半径をrz0、副走査方向のｎ次の非球面係数をＡＳnとして、以下の式(vii)により求められる。
【００２８】
【数１】
2006220718.tif 000003
【００２９】
また、第２レンズ２２の走査対象面３０側のレンズ面は、回転対称な非球面である。回転対称な非球面の形状は、ｆθレンズ２０の光軸Ａｘ1からの距離ｈにおける光軸Ａｘ1と回折面との交点での接平面からのサグ量Ｘ(ｈ)で表すことができ、そのサグ量は、以下の式(viii)で表される。
X(h)＝h2／［r{1＋√(1−(κ＋1)h2／r2)}］＋A4h4＋A6h6＋A8h8＋A10h10…(viii)
上式中、ｒは光軸上の曲率半径、κは円錐係数、A4,A6,A8,A10はそれぞれ４次、６次、８次、１０次の非球面係数である。
【００３０】
次に、上述した実施例１にかかる走査光学系の具体的な数値構成を説明する。表１は、実施例１の走査光学系の数値構成を示す。表中の記号ｒyは各光学素子の主走査方向の曲率半径(単位：mm)、ｒzは副走査方向の曲率半径(回転対称面の場合には省略，単位：mm)、ｄは面間の光軸上の距離、ｎλは設計波長λnmでの屈折率である。この例では、設計波長λは780nmである。
【００３１】
表中、第１面及び第２面がシリンドリカルレンズ１２、第３面がポリゴンミラー１４のミラー面、第４面及び第５面がｆθレンズ２０の第１レンズ２１、第６面及び第７面が第２レンズ２２、第８面が走査対象面３０を示す。
【００３２】
【表１】
2006220718.tif 000004
【００３３】
第４面に形成された回折レンズ構造を定義する光路差関数係数の値を表２、第６面のアナモフィック非球面を定義する円錐係数、非球面係数の値を表３、第７面の回転対称非球面を定義する円錐係数、非球面係数の値を表４にそれぞれ示す。なお、以下の表中の記号Ｅは、Ｅの右側の数値を指数とする１０の累乗を示し、例えば、Ｐ4の値「2.74883E-04」は「2.74883×10-04」を意味する。
【００３４】
【表２】
2006220718.tif 000005
【００３５】
【表３】
2006220718.tif 000006
【００３６】
【表４】
2006220718.tif 000007
【００３７】
図３は、実施例１にかかる走査光学系の像面湾曲(焦点位置の近軸像面からの光軸方向のズレ)を示し、破線Ｍが主走査方向、実線Ｓが副走査方向の像面湾曲を示す。グラフの横軸は収差量(単位:mm)、縦軸は像高ｙ(単位:mm)を示している。像高ｙは、光軸上を０とし、半導体レーザー１０が設けられている側をマイナス、反対側をプラスとして符号を付している。
【実施例２】
【００３８】
図４は実施例２にかかる走査光学系の構成を示す主走査面内の平面図、図５は副走査方向の説明図である。各光学素子の配列は実施例１と同一であるため、対応する素子に同一の符号を付して説明を省略する。なお、実施例２では、ｆθレンズ２０の第１レンズ２１の走査対象面３０側の面が、回折レンズ構造が形成された回折面２１ｂとされている。
【００３９】
実施例２の走査光学系の具体的な数値構成を表５に示す。第１面はシリンドリカル面、第２面、第３面は平面、第４面は球面、第５面は球面のベースカーブ上に回折レンズ構造が形成された回折面、第６面はアナモフィック非球面、第７面は回転対称非球面である。
【００４０】
【表５】
2006220718.tif 000008
【００４１】
第５面に形成された回折レンズ構造を定義する光路差関数係数の値を表６、第６面のアナモフィック非球面を定義する円錐係数、非球面係数の値を表７、第７面の回転対称非球面を定義する円錐係数、非球面係数の値を表８にそれぞれ示す。
【００４２】
【表６】
2006220718.tif 000009
【００４３】
【表７】
2006220718.tif 000010
【００４４】
【表８】
2006220718.tif 000011
【００４５】
図６は、実施例２にかかる走査光学系の像面湾曲を示し、破線Ｍが主走査方向、実線Ｓが副走査方向の像面湾曲を示す。
【実施例３】
【００４６】
図７は実施例３にかかる走査光学系の構成を示す主走査面内の平面図、図８は副走査方向の説明図である。各光学素子の配列は実施例１と同一であるため、対応する素子に同一の符号を付して説明を省略する。なお、実施例３では、ｆθレンズ２０の第１レンズ２１のポリゴンミラー１４側の面が、回折レンズ構造が形成された回折面２１ａとされている。
【００４７】
実施例３の走査光学系の具体的な数値構成を表９に示す。第１面はシリンドリカル面、第２面、第３面は平面、第４面は球面のベースカーブ上に回折レンズ構造が形成された回折面、第５面、第６面、第７面はアナモフィック非球面である。
【００４８】
【表９】
2006220718.tif 000012
【００４９】
第４面に形成された回折レンズ構造を定義する光路差関数係数の値を表１０、第５面、第６面、第７面のアナモフィック非球面を定義する円錐係数、非球面係数の値を表１１、表１２、表１３にそれぞれ示す。
【００５０】
【表１０】
2006220718.tif 000013
【００５１】
【表１１】
2006220718.tif 000014
【００５２】
【表１２】
2006220718.tif 000015
【００５３】
【表１３】
2006220718.tif 000016
【００５４】
図９は、実施例３にかかる走査光学系の像面湾曲を示し、破線Ｍが主走査方向、実線Ｓが副走査方向の像面湾曲を示す。
【００５５】
続いて、各実施例に用いられた回折レンズ構造のパワーについて説明する。回折レンズ構造の光線通過点ｙにおける輪帯のピッチをＰ(ｙ)とすると、その光線通過点における輪帯の空間周波数Ｈ（ｙ）は、
Ｈ（ｙ）＝１／Ｐ（ｙ）
と表わされ、回折レンズ構造によるパワーφは、
φ＝ｍλ・ｄＨ／ｄｙ
で与えられる。ここでｍは回折次数、λは波長である。この方法で計算すると，各実施例の回折パワーは図１０〜図１２のグラフに示すとおりとなる。図１０〜図１２の横軸は回折構造が付加されたレンズの主走査方向位置，縦軸は回折パワーである。
【００５６】
また、これらのグラフからわかるように、各実施例の回折レンズ構造の回折パワーの最大値φMAXは、実施例１では１．９０、実施例２では１３．６１、実施例３では４４．９０となる。これらの回折パワーの最大値は、ｆθレンズ２０の副走査方向の倍率ｍSの二乗に対してほぼ比例関係にある。そこで、これらの関係に着目し、以下の条件(１)を設定した。
８×ｍS2−３＜φMAX＜１０×ｍS2…(１)
各実施例における条件(１)の下限、上限と回折パワーの最大値との関係を表１４に示す。
【００５７】
【表１４】
2006220718.tif 000017
【００５８】
また、回折パワーは次の関係によって回折面の輪帯のピッチに換算できる。光線通過点ｙにおける格子ピッチをＰ（ｙ）とすると、その光線通過点における格子空間周波数Ｈ（ｙ）は、
Ｈ（ｙ）＝１／Ｐ（ｙ）と表され、回折パワーφは、φ＝ｎ×λ×ｄＨ／ｄｙ。但し、ｎは回折次数、λは設計波長（本願では７８０ｎｍ）である。これにより、条件式(１)のφMAXを、主走査方向に対する１ミリ当りの回折輪帯数の最大値Ｌ[本/ｍｍ]に換算して、条件式(２)を設定した。
１０×ｍS2−４＜φMAX＜１３×ｍS2…(２)
各実施例における条件(２)の下限、上限とＬとの関係を表１５に示す。
【００５９】
【表１５】
2006220718.tif 000018
【００６０】
いずれの実施例も、条件(１)、(２)を満たしており、これにより、回折レンズ構造は、主走査方向の像面湾曲を良好に補正する機能を持ち得る。また、前述した従来技術のように像面湾曲を非球面形状のみにより補正する場合と比較して、回折面で補正することにより形状誤差感度を低くすることができる。以下の表１６に各実施例の形状誤差感度と、各実施例と同等の仕様で像面湾曲補正効果を非球面形状のみに負担させた比較例の形状誤差感度とを比較して示す。なお、比較例１は特許文献１の実施例２に相当し、比較例２は特許文献２の実施例３、比較例３は特許文献３の実施例１にそれぞれ相当する。
【００６１】
【表１６】
2006220718.tif 000019
【００６２】
形状誤差感度は、走査レンズを構成するレンズの各レンズ面の屈折力が単位量の誤差を持つ場合の主走査方向の像面湾曲量を加算した値であり、この値が小さいほど成形時の誤差に対する許容量が大きいこととなる。表１６に示すように、本発明の実施例によれば、それぞれ対応する比較例と比較して形状誤差感度を低くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施例１にかかる走査光学系の光学素子の配置を示す主走査平面内の平面図である。
【図２】実施例１の走査光学系の光学素子の配置を副走査方向から見た説明図である。
【図３】実施例１の走査光学系の像面湾曲を示すグラフである。
【図４】本発明の実施例２にかかる走査光学系の光学素子の配置を示す主走査平面内の平面図である。
【図５】実施例２の走査光学系の光学素子の配置を副走査方向から見た説明図である。
【図６】実施例２の走査光学系の像面湾曲を示すグラフである。
【図７】本発明の実施例３にかかる走査光学系の光学素子の配置を示す主走査平面内の平面図である。
【図８】実施例３の走査光学系の光学素子の配置を副走査方向から見た説明図である。
【図９】実施例３の走査光学系の像面湾曲を示すグラフである。
【図１０】実施例１の回折レンズ構造の回折パワーの変化を示すグラフである。
【図１１】実施例２の回折レンズ構造の回折パワーの変化を示すグラフである。
【図１２】実施例３の回折レンズ構造の回折パワーの変化を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６４】
１０  半導体レーザー
１４  ポリゴンミラー
２０  ｆθレンズ
２１  第１レンズ
２１ａ  回折面
２２  第２レンズ
３０  走査対象面
【図１】
2006220718.tif 000020
【図２】
2006220718.tif 000021
【図３】
2006220718.tif 000022
【図４】
2006220718.tif 000023
【図５】
2006220718.tif 000024
【図６】
2006220718.tif 000025
【図７】
2006220718.tif 000026
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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