(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、装置に組み込まれたチャンバの消費電力を低減させ、装置全体の消費電力を低減させることである。【解決手段】  第１段が冷却型温調部で第２段が加熱型温調部である温度調節装置において、第２段の加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値により、第１段の冷却型温調部の冷却容量を制御することを特徴とする。【選択図】  図１
2006005135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１段が冷却型温調部で第２段が加熱型温調部である温度調節装置において、第２段の加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値により、第１段の冷却型温調部の冷却容量を制御することを特徴とする温度調節装置。
【請求項２】
前記加熱型温調部は温度測定部からの温度測定値により加熱型温調部への加熱型温調部出力指令値を制御する制御部を有することを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項３】
前記冷却型温調部の冷却容量は可変できることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項４】
前記加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値を高低に偏らないように前記冷却型温調部の冷却容量を制御することを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項５】
前記温度測定部が測定し、加熱型温調部にて過熱する媒体は、空気、窒素等の気体、または、純水、クーリングオイル等の液体であることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項６】
前記制御部はＰＩＤ補償器を有することを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項７】
前記冷却型温調部は冷凍機を有することを特徴とする請求項１の温度調節装置。
【請求項８】
前記過熱型温調部は、電熱ヒータであることを特徴とする請求項１の温度調節装置。
【請求項９】
前記温度測定部、加熱型温調部、冷却型温調部は、それぞれ１つ、または複数であることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項１０】
前記冷却型温調部１つに対し、温度測定部及び加熱型温調部が複数である場合、冷却型温調部の制御部に入力する加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値は、代表１つの加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値、または、複数全て、または一部の加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値の平均値、または、最も低い値をとる加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値を用いることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項１１】
前記冷却型温調部の冷却容量の制御の代わりに、前記冷却型温調部を通過して出てくる媒体の温度を制御することを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項１２】
前記加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値の代わりに、加熱型温調部が消費する電流を測定する電流測定部を有し、前記冷却型温調部の制御部は電流測定部が出力する電流測定値を入力して、予め定めた最大電流値に対して、電流測定値の値が高低に偏らないように冷却型温調部の冷却容量を制御することを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項１３】
請求項１乃至１２記載のいずれか１項に記載の温度調節装置を有することを特徴とするデバイス製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は気体や液体などの媒体を用いて温度調節を行う温度調節装置、および、これらを備えた半導体製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子の微細化に伴い、より微細なパターン作成のため半導体露光装置においてより多機能化が進み、消費電力も増大してきている。
【０００３】
本半導体露光装置に組み込まれている恒温及び空気清浄を目的としたチャンバも、温度制御を行う箇所の増加、及び、露光装置本体の発熱量の増加により、温度制御容量が増加し、本半導体露光装置の全消費電力の約半分を占めるまでになっている。
【０００４】
半導体露光装置本体のあるチャンバ恒温室から半導体露光装置本体の発熱によって温められた空気と外気とをチャンバ空調機内に取り込み、チャンバ空調機内の冷却型温調部によって加冷後、チャンバ空調機内の１つまたは複数の温度制御系統用の過熱型温調部により温度制御を行い、１または複数の送風機によってチャンバ恒温室内の１または複数の温度制御点へ送り出している。また、液体を用いた温度調節も同様で、送風機の代わりにポンプを用い、チャンバ空調機とチャンバ恒温室内の露光装置本体とを循環させています。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来技術では半導体露光装置本体の動作状態、及び、外気温度状態によって、チャンバ空調機への取り込み空気の熱量の差が大きく、半導体露光装置本体がフル稼働状態で、かつ、外気温度がクリーンルーム最高設定温度のようなチャンバ空調機取り込み空気の熱量が大きい場合と、半導体露光装置本体が停止状態で、かつ、外気温度がクリーンルーム最低設定温度のようなチャンバ空調機取り込み空気の熱量が少ない場合とが存在し、チャンバ空調機取り込み空気の熱量が最大、及び、最小の両者においても温度制御可能な容量を備えた冷却型温調部、及び、加熱型温調部を搭載している。
【０００６】
チャンバ空調機取り込み空気の熱量が最小の場合において、冷却型温調部の冷却容量がチャンバ空調機取り込み空気の熱量が最大の場合を考慮して設定されているために、空調機取り込み空気が冷却型温調部を通ったところで過冷状態となってしまう。過冷状態となっている空気を、前記の温度制御点に対して温度制御を行う前記加熱型温調部によって過熱するには、この過冷状態を考慮した加熱容量をもった前記の加熱型温調部が必要となっていた。
【０００７】
なぜなら、冷却型温調部の冷却容量が固定であるが為である。また、冷却型温調部の冷却容量が可変で有った場合にも、半導体露光装置本体の稼動状況やクリーンルーム設定温度により柔軟に冷却容量を変更することは困難であり、極限られた範囲内でのみ変更されていた。但し、冷却型温調部の冷却容量を変化させること自体は公知の技術である。
【０００８】
このため、前記加熱型温調部は大容量のものに設定され、チャンバとして消費電力を増大させる要因となっていた。
【０００９】
ここでは、空気等の気体について述べたが、液体を使用した温度調節もまた同様の問題を抱えており、同様の手法で課題を解決することが可能である。
【００１０】
本出願に係る第１の発明の目的は、装置に組み込まれたチャンバの消費電力を低減させ、装置全体の消費電力を低減させることである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するため、本出願に係る第１の発明は、第１段が冷却型温調部で第２段が加熱型温調部である温度調節装置において、第２段の加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値により、第１段の冷却型温調部の冷却容量を制御することを特徴とする。
【００１２】
第２の発明は上記システムにおいて加熱型温調部は温度測定部からの温度測定値により加熱型温調部への加熱型温調部出力指令値を制御する制御部を有することを有することを特徴とする。
【００１３】
第３の発明は上記システムにおいて冷却型温調部の冷却容量は可変できることを特徴とする。
【００１４】
第４の発明は上記システムにおいて前記加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値を高低に偏らないように前記冷却型温調部の冷却容量を制御することを特徴とする。
【００１５】
第５の発明は上記システムにおいて温度測定部が測定し、加熱型温調部にて過熱する媒体は、空気、窒素等の気体、または、純水、クーリングオイル等の液体であることを特徴とする。
【００１６】
第６の発明は上記システムにおいて制御部の温度制御はＰＩＤ補償器であることが好ましい。
【００１７】
第７の発明は上記システムにおいて冷却型温調部は冷凍機を有することが好ましい。
【００１８】
第８の発明は上記システムにおいて過熱型温調部は、電熱ヒータであることが好ましい。
【００１９】
第９の発明は上記システムにおいて温度測定部、加熱型温調部、冷却型温調部は、それぞれ１つ、または複数であることを特徴とする。
【００２０】
第１０の発明は上記システムにおいて冷却型温調部１つに対し、温度測定部及び加熱型温調部が複数である場合、冷却型温調部の制御部に入力する加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値は、代表１つの加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値、または、複数全て、または一部の加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値の平均値、または、最も低い値をとる加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値を用いることを特徴とする。
【００２１】
第１１の発明は上記システムにおいて冷却型温調部の冷却容量の制御の代わりに、前記冷却型温調部を通過して出てくる媒体の温度を制御することを特徴とする。
【００２２】
第１２の発明は上記システムにおいて加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値の代わりに、加熱型温調部が消費する電流を測定する電流測定部を有し、冷却型温調部の制御部は電流測定部が出力する電流測定値を入力して、予め定めた最大電流値に対して、電流測定値の値が高低に偏らないように冷却型温調部の冷却容量を制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
加熱型温調部（電熱ヒータ）の稼動状態を示す加熱型温調部への加熱型温調部出力指令値に着目し、この値を元に冷却型温調部の冷却容量を制御することは、過冷却を想定した大容量加熱型温調部を必要とせず、適正適所の容量を持った加熱型温調部を使用でき、結果として消費電力の低減になる。なぜなら、半導体露光装置を取り巻くクリーンルームの雰囲気の温度による影響と、露光装置本体の稼動状況による発熱量の増減の影響全てが加熱型温調部の加熱型温調部出力指令値に現われてくるからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図を用いて本発明の実施例を説明する。
【００２５】
図１は、本発明の実施例である半導体露光装置の温度制御装置を示す図である。
【００２６】
本半導体露光装置１０は、半導体露光装置本体６の雰囲気の温度を制御するために、上記半導体露光装置本体６が収められているチャンバ恒温室７と、チャンバ恒温室７の気体２１の温度制御を稼動するチャンバ空調機室８と、チャンバ空調機室８内の稼動機器を制御する制御部４をもつ。
【００２７】
チャンバ空調機室８には、気体２１を冷却するための冷却型温調器１と、温度制御点（温度測定部の温度測定ポイント）の気体２１の温度が設定温度になるように冷却された気体２１を加熱する電熱ヒータ２と、チャンバ恒温室７内の温度制御点の気体２１の温度を測定する温度センサ３（温度測定部）と、温度センサ３からの温度測定値を入力し、チャンバ恒温室７での温度制御点を温度制御するための前記電熱ヒータ２への加熱型温調部出力指令値を計算し出力する制御部４から構成されている。また、制御部４には、電熱ヒータ２の稼動状態を示す前記加熱型温調部出力指令値を元に前記冷却型温調部１の冷却容量を制御する冷却型温調部出力指令値を出力する。
【００２８】
チャンバ恒温室７には、半導体露光装置本体６から発熱した気体２１をチャンバ空調機室８へと取り込む取り込み口１１と、前記冷却型温調部１により加冷後、電熱ヒータ２により加熱された気体２１は再びチャンバ恒温室７へと送り込む送り込み口１２から構成されている。
【００２９】
また、チャンバ恒温室７と、チャンバ空調機８の冷却型温調部１、及び、チャンバ空調機８の冷却型温調部１とチャンバ恒温室７とは、配管５により接続されている。
【００３０】
図１から図７では、異なる部分のみ新たな記号を用いて示している。
【００３１】
以下、本発明の動作について説明する。
図１は本発明における半導体露光装置の温度調節装置について示した模式図である。
図２は気体の代わりに液体による温度調整装置について示した模式図である。
図３は図１の電熱ヒータ及び温度センサが複数の時の温度調節装置について示した模式図である。
図４は図１の気体と図２の液体とを組み合わせた温度調節装置について示した模式図である。
図５は図１の冷却型温調部１の冷却容量を制御する代わりに、冷却型温調部を通過して出てくる気体の温度を制御する実施例を示した模式図である。
図６は図１の加熱型温調部出力指令値の代わりに、電熱ヒータが消費する電流を測定することで冷却型温調部１の冷却容量を制御する実施例を示した模式図である。
図７は冷却型温調部の冷却容量を変化させる実施例を示した模式図である。
【００３２】
図１に示すように、チャンバ恒温室７において半導体露光装置本体６から発熱した気体２１は、チャンバ空調機室８内へ取り込み口１１より取り込まれ、冷却型温調部１を通過することで加冷される。
【００３３】
制御部４の第１の制御部は、チャンバ恒温室７内の温度制御点の温度を温度センサ３により計測された温度測定値が入力される。制御部４の第１の制御部は、前記温度センサ３の温度測定値と要求された設定温度を計算し、加熱型温調部出力指令値を電熱ヒータ２に出力する。
【００３４】
前記加熱型温調部出力指令値の値は、冷却型温調部１を通過した気体２１が過冷状態であれば高い値で推移する。また、冷却型温調部１の冷却容量が小さければ気体２１は十分に加冷されず、加熱型温調部出力指令値の値は低い値で推移する特徴がある。
【００３５】
制御部４の第２の制御部は、前記電熱ヒータ２への加熱型温調部出力指令値を入力し、加熱型温調部出力指令値が高低に偏らないように冷却型温調部１の冷却容量を制御する冷却型温調部出力指令値を計算し、冷却型温調部出力指令値を冷却型温調部１へ出力する。
【００３６】
前記冷却型温調部１は、制御部４の第２の制御部からの冷却型温調部出力指令値を入力し冷却容量を増減する。気体２１は、不指示の循環装置によって矢印の方向に配管５を通って循環させる。
【００３７】
また、制御部４の第１の制御部はＰＩＤ補償器である。
【００３８】
図２には図１の気体の代わりに、チューブや金属配管を用いて閉じた空間とし構成した配管５ｃを循環する液体２２を用いた実施例である。以下説明する。
【００３９】
半導体露光装置６ｂの非温調対象部１４により発熱した液体２２は、チャンバ空調機室８内へ取り込み口１１ｂより取り込まれ、冷却型温調部１ｂを通過することで加冷される。
【００４０】
制御部４ｂの第１の制御部は、非温調対象部１４の温度制御点の温度を温度センサ３ｂにより計測された温度測定値が入力される。制御部４ｂの第１の制御部は、前記温度センサ３ｂの温度測定値と要求された設定温度を計算し、加熱型温調部出力指令値を電熱ヒータ２ｂに出力する。
【００４１】
前記加熱型温調部出力指令値の値は、冷却型温調部１ｂを通過した液体２２が過冷状態であれば高い値で推移する。また、冷却型温調部１ｂの冷却容量が小さければ液体２２は十分に加冷されず、加熱型温調部出力指令値の値は低い値で推移する特徴がある。
【００４２】
制御部４ｂの第２の制御部は、前記電熱ヒータ２ｂへの加熱型温調部出力指令値を入力し、加熱型温調部出力指令値が高低に偏らないように冷却型温調部１ｂの冷却容量を制御する冷却型温調部出力指令値を計算し、冷却型温調部出力指令値を冷却型温調部１ｂへ出力する。
【００４３】
前記冷却型温調部１ｂは、制御部４ｂの第２の制御部からの冷却型温調部出力指令値を入力し冷却容量を増減する。液体２２は、不指示の循環装置によって矢印の方向に配管５ｂを通って循環させる。
【００４４】
また、制御部４ｂの第１の制御部はＰＩＤ補償器である。
【００４５】
図３は図１の電熱ヒータと温度センサを複数にした実施例である。ここではそれぞれを３つとして図示している。以下説明する。
【００４６】
図３に示すように、チャンバ恒温室７において半導体露光装置本体６から発熱した気体２１は、チャンバ空調機室８内へ取り込み口１１より取り込まれ、冷却型温調部１を通過することで加冷される。
【００４７】
制御部４ｃの第１の制御部は、チャンバ恒温室７内の３つの温度制御点の温度を温度センサ３、温度センサ３ｃ及び温度センサ３ｄにより計測された温度測定値が入力される。制御部４ｃの第１の制御部は、前記温度センサ３、温度センサ３ｃ及び温度センサ３ｄのそれぞれの温度測定値と要求されたそれぞれの設定温度を計算し、それぞれに対応した加熱型温調部出力指令値を電熱ヒータ２、電熱ヒータ２ｃ及び電熱ヒータ２ｄに出力する。
【００４８】
前記加熱型温調部出力指令値の値は、冷却型温調部１を通過した気体２１が過冷状態であれば高い値で推移する。また、冷却型温調部１の冷却容量が小さければ気体２１は十分に加冷されず、加熱型温調部出力指令値の値は低い値で推移する特徴がある。
【００４９】
制御部４ｃの第２の制御部は、前記電熱ヒータ２、電熱ヒータ２ｃ及び電熱ヒータ２ｄへの加熱型温調部出力指令値から代表とする１つの加熱型温調部出力指令値が高低に偏らないように冷却型温調部１ｃの冷却容量を制御する冷却型温調部出力指令値を計算し、冷却型温調部出力指令値を冷却型温調部１ｃへ出力する。
【００５０】
前記冷却型温調部１ｃは、制御部４ｃの第２の制御部からの冷却型温調部出力指令値を入力し冷却容量を増減する。気体２１は、不指示の循環装置によって矢印の方向に配管５ｂを通って循環させる。なお、冷却型温調部への冷却型温調部出力指令値を求めるために用いる加熱型温調部出力指令値は、代表とする１つに限定する必要はなく、全ての平均値、一部の平均値、または、最も低い値を示す加熱型温調部出力指令値を用いても良い。これは温調する部位の優先度によって選択するとよい。
【００５１】
また、制御部４ｃの第１の制御部はＰＩＤ補償器である。
【００５２】
図４には循環させる媒体を気体と液体の両方を用いた実施例である。
【００５３】
冷却型温調部１を用いた気体２１について説明する。
【００５４】
図４に示すように、チャンバ恒温室７において半導体露光装置本体６ｂから発熱した気体２１は、チャンバ空調機室８内へ取り込み口１１より取り込まれ、冷却型温調部１を通過することで加冷される。
【００５５】
制御部４ｄの第１の制御部は、チャンバ恒温室７内の温度制御点の温度を温度センサ３により計測された温度測定値が入力される。制御部４ｄの第１の制御部は、前記温度センサ３の温度測定値と要求された設定温度を計算し、加熱型温調部出力指令値を電熱ヒータ２に出力する。
【００５６】
前記加熱型温調部出力指令値の値は、冷却型温調部１を通過した気体２１が過冷状態であれば高い値で推移する。また、冷却型温調部１の冷却容量が小さければ気体は十分に加冷されず、加熱型温調部出力指令値の値は低い値で推移する特徴がある。
【００５７】
制御部４ｄの第２の制御部は、前記電熱ヒータ２への加熱型温調部出力指令値を入力し、加熱型温調部出力指令値が高低に偏らないように冷却型温調部１の冷却容量を制御する冷却型温調部出力指令値を計算し、冷却型温調部出力指令値を冷却型温調部１へ出力する。
【００５８】
前記冷却型温調部１は、制御部４ｄの第２の制御部からの冷却型温調部出力指令値を入力し冷却容量を増減する。気体２１は、不指示の循環装置によって矢印の方向に配管５ｄを通って循環させる。
【００５９】
次に冷却型温調部１ｂを用いた液体について説明する。
【００６０】
図４はチューブや金属配管を用いて閉じた空間とし構成した液体を用いた実施例である。
【００６１】
半導体露光装置６ｂの非温調対象部１４により発熱した液体２２は、チャンバ空調機室８内へ取り込み口１１ｂより取り込まれ、冷却型温調部１ｂを通過することで加冷される。
【００６２】
制御部４ｄの第１の制御部は、非温調対象部１４の温度制御点の温度を温度センサ３ｂにより計測された温度測定値が入力される。制御部４ｄの第１の制御部は、前記温度測定部３ｂの温度測定値と要求された設定温度を計算し、加熱型温調部出力指令値を電熱ヒータ２ｂに出力する。
【００６３】
前記加熱型温調部出力指令値の値は、冷却型温調部１ｂを通過した液体２２が過冷状態であれば高い値で推移する。また、冷却型温調部１ｂの冷却容量が小さければ液体２２は十分に加冷されず、加熱型温調部出力指令値の値は低い値で推移する特徴がある。
【００６４】
制御部４ｄの第２の制御部は、前記加熱型温調部２ｂへの加熱型温調部出力指令値を入力し、加熱型温調部出力指令値が高低に偏らないように冷却型温調部１ｂの冷却容量を制御する冷却型温調部出力指令値を計算し、冷却型温調部出力指令値を冷却型温調部１ｂへ出力する。
【００６５】
前記冷却型温調部１ｂは、制御部４ｄの第２の制御部からの冷却型温調部出力指令値を入力し冷却容量を増減する。液体２２は、不指示の循環装置によって矢印の方向に配管５ｄを通って循環させる
また、制御部４ｄの第１の制御部はＰＩＤ補償器である。
【００６６】
図５に示すように、図５は冷却型温調部１の冷却容量を制御する代わりに、冷却型温調器１から出てくる気体２１の温度設定を制御する実施例である。図１の冷却型温調部１を通過後の気体２１は温度調節されておらず、冷却型温調部１の冷却容量と冷却型温調部１を通る前の気体２１の温度と風量によって決まってくる。図５の冷却型温調部１には、温度センサ３ｅにより冷却型温調部１を通過した直後の温度測定値を制御部４ｅに入力し、制御部４ｅは温度センサ３ｅの温度測定値と要求された設定温度を計算し、冷却型温調部出力指令値を冷却型温調部１に出力する。よって、冷却型温調部１を通過後の気体２１は、要求された設定温度に制御されている。
【００６７】
制御部４ｅは、電熱ヒータ２への加熱型温調部出力指令値を計算する第１の制御部と、冷却型温調部１への冷却型温調部出力指令値を計算する第２の制御部とが存在し、第２の制御部の設定温度は、第１の制御部が出力する加熱型温調部出力指令値が高低に偏らないように、設定温度を更新することで制御する。
【００６８】
また、制御部４ｅの第１の制御部及び第２の制御部は共にＰＩＤ補償器である。
【００６９】
図６に示すように、図６は図１の加熱型温調部出力指令値の代わりに、電熱ヒータが消費する電流を測定することで冷却型温調部１の冷却容量を制御する実施例を示した模式図である。
【００７０】
これは、電熱ヒータ２への加熱型温調部出力指令値を取り出すことが出来ない制御部４ｆの第１の制御部であったとしても、加熱型温調部２が消費する電流を電流測定器１３を用いて測定し、この電流測定値を制御部４ｆに入力し、予め定めた電流値の上限と下限に対して、前記電流測定値が偏らないように冷却型温調部１の冷却容量を制御する冷却型温調部出力指令値を計算し、出力する。
【００７１】
冷却型温調部１は、制御部４ｆからの冷却型温調部出力指令値を入力し冷却容量を増減する。
【００７２】
また、制御部４ｆの第１の制御部はＰＩＤ補償器である。
【００７３】
図７には、冷却容量を調整する冷却型温調部１の実施例を示す。
【００７４】
図７には、冷媒２０を加冷する冷凍機１９があり、冷凍機１９の能力を上げるために、冷却水１６が図の矢印の方向にて冷凍機１９に取り込まれている。冷媒２０の加冷により発生する熱の多くは冷却水１６に取り込まれ、暖まった冷却水排水１７として冷凍機１９から排出される。冷凍機１９により加冷された冷媒２０と冷却水排水１７の一部は熱交換機１５へ送り込む。熱交換機１５にて冷媒２０は冷却水排水１７の一部により、暖められる。この暖める割合を変更するのが、制御部４から送られてくる冷却型温調部出力指令値を入力して動作する三方弁１８である。三方弁１８は、熱交換機１５に流れ込む冷却水排水１７の流量を調節することで、熱交換機１５の能力を可変することができる。熱交換機１５を通過した冷媒２０は熱交換機１５ｂを通り、再び冷凍機１９へと循環する。熱交換機１５ｂでは、配管５により循環している気体２１を冷媒２０を用いて熱交換し、加冷する。ここでは、気体を用いた実施例としたが、図２の液体２２としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明における半導体露光装置の温度調節装置について示した模式図である。
【図２】図１の気体を液体に代えた模式図である。
【図３】図１の電熱ヒータと温度センサを複数に代えた模式図である。
【図４】図１の気体を用いた温度調節装置と図２の液体を用いた温度調節装置を組み合わせた模式図である。
【図５】図１の冷却容量を制御する代わりに、冷却型温調部を通過して出てくる気体の温度を制御する実施例を示した模式図である。
【図６】図１の加熱型温調部出力指令値の代わりに、電熱ヒータが消費する電流を測定することで冷却型温調部の冷却容量を制御する実施例を示した模式図である。
【図７】図１の冷却型温調部内部の模式図である。
【符号の説明】
【００７６】
１，１ｂ  冷却型温調部
２，２ｂ，２ｃ，２ｄ  加熱型温調部
３，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ  温度測定部
４，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ、４ｆ  制御部
５，５ｂ，５ｃ，５ｄ  配管
６，６ｂ  半導体露光装置本体
７  チャンバ恒温室
８  チャンバ空調機室
１０  半導体露光装置
１１，１１ｂ  取り込み口
１２，１２ｂ  送り込み口
１３  電流測定器
１４  非温調対象部
１５，１５ｂ  熱交換機
１６  冷却水
１７  冷却水排水
１８  三方弁
１９  冷凍機
２０  冷媒
２１  気体
２２  液体
【図１】
2006005135.tif 000003
【図２】
2006005135.tif 000004
【図３】
2006005135.tif 000005
【図４】
2006005135.tif 000006
【図５】
2006005135.tif 000007
【図６】
2006005135.tif 000008
【図７】
2006005135.tif 000009