(57)【要約】【課題】  安定して高いレーザ発振効率を得ることができ小型化可能なレーザ装置を提供する。【解決手段】  レーザダイオード１２で発生した放出光は、レンズ２３，２４、光ファイバ２５およびレンズ２１を経て、偏光ビームスプリッタ６１により偏波分離され、そのうちの或る方位の直線偏光の光はレンズ２２へ出力され、これに直交する他の方位の直線偏光の光は光フィルタ６２へ出力される。偏光ビームスプリッタ６１から光フィルタ６２に入力した光のうち、光フィルタ６２を選択的に透過した特定波長の光は、ミラー６３により反射され、再び光フィルタ６２を透過し、偏光ビームスプリッタ６１およびレンズ２１等を経て、レーザダイオード１２の活性領域に帰還して、この活性領域において誘導放出を誘起する。偏光ビームスプリッタ６１からレンズ２２に入力した特定波長の光λＰは、レーザ媒質３０に照射される。【選択図】  図１
2006100415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起光の入射により光を放出するレーザ媒質と、
該レーザ媒質を共振光路上に有し、該レーザ媒質において誘導放出を起こさせる光共振器と、
電流注入により光を放出する活性領域と、この活性領域を挟んで対向する第１面および第２面を有し、前記活性領域で放出される光を前記第１面で反射させ、該光を前記第２面から外部へ出力する半導体発光素子と、
前記半導体発光素子の前記第２面から出力された光を入力し、この入力光のうち特定波長の光の一部を前記半導体発光素子の前記活性領域に帰還させ、残部を前記励起光として出力する光帰還部と、
前記光帰還部から出力された前記励起光を前記レーザ媒質に入射させる励起光学系と、
を備えることを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
前記帰還部が帰還させる光の波長が可変であることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項３】
前記光帰還部が、前記特定波長の光を選択的に透過させる吸収型または干渉型の光フィルタとミラーとを含み、前記半導体発光素子の前記第２面から出力された光のうち特定波長の光を前記光フィルタにより透過させ前記ミラーにより反射させて、前記特定波長の光を前記半導体発光素子の前記活性領域に帰還させる、ことを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項４】
前記光帰還部が、回折格子素子を含み、前記半導体発光素子の前記第２面から出力された光を前記回折格子素子により回折させて、この回折光のうち前記特定波長の光を前記半導体発光素子の前記活性領域に帰還させる、ことを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項５】
前記光共振器の共振光路上に設けられ、前記レーザ媒質で放出される光を入力して、この入力光の波長と異なる波長の光を発生する非線形光学素子を更に備える、ことを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項６】
前記レーザ媒質がＮｄイオン添加バナデートであることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項７】
前記レーザ媒質がＮｄイオン添加ＧｄＶＯ４であることを特徴とする請求項６記載のレーザ装置。
【請求項８】
前記レーザ媒質がＮｄイオン添加ＹＶＯ４であることを特徴とする請求項６記載のレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザ装置は、光共振器内の共振光路上にレーザ媒質を有し、このレーザ媒質において誘導放出光を発生させることでレーザ発振する。また、レーザ装置は、非線形光学素子を含む場合には、レーザ媒質で放出される誘導放出光の波長と異なる波長の光を該非線形光学素子において発生させて出力することができる。
【０００３】
例えば、Ｎｄイオン添加ＹＶＯ４（Ｎｄ:ＹＶＯ４）からなるレーザ媒質を用いたレーザ装置が知られている（非特許文献１を参照）。このレーザ装置は、レーザ媒質中のＮｄイオンを励起し得る波長８０８ｎｍの励起光をレーザ媒質に照射して、このレーザ媒質において波長１０６４ｎｍの誘導放出光を発生させ、この誘導放出光を非線形光学素子に入射させて波長５３２ｎｍの第２高調波を発生させ、この波長５３２ｎｍのレーザ光を出力することができる。
【０００４】
このようなＮｄ:ＹＡＧまたはＮｄ:ＹＶＯ４をレーザ媒質として有するとともに非線形光学素子をも有するレーザ装置は、波長５３２ｎｍ付近の緑色のレーザ光を出力することができ、例えばフェムト秒発振器であるＴｉサファイアレーザ光源に励起光を供給するための励起光源として用いられ得る。
【非特許文献１】"高出力グリーンレーザVerdiTM"、[online]、Coherent Inc.、［平成１６年９月１０日検索］、インターネット〈URL: http://www.coherent.co.jp/products/asscw/verdi_1.html〉
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記のようなレーザ装置では、レーザ媒質に照射される励起光の波長が異なると、レーザ媒質における励起光吸収効率すなわちレーザ発振効率が異なる。一方、レーザ装置の小型化を図る為に、上記励起光を出力する励起光源としてレーザダイオード等の半導体発光素子が用いられる。しかし、半導体発光素子から出力される光の波長は、温度や注入電流によって変化し、時間的に変化する場合があり、また、素子の個体によっても異なる場合がある。したがって、従来のレーザ装置では安定した高いレーザ発振効率を得ることができない。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、安定して高いレーザ発振効率を得ることができ小型化可能なレーザ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るレーザ装置は、(1) 励起光の入射により光を放出するレーザ媒質と、(2) 該レーザ媒質を共振光路上に有し、該レーザ媒質において誘導放出を起こさせる光共振器と、(3) 電流注入により光を放出する活性領域と、この活性領域を挟んで対向する第１面および第２面を有し、活性領域で放出される光を第１面で反射させ、該光を第２面から外部へ出力する半導体発光素子と、(4) 半導体発光素子の第２面から出力された光を入力し、この入力光のうち特定波長の光の一部を半導体発光素子の活性領域に帰還させ、残部を励起光として出力する光帰還部と、(5) 光帰還部から出力された励起光をレーザ媒質に入射させる励起光学系と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
このレーザ装置は以下のように作用する。半導体発光素子の第１面と光帰還部とは外部共振器を構成している。半導体発光素子の活性領域で放出された光は、半導体発光素子の第２面から外部へ出力されて光帰還部に入力する。その光帰還部に入力した光のうち特定波長の光の一部は、半導体発光素子の活性領域に帰還されて、その活性領域において特定波長の誘導放出光が得られる。したがって、半導体発光素子の第１面と光帰還部とからなる外部共振器では特定波長の光が発振し、その特定波長の光が光帰還部から出力される。光帰還部からの特定波長の出力光は、励起光学系により、光共振器の共振光路上に配置されたレーザ媒質に励起光として入射する。これにより、レーザ媒質から放出される光は光共振器により発振して、その発振光が光共振器から出力される。レーザ媒質に入射する励起光の波長は、光帰還部から半導体発光素子の活性領域へ選択的に帰還される特定波長であり、安定したものとなる。このことから、このレーザ装置では、安定したレーザ発振効率を得ることができる。
【０００９】
本発明に係るレーザ装置では、帰還部が帰還させる光の波長が可変であるのが好適である。この場合には、半導体発光素子の第１面と光帰還部とからなる外部共振器において発振する光の波長は可変となり、したがって、レーザ媒質に照射される励起光の波長〈特定波長〉が可変となる。
【００１０】
本発明に係るレーザ装置では、光帰還部は、特定波長の光を選択的に透過させる吸収型または干渉型の光フィルタとミラーとを含み、半導体発光素子の第２面から出力された光のうち特定波長の光を光フィルタにより透過させミラーにより反射させて、特定波長の光を半導体発光素子の活性領域に帰還させるのが好適である。この場合には、外部共振器において発振する光の波長（特定波長）は、光フィルタを透過しミラーで反射されて半導体発光素子の活性領域に帰還される光の波長となる。そして、光フィルタの傾きを変更することにより、上記特定波長を変更することができる。
【００１１】
本発明に係るレーザ装置では、光帰還部は、回折格子素子を含み、半導体発光素子の第２面から出力された光を回折格子素子により回折させて、この回折光のうち特定波長の光を半導体発光素子の活性領域に帰還させるのが好適である。この場合には、外部共振器において発振する光の波長（特定波長）は、回折格子素子により回折された回折光のうち半導体発光素子の活性領域に帰還される光の波長となる。そして、回折格子素子の傾きを変更することにより、上記特定波長を変更することができる。
【００１２】
本発明に係るレーザ装置は、光共振器の共振光路上に設けられ、レーザ媒質で放出される光を入力して、この入力光の波長と異なる波長の光を発生する非線形光学素子を更に備えるのが好適である。この場合には、レーザ媒質で放出された光とは異なる波長の光が非線形光学素子から出力される。ここで、非線形光学素子は、例えば、ＬＢＯ（ＬｉＢ３Ｏ５）、タイプＩ擬似位相整合型ＰＰＬＮ（Periodically Poled ＬｉＮｂＯ３）、ＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ４）等である。これらのうち特にＬＢＯおよびタイプＩ擬似位相整合型ＰＰＬＮは、光損傷に強く安定であるので好ましい。また、非線形光学素子における波長変換は、高調波発生、和周波発生、差周波発生、パラメトリック発振、等のプロセスに拠る。
【００１３】
本発明に係るレーザ装置では、レーザ媒質は、Ｎｄイオン添加バナデートであるのが好適であり、より具体的には、Ｎｄイオン添加ＧｄＶＯ４またはＮｄイオン添加ＹＶＯ４であるのが好適である。また、このとき、励起光波長（特定波長）は、８０８±５ｎｍの波長範囲内にあるのが好適であり、或いは、８８０±５ｎｍの波長範囲内にあるのが好適である。この場合には、レーザ媒質から放出される光の波長は１０６３ｎｍ付近であり、非線形光学素子で発生する第２高調波の波長は５３１ｎｍ付近となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るレーザ装置は、安定して高いレーザ発振効率を得ることができ、しかも、小型化が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１６】
（第１実施形態）
【００１７】
先ず、本発明に係るレーザ装置の第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係るレーザ装置１の構成図である。この図に示されるレーザ装置１は、駆動回路１１、レーザダイオード１２、レンズ２１〜２４、光ファイバ２５、レーザ媒質３０、非線形光学素子４０、ミラー５１〜５４、偏光ビームスプリッタ６１、光フィルタ６２およびミラー６３を備えている。
【００１８】
レーザ媒質３０は、Ｎｄイオン添加バナデートからなるものであり、より具体的には、Ｎｄ:ＧｄＶＯ４またはＮｄ:ＹＶＯ４であるのが好適である。レーザ媒質３０は、活性元素であるＮｄイオンを励起し得る波長λＰ（８０８ｎｍ帯または８８０ｎｍ帯）の励起光が入射すると、その励起光λＰを吸収してＮｄイオンが励起され、その励起されたＮｄイオンがレーザ上準位からレーザ下準位へ遷移する際に波長λ１（１０６３ｎｍ）の光を放出する。
【００１９】
レーザ媒質３０の対向する２面のうち、一方の面に第１膜３１が形成され、他方の面に第２膜３２が形成されている。第１膜３１は、励起光波長λＰで透過率が高く、波長λ１で反射率が高い。第２膜３２は、励起光波長λＰで反射率が高く、波長λ１で透過率が高い。
【００２０】
非線形光学素子４０は、レーザ媒質３０で放出される光を入力して、この入力光の波長λ１と異なる波長λ２（５３１ｎｍ）の第２高調波を発生する。非線形光学素子４０は、例えば、ＬＢＯ（ＬｉＢ３Ｏ５）、タイプＩ擬似位相整合型ＰＰＬＮ（Periodically Poled ＬｉＮｂＯ３）、ＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ４）等である。なお、非線形光学素子４０における波長変換は、高調波発生の他、和周波発生、差周波発生、パラメトリック発振、等のプロセスに拠ってもよい。非線形光学素子４０の両面には、波長λ１および波長λ２それぞれで透過率が高くなる膜が形成されている。
【００２１】
半導体発光素子であるレーザダイオード１２は、駆動回路１１から駆動電流が供給されることにより光を放出する活性領域と、この活性領域を挟んで対向する第１面１２ａおよび第２面１２ｂを有し、活性領域で放出される光を第１面１２ａで反射させ、該光を第２面１２ｂから外部へ出力する。第１面１２ａには高反射膜が形成され、第２面１２ｂには低反射膜が形成されている。このレーザダイオード１２は、レーザ媒質３０中の活性元素Ｎｄイオンを励起し得る波長を含む波長帯域の光を出力する。
【００２２】
レンズ２３は、レーザダイオード１２の第２面１２ｂから発散されて出力された励起光λＰを平行光とし、レンズ２４は、レンズ２３により平行光とされたものを光ファイバ２５の第１端面２５ａに集光する。光ファイバ２５は、第１端面２５ａに入射した励起光λＰを導光して、その光を第２端面２５ｂから外部へ出力する。レンズ２１は、光ファイバ２５の第２端面２５ｂから発散して出力された励起光λＰを平行光とし、レンズ２２は、レンズ２１により平行光とされたもののうち偏光ビームスプリッタ６１を透過した光を集光して、第１膜３１が形成された側からレーザ媒質３０に該励起光λＰを入射させる。これらの光学系は、励起光λＰをレーザ媒質３０に入射させる励起光学系を構成している。
【００２３】
ミラー５１〜５３それぞれは、レーザ媒質３０で発生した光の波長λ１で反射率が高い。ミラー５２は、非線形光学素子４０で発生した第２高調波の波長λ２で透過率が高い。ミラー５１，５２それぞれは、反射面が凹面となっていて、入射した光を反射する際に集光することができる。レーザ媒質３０の第１膜３１とミラー５３とはファブリーペロー型の光共振器を構成しており、その光共振器の共振光路上に順に、レーザ媒質３０、ミラー５１、ミラー５２および非線形光学素子４０が配置されている。ミラー５４は、ミラー５２を透過して光共振器の外部へ出力された第２高調波λ２を反射させる。
【００２４】
偏光ビームスプリッタ６１は、レンズ２１とレンズ２２との間に設けられていて、レンズ２１により平行光として出力された光を偏波分離して、或る方位の直線偏光の光をレンズ２２へ出力し、これに直交する他の方位の直線偏光の光を光フィルタ６２へ出力する。光フィルタ６２は、特定波長の光を選択的に透過させる吸収型または干渉型のものであり、偏光ビームスプリッタ６１から到達した光のうち特定波長の光を透過させてミラー６３へ出力し、また、ミラー６３から到達した特定波長の光を透過させて偏光ビームスプリッタ６１へ出力する。光フィルタ６２は、例えば、誘電体多層膜フィルタやエタロンフィルタ等である。なお、光フィルタ６２とミラー６３とは一体化されていてもよい。
【００２５】
これら偏光ビームスプリッタ６１、光フィルタ６２およびミラー６３は、光帰還部として作用するものである。すなわち、この光帰還部は、レーザダイオード１２の第２面１２ｂから出力された光を入力し、この入力光のうち特定波長の光の一部をレーザダイオード１２の活性領域に帰還させ、残部を励起光として出力する。また、レーザダイオード１２の第１面１２ａとミラー６３とは、外部共振器を構成していて、光帰還部がレーザダイオード１２の活性領域へ選択的に帰還させる光の波長（特定波長）で発振し、この特定波長の発振光を励起光として出力する。
【００２６】
このレーザ装置１は以下のように動作する。駆動回路１１から駆動電流がレーザダイオード１２に供給されると、そのレーザダイオード１２の活性領域において光が放出される。その放出光は、レーザダイオード１２の第２面１２ｂから外部へ出力され、レンズ２３，２４により光ファイバ２５の第１端面２５ａに集光され、第１端面２５ａから光ファイバ２５に入射して光ファイバ２５内を導光し、光ファイバ２５の第２端面２５ｂから外部へ出力される。光ファイバ２５の第２端面２５ｂから出力された励起光λＰは、レンズ２１により平行光とされて偏光ビームスプリッタ６１に入力する。レンズ２１から偏光ビームスプリッタ６１に入力した光は、偏光ビームスプリッタ６１により偏波分離され、そのうちの或る方位の直線偏光の光はレンズ２２へ出力され、これに直交する他の方位の直線偏光の光は光フィルタ６２へ出力される。
【００２７】
偏光ビームスプリッタ６１から光フィルタ６２に入力した光のうち、光フィルタ６２を選択的に透過した特定波長の光は、ミラー６３により反射され、再び光フィルタ６２を透過し、偏光ビームスプリッタ６１，レンズ２１，光ファイバ２５およびレンズ２４，２３を経て、レーザダイオード１２の活性領域に帰還して、この活性領域において誘導放出を誘起する。このように、レーザダイオード１２の第１面１２ａとミラー６３とから構成される外部共振器においては、光フィルタ６２を選択的に透過する光の波長（特定波長）で発振する。
【００２８】
偏光ビームスプリッタ６１からレンズ２２に入力した特定波長の光λＰは、レンズ２２により集光され、第１膜３１を透過して、レーザ媒質３０に照射される。この励起光λＰは、第２膜３２により反射されて、レーザ媒質３０内を往復する。
【００２９】
レーザ媒質３０に励起光λＰが照射されると、レーザ媒質３０から波長λ１の光が放出される。レーザ媒質３０の第１膜３１とミラー５３とは光共振器を構成しており、その光共振器の共振光路上にレーザ媒質３０が配置されていることから、レーザ媒質３０からは誘導放出光λ１が得られる。この誘導放出光λ１は、光共振器の共振光路上に配置された非線形光学素子４０に入射して、これにより、誘導放出光の波長λ１と異なる波長λ２の第２高調波が発生する。そして、この非線形光学素子４０で発生した第２高調波λ２は、ミラー５２を透過して光共振器の外部へ出力される。
【００３０】
このように、本実施形態に係るレーザ装置１は、小型のレーザダイオード１２を用いて励起光を発生させているので、全体としても小型化が可能である。また、レーザ媒質３０に入射する励起光の波長λＰは、光帰還部からレーザダイオード１２の活性領域へ選択的に帰還される特定波長であり、単色性に優れ且つ安定したものとなる。したがって、本実施形態に係るレーザ装置１は、励起光波長が安定しているので、安定して高いレーザ発振効率を得ることができる。
【００３１】
また、光フィルタ６２の傾きを変更すれば、光フィルタ６２における中心透過波長が変化するので、光帰還部からレーザダイオード１２の活性領域へ選択的に帰還される特定波長λＰを変更することができ、レーザ媒質３０に入射する励起光の波長λＰを調整することができる。したがって、本実施形態に係るレーザ装置１は、レーザ媒質３０の個体に依り励起光吸収スペクトルが相違していても、使用しているレーザ媒質３０のスペクトルのピーク値に合せて励起光波長λＰを設定することができるので、更に安定して高いレーザ発振効率を得ることができる。
【００３２】
また、このレーザ装置１では、励起光は光ファイバ２５により導光されてレーザ媒質３０に入射する。レーザダイオード１２等を含む本体と、レーザ媒質３０および非線形光学素子４０等を含むヘッド部との間は、可撓性を有する光ファイバ２５を介して接続することができるので、小型のヘッド部のみの移動によりレーザ光λ２の照射位置を容易に調整することができる。
【００３３】
（第２実施形態）
【００３４】
次に、本発明に係るレーザ装置の第２実施形態について説明する。図２は、第２実施形態に係るレーザ装置２の構成図である。前述の第１実施形態に係るレーザ装置１（図１）と比較して、図２に示される第２実施形態に係るレーザ装置２は、光フィルタ６２およびミラー６３に替えて回折格子素子６４を備えている点、および、励起光学系がレンズ２３，２４および光ファイバ２５を備えていない点、で相違する。
【００３５】
第２実施形態に係るレーザ装置２は、偏光ビームスプリッタ６１および回折格子素子６４を光帰還部として備える。偏光ビームスプリッタ６１は、レンズ２１とレンズ２２との間に設けられていて、レンズ２１により平行光として出力された光を偏波分離して、或る方位の直線偏光の光をレンズ２２へ出力し、これに直交する他の方位の直線偏光の光を回折格子素子６４へ出力する。回折格子素子６４は、偏光ビームスプリッタ６１に対向する面に反射型の回折格子が形成されていて、偏光ビームスプリッタ６１から到達した光を波長に応じた回折角で回折し、回折光のうち特定波長の光をレーザダイオード１２の活性領域に帰還させる。レーザダイオード１２の第１面１２ａと回折格子素子６４とは、外部共振器を構成していて、回折格子素子６４がレーザダイオード１２の活性領域へ選択的に帰還させる光の波長（特定波長）で発振し、この特定波長の発振光を励起光として出力する。
【００３６】
また、第２実施形態に係るレーザ装置２は、レンズ２２を励起光学系として備える。レンズ２２は、レンズ２１により平行光とされたもののうち偏光ビームスプリッタ６１を透過した起光λＰを集光して、光ファイバを介することなく、第１膜３１が形成された側からレーザ媒質３０に該励起光λＰを入射させる。
【００３７】
このレーザ装置２は以下のように動作する。駆動回路１１から駆動電流がレーザダイオード１２に供給されると、そのレーザダイオード１２の活性領域において光が放出される。その放出光は、レーザダイオード１２の第２面１２ｂから外部へ出力され、レンズ２１により平行光とされて、偏光ビームスプリッタ６１に入力する。レンズ２１から偏光ビームスプリッタ６１に入力した光は、偏光ビームスプリッタ６１により偏波分離され、そのうちの或る方位の直線偏光の光はレンズ２２へ出力され、これに直交する他の方位の直線偏光の光は回折格子素子６４へ出力される。
【００３８】
偏光ビームスプリッタ６１から回折格子素子６４に入力した光は、回折格子素子６４により波長に応じた角度で回折される。そのうちの特定方位に回折された特定波長の光は、偏光ビームスプリッタ６１およびレンズ２１を経て、レーザダイオード１２の活性領域に帰還して、この活性領域において誘導放出を誘起する。このように、レーザダイオード１２の第１面１２ａと回折格子素子６４とから構成される外部共振器においては、回折格子素子６４により帰還される光の波長（特定波長）で発振する。
【００３９】
偏光ビームスプリッタ６１からレンズ２２に入力した特定波長の励起光λＰは、レンズ２２により集光され、第１膜３１を透過して、レーザ媒質３０に照射される。この励起光λＰは、第２膜３２により反射されて、レーザ媒質３０内を往復する。レーザ媒質３０に励起光λＰが照射されると、レーザ媒質３０から波長λ１の光が放出される。レーザ媒質３０の第１膜３１とミラー５３とは光共振器を構成しており、その光共振器の共振光路上にレーザ媒質３０が配置されていることから、レーザ媒質３０からは誘導放出光λ１が得られる。この誘導放出光λ１は、光共振器の共振光路上に配置された非線形光学素子４０に入射して、これにより、誘導放出光の波長λ１と異なる波長λ２の第２高調波が発生する。そして、この非線形光学素子４０で発生した第２高調波λ２は、ミラー５２を透過して光共振器の外部へ出力される。
【００４０】
このように、本実施形態に係るレーザ装置２は、小型のレーザダイオード１２を用いて励起光を発生させているので、全体としても小型化が可能である。また、レーザ媒質３０に入射する励起光の波長λＰは、光帰還部からレーザダイオード１２の活性領域へ選択的に帰還される特定波長であり、単色性に優れ且つ安定したものとなる。したがって、本実施形態に係るレーザ装置２は、励起光波長が安定しているので、安定して高いレーザ発振効率を得ることができる。
【００４１】
また、回折格子素子６４の傾きを変更すれば、回折格子素子６４からレーザダイオード１２の活性領域へ選択的に帰還される特定波長λＰを変更することができ、レーザ媒質３０に入射する励起光の波長λＰを調整することができる。したがって、本実施形態に係るレーザ装置２は、レーザ媒質３０の個体に依り励起光吸収スペクトルが相違していても、使用しているレーザ媒質３０のスペクトルのピーク値に合せて励起光波長λＰを設定することができるので、更に安定して高いレーザ発振効率を得ることができる。
【００４２】
（変形例）
【００４３】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、特定波長の光の一部を半導体発光素子の活性領域へ帰還させる光帰還部は、第１実施形態では光フィルタ６２およびミラー６３を含むものであり、第２実施形態では反射型の回折格子素子６４を含むものであったが、他の構成であってもよい。例えば、第１実施形態において光フィルタに替えて透過型の回折格子素子を用いてもよく、この場合には、回折格子素子およびミラーの双方の傾きを変えることで、帰還させるべき光の波長を変更することができる。
【００４４】
また、励起光λＰをレーザ媒質３０に入射させるときの方向は、上記実施形態では光共振器の共振光路と同一であったが、光共振器の共振光路に対して傾いていてもよく、光共振器の共振光路に対して垂直であってもよい。
【００４５】
また、光共振器のＱ値を変化させるＱスイッチ手段を更に備えていてもよい。この場合には、ピークパワーが大きいパルスレーザ発振を得ることができる。ここで、Ｑスイッチ手段は、例えば、可飽和吸収体、音響光学変調素子、電気光学変調素子、等である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】第１実施形態に係るレーザ装置１の構成図である。
【図２】第２実施形態に係るレーザ装置２の構成図である。
【符号の説明】
【００４７】
１，２…レーザ装置、１１…駆動回路、１２…レーザダイオード、２１〜２４…レンズ、２５…光ファイバ、３０…レーザ媒質、３１…高反射膜、３２…低反射膜、４０…非線形光学素子、５１〜５４…ミラー、６１…偏光ビームスプリッタ、６２…光フィルタ、６３…ミラー、６４…回折格子素子。
【図１】
2006100415.tif 000003
【図２】
2006100415.tif 000004