(57)【要約】  【課題】噴射後の液膜幅の減少を抑制し、かつ、異物除去が行いやすいスリットノズルを提供する。  【解決手段】横長なボデイ内に、該ボデイの横長方向に沿った流入路１４を設け、流入路１４に連通する流体導入口１３をボデイ外面に設けると共に、流入路１４に小径流路１７を介して連通する横長なスリット状噴射孔１８をボデイの横長方向の端面に沿って設け、スリット状噴射孔１８の長さ方向の両端に連続させて、噴射孔１８のスリット幅より広くした溝４１、４２をボデイに設けている。  【選択図】図６
2006205120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
横長なボデイ内に、該ボデイの横長方向に沿った流入路を設け、該流入路に連通する流体導入口を前記ボデイ外面に設けると共に、前記流入路に小径流路を介して連通する横長なスリット状噴射孔を前記ボデイの横長方向の端面に沿って設け、
前記スリット状噴射孔の長さ方向の両端に連続させて、該噴射孔のスリット幅より広くした溝を前記ボデイに設けていることを特徴とするスリットノズル。
【請求項２】
前記溝は、幅方向の両側に対称に設けて、該溝の断面形状を矩形状、外側が底辺となる三角形状、円形としている請求項１に記載のスリットノズル。
【請求項３】
横長なボデイ内に、該ボデイの横長方向に沿った流入路を設け、該流入路に連通する流体導入口を前記ボデイ外面に設けると共に、前記流入路に小径流路を介して連通する横長なスリット状噴射孔を前記ボデイの横長方向の一端面に沿って設け、
前記スリット状噴射孔の長さ方向の両端面を外向きに傾斜させたテーパ面としていることを特徴とするスリットノズル。  
【請求項４】
横長なボデイ内に、該ボデイの横長方向に沿った流入路を設け、該流入路に連通する流体導入口を前記ボデイ外面に設けると共に、前記流入路に小径流路を介して連通する横長なスリット状噴射孔を前記ボデイの横長方向の一端面に沿って設け、
前記スリット状噴射孔の長さ方向の両端より噴射方向に突出した突片を設けていることを特徴とするスリットノズル。
【請求項５】
前記流入路と前記スリット状噴射孔とを連通する前記小径流路は、流入路に連続する第１小径流路、該第１小径流路に連通して流路を２方向に分離した後に合流させる整流路、該整流路に連通する第２小径流路からなり、該第２小径流路にスリット状噴射孔を連通させている請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のスリットノズル。
【請求項６】
前記ボディは、横長な第１部材と第２部材とをボルトで前後方向に締結して形成し、該第１部材と第２部材との対向面には、それらの上端から間隔をあけた位置より下端にかけて、前記流入路、第１小径流路、整流路、第２小径流路、スリット状噴射孔を形成する凹部を設け、第１部材と第２部材とを締結することで、ボディの長さ方向に沿った横長な前記流入路、第１小径流路、整流路、第２小径流路、スリット状噴射孔を上下方向に連続して設け、かつ、前記第１部材あるいは／および第２部材の側面、上面あるいは長さ方向の端面に前記流体導入口を設けて前記流入路と連通させ、
さらに、前記第１小径流路を貫通する位置でスリット幅調節用の締付ボルトにより第１部材と第２部材とを締結し、スリット幅は０．０５ｍｍ以上５ｍｍ以下としている請求項５に記載のスリットノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリットノズルに関し、詳しくは、スリット状噴射孔から長い水平方向に亙って膜状に流体を噴射するノズルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶パネルの液置換洗浄や液切り等、プリント配線板のエッチング、鋼板のワイピング、その他低圧洗浄や液盛り等を行うため、液体あるいはエアを直線状に強い打力で吹き付けるスリットノズルが用いられている。
例えば、液晶パネルの製造工程においては、液晶パネルの大型化に伴って１つのスリットノズルで広範囲に亙って噴射できることが要望されており、噴射流量の分布にバラツキをなくして均一な膜状に噴射させることが不可欠の要素となる。
【０００３】
図１２（Ａ）（Ｂ）に示す二重管方式のスリットノズルは、流体が供給される円筒状の内管１の外周に流路２をあけて四角枠状の外管３を被せ、内管１の上端に軸線方向のスリット１ａを設けると共に、外管３の下頂点に軸線方向に噴射口となるスリット３ａを設けている。前記スリットノズルでは、内管１のスリット１ａから流路２に流体を流出させ、流路２を通して外管２のスリット３ａから流体を横方向に広い範囲に亙って噴射している。
この二重管方式では、内管１を外管３の内部に流路２となる隙間をあけて配置する必要があるため歪みが発生しやすく、かつ、幅が不均一な流路２で流体が乱れやすいので、噴射液膜が不均一になる問題がある。さらに、噴射口となるスリット３ａが外管３に孔あき加工で形成されているため、用途に応じてスリット３ａの幅を変えることも出来ず、汎用性がない問題もある。
【０００４】
そこで、特開２００３−２１１０２７号公報では、図１３に示すように、二重管方式を用いずに広い範囲に亙って噴射量がバラツキなく均一となるスリットノズル１０を開示している。
該スリットノズル１０は、流入口４から噴射口９にかけて、順次、流入口４に連通する流入路５、該流入路５に連通する第１小径流路６、該第１小径流路６に連通して流路を２方向に分離した後に合流させる整流室７、該整流室７に連通する第２小径流路８、該第２小径流路８に連通したスリット状の噴射口９を連続的に設けており、整流室７は円環流路からなり、円環の中心を第１、第２小径流路６、８の軸線と一致させ、第１小径流路６からの流体を円環の両側半周部に流通させて２方向に分離した後に第２小径流路８へ合流させて流通させている。該構成とすると、ノズル１０内を流れる流体が層流化されて全長に亙って噴射量を均一化することが可能となる。
【０００５】
しかしながら、噴射口９から噴射された液膜流Ｅは、表面張力などの影響によりある角度θ１で液膜幅Ｗを減少させる特性があるため、液膜流Ｅが対象物Ｔに衝突する時点の液膜幅Ｗに対してより長い幅の噴射口９を形成する必要があった。特に、スリットノズル１０を対象物Ｔから離して使用する場合にはその現象が顕著となるため、スリットノズル１０を対象物Ｔにある程度近づけて使用する必要があるが、あまり近づけ過ぎると対象物Ｔから跳ね返った液がノズル１０に到達し、噴射口９に異物が付着し易くなる問題がある。よって、結局はノズル１０を対象物Ｔから距離をあけて設置しなければならず、ノズル取付位置が制限されることになる。
また、スリット状の噴射口９は細く異物が溜まりやすいが、噴射口９に異物が堆積した場合にはノズル１０を分解して掃除する必要があり、掃除後の再組立時に噴射口９の幅を分解前と同一の状態に再現するのが難しいという問題もあった。
【特許文献１】特開２００３−２１１０２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、前記問題に鑑みてなされたもので、噴射後の液膜幅の減少を抑制し、かつ、異物除去が行いやすいスリットノズルを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明は、横長なボデイ内に、
該ボデイの横長方向に沿った流入路を設け、 該流入路に連通する流体導入口を前記ボデイ外面に設けると共に、前記流入路に連通する横長なスリット状噴射孔を前記ボデイの横長方向の端面に沿って設け、
前記スリット状噴射孔の長さ方向の両端に連続させて、該噴射孔のスリット幅より広くした溝を前記ボデイに設けていることを特徴とするスリットノズルを提供している。
【０００８】
前記構成とすると、スリット状噴射孔の両端の溝はスリット幅よりも広くしているので、溝から噴射される流量がスリット状噴射孔から噴射される流量よりも大きくなり、噴射流体膜の両端側の流れを強化することができる。したがって、噴射流体膜の両端部分による噴射方向の規制力が強く働き、表面張力による噴射後の流体膜幅の減少を低減することが可能となる。
また、スリット状噴射孔に異物が詰まってしまった場合にも、先端が薄い板をスリット状噴射孔に差し込んで異物を端に追いやることで、幅広の溝から排出させることができる。
なお、前記溝の幅はスリット幅の２倍〜４０倍程度としていると好ましい。また、前記スリットノズルから噴射する流体は液体でも気体でもよい。
【０００９】
また、前記溝は、幅方向の両側に対称に設けて、該溝の断面形状を矩形状、外側が底辺となる三角形状、円形としていると好ましい。
【００１０】
また本発明は、横長なボデイ内に、該ボデイの横長方向に沿った流入路を設け、
該流入路に連通する流体導入口を前記ボデイ外面に設けると共に、前記流入路に連通する横長なスリット状噴射孔を前記ボデイの横長方向の一端面に沿って設け、
前記スリット状噴射孔の長さ方向の両端面を外向きに傾斜させたテーパ面としていることを特徴とするスリットノズルを提供している。
【００１１】
前記構成とすると、スリット状噴射孔の両端から噴射される流体は噴射直後にテーパ面に沿って外方に拡がるので、表面張力により流体膜幅が減少しても、対象物に到達する時の流体膜幅を従来に比べて幅広に保つことが可能となる。
テーパ面の傾斜角度は、５°〜３０°としていると好適であり、より好ましくは１０°〜２０°としている。
【００１２】
また本発明は、横長なボデイ内に、該ボデイの横長方向に沿った流入路を設け、該流入路に連通する流体導入口を前記ボデイ外面に設けると共に、
前記流入路に連通する横長なスリット状噴射孔を前記ボデイの横長方向の一端面に沿って設け、
前記スリット状噴射孔の長さ方向の両端より噴射方向に突出した突片を設けていることを特徴とするスリットノズルを提供している。
【００１３】
前記構成とすると、スリット状噴射孔より噴射される流体膜の両側は、噴射直後には突片により噴射方向に沿ってガイドされるので、流体膜幅の減少が開始する時点を遅らせることができる。したがって、対象物に到達する時の流体膜幅を従来に比べて幅広に保つことが可能となる。
突片の突出量は、スリット状噴射孔の先端面より１０〜１００ｍｍとすると好適であり、好ましくは１０〜５０ｍｍとしている。また、一対の突片の対向面は、噴射方向に沿って平行に設けてもよいし、傾斜して設けてもよい。
【００１４】
前記流入路と前記スリット状噴射孔とを連通する前記小径流路は、流入路に連続する第１小径流路、該第１小径流路に連通して流路を２方向に分離した後に合流させる整流路、該整流路に連通する第２小径流路からなり、該第２小径流路にスリット状噴射孔を連通させていると好ましい。
【００１５】
前記構成とすると、第１小径流路と第２小径流路との間に流路を２方向に分ける整流室を設け、流体を２方向に分離した後に第２小径流路で合流させているので、流体の流れに乱れを発生させずに、第２小径流路において層状に整流した流体を得ることができる。この第２小径流路において層状に整流させた流体を先端のスリット状噴射孔より噴射させることで、スリット状噴射孔が横方向に長い場合においても、その全長に亙って噴射量の均一化を図ることが可能となる。
【００１６】
前記ボディは、横長な第１部材と第２部材とをボルトで前後方向に締結して形成し、該第１部材と第２部材との対向面には、それらの上端から間隔をあけた位置より下端にかけて、前記流入路、第１小径流路、整流路、第２小径流路、スリット状噴射孔を形成する凹部を設け、第１部材と第２部材とを締結することで、ボディの長さ方向に沿った横長な前記流入路、第１小径流路、整流路、第２小径流路、スリット状噴射孔を上下方向に連続して設け、かつ、前記第１部材あるいは／および第２部材の側面、上面あるいは長さ方向の端面に前記流体導入口を設けて前記流入路と連通させ、
さらに、前記第１小径流路を貫通する位置でスリット幅調節用の締付ボルトにより第１部材と第２部材とを締結し、スリット幅は０．０５ｍｍ以上５ｍｍ以下としていると好ましい。
また、前述した溝はスリット幅が薄い場合に有効であり（スリット幅１ｍｍ以下）、溝の幅は０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下としていると好ましい。
【００１７】
前記第１部材と第２部材とは横長で厚肉な平板からなり、各平板の対向面に前記流入路、第１小径流路、整流室、第２小径流路、スリット状噴射孔を凹設しているよい。
前記第１部材と第２部材との重ね合わせる対向面は互いに密着させてメタルシールとしているが、シール用シート等からなるパッキンを介在させてもよい。
第１部材と第２部材とを横長とすることにより、噴射口のスリットを所要寸法の横長とすることが容易にできる。かつ、第１部材と第２部材との対向面に設けた凹部を組み合わせることで、前記流入路、第１小径流路、整流室、第２小径流路、スリット状噴射孔を軸線方向に連続して容易に設けることができる。
また、第１部材と第２部材とを締結する前記ボルトは前記流入路の上方位置に配置しているため、流路に影響が及ばないようにすることができる。
【００１８】
前記第１小径流路を貫通する位置でスリット幅調整用の締付ボルトにより第１部材と第２部材とを締結している。前記締付ボルトの間に押付ボルトを第１部材側からネジこみ、その軸部先端を第２部材に押し当ててスリット幅を横方向に均一となるように精度よく調整している。
このように、スリット状噴射孔の真上に近い位置でスリット幅調整用の締付ボルトを用いて第１部材と第２部材とを締結することにより、スリット幅を横長方向に精度良く組みつけることができる。
かつ、このスリット幅調整用の締付ボルトおよび押付ボルトを第１小径流路を貫通する位置に設けると、流体の流れが前記スリット幅調節ボルトにより若干乱れるが、その下流に前記整流室を設けているため、乱れた流体の流れを整流化することができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上の説明より明らかなように、第１の発明によれば、スリット状噴射孔の長さ方向の両端にスリット幅より広い溝を設けているので、噴射流体膜の両端側の流量が増強されて噴射後の流体膜幅の減少を低減できる。したがって、ノズルを噴射対象物から離して設置することが可能となりノズル取付自由度が向上すると共に、噴射対象物への衝突時の流体膜幅に対してあまり幅広のノズルを設ける必要がなくノズルを小型化できる。
また、スリット状噴射孔に異物が詰まった場合にも、先端が薄い板をスリット状噴射孔に差し込んで異物を端に追いやることで、幅広の溝から楽に排出することができる。
第２の発明によれば、スリット状噴射孔の長さ方向の両端面を外向きに傾斜させたテーパ面としており、噴射直後はテーパ面に沿って外方に拡がるので、その後に流体膜幅が減少しても、対象物に到達する時の流体膜幅を従来に比べて幅広に保たれる。
第３の発明によれば、スリット状噴射孔の長さ方向の両端より噴射方向に突出した突片を設けているので、噴射直後には突片により噴射方向に沿ってガイドされるので、流体膜幅の減少が開始する時点を遅らせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１乃至図７は第１実施形態を示す。
スリットノズル１００は、合成樹脂品からなる横長な第１部材１１と第２部材１２とでボデイを形成している。第１部材１１と第２部材１２とは、図中上端及び左右両端を固定ボルト１９で締結し、かつ、下部をスリット幅調整用の締付ボルト２０で締結すると共に、該締付ボルト２０の間に押付ボルト４０を取り付けて一体化している。
【００２１】
横長な第１部材１１と第２部材１２には、その重ね合わせる対向面に、固定ボルト１９の締結部の下部より下端にかけて、かつ、両端の固定ボルト２０の締結部を除く全長に亙って、後述する横長で且つ深さを相違させた凹部を上下に連続して設け、これら凹部を対向させて組み合わせることにより、図２及び図３に示すように、上部側より流入路１４、第１小径流路１５、整流室１６、第２小径流路１７を上下に連続させ、第２小径流路１７より下端にかけて横長なスリット状噴射孔１８を設けている。
【００２２】
詳細には、第１部材１１は、締付ボルト２０が存在する位置の断面図である図２、図４に示すように、上方に固定ボルト挿通孔２２を、下方に締付ボルト挿通孔３１を設けている。図３、図５は押付ボルト４０が存在する位置の断面図であり、上方に固定ボルト挿通孔２２を、下方に押付ボルト挿通孔４１を設けている。
【００２３】
第１部材１１には、ボディ長手方向の中央付近に間隔をあけて２つの流入口１３を設けている。これら流入口１３には流体供給管（図示せず）が接続される。
第１部材１１の裏面側の第２部材１２との対向側には、流入口１３と連通する位置から下端にかけて、底深凹部２７、第１底浅凹部２９、半円状凹部３３、第２底浅凹部３５、極浅凹部２４を上下に連続させて形成している。第２浅底凹部３５の下部はテーパ部３５ａとし、テーパ部３５ａの先端にスリット状噴射孔１８を形成する極浅凹部２４を連続させている。
【００２４】
第１底浅凹部２９の上下方向の中間位置に、締付ボルト挿通孔３１と押付ボルト挿通孔４１とを横長さ方向に間隔をあけて交互に流路と直交させて設けている。締付ボルト挿通孔３１の内周面にはネジを刻設していないが、押付ボルト挿通孔３１の小径の軸部内嵌部にはネジ４１ａを刻設している。また、固定ボルト挿通孔２２の内周面にはネジ２２ａを刻設している。
【００２５】
第２部材１２は、第１部材１１との対向側に、ネジ２３ａを刻設した固定ボルト挿通孔２３を穿設し、その下方に底深凹部２８、第１浅底凹部３０、半円状凹部３４、第２底浅凹部３６を上下に連続させて形成している。第１部材１１に設けた極浅凹部は第２部材１２には設けずフラットなままとしている。第２浅底凹３６の下部はテーパ部３６ａとし、かつ、第１浅底凹部３０の中間位置に締結ボルト挿通孔３２を設け、その内周面にネジ３２ａを刻設している。なお、第１部材１１に設けた押付ボルト挿通孔は設けていない、
【００２６】
第１部材１１と第２部材１２とを重ね合わせ、連通させた固定ボルト挿通孔２２、２３に固定ボルト１９をネジ込んで締結し、同じく連通させた締付ボルト挿通孔３１と３２とに締付ボルト２０をＯリング２１を介して締結する。
この状態で、第１部材１１と第２部材１２の深底凹部２７と２８が組み合わされて流入路１４が形成され、第１浅底凹部２９と３０とが組み合わされて第１小径流路１５が形成され、半円状凹部３３と３４が組み合わされて整流室１６の外壁が形成され、第２浅底凹部３５と３６とが組み合わされて第２小径流路１７が形成される。第２小径流路１７のテーパ状の縮径した下端に、第１部材１１の極浅凹部２４と第２部材１２のフラット面との間に形成されるスリット状噴射孔１８が連続することとなる。
【００２７】
スリット状噴射孔１８の長さ方向の両端には、図６に示すように、噴射孔１８のスリット幅Ｗ１より広い幅Ｗ２を有する断面矩形状の溝４１、４２を形成している。
なお、スリット長さＬ１は、５０ｍｍ〜２５００ｍｍとし、スリット幅Ｗ１は０．０５ｍｍ〜５ｍｍとしている。溝幅Ｗ２は０．５ｍｍ〜２ｍｍとし、溝の長さＬ２は０．５ｍｍ〜２ｍｍとしている。
【００２８】
整流室１６の断面円形となる外壁の内部には、その内面と隙間をあけて円柱部材２５を配置し、円環流路からなる整流室１６を設けている。
図４及び図７に示すように、円柱部材２５は横方向に延在し、その軸線方向の所要位置に間隔をあけて薄肉（０．５ｍｍ程度）・狭幅のリング２６を外嵌し、リング２６を半円状凹部３３、３４の内面に押し当てることで、円柱部材２５を隙間をあけて支持している。リング２６は、本実施形態では１５０ｍｍ間隔をあけて間欠的に取り付けている。
【００２９】
円環状流路からなる整流室１６の幅は、第１、第２小径流路１５、１７の幅の５０％以下に設定している。円柱部材２５の中心を第１、第２小径流路１５、１７の軸線と一致させ、整流室１６の上頂点は第１小径流路１５の下端流出口の幅方向の中心に位置し、下頂点は第２小径流路１７の上端流入口の幅方向の中心に位置させている。
整流室１６を前記構成とすることで、第１小径流路１５からの流体が両側半周部１６ａ、１６ｂへと２分割された状態で２方向に別れて流れ、下端流出口から第２小径流路１７へと合流して流れこみ、２方向から流入する流体が層流となって第２小径流路１７内を流れ、その後、スリット状噴射孔１８へと流入して噴射されるようにしている。
【００３０】
第１小径流路１５の中央部に長さ方向に間隔をあけて貫通する締付ボルト２０は、軸部先端側にネジ２０ａを刻設し、頭部２０ｃ側にはネジを設けずに平滑面２０ｂとしている。これにより、第１小径流路１５を横断する部分に平滑面２０ｂを位置させて、第１小径流路１５を流下する流体の気泡がネジに付着しないようにしている。
また、第１部材１１と第２部材１２の接合面はメタルシールとしてシール性を保っているが、シートパッキンを入れてもよい。
【００３１】
締付ボルト２０と交互に設ける押付ボルト４０は図３、図５に示すように、締付ボルト２０よりも短尺とし、Ｏリング２１を介して押付ボルト挿通孔４１にねじ込み、軸部先端面を第２部材１２の第１浅底凹部３０に押し当てるようにしている。軸部は頭部４０ｃ側にのみネジ４０ｂを刻設し、第１小径流路１５を横断する先端側にはネジを設けずに平滑面４０ａとし、流体の気泡がネジに付着しないようにしている。
【００３２】
スリット状噴射孔１８の近傍の上流に取り付ける締付ボルト２０は第１部材１１と第２部材にネジ込むことにより、第１部材１１と第２部材１２とを近接させて、スリット状噴射孔１８のスリット幅Ｗ１が小さくなるように調節している。一方、押付ボルト４０を第１部材１１の押付ボルト挿通孔４１にネジ込んで、軸部先端を第２部材の浅底凹部に押し当てているため、押付ボルト４０をネジ込むことによりスリット幅Ｗ２が大きくなるように調整することができ、第２部材１２を第１部材１１から離反保持して、締付ボルト２０により設定したスリット幅を横長さな全長に均一となるように精度よく維持している。
【００３３】
以下に、スリットノズル１００の作用について説明する。
スリットノズル１００は第１部材１１と第２部材１２とを組み合わせて形成し、流体供給管（図示せず）を流入口１３に連結している。
流入口１３から液体（あるいは気体）をノズル１００内に供給し、流入口１３→流入路１４→第１小径流路１５→整流室１６→第２小径流路１７の順に流れた後、スリット状噴射孔１８および溝４１、４２より噴射している。
【００３４】
流入口１３より横長な流入路１４の中央部に軸直角方向より流体が流入し、向きを変えて流入路１４に流れ込むため流速が低下し、かつ、流入路１４の断面積を大としているため、両側へと速度を落として流れ込み、流入路１４内において横方向の全長に亙って均等に流体が分配される。
流入路１４に流入した流体は、該流入路１４に連通した第１小径流路１５の幅を狭くしているため、流体は速度を速めて第１小径流路１５に流入し、ついで、円環状の整流室１６へと流入する。
【００３５】
整流室１６では、第１小径流路１５からの流体が両側半周部１６ａ、１６ｂに２分されて流通し、流体は２方向に分離され、第２小径流路１７へと合流して流入する。
整流室１６の流路幅Ｌ２を第１小径流路１５および第２小径流路１７の流路幅Ｌ１の５０％以下としているため、第１小径流路１５から整流室１６に流入した流体は流路縮小に伴なう加圧で両側半周部１６ａ、１６ｂに均一に分配・整流されると共に、整流室１６から第２小径流路１７に流入する際に流路拡大により減速して層流化する。
第２小径流路１７の下端はテーパー状に縮径しているため、狭幅のスリット状噴射孔１８へ流速を速めて流入すると共に、スリット状噴射孔１８の両端の溝４１、４２にも流入し、直線状で且つ膜状の液体が外部に噴射される。
【００３６】
本発明のノズル１００では、特に、スリット状噴射孔１８の両端側に幅広で矩形状の溝
４１、４２を連続させているので、溝４１、４２から噴射される液体流量がスリット状噴射孔１８から噴射される液体流量よりも大きくなり、噴射液膜の両端側の流れを強化することができる。したがって、図１１（Ａ）に示すように、噴射液膜の両端部分による噴射方向の規制力が強く働くことで液膜流の端部の傾斜角度θ２が小さくなり、表面張力による噴射後の液膜幅の減少量ｔ２を低減することが可能となる。
また、スリット状噴射孔１８に異物が詰まった場合にも、先端が薄い板をスリット状噴射孔１８に差し込んで異物を端に追いやることで、幅広の溝４１、４２から排出することができる。
【００３７】
なお、前記実施形態はポンプからの液体噴射用であるため、スリット状噴射孔１８の幅を０．３ｍｍとしているが、コンプレッサーからの圧搾空気を噴射する場合には、前記スリット幅を０．０５ｍｍ〜０．１５ｍｍと小さくするとよい。
また、前記実施形態では、ノズルのボディを第１部材と第２部材とを前後に重ねて締結して形成しているが、横方向の長さが比較的小さい場合、ボディを第１部材と第２部材とに分割せず、樹脂成形で一体的に設けてもよい。
【００３８】
図８（Ａ）〜（Ｄ）はスリット状噴射孔１８の両端に形成する溝の変形例を示している。
図８（Ａ）では、溝５０を断面三角形状とし、スリット状噴射孔１８に斜辺５０ａを連続させて底辺５０ｂを外側に配置している。
図８（Ｂ）では、溝５１を断面円形状として、スリット状噴射孔１８に連続させている。
図８（Ｃ）では、溝５２を断面ホームベース形状とし、スリット状噴射孔１８に斜辺５２ａを連続させてコ字状辺５０ｂを外側に配置している。
図８（Ｄ）では、溝５３を断面楕円形状とし、その長軸方向をスリット状噴射孔１８の長手方向に向けている。
【００３９】
図９は第２実施形態を示す。
第１実施形態との相違点は、スリット状噴射孔１８の両端に溝を設ける代わりに、テーパ面６０、６１を設けている点である。
即ち、本実施形態のスリットノズル１０１は、スリット状噴射孔１８の長さ方向の両端面を外向きに傾斜させて一対のテーパ面６０、６１を形成している。また、テーパ面６０、６１の傾斜角度αは５°〜３０°としている。
前記構成とすると、スリット状噴射孔１８の両端から噴射される液体は、図１１（Ｂ）に示すように、噴射直後にテーパ面６０、６１に沿って外方に拡がるので、液膜流の側端部の傾斜角度θ３が従来の傾斜角度θ１と同じであっても、表面張力による噴射後の液膜幅の減少量ｔ３を低減することが可能となる。
なお、他の構成は第１実施形態と同様であるため説明を省略する。また、本実施形態ではスリット状噴射孔１８の両端に溝を設けずにテーパ面６０、６１を設けているが、第１実施形態の溝とテーパ面との両方を形成しても好適である。
【００４０】
図１０は第３実施形態を示す。
第１実施形態との相違点は、スリット状噴射孔１８の両端に溝を設ける代わりに、スリット状噴射孔１８の両端縁から噴射方向に向けて突片７０、７１を突設している点である。
即ち、本実施形態のスリットノズル１０２は、スリット状噴射孔１８の長さ方向の両端より噴射方向に向けて液膜ガイド用の突片７０、７１を突出している。また、突片７０、７１の突出量Ｌ３は、スリット状噴射孔１８の先端面より１０〜１００ｍｍとしている。
前記構成とすると、スリット状噴射孔１８の両端から噴射される液体は、図１１（Ｃ）に示すように、噴射直後には突片７０、７１の対向面により噴射方向に沿ってガイドされるので、突片７０、７１から離反した液膜流の側端部の傾斜角度θ４が従来の傾斜角度θ１と同じであっても、液膜幅の減少が開始する時点を遅らせることができる。よって、表面張力による噴射後の液膜幅の減少量ｔ４を低減することが可能となる。
なお、他の構成は第１実施形態と同様であるため説明を省略する。また、本実施形態ではスリット状噴射孔１８の両端に溝およびテーパ面を設けずに突片７０、７１を設けているが、第１実施形態の溝あるいは／および第２実施形態のテーパ面を突片７０、７１と併せて設けても好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１実施形態のスリットノズルの正面図である。
【図２】スリットノズルのＩ−Ｉ線断面図である。
【図３】スリットノズルのＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図４】図２の分解断面図である。
【図５】図３の分解断面図である。
【図６】スリットノズルの下面図である。
【図７】スリットノズルの水平断面図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｄ）は第１実施形態の変形例を示す要部下面図である。
【図９】第２実施形態のスリットノズルの要部垂直断面図である。
【図１０】第３実施形態のスリットノズルの正面図である。
【図１１】噴射状態を示し、（Ａ）は第１実施形態、（Ｂ）は第２実施形態、（Ｃ）は第３実施形態、（Ｄ）は従来例の図面である。
【図１２】（Ａ）は従来のノズルの斜視図、（Ｂ）は断面図である。
【図１３】別の従来例を示す図面である。
【符号の説明】
【００４２】
１００〜１０３    スリットノズル
１１            第１部材
１２            第２部材
１３            流入口
１４            流入路
１５            第１小径流路
１６            整流室（円環流路）
１６ａ、１６ｂ  半周部
１７            第２小径流路
１８            スリット状噴射孔
１９            固定ボルト
２０            スリット幅調整用の締付ボルト
２０ｂ、４０ａ  平滑面
２１            Ｏリング
２５            円柱部材
２６            リング
４０            押付ボルト
４１、４２、５０〜５３    溝
６０、６１      テーパ面
７０、７１、８０、８１    突片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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