(57)【要約】【課題】前駆体から目標抵抗値を有する抵抗素子を形成するにあたり当該前駆体の抵抗値の調整を簡単に行うようにしてなる抵抗素子、その前駆体及び抵抗値調整方法を提供する。【解決手段】  前駆体７０は、基板１０の表面１１上に形成される蛇行状の抵抗パターンを有し、かつ少なくとも３本のトリミング線を有する。さらに、各トリミング線を切断した際の前駆体としての抵抗値増加量を大きい順に並べ、かつ、このように並べた各抵抗値増加量を、各トリミング線を切断していない時点での前駆体としての各初期抵抗値で規格化することにより得られる数列の一般項をαkとすると、前駆体７０は、不等式０．５・αk＜αk+1＜αkを満たす等比数列でもって特定するように構成されている。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターンと、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部とを備える前駆体において、
前記複数対の長さ方向中間部位は、少なくとも３対の長さ方向中間部位であり、
前記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに前記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列の互いに隣り合う両規格化抵抗値増加量毎に、両規格化抵抗値増加量のうち小さい方の規格化抵抗値増加量が大きい方の規格化抵抗値増加量の２分の１よりも大きく、
前記規格化抵抗値増加量列は、前記互いに隣り合う両規格化抵抗値増加量毎に、両規格化抵抗値増加量のうち大きい方の規格化抵抗値増加量の小さい方の規格化抵抗値増加量に対する規格化抵抗値増加量比が同一であることを特徴とする前駆体。
【請求項２】
基板上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターンと、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部とを備える前駆体において、
前記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに前記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、
この規格化抵抗値増加量列は、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする数列であって（１＋α1＋α2＋・・・＋αk）・（１＋αk）＝（１＋α1）2を満たす数列であることを特徴とする前駆体。
【請求項３】
基板上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターンと、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部とを備える前駆体を準備して、この前駆体の抵抗値を、前記各短絡部の選択的切断により目標抵抗値に調整する前駆体の抵抗値調整方法において、
前記前駆体は、前記複数対の長さ方向中間部位を少なくとも３対の長さ方向中間部位とし、かつ、前記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに前記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列を、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする等比数列であって０．５・αk＜αk+1＜αkを満たす等比数列でもって特定するようにした前駆体として準備されており、
このように準備した前駆体の前記各短絡部のうち前記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部から順に、
当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満か否かを判定する第１ステップと、
この第１ステップにおいて当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満と判定したとき当該短絡部の切断と決定する第２ステップと、
前記第１ステップにおいて当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値以上と判定したとき、前記第２ステップの処理をすることなく、前記第１ステップにて、前記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に前記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満か否かを判定する処理と
を繰り返しながら、この繰り返し中において、前記第２ステップにて切断と決定される毎に当該決定の対象となる短絡部を切断するようにして、前記前駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整することを特徴とする前駆体の抵抗値調整方法。
【請求項４】
基板上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターンと、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部とを備える前駆体を準備して、この前駆体の抵抗値を、前記各短絡部の選択的切断により目標抵抗値に調整する前駆体の抵抗値調整方法において、
前記前駆体は、前記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに前記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列を、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする数列であって（１＋α1＋α2＋・・・＋αk）・（１＋αk）＝（１＋α1）2を満たす数列で特定するようにした前駆体として準備されており、
このように準備した前駆体の前記各短絡部のうち前記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部から順に、
当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満か否かを判定する第１ステップと、
この第１ステップにおいて当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満と判定したとき当該短絡部の切断と決定する第２ステップと、
前記第１ステップにおいて当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値以上と判定したとき、前記第２ステップの処理をすることなく、前記第１ステップにて、前記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に前記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満か否かを判定する処理と
を繰り返しながら、この繰り返し中において、前記第２ステップにて切断と決定される毎に当該決定の対象となる短絡部を切断するようにして、前記前駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整することを特徴とする前駆体の抵抗値調整方法。
【請求項５】
基板上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターンと、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部とを備える前駆体を準備して、
この前駆体の抵抗値を前記各短絡部の選択的切断により目標抵抗値に調整することで前記前駆体から形成される抵抗素子において、
前記前駆体は、前記複数対の長さ方向中間部位を少なくとも３対の長さ方向中間部位とし、かつ、前記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに前記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列を、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする等比数列であって０．５・αk＜αk+1＜αkを満たす等比数列でもって特定するようにした前駆体であって、
この前駆体の前記各短絡部のうち前記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部から順に、当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満のとき当該短絡部を切断し、一方、当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値以上のとき当該短絡部を切断することなくそのまま維持し、この維持のもと前記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に前記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満或いは以上のときこの短絡部を切断し或いはそのまま維持することを繰り返しながら、前記前駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整することで当該前駆体から形成されることを特徴とする抵抗素子。
【請求項６】
基板上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターンと、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部とを備える前駆体を準備して、
この前駆体の抵抗値を前記各短絡部の選択的切断により目標抵抗値に調整することで前記前駆体から形成される抵抗素子において、
前記前駆体は、前記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに前記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列を、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする数列であって（１＋α1＋α2＋・・・＋αk）・（１＋αk）＝（１＋α1）2を満たす数列で特定するようにした前駆体であって、
この前駆体の前記各短絡部のうち前記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部から順に、当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満のとき当該短絡部を切断し、一方、当該短絡部の切断前における前記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値以上のとき当該短絡部を切断することなくそのまま維持し、この維持のもと前記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に前記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満或いは以上のときこの短絡部を切断し或いはそのまま維持することを繰り返しながら、前記前駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整することで当該前駆体から形成されることを特徴とする抵抗素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、抵抗素子、その前駆体及び抵抗値調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、抵抗素子の前駆体としては、例えば、下記特許文献１に開示されているように、薄膜温度センサに適用されるものがある。この薄膜温度センサに適用される抵抗素子の前駆体は、アルミナ基板上にスパッタ蒸着により白金膜を蒸着し、フォトリソグラフィ処理により当該白金膜を所定のパターンにパターニングして形成されている。
【特許文献１】実開昭６３−１８７３０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上述のように形成した抵抗素子の前駆体においては、上記所定のパターンが、複数の抵抗調整用パターンを、順次、２0、２1、２2、２3、・・・の重みの抵抗値にて配列して形成されている。ここで、この前駆体から目標抵抗値を有する抵抗素子を得るためには、当該前駆体の抵抗調整用パターンにトリミングを施すことが必要である。
【０００４】
しかし、上述のように複数の抵抗調整用パターンが２n個の重みの抵抗値で配列されている。このため、上記前駆体においてトリミング処理すべきトリミング箇所を決定する場合の当該トリミング箇所とトリミング処理前における当該前駆体の抵抗値である初期抵抗値との組み合わせの数は、２nという膨大な数に達する。
【０００５】
従って、上記前駆体においてトリミング処理すべきトリミング箇所を決定するにあたっては、上述のような膨大な数のトリミング箇所と初期抵抗値との組み合わせを用いて、トリミング箇所を決定しなければならない。その結果、トリミング箇所を決定するためのデータの作成や作成したデータの入力作業には、大変な手間を要するという不具合を招く。
【０００６】
そこで、本発明は、以上のようなことに対処するため、前駆体から目標抵抗値を有する抵抗素子を形成するにあたり当該前駆体の抵抗値の調整を簡単に行うようにしてなる抵抗素子、その前駆体及び抵抗値調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題の解決にあたり、本発明に係る前駆体は、請求項１の記載によれば、
基板（１０）上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターン（７１）と、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部（７４〜７９）とを備える。
【０００８】
当該前駆体において、上記複数対の長さ方向中間部位は、少なくとも３対の長さ方向中間部位である。
【０００９】
また、上記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに上記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列の互いに隣り合う両規格化抵抗値増加量毎に、両規格化抵抗値増加量のうち小さい方の規格化抵抗値増加量が大きい方の規格化抵抗値増加量の２分の１よりも大きい。
【００１０】
ここで、上記規格化抵抗値増加量列は、上記互いに隣り合う両規格化抵抗値増加量毎に、両規格化抵抗値増加量のうち大きい方の規格化抵抗値増加量の小さい方の規格化抵抗値増加量に対する規格化抵抗値増加量比が同一である。
【００１１】
このように前駆体を構成することで、当該前駆体の抵抗値の目標抵抗値への調整が簡単になる抵抗素子のための前駆体の提供が可能となる。
【００１２】
この請求項１の記載において、上記規格化抵抗値増加量列は、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする数列であって０．５・αk＜αk+1＜αkを満たす数列で表され、
この数列は、上記同一の規格化抵抗値増加量比を公比とする等比数列であってもよい。
【００１３】
また、本発明に係る前駆体は、請求項２の記載によれば、
基板（１０）上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターン（７１）と、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部（７４〜７９）とを備える。
【００１４】
当該前駆体において、上記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに上記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列は、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする数列であって（１＋α1＋α2＋・・・＋αk）・（１＋αk）＝（１＋α1）2を満たす数列である。
【００１５】
このように前駆体を構成することで、請求項１に記載の発明と同様に、当該前駆体の抵抗値の目標抵抗値への調整が簡単になる抵抗素子のための前駆体の提供が可能となる。
【００１６】
また、本発明に係る前駆体の抵抗値調整方法では、請求項３の記載によれば、
基板（１０）上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターン（７１）と、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部（７４〜７９）とを備える前駆体を準備して、この前駆体の抵抗値を、上記各短絡部の選択的切断により目標抵抗値に調整する。
【００１７】
当該前駆体の抵抗値調整方法において、上記前駆体は、上記複数対の長さ方向中間部位を少なくとも３対の長さ方向中間部位とし、かつ、上記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに上記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列を、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする等比数列であって０．５・αk＜αk+1＜αkを満たす等比数列でもって特定するようにした前駆体（７０）として準備されている。
【００１８】
そして、このように準備した前駆体の上記各短絡部のうち上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部から順に、
当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満か否かを判定する第１ステップ（２３０）と、
この第１ステップにおいて当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満と判定したとき当該短絡部の切断と決定する第２ステップ（２３４）と、
上記第１ステップにおいて当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値以上と判定したとき、上記第２ステップの処理をすることなく、上記第１ステップにて、上記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満か否かを判定する処理と
を繰り返しながら、この繰り返し中において、上記第２ステップにて切断と決定される毎に当該決定の対象となる短絡部を切断するようにして、上記駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整する。
【００１９】
このように、上述のように準備した前駆体に対し、上記第１及び第２のステップの処理或いは上記第１のステップの処理及び上記第２ステップの処理をすることなく上記第１ステップにて上記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満か否かを判定する処理を繰り返しながら、この繰り返し中にて、上記第２ステップにて切断と決定される毎に当該決定の対象となる短絡部を切断するようにして、上記駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整する。
【００２０】
その結果、従来のように短絡部の切断のための膨大なデータを必要とすることなく、前駆体の抵抗値を目標抵抗値に簡単に調整し得る。
【００２１】
また、本発明に係る前駆体の抵抗値調整方法では、請求項４の記載によれば、
基板（１０）上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターン（７１）と、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部（７４〜７９）とを備える前駆体を準備して、この前駆体の抵抗値を、上記各短絡部の選択的切断により目標抵抗値に調整する。
【００２２】
当該前駆体の抵抗値調整方法において、上記前駆体は、上記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに上記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列を、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする数列であって（１＋α1＋α2＋・・・＋αk）・（１＋αk）＝（１＋α1）2を満たす数列で特定するようにした前駆体として準備されている。
【００２３】
そして、このように準備した前駆体の上記各短絡部のうち上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部から順に、
当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満か否かを判定する第１ステップ（２３０）と、
この第１ステップにおいて当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満と判定したとき当該短絡部の切断と決定する第２ステップ（２３４）と、
上記第１ステップにおいて当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値以上と判定したとき、上記第２ステップの処理をすることなく、上記第１ステップにて、上記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満か否かを判定する処理と
を繰り返しながら、この繰り返し中において、上記第２ステップにて切断と決定される毎に当該決定の対象となる短絡部を切断するようにして、上記前駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整する。
【００２４】
このように、上述のように準備した前駆体に対し、請求項３に記載の発明と同様に、上記第１及び第２のステップの処理或いは上記第１のステップの処理及び上記第２ステップの処理をすることなく上記第１ステップにて上記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満か否かを判定する処理を繰り返しながら、この繰り返し中にて、上記第２ステップにて切断と決定される毎に当該決定の対象となる短絡部を切断するようにして、上記駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整する。
【００２５】
その結果、請求項４に記載の発明の前駆体のように、請求項３に記載の発明にいう前駆体とは異なる前駆体であっても、従来のように短絡部の切断のための膨大なデータを必要とすることなく、前駆体の抵抗値を目標抵抗値に簡単に調整し得る。
【００２６】
また、本発明に係る抵抗素子は、請求項５の記載によれば、
基板（１０）上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターン（７１）と、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部（７４〜７９）とを備える前駆体を準備して、この前駆体の抵抗値を上記各短絡部の選択的切断により目標抵抗値に調整することで上記前駆体から形成される。
【００２７】
当該抵抗素子において、上記前駆体は、上記複数対の長さ方向中間部位を少なくとも３対の長さ方向中間部位とし、かつ、上記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに上記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列を、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする等比数列であって０．５・αk＜αk+1＜αkを満たす等比数列でもって特定するようにした前駆体（７０）である。
【００２８】
そして、この前駆体の上記各短絡部のうち上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部から順に、当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満のとき当該短絡部を切断し、一方、当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値以上のとき当該短絡部を切断することなくそのまま維持し、この維持のもと上記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満或いは以上のときこの短絡部を切断し或いはそのまま維持することを繰り返しながら、上記前駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整することで当該前駆体から抵抗素子として形成される。
【００２９】
これにより、例えば、請求項３に記載の発明にいう前駆体から形成される抵抗素子を簡単に提供し得る。
【００３０】
また、本発明に係る抵抗素子は、請求項６の記載によれば、
基板（１０）上に抵抗材料でもって蛇行状に形成される抵抗パターン（７１）と、この抵抗パターンの複数対の長さ方向中間部位をその対毎に短絡するように形成される短絡部（７４〜７９）とを備える前駆体を準備して、この前駆体の抵抗値を上記各短絡部の選択的切断により目標抵抗値に調整することで上記前駆体から形成される。
【００３１】
当該抵抗素子において、上記前駆体は、上記短絡部毎の切断時における抵抗値増加量を大きい順に並べるとともに上記全短絡部の切断前における抵抗値で規格化して規格化抵抗値増加量列としたとき、この規格化抵抗値増加量列を、αk（ｋ＝１、２、３、・・・）を項とする数列であって（１＋α1＋α2＋・・・＋αk）・（１＋αk）＝（１＋α1）2を満たす数列で特定するようにした前駆体（７０）である。
【００３２】
そして、この前駆体の上記各短絡部のうち上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部から順に、当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値未満のとき当該短絡部を切断し、一方、当該短絡部の切断前における上記前駆体の抵抗値が当該短絡部に対する閾値以上のとき当該短絡部を切断することなくそのまま維持し、この維持のもと上記前駆体の抵抗値が当該短絡部の次に上記切断時の抵抗値増加量の大きい短絡部に対する閾値未満或いは以上のときこの短絡部を切断し或いはそのまま維持することを繰り返しながら、上記前駆体の抵抗値を目標抵抗値に調整することで当該前駆体から抵抗素子として形成される。
【００３３】
これにより、例えば、請求項４に記載の発明にいう前駆体から形成される抵抗素子を簡単に提供し得る。
【００３４】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明が白金抵抗体式温度センサに適用された例を示している。この温度センサは、基板１０を備えており、この基板１０は、高純度のアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を主成分とする材料（以下、高純度アルミナ材料ともいう）でもって形成されている。なお、本実施形態においては、上記高純度アルミナ材料として、アルミナを９９．９（％）以上含む材料が採用されている。
【００３６】
また、当該温度センサは、蛇行状の白金抵抗体２０及び両接続用パッド３０を備えており、白金抵抗体２０は、基板１０の表面１１の中央部上に後述のように形成されている。両パッド３０は、基板１０の表面１１のうち白金抵抗体２０の両側部上に当該白金抵抗体２０と一体的に形成されている。
【００３７】
また、当該温度センサは、接着層４０及び保護層５０を備えている。接着層４０は、白金抵抗体２０及び両パッド３０を覆うように基板１０の表面１１上に接着されている。保護層５０は、接着層４０上に積層状に設けられている。
【００３８】
次に、以上のように構成した温度センサの製造方法について説明する。まず、上記高純度アルミナ材料からなる基板を、基板１０として準備する（図２参照）。ついで、白金（Ｐｔ）を用いて、スパッタリングにより、図２にて示すごとく、基板１０の表面１１上に白金膜６０を形成する。
【００３９】
然る後、白金膜６０に、フォトリソグラフィ処理によるパターニング処理を施し、基板１０の表面１１上に前駆体７０及び両パッド３０を形成する（図３参照）。前駆体７０は、白金抵抗体２０の形成のための前提となるものあり、この前駆体７０は、図３にて示す形状を有するように、両パッド３０の間にて、上記パターニング処理でもって形成されている。
【００４０】
ここで、当該前駆体７０の構成について詳細に説明すると、当該前駆体７０は、図３にて示すごとく、両蛇行状抵抗パターン７１を備えている。これら両抵抗パターン７１は、両パッド３０の間にて図３にて図示左斜め上側及び右斜め下側に位置するように基板１０の表面１１上に上下方向に蛇行して形成されている。なお、以下、両抵抗パターン７１のうち左斜め上側の抵抗パターン７１を一側抵抗パターン７１ともいい、右斜め下側の抵抗パターン７１を他側抵抗パターン７１ともいう。
【００４１】
一側抵抗パターン７１は、図３にて示すごとく、その図示左側水平状上端部にて、左側パッド３０と一体となっている。一方、他側抵抗パターン７１は、図３にて示すごとく、その図示右側水平状上端部にて、右側パッド３０と一体となっている。また、一側抵抗パターン７１は、図３にて示すごとく、その図示右側水平状上端部７２にて、他側抵抗パターン７１の図示右側鉛直状上端部７３と一体となっている。
【００４２】
また、前駆体７０は、図３にて示すごとく、６本のトリミング線７４〜７９を備えており、これら各トリミング線７４〜７９は、その切断の有無により、前駆体７０の両端部（両パッド３０との両接続端部）の間における抵抗値を調整するために用いられる。
【００４３】
これら各トリミング線７４〜７９は、一側抵抗パターン７１の左側水平状上端部と右側水平状上端部７２との間において当該一側抵抗パターン７１に形成された５つの上側水平状中間部位に水平状に一体に形成されている。なお、以下、当該５つの上側水平状中間部位のうち図３の左側から右側にかけて順次位置する各上側水平状中間部位を、第１、第２、第３、第４及び第５の上側水平状中間部位ともいう。
【００４４】
ここで、トリミング線７４は、一側抵抗パターン７１の左側水平状上端部と上記第１の上側水平状中間部位との間に連結形成され、トリミング線７５は、上記第１及び第２の上側水平状中間部位間に連結形成され、トリミング線７６は、上記第２及び第３の上側水平状中間部位間に連結形成されている。また、トリミング線７７は、上記第３及び第４の上側水平状中間部位間に連結形成され、トリミング線７８は、上記第４及び第５の上側水平状中間部位間に連結形成され、トリミング線７９は、上記第５の上側水平状中間部位と一側抵抗パターン７１の右側水平状上端部７２との間に連結形成されている。
【００４５】
また、本第１実施形態において、抵抗素子２０の前駆体としての条件（以下、前駆体条件ともいう）は、一般的には、次のように設定されている。
（１）前駆体は、基板１０の表面１１上に形成される蛇行状の抵抗パターンを有すること。
（２）前駆体は、少なくとも３本のトリミング線を有すること。
（３）各トリミング線を切断した際の前駆体としての抵抗値増加量を大きい順に並べ、かつ、このように並べた各抵抗値増加量を、全てのトリミング線を切断していない前駆体としての初期抵抗値で規格化することにより得られる数列の一般項をαkとすると、次の不等式（１）が成立すること。
【００４６】
０．５・αk＜αk+1＜αk    ・・・  （１）
（４）上記数列が等比数列であって、この等比数列の公比は、上記不等式（１）から分かる通り、０．５よりも大きく、１．０よりも小さいこと。
【００４７】
上述のようにパターニング処理して形成した前駆体７０は、図３にて示す形状の両抵抗パターン及び６本のトリミング線を有することから、当該前駆体７０は、上記前駆体条件のうち（１）、（２）の条件を満たしている。
【００４８】
また、前駆体７０の抵抗パターンは、上記前駆体条件のうち（３）、（４）を満たしているものとする。即ち、各トリミング線７４〜７９を切断した際の前駆体７０としての抵抗値増加量が大きい順に並んでおり、このように並んだ各抵抗値増加量を、全てのトリミング線７４〜７９を切断していない前駆体７０としての初期抵抗値で規格化することにより得られる等比数列の一般項αkにおいて、ｋ＝１、２、・・・、６として、不等式（１）が成立し、上記等比数列の公比が０．５よりも大きく１．０よりも小さいものとする。
【００４９】
次に、上述のように前駆体７０を形成してなる基板１０において、前駆体７０の抵抗値を目標抵抗値（白金抵抗体２０の抵抗値）に調整するために必要な前駆体７０のトリミングによる抵抗値調整方法について説明する。なお、当該目標抵抗値を、以下、Ｒａで表すものとする。
【００５０】
ここで、この説明に先立ち、前駆体７０のトリミングに必要なトリミング装置の構成について図４を参照して説明する。当該トリミング装置は、可動ステージ８０及びＹＡＧレーザ装置９０を備えている。可動ステージ８０は、図４の図示水平面（ＸＹ座標面）上においてＸ軸方向（図４の図示左右方向）或いはＹ軸方向（図４にて紙面の図示奥行き方向）に移動可能に支持されており、この可動ステージ８０上には、上述した基板１０が、前駆体７０を上側に位置させて載置固定される。
【００５１】
ＹＡＧレーザ装置９０は、可動ステージ８０の上方にて、可動ステージ８０と同様に上記Ｘ軸方向或いはＹ軸方向に移動可能に支持されており、このＹＡＧレーザ装置９０は、その出射口部から可動ステージ８０上に向けてレーザビームを出射する。
【００５２】
また、当該トリミング装置は、図４にて示すごとく、端末１００、制御装置１１０及び抵抗計１２０を備えている。端末１００は、キーボードやマウスからなる入力装置１０１、コンピュータ１０２及びモニター１０３でもって構成されており、入力装置１０１は、その入力操作により、所要のデータをコンピュータ１０２に入力する。
【００５３】
コンピュータ１０２は、コンピュータプログラムを、図５及び図６にて示すフローチャートに従い実行し、この実行中において、入力装置１０１の入力データや抵抗計１２０の測定抵抗値等に基づき、可動ステージ８０の移動位置、制御装置１１０の制御やモニター１０３の表示に要する処理等を行う。上記コンピュータプログラムは、コンピュータ１０２のＲＯＭに予め記憶されている。
【００５４】
モニター１０３は、ディスプレイからなるもので、このモニター１０３は、コンピュータ１０２による制御のもと、当該コンピュータ１０２からのデータを表示する。制御装置１１０は、コンピュータ１０２による制御のもと、ＹＡＧレーザ装置９０を上記Ｘ軸方向或いはＹ軸方向に移動させるように駆動する。また、当該制御装置１１０は、コンピュータ１０２による制御のもと、ＹＡＧレーザ装置９０のレーザビームの出射制御を行う。抵抗計１２０は、前駆体７０の両端部間における抵抗値を測定してコンピュータ１０２に出力する。
【００５５】
以下、このように構成したトリミング装置を用いて、前駆体７０の抵抗値を目標抵抗値Ｒａに調整するための当該前駆体７０のトリミングによる抵抗値調整方法について説明する。上述のように、前駆体７０が上側に位置するように基板１０を可動ステージ８０上に載置固定する。
【００５６】
このような段階にて当該トリミング装置を作動状態にすれば、コンピュータ１０２は、図５及び図６のフローチャートに従い、コンピュータプログラムの実行を開始する。すると、コンピュータ１０２は、図５のステップ２００において、初期化の処理を行う。この初期化の処理に伴い、各閾値β1、β2、・・・、βnが入力装置１０１からその入力操作により入力される。本実施形態では、トリミング線の数は６本であるため、βnにおいてｎの最大値は６である。また、各閾値β1、β2、・・・、β6は、各トリミング線７４、７５、・・・、７９に対するトリミング処理の判断基準である。
【００５７】
ついで、ステップ２０１において、可動ステージ８０の駆動処理がなされる。この駆動処理では、可動ステージ８０が、前駆体７０をＹＡＧレーザ装置９０の直下に位置させるように駆動する。これに伴い、可動ステージ８０は、前駆体７０をＹＡＧレーザ装置９０の直下に位置させるように移動する。
【００５８】
ステップ２０１での処理後、ステップ２０２において、変数ｋがｋ＝０とクリアされる。ついで、ステップ２０３において、モニター抵抗値Ｒの表示処理がなされる。この表示処理では、前駆体７０の現段階における抵抗値が、抵抗計１２０の測定出力に基づき、モニター抵抗値Ｒとしてモニター１０３にコンピュータ１０２から出力される。これに伴い、モニター１０３は、前駆体７０の現段階における抵抗値をモニター抵抗値Ｒとして表示する。
【００５９】
このようにしてステップ２０３における表示処理がなされると、次のステップ２１０において、ステップ２０３におけるモニター抵抗値Ｒが、前駆体７０のトリミング開始前の下限抵抗値Ｒｂ以上であり閾値βn＝β6未満であるか否かが判定される。ここで、上述のごとく前駆体７０は６本のトリミング線を有することから６本目のトリミング線７９に対するトリミング処理のための閾値は、βn＝β6であって、他の閾値β1〜β5のいずれよりも大きいものとする。
【００６０】
ここで、Ｒｂ≦Ｒ＜β6が成立すれば、ステップ２１０においてＹＥＳとの判定がなされる。すると、次のステップ２１１において、変数ｋ＝０に「１」を加算して、ｋ＝ｋ＋１＝１と更新される。ついで、ステップ２２０において、ｋ≦ｎの成立の有無が判定される。ここで、前駆体７０においては、トリミング線が６本であることから、ｎ＝６である。
【００６１】
現段階では、ｋ＝１であるから、ステップ２２０における判定はＹＥＳとなる。然る後、ステップ２３０において、Ｒk-1＜βkが成立するか否かが判定される。ここで、現段階では、ｋ＝１であるから、Ｒk-1＝Ｒ0＜β1が成立するか否かが判定される。本第１実施形態において、Ｒ0は、前駆体７０のトリミング開始前における抵抗値（初期抵抗値）を表し、β1は、トリミング線７４に対するトリミング処理の判断基準としての閾値を表す。
【００６２】
しかして、Ｒk-1＝Ｒ0＜β1が成立しなければ、ステップ２３０においてＮＯと判定される。このことは、トリミング線７４の切断は不要で当該トリミング線７４はそのまま維持することを意味する。これに伴い、ステップ２３１において、現段階では、ｋ＝１であるから、Ｒk＝Ｒ1＝Ｒとセットされる。ここで、Ｒ1は、トリミング線７４のトリミング処理（トリミング線７４を切断しない処理）の終了後における前駆体７０の抵抗値を表す。
【００６３】
また、この抵抗値Ｒ1は、Ｒ1＝Ｒであることから、トリミング線７４のトリミング処理の終了後における前駆体７０のモニター抵抗値Ｒとなる。そして、このモニター抵抗値Ｒは、ステップ２３１の処理後、ステップ２３２において、表示処理される。このため、モニター１０３は、コンピュータ１０２からのモニター抵抗値Ｒ＝Ｒ1を表示する。
【００６４】
一方、上述のステップ２３０において、Ｒk-1＝Ｒ0＜β1が成立すれば、ＹＥＳと判定される。これに伴い、ステップ２３３において、レーザ装置９０の駆動処理がなされる。この駆動処理に伴い、レーザ装置９０が、その出射口部にて前駆体７０のトリミング線７４の直上に位置するように、制御装置１１０により駆動制御される。これにより、レーザ装置９０が、その出射口部を前駆体７０のトリミング線７４の直上に位置させるように移動する。
【００６５】
すると、次のステップ２３４において、ｋ本目のトリミング線の切断処理がなされる。ここで、この切断処理は、現段階では、ｋ＝１であるから、トリミング線７４の切断処理をいう。この処理では、レーザ装置９０が、制御装置１１０による制御のもと、レーザビームをトリミング線７４に向けて出射する。このため、トリミング線７４が切断される。
【００６６】
このようなステップ２３４での処理後、ステップ２３５において、ステップ２３１での処理と同様に、Ｒk＝Ｒ1＝Ｒとセットされる。ここで、Ｒ1は、トリミング線７４のトリミング処理（トリミング線７４を切断する処理）の終了後における前駆体７０の抵抗値を表す。ついで、ステップ２０３において、ステップ２３５でのモニター抵抗値Ｒ（＝Ｒk＝Ｒ1）が、モニター１０３により表示される。その後、ステップ２１０において、再び、Ｒｂ≦Ｒ＜β6の成立の有無が判定される。この判定において、Ｒは、上述のステップ２３５でのモニター抵抗値であってＲ1に等しい。しかして、Ｒｂ≦Ｒ＜β6が成立する場合には、ステップ２１０においてＹＥＳと判定される。
【００６７】
ステップ２３２での処理或いはステップ２１０でのＹＥＳとの判定処理が上述のようになされると、ステップ２１１において、変数ｋは、ｋ＝ｋ＋１＝２と加算更新される。すると、ｋ＝２≦ｎ＝６故、ステップ２２０において、ＹＥＳと判定される。これに伴い、ｋ＝２であるから、ステップ２３０において、Ｒk-1＝Ｒ1＜βn＝β2の成立の有無が判定される。ここで、Ｒ1は、上述のごとくトリミング線７４のトリミング処理の終了後における前駆体７０の抵抗値（ステップ２３２或いはステップ２３５参照）を表す。また、β2は、トリミング線７５に対するトリミング処理の判断基準としての閾値を表す。
【００６８】
しかして、Ｒk-1＝Ｒ1＜β2が成立しなければ、ステップ２３０においてＮＯと判定される。このことは、トリミング線７５の切断は不要であることを意味する。これに伴い、ステップ２３２において、現段階では、ｋ＝２であるから、Ｒk＝Ｒ2＝Ｒとセットされる。ここで、Ｒ2は、トリミング線７５のトリミング処理（トリミング線７５を切断しない処理）の終了後における前駆体７０の抵抗値を表す。
【００６９】
また、この抵抗値Ｒ2は、Ｒ2＝Ｒであることから、トリミング線７５のトリミング処理の終了後における前駆体７０のモニター抵抗値Ｒとなる。そして、このモニター抵抗値Ｒは、ステップ２３１の処理後、ステップ２３２において、表示処理される。このため、モニター１０３は、コンピュータ１０２からのモニター抵抗値Ｒ＝Ｒ2を表示する。
【００７０】
一方、上述のステップ２３０において、Ｒk-1＝Ｒ1＜β2が成立すれば、ＹＥＳと判定される。これに伴い、ステップ２３３において、レーザ装置９０の駆動処理がなされる。この駆動処理に伴い、レーザ装置９０が、その出射口部にて前駆体７０のトリミング線７５の直上に位置するように、制御装置１１０により駆動制御される。これにより、レーザ装置９０が、その出射口部を前駆体７０のトリミング線７５の直上に位置させるように移動する。
【００７１】
すると、次のステップ２３４において、ｋ＝２本目のトリミング線の切断処理がなされる。ここで、この切断処理はトリミング線７５の切断処理をいう。この処理では、レーザ装置９０が、制御装置１１０による制御のもと、レーザビームをトリミング線７５に向けて出射する。このため、トリミング線７５が切断される。
【００７２】
このようなステップ２３４での処理後、ステップ２３５において、ステップ２３１での処理と同様に、Ｒk＝Ｒ2＝Ｒとセットされる。ここで、Ｒ2は、トリミング線７５のトリミング処理（トリミング線７５を切断する処理）の終了後における前駆体７０の抵抗値を表す。ついで、ステップ２０３において、ステップ２３５でのモニター抵抗値Ｒ（＝Ｒk＝Ｒ2）が、モニター１０３により表示される。その後、ステップ２１０において、再び、Ｒｂ≦Ｒ＜β6の成立の有無が判定される。この判定において、Ｒは、上述のステップ２３５でのモニター抵抗値であってＲ2に等しい。しかして、Ｒｂ≦Ｒ＝Ｒ2＜β6が成立する場合には、ステップ２１０においてＹＥＳと判定される。
【００７３】
以下、同様にして、ステップ２１１〜ステップ２３２を通る処理或いはステップ２１１からステップ２３０を介しステップ２１０に至る処理が、ステップ２１１にてｋ＝６となるまで繰り返される。このような繰り返しの処理に伴い、残りのトリミング線７６〜７９の各々のトリミング処理、即ち、残りのトリミング線７６〜７９の各々を切断しない処理或いは切断する処理がなされる。然る後、ステップ２１１においてｋ＝ｋ＋１＝７と加算更新されると、ステップ２２０にてＮＯと判定される。
【００７４】
また、コンピュータプログラムがステップ２１０に進んだとき、当該ステップ２１０での判定がＮＯとなる場合には、変数ｋ＝０〜ｋ＝６にかけて、ステップ２１２（図６参照）にて、ステップ２１１における処理と同様に、変数ｋの加算更新処理が繰り返しなされる。ついで、ステップ２４０において、ｋの加算更新毎に、ステップ２２０における処理と同様に、ｋ≦ｎ＝６の成立の有無が判定される。そして、ステップ２４０での判定がＹＥＳとなる場合には、ステップ２４１において、Ｒk＝Ｒk-1とセットされる。ここで、ｋ＝１のときには、Ｒ1＝Ｒ0とセットされ、ｋ＝２のときには、Ｒ2＝Ｒ1とセットされ、・・・、ｋ＝６のときには、Ｒ6＝Ｒ5とセットされる。なお、ｋ＝７になると、ステップ２４０にてＮＯと判定される。
【００７５】
以上のように前駆体７０のトリミング処理がなされることで、前駆体７０の抵抗値が目標抵抗値Ｒａに調整される。このように抵抗値を調整した前駆体７０が、白金抵抗体２０として形成される。
【００７６】
このように前駆体７０をトリミング処理した後は、アルミナを主成分とする材料からなるペーストを、白金抵抗体２０、図１にて図示左側パッド３０の図示右側部及び図示右側パッド３０の図示左側部を覆うように、基板１０の表面１１上にスクリーン印刷して、接着層４０となるペースト層を形成する。ついで、保護層５０を当該ペースト層に押圧により積層する。然る後、このように保護層５０を積層してなる基板１０を焼成する。これにより、白金抵抗体式温度センサの製造が終了する。なお、上記ペースト層は、その焼成でもって、接着層４０となる。
【００７７】
以上にように製造が終了した当該温度センサにおいては、白金抵抗体２０が、上述のようなトリミングによる前駆体７０の抵抗値の調整でもって、目標抵抗値Ｒａを有するように形成されている。
【００７８】
ここで、前駆体７０は、上述のように、（１）〜（４）の前駆体条件を満たすように構成されている。従って、このような前駆体７０の抵抗値を、図５及び図６のフローチャートに従うトリミングによる抵抗値調整でもって目標抵抗値に調整することで、従来のような膨大なデータに依存することなく、前駆体７０の抵抗値を目標抵抗値に簡単に調整できる。
【００７９】
また、このような抵抗値調整を行うに要するコンピュータプログラムは、上述のように図５及び図６のフローチャートでもって特定されているので、当該コンピュータプログラムは、従来のような膨大なデータを不要としつつ、簡単に組むことができる。
【００８０】
ちなみに、本第１実施形態による抵抗値の合わせ込み（前駆体７０の抵抗値の目標抵抗値への調整）に対する評価をするために、上述した前駆体７０と実質的に同様の構成を有する前駆体を実施例として準備するとともに、２つの比較例（以下、比較例１及び比較例２という）を準備した。
【００８１】
但し、上記実施例において一般項αkの等比数列における公比を０．５９とする。そして、この実施例は、前駆体７０と実質的に同様に、上記トリミング装置でもって図５及び図６のフローチャートに従いトリミングされるように構成されている。
【００８２】
一方、比較例１としては、一般項αkの等比数列における公比を０．５０とする前駆体が採用される。従って、比較例１は、実開昭６３−１８７３０３号公報に記載の前駆体と同様に２nにて重み付けした抵抗パターンでもって構成されている。従って、比較例１のトリミングは、上記トリミング装置を用い、図５及び図６のフローチャートではなく、図７のフローチャートに従いなされる。
【００８３】
また、比較例２としては、一般項αkの等比数列における公比を０．５０とする前駆体が採用される。この比較例２のトリミングは、前駆体７０のトリミングと同様に、上記トリミング装置を用い、図５及び図６のフローチャートに従いなされる。従って、比較例２は、上記実施例とは、公比を異にするのみで、抵抗パターンを同一にする前駆体として構成される。なお、一般項αkにおいてｋ＝１、２、・・・、１０とし、目標抵抗値ＲａをＲａ＝２００（Ω）とし、下限抵抗値ＲｂをＲｂ＝１３３．３３（Ω）とする。
【００８４】
まず、比較例１のトリミングは、図７のフローチャートに従い次のようになされる。即ち、比較例１のトリミング開始前における抵抗値（モニター抵抗値Ｒ）が、Ｒｂ≦Ｒ≦Ｒａ−Ｃを満たすか否かがステップ３００において判定される。ここで、Ｃは、目標抵抗値Ｒａの許容誤差を表す。
【００８５】
しかして、Ｒｂ≦Ｒ≦Ｒａ−Ｃが成立とすると、ステップ３００にてＹＥＳと判定され
、次のステップ３１０において、比較例１におけるトリミング箇所（切断箇所）の決定処理がなされる。この決定処理では、切断箇所の決定が、２8個の組み合わせに基づきなされる。
【００８６】
ここで、当該組み合わせは、次のような膨大な数の組み合わせからなる。比較例１では複数の抵抗調整用パターンが２8個の重みの抵抗値で配列されている。従って、比較例１においてトリミング処理すべきトリミング箇所を決定する場合の当該トリミング箇所と初期抵抗値との組み合わせの数は、２8となる。
【００８７】
しかして、ステップ３１０において、比較例１における切断箇所が上述した２8個の組み合わせに基づき決定されると、この決定毎に、ステップ３２０において切断処理がなされる。この切断処理は、レーザ装置９０からのレーザビームでもってなされる。また、比較例２のトリミングは、上記実施例と同様に、図５及び図６のフローチャートに従いなされる。
【００８８】
ついで、上記実施例及び比較例１、２のトリミングによれば、図８の図表にて示す結果が得られた。この図８の図表において、トリミング箇所切断時の抵抗変化率は、切断前の抵抗値（初期抵抗値）と切断後の抵抗値との比率をいう。
【００８９】
この図８の図表によれば、各比較例１、２及び上記実施例において、トリミング箇所切断時の抵抗変化率の合計は、共に、０．４９８である。また、比較例１では、閾値の数が、２8−１＝２５５個と膨大な数となり、一方、比較例２では、閾値の数は８個である。また、上記実施例では、閾値の数は１０個である。
【００９０】
さらに、比較例１、比較例２及び上記実施例につき、トリミング開始前の抵抗値（初期抵抗値）と、トリミング終了後の抵抗値との関係をグラフにて表示したところ、図９〜図１１にて示すような結果となった。ここで、図９は、上記実施例に対するグラフを示し、図１０は、比較例１に対するグラフを示し、図１１は、比較例２に対するグラフを示す。
【００９１】
これらグラフを比較すれば、上記実施例及び比較例１は、共に、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが可能であることが分かる。但し、比較例１では、２8の組み合わせが、切断箇所の決定に必須であるため、閾値の数が２５５個と膨大な数に達する。従って、図７のフローチャートの構成、即ちコンピュータプログラムが複雑になるのは勿論のこと、上述のような膨大な数の組み合わせ、ひいては、膨大な数の閾値が必須となる。その結果、比較例１のトリミングを行うためのデータ作成に手間がかかる。
【００９２】
これに対し、上記実施例では、１０個の閾値を要するのみである。よって、図５及び図６のフローチャートの構成、即ちコンピュータプログラムが簡単になるのは勿論のこと、閾値の数も非常に少ないことから、上記実施例のトリミングを行うためのデータの作成が簡単に行える。
【００９３】
また、比較例２では、図１１のグラフによれば、トリミング後抵抗値が初期抵抗値の変化に対し大きく変動していることから分かるように、抵抗値を目標抵抗値Ｒａに合わせ込むことができない。
【００９４】
なお、本第１実施形態においては、前駆体７０がトリミング線を６本有する例について説明したが、これに限らず、上述した不等式（１）の成立を前提とすることを考慮すれば、トリミング線は、前駆体７０において少なくとも３本設けるようにすればよい。
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明すると、この第２実施形態では、前駆体条件は、一般的には、次のように設定されている。
（１）前駆体は、上記第１実施形態と同様に基板１０の表面１１上に形成される蛇行状の抵抗パターンを有すること。
（２）前駆体は、上記第１実施形態とは異なり、少なくとも２本のトリミング線を有すること。
（３）上記第１実施形態と同様に、数列の一般項をαkとすると上記不等式（１）にて示す不等式が成立すること。
（４）本第２実施形態では、上記第１実施形態とは異なり、上記数列が等比数列であることを要しないが、一般項αkが、次の等式（２）を満たすことが必要である。
【００９５】
ｋ
（１＋  Σαi）・（１＋αk）＝（１＋α1）2 ・・・（２）
ｉ＝１
ここで、等式（２）の根拠について、図１２〜図１７を参照して説明する。図１２は、１本目のトリミング線に対しトリミング処理（切断或いは非切断の処理）した後の抵抗値Ｒ１と初期抵抗値Ｒ0との関係を示す。本実施形態において、初期抵抗値Ｒ0は、トリミング開始前の値をいい、Ｒｂ≦Ｒ0≦Ｒａを満たすことを必要とする。当該関係において、抵抗値Ｒ1は、不連続な２本の線分で特定される。Ｒ0＜β1（図５のステップ２３０参照）が成立する場合には、当該１本目のトリミング線を切断する。一方、Ｒ0≧β1の場合には、当該１本目のトリミング線の切断は行わない。
【００９６】
また、抵抗値Ｒ1の最小値は、β1の値によって異なるが、以下の２通りの場合がある。即ち、初期抵抗値Ｒ0がβ1である場合には、Ｒ1＝β1の最小値Ｒ1minは、Ｒａ／（１＋α1）となる。また、初期抵抗値Ｒ0がＲｂである場合には、Ｒ0＜β1のもと、抵抗値Ｒ1の最小値Ｒ1minは、Ｒｂ・（１＋α1）となる。
【００９７】
そこで、抵抗値Ｒ1の最小値Ｒ1minのα1に対する依存性を示すと、図１３のようなグラフとなる。この図１３によれば、｛Ｒａ／（１＋α1）｝＝Ｒｂ（１＋α1）、即ち（１＋α1）2＝（Ｒａ／Ｒｂ）が成立するとき、α1は最適値であり、抵抗値Ｒ1の最小値Ｒ1minが最大となる（図１４参照）。
【００９８】
次に、図１５は、２本目のトリミング線に対しトリミング処理（切断或いは非切断の処理）した後の抵抗値Ｒ2と初期抵抗値Ｒ0との関係を示す。当該関係において、抵抗値Ｒ2は、図１５にて示すごとく、４本の不連続な線分で特定される。これら各線分の左端は、次の４通りとなる。即ち、
ａ．Ｒ0＝Ｒｂとなる点であって、このときの抵抗値Ｒ2の値は、Ｒ2a＝Ｒｂ（１＋α1＋α2）で与えられる。
【００９９】
ｂ．１本目のトリミング線を切断したときの抵抗値Ｒ1がβ2となる点であって、このときの抵抗値Ｒ2の値は、Ｒ2b＝β2＝Ｒａ／（１＋α2）で与えられる。
【０１００】
ｃ．初期抵抗値Ｒ0がβ1の場合、このときの抵抗値Ｒ2の値は、Ｒ2c＝｛Ｒａ／（１＋α1）｝・（１＋α2）で与えられる。
【０１０１】
ｄ．初期抵抗値Ｒ0がβ2のとき、このときの抵抗値Ｒ2の値は、Ｒ2d＝Ｒａ／（１＋α2）で与えられる。
【０１０２】
そこで、これらの値Ｒ2a、Ｒ2b、Ｒ2c、Ｒ2dに対し、（１＋α1）2＝（Ｒａ／Ｒｂ）を代入すると、
Ｒ2a＝｛Ｒａ／（１＋α1）2｝・（１＋α1＋α2）＝Ｒｂ・（１＋α1＋α2）
Ｒ2b＝Ｒａ／（１＋α2）＝｛Ｒｂ・（１＋α1）2｝／（１＋α2）
Ｒ2c＝｛Ｒａ／（１＋α1）｝・（１＋α2）＝Ｒｂ（１＋α1）・（１＋α2）
Ｒ2d＝Ｒａ／（１＋α2）＝｛Ｒｂ・（１＋α1）2｝／（１＋α2）
が得られる。
【０１０３】
ここで、明らかに、Ｒ2a＜Ｒ2cが成立するので、抵抗値Ｒ2の最小値Ｒ2minは、α2の値に応じて、
Ｒ2a＝Ｒ0／｛（１＋α1＋α2）・（１＋α1）2｝＝Ｒｂ／（１＋α1＋α2）、及び
Ｒ2d＝Ｒ0／（１＋α2）＝｛Ｒｂ・（１＋α1）2｝／（１＋α2）のいずれかとなる。
【０１０４】
そこで、抵抗値Ｒ２の最小値Ｒ2minであるＲ2a或いはＲ2dのα2に対する依存性を示すと、図１６にて示すグラフとして得られる。図１６から明らかなように、Ｒ2a＝Ｒ2dのとき、即ち、（１＋α2）・（１＋α1＋α2）＝（１＋α1）2のとき、抵抗値Ｒ2の最小値Ｒ2minが最も大きな値となる（図１７参照）。
【０１０５】
以下、同様に、Ｒｂ（１＋α1＋α2＋・・・＋αk）＝Ｒｂ＝Ｒａ／（１＋αk）のとき、即ち、
ｋ
（１＋  Σαi）・（１＋αk）＝Ｒａ／Ｒｂ＝（１＋α1）2
ｉ＝１
のときに、抵抗値Ｒkの最小値が最大値となる。以上より、本第２実施形態の前駆体７０の抵抗パターンは、上記等式（２）を満たす。
【０１０６】
また、トリミング線は、Ｒａ−Ｃ≦Ｒａ／（１＋αn）を満たす本数ｎだけ、前駆体７０に設けることを要する。これは、｛Ｒａ／（１＋αn）｝＜Ｒａ−Ｃとなる場合には、初期抵抗値Ｒ0が、｛Ｒａ／（１＋αn）｝＜Ｒ0＜Ｒａ−Ｃである前駆体の抵抗値をトリミング処理によってＲａ−Ｃ≦Ｒn≦Ｒａとなるように合わせ込むことが不可能となるためである。
【０１０７】
上述のようにｎを設定した場合、トリミング処理によりＲａ−Ｃ≦Ｒn≦Ｒａとなるようにするための初期抵抗値Ｒ0の範囲は、（Ｒａ−Ｃ）／（１＋Ｓn）≦Ｒａ／｛（１＋Ｓn）（１＋αn）｝＜Ｒ0≦Ｒａとなる。但し、（１＋Ｓn）＝（１＋α1＋α2＋・・・＋αn）である。
【０１０８】
なお、トリミング対象となる初期抵抗値の範囲について述べると、（Ｒａ−Ｃ）／（１＋Ｓn）≦Ｒ0≦Ｒａ／｛（１＋Ｓn）（１＋αn）｝＝Ｒｂの場合には、全トリミング線を切断することで、前駆体のトリミング後の抵抗値Ｒnを、（Ｒａ−Ｃ）≦Ｒn≦Ｒａ／（１＋αn）の範囲に合わせ込むことができる。
【０１０９】
また、Ｒａ／｛（１＋Ｓn）（１＋αn）｝＜Ｒ0≦Ｒａ／（１＋αn）の場合、或いは、Ｒａ／｛（１＋Ｓn）（１＋αn）｝＜Ｒ0＜（Ｒａ−Ｃ）の場合には、前駆体のトリミング後の抵抗値Ｒnを目標抵抗値の範囲Ｒａ／（１＋αn）≦Ｒ0≦Ｒａの範囲に合わせ込むことが可能である。
【０１１０】
上記第１実施形態にて述べたようにパターニング処理して形成した前駆体７０は、図３の所定の抵抗パターン及び６本のトリミング線を有することから、当該前駆体７０は、本第２実施形態の前駆体条件のうち（１）、（２）の条件を満たしている。
【０１１１】
また、本第２実施形態においても、前駆体７０の抵抗パターンは、上記第１実施形態と同様に、本第２実施形態の前駆体条件のうち（３）を満たしているものとする。さらに、本第２実施形態では、上記第１実施形態の前駆体７０の抵抗パターンは、本第２実施形態における前駆体条件のうち（４）を満たすように変更されているものとする。
【０１１２】
このように構成した本第２実施形態の前駆体７０に、上記第１実施形態と同様に、トリミング装置によりそのコンピュータ１０２によるコンピュータプログラム（図５及び図６のフローチャート参照）の実行でもって、トリミング処理を施せば、前駆体７０の抵抗値が目標抵抗値Ｒａに調整される。このように抵抗値を調整した前駆体７０が、白金抵抗体２０として形成される。
【０１１３】
これにより、本第２実施形態の前駆体７０を用いても、上記第１実施形態と同様の作用効果を達成し得る。
【０１１４】
ちなみに、本第２実施形態による抵抗値の合わせ込みに対する評価をするために、当該第２実施形態の前駆体と実質的に同様の構成を有する前駆体を実施例として準備した。この実施例に対しては、本第２実施形態の前駆体７０と同様のトリミング処理を施した。これによれば、図１８の図表にて示す結果が得られた。
【０１１５】
この図１８の図表及び上記第１実施形態にて述べた図８の図表によれば、上記各比較例１、２及び本第２実施形態の実施例において、トリミング箇所切断時の抵抗変化率の合計は、共に、０．４９８である。比較例１では、閾値の数が、２8−１＝２５５個と膨大な数となるのに対し、本第２実施形態の実施例では１０個である。
【０１１６】
さらに、本第２実施形態の実施例につき、トリミング開始前の抵抗値（初期抵抗値）と、トリミング終了後の抵抗値との関係をグラフにて表示したところ、図１９にて示すような結果となった。この図１９のグラフによれば、本第２実施形態の実施例は、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが可能であることが分かる。
（第３実施形態）
図２０〜図２５は、本発明の第３実施形態の要部を示している。この第３実施形態は、上記第１或いは第２の実施形態とは異なり次の事項を考慮して提案されている。
【０１１７】
即ち、上記第１或いは第２の実施形態にて述べたように、基板１０に形成される蛇行状抵抗パターン７１は、トリミング線の切断の際における抵抗変化率を目標の値にするように設計される。そして、この設計にあたり、上記第１或いは第２の実施形態にて述べた不等式（１）或いは等式（２）に含まれる一般項αkには、ばらつきが存在しないことを前提としている。
【０１１８】
しかし、実際には、抵抗パターン７１の幅や厚さにはばらつきが存在するとともに、当該抵抗パターン７１のパターン精度にもばらつきが存在する。従って、上述した一般項αkには、実際には、ばらつきが存在し、上述した抵抗変化率にも、抵抗素子毎に、ばらつきが存在することが分かった。
【０１１９】
よって、上述したトリミング線の切断の際には、抵抗値の増加方向でしか調整し得ないことから、上述のようなばらつきを考慮しなければ、当該トリミング線の切断後において、抵抗値が目標範囲を超えて大きくなってしまうことがある。
【０１２０】
これに対する対策としては、トリミング線の切断箇所の決定の際に用いる抵抗変化率の値を、そのばらつきを考慮して、大き目にするか、トリミングの切断処理後の目標抵抗値を小さ目にすることが望ましい。
【０１２１】
そこで、本第３実施形態では、一般項αkのばらつきがトリミング線のトリミング箇所切断時の抵抗変化率にどのような影響を与えるかにつき検討してみた。
【０１２２】
この検討にあたり、実施例１〜実施例５及び比較例１〜比較例４を準備した。ここで、実施例１は、上記第１実施形態にて述べた実施例と同一である。また、実施例２は、上記第２実施形態にて述べた実施例と同一である。また、比較例１及び比較例２は、それぞれ、上記第１実施形態にて述べた比較例１及び比較例２と同一である。従って、実施例１及び実施例２並びに上記比較例１及び比較例２では、一般項αkのばらつきは考慮されていない。
【０１２３】
また、上述した実施例３〜実施例５は、上記第１或いは第２の実施形態にて述べた前駆体７０とはトリミング線を異にする点を除き、当該前駆体７０と実質的に同様の構成を有する前駆体としてそれぞれ準備した。ここで、上記第１或いは第２の実施形態にて述べた前駆体７０のトリミング線は６本であるのに対し、実施例３及び実施例４のトリミング線は８本であり、実施例５のトリミング線は１０本である。
【０１２４】
但し、実施例３においては、上記第１実施形態にて述べた等比数列における不等式（１）の一般項αkの公比を０．５９とする。また、実施例４及び実施例５では、一般項αkが上記第２実施形態にて述べた等式（２）を満たすものとする。
【０１２５】
そして、実施例３〜実施例５は、上記第１実施形態にて述べたトリミング装置でもって図５及び図６のフローチャートに従いトリミングされるように構成されている。
【０１２６】
また、比較例３及び比較例４は、それぞれ、上記第１実施形態にて述べた比較例１及び比較例２と同様の構成を有する前駆体である。
【０１２７】
但し、比較例３においては、上記第１実施形態にて述べた等比数列における不等式（１）の一般項αkの公比を０．５０とする。そして、この比較例３は、上記第１実施形態にて述べたトリミング装置でもって図５及び図６のフローチャートに従いトリミングされるように構成されている。
【０１２８】
また、比較例４においては、比較例３と同様に、上記第１実施形態にて述べた等比数列における不等式（１）の一般項αkの公比を０．５０とする。そして、この比較例４は、上記第１実施形態にて述べたトリミング装置でもって図７のフローチャートに従いトリミングされるように構成されている。
【０１２９】
また、実施例３〜実施例５並びに比較例３及び比較例４では、上記第１実施形態と同様に、目標抵抗値Ｒａを２００（Ω）とし、初期抵抗値の下限値Ｒｂを１３３．３（Ω）とする。
【０１３０】
しかして、実施例３〜実施例５及び比較例３を、それぞれ、上記第１実施形態にて述べたトリミング装置でもって図５及び図６のフローチャートに従いトリミングするとともに、比較例４を、上記第１実施形態にて述べたトリミング装置でもって図７のフローチャートに従いトリミングしたところ、図２０の図表で示す結果が得られた。
【０１３１】
この図表において、トリミング箇所切断時の抵抗変化率は、上記第１実施形態にて述べたと同様に、切断前の抵抗値（初期抵抗値）と切断後の抵抗値との比率をいう。また、本第３実施形態では、上記第１実施形態にて述べたαkのばらつき範囲を考慮して、複数のαkの平均値を、改めてαkとする。例えば、本第３実施形態にいうα1は、上記第１実施形態にて述べたα1のばらつき範囲を考慮して、複数のα1の平均値とする。
【０１３２】
また、図２０の図表において、トリミング後の抵抗値が目標抵抗値Ｒａを超えないようにするために、トリミング線の切断箇所の決定の際には、本第３実施形態にいうαkに代えて、当該αkに３σkを加算した値を採用する。ここで、σkは、本第３実施形態にいうαkの標準偏差を表す。
【０１３３】
また、図２０の図表において、本第３実施形態にいうαkのばらつき範囲の値の低い場合の例として、すべてのトリミング線において、本第３実施形態にいうαkに代えて、当該αkから３σkを減算した値を採用する。
【０１３４】
従って、上述した実施例３〜実施例５並びに比較例３及び比較例４では、一般項αkのばらつきが考慮されていることが分かる。
【０１３５】
また、図２０の図表をもとに、実施例３〜実施例５並びに比較例３及び比較例４に関し、トリミング開始前の抵抗値（初期抵抗値）とトリミング終了後の抵抗値との関係をグラフにて表示したところ、図２１〜図２５に示すような結果が得られた。
【０１３６】
ここで、図２１は、実施例３に対するグラフを示し、図２２は実施例４に対するグラフを示し、また、図２３は実施例５に対するグラフを示す。また、図２４は比較例３に対するグラフを示し、図２５は比較例４に対するグラフを示す。
【０１３７】
これらグラフのうち、図２１のグラフ（実施例３に対応）を上記第１実施形態にて述べた図９のグラフ（実施例１に対応）と比較してみる。ここで、図９のグラフは、上記第１実施形態の記載から分かるように、一般項αkのばらつきを考慮しないことを前提として、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが可能であることを示す。
【０１３８】
これに対し、図２１のグラフは、一般項αkのばらつきを考慮した上でも、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが可能であることを示す。
【０１３９】
また、図２２のグラフ（実施例４に対応）及び図２３のグラフ（実施例５に対応）を上記第２実施形態にて述べた図１９（実施例２に対応）と比較してみる。ここで、図１９のグラフは、上記第２実施形態の記載から分かるように、一般項αkのばらつきを考慮しないことを前提として、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが可能であることを示す。
【０１４０】
これに対し、図２２及び図２３の各グラフは、一般項αkのばらつきを考慮した上でも、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが可能であることを示す。
【０１４１】
また、図２３のグラフでは、図２２のグラフに比較してトリミング後の抵抗値の変動が少ないが、これは、実施例５におけるトリミング線の本数（１０本）が上記実施例１におけるトリミング線の本数（８本）よりも多いためである。このことは、トリミング線の本数が多い程、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが容易になることを示す。
【０１４２】
また、図２４（比較例３に対応）を上記第１実施形態にて述べた図１１のグラフ（比較例２に対応）と対比してみる。ここで、図１１のグラフは、一般項αkのばらつきを考慮しないことを前提としてはいるが、上記第１実施形態にて述べたように、トリミング後抵抗値が初期抵抗値の変化に対し大きく変動しているため、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことができない。
【０１４３】
これに対し、図２４のグラフでは、一般項αkのばらつきを考慮したために、トリミング後抵抗値が、図１１のグラフよりも、初期抵抗値の変化に対し幾分大きく変動している。従って、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことはより一層不可能となっている。
【０１４４】
また、図２５のグラフ（比較例４に対応）を上記第１実施形態にて述べた図１０のグラフ（第１比較例に対応）と対比してみる。ここで、図１０のグラフは、上記第１実施形態の記載から分かるように、一般項αkのばらつきを考慮しないことを前提として、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが可能であることを示す。
【０１４５】
これに対し、図２５のグラフでは、一般項αkのばらつきを考慮したために、トリミング後抵抗値が初期抵抗値の変化に対し大きく変動していることが分かる。従って、実際には、一般項αkのばらつきがあることを考慮すれば、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことができない場合がある。
【０１４６】
図２５のグラフ（比較例４に対応）についてさらに言及すれば、図２５のグラフを図２１及び図２２の各グラフ（実施例３及び実施例４に対応）と対比してみると、図２５のグラフでは、初期抵抗値が低い場合において、図２１及び図２２の各グラフよりも、トリミング後抵抗値が低い。これは、トリミング線の抵抗変化率のばらつきが相殺されることなく加算されるためである。なお、トリミング線を増やすことで、抵抗変化率の小さいトリミング線を設けても、抵抗調整の精度はあまり向上しない。
【０１４７】
以上説明したことから明らかなように、本第３実施形態では、実施例３〜実施例５に関しては、一般項αkのばらつきを考慮しても、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが可能であることが分かる。このことは、結果として、上記第１或いは第２の実施形態における実施例のように一般項αkのばらつきを考慮しなくても変わりがないといえる。
【０１４８】
換言すれば、上記第１或いは第２の実施形態にて述べたと同様に、トリミング線を１本切断する毎（或いは非切断のまま毎）に、抵抗パターン７１の抵抗値を測定して、次のトリミング線を切断するか否かを当該トリミング線に対する閾値（βk）に基づいて決定するため、トリミング線の切断時の抵抗変化率の抵抗素子毎のばらつき、即ち、抵抗素子毎の一般項αkのばらつきが吸収される。従って、トリミング調整のみでも、比較的高精度にて、抵抗値を目標の範囲に合わせ込むことが可能となる。
【０１４９】
また、本第３実施形態のように、一般項αkのばらつきを考慮すべき場合であっても、一定の規則に従いトリミング線の本数を増やす程、換言すれば、抵抗値変化量の小さいトリミング線を設ける程、トリミング調整後の抵抗値分布範囲を狭くすることができる。
【０１５０】
従って、梯子状抵抗パターンであればそのトリミングは不要となり、かつ、アナログトリミングが不要となるか或いはトリミング調整量を低減することができる。その結果、抵抗素子の小型化、トリミング処理時間の短縮や抵抗値の誤差の低減が可能となる。また、これらのことが、コストの抑制、歩留まりの向上や熱応答性の向上につながる。その他の構成及び作用効果は上記第１或いは第２の実施形態と同様である。
【０１５１】
なお、本発明の実施にあたり、上記各実施形態に限ることなく、次のような種々の変形例が挙げられる。
（１）温度センサの白金からなる白金抵抗体２０に限ることなく、各種の抵抗材料からなる抵抗体その他の抵抗素子を基板１０の表面１１上に形成するようにしてもよい。この場合、当該抵抗素子の前駆体を上記各実施形態のいずれかにて説明した前駆体７０でもって構成すれば、当該各実施形態のいずれかと同様の作用効果が達成され得る。
（２）前駆体７０の抵抗パターン形状は、上記各実施形態にて述べた形状に限ることなく、蛇行状に形成した抵抗パターン形状であればよい。
（３）前駆体７０のトリミング線の形状は、線状に限ることなく、前駆体７０の各対の両中間部位毎に、両中間部位を短絡する形状であればよい。
（４）前駆体７０のトリミング線は、一般には、前駆体７０の各対の両中間部位毎に、両中間部位を短絡する短絡部であればよい。
（５）前駆体７０の目標抵抗値を本来の値よりも低めに設定しておき、前駆体のトリミングの最後に、前駆体に予め設けた梯子状パターンやアナログトリミングパターン部をトリミングすることで、前駆体の抵抗値を上記本来の値に合わせ込むようにしてもよい。
（６）トリミング線の切断を行うか否かを、トリミング処理前の抵抗値が閾値未満であるか否かによって判定することに代えて、トリミング処理前の抵抗値が当該閾値以下であるか否かによって、判定するようしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１５２】
【図１】本発明を適用した第１実施形態を示す断面図である。
【図２】図１の温度センサの製造工程の一部を示す部分破断平面図である。
【図３】図１の温度センサの抵抗素子の形成のために用いられる前駆体の平面図である。
【図４】図３の基板上の前駆体のためのトリミング装置を示すブロック図である。
【図５】図４のコンピュータの作用を示すフローチャートの一部である。
【図６】図４のコンピュータの作用を示すフローチャートの一部である。
【図７】上記第１実施形態における比較例１にトリミング処理を施すためにコンピュータにより実行されるフローチャートである。
【図８】上記第１実施形態における実施例、第１比較例及び第２比較例のトリミング箇所切断時の抵抗変化率をαk（ｋ＝１〜１０）との関係において示す図表である。
【図９】上記第１実施形態における前駆体の実施例のトリミング後抵抗値と初期抵抗値との関係を示すグラフである。
【図１０】上記実施形態における比較例１のトリミング後抵抗値と初期抵抗値との関係を示すグラフである。
【図１１】上記第１実施形態における比較例２のトリミング後抵抗値と初期抵抗値との関係を示すグラフである。
【図１２】本発明の第２実施形態において数列の項α1が最適化されていない段階での抵抗値Ｒ1と初期抵抗値Ｒ0との関係を示すグラフである。
【図１３】上記第２実施形態において抵抗値Ｒ1の最小値Ｒ1minが数列の項α1の値に応じてどのように変化するかについて示すグラフである。
【図１４】上記第２実施形態における抵抗値Ｒ1と初期抵抗値Ｒ0との関係を示すグラフである。
【図１５】上記第２実施形態において数列の項α1が最適化され数列の項α2が最適化されていない場合の抵抗値Ｒ2と初期抵抗値Ｒ0との関係を示すグラフである。
【図１６】上記第２実施形態において数列の項α1が最適化されている場合の抵抗値Ｒ2の最小値Ｒ2minが数列の項α2の値に応じてどのように変化するかについて示すグラフである。
【図１７】上記第２実施形態において数列の項α1、α2が最適化されている場合の抵抗値Ｒ2と初期抵抗体Ｒ0との関係を示すグラフである。
【図１８】上記第２実施形態における実施例のトリミング箇所切断時の抵抗変化率を、αk（ｋ＝１〜１０）との関係において示す図表である。
【図１９】上記第２実施形態の実施例のトリミング後抵抗値と初期抵抗値との関係を示すグラフである。
【図２０】本発明の第３実施形態における実施例１〜実施例５及び比較例１〜比較例４のトリミング箇所切断時の抵抗変化率をαk（ｋ＝１〜１０）或いはαk及びαk±３σkとの関係において示す図表である。
【図２１】上記第３実施形態における実施例３のトリミング後抵抗値と初期抵抗値との関係を示すグラフである。
【図２２】上記第３実施形態における実施例４のトリミング後抵抗値と初期抵抗値との関係を示すグラフである。
【図２３】上記第３実施形態における実施例５のトリミング後抵抗値と初期抵抗値との関係を示すグラフである。
【図２４】上記第３実施形態における比較例３のトリミング後抵抗値と初期抵抗値との関係を示すグラフである。
【図２５】上記第３実施形態における比較例４のトリミング後抵抗値と初期抵抗値との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【０１５３】
１０…基板、７０…前駆体、７１…抵抗パターン、７４〜７９…トリミング線、
１０２…コンピュータ。
【図１】
2006005334.tif 000003
【図２】
2006005334.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2006005334.tif 000007
【図６】
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【図７】
2006005334.tif 000009
【図８】
2006005334.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2006005334.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2006005334.tif 000017
【図１６】
2006005334.tif 000018
【図１７】
2006005334.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2006005334.tif 000021
【図２０】
2006005334.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
2006005334.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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