(57)【要約】【課題】半導体・液晶等の分野の製造装置に使用される低アウトガス対策が施されているＯリング等のエラストマ製品を輸送段階で外部環境より受ける影響を排除し、安価にアウトガスの原因となる空気中の水分若しくはその他の様々なガス成分が付着することを防止することができるエラストマ製品の包装方法を提供する。【解決手段】低アウトガス対策が施されたエラストマ製品、若しくは低アウトガス対策を施されたエラストマ製品が真空で封入されている包装容器を、不活性ガスが充填されている他の包装容器内に封入する包装方法とした。【特許請求の範囲】
【請求項１】
低アウトガス対策が施されたエラストマ製品を不活性ガスが充填されている包装容器内に封入することを特徴とするエラストマ製品の包装方法。
【請求項２】
低アウトガス対策を施されたエラストマ製品が真空で封入されている包装容器を不活性ガスが充填されている他の包装容器内に封入することを特徴とするエラストマ製品の包装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に半導体、液晶分野および真空ポンプ分野で使用されるシール部品等の部品に用いられ、その他ハードディスク装置等を製造する精密機器及び電子機器分野等で使用されるシール部品等の部品に用いられるエラストマ製品の包装方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体及び液晶分野の製造装置に使用されるＯリング等のエラストマ製ゴム製品は、有機材料特有の放出ガス（アウトガス）を嫌い、真空条件下で使用される場合が多い。そのため、輸送時にアウトガスが付着、吸収されるのを防止する包装の必要があり、一般的にエラストマ製ゴム製品の場合、低アウトガス対策を実施したものを専用ビニル樹脂製包装袋若しくはアルミ製包装袋にヒートシールした状態で包装している。
【０００３】
ところが、半導体及び液晶分野の中でも特に露光装置及び描画装置に使用されるＯリングにおいては、装置の機能上、Ｏリングに付着、吸収される空気中に含まれる僅かな水分レベルのアウトガスでさえ懸念される。そのため、専用ビニル樹脂製包装袋若しくはアルミ製包装袋内にＯリングを挿入後に袋内の空気を抜き取り封入する真空包装を実施している。
【０００４】
しかしながら、真空包装を実施した場合であっても、ビニル樹脂袋包装であると包装袋を透過して空気中の水分若しくはその他の様々なガス成分がＯリングに付着、吸収するため、出荷後の外部環境により大きな影響を受けるという問題点があった。また、アルミ袋包装であると空気中の水分若しくはその他の様々なガス成分の透過を遮断することはできるが、アルミ包装袋は高価であるためにランニングコストが嵩むとの問題点を有していた。
【０００５】
また、下記文献には、収納された製品の酸化防止を目的として包装袋内へ製品を収納した後に包装袋内に不活性ガスを封入して密封することが開示されているが、本願とは目的を異にしている。
【０００６】
【特許文献１】特許第２５３９０９３号公報
【特許文献２】特開２００２−２３８５２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は前記の課題を解決されるためになされたものであって、半導体・液晶等の分野の製造装置に使用される低アウトガス対策が施されているＯリング等のエラストマ製品を輸送段階で外部環境より受ける影響を排除し、安価にアウトガスの原因となる空気中の水分若しくはその他の様々なガス成分が付着することを防止することができるエラストマ製品の包装方法を提供することを目的とする。
本発明は前記の課題を解決されるためになされたものであって、半導体・液晶等の分野の製造装置に使用される低アウトガス対策が施されているＯリング等のエラストマ製品を輸送段階での外部環境より受ける影響を排除して安価に、包装前の状態を維持することができるエラストマ製品の包装方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に係るエラストマ製品の包装方法は、低アウトガス対策が施されたエラストマ製品を不活性ガスが充填されている包装容器内に封入することを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の請求項２に係るエラストマ製品の包装方法は、低アウトガス対策を施されたエラストマ製品が真空で封入されている包装容器を不活性ガスが充填されている他の包装容器内に封入することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、以下の効果を奏する。
【００１１】
上記構成を備えた本発明の請求項１に係るエラストマ製品の包装方法は、低アウトガス対策が施されたエラストマ製品を不活性ガスが充填されている包装容器内に封入するので、包装容器内に封入されたエラストマ製品は、空気とは接触せずに不活性ガスのみに覆われることになり、空気中に存在する僅かな水分若しくはその他の様々なガス成分が低アウトガス対策を施したエラストマ製品に付着、吸収するのを防止することができる。したがって、出荷後の外部環境より受ける影響を排除し安価に、包装前の状態を維持することができる。
【００１２】
請求項２に係るエラストマ製品の包装方法は、低アウトガス対策が施されたエラストマ製品が真空で封入されている包装容器内を不活性ガスが充填されている他の包装容器内に封入するので、エラストマ製品が真空で封入されている包装容器は不活性ガスで覆われることになる。したがって、エラストマ製品が真空で封入されている包装容器を空気が透過することはなく、空気中に存在する僅かな水分若しくはその他の様々なガス成分が低アウトガス対策を施したエラストマ製品に付着、吸収するのを防止することができる。更に、包装容器内に真空で封入されているエラストマ製品を複数まとめて不活性ガスが充填されている他の包装容器に封入することができるので、ランニングコストを低く抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の好適な実施の形態を例示して説明する。ただし、この発明の範囲は、特に限定的記載がないかぎりは、この実施の形態に記載されている内容に限定する趣旨のものではない。
【００１４】
本発明に使用される包装袋の材質としては、熱可塑性樹脂からなる材質が用いられ、通常は、専用ビニル樹脂が用いられる。
【００１５】
先ず初めに、シールを目的として使用されるエラストマ製ゴム製品であるゴム状弾性体のＯリングに、低アウトガス対策を実施する。
【００１６】
次に、専用ビニル樹脂製包装袋内の空気を真空・不活性ガス置換方法、若しくは不活性ガスフラッシュ方法にて不活性ガスに置換、充填した後に、その中に低アウトガス対策が施されたＯリングを封入する。
【００１７】
ここで、真空・不活性ガス置換方法とは、包装袋内の空気を一旦バキュームにより真空にし、包装袋内の脱気を行なった後に不活性ガスを包装袋内に吹き込む方法をいう。また、不活性ガスフラッシュ方法とは、包装袋内の空気を脱気せずに直接不活性ガスを包装袋内に吹き付けて包装袋内の空気をガスに置換する方法をいう。
【００１８】
真空・不活性ガス置換方法、若しくは不活性ガスフラッシュ方法に使用する不活性ガスとしては、アルゴンガス、窒素ガスまたはヘリウムガス等が使用される。
【００１９】
上記の実施例においては、不活性ガスが充填された専用ビニル樹脂製包装袋にＯリングを直接収納したが、Ｏリングを内側包装袋内に真空で封入し、更に、Ｏリングが真空で封入されている内側包装袋を不活性ガスが充填されている外側包装袋内に収納しても良い。
【００２０】
即ち、低アウトガス対策が施されたＯリングを専用ビニル樹脂製内側包装袋内に収納した後に、内側包装袋内の空気をバキュームし真空で封入する真空包装を行なう。
【００２１】
次いで、専用ビニル樹脂製外側包装袋内の空気を上記と同様に真空・不活性ガス置換方法、若しくは不活性ガスフラッシュ方法にて不活性ガスに置換、充填した後に、その中にＯリングが真空で封入されている専用ビニル樹脂製内側包装袋内を封入する。なお、内側包装袋および外側包装袋に使用される材質としては、専用ビニル樹脂で説明したが、それ以外の熱可塑性樹脂の材質を使用しても良い。
【００２２】
なお、上記実施例においては、包装袋にて説明したが、包装の形態はどのようなものであっても良く、包装容器等であっても良い。
【００２３】
上記方法によりＯリングを包装した場合、包装袋内に充填された不活性ガスでＯリングの周囲は覆われることになり空気とは接触しないので、アウトガスの原因になる空気中に存在する僅かな水分若しくはその他の様々なガス成分がＯリングに付着するのを防止することが可能となる。
【００２４】
更に、Ｏリングが真空包装されている内側包装袋が外側包装袋内に充填された不活性ガスで周囲を覆われている場合には、内側包装袋は空気とは接触しないので、内側包装袋を空気が透過することはなく、したがって、空気に含まれるアウトガスの原因になる僅かな水分若しくはその他の様々なガス成分が内側包装袋を透過してＯリングに付着するのを防止することが可能となる。