(57)【要約】【課題】  ワイヤソーと加工液との協働のもとに被加工材の切断を行うに際し、その切断部に対する十分な加工液の供給を維持して、同被加工材のより安定した、しかもより効率の高い切断を可能とする。【解決手段】  有底筒状からなる加工槽３０の底部に被加工材２０を固定した状態で加工槽３０内に加工液３３を充填する。この加工液３３が充填された加工槽３０の対向する２つの側壁板４０をワイヤ１０により重力方向上方から下方へ切断しつつ、加工槽３０内に固定された被加工材２０を切断する。この際、走行するワイヤ１０の重力方向下方への移動に伴い側壁板４０の各板面に沿ってスライド可能な遮蔽板５１ａを側壁板４０の切断部を順次塞ぐ態様でスライドさせつつ被加工材２０の切断を行う。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有底筒状からなる加工槽の底部に被加工材を固定した状態で加工槽内に加工液を充填し、この加工液が充填された加工槽の対向する２つの側壁板をワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に基づき切断しつつ、前記加工槽内に固定された被加工材を切断するワイヤソーによる被加工材の切断方法であって、
前記ワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に伴い前記被加工材と共に切断される前記２つの側壁板の各板面に沿ってスライド可能な遮蔽板を用い、前記側壁板の切断部を前記遮蔽板によって順次塞ぐ態様で前記被加工材の切断を行う
ことを特徴とするワイヤソーによる被加工材の切断方法。
【請求項２】
前記遮蔽板を前記ワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に連動させてスライドさせる
請求項１に記載のワイヤソーによる被加工材の切断方法。
【請求項３】
前記遮蔽板の重力方向下端が前記ワイヤソーの上に載置される態様で同遮蔽板を前記側壁板の各板面にセットし、前記ワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に際し、遮蔽板自身の自重に基づいて同遮蔽板を前記側壁板の各板面に沿ってスライドさせる
請求項１に記載のワイヤソーによる被加工材の切断方法。
【請求項４】
前記遮蔽板を、前記側壁板の加工槽内側の板面に沿ってスライド可能にセットする
請求項１〜３のいずれか一項に記載のワイヤソーによる被加工材の切断方法。
【請求項５】
前記遮蔽板を、前記側壁板の加工槽外側の板面に沿ってスライド可能にセットする
請求項１〜３のいずれか一項に記載のワイヤソーによる被加工材の切断方法。
【請求項６】
前記側壁板には前記遮蔽板をスライドさせるためのガイド部材を設けておき、このガイド部材により案内されるかたちで前記遮蔽板をスライドさせる
請求項１〜５のいずれか一項に記載のワイヤソーによる被加工材の切断方法。
【請求項７】
前記遮蔽板の重力方向下端に前記ワイヤソーとの当接に伴って回転するローラ部材を設けておく
請求項１〜６のいずれか一項に記載のワイヤソーによる被加工材の切断方法。
【請求項８】
前記ワイヤソーにより前記被加工材の切断を開始した後、前記加工液の充填された加工槽の開口面を蓋によって塞ぐようにした
請求項１〜７のいずれか一項に記載のワイヤソーによる被加工材の切断方法。
【請求項９】
前記ワイヤソーにより前記被加工材の切断を開始した後、同被加工材をその切断が済んでいる重力方向上部から押さえ板によって押さえるようにした
請求項１〜８のいずれか一項に記載のワイヤソーによる被加工材の切断方法。
【請求項１０】
有底筒状からなる加工槽の底部に被加工材を固定した状態で加工槽内に加工液を充填し、この加工液が充填された加工槽の対向する２つの側壁板をワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に基づき切断しつつ、前記加工槽内に固定された被加工材を切断するワイヤソー切断装置であって、
前記ワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に伴い前記被加工材と共に切断される前記２つの側壁板の各板面に沿ってその切断部を順次塞ぐ態様でスライド可能な遮蔽板を備える
ことを特徴とするワイヤソー切断装置。
【請求項１１】
前記遮蔽板は、前記ワイヤソーと加工槽とを重力方向に相対移動させる機構に連結されてなり、この機構による前記ワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に連動してスライドするものである
請求項１０に記載のワイヤソー切断装置。
【請求項１２】
前記遮蔽板は、その重力方向下端が前記ワイヤソーの上に載置され、該ワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に伴い、自重によって前記側壁板の各板面に沿いつつ相対的にスライドするものである
請求項１０に記載のワイヤソー切断装置。
【請求項１３】
前記遮蔽板は、前記側壁板の加工槽内側の板面に沿ってスライド可能に設けられてなる
請求項１０〜１２のいずれか一項に記載のワイヤソー切断装置。
【請求項１４】
前記遮蔽板は、前記側壁板の加工槽外側の板面に沿ってスライド可能に設けられてなる
請求項１０〜１２のいずれか一項に記載のワイヤソー切断装置。
【請求項１５】
前記被加工材と共に切断される２つの側壁板には前記遮蔽板のスライドをガイドするガイド部材が設けられてなる
請求項１０〜１４のいずれか一項に記載のワイヤソー切断装置。
【請求項１６】
前記遮蔽板は、その重力方向下端に前記ワイヤソーとの当接に伴って回転するローラ部材を備えてなる
請求項１０〜１５のいずれか一項に記載のワイヤソー切断装置。
【請求項１７】
前記ワイヤソーによる前記被加工材の切断時に前記加工液の充填された加工槽の開口面を塞ぐための蓋をさらに備える
請求項１０〜１６のいずれか一項に記載のワイヤソー切断装置。
【請求項１８】
前記ワイヤソーによる前記被加工材の切断時に同被加工材の重力方向上部を押さえるための押さえ板をさらに備える
請求項１０〜１７のいずれか一項に記載のワイヤソー切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば水晶や炭化珪素、シリコンなどの脆性材料や半導体材料をウエハ状に切断するワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、ワイヤおよび加工液（スラリーと称される油に砥粒を混ぜた液体）を使用して被加工材を切断するワイヤソー切断装置によれば、外周刃切断や内周刃切断などのブレードを使用して被加工材を切断する切断装置によるよりも、小さな切り代でその切断が可能である。このようなワイヤソー切断装置として一般に知られている装置の一例を、図７（ａ）および（ｂ）に示す。
【０００３】
同図７（ａ）に示されるように、この装置にあって、ワイヤ１１０はワイヤ用ローラ１１２ａ〜１１２ｃに所定の間隔で巻き掛けられており、このうちのワイヤ用ローラ１１２ａがモータ１１３により回転駆動されることによって、ワイヤ１１０が図中に矢指する態様で移動（走行）する。また、ワイヤ用ローラ１１２ｂと１１２ｃとの間で複数列に巻き掛けられたワイヤ１１０の下方には、上述した脆性材料や半導体材料等からなる被加工材１２０が台座１２１に接着剤で固定された状態で固定台１２２ａによって昇降可能に支持されている。他方、図７（ｂ）に示されるように、被加工材１２０は台座１２１および固定台１２２ａと共々、加工液１３３で満たされた加工槽１３０ａに浸漬されており、ワイヤ１１０は、該加工槽１３０ａの上端からわずかに離隔した定位置を水平に、モータ１１３により往復走行可能になっている。そして、被加工材１２０を切断するに際してはまず、配管１３１から加工液供給口１３２を介して加工槽１３０ａに加工液１３３が供給される。これにより加工液１３３の液面ＦＳ１が上昇し、該加工液１３３が加工槽１３０ａから溢れ出る状態となることで、上述のように走行するワイヤ１１０も該加工液１３３によって浸漬されるようになる。この状態で固定台１２２ａを上昇させて被加工材１２０を走行中のワイヤ１１０に圧接させることで、該ワイヤ１１０と加工液１３３との協働により被加工材１２０の切断が開始される。
【０００４】
ところで、このような切断メカニズムによると、上述のように切断にかかる切り代は小さく抑えることができるものの、配管１３１から加工液１３３を大量に供給して、その液面ＦＳ１を加工槽１３０ａの上端から常に高く盛り上げておく必要があり、上記加工液１３３の供給量、すなわち消費量が無視できないものとなる。
【０００５】
そこで従来は、上記被加工材１２０の溝、すなわち切断部に加工液を十分に供給しつつ、その消費を抑制すべく、例えば特許文献１に記載の装置なども提案されている。この装置の概要を図８（ａ）および（ｂ）に示す。
【０００６】
これら図８（ａ）および（ｂ）に示されるように、この装置では基本的に、被加工材１２０を台座１２１と共々、加工槽１３０ｂの底面に固定しておき、ワイヤ１１０の方を、その走行状態を維持しつつ、被加工材１２０の切断方向に移動させるようにしている。すなわちこの装置では、特に図８（ｂ）に拡大斜視図として示すように、被加工材１２０の切断に際し、加工槽１３０ｂを構成する側壁板１４０を併せて切断していくことによって、切断中における加工液１３３の加工槽１３０ｂからの漏出を最小限にとどめるようにしている。
【特許文献１】特開２００２−５２４５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、加工槽に切断用の側壁板を備え、この側壁板を被加工材と共々ワイヤによって切断していくことにより、加工槽からの加工液の漏出を低減しつつ、被加工材の切断部に加工液を供給することは確かにできる。
【０００８】
しかしこの装置であれ、上記ワイヤ１１０には少なからずたわみが生ずることから、例えば図９（ａ）に示されるように、切断された側壁板１４０の溝の方が被加工材１２０の切断部よりも低くなり、結果として、加工液１３３の液面ＦＳ２が該切断部よりも低くなって、加工液１３３を切断部に供給できなくなるおそれがある。また、このようなワイヤソー切断装置にあって、上記ワイヤ１１０は通常、毎分数百メートルという速さで往復移動するため、加工槽１３０ｂ内の加工液１３３には、例えば図９（ｂ）に示される態様で常に揺れが発生している。このため加工液１３３の液面ＦＳ２が安定せずに、これによっても加工液１３３を被加工材１２０の切断部に十分に供給できなくなるおそれがある。
【０００９】
この発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、ワイヤソーと加工液との協働のもとに被加工材の切断を行うに際し、その切断部に対する十分な加工液の供給を維持して、同被加工材のより安定した、しかもより効率の高い切断を可能とするワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
こうした目的を達成するため、請求項１あるいは請求項１０に記載の発明では、有底筒状からなる加工槽の底部に被加工材を固定した状態で加工槽内に加工液を充填し、この加工液が充填された加工槽の対向する２つの側壁板をワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に基づき切断しつつ、同加工槽内に固定された被加工材を切断するワイヤソーによる被加工材の切断方法あるいはワイヤソー切断装置として、前記ワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に伴い前記被加工材と共に切断される２つの側壁板の各板面に沿ってその切断部を順次塞ぐ態様でスライド可能な遮蔽板を備え、この遮蔽板によってその切断部を順次塞ぎつつ被加工材の切断を行うこととしている。
【００１１】
これにより、被加工材と共に切断される２つの側壁板の切断部（溝）を通じた加工液の加工槽からの漏出が上記遮蔽板によって好適に抑制もしくは制限され、ワイヤソーによる上記被加工材の切断が進行しても、加工槽内の加工液の液位は、同被加工材の切断に必要とされる十分な液位に保たれるようになる。すなわち、被加工材の切断部およびワイヤソーの双方が共に加工液中に侵漬される状態に維持されるため、被加工材のより安定した、しかもより効率の高い切断が可能となる。なおこのことは、被加工材の切断精度が前述した従来の装置並でもよい場合には、その切断速度を大幅に高めることができるようになることをも意味する。
【００１２】
またこの場合、例えば請求項２あるいは請求項１１に記載の切断方法あるいは切断装置によるように、
（イ）前記遮蔽板をワイヤソーと加工槽とを重力方向に相対移動させる機構に連結させ、該機構によるワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に連動させて同遮蔽板をスライドさせる。
また、例えば請求項３あるいは請求項１２に記載の切断方法あるいは切断装置によるように、
（ロ）前記遮蔽板をその重力方向下端がワイヤソーの上に載置される態様でセットし、該ワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に際し、遮蔽板自身の自重に基づいて同遮蔽板を前記側壁板の各板面に沿ってスライドさせる。
等々の方法あるいは構成を採用することで、遮蔽板の重力方向下端がワイヤに過剰な負荷をかけることに起因する切断精度の悪化や、同ワイヤの断線等を未然に防ぐことができるようになる。すなわち、上記（イ）の方法あるいは構成（請求項２、請求項１１）によれば、遮蔽板の重力方向下端とワイヤとが軽く接する状態、もしくは遮蔽板の重力方向下端とワイヤとの間に若干の間隙をもたせた状態を維持して上記遮蔽板をスライドさせることができるようになり、また、上記（ロ）の方法あるいは構成（請求項３、請求項１２）にしろ、遮蔽板自身の荷重にもよるものの、これが例えば厚さ「１．０ｍｍ」程度のＡＢＳ樹脂板であれば、加工液の中で浮いてしまうこともなく、しかも遮蔽板の重力方向下端とワイヤとが軽く接する状態を維持して同遮蔽板をスライドさせることができる。
【００１３】
また、これらの切断方法あるいは切断装置において、例えば請求項４あるいは請求項１３に記載の発明によるように、前記遮蔽板を、前記各側壁板の加工槽内側の板面に沿ってスライドさせることとすれば、加工槽内での加工液の液圧が上記遮蔽板を各側壁板に押し付ける方向に作用し、それら各側壁板の切断部を通じた加工液の漏れを最小限に抑制することができるようになり、一方、例えば請求項５あるいは請求項１４に記載の発明によるように、前記遮蔽板を、前記各側壁板の加工槽外側の板面に沿ってスライドさせることとすれば、例えば上記側壁板がワイヤソーによる切断に伴って破損するようなことがあったとしても、その破損片がワイヤソーを駆動する（走行させる）ためのローラに巻き込まれるといった事態を回避することができるようになる。
【００１４】
さらには、これらの切断方法あるいは切断装置において、例えば請求項６あるいは請求項１５に記載の発明によるように、側壁板には前記遮蔽板をスライドさせるためのガイド部材を設けておき、このガイド部材により案内されるかたちで遮蔽板をスライドさせる、あるいは被加工材と共に切断される２つの側壁板に遮蔽板のスライドをガイドするガイド部材を設けることとすれば、上記（イ）の方法あるいは構成（請求項２、請求項１１）であれ、あるいは上記（ロ）の方法あるいは構成（請求項３、請求項１２）であれ、上述した遮蔽板のスライドをより円滑に実現することができるようになる。
【００１５】
また、上記各切断方法あるいは切断装置において、例えば請求項７あるいは請求項１６に記載の発明によるように、前記遮蔽板の重力方向下端にワイヤソーとの当接に伴って回転するローラ部材を設けることとすれば、特に遮蔽板の重力方向下端とワイヤとが接する状態を維持して遮蔽板がスライドするときのワイヤにかかる負荷を大幅に軽減することが可能となる。しかも、該請求項７あるいは請求項１６にかかる方法あるいは構成は、上記（ロ）の方法あるいは構成（請求項３、請求項１２）に採用して特に有効であり、ワイヤソーによって被加工材と共々上記各側壁板が切断される際に、遮蔽板が併せて切断されるようなこともなくなる。
【００１６】
一方、これらの切断方法あるいは切断装置において、例えば請求項８あるいは請求項１７に記載の発明によるように、ワイヤソーにより被加工材の切断を開始した後、加工液の充填された加工槽の開口面を蓋によって塞ぐ、あるいはワイヤソーによる被加工材の切断時に加工液の充填された加工槽の開口面を塞ぐための蓋をさらに備えることとすれば、同被加工材の切断が開始されてから終了されるまで、加工液を加工槽内に安定して満たしておくことができるとともに、同加工液の飛散やうねり等も併せて抑制されることとなり、被加工材の切断精度、並びに切断効率のさらなる向上が図られるようになる。そしてこのことも、被加工材の切断精度が前述した従来の装置並でもよい場合には、その切断速度を大幅に高めることができるようになることを併せて意味する。
【００１７】
また一方、これらの切断方法あるいは切断装置において、例えば請求項９あるいは請求項１８に記載の発明によるように、ワイヤソーにより被加工材の切断を開始した後、同被加工材をその切断が済んでいる重力方向上部から押さえ板によって押さえる、あるいはワイヤソーによる被加工材の切断時に同被加工材の重力方向上部を押さえるための押さえ板をさらに備えることとすれば、切断された被加工材の揺れや振動を抑制することが可能となり、被加工材の切断面の状態をより良好に維持することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（第１の実施の形態）
図１〜図３に、この発明にかかるワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置についてその第１の実施の形態を示す。なお、この実施の形態にかかるワイヤソー切断装置も、その基本的な構成は、先の図８に例示したワイヤソー切断装置の構成に準じたものとなっている。ただしこの実施の形態では、以下に詳述するように、側壁板の板面に沿ってその切断部（溝）を順次塞ぐ態様でスライド可能な遮蔽板を主に備えることで、被加工材の切断部（溝）に対する十分な加工液の供給を維持して、同被加工材のより安定した、しかもより効率の高い切断を可能としている。
【００１９】
図１は、この実施の形態のワイヤソーによる被加工材の切断方法に用いられるワイヤソー切断装置の構成および切断態様を正面方向から模式的に示したものであり、また図２（ａ）〜（ｃ）は、同ワイヤソー切断装置で採用する加工槽について、その構成をそれぞれ平面方向、正面方向、および側面方向から模式的に示したものである。はじめに、これら図１および図２を併せ参照して、同ワイヤソー切断装置の構成および動作について詳細に説明する。
【００２０】
この実施の形態にかかるワイヤソー切断装置は、同図１に示されるように、大きくは、
・ワイヤ用ローラ１２を介してワイヤ１０を移動（走行）させるとともに、同ワイヤ１０を切断方向（重力方向下方）へ移動させるワイヤ駆動機構１１。
・有底筒状（四角筒状）からなって、その底部に被加工材２０が台座２１および固定台２２により固定された状態で加工液３３が充填されるとともに、対向する２つの側壁板４０が上記被加工材２０と共々、上記ワイヤ１０によって切断される加工槽３０。
・上記ワイヤ駆動機構１１に連結され、ワイヤ１０の切断方向への移動に連動して上記側壁板４０の切断部（溝）を順次塞ぐ態様でスライドする遮蔽板５１ａ。
・加工槽３０内で、切断中の被加工材２０の揺れや振動を抑制する押さえ板６１。
・加工槽３０の開口面を塞いで、同加工槽３０からの加工液３３の漏出を抑制する蓋６２。
・これら押さえ板６１および蓋６２を上下動可能に支持するシリンダ６０。
【００２１】
等々を備えて構成されている。
ここで、上記ワイヤ駆動機構１１を構成する２つのワイヤ用ローラ１２は、加工槽３０を両側方から挟んで対向するように設けられており、ワイヤ１０はこれらワイヤ用ローラ１２に巻き掛けられた状態で水平に支持されている。また、このワイヤ１０は、その平面方向からの配設態様を図２（ａ）に示すように、同時に複数枚のウエハを切り出すべく所定の間隔で、すなわち被加工材２０から切り出されるウエハの厚さに対応する所望の切断間隔をもって、上記ワイヤ用ローラ１２に複数回に渡って巻き掛けられている。そして、上記ワイヤ用ローラ１２は、モータなどの適宜のアクチュエータ（図示略）により回転駆動されることによって、この複数列に巻きかけられたワイヤ１０を矢指する方向に直線的に往復移動（走行）させる。また、ワイヤ駆動機構１１は上述のように、この走行する複数列のワイヤ１０を被加工材２０に圧接すべく重力方向上方から下方へ移動可能となっている。
【００２２】
また、加工槽３０は、ステンレスやその他の板金部品によって、上述のように上部が開口した断面略正方形の有底四角筒状に形成されており、円柱形状からなる被加工材２０は横転された状態で、台座２１および固定台２２と共々、この加工槽３０の底部に接着剤等によって固定されている。また、加工槽３０の本体３０ａの側面外側には、図２（ａ）にも併せて示されるように、遮蔽板５１ａを重力方向下方にスライドさせるための遮蔽板ガイド（ガイド部材）５２が形成されており、さらに該遮蔽板ガイド５２の側面外側には、側壁板４０を固定支持するための支持板３４が形成されている。すなわちこの実施の形態において、遮蔽板５１ａは、側壁板４０の加工槽３０内側の板面に沿ってスライド可能にセットされている。また、この加工槽３０には、図２（ｂ）に示されるように、その本体３０ａの正面に加工液供給口３２が２つ備えられており、これら加工液供給口３２を介して同加工槽３０内に加工液３３が供給される。他方、この加工槽３０では、上記側壁板４０として、例えば厚さがおよそ「４．０ｍｍ」のガラス製の板を採用している。この側壁板４０は、図２（ｃ）に示されるように、その上端部を除いて下端部および両側端部が、上記支持板３４を介してボルトによって加工槽３０に固定されている。この際、これらボルトは、ワイヤ１０（図２（ｃ）では図示略）が往復走行した場合であれ、側壁板４０にがたつきを発生させず、しかも側壁板４０を破損させない程度のトルクをもって加工槽３０の本体３０ａに締結されている。
【００２３】
また、この実施の形態において、図１および図２（ａ）〜（ｃ）に示す上記遮蔽板５１ａとしては、例えば厚さがおよそ「１．０ｍｍ」のステンレス製の板を採用している。そして、図１に示されるように、この遮蔽板５１ａは、その上端部がステー５０を介して上記ワイヤ駆動機構１１に連結され、その下端がワイヤ１０と軽く接するか、もしくはワイヤ１０との間に若干の間隙がもたせられた状態で、ワイヤ駆動機構１１の移動に連動してスライドする。なおこの際、この遮蔽板５１ａが上記ガイド５２にはめ込まれることによって、側壁板４０との間におよそ「１．０ｍｍ」程度の間隙を保った状態で、同側壁板４０と平行にスライドする。
【００２４】
また、上記押さえ板６１は、図１においては便宜上図示を割愛している適宜の部材に固定されたシリンダ６０（実際には平行に２つ設けられている）によって上下動可能に支持されており、上記台座２１との協働のもと、被加工材２０を挟みこむことによって、該被加工材２０の加工槽３０内での動きを規制するための部材である。すなわちこの押さえ板６１は、ワイヤ１０による被加工材２０の切断が進行するにつれて形成される薄いウエハ（被加工材２０）に、座屈やたわみ等が発生しない程度の力で被加工材２０を押さえつけている。
【００２５】
また、上記蓋６２も、上述した押さえ板６１と同様に、シリンダ６０によって加工槽３０の開口面に上下動可能に支持されている。そして、この蓋６２によって加工槽３０の開口面を塞ぐことにより、上記ワイヤ１０の走行に起因する加工液３３表面での波や揺れの発生を低減している。なおこの実施の形態では、上記蓋６２の外形と加工槽３０の開口面の外形とを完全に一致させず、それらの間に僅かな隙間をもたせることで、加工槽３０から加工液３３がわずかに漏出するようにしている。そしてこのとき、加工液３３がワイヤ１０の走行方向により多く漏出するように、蓋６２の図中左右方向の長さを、奥行き方向の長さよりも短く形成している。具体的には図中Ｌ１として示す間隙が、その奥行き方向（正面および背面の方向）での間隙よりも約「２ｍｍ」程度大きくなるようにしている。
【００２６】
なお、この実施の形態では、上記被加工材２０として円柱形状に形成された炭化珪素（ＳｉＣ）を想定しているが、その他にも例えば、カーボン、ガラス、セラミック、およびシリコンなどもこの被加工材２０として採用することができる。
【００２７】
次に、以上のように構成されたこの実施の形態のワイヤソー切断装置を用いた被加工材の切断方法について説明する。
被加工材２０の切断加工を開始するにあたってはまず、被加工材２０を加工槽３０の底部に備えられた台座２１および固定台２２に、接着剤（図示略）等で順次固定する。このようにして被加工材２０を加工槽３０の底部に固定した後、加工液供給口３２（図２）を介して加工液３３を加工槽３０内に供給し、同加工槽３０内を加工液３３で充填する。
【００２８】
その後、ワイヤ駆動機構１１を重力方向下方に移動させることにより、遮蔽板５１ａと共々上記ワイヤ用ローラ１２に巻き掛けられて水平に支持されているワイヤ１０を加工槽３０の上面にセットする。そして、この状態でワイヤ１０を水平に走行させつつ、同加工槽３０の上記側壁板４０と共々、上記被加工材２０の上方の一部の切断が開始されるまで、ワイヤ駆動機構１１を徐々に下降させる。なおこの際、被加工材２０の直径「５０ｍｍ」に対し、ワイヤ駆動機構１１の下降速度すなわち切断速度についてはこれを、例えば「分速０．０５ｍｍ」としている。
【００２９】
こうして被加工材２０の切断を開始した後、すなわち、この切断加工が数ｍｍ進行してワイヤ１０が被加工材２０に十分に埋もれた後、上記シリンダ６０により押さえ板６１を下降させ、被加工材２０の上面を押さえ板６１で押さえる。またこのとき、同シリンダ６０により蓋６２も併せて下降させ、加工槽３０の開口面を塞ぐ。こうして加工槽３０の開口面を塞ぐことにより、ワイヤ１０が往復走行した際に生ずる加工液３３の揺れに起因する部分的な液面の低下を抑制することが可能となる。
【００３０】
このようにして、ワイヤ１０による被加工材２０の切断加工が進められるが、この実施の形態にあっては上述のように、ワイヤ駆動機構１１の下降、すなわちワイヤ１０の下降に連動して、上記ステー５０に支持された遮蔽板５１ａも遮蔽板ガイド５２に沿ってスライドする。すなわちこの遮蔽板５１ａは、ワイヤ１０による上記側壁板４０の切断部（溝）を順次塞ぐ態様でスライドすることとなり、これによってこの側壁板４０の切断部（溝）を介しての加工液３３の漏出も自ずと抑制されるようになる。すなわち、ワイヤ１０による上記被加工材２０の切断が進行しても、加工槽３０内の加工液３３の液位は、同被加工材２０の切断に必要とされる十分な液位に保たれ、被加工材２０の切断部およびワイヤ１０の双方が共に加工液３３中に浸漬される状態が維持されるようになる。このため、被加工材２０のより安定した、しかもより効率の高い切断が可能となる。
【００３１】
図３は、このようなワイヤソー切断装置によって切断生成されたウエハの表面うねりについて、上記遮蔽板５１ａを用いなかった場合（従来の技術に相当）におけるウエハとの対比のもとに、その度合いを示したものである。
【００３２】
上述のように、被加工材２０として直径「５０ｍｍ」の円柱形状からなる炭化珪素（ＳｉＣ）を採用し、ワイヤソー切断装置に上記遮蔽板５１ａを備えることなく、上記条件で、すなわち「分速０．０５ｍｍ」で切断加工を行った。この場合、図３に示されるように、切断生成されたウエハの表面うねりはおよそ「４５μｍ〜５５μｍ」であった。すなわち、平均的には、およそ「５０μｍ」となる。これに対し、図１および図２に例示した装置を用いるこの実施の形態の切断方法によれば、同じく図３に示されるように、切断生成されたウエハの表面うねりはおよそ「２７．５〜３２．５μｍ」と、遮蔽板５１ａを用いなかった場合に比べておよそ「１０〜２０μｍ」程度の改善が図られていることが確認された。
【００３３】
以上説明したように、この第１の実施の形態のワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置によれば、以下のような優れた効果が得られるようになる。
（１）被加工材２０を収容する加工槽３０の本体３０ａの側面外側に、側壁板４０内側の板面に沿ってスライド可能な遮蔽板５１ａを備え、ワイヤ１０の切断方向への移動に連動して、同遮蔽板５１ａを切断方向へ移動（スライド）させることとした。これにより、ワイヤ１０と加工液３３との協働によって被加工材２０と共々切断される側壁板４０の切断部（溝）をこの遮蔽板５１ａによって順次塞ぐことができるようになる。すなわち、ワイヤ１０による被加工材２０の切断が進行しても、加工槽３０内の加工液３３の液位は被加工材２０の切断に必要とされる液位に保たれ、被加工材２０の切断部およびワイヤ１０の双方が共に加工液３３中に浸漬される状態に維持されるため、被加工材２０のより安定した、しかもより効率の高い切断ができるようになる。なお、被加工材２０の切断精度が前述の従来のワイヤソー切断装置並でも良い場合には、その切断速度を大幅に高めることができるようにもなる。
【００３４】
（２）また、遮蔽板５１ａの重力方向下端とワイヤ１０とが軽く接する状態、もしくは遮蔽板５１ａの重力方向下端とワイヤ１０との間に若干の間隙をもたせた状態を維持して、同遮蔽板５１ａをワイヤ１０の切断方向への移動に連動させてスライドさせることとした。これにより、同遮蔽板５１ａの下端がワイヤ１０に過剰な負荷をかけることに起因する切断精度の悪化や、同ワイヤ１０の断線などを未然に防ぐことができるようになる。
【００３５】
（３）ワイヤ１０により被加工材２０の切断を開始した後、同被加工材２０をその切断が済んでいる重力方向上部から押さえ板６１によって押さえることとした。これにより、押さえ板６１と台座２１との協働のもと、被加工材２０を挟みこむことによってその加工槽３０内での動きを規制し、切断された該被加工材２０の揺れや振動を抑制することが可能となる。すなわち、特に切断加工が終了する間際に悪化する被加工材２０の切断面の状態をより良好に維持することができるようになる。
【００３６】
（４）ワイヤ１０により被加工材２０の切断を開始した後、加工液３３の充填された加工槽３０の開口面を蓋６２によって塞ぐこととした。これにより、同被加工材２０の切断が開始されてから終了されるまで、加工液３３を加工槽３０内に安定して満たしておくことができるとともに、同加工液３３の飛散やうねり等も併せて抑制されることとなり、被加工材２０の切断精度、並びに切断効率のさらなる向上が図られるようになる。
【００３７】
（５）そのうえ、蓋６２の外形と加工槽３０の開口面の外形とを完全に一致させず、ワイヤ１０の走行方向の蓋６２の長さを、これに直交する方向の該蓋６２の長さよりも短く形成することとした。これにより、わずかであるものの、ワイヤ１０の走行方向により多くの加工液３３を漏出させることができるようになる。これにより、ワイヤ１０への加工液３３の供給も確実なものとなり、ワイヤ１０の加工性が向上することとなる。
【００３８】
（６）また、遮蔽板５１ａを、側壁板４０の加工槽３０内側の板面に沿ってスライドさせることとした。加工槽３０内での加工液３３の液圧が同遮蔽板５１ｂを側壁板４０に押し付ける方向に作用し、これら側壁板４０の切断部を通じた加工液３３の漏れを最小限に抑制することができるようになる。
【００３９】
（７）またさらに、上記蓋６２および上記遮蔽板５１ａを加工槽３０に備えることにより、加工液３３の加工槽３０の周辺への飛散を抑制することが可能となる。これにより、加工液３３に含まれる砥粒がローラ駆動のベアリングや軸摺動部へ混入することを抑制することができるようになり、ひいては設備の長寿命化を図ることができるようになる。
（第２の実施の形態）
図４〜図６に、この発明にかかるワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置についてその第２の実施の形態を示す。この第２の実施の形態では、先の遮蔽板をワイヤ駆動機構の切断方向への移動に連動させることなく独立に、特にここでは、遮蔽板の重力方向下端をワイヤ上に載置し、ワイヤの重力方向下方への移動に伴う遮蔽板自身の自重によって同遮蔽板がスライドされるようにしている。
【００４０】
図４は、この第２の実施の形態の切断方法に用いられるワイヤソー切断装置について、その構成および切断態様を正面方向から模式的に示したものである。なおこの図４において、先の図１および図２に示した要素と同一の要素にはそれぞれ同一の符号を付して示しており、それら各要素についての重複する説明は割愛する。
【００４１】
同図４に示されるように、この実施の形態のワイヤソー切断装置も、基本的には先の図１に示したワイヤソー切断装置に準じた構成となっている。ただし、この実施の形態では上述のように、遮蔽板５１ｂは、ワイヤ駆動機構１１に連結されることなく、その重力方向下端がワイヤ１０の上に載置された状態で、前記遮蔽板ガイド５２にスライド可能にセットされている。すなわちこの実施の形態において、この遮蔽板５１ｂとしては、加工液３３の中で浮いてしまうことなく、しかも同遮蔽板５１ｂの重力方向下端とワイヤ１０とが軽く接する程度の荷重をもつ材料であることが望ましい。そこでここでは、同遮蔽板５１ｂとして、例えば厚さおよそ「１．０ｍｍ」のＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂）を採用している。
【００４２】
図５（ａ）は、このような遮蔽板５１ｂについてその構造を正面方向から模式的に示したものであり、また図５（ｂ）は、図５（ａ）におけるＡ−Ａ’線に沿った断面図である。これら図５（ａ）および（ｂ）に示されるように、特にこの実施の形態において用いる遮蔽板５１ｂは、上記ワイヤ１０と当接する下端部にローラ（ローラ部材）５３を備えて構成されている。ちなみにこのローラ５３としては、例えば摩擦係数が小さく摩耗しにくいポリアセタール樹脂などが用いられ、同遮蔽板５１ｂの下端部に、軸５４によってワイヤ１０の走行方向に回転可能に軸支されている。次に、以上のように構成されたこの実施の形態のワイヤソー切断装置を用いた被加工材の切断方法について説明する。
【００４３】
この実施の形態にあっても、被加工材２０の切断加工を開始するにあたってはまず、被加工材２０を加工槽３０の底部に備えられた台座２１および固定台２２に、接着剤（図示略）等で順次固定する。このようにして被加工材２０を加工槽３０の底部に固定した後、加工液供給口３２（図２）を介して加工液３３を加工槽３０内に供給し、同加工槽３０内を加工液３３で充填する。
【００４４】
その後、ワイヤ駆動機構１１を重力方向下方に移動させることによりワイヤ用ローラ１２に巻きかけられて水平に支持されているワイヤ１０を加工槽３０の上面にセットする。そしてこの状態でワイヤ１０を水平に走行させつつ、同加工槽３０の上記側壁板４０と共々、上記被加工材２０の上方の一部の切断が開始されるまで、ワイヤ駆動機構１１を徐々に下降させる。なおここでも、被加工材２０の直径「５０ｍｍ」に対し、ワイヤ駆動機構１１の下降速度すなわち切断速度についてはこれを、例えば「分速０．０５ｍｍ」としている。
【００４５】
こうして被加工材２０の切断を開始した後、すなわち、この切断加工が数ｍｍ進行してワイヤ１０が被加工材２０に十分に埋もれた後、上記シリンダ６０によって押さえ板６１を下降させ、被加工材２０の上面を押さえ板６１で押さえる。またこのとき、同シリンダ６０により蓋６２も併せて下降させ、加工槽３０の開口面を塞ぐ。こうして加工槽３０の開口面を塞ぐことにより、ワイヤ１０が往復走行した際に生ずる加工液３３の揺れに起因する部分的な液面の低下を抑制することが可能となる。
【００４６】
このようにして、ワイヤ１０による被加工材２０の切断加工が進められるが、この実施の形態にあっては上述のように、ワイヤ駆動機構１１の下降、すなわちワイヤ１０の下降に追従して、遮蔽板５１ｂがその自重により遮蔽板ガイド５２に沿ってスライドする。すなわちこの遮蔽板５１ｂも、ワイヤ１０による上記側壁板４０の切断部を順次塞ぐ態様でスライドすることとなり、これによってこの側壁板４０の切断部（溝）を介しての加工液３３の漏出は自ずと抑制されるようになる。すなわちこの場合も、ワイヤ１０による上記被加工材２０の切断が進行しても、加工槽３０内の加工液３３の液位は、同被加工材２０の切断に必要とされる十分な液位に保たれ、被加工材２０の切断部およびワイヤ１０の双方が共に加工液３３中に浸漬される状態が維持されるようになる。このため、被加工材２０のより安定した、しかもより効率の高い切断が可能となる。
【００４７】
図６は、先の図３と同様に、このようなワイヤソー切断装置によって切断生成されたウエハの表面うねりについて、上記遮蔽板５１ｂを用いなかった場合（従来の技術に相当）におけるウエハとの対比のもとに、その度合いを示したものである。
【００４８】
上述のように、被加工材２０として直径「５０ｍｍ」の円柱形状からなる炭化珪素（ＳｉＣ）を採用し、ワイヤソー切断装置に上記遮蔽板５１ｂを備えることなく、上記条件で、すなわち「分速０．０５ｍｍ」で切断加工を行った。この場合、図６に示されるように、切断生成されたウエハの表面うねりは、平均でおよそ「５０μｍ」であった。これに対し、図４および図５に例示した装置を用いるこの実施の形態の切断方法によれば、同じく図６に示されるように、切断生成されたウエハの表面うねりはおよそ「３０〜４８μｍ」と、遮蔽板５１ｂを用いなかった場合に比べておよそ「５〜２０μｍ」程度の改善が図られていることが確認された。
【００４９】
以上説明したように、この第２の実施の形態のワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置によれば、以下のような優れた効果が得られるようになる。
（１）被加工材２０を収容する加工槽３０の本体３０ａの側面外側に、側壁板４０内側の板面に沿ってスライド可能な遮蔽板５１ｂを備え、ワイヤ１０の切断方向への移動に追従して、同遮蔽板５１ｂをその自重により切断方向へスライドさせることとした。これにより、ワイヤ１０と加工液３３との協働によって被加工材２０と共々切断される側壁板４０の切断部（溝）をこの遮蔽板５１ｂによって順次塞ぐことができるようになる。すなわち、ワイヤ１０による被加工材２０の切断が進行しても、加工槽３０内の加工液３３の液位は被加工材２０の切断に必要とされる液位に保たれ、被加工材２０の切断部およびワイヤ１０の双方が共に加工液３３中に浸漬される状態に維持されるため、被加工材２０のより安定した、しかもより効率の高い切断ができるようになる。なおここでも、被加工材２０の切断精度が前述の従来のワイヤソー切断装置並でも良い場合には、その切断速度を大幅に高めることができるようになる。
【００５０】
（２）また、遮蔽板５１ｂとして、厚さおよそ「１．０ｍｍ」のＡＢＳ樹脂を用いることとしたため、同遮蔽板５１ｂは、加工液３３の中で浮いてしまうことなく、しかも同遮蔽板５１ｂの重力方向下端とワイヤ１０とが軽く接する程度の適切な荷重をもつこととなる。これにより、同遮蔽板５１ｂの下端がワイヤ１０に過剰な負荷をかけることに起因する切断精度の悪化や、同ワイヤ１０の断線などを未然に防ぐことができるようになる。
【００５１】
（３）さらに遮蔽板５１ｂの重力方向下端部にはワイヤ１０との当接に伴って回転するローラ５３を備えることとした。これにより、遮蔽板５１ｂが側壁板４０内側の板面に沿ってスライドするときのワイヤ１０にかかる負荷を大幅に軽減することが可能となり、ひいては同ワイヤ１０によって被加工材２０と共々上記側壁板４０が切断される際に、遮蔽板５１ｂが併せて切断されるようなこともなくなる。
【００５２】
（４）またこの場合、例えば台座２１の大きさに比較して小さな径の被加工材２０を切断加工の対象とすることでワイヤ１０が大きくたわんだとしても、上記ローラ５３がワイヤ１０の新たな支持点として作用することとなり、ワイヤ１０をより確実に被加工材２０に摺接させることできるようになる。すなわち、被加工材２０の大きさ等によらずにその加工性を維持することができるようになる。
【００５３】
（５）先の第１の実施の形態と同様に、ワイヤ１０により被加工材２０の切断を開始した後、同被加工材２０をその切断が済んでいる重力方向上部から押さえ板６１によって押さえることとした。これにより、押さえ板６１と台座２１との協働のもと、被加工材２０を挟みこむことによってその加工槽３０内での動きを規制し、切断された該被加工材２０の揺れや振動を抑制することが可能となる。すなわち、特に切断加工が終了する間際に悪化する被加工材２０の切断面の状態をより良好に維持することができるようになる。
【００５４】
（６）また、先の第１の実施の形態と同様に、ワイヤ１０により被加工材２０の切断を開始した後、加工液３３の充填された加工槽３０の開口面を蓋６２によって塞ぐこととした。これにより、同被加工材２０の切断が開始されてから終了されるまで、加工液３３を加工槽３０内に安定して満たしておくことができるとともに、同加工液３３の飛散やうねり等も併せて抑制されることとなり、被加工材２０の切断精度、並びに切断効率のさらなる向上が図られるようになる。
【００５５】
（７）そのうえ、先の第１の実施の形態と同様に、蓋６２の外形と加工槽３０の開口面の外形とを完全に一致させず、ワイヤ１０の走行方向の蓋６２の長さを、これに直交する方向の該蓋６２の長さよりも短く形成することとした。これにより、わずかであるものの、ワイヤ１０の走行方向により多くの加工液３３を漏出させることができるようになる。
【００５６】
（８）さらに、先の第１の実施の形態と同様に、遮蔽板５１ｂを、側壁板４０の加工槽３０内側の板面に沿ってスライドさせることとした。加工槽３０内での加工液３３の液圧が同遮蔽板５１ｂを側壁板４０に押し付ける方向に作用し、これら側壁板４０の切断部を通じた加工液３３の漏れを最小限に抑制することができるようになる。
【００５７】
（９）またこれも先の第１の実施の形態と同様に、上記蓋６２および上記遮蔽板５１ｂを加工槽３０に備えることにより、加工液３３の加工槽３０の周辺への飛散を抑制することが可能となる。これにより、加工液３３に含まれる砥粒がローラ駆動のベアリングや軸摺動部へ混入することを抑制することができるようになり、ひいては設備の長寿命化を図ることができるようになる。
（他の実施の形態）
なお、上記各実施の形態は例えば以下のような形態として実施することもできる。
【００５８】
・上記各実施の形態では、ワイヤ用ローラ１２を通じてワイヤ１０を図１あるいは図４に矢指する態様で往復移動（走行）させることとしたが、該ワイヤ１０の走行態様は任意であり、どちらか一方向へ移動（走行）させる構成としてもよい。
【００５９】
・上記各実施の形態では、加工槽３０上方に設けられるシリンダ６０を通じて押さえ板６１および蓋６２の両方共を上下動可能に支持する構成としたが、これら押さえ板６１および蓋６２については、その各々を各別に支持することとしてもよい。
【００６０】
・また、上記押さえ板６１がなくとも、加工槽３０内における上記被加工材２０の安定した固定状態が維持される場合には、同押さえ板６１を割愛した構成とすることもできる。
【００６１】
・同様に、上記蓋６２がなくとも、例えばワイヤ１０の走行速度を低減したり、同ワイヤ１０の線径をさらに小さくするなどにより、同加工槽３０内で加工液３３の液面の揺れが無視できる場合には、同蓋６２を割愛した構成とすることもできる。
【００６２】
・上記各実施の形態では、遮蔽板５１ａあるいは５１ｂを側壁板４０の加工槽３０内側の板面に沿ってスライドさせることとしたが、これら遮蔽板５１ａあるいは５１ｂを側壁板４０の加工槽３０外側の板面に沿ってスライドさせることとしてもよい。この場合、例えば側壁板４０がワイヤ１０による切断に伴って破損するようなことがあったとしても、その破損片がワイヤ用ローラ１２に巻き込まれるといった事態を回避することができるようになる。
【００６３】
・上記各実施の形態では、被加工材２０と共々ワイヤ１０によって切断される上記側壁板４０としてガラスを用いているが、その材料はガラスには限られない。要は、被加工材２０の切断性の低下への影響が小さく、かつ、その切断に伴って折れたり割れたりしにくい材料であればよい。
【００６４】
・上記各実施の形態では、側壁板４０と遮蔽板５１ａとの間、あるいは側壁板４０と遮蔽板５１ｂとの間には、遮蔽板ガイド５２によっておよそ「１．０ｍｍ」の間隙が形成されるようにした。ただし、この間隙についてより望ましくは、該間隙がなくなる状態、すなわちこれら側壁板４０と遮蔽板５１ａ、あるいは側壁板４０と遮蔽板５１ｂとが軽く摺接する状態とすることで、加工槽３０からの加工液３３の漏出も最大限に抑制することができるようになる。
【００６５】
・特に上記第２の実施の形態においては、遮蔽板５１ｂの下端にローラ５３を設け、該ローラ５３をワイヤ１０に当接させることとしたが、このようなローラ５３を備える遮蔽板５１ｂは上記第１の実施の形態にも同様に適用可能である。また、このローラ５３に代えて、遮蔽板５１ｂの下端を曲面とすることによっても、該ローラ５３に準じた効果を得ることはできる。
【００６６】
・同じく上記第２の実施の形態においては、この遮蔽板５１ｂとして、厚さおよそ「１．０ｍｍ」のＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂）を用いることとした。しかし、これに限られず、加工槽３０内に充填された加工液３３によって生ずる浮力により浮き上がることがなく、かつ、ワイヤ１０に対して過大な負荷をかけることのない程度の材料であればその選定は任意である。また、上記ローラ５３を備える遮蔽板５１ｂを先の第１の実施の形態に採用する場合には、該材料の選定にかかる自由度もさらに高まることとなる。
【００６７】
・また、上記各実施の形態において、上記遮蔽板ガイド５２を要しなくとも遮蔽板５１ａあるいは５１ｂの安定したスライドが可能となる場合には、該遮蔽板ガイド５２の配設を割愛した構成とすることもできる。要は、それら遮蔽板５１ａあるいは５１ｂを側壁板４０の切断部を順次塞ぐ態様でスライドさせつつ、被加工材２０の切断加工を行うものであればよい。
【００６８】
・また、上記各実施の形態においては、ワイヤ駆動機構１１（ワイヤ１０）側を加工槽３０に対して図１あるいは図４に矢指する方向、すなわち重力方向上方から下方へ移動させる機構として構成して被加工材２０を切断することとした。しかし、上記各実施の形態とは逆に、ワイヤ駆動機構１１を固定しておき、加工槽３０側を重力方向下方から上方へ移動させて被加工材２０を切断するようにしてもよい。また、ワイヤ駆動機構１１（ワイヤ１０）側を加工槽３０に対して重力方向上方から下方へ移動させるとともに、加工槽３０側をワイヤ駆動機構１１に対して重力方向下方から上方へ移動させて被加工材２０を切断するようにしてもよい。要は、有底筒状からなる加工槽の底部に被加工材を固定した状態で加工槽内に加工液を充填し、この加工液が充填された加工槽の対向する２つの側壁板をワイヤソーと加工槽との重力方向への相対移動に基づき切断しつつ、前記加工槽内に固定された被加工材を切断する方法あるいは装置であれば、この発明は同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】この発明にかかるワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置の第１の実施の形態について、ワイヤソー切断装置としての構成および被加工材の切断態様を正面方向から模式的に示す一部断面図。
【図２】（ａ）、（ｂ）、および（ｃ）は、同実施の形態のワイヤソー切断装置において採用する加工槽について、それぞれその平面構造、正面構造、および側面構造を模式的に示す平面図、正面図、および側面図。
【図３】同実施の形態の構成を前提として、遮蔽板の有無の別に、切断生成されたウエハの表面うねりの度合いを比較して示すグラフ。
【図４】この発明にかかるワイヤソーによる被加工材の切断方法およびワイヤソー切断装置の第２の実施の形態について、ワイヤソー切断装置としての構成および被加工材の切断態様を正面方向から模式的に示す一部断面図。
【図５】（ａ）は、同第２の実施の形態のワイヤソー切断装置において採用する遮蔽板について、その構造を正面方向から模式的に示す正面図。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ’線に沿った断面構造を模式的に示す断面図。
【図６】同第２の実施の形態の構成を前提として、遮蔽板の有無の別に、切断生成されたウエハの表面うねりの度合いを比較して示すグラフ。
【図７】（ａ）は、一般のワイヤソー切断装置の一例について、その構成を模式的に示す斜視図。（ｂ）は、同ワイヤソー切断装置を用いた被加工材の切断態様を正面方向から模式的に示す一部断面図。
【図８】（ａ）は、従来のワイヤソー切断装置の一例を用いた被加工材の切断態様を正面方向から模式的に示す一部断面図。（ｂ）は、同従来のワイヤソー切断装置により被加工材と共々切断される側壁板の切断態様を模式的に示した拡大斜視図。
【図９】（ａ）および（ｂ）は、同従来のワイヤソー切断装置において被加工材を切断する際のワイヤの状態、並びに加工液の液面の状態を正面方向から模式的に示す一部断面図。
【符号の説明】
【００７０】
１０、１１０…ワイヤ、１１…ワイヤ駆動機構、１２、１１２ａ〜１１２ｃ…ワイヤ用ローラ、２０、１２０…被加工材、２１、１２１…台座、２２、１２２ａ、１２２ｂ…固定台、３０、１３０ａ、１３０ｂ…加工槽、３０ａ…本体、３２、１３２…加工液供給口、３３、１３３…加工液、３４…支持板、４０、１４０…側壁板、５０…ステー、５１ａ、５１ｂ…遮蔽板、５２…遮蔽板ガイド（ガイド部材）、５３…ローラ（ローラ部材）、５４…軸、６０…シリンダ、６１…押さえ板、６２…蓋、１１３…モータ、１３１…配管。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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