(57)【要約】 【課題】  検査者が液晶パネルを目視して検査する検査装置であって、液晶パネルの微小欠陥を容易に検出することができ、小形化することができる液晶パネルの検査装置、および検査方法を提供する。【解決手段】  液晶パネル２の他の表面部から出射される光は、シリンドリカルレンズ６によって発散されるので、検査者は、液晶パネル２の微小な欠陥８であっても、発散された光を観察することによって、容易に検出することができ、既存の技術にように、検査者は熟練を要していなくても、微小な欠陥８を検出することができる。またシリンドリカルレンズ６は、移動機構７によって液晶パネル２に対し相対変位されるので、液晶パネル２が比較的大形であっても、シリンドリカルレンズ６を変位させることによって、液晶パネル２の全域にわたって検査することができ、既存の技術のように、検査装置１を大形することなく、大形の液晶パネル２を検査することができる。【選択図】      図１
2006243670.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルの駆動回路に電力を供給する電力供給手段と、
液晶パネルの一表面部に向けて検出用の光を発する光源と、
液晶パネルの他の表面部から出射される光を発散させる光学部品と、
液晶パネルに対し、前記光学部品を相対変位させる相対変位手段とを含むことを特徴とする液晶パネルの検査装置。
【請求項２】
前記光学部品は、シリンドリカルレンズを含むことを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項３】
前記相対変位手段は、シリンドリカルレンズを予め定める走査方向に相対変位可能に構成され、
シリンドリカルレンズは、走査方向に屈折力を有し、かつ走査方向および液晶パネルの厚み方向に交差する交差方向に延びる長手状に形成されることを特徴とする請求項２に記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項４】
前記シリンドリカルレンズは、その長手方向の寸法が液晶パネルの前記交差方向の寸法より大きく設定されることを特徴とする請求項３に記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項５】
前記相対変位手段は、光学部品を変位駆動する駆動部と、
駆動部による光学部品の相対変位量を制御する制御部とを有することを特徴とする請求項２〜４のいずれか１つに記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項６】
液晶パネルの駆動回路に電力を供給する電力供給工程と、
液晶パネルの一表面部に向けて検出用の光を発する発光工程と、
液晶パネルの他の表面部から出射される光を光学部品によって発散させる発散工程と、
液晶パネルに対し、前記光学部品を相対変位させる変位工程とを有することを特徴とする液晶パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの微小欠陥を評価する液晶パネルの検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルを検査する方法として、作業者が目視で検査する第１の従来技術の検査装置と、半導体撮像素子またはテレビカメラを用いて画像処理によって検査する第２の従来技術の検査装置とがある。
【０００３】
第１の従来技術の検査装置は、検査作業に従事する検査者が、表示品位試験画像を直接目視して検査するために、液晶パネルの背面から光源によって光を照射し、拡大光学系を用いて液晶パネルの表示画面を検査用スクリーン上に拡大投影する。検査者は、拡大投影された投影像に対して、検査をする、このように液晶パネルの微小欠陥箇所を拡大することによって、欠陥の判別を容易にしている。このような目視で検査する検査装置では、液晶パネルの輝度ムラまたは色ムラなど、人的特性である官能的評価を検査する点では、第２の従来技術のような機械的に画像処理する検査装置より優れている（たとえば特許文献１参照）。
【０００４】
第２の従来技術の検査装置では、拡大光学系を搭載した撮像素子を用いて、液晶パネルを検査している。テレビカメラを用いた検査装置の場合は、高周波ノイズを除去するローパスフィルタが設けられており、１画素単位の微小欠陥に対しては、画像信号として、微小振幅の変動を増幅することができないという問題がある。この問題を解決する検査装置として、液晶パネルの表示状態を光結合素子（略称ＣＣＤ）から成る半導体撮像素子で撮像し、撮像信号からオフセット成分を除去し、オフセット成分を除去した信号を可変利得増幅器で高利得増幅することによって、微小欠陥部分で発生する微小な電圧変化を大きく増幅し、増幅された画素信号によって、微小欠陥の分解能を向上させる装置が開示されている。このような検査装置では、液晶パネルの微小欠陥を検出するには、第１の従来技術の検査装置と比べると検出が機械的にできるので容易である（たとえば特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平４−２４８４３５号公報
【特許文献２】特開平５−２８８６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述の第１の従来技術の検査装置では、液晶パネルの画素単位である微小な欠陥を検査および評価するには、高照度に設定されたバックライトによって照らされた液晶パネルから、微小な欠陥を見極める必要があるので、検査には熟練を要するという問題がある。また検査スクリーン上に拡大投影する装置では、検査装置が大形化し、特に、液晶パネルのサイズが大形化すれば、検査装置自身も大形化し、装置が作業空間を占める割合が増加し、検査装置の配置数が減少するので、生産性の低下が生じる。
【０００７】
また前述の第２の従来技術の検査装置では、格子状の撮像素子と液晶パネルの格子状の表示素子との間でモアレ縞が生じやすく、検査精度が低下するという問題がある。また第２の従来技術の検査装置では、液晶パネルの輝度ムラや色ムラなど、人的特性である官能的評価を検査するには不向きである。
【０００８】
したがって本発明の目的は、検査者が液晶パネルを目視して検査する検査装置であって、液晶パネルの微小欠陥を容易に検出することができ、かつ小形化することができる液晶パネルの検査装置、および検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、液晶パネルの駆動回路に電力を供給する電力供給手段と、
液晶パネルの一表面部に向けて検出用の光を発する光源と、
液晶パネルの他の表面部から出射される光を発散させる光学部品と、
液晶パネルに対し、前記光学部品を相対変位させる相対変位手段とを含むことを特徴とする液晶パネルの検査装置である。
【００１０】
本発明に従えば、電力供給手段によって液晶パネルの駆動回路に電力が供給され、光源によって液晶パネルの一表面部に検出用の光が入射されるので、液晶パネルの他の表面部から出射される光に基づいて欠陥を検出することができる。他の表面部から出射される光は、光学部品によって発散されるので、検査者は、光学部品を介して他の表面部から出射される光を観察することができる。また光学部品は、相対変位手段によって液晶パネルに対し相対変位されるので、液晶パネルが比較的大形であっても、光学部品を変位させることによって、液晶パネルの全域にわたって検査することができる。
【００１１】
また本発明は、前記光学部品は、シリンドリカルレンズを含むことを特徴とする。
本発明に従えば、前記光学部品は、シリンドリカルレンズを含むので、他の表面部から出射される光を一方向のみに屈折させて、発散させることができる。したがって検査者は、前記一方向のみに着目して、欠陥を検出することができ、欠陥の検出精度を向上することができる。
【００１２】
さらに本発明は、前記相対変位手段は、シリンドリカルレンズを予め定める走査方向に相対変位可能に構成され、
シリンドリカルレンズは、走査方向に屈折力を有し、かつ走査方向および液晶パネルの厚み方向に交差する交差方向に延びる長手状に形成されることを特徴とする。
【００１３】
本発明に従えば、シリンドリカルレンズは走査方向に屈折力を有し、かつ交差方向に延びる長手状に形成されるので、相対変位手段によって前記シリンドリカルレンズが走査方向に変位されると、他の表面部から出射される光を走査方向にのみ拡散させることができる。したがって検査者は、シリンドリカルレンズが走査方向に変位した領域の液晶パネルの欠陥を検出することができる。
【００１４】
さらに本発明は、前記シリンドリカルレンズは、その長手方向の寸法が液晶パネルの前記交差方向の寸法より大きく設定されることを特徴とする。
【００１５】
本発明に従えば、シリンドリカルレンズは、その長手方向の寸法が液晶パネルの前記交差方向の寸法より大きく設定されるので、シリンドリカルレンズを一度、走査することによって、液晶パネルの全域にわたって、検査することができる。
【００１６】
さらに本発明は、前記相対変位手段は、光学部品を変位駆動する駆動部と、
駆動部による光学部品の相対変位量を制御する制御部とを有することを特徴とする。
【００１７】
本発明に従えば、前記相対変位手段は、光学部品を変位駆動する駆動部と、駆動部による光学部品の相対変位量を制御する制御部とを有するので、検査者が制御部を制御することによって光学部品の相対変位量を制御して、相対変位させることができる。したがって検査者が、所望の相対変位量で光学部品を走査させることができ、また液晶パネルの所望の位置に光学部品を配置することができる。
【００１８】
さらに本発明は、液晶パネルの駆動回路に電力を供給する電力供給工程と、
液晶パネルの一表面部に向けて検出用の光を発する発光工程と、
液晶パネルの他の表面部から出射される光を光学部品によって発散させる発散工程と、
液晶パネルに対し、前記光学部品を相対変位させる変位工程とを有することを特徴とする液晶パネルの検査方法である。
【００１９】
本発明に従えば、電力供給工程にて液晶パネルの駆動回路に電力が供給され、発光工程にて液晶パネルの一表面部に検出用の光が入射されるので、液晶パネルの他の表面部から出射される光に基づいて欠陥を検出することができる。発散工程では他の表面部から出射される光が光学部品によって発散されるので、検査者は、発散された光を観察することができる。また光学部品は、相対変位工程では液晶パネルに対し相対変位されるので、液晶パネルが比較的大形であっても、光学部品を変位させることによって、液晶パネルの全域にわたって検査することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、検査者は、液晶パネルの微小な欠陥であっても、発散された光を観察することによって、容易に検出することができる。したがって既存の技術にように、検査者は熟練を要していなくても、微小な欠陥を検出することができる。また液晶パネルの全域にわたって検査することができので、既存の技術のように、検査装置を大形することなく、大形の液晶パネルを検査することができる。このように検査者が目視によって欠陥を検出することによって、人的特性である官能的評価を検査することができ、さらに微小な欠陥も容易に検出することができる検査装置を、小形であっても実現することができる。
【００２１】
また本発明によれば、検査者は、前記一方向のみに着目して、欠陥を検出することができ、欠陥の検出精度を向上することができる。したがって検査者の作業効率を向上することができる。
【００２２】
さらに本発明によれば、検査者は、シリンドリカルレンズが走査方向に変位した領域の液晶パネルの欠陥を検出することができる。これによって簡単な構成で、作業効率を向上することができる。
【００２３】
さらに本発明によれば、シリンドリカルレンズを一度、走査することによって、液晶パネルの全域にわたって、検査することができる。したがって検査者は、作業効率を向上することができる。
【００２４】
さらに本発明によれば、検査者が、所望の相対変位量で光学部品を走査させることができ、また液晶パネルの所望の位置に光学部品を配置することができる。したがって検査者は、手動で光学部品の位置決めをする必要がないので、簡便に光学部品を相対変位させて、検査することができる。したがって検査者の作業効率を向上するこができ、また検査者にかかる負担を小さくすることができる。
【００２５】
さらに本発明によれば、検査者は、発散された光を観察することができる。これによって検査者は、液晶パネルの微小な欠陥であっても、発散された光を観察することによって、容易に検出することができる。したがって既存の技術にように、検査者は熟練を要していなくても、微小な欠陥を検出することができる。また光学部品を変位させることによって、液晶パネルの全域にわたって検査することができる。このように検査者が目視によって欠陥を検出することによって、人的特性である官能的評価を検査することができ、さらに微小な欠陥も容易に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための形態を、複数の形態について説明する。各形態で先行する形態で説明している事項に対応している部分には同一の参照符を付し、重複する説明を略する場合がある。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、先行して説明している形態と同様とする。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組合せることも可能である。
【００２７】
図１は、本発明の第１の実施の形態である液晶パネルの検査装置１を簡略化して示す斜視図である。液晶パネルの検査装置１（以下、単に「検査装置」ということがある）１は、液晶パネル２の駆動回路に電力を供給する電力供給部３、液晶パネル２を照射するバックライト４、バックライト４が設けられる検査台５、液晶パネル２から出射される光を発散させるシリンドリカルレンズ６、および、シリンドリカルレンズ６を液晶パネル２に対して変位させる移動機構７を含んで構成される。検査装置１によって検査される液晶パネル２は、長方形板状であって、画素を構成する液晶セルの開閉によって選択的に光を透過する。
【００２８】
バックライト４は、光源であって、液晶パネル２の一表面部に向けて検出用の光を発する。バックライト４は、平板状であって、一表面部から厚み方向外方に向かって、検出用の光を発し、バックライト４に載置される液晶パネル２の一表面部に検出用の光を入射させる。
【００２９】
検査台５は、鉛直方向に対して傾斜する傾斜面部５ａを有し、この傾斜面部５ａにバックライト４が載置される。このように鉛直方向に対して傾斜させることによって、検査者は、検査するときの、首などにかかる負荷を軽減することができる。
【００３０】
電力供給部３は、検査用の信号を発生する検査信号発生回路によって実現され、液晶パネル２の駆動回路の信号入力端子に、検査信号発生回路の出力端子を接続し、表示検査用のパンターンを液晶パネル２に順次表示させる。
【００３１】
移動機構７は、相対変位手段であって、液晶パネル２に対し、シリンドリカルレンズ６を相対変位させる。移動機構７は、検査台５の傾斜面部５ａに対してシリンドリカルレンズ６を移動させ、シリンドリカルレンズ６を予め定める走査方向Ｘに相対変位可能に構成され、走査方向Ｘおよび液晶パネル２の厚み方向に交差する交差方向Ｙに相対変位可能に構成される、移動機構７を検査者が操作することによって、シリンドリカルレンズ６を検査台５の所望の位置に配置することができる。
【００３２】
シリンドリカルレンズ６は、光学部品であって、液晶パネル２の他の表面部から出射される光を発散させる。検査者は、この発散させた光を目視して、液晶パネル２を検査する。シリンドリカルレンズ６は、走査方向Ｘに屈折力を有し、かつ交差方向Ｙに延びる長手状に形成される。シリンドリカルレンズ６の光学倍率は、好ましくは２倍以上に設定され、さらに好ましくは４倍以上に設定される。
【００３３】
図２は、シリンドリカルレンズ６と液晶パネル２との配置関係を示す斜視図である。図２では、理解を容易にするため、液晶パネル２の厚み寸法を省略して示す。シリンドリカルレンズ６の交差方向Ｙと、液晶パネル２の幅方向とが略平行となるように配置され、シリンドリカルレンズ６は液晶パネル２の走査方向Ｘに、移動機構７によって走査される。本実施の形態では、シリンドリカルレンズ６は、その長手方向の寸法Ｌ１が液晶パネル２の前記交差方向Ｙの寸法Ｌ２より大きく設定される。換言すると、シリンドリカルレンズ６の長手方向の寸法Ｌ１と、液晶パネル２の交差方向Ｙの寸法Ｌ２とは、Ｌ１＞Ｌ２の関係にあるように設定される。これによってシリンドリカルレンズ６は、液晶パネル２の交差方向Ｙを全てカバーすることになり、液晶パネル２を走査方向Ｘへ１回走査するだけで、液晶パネル２の全てのエリアにおいて、検査することができる。
【００３４】
図３は、シリンドリカルレンズ６および液晶パネル２の一部を拡大して示す平面図である。液晶パネル２にバックライト４によって検出用の光を入射させ、駆動回路に電力を供給した状態で、シリンドリカルレンズ６を走査する。図３に示すように、液晶パネル２に微小欠陥８が存在していれば、シリンドリカルレンズ６によって、微小欠陥８による不良画素部分が走査方向Ｘに引き伸ばされる。検査者は、シリンドリカルレンズ６からの発散光を観察して、走査時に横切る黒点、白点、またはＲＧＢに対応した各色点を確認し、微小欠陥８を検出する。したがって検査者は、図３で２点鎖線で示す視界９をシリンドリカルレンズ６の長手方向の移動させて、走査方向Ｘに発散される不均一な光量の領域を発見して、欠陥８を検出する。
【００３５】
図４は、本実施の形態の検査装置１による液晶パネルの検査方法を示すフローチャートである。検査者は、液晶パネル２を、パネル固定冶具（図示略）にあわせて液晶パネル２をセットして、バックライト４の所定の位置に液晶パネル２が載置され、液晶パネル２の駆動回路に電力を供給可能な状態で、本フローは開始される。
【００３６】
ステップａ１は、電力供給工程であり、検査信号発生回路によって表示検査用のパターンを液晶パネル２に順次表示させ、ステップａ２に進む。ステップａ２は、発光工程であり、バックライト４を発光させて、液晶パネル２の一表面部に検出用の光を入射させ、ステップａ３に進む。このとき、検査者は、決められた検査項目を実施し、液晶パネル２の色ムラおよび輝度ムラを検査する。
【００３７】
ステップａ３は、発散工程であり、液晶パネル２の他の表面部から出射される光をシリンドリカルレンズ６によって拡散し、ステップａ４に進む。ステップａ４では、検査者は、シリンドリカルレンズ６によって拡大された液晶パネル２の表面を観察し、１画素単位で微小欠陥８の有無を検査し、ステップａ５に進む。ステップａ５は、変位工程であり、シリンドリカルレンズ６を液晶パネル２に対して、走査方向Ｘに変位させ、ステップａ６に進む。ステップａ６では、液晶パネル２の全領域の検査が終了したか否かを判断し、終了した場合、本フローを終了し、検査の未領域がある場合、ステップａ４に戻る。
【００３８】
したがってステップａ４〜ａ６を繰り返し、微小欠陥８を検出した場合は、シリンドリカルレンズ６を走査している移動機構７を停止させ、液晶パネル２の微小欠陥８の検出箇所まで、シリンドリカルレンズ６をゆっくりと戻すことによって、容易に検査者が微小欠陥８を検出することできる。
【００３９】
以上説明したように、本実施の形態の検査装置１によれば、液晶パネル２の他の表面部から出射される光は、シリンドリカルレンズ６によって発散されるので、検査者は、シリンドリカルレンズ６を介して他の表面部から出射される光を観察することができる。これによって検査者は、液晶パネル２の微小な欠陥８であっても、発散された光を観察することによって、容易に検出することができる。したがって既存の技術にように、検査者は熟練を要していなくても、微小な欠陥８を検出することができる。
【００４０】
またシリンドリカルレンズ６は、移動機構７によって液晶パネル２に対し相対変位されるので、液晶パネル２が比較的大形であっても、シリンドリカルレンズ６を変位させることによって、液晶パネル２の全域にわたって検査することができる。したがって既存の技術のように、検査装置１を大形することなく、大形の液晶パネル２を検査することができる。このように検査者が目視によって欠陥８を検出することによって、人的特性である官能的評価を検査することができ、さらに微小な欠陥８も容易に検出することができる検査装置１を、小形であっても実現することができる。
【００４１】
また本実施の形態では、シリンドリカルレンズ６によって、他の表面部から出射される光を一方向のみに屈折させて、発散させることができる。したがって検査者は、前記一方向のみに着目して、欠陥８を検出することができ、より欠陥８の検出精度を向上することができる。したがって検査者の作業効率を向上することができる。またシリンドリカルレンズ６を用いることによって、走査回数を削減することができ、検査時間を短縮することができる。
【００４２】
また本実施の形態では、シリンドリカルレンズ６は走査方向Ｘに屈折力を有し、かつ交差方向Ｙに延びる長手状に形成されるので、移動機構７によって前記シリンドリカルレンズ６が走査方向Ｘに変位されると、他の表面部から出射される光を走査方向Ｘにのみ拡散させるので、検査者は、シリンドリカルレンズ６が走査方向Ｘに変位した領域の液晶パネル２の欠陥８を検出することができる。これによって簡単な構成で、作業効率を向上することができる。
【００４３】
また本実施の形態では、シリンドリカルレンズ６は、その長手方向の寸法Ｌ１が液晶パネル２の前記交差方向Ｙの寸法Ｌ２より大きく設定されるので、１回の移動で微小欠陥８の検査エリアを拡大して検査することができる。したがって検査者は、作業効率を向上することができる。
【００４４】
またシリンドリカルレンズ６の光学倍率は、好ましくは２倍以上に設定され、さらに好ましくは４倍以上に設定される。人間の目の最小分解能は、約０．２ｍｍであり、液晶パネルの最小画素サイズは、０．２ｍｍ×０．３ｍｍであり、人間の目の最小分解能と同等であるが、欠陥要因によっては、半画素分の欠陥も存在するので、光学倍率を２倍以上に設定する必要がある。しかしながら人間の目の最小分解能と、欠陥のサイズとが同等では、欠陥の判別が困難になる恐れがあるのでマージンを取って、４倍以上の光学倍率で検査する方が、より欠陥を容易に検出することができる。したがって欠陥を容易に検出することができ、かつ不必要に検出用の光を拡散させることがないように、シリンドリカルレンズの光学倍率は設定される。これによって検査者は、作業性を損なうことなく、欠陥を容易に検出することができる。
【００４５】
次に本発明の第２の実施の形態に関して説明する。図５は、本実施の形態のシリンドリカルレンズ６と液晶パネル２との配置関係を示す斜視図である。図５では、理解を容易にするため、液晶パネル２の厚み寸法を省略して示す。本実施の形態では、シリンドリカルレンズ６は、その長手方向の寸法Ｌ１が液晶パネル２の前記交差方向Ｙの寸法Ｌ２より小さく設定される。換言すると、シリンドリカルレンズ６の長手方向の寸法Ｌ１と、液晶パネル２交差方向Ｙの寸法Ｌ２とは、Ｌ１＜Ｌ２の関係にあるように設定される。
【００４６】
このようにシリンドリカルレンズ６の長手方向の寸法Ｌ１が設定されることによって、複数回、シリンドリカルレンズ６を走査して、液晶パネル２の全域を検査する必要があるが、シリンドリカルレンズ６を小さくすることができるので、部品コストを低減することができる。またシリンドリカルレンズ６が大形化すると、光学的特性をシリンドリカルレンズ６の長手方向により均一にすることができ、液晶パネル２から出射する光が不所望に発散することを防ぐことができる。これによって検査者は、欠陥８の有無を検査することができる。またシリンドリカルレンズ６を小さく構成することのよって、検査者の視界の長手方向の移動量を少なくすることができるので、検査者にかかる負荷を小さくすることができる。
【００４７】
次に本発明の第３の実施の形態に関して説明する。図６は、本実施の形態の検査装置１ａを簡略化して示す斜視図である。本実施の形態の検査装置１は、移動機構７に特徴を有する。移動機構７は、シリンドリカルレンズ６を変位駆動する駆動部７ａ、および、駆動部７ａによるシリンドリカルレンズ６の相対変位量を制御する制御部１０とを有する。
【００４８】
駆動部７ａは、たとえば駆動用モータによって実現され、移動機構７の端部に設けられる。制御部１０、たとえばジョイスティックなどの簡易入力デバイスによって実現され、検査者から与えられる操作情報に基づいて、駆動用モータを駆動して、シリンドリカルレンズ６の変位量を制御する。したがってシリンドリカルレンズ６を検査者が手で移動させるのではなく、簡易入力デバイスによって、シリンドリカルレンズ６を容易に走査させることが可能になり、さらには、簡易入力デバイスの操作情報、例えば、ジョイスティックであれば、倒された角度によって、シリンドリカルレンズ６を走査させる速度を制御する。これによって、検査者は、微小欠陥８が疑わしい箇所に対しては、シリンドリカルレンズ６をゆっくりと走査させ、疑わしくない箇所では、若干速くシリンドリカルレンズ６を走査させることによって、検査作業時間を短縮することができる。
【００４９】
次に本発明の第４の実施の形態に関して説明する。図７は、本実施の形態の検査装置１ｂを簡略化して示す斜視図である。本実施の形態の検査装置１は、光学部品が対物レンズ６ａによって実現される。検査者は、対物レンズ６ａを走査方向Ｘに走査して、液晶パネル２の長さ方向端部に到達した対物レンズ６ａを、交差方向Ｙにスライドさせ、再び走査方向Ｘに走査して、液晶パネル２の全域にわたって検査する。
【００５０】
このような比較的安価な対物レンズ６ａを用いることによって、検査装置１ｂを低コストで、簡便に実現することができる。またどのような大きさの液晶パネル２であっても、対物レンズ６ａを走査することによって、検査することができるので、汎用性に優れる検査装置１ｂを実現することができる。
【００５１】
前述の実施の形態では、光学部品は、シリンドリカルレンズ６または対物レンズ６ａによって実現されているが、これに限ることはなく、液晶パネル２から出射される光を発散する発散手段であればよい。たとえば光学部品は、レンズアレイであってもよい。レンズアレイを用いることによって、より走査回数および走査する変位量を少なくすることができ、作業効率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１の実施の形態である液晶パネルの検査装置１を簡略化して示す斜視図である。
【図２】シリンドリカルレンズ６と液晶パネル２との配置関係を示す斜視図である。
【図３】シリンドリカルレンズ６および液晶パネル２の一部を拡大して示す平面図である。
【図４】本実施の形態の検査装置１による液晶パネル２の検査方法を示すフローチャートである。
【図５】本実施の形態のシリンドリカルレンズ６と液晶パネル２との配置関係を示す斜視図である。
【図６】本実施の形態の検査装置１ａを簡略化して示す斜視図である。
【図７】本実施の形態の検査装置１ｂを簡略化して示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５３】
１，１ａ，１ｂ  液晶パネルの検査装置
２  液晶パネル
３  電力供給部
４  バックライト
５  検査台
６  シリンドリカルレンズ
７  移動機構
７ａ  駆動部
８  欠陥
１０  制御部
【図１】
2006243670.tif 000003
【図２】
2006243670.tif 000004
【図３】
2006243670.tif 000005
【図４】
2006243670.tif 000006
【図５】
2006243670.tif 000007
【図６】
2006243670.tif 000008
【図７】
2006243670.tif 000009