(57)【要約】【課題】  一対のレール間隔の不良を速やかに検知して、ワーク搬送の作業能率を向上させる。【解決手段】  固定レール２と移動レール３でワーク１を搬送する装置で、移動レール３をレール間隔切替ユニット１０で移動させてレール間隔をワーク幅に対応させて変更する際に、レール間隔切替ユニット１０に添設されたレール間隔検知ユニット２０でレール間隔を検知する。検知したレール間隔が適正範囲内にあるか否かを判定して、ワーク搬送作業を継続させるか、レール間隔を修正するかを選択する。【選択図】図１
2006096523.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの幅方向両端部を保持してワークを幅方向と直交方向に搬送する略水平な一対のレールと、幅の異なる複数品種のワークの幅に対応させて前記一対のレールの間隔を変更するレール間隔切替ユニットと、前記ワークの品種に対応した幅を有し、前記一対のレール間に着脱自在に配備されてレール上のワークの下面を適宜に保持する作業用プレートを具備したワーク搬送装置において、
前記一対のレールでワークを搬送する事前に、前記一対のレールの間隔を検知するレール間隔検知ユニットを配備したことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記レール間隔検知ユニットに、当該レール間隔検知ユニットで検知したレール間隔が適正範囲外であると作動する警報手段を付設したことを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記一対のレールは、ワーク搬送方向に平行な固定レールと、この固定レールに対して相対移動する移動レールを具備し、
前記レール間隔検知ユニットは、所定の原点位置からワーク幅方向に移動可能な可動ヘッド部と、この可動ヘッド部と前記移動レールそれぞれに設置され、可動ヘッド部と移動レールのワーク幅方向での相対移動時に可動ヘッド部と移動レールが所定の位置関係になる時点を検出するセンサー部と、前記時点における可動ヘッド部の前記原点位置との距離データに基づいて前記固定レールと移動レールの間隔を算出する距離データ演算処理部を具備することを特徴とする請求項１または２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記レール間隔検知ユニットは、前記一対のレールを上方から撮像するカメラ部と、このカメラ部で撮像された画像データから一対のレールの間隔を算出する画像データ演算処理部を具備することを特徴とする請求項１または２に記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置などに使用されるワーク搬送装置で、詳しくは、幅の異なる複数品種のワークを、ワーク幅に対応させて間隔調整された一対の水平レールに沿わせて搬送するワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リードフレームに半導体チップをマウントする半導体製造工程には、リードフレームをレールに沿わせて搬送するワーク搬送装置が使用される。このワーク搬送装置におけるレールは、平行に対向する水平な一対である。レールで搬送されるリードフレームは、幅の異なる複数品種がある。レールで搬送されるリードフレームの品種が切り替えられると、一対のレールの間隔を品種切り替えされたリードフレームの幅に合わせ変更してから、リードフレームを搬送するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
一対のレールは、リードフレームの幅方向両端部を保持する。リードフレームは、レール上を摺動してリードフレームの幅方向と直交する長手方向に間欠的に水平送りされる。レール上でリードフレームが停止したときに、リードフレーム上に接着剤塗布やチップマウントなどの各種の作業が行われる。この作業を安定して行うため、レール上で停止したリードフレームの幅方向両端部を除く中央部下面を、平坦な作業用プレート（アダプタープレート）で保持している。このような作業用プレートを装備したワーク搬送装置の概要を図５に示す。
【０００４】
図５の平面図で示すワーク搬送装置は、図５で左右のＸ方向に平行な一対のレール２、３を備える。各レール２、３は水平レールで、一方は定位置に固定された固定レール２であり、他方は固定レール２に対して平行に接近離反移動する移動レール３である。各レール２、３の断面が、図６に示される。各レール２、３の上面内側部分に凹段部２ａ、３ａが形成され、この凹段部２ａ、３ａにリードフレーム１の幅方向両端部が載せられる。リードフレーム１は、Ｘ方向に長尺な平板状で、図５で左方向から各レール２、３の間に送り込まれると、幅方向両端部が各レール２、３上を摺動して図５で右方向に搬送される。固定レール２は、レール支持台４に固定される。移動レール３は、例えば水平な移動板５と一体である。移動板５の両端部は、水平なレール状のガイド６に支持される。ガイド６は、Ｘ方向と直交する水平なＹ方向に延びる一対で構成される。移動板５の下面両端部に、一対のガイド６にＹ方向に摺動可能なブロック７が設置される。
【０００５】
移動板５の移動レール３と反対の端部に、カップリング８が設置される。カップリング８にドライブシャフト９の先端部が連結される。ドライブシャフト９はＹ方向に延在する送りねじ棒で、その基端部がパルスモーター１３にベルト（図示せず）で連結される。パルスモーター１３でベルトを介しドライブシャフト９を正逆回転させると、移動板５と移動レール３がＹ方向に前後移動し、移動レール３と固定レール２の間隔がリードフレーム１の幅に合わせて変更される。パルスモーター１３とドライブシャフト９、カップリング８で、レール間隔を適宜に切り替えるレール間隔切替ユニット１０が構成される。
【０００６】
リードフレーム１は幅の異なる複数品種があり、いずれかの品種が一対のレール２、３の間に送り込まれる。図６の鎖線で示すリードフレーム１の幅をＷｂとすると、一対のレール２、３の間隔は、それぞれの凹段部２ａ、３ａの垂直面２ｂ、３ｂ間の距離であり、この距離がＷｂとなるようレール間隔がリードフレーム１の品種切替毎に変更される。また、一対のレール間には適宜に、例えば２枚の作業用プレート１１、１２が配備される。各作業用プレート１１、１２は水平な矩形の平板で、一対のレール間に凹段面２ａ、３ａの水平面と面一にして配置される。リードフレーム１の幅方向両端部を一対のレール２，３の凹段面２ａ、３ａに載せて搬送すると、リードフレーム１の下面が作業用プレート１１，１２の上面を摺動する。リードフレーム１が搬送される一対のレール間は、リードフレーム上に接着剤を塗布するプリフォーム領域や、リードフレーム上に半導体チップをマウントするマウント領域などの各種作業領域が一連に並ぶ。このレール間のプリフォーム領域に一方の作業用プレート１１が設置され、マウント領域に他方の作業用プレート１２が設置される。各作業用プレート１１、１２は、幅の異なる複数品種のリードフレーム１に対応した複数品種が用意される。
【０００７】
以上のワーク搬送装置によるワーク品種切替毎のレール間隔変更と、間隔変更後のワーク搬送は、次の要領で行われる。
【０００８】
一対のレール間にリードフレーム１が搬入される事前において、レール間に既にある作業用プレート１１、１２が作業員の手で外され、パルスモーター１３の駆動制御回路（図示せず）に新しいリードフレーム１の幅に相当する数値データを入力する。この入力で、まずパルスモーター１３が原点復帰動作して、移動板５と移動レール３を図５の鎖線で示す原点位置まで後退させる。原点位置の移動レール３と、定位置の固定レール２のレール間隔Ｗａは、複数品種のリードフレームの最大幅より少し大き目に設定される。移動レール３を原点復帰させた後、パルスモーター１３はワーク幅の数値データに基づいて移動板５と移動レール３をＹ方向に前進させ、レール間隔を品種切替されたリードフレーム１の幅に合うように自動で切替える。この間隔変更された一対のレール間に、新しく搬送されるリードフレーム１の幅に対応させた品種の作業用プレート１１、１２が作業員の手で落とし込み式に設置される。
【０００９】
以上のようにワーク品種の切替作業が終了してから、レール間に新しい品種のリードフレーム１が搬入され、レール上を間欠的に搬送される。リードフレーム１の一部がプリフォーム領域の作業用プレート１１上に移動して停止すると、図示しないプリフォームユニットを使ってリードフレーム１上に接着剤が塗布（プリフォーム）される。さらにリードフレーム１が前進して接着剤塗布された一部がマウント領域の作業用プレート１２上に移動すると、図示しないチップマウントユニットを使って半導体チップがマウントされる。
【００１０】
なお、上記のプリフォームユニットは、水平なＸＹ方向や上下のＺ方向に可動なＸＹＺテーブルまたは水平方向の回転機能を加えたＸＹＺθテーブルであるプリフォームヘッドに接着剤塗布ノズルなどを装備させたもので、所定の原点位置から駆動してリードフレーム上に定量のチップマウント用接着剤を塗布すると、原点位置に復帰して次の接着剤塗布に待機する。
【特許文献１】特開平７−２０６１６３号公報（第００３０段）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
図５のワーク搬送装置のように、ワーク品種の切替作業が終了してから、一対のレール間に新しい品種のワーク（リードフレーム）を搬入する場合、一対のレール間の間隔が品種切替されたワークの幅に適正に対応していないことがある。例えば、図５装置においては、作業員の品種切替操作ミスの外に、レール間隔変更に使用しているパルスモーター１３の脱調などの特性不良、パルスモーター１３の回転力をドライブシャフト９に伝達するベルトの経時変化による破断や緩み、カップリング８の緩みなどが要因となって、ワーク品種切替直後のレール間隔が適正な範囲から外れている場合がある。また、パルスモーター１３においては、電源オフではモーターが励磁されていないために、変更後のレール間隔がずれる虞があり、さらに、電源立上げ時にモーターに電流が印加されると、励磁相に引き寄せられてレール間隔にずれが生じることがある。
【００１２】
このように新しい品種のワークを搬送する際に、変更されたレール間隔にずれが生じて適正な範囲に無い場合は、品種切替したワークの正常な搬送ができず、正常でないワーク搬送をしてワークや搬送装置に損傷を与え、ワークに対する接着剤塗布などの作業工程に悪影響を及ぼすことがある。また、レール間隔が適正な範囲に無い場合、品種切替したワークを搬送する作業時に正常な搬送ができないことから、レール間隔の不良発生が検知できて、レール間隔を修正するようにしているが、ワーク品種切替開始からレール間隔の不良検知までの時間が長く、この時間が無駄となってワーク搬送の作業能率を低下させることがある。
【００１３】
本発明の目的とするところは、レール間隔の不良を速やかに検知してワーク搬送の作業能率を改善したワーク搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、ワークの幅方向両端部を保持してワークを幅方向と直交方向に搬送する略水平な一対のレールと、幅の異なる複数品種のワークの幅に対応させて一対のレールの間隔を変更するレール間隔切替ユニットと、ワークの品種に対応した幅を有し、一対のレール間に着脱自在に配備されてレール上のワークの下面を適宜に保持する作業用プレートを具備したワーク搬送装置において、一対のレールでワークを搬送する事前に、一対のレールの間隔を検知するレール間隔検知ユニットを配備したことにより、上記目的を達成するものである。
【００１５】
ここで、ワークは半導体装置の製造に使用されるリードフレームや帯板状の基板などであり、幅の異なる複数品種のワークが共通の一対のレール上を摺動して搬送される。一対のレールは平行に対向する水平レールで、レール間隔がワーク幅に対応させて変更される。レール間隔の変更は、一対のレールの双方を互いに移動させて行う、或いは、一方を固定して他方を移動させて行うことができる。レール間隔切替ユニットは、モーターやシリンダを駆動源にしたアクチュエータが適用できる。一対のレール間に配備される作業用プレートは、ワークに対して特定の作業をするときにワークを保持するアダプタープレートで、ワークの幅に対応した幅を有する。作業用プレートは複数品種のワークに対応して幅の異なる複数品種があり、ワークの品種切替時に作業用プレートも品種切替が行われる。レール間隔検知ユニットは、一対のレールの離隔距離であるレール間隔を直接的または間接的に計測する計測機器で、既存の計測機器を応用したものが適用できる。ワークの品種切替毎にレール間隔検知ユニットでレール間隔を検知することで、レール間隔が適正範囲にあるか否かが速やかに判断できるようになる。この判断で、正常でないワーク搬送動作が回避できて作業時間の無駄がなくなり、ワーク搬送の作業能率を上げることができる。
【００１６】
本発明においては、レール間隔検知ユニットに、この検知ユニットのレール間隔検知データがワーク幅により決められた適正範囲外の場合に作動する警報手段を付設することができる。ここでの警報手段は、ブザーを含む音声発生装置や、点滅ランプなどの点灯表示装置、音声発生と点灯表示を兼備する装置が適用できる。この警報手段の警報がワーク品種切替の作業をした作業員に認知されて、作業員によるレール間隔の点検、修正などの作業が速やかに行われる。
【００１７】
また、本発明においては、一対のレールがワーク搬送方向に平行な固定レールと、この固定レールに対して相対移動する移動レールを具備し、かつ、レール間隔検知ユニットが、所定の原点位置からワーク幅方向に移動可能な可動ヘッド部と、この可動ヘッド部と移動レールそれぞれに設置され、可動ヘッド部と移動レールのワーク幅方向での相対移動時に可動ヘッド部と移動レールが所定の位置関係になる時点を検出するセンサー部と、前記時点における可動ヘッド部の前記原点位置との距離データに基づいて固定レールと移動レールの間隔を算出する距離データ演算処理部を具備する構成にすることができる。
【００１８】
ここでのレール間隔検知ユニットの可動ヘッド部は、半導体製造装置のリードフレーム上に接着剤を塗布するプリフォームユニットにおけるＸＹＺテーブル式プリフォームヘッドや、リードフレーム上に半導体チップをマウントするボンディングユニットのＸＹＺテーブル式ヘッドのような既存設備が適用できる。この可動ヘッド部と移動レールそれぞれに互いの相対位置関係を検出するためのセンサー部品を設置して、センサー部を構成する。例えば、移動レール側に投光素子と受光素子を組み合わせた光学センサー部品を設置し、可動ヘッド部側に遮光板を設置してセンサー部を構成する。可動ヘッド部と移動レールがワーク幅方向に相対移動するときに、可動ヘッド部の遮光板を移動レール側の光学センサー部品に接近させ、光学センサー部品の投光素子と受光素子間の光路を遮光板が遮光した時点を検出する。この検出で、可動ヘッド部と移動レールのワーク幅方向における相対位置関係が分かり、可動ヘッド部の原点位置からの距離データを求めれば、固定レールと移動レールの間隔が算出できる。
【００１９】
また、本発明においては、レール間隔検知ユニットが、一対のレールを上方から撮像するカメラ部と、このカメラ部で撮像された画像データから一対のレールの間隔を算出する画像データ演算処理部を具備する構造にすることができる。
【００２０】
ここでのカメラ部は、一対のレールを真上から撮像するＣＣＤカメラ、ＣＭＯＳカメラが適用できる。一対のレールの一方または両方の上面にターゲットマークを形成して、このターゲットマークを含むレール上をカメラ部で撮像すれば、レール画像のターゲットマークを利用してレール間隔を容易かつ正確に演算することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のワーク搬送装置によれば、ワーク品種切替の作業終了の時点でレール間隔が自動で検知できるので、ワーク品種切替作業終了から品種切替されたワークの正常な状況下での搬送作業に、または、レール間隔が不良な場合にレール間隔の修正作業に、いずれも時間無駄少なくして速やかに移行できて、ワーク搬送の作業能率を上げることができる。また、レール間隔が不良な状況下でワーク搬送してワークと搬送装置の双方に損傷を与えるといったトラブル発生が確実性よく回避できて、ワーク搬送装置の信頼性改善が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図４を参照して説明する。なお、図１〜図４の実施の形態は、図５のワーク搬送装置に適用したもので、図５と同一または相当部分には同一符号を付して、詳細説明を省略する。
【００２３】
図１および図２に示されるワーク搬送装置は、一対のレール２、３を備える。一方は固定レール２であり、他方は固定レール２に対して平行に接近離反動する移動レール３である。各レール２、３の上面内側部分に形成した凹段部２ａ、３ａに、リードフレーム１（以下、ワーク１と称する）の幅方向両端部が保持される。移動レール３と一体の移動板５がガイド６にブロック７を介して保持され、ガイド６に沿ってＹ方向に前後移動する。移動板５にレール間隔切替ユニット１０が連結される。移動板５のカップリング８にドライブシャフト９の先端部が連結され、ドライブシャフト９がパルスモーター１３で正逆回転して、移動板５と移動レール３をＹ方向に前後動させる。移動レール３と固定レール２の間に作業用プレート１１、１２が適宜に配備される。ワーク１と各プレート１１、１２は幅の異なる複数品種があり、搬送するワーク１の品種切替でプレート１１、１２も品種切替される。
【００２４】
以上のワーク搬送装置において、本発明は、一対のレール２、３でワーク１を搬送する事前に、一対のレール２、３の間隔を検知するレール間隔検知ユニット２０を配備する。レール間隔検知ユニット２０は、少なくともＹ方向に前後移動可能な可動ヘッド部２１と、可動ヘッド部２１と移動レール３のワーク幅方向（Ｙ方向）での相対移動時に可動ヘッド部２１と移動レール３が所定の位置関係になる時点を検出するセンサー部２２と、センサー部２２からの位置データ信号に基づいてレール間隔を演算する距離データ演算処理部２３を備える。距離データ演算処理部２３はコンピュータのＣＰＵで、出力側に警報手段２４が連接される。
【００２５】
可動ヘッド部２１は、所定の原点位置から少なくともＹ方向に往復移動する可動テーブルで、例えばリードフレーム上に接着剤を塗布する既設のＸＹＺテーブル式プリフォームヘッドが適用される。図１と図２に示される符号２６は、ＸＹＺテーブル式可動ヘッド部２１をＹ方向に移動させるサーボモーターで、Ｘ方向と上下のＺ方向に移動させるモーターは省略してある。このように可動ヘッド部２１に既設の設備を使用することで、レール間隔検知ユニット２０の特別な設置スペースが不要となり、特別な可動ヘッド部材の省略で設備費の節約が図れる。
【００２６】
センサー部２２は、例えば移動レール３と一体の移動板５に固定した光学センサー部品２２ａと、可動ヘッド部２１に固定した遮光板２２ｂを備える。光学センサー部品２２ａは、投光素子３１と受光素子３２を所定の間隔で対向させて、両者間にＸ方向に平行な物体検知用光路を形成する。遮光板２２ｂは、可動ヘッド部２１から移動板５の上方まで延在するアーム３３の先端部に固定されたＹ方向に平行な平板で、先端からの延長線が光学センサー部品２２ａの光路と直交する。なお、図１に示すセンサー部２２は、移動板５の上面側に配備した構成となっているが、移動板５の下面側に配備することもできる。
【００２７】
図１のワーク搬送装置は、従来同様にしてワーク搬送を行い、ワークの品種が切り替えられると、次のようにレール間隔変更を行う。
【００２８】
一対のレール間にワーク１が搬入される事前に、レール間に既にある作業用プレート１１、１２が作業員の手で外され、パルスモーター１３側に新しいワーク１の幅に相当する数値データが入力される。この入力で、まずパルスモーター１３が原点復帰動作して、移動板５と移動レール３を図１の鎖線で示す原点位置まで後退させる。次に、パルスモーター１３はワーク幅の数値データに基づいて移動板５と移動レール３をＹ方向に前進させ、レール間隔を品種切替されたワーク１の幅に合うように自動で変更する。この間隔変更の動作に併行して、レール間隔検知ユニット２０によるレール間隔検知の動作が行われ、レール間隔が正常に変更されたか否かが自動判定される。レール間隔が正常に変更された場合、新しく搬送されるワーク１の幅に対応させた品種の作業用プレート１１、１２が作業員の手で設置される。
【００２９】
レール間隔検知ユニット２０は、図２（Ａ）〜（Ｃ）に示すようにしてレール間隔を検知する。移動レール３が原点復帰する動作に合わせて、レール間隔検知ユニット２０の可動ヘッド部２１側も原点復帰動作が行われる。可動ヘッド部２１のＹ方向での原点復帰は、サーボモーター２６で行われて、図２（Ａ）に示すように可動ヘッド部２１が定位置のサーボモーター２６に最も接近する。図２（Ａ）の移動レール３、移動板５が原点位置にあるとすると、遮光板２２ｂと光学センサー部品２２ａが最も離れた距離にある。
【００３０】
図２（Ａ）の状態で移動板５と移動レール３をＹ方向に前進させてレール間隔の変更を行い、仮にこの変更が正常に行われた場合の状態を図２（Ｂ）とする。図２（Ｂ）のレール間隔変更の動作に併行して、サーボモーター２６で可動ヘッド部２１を前進させて、遮光板２２ｂを光学センサー部品２２ａの光路に向けて前進させる。図２（Ｃ）に示すように、遮光板２２ｂの先端部が光学センサー部品２２ａの光路に侵入して光路を遮断すると、投光素子３１からの光が遮光板２２ｂで遮光されて受光素子３２に入射しない。この受光素子３２の出力変化を距離データ演算処理部２３で検知し、このときの可動ヘッド部２１の原点位置からの前進移動距離Ｌを演算する。レール間隔と比例関係にある移動距離Ｌから、変更されたレール間隔が算出される。距離データ演算処理部２３は、変更されたレール間隔が適正範囲内にあるか否かを判定する。
【００３１】
距離データ演算処理部２３が、変更されたレール間隔を正常と判定すると、警報手段２４を停止状態に保留し、正常を示すランプ表示などをする。この場合、作業員は、新しい品種の作業用プレート設置と、新しい品種のワーク搬送を行う。距離データ演算処理部２３が、変更されたレール間隔が適正範囲外にあると判定すると、警報手段２４を作動させる。この警報で作業員はレール間隔が正常でないことを速やかに認知して、新しい品種の作業用プレート設置を止め、レール間隔の修正作業に移行する。
【００３２】
図３および図４に示す実施の形態のワーク搬送装置は、レール間隔検知ユニット２０を、一対のレール２、３を上方から撮像するカメラ部４０と、このカメラ部４０で撮像された画像データから一対のレール２、３の間隔を算出する画像データ演算処理部４１で構成している。画像データ演算処理部４１は、その出力側に警報手段２４を連接する。
【００３３】
カメラ部４０は、一対のレール２、３を真上から撮像する例えばＣＣＤカメラである。一対のレール２，３は、上面の定位置にターゲットマーク４２、４３を有する。カメラ部４０は、２つのターゲットマーク４２、４３を含むレール上を撮像し、撮像した画像データを画像データ演算処理部４１に出力する。画像データ演算処理部４１は、カメラ部４０からの画像データを演算処理して、画像における２つのターゲットマーク４２、４３の距離Ｗｘから変更されたレール間隔を算出して、レール間隔が正常に変更されたか否かを自動判定する。画像データ演算処理部４１がレール間隔適正と判定した場合に、新しく搬送されるワーク１の幅に対応させた品種の作業用プレート１１、１２が作業員の手で設置される。また、画像データ演算処理部４１がレール間隔不適正と判定すると、警報手段２４を作動させる。
【００３４】
以上のようなカメラ画像からレール間隔を算出するレール間隔検知ユニット２０は、既存のワーク搬送装置に手を加えることなく適用できる。
【００３５】
なお、本発明のワーク搬送装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態を示す要部の平面図である。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は図１ワーク搬送装置におけるレール間隔検知ユニットの各動作時での平面図である。
【図３】他の実施の形態を示す要部の平面図である。
【図４】図３ワーク搬送装置の要部の側面図である。
【図５】従来のワーク搬送装置の要部の平面図である。
【図６】図５ワーク搬送装置の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１    ワーク、リードフレーム
２    レール、固定レール
３    レール、移動レール
１０    レール間隔切替ユニット
１１、１２    作業用プレート
１３    パルスモーター
２０    レール間隔検知ユニット
２１    可動ヘッド部
２２    センサー部
２２ａ    光学センサー部品
２２ｂ    遮光板
２３    距離データ演算処理部
２４    警報手段
２６    サーボモーター
４０    カメラ部
４１    画像データ演算処理部
４２、４３    ターゲットマーク
【図１】
2006096523.tif 000003
【図２】
2006096523.tif 000004
【図３】
2006096523.tif 000005
【図４】
2006096523.tif 000006
【図５】
2006096523.tif 000007
【図６】
2006096523.tif 000008