(57)【要約】【課題】  本発明は搬送構造を改善した基板搬送装置を提供する。【解決手段】  本発明による基板搬送装置は、ベース部２０と；ベース部２０上に直線運動ができるように設置されて、回転体３２が備わっている運動部３０と；運動部３０の両側に並立設置されて、高さ調節が可能な一対のフレーム部４０ａ、４０ｂと；一対のフレーム部４０ａ、４０ｂの間に連結されて、フレーム部４０の高さ調節動作に連動して、上下直線運動する搬送部５０と；を含んで構成される。これにより、構造的な安全性を確保した状態で、簡便で精密に基板、特に大型基板を搬送させることが可能になる。【選択図】図１
2006005362.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する基板搬送装置において、
ベース部と；
前記ベース部の上に直線運動が可能になるように設置されて、回転体が備わっている運動部と；
前記運動部の両側に並立設置されて、高さの調節が可能な一対のフレーム部と；
前記一対のフレーム部の間に連結されて、前記フレーム部の高さ調節動作に連動して、上下運動する搬送部と；を含むことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記回転体は、回転可能な回転部と；前記回転部の上に設置されて、前記一対のフレーム部を支持する支持プレート部と；を含むことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記フレーム部は、前記支持プレート部の上部に設置される固定フレームと；前記固定フレームに昇降することができるように結合されて前記搬送部が連結される移動フレームと；を含むことを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記搬送部の両側端部が、前記一対の移動フレームに一体に連結されることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置に関し、より詳細には搬送構造を改善した基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体製造設備には、作業ラインの無人自動化により作業の効率性を高めるために、ＬＣＤ基板のような半導体部品を自動的に搬送するための基板搬送装置が備わる。
【０００３】
最近、ユーザの要求により大型ディスプレー装置が占める比率が大きくなり、これに伴い基板の大きさも大型化される傾向がある。基板の大型化はこれを取扱う装備の大型化を引き起こし、基板を搬送する基板搬送装置も垂直方向に要求される移動距離が約４Ｍに達している。
【０００４】
従来の基板搬送装置の大部分は、基板の搬送を実質的に担当するアーム／ハンドモジュールのような搬送部を一つの垂直軸で支持していて、大型の基板を搬送する場合には、重心が回転中心と一致しなかったため、回転運動時に回転軸に負荷が増加し、構造的な安全性に問題が発生する可能性が高い問題点がある。
【０００５】
また、一方の垂直軸の高さが相対的に高くなると、搬送部の荷重およびモーメントによって垂直軸が変形する可能性があって、これは基板搬送装置の精密度を低下させる原因である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、前記のような問題点を解決するために創出されたもので、構造的な安全性を図るとともに基板の運搬を容易にできる基板搬送装置を提供することが本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記のような目的を達成するため、本発明は、基板を搬送する基板搬送装置において、ベース部と；前記ベース部の上に直線運動が可能になるように設置され、回転体が備わっている運動部と；前記運動部の両側に並立設置されて、高さの調節ができる一対のフレーム部と；前記一対のフレーム部の間に連結されて、前記フレーム部の高さ調節動作に連動して上下運動する搬送部と；を含んで構成されることが特徴である。
【０００８】
前記回転体は、回転可能な回転部と；前記回転部の上に設置されて、前記一対のフレーム部を支持する支持プレート部と；を含むことが好ましい。
【０００９】
前記フレーム部は、前記支持プレート部の上部に設置される固定フレームと；前記固定フレームに昇降できるように結合されて、前記搬送部が連結される移動フレームと；を含むことが好ましい。
【００１０】
前記搬送部の両側端部が、前記一対の移動フレームに一体に連結されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、基板搬送時、特に大型基板の搬送時に、構造的な安全性を確保した状態で、簡便で精密に搬送作業を遂行することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、添付図を参照して、本発明の好ましい実施形態を説明する。
【００１３】
図１乃至図３に示された通り、本発明による基板搬送装置は、ベース部２０と；ベース部２０の上に直線運動が可能になるように設置されて、回転体３２が備わっている運動部３０と；運動部３０の両側に並立設置されて、高さの調節が可能な一対のフレーム部４０ａ、４０ｂと；一対のフレーム部４０ａ、４０ｂの間に連結されて、フレーム部４０ａ、４０ｂの高さ調節動作に連動して、上下運動する搬送部５０と；を含んで構成される。
【００１４】
ベース部２０には、フレーム部４０ａ、４０ｂの位置を決定する走行軸の役割が遂行できるように、運動部３０を直線運動ができるように導く直四角形のガイド(図示せず)が形成されている。
【００１５】
運動部３０は、ベース部２０のガイドに沿って直線運動するだけでなく、回転体３２によって回転もできるように構成されている。回転体３２は、回転可能な回転部３２ａと；回転部３２ａと一緒に回転可能になるように設置されて、一対のフレーム部４０ａ、４０ｂを支持する支持プレート部３２ｂと；を含む。従って、回転部３２ａの回転により、それと結合されている支持プレート部３２ｂが回転されることによって、支持プレート部３２ｂ上に設置されている一対のフレーム部４０ａ、４０ｂも回転可能となる。
【００１６】
一対のフレーム部４０ａ、４０ｂの各々は、支持プレート部３２ｂの上部に固定設置される固定フレーム４２と；固定フレーム４２に昇降できるように結合されて、搬送部５０が連結される移動フレーム４４と；を含む。移動フレーム４４は、固定フレーム４２に対して上下に昇降されることによって、搬送部５０の高さの調節が可能になり、移動フレーム４４は昇降手段(図示せず)によって昇降される。昇降手段は、油圧または空圧を利用したシリンダーをはじめとして、固定フレーム４２に対して移動フレーム４４を昇降させる範囲内で公示された形態を多様に適用することができる。
【００１７】
搬送部５０は、基板が装着されるロボットハンド５２と；ロボットハンド５２の前後進運動を担当するロボットアーム５４と；一対のフレーム部４０ａ、４０ｂの間に連結されて、ロボットハンド５２およびロボットアーム５４を支持するキャリッジプレート５６と；を含む。搬送部５０は、両側端部が一対の移動フレーム４４に一体に連結される。即ち、搬送部５０のキャリッジプレート５６の両側端部が移動フレーム４４に一体に連結されて、移動フレーム４４の昇降により昇降運動が可能になる。
【００１８】
図４ａおよび図４ｂは、本発明による基板搬送装置のフレーム部の別の実施形態を示した作動状態図である。この実施形態のフレーム部は、ネジ軸とガイド軸を利用した構造で、その動作原理は下記の通りである。
【００１９】
図面に示されたように、固定フレーム４２の下段に設置されている駆動モータ５１が垂直のネジ軸５２を回転させることによって、ネジ軸５２と連結しているネジ軸ナット５３が垂直運動するようになる。これにより、ネジ軸ナット５３と連動する移動フレーム４４が垂直運動するようになる。この時、移動フレーム４４が動く距離及び速度はネジ軸５２のリードにより決定される。
【００２０】
移動フレーム４４の垂直運動時、水平方向への荷重を支持するとともに直線運動を誘導するために、固定フレーム４２にはガイド軸５４が設けられていて、ガイド軸５４は固定フレーム４２に固定されているガイド軸ブシュ５５を貫通して、昇降運動するようになる。
【００２１】
一方、移動フレーム４４の上段には、滑車５７が設置されて、ベルト５８と一緒に連動することによって、キャリッジプレート５６の移動フレーム４４に対する相対運動を誘発する。ベルト５８の一側の端部は固定フレーム４２の上段に固定されて、他側の端部はキャリッジプレート５６の上段に固定されている。
【００２２】
従って、移動フレーム４４が垂直上昇すると、滑車５７が共に上昇することによって、ベルト５８は図４ｂに示されているように反時計方向に移動するが、これはキャリッジプレート５６の垂直上昇運動を誘発する。キャリッジプレート５６の垂直上昇運動は、固定フレーム４２の運動のようにガイド軸５４およびガイド軸ブシュ５５により誘導される。この時、キャリッジプレート５６の移動距離及び速度は、移動フレーム４４の移動距離及び速度の２倍になる。
【００２３】
図５ａおよび図５ｂは、本発明による基板搬送装置のフレーム部の別の実施形態を示した作動状態図である。この実施形態によるフレーム部は、２個のネジ軸を利用した構造で、その動作原理は下記の通りである。
【００２４】
図面に示された通り、第１ネジ軸５２ａ及び第２ネジ軸５２ｂは、両端部が、軸方向に回転できるように、移動フレーム４４に支持されていて、第１ネジ軸５２ａ及び第２ネジ軸５２ｂは、駆動モータ５１が回転することにより互いに反対方向に回転するようになる。第１ネジ軸５２ａが反時計方向に回転すると、第１ネジ軸ナット５３ａと連結した固定フレーム４２が固定されているため、移動フレーム４４が相対的に上昇するようになる。この時、移動フレーム４４の移動距離及び速度は第１ネジ軸５２ａのリードにより決定される。
【００２５】
移動フレーム４４が上昇することと同時に、第２ネジ軸５２ｂは時計方向に回転するようになって、第２ネジ軸ナット５３ｂにより第２ネジ軸５２ｂに連結されたキャリッジプレート５６は、第２ネジ軸５２ｂに対して相対的に上昇移動するようになる。
【００２６】
このようにキャリッジプレート５６が、上昇する移動フレーム４４に対して、相対的に上昇するため、第１ネジ軸５２ａ及び第２ネジ軸５２ｂのギア比が１:１であり、同じリードを有すると、移動速度及び距離は移動フレーム４４の２倍になる。
【００２７】
従って、初期位置として、移動フレーム４４を固定フレーム４２の最上段に配置して、キャリッジプレート５６を第２ネジ軸５２ｂの最下段に配置すると、キャリッジプレート５６は、移動フレーム４４の２倍の高さに該当する移動範囲を有することになる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明による基板搬送装置を示した正面図である。
【図２】本発明による基板搬送装置を示した側面図である。
【図３】本発明による基板搬送装置の作動状態図である。
【図４Ａ】本発明による基板搬送装置のフレーム部の別の実施形態を示した作動状態図である。
【図４Ｂ】本発明による基板搬送装置のフレーム部の別の実施形態を示した作動状態図である。
【図５Ａ】本発明による基板搬送装置のフレーム部のまた別の実施形態を示した作動状態図である。
【図５Ｂ】本発明による基板搬送装置のフレーム部のまた別の実施形態を示した作動状態図である。
【符号の説明】
【００２９】
２０        ベース部
３０        運動部
３２        回転体
３２ａ      回転部
３２ｂ      支持プレート部
４０ａ、４０ｂ    フレーム
４２        固定フレーム
４４        移動フレーム
５０        搬送部
５１        駆動モータ
５２        ネジ軸
５２ａ      第１ネジ軸
５２ｂ      第２ネジ軸
５３        ネジ軸ナット
５３ａ      第１ネジ軸ナット
５３ｂ      第２ネジ軸ナット
５４        ガイド軸
５５        ガイド軸ブシュ
５６        キャリッジプレート
５７        滑車
５８        ベルト
５２        ロボットハンド
５４        ロボットアーム
【図１】
2006005362.tif 000003
【図２】
2006005362.tif 000004
【図３】
2006005362.tif 000005
【図４Ａ】
2006005362.tif 000006
【図４Ｂ】
2006005362.tif 000007
【図５Ａ】
2006005362.tif 000008
【図５Ｂ】
2006005362.tif 000009