(57)【要約】【課題】  軽薄で蓄熱量の小さな被洗浄物でも、迅速かつ確実に乾燥処理を行う事を目的とする。また、被洗浄物の破損や変形、洗浄液への引火等を生じる事なく、安全な方法で乾燥処理を行うとともに、廉価な乾燥装置を得る。【解決手段】  内部に熱伝導性を有する液体６を密封した熱伝導体５を加熱する。この加熱した熱伝導体５に乾燥目的の被洗浄物２を接触させ、熱伝導体５の熱を被洗浄物２に伝導する事により、被洗浄物２の乾燥を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に熱伝導性を有する液体を密封した熱伝導体を加熱し、この加熱した熱伝導体に、乾燥目的の被洗浄物を接触させ、熱伝導体の熱を被洗浄物に伝導する事により、被洗浄物の乾燥を行う事を特徴とする被洗浄物の乾燥方法。
【請求項２】
内部に熱伝導性を有する液体を密封して加熱可能に形成した熱伝導体と、この加熱した熱伝導体に被洗浄物を接触させ、熱伝導体から被洗浄物に熱を伝導させるための被洗浄物の保持具とから成る事を特徴とする被洗浄物の乾燥装置。
【請求項３】
被洗浄物は、熱伝導体と接触させた状態で、蒸気洗浄又は温水洗浄を行った後、洗浄作業により加熱された熱伝導体の熱を、この熱伝導体と接触した被洗浄物に伝導する事により被洗浄物の乾燥を行う事を特徴とする請求項１の被洗浄物の乾燥方法。
【請求項４】
被洗浄物は、熱伝導体と接触させた状態で、保持具により保持し蒸気洗浄又は温水洗浄を行った後、洗浄により加熱された熱伝導体の熱を、この熱伝導体と接触した被洗浄物に伝導する事により被洗浄物の乾燥を行う事を特徴とする請求項２の被洗浄物の乾燥装置。
【請求項５】
熱伝導体は、被洗浄物を収納する収納籠で形成した保持具内に配置して、被洗浄物の洗浄完了後に、被洗浄物を収納籠内に保持し、被洗浄物を熱伝導体に接触させて被洗浄物の乾燥を行う事を特徴とする請求項１又は３の被洗浄物の乾燥方法。
【請求項６】
保持具は、被洗浄物を収納する収納籠であって、被洗浄物の洗浄完了後に、被洗浄物を収納籠内に保持し、被洗浄物を熱伝導体に接触させて被洗浄物の乾燥を行う事を特徴とする請求項２又は４の被洗浄物の乾燥装置。
【請求項７】
熱伝導体は、収納籠で形成した保持具を載置する洗浄装置の載置台に突設し、この突設部を保持具内に挿入して被洗浄物と接触可能とした事を特徴とする請求項１、３又は５の被洗浄物の乾燥方法。
【請求項８】
熱伝導体は、収納籠で形成した保持具を載置する洗浄装置の載置台に突設し、この突設部を保持具内に挿入して被洗浄物と接触可能とした事を特徴とする請求項２、４又は６の被洗浄物の乾燥装置。
【請求項９】
保持具は、被洗浄物を個別に保持するものであって、その保持部分を熱伝導体により形成した事を特徴とする請求項２又は４の被洗浄物の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電機部品、機械部品、その他の部材に、洗浄液や洗浄蒸気にて洗浄処理を施した後、この被洗浄物に付着した洗浄液を迅速、確実に乾燥するための被洗浄物の乾燥方法及びその装置に係るもので、軽薄で蓄熱量の小さな被洗浄物でも、良好に乾燥できるようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１〜特許文献３に示す発明の如く、水、アルコール等の親水性溶剤、フッ素系溶剤、塩素系溶剤、フッ素系不活性液体、炭化水素系溶剤等の洗浄液や洗浄蒸気にて被洗浄物の洗浄処理を行った後、被洗浄物に付着した洗浄液の乾燥を行う場合、沸点の低い洗浄液や、熱容量の大きな被洗浄物では、被洗浄物に蓄熱された熱エネルギーにより、殆どの洗浄液を揮発させて被洗浄物を乾燥する事ができた。
【０００３】
しかし、被洗浄物が軽薄で、液洗浄や蒸気洗浄時に於ける蓄熱量が少ないものだと、洗浄液の蒸発によって、被洗浄物から蒸発潜熱が奪われる事により、洗浄液が乾燥しきる前に被洗浄物が直ちに冷却され、完全な乾燥が行えなくなる場合が多かった。この欠点を補うために、被洗浄物に赤外線を照射したり、特許文献４の如く、被洗浄物に熱風、温風等を吹き付ける方法も用いられていた。
【０００４】
また、特許文献５の発明の如く、被洗浄物の洗浄完了後、ヒーターを内装した載置台に当該被洗浄物を載置し、この載置台の熱を被洗浄物に伝導させて洗浄液を蒸発させるとともに、被洗浄物に不活性ガスを吹き付けて洗浄液を吹き飛ばす事により、乾燥処理を行うものもあった。この熱伝導による乾燥を行う他の異なる特許文献６では、減圧槽内に、ヒーターを内装した載置台を配置し、この載置台に配置した被洗浄物に熱を伝導させて、被洗浄物の減圧乾燥させている。更に異なる特許文献７では、減圧槽内に、被洗浄物を載置する載置台の内部に温水を循環し、この温水の熱を載置台を介して被洗浄物に伝導させる事により乾燥処理を行っている。また、特許文献８では、被洗浄物を熱伝導性に優れる収納籠に収納し、この収納籠を加熱体に接触させて、収納籠を介して加熱体の熱を被洗浄物に伝送させる事により乾燥処理を行っている。
【特許文献１】特開２００２−１７７９０４号公報
【特許文献２】特開平７−１３６６０３号公報
【特許文献３】特開昭５６−１０８８８４号公報
【特許文献４】特開平８−２３６４９７号公報
【特許文献５】特開平７−２７３０７８号公報
【特許文献６】特開平２−６５２３３号公報
【特許文献７】特開平７−１１７５８１号公報
【特許文献８】特許第３４７４１４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、昨今のコンピュータ部品、携帯電話部品等の精密機械では、シリコンウエハー、液晶板、バネ、網状物、フィルター等、破損を生じ易く比較的軽薄な部品が多く、特許文献４の如く温・熱風を吹き付ける方法では、風圧等の衝撃により軽薄な被洗浄物では破損や変形が生じやすい。更に、蒸発潜熱の喪失により、急激に冷却される事も、被洗浄物の破損や変形を招くものであった。また、赤外線や温・熱風では、洗浄液が可燃性の場合は引火の危険性があるとともに、温・熱風、赤外線等の加熱源に近い側のみが乾燥し、乾燥ムラを生じる可能性があった。
【０００６】
また、特許文献５〜８の如く、熱伝導により被洗浄物を乾燥する手段では、引火の危険性等がなく、作業の安全性を高める事ができる。しかしながら、特許文献５では、不活性ガスを吹き付けているため、軽薄な被洗浄物では風圧により吹き飛ばされたり、破損を生じる虞がある。また、特許文献６、７では、このような風圧等による不具合は生じないが、ヒーターによる加熱では、慎重な温度監視を行わないと、オーバー加熱による被洗浄物の破損等を引き起こす可能性もあった。
【０００７】
また、上記特許文献５〜７では、移動作業の効率化や紛失防止等のため、軽薄で小型の被洗浄物では、収納籠等に収納して載置台に載置する必要があり、熱伝導性の低い素材で収納籠を製作した場合では、被洗浄物への熱伝導性が良好に行えない可能性があった。また、加熱源である載置台から遠い位置の被洗浄物には、熱が伝導されにくく、被洗浄物の乾燥ムラ等を生じる事もあった。更に、何れの発明でも装置が大がかりで、広い設置場所を必要としたり、導入費用が高価なものとなっていた。
【０００８】
一方、特許文献８では、熱伝導の良好な素材で形成した収納籠内に、被洗浄物を収納して載置台に載置し、載置台の熱を収納籠を介して被洗浄物に伝導させて乾燥を行っている。従って、被洗浄物の破損や紛失等も防ぐ事が可能となるとともに、収納籠の輻射熱により、載置台から遠い位置の被洗浄物でも熱が伝導され易く、被洗浄物のより均一な乾燥を可能としていた。しかしながら、被洗浄物が複数、積み重なっている場合は、載置台の上面や収納籠の表面に近い位置の被洗浄物へは伝導され易いが、中央付近に位置する被洗浄物には、熱が伝導されにくく、被洗浄物全体を完全に乾燥するには多くの時間を要するものであった。
【０００９】
本発明は上述の如き課題を解決しようとするものであって、洗浄の完了した被洗浄物、特に蓄熱量の少ない軽薄な被洗浄物を、乾燥ムラ等を生じる事なく迅速かつ確実に乾燥させる事を可能とするものである。そして、この乾燥を、急激な温度変化や振動、風圧等の衝撃を与えずに行って、軽薄で微細な被洗浄物であっても破損や変形を良好に防止するとともに、引火等の危険を生じる事のない乾燥を行うものである。また、この被洗浄物の良好な乾燥が可能な乾燥装置を、簡易な構造と容易な製作技術で廉価に形成する事を可能とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上述の如き課題を解決するため、第１の発明は、内部に熱伝導性を有する液体を密封した熱伝導体を加熱し、この加熱した熱伝導体に、乾燥目的の被洗浄物を接触させ、熱伝導体の熱を被洗浄物に伝導する事により、被洗浄物の乾燥を行う、被洗浄物の乾燥方法である。
【００１１】
また、第２の発明は、内部に熱伝導性を有する液体を密封して加熱可能に形成した熱伝導体と、この加熱した熱伝導体に被洗浄物を接触させ、熱伝導体から被洗浄物に熱を伝導させるための被洗浄物の保持具とから成る、被洗浄物の乾燥装置である。
【００１２】
また、被洗浄物は、熱伝導体と接触させた状態で、蒸気洗浄又は温水洗浄を行った後、洗浄作業により加熱された熱伝導体の熱を、この熱伝導体と接触した被洗浄物に伝導する事により被洗浄物の乾燥を行うものであっても良い。
【００１３】
また、被洗浄物は、熱伝導体と接触させた状態で、保持具により保持し蒸気洗浄又は温水洗浄を行った後、洗浄作業により加熱された熱伝導体の熱を、この熱伝導体と接触した被洗浄物に伝導する事により被洗浄物の乾燥を行うものであっても良い。
【００１４】
また、熱伝導体は、被洗浄物を収納する収納籠で形成した保持具内に配置して、被洗浄物の洗浄完了後に、被洗浄物を収納籠内に保持し、被洗浄物を熱伝導体に接触させて被洗浄物の乾燥を行うものであっても良い。
【００１５】
また、保持具は、被洗浄物を収納する収納籠であって、被洗浄物の洗浄完了後に、被洗浄物を収納籠内に保持し、被洗浄物を熱伝導体に接触させて被洗浄物の乾燥を行うものであっても良い。
【００１６】
また、熱伝導体は、収納籠で形成した保持具を載置する洗浄装置の載置台に突設し、この突設部を保持具内に挿入して被洗浄物と接触可能としても良い。
【００１７】
また、保持具は、被洗浄物を個別に保持するものであって、その保持部分を熱伝導体により形成しても良い。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は上述の如く構成したものであり、内部に熱伝導性を有する液体を密封した熱伝導体を加熱し、この加熱した熱伝導体に乾燥目的の被洗浄物を保持具で保持して接触させ、被洗浄物に伝導させる事により乾燥を行うので、軽薄で蓄熱量の少ない被洗浄物であっても、蒸発潜熱によって失われた熱を熱伝導体から被洗浄物に補充して、乾燥ムラを生じる事なく迅速かつ確実に乾燥処理を行う事ができる。
【００１９】
また、熱伝導体の一部が、冷えた被洗浄物との接触によって一時的に冷却されても、この冷却によって熱伝導性を有する液体の対流を生じ、前記熱伝導体の冷却された部分を加熱する事ができる。そのため、被洗浄物には連続的に熱エネルギーが与えられ、乾燥処理を迅速に行う事が可能となる。更に、熱伝導による間接加熱となるため、洗浄液への引火等の心配がなく、安全な乾燥処理が可能である。また、加熱液体による熱伝導で乾燥させるので、被洗浄物には風圧や振動等の衝撃が加わらず、軽薄で微細な被洗浄物でも破損や変形を生じにくく、迅速かつ良好に被洗浄物の乾燥を行う事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明は上述の如く構成したもので、水、アルコール等の親水性溶剤、フッ素系溶剤、塩素系溶剤、フッ素系不活性液体、炭化水素系溶剤等の洗浄液や洗浄蒸気にて洗浄処理を行い、洗浄液の付着した被洗浄物の乾燥処理を行うものである。その方法は、内部に熱伝導性を有する液体を密封した熱伝導体を加熱し、この加熱した熱伝導体に乾燥目的の被洗浄物を接触させる事により、熱伝導体の熱を被洗浄物に伝導しながら乾燥を行うものである。従って、蓄熱量の少ない被洗浄物でも、常に熱伝導体から熱を補充されながら、迅速、確実に乾燥する事ができる。
【００２１】
また、熱伝導による乾燥方法では、間接加熱となるため、アルコール系溶剤のような可燃性の洗浄液を使用した場合でも、引火燃焼する事はなく、安全な乾燥処理が可能である。更に、この熱伝導による乾燥では、被洗浄物に衝撃を与えず、かつ安全に熱エネルギーを供給する事ができる。また、この加熱された液体は、例えば、温水、加熱油等を使用する事ができる。更に、熱伝導体内に液体を適宜の加熱体で加熱しながら被洗浄物の乾燥を行うように形成すれば、洗浄液の蒸発により、蒸発潜熱が奪われても、加熱体により常に被洗浄物に熱を補充しながら、完全な乾燥が可能となる。
【００２２】
また、被洗浄物に、風圧や振動等の衝撃が加わらないので、被洗浄物の破損や変形を防止する事ができる。従って、シリコンウエハー、液晶板、バネ、網状物、フィルター等の軽薄な被洗浄物の乾燥も行う事ができる。
【００２３】
また、被洗浄物は、保持具により保持し熱伝導体と接触させた状態で、この熱伝導体ごと蒸気洗浄又は温水洗浄を行うものとしても良い。この熱伝導体と蒸気又は温水との接触により、熱伝導体内の液体が熱を蓄熱するものとなる。従って、この液体の熱を熱伝導体を介して被洗浄物に伝導する事により被洗浄物の乾燥を行う事ができ、熱伝導体を加熱する手間を必要とせず、簡易な洗浄処理が可能となる。また、洗浄蒸気や洗浄液の熱を乾燥処理に利用できるので、エネルギー効率にも優れた洗浄が可能となる。また、この乾燥処理は、蒸気洗浄又は温水洗浄を行う洗浄槽内で、洗浄処理の完了後に引き続き、洗浄蒸気や温水を除去して行っても良い。また、洗浄完了後に、熱伝導体ごと保持具で保持した被洗浄物を洗浄槽から引き上げて行っても良い。
【００２４】
また、熱伝導体は、被洗浄物を収納する収納籠で形成した保持具内に配置し、被洗浄物の洗浄完了後に、収納籠内で被洗浄物を熱伝導体に直に接触させて被洗浄物の乾燥を行っても良い。このように収納籠に収納する事により、多くの被洗浄物を同時に乾燥させる事ができ、乾燥スピードが向上するとともに、洗浄が完了した複数の被洗浄物を乾燥槽内に移動したり、載置台等に載置する作業が行い易く、また被洗浄物の破損や紛失等も防ぐものとなる。また、収納籠で形成した保持具内の被洗浄物に直に熱伝導体を接触させて熱を伝導させるので、収納籠を介して被洗浄物に熱伝導する場合の如く、収納籠による熱エネルギーのロス等がなく、効率的な熱伝導により乾燥処理が可能となる。
【００２５】
また、熱伝導体は、収納籠を載置する洗浄装置の載置台に突設し、この突設部を収納籠内に挿入して被洗浄物と接触可能とすれば、収納籠の熱伝導性を考慮する必要がなく、熱伝導体からの被洗浄物への熱伝導を効率的に行う事が可能となる。従って、例えば熱伝導性は比較的低いが、軽量で廉価な樹脂材製の収納籠等を保持具として使用する事ができ、使用時のコストを抑える事ができるとともに、収納籠に収納した被洗浄物の移動作業等も少ない労力で行う事ができる。
【００２６】
また、この場合の乾燥処理は、洗浄装置内で被洗浄物の洗浄処理を完了した後に、載置台に載置した状態で、引き続き被洗浄物の乾燥処理を行う事も可能となる。この乾燥は、洗浄完了後に適宜の加熱手段により熱伝導体の液体を加熱しながら行っても良いが、蒸気洗浄や温水洗浄等の場合には、これらの洗浄処理により載置台に突設した熱伝導性内の液体が蓄熱される。従って、乾燥処理時に別途液体を加熱する必要がなく、洗浄により蓄熱した液体の熱を熱伝導体を介して被洗浄物に伝導させる事により、被洗浄物の乾燥が可能となる。
【００２７】
また、熱伝導体そのものを、被洗浄物を保持する保持具として形成しても良く、保持具により被洗浄物を個別安定的に保持して、装置間の移動等を行うだけでなく、乾燥のための熱エネルギーを保持具から直に被洗浄物に供給する事ができる。そのため、熱効率の良い乾燥処理が可能となるとともに、保持具と熱伝導体との兼用により、部品点数の少ない簡易な構成とする事ができ、利便性の高い製品を得る事ができる。また、保持具は、前述の洗浄籠、上記の個別的な保持具の他に、被洗浄物の洗浄槽を保持具としても良く、被洗浄物を熱伝導体に接触し得るものであれば良いものである。
【実施例１】
【００２８】
以下、本発明の実施例１を図１〜図３に於て説明すれば、(１)は被洗浄物(２)を収納保持する保持具で、実施例１では収納籠により形成し、この収納籠(１)の四方の側面及び底面をメッシュ状に形成している。また、この被洗浄物(２)を収納した収納籠(１)を、洗浄槽(図示せず)内の載置台(３)に配置して、水、アルコール等の親水性溶剤、フッ素系溶剤、塩素系溶剤、フッ素系不活性液体、炭化水素系溶剤等の適宜の洗浄液にて蒸気洗浄を行ったり、これらの洗浄液を加熱して被洗浄物(２)に噴射して温水洗浄等を行うものである。そして、この洗浄完了後に、洗浄槽内で引き続き、被洗浄物(２)の乾燥を行うものとしている。また、被洗浄物(２)の浸漬洗浄を行って、洗浄完了後に洗浄液内から被洗浄物(２)を引き上げて乾燥処理を行うものであっても良い。
【００２９】
上記洗浄時に収納籠(１)を載置するための載置台(３)は、金属等の熱伝導性に優れる素材で形成し、図２に示す如く、薄型矩形状の基盤(４)の上面に、収納籠(１)内に突出させて被洗浄物(２)と接触させるための円柱状の熱伝導体(５)を複数突設して形成している。そして、この複数の熱伝導体(５)内を、図１、図３に示す如く、空洞に形成して、この空洞部(７)内に、熱伝導性を有する液体(６)を密封している。尚、熱伝導体(５)内に密封する液体(６)は、熱伝導体(５)の表面に熱エネルギーを供給するものであれば、温水であっても良いし、加熱油等であっても良い。
【００３０】
このように形成した載置台(３)の基盤(４)上面に、被洗浄物(２)を収納する収納籠(１)を載置し、基盤(４)に突設した熱伝導体(５)を、収納籠(１)の底部の網目を介して収納籠(１)に挿入配設している。この収納籠(１)内に配置された熱伝導体(５)に、被洗浄物(２)を接触させ、熱を伝導させて被洗浄物(２)の乾燥を行い、被洗浄物(２)の乾燥装置(８)としている。尚、図面では、収納籠(１)の大きさに対して、網目を比較的大きく記載し、この網目に挿入する熱伝導体(５)も比較的大径に記載している。しかし、軽薄で微細な被洗浄物(２)を収納する場合等は、収納籠(１)の網目を小さくして被洗浄物(２)の落下等を防止するとともに、この網目に応じた直径で熱伝導体(５)を形成するものである。
【００３１】
次に、上記乾燥装置(８)を使用して、洗浄完了後の被洗浄物(２)を乾燥する方法を説明する。まず、載置台(３)の基盤(４)の上面に、被洗浄物(２)を収納保持する保持具である収納籠(１)を載置するが、この載置の際に、図１に示す如く、収納籠(１)の底部の網目に熱伝導体(５)を挿通させ、この熱伝導体(５)を収納籠(１)内に配置する。次に、収納籠(１)内に、シリコンウエハー、液晶板、バネ、網状物、フィルター等、比較的軽薄又は微細で、蓄熱量の小さな被洗浄物(２)を収納し、蒸気洗浄を行う。このように洗浄槽内にて載置台(３)ごと、被洗浄物(２)を洗浄するので、熱伝導体(５)の空洞部(７)内の液体(６)が、洗浄蒸気により加熱され、熱エネルギーを蓄熱するものとなる。
【００３２】
そして、蒸気洗浄が完了すると、被洗浄物(２)の表面には、凝縮した洗浄液が付着している。この乾燥処理を行うには、温風等を導入する等の手間や装置を必要とせず、載置台(３)に収納籠(１)を載置して暫く放置するか、又は被洗浄物(２)を収納した状態で、載置台(３)ごと収納籠(１)を洗浄槽内から引き上げ、乾燥室等に移動して放置する。これにより、洗浄蒸気にて加熱された液体(６)の熱が、熱伝導体(５)の表面を介して、この熱伝導体(５)と接触する被洗浄物(２)に伝導されるので、この熱により被洗浄物(２)に付着した洗浄液を、迅速かつ確実に乾燥させる事ができる。
【００３３】
また、熱伝導体(５)を複数突設しているので、被洗浄物(２)が複数積み重なっていても、より多くの被洗浄物(２)と高い頻度で接触させる事ができ、液体(６)の熱を被洗浄物(２)群の全体に効率的にに伝導させる事ができる。更に、被洗浄物(２)同志も互いに接触して熱を伝導するので、収納籠(１)内に多くの被洗浄物(２)を収納しても、ムラの少ない迅速な乾燥が可能となる。
【００３４】
また、熱伝導による乾燥なので、被洗浄物(２)に風圧や衝撃等が加わらず、破損や変形を防ぐとともに、加熱源方向のみが乾燥する乾燥ムラも生じる事がなく、アルコール等の洗浄液であっても引火等を防いで、安全な乾燥処理が可能となる。また、洗浄液の蒸発に伴い、被洗浄物(２)から蒸発潜熱が奪われるが、被洗浄物(２)には熱伝導体(５)から常に熱が補充されているので、付着洗浄液の乾燥を完全に行う事ができる。
【００３５】
また、洗浄処理や乾燥処理が、被洗浄物(２)を収納籠(１)に収納した状態で行う事ができ、処理効率が向上するし、洗浄液の液切りも良好に行う事ができる。また、被洗浄物(２)の移動も、収納籠(１)に収納した状態で行う事により、被洗浄物(２)の破損や紛失を防止しながら簡単に行う事ができる。
【実施例２】
【００３６】
また、実施例１では、大気圧下で乾燥処理を行っているが、減圧下で行っても良い。それには、減圧可能な洗浄槽を用いて、洗浄処理と乾燥処理とを減圧下で一連で行うようにしても良い。また、他の手段として、図４に示す実施例２では、洗浄槽とは別個に乾燥のための乾燥槽(16)を用意している。この乾燥槽(16)は、蓋体(17)にて密閉可能とするとともに、開閉弁(18)、真空ポンプ(19)、凝縮器(20)、真空解除弁(21)、ドレン弁(22)等から成る減圧機構(23)を接続して内部を減圧し、被洗浄物(２)の減圧乾燥を可能としている。この乾燥槽(16)内に、被洗浄物(２)を収納した収納籠(１)と載置台(３)とを載置可能な乾燥台(24)を配置している。
【００３７】
この乾燥台(24)は、一側を乾燥槽(16)の壁面から外部に突出し、適宜の加熱源(25)と接続している。そして、この加熱源(25)にて蒸気、加熱油、熱風等の加熱流体を発生させ、乾燥台(24)内を流通可能とし、熱伝導体(５)に熱を供給可能としている。また、乾燥台(24)に、加熱源(25)と接続するヒーターを内装し、乾燥台(24)に載置した載置台(３)の熱伝導体(５)に熱を供給するものであっても良い。また、加熱源(25)は温度制御可能とし、被洗浄物(２)の形状や比熱、洗浄液の沸点や性質等に応じた適宜の温度で、乾燥台(24)を介して熱伝導体(５)に連続的に熱を伝導できるものとしている。
【００３８】
上記装置にて乾燥を行うには、洗浄槽等での被洗浄物(２)の洗浄完了後に、載置台(３)ごと被洗浄物(２)を収納した収納籠(１)を洗浄槽等から引き上げて、乾燥槽(16)に移動し乾燥台(24)の上面に載置する。そして、減圧機構(23)により乾燥槽(16)内部を減圧するとともに、加熱源(25)により乾燥台(24)に熱を供給し、載置台(３)を介して熱伝導体(５)内の液体(６)を加熱する。この液体(６)への加熱により、熱伝導体(５)の表面を介して、この熱伝導体(５)と接触する被洗浄物(２)に伝導されるので、この熱により被洗浄物(２)に付着した洗浄液を、迅速かつ確実に乾燥させる事ができる。実施例２の手段でも、風圧や衝撃等がないので、被洗浄物(２)の破損や変形を防止可能となるとともに、減圧下で乾燥処理を行う事により、洗浄液の沸点が低下し、熱伝導体(５)から伝導した熱により、被洗浄物(２)を少ない熱エネルギーで効率的に乾燥させる事ができる。
【００３９】
また、この沸点の低下により、被洗浄物(２)に付着した洗浄液が蒸発して、急激に蒸発潜熱が奪われても、被洗浄物(２)には、乾燥台(24)を介して加熱源(25)と接続した熱伝導体(５)から常に熱が補充されているので、急激な温度低下が起こらず、付着洗浄液の確実な乾燥を可能とするとともに、被洗浄物(２)の破損や変形を防止できる。
【００４０】
また、被洗浄物(２)は、熱伝導体(５)により良好な乾燥が可能であるので、熱伝導性の比較的小さい樹脂材等で収納籠(１)を形成しても良く、廉価で移動等の扱いが行い易い収納籠(１)を使用して、実施の経済性を向上させる事ができる。逆に、熱伝導性の高い金属等で収納籠(１)を形成しても良く、熱伝導体(５)による熱が、収納籠(１)からも伝導されて、収納籠(１)内の多くの被洗浄物(２)に迅速に熱伝導させる事ができ、更に効率的な乾燥処理が可能となる。
【実施例３】
【００４１】
上記実施例１、２では、収納籠(１)を保持具として載置台(３)に熱伝導体(５)を設けて乾燥装置(８)を構成しているが、図５、図６に示す実施例２では、被洗浄物(２)を保持して洗浄処理等を行うための保持具を熱伝導体(５)で形成している。この実施例２の保持具は、軽薄なシリコンウエハー(10)を複数セットして使用する、いわゆるウエハーカセット(11)である。
【００４２】
このウエハーカセット(11)は、空洞に形成したアルミニウム製の一対の基盤(４)を、シリコンウエハー(10)の配置間隔を介して一対平行に配設し、この一対の基盤(４)を連結杆(12)で連結して形成している。また、一対の各基盤(４)の内側には、垂直方向に複数のスリット(13)を設けたアルミニウム製の保持部(14)を突設し、この保持部(14)内も空洞として、基盤(４)の空洞と連通させている。この一対の保持部(14)の対向するスリット(13)内に、図６に示す如く、シリコンウエハー(10)を挿入配置する事により、ウエハーカセット(11)に、複数のシリコンウエハー(10)を個別並列にセット可能となっている。また、保持部(14)の上下方向中央よりもやや下側に、スリット(13)と直角にパイプ状のストッパー(15)を接続固定し、保持部(14)にセットしたシリコンウエハー(10)のスリット(13)からの脱落を防止している。そして、このシリコンウエハー(10)をセットした状態で、ウエハーカセット(11)を洗浄槽等に移送して、洗浄処理を効率的に行う事ができる。
【００４３】
そして、上記ウエハーカセット(11)に於いて、一対の基盤(４)の空洞及び保持部(14)の空洞から成る空洞部(７)内に、加熱した液体(６)を密封し、この液体(６)の熱を基盤(４)と保持部(14)の表面を介して保持部(14)に伝導し、この保持部(14)を介してシリコンウエハー(10)に熱伝導させる。従って、ウエハーカセット(11)全体を熱伝導体(５)として、液体(６)の熱を効率的にシリコンウエハー(10)に伝導させて、迅速かつ確実な乾燥が可能となる。
【００４４】
尚、ウエハーカセット(11)にシリコンウエハー(10)をセットした状態で、蒸気洗浄や温水洗浄を行う事により、熱伝導体(５)内の液体(６)が加熱され、乾燥に必要な熱エネルギーを蓄える事ができる。そして、洗浄完了後には、この液体(６)の熱が、基盤(４)及び保持部(14)を介してシリコンウエハー(10)に伝導され、シリコンウエハー(10)に付着した洗浄液を効率的に蒸発させる事が可能となる。また、このシリコンウエハー(10)をウエハーカセット(11)にセットした状態で乾燥処理を行う事ができ、洗浄槽から乾燥室等への移動も効率的に行う事ができ、乾燥終了後のシリコンウエハー(10)の移動も、破損等を生じる事なく容易に行う事が可能となる。
【００４５】
また、上記各実施例では、蒸気洗浄やシャワー洗浄等を行った被洗浄物(２)の乾燥処理を説明しているが、洗浄液を充填した洗浄槽内で、浸漬洗浄により被洗浄物(２)の洗浄を行った後、載置台(３)ごと、収納籠(１)に収納した被洗浄物(２)を洗浄槽内から引き上げたり、ウエハーカセット(11)、その他の治具ごと被洗浄物(２)を洗浄槽内から引き上げて、液切りした後に適宜に乾燥処理を行うものであっても良い。この場合も、加熱した洗浄液に載置台(３)、ウエハーカセット(11)等の熱伝導体(５)を被洗浄物(２)とともに浸漬する事により、熱伝導体(５)内の液体(６)が加熱されて熱エネルギーを蓄えるので、この液体(６)の熱が熱伝導体(５)の表面を介して被洗浄物(２)に伝熱され、被洗浄物(２)を良好に乾燥させる事ができる。
【実施例４】
【００４６】
また、他の異なる実施例４では、乾燥槽(16)を使用し、その中でシリコンウエハー(10)を洗浄及び乾燥を一連で行う事を可能としている。その構成は、図７に示す如く、乾燥槽(16)の外部に、ピストン(26)にて上下動可能とした上下動機構(27)を配置し、この上下動機構(27)のピストン(26)から突出したアーム(28)に乾燥台(24)を接続している。そして、このアーム(28)にて乾燥台(24)を乾燥槽(16)内に吊り下げている。そして、このアーム(28)及び乾燥台(24)の内部には、上下動機構(27)に設けた加熱源(25)にて加熱された蒸気、温水、熱風等を循環可能としている。
【００４７】
このように形成した装置でシリコンウエハー(10)の洗浄及び乾燥を行うには、まず、保持具であるウエハーカセット(11)にシリコンウエハー(10)をセットする。そして、上下動機構(27)にて乾燥台(24)を上昇し、この乾燥台(24)に、シリコンウエハー(10)を個別並列にセットしたウエハーカセット(11)を載置する。次に、上下動機構(27)にて乾燥台(24)を下降して、ウエハーカセット(11)を乾燥槽(16)内に配置するとともに、乾燥槽(16)内に水、アルコール等の親水性溶剤、フッ素系溶剤、塩素系溶剤、フッ素系不活性液体、炭化水素系溶剤等の適宜の洗浄液(30)を導入して、シリコンウエハー(10)の洗浄作業を行う。この洗浄液の導入の際は、図７に示す如く、乾燥槽(16)内全体が洗浄液(30)で満たされるよう導入するのではなく、シリコンウエハー(10)が浸漬する程度の導入量とし、乾燥槽(16)内に十分な空間を確保しておく。
【００４８】
そして、洗浄作業が完了したら、上下動機構(27)により乾燥台(24)を上昇して、洗浄液(30)内からウエハーカセット(11)を引き上げ、乾燥槽(16)の空間内に配置し、液切り及び乾燥処理を行う。この際に、加熱源(25)により乾燥台(24)に熱を供給して、この乾燥台(24)を介してウエハーカセット(11)に熱を伝熱する事により、熱伝導体(５)内の液体(６)が加熱され、この熱が基盤(４)及び保持部(14)を介してシリコンウエハー(10)に伝導され、シリコンウエハー(10)に付着した洗浄液(30)を効率的に蒸発させる事が可能となる。
【００４９】
また、洗浄作業の際にも、加熱源(25)により乾燥台(24)を加熱してながら行っても良く、洗浄作業が促進されるとともに熱伝導体(５)内の液体(６)が加熱される。従って、洗浄液(30)からウエハーカセット(11)を引き上げた際に、熱伝導体(５)内の液体(６)が蓄熱する熱を、熱伝導体(５)を介してシリコンウエハー(10)に伝熱させ、乾燥処理を行う事が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施例１の乾燥装置を示すもので、収納籠を載置する載置台に熱伝導体を設け、この熱伝導体を収納籠内に挿入して被洗浄物に接触させた状態の一部切欠き斜視図。
【図２】収納籠と載置台とを分離した状態の斜視図。
【図３】基盤と熱伝導体との一部拡大断面図。
【図４】実施例２を示すもので、乾燥槽に被洗浄物を収納した洗浄籠を配置した状態の断面図。
【図５】実施例３の乾燥装置を示すもので、基盤内に液体を循環させて熱伝導体を設けたウエハーカセットの斜視図。
【図６】ウエハーカセットに複数のウエハーをセットした状態の斜視図。
【図７】実施例４を示すもので、乾燥槽内にシリコンウエハーをセットしたウエハーカセットを載置した状態の断面図。
【符号の説明】
【００５１】
１  収納籠
２  被洗浄物
３  載置台
５  熱伝導体
６  液体
１０  シリコンウエハー(本発明の被洗浄物)
１１  ウエハーカセット(本発明の保持具)
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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