(57)【要約】【課題】  本発明は、材料の利用効率を向上させ、少ないフォトマスク数で、しきい値のずれが生じにくく、高速動作が可能なＴＦＴを有する表示装置の作製方法を提供する。【解決手段】  本発明は、非晶質半導体膜に触媒元素を添加し加熱して結晶性半導体膜を形成し、該結晶性半導体膜から触媒元素を除いた後、トップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタを作製する。また本発明は、表示装置の構成物を選択的に形成する液滴吐出法を用いることで、工程の簡略化と、材料のロスの軽減を達成する。【選択図】  図１
2006100807.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁表面上に非晶質半導体層を形成し、
前記非晶質半導体層に金属元素を添加して加熱し、前記非晶質半導体層を結晶化し、結晶性半導体層を形成し、
前記結晶性半導体層に接して一導電型を有する半導体層を形成し、
前記結晶性半導体層及び前記一導電型を有する半導体層を加熱し、
前記一導電型を有する半導体層を加工し、ソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接して、導電性材料を含む組成物を吐出して選択的にソース電極層及びドレイン電極層を形成し、
前記結晶性半導体層、前記ソース電極層及び前記ドレイン電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上にゲート電極層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項２】
絶縁表面上に非晶質半導体層を形成し、
前記非晶質半導体層に金属元素を添加して加熱し、前記非晶質半導体層を結晶化し、結晶性半導体層を形成し、
前記結晶性半導体層上にチャネル保護層を形成し、
前記結晶性半導体層及び前記チャネル保護層上に、一導電型を有する半導体層を形成し、
前記結晶性半導体層及び前記一導電型を有する半導体層を加熱し、
前記一導電型を有する半導体層を加工し、ソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接して、導電性材料を含む組成物を吐出して選択的にソース電極層及びドレイン電極層を形成し、
前記結晶性半導体層、前記チャネル保護層、前記ソース電極層及び前記ドレイン電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上にゲート電極層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項３】
絶縁表面上に第１の半導体層を形成し、
前記第１の半導体層に金属元素を添加して加熱し、
前記第１の半導体層に接して第１の不純物元素を有する第２の半導体層を形成し、
前記第１の半導体層及び前記第１の不純物元素を有する第２の半導体層を加熱し、
前記第１の不純物元素を有する第２の半導体層を除去し、
前記第１の半導体層に第２の不純物元素を添加してソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接して、導電性材料を含む組成物を吐出して選択的にソース電極層及びドレイン電極層を形成し、
前記結晶性半導体層、前記ソース電極層及び前記ドレイン電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上にゲート電極層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項４】
絶縁表面上に第１の半導体層を形成し、
前記第１の半導体層に金属元素を添加して加熱し、
前記第１の半導体層に接して第１の不純物元素を有する第２の半導体層を形成し、
前記第１の半導体層及び前記第１の不純物元素を有する第２の半導体層を加熱し、
前記第１の不純物元素を有する第２の半導体層を除去し、
前記第１の半導体層のチャネル形成領域上にチャネル保護層を形成し、
前記第１の半導体層に第２の不純物元素を添加してソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接して、導電性材料を含む組成物を吐出して選択的にソース電極層及びドレイン電極層を形成し、
前記結晶性半導体層、前記チャネル保護層、前記ソース電極層及び前記ドレイン電極層上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上にゲート電極層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項５】
請求項３または請求項４において、前記第１の不純物元素としてＨｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅから選ばれた一種または複数種を有する半導体層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項６】
請求項３乃至５のいずれか一項において、前記第２の不純物元素としてリン、窒素、ヒ素、アンチモン、ビスマスから選ばれた一種または複数種を添加することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項において、前記ゲート電極層は、導電性材料を含む組成物を吐出して選択的に形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項において、
前記ゲート絶縁層に前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する開口部を形成し、
前記開口部に前記ソース電極層又は前記ドレイン電極層に接して画素電極層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項９】
請求項１乃至７のいずれか一項において、
前記ゲート電極層及び前記ゲート絶縁層上に絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層及び前記絶縁層に前記ソース電極層または前記ドレイン電極層に達する開口部を形成し、
前記開口部に前記ソース電極層又は前記ドレイン電極層に接して配線層を形成し、
前記絶縁層上に、前記配線層に接して画素電極層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項１０】
請求項９において、前記絶縁層を、絶縁性材料を含む組成物を吐出して選択的に形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置の作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイ(ＬＣＤ)やエレクトロルミネセンス（ＥＬ）ディスプレイに代表されるフラットパネルディスプレイ(ＦＰＤ)は、これまでのＣＲＴに替わる表示装置として注目を集めている。特にアクティブマトリクス駆動の大型液晶パネルを搭載した大画面液晶テレビジョン装置の開発は、液晶パネルメーカーにとって注力すべき重要な課題になっている。また、近年液晶テレビジョン装置に追随し、大画面ＥＬテレビジョン装置の開発も行われている。
【０００３】
従来の液晶表示装置、又はＥＬ表示装置（以下、発光表示装置とも記す。）において、各画素を駆動する半導体素子としてはアモルファスシリコンを用いた薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴとも記す。）が用いられている。
【０００４】
一方、従来の液晶テレビジョン装置においては、視野角特性の限界、液晶材料等が原因の高速動作の限界による画像のぼやけが欠点であったが、近年それを解消する新たな表示モードとして、ＯＣＢ（optically  compensated  bend）モードが提案されている（非特許文献１）。
【０００５】
【非特許文献１】長広恭明他編、「日経マイクロデバイス別冊  フラットパネル・ディスプレイ２００２」、日系ＢＰ社、２００１年１０月、Ｐ１０２−１０９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、非晶質半導体膜を用いたＴＦＴを直流駆動した場合は、しきい値がずれやすく、それに伴いＴＦＴの特性バラツキが生じやすい。このため、非晶質半導体膜を用いたＴＦＴを画素のスイッチングに用いた発光表示装置は、輝度ムラが発生する。このような現象は、対角３０インチ以上（典型的には４０インチ以上）の大画面テレビジョン装置であるほど顕著であり、画質の低下が深刻な問題である。
【０００７】
また、ＯＣＢモードなどを適用した液晶表示装置において、ＬＣＤの画質を向上させるために高速動作が可能なスイッチング素子が必要とされている。しかしながら、非晶質半導体膜を用いたＴＦＴでは、高速動作に限界がある。よって、高性能な液晶表示装置を実現することが困難となる。
【０００８】
本発明は、このような状況に鑑みなされたものであり、少ないフォトマスク数で、しきい値のずれが生じにくく、高速動作が可能なＴＦＴを有する表示装置の作製方法を提供する。また、スイッチング特性が高く、コントラストがすぐれた表示が可能な表示装置の作製方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した従来技術の課題を解決するために、本発明においては以下の手段を講じる。
【００１０】
本発明は、非晶質半導体膜に触媒元素を添加し加熱して結晶性半導体膜を形成し、該結晶性半導体膜から触媒元素を除いた後、トップゲートのプラナー型薄膜トランジスタを作製する。また本発明は、表示装置の構成物を選択的に形成する液滴吐出法を用いることで、工程の簡略化と、材料のロスの軽減を達成する。また、本発明の表示装置には、ＥＬと呼ばれる発光を発現する有機物、若しくは有機物と無機物の混合物を含む層を、電極間に介在させた発光素子とＴＦＴとが接続された発光表示装置や、液晶材料を有する液晶素子を表示素子として用いる液晶表示装置などがある。
【００１１】
非晶質半導体膜に、結晶化を促進又は助長させる元素（以下、主に金属元素を指すことから金属元素、触媒元素とも記す）を添加し加熱して結晶性半導体膜を形成し、該結晶性半導体膜に周期律１５族元素を有する半導体膜または希ガス元素を有する半導体膜を形成し加熱して、金属元素を結晶性半導体膜から除去した後、逆スタガ型薄膜トランジスタを形成することを要旨とする。なお、該結晶性半導体膜に周期律１５族元素を有する半導体膜を形成した場合、周期律１５族元素を有する半導体膜をソース領域及びドレイン領域として用いて、ｎチャネル型薄膜トランジスタを形成する。また、ｎ型を付与する不純物元素として周期律１５族元素を有する半導体膜にｐ型を付与する不純物元素として周期律１３族元素を添加して、ｐチャネル型薄膜トランジスタを形成する。さらには、希ガス元素を有する半導体膜を形成した場合、加熱の後に希ガス元素を有する半導体膜を除去し、ソース領域及びドレイン領域を形成して、ｎチャネル型薄膜トランジスタ又はｐチャネル型薄膜トランジスタを形成する。
【００１２】
本発明の表示装置の作製方法の一は、絶縁表面上に非晶質半導体層を形成し、非晶質半導体層に金属元素を添加して加熱し、非晶質半導体層を結晶化し、結晶性半導体層を形成し、結晶性半導体層に接して一導電型を有する半導体層を形成し、結晶性半導体層及び一導電型を有する半導体層を加熱し、一導電型を有する半導体層を加工し、ソース領域及びドレイン領域を形成し、ソース領域及びドレイン領域に接して、導電性材料を含む組成物を吐出してソース電極層及びドレイン電極層を形成し、結晶性半導体層、ソース電極層及びドレイン電極層上にゲート絶縁層を形成し、ゲート絶縁層上にゲート電極層を形成する。
【００１３】
本発明の表示装置の作製方法の一は、絶縁表面上に非晶質半導体層を形成し、非晶質半導体層に金属元素を添加して加熱し、非晶質半導体層を結晶化し、結晶性半導体層を形成し、結晶性半導体層上にチャネル保護層を形成し、結晶性半導体層及びチャネル保護層上に、一導電型を有する半導体層を形成し、結晶性半導体層及び一導電型を有する半導体層を加熱し、一導電型を有する半導体層を加工し、ソース領域及びドレイン領域を形成し、ソース領域及びドレイン領域に接して、導電性材料を含む組成物を吐出して選択的にソース電極層及びドレイン電極層を形成し、結晶性半導体層、チャネル保護層、ソース電極層及びドレイン電極層上にゲート絶縁層を形成し、ゲート絶縁層上にゲート電極層を形成する。
【００１４】
本発明の表示装置の作製方法の一は、絶縁表面上に第１の半導体層を形成し、第１の半導体層に金属元素を添加して加熱し、第１の半導体層に接して第１の不純物元素を有する第２の半導体層を形成し、第１の半導体層及び第１の不純物元素を有する第２の半導体層を加熱し、第１の不純物元素を有する第２の半導体層を除去し、第１の半導体層に第２の不純物元素を添加してソース領域及びドレイン領域を形成し、ソース領域及びドレイン領域に接して、導電性材料を含む組成物を吐出してソース電極層及びドレイン電極層を形成し、結晶性半導体層、ソース電極層及びドレイン電極層上にゲート絶縁層を形成し、ゲート絶縁層上にゲート電極層を形成する。
【００１５】
本発明の表示装置の作製方法の一は、絶縁表面上に第１の半導体層を形成し、第１の半導体層に金属元素を添加して加熱し、第１の半導体層に接して第１の不純物元素を有する第２の半導体層を形成し、第１の半導体層及び第１の不純物元素を有する第２の半導体層を加熱し、第１の不純物元素を有する第２の半導体層を除去し、第１の半導体層のチャネル形成領域上にチャネル保護層を形成し、第１の半導体層に第２の不純物元素を添加してソース領域及びドレイン領域を形成し、ソース領域及びドレイン領域に接して、導電性材料を含む組成物を吐出して選択的にソース電極層及びドレイン電極層を形成し、結晶性半導体層、チャネル保護層、ソース電極層及びドレイン電極層上にゲート絶縁層を形成し、ゲート絶縁層上にゲート電極層を形成する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明により、結晶性半導体膜を有するトップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタを形成することができる。本発明で形成されるＴＦＴは、結晶性半導体膜で形成されるため非晶質半導体膜で形成されるＴＦＴと比較して移動度が高い。また、ソース領域及びドレイン領域には、ｐ型を付与する不純物元素（アクセプター型元素）又はｎ型を付与する不純物元素（ドナー型元素）に加え、結晶化を促進する元素である金属元素をも含む。このため、抵抗率の低いソース領域及びドレイン領域が形成できる。この結果、高速動作が必要な表示装置を作製することが可能である。
【００１７】
また、非晶質半導体膜で形成される薄膜トランジスタと比較して、しきい値のずれが生じにくく、ＴＦＴ特性のバラツキを低減することが可能である。このため、表示ムラを低減することが可能であり、信頼性の高い表示装置を作製することが可能である。
【００１８】
更には、ゲッタリング工程により、成膜段階で半導体膜中に混入する金属元素をゲッタリングするため、オフ電流を低減することが可能である。このため、このようなＴＦＴを表示装置のスイッチング素子に設けることにより、コントラストを向上させることが可能である。
【００１９】
また本発明によると、材料のロスも少なく、コストダウンも達成できる。よって高性能、高信頼性の表示装置を歩留まりよく作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する本発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。
【００２１】
図３３（Ａ）は本発明に係る表示パネルの構成を示す上面図であり、絶縁表面を有する基板２７００上に画素２７０２をマトリクス上に配列させた画素部２７０１、走査線側入力端子２７０３、信号線側入力端子２７０４が形成されている。画素数は種々の規格に従って設ければ良く、ＸＧＡであってＲＧＢを用いたフルカラー表示であれば１０２４×７６８×３（ＲＧＢ）、ＵＸＧＡであってＲＧＢを用いたフルカラー表示であれば１６００×１２００×３（ＲＧＢ）、フルスペックハイビジョンに対応させ、ＲＧＢを用いたフルカラー表示であれば１９２０×１０８０×３（ＲＧＢ）とすれば良い。
【００２２】
画素２７０２は、走査線側入力端子２７０３から延在する走査線と、信号線側入力端子２７０４から延在する信号線とが交差することで、マトリクス状に配設される。画素２７０２のそれぞれには、スイッチング素子とそれに接続する画素電極が備えられている。スイッチング素子の代表的な一例はＴＦＴであり、ＴＦＴのゲート電極側が走査線と、ソース若しくはドレイン側が信号線と接続されることにより、個々の画素を外部から入力する信号によって独立して制御可能としている。
【００２３】
図３３（Ａ）は、走査線及び信号線へ入力する信号を、外付けの駆動回路により制御する表示パネルの構成を示しているが、図３４（Ａ）に示すように、ＣＯＧ(Chip on Glass)方式によりドライバＩＣ２７５１を基板２７００上に実装しても良い。また他の実装形態として、図３４（Ｂ）に示すようなＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式を用いてもよい。ドライバＩＣは単結晶半導体基板に形成されたものでも良いし、ガラス基板上にＴＦＴで回路を形成したものであっても良い。図３４において、ドライバＩＣ２７５１は、ＦＰＣ２７５０と接続している。
【００２４】
また、画素に設けるＴＦＴを、結晶性が高い多結晶（微結晶）半導体で形成する場合には、図３３（Ｂ）に示すように走査線側駆動回路３７０２を基板３７００上に形成し一体化することもできる。図３４（Ｂ）において、３７０１は画素部であり、信号線側駆動回路は、図３３（Ａ）と同様に外付けの駆動回路により制御する。本発明で形成するＴＦＴのように、画素に設けるＴＦＴを移動度の高い、多結晶（微結晶）半導体、単結晶半導体などで形成する場合は、図３３（Ｃ）は、走査線駆動回路４７０２と、信号線駆動回路４７０４をガラス基板４７００上に一体形成することもできる。
【００２５】
本発明は、配線層若しくは電極を形成する導電層や、所定のパターンに形成するためのマスク層など表示パネルを作製するために必要な物体（その目的や機能に応じて膜や層などあらゆる形態で存在する）のうち、少なくとも一つ若しくはそれ以上を、選択的に所望な形状に形成可能な方法により形成して、表示装置を作製することを特徴とするものである。本発明は、薄膜トランジスタや表示装置を構成する、ゲート電極層、ソース電極層、ドレイン電極層などの導電層、半導体層、マスク層、絶縁層など、所定の形状を有して形成される全ての構成要素に対して適用できる。選択的に所望な形状に形成可能な方法として、導電層や絶縁層など形成し、特定の目的に調合された組成物の液滴を選択的に吐出（噴出）して所定のパターンに形成することが可能な、液滴吐出（噴出）法（その方式によっては、インクジェット法とも呼ばれる。）を用いる。また、物体が所望のパターンに転写、または描写できる方法、例えば各種印刷法（スクリーン（孔版）印刷、オフセット（平版）印刷、凸版印刷やグラビア（凹版）印刷など所望なパターンで形成される方法）なども用いることができる。
【００２６】
本実施の形態は、流動性を有する形成する材料を含む組成物を、液滴として吐出（噴出）し、所望なパターンに形成する方法を用いている。形成物の被形成領域に、形成する材料を含む液滴を吐出し、焼成、乾燥等を行って固定化し所望なパターンで物体を形成する。
【００２７】
液滴吐出法に用いる液滴吐出装置の一態様を図３１に示す。液滴吐出手段１４０３の個々のヘッド１４０５、ヘッド１４１２は制御手段１４０７に接続され、それがコンピュータ１４１０で制御することにより予めプログラミングされたパターンに描画することができる。描画するタイミングは、例えば、基板１４００上に形成されたマーカー１４１１を基準に行えば良い。或いは、基板１４００の縁を基準にして基準点を確定させても良い。これを撮像手段１４０４で検出し、画像処理手段１４０９にてデジタル信号に変換したものをコンピュータ１４１０で認識して制御信号を発生させて制御手段１４０７に送る。撮像手段１４０４としては、電荷結合素子（ＣＣＤ）や相補型金属酸化物半導体を利用したイメージセンサなどを用いることができる。勿論、基板１４００上に形成されるべきパターンの情報は記憶媒体１４０８に格納されたものであり、この情報を基にして制御手段１４０７に制御信号を送り、液滴吐出手段１４０３の個々のヘッド１４０５、ヘッド１４１２を個別に制御することができる。吐出する材料は、材料供給源１４１３、材料供給源１４１４より配管を通してヘッド１４０５、ヘッド１４１２にそれぞれ供給される。
【００２８】
ヘッド１４０５内部は、点線１４０６が示すように液状の材料を充填する空間と、吐出口であるノズルを有する構造となっている。図示しないが、ヘッド１４１２もヘッド１４０５と同様な内部構造を有する。ヘッド１４０５内部は、点線１４０６が示すように液状の材料を充填する空間と、吐出口であるノズルを有する構造となっている。図示しないが、ヘッド１４１２もヘッド１４０５と同様な内部構造を有する。ヘッド１４０５とヘッド１４１２のノズルを異なるサイズで設けると、異なる材料を異なる幅で同時に描画することができる。一つのヘッドで、導電性材料や有機、無機材料などをそれぞれ吐出し、描画することができ、層間膜のような広領域に描画する場合は、スループットを向上させるため複数のノズルより同材料を同時に吐出し、描画することができる。大型基板を用いる場合、ヘッド１４０５、ヘッド１４１２は基板上を、矢印の方向に自在に走査し、描画する領域を自由に設定することができ、同じパターンを一枚の基板に複数描画することができる。
【００２９】
本発明では、形成物の加工工程においてを感光性のレジストや感光性物質を含む材料に光を照射し、露光する工程を行う。露光に用いる光は、特に限定されず、赤外光、可視光、または紫外光のいずれか一またはそれらの組み合わせを用いることが可能である。例えば、紫外線ランプ、ブラックライト、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、キセノンアークランプ、カーボンアークランプ、高圧ナトリウムランプ、または高圧水銀ランプから射出された光を用いてもよい。その場合、ランプ光源は、必要な時間点灯させて照射してもよいし、複数回照射してもよい。
【００３０】
レーザ光を用いてもよく、レーザ光を用いるとより精密なパターンで被形成領域を露光処理できるので、そこに形成される物体も高繊細化することができる。本発明で用いることのできるレーザ光（レーザビームとも記す）を処理領域に描画する、レーザ光描画装置について、図２８を用いて説明する。本実施の形態では、レーザ光を照射する領域をマスク等を介して選択するのではなく、処理領域を選択して直接照射して処理するため、レーザ光直接描装置を用いる。図２８に示すようにレーザ光直接描画装置１００１は、レーザ光を照射する際の各種制御を実行するパーソナルコンピュータ（以下、ＰＣと示す。）１００２と、レーザ光を出力するレーザ発振器１００３と、レーザ発振器１００３の電源１００４と、レーザ光を減衰させるための光学系（ＮＤフィルタ）１００５と、レーザ光の強度を変調するための音響光学変調器（ＡＯＭ）１００６と、レーザ光の断面の拡大又は縮小をするためのレンズ、光路の変更するためのミラー等で構成される光学系１００７、Ｘステージ及びＹステージを有する基板移動機構１００９と、ＰＣ１００２から出力される制御データをデジタルーアナログ変換するＤ／Ａ変換部１０１０と、Ｄ／Ａ変換部から出力されるアナログ電圧に応じて音響光学変調器１００６を制御するドライバ１０１１と、基板移動機構１００９を駆動するための駆動信号を出力するドライバ１０１２とを備えている。
【００３１】
レーザ発振器１００３としては、紫外光、可視光、又は赤外光を発振することが可能なレーザ発振器を用いることができる。レーザ発振器としては、ＫｒＦ、ＡｒＦ、ＫｒＦ、ＸｅＣｌ、Ｘｅ等のエキシマレーザ発振器、Ｈｅ、Ｈｅ−Ｃｄ、Ａｒ、Ｈｅ−Ｎｅ、ＨＦ等の気体レーザ発振器、ＹＡＧ、ＧｄＶＯ4、ＹＶＯ4、ＹＬＦ、ＹＡｌＯ3などの結晶にＣｒ、Ｎｄ、Ｅｒ、Ｈｏ、Ｃｅ、Ｃｏ、Ｔｉ又はＴｍをドープした結晶を使った固体レーザ発振器、ＧａＮ、ＧａＡｓ、ＧａＡｌＡｓ、ＩｎＧａＡｓＰ等の半導体レーザ発振器を用いることができる。なお、固体レーザ発振器においては、基本波の第２高調波〜第５高調波を適用するのが好ましい。
【００３２】
次に、レーザ光直接描画装置を用いた物質（表面）の露光処理について述べる。基板１００８が基板移動機構１００９に装着されると、ＰＣ１００２は図外のカメラによって、基板に付されているマーカの位置を検出する。次いで、ＰＣ１００２は、検出したマーカの位置データと、予め入力されている描画パターンデータとに基づいて、基板移動機構１００９を移動させるための移動データを生成する。この後、ＰＣ１００２が、ドライバ１０１１を介して音響光学変調器１００６の出力光量を制御することにより、レーザ発振器１００３から出力されたレーザ光は、光学系１００５によって減衰された後、音響光学変調器１００６によって所定の光量になるように光量が制御される。一方、音響光学変調器１００６から出力されたレーザ光は、光学系１００７で光路及びレーザ光（ビームスポット）の形状を変化させ、レンズで集光した後、基板上に形成された被処理物に該レーザ光を照射して、被処理物を改質処理する。このとき、ＰＣ１００２が生成した移動データに従い、基板移動機構１００９をＸ方向及びＹ方向に移動制御する。この結果、所定の場所にレーザ光が照射され、被処理物の露光処理が行われる。
【００３３】
この結果、レーザ光が照射された領域で、被処理物は露光され、感光される。感光性物質には大きくわけてネガ型とポジ型がある。ネガ型の場合は、露光された部分で化学反応が生じ、現像液によって化学反応が生じた部分のみが残されてパターンが形成される。また、ポジ型の場合は、露光された部分で化学反応が生じ、現像液によって化学反応が生じた部分が溶解され、露光されなかった部分のみが残されてパターンが形成される。レーザ光のエネルギーの一部は被処理物材料で熱に変換され、被処理物の一部を反応させるため、処理された被処理物の領域の幅が、処理するレーザ光の幅より若干大きくなることもある。また、短波長のレーザ光ほど、レーザ光の径を短く集光することが可能であるため、微細な幅に処理領域を形成するためには、短波長のレーザ光を照射することが好ましい。
【００３４】
また、レーザ光の膜表面でのスポット形状は、点状、円形、楕円形、矩形、または線状（厳密には細長い長方形状）となるように光学系で加工されている。
【００３５】
また、図２８に示した装置は、基板の表面側からレーザ光を照射して露光する例を示したが、光学系や基板移動機構を適宜変更し、基板の裏面側からレーザ光を照射して露光するレーザビーム描画装置としてもよい。
【００３６】
なお、ここでは、基板を移動して選択的にレーザ光を照射しているが、これに限定されず、レーザ光をＸＹ軸方向に走査してレーザ光を照射することができる。この場合、光学系１００７にポリゴンミラーやガルバノミラー、音響光学偏向器（Acoust-Optic Deflector ; ＡＯＤ）を用いることが好ましい。また、レーザビームをＸ軸又はＹ軸の一方向に走査し、基板をＸ軸又はＹ軸の他方向に移動して、基板の所定の場所にレーザビームを照射してもよい。
【００３７】
また、光は、ランプ光源による光とレーザ光とを組み合わせて用いることもでき、比較的広範囲な加工を行う領域は、マスクを用いてランプによる照射処理を行い、高繊細な加工を行う領域のみレーザ光で照射処理を行うこともできる。このように光の照射処理を行うと、スループットも向上でき、かつ高繊細に加工された配線基板などを得ることができる。
【００３８】
本発明の実施の形態について、図１乃至図８を用いて説明する。より詳しくは、本発明を適用した表示装置の作製方法について説明する。まず、本発明を適用した、トップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタを有する表示装置の作製方法について説明する。図２〜図５（Ａ）は表示装置画素部の上面図であり、図２〜図５の（Ｂ）は、図２〜図５（Ａ）における線Ａ−Ｃによる断面図、図２〜図５の（Ｃ）は、図２〜図５（Ａ）における線Ｂ−Ｄによる断面図である。
【００３９】
基板１００は、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス等からなるガラス基板、石英基板、シリコン基板、金属基板、ステンレス基板又は本作製工程の処理温度に耐えうる耐熱性を有するプラスチック基板を用いる。また、基板１００の表面が平坦化されるようにＣＭＰ法などによって、研磨しても良い。なお、基板１００上に、絶縁層を形成してもよい。絶縁層は、ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法、スパッタリング法、スピンコート法等の公知の方法により、珪素を含む酸化物材料、窒化物材料を用いて、単層又は積層して形成される。基板１００として、３２０ｍｍ×４００ｍｍ、３７０ｍｍ×４７０ｍｍ、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ、６００ｍｍ×７２０ｍｍ、６８０ｍｍ×８８０ｍｍ、１０００ｍｍ×１２００ｍｍ、１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ、１１５０ｍｍ×１３００ｍｍのような大面積基板を用いることができる。
【００４０】
基板１００上に、下地膜として絶縁層１４０を形成することが好ましい。この絶縁層１４０は、基板１００からの汚染物質などを遮断する効果がある。基板１００の上に下地膜として、絶縁層１４０をスパッタリング法、ＰＶＤ法（Physical Vapor Deposition）、減圧ＣＶＤ法（ＬＰＣＶＤ法）、またはプラズマＣＶＤ法等のＣＶＤ法（Chemical Vapor Deposition）、スピンコート法等などにより珪素を含む酸化物材料、窒化物材料を用いて、単層又は積層して形成する。本実施の形態では、プラズマＣＶＤ法を用いて、窒化酸化珪素（ＳｉＮＯ）膜を１０〜３００ｎｍ（好ましくは５０〜１００ｎｍ）形成し、酸化窒化珪素（ＳｉＯＮ）膜を５０〜３００ｎｍ（好ましくは１００〜１５０ｎｍ）積層する。
【００４１】
絶縁層としては、酸化珪素（ＳｉＯｘ）、窒化珪素（ＳｉＮｘ）、酸化窒化珪素（ＳｉＯｘＮｙ）（ｘ＞ｙ）、窒化酸化珪素（ＳｉＮｘＯｙ）（ｘ＞ｙ）などを用いることができ、単層でも２層、３層といった積層構造でもよい。なお本明細書中において酸化窒化珪素とは酸素の組成比が窒素の組成比より大きい物質（ＳｉＯｘＮｙ）（ｘ＞ｙ）であり、窒素を含む酸化珪素とも言える。同様に、窒化酸化珪素とは、窒素の組成比が酸素の組成比より大きい物質（ＳｉＮｘＯｙ）（ｘ＞ｙ）であり、酸素を含む窒化珪素とも言える。本実施の形態では、基板上にＳｉＨ4、ＮＨ3、Ｎ2Ｏ、Ｎ2及びＨ2を反応ガスとして窒化酸化珪素膜を膜厚５０ｎｍ形成し、ＳｉＨ4及びＮ2Ｏを反応ガスとして酸化窒化珪素膜を膜厚１００ｎｍで形成する。また窒化酸化珪素膜の膜厚を１４０ｎｍ、積層する酸化窒化珪素膜の膜厚を１００ｎｍとしてもよい。他の積層例としては、基板側から窒化酸化珪素膜、酸化窒化珪素膜、窒化酸化珪素膜からなる積層構造、または基板側から窒化珪素膜、酸化珪素膜、窒化珪素膜からなる積層構造を用いることができる。
【００４２】
半導体層に接する絶縁層１０１の最上層に、膜厚０．３ｎｍ〜５ｎｍの窒化珪素膜、あるいは窒化珪素酸化膜を形成すると好ましい。本実施の形態では、半導体層に結晶化を促進する金属元素（本実施の形態ではニッケルを用いる）を添加し、その後ゲッタリング処理を行って除去する。酸化珪素膜と珪素膜とは界面状態は良好であるが、界面において珪素膜中の金属元素と酸化珪素中の酸素が反応し、酸化金属物（本実施の形態では酸化ニッケル（ＮｉＯｘ））になりやすく、金属元素がゲッタリングされにくくなる場合がある。また、窒化珪素膜は、窒化珪素膜の応力や、トラップの影響により、半導体層との界面状態に悪影響を与える恐れがある。よって、半導体層に接する絶縁層の最上層に、膜厚０．３〜５ｎｍの窒化珪素膜、あるいは窒化酸化珪素膜を形成する。本実施の形態では、基板１００上に窒化酸化珪素膜と酸化窒化珪素膜とを積層した後、酸化窒化珪素膜上に膜厚０．３ｎｍ〜５ｎｍの窒化酸化珪素膜を形成し、３層の積層構造とする。このような構造であると、半導体層中の金属元素のゲッタリング効率も上がり、かつ半導体層への窒化珪素膜の悪影響も軽減できる。また積層される絶縁層は、同チャンバー内で真空を破らずに同一温度下で、反応ガスを切り変えながら連続的に形成するとよい。真空を破らずに連続的に形成すると、積層する膜同士の界面が汚染されるのを防ぐことができる。
【００４３】
次に半導体膜を形成する。半導体層の詳細な作製方法を図７を用いて説明する。図７は半導体層１０２の作製方法を示しているが、半導体層１０３も同様に作製することができる。半導体膜は２５〜２００ｎｍ（好ましくは３０〜１５０ｎｍ）の厚さで公知の手段（スパッタ法、ＬＰＣＶＤ法、またはプラズマＣＶＤ法等）により成膜すればよい。本実施の形態では、非晶質半導体膜を結晶化し、結晶性半導体膜とするものを用いるのが好ましい。
【００４４】
半導体膜を形成する材料は、シランやゲルマンに代表される半導体材料ガスを用いて気相成長法やスパッタリング法で作製される非晶質半導体（以下「アモルファス半導体：ＡＳ」とも記す。）、該非晶質半導体を熱エネルギーを利用して結晶化させた多結晶半導体、或いはセミアモルファス（微結晶若しくはマイクロクリスタルとも呼ばれる。以下「ＳＡＳ」とも記す。）半導体などを用いることができる。
【００４５】
ＳＡＳは、非晶質と結晶構造（単結晶、多結晶を含む）の中間的な構造を有し、自由エネルギー的に安定な第３の状態を有する半導体であって、短距離秩序を持ち格子歪みを有する結晶質な領域を含んでいる。少なくとも膜中の一部の領域には、０．５〜２０ｎｍの結晶領域を観測することが出来、珪素を主成分とする場合にはラマンスペクトルが５２０ｃｍ-1よりも低波数側にシフトしている。Ｘ線回折では珪素結晶格子に由来するとされる（１１１）、（２２０）の回折ピークが観測される。未結合手（ダングリングボンド）を終端化させるため水素またはハロゲンを少なくとも１原子％またはそれ以上含ませている。ＳＡＳは、珪化物気体をグロー放電分解（プラズマＣＶＤ）して形成する。珪化物気体としては、ＳｉＨ4、その他にもＳｉ2Ｈ6、ＳｉＨ2Ｃｌ2、ＳｉＨＣｌ3、ＳｉＣｌ4、ＳｉＦ4などを用いることが可能である。またＦ2、ＧｅＦ4を混合させても良い。この珪化物気体をＨ2、又は、Ｈ2とＨｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｎｅから選ばれた一種または複数種の希ガス元素で希釈しても良い。希釈率は２〜１０００倍の範囲、圧力は概略０．１Ｐａ〜１３３Ｐａの範囲、電源周波数は１ＭＨｚ〜１２０ＭＨｚ、好ましくは１３ＭＨｚ〜６０ＭＨｚである。基板加熱温度は３００℃以下が好ましく、１００〜２００℃の基板加熱温度でも形成可能である。ここで、主に成膜時に取り込まれる不純物元素として、酸素、窒素、炭素などの大気成分に由来する不純物は１×１０20ｃｍ-3以下とすることが望ましく、特に、酸素濃度は５×１０19ｃｍ-3以下、好ましくは１×１０19ｃｍ-3以下となるようにすることが好ましい。また、ヘリウム、アルゴン、クリプトン、ネオンなどの希ガス元素を含ませて格子歪みをさらに助長させることで安定性が増し良好なＳＡＳが得られる。また半導体膜としてフッ素系ガスより形成されるＳＡＳ層に水素系ガスより形成されるＳＡＳ層を積層してもよい。
【００４６】
なお、後の結晶化で良質な結晶構造を有する半導体膜を得るためには、図７に示す非晶質半導体膜１３５膜中に含まれる酸素、窒素などの不純物濃度を５×１０18/cm3（以下、濃度はすべて二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）にて測定した原子濃度として示す。）以下に低減させておくと良い。これらの不純物は、触媒元素と反応しやすく、後の結晶化を妨害する要因となり、また、結晶化後においても捕獲中心や再結合中心の密度を増加させる要因となる。
【００４７】
本実施の形態では、非晶質半導体膜、又はＳＡＳ膜に結晶化を助長する元素を用いた熱結晶化法を用いる。加熱方法としてＧＲＴＡ（Gas  Rapid  Thermal  Anneal）法、ＬＲＴＡ（Lamp  Rapid  Thermal  Anneal）法等のＲＴＡ法がある。
【００４８】
非晶質半導体膜への金属元素の導入の仕方としては、当該金属元素を非晶質半導体膜の表面又はその内部に存在させ得る手法であれば特に限定はなく、例えばスパッタ法、ＣＶＤ法、プラズマ処理法（プラズマＣＶＤ法も含む）、吸着法、金属塩の溶液を塗布する方法、イオン注入法、イオンドーピング法を使用することができる。このうち溶液を用いる方法は簡便であり、金属元素の濃度調整が容易であるという点で有用である。また、このとき非晶質半導体膜の表面のぬれ性を改善し、非晶質半導体膜の表面全体に水溶液を行き渡らせるため、酸素雰囲気中でのＵＶ光の照射、熱酸化法、ヒドロキシラジカルを含むオゾン水又は過酸化水素による処理等により、酸化膜を成膜することが望ましい。
【００４９】
本実施の形態では、絶縁層１０１上に、非晶質半導体膜１３５を形成し、非晶質半導体膜１３５を結晶化させることによって結晶性半導体膜１３４を形成する。非晶質半導体膜１３５としては、ＳｉＨ4、Ｈ2の反応ガスにより形成する非晶質珪素を用いる。非晶質半導体膜１３５としては、ＳｉＨ4、Ｈ2の反応ガスにより形成する非晶質珪素を用いる。本実施の形態において、非晶質半導体膜４３６中の酸素濃度を５×１０19atom／ｃｍ3以下、好ましくは２×１０19atom／ｃｍ3以下にするように形成する。このように酸素などの不純物元素の濃度を低くすると、後に金属元素として添加したニッケルをゲッタリングする際、ゲッタリング残渣などのゲッタリング不良が生じにくくなる。非晶質半導体膜１３５の膜厚は５０ｎｍ〜３００ｎｍが好ましい。本実施の形態では、非晶質半導体膜１３５を５０ｎｍ形成する。
【００５０】
非晶質半導体膜上に形成された酸化膜を除去した後、酸素雰囲気中でのＵＶ光の照射、熱酸化法、ヒドロキシラジカルを含むオゾン水又は過酸化水素による処理等により、酸化膜を１〜５ｎｍ形成する。本実施の形態では、結晶化を助長する元素としてNiを用いる。Ｎｉ元素を重量換算で１０ｐｐｍ〜１００ｐｐｍ（好ましくは１０ｐｐｍ〜５０ｐｐｍ）を含有した水溶液をスピンコーティング法により塗布し、金属膜１３６を形成する（図７（Ａ）参照。）。結晶化を助長する元素としては、この珪素の結晶化を助長する金属元素としては鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスニウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、銅（Ｃｕ）及び金（Ａｕ）から選ばれた一種又は複数種類を用いて、金属膜１３６を形成することができる。金属膜１３６はその形成条件によっては膜厚が極薄であり、膜として形態を保っていなくてもよい。結晶化を助長させる効果が得られるように、非晶質半導体膜１３５に接して形成されればよい。
【００５１】
次に、非晶質半導体膜を加熱して、結晶性半導体膜１３４を形成する。この場合、結晶化は半導体の結晶化を助長する金属元素が接した半導体膜の部分でシリサイドが形成され、それを核として結晶化が進行する。ここでは、脱水素化のための熱処理の後、結晶化のための熱処理（５５０℃〜６５０℃で５分〜２４時間）を行う。また、ＲＴＡ、ＧＲＴＡにより結晶化を行っても良い。ここで、加熱にレーザ光照射を行わず結晶化することで、結晶性のばらつきを低減することが可能であり、後に形成されるＴＦＴのばらつきを抑制することが可能である。
【００５２】
本実施の形態では、熱処理を５５０℃で４時間行うが、熱処理をＲＴＡ法により６５０℃で６分間行ってもよい。
【００５３】
このようにして得られた結晶性半導体膜１３４に対して、薄膜トランジスタのしきい値電圧を制御するために微量な不純物元素（ボロンまたはリン）のドーピングを行ってもよい。この不純物元素のドーピングは、結晶化工程の前の非晶質半導体膜に行ってもよいし、結晶性半導体膜１３４中の金属元素をゲッタリング工程によって軽減、除去した後行ってもよい。本実施の形態ではジボラン（Ｂ2Ｈ6）を質量分離しないでプラズマ励起したイオンドープ法でボロンを添加する。なお、質量分離を行うイオン注入法を用いてもよい。非晶質半導体膜の状態で不純物元素をドーピングすると、その後の結晶化のための加熱処理によって、不純物の活性化も行うことができる。また、ドーピングの際に生じる欠陥等も改善することができる。
【００５４】
結晶性半導体膜１３４は、後工程で所望の形状に加工を行って複数の半導体層となる。それぞれの半導体層のチャネル形成領域を保護するためのチャネル保護層となる絶縁層を、結晶性半導体膜１３４上に形成する。チャネル保護層としては、無機材料（酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、窒化酸化珪素など）、感光性または非感光性の有機材料（有機樹脂材料）（ポリイミド、アクリル、ポリアミド、ポリイミドアミド、ベンゾシクロブテンなど）、レジスト、低誘電率であるＬｏｗ  ｋ材料などの一種、もしくは複数種からなる膜、またはこれらの膜の積層などを用いることができる。また、シロキサン樹脂を用いてもよい。なお、シロキサン樹脂とは、Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を含む樹脂に相当する。シロキサンは、シリコン（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）との結合で骨格構造が構成される。置換基として、少なくとも水素を含む有機基（例えばアルキル基、芳香族炭化水素）が用いられる。置換基として、フルオロ基を用いてもよい。または置換基として、少なくとも水素を含む有機基と、フルオロ基とを用いてもよい。作製法としては、プラズマＣＶＤ法や熱ＣＶＤ法などの気相成長法やスパッタリング法を用いることができる。チャネル保護層は、液滴吐出法を用いてポリイミド又はポリビニルアルコール等を滴下してもよい。その結果、露光工程を省略することができる。また、印刷法（スクリーン印刷やオフセット印刷など選択的にパターンで形成物が形成される方法）を用いることもできる。塗布法で得られるＳＯＧ膜なども用いることができる。本実施の形態では、結晶性半導体膜１３４上の酸化膜を除去した後、酸化珪素膜を膜厚５０ｎｍ形成し、所望の形状に加工して、チャネル保護層１０４をチャネル形成領域上に選択的に形成する（図７（Ｂ）参照。）。チャネル保護層１０４を所望の形状に加工する際のマスクを、レーザ光による露光処理を用いて加工すると、微細で正確な加工を行うことができる。よって、制御性よく、所望とする形状でチャネル保護層を形成することができる。
【００５５】
金属元素を用いた結晶化を行った場合、金属元素を低減、又は除去するためにゲッタリング工程を施す。結晶性半導体膜１３４中の金属元素を吸い込み自らに取り込む層として半導体膜を、結晶性半導体膜１３４に接して形成する。本実施の形態では、不純物元素を有する非晶質半導体膜を、金属元素を捕獲するゲッタリングシンクとして形成する。まず、結晶性半導体膜１３４上に形成された酸化膜を洗浄処理によって除去する。次いでプラズマＣＶＤ法を用いて、半導体膜１３７ａ、半導体膜１３７ｂを形成する。半導体膜１３７ａの膜厚は、３０〜１００ｎｍ（代表的には４０〜６０ｎｍ）、半導体膜１３７ｂの膜厚は、２０〜２００ｎｍ（代表的には５０〜１５０ｎｍ）とする。半導体膜１３７ａ、半導体膜１３７ｂは不純物元素を有しており、不純物元素としてはｎ型を付与する不純物元素、ｐ型を付与する不純物元素や希ガス元素などを用いることができ、例えばリン（Ｐ）、窒素（Ｎ）、ヒ素（Ａｓ）、アンチモン（Ｓｂ）、ビスマス（Ｂｉ）、ボロン（B）、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、Ｋｒ（クリプトン）、Ｘｅ（キセノン）から選ばれた一種または複数種を用いることができる。ｎ型を付与する不純物元素を含むｎ型を有する半導体層に、アルゴンなどの希ガス元素が含まれるように形成することもできる。本実施の形態では、半導体膜１３７ａを半導体膜１３７ｂには、ｎ型を付与する不純物元素（本実施の形態ではリンを用いる）が含まれており、半導体膜１３７ａの不純物元素の濃度は、半導体膜１３７ｂより低くなるように形成されている。前記不純物元素は、ＣＶＤ法などによって、不純物元素を含むように半導体膜を形成しても良いし、半導体膜を形成後に、イオンドーピング法などによって添加してもよい。
【００５６】
半導体膜１３７ａはｎ型の低濃度不純物領域（ｎ−領域とも記す）として形成され、半導体膜１３７ｂはｎ型の高濃度不純物領域（ｎ＋領域とも記す）として形成されている。よって半導体膜１３７ａ、半導体膜１３７ｂのそれぞれの膜において深さ方向に対して一定の濃度でｎ型を付与する不純物元素が分布しており、半導体膜１３７ａの方が、半導体膜１３７ｂより低い濃度でｎ型を付与する不純物元素が分布している。ｎ＋領域である半導体膜１３７ｂは後にソース領域及びドレイン領域として機能し、ｎ−領域である半導体膜１３７ａはＬＤＤ（ＬｉｇｈｔｌｙＤｏｐｅｄ  Ｄｒａｉｎ）領域として機能する。なお、ｎ＋領域とｎ−領域はそれぞれ作り分けているので界面が存在する。ｎ＋領域とｎ−領域の膜厚制御は、それぞれ各濃度の半導体膜の膜厚を制御することによって達成できる。
【００５７】
一方、半導体膜を形成し、イオンドープ法又はイオン注入法により該半導体膜にｎ型を付与する不純物元素を添加して半導体膜を形成してもよい。この場合、そのドーピング条件によって一導電型を有する半導体膜中の不純物の濃度分布を制御すればよい。本実施の形態の半導体膜１３７ａ及び半導体膜１３７ｂのように、半導体膜の表面に近い膜厚方向に浅い領域のｎ型を付与する不純物元素濃度が１×１０19／ｃｍ3以上のｎ型の高濃度不純物領域（ｎ＋領域とも記す）とし、半導体膜の表面に遠い膜厚方向に深い領域をｎ型を付与する不純物元素濃度が１×１０16〜１×１０19／ｃｍ3（好ましくは５×１０16〜５×１０18／ｃｍ3）の、ｎ型の低濃度不純物領域（ｎ−領域とも記す）となるように形成する。ｎ＋領域は後にソース領域及びドレイン領域として機能し、ｎ−領域はＬＤＤ領域として機能する。なお、ｎ＋領域とｎ−領域それぞれの界面は存在せず、相対的なｎ型を付与する不純物元素濃度の大小によって変化する。このようにイオンドープ法又はイオン注入法により形成されたｎ型を付与する不純物元素が含まれる半導体膜の場合は、添加条件によって濃度プロファイルを制御し、ｎ＋領域とｎ−領域の膜厚を適宜制御することが可能である。ｎ＋領域とｎ−領域を有することにより電界の緩和効果が大きくなり、ホットキャリア耐性を高めた薄膜トランジスタを形成することが可能となる。
【００５８】
本実施の形態では、半導体膜１３７ａ、半導体膜１３７ｂとして、ｎ型を付与する不純物元素（ドナー型元素）であるリンを含む珪素膜をプラズマＣＶＤ法によって形成する。また、半導体膜１３７ａ、半導体膜１３７ｂに含まれるｎ型を付与する不純物元素の濃度を異ならせているので、半導体膜１３７ａはｎ型の低濃度不純物領域となり、半導体膜１３７ｂはｎ型の高濃度不純物領域となっている。ｎ型の低濃度不純物領域の不純物濃度は、１×１０16〜１×１０19／ｃｍ3、好ましくは５×１０16〜５×１０18／ｃｍ3、ｎ型の高濃度不純物領域の不純物濃度は、その１０倍から１００倍が好ましく、１×１０19〜３×１０21／ｃｍ3とすることができる。またｎ型の低濃度不純物領域である半導体膜１３７ａの膜厚は２０〜２００ｎｍ、代表的には５０〜１５０ｎｍであり、本実施の形態では、膜厚５０ｎｍで形成する。ｎ型の高濃度不純物領域である半導体膜１３７ｂの膜厚は３０〜１００ｎｍ、代表的には４０〜６０ｎｍであり、本実施の形態では、膜厚５０ｎｍで形成する。
【００５９】
その後、熱処理を行い、金属元素を低減、又は除去する。結晶性半導体膜１３４中の金属元素は、図７（Ｃ）に示すように、矢印の方向へ加熱処理によって移動し、半導体膜１３７ａ、半導体膜１３７ｂ中に捕獲される。結晶性半導体膜１３４は、膜中の金属元素を除去され結晶性半導体膜１３９となり、半導体膜１３７ａ、半導体膜１３７ｂは結晶化を促進する金属元素を含む半導体膜１３８ａ、半導体膜１３８ｂとなる。本実施の形態では半導体膜１３８ａ、半導体膜１３８ｂにはｎ型を付与する不純物元素と、結晶化を助長する金属元素が含まれる。この工程により、結晶性半導体膜中の結晶化を促進させる元素（本実施の形態ではニッケル元素）がデバイス特性に影響を与えない濃度、即ち膜中のニッケル濃度が１×１０18／ｃｍ3以下、望ましくは１×１０17／ｃｍ3以下とすることができる。また、ゲッタリング後の金属元素が移動した半導体膜１３８ａ、半導体膜１３８ｂも加熱処理により結晶化される場合がある。なお、本実施の形態においては、ゲッタリング工程と共に、半導体膜１３８ａ、半導体膜１３８ｂ中のｎ型を付与する不純物元素（ドナー型元素）の活性化を行っている。熱処理は窒素雰囲気下で行ってもよい。本実施の形態では、熱処理を５５０℃で４時間行うが、熱処理をＲＴＡ法により６５０℃で６分間行ってもよい。
【００６０】
次に結晶性半導体膜１３９、半導体膜１３８ａ、半導体膜１３８ｂをマスクを用いて所望の形状に加工する。本実施の形態では、フォトマスクを作製し、フォトリソグラフィ法を用いた加工処理により、半導体層１０２、ｎ型を有する半導体層１０６、ｎ型を有する半導体層１０８を形成する（図７（（Ｄ）参照。）。同様に半導体層１０３、チャネル保護層１０５、ｎ型を有する半導体層１０７、ｎ型を有する半導体層１０９も形成する（図２参照。）。フォトマスクはレジストをスピンコート法などによる全面塗布、または液滴吐出法によって選択的に形成し、レーザ光照射による露光によって微細なパターンのマスクを形成すればよい。微細なパターンのマスクによって半導体膜は微細かつ精巧に所望な形状に加工することができる。
【００６１】
エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、ノボラック樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂等の樹脂材料を用いて、マスクを露光加工せずに組成物を選択的に吐出して形成することもできる。また、ベンゾシクロブテン、パリレン、フレア、透過性を有するポリイミドなどの有機材料、シロキサンポリマー等の重合によってできた化合物材料、水溶性ホモポリマーと水溶性共重合体を含む組成物材料等を用いて液滴吐出法で形成することができる。いずれの材料を用いるとしても、その表面張力と粘度は、溶媒の濃度を調整したり、界面活性剤等を加えたりして適宜調整する。
【００６２】
所望の形状へ加工する際のエッチング加工は、プラズマエッチング（ドライエッチング）又はウエットエッチングのどちらを採用しても良いが、大面積基板を処理するにはプラズマエッチングが適している。エッチングガスとしては、ＣＦ4、ＮＦ3、ＳＦ6、ＣＨＦ3などのフッ素を含むガス又はＣｌ2、ＢＣｌ3、ＳｉＣｌ4もしくはＣＣｌ4などを代表とする塩素を含むガス、あるいはＯ2のガスを用い、ＨｅやＡｒなどの不活性ガスを適宜加えても良い。また、大気圧放電のエッチング加工を適用すれば、局所的な放電加工も可能であり、基板の全面にマスク層を形成する必要はない。
【００６３】
導電性材料を含む組成物を吐出して、ソース電極層又はドレイン電極層１１４、ソース電極層又はドレイン電極層１１５、ソース電極層又はドレイン電極層１１６、ソース電極層又はドレイン電極層１１７を形成し、該ソース電極層又はドレイン電極層１１４、ソース電極層又はドレイン電極層１１５、ソース電極層又はドレイン電極層１１６、ソース電極層又はドレイン電極層１１７をマスクとして、ｎ型を有する半導体層１０６、ｎ型を有する半導体層１０８、ｎ型を有する半導体層１０７及びｎ型を有する半導体層１０９をパターン加工して、ｎ型を有する半導体層１１０ａ、ｎ型を有する半導体層１１０ｂ、ｎ型を有する半導体層１１１ａ、ｎ型を有する半導体層１１１ｂ、ｎ型を有する半導体層１１２ａ、ｎ型を有する半導体層１１２ｂ、ｎ型を有する半導体層１１３ａ、ｎ型を有する半導体層１１３ｂを形成する（図３参照。）。ソース電極層又はドレイン電極層１１４は配線層、ソース電極層又はドレイン電極層１１６は電源線としても機能する。
【００６４】
ソース電極層又はドレイン電極層は、印刷法、電界メッキ法、ＰＶＤ法（Physical Vapor Deposition）、ＣＶＤ法（Chemical Vapor Deposition）、蒸着法等の公知の手法により形成することが好ましい。また形成方法としては、液滴吐出法によって所望のパターンに形成することもできる。材料としては、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、ジルコニウムア（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、バナジウム（Ｖ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）等の金属又はその合金、若しくはその金属窒化物を適宜用いることができる。また、これら複数の層を積層して形成しても良い。代表的には、基板表面に窒化タンタル膜、その上にタングステン膜を積層してもよい。また、珪素に一導電型を付与する不純物元素を添加した材料を用いても良い。例えば、非晶質珪素膜にリン（Ｐ）などのｎ型を付与する不純物元素が含まれたｎ型を有する珪素膜などを用いることができる。
【００６５】
また透明導電性材料を用いて形成することもできる。インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物（ＩＴＳＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ2）などにより形成してもよい。好ましくは、スパッタリング法によりインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物（ＩＴＳＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などで形成する。より好ましくは、ＩＴＯに酸化珪素が２〜１０重量％含まれたターゲットを用いてスパッタリング法で酸化珪素を含む酸化インジウムスズを用いる。この他、酸化珪素を含み酸化インジウムに２〜２０atomic％の酸化亜鉛（ＺｎＯ）を混合した酸化インジウム酸化亜鉛合金などの導電性材料を用いても良い。
【００６６】
本実施の形態では、導電性材料として銀を含む組成物を吐出して、５５０℃で焼成し、ソース電極層又はドレイン電極層１１４、ソース電極層又はドレイン電極層１１５、ソース電極層又はドレイン電極層１１６、ソース電極層又はドレイン電極層１１７を形成する。本実施の形態で形成するトップゲート型のプラナー構造では、結晶性半導体である半導体層を加熱処理によって形成した後、ソース電極層、ドレイン電極層、ゲート電極層などの導電層を形成する工程であるため、形成した導電層に高い耐熱性が材料も用いることができる。よって、材料の選択の幅が広がり、かつ形成した電極層などの導電層が加熱処理によって、形状、機能や特性に不良を生じることがないので、信頼性が向上する。
【００６７】
液滴吐出手段とは、組成物の吐出口を有するノズルや、１つ又は複数のノズルを具備したヘッド等の液滴を吐出する手段を有するものの総称とする。液滴吐出手段が具備するノズルの径は、０．０２〜１００μｍ（好適には３０μｍ以下）に設定し、該ノズルから吐出される組成物の吐出量は０．００１ｐｌ〜１００ｐｌ（好適には０．１ｐｌ以上４０ｐｌ以下、より好ましくは１０ｐｌ以下）に設定する。吐出量は、ノズルの径の大きさに比例して増加する。また、被処理物とノズルの吐出口との距離は、所望の箇所に滴下するために、出来る限り近づけておくことが好ましく、好適には０．１〜３ｍｍ（好適には１ｍｍ以下）程度に設定する。
【００６８】
吐出口から吐出する組成物は、導電性材料を溶媒に溶解又は分散させたものを用いる。導電性材料とは、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｗ、Ａｌ等の金属、Ｃｄ、Ｚｎの金属硫化物、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｂａなどの酸化物、ハロゲン化銀の微粒子又は分散性ナノ粒子に相当する。また、透明導電膜として用いられるインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム錫酸化物と酸化珪素からなるＩＴＳＯ、有機インジウム、有機スズ、酸化亜鉛、窒化チタン等に相当する。導電性材料として、前記金属元素を複数混合して用いてもよい。但し、吐出口から吐出する組成物は、比抵抗値を考慮して、金、銀、銅のいずれかの材料を溶媒に溶解又は分散させたものを用いることが好適であり、より好適には、低抵抗な銀、銅を用いるとよい。但し、銀、銅を用いる場合には、不純物対策のため、合わせてバリア膜を設けるとよい。バリア膜としては、窒化珪素膜やニッケルボロン（ＮｉＢ）を用いるとことができる。
【００６９】
また、導電性材料の周りに他の導電性材料がコーティングされ、複数の層になっている粒子でも良い。例えば、銅の周りにニッケルボロン（ＮｉＢ）がコーティングされ、その周囲に銀がコーティングされている３層構造の粒子などを用いても良い。溶媒は、酢酸ブチル、酢酸エチル等のエステル類、イソプロピルアルコール、エチルアルコール等のアルコール類、メチルエチルケトン、アセトン等の有機溶剤、水等を用いる。組成物の粘度は２０ｍＰａ・ｓ（ｃｐｓ）以下が好適であり、これは、乾燥が起こることを防止したり、吐出口から組成物を円滑に吐出できるようにしたりするためである。また、組成物の表面張力は、４０ｍＮ／ｍ以下が好適である。但し、用いる溶媒や、用途に合わせて、組成物の粘度等は適宜調整するとよい。一例として、ＩＴＯや、有機インジウム、有機スズを溶媒に溶解又は分散させた組成物の粘度は５〜２０ｍＰａ・ｓ、銀を溶媒に溶解又は分散させた組成物の粘度は５〜２０ｍＰａ・ｓ、金を溶媒に溶解又は分散させた組成物の粘度は５〜２０ｍＰａ・ｓに設定するとよい。
【００７０】
また、複数の導電性材料を積層しても良い。また、始めに導電性材料として銀を用いて、液滴吐出法で導電層を形成した後、銅などでめっきを行ってもよい。めっきは電気めっきや化学（無電界）めっき法で行えばよい。めっきは、めっきの材料を有する溶液を満たした容器に基板表面を浸してもよいが、基板を斜め（または垂直）に立てて設置し、めっきする材料を有する溶液を、基板表面に流すように塗布してもよい。基板を立てて溶液を塗布するようにめっきを行うと、工程装置が小型化する利点がある。
【００７１】
各ノズルの径や所望のパターン形状などに依存するが、ノズルの目詰まり防止や高精細なパターンの作製のため、導電体の粒子の径はなるべく小さい方が好ましく、好適には粒径０．１μｍ以下が好ましい。組成物は、電解法、アトマイズ法又は湿式還元法等の公知の方法で形成されるものであり、その粒子サイズは、一般的に約０．０１〜１０μｍである。但し、ガス中蒸発法で形成すると、分散剤で保護されたナノ分子は約７ｎｍと微細であり、またこのナノ粒子は、被覆剤を用いて各粒子の表面を覆うと、溶剤中に凝集がなく、室温で安定に分散し、液体とほぼ同じ挙動を示す。従って、被覆剤を用いることが好ましい。
【００７２】
組成物を吐出する工程は、減圧下で行うと、組成物を吐出して被処理物に着弾するまでの間に、該組成物の溶媒が揮発し、後の乾燥と焼成の工程を省略することができる。また、減圧下で行うと、導電体の表面に酸化膜などが形成されないため好ましい。また、組成物を吐出後、乾燥と焼成の一方又は両方の工程を行う。乾燥と焼成の工程は、両工程とも加熱処理の工程であるが、例えば、乾燥は１００度で３分間程度の数分間、焼成は２００〜３５０度で１５分間〜６０分間で行うもので、その目的、温度と時間が異なるものである。乾燥の工程、焼成の工程は、常圧下又は減圧下で、レーザ光の照射や瞬間熱アニール、加熱炉などにより行う。なお、この加熱処理を行うタイミングは特に限定されない。乾燥と焼成の工程を良好に行うためには、基板を加熱しておいてもよく、そのときの温度は、基板等の材質に依存するが、一般的には１００〜８００度（好ましくは２００〜３５０度）とする。本工程により、組成物中の溶媒の揮発、又は化学的に分散剤を除去するとともに、周囲の樹脂が硬化収縮することで、ナノ粒子間を接触させ、融合と融着を加速する。
【００７３】
レーザ光の照射は、連続発振またはパルス発振の気体レーザ又は固体レーザを用いれば良い。前者の気体レーザとしては、エキシマレーザ、ＹＡＧレーザ等が挙げられ、後者の固体レーザとしては、Ｃｒ、Ｎｄ等がドーピングされたＹＡＧ、ＹＶＯ4、ＧｄＶＯ4等の結晶を使ったレーザ等が挙げられる。なお、レーザ光の吸収率の関係から、連続発振のレーザを用いることが好ましい。また、パルス発振と連続発振を組み合わせた所謂ハイブリッドのレーザ照射方法を用いてもよい。但し、基板１００の耐熱性に依っては、レーザ光の照射による加熱処理は、該基板１００が破壊しないように、数マイクロ秒から数十秒の間で瞬間的に行うとよい。瞬間熱アニール（ＲＴＡ）は、不活性ガスの雰囲気下で、紫外光乃至赤外光を照射する赤外ランプやハロゲンランプなどを用いて、急激に温度を上昇させ、数分〜数マイクロ秒の間で瞬間的に熱を加えて行う。この処理は瞬間的に行うために、実質的に最表面の薄膜のみを加熱することができ、下層の膜には影響を与えない。つまり、プラスチック基板等の耐熱性が弱い基板にも影響を与えない。本発明の半導体層にはレーザ照射を行わないので、レーザ光は電極層に選択的に照射されるように制御する。
【００７４】
ソース電極層又はドレイン電極層の形成方法を図６を用いて説明する。ソース電極層又はドレイン電極層１１４、ソース電極層又はドレイン電極層１１５、ソース電極層はドレイン電極層１１６、ソース電極層又はドレイン電極層１１７は、微細なパターンで形成されており、制御性よく形成しなければ形成不良によるショート等の不良を引き起こす。よって、半導体層上の微細な加工工程はレーザ光による微細な加工によって行う。図６（Ａ）で示すように、基板２００上に絶縁層２０１、半導体層２０２ａ、半導体層２０２ｂ、チャネル保護層２０３ａ、チャネル保護層２０３ｂ、ｎ型を有する半導体層２０４ａ、ｎ型を有する半導体層２０４ｂ、ｎ型を有する半導体層２０５ａ、ｎ型を有する半導体層２０５ｂが形成されており、これらを覆うように導電膜２０６を形成する。導電膜２０６は蒸着法、ＣＶＤ法、スパッタ法などによって形成することもできるが、本実施の形態では、液滴吐出装置２０７ａ、液滴吐出装置２０７ｂによって導電膜２０６を選択的に形成する（図６（Ａ）参照。）。その後、レジストからなるマスク２０８を形成する。
【００７５】
レジストからなるマスク２０８に、レーザ光２０９ａ、レーザ光２０９ｂを照射し、露光することによって領域２１０ａ、領域２１０ｂを感光する（図６（Ｂ）参照。）。本実施の形態ではポジ型の感光性のレジストを用いるため、露光され、感光した領域２１０ａ、領域２１０ｂ、領域２１０ｃはエッチャントによって除去され、開口部２１１ａ、開口部２１１ｂが形成される（図６（Ｃ）参照。）。開口部２１１ａ、開口部２１１ｂを有するマスクを用いて導電膜２０６をエッチングにより加工することによって、ソース電極層又はドレイン電極層２１２ａ、ソース電極層又はドレイン電極層２１２ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層２１２ｃが形成される。このソース電極層又はドレイン電極層２１２ａ、ソース電極層又はドレイン電極層２１２ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層２１２ｃをマスクとしてｎ型を有する半導体層２０４ａ、ｎ型を有する半導体層２０４ｂ、ｎ型を有する半導体層２０５ａ、ｎ型を有する半導体層２０５ｂをエッチングし、ｎ型を有する半導体層２１３ａ、ｎ型を有する半導体層２１３ｂ、ｎ型を有する半導体層２１３ｃ、ｎ型を有する半導体層２１３ｄ、ｎ型を有する半導体層２１４ａ、ｎ型を有する半導体層２１４ｂ、ｎ型を有する半導体層２１４ｃ、ｎ型を有する半導体層２１４ｄを形成することができる（図６（Ｄ）参照。）。このようにレーザ光による微細な加工によりマスクを形成し、導電膜の加工を行うことで、制御性よく精密に導電膜を加工でき、所望な形状のソース電極層やドレイン電極層を形成することができる。よって形成不良が生じないために薄膜トランジスタの信頼性も向上する。また、エッチングによる加工を行っていない方のソース電極層又はドレイン電極層２１２ａ、ソース電極層又はドレイン電極層２１２ｂの端部は曲率半径を有するような丸みを帯びた形状となりうる。液滴吐出法を用いると、材料のロスも軽減し、工程も簡略化するため、コストが低く生産性が上がるという利点がある。
【００７６】
また、ｎ型を有する半導体層のエッチング加工は、チャネル保護層をエッチングストッパーとして行うが、そのエッチング条件によって図６のように、チャネル保護層の一部もエッチングされる場合がある。チャネル保護層は半導体層中のチャネル形成領域がエッチングされるのを保護するための絶縁層であるので、全て除去されてしまい、チャネル形成領域が露出することのないようなエッチング条件でエッチングをする。
【００７７】
ソース電極層又はドレイン電極層１１４、ソース電極層又はドレイン電極層１１５、ソース電極層又はドレイン電極層１１６、ソース電極層又はドレイン電極層１１７を形成後、プレス等による平坦化工程を行っても良い。プレスする時に、加熱工程を行っても良い。また溶剤等によって表面を軟化、または融解させエアナイフで表面の凹凸部を除去しても良い。また、ＣＭＰ法を用いて研磨しても良い。また、ソース電極層又はドレイン電極層を液滴吐出法によって吐出し、仮焼成をしてから、本焼成の間にプレス工程を挟むことによって、電極層の平坦化の他に、電極層に含まれる酸素が放出され酸素濃度が低下するので、電気抵抗が下がるという効果もある。
【００７８】
また、ソース電極層、ドレイン電極層、ゲート電極層などの電極層、または配線層などに感光性を有する感光性物質を含む導電性材料を用いると、レジストからなるマスクを形成しなくても導電膜に直接レーザ光を照射し、露光、エッチャントによる除去を行うことで、所望のパターンに加工することができる。この場合、マスクを形成せずともよいので工程が簡略化する利点がある。感光性物質を含む導電性材料は、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｐｔなどの金属或いは合金と、有機高分子樹脂、光重合開始剤、光重合単量体、または溶剤などからなる感光性樹脂とを含んだものを用いればよい。有機高分子樹脂としては、ノボラック樹脂、アクリル系コポリマー、メタクリル系コポリマー、セルローズ誘導体、環化ゴム系樹脂などを用いる。
【００７９】
次に、ソース電極層又はドレイン電極層１１４、ソース電極層又はドレイン電極層１１５、ソース電極層又はドレイン電極層１１６、ソース電極層又はドレイン電極層１１７、チャネル保護層１０４、チャネル保護層１０５上にゲート絶縁層１２５を形成する。ゲート絶縁層１２５は、酸化珪素（ＳｉＯｘ）、窒化珪素（ＳｉＮｘ）、酸化窒化珪素（ＳｉＯｘＮｙ）（ｘ＞ｙ）、窒化酸化珪素（ＳｉＮｘＯｙ）（ｘ＞ｙ）などを適宜用いることができる。酸化珪素（ＳｉＯｘ）、窒化珪素（ＳｉＮｘ）、酸化窒化珪素（ＳｉＯｘＮｙ）（ｘ＞ｙ）、窒化酸化珪素（ＳｉＮｘＯｙ）（ｘ＞ｙ）等のいずれかで形成される単層、または組み合わせた積層で形成してもよい。なお、本実施の形態では、ゲート絶縁層１２５には、水素が含まれる。また、液滴吐出法で形成される導電層に銀や銅などを用いる場合、その上にバリア膜として窒化珪素膜やＮｉＢ膜を形成すると、不純物の拡散を防ぎ、表面を平坦化する効果がある。なお、低い成膜温度でゲートリーク電流が少ない緻密な絶縁膜を形成するには、アルゴンなどの希ガス元素を反応ガスに含ませ、形成される絶縁膜中に混入させると良い。本実施の形態では、ＳｉＨ4及びＮ2Ｏを反応ガスとして酸化珪素膜を膜厚１２０ｎｍで形成する。またゲート絶縁層１２５の膜厚を８０ｎｍ〜２００ｎｍとすると好ましい。
【００８０】
ゲート絶縁層１２５にソース電極層又はドレイン電極層１１５に達する開口部１２６形成する。エッチング工程は、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよい。この開口部１２６においてソース電極層又はドレイン電極層１１５と、後に形成されるゲート電極層１１９が電気的に接続する。
【００８１】
液滴吐出装置１２４ａ、液滴吐出装置１２４ｂより導電性材料を含む組成物を吐出して、ゲート絶縁層１２５上に、ゲート電極層１１８、ゲート電極層１１９を形成する（図４参照。）。ゲート絶縁層１２５上に、ゲート電極層１１８、ゲート電極層１１９を形成する工程も、前述したソース電極層又はドレイン電極層を形成したときと同様に形成することができる。ゲート電極層１１８はゲート配線層としても機能する。本実施の形態では銀を導電性材料して含む組成物を吐出し、３００℃で焼成して、ゲート電極層１１８、ゲート電極層１１９を形成する。ゲート電極層１１９を開口部１２６に形成することにより、開口部１２６においてソース電極層又はドレイン電極層１１４と、ゲート電極層１１９が電気的に接続する。
【００８２】
ゲート電極層を形成する導電性材料としては、Ａｇ（銀）、Ａｕ（金）、Ｃｕ（銅）、Ｗ（タングステン）、Ａｌ（アルミニウム）等の金属の粒子を主成分とした組成物を用いることができる。また、透光性を有するインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム錫酸化物と酸化珪素からなるＩＴＳＯ、有機インジウム、有機スズ、酸化亜鉛、窒化チタンなどを組み合わせても良い。
【００８３】
ゲート電極層１１８、ゲート電極層１１９を形成後もソース電極層又はドレイン電極層の時と同様、プレス等による平坦化工程を行っても良い。また、ゲート電極層を液滴吐出法によって吐出し、仮焼成をしてから、本焼成の間にプレス工程を挟むことによって、電極層の平坦化の他に、電極層に含まれる酸素が放出され酸素濃度が低下するので、電気抵抗が下がるという効果もある。
【００８４】
ソース電極層又はドレイン電極層、半導体層、ゲート絶縁層、ゲート電極層を覆うようにパッシベーション膜となる絶縁膜１２８を成膜することが好ましい。絶縁膜１２８は、プラズマＣＶＤ法又はスパッタリング法などの薄膜形成法を用い、窒化珪素、酸化珪素、窒化酸化珪素、酸化窒化珪素、酸化窒化アルミニウム、または酸化アルミニウム、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、窒素含有炭素（ＣＮ）、その他の絶縁性材料を用いて形成することができる。なお、パッシベーション膜は単層でも積層構造でもよい。本実施の形態では、絶縁膜１２８を窒化珪素膜を膜厚１００ｎｍで形成する。
【００８５】
この後、半導体層１０２、半導体層１０３を水素雰囲気又は窒素雰囲気で加熱して水素化することが好ましい。なお、窒素雰囲気で加熱する場合は、絶縁膜１２８として水素を含む絶縁膜を形成することが好ましい。
【００８６】
次に、絶縁層１２９を形成する。本実施の形態では、絶縁層１２９を全面に形成し、レジスト等のマスクによって、エッチングし加工する。絶縁層１２９を、直接選択的に形成できる液滴吐出法や印刷法などを用いて形成する場合は、エッチングによる加工は必ずしも必要はない。本実施の形態において、層間絶縁層として絶縁層１２９を設けた上に、隔壁として機能する第２の絶縁層を設ける。この場合、絶縁層１２９は、第１の絶縁層とも言える。
【００８７】
絶縁層１２９は、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、窒素含有炭素膜（ＣＮ）、ポリシラザンその他の無機絶縁性材料、又はアクリル酸、メタクリル酸及びこれらの誘導体、又はポリイミド(polyimide)、芳香族ポリアミド、ポリベンゾイミダゾール(polybenzimidazole)、ベンゾシクロブテンなどの有機絶縁性材料、又はシロキサン樹脂を用いてもよい。アクリル、ポリイミド等の感光性、非感光性の材料を用いて形成してもよい。
【００８８】
本実施の形態では、絶縁層１２９の材料としては、シロキサン樹脂材料を用いた塗布膜を用いる。焼成した後の膜は、アルキル基を含む酸化珪素膜（ＳｉＯｘ）とも呼べる。
【００８９】
絶縁膜１２８及び絶縁層１２９、ゲート絶縁層１２５に、ソース電極層又はドレイン電極層１１７に達する開口部１３２を形成する。この開口部もレジストからなるマスクを用いてエッチングし形成する。エッチング加工に用いるマスクは、レーザ光の照射による露光を行うことで微細な形状を有するマスクとすることができる。このようにして形成した開口部１３２に配線層１３１を形成する。配線層１３１もソース電極層又はドレイン電極層、ゲート電極層と同様な材料で同様に形成すればよい。本実施の形態では、配線層として、銀を用いて液滴吐出法により形成する。
【００９０】
絶縁層１２９上に選択的に、配線層１３１と接するように、導電性材料を含む組成物を吐出して、第１の電極層１３０を形成する（図５参照。）。第１の電極層１３０は、基板１００側から光を放射する場合、または透過型の表示パネルを作製する場合には、少なくとも可視光を透過する透光性導電性材料である、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物（ＩＴＳＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）を含むインジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ（indium zinc oxide））、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、ＺｎＯにガリウム（Ｇａ）をドープしたもの、酸化スズ（ＳｎＯ2）などを含む組成物により所定のパターンに形成し、焼成によって形成しても良い。
【００９１】
また、好ましくは、スパッタリング法によりインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物（ＩＴＳＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などで形成する。より好ましくは、ＩＴＯに酸化珪素が２〜１０重量％含まれたターゲットを用いてスパッタリング法で酸化珪素を含む酸化インジウムスズを用いる。この他、ＺｎＯにガリウム（Ｇａ）をドープした導電性材料、酸化珪素を含み酸化インジウムに２〜２０atomic％の酸化亜鉛（ＺｎＯ）を混合した酸化物導電性材料であるインジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ（indium zinc oxide））を用いても良い。スパッタリング法で第１の電極層１３０を形成した後は、液滴吐出法を用いてマスク層を形成しエッチングにより、所望のパターンに形成すれば良い。本実施の形態では、第１の電極層１３０は、透光性を有する導電性材料により液滴吐出法を用いて形成し、具体的には、インジウム錫酸化物、ＩＴＯと酸化珪素から構成されるＩＴＳＯを用いて形成する。
【００９２】
本実施の形態では、第１の電極層１３０を、配線層１３１を形成した後に、配線層１３１と接するように形成し、電気的に接続する。しかし、絶縁層１２９上に選択的に第１の電極層１３０を形成した後、配線層１３１を第１の電極層１３０及びソース電極層又はドレイン電極層１１７と接するように形成し、電気的に接続するという工程を用いてもよい。この場合、配線層１３１と第１の電極層１３０の積層順が異なり、絶縁層１２９上に第１の電極層１３０が形成され、第１の電極層上に配線層１３１が形成される構造となる。
【００９３】
以上の工程により、基板１００上にトップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタと画素電極層である第１の電極層が接続された表示装置用のＴＦＴ基板（素子基板とも記す）が完成する。
【００９４】
次に、絶縁層１２１（隔壁、土手とも呼ばれる）を選択的に形成する。絶縁層１２１は、第１の電極層１３０上に開口部を有するように形成し、配線層１３１を覆って形成する。本実施の形態では、絶縁層１２１を全面に形成し、レジスト等のマスクによって、エッチングし加工する。絶縁層１２１を、直接選択的に形成できる液滴吐出法や印刷法などを用いて形成する場合は、エッチングによる加工は必ずしも必要はない。
【００９５】
絶縁層１２１は、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸窒化アルミニウムその他の無機絶縁性材料、又はアクリル酸、メタクリル酸及びこれらの誘導体、又はポリイミド(polyimide)、芳香族ポリアミド、ポリベンゾイミダゾール(polybenzimidazole)などの耐熱性高分子、又はシロキサン系材料を出発材料として形成された珪素、酸素、水素からなる化合物のうちＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を含む無機シロキサン、珪素上の水素がメチルやフェニルのような有機基によって置換された有機シロキサン系の絶縁材料で形成することができる。アクリル、ポリイミド等の感光性、非感光性の材料を用いて形成してもよい。絶縁層１２１は曲率半径が連続的に変化する形状が好ましく、上に形成される電界発光層１２２、第２の電極層１２３の被覆性が向上する。
【００９６】
また、液滴吐出法により、絶縁層１２１を組成物を吐出し形成した後、その平坦性を高めるために表面を圧力によってプレスして平坦化してもよい。プレスの方法としては、ローラー状のものを表面に走査することによって、凹凸をならすように軽減したり、平坦な板状な物で表面を垂直にプレスしてもよい。また溶剤等によって表面を軟化、または融解させエアナイフで表面の凹凸部を除去しても良い。また、ＣＭＰ法を用いて研磨しても良い。この工程は、液滴吐出法によって凹凸が生じる場合に、その表面の平坦化する場合適用することができる。この工程により平坦性が向上すると、表示装置の表示ムラなどを防止することができ、高繊細な画像を表示することができる。
【００９７】
薄膜トランジスタに電気的に接続するように、発光素子を形成する（図１参照。）。
【００９８】
電界発光層１２２を形成する前に、大気圧中で２００℃の熱処理を行い第１の電極層１３０、絶縁層１２１中若しくはその表面に吸着している水分を除去する。また、減圧下で２００〜４００℃、好ましくは２５０〜３５０℃に熱処理を行い、そのまま大気に晒さずに電界発光層１２２を真空蒸着法や、減圧下の液滴吐出法で形成することが好ましい。
【００９９】
電界発光層１２２として、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の発光を示す材料を、それぞれ蒸着マスクを用いた蒸着法等によって選択的に形成する。赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の発光を示す材料はカラーフィルタ同様、液滴吐出法により形成することもでき（低分子または高分子材料など）、この場合マスクを用いずとも、ＲＧＢの塗り分けを行うことができるため好ましい。電界発光層１２２上に第２の電極層１２３を積層形成して、発光素子を用いた表示機能を有する表示装置が完成する。
【０１００】
図示しないが、第２の電極層１２３を覆うようにしてパッシベーション膜を設けることは有効である。表示装置を構成する際に設ける保護膜は、単層構造でも多層構造でもよい。パッシベーション膜としては、窒化珪素（ＳｉＮ）、酸化珪素（ＳｉＯ2）、酸化窒化珪素（ＳｉＯＮ）、窒化酸化珪素（ＳｉＮＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化窒化アルミニウム（ＡｌＯＮ）、窒素含有量が酸素含有量よりも多い窒化酸化アルミニウム（ＡｌＮＯ）または酸化アルミニウム、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、窒素含有炭素膜（ＣＮX）を含む絶縁膜からなり、絶縁膜を単層もしくは組み合わせた積層を用いることができる。例えば窒素含有炭素膜（ＣＮX）と窒化珪素（ＳｉＮ）との積層のような積層、また有機材料を用いることも出来、スチレンポリマーなど高分子の積層でもよい。また、シリコン（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）との結合で骨格構造が構成され、置換基に少なくとも水素を含む材料、もしくは置換基にフッ素、アルキル基、または芳香族炭化水素のうち少なくとも１種を有する材料を用いてもよい。
【０１０１】
この際、カバレッジの良い膜をパッシベーション膜として用いることが好ましく、炭素膜、特にＤＬＣ膜を用いることは有効である。ＤＬＣ膜は室温から１００℃以下の温度範囲で成膜可能であるため、耐熱性の低い電界発光層の上方にも容易に成膜することができる。ＤＬＣ膜は、プラズマＣＶＤ法（代表的には、ＲＦプラズマＣＶＤ法、マイクロ波ＣＶＤ法、電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）ＣＶＤ法、熱フィラメントＣＶＤ法など）、燃焼炎法、スパッタ法、イオンビーム蒸着法、レーザ蒸着法などで形成することができる。成膜に用いる反応ガスは、水素ガスと、炭化水素系のガス（例えばＣＨ4、Ｃ2Ｈ2、Ｃ6Ｈ6など）とを用い、グロー放電によりイオン化し、負の自己バイアスがかかったカソードにイオンを加速衝突させて成膜する。また、ＣＮ膜は反応ガスとしてＣ2Ｈ4ガスとＮ2ガスとを用いて形成すればよい。ＤＬＣ膜は酸素に対するブロッキング効果が高く、電界発光層の酸化を抑制することが可能である。そのため、この後に続く封止工程を行う間に電界発光層が酸化するといった問題を防止できる。
【０１０２】
続いて、シール材を形成し、封止基板を用いて封止する。その後、ゲート電極層１１８と電気的に接続して形成されるゲート配線層、ソース電極層又はドレイン電極層１１４と電気的に接続して形成されるソース配線層に、フレキシブル配線基板を接続し、外部との電気的な接続をしても良い。
【０１０３】
続いて、異方性導電体層を介して、表示装置内の配線層が電気的に接続するように、接続用の配線基板を設ける。配線基板は、外部からの信号や電位を伝達する役目を担い、ＦＰＣ（Flexible printed circuit）などを用いることができる。上記工程を経て、トップゲート型プラナー構造のスイッチング用ＴＦＴ、駆動TFTと容量素子を含む表示装置（表示パネルとも記す）が完成する。容量素子は、ソース電極層又はドレイン電極層１１６、ゲート絶縁層１２５、及びゲート電極層１１９とで形成される。
【０１０４】
表示装置内の配線層とＦＰＣは端子電極層を用いて接続され、端子電極層はゲート電極層と同材料及び同工程、ソース電極層及びドレイン電極層を兼ねるソース配線層と同材料及び同工程、ゲート配線層と同材料同工程で、それぞれ作製することができる。ＦＰＣと表示装置内の配線層との接続例を図４３を用いて説明する。
【０１０５】
図４３において、基板１上に薄膜トランジスタ９及び発光素子が設けられた第１の電極層と薄膜トランジスタ９とを電気的に接続する配線層６が形成され、シール材３で対向基板８と張り合わされている。表示装置内から延長してシール材外部に形成される配線層とＦＰＣ２ｂ及びＦＰＣ２ａは異方性導電膜７ａ、異方性導電膜７ｂによって接着されている。
【０１０６】
図４３（Ａ１）、（Ｂ１）、（Ｃ１）は表示装置の上面図であり、図４３（Ａ２）、（Ｂ２）、（Ｃ２）は図４３（Ａ１）、（Ｂ１）、（Ｃ１）における線Ｇ−Ｈ、線Ｍ−Ｎの断面図である。図４３（Ａ１）、（Ａ２）において、端子電極層５ａ及び端子電極層５ｂはソース電極層又はドレイン電極層と同材料同工程で形成されている。端子電極層５ａにシール材外部に延長して形成されたソース配線層４ａが接続され、端子電極層５ａとＦＰＣ２ａとが異方性導電膜７ａを介して接続されている。一方端子電極層５ｂにシール材外部に延長して形成されたゲート配線層４ｂが接続され、端子電極層５ｂとＦＰＣ２ｂとが異方性導電膜７ｂを介して接続されている。本実施の形態においてゲート配線層はゲート電極層と同材料、同工程で形成され、ソース配線層は、配線層と同材料、同工程で形成されている。
【０１０７】
図４３（Ｂ１）、（Ｂ２）において、端子電極層５５ａ及び端子電極層５５ｂはゲート配線層と同材料同工程で形成されている。端子電極層５５ｂはシール材外部に延長して形成されたゲート配線層で形成され、端子電極層５５ｂとＦＰＣ２ｂとが異方性導電膜７ｂを介して接続されている。一方、端子電極層５５ａにシール材外部に延長して形成された配線層と同材料、同工程で形成されるソース配線層５４ａが接続され、端子電極層５５ａとＦＰＣ２ａとが異方性導電膜７ａを介して接続されている。
【０１０８】
図４３（Ｃ１）、（Ｃ２）において、端子電極層６５ａ及び端子電極層６５ｂは配線層と同材料同工程で形成されている。シール材外部に延長して形成されたゲート配線層６４ｂに端子電極層６５ｂが接続され、端子電極層６５ｂとＦＰＣ２ｂとが異方性導電膜７ｂを介して接続されている。一方、端子電極層６５ａはシール材外部に延長して形成された配線層と同材料、同工程で形成されるソース配線層で形成され、端子電極層６５ａとＦＰＣ２ａとが異方性導電膜７ａを介して接続されている。
【０１０９】
本実施の形態では、スイッチングＴＦＴはシングルゲート構造を示したが、ダブルゲート構造などのマルチゲート構造でもよい。
【０１１０】
以上の工程により、結晶性半導体膜を有するトップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタを形成することができる。本実施の形態で形成される薄膜トランジスタは、結晶性半導体膜で形成されるため非晶質半導体膜で形成される薄膜トランジスタと比較して移動度（２〜７０ｃｍ2／Vｓｅｃ程度、代表的には２０〜５０ｃｍ2／Vｓｅｃ程度）が高い。また、ソース領域及びドレイン領域には、一導電型を付与する不純物元素に加え、結晶化を促進する機能を有する金属元素をも含む。このため、抵抗率の低いソース領域及びドレイン領域が形成できる。この結果、高速動作が必要な表示装置を作製することが可能である。
【０１１１】
また、非晶質半導体膜で形成される薄膜トランジスタと比較して、しきい値のずれが生じにくく、薄膜トランジスタ特性のバラツキを低減することが可能である。
【０１１２】
更には、ゲッタリング工程により、成膜段階で半導体膜中に混入する金属元素をもゲッタリングするため、オフ電流を低減することが可能である。このため、このようなＴＦＴを表示装置のスイッチング素子に設けることにより、コントラストを向上させることが可能である。
【０１１３】
また、レーザ光照射の微細な加工により、配線等の細線化も自由に設計できる。本発明により、所望なパターンを制御性よく形成でき、材料のロスも少なく、コストダウンも達成できる。よって高性能、高信頼性の表示装置を歩留まりよく作製することができる。
【０１１４】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態について、図８を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態１で作製した薄膜トランジスタと、異なるゲッタリング工程で、複数のｎチャネル型薄膜トランジスタ（ＮＭＯＳ）からなる回路を作製する例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０１１５】
基板４００上に、絶縁層４０１、非晶質半導体膜４０２を形成し、結晶化を促進する金属元素を含む（本実施の形態ではニッケル（Ｎｉ））金属膜４０３を形成する（図８（A）参照。）。その後加熱処理により非晶質半導体膜４０２を結晶化し、結晶性半導体膜４０４を形成する。
【０１１６】
本実施の形態では、結晶性半導体膜４０４上に選択的にチャネル保護層４１４ａ、チャネル保護層４１４ｂを形成した後、結晶性半導体膜４０４中に含まれる結晶化を助長するための金属元素をゲッタリングするゲッタリング層として、希ガス元素を不純物元素として含む半導体膜４０５を形成する（図８（Ｂ）参照。）。希ガス元素は、ヘリウム、アルゴン、キセノン、クリプトンなどを用いることができ、本実施の形態ではアルゴンを不純物元素として含んだ半導体膜４０５を形成する。その後加熱処理によって結晶性半導体膜４０４中に含まれる金属元素は図８（Ｃ）の矢印の方向に移動し、半導体膜４０５中に捕獲される。よって膜中に含まれる金属元素が軽減された結晶性半導体膜４０６が形成される。そして、ゲッタリングシンクでとなった結晶化を促進する金属元素を含む半導体膜４０７、及び結晶性半導体膜４０６上に形成された酸化膜をフッ酸等により除去し、金属元素が低減、又は除去された結晶性半導体膜４０６を得ることができる。本実施の形態では、ゲッタリングシンクとなった半導体膜４０７の除去をＴＭＡＨ（Tetramethyl ammonium hydroxide）を用いて行う。
【０１１７】
結晶性半導体膜４０６、チャネル保護層４１４ａ及びチャネル保護層４１４ｂ上に一導電型を有する半導体膜としてｎ型を有する半導体膜４０８を形成する（図８（Ｄ）参照。）。結晶性半導体膜４０６及びｎ型を有する半導体膜４０８を所望の形状に加工した後、ソース電極層又はドレイン電極層４１１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４１１ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４１１ｃを形成する。本実施の形態では、ｎ型を付与する不純物元素であるＰを含むｎ型を有する半導体膜４０８を形成する。
【０１１８】
ソース電極層又はドレイン電極層４１１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４１１ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４１１ｃをマスクとしてｎ型を有する半導体膜及び結晶性半導体膜をエッチングし、半導体層４０９ａ、半導体層４０９ｂ、ソース領域またはドレイン領域として機能するｎ型を有する半導体層４１０ａ、ｎ型を有する半導体層４１０ｂ、ｎ型を有する半導体層４１０ｃ、ｎ型を有する半導体層４１０ｄが形成される（図８（Ｅ）参照。）。ゲート絶縁層４１２を形成し、ゲート絶縁層４１２上にゲート電極層４１３ａ及びゲート電極層４１３ｂを形成する（図８（Ｆ）参照。）。
【０１１９】
以上の工程で、金属元素により結晶化した結晶性半導体膜にゲッタリングを行い、金属元素の軽減された半導体層を有し、かつソース領域またはドレイン領域として機能する一導電型を有する半導体層中に金属元素の含まれない薄膜トランジスタを形成することができる。
【０１２０】
以上の工程で、金属元素により結晶化した結晶性半導体膜にゲッタリングを行い、金属元素の軽減された半導体層を有し、かつソース領域またはドレイン領域として機能する一導電型を有する半導体層中に金属元素の含まれない薄膜トランジスタを形成することができる。このようにして、電気的に接続されたｎチャネル型薄膜トランジスタが形成され、ＮＭＯＳの回路を作製することができる。このような回路を画素領域や駆動領域に組み込んで、表示装置を作製することができる。
【０１２１】
本実施の形態は、実施の形態１と組み合わせて用いることが可能である。
【０１２２】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態について、図９を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態１で作製した薄膜トランジスタと、異なるゲッタリング工程で、複数のｐチャネル型薄膜トランジスタ（ＰＭＯＳ）からなる回路を作製する例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０１２３】
基板４００上に、絶縁層４０１、非晶質半導体膜４０２を形成し、結晶化を促進する金属元素を含む（本実施の形態ではニッケル（Ｎｉ））金属膜４０３を形成する（図９（A）参照。）。その後加熱処理により非晶質半導体膜４０２を結晶化し、結晶性半導体膜４０４を形成する。
【０１２４】
結晶性半導体膜４０４に接して、結晶性半導体膜４０４中に含まれる結晶化を助長するための金属元素をゲッタリングするゲッタリング層として、希ガス元素を不純物元素として含む半導体膜４０５を形成する（図９（Ｂ）参照。）。希ガス元素は、ヘリウム、アルゴン、キセノン、クリプトンなどを用いることができ、本実施の形態ではアルゴンを不純物元素として含んだ半導体膜４０５を形成する。その後加熱処理によって結晶性半導体膜４０４中に含まれる金属元素は図９（Ｃ）の矢印の方向に移動し、半導体膜４０５中に捕獲される。よって膜中に含まれる金属元素が軽減された結晶性半導体膜４０６が形成される。そして、ゲッタリングシンクでとなった結晶化を促進する金属元素を含む半導体膜４０７、及び結晶性半導体膜４０６上に形成された酸化膜をフッ酸等により除去し、金属元素が低減、又は除去された結晶性半導体膜４０６を得ることができる。本実施の形態では、ゲッタリングシンクとなった半導体膜４０７の除去をＴＭＡＨ（Tetramethyl ammonium hydroxide）を用いて行う。
【０１２５】
結晶性半導体膜４０６を所望の形状に加工し、半導体層のチャネル形成領域４１６ａ、及びチャネル形成領域４１６ｂ上にマスク４１８ａ、マスク４１８ｂを形成する。マスク４１８ａ及びマスク４１８ｂを用いて、半導体層に、ｐ型を付与する不純物元素４１５（本実施の形態ではボロン（Ｂ）を用いる）を添加し、ｐ型の不純物領域４１７ａ、ｐ型の不純物領域４１７ｂ、ｐ型の不純物領域４１７ｃ、ｐ型の不純物領域４１７ｄを半導体層中に、ソース領域又はドレイン領域として形成する（図９（Ｄ）参照。）。本実施の形態では、ｐ型の不純物領域をｐ型を付与する不純物元素を添加することで形成するが、ｐ型を有する半導体層を選択的に半導体層上に形成し、ソース領域又はドレイン領域として機能させてもよい。
【０１２６】
ｐ型の不純物領域４１７ａ、ｐ型の不純物領域４１７ｂ、ｐ型の不純物領域４１７ｃ、ｐ型の不純物領域４１７ｄ上に、ソース電極層又はドレイン電極層４１９ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４１９ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４１９ｃを形成する。本実施の形態では、ソース電極層又はドレイン電極層４１９ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４１９ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４１９ｃを所望の形状に加工することなく選択的に液滴吐出法により形成している。よって、ソース電極層又はドレイン電極層４１９ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４１９ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４１９ｃの端部は、エッチングによって除去されていないため、液状状態の形状を暗影しており、曲率半径を有するような丸みを帯びたなだらかな形状となっている。このように、形成方法によっても、電極層や配線層の形状を制御することができる。ゲート絶縁層４２０を形成し、ゲート絶縁層４２０上にゲート電極層４２１ａ及びゲート電極層４２１ｂを形成する（図９（Ｆ）参照。）。
【０１２７】
以上の工程で、金属元素により結晶化した結晶性半導体膜にゲッタリングを行い、金属元素の軽減された半導体層を有し、かつソース領域またはドレイン領域として機能する一導電型を有する半導体層中に金属元素の含まれない薄膜トランジスタを形成することができる。このようにして、電気的に接続されたｐチャネル型薄膜トランジスタが形成され、ＰＭＯＳの回路を作製することができる。このような回路を画素領域や駆動領域に組み込んで、表示装置を作製することができる。
【０１２８】
本実施の形態は、実施の形態１及び２とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０１２９】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態について、図１０を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態１で作製した薄膜トランジスタにおいて、ｎチャネル型薄膜トランジスタとｐチャネル型薄膜トランジスタの２種類の薄膜トランジスタからなる回路（ＣＭＯＳ）を作製する例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０１３０】
基板４００上に、絶縁層４０１、非晶質半導体膜４０２を形成し、結晶化を促進する金属元素を含む（本実施の形態ではニッケル（Ｎｉ））金属膜４０３を形成する（図８（A）参照。）。その後加熱処理により非晶質半導体膜４０２を結晶化し、結晶性半導体膜４０４を形成する。
【０１３１】
本実施の形態では、結晶性半導体膜４０４上に選択的にチャネル保護層４１４ａ、チャネル保護層４１４ｂを形成した後、結晶性半導体膜４０４中に含まれる結晶化を助長するための金属元素をゲッタリングするゲッタリング層として、ｎ型を有する不純物元素として含む半導体膜４２２を形成する（図１０（Ｂ）参照。）。本実施の形態ではリン（Ｐ）を不純物元素として含んだｎ型を有する半導体膜４２２を形成する。その後加熱処理によって結晶性半導体膜４０４中に含まれる金属元素は図１０（Ｃ）の矢印の方向に移動し、半導体膜４３５中に捕獲される。よって膜中に含まれる金属元素が軽減された結晶性半導体膜４２３が形成される。
【０１３２】
結晶性半導体膜４２３及びｎ型を有する半導体膜４３５を所望の形状に加工し、半導体層４２６ａ、半導体層４２６ｂを形成する。半導体層４２６ａ及びｎ型を有する半導体層４２７を覆うマスク４２９ａ、半導体層４２６ｂ、及び半導体層４２６ｂのチャネル形成領域上に形成されたｎ型を有する半導体層４２４を覆うマスク４２９ｂを形成する。ｐ型を付与する不純物元素４２５を添加し、ｐ型を有する半導体層４２８ａ、ｐ型を有する半導体層４２８ｂを形成する。ｐ型を付与する不純物元素（本実施の形態においてはボロン（Ｂ））をドーピング法やイオン注入法によって、選択的にｎ型を有する半導体層に添加することによって、ｐ型を付与する不純物元素濃度がｎ型を付与する不純物元素の２〜１０倍の濃度になるように添加し、ｐ型に導電型を反転させ、ｐ型を有する半導体層４２８ａ、ｐ型を有する半導体層４２８ｂが形成される（図１０（Ｄ）参照。）。また、ｎ型を付与する不純物元素の添加工程で、その添加条件によって、膜表面のｎ型を付与する不純物元素濃度が高くなっている場合がある。このような場合は、膜表面を薄くエッチングし、高濃度不純物元素領域の膜を除去してから、ｐ型を付与する不純物元素を添加する工程を行えばよい。本実施の形態では、ｎ型を有する半導体層をゲッタリングシンクとして用いるために形成するが、一導電型を有する半導体層としてｐ型を付与する不純物元素を含むｐ型を有する半導体層を形成すれば、同様に選択的にｎ型を付与する不純物元素を添加すればよい。また、チャネル形成領域に不純物が添加されるのを防ぐためのマスク４２９ｂは、チャネル保護層４１４ｂが不純物元素を遮断できるほど厚く形成されていれば、チャネル保護層をマスクとして用いることができる。この場合は、チャネル形成領域上に形成するマスク４２９ｂは必ずしも必要としない。
【０１３３】
ソース領域又はドレイン領域として機能するｎ型を有する半導体層、ｐ型を有する半導体層上にソース電極層又はドレイン電極層４３２ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４３２ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４３２ｃを形成する。ソース電極層又はドレイン電極層４３２ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４３２ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４３２ｃをマスクとしてｎ型を有する半導体層をエッチングし、ソース領域またはドレイン領域として機能するｎ型を有する半導体層４３０ａ、ｎ型を有する半導体層４３０ｂ、ｐ型を有する半導体層４３１ａ、ｐ型を有する半導体層４３１ｂが形成される。ゲート絶縁層４３３を形成し、ゲート絶縁層４３３上にゲート電極層４３４ａ及びゲート電極層４３４ｂを形成する（図１０（Ｅ）参照。）。
【０１３４】
このようにして、電気的に接続されたｎチャネル型薄膜トランジスタ及びｐチャネル型薄膜トランジスタが形成され、ＣＭＯＳの回路を作製することができる。また、本実施の形態では、ソース領域及びドレイン領域には、一導電型を付与する不純物元素に加え、結晶化を促進する機能を有する金属元素をも含む。このため、抵抗率の低いソース領域及びドレイン領域が形成できる。この結果、高速動作が必要な回路を作製することが可能である。このような回路を画素領域や駆動領域に組み込んで、表示装置を作製することができる。
【０１３５】
本実施の形態は、実施の形態１乃至３とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０１３６】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態について、図１１を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態１で作製した薄膜トランジスタと、異なるゲッタリング工程で、ｎチャネル型薄膜トランジスタとｐチャネル型薄膜トランジスタの２種類の薄膜トランジスタからなるＣＭＯＳ回路を作製する例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０１３７】
基板４００上に、絶縁層４０１、非晶質半導体膜４０２を形成し、結晶化を促進する金属元素を含む（本実施の形態ではニッケル（Ｎｉ））金属膜４０３を形成する（図８（A）参照。）。その後加熱処理により非晶質半導体膜４０２を結晶化し、結晶性半導体膜４０４を形成する。その後結晶性半導体膜を所望の形状に加工し、半導体層を形成する。
【０１３８】
チャネル形成領域４５３ａを覆うマスク４５５ａ、チャネル形成領域４５３ｂを覆うマスク４５５ｂを形成し、ｎ型を付与する不純物元素４５２（本実施の形態ではリン（Ｐ））を添加し、ｎ型の不純物領域４５４ａ、ｎ型の不純物領域４５４ｂ、ｎ型の不純物領域４５４ｃ、ｎ型の不純物領域４５４ｄを形成する（図１１（Ｂ）参照。）。その後加熱処理を、５５０℃で４時間行う。
【０１３９】
加熱処理により、半導体層中のチャネル形成領域４５３ａ、チャネル形成領域４５３ｂに含まれる結晶化を促進する機能を有する金属元素はゲッタリングされ、それぞれ矢印の方向に移動し、ｎ型の不純物領域４６１ａ、ｎ型の不純物領域４６１ｂ、ｎ型の不純物領域４６１ｃ、ｎ型の不純物領域４６１ｄに捕獲され、金属元素が除去、軽減されたチャネル形成領域４６０ａ、チャネル形成領域４６０ｂが形成される（図１１（Ｃ）参照。）。また、この熱処理によって、添加されたｎ型を付与する不純物元素の活性化も行うことができる。
【０１４０】
ｎ型の不純物領域４６１ａ、ｎ型の不純物領域４６１ｂ、及びチャネル形成領域４６０ａを覆うマスク４６３ａ、チャネル形成領域４６０ｂを覆うマスク４６３ｂを形成し、ｐ型を付与する不純物元素４６２（本実施の形態ではボロン（Ｂ））を添加し、ｎ型の不純物領域４６１ｃ、ｎ型の不純物領域４６１ｄを、ｐ型の不純物領域４６４ａ、ｐ型の不純物領域４６４ｂに導電型を反転させて形成する（図１１（Ｄ）参照。）。ｎ型を付与する不純物元素の濃度の２〜１０倍の濃度となるようにｐ型を付与する不純物元素を添加することによって、ｐ型を有する半導体層にその導電型が反転し、ｐ型の不純物領域４６４ａ、ｐ型の不純物領域４６４ｂを形成することができる。その後加熱処理を行い、添加されたｐ型を付与する不純物元素の活性化を行う。
【０１４１】
ｎ型の不純物領域４６１ａ、ｎ型の不純物領域４６１ｂ、ｐ型の不純物領域４６４ａ、ｐ型の不純物領域４６４ｂ上にソース電極層又はドレイン電極層４６５ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４６５ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４６５ｃを形成する。半導体層及びソース電極層又はドレイン電極層を覆うゲート絶縁層４６６を形成し、ゲート絶縁層４６６上にゲート電極層４６７ａ及びゲート電極層４６７ｂを形成する（図１１（Ｅ）参照。）。
【０１４２】
このようにして、電気的に接続されたｎチャネル型薄膜トランジスタ及びｐチャネル型薄膜トランジスタが形成され、ＣＭＯＳの回路を作製することができる。また、本実施の形態では、ソース領域及びドレイン領域には、一導電型を付与する不純物元素に加え、結晶化を促進する機能を有する金属元素をも含む。このため、抵抗率の低いソース領域及びドレイン領域が形成できる。この結果、高速動作が必要な回路を作製することが可能である。このような回路を画素領域や駆動領域に組み込んで、表示装置を作製することができる。
【０１４３】
本実施の形態は、実施の形態１乃至４とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０１４４】
（実施の形態６）
本発明の実施の形態について、図１２を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態１で作製した薄膜トランジスタと、異なるゲッタリング工程で、ｎチャネル型薄膜トランジスタとｐチャネル型薄膜トランジスタの２種類の薄膜トランジスタからなるＣＭＯＳ回路を作製する例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０１４５】
基板４００上に、絶縁層４０１、非晶質半導体膜４０２を形成し、結晶化を促進する金属元素を含む（本実施の形態ではニッケル（Ｎｉ））金属膜４０３を形成する（図１２（A）参照。）。その後加熱処理により非晶質半導体膜４０２を結晶化し、結晶性半導体膜４０４を形成する。
【０１４６】
結晶性半導体膜４０４に接して、結晶性半導体膜４０４中に含まれる結晶化を助長するための金属元素をゲッタリングするゲッタリング層として、希ガス元素を不純物元素として含む半導体膜４０５を形成する（図１２（Ｂ）参照。）。希ガス元素は、ヘリウム、アルゴン、キセノン、クリプトンなどを用いることができ、本実施の形態ではアルゴンを不純物元素として含んだ半導体膜４０５を形成する。その後加熱処理によって結晶性半導体膜４０４中に含まれる金属元素は図１２（Ｃ）の矢印の方向に移動し、半導体膜４０５中に捕獲される。よって膜中に含まれる金属元素が軽減された結晶性半導体膜４０６が形成される。そして、ゲッタリングシンクでとなった結晶化を促進する金属元素を含む半導体膜４０７、及び結晶性半導体膜４０６上に形成された酸化膜をフッ酸等により除去し、金属元素が低減、又は除去された結晶性半導体膜４０６を得ることができる。本実施の形態では、ゲッタリングシンクとなった半導体膜４０７の除去をＴＭＡＨ（Tetramethyl ammonium hydroxide）を用いて行う。その後結晶性半導体膜を所望の形状に加工し、半導体層を形成する。
【０１４７】
チャネル形成領域４４１を覆うマスク４４４ａ、半導体層４４２を覆うマスク４４４ｂを形成し、ｎ型を付与する不純物元素４４０（本実施の形態ではリン（Ｐ））を添加し、ｎ型の不純物領域４４３ａ、ｎ型の不純物領域４４３ｂを形成する（図１２（Ｄ）参照。）。
【０１４８】
ｎ型の不純物領域４４３ａ、ｎ型の不純物領域４４３ｂ、及びチャネル形成領域４４１を覆うマスク４４８ａ、チャネル形成領域４４６を覆うマスク４４８ｂを形成し、ｐ型を付与する不純物元素４４５（本実施の形態ではボロン（Ｂ））を添加し、ｐ型の不純物領域４４７ａ、ｐ型の不純物領域４４７ｂを形成する（図１２（Ｅ）参照。）。本実施の形態では、半導体層４４２をマスク４４４ｂで覆ったため、半導体層４４２中にはｎ型を付与する不純物元素は含まれていないが、実施の形態５のように、ｐチャネル型薄膜トランジスタを形成する半導体層にもｎ型の不純物元素が含まれている場合は、ｎ型を付与する不純物元素の濃度の２〜１０倍の濃度となるようにｐ型を付与する不純物元素を添加することによって、ｐ型を有する半導体層にその導電型が反転し、ｐ型の不純物領域を形成すればよい。その後加熱処理を行い、添加されたｎ型を付与する不純物元素及びｐ型を付与する不純物元素の活性化を行う。
【０１４９】
ｎ型の不純物領域４４３ａ、ｎ型の不純物領域４４３ｂ、ｐ型の不純物領域４４７ａ、ｐ型の不純物領域４４７ｂ上にソース電極層又はドレイン電極層４４９ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４４９ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４４９ｃを形成する。半導体層及びソース電極層又はドレイン電極層を覆うゲート絶縁層４５０を形成し、ゲート絶縁層４５０上にゲート電極層４５１ａ及びゲート電極層４５１ｂを形成する（図１２（Ｆ）参照。）。
【０１５０】
以上の工程で、金属元素により結晶化した結晶性半導体膜にゲッタリングを行い、金属元素の軽減された半導体層を有し、かつソース領域またはドレイン領域として機能する一導電型を有する半導体層中に金属元素の含まれない薄膜トランジスタを形成することができる。このようにして、電気的に接続されたｐチャネル型薄膜トランジスタが形成され、ＣＭＯＳの回路を作製することができる。このような回路を画素領域や駆動領域に組み込んで、表示装置を作製することができる。
【０１５１】
本実施の形態は、実施の形態１乃至５とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０１５２】
（実施の形態７）
本発明の実施の形態について、図４７を用いて説明する。本実施の形態は、実施の形態１で作製した薄膜トランジスタにおいて、チャネル保護層を有しないチャネルエッチ型ｎチャネル型薄膜トランジスタとｐチャネル型薄膜トランジスタの２種類の薄膜トランジスタからなる回路（ＣＭＯＳ）を作製する例である。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０１５３】
基板４００上に、絶縁層４０１、非晶質半導体膜４８５を形成し、結晶化を促進する金属元素を含む（本実施の形態ではニッケル（Ｎｉ））金属膜４０３を形成する（図４７（A）参照。）。その後加熱処理により非晶質半導体膜４８５を結晶化し、結晶性半導体膜４８６を形成する。本実施の形態では、半導体層を加工時のエッチング処理より保護するチャネル保護層を形成しないため、半導体層も一部エッチングされる。よって、半導体層となる非晶質半導体膜は、膜厚を１５０ｎｍ〜２００ｎｍ程度で形成することが好ましい。
【０１５４】
結晶性半導体膜４８６中に含まれる結晶化を助長するための金属元素をゲッタリングするゲッタリング層として、ｎ型を有する不純物元素として含む半導体膜４７０を形成する（図４７（Ｂ）参照。）。本実施の形態ではリン（Ｐ）を不純物元素として含んだｎ型を有する半導体膜４２２を形成する。その後加熱処理によって結晶性半導体膜４５６中に含まれる金属元素は図４７（Ｃ）の矢印の方向に移動し、半導体膜４７１中に捕獲される。よって膜中に含まれる金属元素が軽減された結晶性半導体膜４７２が形成される。
【０１５５】
結晶性半導体膜４７２及びｎ型を有する半導体膜４７１を所望の形状に加工し、半導体層４７４ａ、半導体層４７４ｂを形成する。半導体層４７４ａ及びｎ型を有する半導体層４７５を覆うマスク４７９ａ、半導体層４７４ｂ、及び半導体層４７４ｂのチャネル形成領域上に形成されたｎ型を有する半導体層４７６を覆うマスク４７９ｂを形成する。ｐ型を付与する不純物元素４７３を添加し、ｐ型を有する半導体層４７８ａ、ｐ型を有する半導体層４７８ｂを形成する。ｐ型を付与する不純物元素（本実施の形態においてはボロン（Ｂ））をドーピング法やイオン注入法によって、選択的にｎ型を有する半導体層に添加することによって、ｐ型を付与する不純物元素濃度がｎ型を付与する不純物元素の２〜１０倍の濃度になるように添加し、ｐ型に導電型を反転させ、ｐ型を有する半導体層４７８ａ、ｐ型を有する半導体層４７８ｂが形成される（図４７（Ｄ）参照。）。本実施の形態では、ｎ型を有する半導体層をゲッタリングシンクとして用いるために形成するが、一導電型を有する半導体層としてｐ型を付与する不純物元素を含むｐ型を有する半導体層を形成すれば、同様に選択的にｎ型を付与する不純物元素を添加すればよい。
【０１５６】
ソース領域又はドレイン領域として機能するｎ型を有する半導体層、ｐ型を有する半導体層上にソース電極層又はドレイン電極層４８０ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４８０ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４８０ｃを形成する。ソース電極層又はドレイン電極層４８０ａ、ソース電極層又はドレイン電極層４８０ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層４８０ｃをマスクとしてｎ型を有する半導体層及び半導体層をエッチングし、ソース領域またはドレイン領域として機能するｎ型を有する半導体層４８２ａ、ｎ型を有する半導体層４８２ｂ、ｐ型を有する半導体層４８７ａ、ｐ型を有する半導体層４８７ｂ、半導体層４８１ａ、半導体層４８１ｂが形成される（図４７（Ｅ）参照。）。本実施の形態の半導体層は、チャネル保護層を有しないため、半導体層の一部がエッチングされた半導体層となり、チャネルエッチ型の薄膜トランジスタを形成することができる。半導体層及びソース電極層又はドレイン電極層を覆うゲート絶縁層４８３を形成し、ゲート絶縁層４８３上にゲート電極層４３４ａ及びゲート電極層４３４ｂを形成する（図４７（Ｆ）参照。）。
【０１５７】
このようにして、電気的に接続されたチャネルエッチ型のｎチャネル型薄膜トランジスタ及びｐチャネル型薄膜トランジスタが形成され、ＣＭＯＳの回路を作製することができる。また、本実施の形態では、ソース領域及びドレイン領域には、一導電型を付与する不純物元素に加え、結晶化を促進する機能を有する金属元素をも含む。このため、抵抗率の低いソース領域及びドレイン領域が形成できる。この結果、高速動作が必要な回路を作製することが可能である。このような回路を画素領域や駆動領域に組み込んで、表示装置を作製することができる。
【０１５８】
本実施の形態は、実施の形態１乃至６とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０１５９】
（実施の形態８）
本実施の形態を、図１３乃至１６を用いて説明する。本実施の形態は、画素領域を実施の形態１で作製した画素領域で、周辺駆動回路領域も本発明を用いた薄膜トランジスタにより作製され、実施の形態４で作製されるｎチャネル型薄膜トランジスタ及びｐチャネル型薄膜トランジスタからなるＣＭＯＳを適用している。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０１６０】
図１６（Ａ）は本実施の形態で作製する表示装置の画素領域の上面図であり、図１３乃至図１５、図１６（Ｂ）は、各工程の図６における線Ａ−Ｃ、Ｂ−Ｄの断面図である。また、図１３乃至図１５、図１６（Ｂ）におけるＬ−ｉ、Ｉ−Ｊ、ｊ−Ｋの領域は、図１６（Ａ）の表示装置の線Ｉ−Ｊ、線ｊ−Ｋ、周辺駆動回路領域である線Ｌ−ｉに対応する断面図である。
【０１６１】
基板３００上に、絶縁層３０１、非晶質半導体膜３０２、結晶化を促進する元素を含む金属膜３０３を形成する（図１３（Ａ）参照。）。金属膜３０３は非常に膜厚が薄いため膜としての形状を保っていない場合がある。本実施の形態では、Ｎｉを１０ｐｐｍを含有した水溶液をスピンコーティング法により塗布し、金属膜３０３を形成する。金属膜３０３を塗布された非晶質半導体膜３０２を加熱し、結晶化させる。加熱処理は、５５０℃で４時間行う。
【０１６２】
このようにして得られた結晶性半導体膜３０４に対して、薄膜トランジスタのしきい値電圧を制御するために微量な不純物元素（ボロンまたはリン）のドーピングを行ってもよい。本実施の形態ではジボラン（Ｂ2Ｈ6）を質量分離しないでプラズマ励起したイオンドープ法でボロン（Ｂ）を添加する。なお、質量分離を行うイオン注入法を用いてもよい。
【０１６３】
結晶性半導体膜３０４は、後工程で所望の形状への加工を行って複数の半導体層となる。それぞれの半導体層のチャネル形成領域を保護するためのチャネル保護層となる絶縁層を、結晶性半導体膜３０４上に形成する。本実施の形態では、結晶性半導体膜３０４上の酸化膜を除去した後、酸化珪素膜を膜厚５０ｎｍ形成し、所望の形状に加工して、チャネル保護層３０５ａ、チャネル保護層３０５ｂ、チャネル保護層３０５ｃ、チャネル保護層３０５ｄをチャネル形成領域上に選択的に形成する。チャネル保護層３０５ａ、チャネル保護層３０５ｂ、チャネル保護層３０５ｃ、チャネル保護層３０５ｄを所望の形状に加工する際のマスクを、レーザ光による露光処理を用いて加工すると、微細で正確な加工を行うことができる。よって、制御性よく、所望とする形状でチャネル保護層を形成することができる。
【０１６４】
金属元素を用いた結晶化を行った場合、金属元素を低減、又は除去するためにゲッタリング工程を施す。結晶性半導体膜３０４中の金属元素を吸い込み自らに取り込む層として半導体膜を、結晶性半導体膜３０４に接して形成する（図１３（Ｂ）参照。）。本実施の形態では、不純物元素を有する非晶質半導体膜を、金属元素を捕獲するゲッタリングシンクとして形成する。まず、結晶性半導体膜３０４上に形成された酸化膜を洗浄処理によって除去する。次いでプラズマＣＶＤ法を用いて、半導体膜３０６を膜厚１００ｎｍで形成する。本実施の形態では、半導体膜３０６には、ｎ型を付与する不純物元素（本実施の形態ではリンを用いる）が含まれている。前記不純物元素は、ＣＶＤ法などによって、不純物元素を含むように半導体膜を形成しても良いし、半導体膜を形成後に、イオンドーピング法などによって添加してもよい。
【０１６５】
その後、熱処理を行い、結晶性半導体膜３０４中の金属元素を低減、又は除去する。結晶性半導体膜３０４中の金属元素は、図１３（Ｃ）に示すように、矢印の方向へ加熱処理によって移動し、半導体膜３０６中に捕獲される。結晶性半導体膜３０４は、膜中の金属元素を除去され結晶性半導体膜３０７となり、半導体膜３０６は結晶化を促進する金属元素を含む半導体膜３０８となる。本実施の形態では半導体膜３０８にはｎ型を付与する不純物元素と、結晶化を助長する金属元素が含まれる。この工程により、結晶性半導体膜中の結晶化を促進させる元素（本実施の形態ではニッケル元素）がデバイス特性に影響を与えない濃度、即ち膜中のニッケル濃度が１×１０18／ｃｍ3以下、望ましくは１×１０17／ｃｍ3以下とすることができる。また、ゲッタリング後の金属元素が移動した半導体膜３０８も加熱処理により結晶化される場合がある。なお、本実施の形態においては、ゲッタリング工程と共に、半導体膜３０８中のｎ型を付与する不純物元素（ドナー型元素）の活性化を行っている。熱処理は窒素雰囲気下で行ってもよい。本実施の形態では、熱処理を５５０℃で４時間行う。
【０１６６】
次に結晶性半導体膜３０７、半導体膜３０８をマスクを用いて所望の形状に加工する。本実施の形態では、フォトマスクを作製し、フォトリソグラフィ法を用いた加工処理により、半導体層３１０、半導体層３１１、半導体層３１２、半導体層３１３、ｎ型を有る半導体層を形成する。フォトマスクはレジストをスピンコート法などによる全面塗布、または液滴吐出法によって選択的に形成し、レーザ光照射による露光によって微細なパターンのマスクを形成すればよい。微細なパターンのマスクによって半導体膜は微細かつ精巧に所望な形状に加工することができる。
【０１６７】
エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、ノボラック樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂等の樹脂材料を用いて、マスクを露光加工せずに組成物を選択的に吐出して形成することもできる。また、ベンゾシクロブテン、パリレン、フレア、透過性を有するポリイミドなどの有機材料、シロキサン系ポリマー等の重合によってできた化合物材料、水溶性ホモポリマーと水溶性共重合体を含む組成物材料等を用いて液滴吐出法で形成することができる。いずれの材料を用いるとしても、その表面張力と粘度は、溶媒の濃度を調整したり、界面活性剤等を加えたりして適宜調整する。
【０１６８】
エッチング加工は、プラズマエッチング（ドライエッチング）又はウエットエッチングのどちらを採用しても良いが、大面積基板を処理するにはプラズマエッチングが適している。エッチングガスとしては、ＣＦ4、ＮＦ3、ＳＦ6、ＣＨＦ3などのフッ素を含むガス又はＣｌ2、ＢＣｌ3、ＳｉＣｌ4もしくはＣＣｌ4などを代表とする塩素を含むガス、あるいはＯ2のガスを用い、ＨｅやＡｒなどの不活性ガスを適宜加えても良い。また、大気圧放電のエッチング加工を適用すれば、局所的な放電加工も可能であり、基板の全面にマスク層を形成する必要はない。
【０１６９】
半導体層３１０及びｎ型を有する半導体層３１４を覆うマスク３１９ａ、半導体層３１１、及び半導体層３１１のチャネル形成領域上に形成されたｎ型を有する半導体層３１５を覆うマスク３１９ｂ、半導体層３１２及びｎ型を有する半導体層３１７を覆うマスク３１９ｃ、半導体層３１３及びｎ型を有する半導体層３１８を覆うマスク３１９ｄを形成する。ｐ型を付与する不純物元素３０９を添加し、ｐ型を有する半導体層３１６ａ、ｐ型を有する半導体層３１６ｂを形成する。ｐ型を付与する不純物元素（本実施の形態においてはボロン（Ｂ））をドーピング法やイオン注入法によって、選択的にｎ型を有する半導体層に添加することによって、ｐ型を付与する不純物元素濃度がｎ型を付与する不純物元素の２〜１０倍の濃度になるように添加し、ｐ型に導電型を反転させ、ｐ型を有する半導体層３１６ａ、ｐ型を有する半導体層３１６ｂが形成される（図１３（Ｄ）参照。）。その後、加熱処理を行ってｐ型を付与する不純物元素の活性化を行う。本実施の形態では、５５０℃で４時間加熱処理を行う。
【０１７０】
導電性材料を含む組成物を液滴吐出装置３２０ａ、液滴吐出装置３２０ｂ、液滴吐出装置３２０ｃより吐出して、導電層３２１、導電層３２２、導電層３２３ａ、導電層３２３ｂを形成する（図１３（Ｅ）参照。）。本実施の形態では、導電性材料として銀を用い、吐出後３００℃で加熱し焼成する。
【０１７１】
導電層３２１、導電層３２２、導電層３２３ａ、導電層３２３ｂをレーザ光により加工されたマスクを用いて所望の形状に加工し、ソース電極層又はドレイン電極層３２８ａ、ソース電極層又はドレイン電極層３２８ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層３２８ｃ、ソース電極層又はドレイン電極層３２９ａ、ソース電極層又はドレイン電極層３２９ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ａ、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ｃを形成する。導電層３２１、導電層３２２、導電層３２３ａ、導電層３２３ｂのエッチングは本実施の形態においては、ウエットエッチングによりエッチャントを用いて行う。
【０１７２】
ソース電極層又はドレイン電極層３２８ａ、ソース電極層又はドレイン電極層３２８ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層３２８ｃ、ソース電極層又はドレイン電極層３２９ａ、ソース電極層又はドレイン電極層３２９ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ａ、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ｃをマスクとして、ｎ型を有する半導体層３１４、ｎ型を有する半導体層３１５、ｎ型を有する半導体層３１７及びｎ型を有する半導体層３１８をパターン加工して、ｎ型を有する半導体層３２４ａ、ｎ型を有する半導体層３２４ｂ、ｐ型を有する半導体層３２５ａ、ｐ型を有する半導体層３２５ｂ、ｎ型を有する半導体層３２６ａ、ｎ型を有する半導体層３２６ｂ、ｎ型を有する半導体層３２７ａ、ｎ型を有する半導体層３２７ｂを形成する（図１４（Ａ）参照。）。ｎ型を有する半導体層のエッチング工程は、ＣＦ4及びＯ2からなるエッチングガスを用いるドライエッチングによって行う。また、ソース電極層又はドレイン電極層を所望の形状に加工する際に形成するマスクは、ｎ型を有する半導体層の加工後除去する。
【０１７３】
ソース電極層又はドレイン電極層は、印刷法、電界メッキ法、ＰＶＤ法（Physical Vapor Deposition）、ＣＶＤ法（Chemical Vapor Deposition）、蒸着法等の公知の手法により形成することが好ましい。また形成方法としては、液滴吐出法によって所望のパターンに形成することもできる。材料としては、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、バナジウム（Ｖ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）等の金属又はその合金、若しくはその金属窒化物を適宜用いることができる。また、これら複数の層を積層して形成しても良い。代表的には、基板表面に窒化タンタル膜、その上にタングステン膜を積層してもよい。また、珪素に一導電型を付与する不純物元素を添加した材料を用いても良い。例えば、非晶質珪素膜にリン（Ｐ）などのｎ型を付与する不純物元素が含まれたｎ型を有する珪素膜などを用いることができる。
【０１７４】
また透明導電性材料を用いて形成することもできる。インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物（ＩＴＳＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ2）などにより形成してもよい。好ましくは、スパッタリング法によりインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物（ＩＴＳＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などで形成する。より好ましくは、ＩＴＯに酸化珪素が２〜１０重量％含まれたターゲットを用いてスパッタリング法で酸化珪素を含む酸化インジウムスズを用いる。この他、酸化珪素を含み酸化インジウムに２〜２０atomic％の酸化亜鉛（ＺｎＯ）を混合した酸化インジウム酸化亜鉛合金などの導電性材料を用いても良い。
【０１７５】
本実施の形態で形成するトップゲート型のプラナー構造では、結晶性半導体である半導体層を加熱処理によって形成した後、ソース電極層、ドレイン電極層、ゲート電極層などの導電層を形成する工程であるため、形成した導電層に高い耐熱性が材料も用いることができる。よって、材料の選択の幅が広がり、かつ形成した電極層などの導電層が加熱処理によって、形状、機能や特性に不良を生じることがないので、信頼性が向上する。
【０１７６】
次に、ソース電極層又はドレイン電極層３２８ａ、ソース電極層又はドレイン電極層３２８ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層３２８ｃ、ソース電極層又はドレイン電極層３２９ａ、ソース電極層又はドレイン電極層３２９ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ａ、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ｃ、チャネル保護層３０５ａ、チャネル保護層３０５ｂ、チャネル保護層３０５ｃ、チャネル保護層３０５ｄ上にゲート絶縁層３６４を形成する。ゲート絶縁層３６４は、酸化珪素（ＳｉＯｘ）、窒化珪素（ＳｉＮｘ）、酸化窒化珪素（ＳｉＯｘＮｙ）（ｘ＞ｙ）、窒化酸化珪素（ＳｉＮｘＯｙ）（ｘ＞ｙ）などを適宜用いることができる。酸化珪素（ＳｉＯｘ）、窒化珪素（ＳｉＮｘ）、酸化窒化珪素（ＳｉＯｘＮｙ）（ｘ＞ｙ）、窒化酸化珪素（ＳｉＮｘＯｙ）（ｘ＞ｙ）等のいずれかで形成される単層、または組み合わせた積層で形成してもよい。なお、本実施の形態では、ゲート絶縁層３６４には、水素が含まれる。本実施の形態では、ＣＶＤ法により窒化珪素膜を膜厚１１０ｎｍで形成する。
【０１７７】
ゲート絶縁層３６４にソース電極層又はドレイン電極層３２９ｂに達する開口部３６５を形成する。エッチング工程は、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよい。この開口部３６５においてソース電極層又はドレイン電極層３２９ｂと、後に形成されるゲート電極層３３５が電気的に接続する。
【０１７８】
液滴吐出装置３３１ａ、液滴吐出装置３３１ｂ、液滴吐出装置３３１ｃ、液滴吐出装置３３１ｄ、液滴吐出装置３３１ｅより導電性材料を含む組成物を吐出して、ゲート絶縁層３６４上に、ゲート電極層３３２、ゲート電極層３３３、ゲート電極層３３４、ゲート電極層３３５、ゲート電極層３３６を形成する（図１４（Ｂ）参照。）。ゲート絶縁層３６４上に、ゲート絶縁層３６４上に、ゲート電極層３３２、ゲート電極層３３３、ゲート電極層３３４、ゲート電極層３３５、ゲート電極層３３６を形成する工程も、前述したソース電極層又はドレイン電極層とを形成したときと同様に形成することができる。本実施の形態では銀を導電性材料して含む組成物を吐出し、３００℃で焼成して、ゲート絶縁層３６４上に、ゲート電極層３３２、ゲート電極層３３３、ゲート電極層３３４、ゲート電極層３３５、ゲート電極層３３６を形成する。ゲート電極層３３５を開口部３６５に形成することにより、開口部３６５においてソース電極層又はドレイン電極層３２９ｂと、ゲート電極層３３５が電気的に接続する。
【０１７９】
ゲート電極層を形成する導電性材料としては、Ａｇ（銀）、Ａｕ（金）、Ｃｕ（銅）、Ｗ（タングステン）、Ａｌ（アルミニウム）等の金属の粒子を主成分とした組成物を用いることができる。また、透光性を有するインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム錫酸化物と酸化珪素からなるＩＴＳＯ、有機インジウム、有機スズ、酸化亜鉛、窒化チタンなどを組み合わせても良い。
【０１８０】
ゲート電極層３３２、ゲート電極層３３３、ゲート電極層３３４、ゲート電極層３３５、ゲート電極層３３６を形成後もソース電極層又はドレイン電極層の時と同様、プレス等による平坦化工程を行っても良い。また、ゲート電極層を液滴吐出法によって吐出し、仮焼成をしてから、本焼成の間にプレス工程を挟むことによって、電極層の平坦化の他に、電極層に含まれる酸素が放出され酸素濃度が低下するので、電気抵抗が下がるという効果もある。
【０１８１】
ソース電極層又はドレイン電極層、半導体層、ゲート絶縁層、ゲート電極層を覆うようにパッシベーション膜となる絶縁膜３３７を成膜することが好ましい。絶縁膜３３７は、プラズマＣＶＤ法又はスパッタリング法などの薄膜形成法を用い、窒化珪素、酸化珪素、窒化酸化珪素、酸化窒化珪素、酸化窒化アルミニウム、または酸化アルミニウム、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、窒素含有炭素（ＣＮ）、その他の絶縁性材料を用いて形成することができる。なお、パッシベーション膜は単層でも積層構造でもよい。本実施の形態では、絶縁膜１２８を窒化珪素膜を膜厚１１０ｎｍで形成する。
【０１８２】
この後、半導体層３１０、半導体層３１１、半導体層３１２、半導体層３１３を水素雰囲気又は窒素雰囲気で加熱して水素化することが好ましい。なお、窒素雰囲気で加熱する場合は、絶縁膜３３７として水素を含む絶縁膜を形成することが好ましい。
【０１８３】
次に、絶縁層３３８を形成する。本実施の形態では、絶縁層３３８を全面に形成し、レジスト等のマスクによって、エッチングし所望の形状に加工する。絶縁層３３８を、直接選択的に形成できる液滴吐出法や印刷法などを用いて形成する場合は、エッチングによる加工は必ずしも必要はない。本実施の形態において、層間絶縁層として絶縁層３３８を設けた上に、隔壁として機能する第２の絶縁層を設ける。この場合、絶縁層３３８は、第１の絶縁層とも言える。
【０１８４】
絶縁層３３８は、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、窒素含有炭素膜（ＣＮ）、ポリシラザンその他の無機絶縁性材料、又はアクリル酸、メタクリル酸及びこれらの誘導体、又はポリイミド(polyimide)、芳香族ポリアミド、ポリベンゾイミダゾール(polybenzimidazole)、ベンゾシクロブテンなどの有機絶縁性材料、又はシロキサン樹脂（無機シロキサン、有機シロキサン）を用いてもよい。アクリル、ポリイミド等の感光性、非感光性の材料を用いて形成してもよい。
【０１８５】
本実施の形態では、絶縁層３３８の材料としては、シロキサン樹脂材料を用い、スリットコーターによる形成する。焼成した後の膜は、アルキル基を含む酸化珪素膜（ＳｉＯｘ）とも呼べる。
【０１８６】
絶縁膜３３７及び絶縁層３３８、ゲート絶縁層３６４に、ソース電極層又はドレイン電極層３３０ｂに達する開口部３３９を形成する（図１４（Ｃ）参照。）。この開口部もレジストからなるマスクを用いてエッチングし形成する。エッチングに用いるマスクは、レーザ光の照射による露光を行うことで微細な形状を有するマスクとすることができる。このようにして形成した開口部３３９に配線層３４５を形成する。配線層３４５もソース電極層又はドレイン電極層、ゲート電極層と同様な材料で同様に形成すればよい。本実施の形態では、配線層として、銀を用いて液滴吐出法により形成し、３００℃で焼成する。
【０１８７】
絶縁層３３８上に選択的に、配線層３４５と接するように、導電性材料を含む組成物を吐出して、第１の電極層３４６を形成する（図１５（Ａ）参照。）。第１の電極層３４６は、基板３００側から光を放射する場合、または透過型の表示パネルを作製する場合には、少なくとも可視光を透過する透光性導電性材料である、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物（ＩＴＳＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）を含むインジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ（indium zinc oxide））、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、ＺｎＯにガリウム（Ｇａ）をドープしたもの、酸化スズ（ＳｎＯ2）などを含む組成物により所定のパターンに形成し、焼成によって形成しても良い。
【０１８８】
また、好ましくは、スパッタリング法によりインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物（ＩＴＳＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などで形成する。より好ましくは、ＩＴＯに酸化珪素が２〜１０重量％含まれたターゲットを用いてスパッタリング法で酸化珪素を含む酸化インジウムスズを用いる。この他、ＺｎＯにガリウム（Ｇａ）をドープした導電性材料、酸化珪素を含み酸化インジウムに２〜２０atomic％の酸化亜鉛（ＺｎＯ）を混合した酸化物導電性材料であるインジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ（indium zinc oxide））を用いても良い。スパッタリング法で第１の電極層３４６を形成した後は、液滴吐出法を用いてマスク層を形成しエッチングにより、所望のパターンに形成すれば良い。本実施の形態では、第１の電極層３４６は、透光性を有する導電性材料により液滴吐出法を用いて形成し、具体的には、インジウム錫酸化物、ＩＴＯと酸化珪素から構成されるＩＴＳＯを用いて形成する。
【０１８９】
以上の工程により、基板３００上にトップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタと画素電極層である第１の電極層が接続された表示装置用のＴＦＴ基板（素子基板とも記す）が完成する。
【０１９０】
次に、絶縁層３４９（隔壁、土手とも呼ばれる）を選択的に形成する。絶縁層３４９は、第１の電極層３４６上に開口部を有するように形成し、配線層３４５を覆って形成する。本実施の形態では、絶縁層３４９を全面に形成し、レジスト等のマスクによって、エッチングし所望の形状に加工する。絶縁層３４９を、直接選択的に形成できる液滴吐出法や印刷法などを用いて形成する場合は、エッチングによる加工は必ずしも必要はない。
【０１９１】
絶縁層３４９は、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸窒化アルミニウムその他の無機絶縁性材料、又はアクリル酸、メタクリル酸及びこれらの誘導体、又はポリイミド(polyimide)、芳香族ポリアミド、ポリベンゾイミダゾール(polybenzimidazole)などの耐熱性高分子、又はシロキサンを含む材料で形成することができる。アクリル、ポリイミド等の感光性、非感光性の材料を用いて形成してもよい。絶縁層３４９は曲率半径が連続的に変化する形状が好ましく、上に形成される電界発光層３４７、第２の電極層３４８の被覆性が向上する。
【０１９２】
また、液滴吐出法により、絶縁層３４９を組成物を吐出し形成した後、その平坦性を高めるために表面を圧力によってプレスして平坦化してもよい。プレスの方法としては、ローラー状のものを表面に走査することによって、凹凸をならすように軽減したり、平坦な板状な物で表面を垂直にプレスしてもよい。また溶剤等によって表面を軟化、または融解させエアナイフで表面の凹凸部を除去しても良い。また、ＣＭＰ法を用いて研磨しても良い。この工程は、液滴吐出法によって凹凸が生じる場合に、その表面の平坦化する場合適用することができる。この工程により平坦性が向上すると、表示装置の表示ムラなどを防止することができ、高繊細な画像を表示することができる。
【０１９３】
薄膜トランジスタに電気的に接続するように、発光素子を形成する（図１５（Ｂ）参照。）。
【０１９４】
電界発光層３４７を形成する前に、大気圧中で２００℃の熱処理を行い第１の電極層３４６、絶縁層３４９中若しくはその表面に吸着している水分を除去する。また、減圧下で２００〜４００℃、好ましくは２５０〜３５０℃に熱処理を行い、そのまま大気に晒さずに電界発光層３４７を真空蒸着法や、減圧下の液滴吐出法で形成することが好ましい。
【０１９５】
電界発光層３４７として、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の発光を示す材料を、それぞれ蒸着マスクを用いた蒸着法等によって選択的に形成する。赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の発光を示す材料はカラーフィルタ同様、液滴吐出法により形成することもでき（低分子または高分子材料など）、この場合マスクを用いずとも、ＲＧＢの塗り分けを行うことができるため好ましい。電界発光層３４７上に第２の電極層３４８を積層形成して、発光素子を用いた表示機能を有する表示装置が完成する。
【０１９６】
図示しないが、第２の電極層３４８を覆うようにしてパッシベーション膜を設けることは有効である。表示装置を構成する際に設ける保護膜は、単層構造でも多層構造でもよい。パッシベーション膜としては、窒化珪素（ＳｉＮ）、酸化珪素（ＳｉＯ2）、酸化窒化珪素（ＳｉＯＮ）、窒化酸化珪素（ＳｉＮＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化窒化アルミニウム（ＡｌＯＮ）、窒素含有量が酸素含有量よりも多い窒化酸化アルミニウム（ＡｌＮＯ）または酸化アルミニウム、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、窒素含有炭素膜（ＣＮX）を含む絶縁膜からなり、絶縁膜を単層もしくは組み合わせた積層を用いることができる。例えば窒素含有炭素膜（ＣＮX）と窒化珪素（ＳｉＮ）との積層のような積層、また有機材料を用いることも出来、スチレンポリマーなど高分子の積層でもよい。また、シロキサン樹脂材料を用いてもよい。
【０１９７】
この際、カバレッジの良い膜をパッシベーション膜として用いることが好ましく、炭素膜、特にＤＬＣ膜を用いることは有効である。ＤＬＣ膜は室温から１００℃以下の温度範囲で成膜可能であるため、耐熱性の低い電界発光層の上方にも容易に成膜することができる。ＤＬＣ膜は、プラズマＣＶＤ法（代表的には、ＲＦプラズマＣＶＤ法、マイクロ波ＣＶＤ法、電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）ＣＶＤ法、熱フィラメントＣＶＤ法など）、燃焼炎法、スパッタ法、イオンビーム蒸着法、レーザ蒸着法などで形成することができる。成膜に用いる反応ガスは、水素ガスと、炭化水素系のガス（例えばＣＨ4、Ｃ2Ｈ2、Ｃ6Ｈ6など）とを用い、グロー放電によりイオン化し、負の自己バイアスがかかったカソードにイオンを加速衝突させて成膜する。また、ＣＮ膜は反応ガスとしてＣ2Ｈ4ガスとＮ2ガスとを用いて形成すればよい。ＤＬＣ膜は酸素に対するブロッキング効果が高く、電界発光層の酸化を抑制することが可能である。そのため、この後に続く封止工程を行う間に電界発光層が酸化するといった問題を防止できる。
【０１９８】
その後、封止基板３５１によって充填剤３５０を封入して封止する。充填剤の封入には、液晶材料と同様に図２９のように滴下法を用いることもできる。充填剤３５０の代わりに、窒素などの不活性ガスを充填してもよい。また、乾燥剤を表示装置内に設置することによって、発光素子の水分による劣化を防止することができる。乾燥剤の設置場所は、封止基板３５１側でも、素子が形成さえている基板３００側でもよく、シール材３５２が形成される領域に基板に凹部を形成して設置してもよい。また、封止基板３５１の駆動回路領域や配線領域など表示に寄与しない領域に対応する場所に設置すると、乾燥剤が不透明な物質であっても開口率を低下させることがない。充填剤３５０に吸湿性の材料を含むように形成し、乾燥剤の機能を持たせても良い。以上により、発光素子を用いた表示機能を有する表示装置が完成する（図１６参照。）。
【０１９９】
また、表示装置内部と外部を電気的に接続するための端子電極層３５３に、異方性導電膜３５４によってFPC３５５が接着され、端子電極層３５３と電気的に接続する。
【０２００】
図１６（Ａ）に、表示装置の上面図を示す。図１６（Ａ）で示すように、画素領域３６０、走査線駆動領域３６１ａ、走査線駆動領域３６１ｂ、接続領域３６３が、シール材３５２によって、基板３００と封止基板３５１との間に封止され、基板３００上にＩＣドライバによって形成された信号線駆動回路３６２が設けられている。
【０２０１】
以上の工程により、結晶性半導体膜を有するトップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタを形成することができる。本実施の形態で形成される薄膜トランジスタは、結晶性半導体膜で形成されるため非晶質半導体膜で形成される薄膜トランジスタと比較して移動度が高い。また、ソース領域及びドレイン領域には、一導電型を付与する不純物元素に加え、半導体膜の結晶化を促進させる機能を有する金属元素をも含む。このため、抵抗率の低いソース領域及びドレイン領域が形成できる。この結果、高速動作が必要な表示装置を作製することが可能である。
【０２０２】
また、非晶質半導体膜で形成される薄膜トランジスタと比較して、しきい値のずれが生じにくく、薄膜トランジスタ特性のバラツキを低減することが可能である。
【０２０３】
更には、ゲッタリング工程により、成膜段階で半導体膜中に混入する金属元素をもゲッタリングするため、オフ電流を低減することが可能である。このため、このような薄膜トランジスタを表示装置のスイッチング素子に設けることにより、コントラストを向上させることが可能である。
【０２０４】
本実施の形態は、実施の形態１乃至７とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０２０５】
（実施の形態９）
本実施の形態では、実施の形態１にて作製した表示装置において、表示素子として液晶表示素子を用いた液晶表示装置を作製する例を図１７及び図１８を用いて説明する。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０２０６】
図１７（Ａ）は表示装置の画素領域の上面図であり、図１７（Ｂ）は、図１７（Ａ）の線Ｅ−Ｆにおける断面図である。画素領域は、本発明のトップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタ２５０、ソース配線層も兼ねるソース電極層又はドレイン電極層２５１、容量配線層２５２、ゲート配線層も兼ねるゲート電極層２５３、配線層２５４、画素電極層２５５、絶縁膜２５９、絶縁層２６０が設けられている。薄膜トランジスタ２５０はマルチゲート構造であり、配線層２５４によって薄膜トランジスタ２５０のソース電極層又はドレイン電極層と画素電極層２５５とは電気的に接続されている。
【０２０７】
基板２５６上には、半導体層の下地膜となる絶縁膜２５７ａ、絶縁膜２５７ｂ、絶縁膜２５７ｃが形成されている。本実施の形態では、基板２５６上に、絶縁膜２５７ａとして窒化酸化珪素膜、絶縁膜２５７ｂとして酸化窒化珪素膜を積層した後、酸化窒化珪素膜上に、絶縁膜２５７ｃとして膜厚０．３ｎｍ〜５ｎｍの窒化酸化珪素膜を形成し、３層の積層構造とする。このような構造であると、半導体層中の金属元素のゲッタリング効率も上がり、かつ半導体層への窒化珪素膜の悪影響も軽減できる。また積層される絶縁層は、同チャンバー内で真空を破らずに同一温度下で、反応ガスを切り変えながら連続的に形成するとよい。真空を破らずに連続的に形成すると、積層する膜同士の界面が汚染されるのを防ぐことができる。また図１８では絶縁膜２５７ａ、絶縁膜２５７ｂ、絶縁膜２５７ｃは一層で省略して記載してある。
【０２０８】
本実施の形態における液晶表示装置は、駆動回路領域も画素領域と同一基板上に設けている。本実施の形態の液晶表示装置を図１８に示す。図１８（Ａ）は液晶表示装置の上面図であり、図１８（Ｂ）は、図１８（Ａ）における線Ｏ−ｏ、線ｐ−Ｐの断面図、周辺駆動回路領域である線Ｕ−Ｗの断面図である。
【０２０９】
本実施の形態における周辺駆動回路はｎチャネル型薄膜トランジスタ２８０ａ及びｎチャネル型薄膜トランジスタ２８０ｂで構成されるＮＭＯＳの回路が設けられている。ｎチャネル型薄膜トランジスタ２８０ａ及びｎチャネル型薄膜トランジスタ２８０ｂはソース電極層又はドレイン電極層２８５ａ、ソース電極層又はドレイン電極層２８５ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層２８５ｃ、半導体層２８１、半導体層２８２、チャネル保護層２８６ａ、チャネル保護層２８６ｂ、ゲート絶縁層２８７、ゲート電極層２８８、ゲート電極層２８９で構成されている。
【０２１０】
本実施の形態では、駆動回路領域において、ＮＭＯＳ構成を用いてインバーターとして機能させている。このようにＰＭＯＳのみ、ＮＭＯＳの構成の場合においては、一部のＴＦＴのゲート電極層とソース電極層又はドレイン電極層とを接続させる。このような例を図４０に示す。フォトマスクを用いてゲート絶縁層２８７の一部をエッチングして、図４０に示すようなコンタクトホール２９０を形成する。コンタクトホール２９０にゲート電極層２８９を形成し、ソース電極層又はドレイン電極層２８５ｃとゲート電極層２８９とを電気的に接続する。ソース電極層又はドレイン電極層２８５ｃとゲート電極層２８９とを電気的に接続することによって、ｎチャネル型薄膜トランジスタ２８０ａとｎチャネル型薄膜トランジスタ２８０ｂとがＮＭＯＳであってもインバーターとして機能させることができる。
【０２１１】
薄膜トランジスタ２５０、画素電極層２５５、配線層２５４、絶縁膜２５９、絶縁層２６０を覆うように、印刷法やスピンコート法により、配向膜と呼ばれる絶縁層２６１を形成する。絶縁層２６１は、スクリーン印刷法やオフセット印刷法を用いれば、選択的に形成することができる。その後、ラビングを行う。続いて、シール材３７８を液滴吐出法により画素を形成した周辺の領域に形成する。
【０２１２】
その後、配向膜として機能する絶縁層２６３、カラーフィルタとして機能する着色層２６４、対向電極として機能する導電体層２６５、偏光板２６７が設けられた対向基板２６６とＴＦＴを有する基板２５６とをスペーサ２７３を介して貼り合わせ、その空隙に液晶層２６２を設けることにより液晶表示装置を作製することができる（図１８参照。）。また基板２５６のＴＦＴを有していない側にも偏光板２６８を形成する。シール材にはフィラーが混入されていても良く、さらに対向基板２６６には、遮蔽膜（ブラックマトリクス）などが形成されていても良い。なお、液晶層を形成する方法として、ディスペンサ式（滴下式）や、対向基板２６６を貼り合わせてから毛細管現象を用いて液晶を注入するディップ式（汲み上げ式）を用いることができる。
【０２１３】
ディスペンサ方式を採用した液晶滴下注入法を図２９を用いて説明する。図２９において、４０は制御装置、４２は撮像手段、４３はヘッド、３３は液晶、３５、４１はマーカー、３４はバリア層、３２はシール材、３０はＴＦＴ基板、２０は対向基板である。シール材３２で閉ループを形成し、その中にヘッド４３より液晶３３を１回若しくは複数回滴下する。ヘッド４３は複数のノズルを備えており、一度に多量の液晶材料を滴下することができるためスループットが向上する。そのとき、シール材３２と液晶３３とが反応することを防ぐため、バリア層３４を設ける。続いて、真空中で基板を貼り合わせ、その後紫外線硬化を行って、液晶が充填された状態とする。
【０２１４】
スペーサは、スペーサは数μｍの粒子を散布して設ける方法でも良いが、本実施の形態では基板全面に樹脂膜を形成した後これを所望の形状に加工して形成する方法を採用した。このようなスペーサの材料を、スピナーで塗布した後、露光と現像処理によって所定のパターンに形成する。さらにクリーンオーブンなどで１５０〜２００℃で加熱して硬化させる。このようにして作製されるスペーサは露光と現像処理の条件によって形状を異ならせることができるが、好ましくは、スペーサの形状は柱状で頂部が平坦な形状となるようにすると、対向側の基板を合わせたときに液晶表示装置としての機械的な強度を確保することができる。形状は円錐状、角錐状などを用いることができ、特別な限定はない。
【０２１５】
以上の工程で形成された画素部と外部の配線基板を接続するために接続部を形成する。大気圧又は大気圧近傍下で、酸素ガスを用いたアッシング処理により、接続部の絶縁体層を除去する。この処理は、酸素ガスと、水素、ＣＦ4、ＮＦ3、Ｈ2Ｏ、ＣＨＦ3から選択された一つ又は複数とを用いて行う。本工程では、静電気による損傷や破壊を防止するために、対向基板を用いて封止した後に、アッシング処理を行っているが、静電気による影響が少ない場合には、どのタイミングで行っても構わない。
【０２１６】
液晶表示装置内部と外部を電気的に接続するための端子電極層２７０に、異方性導電膜２７１によってＦＰＣ２７２が接着され、端子電極層２７０と電気的に接続する。図１８（Ａ）において、基板２５６上に、画素領域２７５、走査線駆動回路領域２７６ａ、走査線駆動回路領域２７６ｂ、信号線駆動回路領域２７７を有する。
【０２１７】
以上の工程により、本発明を用いた液晶表示装置（液晶表示パネル）が完成する。本実施の形態で形成されるトップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタは、結晶性半導体膜で形成されるため非晶質半導体膜で形成される薄膜トランジスタと比較して移動度が高い。また、ソース領域及びドレイン領域には、一導電型を付与する不純物元素に加え、金属元素をも含む。このため、抵抗率の低いソース領域及びドレイン領域が形成できる。この結果、高速動作が必要な液晶表示装置を作製することが可能である。よってＯＣＢモードのような応答速度が速く且つ高視野角な表示が可能な液晶表示装置を製造することが可能である。
【０２１８】
また、非晶質半導体膜で形成される薄膜トランジスタと比較して、しきい値のずれが生じにくく、薄膜トランジスタ特性のバラツキを低減することが可能である。
【０２１９】
更には、ゲッタリング工程により、成膜段階で半導体膜中に混入する金属元素をもゲッタリングするため、オフ電流を低減することが可能である。このため、このような薄膜トランジスタを液晶表示装置のスイッチング素子に設けることにより、コントラストを向上させることが可能である。
【０２２０】
また、レーザ光照射の微細な加工により、配線等の細線化も自由に設計できる。本発明により、所望なパターンを制御性よく形成でき、材料のロスも少なく、コストダウンも達成できる。よって高性能、高信頼性の表示装置を歩留まりよく作製することができる。
【０２２１】
本実施の形態は、実施の形態１乃至７とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０２２２】
（実施の形態１０）
実施の形態１では、ソース電極層及びドレイン電極層（ソース配線層も含む）と、ゲート電極層（ゲート配線層も含む）とがゲート絶縁層を介して積層し、ゲート電極層（ゲート配線層も含む）と配線層とが層間絶縁層を介して積層している多層構造を用いている。本実施の形態では、これらの積層構造が異なる例を図１９乃至図２４を用いて説明する。同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０２２３】
図１９（A）は、表示装置の上面図であり、図１９（Ｂ）は、図１９（Ａ）における線Ｘ１−Ｖ１による断面図である。
【０２２４】
図１９において、表示装置の画素領域内には、基板６００上に、下地膜となる絶縁層６０９、ソース電極層又はドレイン電極層６０１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層６０１ｂ、ゲート絶縁層６０２、ゲート電極層６０３ａ、ゲート電極層６０３ｂ、配線層６０７、パッシベーション膜である絶縁膜６０５、絶縁層６０６が形成されている。
【０２２５】
絶縁膜６０５は必ずしも必要ではないが、絶縁膜６０５を形成すると、パッシベーション膜として機能するので、より表示装置の信頼性が向上する。また、絶縁膜６０５を形成し、熱処理を行うと、絶縁膜６０５中に含まれる水素によって半導体層の水素化を行うことができる。
【０２２６】
図１９（Ｂ）で示すようにゲート電極層６０３ｂは、層間絶縁層である絶縁層６０６を介して、配線層６０７と積層しており、配線層６０７は、ソース電極層又はドレイン電極層６０１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層６０１ｂと絶縁層６０６、絶縁膜６０５、ゲート絶縁層６０２に形成されたコンタクトホールで接続されている。よって配線層６０７と、ゲート電極層６０３ｂとはショートしない構造となっている。配線層６０７はソース配線層として機能する。
【０２２７】
図２０（A）は、表示装置の上面図であり、図２０（Ｂ）は、図２０（Ａ）における線Ｘ２−Ｖ２による断面図である。図２０において、表示装置の画素領域内には、基板６２０上に、下地膜となる絶縁層６２９、ソース電極層又はドレイン電極層６２１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層６２１ｂ、ゲート絶縁層６２２、ゲート電極層６２３ａ、ゲート電極層６２３ｂ、配線層６２７ａ、配線層６２７ｂ、パッシベーション膜である絶縁膜６２５、絶縁層６２６が形成されている。
【０２２８】
図２０（Ｂ）で示すようにゲート電極層６２３ｂは、層間絶縁層である絶縁層６２６を介して、配線層６２７ｂと積層しており、配線層６２７ｂは、ソース電極層又はドレイン電極層６２１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層６２１ｂと絶縁層６２６、絶縁膜６２５、ゲート絶縁層６２２に形成されたコンタクトホールで接続されている。よって配線層６２７ｂと、ゲート電極層６２３ｂとはショートしない構造となっている。また、図２０で示す表示装置は、ソース配線層は連続的ではなく断続的に形成され、ソース電極層又はドレイン電極層にコンタクトホールを介して電気的な接続を取りながら形成されている構造となっている。よって、ゲート電極層６２３ｂが形成されている領域では、ソース電極層又はドレイン電極層６２１ａとソース電極層又はドレイン電極層６２１ｂとは、絶縁層６２６上に形成する配線層６２７ｂとコンタクトホールにおいて接続することで電気的に接続されている。
【０２２９】
図２１（A）は、表示装置の上面図であり、図２１（Ｂ）は、図２１（Ａ）における線Ｘ３−Ｖ３による断面図である。図２１において、表示装置の画素領域内には、基板６３０上に、下地膜となる絶縁層６３９、ソース電極層又はドレイン電極層６３１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層６３１ｂ、ゲート絶縁層６３２、ゲート電極層６３３ａ、ゲート電極層６３３ｂ、配線層６３７ａ、配線層６３７ｂ、配線層６３８ａ、配線層６３８ｂ、パッシベーション膜である絶縁膜６３５、絶縁層６３６が形成されている。
【０２３０】
図２１（Ｂ）で示すようにゲート電極層６３３ｂは、層間絶縁層である絶縁層６３６を介して、配線層６３７ｂと積層している。図２０で示す表示装置において、ソース電極層又はドレイン電極層６２１ａと配線層６２７ａ及び配線層６２７ｂとは直接接続している。しかし図２１で示す表示装置では、ソース電極層又はドレイン電極層６３１ａと、配線層６３７ａ及び配線層６３７ｂとは、ゲート電極層と同材料、同工程で形成される配線層６３８ａを介して電気的に接続される。よって、ソース電極層又はドレイン電極層６３１ａはゲート絶縁層６３２上に形成される配線層６３８ａとコンタクトホールで接続し、配線層６３８ａは、配線層６３７ａ及び配線層６３７ｂとコンタクトホールを介して接続する。よって、ソース電極層又はドレイン電極層６３１ａ、配線層６３７ａ、及び配線層６３７ｂは電気的に接続する。ゲート電極層６３３ｂは層間絶縁層である絶縁層６３６を介して配線層６３７ｂと積層されるので、ゲート電極層６３３ｂと配線層６３７ｂとはショートしない構造となっている。
【０２３１】
図１９、図２０及び図２１は層間絶縁層として絶縁層を、広範囲にわたって覆うように形成した場合を示した。図２２、図２３及び図２４、図２５は配線層間を隔てる層間絶縁層を、液滴吐出法を用いて必要な個所のみに選択的に形成する例を示す。
【０２３２】
図２２は図１９に、図２３は図２０に、図２４は図２１の表示装置にそれぞれ対応しており、層間絶縁層の構造が異なる構造となっている。図２２（A）は、表示装置の上面図であり、図２２（Ｂ）は、図２２（Ａ）における線Ｙ１−Ｚ１による断面図である。図２２において、ゲート電極層６０３ｂを覆うように絶縁層６５０が液滴吐出法により選択的に形成されている。その絶縁層６５０上を跨ぐように配線層６０７が形成されている。配線層６０７上には、パッシベーション膜として絶縁膜６６０が形成されている。絶縁膜６６０は必ずしも必要ではないが、形成することで信頼性を向上させることができる。また本実施の形態では、絶縁層６５０単層で形成するが、絶縁層６５０の上、または下に絶縁膜を形成して積層構造としてもよい。
【０２３３】
図２３（A）は、表示装置の上面図であり、図２３（Ｂ）は、図２３（Ａ）における線Ｙ２−Ｚ２による断面図である。図２３においても図２２と同様に、ゲート電極層６２３ｂを覆うように絶縁層６５１が、液滴吐出法により選択的に形成されている。その絶縁層６５１上を跨ぐように配線層６２７ｂが形成されている。配線層６２７ｂは、ソース電極層又はドレイン電極層６２１ａ及びソース電極層又はドレイン電極層６２１ｂとそれぞれコンタクトホールにより接続されているので、配線層６２７ｂによって、ソース電極層又はドレイン電極層６２１ａとソース電極層又はドレイン電極層６２１ｂとは電気的に接続されている。配線層６２７ｂ上には、パッシベーション膜として絶縁膜６６１が形成されている。
【０２３４】
図２４（A）は、表示装置の上面図であり、図２４（Ｂ）は、図２４（Ａ）における線Ｙ３−Ｚ３による断面図である。図２４においても図２２と同様に、ゲート電極層６３３ｂを覆うように絶縁層６５２が、液滴吐出法により選択的に形成されている。その絶縁層６５２上を跨ぐように配線層６３７ｂが形成され、配線層６３８ａと配線層６３８ｂとに接続している。配線層６３８ａはソース電極層又はドレイン電極層６３１ａと、配線層６３８ｂはソース電極層又はドレイン電極層６３１ｂとにそれぞれコンタクトホールにおいて接続しているので、ソース電極層又はドレイン電極層６３１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層６３１ｂとは電気的に接続している。
【０２３５】
絶縁層６５０、絶縁層６５１、絶縁層６５２のように配線層間のショートを防ぐための絶縁層を、液滴吐出法を用いて選択的に形成すると、材料のロスが軽減する。また、直接配線間が接するように形成することができるので、絶縁層にコンタクトホールを形成する工程が減る。よって、工程が簡略化し低いコスト、高い生産性を得ることができる。
【０２３６】
図２５の表示装置もゲート電極層６４３ａ及びゲート電極層６４３ｂと、配線層６４８ａ及び配線層６４８ｂとを物理的に隔てるために設ける絶縁層６５３ａ及び絶縁層６５３ｂを液滴吐出法を用いて選択的に形成する例である。図２２乃至図２４における表示装置では、絶縁層上に配線層を跨ぐように形成することで、ゲート電極層と配線層とのショートを防いでいた。図２５の表示装置では、ソース電極層又はドレイン電極層６４１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層６４１ａ及びソース電極層又はドレイン電極層６４１ｂを、後にゲート配線層が形成される領域を横切るように、配線層６４８ｂが形成される領域までわたって形成する。本実施の形態では、ソース電極層又はドレイン電極層６４１ａ及びソース電極層又はドレイン電極層６４１ｂそのものを広く形成し、ゲート電極層６４３ａ及びゲート電極層６４３ｂの形成領域を横切り配線層６４８ａ及び配線層６４８ｂの形成領域まで達するような形状とするが、ソース電極層又はドレイン電極層６４１ａ及びソース電極層又はドレイン電極層６４１ｂとは別に、ゲート電極層６４３ａ及びゲート電極層６４３ｂの形成領域を横切るようにそれぞれ配線層を形成してもよい。
【０２３７】
その後ゲート電極層６４３ａ、ゲート電極層６４３ｂを形成する前に、ソース電極層又はドレイン電極層を覆うゲート絶縁層６４２の一部をエッチングによって除去する。図２５（Ａ）の表示装置上面図に示すように、ゲート絶縁層６４２は、半導体層７７０、半導体層７７５上、容量素子を形成する領域となる一部のソース電極層又はドレイン電極層７７３ａ上に存在するが、配線層６４８ａ、配線層６４８ｂが形成される領域、ソース電極層又はドレイン電極層７７２とゲート電極層７７４とが接続する領域、及びソース電極層又はドレイン電極層７７３ａと画素電極層として機能する第１の電極層７７７とが接続する領域は除去されている。よって、コンタクトホールを形成することなく、電極層同士は直接接続することができる。ソース電極層又はドレイン電極層６４１ａ及びソース電極層又はドレイン電極層６４１ｂ上のゲート電極層６４３ａ、ゲート電極層６４３ｂの形成領域に、絶縁層６５３ａ及び絶縁層６５３ｂを液滴吐出法によって選択的に形成する。絶縁層６５３ａ及び絶縁層６５３ｂ上にゲート電極層６４３ａ、ゲート電極層を形成する。ゲート電極層６４３ａ及びゲート電極層６４３ｂを形成するのと同工程で、配線層６４８ａ、配線層６４８ｂをソース電極層又はドレイン電極層６４１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層６４１ｂとそれぞれ接するように形成する。ソース電極層又はドレイン電極層６４１ａは、絶縁層６５３ｂ下を連続的にくぐるように形成されているので配線層６４８ａと配線層６４８ｂとも電気的に接続することができる。このように、絶縁層６５３ｂの下層で配線層とソース電極層又はドレイン電極層を電気的に接続することができる。
【０２３８】
図２５の表示装置の線Ｑ−Ｒにおける断面図を図２６（Ａ）に、線Ｓ−Ｔにおける断面図を図２６（Ｂ）にそれぞれ示す。図２５で示したように、図２５の表示装置は、ゲート絶縁層が選択的に除去されており、画素内にコンタクトホールを形成しない構造となっている。よって、電極間は層間絶縁層を介さないで接続している。図２５の表示装置は表示素子に発光素子を用いる発光表示装置の例を示している。
【０２３９】
図２６（Ａ）において、基板６４０上に、絶縁層６４９、半導体層７７０、チャネル保護層７７９ａ、一導電型を有する半導体層７７１ａ、一導電型を有する半導体層７７１ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層７７３ａが形成され、一導電型を有する半導体層７７１ａ、一導電型を有する半導体層７７１ｂ上に、ソース電極層又はドレイン電極層６４１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層７７２が形成されている。ゲート絶縁層６４２は、半導体層７７０、ソース電極層又はドレイン電極層７７３ａを覆うようにのみ形成され、ソース電極層又はドレイン電極層６４１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層７７２上の一部では除去されている。ゲート絶縁層６４２に覆われていない露出されたソース電極層又はドレイン電極層６４１ａに接して配線層６４８ａが形成され、ゲート絶縁層６４２に覆われていない露出されたソース電極層又はドレイン電極層７７２上にゲート電極層７７４が形成され、それぞれ電気的に接続している。半導体層７７０を覆うように設けられたゲート絶縁層６４２上にゲート電極層６４３ａが形成され、絶縁膜６６３と隔壁として機能する絶縁層７８０が形成されている。
【０２４０】
図２６（Ｂ）も同様に、基板６４０上に、絶縁層６４９、第１の電極層７７７、半導体層７７５、チャネル保護層７７９ｂ、一導電型を有する半導体層７７６ａ、一導電型を有する半導体層７７６ｂが形成され、一導電型を有する半導体層７７６ａ、一導電型を有する半導体層７７６ｂ上にソース電極層又はドレイン電極層７７３ａ、ソース電極層又はドレイン電極層７７３ｂ、ゲート絶縁層６４２が形成されている。ゲート絶縁層６４２上にはゲート電極層７７４が形成され、絶縁膜６６３、隔壁として機能する絶縁層７８０が形成されている。ゲート絶縁層６４２は選択的に形成されており、ソース電極層又はドレイン電極層７７３ｂ及びソース電極層又はドレイン電極層７７３ｂの一部では除去されている。ゲート絶縁層６４２に覆われていない露出されたソース電極層又はドレイン電極層７７３ｂ上には電源線７７８が形成され、露出されたソース電極層又はドレイン電極層７７３ａに接して第１の電極層７７７が形成され、電気的に接続している。第１の電極層７７７上に、電界発光層７８１、電界発光層７８１上に電極層７８２が積層され、発光素子を備えた表示装置が完成される。
【０２４１】
以上の工程で示すように、信頼性の高い表示装置を低コストで生産性よく作製することができる。
【０２４２】
本実施の形態は、実施の形態１乃至９とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０２４３】
（実施の形態１１）
本実施の形態を、図４８を用いて説明する。本実施の形態では、実施の形態１の表示装置において、層間絶縁層の構造が異なる例を示す。よって、同一部分又は同様な機能を有する部分の繰り返しの説明は省略する。
【０２４４】
図４８は、実施の形態１で用いた図５（Ａ）の上面図において、線Ｂ−Ｄの断面図と対応している。実施の形態１では、薄膜トランジスタの凹凸を平坦化する層間絶縁層として、絶縁層１２９を形成し、絶縁層１２９上に第１の電極層１３０を形成する。本実施の形態では、絶縁層１２９を形成せず、第１の電極層をゲート絶縁層上、もしくは、パッシベーション膜である絶縁膜上に形成する。よって、実施の形態１では、ソース電極層又はドレイン電極層と第１の電極層は、配線層を介して接続されるが、本実施の形態では、直接接するように形成され、電気的に接続する。
【０２４５】
図４８に示す表示装置は、表示素子として発光素子を有する本発明を適用した発光表示装置である。図４８（A）において、表示装置は、基板９００上に、絶縁層９０１、第１の電極層９０９、半導体層９０２、チャネル保護層９０３、一導電型を有する半導体層９０４ａ、一導電型を有する半導体層９０４ｂ、一導電型を有する半導体層９２４ａ、一導電型を有する半導体層９２４ｂが形成され、一導電型を有する半導体層９２４ａ、一導電型を有する半導体層９２４ｂ上にソース電極層又はドレイン電極層９０５ａ、ソース電極層又はドレイン電極層９０５ｂ、ゲート絶縁層９０６が形成されている。
【０２４６】
ゲート絶縁層９０６上にはゲート電極層９０８が形成され、絶縁膜９１０、隔壁として機能する絶縁層９１１が形成されている。ゲート絶縁層９０６及び絶縁膜９１０にソース電極層又はドレイン電極層９０５ａに達する開口部９２７が形成されている。開口部９２７にソース電極層又はドレイン電極層９０５ａに接するように第１の電極層９０９が形成され、第１の電極層９０９上に、電界発光層９１２、第２の電極層９１３が積層されている。このように、第１の電極層９０９は、薄膜トランジスタを覆う絶縁膜９１０上に形成する構造とすることもできる。
【０２４７】
図４８（Ｂ）において、表示装置は、基板９００上に、絶縁層９０１、第１の電極層９１９、半導体層９０２、チャネル保護層９０３、一導電型を有する半導体層９０４ａ、一導電型を有する半導体層９０４ｂ、一導電型を有する半導体層９２４ａ、一導電型を有する半導体層９２４ｂが形成され、一導電型を有する半導体層９２４ａ、一導電型を有する半導体層９２４ｂ上にソース電極層又はドレイン電極層９０５ａ、ソース電極層又はドレイン電極層９０５ｂ、ゲート絶縁層９０６が形成されている。
【０２４８】
ゲート絶縁層９０６上にはゲート電極層９０８が形成され、絶縁膜９１０、隔壁として機能する絶縁層９１１が形成されている。図４８（Ｂ）に示す表示装置は、第１の電極層９１９が、ゲート絶縁層９０６上に形成された例である。ゲート絶縁層９０６にソース電極層又はドレイン電極層９０５ａに達する開口部９０７が形成されている。開口部９０７にソース電極層又はドレイン電極層９０５ａに接するように第１の電極層９０９が形成され、第１の電極層９１９上に、電界発光層９１２、第２の電極層９１３が積層されている。第１の電極層９１９の一部は、絶縁膜９１０で覆われている。このように、第１の電極層９０９は、ゲート絶縁層９０６上に形成する構造とすることもできる。
【０２４９】
本実施の形態のような表示装置の構造であると、層間絶縁層を必要としないので、工程の簡略化、材料の削減によるコストの軽減を達成できる利点がある。
【０２５０】
（実施の形態１２）
次に、実施の形態１乃至１１によって作製される表示パネルに駆動用のドライバ回路を実装する態様について説明する。
【０２５１】
まず、ＣＯＧ方式を採用した表示装置について、図３４（Ａ）を用いて説明する。基板２７００上には、文字や画像などの情報を表示する画素部２７０１が設けられる。複数の駆動回路が設けられた基板を、矩形状に分断し、分断後の駆動回路（以下ドライバＩＣと表記）２７５１は、基板２７００上に実装される。図３４（Ａ）は複数のドライバＩＣ２７５１、ドライバＩＣ２７５１の先にＦＰＣ２７５０を実装する形態を示す。また、分割する大きさを画素部の信号線側の辺の長さとほぼ同じにし、単数のドライバＩＣに、該ドライバＩＣの先にテープを実装してもよい。
【０２５２】
また、ＴＡＢ方式を採用してもよく、その場合は、図３４（Ｂ）で示すように複数のテープを貼り付けて、該テープにドライバＩＣを実装すればよい。ＣＯＧ方式の場合と同様に、単数のテープに単数のドライバＩＣを実装してもよく、この場合には、強度の問題から、ドライバＩＣを固定する金属片等を一緒に貼り付けるとよい。
【０２５３】
これらの表示パネルに実装されるドライバＩＣは、生産性を向上させる観点から、一辺が３００ｍｍから１０００ｍｍ以上の矩形状の基板上に複数個作り込むとよい。
【０２５４】
つまり、基板上に駆動回路部と入出力端子を一つのユニットとする回路パターンを複数個形成し、最後に分割して取り出せばよい。ドライバＩＣの長辺の長さは、画素部の一辺の長さや画素ピッチを考慮して、長辺が１５〜８０ｍｍ、短辺が１〜６ｍｍの矩形状に形成してもよいし、画素領域の一辺、又は画素部の一辺と各駆動回路の一辺とを足した長さに形成してもよい。
【０２５５】
ドライバＩＣのＩＣチップに対する外形寸法の優位性は長辺の長さにあり、長辺が１５〜８０ｍｍで形成されたドライバＩＣを用いると、画素部に対応して実装するのに必要な数がＩＣチップを用いる場合よりも少なくて済み、製造上の歩留まりを向上させることができる。また、ガラス基板上にドライバＩＣを形成すると、母体として用いる基板の形状に限定されないので生産性を損なうことがない。これは、円形のシリコンウエハからＩＣチップを取り出す場合と比較すると、大きな優位点である。
【０２５６】
また、図３３（Ｂ）のように走査線側の駆動回路３７０４は基板上に一体形成される場合、画素領域３７０１の外側の領域には、信号線側の駆動回路駆動回路が形成されたドライバＩＣが実装される。これらのドライバＩＣは、信号線側の駆動回路である。ＲＧＢフルカラーに対応した画素領域を形成するためには、ＸＧＡクラスで信号線の本数が３０７２本必要であり、ＵＸＧＡクラスでは４８００本が必要となる。このような本数で形成された信号線は、画素領域３７０１の端部で数ブロック毎に区分して引出線を形成し、ドライバＩＣの出力端子のピッチに合わせて集められる。
【０２５７】
ドライバＩＣは、基板上に形成された結晶質半導体により形成されることが好適であり、本発明を用いた薄膜トランジスタを用いることができる。また移動度や応答速度が良好なために高速駆動が可能で、従来よりも素子の動作周波数を向上させることができ、特性バラツキが少ないために高い信頼性を得ることができる。
【０２５８】
画素領域は、信号線と走査線が交差してマトリクスを形成し、各交差部に対応してトランジスタが配置される。画素領域に配置されるトランジスタとしても、本発明を用いた薄膜トランジスタを適用することができる。本発明を適用して作製される薄膜トランジスタは、簡略化した工程で比較的高移動度が得られるため、大画面の表示装置を作製する上で有効である。従って、この薄膜トランジスタを画素のスイッチング用素子や、走査線側の駆動回路を構成する素子として用いることができる。従って、システムオンパネル化を実現した表示パネルを作製することができる。
【０２５９】
図３４（Ａ）、（Ｂ）のように走査線駆動回路及び信号線駆動回路の両方として、ドライバＩＣを実装してもよい。その場合には、走査線側と信号線側で用いるドライバＩＣの仕様を異なるものにするとよい。
【０２６０】
その場合には、走査線側と信号線側で用いるドライバＩＣの仕様を異なるものにすることが好適である。例えば、走査線側のドライバＩＣを構成するトランジスタには３０Ｖ程度の耐圧が要求されるものの、駆動周波数は１００ｋＨｚ以下であり、比較的高速動作は要求されない。従って、走査線側のドライバを構成するトランジスタのチャネル長（Ｌ）は十分大きく設定することが好適である。一方、信号線側のドライバＩＣのトランジスタには、１２Ｖ程度の耐圧があれば十分であるが、駆動周波数は３Ｖにて６５ＭＨｚ程度であり、高速動作が要求される。そのため、ドライバを構成するトランジスタのチャネル長などはミクロンルールで設定することが好適である。なおチャネル長方向とは、チャネル形成領域において、電流が流れる方向、換言すると電荷が移動する方向と一致する。
【０２６１】
ドライバＩＣの実装方法は、特に限定されるものではなく、公知のＣＯＧ方法やワイヤボンディング方法、或いはＴＡＢ方法を用いることができる。
【０２６２】
ドライバＩＣの厚さは、対向基板と同じ厚さとすることで、両者の間の高さはほぼ同じものとなり、表示装置全体としての薄型化に寄与する。また、それぞれの基板を同じ材質のもので作製することにより、この表示装置に温度変化が生じても熱応力が発生することなく、ＴＦＴで作製された回路の特性を損なうことはない。その他にも、本実施の形態で示すようにＩＣチップよりも長尺のドライバＩＣで駆動回路を実装することにより、１つの画素領域に対して、実装されるドライバＩＣの個数を減らすことができる。
【０２６３】
以上のようにして、表示パネルに駆動回路を組み入れることができる。本実施の形態は、実施の形態１乃至１１とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０２６４】
（実施の形態１３）
本実施の形態では、上記実施の形態において、ゲート電極層とソース電極層及びドレイン電極層との端部の位置関係、即ちゲート電極層の幅とチャネル長の大きさの関係について、図４１を用いて説明する。
【０２６５】
図４１（Ａ）は基板５４０上に形成された、絶縁層５４６、半導体層５４３、一導電型を有する半導体層５４２ａ、一導電型を有する半導体層５４２ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層５４１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層５４１ｂ、ゲート絶縁層５４４、ゲート電極層５４５からなるトップゲート型プレナー構造の薄膜トランジスタである。
【０２６６】
図４１（Ａ）は、ソース電極層及びドレイン電極層５４１ａ、ソース電極層及びドレイン電極層５４１ｂ上をゲート電極層５４５の端部がｃ１だけ重なっている。ここでは、半導体層５４３において、ソース電極層及びドレイン電極層とゲート電極層とが重なっている領域をオーバーラップ領域と呼ぶ。即ち、ゲート電極層の幅ｂ１がチャネル長ａ１よりも大きい。オーバーラップ領域の幅ｃ１は、（ｂ１-ａ１）／２で表される。このようなオーバーラップ領域を有するｎチャネルＴＦＴは、ソース電極層及びドレイン電極層と、半導体領域との間に、ｎ型の高濃度不純物領域（ｎ+領域）とｎ型の低濃度不純物領域（ｎ-領域）とを有することが好ましい。この構造により、電界の緩和効果が大きくなり、ホットキャリア耐性を高めることが可能となる。
【０２６７】
図４１（Ｂ）は基板５５０上に形成された、絶縁層５５６、半導体層５５３、一導電型を有する半導体層５５２ａ、一導電型を有する半導体層５５２ｂ、ソース電極層又はドレイン電極層５５１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層５５１ｂ、ゲート絶縁層５５４、ゲート電極層５５５からなるトップゲート型プレナー構造の薄膜トランジスタである。
【０２６８】
図４１（Ｂ）は、ゲート電極層５５５の端部と、ソース電極層及びドレイン電極層５５１ａ、ソース電極層及びドレイン電極層５５１ｂの端部が一致している。即ち、ゲート電極層の幅ｂ２とチャネル長ａ２とが等しい。
【０２６９】
図４１（Ｃ）は基板５６０上に形成された、絶縁層５６６、半導体層５６３、ｓソース電極層又はドレイン電極層５６１ａ、ソース電極層又はドレイン電極層５６１ｂ、ゲート絶縁層５６４、ゲート電極層５６５からなるトップゲート型プレナー構造の薄膜トランジスタである。
【０２７０】
図４１（Ｃ）は、ゲート電極層５６５とソース電極層及びドレイン電極層５６１ａ、ソース電極層及びドレイン電極層５６１ａの端部とがｃ３だけ離れている。ここでは、半導体層５６３において、ゲート電極層５６５と、ソース電極層及びドレイン電極層５６１ａ、ソース電極層及びドレイン電極層５６１ａとが重なっておらず離れている領域をオフセット領域と呼ぶ。即ち、ゲート電極層の幅ｂ３がチャネル長ａ３よりも小さい。オフセット領域の幅ｃ３は、（ａ３-ｂ３）／２で表される。このような構造のＴＦＴは、オフ電流を低減することができるため、該ＴＦＴを表示装置のスイッチング素子として用いた場合、コントラストを向上させることができる。
【０２７１】
さらには、図１７及び図１８で示したように半導体層が複数のゲート電極層を覆ういわゆるマルチゲート構造のＴＦＴとしても良い。この様な構造のＴＦＴも、オフ電流を低減することができる。本発明におけるレーザ光によるマスク加工技術によって、精密な加工を施されたマスクを形成することができるので、このようなマスクを用いて電極層などの配線パターンを微細かつ正確な形状に形成することができる。よって、微細な電極層の加工を行い、本実施の形態で示すような要求される機能を有する薄膜トランジスタを歩留まり良く生産することができる。よってその薄膜トランジスタを有する表示装置も、高い信頼性と性能を有するものとすることができる。
【０２７２】
本実施の形態は、実施の形態１乃至１２とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０２７３】
（実施の形態１４）
本実施の形態では、上記実施の形態に適応可能な半導体膜の結晶化工程を図３８及び図３９を用いて説明する。
【０２７４】
図３８において、基板２２０上に、下地膜となる絶縁層２２１が形成され、非晶質半導体膜２２２が形成されている。非晶質半導体膜２２２上に絶縁膜で形成されるマスク２２４ａ、マスク２２４ｂを形成し、選択的に金属膜２２５を形成して、半導体膜の結晶化を行うことができる。半導体膜を加熱すると、図３８（Ｂ）の矢印で示すように、金属膜２２５と非晶質半導体膜２２２との接触部分から、基板の表面に平行な方向へ結晶成長が発生し、結晶性半導体膜２２６が形成する。なお、金属膜２２５から、かなり離れた部分では結晶化は行われず、非晶質部分が残存する。
【０２７５】
また、図３９（Ａ）に示すように、マスクを用いず、液滴吐出法により選択的に金属膜２３３を形成して、上記結晶化を行ってもよい。図３９（Ｂ）は、図３９（Ａ）の上面図である。また、図３９（Ｄ）は、図３９（Ｃ）の上面図である。
【０２７６】
図３９において、基板２３０上に、下地膜となる絶縁層２３１が形成され、非晶質半導体膜２３２が形成されている。非晶質半導体膜２３２上に液滴吐出法により選択的に金属膜２３３を形成する。加熱処理により非晶質半導体膜２３２の結晶化を行うと図３９（Ｃ）及び図３９（Ｄ）に示すように、金属膜２３３と非晶質半導体膜２３２との接触部分から、基板の表面に平行な方向へ結晶成長が発生する。ここでも、金属膜２３３から、かなり離れた部分では結晶化は行われず、非晶質部分が残存する。
【０２７７】
このように、基板に平行な方向への結晶成長を横成長またはラテラル成長と称する。横成長により大粒径の結晶粒を形成することができるため、チャネル形成領域２３５にこの結晶性半導体膜を用いると、より高い移動度を有する薄膜トランジスタを形成することができる。
【０２７８】
本実施の形態は、実施の形態１乃至１３とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０２７９】
（実施の形態１５）
本発明の表示装置に具備される保護回路の一例について説明する。
【０２８０】
図３４で示すように、外部回路と内部回路の間に保護回路２７１３を形成することができる。保護回路は、ＴＦＴ、ダイオード、抵抗素子及び容量素子等から選択された１つ又は複数の素子によって構成されるものであり、以下にはいくつかの保護回路の構成とその動作について説明する。まず、外部回路と内部回路の間に配置される保護回路であって、１つの入力端子に対応した保護回路の等価回路図の構成について、図２７を用いて説明する。図２７（Ａ）に示す保護回路は、ｐチャネル型薄膜トランジスタ７２２０、７２３０、容量素子７２１０、７２４０、抵抗素子７２５０を有する。抵抗素子７２５０は２端子の抵抗であり、一端には入力電圧Ｖｉｎ（以下、Ｖｉｎと表記）が、他端には低電位電圧ＶＳＳ（以下、ＶＳＳと表記）が与えられる。
【０２８１】
図２７（Ｂ）に示す保護回路は、ｐチャネル型薄膜トランジスタ７２２０、７２３０を、整流性を有するダイオード７２６０、７２７０で代用した等価回路図である。図２７（Ｃ）に示す保護回路は、ｐチャネル型薄膜トランジスタ７２２０、７２３０を、ＴＦＴ７３５０、７３６０、７３７０、７３８０で代用した等価回路図である。また、上記とは別の構成の保護回路として、図２７（Ｄ）に示す保護回路は、抵抗７２８０、７２９０と、ｎチャネル型薄膜トランジスタ７３００を有する。図２７（Ｅ）に示す保護回路は、抵抗７２８０、７２９０、ｐチャネル型薄膜トランジスタ７３１０及びｎチャネル型薄膜トランジスタ７３２０を有する。保護回路を設けることで電位の急激な変動を防いで、素子の破壊又は損傷を防ぐことができ、信頼性が向上する。なお、上記保護回路を構成する素子は、耐圧に優れた非晶質半導体により構成することが好ましい。本実施の形態は 、上記の実施の形態と自由に組み合わせることが可能である。
【０２８２】
本実施の形態は、実施の形態１乃至１４とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０２８３】
（実施の形態１６）
本発明を適用して薄膜トランジスタを形成し、該薄膜トランジスタを用いて表示装置を形成することができるが、発光素子を用いて、なおかつ、該発光素子を駆動するトランジスタとしてｎチャネル型トランジスタを用いた場合、該発光素子から発せられる光は、下面放射、上面放射、両面放射のいずれかを行う。ここでは、それぞれの場合に応じた発光素子の積層構造について、図４６を用いて説明する。
【０２８４】
また、本実施の形態では、本発明を適用したトップゲート型のプラナー構造（プレーナ構造とも記す）の薄膜トランジスタ６７１、６８１及び６９１を用いる。本実施の形態では、半導体層として結晶性の構造を有する珪素膜を用い、一導電型の半導体層としてｎ型の半導体層を用いる。ｎ型の半導体層を形成するかわりに、ＰＨ3ガスによるプラズマ処理を行うことによって、半導体層に導電型を付与してもよい。半導体層は本実施の形態に限定されず、一導電型の半導体層を形成せず、結晶性半導体層に不純物を導入（添加）して一導電型を有する不純物領域を形成してもよい。
【０２８５】
まず、基板６８０側に放射する場合、つまり下面放射を行う場合について、図４６（Ａ）を用いて説明する。この場合、薄膜トランジスタ６８１に電気的に接続するように、ソース電極層又はドレイン電極層に接続する配線層６８２に接して、第１の電極層６８４、電界発光層６８５、第２の電極層６８６が順に積層される。光が透過する基板６８０は透光性を有する必要がある。次に、基板６９０と反対側に放射する場合、つまり上面放射を行う場合について、図４６（Ｂ）を用いて説明する。薄膜トランジスタ６９１は、前述した薄膜トランジスタの同様に形成することができる。
【０２８６】
薄膜トランジスタ６９１に電気的に接続するソース電極層又はドレイン電極層に接続する配線層６９２が第１の電極層６９３と接し、電気的に接続する。第１の電極層６９３、電界発光層６９４、第２の電極層６９５が順に積層される。配線層６９２は反射性を有する金属層であり、発光素子から放射される光を矢印の上面に反射する。配線層６９２は第１の電極層６９３と積層する構造となっているので、第１の電極層６９３に透光性の材料を用いて、光が透過しても、該光は第１の電極層６９３において反射され、基板６９０と反対側に放射する。もちろん第１の電極層を反射性を有する金属膜を用いて形成してもよい。発光素子から放出する光は第２の電極層６９５を透過して放出されるので、第２の電極層６９５は、少なくとも可視領域において透光性を有する材料で形成する。最後に、光が基板６７０側とその反対側の両側に放射する場合、つまり両面放射を行う場合について、図４６（Ｃ）を用いて説明する。薄膜トランジスタ６７１もトップゲート型プラナー構造の薄膜トランジスタであり、薄膜トランジスタ６８１と同様に形成することができる。薄膜トランジスタ６７１の半導体層に電気的に接続するソース電極層又はドレイン電極層と接続する配線層６７５に第１の電極層６７２が電気的に接続している。第１の電極層６７２、電界発光層６７３、第２の電極層６７４が順に積層される。このとき、第１の電極層６７２と第２の電極層６７４のどちらも少なくとも可視領域において透光性を有する材料、又は光を透過できる厚さで形成すると、両面放射が実現する。この場合、光が透過する絶縁層や基板６７０も透光性を有する必要がある。
【０２８７】
本実施の形態において適用できる発光素子の形態を図４５に示す。発光素子は、電界発光層８６０を第１の電極層８７０と第２の電極層８５０で挟んだ構成になっている。第１の電極層及び第２の電極層は仕事関数を考慮して材料を選択する必要があり、そして第１の電極層及び第２の電極層は、画素構成によりいずれも陽極、又は陰極となりうる。本実施の形態では、駆動用ＴＦＴの極性がＮチャネル型であるため、第１の電極層を陰極、第２の電極層を陽極とすると好ましい。また駆動用ＴＦＴの極性がｐチャネル型である場合、第１の電極層を陽極、第２の電極層を陰極とするとよい。
【０２８８】
図４５（Ａ）及び（Ｂ）は、第１の電極層８７０が陽極であり、第２の電極層８５０が陰極である場合であり、電界発光層８６０は、第１の電極層８７０側から、ＨＩＬ（ホール注入層）とＨＴＬ（ホール輸送層）８０４、ＥＭＬ（発光層）８０３、ＥＴＬ（電子輸送層）とＥＩＬ（電子注入層）８０２、第２の電極層８５０の順に積層するのが好ましい。図４５（Ａ）は第１の電極層８７０から光を放射する構成であり、第１の電極層８７０は透光性を有する酸化物導電性材料からなる電極層８０５で構成し、第２の電極層は電界発光層８６０側から、ＬｉＦやＭｇＡｇなどアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む電極層８０１とアルミニウムなどの金属材料で形成する電極層８００より構成されている。図４５（Ｂ）は第２の電極層８５０から光を放射する構成であり、第１の電極層は、アルミニウム、チタンなどの金属、又は該金属と化学量論的組成比以下の濃度で窒素を含む金属材料で形成する電極層８０７と、酸化珪素を１〜１５原子％の濃度で含む酸化物導電性材料で形成する第２の電極層８０６より構成されている。第２の電極層は、第２の電極層は電界発光層８６０側から、ＬｉＦやＭｇＡｇなどアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む電極層８０１とアルミニウムなどの金属材料で形成する電極層８００より構成されているがいずれの層も１００ｎｍ以下の厚さとして光を透過可能な状態としておくことで、第２の電極層８５０から光を放射することが可能となる。
【０２８９】
図４５（Ｃ）及び（Ｄ）は、第１の電極層８７０が陰極であり、第２の電極層８５０が陽極である場合であり、電界発光層８６０は、陰極側からＥＩＬ（電子注入層）とＥＴＬ（電子輸送層）８０２、ＥＭＬ（発光層）８０３、ＨＴＬ（ホール輸送層）とＨＩＬ（ホール注入層）８０４、陽極である第２の電極層８５０の順に積層するのが好ましい。図４５（Ｃ）は第１の電極層８７０から光を放射する構成であり、第１の電極層８７０は電界発光層８６０側から、ＬｉＦやＭｇＡｇなどアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む電極層８０１とアルミニウムなどの金属材料で形成する電極層８００より構成されているがいずれの層も１００ｎｍ以下の厚さとして光を透過可能な状態としておくことで、第１の電極層８７０から光を放射することが可能となる。第２の電極層は、電界発光層８６０側から、酸化珪素を１〜１５原子％の濃度で含む酸化物導電性材料で形成する第２の電極層８０６、アルミニウム、チタンなどの金属、又は該金属と化学量論的組成比以下の濃度で窒素を含む金属材料で形成する電極層８０７より構成されている。図４５（Ｄ）は第２の電極層８５０から光を放射する構成であり、第１の電極層８７０は電界発光層８６０側から、ＬｉＦやＭｇＡｇなどアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む電極層８０１とアルミニウムなどの金属材料で形成する電極層８００より構成されており、膜厚は電界発光層８６０で発光した光を反射可能な程度に厚く形成している。第２の電極層８５０は、透光性を有する酸化物導電性材料からなる電極層８０５で構成されている。なお電界発光層は、積層構造以外に単層構造、又は混合構造をとることがでる。
【０２９０】
また、電界発光層として、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の発光を示す材料を、それぞれ蒸着マスクを用いた蒸着法等によって選択的に形成する。赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の発光を示す材料はカラーフィルタ同様、液滴吐出法により形成することもでき（低分子または高分子材料など）、この場合マスクを用いずとも、ＲＧＢの塗り分けを行うことができるため好ましい。
【０２９１】
また上面放射型の場合で、第２の電極層に透光性を有するＩＴＯやＩＴＳＯを用いる場合、ベンゾオキサゾール誘導体（ＢｚＯｓ）にＬｉを添加したＢｚＯｓ−Ｌｉなどを用いることができる。また例えばＥＭＬは、Ｒ、Ｇ、Ｂのそれぞれの発光色に対応したドーパント（Ｒの場合ＤＣＭ等、Ｇの場合ＤＭＱＤ等）をドープしたＡｌｑ3を用いればよい。
【０２９２】
なお、電界発光層は上記材料に限定されない。例えば、ＣｕＰｃやＰＥＤＯＴの代わりに酸化モリブデン（ＭｏＯｘ：ｘ＝２〜３）等の酸化物とα−ＮＰＤやルブレンを共蒸着して形成し、ホール注入性を向上させることもできる。また電界発光層の材料は、有機材料（低分子又は高分子を含む）、又は有機材料と無機材料の複合材料として用いることができる。以下発光素子を形成する材料について詳細に述べる。
【０２９３】
電荷注入輸送物質のうち、特に電子輸送性の高い物質としては、例えばトリス（８−キノリノラト）アルミニウム（略称：Ａｌｑ3）、トリス（５−メチル−８−キノリノラト）アルミニウム（略称：Ａｌｍｑ3）、ビス（１０−ヒドロキシベンゾ［h］−キノリナト）ベリリウム（略称：ＢｅＢｑ2）、ビス（２−メチル−８−キノリノラト）−４−フェニルフェノラト−アルミニウム（略称：ＢＡｌｑ）など、キノリン骨格またはベンゾキノリン骨格を有する金属錯体等が挙げられる。また正孔輸送性の高い物質としては、例えば４，４'−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ］−ビフェニル（略称：α−ＮＰＤ）や４，４'−ビス［Ｎ−（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニル−アミノ］−ビフェニル（略称：ＴＰＤ）や４，４'，４''−トリス（Ｎ，Ｎ−ジフェニル−アミノ）−トリフェニルアミン（略称：ＴＤＡＴＡ）、４，４'，４''−トリス［Ｎ−（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニル−アミノ］−トリフェニルアミン（略称：ＭＴＤＡＴＡ）などの芳香族アミン系（即ち、ベンゼン環−窒素の結合を有する）の化合物が挙げられる。
【０２９４】
また、電荷注入輸送物質のうち、特に電子注入性の高い物質としては、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化セシウム（ＣｓＦ）、フッ化カルシウム（ＣａＦ2）等のようなアルカリ金属又はアルカリ土類金属の化合物が挙げられる。また、この他、Ａｌｑ3のような電子輸送性の高い物質とマグネシウム（Ｍｇ）のようなアルカリ土類金属との混合物であってもよい。
【０２９５】
電荷注入輸送物質のうち、正孔注入性の高い物質としては、例えば、モリブデン酸化物（ＭｏＯｘ）やバナジウム酸化物（ＶＯｘ）、ルテニウム酸化物（ＲｕＯｘ）、タングステン酸化物（ＷＯｘ）、マンガン酸化物（ＭｎＯｘ）等の金属酸化物が挙げられる。また、この他、フタロシアニン（略称：Ｈ2Ｐｃ）や銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）等のフタロシアニン系の化合物が挙げられる。
【０２９６】
発光層は、発光波長帯の異なる発光層を画素毎に形成して、カラー表示を行う構成としても良い。典型的には、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色に対応した発光層を形成する。この場合にも、画素の光放射側にその発光波長帯の光を透過するフィルターを設けた構成とすることで、色純度の向上や、画素部の鏡面化（映り込み）の防止を図ることができる。フィルターを設けることで、従来必要であるとされていた円偏光版などを省略することが可能となり、発光層から放射される光の損失を無くすことができる。さらに、斜方から画素部（表示画面）を見た場合に起こる色調の変化を低減することができる。
【０２９７】
発光材料には様々な材料がある。低分子有機発光材料では、４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−［２−(１,１,７,７−テトラメチル−９−ジュロリジル)エテニル］−４Ｈ−ピラン（略称：ＤＣＪＴ）、４−ジシアノメチレン−２−ｔ−ブチル−６−［２−(１,１,７,７−テトラメチルジュロリジン−９-イル)エテニル］−４Ｈ−ピラン（略称：ＤＣＪＴＢ）、ペリフランテン、２,５−ジシアノ−１,４−ビス［２−(１０−メトキシ−１,１,７,７−テトラメチルジュロリジン−９−イル)エテニル］ベンゼン、Ｎ,Ｎ’−ジメチルキナクリドン（略称：ＤＭＱｄ）、クマリン６、クマリン５４５Ｔ、トリス(８−キノリノラト)アルミニウム（略称：Ａｌｑ3）、９,９’−ビアントリル、９,１０−ジフェニルアントラセン（略称：ＤＰＡ）や９,１０−ビス(２−ナフチル)アントラセン（略称：ＤＮＡ）等を用いることができる。また、この他の物質でもよい。
【０２９８】
一方、高分子系有機発光材料は低分子系に比べて物理的強度が高く、素子の耐久性が高い。また塗布により成膜することが可能であるので、素子の作製が比較的容易である。高分子系有機発光材料を用いた発光素子の構造は、低分子系有機発光材料を用いたときと基本的には同じであり、陰極／有機発光層／陽極となる。しかし、高分子系有機発光材料を用いた発光層を形成する際には、低分子系有機発光材料を用いたときのような積層構造を形成させることは難しく、多くの場合２層構造となる。具体的には、陰極／発光層／正孔輸送層／陽極という構造である。
【０２９９】
発光色は、発光層を形成する材料で決まるため、これらを選択することで所望の発光を示す発光素子を形成することができる。発光層の形成に用いることができる高分子系の電界発光材料は、ポリパラフェニレンビニレン系、ポリパラフェニレン系、ポリチオフェン系、ポリフルオレン系が挙げられる。
【０３００】
ポリパラフェニレンビニレン系には、ポリ（パラフェニレンビニレン） [ＰＰＶ] の誘導体、ポリ（２，５−ジアルコキシ−１，４−フェニレンビニレン） [ＲＯ−ＰＰＶ]、ポリ（２−（２'−エチル−ヘキソキシ）−５−メトキシ−１，４−フェニレンビニレン）[ＭＥＨ−ＰＰＶ]、ポリ（２−（ジアルコキシフェニル）−１,４−フェニレンビニレン）[ＲＯＰｈ−ＰＰＶ]等が挙げられる。ポリパラフェニレン系には、ポリパラフェニレン［ＰＰＰ］の誘導体、ポリ（２，５−ジアルコキシ−１，４−フェニレン）[ＲＯ−ＰＰＰ]、ポリ（２，５−ジヘキソキシ−１，４−フェニレン）等が挙げられる。ポリチオフェン系には、ポリチオフェン［ＰＴ］の誘導体、ポリ（３−アルキルチオフェン）［ＰＡＴ］、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）［ＰＨＴ］、ポリ（３−シクロヘキシルチオフェン）［ＰＣＨＴ］、ポリ（３−シクロヘキシル−４−メチルチオフェン）［ＰＣＨＭＴ］、ポリ（３，４−ジシクロヘキシルチオフェン）［ＰＤＣＨＴ］、ポリ［３−（４−オクチルフェニル）−チオフェン］［ＰＯＰＴ］、ポリ［３−（４−オクチルフェニル）−２，２ビチオフェン］［ＰＴＯＰＴ］等が挙げられる。ポリフルオレン系には、ポリフルオレン［ＰＦ］の誘導体、ポリ（９，９−ジアルキルフルオレン）［ＰＤＡＦ］、ポリ（９，９−ジオクチルフルオレン）［ＰＤＯＦ］等が挙げられる。
【０３０１】
なお、正孔輸送性の高分子系有機発光材料を、陽極と発光性の高分子系有機発光材料の間に挟んで形成すると、陽極からの正孔注入性を向上させることができる。一般にアクセプター材料と共に水に溶解させたものをスピンコート法などで塗布する。また、有機溶媒には不溶であるため、上述した発光性の有機発光材料との積層が可能である。正孔輸送性の高分子系有機発光材料としては、ＰＥＤＯＴとアクセプター材料としてのショウノウスルホン酸（ＣＳＡ）の混合物、ポリアニリン［ＰＡＮＩ］とアクセプター材料としてのポリスチレンスルホン酸［ＰＳＳ］の混合物等が挙げられる。
【０３０２】
また、発光層は単色又は白色の発光を呈する構成とすることができる。白色発光材料を用いる場合には、画素の光放射側に特定の波長の光を透過するフィルター（着色層）を設けた構成としてカラー表示を可能にすることができる。
【０３０３】
白色に発光する発光層を形成するには、例えば、Ａｌｑ3、部分的に赤色発光色素であるナイルレッドをドープしたＡｌｑ3、Ａｌｑ3、ｐ−ＥｔＴＡＺ、ＴＰＤ（芳香族ジアミン）を蒸着法により順次積層することで白色を得ることができる。また、スピンコートを用いた塗布法によりＥＬを形成する場合には、塗布した後、真空加熱で焼成することが好ましい。例えば、正孔注入層として作用するポリ（エチレンジオキシチオフェン）／ポリ（スチレンスルホン酸）水溶液（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を全面に塗布、焼成し、その後、発光層として作用する発光中心色素（１，１，４，４−テトラフェニル−１，３−ブタジエン（ＴＰＢ）、４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノ−スチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ１）、ナイルレッド、クマリン６など）ドープしたポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）溶液を全面に塗布、焼成すればよい。
【０３０４】
発光層は単層で形成することもでき、ホール輸送性のポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）に電子輸送性の１，３，４−オキサジアゾール誘導体（ＰＢＤ）を分散させてもよい。また、３０wt%のＰＢＤを電子輸送剤として分散し、４種類の色素（ＴＰＢ、クマリン６、ＤＣＭ１、ナイルレッド）を適当量分散することで白色発光が得られる。ここで示した白色発光が得られる発光素子の他にも、発光層の材料を適宜選択することによって、赤色発光、緑色発光、または青色発光が得られる発光素子を作製することができる。
【０３０５】
さらに、発光層は、一重項励起発光材料の他、金属錯体などを含む三重項励起材料を用いても良い。例えば、赤色の発光性の画素、緑色の発光性の画素及び青色の発光性の画素のうち、輝度半減時間が比較的短い赤色の発光性の画素を三重項励起発光材料で形成し、他を一重項励起発光材料で形成する。三重項励起発光材料は発光効率が良いので、同じ輝度を得るのに消費電力が少なくて済むという特徴がある。すなわち、赤色画素に適用した場合、発光素子に流す電流量が少なくて済むので、信頼性を向上させることができる。低消費電力化として、赤色の発光性の画素と緑色の発光性の画素とを三重項励起発光材料で形成し、青色の発光性の画素を一重項励起発光材料で形成しても良い。人間の視感度が高い緑色の発光素子も三重項励起発光材料で形成することで、より低消費電力化を図ることができる。
【０３０６】
三重項励起発光材料の一例としては、金属錯体をドーパントとして用いたものがあり、第三遷移系列元素である白金を中心金属とする金属錯体、イリジウムを中心金属とする金属錯体などが知られている。三重項励起発光材料としては、これらの化合物に限られることはなく、上記構造を有し、且つ中心金属に周期表の８〜１０属に属する元素を有する化合物を用いることも可能である。
【０３０７】
以上に掲げる発光層を形成する物質は一例であり、正孔注入輸送層、正孔輸送層、電子注入輸送層、電子輸送層、発光層、電子ブロック層、正孔ブロック層などの機能性の各層を適宜積層することで発光素子を形成することができる。また、これらの各層を合わせた混合層又は混合接合を形成しても良い。発光層の層構造は変化しうるものであり、特定の電子注入領域や発光領域を備えていない代わりに、もっぱらこの目的用の電極層を備えたり、発光性の材料を分散させて備えたりする変形は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において許容されうるものである。
【０３０８】
上記のような材料で形成した発光素子は、順方向にバイアスすることで発光する。発光素子を用いて形成する表示装置の画素は、単純マトリクス方式、若しくは実施例２で示すようなアクティブマトリクス方式で駆動することができる。いずれにしても、個々の画素は、ある特定のタイミングで順方向バイアスを印加して発光させることとなるが、ある一定期間は非発光状態となっている。この非発光時間に逆方向のバイアスを印加することで発光素子の信頼性を向上させることができる。発光素子では、一定駆動条件下で発光強度が低下する劣化や、画素内で非発光領域が拡大して見かけ上輝度が低下する劣化モードがあるが、順方向及び逆方向にバイアスを印加する交流的な駆動を行うことで、劣化の進行を遅くすることができ、発光装置の信頼性を向上させることができる。また、デジタル駆動、アナログ駆動どちらでも適用可能である。
【０３０９】
よって、図４６には図示していないが、素子を有する基板と対向する封止基板にカラーフィルタ（着色層）を形成してもよい。カラーフィルタ（着色層）は液滴吐出法によって選択的に形成することができる。カラーフィルタ（着色層）を用いると、高精細な表示を行うこともできる。カラーフィルタ（着色層）により、各ＲＧＢの発光スペクトルにおいてブロードなピークを鋭くなるように補正できるからである。
【０３１０】
以上、各ＲＧＢの発光を示す材料を形成する場合を説明したが、単色の発光を示す材料を形成し、カラーフィルタや色変換層を組み合わせることによりフルカラー表示を行うことができる。カラーフィルタ（着色層）や色変換層は、例えば封止基板に形成し、基板へ張り合わせればよい。また上述したように、単色の発光を示す材料、カラーフィルタ（着色層）、及び色変換層のいずれも液滴吐出法により形成することができる。
【０３１１】
もちろん単色発光の表示を行ってもよい。例えば、単色発光を用いてエリアカラータイプの表示装置を形成してもよい。エリアカラータイプは、パッシブマトリクス型の表示部が適しており、主に文字や記号を表示することができる。
【０３１２】
上記構成において、陰極としては、仕事関数が小さい材料を用いることが可能で、例えば、Ｃａ、Ａｌ、ＣａＦ2、ＭｇＡｇ、ＡｌＬｉ等が望ましい。電界発光層は、単層型、積層型、また層の界面がない混合型のいずれでもよい。またシングレット材料、トリプレット材料、又はそれらを組み合わせた材料や、有機化合物又は無機化合物を含む電荷注入輸送物質及び発光材料で形成し、その分子数から低分子有機化合物、中分子有機化合物（昇華性を有さず、且つ分子数が２０以下、又は連鎖する分子の長さが１０μm以下の有機化合物を指していう）、高分子有機化合物から選ばれた一種又は複数種の層を含み、電子注入輸送性又は正孔注入輸送性の無機化合物と組み合わせてもよい。第１の電極層６８４、第２の電極層６９５、第１の電極層６７２、第２の電極層６７４は光を透過する透明導電膜を用いて形成し、例えばＩＴＯ、ＩＴＳＯの他、酸化インジウムに２〜２０atomic％の酸化亜鉛（ＺｎＯ）を混合した透明導電膜を用いる。なお、第１の電極層６８４、第１の電極層６９３、第１の電極層６７２形成前に、酸素雰囲気中でのプラズマ処理や真空雰囲気下での加熱処理を行うとよい。隔壁（土手とも記す）は、珪素を含む材料、有機材料及び化合物材料を用いて形成する。また、多孔質膜を用いても良い。但し、アクリル、ポリイミド等の感光性、非感光性の材料を用いて形成すると、その側面は曲率半径が連続的に変化する形状となり、上層の薄膜が段切れせずに形成されるため好ましい。本実施の形態は、実施の形態１乃至１７とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０３１３】
（実施の形態１７）
本実施の形態で示す表示パネルの画素の構成について、図３０に示す等価回路図を参照して説明する。本実施の形態では、画素の表示素子として発光素子（ＥＬ素子）を用いる例を示す。
【０３１４】
図３０（Ａ）に示す画素は、列方向に信号線７１０及び電源線７１１、電源線７１２、電源線７１３、行方向に走査線７１４が配置される。また、ＴＦＴ７０１は、スイッチング用ＴＦＴ、ＴＦＴ７０３は駆動用ＴＦＴ、ＴＦＴ７０４は電流制御用ＴＦＴであり、他に容量素子７０２及び発光素子７０５を有する。
【０３１５】
図３０（Ｃ）に示す画素は、ＴＦＴ７０３のゲート電極が、行方向に配置された電源線７１５に接続される点が異なっており、それ以外は図３０（Ａ）に示す画素と同じ構成である。つまり、図３０（Ａ）（Ｃ）に示す両画素は、同じ等価回路図を示す。しかしながら、行方向に電源線７１２が配置される場合（図３０（Ａ））と、列方向に電源線７１５が配置される場合（図３０（Ｃ））では、各電源線は異なるレイヤーの導電体層で形成される。ここでは、ＴＦＴ７０３のゲート電極が接続される配線に注目し、これらを作製するレイヤーが異なることを表すために、図３０（Ａ）（Ｃ）として分けて記載する。
【０３１６】
図３０（Ａ）（Ｃ）に示す画素の特徴として、画素内にＴＦＴ７０３、ＴＦＴ７０４が直列に接続されており、ＴＦＴ７０３のチャネル長Ｌ3、チャネル幅Ｗ3、ＴＦＴ７０４のチャネル長Ｌ4、チャネル幅Ｗ4は、Ｌ3／Ｗ3：Ｌ4／Ｗ4＝５〜６０００：１を満たすように設定される点が挙げられる。６０００：１を満たす場合の一例としては、Ｌ3が５００μｍ、Ｗ3が３μｍ、Ｌ4が３μｍ、Ｗ4が１００μｍの場合がある。また本発明を用いると、微細な加工ができるので、このようなチャネル幅が短い微細な配線も、ショート等の不良が生じることなく安定的に形成することができる。よって、図３０（Ａ）（Ｃ）のような画素を十分機能させるのに必要な電気特性を有するＴＦＴを形成でき、表示能力の優れた信頼性の高い表示パネルを作製することが可能となる。
【０３１７】
なお、ＴＦＴ７０３は、飽和領域で動作し発光素子７０５に流れる電流値を制御する役目を有し、ＴＦＴ７０４は線形領域で動作し発光素子７０５に対する電流の供給を制御する役目を有する。両ＴＦＴは同じ導電型を有していると作製工程上好ましい。またＴＦＴ７０３には、エンハンスメント型だけでなく、ディプリーション型のＴＦＴを用いてもよい。上記構成を有する本発明は、ＴＦＴ７０４が線形領域で動作するために、ＴＦＴ７０４のＶGSの僅かな変動は発光素子７０５の電流値に影響を及ぼさない。つまり、発光素子７０５の電流値は、飽和領域で動作するＴＦＴ７０３により決定される。上記構成を有する本発明は、ＴＦＴの特性バラツキに起因した発光素子の輝度ムラを改善して画質を向上させた表示装置を提供することができる。
【０３１８】
図３０（Ａ）〜（Ｄ）に示す画素において、ＴＦＴ７０１は、画素に対するビデオ信号の入力を制御するものであり、ＴＦＴ７０１がオンして、画素内にビデオ信号が入力されると、容量素子７０２にそのビデオ信号が保持される。なお図３０（Ａ）（Ｃ）には、容量素子７０２を設けた構成を示したが、本発明はこれに限定されず、ビデオ信号を保持する容量がゲート容量などでまかなうことが可能な場合には、明示的に容量素子７０２を設けなくてもよい。
【０３１９】
発光素子７０５は、２つの電極間に電界発光層が挟まれた構造を有し、順バイアス方向の電圧が印加されるように、画素電極と対向電極の間（陽極と陰極の間）に電位差が設けられる。電界発光層は有機材料や無機材料等の広汎に渡る材料により構成され、この電界発光層におけるルミネッセンスには、一重項励起状態から基底状態に戻る際の発光（蛍光）と、三重項励起状態から基底状態に戻る際の発光（リン光）とが含まれる。
【０３２０】
図３０（Ｂ）に示す画素は、ＴＦＴ７０６と走査線７１６を追加している以外は、図３０（Ａ）に示す画素構成と同じである。同様に、図３０（Ｄ）に示す画素は、ＴＦＴ７０６と走査線７１６を追加している以外は、図３０（Ｃ）に示す画素構成と同じである。
【０３２１】
ＴＦＴ７０６は、新たに配置された走査線７１６によりオン又はオフが制御される。ＴＦＴ７０６がオンになると、容量素子７０２に保持された電荷は放電し、ＴＦＴ７０６がオフする。つまり、ＴＦＴ７０６の配置により、強制的に発光素子７０５に電流が流れない状態を作ることができる。従って、図３０（Ｂ）（Ｄ）の構成は、全ての画素に対する信号の書き込みを待つことなく、書き込み期間の開始と同時又は直後に点灯期間を開始することができるため、デューティ比を向上することが可能となる。
【０３２２】
図３０（Ｅ）に示す画素は、列方向に信号線７５０、電源線７５１、電源線７５２、行方向に走査線７５３が配置される。また、ＴＦＴ７４１はスイッチング用ＴＦＴ、ＴＦＴ７４３は駆動用ＴＦＴであり、他に容量素子７４２及び発光素子７４４を有する。図３０（Ｆ）に示す画素は、ＴＦＴ７４５と走査線７５４を追加している以外は、図３０（Ｅ）に示す画素構成と同じである。なお、図３０（Ｆ）の構成も、ＴＦＴ７４５の配置により、デューティ比を向上することが可能となる。
【０３２３】
以上のように、本発明を用いると、配線等のパターンを形成不良を生じることなく精密に安定して形成することが出来るので、ＴＦＴに高い電気的特性や信頼性をも付与することができ、使用目的に合わせて画素の表示能力を向上するための応用技術にも十分対応できる。
【０３２４】
本実施の形態は、実施の形態１乃至１６とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０３２５】
（実施の形態１８）
本実施の形態を図３５及び図３６を用いて説明する。図３５は、本発明を適用して作製されるＴＦＴ基板２８００を用いてＥＬ表示モジュールを構成する一例を示している。図３５において、ＴＦＴ基板２８００上には、画素により構成された画素部が形成されている。
【０３２６】
図３５では、画素部の外側であって、駆動回路と画素との間に、画素に形成されたものと同様なＴＦＴ又はそのＴＦＴのゲートとソース若しくはドレインの一方とを接続してダイオードと同様に動作させた保護回路部２８０１が備えられている。駆動回路２８０９は、単結晶半導体で形成されたドライバＩＣ、ガラス基板上に多結晶半導体膜で形成されたスティックドライバＩＣ、若しくはＳＡＳで形成された駆動回路などが適用されている。
【０３２７】
ＴＦＴ基板２８００は、液滴吐出法で形成されたスペーサ２８０６ａ、スペーサ２８０６ｂを介して封止基板２８２０と固着されている。スペーサは、基板の厚さが薄く、また画素部の面積が大型化した場合にも、２枚の基板の間隔を一定に保つために設けておくことが好ましい。ＴＦＴ２８０２、ＴＦＴ２８０３とそれぞれ接続する発光素子２８０４、発光素子２８０５上であって、ＴＦＴ基板２８００と封止基板２８２０との間にある空隙には透光性の樹脂材料を充填して固体化しても良いし、無水化した窒素若しくは不活性気体を充填させても良い。
【０３２８】
図３５では発光素子２８０４、発光素子２８０５、発光素子２８１５を上面放射型（トップエミッション型）の構成とした場合を示し、図中に示す矢印の方向に光を放射する構成としている。各画素は、画素を赤色、緑色、青色として発光色を異ならせておくことで、多色表示を行うことができる。また、このとき封止基板２８２０側に各色に対応した着色層２８０７ａ、着色層２８０７ｂ、着色層２８０７ｃを形成しておくことで、外部に放射される発光の色純度を高めることができる。また、画素を白色発光素子として着色層２８０７ａ、着色層２８０７ｂ、着色層２８０７ｃと組み合わせても良い。
【０３２９】
外部回路である駆動回路２８０９は、外部回路基板２８１１の一端に設けられた走査線若しくは信号線接続端子と、配線基板２８１０で接続される。また、ＴＦＴ基板２８００に接して若しくは近接させて、ヒートパイプ２８１３と放熱板２８１２を設け、放熱効果を高める構成としても良い。
【０３３０】
なお、図３５では、トップエミッションのＥＬモジュールとしたが、発光素子の構成や外部回路基板の配置を変えてボトムエミッション構造、もちろん上面、下面両方から光が放射する両面放射構造としても良い。トップエミッション型の構成の場合、隔壁となる絶縁層を着色しブラックマトリクスとして用いてもよい。この隔壁は液滴吐出法により形成することができ、ポリイミドなどの樹脂材料に、顔料系の黒色樹脂やカーボンブラック等を混合させて形成すればよく、その積層でもよい。
【０３３１】
また、ＥＬ表示モジュールは、図３６に示すように、位相差板や偏光板を用いて、外部から入射する光の反射光を遮断する構成にしてもよい。図３６はトップエミッション型の構成であり、隔壁となる絶縁層３６０５を着色しブラックマトリクスとして用いている。この隔壁は液滴吐出法により形成することができ、ポリイミドなどの樹脂材料に、カーボンブラック等を混合させてもよく、その積層でもよい。液滴吐出法によって、異なった材料を同領域に複数回吐出し、隔壁を形成してもよい。本実施の形態では、顔料系の黒色樹脂を用いる。位相差板３６０３、位相差板３６０４としてはλ／４板、λ／２板を用い、光を制御できるように設計すればよい。構成としては、順にTFT基板２８００、発光素子２８０４、封止基板（封止材）２８２０、位相差板３６０３、位相差板３６０４（λ／４板、λ／２板）、偏光板３６０２となり、発光素子から放射された光は、これらを通過し偏光板側より外部に放射される。この位相差板や偏光板は光が放射される側に設置すればよく、両面放射される両面放射型の表示装置であれば両方に設置することもできる。また、偏光板の外側に反射防止膜３６０１を有していても良い。これにより、より高繊細で精密な画像を表示することができる。
【０３３２】
ＴＦＴ基板２８００において、画素部が形成された側にシール材や接着性の樹脂を用いて樹脂フィルムを貼り付けて封止構造を形成してもよい。本実施の形態では、ガラス基板を用いるガラス封止を示したが、樹脂による樹脂封止、プラスチックによるプラスチック封止、フィルムによるフィルム封止、など様々な封止方法を用いることができる。樹脂フィルムの表面には水蒸気の透過を防止するガスバリア膜を設けておくと良い。フィルム封止構造とすることで、さらなる薄型化及び軽量化を図ることができる。
【０３３３】
本実施の形態は、実施の形態１乃至１７とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０３３４】
（実施の形態１９）
本実施の形態を図４２及び図４４を用いて説明する。図４２、図４４は、本発明を適用して作製されるＴＦＴ基板２６００を用いて液晶表示モジュールを構成する一例を示している。
【０３３５】
図４２は液晶表示モジュールの一例であり、ＴＦＴ基板２６００と対向基板２６０１がシール材２６０２により固着され、その間に画素部２６０３と液晶層２６０４が設けられ表示領域を形成している。着色層２６０５はカラー表示を行う場合に必要であり、ＲＧＢ方式の場合は、赤、緑、青の各色に対応した着色層が各画素に対応して設けられている。ＴＦＴ基板２６００と対向基板２６０１の外側には偏光板２６０６、２６０７、レンズフィルム２６１３が配設されている。光源は冷陰極管２６１０と反射板２６１１により構成され、回路基板２６１２は、フレキシブル配線基板２６０９によりＴＦＴ基板２６００と接続され、コントロール回路や電源回路などの外部回路が組みこまれている。液晶表示モジュールには、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−ｄｏｍａｉｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａｌｌｙ  Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ
ａｌｉｇｎｅｄ  Ｍｉｃｒｏ−ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢモードなどを用いることができる。
【０３３６】
なかでも、本発明で作製する表示装置は高速応答が可能なＯＣＢモードを用いることでより高性能化することができる。図４４は図４２の液晶表示モジュールにＯＣＢモードを適用した一例であり、ＦＳ−ＬＣＤ（Ｆｉｅｌｄ  ｓｅｑｅｎｔｉａｌ−ＬＣＤ）となっている。ＦＳ−ＬＣＤは、１フレーム期間に赤色発光と緑色発光と青色発光をそれぞれ行うものであり、時間分割を用いて画像を合成しカラー表示を行うことが可能である。また、各発光を発光ダイオードまたは冷陰極管等で行うので、カラーフィルタが不要である。よって、３原色のカラーフィルタを並べる必要がないため同じ面積で９倍の画素を表示できる。一方、１フレーム期間に３色の発光を行うため、液晶の高速な応答が求められる。本発明の表示装置の有する薄膜トランジスタは高速作動することができるため、ＯＣＢモードを用いることができる。よって、本発明の表示装置に、ＦＳ方式、及びＯＣＢモードを適用することができ、一層高性能で高画質な表示装置、また液晶テレビジョン装置を完成させることができる。また、ＦＳ方式に対応するモードとして、高速動作が可能な強誘電性液晶（ＦＬＣ：Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）を用いたＨＶ−ＦＬＣ、ＳＳ−ＦＬＣなども用いることができる。ＯＣＢモードは粘度の比較的低いネマチック液晶が用いられ、ＨＶ−ＦＬＣ、ＳＳ−ＦＬＣには、スメクチック液晶が用いられるが、液晶材料としては、ＦＬＣ、ネマチック液晶、スメクチック液晶などの材料を用いることができる。
【０３３７】
また、液晶表示モジュールの高速光学応答速度は、液晶表示モジュールのセルギャップを狭くすることで高速化する。また液晶材料の粘度を下げることでも高速化できる。上記高速化は、ＴＮモードの液晶表示モジュールの画素領域の画素、またはドットピッチが３０μｍ以下の場合に、より効果的である。
【０３３８】
図４４の液晶表示モジュールは透過型の液晶表示モジュールを示しており、光源として赤色光源２９１０ａ、緑色光源２９１０ｂ、青色光源２９１０ｃが設けられている。光源は赤色光源２９１０ａ、緑色光源２９１０ｂ、青色光源２９１０ｃをそれぞれオンオフを制御するために、制御部２９１２が設置されている。制御部２９１２によって、各色の発光は制御され、液晶に光は入射し、時間分割を用いて画像を合成し、カラー表示が行われる。
【０３３９】
以上のように本発明を用いると、高繊細、高信頼性の液晶表示モジュールを作製することができる。
【０３４０】
本実施の形態は、実施の形態１乃至１７とそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。
【０３４１】
（実施の形態２０）
上記実施の形態により作製される表示モジュール（表示パネルとも記す）によって、テレビジョン装置を完成させることができる。表示パネルには、図３３（Ａ）で示すような構成として画素部のみが形成されて走査線側駆動回路と信号線側駆動回路とが、図３４（Ｂ）のようなＴＡＢ方式により実装される場合と、図３４（Ａ）のようなＣＯＧ方式により実装される場合と、図３３（Ｂ）に示すようにＳＡＳでＴＦＴを形成し、画素部と走査線側駆動回路を基板上に一体形成し信号線側駆動回路を別途ドライバＩＣとして実装する場合、また図３３（Ｃ）のように画素部と信号線側駆動回路と走査線側駆動回路を基板上に一体形成する場合などがあるが、どのような形態としても良い。
【０３４２】
その他の外部回路の構成として、映像信号の入力側では、チューナで受信した信号のうち、映像信号を増幅する映像信号増幅回路と、そこから出力される信号を赤、緑、青の各色に対応した色信号に変換する映像信号処理回路と、その映像信号をドライバＩＣの入力仕様に変換するためのコントロール回路などからなっている。コントロール回路は、走査線側と信号線側にそれぞれ信号が出力する。デジタル駆動する場合には、信号線側に信号分割回路を設け、入力デジタル信号をｍ個に分割して供給する構成としても良い。
【０３４３】
チューナで受信した信号のうち、音声信号は、音声信号増幅回路に送られ、その出力は音声信号処理回路を経てスピーカに供給される。制御回路は受信局（受信周波数）や音量の制御情報を入力部から受け、チューナや音声信号処理回路に信号を送出する。
【０３４４】
これらの液晶表示モジュール、ＥＬ表示モジュールを、図３７（Ａ）、（Ｂ）に示すように、筐体に組みこんで、テレビジョン装置を完成させることができる。図３５、図３６のようなＥＬ表示モジュールを用いると、ＥＬテレビジョン装置を、図４２、図４４のような液晶表示モジュールを用いると、液晶テレビジョン装置を完成することができる。表示モジュールにより主画面２００３が形成され、その他付属設備としてスピーカ部２００９、操作スイッチなどが備えられている。このように、本発明によりテレビジョン装置を完成させることができる。
【０３４５】
筐体２００１に表示用パネル２００２が組みこまれ、受信機２００５により一般のテレビ放送の受信をはじめ、モデム２００４を介して有線又は無線による通信ネットワークに接続することにより一方向（送信者から受信者）又は双方向（送信者と受信者間、又は受信者間同士）の情報通信をすることもできる。テレビジョン装置の操作は、筐体に組みこまれたスイッチ又は別体のリモコン装置２００６により行うことが可能であり、このリモコン装置にも出力する情報を表示する表示部２００７が設けられていても良い。
【０３４６】
また、テレビジョン装置にも、主画面２００３の他にサブ画面２００８を第２の表示用パネルで形成し、チャネルや音量などを表示する構成が付加されていても良い。この構成において、主画面２００３を視野角の優れたＥＬ表示用パネルで形成し、サブ画面を低消費電力で表示可能な液晶表示用パネルで形成しても良い。また、低消費電力化を優先させるためには、主画面２００３を液晶表示用パネルで形成し、サブ画面をＥＬ表示用パネルで形成し、サブ画面は点滅可能とする構成としても良い。本発明を用いると、このような大型基板を用いて、多くのＴＦＴや電子部品を用いても、信頼性の高い表示装置とすることができる。
【０３４７】
図３７（Ｂ）は例えば２０〜８０インチの大型の表示部を有するテレビジョン装置であり、筐体２０１０、表示部２０１１、操作部であるリモコン装置２０１２、スピーカー部２０１３等を含む。本発明は、表示部２０１１の作製に適用される。図３７（Ｂ）のテレビジョン装置は、壁かけ型となっており、設置するスペースを広く必要としない。
【０３４８】
勿論、本発明はテレビジョン装置に限定されず、パーソナルコンピュータのモニタをはじめ、鉄道の駅や空港などにおける情報表示盤や、街頭における広告表示盤など特に大面積の表示媒体として様々な用途に適用することができる。
【０３４９】
（実施の形態２１）
本発明を適用して、様々な表示装置を作製することができる。即ち、それら表示装置を表示部に組み込んだ様々な電子機器に本発明を適用できる。
【０３５０】
その様な電子機器としては、ビデオカメラ、デジタルカメラ等のカメラ、プロジェクター、ヘッドマウントディスプレイ（ゴーグル型ディスプレイ）、カーナビゲーション、カーステレオ、パーソナルコンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末（モバイルコンピュータ、携帯電話または電子書籍等）、記録媒体を備えた画像再生装置（具体的にはDigital Versatile Disc（ＤＶＤ）等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを備えた装置）などが挙げられる。それらの例を図３２に示す。
【０３５１】
図３２（Ａ）は、パーソナルコンピュータであり、本体２１０１、筐体２１０２、表示部２１０３、キーボード２１０４、外部接続ポート２１０５、ポインティングマウス２１０６等を含む。本発明は、表示部２１０３の作製に適用される。本発明を用いると、小型化し、配線等が精密化しても、信頼性の高い高画質な画像を表示することができる。
【０３５２】
図３２（Ｂ）は記録媒体を備えた画像再生装置（具体的にはＤＶＤ再生装置）であり、本体２２０１、筐体２２０２、表示部Ａ２２０３、表示部Ｂ２２０４、記録媒体（ＤＶＤ等）読み込み部２２０５、操作キー２２０６、スピーカー部２２０７等を含む。表示部Ａ２２０３は主として画像情報を表示し、表示部Ｂ２２０４は主として文字情報を表示するが、本発明は、これら表示部Ａ２２０３、表示部Ａ２２０４の作製に適用される。本発明を用いると、小型化し、配線等が精密化しても、信頼性の高い高画質な画像を表示することができる。
【０３５３】
図３２（Ｃ）は携帯電話であり、本体２３０１、音声出力部２３０２、音声入力部２３０３、表示部２３０４、操作スイッチ２３０５、アンテナ２３０６等を含む。本発明により作製される表示装置を表示部２３０４に適用することで、小型化し、配線等が精密化する携帯電話であっても、信頼性の高い高画質な画像を表示できる。
【０３５４】
図３２（Ｄ）はビデオカメラであり、本体２４０１、表示部２４０２、筐体２４０３、外部接続ポート２４０４、リモコン受信部２４０５、受像部２４０６、バッテリー２４０７、音声入力部２４０８、操作キー２４０９等を含む。本発明は、表示部２４０２に適用することができる。本発明により作製される表示装置を表示部２３０４に適用することで、小型化し、配線等が精密化するビデオカメラであっても、信頼性の高い高画質な画像を表示できる。本実施の形態は、上記の実施の形態と自由に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【０３５５】
【図１】本発明の表示装置を説明する図。
【図２】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図３】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図４】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図５】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図６】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図７】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図８】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図９】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１０】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１１】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１２】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１３】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１４】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１５】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１６】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１７】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１８】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図１９】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図２０】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図２１】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図２２】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図２３】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図２４】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図２５】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図２６】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図２７】本発明が適用される保護回路を示す図。
【図２８】本発明に適用することのできるレーザビーム直接描画装置の構成を説明する図。
【図２９】本発明に適用することのできる液晶滴下方法を説明する図。
【図３０】本発明の表示装置に適用できる画素の構成を説明する回路図。
【図３１】本発明に適用することのできる液滴吐出装置の構成を説明する図。
【図３２】本発明が適用される電子機器を示す図。
【図３３】本発明の表示装置の上面図。
【図３４】本発明の表示装置の上面図。
【図３５】本発明の表示モジュールの構成を説明する図。
【図３６】本発明の表示モジュールの構成を説明する図。
【図３７】本発明が適用される電子機器を示す図。
【図３８】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図３９】本発明の表示装置の作製方法を説明する図。
【図４０】本発明の表示装置の説明する図。
【図４１】本発明の薄膜トランジスタの説明する図。
【図４２】本発明の表示モジュールの構成を説明する図。
【図４３】本発明の表示装置を説明する図。
【図４４】本発明の表示モジュールの構成を説明する図。
【図４５】本発明に適用できる発光素子の構成を説明する図。
【図４６】本発明の表示装置を説明する図。
【図４７】本発明の表示装置を説明する図。
【図４８】本発明の表示装置を説明する図。
【図１】
2006100807.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006100807.tif 000009
【図８】
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【図９】
2006100807.tif 000011
【図１０】
2006100807.tif 000012
【図１１】
2006100807.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2006100807.tif 000019
【図１８】
2006100807.tif 000020
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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