(57)【要約】【課題】  放電距離を長くすることができる画像表示装置用金属部材及びその製造方法を提供する。【解決手段】  金属材料に画素に相当するセル空間が形成された画像表示装置用金属部材であって、前記セル空間に橋体が形成されている画像表示装置用金属部材である。  本発明の画像表示装置用金属部材の製造方法の第一は、画像表示装置用金属部材の素材表面にセル孔を、一次ハーフエッチング処理を行うことにより、橋体となる個所と、隔壁となる個所とを形成した後、前記セル孔を形成した方向とは反対側の表面側から二次ハーフエッチング処理を行って、前記橋体となる個所の両側に形成した一次ハーフエッチング処理によるセル孔につながるエッチング孔を形成してセル空間とする画像表示装置用金属部材の製造方法である。【選択図】  図２
2006114374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属材料に画素に相当するセル空間が形成された画像表示装置用金属部材であって、前記セル空間に橋体が形成されていることを特徴とする画像表示装置用金属部材。
【請求項２】
前記画像表示装置用金属部材は、表層に絶縁層が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置用金属部材。
【請求項３】
前記画像表示装置用金属部材は、Ｎｉを質量比率で３８〜５５％含有したＦｅ−Ｎｉ系合金であることを特徴とする請求項項１または２に記載の画像表示装置用金属部材。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載の画像表示装置用金属部材の製造方法であって、画像表示装置用金属部材の素材表面にセル孔を、一次ハーフエッチング処理を行うことにより、橋体となる個所と、隔壁となる個所とを形成した後、前記セル孔を形成した方向とは反対側の表面側から二次ハーフエッチング処理を行って、前記橋体となる個所の両側に形成した一次ハーフエッチング処理によるセル孔につながるエッチング孔を形成してセル空間とすることを特徴とする画像表示装置用金属部材の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れかに記載の画像表示装置用金属部材の製造方法であって、画像表示装置用金属部材の素材表面にセル孔を、一次ハーフエッチング処理で形成した後、該一次ハーフエッチング処理を行った表面とは反対側の表面側から、橋体となる個所と、隔壁となる個所とを形成する如く二次ハーフエッチング処理を行い、一次ハーフエッチング処理によるセル孔につながるエッチング孔を形成してセル空間とすることを特徴とする画像表示装置用金属部材の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至３の何れかに記載の画像表示装置用金属部材の製造方法であって、画像表示装置用金属部材の素材表面にセル孔を、一次ハーフエッチング処理を行うことにより、橋体となる個所と、隔壁となる個所とを形成した後、前記橋体の両側に形成した一次ハーフエッチング処理によるセル孔表面から二次ハーフエッチングを行い、前記橋体となる個所の両側のセル孔をつなげてセル空間とすることを特徴とする画像表示装置用金属部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイ（以後ＰＤＰと略す）、フィールドエミッションディスプレイ、液晶ディスプレイ、シートディスプレイ等の画像表示装置において、画素に相当する空間を仕切る隔壁やスペーサー等の画像表示装置用金属部材及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に画像表示装置においては、各画素の発光空間を形成及び仕切るための絶縁性の隔壁が必要となる。
この隔壁の製造方法について、画像表示装置のうち、例えばＰＤＰでは、材料に酸化鉛を含む硝子を使用し、主にサンドブラスト法により製造されているが、このような隔壁の製造法は工程が煩雑であることから、生産性が悪くコストが高くなるばかりか、製造された隔壁及びサンドブラスト法によって除去された硝子には有害な鉛が多く含まれるため、環境上好ましくないものである。
【０００３】
また、例えばＰＤＰの性能は、隔壁の構造に大きく依存しており、特に、発光効率向上のためには隔壁の高さを高くすることによって、放電空間を広げたり（放電効率）、蛍光体塗布面積を増加したり（紫外線利用効率）、放電距離を長くする（放電効率）ことが有効とされている。
ところが硝子隔壁の場合、隔壁の高さを高くするために硝子ペーストを背面板に厚くコーティングすると、面内に厚みムラが発生して平坦度が悪くなるため、実施が困難な状況である。
【０００４】
上述の問題を解決するため、硝子隔壁より高さが高くすることが容易で、平坦度も優れた金属隔壁が提案されている。
例えば、特開２０００−１６４１４４号公報（特許文献１）においては、貫通孔を有した金属薄板を複数枚積層して加熱・接合し、隔壁高さをさらに高くする方法が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１６４１４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した特許文献１に示される金属隔壁を使用すると、硝子隔壁より高さを高くできるため、放電距離が長くすることができ、放電効率面で有利ではある。しかしながら、金属隔壁を積層・接合という工程が必要で、位置ズレが生じるため、特に大画面ディスプレイを特徴とする画像表示装置において問題となった。
本発明の目的は、上記の問題に鑑み、放電距離を長くすることができる画像表示装置用金属部材及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上述の問題に鑑みてなされたものである。
即ち本発明は、金属材料に画素に相当するセル空間が形成された画像表示装置用金属部材であって、前記セル空間に橋体が形成されている画像表示装置用金属部材である。
好ましくは、前記画像表示装置用金属部材は、表層に絶縁層が形成されている画像表示装置用金属部材である。
好ましくは、前記画像表示装置用金属部材は、Ｎｉを質量比率で３８〜５５％含有したＦｅ−Ｎｉ系合金を用いることが好ましい。
上述の本発明の画像表示装置用金属部材は、隔壁若しくは背面板付き隔壁である画像表示装置用金属部材とすることができる。
【０００８】
上述した本発明の画像表示装置用金属部材は、以下の３つの方法の何れかで製造することができる。
本発明の製造方法の第一は、画像表示装置用金属部材の素材表面にセル孔を、一次ハーフエッチング処理を行うことにより、橋体となる個所と、隔壁となる個所とを形成した後、前記セル孔を形成した方向とは反対側の表面側から二次ハーフエッチング処理を行って、前記橋体となる個所の両側に形成した一次ハーフエッチング処理によるセル孔につながるエッチング孔を形成してセル空間とする画像表示装置用金属部材の製造方法である。
【０００９】
本発明の製造方法の第二は、画像表示装置用金属部材の素材表面にセル孔を、一次ハーフエッチング処理で形成した後、該一次ハーフエッチング処理を行った表面とは反対側の表面側から、橋体となる個所と、隔壁となる個所とを形成する如く二次ハーフエッチング処理を行い、一次ハーフエッチング処理によるセル孔につながるエッチング孔を形成してセル空間とする画像表示装置用金属部材の製造方法。
【００１０】
本発明の製造方法の第三は、画像表示装置用金属部材の素材表面にセル孔を、一次ハーフエッチング処理を行うことにより、橋体となる個所と、隔壁となる個所とを形成した後、前記橋体の両側に形成した一次ハーフエッチング処理によるセル孔表面から二次ハーフエッチングを行い、前記橋体となる個所の両側のセル孔をつなげてセル空間とする画像表示装置用金属部材の製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
画像表示装置用部材に本発明を適用することで、放電距離の長い高い放電効率を具備する画像表示装置が実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の重要な特徴は、画像表示装置の画素に相当するセル空間に橋体を形成して放電距離を長くして放電効率を向上させた点にある。以下に本発明を詳しく説明する。
上述したように放電距離を長くするために金属材料を積層する方法では、深孔を有する画像表示装置用の金属部材としては有効であるが、積層・接合という工程が必要となるため、工数及びコストがかかり、また、接合時のズレや加熱で生じる歪によって部材の寸法精度に狂いが生じる惧れもある。
そこで、積層せずに効率を上げるためには、隔壁高さが高くなくとも、放電距離を長くできる構造とする必要がある。
【００１３】
先ず本発明らは、隔壁の高さによらず、放電距離を長くするためにＵ字形状の放電路とすることを考えた。例えば最近のＰＤＰでは前面板側に表示電極があるため、図２に示すように二つの表示電極（６）の間に橋体（２）（図２では断面として図示）を設ければ荷電粒子の放電路（８）がＵ字型となり、その距離も長くできることを見出したものである。
一例として示した上述の本発明の画像表示装置用金属部材では、蛍光体層への荷電粒子によるプラズマアタックもなく、放電路を長くとれることから放電効率が向上し、蛍光体の面積も大きく取れると言う利点を奏するものである。
また、上述した本発明の画像表示装置用金属部材の一例を平面模式図を図１に示すと、金属材料でなる金属隔壁（１）に画素に相当するセル空間（３）が形成され、セル空間（３）に橋体（２）が形成されている。橋体（２）は前記の図２に示すように背面板側（図２ではガラス背面板（４）として図示）に空間を有する形状となる。
なお、この場合、平面模式図を図１に示すように、橋体は、セル空間を仕切る長辺側の隔壁と、該長辺側の隔壁に対向する長辺側の隔壁とを橋渡す如く形成し、その位置はＵ字形状の放電路を得やすいようにセル空間の概ね中央部とするのが良い。また、橋体の表面は図２に示すように、金属隔壁の表面と揃っていればよい。
【００１４】
本発明においては、例えば、ＰＤＰにおいてはプラズマ、ＦＥＤにおいては電子が存在する空間に、金属材料を曝さない目的で、絶縁層を形成する。
絶縁層形成の方法としては、気相堆積法に代表されるような高効率の成膜手法で絶縁層を形成する方法が好ましい。
なお、絶縁層の厚みは、ディスプレイ駆動時にその部材にかかる電界で絶縁破壊が起こらないよう、部材の設置される環境に適した厚みにすれば良く、０．１〜１０μｍ程度であれば良いが、部材の開口率を不必要に小さくしないよう、好ましくは５μｍ以下とすると良い。絶縁層としては、工業的に一般的に用いられるＳｉＯ２系やＡｌ２Ｏ３系等の酸化物を形成すれば良い。
また、画像表示装置において、反射特性に優れていることが要求される画像表示装置用の部材として適用する場合には、絶縁層として結晶化ガラスを選定し、例えば、気相堆積法で成膜し、分相または結晶化させて反射特性を向上させると良い。
【００１５】
次に、本発明において好ましい金属材料の材質について説明する。
例えば、ＦＥＤのスペーサーやＰＤＰの隔壁等、画像表示装置の多くは高歪点ガラスと接合して使用され、その組立てプロセスにおいて、５００℃程度の熱影響を受けるため、前面板や背面板に用いられる高歪点ガラスの熱膨張係数（２０〜５００℃）の８×１０−６／℃に近い６〜１０×１０−６／℃の熱膨張特性を有す金属材料を用いることが好ましい。
そのため、本発明においては、Ｎｉ含有量を調整することで、熱膨張特性を近似させることが容易なＦｅ−Ｎｉ系合金を使用し、Ｎｉを質量比率で３８〜５５％含有したＦｅ−Ｎｉ系合金を用いることが好ましい。
なお、本発明におけるＦｅ−Ｎｉ系合金は、その性能を阻害しない範囲で不可避的な不純物を含んでいても良く、また、付加的に望まれる特性に応じて、他の元素を含有させても良い。例えば、ガラスとの接合性を向上する等の目的で、一部をＣｒで置換したＦｅ−４２Ｎｉ−６Ｃｒのような、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金等も含む。
なお、金属材料の厚みについては、３０μｍ〜１ｍｍ程度が望ましいが、本発明の画像表示装置用金属部材を適用する目的に応じて厚さを選択すると良い。例えば、発光効率を高めたいＰＤＰの隔壁として用いる場合には、金属材料は現状のガラス隔壁（約１００〜１３０μｍ）よりも厚い薄板であることが望まれる。より好ましくは、１５０〜５００μｍ程度である。
【００１６】
本発明において、セル空間は金属材料の厚み方向に貫通した孔をセル空間としても、また、金属材料に非貫通の孔をセル空間としても良い。貫通した孔とするか、或いは非貫通の孔とするかは、本発明の画像表示装置用金属部材を、隔壁やスペーサーとして用いるか、或いは背面板を兼ね備えた隔壁とするのかによって、また、画像表示装置を構成する他の部材との組合せによって、それぞれに適した孔の形状を選択すると良い。
画像表示装置用のパネルに組立てる際には、貫通孔を形成した画像表示装置用金属部材は、前面板ガラスだけでなく、背面にもガラスもしくはそれ以外の背面板が必要であり、それら２枚の板の間に挟み込むように接合することで、隔壁やスペーサーとして用いることができる。
非貫通の孔を形成した金属部材の場合には、本発明の画像表示装置用金属部材が上述の背面板を兼ねることもできるため、前面板ガラスのみを接合することでパネルとして組立てることが可能である。この場合、従来のガラス背面板に比して、本発明の部材は厚み対比の強度に優れるため、パネルの軽量化にも寄与でき、熱伝導性に優れるため、放熱性の向上も見込まれ、より好ましい。
【００１７】
次に上述の本発明の画像表示装置用金属部材の製造方法について以下の実施例中で詳しく説明する。
なお、本発明の画像表示装置用金属部材は、例えば、以下に示す３つの方法で製造することができる。製造方法の第一及び第二は金属材料に貫通孔を設ける場合の製造方法であり、第三の製造方法は非貫通の孔を設ける場合の方法である。
【実施例】
【００１８】
（実施例１）
以下の実施例は先述した第一の製造方法を説明するものである。
熱膨張係数が８．３×１０−６／℃のＦｅ−４８ｍａｓｓ％ＮｉのＦｅ−Ｎｉ系合金を、真空溶解、均質化熱処理、熱間鍛造、熱間圧延した後、冷間圧延と焼鈍とを繰返して板厚３００μｍの薄板を作製した。これを、画像表示装置用金属部材の１つであるＰＤＰ用金属隔壁に使用するための画像表示装置用金属部材の素材として用いた。
【００１９】
エッチングに関わる工程を図４に示す。
画像表示装置用金属部材の素材（１０）表面に、レジスト（１１）でマスクを施した（図４−（１））。次に、一次ハーフエッチング処理により、橋体となる個所と隔壁となる個所を残してセル孔（１２）を形成した（図４−（２））。エッチングは、ＦｅＣｌ３水溶液をノズルから噴射するスプレー式の湿式エッチング法で行った。
その後、前記セル孔を形成した方向とは反対側の面から二次ハーフエッチング処理を行い、前記橋体の両側に形成した一次ハーフエッチング処理によるセル孔（１２）につながるようにエッチング孔（１３）を形成し、セル空間（３）とした（図４−（３））。エッチングは、ＦｅＣｌ３水溶液をノズルから噴射するスプレー式の湿式エッチング法で行った。更に、レジスト（１１）を除去してエッチング液に曝してセル空間（３）の内壁を滑らかにし、橋体（２）と金属隔壁（１）の形状を整え（図４−（４））、図１に示す画像表示装置用金属部材（９）とした。
【００２０】
上述のようにして得られた本発明の画像表示装置用金属部材（ＰＤＰ用金属隔壁）（９）に、気相成膜法の１つであるスパッタリング法により、金属隔壁（１）および橋体（２）にＡｌ２Ｏ３の絶縁層（３）を２μｍの厚さで形成して、絶縁層を形成した画像表示装置用金属部材（９）とした。
上述の絶縁層を形成した画像表示装置用金属部材（９）を用いて、配線とその絶縁（簡潔のため図示しない）を施したガラス背面板（４）に接合した後、蛍光体を塗布し蛍光体層（５）を形成し、更に、表示電極（６）が形成されたガラス前面板（７）と貼り合わせることで、画像表示装置の１つであるＰＤＰのパネルとした。この状態を図２に示す。
この本発明の画像表示装置用金属部材を用いてＰＤＰとして駆動させると、図２に示すように、荷電粒子の放電路（８）がＵ字型となり、放電距離を長くすることが可能となって、放電効率が向上する。また、この本発明の画像表示装置用金属部材では、蛍光体層への荷電粒子によるプラズマアタックもなく、大きな蛍光体塗布面積とすることができるため発光効率を大幅に向上させることができる。
【００２１】
（実施例２）
以下の実施例は、先述した第二の製造方法を説明するものである。
熱膨張係数が８．３×１０−６／℃のＦｅ−４８ｍａｓｓ％ＮｉのＦｅ−Ｎｉ系合金を、真空溶解、均質化熱処理、熱間鍛造、熱間圧延した後、冷間圧延と焼鈍とを繰返して板厚３００μｍの薄板を作製した。これを、画像表示装置用金属部材の１つであるＰＤＰ用金属隔壁に使用するための画像表示装置用金属部材の素材として用いた。
【００２２】
エッチングに関わる工程を図５に示す。
画像表示装置用金属部材の素材（１０）表面に、レジスト（１１）でマスクを施した（図５−（１））。次に、一次ハーフエッチング処理によりエッチング孔（１３）を形成した（図５−（２））。エッチングは、ＦｅＣｌ３水溶液をノズルから噴射するスプレー式の湿式エッチング法で行った。
その後、一次ハーフエッチング処理を行った面とは反対側の面に、橋体となる個所と隔壁となる個所を残すように二次ハーフエッチング処理を行い、一次ハーフエッチング処理によるエッチング孔につながるように、セル孔（１２）を形成し、セル空間（３）とした（図５−（２））。エッチングは、ＦｅＣｌ３水溶液をノズルから噴射するスプレー式の湿式エッチング法で行った。更に、レジスト（１１）を除去してエッチング液に曝してセル空間（３）の内壁を滑らかにし、橋体（２）と金属隔壁（１）の形状を整え（図５−（４））、図１に示す画像表示装置用金属部材（９）とした。
【００２３】
上述のようにして得られた本発明の画像表示装置用金属部材（ＰＤＰ用金属隔壁）（９）に、気相成膜法の１つであるスパッタリング法により、金属隔壁（１）および橋体（２）にＡｌ２Ｏ３の絶縁層（３）を２μｍの厚さで形成して、絶縁層を形成した画像表示装置用金属部材（９）とした。
上述の絶縁層を形成した画像表示装置用金属部材（９）を用いて、配線配線とその絶縁（簡潔のため図示しない）を施したガラス背面板（４）に接合した後、蛍光体を塗布し蛍光体層（５）を形成し、更に、表示電極（６）が形成されたガラス前面板（７）と貼り合わせることで、画像表示装置の１つであるＰＤＰのパネルとした。この状態を図２に示す。
この本発明の画像表示装置用金属部材を用いてＰＤＰとして駆動させると、図２に示すように、荷電粒子の放電路（８）がＵ字型となり、放電距離を長くすることが可能となって、放電効率が向上する。また、この本発明の画像表示装置用金属部材では、蛍光体層への荷電粒子によるプラズマアタックもなく、大きな蛍光体塗布面積とすることができるため発光効率を大幅に向上させることができる。
【００２４】
また、実施例１および実施例２では、孔加工のためのエッチング処理を、片面ずつ行ったものであるが、両面同時に行っても良いことは言うまでも無く、その工程を図６に示す。
画像表示装置用金属部材の素材（１０）表面に、レジスト（１１）でマスクを施す（図６−（１））。エッチング処理を画像表示装置用金属部材の素材（１０）の両面から同時に進行させ、セル孔（１２）とエッチング孔（１３）とを同時に形成し（図６−（２））、両面からセル孔（１２）とエッチング孔（１３）をつなげて、セル空間（３）を形成する（図６−（３））。
その後、レジスト（１１）を除去してエッチング液に曝してセル空間（３）の内壁を滑らかにし、橋体（２）と金属隔壁（１）の形状を整える（図６−（４））ことにより、図１に示す画像表示装置用金属部材（９）とすることができる。
そして、上述のようにして得られた本発明の画像表示装置用金属部材（ＰＤＰ用金属隔壁）を図２のように組立てて、ＰＤＰとすることも可能である。
【００２５】
また、上述のようにエッチング処理を、両面同時に行う際、より厚い板厚の画像表示装置用金属部材の素材を用いる場合、もしくは、エッチング処理のスプレー圧が十分に大きくない場合には、複数回のエッチング処理に分けて、セル空間、すなわち、橋体と貫通孔を形成することもできることは言うまでも無く、その工程を図７に示す。
画像表示装置用金属部材の素材（１０）表面に、レジスト（１１）でマスクを施す（図７−（１））。画像表示装置用金属部材の素材（１０）の両面から一次ハーフエッチングを行い（図７−（２））、サイドエッチの進行を防ぐように二次エッチング用のレジスト（１４）を形成し（図７−（３））、両面から二次エッチングによって、セル孔（１２）エッチング孔（１３）をつなげてセル空間とする（図７−（４））。
そして、レジスト（１１）（１４）を除去してエッチング液に曝してセル空間（３）の内壁を滑らかにし、橋体（２）と金属隔壁（１）の形状を整える（図７−（５）と、）ことにより、図１に示す画像表示装置用金属部材（９）とすることができる。
そして、上述のようにして得られた本発明の画像表示装置用金属部材（ＰＤＰ用金属隔壁）を図２のように組立てて、ＰＤＰとすることも可能である。
なお、この製造方法において、エッチング処理は、二次まででなく、必要に応じて三回以上に分けてエッチング処理を行っても良い。
【００２６】
（実施例３）
以下の実施例は先述した第三の製造方法を説明するものである。
熱膨張係数が８．３×１０−６／℃のＦｅ−４８ｍａｓｓ％ＮｉのＦｅ−Ｎｉ系合金を、真空溶解、均質化熱処理、熱間鍛造、熱間圧延した後、冷間圧延と焼鈍とを繰返して板厚４００μｍの薄板を作製した。これを、画像表示装置用金属部材の１つであるＰＤＰ用金属隔壁に使用するための画像表示装置用金属部材の素材として用いた。
【００２７】
エッチングに関わる工程を図８に示す。
画像表示装置用金属部材の素材（１０）表面に、レジスト（１１）でマスクを施した（図８−（１））。次に、一次ハーフエッチング処理により橋体と隔壁となる個所を残してセル孔（１２）を形成した（図８−（２））。サイドエッチの進行を防ぐように二次エッチング用のレジスト（１４）を形成し（図８−（３））、二次エッチングを進行させ（図８−（４））、前記橋体となる個所の両側のセル孔（１２）をつなげてセル空間（３）とした（図８−（５））。エッチングは、ＦｅＣｌ３水溶液をノズルから噴射するスプレー式の湿式エッチング法で行った。
レジスト（１１）（１４）を除去してエッチング液に曝してセル空間（３）の内壁を滑らかにし（図８−（６））、橋体（２）と金属隔壁（１）の形状を整え、図１に示す画像表示装置用金属部材（９）とすることができる。この製造方法においても、エッチング処理は、二次まででなく、必要に応じて三回以上に分けてエッチング処理を行っても良い。
【００２８】
上述のようにして得られた本発明の画像表示装置用金属部材（背面板付きＰＤＰ用金属隔壁）（９）に、気相成膜法の１つであるスパッタリング法により、金属隔壁（背面板付き）（１）および橋体（２）に、Ａｌ２Ｏ３の絶縁層（３）を２μｍの厚さで形成し、更に、蛍光体を塗布し蛍光体層（５）を形成し、更に、表示電極（６）が形成されたガラス前面板（７）と貼り合わせることで、画像表示装置の１つであるＰＤＰのパネルとした。この状態を図３に示す。なお、背面板付き金属隔壁であるため、背面板ガラスおよびその接合工程は、不要である。
この本発明の画像表示装置用金属部材を用いてをＰＤＰとして駆動させると、図３に示すように、荷電粒子の放電路（８）がＵ字型となり、放電距離を長くすることが可能となって、放電効率が向上する。また、この本発明の画像表示装置用金属部材では、蛍光体層への荷電粒子によるプラズマアタックもなく、大きな蛍光体塗布面積とすることができるため発光効率を大幅に向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明よれば、放電距離が長いため高効率な画像表示装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の画像表示装置用金属部材の一例で、ＰＤＰ用金属隔壁の平面模式図である。
【図２】本発明の画像表示装置用金属部材の一例で、貫通孔を有すＰＤＰ用金属隔壁の断面模式図（図１のＡ−Ａ）である。
【図３】本発明の画像表示装置用金属部材の一例で、背面板付きＰＤＰ用金属隔壁の断面模式図（図１のＡ−Ａ）である。
【図４】本発明の画像表示装置用金属部材（貫通孔を有すＰＤＰ用金属隔壁）の製造方法の一例を示す模式図である。
【図５】本発明の画像表示装置用金属部材（貫通孔を有すＰＤＰ用金属隔壁）の製造方法の一例を示す模式図である。
【図６】本発明の画像表示装置用金属部材（貫通孔を有すＰＤＰ用金属隔壁）の製造方法の一例を示す模式図である。
【図７】本発明の画像表示装置用金属部材（貫通孔を有すＰＤＰ用金属隔壁）の製造方法の一例を示す模式図である。
【図８】本発明の画像表示装置用金属部材（背面板付きＰＤＰ用金属隔壁）の製造方法の一例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３１】
１．金属隔壁
２．橋体
３．セル空間
４．ガラス背面板
５．蛍光体層
６．表示電極
７．ガラス前面版
８．放電路
９．画像表示装置用金属部材
１０．画像表示装置用金属部材の素材
１１．レジスト
１２．セル孔
１３．エッチング孔
１４．レジスト
【図１】
2006114374.tif 000003
【図２】
2006114374.tif 000004
【図３】
2006114374.tif 000005
【図４】
2006114374.tif 000006
【図５】
2006114374.tif 000007
【図６】
2006114374.tif 000008
【図７】
2006114374.tif 000009
【図８】
2006114374.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月8日(2004.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上述の問題を解決するため、硝子隔壁より高さを高くすることが容易で、平坦度も優れた金属隔壁が提案されている。
例えば、特開２０００−１６４１４４号公報（特許文献１）においては、貫通孔を有した金属薄板を複数枚積層して加熱・接合し、隔壁高さをさらに高くする方法が提案されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上述した特許文献１に示される金属隔壁を使用すると、硝子隔壁より高さを高くできるため、放電距離を長くすることができ、放電効率面で有利ではある。しかしながら、金属隔壁を積層・接合という工程が必要で、位置ズレが生じるため、特に大画面ディスプレイを特徴とする画像表示装置において問題となった。
本発明の目的は、上記の問題に鑑み、放電距離を長くすることができる画像表示装置用金属部材及びその製造方法を提供することにある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上述のようにして得られた本発明の画像表示装置用金属部材（ＰＤＰ用金属隔壁）（９）に、気相成膜法の１つであるスパッタリング法により、金属隔壁（１）および橋体（２）にＡｌ２Ｏ３の絶縁層（３）を２μｍの厚さで形成して、絶縁層を形成した画像表示装置用金属部材（９）とした。
上述の絶縁層を形成した画像表示装置用金属部材（９）を用いて、配線とその絶縁層（簡潔のため図示しない）を施したガラス背面板（４）に接合した後、蛍光体を塗布し蛍光体層（５）を形成し、更に、表示電極（６）が形成されたガラス前面板（７）と貼り合わせることで、画像表示装置の１つであるＰＤＰのパネルとした。この状態を図２に示す。
この本発明の画像表示装置用金属部材を用いてＰＤＰとして駆動させると、図２に示すように、荷電粒子の放電路（８）がＵ字型となり、放電距離を長くすることが可能となって、放電効率が向上する。また、この本発明の画像表示装置用金属部材では、蛍光体層への荷電粒子によるプラズマアタックもなく、大きな蛍光体塗布面積とすることができるため発光効率を大幅に向上させることができる。