(57)【要約】【課題】  隣接するトラックにビット列による信号パターンを、信号再生時にノイズ検知による誤認識を発生することなく精度よく行う磁気転写用信号パターンを提供する。【解決手段】  トラック幅方向ｒに隣接して配置されたビット列11，12による信号を有する磁気転写用信号パターン10において、トラック幅方向ｒに隣接配置されたビット列信号111a,112aを、磁気ヘッド15のギャップ15aが延びる方向に対する傾斜角度θが２０〜７０゜の斜めパターン115で連結してなる。【選択図】      図１
2006172571.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラック幅方向に隣接して配置されたビット列信号を有する磁気転写用信号パターンにおいて、
前記トラック幅方向に隣接配置されたビット列信号を、磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結していることを特徴とする磁気転写用信号パターン。
【請求項２】
前記ビット列信号が、振幅サーボパターンにおけるバーストビット列によるサーボバースト信号であることを特徴とする請求項１記載の磁気転写用信号パターン。
【請求項３】
前記斜めパターンは、前記ビット列信号の端部に連続して形成したことを特徴とする請求項１または２記載の磁気転写用信号パターン。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の磁気転写用信号パターンが磁気記録層に磁気転写により記録されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項５】
トラック幅方向に隣接して配置されたビットエレメント列によるビット列信号を有し、該トラック幅方向に隣接配置されたビット列信号が、磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結されている磁気転写用信号パターンを表面に有する磁気転写用パターンドマスター担体の該表面と、磁気記録媒体の磁気記録面とを密着させ、
該密着させた磁気転写用パターンドマスター担体と磁気記録媒体に磁界を印加して、前記磁気転写用信号パターンを前記磁気記録媒体の記録面に磁気転写することを特徴とするプリフォーマットされた磁気記録媒体の作製方法。
【請求項６】
トラック幅方向に隣接して配置されたビット列信号を有し、該トラック幅方向に隣接配置されたビット列信号が、磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結されている磁気転写用信号パターンを表面に有することを特徴とする磁気転写用パターンドマスター担体。
【請求項７】
磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドに対向して配置されるプリフォーマットされた磁気記録媒体と、前記磁気ヘッドを駆動させる手段と、前記磁気記録媒体を駆動させる手段と、前記磁気ヘッドとの間で信号を授受して処理する記録再生信号処理手段と、を備えた磁気記録再生装置であって、
前記磁気記録媒体のプリフォーマットがトラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を有する振幅サーボパターンを含み、前記トラック幅方向に隣接配置されたサーボバースト信号が、磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結されていることを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気転写用信号パターン、磁気記録媒体およびその作製方法に関し、例えば、振幅再生方式のサーボ信号を有する振幅サーボパターンなどの磁気転写用信号パターンと、この信号パターンに対応する磁化ビットパターンが記録された磁気記録媒体およびその作製方法に関するものである。
【０００２】
また、本発明は、磁気記録媒体の作製方法において用いられる磁気転写用パターンドマスター担体に関するものである。
【０００３】
さらに、本発明は、振幅再生方式のサーボ信号に対応する磁化ビットパターンが記録された磁気記録媒体を格納してなる磁気記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００４】
従来より、微細凹凸パターンにより転写情報を担持した磁気転写用マスター担体と、転写を受ける磁気記録層を有する被転写媒体（スレーブ媒体）とを密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に
転写記録する磁気転写方法が知られている。この磁気転写方法は、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している（例えば特許文献１、２参照）。
【０００５】
一方、磁気転写方法における技術的な問題点の一つとして、マスター担体から磁気記録媒体への信号の転写において、磁気記録媒体上に不明瞭な磁気記録部（反転磁化）が発生するという問題がある。この不明瞭な磁気記録部の存在により、磁化パターンの読出し波形においてサブパルスが検出されるため、磁気再生装置においては該サブパルスを再生信号として認識しエラーを発生する可能性がある。この不明瞭な磁気記録部により発生するサブパルスを観測する方法は例えば特許文献３、４等に開示されている。
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献２】特開平１０−２６９５６６号公報
【特許文献３】特開２００２−９３０６５号公報
【特許文献４】特開２００２−４２３０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、例えば磁気ヘッドのトラック位置決めのためのサーボ信号として用いられる振幅サーボパターンは、前記特許文献１，２に図示されているように、略１トラック分の間隔をもって異なるトラックにトラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を含むものであり、異なるトラックに配置されたバーストビット列の間には略１トラック分の無信号領域が存在するものであるが、特に磁気転写によって当該サーボパターンが記録された場合には、上記無信号領域にノイズの原因となる磁化が行われる問題がある。
【０００７】
つまり、上記のようなサーボバースト信号等の信号パターンを磁気転写によって記録した際に、トラック幅方向に隣接配置されたビット列信号の間は、転写パターンがないために、反転磁界が不足して前述のサブピークが発生しやすく、本来無信号である領域に不明瞭で不必要な磁化がなされる結果、高いノイズが生じる問題がある。
【０００８】
また、前記信号パターンにおいて、異なるトラック上にトラック幅方向に隣接してビットエレメント列が配置されていることから、磁気転写のための外部磁界が印加されると、両ビット列間の中間トラック上には両側のビットエレメントから噴出した磁場が生じ、これが磁気記録媒体にそのまま転写記録され、ノイズの原因となっていた。
【０００９】
現在、磁気ディスク媒体のさらなる大容量化を目指し、トラック幅の狭小化が図られ、例えばトラックピッチ２００ｎｍ程度以下のものが実現化されようとしている。このトラックピッチの狭小化に伴いサーボ信号の場合における各バーストビット列からの再生振幅が小さくなるために、上記ノイズの影響によりトラッキングの位置決め精度が低下する虞もある。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑み、隣接するトラックにビット列による信号パターンを、信号再生時にノイズ検知による誤認識を発生することなく精度よく行うことができる磁気転写用信号パターン、それが記録された磁気記録媒体およびその作製方法、この磁気記録媒体を用いる磁気記録再生装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
また、本発明は、磁気記録媒体の作製方法に用いられる磁気転写用パターンドマスター担体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の磁気転写用信号パターンは、トラック幅方向に隣接して配置されたビット列信号を有する磁気転写用信号パターンにおいて、前記トラック幅方向に隣接配置されたビット列信号を、磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結していることを特徴とするものである。
【００１３】
前記斜めパターンの傾斜角度は２０〜７０゜、好ましくは４５〜７０゜、さらに好ましくは５０〜６０゜の範囲である。
【００１４】
前記ビット列信号は、振幅サーボパターンにおけるバーストビット列によるサーボバースト信号であることが好適である。
【００１５】
また、前記斜めパターンは、前記ビット列信号の端部に連続して形成したものが好適である。
【００１６】
本発明の磁気記録媒体は、本発明の磁気転写用信号パターンが磁気記録層に磁気転写により記録されたことを特徴とするものである。
【００１７】
本発明のプリフォーマットされた磁気記録媒体の作製方法は、トラック幅方向に隣接して配置されたビットエレメント列によるビット列信号を有し、該トラック幅方向に隣接配置されたビット列信号が、磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結されている磁気転写用信号パターンを表面に有する磁気転写用パターンドマスター担体の該表面と、磁気記録媒体の磁気記録面とを密着させ、該密着させた磁気転写用パターンドマスター担体と磁気記録媒体に磁界を印加して、前記磁気転写用信号パターンを前記磁気記録媒体の記録面に磁気転写することを特徴とするものである。
【００１８】
このようにして磁気転写された磁気記録媒体上のビットはマスター担体上のビットエレメントに１：１で対応するものであり、同様に、磁気記録媒体上のビット列はマスター担体上のエレメント列に対応するものである。
【００１９】
本発明の磁気転写用パターンドマスター担体は、トラック幅方向に隣接して配置されたビット列信号を有し、該トラック幅方向に隣接配置されたビット列信号が、磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結されている磁気転写用信号パターンを表面に有することを特徴とするものである。
【００２０】
本発明の磁気記録再生装置は、磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドに対向して配置されるプリフォーマットされた磁気記録媒体と、前記磁気ヘッドを駆動させる手段と、前記磁気記録媒体を駆動させる手段と、前記磁気ヘッドとの間で信号を授受して処理する記録再生信号処理手段と、を備えた磁気記録再生装置であって、前記磁気記録媒体のプリフォーマットがトラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を有する振幅サーボパターンを含み、前記トラック幅方向に隣接配置されたサーボバースト信号が、磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結されていることを特徴とするものである。
【００２１】
なお、上記「プリフォーマットされた磁気記録媒体」は、磁気記録再生装置の磁気ヘッドに対して読み書き可能な位置に配置され得るものであり、磁気記録再生時以外において磁気記録媒体は前記位置に固定された状態であっても、着脱可能な状態であってもよい。
【００２２】
磁気記録媒体に記録される振幅サーボパターンにおけるバーストビットエレメント列を構成するバーストビットは単数でも複数でもよいが、複数の場合は、各記録領域のトラック幅方向記録長が等しく、また、トラック幅方向における端部位置が一致しているものである。同様に磁気転写用パターンドマスター担体の表面に形成されているエレメント列を構成するバーストビットエレメントは単数でも複数もよいが、複数の場合は、各ビットエレメントの上面のトラック幅方向の長さが等しく、またトラック幅方向における端部位置が一致しているものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の磁気転写用信号パターンは、トラック幅方向に隣接して配置されたビット列信号を磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結したことにより、この斜めパターンによって磁気転写時に信号が反転し、両側のビット列信号からの磁界の噴き出しが少なく、不明瞭な磁化によるサブピークの発生も防止でき、ノイズの少ない磁化パターンの形成が行える。
【００２４】
また、上記斜めパターンに応じて転写された斜め磁化パターンは、磁気ヘッドのギャップの延びる方向に対して２０〜７０゜傾斜していることで、この磁化パターンを走査した際の再生出力は低く実質的に磁気ヘッドでは読み取られないものであって、無信号領域として機能し、サーボ信号の場合にはバースト信号の検出に基づく精度の良いトラッキングが行える。
【００２５】
さらに、本発明の磁気記録媒体は、記録された磁化パターンにおけるトラック幅方向に隣接配置されたビット列信号が磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結されていることにより、そのトラック幅方向に隣接配置されたビット列信号の間の無信号部位へのノイズ信号の磁化記録に伴うヘッド走査時のノイズ感知を少なくすることができるため、磁化信号の検出が良好に行える。
【００２６】
本発明の磁気記録媒体の作製方法は、磁気転写用パターンドマスター担体を用いて磁気転写によりトラック幅方向に隣り合うビット列信号を磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結した磁気転写用信号パターンの記録を行うものであるため、磁化パターンの信号読み取りへのノイズの影響を低減した良好なビット記録を行うことができる。
【００２７】
本発明の磁気転写用パターンドマスター担体は、トラック幅方向に隣接配置されたビット列信号が磁気ヘッドのギャップが延びる方向に対する傾斜角度が２０〜７０゜の斜めパターンで連結されている磁気転写用信号パターンを表面に有するので、これを用いれば、本発明の磁気記録媒体を容易に作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００２９】
図１は本発明の磁気転写用信号パターンの一つの実施の形態に係る振幅サーボパターンを示す拡大図であり、図１にはそのパターンの一部を示している。また、この図は、理想的に本発明の振幅サーボパターンが記録された本発明の磁気記録媒体の記録再生層のサーボ信号の磁化パターンの一部を示す拡大図でもある。
【００３０】
振幅サーボパターン１０（磁気転写用信号パターン）は磁気記録媒体の記録再生層に記録されるものであり、磁気記録媒体は、高密度フレキシブルディスク、ハードディスク等の円盤状の磁気記録媒体であり、支持体の片面もしくは両面に磁性層からなる記録再生層を設けた構成である。なお、特に、高密度化達成のためには、薄層塗布磁性層あるいは金属薄膜磁性層等を記録再生層としたものが好適である。支持体はフレキシブルなものでもハードなものでもよい。
【００３１】
磁気記録媒体の記録再生層には同心円状もしくはらせん状にトラックＴnが形成されており、そのトラックＴnに磁化パターンによって本実施形態のサーボ信号を担持する振幅サーボパターン１０が記録される。振幅サーボパターン１０すなわちサーボ信号は、磁気ディスク記録媒体の場合、中心部から等間隔で略放射状に延びる細幅の領域に形成されるサーボフィールド内に記録される信号であり、再生時にヘッドのトラッキングサーボに用いられる信号である。この磁化パターンで記録された振幅サーボパターン１０は、必要に応じて磁気現像等の手段で可視化し確認することができる。
【００３２】
振幅サーボパターン１０が記録される磁気記録媒体のトラックＴnは、図１に示すように、データトラックＤとガードバンドＧがトラック幅方向ｒに順次隣接して形成されている。なお、データトラックＤの幅ＷdとガードバンドＧの幅Ｗgを合わせた幅Ｗtがいわゆるトラックピッチに相当する。ここで、このトラックピッチＷtを好ましくは２００ｎｍ程度以下とする。図中には参考のために模式的に再生ギャップ１５ａを有する磁気ヘッド１５を示す。磁気ヘッド１５はデータトラックＤを通るようにサーボにより位置決めがされる。磁気ヘッド１５のトラック幅方向長は一般にデータトラック幅Ｗdよりも短い。図中矢印ｘはトラック方向を示し、矢印ｒはトラック幅方向を示すものである。なお、矢印ｒは磁気ディスク媒体の径方向と一致するものである。
【００３３】
振幅サーボパターン１０は、トラック方向ｘに順にＡ，Ｂ，ＣおよびＤバーストからなる再生振幅サーボによる位置制御のためのトラッキングサーボ信号で構成されるが、図１には４トラックＴn+1〜Ｔn+4の一部に記録されているＡバーストおよびＢバーストを形成するＡバーストビット列１１およびＢバーストビット列１２の部分のみ示し、各バーストビット列１１，１２は各々複数の矩形状のバーストビット１１１ａ，１１２ａ，１２１ｂ，１２２ｂ，１２３ｂの列状配置で構成される。なお、磁気記録媒体の磁化パターンにおいては、斜線で示す部分がバーストビット記録領域であり、この斜線部分と無地の部分とは互いに逆向きに磁化されている。また、この一つの斜線部のトラック方向の長さとその次の斜線部までの無地の部分のトラック方向の長さの比は１：１とされる。そして、これら一つの斜線部または一つの無地の部分が１ビットに相当し、従って、３６０°の位相の中に２ビット含まれることになる。
【００３４】
このサーボパターン１０におけるＡバーストビット列１１およびＢバーストビット列１２の記録領域は、データトラックＤの幅方向の略中央より隣接するデータトラックＤの幅方向の略中央に跨って配置され、Ａバーストビット列１１とＢバーストビット列１２がトラック幅方向ｒに交互に記録される。また、不図示のＣバーストおよびＤバーストを形成するＣバーストビット列およびＤバーストビット列は、前記ＡおよびＢバーストビット列１１，１２と同様のバーストビットで構成され、その記録領域は一方が奇数トラックに他方が偶数トラックに、それぞれデータトラックＤの幅中央を中心として略１トラックピッチＷtの長さに記録される。
【００３５】
上記振幅サーボパターン１０における各バーストビット列を構成する複数のバーストビット（例えば、トラックＴn+1とトラックＴn+2とに跨るＡ１バーストビット列を構成する複数（図１では５つ）のバーストビット１１１ａ，１１１ａ，…）は、互いに、各記録領域のトラック幅方向ｒの記録長が等しく、かつ、トラック幅方向ｒにおける端部位置が一致している。
【００３６】
図１において、ヘッド１５を第２のトラックＴn+2に位置決めするために、Ａ１バーストビット列およびＢ２バーストビット列が用いられ、Ａ１バーストビット列は第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨っており、Ｂ２バーストビット列は第２のトラックＴn+2および第３のトラックＴn+3に跨っている。上記第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨って記録されているＡ１バーストビット列は、第１のトラックＴn+1上にヘッド１５を位置決めするためにも用いられるものであり、一方、第２のトラックＴn+2および第３のトラックＴn+3に跨って記録されているＢ２バーストビット列は、第３のトラックＴn+3上にヘッド１５を位置決めする際にも用いられるものである。
【００３７】
そして、第２のトラックＴn+2を走行するヘッド１５には、Ａ１バーストビット列とＢ２バーストビット列からの再生振幅が同等となるように位置サーボがかかり第２のトラックＴn+2に位置決めされる。
【００３８】
上記の振幅サーボパターン１０において、第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨って記録されているＡ１バーストビット列と、第３のトラックＴn+3および第４のトラックＴn+4に跨って記録されているＡ２バーストビット列とは、略１トラックピッチ幅Ｗtの間隔（無信号領域）をもって、トラック幅方向ｒに隣り合って記録されるものであるが、両者は斜めパターン１１５によって連結されている。Ｂ１〜Ｂ３のＢバーストビット列においても同様に、１トラックピッチ幅Ｗtに相当する間隔を持って隣り合うＢ１バーストビット列とＢ２バーストビット列とが、およびＢ２バーストビット列とＢ３バーストビット列とが、それぞれ斜めパターン１２５によって連結されている。
【００３９】
上記斜めパターン１１５，１２５は、磁気ヘッド１５のギャップ１５ａが延びる方向に対する傾斜角度θが２０〜７０゜、好ましくは４５〜７０゜、さらに好ましくは５０〜６０゜に設定されている。
【００４０】
上記傾斜角度θを大きくする場合には、図４に示すように、両側のバーストビット列１１，１１を斜めパターン１１６で連結するバーストビット１１１ａ，１１２ａが、図１では１つずれたものであったのに対し、２つずれにさらには３つずれとなるように連結される。この場合に、傾斜角度θが大きくなるに従って斜めパターン１１６の間隔が狭くなり、その形成（描画）が困難となる場合には、図４のように、斜めパターン１１６を間引いて形成してもよい。
【００４１】
このように、Ａ，Ｂ，ＣおよびＤの各バーストビット列の各々において、トラック幅方向ｒに隣り合うバーストビット列（例えば、Ａバーストビット列におけるＡ１バーストビット列とＡ２バーストビット列）を斜めパターン１１５または１１６で連結した振幅サーボパターン１０によると、この斜めパターンの記録のために、磁気転写時に両側のビット列信号からの磁界の噴出し、不明瞭な磁化反転によるノイズの発生が防止できる。また、後述のように、斜めパターン（斜め磁化パターン）は、磁気ヘッド１５のギャップ１５ａの延びる方向に対して２０〜７０゜傾斜していることで、走査再生出力は低く実質的に磁気ヘッド１５では読み取られないものであって、その斜めパターン形成部位はノイズのない無信号領域として機能し、バースト信号の検出に基づく精度の良いトラッキングが行える。
【００４２】
上記図１の例では、斜めパターン１１５，１２５は両側のビット列信号の端部と一体に隙間なく連結しているが、若干の隙間を介して接続するようにしてもよい。
【００４３】
なお、上記振幅サーボパターン１０における図示していないＣバーストビット列およびＤバーストビット列においても同様に、またはこのＣバーストビット列およびＤバーストビット列にのみ隣接するビット列を上記と同様の傾斜角度θの斜めパターンで連結してもよい。
【００４４】
また、図１に示したバーストビット列の各ビット（エレメント）は矩形状であるが、後述の図２(ｂ)に示すビットエレメント形状のように、トラック幅方向端部（角部）がいずれも丸みを帯びている形状でもよく、また、トラック幅方向ｒに対して傾斜した平行四辺形などに形成してもよい。
【００４５】
さらに、図２(ｂ)に示すビットエレメント形状のように、Ａバーストビット列およびＢバーストビット列のそれぞれの記録領域のトラック幅方向ｒの長さをトラックピッチＷtよりも長くし、トラック方向ｘで見たときに両バーストビット列の記録領域がデータトラックＤの幅方向中心部位でトラック幅方向ｒにオーバーラップするように形成してもよい。
【００４６】
この場合には、バーストビットをトラックピッチＷtと略同一長さに記録した場合に比べて、各バーストビットエレメントがいずれもデータトラックＤの幅方向中心を越えた領域に記録されているため、再生信号の振幅を大きくすることができる。
【００４７】
上述した本発明サーボパターンを記録した磁気記録媒体を用いる磁気記録再生装置は、図示してないが、磁気ヘッドと、この磁気ヘッドに対向して配置されるプリフォーマットされた磁気記録媒体と、磁気ヘッドを駆動させる手段と、磁気記録媒体を駆動させる手段と、磁気ヘッドとの間で信号を授受して処理する記録再生信号処理手段とを備えてなる。そして、磁気記録媒体のプリフォーマットがトラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を有する振幅サーボパターンを含み、トラック幅方向に隣接配置されたサーボバースト信号が斜めパターンによって連結されていることで、ノイズが少ない再生信号の振幅を大きくすることができるので、精度の高い位置サーボを実現することができる。
【００４８】
上記のような振幅サーボパターン１０の磁気記録媒体への記録は、そのバーストビット形状の任意性等より磁気転写によって行う。
【００４９】
次に、上記振幅サーボパターン１０を磁気転写によって磁気記録媒体に記録する磁気記録媒体の作製方法を、図２および図３に基づいて説明する。その作製方法の概略は、前述のような異なるトラックに隣接配置されたサーボバースト信号が斜めパターンによって連結された振幅サーボ転写パターン３０を表面に有する磁気転写用パターンドマスター担体３の該表面と、磁気記録媒体２の磁気記録層２ａとを密着させ、該密着させた磁気転写用パターンドマスター担体３と磁気記録媒体２に磁界を印加して、前記振幅サーボ転写パターン３０に対応した磁化パターンを磁気記録媒体２の記録層２ａに磁気転写してなるものである。
【００５０】
この磁気転写に用いる磁気転写用パターンドマスター担体３を図２に示す。図２の(ａ)はマスター担体上面図、(ｂ)は同図(ａ)の一部の拡大図、(ｃ)は同図(ｂ)のIII−III断面図である。
【００５１】
図２(ａ)に示すように、パターンドマスター担体３はディスク状であり、その中心部から等間隔で略放射状に延びる細幅の領域にサーボフィールド４が形成されている。該マスター担体３のサーボフィールド４には、記録する振幅サーボパターンすなわちサーボ信号に対応する凹凸パターンによる図２(ｂ)のようなサーボ転写パターン３０が形成されている。
【００５２】
図２(ｂ)は、パターンドマスター担体３表面のサーボフィールド内の図１と同等のＡバーストビット列およびＢバーストビット列に対応するＡエレメント列３１およびＢエレメント列３２の部分拡大図である。磁気記録媒体上のトラックと同等のトラックを有し、該トラックに沿って凹凸パターンが形成されている。図１に対応するトラックおよびデータトラックＤおよびガードバンドＧおよびそれぞれの幅は同一の符号で示している。
【００５３】
図２中斜線で示す部分は、その形状は図１とは異なる実施形態を示しているが、Ａ１バーストビット列を構成するバーストビットエレメント１１１ａと同じくＡ２バース卜ビット列を構成するバーストビットエレメント１１２ａにそれぞれ対応するバーストビットエレメント３１１ａと３１２ａ、およびＢ１バーストビット列のバーストビットエレメント１２１ｂとＢ２バーストビット列のバーストビットエレメント１２２ｂにそれぞれ対応するバーストビットエレメント３２１ｂと３２２ｂの上面である。Ａ１バーストビット列は第１のトラックＴn+1と第２のトラックＴn+2に跨って形成されており、Ｂ２バーストビット列は第２のトラックＴn+2と第３のトラックＴn+3に跨って形成されている。Ａ１バーストビット列の５つのバーストビットエレメント３１１ａ（同じくＢ２バーストビット列の５つのバーストビットエレメント３２２ｂ等）の上面のトラック幅方向ｒの長さはいずれもトラックピッチＷtより長く、第２のトラックＴn+2のトラック幅方向中央部でエレメント３１１ａの下端部とエレメント３２２ｂの上端部がトラック幅方向にオーバーラップするように形成されている。また、この端部は丸みを帯びている。
【００５４】
さらに、振幅サーボ転写パターン30において、第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨って記録されているＡ１バーストビット列と、第３のトラックＴn+3および第４のトラックＴn+4に跨って記録されているＡ２バーストビット列とは、略１トラックピッチ幅Ｗtの間隔をもって、トラック幅方向ｒに隣り合って記録されるものであるが、両者のビットエレメント３１１ａ，３１２ａは斜めパターン３１５によって連結されている。Ｂ１〜Ｂ２のバーストビット列３２においても同様に、略１トラックピッチ幅Ｗtに相当する間隔を持って隣り合うエレメント３２１ｂとエレメント３２２ｂとが、斜めパターン３２５によって連結されている。
【００５５】
上記斜めパターン３１５，３２５は、前記と同様に、磁気ヘッド１５のギャップ１５ａが延びる方向に対する傾斜角度θが２０〜７０゜、好ましくは４５〜７０゜、さらに好ましくは５０〜６０゜に設定されている。
【００５６】
図２(ｃ)に一部断面図を示すように、パターンドマスター担体３は、表面に凹凸パターンを有する基板４１と、該基板４１上に形成された磁性層４２とを備えてなるものである。本実施形態においては磁性層４２の凸部３２２ｂがＢバーストビット列の各エレメント(Ａバーストビットエレメント３１１ａも同様)を構成している。
【００５７】
基板41はＮｉ、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、セラミックス、合成樹脂等からなるものを用いることができるが、Ｎｉからなるもの、もしくはＮｉを主成分とする合金からなるものが特に好ましい。
【００５８】
磁性層４２の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いることができ、特に好ましいのはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。特にＦｅ70Ｃｏ30が好ましい。なお、基板４１上に配される磁性層４２としては、軟磁性もしくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層を用いることにより、より良好な転写を行うことができる。さらに、磁性層は、基板の飽和磁化よりも高い飽和磁化値を有するものであることが好ましい。
【００５９】
表面に凹凸パターンを有する基板４１の作製は、スタンパー法、フォトリソグラフィー法等を用いて行うことができる。パターンドマスター担体３の作製例は、まず、信号パターンに応じた凹凸パターン（凹凸パターンの凹部と凸部が反転したものを含む）を表面に有する第１の原盤を作製し、この第１の原盤を用いて電鋳により上記凹凸パターンを表面に有する金属板を作製する方法により得ることができる。
【００６０】
表面に凹凸パターンを有する第１の原盤は、フォトリソグラフィー法等を用いて製造することができる。以下、シリコンウエハーを用いて原盤を作製する方法を説明するが、シリコンウエハーの代わりに、石英板またはガラス板を使用することもできる。
【００６１】
まず、表面が平滑なディスク状のシリコンウエハー上にポジ型電子線レジスト層をスピンコート等で設ける。これを回転させながら上記の信号パターンに対応して変調した電子ビームでレジスト層に照射を与え、レジスト層全面を上記信号パターン状に照射する。例えば、この信号パターンが磁気ディスクに使用されるサーボ信号の場合には、一定の間隔をおいて同心円状に形成される多数（例えば、数万）のトラックの各トラック上に、一定間隔で複数（例えば、２００）設けられるセクターの各セクターの一部に、円周方向に延びるサーボ信号に相当するパターンの照射を与える。このようにして、レジスト全面にパターンの照射を与えた後、レジストを現像処理して電子ビームで照射された部分のレジストをシリコンウエハー上から除去し、凸部がレジストで構成され、照射部のレジストが除去されてシリコンウエハー表面が露出した部分が凹部を構成する凹凸形状をその表面に有するシリコンウエハー、すなわち第１の原盤が得られる。
【００６２】
このようにして作製された第１の原盤を用いて、電鋳が行われる。すなわち、上記第１の原盤の凹凸表面上に、必要により、ニッケルまたは銀などの金属をスパッタリング、蒸着または無電解メッキして、薄い導電性膜を形成してから、Ｎｉを前記凸部の高さよりも十分に厚くなるように電気メッキする。その後、電気メッキされたＮｉと第１の原盤とを剥離することにより、表面に前記サーボ信号に相当する、前記電子ビームで照射された部分が凸部を構成する凹凸のパターンを有するＮｉ板（以下、第１の鋳型という）が得られる。このようにして得られた第１の鋳型をそのままで、または更にその凹凸表面に軟磁性層および保護層をこの順に設けたものを、パターンドマスター担体として使用する。
【００６３】
また、前記第１の鋳型を第２の原盤として更に電鋳を行って表面に凹凸を有するＮｉ板（以下、第２の鋳型という）を作製し、これをそのままで、または更にその凹凸表面上に軟磁性層および保護層をこの順に設けた上で、パターンドマスター担体として使用することもできる。この場合、第１の原盤を作製する際に、(１)電子線レジストとしてネガ型のものを使用し、かつサーボ信号に相当する信号パターン状に電子線を照射するか、または(２)電子線レジストとしてポジ型のものを使用し、かつサーボ信号に相当する信号パターンの反転パターン状に電子線を照射することが好ましい。この態様においては、第２の原盤から複数のパターンドマスター担体を作製することができる利点がある。
【００６４】
また、第２の原盤をスタンパーとして使用して、スタンパー法で凹凸の表面を有する樹脂製のディスクを成形し、その凹凸表面上に軟磁性層および保護層をこの順に設けたものをマスター担体とすることも可能である。
【００６５】
一方、前記と同様にして、第１の原盤を作製した後、その表面をエッチング処理すると、凸部を形成しているレジストがエッチングレジストとして機能するので、凹部に相当する部分のシリコンウエハーの表面を選択的にエッチングすることができる。このようにエッチング処理してから、凸部を構成するレジストを除去することによって、シリコンウエハー自体の表面に凹凸のパターンを有する第３の原盤が得られる。この第３の原盤を用いて、上記と同様にして電鋳を行うことにより、表面に凹凸を有するＮｉ板（第３の鋳型）を作製することができる。この第３の鋳型をそのままで、または更にその凹凸表面上に軟磁性層および保護層をこの順に設けて、マスター担体とすることもできる。この態様の場合も、第３の原盤から複数のマスター担体を作製することができる。
【００６６】
マスター担体３の凸部高さ（凹凸パターンの深さ）は、２０〜５００ｎｍの範囲が好ましく、より好ましくは４０〜１００ｎｍである。この凹凸パターンがサンプルサーボ信号である場合は、トラック方向となる円周方向よりも半径方向に長い矩形状の凸部が形成される。
【００６７】
基板の凹凸パターン上への軟磁性層の形成は、軟磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、電気メッキ、無電解メッキのようなメッキ法などを用いて行う。軟磁性層の厚み（凸部上面の磁性層の厚み）は、２０〜５００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは３０〜１００ｎｍである。
【００６８】
また、この凸部表面の磁性層４２の上に３〜３０ｎｍのカーボンまたはダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護層を設けることが好ましく、さらに潤滑剤層を設けても良い。また、軟磁性層と保護層の間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤を設けることにより、磁気記録媒体との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などを抑制し、耐久性をより向上させることができる。
【００６９】
なお、磁気転写用パターンドマスター担体３の構成としては、上記実施形態のマスター担体のものに限らず、基本的にサーボ信号を凹凸パターンとして備えた担体であればよく、凹凸パターンを表面に有する磁性体基板のみからなるもの、凹凸パターンを表面に有する基板と該基板上の少なくとも凸部上面に積層された磁性層とからなるもの、凹凸パターンを表面に有する非磁性基板と該基板の凹部に埋め込まれた磁性層とからなるもの、平板基板上に表面に凹凸パターンを有する磁性層が形成されてなるもの等であってもよい。なお、凹凸パターンを表面に有する非磁性基板と凹部に埋め込まれた磁性層とからなるパターンドマスター担体の場合、上記ビットエレメントは、凹部に埋め込まれた磁性層により構成されるものとなる。
【００７０】
次に、上述の磁気転写用パターンドマスター担体３を用いて磁気ディスク記録媒体２に磁化パターンを磁気転写により記録する方法について図３を参照して説明する。
【００７１】
図３は、この磁気転写の基本工程を説明するための図であり、図３(ａ)は磁場を一方向に印加して磁気記録媒体を初期直流磁化する工程、同図(ｂ)はマスター担体と磁気記録媒体とを密着して初期磁化方向と反対方向磁界を印加する工程、同図(ｃ)は磁気転写後の状態をそれぞれ示す図である。
【００７２】
まず、図３(ａ)に示すように、予め磁気記録媒体２に初期磁界Ｈinをトラック方向の一方の向きに印加して磁気記録層2aの磁化を該一方の向きに初期磁化させる。その後、図３(ｂ)に示すように、この磁気記録媒体２の記録面とマスター担体３の転写パターン面とを密着させ、磁気記録媒体２のトラック方向に前記初期磁界Ｈinとは逆向きの転写用磁界Ｈduを印加する。磁気記録媒体２の記録面とマスター担体３の転写パターンの凸部とが密着した箇所において、磁界Ｈduはマスター担体３の凸部磁性層４２に吸い込まれ、この部分に対応する磁気記録媒体２の磁気記録層2aの磁化は反転せず、マスター担体３の凹部に対応する磁気記録層2aの磁化がマスター担体３の凸部からの漏れ磁界により反転する。その結果、図３(ｃ)に示すように、磁気記録媒体２の磁気記録層2aにはマスター担体３の表面の凹凸パターンに応じた磁化パターンが磁気転写記録される。
【００７３】
なお、初期磁界および転写用磁界は、磁気記録媒体の磁性層の保磁力、マスター担体および磁気記録媒体の磁性層の比透磁率を勘案して定められた値を採用する必要がある。
【００７４】
図２(ｂ)のサーボ転写パターン３０のように、端部が丸みを帯びた形状のビットを記録することは従来のサーボトラックライタによる記録手法では困難であったが、本実施形態のように磁気転写を用いることにより容易に達成することができる。なお、図１の振幅サーボ磁化パターン１０についても磁気転写を用いればサーボトラックライタで記録する場合と比較して短時間でかつ精度よく記録することができる。
【００７５】
ここで、図５に基づき、両側のバーストビット列を連結した斜めパターン１１５ａ，１１５ｂが、磁気ヘッド１５によって実質的に読み取られないことを説明する。また、斜めパターンの傾斜角度θとその出力特性の関係を表１に示す。
【００７６】
図５に示すように、磁気記録媒体における磁化された斜めパターン１１５ａ，１１５ｂは、片側縁と反対側縁とが反対極性にチャージされている。そして、磁気ヘッド１５が図５の(ａ)〜(ｃ)のように移動した際に、(ａ)点では第１の斜めパターン１１５ａの両縁にギャップ１５ａがかかり、この状態の読み取りでは両縁の反対極性が相互に打ち消しあって、出力は発生しない。また、(ｂ)点では第１の斜めパターン１１５ａの片縁と第２の斜めパターン１１５ｂの片縁にギャップ１５ａがかかり、この状態での読み取りは両縁の反対極性が相互に打ち消しあって、出力は発生しない。
【００７７】
次に、(ｃ)点では１つの斜めパターン１１５ａの端部で片縁にギャップ１５ａがかかり、この状態の読み取りではこの片縁のチャージ極性を検知し、弱い出力が発生する。しかし、この出力は、表１に示すように、垂直状態のパターンの読み取り出力に比べて、第１に傾斜角度θの増大に伴う縁辺の長さが増大するチャージ密度出力：ｄＢの低下、および、第２に磁気ヘッド１５のヘッドカバー長さのトラック幅補正によるヘッドカバー長出力：ｄＢの低下で、双方からの出力低下により、合計出力：ｄＢの垂直パターンとの出力差は大幅に低下する。そして、読み取り出力が−８ｄＢより大きく低下すると、実質的に読み取り出力が得られないことになる。
【００７８】
表１の結果、傾斜角度θとチャージ密度による出力低下およびヘッドカバー長さによる出力低下の合計は、傾斜角度θが２０゜以上で−８ｄＢより出力低下が顕著であり、−２０ｄＢ近傍となる５０〜６０゜の傾斜角度θが好ましく、磁気ヘッドで読み取ることのない斜めパターンの形成が得られる。なお、傾斜角度θが７０゜を越え、特に８０゜以上となると、斜めパターン幅が狭くなり、形成困難で実用的ではない。
【表１】
2006172571.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の磁気転写用信号パターンの一実施形態の振幅サーボパターンを示す一部拡大図
【図２】磁気転写用パターンドマスター担体の上面図、一部拡大上面図および一部断面図
【図３】磁気転写方法の基本工程を示す図
【図４】本発明の磁気転写用信号パターンの他の実施形態を示す一部拡大図
【図５】磁化パターンの斜めパターン部位の読み取り特性を説明する図
【符号の説明】
【００８０】
２    磁気記録媒体
３    磁気転写用マスター担体
10    磁気転写用信号パターン（振幅サーボパターン）
30    転写パターン
11,12,31,32     バーストビット列
111a,112a,121b,122b,123b    バーストビット
115,116,125     斜めパターン
311a,312a,321b,322b   バーストビットエレメント
315,325     斜めパターン
【図１】
2006172571.tif 000004
【図２】
2006172571.tif 000005
【図３】
2006172571.tif 000006
【図４】
2006172571.tif 000007
【図５】
2006172571.tif 000008