(57)【要約】【課題】グリーンシートに加工時の残渣が残らないように貫通孔を形成する。【解決手段】グリーンシート１を準備する工程と、前記グリーンシート１を液体が含有される台材１２に配置する工程と、前記グリーンシート１側からレーザー光１３を照射し、必要に応じて貫通孔を形成するとともに、台材１２に含まれる液体を蒸発させて貫通孔５の内壁面の残渣１５を洗浄・除去する工程と、を含むグリーンシートの加工方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリーンシートを準備する工程Ａと、
前記グリーンシートの一方の面に液体を含む台材を配置する工程Ｂと、
前記グリーンシートの他方の面にレーザー光を照射し、前記グリーンシートを貫通する貫通孔を形成するとともに、前記液体を蒸発させて、前記貫通孔の内壁面を洗浄する工程Ｃと、
を含むグリーンシートの加工方法。
【請求項２】
前記貫通孔が洗浄されたグリーンシートは、前記台材から脱離する工程Ｄを含むことを特徴とする請求項１に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項３】
前記グリーンシートは、無機粉末及び有機バインダから成ることを特徴とする請求項１に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項４】
前記液体は水であることを特徴とする請求項１に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項５】
前記液体は、分子量４００程度以下の低分子量の有機材料で構成されていることを特徴とする請求項１に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項６】
前記液体は、フタル酸ジブチル等のフタル酸エステル、アジピン酸エステル、ハイドロクロロフロロカーボン(ＨＣＦＣ)から選ばれる少なくとも１種類であることを特徴とする請求項１に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項７】
前記液体を蒸発させて前記貫通孔の内壁面に露出するグリーンシートの有機バインダを溶解させながら洗浄することを特徴とする請求項３に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項８】
前記液体に対する前記有機バインダの２５℃における溶解度が０．１〜１０％であることを特徴とする請求項７に記載のグリーンシート加工方法
【請求項９】
前記台材が多孔質であり、前記台材中に前記液体が含浸されていることを特徴とする請求項１に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項１０】
前記台材がフィルム状である請求項１に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項１１】
前記台材と前記グリーシシートとの間に支持フィルムを介在されたことを特徴とする請求項１に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項１２】
グリーンシートを準備する工程Ｅと、
前記グリーンシートの所定の位置に貫通孔を形成する工程Ｆと、
前記グリーンシートを、液体を含む台材上に配置させる工程Ｇと、
前記貫通孔部に対応した部分の台材にレーザー光を照射し、前記液体を蒸発させて、前記貫通孔の内壁面を洗浄する工程Ｈと、
を含むグリーンシートの加工方法。
【請求項１３】
前記貫通孔が洗浄されたグリーンシートは、前記台材から脱離する工程Ｉを含むことを特徴とする請求項１２に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項１４】
前記グリーンシートは、無機粉末及び有機バインダから成ることを特徴とする請求項１２に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項１５】
前記液体は水であることを特徴とする請求項１２に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項１６】
前記液体は、分子量４００程度以下の低分子量の有機材料で構成されていることを特徴とする請求項１２に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項１７】
前記液体は、フタル酸ジブチル等のフタル酸エステル、アジピン酸エステル、ハイドロクロロフロロカーボンから選ばれる少なくとも１種類であることを特徴とする請求項１２に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項１８】
前記液体を蒸発させて前記貫通孔の内壁面に露出するグリーンシートの有機バインダを溶解させながら洗浄することを特徴とする請求項１２に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項１９】
前記液体に対する前記有機バインダの２５℃における溶解度が０．１〜１０％であることを特徴とする請求項１８に記載のグリーンシート加工方法。
【請求項２０】
前記台材が多孔質であり、前記台材中に前記液体が含浸されていることを特徴とする請求項１２に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項２１】
前記台材がフィルム状である請求項１２に記載のグリーンシートの加工方法。
【請求項２２】
前記台材と前記グリーシシートとの間に支持フィルムを介在されたことを特徴とする請求項１２に記載のグリーンシートの加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はグリーンシートへの貫通孔を形成する方法、及び／又は、形成された貫通孔を優れた加工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
積層電子部品の製造方法として、無機粉末と有機バインダから成るグリーンシートを作成し、前記グリーンシートを加工し、積層するものがある。そのグリーンシートの加工の中にグリーンシートに貫通孔を形成するものがある。前記貫通孔は貫通孔導体が充填あるいは塗布され、導電経路や外部電極となったり、あるいは、積層電子部品に貫通孔のまま残り機械的接続に使用されたりしていた。前記グリーンシートに貫通孔を加工する方法としては、レーザー光の照射、金型による打抜き、マイクロドリルによる加工等がある。しかしながら、レーザー光の照射の場合、グリーンシートの有機バインダや無機粉末及びそれらがレーザー光により変性した物質が貫通孔の内壁面やふちに残渣として残り、マイクロドリルによる加工や金型による打抜きの場合も、グリーンシートの削り屑や内壁面が崩れた部分が残渣として残り、いずれにしてもグリーンシートの加工くずが残渣として内壁面やふちに残ってしまう。この状態で、貫通孔に導電性ペーストを充填すると、導電性ペーストの充填を阻害して充填不良が発生したり、あるいは、導電性ヘーストの充填後に残渣部分が取れたりして、結果として貫通孔内に異物が存在してしまうことになる。これにより、貫通孔形状異常による製品寸法の規格外れや導通特性に不具合が発生していた。
【０００３】
この問題を解決するため、図４に示すように、貫通孔を形成するグリーンシート１をＰＥＴ（ポリエチエンテレフタレート）やＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）等などの固体の樹脂部材からなる台材２２を配置して、グリーンシートの表面側からレーザー光を照射して、貫通孔２を形成するとともに、ＰＥＴやＰＥＮ等の台材２２にレーザー光を到達させて、照射することにより、ＰＥＴやＰＥＮ等の台材２２の成分が揮発して、この揮発圧力により貫通孔内の残渣を除去することが提案されている。（例えば特許文献１参照）
【特許文献１】特開２００３−３４０８１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の多層電子部品の製造方法では、ＰＥＴやＰＥＮ等の台材のレーザー光照射により揮発して発生する物質の量が少なく、揮発圧力で貫通孔内の残渣の除去が充分でないという問題があった。さらに、逆に、ＰＥＴ、ＰＥＮ等の成分またはそれらがレーザー光により変性したものが貫通孔に残渣として残ってしまうこともあった。このように、従来の技術において、貫通孔に残渣が残る場合もあり、先の場合と同様に、貫通孔充填工程における充填不良、後で残渣部が取れることによる異物混入、孔形状異常による製品寸法の規格外れ等の問題を完全に防止できるものではなかった。
【０００５】
本発明は、上述の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、内壁面に残渣が存在しない貫通孔を有するグリーンシートの加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、グリーンシートを準備する工程Ａと、前記グリーンシートの一方の面に液体を含む台材を配置する工程Ｂと、前記グリーンシートの他方の面にレーザー光を照射し、前記グリーンシートを貫通する貫通孔を形成するとともに、前記液体を蒸発させて、前記貫通孔の内壁面を洗浄する工程Ｃと、を含むグリーンシートの加工方法である。なお、前記貫通孔が洗浄されたグリーンシートは、前記台材から脱離する工程Ｄを含むことを特徴とする。
【０００７】
また、グリーンシートを準備する工程Ｅと、前記グリーンシートの所定の位置に貫通孔を形成する工程Ｆと、前記グリーンシートを、液体を含む台材上に配置させる工程Ｇと、前記貫通孔部に対応した部分の台材にレーザー光を照射し、前記液体を蒸発させて、前記貫通孔の内壁面を洗浄する工程Ｈと、を含むグリーンシートの加工方法である。なお、前記貫通孔が洗浄されたグリーンシートは、前記台材から脱離する工程Ｉを含むことを特徴とする。
【０００８】
前記グリーンシートは、無機粉末及び有機バインダから成ることを特徴とする。また、前記液体は水であることを特徴とする。また、前記液体は、分子量４００程度以下の低分子量の有機材料で構成されていることを特徴とする。また、前記液体は、フタル酸ジブチル等のフタル酸エステル、アジピン酸エステル、ハイドロクロロフロロカーボン(ＨＣＦＣ)から選ばれる少なくとも１種類であることを特徴とする。
【０００９】
前記液体を蒸発させて前記貫通孔の内壁面に露出するグリーンシートの有機バインダを溶解させながら洗浄することを特徴とする。
【００１０】
また、前記液体に対する前記有機バインダの２５℃における溶解度が０．１〜１０％であることを特徴とする。
【００１１】
また、前記台材が多孔質であり、前記台材中に前記液体が含浸されていることを特徴とする。
【００１２】
前記台材がフィルム状であることを特徴とする。また、前記台材と前記グリーシシートとの間に支持フィルムを介在されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のグリーンシートの加工方法によれば、グリーンシートを液体が含まれる台材を配置して、前記グリーンシートの表面側（台材側と反対の面側）より所定の位置にレーザー光を照射し、前記グリーンシートに貫通孔を形成するとともに、前記レーザー光を前記台材にまで到達させる。この結果、この台材に含有される液体が、レーザー光照射による少ない熱エネルギーによって、多量に蒸発することになる。その結果、貫通孔の内壁面および縁に付着している残渣を除去（洗浄）することができる。
【００１４】
また、本発明のグリーンシートの加工方法によれば、上述のグリーンシートの加工の様にレーザー光による貫通孔形成と貫通孔の内壁面の残渣の除去を同時に行うのではなく、グリーンシートに予め貫通孔を形成しておき、このようなグリーンシートを台材に配置して、貫通孔内の残渣の除去を行ってもよい。貫通孔の形成と貫通孔の内壁面の残渣の除去を別に行えば、液体を蒸発させるレーザーのエネルギー量は、グリーンシートに貫通孔を開けるエネルギー量の影響を受けなくなるため、安定したエネルギー量で液体を蒸発させることが出来、安定した貫通孔の洗浄効果が得られる。
【００１５】
本発明では、液体をレーザー光によって台材に含まれる液体を蒸発させている。このため、従来のように樹脂フィルム材料の成分を揮発させて得られる揮発量に比較して、液体から蒸発する気体が非常に多量に得られることから、貫通孔の残渣を容易に貫通孔の外部に除去することができる。
【００１６】
更に、液体として水を用いることにより、取り扱いが容易となり、有機成分に比較して引火などの問題は一切発生しない。そのため、引火等の事故を防ぐために加工条件が制限されることがなくなり、加工条件の選択の範囲が広がる。例えば、レーザー光のエネルギーを高くすることができるので、蒸発した液体が勢いよく貫通孔の内壁面に接するので、残渣を吹き飛ばす効果が高められ、除去効果が高くなる。
【００１７】
また更に、液体として分子量が４００以下の有機材料の液体を用いることにより、少ないエネルギー量のレーザー光で多くの気体を蒸発させることができるため、洗浄効果を向上させることができる。
【００１８】
更にまた、グリーンシートの有機バインダに応じて台材に含有させる液体を適宜選択することにより、液体のの蒸発時に前記貫通孔の内壁面のグリーンシートに含まれる有機バインダを溶解させることができるため、残渣の除去の効果が一層向上する。
【００１９】
また更に、液体に対する有機バインダの２５℃における溶解度が０．１％〜１０％に設定することが重要である。なお、液体の有機バインダの２５℃における溶解度が０．１％未満では、上述の有機バインダを溶解する効果が小さく、溶解度が１０％を越えると、貫通孔内壁面で台材の近傍のシートでの溶解度合いが大きく、台材の反対側では溶解度合いが小さくなり、貫通孔の形状が不安定となってしまう。
【００２０】
更にまた、前記台材が多孔質であり、前記台材中に前記液体が含浸されていることから、蒸発した液体はレーザー光が照射された貫通孔直下の台材からだけでなく、レーザー光の熱の伝わる周囲の部分からも発生し、洗浄効果が高くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
図１（ｄ）は本発明のグリーンシート各プロセスにより加工されたグリーンシートの一形態である。グリーンシート１には、貫通孔２が形成されている。グリーンシート１は、無機物粉末と有機バインダから成っており、その厚みは例えば、１〜２００μｍに設定される。無機物粉末としては、例えば、ＢａＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３等を主成分とする高誘電率の誘電体材料が用いられる。有機バインダとしては、例えば、ポリビニルブチラール等のポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリアクリレート、ポリメタクリレートが用いられる。ポリビニルアセタールは有機バインダの靱性が高いため、グリーンシートの強度が強くなり、グリーンシートの加工精度が高くなるため好ましい。ポリアクリレート、ポリメタクリレートは有機バインダの熱分解が低い温度でおこり、誘電体層の層間剥離がおこりにくいため好ましい。グリーンシート１の貫通孔２には、この後、例えば導体ペースト等が充填、あるいは内壁面に塗布される等の加工が行われる。その後、グリーンシート１は複数積層され、積層電子部品の製造に用いられる。
【００２３】
続いて、本発明による第１の実施形態であるグリーンシートの加工方法を説明する。
【００２４】
図１（ａ）〜（ｄ）は本発明の第１の実施形態によるグリーンシートの加工方法の断面図である。本発明によるグリーンシート１の加工方法は、工程Ａ〜工程Ｄを経て貫通孔２が形成される。
【００２５】
（工程Ａ）  ＢａＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３等を主成分とする誘電体材料の粉末に適当な有機溶剤、ガラス粉末、有機バインダとしてポリビニルブチラール等を加えて混合してスラリーを作成し、得られたスラリーを公知のドクターブレード法等によって所定形状、所定寸法の誘電体層となるグリーンシート１を形成する。
【００２６】
（工程Ｂ）  図１（ｂ）に示す様に、グリーンシート１の一方の面を、液体を含んだ台材１２の支持面に配置する。
【００２７】
（工程Ｃ）  図１（ｃ）に示す様に、グリーンシート１の他方の面側より所定の位置にレーザー光１３を照射し、グリーンシート１に貫通孔２を形成するとともに、レーザー光１３を台材１２の支持面にまで到達させる。これにより、台材１２中の液体が多量の気体が蒸発して、貫通孔２の内壁面およびへりに付着している残渣を除去することが出来る。この台材１２に含有された液体にかえて、例えば、固体や固体状の高分子物質を用いた場合、固体から揮発する物質の体積は少ない。すなわち、固体状が高分子物質の場合はレーザー光１３により分解されてもモノマーやＣＯ２、Ｈ２Ｏ、ＮＯ２等の高分子物質に含まれる個別の分子状態まで分解されるとは限らないため揮発分の体積は少ない。また、固体や固体状の高分子物質あるいは、それらから変成された分解が不充分な固形物が貫通孔２の内壁面に付着してしまうこともある。本願発明のように台材１２に液体を含有させれば少ないエネルギーで液体から大量の成分を蒸発させることが出来る。なお、液体の材料としては、例えば、水、フタル酸ジブチル等のフタル酸エステル、アジピン酸エステル、ハイドロクロロフロロカーボン(ＨＣＦＣ)等を用いることが出来る。液体が水を用いた場合には、レーザー光の熱エネルギーにより、有機物に比較して引火等の事故が起きることはない。そのため、引火等の事故を防ぐために加工条件が制限されることがなくなり、加工条件の選択の範囲が広がる。このため、レーザー光のエネルギーを高くすることができるため、蒸発した水分（水蒸気）が高速・高圧力で貫通孔２の内壁面に接するため、残渣を吹き飛ばす効果が高められ、洗浄効果が高くなる。
【００２８】
なお、液体としては水に限らず分子量４００程度以下の低分子量の液体を使用すればよい。分子量４００以下とすれば、レーザー光の照射により、充分な量の気体が発生する。分子量４００以下の液体としては、フタル酸ジブチル、フタル酸ジオクチル、アジピン酸ジオクチル、ＨＣＦＣ−１２３、ＨＣＦＣ−１２４等が例示できる。さらに分子量１００程度以下の液体を使用すれば、蒸発後の体積が大きくなるため、洗浄効果が高くなるため好ましい。分子量１００以下の液体としてはＨＣＦＣ−２２、水等が例示できる。
【００２９】
また、台材１２に含有される液体の含有率を２０重量％以上とすれば、液体の蒸発量が多くなり、洗浄効果が高くなる。さらに、洗浄剤の蒸発量を多くして洗浄効果を更に高くするため、台材１２に含有する液体の含有率を５０％以上であることが好ましい。
【００３０】
更に、液体に対するグリーンシート１の有機バインダの２５℃における溶解度を０．１％以上とすることにより、液体は単に蒸発して物理的に残渣を吹き飛ばすだけでなく、材質がグリーンシート１又はグリーンシート１が変性したできた残渣、および、残渣が付着している部分のグリーンシート１を容易に溶解するため、より高い洗浄効果が得られる。また、液体に対するグリーンシート１の有機バインダの２５℃における溶解度が１０％以下あることから、グリーンシート１の貫通孔２の台材付近での洗浄効果と、グリーンシート１の表面側での洗浄効果の差を少なくし、形状の差を少なくしている。なお、形状の差を少なくするため、洗浄剤に対するグリーンシート１の有機バインダの２５℃における溶解度は２％以下であるのがより好ましい。
【００３１】
上述の溶解度を満足させるグリーンシート１を構成する有機バインダと液体の組合せとしては、例えば、有機バインダとしてポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリアクリレート、ポリメタクリレート等と、液体として水の組合せが例示できる。なお、この場合、ポリアクリレート、ポリメタクリレートはカルボキシル基、水酸基等の極性基を付加して水への溶解度を高くする必要がある。
【００３２】
また、別の組合せとしては、有機バインダとしてポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリアクリレート、ポリメタクリレート等と、液体としてフタル酸エステル、アジピン酸エステルの組合せが例示できる。
【００３３】
なお、液体の蒸発による有機バインダの溶解性を評価する方法として、沸騰している液体に対する有機バインダの溶解度を測定してもよく、沸騰時の液体に対するグリーンシート１の有機バインダの溶解度は、溶解性をよくするため２０％以上好ましく、さらには、貫通孔２の台材側の部分とその反対側の部分の形状の差を少なくするため１００％以下が好ましい。
【００３４】
台材１２としては、例えば、紙、多孔質のＰＥＴ、多孔質のＰＥＮ等の多孔質の基材に液体を含浸させたものが用いられる。このとき、台材１２の基材が多孔質であれば、液体は台材１２のレーザー光１３が照射された貫通孔２の直下部分だけではなく、レーザー光の熱の伝わる周囲の部分からも発生して洗浄効果が高くなる。なお、レーザー光を照射して液体を蒸発させている際、台材１２のグリーンシート１が配置された面と反対面から液体を供給するようにすれば、複数の貫通孔２が近接したグリーンシート１であって、貫通孔２を１つずつ加工する場合でも、近接しあう貫通孔２すべてに対して安定した洗浄効果が得られる。
【００３５】
また、台材１２の形態がフィルム状とすれば加工装置内で台材１２とグリーンシート１を同時に搬送したり、台材１２をローラー等で送ることにより加工に使用した台材１２を加工に使用していない台材１２に入れ替えたりすることが容易となる。
【００３６】
（工程Ｄ）  このようにして、貫通孔２および貫通孔２の内壁面が洗浄されたグリーンシート１を、台材１２の支持面から脱離する。
【００３７】
続いて、本発明による第２の実施形態であるグリーンシートの加工方法を第１の実施例に基づいて説明する。ただし、前述の実施例と重複する説明は省く。
【００３８】
図３（ｂ）は本発明の第２の実施形態によるグリーンシート加工方法の主要工程における断面図である。具体的には、グリーンシート１と台材１２との間に、第２の台材である支持フィルム１４を介在させた。
【００３９】
本発明によるグリーンシート１の加工方法は、工程Ａ〜工程Ｄを経て貫通孔２が形成されるものであるが、前述の工程Ａ〜工程Ｄと比較して以下の変更をおこなったものである。
【００４０】
工程Ａにおいて、グリーンシート１を、液体の含有率が２重量％以下である支持フィルム１４を貼着する。支持フィルム１４の材質としては、液体成分が２％以下である通常のＰＥＴやＰＥＮが例示できる。なお、グリーンシート１と支持フィルム１４の貼着は、スラリーを支持フィルム１４上に塗布して支持フィルム１４上にグリーンシート１を成形することで行ってもよい。
【００４１】
工程Ｂにおいて、グリーンシート１と支持フィルム１４の支持フィルム側を液体である洗浄剤の含有率が２０重量％以上である台材１２の支持面に配置する。
【００４２】
工程Ｃにおいて、グリーンシート１の所定の位置にレーザー光１３を照射し、グリーンシート１と支持フィルム１４に貫通孔２を形成するとともに、レーザー光１３を台材１２の支持面まで到達させ、台材１２から液体を多量に蒸発させ、貫通孔２の内壁面およびへりに付着している残渣を除去することが出来る。このときの液体の蒸発する経路１６を模式的に表したのが図３（ｂ）である。支持フィルム１４が無い場合、図３（ａ）に示すようにグリーンシート１の台材１２の近傍部分は、台材１２から離れた部分と比較して、液体の蒸発分が垂直かつ多くグリーンシート１の貫通孔２の内壁面に接触するため、グリーンリートの１の溶解する量が大きくなり、グリーンシート１の貫通孔２の台材１２側の部分と離れる側の部分で貫通孔２の形状に差ができることがあったが、支持フィルム１４を介在させることにより、グリーンシート１の貫通孔２の台材１２近傍部分と台材１２から離れた部分とで液体の蒸発分のあたる角度、量共に差が少なくなり、グリーンシート１の貫通孔２の形状の差を少なくすることができる。
【００４３】
さらに、支持フィルム１４の厚さｔと貫通孔２の直径ｄの関係をｔ≧ｄとすれば、支持フィルム１４を通り抜けて、グリーンシート１の貫通孔２に到達した蒸発した液体はグリーンシート１の貫通孔２の内壁面に略平行に当たるようになり、貫通孔２の形状の差を少なく出来るためさらに好ましい。
【００４４】
続いて、本発明による第３の実施形態であるグリーンシートの加工方法を説明する。ただし、前述の実施例と重複する説明は省く。
【００４５】
図２（ａ）〜（ｅ）は本発明の第３の実施形態によるグリーンシートの加工方法を示す主要工程の断面図である。本発明によるグリーンシート１の加工方法は、工程Ｅ〜工程Ｉを経て貫通孔２が形成される。
【００４６】
（工程Ｅ）  まず、所定形状、所定寸法のグリーンシート１を形成する。
【００４７】
（工程Ｆ）  図２（ｂ）に示す様に、グリーンシート１の所定の位置に貫通孔２を形成する。貫通孔２の形成方法としては、レーザー光の照射、マイクロドリルによる加工、金型による打抜き等が例示できる。レーザー光の照射の場合、グリーンシート１の有機バインダや無機粉末及びそれらがレーザー光により変性した物質が貫通孔２の内壁面に残渣１５が残り、マイクロドリルによる加工や金型による打抜きの場合も、グリーンシート１の削り屑や内壁面が崩れた部分が残渣１５として残り、いずれにしても残渣１５が内壁面に残ってしまう。
【００４８】
（工程Ｇ）  図２（ｃ）に示す様に、グリーンシート１を液体の含有する台材１２の支持面に配置する。液体の含有率は２０重量％以上である。
【００４９】
（工程Ｈ）  図２（ｄ）に示す様に、台材１２の貫通孔２に対応した部分にレーザー光１３を照射することにより、台材１２中の液体を多量に蒸発させ、貫通孔２の内壁面およびへりに付着している残渣１５を除去することが出来る。これにより、液体を蒸発させるレーザー光１３のエネルギー量はグリーンシート１に貫通孔２を開けるエネルギー量のバラツキに影響されることなく一定になるため、安定した貫通孔２の洗浄効果が得られる。なお、各断面図ではレーザー光１３をグリーンシート側から照射しているが、その反対側の面である台材１２側から照射してもかまわない。
【００５０】
（工程Ｉ）  グリーンシート１を台材１２の支持面から脱離する。
【００５１】
以上の工程によってグリーンシート１に内壁面に残渣の無い貫通孔２を形成することが出来る。
【００５２】
この方法においても、上述したように、貫通孔を予め形成したグリーンシート１と台材１２との間に、支持フィルム１４を介在させてもよい。この場合の支持フィルム１４においても、貫通孔２に対応する位置に、予め貫通孔を形成しておいてよい。また、グリーンシート１に形成された貫通孔を介して、レーザー光を支持フィルムに照射して、支持フィルム１４に貫通孔を形成するとともに、台材１２に含有された液体を蒸発させるようにしてもよい。
【００５３】
これにより、図３（ｂ）に示すように、支持フィルム１４に介在させることにより、グリーンシート１の貫通孔２の形状の差を少なくすることが出来る。
【００５４】
工程Ｉのあとにグリーンシート１から支持フィルム１４を剥離する。
【００５５】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更、改良等が可能である。
【００５６】
例えば、図面には、台材はレーザー光が当たった部分に貫通孔が形成されていない状態を示したが、加工後の台材はレーザー光の照射された部分に貫通孔が形成されていてもよい。
【００５７】
また、貫通孔の形成と貫通孔洗浄に使用するレーザーは、それぞれＣＯ２レーザー、ＵＶ−ＹＡＧレーザー、あるいはエキシマレーザー等が使用できる。
【００５８】
なお、洗浄工程で発生した液体が、グリーンシートに微量付着することがある。これに対して、自然放置による乾燥、グリーンシートへの吸収、あるいは、必要に応じて加温等により強制乾燥を行ってもよい。
【００５９】
また更に、台材または液体に吸光剤を加えて、照射されるレーザー光の利用効率を高めて、加工時間を短縮したり、洗浄剤の蒸発する速度を高めて洗浄効率を高めたりしてもよい。
【００６０】
更にまた、上述の貫通孔の加工は、グリーンシート１枚に対して行うものに限定されるものではなく、複数のグリーンシートを積層した積層体に対して行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】（ａ）〜（ｄ）は、本発明によるグリーンシートの加工方法の主要工程の断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は、本発明による別のグリーンシートの加工方法の主要工程の断面図である。
【図３】（ａ）は、グリーンシートの加工方法で、グリーンシートの貫通孔の形状に差の発生した状態の断面図であり、（ｂ）はさらに別のグリーンシートの加工方法の主要工程の断面図である。
【図４】従来のグリーンシートの加工方法の工程の断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１・・・グリーンシート
２・・・貫通孔
１２・・・液体を含んだ台材
１３・・・レーザー光
１４・・・支持フィルム
１５・・・貫通孔加工の残渣
１６・・・液体の蒸発経路
【図１】
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【図２】
2006205544.tif 000004
【図３】
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【図４】
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