(57)【要約】【課題】インクの吐出量や吐出タイミング等をノズルごとに任意に変更可能とする。【解決手段】本発明に係る液滴吐出制御装置としてのインクジェットプリンタ１は、駆動パルスに基づきインクを吐出する複数のノズル２１〜２ｎと、前記駆動パルスの駆動波形を決定するためのパラメータを記憶する複数の波形パラメータ記憶部１１，１２と、複数の波形パラメータ記憶部１１，１２の中から一の波形パラメータ記憶部１１，１２を選択する、ノズル２１〜２ｎの数と同数の波形パラメータ選択部９１〜９ｎと、波形パラメータ選択部９１〜９ｎが選択した波形パラメータ記憶部１１，１２の前記パラメータに応じて前記駆動パルスの駆動波形を生成する、ノズル２１〜２ｎの数と同数の駆動波形生成部６１〜６ｎとを、備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動パルスに基づき液滴を吐出する複数のノズルと、
前記駆動パルスの駆動波形を決定するためのパラメータを複数の異なる駆動波形の分だけ記憶可能な波形パラメータ記憶部と、
複数の前記波形パラメータ記憶部の中から一の前記波形パラメータ記憶部を選択する、前記ノズルの数と同数の波形パラメータ選択部と、
前記波形パラメータ選択部が選択した前記波形パラメータ記憶部の前記パラメータに応じて前記駆動パルスの駆動波形を生成する、前記ノズルの数と同数の駆動波形生成部と、
を備える液滴吐出制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出制御装置において、
前記各波形パラメータ選択部が、
前記ノズルに対応するデータに基づき前記波形パラメータ記憶部を選択することを特徴とする液滴吐出制御装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出制御装置において、
前記ノズルに対応するデータが前記液滴の吐出の有無を示すデータであることを特徴とする液滴吐出制御装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出制御装置において、
前記パラメータが前記駆動パルスの駆動波形の波形幅を決定する因子であることを特徴とする液滴吐出制御装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出制御装置において、
前記パラメータが書換え可能であることを特徴とする液滴吐出制御装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出制御装置において、
前記各駆動波形生成部の前記駆動パルスの駆動波形の生成タイミングを制御する吐出タイミング制御部を備えることを特徴とする液滴吐出制御装置。
【請求項７】
請求項６に記載の液滴吐出制御装置において、
前記ノズルの数に対応する分だけ前記ノズルに対応するデータをラッチするラッチ回路と、
前記吐出タイミング制御部で生成された信号によって、前記ラッチ回路でラッチされたデータをラッチする第２のラッチ回路と、
を備えることを特徴とする液滴吐出制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は各種の液体を滴として吐出可能な液滴吐出制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、液体を滴として吐出可能な液滴吐出装置が種々の技術分野で適用・応用されている。液滴吐出装置は詳しくは複数のノズルを備えており、各ノズルから各種の液滴を対象物に向けて吐出するようになっている。当該液滴吐出装置は従来からインクジェットプリンタ等の画像記録装置に好適に用いられているが、近年では、極微量の液体を所定量だけ精度よく吐出可能であるという特性から、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタや配向膜を製造するディスプレイ製造装置や、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ等の電極を形成する電極製造装置にも適用されている。
【０００３】
ところで、上記した液体吐出装置では、各ノズル同士で液滴の吐出量にばらつきがあるのは好ましくなく、インクジェットプリンタを例にすれば、画像にインクの濃度むらが現れて画質の低下を招くし、ディスプレイ製造装置を例にすれば、膜厚が不均一だったり混色が発生したりして品質の低下を招く。
【０００４】
このような不都合を解決する技術が特許文献１に開示されている。具体的に、特許文献１に記載の技術では、ノズルと同数のセレクタが配され、かつ、各ノズルに出力するための駆動信号の駆動波形（特許文献１中では「印字波形信号（クロック）」と記載されている。）が所定の数だけ予め準備されている。そして各セレクタが、入力された記録データ（特許文献１中では「パラレル印字データ（選択信号）」と記載されている。）に基づき予め準備された駆動波形の中から一の駆動波形を選択して、各ノズルがその選択された駆動波形の駆動信号に基づきインクを吐出するようになっている（段落番号００４７〜００４９，図３，図６，図７等参照）。
【特許文献１】特開２０００−１５８６４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、各セレクタが、予め準備された駆動波形の中から一の駆動波形を選択するという点において各ノズルに対応する駆動波形を選択することができるようになってはいるが、各セレクタに入力される記録データが全て同一であるため、各ノズルに出力される駆動信号の駆動波形も全て共通な同一形状を有している。そのため、各ノズル同士を比較すると、インクの吐出量（滴数）や吐出タイミング等の駆動波形に起因する各因子が同一であり、インクの吐出量や吐出タイミング等をノズルごとに制御することはできない。
本発明の目的は、インクの吐出量や吐出タイミング等をノズルごとに任意に変更可能な液滴吐出制御装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため請求項１に記載の液滴吐出制御装置は、
駆動パルスに基づき液滴を吐出する複数のノズルと、
前記駆動パルスの駆動波形を決定するためのパラメータを複数の異なる駆動波形の分だけ記憶可能な波形パラメータ記憶部と、
複数の前記波形パラメータ記憶部の中から一の前記波形パラメータ記憶部を選択する、前記ノズルの数と同数の波形パラメータ選択部と、
前記波形パラメータ選択部が選択した前記波形パラメータ記憶部の前記パラメータに応じて前記駆動パルスの駆動波形を生成する、前記ノズルの数と同数の駆動波形生成部と、
を備えることを特徴としている。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、
請求項１に記載の液滴吐出制御装置において、
前記各波形パラメータ選択部が、
前記ノズルに対応するデータに基づき前記波形パラメータ記憶部を選択することを特徴としている。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、
請求項２に記載の液滴吐出制御装置において、
前記ノズルに対応するデータが前記液滴の吐出の有無を示すデータであることを特徴としている。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出制御装置において、
前記パラメータが前記駆動パルスの駆動波形の波形幅を決定する因子であることを特徴としている。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出制御装置において、
前記パラメータが書換え可能であることを特徴としている。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出制御装置において、
前記各駆動波形生成部の前記駆動パルスの駆動波形の生成タイミングを制御する吐出タイミング制御部を備えることを特徴としている。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、
請求項６に記載の液滴吐出制御装置において、
前記ノズルの数に対応する分だけ前記ノズルに対応するデータをラッチするラッチ回路と、
前記吐出タイミング制御部で生成された信号によって、前記ラッチ回路でラッチされたデータをラッチする第２のラッチ回路と、
を備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、各ノズルに対応してノズルの数と同数の波形パラメータ選択部及び駆動波形生成部を備えるから、複数の波形パラメータ記憶部の中から一の波形パラメータ選択部を選択してその選択した波形パラメータ記憶部のパラメータに応じて駆動パルスの駆動波形をノズルごとに生成することができる。そのため、駆動波形で定められるインクの吐出量や吐出タイミング等をノズルごとに任意に変更することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態について説明する。ただし、以下に述べる第１，第２の各実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲は以下の第１，第２の各実施形態及び図示例に限定されるものではない。
【００１５】
以下の第１，第２の各実施形態では、本発明に係る液滴吐出制御装置をインクジェットプリンタに適用した例を示しており、液滴としてインク滴を吐出するようになっている。
【００１６】
［第１の実施形態］
図１は第１の実施形態に係るインクジェットプリンタ１の要部構成を示すブロック図であって記録ヘッド２と吐出制御回路３との概略構成を示すブロック図である。
【００１７】
図１に示す通り、インクジェットプリンタ１は、インクを記録媒体に向けて吐出する吐出ヘッドとしての記録ヘッド２と、記録ヘッド２のインクの吐出を制御する吐出制御回路３とを、有している。
【００１８】
記録ヘッド２はインクを吐出するｎ個（「ｎ」は複数で例えばｎ＝１２８）のノズル２１，２２，…，２ｎを有している。各ノズル２１〜２ｎには圧電素子等の記録素子が配されており、それら各記録素子が吐出制御回路３に接続されている。各ノズル２１〜２ｎは、吐出制御回路３から駆動パルスを受けて記録素子が駆動され、インクを滴として吐出するようになっている。
【００１９】
吐出制御回路３は各ノズル２１〜２ｎ（の記録素子）に駆動パルスを出力して各ノズル２１〜２ｎを駆動・制御するものであり、吐出制御回路３には、記録データのシリアル−パラレル変換をおこなうシフトレジスタ４が配されている。シフトレジスタ４にはインクの吐出の有無を示すシリアル形式の「記録データ」が入力されるようになっており、シフトレジスタ４は、シリアル形式の記録データの入力を受けてそのシリアル形式の記録データをパラレル形式の記録データに変換するようになっている。
【００２０】
シフトレジスタ４には、シリアル−パラレル変換された記録データをラッチするラッチ回路５が接続されている。ラッチ回路５は、シリアル−パラレル変換後の記録データをノズル２１〜２ｎの数の分だけラッチするようになっている。
【００２１】
ラッチ回路５にはｎ個の第２のラッチ回路８１〜８ｎが接続されている。第２のラッチ回路８１〜８ｎはノズル２１〜２ｎと同数のｎ個配されており、各第２のラッチ回路８１〜８ｎがノズル２１〜２ｎと１対１で対応している。すなわち、第２のラッチ回路８１〜８ｎはノズル２１〜２ｎごとに１つずつ配されている。
【００２２】
第２のラッチ回路８１は、ラッチ回路５でラッチされた記録データのうちノズル２１に対応する記録データをラッチするようになっている。これと同様に、その他の第２のラッチ回路８２〜８ｎも、ラッチ回路５でラッチされた記録データのうちノズル２２〜２ｎに対応する記録データをそれぞれラッチするようになっている。
【００２３】
データラッチ部としての各第２のラッチ回路８１〜８ｎには波形パラメータ選択部９１〜９ｎが１つずつ接続されている。波形パラメータ選択部９１〜９ｎはノズル２１〜２ｎと同数のｎ個配されており、各波形パラメータ選択部９１〜９ｎがノズル２１〜２ｎと１対１で対応している。すなわち、波形パラメータ選択部９１〜９ｎはノズル２１〜２ｎごとに１つずつ配されている。
【００２４】
各波形パラメータ選択部９１〜９ｎには２つの波形パラメータ記憶部１１，１２が接続されている。各波形パラメータ記憶部１１，１２は、各ノズル２１〜２ｎに出力する駆動パルスの駆動波形を決定するための基本波形とそのパラメータとをそれぞれ記憶している。
【００２５】
具体的には、各波形パラメータ記憶部１１，１２には、各ノズル２１〜２ｎに出力する駆動パルスの駆動波形の基本波形が図２（ａ）に示す通りに予め記憶されており、各波形パラメータ記憶部１１，１２が図２（ａ）の基本波形中の各時間Ｔ１〜Ｔ５をパラメータとして記憶している。特にパラメータとしての各時間Ｔ２，Ｔ４は図２（ａ）の基本波形中の波形幅を決定する因子となっている。各波形パラメータ選択部９１〜９ｎは、第２のラッチ回路８１〜８ｎでラッチされた記録データに基づき、波形パラメータ記憶部１１，１２のいずれかを選択するようになっている。
【００２６】
なお、吐出制御回路３にはインクジェットプリンタ１の各部位を制御する制御装置（ＣＰＵ）やホストコンピュータが接続可能とされており、これら制御装置やホストコンピュータの処理により、パラメータとしての各時間Ｔ１〜Ｔ５が書換え可能となっている。更に本実施形態では、上記制御装置やコンピュータの処理により図２（ａ）の基本波形の矩形波（図２（ａ）中各時間Ｔ２，Ｔ４に対応する波）の数が変更可能とされてもよく、当該基本波形の矩形波は、図２（ａ）に示す通りの２つに限らず、１つとされてもよいし、３つ以上とされてもよい。
【００２７】
各波形パラメータ選択部９１〜９ｎには、ノズル２１〜２ｎに出力する駆動パルスの駆動波形を生成する駆動波形生成部６１〜６ｎが１つずつ接続されている。駆動波形生成部６１〜６ｎはノズル２１〜２ｎと同数のｎ個配されており、各駆動波形生成部６１〜６ｎがノズル２１〜２ｎと１対１で対応している。すなわち、駆動波形生成部６１〜６ｎはノズル２１〜２ｎごとに１つずつ配されている。
【００２８】
各駆動波形生成部６１〜６ｎには増幅／バッファ回路７１〜７ｎが１つずつ接続されている。増幅／バッファ回路７１〜７ｎはノズル２１〜２ｎと同数のｎ個配されており、各増幅／バッファ回路７１〜７ｎがノズル２１〜２ｎと１対１で対応している。すなわち、増幅／バッファ回路７１〜７ｎはノズル２１〜２ｎごとに１つずつ配されている。
【００２９】
ｎ個の第２のラッチ回路８１〜８ｎと駆動波形生成部６１〜６ｎとには吐出タイミング制御部１０が接続されており、当該吐出タイミング制御部１０が、各第２のラッチ回路８１〜８ｎのラッチ動作と駆動波形生成部６１〜６ｎによる駆動波形の生成開始のタイミングとを制御するようになっている。
【００３０】
次に、インクジェットプリンタ１のインクの吐出動作及びその動作に伴う各部の作用について説明する。
【００３１】
記録ヘッド２の各ノズル２１〜２ｎからのインクの吐出に際して、シリアル形式の記録データがシフトレジスタ４に入力され、シフトレジスタ４が、シリアル形式の記録データをノズル２１〜２ｎの数に対応するパラレル形式の記録データに変換する。
【００３２】
その後、シフトレジスタ４の記録データがラッチ回路５に出力され、ラッチ回路５が、シリアル−パラレル変換済みの記録データをノズル２１〜２ｎの数に対応する分だけラッチする。
【００３３】
その後、吐出タイミング制御部１０から各第２のラッチ回路８１〜８ｎにラッチ信号が出力され、ラッチ回路５の記録データがラッチ回路５から第２のラッチ回路８１〜８ｎに出力される。これにより、各第２のラッチ回路８１〜８ｎが、ラッチ回路５でラッチされた記録データのうちノズル２１〜２ｎに対応する記録データをラッチする。
【００３４】
具体的には、第２のラッチ回路８１は、ラッチ回路５でラッチされた記録データのうちノズル２１に対応する記録データをラッチし、これと同様に、その他の第２のラッチ回路８２〜８ｎが、ラッチ回路５でラッチされた記録データのうちノズル２２〜２ｎに対応する記録データをそれぞれラッチする。
【００３５】
各第２のラッチ回路８１〜８ｎが記録データをラッチするタイミングは、吐出タイミング制御部１０が出力するラッチ信号に同期するものであり、吐出タイミング制御部１０によって第２のラッチ回路８１〜８ｎごとにそれぞれ制御されている。例えば、第２のラッチ回路８１にラッチ信号が入力された後に第２のラッチ回路８２にラッチ信号が入力された場合には、第２のラッチ回路８２は第２のラッチ回路８１に遅れて記録データをラッチするし、逆に、第２のラッチ回路８１にラッチ信号が入力される前に第２のラッチ回路８２にラッチ信号が入力された場合には、第２のラッチ回路８２は第２のラッチ回路８１より先に記録データをラッチする。
【００３６】
その後、各第２のラッチ回路８１〜８ｎの記録データが波形パラメータ選択部９１〜９ｎにそれぞれ出力され、各波形パラメータ選択部９１〜９ｎが、入力された記録データ（各第２のラッチ回路８１〜８ｎから出力された記録データ）に基づき、波形パラメータ記憶部１１，１２のいずれか一方を波形パラメータ選択部９１〜９ｎごとに別々に選択する。
【００３７】
具体的には、波形パラメータ選択部９１には第２のラッチ回路８１の記録データが入力され、当該波形パラメータ選択部９１は、その入力された記録データに基づき波形パラメータ記憶部１１，１２のいずれかを選択する。これと同様に、その他の波形パラメータ選択部９２〜９ｎには第２のラッチ回路８２〜８ｎの記録データが入力され、各波形パラメータ選択部９２〜９ｎは、それら入力された記録データに基づき波形パラメータ記憶部１１，１２のいずれかを波形パラメータ選択部９２〜９ｎごとに別々に選択する。
【００３８】
各波形パラメータ選択部９１〜９ｎが波形パラメータ記憶部１１，１２のいずれかを選択した状態において、吐出タイミング制御部１０が駆動波形の生成を開始する旨の開始信号を各駆動波形生成部６１〜６ｎに出力したら、各駆動波形生成部６１〜６ｎは、それに接続された波形パラメータ選択部９１〜９ｎが選択したパラメータの値で、ノズル２１〜２ｎに出力する駆動パルスの駆動波形を生成する。
【００３９】
具体的には、駆動波形生成部６１は、波形パラメータ選択部９１が選択したパラメータの値で、ノズル２１に出力する駆動パルスの駆動波形を生成する。これと同様に、その他の駆動波形生成部６２〜６ｎは、波形パラメータ選択部９２〜９ｎが選択したパラメータの値で、ノズル２２〜２ｎに出力する駆動パルスの駆動波形をそれぞれ生成する。
【００４０】
例えば、波形パラメータ記憶部１１が各時間Ｔ１〜Ｔ５としてＴ１＝Ｔ２＝１０μｓｅｃ，Ｔ３＝３０μｓｅｃ，Ｔ４＝Ｔ５＝０ｓｅｃと記憶し、かつ、波形パラメータ記憶部１２が各時間Ｔ１〜Ｔ５としてＴ１＝Ｔ２＝Ｔ３＝１０μｓｅｃ，Ｔ４＝５μｓｅｃ，Ｔ５＝１５μｓｅｃと記憶している場合において、波形パラメータ選択部９１は、一方の波形パラメータ記憶部１１のパラメータを選択したらノズル２１に出力する駆動パルスの駆動波形として図２（ｂ）に示すような駆動波形を生成するし、他方の波形パラメータ記憶部１２のパラメータを選択したらノズル２１に出力する駆動パルスの駆動波形として図２（ｃ）に示すような駆動波形を生成する。
【００４１】
なお、各駆動波形生成部６１〜６ｎが駆動波形を生成するタイミングは、吐出タイミング制御部１０が出力する開始信号に同期するものであり、吐出タイミング制御部１０によって駆動波形生成部６１〜６ｎごとにそれぞれ制御されている。例えば、駆動波形生成部６１に開始信号が入力された後に駆動波形生成部６２に開始信号が入力された場合には、駆動波形生成部６２は駆動波形生成部６１に遅れて駆動波形を生成するし、逆に、駆動波形生成部６１に開始信号が入力される前に駆動波形生成部６２に開始信号が入力された場合には、駆動波形生成部６２は駆動波形生成部６１より先に駆動波形を生成する。
【００４２】
各駆動波形生成部６１〜６ｎが駆動パルスの駆動波形を生成したら、当該駆動波形は各増幅／バッファ回路７１〜７ｎに入力されて駆動パルスとされ、各ノズル２１〜２ｎに出力される。そして各ノズル２１〜２ｎ（の記録素子）がそれに対応する駆動パルスを受けて当該駆動パルスに基づきインクを滴として吐出する。
【００４３】
なお、各波形パラメータ選択部９１〜９ｎに入力される記録データには、インクを吐出しない旨の記録データも含まれ、波形パラメータ選択部９１〜９ｎは当該記録データが入力された場合には波形パラメータ記憶部１１，１２の選択はおこなわず、それに対応するノズル２１〜２ｎには駆動パルスが出力されないようになっている。
【００４４】
以上の本実施形態では、各ノズル２１〜２ｎに対応してノズル２１〜２ｎの数と同数の波形パラメータ選択部９１〜９ｎ及び駆動波形生成部６１〜６ｎを備えるから、２つの波形パラメータ記憶部１１，１２の中からいずれか一方の波形パラメータ選択部１１，１２を選択してその選択した波形パラメータ記憶部１１，１２のパラメータの値に応じて駆動パルスの駆動波形をノズル２１〜２ｎごとに生成することができる。そのため、駆動波形で定められるインクの吐出量や吐出タイミング等をノズル２１〜２ｎごとに任意に変更することができる。
【００４５】
［第２の実施形態］
図３は第２の実施形態に係るインクジェットプリンタ１の要部構成を示すブロック図である。
第２の実施形態に係るインクジェットプリンタ１は上記第１の実施形態に係るそれと略同様の構成を有しているが、下記の点で異なっており、それ以外の構成・作用は上記第１の実施形態と同様となっている。以下では第１の実施形態に係るインクジェットプリンタ１と異なる点について説明する。
【００４６】
本実施形態では、波形パラメータ記憶部１１，１２のいずれかの選択を指示する波形パラメータ選択信号出力部１３が設けられており、当該波形パラメータ選択信号出力部１３が各波形パラメータ選択部９１〜９ｎに接続されている。
【００４７】
波形パラメータ選択信号出力部１３は、各波形パラメータ選択部９１〜９ｎに対して波形パラメータ記憶部１１，１２の選択を指示する旨の選択信号を出力するようになっており、各波形パラメータ選択部９１〜９ｎが当該選択信号に基づき波形パラメータ記憶部１１，１２のいずれかを選択するようになっている。
【００４８】
すなわち、本実施形態では、各波形パラメータ選択部９１〜９ｎが、第２のラッチ回路８１〜８ｎの記録データに基づいて波形パラメータ記憶部１１，１２のいずれかを選択するのではなく、波形パラメータ選択信号出力部１３の選択信号に基づいて波形パラメータ記憶部１１，１２のいずれかを選択するようになっており、この点で上記第１の実施形態と大きく異なっている。
【００４９】
なお、波形パラメータ選択信号出力部１３にはインクジェットプリンタ１の各部位を制御する制御装置（ＣＰＵ）やホストコンピュータが接続可能とされており、これら制御装置やホストコンピュータの処理により、選択信号の内容（波形パラメータ記憶部１１を選択するのか又は波形パラメータ選択部１２を選択するのかを示す。）が書換え可能となっている。
【００５０】
なお、本発明は上記の第１，第２の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において種々の改良及び設計変更をおこなってもよい。
【００５１】
例えば、波形パラメータ記憶部１１，１２以外にもこれと同様の波形パラメータ記憶部を適宜増設して各波形パラメータ選択部９１〜９ｎがこれら波形パラメータ記憶部の中から一の波形パラメータ記憶部を選択するようにしてもよい。
【００５２】
また、一の波形パラメータ記憶部１１（又は１２）に対し、ノズル２１〜２ｎの数に対応する分のパラメータ（ノズル２１〜２ｎの数と同じでもよいし、それより多くてもよいし、それより少なくてもよい。）を記憶させ、各波形パラメータ選択部９１〜９ｎがこれらパラメータの中から各ノズル２１〜２ｎに対応するパラメータを選択するような構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１の実施形態に係るインクジェットプリンタ１の要部構成を示すブロック図である。
【図２】駆動パルスの駆動波形の基本波形を示す図面である。
【図３】第２の実施形態に係るインクジェットプリンタ１の要部構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  インクジェットプリンタ（液滴吐出制御装置）
２  記録ヘッド（吐出ヘッド）
３  吐出制御回路
４  シフトレジスタ
５  ラッチ回路
６１〜６ｎ  駆動波形生成部
７１〜７ｎ  増幅／バッファ回路
８１〜８ｎ  第２のラッチ回路（データラッチ部）
９１〜９ｎ  波形パラメータ選択部
１１，１２  波形パラメータ記憶部
１３  波形パラメータ選択信号出力部
【図１】
2006175727.tif 000003
【図２】
2006175727.tif 000004
【図３】
2006175727.tif 000005