(57)【要約】【課題】被加圧物を均一に加圧することができる超高圧発生装置を提供する。【解決手段】複数のアンビル１０を備え、複数のアンビル１０によって複数のアンビル１０の先端面に囲まれた加圧空間10h内に配置される被加圧物Ｗを加圧する超高圧発生装置１であって、複数のアンビル１０を、加圧空間10hの中心に向ってそれぞれ独立して移動させる複数の移動手段２０を備えており、各移動手段２０が、アンビル１０に連結されたナット２４と、アンビル１０の移動方向と平行な軸を有するネジ棒２５とを備えたネジ棒・ナット式螺進機構と、アンビル１０に連結されたピストン２３を有し、ピストン２３がアンビル１０の移動方向に沿って移動する油圧シリンダ２１とからなる。【選択図】図１
2006175297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のアンビルを備え、該複数のアンビルによって該複数のアンビルの先端面に囲まれた加圧空間内に配置される被加圧物を加圧する超高圧発生装置であって、
前記複数のアンビルを、前記加圧空間の中心に向ってそれぞれ独立して移動させる複数の移動手段を備えており、
各移動手段が、
前記アンビルに連結されたナットと、該アンビルの移動方向と平行な軸を有するネジ棒とを備えたネジ棒・ナット式螺進機構と、
前記アンビルに連結されたピストンを有し、該ピストンが前記アンビルの移動方向に沿って移動する油圧シリンダとからなる
ことを特徴とする超高圧発生装置。
【請求項２】
前記ネジ棒・ナット式螺進機構のナットが、前記油圧シリンダにおけるピストンを介して前記アンビルに連結されており、
前記油圧シリンダは、
前記ピストンにおける前記アンビル側の一端に、該アンビルが取り付けられており、
前記ピストンにおける前記アンビルと反対側の一端に、前記ネジ棒・ナット式螺進機構のナットが取り付けられており、
前記ネジ棒・ナット式螺進機構のネジ棒は、その中心軸が前記ピストンの中心軸と同軸となるように配設されている
ことを特徴とする請求項１記載の超高圧発生装置。
【請求項３】
前記複数の移動手段の油圧シリンダが、一つの油圧源に接続されている
ことを特徴とする請求項１記載の超高圧発生装置。
【請求項４】
前記アンビルが被加圧物に接触した基準位置から、該アンビルが移動した距離を測定する移動距離測定部を備えている
ことを特徴とする請求項１記載の超高圧発生装置。
【請求項５】
隣接するアンビル同士の移動方向が互いに直交する６個のアンビルを備えており、
各アンビルが、その移動方向と平行な基準側面を備えており、
前記移動手段の移動距離測定部が、
前記アンビルに取り付けられ、該アンビルの移動方向における隣接するアンビルの基準側面までの距離を測定する距離測定装置である
ことを特徴とする請求項４記載の超高圧発生装置。
【請求項６】
複数のアンビルを備え、該複数のアンビルによって該複数のアンビルの先端面に囲まれた加圧空間内に配置される被加圧物を加圧する超高圧発生装置において、
前記被加圧物の表面に全てのアンビルの先端面が非加圧の状態で接触するように、アンビルを移動させる加圧前工程と、
前記被加圧物の表面に全てのアンビルの先端面が接触した状態から、アンビルを移動させる加圧工程とを順に行う
ことを特徴とする超高圧発生装置における加圧制御方法。
【請求項７】
前記加圧工程において、一のアンビルにおける加圧前工程からの移動量が、他のアンビルにおける加圧前工程からの移動量よりも少ない場合に、全てのアンビルにおける加圧前工程からの移動量が同じになるよう一のアンビルを移動させる
ことを特徴とする請求項６記載の超高圧発生装置における加圧制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超高圧発生装置に関する。超高圧発生装置は、先端面間に被加圧物を配置する加圧空間が形成される複数のアンビルと、各アンビルをその加圧空間の中心に向けて移動させる移動手段を備えている。このため、この移動手段によって複数のアンビルを移動させれば、空間内に超高圧を発生させることができ、加圧空間に配置された被加圧物を加圧することができるから、ダイヤモンドの合成や物質の超高圧下での現象を解明する等の用途に用いられる。
本発明は、かかる複数のアンビルを備え、超高圧を発生させることができる超高圧発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
超高圧発生装置において、加圧空間に配置された被加圧物を加圧するときに、被加圧物をホルダ等に収容した状態で加圧することが行われるが、かかるホルダの強度はアンビルと接触する全ての方向が同じ強度になっているとは限らない。すると、ホルダ等の強度差に起因して、各アンビルから被加圧物に加わる加圧力の差が生じ、被加圧物を均一に加圧できなくなる。
そこで、かかる問題を解決するためにアンビルを移動させる力をアンビルごとに変化させて、被加圧物に加わる加圧力を均一にする技術が開示されている（例えば、特許文献１）。この技術は、ホルダの強度が強い方向ではアンビルを移動させる力を大きくし、ホルダの強度が弱い方向ではアンビルを移動させる力を小さくすることによって、ホルダ内の被加圧物に加わる加圧力を均一にするものである。
【０００３】
しかるに、アンビルがホルダにしか接触しないのであればアンビルを移動させる力を全てホルダに加えることができるから、上記の方法でも被加圧物に加わる加圧力を均一にできる可能性はある。しかし、被加圧物の加圧中には、加圧力が加えられて変形した被加圧物がアンビル間に侵入したり、隣接するアンビル同士が接触する現象が起こっており、アンビルを移動させる力は、ホルダ自体に加わる加圧力だけでなく、隣接するアンビル間に侵入した物質等に起因する抵抗力や隣接するアンビル同士の間に発生する摩擦力等に対抗する力としても使用されるから、被加圧物には、アンビルを移動させる力から摩擦力等を除いた力しか加えることができない。すると、各アンビルに対して、摩擦力や抵抗力と同程度の力を、余分にアンビルを移動させる力として移動手段から加えなければ、被加圧物を均一に加圧することはできない。しかし、摩擦力や抵抗力は変動し予測困難であり、また、アンビルごとに摩擦力等の大きさが異なるから、各アンビル毎にアンビルを移動させる力を調整しても、ホルダに加わる力、つまり、被加圧物に加わる力を均一にすることは非常に困難である。
【０００４】
【特許文献１】特開平２−６８１３１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記事情に鑑み、被加圧物を均一に加圧することができる超高圧発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１発明の超高圧発生装置は、複数のアンビルを備え、該複数のアンビルによって該複数のアンビルの先端面に囲まれた加圧空間内に配置される被加圧物を加圧する超高圧発生装置であって、前記複数のアンビルを、前記加圧空間の中心に向ってそれぞれ独立して移動させる複数の移動手段を備えており、各移動手段が、前記アンビルに連結されたナットと、該アンビルの移動方向と平行な軸を有するネジ棒とを備えたネジ棒・ナット式螺進機構と、前記アンビルに連結されたピストンを有し、該ピストンが前記アンビルの移動方向に沿って移動する油圧シリンダとからなることを特徴とする。
第２発明の超高圧発生装置は、第１発明において、前記ネジ棒・ナット式螺進機構のナットが、前記油圧シリンダにおけるピストンを介して前記アンビルに連結されており、前記油圧シリンダは、前記ピストンにおける前記アンビル側の一端に、該アンビルが取り付けられており、前記ピストンにおける前記アンビルと反対側の一端に、前記ネジ棒・ナット式螺進機構のナットが取り付けられており、前記ネジ棒・ナット式螺進機構のネジ棒は、その中心軸が前記ピストンの中心軸と同軸となるように配設されていることを特徴とする。
第３発明の超高圧発生装置は、第１発明において、前記複数の移動手段の油圧シリンダが、一つの油圧源に接続されていることを特徴とする。
第４発明の超高圧発生装置は、第１発明において、前記アンビルが被加圧物に接触した基準位置から、該アンビルが移動した距離を測定する移動距離測定部を備えていることを特徴とする。
第５発明の超高圧発生装置は、第４発明において、隣接するアンビル同士の移動方向が互いに直交する６個のアンビルを備えており、各アンビルが、その移動方向と平行な基準側面を備えており、前記移動手段の移動距離測定部が、前記アンビルに取り付けられ、該アンビルの移動方向における隣接するアンビルの基準側面までの距離を測定する距離測定装置であることを特徴とする。
第６発明の超高圧発生装置における加圧制御方法は、複数のアンビルを備え、該複数のアンビルによって該複数のアンビルの先端面に囲まれた加圧空間内に配置される被加圧物を加圧する超高圧発生装置において、前記被加圧物の表面に全てのアンビルの先端面が非加圧の状態で接触するように、アンビルを移動させる加圧前工程と、前記被加圧物の表面に全てのアンビルの先端面が接触した状態から、アンビルを移動させる加圧工程とを順に行うことを特徴とする。
第７発明の超高圧発生装置における加圧制御方法は、第６発明において、前記加圧工程において、一のアンビルにおける加圧前工程からの移動量が、他のアンビルにおける加圧前工程からの移動量よりも少ない場合に、全てのアンビルにおける加圧前工程からの移動量が同じになるよう一のアンビルを移動させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
第１発明によれば、アンビルを油圧シリンダによって移動させれば、加圧空間内の被加圧物を大きな加圧力で加圧することができ、アンビルをネジ棒・ナット式螺進機構によって移動させれば、アンビルの移動量を正確に制御することができる。そして、一のアンビルの移動量が他のアンビルの移動量よりも少ない場合には、ネジ棒・ナット式螺進機構によって一のアンビルを移動させれば全てのアンビルの移動量を同じにすることができる。よって、一のアンビルにおいて、油圧シリンダから一のアンビルを移動させるために加えられる力のうち隣接するアンビル間に発生する摩擦力等に対抗するために使用された力、言い換えれば、他のアンビルに比べて被加圧物に加える力の不足分だけ、ネジ棒・ナット式螺進機構から一のアンビルに力を加えることができるから、摩擦力等に起因する各アンビルから被加圧物に加わる加圧力の不均衡をなくすることができる。
第２発明によれば、ネジ棒の回転はナットでピストンの進退動作に変換され、その回転数とピストンの進退量は機械的な比例関係が成立するので、サーボモータ等によって正確にネジ棒の回転数制御すれば、ピストンの移動量を正確に制御できる。しかも、ピストンとネジ棒の中心軸が同軸になるように配設されているから、ピストンに対してその移動方向に対して傾斜した力が加わることを防ぐことができる。
第３発明によれば、油圧シリンダに油を供給する油圧源が一つであるから、全ての油圧シリンダに加わる油圧を全て同じ圧力にすることができ、油圧源から供給される油圧の相違に起因する各アンビルから被加圧物に加わる加圧力の不均衡が発生することを防ぐことができる。
第４発明によれば、油圧シリンダによってアンビルを移動させたときに、移動距離測定部によって各アンビルが基準位置から移動した量を測定することができるから、一のアンビルの移動量が他のアンビルの移動量よりも少ない場合には、ネジ棒・ナット式螺進機構によって一のアンビルを移動させれば全てのアンビルの移動量を同じにすることができる。
第５発明によれば、移動距離測定装置がアンビルに取り付けられており、しかも、隣接するアンビルの基準側面を利用してアンビルの移動量を測定するから、移動距離測定装置が測定したアンビルの移動量にフレームの変形等の誤差要因が含まれることを防ぐことができ、アンビルの移動量を正確に測定することができる。
第６発明によれば、アンビルの移動量を、基準位置を基準として測定することができるので、アンビルの移動距離、言い換えれば、アンビルによる被加圧物の加圧力を正確に測定することができる。
第７発明によれば、隣接するアンビル間に摩擦力等が発生しても、摩擦力等によって生じた加圧力の不均衡を是正することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
図１は本実施形態の超高圧発生装置１の概略正面図である。図２は加圧空間10h付近の拡大図である。図３は移動手段２０の概略説明図である。図４は移動手段２０の作動状況の説明図であり、（Ａ）は油圧シリンダ２１によってアンビル１０を移動させている状況の説明図であり、（Ｂ）はネジ棒・ナット式螺進機構によってアンビル１０を移動させている状況の説明図である。図５は被加工物Ｗが加圧されている状況を説明する説明図である。
なお、図１、図２および図５では超高圧発生装置１の構造を理解しやすくするために、前後方向（紙面に垂直な方向）のアンビルおよび前後方向のアンビル１０に取り付けられている移動手段２０は省略している。
【０００９】
図１において符号２は本実施形態の超高圧発生装置１のフレームを示している。このフレーム２には、その中心部に中空な空間２ｈが設けられており、この空間２ｈ内に６個のアンビル１０が配置されている。各アンビル１０は、先端部分１１が截頭四角錐状に形成されたものであり（図２参照）、図１において、空間２ｈの中心を基準として上下、左右、前後に配置されており、先端面に囲まれた部分には、中心部に試料体を埋設した葉ろう石（パイロフィライト）や半焼結酸化マグネシウム（ＭｇＯ）等の被加圧物が配置される加圧空間10hが形成されている。そして、６つのアンビル１０は、互いに対向するアンビル１０の先端面同士が互いに平行となるように配設されている。つまり、６つのアンビル１０は、その先端面に囲まれた加圧空間10hが立方体（正六面体）となるように配置されているのである。
なお、アンビル１０の数は６個に限られず、また、その先端部の形状も截頭四角錐状に限られず、アンビル１０の先端面に囲まれた加圧空間が正多面体となるように配置できる数および形状であればよい。
【００１０】
図１に示すように、６つのアンビル１０は、その基端にそれぞれ移動手段２０が連結されている。移動手段２０は全て同じ構成を有しており、隣接するアンビル１０同士が互いに直交する方向に移動するように配置されている。具体的には、加圧空間10hの上下に位置するアンビル１０の移動方向は、左右および前後に位置するアンビル１０の移動方向と直交し、かつ、左右に位置するアンビル１０の移動方向は、前後に位置するアンビル１０の移動方向と直交するように配置されているのである。
なお、アンビルの数が６個、つまり、加圧空間10hが立方体となる場合にはアンビルの移動方向は直交させる必要があるが、アンビルの数が６個でない場合には、アンビルの移動方向を隣接するアンビルの移動方向と直交させる必要はない。アンビルの数が６個以外であれば、正多面体に形成された加圧空間の各面に垂直、言い換えれば、各アンビルの先端面に垂直にあって、かつ、加圧空間の中心を通過する軸に沿った方向にアンビルを移動させることができるように移動手段２０を配設すればよい。
【００１１】
つぎに、移動手段２０を詳細に説明する。
図３において、符号２１は油圧シリンダであり、シリンダ２２とピストンロッド２３から構成されており、シリンダ２２は、超高圧発生装置１のフレーム２に取り付けられている（図１参照）。ピストンロッド２３は両ロッドタイプで、ピストン23Aを中心に一方に出力側のロッド23Bが設けられ、反対側に非出力側のロッド23Cが設けられている。そして、前記出力側のロッド23Bの一端には、アンビル１０が取り付けられている。
前記非出力側のロッド23Cの先端には、同軸にナット２４が取り付けられており、ネジ棒２５がナット２４に螺合されている。このナット２４とネジ棒２５は、特許請求の範囲にいうネジ棒・ナット式螺進機構を構成している。なお、ピストンロッド２３の内部には、ネジ棒２５の一端部が進入する中空部３１が形成されている。
前記ネジ棒２５はベアリング２６を介して、フレーム２に固定された軸受部２７によって支持されている。またネジ棒２５の他端部は、カップリング２８を介してサーボモータ２９に結合されている。サーボモータ２９の出力軸には、必要に応じ、減速機29aが取り付けられる（図１参照）。
【００１２】
また、油圧シリンダ２１のシリンダ２２において、ピストン側油室22Aに通ずるピストン側ポート４１と、ロッド側油室22Bに通ずるロッド側ポート４２とが、それぞれ形成されている。このピストン側ポート４１には、給排管４３が接続されており、前記ロッド側ポート４２には給排管４４が接続されている。
一方、タンクＴ内の作動油を吐出するポンプＰの給排管４５とタンクＴへの給排管４６が設けられており、これら給排管４５，４６と前記給排管４３，４４の間には切換弁Ｖａが介装されている。この切換弁Ｖａは、４ポート３位置の方向制御弁であって、ポンプＰの吐出油をピストン側油室22Aに送るＩ位置と、中立位置IIと、ポンプＰの吐出油をロッド側油室22Bに送るIII位置を選択できるようになっている。前記II位置は、給排管４３，４４が互いに連通する位置となっている。
【００１３】
上記のごとき構成であるから、サーボモータ２９を回転させれば、ネジ棒２５が回転し、ピストンロッド２３が右方に移動されるから、アンビル１０を加圧空間10hに向けて移動させることができる。しかも、サーボモータ２９で回転されるネジ棒２５の動きはナット２４でピストン２３の進退動作に変換されるが、サーボモータ２９の回転数とピストン２３の進退量は機械的な比例関係が成立するので、ピストン２３の移動量、つまり、アンビル１０の移動量を正確に制御できる。
なお、切換弁Ｖａを中立のII位置にしておけば、ロッド側油室22B内の作動油が、切換弁Ｖの中立位置における連通路を通ってピストン側油室22Aに送られ、またタンクＴ内の作動油をピストン側油室22Aが吸引するので、作動油が油圧シリンダ２１の伸長動作の妨げとなることを防ぐことができる（図４（Ｂ））。
【００１４】
また、切換弁ＶａをＩ位置にし、ポンプＰの吐出した高圧油を油圧シリンダ２１のピストン側油室22Aに供給すると、ピストンロッド２３が右方に移動するので、アンビル１０を加圧空間10hに向けて移動させることができる。すると、ピストンロッド２３に加わる高圧油によって、アンビル１０を移動させることができるから、加圧空間10h内にアンビル１０の先端面から高圧力を加えることができる。
なお、ロッド側油室22B内の作動油はタンクＴに返される（図４（Ａ））から、ロッド側油室22B内の作動油がピストンロッド２３の移動の妨げとなることを防ぐことができる。
さらに、サーボモータ２９を回転させてネジ棒２５に回転トルクを加えておけば、サーボモータ２９がピストンロッド２３の伸長動作を妨げとなることを防ぐことができる。このときの回転は、ピストンロッド２３の伸長動作に追従する回転数であればよい。
【００１５】
さらに、ピストンロッド２３は、そのピストン23A、出力側のロッド23Bおよび非出力側のロッド23Cが、ピストンロッド２３の移動方向と平行かつ中心軸が同軸となるように形成されている。また、非出力側のロッド23Cの先端に取り付けられているナット２４およびナットが螺合しているネジ棒２５は、ピストンロッド２３の中心軸と同軸になるように配設されている。
このため、サーボモータ２９を作動させたときに、ピストンロッド２３に、その移動方向に対して傾斜した力が加わることを防ぐことができる。すると、ピストンロッド２３やネジ棒２５を曲げるような力が加わらないから、ネジ棒・ナット式螺進機構や油圧シリンダ２１等の損傷を防ぐことができる。
【００１６】
また、図２に示すように、各アンビル１０は、平坦面に形成された側面10fを備えている。各アンビル１０の側面10fは、各アンビル１０の移動方向と平行、つまり、各アンビル１０に取り付けられている油圧シリンダ２１のピストン２３の軸方向と平行となるように形成されている。しかも、各アンビル１０の側面10fは、隣接するアンビル１０の移動方向と直交するように形成されている。
各アンビル１０の側面10fには、移動距離測定部５０が設けられている。この移動距離測定部５０は、レーザセンサ等の距離を測定できる距離測定装置５１を備えている。この距離測定装置５１は、各移動距離測定部５０が取り付けられているアンビル１０の移動量を測定するものである。具体的には、各アンビル１０を移動させる移動手段２０のネジ棒２５の軸方向に沿って、距離測定装置５１から隣接するアンビル１０の側面までの距離を測定している。例えば、図２におけるアンビル10Aに取り付けられている移動距離測定部５０の距離測定装置５１は、隣接するアンビル10Bの側面10fまでの距離を測定するのである。
【００１７】
つぎに、本実施形態の超高圧発生装置１による被加圧物の加圧方法を説明する。
まず、６つのアンビル１０の先端面に囲まれた加圧空間10hに被加圧物Ｗを配置する。ついで、全ての移動手段２０のサーボモータ２９を作動させて、アンビル１０を加圧空間10hの中心に向けて移動させる。言い換えれば、アンビル１０を被加圧物Ｗに向けて移動させる。
やがて、各アンビル１０の先端面が被加圧物Ｗに接触するので（図５（Ａ））、アンビル１０の被加圧物Ｗへの接触を検出したときに、サーボモータ２９を停止させれば、被加圧物Ｗにほとんど加圧力が加わらない状態でアンビル１０を停止させることができる。このアンビル１０が停止したときの位置がアンビル１０の移動量測定の基準位置になる。そして、この状態では、被加圧物Ｗが立法体の場合には、立方体の中心から全てのアンビル１０の先端面までの距離が全て同じ長さになる。
この作業が特許請求の範囲にいう加工前工程である。
なお、アンビル１０の被加圧物Ｗへの接触は、サーボモータ２９のトルクの変化により検出することができるが、どのような方法、センサを使用してもよい。
【００１８】
全てのアンビル１０の先端面が被加圧物Ｗに接触したら、加圧工程が開始される。まず、移動手段２０の切換弁ＶａがＩ位置に切り換えられ、ポンプＰから高圧油が油圧シリンダ２１のピストン側油室22Aに供給され、ピストンロッド２３が加圧空間10hの中心に向けて移動する。すると、被加圧物Ｗには、油圧シリンダ２１のピストン側油室22Aに供給され、油圧力に対応する力で加圧される。このとき、全ての油圧シリンダ２１に供給する油圧を同じにしておけば、全てのアンビル１０から全て同じ圧力で被加圧物Ｗを加圧することができる。すると、ポンプＰから供給される油圧の相違に起因する各アンビル１０から被加圧物Ｗに加わる加圧力の不均衡が発生することを防ぐことができる。とくに、全ての油圧シリンダ２１を、一つのポンプＰに接続しておけば、全ての油圧シリンダ２１に加わる油圧をより確実に同じ圧力とすることができる。
【００１９】
ところで、アンビル１０による加圧によって被加圧物Ｗが変形圧縮されるが、このとき、隣接するアンビル１０間に、被加圧物Ｗが浸入して移動抵抗が大きくなった場合や被加圧物Ｗが等方形でない場合（図５（Ｂ））、アンビル１０が被加圧物Ｗを加圧する力は不均一になる。すると、被加圧物Ｗを変形圧縮する量、つまり、アンビル１０の基準位置からの移動量が不均一になる。例えば、図５（Ｂ）であれば、隣接するアンビル間に侵入した被加工物Ｗの状態の相違により、アンビル10Aの基準位置からの移動量が、アンビル10Bの基準位置からの移動量よりも短くなる。言い換えれば、アンビル10Aの先端面と加圧空間10hの中心との距離Ｄ１が、アンビル10Cの先端面と加圧空間10hの中心との距離Ｄ２よりも長くなる。
このとき、移動距離測定部５０の測定値に基づいて、他のアンビル１０に比べて移動量の少ないアンビル１０Ａに取り付けられている移動手段２０のサーボモータ２９を、その回転数が高くなるように作動させる。すると、アンビル１０Ａには、ピストンロッド２３に加わる油圧に加えて、サーボモータ２９の回転に起因したアンビル１０を移動させようとする力（サーボモータ２９に起因する力）が加わるから、サーボモータ２９に起因する力によってアンビル１０Ａが移動する。つまり、アンビル１０Ａにおいて、移動抵抗等に対抗するために使用された力を、移動手段２０によってアンビル１０Ａに加えることができる。
すると、アンビル１０Ａには、他のアンビル10B〜10Dより大きな力が加わることになるから、やがてアンビル１０Ａにおける基準位置からの移動量が、アンビル10Cと同等、つまり、他のアンビル10B〜10Dと同等になる。アンビル１０Ａにおける基準位置からの移動量が他のアンビル10B〜10Dと同等になれば、サーボモータ２９の回転数を元の状態、つまり、ピストンロッド２３の伸長動作に追従する回転数に戻す。すると、アンビル１０Ａは、ピストンロッド２３に加わる油圧のみによって被加圧物Ｗを加圧することになり、ピストンロッド２３に加わる油圧はすべての移動手段２０の油圧シリンダ２１に対して同じ油圧が加わっているから、被加圧物Ｗを均一に加圧することができる。
【００２０】
上記のごとく、各アンビル１０の移動量が均一になるように、各移動手段２０のサーボモータ２９の回転を調整しながら被加圧物Ｗを加圧すれば、被加圧物Ｗを均一に加圧することができるから、所望の圧力を被加圧物Ｗに容易に発生させることができる。
また、各アンビル１０の移動量を調整するときは、アンビル１０をネジ棒・ナット式螺進機構によって移動させるから、アンビル１０の移動量を正確に制御することができる。しかも、アンビル１０によって被加圧物Ｗを加圧する加圧工程を行う前に、アンビル１０をその先端面が被加圧物Ｗに接触させるから、全てのアンビル１０の移動量が均一になるように、各アンビル１０の移動量を正確に調整することができる。言い換えれば、アンビルによる被加圧物Ｗの加圧力を正確に測定することができるのである。
【００２１】
なお、各アンビル１０の移動量は、特別な距離測定装置を設けずに、サーボモータ２９の回転数で判断してもよいが、この場合には、移動手段２０自体の変形もアンビル１０の移動量に含まれてしまう可能性がある。
したがって、アンビル１０自体に移動距離測定部５０を設け、隣接するアンビル１０の側面を利用して距離測定すれば、移動距離測定部５０が測定したアンビル１０の移動量にフレームの変形等の誤差要因が含まれることを防ぐことができるから、アンビル１０の移動量を正確に測定することができ、加圧力の調整を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施形態の超高圧発生装置１の概略正面図である。
【図２】加圧空間10h付近の拡大図である。
【図３】移動手段２０の概略説明図である。
【図４】移動手段２０の作動状況の説明図であり、（Ａ）は油圧シリンダ２１によってアンビル１０を移動させている状況の説明図であり、（Ｂ）はネジ棒・ナット式螺進機構によってアンビル１０を移動させている状況の説明図である。
【図５】被加工物Ｗが加圧されている状況を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００２３】
１          超高圧発生装置
１０          アンビル
１０ｈ        加圧空間
２０          移動手段
２１          油圧シリンダ
２３          ピストン
２４          ナット
２５          ネジ棒
２９          サーボモータ
５０          移動距離測定部
【図１】
2006175297.tif 000003
【図２】
2006175297.tif 000004
【図３】
2006175297.tif 000005
【図４】
2006175297.tif 000006
【図５】
2006175297.tif 000007