(57)【要約】【課題】  回転ホルダの回転をステージ下のハンドルで手動操作することを可能としつつ、各操作部を一つハンドルに集約、又は互いに近接配置させて操作性の向上を図ることができる顕微鏡ステージを提供する。【解決手段】  下ステージ４０３と、該下ステージ４０３に対してＹ方向に直線移動可能に支持された中ステージ４０２と、該中ステージ４０２に対してＸ方向に直線移動可能に支持された上ステージ４０１と、該上ステージ４０１よりも上部に載置された回転自在な回転ホルダ１６０１と、上ステージ４０１と中ステージ４０２をそれぞれＸ，Ｙ方向に移動させる内外２軸のＸ−Ｙ移動操作ハンドル４０６とを備え、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６に回転ホルダ１６０１の粗動及び微動の回転操作を行うための回転ホルダ操作手段を併せて設けた構成としてある。【選択図】      図１
2006178120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下ステージと、該下ステージに対してＹ方向に直線移動可能に支持された中ステージと、該中ステージに対してＸ方向に直線移動可能に支持された上ステージと、該上ステージよりも上部に載置された回転自在な回転ホルダと、前記上ステージと中ステージをそれぞれＸ，Ｙ方向に移動させる内外２軸のＸ−Ｙ移動操作ハンドルとを備え、
前記Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルに前記回転ホルダの粗動及び微動の回転操作を行うための回転ホルダ操作手段を併せて設けたことを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項２】
前記回転ホルダ操作手段が、前記Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルの先端部より上方に配設された第１及び第２プーリと、前記Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルの外軸に対して摺動可能に設けられた前記内軸と、該内軸の先端に設けられ、前記第１又は第２プーリと選択的に係合して該内軸の回転を第１又は第２プーリに伝達する切換手段とを備え、
該回転ホルダ操作手段の第１及び第２プーリの回転を、前記回転ホルダの回転軸上に設けられた大小直径の異なる粗動及び微動プーリに伝達することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡ステージ。
【請求項３】
下ステージと、該下ステージに対してＹ方向に直線移動可能に支持された中ステージと、該中ステージに対してＸ方向に直線移動可能に支持された上ステージと、該上ステージよりも上部に載置された回転自在な回転ホルダと、前記上ステージと中ステージをそれぞれＸ，Ｙ方向に微動させる内外２軸のＸ−Ｙ移動操作ハンドルと、クラッチレバーの切り換えにより前記上ステージと中ステージをそれぞれＸ，Ｙ方向に粗動させる粗動操作グリップとを備え、
前記粗動操作グリップの近傍に前記回転ホルダの粗動及び微動の回転操作を行うための回転ホルダ操作ハンドルを設けたことを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項４】
前記回転ホルダ操作ハンドルが、互いに独立して回転可能な内外２軸と、これら内外２軸にそれぞれ設けられた第１及び第２プーリとを備え、
該回転ホルダ操作ハンドルの第１及び第２プーリの回転を、前記回転ホルダの回転軸上に設けられた大小直径の異なる粗動及び微動プーリに伝達することを特徴とする請求項３記載の顕微鏡ステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶パネル等の検査工程に用いられる工業顕微鏡の顕微鏡ステージに関し、特に、回転ホルダを備えた顕微鏡ステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハや液晶パネル等の検査工程に用いられる工業顕微鏡では、検査すべき半導体ウエハや液晶パネル等の大型化に伴い、これらを載置する顕微鏡ステージも大型化が要求されている。上記のような分野で使用されている工業顕微鏡用ステージには、顕微鏡本体に固定される下ステージと、下ステージに対してＹ方向に移動する中ステージと、中ステージに対してＸ方向に移動する上ステージとの３枚ステージで構成され、上ステージに載置する標本をＸ方向、Ｙ方向に移動可能なものがある。
【０００３】
また、Ｘ方向、Ｙ方向への微動・粗動操作を行うため、微動操作をベルトとプーリを備えた中ステージに固定されたハンドルで行い、粗動操作を特許文献１で開示されているような、クラッチレバーを具備した粗動グリップを上ステージに備え、クラッチレバー操作により、Ｘ−Ｙ操作ハンドルのプーリに取り付けられたベルトの固定・解除を行うステージがある。
【０００４】
さらに、顕微鏡ステージの上ステージに様々なサンプルホルダが用途に合わせて選択的に着脱可能な構成の技術がある。このような技術は、特許文献２で開示されているように、つまみを手動で回すことで、回転ホルダを回転させるものである。これらの技術を組み合わせた従来の顕微鏡ステージの構成について図１６〜図１８を参照しつつ説明する。
【０００５】
図１６は従来の顕微鏡ステージを示す斜視図であり、図１７は上記顕微鏡ステージを構成する中ステージの斜視図である。図１８は上記中ステージのＸ−Ｙ移動操作ハンドルの周辺部を示す部分拡大図である。
【０００６】
図１６において、従来の顕微鏡ステージは、上ステージ１０１、中ステージ１０２、下ステージ１０３の３枚のステージを備えた構成となっている。上ステージ１０１には、つまみ１０５を具備した回転ホルダ１０４が載置してあるとともに、クラッチレバー１０６ａを具備した粗動操作グリップ１０６が固定してある。また、中ステージ１０２には、微動操作可能なＸ−Ｙ移動操作ハンドル１０７が留め金３０２（図１８参照）により固定してある。
【０００７】
上ステージ１０１をＸ方向に微動移動させる場合は、図１７に示すように、ハンドル１０７ａを回す。すると、この回転が、プーリ２０１ａ及びベルト２０１ｂに伝わり、該ベルト２０１ｂと該上ステージ１０１に固定した押さえ部２０１ｃが移動して、上ステージ１０１がＸ方向に微動移動する。
【０００８】
同様に、中ステージ１０２（及び上ステージ１０１）をＹ方向に微動移動させる場合は、図１８に示すように、ハンドル１０７ｂを回す。すると、この回転が、プーリ３０１ａ及びベルト３０１ｂに伝わり、該ベルト３０１ｂと下ステージ１０３に固定された押さえ部３０１ｃが移動して、中ステージ１０２（及び上ステージ１０１）がＹ方向に微動移動する。
【０００９】
一方、上ステージ１０１をＸ−Ｙ方向に粗動移動させる場合は、図１６に示す粗動操作グリップ１０６に具備されたクラッチレバー１０６ａを引くことにより、図示しないワイヤで連結されたベルト２０１ｂ，３０１ｂと押さえ部２０１ｃ，３０１ｃの固定が解除され、粗動操作グリップ１０６による上ステージ１０１の粗動移動が可能となる。また、上ステージ１０１に載置された回転ホルダ１０４は、つまみ１０５を把持して手動で回転させる構成になっている。
【特許文献１】特開平９−１１３８１４号公報
【特許文献２】特開２００２−６２４８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、上述した従来の顕微鏡ステージでは、回転ホルダ１０４の回転操作が上ステージ１０１の上面での手動操作となるため、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル１０７及び粗動操作グリップ１０６のいずれからも距離があり、この距離の移動が煩わしく、塵埃の発生の原因につながり、クリーンな環境で行わなければならない工業顕微鏡観察には好ましくないという問題がある。また、回転ホルダ１０４は、手動操作であるから、細かい動作を行うことはできないため、高倍の観察で必要となる回転ホルダ１０４の微動回転を行うことができないという問題もある。
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、回転ホルダの回転をステージ下のハンドルで手動操作することを可能としつつ、各操作部を一つハンドルに集約、又は互いに近接配置させて操作性の向上を図ることができる顕微鏡ステージの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記問題点を解決するため、本発明の顕微鏡ステージは、下ステージと、該下ステージに対してＹ方向に直線移動可能に支持された中ステージと、該中ステージに対してＸ方向に直線移動可能に支持された上ステージと、該上ステージよりも上部に載置された回転自在な回転ホルダと、前記上ステージと中ステージをそれぞれＸ，Ｙ方向に移動させる内外２軸のＸ−Ｙ移動操作ハンドルとを備え、前記Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルに前記回転ホルダの粗動及び微動の回転操作を行うための回転ホルダ操作手段を併せて設けた構成としてある。
【００１３】
好ましくは、前記回転ホルダ操作手段が、前記Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルの先端部より上方に配設された第１及び第２プーリと、前記Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルの外軸に対して摺動可能に設けられた前記内軸と、該内軸の先端に設けられ、前記第１又は第２プーリと選択的に係合して該内軸の回転を第１又は第２プーリに伝達する切換手段とを備え、該回転ホルダ操作手段の第１及び第２プーリの回転を、前記回転ホルダの回転軸上に設けられた大小直径の異なる粗動及び微動プーリに伝達する構成とする。
【００１４】
また、上記問題点を解決するため、本発明の顕微鏡ステージは、下ステージと、該下ステージに対してＹ方向に直線移動可能に支持された中ステージと、該中ステージに対してＸ方向に直線移動可能に支持された上ステージと、該上ステージよりも上部に載置された回転自在な回転ホルダと、前記上ステージと中ステージをそれぞれＸ，Ｙ方向に微動させる内外２軸のＸ−Ｙ移動操作ハンドルと、クラッチレバーの切り換えにより前記上ステージと中ステージをそれぞれＸ，Ｙ方向に粗動させる粗動操作グリップとを備え、前記粗動操作グリップの近傍に前記回転ホルダの粗動及び微動の回転操作を行うための回転ホルダ操作ハンドルを設けた構成としてある。
【００１５】
好ましくは、前記回転ホルダ操作ハンドルが、互いに独立して回転可能な内外２軸と、これら内外２軸にそれぞれ設けられた第１及び第２プーリとを備え、該回転ホルダ操作ハンドルの第１及び第２プーリの回転を、前記回転ホルダの回転軸上に設けられた大小直径の異なる粗動及び微動プーリに伝達する構成とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の顕微鏡ステージによれば、回転ホルダの回転をステージ下のハンドルで手動操作することを可能としつつ、各操作部を一つハンドルに集約、又は互いに近接配置させて操作性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態に係る顕微鏡ステージについて図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る顕微鏡ステージの斜視図である。図２は上記顕微鏡ステージの上ステージ、中ステージ及び下ステージを示す斜視図、図３は中ステージ及び下ステージを示す斜視図である。
【００１８】
図１において、本実施形態の顕微鏡ステージ１は、上ステージ４０１、中ステージ４０２及び下ステージ４０３の３枚板構成となっており、上ステージ４０１の上面を最上部ステージ１６０２により覆った構成としてある。回転ホルダ１６０１は、最上部ステージ１６０２面に載置してある。
【００１９】
図２に示すように、本実施形態の顕微鏡ステージ１では、下ステージ４０３を顕微鏡本体に固定するとともに、上ステージ４０１上において、回転ホルダ１６０１下部に同軸に取り付けた大小の粗動・微動プーリ４０４ａ，４０４ｂと、左右２つの回転支持部４０８ａ，４０８ｂと、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６側の第１プーリ６０４，第２プーリ６０５とが、ベルト４０７ａ，４０７ｂで互いに連結してある。
【００２０】
また、回転ホルダ１６０１の粗動・微動操作が可能なように、ベルト４０７ａ，４０７ｂと第１プーリ６０４，第２プーリ６０５を２段構成にしてあるが、粗動・微動操作のどちらかひとつの操作でよい場合は、これらベルト４０７ａ，４０７ｂと第１プーリ６０４，第２プーリ６０５を１段構成としてもよい。図３に示すように、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４６０側の第１プーリ６０４，第２プーリ６０５は、中ステージ４０２に固定したプーリ保持部材４０５により保持している。
【００２１】
ここで、図４Ａ，図４ＢはともにＸ−Ｙ移動操作ハンドルを示す斜視図であり、同図Ａは水平方向移動時、同図Ｂは回転操作時を示す。Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６は、留め金６０１により中ステージ４０２に固定してある。該Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６の下部には、二つのハンドル４０６ａ，４０６ｂが設けてあり、該Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６の上部には、それぞれのハンドル４０６ａ，４０６ｂの回転に連動して回転するプーリ６０２，６０３が配置してある。
【００２２】
Ｘ（前後）方向への移動と回転ホルダ１６０１（図１参照）の回転操作の切り換えは、ハンドル４０６ａの上げ下げ操作により行う。すなわち、ハンドル４０６ａを持ち上げたときに回転ホルダの回転操作が可能となり、ハンドル４０６ａを引き下げたときにＸ方向への移動操作が可能となる。
【００２３】
Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６の上部には、上述したプーリ保持部材４０５に保持された第１プーリ６０４，第２プーリ６０５が位置している。図５ＡはＸ−Ｙ移動操作ハンドルの粗動プーリを示す斜視図、図５ＢはＸ−Ｙ移動操作ハンドルの微動プーリを示す斜視図である。これら第１プーリ６０４及び第２プーリ６０５には、六角形状又は多角形形状の大小の係合穴６０４ａ，６０５ａが形成してあり、稜線部７０１を面取り又はＲにしてある。これにより、後述するハンドル４０６ａの上下移動操作の切り換えがスム−ズとなるようしている。
【００２４】
図６はＸ−Ｙ移動操作ハンドルの回転軸及びベアリングを示す斜視図である。Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６（図４Ａ，図４Ｂ参照）に使用される回転軸８０１の外周には、キーとキー溝の係合を利用してラジアルベアリング８０２が固定してある。このようなキーとキー溝の係合を利用することにより、内軸９０１（図８参照）の回転（同図Ｂ参照）及び上下摺動（同図Ｃ参照）を可能としている。
【００２５】
また、Ｘ方向への移動と回転ホルダ１６０１の回転操作をハンドル４０６ａの上下の切り換えによって生じる、顕微鏡ステージ１の上下方向に加わる力を吸収する必要がある。例えば、ハンドル４０６ａによる回転ホルダ１６０１の操作切換時における上方向の力を吸収するには、留め金６０１と中ステージ４０２の固定部分の間に、図示しないばね部材を挟んで力を吸収する構成としてもよい。同様に、ハンドル４０６ａによるＸ移動操作切換時の下方向の力を吸収するには、微動プーリ６０３と中ステージ４０２との間に、図示しないばね部材を挟んで力を吸収する構成としてもよい。
【００２６】
次に、上記構成からなる本顕微鏡ステージの動作切換について、図７〜図１３を参照しつつ説明する。図７はＸ−Ｙ移動操作ハンドルのハンドル軸を示す斜視図である。図８Ａ〜図８ＣはＸ−Ｙ移動操作ハンドルの切換動作を示す断面図であり、同図ＡはＸ方向移動時、同図Ｂは粗動回転時、同図Ｃは微動回転時の状態を示す。図９はＸ−Ｙ移動操作ハンドルのプーリ保持部材を示す断面図である。
【００２７】
図７において、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルを用いた本顕微鏡ステージの動作切換は、上述のように、ハンドル４０６ａの上下の切り換えによって行う。すなわち、ハンドル４０６ａを上下させると、これに連動して内軸９０１もハンドル４０６ａの上下と連動し、Ｘ方向への移動と回転ホルダ１６０１の回転操作の切り換えを行う。
【００２８】
図８Ａに示すように、Ｘ方向の移動時では、ハンドル４０６ａを引き下げて、内軸９０１の先端部の六角形状部分９０１ａ（又は多角形形状）を、Ｘ方向移動プーリ６０３に連結させる。この状態で、ハンドル４０６ａを回転させることにより、Ｘ方向移動プーリ６０３を回転させて上ステージ４０１をＸ方向に移動させる。
【００２９】
なお、上ステージ４０１をＹ（左右）方向に移動させる場合は、ハンドル４０６ｂを回転させることにより、外軸９０２及びＹ方向移動プーリ６０３を回転させて中ステージ４０２及び上ステージ４０１をＹ方向に移動させる。
【００３０】
図８Ｂに示すように、回転ホルダ１６０１（図１参照）の粗動回転時では、中間位置にハンドル４０６ａを持ち上げて、内軸９０１の先端部の六角形状部分９０１ｂ（又は多角形形状）を、第１プーリ６０４に連結させる。この状態で、ハンドル４０６ａを回転させることにより、第１プーリ６０４を回転させて回転ホルダ１６０１を粗動回転させる。
【００３１】
図８Ｃに示すように、回転ホルダ１６０１の微動回転時では、最上部位置にハンドル４０６ａを持ち上げて、内軸９０１の先端部の六角形状部分９０１ｃ（又は多角形形状）を、第２プーリ６０５に連結させる。この状態で、ハンドル４０６ａを回転させることにより、第２プーリ６０５を回転させて回転ホルダ１６０１を微動回転させる。
【００３２】
図９において、プーリ保持部材４０５は、上下に平行な保持部を有する断面略コ字形となっており、上方の保持部には、抜け止め６０５ａに固定した第２プーリ６０５が、ラジアルベアリング１００１を介して回動自在に取り付けてある。下方の保持部には、抜け止め６０４ａに固定した粗動プーリ本体６０４が、ラジアルベアリング１００２を介して回動自在に取り付けてある。
【００３３】
図１０Ａ，図１０Ｂは上ステージに載置された回転ホルダの粗動・微動の回転構成を示す平面図であり、同図Ａは粗動回転構成、同図Ｂは微動回転構成を示す。
図１０Ａに示すように、回転ホルダ１６０１（図１参照）を粗動回転させるときは、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６側の第１プーリ６０４を回転させてベルト４０７ｂを駆動させる。該ベルト４０７ｂを駆動させることにより、回転支持部４０８ａ・４０８ｂと、回転ホルダ１６０１に設置されている微動プーリ４０４ｂとを回転させ、回転ホルダ１６０１の粗動回転を行う。
【００３４】
図１０Ｂに示すように、回転ホルダ１６０１を微動回転させるときは、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６側の第２プーリ６０５を回転させてベルト４０７ａを駆動させる。回転支持部４０８ａ，４０８ｂと、回転ホルダに設置されている粗動プーリ４０４ａとを回転させ、回転ホルダ１６０１の微動回転を行う。
【００３５】
このように微動と粗動の回転調整は、プーリの半径の大きさで行っている。図１０Ａに示すように、粗動動作を行う場合は、半径が小さい微動プーリ４０４ｂを回転させると、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６側に取り付けられているプーリ６０４の回転量は少なくなり、回転ホルダ１６０１は粗動回転を行うことになる。逆に、図１０Ｂに示すように、微動回転を行う場合は、半径が大きい粗動プーリ４０４ａを回転させると、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６側に取り付けられているプーリ６０５の回転量は多くなり、回転ホルダ１６０１は微動回転を行うことになる。
【００３６】
このような粗動・微動回転を行う際に用いる回転支持部４０８ａ，４０８ｂは同一構成のものとしてある。また、上述したプーリ４０４ａ，４０４ｂ，４０８ａ，４０８ｂ，６０４，６０５には歯車形状を用い、ベルト４０７ａ,４０７ｂは歯付ベルトとなっている。
【００３７】
図１１は上ステージのＸ方向への移動を示す平面図であり、図１２は回転ホルダの回転動作を示す平面図である。図１１に示すように、Ｘ方向への移動時では、上ステージ４０１に施されたガイド穴４０１ａ上で、内軸９０１（図８Ａ参照）と連結がされてないＸ−Ｙ移動操作ハンドル４０６側の粗動・微動プーリ６０４，６０５が、ベルト４０７ａ，４０７ｂ上で回転して該ベルト４０７ａ，４０７ｂを送り出す。これにより、上ステージ４０１がＸ方向に移動する。このとき、ベルト４０７ａ，４０７ｂは一切駆動せず、回転ホルダ１６０１も回転しない。
【００３８】
図１２に示すように、回転ホルダ１６０１の回転時では、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６側の粗動又は微動プーリ６０４，６０５を回転させて、ベルト４０７ａ又は４０７ｂを駆動させると、該ベルト４０７ａ又は４０７ｂに連結された粗動プーリ４０４ａ又は４０４ｂも連動し、回転ホルダ１６０１が粗動又は微動回転する。
【００３９】
このような本実施形態に係る顕微鏡ステージによれば、Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル４０６により回転ホルダ１６０１の回転操作をも行うことができるので、専用のハンドルを増やすことなく、また、従来のようなつまみ１０５（図１６参照）に触れることなく、回転ホルダ１６０１をさせることができ、観察中、標本に手を触れてしまうことがない。
【００４０】
また、回転ホルダ１６０１をハンドル操作で回転可能とすることにより、Ｘ方向，Ｙ方向への移動及び回転といった全ての手動操作をステージ下において片手で行えるようになり、操作性の向上を図ることができる。
【００４１】
さらに、回転ホルダ操作手段を含むＸ−Ｙ移動操作ハンドル４０６を、図示しない本体側のステージ焦準ハンドル又はステージ焦準操作部の近傍に設けた場合は、装置全体としての操作性をより向上させることができる。
【００４２】
次に、本発明の第２実施形態に係る顕微鏡ステージについて、図面を参照しつつ説明する。図１３は本発明の第２実施形態に係る顕微鏡ステージの斜視図である。図１４ＡはＸ−Ｙ移動操作ハンドルを示す斜視図であり、図１４ＢはＸ−Ｙ移動操作ハンドルの断面図である。図１５Ａ，図１５Ｂは上ステージに載置された回転ホルダの微動・粗動の回転構成を示す平面図であり、同図Ａは微動回転構成、同図Ｂは粗動回転構成を示す。なお、上述した第１実施形態と同様の箇所については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４３】
図１３において、本実施形態の顕微鏡ステージ２は、粗動操作グリップ１３０５を備えた上ステージ１３０１に並列、又は斜め方向の近距離に回転ホルダ操作ハンドル１３０４を取り付けた構成としてある。第１実施例と同様、回転ホルダ１６０１（図１参照）側に微動プーリ１３０２ａ，１３０２ｂを設け、回転ホルダ操作ハンドル１３０４側のプーリ１４０３，１４０４とそれぞれベルト１３０８ａ，１３０８ｂで連結してある。
【００４４】
図１４Ａ及び図１４Ｂにおいて、回転ホルダ操作ハンドル１３０４は、第１プーリ１４０３と第２プーリ１４０４との間に留め金１４０２を介設するとともに、微動ハンドル１３０４ａ、粗動ハンドル１３０４ｂが同時に連動回転することを防止するために、内側にある固定軸１４０１を前記留め金１４０２に固定してある。なお、第１実施形態と同様に、粗動・微動回転の調整は回転ホルダ１６０１下部に取り付けた、微動・粗動プーリ１３０２ａ，１３０２ｂの半径の大きさによって行っている。
【００４５】
次に、上記構成からなる顕微鏡ステージ２の回転ホルダの回転操作について説明する。図１４Ａ、図１４Ｂ及び図１５Ａに示すように、回転ホルダ１６０１（図１参照）を微動回転させる場合には、微動ハンドル１３０４ａを回転操作すると、これと同軸に設けた第２プーリ１４０４が回転する。すると、該第２プーリ１４０４に巻き付けたベルト１３０８ａが駆動して微動プーリ１３０２ａが回転し、回転ホルダ１６０１が微動回転する。
【００４６】
次いで、図１４Ａ、図１４Ｂ及び図１５Ａに示すように、回転ホルダ１６０１を粗動回転させる場合には、粗動ハンドル１３０４ｂを回転操作すると、これと同軸に設けた第１プーリ１４０３が回転する。すると、該第１プーリ１４０３に巻き付けたベルト１３０８ｂが駆動して粗動プーリ１３０２ｂが回転し、回転ホルダ１６０１が粗動回転する。
【００４７】
このような本実施形態の顕微鏡ステージ２によれば、第１実施形態と同様、片手でステージのＸ−Ｙの移動と回転ホルダ１６０１の微動・粗動回転を操作することができ、従来の構成で採用されていたつまみ１０５（図１６参照）に触れることなく、回転ホルダ１６０１を回転させることができる。
【００４８】
また、粗動操作グリップ１３０５と回転ホルダ操作ハンドル１３０４といった各操作部が、近距離に配置されるため、ステージのＸ−Ｙの粗動移動と回転ホルダ１６０１の回転移動を容易に行うことができる。
【００４９】
さらに、上ステージ１３０１をＸ−Ｙ方向に移動させても、回転ホルダ１６０１と回転ホルダ操作ハンドル１３０４をともに上ステージ１３０１に固定してあるので、位置関係は変わらない。そのため、上ステージ１３０１上に複雑な構成を取ることなく、上ステージ１３０１上に余計な負担を減らすことになる。
【００５０】
これに加え、第１実施形態のように、内軸９０１による上下の切換操作が不要となり、ステージの上下にかかる力を逃がすためのばね部材が不要となる。第２実施形態で使用される回転ホルダ操作ハンドルの構成は、このＸ−Ｙ移動操作ハンドルと同じ構成で行うことができ、Ｘ方向への移動、Ｙ方向への移動のハンドルがそれぞれ粗動・微動の動きに相当させて使用することができる。
【００５１】
なお、本発明は、上述した第１及び第２実施形態に限定されるものではない。例えば、第１実施形態の顕微鏡ステージ１は、微動回転よりも粗動回転のほうが使用頻度の高い場合の構成である。このため、回転ホルダ１６０１下部に備わった粗動プーリ４０４ａのように半径が大きいものを上部に設置したが、この構成とは逆にプーリの半径が小さいものを、粗動・微動回転の操作できる位置関係に変更してもよい。
【００５２】
また、第１及び第２実施形態では、歯付ベルトとプーリの組み合わせの構成を述べたが、ベルトには摩擦ベルト、平ベルトを用いてもよい。さらに、ベルトの代わりにワイヤーを用いることも可能である。またさらに、第１及び２実施形態ともに、２つのプーリに１つのベルトを巻き付けて、回転ホルダ１６０１の回転を行っていたが、プーリとベルトの組み合わせを上ステージ上に複数配置し、回転ホルダ１６０１の回転を行うことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る顕微鏡ステージの斜視図である。
【図２】上記顕微鏡ステージの上ステージ、中ステージ及び下ステージを示す斜視図である。
【図３】中ステージ及び下ステージを示す斜視図である。
【図４Ａ】水平方向移動時のＸ−Ｙ移動操作ハンドルを示す斜視図である。
【図４Ｂ】回転操作時のＸ−Ｙ移動操作ハンドルを示す斜視図である。
【図５Ａ】Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルの粗動プーリを示す斜視図である。
【図５Ｂ】Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルの微動プーリを示す斜視図である。
【図６】Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルの回転軸及びベアリングを示す斜視図である。
【図７】Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルのハンドル軸を示す斜視図である。
【図８Ａ】Ｘ方向移動時におけるＸ−Ｙ移動操作ハンドルの切換動作を示す断面図である。
【図８Ｂ】粗動回転時におけるＸ−Ｙ移動操作ハンドルの切換動作を示す断面図である。
【図８Ｃ】微動回転時におけるＸ−Ｙ移動操作ハンドルの切換動作を示す断面図である。
【図９】Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルのプーリ保持部材を示す断面図である。
【図１０Ａ】上ステージに載置された回転ホルダの粗動回転構成を示す平面図である。
【図１０Ｂ】上ステージに載置された回転ホルダの微動回転構成を示す平面図である。
【図１１】上ステージのＸ方向への移動を示す平面図である。
【図１２】回転ホルダの回転動作を示す平面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る顕微鏡ステージの斜視図である。
【図１４Ａ】Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルを示す斜視図である。
【図１４Ｂ】Ｘ−Ｙ移動操作ハンドルの断面図である。
【図１５Ａ】上ステージに載置された回転ホルダの微動回転構成を示す平面図である。
【図１５Ｂ】上ステージに載置された回転ホルダの粗動回転構成を示す平面図である。
【図１６】従来の顕微鏡ステージを示す斜視図である。
【図１７】上記顕微鏡ステージを構成する中ステージの斜視図である。
【図１８】上記中ステージのＸ−Ｙ移動操作ハンドルの周辺部を示す部分拡大図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  顕微鏡ステージ
４０１  上ステージ
４０２  中ステージ
４０３  下ステージ
４０４ａ  粗動プーリ
４０４ｂ  微動プーリ
４０５  プーリ保持部材
４０６  Ｘ−Ｙ移動操作ハンドル
４０６ａ，４０６ｂ  ハンドル
４０７ａ，４０７ｂ  ベルト
４０８ａ  回転支持部
６０２，６０３  プーリ
６０４  第１プーリ
６０５  第２プーリ
６０４ａ，６０５ａ  プーリ
９０１  内軸
９０２  外軸
２  顕微鏡ステージ
１３０４  回転ホルダ操作ハンドル
１３０４ａ  微動ハンドル
１３０４ｂ  粗動ハンドル
１４０３  第１プーリ
１４０４  第２プーリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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