(57)【要約】  【課題】  被検査体に含まれる物質を効率良く検査することができる分析システム、分析装置、コンピュータプログラム、及び記録媒体を提供する。  【解決手段】  コンピュータ３０は、発注した部品の受入時に部品発注用のコンピュータ４０から入力された電子部品の品目に基づいて、検査要件情報データベース（４１２）を検索し、前記品目に関連付けて記憶された検査要件情報に基づいて、検査内容を示す検査内容情報を作成し、検査内容情報データベース（３６１）に記憶するととともに、検査内容情報を表示部（３５）に表示する。検査内容情報に応じて電子部品の検査部位にＸ線を照射し、検出した検出データに基づいて検査対象元素の濃度を分析し、検査結果を検査結果データベース（３６２）に記録する。【選択図】      図１
2006071376.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体に含まれる物質を分析する分析装置と、被検査体を特定する特定情報を記憶する記憶装置とを備えた分析システムであって、
前記記憶装置は、
前記特定情報に関連付けられ、被検査体の検査要件を示す検査要件情報を記憶するものであり、
前記分析装置は、
前記特定情報の入力手段と、
前記入力手段から入力された特定情報に基づいて、前記検査要件情報を検索する検索手段と
を備えたことを特徴とする分析システム。
【請求項２】
前記被検査体を検査した検査結果を記録する記録手段と、
該記録手段が記録した検査結果に基づいて、検査履歴を集計する集計手段と
をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載された分析システム。
【請求項３】
前記検査要件情報は、前記被検査体の検査部位を含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載された分析システム。
【請求項４】
前記検査要件情報は、前記被検査体の検査対象物質を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された分析システム。
【請求項５】
前記検査要件情報は、前記検査対象物質の許容濃度閾値を含み、
前記検査結果と前記許容濃度閾値とを比較する比較手段をさらに備えたことを特徴とする請求項４に記載された分析システム。
【請求項６】
前記検査要件情報は、抜取検査又は全数検査の別を示す情報を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載された分析システム。
【請求項７】
被検査体を撮像する撮像手段を備え、
前記検査要件情報は、前記被検査体の検査部位の撮像の要否を示す情報を含み、
前記検査部位の撮像を要する場合に、前記検査結果は、前記撮像手段が撮像した検査部位の撮像画像を含むことを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれかに記載された分析システム。
【請求項８】
前記検査要件情報を追加、変更、又は削除する修正手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載された分析システム。
【請求項９】
被検査体に対してＸ線を照射して前記被検査体に含まれる物質を分析するように構成してあることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載された分析システム。
【請求項１０】
被検査体に含まれる物質を分析する分析装置において、
被検査体を特定する特定情報の入力手段と、
前記入力手段から入力された特定情報に基づいて、前記特定情報に関連付けて記憶され、被検査体の検査要件を示す検査要件情報を検索する検索手段と
を備えたことを特徴とする分析装置。  
【請求項１１】
コンピュータに、被検査体から検出される検出データに基づいて、前記被検査体に含まれる物質を分析させるためのコンピュータプログラムにおいて、
コンピュータを、
被検査体を特定する特定情報に基づいて、該特定情報に関連付けて記憶され、被検査体の検査要件を示す検査要件情報を検索する検索手段として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１２】
コンピュータに、被検査体から検出される検出データに基づいて、前記被検査体に含まれる物質を分析させるためのコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、
コンピュータを、
被検査体を特定する特定情報に基づいて、該特定情報に関連付けて記憶され、被検査体の検査要件を示す検査要件情報を検索する検索手段として機能させるコンピュータプログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体に含まれる元素を分析する分析システム、該分析システムを構成する分析装置、コンピュータプログラム、該コンピュータプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、地球環境保全の観点から電気製品又は電子部品などの回収・リサイクル、及びこれらに含まれる有害元素の使用規制などが各種規定に定められるようになり、家庭用電気製品、民生用機器、又は自動車部品などに使用され特に小型化が進む電子部品に含まれる有害元素を簡単に検査したいという要求が高まっている。
【０００３】
電子部品に含まれる有害元素を分析するために、Ｘ線分析装置が利用されている。Ｘ線分析装置は、Ｘ線を発生するＸ線発生器と、Ｘ線発生器で発生したＸ線を被検査体に導くＸ線導管と、電子部品などの被検査体を載置する試料ステージと、Ｘ線を照射した被検査体から放出される蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出器とを備え、蛍光Ｘ線検出器で検出した蛍光Ｘ線のスペクトル線の強度データをコンピュータで処理し、被検査体に含まれる元素の濃度を表示装置で表示するものである（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−９３５１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のＸ線分析装置にあっては、試料ステージに載置した電子部品毎に検査結果を表示するのみであり、電子部品の検査内容は、予め準備をしておく必要があった。電気製品などには多くの電子部品が含まれ、これらの電子部品には種々の元素を含む材料が多数使用されているため、電子部品毎に検査する内容も多岐に亘り、検査部位、検査対象元素、抜取検査、又は全数検査などの検査内容を電子部品毎に的確に把握することは容易ではなかった。特に、電子部品の出荷時又は受入時などにおいては、電子部品を短期間に検査する必要があり、多品種の電子部品を効率良く検査することが望まれていた。また、同一の電子部品を多数検査する場合でも、各電子部品の検査結果は個別にしか得ることができず、検査結果を効率良く集計することも望まれていた。
【０００５】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、被検査体を特定する特定情報に基づいて、被検査体の検査要件を示す検査要件情報を検索する検索手段を備えることにより、従来に比較して、容易に検査内容を把握することができ、検査内容に応じて被検査体に含まれる物質を分析することができる分析システム、該分析システムを構成する分析装置、該分析装置を構成するコンピュータに被検査体に含まれる物質を分析させるためのコンピュータプログラム、及び該コンピュータプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供することを目的とする。
【０００６】
また、本発明の他の目的は、検査結果を記録し、記録した検査結果に基づいて検査履歴を集計する集計手段を備えることにより、検査結果を効率良く集計することができる分析システムを提供することにある。
【０００７】
また、本発明の他の目的は、前記検査要件情報が被検査体の検査部位を含むことにより、従来に比較して、被検査体毎に検査部位を容易に把握することができる分析システムを提供することにある。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、前記検査要件情報が被検査体の検査対象元素を含むことにより、従来に比較して、被検査体毎に検査対象元素を容易に把握することができる分析システムを提供することにある。
【０００９】
また、本発明の他の目的は、検査結果と検査対象元素の許容濃度閾値とを比較することにより、被検査体の良否を容易に判断することができる分析システムを提供することにある。
【００１０】
また、本発明の他の目的は、前記検査要件情報が抜取検査又は全数検査を含むことにより、被検査体に応じて検査数を容易に把握することができ、従来に比較して、多数の被検査体を検査する場合でも、効率良く検査をすることができる分析システムを提供することにある。
【００１１】
また、本発明の他の目的は、検査結果に検査部位の撮像画像を含むことにより、検査部位を容易に特定することができる分析システムを提供することにある。
【００１２】
また、本発明の他の目的は、検査要件情報を追加、変更、又は削除する修正手段を備えることにより、被検査体の検査部位、検査対象元素、該検査対象元素の許容濃度閾値、抜取検査、又は全数検査などの検査要件を容易に追加、変更、削除することができる分析システムを提供することにある。
【００１３】
また、本発明の他の目的は、被検査体にＸ線を照射することにより、被検査体に含まれる物質を分析することができる分析システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
第１発明に係る分析システムは、被検査体に含まれる物質を分析する分析装置と、被検査体を特定する特定情報を記憶する記憶装置とを備えた分析システムであって、前記記憶装置は、前記特定情報に関連付けられ、被検査体の検査要件を示す検査要件情報を記憶するものであり、前記分析装置は、前記特定情報の入力手段と、前記入力手段から入力された特定情報に基づいて、前記検査要件情報を検索する検索手段とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
第２発明に係る分析システムは、第１発明において、前記被検査体を検査した検査結果を記録する記録手段と、該記録手段が記録した検査結果に基づいて、検査履歴を集計する集計手段とをさらに備えたことを特徴とする。
【００１６】
第３発明に係る分析システムは、第１発明又は第２発明において、前記検査要件情報は、前記被検査体の検査部位を含むことを特徴とする。
【００１７】
第４発明に係る分析システムは、第１発明乃至第３発明のいずれかにおいて、前記検査要件情報は、前記被検査体の検査対象物質を含むことを特徴とする。
【００１８】
第５発明に係る分析システムは、第４発明において、前記検査要件情報は、前記検査対象物質の許容濃度閾値を含み、前記検査結果と前記許容濃度閾値とを比較する比較手段をさらに備えたことを特徴とする。
【００１９】
第６発明に係る分析システムは、第１発明乃至第５発明のいずれかにおいて、前記検査要件情報は、抜取検査又は全数検査の別を示す情報を含むことを特徴とする。
【００２０】
第７発明に係る分析システムは、第３発明乃至第６発明のいずれかにおいて、被検査体を撮像する撮像手段を備え、前記検査要件情報は、前記被検査体の検査部位の撮像の要否を示す情報を含み、前記検査部位の撮像を要する場合に、前記検査結果は、前記撮像手段が撮像した検査部位の撮像画像を含むことを特徴とする。
【００２１】
第８発明に係る分析システムは、第１発明乃至第７発明のいずれかにおいて、前記検査要件情報を追加、変更、又は削除する修正手段をさらに備えたことを特徴とする。
【００２２】
第９発明に係る分析システムは、第１発明乃至第８発明のいずれかにおいて、被検査体に対してＸ線を照射して前記被検査体に含まれる物質を分析するように構成してあることを特徴とする。
【００２３】
第１０発明に係る分析装置は、被検査体に含まれる物質を分析する分析装置において、被検査体を特定する特定情報の入力手段と、前記入力手段から入力された特定情報に基づいて、前記特定情報に関連付けて記憶され、被検査体の検査要件を示す検査要件情報を検索する検索手段とを備えたことを特徴とする。
【００２４】
第１１発明に係るコンピュータプログラムは、コンピュータに、被検査体から検出される検出データに基づいて、前記被検査体に含まれる物質を分析させるためのコンピュータプログラムにおいて、コンピュータを、被検査体を特定する特定情報に基づいて、該特定情報に関連付けて記憶され、被検査体の検査要件を示す検査要件情報を検索する検索手段として機能させることを特徴とする。
【００２５】
第１２発明に係るコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、コンピュータに、被検査体から検出される検出データに基づいて、前記被検査体に含まれる物質を分析させるためのコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、コンピュータを、被検査体を特定する特定情報に基づいて、該特定情報に関連付けて記憶され、被検査体の検査要件を示す検査要件情報を検索する検索手段として機能させるコンピュータプログラムを記録したことを特徴とする。
【００２６】
第１発明、第１０発明、第１１発明及び第１２発明にあっては、被検査体（例えば電子部品）を特定する特定情報（例えば、品目、又は品名など）に関連付けて、前記被検査体の検査要件を示す検査要件情報を記憶してある。入力手段から入力された被検査体の特定情報に基づいて前記検査要件情報を検索する。
【００２７】
第２発明にあっては、被検査体毎に記録された検査結果に基づいて、検査履歴を集計する。
【００２８】
第３発明にあっては、前記検査要件情報は、被検査体の検査部位を含む。入力手段から入力された被検査体の特定情報に基づいて、前記被検査体を検査する検査部位を特定する。
【００２９】
第４発明にあっては、前記検査要件情報は、被検査体の検査対象元素を含む。入力手段から入力された被検査体の特定情報に基づいて、前記被検査体を検査する検査対象元素を特定する。
【００３０】
第５発明にあっては、前記検査要件情報は、被検査対象元素の許容濃度閾値を含む。被検査体を検査した検査結果と前記許容濃度閾値とを比較し、比較結果に基づいて前記被検査体の検査対象元素の濃度が許容値内であるか否かを判定する。
【００３１】
第６発明にあっては、前記検査要件情報は、被検査体の検査が抜取検査又は全数検査のいずれかであるかを識別する識別情報を含む。入力手段から入力された被検査体の特定情報に基づいて、抜取検査又は全数検査の別を特定する。
【００３２】
第７発明にあっては、前記検査要件情報に被検査体の検査部位を含む場合に、撮像装置は検査部位を撮像し、検査結果は前記撮像手段が撮像した前記検査部位の撮像画像を含む。
【００３３】
第８発明にあっては、修正手段は、被検査体の検査部位、検査対象元素、検査対象元素の許容濃度閾値、抜取検査、又は全数検査などの検査要件情報を追加、変更、又は削除する。これにより、前記修正手段が追加、変更、又は削除した検査要件情報に基づいて修正された検査内容を特定する。
【００３４】
第９発明にあっては、被検査体にＸ線を照射した場合、被検査体は、該被検査体に含まれる元素に固有の蛍光Ｘ線を放出する。放出された蛍光Ｘ線を検出し、検出した検出データに基づいて前記被検査体に含まれる物質を分析する。
【発明の効果】
【００３５】
第１発明、第１０発明、第１１発明及び第１２発明にあっては、被検査体を特定する特定情報を入力することにより、被検査体毎に検査内容が異なる場合であっても、被検査体の検査を簡単に行うことができる。
【００３６】
第２発明にあっては、記録した検査結果に基づいて、検査履歴を集計した集計情報を得ることができる。
【００３７】
第３発明にあっては、被検査体を特定する特定情報を入力することにより、被検査体毎に検査内容が異なる場合であっても、被検査体の検査部位を検査することができる。
【００３８】
第４発明にあっては、被検査体を特定する特定情報を入力することにより、被検査体毎に検査内容が異なる場合であっても、被検査体の検査対象元素を検査することができる。
【００３９】
第５発明にあっては、被検査体を特定する特定情報を入力することにより、被検査体毎に検査対象元素が異なる場合であっても、被検査体の検査対象元素の濃度が許容値内であるか否かを判定することができる。
【００４０】
第６発明にあっては、被検査体を特定する特定情報を入力することにより、被検査体毎に検査内容が異なる場合であっても、被検査体の検査が抜取検査又は全数検査のいずれであるかを区別することができ、多数の被検査体を検査する場合でも、効率良く検査をすることができる。
【００４１】
第７発明にあっては、検査結果に被検査体の検査部位の撮像画像を含むことにより、被検査体毎に検査部位が異なる場合であっても、被検査体の検査部位を特定することができる。
【００４２】
第８発明にあっては、被検査体に使用される材料の変更、材料の使用箇所の変更などが生じた場合であっても、被検査体の検査部位を追加、変更、又は削除することができ、被検査体の検査を容易にすることができる。また、被検査体の検査対象元素又は検査対象元素の許容濃度閾値を追加、変更、又は削除することができ、有害元素に対する様々な規定に対応して検査することができる。また、被検査体毎に検査数（抜取検査又は全数検査）を追加、変更、又は削除することができる。
【００４３】
第９発明にあっては、被検査体に含まれる有害元素を分析することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る分析システムの構成を示すブロック図であり、図２及び図３はコンピュータ３０、４０の構成を示すブロック図である。図において、１０はＸ線分析装置である。Ｘ線分析装置１０は、電子部品である被検査体にＸ線を照射するＸ線照射装置２０と、Ｘ線照射装置２０が検出した検出データに基づいて、電子部品に含まれる元素を分析する分析用のコンピュータ３０とを備える。また、コンピュータ３０には、通信線５０を介して部品発注用のコンピュータ４０を接続してある。
【００４５】
Ｘ線照射装置２０において、１１はＸ線を発生させるＸ線発生器である。Ｘ線発生器１１にはＸ線導管１２を取り付けてあり、Ｘ線導管１２は、Ｘ線発生器１１で発生させたＸ線を、試料ステージ１７の近傍に設けられた開口部１５に１０〜１００μｍ単位の細いビーム径、又は１〜５ｍｍ程度のビーム径に絞りつつ導く。なお、Ｘ線を導く装置としては、Ｘ線導管の他にＸ線コリメータ等も使用可能である。開口部１５は、Ｘ線透過体１６で塞がれた空間であり、開口部１５内は真空である。この場合、Ｘ線透過体１６で試料ステージ１７と開口部１５とを区切ることにより開口部１５に真空空間を形成しているが、開口部１５は大気であってもよく、試料ステージ１７を含めた空間全体を真空空間としてもよい。ただし、Ｘ線照射空間は２次Ｘ線の減衰などを防止するため、真空に保つことが望ましい。
【００４６】
開口部１５には、Ｘ線導管１２、及びＸ線を照射した電子部品から放出され、開口部１５に入射した２次Ｘ線、例えば蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出器１３の各先端部を配置してある。また、開口部１５には、試料ステージ１７に載置された被検査体を撮像する撮像装置１４の受光部を配置してある。
【００４７】
試料ステージ１７には、モータ１９、２４が取り付けてあり、モータ１９は、試料ステージ１７を、試料ステージ１７の載置面と平行な直交する２方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動する。また、モータ２４は、試料ステージ１７を、試料ステージ１７の載置面の法線方向に移動し、開口部１５との距離を調節する。
【００４８】
モータ１９、２４にはステージコントローラ２２を接続してあり、ステージコントローラ２２は、モータ１９、２４夫々を制御することにより、試料ステージ１７に載置した電子部品の検査部位の位置制御を行う。
【００４９】
Ｘ線発生器１１には、Ｘ線コントローラ２１を接続してあり、Ｘ線コントローラ２１は、Ｘ線発生器１１で発生するＸ線のオン・オフ及び出力強度を制御する。
【００５０】
撮像装置１４、Ｘ線コントローラ２１、及びステージコントローラ２２には、データ処理部２３を接続してあり、データ処理部２３は、通信インタフェース部２３１を介して撮像装置１４、Ｘ線コントローラ２１、及びステージコントローラ２２に制御信号を送信して、撮像装置１４、Ｘ線コントローラ２１、及びステージコントローラ２２の動作を制御する。また、データ処理部２３には、通信インタフェース部２３１を介してコンピュータ３０を接続してある。
【００５１】
データ処理部２３は、コンピュータ３０からＸ線発生器１１の制御パラメータを受信した場合、受信したパラメータに応じた制御信号を生成し、Ｘ線コントローラ２１へ送信する。Ｘ線コントローラ２１は、受信した制御信号に基づいてＸ線発生器１１で発生するＸ線のオン・オフを制御するとともに出力強度を制御する。
【００５２】
また、データ処理部２３は、コンピュータ３０から撮像装置１４の制御パラメータを受信した場合、受信したパラメータに応じた制御信号を生成し、撮像装置１４へ送信する。撮像装置１４は、受信した制御信号に基づいて試料ステージ１７に載置した電子部品を撮像し、撮像画像（静止画像を含む）をコンピュータ３０へ送信する。
【００５３】
また、データ処理部２３は、コンピュータ３０から試料ステージ１７の制御パラメータを受信した場合、受信したパラメータに応じた制御信号を生成し、ステージコントローラ２２へ送信する。ステージコントローラ２２は、受信した制御信号に基づいてモータ１９、２４を駆動して、試料ステージ１７を移動させる。例えば、データ処理部２３は、撮像装置１４で撮像した電子部品の検査部位の撮像画像をコンピュータ３０へ送信し、コンピュータ３０の後述する表示部３５で撮像画像を画面表示させ、画面上の操作ボタンを操作することにより、データ処理部２３は、コンピュータ３０から試料ステージ１７の制御パラメータを受信する。これにより、コンピュータ３０の表示部３５に表示された被検査体の撮像画像を見ながら、被検査体の検査部位の位置を制御することができる。
【００５４】
また、データ処理部２３は、パルスプロセッサ２３２、ＭＣＡ２３３（Multi Channel Analyzer）、スペクトルメモリ２３４を有し、蛍光Ｘ線検出器１３で検出した検出信号を、通信インタフェース部２３１を介して受信する。
【００５５】
パルスプロセッサ２３２は、通信インタフェース部２３１を介して受信した検出信号をエネルギーレベルに比例したパルス波形に変換し、ＭＣＡ２３３へ出力する。ＭＣＡ２３３は入力されたパルス波形に基づいて、蛍光Ｘ線のエネルギーに対応するパルス数、すなわちパルスの波高毎にパルスの数を計数し、計数値をスペクトルメモリ２３４へ一旦保存する。保存された計数値は、通信インタフェース部２３１を介してコンピュータ３０へ出力される。
【００５６】
コンピュータ４０は、ＣＰＵ４２、ＲＡＭ４６、各種データベースを記憶する記憶部４１、コンピュータ３０に接続するための通信部４３、マウス、キーボードなどの入出力部４４、ディスプレイなどの表示部４５を備えている。記憶部４１は、電子部品の品目、品名などの情報を有する部品データベース４１１、及び電子部品毎の検査要件情報を記憶した第１検査要件情報データベース４１２、第２検査要件情報データベース４１３を記憶する。
【００５７】
図４は部品データベース４１１のレコードレイアウトを示す説明図である。部品データベース４１１は、予め登録してある電子部品の品目（部品番号）、及び品名と、電子部品を発注した際に割り当てられる発注番号、発注数量、及び発注日時と、電子部品を受け入れた場合の受入日時、受け入れた電子部品のロット番号、及び電子部品の保管場所を示す場所コードとの各欄から構成してある。
【００５８】
図５は第１検査要件情報データベース４１２のレコードレイアウトを示す説明図であり、図６は第２検査要件情報データベース４１３のレコードレイアウトを示す説明図ある。第１検査要件情報データベース４１２は、電子部品の品目、品名、電子部品の検査箇所を示す検査部位の番号、部位名、検査部位の撮像画像を記録するか否かを示す撮像記録要否のフラグ、及び全数検査又は抜取検査の別を示す検査識別情報の各欄から構成してある。例えば、品目「ＣＡ−１」のケーブルの検査要件は、検査部位が中央部とコネクタ部の２箇所あり、カドミウム、鉛、水銀、クロム、及び臭素の各有害元素を検査対象元素とし、検査部位の撮像画像を記録し、全数検査を行うことである。
【００５９】
第２検査要件情報データベース４１３は、規制・規定毎に異なる検査対象元素とその許容濃度閾値の各欄から構成してある。検査対象元素とその許容濃度閾値は、適用する規制・規定に沿って第２検査要件情報データベース４１３により抽出されるようになっている。適用する規制・規定が決定されると、それに沿った検査対象元素とその許容濃度閾値が抽出され、第１検査要件情報データベース４１２に貼り付けられる。適用する規制・規定は、１つでも複数でも可能である。また、規制・規定は公に定められた規制などに限らず、業界又は社内などで独自に定めている規定を追加することも可能である。
【００６０】
コンピュータ３０は、本発明のコンピュータプログラムＰＧを記録したＣＤ−ＲＯＭ３７１を駆動する外部記憶装置３７、コンピュータプログラムＰＧを一時的に記憶するＲＡＭ３３、データ処理部２３などに接続するための通信部３２、マウス、キーボード、バーコード読取器、プリンタなどの入出力部３４、ディスプレイなどの表示部３５、各種データベースを記憶した記憶部３６、撮像装置１４が撮像した撮像画像を記憶する画像メモリ３８、及びコンピュータプログラムＰＧを実行するＣＰＵ３１を備えている。
【００６１】
記憶部３６には、検査要件情報を検索した結果作成され、検査内容を特定する検査内容情報を記憶した検査内容情報データベース３６１、及び検査結果を記録する検査結果データベース３６２を記憶してある。ＣＰＵ３１は、コンピュータプログラムＰＧの実行に伴って、これらの各種データベースにアクセスする。
【００６２】
図７は検査内容情報データベース３６１のレコードレイアウトを示す説明図である。検査内容情報データベース３６１は、検査毎に割り当てられる検査ロット番号、電子部品の品目、品名、電子部品のロット番号、検査部位の番号、部位名、全数検査又は抜取検査の別を示す検査識別情報、検査部位の撮像画像を記録するか否かを示す撮像記録要否のフラグ、及び検査対象元素の各欄から構成してある。
【００６３】
図８は検査結果データベース３６２のレコードレイアウトを示す説明図である。検査結果データベース３６２は、検査ロット番号、電子部品の品目、品名、ロット番号、場所コード、検査日時、検査部位の番号、部位名、該部位名を撮像した画像、及び各検査対象元素の濃度と判定結果の各欄から構成してある。
【００６４】
ＣＰＵ３１は、キーボード、マウスを備えた入出力部３４から入力された電子部品の品目及び数量をコンピュータ４０へ送信する。コンピュータ４０は、受信した品目、及び数量に基づいて、部品発注処理を行い、品目、及び数量とともに発注番号、及び発注日付を部品データベース４１１へ記憶する。また、ＣＰＵ３１は、バーコード読取器を備えた入出力部３４で読み取った発注番号に対応する品目を、部品データベース４１１から取得し、一旦ＲＡＭ３３に記憶する。
【００６５】
ＣＰＵ３１は、ＲＡＭ３３に記憶した品目を読み出し、読み出した品目に基づいて、第１検査要件情報データベース４１２を検索し、検索結果に基づいて、検査内容情報を作成し検査内容情報データベース３６１に記憶する。また、ＣＰＵ３１は、検査内容情報を、ディスプレイを備える表示部３５に表示し、また、プリンタを備える入出力部３４へ出力する。
【００６６】
図９は検査内容情報の画面表示の例を示す説明図である。図に示すように、画面表示は、ロット番号、検査ロット番号、品目、品名、ロット数、抜取検査数、検査部位の番号と部位名、撮像記録の要否などが表示される。各部位毎に、開始ボタンが表示され、検査担当者が開始ボタンを操作することにより、検査が開始され、検査結果が記録される。
【００６７】
ＣＰＵ３１は、データ処理部２３から入力された蛍光Ｘ線のエネルギーに対応するパルスの波高毎のパルス計数値などの検出データを、一旦ＲＡＭ３３に記憶する。ＣＰＵ３１は、ＲＡＭ３３から検出データを読み出し、読み出した検出データに基づいて電子部品に含まれる元素の濃度の算出、及び算出した濃度と許容濃度閾値との比較などの検査処理を実行し、検査結果を検査結果データベース３６２へ記憶する。また、ＣＰＵ３１は、検査結果を、ディスプレイを備える表示部３５に表示し、また、プリンタを備える入出力部３４へ出力する。
【００６８】
ＣＰＵ３１は、検査結果データベース３６２に記憶した検査結果に基づいて、検査履歴を集計した集計情報を作成し、作成結果をディスプレイなどの表示部３５に表示し、また、プリンタなどの入出力部３４へ出力する。
【００６９】
図１０及び図１１は集計情報の画面表示の例を示す説明図である。図に示すように、ロット検査実績照会画面は、ロット番号、検査ロット番号、検査実施日時、品目、品名、品目数量、検査部位毎の検査対象元素の濃度の最小値、最大値、平均値、標準偏差値、適用する規制・規定名と全体としての検査結果合否判断などを表示する。これにより、同じ品目の電子部品を多数検査した場合の検出対象元素の濃度値の推移を把握することができる。また、これらの画面上で適用する規制・規定を切り替えることが可能であり、適用する規制・規定を切り替えることにより、設定した許容濃度閾値の切り替え、合否判断の再演算が可能であるとともに、適用する規制・規定を常に確認しながら合否判断を参照することが可能となる。
【００７０】
また、検体別検査実績照会画面は、ロット検査実績に基づいて、電子部品毎に記録した検査実績を表示する。これにより、過去に記録された検査結果を容易に確認することができる。
【００７１】
ＣＰＵ３１は、コンピュータ４０の記憶部４１に記憶した第１検査要件情報データベース４１２、第２検査要件情報データベース４１３の内容を表示部３５に表示し、入出力部３４から入力された情報に基づいて、登録すべき検査要件情報を第１検査要件情報データベース４１２又は第２検査要件情報データベース４１３に記憶する。
【００７２】
一例として、品目が「ＣＡ−１」のケーブルを新たに商品化した場合、該ケーブルが、使用される国の各種規制、例えば、ＷＥＥＥ（Waste Electrical and Electric Equipment）、ＲｏＨＳ（Restriction of the use of certain Hazardous Substances in electrical and electric equipment）、ＥＬＶ（End of Life Vehicle）などに準拠することを保証し、承認を得るために、検査内容を登録することができる。例えば、規制されている有害元素が、カドミウム、鉛、水銀、クロム、及び臭素である場合には、検査対象元素として、これらの元素を設定し、元素毎に、許容濃度閾値を設定する。
【００７３】
また、前記ケーブルに使用される材料に応じて、検査部位を設定する。例えば、品目「ＣＡ−１」のケーブルの場合、検査部位は２箇所あり、ケーブルの中央部及びコネクタ部を検査するように設定する。さらに、前記ケーブルが新規に設計されたような場合であって、過去の検査実績が十分に存在しないときは、全数検査を行うように設定し、検査部位の特定のために検査部位の撮像記録をするように設定する。
【００７４】
また、品目が「ＣＡ−２」のケーブルが、従来のケーブルに比べて微細な設計変更したような場合には、材料変更などの設計変更に応じて、検査部位を登録するとともに、過去の検査実績を考慮して、抜取検査を行うように設定し、検査効率を良くすることができる。また、検査部位の撮像画像が必要でないと判断される場合は、検査部位の撮像記録をしないように設定する。
【００７５】
ＣＰＵ３１は、コンピュータ４０の記憶部４１に記憶した第１検査要件情報データベース４１２又は第２検査要件情報データベース４１３の内容を表示部３５に表示し、入出力部３４から入力された情報に基づいて、検査要件情報を変更又は削除し、修正結果を第１検査要件情報データベース４１２又は第２検査要件情報データベース４１３に記憶する。
【００７６】
例えば、設計変更に応じて、検査部位の箇所を修正する場合、遵守すべき規定に応じて、承認内容が異なり検査対象元素及び許容濃度閾値を修正する場合、過去の検査実績に応じて検査数を修正する場合、規制・規定自体に変更があった場合には、検査要件情報を修正する。
【００７７】
図１２は検査要件情報の登録・修正の画面表示の例を示す説明図である。図に示すように、電子部品の検査部位毎に、検査対象元素であるカドミウム、鉛、水銀、クロム及び臭素の許容濃度閾値を修正することができる。なお、他の検査要件情報も同様の画面により登録・修正することが可能である。
【００７８】
次に、本発明に係る分析システムの処理手順について説明する。図１３は部品発注用のコンピュータ４０の処理手順を示すフローチャートである。部品の購買担当者は、コンピュータ４０の入出力部４４から発注すべき部品の品目、及び発注数量を入力する（ステップＳ１０１）。コンピュータ４０は、入力された品目、発注数量に基づいて発注番号を生成して割り当て（ステップＳ１０２）、入力された品目に基づいて、部品データベース４１１の品目に対応する発注番号、発注数量、発注日時などの発注情報を記憶して（ステップＳ１０３）、処理を終了する。
【００７９】
図１４乃至図１７は分析装置１０のコンピュータ３０の処理手順を示すフローチャートである。検査担当者は、電子部品の部品伝票を、バーコード読取器を備えた入出力部３４で読み込む（ステップＳ２０１）。コンピュータ３０は、入出力部３４で読み取ったデータから発注番号、ロット番号を取り出し（ステップＳ２０２）、取り出した発注番号、ロット番号をコンピュータ４０へ送信し（ステップＳ２０３）、コンピュータ４０からの応答がない場合には（ステップＳ２０４でＮＯ）、ステップＳ２０４の処理を続ける。
【００８０】
コンピュータ４０は、ステップＳ２０５で、コンピュータ３０からの応答がない場合は（ステップＳ２０５でＮＯ）、ステップＳ２０５の処理を続ける。ステップＳ２０３で、コンピュータ３０が発注番号、ロット番号を送信した場合は、コンピュータ３０からの応答がありと判定し（ステップＳ２０５でＹＥＳ）、発注番号、ロット番号を受信する（ステップＳ２０６）。コンピュータ４０は、発注番号に対応させて、受入日時、場所コードなどの受入情報を部品データベース４１１に記憶し（ステップＳ２０７）、部品データベース４１１から発注番号に対応する品目を抽出し（ステップＳ２０８）、抽出した品目をコンピュータ３０へ送信し（ステップＳ２０９）、処理を終了する。
【００８１】
コンピュータ３０は、コンピュータ４０がステップＳ２０９で品目を送信した場合は、コンピュータ４０からの応答がありと判定し（ステップＳ２０４でＹＥＳ）、品目を受信する（ステップＳ２１０）。これにより、コンピュータ３０に品目が入力される。コンピュータ３０は、受信した品目に基づいて、第１検査要件情報データベース４１２及び第２検査要件情報データベース４１３を検索し（ステップＳ２１１）、抜取検査か全数検査かを示す検査識別情報を抽出する（ステップＳ２１２）。コンピュータ３０は、さらに検査部位を抽出し（ステップＳ２１３）、検査部位の撮像記録の要否を抽出し（ステップＳ２１４）、検査対象元素と各元素の許容濃度閾値を抽出する（ステップＳ２１５）。
【００８２】
コンピュータ３０は、ステップＳ２１２、Ｓ２１３、Ｓ２１４、Ｓ２１５で抽出した情報に基づいて、検査内容情報を作成し（ステップＳ２１６）、作成した検査内容情報を検査内容情報データベース３６１に記憶する（ステップＳ２１７）。コンピュータ３０は、検査内容情報の画面を表示する（ステップＳ２１８）。
【００８３】
検査担当者が、検査内容情報の画面上で、検査部位の検査開始ボタンを操作した場合（ステップＳ２１９）、コンピュータ３０はＸ線照射信号をＸ線照射装置２０へ送信する（ステップＳ２２０）。
【００８４】
Ｘ線照射装置２０は、送信されたＸ線照射信号を受信し（ステップＳ２２１）、試料ステージに載置された電子部品の検査部位にＸ線を照射する（ステップＳ２２２）。Ｘ線照射装置２０は、検出した検出データを収集し（ステップＳ２２３）、所定時間が終了したかを判定する（ステップＳ２２４）。所定時間が終了していない場合は（ステップＳ２２４でＮＯ）、所定時間終了まで検出データを収集するステップＳ２２３の処理を続ける。一方、所定時間が終了した場合は（ステップＳ２２４でＹＥＳ）、検出データをコンピュータ３０へ送信する（ステップＳ２２５）。
【００８５】
コンピュータ３０は、Ｘ線照射装置２０がステップＳ２２５で検出データを送信した場合は、検出データを受信する（ステップＳ２２６）。コンピュータ３０は、検査内容情報から検査部位の撮像記録の要否を判定し（ステップＳ２２７）、撮像記録が必要である場合は（ステップＳ２２７でＹＥＳ）、検査部位の静止画像を撮像するための撮像信号をＸ線照射装置２０へ送信する（ステップＳ２２８）。
【００８６】
Ｘ線照射装置２０は、ステップＳ２２８で、コンピュータ３０が撮像信号を送信した場合は、送信された撮像信号を受信し（ステップＳ２２９）、検査部位の静止画像を撮像する（ステップＳ２３０）。Ｘ線照射装置２０は、撮像画像をコンピュータ３０へ送信し（ステップＳ２３１）、処理を終了する。
【００８７】
コンピュータ３０は、Ｘ線照射装置２０がステップＳ２３１で撮像画像を送信した場合は、撮像画像を受信する（ステップＳ２３２）。コンピュータ３０は、ステップＳ２２６で受信した検出データに基づいて、検査部位の各元素濃度を算出し（ステップＳ２３３）、算出した濃度と許容濃度閾値とを比較して、元素濃度が許容内であるか否かを判定し（ステップＳ２３４）、検査結果を受信した撮像画像とともに検査結果データベース３６２に記録する（ステップＳ２３５）。
【００８８】
一方、コンピュータ３０は、ステップＳ２２７で、検査部位の撮像記録が不必要である場合は（ステップＳ２２７でＮＯ）、ステップＳ２３３以降の処理を続ける。
【００８９】
コンピュータ３０は、検査内容情報に基づいて、他の検査部位が存在するか否かを判定する（ステップＳ２３６）。他の検査部位が存在する場合は（ステップＳ２３６でＹＥＳ）、検査担当者は、表示部３５に表示される電子部品の他の検査部位にＸ線が照射されるように、画面上の操作ボタンを操作して、試料ステージ１７を移動させ、コンピュータ３０は、ステップＳ２１９以降の処理を続ける。
【００９０】
一方、コンピュータ３０は、他の検査部位が存在しない場合は（ステップＳ２３６でＮＯ）、他の電子部品が存在するか否かを判定する（ステップＳ２３７）。他の電子部品が存在する場合は（ステップＳ２３７でＹＥＳ）、検査担当者は、他の電子部品を試料ステージ１７に載置し、コンピュータ３０は、ステップＳ２１９以降の処理を続け、他の電子部品が存在しない場合は（ステップＳ２３７でＮＯ）、処理を終了する。
【００９１】
以上説明したように、本発明にあっては、発注した電子部品の受入時に電子部品の品目が入力され、入力された品目に基づいて、予め登録された検査要件情報を検索して、検査内容情報を作成することにより、電子部品の品目が異なる場合であっても、電子部品夫々に対応した検査内容（検査部位、検査対象元素、検査対象元素の許容濃度閾値、抜取検査又は全数検査の区別、検査部位の撮像記録の要否など）に応じて検査することができ、従来に比較して、効率良く検査をすることが可能になる。
【００９２】
上述の実施の形態においては、Ｘ線を用いるＸ線照射装置を備えた分析システムであったが、使用する光はＸ線に限定されるものではなく、他の波長の光を使用した分析システムにも本発明を適用することが可能である。
【００９３】
また、上述の実施の形態においては、被検査体の例として電子部品を用いた場合について説明しているが、被検査体は電子部品に限定されるものではなく、電気部品、又は機械部品などでもよく、また、検査対象元素を含有する可能性のある材料を用いた部品、又は製品についても適用することが可能である。
【００９４】
また、上述の実施の形態においては、第１検査要件情報データベース４１２及び第２検査要件情報データベース４１３を部品発注用のコンピュータ４０の記憶部４１に記憶する構成であったが、これに限定されるものではなく、分析装置１０のコンピュータ３０の記憶部３６に記憶する構成でもよい。
【００９５】
また、上述の実施の形態においては、分析装置１０が電子部品の品目に基づいて、部品発注用のコンピュータ４０の第１検査要件情報データベース４１２を検索する構成であったが、これに限定されるものではなく、分析装置１０のコンピュータ３０がコンピュータ４０に対して検索要求を送信し、コンピュータ４０が検索した検索結果をコンピュータ４０から受信する構成であってもよい。
【００９６】
また、上述の実施の形態においては、発注した部品を受け入れ、受入後に電子部品の検査を行う場合について説明したが、これに限定されるものではなく、生産した部品を組立工程などの次工程に出荷する場合にも適用できることは言うまでもない。
【００９７】
また、上述の実施の形態においては、試料ステージ１７に載置した電子部品を、コンピュータ３０の表示部３５に表示した撮像画像を見ながら、検査担当者が画面上の操作ボタンを操作して、試料ステージ１７を移動させて、電子部品の検査部位を検査する構成であったが、これに限らず、Ｘ線照射装置に操作パネルを備え、該操作パネルを操作して試料ステージ１７を移動させる構成でもよい。また、予め、電子部品の検査部位を走査し、各検査部位を検査するための試料ステージ１７の位置座標を記憶し、検査内容情報の画面上の検査開始ボタンが操作される毎に、各検査部位に対応した試料ステージ１７の位置座標を読み出し、試料ステージ１７を移動させる構成でもよい。
【００９８】
また、上述の実施の形態においては、Ｘ線照射装置２０で検出データを所定時間の終了後にコンピュータ３０へ送信する構成であったが、これに限らず、Ｘ線照射装置２０に検出データの収集が終了したことを示すフラグを設けておき、コンピュータ３０がＸ線照射信号を送信した後に、所定時間が経過したか否かを判定し、所定時間が終了した場合は、前記フラグを読み出し、検査データの収集が終了している場合には、スペクトルメモリ２３４に記録された検出データを読み出す構成であってもよい。
【００９９】
また、上述の実施の形態においては、Ｘ線を試料に対して上方から照射する構成であったが、Ｘ線を試料の下方から照射する構成でもよい。図１８は、他の実施の形態の分析システムの構成を示すブロック図である。
【０１００】
図において、１２０はＸ線照射装置である。Ｘ線照射装置１２０は、箱型のＸ線照射装置本体１０１の下部に、１次Ｘ線ａを発生させるＸ線源１０２を設けてあり、Ｘ線照射装置本体１０１の上部に、試料（被検査体）１１０が載置される試料ステージ１０３を配置している。試料ステージ１０３には、Ｘ線を透過させるＸ線透過部としてのＸ線透過窓１０４を設けてある。Ｘ線透過窓１０４は、１次Ｘ線ａ、後述する２次Ｘ線ｂ、及び可視光線ｃを透過させ得る合成樹脂などの隔膜で閉じられている。また、試料ステージ１０３外周には、側壁１１８を設けてあり、側壁１１８上部には開閉自在の蓋１１９を取り付けてある。
【０１０１】
また、Ｘ線照射装置本体１０１内には、Ｘ線源１０２から発生した１次Ｘ線ａをＸ線透過窓１０４に導くＸ線導管１０５を垂設してある。Ｘ線照射装置本体１０１内の上部には、Ｘ線透過窓１０４の周りから下方へ凸となり、中央にＸ線導管１０５上部が挿通された湾曲板１ａを設けてあり、湾曲板１ａとＸ線透過窓１０４との間の空間を密閉したＸ線照射空間１０６としてある。Ｘ線照射空間１０６は、２次Ｘ線の減衰などを防止するため、真空に保つことが望ましい。Ｘ線導管１０５はガラス等により形成されており、Ｘ線源１０２が発生した１次Ｘ線ａを１０〜１００μｍ単位の細いビーム径、又は１〜５ｍｍ程度のビーム径に絞りつつ導き、これらのビーム径の１次Ｘ線ａをＸ線透過窓１０４（試料１１０）に向けて照射するように構成してある。
【０１０２】
また、Ｘ線照射空間１０６内には、Ｘ線導管１０５から試料１１０に１次Ｘ線ａを照射することにより発生した蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線ｂを検出する半導体検出器等の検出手段１０７と、Ｘ線透過窓１０４（試料１１０）を可視光線で照射する照明器（図示せず）と、Ｘ線導管１０５の周囲に配置され、試料１１０からの可視光線ｃをＸ線導管１０５の軸心と直交する方向へ反射させる反射板１０８と、反射板１０８により反射した可視光線ｃを集光する集光レンズ１０９とを収容してある。
【０１０３】
また、検出手段１０７は、湾曲板１ａに挿入される円筒形のハウジング１１３の一端部（挿入側）に収容された状態でＸ線導管１０５に対して一側方に配置してある。Ｘ線源１０２から発生した１次Ｘ線ａをＸ線導管１０５の上端から試料ステージ１０３上の試料１１０に向けて照射することにより、２次Ｘ線ｂが発生し、この２次Ｘ線ｂがＸ線照射空間１０６内で検出部１０７により検出される。
【０１０４】
集光レンズ１０９は湾曲板１ａに挿入される円筒形のハウジング１１４の一端部（挿入側）に収容された状態でＸ線導管１０５に対して検出部１０７と反対側に配置してある。ハウジング１１４の他端部には、試料１１０を撮像するＣＣＤカメラ等の撮像装置１１５を設けてある。集光レンズ１０９はその光軸が反射体１０８の反射面とほぼ４５度となるように配置してある。この集光レンズ１０９により集光された光は撮像装置１１５の受光部に入光する。
【０１０５】
反射体１０８は、一側から中央部にかけて長孔形に切りかかれた挿通部（図示せず）を有し、この挿通部にＸ線導管１０５が挿通される鏡（反射面）からなり、Ｘ線導管１０５の軸周りで試料１１０の像を反射することができるように反射面を上向きにしてハウジング１１４に支持してある。即ち、反射体１０８は、Ｘ線導管１０５の周囲にＸ線導管１０５の軸心に対してほぼ４５度となる角度で配置してあり、試料１１０からの可視光線をＸ線導管１０５の軸心に対してほぼ４５度となる角度で反射させるように配置してある。反射体１０８で反射された試料１１０の像が撮像装置１１５により撮像される。
【０１０６】
以上のように構成されたＸ線照射装置１２０の検出部１０７が検出した検出値は、該検出値に基づいて２次Ｘ線ｂの強さを計測するデータ処理部１１６に入力される。データ処理部１１６は、検出した検出データをコンピュータ３０へ出力する。また、撮像装置１１５が撮像した像は、コンピュータ３０に備えられた表示部３５に表示される。
【０１０７】
検査担当者は、蓋１１９を開けて、試料１１０を試料ステージ１０３のＸ線透過部１０４付近に載置する。前記照明器（図示せず）からの照明等により発生した光（可視光線）が試料１１０下面で反射し、さらに、反射体１０８の鏡面で反射して集光レンズ１０９から撮像装置１１５の受光部に入光され、試料１１０の撮像画像が表示部３５に表示される。検査担当者は、表示部３５に表示された撮像画像に基づいて、試料１１０の載置位置を調整する。
【０１０８】
載置位置の調整完了後、検査担当者は、蓋１１９を閉じて、表示部３５に表示した検査内容情報の画面上で、検査開始ボタンを操作する。これにより、Ｘ線源２から１次Ｘ線ａが出力され、試料１１０への１次Ｘ線の照射により生じた２次Ｘ線ｂを検出部１１７で検出し、Ｘ線分析を行う。試料１１０に照射される１次Ｘ線ａは、Ｘ線導管１０５により細いビーム径に絞られているため、試料１１０の一部分に１次Ｘ線ａが照射される。なお、本説明においては、表示部３５に表示される撮像画像は、反射体１０８によりＸ線導管１０５と同軸の方向から撮像されており、例えば試料１１０の撮像画面中心部分に向けて１次Ｘ線が照射される。
【０１０９】
上述の通り、１次Ｘ線ａが試料ステージ１０３上の試料下面に照射されるので、試料の大きさ、高さに合わせて試料ステージ１０３を移動させる必要がなく、簡単な操作で精度良い分析が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明に係る分析システムの構成を示すブロック図である。
【図２】コンピュータの構成を示すブロック図である。
【図３】コンピュータの構成を示すブロック図である。
【図４】部品データベースのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図５】第１検査要件情報データベースのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図６】第２検査要件情報データベースのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図７】検査内容情報データベースのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図８】検査結果データベースのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図９】検査内容情報の画面表示の例を示す説明図である。
【図１０】集計情報の画面表示の例を示す説明図である。
【図１１】集計情報の画面表示の例を示す説明図である。
【図１２】検査要件情報の登録・修正の画面表示の例を示す説明図である。
【図１３】部品発注用のコンピュータの処理手順を示すフローチャートである。
【図１４】分析装置のコンピュータの処理手順を示すフローチャートである。
【図１５】分析装置のコンピュータの処理手順を示すフローチャートである。
【図１６】分析装置のコンピュータの処理手順を示すフローチャートである。
【図１７】分析装置のコンピュータの処理手順を示すフローチャートである。
【図１８】他の実施の形態の分析システムの構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１０  Ｘ線分析装置  
１１  Ｘ線発生器
１２  Ｘ線導管
１３  蛍光Ｘ線検出器
１４  撮像装置
１７  試料ステージ
１９、２４  モータ
２０  Ｘ線照射装置
２１  Ｘ線コントローラ
２２  ステージコントローラ
２３  データ処理部
３０  コンピュータ
３１  ＣＰＵ
３２  通信部
３３  ＲＡＭ
３４  入出力部
３５  表示部
３６  記憶部
３７  外部記憶装置
３８  画像メモリ
４０  コンピュータ
４１  記憶部
１２０  Ｘ線照射装置
３６１  検査内容情報データベース
３６２  検査結果データベース
４１１  部品データベース
４１２  第１検査要件情報データベース
４１３  第２検査要件情報データベース
【図１】
2006071376.tif 000003
【図２】
2006071376.tif 000004
【図３】
2006071376.tif 000005
【図４】
2006071376.tif 000006
【図５】
2006071376.tif 000007
【図６】
2006071376.tif 000008
【図７】
2006071376.tif 000009
【図８】
2006071376.tif 000010
【図９】
2006071376.tif 000011
【図１０】
2006071376.tif 000012
【図１１】
2006071376.tif 000013
【図１２】
2006071376.tif 000014
【図１３】
2006071376.tif 000015
【図１４】
2006071376.tif 000016
【図１５】
2006071376.tif 000017
【図１６】
2006071376.tif 000018
【図１７】
2006071376.tif 000019
【図１８】
2006071376.tif 000020