(57)【要約】【課題】ロック解除装置のベース板よりカセットを無理なく容易に持ち上げることができ、作業性に優れる。【解決手段】カセット搬送ボックスのロック手段付底板に設けられた２個のラッチピン穴に嵌合する２個の開放ピン２１Ａ、２１Ｂを有して回転自在に設けられた開放治具２０と、ロック手段付底板に設けられた３個の位置決め穴に嵌合する３個の位置決めピン２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃを有して回転自在に設けられた旋回テーブル８とを有し、開放治具２０と旋回テーブル８とは、開放治具２０に固定されたセンターギア５と、センターギア５と同心に配置され旋回テーブル８に固定された内歯を有する原動ギア９と、原動ギア９とセンターギア５とを同方向に回転させる中間ギア１０、１１とから連結され、原動ギア９の歯数は、センターギア５の歯数より多く設けられている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納したカセットを位置決め載置するロック手段付底板と、このロック手段付底板上に置かれたカセットを覆うカバーとからなるカセット搬送ボックスの前記ロック手段付底板は、前記カバーをロックするためのラッチと、このラッチによるロックを解除するように底面中心に回転自在に設けられ、２個のラッチピン穴を有する回動板と、カセット搬送ボックスを所定位置に位置決めするための３個の位置決め穴とを有し、前記カセット搬送ボックスのロックを解除するためのロック解除装置は、前記ラッチピン穴に嵌合する２個の開放ピンと、前記３個の位置決め穴に嵌合する３個の位置決めピンとを有するカセット搬送ボックスのロック解除装置において、前記２個の開放ピンを有して回転自在に設けられた開放治具と、前記３個の位置決めピンを有して回転自在に設けられた旋回テーブルとを有し、前記開放治具と前記旋回テーブルとは、前記カセット搬送ボックスのロックを解除する方向に共に回転し、かつ前記開放治具の回転角度は前記旋回テーブルの回転角度よりロック解除角度分多く回転可能に連結手段で連結されていることを特徴とするカセット搬送ボックスのロック解除装置。
【請求項２】
前記連結手段は、前記開放治具に固定されたセンターギアと、このセンターギアと同心に配置され前記旋回テーブルに固定された内歯を有する原動ギアと、この原動ギアと前記センターギアとを同方向に回転させる中間ギアとからなり、前記原動ギアの歯数は、前記センターギアの歯数より多く設けられていることを特徴とする請求項１記載のカセット搬送ボックスのロック解除装置。
【請求項３】
前記原動ギアの歯数は、前記センターギアの歯数の２倍となっていることを特徴とする請求項２記載のカセット搬送ボックスのロック解除装置。
【請求項４】
基板を収納したカセットを位置決め載置するロック手段付底板と、このロック手段付底板上に置かれたカセットを覆うカバーとからなるカセット搬送ボックスの前記ロック手段付底板は、前記カバーをロックするためのラッチと、このラッチによるロックを解除するように底面中心に回転自在に設けられ、２個のラッチピン穴を有する回動板と、カセット搬送ボックスを所定位置に位置決めするための３個の位置決め穴とを有し、前記カセット搬送ボックスのロックを解除するためのロック解除装置は、前記ラッチピン穴に嵌合する２個の開放ピンと、前記３個の位置決め穴に嵌合する３個の位置決めピンとを有するカセット搬送ボックスのロック解除装置において、前記２個の開放ピンを有した固定の開放治具と、前記３個の位置決めピンを有して回転自在に設けられた旋回テーブルとを有し、前記旋回テーブルは、前記カセット搬送ボックスの回動板のロック解除回転方向と逆方向に回転させることによりロックを解除するように構成されていることを特徴とするカセット搬送ボックスのロック解除装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス装置において用いる清浄なカセット搬送ボックスのロック解除装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の基板はカセットに収納されて各工程に搬送される。この場合、基板をより清浄な環境にするために、カセットはカセット搬送ボックスに収納される。カセット搬送ボックスは、セミ規格として、構造、寸法、大きさ等が細かく規定されている（非特許文献１参照）。
【非特許文献１】セミ規格 「ＳＥＭＩ  スタンダード、２００２年３月（０３０２）  日本語版リスト」の「製造装置ハードウェア（Ｈａｒｄｗａｒｅ）  スタンダード番号Ｅ１９−０６９７  標準メカニカルインタフェース（ＳＭＩＦ）第１９５頁〜第２００頁」及び「製造装置ハードウェア（Ｈａｒｄｗａｒｅ）  スタンダード番号Ｅ１９．４−０９９８  ２００ｍｍ標準メカニカルインタフェース（ＳＭＩＦ）第２０７頁〜第２１３頁」
【０００３】
セミ規格のカセット搬送ボックスの概要を図１６により説明する。カセット搬送ボックス５０は、基板を収納したカセット６０を位置決め載置するロック手段付底板５１（セミ規格ではボックスドア又はポッドドアと呼んでいる）と、ロック手段付底板５１上に置かれたカセット６０を覆うカバー５２（セミ規格ではボックス又はポッドと呼んでいる）とからなっており、カバー５２はロック手段付底板５１に上方より着脱自在に装着されている。ロック手段付底板５１には、カバー５２をロックするためのラッチ５３が設けられており、ラッチ５３は、ロック手段付底板５１の底面の中心に設けられた回動板５４を回転させることによりロックを解除するようになっている。回動板５４には、該回動板５４を回転させるために、図示しない開放ピンを嵌合させる２個のラッチピン穴５５Ａ、５５Ｂが設けられている。またロック手段付底板５１の底面には、カセット搬送ボックス５０を所定の位置に位置決めするための３個の位置決め穴５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃが設けられている。
【０００４】
ここで、位置決め穴５６Ａと回動板５４の中心を結ぶ線５７に対してラッチピン穴５５Ａと５５Ｂを結ぶ線５８は、時計方向に１６°傾いて設けられ、この状態はラッチ５３がカバー５２をロックした状態となっている。この状態より上方から見て回動板５４を反時計方向に８６°回すと、ラッチ５３のロックが解除され、カバー５２をロック手段付底板５１より取り外すことができるようになっている。カセット６０は、該カセット６０への基板の出入口側６１が位置決め穴５６Ａ側になるようにロック手段付底板５１上に位置決め載置される。
【０００５】
従来のカセット搬送ボックス５０のロック解除装置は、図１７に示す構造となっている。ベース板７１の中央には、開放治具７２が回転自在に設けられており、開放治具７２には図１６に示す回動板５４のラッチピン穴５５Ａ、５５Ｂに嵌合する２個の開放ピン７３Ａ、７３Ｂが設けられている。またベース板７１には、図１６に示す位置決め穴５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃに嵌合する３個の位置決めピン７４Ａ、７４Ｂ、７４Ｃが設けられている。更にベース板７１の四隅部には、カセット搬送ボックス５０の外周を案内する落し込みガイド板７５が設けられている。開放治具７２のベース板７１より下方に突出した部分には、レバー７６が固定されている。
【０００６】
次に作用について説明する。図１６に示すカセット搬送ボックス５０を図１７に示すロック解除装置７０上に載置する。カセット搬送ボックス５０の外周は落し込みガイド板７５に案内されてベース板７１上に載置され、位置決めピン７４Ａ、７４Ｂ、７４Ｃが位置決め穴５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃに嵌合し、また開放ピン７３Ａ、７３Ｂがラッチピン穴５５Ａ、５５Ｂに嵌合する。そこで、レバー７６を実線で示す状態より２点鎖線の状態に８６°回動させる。これにより、開放ピン７３Ａ、７３Ｂによってラッチピン穴５５Ａ、５５Ｂが回動させられ、ラッチ５３が引っ込み、カバー５２のロックは解除される。そこで、カバー５２をロック手段付底板５１より取り外すことができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
カセット６０を収納したカセット搬送ボックス５０がローラコンベア等で送られ、ローラコンベア等の所定の位置でカバー５２のロックを解除する場合、ロック解除装置７０はローラコンベア等のロック解除位置に設置して用いることになる。そして、前記したようにレバー７６を回動させてラッチ５３のカバー５２へのロックを解除してロック手段付底板５１よりカバー５２を取り外した場合、カセット６０の側壁部６３が作業者側となる。そこで、カセット６０を手で持ち上げて運搬する場合、カセット６０の側壁部６３、６３を持つことになるが、該側壁部６３、６３は作業者側となっているので、カセット６０を持ち上げにくいという問題があった。
【０００８】
本発明の課題は、ロック解除装置のベース板よりカセットを無理なく容易に持ち上げることができ、作業性に優れたカセット搬送ボックスのロック解除装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、基板を収納したカセットを位置決め載置するロック手段付底板と、このロック手段付底板上に置かれたカセットを覆うカバーとからなるカセット搬送ボックスの前記ロック手段付底板は、前記カバーをロックするためのラッチと、このラッチによるロックを解除するように底面中心に回転自在に設けられ、２個のラッチピン穴を有する回動板と、カセット搬送ボックスを所定位置に位置決めするための３個の位置決め穴とを有し、前記カセット搬送ボックスのロックを解除するためのロック解除装置は、前記ラッチピン穴に嵌合する２個の開放ピンと、前記３個の位置決め穴に嵌合する３個の位置決めピンとを有するカセット搬送ボックスのロック解除装置において、前記２個の開放ピンを有して回転自在に設けられた開放治具と、前記３個の位置決めピンを有して回転自在に設けられた旋回テーブルとを有し、前記開放治具と前記旋回テーブルとは、前記カセット搬送ボックスのロックを解除する方向に共に回転し、かつ前記開放治具の回転角度は前記旋回テーブルの回転角度よりロック解除角度分多く回転可能に連結手段で連結されていることを特徴とする。
【００１０】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、前記請求項１において、前記連結手段は、前記開放治具に固定されたセンターギアと、このセンターギアと同心に配置され前記旋回テーブルに固定された内歯を有する原動ギアと、この原動ギアと前記センターギアとを同方向に回転させる中間ギアとからなり、前記原動ギアの歯数は、前記センターギアの歯数より多く設けられていることを特徴とする。
【００１１】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、前記請求項２において、前記原動ギアの歯数は、前記センターギアの歯数の２倍となっていることを特徴とする。
【００１２】
上記課題を解決するための本発明の請求項４は、基板を収納したカセットを位置決め載置するロック手段付底板と、このロック手段付底板上に置かれたカセットを覆うカバーとからなるカセット搬送ボックスの前記ロック手段付底板は、前記カバーをロックするためのラッチと、このラッチによるロックを解除するように底面中心に回転自在に設けられ、２個のラッチピン穴を有する回動板と、カセット搬送ボックスを所定位置に位置決めするための３個の位置決め穴とを有し、前記カセット搬送ボックスのロックを解除するためのロック解除装置は、前記ラッチピン穴に嵌合する２個の開放ピンと、前記３個の位置決め穴に嵌合する３個の位置決めピンとを有するカセット搬送ボックスのロック解除装置において、前記２個の開放ピンを有した固定の開放治具と、前記３個の位置決めピンを有して回転自在に設けられた旋回テーブルとを有し、前記旋回テーブルは、前記カセット搬送ボックスの回動板のロック解除回転方向と逆方向に回転させることによりロックを解除するように構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
カセット搬送ボックスを位置決め載置する旋回テーブルが回転自在に設けられている。従って、カセット搬送ボックスを回転させると旋回テーブルが回転する。旋回テーブルと開放治具は同方向に、かつ開放治具の回転角度は旋回テーブルの回転角度よりロック解除角度分多く回転可能に構成されている。そこで、カセット搬送ボックスに収納されたカセットのストッパー側が作業者側に向くようにカセット搬送ボックスを回転させると、カセット搬送ボックスのカバーのロックは解除される。カセットのストッパー側が作業者となっているので、作業者がカバーをロック手段付底板より取り外した後は、作業者は姿勢を変えることなしにカセットの側壁部側を両手で持ってロック手段付底板より容易に持ち上げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明のロック解除装置１の第１実施の形態を図１乃至図７により説明する。図２乃至図４に示すように、固定テーブル２の中心には、センターギアシャフト３が固定されており、センターギアシャフト３には軸受４を介してセンターギア５が回転自在に支承されている。また固定テーブル２には、軸受６を介して軸受ホルダ７が回転自在に支承されており、軸受ホルダ７には旋回テーブル８が固定されている。旋回テーブル８の下面には、センターギア５と同心に配置された内歯を有する原動ギア９が固定されている。原動ギア９には中間ギア１０が螺合し、この中間ギア１０とセンターギア５には中間ギア１１が螺合している。中間ギア１０、１１は、それぞれ固定テーブル２に固定された中間ギアシャフト１２、１３に回転自在に支承されている。ここで、原動ギア９の歯数は、センターギア５の歯数の２倍となっている。従って、原動ギア９を回転させると、センターギア５は中間ギア１０、１１を介して同方向に原動ギア９の２倍の角度回転する。
【００１５】
センターギア５には開放治具２０が固定されており、図１乃至図４に示すように、開放治具２０には図１６に示すカセット搬送ボックス５０のロック手段付底板５１のラッチピン穴５５Ａ、５５Ｂに嵌合する２個の開放ピン２１Ａ、２１Ｂが中心より対称位置に固定されている。旋回テーブル８には、図１６に示すロック手段付底板５１の位置決め穴５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃに嵌合する３個の位置決めピン２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃが設けられ、旋回テーブル８の四隅には、カセット搬送ボックス５０の外周を案内する落し込みガイド板２３が設けられている。ここで、開放ピン２１Ａと２１Ｂを結ぶ線２４は、開放治具２０の中心２０ａと位置決めピン２２Ａを結ぶ線２５より時計方向に１６°づれて設けられている。
【００１６】
図３乃至図６に示すように、前記軸受ホルダ７の下面には当りブロック３０が固定されており、この当りブロック３０に対応して固定テーブル２には９０°離れて２個のアブソーバーブロック３１Ａ、３１Ｂが固定されている。アブソーバーブロック３１Ａ、３１Ｂにはそれぞれストッパーボルト３２Ａ、３２Ｂが前後位置調整可能に設けられている。ストッパーボルト３２Ａは、当りブロック３０の一方の側面に当接しており、ストッパーボルト３２Ｂは、旋回テーブル８を８６°回転させた時に当りブロック３０の他方の側面に当接するように調整されている。
【００１７】
ストッパーボルト３２Ａ、３２Ｂの直下のアブソーバーブロック３１Ａ、３１Ｂ部分には、当りブロック３０がストッパーボルト３２Ａ、３２Ｂに当接する際の衝撃を緩和させるために、それぞれソフトアブソーバー３３Ａ、３３Ｂが前後位置調整可能に設けられている。また当りブロック３０がストッパーボルト３２Ａ、３２Ｂに当接した状態における旋回テーブル８を安定して保持するために、当りブロック３０の下面にはマグネットブロック３４が固定され、アブソーバーブロック３１Ａ、３１Ｂの下面には、マグネットブロック３４に対応してマグネット３５Ａ、３５Ｂがマグネット取付け金具３６Ａ、３６Ｂを介して固定されている。固定テーブル２の下面には、マグネット３５Ａ、３５Ｂより下方に伸びた４個のシャフト３７が固定されている。
【００１８】
次に作用を図１５及び図１６を参照しながら図１乃至図７により説明する。図１５に示すように、ロック解除装置１は、ローラコンベア４５のロック解除位置の下方に設置されている。本実施の形態は、作業者がローラコンベア４５のＡ側にいる場合、即ち作業者８０Ａである場合に適用する。カセット６０を収納したカセット搬送ボックス５０がロック解除装置１の上方に搬送されてきて停止すると、シャフト３７が図示しない上下駆動手段で上昇させられる。これによりロック解除装置１全体が上昇し、カセット搬送ボックス５０は落し込みガイド板２３に案内されて位置決めピン２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃがカセット搬送ボックス５０の位置決め穴５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃに、開放ピン２１Ａ、２１Ｂがカセット搬送ボックス５０のラッチピン穴５５Ａ、５５Ｂにそれぞれ嵌合して旋回テーブル８上に載置され、ローラコンベア４５より持ち上げられる。そこで、カセット６０のストッパー側６２を作業者８０Ａ側になるように、カセット搬送ボックス５０を矢印８１Ａで示す反時計方向に回転させる。これにより、旋回テーブル８が矢印８１Ａ方向に回転させられる。この場合の作用を図７により説明する。
【００１９】
図７（ａ）の状態より旋回テーブル８を矢印８１Ａ方向に８６°回転させると、旋回テーブル８と一体の原動ギア９の回転は中間ギア１０、１１を介してセンターギア５に伝達される。原動ギア９の歯数はセンターギア５の歯数の２倍となっているので、センターギア５は原動ギア９の２倍の角度回転することになる。従って、図７（ｂ）に示すように、旋回テーブル８を８６°回転させると、センターギア５と一体の開放治具２０及び開放ピン２１Ａ、２１Ｂは１７２°回転する。即ち、開放治具２０及び開放ピン２１Ａ、２１Ｂは相対的に旋回テーブル８より同方向に８６°多く矢印８１Ａ方向に回転することになる。開放ピン２１Ａ、２１Ｂが旋回テーブル８に対して矢印８１Ａ方向に８６°回転すると、カセット６０のストッパー側６２側が作業者８０Ａ側に向くと共に、図１６に示すラッチ５３が引っ込み、カバー５２のロックは解除される。カセット６０のストッパー側６２側が作業者８０Ａ側となっているので、作業者８０Ａがカバー５２をロック手段付底板５１より取り外した後は、作業者８０Ａは姿勢を変えることなしにカセット６０の側壁部６３、６３側を両手で持ってロック手段付底板５１より容易に持ち上げることができる。
【００２０】
本発明のロック解除装置１の第２実施の形態を図８乃至図１４により説明する。なお、前記第１実施の形態と同じ又は相当部材には同一符号を付して説明する。固定テーブル２には、軸受６を介して軸受ホルダ７が回転自在に支承されており、軸受ホルダ７には旋回テーブル８が固定されている。また固定テーブル２には、中心に配置されたロータリーダンパー４０と、このロータリーダンパー４０の外周部に配置されたスタッドベース４１とが固定されている。旋回テーブル８の下面には、テーブルホルダー４２が固定されており、テーブルホルダー４２はロータリーダンパー４０のシャフト部４０ａに固定されている。スタッドベース４１上には、テーブルホルダー４２を貫通して２個のスペーサー４３Ａ、４３Ｂが配設され、このスペーサー４３Ａ、４３Ｂ上に開放治具２０が配設され、開放治具２０はスペーサー４３Ａ、４３Ｂを介してスタッドベース４１に固定されている。旋回テーブル８と共にテーブルホルダー４２が８６°回転可能なように、スペーサー４３Ａ、４３Ｂが貫通したテーブルホルダー４２の貫通穴４２ａ、４２ｂはテーブルホルダー４２を中心とした円弧状穴となっている。
【００２１】
以下の構成は、前記実施の形態と同様である。即ち、図８乃至図１１に示すように、開放治具２０には図１６に示すカセット搬送ボックス５０のロック手段付底板５１のラッチピン穴５５Ａ、５５Ｂに嵌合する２個の開放ピン２１Ａ、２１Ｂが中心より対称位置に固定されている。旋回テーブル８には、図１６に示すロック手段付底板５１の位置決め穴５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃに嵌合する３個の位置決めピン２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃが設けられ、旋回テーブル８の四隅には、カセット搬送ボックス５０の外周を案内する落し込みガイド板２３が設けられている。ここで、開放ピン２１Ａと２１Ｂを結ぶ線２４は、開放治具２０の中心２０ａと位置決めピン２２Ａを結ぶ線２５より時計方向に１６°づれて設けられている。
【００２２】
図１１乃至図１３に示すように、前記軸受ホルダ７の下面には当りブロック３０が固定されており、この当りブロック３０に対応して固定テーブル２には９０°離れて２個のアブソーバーブロック３１Ａ、３１Ｂが固定されている。アブソーバーブロック３１Ａ、３１Ｂにはそれぞれストッパーボルト３２Ａ、３２Ｂが前後位置調整可能に設けられている。ストッパーボルト３２Ａは、当りブロック３０の一方の側面に当接しており、ストッパーボルト３２Ｂは、旋回テーブル８を８６°回転させた時に当りブロック３０の他方の側面に当接するように調整されている。
【００２３】
ストッパーボルト３２Ａ、３２Ｂの直下のアブソーバーブロック３１Ａ、３１Ｂ部分には、当りブロック３０がストッパーボルト３２Ａ、３２Ｂに当接する際の衝撃を緩和させるために、それぞれソフトアブソーバー３３Ａ、３３Ｂが前後位置調整可能に設けられている。また当りブロック３０がストッパーボルト３２Ａ、３２Ｂに当接した状態における旋回テーブル８を安定して保持するために、当りブロック３０の下面にはマグネットブロック３４が固定され、アブソーバーブロック３１Ａ、３１Ｂの下面には、マグネットブロック３４に対応してマグネット３５Ａ、３５Ｂがマグネット取付け金具３６Ａ、３６Ｂを介して固定されている。固定テーブル２の下面には、マグネット３５Ａ、３５Ｂより下方に伸びた４個のシャフト３７が固定されている。
【００２４】
次に作用を図１５及び図１６を参照しながら図８乃至図１４により説明する。図１５に示すように、ロック解除装置１は、ローラコンベア４５のロック解除位置の下方に設置されている。本実施の形態は、作業者がローラコンベア４５のＢ側にいる場合、即ち作業者８０Ｂである場合に適用する。カセット６０を収納したカセット搬送ボックス５０がロック解除装置１の上方に搬送されてきて停止すると、シャフト３７が図示しない上下駆動手段で上昇させられる。これによりロック解除装置１全体が上昇し、カセット搬送ボックス５０は落し込みガイド板２３に案内されて位置決めピン２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃがカセット搬送ボックス５０の位置決め穴５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃに、開放ピン２１Ａ、２１Ｂがカセット搬送ボックス５０のラッチピン穴５５Ａ、５５Ｂにそれぞれ嵌合して旋回テーブル８上に載置され、ローラコンベア４５より持ち上げられる。そこで、カセット６０のストッパー側６２を作業者８０Ｂ側になるように、カセット搬送ボックス５０を矢印８１Ｂで示す時計方向に回転させる。これにより、旋回テーブル８が矢印８１Ｂ方向に回転させられる。
【００２５】
この場合の作用を図１０、図１１及び図１４により説明する。開放ピン２１Ａ、２１Ｂを有する開放治具２０はスペーサー４３Ａ、４３Ｂを介してスタッドベース４１に固定され、スタッドベース４１は固定テーブル２に固定されているので、旋回テーブル８を矢印８１Ｂ方向に８６°回転させても、開放治具２０及び開放ピン２１Ａ、２１Ｂは回転しない。従って、カセット搬送ボックス５０と旋回テーブル８のみが矢印８１Ｂ方向に８６°回転する。即ち、開放治具２０及び開放ピン２１Ａ、２１Ｂはカセット搬送ボックス５０と旋回テーブル８に対して相対的にラッチ５３のロックを解除する矢印８１Ａ方向に８６°回転したことになる。これにより、カセット６０のストッパー側６２側が作業者８０Ｂ側に向くと共に、図１６に示すラッチ５３が引っ込み、カバー５２のロックは解除される。カセット６０のストッパー側６２側が作業者８０Ｂ側となっているので、作業者８０Ｂがカバー５２をロック手段付底板５１より取り外した後は、作業者８０Ｂは姿勢を変えることなしにカセット６０の側壁部６３、６３側を両手で持ってロック手段付底板５１より容易に持ち上げることができる。また旋回テーブル８にはロータリーダンパー４０が固定されているので、カセット搬送ボックス５０を回した場合、適度の摩擦抵抗を有して回すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明のカセット搬送ボックスのロック解除装置の第１実施の形態を示す平面図である。
【図２】図１で旋回テーブルを取り外した状態の平面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図３のＣ−Ｃ線断面図である。
【図６】図３の底面図である。
【図７】旋回テーブルが旋回した場合の作用を説明するための平面説明図である。
【図８】本発明のカセット搬送ボックスのロック解除装置の第２実施の形態を示す平面図である。
【図９】図８で旋回テーブルを取り外した状態の平面図である。
【図１０】図８のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１１】図８のＥ−Ｅ線断面図である。
【図１２】図１０のＦ−Ｆ線断面図である。
【図１３】図１０の底面図である。
【図１４】旋回テーブルが旋回した場合の作用を説明するための平面説明図である。
【図１５】本発明のカセット搬送ボックスのロック解除装置の適用例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図１６】カセット搬送ボックスを示し、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は平面説明図である。
【図１７】従来のカセット搬送ボックスのロック解除装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１    ロック解除装置
２    固定テーブル
３    センターギアシャフト
５    センターギア
８    旋回テーブル
９    原動ギア
１０、１１    中間ギア
２０    開放治具
２１Ａ、２１Ｂ    開放ピン
２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ    位置決めピン
３０    当りブロック
３１Ａ、３１Ｂ    アブソーバーブロック
３２Ａ、３２Ｂ    ストッパーボルト
３３Ａ、３３Ｂ    ソフトアブソーバー
３４    マグネットブロック
３５Ａ、３５Ｂ    マグネット
４０    ロータリーダンパー
４１    スタッドベース
４２    テーブルホルダー
４３Ａ、４３Ｂ    スペーサー
５０    カセット搬送ボックス
５１    ロック手段付底板
５２    カバー
５３    ラッチ
５４    回動板
５５Ａ、５５Ｂ    ラッチピン穴
５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃ    位置決め穴
６０    カセット
６１    出入口側
６２    ストッパー側
６３    側壁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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