(57)【要約】【課題】露光対象物となる感光体の配置位置へのレーザ光の到達を確実に確認することが可能なレーザ露光装置の検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】露光対象物であるホログラム感光体５０が配置される位置にレーザ光の光強度を検出する検出手段（光検出部７３）を配置し、当該検出手段による検出結果に基づいて、前記レーザ光の照射状態を検査する。【選択図】図１
2006178180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からのレーザ光を露光対象物に照射するレーザ露光装置の光路にレーザ光検出手段を配置し、当該レーザ光検出手段から出力された検出信号に基づいて前記レーザ露光装置の検査を行うことを特徴とするレーザ露光装置の検査方法。
【請求項２】
前記レーザ光検出手段を前記レーザ露光装置の露光時において露光対象物が配置される位置に配置したことを特徴とする請求項１に記載のレーザ露光装置の検査方法。
【請求項３】
前記レーザ光検出手段は、前記レーザ光の光強度を検出する光強度検出手段であることを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザ露光装置の検査方法。
【請求項４】
前記光路は、前記露光対象物の一方の面にレーザ光を照射する第１の光路と、前記露光対象物の他方の面にレーザ光を照射する第２の光路と、を含み、前記レーザ光検出手段を前記第１及び第２の光路のそれぞれに配置したことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のレーザ露光装置の検査方法。
【請求項５】
前記露光対象物の露光の際には、前記レーザ光検出手段を前記光路上から除去することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のレーザ露光装置の検査方法。
【請求項６】
前記露光対象物は、ホログラム感光体であることを特徴とする請求項１又は５に記載のレーザ露光装置の検査方法。
【請求項７】
光源からのレーザ光を露光対象物に照射するレーザ露光装置の光路にレーザ光検出手段を配置し、当該レーザ光検出手段から出力された検出信号に基づいて前記レーザ露光装置の検査を行うことを特徴とするレーザ露光装置の検査装置。
【請求項８】
前記レーザ光検出手段を前記レーザ露光装置の露光時において露光対象物が配置される位置に配置したことを特徴とする請求項７に記載のレーザ露光装置の検査装置。
【請求項９】
前記レーザ光検出手段は、前記レーザ光の光強度を検出する光強度検出手段であることを特徴とする請求項７又は８に記載のレーザ露光装置の検査装置。
【請求項１０】
前記光路は、前記露光対象物の一方の面にレーザ光を照射する第１の光路と、前記露光対象物の他方の面にレーザ光を照射する第２の光路と、を含み、前記レーザ光検出手段を前記第１及び第２の光路のそれぞれに配置したことを特徴とする請求項７〜９の何れか一項に記載のレーザ露光装置の検査装置。
【請求項１１】
前記露光対象物の露光の際には、前記レーザ光検出手段を前記光路上から除去することを特徴とする請求項７〜１０の何れか一項に記載のレーザ露光装置の検査装置。
【請求項１２】
前記露光対象物は、ホログラム感光体であることを特徴とする請求項７又は１１に記載のレーザ露光装置の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を用いて露光を行うレーザ露光装置の検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハンドフリーによる作業性の向上や、弱視者に対する視覚補助等を目的とした眼鏡型ウェアラブルディスプレイ（ＷＤ）やヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）等の開発が行われている。
ＷＤやＨＭＤのレンズには、表示ユニットからの画像光を光学的に目に導くための光学基材が設けられている。この光学基材には、眼前に前景に重ねて映像を表示するための反射膜として、ホログラム素子が設けられている。ホログラム素子のプリズムへの取り付けは、一般に、光学基材の反射面となる傾斜面に薄膜上のホログラム素子を貼り付ける方法が採られている。
【０００３】
ところで、上述したホログラム素子の作製には、レーザ光を照射可能な露光装置が用いられている。露光装置からホログラム素子の基となるホログラム感光体に対し、参照光と物体光とが入射されることで発生する干渉縞を該ホログラム感光体に記録することでホログラム素子の作製が行われている。従来、レーザ光の光路中に光パワーディテクターを設け、レーザ光の光パワーの出力状態をモニターすることが可能な露光装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許３３６７７５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の露光装置では、レーザ光の光路中に設けられたビームスプリッタによる透過光の光パワーを光パワーディテクターで検出する構成としているため、該ビームスプリッターによりレーザ光の強度が低下してしまうという問題がある。また、レーザ光の光路中で検出を行うため、感光体が配置される露光位置にレーザ光が到達しているか否かを確認することはできない。
【０００５】
本発明の課題は、露光対象物となる感光体の配置位置へのレーザ光の到達を確実に確認することが可能なレーザ露光装置の検査方法及び検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
光源からのレーザ光を露光対象物に照射するレーザ露光装置の光路にレーザ光検出手段を配置し、当該レーザ光検出手段から出力された検出信号に基づいて前記レーザ露光装置の検査を行うことを特徴としている。
【０００７】
更に、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、
前記レーザ光検出手段を前記レーザ露光装置の露光時において露光対象物が配置される位置に配置したことを特徴としている。
【０００８】
更に、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、
前記レーザ光検出手段は、前記レーザ光の光強度を検出する光強度検出手段であることを特徴としている。
【０００９】
更に、請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の発明において、
前記光路は、前記露光対象物の一方の面にレーザ光を照射する第１の光路と、前記露光対象物の他方の面にレーザ光を照射する第２の光路と、を含み、前記レーザ光検出手段を前記第１及び第２の光路のそれぞれに配置したことを特徴としている。
【００１０】
更に、請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の発明において、
前記露光対象物の露光の際には、前記レーザ光検出手段を前記光路上から除去することを特徴としている。
【００１１】
更に、請求項６に記載の発明は、請求項１又は５に記載の発明において、
前記露光対象物は、ホログラム感光体であることを特徴としている。
【００１２】
また、上記課題を解決するために、請求項７に記載の発明は、
光源からのレーザ光を露光対象物に照射するレーザ露光装置の光路にレーザ光検出手段を配置し、当該レーザ光検出手段から出力された検出信号に基づいて前記レーザ露光装置の検査を行うことを特徴としている。
【００１３】
更に、請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の発明において、
前記レーザ光検出手段を前記レーザ露光装置の露光時において露光対象物が配置される位置に配置したことを特徴としている。
【００１４】
更に、請求項９に記載の発明は、請求項７又は８に記載の発明において、
前記レーザ光検出手段は、前記レーザ光の光強度を検出する光強度検出手段であることを特徴としている。
【００１５】
更に、請求項１０に記載の発明は、請求項７〜９の何れか一項に記載の発明において、
前記光路は、前記露光対象物の一方の面にレーザ光を照射する第１の光路と、前記露光対象物の他方の面にレーザ光を照射する第２の光路と、を含み、前記レーザ光検出手段を前記第１及び第２の光路のそれぞれに配置したことを特徴としている。
【００１６】
更に、請求項１１に記載の発明は、請求項７〜１０の何れか一項に記載の発明において、
前記露光対象物の露光の際には、前記レーザ光検出手段を前記光路上から除去することを特徴としている。
【００１７】
更に、請求項１２に記載の発明は、請求項７又は１１に記載の発明において、
前記露光対象物は、ホログラム感光体であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に記載の発明によれば、光源からのレーザ光を露光対象物に照射するレーザ露光装置の光路にレーザ光検出手段を配置し、当該レーザ光検出手段から出力された検出信号に基づいて前記レーザ露光装置の検査をする。このことにより、レーザ光を露光対象物に照射するレーザ露光装置の光路にレーザ光検出手段を配置して検査することが可能であるため、該レーザ光検出手段の配置位置までのレーザ光の到達を確実に確認することができる。
【００１９】
請求項２に記載の発明によれば、レーザ光検出手段を前記レーザ露光装置の露光時において露光対象物が配置される位置に配置する。このことにより、レーザ光検出手段を露光対象物が配置される位置に配置して検査することが可能であるため、露光対象物の配置位置までのレーザ光の到達を確実に確認することができる。
【００２０】
請求項３に記載の発明によれば、レーザ光検出手段は、前記レーザ光の光強度を検出する光強度検出手段であるとしている。このように、検出手段を光強度検出手段としたことにより、レーザ光の光強度に基づいて検査することができる。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、光路は、前記露光対象物の一方の面にレーザ光を照射する第１の光路と、前記露光対象物の他方の面にレーザ光を照射する第２の光路と、を含み、レーザ光検出手段を前記第１及び第２の光路のそれぞれに配置するとしている。このように、レーザ光検出手段を第１及び第２の光路のそれぞれに配置することにより、露光対象物の一方の面及び他方の面に照射されるレーザ光を検出することができる。
【００２２】
請求項５に記載の発明によれば、露光対象物の露光の際には、レーザ光検出手段を光路上から除去する。このように、露光対象物の露光の際にレーザ光検出手段を光路上から除去するため、露光対象物の露光の妨げとなることなく、レーザ光の検出を行うことができる。
【００２３】
請求項６に記載の発明によれば、露光対象物は、ホログラム感光体であるとしている。このように、露光対象物をホログラム感光体としたことにより、ホログラム感光体に露光を行うレーザ光を検査することができる。
【００２４】
請求項７に記載の発明によれば、光源からのレーザ光を露光対象物に照射するレーザ露光装置の光路にレーザ光検出手段を配置し、当該レーザ光検出手段から出力された検出信号に基づいて前記レーザ露光装置の検査をする。このことにより、レーザ光を露光対象物に照射するレーザ露光装置の光路にレーザ光検出手段を配置して検査することが可能であるため、該レーザ光検出手段の配置位置までのレーザ光の到達を確実に確認することができる。
【００２５】
請求項８に記載の発明によれば、レーザ光検出手段を前記レーザ露光装置の露光時において露光対象物が配置される位置に配置する。このことにより、レーザ光検出手段を露光対象物が配置される位置に配置して検査することが可能であるため、露光対象物の配置位置までのレーザ光の到達を確実に確認することができる。
【００２６】
請求項９に記載の発明によれば、レーザ光検出手段は、前記レーザ光の光強度を検出する光強度検出手段であるとしている。このように、検出手段を光強度検出手段としたことにより、レーザ光の光強度に基づいて検査することができる。
【００２７】
請求項１０に記載の発明によれば、光路は、前記露光対象物の一方の面にレーザ光を照射する第１の光路と、前記露光対象物の他方の面にレーザ光を照射する第２の光路と、を含み、レーザ光検出手段を前記第１及び第２の光路のそれぞれに配置するとしている。このように、レーザ光検出手段を第１及び第２の光路のそれぞれに配置することにより、露光対象物の一方の面及び他方の面に照射されるレーザ光を検出することができる。
【００２８】
請求項１１に記載の発明によれば、露光対象物の露光の際には、レーザ光検出手段を光路上から除去する。このように、露光対象物の露光の際にレーザ光検出手段を光路上から除去するため、露光対象物の露光の妨げとなることなく、レーザ光の検出を行うことができる。
【００２９】
請求項１２に記載の発明によれば、露光対象物は、ホログラム感光体であるとしている。このように、露光対象物をホログラム感光体としたことにより、ホログラム感光体に露光を行うレーザ光の検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。ただし、本発明の範囲は、図示例に限定されないものとする。
【００３１】
図１は、レーザ露光装置１００の要部概略図である。
図１に示すように、レーザ露光装置１００は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色に対応した所定の波長のレーザ光をそれぞれ出射するレーザ光源１１、２１、３１と、このレーザ光源１１、２１、３１からのレーザ光の光軸上に配設された可変ビームスプリッタ１３、２３、３３と、後述する制御部７４に開閉制御され露光対象物であるホログラム感光体５０に照射される参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２をそれぞれ遮断するシャッター６１、６２と、を備えている。可変ビームスプリッタ１３、２３、３３は、レーザ光源１１、２１、３１から出射されたレーザ光を、参照光と物体光とにそれぞれ分離を行う。
【００３２】
ここで、図２及び図３を参照して露光対象物であるホログラム感光体５０及び該ホログラム感光体５０を保持する光学基材５１について説明する。
ホログラム感光体５０は、図２（ａ）に示すように光学基材５１に貼付されて状態で保持されており、本レーザ露光装置１００によるレーザ露光によりホログラム感光体５０に干渉縞が記録されることでホログラム素子５２となる。このように作製されたホログラム素子５２は、図２（ｂ）に示すように、ホログラム素子５２が貼付された光学基材５１を他の光学基材５３と接着等することで一体化し、ホログラム素子内蔵レンズ５４とすることでＷＤやＨＭＤ用のレンズとして用いることができる。
【００３３】
図３は、ホログラム素子内蔵レンズ５４に入射された光の回折反射の一例を示す図である。
光学基材５１は図中右斜め上方に開いた板状をしており、その上端面が光の入射面となっており、下端面にホログラム素子５２が保持されている。
上端面から入射された光は、光学基材５１内で反射された後、ホログラム素子５２により光学基材５１の下端部から見て図中左方向に位置する位置Ｅに回折反射される。ここで、位置Ｅは、ホログラム素子内蔵レンズ５４を眼鏡型ディスプレイ装置に用いた場合の、ユーザの瞳の位置に対応する。なお、光学基材５１の上端面を断面楔形としたが、これに限らないものとする。
【００３４】
上述したホログラム素子５２のような反射型ホログラムの場合、特定の波長を有する光のみを回折反射する波長選択特性が非常に高くなる。従って、外界光の一部の波長にしか作用せず、外界光の殆どはホログラム素子５２の回折反射を受けずに済むため、ユーザは、ホログラム素子５２上に投影表示される表示画像と外界像を同時に確認することが可能な、いわゆるシースルー機能を実現することができる。
【００３５】
図１に戻り、レーザ光源１１は、赤色用レーザ光源として６４７ｎｍ程度の波長を有するものが好適であり、例えば、Ｋｒレーザ等を用いることができる。また、レーザ光源２１は、緑色用レーザ光源として５３２ｎｍ程度の波長を有するものが好適であり、例えば、ＹＡＧレーザ等を用いることができる。また、レーザ光源３１は、青色用レーザ光源として４７７ｎｍ程度の波長を有するものが好適であり、例えば、Ａｒレーザ等を用いることができる。
【００３６】
レーザ光源１１から出射した赤色レーザＲは、全反射ミラー１２によって全反射され、可変ビームスプリッタ１３に入射する。ここで、可変ビームスプリッタ１３を透過した光が参照光Ｒ１となり、可変ビームスプリッタ１３によって反射された光が物体光Ｒ２となる。
【００３７】
また、レーザ光源２１から出射した緑色レーザＧは、全反射ミラー２２によって全反射され、可変ビームスプリッタ２３に入射する。ここで、可変ビームスプリッタ２３を透過した光が参照光Ｇ１となり、可変ビームスプリッタ２３によって反射された光が物体光Ｇ２となる。
【００３８】
また、レーザ光源３１から出射した青色レーザＢは、全反射ミラー３２によって全反射され、可変ビームスプリッタ３３に入射する。ここで、可変ビームスプリッタ３３を透過した光が参照光Ｂ１となり、可変ビームスプリッタ３３によって反射された光が物体光Ｂ２となる。
【００３９】
可変ビームスプリッタ１３、２３、３３によって分離された各色毎の参照光Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１は、ダイクロイックミラー４１、４２によって色合成される。そして色合成された参照光Ｌ１は、光学基材５１上に配されたホログラム感光体５０に入射する。なお、これら参照光Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１の光路中には、当該参照光の進行方向を変えるための全反射ミラー４３、４４、４５が配設されている。
【００４０】
一方、可変ビームスプリッタ１３、２３、３３によって分離された各色毎の物体光Ｒ２、Ｇ２、Ｂ２は、ダイクロイックミラー４６、４７によって色合成される。そして、色合成された物体光Ｌ２は、光学基材５１上に配されたホログラム感光体５０に入射する。なお、これら物体光Ｒ２、Ｇ２、Ｂ２の光路中には、当該物体光の進行方向を変えるための全反射ミラー４８、４９が配設されている。
【００４１】
ここで、参照光Ｌ１がホログラム感光体５０の一方の主面に入射し、物体光Ｌ２がホログラム感光体５０の他方の主面に入射するようになっている。これにより、参照光Ｌ１と物体光Ｌ２とがホログラム感光体５０の感光層上において干渉し、参照光ｌ１と物体光Ｌ２との干渉によって生じる干渉縞が、ホログラム感光体５０の感光層に屈折率の変化として記録される。
【００４２】
また、レーザ露光装置１００は、上述した各部に加え、参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２の照射状態を観測する照射光検出器７０を有している。
照射光検出器７０は、表示部７１、操作部７２、光検出部７３、制御部７４等を有して構成されている。
【００４３】
表示部７１は、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等により構成され、制御部７４からの制御信号に従って、各種情報を表示する。
【００４４】
操作部７２は、操作指示を入力するためのキーボードやマウス等を備えて構成され、操作されたキー等に対応する操作信号を制御部７４に出力する。
【００４５】
光検出部７３は、光センサ７３ａ及び光センサ７３ｂからなり、各光センサは光パワーメータや、フォトダイオード等により構成される。光センサ７３ａ及び光センサ７３ｂはレーザ光源１１、２１、３１から照射される参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２の光の強度をそれぞれ検出し、制御部７４に出力する。なお、照射光検出の際に光検出部７３は、上述したホログラム感光体５０が配置される位置に配置されるものとし、さらに、参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２の入射方向に対向する位置に光センサ７３ａ及び光センサ７３ｂがそれぞれ配置されるものとする。
【００４６】
制御部７４は、上述した各部を統括的に制御を行う。具体的には、ユーザにより操作部７２から入力されるシャッター６１、６２の開閉を指示する操作信号に基づいて、該シャッター６１、６２の開閉を制御する。また、光検出部７３から参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２の光の強度を示す検出信号が入力されると、この検出信号に基づいて表示部７１に光強度を示す値を表示させる。
【００４７】
また、制御部７４は、光検出部７３から入力される検出信号に含まれる三原色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の光の強度が所定の範囲内であるか否かを判定し、その判定結果を表示部７１に表示させる。なお、本実施の形態では、三原色全ての光強度を判定することとするが、これに限らず、三原色のうち何れかの光強度を判定することとしてもよい。
【００４８】
図４に、光検出部７３の光センサ７３ａによる参照光Ｌ１の光強度の検出結果を例示する。図４（ａ）〜（ｃ）のグラフにおいて、横軸は波長を示しており、縦軸は検出された参照光Ｌ１の強度を示している。また、破線で示した強度の値Ａは、参照光Ｌ１の照射が正常か否かを判定する際の閾値を意味しており、該強度Ａ以上である場合に正常と判定されるものとする。
【００４９】
図４（ａ）に示すような参照光Ｌ１の検出結果が得られた場合、制御部７４は、Ｒ、Ｇ、Ｂに対応する波長の光強度は全て閾値Ａを超えていると判定し、参照光Ｌ１の照射状態が正常である旨の画面を表示部７１に表示させる。
【００５０】
また、図４（ｂ）に示すような参照光Ｌ１の検出結果が得られた場合、制御部７４は、Ｒ、Ｇ、Ｂに対応する波長の光強度は全て閾値Ａを下回っていると判定し、参照光Ｌ１の照射状態が異常である旨の画面を表示部７１に表示させる。このような検出結果が出力される要因としては、レーザ光源１１、２１、３１のパワー不足や、レーザ露光装置１００が有する光学系（具体的には、参照光Ｌ１の照射に係る光学系、全反射ミラー１２、２２、３２、可変ビームスプリッタ１３、２３、３３、ダイクロイックミラー４１、４２、全反射ミラー４３、４４、４５）の何れか又は全てにズレ等の異常が生じていることが考えられる。また、シャッター６１の開閉機構に異常が生じていることが考えられる。
【００５１】
また、図４（ｃ）に示すような参照光Ｌ１の検出結果が得られた場合、制御部７４は、Ｒ、Ｇ、Ｂに対応する波長のうち、Ｇに対応する波長の光強度のみが閾値Ａを下回っていると判定し、Ｇに係る参照光Ｌ１の照射状態が異常である旨の画面を表示部７１に表示させる。このような検出結果が出力される要因としては、レーザ光源２１のパワー不足や、レーザ露光装置１００が有する光学系のうち、Ｇに係る光学系（具体的には、全反射ミラー２２、可変ビームスプリッタ２３、ダイクロイックミラー４１）の何れか又は全てにズレ等の異常が生じていることが考えられる。
【００５２】
なお、参照光Ｌ１の検出結果に対する制御部７４の判定処理を説明したが、物体光Ｌ２についても同様の判定処理を行うことは言うまでもない。
【００５３】
次に、図５を参照して、上述した照射光検出器７０を用いてレーザ光源１１、２１、３１の照射状態の検査を行う手順を説明する。なお、本手順の前提として、レーザ露光装置１００のレーザ光源１１、２１、３１は起動（レーザ照射）しているものとする。
【００５４】
まず、操作部７２を操作することでシャッター６１、６２を閉じ（ステップＭ１）、この状態で光検出部７３をホログラム感光体５０が配置される位置に配置する（ステップＭ２）。なお、光検出部７３の配置は、手動で行うこととしてもよいし、不図示の搬送装置等の搬送手段により行うこととしてもよい。
【００５５】
次いで、操作部７２を操作することでシャッター６１、６２を開き（ステップＭ３）、光検出部７３により検出される参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２の強度及び判定結果を表示部７１から読み取る（ステップＭ４）。ユーザは、表示部７１に表示される判定結果に基づいてホログラム感光体５０の露光を行うか、或いは、レーザ露光装置１００の調整を行うかを判断することができる。
【００５６】
次いで、操作部７２を操作することでシャッター６１、６２を閉じ（ステップＭ５）、光検出部７３を取り出して（ステップＭ６）、本処理を終了する。
【００５７】
以上のように、本発明の実施の形態によれば、露光対象物となるホログラム感光体５０の配置位置に光検出部７３を配置して検査することが可能であるため、ホログラム感光体５０の配置位置へのレーザ光（参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２）の到達を確実に確認することができる。
【００５８】
本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行ってもよい。
【００５９】
例えば、光検出部７３により検出された参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２の検出結果に基づいて、制御部７４が参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２の照射状態を判定することとしたが、これに限らず、表示部７１に表示される参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２の光強度を示す値に基づいてユーザ自身が判定することとしてもよい。
【００６０】
また、本実施の形態では、参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２の光強度を検出することとしたが、何れか一方の光強度のみを検出することとしてもよく、検出を行うレーザ光の数に応じて光検出部７３が有する光センサの数を増減させることとする。
【００６１】
また、本実施の形態では、光検出部７３をホログラム感光体５０の配置位置に配置することとしたが、これに限らず、レーザ露光装置１００が有する任意の光路中に配置することとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施形態におけるレーザ露光装置のブロック構成を示す図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）はホログラム素子内蔵レンズを示す断面図である。
【図３】ホログラム素子内蔵レンズの回折反射を示す断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、光検出部により検出された参照光の光強度の一例を示す図である。
【図５】レーザ光源の照射状態の検査を行う手順を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００６３】
１００  レーザ露光装置
１１  レーザ装置（Ｒ）
１２  全反射ミラー
１３  可変ビームスプリッタ
２１  レーザ装置（Ｇ）
２２  全反射ミラー
２３  可変ビームスプリッタ
３１  レーザ装置（Ｂ）
３２  全反射ミラー
３３  可変ビームスプリッタ
４１  ダイクロイックミラー
４２  ダイクロイックミラー
４３  全反射ミラー
４４  全反射ミラー
４５  全反射ミラー
４６  ダイクロイックミラー
４７  ダイクロイックミラー
４８  全反射ミラー
４９  全反射ミラー
５０  ホログラム感光体
５１  光学基材
５２  ホログラム素子
５３  光学基材
５４  ホログラム素子内蔵レンズ
６１  シャッター
６２  シャッター
７０  照射光検出器
７１  表示部
７２  操作部
７３  光検出部
７３ａ  光センサ
７３ｂ  光センサ
７４  制御部
【図１】
2006178180.tif 000003
【図２】
2006178180.tif 000004
【図３】
2006178180.tif 000005
【図４】
2006178180.tif 000006
【図５】
2006178180.tif 000007