(57)【要約】 【課題】  スペース的に有利で、連続してガラス基板に塗布液を塗布することができる塗布装置を提供する。【解決手段】  基台１に一対の平行なレール２，２が設けられ、これら一対の平行なレール２，２間の中央に基板載置ステージ３が配置され、平面視において前記レールと直交する基板載置ステージの幅方向中心線Ｌを基準として、左右対象に第１及び第２の門型移動機構４，５が前記レール間に独立して走行可能に架け渡され、これら第１及び第２の門型移動機構４，５にスリットノズル６，７が昇降可能に保持されている。【選択図】        図１
2006175421.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の平行なレール間の中央に基板載置ステージが配置され、平面視において前記レールと直交する基板載置ステージの幅方向中心線を基準として、左右対象に第１及び第２の門型移動機構が前記レール間に独立して走行可能に架け渡され、これら第１及び第２の門型移動機構にスリットノズルが昇降可能に保持されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置において、前記第１及び第２の門型移動機構の移動領域で基板載置ステージから離れた位置に、プリディスペンス部、洗浄部及び待機部がこの順番で配置されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１に記載の塗布装置において、前記門型移動機構はそれぞれのレールに係合する駆動部と、これら駆動部が走行する際にスリットノズルへの歪みの伝達を阻止すべく駆動部間に架設されるビームとからなることを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラス基板等の基板表面に塗布液を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶用のガラス基板に３原色のカラーフィルタを形成する塗布装置として特許文献１に開示されるものが、またプラズマディスプレイ用発光基板に３原色の蛍光体ペーストを塗布する装置として特許文献２に開示されるものが提案されている。
【０００３】
特許文献１に開示される塗布装置は、ボールネジによって移動するステージの上方にスリットノズルを２つ配設し、前記ステージの上面に２枚のガラス基板を離間して載置し、前記２つのスリットノズルを用いて２枚のガラス基板のそれぞれに同時に塗布することで、１つのスリットノズルで塗布する場合に比較して時間を短縮するようにしている。
【０００４】
特許文献２に開示される塗布装置は、一対のレール間に基板載置ステージを配置し、一対のレール間に３台の門型移動機構を架設し、これら３台の門型移動機構にＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の蛍光体ペーストを塗布するスリットノズルをそれぞれ取り付け、ガラス基板表面に３台の門型移動機構から順次各色のペーストを塗布するようにしている。
【特許文献１】特開平１０−２１６５９９号公報
【特許文献２】特開２００２−１４０９８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１及び特許文献２に開示される何れの塗布装置にあっても、１回の塗布に用いる量だけスリットノズルに塗布液を送り込み、塗布が終了したならば、再びスリットノズルに塗布液を供給するようにしている。このため、塗布終了後に直ちに次のガラス基板に塗布を行なうことはできず、１回分の量だけスリットノズルに塗布液を供給してから、次の塗布を開始することになり、待機時間が長くなってしまう。
【０００６】
また、特許文献１に開示される塗布装置にあっては、単に２つのスリットノズルを用いて２枚のガラス基板に塗布を行なうだけで、装置を２台配置したことと大きな差異はない。また、ステージが移動する構造になっており、移動の振動が直接ガラス基板に伝達されてしまう。
【０００７】
また、特許文献２に開示される塗布装置にあっては、３台の門型移動機構が基板載置ステージの一方側に待機することとなり、最も外側の門型移動機構は基板載置ステージから大きく離れて待機することになり、また塗布終了後に逆側に門型移動機構が移動した場合も、最外側の門型移動機構は基板載置ステージから大きく離れることになり、装置全体が大型化してしまう。
【０００８】
また、特許文献２に開示される塗布装置おいて、ガラス基板が大型化すると必然的に門型移動機構も長くなり、レールに沿って走行する際に門型移動機構自体に歪みが生じ、これがスリットノズルに伝わり、均一塗布に支障を来たすおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決すべく、本発明に係る塗布装置は、一対の平行なレール間の中央に基板載置ステージが配置され、平面視において前記レールと直交する基板載置ステージの幅方向中心線を基準として、左右対象に第１及び第２の門型移動機構が前記レール間に独立して走行可能に架け渡され、これら第１及び第２の門型移動機構にスリットノズルが昇降可能に保持された構成とした。
このような構成とすることで、一方のスリットノズルを用いて塗布している間に、他方のスリットノズルに塗布液を供給することができるので、待機時間が不要になり、タクトタイムが短縮される。
【００１０】
また、前記第１及び第２の門型移動機構の移動領域で基板載置ステージから離れた位置に、プリディスペンス部、洗浄部及び待機部をこの順番で配置する構成とすることによって、スリットノズルのコンディションを良好に維持することができる。
【００１１】
更に、前記門型移動機構をそれぞれのレールに係合する駆動部と、これら駆動部が走行する際にスリットノズルへの歪みの伝達を阻止すべく駆動部間に架設されるビームとから構成することで、門型移動機構が走行する際に歪みが発生しにくく、仮に若干の歪みが生じるとしても当該歪みはビームによってスリットノズルに伝達するのが阻止される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、一方のスリットノズルを用いて塗布している間に、他方のスリットノズルに塗布液を供給することができ、効率の良い塗布装置とすることができる。また、本発明によれば、装置全体の寸法もそれほど大きくならず、更に、門型移動機構を高速で走行させてもスリットノズルに悪影響を及ぼすことがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る塗布装置の全体平面図、図２は図１のＡ方向矢視図、図３は図１のＢ−Ｂ方向断面図である。
【００１４】
塗布装置は基台１に一対の平行なレール２，２を設け、これらレール２，２の中間位置となる基台１上面の中央に基板載置ステージ３を固定している。そして、この基板載置ステージ３の幅方向中心線Ｌを基準として、左右対象に第１及び第２の門型移動機構４，５が前記レール間２，２に独立して走行可能に架け渡され、それぞれの門型移動機構４，５に昇降装置１１，１２を介してスリットノズル６，７が取り付けられている。
【００１５】
第１及び第２の門型移動機構４，５は同一の構造であるので、一方の門型移動機構４について説明し、他方の門型移動機構５の詳細については省略する。門型移動機構４は、それぞれのレール２，２に係合する駆動部４０，４０と、これら駆動部４０，４０間に架設されるビーム４１，４１から構成される。
【００１６】
レール２には溝部２０が形成され、この溝部２０内にはリニアモータの固定子２１が配置され、また駆動部４０には前記溝部２０内に入り込むリニアモータの可動子４２が設けられ、更に駆動部４０にはレール２との間に微細な隙間を形成するためのエアパッド４３が取り付けられている。
【００１７】
また、前記ビーム４１，４１は門型移動機構４が走行する際にスリットノズルへの歪みの伝達を阻止すべく駆動部間に架設されるものであるため、必ずしもスリットノズル６を挟んで前後に設ける必要はなく、一方の側のみに設けてもよい。
【００１８】
前記スリットノズル６は駆動部４０，４０間に昇降動可能に支持されるとともに、シリンジポンプ４４とつながっており、塗布液供給チューブ４５から１回分だけ塗布液が供給され、１回の塗布が終了した後は、余分な塗布液は排出チューブ４６から回収される。
【００１９】
また、前記第１及び第２の門型移動機構４，５の移動領域で基板載置ステージ３から離れた位置に、プリディスペンス部８、洗浄部９及びディップ槽を備えた待機部１０がこの順番で配置されている。
【００２０】
以上において、基板載置ステージ３上に載置したガラス基板Ｗに塗布液を塗布するには、第１の門型移動機構４がプリディスペンス部８に位置している時点を出発点とすると、この移動せしめてプリディスペンス部８においてスリットノズル６の予備塗布を行なった後、リニアモータを駆動して、門型移動機構４を右方向に移動せしめ、スリットノズル６からガラス基板Ｗの表面にレジスト液や蛍光体ペースト等の塗布液を供給する。この間に、第２の門型移動機構５には次に塗布する１回分の塗布液を供給しておく。
【００２１】
尚、塗布にあたっては図示しないセンサによってスリットノズル６下端とガラス基板Ｗの表面との間隔を測定し、この間隔が一定になるように昇降装置１１，１２によってスリットノズル６の高さ位置を調整して行う。
【００２２】
そして、上記の塗布が終了したら、第１の門型移動機構４を洗浄部９まで戻し、スリットノズル６の吐出口を洗浄し、その位置で乾燥せしめる。更に待機部１０まで移動し、ディップ槽にスリットノズル６の先端を浸漬させて待機する。この間に基板載置ステージ３上に新たなガラス基板Ｗをセットする。尚、ディップ槽に必ずしも浸漬させる必要はない。
【００２３】
次いで、待機していた第２の門型移動機構５をプリディスペンス部８まで移動せしめ、予備吐出を行なった後、前記と同様にリニアモータを駆動して、門型移動機構５を左方向に移動せしめ、スリットノズル７からガラス基板Ｗの表面にレジスト液や蛍光体ペースト等の塗布液を供給する。この間に、第１の門型移動機構４には次に塗布する１回分の塗布液を供給しておく。以上を繰り返すことにより、連続的にガラス基板Ｗに塗工する。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明の塗布装置は各種ディスプレイ装置に組み込むガラス基板に、塗膜を形成するための塗布装置として利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る塗布装置の全体平面図
【図２】図１のＡ方向矢視図
【図３】図１のＢ−Ｂ方向断面図
【符号の説明】
【００２６】
１…基台、２…レール、２０…溝部、２１…固定子、３…基板載置ステージ、４…第１の門型移動機構、４０…駆動部、４１…ビーム、４２…可動子、４３…エアパッド、４４…シリンジポンプ、４５…塗布液供給チューブ、４６…排出チューブ、５…第２の門型移動機構、６，７…スリットノズル、８…プリディスペンス部、９…洗浄部、１０…待機部、１１，１２…昇降装置、Ｌ…基板載置ステージの幅方向中心線、Ｗ…ガラス基板。
【図１】
2006175421.tif 000003
【図２】
2006175421.tif 000004
【図３】
2006175421.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成17年12月28日(2005.12.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の平行なレール間の中央に基板載置ステージが配置され、平面視において前記レールと直交する基板載置ステージの幅方向中心線を基準として、左右対称となる位置に第１及び第２の門型移動機構が前記レール間に独立して走行可能に架け渡され、これら第１及び第２の門型移動機構は一対のレールのそれぞれに係合する駆動部と、この駆動部間に昇降可能に保持されるスリットノズルと、前記門型移動機構が走行する際にスリットノズルへの歪みの伝達を阻止すべく前記駆動部間に架設されるビームとからなることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置において、前記第１及び第２の門型移動機構の移動領域で基板載置ステージから離れた位置に、プリディスペンス部及び待機部がこの順番で配置されていることを特徴とする塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決すべく、本発明に係る塗布装置は、一対の平行なレール間の中央に基板載置ステージが配置され、平面視において前記レールと直交する基板載置ステージの幅方向中心線を基準として、左右対称となる位置に第１及び第２の門型移動機構が前記レール間に独立して走行可能に架け渡され、これら第１及び第２の門型移動機構は一対のレールのそれぞれに係合する駆動部と、この駆動部間に昇降可能に保持されるスリットノズルと、前記門型移動機構が走行する際にスリットノズルへの歪みの伝達を阻止すべく前記駆動部間に架設されるビームとからなる構成とした。
このような構成とすることで、一方のスリットノズルを用いて塗布している間に、他方のスリットノズルに塗布液を供給することができるので、待機時間が不要になり、タクトタイムが短縮される。
【手続補正書】
【提出日】平成18年5月17日(2006.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の平行なレール間の中央に基板載置ステージが配置され、平面視において前記レールと直交する基板載置ステージの幅方向中心線を基準として、左右対称となる位置に第１及び第２の門型移動機構が前記レール間に独立して走行可能に架け渡され、これら第１及び第２の門型移動機構は一対のレールのそれぞれに係合する駆動部と、この駆動部間に昇降装置を介して取り付けられるスリットノズルと、前記門型移動機構が走行する際にスリットノズルへの歪みの伝達を阻止すべく前記駆動部間に架設されるビームとからなることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置において、前記第１及び第２の門型移動機構の移動領域で基板載置ステージから離れた位置に、プリディスペンス部及び待機部がこの順番で配置されていることを特徴とする塗布装置。