(57)【要約】 【課題】簡便に画像表示検査できる光学パネルおよび検査プローブを提供する。【解決手段】ＲＧＢを混色してカラー表示するために同一色を発色する画素を列ごとに有する。ＲＧＢが行方向に一定の順番で配置され、かつ、列ごとに画素を駆動する共通のデータ線２２が配線されている。データ線２２が互いに平行な状態で一括して配置された引出部２４には、検査用端子配列層２６が形成されている。検査用端子配列層２６では、データ線２２の引き出し方向とは直交する方向において所定の色以外のデータ線２２が絶縁被膜２６１され、所定の色のデータ線２２が検査用の信号入力端子として露出する。検査プローブ２００は、基板２１０と、基板２１０上においてデータ線２２の引き出し方向に直交する方向で検査用端子配列層２６に対応して延設されデータ線２２と直交する状態でデータ線２２の上から圧接された際に信号入力端子に接触する配線部３００を備える。【選択図】図５
2006243706.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の信号線が配線されているとともに前記信号線が引き出された引出部において前記信号線が互いに略平行な状態で配置されている電子機器であって、
前記引出部には、前記信号線の引き出し方向とは交差する方向において所定の前記信号線が絶縁被膜されているとともに絶縁被膜されていない所定の前記信号線が検査用の信号入力端子として露出した検査用端子配列層が形成されている
ことを特徴とする電子機器。
【請求項２】
請求項１に記載の電子機器において、
前記検査用の信号入力端子は同一の検査信号が入力可能な所定の信号入力端子とされ、
前記検査用端子配列層において絶縁被膜された信号線のうち前記同一の検査信号が入力可能な所定の信号線が他の信号線よりも長く引き出されているとともに一つの結線部にて結線されている
ことを特徴とする電子機器。
【請求項３】
二以上の異なる基本色を混色してカラー表示するために同一基本色を発色する画素を列ごとに有し前記異なる基本色が行方向に一定の順番で配置され、かつ、列ごとに前記画素を駆動する共通のデータ線が配線されているとともに前記データ線が引き出された引出部において前記データ線が互いに平行な状態で配置されている光学パネルであって、
前記引出部には、前記データ線の引き出し方向とは交差する方向において所定の基本色以外のデータ線が絶縁被膜されているとともに絶縁被膜されていない所定の前記基本色のデータ線が検査用の信号入力端子として露出した検査用端子配列層が形成されている
ことを特徴とする光学パネル。
【請求項４】
請求項３に記載の光学パネルにおいて、
前記検査用端子配列層は、前記データ線の引き出し方向に基本色ごとに設けられている
ことを特徴とする光学パネル。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の光学パネルにおいて、
前記検査用端子配列層において、前記信号入力端子として露出したデータ線には導電体が積層されている
ことを特徴とする光学パネル。
【請求項６】
請求項３から請求項５の何れかに記載の光学パネルにおいて、
前記所定の基本色以外のうち少なくとも一色のデータ線は、他の信号線よりも長く引き出されているとともにそれぞれの色ごとで一つの結線部にて結線されている
ことを特徴とする光学パネル。
【請求項７】
行ごとに前記画素を駆動する走査線が配線されているとともに前記走査線が引き出された引出部において前記走査線が互いに平行な状態で配置されている光学パネルであって、
前記引出部には、前記走査線の引き出し方向とは交差する方向において所定の前記走査線が絶縁被膜されているとともに絶縁被膜されていない所定の前記走査線が検査用の信号入力端子として露出した検査用端子配列層が形成されている
ことを特徴とする光学パネル。
【請求項８】
請求項７に記載の光学パネルにおいて、
前記検査用の信号入力端子は同一の検査信号が入力可能な所定の走査線とされ、
前記検査用端子配列層において絶縁被膜された前記走査線のうち前記同一の検査信号を入力可能な所定の走査線が他の走査線よりも長く引き出されているとともに一つの結線部において結線されている
ことを特徴とする光学パネル。
【請求項９】
請求項１に記載の電子機器の特性検査にあたって前記信号線に一時的に接続される検査プローブであって、
基板と、
前記基板上において前記信号線の引き出し方向に交差する方向で前記検査用端子配列層に対応して延設され前記信号線と交差する状態で前記信号線の上から圧接された際に前記信号入力端子に接触する配線部と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項１０】
請求項２に記載の電子機器の特性検査にあたって前記信号線に一時的に接続される検査プローブであって、
基板と、
前記基板上において前記信号線の引き出し方向に交差する方向で前記検査用端子配列層に対応して延設され前記信号線と交差する状態で前記信号線の上から圧接された際に前記信号入力端子に接触する配線部と、
前記基板上に設けられ前記配線部が前記信号入力端子に接触する状態で前記信号線の上から圧接された際に前記結線部に接触するコンタクト部と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項１１】
請求項３から請求項５のいずれかに記載の光学パネルの画像表示検査にあたって前記データ線に一時的に接続される検査プローブであって、
基板と、
前記基板上において前記データ線の引き出し方向に交差する方向で前記検査用端子配列層に対応して延設され前記データ線と交差する状態で前記データ線の上から圧接された際に前記信号入力端子に接触する配線部と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項１２】
請求項６に記載の光学パネルの画像表示検査にあたって前記データ線に一時的に接続される検査プローブであって、
基板と、
前記基板上において前記データ線の引き出し方向に交差する方向で前記検査用端子配列層に対応して延設され前記データ線と交差する状態で前記データ線の上から圧接された際に前記信号入力端子に接触する配線部と、
前記基板上に設けられ前記配線部が前記信号入力端子に接触する状態で前記データ線の上から圧接された際に前記結線部に接触するコンタクト部と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項１３】
請求項７に記載の光学パネルの画像表示検査にあたって前記走査線に一時的に接続される検査プローブであって、
基板と、
前記基板上において前記走査線の引き出し方向に交差する方向で前記検査用端子配列層に対応して延設され前記走査線と交差する状態で前記走査線の上から圧接された際に前記信号入力端子に接触する配線部と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項１４】
請求項８に記載の光学パネルの画像表示検査にあたって前記走査線に一時的に接続される検査プローブであって、
基板と、前記基板上において前記走査線の引き出し方向に交差する方向で前記検査用端子配列層に対応して延設され前記走査線と交差する状態で前記走査線の上から圧接された際に前記信号入力端子に接触する配線部と、
前記基板上に設けられ前記配線部が前記信号入力端子に接触する状態で前記走査線の上から圧接された際に前記結線部に接触するコンタクト部と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項１５】
請求項９から請求項１４のいずれかに記載の検査プローブにおいて、
前記配線部は、信号が導通する導通配線と、前記導通配線を覆って設けられた導電性の弾性体と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項１６】
請求項９から請求項１５のいずれかに記載の検査プローブと、
前記検査プローブを介して前記検査用の信号入力端子に検査用の駆動信号を入力する検査信号発信手段と、を備えた
ことを特徴とする検査装置。
【請求項１７】
請求項９から請求項１６のいずれかに記載の検査プローブを前記光学パネルに接続する接続工程と、
前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査用の駆動信号を入力する信号入力工程と、を備えた
ことを特徴とする光学パネルの検査方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の光学パネルの検査方法において、
前記信号入力工程にて前記光学パネルの検査を終了した後に前記結線部を切除する切除工程を備えた
ことを特徴とする光学パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器、光学パネル、検査プローブ、光学パネルの検査装置、光学パネルの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、画像を表示する光学パネルとして液晶パネルが知られ、この液晶パネルと、液晶パネルを駆動する駆動回路と、を備えた表示装置が知られている。
図１７に、従来の表示装置１０の構成を示す。
液晶パネル２０は、表示面上の画素に配置された液晶セル（不図示）と、各液晶セルに設けられたスイッチング素子としての薄膜二端子素子（不図示）と、液晶パネルの各行に配線された複数の走査線２１と、液晶パネル２０の各列に配線された複数のデータ線２２と、を備える。
そして、液晶パネル２０から引き出された複数のデータ線２２および走査線２１は、基板３０の一辺３１に一括して配列されている。
図１７においては、複数のデータ線２２が基板３０において一辺３１の略中央部分に一括して配線され、奇数番目の走査線２１Ａはデータ線２２の右側に、偶数番目の走査線２１Ｂはデータ線２２の左側に配列されている。
【０００３】
駆動回路４０は、走査線２１を順次選択する走査信号を走査線２１に給電する走査線ドライバ（不図示）と、選択された走査線２１上の画素のデータ信号を各データ線２２に給電するデータ線ドライバ（不図示）と、を備える。
基板３０の一辺３１に配設されたデータ線２２および走査線２１には信号入力用の入力接続端子３２が設けられており、駆動回路４０には信号出力用の出力接続端子４１が設けられている。
そして、出力接続端子４１が入力接続端子３２に接続され、駆動回路４０からデータ線２２および走査線２１に信号が印加されることにより液晶パネル２０に画像が表示される。
【０００４】
近年では、細密な画像を表示するために液晶パネル２０の画素数が飛躍的に増大しており、それに伴って走査線２１およびデータ線２２の線間隔が狭くなってきている。
【０００５】
ところで、このような液晶パネルでは、本来は互いに絶縁されるはずの信号線（データ線２２、走査線２１）同士が短絡して電流がリークしてしまうなどの欠陥が生じていないかを確認するべく、画像表示検査が行われる（例えば、特許文献１）。
この画像表示検査では、走査線２１およびデータ線２２に画像検査用の信号を送るために検査用のプローブ５０を用意して、この検査プローブ５０をデータ線２２および走査線２１に一時的に接続する。そして、検査プローブ５０を介してデータ線２２および走査線２１に検査用の信号を印加し、液晶パネル２０が正常に点灯しているか検査する。
ここで、図１８は、検査プローブ５０とデータ線２２との接続部分を拡大した図である。
当然のことながら、検査プローブ５０は、図１８に示されるように、走査線２１の端子２３およびデータ線２２の端子２３に接続されるプローブ端子５１を備え、検査プローブ５０を走査線２１およびデータ線２２に接続するにあたっては、走査線２１の端子２３およびデータ線２２の端子２３の一つ一つに検査プローブ５０の端子５１を正確に位置合わせして接続しなければならない。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−６６８７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年では小型でありながらも細密な画像を表示する液晶パネル２０が求められているので、小さな領域に非常に多くの画素を配設しなければならない。
すると、信号線（走査線２１、データ線２２）の間隔が非常に狭くなり、例えば２１μｍピッチの間隔で数百本の信号線が配列されることとなる。
このように狭ピッチで信号線が配設されると、信号線に接続される検査プローブ５０もその端子間隔を非常に狭くして製作されなければならない。
しかしながら、このように狭い端子間隔の検査プローブ５０を製作することには非常に多くの加工工程と多大なコストを要するという問題がある。
また、狭ピッチ（例えば２１μｍ）で配設された端子同士を一つ一つ正確に位置合わせして接続することは非常に困難な作業であり、例えば、ＣＣＤカメラ等で撮像した画像をモニタ等で確認しながら接続作業を行わなければならない。
このようにカメラやモニタを備えた位置合わせ用の装置を用意することには多大なコストを要し、そのうえ、多大な時間を要するという問題が生じる。
このように液晶パネルの画像表示検査に多大なコストがかかれば製品コストも増大し、また、画像表示検査に多大な時間を要すると製造効率が低減されるという問題が生じる。
【０００８】
本発明の目的は、簡便に画像表示検査できる電子機器、光学パネル、検査プローブ、光学パネルの検査装置、光学パネルの検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の電子機器は、複数の信号線が配線されているとともに前記信号線が引き出された引出部において前記信号線が互いに略平行な状態で配置されている電子機器であって、前記引出部には、前記信号線の引き出し方向とは交差する方向において所定の前記信号線が絶縁被膜されているとともに絶縁被膜されない所定の前記信号線が検査用の信号入力端子として露出した検査用端子配列層が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
このような構成において、検査段階では複数の信号線に同一の検査信号を入力できるところ、引出部に検査用端子配列層が形成され、この検査用端子配列層には同一の検査信号を入力可能な複数の所定信号線が信号入力端子として露出しているので、検査用端子配列層に対して共通の配線を押し当てるだけで所定の信号線との接続を行うことができる。
このように配線を検査用端子配列層に押し当てるだけなので、信号線に検査用のプローブを接続する作業が極めて簡単である。
【００１１】
なお、検査用端子配列層は、信号線の引き出し方向に複数並設されていることが好ましい。さらに、各検査用端子配列層では所定の信号線が信号入力端子として露出しているところ、総ての信号線を一つ一つみたときにどの信号線も必ずいずれかの検査用端子配列層において露出していることが好ましい。
このような構成において、検査用端子配列層にそれぞれ検査プローブの配線を押し当てると総ての信号線にそれぞれ導通をとることができる。
【００１２】
本発明の光学パネルは、二以上の異なる基本色を混色してカラー表示するために同一基本色を発色する画素を列ごとに有し前記異なる基本色が行方向に一定の順番で配置され、かつ、列ごとに前記画素を駆動する共通のデータ線が配線されているとともに前記データ線が引き出された引出部において前記データ線が互いに平行な状態で配置されている光学パネルであって、前記引出部には、前記データ線の引き出し方向とは交差する方向において所定の基本色以外のデータ線が絶縁被膜されているとともに絶縁被膜されない所定の前記基本色のデータ線が検査用の信号入力端子として露出した検査用端子配列層が形成されていることを特徴とする。
【００１３】
この構成において、まず、光学パネルは二以上の基本色（例えば、赤色、緑色、青色）を混色してカラー表示を行うところ、このような光学パネルの画像表示検査にあたっては基本色ごとの点灯により表示のムラ等が検査される。
この際、同一色の画素を駆動させるデータ線にはまとめて同じ信号が入力される。例えば、赤色の画素に繋がるデータ線にはまとめて同じ信号が入力される。
そこで、データ線の引出部において所定の基本色のデータ線のみが信号入力端子として露出する検査用端子配列層が形成されているところ、データ線の引き出し方向とは交差する方向に長さを有する配線を検査用端子配列層に対して押し当てて接触させるだけで所定の基本色のデータ線に対して共通に導通をとることができる。
そして、データ線に導通した配線に検査用の駆動信号を入力すると、所定の基本色のデータ線にまとめて同時に同じ信号が送られて光学パネルが所定の色で点灯される。このときの点灯の状態から光学パネルの画像表示検査が行われ、表示ムラ等の欠陥がないか判定される。
【００１４】
従来のように、画像表示検査にあたってデータ線の一つ一つに順番に検査プローブの端子を接続するとなればデータ線のピッチが細密になるに従ってプローブの端子も細密に設けざるを得ず、データ線の細密化に伴って検査プローブの加工コストの増大や、データ線と検査プローブとの接続作業の複雑化は避けがたい。
この点、本発明では、光学パネルの引出部に検査用端子配列層が形成され、この検査用端子配列層には所定のデータ線のみが信号入力端子として露出しているので、検査用端子配列層に対して共通の配線を押し当てるだけで所定のデータ線との接続を行うことができる。
このように配線を検査用端子配列層に押し当てるだけなので、データ線に検査用のプローブを接続する作業が極めて簡単である。
光学パネルの膨大な製造量を鑑みるに、光学パネルの一つ一つに検査用のプローブを接続する作業を簡単にすることは画像表示検査に要する時間を非常に短縮することになり、製造効率の向上に大いに資する画期的効果を奏する。
【００１５】
なお、光学パネルとしては、自発的に発光する画素を有する光学パネルのみならず、例えば、バックライトの照明光を調光する透過率を変化させて発光する画素を有する光学パネルであってもよい。
【００１６】
本発明では、前記検査用端子配列層は、前記データ線の引き出し方向に基本色ごとに設けられていることが好ましい。
【００１７】
このような構成によれば、検査用端子配列層が色ごとに設けられているので、各色のデータ線の検査用端子配列層にそれぞれ検査プローブの配線を押し当てると各色のデータ線にそれぞれ導通をとることができる。
そして、各色のデータ線に接続された配線にそれぞれ検査信号を入力すると、色ごとに光学パネルを点灯させて画像表示検査を行うことができる。
【００１８】
本発明では、前記検査用端子配列層において、前記信号入力端子として露出したデータ線には導電体が積層されていることが好ましい。
【００１９】
この構成において、検査用端子配列層に対して検査プローブの配線を押し当てた際には、この配線が導電体に接触する。そして、導電体を介して信号入力端子であるデータ線と配線とが導通される。検査用端子配列層において所定の基本色以外のデータ線は絶縁被膜されているところ、所定基本色のデータ線は絶縁膜の厚み分だけ絶縁膜より下側にあることになるので、このままでは検査用端子配列層に配線を押し当てても所定のデータ線と配線とが接続不良となるおそれもある。
この点、本発明では、信号入力端子として露出したデータ線に導電体が積層されているのでこの導電体の分だけ高くなり、配線とデータ線とが導電体を介して接触して導通されやすくなる。
【００２０】
なお、本発明では、前記導電体は、前記絶縁膜よりも厚みを有することが好ましい。この構成によれば、導電体が絶縁膜よりも一段突出するので検査プローブの配線と導電体とが確実に接触する。よって、導電体を介してデータ線と検査プローブの配線とを確実に導通させることができる。
【００２１】
本発明の光学パネルは、行ごとに前記画素を駆動する走査線が配線されているとともに前記走査線が引き出された引出部において前記走査線が互いに平行な状態で配置されている光学パネルであって、前記引出部には、前記走査線の引き出し方向とは交差する方向において所定の前記走査線が絶縁被膜されているとともに絶縁被膜されない所定の前記走査線が検査用の信号入力端子として露出した検査用端子配列層が形成されていることを特徴とする。
【００２２】
この構成において、まず、光学パネルは走査線を有するところ、例えば、隣接する走査線に互いに逆相の検査信号を入力して走査線間でリークしていないかなどの欠陥検査が行われる。
この際、例えば、隣接する走査線で逆相の検査信号を入力する場合には、奇数番目の走査線にまとめて同じ信号を入力し、さらに、偶数番目の走査線にはまとめて逆相の信号を入力すればよい。
そこで、走査線の引出部において、所定の走査線のみが信号入力端子として露出する検査用端子配列部が形成されているところ、走査線の引き出し方向とは交差する方向に長さを有する配線を検査用端子配列層に対して押し当てて接触させるだけで所定の走査線に対して共通に導通をとることができる。そして、所定走査線に接続された配線に検査用の信号を入力すると、所定の走査線にまとめて同時に同じ信号が送られて光学パネルが点灯される。このときの点灯の状態から光学パネルの画像表示検査が行われ、走査線間でリーク欠陥がないかなどの検査が行われる。
【００２３】
従来のように、画像表示検査にあたって走査線の一つ一つに順番に検査プローブの端子を接続するとなれば走査線のピッチが細密になるに従ってプローブの端子も細密に設けざるを得ず、走査線の細密化に伴って検査プローブの加工コストの増大や、走査線と検査プローブとの接続作業の複雑化は避けがたい。
この点、本発明では、光学パネルの引出部に検査用端子配列層が形成され、この検査用端子配列層には所定の走査線のみが信号入力端子として露出しているので、検査用端子配列層に対して共通の配線を押し当てるだけで所定の走査線との接続を行うことができる。
このように配線を検査用端子配列層に押し当てるだけなので、走査線に検査用のプローブを接続する作業が極めて簡単である。
光学パネルの膨大な製造量を鑑みるに、光学パネルの一つ一つに検査用のプローブを接続する作業を簡単にすることは画像表示検査に要する時間を非常に短縮することになり、製造効率の向上に大いに資する画期的効果を奏する。
【００２４】
前述した本発明の電子機器において、前記検査用の信号入力端子は同一の検査信号が入力可能な所定の信号入力端子とされ、前記検査用端子配列層において絶縁被膜された信号線のうち前記同一の検査信号が入力可能な所定の信号線が他の信号線よりも長く引き出されているとともに一つの結線部にて結線されている、ことが望ましい。
【００２５】
前述した本発明の光学パネル（列ごとに前記画素を駆動する共通のデータ線が配線されているもの）において、前記所定の基本色以外のうち少なくとも一色のデータ線は、他の信号線よりも長く引き出されているとともにそれぞれの色ごとで一つの結線部にて結線されていること、が望ましい。
【００２６】
前述した本発明の光学パネル（行ごとに前記画素を駆動する走査線が配線されているもの）において、前記検査用の信号入力端子は同一の検査信号が入力可能な所定の走査線とされ、前記検査用端子配列層において絶縁被膜された前記走査線のうち前記同一の検査信号を入力可能な所定の走査線が他の走査線よりも長く引き出されているとともに一つの結線部において結線されていること、が望ましい。
【００２７】
これらの構成においては、前述した電子機器および光学パネルとしての作用効果に加え、結線部において所定の信号線、所定のデータ線、あるいは所定の走査線が一括して結線されているので、この結線部に配線を接続すれば結線部で結線された走査線に共通して導通をとることができる。
つまり、走査線に検査用の駆動信号を入力する配線を液晶パネルに接続するにあたって、検査用端子配列層には配線を押し当てるだけでよく、特に、結線部には一本の配線を接続するだけでよいので、走査線に検査用のプローブを接続する作業が極めて簡単である。
【００２８】
本発明の検査プローブは、前記電子機器の特性検査にあたって前記信号線に一時的に接続される検査プローブであって、基板と、前記基板上において前記信号線の引き出し方向に交差する方向で前記検査用端子配列層に対応して延設され前記信号線と交差する状態で前記信号線の上から圧接された際に前記信号入力端子に接触する配線部を備えることを特徴とする。
【００２９】
本発明の検査プローブは、前記光学パネルの画像表示検査にあたって前記データ線に一時的に接続される検査プローブであって、基板と、前記基板上において前記データ線の引き出し方向に交差する方向で前記検査用端子配列層に対応して延設され前記データ線と交差する状態で前記データ線の上から圧接された際に前記信号入力端子に接触する配線部を備えることを特徴とする。
【００３０】
本発明の検査プローブは、前記光学パネルの画像表示検査にあたって前記走査線に一時的に接続される検査プローブであって、基板と、前記基板上において前記走査線の引き出し方向に交差する方向で前記検査用端子配列層に対応して延設され前記走査線と交差する状態で前記走査線の上から圧接された際に前記信号入力端子に接触する配線部を備えることを特徴とする。
【００３１】
このような構成によれば、検査プローブをデータ線あるいは走査線の引出部に圧接して配線部を検査用端子配列層に押し当てるだけで配線部と信号線（データ線、走査線）とを導通させて検査プローブを光学パネルに取り付けることができる。従って、データ線あるいは走査線に検査プローブを接続する作業が極めて簡単となり、画像表示検査の効率を極めて画期的に向上させることができる。
また、検査プローブとしては、基板の上に延設された配線部が設けられるだけでよいので、検査プローブの製造コストを極めて低廉にすることができる。
【００３２】
本発明では、前記配線部は、信号が導通する導通配線と、前記導通配線を覆って設けられた導電性の弾性体と、を備えることが好ましい。
【００３３】
このような構成によれば、配線部には導通配線のうえに導電性の弾性体が設けられているので、配線部を検査用端子配列層に押し当てた際には導電性の弾性体が弾性的に変形してデータ線あるいは走査線に密着する。すると、弾性体を介して配線部と信号線（走査線、データ線）とが確実に接続されて導通される。
また、検査用端子配列層において、所定の信号線（データ線、走査線）以外は絶縁膜にて被膜されていた場合、信号入力端子としての所定信号線（データ線、走査線）は絶縁膜の厚みの分だけ絶縁膜より下側にあることになるが、配線部が検査用端子配列層に圧接された際に弾性体が弾性変形して絶縁膜よりも下側にある所定信号線（データ線、走査線）に接触することができるので、配線部と信号線（走査線、データ線）との導通をとることができる。
【００３４】
前述した本発明の検査プローブにおいては、基板と配線部とに加え、前記基板上に設けられ前記配線部が前記信号入力端子に接触する状態で前記信号線（またはデータ線、走査線）の上から圧接された際に前記結線部に接触するコンタクト部を備えることが望ましい。
【００３５】
このような構成によれば、検査プローブをデータ線あるいは走査線の引出部に圧接して配線部を検査用端子配列層に押し当てるだけで配線部と信号線（データ線、走査線）とを導通させて検査プローブを光学パネルに取り付けることができる。このとき同時に結線部にコンタクト部が接触して結線部で結線された信号線（データ線、走査線）とコンタクト部との導通もとられる。
従って、信号線、データ線、あるいは走査線に検査プローブを接続する作業が極めて簡単となり、画像表示検査の効率を極めて画期的に向上させることができる。
特に、検査プローブとしては、検査用端子配列層に押し当てられる配線と、結線部にコンタクトするコンタクト部と、を基板に設けるだけでよいので、検査プローブの製造コストを極めて低廉にすることができる。
【００３６】
本発明の検査装置は、前記検査プローブと、前記検査プローブを介して前記検査用の信号入力端子（光学パネルあるいは電子機器の）に検査用の駆動信号を入力する検査信号発信手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３７】
このような構成によれば、検査プローブの製造コストが非常に低廉であるので、安価な検査装置とすることができる。
また、検査プローブを光学パネルあるいは電子機器の信号線（データ線、走査線）に接続する作業が非常に簡単なので、画像表示検査の効率を向上させることができる。
【００３８】
本発明の光学パネルの検査方法は、前記検査プローブを前記光学パネルの前記データ線および前記走査線に接続する接続工程と、前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査用の駆動信号を入力する信号入力工程と、を備えたことを特徴とする。
【００３９】
このような構成によれば、接続工程において検査プローブをデータ線および走査線に接続する作業が非常に簡便であるので、光学パネルの検査効率を向上させることができる。
【００４０】
本発明の光学パネルの検査方法においては、前記信号入力工程にて前記光学パネルの検査を終了した後に前記結線部を切除する切除工程を備えることが望ましい。
【００４１】
このような構成によれば、検査終了後は、信号線（データ線、走査線）は総て分離独立している必要があるので切除工程にて結線部を切除することになるところ、検査用端子配列層で接触される信号線はもともと分離しているので、切除すべき結線部の数は少ないものであり、例えば一つや二つ程度である。従って、切除工程での切除回数は少なく簡便である。このように、接続工程および切除工程を簡便に行えることから、光学パネルの検査効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の光学パネルおよびこの光学パネルを検査対象とする検査装置に係る第１実施形態について図１〜図６を参照して説明する。
図１は、光学パネルとしての液晶パネル２０を検査装置１００に接続した状態の全体構成である。
液晶パネル２０の基板３０の一端に検査プローブ２００が接続されており、検査チェッカー（検査信号発信手段）５００から検査プローブ２００を介して液晶パネル２０に検査信号が入力される。このときの液晶パネル２０の点灯の状態から液晶パネル２０の画像表示検査が行われる。
【００４３】
まず、検査対象となる液晶パネル２０およびこの液晶パネル２０の検査概要について説明する。
なお、液晶パネル２０の画像表示検査を行うにあたっては、検査プローブ２００を液晶パネル２０のデータ線２２および走査線２１に接続して液晶パネル２０の画像表示検査が行われるが、第１実施形態では、主として液晶パネル２０のデータ線２２に検査プローブ２００を接続する場合を例にして説明する。
【００４４】
図２は、液晶パネル２０の全体構成を示す図である。
本発明において検査対象となる液晶パネル２０は、例えば、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）およびＢ（青色）を混色してカラー表示する液晶パネル２０であり、列ごとにＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）を発色する画素が配列されている（例えば図３参照）。
そして、行方向に見たときにＲ（赤色）、Ｇ（緑色）およびＢ（青色）は、この配列順序で繰り返し配置されている。
【００４５】
各画素には、液晶セル（不図示）と、液晶セルに設けられたスイッチング素子としての薄膜二端子素子（不図示）と、が配置されており、液晶パネル２０の縦方向（列方向）にはデータ線２２が配線され、液晶パネル２０の横方向（行方向）には走査線２１が配線されている。つまり、同じ行に属する画素は共通の走査線２１で結ばれ、同じ列に属する画素すなわち同じ色を発色する画素は共通のデータ線２２で結ばれている。
ここで、赤色の画素につながるデータ線２２を赤色データ線２２Ｒ、緑色の画素につながるデータ線を緑色データ線２２Ｇ、青色の画素につながるデータ線を青色データ線２２Ｂと称する。
【００４６】
そして、データ線２２および走査線２１は、液晶パネル２０の表示部２８から引き出され、基板３０の下辺（図２中では下方の一辺）に一括して配置されている。
具体的には、総てのデータ線２２は、液晶パネル２０の表示部２８からそのまま引き出され（例えば図２中では下方に向けて引き出されている）、基板３０の下辺の付近において総てのデータ線２２が互いに平行な状態で配列されている。
ここに、総てのデータ線２２が互いに平行に配置されていることで引出部２４が構成されている。
【００４７】
また、走査線２１は、偶奇で互いに逆側に引き出されているところ、奇数番目の走査線２１Ａは右側に引き出され、偶数番目の走査線２１Ｂは左側に引き出されている。
そして、右側に引き出された奇数番目の走査線２１Ａも、左側に引き出さされた偶数番目の走査線２１Ｂも基板３０の下辺に向けて引き回されて互いに平行に配列されている。
ここに、走査線２１が互いに平行に配置されていることで引出部２５が構成されている。
【００４８】
ここで、液晶パネル２０の画像表示検査を行うにあたって、画素がＲ（赤色）、Ｇ（緑色）およびＢ（青色）の三つの組に分類できるところ、色ごとに画像表示検査が行われる。
例えば、赤色についての点灯検査にあたっては、赤色の画素につながるデータ線（赤色データ線２２Ｒ）にはまとめて同じ信号が送られて液晶パネル全体が赤色に点灯される。
この状態で、赤色についての点欠陥、線欠陥、画素ムラ等が検査されるとともに、表示不良に基づいてデータ線同士で短絡などの欠陥が生じていないかなどが検査される。
ここで、例えば、赤色データ線２２Ｒのいずれかと他のデータ線（緑色データ線２２Ｇ、青色データ線２２Ｂ）のいずれかとの間でリークしているなどの欠陥があると画素が適正に点灯しないので欠陥が検出されることになる。
同様に、緑色の点灯検査にあたっても緑色データ線２２Ｇにまとめて同じ信号が送られて液晶パネル全体が緑色で点灯され、青色の点灯検査にあたっても青色データ線２２Ｂにまとめて同じ信号が送られて液晶パネル全体が青色で点灯されて画像表示検査が行われる。
【００４９】
図３は、データ線２２の引出部２４を拡大した図である。
図３に示されるように、引出部２４には、データ線２２の引き出し方向とは直交する方向において所定の色以外のデータ線２２が絶縁膜２６１で絶縁被膜されているとともに絶縁膜２６１が設けられていない所定の色のデータ線２２が検査用の信号入力端子として露出する検査用端子配列層２６が形成されている。検査用端子配列層２６は、データ線２２の引き出し方向に色ごとに設けられている。
図３中において、検査用端子配列層２６としては、上から順に、赤色端子配列層２６Ｒ、緑色端子配列層２６Ｇ、青色端子配列層２６Ｂが設けられている。
【００５０】
赤色端子配列層２６Ｒでは、赤色データ線２２Ｒのみが信号入力端子として露出し、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂは絶縁膜２６１によって被膜されている。
緑色端子配列層２６Ｇでは、緑色データ線２２Ｇのみが信号入力端子として露出して赤色データ線２２Ｒおよび青色データ線２２Ｂは絶縁膜２６１で被膜されている。
青色端子配列層２６Ｂでは、青色データ線２２Ｂのみが信号入力端子として露出して赤色データ線２２Ｒおよび緑色データ線２２Ｇは絶縁膜２６１で被膜されている。
ここで、赤色端子配列層２６Ｒ、緑色端子配列層２６Ｇ、青色端子配列層２６Ｂの三つの検査用端子配列層が設けられるところ、各層の幅などは任意であり、例えば、絶縁膜２６１を形成しやすい程度の幅でよい。
【００５１】
次に、図４から図６を参照して検査プローブ２００について説明する。図４は、検査プローブの構成を示す図であり、図５は、データ線の引出部において検査プローブがデータ線に接触する部分を拡大して示す図であり、図６は、検査プローブがデータ線に接続した状態の断面図である。
検査プローブ２００は、基板２１０と、基板２１０上に配設された３本の配線部３００Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂと、を備えている。
配線部３００Ｒ〜Ｂは、データ線２２の引出部２４に検査プローブ２００が圧接された際に検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂにコンタクトし、検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂに露出した信号入力端子としてのデータ線２２に接続される。
配線部としては、赤色端子配列層２６Ｒにコンタクトする赤色用配線部３００Ｒと、緑色端子配列層２６Ｇにコンタクトする緑色用配線部３００Ｇと、青色端子配列層２６Ｂにコンタクトする青色用配線部３００Ｂと、の３本が設けられている。
図４中では、上から順に、赤色用配線部３００Ｒ、緑色用配線部３００Ｇ、青色用配線部３００Ｂである。
【００５２】
各配線部３００Ｒ〜Ｂは、図４中で、基板２１０の上辺寄りにおいて横方向に直線的に延設された主軸部３１０と、主軸部３１０の一端から下方に引き出され下端において検査チェッカー５００からの検査信号が入力される連結軸部３２０と、を有する形状に形成されている。そして、配線部３００Ｒ〜Ｂは、基板２１０の上に配設された導電性の導通配線３３０と、配線部３００Ｒ〜Ｂの主軸部３１０において導通配線３３０上に設けられたバンプ３１１と、を備えている（図６参照）。
導通配線３３０は、主軸部３１０および連結軸部３２０にわたって配線されている。
バンプ３１１は、主軸部３１０において導通配線３３０上に積層された導電性の弾性体で形成され、バンプ３１１は、基板２１０から所定高さもった凸形に形成されている。
【００５３】
次に、検査装置１００による液晶パネル２０の画像表示検査について説明する。
液晶パネル２０の画像表示検査にあたって、まず、データ線２２の引出部２４に検査プローブ２００を取り付けてデータ線２２に接続する（接続工程）。
このとき、配線部３００Ｒ〜Ｇの主軸部３１０をデータ線２２と直交させて検査プローブ２００をデータ線２２の引出部２４に圧接し、それぞれ対応する検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂに各配線部３００Ｒ〜Ｂの主軸部３１０が乗ってコンタクトする状態にする。
すると、各検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂにおいて露出したデータ線２２に各配線部３００Ｒ〜３００Ｂのバンプ３１１が接触して各配線部３００Ｒ〜Ｂと所定データ線２２Ｒ〜Ｂとが接続される。
【００５４】
ここで、図５に示されるように、配線部３００Ｒ〜Ｂの主軸部３１０が検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂに圧接されると、絶縁膜２６１で絶縁されたデータ線２２とバンプ３１１とは接続されないが、露出したデータ線２２とバンプ３１１とが接触して接続される。
例えば、赤色端子配列層２６Ｒでは赤色データ線２２Ｒが信号入力端子として露出して緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂは絶縁膜２６１で被膜されているので、赤色端子配列層２６Ｒに赤色用配線部３００Ｒのバンプ３１１を圧接すると、バンプ３１１は赤色データ線２２Ｒのみと接触して接続される。
【００５５】
このとき、図６の断面図に示されるように、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂは絶縁膜２６１で被膜されているので、赤色データ線２２Ｒは絶縁膜２６１の厚みの分だけ下側にあるが、バンプ３１１が赤色端子配列層２６Ｒに押し付けられると、バンプ３１１が弾性的に変形されて赤色データ線２２Ｒに達して接続される。
同様に、緑色端子配列層２６Ｇに圧接された緑色用配線部３００Ｇのバンプ３１１は緑色データ線２２Ｇに接続され、青色端子配列層２６Ｂに圧接された青色用配線部３００Ｂのバンプは青色データ線２２Ｂに接続される。
【００５６】
この状態で、検査チェッカー５００から各配線部３００Ｒ〜３００Ｂに検査用の駆動信号が順次入力される。
例えば、まず、赤色画素の点灯検査を行う場合には、検査信号から赤色用配線部３００Ｒに検査信号が入力される。
すると、赤色用配線部３００Ｒの導通配線３３０からバンプ３１１を介して総ての赤色データ線２２Ｒに同時に検査信号が入力される。
その一方、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂには検査信号が入力されない。
よって、赤色データ線２２Ｒを介して赤色の画素に電圧が印加されて総ての赤色画素が点灯される。このときの点灯の様子を検査員が目視して検査したり、あるいはＣＣＤカメラで撮像した画像に基づいて検査するなどにより、赤色について画像表示検査が行われる。続いて同様に緑色、青色と順に点灯検査が行われる。
検査が終了すると、検査プローブ２００がデータ線２２から離されて、良品であった液晶パネル２０は次の製造工程へ向けて搬出される。
【００５７】
このような構成を備える第１実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（１）データ線２２の引出部２４に検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂが形成され、この検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂには所定のデータ線２２のみが信号入力端子として露出しているので、検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂに対して検査プローブ２００の配線部３００Ｒ〜Ｂを押し当てるだけで所定のデータ線２２との接続を行うことができる。検査プローブ２００の配線部３００Ｒ〜Ｂを検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂに押し当てるだけでデータ線２２と検査プローブ２００とを接続することができるので、データ線２２に検査プローブ２００を接続する作業が極めて簡単である。液晶パネル２０の膨大な製造量を鑑みるに、液晶パネル２０の一つ一つに検査プローブ２００を接続する作業を簡単にすることは画像表示検査に要する時間を非常に短縮することになり、製造効率の向上に大いに資する画期的効果を奏する。
【００５８】
（２）検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂが色ごとに設けられているので、各色のデータ線２２Ｒ〜Ｂの検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂにそれぞれ検査プローブ２００の配線部３００Ｒ〜Ｂを押し当てると各色のデータ線２２にそれぞれ導通をとることができる。そして、各色のデータ線２２に接続された配線部３００Ｒ〜Ｂにそれぞれ検査信号を入力すると、色ごとに液晶パネル２０を点灯させて画像表示検査を行うことができる。
【００５９】
（３）配線部３００Ｒ〜Ｂには導通配線３３０のうえにバンプ３１１が設けられているので、配線部３００Ｒ〜Ｂを検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂに押し当てた際にはバンプ３１１が弾性的に変形してデータ線２２Ｒ〜Ｇに密着する。よって、バンプ３１１を介して配線部３００Ｒ〜Ｂとデータ線２２Ｒ〜Ｇとを確実に接続して導通させることができる。
その結果、検査プローブ２００とデータ線２２Ｒ〜Ｂとの接続不良等による検査ミスが生じることがなく、適正な画像表示検査を行うことができる。
また、検査用端子配列層２６において、所定のデータ線以外は絶縁膜２６１にて被膜されているので、信号入力端子としての所定データ線２２は絶縁膜２６１の厚みの分だけ絶縁膜より下側にあることになるが、配線部３００Ｒ〜Ｂが検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂに圧接された際にバンプ３１１が弾性変形して絶縁膜２６１よりも下側にある所定データ線２２に接触することができるので、配線部３００Ｒ〜Ｂとデータ線２２Ｒ〜Ｂとの導通をとることができる。
【００６０】
（４）液晶パネル２０に検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂが設けられているので、検査プローブ２００としては検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂに押し当てる配線部３００Ｒ〜Ｂを基板３０に設けておくだけでよい。このような単純構造の検査プローブ２００でよいので、検査プローブ２００の製造コストを非常に安価にすることができる。
【００６１】
（５）液晶パネル２０の画像表示検査にあたって検査プローブ２００を液晶パネル２０のデータ線２２に接続する際に、検査プローブ２００の配線部３００Ｒ〜Ｂを検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂに押し当てるだけでよいので検査プローブ２００をデータ線２２に接続する作業が非常に簡便である。その結果、検査プローブ２００を液晶パネル２０に接続するための作業時間を大幅に短縮して液晶パネル２０の検査効率を向上させることができる。
【００６２】
（第２実施形態）
次に、本発明の光学パネルに係る第２実施形態について図７を参照して説明する。
第２実施形態としての液晶パネルの基本的構成は、第１実施形態の液晶パネルに同様であるが、第２実施形態では検査用端子配列層において信号入力端子として露出したデータ線に導電体が積層されている点に特徴を有する。
図７は、データ線２２の引出部２４において、赤色端子配列層２６Ｒに検査プローブ２００の赤色用配線部３００Ｒを接続した状態の断面図を示す。
赤色端子配列層２６Ｒであるところ、赤色データ線２２Ｒを除いて緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂは絶縁膜２６１で被膜されている。
そして、赤色データ線２２Ｒには、導電性の弾性体で形成された導電体２６２が積層されている。
導電体２６２は、絶縁膜２６１よりも厚みがあり、導電体２６２は絶縁膜２６１よりも一段高く突出している。
【００６３】
この構成において、検査プローブ２００のバンプ３１１を赤色端子配列層２６Ｒに押し当てると、図７に示されるように、バンプ３１１が赤色データ線２２Ｒに積層された導電体２６２に接触し、バンプ３１１を強く押し当てるとバンプ３１１と導電体２６２とが共に弾性変形しながら強く密接する。これにより、赤色データ線２２Ｒと導通配線３３０とがバンプ３１１および導電体２６２を介して確実に導通される。
【００６４】
このような構成によれば、信号入力端子として露出したデータ線２２に導電体２６２が積層されているので、この導電体２６２の分だけ高くなり、バンプ３１１とデータ線２２とが導電体２６２を介して導通される。そして、導電体２６２が厚みを有することにより導電体２６２が絶縁膜２６１よりも一段突出するので、検査プローブ２００のバンプ３１１と導電体２６２とが確実に接触する。よって、バンプ３１１および導電体２６２を介してデータ線２２と検査プローブ２００の導通配線３３０とを確実に導通させることができる。
また、導電体２６２は弾性体であるので、バンプ３１１と導電体２６２とが圧接された際に互いに弾性変形して接触面積が広くなり、バンプ３１１と導電体２６２との接続をより確実にすることができる。
【００６５】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について図８および図９を参照して説明する。
第３実施形態の基本的構成は第１実施形態に同様であるが、走査線２１の引出部２５にも検査用端子配列層が設けられ、また、検査プローブ２００には走査線２１の検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｇに接続される配線部３００Ｒ〜Ｂが設けられている点に特徴を有する。
図８は、第３実施形態に係る液晶パネルの構成を示す図であり、図９は、第３実施形態の検査プローブの構成を示す図である。
図８において、データ線２２の引出部２４には検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｂが設けられている。
【００６６】
そして、走査線２１の引出部２５にも検査用端子配列層２７が形成されている。
ここで、走査線２１については、奇数番目の走査線２１Ａは右側に引き出され、偶数番目の走査線２１Ｂは左側に引き出されているところ、右側の引出部２５でも左側の引出部２５でも、走査線２１の引き出し方向とは直交する方向において所定ピッチの走査線２１に絶縁膜２７１が設けられて所定の走査線２１が信号入力端子として露出する検査用端子配列層２７が形成されている。
走査線２１の検査用端子配列層２７では右側の引出部２５でも左側の引出部２５でも一つおきの走査線２１に絶縁膜２７１が設けられて一つおきの走査線２１が信号入力端子として露出している。そして、走査線２１の検査用端子配列層２７は２段設けられていて、上段の検査用端子配列層２７Ａで絶縁被膜された走査線２１は下段の検査用端子配列層２７Ｂで露出している。
【００６７】
図９は、第３実施形態に係る検査装置の検査プローブ２００を示す図である。第３実施形態の検査プローブ２００の基本的構成は、第１実施形態と同様であるが、基板２１０の中央にデータ線２２に接続される３本の配線部３００Ｒ〜Ｂが設けられていることに加えて、その左右に走査線２１に接続される走査線用の配線部４００が二本ずつ設けられている。
各走査線用配線部４００の構成は、第１実施形態で説明した配線部３００Ｒ〜Ｇの構成に同様であり、主軸部３１０と連結軸部３２０とを備えた形状であり、導通配線３３０と、バンプ３１１と、備えている。
【００６８】
このような構成において、検査プローブ２００を液晶パネル２０に接続するにあたって、検査プローブ２００の各配線部３００Ｒ〜Ｇ、４００を対応する検査用端子配列層２６Ｒ〜Ｇ、２７Ａ、Ｂに押し当てる。すると、データ線２２および走査線２１の両方に同時に検査プローブ２００を接続することができる。
【００６９】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について図１０〜図１３を参照して説明する。
なお、本実施形態は、光学パネルとしての液晶パネルを検査装置で検査するものであり、基本構成は前述した第１実施形態と同様である。このため、液晶パネル２０、基板３０、検査プローブ２００、検査チェッカー（検査信号発信手段）５００等についての重複する説明は省略する。
【００７０】
図１０において、本実施形態のデータ線２２の引出部２４には、前記第１実施形態と同様に検査用端子配列層２６が形成されている。
本実施形態の検査用端子配列層２６は、上から順に、赤色端子配列層２６Ｒ、青色端子配列層２６Ｂが設けられているが、緑色端子配列層２６Ｇは省略され、替わりに共通の結線部２７が設けられている。すなわち、緑色データ線２２Ｇは、赤色端子配列層２６Ｒおよび青色端子配列層２６Ｂからさらに下側に引き出されて共通の結線部２７にて結線されている。
結線部２７は、総ての緑色データ線２２Ｇの下端が共通して接続された共通線２７１と、共通線２７１の略中央部分において所定の幅を持って共通線２７１から凸状に突き出た端子部２７２と、を備える。
【００７１】
図１１において、検査プローブ２００は、基板２１０と、検査用端子配列層２６に接続される２本の配線部３００Ｒ、３００Ｂと、結線部２７に接続されるコンタクト部３５０と、を備えている。
配線部３００Ｒ、３００Ｂは、検査用端子配列層２６Ｒ、２６Ｂにコンタクトし、信号入力端子としてのデータ線２２に接続されるものである。これらの構造は前述した第１実施形態と同様なものであり、重複する説明は省略する。なお、本実施形態では緑色の系統に結線部２７とコンタクト部３５０を用いるため、第１実施形態における配線部３００Ｇ等は省略されている
【００７２】
コンタクト部３５０は、基板２１０の略中央に配置された導電体のパッドであり、配線部３００Ｒ、Ｂが検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに接触する状態に検査プローブ２００をデータ線２２の引出部２４に圧接した際に、結線部２７に接触する位置に配設されている。コンタクト部３５０は、結線部２７の端子部２７２に接触して接続される接触頭部３５１と、接触頭部３５１から下方に引き出され検査チェッカー５００からの検査信号が入力される信号入力パッド３５２と、を備える。
【００７３】
次に、検査装置１００による液晶パネル２０の画像表示検査について説明する。
液晶パネル２０の画像表示検査にあたって、データ線２２の引出部２４に検査プローブ２００を取り付けてデータ線２２に接続する（接続工程）。
このとき、配線部３００Ｒ、Ｂの主軸部３１０をデータ線２２と直交させて検査プローブ２００をデータ線２２の引出部２４に圧接し、それぞれ対応する検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに各配線部３００Ｒ、Ｂの主軸部３１０が乗ってコンタクトする状態にする。
すると、各検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂにおいて露出したデータ線２２に各配線部３００Ｒ、Ｂのバンプ３１１が接触して各配線部３００Ｒ、Ｂとデータ線２２Ｒ、Ｂとが接続される。また、このとき、コンタクト部３５０の接触頭部３５１が結線部２７の端子部２７２に当接して結線部２７にて結線された緑色データ線２２Ｇとコンタクト部３５０とが導通される。
【００７４】
ここで、図１２は、データ線２２の引出部２４において検査プローブ２００がデータ線２２に接触する部分を拡大して示す図である。また、図１３は、検査プローブ２００がデータ線２２に接続した状態の断面図である。
図１２に示されるように、配線部３００Ｒ、Ｂの主軸部３１０が検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに圧接されると、絶縁膜２６１で絶縁されたデータ線２２とバンプ３１１とは接続されないが、露出したデータ線２２Ｒ、Ｂとバンプ３１１とが接触して接続される。
例えば、赤色端子配列層２６Ｒでは赤色データ線２２Ｒが信号入力端子として露出して緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂは絶縁膜２６１で被膜されているので、赤色端子配列層２６Ｒに赤色用配線部３００Ｒのバンプ３１１を圧接すると、バンプ３１１は赤色データ線２２Ｒのみと接触して接続される。
このとき、図１３の断面図に示されるように、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂは絶縁膜２６１で被膜されているので、赤色データ線２２Ｒは絶縁膜２６１の厚みの分だけ下側にあるが、バンプ３１１が赤色端子配列層２６Ｒに押し付けられると、バンプ３１１が弾性的に変形されて赤色データ線２２Ｒに達して接続される。
同様に、青色端子配列層２６Ｂに圧接された青色用配線部３００Ｂのバンプは青色データ線２２Ｂに接続される。
【００７５】
また、結線部２７によって緑色データ線２２Ｇが結線されているので、結線部２７の端子部２７２にコンタクト部３５０の接触頭部３５１が接続されることでコンタクト部３５０と緑色データ線２２Ｇとが導通される。
【００７６】
この状態で、検査チェッカー５００から各配線部３００Ｒ、Ｂおよびコンタクト部３５０に検査用の駆動信号が順次入力される。
例えば、まず、赤色画素の点灯検査を行う場合には、検査信号から赤色用配線部３００Ｒに検査信号が入力される。
すると、赤色用配線部３００Ｒの導通配線３３０からバンプ３１１を介して総ての赤色データ線２２Ｒに同時に検査信号が入力される。
その一方、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂには検査信号が入力されない。
よって、赤色データ線２２Ｒを介して赤色の画素に電圧が印加されて総ての赤色画素が点灯される。このときの点灯の様子を検査員が目視して検査したり、あるいはＣＣＤカメラで撮像した画像に基づいて検査するなどにより、赤色について画像表示検査が行われる。続いて同様に青色の検査にあたっては青色用配線部３００Ｂに検査信号が入力されて青色の点灯検査が行われる。また、緑色の点灯検査にあたっては、検査チェッカー５００からコンタクト部３５０に検査信号が入力される。すると、コンタクト部３５０を介して緑色データ線２２Ｇに検査信号が入力され、液晶パネル２０の緑色画素が点灯される。このときの点灯の様子から緑色について画像表示検査が行われる。
【００７７】
検査が終了すると、検査プローブ２００がデータ線２２から離され、良品であった液晶パネル２０は次の製造工程へ向けて搬出される。
このとき、実際の製品に液晶パネル２０を組み込むにあたっては総てのデータ線２２が分離独立していなければならないところ、図１０中の符号Ａで示されるラインＡによって結線部２７をレーザーカットなどにより切除する（切除工程）。
【００７８】
このような構成を備える第４実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（１）データ線２２の引出部２４に検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂが形成され、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂには所定データ線（赤色データ線２２Ｒ、青色データ線２２Ｂ）のみが信号入力端子として露出しているので、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに対して検査プローブ２００の配線部３００を押し当てるだけで所定データ線（赤色データ線２２Ｒ、青色データ線２２Ｂ）との接続を行うことができる。
また、結線部２７にて結線された緑色データ線２２Ｇについては、この結線部２７に配線を接続するだけで総ての緑色データ線２２Ｇに共通して導通をとることができる。
このように、検査プローブ２００を液晶パネル２０に接続するにあたって、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂには配線部３００Ｒ、Ｂを押し当てるだけでよく、また、結線部２７にはコンタクト部３５０を接続するだけでよいので、データ線２２に検査プローブ２００を接続する作業が極めて簡単である。
【００７９】
（２）液晶パネル２０に検査用端子配列層２６Ｒ、Ｇと結線部２７とが設けられているので、検査プローブ２００としては、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに押し当てられる配線部３００Ｒ、Ｂと、結線部２７にコンタクトするコンタクト部３５０と、を基板２１０に設けるだけでよい。このような単純構造の検査プローブ２００でよいので、検査プローブ２００の製造コストを極めて安価にすることができる。
【００８０】
（３）配線部３００には導通配線３３０のうえにバンプ３１１が設けられているので、配線部３００Ｒ、Ｂを検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに押し当てた際にはバンプ３１１が弾性的に変形してデータ線２２Ｒ、Ｂに密着する。すると、バンプ３１１を介して配線部３００Ｒ、Ｂとデータ線２２Ｒ、Ｂとが確実に接続されて導通される。検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂにおいて、所定のデータ線以外は絶縁膜２６１にて被膜されているので、信号入力端子としてのデータ線２２は絶縁膜２６１の厚みの分だけ絶縁膜２６１より下側にあることになるが、配線部３００Ｒ、Ｂが検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに圧接された際にバンプが弾性変形して絶縁膜２６１よりも下側にある所定データ線２２に接触することができるので、配線部３００Ｒ、Ｂとデータ線２２との導通をとることができる。
【００８１】
（４）検査終了後は、データ線２２は総て分離独立している必要があるので結線部２７を切除することになるところ、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂにて検査プローブ２００に接続されるデータ線２２はもともと分離しているので、切除すべき結線部２７の数は一つである。従って、レーザーカットによる切除回数は少なく簡便である。
【００８２】
（第５実施形態）
次に、本発明の光学パネルに係る第５実施形態について図１４を参照して説明する。
第５実施形態としての液晶パネルの基本的構成は、第４実施形態の液晶パネルに同様であるが、第５実施形態では検査用端子配列層において信号入力端子として露出したデータ線に導電体が積層されている点に特徴を有する。
図１４は、データ線２２の引出部２４において、赤色端子配列層２６Ｒに検査プローブ２００の赤色用配線部３００Ｒを接続した状態の断面図を示す。
赤色端子配列層２６Ｒであるところは、赤色データ線２２Ｒを除いて緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂは絶縁膜２６１で被膜されている。そして、赤色データ線２２Ｒには、導電性の弾性体で形成された導電体２６２が積層されている。導電体２６２は、絶縁膜２６１よりも厚みがあり、導電体２６２は絶縁膜２６１よりも一段高く突出している。
この構成において、検査プローブ２００のバンプ３１１を赤色端子配列層２６Ｒに押し当てると、図１４に示されるように、バンプ３１１が赤色データ線２２Ｒに積層された導電体２６２に接触し、バンプ３１１を強く押し当てるとバンプ３１１と導電体２６２とが共に弾性変形しながら強く密接する。これにより、赤色データ線２２Ｒと導通配線３３０とがバンプ３１１および導電体２６２を介して確実に導通される。
【００８３】
このような構成によれば、信号入力端子として露出したデータ線２２に導電体２６２が積層されているので、この導電体２６２の分だけ高くなり、バンプ３１１とデータ線２２とが導電体２６２を介して導通される。そして、導電体２６２が厚みを有することにより導電体２６２が絶縁膜２６１よりも一段突出するので、検査プローブ２００のバンプ３１１と導電体２６２とが確実に接触する。よって、バンプ３１１および導電体２６２を介してデータ線２２と検査プローブ２００の導通配線３３０とを確実に導通させることができる。
また、導電体２６２は弾性体であるので、バンプ３１１と導電体２６２とが圧接された際に互いに弾性変形して接触面積が広くなり、バンプ３１１と導電体２６２との接続をより確実にすることができる。
【００８４】
（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態について、図１５および図１６を参照して説明する。
第６実施形態の基本的構成は、第４実施形態に同様であるが、走査線の引出部にも検査用端子配列層および結線部が設けられ、検査プローブには走査線の検査用端子配列層に接続される配線部および走査線の結線部に接続されるコンタクト部が設けられている点に特徴を有する。
【００８５】
図１５は、第６実施形態に係る液晶パネル２０の構成を示す図であり、図１６は、第６実施形態に係る検査プローブ２００の構成を示す図である。
図１５において、データ線２２の引出部２４には検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂが設けられているとともに、緑色データ線２２Ｇが引き出されて結線部２７にて結線されている。
そして、走査線２１の引出部２５にも検査用端子配列層２８および結線部２９が設けられている。
【００８６】
ここで、走査線２１については、前述した第３実施形態と同様であり、前述した通り検査用端子配列層２８が形成されている。
走査線２１の検査用端子配列層２８では右側の引出部２５でも左側の引出部２５でも一つおきの走査線２１に絶縁膜２８１が設けられて一つおきの走査線２１が信号入力端子として露出している。
そして、検査用端子配列層２８において絶縁被膜２８１された走査線２１については長く引き出され、その下端が結線部２９によって結線されている。
【００８７】
図１６は、第６実施形態に係る検査プローブを示す図である。
第６実施形態の検査プローブ２００の基本的構成は、第４実施形態と同様であるが、基板２１０の中央にデータ線２２に接続される２本の配線部３００Ｒ、Ｂおよびコンタクト部３５０が設けられていることに加えて、その左右に走査線２１に接続される走査線用の配線部４００およびコンタクト部４５０が設けられている。各走査線用配線部４００の構成は、第４実施形態で説明した配線部３００Ｒ、Ｂの構成に同様であり、主軸部３１０と連結軸部３２０とを備えた形状であり、導通配線３３０と、バンプ３１１と、備えている。また、コンタクト部４５０の構成も第４実施形態で説明したコンタクト部３５０の構成に同様であり、結線部２９に当接して結線部２９にて結線された走査線２１に導通する。
【００８８】
このような構成において、検査プローブ２００を液晶パネル２０に接続するにあたっては、検査プローブ２００の各配線部３００Ｒ、Ｂ、４００および各コンタクト部３５０、４５０を対応する検査用端子配列層２６、２８および結線部２７、２９に押し当てる。すると、データ線２２および走査線２１の両方に同時に検査プローブ２００を接続することができる。
【００８９】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
検査用端子配列層において、データ線および信号線を絶縁膜で被膜するピッチは特に限定されず、画像表示検査の精度などになって種々変更されることはもちろんである。
例えば、一つおきの信号線（データ線、走査線）に絶縁膜を設けてもよく、二つおきの信号線に絶縁膜を設けてもよく、信号入力端子として露出する信号線のピッチは画像表示検査に求められる精度に応じて種々変更されてもよいことはもちろんである。
上記実施形態においては、液晶パネルを例にして説明したが、複数の信号線が配線された例えば半導体等の電子機器であって、検査時に同一の検査信号を入力できる複数の信号線を有していれば本発明を適用できる。
また、光学パネル（液晶パネル）としては、ＲＧＢを混色してカラー表示する液晶パネルを例に説明したが、例えばモノクロの液晶パネルであってもよいことはもちろんである。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
本発明は、光学パネルの画像表示検査および信号線が配線された電子機器の特性検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の第１実施形態において、液晶パネルを検査装置に接続した状態の全体構成を示す図。
【図２】前記第１実施形態において、液晶パネルの全体構成を示す図。
【図３】前記第１実施形態において、データ線の引出部を拡大した図。
【図４】第１実施形態において、検査プローブの構成を示す図。
【図５】第１実施形態において、データ線の引出部において検査プローブがデータ線に接触する部分を拡大して示す図。
【図６】第１実施形態において、検査プローブがデータ線に接続した状態の断面図。
【図７】本発明の第２実施形態において、赤色端子配列層に検査プローブの赤色用配線部を接続した状態の断面図。
【図８】第３実施形態に係る液晶パネルの構成を示す図。
【図９】第３実施形態の検査プローブの構成を示す図。
【図１０】前記第４実施形態において、液晶パネルからデータ線を引き出した引出部を拡大して示す図。
【図１１】前記第４実施形態において、検査プローブの構成を示す図。
【図１２】前記第４実施形態において、データ線の引出部において検査プローブがデータ線に接触する部分を拡大して示す図。
【図１３】前記第４実施形態において、検査プローブがデータ線に接続した状態の断面図。
【図１４】本発明の第５実施形態において、赤色端子配列層に検査プローブの赤色用配線部を接続した状態の断面図。
【図１５】本発明の第６実施形態において、液晶パネルの構成を示す図。
【図１６】前記第６実施形態において、検査プローブの構成を示す図。
【図１７】従来の表示装置の構成を示す図。
【図１８】従来の検査プローブとデータ線との接続部分を拡大した図。
【符号の説明】
【００９２】
１０…表示装置、２０…液晶パネル、２１…走査線、２１Ａ…走査線、２１Ｂ…走査線、２２…データ線、２２Ｂ…青色データ線、２２Ｒ…赤色データ線、２２Ｇ…緑色データ線、２３…走査線およびデータ線の端子、２４…引出部、２５…引出部、２６…検査用端子配列層、２６Ｂ…青色端子配列層、２６Ｒ…赤色端子配列層、２６Ｇ…緑色端子配列層、２７…検査用端子配列層、２７Ａ…検査用端子配列層、２７Ｂ…検査用端子配列層、２８…表示部、３０…基板、３１…基板の一辺、３２…入力接続端子、４０…駆動回路、４１…出力接続端子、５０…検査プローブ、５１…プローブ端子、１００…検査装置、２００…検査プローブ、２１０…基板、２６１…絶縁膜、２６２…導電体、２７１…絶縁膜、３００…配線部、３００Ｂ…青色用配線部、３００Ｒ…赤色用配線部、３００Ｇ…緑色用配線部、３１０…主軸部、３１１…バンプ、３２０…連結軸部、３３０…導通配線、３５０…コンタクト部、３５１…接触頭部、３５２…信号入力パッド、４００…走査線用配線部、４５０…コンタクト部、５００…検査チェッカー。
【図１】
2006243706.tif 000003
【図２】
2006243706.tif 000004
【図３】
2006243706.tif 000005
【図４】
2006243706.tif 000006
【図５】
2006243706.tif 000007
【図６】
2006243706.tif 000008
【図７】
2006243706.tif 000009
【図８】
2006243706.tif 000010
【図９】
2006243706.tif 000011
【図１０】
2006243706.tif 000012
【図１１】
2006243706.tif 000013
【図１２】
2006243706.tif 000014
【図１３】
2006243706.tif 000015
【図１４】
2006243706.tif 000016
【図１５】
2006243706.tif 000017
【図１６】
2006243706.tif 000018
【図１７】
2006243706.tif 000019
【図１８】
2006243706.tif 000020
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月22日(2006.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
近年では小型でありながらも細密な画像を表示する液晶パネル２０が求められているので、小さな領域に非常に多くの画素を配設しなければならない。
すると、信号線（走査線２１、データ線２２）の間隔が非常に狭くなり、例えば２１μｍピッチの間隔で数百本の信号線が配列されることとなる。
このように狭ピッチで信号線が配設されると、信号線に接続される検査プローブ５０もその端子間隔を非常に狭くして製作されなければならない。
しかしながら、このように狭い端子間隔の検査プローブ５０を製作することには非常に多くの加工工程と多大なコストを要するという問題がある。
また、狭ピッチ（例えば２１μｍ）で配設された端子同士を一つ一つ正確に位置合わせして接続することは非常に困難な作業であり、例えば、ＣＣＤカメラ等で撮像した画像をモニタ等で確認しながら接続作業を行わなければならない。
このようにカメラやモニタを備えた位置合わせ用の装置を用意することには多大なコストを要し、そのうえ、接続作業には多大な時間を要するという問題が生じる。
このように液晶パネルの画像表示検査に多大なコストがかかれば製品コストも増大し、また、画像表示検査に多大な時間を要すると製造効率が低減されるという問題が生じる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
そして、データ線２２および走査線２１は、液晶パネル２０の表示部３８から引き出され、基板３０の下辺（図２中では下方の一辺）に一括して配置されている。
具体的には、総てのデータ線２２は、液晶パネル２０の表示部３８からそのまま引き出され（例えば図２中では下方に向けて引き出されている）、基板３０の下辺の付近において総てのデータ線２２が互いに平行な状態で配列されている。
ここに、総てのデータ線２２が互いに平行に配置されていることで引出部２４が構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
この状態で、検査チェッカー５００から各配線部３００Ｒ〜３００Ｂに検査用の駆動信号が順次入力される。
例えば、まず、赤色画素の点灯検査を行う場合には、検査チェッカーから赤色用配線部３００Ｒに検査信号が入力される。
すると、赤色用配線部３００Ｒの導通配線３３０からバンプ３１１を介して総ての赤色データ線２２Ｒに同時に検査信号が入力される。
その一方、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂには検査信号が入力されない。
よって、赤色データ線２２Ｒを介して赤色の画素に電圧が印加されて総ての赤色画素が点灯される。このときの点灯の様子を検査員が目視して検査したり、あるいはＣＣＤカメラで撮像した画像に基づいて検査するなどにより、赤色について画像表示検査が行われる。続いて同様に緑色、青色と順に点灯検査が行われる。
検査が終了すると、検査プローブ２００がデータ線２２から離されて、良品であった液晶パネル２０は次の製造工程へ向けて搬出される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
図１０において、本実施形態のデータ線２２の引出部２４には、前記第１実施形態と同様に検査用端子配列層２６が形成されている。
本実施形態の検査用端子配列層２６は、上から順に、赤色端子配列層２６Ｒ、青色端子配列層２６Ｂが設けられているが、緑色端子配列層２６Ｇは省略され、替わりに共通の結線部２９が設けられている。すなわち、緑色データ線２２Ｇは、赤色端子配列層２６Ｒおよび青色端子配列層２６Ｂからさらに下側に引き出されて共通の結線部２９にて結線されている。
結線部２９は、総ての緑色データ線２２Ｇの下端が共通して接続された共通線２９１と、共通線２９１の略中央部分において所定の幅を持って共通線２９１から凸状に突き出た端子部２９２と、を備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
図１１において、検査プローブ２００は、基板２１０と、検査用端子配列層２６に接続される２本の配線部３００Ｒ、３００Ｂと、結線部２９に接続されるコンタクト部３５０と、を備えている。
配線部３００Ｒ、３００Ｂは、検査用端子配列層２６Ｒ、２６Ｂにコンタクトし、信号入力端子としてのデータ線２２に接続されるものである。これらの構造は前述した第１実施形態と同様なものであり、重複する説明は省略する。なお、本実施形態では緑色の系統に結線部２９とコンタクト部３５０を用いるため、第１実施形態における配線部３００Ｇ等は省略されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
コンタクト部３５０は、基板２１０の略中央に配置された導電体のパッドであり、配線部３００Ｒ、Ｂが検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに接触する状態に検査プローブ２００をデータ線２２の引出部２４に圧接した際に、結線部２９に接触する位置に配設されている。コンタクト部３５０は、結線部２９の端子部２９２に接触して接続される接触頭部３５１と、接触頭部３５１から下方に引き出され検査チェッカー５００からの検査信号が入力される信号入力パッド３５２と、を備える。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
次に、検査装置１００による液晶パネル２０の画像表示検査について説明する。
液晶パネル２０の画像表示検査にあたって、データ線２２の引出部２４に検査プローブ２００を取り付けてデータ線２２に接続する（接続工程）。
このとき、配線部３００Ｒ、Ｂの主軸部３１０をデータ線２２と直交させて検査プローブ２００をデータ線２２の引出部２４に圧接し、それぞれ対応する検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに各配線部３００Ｒ、Ｂの主軸部３１０が乗ってコンタクトする状態にする。
すると、各検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂにおいて露出したデータ線２２に各配線部３００Ｒ、Ｂのバンプ３１１が接触して各配線部３００Ｒ、Ｂとデータ線２２Ｒ、Ｂとが接続される。また、このとき、コンタクト部３５０の接触頭部３５１が結線部２９の端子部２９２に当接して結線部２９にて結線された緑色データ線２２Ｇとコンタクト部３５０とが導通される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
また、結線部２９によって緑色データ線２２Ｇが結線されているので、結線部２９の端子部２９２にコンタクト部３５０の接触頭部３５１が接続されることでコンタクト部３５０と緑色データ線２２Ｇとが導通される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
この状態で、検査チェッカー５００から各配線部３００Ｒ、Ｂおよびコンタクト部３５０に検査用の駆動信号が順次入力される。
例えば、まず、赤色画素の点灯検査を行う場合には、検査チェッカーから赤色用配線部３００Ｒに検査信号が入力される。
すると、赤色用配線部３００Ｒの導通配線３３０からバンプ３１１を介して総ての赤色データ線２２Ｒに同時に検査信号が入力される。
その一方、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂには検査信号が入力されない。
よって、赤色データ線２２Ｒを介して赤色の画素に電圧が印加されて総ての赤色画素が点灯される。このときの点灯の様子を検査員が目視して検査したり、あるいはＣＣＤカメラで撮像した画像に基づいて検査するなどにより、赤色について画像表示検査が行われる。続いて同様に青色の検査にあたっては青色用配線部３００Ｂに検査信号が入力されて青色の点灯検査が行われる。また、緑色の点灯検査にあたっては、検査チェッカー５００からコンタクト部３５０に検査信号が入力される。すると、コンタクト部３５０を介して緑色データ線２２Ｇに検査信号が入力され、液晶パネル２０の緑色画素が点灯される。このときの点灯の様子から緑色について画像表示検査が行われる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
検査が終了すると、検査プローブ２００がデータ線２２から離され、良品であった液晶パネル２０は次の製造工程へ向けて搬出される。
このとき、実際の製品に液晶パネル２０を組み込むにあたっては総てのデータ線２２が分離独立していなければならないところ、図１０中の符号Ａで示されるラインＡによって結線部２９をレーザーカットなどにより切除する（切除工程）。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
このような構成を備える第４実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（６）データ線２２の引出部２４に検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂが形成され、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂには所定データ線（赤色データ線２２Ｒ、青色データ線２２Ｂ）のみが信号入力端子として露出しているので、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに対して検査プローブ２００の配線部３００を押し当てるだけで所定データ線（赤色データ線２２Ｒ、青色データ線２２Ｂ）との接続を行うことができる。
また、結線部２９にて結線された緑色データ線２２Ｇについては、この結線部２９に配線を接続するだけで総ての緑色データ線２２Ｇに共通して導通をとることができる。
このように、検査プローブ２００を液晶パネル２０に接続するにあたって、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂには配線部３００Ｒ、Ｂを押し当てるだけでよく、また、結線部２９にはコンタクト部３５０を接続するだけでよいので、データ線２２に検査プローブ２００を接続する作業が極めて簡単である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
（７）液晶パネル２０に検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂと結線部２９とが設けられているので、検査プローブ２００としては、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに押し当てられる配線部３００Ｒ、Ｂと、結線部２９にコンタクトするコンタクト部３５０と、を基板２１０に設けるだけでよい。このような単純構造の検査プローブ２００でよいので、検査プローブ２００の製造コストを極めて安価にすることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
（８）配線部３００には導通配線３３０のうえにバンプ３１１が設けられているので、配線部３００Ｒ、Ｂを検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに押し当てた際にはバンプ３１１が弾性的に変形してデータ線２２Ｒ、Ｂに密着する。すると、バンプ３１１を介して配線部３００Ｒ、Ｂとデータ線２２Ｒ、Ｂとが確実に接続されて導通される。検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂにおいて、所定のデータ線以外は絶縁膜２６１にて被膜されているので、信号入力端子としてのデータ線２２は絶縁膜２６１の厚みの分だけ絶縁膜２６１より下側にあることになるが、配線部３００Ｒ、Ｂが検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂに圧接された際にバンプが弾性変形して絶縁膜２６１よりも下側にある所定データ線２２に接触することができるので、配線部３００Ｒ、Ｂとデータ線２２との導通をとることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
（９）検査終了後は、データ線２２は総て分離独立している必要があるので結線部２９を切除することになるところ、検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂにて検査プローブ２００に接続されるデータ線２２はもともと分離しているので、切除すべき結線部２９の数は一つである。従って、レーザーカットによる切除回数は少なく簡便である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
図１５は、第６実施形態に係る液晶パネル２０の構成を示す図であり、図１６は、第６実施形態に係る検査プローブ２００の構成を示す図である。
図１５において、データ線２２の引出部２４には検査用端子配列層２６Ｒ、Ｂが設けられているとともに、緑色データ線２２Ｇが引き出されて結線部２９にて結線されている。
そして、走査線２１の引出部２５にも検査用端子配列層２８および結線部３９が設けられている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
ここで、走査線２１については、前述した第３実施形態と同様であり、前述した通り検査用端子配列層２８が形成されている。
走査線２１の検査用端子配列層２８では右側の引出部２５でも左側の引出部２５でも一つおきの走査線２１に絶縁膜２８１が設けられて一つおきの走査線２１が信号入力端子として露出している。
そして、検査用端子配列層２８において絶縁被膜２８１された走査線２１については長く引き出され、その下端が結線部３９によって結線されている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
図１６は、第６実施形態に係る検査プローブを示す図である。
第６実施形態の検査プローブ２００の基本的構成は、第４実施形態と同様であるが、基板２１０の中央にデータ線２２に接続される２本の配線部３００Ｒ、Ｂおよびコンタクト部３５０が設けられていることに加えて、その左右に走査線２１に接続される走査線用の配線部４００およびコンタクト部４５０が設けられている。各走査線用配線部４００の構成は、第４実施形態で説明した配線部３００Ｒ、Ｂの構成に同様であり、主軸部３１０と連結軸部３２０とを備えた形状であり、導通配線３３０と、バンプ３１１と、備えている。また、コンタクト部４５０の構成も第４実施形態で説明したコンタクト部３５０の構成に同様であり、結線部３９に当接して結線部３９にて結線された走査線２１に導通する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
このような構成において、検査プローブ２００を液晶パネル２０に接続するにあたっては、検査プローブ２００の各配線部３００Ｒ、Ｂ、４００および各コンタクト部３５０、４５０を対応する検査用端子配列層２６、２８および結線部２９、３９に押し当てる。すると、データ線２２および走査線２１の両方に同時に検査プローブ２００を接続することができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
１０…表示装置、２０…液晶パネル、２１…走査線、２１Ａ…走査線、２１Ｂ…走査線、２２…データ線、２２Ｂ…青色データ線、２２Ｒ…赤色データ線、２２Ｇ…緑色データ線、２３…走査線およびデータ線の端子、２４…引出部、２５…引出部、２６、２７、２８…検査用端子配列層、２６Ｂ…青色端子配列層、２６Ｒ…赤色端子配列層、２６Ｇ…緑色端子配列層、２７Ａ…検査用端子配列層、２７Ｂ…検査用端子配列層、２９、３９…結線部、３０…基板、３１…基板の一辺、３２…入力接続端子、３８…表示部、４０…駆動回路、４１…出力接続端子、５０…検査プローブ、５１…プローブ端子、１００…検査装置、２００…検査プローブ、２１０…基板、２６１…絶縁膜、２６２…導電体、２７１…絶縁膜、２９１…共通線、２９２…端子部、３００…配線部、３００Ｂ…青色用配線部、３００Ｒ…赤色用配線部、３００Ｇ…緑色用配線部、３１０…主軸部、３１１…バンプ、３２０…連結軸部、３３０…導通配線、３５０…コンタクト部、３５１…接触頭部、３５２…信号入力パッド、４００…走査線用配線部、４５０…コンタクト部、５００…検査チェッカー。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2006243706.tif 000021
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2006243706.tif 000022
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2006243706.tif 000023
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2006243706.tif 000024
【手続補正２４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2006243706.tif 000025
【手続補正２５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2006243706.tif 000026