(57)【要約】  【課題】  連結された複数個のベローズが横向き、あるいは、縦向きに配置された場合であっても、これら複数個のベローズが自重により垂れ下がってしまうことがなく、略均等に伸縮させることができ、しかも構造が容易なベローズ組立体の連結構造を提供する。  【解決手段】ラックアンドピニオンにより、ベローズを支持するベローズガイドを略同比率で伸縮させるようにした。  【選択図】図１
2006029479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のベローズが、フランジ状のベローズガイドに挟まれる態様で順次連結されることにより所定長さのベローズ組立体が構成され、
互いに隣接しあう２つの前記ベローズガイド間に、ラックアンドピニオンによる力の伝達機構が構成され、
前記ベローズ組立体の移動側の端部から力が加えられた場合に、
前記力の伝達機構を介して前記ベローズ組立体の固定側の端部に同時に力が伝達されることにより、前記複数個の前記ベローズが略均等に伸縮されるようにしたことを特徴とするベローズ組立体の連結構造。
【請求項２】
前記力の伝達機構は、前記ベローズ組立体の外周に対して、略等間隔に配設されていることを特徴とする請求項１に記載のベローズ組立体の連結構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はベローズ組立体の連結構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造装置において使用されるベローズは、伸縮量を多く確保するために、複数個のベローズを連結して使用することが行われている。
このように複数個のベローズを連結して用いると、場合によっては外部真空や縮長時に座屈を生じさせたり、連結部分が撓んでしまう虞がある。これを防止する目的で、ベローズの連結部分に、例えば、スペーサを配設することが行われている。（特許文献１）
ところが、特許文献1のように、連結部分に単にスペーサを介装した場合には、ベロー
ズを縦向きに配置すると、自重により均等に伸縮しなかったり、また、高速で伸縮された際に、伸縮量が設定値を上回って、いわゆる過伸縮が生じることがあった。
【０００３】
一方、特許文献２のように、ベローズを支持する支持体をガイド棒のねじ山に沿って案内するものも提供されている。このような構造であれば、ベローズの配設向きに係らず、所定のピッチで複数個のベローズを伸縮させることが可能になる。
【０００４】
しかしながら、ねじ山に沿って案内するものは、構造が複雑になるという問題があった。
【特許文献１】実開平０５−１７２２６号公報
【特許文献２】特開２０００−１３６９０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明はこのような実情に鑑み、連結された複数個のベローズが横向き、あるいは、縦向きに配置された場合であっても、これら複数個のベローズが自重により垂れ下がってしまうことがなく、略均等に伸縮させることができ、しかも構造が容易なベローズ組立体の連結構造を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明に係るベローズ組立体の連結構造は、
複数個のベローズが、フランジ状のベローズガイドに挟まれる態様で順次連結されることにより所定長さのベローズ組立体が構成され、
互いに隣接しあう２つの前記ベローズガイド間に、ラックアンドピニオンによる力の伝達機構が構成され、
前記ベローズ組立体の移動側の端部から力が加えられた場合に、
前記力の伝達機構を介して前記ベローズ組立体の固定側の端部に同時に力が伝達されることにより、前記複数個の前記ベローズが略均等に伸縮されるようにしたことを特徴としている。
【０００７】
係る構成による本発明によれば、ラックとピニオンとの組み合わせにより、移動側の端部に加えられた力を、固定側の端部に、同時にかつ均等に伝達することができる。過伸縮が生じることはない
さらに、本発明では、前記力の伝達機構は、前記ベローズ組立体の外周に対して、略等間隔に配設されていることが好ましい。
【０００８】
このような構成であれば、連結された複数個のベローズの外周域に略均等に力を作用さ
せることができるので、座屈を引き起こす変形を防止することができる
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るベローズ組立体の連結構造によれば、ラックアンドピニオンにより、入力側すなわち移動側の端部から固定側の端部に至るまで、同時かつ均等に力が作用するので、複数のベローズを略均等に、かつスムーズに伸縮させることができる。
【００１０】
しかも、その構造は容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面に示した実施例を参照しながら本発明について説明する。
図１は、本発明の一実施例によるベローズ組立体の連結構造を示したものである。このベローズ組立体の連結構造２では、６個のベローズＢ１〜Ｂ６が、７つのベローズガイドＧ１〜Ｇ７の間に、それぞれ支持されている。
【００１２】
すなわち、ベローズガイドＧ１とベローズガイドＧ２との間にベローズＢ１が、ベローズガイドＧ２とベローズガイドＧ３との間にベローズＢ２が、ベローズガイドＧ３とベローズガイドＧ４との間にベローズＢ３が、ベローズガイドＧ４とベローズガイドＧ５との間にベローズＢ４が、ベローズガイドＧ５とベローズガイドＧ６との間にベローズＢ５が、ベローズガイドＧ６とベローズガイドＧ７との間にベローズＢ６が、それぞれ支持されている。
【００１３】
一方、これら７つのベローズガイドＧ１〜Ｇ７は、周面に形成されたフランジ部にラックＬ１〜Ｌ７をそれぞれ有している。これらラックＬ１〜Ｌ７のうち両端部のラックＬ１、Ｌ７および、これより一つ内方に入った位置のラックＬ２、Ｌ６は、これらが支持されるベローズガイドＧ１、Ｇ７およびベローズガイドＧ２、Ｇ６との間で、Ｌ字を形成するように、棒状部分の端部がベローズガイドのフランジ部に固結されている。また、ラックＬ３、Ｌ５および中央のラックＬ４は、それぞれベローズガイドＧ３，Ｇ５およびＧ４との間でＴ字を形成するように、棒状部分の中間部がベローズガイドのフランジ部に固結されている。なお、ラックＬ１、Ｌ７およびラックＬ２、ラックＬ６は、略同一長さであるが、他のラックＬ３、Ｌ５およびラックＬ４の長さの略半分の長さに設定されている。
【００１４】
ベローズガイドＧ１〜Ｇ７のうち、両側が２つのベローズガイドに挟まれる態様のベローズガイドＧ２〜Ｇ６は、両端部にそれぞれ１つのラックとピニオンを有しており、これらは連結体の全体として見た場合に、ラックとピニオンが交互になるように配置されている。すなわち、ラックＬ１とラックＬ３の間にピニオンＰ１が配置され、ラックＬ３とラックＬ５の間にピニオンＰ３が配置され、ラックＬ５とラックＬ７の間にピニオンＰ５が配置され、ラックＬ２とラックＬ４の間に、ピニオンＰ２が配置され、ラックＬ４とラックＬ６の間にピニオンＰ４が配置されている。
【００１５】
なお、ベローズＢ１〜Ｂ６は、断面が円環状であっても、角形であってもよいが、図１の構造では、ベローズおよびベローズガイドが円環状のものを例示している。そして、ベローズ連結体の内部を中心線Ａ−Ａ方向で仮に上の部分と下の部分に仕切ったとすると、図１から明らかなようにラックＬ３、ラックＬ５、ラックＬ７のグループと、ラックＬ２、ラックＬ４、ラックＬ６のグループが、対称関係をなすように配置されている。
【００１６】
このようなベローズ組立体における力の伝達について、先ず概要を説明し、その後、詳細な力の伝達について説明する。
先ず、ベローズ組立体は、全体が固定側に向かって同時に移動するものであるため、以下の説明の中で方向を示す記載は、隣接するものから見たときの変化を示している。
【００１７】
すなわち、本実施例では、ベローズガイドＧ１からベローズガイドＧ７に向かって左向きの力Ｆを移動すると、ベローズ組立体の中心線Ａ−Ａを境に上の部分においては、ラックＬ１では左側、ラックＬ３では右側、ラックＬ５では左側、ラックＬ７では右側にそれぞれ力が作用する。また、中心線Ａ−Ａの下の部分においては、ラックＬ２では左側、ラックＬ４では右側、ラックＬ６では左側の力がそれぞれ作用する。最終の固定端に配置されたベローズガイドＧ７は、移動することはないため、ラックとピニオンとの関係で、これらラックＬ１〜Ｌ７の移動は、ピニオンを介してそれぞれ同時に起こり、ラックＬ１〜ラックＬ７までの全体の長さは、図２に示したように、ベローズガイドＧ1の移動量と比
例して短くなる。これにより、相隣接する２つのベローズガイドＧ１，Ｇ２間、相隣接するベローズガイドＧ２，Ｇ３間、相隣接するベローズガイドＧ３、Ｇ４間、相隣接するベローズガイドＧ４，Ｇ５間、相隣接するベローズガイドＧ５，Ｇ６間、相隣接するベローズガイドＧ６，Ｇ７間は、同じ比率で同時に伸縮する。したがって、２つのベローズガイドに固定された各ベローズＢ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４、Ｂ５、Ｂ６は、同時に同じ割合で伸縮することになる。
【００１８】
以下、詳細な力の伝達について説明する。
先ず、移動側のベローズガイドＧ１側から固定側のベローズガイドＧ７側に向かって力Ｆが作用すると、この力ＦによりラックＬ１が左方向にスライドし、このスライドによりピニオンＰ１が時計方向に回転する。
【００１９】
ピニオンＰ１はベローズガイドＧ２に取付けられているため、ピニオンＰ１の時計方向の回転により、ラックＬ３がラックＬ１と反対方向すなわち右方向にスライドする。
ラックＬ３はベローズガイドＧ３に取付けられているため、ベローズガイドＧ１とベローズガイドＧ２の間隔と、ベローズガイドＧ２とベローズガイドＧ３の間隔が同時に等比率で伸縮する。これにより、ベローズＢ１とベローズＢ２も等比率で伸縮する。
【００２０】
ベローズＢ１とベローズＢ２の伸縮により、ベローズガイドＧ２に固定されたラックＬ２が左方向にスライドしてピニオンＰ２を時計方向に回動させる。
ピニオンＰ２は、ベローズガイドＧ３に取付けられているため、ピニオンＰ２の時計方向の回転により、ラックＬ４もラックＬ２と同じ量だけ、反対方向すなわち右方向にスライドする。
【００２１】
ラックＬ４はベローズガイドＧ４に取付けられているため、ベローズガイドＧ２とベローズガイドＧ３の間隔と、ベローズガイドＧ３とベローズガイドＧ４の間隔が等比率で伸縮する。これにより、ベローズＢ３も、ベローズＢ１とベローズＢ２と同様、同時に等比率で伸縮する。以下、同様にして、ベローズガイドＧ１に加えられた力Ｆで、各ベローズを同時に、等比率で伸縮させることができる。
【００２２】
以上説明したように、本発明に係るベローズ組立体の連結構造２では、各ベローズの連結部分は、ベローズガイドによって連結されており、しかも、これらのベローズガイドには、ベローズの側面を覆うようにラックが一体に取付けられているため、多数のベローズを組付けた場合であっても、これらが垂れ下がってしまうこともない。また、連結体を縦方向に配置した場合であっても、ラックとピニオンで、周囲が囲繞されるので、これらが自重で垂れ下がってしまうことはない。また、ベローズ連結体に急激な力が作用することがあっても、ラックとピニオンの関係で、移動端から固定端に至るまで力が同時に伝達されるので、過伸縮が生じるようなことない。
【００２３】
以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されるものではない。たとえば、上記実施例では、ラックＬ１、Ｌ３、Ｌ５、Ｌ７のグループと
、ラックＬ２、Ｌ４、Ｌ６のグループとは、中心線Ａを境に対称形をなすように配置しているが、これらを２組配置して９０°置きにラックアンドピニオンを配置することもできる。
【００２４】
本実施例においてベローズ６個の際の一例を詳述したが、本発明のベローズ組立体の連結構造における、移動端から固定端に至るまでの力の伝達機構の最小構成単位は、ベローズがｎ個の場合、ベローズガイドの最小必要数はｎ＋１個であり、ラックの最小必要数はｎ個、ピニオンの最小必要数はｎ−１個である。
【００２５】
また、ラックとピニオンとの組み合わせは、上記の構成に限定されない。要は,ラック
とピニオンとの関係で、複数個並べられたベローズガイドを同時にかつ同じ比率で移動させる構造であれば、他の態様を採用することもできる。図３はベローズガイドを３個、ベローズを２個とした場合の例を示している。
【００２６】
この実施例では、３個のベローズガイドＧ１、Ｇ２、Ｇ３の間に２個のベローズＢ１、Ｂ２が連結されている。そして、移動端であるベローズガイドＧ１にはラックＬ１が、固定端であるベローズガイドＧ３にはラックＬ２が、それぞれ取り付けられている。また、中間部のベローズガイドＧ２には、ピニオンＰ１が取り付けられている。
【００２７】
ベローズガイドＧ１からベローズガイドＧ３に向かって力Ｆが作用すると、その力ＦによりラックＬ１が左方向に移動し、このスライドによりピニオンＰ１が時計方向に回転する。ピニオンＰ１はベローズガイドＧ２に取り付けられているため、ピニオンＰ１の時計方向の回転により、ベローズガイドＧ２はラックＬ２に対して相対的に左方向に移動する。これにより、ベローズＢ１とベローズＢ２とが同時に同比率で伸縮する。
【００２８】
このようなベローズ連結体であっても、ラックＬ１，Ｌ２およびピニオンＰ１からなる力の伝達機構が、ベローズ組立体の外周に略等間隔に配設されることが好ましい。例えば、図示したように、中心線Ａ−Ａに対して、上下対称位置に同様にラックとピニオンとを配設することもできる。また、外周に対して９０°置きに配置することもできる。
【００２９】
このような構造であっても、上記実施例と同様に、複数個のベローズを同比率で伸縮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１は本発明の一実施例に係るベローズ組立体の連結構造を示した概略側面図である。
【図２】図２は、図１に示したベローズ組立体の連結構造の移動側から固定側に向かって力を加えた場合の伸縮状態を示した概略断面図である。
【図３】図３は、本発明の他の実施例に係るベローズ組立体の連結構造を示した概略側面図である。
【符号の説明】
【００３１】
２    連結構造
Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４、Ｂ５、Ｂ６    ベローズ
Ｆ    力
Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４、Ｇ５、Ｇ６、Ｇｘ      ベローズガイド
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７、Ｌｙ        ラック
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐｚ        ピニオン
【図１】
2006029479.tif 000003
【図２】
2006029479.tif 000004
【図３】
2006029479.tif 000005