(57)【要約】【課題】  構成がより簡単で、電極を所望の周波数、振幅、パターンで加振し放電加工の加工速度、精度の改善が可能となる放電加工装置を得る。【解決手段】  放電加工装置において、棒状或いはパイプ電極を取付ける電極取付け手段と、この電極取付け手段を少なくともスラスト方向に磁気による非接触駆動させるための電極駆動手段と、この電極駆動手段に指令を与え、放電加工中に電極の繰返し微小動作を行わせるための微小動作目標値設定手段と、を備えた。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状或いはパイプ電極を取付ける電極取付け手段と、
この電極取付け手段を少なくともスラスト方向に磁気による非接触駆動させるための電極駆動手段と、
この電極駆動手段に指令を与え、放電加工中に電極の繰返し微小動作を行わせるための微小動作目標値設定手段と、
を備えた放電加工装置。
【請求項２】
電極及び被加工物間の放電加工状態を検出する加工状態検出手段と、
放電加工状態の制御目標を設定する放電状態目標値設定手段と、
加工状態検出手段により検出された検出値が、放電状態目標値設定手段により設置された目標値に一致するように電極位置を調整する加工制御手段と、
を備え、上記加工制御手段からの電極位置指令と、微小動作目標設定手段からの微小動作指令とを加算し、電極駆動手段に対し操作量を指令することを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項３】
微小動作目標設定手段は、電極を正弦波状に駆動するための正弦波信号を生成し、位置指令とすることを特徴とする請求項１、２に記載の放電加工装置。
【請求項４】
正弦波の周波数は、数百Ｈｚから数ＫＨｚ、振幅は数μｍから数十μｍとすることを特徴とする請求項３に記載の放電加工装置。
【請求項５】
微小動作目標値設定手段において、加工中に加工速度が所定値より低下したならば、電極の微小動作の周波数、振幅、パターンの少なくともひとつ、あるいは複数を修正することを特徴とする請求項１〜４何れかに記載の放電加工装置。
【請求項６】
微小動作目標値設定手段において、加工深さに応じて、電極の微小動作の周波数、振幅、パターンの少なくともひとつ、あるいは複数を修正することを特徴とする請求項１〜４何れかに記載の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、加工液中に加工用電極と被加工物を配置し、加工用電極と被加工物の間に電圧を印加して放電を発生させて加工を行う放電加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
加工液中に加工用電極と被加工物を配置し、それらの間に電圧を印加して放電を発生させ加工を行う放電加工では、安定な加工状態を維持しながら所望の形状を加工するために、加工用電極または被加工物の位置を調整するための駆動装置が構成されている。
この駆動装置は、一般にＡＣモータとボールネジ、あるいはリニアモータなどで構成される。
そして、加工状態は、たとえば加工用電極と被加工物との間の極間電圧を検出し、その検出値が安定な加工状態に相当する目標値と一致するように駆動装置を制御する、いわゆる極間制御系が構成されている。
しかしながら、直径１ｍｍ以下の細穴加工、さらには加工深さが深い加工においては、放電加工特有の不規則な加工状態変動に加え、加工間隙からの加工くずの排出が困難となり、加工速度の低下、加工精度の悪化、電極消耗の増大などの問題が発生する。
すなわち、極間制御系による加工間隙距離の調整だけでは加工速度の低下を招いてしまう。
【０００３】
従来、このような問題に対して、たとえば、パイプ電極を用い水系加工液を２５ｋｇ／ｃｍ２以上の高圧力で加工間隙に供給噴流させ、加工くずを排出しながら加工する方法、、さらに、その改良方法として電極または被加工物に超音波振動を付与しながら、高圧加工液噴流のもとに放電加工することが提案されている。
超音波は、電極の保持側軸、端部からホーン等を介して付与すること、あるいは被加工物の上面から間隔を置いた所定の固定位置で電極軸方向と直角方向から与えること、付与する超音波の周波数は、通常、２０−３０ＫＨｚ、好ましくは５０−１００ＫＨｚ、特殊な場合には１−１０ＭＨｚとすることが述べられている。（例えば特許文献１）
【０００４】
このような高周波での電極加振を行うことは従来の駆動装置では困難であるが、この超音波加振は加工間隙からの加工くず排出を促進できる。
また、この超音波加振は、従来の駆動装置では困難である微小な加工間隙調整が可能となり、短絡状態発生時でも強制的に加工間隙を広げることで不良な放電状態を回避でき、良好な放電状態を維持できる効果がある。
また、上述と同様の効果を狙ったものとして、加工用電極が取り付けられる回転主軸を弾性保持し、また、その主軸の中央に形成したピストンを上下動可能なシリンダー箱内に装着し、ピストンの上下両室に交互に作動流体を供給することで電極を上下動させるものもある。（例えば特許文献２）
【０００５】
【特許文献１】特公平４−５７４５５号公報  （３頁右７行〜右２１行、３頁左１４行〜左３０行、図１、図５）
【特許文献２】特開昭６２−４５２７号公報  （２頁右上１２行〜左下９行、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような超音波を付加して加工を行う放電加工装置にあっては、通常の電極駆動機構に加えて新たに超音波加振機構を設ける必要があり、加工装置の構成が複雑になるという問題があった。
また、得られる超音波周波数は加振機構に用いる超音波発振子の特性により決まるため、加工中に超音波周波数を変化させることが困難であるという問題があった。
また、ピストンとシリンダーにより電極の上下動を行う別の放電加工装置にあっては、ピストンの上下両室に交互に供給する作動流体を制御するため、高速な応答を実現することが困難であり、さらにはミクロン単位の微小な上下動を制御することが困難であるという問題があった。
【０００７】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、構成がより簡単で、電極を所望の周波数で加振でき、しかも電極をミクロン単位の任意パターンで駆動できるようにすることで、放電加工、特に微細放電加工において加工速度、精度の改善が可能となる放電加工装置を得ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る放電加工装置は、棒状或いはパイプ電極を取付ける電極取付け手段と、この電極取付け手段を少なくともスラスト方向に磁気による非接触駆動させるための電極駆動手段と、この電極駆動手段に指令を与え、放電加工中に電極の繰返し微小動作を行わせるための微小動作目標値設定手段と、を備えたものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、電極駆動手段により高速にかつ高精度な電極の繰返し微小動作を実現することができ、超音波加振装置を付加する必要もなく、加工装置の構成が簡単でありながら加工速度、精度の改善が可能となる、といった従来にない顕著な効果を奏するものである。
また、電極駆動手段により高速にかつ高精度な電極の繰返し微小動作を実現することができと同時に、電極駆動手段により加工状態を安定に維持しながら電極の送りを実現でき、加工装置の構成が簡単でありながら加工速度、精度の改善が可能となる、といった従来にない顕著な効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１による放電加工装置の概略構成を表す図である。
図において、電極取付け部２０１に取付けられたパイプ或いは棒状電極１０２は、高速電極駆動部１０１によりスラスト方向（図中のＺ軸方向）に高速駆動される。
また、例えばサーボモータ１０３とボールねじ１０４からなる位置調整駆動部１０５により高速電極駆動部１０１を加工の進行に伴って送ることが可能である。
加工漕１０６には、油系あるいは水系加工液１０７が満たされており、そこに電極１０２と被加工物１０８が対向して配置され、両者間に加工用電源１１０より加工エネルギーが供給されることで放電加工が行われる。
【００１１】
放電加工状態は、加工状態検出部１０９により、例えば極間の平均電圧により検出され、制御装置１１１において、加工状態検出部１０９により検出された検出値が所望の目標値に一致するように、サーボモータ１０３に移動指令を行い、高速電極駆動部１０１の位置を調整することで、電極１０２と被加工物１０８との極間距離を調整する。
以下、これを極間制御系と呼ぶことにする。
また、制御装置１１１からは高速電極駆動部１０１に電極の繰返し微小動作の指令を行い、電極１０２を正弦波状に駆動する。正弦波の周波数は、例えば、数百Ｈｚから数ＫＨｚ、振幅は数μｍから数十μｍの間で選択する。
【００１２】
図２は、高速電極駆動部１０１の構成例である。
図において、電極取付け部２０１のディスク部２０２は、スラスト方向に非接触に支持及び駆動するスラスト電磁石部２０３、２０４に対向して配置されている。
電極取付け部２０１のモータロータ部２０５は、モータステータ部２０６に対向しており、これらにより電極を回転することが可能である。
軸受け部２０７、２０８はハウジング２０９に取付けられており、電極取付け部２０１をＸＹ平面で支持している。
電極取付け部２０１のスラスト方向の位置は、電極取付け部２０１の上部に配置したスラスト方向位置検出部２１３により検出される。
ここでは、詳細な説明はしないが、スラスト方向位置検出部２１３の検出値を利用して、電極取付け部２０１の位置制御系が構成される。
加工エネルギーは、給電ブラシ２１０を介して電極へ供給されるが、絶縁部２１１、２１２により電極取付け部２０１の上部やハウジング２０９とは絶縁されている。
【００１３】
図３は、図１に示す放電加工装置での放電加工状態を制御するための制御系ブロック図である。
図において、放電加工プロセス部３０１の状態量ｙ（放電加工状態の良否に対応する量）は、加工状態検出部３０２で例えば、極間平均電圧の検出量ｙｍとして検出する。
加工制御部３０４では目標値設定部３０３で設定されたサーボ基準電圧である目標値ｒと検出量ｙｍとを比較することにより偏差ｅを求め、偏差ｅがゼロとなるように位置調整駆動装置部３０５への位置指令値ｕｆを求める。
【００１４】
微小動作設定部３０６は、高速電極駆動装置部３０７により電極１０２を、例えば、正弦波状に駆動するための位置指令値ｕｖを生成する。
正弦波の周波数は、数百Ｈｚから数ＫＨｚ、振幅は数μｍから数十μｍの間で選択する。
ところで、目標値設定部３０３、加工制御部３０４、微小動作設定部３０６は、一般的に制御装置１１１にソフトウエアとして実現される。
ソフトウエアによる制御周期をｔｓ、選択された周波数をｆ、振幅をＡとすると
位置指令値ｕｖ(ｔi)は、
ｕｖ(ｔi)＝Ａ・ｓｉｎ(２πｆｔi)          ・・・（式１）
ｔi＝ｉ・ｔｓ、ｉ＝０、１、２、・・・ｎ
で求められる。
すなわち、加工を開始するにあたり、加工内容に適した周波数ｆと振幅Ａをあらかじめ微小動作設定部３０６に設定しておけば、式１により位置指令値ｕｖを求めることが可能である。
【００１５】
また、加工制御部３０４では、例えば、比例＋積分補償を利用すると、位置指令値ｕｆ(ｔi)は、比例ゲインＫｐ、積分ゲインＫｉとすると
ｕｆ(ｔi)＝ｕ１(ｔi) +ｕ２(ｔi)            ・・・（式２）
ｕ１(ｔi)＝Ｋｐｅ(ｔi)
ｕ２(ｔi)＝Ｋｉｕｆ(ｔi-1)
ｔi＝ｉ・ｔｓ、ｉ＝０、１、２、・・・ｎ
で求められる。
すなわち、加工を開始するにあたり、加工内容に適した比例ゲインＫｐ、積分ゲインＫｉを加工制御部３０４に設定しておけば、式２により位置指令値ｕｆを求めることが可能であり、偏差ｅがゼロとなるように位置調整駆動装置が制御される。
【００１６】
以上により、電極１０２の位置Ｍｐは、位置調整駆動装置部３０５により制御される位置と高速電極駆動装置部３０７により制御される位置が加算されたものとなる。
すなわち、電極１０２は微小動作設定部３０６で設定された正弦波状の微小動作を行いながら、偏差ｅがゼロとなるように送り動作が行われる。
また、位置調整駆動装置部３０５は、駆動用サーボアンプと位置調整駆動部１０５とから構成され、高速電極駆動装置部３０７は、駆動用サーボアンプと高速電極駆動部１０１とから構成されている。
【００１７】
このような構成によれば、電極１０２を取付けた電極取付け部２０１のディスク部２０２を、スラスト電磁石部２０３と２０４により吸引しあうことによりスラスト方向に非接触に駆動することができ、さらに電極１０２と同時に駆動しなければならない部分の質量を抑えることができる。
したがって、従来のサーボモータとボールねじからなる駆動系よりも高応答が可能となり、電極１０２を、微小動作設定部３０６からの指令値に基づいて、例えば、数百Ｈｚから数ＫＨｚ、振幅数μｍから数十μｍの正弦波状に駆動することが可能となる。
【００１８】
図４は、図１に示す放電加工装置により実際に微細穴加工を行った結果である。
図４（ａ）は、正弦波状の駆動の振幅を変化させながら加工した場合、図４（ｂ）は、正弦波の周波数を変化させながら加工した場合の貫通に要した時間を示す。
図から明らかなように、正弦波の振幅を３μｍ〜４μｍ、周波数を５００Ｈｚ以上、可能ならば１０００Ｈｚくらいにすれば、加工時間を大幅に短縮することが可能である。
【００１９】
従来の超音波加振においては、加振周波数が加振される対象の機械共振特性にもとづいて決まるため、その加振周波数を任意に変更することは困難である。
それに対して、本構成では、高速電極駆動装置部において位置制御系を構成しているため、高速電極駆動装置部への位置指令を変えることで、容易に駆動周波数を変更することが可能である。
すなわち、このような適切な振動を加えることで、狭い加工間隙から加工くずの排出を効率よく行え、その結果、加工速度が改善される。
また、加工時間が短縮されることから側面での放電発生率を抑えることができ、同じ電極径で加工しても得られる穴径が小さいものとなる。
よって、このような振動を加えることにより加工精度の改善が可能である。
【００２０】
以上では、電極を微小に正弦波状に駆動する場合について述べたが、高速電極駆動装置部の応答帯域を越えるような駆動周波数を指令する場合には、その周波数での高速電極駆動装置部の応答性、すなわちゲイン特性のゲイン低下分を考慮した振幅値を指令することが望まれる場合もある。
また、微小動作設定部３０６に波形記憶部を持たせ、方形波、台形波、三角波など、加工状況に適した任意の微小動作パターンを波形記憶部に記憶させ、その記憶された波形を繰返し呼び出し、位置指令値ｕｖとすることで電極を任意のパターンで微小駆動できる。
【００２１】
なお、図２に示した絶縁部２１１、２１２は、スラスト方向位置検出部２１３に静電容量センサなど電磁気的センサを用いた場合に、加工電源、電磁石、モータなどからの電磁気的ノイズを遮断する上で有効である。
また、スラスト方向位置検出部２１３にレーザ変位計のような光学的センサを用いる場合には、これらの絶縁は必ずしも必要でない。
また、図２ではモータロータ部２０５とモータステータ部２０６からなる電気モータにより電極の回転を実現しているが、エアータービンにより電極の回転を実現しても良い。
【００２２】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２による放電加工装置の概略構成を表す図である。
図において、電極取付け部２０１に取付けられたパイプ或いは棒状電極１０２は高速電極駆動部５０１によりスラスト方向に高速駆動される。
また、加工漕１０６には、油系あるいは水系加工液１０７が満たされており、そこに電極１０２と被加工物１０８が対向して配置され、両者間に加工用電源１１０より加工エネルギーが供給されることで放電加工が行われる。
【００２３】
放電加工状態は、加工状態検出部１０９により、例えば極間の平均電圧により検出され、制御装置１１１において、加工状態検出部１０９により検出された検出値が所望の目標値に一致するように高速電極駆動部５０１への移動指令を求めると同時に、電極１０２を、例えば、式１にもとづいて数百Ｈｚから数ＫＨｚ、振幅数μｍから数十μｍの正弦波状で駆動できるように微小動作指令を求め、それらふたつの指令値を加算し、高速電極駆動部５０１への移動指令とする。
【００２４】
図６は、高速電極駆動部５０１の構成例である。
図において、電極取付け部６０１は永久磁石部６０２を有し、電極取付け部６０１をスラスト方向に非接触に駆動するための電磁石部６０３、６０４が永久磁石部６０２に対抗して配置されている。
電極を回転させるための構成は図２と同様であり、電極取付け部６０１のモータロータ部２０５はモータステータ部２０６に対向して配置されている。
軸受け部２０７、２０８はハウジング６０４に取付けられており、電極取付け部６０１をＸＹ平面で支持している。
電極取付け部６０１のスラスト方向の位置は、電極取付け部６０１の上部に配置したスラスト方向位置検出部２１３により検出される。
加工エネルギーは、給電ブラシ２１０を介して電極へ供給されるが、絶縁部２１１、２１２により電極取付け部６０１の上部やハウジング３０４とは絶縁されている。
【００２５】
図７は、図５に示す放電加工装置での放電加工状態を制御するための制御系ブロック図である。
図において、放電加工プロセス部３０１の状態量ｙは、加工状態検出部３０２で例えば、極間平均電圧の検出量ｙｍとして検出する。
加工制御部３０４では目標値設定部３０３で設定されたサーボ基準電圧である目標値ｒと検出量ｙｍとを比較することにより偏差ｅが求め、偏差ｅがゼロとなるように高速電極駆動装置部７０１への位置指令値ｕｆを求める。
【００２６】
微小動作設定部３０６は、高速電極駆動装置部７０１により電極１０２を、例えば、正弦波状に駆動するための位置指令値ｕｖを生成する。
正弦波の周波数は、数百Ｈｚから数ＫＨｚ、振幅は数μｍから数十μｍの間で選択する。
この場合、実施の形態１と同様に、位置指令値ｕｖは式（１）により求めることが可能である。
すなわち、加工を開始するにあたり、加工内容に適した周波数ｆと振幅Ａをあらかじめ微小動作設定部３０６に設定しておけば、式１により位置指令値ｕｖを求めることができる。
以上により、高速電極駆動装置部３０５への位置指令値Ｕｐは、加算手段７０２により位置指令値ｕｆと位置指令値ｕｖを加算して求められる。
すなわち、電極１０２は微小動作設定部３０６で設定された正弦波状の微小動作を行いながら、偏差ｅがゼロとなるように送り動作が行われる。
なお、目標値設定部３０３、加工制御部３０４、微小動作設定部３０６は、一般的に制御装置１１１にソフトウエアとして実現される。加工制御部３０４、微小動作設定部３０６の実施例は、実施の形態１と同様である。
また、高速電極駆動装置部７０１は詳細を示していないが駆動用サーボアンプと高速電極駆動部５０１とから構成されている。
【００２７】
このような構成によれば、電極１０２を取付けた電極取付け部６０１の永久磁石部６０２を、電磁石部６０３と６０４により吸引しあうことによりスラスト方向に非接触に駆動することができ、さらに、電極１０２と同時に駆動しなければならない部分の質量を抑えることができる。
【００２８】
特に、図２に示した構成ではスラスト方向の駆動ストロークが１ｍｍくらいしか取れないのに対して、数十ｍｍの駆動ストロークを取ることが可能である。
したがって、従来のサーボモータとボールねじからなる駆動系よりも高応答が可能となり、微細穴加工など薄板への加工の場合には、位置調整駆部がなくても高速電極駆動部により極間制御系を実現できると同時に、電極１０２を、例えば、数百Ｈｚから数ＫＨｚ、振幅数μｍから数十μｍの正弦波駆動することが可能となる。
加工速度を大幅に改善できると同時に加工精度の改善が可能である。
【００２９】
以上では、電極を微小に正弦波駆動する場合について述べたが、微小動作設定部３０６に電極の繰返し微小動作の１パターン分を記憶させることで、方形波、台形波、三角波など、加工状況に適した任意の波形パターンで電極を微小駆動できる。
なお、高速電極駆動部５０１は、実施の形態１の高速電極駆動部１０１に用いることが可能である。
また、図６に示した絶縁部２１１、２１２は、スラスト方向位置検出部２１３に静電容量センサなど電磁気的センサを用いた場合に、加工電源、電磁石、モータなどからの電磁気的ノイズを遮断する上で有効である。
スラスト方向位置検出部２１３にレーザ変位計のような光学的センサを用いる場合には、これらの絶縁は必ずしも必要でない。
さらに、図６ではモータロータ部２０５とモータステータ部２０６からなる電気モータにより電極の回転を実現しているが、エアータービンにより電極の回転を実現しても良い。
【００３０】
実施の形態３．
微小動作設定部３０６では正弦波状に駆動する場合の正弦波の周波数、振幅を設定できるとしたが、加工中に加工速度が所定値より低下したならば、電極の微小動作の周波数、振幅、パターンの少なくともひとつ、あるいは複数を修正できるように構成しても良い。
図８は、実施の形態１に対して、加工速度評価部９０１、微小動作設定部３０６に替えて可変微小動作設定部９０２を設けた加工制御系の主要部分を示すブロック図である。
加工速度評価部９０１は、加工中に加工制御部３０４の出力をもとに加工速度を算出し、算出値が所定の加工速度よりも低下したら、可変微小動作設定部に対して電極の微小動作の周波数、振幅、パターンの少なくともひとつ、あるいは複数を修正できるように示す。
【００３１】
図９は、ある加工条件での微細穴加工時に計測された電極送り状況、すなわち加工状況を表したグラフである。
曲線(3)は一定の微小動作を与え続けた結果であり、加工深さが浅いときは加工くずの極間からの排出も比較的容易であり順調に加工が進んでいるが、加工深さが深くなるにしたがって加工速度が低下していることがわかる。
曲線(2)は加工速度が落ちてきた点Ａで微小動作の振幅を加工開始時点より大きくしたものであり、これによって加工速度の低下を抑えることが可能である。
曲線(1)は、初期の加工速度が維持できた場合の理想的な加工曲線である。
また、別の微小振動設定値の変更方法は、この曲線(1)をあらかじめ記憶しておき、その記憶した加工速度よりも遅くなってきたら微小動作設定値を変更するようにしても良い。
【００３２】
図８の構成では、加工速度評価部９０１は加工中に加工制御部３０４の出力をもとに加工速度を算出しているが、位置調整駆動装置部３０５の出力をもとに加工速度を算出することも可能である。
また、これらの構成は実施の形態２に対しても構成でき、同様の加工速度改善の効果を得ることが可能である。
【００３３】
実施の形態４．
さらに別の方法としては、実際の加工深さ、あるいは電極送り量を監視しておき、その値にもとづいて微小動作設定を変更するようにしても良い。
図１０は、実施の形態２に対して、加工深さ評価部９０３、微小動作設定部３０６に替えて可変微小動作設定部９０２を設けた加工制御系の主要部分を示すブロック図である。
加工深さ評価部９０３は加工中に加工制御部３０４の出力をもとに加工深さを算出し、算出値が所定の加工深さよりも深くなったら、可変微小動作設定部に対して電極の微小動作の周波数、振幅、パターンの少なくともひとつ、あるいは複数を修正できるように示す。
図１０の構成では、加工深さ評価部９０３は加工中に加工制御部３０４の出力をもとに加工深さを算出しているが、高速電極駆動装置部７０１の出力をもとに加工深さを算出することも可能である。
また、これらの構成は実施の形態１に対しても構成でき、同様の加工速度改善の効果を得ることが可能である。
なお、変更するパラメータは、正弦波上の駆動の周波数、振幅、さらには正弦波上の駆動にこだわらず台形波など、任意波形の繰返しパターンに変更を行うとことが可能であり、個々の加工に対応して最適な微小動作設定を行うことができ、加工速度、加工精度を改善することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施の形態１による放電加工装置を示す図である。
【図２】実施の形態１における高速電極駆動部を示す断面図である。
【図３】実施の形態１における加工制御系のブロック図である。
【図４】実施の形態１による微細穴加工結果を示すグラフである。
【図５】実施の形態２による放電加工装置を示す図である。
【図６】実施の形態２における高速電極駆動部を示す断面図である。
【図７】実施の形態２における加工制御系のブロック図である。
【図８】実施の形態３における可変微小動作設定のブロック図である。
【図９】実施の形態３における微細穴加工結果を示すグラフである。
【図１０】実施の形態３における可変微小動作設定のブロック図である。
【符号の説明】
【００３５】
２０１  電極取付け部、  １０１  高速電極駆動部、  ３０６  微小動作設定部、  ６０１  電極取付け部、５０１  高速電極駆動部、  １１０  加工状態検出部
３０３  目標値設定部、  ３０４  加工制御部、  ７０２  加算部。
【図１】
2006123108.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006123108.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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