(57)【要約】【課題】  磁気ヘッドスライダの位置決め制御の高精度化を図ることにより、安定したデータの記録再生を実現すること。【解決手段】  回転する磁気ディスク１０１に対して情報を記録再生する磁気ヘッドスライダ２と、この磁気ヘッドスライダ２を支持するサスペンション１と、を備えた磁気ヘッドアッセンブリであって、磁気ディスク１０１の回転に伴って当該磁気ディスク１０１と磁気ヘッドスライダ２との間に流入する空気流量を調整する空気流調整手段３を備えた。【選択図】図１
2006114202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する磁気ディスクに対して情報を記録再生する磁気ヘッドスライダと、この磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションと、を備えた磁気ヘッドアッセンブリであって、
前記磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと前記磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流量を調整する空気流調整手段を備えた、ことを特徴とする磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項２】
前記空気流調整手段を、前記磁気ヘッドスライダの空気流入側に隣設した、ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項３】
前記空気流調整手段は、前記磁気ヘッドスライダの前記サスペンションへの装着面から磁気ディスク対向面までの高さを基準として伸縮自在な伸縮駆動装置を備えた、ことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項４】
前記伸縮駆動装置は、前記磁気ヘッドスライダのメインリセス面の高さを基準として伸縮自在である、ことを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項５】
前記伸縮駆動装置は、前記磁気ディスクに対する前記磁気ヘッドスライダの浮上量に応じて伸縮する、ことを特徴とする請求項３又は４記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項６】
回転する磁気ディスクに対して情報を記録再生する磁気ヘッドスライダと、該磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションと、を備えた磁気ヘッドアッセンブリであって、
前記磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと前記磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流の左右バランスを調整する空気流左右バランス調整手段を備えた、ことを特徴とする磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項７】
空気流左右バランス調整手段は、前記磁気ヘッドスライダの前記サスペンションへの装着面から磁気ディスク対向面までの高さを基準として伸縮自在であって前記磁気ヘッドスライダに流入する空気の流れ方向に向かって並列に配置された複数個の伸縮駆動装置を備えた、ことを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項８】
前記複数の伸縮駆動装置は、前記磁気ヘッドスライダのロールに応じてそれぞれ独立して伸縮する、ことを特徴とする請求項７記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項９】
前記伸縮駆動装置は、圧電素子を備えたことを特徴とする請求項３，４，５，７又は８記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項１０】
回転する磁気ディスクに対して情報を記録再生する磁気ヘッドスライダと当該磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションとを有する磁気ヘッドアッセンブリを備えた磁気ディスク装置であって、
前記磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと前記磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流量を調整する空気流調整手段を備えた、ことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１１】
前記空気流調整手段は、前記磁気ヘッドスライダの空気流入側に隣設され当該磁気ヘッドスライダの前記サスペンションへの装着面から磁気ディスク対向面までの高さを基準として伸縮自在な伸縮駆動装置と、この伸縮駆動装置の伸縮動作を制御する伸縮制御装置と、を備えた、ことを特徴とする請求項１０記載の磁気ディスク装置。
【請求項１２】
前記伸縮制御装置は、前記伸縮駆動装置を前記磁気ヘッドスライダのメインリセス面の高さを基準として伸縮制御する、ことを特徴とする請求項１１記載の磁気ディスク装置。
【請求項１３】
前記伸縮制御装置は、前記ディスクに対する前記磁気ヘッドスライダの姿勢を表す姿勢情報に基づいて前記伸縮駆動装置を伸縮制御する、
ことを特徴とする請求項１１又は１２記載の磁気ディスク装置。
【請求項１４】
前記姿勢情報は、前記磁気ディスクに対する前記磁気ヘッドスライダの浮上量である、ことを特徴とする請求項１３記載の磁気ディスク装置。
【請求項１５】
回転する磁気ディスクに対して情報を記録再生する磁気ヘッドスライダと当該磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションとを有する磁気ヘッドアッセンブリを備えた磁気ディスク装置であって、
前記磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと前記磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流の左右バランスを調整する空気流左右バランス調整手段を備えた、ことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１６】
前記空気流左右バランス調整手段は、前記磁気ヘッドスライダの空気流入側に隣設され当該磁気ヘッドスライダの前記サスペンションへの装着面から磁気ディスク対向面までの高さを基準として伸縮自在であって前記磁気ヘッドスライダに流入する空気の流れ方向に向かって並列に配置された複数個の伸縮駆動装置と、これら複数個の伸縮駆動装置の伸縮動作をそれぞれ独立して制御する伸縮制御装置と、を備えた、ことを特徴とする請求項１５記載の磁気ディスク装置。
【請求項１７】
前記伸縮制御装置は、前記磁気ディスクに対する前記磁気ヘッドスライダの姿勢を表す姿勢情報に基づいて前記複数個の伸縮駆動装置をそれぞれ独立して伸縮制御する、
ことを特徴とする請求項１６記載の磁気ディスク装置。
【請求項１８】
前記姿勢情報は、前記磁気ヘッドスライダのロールである、ことを特徴とする請求項１７記載の磁気ディスク装置。
【請求項１９】
磁気ヘッドスライダの姿勢に応じて、磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと前記磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流量を調整する、ことを特徴とする磁気ヘッドスライダの姿勢制御方法。
【請求項２０】
磁気ディスク装置の駆動状態に応じて、前記磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流量を調整する、ことを特徴とする磁気ヘッドスライダの姿勢制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドアッセンブリ及び磁気ディスク装置かかり、特に、磁気ヘッドスライダの磁気ディスク面に対する姿勢を制御する磁気ヘッドアッセンブリ及び磁気ディスク装置に関する。また、磁気ヘッドスライダの姿勢制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の磁気ディスク装置の高密度記録化及び大容量化に伴い、磁気ヘッドスライダの低浮上化が進んでいる。そして、かかる低浮上化を実現するために、ＡＢＳやサスペンションに関する技術開発が進められている。例えば、特許文献１には、フレキシャの先端部分の軽量化を図り、位置決めの高精度化を図る技術が開示されている。また、特許文献２には、ジンバルの剛性を高めて位置決めの高精度化を図る技術が開示されている。
【０００３】
また、磁気ヘッドアッセンブリ等の製造工程において、磁気ヘッドスライダをサスペンションに取り付けた状態で、基準面に対して当該磁気ヘッドスライダがピッチ方向やロール方向に傾いている程度を測定し、かかる傾き度合いを厳格に管理することにより、低浮上化を実現することも行われている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−３６０３５号公報
【特許文献２】特開平５−１５９２６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、近年では益々磁気ディスク装置の高記録密度化及び大容量化が進み、さらなる安定した低浮上化が要求されている状況にあり、上述した技術では所望の浮上量を確実に維持することは困難である。特に、上述した技術では、積極的に浮上量を制御する技術ではないため、ディスク装置として組み立てた後には、個々の装置の浮上量を適切に設定することができず、浮上量が高すぎることによってディスクに対するデータの記録再生不良が生じたり、逆に浮上量が低すぎることによってクラッシュが発生するといった問題も生じうる。
【０００６】
このため、本発明では、磁気ディスクに対する位置決めの高精度化を図ることにより、安定したデータの記録再生を実現する、ことをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明の一形態は、
回転する磁気ディスクに対して情報を記録再生する磁気ヘッドスライダと、この磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションと、を備えた磁気ヘッドアッセンブリであって、
磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流量を調整する空気流調整手段を備えた、ことを特徴としている。
【０００８】
このとき、上記空気流調整手段は、磁気ヘッドスライダのサスペンションへの装着面から磁気ディスク対向面までの高さを基準として伸縮自在な伸縮駆動装置を備えた、ことを特徴としている。特に、この伸縮駆動装置は、磁気ヘッドスライダのメインリセス面の高さを基準として伸縮自在である。さらに、伸縮駆動装置は、圧電素子を備えたことを特徴としている。
【０００９】
上記構成によると、高精度な伸縮制御が可能な圧電素子を伸縮駆動装置として利用して、当該伸縮駆動装置を磁気ヘッドスライダの高さを基準に、当該スライダよりも突出するよう、あるいは、引っ込むよう伸縮制御することで、磁気ヘッドスライダとディスクとの間に流入する当該磁気ヘッドを浮上させる空気流量を調整することができ、空気量調整手段として作動させることができる。そして、かかる空気流量の調整により、流入空気によって発生するスライダを浮上させる動圧力が変化し、また、流入空気自体がサスペンションに装着された磁気ヘッドスライダの前方端部を押圧する押圧力も変化する。従って、磁気ヘッドスライダの浮上量やピッチ方向の姿勢角を調整することができ、ディスクとの距離を近くすることで高精度な信号の記録再生処理を行うことができると共に、逆に、ディスクに対して浮上量を大きくとることで、距離が近すぎることによるクラッシュを有効に抑制することができる。なお、伸縮駆動装置以外の装置にて上記流入空気量を調整してもよい。
【００１０】
また、上記構成の磁気ヘッドアッセンブリにおいて、空気流調整手段、例えば、伸縮駆動装置を磁気ヘッドスライダの空気流入側に隣設すると望ましい。これにより、磁気ヘッドスライダの高さを基準として、空気流入口の広さを制御することができ、かかる流入空気量を容易かつ確実に制御することができる。例えば、磁気ヘッドスライダの浮上面の形状によって動作は異なるが、伸縮駆動装置を縮めると流入空気量が多くなり浮上量が増加し、伸縮駆動装置を伸ばすと流入空気量が少なくなり、浮上量が減少するよう制御可能となる。
【００１１】
また、伸縮駆動装置は、磁気ディスクに対する磁気ヘッドスライダの浮上量に応じて伸縮する、ことを特徴としている。これにより、磁気ヘッドスライダの浮上量が低くクラッシュの可能性がある場合には、流入空気量を調整して浮上量を増加させることで、クラッシュを回避することができる。一方、浮上量が高すぎて情報記録再生精度が低い場合には、流入空気量を調整して浮上量を減少させて低浮上させることで、精度の高い情報記録再生を実現できる。
【００１２】
また、本発明である磁気ヘッドアッセンブリの他の形態として、
回転する磁気ディスクに対して情報を記録再生する磁気ヘッドスライダと、該磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションと、を備えた磁気ヘッドアッセンブリであって、
磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流の左右バランスを調整する空気流左右バランス調整手段を備えた、ことを特徴としている。
【００１３】
そして、特に、空気流左右バランス調整手段は、磁気ヘッドスライダのサスペンションへの装着面から磁気ディスク対向面までの高さを基準として伸縮自在であって磁気ヘッドスライダに流入する空気の流れ方向に向かって並列に配置された複数個の伸縮駆動装置を備えた、ことを特徴としている。さらに、複数の伸縮駆動装置は、磁気ヘッドスライダのロールに応じてそれぞれ独立して伸縮する、ことを特徴としている。
【００１４】
上記構成にすることにより、並列に分離して位置する伸縮駆動装置をそれぞれ伸縮させることで、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクとの間に流入する空気量を、磁気ヘッドスライダの左右方向における上記伸縮駆動装置の装着列ごとに変化させることができ、これに伴い左右方向の浮上量を変化させることができる。従って、磁気ヘッドスライダのロール方向の姿勢をも制御することができる。このため、磁気ヘッドスライダの現在のロール状態に応じて各伸縮駆動装置をそれぞれ伸縮制御することで、情報記録再生を行うために最適、かつ、クラッシュを抑制できる姿勢に磁気ヘッドスライダを制御することができる。
【００１５】
また、本発明では、磁気ディスク装置をも提供しており、その一形態として、
回転する磁気ディスクに対して情報を記録再生する磁気ヘッドスライダと当該磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションとを有する磁気ヘッドアッセンブリを備えた磁気ディスク装置であって、
磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流量を調整する空気流調整手段を備えた、ことを特徴としている。
【００１６】
そして、空気流調整手段は、磁気ヘッドスライダの空気流入側に隣設され当該磁気ヘッドスライダのサスペンションへの装着面から磁気ディスク対向面までの高さを基準として伸縮自在な伸縮駆動装置と、この伸縮駆動装置の伸縮動作を制御する伸縮制御装置と、を備えた、ことを特徴としている。特に、伸縮制御装置は、伸縮駆動装置を磁気ヘッドスライダのメインリセス面の高さを基準として伸縮制御する、ことを特徴としている。
【００１７】
また、伸縮制御装置は、ディスクに対する磁気ヘッドスライダの姿勢を表す姿勢情報に基づいて伸縮駆動装置を伸縮制御する、ことを特徴としている。このとき、姿勢情報は、磁気ディスクに対する磁気ヘッドスライダの浮上量である、ことを特徴としている。
【００１８】
また、磁気ディスク装置の他の形態として、
回転する磁気ディスクに対して情報を記録再生する磁気ヘッドスライダと当該磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションとを有する磁気ヘッドアッセンブリを備えた磁気ディスク装置であって、
磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流の左右バランスを調整する空気流左右バランス調整手段を備えた、ことを特徴としている。
【００１９】
そして、空気流左右バランス調整手段は、磁気ヘッドスライダの空気流入側に隣設され当該磁気ヘッドスライダのサスペンションへの装着面から磁気ディスク対向面までの高さを基準として伸縮自在であって磁気ヘッドスライダに流入する空気の流れ方向に向かって並列に配置された複数個の伸縮駆動装置と、これら複数個の伸縮駆動装置の伸縮動作をそれぞれ独立して制御する伸縮制御装置と、を備えた、ことを特徴としている。
【００２０】
また、伸縮制御装置は、磁気ディスクに対する磁気ヘッドスライダの姿勢を表す姿勢情報に基づいて複数個の伸縮駆動装置をそれぞれ独立して伸縮制御する、ことを特徴としている。さらに、姿勢情報は、磁気ヘッドスライダのロールである、ことを特徴としている。
【００２１】
上記構成の磁気ディスク装置によると、上述した磁気ヘッドアッセンブリと同様に磁気ヘッドスライダの姿勢制御を行うことができ、特に、制御装置にて積極的に伸縮駆動装置の伸縮制御を行うことで、磁気ディスク装置の作動状態に応じて磁気ヘッドスライダの位置決め制御を高精度に行うことができ、作動状態の安定化を図ることができる。
【００２２】
さらに、本発明では、磁気ヘッドスライダの姿勢制御方法をも提供しており、その一形態として、
磁気ヘッドスライダの姿勢に応じて、磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流量を調整する、ことを特徴としている。
【００２３】
また、磁気ヘッドスライダの姿勢制御方法の別の形態として、
磁気ディスク装置の駆動状態に応じて、磁気ディスクの回転に伴って当該磁気ディスクと磁気ヘッドスライダとの間に流入する空気流量を調整する、ことを特徴としている。
【００２４】
上記磁気ヘッドスライダの姿勢制御方法を磁気ディスク装置にて実現することで、上記同様の作用、効果を得ることができ、磁気ヘッドスライダの位置決め制御の高精度化といった上記目的を達成することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明は、以上のように構成され機能するので、これによると、磁気ヘッドスライダに併設した伸縮駆動装置を伸縮制御することで、磁気ヘッドスライダとディスクとの間に流入する空気量を調整することができ、この流入空気の作用により磁気ヘッドスライダの浮上量や姿勢角を調整することができる。従って、磁気ディスクとの距離を近くすることで高精度な信号の記録再生処理を行うことができると共に、適度な浮上量を保つよう制御することで、クラッシュを有効に抑制することができる。特に、磁気ディスク装置の製造後であっても、上記制御を行うことで、磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションなどの加工精度不良や組み付け不良などを有効に改善することができ、磁気ヘッドスライダの位置決め制御の高精度化を図ることができる、という従来にない優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明は、磁気ヘッドスライダに伸縮自在なアクチュエータを併設することを特徴としている。そして、かかるアクチュエータの伸縮を磁気ヘッドスライダの磁気ディスクに対する位置、姿勢に応じて制御することも特徴としている。これにより、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクとの間に流入する空気量を調整し、磁気ヘッドスライダの浮上量や姿勢角を制御して、安定したデータの記録再生を実現することを目的としている。以下、上記目的を達成するための構成及び動作を、各実施例を参照して詳述する。特に、実施例１では、本発明の基本的な構成及び動作について説明し、他の実施例にてより詳細に構成及び動作を説明する。
【実施例１】
【００２７】
本発明の第１の実施例を、図１乃至図５を参照して説明する。図１は、磁気ヘッドアッセンブリの構成を示す図であり、図２は、磁気ヘッドスライダの浮上作用を説明する説明図である。図３は磁気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す図であり、図４は、アクチュエータの高さを変化させた場合における磁気ヘッドスライダの浮上量のシミュレーション結果を示す。図５は、磁気ヘッドアッセンブリの変形例を説明する図である。
【００２８】
＜構成＞
本発明の特徴は、図１に示す磁気ヘッドスライダ２を支持するサスペンション１（磁気ヘッドアッセンブリ）にある。以下、サスペンション１の構成について詳述する。なお、図１はサスペンション１の先端部分を示す図であり、図１（ａ）は、サスペンション１の先端部分の構成の概略を示す平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００２９】
図１（ａ）に示すように、サスペンション１は、磁気ヘッドスライダ２を先端部付近（図１（ａ）の左側端部）に装着する弾性を有する金属製（例えば、ステンレス）のフレキシャ４と、当該フレキシャ４を固着支持する弾性を有する金属製のロードビーム５と、当該ロードビーム１４の基部に設けられた金属製のベースプレート（図示せず）と、を備えている。そして、ベースプレート（図示せず）は、図３に開示したアーム部１０３に固着支持されている。
【００３０】
そして、フレキシャ４には、略コ字状に切除された溝部が形成され、かつ、先端部分が連結していることにより、ばね性を有するジンバル部４１が形成されており、このジンバル部４１に磁気ヘッドスライダ２が固着されている。そして、ジンバル部４１は、磁気ヘッドスライダ２の装着面とは反対側の面を、図１（ｂ）に示すようにロードビーム５に形成されたディンプル５１（突起状部材）にて一点で支持されている。これにより、磁気ヘッドスライダ２が固着されたジンバル部４１は、ピッチ方向、及び、ロール方向への回転が自在となり、磁気ヘッドスライダ２が外部から受ける力を吸収し、姿勢を安定に制御する働きを有する。
【００３１】
また、フレキシャ４上には、薄膜パターンによる配線部材４２が長手方向に沿って形成されている。具体的に配線部材４２は、ステンレスなどから成るフレキシャ４上に形成されたポリイミド層と、かかる層上にパターン化されて形成された銅層からなるリード導体とにより構成される。そして、リード導体のうち４本は、フレキシャ４の先端側（図１（ａ）で左側）に端子を形成し、磁気ヘッドスライダ２に接続される。また、リード導体のうち２本は、先端側とは反対側、すなわち、ジンバル部４１を形成する溝部近くに端子を形成し、後述するアクチュエータ３に接続される。なお、上記配線部材４２は、フレキシャ４上に直接的に積層するか又はあらかじめ積層したものをフレキシャ４上に貼り合わせることによって形成される。
【００３２】
そして、上述したようにフレキシャ４のジンバル部４１に固着される磁気ヘッドスライダ２は、磁気ディスク１０１に対してデータの記録再生を行う磁気ヘッド素子（図示せず）を備え、略直方体にて構成されている。そして、磁気ヘッド素子が磁気ヘッドスライダ２の先端部側（図１（ａ）の左側端部）に形成されており、磁気ヘッドスライダ２はディスク１０１表面に対して対向するようフレキシャ４に装着されている（図１（ｂ）を参照）。従って、データの記録再生時には、上記磁気ヘッド素子がよりディスク１０１表面に近接するよう、かかる先端部側を後述するようにディスク１０１から低浮上させる構成となっている。
【００３３】
また、本発明においては、フレキシャ４上に、磁気ヘッドスライダ２に隣接されて伸縮可能なアクチュエータ３が備えられている。具体的に、アクチュエータ３は、フレキシャ４から磁気ディスク１０１表面に対して、磁気ヘッドスライダ２の厚み方向に沿って突出するよう備えられている。また、このアクチュエータ３は、例えば、ＰＺＴなどの圧電セラミック（圧電素子）にて形成され、電圧が印加されることにより伸縮する部材である。なお、アクチュエータ３へは、図示しない磁気ディスク装置に搭載されたコントローラからの指令により、所定の制御回路及びリード導体を介して、伸縮に必要な所定の電圧信号が伝達される。
【００３４】
但し、アクチュエータ３は、上記素材にて形成されていることに限定されず、また、伸縮方法も上記方法に限定されない。かかるアクチュエータのように伸縮自在な伸縮駆動装置であればよい。
【００３５】
上記アクチュエータ３についてさらに詳述する。アクチュエータ３は、フレキシャ４のジンバル部４１上であって、当該ジンバル部４１を形成する溝部側に位置して装着される。より具体的には、図１（ａ）に示すように、磁気ヘッドスライダ２の磁気ヘッド素子が形成されている先端側とは反対側の端部（図１（ａ）にて右側に位置する端部）に当接して、あるいは近接して配設されている。なお、このアクチュエータ３は、略四角柱にて形成されており、その長手方向が当接する磁気ヘッドスライダ１の端面に沿って配置されている。そして、アクチュエータ３の長手方向の長さは、当接する磁気ヘッドスライダ２の端面の幅とほぼ同一である。また、ジンバル部４に装着されたときの突出高さＨは、磁気ヘッドスライダ２の厚みｈ、すなわち、磁気ヘッドスライダ２のサスペンション１への装着面から磁気ディスク対向面までの高さｈ、とほぼ同一である（図１（ｂ）を参照）。特に、後述するような浮上面（ＡＢＳ面）を有する磁気ヘッドスライダ２に併設する場合には、メインリセス面と同一の高さに設定されている。なお、かかる形状に対応してアクチュエータ３の突出高さＨが設定されている。
【００３６】
また、アクチュエータ３は、磁気ヘッドスライダ２の厚み方向に沿って伸縮するよう構成されている。図１（ａ）においては、アクチュエータ３の図示されている面が紙面に対して垂直方向に沿って伸縮し、図１（ｂ）においては、アクチュエータ３の下端面が上下方向に沿って伸縮するよう構成されている。特に、本実施例においては、磁気ヘッドスライダ２の厚みｈ（ここでは、メインリセス面）を基準として、当該厚みｈよりも突出するよう伸長したり、あるいは、厚みｈよりも短くなるようよう縮小する。このため、磁気ヘッドスライダ２のデータの記録再生動作時には、アクチュエータ３の突出端部が、磁気ヘッドスライダ２のディスク１０１に対する対向面よりも当該ディスク１０１側に突出した位置まで伸長したり、あるいは、対向面よりもディスク１０１側とは反対側に凹んだ位置まで縮小したりする（後述する図２を参照）。なお、以下では、フレキシャに対する装着面から突出端までのアクチュエータ３自身の伸縮方向の長さをＨとして表す。但し、上記アクチュエータ３の伸縮動作は、磁気ヘッドスライダ２の浮上面の形状により異なる。
【００３７】
ここで、上記フレキシャ４は、上述したようにロードビーム５に固着支持されているが、かかるロードビーム５は、磁気ヘッドスライダ２をディスク１０１方向に押さえつけて浮上量を安定させるための弾性を持っている。従って、ロードビーム５にて、ジンバル部４１に装着された磁気ヘッドスライダ２が磁気ディスク１０１に対して当接するよう押さえつけられるものの、図１（ｂ）に示すように、磁気ディスク１０１が回転することによって磁気ヘッドスライダ２とディスク１０１面上との間には矢印Ｙ１に示す方向に空気が流入し、かかる流入空気によってスライダを浮上させる動圧力が発生する。これにより、磁気ヘッドスライダ２にはロードビーム５の押さえつける力を超える浮上力が発生し、当該ロードビーム５が上方に反るよう弾性変形するため、磁気ヘッドスライダ２がディスク面に対して浮上し、当該ディスク面に対して所定の間隔を設けて支持されることとなる。なお、ロードビーム５には、上述したようにジンバル部４１を押圧するよう突出するディンプル５１が形成されているため、当該ジンバル部４１に装着され浮上している磁気ヘッドスライダ２は、より磁気ディスク１０１面に対して接近する位置に押圧される。
【００３８】
また、ロードビーム５は、先端に向けて幅が狭くなる形状の弾性を有するステンレス鋼板で構成されており、その先端部は、アンロード時にランプ１０６に乗り上がる部分となる。
【００３９】
なお、本実施例におけるサスペンション１をディスク１０１上にロードされた状態で見ると、本発明の特徴となるアクチュエータ３は、ディスク１０１と磁気ヘッドスライダ２との間に流入する空気の経路上であって、磁気ヘッドスライダ２から見て流入空気の流入側に設置されている、と言える。
【００４０】
＜動作＞
次に、図２を参照して、磁気ヘッドスライダ２の浮上原理を、アクチュエータ３の伸縮を考慮して説明する。なお、この図においては、サスペンション１の先端部を簡略化して図示している。また、後に他の実施例にて説明するように、磁気ヘッドスライダ２の実際の浮上面の形状によりアクチュエータ３の伸縮制御高さＨ、及び、磁気ヘッドスライダ２の浮上状態は異なるが、以下では、平面状の浮上面の高さｈを基準としてアクチュエータ３の高さＨを伸縮制御することにより、理論的には以下のように作動することとして説明する。
【００４１】
まず、図２（ａ）は、アクチュエータ３が縮小制御されており、その縮小端部が磁気ヘッドスライダ２の厚みよりも磁気ディスク１０１面から見て引っ込んだ状態（長さＨａ＜ｈ）になっている。かかる場合には、アクチュエータ３が装着されていないときと比較して、磁気ヘッドスライダ２と磁気ディスク１０１との間の空気流入口の広さは変化していない。そして、磁気ディスク１０１が回転すると、当該磁気ディスク１０１と磁気ヘッドスライダ２との間に符号Ａａで示す量の空気が流入し、かかる間に磁気ヘッドスライダ２を上方に浮上させる適度な動圧力が発生し、当該磁気ヘッドスライダ２に符号Ｆａに示す浮上力が付勢される。これにより、ロードビーム５が上方に反るよう弾性変形し、磁気ヘッドスライダ２がディスク１０１に対して浮上された状態で保持される。また、このとき、流入空気によって磁気ヘッドスライダ２の先端部側を斜め上方に押圧する押圧力も付勢される。これによって、磁気ヘッドスライダ２にはディンプル５１を中心とした符号Ｍａに示す回転力も生じ、当該磁気ヘッドスライダ２の先端部がディスク１０１に対して適度に浮上した状態になる。その結果、図２（ａ）に示す場合には、磁気ヘッドスライダ２の先端部が磁気ディスク１０１に対して符号ｈａの高さに浮上された状態で保持され、また、磁気ヘッドスライダ２の磁気ディスク１０１に対するピッチ方向の姿勢角が符号θａに示す角度に保持される。
【００４２】
続いて、図２（ｂ）の場合について説明する。この図においては、アクチュエータ３が伸長制御されており、その伸長端部が磁気ヘッドスライダ２の厚みよりもディスク１０１面側に突出した状態（長さＨｂ＞ｈ）となっている。かかる状態では、ディスク１０１が回転すると、当該ディスク１０１と磁気ヘッドスライダ２との間に符号Ａｂで示す量の空気が流入する。このとき、空気の流入側がアクチュエータ３の伸長分によって遮られているため、流入空気量は上記図２（ａ）の場合と比べて減少する（Ａｂ＜Ａａ）。従って、磁気ヘッドスライダ２を上方に浮上させる動圧力が発生するものの、当該磁気ヘッドスライダ２に付勢される浮上力Ｆｂは上記図２（ａ）に示す場合と比べて減少する（Ｆｂ＜Ｆａ）。また、流入空気量Ａｂが少ないことから、磁気ヘッドスライダ２の先端部側を斜め上方に押圧する押圧力も図２（ａ）の場合と比べて減少し、これにより、磁気ヘッドスライダ２にはディンプル５１を中心とした符号Ｍｂに示す回転力も減少する（Ｍｂ＜Ｍａ）。その結果、図２（ｂ）に示す場合には、磁気ヘッドスライダ２の先端部がディスク１０１に対して、図２（ａ）の場合よりも低い符号ｈｂの高さに浮上された状態で保持され（ｈｂ＜ｈａ）、また、磁気ヘッドスライダ２の磁気ディスク１０１に対するピッチ方向の姿勢角が、図２（ａ）に示す角度θａよりも急勾配な角度θｂに示す角度に保持される（θｂ＞θａ）。これにより、磁気ヘッドスライダ２の磁気ヘッド素子が備えられた先端部がより磁気ディスク１０１に接近した状態に保持される。
【００４３】
続いて、図２（ｃ）の場合について説明する。この図においては、アクチュエータ３の長さＨ（伸縮方向の長さ）が磁気ヘッドスライダ２の厚みｈ（メインリセス面）とほぼ同一の長さＨａであって（Ｈｃ＝ｈ）、アクチュエータ３の伸縮がなされていない場合、あるいは、伸縮されて上記長さＨｃに設定されている場合を例示している。かかる状態では、ディスク１０１が回転すると、当該磁気ディスク１０１と磁気ヘッドスライダ２との間に符号Ａｃで示す量の空気が流入する。この流入空気量は上記図２（ａ）の場合と比べて増加しており（Ａｃ＞Ａａ）、従って、磁気ヘッドスライダ２を上方に浮上させる動圧力により、当該磁気ヘッドスライダ２に付勢される浮上力Ｆｃは上記図２（ａ）に示す場合と比べて増加する（Ｆｃ＞Ｆａ）。また、流入空気量Ａｃが多いことから、磁気ヘッドスライダ２の先端部側を斜め上方に押圧する押圧力も図２（ａ）の場合と比べて増加し、これにより、磁気ヘッドスライダ２にはディンプル５１を中心とした符号Ｍｃに示す回転力も増加する。その結果、図２（ｃ）に示す場合には、磁気ヘッドスライダ２の先端部がディスク１０１に対して、図２（ａ）の場合よりも高い符号ｈｃの高さに浮上された状態で保持され（ｈｃ＞ｈａ）、また、磁気ヘッドスライダ２の磁気ディスク１０１に対するピッチ方向の姿勢角が、図２（ａ）に示す角度θａよりも緩やかな勾配である角度θｃに示す角度に保持される（θｃ＜θａ）。これにより、磁気ヘッドスライダ２の磁気ヘッド素子が備えられた先端部が、より磁気ディスク１０１から離間した状態に保持される。
【００４４】
以上をまとめると、図２（ｂ）の場合のように、アクチュエータ３を伸長制御すると（Ｈｂ＞ｈ）、磁気ヘッドスライダ２の浮上量ｈｂが低下し、また、ディスク１０１に対する角度θｂが急勾配となる。従って、磁気ヘッドスライダ２の磁気ヘッド素子が備えられた先端部がよりディスク１０１に接近した状態に保持されることとなるため、例えば図２（ａ）を基準として、さらにディスク１０１に対するデータの記録再生時や記録再生精度の向上を望む場合には、アクチュエータ３を伸長制御するとよい。なお、このことは、図２（ｃ）に示す状態から、図２（ａ）の状態に移行する場合も同様のことが言える。
【００４５】
また、図２（ｃ）の場合のように、アクチュエータ３をメインリセス面と同一の高さになるよう制御すると（Ｈｃ＝ｈ）、磁気ヘッドスライダ２の浮上量ｈｃが増加し、また、ディスク１０１に対する角度θｃが緩やかな勾配となる。従って、磁気ヘッドスライダ２の磁気ヘッド素子が備えられた先端部がディスク１０１から離間した状態に保持されることとなるため、データの記録再生を行わない場合などの待機状態において磁気ヘッドスライダ２がディスク１０１にクラッシュすることを抑制したり、起動時に迅速な浮上を図る場合には、アクチュエータ３をメインリセス面と同一の高さになるよう縮小制御するとよい。なお、このことは、図２（ｂ）のアクチュエータ３が伸長されていている状態から図２（ａ）の状態に移行する場合も同様のことが言える。
【００４６】
なお、上記では、磁気ディスク１０１と磁気ヘッドスライダ２との間に流入する空気流量を調整する装置として伸縮するアクチュエータ３を例示して説明したが、かかる構成に限定されず、上記流入空気流量を調整するよう作動する装置（空気流調整手段）であればよい。
【００４７】
また、上記では、アクチュエータ３の基準高さが、図２（ｃ）に示すＨｃであることとして説明したが、かかる高さＨｃが、アクチュエータ３に電圧を印加せずに伸縮制御していない状態であることに限定されない。例えば、通常の高さが図２（ａ）に示すようにＨａであり、この状態からＨｂ，Ｈｃなどの高さに伸縮制御する、という構成にしてもよい。
【００４８】
ここで、さらに磁気ヘッドスライダ２の浮上面の形状を具体的に示して、アクチュエータ３の伸縮状態との関係を図３乃至図４を参照して説明する。図３（ａ）に、磁気ヘッドスライダ２の浮上面の形状を示す。また、図３（ｂ）に、図３（ａ）のＡ’−Ａ’断面図を示す。図３（ａ）に示すように、磁気ヘッドスライダ２の浮上面は、当該磁気ヘッドスライダ２の装着面からの厚み（高さ）が最も薄い（低い）メインリセス面２２と、１段高く形成されたシャローリセス面２３と、さらに高く形成されたＡＢＳ面２４と、が形成されている。なお、浮上面の形状については他の実施例にて詳述するが、ここでは、ＡＢＳ面２４からメインリセス面２２までの深さは２．０μｍであり、ＡＢＳ面２４からシャローリセス面２３までの深さは０．２μｍである場合を示す。そして、図３（ｂ）には、アクチュエータ３との高さが、磁気ヘッドスライダ２のメインリセス面と同一である状態を示している。また、図４には、アクチュエータ３の高さを変化させた場合における磁気ヘッドスライダ２の浮上量及びピッチのシミュレーション結果を示している。特に、磁気ディスクの内周（半径１７ｍｍ）、中周（半径２４ｍｍ）、外周（半径３０ｍｍ）の位置における浮上量等を示している。
【００４９】
まず、アクチュエータ３の高さがメインリセス面よりも低い場合には（図４（ａ）参照）、通常の記録再生時における浮上量及びピッチと変化はない。そして、アクチュエータ３の高さがシャローリセス面と同じ場合である図４（ｂ）を見ると、通常の場合よりも浮上量が増え、例えば、中周では約１８倍となる。また、アクチュエータ３の高さがメインリセス面と同じ場合である図４（ｃ）を見ると、さらに浮上量が増え、通常の場合と比較して、中周では約５３倍に増える。そして、ピッチも中周では６倍に増える。
【００５０】
以上のことを考慮すると、磁気ディスクに対する記録再生時には、アクチュエータ３の高さをメインリセス面よりも低く制御するとよい。一方で、磁気ヘッドスライダを磁気ディスクから退避状態（高浮上状態）にする場合には、アクチュエータ３の高さをメインリセス面、あるいは、シャローリセス面と同一の高さに制御するとよい。但し、かかる高浮上状態において磁気ディスクに対するデータ記録再生が可能である場合には、アクチュエータ３の高さをメインリセス面と同一にしたり、あるいは、シャローリセス面と同一にするなど、伸縮制御することによって、高浮上状態を維持しつつ、磁気ヘッドスライダ２の浮上量を調節することも可能である。このようにすることで、磁気ヘッドスライダ２のクラッシュを抑制しつつ、記録再生の高精度化を図ることができる。
【００５１】
＜変形例＞
ここで、上記では、アクチュエータ３の伸縮方向の長さの変化により磁気ヘッドスライダ２と磁気ディスク１０１との間の流入空気量が変化するため、これにより変化する磁気ヘッドスライダ２の浮上力によりロードビーム５の弾性変形の度合いをも変化させると説明したが（浮上力Ｆｂ＜Ｆａ＜Ｆｃ）、ロードビーム５の剛性を高め、アクチュエータ３の伸縮に伴う空気量の変化では弾性変形量は変化しない、という構成にしてもよい。その様子を、図５に示す。なお、この図において、矢印Ａｒは、磁気ディスク１０１の回転により磁気ヘッドスライダ２と磁気ディスク１０１との間に流入する空気の流れ方向を示している。
【００５２】
図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）ともに、一定の流入空気量によってロードビーム５が弾性変形して磁気ヘッドスライダ２がディスク１０１に対して一定量だけ浮上する。但し、アクチュエータ３の伸縮によって流入空気量が変化しても、ロードビーム５の剛性により、それ以上の浮上量の変化はない。すなわち、ディスク１０１に対するロードビーム５の高さは、一定である（ｈ’ａ＝ｈ’ｂ＝ｈ’ｃ）。
【００５３】
そして、ロードビーム５のディンプルを中心とした磁気ヘッドスライダ２の回転力のみが働き（図５のＭａ，Ｍｂ，Ｍｃ）、これによって上述同様に磁気ヘッドスライダ２のピッチ方向の姿勢角が変化することとなる。すなわち、上述したように、流入空気量の変化によって、磁気ヘッドスライダ２の先端部側を押圧する押圧力が変化するため、当該磁気ヘッドスライダ２のピッチ方向の姿勢角が変化することとなる（図５において、θｃ＜θａ＜θｂ）。これにより、磁気ヘッドスライダ２の先端部に形成された磁気ヘッド素子のディスク１０１に対する距離を制御することも可能である。
【実施例２】
【００５４】
次に、本発明の第２の実施例を、図６乃至図８を参照して説明する。図６は、磁気ディスク装置の構成を示す図である。図７は、磁気ヘッドスライダの構成及びアクチュエータの動作状態を示す図である。図８は、本実施例における磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【００５５】
＜構成＞
まず、本実施例おけるサスペンション１を装備した磁気ディスク装置１００の全体構成を説明する。なお、特に本実施例においては、磁気ヘッドスライダ２の磁気ディスク１０１に対向する面、すなわち、ディスク１０１に対する浮上面が、後述するように特定の形状となっている場合を説明する。
【００５６】
本発明における磁気ディスク装置１００は、一般的な磁気ディスク装置とほぼ同様の構成である。図６に示す磁気ディスク装置１００の概略図を参照して詳述すると、磁気ディスク装置１００は、主に、磁気ディスク１０１と、この磁気ディスク１０１を回転駆動するスピンドルモータ１０２と、磁気ディスク１０１に対してデータを記録再生する磁気ヘッドスライダ２と、この磁気ヘッドスライダ２を先端部に保持する磁気ヘッドアッセンブリであるサスペンション１と、このサスペンション１を支持すると共に駆動するアーム部１０３と、を備えている。
【００５７】
また、このアーム部１０３を駆動して、その先端部に位置する磁気ヘッドスライダ２をディスク面上に沿って往復回動せしめるアーム駆動回路１０４と、磁気ディスク１０１に対して磁気ヘッドスライダ２を介してデータの記録再生を実行するリードライト回路１０５と、磁気ディスク装置１００全体の動作を制御するコントローラ１１０（制御部）と、を備えている。
【００５８】
さらに、本実施例における磁気ディスク装置１００は、磁気ディスク１０１の外部（あるいは再外周の上部）に傾斜部材からなるランプ１０６が設けられており、磁気ディスク１０１の回転が停止しているときや低回転時などにおいては、サスペンション１の先端部がランプ１００６上に乗り上げて、磁気ヘッドスライダ２がディスク面に接触しないよう待避された状態とするロード／アンロード方式を採っている。
【００５９】
なお、磁気ディスク装置１００には、図６には図示しない構成も、もちろん備えられているが、通常の磁気ディスク装置が備えている構成についてはその説明は省略する。以下、本実施例において、特に特徴となる構成について詳述する。
【００６０】
＜磁気ヘッドスライダ及びアクチュエータ＞
磁気ヘッドスライダ２の構成を、図７を参照して説明する。図７（ａ）に、本実施例における磁気ヘッドスライダ２の浮上面の形状を示す。また、図７（ｂ）に、図７（ａ）のＢ−Ｂ断面図を示す。また、図７（ｃ）には、アクチュエータ３が伸縮した様子を示す。
【００６１】
図７（ａ）において、磁気ヘッドスライダ２の左側端部がサスペンション１に取り付けられたときの先端部側となるが、この先端部側には磁気ディスク面に対してデータの記録再生を実行する磁気ヘッド素子２１が装備されている。また、後端部側には空気量流調整手段としてのアクチュエータ３が隣接して装備されている。そして、この図に示すように、磁気ヘッドスライダ２の浮上面には凹凸部が形成されており、先端側の大部分、及び、中央部分は、磁気ヘッドスライダ２自体の厚さがもっとも薄く形成されており、メインリセス面２２が形成されている（メインリセス面２２の高さ：ｈ０）。また、後端部側から先端部側に向かって開口するよう略コ字状の凸状部が設けられており、シャローリセス面２３が形成されている（シャローリセス面２２の高さ：ｈ１）。さらには、後端部側には、シャローリセス面２３よりも突出した略台形のＡＢＳ面２４が２つに分離して形成されている（ＡＢＳ面２２の高さ：ｈ２）。なお、上記浮上面の形状については、一般的な磁気ヘッドスライダ２にて採用されているので、その詳細な説明は省略する。
【００６２】
そして、本実施例において、アクチュエータ３は、磁気ヘッドスライダ２がデータ記録再生を行う場合と上空待機時の場合とにおいて所望の浮上量になるよう、メインリセス面２２の高さｈ０を基準として伸縮制御されるよう設定されている。そして、その伸縮長さは、シミュレーションによる結果から予め設定されており、かかる形状の浮上面の場合には、以下のように設定されている。
【００６３】
まず、磁気ディスク１０１に対してデータの記録再生を行わずに当該磁気ディスク１０１上空で待機する状態、すなわち、最大浮上量を得たい場合には、アクチュエータ３の高さＨをメインリセス面２２の高さｈ０と等しくする（Ｈ＝ｈ０）。なお、このときのアクチュエータ３の高さＨをＨ０にて示す。また、データの記録再生時、すなわち、磁気ヘッドスライダを下降させてデータ記録再生可能なよう磁気ディスク１０１面に対して近接させる場合には、アクチュエータ３の高さＨをメインリセス面２２の高さｈ０より短くする（Ｈ＜ｈ０）。なお、このときのアクチュエータの高さＨをＨ１にて示す。これにより、待機時には、磁気ヘッドスライダ２を不要に磁気ディスク１０１面に近接することなく、クラッシュを有効に抑制することができ、記録再生時には、磁気ディスク面に近接させることができ、精度よく記録再生が可能となる。
【００６４】
＜コントローラ（制御部）＞
次に、磁気ディスク装置１００の動作を制御するコントローラ１１０の構成について説明する。
【００６５】
コントローラ１１０は、装置全体の各構成部分の動作を制御するＣＰＵ６と、ＣＰＵ６による制御時に利用されるデータが記憶されたＥＥＰＲＯＭなどのメモリ７とが備えられている。また、ＣＰＵ６からの指令に従って、ディスク１０１を回転駆動するスピンドルモータ１０２の回転状態を制御するスピンドルモータ制御回路１１１と、磁気ヘッドスライダ２の位置決めを行うアーム駆動回路１０４を制御する位置決め制御回路１１２と、ディスク１０１に対して記録再生される情報を制御するデータ制御回路１１３と、ディスク１０１に記録再生されるデータの変調を行って当該ディスク１０１とのデータのやりとりを可能とする信号変調回路１１４と、を備えた構成となっている。ここで、一般的な磁気ディスク装置が備えている各構成についてはその詳細な説明を省略する。以下、主にＣＰＵ６の構成について詳述する。
【００６６】
ＣＰＵ６には、予めメモリ７などに記憶され用意された磁気ヘッドスライダの姿勢制御用プログラムが組み込まれることで、磁気ディスク装置１００の駆動状態、特に、磁気ディスク１０１上における磁気ヘッドスライダ２の動作を検出するスライダ動作取得処理部と、アクチュエータ３の伸縮動作を制御する伸縮制御処理部（伸縮制御装置）と、が構築されている。なお、ＣＰＵ６には、もちろんこのほかにも磁気ディスク１０１に対してデータの記録再生を行うための各処理部が構築されており、各回路などを制御する機能が備えられているが、一般的な磁気ディスク装置に備えられている機能についてはその詳細な説明は省略し、以下では、上記各処理部について詳述する。
【００６７】
上記スライダ動作取得処理部は、磁気ディスク装置１００の駆動状態を検出するが、特に、磁気ヘッドスライダ２が浮上を開始するロード動作を検出する浮上動作検出機能を有している。なお、この浮上動作検出機能は、磁気ヘッドスライダ２をランプ１０６に待避するアンロード動作をも検出する機能をも有する。また、このスライダ動作取得処理部は、磁気ディスク装置１００の駆動状態である磁気ディスク１０１に対するデータの記録再生処理を行うか否か、を検出する記録再生動作検出機能をも有する。逆に言うと、磁気ヘッドスライダ２が記録再生を行わず、磁気ディスク上空を高く浮上して待機するか否か、ということも検出できる。なお、上記各検出機能による処理は、ＣＰＵ６内に構築された図示しない位置決め制御処理部などから、磁気ヘッドスライダ２のロード動作やアンロード動作が開始される旨の情報を取得したり、読み書き指令を表す情報を取得することで実行される。そして、上記動作を検出すると、伸縮制御処理部にその旨を通知する。
【００６８】
そして、伸縮制御処理部は、スライダ動作取得処理部からの通知に応じて、アクチュエータ３の伸縮制御を行う。このとき、伸縮制御動作は、スライダ動作取得処理部からの通知内容に応じて予め設定されており、かかる動作指令が伸縮制御処理部に組み込まれている。その伸縮動作内容としては、例えば、上記浮上動作検出機能によって磁気ヘッドスライダ２の浮上が開始される、すなわち、磁気ヘッドスライダ２のロード動作が開始されることが検出されたときには、アクチュエータ３の伸縮方向の高さＨをＨ＝Ｈ０、すなわち、メインリセス面２２と同じ高さ（Ｈ＝ｈ０）となるように制御するよう設定されている。また、磁気ヘッドスライダ２のアンロード動作時も同様に、Ｈ＝Ｈ０となるように制御するよう設定されている。さらに、上記記録再生動作検出機能によって磁気ディスク１０１に対して情報記録再生を行うことが検出されたときには、アクチュエータ３の伸縮方向の高さＨをＨ＝Ｈ１、すなわち、メインリセス面２２の高さｈ０よりも短くなるように制御するよう設定されている（Ｈ＜ｈ０）。一方、情報記録再生を行わずに待機状態であることが検出されたときには、アクチュエータ３の伸縮方向の高さＨをＨ＝Ｈ０、すなわち、メインリセス面２２と同じ高さ（Ｈ＝ｈ０）となるように制御するよう設定されている。
【００６９】
なお、上記設定長さ、すなわち、各アクチュエータ３の長さに制御するために当該アクチュエータ３に印加する電圧値は、予め伸縮制御処理部に組み込まれていたり、あるいは、メモリ７に記憶されている。なお、上述した各動作に応じて設定されるアクチュエータ３の長さＨの値も、メモリ７に記憶されていてもよい。
【００７０】
そして、伸縮制御処理部は、スライダ動作取得処理部からの通知内容に基づいて設定されたようにアクチュエータ３の長さＨに相当する印加電圧値に基づいてアクチュエータ３に電圧を印加し、伸縮制御する。
【００７１】
＜動作＞
次に、本実施例における磁気ディスク装置１００の動作、特に、磁気ヘッドスライダ２の姿勢制御動作を、図８のフローチャートを参照して説明する。
【００７２】
まず、スライダ動作取得処理部にて、磁気ヘッドスライダ２がディスク１０１上にロードされることを検出する（ステップＳ１にて肯定判断）。すると、スライダ動作取得処理部がその旨を伸縮制御処理部に通知し、当該伸縮制御処理部にてアクチュエータ３の伸縮制御指令がなされる（ステップＳ２）。ここでは、アクチュエータ３の長さＨをメインリセス面２２の高さｈ０と同一の高さＨ０に伸縮するための電圧値を印加する、あるいは、アクチュエータ３を現在の長さに保つための印加電圧を停止する、などの指令がなされる。そして、図５（ｂ）に示すように、Ｈ＝Ｈ０＝ｈ０となると、磁気ヘッドスライダ２の浮上量が増大し、磁気ディスク面との距離が大きくなる。このため、起動時などにおいてクラッシュの発生を抑制して安定して磁気ヘッドスライダ２をディスク１０１上にロードすることができる。また、磁気ヘッドスライダ２の浮上の迅速化、すなわち、磁気ディスク装置の起動の高速化も図ることができる。
【００７３】
続いて、一定の周期（例えば、０．１秒間隔）にて、磁気ヘッドスライダ２にてディスク１０１に対してデータの記録再生処理が行われるか否かの検出が行われる。例えば、リードライト回路１０５などの記録再生動作検出手段として機能する回路から、データの記録再生指令があるかないか、といったことを検出する（ステップＳ３）。
【００７４】
そして、磁気ディスク１０１に対するデータの記録再生を行うことを検出した場合にはデータ記録再生時である旨を、逆に、検出しなかった場合には待機時である旨を、それぞれ伸縮制御処理部に通知する。
【００７５】
伸縮制御処理部は、上記通知内容に応じて予め設定されている長さにアクチュエータ３を伸縮させる電圧を印加する指令を、位置決め制御回路１１２などを介して出力する。すなわち、記録再生時である旨の通知を受けた場合には（ステップＳ３にて肯定判断）、アクチュエータ３の長さＨが例えばＨ＝Ｈ１となるよう伸縮制御し（ステップＳ４）、待機時である旨の通知を受けた場合には（ステップＳ３にて否定判断）、アクチュエータ３の長さＨが例えばＨ＝Ｈ０となるよう伸縮制御する（ステップＳ５）。なお、アクチュエータ３の制御目標長さが現在の長さＨと同一である場合には、そのまま維持する。これにより、実際にアクチュエータ３が伸縮し、磁気ヘッドスライダ２の浮上量及び姿勢角を、各動作に応じて的確に制御することができる。特に、待機時には浮上量が大きくなるため、クラッシュの発生を有効に抑制することができ、磁気ディスク装置の信頼性の向上を図ることができ、記録再生時には低浮上状態となるため、記録再生精度の向上を図ることができる。
【００７６】
その後、記録再生時、あるいは、待機時に応じた磁気ヘッドスライダ２の浮上量制御を、スライダ動作取得処理部がアンロード動作を検出するまで繰り返し実行する（ステップＳ６にて否定判断）。一方、スライダ動作取得処理部がアンロード動作を検出すると（ステップＳ６にて肯定判断）、その旨を伸縮制御処理部に通知する。すると、伸縮制御処理部にてアクチュエータ３の高さＨが例えばＨ＝Ｈ０となるよう伸縮制御指令がなされる（ステップＳ７）。従って、上述したロード時の動作と同様に、磁気ヘッドスライダ２の浮上量を大きく制御することができるため、当該磁気ヘッドスライダ２を確実に浮上させて、アンロードを容易に行うことが可能となる。
【００７７】
ここで、本実施例におけるアクチュエータ３の高さＨと磁気ヘッドスライダ２の高さｈとの関係に基づく当該磁気ヘッドスライダ２の浮上量は、シミュレーション結果に基づくものであり、実施例１にて説明した内容と異なる部分があるが、これは本実施例にて例示した磁気ヘッドスライダ２の浮上面が複雑な形状を採っていることによる。このように、浮上面の形状に応じて所望の浮上量を得るためのアクチュエータ３の伸縮制御手法が異なるが、いずれにしても、磁気ディスク１０１と磁気ヘッドスライダ２との間を流入する空気量を調整することで磁気ヘッドスライダ２の浮上量を制御することが可能であるため、本発明の技術的意義は明らかである。
【００７８】
＜変形例＞
ここで、上述した磁気ディスク装置１００は、ロード／アンロード方式を採用するものであったが、磁気ヘッドスライダ２をディスクの回転停止時に当該ディスク面上に接触させておくＣＳＳ方式を採用する装置であってもよい。かかる場合には、上述したスライダ動作取得処理部が、ディスクの回転開始を検出することにより磁気ヘッドスライダ２の浮上開始を検出し、その旨を伸縮制御処理部に通知する機能を有している。かかる構成の磁気ディスク装置の動作を、以下に説明する。
【００７９】
まず、スライダ動作取得処理部にて、磁気ディスク１０１が回転を開始するなど、ディスク装置が起動することが検出される。すると、スライダ動作取得処理部がその旨を伸縮制御処理部に通知し、当該伸縮制御処理部にてアクチュエータ３の高さＨがＨ＝Ｈ０となるよう伸縮制御指令がなされる。これによりアクチュエータ３の長さがメインリセス面２２の高さｈ０と同一になり、上述したように、磁気ヘッドスライダ２の浮上量を大きくするよう制御することができるため、磁気ヘッドスライダの浮上を迅速に行うことができ、起動時間の短縮化を図ることができる。さらに、磁気ヘッドスライダ２が回転中の磁気ディスク１０１と接触している時間を軽減でき、当該磁気ヘッドスライダ２や磁気ディスク１０１の損傷を抑制することができる。そして、その後は、上述したロード・アンロード方式の磁気ディスク装置と同様に作動する。
【実施例３】
【００８０】
次に、本発明の第３の実施例を、図９乃至図１２を参照して説明する。図９は、本実施例におけるアクチュエータの伸縮制御状態を示す説明図である。図１０はＣＰＵの構成を示す機能ブロック図であり、図１１は、メモリに記憶されているデータの内容を示す説明図である。図１２は、磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【００８１】
＜構成＞
本実施例における磁気ディスク装置１００は、上記実施例２におけるものとほぼ同様である。そして、本実施例では、さらに、アクチュエータ３が磁気ディスク１０１に対してデータ記録再生時の磁気ヘッドスライダ２の姿勢、具体的に、浮上量に応じて伸縮させ、当該磁気ヘッドスライダ２の浮上量を調整する、ことに特徴を有する。以下では、まず、アクチュエータ３の長さに応じた磁気ヘッドスライダ２の浮上特性と、アクチュエータ３の制御手法を説明する。
【００８２】
＜磁気ヘッドスライダ及びアクチュエータ＞
本実施例における磁気ヘッドスライダ２は、上記実施例２で図７を参照して説明したものと同様の浮上面形状を有している。そして、図７（ａ）のＡ−Ａ断面図を元にして、アクチュエータ３を伸縮させたときの様子を図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す。
【００８３】
そして、本実施例においては、実施例２にて説明したように、データ記録再生時に上空待機状態から、図９（ａ）（図７（ｃ）と同図）に示すようにアクチュエータ３の長さＨをメインリセス面２２の高さｈ０よりも短くし（Ｈ＝Ｈ１＜ｈ０）、データ記録再生可能なよう下降させた状態における磁気ヘッドスライダ２の浮上状態を、さらに微調整するものである。なお、磁気ヘッドスライダ２の浮上量とアクチュエータ３の伸縮長さとの関係は、シミュレーションにて算出しており、その結果を考慮して、以下に示すように磁気ヘッドスライダ２が所望の浮上量となるよう、アクチュエータ３の長さを設定制御可能な構成となっている。
【００８４】
まず、図９（ａ）に示すように、Ｈ＝Ｈ１と設定したときには、磁気ヘッドスライダ２は磁気ディスクに対してデータ記録再生可能な位置に浮上することとなるが、かかる浮上位置を「標準浮上位置」と呼ぶこととする。そして、図９（ｂ）に示すように、アクチュエータ３の高さＨを、メインリセス面２２の高さｈ０よりも高く、かつ、シャローリセス面２３の高さｈ１よりも低い高さＨ２に設定した場合には（ｈ０＜Ｈ２＜ｈ１）、標準浮上位置よりも高く磁気ヘッドスライダ２が浮上することとなる。従って、後述するように、磁気ヘッドスライダ２の浮上量を検出した結果、クラッシュの可能性があるほど低すぎる場合には、Ｈ＝Ｈ２にアクチュエータ３の高さを伸縮制御することで、標準浮上位置よりも高い位置に浮上させることができる。また、図９（ｃ）に示すように、アクチュエータ３の高さＨを、シャローリセス面２３の高さｈ１よりも高い高さＨ３に設定した場合には（ｈ１＜Ｈ３）、磁気ヘッドスライダ２の浮上量を小さくすることができる。従って、磁気ヘッドスライダ２の浮上量が高すぎると判断した場合には、Ｈ＝Ｈ３にアクチュエータの高さを伸縮制御することで、標準浮上位置よりも磁気ディスク１０１に対して下降させることができ、データ記録再生を確実に実行することができる。
【００８５】
＜コントローラ（制御部）＞
次に、コントローラ１１０の構成について、図１０を参照して説明する。コントローラ１１０の基本構成は、上記実施例１のものと同様であるものの、動作を制御するＣＰＵ６が有する機能が異なる。図１０に、ＣＰＵ６とメモリ７の構成を示す機能ブロック図を示すが、この図に示すように、ＣＰＵ６には、予めメモリ７などに記憶され用意された磁気ヘッドスライダの姿勢制御用プログラムが組み込まれることで、当該図１０に示す各処理部６１〜６４が構築される。すなわち、ＣＰＵ６には、磁気ディスク１０１上における磁気ヘッドスライダ２の動作を検出するスライダ動作取得処理部６１と、磁気ディスク１０１に対する磁気ヘッドスライダ２の姿勢を表す姿勢情報を取得する姿勢情報取得処理部６２と、姿勢情報に基づいてアクチュエータ３の長さを決定する長さ決定処理部６３と、アクチュエータ３の伸縮動作を制御する伸縮制御処理部６４と、が構築されている。なお、上記スライダ動作取得処理部６１及び伸縮制御処理部６４は実施例１にて説明したものとほぼ同様の機能を備えているので、以下では、特に、姿勢情報取得処理部６２及び長さ決定処理部６３について詳述する。
【００８６】
上記姿勢情報取得処理部６２は、磁気ヘッドスライダ２にて磁気ディスク１０１から再生した再生信号の出力電圧値を、磁気ヘッドスライダ２の姿勢情報として取得する。このとき、上記再生信号の出力電圧値は、リードライト回路１０５から、あるいは、信号変調回路１１４やデータ制御回路１１３を介して取得する。従って、これらの回路１０５，１１４，１１３が、磁気ヘッドスライダ２の姿勢を表す姿勢情報を検出して当該姿勢情報を姿勢情報取得処理部６２に通知する姿勢情報検出手段として機能する。但し、姿勢情報検出手段は、新たな回路などの検出装置を別途設けることで実現してもよい。また、再生信号の出力電圧値は姿勢情報の一例であって、後述するように、他の情報を姿勢情報として異なる姿勢情報検出手段にて検出してもよい。
【００８７】
また、上記長さ決定処理部６３は、姿勢情報に応じて予め設定されたアクチュエータの長さを表す長さマップデータと、上記取得した姿勢情報とに基づいて、アクチュエータ３の制御目標長さを決定する。ここで、長さマップデータは、メモリ７内の長さマップ記憶部７１に記憶されている。この長さマップデータの一例を図１１を参照して説明する。
【００８８】
図１１（ａ）に示す長さマップデータは、横軸に再生信号の出力電圧値を取り、縦軸にアクチュエータ３の長さを取る。また、この長さに対応したアクチュエータ３に印加する付加電圧データも、別途メモリ７に記憶されている（図示せず）。そして、このマップでは、再生信号の出力電圧Ｖｒが、例えば、９．５ｍＶ≦Ｖｒ≦１０．５ｍＶの範囲に位置している場合を適切なデータ記録再生を実現できる浮上量に位置していることとして設定しており、かかる範囲以外の場合に、アクチュエータ３の長さＨを変更するよう設定されている。
【００８９】
具体的には、Ｖｒ＜９．５ｍＶの場合には出力電圧が小さいことから、図１１（ａ−１）の左図に示すように、磁気ヘッドスライダ２の磁気ヘッド素子がディスク１０１表面からデータ記録再生を確実に行うには不十分な距離に離間していると想定されるため、磁気ヘッドスライダ２の浮上量を小さくして磁気ディスク１０１に近接させる必要がある。従って、アクチュエータ３の長さＨを図９（ｃ）に示すように、シャローリセス面２３の高さｈ１よりも長くなるようＨ３に設定すべくマップデータが形成されている。また、Ｖｒ＞１０．５ｍＶの場合には出力電圧が大きすぎることから、図１１（ａ−２）の左図に示すように、磁気ヘッドスライダ２の磁気ヘッド素子がディスク１０１表面に対して近距離に位置していると想定されるため、磁気ヘッドスライダ２を浮上させて先端部をディスク１０１から離間させる必要がある。従って、アクチュエータ３の長さＨを図９（ｂ）に示すように、メインリセス面２２の高さｈ０よりも長く、かつ、シャローリセス面２３の高さｈ１よりも短くなるようＨ２に設定すべくマップデータが形成されている。
【００９０】
そして、９．５ｍＶ≦Ｖｒ≦１０．５ｍＶの場合には、すでに適正なデータ記録再生が実現できている浮上位置であり、アクチュエータ３の伸縮方向の長さは図９（ａ）に示すようにメインリセス面２２の高さｈ０よりも短いＨ１であると考えられるため、かかる長さに維持するよう長さマップデータに設定されている。なお、仮に、実際のアクチュエータ３の長さがＨ１とは異なっている場合には、長さマップデータに基づいて微調整としてアクチュエータ３の長さＨをＨ１に設定制御されてもよい。また、出力値が９．５ｍＶ≦Ｖｒ≦１０．５ｍＶの場合に、現在のアクチュエータ３の長さＨをＨ１とするようＣＰＵ（例えば、長さ決定処理部６３）にて長さマップデータを調整してもよい。例えば、製造後の磁気ディスク装置１００において、データの再生信号の出力電圧を計測し、その特性に応じて適切な磁気ヘッドスライダ２の姿勢となるアクチュエータ３の長さを、データ記録再生時の基準浮上位置となるアクチュエータ３の長さＨ１となるよう設定した長さマップデータを作成して、あるいは、修正して、メモリ７に記憶してもよい。
【００９１】
なお、上記９．５ｍＶ≦Ｖｒ≦１０．５ｍＶの値は、例えば、実験や論理計算により求められた、データの記録再生を行うために必要十分な距離に磁気ヘッドスライダ２が位置している場合の再生信号の出力電圧である。但し、かかる値は一例であって、これに限定されない。
【００９２】
また、上記長さマップデータは、図１１（ａ）に示す特性のマップであることに限定されない。例えば、図１１（ｂ）に示すような特性であってもよい。すなわち、再生信号の出力電圧Ｖｒが、Ｖｒ＜９．５であって、９．５から小さくなるにつれて徐々にアクチュエータ３の長さが長くなるよう設定されており、一方、１０．５＜Ｖｒの場合には、徐々にアクチュエータ３の長さが短くなるよう設定されている。これにより、適切な出力電圧（９．５〜１０．５ｍＶ）の前後ではアクチュエータ３の長さが微調整されることとなるため、磁気ヘッドスライダ２の浮上量を微調整することができ、制御の高精度化を図ることができる。
【００９３】
そして、上記長さ決定処理部６３は、上記長さマップデータをメモリ７から読み出して、姿勢情報取得処理部６２から取得した姿勢情報に基づいてアクチュエータ３の制御目標長さを決定する。そして、制御目標長さにアクチュエータ３を伸縮させる印加電圧値を、メモリ７に記憶された図示しない付加電圧データを参照して決定し、伸縮制御処理部６４に通知する。
【００９４】
また、上記伸縮制御処理部６４は、上記長さ決定処理部６３から通知されたアクチュエータ３の長さに相当する印加電圧値に基づいて、アクチュエータ３を伸縮制御する。また、上述したように、スライダ動作取得処理部６１から、ロード時、あるいは、アンロード時である旨の通知を受けた際には、アクチュエータ３を縮小制御する。さらには、スライダ動作取得処理部６１から、データ記録再生時、あるいは、待機時である旨の通知を受けた際には、上述したように各通知に応じてアクチュエータ３を伸縮制御する。
【００９５】
＜動作＞
次に、本実施例における磁気ディスク装置１００の動作、特に、磁気ヘッドスライダ２の姿勢制御動作を、図１２のフローチャートを参照して説明する。なお、ここでは、データ記録再生時におけるアクチュエータ３の伸縮制御について説明する。すなわち、上記実施例２において説明したステップＳ３、ステップＳ４の動作により、データ記録再生位置である基準浮上位置に浮上している状態における磁気ヘッドスライダ２の浮上量制御動作を説明する。
【００９６】
まず、磁気ヘッドスライダ２にてディスク１０１に対してデータの記録再生処理を行う旨の信号を検出すると（ステップＳ１０１にて肯定判断）、データ記録再生可能な浮上量なるよう、アクチュエータ３の長さＨをＨ１に制御する（ステップＳ１０２）。そして、リードライト回路１０５などの姿勢情報検出手段にて、常に再生信号の出力電圧Ｖｒを検出する（ステップＳ１０３）。
【００９７】
そして、９．５ｍＶ≦Ｖｒ≦１０．５ｍＶであるかを調べ（ステップＳ１０４）、かかる範囲内であれば（ステップＳ１０４にて肯定判断）、アクチュエータ３の高さＨがＨ１に維持されるよう制御されるか、あるいは、Ｈ１に維持されたまま伸縮制御は行われない（ステップＳ１０９へ進む）。
【００９８】
また、ステップＳ１０４にて、Ｖｒ＜９．５ｍＶである場合には、メモリ７から長さマップデータを読み出し、検出したＶｒと長さマップデータとからアクチュエータ３の伸縮方向の制御目標長さを決定する（ステップＳ１０５）。この場合には、出力電圧値が低いため、図１１（ａ−１）に示すような制御が必要となる。すなわち、何らかの事情で、磁気ディスク１０１から磁気ヘッドスライダ２の先端部が離間して位置していると想定されるため、当該磁気ヘッドスライダ２の浮上量を小さくし、また、先端部をよりディスク１０１に近づけるよう姿勢角の勾配を急にする必要がある。従って、アクチュエータ３の高さＨをＨ３に設定するよう制御目標長さを決定する。その後、アクチュエータ３を決定された制御目標長さに伸長させるために必要な印加電圧値を、メモリ７内の印加電圧データを参照して決定し、かかる値を伸縮制御処理部６４に通知する。
【００９９】
また、ステップＳ１０４にて、１０．５ｍＶ＜Ｖｒである場合にも上記同様に、アクチュエータ３の制御目標長さを決定する。かかる場合には出力電圧値が高いため、図１１（ａ−２）に示すような制御が必要となり、結果としてアクチュエータ３の高さＨをＨ２に設定するよう制御目標長さが決定される（ステップＳ１０７）。これは、何らかの事情により、磁気ディスク１０１から磁気ヘッドスライダ２の先端部が近接しすぎていると想定されるため、当該磁気ヘッドスライダ２の浮上量を増加させ、また、先端部をよりディスク１０１から遠ざけるよう姿勢角の勾配を緩やかにする必要があるからである。そして、上記決定された制御目標長さにアクチュエータ３を制御する印加電圧値を印加電圧データから決定し、その値を伸縮制御処理部６４に通知する。
【０１００】
そして、長さ決定処理部６３から上述したようにアクチュエータ３に対する印加電圧値の通知を受けた伸縮制御処理部６４は、位置決め制御回路１１２などを介してアクチュエータ３に伸縮させる電圧を印加する指令を出す（ステップＳ１０６、ステップＳ１０８、伸縮制御工程）。これにより、実際にアクチュエータ３が伸縮し、磁気ヘッドスライダ２の浮上量、及び、姿勢角を制御することができる。
【０１０１】
その後は、磁気ヘッドスライダ２にてデータの記録再生動作が継続される限り、上述したように磁気ヘッドスライダ２の浮上量、及び、姿勢角の制御処理が繰り返されることにより（ステップＳ１０９にて肯定判断）、磁気ヘッドスライダ２の姿勢をディスク１０１に対して適切な距離に近接させた状態で一定に保つことができ、安定かつ高精度なデータの記録再生制御を行うことが可能となる。また、これに伴い、磁気ヘッドスライダ２とディスク１０１との距離が近すぎることによるクラッシュを有効に抑制することができる。
【０１０２】
一方、スライダ動作取得処理部６１が記録再生動作の終了を検出すると（ステップＳ１０９にて否定判断）、その旨を伸縮制御処理部６４に通知する。すると、磁気ヘッドスライダ２が上空待機状態になるよう最大浮上させるため、伸縮制御処理部６４にてアクチュエータ３の高さＨをＨ０に設定するよう伸縮制御が実行される（ステップＳ１１０）。
【０１０３】
＜変形例＞
なお、上記構成おいては、磁気ヘッドスライダ２の姿勢を表す姿勢情報を検出する手法として再生信号の出力電圧値を検出する方法を例示し、当該出力電圧値を検出する回路などを姿勢情報検出手段として説明したが、当該姿勢情報検出手段はこれに限定されない。姿勢情報検出手段の別の構成の一例を、以下に挙げる。
【０１０４】
例えば、ジンバル部４１のひずみを姿勢情報とし、当該ひずみを検出するひずみ検出手段を当該ジンバル部４１に設けて姿勢情報検出手段とする。このジンバル部４１のひずみは、当該ジンバル部４１に磁気ヘッドスライダ２が装着されていることから、その姿勢角と密接に関係する情報であるため、姿勢情報として利用可能である。そして、これに対応して、ジンバル部４１のひずみと、当該ひずみ値に対応する磁気ヘッドスライダ２の姿勢を考慮したアクチュエータ３の伸縮方向の制御目標長さと、の関係を表すマップを、予め実験や計算にて設定し、メモリ７に記憶しておく。これにより、検出したひずみ値からマップを参照してアクチュエータ３の制御目標長さを決定することができ、上述同様に磁気ヘッドスライダ２の姿勢制御を行うことができる。
【０１０５】
また、別の例として、磁気ヘッドスライダ２の画像を取得する画像取得手段を姿勢情報検出手段としてもよい。かかる場合には、磁気ヘッドスライダ２の画像から例えばスライダ２のピッチ方向の姿勢角を検出して、当該姿勢角に応じて設定されたアクチュエータ３の長さを表すマップを参照して当該アクチュエータ３の制御目標長さを決定する。このようにしても、上述同様に姿勢制御を行うことができる。
【０１０６】
なお、上述した姿勢情報検出手段は一例であり、姿勢情報に応じてアクチュエータの伸縮を制御する手法は、上記手法に限定されるものではない。
【実施例４】
【０１０７】
次に、本発明の第４の実施例を、図１３乃至図１５を参照して説明する。図１３は、本実施例におけるサスペンションの一例を示す説明図であり、図１３（ａ）は平面図を示し、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＣ−Ｃ線断面図を示す。また、図１４、図１５は、本実施例における磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【０１０８】
＜構成＞
本実施例における磁気ディスク装置は、実施例１に開示したように、磁気ヘッドスライダ２の後端部側にアクチュエータ３２ａ，３２ｂを装備しているが、かかるアクチュエータ３２ａ，３２ｂが磁気ヘッドスライダ２の左右の側面側に分割されて備えられている。すなわち、図１３（ａ）に示すように、磁気ディスク１０１と磁気ヘッドスライダ２との間に流入する空気の流れ方向に向かって並列に２つ備えられている。なお、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＣ−Ｃ線にて断面して、磁気ヘッドスライダ２が下側に位置する状態で見たときの断面図である。この図においては、アクチュエータ３２ａ，３２ｂを図示するため、伸長させた状態で示している。但し、流入空気の流れに対して並列に備えられるアクチュエータの数は、２つに限定されない。
【０１０９】
このアクチュエータ３２ａ，３２ｂは、上述したアクチュエータ３と同様に、磁気ヘッドスライダ２のサスペンション１への装着面から磁気ディスク対向面までの高さｈを基準として、それぞれ独立に伸縮自在な圧電セラミック（圧電素子）にて構成されている。そして、特に、後述するように、各アクチュエータ３２ａ，３２ｂは、磁気ヘッドスライダ２のロール方向の姿勢であるロールに応じてそれぞれ伸縮する。なお、磁気ヘッドスライダ２のロール方向の姿勢を表す情報の一例を、以下に説明するように、磁気ディスク１０１に対するロール角とする。
【０１１０】
そして、上記構成に伴い、磁気ディスク装置１００には、磁気ディスク１０１に対する磁気ヘッドスライダ２の姿勢であるロール角情報を検出するロール角情報検出手段を備え、コントローラ１１０に装備されているＣＰＵ６には、特定のプログラムが組み込まれることで、上記ロール角情報検出手段からのロール角情報を取得するロール角情報取得処理部と、このロール角情報に基づいて上記複数のアクチュエータ３の長さをそれぞれ独立して伸縮制御する伸縮制御処理部と、が構築されている。
【０１１１】
ここで、上記ロール角情報検出手段は、例えば、磁気ヘッドスライダ２の先端部側の左右に磁気ヘッド素子がそれぞれ備えられている場合に、両素子からの検出信号を用いて、磁気ディスク１０１に対する磁気ヘッドスライダ２のロール方向の傾きを検出してもよい。すなわち、ロール角情報検出手段は、必ずしも磁気ヘッドスライダ２の磁気ディスク１０１に対するロール角を直接表す情報を検出する必要は無く、ロール角を間接的に表す情報を検出して、ＣＰＵ６内のロール角情報取得処理部に通知する。
【０１１２】
なお、ロール角情報検出手段は、上記の手法にてロール方向の姿勢を検出することに限定されず、上述したように、ジンバル部４１のひずみや、磁気ヘッドスライダ２の画像を取得する手段にて構成され、これらの情報をもとに、磁気ヘッドスライダ２のロール角を算定してもよい。
【０１１３】
そして、ＣＰＵ６内のロール角情報取得処理部は、取得した磁気ヘッドスライダ２のロール方向の姿勢情報であるロール角情報を用いて、まず、現在のロール角が予め定められた許容値の範囲内であるか否かを判断する。このとき、許容値は、例えば、クラッシュするおそれが無く、磁気ヘッドスライダ２が安定して精度よく記録再生を行うことができるロール角を表す範囲の値であり、予め実験や論理演算などで定められた値である。
【０１１４】
上記判断の結果、許容値の範囲外である場合には、許容値に収まる範囲に磁気ヘッドスライダ２の姿勢を変化させるようアクチュエータの高さを変更する必要があり、その値をそれぞれのアクチュエータについて算出する。このとき、かかる算出式は予めＣＰＵ６に組み込まれており、例えば、より磁気ディスク１０１に近づいている側面側に装備されているアクチュエータを所定の長さだけ縮小するよう算出し、逆に、磁気ディスク１０１から遠ざかっている側のアクチュエータを所定の長さだけ伸長するよう算出する。その後、算出された各アクチュエータの長さを伸縮制御処理部に通知する。
【０１１５】
すると、伸縮制御処理部は、算出された各アクチュエータの長さに制御するよう、電圧信号を出力して伸縮制御する。その後、さらに継続して、ロール角情報を検出して許容範囲内にあるか否かを調べ、許容値の範囲内に無い場合にはアクチュエータの伸縮制御を行う。
【０１１６】
また、伸縮制御処理部には、さらに、伸縮制御した後に許容範囲内にあるとされた各アクチュエータの長さを、当該各アクチュエータの初期値として設定しメモリ７に記憶する初期値設定機能を有する。この初期値設定機能は、例えば、製品としての磁気ディスク装置１００を出荷する際の検査時に実行される。
【０１１７】
そして、その後、磁気ディスク装置が作動する場合には、上述したように、ロール角方向の姿勢制御が行われるが、アクチュエータ３は、上記設定された初期値を基準としてその長さが伸縮制御されることとなる。
【０１１８】
＜動作＞
次に、上記構成の磁気ディスク装置１００の動作について説明するが、まず、磁気ヘッドスライダ２の姿勢制御動作について説明する。上述したように、複数のアクチュエータ３を設けることで、左右の一方のアクチュエータのみ、例えば、符号３２ａに示すアクチュエータを縮小すると、縮小したアクチュエータ側、すなわち、図１３（ｂ）にて右側に流入する空気量が増大するため、磁気ヘッドスライダ２の当該右側の先端部側を押圧する押圧力が強くなり、ディンプル５１を中心とするロール方向の回転力Ｍｃｃが増加し、磁気ヘッドスライダ２のロール方向の姿勢制御を行うことが可能となる。換言すると、かかる符号３２ａのアクチュエータ側が磁気ディスク１０１に近接していてクラッシュの可能性が高いことを検出した場合には、上述したように制御することで、適切な姿勢に制御することができる。
【０１１９】
以上のことから、左右に取り付けたアクチュエータ３２ａ，３２ｂは、磁気ディスク１０１と磁気ヘッドスライダ２との間に流入する空気流の左右バランスを調整する空気流左右バランス調整手段として機能する。従って、本実施例において、磁気ヘッドスライダ２のロール角を制御する手段は、図１３に示すアクチュエータ３２ａ，３２ｂであることに限定されず、上述したように、左右の空気流入量を調整する装置であればよい。
【０１２０】
以上の原理をもとに、図１４及び図１５を参照して、磁気ディスク装置の動作を説明する。まず、図１４は、製品出荷時に行われる動作である。
【０１２１】
まず、磁気ヘッドスライダ２のロール角情報が検出されると（ステップＳ２０１）、かかる値に基づいて、現在の磁気ヘッドスライダのロール方向の姿勢が正常であるか否かが調べられる。すなわち、ロール角情報が許容範囲内にあるか否かが調べられる（ステップＳ２０２）。
【０１２２】
このとき、許容範囲に無い場合には（ステップＳ２０２にて否定判断）、検出したロール角情報に基づいて、正常な姿勢となるよう各アクチュエータ３２ａ，３２ｂの長さを算出し（ステップＳ２０３）、かかる長さとなるように実際に各アクチュエータ３２ａ，３２ｂの長さを伸長制御する（ステップＳ２０４）。以上の処理を繰り返すことで、ロール角情報が許容範囲に収まり（ステップＳ２０２にて肯定判断）、磁気ヘッドスライダ２の姿勢が正常になると、そのときの各アクチュエータ３２ａ，３２ｂの長さを初期値として設定し、例えばメモリ７に記憶しておく（ステップＳ２０５）。
【０１２３】
次に、図１５を参照して、出荷されユーザに購入された後の磁気ディスク装置の動作を説明する。まず、上述したように、出荷時に設定された各アクチュエータ３２ａ，３２ｂの長さの初期値を読み出し、かかる値にアクチュエータ３２ａ，３２ｂの長さが設定される。従って、かかる値を基準に伸縮制御が開始される（ステップＳ２１１）。続いて、所定の時間間隔にてロール角情報が検出され（ステップＳ２１２）、かかる値に基づいて、現在の磁気ヘッドスライダのロール方向の姿勢が正常であるか否かが調べられる。すなわち、ロール角情報が許容範囲内にあるか否かが調べられる（ステップＳ２１３）。このとき、許容範囲に無い場合には（ステップＳ２１３にて否定判断）、検出したロール角情報に基づいて、正常な姿勢となるよう各アクチュエータ３２ａ，３２ｂの長さを算出し（ステップＳ２１４）、かかる長さとなるように実際に各アクチュエータ３２ａ，３２ｂの長さを伸長制御する（ステップＳ２１５）。一方、検出したロール角情報が許容範囲に収まっている場合には（ステップＳ２１２にて肯定判断）、アクチュエータ３２ａ，３２ｂの長さを変更しない。そして、上記動作が、磁気ディスク装置の駆動が終了するまで実行される（ステップＳ２１６）。これにより、常時、磁気ヘッドスライダ２のロール方向の姿勢は、情報記録再生を行うために最適、かつ、クラッシュを抑制できる姿勢に保たれる。
【０１２４】
以上のようにすることにより、製品出荷時にアクチュエータの長さの初期設定を行うことで、例えば、サスペンション１の製造時における精度不良などを改善することができ、製品の高品質化を図ることができる。また、使用時にもロール方向への姿勢制御を行うことで、より高精度な信号の記録再生処理を実現することができると共にクラッシュの発生を有効に抑制でき、製品の長寿命化を図ることもできる。
【０１２５】
ここで、磁気ヘッドスライダ２の姿勢情報、すなわち、ロール角情報を検出する方法として、１つの磁気ヘッド素子にて適切に再生信号を検出可能か否か、ということを判断することにより行ってもよい。具体的には、上述したように、再生信号の出力電圧値が予め設定された値の範囲内であるか否かを検出することで、ロール方向の傾きが適切か否かを判断し、当該適切か否かといった情報をロール角情報としてもよい。そして、適切であると判断された場合にはアクチュエータ３２ａ，３２ｂの伸縮制御を行わず、適切でないと判断された場合には、適切と判断されるまでアクチュエータ３２ａ，３２ｂの伸縮量を微調整するよう制御する。これにより、磁気ヘッドスライダ２のロール方向の姿勢を適切に制御することができる。
【０１２６】
なお、本実施例における上記構成のサスペンション１において、上記実施例１，２，３にて説明したように、磁気ヘッドスライダ２のピッチ方向の姿勢制御を行ってもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１２７】
本発明の磁気ヘッドアッセンブリは、高精度なデータの記録再生を実現し、かつ、クラッシュを有効に抑制する磁気ヘッドアッセンブリとして、あらゆる磁気ディスク装置に装備可能であり、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【０１２８】
【図１】図１は、実施例１におけるサスペンションの一部の構成を示す図である。図１（ａ）は先端部付近の平面図を示し、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図を示す。
【図２】図２は、図１に開示したサスペンションの動作原理を説明する説明図である。図２（ａ）乃至図２（ｃ）は、それぞれアクチュエータを伸縮したときのサスペンションの動作を説明する説明図である。
【図３】図３は、実施例１における磁気ヘッドスライダの浮上面の形状の一例を示す図である。図３（ａ）は、浮上面の平面図を示し、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ’−Ａ’断面図を示す。
【図４】図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は、それぞれ実施例１においてアクチュエータを伸縮させたときの磁気ヘッドスライダの浮上量を示すシミュレーション結果である。
【図５】図５は、実施例１におけるサスペンションの変形例の動作原理を説明する説明図である。図５（ａ）〜図５（ｃ）は、それぞれアクチュエータを伸縮したときのサスペンションの動作を説明する説明図である。
【図６】本発明である磁気ディスク装置の全体構成図である。
【図７】図７は、実施例２，３における磁気ヘッドスライダの浮上面の形状の一例を示す図である。図７（ａ）は、浮上面の平面図を示し、図７（ｂ），図７（ｃ）は、それぞれ図７（ａ）のＢ−Ｂ断面図を示し、アクチュエータが伸縮したときの様子を示す図である。
【図８】実施例２における磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【図９】図９は、図７（ａ）に開示した磁気ヘッドスライダのＢ−Ｂ断面図を示す図であり、図９（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ、実施例３におけるアクチュエータが伸縮したときの様子を示す図である。
【図１０】実施例３におけるＣＰＵとメモリの構成を示す機能ブロック図である。
【図１１】図１１は、図１０に開示したメモリに記憶されているデータの内容を示す説明図である。図１１（ａ）は、長さマップデータの一例を示す図であり、図１１（ａ−１）、図１１（ａ−２）は、それぞれ長さマップデータと磁気ヘッドスライダとの関係を示す説明図である。図１１（ｂ）は、長さマップデータの他の例を示す図である。
【図１２】実施例３における磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、実施例４におけるサスペンションの一例を示す説明図である。図１３（ａ）は平面図を示し、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＣ−Ｃ線断面図を示す。
【図１４】実施例４における磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【図１５】実施例４における磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１２９】
１  サスペンション（磁気ヘッドアッセンブリ）
２  磁気ヘッドスライダ
３  アクチュエータ（空気流調整手段、伸縮駆動装置）
４  フレキシャ
５  ロードビーム
６  ＣＰＵ
７  メモリ
４１  ジンバル部
５１  ディンプル
６１  スライダ動作取得処理部
６２  姿勢情報取得処理部
６３  長さ決定処理部
６４  伸縮制御処理部
１００  磁気ディスク装置
１１０  コントローラ（制御部）
３２ａ，３２ｂ  アクチュエータ（空気流左右バランス調整手段、伸縮駆動装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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