(57)【要約】【課題】表面の粗さが少なく、ねじれのずれおよびその蓄積の密度が少ない多層構造体を提供する。【解決手段】基板およびこの上にヘテロエピタキシャル堆積した、組成Ｓｉ１−ｘＧｅｘを有し、珪素の格子定数と異なる格子定数を有する珪素とゲルマニウムからなる層（ＳｉＧｅ層）を有する多層構造体において、前記構造体がＳｉＧｅ層上に堆積した、ねじれのずれを結合する、組成Ｓｉ１−ｙＧｅｙを有する薄い中間層および前記中間層上に堆積した少なくとも１個の他の層を有することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板およびこの上にヘテロエピタキシャル堆積した、組成Ｓｉ１−ｘＧｅｘを有し、珪素の格子定数と異なる格子定数を有する珪素とゲルマニウムからなる層（ＳｉＧｅ層）を有する多層構造体において、前記構造体がＳｉＧｅ層上に堆積した、ねじれのずれを結合する、組成Ｓｉ１−ｙＧｅｙを有する薄い中間層および前記中間層上に堆積した少なくとも１個の他の層を有することを特徴とする多層構造体。
【請求項２】
ゲルマニウムの濃度がＳｉＧｅ層の厚さに沿って増加する請求項１記載の多層構造体。
【請求項３】
中間層の厚さが２〜３０ｎｍである請求項１または２記載の多層構造体。
【請求項４】
表面上に最高で１.５Ｅ＋４ねじれのずれ／ｃｍ２の密度を有する請求項１から３までのいずれか１項記載の多層構造体。
【請求項５】
最高で１ｃｍ／ｃｍ２のねじれのずれの蓄積の密度を有する請求項１から４までのいずれか１項記載の多層構造体。
【請求項６】
最高で２Åｒｍｓ（１μｍ×１μｍ窓）の表面粗さを有する請求項１から５までのいずれか１項記載の多層構造体。
【請求項７】
中間層上に堆積される組成Ｓｉ１−ｚＧｅｚを有する弛緩したヘテロエピタキシャル緩衝層および組成Ｓｉ１−ｚＧｅｚを有する弛緩したヘテロエピタキシャル緩衝層上に堆積される張設された珪素の層を有する請求項１から６までのいずれか１項記載の多層構造体。
【請求項８】
中間層上に堆積される張設された珪素の層を有する請求項１から６までのいずれか１項記載の多層構造体。
【請求項９】
基板上にヘテロエピタキシャル堆積した、組成Ｓｉ１−ｘＧｅｘを有し、珪素の格子定数と異なる格子定数を有する珪素とゲルマニウムからなる層（ＳｉＧｅ層）を準備し、ＳｉＧｅ層上にねじれのずれを結合する組成Ｓｉ１−ｙＧｅｙを有する薄い中間層を堆積し、前記中間層上に少なくとも１個の他の層を堆積することからなる多層構造体の製造方法。
【請求項１０】
中間層を堆積するためにＳｉＧｅ層を水素、ハロゲン化水素化合物、珪素化合物およびゲルマニウム化合物を含有するガス状混合物にさらす請求項９記載の方法。
【請求項１１】
中間層を最高で５０ｎｍ／分の堆積速度で２〜３０ｎｍの厚さにまで堆積する請求項９または１０記載の方法。
【請求項１２】
９００〜１１００℃の温度で中間層を堆積する請求項９から１１までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１３】
中間層を気圧または減圧下で堆積する請求項９から１２までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１４】
中間層を堆積する際にハロゲン化水素としてＨＣｌを使用する請求項１０記載の方法。
【請求項１５】
中間層を堆積する際に珪素化合物としてジクロロシランを使用する請求項１０記載の方法。
【請求項１６】
中間層を堆積する際にゲルマニウム化合物としてＧｅＨ４を使用する請求項１０記載の方法。
【請求項１７】
ガス状混合物が一方でハロゲン化水素および他方で珪素化合物およびゲルマニウム化合物を１００：１〜１：１の容積比で含有する請求項１０記載の方法。
【請求項１８】
ＳｉＧｅ層を層として準備し、前記層内でＳｉＧｅ層の厚さに沿ってゲルマニウム濃度が増加する請求項９から１７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１９】
中間層に組成Ｓｉ１−ｚＧｅｚを有する弛緩したヘテロエピタキシャル層を堆積し、組成Ｓｉ１−ｚＧｅｚを有する弛緩したヘテロエピタキシャル層に張設した珪素からなる層を堆積する請求項９から１８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２０】
中間層に張設した珪素からなる層を堆積する請求項９から１８までのいずれか１項記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の対象は基板および前記基板の上にヘテロエピタキシャル堆積した、基板の格子定数と異なる格子定数を有する、珪素とゲルマニウムからなる層（ＳｉＧｅ層）を有する多層構造体である。
【背景技術】
【０００２】
前記ＳｉＧｅ層に堆積する珪素は二軸方向に張設する。張設された珪素中の電荷担体の移動性が張設されない珪素中の電荷担体の移動性より高いので、切り換え速度を高めるために張設された珪素を使用する電子部品がますます注目される。
【０００３】
張設された珪素を堆積するために、特にゲルマニウム割合２０〜５０％を有する珪素とゲルマニウムの混合物からなり、できるだけ完全に弛緩（緩和）されているＳｉＧｅ層が適している。ＳｉＧｅ層の格子定数が珪素の格子定数より大きいので、前記層に堆積する珪素格子が拡大し、張設された珪素の層を形成する。
【０００４】
珪素は一般に基板として用いられ、前記基板に弛緩したＳｉＧｅ層を堆積する。異なる格子定数のために、成長するヘテロエピタキシャル層がまずそれ自体張設する。臨界的層厚から張設がゆるみ、その際ずれが形成される。間違った適合のずれ（ｍｉｓｆｉｔ  ｄｉｓｌｏｃａｔｉｏｎ）は成長する層の成長方向に沿った平面で継続する傾向がある。しかし間違った適合のずれの継続としてねじれのずれ（ｔｈｒｅａｄｉｎｇ  ｄｉｓｌｏｃａｔｉｏｎ）が生じる。このずれはＳｉＧｅ層の成長方向に延び、その表面にまで達する。堆積したＳｉＧｅ層が簡単な熱処理（アニール）に伴って弛緩する場合に、これは高い程度で行われる。ねじれのずれは一般にＳｉＧｅ層に堆積され、前記層に組み込まれる電子部品の機能を妨害する層に継続するので、ねじれのずれをできるだけ回避することが問題である。ねじれのずれの蓄積（パイルアップ）が特に問題である。ＳｉＧｅ層の特性に関する他の重要なパラメーターは表面の粗さであり、これをできるだけ少なくすべきである。間違った適合のずれは電界を生じ、ＳｉＧｅ層が成長する際に成長速度の位置的相違を生じ、最終的に表面トポグラフィー、いわゆるクロスハッチを生じ、これがＳｉＧｅ層に堆積する層に同様に転移する。このクロスハッチの程度は例えばＡＦＭ（原子間力顕微鏡）で測定した表面のＲＭＳ粗さである。
【０００５】
ねじれのずれの密度を減少するためにすでに多くの方法が開発された。１つの可能性はＳｉＧｅ層でのゲルマニウムの濃度を徐々にまたは連続的に増加することである。他の試みは高い濃度の点欠陥を有する層にＳｉＧｅ層を堆積する目的を追求する。間違った適合のずれはＳｉＧｅ層の表面に配向されるねじれのずれに延長する代わりに、閉じたずれの環を形成し、この環が高い濃度の点欠陥を有する部分を通過する。それにもかかわらず基板の表面に到達するねじれのずれの密度は少なくとも１×１０７ねじれのずれ／ｃｍ２の程度の大きさであり、電子部品の製造の適合性を考慮して明らかになお高すぎる。ねじれのずれの密度を１×１０５ねじれのずれ／ｃｍ２未満に減少する方法は文献に記載されている（特許文献１参照）。これは実質的にＳｉＧｅ層の弛緩を生じる熱処理の間にＳｉＧｅ層の表面を同時にエッチングする（エッチアニール）ことにある。その際有利な二次的効果として表面の粗さが減少する。
【特許文献１】米国特許２００４／００６７６４４Ａ１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、構造体の表面が低い粗さおよび少ないねじれのずれおよびその蓄積の密度を有する多層構造体およびその簡単な製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題は本発明により、基板およびこの基板の上にヘテロエピタキシャル堆積した、組成Ｓｉ１−ｘＧｅｘを有し、珪素の格子定数と異なる格子定数を有する、珪素とゲルマニウムからなる層（ＳｉＧｅ層）を有する多層構造体により解決され、前記構造体はＳｉＧｅ層上に堆積した、ねじれのずれを結合する、組成Ｓｉ１−ｙＧｅｙを有する薄い中間層および前記中間層上に堆積した少なくとも１個の他の層を有することを特徴とする。
【０００８】
多層構造体の表面はねじれのずれおよびその蓄積の特に低い密度および低い粗さにより特徴付けられる。多層構造体の特別の特徴は珪素とゲルマニウムからなる中間層（境界層）であり、前記中間層はこの下に存在するＳｉＧｅ層に対する境界面でねじれのずれを結合する。これにより中間層およびこの上に堆積された少なくとも１個の他の層の表面が明らかに少ないねじれのずれを達成する。
【０００９】
本発明の対象は更に
基板上にヘテロエピタキシャル堆積した、組成Ｓｉ１−ｘＧｅｘを有し、珪素の格子定数と異なる格子定数を有する珪素とゲルマニウムからなる層（ＳｉＧｅ層）を準備し、
ＳｉＧｅ層上にねじれのずれを結合する組成Ｓｉ１−ｙＧｅｙを有する薄い中間層を堆積し、
前記中間層上に少なくとも１個の他の層を堆積する
ことからなる多層構造体の製造方法である。
【００１０】
ＳｉＧｅ層は張設（緊張）していても、弛緩（緩和）していてもよい。ＳｉＧｅ層は珪素とゲルマニウムの一定の濃度Ｓｉ１−ｘＧｅｘを有することができる。しかしゲルマニウムの濃度が層の厚さに沿って徐々にまたは連続的に増加し（勾配のある層）、層の表面ではじめて濃度Ｓｉ１−ｘＧｅｘを達成する層が有利である。指数ｘは有利に０.２〜０.５の値を有する。
【００１１】
ＳｉＧｅ層は有利に基板として珪素からなる表面に、特に有利に珪素からなる半導体ウェーハまたは珪素層とこの下に存在する酸化物層を有するＳＯＩ層構造体（ｓｉｌｉｏｎ  ｏｎ  ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）に存在する。
【００１２】
本発明によりＳｉＧｅ層上に、ＳｉＧｅ層に対する境界面でねじれのずれを結合する薄い中間層を堆積し、多層構造体の表面上の中間層の密度がＳｉＧｅ層の表面上のねじれのずれの密度に比べて明らかに減少する。多層構造体の表面上のねじれのずれの密度（ＴＤＤ）は最高で１.５Ｅ＋４ねじれのずれ／ｃｍ２、有利に５Ｅ＋３ねじれのずれ／ｃｍ２未満である。ねじれのずれの蓄積の密度（ＰｕＤ）は有利に最高で１ｃｍ／ｃｍ２である。多層構造体の表面の粗さは有利に最高で２Åｒｍｓ（１μｍ×１μｍ測定窓）である。中間層の厚さは有利に２〜３０ｎｍである。有利な厚さ範囲の下限を下回るかまたは上限を上まわる場合は、このことが中間層の表面の粗さに、同時に多層構造体の表面に不利に作用する。中間層は一定の組成Ｓｉ１−ｙＧｅｙを有し、指数ｙは有利に指数ｘと同じ値を取ることができる。
【００１３】
中間層を堆積するために、ＳｉＧｅ層を、水素、ハロゲン化水素化合物、珪素化合物、およびゲルマニウム化合物を含有するガス状混合物にさらす。これは有利にエピタキシャル反応器中で行う。選択された温度条件および圧力条件下で組成Ｓｉ１−ｙＧｅｙの材料の純粋な堆積を行うように、ガス状化合物の濃度を調節する。堆積は有利に９００〜１１００℃の温度および気圧下または減圧下で行う。堆積速度は０ｎｍ／分より大きく、有利に最高で５０ｎｍ／分である。
【００１４】
適当な珪素化合物はＳｉＨ４およびクロロシランであり、その際ジクロロシランが有利である。適当なゲルマニウム化合物はクロロゲルマンおよびそのアルキル誘導体およびＧｅＨ４である。特に有利にＧｅＨ４、ＧｅＣｌ４およびＣＨ３ＧｅＣｌ３である。中間層を堆積する際のガス雰囲気中の珪素化合物とゲルマニウム化合物の比は成長する中間層が所望の組成Ｓｉ１−ｙＧｅｙを有するように調節する。ガス雰囲気中の有利なハロゲン化水素化合物はＨＣｌである。一方でハロゲン化水素化合物および他方で珪素化合物およびゲルマニウム化合物の比は有利に１００：１〜１：１の範囲内である。表面上のねじれのずれの少ない密度および中間層の表面の少ない粗さのために、他の層として張設された珪素の層を直接中間層の表面に堆積することが特に有利である。それにもかかわらず予め１個以上の他の層を堆積することも可能である。例えば緩衝層として一定の組成Ｓｉ１−ｚＧｅｚを有する弛緩したヘテロエピタキシャル層を張設した珪素からなる層の前に中間層に堆積することができ、その際指数ｚは有利に指数ｙと同じ値を取ることができる。緩衝層の弛緩の程度は有利に９０％より大きい。
【００１５】
比較例
珪素からなる基板ウェーハを単独ウェーハエピタキシャル反応器中で減圧下で処理した。以下の処理工程を実施した。
工程１：反応器を充填する
工程２：水素（Ｈ２ベーク）下１１２０℃の温度で基板ウェーハを熱処理する
工程３：８００〜９００℃の温度で成長するゲルマニウム部分（勾配のある層）（０〜２０％）を有するＳｉＧｅ層を堆積する
工程４：ゲルマニウム２０％の一定の割合を有する珪素とゲルマニウムからなる緩衝層（一定の組成の層）を堆積する
工程５：７００℃の温度で張設された珪素からなる厚さ１８ｎｍの層を堆積する
工程６：反応器から得られた多層構造体を取り出す。
【００１６】
実施例
比較例と同じ形式の他の基板ウェーハを比較例と同じ反応器中で処理したが、以下の点が相違した。
工程１〜３：比較例と同じ
工程４：１０５０℃の温度で塩化水素、ジクロロシランおよびゲルマンの混合物を導入することによりゲルマニウム２０％の一定の割合を有する珪素とゲルマニウムからなる中間層を堆積する
工程５〜７：比較例の工程４〜６と同じ。
【００１７】
得られた多層構造体の検査
中間層の検査を横断面ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡、Ｘ−ＴＥＭ）で行った。図１は勾配のある層（ずれの網状組織を有する）と一定の組成の層の間の中間層（境界層）を明らかに示す。中間層の厚さは約２〜３ｎｍである。図２は中間層中の深いＳｉＧｅ層からのずれをどのように捕捉するかを示す。ずれはＳｉＧｅ層と中間層の間の境界面の内部に延びるが、緩衝層には更に成長しない。
【００１８】
中間層の堆積はねじれのずれの密度（ＴＤＤ）、特に前記ずれの蓄積の密度（ＰｕＤ）の減少およびクロスハッチ構造体の分解によるＲＭＳ粗さの減少を生じた。表面の形態は中間層の堆積の際の処理条件の変動により広い範囲に影響を与えることができる。
【００１９】
【表１】
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【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】勾配のある層（ずれの網状組織を有する）と一定の組成の層の間の中間層（境界層）の微細構造を示す図である。
【図２】中間層中の深いＳｉＧｅ層からのずれをどのように捕捉するかを示す微細構造の図である。
【図１】
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【図２】
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