(57)【要約】【課題】  移動体の円滑な動作および位置決め精度を低下させることなく、ベース側から移動体側に油圧を供給することを可能とする。【解決手段】  ベース３から、該ベース３に直線移動可能に支持された移動体４に対して流体を供給する流体供給機構１であって、ベース３または移動体４のいずれか一方に固定され、移動体４の移動方向に沿って配置された中空ロッド６と、ベース３または移動体４のいずれか他方に固定された流体室７とを備え、該流体室７の対向する一対の壁面１０に、径方向に隙間をあけて中空ロッド６を貫通させるロッド挿通孔１０ａが設けられ、中空ロッド６に、該中空ロッド６内部とその周囲の流体室７内部とを連絡する貫通孔８が設けられ、ベース３に固定された、中空ロッド６の内部空間６ｂまたは流体室７のいずれかに、流体供給配管９が接続されている流体供給機構１を提供する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースから、該ベースに直線移動可能に支持された移動体に対して流体を供給する流体供給機構であって、
前記ベースまたは前記移動体のいずれか一方に固定され、移動体の移動方向に沿って配置された中空ロッドと、
前記ベースまたは前記移動体のいずれか他方に固定された流体室とを備え、
該流体室の対向する一対の壁面に、径方向に隙間をあけて前記中空ロッドを貫通させるロッド挿通孔が設けられ、
前記中空ロッドに、該中空ロッド内部とその周囲の流体室内部とを連絡する貫通孔が設けられ、
前記ベースに固定された、前記中空ロッドの内部空間または前記流体室のいずれかに、流体供給配管が接続されている流体供給機構。
【請求項２】
ベースと、
該ベースに対して直線移動させられる移動体と、
前記ベースに対して前記移動体を流体により浮上させて、移動体をベースに対して直線移動可能に支持する静圧軸受と、
前記ベースに対して前記移動体を直線移動させるアクチュエータと、
請求項１に記載の流体供給機構とを備える直線移動装置。
【請求項３】
前記アクチュエータが、リニアモータからなる請求項２に記載の直線移動装置。
【請求項４】
前記静圧軸受および前記流体供給機構に接続される共通の流体源を備える請求項２または請求項３に記載の直線移動装置。
【請求項５】
前記静圧軸受が、前記移動体の前記ベースとの対向面に設けられた複数の凹部と、各凹部内に供給されベースと各凹部との間に貯留されるオイルとからなる静圧パッドにより構成され、
各凹部に、前記移動体側に固定された、前記中空ロッドの内部空間または前記流体室のいずれかが接続されている請求項２から請求項４のいずれかに記載の直線移動装置。
【請求項６】
請求項２から請求項５のいずれかに記載の直線移動装置を備える工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体供給機構、直線移動装置および工作機械に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、工作機械等の直線移動させられるテーブル上に固定された流体圧作動機器への流体圧供給は、流体圧発生ユニットに接続されたチューブにより行われている（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１の工作機械においては、油圧ユニットと油圧作動部とが弾性チューブにより接続されることで、油圧の脈動による工具やワークの振動を抑制することとしている。
【特許文献１】特開２００２−２３９８５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、油圧供給用のチューブには、耐圧性が必要とされるために、通常、硬質のチューブが用いられている。この場合、テーブルを動作させるには、硬質のチューブを変形させながら動作させる必要があるため、チューブの剛性がテーブルの動作の抵抗となり、円滑な動作が妨げられ、また、運動の真直度および位置決め精度が低下するという不都合がある。
【０００４】
一方、特許文献１のように弾性チューブを用いた場合、油圧の脈動はチューブの弾性変形によって吸収されるが、硬質のチューブと同等の耐圧性を確保するためにはチューブの肉厚が増大し、チューブ全体の剛性はさほど低減されないため、相変わらずテーブルの円滑な動作が阻害されるという不都合がある。テーブルの動作範囲が広い場合には、チューブの長さが長くなって自重が増大するため、テーブルの円滑な動作がさらに妨げられるとともに、チューブ全体を含めた装置の占有スペースが増大してしまう不都合もある。
【０００５】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、移動体の円滑な動作および運動の真直度、位置決め精度を低下させることなく、ベース側から移動体側に流体を供給することができる流体供給機構およびこれを備える直線移動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、ベースから、該ベースに直線移動可能に支持された移動体に対して流体を供給する流体供給機構であって、前記ベースまたは前記移動体のいずれか一方に固定され、移動体の移動方向に沿って配置された中空ロッドと、前記ベースまたは前記移動体のいずれか他方に固定された流体室とを備え、該流体室の対向する一対の壁面に、径方向に隙間をあけて前記中空ロッドを貫通させるロッド挿通孔が設けられ、前記中空ロッドに、該中空ロッド内部とその周囲の流体室内部とを連絡する貫通孔が設けられ、前記ベースに固定された、前記中空ロッドの内部空間または前記流体室のいずれかに、流体供給配管が接続されている流体供給機構を提供する。
【０００７】
本発明によれば、ベースに中空ロッドが固定されている場合には、流体供給配管から中空ロッドの内部空間に流体が供給される。中空ロッドの内部空間に供給された流体は、中空ロッドに設けられた貫通孔を介して、中空ロッドの周囲に配置されている流体室内に供給される。流体室は移動体に設けられているので、これにより流体がベース側から移動体側に供給されることになる。
【０００８】
このようにすることで、ベースと移動体との間に流体供給用の可動チューブを設けることなく、固定配管のみでベース側から移動体側に流体を供給することができる。したがって、移動体の動作の妨げとなる可動チューブをなくすことができ、移動体を精度よく移動させることができる。
【０００９】
この場合において、中空ロッドが移動体の移動方向に沿って配置されており、また、流体室の壁面に設けたロッド挿通孔を貫通し、ロッド挿通孔と中空ロッドとの間には径方向に隙間が形成されているため、ベースに対して移動体が移動させられる際に、移動体は抵抗なく移動させられることになる。また、この隙間を十分に小さく設定しておくことにより、中空ロッド内および流体室内の圧力が大気解放されることなく保持され、流体室から移動体上の流体駆動機器等に流体を供給することが可能となる。
なお、ベースに流体室が固定され、移動体に中空ロッドが固定されている場合についても上記と同様に作用する。
【００１０】
また、中空ロッドを長手方向に一定の横断面を有するものとし、中空ロッドが挿入された状態の流体室内形状を半径方向全方向とも中空ロッドの軸線に対して概略対称な形状とすることにより、流体の圧力によって流体室内面が受ける力が半径方向および軸線方向について一方向に偏ることがない。したがって、移動体がベースに対していずれの位置に配置されても、中空ロッドとロッド挿通孔との隙間を一定に維持し、移動体のスムーズな動きを達成でき、また、流体の供給状態によって移動体の動きが影響されることがない。
【００１１】
また、本発明は、ベースと、該ベースに対して直線移動させられる移動体と、前記ベースに対して前記移動体を流体により浮上させて、移動体をベースに対して直線移動可能に支持する静圧軸受と、前記ベースに対して前記移動体を直線移動させるアクチュエータと、上記流体供給機構とを備える直線移動装置を提供する。
【００１２】
本発明によれば、移動体がベースに対して静圧軸受により支持されているので、軸受部における機械的な摩擦が低減され、アクチュエータの作動により、精度よく移動させることが可能となる。この場合に、上記流体供給機構を備えているので、移動体の動作に影響を与えることなくベース側から移動体側に流体を供給することができる。
【００１３】
ボールネジ、エアシリンダ等の適用も可能であるが、上記発明においては、前記アクチュエータが、リニアモータからなることが好ましい。
アクチュエータをリニアモータにより構成することで、アクチュエータにおける機械的摩擦をもなくすことができる。したがって、さらに精度よく移動体を移動させることができる。機械的摩擦を低減することで、外力に対する剛性が低下するが、本発明によれば、流体供給機構が、移動体の動作に影響を与えることなくベース側から移動体側に流体を供給でき、移動体の位置精度を高く維持することができる。
【００１４】
また、上記発明においては、前記静圧軸受および前記流体供給機構に接続される共通の流体源を備えることとしてもよい。
このようにすることで、流体源を共通化して部品点数を低減できる。流体源としては、オイルポンプの他、オイルクーラー、オイルフィルタ等が必要となるため、これらを共通化することにより製品コストを削減でき、また、設置スペースを低減して装置の小型化を図ることができる。
また、静圧軸受から漏れるオイルはオイル回収部により回収されるが、油圧供給機構から漏れたオイルも同じオイル回収部により回収可能であり、オイル回収部を共通化できる。
【００１５】
また、上記発明においては、前記静圧軸受が、前記移動体の前記ベースとの対向面に設けられた複数の凹部と、各凹部内に供給されベースと各凹部との間に貯留されるオイルとからなる静圧パッドにより構成され、各凹部に、前記移動体側に固定された、前記中空ロッドの内部空間または前記流体室のいずれかが接続されていることが好ましい。
【００１６】
このように構成することで、移動体側に流体室が設けられている場合には、流体供給機構を介してベース側から流体室に供給されたオイルが、流体室に接続された凹部に供給され、凹部内に所定の圧力を維持したまま貯留される。これにより、ベースに対して移動体をオイルにより浮上させ移動可能に支持することができる。
【００１７】
この場合において、静圧パッドの各凹部が移動体側に設けられているので、対向するベース側の面を単に平坦に構成しておけば、移動体がベースに対していかなる位置に配置されてもその場で静圧パッドに静圧を発生させ、移動体をベースに対して移動可能に支持することができる。したがって、移動体の動作範囲を拡大することができる。
【００１８】
また、移動体側に設けられた静圧パッドの各凹部への流体供給も、流体供給機構により可動チューブを介することなく行うことができる。したがって、静圧パッドへの流体は、移動体上の他の流体駆動機器への流体供給用の固定配管を分岐することで簡易に供給することができ、移動体を精度よく円滑に移動させることができる。
【００１９】
また、本発明は、上記いずれかの直線移動装置と、該直線移動装置に搭載された加工機とを備える工作機械を提供する。
本発明によれば、移動体を精度よく円滑に移動させる直線移動機構の作動により、移動体に搭載した加工機を精度よく円滑に移動させて、高い加工精度を達成することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ベース側から移動体側に可動チューブを用いることなく流体を供給することができる。したがって、移動体の円滑な動作および運動の真直度、位置決め精度を低下させることなく、ベース側から移動体側に流体を供給することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の一実施形態に係る流体供給機構１について、図１および図２を参照して、以下に説明する。
本実施形態に係る流体供給機構１は、図１に示されるように、直線移動装置２に備えられ、ベース３側から移動体４側に油圧を供給する油圧供給機構１である。なお、本発明は液体（油、水）や気体等の流体に適用可能であるが、ここでは流体として油を用いた場合について説明する。直線移動装置２は、例えば、床面等の構造物Ｘに固定されるベース３と、該ベース３に対して水平方向に直線移動可能に支持される移動体４とを備えている。
【００２２】
本実施形態に係る油圧供給機構１は、図１に示されるように、ベース３に設けられた側壁５に片持ち梁状に固定される中空ロッド６と、移動体４に固定された油圧室７とを備えている。
中空ロッド６は、一端に前記側壁５に固定されるフランジ部６ａを備え、ほぼ全長にわたって円形の横断面輪郭形状を有する直棒状に形成されている。中空ロッド６のフランジ部６ａ側から長手方向のほぼ中央部近傍までの範囲には、その中心軸に沿って中空ロッド６の長手方向に沿って延びる内部空間６ｂが設けられている。中空ロッド６の先端側の残りの半分は中実の丸棒である。
【００２３】
中空ロッド６の長手方向のほぼ中央近傍には、中空ロッド６の外面から内部空間６ｂまで半径方向に貫通する貫通孔８が設けられている。
また、中空ロッド６のフランジ部６ａ側の一端には加圧されたオイルＬを供給する油圧供給配管９が接続されるようになっている。
【００２４】
油圧室７は、例えば、図１に示す例では、移動体４自体の内部に形成された、中空ロッド６の外径寸法よりも大きな内径寸法を有する横断面円形の孔状の空間である。油圧室７の長手方向の両端にはブッシュ１０が固定されることにより、油圧室７の両端に側壁が形成されている。側壁を構成するブッシュ１０にはそれぞれ貫通孔１０ａが設けられている。ブッシュ１０の貫通孔１０ａは、前記中空ロッド６の外径寸法よりも若干大きな内径寸法を有している。
【００２５】
ベース３の側壁５に固定された中空ロッド６は、ベース３に対する移動体４の移動方向に沿って延びるように配置されている。また、中空ロッド６は油圧室７の側壁を構成するブッシュ１０の貫通孔１０ａの中央に挿入されている。これにより、ブッシュ１０の貫通孔１０ａ内面と中空ロッド６外面とは同心に配置され、両者間には、全周にわたって、半径方向に微小隙間Ｓが形成されている。
移動体４がベース３に対して移動させられると、移動体４は、中空ロッド６の長手方向に沿って移動させられる結果、ブッシュ１０の貫通孔１０ａ内面と中空ロッド６外面との隙間Ｓおよび、油圧室７内面と中空ロッド６外面との間の空間の形状は変化することなく一定に保持されるようになっている。
【００２６】
移動体４には、油圧室７に連通する油圧取出孔１１が設けられている。油圧取出孔１１には図示しないチューブが接続され、移動体４上に搭載される種々の油圧機器（図示略）に対して油圧を供給することができるようになっている。
【００２７】
このように構成された本実施形態に係る油圧供給機構１の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係る油圧供給機構１によれば、図１に示される状態で、油圧供給配管９に加圧されたオイルＬを供給すると、油圧供給配管９が接続された中空ロッド６の内部空間６ｂにオイルＬが供給される。
【００２８】
オイルＬは、中空ロッド６の内部空間６ｂに充満すると、内部空間６ｂに連通して設けられた貫通孔８を介して油圧室７内に流入する。油圧室７は、ブッシュ１０の貫通孔１０ａに中空ロッド６を隙間Ｓをあけて挿入しているので、油圧室７に流入したオイルＬの一部は隙間Ｓから油圧室７外に漏れるが、隙間Ｓが十分に微小に構成されているので、オイルＬの粘性によって油圧室７内の油圧は大気開放されることなく保持され、油圧取出孔１１から移動体４上の図示しない油圧機器に供給されることになる。
【００２９】
また、図２に示されるように、ベース３に対して移動体４を移動させると、移動体４が中空ロッド６の長手方向に沿う方向に直線移動させられる。このとき、移動体４に固定したブッシュ１０の貫通孔１０ａ内面と中空ロッド６の外面との隙間Ｓは一定に維持されるので、移動体４は、中空ロッド６とブッシュ１０とを接触させることなく、ベース３に対して移動させられる。また、油圧室７も一定の横断面形状を有する孔状に形成され、その中心軸に沿って中空ロッド６が挿入されているため、移動体４がベース３に対して移動することにより、油圧室７内において中空ロッド６が相対的に変位しても、油圧室７の内容積は変動することなく一定の内容積に維持される。したがって、移動体４が移動しても油圧室７内の圧力は一定に維持される。
【００３０】
その結果、本実施形態に係る油圧供給機構１によれば、移動体４がベース３に対して移動しても、油圧供給機構１を構成する中空ロッド６と油圧室７とが機械的に接触することがなく、また、油圧室７内圧の変動もないので、移動体４の移動を妨げるような外力はほとんど発生しない。したがって、移動体４を円滑に移動させることができる。その結果、油圧供給機構１が移動体４の移動を阻害せず、移動体４の位置決め精度を向上させることができる。また、移動体４の移動によって油圧室７内圧が変動しないので、移動体４に搭載された油圧機器に対して、移動体４の移動あるいは停止状態にかかわらず、一定の油圧を供給することができるという利点がある。
【００３１】
なお、本実施形態においては、中空ロッド６をベース３の側壁５に片持ち梁状に固定したが、これに代えて、両持ち梁状に固定してもよい。
また、中空ロッド６をベース３に固定し、油圧室７を移動体４に設けたが、これに代えて、ベース３に油圧室７を設け、移動体４に中空ロッド６を固定することにしてもよい。この場合、油圧供給配管９はベース３の油圧室７に接続され、油圧は、油圧室７から中空ロッド６の貫通孔８を介して中空ロッド６の内部空間６ｂに入り、内部空間６ｂに接続される油圧取出孔１１を介して移動体４上の各種油圧機器に供給されることになる。
【００３２】
次に、本発明の一実施形態に係る直線移動装置２０について、図３〜図７を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る直線移動装置２０は、図３および図４に示されるように、ベース２１と、該ベース２１に対して水平方向に直線移動させられる移動体２２と、該移動体２２をベース２１に対して直線移動可能に支持する静圧軸受２３と、ベース２１に対して移動体２２を直線移動させるアクチュエータ２４と、油圧供給機構２５と、油圧供給機構２５に接続された油圧源２６とを備えている。
【００３３】
移動体２２は、例えば、主軸スピンドル等（図示略）を固定するテーブルである。
静圧軸受２３は、図３、図６および図７に示されるように、ベース２１に設けられた張出部２１ａの上下に、移動体２２の移動方向に沿って水平に延びる複数の平坦面２７と、各平坦面２７に微小隙間をあけて対向する複数の静圧パッド２８とから構成されている。静圧パッド２８は、前記平坦面２７に対向する移動体２２の対向面に設けられた凹部２９と、該凹部２９に充填されるオイルＬとにより構成されている。
【００３４】
各凹部２９は、各張出部２１ａを挟んで上下に対向する位置に配置されているとともに、移動体２２の移動方向に間隔をあけて複数配置されている。
そして、各凹部２９に加圧したオイルＬを供給することにより、張出部２１ａに設けられた上下一対の平坦面２７に対して、上下一対の凹部２９内に供給されたオイルＬが相互に逆方向に押圧力を加えることで、ベース２１の張出部２１ａの平坦面２７に対して、移動体２２を油圧で浮上させた状態で力を釣り合わせ、この状態に維持することができるようになっている。
【００３５】
また、このような上下一対の凹部２９が、移動体２２の移動方向に間隔をあけて複数配置されているので、移動方向に交差する水平軸線回りのモーメントも釣り合った状態に維持される。したがって、移動体２２がベース２１から浮上して水平状態に維持されるようになっている。
なお、説明の簡単のために図示を省略しているが、通常は、水平方向に対向する位置にも静圧パッド２８が設けられ、移動方向に交差する水平方向の力の釣り合いと、移動方向に交差する鉛直軸線回りのモーメントの釣り合いとが図られるようになっている。
【００３６】
前記アクチュエータ２４は、例えば、リニアモータである。該アクチュエータ２４は、ベース２１に固定された略円柱状のシャフト３０と、該シャフト３０の周囲に配置されシャフト３０を貫通させる筒状の可動部材３１とを備えている。
【００３７】
シャフト３０は、ベース２１に取り付けられたブラケット３２に固定され、両持ち梁状に支持されている。
シャフト３０の内部には、長手方向に沿って複数のコイル（図示略）が配列されており、外部から電流を供給されることにより、シャフト３０の周囲に磁場を形成するようになっている。
また、可動部材３１の内部には、図示しないリング状の永久磁石が長手方向に沿って複数配列されている。
【００３８】
これにより、シャフト３０内のコイルに供給する電流を制御して、発生する磁場の方向、強度等を調整することによって、可動部材３１内の永久磁石の磁場との間で牽引あるいは反発を生じさせ、これによって移動体２２にシャフト３０の長手方向に沿う駆動力を加えることができるようになっている。
すなわち、アクチュエータ２４は、シャフト３０と可動部材３１とを非接触の状態に保持し、両者間に機械的な摩擦等を発生させることなく、可動部材３１をシャフト３０の長手方向に沿って推進することができるようになっている。
【００３９】
また、油圧供給機構２５は、図３および図４に示されるように、移動体２２の移動方向の両端においてベース２１に取り付けられた前記ブラケット３２に両持ち梁状に固定される中空ロッド３３と、移動体２２に設けられた油圧室３４とを備えている。中空ロッド３３は、一端に設けたフランジ部３３ａ側から長手方向の中央位置近傍まで中心軸線に沿って形成された内部空間３３ｂを備えている。また、中空ロッド３３の長手方向の中央位置近傍には、外面から内部空間まで連通する貫通孔３５が設けられている。
【００４０】
油圧室３４は、移動体２２に形成された横断面円形の孔の両端をブッシュ３６により閉塞し、ブッシュ３６に設けた貫通孔３６ａに中空ロッド３３を貫通させることで、長手方向に沿って一定のリング状の横断面形状を有する円筒状の空間に形成されている。中空ロッド３３に設けた貫通孔３５により、中空ロッド３３の内部空間３３ｂと油圧室３４とが連絡している。
【００４１】
移動体２２には、油圧室３４に接続する油圧取出孔３７が形成されている。移動体２２の上面にはマニホールド３８が固定され、該マニホールド３８に油圧取出孔３７が接続されている。
また、マニホールド３８は、前記静圧軸受２３を構成する各静圧パッド２８の凹部２９にも管路３９によって接続されている。さらに、マニホールド３８には、図示しない油圧機器への油圧供給管路４０も接続されている。
【００４２】
中空ロッド３３のフランジ部３３ａ側の一端に開口する内部空間３３ｂには、油圧源２６が接続されている。油圧源２６は、図示しない油圧ポンプ、オイルクーラー、オイルフィルタ等を備え、所定温度に温度調節された清浄なオイルＬを中空ロッド３３のフランジ部３３ａ側の一端から中空ロッド３３の内部空間３３ｂに供給することができるようになっている。これにより、油圧源２６から供給された油圧は、油圧供給機構４１を介してベース２１側から移動体２２側に供給され、マニホールド３８によって各静圧パッド２８の凹部２９および油圧機器に分配されるようになっている。
【００４３】
このように構成された本実施形態に係る直線移動装置２０の作用について以下に説明する。
本実施形態に係る直線移動装置２０によれば、油圧源２６を作動させて、所定の油圧を中空ロッド３３の内部空間３３ｂに供給することにより、油圧が貫通孔３５を介して油圧室３４内に供給され、油圧取出孔３７およびマニホールド３８を介して、移動体２２に設けた静圧パッド２８および移動体２２上の各種油圧機器に供給されることになる。
【００４４】
この場合において、油圧室３４の側壁を構成するブッシュ３６には中空ロッド３３との間に微小隙間Ｓが形成されているために、供給されたオイルＬの一部が隙間Ｓから外部に漏洩することとなるが、隙間Ｓは十分に微小に構成されているので、油圧室３４内の油圧は大気解放されることなく一定の値に維持される。これにより、ベース２１と移動体２２との間に可動チューブや機械的な接触を設けることなく、ベース２１側から移動体２２側に油圧を供給することができる。
【００４５】
また、中空ロッド３３と油圧室３４とが接触しないので、図５に示されるように、ベース２１に対して移動体２２を水平方向に移動させても、油圧室３４内の容積は変動せず、したがって、油圧室３４内の圧力変動も生じないので、移動中も、移動後も、安定した油圧を供給し続けることができる。さらに、油圧室３４内の圧力変動が生じないので、移動体の移動を妨げる抵抗力は発生しないことになる。
【００４６】
また、油圧が静圧軸受２３の静圧パッド２８に供給されることにより、ベース２１に対して移動体２２が浮上した状態に保持される。
さらに、アクチュエータ２４としてリニアモータを採用しているので、シャフト３０と可動部材３１とを機械的に接触させることなく、シャフト３０から可動部材３１に対して推進力を与えることができる。
【００４７】
したがって、アクチュエータ２４を作動させることにより、静圧軸受２３によって浮上した状態に維持されている移動体２２が直線移動させられる。この場合に、移動体２２とベース２１との間には、可動チューブや他の機械的な接触が存在せず、油膜が介在させられているのみであるため、移動体２２は、その動きを何ら妨げられることなく円滑に直線移動させられ、アクチュエータ２４の制御により、極めて高い精度で位置決めされることになる。
【００４８】
また、本実施形態に係る直線移動装置２０においては、図６および図７に示されるように、静圧軸受２３を構成する静圧パッド２８の凹部２９が、移動体２２側に設けられており、ベース２１側にはこれに対向する平坦面２７が設けられているのみである。このため、各凹部２９の大きさを小さくしても、ベース２１側の平坦面２７が存在している限り、移動体２２の位置にかかわらず静圧を発生させて、ベース２１に対し移動体２２を浮上した状態に支持することができる。したがって、移動体２２の動作範囲を長くすることができる。
【００４９】
また、本実施形態に係る直線移動装置２０によれば、単一の油圧源２６から供給した油圧をマニホールド３８において分配するので、静圧軸受２３用の油圧および油圧機器用の油圧を共通の油圧源２６から供給でき、部品点数の削減、コスト低減、装置の小型化等を図ることができる。
また、静圧軸受２３は、元々、移動体２２とベース２１との間に隙間をあけて、その隙間から漏れるオイルＬを許容しつつ凹部２９内における静圧を利用するものであるため、漏れたオイルＬを回収する回収手段（図示略）を設ける必要がある。本実施形態によれば、そのような静圧軸受２３を備える直線移動装置２０において、オイルＬの漏れを許容する油圧供給機構２５を採用しているので、オイルＬの回収手段を共用することができるという利点もある。
【００５０】
なお、本実施形態に係る直線移動装置２０においても、ベース２１側に中空ロッド３３を固定し、移動体２２側に油圧室３４を固定した油圧供給機構２５を備えることとしたが、これに代えて、ベース２１側に油圧室３４、移動体２２側に中空ロッド３３を固定して、油圧源２６から油圧室３４に油圧を供給することにしてもよい。
【００５１】
また、静圧軸受２３を構成する静圧パッド２８を移動体２２の移動方向に間隔をあけて２カ所に設けることとしたが、これに代えて、３カ所以上設けることにしてもよい。
また、静圧パッド２８を移動体２２側に設けることにより上記効果を達成できるので好ましいが、これに限定されるものではなく、静圧パッド２８をベース２１側に設けることにしてもよいことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施形態に係る油圧供給機構を示す縦断面図である。
【図２】図１の油圧供給機構において、移動体がベースに対して移動した状態を説明する縦断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る直線移動装置を示す正面図である。
【図４】図３の直線移動装置のＡ−Ａ断面を示す縦断面図である。
【図５】図３の直線移動装置において、ベースに対して移動体が、図４の状態から水平方向に移動した状態を示す縦断面図である。
【図６】図３の直線移動装置のＢ−Ｂ断面を示す縦断面図である。
【図７】図３の直線移動装置において、ベースに対して移動体が、図６の状態から水平方向に移動した状態を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１，２５  油圧供給機構（流体供給機構）
２，２０  直線移動装置
３，２１  ベース
４，２２  移動体
６．３３  中空ロッド
６ｂ，３３ｂ  内部空間
７，３４  油圧室（流体室）
８，３５  貫通孔
９，４１  油圧供給配管（流体供給配管）
１０，３６  ブッシュ（側壁、壁面）
１０ａ，３６ａ  貫通孔（ロッド挿通孔）
２３  静圧軸受
２４  リニアモータ（アクチュエータ）
２６  油圧源（流体源）
２８  静圧パッド
２９  凹部
Ｌ  オイル
Ｓ  隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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