(57)【要約】【課題】  塗布する塗布液中の粒子が凝集力等で集まって大きくなることを防止して膜厚の均一性を向上する塗布装置を提供する。【解決手段】  本発明の塗布装置は、供給源、ポンプ、ノズル、第１攪拌部、および第２攪拌部を備えている。第１攪拌部は、供給源に貯留されている塗布液を攪拌する。第２攪拌部は、ポンプが取り出してからノズルから吐出されるまでの塗布液を再度攪拌する。これによって、吐出前の塗布液を塗布装置内で少なくとも２回攪拌するため、塗布液濃度が安定して塗布液中の粒子径が同じとなり、膜厚等の塗布均一性が向上する。また、ノズルの目詰まりが減少するため、塗布装置の連続稼働時間を長くすることができる。【選択図】  図２
2006205024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を貯留して供給する供給源と、
前記供給源に貯留された塗布液を取り出して増圧するポンプと、
その先端部から前記ポンプで増圧された塗布液を吐出するノズルと、
前記供給源に貯留されている塗布液を攪拌する第１攪拌部と、
前記ポンプが取り出して前記ノズルから吐出されるまでの塗布液を再度攪拌する第２攪拌部とを備える、塗布装置。
【請求項２】
前記塗布装置は、前記ポンプが取り出してから前記ノズルから吐出されるまでの塗布液中の異物を除去するためのフィルタを、さらに備え、
前記第２攪拌部は、前記フィルタへ連結する配管に設けられることを特徴とする、請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記第２攪拌部は、前記配管内部を流動する塗布液に対して超音波を加える超音波発生部を含む、請求項２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記第２攪拌部は、前記配管内部に装着され、当該配管の延設方向を軸として左方向および右方向へ交互にねじられた螺旋状に当該配管内部空間を剪断するエレメントを含む、請求項２に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記塗布液は、有機ＥＬ表示装置を製造するための有機ＥＬ材料および正孔輸送材料の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項１に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置に関し、より特定的には、ステージ上に載置した基板にノズルから有機ＥＬ材料等の塗布液を吐出して塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板等の被処理体に塗布液を塗布する塗布装置が各種開発されている。例えば、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置を製造する装置では、ステージ上に載置されたガラス基板等の基板の主面に所定のパターン形状で正孔輸送材料や有機ＥＬ材料をノズル塗布する塗布装置が用いられる。この塗布装置では、ノズルから塗布液（有機ＥＬ材料や正孔輸送材料）が所定の圧力で吐出される。具体的には、塗布装置に備えられたタンク等の供給源に塗布液が貯留され、供給源から供給される塗布液をポンプで増圧し、配管内に設けられたフィルタで異物を除去した後、ノズルから吐出される。
【０００３】
ここで、塗布装置が塗布する塗布液中の粒子が凝集力等で集まって大きくなると、一般的に塗布液濃度が変化して塗布ムラ等が発生する。例えば、ノズル塗布によって有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布する装置では、塗布液濃度が低下すると膜厚が薄くなり、その結果、単一製品における膜厚の均一性や製造ロット間における膜厚の均一性が低下する。また、増圧後に通過するフィルタでも大きな粒子を１００％捕集可能ではなく、その結果、当該フィルタを通過した大きな粒子がノズル等で目詰まりを起こし、塗布装置の連続稼働性能を低下させる。
【０００４】
このような塗布液中の粒子を分散させるために、塗布液を攪拌して吐出する塗布装置がある（例えば、特許文献１参照）。この塗布装置では、供給源で貯留された塗布液を攪拌して当該塗布液を吐出している。
【特許文献１】特開２０００−１５７９０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、供給源で貯留された塗布液を攪拌するだけでは、供給源からノズルに至るまでの配管内で塗布液中の粒子が集まって大きくなることがある。例えば、有機ＥＬ表示装置を製造する装置で用いられる塗布装置では、供給源からノズルに至るまでの配管内を流動する有機ＥＬ材料や正孔輸送材料の流速が遅いため、当該配管内で粒子が集まって大きくなりやすい環境にある。
【０００６】
それ故に、本発明の目的は、塗布する塗布液中の粒子が凝集力等で集まって大きくなることを防止して膜厚の均一性を向上する塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、供給源、ポンプ、ノズル、第１攪拌部、および第２攪拌部を備える塗布装置である。供給源は、塗布液を貯留して供給する。ポンプは、供給源に貯留された塗布液を取り出して増圧する。ノズルは、その先端部からポンプで増圧された塗布液を吐出する。第１攪拌部は、供給源に貯留されている塗布液を攪拌する。第２攪拌部は、ポンプが取り出してノズルから吐出されるまでの塗布液を再度攪拌する。
【０００８】
第２の発明は、上記第１の発明において、フィルタを、さらに備える。フィルタは、ポンプが取り出してからノズルから吐出されるまでの塗布液中の異物を除去する。第２攪拌部は、フィルタへ連結する配管に設けられる。
【０００９】
第３の発明は、上記第２の発明において、第２攪拌部は、超音波発生部を含む。超音波発生部は、配管内部を流動する塗布液に対して超音波を加える。
【００１０】
第４の発明は、上記第２の発明において、第２攪拌部は、エレメントを含む。エレメントは、配管内部に装着され、その配管の延設方向を軸として左方向および右方向へ交互にねじられた螺旋状にその配管内部空間を剪断する。
【００１１】
第５の発明は、上記第１の発明において、塗布液は、有機ＥＬ表示装置を製造するための有機ＥＬ材料および正孔輸送材料の少なくとも一方である。
【発明の効果】
【００１２】
上記第１の発明によれば、吐出前の塗布液を塗布装置内で少なくとも２回攪拌するため、塗布液濃度が安定して塗布液中の粒子径が同じとなり、膜厚等の塗布均一性が向上する。また、ノズルの目詰まりが減少するため、塗布装置の連続稼働時間を長くすることができる。
【００１３】
上記第２の発明によれば、供給源からノズルまでの配管において２回目の攪拌を行うことによって、供給源からノズルに至るまでの配管内で塗布液中の粒子が集まって大きくなることを防止することができる。また、塗布液中の異物を取り除くためのフィルタを備えた塗布装置であっても、当該フィルタへ連結する配管において塗布液の攪拌が行われるため、フィルタへ流動する塗布液濃度が安定して塗布液中の粒子径が同じとなり、フィルタで捕集される比率が一定となり、膜厚等の塗布均一性が向上する。また、フィルタの目詰まりが減少するため、塗布装置の連続稼働時間を長くすることができる。さらに、フィルタ自体の交換頻度が少なくなるため、コスト低減やメンテナンス時間の短縮が期待できる。
【００１４】
上記第３の発明によれば、供給源からノズルまでの配管内部を流動する塗布液に超音波を加えて攪拌することによって、配管内で塗布液中の粒子を分散させることができるため、供給源からノズルに至るまでの配管内で塗布液中の粒子が集まって大きくなることを防止することができる。
【００１５】
上記第４の発明によれば、供給源からノズルまでの配管内部にその延設方向を軸として左方向および右方向へ交互にねじられた螺旋状に配管内部空間を剪断するエレメントを装着することによって、配管内部を流動する塗布液がエレメントによって乱流攪拌されるため、供給源からノズルに至るまでの配管内で塗布液中の粒子が集まって大きくなることを防止することができる。
【００１６】
上記第５の発明によれば、一般的に供給源からノズルに至るまでの配管内を流動する流速が遅い有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布液として用いる塗布装置であっても、吐出前の塗布液を塗布装置内で少なくとも２回攪拌するため、塗布液濃度が安定して塗布液中の粒子径が同じとなり、膜厚等の塗布均一性が向上する。また、ノズルの目詰まりが減少するため、塗布装置の連続稼働時間を長くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る塗布装置について説明する。説明を具体的にするために、当該塗布装置が有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を塗布液として用いる有機ＥＬ表示装置を製造する装置に適用された例を用いて、以下の説明を行う。有機ＥＬ表示装置を製造する装置は、有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等をステージ上に載置されたガラス基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造するものである。図１は、有機ＥＬ表示装置の製造装置の要部概略構成を示す平面図および正面図である。なお、有機ＥＬ表示装置を製造する装置に用いられる塗布装置は、上述したように有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等の複数の塗布液を用いるが、それらの代表として有機ＥＬ材料を塗布液として説明を行う。
【００１８】
図１において、有機ＥＬ表示装置の製造装置１は、大略的に、基板載置装置２および有機ＥＬ塗布機構５を備えている。有機ＥＬ塗布機構５は、ノズル移動機構部５１、ノズルユニット５２、および液受部５３を有している。ノズル移動機構部５１は、ガイド部材５１１が図示Ｘ軸方向に延設されており、ノズルユニット５２をガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向に移動させる。ノズルユニット５２は、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ吐出するノズル５２１〜５２３を並設した状態で保持する。各ノズル５２１〜５２３へは、それぞれ供給部（図２参照）から赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料が供給される。
【００１９】
基板載置装置２は、ステージ２１、旋回部２２、平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、およびガイド部材２５を有している。ステージ２１は、被塗布体となるガラス基板等の基板Ｐをそのステージ上面に載置する。ステージ２１の下部は、旋回部２２によって支持されており、旋回部２２の回動動作によって図示θ方向にステージ２１が回動可能に構成されている。また、ステージ２１の内部には、有機ＥＬ材料が塗布された基板Ｐをステージ面上で予備加熱処理するための加熱機構が設けられている。
【００２０】
有機ＥＬ塗布機構５の下方を通るように、ガイド部材２５が上記Ｘ軸方向と垂直の図示Ｙ軸方向に延設されて固定される。平行移動テーブル２３の下面にはガイド部材２５と当接してガイド部材２５上を滑動するガイド受け部２４が固設されている。また、平行移動テーブル２３の上面には、旋回部２２が固設される。これによって、平行移動テーブル２３が、例えばリニアモータ（図示せず）からの駆動力を受けてガイド部材２５に沿った図示Ｙ軸方向に移動可能になり、旋回部２２に支持されたステージ２１の移動も可能になる。
【００２１】
ステージ２１上に基板Ｐを載置して、平行移動テーブル２３が有機ＥＬ塗布機構５の下方まで移動したとき、当該基板Ｐが赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料の塗布をノズル５２１〜５２３から受ける位置となる。そして、制御部（図２参照）がノズルユニット５２をＸ軸方向に往復移動させるようにノズル移動機構部５１を制御し、ステージ２１をＹ軸方向へ当該直線移動毎に所定ピッチだけ移動させるように平行移動テーブル２３を制御し、ノズル５２１〜５２３から所定流量の有機ＥＬ材料を吐出する。また、ノズル５２１〜５２３のＸ軸方向吐出位置において、ステージ２１に載置された基板Ｐから逸脱する両サイド空間には、基板Ｐから外れて吐出された有機ＥＬ材料を受ける液受部５３Ｌおよび５３Ｒがそれぞれ固設されている。ノズル移動機構部５１は、基板Ｐの一方サイド外側に配設されている液受部５３の上部空間から、基板Ｐを横断して基板Ｐの他方サイド外側に配設されている液受部５３の上部空間まで、ノズルユニット５２を往復移動させる。また、平行移動テーブル２３は、ノズルユニット５２が液受部５３の上部空間に配置されている際、ノズル往復移動方向とは垂直の所定方向（図示Ｙ軸方向）に所定ピッチだけステージ２１を移動させる。このようなノズル移動機構部５１および平行移動テーブル２３の動作と同時にノズル５２１〜５２３から有機ＥＬ材料を液柱状態で吐出することによって、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料が基板Ｐに形成されたストライプ状の溝毎に赤、緑、青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列が基板Ｐ上に形成される。
【００２２】
次に、図２を参照して、有機ＥＬ表示装置の製造装置１における制御機能および供給部の概略構成について説明する。なお、図２は、有機ＥＬ表示装置の製造装置１の制御機能および供給部を示すブロック図である。
【００２３】
図２において、有機ＥＬ表示装置の製造装置１は、上述した構成部の他に、制御部３、第１供給部５４ａ、第２供給部５４ｂ、および第３供給部５４ｃを備えている。第１供給部５４ａは、赤色の有機ＥＬ材料を赤色用のノズル５２１に供給する。第２供給部５４ｂは、緑色の有機ＥＬ材料を緑色用のノズル５２２に供給する。第３供給部５４ｃは、青色の有機ＥＬ材料を青色用のノズル５２３に供給する。第１供給部５４ａは、赤色の有機ＥＬ材料の供給源５４１ａと、供給源５４１ａから赤色の有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２ａと、赤色の有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３ａと、赤色の有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５４５ａと、流量計５４３ａからフィルタ５４５ａへ流動する赤色の有機ＥＬ材料を攪拌する攪拌部５４４ａとを備えている。また、第２供給部５４ｂは、緑色の有機ＥＬ材料の供給源５４１ｂと、供給源５４１ａから緑色の有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２ｂと、緑色の有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３ｂと、緑色の有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５４５ｂと、流量計５４３ｂからフィルタ５４５ｂへ流動する緑色の有機ＥＬ材料を攪拌する攪拌部５４４ｂとを備えている。さらに、第３供給部５４ｃは、青色の有機ＥＬ材料の供給源５４１ｃと、供給源５４１ａから青色の有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２ｃと、青色の有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３ｃと、青色の有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５４５ｃと、流量計５４３ｃからフィルタ５４５ｃへ流動する青色の有機ＥＬ材料を攪拌する攪拌部５４４ｃとを備えている。そして、制御部３は、第１〜第３供給部５４ａ〜５４ｃ、旋回部２２、平行移動テーブル２３、およびノズル移動機構部５１のそれぞれの動作を制御する。
【００２４】
供給源５４１ａ〜５４１ｃに貯留されている有機ＥＬ材料は、それぞれ吐出の有無に関わらず攪拌される。例えば、供給源５４１ａ〜５４１ｃは、タンク等の容器内で有機ＥＬ材料を貯留し、当該容器内部で回転子を回転させるスターラを用いたり、当該容器に振動を加えたりすることによって攪拌をする。また、供給源５４１ａ〜５４１ｃは、ガラスや石英を材料とする容器に有機ＥＬ材料を貯留し、当該容器を水等の液体に浸けて超音波を加えることによって攪拌してもかまわない。供給源５４１ａ〜５４１ｃにおいて攪拌を行うことによって、貯留される有機ＥＬ材料中の粒子が分散して、供給源５４１ａ〜５４１ｃ内で粒子が凝集力等で集まって大きくなることが防止される。なお、供給源５４１ａ〜５４１ｃに貯留されている有機ＥＬ材料を攪拌する機構が、本発明の第１攪拌部に相当する。
【００２５】
また、供給源５４１ａ〜５４１ｃからノズル５２１〜５２３に至るそれぞれの配管（後述する攪拌部５４４ａ〜５４４ｃを構成する配管を除く）は、ＰＥ（ポリエチレン）やＰＰ（ポリプロピレン）を材料とする管部材が用いられる。配管内部を流動する有機ＥＬ材料が帯電しやすくなるテフロン（登録商標）等ではなく、ＰＥやＰＰを材料とする管部材を用いることによって、配管と有機ＥＬ材料との摩擦による液粒子の帯電を防止することができ、帯電による有機ＥＬ材料中の粒子の拡大を防ぐことができる。
【００２６】
攪拌部５４４ａ〜５４４ｃは、それぞれフィルタ５４５ａ〜５４５ｃの直前で流動する有機ＥＬ材料を攪拌し、フィルタ５４５ａ〜５４５ｃへ流動する有機ＥＬ材料中の粒子を分散させて、粒子が凝集力等で集まって大きくなることを防止している。つまり、有機ＥＬ材料は、それぞれ少なくとも２回攪拌されてフィルタ５４５ａ〜５４５ｃを通過してノズル５２１〜５２３から吐出される。以下、図３および図４を用いて、攪拌部５４４ａ〜５４４ｃの構造について説明する。ここで、攪拌部５４４ａ〜５４４ｃの構造は同一であるため、攪拌部５４４ａ〜５４４ｃを攪拌部５４４と総称して説明を行う。なお、図３は、攪拌部５４４の第１の例を概略構造で示す図である。図４は、攪拌部５４４の第２の例を概略構造で示す図である。なお、攪拌部５４４が本発明の第２攪拌部に相当する。
【００２７】
図３において、第１の例の攪拌部５４４は、超音波発生部４１、外管４２、および内管４３を備えている。なお、図３においては、超音波発生部４１をブロックで示し、外管４２および内管４３をその長軸方向に沿って切断した断面構造で示している。外管４２および内管４３は、共に中空の管部材で構成されており、例えば円筒形状や角筒形状に延設された配管である。内管４３は、外管４２の内部に所定の隙間を形成して貫装される。内管４３は、その内部に有機ＥＬ材料を流動させるガラスや石英を材料とする配管であり、流量計５４３ａ〜５４３ｃとフィルタ５４５ａ〜５４５ｃ（図２参照）とをそれぞれ連結して有機ＥＬ材料を流動させる。そして、外管４２および内管４３の間に形成された隙間には、水等の媒体Ｗが充填される。超音波発生部４１は、外管４２の外部から超音波を加えることによって、媒体Ｗを介して内管４３の内部を流動する有機ＥＬ材料を攪拌する。このように、第１の例の攪拌部５４４において、流動する有機ＥＬ材料に超音波を加えて攪拌することによって当該有機ＥＬ材料中の粒子が分散して、フィルタ５４５ａ〜５４５ｃの直前の粒子が凝集力等で集まって大きくなることが防止される。
【００２８】
図４において、第２の例の攪拌部５４４は、配管４４およびエレメント４５を備えている。なお、図４においては、エレメント４５の外観を示すために配管４４のみをその長軸方向に沿って切断した断面構造で示している。配管４４は、中空の管部材で構成されており、流量計５４３ａ〜５４３ｃとフィルタ５４５ａ〜５４５ｃとをそれぞれ連結して延設されている。配管４４は、その内部に有機ＥＬ材料を流動させる。エレメント４５は、配管４４の内部に装着される。エレメント４５は、配管４４の内部空間を螺旋状に剪断するような形状を有しており、例えば配管４４の延設方向を軸として左方向および右方向へ交互にねじられた複数の羽根状エレメントで構成される。そして、配管４４の内部をフィルタ５４５ａ〜５４５ｃへ流動する有機ＥＬ材料は、１つの羽根状エレメントを通過する毎に２分割されてエレメントのねじれ面に沿って乱流攪拌される。このように、第２の例の攪拌部５４４において、流動する有機ＥＬ材料を乱流攪拌することによって当該有機ＥＬ材料中の粒子が分散して、フィルタ５４５ａ〜５４５ｃの直前の粒子が凝集力等で集まって大きくなることが防止される。
【００２９】
なお、上述した説明では、第１および第２の例として攪拌部５４４を説明したが、他の方法によって流量計５４３ａ〜５４３ｃとフィルタ５４５ａ〜５４５ｃとの間を流動する有機ＥＬ材料を攪拌してもかまわない。また、これらの第１および第２の例の構成を直列に接続して攪拌部５４４を構成し、流量計５４３ａ〜５４３ｃとフィルタ５４５ａ〜５４５ｃとをそれぞれ連結して有機ＥＬ材料を流動させてもかまわない。さらに、攪拌部５４４は、フィルタ５４５ａ〜５４５ｃにおける目詰まりを防止する効果等を最大とするためにフィルタ５４５ａ〜５４５ｃの直前に配置したが、このような最大の効果を期待しない場合は、他の位置に配置してもかまわない。例えば、供給源５４１ａ〜５４１ｃとポンプ５４２ａ〜５４２ｃとの間やポンプ５４２ａ〜５４２ｃと流量計５４３ａ〜５４３ｃとの間に攪拌部５４４ａ〜５４４ｃをそれぞれ設置してもかまわない。
【００３０】
フィルタ５４５ａ〜５４５ｃは、供給源５４１ａ〜５４１ｃからノズル５２１〜５２３に至るそれぞれの配管と同様に、ＰＥやＰＰを材料とする部材が用いられる。フィルタ５４５ａ〜５４５ｃ通過する有機ＥＬ材料が帯電しやすくなるテフロン（登録商標）等ではなく、ＰＥやＰＰを材料とする部材を用いることによって、有機ＥＬ材料への帯電を防止することができ、帯電による有機ＥＬ材料中の粒子の拡大を防ぐことができる。
【００３１】
ここで、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料の塗布を受ける基板Ｐの表面には、各色の有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝が複数本並設されるように形成されている。赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料としては、例えば、基板Ｐ上の溝内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機性のＥＬ材料が用いられ、具体的には各色毎の高分子タイプの有機ＥＬ材料が用いられる。ノズルユニット５２は、所定の支持軸周りに回動自在に支持されており、制御部３の制御によって当該支持軸周りに回動させることで、各色の塗布ピッチ間隔を調整することができる。なお、ノズル５２１〜５２３における有機ＥＬ材料を吐出するための穴径は、基板Ｐに形成された溝の幅より小さい数十μｍ程度であり、例えば、１０〜７０μｍである。
【００３２】
制御部３は、ステージ２１に載置された基板Ｐの位置や方向に基づいて、基板Ｐに形成された溝の方向が上記Ｘ軸方向になるように旋回部２２の角度を調整し、塗布のスタートポイント、すなわち、基板Ｐに形成された溝の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置を算出する。なお、上記塗布開始位置は、一方の液受部５３の上部空間となる。そして、制御部３は、上述したように平行移動テーブル２３およびノズル移動機構部５１を駆動させる。
【００３３】
上記塗布開始位置において、制御部３は、各ノズル５２１〜５２３から有機ＥＬ材料の吐出開始を各ポンプ５４２ａ〜５４２ｃに指示する。このとき、制御部３は、ストライプ状の溝の各ポイントにおける有機ＥＬ材料の塗布量が均一となり、液柱状態で有機ＥＬ材料が吐出されるように、ノズル５２１〜５２３の移動速度に応じてその塗布量を制御しており、流量計５４３ａ〜５４３ｃからの流量情報をフィードバックして制御する。また、制御部３は、供給源５４１ａ〜５４１ｃおよび攪拌部５４４ａ〜５４４ｃが有機ＥＬ材料の攪拌をするように制御する。そして、制御部３は、基板Ｐ上の溝内への有機ＥＬ材料の流し込むために、有機ＥＬ材料を基板Ｐ上の溝に沿わせながらこの溝内に流し込むようにノズルユニット５２をガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する。この動作によって、液柱状態で吐出される赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料が同時にそれぞれの溝に流し込まれていく。
【００３４】
制御部３は、基板Ｐ上をノズルユニット５２が横断して溝の他方端部の外側に固設されている他方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２１〜５２３からの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５２の移動を停止する。この１回の移動によって、３列分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。
【００３５】
次に、制御部３は、平行移動テーブル２３をＹ軸方向に溝３列分だけピッチ送りして、次の３列分の溝への有機ＥＬ材料の塗布を行えるようにする。そして、制御部３は、他方の液受部５３の上部空間からノズルユニット５２を逆の方向へ基板Ｐ上を横断させて一方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２１〜５２３からの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５２の移動を停止する。この２回目の移動によって、次の３列分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。このような動作を繰り返すことによって、各色の有機ＥＬ材料を溝毎に流し込まれる。このようにして、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料がストライプ状の溝毎に赤、緑、および青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列が形成される。
【００３６】
このように、本実施形態に係る塗布装置は、吐出前の塗布液を塗布装置内で少なくとも２回攪拌する。これによって、塗布液濃度が安定して塗布液中の粒子径が同じとなり、フィルタで捕集される比率が一定となり、膜厚等の塗布均一性が向上する。また、ノズルやフィルタの目詰まりが減少するため、塗布装置の連続稼働時間を長くすることができる。さらに、フィルタ自体の交換頻度が少なくなるため、コスト低減やメンテナンス時間の短縮が期待できる。また、配管の材料をテフロン（登録商標）系ではなくＰＥやＰＰを用いることによって、配管と有機ＥＬ材料との摩擦による液粒子の帯電を防止することができ、帯電による有機ＥＬ材料中の粒子の拡大を防ぐことができる。また、フィルタの材料をテフロン（登録商標）系ではなくＰＥやＰＰを用いることによって、液粒子の帯電が防止され、フィルタで捕集される不要な粒子量を減らすことができる。
【００３７】
なお、上述した実施形態では、塗布液として有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布液とした有機ＥＬ表示装置の製造装置を一例にして説明したが、本発明は他の塗布装置にも適用できる。例えば、レジスト液やＳＯＧ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）液を塗布する装置にも適用することができる。
【００３８】
また、上述した実施形態では、ノズル５２１〜５２３への有機ＥＬ材料の流量を検出して吐出する有機ＥＬ材料の流量をフィードバック制御しているが、有機ＥＬ材料の圧力を圧力センサ等の圧力検出手段で検出して、ノズル５２１〜５２３から吐出させる有機ＥＬ材料の流量をフィードバック制御してもかまわない。
【００３９】
また、上述した実施形態では、赤、緑、および青色用の３個１組のノズル５２１〜５２３で基板Ｐの各溝内に有機ＥＬ材料を流し込んでいるが、この３個１組のノズル５２１〜５２３を複数組設けて基板Ｐの各溝内に有機ＥＬ材料を流し込んでもかまわない。この場合、各ノズルに対して攪拌部をそれぞれ設ければ、塗布処理にかかる時間を短縮しながら、本発明の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明に係る塗布装置は、塗布均一性を向上することができ、様々な塗布液をノズルから吐出する装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態に係る有機ＥＬ表示装置の製造装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図
【図２】図１の有機ＥＬ表示装置の製造装置１の制御機能および供給部を示すブロック図
【図３】図２の攪拌部５４４の第１の例を概略構造で示す図
【図４】図２の攪拌部５４４の第２の例を概略構造で示す図
【符号の説明】
【００４２】
１…有機ＥＬ表示装置の製造装置
２…基板載置装置
２１…ステージ
２２…旋回部
２３…平行移動テーブル
２４…ガイド受け部
２５、５１１…ガイド部材
３…制御部
５…有機ＥＬ塗布機構
５１…ノズル移動機構部
５２…ノズルユニット
５２１、５２２、５２３…ノズル
５３…液受部
５４…供給部
５４１…供給源
５４２…ポンプ
５４３…流量計
５４４…攪拌部
４１…超音波発生部
４２…外管
４３…内管
４４…配管
４５…エレメント
５４５…フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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