(57)【要約】【目的】本発明は、サーボ信号を媒体に記録するサーボ信号記録方法および磁気ディスク媒体に関し、サーボパターンを媒体に記録する際に、直線パターン記録が得意な転写の利点を最大限に生かして短時間で転写し、かつ転写で苦手な分断パターンをヘッド記録で補完し、全体としてサーボ信号に必要な精度を確保することを目的とする。【構成】  全サーボパターンを直線パターンと分断パターンに分けて当該直線パターンを記録したマスタ媒体からスレーブ媒体に転写するステップと、直線パターンを転写したスレーブ媒体に、分断パターンをヘッドで追記するステップとを有する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーボ信号を媒体に記録するサーボ信号記録方法において、
全サーボパターンを直線パターンと分断パターンに分けて当該直線パターンを記録したマスタ媒体からスレーブ媒体に転写するステップと、
前記直線パターンを転写したスレーブ媒体に、前記分断パターンをヘッドで追記するステップと
を有するサーボ信号記録方法。
【請求項２】
サーボ信号を媒体に記録するサーボ信号記録方法において、
全サーボパターンを直線パターンと分断パターンに分けて当該直線パターンを記録したマスタ媒体から転写されたスレーブ媒体に、前記分断パターンをヘッドで追記するステップを有するサーボ信号記録方法。
【請求項３】
前記分断パターンを追記する際に、転写されている直線パターン中の同期信号およびポジション信号にてトラッキングを行い、かつヘッドを内側あるいは外側のストッパに押し付けた後、トラック毎にシークしながら前記分断パターンを追記することを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載のサーボ信号記録方法。
【請求項４】
前記分断パターンを追記するとして、既に転写されている直線パターンを上書きすることなく追記することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のサーボ信号記録方法。
【請求項５】
サーボ信号を記録した磁気ディスク媒体において、
全サーボパターンを直線パターンと分断パターンに分けて当該分断パターンを記録したマスタ媒体からスレーブ媒体に転写し、前記直線パターンが記録されたことを特徴とする磁気ディスク媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーボ信号を媒体に記録するサーボ信号記録方法および磁気ディスク媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスク装置で用いる各種同期用のサーボパターンの円板状の媒体上への記録方法の１つとして、実際に使用するパターンより大きいパターンを転写（磁気転写）し、それをドライブ内ヘッドで書き直す技術がある。
【０００３】
また、サーボパターン中のサーボバースト信号をスレーブ媒体に転写し、当該サーボバースト信号以外の残りに相当する位置情報制御信号を記録再生ヘッドによって前記転写したスレーブ媒体に高精度に記録する方法がある（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−６８０３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、近年はリソグラフィ精度が向上したことから、製品で実際に使用する微細パターンを有するマスタ媒体を製作し、直接微細パターンをスレーブ媒体に転写して完成することが可能となってきた。特に直線パターンの磁気転写は、ヘッド記録の場合に生じる書き継ぎ段差の発生を回避できるため、従来よりも高精度な記録が可能である。磁気転写には直線のみから構成される同期用プリアンブルパターン、あるいは位相パターンが適している。
【０００５】
しかし、面積サーボパターン、あるいは分断やズレが任意に存在するアドレスパターンを磁気転写する場合、マスタ媒体上で作成できても、これをスレーブ媒体に転写する際に各々で精度が劣化する。これは磁気転写の原理上不可避の現象である。前者はパターンが半径方向に分断が存在し、この分断エッジ部で転写コントラストが劣化する。後者はパターンに不等間隔部分が存在するため転写ムラが発生する。転写精度劣化が著しい場合、サーボマーク／アドレス誤検出やポジション復調値の劣化を招き、種々の悪影響を及ぼす可能性があるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、これら問題を解決するため、磁気転写に適する、直線のみから構成されるパターンだけをあらかじめマスタ媒体から媒体に磁気転写し、磁気転写した媒体をドライブに組み込んだ後に、ドライブ内のヘッドにて、転写された信号を頼りに分断パターンのみ追記するようにしている。
【０００７】
従って、サーボパターンを媒体に記録する際に、直線パターン記録が得意な転写の利点を最大限に生かして短時間で転写し、かつ転写で苦手な分断パターンをヘッド記録で補完し、全体としてサーボ信号に必要な精度を確保することが可能となる。
【発明の効果】
【０００８】
本願発明は、サーボパターンを媒体に記録する際に、直線パターン記録が得意な転写の利点を最大限に生かして短時間で転写し、かつ転写で苦手な分断パターンをヘッド記録で補完し、全体としてサーボ信号に必要な精度を確保することが可能となる。これにより、
（１）転写が得意な直線パターンは磁気転写し、転写が苦手な分断パターンはドライブ内のヘッドで記録することにより、トータルでサーボ信号に必要な精度を確保し、高速にサーボパターンをスレーブ媒体に記録することが可能となる。
【０００９】
（２）転写する直線パターンの角度や間隔等は、ベンダ、機種ごとに固有とすることが可能であり、また、分断パターン（アドレス）がスレーブ媒体に未記録のため、ベンダにて固有のアドレスを記録することが可能となり、スレーブ媒体の汎用性を向上できる。
【００１０】
（３）直線パターンの転写されたスレーブ媒体をドライブに組込み、ドライブ内のヘッドでアドレス（分断パターン）を上書きすることなく正確に追記できる。
【００１１】
・まず、アウタストッパにヘッドを押し付け、その付近でトラック追従を行い、シリンダ０番の情報を記録する。セクタ位置は、スピンドルモータから発生するインデックス信号を参照することにより一意に決定することができ、各セクタに該当セクタ番号を記録する。転写信号にはプリアンブル信号、サーボマーク信号、位相ポジションが含まれているため、トラック追従および同期確保が可能であり、シリンダ番号とセクタ番号の正確な記録が可能である。
【００１２】
・次に、位相ポジションを頼りに１トラック分インナーにシークし、シリンダ１番の情報、および各セクタに該当セクタ番号を記録する（位相ポジションでは絶対シークはできないが、相対シークは可能）。
【００１３】
・これをインナストッパまで繰り返すことにより、媒体全面に絶対アドレスを追記して記録することができる。これとは逆に、インナストッパに押し付けてからアウタへ向かって絶対アドレスを記録しても良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は、磁気転写に適する、直線のみから構成されるパターンだけをあらかじめマスタ媒体から媒体に磁気転写し、磁気転写した媒体をドライブ内のヘッドにて、転写された信号を頼りに分断パターンのみ追記し、短時間でサーボ信号に必要な精度を確保して記録することを実現した。
【実施例１】
【００１５】
次に、図１から図４のフローチャートを用いて本発明の１実施例を順次詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明の動作説明フローチャート（その１）を示す。
図１において、Ｓ１は、直線パターンのみのサーボ情報（マスタ情報）、グレーは空きで長さのみを確保する。これは、後述する図５の（ａ）の製品サーボパターンのうち、（ａ−１）直線パターン、（ａ−３）直線パターンと、これら直線パターンの間のグレー（（ａ−２）分断パターン（グレーコード（絶対アドレス））の長さのみを確保したサーボ情報（即ち、図５の（ｂ）の転写パターンと同じパターン）を作成する。
【００１７】
Ｓ２は、描画装置のインデックスをもとに、全セクタを等間隔でサーボ情報を描画する。これは、Ｓ１で作成した磁気転写しようとするマスタ情報を、描画装置（電子線描画装置）のインデックスをもとに、全セクタを等間隔で描画し、例えば後述する図５の（ｂ）の直線パターンを、図６の（ｂ）に記載するように全セクタを等間隔に電子線描画する（マスタ媒体上に露光膜を塗布した状態でマスタ情報を電子線描画する）。
【００１８】
Ｓ３は、現像する。これは、Ｓ２でマスタ情報を描画した後、現像して右側に記載するように露光した部分の膜を除去する。
【００１９】
Ｓ４は、エッチングする。これは、Ｓ３の状態でエッチング（例えばイオンシャワーを照射して膜の無い部分をエッチングして右側に示すようする。
【００２０】
Ｓ５は、成膜する。これは、磁性体をスパッタさせ（あるいは蒸発させ）全体に右側に示すように成膜する。
【００２１】
Ｓ６は、リフトオフする。膜を除去し、右側に示すようにする。
Ｓ７は、マスタ媒体を完成する。
【００２２】
以上によって、全サーボパターンのうち、直線部分のパターンのみをマスタ情報として抽出（この際、グレーコードの部分の分断パターンの長さも併せて抽出）し、このマスタ情報をもとに直線パターンのみをマスタ媒体に微細描画可能な例えば電子線描画装置で正確に描画してＳ３からＳ６の処理を行い、実際と同一の正確な直線パターンを持つ磁気転写用のマスタ媒体を作成することが可能となる。
【００２３】
図２は、本発明の動作説明フローチャート（その２）を示す。これは、図１で用いたマスタ媒体にレジストを塗布するときの詳細手順を示すものである。
【００２４】
図２において、Ｓ１１は、レジストの露光感度の高いものを選択する。これは、マスタ媒体に、実際のサーボパターンと同一の細い正確なパターンを、非常に小さなパターンの描画可能な電子描画装置を用いて露光するために、その時間を短縮かつ微細パターンを綺麗に生成するために、特に、露光感度の高いにレジスト（電子描画可能なレジスト）を選択する。
【００２５】
Ｓ１２は、レジスト塗布する。これは、公知のレジスト塗布方法、例えばマスタ媒体を回転させてその上からレジストの一滴を中心近傍に落とし遠心力で均一に塗布する。
【００２６】
以上によって、マスタ媒体に、既述した図１のＳ２でマスタ情報を実際と同一サイズのパターンで描画するレジストを当該マスタ媒体上に形成できたこととなる。
【００２７】
図３は、本発明の動作説明フローチャート（その３）を示す。
図３において、Ｓ２１は、マスタ媒体とスレーブ媒体を密着する。これは、Ｓ１で作成したマスタ情報を描画した磁気転写用のマスタ媒体の面と、マスタ情報を磁気転写する対象のスレーブ媒体の面とを向き合わせて密着させる（図６の（ｃ）参照）。
【００２８】
Ｓ２２は、磁気印加する。
Ｓ２３は、回転（転写）する。これら、Ｓ２２、Ｓ２３は、後述する図６の（ｃ）に示すように、公知の手法である、マスタ媒体とスレーブ媒体とを密着させ、磁気を印加した状態で回転させ、マスタ媒体のマスタ情報を、スレーブ媒体に磁気転写する（図６の（ｄ）のように磁気転写する）。
【００２９】
Ｓ２４は、スレーブ媒体完成する。
以上によって、マスタ情報を描画して作成したマスタ媒体とスレーブ媒体とを密着させ磁気を印加しつつ回転させて磁気転写し、マスタ情報（全サーボパターンのうちの直線パターン）の転写されたスレーブ媒体を短時間かつ正確かつ多量に製造することが可能となる。
【００３０】
図４は、本発明の動作説明フローチャート（その４）を示す。
図４において、Ｓ３１は、スレーブ媒体をドライブに入れる。
【００３１】
Ｓ３２は、ヘッドをアウタ（インナでも可）ストッパに押し付ける。
Ｓ３３は、ドライブ内のスピンドルインデックスを基準に分断パターンを追記する。
【００３２】
以上によって、直線パターン（マスタ情報）の書き込まれたスレーブ媒体について、分断パターンを上書きすることなく、追記し、スレーブ媒体を完成させることが可能となる。これにより、スレーブ媒体に転写する直線パターンの角度や間隔等は、ベンダ、機種ごとに固有とすることが可能であり、また、スレーブ媒体にはアドレス（分断パターン）が未記録のため、ベンダにて固有のアドレスを記録することが可能となる。
【００３３】
ここで、分断パターンの追記について、以下詳細に説明する。
（１）転写されたスレーブ媒体をドライブに組込み、ドライブ内のヘッドでアドレス（分断パターン）を追記する。まず、アウタストッパにヘッドを押し付け、その付近でトラック追従を行い、シリンダ０番の情報を記録する。セクタ位置は、スピンドルモータから発生するインデックス信号を参照することにより一意に決定することができ、各セクタに該当セクタ番号を記録する。既に磁気転写した直線パターンの転写信号にはプリアンブル信号、サーボマーク信号、位相ポジションが含まれているため（図５の（ａ），（ｂ）参照）、トラック追従および同期確保が可能であり、シリンダ番号とセクタ番号の正確な記録が可能である。
【００３４】
（２）  次に位相ポジション（図５の（ａ），（ｂ）参照）を頼りに１トラック分インナーにシークし、シリンダ１番の情報、および各セクタに該当セクタ番号を記録する（位相ポジションでは絶対シークはできないが、相対シークは可能）。これをインナストッパまで繰り返すことにより、スレーブ媒体全面に絶対アドレス（図５の（ａ），（ｃ）参照、分断パターン）を記録することができる。これとは逆に、インナストッパに押し付けてからアウタへ向かって絶対アドレスを記録しても良い。
【００３５】
次に、図５の本発明の説明図（その１）から図８の本発明の説明図（その４）を順次用い、既述した動作を更に分かり易くかつ具体的に模式的に詳細に説明する。
【００３６】
図５は、本発明の説明図（その１）を示す。
図５の（ａ）は、製品サーボパターンの例を示す。
【００３７】
図５の（ａ−１）は、直線パターンであって、プリアンブル（同期用）、サーボマーク（復調トリガ用）の信号を模式的に示す。図示の直線パターンは、長い直線で表されるパターン（サーボパターン）であって、後述する図７の（ｂ−１）に示すように長い直線であり、磁気転写の際にボケが長い直線の両端のみであるので、スレーブ媒体に正確に磁気転写できるパターンである（理由は図７の（ａ−１），（ｂ−１）で後述する）。
【００３８】
図５の（ａ−２）は分断パターンであって、グレーコード（絶対アドレス）の信号を模式的に示す。図示の分断パターンは、絶対アドレスのパターンであって、図示のように短いパターンに分断されてしまい、後述する図７の（ｂ−２）に示すように短い線分であり、磁気転写の際にボケが短い線分の両端にそれぞれ発生してしまい、スレーブ媒体に正確に磁気転写できないパターンである（理由は図７の（ａ−２），（ｂ−２）で後述する）。
【００３９】
図５の（ａ−３）は、直線パターンであって、位相ポジション（相対位置情報）の信号を模式的に示す。図示の直線パターンは、長い直線で表されるパターン（サーボパターン）であって、後述する図７の（ｂ−１）に示すように長い直線であり、磁気転写の際にボケが長い直線の両端のみであるので、スレーブ媒体に正確に磁気転写できるパターンである（理由は図７の（ａ−１），（ｂ−１）で後述する）。
【００４０】
図５の（ｂ）は、磁気転写記録の例を模式的に示す。図示は、図５の（ａ−１）、（ａ−２）の直線パターンのみを磁気転写した後のスレーブ媒体上のパターン例を示す。
【００４１】
図５の（ｃ）は、ドライブ内ヘッドで追記した後の例を模式的に示す。図示は、図５の（ｂ）のパターン（直線パターン）に、分断パターンをヘッドで追記した後の状態を示す。
【００４２】
以上のように、正確に磁気転写できる直線パターン（図５の（ａ−１）、（ａ−２））のみのを抽出してマスタ媒体に描画して生成し、マスタ媒体とスレーブ媒体を密着させて磁気転写して直線パターンをスレーブ媒体に形成（図５の（ｂ）），次に、ヘッドでベンダ、機種で固有の分断パターン（絶対アドレス）を書き込んで形成し、スレーブ媒体を完成させることが可能となる。
【００４３】
図６は、本発明の説明図（その２）を示す。
図６の（ａ）は、サーボパターンを示す。
【００４４】
図６の（ａ−１）は、サーボパターンの例を示す。サーボパターンは、本発明で命名した図示の下記の直線パターンと分断パターンとに分けられる。
【００４５】
・直線パターン：プリアンブル（同期用）、サーボマーク（復調トリガ用）
・分断パターン：グレーコード（絶対アドレス）
・直線パターン：位相ポジション（相対位置情報）
図６の（ａ−２）は、直線パターンの特徴例を示す。直線パターンは、直線間隔、傾斜角度がベンダ、機種固有に転写する必要がある。
【００４６】
図６の（ａ−３）は、分断パターンの特徴例を示す。分断パターンは、ベンダ、機種固有にドライブ内で追記する必要がある。
【００４７】
図６の（ｂ）は、マスタ媒体の例を示す。マスタ媒体に、直線パターンのみをパターニング（描画）した後の様子を模式的に示す。
【００４８】
図６の（ｃ）は、磁気転写の様子を模式的に示す。マスタ媒体と、スレーブ媒体とを密着し、磁気を印加した状態で回転させ、磁気転写する（磁気転写については、図７参照）。
【００４９】
図６の（ｄ）は、直線パターンのみが磁気転写されたスレーブ媒体を模式的に示す。スレーブ媒体には、図６の（ａ−１）の直線パターンのみが磁気転写されている。
【００５０】
以上のように、全サーボパターンのうち、直線パターンのみをマスタ媒体に描画して作成し、これをスレーブ媒体に一括して磁気転写し、図６の（ｄ）の直線パターンのみが転写されたスレーブ媒体を生成することが可能となる。
【００５１】
図７は、本発明の説明図（その３）を示す。
図７の（ａ）は、磁気転写の様子を模式的に示す。
【００５２】
図７の（ａ−１）は、マスタ媒体のパターンの間隔がほぼ等しいときのスレーブ媒体への磁気転写の様子を模式的に示す。磁気転写するパターンの間隔がほぼ等しい場合には、磁界を印加したときに、マスタ媒体のパターンからスレーブ媒体の磁性膜への磁化の経路および磁化の方向は図示の矢印のようになり、スレーブ媒体の磁性膜をほぼ均一に磁化して正確に磁気転写することが可能となる。
【００５３】
図７の（ａ−２）は、マスタ媒体のパターンの間隔が小さい、大きいとばらつく場合には、磁界を印加したときに、マスタ媒体のパターンからスレーブ媒体の磁性膜への磁化の経路および磁化の方向は図示の矢印のようになり、パターンの間隔の小さい部分はスレーブ媒体の磁性膜を十分に磁化して転写されるが、パターンの間隔の大きい部分はスレーブ媒体の磁性膜を十分に磁化しなくて転写されない、となってしまう。尚、パターンの間隔の大きい部分が丁度スレーブ媒体の磁性膜を十分に磁化して転写されるような強い磁界を印加すると、パターンの間隔の小さい部分の磁化が強すぎてスレーブ媒体に当該小さい間隔のパターンが磁気転写されなくて消えて隣のパターンと一体となってしまったり、正確に磁気転写できなくなる。
【００５４】
従って、マスタ媒体のパターンを正確にスレーブ媒体に磁気転写しようとすると、パターンはその間隔がほぼ等しいことが要求される。
【００５５】
図７の（ｂ）は、直線の磁気転写の様子を模式的に示す。
図７の（ｂ−１）は、長い直線を磁気転写したときの様子を示す。この場合には、長い直線の両端でボケが発生する。
【００５６】
図７の（ｂ−２）は、短い直線を磁気転写したときの様子を示す。この場合には、短い直線の両端でボケがそれぞれ発生し、当該短い直線を正確に磁気転写するには適さないパターンである。
【００５７】
従って、マスタ媒体からスレーブ媒体に磁気転写するパターンの長さは、できるだけ長いパターンが良く、長いパターンを多数に分断した短いパターンはその両端にそれぞれ磁気転写時のボケが発生し、正確な磁気転写には向かないパターンである。
【００５８】
以上の図７の（ａ）、（ｂ）から、パターン間隔がほぼ等しく（マスタ媒体からスレーブ媒体に仕様の範囲内の正確さで磁気転写できるパターン間隔がほぼ等しい）、かつ長い線分を直線パターンと呼び、当該条件を満たすパターンが既述した直線パターンである。分断パターンは、直線パターン以外の残りのパターンである。
【００５９】
図８は、本発明の説明図（その４）を示す。
図８の（ａ）は、直線パターンのみが記録されたスレーブ媒体の例を示す。このスレーブ媒体は、（ａ−１）に示すように、分断パターンをヘッド記録する。記録方法は、
○１：トラック追従
○２：シリンダ番号記録
○３：セクタ番号記録（転写信号を利用）
という手順で、１トラックずつシークしつつアドレス（分断パターン）を記録する（既述した図４の説明の後段の（１）、（２）を参照）。
【００６０】
図８の（ｂ）は、製品として使用可能な状態を示す。これは、図８の（ａ）で直線パターンの磁気転写されたスレーブ媒体について、分断パターン（アドレスなど）をヘッドで書き込んだ後、転写信号はそのまま保持し、絶対アドレスのみを追記した後の状態を示す。
【００６１】
図８の（ｃ）は、アームをアウタストッパに押し付けた後、ヘッドでスレーブ媒体に既述したようにして分断パターンを書き込む様子を示す。
【００６２】
（付記１）
サーボ信号を媒体に記録するサーボ信号記録方法において、
全サーボパターンを直線パターンと分断パターンに分けて当該直線パターンを記録したマスタ媒体からスレーブ媒体に転写するステップと、
前記直線パターンを転写したスレーブ媒体に、前記分断パターンをヘッドで追記するステップと
を有するサーボ信号記録方法。
【００６３】
（付記２）
サーボ信号を媒体に記録するサーボ信号記録方法において、
全サーボパターンを直線パターンと分断パターンに分けて当該直線パターンを記録したマスタ媒体から転写されたスレーブ媒体に、前記分断パターンをヘッドで追記するステップを有するサーボ信号記録方法。
【００６４】
（付記３）
前記分断パターンを追記する際に、転写されている直線パターン中の同期信号およびポジション信号にてトラッキングを行い、かつヘッドを内側あるいは外側のストッパに押し付けた後、トラック毎にシークしながら前記分断パターンを追記することを特徴とする付記１あるいは付記２記載のサーボ信号記録方法。
【００６５】
（付記４）
前記分断パターンを追記するとして、既に転写されている直線パターンを上書きすることなく追記することを特徴とする付記１から付記３のいずれかに記載のサーボ信号記録方法。
【００６６】
（付記５）
サーボ信号を記録した磁気ディスク媒体において、
全サーボパターンを直線パターンと分断パターンに分けて当該分断パターンを記録したマスタ媒体からスレーブ媒体に転写し、前記直線パターンが記録されたことを特徴とする磁気ディスク媒体。
【００６７】
（付記６）
付記５の磁気ディスク媒体に、ヘッドで残りの前記分断パターンを追記し、全サーボパターンの記録を完成させたことを特徴とする磁気ディスク媒体。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、磁気転写に適する、直線のみから構成されるパターンだけをあらかじめマスタ媒体から媒体に磁気転写し、磁気転写した媒体をドライブ内のヘッドにて、転写された信号を頼りに分断パターンのみ追記し、短時間でサーボ信号に必要な精度を確保して記録することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の動作説明フローチャート（その１）である。
【図２】本発明の動作説明フローチャート（その２）である。
【図３】本発明の動作説明フローチャート（その３）である。
【図４】本発明の動作説明フローチャート（その４）である。
【図５】本発明の説明図（その１）である。
【図６】本発明の説明図（その２）である。
【図７】本発明の説明図（その３）である。
【図８】本発明の説明図（その４）である。
【符号の説明】
【００７０】
１：サーボパターン
２：直線パターン
３：分断パターン
４：マスタ媒体
５：スレーブ媒体
【図１】
2006114079.tif 000003
【図２】
2006114079.tif 000004
【図３】
2006114079.tif 000005
【図４】
2006114079.tif 000006
【図５】
2006114079.tif 000007
【図６】
2006114079.tif 000008
【図７】
2006114079.tif 000009
【図８】
2006114079.tif 000010