Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】ビル等の出入り口に用いる回転扉は、出入り口部分に人などの異物４が挟まった場合に、瞬時に停止できないと人体への傷害や器物の破損等の危険性があった。【解決手段】出入り口部分にスイング式扉３を設ける。スイング式扉は、例えば、スプリング等によって自動的に閉状態を保ち、押されることによって開く構造を持つ。【選択図】図１
2006029051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両側の出入り口部分にスイング式扉を備えていることを特徴とする回転扉。
【請求項２】
前記スイング式扉は、スプリング等によって自動的に閉状態を保ち、押すことによって開くことを特徴とする請求項１記載の回転扉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、ビル等の出入り口に用いる回転扉の安全性の向上に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来のビル等の出入り口に用いる回転扉は、図４に示すように、固定壁１の開口部に回転扉２が設けられたものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  しかしながら、以上の技術によれば、人などの異物４が挟まった場合に瞬時に停止できないと人体への傷害や器物の破損等の危険性があった。
そこで、この発明は、スイング式扉を設けることによって、より安全性の高い回転扉を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  以上の課題を解決するために、第一発明は、両側の出入り口部分にスイング式扉を備えていることを特徴とする回転扉である。
また、第二発明は、両側の出入り口部分にスイング式扉を設け、このスイング式扉はスプリング等によって自動的に閉状態を保ち、押すことによって開くことを特徴とする回転扉である。
【発明の効果】
【０００５】  第一発明、または第二発明によれば、回転扉の両側の出入り口部分のスイング式扉は、スプリング等によって自動的に閉状態を保ち、押されることによって開くため、回転扉２が瞬時に停止できなくとも安全に通り抜けられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】  この発明の一実施形態を、図１に示す。
固定壁１の開口部中央に回転扉２を設置し、この回転扉２の両側の出入り口部分には、スイング式扉３が設けられている。このスイング式扉３は、スプリング等によって通常は閉状態を保っている。【０００７】「実施形態の効果」
この実施形態によれば、回転扉２とスイング式扉３のあいだに、人などの異物４が挟まった場合（図２）に、スイング式扉３が人などの異物４に押されることで開くため（図３）、回転扉２が瞬時に停止できなくとも比較的安全に通り抜けられる。【０００８】「他の実施形態」
図１の実施形態では、スイング式扉３は、スイング式の扉であったが、他の実施形態では、ゴム等の柔軟な素材を固定壁１に固定したものでも良い。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】この発明の一実施形態を示す上面図である。
【図２】この発明の一実施形態における、出入り口部分に人などの異物４が挟まった状態を示す上面図である。
【図３】この発明の一実施形態における、出入り口部分に人などの異物４が挟まった状態を示す上面図である。
【図４】従来技術における、出入り口部分に人などの異物４が挟まった状態を示す上面図である。
【符号の説明】
【００１０】      １  固定壁
２  回転扉
３  スイング式扉
４  人などの異物
【図１】
2006029051.tif 000003
【図２】
2006029051.tif 000004
【図３】
2006029051.tif 000005
【図４】
2006029051.tif 000006
(57)【要約】      （修正有）【課題】ドアー開閉時にドアー取り付け部近辺の手指の挟み込み事故を防止する、安全装置を提供する。【解決手段】ドアー２開放時にドアー取り付け部の蝶番近辺に出来る隙間で幼児の手の届く範囲にドアー枠１とドアー２にかけてアーチ状に湾曲し内側に入り込まず、閉めた時は断面が馬蹄形の筒状に収まる防護板３を取り付けることにより、幼児の手指が入り込まないようにし、また防護板３を簡単に取り付けることができることを特徴する。【選択図】  図１
2006029048.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドアー開放時の蝶着部付近に出来る隙間を、ドアー枠とドアーにかけてアーチ状になる事で幼児の手指の入り込まない防護板でふさぎ、ドアーを閉めた時は筒状に収まる事を特徴とする、ドアー取り付け部付近の安全装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ドアーの開閉時に生ずる取り付け部付近の幼児の手指の挟み込み等の危険を防止する、ドアー取り付け部付近の安全装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来、ドアーの取り付け部の隙間に手指が入らない様に作られた建物は見当たらず、又、簡単に取りつけられる様な防護装置もなく、注意して開閉する以外危険を回避できなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  そのために、次のような問題点があった。
来客等があり、ドアーを開け立ち話をしていて、幼児がドアー取り付け部近くの隙間に手指を入れて遊んでいる事に気づかずに、うっかりドアーを閉めてしまったり、又、幼児どうしで玄関を出入りして遊んでいる時等に大怪我に至る事も多く、ドアーを閉める時は常に幼児の行動に注意が必要であった。本発明は、これらの問題点を解決するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  ドアー開放時に、ドアー取り付け部近辺に出来る隙間の幼児の手の届く範囲にドアー枠とドアーにかけてアーチ状に湾曲し内側に入り込まず、閉めた時は断面が馬蹄形の筒状に収まる防護板を取り付ける事により、手指の挟み込みを防止する。以上を特徴とするドアー取り付け部付近の安全装置である。
【発明の効果】
【０００５】  本発明は、ドアーに傷をつける事無く簡単に取り付けられ、ドアー開閉時のドアー取り付け部の隙間を防護板で防ぐ事で幼児の手指を挟み込む事故の不安が解消される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】  以下、本発明の実施の形態を説明する。
（イ）断面が台形の芯材１２をドアーの形状によって１０枚前後、防護板３の表面１０と      なるビニール又は布に芯材１２の下底１３を隙間なく並べ張り付ける。
（ロ）表面１０を外側にして外側に湾曲させ、台形の芯材１２の、各上底の中央９の各差      込棒位置にベルト８でアーチ状になるように繋ぎとめ防護板となる。
（ハ）防護板３の両端に差し込み棒６を各３ヵ所程設ける。
（ニ）防護板３の高さより、やや長めの受け板４と５に各３ヵ所程の差し込み穴７を設け      る。
（ホ）防護板３の各差し込み棒６を受け板４と５の各差し込み穴７に取り付ける。
（ヘ）ドアー枠１の幼児が手を伸ばした位置から下方に受け板４を取り付け、ドアー２を      開いた状態で防護板３をドアノブ１１方向に伸ばしたアーチ状態で受け板５をドア      ー２に取り付ける。
本発明は、以上の構成によりなっている。
本発明を使用する時は、ドアーを開け放したままでも取り付け部の隙間に幼児の手が    入る事はなく、何かの弾みで急にドアーが閉まったり、幼児が出入りして遊んでいて    も、事故は起こりにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】  本発明のドアー開放時斜視図
【図２】  本発明のドアー開放時断面図
【図３】  本発明のドアー閉鎖時斜視図
【図４】  本発明のドアー閉鎖時断面図
【符号の説明】
【０００８】  １    ドアー枠
２    ドアー
３    防護板
４    受け板
５    受け板
６    差し込み棒
７    差し込み穴
８    ベルト
９    上底中央
１０    表面
１１    ドアノブ
１２    芯材
１３    下底
【図１】
2006029048.tif 000003
【図２】
2006029048.tif 000004
【図３】
2006029048.tif 000005
【図４】
2006029048.tif 000006
(57)【要約】【課題】固い雪や土の除雪作業や除草作業の、省力性及び機能性を具備した、軽便なシャベルを提供する。【解決手段】シャベルの掬い体３の突出刃４にチップブレーカ５を設けることによって、削り屑の破砕を効率的に行い、切削性を良くし、シャベルを少ない労力で能率良く、手軽に削りやすいようにする。【選択図】  図１
2006029042.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャベル先端の突出刃にチップブレーカを設けた、チップブレーカつきシャベル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、除雪作業や除草作業の省力化及び能率化を図るための軽便なシャベルに関する。
【背景技術】
【０００２】  従来は、切削性を良くするためのチップブレーカのついたシャベルは無かった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  除雪作業や除草作業における苦労の一つに、固い雪や土の面の削取がある。
スコップ・ツルハシ等でなくては、刃が立たない。
ところが、いずれも労力が大きく、作業能率も悪い上、簡便性に欠ける。
そこで、本発明は、省力的且つ機能性に富み、軽便なシャベルを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  シャベルの掬い体３の突出刃４の上面にチップブレーカ５を設けることによって、削り屑の破砕が効率的に行われるようにし、切削性を良くし、少ない労力で削られるようにした。【０００５】  また、食い込みを防ぎ、一定の切り込みで削られるようにした。【０００６】  さらに、作条によって、切削の横振れを防ぐための安定舵機能を具備し、片手動作の作業も可能とした。
【発明の効果】
【０００７】  固い雪や土の除雪作業や除草作業でも、チップブレーカ５を設けることで切削性を良くし、省力化が図られる。【０００８】  また、一定の切り込みと食い込み防止作用によって、作業を能率化できる。【０００９】  さらに、作条によって、切削の横振れを防ぎ、方向を安定させることによって、軽便な作業ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】  以下、本発明の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明する。【００１１】  図１に示すように、柄杆体１の上端にグリップ２を設け、下端に小型で角形の掬い体３を連結させ固着している。
更に、掬い体３の先端の刃部中央に、大きさ並びに突出長さを等しくした二枚の突出刃４を、シャベルの中心軸６に対し左右対称に形設し、図２に示すように、それぞれの上面に円弧状のチップブレーカ５となる段部を設けている。【００１２】  図３は、図２の要部を拡大図示したものである。【００１３】  チップブレーカ５の形状はこの例に限定されるものではなく、例えば図４に示す５ａのように傾斜状にしても良く、図５に示す５ｂのように二段状にしても良い。
更に、突出刃の配設数は必ずしも二枚に限らず、一枚もしくは三枚以上設けることも出来る。ただし、三枚以上設ける場合でも、シャベルの中心軸に対し左右対称に突出刃を配置する。【００１４】  以下、上記構成の動作を説明する。救い体３の突出刃４を雪面及び土面に水平に突き刺し、そのまま押動すると、削られた雪や土の屑は、チップブレーカ５によって連続して細かく破砕されながら掬い体３内へ導入されるため、切削性が良くなり省力効果を発揮する。【００１５】  また、チップブレーカ５によって出来る突出刃４と掬い体３との段差は、切削に一定の切り込みを与え、しかも、食い込みを防止するので作業を能率的にする。【００１６】  更に、チップブレーカ５を持つ突出刃４による作条は、横振れを防ぎ方向を安定させ、片手でも押動出来る軽便性を得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態の斜視図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】図２の要部拡大図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の右側面要部拡大図である。
【図５】本発明の第３の実施形態の右側面要部拡大図である。
【符号の説明】
【００１８】  １  柄杆体
２  グリップ
３  掬い体
４  突出刃
５，５ａ，５ｂ  チップブレーカ
６  シャベルの中心軸
【図１】
2006029042.tif 000003
【図２】
2006029042.tif 000004
【図３】
2006029042.tif 000005
【図４】
2006029042.tif 000006
【図５】
2006029042.tif 000007
(57)【要約】【課題】  立体駐車場の操作ボタンは、パレットが所定の位置に定着するまで押し続けなければならないが、時間が掛かる事と強く押す力が必要である。駐車場の操作ボタンをまたぐようにセットするだけで、マグネットの吸着力でボタンを押し続け、容易に着脱することで安全に操作することのできるボタン持続押し続け補助具を提供する。【解決手段】  駐車場の操作ボタン（５）の鉄製ベースに、山型アーム（２）に付いているマグネット（４）をまたぐように吸着させる。ユリアネジ（３）を操作ボタン（５）の押す位置まで伸ばし、蝶ネジ（１）でその位置を固定する。操作ボタンを押す必要がなくなったとき、または、停止させたいときは山型アーム（２）を操作ボタン（５）から引き外すことで、安全性を図っていることと、次からは本補助具をまたがせるだけでボタン押しの操作が容易にできることを特徴とする。【選択図】  図１
2006029050.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
山型アーム（２）の両端に、マグネット（４）を遊びを持たせた固定機構と、アームの山の頂点にユリアネジ（３）と蝶ネジ（１）の組合せで駐車場の操作ボタン（５）を自在に押すことの出来る調整機構。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野】
【０００１】  この発明は、立体駐車場の操作ボタンが非常に重く、駐車パレットが希望の位置に来るまで押し続けなければならず、上肢の不自由な人や女性には操作が容易でなく、悪天候や季節によっては更に負担が非常に大きいものであったが、この補助具をマグネットの吸着力で装着する事により、容易に操作ボタンを押し続けることが出来、かつ着脱も簡単である。
【背景技術】
【０００２】  従来は立体駐車場のパレットが希望の位置に来るまで、操作ボタンを押し続ける必要があった。
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  これには、次のような欠点があった。
（イ）立体駐車場の操作ボタンは全天候型・屋外仕様で防水機能を持つ為、接地圧力の高いスイッチを採用しており、強い力で押す必要があった。
（ロ）操作ボタンには、プッシュロック機構を採用していない為、操作ボタンを押し続けなければならなかった。
本発明は、これらの欠点を除くためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】（イ）ユリアネジ（３）と蝶ネジ（１）の位置調整により、どのようなタイプの操作ボタンも確実に押すことが可能になる。
（ロ）マグネット（４）を固定する山型アーム（２）の先端の両サイドは、マグネットの幅より３％程度広くアームの立ち上がり（６）を作り、ネジ（７）は０．３ミリ緩みを持たせた締め込みにより遊びを持たせた固定方法にした。
この固定方法により、操作盤のベースになる鉄板の不陸を吸収し、ガタツキをなくすことで確実にベースに吸着させる事が可能になり、かつ着脱が容易に出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】  以下、本発明の実施例について説明する。
（イ）駐車場の操作ボタン（５）をまたぐ様に本補助具をマグネット（４）の吸着力で装着する。
（ロ）ユリアネジ（３）を操作ボタンが押される位置まで伸ばし、蝶ネジ（１）を絞めることでユリアネジ（３）の位置が移動しないように固定する。
（ハ）上げ下げのそれぞれの操作ボタンに必要時またぐ様に装着するだけで、操作ボタンを押し続けることが出来、駐車場のパレットが所定の位置で定着した時に、本補助具を外す事で操作を完全に停止する事が出来る。
【発明の効果】
【０００６】  これには次のような効果がある。
（イ）立体駐車場の操作ボタンを長時間押し続けることなく、確実なボタン操作が出来る。
（ロ）マグネットにより着脱が容易であり、緊急停止などの安全性が確保できる。
（ハ）押しボタンの形状や種類を選ばない。
本発明は、これらの効果をもたらすものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の斜視図である。
【図２】本発明の一部分の斜視図である。
【符号の説明】
１  蝶ネジ
２  山型アーム
３  ユリアネジ
４  マグネット
５  駐車場の操作ボタン
６  アームの立ち上がり
７  ネジ
【図１】
2006029050.tif 000003
【図２】
2006029050.tif 000004
(57)【要約】【課題】圧縮機構部を密閉容器に点溶接にて固定する構成において、溶接時の加熱の影響で溶接部分に歪を生じ、固定スクロール７が変形し固定スクロール７と旋回スクロール６先端との隙間が広くなり、圧縮時の漏れが大きくなり圧縮機の効率を低下させたり、旋回スクロール６の先端が固定スクロール７に強く擦り付けられて摩耗し、信頼性が低下するという課題を有していた。【解決手段】圧縮機構部を密閉容器に溶接固定する際に、熱による変形を空孔で吸収し、変形が固定スクロールに伝わらないようにすることにより信頼性を向上させることができる。【選択図】図２
2006029102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉容器に電動機と、この電動機によって主軸を介して駆動される圧縮機構部を配し、前記圧縮機構部の軸受部に前記密閉容器を点溶接にて固定する構成において、前記軸受の溶接近傍に空孔を設けたスクロール圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクロール圧縮機を密閉容器に溶接固定する際の構成に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のスクロール圧縮機としては、例えば特許文献１に記載されたものがあった。
【０００３】
従来のスクロール圧縮機を図を用いて説明する。図３は従来のスクロール圧縮機の縦断面図、図４は図３におけるＢ−Ｂ断面矢視図である。
【０００４】
図４及び図３において、１は密閉容器である。２は電動機、３は圧縮機構部であり、主軸４を介して駆動される。前記圧縮機構部３は、軸受５と、旋回スクロール６と、固定スクロール７より構成されていた。
【０００５】
通常、軸受５が密閉容器１に溶接され、圧縮機構部３が固定されることになる。
【特許文献１】特開２００１−３５５５８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記従来の構成では、軸受５に溶接固定されていたが、溶接時の加熱の影響で溶接部分に歪を生じ、固定スクロール７が変形し固定スクロール７と旋回スクロール６の先端との隙間が広くなり、圧縮時の漏れが大きくなり圧縮機の効率を低下させたり、旋回スクロール６の先端が固定スクロール７に強く擦り付けられて摩耗し、信頼性が低下する原因となっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記従来の課題を解決するために、本発明は圧縮機構部を密閉容器に溶接固定する際に、熱による変形を空孔で吸収し、変形が固定スクロールに伝わらないようにしたものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、圧縮機構部の歪を低減し、信頼性を向上させ、長寿命化を図り、さらに各部品間の隙間寸法を小さくすることができるため、効率の高いスクロール圧縮機を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明は、圧縮機構部の軸受部に密閉容器を点溶接にて固定する場合、軸受の溶接近傍に空孔を設けることにより、溶接歪を低減することができる。
【００１０】
（実施の形態１）
図１は、本発明のスクロール圧縮機の縦断面図、図２は図１におけるＡ−Ａ断面矢視図である。図１及び図２において、密閉容器１に電動機２と、この電動機２によって主軸４を介して駆動される圧縮機構部３を配し、前記軸受８をその外周部にて前記密閉容器１にて点溶接にて固定し、前記軸受８の溶接近傍に空孔９を設ける。
【００１１】
本構成により、軸受８を溶接した場合、軸受８に発生する変形を直接固定スクロール７に伝えないため、歪を低減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１２】
本発明は、各部品間の隙間寸法を小さくすることができるため圧縮中の漏れの低減が図れ効率が向上するため、ロータリー圧縮機等にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施の形態における、スクロール圧縮機の縦断面図
【図２】図１におけるＡ−Ａ断面矢視図
【図３】従来のスクロール圧縮機の縦断面図
【図４】図３におけるＢ−Ｂ断面矢視図
【符号の説明】
【００１４】
１  密閉容器
２  電動機
３  圧縮機構部
４  主軸
５  軸受
６  旋回スクロール
７  固定スクロール
８  軸受
９  空孔
【図１】
2006029102.tif 000003
【図２】
2006029102.tif 000004
【図３】
2006029102.tif 000005
【図４】
2006029102.tif 000006
(57)【要約】【課題】  蒸気タービンで発生した機械エネルギーを確実に使用することのできる、蒸気タービンを利用したプロセス蒸気の制御装置を得ること。【解決手段】  蒸気供給管８に蒸気圧力制御弁９を取り付けて蒸気使用機器７と接続する。蒸気使用機器７の下部にスチームトラップ１３を介してエゼクタ１と接続する。エゼクタ１と循環通路２と循環ポンプ３とで復水回収ポンプを構成する。循環ポンプ３に誘導電動機１５を介在して蒸気タービン４を接続する。蒸気タービン４には分岐管１０とタービン蒸気排出管１１を接続する。  蒸気使用機器７には、蒸気圧力制御弁９と蒸気タービン４で所定値に減圧された蒸気が供給されると共に、蒸気タービン４の機械エネルギーは復水回収ポンプで確実に使用される。【選択図】      図１
2006029180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸気使用箇所へ必要な蒸気を供給する蒸気供給管と、当該蒸気供給管に取り付けた蒸気制御弁と、蒸気供給管を分岐して蒸気タービンと接続した分岐管とからなるものにおいて、蒸気タービンを復水回収ポンプと連結すると共に、当該復水回収ポンプを循環ポンプとエゼクタと循環通路とで構成したことを特徴とする蒸気タービンを利用したプロセス蒸気の制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸気供給管を介して蒸気使用箇所へ必要な蒸気を供給すると共に、蒸気タービンを介しても蒸気使用箇所へ蒸気を供給する蒸気タービンを利用したプロセス蒸気の制御装置に関する。ここで、プロセス蒸気とは、蒸気使用箇所へ供給する蒸気を示す。
【背景技術】
【０００２】
従来の蒸気タービンを利用したプロセス蒸気の制御装置は、蒸気供給管と蒸気タービンを並列に配置して、蒸気供給管から所定量の蒸気を蒸気使用箇所へ供給しながら、蒸気タービンから不足分の蒸気を蒸気使用箇所へ供給することによって、蒸気タービンで機械エネルギーへと変換されて蒸気の圧力を所定値まで減圧すると共に、蒸気タービンで発生した機械エネルギーを別途使用することにより、蒸気エネルギーの有効活用を図るものである。
【０００３】
上記従来の蒸気タービンを利用したプロセス蒸気の制御装置では、蒸気タービンで発生した機械エネルギーを利用すべき被駆動機が近くに存在しない場合には、せっかく発生させた機械エネルギーを有効に活用することができない問題があった。
【特許文献１】特開平２−６１３０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする課題は、プロセス蒸気の供給部と対を成す被駆動機を配置して、蒸気タービンで発生した機械エネルギーをこの被駆動機で確実に使用することによって、蒸気エネルギーの有効活用を図ることのできる蒸気タービンを利用したプロセス蒸気の制御装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、蒸気使用箇所へ必要な蒸気を供給する蒸気供給管と、当該蒸気供給管に取り付けた蒸気制御弁と、蒸気供給管を分岐して蒸気タービンと接続した分岐管とからなるものにおいて、蒸気タービンを復水回収ポンプと連結すると共に、当該復水回収ポンプを循環ポンプとエゼクタと循環通路とで構成したものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、蒸気使用箇所で蒸気の凝縮した高温復水の熱エネルギーを回収する復水回収ポンプを、蒸気タービンと接続したことによって、蒸気タービンで発生した機械エネルギーをこの被駆動機としての復水回収ポンプで確実に使用することにより、蒸気エネルギーの有効活用を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
蒸気タービンとしては従来から使用されているものを用いることができ、単段あるいは多段式の背圧タービンや抽気タービン等を用いることができる。
【実施例１】
【０００８】
図１において、蒸気使用機器７へ蒸気を供給する蒸気供給管８と、この蒸気供給管８に取り付けた蒸気圧力制御弁９と、蒸気供給管８を分岐した分岐管１０と、分岐管１０を接続した蒸気タービン４、及び、エゼクタ１と循環通路２と循環ポンプ３からなる復水回収ポンプとで蒸気タービンを利用したプロセス蒸気の制御装置を構成する。
【０００９】
蒸気発生源としてのボイラー６と蒸気使用機器７を蒸気供給管８で接続する。蒸気供給管８に取り付けた蒸気圧力制御弁９は、蒸気使用機器７へ供給する蒸気の圧力を任意に制御することができるものである。蒸気タービン４へ駆動用の蒸気を供給する分岐管１０と、蒸気タービン４から蒸気を排出して蒸気使用機器７へ供給するタービン蒸気排出管１１をそれぞれ接続する。分岐管１０には、蒸気タービン４へ供給する蒸気量を制御する蒸気制御弁１２を取り付ける。
【００１０】
蒸気使用機器７の下部にスチームトラップ１３を取り付ける。スチームトラップ１３は、蒸気使用機器７内で熱を奪われて凝縮した復水だけを排出し、一方、蒸気は排出することのない自動弁の一種である。スチームトラップ１３の出口側は管１４によってエゼクタ１の吸込室と接続する。
【００１１】
エゼクタ１の手前に配置した循環ポンプ３は、循環通路２側の流体を吸引してエゼクタ１側へ吐出するものであり、循環ポンプ３と蒸気タービン４の間には誘導電動機１５を介在させる。分岐管１０から蒸気タービン４へ供給される蒸気によって蒸気タービン４が回転駆動され、この回転力が誘導電動機１５を介して循環ポンプ３へ伝達される。なお、誘導電動機１５は、蒸気タービン４が循環ポンプ３の必要とする回転力以上の出力状態となった場合に、発電を開始して所定の電力を得ることができるものである。
【００１２】
循環ポンプ３からエゼクタ１へ復水が吐出されてエゼクタ１で吸引力を発生し、スチームトラップ１３から排出される復水を吸引して循環通路２内を循環する。循環通路２内の循環液量を必要最低限に維持しつつ復水回収管５に取り付けた制御弁１６の開度を制御して余剰復水をボイラー６へ回収する。
【００１３】
蒸気タービン４を駆動して所定のエネルギーを消費した蒸気は、所定の圧力値だけ減圧されて、タービン蒸気排出管１１から蒸気供給管８で混合されて蒸気使用機器７内へ供給される。この場合、蒸気タービン４からの所定圧力の蒸気と、蒸気圧力制御弁９で所定の圧力に制御された蒸気が蒸気使用機器７へ供給されることによって、蒸気使用機器７内は所定の蒸気圧力状態となる。
【００１４】
エゼクタ１と循環通路２と循環ポンプ３からなる復水回収ポンプは、蒸気使用機器７とボイラー６の間に一般的に配置される。このように、プロセス蒸気の供給部としてのボイラー６と対を成す復水回収ポンプを配置して、蒸気タービン４で発生した機械エネルギーをこの復水回収ポンプで確実に使用することによって、蒸気エネルギーの有効活用を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の蒸気タービンを利用したプロセス蒸気の制御装置の実施例を示す構成図。
【符号の説明】
【００１６】
１  エゼクタ
２  循環通路
３  循環ポンプ
４  蒸気タービン
６  ボイラー
７  蒸気使用機器
８  蒸気供給管
９  蒸気圧力制御弁
１０  分岐管
１１  タービン蒸気排出管
１３  スチームトラップ
１５  誘導電動機
【図１】
2006029180.tif 000003
(57)【要約】【課題】  電気エネルギーの消費を極力少なくすることによって、エネルギーの回収効率の高いエゼクタ式真空ポンプを得ること。【解決手段】  蒸気使用機器７の下部にスチームトラップ１３を介してエゼクタ１と接続する。エゼクタ１と循環通路２とタンク１７と液体圧送ポンプ手段３、及び、蒸気タービン４とでエゼクタ式真空ポンプを構成する。液体圧送ポンプ手段３と蒸気タービン４の間には誘導電動機１５を介在する。蒸気タービン４には、タービン蒸気供給管１０とタービン蒸気排出管１１を接続する。  タービン蒸気供給管１０から供給される蒸気によって蒸気タービン４が回転駆動され、この回転力が誘導電動機１５を介して液体圧送ポンプ手段３に伝達される。【選択図】      図１
2006029181.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エゼクタの入口側に液体圧送ポンプ手段を介してタンクと接続したものにおいて、液体圧送ポンプ手段を駆動する蒸気タービンを接続したことを特徴とするエゼクタ式真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エゼクタとポンプ手段を組み合わせたエゼクタ式真空ポンプに関する。エゼクタ式真空ポンプは、ポンプ手段で流体をエゼクタ内に循環させることにより、エゼクタ部で真空吸引力を生じるものであり、低圧蒸気使用装置等からの復水吸引回収装置として従来から用いられている。
【背景技術】
【０００２】
従来のエゼクタ式真空ポンプは、電動モータと連結した液体圧送ポンプ手段と、このポンプ手段の吐出口と吸込口を結ぶ循環通路と、循環通路の途中に配置したエゼクタ及びタンクとで構成される。
【０００３】
上記従来のエゼクタ式真空ポンプでは、電動モータを駆動して液体圧送ポンプ手段を連続的に作動させ、循環通路内に所定量の復水を絶えず循環させなければならないために、電動モータの連続運転が必要となり、電気エネルギーを多量に消費してしまい、エネルギーの有効利用を図る上で問題があった。
【特許文献１】特開平７−２５３１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする課題は、電動モータの連続運転を不用にして、電気エネルギーの消費を極力少なくすることによって、エネルギーの回収効率の高いエゼクタ式真空ポンプを得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、エゼクタの入口側に液体圧送ポンプ手段を介してタンクと接続したものにおいて、液体圧送ポンプ手段を駆動する蒸気タービンを接続したものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、液体圧送ポンプ手段に蒸気タービンを接続したことにより、この蒸気タービンでもって液体圧送ポンプ手段を連続的に作動させることができ、電気エネルギーを使用することなく復水等を吸引回収することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
蒸気タービンとしては従来から使用されているものを用いることができ、単段あるいは多段式の背圧タービンや抽気タービン等を用いることができる。
【実施例１】
【０００８】
図１において、エゼクタ１と循環通路２と液体圧送ポンプ手段３と蒸気タービン４、及び、循環通路２に介在したタンク１７とでエゼクタ式真空ポンプを構成する。
【０００９】
タンク１７の上部には、冷却水を補給する冷却水補給管１８を接続すると共に、下部にはタンク１７内の余剰水を外部へ排出する余剰水排出管１９を接続する。タンク１７には図示しない温度センサを取り付けて、補給する冷却水量を調節することによって、タンク１７内の水温を任意に制御できるようにする。
【００１０】
蒸気発生源としてのボイラー６と蒸気使用機器７を蒸気供給管８で接続する。蒸気供給管８には蒸気使用機器７へ供給する蒸気の圧力を制御する圧力制御弁９を取り付けると共に、蒸気タービン４へ駆動用の蒸気を供給するタービン蒸気供給管１０と、蒸気タービン４から蒸気を排出して蒸気使用機器７へ供給するタービン蒸気排出管１１をそれぞれ接続する。タービン蒸気供給管１０には、蒸気タービン４へ供給する蒸気量を制御する蒸気制御弁１２を取り付ける。
【００１１】
蒸気使用機器７の下部にスチームトラップ１３を取り付ける。スチームトラップ１３は、蒸気使用機器７内で熱を奪われて凝縮した復水だけを排出し、一方、蒸気は排出することのない自動弁の一種である。スチームトラップ１３の出口側は管１４によってエゼクタ１の吸込室と接続する。
【００１２】
エゼクタ１の手前に配置した液体圧送ポンプ手段３は、タンク１７内の液体を吸引してエゼクタ１側へ吐出するものであり、液体圧送ポンプ手段３と蒸気タービン４の間には誘導電動機１５を介在させる。タービン蒸気供給管１０から蒸気タービン４へ供給される蒸気によって蒸気タービン４が回転駆動され、この回転力が誘導電動機１５を介して液体圧送ポンプ手段３へ伝達される。なお、誘導電動機１５は、蒸気タービン４が液体圧送ポンプ手段３の必要とする回転力以上の出力状態となった場合に、発電を開始して所定の電力を得ることができるものである。
【００１３】
液体圧送ポンプ手段３からエゼクタ１へ復水が吐出されてエゼクタ１で吸引力を発生し、スチームトラップ１３から排出される復水を吸引してタンク１７内に溜め、復水の一部は循環通路２内を循環する。循環通路２内の循環液量を必要最低限に維持しつつ、循環通路２から分岐した復水回収管５に取り付けた制御弁１６の開度を制御して余剰復水をボイラー６へ回収する。
【００１４】
蒸気タービン４を駆動して所定のエネルギーを消費した蒸気は、タービン蒸気排出管１１から蒸気供給管８で混合されて蒸気使用機器７内へ供給される。
【００１５】
このように、蒸気タービン４の回転力によって液体圧送ポンプ手段３を駆動することによって、電動モータを作動させる電気エネルギーは不要となり、エネルギーの回収効率を高めることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のエゼクタ式真空ポンプの実施例を示す構成図。
【符号の説明】
【００１７】
１  エゼクタ
２  循環通路
３  液体圧送ポンプ手段
４  蒸気タービン
５  復水回収管
６  ボイラー
７  蒸気使用機器
８  蒸気供給管
１０  タービン蒸気供給管
１１  タービン蒸気排出管
１３  スチームトラップ
１５  誘導電動機
１７  タンク
１８  冷却水補給管
１９  余剰水排出管
【図１】
2006029181.tif 000003
(57)【要約】【課題】  シリンダヘッドに設けたポートの燃焼室側端部に圧入固定されるバルブシートの圧入荷重を小さくしつつランニングコストを低減する。【解決手段】  バルブシート３の圧入方向先端側外周縁を面取り４形成する。面取り４の幅ａより大きい幅ｂの切欠５をバルブシート３の圧入方向先端部の内周面に形成したことにより、圧入方向先端部におけるバルブシート３の半径方向への剛性を減少補正して、圧入時に懸念されるかじりを的確に回避しつつ、小さな荷重でバルブシート３を圧入することができるようにした。【選択図】  図１
2006029151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダヘッド（１）に設けたポート（２）の燃焼室側の開口端に圧入固定されるバルブシート（３）であって、バルブシート（３）の圧入方向先端側外周縁を面取り（４）形成する一方、前記面取り（４）の幅（ａ）より大きい幅（ｂ）の切欠（５）をバルブシート（３）の圧入方向先端部の内周面に形成したことを特徴とするエンジンのバルブシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジンのバルブシートに係り、特に、シリンダヘッドに設けたポートの燃焼室の側開口端に圧入固定されるバルブシートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シリンダヘッドに設けたポートの燃焼室側子開口端にバルブシートを圧入固定するに際して、従来ではバルブシートの圧入先端側の外周縁を面取り加工していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、従来のようにテーパ面状をなすシート面部分を除いてバルブシートの肉圧を同一に形成していたために、バルブシートの圧入先端側の外周縁をＣ面あるいはＲ面などで面取り加工した場合は、圧入時におけるかじり防止効果を得られるものの限度があり、事後におけるバルブシートの脱落を予防するためにバルブシートを高荷重で圧入し、あるいは、液体窒素などによる冷やし嵌めを行なう必要性があった。
【０００４】
しかしながら、前者の場合は油圧プレスなどのような大掛かりな圧入装置を用いる必要性があるために設備費が膨大になると同時に、シリンダヘッド側の強度を大きくして圧入荷重に対応させる必要性があり、後者の場合は液体窒素などの消耗をともなうために、ランニングコストが高くなってしまう、という不具合があった。
【特許文献１】特開平９−２８７４２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする問題点は、バルブシートの圧入荷重を小さくしつつランニングコストを低減することができない点である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明は、バルブシートの圧入方向先端側外周縁を面取り形成する一方、前記面取り幅より大きい幅の切欠をバルブシートの圧入方向先端部の内周面に形成したことを最も主要な特徴としている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係るバルブシートは、バルブシートにおける圧入方向先端側の外周縁を面取り形成しているために、圧入時に懸念されるかじりを予防することができる。また、前記面取り幅より大きい深さの切欠をバルブシートの圧入方向先端部の内周面に形成したために、圧入方向先端部分における半径方向への剛性が低くなり、これにともなって圧入荷重を軽減することができるために小型で簡易な圧入装置でバルブシートを確実に圧入することが可能となる、という利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１は本発明に係るバルブシートの一実施形態を示す断面図であり、シリンダヘッド１に設けたポート２の燃焼室側の開口端に圧入固定されるバルブシート３の圧入方向先端側の外周縁をＲ面で面取り４している。
【０００９】
また、前記面取り４の幅ａより大きい幅ｂの切欠５をバルブシート３の圧入方向先端部の内周面の全域に形成してこの部分の肉厚ｃを他の部分の肉厚ｄより薄くすることにより、圧入方向先端部分における半径方向への剛性を低下させている。
【００１０】
従って、バルブシート３の圧入に際しては、その圧入方向先端側の外周縁に設けた面取り４をガイドとしてバルブシート３が半径方向に圧縮される。また、このような圧縮に際しては、面取り４の幅ａよりも大きい幅ｂの切欠５を圧入方向先端部の内周面に形成してその肉厚を小さくしているために、少なくとも圧入方向先端部におけるバルブシート３の半径方向への剛性が減少補正される。よって、圧入時に懸念されるかじりを的確に回避しつつ、小さな荷重でバルブシート３を圧入することが可能となる。
【００１１】
上記実施形態では、深さおよび幅を同一にした均一形状の切欠５をバルブシート３の圧入先端部の内周面の全域に形成しているが、例えば図２に示した実施形態のように、複数個の切欠４を等間隔で配設し、あるいは図３に示した実施形態のように、深さを周期的および連続的に変化させた切欠５を設け、もしくは、図４に示したように、深さが次第に小さくなるテーパ断面の切欠５を設けたものであってもよい。
【００１２】
さらに、上記実施形態ではいずれもバルブシート３の圧入方向先端側の外周縁をＲ面で面取り４しているが、Ｃ面による面取りを施したものであってもよい。さらにまた、バルブシート３の外径寸法を圧入方向先端側に至るにつれて次第に大きくした逆テーパ外径のバルブシートとすることによって、バルブシート３の抜け荷重をより大きくすることができる。なお、このようにバルブシート３の外径を逆テーパ形状とした場合は、より高温に曝されるバルブシート３の燃焼室側端部の熱膨張にともなうシリンダヘッド側の過大応力を軽減することもできる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係るバルブシートの一実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係るバルブシートの他の実施形態を示す圧入方向先端側から見た正面図である。
【図３】本発明に係るバルブシートの別の実施形態を示す圧入方向先端側から見た正面図である。
【図４】本発明に係るバルブシートのさらに別の実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００１４】
１    シリンダヘッド
２    ポート
３    バルブシート
４    面取り
５    切欠
ａ    面取り４の幅
ｂ    切欠４の幅
【図１】
2006029151.tif 000003
【図２】
2006029151.tif 000004
【図３】
2006029151.tif 000005
【図４】
2006029151.tif 000006
(57)【要約】【課題】  電気エネルギーの消費を極力少なくすることによって、エネルギーの回収効率の高い復水回収装置を得ること。【解決手段】  蒸気使用機器７の下部にスチームトラップ１３を介してエゼクタ１と接続する。エゼクタ１と循環通路２と循環ポンプ３と蒸気タービン４、及び、復水回収管５とで復水回収装置を構成する。循環ポンプ３と蒸気タービン４の間には誘導電動機１５を介在する。蒸気タービン４には、タービン蒸気供給管１０とタービン蒸気排出管１１を接続する。  タービン蒸気供給管１０から供給される蒸気によって蒸気タービン４が回転駆動され、この回転力が誘導電動機１５を介して循環ポンプ３に伝達される。【選択図】      図１
2006029670.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸気使用機器で発生した復水を復水回収ポンプによりボイラーあるいは給水タンク等の復水回収先へ回収するものにおいて、復水回収ポンプを駆動する蒸気タービンを接続したことを特徴とする復水回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸気使用機器等で発生した蒸気の凝縮水としての復水を、ボイラー等へ回収する復水回収装置に関する。蒸気使用機器で発生する復水は一般にスチームトラップを介して外部に排出されるが、排出される復水は高温高圧蒸気の復水であって、まだ高温の熱エネルギーを多く有しており、この熱エネルギーの有効利用を図るために復水の回収が従来から行われている。
【背景技術】
【０００２】
従来の復水回収装置は、電動モータと連結した循環ポンプと、この循環ポンプの吐出口と吸込口を結ぶ密閉の循環通路と、循環通路の途中に配置したエゼクタ部材とで構成され、循環ポンプで循環通路とエゼクタ部材内に復水の一部を循環させることによって、スチームトラップから排出される復水を吸引して所定の回収先へポンプ圧送することができるものである。
【０００３】
上記従来の復水回収装置では、電動モータを駆動して循環ポンプを連続的に作動させ、循環通路内に所定量の復水を絶えず循環させなければならないために、電動モータの連続運転が必要となり、電気エネルギーを多量に消費してしまい、エネルギーの有効利用を図る上で問題があった。
【特許文献１】特公昭６１−１８０３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする課題は、電動モータの連続運転を不用にして、電気エネルギーの消費を極力少なくすることによって、エネルギーの回収効率の高い復水回収装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、蒸気使用機器で発生した復水を復水回収ポンプによりボイラーあるいは給水タンク等の復水回収先へ回収するものにおいて、復水回収ポンプを駆動する蒸気タービンを接続したものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、復水回収ポンプに蒸気タービンを接続したことにより、この蒸気タービンでもって循環ポンプを連続的に作動させることができ、電気エネルギーを使用することなく復水を回収することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
蒸気タービンとしては従来から使用されているものを用いることができ、単段あるいは多段式の背圧タービンや抽気タービン等を用いることができる。
【実施例１】
【０００８】
図１において、エゼクタ１と循環通路２と循環ポンプ３と蒸気タービン４、及び、循環通路２から分岐した復水回収管５とで復水回収装置を構成する。
【０００９】
蒸気発生源としてのボイラー６と蒸気使用機器７を蒸気供給管８で接続する。蒸気供給管８には蒸気使用機器７へ供給する蒸気の圧力を制御する圧力制御弁９を取り付けると共に、蒸気タービン４へ駆動用の蒸気を供給するタービン蒸気供給管１０と、蒸気タービン４から蒸気を排出して蒸気使用機器７へ供給するタービン蒸気排出管１１をそれぞれ接続する。タービン蒸気供給管１０には、蒸気タービン４へ供給する蒸気量を制御する蒸気制御弁１２を取り付ける。
【００１０】
蒸気使用機器７の下部にスチームトラップ１３を取り付ける。スチームトラップ１３は、蒸気使用機器７内で熱を奪われて凝縮した復水だけを排出し、一方、蒸気は排出することのない自動弁の一種である。スチームトラップ１３の出口側は管１４によってエゼクタ１の吸込室と接続する。
【００１１】
エゼクタ１の手前に配置した循環ポンプ３は、循環通路２側の流体を吸引してエゼクタ１側へ吐出するものであり、循環ポンプ３と蒸気タービン４の間には誘導電動機１５を介在させる。タービン蒸気供給管１０から蒸気タービン４へ供給される蒸気によって蒸気タービン４が回転駆動され、この回転力が誘導電動機１５を介して循環ポンプ３へ伝達される。なお、誘導電動機１５は、蒸気タービン４が循環ポンプ３の必要とする回転力以上の出力状態となった場合に、発電を開始して所定の電力を得ることができるものである。
【００１２】
循環ポンプ３からエゼクタ１へ復水が吐出されてエゼクタ１で吸引力を発生し、スチームトラップ１３から排出される復水を吸引して循環通路２内を循環する。循環通路２内の循環液量を必要最低限に維持しつつ復水回収管５に取り付けた制御弁１６の開度を制御して余剰復水をボイラー６へ回収する。
【００１３】
蒸気タービン４を駆動して所定のエネルギーを消費した蒸気は、タービン蒸気排出管１１から蒸気供給管８で混合されて蒸気使用機器７内へ供給される。
【００１４】
このように、蒸気タービン４の回転力によって循環ポンプ３を駆動することによって、電動モータを作動させる電気エネルギーは不要となり、エネルギーの回収効率を高めることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の復水回収装置の実施例を示す構成図。
【符号の説明】
【００１６】
１  エゼクタ
２  循環通路
３  循環ポンプ
４  蒸気タービン
５  復水回収管
６  ボイラー
７  蒸気使用機器
８  蒸気供給管
１０  タービン蒸気供給管
１１  タービン蒸気排出管
１３  スチームトラップ
１５  誘導電動機
【図１】
2006029670.tif 000003
(57)【要約】【課題】ＡｕＳｎダイボンダーでは、ＡｕＳｎの融点が高いため、ステムの温度を融点まで加熱させて、そこで、チップを圧接したのでは、チップへの熱ショックが大きすぎ破損させてしまう。従来これを防ぐため、種々な方式を行ってきたが、いずれも、温度カーブ立上がりがおそく、これが、ＡｕＳｎダイボンダーの高速化を困難なものとしてきた。本発明では、これを解決する。【解決手段】プリヒーターを設け、これにチップを圧接し、加熱する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＡｕＳｎダイボンダーを高速化するためにプリヒーターを設け、これにチップを圧接し、加熱する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は、ＡｕＳｎダイボンダーである。
【従来の技術】
【０００２】従来の技術を図面を参照して説明する。図１〜図５は従来の技術である。図１において、ＡｕＳｎのダイボンディング（ステムにチップを溶着すること）は、ステムをＡｕＳｎの融点まで加熱しておき、これに、チップ（下面がＡｕＳｎメッキされている）をコレットで運んで来て、圧接（チップコンタクト）することにより行われる。実際には、チップコンタクトの時のチップとステムの温度差が、問題となる。ＡｕＳｎの融点は、３２０℃と高いので、この温度で、チップコンタクトをすると、チップは熱破損する。ＡｕＳｎダイボンダーでは、２００℃以下でチップコンタクトを行い、その後、あるカーブで温度を上昇させることが必要となる。このことが、ＡｕＳｎダイボンダーのサイクルタイムを大きく左右し、高速化するためには、２００℃から融点までの時間をいかに早くするかにかかっている。図２において、ステムを加熱するヒートプレートを、ステムに接する部分と、ヒーター部分との２つに分割し、ヒーター部分は、常時、融点で温度コントロールしておき、あるタイミングで、上部分に圧接させる。このことにより、ステム温度カーブを作ることが出来る。実績では、圧接してから、ステム温度が融点になるまで、３０秒であった。図３において、図２のヒーターの代りに、赤外光をあてる。実績では、あてた時点から、ステムが融点になるまで、１０秒であった。図４において、これはコレットにヒーターを巻いて、チップを加熱する。ステムの温度は、融点にしておき、チップを加熱することにより、ステムとチップの温度差を小さくする。ヒーター通電開始からチップ温度１２０℃になるまで、約８秒であった。（コレット面が平である場合のみこの方式が使える−コレット面が斜のが一般的で、斜では熱伝導が少ないので不可）図５において、Ｎ２雰囲気（ステム表面、チップ面の酸化をおさえる）内において、予めステムは融点まで加熱しておき、コレットに吸着されているチップを加熱する。伝熱板の光があたる面は無反射処理され（チップ面は鏡面に近く、赤外光エネルギーをほとんど反射してしまう）ここで、赤外光エネルギーを吸収し、チップに加熱する。（コレット下降時は、この板は、側に移動する）チップ温度カーブのコントロールは、赤外光への電流をコントロールして行う。チップ温度が１２０℃以上になってから、コレット下降し、チップをステムに圧接しボンディングを行う。チップ温度を、常温から１２０℃まで、３秒で、上昇させることが出来た。しかし、この方法は、高速化の目的は達せられるが、赤外光源が、あまりにも高価であるのが難点である。
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】チップに熱衝撃を与えずなおかつより早く、チップの温度を上昇させる［課題を解決するための手段］
【０００４】コレットに吸着されている、チップをプリヒーターに圧接し、加熱する。
【発明の実施の形態】
【０００５】発明の実施の形態を実施例にもとずき図６、図７を参照して説明する。図６は、実際に、このダイボンダーに使用される、ボンディングチャンバーの図である。このチャンバーは、Ｎ２出口から、高温Ｎ２が入り込み、チャンバー内は、高純度Ｎ２雰囲気に保たれている。本発明では、プリヒーターを新たに設けた。プリヒーターは、小さなアルミブロックで出来ており、それが断熱材のアームに取付られており、通常は、ヒーター表面と、アルミブロックの表面にはギャップを保つようにスプリングで浮されている。ヒーターを所定の温度に温度コントロールしておき、そこに、プリヒーターのアルミブロックを圧接すると、アルミブロックは小さいので熱容量も小さく、短時間に、ヒーターの所定温度近くまで温度上昇する。アルミブロックが、ヒーターに接した瞬間から０、５秒後にコレットに吸着されたチップを、アルミブロック表面に圧接することにより、短時間に熱衝撃を与えることなくチップの温度を上げることができる。図７は、本発明の動作を順を追って説明する。▲１▼では、押ピン、チップコレット、サブステムコレットが、上ガラス板の穴にそれぞれ、先端が入り込む。▲２▼では、図右側に移動し、上ガラス板の穴と下ガラス板の穴が一致する。▲３▼では、まず、押ピンが、下がり、プリヒーターを押し、プリヒーターのアルミブロックを、ヒーターに圧接する。アルミブロックの表面にチップコレットのチップを圧接する。この動作を行っている時平行して、サブステムコレットは、サブステムをワークにボンディングする。▲４▼では、押しピン、チップコレット、サブステムコレットが再び上昇する。▲５▼では、図右に移動し、上ガラス板のチップコレット穴が、下ガラス板のワーク中心穴に一致し、チップコレットだけが、下降し、ワーク上にすでにボンディングされれている、サブステム上に、チップをボンディングする。
【発明の効果】
【０００６】チップに熱衝撃を与えることなく、高速で、ボンディングが出来た。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の、ＡｕＳｎボンダーの原理図
【図２】従来の、ヒートプレート２体型の図
【図３】従来のヒートプレートを、赤外光で加熱する方式の図
【図４】従来のコレットをヒーターで加熱する方式の図
【図５】赤外光で、チップを加熱する方式の図
【図６】今回の実施例の図
【図７】今回の発明の動作説明図
【図１】
2006005320.tif 000002
【図２】
2006005320.tif 000003
【図３】
2006005320.tif 000004
【図４】
2006005320.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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