(57)【要約】【課題】  ヘッド構成部材の表面に別工程で有機樹脂膜を成膜することから有機樹脂膜の繋ぎ目で繋ぎ不良が生じて耐液性能が低下する。【解決手段】  振動板１２と、振動板１２にギャップ１３を介して対向する個別電極１４を備えるアクチュエータ基板１に、ヘッド背面側から内部の共通液室１０に液体を供給するための液体供給口１８を形成し、更に、アクチュエータ基板１の振動板１２の表面及び液体供給口１８の壁面を含むすべての表面に真空化学蒸着法（ＣＶＤ）によって繋ぎ目のない有機樹脂膜３４を一体形成した。【選択図】  図４
2006123223.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルが連通する液室の壁面を形成するとともに、前記液室内の液体を加圧する圧力を発生する圧力発生手段を含むアクチュエータ部材に、外部から内部へ液体を供給するための液体供給口を形成した液滴吐出ヘッドにおいて、前記アクチュエータ部材の異なる部位の表面に繋ぎ目のない有機樹脂膜が一体に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記繋ぎ目のない有機樹脂膜が前記液室の壁面を形成する領域及び前記液体供給口の壁面に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出するノズルが連通する液室の壁面を形成するとともに、前記液室の少なくとも一つ壁面を構成する振動板、及び、この振動板に犠牲層エッチングにより形成されたギャップを介して対向する電極を含み、前記振動板を静電力で変形させて前記液室内の液体を加圧する圧力を発生する静電型アクチュエータを設けたアクチュエータ部材に、外部から内部へ液体を供給するための液体供給口を形成した液滴吐出ヘッドにおいて、前記アクチュエータ部材の異なる部位の表面に繋ぎ目のない有機樹脂膜が一体に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記繋ぎ目のない有機樹脂膜が前記振動板の表面及び前記液体供給口の壁面に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記犠牲層エッチングを行う際に用いる犠牲層除去孔は、前記有機樹脂膜により封止されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項３ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記有機樹脂膜は撥水性を有し、かつ、前記ギャップを形成する空間の壁面に前記有機樹脂膜が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項６に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ギャップを形成する空間の壁面に形成した有機樹脂膜の膜厚は、他の部分に形成した前記有機樹脂膜の膜厚よりも薄いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記有機樹脂膜を形成する有機樹脂はポリパラキシリレン又はその誘導体であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項７に記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法において、前記有機樹脂膜の形成を行うとき温度を変化させることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに記録液を供給するインクタンクを一体化した液体カートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液体カートリッジ。
【請求項１１】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド又は請求項１０に記載の液体カートリッジの液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、液体カートリッジ及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像形成装置として用いるインクジェット記録装置において使用する液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室（吐出室、圧力室、加圧液室、インク流路とも称される）と、この液室内の記録液（インク）を加圧するためのエネルギーを発生するアクチュエータ手段とを備えて、エネルギーを発生することによって液室内の記録液に圧力を作用させ、ノズルから液滴を吐出させるものである。
【０００３】
液滴吐出ヘッドとしては、電気機械変換素子などの圧電型アクチュエータを用いたもの、電気熱変換素子に膜沸騰を利用するサーマル型アクチュエータを用いたもの、振動板と電極間の静電力を利用する静電型アクチュエータを用いたものなどがある。
【０００４】
ところで、特に、静電型アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドにおいては、液室の壁面の一部を形成する振動板を変形させることにより、液室内の記録液（インク）を加圧してノズルから液滴を吐出する構成であるが、振動板を変形させることによる排除体積が小さいため、吐出する記録液の液滴の量を多くする、つまり大きな排除体積を確保するためには振動板の面積を広くしなければならず、また、電極への配線の引き回し領域や外部からヘッド内部へ記録液を供給する供給口を配置する領域によりヘッド面積が増大することになるという静電型ヘッド特有の問題がある。
【０００５】
そこで、特許文献１、２に記載されているように、静電型液滴吐出ヘッドにおいて、圧力発生手段を構成する電極或いは振動板及び電極を設けたアクチュエータ部材（アクチュエータ基板）の背面側から共通液室への供給口を形成して、外部からヘッド内部へ記録液を供給するようにしたものがある。
【特許文献１】特開平１０−１９３６１１号公報
【特許文献２】特開２００１−１００４７号公報
【０００６】
また、液滴吐出ヘッドにおいて、記録液とヘッドを構成しているヘッド構成部材の材料の組合せによっては、記録液によってヘッド構成部材が記録液に溶解してしまい、その結果、例えば液室を形成する流路形成部材が記録液中に溶出してノズルの目詰まりが生じ、また、振動板を用いるヘッドにあっては振動板を形成する部材が記録液中に溶出して振動板の振動特性が変動するなどの不具合が生じることがある。
【０００７】
そのため、特許文献３ないし５に記載されているように、ヘッド構成部材の液体接触面に、部材の耐液性を高めるための有機樹脂膜などからなる保護膜を形成するようにしたものがある。
【特許文献３】特開２０００−２４６８９５号公報
【特許文献４】特開２００２−３４７２４７号公報
【特許文献５】特開２００３−９４６４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、特許文献３ないし５に記載されているような従来の液滴吐出ヘッドにあっては、保護膜である有機樹脂膜を振動板や液室部などに個別的に形成しているため、特許文献１、２に記載されているようなヘッドの裏面側から共通液室へ記録液を供給する供給口を形成する構造とした場合、供給口の壁面にも保護膜を形成すると、振動板表面の保護膜と供給口壁面の保護膜との継ぎ目部分で繋ぎ不良が発生し易いという課題がある。
【０００９】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、高い信頼性が得られる液滴吐出ヘッド及びこの液滴吐出ヘッドの製造方法、この液滴吐出ヘッドを一体化した液体カートリッジ、この液滴吐出ヘッド又は液体カートリッジを搭載した画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルが連通する液室の壁面を形成するとともに、液室内の液体を加圧する圧力を発生する圧力発生手段を含むアクチュエータ部材に、外部から内部へ液体を供給するための液体供給口を形成し、アクチュエータ部材の異なる部位の表面に繋ぎ目のない有機樹脂膜が一体に形成されている構成とした。
【００１１】
ここで、繋ぎ目のない有機樹脂膜はアクチュエータ部材の液室の壁面を形成する領域及び液体供給口の壁面に形成されていることが好ましい。
【００１２】
また、本発明に掛かる液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルが連通する液室の壁面を形成するとともに、液室の少なくとも一つ壁面を構成する振動板、及び、この振動板に犠牲層エッチングにより形成されたギャップを介して対向する電極を含み、振動板を静電力で変形させて液室内の液体を加圧する圧力を発生する静電型アクチュエータを設けたアクチュエータ部材に、外部から内部へ液体を供給するための液体供給口を形成し、更にアクチュエータ部材の異なる部位の表面に繋ぎ目のない有機樹脂膜が一体に形成されている構成とした。
【００１３】
ここで、繋ぎ目のない有機樹脂膜は振動板の表面及び液体供給口の壁面に形成されていることが好ましい。また、犠牲層エッチングを行う際に用いる犠牲層除去孔は、有機樹脂膜により封止されていることが好ましい。また、有機樹脂膜は撥水性を有し、かつ、ギャップを形成する空間の壁面に有機樹脂膜が形成されていることが好ましく、この場合、ギャップを形成する空間の壁面に形成した有機樹脂膜の膜厚は、他の部分に形成した有機樹脂膜の膜厚よりも薄いことが好ましい。
【００１４】
本発明に係る各液滴吐出ヘッドにおいては、有機樹脂膜を形成する有機樹脂はポリパラキシリレン又はその誘導体であることが好ましい。
【００１５】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、振動板と電極との間のギャップを形成する空間の壁面にも有機樹脂膜の形成し、ギャップを形成する空間の壁面に形成した膜厚を他の部分に形成した有機樹脂膜の膜厚よりも薄くした液滴吐出ヘッドを製造する方法であって、有機樹脂膜の形成を行うときに温度を変化させる構成としたものである。
【００１６】
本発明に係る液体カートリッジは、本発明に係る液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクを一体化したものである。
【００１７】
本発明に係る画像形成装置は、液滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッド、又は本発明に係る液体カートリッジを搭載したものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、アクチュエータ部材に供給口を設け、アクチュエータ部材の異なる部位の表面に繋ぎ目のない有機樹脂膜を形成したので、有機樹脂膜の繋ぎ目不良による耐液性の低下を防止することができ、高い信頼性のヘッドが得られる。
【００１９】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、静電型液滴吐出ヘッドのギャップ内にも有機樹脂膜を形成するときに温度を変化させる構成としたので、膜厚制御が容易になって高い信頼性が得られる。
【００２０】
本発明に係る液体カートリッジによれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクを一体化したので、滴吐出特性のバラツキが少なく、信頼性の高い液滴吐出ヘッドを一体化した液体カートリッジ（液体タンク一体型ヘッド）を低コストで得ることができる。
【００２１】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッド又は液体カートリッジを備えているので、高画質画像を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの分解斜視図、図２は同ヘッドのアクチュエータ基板を透過状態で示す平面説明図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿う断面説明図、図４は図２のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図である。
【００２３】
このインクジェットヘッドは、基板の面部に設けたノズル孔から液滴を吐出させるサイドシュータタイプのものであり、第１の基板であるアクチュエータ基板１と第２の基板である流路基板（液室基板）２と第３の基板であるノズル基板３を順次積層して構成し、これら３枚の基板１、２、３を接合することで、液滴を吐出するノズル４がノズル連通路５を介して連通する液室（吐出室）６、液室６に液体（インク）を供給するための流体抵抗部７及び共通液室１０を形成している。各液室６は液室間隔壁９で仕切られている。
【００２４】
アクチュエータ基板１は、液室６の一部の壁面を形成する振動板領域（変形可能領域）１２Ａを形成する振動板１２と、この振動板１２の振動板領域１２Ａに犠牲層エッチングによって形成したギャップ（空隙）１３を介して対向する個別電極１４を備え、これらの振動板１２と個別電極１４によって各液室６に対応する圧力発生手段である静電型アクチュエータを構成している。
【００２５】
そして、このアクチュエータ基板１にはヘッドの背面側外部から共通液室１０に対して記録液であるインクを供給するための液体供給口１８を形成している。
【００２６】
ここで、このアクチュエータ基板１は、結晶面方位（１１０）のシリコン基板２１上に絶縁膜２２を介して個別電極１４をパターニングし、この個別電極１４上に絶縁膜２５を形成し、更に、絶縁膜２５上に犠牲層エッチングで形成したギャップ（空隙）１３を介して、振動板１２を構成する絶縁膜２８、振動板電極（上部電極）２９、振動板保護用としての酸化膜３０を順次積層形成している。
【００２７】
振動板１２には犠牲層２７に通じる犠牲層除去孔３１を形成して、この犠牲層除去孔３１を介してギャップ（空隙）１３部分の犠牲層を除去する犠牲層エッチングを行なっている。この犠牲層エッチングでは各ギャップ１３間の隔壁部となる部分の犠牲層２７は絶縁膜２５で被覆してエッチングされないようにしている。また、振動板電極２９の犠牲層除去孔３１の壁面部分は酸化処理を行なって酸化膜２９ａとしている。
【００２８】
そして、アクチュエータ基板１の異なる部位の表面である振動板１２の表面及び液体供給口１８の壁面には繋ぎ目のない有機樹脂膜３４を一体形成している。この有機樹脂膜３４をＣＶＤ（真空化学蒸着法）などで形成することにより、振動板１２の表面及び液体供給口１８の壁面に繋ぎ目のないシームレスの有機樹脂膜３４を形成することができる。また、ここでは、この有機樹脂膜３４によって犠牲層除去孔３１を封止している。
【００２９】
なお、個別電極１４の表面に形成した絶縁膜２２は、振動板１２との電気的短絡を防止するとともに、ギャップ１３を形成するための犠牲層エッチング時に個別電極１４を保護するためのものであり、また、振動板１２側の絶縁膜２８も個別電極１４との電気的短絡を防止するとともに、ギャップ１３を形成するための犠牲層エッチング時に絶縁膜２８上に形成される振動板電極（上部電極）３２を形成する層を保護するためのものである。
【００３０】
また、振動板１２の変形可能な各振動板領域１２Ａには液室６の長手方向に沿って一定間隔で個別電極１４側に突出する突起部１９を形成している。この突起部１９はアクチュエータが駆動する際に振動板１２と個別電極１４間の接触面積を低減するための機能を有しており、その配置位置やサイズは振動板１２の剛性等を考慮して決定される。突起部１９は振動板１２に限らず、個別電極１４側に設けることもできる。
【００３１】
このアクチュエータ基板１の上に接合する流路基板２は、例えば、結晶面方位（１１０）のシリコン基板に、液室（吐出室）６と、各々の液室６に流体抵抗部７を介して連通する共通液室１０を設けている（実際に溝部又は凹部である）。
【００３２】
流路基板２の上に接合するノズル基板３は、例えば、厚さ５０μｍのニッケル基板を用い、ノズル連通路５を介して各液室に連通するノズル４をドライ又はウェットエッチングやレーザー加工など周知の方法で形成している。
【００３３】
このように構成した液滴吐出ヘッドにおいては、各液室６内に記録液（インク）が満たされた状態で、図示しない制御部からの画像データに基づいて、記録液の吐出を行いたいノズル４に対応する個別電極１４に対して、発振回路により４０Ｖのパルス電圧を印加する。この電圧を印加することにより個別電極１４の表面にプラス電荷が帯電し、個別電極１４と、振動板電極を含む振動板１２との間に静電力による吸引作用が働いて、振動板１２が下方へ撓む。これにより、液室６の容積が広げられることから、その容積分の記録液が共通液室１０より流体抵抗部７を介して液室６へ流入する。
【００３４】
その後、個別電極１４へのパルス電圧を０Ｖにする（印加を止める）ことにより、静電力により下方へ撓んだ振動板１２は自身の剛性により元の位置に戻る。これにより、液室６内の圧力が急激に上昇して、液室６に連通するノズル孔４より記録液の液滴Ｄが図３の矢印方向に吐出される。そして、この動作を繰り返してノズル４から液滴Ｄを連続的に吐出することにより、液滴吐出ヘッドに対向して配置した被記録媒体（用紙）Ｐに画像を形成する。
【００３５】
ここで、静電型アクチュエータにおいて、個別電極１４と振動板１２との間に作用する静電力は、次に示す（１）式で与えられる。ここで、Ｆ：電極間に働く静電力、ε：誘電率、Ｓ：電極の対抗する面の面積、ｄ：電極間距離、Ｖ：印加電圧である。
【００３６】
【数１】
2006123223.tif 000003
【００３７】
つまり、静電力Ｆは、電極間距離ｄの２乗に反比例し、印加電圧Ｖの２乗に正比例していることが分かる。すなわち、静電型アクチュエータ、又はそれを搭載した液滴吐出ヘッドの駆動電圧の低電圧化を図るためには、個別電極１４と振動板１２との間隔（空隙の高さ：ギャップ長）を小さく形成することが重要となる。
【００３８】
そこで、上述したように、ギャップ１３を犠牲層エッチングで形成することにより、微小なギャップ間隔を精度良くバラツキなく安定して形成することができるので、各アクチュエータ間での動作特性のバラツキが少ない静電型アクチュエータを得ることができ、また、この静電型アクチュエータを液滴吐出ヘッドに適用することで、ノズル間での液滴吐出特性にバラツキが少なくなって、高品質画像を形成することができるようになる。
【００３９】
そして、このインクジェットヘッドにおいては、アクチュエータ部材であるアクチュエータ基板１に外部から内部（共通液室１０）へ記録液を供給するための液体供給口１８を形成し、アクチュエータ基板１の異なる部位の表面である液室６の壁面を形成する領域である振動板１２の表面及び液体供給口１８の壁面には繋ぎ目のない有機樹脂膜３４を一体形成しているので、振動板１２の表面と液体供給口１８の壁面に個別的に有機樹脂膜を形成する場合に比べて、有機樹脂膜の繋ぎ不良などがなくなり、その結果、繋ぎ目での耐液性の低下を防止できて、安定した信頼性の高いヘッドを得ることができる。
【００４０】
また、この静電型インクジェットヘッドのように、液室６の少なくとも一つ壁面を構成する振動板１２と、この振動板１２に犠牲層エッチングにより形成されたギャップ１３を介して対向する電極１４とを備える静電型アクチュエータを設けたアクチュエータ部材であるアクチュエータ基板１に、外部から内部（共通液室１０）へ液体を供給するための液体供給口１８を形成し、アクチュエータ基板１の振動板１２の表面及び液体供給口１８の壁面に繋ぎ目のない有機樹脂膜３４を一体形成しているので、振動板１２の表面と液体供給口１８の壁面に個別的に有機樹脂膜を形成する場合に比べて、有機樹脂膜の繋ぎ不良などがなくなり、その結果、繋ぎ目での耐液性の低下を防止できて、安定した信頼性の高いヘッドを得ることができる。
【００４１】
この場合、アクチュエータ部材の異なる部位の表面である液室の壁面を形成する領域又は振動板の表面及び液体供給口の壁面に繋ぎ目のない有機樹脂膜を形成することにより、最も液体（記録液）に晒される接液表面を確実に保護することができる。特に振動板のように薄い部材或いは電極となる部材、液体供給口のように複層構造の部材で形成される部分を確実に保護することができて、信頼性を高めることができる。
【００４２】
また、有機樹脂膜を１度の成膜によって形成することで、成膜工程を短縮できて低コスト化を図ることができる。
【００４３】
特に、有機樹脂膜３４として、ポリパラキシリレン又はその誘導体を用いることによって、インクによるヘッド構成部材の劣化を防ぐことができ、また、ポリパラキシリレンはあらゆる部分にコンフォーマルに成膜が可能であり、低コストで成膜が可能であるので、信頼性の高いヘッドを低コストで得ることができる。
【００４４】
次に、このインクジェットヘッドの製造工程の一例について図５ないし図１０を参照して説明する。なお、図５ないし図７は図２のＡ−Ａ線に沿う断面に相当する断面説明図、図８ないし図１０は図２のＢ−Ｂ線に沿う断面に相当する断面説明図である。
【００４５】
まず、図５（ａ）及び図８（ａ）に示すように、シリコン（Ｓｉ）基板２１の表面（ここでは両面）にウェット酸化法により厚さ１．０μｍの絶縁膜（熱酸化膜）２２を形成し、この絶縁膜２２上に個別電極１４を形成する電極形成層２４としてＰドープポリシリコンを厚さ０．４μｍに成膜する。
【００４６】
そして、各図（ｂ）に示すように、ポリシリコン（電極形成層）２４に、リソエッチ法によって個別電極分離溝４０を形成して、個々の個別電極１４を形成する部分と電極とならない部分に分離及びパターニングする。なお、個別電極分離溝４０は、異物やパターン欠陥に起因するパターニング不良などによって生じるショートを確実に防止するためには、複数の溝で構成することが好ましい。
【００４７】
そして、各図（ｃ）に示すように、ＨＴＯ（高温酸化膜）を厚さ０．２５μｍで堆積させて、個別電極１４上に絶縁膜２５を形成する。このとき、絶縁膜２５は個別電極１４をそれぞれ分離している個別電極分離溝４０を埋め込むように形成し、この工程を実施した後に絶縁膜２５の表面が平坦になるように個別電極分離溝４０の溝幅を設計する。
【００４８】
次に、図６（ａ）及び図９（ａ）に示すように、絶縁膜２５上に犠牲層２７としてポリシリコンをギャップ（空隙）１３の高さである０．５μｍの厚さに成膜する。そして、犠牲層２７の表面に振動板１２の突起部１９を形成するための溝（凹部）２７ａをリソエッチ法により形成する。凹部２７ａの深さが突起部１９の高さになるので、突起部１９を有効に機能させるためには溝２７ａの深さを０．０３μｍ以上にすることが好ましい。
【００４９】
そして、各図（ｂ）に示すように、犠牲層２７であるポリシリコン層にリソエッチ法によって犠牲層分離溝４１を形成して、ギャップ（空隙）１３となる部分４２と、隔壁部となる部分（犠牲層２７としてそのまま残る部分）４３とに分離及びパターニングする。その後、犠牲層２７上にＨＴＯを厚さ０．１μｍで堆積させて絶縁膜２８を形成する。
【００５０】
このとき、犠牲層分離溝４１の溝幅は絶縁膜２８（あるいは、振動板電極３２などを含めて）埋め込まれる幅にしている。この場合、絶縁膜２８などの膜厚によるが、２．０μｍ以下の溝幅とすることが好ましく、具体的には、０．５μｍ程度が好ましい。また、分離溝４１を狭くすると、異物の混入やパターン欠陥に起因するパターニング不良により形成された電極がショートする可能性があるため、犠牲層分離溝４１も複数の分離溝で構成することが好ましい。
【００５１】
次に、各図（ｃ）に示すように、絶縁膜２８上に振動板電極（共通電極）２９となるＰドープポリシリコン層を厚さ０．２μｍで形成して、不要な部分はリソエッチで除去した後、振動板電極２９上に酸化膜３０を厚さ０．３μｍで成膜する。
【００５２】
なお、振動板や個別電極に別途突起部を設ける工法を採った場合には犠牲層や振動板面をＣＭＰ法により研磨することが必要となるのに対し、上記実施形態のように、振動板上に突起部を設けるために予め犠牲層上に突起部を形成するための溝（凹部）を形成することにより、工法が簡単になり、かつ、低コスト化を図ることが可能となる。この場合、犠牲層にアモルファスシリコンを用いることで、一層、表面粗さ（ラフネス）が改善され、電極間の耐圧をさらに向上させることができる。
【００５３】
次に、図７（ａ）及び図１０（ａ）に示すように、後に隔壁部となる領域に犠牲層除去孔３１を形成するために、リソエッチ法により、実際の犠牲層除去孔３１よりもオーバーサイズしたパターンを形成し、酸化膜３０、振動板電極（ポリシリコン層）２９の順にエッチングを行なう。その後、酸化を行ない、犠牲層除去孔３１の壁面に露出した振動板電極２９を形成するポリシリコンの表面に酸化膜２９ａを形成する。
【００５４】
さらに、リソエッチ法により犠牲層除去孔３１のパターニングを行ない、酸化膜２８を除去することにより犠牲層除去孔３１を形成する。次いで、ＳＦ６を用いた等方性のドライエッチングによりギャップ１３となる部分の犠牲層４２を完全に除去することにより、ギャップ１３を形成する。このとき、ギャップ１３間の隔壁部となる部分４３は犠牲層２７がエッチングされないでそのまま残る。
【００５５】
ここでは、犠牲層エッチングをドライエッチで行なっているが、ＴＭＡＨ、ＫＯＨなどのアルカリエッチング液を用いたウェットエッチングやＸｅＦ2ガスを用いた常圧ドライエッチングを用いても構わない。
【００５６】
このように、本実施形態では、犠牲層の周りを絶縁膜２８である酸化膜で囲んだ構造としているため、酸化膜に対して選択性の高い犠牲層エッチングで犠牲層を除去することができ、ギャップを精度よく形成することができる。
【００５７】
なお、犠牲層エッチングを行う際に、犠牲層除去孔３１から導入するエッチングガス（又は液）のコンダクタンスは犠牲層除去孔３１の開口径により決定されるため、これが小さいと犠牲層除去時にガス（又は液）供給律速でエッチング全体の速度が決定され、エッチング速度が遅くなるため、反応律速となるように犠牲層除去孔３１部のコンダクタンスを大きくすることが重要である。そこで、犠牲層除去孔３１の配置間隔はギャップ１３を形成する部分の犠牲層を均等にエッチングできるように、ギャップ１３の短辺長よりも小さいピッチに設計することが好ましい。
【００５８】
その後、各図（ｂ）に示すように、リソエッチ法及びＩＣＰエッチングにより、先に積層したシリコン基板２１、絶縁膜２２、２５、２８、酸化膜３０をアクチュエータ基板１の背面から表面まで貫通するようにエッチングして、液体供給口１８を形成する。ここでのエッチングは、Ｃ4Ｆ8及びＳＦ６ガスを用いたボッシュプロセスによって垂直形状の貫通孔（液体供給口１８）を得ることができる。
【００５９】
続いて、真空化学蒸着法（ＣＶＤ）によりポリパラキシリレンからなる有機樹脂膜３４をアクチュエータ基板１の振動板１２表面及び液体供給口１８壁面を含めて全表面に厚さ１μｍで繋ぎ目なく一体形成する。
【００６０】
ポリパラキシリレンは、振動板１２を形成する材料に比べて弾性率、内部応力が共に小さいため、振動板剛性に与える影響が小さく、その膜厚が５μｍ程度までであれば問題はないが、保護膜としての機能させるためには厚さ１μｍで十分である。
【００６１】
また、ポリパラキシリレンは表面反応により成膜されるため、平面及び垂直面（傾斜面を含む）を問わず均一に成膜することができる。これにより、液体供給口１８のような、垂直な貫通孔にも平面とほぼ同じ膜厚で成膜することができ、また、犠牲層除去孔３１のような小さな穴の中にも均等に成膜することができるため、犠牲層除去孔３１の大きさ（開口径）の半分以上の膜厚でポリパラキシリレンを成膜することにより、犠牲層除去孔３１を封止することができる。
【００６２】
その後、各図（ｃ）に示すように、電極配線取り出しパッド部２０を、例えばリソエッチ法により開口することによりアクチュエータ基板１が完成する。そして、このアクチュエータ基板１と、前述の流路基板２とを貼り合わせる。この流路基板２で犠牲層除去孔３１を塞ぐことによりギャップを完全に封止することもできる。最後に、ノズル板３を流路基板２表面に貼り合わせることにより、本発明に係る液滴吐出ヘッドが完成する。
【００６３】
なお、本実施形態においては、犠牲層や各電極の形成材料としてポリシリコンを用いたが、材料はこれに限るものではなく、例えば、犠牲層の形成材料としては、シリコン酸化膜やレジスト、その他の高分子材料、或いはアルミなどの材料を用いることもできる。また、電極材料としては、金属とシリコンの化合物である化合物シリサイドや高融点金属を用いることができる。さらに、絶縁膜にＣＶＤ酸化膜、ポリシリコンとして低温ポリシリコンを用いた場合は、電極材料としてアルミなどの金属材料やＩＴＯ、ネサ膜（ＳｎＯ2）などを用いることもできる。
【００６４】
このように、有機樹脂膜を水平面や垂直面及び複雑な形状の部位等の場所に関係なく均一に成膜できる工法を使用することにより、異なる部位の表面である振動板表面及び液体供給口の壁面に繋ぎ目のない有機樹脂膜を一体形成することができて、繋ぎ目不良による接液性の低下を防止でき、信頼性の高いヘッドができるとともに、また１回の成膜で必要な部位の全面を保護することができ、工期が短縮できて低コストのヘッドを製造することができる。
【００６５】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第２実施形態について図１１ないし図１３をも参照して説明する。なお、図１１は同実施形態に係る液滴吐出ヘッドの犠牲層除去孔周辺の平面説明図、図１２は同ヘッドの説明に供する図１１のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図、図１３は同ヘッドの製造工程の説明に供する図１１のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図である。
【００６６】
この第２実施形態では、犠牲層除去孔３１を振動板領域１２Ａに対向するギャップ１３となる部分から分離するための分離壁部５１を絶縁膜２８によって形成している。ただし、分離壁部５１がギャップ１３となる部分と犠牲層除去孔３１を完全に分離したのではギャップ部１３のエッチングができなくなるので、開口部５２を設けている。
【００６７】
つまり、犠牲層２７をパターニングするときに、図１３に示すように、ギャップ１３となる部分４２と後に形成する犠牲層除去孔３１が臨む部分４７との間に分離溝４８を形成した後、絶縁膜２８を成膜することによって分離溝４８を絶縁膜２８で埋め込んで分離壁部５１を形成する。その後、振動板電極２９を形成して犠牲層除去孔３１より大きな開口径で開口させ、次いで、絶縁膜３０を振動板電極２９の開口壁面も覆うように形成する。そして、犠牲層除去孔３１を形成して犠牲層エッチングを行う。
【００６８】
このとき、エッチングガスは開口部５２を通じることができるので、犠牲層除去孔３１が臨む部分４７及びギャップ１３となる部分４５が完全に除去されて、ギャップ１３及び空間５３が形成される。
【００６９】
この状態で、前記実施形態の製造工程と同様に、真空化学蒸着法（ＣＶＤ）によりポリパラキシリレンからなる有機樹脂膜３４を形成する。このとき、図１２に示すように、分離壁部５１より犠牲層除去孔３１側の空間部５３の内壁面にも有機樹脂膜３４が形成されるが、ギャップ１３を形成する空間内（単に「ギャップ１３内」という。）には殆ど侵入しないので膜形成は行われず、犠牲層除去孔３１が有機樹脂膜３４で封止される。これにより、後工程でギャップ１３内に異物等が侵入することを防止できる。
【００７０】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第３実施形態の異なる例について図１４ないし図１７をも参照して説明する。なお、図１４は同実施形態の一例に係る液滴吐出ヘッドの犠牲層除去孔周辺の平面説明図、図１５は図１４のＤ−Ｄ線に沿う断面説明図、図１６は同実施形態の他の例に係る液滴吐出ヘッドの犠牲層除去孔周辺の平面説明図、図１７は図１６のＥ−Ｅ線に沿う断面説明図である。
【００７１】
この第３実施形態では、上記第２実施形態の分離壁部５１を設けない構造（図１４の例）とし、或いは分離壁部５１よりも短い分離壁部５４を形成して開口５５を広くした構造（図１６の例）としている。これによって、振動板１２の表面等に有機樹脂膜３４を成膜するときに、犠牲層除去孔３１からギャップ１３を形成する空間内にもポリパラキシリレンの活性分子が侵入して、ギャップ１３を形成する空間の壁面（単に「ギャップ１２内壁面」という。）にも有機樹脂膜３４が形成される。
【００７２】
この場合の成膜プロセスは、次のようにして行うことが好ましい。つまり、一般的に、ポリパラキシリレンの成膜プロセスにおいては、高温（約６００℃）に熱せられた活性分子（ジパラキシリレン）が常温に置かれたワーク表面に吸着され、活性分子の熱が奪われることによりワーク表面上に堆積（ポリマー化）していく。
【００７３】
そこで、ワーク温度を調整することにより堆積効率をコントロールすることができる。具体的には、成膜時のワーク温度を約５０〜２５０℃となるように調整することでワーク表面に活性分子（ジパラキシリレン）が吸着しにくくなり、狭いギャップ１３内の奥にまで活性分子が入っていけるようになるので、その後、ワーク温度を−１０〜３０℃まで下げることにより、ギャップ１３内壁面に活性分子が堆積してポリパラキシリレン膜が成膜される。
【００７４】
このように、成膜を行うときワーク温度を変化させることにより、活性化したジパラキシリレン分子を狭いギャップの奥まで侵入させることができて、ギャップ内に有機樹脂膜（ポリパラキシリレン膜）を成膜することができる。
【００７５】
ここで、上述した温度を変化させて成膜を行なう工程を所望の膜厚になるまで複数回繰り返すことによって、ギャップ１３内壁面と振動板１２表面等を同じ膜厚で成膜することができる。このように、ギャップ内壁面に高い撥水性を有するポリパラキシリレン膜（有機樹脂膜）を形成することにより、ギャップ内に浸入した水蒸気などの水分により、液架橋、水素結合力及びファン・デル・ワールス力などによって振動板と電極が吸着することを低減できる。
【００７６】
また、上述した温度を変化させて成膜を行なう工程を複数回繰り返した後、通常とおり温度を変化させない成膜を行なうことによって、振動板１２表面などには所要の膜厚で、ギャップ１３内壁面ではこれよりも薄い膜厚で有機樹脂膜３４を成膜することができる。このように、ギャップ内壁面の有機樹脂膜の膜厚を他の部分に必要な膜厚よりも薄く成膜することで、振動板と電極の吸着を低減しつつ、ヘッドの駆動電圧を下げることができる。
【００７７】
なお、上述した各実施形態のヘッドを製造する工程では、その大部分において半導体プロセスを用いることができ、歩留まり良く安定した液滴吐出ヘッドを低コストで製造することができる。
【００７８】
次に、本発明に係る液体カートリッジについて図１８を参照して説明する。
この液体カートリッジ一体型ヘッド１００は、ノズル孔１０１等を有する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド１０２と、このインクジェットヘッド１０２に対して記録液（インク）を供給するインクタンク（液体タンク）１０３とを一体化したものである。
【００７９】
このように、本発明に係る液滴吐出ヘッドに記録液（インク）を供給するインクタンク（液体タンク）を一体化することにより、滴吐出特性のバラツキが少なく、信頼性の高い液滴吐出ヘッドを一体化した液体カートリッジ（インクタンク一体型ヘッド）を低コストで得ることができる。
【００８０】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載した本発明に係る画像形成装置の一例について図１９及び図２０を参照して説明する。なお、図１９は同画像形成装置の斜視説明図、図２０は同画像形成装置の機構部の側面説明図である。
【００８１】
この画像形成装置は、記録装置本体１１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係る液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへ記録液を供給する液体カートリッジ等で構成される印字機構部１１２等を収納し、装置本体１１１の下方部には前方側から多数枚の用紙１１３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）１１４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙１１３を手差しで給紙するための手差しトレイ１１５を開倒することができ、給紙カセット１１４或いは手差しトレイ１１５から給送される用紙１１３を取り込み、印字機構部１１２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１１６に排紙する。
【００８２】
印字機構部１１２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２１と従ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色の記録液の液滴（インク滴）を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッド１２４を複数の液滴吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、液滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１２３にはヘッド１２４に各色の記録液を供給するための各液体カートリッジ１２５を交換可能に装着している。なお、本発明に係る液体カートリッジを搭載する構成とすることもできる。
【００８３】
液体カートリッジ１２５は上方に大気と連通する大気口、下方には液滴吐出ヘッドへ記録液を供給する供給口を、内部には記録液が充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により液滴吐出ヘッドへ供給される記録液をわずかな負圧に維持している。
【００８４】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド１２４を用いているが、各色の記録液滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００８５】
ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１２１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に固定しており、主走査モータ１２７の正逆回転によりキャリッジ１２３が往復駆動される。
【００８６】
一方、給紙カセット１１４にセットした用紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ローラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００８７】
そして、キャリッジ１２３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。この印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５，１４６とを配設している。
【００８８】
記録時には、キャリッジ１２３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動することにより、停止している用紙１１３に記録液を吐出して１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙１１３を排紙する。
【００８９】
また、キャリッジ１２３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良を回復するための回復装置１４７を配置している。回復装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ１２３は印字待機中にはこの回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘッド１２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことにより記録液乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しない記録液を吐出することにより、全ての吐出口の記録液粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００９０】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド１２４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口から記録液とともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着した記録液やゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引された記録液は、本体下部に設置された図示しない廃液受け部に排出され、廃液受け部の液体吸収体に吸収保持される。
【００９１】
このように、本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッド又は液体カートリッジを備えているので、高画質記録を行うことができる。
【００９２】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドに用いた静電型アクチュエータを備えた他のマイクロデバイスへの応用例について説明する。
先ず、マイクロポンプへの応用例について図２１の要部断面説明図を参照して説明する。
このマイクロポンプは、前記実施形態のアクチュエータ基板１と同様な構成（ただし、ここでは、背面側からの液体供給口を設けていないが、背面側からの液体供給口を設ける構成とすることもできる。）アクチュエータ基板２０１と、流路基板２０２とを有し、流路基板２０２には流体が流れる流路２０３を形成している。アクチュエータ基板２０１は、流路２０３の壁面を形成する振動板２１２と、この振動板２１２の変形可能領域２１２Ａに犠牲層エッチングで形成した空隙２１３を介して対向する個別電極２１４とを備えている。
【００９３】
このアクチュエータ基板１の構成も前記各実施形態と同様であり、シリコン基板２２１上に絶縁膜２２２を形成し、この絶縁膜２２２上に個別電極２１４を形成して絶縁膜２２５で被覆し、この絶縁膜２２５上に犠牲層２２７を形成し、更に振動板２１２のうちの一部の膜を形成した後犠牲層エッチングを行なって空隙２１３を形成したものである。また、図示しないが、流路２０３の壁面を形成する振動板２１２の表面にはポリパラキシリレン膜などの有機樹脂膜２３４を成膜する。
【００９４】
このマイクロポンプの動作原理を説明すると、前述した液滴吐出ヘッドの場合と同様に、個別電極２１４に対して選択的にパルス電位を与えることによって振動板２１２との間で静電力による吸引作用が生じるので、振動板２１２の変形可能領域２１２Ａが電極２１４側に変形する。ここで、振動板２１２の変形可能領域２１２Ａを図中右側から順次駆動することによって流路２０３内の流体は、矢印方向へ流れが生じ、流体の輸送が可能となる。
【００９５】
このように、本発明に係る液滴吐出ヘッドに用いた静電型アクチュエータを備えることで、輸送液体に対する振動板の溶出などがなく、信頼性の高い、安定した液体輸送が可能な小型で低消費電力のマイクロポンプを得られる。なお、輸送効率を上げるために、変形可能領域間に１又は複数の弁、例えば逆止弁などを設けることもできる。
【００９６】
次に、光学デバイスの例について図２２の概略構成図を参照して説明する。
この光学デバイスは、表面が光を反射可能でかつ変形可能な振動板に相当するミラー３００を含む前記実施形態のアクチュエータ基板１と同様な（液体供給口はない。）アクチュエータ基板３０１を有している。
【００９７】
アクチュエータ基板３０１は、絶縁膜３２２を形成したベース基板３２１上に、変形可能なミラー３００（ヘッドの振動板に相当する。）と、このミラー３００の変形可能領域３００Ａに所定の空隙３１３を介して対向する電極３１４とを備えている。また、電極３１４上には絶縁膜３２５を形成し、空隙３１３は犠牲層３２７をエッチングして形成している。ミラー３００の表面は反射率を増加させるため誘電体多層膜や金属膜を形成するとともに、透明な有機樹脂膜３３４を形成している。
【００９８】
この光学デバイスの原理を説明すると、前述したアクチュエータ基板１の場合と同様に、電極３１４に対して選択的にパルス電位を与えることによって、電極３１４と対向するミラー３００の変形可能領域３００Ａ間で静電力による吸引作用が生じるので、ミラー３００の変形可能領域３００Ａが凹状に変形して凹面ミラーとなる。したがって、光源３３０からの光がレンズ３３１を介してミラー３００に照射された場合、ミラー３００を駆動しないときには、光は入射角と同じ角度で反射するが、ミラー３００を駆動した場合は駆動された変形可能領域３００Ａが凹面ミラーとなるので反射光は発散光となる。これにより光変調デバイスが実現できる。そして、表面に有機樹脂膜３３４を成膜することによってミラー面を保護することができる。
【００９９】
このように、静電型アクチュエータを備えることで、小型で低消費電力の光学デバイスを得ることができる。
【０１００】
そこで、この光学デバイスを応用した例を図２３をも参照して説明する。この例は、上述した光学デバイスを２次元に配列し、各ミラー３００の変形可能領域３００Ａを独立して駆動するようにしたものである。なお、ここでは、４×４の配列を示しているが、これ以上配列することも可能である。
【０１０１】
したがって、前述した図２２と同様に、光源３３０からの光はレンズ３３１を介してミラー３００に照射され、ミラー３００を駆動していないところに入射した光は、投影用レンズ３３２へ入射する。一方、電極３１４に電圧を印加してミラー３００の変形可能領域Ａを変形させている部分は凹面ミラーとなるので光は発散し投影用レンズ７３２にほとんど入射しない。この投影用レンズ３３２に入射した光はスクリーン（図示しない）などに投影され、スクリーンに画像を表示することができる。
【０１０２】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、アクチュエータ部材は、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバイス）のみならず、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液滴吐出ヘッドの分解斜視説明図である。
【図２】図２は同ヘッドのアクチュエータ基板を透過状態で示す平面説明図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。
【図４】図２のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。
【図５】本発明に係る製造方法を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程の説明に供する図２のＡ−Ａ線に沿う断面に相当する断面説明図である。
【図６】図５に続く工程の説明に供する説明図である。
【図７】図６に続く工程の説明に供する説明図である。
【図８】同じく同ヘッドの製造工程の説明に供する図２のＢ−Ｂ線に沿う断面に相当する断面説明図である。
【図９】図８に続く工程の説明に供する説明図である。
【図１０】図９に続く工程の説明に供する説明図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る液滴吐出ヘッドの犠牲層除去孔形成部周辺の要部平面説明図である。
【図１２】図１１のＣ−Ｃ線に沿う断面に相当する断面説明図である。
【図１３】同ヘッドの製造工程の説明に供する図１１のＣ−Ｃ線に沿う断面に相当する断面説明図である。
【図１４】本発明の第３実施形態に係る液滴吐出ヘッドの一例の犠牲層除去孔形成部周辺の要部平面説明図である。
【図１５】図１４のＤ−Ｄ線に沿う断面説明図である。
【図１６】本発明の第３実施形態に係る液滴吐出ヘッドの他の例の犠牲層除去孔形成部周辺の要部平面説明図である。
【図１７】図１６のＥ−Ｅ線に沿う断面説明図である。
【図１８】本発明に係る液体カートリッジの説明に供する斜視説明図である。
【図１９】本発明に係る画像形成装置の一例を説明する斜視説明図である。
【図２０】同画像形成装置の機構部の説明図である。
【図２１】マイクロポンプへの応用例の説明に供する模式的断面説明図である。
【図２２】光学デバイスへの応用例の説明に供する模式的断面説明図である。
【図２３】同光学デバイスの応用例の説明に供する模式的斜視説明図である。
【符号の説明】
【０１０４】
１…アクチュエータ基板
２…流路基板
３…ノズル基板
４…ノズル孔
５…ノズル連通路
６…液室（吐出室）
７…流体抵抗部
９…液室間隔壁
１０…共通液室
１２…振動板
１２Ａ…振動板領域
１３…空隙
１４…個別電極
１８…液体供給口
２２…絶縁膜
２５…絶縁膜
２７…犠牲層
２８…絶縁膜
２９…振動板電極
３０…酸化膜
３１…犠牲層除去孔
３４…有機樹脂膜（ポリパラキシリレン膜）
１００…液体カートリッジ
１１１…画像形成装置
１２４…記録ヘッド
【図１】
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【図２】
2006123223.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2006123223.tif 000013
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
2006123223.tif 000022
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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