(57)【要約】 【課題】  前面基板と背面基板との位置ずれ防止等を図る。【解決手段】  上基板テーブル２により吸着保持されている背面基板ＲＳに対して下基板テーブルにより吸着保持されている前面基板ＦＳをずれ防止機構６の吸着テーブル２０による真空保持を行いつつ、前面基板ＦＳを上昇させて押し付けて前面基板ＦＳに反りが無い状態で、両基板を位置合わせした後、背面基板ＲＳの周端面と前面基板ＦＳの周端面とを固定用クリップ３２でクランプする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方の位置にほぼ水平に保持されている第１の平板に対して下方から第２の平板を下方に反らせた状態で接近させて両方の前記平板を重ね合わせる平板の重ね合わせ方法であって、
第２の前記平板に対して、第２の前記平板を反りの無い状態にするのに必要な所定の力を印加しつつ、
該力が印加された状態で２枚の前記平板の位置合わせマークを合わせ込むことを特徴とする平板の重ね合わせ方法。
【請求項２】
前記位置合わせマークの会わせ込み後に、前記力の印加手段は、第２の前記平板を第１の前記平板に緩接するまで第１の前記平板の方へ上昇されることを特徴とする請求項１記載の平板の重ね合わせ方法。
【請求項３】
前記力の印加手段は、第２の前記平板の第１の前記平板への前記接近の開始に所定の時間遅れて前記位置合わせマークの合わせ込み位置まで上昇され、上昇された前記合わせ込み位置にあって前記合わせ込みを開始する前に前記力を印加した状態で第２の前記平板を第１の前記平板に緩接するまで第１の前記平板の方へ上昇されることを特徴とする請求項１記載の平板の重ね合わせ方法。
【請求項４】
前記力が印加される前記領域は、第２の前記平板の周辺から所定の間隔ずつ隔てた複数の領域であることを特徴とする請求項１、２又は３記載の平板の重ね合わせ方法。
【請求項５】
前記間隔ずつ隔てた複数の前記領域は、連続的に又は分割して形成されることを特徴とする請求項４記載の平板の重ね合わせ方法。
【請求項６】
前記領域に印加される所定の前記力は、前記反りの大きさに応じた値に設定されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ方法。
【請求項７】
第２の前記平板を第１の前記平板へ接近させる駆動力をモニターして第２の前記平板の第１の前記平板への接触を検知することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ方法。
【請求項８】
背面基板を上方の位置にほぼ水平に保持し、保持されている前記背面基板に対して下方から前面基板を下方に反らせた状態で接近させて前記背面基板と前記前面基板とを重ね合わせる重ね合わせ工程と、重ね合わされている前記背面基板及び前記前面基板を組み立る組立工程とを有するプラズマディスプレイパネルの組立方法であって、
前記重ね合わせ工程での前記背面基板と前記前面基板との重ね合わせは、請求項１乃至請求項７のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ方法により行われることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの組立方法。
【請求項９】
背面基板を上方の位置にほぼ水平に保持し、保持されている前記背面基板に対して下方から前面基板を下方に反らせた状態で接近させて前記背面基板と前記前面基板とを重ね合わせる重ね合わせ工程と、重ね合わせられている前記背面基板及び前記前面基板の端面をクリップで挟む工程と、該クリップにより挟まれている前記背面基板と前記前面基板とを封着する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記重ね合わせ工程での背面基板と前記前面基板との重ね合わせは、請求項１乃至請求項７のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ方法により行われることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
上方の位置にほぼ水平に保持されている第１の平板に対して下方から第２の平板を下方に反らせた状態で接近させる駆動手段と、該駆動手段によって接近された両方の前記平板を重ね合わせる重ね合わせ手段を有する平板の重ね合わせ装置であって、
前記重ね合わせ手段は、
第２の前記平板に対して、第２の前記平板を反りの無い状態にするのに必要な所定の押圧力を印加する押圧力印加手段と、
該押圧力印加手段によって前記押圧力が印加された状態で２枚の前記平板の位置合わせマークを合わせ込むマーク合わせ手段とを含むことを特徴とする平板の重ね合わせ装置。
【請求項１１】
前記マーク合わせ手段による前記位置合わせマークの合わせ込み後、前記押圧力印加手段は、第２の前記平板を第１の前記平板に緩接するまで第１の前記平板の方へ上昇されることを特徴とする請求項１０記載の平板の重ね合わせ装置。
【請求項１２】
前記押圧力印加手段は、前記駆動手段による第２の前記平板の第１の前記平板への前記接近の開始に所定の時間遅れて前記位置合わせマークの合わせ込み位置まで上昇され、上昇された前記合わせ込み位置から押圧力を印加した状態で第２の前記平板を第１の前記平板に緩接するまで第１の前記平板の方へ上昇されることを特徴とする請求項１０記載の平板の重ね合わせ装置。
【請求項１３】
前記押圧力印加手段によって印加される前記押圧力が印加される前記領域は、第２の前記平板の周辺から所定の間隔ずつ隔てた複数の領域であることを特徴とする請求項１０、１１又は１２記載の平板の重ね合わせ装置。
【請求項１４】
前記間隔ずつ隔てた複数の前記領域は、連続的に又は分割して形成されることを特徴とする請求項１３記載の平板の重ね合わせ装置。
【請求項１５】
前記押圧力印加手段によって前記領域に印加される前記押圧力は、前記反りの大きさに応じた値に設定されることを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ装置。
【請求項１６】
前記駆動手段は、第２の前記平板を第１の前記平板へ接近させる駆動力をモニターして第２の前記平板の第１の前記平板への接触を検知することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ装置。
【請求項１７】
背面基板を上方の位置にほぼ水平に保持し、保持されている前記背面基板に対して下方から前面基板を下方に反らせた状態で接近させて前記背面基板と前記前面基板とを重ね合わせる重ね合わせ手段と、該重ね合わせ手段によって重ね合わされている前記背面基板及び前記前面基板を組み立る組立手段とを有するプラズマディスプレイパネルの組立装置であって、
前記重ね合わせ手段における前記背面基板と前記前面基板との重ね合わせは、請求項９乃至請求項１６のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ装置により行われることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの組立装置。
【請求項１８】
背面基板を上方の位置にほぼ水平に保持し、保持されている前記背面基板に対して下方から前面基板を下方に反らせた状態で接近させて前記背面基板と前記前面基板とを重ね合わせる重ね合わせ手段と、該重ね合わせ手段によって重ね合わせられている前記背面基板及び前記前面基板の端面をクリップで挟む手段と、該クリップにより挟まれている前記背面基板と前記前面基板とを封着する手段を有するプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、
前記重ね合わせ手段における前記背面基板と前記前面基板との重ね合わせは、請求項９乃至請求項１６のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ装置により行われることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、平板の重ね合わせ方法及びその装置、これを用いるプラズマディスプレイパネルの組立方法及びその装置並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法及びその装置に関し、詳しくは反りの無い状態の一方の平板に対して反りのある状態の他方の平板を反りの無い状態にしつつ両平板の位置合わせをして両平板を重ね合わせる平板の重ね合わせ方法及びその装置、これを用いるプラズマディスプレイパネルの組立方法及びその装置並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、映像表示装置の１つとして、プラズマ表示装置（プラズマディスプレイ（ＰＤＰ））の開発が盛んに行われている。
このプラズマ表示装置は、一般に、薄型で大画面表示が比較的に容易にできること、視野角が広いこと、応答速度が速いこと等、数多くの特長を備えているディスプレイである。
【０００３】
プラズマ表示装置は、その表示画面部にプラズマディスプレイパネルが用いられる。このプラズマディスプレイパネルは、前面ガラス基板（以下、前面基板という）と背面ガラス基板（以下、背面基板という）とから構成されている。
そのプラズマディスプレイパネルを製造するに際して、その製造工程において前面基板と背面基板とを重ね合わせて両者を組み立てる必要がある。これらの基板の対向面には、走査電極、データ電極等の形成物が予め形成されている。
【０００４】
その従来の前面基板と背面基板とを重ね合わせて両者を組み立てる組立装置は、図１０及び図１１に示すように、上基板テーブル２と、下基板テーブル４と、上下駆動用板カム３２と、ボールねじ３４と、上下駆動用モータ３６と、アライメントステージ８と、アライメントステージ駆動モータ１０とから概略構成されている。
上基板テーブル２は、背面基板ＲＳを真空吸着して保持する吸着保持手段である。
下基板テーブル４は、前面基板ＦＳを真空吸着して保持する吸着保持手段である。
【０００５】
上下駆動用板カム３２は、下基板テーブル４を上下動させる駆動手段である。
ボールねじ３４は、上下駆動用モータ３６によって回転させられて上下動用板カム３２を図１０及び図１１において左右に移動させる駆動手段である。
アライメントステージ８は、下基板テーブル４をＸＹ方向に移動させて背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとのマーク位置合わせを行うように、アライメントステージ駆動モータ１０によって駆動されるステージである。アライメントステージ８には、下基板テーブル４が載置されている。
【０００６】
この組立装置において、基板を搬入して吸着保持した状態が図１０に示されている。
この基板の搬入は、下基板テーブル４を上基板テーブル２より所定距離だけ下方に離れた位置まで下降させた状態で行われる。
下基板テーブル４の下降は、上下動用板カム３２を図１０において右に移動させるようにボールねじ３４を上下駆動用モータ３６によって回転させることによって生ぜしめられる。
搬入された背面基板ＲＳは、上基板テーブル２によって吸着されて保持され、前面基板ＦＳは、下基板テーブル４によって吸着されて保持される。
【０００７】
背面基板ＲＳ及び前面基板ＦＳの吸着・保持の状態からアライメントに支障がない所定の間隔となる位置まで下基板テーブル４を上昇させて停止させる。
この下基板テーブル４の上昇は、上下動用板カム１２を図１１において左に移動させるようにボールねじ３４を上下駆動用モータ３６によって回転させることによって生ぜしめられる。
下基板テーブル４の上昇停止後に、アライメントステージ駆動モータ１０によってアライメントステージ８をＸＹ方向に移動させて下基板テーブル４上の前面基板ＦＳの組立マークと背面基板ＲＳの組立マークとの位置合わせ、すなわち、アライメントを行う（図２）。
【０００８】
このアライメントの完了後に、下基板テーブル４は予め設定されている最接近位置まで上昇される。この上昇も、上述したところと同様にして、上下動用板カム３２を図１１において左に移動させるようにボールねじ３４を上下駆動用モータ３６によって回転させることによって生ぜしめる。上下駆動用モータ３６への駆動データは、図示しない制御手段によって上述の最接近位置に対応するデータへ調整されて上下駆動用モータ３６へ供給される。
【０００９】
この上基板テーブル２により背面基板ＲＳを保持している状態での真空圧は、落下防止の目的もあり、下基板テーブル４の吸着力よりも強く設定してある。
その結果、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとの関係は、図１２の（Ａ）に示すように、太鼓腹状になる。
このような太鼓腹状態で背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとを保持するのは、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとの間の間隔を両基板上の形成物の破壊を防ぎ得る微小な値にするためである。
下基板テーブル４が最接近位置に上昇され、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとの間の間隔が微小な状態で、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとを固定用クリップ３２で仮止めする。
【００１０】
図１３に、固定用クリップ３２を装着した後のプラズマディスプレイパネル３８を示す。組立装置のＸ方向（図１３）は、プラズマディスプレイパネルではＹ方向となる。プラズマディスプレイパネルのマーク位置合わせの許容範囲は±１０ミクロンである。図１３の太い点線４０は、ガラスシールを示す。
背面基板ＲＳ及び前面基板ＦＳに対する吸着を解除したときにずれが発生するが、そのずれを模式的に示したのが、図１２の（Ｂ）である。
【００１１】
重ね合わせ完了時のパネルの状態は、図４に示す状態と同じであり、図１１に示す。図１１の状態から下基板テーブル４を下降させる。この場合の下降も、上下動用板カム３２を図１１において右に移動させるようにボールねじ３４を上下駆動用モータ３６によって回転させることによって生ぜしめられる。
このようにして、重ね合わせを完了したプラズマディスプレイパネル３８を取り出せる状態にして、一連の作業は完了する。
【００１２】
上述した背面基板ＲＳに対して前面基板ＦＳを位置合わせした後に、両基板を仮止めする固定用クリップの例が、特許文献１に示されている。
【特許文献１】特開平１１−１９０３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、上述した従来技術は、背面基板ＲＳに対して前面基板ＦＳを太鼓腹状となる。これは、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとの対向面に形成されている形成物の損傷乃至破壊を防止するためである。
このように太鼓腹状にすると、上基板テーブル２及び下基板テーブル４の真空保持（吸着）を解除したとき、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとの間に、組立ずれと称される位置ずれが発生してしまう。
【００１４】
また、下基板テーブル４の上下動を板カム３２で生じさせるようにしているので、下基板テーブル４がクリップ固定位置まで上昇し、背面基板ＲＳの形成物に前面基板ＦＳの形成物が接触してしまっても、トルク変動を検出することができない。
そのため、背面基板ＲＳ及び前面基板ＦＳの破損を生じさせるばかりでなく、装置自体を破壊してしまうという技術的課題があった。
【００１５】
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、反りの無い状態の一方の平板に対して反りのある状態の他方の平板を反りの無い状態にしつつ両平板の位置合わせをして両平板を重ね合わせ得る平板の重ね合わせ方法及びその装置、これを用いるプラズマディスプレイパネルの組立方法及びその装置並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法及びその装置方法及びその装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、上方の位置にほぼ水平に保持されている第１の平板に対して下方から第２の平板を下方に反らせた状態で接近させて両方の上記平板を重ね合わせる平板の重ね合わせ方法に係り、第２の上記平板に対して、第２の上記平板を反りの無い状態にするのに必要な所定の力を印加しつつ、該力が印加された状態で２枚の上記平板の位置合わせマークを合わせ込むことを特徴としている。
【００１７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の平板の重ね合わせ方法に係り、上記位置合わせマークの会わせ込み後に、上記力の印加手段は、第２の上記平板を第１の上記平板に緩接するまで第１の上記平板の方へ上昇されることを特徴としている。
【００１８】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の平板の重ね合わせ方法に係り、上記力の印加手段は、第２の上記平板の第１の上記平板への上記接近の開始に所定の時間遅れて上記位置合わせマークの合わせ込み位置まで上昇され、上昇された上記合わせ込み位置から上記力を印加した状態で第２の上記平板を第１の上記平板に緩接するまで第１の上記平板の方へ上昇されることを特徴としている。
【００１９】
請求項４記載の発明は、請求項１、２又は３記載の平板の重ね合わせ方法に係り、所定の上記力が印加される上記領域は、第２の上記平板の周辺から所定の間隔ずつ隔てた複数の領域であることを特徴としている。
【００２０】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の平板の重ね合わせ方法に係り、所定の上記間隔ずつ隔てた複数の上記領域は、連続的に又は分割して形成されることを特徴としている。
【００２１】
請求項６記載の発明は、請求項１乃至５のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ方法に係り、上記領域に印加される所定の上記力は、上記反りの大きさに応じた値に設定されることを特徴としている。
【００２２】
請求項７記載の発明は、請求項１乃至６のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ方法に係り、第２の上記平板を第１の上記平板へ接近させる駆動力をモニターして第２の上記平板の第１の上記平板への接触を検知することを特徴としている。
【００２３】
請求項８記載の発明は、背面基板を上方の位置にほぼ水平に保持し、保持されている上記背面基板に対して下方から前面基板を下方に反らせた状態で接近させて上記背面基板と上記前面基板とを重ね合わせる重ね合わせ工程と、重ね合わされている上記背面基板及び上記前面基板を組み立る組立工程とを有するプラズマディスプレイパネルの組立方法に係り、上記重ね合わせ工程での上記背面基板と上記前面基板との重ね合わせは、請求項１乃至請求項７のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ方法により行われることを特徴としている。
【００２４】
請求項９記載の発明は、背面基板を上方の位置にほぼ水平に保持し、保持されている上記背面基板に対して下方から前面基板を下方に反らせた状態で接近させて上記背面基板と上記前面基板とを重ね合わせる重ね合わせ工程と、重ね合わせられている上記背面基板及び上記前面基板の端面をクリップで挟む工程と、該クリップにより挟まれている上記背面基板と上記前面基板とを封着する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記重ね合わせ工程での上記背面基板と上記前面基板との重ね合わせは、請求項１乃至請求項７のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ方法により行われることを特徴としている。
【００２５】
請求項１０記載の発明は、上方の位置にほぼ水平に保持されている第１の平板に対して下方から第２の平板を下方に反らせた状態で接近させる駆動手段と、該駆動手段によって接近された両方の上記平板を重ね合わせる重ね合わせ手段を有する平板の重ね合わせ装置に係り、上記重ね合わせ手段は、第２の上記平板に対して、第２の上記平板を反りの無い状態にするのに必要な所定の押圧力を印加する押圧力印加手段と、該押圧力印加手段によって上記押圧力が印加された状態で２枚の上記平板の位置合わせマークを合わせ込むマーク合わせ手段とを含むことを特徴としている。
【００２６】
請求項１１記載の発明は、請求項１０記載の平板の重ね合わせ装置に係り、上記マーク合わせ手段による上記位置合わせマークの合わせ込み後、上記押圧力印加手段は、第２の上記平板を第１の上記平板に緩接するまで第１の上記平板の方へ上昇されることを特徴としている。
【００２７】
請求項１２記載の発明は、請求項１０記載の平板の重ね合わせ装置に係り、上記押圧力印加手段は、上記駆動手段による第２の上記平板の第１の上記平板への上記接近の開始に所定の時間遅れて上記位置合わせマークの合わせ込み位置まで上昇され、上昇された上記合わせ込み位置から押圧力を印加した状態で第２の上記平板を第１の上記平板に緩接するまで第１の上記平板の方へ上昇されることを特徴としている。
【００２８】
請求項１３記載の発明は、請求項１０、１１又は１２記載の平板の重ね合わせ装置に係り、上記押圧力印加手段によって印加される上記押圧力が印加される上記領域は、第２の上記平板の周辺から所定の間隔ずつ隔てた複数の領域であることを特徴としている。
【００２９】
請求項１４記載の発明は、請求項１３記載の平板の重ね合わせ装置に係り、所定の上記間隔ずつ隔てた複数の上記領域は、連続的に又は分割して形成されることを特徴としている。
【００３０】
請求項１５記載の発明は、請求項１０乃至１４のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ装置に係り、上記押圧力印加手段によって上記領域に印加される上記押圧力は、前記反りの大きさに応じた値に設定されることを特徴としている。
【００３１】
請求項１６記載の発明は、請求項１乃至６のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ装置に係り、前記駆動手段は、第２の前記平板を第１の前記平板へ接近させる駆動力をモニターして第２の前記平板の第１の前記平板への接触を検知することを特徴としている。
【００３２】
請求項１７記載の発明は、背面基板を上方の位置にほぼ水平に保持し、保持されている上記背面基板に対して下方から前面基板を下方に反らせた状態で接近させて上記背面基板と上記前面基板とを重ね合わせる重ね合わせ手段と、該重ね合わせ装置によって重ね合わされている上記背面基板及び上記前面基板を組み立る組立手段とを有するプラズマディスプレイパネルの組立装置に係り、上記重ね合わせ手段における上記背面基板と上記前面基板との重ね合わせは、請求項９乃至請求項１６のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ装置により行われることを特徴としている。
【００３３】
請求項１８記載の発明は、背面基板を上方の位置にほぼ水平に保持し、保持されている上記背面基板に対して下方から前面基板を下方に反らせた状態で接近させて上記背面基板と上記前面基板とを重ね合わせる重ね合わせ手段と、該重ね合わせ手段によって重ね合わせられている上記背面基板及び上記前面基板の端面をクリップで挟む手段と、該クリップにより挟まれている上記背面基板と上記前面基板とを封着する手段を有するプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記重ね合わせ手段における上記背面基板と上記前面基板との重ね合わせは、請求項９乃至請求項１６のいずれか一に記載の平板の重ね合わせ装置により行われることを特徴としている。
【発明の効果】
【００３４】
この発明によれば、上方の位置にほぼ水平に保持されている第１の平板に対して下方から第２の平板を下方に反らせた状態で接近させて両平板を重ね合わせるに際して、第２の平板に対して、第２の平板を反りの無い状態にするのに必要な所定の力を印加した状態で、接近された２枚の平板の位置合わせマークを合わせ込むように構成しているので、第１の基板の端面と第２の基板の端面とをクリップでクランプして所定の上記力を解除しても、第１の基板と第２の基板との間に発生する位置ずれは軽微となる。
【００３５】
また、第１の平板と第２の平板との位置合わせのため第１の平板の方へ反りの無い状態となる態様で第２の平板を上昇させて行くとき、その駆動力をモニターする構成を採用しているので、第１の平板板及び第２の平板の対向面に形成されている形成物の厚さ方向のばらつきがあったとしても、ばらつきに基づく接触から生ずる組立体(第１の平板及び第２の平板の形成物)の破損乃至は装置の稼動障害の発生を可及的速やかに除くことが可能となる。
これらの効果を奏する平板の重ね合わせ方法及びその装置をプラズマディスプレイパネルの組立、製造に利用すれば、プラズマディスプレイパネルの輝度向上、誤灯の低減となり、パネル歩留まりの向上を達成し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
この発明は、上方の位置に第１の平板をほぼ水平に保持し、その第１の平板に対して下方から第２の平板を下方に反らせた状態で接近させて両平板を重ね合わせるに際して、第２の平板の領域に対して、第２の平板を反りの無い状態にするのに必要な所定の力を印加した状態で、接近されている２枚の平板の位置合わせマークを合わせ込むように構成される。
【実施例１】
【００３７】
図１は、この発明の実施例１であるプラズマディスプレイパネルの組立装置へ前面基板及び背面基板を搬入する状態図、図２は、同組立装置でマーク位置合わせ（アライメント）の完了までの状態図、図３は、同組立装置で前面基板及び背面基板を重ね合わせてクリップを装着する状態図、図４は、同組立装置で重ね合わせてクランプした後にクランプされた前面基板及び背面基板を搬出する状態図、図５は、同組立装置で用いられるズレ防止機構の正面図、図６は、同組立装置で用いられるズレ防止機構の側面図、図７は、同組立装置で用いられる制御系の構成図、また、図８は、同組立装置で用いられるズレ防止機構のずれ防止効果を示す図である。
【００３８】
この実施例のプラズマディスプレイパネルの組立装置１は、前面基板を反りのない状態を保ちつつ背面基板に押し付けて密着させると共に、その押し付け圧力をモニターする装置に係り、図１乃至図８に示すように、上基板テーブル２と、下基板テーブル４と、ずれ防止機構６と、アライメントステージ８と、アライメントステージ駆動モータ１０（図７では単にモータと記す）と、ボールねじ１２と、モータ駆動制御装置１３（図７）と、上下駆動用モータ（以下、単にモータという）１４と、モータ駆動制御装置１５（図７）と、ガイドシャフト１６と、コントローラ２３（図７）とから構成されている。
【００３９】
上基板テーブル２は、図示しない真空源から図示しない真空供給制御系の制御の下に真空が供給されて背面基板ＲＳを吸着保持するテーブルであり、図１乃至図４の紙面方向において３分割され、紙面垂直方向に延設されている。
下基板テーブル４は、図示しない真空源から図示しない真空供給制御系の制御の下に真空が供給されて前面基板ＦＳを吸着保持するテーブルであり、図１乃至図４の紙面方向において３分割され、紙面垂直方向に延設されている。
ずれ防止機構６は、図５及び図６に示すように、前面基板ＦＳに反りのない状態にするための手段であり、吸着テーブル２０と、エアーシリンダ（上下駆動用シリンダ）２２と、直動ガイド２４と、下限ストツパー２６と、ゼロバランス用スプリング２８とから構成されている。また、図７に示すように、電空レギュレータ２５と、電空レギュレータ２７とを有して構成される。
【００４０】
吸着テーブル２０は、図示しない真空源から図示しない真空供給制御系の制御の下に真空が供給されて前面基板ＦＳを真空保持する手段であり、図１乃至図４の紙面方向において２分割され、紙面垂直方向に延設されている。
エアーシリンダ２２は、吸着テーブル２０を上下動させる手段である。
直動ガイド２４は、吸着テーブル２０をブレの発生無しに高精度で上下動させる手段である。
下限ストッパー２６は、吸着テーブル２０の下動を制限する手段である。
ゼロバランス用スプリング２８は、吸着テーブル（その吸着面は金属で重量がある）の上昇時のイナーシャを低減させ、吸着テーブル２０の上昇時前面基板ＦＳへの押し付け圧力の精密な制御を可能にするための手段である。
【００４１】
アライメントステージ８は、下基板テーブル２及びずれ防止機構６を載置しており、それらにＸＹ方向の移動を与える手段であり、その駆動手段は、アライメントステージ駆動モータ１０である。
ボールねじ１２は、アライメントステージ８に上昇方向又は下降方向の移動を与える手段であり、ボールねじ１２の駆動手段は、モータ１４である。
ガイドシャフト１６は、下基板テーブル４にＸＹ方向の移動を生ぜしめるときＸＹ方向のずれを防止する手段である。
【００４２】
アライメントステージ駆動モータ１０は、図７に示すように、モータ駆動制御装置１３により、モータ１４はモータ駆動制御装置１５により、また、エアーシリンダ２２は電空レギュレータ２５により制御される。
モータ駆動制御装置１３、モータ駆動制御装置１５及びエアーシリンダ２２は、コントローラ２３によって電気的に制御される。
【００４３】
コントローラ２３は、背面基板ＲＳ及び前面基板ＦＳの搬入前に下基板テーブル４を基板搬入位置まで下降させるための第１の駆動制御データと、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとの組立マークの合わせ込みを行う合わせ込み位置まで前面基板ＦＳを背面基板ＲＳの方へ上昇させてその上昇を停止させるための第２の駆動制御データと、合わせ込み位置から前面基板ＦＳの背面基板ＲＳへの最接近位置まで上昇させてその上昇を停止させるための第３の駆動制御データと、最接近位置から組み立てられた前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとをその搬出位置まで下降させるための第４の駆動制御データとをモータ駆動制御装置１５へ供給する。
また、コントローラ２３は、アライメントステージ８のＸＹ方向の駆動制御を行う第５の駆動制御データをモータ駆動制御装置１０に供給する。
【００４４】
また、コントローラ２３は、搬入位置から前面基板に対して押圧力、すなわち、押し付け力を印加させ、その印加を固定用クリップによる前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとのクランプ後に解除させるための空気圧供給制御データを電空レギュレータ２５に供給する。
また、コントローラ２３は、搬入位置から前面基板を吸着保持する真空を供給し、その供給を固定用クリップによる前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとのクランプ後に解除させるための真空供給制御データを電空レギュレータ２７に供給する。
【００４５】
次に、図１乃至図８を参照して、この実施例の動作について説明する。
組立装置１への前面基板ＦＳ及び背面基板ＲＳの搬入に先立って、コントローラ２３は、第１の駆動制御データをモータ駆動制御装置１５へ供給し、モータ駆動制御装置１５からモータ１４へ下降方向の回転のための電気的駆動制御信号が供給される。ここで、下降方向の回転とは、モータ１４に生ぜしめられる回転が、アライメントステージ８を下降させて行く回転である。
【００４６】
上記電気的駆動制御信号の供給により、アライメントステージ８を下降させる方向の回転が、モータ１４からボールねじ１２に伝達され、アライメントステージ８、したがって、下基板テーブル４及びずれ防止機構６は、前面基板ＦＳ及び背面基板ＲＳの搬入可能な位置まで下降される。
この状態において、前面基板ＦＳ及び背面基板ＲＳが搬入される。
搬入された背面基板ＲＳは、図１に示すように、上基板テーブル２に図示しない真空源から真空供給制御系の制御の下に真空が供給されて吸着保持される一方、前面基板ＦＳは、下基板テーブル４に図示しない真空源から真空供給制御系の制御の下に真空が供給されて吸着保持されると共に、吸着テーブル２０にも真空源から真空供給制御系の制御の下に真空が供給されて吸着保持される。
【００４７】
このときの吸着テーブル２０による吸着保持状態において、コントローラ２３Ａの制御の下にある電空レギュレータ２５から空気圧が上下駆動用エアーシリンダ２２に供給される。この空気圧の供給により、前面基板ＦＳに反りを無くし得る程度の上向きの押圧力、すなわち、押し付け力を前面基板ＦＳに印加する。
【００４８】
上述の吸着・保持状態において、図２に示すように、コントローラ２３は、第２の駆動制御データをモータ駆動制御装置１５へ供給し、モータ駆動制御装置１５からモータ１４へ上昇方向の回転のための電気的駆動制御信号が供給される。ここで、上昇方向の回転とは、モータ１４に生ぜしめられる回転が、アライメントステージ８を上昇させて行く回転である。
上記電気的駆動制御信号の供給により、アライメントステージ８を上昇させる方向の回転が、モータ１４からボールねじ１２に伝達され、アライメントステージ８、したがって、下基板テーブル４及びずれ防止機構６は上昇される。
【００４９】
この上昇は、前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとの間の間隔が、前面基板ＦＳの背面基板ＲＳへの整列を行うのに必要な間隔となる合わせ込み位置までとされる。
この合わせ込み位置への駆動制御データは、コントローラ２３に予め設定してあり、駆動制御データがモータ駆動制御装置１５へ供給され、上記駆動データ対応の電気的駆動制御信号がモータ駆動制御装置１５からモータ１４へ供給され、下基板テーブル４及びずれ防止機構６が上昇されて前面基板ＦＳが上記合わせ込み位置となったとき、モータ１４の駆動は停止される。
上記合わせ込み位置まで上昇された下基板テーブル４、したがって、アライメントステージ８は、アライメントステージ駆動モータ１０の駆動制御によってＸＹ方向に駆動されて背面基板ＲＳの組立マーク（位置合わせマーク）に前面基板ＦＳの組立マーク（位置合わせマーク）を合わせ込む、すなわち、アライメントを行う。アライメントステージ駆動モータ１０の駆動制御は、コントローラ２３からモータ駆動制御装置１３へ第５の駆動制御データが供給されて生ぜしめられる。
【００５０】
上述のアライメントが完了した後に、従来と同様、固定用クリップ３２による背面基板ＲＳと前面基板ＦＳの周端面のクランプが行われるが、それに先立って、下基板テーブル４での真空吸着を停止する一方、ずれ防止機構６の吸着テーブル２０による前面基板ＦＳの真空保持については継続した状態で、背面基板ＲＳに前面基板ＦＳが緩接する（基板の形成物に損傷を与えず密着する）最接近位置まで上昇される。この上昇は、予め設定されているそのための駆動データが、コントローラ２３からモータ駆動制御装置１５へ供給されて上記駆動データ対応の電気的駆動制御信号がモータ１４へ供給される。
【００５１】
この電気的駆動制御信号により、アライメントステージ８を上昇させる方向の回転が、モータ１４からボールねじ１２に伝達され、アライメントステージ８、したがって、下基板テーブル４及びずれ防止機構６は最接近位置まで上昇される。
この上昇駆動中も、上述した上向きの押圧力、すなわち、押し付け力は、前面基板ＦＳに印加され続けている。
【００５２】
上述した背面基板ＲＳへの前面基板ＦＳの上昇において、上下駆動用モータであるサーボモータ１４は、前面基板ＦＳの背面基板ＲＳへの接触時にそれに伴って生ずるトルク変動を感知して上昇駆動を停止する。
したがって、背面基板ＲＳ及び前面基板ＦＳの対向面に形成されている形成物の厚さ方向のばらつきがあったとしても、上述の感知により、ばらつきに基づく接触から生ずるプラズマディスプレイパネルの破損乃至は組立装置の稼動障害の発生を可及的速やかに除くことが可能となる。
【００５３】
上述のようにして、背面基板ＲＳに対し前面基板ＦＳに反りが無く、組立マークの合わせ込みを完了した状態において、図３に示すように、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳの周端面が、固定用クリップ３２によってクランプされる。
このように前面基板に反りがない状態において、クランプを行うようにすれば、背面基板ＲＳ及び前面基板ＦＳの真空保持を解除しても、背面基板と前面基板との間に発生するずれを少なくすることができる。
【００５４】
そのずれ防止効果を示したのが、図８である。図８は、プラズマディスプレイパネルのＸ方向及びＹ方向毎にずれ防止機構がある場合とない場合とに分けて示してある。Ｘ方向は、プラズマディスプレイパネルの横方向であり、Ｙ方向は、プラズマディスプレイパネルの縦方向である。また、図８の横軸は、ずれのばらつき（標準偏差σ）を表している。
図８に示されるように、Ｙ方向においてずれ防止効果が顕著であることが分かる。Ｘ方向のずれに、前面基板及び背面基板の基板収縮が大きく効いて来ることは知られているが、Ｘ方向についてもずれ防止効果は少ないが得られる。
【００５５】
背面基板ＲＳ及び前面基板ＦＳに対するクランプ処理の完了後、上基板テーブル２及び吸着テーブル２０による真空吸着を停止し、ずれ防止機構６をその上下駆動用エアーシリンダ２２により下降させる。上基板テーブル２の真空吸着の解除は、従来と同様、図示しない真空供給系によって生ぜしめられ、吸着テーブル２０の真空吸着の解除は、コントローラ２３から電空レギュレータ２７へ真空供給制御データを供給して行われる。
その後に、コントローラ２３が、第４の駆動制御データをモータ駆動制御装置１５へ供給し、そのモータ駆動制御装置１５はモータ１４へ下降方向の回転のための電気的駆動制御信号を供給する。
【００５６】
上記電気的駆動制御信号の供給により、アライメントステージ８を下降させる方向の回転が、モータ１４からボールねじ１２に伝達され、アライメントステージ８、したがって、下基板テーブル４及びずれ防止機構６は、前面基板ＦＳ及び背面基板ＲＳの搬出可能な位置まで下降され、図４に示すように、図１と同じ開放状態となる。
この状態において、固定用クリップ３２でクランプされた状態にある、すなわち、組み立てられた前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとを搬出する。
【００５７】
このように、この実施例の構成によれば、上基板テーブルにより真空吸着されている背面基板と下基板テーブル及びずれ防止機構の吸着テーブルにより真空吸着されている前面基板との間隔が組立マークの合わせ込みを行うのに必要な間隔となる合わせ込み位置まで前面基板を上昇させ、下基板テーブルでの真空吸着を停止する一方、ずれ防止機構の吸着テーブルによる真空保持を継続しつつ、反りが無い状態の前面基板を上昇させて背面基板に押し付け（密着させ）つつ、背面基板に対して反りが無い前面基板を位置合わせし、この位置合わせされている背面基板の周端面と前面基板の周端面とを固定用クリップでクランプするようにしたので、これらの基板の真空保持を解除しても、前面基板と背面基板との間に発生する位置ずれは軽微となる。
【００５８】
また、背面基板への前面基板の上昇において、サーボモータで前面基板の背面基板への接触時のトルク変動を感知する構成、すなわち、押し付け圧力をモニターする構成を採用しているので、背面基板及び前面基板の対向面に形成されている形成物の厚さ方向のばらつきがあったとしても、ばらつきに基づく接触から生ずる組立体(前面基板及び背面基板の形成物)の破損乃至は組立装置の稼動障害の発生を可及的速やかに除くことが可能となる。
【実施例２】
【００５９】
図９は、この発明の実施例２であるプラズマディスプレイパネルの組立装置で用いられる制御系の構成図である。
この実施例の構成が、実施例１のそれと大きく異なる点は、前面基板の上昇と押圧力の印加とを同時的でなく、押圧力を所定時間遅れて印加するようにした点である。
すなわち、この実施例の組立装置１Ａは、図９に示すように、モータ駆動制御装置１５へ駆動制御データを供給し、また、電空レギュレータ２５へ空気圧供給制御データを供給するコントローラ２３Ａを次のように構成して成る。なお、コントローラ２３Ａが、モータ駆動制御装置１３へ第５の駆動制御データを供給する態様は、実施例１とほぼ同じである。
【００６０】
コントローラ２３Ａは、背面基板ＲＳ及び前面基板ＦＳの搬入前に下基板テーブル４を基板搬入位置まで下降させるための第１の駆動制御データと、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとの組立マークの合わせ込みを行う合わせ込み位置まで前面基板ＦＳを背面基板ＲＳの方へ上昇させてその上昇を停止させるための第２の駆動制御データと、合わせ込み位置から前面基板ＦＳの背面基板ＲＳへの最接近位置まで上昇させてその上昇を停止させるための第３の駆動制御データと、最接近位置から組み立てられた前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとをその搬出位置まで下降させるための第４の駆動制御データとをモータ駆動制御装置１５へ供給する。
【００６１】
また、コントローラ２３Ａは、上記合わせ込み位置にあって組立マークの合わせ込みに入る前に前面基板に対して押圧力、すなわち、押し付け力を印加させ、その印加を固定用クリップによる前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとのクランプ後に解除させるための空気圧供給制御データを電空レギュレータ２５に供給する。
また、コントローラ２３Ａは、上記合わせ込み位置にあって組立マークの合わせ込みに入る前に前面基板を吸着テーブル２０に真空吸着させる真空を供給し、その供給を固定用クリップによる前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとのクランプ後に解除させるための真空供給制御データを電空レギュレータ２７に供給する。
この構成以外のこの実施例の構成は、実施例１と同じであるので、同一の構成部分には同一の参照符号を付して、その逐一の説明は省略する。
【００６２】
次に、図９を参照して、この実施例の動作について説明する。
組立装置１Ａへの前面基板ＦＳ及び背面基板ＲＳの搬入に先立って、コントローラ２３Ａから第１の駆動制御信号が、モータ駆動制御装置１５へ供給され、モータ駆動制御装置１５からモータ１４へ下降方向の回転のための電気的駆動制御信号が供給される。
上記電気的駆動制御信号の供給により、アライメントステージ８を下降させる方向の回転が、モータ１４からボールねじ１２に伝達され、アライメントステージ８、したがって、下基板テーブル４及びずれ防止機構６は搬入位置まで下降され、基板の搬入し得る状態にし、この状態において、前面基板ＦＳ及び背面基板ＲＳは搬入される。
【００６３】
上基板テーブル２に従来と同様図示しない真空供給系から真空が供給され、搬入された背面基板ＲＳは、実施例１と同様、上基板テーブル２に吸着保持される一方、下基板テーブル４に従来と同様図示しない真空供給系から真空が供給され、搬入された前面基板ＦＳは、下基板テーブル４に吸着保持される（図１）。
【００６４】
上述の吸着・保持状態において、コントローラ２３Ａは、第２の駆動制御信号がモータ駆動制御装置１５へ第２の駆動制御データを供給し、モータ駆動制御装置１５からモータ１４へ上昇方向の回転のための電気的駆動制御信号が供給される。ここで、上昇方向の回転とは、モータ１４に生ぜしめられる回転が、アライメントステージ８を上昇させて行く回転である。
上記電気的駆動制御信号の供給により、アライメントステージ８を上昇させる方向の回転が、モータ１４に生じ、その回転がボールねじ１２に伝達される。
ボールねじ１２の回転により、アライメントステージ８、したがって、下基板テーブル４及びずれ防止機構６は、図２に示すように、上昇されて行く。この上昇は、実施例１と同様に、前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとの間の間隔が、前面基板ＦＳの背面基板ＲＳへの整列を行うのに必要な間隔となる合わせ込み位置までとされる。
【００６５】
アライメントステージ８、すなわち、前面基板ＦＳの合わせ込み位置において、その開始前に、コントローラ２３Ａは、空気圧供給制御データを電空レギュレータ２５へ供給し、所定の空気圧が電空レギュレータ２５から上下駆動用エアーシリンダ２２に供給される。この空気圧の供給により、前面基板ＦＳに反りが無くし得る程度の上向きの押圧力、すなわち、押し付け力を前面基板ＦＳに印加する。
この押し付け力の印加と共に、ずれ防止機構６の吸着テーブル２０による前面基板ＦＳの吸着保持を開始する。この吸着保持は、コントローラ２３Ａから電空レギュレータ２７へ真空供給制御データを供給して行う。
【００６６】
上述した合わせ込み位置まで上昇された下基板テーブル４、したがって、アライメントステージ８は、コントローラ２３Ａによるアライメントステージ駆動モータ１０の駆動制御によってＸＹ方向に駆動されて背面基板ＲＳの組立マーク（位置合わせマーク）に前面基板ＦＳの組立マーク（位置合わせマーク）を合わせ込む、すなわち、前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとのアライメントを行う。
【００６７】
上述のアライメントが完了した時刻に、下基板テーブル４での真空吸着を停止する一方、ずれ防止機構６の吸着テーブル２０による前面基板ＦＳの真空保持を継続した状態で、背面基板ＲＳに前面基板ＦＳが緩接する（基板の形成物に損傷を与えず密着する）最接近位置までエアーシリンダ２２の上昇駆動を生じさせる。この上昇駆動は、コントローラ２３Ａからモータ駆動制御装置１５へ第３の駆動制御データを供給して行う。
【００６８】
上述した前面基板ＦＳの上昇において、上下駆動用モータであるサーボモータ１４は、前面基板ＦＳの背面基板ＲＳへの接触時にそれに伴って生ずるトルク変動を感知して上昇駆動を停止する。
したがって、背面基板ＲＳ及び前面基板ＦＳの対向面に形成されている形成物の厚さ方向のばらつきがあったとしても、上述の感知により、ばらつきに基づく接触から生ずるプラズマディスプレイパネルの破損乃至は組立装置の稼動障害の発生を可及的速やかに除くことが可能となる。
【００６９】
上述したようにして前面基板ＦＳに反りが無い状態において、図３に示すように、背面基板ＲＳと前面基板ＦＳの周端面が、固定用クリップ３２によってクランプされる。
このように前面基板に反りがない状態において、クランプを行うようにすれば、両基板の真空保持を解除しても、背面基板と前面基板との間に発生する位置ずれを少なくすることができる。
そのずれ防止効果を示したのが、図６であり、図６についての説明は、実施例１において説明した通りである。
【００７０】
背面基板ＲＳと前面基板ＦＳとに対するクランプ処理の完了後、上基板テーブル２及び吸着テーブル２０による真空吸着を停止し、ずれ防止機構６をその上下駆動用エアーシリンダ２２により下降させる。上基板テーブル２の真空吸着の解除は、従来と同様、その真空供給系により行われる。また、吸着テーブル２０の真空吸着の解除は、コントローラ２３Ａから真空供給制御データを電空レギュレータ２７に供給して行い、上下駆動用エアーシリンダ２２の下降は、コントローラ２３Ａから空気圧供給制御データを電空レギュレータ２５に供給して行う。
【００７１】
その後に、コントローラ２３Ａは、モータ駆動制御装置１５へ第４の駆動制御データを供給し、モータ駆動制御装置１５からモータ１４へ下降方向の回転のための電気的駆動制御信号が供給される。ここで、下降方向の回転とは、モータ１４に生ぜしめられる回転が、アライメントステージ８を下降させて行く回転である。
上記電気的駆動制御信号の供給により、アライメントステージ８を下降させる方向の回転がモータ１４に生ぜしめられ、この回転がボールねじ１２に伝達されてアライメントステージ８、したがって、下基板テーブル４を下降させ、図４に示すように、図１と同じ開放状態にする。
この状態において、固定用クリップ３２でクランプされた状態にある、すなわち、組み立てられた前面基板ＦＳと背面基板ＲＳとを搬出する。
【００７２】
このように、この実施例の構成によれば、真空で吸着保持されている背面基板に対して下向きに反った状態の前面基板を合わせ込み位置まで上昇させ、その合わせ込み位置において押圧力、すなわち、押し付け力を前面基板に印加させた状態で合わせ込みを行い、そして最接近位置まで前面基板を上昇させて前面基板に反りが無い状態において、背面基板の周端面と前面基板の周端面とを固定用クリップでクランプするようにしたので、両基板の真空保持を解除したときの前面基板と背面基板との位置ずれを軽微にして、しかも、押し付け力の印加を短くしてその処理を達成し得る。
【００７３】
また、押し付け圧力のモニターをする構成を採用しているので、背面基板及び前面基板の対向面に形成されている形成物の厚さ方向のばらつきがあったとしても、ばらつきに基づく接触から生ずる組立体(前面基板及び背面基板の形成物)の破損乃至は組立装置の稼動障害の発生を可及的速やかに除くことが可能となる。
【００７４】
以上、この発明の実施例を、図面を参照して詳述してきたが、この発明の具体的な構成は、これらの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもそれらはこの発明に含まれる。
例えば、実施例１及び実施例２においては、上向きの押圧力、すなわち、押し付け力を前面基板の一部領域２箇所で前面基板に印加しているが、より多くの領域で印加するようにしてもよい。
【００７５】
前面基板と背面基板との組立マークを位置合わせする工程と、前面基板と背面基板の端面をクリップで挟む工程と、クリップによりクランプされている前面基板と背面基板とを封着する工程とを含むプラズマディスプレイパネルの製造方法において、実施例１及び実施例２で示すように、位置合わせ工程に前面基板に押圧力（押し付け力）を印加する手段を利用してプラズマディスプレイパネルの製造方法及びその装置を構成することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
実施例で開示している平板の重ね合わせ法及びその装置は、前面基板及び背面基板と類似の、その他の２枚の平板の重ね合わせに利用し得る。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】この発明の実施例１であるプラズマディスプレイパネルの組立装置へ前面基板及び背面基板を搬入する状態図である。
【図２】同組立装置でマーク位置合わせの完了までの状態図である。
【図３】同組立装置で前面基板及び背面基板を重ね合わせてクリップを装着する状態図である。
【図４】同組立装置で重ね合わせてクランプした後にクランプされた前面基板及び背面基板を搬出する状態図である。
【図５】同組立装置で用いられるズレ防止機構の正面図である。
【図６】同組立装置で用いられるズレ防止機構の側面図である。
【図７】同組立装置で用いられる制御系の構成図である。
【図８】同組立装置で用いられるズレ防止機構のずれ防止効果を示す図である。
【図９】この発明の実施例２であるプラズマディスプレイパネルの組立装置で用いられる制御系の構成図である。
【図１０】従来のプラズマディスプレイパネルの組立装置に基板を搬入して吸着保持した状態図である。
【図１１】従来のプラズマディスプレイパネルの組立装置で重ね合わせを完了した状態図である。
【図１２】従来のプラズマディスプレイパネルの組立装置において前面基板と背面基板とを重ね合わせてクリップで挟んだ状態図である。
【図１３】従来のプラズマディスプレイパネルの組立装置において重ね合わせてクリップで挟んだプラズマディスプレイパネルの平面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１、１Ａ      プラズマディスプレイパネルの組立装置
２      上基板テーブル（重ね合わせ手段の一部）
４      下基板テーブル（重ね合わせ手段の一部）
６      ずれ防止機構（押圧力印加手段）
８      アライメントステージ（重ね合わせ手段の一部、マーク合わせ手段の一部）
１０      アライメントステージ駆動モータ（重ね合わせ手段の一部、マーク合わせ手段の残部）
１２      ボールねじ（駆動手段の一部）
１４      上下駆動用モータ（駆動手段の残部）
１６      ガイドシャフト１６（重ね合わせ手段の残部）
ＦＳ      前面基板（第２の平板）
ＲＳ      背面基板（第１の平板）
【図１】
2006100072.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2006100072.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006100072.tif 000008
【図７】
2006100072.tif 000009
【図８】
2006100072.tif 000010
【図９】
2006100072.tif 000011
【図１０】
2006100072.tif 000012
【図１１】
2006100072.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2006100072.tif 000015