(57)【要約】【課題】負圧吸着方式を用いない場合において，ワークテーブルとは別個の浮き上がり検出機構を設けることなく，液晶パネルの周辺部のワークテーブルからの浮き上がりを検出できるようにする。【解決手段】パネル浮きセンサー装置６８は，ワークテーブル４０のパネル受け４４の上面と液晶パネル１０の周辺部の下面との間の上下方向の距離が所定値以下になったことを検出する。パネル浮きセンサー装置６８は水平な回転軸１２８の回りに揺動可能なセンサードグ１１８を備えている。センサードグ１１８は，パネル受け４４の上面から突き出すパネル接触部１３０と，光遮断部１３２を備えている。液晶パネル１０がパネル受け４４から浮くことなくセットされると，液晶パネル１０がセンサードグ１１８を揺動させて，光遮断部１３２がフォトカプラ１４８の光を遮断する。【選択図】図１３
2006285060.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の構成を備える液晶パネル検査装置。
（ア）液晶パネルを上面に保持するワークテーブル。
（イ）前記液晶パネルの複数の電極に接触可能な複数のプローブを有するプローブステージ。
（ウ）前記ワークテーブルに組み込まれたパネル浮きセンサー装置であって，前記ワークテーブルの上面と前記液晶パネルの周辺部の下面との間の上下方向の距離が所定値以下になったことを検出するパネル浮きセンサー装置。
【請求項２】
次の構成を備える液晶パネル検査装置。
（ア）第１の辺と，前記第１の辺に隣り合う第２の辺と，前記第１の辺に対向する第３の辺と，前記第２の辺に対向する第４の辺とを備える矩形の液晶パネルを上面に保持するワークテーブル。
（イ）前記液晶パネルの複数の電極に接触可能な複数のプローブを有するプローブステージ。
（ウ）前記ワークテーブルに組み込まれたパネル浮きセンサー装置であって，前記ワークテーブルの上面と前記液晶パネルの周辺部の下面との間の上下方向の距離が所定値以下になったことを検出することができて，前記第１の辺，第２の辺，第３の辺及び第４の辺のすべての辺の近傍において上記距離が所定値以下になったことを検出できるパネル浮きセンサー装置。
【請求項３】
次の構成を備える液晶パネル検査装置。
（ア）第１の辺と，前記第１の辺に隣り合う第２の辺と，前記第１の辺に対向する第３の辺と，前記第２の辺に対向する第４の辺とを備える矩形の液晶パネルを上面に保持するワークテーブル。
（イ）前記液晶パネルの複数の電極に接触可能な複数のプローブを有するプローブステージ。
（ウ）前記ワークテーブルに組み込まれたパネル浮きセンサー装置であって，前記ワークテーブルの上面と前記液晶パネルの周辺部の下面との間の上下方向の距離が所定値以下になったことを検出することができて，前記第１の辺，第２の辺，第３の辺及び第４の辺のすべての辺の近傍において上記距離が所定値以下になったことを検出できるパネル浮きセンサー装置。
（エ）前記第３の辺に接触可能な第１のストッパ装置。
（オ）前記第４の辺に接触可能な第２のストッパ装置。
（カ）前記第１の辺を前記第１のストッパ装置に向かう方向に押し付けることができる第１のプッシャー装置。
（キ）前記第２の辺を前記第２のストッパ装置に向かう方向に押し付けることができる第２のプッシャー装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液晶パネル検査装置において，次の特徴を備える液晶パネル検査装置。
（ク）前記第１のストッパ装置は，前記ワークテーブルの上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第１のストッパローラを備えていて，その外周面は前記第３の辺に接触可能である。
（ケ）前記第２のストッパ装置は，前記ワークテーブルの上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第２のストッパローラを備えていて，その外周面は前記第４の辺に接触可能である。
（コ）前記第１のプッシャー装置は，前記ワークテーブルの上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第１のプッシャーローラを備えていて，その外周面は前記第１の辺に接触可能である。
（サ）前記第２のプッシャー装置は，前記ワークテーブルの上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第２のプッシャーローラを備えていて，その外周面は前記第２の辺に接触可能である。
（シ）前記第１のプッシャー装置は，前記第１のプッシャーローラを前記第２の辺に平行な方向に進退させる駆動機構と，前記第１のプッシャーローラが所定の押し付け位置に達したことを検出する検出装置とを備えている。
（ス）前記第２のプッシャー装置は，前記第２のプッシャーローラを前記第１の辺に平行な方向に進退させる駆動機構と，前記第２のプッシャーローラが所定の押し付け位置に達したことを検出する検出装置とを備えている。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか１項に記載の液晶パネル検査装置において，前記パネル浮きセンサー装置が次の構成を備えることを特徴とする液晶パネル検査装置。
（Ａ）水平な回転軸の回りに揺動可能なセンサードグであって，前記ワークテーブルの上面から突き出すパネル接触部と，センサードグの揺動位置を代表する位置代表部とを備えるセンサードグ。
（Ｂ）前記センサードグに対して，前記パネル接触部が前記ワークテーブルの上面から突き出す方向に回転モーメントを付与する弾性部材。
（Ｃ）前記距離が前記所定値以下になったときの前記センサードグの前記位置代表部の位置を検出する位置検出部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの電極にプローブを接触させてこの液晶パネルを検査する検査装置に関し，特に，液晶パネルがワークテーブルに正しくセットされたことを確認するための構造に特徴のある液晶パネル検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の液晶パネル検査装置として，次の特許文献１に記載されているものが知られている。
【特許文献１】特開２００２−１６１２７号公報
【０００３】
この特許文献１に開示されている液晶パネル検査装置は，ワークテーブル（チャックトップ）の上面に形成した吸着溝に負圧を供給することで，液晶パネルの周辺部をワークテーブルに吸着固定している。この負圧吸着方式では，吸着溝の圧力が所定値以下に下がったことを検出することで，液晶パネルがワークテーブルに正しく吸着されたことを確認している。もし，液晶パネルの周辺部がワークテーブルから浮いていると，吸着溝の圧力が所定値まで下がらないので，いつまでたってもセット完了信号が出ずに，検査作業がそこでストップしてしまう。特許文献１では，液晶パネルをワークテーブルに向かって下方に押し付けるプッシャー装置を用いることで，液晶パネルの周辺部の浮き上がりを防いでいる。
【０００４】
ところで，本件出願の発明は，液晶パネルの周辺部の浮き上がりを検出することに関係しているが，電気回路等の検査装置の技術分野において，被検査基板の周辺部の浮き上がりを検出することは次の特許文献２に開示されている。
【特許文献２】特開２００１−３４３４２４号公報
【０００５】
この特許文献２に開示されている浮き上がり検出機構は，インサーキットテスタなどの基板検査装置において，基板搬送基台の上に載せた被検査基板が所定の高さよりも浮き上がっていることを，水平に延びる棒状接触子で検出している。この棒状接触子は上下方向に弾性的に進退可能であり，被検査基板が浮き上がっていると，被検査基板の上面が棒状接触子に接触して，棒状接触子が上昇し，それをフォトセンサーなどの非接触センサーで検出している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
比較的大型の液晶パネルでは，上述の負圧吸着方式を用いると，液晶パネルの周辺部の浮き上がりが発生しやすくなって，セット完了信号が出ないことがある。そこで，比較的大型の液晶パネルでは，負圧吸着方式を用いることなく，上下方向についてはその自重によってチャックトップの上に液晶パネルを保持することが考えられる。この場合，負圧吸着方式を用いないので，吸着溝の圧力異常に起因する検査作業の中断を回避できる。ただし，液晶パネルの周辺部がワークテーブルから浮き上がっていると，プローブが破損するなどの不都合が生じるおそれがある。また，カメラを用いて液晶パネル上のアライメントマークを観測してアライメント作業を実施する場合に，カメラの焦点深度が３００μｍ程度であることから，液晶パネルの周辺部が浮いていると，アライメントマークの観測にも支障が出るおそれがある。したがって，液晶パネルの周辺部の所定値以上の浮き上がりは，やはり何らかの手段で検出する必要がある。
【０００７】
液晶パネルの周辺部がワークテーブルから浮き上がっていることを検出するために，上述の特許文献２に記載の浮き上がり検出機構を用いることが考えられる。しかし，それには次の問題点がある。特許文献２の浮き上がり検出機構は，基板搬送基台の上に載せた被検査基板に対して，被検査基板の上面に接触するような接触子を用いている。したがって，基板搬送基台とは別個に，基板搬送基台の上方に，浮き上がり検出機構を設置する必要がある。液晶パネルの周辺部のワークテーブルからの浮き上がりを検出するために，このような浮き上がり検出機構を用いるとすれば，ワークテーブルとは別個に，ワークテーブルの上方に浮き上がり検出機構を設置する必要がある。しかも，大型の液晶パネルの四辺のそれぞれの浮き上がりを検出するとすれば，浮き上がり検出機構を支持するフレームは，液晶パネルの大きさと同程度にする必要があり，浮き上がり検出装置は非常に大きなものとならざるを得ない。
【０００８】
そこで，この発明の目的は，負圧吸着方式を用いない場合において，液晶パネルの周辺部のワークテーブルからの浮き上がりを検出できるような液晶パネル検査装置を提供することにある。この発明の別の目的は，ワークテーブルとは別個の浮き上がり検出機構を設けることなく液晶パネルの浮き上がりを検出できるような液晶パネル検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１発明の液晶パネル検査装置は，次の（ア）乃至（ウ）の構成を備えている。（ア）液晶パネルを上面に保持するワークテーブル。（イ）前記液晶パネルの複数の電極に接触可能な複数のプローブを有するプローブステージ。（ウ）前記ワークテーブルに組み込まれたパネル浮きセンサー装置であって，前記ワークテーブルの上面と前記液晶パネルの周辺部の下面との間の上下方向の距離が所定値以下になったことを検出するパネル浮きセンサー装置。
【００１０】
第２発明の液晶パネル検査装置は，次の（ア）乃至（ウ）の構成を備えている。（ア）第１の辺と，前記第１の辺に隣り合う第２の辺と，前記第１の辺に対向する第３の辺と，前記第２の辺に対向する第４の辺とを備える矩形の液晶パネルを上面に保持するワークテーブル。（イ）前記液晶パネルの複数の電極に接触可能な複数のプローブを有するプローブステージ。（ウ）前記ワークテーブルに組み込まれたパネル浮きセンサー装置であって，前記ワークテーブルの上面と前記液晶パネルの周辺部の下面との間の上下方向の距離が所定値以下になったことを検出することができて，前記第１の辺，第２の辺，第３の辺及び第４の辺のすべての辺の近傍において上記距離が所定値以下になったことを検出できるパネル浮きセンサー装置。この第２発明が第１発明と異なる点は，液晶パネルの四つの辺のそれぞれの近傍にパネル浮きセンサー装置を備えていることである。
【００１１】
第３発明の液晶パネル検査装置は，次の（ア）乃至（キ）の構成を備えている。（ア）第１の辺と，前記第１の辺に隣り合う第２の辺と，前記第１の辺に対向する第３の辺と，前記第２の辺に対向する第４の辺とを備える矩形の液晶パネルを上面に保持するワークテーブル。（イ）前記液晶パネルの複数の電極に接触可能な複数のプローブを有するプローブステージ。（ウ）前記ワークテーブルに組み込まれたパネル浮きセンサー装置であって，前記ワークテーブルの上面と前記液晶パネルの周辺部の下面との間の上下方向の距離が所定値以下になったことを検出することができて，前記第１の辺，第２の辺，第３の辺及び第４の辺のすべての辺の近傍において上記距離が所定値以下になったことを検出できるパネル浮きセンサー装置。（エ）前記第３の辺に接触可能な第１のストッパ装置。（オ）前記第４の辺に接触可能な第２のストッパ装置。（カ）前記第１の辺を前記第１のストッパ装置に向かう方向に押し付けることができる第１のプッシャー装置。（キ）前記第２の辺を前記第２のストッパ装置に向かう方向に押し付けることができる第２のプッシャー装置。この第３発明が第１発明と異なる点は，液晶パネルを水平面内で位置決めするための，プッシャー装置とストッパ装置を備えていることである。
【００１２】
第４発明の液晶パネル検査装置は，第３発明において，さらに，次の（ク）乃至（ス）の構成を備えている。（ク）前記第１のストッパ装置は，前記ワークテーブルの上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第１のストッパローラを備えていて，その外周面は前記第３の辺に接触可能である。（ケ）前記第２のストッパ装置は，前記ワークテーブルの上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第２のストッパローラを備えていて，その外周面は前記第４の辺に接触可能である。（コ）前記第１のプッシャー装置は，前記ワークテーブルの上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第１のプッシャーローラを備えていて，その外周面は前記第１の辺に接触可能である。（サ）前記第２のプッシャー装置は，前記ワークテーブルの上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第２のプッシャーローラを備えていて，その外周面は前記第２の辺に接触可能である。（シ）前記第１のプッシャー装置は，前記第１のプッシャーローラを前記第２の辺に平行な方向に進退させる駆動機構と，前記第１のプッシャーローラが所定の押し付け位置に達したことを検出する検出装置とを備えている。（ス）前記第２のプッシャー装置は，前記第２のプッシャーローラを前記第１の辺に平行な方向に進退させる駆動機構と，前記第２のプッシャーローラが所定の押し付け位置に達したことを検出する検出装置とを備えている。
【００１３】
以上のいずれの発明においても，前記パネル浮きセンサー装置は次の（Ａ）乃至（Ｃ）の構成を備えることができる。（Ａ）水平な回転軸の回りに揺動可能なセンサードグであって，前記ワークテーブルの上面から突き出すパネル接触部と，センサードグの揺動位置を代表する位置代表部とを備えるセンサードグ。（Ｂ）前記センサードグに対して，前記パネル接触部が前記ワークテーブルの上面から突き出す方向に回転モーメントを付与する弾性部材。（Ｃ）前記距離が前記所定値以下になったときの前記センサードグの前記位置代表部の位置を検出する位置検出部。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば，液晶パネルをワークテーブルにセットする作業において，ワークテーブルに組み込んだパネル浮きセンサー装置を用いて，液晶パネルの周辺部の浮き上がりを検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下，図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明する。図１は本発明の液晶パネル検査装置のひとつの実施例の平面図である。ただし，プローブステージと液晶パネルだけを示している。図２は図１の２−２線に相当する位置で液晶パネル検査装置を切断した断面図である。図２において，この液晶パネル検査装置は，プローブを備えるプローブステージ３８と，液晶パネルを保持するワークテーブル４０と，ワークテーブル４０を移動させるアライメントステージ４２とを備えている。図１において，プローブステージ３８は第１のプローブベース１２と第２のプローブベース１４を備えている。第１のプローブベース１２はＹ方向に延びており，第２のプローブベース１４はＸ方向に延びている。Ｘ方向とＹ方向は互いに直交している。液晶パネル１０は矩形であり，そのひとつの短辺を第１の辺１６，それに隣り合う辺を第２の辺１８，第１の辺に対向する辺を第３の辺２０，第２の辺１８に対向する辺を第４の辺２２と呼ぶことにする。液晶パネル１０には，第１の辺１６に沿ってゲート電極が配列されており，また，第２の辺１８に沿ってデータ電極が配列されている。
【００１６】
第１のプローブベース１２にはゲート側プローブユニット２４が搭載されている。このゲート側プローブユニット２４には複数のプローブブロック２６が固定されている。各プローブブロック２６には複数のプローブ２８が取り付けられている。第２のプローブベース１４にはデータ側プローブユニット３０が搭載されている。このデータ側プローブユニット３０にも，複数のプローブブロック２６とそれに付属するプローブ２８が設けられている。
【００１７】
ゲート側プローブユニット２４には，その両端付近に第１カメラ３２と第２カメラ３４が配置されている。データ側プローブユニット３０にはゲート側プローブユニット２４から離れた方の端部付近に第３カメラ３６が配置されている。これらの３台のカメラは液晶パネル１０のアライメント作業に用いられる。
【００１８】
図２において，ワークテーブル４０はパネル受け４４とワークテーブルベース４６からなる。パネル受け４４の内部には拡散板４５が固定されている。アライメントステージ４２は，上ベース４８，支柱５０，バックライト装置５２，下ベース５４及びＸＹＺθステージ５６からなる。ＸＹＺθステージ５６は，下ベース５４を，水平面内で互いに直交するＸ方向とＹ方向に移動させることができ，さらに，Ｚ方向（上下方向）に移動させることができ，さらに，Ｚ方向に平行な回転軸の周りにθ回転させることができる。下ベース５４の上にはバックライト装置５２が固定されている。また，下ベース５４の上には複数の支柱５０が立っていて，支柱５０の上端に上ベース４８が固定されている。上ベース４８の上にワークテーブルベース４６が固定されている。
【００１９】
図３はワークテーブルの平面図であり，図４はワークテーブルの斜視図である。図３と図４において，矩形のワークテーブルベース４６の上に枠状のパネル受け４４が固定されている。全体として外形が長方形のパネル受け４４は，第１支持部５８，第２支持部６０，第３支持部６２及び第４支持部６４からなる。第１支持部５８と第３支持部６２は長方形の短辺を構成し，第２支持部６０と第４支持部６４は長方形の長辺を構成する。第１支持部５８は一つのプッシャー装置６６と二つのパネル浮きセンサー装置６８を備えている。第２支持部６０は二つのプッシャー装置６６と二つのパネル浮きセンサー装置６８を備えている。第３支持部６２は二つのストッパ装置７０と二つのパネル浮きセンサー装置６８を備えている。，第４支持部６４も二つのストッパ装置７０と二つのパネル浮きセンサー装置６８を備えている。本発明の構成要件と実施例との対応関係を説明すると，第３支持部６２に設けられた二つのストッパ装置７０が第１のストッパ装置に該当し，このストッパ装置に付属するストッパローラ（後述する）が第１のストッパローラに該当する。第４支持部６４に設けられた二つのストッパ装置７０が第２のストッパ装置に該当し，このストッパ装置に付属するストッパローラが第２のストッパローラに該当する。第１支持部５８に設けられた一つのプッシャー装置６６が第１のプッシャー装置６６に該当し，このプッシャー装置に付属するプッシャーローラ（後述する）が第１のプッシャーローラに該当する。第２支持部６０に設けられた二つのプッシャー装置６６が第２のプッシャー装置に該当し，このプッシャー装置に付属するプッシャーローラが第２のプッシャーローラに該当する。
【００２０】
図５は図３の５−５線断面図であり，プッシャー装置６６の構造を示している。図６はプッシャー装置６６が退避状態にあるときの平面図であり，図７はプッシャー装置６６が動作状態にあるときの平面図である。図８はプッシャー装置６６の斜視図である。また，図９は図７の９−９線断面図である。図１０はプッシャーローラ８２の拡大断面図である。以下，図５〜図１０を参照して，プッシャー装置６６の構造を説明する。
【００２１】
図５において，ワークテーブルベース４６の上にパネル受け４４とプッシャー装置６６が固定されている。パネル受け４４には凹部７２が形成されている。この凹部７２に対向するようにプッシャー装置６６が配置されている。パネル受け４４の内部には拡散板４５が固定されている。パネル受け４４の上面で液晶パネル１０を支持することができる。拡散板４５の上面は，パネル受け４４の上面からわずかに下がった位置にある。プッシャー装置６６はプッシャーベース７４を備えていて，プッシャーベース７４がワークテーブルベース４６の上面に固定されている。プッシャーベース７４にはレール７６が固定されている。このレール７６に対してスライダ７８がスライド可能に結合している。スライダ７８の上面にはプッシャー支持体８０が固定されている。プッシャー支持体８０の一端（図の右端）付近の上面にはプッシャーローラ８２が回転自在に取り付けられている。プッシャーローラ８２は，パネル受け４４の上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在である。プッシャー支持体８０の他端にはエアーシリンダ８４のピストン８６が固定されている。ピストン８６を伸縮させると，プッシャー支持体８０とスライダ７８はレール７６に沿って矢印８８の方向に進退する。
【００２２】
図６の平面図において，プッシャー支持体８０の側面にはスリット板９０が固定されている。スリット板９０は水平な板で構成されていて，プッシャー支持体８０の進退方向（図６の左右方向）に対して垂直な方向に水平に張り出している。スリット板９０の中央部にはスリット９２が形成されている。この実施例ではスリット９２の開口幅は０．６ｍｍである。
【００２３】
一方，図８の斜視図に示すように，プッシャーベース７４の上面には断面がコの字形のブラケット９４が固定されていて，このブラケット９４に発光素子９６と受光素子９８からなるフォトカプラ１００が固定されている。受光素子９８は発光素子９６の下方に位置する。発光素子９６と受光素子９８の間の空間にはスリット板９０が位置している。このフォトカプラ１００は，プッシャーローラ８２が所定の押し付け位置に達したことを検出するものである。図８は，レール７６，プッシャー支持体８０，プッシャーローラ８２及びエアーシリンダ８４の形状を明瞭に示している。また，パネル受け４４に形成された凹部７２も示している。この凹部７２は，プッシャーローラ８２が液晶パネルの側面に接触するときにプッシャーローラ８２及びプッシャー支持体８０がパネル受け４４に衝突しないようにするための空間を形成している。
【００２４】
図６に戻って，スリット板９０のスリット９２が発光素子９６の真下に来ると，発光素子９６からの光が受光素子で受光されて，所定の強さ以上の信号が受光素子から出力される。このときに，押付完了信号が出る。図７はプッシャーローラ８２が液晶パネル１０の側面を押して押付完了位置にある状態を示している。
【００２５】
図９は図７の９−９線断面図である。プッシャー支持体８０からスリット板９０が水平に張り出していることと，スリット板９０が発光素子９６と受光素子９８の間の空間に位置していることが明瞭に示されている。また，レール７６とスライダ７８の係合状態も明瞭に示されている。
【００２６】
図１０はプッシャーローラ８２の拡大断面図である。プッシャーローラ８２は取り付けシャフト１０２によってプッシャー支持体８０に取り付けられている。取り付けシャフト１０２の外周面とプッシャーローラ８２の内周面の間には転がり軸受１０４が挿入されていて，この軸受１０４によってプッシャーローラ８２は回転自在になっている。プッシャーローラ８２の回転中心線はパネル受け４４の上面に垂直である。取り付けシャフト１０２はカラー１０６を間に挟んでプッシャー支持体８０にネジ部で固定されている。プッシャーローラ８２の外周面は円筒面になっていて，この円筒面は液晶パネル１０の側面に接触可能である。この実施例では，プッシャーローラ８２の直径は２０ｍｍである。プッシャーローラ８２の上面は，パネル受け４４の上に載っている液晶パネル１０の上面から２ｍｍ程度高い位置にある。
【００２７】
図１１はストッパ装置７０の近傍の拡大断面図であり，図３の１１−１１線断面図に相当する。ストッパ装置７０はストッパローラ１０８を備えている。このストッパローラ１０８は取り付けシャフト１１０によって，パネル受け４４に形成された円筒状の凹部１１２の底面に取り付けられている。取り付けシャフト１１０の外周面とストッパローラ１０８の内周面の間には転がり軸受１１４が挿入されていて，この軸受１１４によってストッパローラ１０８は回転自在になっている。ストッパローラ１０８の回転中心線はパネル受け４４の上面に垂直である。したがって，ストッパローラ１０８は，パネル受け４４の上面に垂直な回転中心線の周りに回転自在である。取り付けシャフト１１０はカラー１１６を間に挟んでパネル受け４４にネジ部で固定されている。ストッパローラ１０８の外周面は円筒面になっていて，この円筒面は液晶パネル１０の側面に接触可能である。この実施例では，ストッパローラ１１８の直径は１０ｍｍである。また，ストッパローラ１０８の上面は，パネル受け４４の上に載っている液晶パネル１０の上面から２ｍｍ程度高い位置にある。
【００２８】
図１３は図３の１３−１３線断面図であり，パネル浮きセンサー装置６８の構造を示している。このパネル浮きセンサー装置６８は，パネル受け４４に組み込まれているものであって，液晶パネル１０がパネル受け４４の上に正しく載っているかどうかを判定するためのものである。すなわち，パネル受け４４の上面と液晶パネル１０の周辺部の下面との間の上下方向の距離が所定値以下になったことを検出するものである。このパネル浮きセンサー装置６８は，センサードグ１１８とストッパ１２０と押圧バネ１２４と検出部１２６とを備えていて，これらがケーシング１３４に収納されている。ケーシング１３４は，パネル受け４４に形成された凹部１３６の中に固定されている。センサードグ１１８は回転軸１２８の回りを揺動可能である。押圧バネ１２４は圧縮コイルバネであり，センサードグ１１８を図１３の反時計方向に回転させるようにセンサードグ１１８に回転モーメントを付与する。センサードグ１１８は，その上面がストッパ１２０の下端に接触することで，回転の動きを止められている。ケーシング１３４の底部には円形の凹部１４０が形成されていて，この凹部１４０に支持棒１２２の下端が埋め込まれている。押圧バネ１２４は支持棒１２２に被せられている。押圧バネ１２４はセンサードグ１１８の下面と凹部１４０の底面との間に圧縮状態で保持されている。
【００２９】
センサードグ１１８の一端（図１３の右端）には，概略上下方向に延びるパネル接触部１３０があり，他端には概略水平方向に延びる光遮断部１３２がある。ケーシング１３４の図１３における右端と凹部１３６の内壁との間には空間１３８が存在する。この空間１３８の部分にパネル接触部１３０があり，このパネル接触部１３０の上端は，パネル受け４４の上面よりも約２ｍｍ上方に突き出している。パネル受け４４の上面が，本発明における「ワークテーブルの上面」に該当する。
【００３０】
図１５はパネル浮きセンサー装置６８の平面図であり，ケーシング１３４の上壁を取り除いて示している。ケーシング１３４の図１５における左端付近には検出部１２６が固定されている。検出部１２６は断面がコの字形のブラケット１４２を備えている。このブラケット１４２に発光素子１４４と受光素子１４６からなるフォトカプラ１４８が固定されている。発光素子１４４と受光素子１４６の間の空間の下方には，センサードグ１１８の光遮断部１３２の先端が位置している。光遮断部１３２は，検出部１２６に対して，センサードグ１１８の位置を代表しているものであって，本発明における位置代表部に該当する。
【００３１】
図１３において，ストッパローラ１０８に液晶パネル１０が押し付けられたときに，液晶パネル１０がパネル受け４４の上に正しく載ると，図１４に示すように，液晶パネル１０が，その自重により，センサードグ１１８のパネル接触部１３０の上端を下方に押して，センサードグ１１８は図１４における時計方向に回転する。すると，センサードグ１１８の光遮断部１３２がフォトカプラ１４８の光を遮り，検出部１２６から上下方向のセット完了信号が出力される。この実施例では，液晶パネル１０の下面が，パネル受け４４の上面から１ｍｍ以内に近づいているときに（すなわち，センサードグ１１８のパネル接触部１３０の上端が，パネル受け４４の上面から１ｍｍ以内に近づいているときに，検出部１２６からセット完了信号が出るように，センサードグ１１８とフォトカプラ１４８との相対位置関係を定めている。
【００３２】
図示しない制御装置が，検出部１２６から検出信号を受け取ると，液晶パネル１０がパネル受け４４の上に正しく載ったことを確認する。一方，図１３に示すように，液晶パネル１０がパネル受け４４の上面から浮いたままでいると，検出部１２６からは上下方向のセット完了信号が出力されない。
【００３３】
図１２はパネル浮きセンサー装置６８の斜視図である。パネル受け４４の凹部１３６と，パネル浮きセンサー装置６８のケーシング１３４，センサードグ１１８及び検出部１２６とが明瞭に示されている。センサードグ１１８の上面にはストッパ１２０の下端が当たっており，センサードグ１１８の下面には押圧バネ１２４が接触している。センサードグ１１８は回転軸１２８によって回転可能に支持されている。
【００３４】
次に，液晶パネルをパネル受け４４の上にセットする動作を説明する。図３において，まず，図示しない搬送装置により，液晶パネル１０をパネル受け４４の上に載せる。このとき，三つのプッシャー装置６６のプッシャーローラ６８は，図６に示す退避位置にある。スリット板９０のスリット９２は発光素子９６の直下の位置から左方向にずれている。したがって，プッシャー装置６６のフォトカプラはスリット板９２に遮られて遮光状態にある。次に，図５に示すように，プッシャーローラ８２をエアーシリンダ８４により図５の右方向に移動させる。すると，プッシャーローラ８２の外周面は液晶パネル１０の側面に接触して，液晶パネル１０を押す。液晶パネル１０は，プッシャーローラに対向する側に位置するストッパローラに接触して停止し，このとき，図７に示すように，スリット板９０のスリット９２が発光素子９６の真下に来て，プッシャー装置６６からは水平方向のセット完了信号が出力される。
【００３５】
図３において，第１支持部５８に設けられたプッシャー装置６６が液晶パネル１０の第１の辺１６を図３の右方向に押し，液晶パネル１０の第３の辺２０は第３支持部６２に設けられた二つのストッパ装置７０のストッパローラに接触して，液晶パネル１０はＸ方向に位置決めされる。同様に，第２支持部６０に設けられた二つのプッシャー装置６６が液晶パネル１０の第２の辺１８を図３の下方向に押し，液晶パネル１０の第４の辺２２は第４支持部６４に設けられた二つのストッパ装置７０のストッパローラに接触して，液晶パネル１０はＹ方向に位置決めされる。液晶パネル１０がＸ方向にもＹ方向にも正しく位置決めされると，三つのプッシャー装置６６からそれぞれ水平方向のセット完了信号が出力される。
【００３６】
さらに，図３に示すすべてのパネル浮きセンサー装置６８において，図１４に示すように，センサードグ１１８が液晶パネル１０に押されて，検出部１２６から上下方向のセット完了信号が出力されると，液晶パネル１０は，そのすべての辺において，パネル受け４４の上面から浮き上がることなく，正しく，パネル受け４４の上に載っていることが確認される。
【００３７】
水平方向及び上下方向のセット完了信号がすべて正常に出力されると，液晶パネル１０のワークテーブル５０へのセット作業が完了したことになる。セット作業が完了したら，液晶パネルのアライメント作業を実行し，その後，プローブを液晶パネルの電極に接触させて液晶パネルの検査を行う。
【００３８】
もし，プッシャー装置６６及びパネル浮きセンサー装置６８のいずれかからセット完了信号が出力されないならば，液晶パネルがパネル受け上に正しくセットされていないことになるので，液晶パネルのアライメント作業に移行することなく，アラーム信号を出して，セット異常があったことをオペレータに知らせる。
【００３９】
上述の実施例では，プッシャー装置の位置検出部及びパネル浮きセンサー装置の検出部としてフォトカプラを用いているが，位置検出手段として，スリット板やセンサードグの位置を検出できるものであれば，非接触式または接触式のどのような位置センサーを用いてもよい。ただし，非接触式のセンサーの方が，スリット板やセンサードグに余計な力がかからないという理由で好ましく，フォトカプラ以外の非接触式センサーとしては，例えば，磁気センサーや超音波センサーを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の液晶パネル検査装置のひとつの実施例の平面図である。
【図２】図１の２−２線に相当する位置で液晶パネル検査装置を切断した断面図である。
【図３】ワークテーブルの平面図である。
【図４】ワークテーブルの斜視図である。
【図５】図３の５−５線断面図である。
【図６】プッシャー装置が退避状態にあるときの平面図である。
【図７】プッシャー装置が動作状態にあるときの平面図である。
【図８】プッシャー装置の斜視図である。
【図９】図７の９−９線断面図である。
【図１０】プッシャーローラの拡大断面図である。
【図１１】図３の１１−１１線断面図である。
【図１２】パネル浮きセンサー装置の斜視図である。
【図１３】図３の１３−１３線断面図である。
【図１４】パネル浮きセンサー装置が動作状態にあるときの，図１３と同様の断面図である。
【図１５】パネル浮きセンサー装置の平面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  液晶パネル
１２  第１のプローブベース
１４  第２のプローブベース
１６  第１の辺
１８  第２の辺
２０  第３の辺
２２  第４の辺
２４  ゲート側プローブユニット
２６  プローブブロック
２８  プローブ
３０  データ側プローブユニット
３２  第１カメラ
３４  第２カメラ
３６  第３カメラ
３８  プローブステージ
４０  ワークテーブル
４２  アライメントステージ
４４  パネル受け
４５  拡散板
４６  ワークテーブルベース
４８  上ベース
５０  支柱
５２  バックライト装置
５４  下ベース
５６  ＸＹＺθステージ
５８  第１支持部
６０  第２支持部
６２  第３支持部
６４  第４支持部
６６  プッシャー装置
６８  パネル浮きセンサー装置
７０  ストッパ装置
７２  凹部
７４  プッシャーベース
７６  レール
７８  スライダ
８０  プッシャー支持体
８２  プッシャーローラ
８４  エアーシリンダ
８６  ピストン
８８  矢印
９０  スリット板
９２  スリット
９４  ブラケット
９６  発光素子
９８  受光素子
１００  フォトカプラ
１０２  取り付けシャフト
１０４  軸受
１０６  カラー
１０８  ストッパローラ
１１０  取り付けシャフト
１１２  凹部
１１４  軸受
１１６  カラー
１１８  センサードグ
１２０  ストッパ
１２２  支持棒
１２４  押圧バネ
１２６  検出部
１２８  回転軸
１３０  パネル接触部
１３２  光遮断部
１３４  ケーシング
１３６  凹部
１３８  空間
１４０  凹部
１４２  ブラケット
１４４  発光素子
１４６  受光素子
１４８  フォトカプラ
【図１】
2006285060.tif 000003
【図２】
2006285060.tif 000004
【図３】
2006285060.tif 000005
【図４】
2006285060.tif 000006
【図５】
2006285060.tif 000007
【図６】
2006285060.tif 000008
【図７】
2006285060.tif 000009
【図８】
2006285060.tif 000010
【図９】
2006285060.tif 000011
【図１０】
2006285060.tif 000012
【図１１】
2006285060.tif 000013
【図１２】
2006285060.tif 000014
【図１３】
2006285060.tif 000015
【図１４】
2006285060.tif 000016
【図１５】
2006285060.tif 000017