(57)【要約】【課題】マスター情報担体自体の変形回復力を利用して離間動作をさせることで、エアー等の気体に含まれる異物等により逆汚染されることを防止し、充分なクリーン度を保持できるクリーニング方法を提供する。【解決手段】基体表面に所定の情報信号に対応した配列パターンを磁性膜で形成した磁気転写用のマスター情報担体７に関するものであり、マスター情報担体７の磁性膜が形成された表面とダミーディスク３とを凹形状または凸形状に湾曲させてマスター情報担体７の表面とダミーディスク３とを面接触させることにより、マスター情報担体７の表面の汚染物をダミーディスク３側に移行させてマスター情報担体７の表面のクリーニングを行う方法からなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体表面に所定の情報信号に対応した配列パターンを磁性膜で形成した磁気転写用のマスター情報担体のクリーニング方法であって、
前記マスター情報担体の前記磁性膜が形成された表面とダミーディスクとを凹形状または凸形状に湾曲させて、前記マスター情報担体の前記表面と前記ダミーディスクとを面接触させることにより、前記マスター情報担体の前記表面の汚染物をダミーディスク側に移行させて前記マスター情報担体の前記表面のクリーニングを行うことを特徴とするマスター情報担体のクリーニング方法。
【請求項２】
前記マスター情報担体および前記ダミーディスクのどちらか一方を、凹形状または凸形状の曲面を有する冶具上に載置して前記冶具の前記曲面に沿わせた後、前記マスター情報担体および前記ダミーディスクのもう一方を前記冶具上に載置し、前記マスター情報担体および前記ダミーディスクを面接触させることを特徴とする請求項１に記載のマスター情報担体のクリーニング方法。
【請求項３】
前記マスター情報担体および前記ダミーディスクを面接触させた後、前記マスター情報担体と前記ダミーディスクとを離間させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のマスター情報担体のクリーニング方法。
【請求項４】
前記マスター情報担体とダミーディスクとの面接触および離間を交互に繰り返して行うことを特徴とする請求項３に記載のマスター情報担体のクリーニング方法。
【請求項５】
前記マスター情報担体および前記ダミーディスクを面接触させた後、湾曲された前記マスター情報担体の湾曲状態を開放するときの変形回復力により前記マスター情報担体と前記ダミーディスクとを離間させることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のマスター情報担体のクリーニング方法。
【請求項６】
前記ダミーディスクは、表面に磁性メッキ膜が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれかに記載のマスター情報担体のクリーニング方法。
【請求項７】
前記マスター情報担体と前記ダミーディスクとを離間するときに、前記マスター情報担体の変形回復力に加えて、前記マスター情報担体と前記ダミーディスクとの界面に窒素ガスまたは不活性ガスを圧送させることを特徴とする請求項３から請求項６までのいずれかに記載のマスター情報担体のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブ等に用いる磁気ディスクに所定のトラッキングサーボ情報を記録するための磁気転写用のマスター情報担体のクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気記録再生装置においては、情報量の増大とともに高記録密度化への要求が高まるだけでなく、装置の小型化についても急速に進展している。代表的な磁気記録再生装置であるハードディスクドライブ（以下、「ＨＤＤ」とよぶ）の分野においては、１００Ｇｂｉｔ／ｉｎ2の記録密度を有する装置に関する技術が急激に進展している。
【０００３】
このような高記録密度を可能とした技術的背景には、線記録密度の向上もさることながら、数μｍ程度のトラック幅に記録された信号を、Ｓ／Ｎ比（信号対雑音比）を充分に大きくしながら再生できる磁気抵抗効果型ヘッドの高出力化や、磁気ディスクに対する１０ｎｍ程度の浮上量を実現する浮上スライダの最適設計等に加えて、ヘッドが狭トラック上を正確に走査するためのトラッキングサーボ技術も重要な役割を果たしている。
【０００４】
また、浮上スライダにおいては更なる浮上量の低減化が望まれているが、動作中に何らかの要因で磁気ディスクと浮上スライダが接触してデータを破壊する危険性が一方では増大している。
【０００５】
このようなトラッキングサーボ技術を用いた現在のＨＤＤでは、磁気ディスクの１周（角度にして３６０°）中に一定の角度と間隔でトラッキング用のサーボ信号やアドレス情報信号、および再生クロック信号等が記録されている。そして、ヘッドから一定時間と間隔で再生されるこれらの信号によりヘッドの位置を検出し、かつその位置を修正することで、ヘッドが正確にトラック上を走査することを可能にしている。
【０００６】
上述したサーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等はヘッドが正確にトラック上を走査するための基準信号となるものであるから、その書き込み（以下、「フォーマティング」とよぶ）には高い位置決め精度が必要である。
【０００７】
現在のＨＤＤでは、光干渉を利用した高精度位置検出装置を組み込んだ専用のサーボ装置（以下、「サーボライタ」とよぶ）を用いて記録ヘッドを位置決めしてフォーマティングが行われている。しかしながら、上記サーボライタによるフォーマティングには以下の課題が存在する。
【０００８】
第１に、ヘッドを高精度に位置決めしながら多数のトラックにわたって信号を書き込むには多くの時間がかかる点である。この結果、フォーマティングに対する生産性が悪く、生産性を上げるためには多くのサーボライタを同時に稼動させなければならない。第２に、多くのサーボライタの導入、維持管理には多額のコストがかかる点である。これらについては、トラック密度が向上し、トラック数が増加する程、より大きな課題となる。
【０００９】
そこで、フォーマティングをサーボライタで行う方式に代えて、磁気転写方式が提案されている。この磁気転写方式は、予め全てのサーボ情報が書き込まれたマスター情報担体とよばれるディスクとフォーマティングすべき磁気ディスクを重ね合わせ、外部から転写用のエネルギーを与えることにより、マスター情報担体の情報を磁気ディスクに一括転写する方式である。
【００１０】
しかし、この磁気転写方式では、サーボ情報に影響を及ぼす程度の汚染物等がマスター情報担体の転写面に存在すると、転写したサーボ情報に欠陥を生ずる場合がある。このため、マスター情報担体の表面は、微小な汚染物も存在しないクリーンな面を保持することが要求される。
【００１１】
そのための方法の一例として、基体の表面に、情報信号に対応するパターン形状で強磁性材料からなる磁性部を形成して磁気転写用のマスター情報担体とし、この磁気転写用のマスター情報担体のパターン形成面とダミーディスクを密着させる工程と離間させる工程とを交互に複数回繰り返すことで、マスター情報担体表面の汚染物を取り除く方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−５１１１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
マスター情報担体は、磁気ディスクに情報信号に対応した磁化パターンを磁気転写するためのディスクであり、サブミクロン程度の微細な磁化パターンを磁気転写することが要求される。このため、マスター情報担体表面に発生した異物を含む汚染物は、それが微小形状であっても磁気転写するサーボ信号の欠陥を招き、転写不良の原因となる。
【００１３】
また、異物を含む汚染物は、マスター情報担体の製造工程や磁気転写する環境等、複数の発生源によりマスター情報担体の表面に付着する。したがって、磁気転写前にマスター情報担体のクリーニングを行うことは必須の作業である。しかし、このようなクリーニング工程においても、その環境条件等によっては汚染物が付着する場合もある。
【００１４】
しかしながら上記の従来例の方法では、磁気転写用のマスター情報担体の表面に付着した汚染物を完全には除去しきれないという課題を有している。すなわち、上記従来のマスター情報担体表面の汚染物を除去する場合には、マスター情報担体とダミーディスク界面とに存在する気体を排気して密着させること、および先述の界面に気体を圧送させること、を繰り返すことで、マスター情報担体の表面に付着している汚染物をダミーディスク表面に移行させ、さらに圧送する気体により外部へ排出させて、マスター情報担体のクリーニングを行っている。
【００１５】
このような工程において、特に、離間させる場合に気体を圧送すると、気体のクリーン度に依存するが、気体中の微小異物がマスター情報担体に付着し、表面を汚染させることがある。
【００１６】
つまり、密着させる場合は、マスター情報担体とダミーディスクの接触界面に存在する気体を排気して密着させている。このため、クリーンルーム等の作業環境が充分なクリーン度を有しておれば不良につながるような汚染物は付着しない。
【００１７】
一方、離間させる場合には、密着したマスター情報担体とダミーディスクの界面に気体を圧送して離間させている。このため、使用する気体の品質によっては、マスター情報担体表面の汚染を招くことがある。そのため、圧送する気体の品質改善が必要となる。しかし、このような気体として一般的に用いられるコンプレッサーで発生させたエアーの場合には、エアーの配管部材や経路長、またはダストやミストに対するフィルターの設置や管理等、品質維持には煩雑な管理が必要である。このような点から、エアー中に混入した汚染物を完全に除去できない場合も少なくない。また、油や水分あるいはダストをマスター情報担体の表面に離間と同時に送り込む結果となる場合もあり、これによってもマスター情報担体の表面が汚染されることがある。
【００１８】
その防止策として、導入口にエアードライヤ等を用いる方法も考えられる。しかし、この場合においても、クリーニング装置までの配管経路が長くなると、クリーン化されたエアーがこの配管中を流れることにより汚染される場合がある。
【００１９】
また、装置側にフィルターを設置して微細な汚染物を除去する方法もあるが、この方法では一時的には不純物を取り除けるが、継続して不純物が混入すると目詰まりする。さらに、除去限界をこえるとエアーの流量が減少し離間に影響を与えるだけでなく、除去できなかった不純物はマスター情報担体表面に拡散するため、結果としてマスター情報担体の表面が汚染されることになる。
【００２０】
このようにマスター情報担体が汚染された状態で磁気転写すると、サーボ信号の欠落を生じるだけでなく、マスター情報担体に磁性膜で形成したサーボ情報の配列パターンが欠損してしまうこともある。このような場合には、マスター情報担体を廃棄しなくてはならなくなり、コスト的にも問題となる。
【００２１】
本発明のマスター情報担体のクリーニング方法は、マスター情報担体自体の変形回復力を利用して離間動作をさせることで、エアー等の気体に含まれる異物等により逆汚染されることを防止し、充分なクリーン度を保持できるクリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記課題を解決するために、本発明のマスター情報担体のクリーニング方法は、基体表面に所定の情報信号に対応した配列パターンを磁性膜で形成した磁気転写用のマスター情報担体に関するものであり、マスター情報担体の磁性膜が形成された表面とダミーディスクとを凹形状または凸形状に湾曲させてマスター情報担体の表面とダミーディスクとを面接触させることにより、マスター情報担体の表面の汚染物をダミーディスク側に移行させてマスター情報担体の表面のクリーニングを行う方法からなる。
【００２３】
この方法により、従来汚染が生じやすかったマスター情報担体を離間させるときにエアー等の気体を用いずにすむため、エアー等に含まれる微小な汚染物の影響をまったく受けることがなくなる。また、マスター情報担体とダミーディスクとは面接触して密着されるので、この密着によりマスター情報担体の表面に存在する異物等の汚染物はダミーディスク側にめり込む等によりダミーディスクに固定される。この結果、マスター情報担体の表面のクリーニングが行われる。
【００２４】
また、上記方法において、マスター情報担体およびダミーディスクのどちらか一方を、凹形状または凸形状の曲面を有する冶具上に載置して冶具の曲面に沿わせた後、マスター情報担体およびダミーディスクのもう一方を冶具上に載置しマスター情報担体およびダミーディスクを面接触させる方法としてもよい。
【００２５】
さらに、上記方法において、マスター情報担体およびダミーディスクを面接触させた後、マスター情報担体とダミーディスクとを離間させるようにしてもよい。この場合に、マスター情報担体とダミーディスクとの面接触および離間を交互に繰り返して行うようにしてもよい。
【００２６】
さらに、上記方法において、マスター情報担体およびダミーディスクを面接触させた後、湾曲されたマスター情報担体の湾曲状態を開放するときの変形回復力によりマスター情報担体とダミーディスクとを離間させるようにしてもよい。このような方法とすることにより、マスター情報担体とダミーディスクとを離間させるときに、マスター情報担体の変形回復力により離間させることができるので、従来のようにエアー等の気体を圧送することで逆に汚染されることを防止でき、よりクリーンな表面を得ることができる。
【００２７】
さらに、上記方法において、ダミーディスクは表面に磁性メッキ膜が形成されている構成としてもよい。このようにすることにより、マスター情報担体の表面上に存在する磁性膜に異常突起が存在していた場合、ダミーディスクとの密着と離間とを繰り返すと、その部分の磁性膜は剥がれる。しかし、ダミーディスクの表面には磁性メッキ膜が形成されているために剥がれた磁性膜はダミーディスクに付着する。この結果、マスター情報担体の表面のクリーニングをより確実に行える。このような磁性メッキ膜としては、例えばＣｏ−Ｒｅ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｒｅ−Ｐのような材料を用いることができる。
【００２８】
さらに、上記方法において、マスター情報担体とダミーディスクとを離間するときに、マスター情報担体の変形回復力に加えて、マスター情報担体とダミーディスクとの界面に窒素ガスまたは不活性ガスを圧送させるようにしてもよい。この場合、離間させるための力は変形回復力であるが、それを補助するために窒素ガスまたは不活性ガスを用いる。したがって、圧送するガス流量は従来に比べて非常に少なくてよい。このため、超高純度のガスを用いてもコスト的には問題がなくなり、ガスによる汚染を防止しながら離間動作を補助することができ、さらに安定して離間動作をさせることができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明のマスター情報担体のクリーニング方法は、マスター情報担体をダミーディスクに面接触させて密着することで、マスター情報担体の表面上の異物等の汚染物をダミーディスク側に移行させてクリーニングするとともに、離間する場合にはマスター情報担体自体の変形回復力により離間させることができる。この結果、離間させるためのエアー等の気体に含まれる汚染物による逆汚染を確実に防止でき、非常にクリーンな表面状態のマスター情報担体を安定して維持できる。これにより、歩留まりよく、かつ低コストの磁気転写を実現できるという大きな効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、同じ構成要素については同じ符号を付しており、説明を省略する場合がある。
【００３１】
本発明の実施の形態の一例のマスター情報担体のクリーニング方法について、図１から図６までを用いて説明する。
【００３２】
図１は、冶具とダミーディスクとの配置構成を説明するための図である。図１（ａ）は上面図であり、（ｂ）はその断面図であり、さらに（ｃ）は（ｂ）に示すダミーディスクのＡ領域の拡大断面構成図である。
【００３３】
図１において、冶具１の表面は所定の凸曲面２を有しており、この凸曲面２上においてダミーディスク３を吸着して保持する。ダミーディスク３は、その中心に貫通孔４が形成されており、その断面構造は図１（ｃ）に示すようにダミーディスク基体５の両面に磁性メッキ膜６を形成した構成である。なお、図１（ｃ）に示すように、ダミーディスク基体５に着膜する磁性メッキ膜６は両面に形成することに限定されることはなく、片面のみに形成してもよい。
【００３４】
冶具１は、凸曲面２の内周から外周領域に複数開口された真空吸引部１２と、それに接続されている真空配管１４と、この真空配管１４に接続されているバルブ１６と第１の排気ポンプ１８とからなるダミーディスクを吸着し保持する外周側の排気システムと、凸曲面２の中央部に開口され、下方に引き出された真空配管２０と、この真空配管２０に接続されているバルブ２２と第２の排気ポンプ２４とからなる中央部の排気システムとにより構成されている。なお、中央部の排気システムにはさらに大気に開放するためのバルブ２６が設けられている。また、外周側の排気システムにも同様に大気に開放するためのバルブを設けてもよいが、本実施の形態では設けない構成を示している。なお、外周側の排気システムは真空吸引部１２から第１の排気ポンプ１８へ排気されるときの流れを矢印Ｆで示している。
【００３５】
図２は、図１に示した状態から外周側の排気システムを作動させて吸引力Ｆ１を発生させることでダミーディスク３を吸引して冶具１の凸曲面２に沿わせて密着させた構成を示す図である。この動作は、ダミーディスク３の排気システムである第１の排気ポンプ１８を作動させ、バルブ１６を開くことで行われ、真空吸引部１２の内周孔１２１から外周孔１２２へと順次ダミーディスク３が吸着される。なお、真空吸引部１２はダミーディスク３の貫通孔４以外の凸曲面２上に溝または孔として形成されているが、この形状については外周領域を含めて設ければよく、形状や位置等については特に限定されず、ダミーディスク３の形状に合せて設定することができる。
【００３６】
図３は、マスター情報担体７をダミーディスク３の表面上に載置した状態を示す図である。図３（ａ）はその上面図であり、（ｂ）はその断面図を示す。マスター情報担体７は、冶具１に密着させたダミーディスク３上にマスター情報担体７とダミーディスク３の軸中心を一致させるように位置決めして載置されている。
【００３７】
図４は、ダミーディスク３と、これに対向して載置されたマスター情報担体７との構成を説明するための斜視図である。なお、この斜視図では、冶具１を省略して記載している。マスター情報担体７は図４に示すように、基体８の一方の面に磁性膜で形成した配列パターン９を備えた構成を有している。ダミーディスク３に対しては、この配列パターン９が形成された一方の面が対向するように載置される。なお、配列パターン９の領域は基体８の面に対して突出した形状をしており、磁性膜はこの突出した面上に形成され配列パターン９を構成している。したがって、マスター情報担体７を中央領域で真空排気すると、配列パターン９間の隙間を通してマスター情報担体７の全面で吸引されるようになる。
【００３８】
図５は、載置されたマスター情報担体７とダミーディスク３とを面接触させて密着させた状態を示す断面図である。冶具１には、ダミーディスク３の吸引経路とは異なる中央部の排気システムが設けられているので、この排気システムの第２の排気ポンプ２４を作動させるとともにバルブ２２を開にすると、ダミーディスク３の貫通孔４を介してマスター情報担体７とダミーディスク３と間の気体を排気でき、これによりマスター情報担体７をダミーディスク３側に吸引するための吸引力Ｆ２が作用する。図４で説明したように、マスター情報担体７は中央部で真空排気された場合、配列パターン９の間の隙間を通して全面が吸引される。また、ダミーディスク３の凸形状は実際の設計では数μｍから数十μｍ程度でよいので、充分に吸着が可能である。この結果、両者を面接触させて密着させることができる。
【００３９】
この密着状態において、マスター情報担体７の表面に存在していた異物等の汚染物がダミーディスク３の表面に移行し、マスター情報担体７の表面のクリーニングが行われる。
【００４０】
図６は、図５に示すように密着させて表面の汚染物をダミーディスク３に移行させた後、マスター情報担体７とダミーディスク３を離間させた状態を示す断面図である。この場合に、マスター情報担体７をダミーディスク３から離間させるためには、中央部の排気システムのバルブ２２を閉じ、大気に開放するためのバルブ２６を開にすればよい。これにより、マスター情報担体７に対する吸引力Ｆ２がなくなるので、マスター情報担体７には初期状態である平板形状に戻るための変形回復力Ｆ３が作用し、マスター情報担体７はダミーディスク３から離間する。
【００４１】
なお、マスター情報担体７とダミーディスク３とを面接触させて密着させるとファンデルワールス力等による密着力が作用するので、離間を容易に生じさせるためにはこの密着力の調整を行うことが望ましい。
【００４２】
図７は、本実施の形態のマスター情報担体のクリーニング方法における変形例の方法を説明するための断面構成図である。この変形例の方法においては、冶具１０の中央部の排気システムのバルブ２６は大気開放ではなく、高純度の窒素ガスあるいは不活性ガスに接続されていることが特徴である。このために、冶具１０の中央部の排気システムには、下方に引き出された真空配管２０から分岐された分岐管２８が設けられ、この分岐管２８にはバルブ２６と窒素ガスあるいは不活性ガスからなるガス源３０が取り付けられている。
【００４３】
マスター情報担体７を離間させる場合には、第２の排気ポンプ２４に接続されているバルブ２２を閉じ、バルブ２６を開にして窒素ガスあるいは不活性ガスをマスター情報担体７とダミーディスク３の界面に圧送する。これにより、マスター情報担体７の変形回復力に加えて圧送されるガスの効果により、さらに容易に離間動作をさせることができる。
【００４４】
図８は、本実施の形態にかかるマスター情報担体のクリーニング方法における別の変形例の方法を説明するための冶具とダミーディスクとの構成を示す図である。図８（ａ）は上面図であり、（ｂ）は断面図である。
【００４５】
この別の変形例の方法においては、冶具４０の表面が所定の凹曲面１３を有していることが特徴である。これ以外の構成については、先に説明した実施の形態の冶具１と同じであるので説明は省略する。また、この冶具４０を用いてマスター情報担体をクリーニングする工程については、先の実施の形態で説明した工程に基づき行うことができる。
【００４６】
マスター情報担体はダミーディスク３の表面で凹形状に変形された状態で、表面の異物等の汚染物がダミーディスク３に移行する。マスター情報担体をダミーディスクから離間させる場合には、バルブ２２を閉じ、バルブ２６を開にして大気に解放すれば、マスター情報担体の変形回復力により離間させることができる。このような方法としても、汚染の生じないクリーニングが可能となり、このマスター情報担体を用いて磁気転写するときの歩留まりを改善できる。
【００４７】
なお、本実施の形態のマスター情報担体のクリーニング方法においては、マスター情報担体とダミーディスクとを密着させてから離間させる一回の動作のみについて説明したが、マスター情報担体の汚染状況によっては、密着と離間を複数回繰り返すことが望ましい。そのときには、冶具とダミーディスクとは密着状態を維持したままとして、マスター情報単体のみを密着、離間させるようにすると作業性も改善できる。
【００４８】
さらに、冶具の凸曲面または凹曲面は、その曲率を指定するものではなく、冶具とダミーディスク間の気体を排気した際に、冶具とダミーディスクが、その排気力で吸引されて密着する程度の微小な隙間が形成される曲率であればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明のマスター情報担体のクリーニング方法は、マスター情報担体の表面に付着する汚染物を確実に除去することができるので、磁気転写における欠陥を防止でき、歩留まりよく、かつ高品質の磁気ディスクを実現でき、ＨＤＤ等の磁気記録分野に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態の一例のマスター情報担体のクリーニング方法において、冶具とダミーディスクとの配置構成を説明するための図
【図２】同実施の形態において、図１に示した状態から外周側の排気システムを作動させて吸引力を発生させることでダミーディスクを吸引して冶具の凸曲面に沿わせて密着させた構成を示す図
【図３】同実施の形態において、マスター情報担体をダミーディスクの表面上に載置した状態を示す図
【図４】同実施の形態において、ダミーディスクとこれに対向して載置されたマスター情報担体との構成を説明するための斜視図
【図５】同実施の形態において、載置されたマスター情報担体とダミーディスクとを面接触させて密着させた状態を示す断面図
【図６】同実施の形態において、図５に示すように密着させて表面の汚染物をダミーディスクに移行させた後、マスター情報担体とダミーディスクを離間させた状態を示す断面図
【図７】同実施の形態のマスター情報担体のクリーニング方法における変形例の方法を説明するための断面構成図
【図８】同実施の形態にかかるマスター情報担体のクリーニング方法における別の変形例の方法を説明するための冶具とダミーディスクとの構成を示す図
【符号の説明】
【００５１】
１，１０，４０    冶具
２    凸曲面
３    ダミーディスク
４    貫通孔
５    ダミーディスク基体
６    磁性メッキ膜
８    基体
９    配列パターン
１２    真空吸引部
１３    凹曲面
１４，２０    真空配管
１６，２２，２６    バルブ
１８    第１の排気ポンプ
２４    第２の排気ポンプ
２８    分岐管
３０    ガス源
【図１】
2006172669.tif 000003
【図２】
2006172669.tif 000004
【図３】
2006172669.tif 000005
【図４】
2006172669.tif 000006
【図５】
2006172669.tif 000007
【図６】
2006172669.tif 000008
【図７】
2006172669.tif 000009
【図８】
2006172669.tif 000010