(57)【要約】【課題】サーボ制御によるガルバノミラーの広い範囲の線形駆動を維持したまま、走査線速度の微調整または粗調整を行うことができる露光装置を提供する。【解決手段】  走査線速度入力部１０１を通じて照射光（レーザ光）に対する所望の走査線速度（設定走査線速度）が入力されると、振幅算出部１０３では、設定走査線速度を実現するために、駆動周波数記憶部１０２から得た駆動周波数を基にして駆動振幅を算出する。駆動波形生成部１０４ではこれら駆動周波数と駆動振幅を反映した波形を生成し、その波形の電圧を駆動回路１０５に送り、これによりガルバノミラー１４が設定走査線速度で駆動される。【選択図】        図２
2006053217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から射出されたビームをガルバノミラーにより偏向し、被露光物に対して所定の走査線速度で走査を行う露光装置において、
所望の走査線速度を入力するための走査線速度入力部と、
前記ガルバノミラーを駆動するための特定の駆動周波数が格納された駆動周波数記憶部と、
前記走査線速度入力部を通じて入力された設定走査線速度と前記駆動周波数記憶部に格納された駆動周波数とから、必要な駆動電圧の振幅を算出する振幅算出部と、
前記振幅算出部により得られた振幅および前記駆動周波数を基にして駆動電圧の波形を決定する駆動波形生成部と、
前記駆動波形生成部により決定された波形の駆動電圧によって前記ガルバノミラーを駆動する駆動回路と、
特定のサーボパラメータにより、前記駆動回路により駆動されるガルバノミラーのサーボ制御を行う制御部と
を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記ガルバノミラーと被露光物との間にｆθレンズが配置されている
ことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記ガルバノミラーの駆動電圧の波形は、サイン波，三角波またはのこぎり波である
ことを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
光源から射出されたビームをガルバノミラーにより偏向し、被露光物に対して所定の走査線速度で走査を行う露光装置において、
所望の走査線速度を入力するための走査線速度入力部と、
前記ガルバノミラーを駆動するための複数の駆動周波数が格納された駆動周波数記憶部と、
前記走査線速度入力部を通じて入力された設定走査線速度に応じて、前記駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数のうち１の駆動周波数を選択すると共に、必要な駆動電圧の振幅を算出する振幅算出部と、
前記振幅算出部により得られた振幅および選択された駆動周波数を基にして駆動電圧の波形を決定する駆動波形生成部と、
前記駆動波形生成部により決定された波形の駆動電圧によって前記ガルバノミラーを駆動する駆動回路と、
前記駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数それぞれに対応した複数の最適サーボパラメータを格納したサーボパラメータ記憶部を含み、前記振幅算出部で選択された駆動周波数に応じた最適サーボパラメータにより、前記駆動回路により駆動されるガルバノミラーのサーボ制御を行う制御部と
を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項５】
前記ガルバノミラーと被露光物との間にｆθレンズが配置されている
ことを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記ガルバノミラーの駆動電圧の波形は、サイン波，三角波またはのこぎり波である
ことを特徴とする請求項４または５に記載の露光装置。
【請求項７】
光源から射出されたビームをガルバノミラーにより偏向し、被露光物に対して所定の走査線速度で走査を行う露光方法において、
前記ガルバノミラーのサーボ制御を行うと共に、走査線速度を入力するための走査線速度入力部を備え、前記走査線速度入力部に所望の走査線速度が入力されたとき、前記ガルバノミラーの駆動電圧の周波数を一定に保持しつつ、その振幅を入力された設定走査線速度に応じて変化させる
ことを特徴とする露光方法。
【請求項８】
光源から射出されたビームをガルバノミラーにより偏向し、被露光物に対して所定の走査線速度で走査を行う露光方法において、
前記ガルバノミラーのサーボ制御を行うと共に、走査線速度を入力するための走査線速度入力部、前記ガルバノミラーを駆動するための複数の駆動周波数が格納された駆動周波数記憶部、前記駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数それぞれに対応した複数の最適サーボパラメータを格納したサーボパラメータ記憶部を備え、
前記走査線速度入力部を通じて入力された設定走査線速度に応じて、前記駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数のうち１の駆動周波数を選択すると共に駆動電圧の振幅を変化させ、これら周波数および振幅が変更された駆動電圧によりガルバノミラーを駆動すると共に、前記サーボパラメータ記憶部から、選択された駆動周波数に応じて最適サーボパラメータを選択し、この選択されたサーボパラメータによりガルバノミラーのサーボ制御を行う
ことを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板の孔開け加工などに用いられる露光装置および露光方法に係り、特に、ガルバノミラーを用いて偏向を行う露光装置および露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体産業では加工技術の微細化が進んでおり、露光技術では数百ナノメートルから数十マイクロメートルの位置精度を要求される。一方で、製造プロセスではその生産性が重要であるため、高速に精確な位置精度を保った露光が必須となる。露光方法としては、ステージ側を移動させて走査を行うステージ走査があるが、この走査方法では十分な精度が得られる半面、位置制御を高速に行うことができないという問題がある。このようなことから、露光対象に対して部分露光・全面露光の別なく高速で精確な光照射を行う手段として、ガルバノミラーやポリゴンミラーといった偏向光学系が用いられる。偏向光学系によって露光位置を制御できる範囲は、その光学系によって大きく変わってくるが、通常は数センチメートル四方程度であるため、ステージ走査により広範囲の移動を行い、ある一定範囲内において偏向光学系を用いた露光位置の制御を行う方法がとられている。また、ステージ走査を行いながら偏向光学系によって露光位置を制御し続ける方法もある。
【０００３】
ところで、偏向光学系の代表的なものに、ガルバノミラーを用いたもの（図４）とポリゴンミラーを用いたもの（図５）がある。ガルバノミラーを用いたものは、モータ軸２を単板ミラー１（１ａ，1 ｂ）と同一平面状になるように取り付け、一方、ポリゴンミラーを用いたものは、正多面体の角柱の側面にミラー５（５ａ，５ｂ）を貼り付け、その正多面体の中心にモータ軸８がくるようにしたものである。
【０００４】
ガルバノミラーはポリゴンミラーに対して加工性が良いだけでなく、図４からも明らかように、入射したビーム３に対して反射ビーム４ａが反射ビーム４ｂとなるように、モータ回転時の偏向具合が回転成分だけで簡潔に示される。一方、図５に示したポリゴンミラーでは、入射したビーム６に対して反射ビーム７ａが反射ビーム７ｂとなるように、偏向具合に回転だけでなくシフト成分が現れるようになる。また、駆動対象となるミラーまたは取り付け部品の重量が、ガルバノミラーはポリゴンミラーの数十分の一であるため、ウォブル（偏向方向に直交する方向への周期的・非周期的な予期せぬ偏向）が出にくく有利である。このような点からは、ポリゴンミラーよりもガルバノミラーを用いることが望ましいが、このガルバノミラーを用いた偏光光学系では、露光位置の制御を簡潔かつ精確に行うために、電圧波形として三角波を用いた駆動がなされている。
【０００５】
しかしながら、一定角速度で回転させれば線形走査が可能なポリゴンミラーと違って、ガルバノミラーは三角波による駆動がなされると、図６に示したように、その変位が駆動電圧に追従しきれず、リンギング９が生じるという問題がある。なお、図中，ａは駆動電圧の波形、ｂはガルバノミラーの変位を示している。このようにリンギング９が生じると、線形駆動をしているのは矢印で示した狭い範囲のみとなり、これが均一露光の妨げとなる。リンギング９の発生を抑えるためには、モータ駆動にサーボ機構を導入すればよく、ＰＩＤ（Proportional Integration and Differential)制御などのサーボ制御を行うことによって、図７で示した波形のような線形駆動範囲の広い（全駆動粋の８割程度）駆動が行われるようにすることができる。この線形駆動範囲においてビームの露光を行うことにより均一照射が可能となり、なお、線形駆動範囲外では、光源からのビームの照射を停止するか、ビームを遮光するものであり、これにより均一照射が可能になる。なお、ガルバノミラーを用いて孔開け加工を行う方法として、下記特許文献１に記載の方法がある。
【特許文献１】特開２００１−１０５１６７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のようにガルバノミラーを用いた偏光光学系では、サーボ制御によって線形運動範囲を広げ、均一照射が可能になるが、露光ビームスポットの大きさや光学距離が設計値に一致することは殆どないため、所望の露光具合を実現するためには、走査線速度の微調整が必要となる。すなわち、均一照射を実現するためには走査線速度が可変であることが必須となる。また、単一露光対象内または複数露光対象間で露光具合を変えるような加工を行う場合でも、ガルバノミラーによる露光スポット移動の走査線速度は可変であることが望ましい。汎用プリント基板の孔開け加工に於いても位置精度向上のためには、走査線速度の微調整が可能であることが必須となる。
【０００７】
走査線速度を変える際に、まず考えられるのが、ガルバノミラーの駆動周波数を変えるという方法である。例えば、ｆθレンズを用いていて、ｆθレンズから露光対象までの距離が１００ｍｍで、ガルバノミラーが、振幅角０．３ｒａｄ、駆動周波数５０Ｈｚの三角波駆動をしている場合、露光ビームスポットの駆動振幅は３０ｍｍ、走査線速度は３，０００ｍｍ／ｓであり、これを倍の６，０００ｍｍ／ｓにしたい場合には、ガルバノミラーが振幅角０．３ｒａｄ、周波数１００Ｈｚの三角波駆動をするように、ガルバノ駆動信号波形を変えればよい。
【０００８】
しかしながら、ガルバノミラーは駆動の際に上記のようにサーボ機構による制御がなされており、最適なサーボ調整は駆動周波数ごとに変わるという性質があるために、駆動周波数を変化させてしまうと、再び図６のようなリンギング９のある走査をしてしまうという問題があった。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、サーボ制御によるガルバノミラーの広い範囲の線形駆動を維持したまま、走査線速度の微調整または粗調整を行うことができる露光装置および露光方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による第１の露光装置は、光源から射出されたビームをガルバノミラーにより偏向し、被露光物に対して所定の走査線速度で走査を行うものであり、以下の構成要素（Ａ）〜（Ｆ）を備えることにより、ガルバノミラーの駆動周波数を変化させることなく、サーボ制御によるガルバノミラーの線形駆動を維持したまま、走査線速度の微調整を可能としたものである。
（Ａ）所望の走査線速度を入力するための走査線速度入力部
（Ｂ）ガルバノミラーを駆動するための特定の駆動周波数が格納された駆動周波数記憶部
（Ｃ）走査線速度入力部を通じて入力された設定走査線速度と駆動周波数記憶部に格納された駆動周波数とから、必要な駆動電圧の振幅を算出する振幅算出部
（Ｄ）振幅算出部により得られた振幅および前記駆動周波数を基にして駆動電圧の波形を決定する駆動波形生成部
（Ｅ）駆動波形生成部により決定された波形の駆動電圧によって前記ガルバノミラーを駆動する駆動回路
（Ｆ）特定のサーボパラメータにより、駆動回路により駆動されるガルバノミラーのサーボ制御を行う制御部
【００１１】
この第１の露光装置では、サーボ制御がなされたガルバノミラーによって、被露光物に対して、所定の線速度でビーム走査が行われるが、走査線速度入力部を通じて走査線速度（設定走査線速度）の変更がなされると、振幅算出部において、走査線速度入力部を通じて入力された設定走査線速度と駆動周波数記憶部に格納された駆動周波数とから、必要な駆動電圧の振幅が算出される。駆動波形生成部では、この振幅算出部により得られた振幅および前記駆動周波数を基にして駆動電圧の波形を決定し、駆動回路では、この振幅が変更された駆動電圧によってガルバノミラーを駆動する。これにより、サーボ制御による線形駆動を維持したまま、走査線速度の微調整が可能になる。
【００１２】
また、本発明の第２の露光装置は、同じく、光源から射出されたビームをガルバノミラーにより偏向し、被露光物に対して所定の走査線速度でビームの走査を行うものであり、以下の構成要素（Ａ）〜（Ｆ）を備えることにより、サーボ制御によるガルバノミラーの線形駆動を維持したまま、走査線速度の粗調整を可能としたものである。
（Ａ）所望の走査線速度を入力するための走査線速度入力部
（Ｂ）ガルバノミラーを駆動するための複数の駆動周波数が格納された駆動周波数記憶部
（Ｃ）走査線速度入力部を通じて入力された設定走査線速度に応じて、駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数のうち１の駆動周波数を選択すると共に、必要な駆動電圧の振幅を算出する振幅算出部
（Ｄ）振幅算出部により得られた振幅および選択された駆動周波数を基にして駆動電圧の波形を決定する駆動波形生成部
（Ｅ）駆動波形生成部により決定された波形の駆動電圧によってガルバノミラーを駆動する駆動回路
（Ｆ）駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数それぞれに対応した複数の最適サーボパラメータを格納したサーボパラメータ記憶部を含み、振幅算出部で選択された駆動周波数に応じた最適サーボパラメータにより、駆動回路により駆動されるガルバノミラーのサーボ制御を行う制御部
【００１３】
この第２の露光装置では、走査線速度入力部を通じて走査線速度（設定走査線速度）の変更がなされると、振幅算出部において、走査線速度入力部を通じて入力された設定走査線速度に応じて、駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数のうち１の駆動周波数が選択され、また必要な駆動電圧の振幅が算出される。駆動波形生成部ではこの振幅算出部により得られた振幅および選択された駆動周波数を基にして駆動電圧の波形を決定し、駆動回路ではこの振幅が変更された駆動電圧によってガルバノミラーを駆動する。一方、制御部では、サーボパラメータ記憶部に格納された複数の最適サーボパラメータのうちから、振幅算出部で選択された駆動周波数に応じた最適サーボパラメータを選択し、このパラメータによりガルバノミラーのサーボ制御が行われる。これにより、駆動電圧の振幅だけでなく、駆動周波数が変更された場合においても、最適なサーボ制御が行われ、線形駆動を維持したままで、走査線速度の広範囲な変更（粗調整）が可能になる。
【００１４】
本発明による第１の露光方法は、光源から射出されたビームをガルバノミラーにより偏向し、被露光物に対して所定の走査線速度で走査を行う方法において、ガルバノミラーのサーボ制御を行うと共に、走査線速度を入力するための走査線速度入力部を備え、走査線速度入力部に所望の走査線速度が入力されたとき、ガルバノミラーの駆動電圧の周波数を一定に保持しつつ、その振幅を入力された設定走査線速度に応じて変化させるものである。
【００１５】
また、本発明による第２の露光方法は、ガルバノミラーのサーボ制御を行うと共に、走査線速度を入力するための走査線速度入力部、ガルバノミラーを駆動するための複数の駆動周波数が格納された駆動周波数記憶部、駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数それぞれに対応した複数の最適サーボパラメータを格納したサーボパラメータ記憶部を備え、走査線速度入力部を通じて入力された設定走査線速度に応じて、駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数のうち１の駆動周波数を選択すると共に駆動電圧の振幅を変化させ、これら周波数および振幅が変更された駆動電圧によりガルバノミラーを駆動すると共に、サーボパラメータ記憶部から、選択された駆動周波数に応じて最適サーボパラメータを選択し、この選択されたサーボパラメータによりガルバノミラーのサーボ制御を行うものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る第１の露光装置または第１の露光方法によれば、走査線速度入力部を通じて所望の走査線速度が入力されると、ガルバノミラーの駆動電圧の周波数を一定に保持しつつ、その振幅を入力された設定走査線速度に応じて変化させるようにしたので、サーボ制御によるガルバノミラーの線形駆動を維持したままで、走査線速度の微調整が可能になる。
【００１７】
また、本発明に係る第２の露光装置または第２の露光方法によれば、走査線速度入力部を通じて入力された設定走査線速度に応じて、駆動周波数記憶部に格納された複数の駆動周波数のうち１の駆動周波数を選択すると共に駆動電圧の振幅を変化させ、これら周波数および振幅が変更された駆動電圧によりガルバノミラーを駆動すると共に、サーボパラメータ記憶部から、選択された駆動周波数に応じて最適サーボパラメータを選択し、この選択された最適サーボパラメータによりガルバノミラーのサーボ制御を行うようにしたので、サーボ制御によるガルバノミラーの線形駆動を維持したままで、走査線速度の粗調整が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１９】
図１は本発明の一実施の形態に係る露光装置の概略構成を表すものである。ここでは、この露光装置を、プリント基板の孔あけ加工装置に適用した例について説明する。この加工装置では、光源としてのパルスレーザ１１からレーザ光１１ａが射出され、このレーザ１１ａ光は、照射光強度調整部１２により強度の調節、また、光整形部１３により光整形がなされたのち、ガルバノミラー１４で反射し偏向される。偏向されたレーザ光１１ａはｆθレンズ１５により集光され、ステージ１６上のプリント基板１７に照射される。このプリント基板１７に照射されたレーザ光１１ａによってプリント基板１７にアブレーションや溶融が生じ、貫通孔（via hole）が形成される。ガルバノミラー１４の偏向角とパルスレーザ１１の発振は同期が取れるようになっている。パルスレーザ１１は、後述のようにガルバノミラー１４の線形運動範囲外においては駆動が停止され、これによりプリント基板への均一照射が行われるようになっている。なお、パルスレーザ１１の射出側にシャッタを設け、このシャッタによりガルバノミラー１４の線形運動範囲外においてビームを遮光するようにしてもよい。
【００２０】
図２はこのガルバノミラー１４の駆動部１８のブロック構成を表したものである。駆動部１８は、所望の走査線速度を入力するための走査線速度入力部１０１、ガルバノミラー１４を駆動するための電圧の周波数（駆動周波数）が格納された駆動周波数記憶部１０２を備えると共に、走査線速度入力部１０１を通じて入力された設定走査線速度と駆動周波数記憶部１０２から得た駆動周波数とから、必要な駆動電圧の振幅（以下，駆動振幅という）を算出する振幅算出部１０３と、この振幅算出部１０３により得られた駆動振幅を基にして駆動波形を決定する駆動波形生成部１０４、この駆動波形生成部１０４により決定された駆動電圧によってガルバノミラー１４を駆動するための駆動回路１０５を備えている。駆動回路１０５には駆動モータが含まれ、そのモータ軸はガルバノミラー１４に対して同一平面をなすように取り付けられている。
【００２１】
ガルバノミラー１４の近傍にはロータリエンコーダにより構成された回転位置検出部１０６が設けられており、この回転位置検出部１０６によりガルバノミラー１４の回転位置が検出され、回転位置検出信号として出力されるようになっている。回転位置検出部１０６から出力された回転位置検出信号は、差分検出部１０７において、基準位置との差分が検出され、この差分は増幅部１０８において増幅されたのち制御信号出力部１０９に入力される。そして、この制御信号出力部１０９から駆動回路１０５に対して制御信号（サーボ信号）が送られることによって、ガルバノミラー１４が一定の走査線速度で駆動されるようになっている。以上の回転位置検出部１０６，差分検出部１０７，増幅部１０８および制御信号出力部１０９により、制御部（サーボ制御部）１９が構成されている。なお、本実施の形態では、この制御部１９で適用されるサーボパラメータ（すなわち、ゲイン）は１種類であり、後述の第２の実施の形態のそれとは数が異なっている。
【００２２】
次に、この露光装置の作用について説明する。
【００２３】
前述のように、ガルバノミラーを用いた偏光光学系では、サーボ制御によって線形運動範囲が広がり均一照射が可能（図７参照）になるが、露光ビームスポットの大きさや光学距離が設計値に一致しない場合があるため、所望の露光具合を実現するために、走査線速度の微調整が必要になる。このような場合、本実施の形態では、走査線速度入力部１０１を通じて照射光（レーザ光）に対する所望の走査線速度（設定走査線速度）が入力されると、振幅算出部１０３では、設定走査線速度を実現するために、駆動周波数記憶部１０２から得た駆動周波数を基にして駆動振幅を算出する。この駆動振幅は、駆動波形生成部１０４に伝達される。そして、駆動波形生成部１０４では駆動周波数と振幅を反映した波形を生成し、その波形の電圧を駆動回路１０５に送る。これにより駆動回路１０５は駆動波形生成部１０４が生成した波形の電圧に即した動きでガルバノミラー１４を駆動させる。
【００２４】
一方、このガルバノミラー１４の駆動状態は回転位置検出部１０６により検出され、差分検出部１０７において回転位置検出部１０６から出力された回転位置検出信号と基準位置との差分が検出される。この差分は増幅部１０８において増幅されたのち制御信号出力部１０９に入力され、この制御信号出力部１０９からガルバノミラー駆動回路１０５に対して制御信号（サーボ信号）が送られ、その結果入力された設定走査線速度でガルバノミラー１４が駆動される。これにより、所望の走査線速度でプリント基板１７（図１）の孔あけ加工が行われる。
【００２５】
以下、上述の内容をより具体的に説明する。ガルバノミラー１４の中心からｆθレンズ１５までの光学的距離が５０ｍｍ、ｆθレンズ１５の焦点距離が２００ｍｍ、ｆθレンズ１５の有効径が１７ｍｍである。この場合ガルバノミラー１４の有効振幅角は余裕を見て０．３２ｒａｄとするのが妥当である。ガルバノミラー１４がこの範囲を超えると、パルスレーザ１１の発振が停止するように設計される。ｆθレンズ１５の焦点面からプリント基板１７までの光学的距離は光学調整によってｆθレンズ１５の焦点距離と一致させてある。また、ガルバノミラー１４を安定して駆動することが可能な周波数は２００Ｈｚである。
【００２６】
予め２００Ｈｚの三角波駆動に対して最適なサーボ調整を行っておいたガルバノミラー１４が三角波駆動をし、照射ビームスポットが所望範囲を１回または複数回走査して加工を終えると、パルスレーザ１１のシャッタが閉じて、次の加工領域を露光できる位置にステージ１６が移動する。パルスレーザ１１のパルス繰り返し周波数が２０ｋＨｚである場合に、プリント基板１７に開ける貫通孔の間隔を１ｍｍとするためには、照射ビームスポットの走査線速度は２０ｍ／ｓでなくてはならない。ガルバノミラー１４の駆動周波数を２００Ｈｚに固定した場合には、２０ｍ／ｓの走査線速度を実現するための走査振幅は５０ｍｍになる。このときのガルバノミラー１４の駆動振幅角は０．２５ｒａｄと決定される。
【００２７】
振幅算出部１０３はこのような計算を行い、ガルバノミラー１４の駆動振幅角を０．５ｒａｄとするための駆動振幅を駆動波形生成部１０４に伝達する。駆動波形生成部１０４では、伝達された振幅の電圧により２００Ｈｚの三角波を生成し、これを駆動回路１０５に送り、ガルバノミラー１４を駆動させる。加工予定箇所のデータとステージ１６の座標から、パルスレーザ１１がパルス発振を開始、または停止するべきガルバノミラー１４の偏向角が算出され、ロータリエンコーダの値に応じてパルスレーザ１１のパルス発振の開始または停止を制御する。このような構成でのビームの位置合わせ精度は数ｕｍの範囲に収まる。
【００２８】
ここで、ｆθレンズの焦点距離が実際には２０２ｍｍであった場合には、ｆθレンズ１５からプリント基板１７までの光学的距離も２０２ｍｍに調整されるので、加工位置に１％の誤差が生じてしまい、プリント基板１７上でのビームの位置合わせ精度が０．５ｍｍと大きく悪化してしまう。従って、このような場合にはビームの走査線速度を微調整する必要がある。本実施の形態では、この所望走査線速度を微小範囲で変化させることによって、ビームの位置合わせ精度を向上させることができる。上記の例の場合には、所望走査線速度が実際の走査線速度と１％ずれているため、走査線速度入力部１０１に新たな走査線速度として１９．８０２ｍ／ｓを入力すればよい。このとき、走査線速度は１９. ８０２ｍ／ｓではなく２０. ０ｍ／ｓになることに注意されたい。
【００２９】
その他、一般的には装置条件を振る必要も生じる。例えば，プリント基板１７に形成する貫通穴の間隔を０．９ｍｍにしたいとき、上記のような誤差がない場合には、走査線速度入力部１０１に新たな走査線速度として１８ｍ／ｓを与えることで、走査振幅が４５ｍｍとなり、０．９ｍｍ間隔の露光が行われる。
【００３０】
以上のように本実施の形態では、走査線速度入力部１０１を通じて所望の走査線速度が入力されると、ガルバノミラー１４の駆動周波数は一定に保持したまま、駆動振幅を、入力された設定走査線速度に応じて変化させるようにしたので、サーボ制御によるガルバノミラー１４の線形駆動（すなわち、リンギングのない走査）を維持したままで、走査線速度の制御が可能になり、走査線速度を微調整することができる。なお、前述の説明（図７）からも明らかなように、非線形で走査する時間は一定であるため、問題なく線形走査を実現することができる。
【００３１】
以下、本発明の他の実施の形態について説明する。なお、第１の実施の形態と同一構成部分については同一符号を付して、その説明は省略する。
【００３２】
〔第２の実施の形態）                                                              図３は本発明の第２の実施の形態に係る露光装置の駆動部２１の構成を表したものである。第１の実施の形態では走査線速度の微調整は可能であるが、走査線速度を大きく変更（粗調整）したいときには、上記構成のみでは現実的な処理速度を実現する駆動振幅が得られない場合がある。本実施の形態は、駆動振幅を変更するだけでなく駆動周波数も変更することとして、走査線速度の粗調整を容易に行うことができるようにしたものである。なお、全体の概略構成については第１の実施の形態（図１）と同じであり、以下、異なる部分について説明する。
【００３３】
例えば、ガルバノミラー１４からｆθレンズ１５までの光学的距離が５０ｍｍでｆθレンズ１５の焦点距離が２００ｍｍ、ｆθレンズ１５の有効径が１７ｍｍ、ｆθレンズの焦点面から露光対象のプリント基板１７までの光学的距離が２００ｍｍでガルバノミラー１４が駆動振幅角０．２ｒａｄ、駆動周波数２００Ｈｚの三角波駆動をしている場合、露光ビームスポットの走査振幅は４０ｍｍで、走査線速度は１６. ０ｍ／ｓとなる。この走査線速度を０. ８ｍ／ｓとしたい場合に、第１の実施の形態のように駆動振幅の制御のみで行おうとすると、露光ビームスポットの駆動振幅は２ｍｍになり、生産性の観点から非常に問題がある。このような場合には、サーボパラメータの具体的数値を確定させたガルバノミラー駆動周波数を数種類用意し、そのなかから所望走査線速度に対して現実的な駆動振幅を与える駆動周波数を選択する方法が有効である。
【００３４】
このようなことから、本実施の形態では、第１の実施の形態（図２）と以下の点で異なる構成を有している。すなわち、駆動周波数記憶部１０２に複数、例えば７種類の駆動周波数ｆ1 ，ｆ2 ，…，ｆ7 が格納されると共に、制御部２１にサーボパラメータ記憶部１１１が追加され、このサーボパラメータ記憶部１１１に、駆動周波数ｆ1 ，ｆ2 ，…，ｆ7 に対応して７種類の最適サーボパラメータ（ゲイン）ｐ1 ，ｐ2 ，…，ｐ7 が格納されている。また、第１の実施の形態の振幅算出部１０３の代わりに振幅算出部１１２が設けられ、この振幅算出部１１２においては、走査線速度入力部１０１を通じて入力された設定走査線速度に応じて、駆動周波数記憶部１１０に格納された複数の駆動周波数ｆ1 〜ｆ7 のうち特定の駆動周波数を選択し、かつ、選択された駆動周波数に応じて必要な駆動振幅を算出するようになっている。
【００３５】
すなわち、この露光装置では、走査線速度入力部１０１を通じて走査線速度（設定走査線速度）の変更がなされると、振幅算出部１１２において、走査線速度入力部１０１を通じて入力された設定走査線速度に応じて、駆動周波数記憶部１１０に格納された複数の駆動周波数のうち１の駆動周波数が選択され、また必要な駆動電圧の振幅を算出し駆動波形生成部１０４に送る。このとき振幅算出部１１２では、駆動周波数の基準値で計算した走査振幅と、設定された最小走査振幅とを比較し、計算された走査振幅が最小走査振幅を下回る場合には、駆動周波数記憶部１１０に格納された駆動周波数ｆ1 〜ｆ7 のうち、走査振幅が最小走査振幅を下回らないような周波数の中で最も大きな駆動周波数を選択し、駆動波形生成部１０４とサーボパラメータ記憶部１１１に送る。
【００３６】
駆動波形生成部１０４では、この振幅算出部１１２により得られた振幅および周波数を基にして駆動電圧の波形を決定する。そして、駆動回路１０５では、この振幅と共に周波数が変更された駆動電圧によってガルバノミラー１４を駆動する。一方、制御部２１では、サーボパラメータ記憶部１１１に格納された複数の最適サーボパラメータｐ1 〜ｐ7 のうちから、振幅算出部１１２で選択された駆動周波数に応じた最適サーボパラメータを選択し、このパラメータによりガルバノミラー１４のサーボ制御を行う。これにより、駆動振幅だけでなく、駆動周波数が変更された場合においても、最適なサーボ制御が行われ、線形駆動を維持したままで、走査線速度を広範囲に変更（粗調整）することが可能になる。よって、走査線速度を大きく変更した場合にも現実的な処理速度を維持することができる。
【００３７】
本実施の形態では、第１の実施の形態のように設定走査線速度に応じて駆動振幅を変更することに加え、駆動周波数も変更し、それに併せて最適サーボパラメータも変更するようにしたので、粗調整が可能であり、装置条件を大きく振るような場合にも対応することができる。
【００３８】
具体的には、貫通孔の間隔を５０μｍに変更する場合には、その走査線速度は１．０ｍ／ｓとなる。この場合、駆動周波数を２００Ｈｚに維持したままでは走査振幅が２．５ｍｍとなり、この幅で順次ステージ１６を移動させてプリント基板１７の全面を加工すると、ステージ１６の移動回数が非常に多くなり、静定時間が無視できなくなってくる。そこで、予め１０Ｈｚ，２０Ｈｚ，５０Ｈｚ，７５Ｈｚ，１００Ｈｚ，１５０Ｈｚ，２００Ｈｚといった複数のガルバノミラー駆動周波数に適したサーボパラメータを予め取得しておき、サーボパラメータ記憶部１１１に格納しておく。同時に、複数の駆動周波数の一覧を駆動周波数記憶部１１０に格納しておく。そして、この装置で許される最小走査振幅を２０ｍｍと決めた場合、振幅算出部１１２は上記走査振幅２．５ｍｍが最小走査振幅より小さいと判断して周波数を１５０Ｈｚ，１００Ｈｚ，…とした場合の走査振幅を計算していき、２０Ｈｚにたどり着いたところで走査振幅が２５ｍｍで最小走査振幅を下回らなくなるため、２０Ｈｚで駆動させると決定する。同時に、ガルバノミラー１４の駆動振幅角を０．１ｒａｄと決定する。よって、駆動波形生成部１０４はこれら駆動振幅と駆動周波数とをもとに駆動信号波形を生成する。一方、制御部２１では、選択された駆動周波数に対応したサーボパラメータをサーボパラメータ記憶部１１１から選択し、この最適パラメータにより駆動回路１０５を駆動させる。このような方法により駆動周波数の変化を最小限に抑え、リンギングの無い走査を実現することが可能になる。
【００３９】
以上実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく種々変形可能である。例えば、第２の実施の形態において、駆動周波数記憶部１１０およびサーボパラメータ記憶部１１１にそれぞれ格納する駆動周波数，サーボパラメータの数や値は上記と異なる数，値でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る露光装置の概略構成を表す図である。
【図２】図１の露光装置の駆動部の構成を表すブロック図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る露光装置の駆動部の構成を表すブロック図である。
【図４】ガルバノミラーによってビームが偏向する様子を表す図である。
【図５】ポリゴンミラーによってビームが偏向する様子を表す図である。
【図６】サーボ調整が適性でない場合にガルバノミラーを三角波駆動させた様子を表す図である。
【図７】サーボ調整が適性である場合にガルバノミラーを三角波駆動させた様子を表す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１１…パルスレーザ、１２…照射強度調整部、１３…光整形部，１４…ガルバノミラー、１５…ｆθレンズ、１６…ステージ、１７…プリント基板、１８，２０…駆動部、１９，２１…制御部、１０１…走査線速度入力部、１０２，１１０…駆動周波数記憶部，１０３，１１２…振幅算出部、１０４…駆動波形生成部、１０５…駆動回路、１０６…回転位置検出部，１０７…差分検出部、１０８…増幅部、１０９…制御信号出力部、１１１…サーボパラメータ記憶部  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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