(57)【要約】  【課題】  垂直磁気記録媒体に対して容易にかつ良好な磁気転写を行う。  【解決手段】  所定の面積の端面6aを有する主磁極6と、主磁極6の端面6aよりも十分大きい面積の端面7aを有する補助磁極7と、補助磁極7に巻かれたコイル8と、主磁極6および補助磁極7を連結する連結磁性部材9とからなる磁界発生手段5を用い、非磁性基板31の表面に所望の転写パターンに応じた互いに孤立した磁性要素32からなる磁性層パターンが形成されてなるパターンドマスター担体3と垂直磁気記録層22を有する記録媒体2を、マスター担体3の磁性層パターン側の面と記録媒体2の垂直磁気記録層22側の面とを密着させた状態で、マスター担体3が主磁極6および補助磁極7側となるように配置し、コイル8に電流を流し、該コイル8に電流が流れることによって主磁極6近傍に生じる垂直磁界Ｈdu1により磁性層パターンによって表される転写パターンを垂直磁気記録層22に垂直磁化パターンとして転写する。【選択図】          図２
2006172580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の面積の端面を有する主磁極と、前記所定の面積よりも十分大きい面積の端面を有し、磁界発生用の電流が流されるコイルが巻かれ、かつ磁性部材により前記主磁極と連結されている補助磁極とを用い、
非磁性基板の表面に所望の転写パターンに応じた互いに独立した磁性要素からなる磁性層パターンが形成されてなるパターンドマスター担体と垂直磁気記録層を有する記録媒体とを、前記磁性層パターンを有する面と前記垂直磁気記録層を有する面とを密着させ、前記主磁極の端面と前記補助磁極の端面とを前記パターンドマスター担体の非磁性基板の裏面に対向させて配置し、前記コイルに電流を流し、該コイルに電流が流れることによって前記主磁極の近傍に生じる磁界により、前記磁性層パターンによって表される前記転写パターンを前記垂直磁気記録層に垂直磁化パターンとして転写することを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
非磁性基板の表面に所望の転写パターンに応じた互いに独立した磁性要素からなる磁性層パターンが形成されてなるパターンドマスター担体を用いて、記録媒体に設けられている垂直磁気記録層に前記磁性層パターンによって表されている前記転写パターンを垂直磁化パターンとして転写する磁気転写装置であって、
所定の面積の端面を有する主磁極と、
前記所定の面積よりも十分大きい面積の端面を有する補助磁極と、
該補助磁極に巻かれた、磁界発生用の電流が流されるコイルと、
前記主磁極と前記補助磁極とをそれぞれの端面以外の部分で連結する連結磁性部材とからなり、
前記主磁極の端面および前記補助磁極の端面が、前記パターンドマスター担体の非磁性基板の裏面に対向させるとともに、該裏面の延びる方向に所定距離離間させて配置される磁界発生手段を備えてなることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項３】
前記所定の面積の端面のトラック方向最大長が、前記パターンドマスター担体の前記転写パターンのうちの最大ビット長よりも大きいものであることを特徴とする請求項２記載の磁気転写装置。
【請求項４】
請求項１の磁気転写方法により垂直磁気記録層に垂直磁化パターンが転写されてなることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所望の転写パターンを表面に有するパターンドマスター担体から磁性層を有する記録媒体に対して転写パターンに応じた磁化パターンを磁気的に転写する磁気転写方法および装置に関し、特に、磁性層として垂直磁気記録層を有する記録媒体への磁気転写方法および装置並びに垂直磁気記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体においては一般に、情報量の増加に伴い、多くの情報を記録する大容量で、安価で、かつ、好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せる、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれている。それらの一例としてハードディスク装置やフレキシブルディスク装置に用いられる高密度磁気記録媒体（磁気ディスク媒体）が知られ、その大容量化を実現するためには、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドが走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を再生する、いわゆるトラッキングサーボ技術が大きな役割を担っている。このトラッキングサーボを行うために、ディスク中に、ある間隔でトラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が、いわゆるプリフォーマットとして記録されている。
【０００３】
このプリフォーマットを正確にかつ効率よく行う方法として、マスター担体が担持するサーボ信号等の情報を磁気記録媒体へ磁気的に転写する磁気転写方法が特許文献１および２等に開示されている。
【０００４】
この磁気転写は、磁気ディスク媒体等の磁気記録媒体（スレーブ媒体）に転写すべき情報に対応する凹凸パターンを有するマスター担体とスレーブ媒体を密着させた状態で転写用磁界を印加することにより、マスター担体の凹凸パターンが担持する情報（例えばサーボ信号）に対応する磁気パターンをスレーブ媒体に転写するもので、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している。
【０００５】
ところで、磁気記録媒体としては、その磁性層の面内方向に磁化容易軸を有する面内磁気記録媒体、および、磁性層に垂直な方向に磁化容易軸を有する垂直磁気記録媒体が考えられるが、従来、一般に面内磁気記録媒体が用いられており、上述の許文献１および２等においても面内磁気記録媒体を対象とする磁気転写を主眼として記載されている。一方、垂直磁気記録媒体を用いれば、面内磁気記録媒体と比較してさらなる大容量化が期待される。
【０００６】
垂直磁気記録媒体への磁気転写は面内磁気記録媒体への磁気転写とは異なる磁界印加手段および条件が必要と考えられる。そしてこの垂直磁気記録媒体へ磁気転写を行うための装置および方法についても特許文献３〜５等において提案されている。
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献２】特開平１０−２６９５６６号公報
【特許文献３】特開２００２−８３４２１号公報
【特許文献４】特開２００２−３４２９２３号公報
【特許文献５】特開２００３−４５０２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献３〜５には、垂直磁気記録媒体へ磁気転写を行うための、垂直磁界印加装置および方法等について記載されているが、さらに、垂直磁気記録媒体への転写をより信号品位良く、より簡便に行うための磁気転写方法および装置の開発が望まれている。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑み、垂直磁気記録媒体に対して容易にかつ良好な磁気転写を行うための磁気転写方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の磁気転写方法は、所定の面積の端面を有する主磁極と、前記所定の面積よりも十分大きい面積の端面を有し、磁界発生用の電流が流されるコイルが巻かれ、かつ磁性部材により前記主磁極と連結されている補助磁極とを用い、
非磁性基板の表面に所望の転写パターンに応じた互いに独立した磁性要素からなる磁性層パターンが形成されてなるパターンドマスター担体と垂直磁気記録層を有する記録媒体とを、前記磁性層パターンを有する面と前記垂直磁気記録層を有する面とを密着させ、前記主磁極の端面と前記補助磁極の端面とを前記パターンドマスター担体の非磁性基板の裏面に対向させて配置し、前記コイルに電流を流し、該コイルに電流が流れることによって前記主磁極の近傍に生じる磁界により、前記磁性層パターンによって表される前記転写パターンを前記垂直磁気記録層に垂直磁化パターンとして転写することを特徴とする。
【００１０】
本発明の磁気転写装置は、非磁性基板の表面に所望の転写パターンに応じた互いに独立した磁性要素からなる磁性層パターンが形成されてなるパターンドマスター担体を用いて、記録媒体に設けられている垂直磁気記録層に前記磁性層パターンによって表されている前記転写パターンを磁化パターンとして転写する磁気転写装置であって、
所定の面積の端面を有する主磁極と、
前記所定の面積よりも十分大きい面積の端面を有する補助磁極と、
該補助磁極に巻かれた、磁界発生用の電流が流されるコイルと、
前記主磁極と前記補助磁極とをそれぞれの端面以外の部分で連結する連結磁性部材とからなり、
前記主磁極の端面および前記補助磁極の端面が、前記パターンドマスター担体の非磁性基板の裏面に対向させるとともに、該裏面の延びる方向に所定距離離間させて配置される磁界発生手段を備えてなることを特徴とするものである。
【００１１】
なお、所定の面積の端面のトラック方向最大長が、パターンドマスター担体の転写パターンのうちの最大ビット長よりも大きいものであることが望ましい。
【００１２】
ここで「密着」とは、必ずしも両者が完全に密着した状態のみならず、一様な間隔で近接して配された状態をも含むものである。
【００１３】
「トラック方向」とは現実にパターンドマスター担体から記録媒体への磁気転写を行う場合において、転写パターンのビットの並び方向と一致する方向を意味するものである。
【００１４】
また、「非磁性基板の表面に所望の転写パターンに応じた互いに孤立した磁性要素からなる磁性層パターンが形成されてなるパターンドマスター担体」としては、凹凸パターンを表面に有する非磁性体からなる基板と該凹凸の凹部のみに埋め込まれた磁性要素とからなるもの、凹凸パターンを表面に有する非磁性体からなる基板と該凹凸の凸部上面のみに設けられた磁性要素とからなるもの、非磁性体からなる平板基板と該基板上にパターン上に配された磁性要素とからなるもの等が挙げられる。なお、パターンドマスター担体は、表面に保護層、潤滑剤層等が積層されていてもよい。
【００１５】
なお、「所定の面積よりも十分大きい面積」とは、所定の面積１に対して２以上さらに好ましくは１０以上である面積を意味するものである。
【００１６】
本発明の垂直磁気記録媒体は、本発明の磁気転写方法により垂直磁気記録層に垂直磁化パターンが転写されてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の磁気転写方法は、所定の面積の端面を有する主磁極と、所定の面積よりも十分大きい面積の端面を有し、磁界発生用の電流が流されるコイルが巻かれ、かつ磁性部材により前記主磁極と連結されている補助磁極とを用いているので、主磁極と補助磁極との間に磁界を発生させた場合に主磁極近傍に磁束が集中することにより生じる強い垂直磁界を転写磁界として効率的に利用することができ、非磁性基板の表面に所望の転写パターンに応じた互いに孤立した磁性要素からなる磁性層パターンが形成されてなるパターンドマスター担体の転写パターンを記録媒体の垂直磁気記録層に垂直磁化パターンとして良好に転写することができる。なお、パターンドマスター担体として非磁性基板と、該基板上に設けられた互いに独立した磁性要素からなる磁性層パターンとからなるものを使用したことにより、パターンドマスター担体の各磁性要素とそれに面する記録媒体の磁気記録層の部分に、補助磁極から主磁極へ向かう磁束が効率よく進入し、主磁極近傍において良好な転写磁界（垂直磁界）を生じさせることができる。
【００１８】
本発明の磁気転写装置は、非磁性基板の表面に所望の転写パターンに応じた互いに独立した磁性要素からなる磁性層パターンが形成されてなるパターンドマスター担体を用いて、記録媒体に設けられている垂直磁気記録層に磁性層パターンによって表されている転写パターンを垂直磁化パターンとして転写する磁気転写装置であって、所定の面積の端面を有する主磁極と、所定の面積よりも十分大きい面積の端面を有する補助磁極と、該補助磁極に巻かれた、磁界発生用の電流が流されるコイルと、主磁極と補助磁極とをそれぞれの端面以外の部分で連結する連結磁性部材とからなり、主磁極の端面および補助磁極の端面が、パターンドマスター担体の非磁性基板の裏面に対向させるとともに、該裏面の延びる方向に所定距離離間させて配置される磁界発生手段を備えているので、主磁極近傍に強い垂直磁界を発生させることができ、パターンドマスター担体の転写パターンを記録媒体の垂直磁気記録層に磁化パターンとして良好に転写することができる。
【００１９】
特に、主磁極の所定の面積の端面のトラック方向最大長を、パターンドマスター担体の転写パターンのうちの最大ビット長よりも大きいものとすることにより、転写品質を向上させることができる。
【００２０】
本発明の垂直磁気記録媒体は、本発明磁気転写方法によって垂直磁化パターンが高品質に転写されてなる垂直磁気記録層を有することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の第一の実施形態にかかる磁気転写方法および磁気転写装置の磁界発生手段の要部斜視図であり、図２は図１のII−II線断面の一部拡大図である。
【００２２】
図１に示す磁界発生手段５は、非磁性基板の表面に所望の転写パターンに応じた互いに独立した磁性要素からなる磁性層パターンが形成されてなるパターンドマスター担体を用いて、磁性層パターンによって表されている転写パターンを記録媒体に設けられている垂直磁気記録層に磁化パターンとして転写する磁気転写装置に備えられるものであり、所定の面積の端面６ａを有する主磁極６と、主磁極６の端面６ａよりも十分大きい面積の端面７ａを有する補助磁極７と、補助磁極７に巻かれたコイル８と、主磁極６と補助磁極７とをそれらの端面６ａ、７ａ以外の部分で連結する磁性体からなる連結磁性部材９とからなる。なお、この主磁極６、補助磁極７および連結磁性部材９は連続的な１つの部材から構成されていてもよいし、それぞれを接続して構成されていてもよい。主磁極６および補助磁極７は、少なくとも記録媒体２の最小半径トラックから最大半径トラックに亘る幅を有し、それぞれの端面６ａおよび７ａがパターンドマスター担体の基板の裏面に対向するように、かつ両端面６ａおよび７ａを該裏面の延びる方向に所定距離離間させて配置されている。なお、磁気転写装置は、主磁極６および補助磁極７の端面に対向して配置される、互いに密着された円盤状の記録媒体２と円盤状のパターンドマスター担体３を矢印Ａ方向に回転させる図示しない回転手段を備えている。
【００２３】
なお、記録媒体２とマスター担体３は、磁気記録面および情報担持面が密着された状態で、マスター担体３が両磁極６および７側となるように配置される。
【００２４】
本実施形態のパターンドマスター担体３は、円盤状に形成されており、その表面にスレーブ媒体である記録媒体に転写すべき情報に応じた磁性層パターンを転写パターンとして有するものである。このマスター担体３は、非磁性の基板31と、該基板31上に凸パターンに形成された磁性要素32とを備えてなる。マスター担体３は、部分的に磁性層を有するものが好ましく、例えば、基板31の凹凸の全面に磁性層があるものよりは凸部のみに磁性層があるものが好ましい。また、基板31の表面凹凸パターンの凹部に磁性要素32を埋め込み、表面を平坦としたものでもよい。マスター担体３の転写パターンを担持する情報担持面を、記録媒体２の磁気記録層と密着させて磁界を印加することにより、マスター担体３が担持する転写パターンに応じた磁化パターンを磁気記録層に転写するものである。
【００２５】
また、本実施形態のスレーブ媒体である記録媒体２は、両面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体であり、特に、磁気記録層の磁化容易方向が記録面に対して垂直な方向に形成されている垂直磁気記録媒体である。この記録媒体２は、円盤状の基板21の両面にそれぞれ垂直磁気記録層22、23が形成された両面記録可能な垂直磁気記録媒体である。なお、記録媒体２の垂直磁気記録層22、23と基板21との間には、磁化を安定させるために軟磁性層24、25が配されている。
【００２６】
図１に示す磁界発生手段５においては、コイル８に電流を流すことによって、補助磁極７と主磁極６との間に磁界が生じる。図２に示すように、補助磁極７の端面７ａから出た磁束10はマスター担体３の磁性要素32および記録媒体２の垂直磁気記録層22および軟磁性層24を通過して主磁極６の端面６ａに収束する。このとき主磁極６の直下近傍において大きな磁束密度の垂直磁界が生じる。磁束10は、記録媒体21の垂直磁気記録層22に面する磁性層パターンのうち主磁極６の直下にある磁性要素32ａに集中するため、この磁性要素32ａに面する垂直磁気記録層22の部分に転写磁界Ｈdu1が印加されることとなる。
【００２７】
ここでは、主磁極６、補助磁極７、連結磁性部材８、マスター担体４および記録媒体２の記録層22および軟磁性層23により磁気回路が構成されているため、非常に安定した磁界を発生させることができる。
【００２８】
磁界発生手段５に対して、密着させたマスター担体３と記録媒体２を矢印Ａ方向に１回転以上させることにより、記録媒体２全面に転写磁界を印加することができる。
【００２９】
なお、主磁極６の端面６ａのトラック方向幅Ｌ0（図２参照）は、マスター担体３の磁性層パターンの最大ビット長Ｌmaxよりも長い。この磁性層パターンの最大ビット長は、磁性要素間の磁性要素の存在しない部分の距離も１つのビットとみなし、磁性要素のビット長および磁性要素間の磁性要素の存在しない部分のビット長のうちの最大のものをいう。主磁極６の幅Ｌ0が磁性層パターンの最大ビット長Ｌmaxよりも短い場合、磁極が磁性要素の存在しない部分の直上となった際に、磁性要素に集中すべき磁束が磁性要素を通過せず直接磁性要素の存在しない部分に進入する磁界パターンとなる虞があり、そのために記録媒体の磁気記録層の磁化反転すべきでない領域が一部磁化反転されてしまう虞がある。本実施形態においては、主磁極６の端面６ａのトラック方向幅Ｌ0が最大ビット長Ｌmaxよりも長いので、磁気転写の品位を良好なものとすることができる。
【００３０】
次に、図１に示した転写用磁界印加手段１を用いた磁気転写方法を説明する。図３は、本実施形態の磁気転写方法の基本工程図を示すものであり、これを参照して説明する。
【００３１】
まず、図示しない初期直流磁化手段において記録媒体２の磁性層22、23の初期直流磁化を行う。すなわち、図３（ａ）に示すように、磁性層22、23に対して垂直な方向の初期直流磁界Ｈinを印加して磁性層を初期直流磁化させる。
【００３２】
その後、記録媒体２の磁性層22側の面にマスター担体３の情報担持面を密着させた状態で、主磁極６側にマスター担体３がくるように配置する。なお、記録媒体２とマスター担体３は、その半径方向と磁極６の端面６ａの延びる方向とを一致させるようにして配置する。
【００３３】
その後、コイル８に電流を流し、図３（ｂ）に示すように、マスター担体３の磁性層パターンと密着された磁気記録層22に、初期磁化方向と逆向きの転写用磁界Ｈdu1を印加することにより、磁気記録層22のマスター担体３の磁性要素32に面する部分の磁化が反転される。既述のとおり、記録媒体２とマスター担体３の磁性層パターンの磁性要素32とが密着した箇所において、磁界Ｈdu1はマスター担体３の磁性要素32に吸いこまれてこの部分に対応する磁気記録層22の部分の磁化が反転し、マスター担体３の磁性要素32の存在しない部分に対応する磁気記録層22の部分の磁化は反転しない。その結果、図３(ｂ)に示すように、記録媒体２の磁気記録層22にはマスター担体３の磁性層パターンに応じた情報（例えばサーボ信号）が磁化パターンとして転写される。なお、この際、図２に示したように、マスター担体３の磁性層パターンおよび記録媒体２の磁気記録層23の補助磁極７直下の部分にも垂直磁界がかかるが、補助磁極側の磁束密度は低いためこの部分の磁気記録層23の磁化は反転しない。
【００３４】
転写磁界Ｈdu1を印加した状態で、磁界発生手段５に対して、密着させた記録媒体２およびマスター担体３を図示しない回転手段により矢印Ａ方向に一回転させることにより記録媒体２の全面に亘る磁気転写を行う。なお、記録媒体２およびマスター担体３を固定し、磁界発生手段５を回転させるようにしてもよい。
【００３５】
一旦、コイル８の電流を止め、主磁極６と補助磁極７を十分離間させて、マスター担体３と記録媒体２を取り出し、マスター担体３と記録媒体２との密着を解除し、記録媒体２の磁気記録層23側に該記録層23用のマスター担体４を密着させる。マスター担体４はマスター担体３と同様に非磁性基板41と、その表面に凸パターンに形成された磁性要素42とからなる。その転写パターンが磁気記録層23用となっている点でのみマスター担体３と異なるものである。その後、密着された記録媒体２とマスター担体４を、マスター担体４が主磁極６側となるように配置し、先の手順と同様にして、記録媒体２の磁気記録層23への磁気転写を行う(図３（ｃ）参照）。マスター担体４の磁性要素42と密着された磁気記録層23に、初期磁化方向と逆向きの転写用磁界Ｈdu2を印加することにより、磁気記録層23のマスター担体４の磁性要素42に面する部分の磁化が反転される。なお、この場合、磁気記録媒体２自体は、磁気記録層22への転写を行った場合とは天地が逆になっているため、磁気記録層23の初期磁化方向と逆向きの転写磁界Ｈdu2を印加するためには、転写磁界Ｈdu1を印加する場合とは逆向きの電流をコイル８に流す必要がある。
【００３６】
以上のようにして図３（ｄ）に示すように記録媒体２の両磁気記録層23、24にそれぞれ垂直磁化パターンが形成される。なお、図３においては、記録媒体２の両磁気記録層23、24の磁化パターンが一致しているが、表裏の磁化パターンの配置は一致している必要はない。
【００３７】
本実施形態の磁気転写装置によれば、垂直磁気記録媒体へ容易に磁気転写を行うことができ、かつ良好な磁気転写を達成することができる。垂直磁気記録媒体への良好な磁気転写を可能としたことにより、従来の高密度な面内磁気記録媒体よりもさらに大容量の記録媒体を容易に得ることができる。
【００３８】
なお、初期直流磁界および転写用磁界は、記録媒体の磁気記録層の保磁力、マスター担体およびスレーブ媒体の比透磁率等を勘案して定められた値を採用する必要がある。ただし、転写用磁界の強さとしては、スレーブ媒体の保磁力Ｈcsの０．５倍以上、２倍以下の値が望ましい。
【００３９】
なお、上記第一の実施形態においては、両面に垂直磁気記録層を有する記録媒体の各面への磁気転写を逐次行うものとしたが、記録媒体の両面をそれぞれ同時にマスター担体と密着させて同時に磁気転写を行ってもよい。
【００４０】
図４は、第二の実施形態の磁気転写装置に備えられている、両面同時磁気転写を行う場合の磁界発生手段の斜視図を示すものである。図１と同様の要素には同一符号を付し詳細な説明を省略する。
【００４１】
本実施形態においては、図１に示したものと同様の第一の磁界発生手段５に加え、さらに第二の磁界発生手段５’を備えている。第一の磁界発生手段５は専ら上側のマスター担体３の転写パターンを記録媒体２の該マスター担体３に面する側の垂直磁気記録層に転写するための転写磁界を印加するために用いられ、第二の磁界発生手段５’は、専ら下側のマスター担体４の転写パターンを記録媒体２の該マスター担体４に面する側の垂直磁気記録層に転写するために用いられる。
【００４２】
第二の磁界発生手段５’は、下側マスター担体４の裏面に対向する側に配置される所定の面積の端面16ａを有する主磁極16と、該主磁極16の端面16ａより十分大きい面積の端面17ａを有する補助磁極17と、該補助磁極17に巻かれた、磁界発生用の電流が流されるコイル18と、主磁極16と補助磁極17とを両端面16ａおよび17ａ以外の部分で連結する磁性体からなる連結磁性部材19とからなる。主磁極16の端面16ａおよび補助磁極17の端面17ａの面積、比率等は第一の磁界発生手段５の主磁極６および補助磁極７の関係と同様である。
【００４３】
第一の磁界発生手段５は、コイル８に電流が流されてＨdu1の転写磁界を記録媒体２の上側マスター担体３に面する磁気記録層に印加し、第二の磁界発生手段５’は、コイル18に電流が流されてＨdu2の転写磁界を記録媒体２の下側マスター担体４に面する磁気記録層に印加する。
【００４４】
第一の実施形態の場合と同様にコイル８およびコイル18に電流を流した状態で、密着されたマスター担体３、４および記録媒体２を矢印Ａ方向に１回転以上させれば、記録媒体２全面への磁気転写を行うことができる。
【００４５】
上述の各実施形態のパターンドマスター担体３および記録媒体２についてより具体的に説明する。パターンドマスター担体３は、既述のとおり、表面に凹凸パターンを有する非磁性体からなる基板31と、該基板31の凹部に埋め込まれた磁性要素32とを備えてなるものである。基板31は非磁性体からなるものであればよく、その材料としては例えばＳｉ、ガラスなどが挙げられる。表面に凹凸パターンを有する基板31の作製は、フォトリソグラフィー法等を用いて行うことができる。基板の凸部高さ（凹部深さ）は、例えば50〜800ｎｍであり、凹凸パターンの凸部の半径方向の長さは0.05〜20μｍ、円周方向は0.05〜5μｍである。
【００４６】
磁性層32の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）が挙げられる。磁性層32としては、主として軟磁性もしくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層が用いられている。なお、磁性層の厚み（凸部上面の磁性層の厚み）は、50〜500ｎｍである。
【００４７】
また、磁性層32の上に耐久性向上のために５〜30ｎｍのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護膜が設けられていてもよいし、さらに潤滑剤層が設けられていてもよい。また、磁性層と保護膜の間に、Ｓｉ等の密着強化層が設けられていてもよい。
【００４８】
なお、本発明の磁気転写方法および装置に用いられるパターンドマスター担体としては、上記実施形態のマスター担体に限るものではなく、凹凸パターンを備えた非磁性基板の凸部のみに磁性要素を備えたもの、もしくは平板状の非磁性基板上にパターン状に配置された磁性要素からなるもの等であってもよい。
【００４９】
一方、記録媒体２は、既述のとおり、ハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体であり、その磁気記録層22、23としては、塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層が形成されている。なお、磁気記録層22、23は、トラック面に対して垂直な方向に磁化容易軸を有する磁気異方性を備えている垂直磁気記録層である。なお、金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。なお、磁性材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性をつけるために非磁性の下地層を設けることが好ましい。この非磁性の下地層は、結晶構造と格子定数を磁気記録層に合わせることが必要であり、そのような材料としては、Ｔｉ、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ、Ｐｄ等が挙げられる。また、磁性層の垂直磁化状態を安定化させ、また、記録再生時の感度を向上させるために非磁性下地層の下にさらに軟磁性層24、25からなる裏打ち層設けられている。
【００５０】
なお、磁気記録層厚は10ｎｍ以上500ｎｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは20ｎｍ以上200ｎｍ以下である。また、非磁性層厚は、10ｎｍ以上150ｎｍ以下が好ましく、さらに好ましくは20ｎｍ以上80ｎｍ以下である。また、裏打ち層厚は50ｎｍ以上2000ｎｍ以下が好ましく、さらに好ましくは80ｎｍ以上400ｎｍ以下である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】第一の実施形態にかかる磁気転写装置に備えられている磁界発生手段の斜視図
【図２】図１のII−II線断面の一部拡大図
【図３】磁気転写方法の基本工程を示す図
【図４】第二の実施形態にかかる磁気転写装置に備えられている磁界発生手段の斜視図
【符号の説明】
【００５２】
２    垂直磁気記録媒体
３、４    パターンドマスター担体
５、５’    磁界発生手段
６、16    主磁極
７、17    補助磁極
８、18    コイル
９、19    連結磁性部材
21    記録媒体支持体
22、23    垂直磁気記録層
24、25    軟磁性層
31、41    マスター担体基板
32、42    磁性要素
【図１】
2006172580.tif 000003
【図２】
2006172580.tif 000004
【図３】
2006172580.tif 000005
【図４】
2006172580.tif 000006