(57)【要約】【課題】  研削材を循環再利用する構成のブラスト加工装置において、被加工物に対して噴射する研削材中に粗大異物が混入することを良好に防止し、且つ清掃周期を長くしたブラスト加工装置を提供する。【解決手段】  貯蔵タンク１５内に貯蔵した微粉体状の研削材を加工装置１２に送ってブラスト加工を行い、噴射された研削材と削り取られた被研削物とを負圧によって風力分級装置１４に送り、そこで研削材を分離して貯蔵タンクに戻す構成のブラスト加工装置において、研削材の循環経路内に、研削材は通過させるが粗大異物は通過させない目開きの網状体を備えた超音波篩２５を設け、長期間に渡って目詰まりを生じることなく粗大異物を分離可能とする。【選択図】  図１
2006175526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微粉体状の研削材を貯めておく貯蔵タンクと、該貯蔵タンクと連結された研削材を供給する供給装置と、該供給装置から研削材を輸送する供給経路と、該供給経路から輸送された研削材を被加工物に噴射するブラストガンからなる加工装置と、該加工装置から噴射された研削材及び被研削物を負圧により移動させる排気経路と、該排気経路から輸送された研削材と被研削物を分級し、研削材を前記貯蔵タンクに送るように連結された分級装置と、該分級装置に連結され、分級後のダストを回収する集塵装置とを備えたブラスト加工装置において、前記貯蔵タンクから前記供給装置、供給経路、加工装置、排気経路、分級装置を経て前記貯蔵タンクに戻る研削材の循環経路内に、研削材は通過させるが粗大異物は通過させない目開きの網状体を備えた超音波篩を設けたことを特徴とするブラスト加工装置。
【請求項２】
前記超音波篩を前記分級装置から供給装置に至る経路内に配置したことを特徴とする請求項１記載のブラスト加工装置。
【請求項３】
前記超音波篩を前記排気経路内に設けたことを特徴とする請求項１記載のブラスト加工装置。
【請求項４】
前記超音波篩を前記供給経路内に設けたことを特徴とする請求項１記載のブラスト加工装置。
【請求項５】
前記超音波篩を、分級装置から供給装置に至る経路、前記排気経路、前記供給経路の、少なくとも２箇所以上に設けたことを特徴とする請求項１記載のブラスト加工装置。
【請求項６】
前記超音波篩が、互いに並列に配置された複数の経路にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項記載のブラスト加工装置。
【請求項７】
前記超音波篩が、超音波振動と通常の振動を併用した超音波篩であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項記載のブラスト加工装置。
【請求項８】
前記分級装置が風力分級装置であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項記載のブラスト加工装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項記載のブラスト加工装置を用いてブラスト加工することを特徴とするブラスト加工方法。
【請求項１０】
ブラスト加工の対象である被加工物が、プラズマディスプレイパネル部材であることを特徴とする請求項９記載のブラスト加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微粉体状の研削材を被加工物に高速で吹き付けて研削するブラスト加工方法及び装置に関し、特に研削材を循環再利用する構成のブラスト加工方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰという）の背面板にリブ（障壁）を形成する工程では、まず、図２（ａ）に示すように、表面に電極２を備えたガラス基板１の表面にガラスペースト３を一定厚さに塗布し、その表面に感光性樹脂フィルム４を貼り付け、その表面に所定のパターンのマスクを置いて露光し、現像して、図２（ｂ）に示すように、ガラスペースト３のリブとして残すべき領域のみに、感光後の樹脂フィルム４を残した中間製品（以下被加工物という）５を作製し、その後、噴射装置１２から微粉体状の研削材を被加工物５に高速で吹き付け、図２（ｃ）に示すように、樹脂フィルム４で保護されていない部分のガラスペーストを研削、除去するブラスト加工を行い、残ったガラスペーストでリブ３ａを形成することが行なわれている。
【０００３】
このブラスト加工を行なう装置では、一般に、ランニングコスト削減のため研削材を循環再利用することが行なわれている。すなわち、従来のブラスト加工装置は、図３に示すように、ブラスト室１０内に設けられ、圧縮空気供給管１１からの圧縮空気によって微粉体状の研削材を被加工物５に吹き付けるブラストガンからなる加工装置１２と、噴射後の研削材と、被加工物から削り取られた被研削物を負圧により移動させる排気経路１３と、排気経路１３で送られてきた気流内に含まれる研削材を風力を利用して分離し落下させる風力分級装置１４と、その風力分級装置１４で分離され、落下してきた研削材を貯蔵する貯蔵タンク１５と、その貯蔵タンク１５に連結され、研削材を供給する供給装置１６と、その供給装置１６から研削材を加工装置１２に輸送する供給経路１７と、風力分級装置１４を通してブラスト室１０を排気する吸引ブロワーを有し、風力分級装置１４からの気流中に含まれる被研削物等のダストを回収する集塵装置１８等を備えており、集塵装置１８による吸引力によってブラスト室１０から研削材と被研削物等を気流に乗せて排気経路１３を経て風力分級装置１４に供給し、風力分級装置１４によって、正常な研削材を、削り取られた被研削物や破砕した研削材等を同伴した気流から分離して下方の貯蔵タンク１５に回収し、一方、被研削物や破砕した研削材等のダストは気流に乗せた状態で集塵装置１８に送り、集塵装置１８で回収している。また、貯蔵タンク１５内に回収された研削材は、供給装置１６によって所定の供給量となるように計量され、加工装置１２による吸引力によって生じる気流に乗って供給経路１７を経て加工装置１２に供給され、ブラスト加工に再利用される。
【０００４】
ところが、この構成のブラスト加工装置では、風力分級装置１４によって、正常な研削材のみを分離して再利用しているにも係わらず、貯蔵タンク１５内に回収した研削材中に研削材よりも大きい粗大異物、例えば、被研削物（ガラスペースト粉）が凝集したもの（その中に研削材が混入することもある）、被加工物５の表面に残っていた樹脂フィルムが剥がれたり、千切れたりしたもの等が混入しており、これが高速で被加工物５に吹き付けられた際に、被加工物５に形成すべきリブ３ａに欠損を生じさせることがあった。ＰＤＰの背面板に形成されるリブ３ａは、通常、高さが１５０〜２００μｍ程度、リブ間の間隙が１００μｍ程度ときわめて微少なものであり、これが背面板の全域に形成されているが、１箇所でもリブ３ａに欠損があると、その背面板が使用できなくなるため、このようなリブの欠損は絶対に避けなければならない。
【０００５】
そこで、粗大な異物を除去するため、図３に示すように、排気経路１３や供給経路１７に、粗大な異物を除去するための異物分離・分級装置１９を設けることが知られており、その１例が特許文献１に記載されている。特許文献１に記載されている異物分離・分級装置は、研削材と異物を同伴した気流が送り込まれる本体の上部に網状体を設けておき、本体内に上昇気流を生じさせ、研削材は気流と共に網状体を上方に通り抜けさせるが、粗大異物は網状体で通過を阻止し、自重によっ下方に落下させる構造のものである。
【特許文献１】特開平９−１９３０１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、特許文献１に示す異物分離・分級装置のように、網状体で通過を阻止した粗大異物を下方に落下させる構造としていても、使用中に網状体に目詰まりが生じ、特に排気経路１３に配置した異物分離・分級装置では目詰まりが早く進行し、頻繁に網状体の清掃や交換を行う必要があるという問題があった。例えば、ブラスト加工装置の排気経路１３に、縦横のサイズが５００ｍｍ×５００ｍｍの２００〜３５０メッシュの網状体を備えた異物分離・分級装置を設け、系内を循環する研削材の流量を５〜２０ｋｇ／分として連続運転した場合、１０〜２０ｈ／回で網状体の清掃が必要であった。また、排気経路１３、供給経路１７にそれぞれ、網状体を備えた異物分離・分級装置を設けても、粗大異物を確実には除去できず、リブ欠損を十分には防止できないという問題もあった。
【０００７】
本発明はかかる状況に鑑みてなされたもので、研削材を循環再利用する構成のブラスト加工装置において、研削材の循環経路内に、網状体を備えた篩を設けて研削材から粗大異物を従来よりも一層確実に除去することを可能とすると共に前記網状体の目詰まりを長期間に渡って防止することを可能としたブラスト加工装置並びにそのブラスト加工装置を用いたブラスト加工方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決すべく検討の結果、次の事項を見出した。すなわち、ブラスト加工装置の排気経路や供給経路に設けた従来の異物分離・分級装置では、網状体に粗大異物が捕捉されて目詰まりを起こすというよりは、経路内を流れている気流中に含まれる微細な（網状体を通り抜けることができる大きさの）被研削物が網状体に付着し、それが成長して目詰まりを生じさせていたが、網状体を超音波振動させると被研削物の網状体に対する付着や網状体上での成長を防止できること、また、網状体で止められた粗大異物が網状体に付着している間に後続する研削材によって押されて強引に網目を通り抜けてしまうことがあったが、網状体を超音波振動させると粗大異物が網状体に付着することがなく、このため後続する研削材によって押されて強引に網目を通り抜けてしまうということがほとんど生じないことを見出した。
【０００９】
本発明はかかる知見に基づいてなされたもので、微粉体状の研削材を貯めておく貯蔵タンクと、該貯蔵タンクと連結された研削材を供給する供給装置と、該供給装置から研削材を輸送する供給経路と、該供給経路から輸送された研削材を被加工物に噴射するブラストガンからなる加工装置と、該加工装置から噴射された研削材及び被研削物を負圧により移動させる排気経路と、該排気経路から輸送された研削材と被研削物を分級し、研削材を前記貯蔵タンクに送るように連結された分級装置と、該分級装置に連結され、分級後のダストを回収する集塵装置とを備えたブラスト加工装置において、前記貯蔵タンクから前記供給装置、供給経路、加工装置、排気経路、分級装置を経て前記貯蔵タンクに戻る研削材の循環経路内に、研削材は通過させるが粗大異物は通過させない目開きの網状体を備えた超音波篩を設けるという構成としたものである。
【００１０】
ここで、前記超音波篩の設置位置は研削材の循環経路内であれば任意であり、一つの形態では、前記分級装置から供給装置に至る経路内を挙げることができる。また、他の形態では、前記排気経路内、或いは前記供給経路内を挙げることができる。
【００１１】
更に、前記循環経路内に設ける超音波篩は、１箇所に設ける場合に限らず、分級装置から供給装置に至る経路、前記排気経路、前記供給経路の、少なくとも２箇所以上に設けることもできる。
【００１２】
前記超音波篩を研削材の循環経路内の１箇所に設置する場合、単に１個の超音波篩を設ける場合に限らず、互いに並列に配置された複数の経路にそれぞれ超音波篩を設け、複数の経路を切り替えて使用する構成とするとか、複数の経路を同時に使用する構成としてもよい。複数の経路を切り替えて使用する構成とすると、ブラスト加工装置の運転を停止することなく、超音波篩の清掃や網状体の交換作業を行うことができる。また、複数の経路を同時に使用する形態とすると、小型の超音波篩を用いることが可能となる。
【００１３】
前記超音波篩は、網状体に超音波振動のみを付与する形態としたものに限らず、超音波振動と通常の振動を加える形態のものとすることもでき、これによって一層目詰まりを発生しにくくすることができる。
【００１４】
前記したブラスト加工装置に設ける分級装置としては、風力分級装置を代表的なものとして例示できる。
【００１５】
本発明のブラスト加工方法は、上記したブラスト加工装置を用いてブラスト加工することを特徴とするものである。ここで、ブラスト加工の対象とする被加工物は、ブラスト加工を必要とする任意のものとすることができるが、プラズマディスプレイパネルの背面板などの、プラズマディスプレイパネル部材とすることが、本発明適用の効果が大きいので好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のブラスト加工装置は、研削材の循環経路内に粗大異物を通さない目開きの網状体を備えた超音波篩を設けたことにより、粗大異物を研削材から分離することができ、その際、超音波篩の網状体が超音波振動しているため、その網状体に微細な被研削物などの異物が付着して成長するということがなく、また、通り抜けを阻止された粗大異物も網状体には付着せず、このため、長期間に渡って目詰まりを生じることがなく、更に、粗大異物が後続する研削材で押されて網状体を通りぬけてしまうということが生じにくい。かくして、粗大異物の捕捉が確実であり、ブラスト加工における粗大異物によるトラブルを回避できると共に超音波篩の網状体の清掃や交換の周期を長くすることができ、長期間に渡って連続運転することが可能となるという効果が得られる。
【００１７】
ここで、超音波篩の網状物に超音波振動のみならず、通常の振動も加える構成とすることで、通り抜けを阻止した粗大異物を適当な位置に移動させて集めることができ、一層長期間の連続運転が可能となる。
【００１８】
本発明のブラスト加工装置を用いたブラスト加工方法では、研削材中に混入する恐れのある粗大異物をきわめて良好に除去できるので、粗大異物吹き付けによるトラブルを回避でき、特に、このブラスト加工方法を、プラズマディスプレイパネルの背面板などの、プラズマディスプレイパネル部材のブラスト加工に適用すると、粗大異物の吹き付けによって生じる恐れのある損傷、例えばリブ欠損を防止でき、製品歩留りを大幅に向上できる利点が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は本発明の好適な実施の形態に係るブラスト加工装置を示す概略構成図であり、図３に示す従来のブラスト加工装置と同一若しくは同様な部品には同一符号を付して示している。図１に示すブラスト加工装置は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の背面板にリブを形成するために用いられるもので、ブラスト室１０内に設けられ、圧縮空気供給管１１からの圧縮空気によって微粉体状の研削材を被加工物５に噴射するブラストガンからなる加工装置１２と、噴射後の研削材と被加工物から削り取られた被研削物などの異物とを負圧によって生じる気流に乗せて移動させる排気経路１３と、排気経路１３で送られてきた研削材と異物とを風力を利用して分級し、研削材を自重を利用して下方に送り出す構成の風力分級装置１４と、その風力分級装置１４の下に配置され、風力分級装置１４で分離され自重によって落下してくる研削材は通過させるが粗大異物は捕捉可能な超音波篩２５と、その超音波篩２５を通り抜けて落下してきた研削材を貯蔵する貯蔵タンク１５と、その貯蔵タンク１５と連結され、研削材を計量して所定の流量で供給する供給装置１６と、供給装置１６から研削材をブラスト室１０内の加工装置１２に輸送する供給経路１７と、風力分級装置１４を通してブラスト室１０に負圧を作用させる吸引ブロワーを有し、風力分級装置１４からの気流中に含まれる被研削物等のダストを回収する集塵装置１８等を備えている。
【００２０】
風力分級装置１４と貯蔵タンク１５の間に設けられる超音波篩２５は、自重で落下してくる研削材は通過させることができるが、粗大異物は通過させない目開きの金網等の網状体２６と、その網状体２６を超音波振動させる振動子２７と、超音波発振装置２８等を備えている。この超音波篩２５としては、例えば、特許第３５０９８６３号公報に記載されているものを用いることができる。網状体２６の開口（目開き）は、上記したように、研削材は通過させることができるが粗大異物は通過させないように定められるものであり、例えば、研削材として平均粒径１５μｍ、最大粒径６０μｍのものを用いる場合、２５０メッシュ、開口（目開き）６３μｍの金網が使用される。
【００２１】
次に、上記構成のブラスト加工装置によるブラスト加工動作を説明する。このブラスト加工装置は、図２に示すように、ガラスペースト３のリブとして残すべき領域のみに、感光後の樹脂フィルム４を残した構造の被加工物５に対してブラスト加工を行い、樹脂フィルム４で保護されていない部分のガラスペーストを研削、除去してリブリブ３ａを形成するためのものである。図１において、ブラスト室１０内において、被加工物５が連続的に搬送されており、その被加工物５に対して加工装置１２が微粉体状の研削材を圧縮空気供給管１１からの圧縮空気によって高速で吹き付け、ブラスト加工を行なう。研削材は、貯蔵タンク１５から供給装置１６に送られ、その供給装置１６によって所定の流量となるように計量され、加工装置１２の吸引力によって生じる気流に乗って供給経路１７を通って加工装置１２に供給される。
【００２２】
ブラスト室１０でブラスト加工に用いられた研削材及びブラスト加工によって被加工物５から削り取られた被研削物等の異物は、集塵装置１８の吸引力による負圧によって生じる気流に乗ってブラスト室１０から排気経路１３を経て風力分級装置１４に搬送され、風力分級装置１４によって正常な研削材と、異物が分離される。すなわち、正常な研削材は気流から分離されて下方に落下し、被研削物や破砕した研削材などの異物は気流と共に集塵装置１８に吸引され、集塵装置１８で回収される。風力分級装置１４で分離され、落下した研削材は超音波篩２５を通って貯蔵タンク１５に戻される。
【００２３】
ところで、風力分級装置１４によって、正常な研削材が気流から分離される際、被研削物（ガラスペースト粉）が凝集したもの（その中に研削材が混入することもある）、被加工物５の表面に残っていた樹脂フィルムが剥がれたり、千切れたりしたものなどの粗大異物が、極く少量ではあるが、気流から分離され、正常な研削材に混じって下方に落下することがある。しかしながら、これらの粗大異物は超音波篩２５の網状物２６を通り抜けることができず、網状物２６の上に捕捉される。ここで、超音波篩２５においては、網状体２６が超音波振動しているため、通過可能な研削材が網状体２６の上でブリッジ現象を生じて通り抜けできなくなるということがなく、極めて敏速に網状体２６を通り抜けることができ、単に自重で落下する研削材を支障なく通過させることができる。通り抜けを阻止された粗大異物は網状体２６の超音波振動によって網状体２６の上で踊っている状態となるので、目詰まりを生じることはない。また、微細な被研削物が落下してくることがあっても、網状体２６を通り抜けてしまい、網状体２６に付着したり、付着した位置で成長するということがない。かくして、長期間に渡って目詰まりを生じることがなく、連続運転が可能である。更に、前記したように、網状体２６で通り抜けを阻止された粗大異物は網状体２６は上で踊っている状態となるので、網状体２６に付着することはほとんどなく、このため、後続する研削材で押されて網状体２６を強引に通り抜けてしまうということもない。更に、研削材は自重で落下してくるので、気流で搬送する場合に比べて速度が小さく、このため、網状体２６上にある粗大異物にぶつかったとしても粗大異物を押す力は小さく、この点からも網状体２６を通り抜けさせることはない。かくして、超音波篩２５は粗大異物をきわめて確実に捕捉することができ、貯蔵タンク１５には、粗大異物がほとんど混入していない研削材が戻され、再使用される。
【００２４】
以上のように、このブラスト加工装置では、貯蔵タンク１５に戻される研削材中には粗大異物がほとんど混入していないため、貯蔵タンク１５内の研削材を用いてブラスト加工した際に粗大異物が被加工物５に吹き付けられることがなく、このため、被加工物５に形成したリブ３ａ（図２参照）を粗大異物で欠損させるということがほとんどない。かくして、ＰＤＰの背面板のリブ加工を行なった場合の製品歩留りを大幅に向上させることができる。更に、貯蔵タンク１５内に粗大異物がほとんど混入しないので、粗大異物が供給装置１６に送られて供給装置１６を詰まらせるということもなく、詰まりによる機械停止、異物除去のためのメンテナンス等を低減できる。
【００２５】
なお、以上に説明した実施の形態では、超音波篩２５として、超音波篩を用いているが、この超音波篩に、通常の振動篩に用いているような振動数（例えば、２０〜６０Ｈｚ）の振動を加え、捕捉した粗大異物を適当な場所に移動させる構成としてもよい。
【００２６】
また、上記した実施の形態では、超音波篩２５を風力分級装置１４と貯蔵タンク１５の間に設けているが、超音波篩２５を取り付ける位置はこの位置に限らず、貯蔵タンク１５から供給装置１６、供給経路１７、加工装置１２、排気経路１３、風力分級装置１４を経て貯蔵タンク１５に戻る研削材の循環経路内の任意の位置に設けることが可能であり、例えば、二点鎖線３０で示すように、排気経路１３内、供給経路１７内に超音波篩を配置することも可能である。更に、循環経路内の１箇所に超音波篩２５又は３０を設ける場合に限らず、複数箇所に超音波篩２５、３０を設けるようにしてもよい。複数箇所に超音波篩を設けることで、一層粗大異物の混入を防止できる。更に、研削材の循環経路内に、超音波篩２５、３０のみを設ける場合に限らず、超音波篩と、従来使用されている網状体を用いた篩（例えば、特許文献１に示す異物分離・分級装置）を併用してもよい。
【００２７】
更に、上記した実施の形態では、風力分級装置１４を一つの経路で貯蔵タンク１５に連結し、その一つの経路内に超音波篩２５を設けているが、この構造に代えて、風力分級装置１４と貯蔵タンク１５とを並列に配置した複数の経路で連結し、各経路内にそれぞれ超音波篩２５を設け、複数の経路を切り替えて使用する構成とするとか、複数の経路を同時に使用する構成としてもよい。複数の経路を切り替えて使用する構成とすると、ブラスト加工装置の運転を停止することなく、超音波篩２５の清掃や網状体の交換作業を行うことができる。また、複数の経路を同時に使用する形態とすると、小型の超音波篩を用いることが可能となる。なお、超音波篩を排気経路１３や供給経路１７に設ける場合も同様である。
【実施例】
【００２８】
［実施例１］
図１の構成のブラスト加工装置において、超音波篩２５として、晃栄産業株式会社製の超音波篩「ウルトラソニック（ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣＳ）」（網状体２６の仕様：直径６００ｍｍ、２５０メッシュ、目開き６３μｍ）を設けた。また、排気経路１３に特許文献１に示すような構造の異物分離・分級装置（網状体の仕様：サイズ５００ｍｍ×５００ｍｍ、２５０メッシュ、目開き６３μｍ）を設け、且つ供給経路１７に、特許文献１に示すような構造で且つ自動洗浄機能を備えた異物分離・分級装置（網状体の仕様：直径２００ｍｍ、２５０メッシュ、目開き６３μｍ）を設けた。この構造のブラスト加工装置を用いて、ＰＤＰの背面板のリブ加工を行なった。研削材の循環量を、１０ｋｇ／分、超音波篩２５の振動数（超音波周波数）を３６ｋＨｚとして、約１６０時間運転した。この間、超音波篩２５には目詰まりは生じなかった。なお、排気経路１３に設けた異物分離・分級装置は目詰まりが生じるため約１０〜１５時間毎に、清掃を行った。運転後、超音波篩２５の異物捕捉量を測定したところ、約１０ｇであった（超音波篩２５を通過した研削材総量は約１００トン）。この超音波篩２５を用いたブラスト加工では、超音波篩２５を用いない場合（排気経路１３及び供給経路１７の異物分離・分級装置は使用）に比べて、製品歩留りが８％程度上昇した。これにより、超音波篩２５による粗大異物の捕捉がより確実であり、研削材の処理量１００トンに対してわずか１０ｇという極く少量の粗大異物を捕捉することにより、製品歩留りを大幅に向上できることを確認できた。
【００２９】
［比較例１］
上記した実施例１で用いたブラスト加工装置において、超音波篩２５の網状体２６に超音波振動を加えず、停止させた状態でブラスト加工装置を実施例１と同一条件で運転したところ、１時間程度の運転で網状体２６の上に研削材が詰まり、運転できなくなった。従って、網状体に超音波振動を加えることによって、研削材の通過量（処理量）を飛躍的に拡大できることを確認できた。
【００３０】
［実施例２］
上記した実施例１で用いたブラスト加工装置において、排気経路１３に設けている異物分離・分級装置に代えて、実施例１で用いた超音波篩２５と同一仕様の超音波篩を設け、ブラスト加工装置を実施例１と同一条件で約１６０時間運転した。運転後、排気経路１３に設けた超音波篩の網状体を目視検査したところ、目詰まりは見られなかった。かくして、被研削物が多く流れる排気経路１３内に超音波篩を設けても、目詰まりが生じにくいことを確認できた。なお、この場合にも、製品歩留りは実施例１と同様な高水準であった。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
上記した実施の形態に説明したように、本発明のブラスト加工装置は、ＰＤＰの背面板のリブ加工のためのブラスト加工に用いるのに好適であるが、これに限らず、研削材への粗大異物の混入が望ましくない任意のブラスト加工に使用可能である。
【００３２】
以上に本発明の好適な実施の形態及び実施例を説明したが、本発明はこれらの実施の形態及び実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載の範囲内で適宜変更可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の好適な実施の形態に係るブラスト加工装置の概略構成図
【図２】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はＰＤＰの背面板にリブを形成する工程を説明する概略断面図
【図３】従来のブラスト加工装置の概略構成図
【符号の説明】
【００３４】
１  ガラス基板
２  電極
３  ガラスペースト
３ａ  リブ
４  感光性樹脂フィルム
５  被加工物
１０  ブラスト室
１１  圧縮空気供給管
１２  加工装置
１３  排気経路
１４  風力分級装置
１５  貯蔵タンク
１６  供給装置
１７  供給経路
１８  集塵装置
１９  異物分離・分級装置
２５  超音波篩
２６  網状体
２７  振動子
２８  超音波発生装置
３０  超音波篩
【図１】
2006175526.tif 000003
【図２】
2006175526.tif 000004
【図３】
2006175526.tif 000005