(57)【要約】【課題】  高精度な削り加工が要求されるアンテナパネルの好適な低歪みを実現するため、ワックス（ＷＡＸ）を用い、高精度化のためのアルゴリズムを組込んだアンテナ製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】  アンテナパネル１の背面１ｂに仮設した突起部３に対向して設置されたＷＡＸ４を内部に充填したワックス収納具５と、ＷＡＸ４を溶融・凝固させるペルチェ素子６と、ＷＡＸ４溶融時に、突起部３をワックス収納具５内に充填されたＷＡＸ４内に浸漬させ、突起部３をワックス収納具５の底面に当たらない位置まで埋設するステージ７と、ＷＡＸ４凝固時に、突起部３とワックス収納具５とが固まった状態でアンテナパネル１の加工面の変位量を変位センサ８で測定し、変位補正してから加工を開始するようにした。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面を加工面とする被加工物の背面を支持する基本固定具と、前記被加工物の背面に設けた複数の突起部に対向して設置された加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具と、個々の前記ワックス収納具を加熱冷却することにより、前記加熱変形性材料を可逆的に溶融・凝固させる加熱冷却手段と、前記加熱変形性材料の溶融時に、前記突起部を前記ワックス収納具内に充填された前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接しない位置で埋設する前記突起部の延在方向に可動するステージと、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定することを含む変位測定手段とを備えたアンテナ製造装置。
【請求項２】
前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面を測定した変動変位と、固設される前の変位測定初期値との差分をキャンセルするように前記ステージを移動させ、この移動前後の変位差を補正値とし、この補正値が許容値以下の場合に被加工物の加工面の切削を開始することを特徴とする請求項１記載のアンテナ製造装置。
【請求項３】
前記補正値は、個々のステージを順次移動させたそれぞれの場合に対応して作成され、それぞれの補正値が許容値以下の場合に前記被加工物の加工面の切削を開始することを特徴とする請求項２記載のアンテナ製造装置。
【請求項４】
前記補正値は、前記被加工物の複数の測定位置における変位の平均値であることを特徴とする請求項２又は３に記載のアンテナ製造装置。
【請求項５】
前面を加工面とする被加工物の背面を支持する基本固定具と、前記被加工物の背面に設けた複数の突起部に対向して設置された加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具と、このワックス収納具の前記加熱変形性材料が充填されている底面に設置され、前記突起部との隙間を検知する隙間検知手段と、個々の前記ワックス収納具を加熱冷却することにより、前記加熱変形性材料を可逆的に溶融・凝固させる加熱冷却手段と、前記加熱変形性材料の溶融時に、前記突起部を前記ワックス収納具内に充填された前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接しない位置で埋設する前記突起部の延在方向に可動するステージと、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定することを含む変位測定手段とを備えたアンテナ製造装置。
【請求項６】
前記ステージは、前記隙間検知手段による隙間量が許容値でない場合には、前記加熱冷却手段で前記加熱変形性材料を再溶融させた後、基準位置に復帰することを特徴とする請求項５記載のアンテナ製造装置。
【請求項７】
被加工物に複数の突起部を設け、前記被加工物を基本固定具で支持すると共にステージで前記突起部に対向する位置に加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具を近接させる第１の工程と、このワックス収納具を加熱することにより、前記加熱変形性材料を溶融させる第２の工程と、前記加熱変形性材料の溶融期間中に、前記ステージで前記突起部を前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接しない位置まで埋設させ、前記被加工物の変位測定初期値とする第３の工程と、前記ワックス収納具を冷却することにより、前記加熱変形性材料を凝固させる第４の工程と、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定し、固設される前に測定した前記変位測定初期値との差分をキャンセルするように前記ステージを移動させ、この移動前後の変位差を補正値とし、この補正値が許容値以下の場合に被加工物の加工面の切削を開始させる第５の工程を含むアンテナ製造装置の製造方法。
【請求項８】
前記補正値は、個々のステージを順次移動させたそれぞれの場合に対応して作成され、それぞれの補正値が許容値以下の場合に前記被加工物の加工面の切削を開始することを特徴とする請求項７記載のアンテナ製造装置の製造方法。
【請求項９】
前記補正値は、前記被加工物の複数の測定位置における変位の平均値であることを特徴とする請求項７又は８に記載のアンテナ製造装置の製造方法。
【請求項１０】
被加工物に複数の突起部を設け、前記被加工物を基本固定具で支持すると共にステージで前記突起部に対向する位置に加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具を近接させる第１の工程と、このワックス収納具を加熱することにより、前記加熱変形性材料を溶融させる第２の工程と、前記加熱変形性材料の溶融期間中に、前記ステージで前記突起部を前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に予め前記ワックス収納具の底面に設置した前記突起部との隙間を検知する隙間検知手段の指示値に基づき、前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接させないように埋設させ、変位測定初期値とする第３の工程と、前記ワックス収納具を冷却することにより、前記加熱変形性材料を凝固させる第４の工程と、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定し、固設される前の前記変位測定初期値との差分をキャンセルするように前記ステージを移動させ、この移動前後の変位差を補正値とし、この補正値が許容値以下の場合に被加工物の加工面の切削を開始させる第５の工程を含むアンテナ製造装置の製造方法。
【請求項１１】
前記補正値は、個々のステージを順次移動させたそれぞれの場合に対応して作成され、それぞれの補正値が許容値以下の場合に前記被加工物の加工面の切削を開始することを特徴とする請求項１０記載のアンテナ製造装置の製造方法。
【請求項１２】
前記補正値は、前記被加工物の複数の測定位置における変位の平均値であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のアンテナ製造装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、切削抵抗による変形が生じやすい剛性の低いアルミなどの材料や自重変形を生じやすい大型パラボラアンテナなどの大形薄肉形状の被加工物で、高精度の削り加工が要求されるアンテナ製造装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
１００ＧＨｚ以上の周波数の電波は、その波長がミリメートルからサブミリメートルと短いために鏡面精度にして数μｍＲＭＳレベルが必要となる。通常のアンテナパネルに用いられる板の成形加工では、この精度を得るのは困難であるため、切削加工による所望の精度を得る試みがなされてきた。
【０００３】
特開２００４−３４２６２号公報図１には、アンテナパネルＡ１の裏面Ａ１２は、球面軸受３２などの自動調心軸受を備えた基本固定具３により加工定盤１２に固定され、その反射面Ａ１１が加工工具１１により加工されるアンテナ製造装置などが開示されている。
【０００４】
また、同公報図６ではアンテナパネルＡ１の裏面Ａ１２は、通常の基本固定具３により加工定盤１２に固定され、さらにアンテナパネルＡ１の加工工具１１の加工力により変形し易い個所のアンテナパネルＡ１の裏面Ａ１２と加工定盤１２との間に、加熱変形性材料で形成された硬度可変部６１とペルチェ素子（加熱冷却部）６２とからなる硬度可変性支持具６を設置した状態で反射面Ａ１１を加工することが記載されている。
【０００５】
特開平１０−２１７０７５号図２及び図３にはＳＴ１１工程にて薄板４を定盤１上にワックス３固定し、片面研削し（ＳＴ１２）、ワックス３を溶融し（ＳＴ１３）再度薄板４を定盤１上にワックス３固定し（ＳＴ１４）、同面研削・鏡面加工し（ＳＴ１５）、ＳＴ１６工程においてワックス３を溶融し薄板４を取り外す薄板の研削加工方法を示すフローチャートとその説明図（図３）が開示されている。
【０００６】
特開２０００−３０８９３３号公報図１には工作機械のテーブル４上に載置され、固定される基台と、基台上でワークＷを支持する支持手段と、支持手段により支持されたワークＷを押圧して、基台上に保持，固定するクランプ手段２０，２１，２２と、保持，固
定されるワークＷの変形状態を検出する変形検出手段４０と、検出されたワークＷの変形状態を基に、クランプ手段２０，２１，２２の押圧力を調整，制御するクランプ制御手段３５とを設けたワーク取付，保持装置が開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−３４２６２号公報
【０００８】
【特許文献２】特開平１０−２１７０７５号公報
【０００９】
【特許文献３】特開２０００−３０８９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特開２００４−３４２６２号公報の従来の装置および方法においては、ペルチェ素子を使った加熱変形性材料により、被加工物を固定することを記載しているものの、凝固固定方法に関する検討が充分なされておらず、固定部が外れてしまったり、位置変化があり、高精度化に対するさらなる検討の余地があり、機械的なクランプ方法を主として考えざるを得ないという問題点があった。
【００１１】
また、特開平１０−２１７０７５号公報ではワックスを薄板を介して回転する定盤上に塗布して薄板を砥石で研削加工後、加熱させワックスを溶融し、その後ワックスを自然冷却し、ファインセラミックなどの薄板を再加工しているものの、ワックスの塗布領域や、それを収納する容器、また具体的な加熱・冷却方法については言及されていない。
【００１２】
特開２０００−３０８９３３号公報ではクランプ手段によって保持，固定されるワークの変形状態を検出する変形検出手段と、前記変形検出手段により検出されたワークの変形状態を基に、前記クランプ手段の押圧力を調整，制御するクランプ制御手段とを設けて構成することにより、ワークの変形を許容範囲内に押さえ、加工負荷によるワークの変位を防止しているが、クランプ手段に機械的押圧力の調整が必要となり装置が複雑になるという問題点があった。
【００１３】
この発明に係るアンテナ製造装置及びその製造方法では、上記のような問題点を解決するためになされたもので、高精度な削り加工が要求されるアンテナパネルの好適な低歪みを実現するため、加熱変形性材料（ＷＡＸ等）を用い、高精度化のためのアルゴリズムを組込んだアンテナ製造装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明の請求項１に係るアンテナ製造装置は、前面を加工面とする被加工物の背面を支持する基本固定具と、前記被加工物の背面に設けた複数の突起部に対向して設置された加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具と、個々の前記ワックス収納具を加熱冷却することにより、前記加熱変形性材料を可逆的に溶融・凝固させる加熱冷却手段と、前記加熱変形性材料の溶融時に、前記突起部を前記ワックス収納具内に充填された前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接しない位置で埋設する前記突起部の延在方向に可動するステージと、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定することを含む変位測定手段とを備えたものである。
【００１５】
この発明の請求項２に係るアンテナ製造装置は、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面を測定した変動変位と、固設される前の変位測定初期値との差分をキャンセルするように前記ステージを移動させ、この移動前後の変位差を補正値とし、この補正値が許容値以下の場合に被加工物の加工面の切削を開始することを特徴とする請求項１に記載のものである。
【００１６】
この発明の請求項３に係るアンテナ製造装置は、前記補正値は、個々のステージを順次移動させたそれぞれの場合に対応して作成され、それぞれの補正値が許容値以下の場合に前記被加工物の加工面の切削を開始することを特徴とする請求項２に記載のものである。
【００１７】
この発明の請求項４に係るアンテナ製造装置は、前記補正値は、前記被加工物の複数の測定位置における変位の平均値であることを特徴とする請求項２又は３に記載のものである。
【００１８】
この発明の請求項５に係るアンテナ製造装置は、前面を加工面とする被加工物の背面を支持する基本固定具と、前記被加工物の背面に設けた複数の突起部に対向して設置された加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具と、このワックス収納具の前記加熱変形性材料が充填されている底面に設置され、前記突起部との隙間を検知する隙間検知手段と、個々の前記ワックス収納具を加熱冷却することにより、前記加熱変形性材料を可逆的に溶融・凝固させる加熱冷却手段と、前記加熱変形性材料の溶融時に、前記突起部を前記ワックス収納具内に充填された前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接しない位置で埋設する前記突起部の延在方向に可動するステージと、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定することを含む変位測定手段とを備えたものである。
【００１９】
この発明の請求項６に係るアンテナ製造装置は、前記ステージは、前記隙間検知手段による隙間量が許容値でない場合には、前記加熱冷却手段で前記加熱変形性材料を再溶融させた後、基準位置に復帰することを特徴とする請求項５に記載のものである。
【００２０】
この発明の請求項７に係るアンテナ製造装置の製造方法は、被加工物に複数の突起部を設け、前記被加工物を基本固定具で支持すると共にステージで前記突起部に対向する位置に加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具を近接させる第１の工程と、このワックス収納具を加熱することにより、前記加熱変形性材料を溶融させる第２の工程と、前記加熱変形性材料の溶融期間中に、前記ステージで前記突起部を前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接しない位置まで埋設させ、前記被加工物の変位測定初期値とする第３の工程と、前記ワックス収納具を冷却することにより、前記加熱変形性材料を凝固させる第４の工程と、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定し、固設される前に測定した前記変位測定初期値との差分をキャンセルするように前記ステージを移動させ、この移動前後の変位差を補正値とし、この補正値が許容値以下の場合に被加工物の加工面の切削を開始させる第５の工程を含むものである。
【００２１】
この発明の請求項８に係るアンテナ製造装置の製造方法は、前記補正値は、個々のステージを順次移動させたそれぞれの場合に対応して作成され、それぞれの補正値が許容値以下の場合に前記被加工物の加工面の切削を開始することを特徴とする請求項７に記載のものである。
【００２２】
この発明の請求項９に係るアンテナ製造装置の製造方法は、前記補正値は、前記被加工物の複数の測定位置における変位の平均値であることを特徴とする請求項７又は８に記載のものである。
【００２３】
この発明の請求項１０に係るアンテナ製造装置の製造方法は、被加工物に複数の突起部を設け、前記被加工物を基本固定具で支持すると共にステージで前記突起部に対向する位置に加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具を近接させる第１の工程と、このワックス収納具を加熱することにより、前記加熱変形性材料を溶融させる第２の工程と、前記加熱変形性材料の溶融期間中に、前記ステージで前記突起部を前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に予め前記ワックス収納具の底面に設置した前記突起部との隙間を検知する隙間検知手段の指示値に基づき、前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接させないように埋設させ、変位測定初期値とする第３の工程と、前記ワックス収納具を冷却することにより、前記加熱変形性材料を凝固させる第４の工程と、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定し、固設される前の前記変位測定初期値との差分をキャンセルするように前記ステージを移動させ、この移動前後の変位差を補正値とし、この補正値が許容値以下の場合に被加工物の加工面の切削を開始させる第５の工程を含むものである。
【００２４】
この発明の請求項１１に係るアンテナ製造装置の製造方法は、前記補正値は、個々のステージを順次移動させたそれぞれの場合に対応して作成され、それぞれの補正値が許容値以下の場合に前記被加工物の加工面の切削を開始することを特徴とする請求項１０に記載のものである。
【００２５】
この発明の請求項１２に係るアンテナ製造装置の製造方法は、前記補正値は、前記被加工物の複数の測定位置における変位の平均値であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のものである。
【発明の効果】
【００２６】
この発明のアンテナ製造装置では、前面を加工面とする被加工物の背面を支持する基本固定具と、前記被加工物の背面に設けた複数の突起部に対向して設置された加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具と、個々の前記ワックス収納具を加熱冷却することにより、前記加熱変形性材料を可逆的に溶融・凝固させる加熱冷却手段と、前記加熱変形性材料の溶融時に、前記突起部を前記ワックス収納具内に充填された前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接しない位置で埋設する前記突起部の延在方向に可動するステージと、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定することを含む変位測定手段とを備えたので、高精度な削り加工が要求されるアンテナパネルの好適な低歪みを実現できるため、ばらつきの少ない高品質・高精度なアンテナパネルを製造できる効果がある。
【００２７】
この発明のアンテナ製造装置の製造方法では、被加工物に複数の突起部を設け、前記被加工物を基本固定具で支持すると共にステージで前記突起部に対向する位置に加熱変形性材料を内部に充填したワックス収納具を近接させる第１の工程と、このワックス収納具を加熱することにより、前記加熱変形性材料を溶融させる第２の工程と、前記加熱変形性材料の溶融期間中に、前記ステージで前記突起部を前記加熱変形性材料内に浸漬させると共に前記突起部を前記ワックス収納具の底面に当接しない位置まで埋設させ、前記被加工物の変位測定初期値とする第３の工程と、前記ワックス収納具を冷却することにより、前記加熱変形性材料を凝固させる第４の工程と、前記加熱変形性材料の凝固時に、前記突起部と前記ワックス収納具とが固設された状態で前記被加工物の背面の変位量を測定し、固設される前に測定した前記変位測定初期値との差分をキャンセルするように前記ステージを移動させ、この移動前後の変位差を補正値とし、この補正値が許容値以下の場合に被加工物の加工面の切削を開始させる第５の工程を含むので、変形が発生し易い剛性の低いアルミ材料や大形薄肉形状の被加工物であっても加工時の変形を極力抑制できる値に規定したため、加工時の変形量とばらつきを小さく抑えることができ、加工精度のばらつきの少ない高品質・高精度なアンテナパネルを製造できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
実施例１．
以下、この発明の実施例１について説明する。図１はこの発明のアンテナ製造装置の加工部周辺の構成を示す側面図である。図１において、１は被加工物であるアンテナパネル、１ａはアンテナパネル１の前面であり加工面でもある。１ｂはアンテナパネル１の背面（裏面）である。２はアンテナパネル１を支持するためにアンテナパネル背面１ｂに設けられた基本固定具である。３はアンテナパネル１の背面１ｂに複数個設けた突起部である。４は突起部３近傍に設置されたワックスなどの加熱変形性材料、５はワックス４を収納するワックス収納具、６はペルチェ素子で構成され、ワックス収納具５内に充填されたワックス４を加熱冷却する加熱冷却手段、７は突起部３に近接設置されたワックス収納部５を上下に可変するステージ、８はレーザ変位計などの変位センサで構成された変位測定手段であり、その出力はディジタル出力される。９は定盤などの基準面であり、基本固定具２、ステージ７及び変位測定手段８などが設置される。
【００２９】
図２はこの発明のアンテナ製造装置の加工面の構成を説明する上面平面図であり、図１と同一符号は同一又は相当部を示す。図２において２ａはアンテナパネル１を支持する基本固定具２の設置領域、８ａ〜８ｈはアンテナパネル１の変位測定位置、１１はアンテナパネル１の４隅に設けられ、近接した２箇所を１対としてクランプするワックスクランプ位置（クランプ位置）であり、ＡＢＣＤＥＦＧＨで表現される。図３はワックスクランプ位置１１近傍の加工部の構成を示す部分拡大図である。
【００３０】
一般に自重変形や切削抵抗による変形等、剛性の低い材料、たとえば９００ｍｍ平方で厚さ２ｍｍ程度の大面積薄板形状の代表的な例であるアンテナパネルなどは、軽量にして必要な機械的強度を確保するために、フレームの上部にアルミニウム合金製の板材を張付けて、反射面とした構造を成す。このようなアンテナパネルは、少なくともパネル面側では３点程度で支持されて、固定具を介して定盤などに固定される。その後、反射面を切削・研削などして機械加工される。
【００３１】
しかしながら、上記した３点の支持だけでは、自重変形や切削抵抗による変形が発生するため、その他の箇所をクランプする必要が出てくる。そこで、図２に示したように、アンテナパネル１の機械的に弱い箇所と推定される四隅をＡＢ、ＣＤ、ＥＦ、ＧＨの２箇所ずつクランプする。具体的には図３に示す部分拡大図のようにアンテナパネル１の背面（裏面）に仮設固定用の突起、例えばボルトをねじ込み、突起部３とする。一方、図１に示すように定盤９からスペーサ７で高さ調整された冷却ファン付ペルチェ素子６上に低融点ワックスなどの加熱変形性材料４を充填させたワックス収納具５を突起部３に近接して設置する。
【００３２】
次に動作について説明する。図３において、冷却ファン付ペルチェ素子６に通電すると、ワックス収納具５が加熱され、その中に充填されているワックス４が溶融する。その状態で、上下可動するスペーサ７で突起部３をワックス４の中に入れ、冷却ファン付ペルチェ素子６のペルチェ素子６に対する通電を停止する。結果、ワックス４の凝固が始まり、数分経過すると完全にワックス４は凝固した状態となり、突起部３がクランプされる。この時発生するアンテナパネル１の変形は、数μｍ〜数１０μｍであり、機械的なクランプと比較すれば小さい値となるため、その値が製品要求仕様値、すなわち許容値であれば、アンテナパネル１の加工が開始される。この一連のプロセスは自動的に実施される。なお、図３において突起部３先端とワックス収納具５のワックス４が充填されている底面との隙間をｔとする。
△
【００３３】
図４は、図３に示す隙間（ｔ）をパラメータとして、図２に示すＣＤのクランプ位置をワックス４で固定した場合の各変位測定位置８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ及び８ｅにおけるアンテナパネル１の変位（変形量）を示したものである。隙間（ｔ）は０．０３ｍｍ、０．０５ｍｍ、０．１ｍｍ、０．３ｍｍ、０．５ｍｍ、４ｍｍの場合について手動で設定した。図からＣＤクランプ位置近傍の変位測定位置（部位）８ｃのポイントが最も大きく変位している。また、ＣＤクランプ位置から離れる程小さくなり、部位８ａと部位８ｅでは変形方向が逆転することがわかる。また、隙間（ｔ）が小さい程、変形量も小さくなる傾向がある。
【００３４】
図５は、別の実験結果による隙間（ｔ）と各部位８ａ〜８ｅにおける変位との関係を示したもので、図から隙間（ｔ）が０．５ｍｍまでの間に大きな変動（変形）があり、隙間（ｔ）が０．５ｍｍを越えるとほとんど変化しないこともわかる。以上から概略、隙間（ｔ）は小さい程アンテナパネル１の変位の変動は安定する。但し、装置の温度変化により隙間（ｔ）が変化し０になると加工に支障をきたすので実験的には０．０５以上が妥当な隙間の基準値（設定指示値）となる。要求精度が比較的高くない場合には、調整が簡単なように隙間（ｔ）を充分確保するため隙間（ｔ）の基準値を大きくしても良い。
【００３５】
実施例２．
実施例１では、アンテナパネル１の略中心部に３個の基本固定具２を用いてアンテナパネル１を支持し、アンテナパネル１の４隅に設けた位置でクランプし、アンテナパネル１の各部位の変位を変位測定手段８で測定する基本構成を示した。また隙間の測定には、ステージ７を上昇させ、突起部３がクランプされた状態の変位センサ８が検出した変位の変動位置による目視測定や、予め決められたステージ移動距離の設定値を基に求めていたが、隙間の基準面はワックス収納具５の底面であるので基準面を求めるには一度は突起部３をワックス収納具５の底面（底辺）に接触させるなどして精測する必要がある。
【００３６】
実施例２では、ワックス収納具５と突起部３先端との隙間を非接触で測定する方法について説明する。図６はこの発明のアンテナ製造装置の加工部周辺の構成を示す部分拡大図であり、第１図乃至第３図と同一符号は同一又は相当部を示す。図６において、１２はワックス収納具５のワックス４が充填されている底面に設置された渦電流式の超薄型ギャップセンサである。
【００３７】
次に動作について説明する。突起部３はボルトなどの導体材料を使用しているので、ギャップセンサ１２は絶縁物であるワックス４を介して突起部３との距離を算出する。この距離（ギャップ）情報をディジタル出力することにより、最適ギャップの設定や検出を行う。ワックス４が透明であれば光センサを用いても良く、超音波式や静電式であっても同等の隙間検知手段１２となり得る。なお、適切な隙間が検出できない場合、ステージ７は元の基準値に戻る。
【００３８】
以上から隙間検知手段１２をワックス収納具５の底面側内部に設置することで、ワックス４の溶融状態で正確に隙間を設定できるので、ステージ７の上昇可動による突起部３との衝突が防止されアンテナパネル１の微少変形に対する変位測定基準値の誤差の解消に加えて測定された隙間の最適値からのずれによるステージ７の再操作の煩雑性も解消される。
【００３９】
実施例３．
実施例１では突起部３とワックス収納具５とが固設された状態で被加工物の加工面の変位量を測定することを述べたが、実施例３ではアンテナパネル１の変位に対する補正方法について詳述する。図７は、ペルチェ素子６の通電を停止し、ワックス収納具５の冷却する過程において、ワックス４の冷却時間と各部位８ａ〜８ｅにおけるアンテナパネル１の変位変動との関係を示したものである。設定条件は実施例１同様ＣＤクランプ位置をワックス４で固定した場合であり、ギャップセンサ１２による隙間は０．０５ｍｍで設定している。図７から１００秒を過ぎた頃からアンテナパネル１の変位変動（変形）が始まり６００秒後でほぼ安定した値となる。変動幅は約９μｍあり、変動値は突起部３が固設される前の各部位（測定点）の変位測定基準値（変位測定初期値  通常００００）から換算する。
【００４０】
次にステージ７を再可動させて、各測定点における変動幅（ばらつき）を最少化させる。すなわち、ワックス４の凝縮によりＣＤのクランプ位置では、下方方向の自重に加えて応力が加わるので、弾性変形が生じ、アンテナパネル１全体では各部位はＣＤクランプ位置を中心として初期の位置からの変位変動が増大しており、且つＣＤのクランプ位置から遠方になるほど傾斜による変位変動がある。以下、本実施例ではＣＤクランプ位置近傍の部位（測定点）８ｃの変位がマイナス方向（マイナス変位）であったのでステージ７を上方に可動させ、各測定点８ａ〜８ｅの変位が初期状態に戻る方向に補正する。
【００４１】
図８は図７で示した各測定点８ａ〜８ｅの変位測定基準値を起点として求めた変動値（補正前数値と呼ぶ）に対してステージ７を上昇させた場合の各測定点８ａ〜８ｅの変位である。図８ではステージ７による補正量が８０パルスでＣＤクランプ位置近傍の測定点８ｃの変位変化が零になるので、これを補正上限とすると、他の部位（測定点）の変位は約３μｍのばらつきにまで改善されている。
【００４２】
なお、ステージ７の可動は１パルス分解能０．１μｍで正確に上昇させる。そして、ステージ７を可動させて得られた各部位の変位値と、上述の各部位の補正前数値との差分を補正後の数値とする。補正後の数値は、ステージ７の可動前後の突起部３の固設状態による変動データなので、アンテナパネル１の各クランプ位置１１における基本補正データとなりこの値は個々の部位変位の単純平均やＲＭＳ平均を行い、補正処理される。
【００４３】
なお、本実施例では、ＣＤクランプ位置近傍の測定点８ｃの変位を略零になるようにキャンセルし、初期値に近づくように補正した一例であるが、変位を零になるように設定する必要は無く、他の部位の変形量のばらつき分布によってステージ７の設定値を調整しても良くワックス４などに軟化性材料を用いたような材料に変更することによっても本実施例の補正方法を使用して更にばらつきの少ない変位変動の低減が期待でき、アンテナ製造装置による被加工物の加工の高精度化が実現できる。
【００４４】
実施例４．
実施例１乃至３では、一対のクランプ位置の当該位置から検討した補正値に関して説明したが、クランプ位置が多数存在する場合について、アンテナ製造装置の全体構成と共に説明する。図９は、アンテナ製造装置の装置構成図を示したものである。通常の加工機（含制御系）はテーブルと工具をＮＣプログラムにより被加工物に対して位置決め制御し加工を行うものである。本発明では、テーブルに被加工物を固定する部分の治具に、ワックスクランプ部と変位センサ部と補正機構部とを設け、低歪クランプ制御装置により、ワックスクランプをＯＮ／ＯＦＦすると共に、変位センサ８の値を見ながら補正機構部を制御してアンテナパネルの変形を補正するアンテナ製造装置及びその製造方法を提供する。
【００４５】
図１０は、上記一連のプロセスもしくは製造方法をフローチャートにして示したものである。以下、図１０のフローチャートについて説明する。
【００４６】
（１）ペルチェ素子６に通電してＷＡＸ（ワックス）４を溶解する（全体の８ヶ所）。ＷＡＸが完全に溶けた段階で、（２）精密ステージ７を上昇させ、ＷＡＸ中にＷＡＸ固定用突起部３を挿入する。
【００４７】
（３）変位センサ８によるアンテナパネル１の変位測定を開始するため、データをリセットする（値０）。
【００４８】
（４）ＡＢ位置のペルチェ素子６への通電を停止してＷＡＸ４を凝固させてＷＡＸ固定用突起部３をクランプする。
【００４９】
（５）ＡＢ位置のＷＡＸ４が凝固すると凝固収縮により、ＷＡＸ固定用突起部３が動き、アンテナパネル１が弾性変形する。それに伴い変化する変位センサ８の値を制御装置に取り込む。
【００５０】
（６）アンテナパネル１の変形方向とは逆方向に、ＡＢ位置の精密ステージ７を微動させ、変形量を補正する。
【００５１】
（７）変化した変位センサ８の値を制御装置に取り込む。
【００５２】
（８）補正前後の差から、アンテナパネルの変形量を計算する (各部位の変形量の平均値を求める)。ここでは単純平均を求める例を示したが、ＲＭＳ平均や最も変形の大きい部分を基準として数値としても良い。
【００５３】
（９）平均値が要求仕様精度から予め決めた許容値以下になるまで（６）〜（８）を繰り返す。次に許容値以下になれば（１０）ＣＤ⇒ＥＦ⇒ＧＨとワックスクランプ位置１１を増やしていき、ＡＢ同様に（６）〜（９）を繰り返す。
【００５４】
全箇所が固まった段階で、アンテナパネル１全体の変形データが、要求仕様精度から予め決めた許容値以下であれば、（１１）切削工程に入る。許容値以上であれば、（１）のペルチェ素子６によるＷＡＸ４溶解に戻る。すなわちスタートから始め（１０）までを繰り返す。切削加工後は（１２）ＷＡＸ４を再溶解し、加工による歪みを開放する。この時発生した変形量を同様に変位センサ８で測定し、データを取り込む。この変形量が許容値以下であれば、加工完了又は追加加工工程に入る。変形量が許容値以上であれば、（３）の工程に戻り、以下の工程を繰り返す。このようにして、自動制御で量産レベルであってもばらつきの少ない高品質・高精度なアンテナパネルなどの製品の製造が可能となる。
【００５５】
本実施例ではワックスクランプ位置１１の２箇所をまとめて説明したが単独で実施しても良いことは述べるまでも無い。また互いに隣接する２箇所を同時にクランプしたり、全箇所を同時にクランプして補正を実施しても相応の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】この発明の実施例１によるアンテナ製造装置の加工部周辺の構成を示す側面図である。
【図２】この発明の実施例１によるアンテナ製造装置の加工面の構成を示す上面平面図である。
【図３】この発明の実施例１によるアンテナ製造装置の部分拡大図である。
【図４】この発明の実施例１によるアンテナ製造装置の加工面変位を説明する図である。
【図５】この発明の実施例１によるアンテナ製造装置の加工面変位を説明する図である。
【図６】この発明の実施例２によるアンテナ製造装置の部分拡大図である。
【図７】この発明の実施例３によるアンテナ製造装置の加工面変位を説明する図である。
【図８】この発明の実施例３によるアンテナ製造装置の加工面変位を説明する図である。
【図９】この発明の実施例４によるアンテナ製造装置の構成図を示したものである。
【図１０】この発明の実施例４によるアンテナ製造装置および製造方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５７】
１  アンテナパネル（被加工物）、  １ａ  前面（加工面）、  １ｂ  背面（裏面）、  ２  基本固定具、  ２ａ  基本固定具の設置領域、  ３  突起部（ＷＡＸ固定用突起部）、  ４  ワックス（加熱変形性材料）、  ５  ワックス収納具、  ６ペルチェ素子（加熱冷却手段）、  ７  ステージ（精密ステージ）、  ８  変位センサ（変位測定手段）、  ８ａ〜８ｈ  変位測定位置（部位）、  ９  基準面（定盤）、  １１  ワックスクランプ位置（Ａ〜Ｈ）、  １２  ギャップセンサ（隙間検知手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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