(57)【要約】【課題】  薄いフィルムに存在するピンホールの有無の測定を確実に行えるピンホール試験装置およびピンホール試験方法を提供する。【解決手段】  上側試験用プレートと下側試験用プレートには、それぞれガス供給口とガス排出口とが形成されており、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持した際に、ピンホール試験を行う前に、これらのガス供給口とガス排出口を開閉して、これらの試験用プレートと被測定フィルムとの間に存在するガスを、ピンホール試験用ガスと置換するガス流路切り替え制御装置を備えるとともに、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、一方の試験用プレートを他方の試験用プレートに接近する方向に押圧付勢する圧力負荷装置を備える。【選択図】  図１
2006029909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の相互に離接可能に対峙して配置され、被測定フィルムを上下方向から挟持する上側試験用プレートと下側試験用プレートを備え、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持するとともに、
一方の試験用プレートから、ピンホール試験用ガスを被測定フィルムの一方の表面に供給することによって、被測定フィルムを通過して、被測定フィルムの他方の面に漏洩するピンホール試験用ガスのガス流量を、他方の試験用プレートを介して測定することによって、フィルムのピンホールの有無を測定するように構成したフィルムのピンホールの有無を測定するためのピンホール試験装置であって、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートには、それぞれガス供給口とガス排出口とが形成されており、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持した際に、
ピンホール試験を行う前に、これらのガス供給口とガス排出口を開閉して、これらの試験用プレートと被測定フィルムとの間に存在するガスを、ピンホール試験用ガスと置換するガス流路切り替え制御装置を備えるとともに、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、一方の試験用プレートを他方の試験用プレートに接近する方向に押圧付勢する圧力負荷装置を備えることを特徴とするピンホール試験装置。
【請求項２】
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、位置決めを行うための位置決め装置を備えることを特徴とする請求項１に記載のピンホール試験装置。
【請求項３】
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、上側試験用プレートまたは下側試験用プレートの撓み、または両試験用プレートの撓みを防止するする撓み防止装置を備えることを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載のピンホール試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄いフィルムに存在するピンホールの有無の測定を確実に行えるピンホール試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から行われているフィルムのピンホール試験方法には、光学式ピンホール検査方法、通電式ピンホール試験方法がある。
このような光学式ピンホール検査方法としては、ＣＣＤカメラなどで、フィルムに存在するピンホールを電気信号として検知する方法がある。しかしながら、この方法では、検出可能なピンホールの大きさに限度がある。
【０００３】
このため、光学式ピンホール検出機の検出感度を高めるために、特許文献１（特開平８−３３８８１４号公報）に開示されているように、紫外線を用いるなど、数多くの提案がなされている。
【０００４】
しかしながら、一般に市販されている光学式ピンホール検出システムでは、通常検出されるピンホールの大きさは、約２００μｍ以上、ＣＣＤカメラ数台使用しても約５０μｍ程度にとどまっているのが現状である。
【０００５】
また、透過光強度の差でピンホールを検出する方式であるため、特許文献２（特開平８−２７９１３９号公報）において課題とされている凹みまで検出してしまい、ピンホールとの区別ができないという問題があった。
【０００６】
また、特許文献３（特開平６−１８４４５号公報）には、フィルムの両側面に、さらに偏光子を特定の傾きで挿入配置して、ピンホール部分の明暗差を拡大する方法が提案されている。
【０００７】
しかしながら、この方法をさらに応用して、ピンホールや異物周辺でフィルムの構造歪による複屈折を、偏光子により明暗として拡大して検知することで、微細な欠点を検出することができるが、欠点の種類がピンホールかどうかが判別できない問題がある。
【０００８】
一方、通電式ピンホール試験方法は、フィルムの両面に電圧を加え、電気が流れることによって、ピンホールの有無を検出するピンホール試験である。
このような通電検出方式では、検出用電圧を高めることによって、小さなピンホールまで検出できるため、電気絶縁用途や隔膜用途分野で用いられている。
【０００９】
しかしながら、フィルムに僅かに薄い部位や気泡が存在すると、電圧が高いことから絶縁破壊を起こすおそれがある。また、この場合、フィルムが導電性フィルムや吸湿性の高いフィルムの場合には、常に通電状態となり、ピンホール検査ができない状態となってしまう。
【特許文献１】特開平８−３３８８１４号公報
【特許文献２】特開平８−２７９１３９号公報
【特許文献３】特開平６−１８４４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような現状に鑑み、フィルムの特性に影響されずに、フィルムに存在す
るピンホールを確実に検出することができるピンホール試験装置およびピンホール試験方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明のピンホール試験装置は、
一対の相互に離接可能に対峙して配置され、被測定フィルムを上下方向から挟持する上側試験用プレートと下側試験用プレートを備え、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持するとともに、
一方の試験用プレートから、ピンホール試験用ガスを被測定フィルムの一方の表面に供給することによって、被測定フィルムを通過して、被測定フィルムの他方の面に漏洩するピンホール試験用ガスのガス流量を、他方の試験用プレートを介して測定することによって、フィルムのピンホールの有無を測定するように構成したフィルムのピンホールの有無を測定するためのピンホール試験装置であって、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートには、それぞれガス供給口とガス排出口とが形成されており、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持した際に、
ピンホール試験を行う前に、これらのガス供給口とガス排出口を開閉して、これらの試験用プレートと被測定フィルムとの間に存在するガスを、ピンホール試験用ガスと置換するガス流路切り替え制御装置を備えるとともに、
前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、一方の試験用プレートを他方の試験用プレートに接近する方向に押圧付勢する圧力負荷装置を備えることを特徴とする。
【００１２】
このように構成することによって、ピンホール試験用ガスを被測定フィルムの一方の表面に供給することによって、フィルムに存在するピンホールを介して被測定フィルムを通過して、被測定フィルムの他方の面に漏洩するピンホール試験用ガスのガス流量を測定するだけでよいので、フィルムの特性に影響されずに、フィルムに存在するピンホールの大小にかかわらず、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。
【００１３】
また、このように、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持することによって、被測定フィルムを位置がすれることなく保持することができる。
【００１４】
そして、この状態で、一方の試験用プレートから、ピンホール試験用ガスを被測定フィルムの一方の表面に供給することによって、フィルムに存在するピンホールを介して被測定フィルムを通過して、被測定フィルムの他方の面に漏洩するピンホール試験用ガスのガス流量を、他方の試験用プレートを介して測定することによって、フィルムの特性に影響されずに、フィルムに存在するピンホールの大小にかかわらず、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。
【００１５】
さらに、このようにガス流路切り替え制御装置によって、ピンホール試験を行う前に、これらのガス供給口とガス排出口を開閉して、これらの試験用プレートと被測定フィルムとの間に存在するガスを、ピンホール試験用ガスと置換することができるので、ピンホール試験用ガスのみによって、ピンホール試験を行うことができるので、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。
【００１６】
また、本発明のピンホール試験装置は、前記上側試験用プレートと下側試験用プレート
との間に、被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、位置決めを行うための位置決め装置を備えることを特徴とする。
【００１７】
このように位置決め装置によって、被測定フィルムを位置がすれることなく保持することができるので、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。
このよう圧力負荷装置によって、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持して、一方の試験用プレートを他方の試験用プレートに接近する方向に押圧付勢するので、被測定フィルムを位置がすれることなく保持することができるとともに、ピンホール試験用ガスが外部に漏洩することがないので、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。
【００１８】
また、本発明のピンホール試験装置は、前記上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、上側試験用プレートまたは下側試験用プレートの撓み、または両試験用プレートの撓みを防止するする撓み防止装置を備えることを特徴とする。
【００１９】
このように撓み防止装置によって、上側試験用プレート、下側試験用プレートの撓みを防止するので、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に、被測定フィルムを上下方向から挟持する際に、上側試験用プレート、下側試験用プレートの反りやダメージを防止することができ、その結果、上側試験用プレートと下側試験用プレートとの間に挟持される被測定フィルムを破損損傷することがない。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、フィルムの特性に影響されずに、フィルムに存在するピンホールを確実に検出することができるピンホール試験装置およびピンホール試験方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明のピンホール試験装置装置の正面図、図２は、図１のピンホール試験装置の側面図、図３は、図１のピンホール試験装置の上面図、図４は、図１のピンホール試験装置の図１のＡ−Ａ線での上面図である。
【００２２】
図１〜図４において、１０は、全体で本発明のピンホール試験装置を示している。
図１に示したように、本発明のピンホール試験装置１０は、工場などの床に移動自在に載置されるベース基台１２を備えている。
【００２３】
このベース基台１２上には、下側定盤部材１４が固定されており、この下側定盤部材１４の上面には、略矩形状の下側試験用プレート１６が着脱自在に固定されている。
また、この下側定盤部材１４の四隅にはそれぞれ、支柱部材１５が立設されており、これらの支柱部材１５の上端に上端フレーム板部材１８が固定されている。
【００２４】
さらに、これらの支柱部材１５に沿って、上下方向に移動自在に案内される押圧移動部２０を備えている。この押圧移動部２０は、上方フレーム板部材２２と、この上方フレーム板部材２２に対して、接近離反する方向に移動自在に構成された下側定盤部材２４とを備えている。そして、これらの上方フレーム板部材２２と、下側定盤部材２４との間には、支柱部材１５を取り囲むように、上方フレーム板部材２２と、下側定盤部材２４とを相互に離反する方向に付勢する圧力負荷装置として機能するバネ部材２６が介装されている。
【００２５】
そして、上端フレーム板部材１８の上方には、エアシリンダ２８が固定されており、このエアシリンダ２８の軸部３０の先端が、押圧移動部２０の上方フレーム板部材２２に連結されている。これによって、エアシリンダ２８の作動によって、押圧移動部２０が、上下方向に移動することができるように構成されている。
【００２６】
また、押圧移動部２０の下側定盤部材２４の下面には、下側試験用プレート１６と一対になった略矩形状の上側試験用プレート３２が着脱自在に固定されている。
このように構成することによって、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを設置した後、エアシリンダ２８を作動させて、押圧移動部２０を下方に移動することによって、上側試験用プレート３２が下側試験用プレート１６に当接して、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを上下方向から挟持するようになっている。
【００２７】
この際、バネ部材２６によって、下側定盤部材２４が、上方フレーム板部材２２から離反する方向に付勢されているので、下側定盤部材２４が下方向に付勢されることになる。すなわち、下側定盤部材２４に固定された上側試験用プレート３２が、下側試験用プレート１６側に付勢されて、上側試験用プレート３２を下側試験用プレート１６に接近する方向に押圧付勢するようになっている。
【００２８】
このように構成することによって、被測定フィルムＦを位置がすれることなく保持することができるとともに、ピンホール試験用ガスが外部に漏洩することがないので、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができる。しかも、上側試験用プレート３２を下側試験用プレート１６に接近する方向に移動させた際に、バネ部材２６がクッション作用をして、衝撃を緩和することができ、上側試験用プレート３２、下側試験用プレート１６、被測定フィルムＦの破損損傷を防止することができるようになっている。
【００２９】
さらに、上方フレーム板部材２２の下面の略中央部分には、一定間隔離間して、２本の撓み防止装置として機能する加圧ガスパイプ３４、３４が、下側試験用プレート１６にその先端が対峙するように垂下するように設けられている。
【００３０】
すなわち、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを上下方向から挟持した際に、図示しない加圧ガス源から、例えば、不活性ガス、空気などの加圧ガスを、加圧ガスパイプ３４、３４を介して、上側試験用プレート３２の上面の略中央部分にかけて加圧するようになっている。
【００３１】
これによって、上側試験用プレート３２の反りやダメージを防止することができ、その結果、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に挟持される被測定フィルムＦを破損損傷することがないようになっている。
【００３２】
なお、図示しないが、下側試験用プレート１６の上面には、２箇所の隅角部に位置決めピンが設けられている。また、図示しないが、上側試験用プレート３２の下面には、２箇所の隅角部に下側試験用プレート１６の位置決めピンと対応する位置に、これらの位置決めピンが嵌合する位置決め穴が設けられている。
【００３３】
これにより、位置決めピンと位置決め穴が位置決め装置として機能し、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６の間に、被測定フィルムＦを挟持した際に、被測定フィルムを位置がすれることなく保持することができるので、ピンホールの有無を確実にかつ正確に検出することができるようになっている。
【００３４】
また、図５に示したように、下側試験用プレート１６の上面にはその外周に、環状のシ
ール部材４８が装着されている。このようなシール部材４８としては、特に限定されるものではなく、樹脂、ゴムなどが使用でき、例えば、シリコンゴム、フッ素ゴムなどの軟らかいゴムから構成するのが好ましい。
【００３５】
このように下側試験用プレート１６の外周に環状のシール部材４８が配設されているので、フィルムを破損損傷することがないとともに、ピンホール試験用ガスＧが、外部に漏洩することなく、一定の圧力で被測定フィルムＦの一方の表面（下面）に均一に当接することになって、被測定フィルムＦ全体にわたってピンホールの有無を、確実にかつ正確に検出することができるようになっている。
【００３６】
さらに、図５に示したように、上側試験用プレート３２の上面にはその外周に、上記の下側試験用プレート１６のシール部材４８と対峙するように、環状のシール部材６４が装着されている。
【００３７】
このようにス排出用溝５２の外周に環状のシール部材６４が配設されているので、フィルムを破損損傷することがないとともに、ピンホール試験用ガスＧが、外部に漏洩することなく、一定の圧力で被測定フィルムＦの一方の表面（上面）に均一に当接することになって、被測定フィルムＦ全体にわたってピンホールの有無を、確実にかつ正確に検出することができるようになっている。
【００３８】
さらに、上記の下側試験用プレート１６のシール部材４８と、上側試験用プレート３２のシール部材６４とによって、被測定フィルムＦを確実にガスの漏れのないように挟持することができるようになっている。
【００３９】
このように構成されるピンホール試験装置１０は、図５に示したように、ピンホール試験システム７０として機能するようになっている。
すなわち、ピンホール試験システム７０は、例えば、Ｈｅガスなどのピンホール試験用ガスＧを貯蔵する圧力ガスボンベ７２を備えている。この圧力ガスボンベ７２には、図示しないが、圧力調整用レギュレータ、圧力計が取付られている。
【００４０】
そして、この圧力ガスボンベ７２は、ガス供給ライン７４が接続されており、このガス供給ライン７４は、圧力ガスボンベ７２を開閉する圧力ボンベ開閉バルブ７６と、ガスリークバルブ７８と、オートプレッシャーレギュレータ８０が接続されている。
【００４１】
このオートプレッシャーレギュレータ８０は、ガス供給ライン７４の圧力を制御するもので、ガス供給ライン７４が所定以上の圧力になった際に、ピンホール試験用ガスＧをガス供給ライン７４から、ガスリークバルブ７８を介してリークさせて所定圧力にするように制御されるようになっている。
【００４２】
そして、このガス供給ライン７４は、さらに、ガス供給バルブ８２を介して、下方側ガス供給ライン８４と、上方側ガス供給ライン８６に分岐している。
また、下方側ガス供給ライン８４は、下側試験用プレート１６のガス供給口４０に接続されている。そして、下側試験用プレート１６のガス排出口４４が、下側ガス排出ライン８８に接続されるようになっている。なお、この下側ガス排出ライン８８には、ガス排出バルブ９０が接続されている。
【００４３】
一方、上方側ガス供給ライン８６は、ガス供給バルブ９２を介して、上側試験用プレート３２のガス供給口５６に接続されている。そして、上側試験用プレート３２のガス排出口６０が、上側ガス排出ライン９４に接続されるようになっている。
【００４４】
上側ガス排出ライン９４は、マスフローメータ供給バルブ９６を介して、ピンホール試験用ガスGのガス流量を測定する流量測定装置として機能するマスフローメータ９８に接続されている。
【００４５】
一方、上側ガス排出ライン９４は、マスフローメータ供給バルブ９６の上流側で分岐して、ガス排出バルブ１００を介して、ガス排出ライン１０２に接続されている。
このように構成される本発明のピンホール試験装置１０は、以下のようにして、ピンホール試験が実施される。
【００４６】
先ず、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを設置した後、エアシリンダ２８を作動させて、押圧移動部２０を下方に移動することによって、上側試験用プレート３２が下側試験用プレート１６に当接して、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを上下方向から挟持する。
【００４７】
この際、バネ部材２６によって、下側定盤部材２４が、上方フレーム板部材２２から離反する方向に付勢されているので、下側定盤部材２４が下方向に付勢され、下側定盤部材２４に固定された上側試験用プレート３２が、下側試験用プレート１６側に付勢されて、上側試験用プレート３２を下側試験用プレート１６に接近する方向に均一に押圧付勢するようになっている。
【００４８】
また、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に、被測定フィルムＦを上下方向から挟持した際に、図示しない加圧ガス源から、例えば、不活性ガス、空気などの加圧ガスを、加圧ガスパイプ３４、３４を介して、上側試験用プレート３２の上面の略中央部分にかけて加圧するようになっている。
【００４９】
これによって、上側試験用プレート３２の反りやダメージを防止することができ、その結果、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６との間に挟持される被測定フィルムＦを破損損傷することがないようになっている。
【００５０】
そして、圧力ボンベ開閉バルブ７６を開けて、圧力ガスボンベ７２からピンホール試験用ガスＧを流して、オートプレッシャーレギュレータ８０の制御によって、ガス供給ライン７４の圧力を制御して、ガス供給ライン７４が所定以上の圧力になった際に、ピンホール試験用ガスＧをガス供給ライン７４から、ガスリークバルブ７８を介してリークさせて、ガス供給ライン７４の圧力を所定圧力にするように制御する。
【００５１】
この状態で、ガス供給ライン７４のガス供給バルブ８２を開けて、下方側ガス供給ライン８４から、下側試験用プレート１６のガス供給口４０を介して、被測定フィルムＦと下側試験用プレート１６との間に形成される空間に、ピンホール試験用ガスＧを供給する。
【００５２】
そして、被測定フィルムＦと下側試験用プレート１６との間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧを捕集して、ガス排出口４４から、ガス排出バルブ９０を開けて、下側ガス排出ライン８８から排出する。
【００５３】
この状態を、一定時間行って、被測定フィルムＦと下側試験用プレート１６との間に形成される空間に、ピンホール試験用ガスＧ以外が存在しないようにする。
同様にして、ガス供給ライン７４のガス供給バルブ８２を開けるとともに、上方側ガス供給ライン８６のガス供給バルブ９２を開けて、上方側ガス供給ライン８６から、上側試験用プレート３２のガス供給用口５６を介して、被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間に、ピンホール試験用ガスＧを供給する。
【００５４】
そして、被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧを捕集して、ガス排出口６０から、上側ガス排出ライン９４のガス排出バルブ１００を開けて、ガス排出ライン１０２から排出する。なお、この際、マスフローメータ供給バルブ９６は閉止されており、マスフローメータ９８にピンホール試験用ガスＧが流れないようになっている。
【００５５】
この状態を、一定時間行って、被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間に、ピンホール試験用ガスＧ以外が存在しないようにする。
続いて、下側ガス排出ライン８８のガス排出バルブ９０を閉止して、被測定フィルムＦと下側試験用プレート１６との間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧが、下側ガス排出ライン８８から排出するのを停止する。
【００５６】
一方、上側ガス排出ライン９４のガス排出バルブ１００を閉止して、被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧが、ガス排出ライン１０２から排出するのを停止する。
【００５７】
そして、マスフローメータ供給バルブ９６を開けて、マスフローメータ９８にピンホール試験用ガスＧが流すようにする。この際、ガス供給ライン７４のガス供給バルブ８２を閉止して、ガス供給ライン７４から被測定フィルムＦと上側試験用プレート３２との間に形成される空間にピンホール試験用ガスＧが流入しないようにする。
【００５８】
この状態で、下側試験用プレート１６と被測定フィルムＦとの間に形成される空間に満たされたピンホール試験用ガスＧが、被測定フィルムＦを透過して、上側試験用プレート３２と被測定フィルムＦとの間に形成される空間に流れるピンホール試験用ガスＧの量を、マスフローメータ９８で追跡する。
【００５９】
測定初期は、ライン中のピンホール試験用ガスＧが急激にマスフローメータ９８を通過するため、高い値を示すが、安定的にピンホール試験用ガスＧが透過すると一定値を示す。この値によりピンホールを判定する。すなわち、ピンホールがある場合は流量が安定しないか、流量が多く測定値オーバーとなる。
【００６０】
なお、以上の操作は、手動で行ってもよく、また、制御装置を用いて、自動で行うことも可能である。
【実施例１】
【００６１】
２４０ｍｍ×２４０ｍｍ×４０μｍのスルホン酸基を有するポリアリーレンからなる被測定フィルムＦを、図１〜図４に示した本発明のピンホール試験装置１０を用いて、ピンホール試験を実施した。
【００６２】
圧力ガスボンベ７２から、ガス供給ライン７４、下方側ガス供給ライン８４から、下側試験用プレート１６のガス供給口４０に、ピンホール試験用ガスＧとしてＨｅガスを５０ＫＰａのガス圧で供給した。
【００６３】
そして、被測定フィルムＦの膜厚方向を透過するＨｅガスのリーク量を、上側試験用プレート３２のガス排出口６０から、上側ガス排出ライン９４を介して流れるＨｅガスの流量を、マスフローメータ９８で測定することにより、ピンホール試験を行った。
【００６４】
このようにして、１００枚の被測定フィルムＦについて、ピンホール試験を行った。この際、図６に示したグラフに示したように、０．３ｃｃ／ｍｉｎ以下で一定のＨｅガス透
過量を示した被測定フィルムＦを、良品と判定した。
【００６５】
また、被測定フィルムＦに亀裂が入っていた場合では、一定のガスリーク量を示さないで、２ｃｃ／ｍｉｎ以上は、不良品と判定した。
一方、０．３ｃｃ／ｍｉｎ以上で一定値を示さない場合は、上側試験用プレート３２と下側試験用プレート１６の間の隙間からガスリークが発生しているため、シール部材４８、シール部材６４の交換を行い、配管のもれなどを確認する必要があると判定した。
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、上記実施例では、下側試験用プレート１６の下側試験用プレート１６、上側試験用プレート３２のガス排出用溝５２を、長手方向に平行に延び、一定間隔離間して配設された複数の溝として形成したが、この溝の形状はこのような形状に限定されるものではなく、例えば、同心円弧状、螺旋状、斜めに平行に配置するなどしても良く、さらには一つの溝とすることも可能である。
【００６６】
また、上記実施例では、被測定フィルムＦをバッチ式に一枚ずつ、本発明のピンホール試験装置１０に適用するようにしたが、いわゆるロールツーロールで連続的に被測定フィルムＦにピンホール試験を行うようにしてもよい。
【００６７】
さらに、被測定フィルムＦとしては、特に限定されるものではなく、ポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、イオン交換膜、プロトン伝導膜その他の周知のフィルムに適用することが可能である。
【００６８】
また、上記実施例では、ピンホール試験用ガスとして、Ｈｅガスを用いたが、特に限定されるものではなく、Ａｒガス、Ｏ2ガス、Ｎ2ガスなどを用いることができる。また、ピンホール試験用ガスのガス圧力としては、被測定フィルムＦの種類、厚さにもよるが、１０〜１００ＫＰａ、好ましくは、３０〜７０ＫＰａとするのが望ましい。
【００６９】
さらに、上記実施例では、０．３ｃｃ／ｍｉｎ以下で一定のＨｅガス透過量を示した被測定フィルムＦを、良品と判定したが、この判定指標は、被測定フィルムＦの種類、厚さにもよるが、１０〜１００μｍ、好ましくは、２０〜５０μｍとするのが望ましい。
【００７０】
さらに、上記実施例では、上側試験用プレート３２の方を移動させて、下側試験用プレート１６に対して接近離反するようにしたが、下側試験用プレート１６を上側試験用プレート３２に対して接近離反するようにすることも、また、これらの両試験用プレート１６、３２を相互に接近離反するようにすることも可能である。
【００７１】
また、上記実施例では、いわゆる縦置き型のピンホール試験装置１０について説明したが、横置き型のピンホール試験装置とすることも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】図１は、本発明のピンホール試験装置の正面図である。
【図２】図２は、図１のピンホール試験装置の側面図である。
【図３】図３は、図１のピンホール試験装置の上面図である。
【図４】図４は、図１のピンホール試験装置の図１のＡ−Ａ線での上面図である。
【図５】図５は、ピンホール試験装置１０のシステム全体の概略図である。
【図６】図６は、実施例１のピンホール試験の結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００７３】
１０   ピンホール試験装置
１２   ベース基台
１４   下側定盤部材
１５   支柱部材
１６   下側試験用プレート
１８   上端フレーム板部材
２０   押圧移動部
２２   上方フレーム板部材
２４   下側定盤部材
２６   バネ部材
２８   エアシリンダ
３０   軸部
３２   上側試験用プレート
３４   加圧ガスパイプ
４０   ガス供給口
４４   ガス排出口
４８   シール部材
５６   ガス供給口
６０   ガス排出口
６４   シール部材
７０   ピンホール試験システム
７２   圧力ガスボンベ
７４   ガス供給ライン
７６   圧力ボンベ開閉バルブ
７８   ガスリークバルブ
８０   オートプレッシャーレギュレータ
８２   ガス供給バルブ
８４   下方側ガス供給ライン
８６   上方側ガス供給ライン
８８   下側ガス排出ライン
９０   ガス排出バルブ
９２   ガス供給バルブ
９４   上側ガス排出ライン
９６   マスフローメータ供給バルブ
９８   マスフローメータ
１００ ガス排出バルブ
１０２ ガス排出ライン
Ｆ     被測定フィルム
Ｇ     ピンホール試験用ガス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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