(57)【要約】      （修正有）【課題】パネルにＴＣＰを能率よく実装することができるようにした実装装置を提供する。【解決手段】パネル１の所定方向に沿う一辺に異方性導電部材を貼着する第１の貼着部６と、一辺に異方性導電部材が貼着されたパネルを９０度回転させて一辺と隣り合う他辺を所定方向に沿わせ、その他辺に異方性導電部材を貼着する第２の貼着部７と、異方性導電部材が貼着されて所定方向を向いた他辺にＴＣＰを仮圧着する第１の仮圧着部８と、他辺にＴＣＰが仮圧着されたパネルを９０度回転させて一辺を所定方向に沿わせ、一辺にＴＣＰを仮圧着する第２の仮圧着部１１と、所定方向を向いたパネルの一辺に仮圧着されたＴＣＰを本圧着する第１の本圧着部１２と、一辺にＴＣＰが本圧着されたパネルを９０度回転させて他辺を所定方向に沿わせ、他辺に仮圧着されたＴＣＰを本圧着する第２の本圧着部１３とを具備する。【選択図】図１
2006135082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に電子部品を実装する実装装置であって、
上記基板の所定方向に沿う一辺に異方性導電部材を貼着する第１の貼着部と、
この第１の貼着部で一辺に異方性導電部材が貼着された上記基板を９０度回転させて上記一辺と隣り合う他辺を上記所定方向に沿わせ、その他辺に異方性導電部材を貼着する第２の貼着部と、
この第２の貼着部で異方性導電部材が貼着されて上記所定方向を向いた上記他辺に上記電子部品を仮圧着する第１の仮圧着部と、
この第１の仮圧着部で上記他辺に電子部品が仮圧着された上記基板を９０度回転させて上記一辺を所定方向に沿わせ、この一辺に上記電子部品を仮圧着する第２の仮圧着部と、
この第２の仮圧着部で上記所定方向を向いた上記基板の一辺に仮圧着された電子部品を本圧着する第１の本圧着部と、
この第１の本圧着部で上記一辺に電子部品が本圧着された基板を９０度回転させて上記他辺を所定方向に沿わせ、この他辺に仮圧着された電子部品を本圧着する第２の本圧着部と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
上記第１、第２の貼着部及び上記第１、第２の本圧着部は、
上記基板が載置されるとともに水平方向、上下方向及び回転方向に駆動される載置テーブルと、
この載置テーブルに載置された上記基板の上記一辺又は他辺を支持するバックアップ及びこのバックアップで支持された上記基板の上記一辺又は他辺に上記異方性導電部材又は上記電子部品を実装するツールと、
上記基板の一辺又は他辺に上記ツールによって上記異方性導電部材又は上記電子部品を実装している間に上記基板を支持して上記載置テーブルを退避可能とする支持アームと、
上記ツールによる上記異方性導電部材又は上記電子部品の実装が終了したときに上記基板を保持して搬送する搬送ユニットと
を備えていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項３】
上記第１の仮圧着部と第２の仮圧着部との間には、上記基板を９０度回転させてこの基板の一辺を所定方向に沿わす回転ユニットが設けられていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項４】
上記第１、第２の貼着部及び第１、第２の本圧着部は、上記基板が上記支持アームによって支持されて上記異方性導電部材の貼着又は上記電子部品の本圧着が行われている間に、次に上記異方性導電部材の貼着又は上記電子部品の本圧着が行われる基板が供給された上記載置テーブルを待機させることを特徴とする請求項２記載の電子部品の実装装置。
【請求項５】
基板に電子部品を実装する実装方法であって、
上記基板の所定方向に沿う一辺に異方性導電部材を貼着する工程と、
一辺に異方性導電部材が貼着された上記基板を９０度回転させて上記一辺と隣り合う他辺を上記所定方向に沿わせ、その他辺に異方性導電部材を貼着する工程と、
異方性導電部材が貼着されて上記所定方向を向いた上記基板の他辺に上記電子部品を仮圧着する工程と、
上記他辺に電子部品が仮圧着された上記基板を９０度回転させて上記一辺を所定方向に沿わせ、この一辺に上記電子部品を仮圧着する工程と、
上記所定方向を向いた上記基板の一辺に仮圧着された電子部品を本圧着する工程と、
上記一辺に電子部品が本圧着された基板を９０度回転させて上記他辺を所定方向に沿わせ、この他辺に仮圧着された電子部品を本圧着する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項６】
上記基板の一辺と他辺に異方性導電部材を貼着する工程と、上記基板の一辺と他辺に電子部品を本圧着する工程とでは、上記基板に異方性導電部材の貼着又は電子部品の本圧着が行われている間に、次に異方性導電部材の貼着又は電子部品の本圧着が行われる基板を待機させておくことを特徴とする請求項５記載の電子部品の実装方法。
【請求項７】
待機する上記基板を撮像して位置認識し、その位置認識に基いて異方性導電部材の貼着又は電子部品の本圧着を行うときに上記基板を位置決めすることを特徴とする請求項６記載の電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板としてのたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製のパネルに、電子部品としてのたとえばＴＣＰ（Tape Carrier Package）を実装する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置を製造する場合、基板としてのパネルに、電子部品としてのＴＣＰを実装するための実装装置が用いられる。この実装装置は上記基板の一辺にテープ状の異方性導電部材を貼着する貼着部、異方性導電部材が貼着された箇所に電子部品としてのＴＣＰを仮圧着する仮圧着部及び仮圧着されたＴＣＰを本圧着する本圧着部を備えている。上記パネルには通常、隣り合う２つの辺に上記ＴＣＰが上記貼着部、仮圧着部及び本圧着部によって実装される。
【０００３】
上記パネルの隣り合う２つの辺にＴＣＰを実装する場合、従来は上記パネルの一辺に異方性導電部材を貼着してからＴＣＰを仮圧着した後、このＴＣＰを本圧着する。ついで、このパネルを９０度回転させ、ＣＴＰが実装された一辺と隣り合う他辺に同様の工程を経てＴＣＰを実装するということが行われている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
パネルの一辺にＴＣＰを実装した後、このパネルを９０度回転させて上記一辺と隣り合う他辺にＴＣＰを実装する場合、１台の実装装置で基板の一辺にＴＣＰを実装した後、他辺にＴＣＰを実装する方法や２台の実装装置を並べて配置し、一方の実装装置でパネルの一辺にＴＣＰを実装した後、そのパネルを９０度回転させて他方の実装装置に供給し、この他方の実装装置で他辺にＴＣＰを実装するということが考えられる。
【０００５】
しかしながら、前者の場合、一辺にＴＣＰが実装されたパネルが実装装置から排出されたならば、そのパネルを再度、実装装置に供給し直さなければならないから、作業性が悪いということがあったり、パネルが排出されてから供給される間、実装装置が休止することになるから、生産性の低下を招くということもある。
【０００６】
２つの実装装置を並設し、一方の実装装置でパネルの一辺にＴＣＰを実装したならば、このパネルを９０度回転させて次の実装装置に供給し、ここでパネルの他辺にＴＣＰを実装するという方法の場合、装置全体が大型化するということがあるばかりか、パネルの搬送経路が長くなり、生産性の低下を招くということがある。
【０００７】
この発明は、基板の一辺と他辺とに対し、異方性導電部材の貼着、電子部品の仮圧着及び本圧着を順次行うことで、生産性の向上を図ることができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、基板に電子部品を実装する実装装置であって、
上記基板の所定方向に沿う一辺に異方性導電部材を貼着する第１の貼着部と、
この第１の貼着部で一辺に異方性導電部材が貼着された上記基板を９０度回転させて上記一辺と隣り合う他辺を上記所定方向に沿わせ、その他辺に異方性導電部材を貼着する第２の貼着部と、
この第２の貼着部で異方性導電部材が貼着されて上記所定方向を向いた上記他辺に上記電子部品を仮圧着する第１の仮圧着部と、
この第１の仮圧着部で上記他辺に電子部品が仮圧着された上記基板を９０度回転させて上記一辺を所定方向に沿わせ、この一辺に上記電子部品を仮圧着する第２の仮圧着部と、
この第２の仮圧着部で電子部品が貼着されて上記所定方向を向いた上記基板の一辺に仮圧着された電子部品を本圧着する第１の本圧着部と、
この第１の本圧着部で上記一辺に電子部品が本圧着された基板を９０度回転させて上記他辺を所定方向に沿わせ、この他辺に仮圧着された電子部品を本圧着する第２の本圧着部と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【０００９】
上記第１、第２の貼着部及び上記第１、第２の本圧着部は、
上記基板が載置されるとともに水平方向、上下方向及び回転方向に駆動される載置テーブルと、
この載置テーブルに載置された上記基板の上記一辺又は他辺を支持するバックアップ及びこのバックアップで支持された上記基板の上記一辺及び他辺に上記異方性導電部材又は上記電子部品を実装するツールと、
上記基板の一辺又は他辺に上記ツールによって上記異方性導電部材又は上記電子部品を実装している間に上記基板を支持して上記載置テーブルを退避可能とする支持アームと、
上記ツールによる上記異方性導電部材又は上記電子部品の実装が終了したときに上記基板を保持して搬送する搬送ユニットと
を備えていることが好ましい。
【００１０】
上記第１の仮圧着部と第２の仮圧着部との間には、上記基板を９０度回転させてこの基板の一辺を所定方向に沿わす回転ユニットが設けられていることが好ましい。
【００１１】
上記第１、第２の貼着部及び第１、第２の本圧着部は、上記基板が上記支持アームによって支持されて上記異方性導電部材の貼着又は上記電子部品の本圧着が行われている間に、次に上記異方性導電部材の貼着又は上記電子部品の本圧着が行われる基板が供給された上記載置テーブルを待機させることが好ましい。
【００１２】
この発明は、基板に電子部品を実装する実装方法であって、
上記基板の所定方向に沿う一辺に異方性導電部材を貼着する工程と、
一辺に異方性導電部材が貼着された上記基板を９０度回転させて上記一辺と隣り合う他辺を上記所定方向に沿わせ、その他辺に異方性導電部材を貼着する工程と、
異方性導電部材が貼着されて上記所定方向を向いた上記基板の他辺に上記電子部品を仮圧着する工程と、
上記他辺に電子部品が仮圧着された上記基板を９０度回転させて上記一辺を所定方向に沿わせ、この一辺に上記電子部品を仮圧着する工程と、
上記所定方向を向いた上記基板の一辺に仮圧着された電子部品を本圧着する工程と、
上記一辺に電子部品が本圧着された基板を９０度回転させて上記他辺を所定方向に沿わせ、この他辺に仮圧着された電子部品を本圧着する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
【００１３】
上記基板の一辺と他辺に異方性導電部材を貼着する工程と、上記基板の一辺と他辺に電子部品を本圧着する工程とでは、上記基板に異方性導電部材の貼着又は電子部品の本圧着が行われている間に、次に異方性導電部材の貼着又は電子部品の本圧着が行われる基板を待機させておくことが好ましい。
【００１４】
待機する上記基板を撮像して位置認識し、その位置認識に基いて異方性導電部材の貼着又は電子部品の本圧着を行うときに上記基板を位置決めすることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、基板の一辺と他辺に対して異方性導電部材を貼着してから電子部品を仮圧着し、ついで本圧着するということが順次行われるから、基板に対するこれらの作業を能率よく行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１乃至図４はこの発明の一実施の形態を示し、図１はこの発明の実装装置の概略的構成を示している。この実装装置は、図４に示すように、基板としてのたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製の矩形状のパネル１の一辺及びこの一辺に対して９０度の角度で隣接する他辺との２辺に、それぞれ電子部品としてのＴＣＰ２を実装するためのものである。
【００１７】
図１に示すように上記実装装置は装置本体３を有する。この装置本体３には、長手方向一端から上記パネル１が供給され、他端からＴＣＰ２が実装された上記パネル１が搬出されるようになっている。装置本体３内には、パネル１の搬入側から搬出側に向かって第１の貼着部６、第２の貼着部７、第１の仮圧着部８、回転姿勢制御部９、第２の仮圧着部１１、第１の本圧着部１２及び第２の本圧着部１３が順次設けられている。
【００１８】
図２は上記第１の貼着部６と第２の貼着部７とを示し、これらの貼着部６，７にはテーブルユニット１４が設けられている。このテーブルユニット１４はベース１５を有する。このベース１５にはＸ、Ｙ方向に駆動されるＸＹテーブル１６が設けられている。このＸＹテーブル１６上にはＺ、θ方向に駆動される載置テーブル１７が設けられている。したがって、この載置テーブル１７はＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動可能となっている。
【００１９】
上記載置テーブル１７上には上記パネル１が供給され、この上面に設けられたパッド１８によって吸着保持される。上記パネル１は周辺部を上記載置テーブル１７の周縁部から外方へ突出させている。つまり、パネル１は載置テーブル１７よりも十分に大きな矩形状をなしている。
【００２０】
上記第１、第２の貼着部６，７の載置テーブル１７にはパネル１が供給される。つまり、ベース１５の長手方向一端の供給位置で上記パネル１が上記載置テーブル１７に供給される。
【００２１】
パネル１が供給された載置テーブル１７は図１に矢印で示す方向である、ベース１５の他端に駆動される。このベース１５の他端は上記パネル１にテープ状の異方性導電部材２１を貼着するための貼着位置の下部となっている。
【００２２】
図２に示すように、上記貼着位置の下部にはパネル１に設けられた位置合わせマーク（図示せず）を撮像する２つの第１のカメラ２２（図２には１つのみ図示）が設けられている。また、貼着位置にはパネル１を受け取る一対の支持アーム２３（図２には１つのみ図示）が設けられている。一対の支持アーム２３はＸ方向に駆動可能となっており、これらの間隔を変えることができる、つまり開閉可能となっている。
【００２３】
上記パネル１は、貼着位置で載置テーブル１７から一対の支持アーム２３によって受け取られる。貼着位置にはバックアップ２４が設けられている。このバックアップ２４の上方には貼着ツール２５が上下方向に駆動可能に設けられている。
【００２４】
さらに、第１、第２の貼着部６，７には上記支持アーム２３に支持されたパネル１を受けて所定の箇所に搬送する搬送ユニットとしての第１の搬送アーム２６と第２の搬送アーム２７とが設けられている。各搬送アーム２６，２７はＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動可能となっている。
【００２５】
上記第１の貼着部６の供給位置では、パネル１が長手方向の一辺１ａ（図４（ａ）に示す）を所定方向、つまり図４（ａ）にＸで示す方向に沿わせて上記載置テーブル１７に供給される。パネル１が供給された載置テーブル１７は図１に矢印で示す方向である、ベース１５の他端に駆動される。すなわち、載置テーブル１７はパネル１が供給される供給位置から、このパネル１の一辺１ａにテープ状の異方性導電部材２１を貼着するための貼着位置の下部に搬送される。この貼着位置の下部で、パネル１に設けられた位置合わせマーク（図示せず）が第１のカメラ２２によって撮像される。
【００２６】
ついで、一対の支持アーム２３がパネル１のＸ方向の幅寸法よりも大きな間隔で開いてから載置テーブル１７が上昇する。この載置テーブル１７は第１のカメラ２２の撮像結果に基いてパネル１の一辺１ａをバックアップ２４に上方に位置決めする。パネル１が位置決めされると、一対の支持アーム２３がパネル１のＸ方向の幅寸法よりもわずかに小さな間隔に閉じる。ついで、パネル１の下面がバックアップ２４の上面とほぼ同じ高さになる位置まで載置テーブル１７が下降し、その位置でパネル１が一対の支持アーム２３によって支持される。
【００２７】
このようにしてパネル１が位置決めされると、このパネル１の一辺１ａに異方性導電部材２１が供給される。異方性導電部材２１が供給されると、貼着ツール２５が下降して異方性導電部材２１を加圧し、その一辺１ａに貼着する。一辺１ａに異方性導電部材２１が貼着されたパネル１を図４（ａ）に示す。
【００２８】
異方性導電部材２１が貼着ツール２５によって加圧されているときに上記載置テーブル１７はパッド１８による吸着を解除してさらに下降し、支持アーム２３にパネル１を支持させて貼着位置から供給位置へ移動する。供給位置に移動した載置テーブル１７には新たなパネル１が供給される。そして、パネル１が供給された後、図２に示すように支持アーム２３によって支持されたパネル１の下方、つまり第１のカメラ２２によって位置認識可能な位置である貼着位置の下部に駆動されて待機する。
【００２９】
パネル１の一辺１ａに異方性導電部材２１が貼着されると、このパネル１の上方から第１の搬送アーム２６が下降し、その下面に設けられたパッド２６ａで上記パネル１の上面を吸着して上昇する。それと同時に、一対の支持アーム２３が所定の間隔に開いて貼着位置の下部で待機する載置テーブル１７が上昇し、上述したように載置テーブル１７上のパネル１の一辺１ａがバックアップ２４の上面に載るよう位置決めされてその一辺１ａに異方性導電部材２１が貼着されるということが繰り返して行われる。
【００３０】
一辺１ａに異方性導電部材２１が貼着されて第１の搬送アーム２６によって第１の貼着部６から取り出されたパネル１は第２の貼着部７の供給位置で待機する載置テーブル１７に供給される。パネル１が供給された載置テーブル１７は図４（ａ）に矢印で示す反時計方向に９０度回転駆動される。それによって、パネル１の異方性導電部材２１が貼着された一辺１ａと９０度の角度で隣り合う他辺１ｂが図４（ｂ）にＸで示す所定方向に沿う。
【００３１】
ついで、第２の貼着部７の載置テーブル１７は供給位置から貼着位置の下部に駆動され、ここで２つの第１のカメラ２２によって他辺１ｂに設けられた位置合わせマーク（図示せず）が撮像される。
【００３２】
第１のカメラ２２による撮像後、第１の貼着部６と同様、一対の支持アーム２３がパネル１のＹ方向の幅寸法よりも大きな間隔で開いてから載置テーブル１７が上昇する。この載置テーブル１７は第１のカメラ２２の撮像結果に基いてパネル１の他辺１ｂをバックアップ２４の上方に位置決めする。
【００３３】
パネル１が位置決めされると、一対の支持アーム２３がパネル１のＹ方向の幅寸法よりもわずかに小さな間隔に閉じる。ついで、パネル１の下面がバックアップ２４の上面とほぼ同じ高さになる位置まで載置テーブル１７が下降し、パネル１が一対の支持アーム２３によって支持される。
【００３４】
このようにしてパネル１が位置決めされると、このパネル１の他辺１ｂに異方性導電部材２１が供給される。異方性導電部材２１が供給されると、貼着ツール２５が下降して異方性導電部材２１を加圧し、他辺１ｂに貼着する。一辺１ａと他辺１ｂとに異方性導電部材２１が貼着されたパネル１を図４（ｂ）に示す。
【００３５】
異方性導電部材２１が貼着ツール２５によって加圧されているときに上記載置テーブル１７はパッド１８による吸着を解除してさらに下降し、支持アーム２３にパネル１を支持させて貼着位置の下部から供給位置へ移動する。載置テーブル１７には供給位置で一辺１ａに異方性導電部材２１が貼着された新たなパネル１が供給される。そして、パネル１が供給された後、図２に示すように支持アーム２３によって支持されたパネル１の下方、つまり第１のカメラ２２によって位置認識可能な位置である貼着位置の下部に駆動されて待機する。
【００３６】
第２の貼着部７で他辺１ｂに異方性導電部材２１が貼着されたパネル１は、第２の搬送アーム２７の下面に設けられたパッド２７ａによって上面が吸着されて第１の仮圧着部８に搬送される。
【００３７】
上記第１の仮圧着部８には図１に示すように所定間隔で離間した一対の支持アーム３１及び載置テーブル３２が設けられている。上記支持アーム３１はＸ方向と（水平方向に沿う一方向）と上下方向に駆動可能に設けられ、図１に実線で示す下降位置で待機し、上記第２の搬送アーム２７によって載置テーブル３２に搬送されるパネル１の下面を受ける。
【００３８】
上記載置テーブル３２にパネル１を受け渡した第２の搬送アーム２７は、第２の貼着部７に戻って待機する。  
上記載置テーブル３２はＸ，Ｙ及びθ方向に駆動されるようになっていて、上記第２の搬送アーム２７からパネル１を受けると、Ｘ方向に沿わせた他辺１ｂを図示しないバックアップの上面に位置決めする。
【００３９】
ついで、上記パネル１の他辺１ｂには電子部品として複数、たとえば３つのＴＣＰ２が所定間隔で１枚ずつ供給される。このとき、図示しないカメラによってパネル１とＴＣＰ２の位置が認識され、その認識に基いて位置決めされる。
【００４０】
パネル１の他辺１ｂにＴＣＰ２が供給されると、上記バックアップの上方に待機した仮圧着ツール（図示せず）が下降し、複数のＴＣＰ２は１枚ずつ上記異方性導電部材２１に所定の圧力で押圧して仮圧着される。図４（ｃ）は他辺１ｂにＴＣＰ２が仮圧着されたパネル１を示す。
【００４１】
パネル１の他辺１ｂにＴＣＰ２が仮圧着されると、上記支持アーム３１が上昇してパネル１を上記載置テーブル３２から取り出し、ついで水平方向に移動して、パネル１を回転姿勢制御部９に設けられた回転テーブル３４に供給載置する。この回転姿勢制御部９では回転テーブル３４が９０度回転し、パネル１の一辺１ａを図４（ａ）に矢印Ｘで示す所定方向に沿わせる。
【００４２】
回転姿勢制御部９の回転テーブル３４によって９０度回転させられたパネル１は第３の搬送アーム３５によって上面が吸着されて第２の仮圧着部１１に搬送される。第２の仮圧着部１１は、第１の仮圧着部８と同様、支持アーム３１と載置テーブル３２を有する。
【００４３】
上記第３の搬送アーム３５によって上面が吸着されて上記第２の仮圧着部１１に搬送されたパネル１は、所定の高さで待機する上記載置テーブル３２に受け渡されて下面が支持される。パネル１を受け渡した第３の搬送アーム３５は、回転姿勢制御部９に戻って待機する。
【００４４】
上記載置テーブル３２はＸ，Ｙ及びθ方向に駆動されるようになっていて、上記支持アーム３１からパネル１を受けると、Ｘ方向に沿わせた一辺１ａを図示しないバックアップの上面に位置決めする。
【００４５】
ついで、上記パネル１の一辺１ａには電子部品として複数、たとえば４つのＴＣＰ２が所定間隔で１枚ずつ供給される。このとき、図示しないカメラによってパネル１とＴＣＰ２の位置が認識され、その認識に基いて位置決めされる。
【００４６】
パネル１の一辺１ａにＴＣＰ２が供給されると、上記バックアップの上方に待機した仮圧着ツール（図示せず）が下降し、複数のＴＣＰ２は１枚ずつ上記異方性導電部材２１に所定の圧力で押圧されて仮圧着される。図４（ｄ）は一辺１ａにＴＣＰ２が仮圧着されたパネル１を示す。
【００４７】
このようにして一辺１ａと他辺１ｂとにＴＣＰ２が仮圧着されたパネル１は第１の本圧着部１２に供給されてその一辺１ａのＴＣＰ２が本圧着された後、第２の本圧着部１３に供給されて他辺１ｂに仮圧着されたＴＣＰ２が本圧着される。
【００４８】
上記第１、第２の本圧着部１２，１３は上記第１、第２の貼着部６，７とほぼ同じ構成となっている。つまり、図３に示すように、各本圧着部１２，１３にはテーブルユニット３８が設けられている。このテーブルユニット３８はベース３９を有する。このベース３９にはＸ、Ｙ方向に駆動されるＸＹテーブル４０が設けられている。このＸＹテーブル４０上にはＺ、θ方向に駆動される載置テーブル４１が設けられている。したがって、この載置テーブル４１はＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動可能となっている。
【００４９】
上記載置テーブル４１上には上記パネル１が供給され、この上面に設けられたパッド４２によって吸着保持される。上記パネル１は周辺部を上記載置テーブル４１の周縁部から外方へ突出させている。
【００５０】
上記第１、第２の本圧着部１２，１３の載置テーブル４１にはパネル１が供給される。つまり、ベース３９の長手方向一端の供給位置で上記パネル１が上記載置テーブル４１に供給される。
【００５１】
パネル１が供給された載置テーブル４１は図１に矢印で示す方向である、ベース３９の他端に駆動される。このベース３９の他端は上記パネル１に仮圧着されたＴＣＰ２を本圧着するための本圧着位置の下部となっている。
【００５２】
上記本圧着位置にはパネル１に設けられた位置合わせマーク（図示せず）を撮像する２つの第２のカメラ４３（図３には１つのみ図示）が設けられている。また、本圧着位置にはパネル１を搬送する一対の支持アーム４４（図３には１つだけ図示）が設けられている。一対の支持アーム４４はＸ方向（水平方向の一方向）及びＺ方向である上下方向に駆動可能となっている。
【００５３】
上記パネル１は、本圧着位置で載置テーブル４１から一対の支持アーム４４によって受け取られる。本圧着位置にはバックアップ４５が設けられている。このバックアップ４５の上方には本圧着ツール４６が上下方向に駆動可能に設けられている。
【００５４】
さらに、第１、第２の本圧着部１２，１３には、上記支持アーム４４に支持されたパネル１を受けて所定の箇所に搬送する搬送ユニットとしての第３の搬送アーム４７と第４の搬送アーム４８とがそれぞれ設けられている。各搬送アーム４７，４８はＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動可能となっている。
【００５５】
上記第１の本圧着部１２の供給位置では、パネル１が長手方向の一辺１ａを所定方向、つまり図４（ｄ）にＸで示す方向に沿わせて上記載置テーブル４１に供給される。パネル１が供給された載置テーブル４１は図１に矢印で示す方向である、ベース１５の他端に駆動される。すなわち、載置テーブル４１はパネル１が供給される供給位置から、このパネル１の一辺１ａに仮圧着されたＴＣＰ２を本圧着するための本圧着位置の下部に搬送される。この本圧着位置下部で、パネル１に設けられた位置合わせマーク（図示せず）が第２のカメラ４３によって撮像される。
【００５６】
ついで、一対の支持アーム４４がパネル１のＸ方向の幅寸法よりも大きな間隔で開いてから載置テーブル４１が上昇する。この載置テーブル４１は第２のカメラ４３の撮像結果に基いてパネル１の一辺１ａをバックアップ４５の上方に位置決めする。パネル１が位置決めされると、一対の支持アーム４４がパネル１のＸ方向の幅寸法よりもわずかに小さな間隔に閉じる。ついで、パネル１の下面がバックアップ４５の上面とほぼ同じ高さになる位置まで載置テーブル４１が下降し、その位置でパネル１が一対の支持アーム４４によって支持される。
【００５７】
このように、パネル１の一辺１ａが支持アーム４４によって支持されると、このパネル１の一辺１ａの異方性導電部材２１によって仮圧着された複数のＴＣＰ２の一端部の上面には、たとえば耐熱性のフッ素樹脂で作られた保護テープ４９が図示しない供給装置によって上記一辺１ａのほぼ全長にわたって供給される。
【００５８】
ついで、所定温度に加熱された本圧着ツール４６が下降方向に駆動され、保護テープ４９を介して複数のＴＣＰ２の一端部を一括して所定の圧力で加圧しながら加熱する。それによって、異方性導電部材２１が溶融硬化するから、パネル１の一辺１ａの複数のＴＣＰ２がこのパネル１に本圧着されることになる。この際、上記保護テープ４９は溶融した異方性導電部材２１が本圧着ツール４６に付着するのを防止する。
【００５９】
本圧着ツール４６によってＴＣＰ２を加圧しているときに、載置テーブル４１はパッド４２による吸着を解除して本圧着位置の下部まで下降し、支持アーム４４にパネル１を支持させてベース３９上を本圧着位置から供給位置まで駆動される。そして、この供給位置で一辺１ａと他辺１ｂとにＴＣＰ２が仮圧着された新たなパネル１が上記載置テーブル４１に供給される。そして、新たなパネル１が供給された載置テーブル４１は図３に示すように支持アーム４４によって支持されたパネル１の下方、つまり第２のカメラ４３によって位置認識可能な位置である、本圧着位置の下部に駆動されて待機する。
【００６０】
パネル１の一辺１ａにＴＣＰ２が本圧着されると、このパネル１の上方から第３の搬送アーム４７が下降し、その下面に設けられたパッド４７ａで上記パネル１の上面を吸着して上昇する。それと同時に、一対の支持アーム４４が所定の間隔に開いて本圧着位置の下部で待機する載置テーブル４１が上昇し、上述したように載置テーブル４１上のパネル１の一辺１ａがバックアップ４５の上面に載るよう位置決めされてその一辺１ａのＴＣＰ２を本圧着するということが繰り返される。
【００６１】
一辺１ａのＴＣＰ２が本圧着されて第３の搬送アーム４７によって第１の本圧着部１２から取り出されたパネル１は、第２の本圧着部１３の供給位置で待機する載置テーブル４１に供給される。パネル１が供給された載置テーブル４１は９０度回転駆動される。それによって、パネル１の一辺１ａに対して９０度の角度で隣り合う他辺１ｂは図４（ｃ）にＸで示す所定方向に沿う。
【００６２】
ついで、第２の本圧着部１３の載置テーブル４１は供給位置から本圧着位置の下部に駆動され、ここで２つの第２のカメラ４３によって他辺１ｂに設けられた位置合わせマーク（図示せず）が撮像される。
【００６３】
第２のカメラ４３による撮像後、第１の本圧着部１２と同様、一対の支持アーム４４がＹ方向の幅寸法よりも大きな間隔で開いてから載置テーブル４１が本圧着位置の下部から上昇する。この載置テーブル４１は上記第２のカメラ４３からの撮像結果に基いて他辺１ｂをバックアップ４５の上方に位置決めする。
【００６４】
パネル１が位置決めされると、パネル１の他辺１ｂの異方性導電部材２１によって仮圧着された複数のＴＣＰ２の一端部の上面には、図示しない供給装置によってたとえば耐熱性のフッ素樹脂で作られた保護テープ４９が上記パネル１の一辺１ａのほぼ全長にわたって供給される。ついで、所定温度に加熱された本圧着ツール４６が下降方向に駆動され、保護テープ４９を介してＴＣＰ２の一端部を所定の圧力で加圧しながら加熱する。
【００６５】
それによって、異方性導電部材２１が溶融硬化するから、パネル１の他辺１ｂのＴＣＰ２が本圧着されることになる。この際、上記保護テープ４９は溶融した異方性導電部材２１が本圧着ツール４６に付着するのを防止する。
【００６６】
本圧着ツール４６によってＴＣＰ２を加圧しているときに、載置テーブル４１はパッド４２による吸着を解除して本圧着位置の下部まで下降し、支持アーム４４にパネル１を支持させてベース３９上を本圧着位置から供給位置まで駆動される。ここで第１の本圧着部１２によって一辺１ａにＴＣＰ２が本圧着されたパネル１が供給される。パネル１が供給された載置テーブル４１は供給位置から本圧着位置の下部に駆動されて待機する。
【００６７】
パネル１の他辺１ｂのＴＣＰ２が本圧着されると、このパネル１の上方から第４の搬送アーム４８が下降し、その下面に設けられたパッド４８ａで上記パネル１の上面を吸着して上昇する。それと同時に、一対の支持アーム４４が所定の間隔に開き、本圧着位置の下部で待機する載置テーブル４１が上昇してパネル１の他辺１ｂが上述したようにバックアップ４５の上面に載るよう位置決めするということが繰り返される。
【００６８】
他辺１ｂのＴＣＰ２が本圧着されて第４の搬送アーム４８によって第２の本圧着部１３から取り出されたパネル１は、装置本体１の外部で待機する図示しない次工程の搬送手段に受け渡される。
【００６９】
このように、この発明の実装装置によれば、装置本体３内にパネル１の一辺１ａと他辺１ｂとに順次異方性導電部材２１を貼着する第１、第２の貼着部６，７、異方性導電部材２１が貼着されたパネル１の他辺１ｂと一辺１ａとに順次ＴＣＰ２を仮圧着する第１、第２の仮圧着部８、１１及び仮圧着されたパネル１の一辺１ａと他辺１ｂのＴＣＰ２を順次本圧着する第１、第２の本圧着部１２，１３を一列に、しかも異方性導電部材２１を貼着する貼着位置、ＴＣＰ２を仮圧着する仮圧着位置及び本圧着する本圧着位置を所定方向である、図４に示すＸ方向に沿わせて配置した。
【００７０】
そのため、パネル１を装置本体３の長手方向に沿って一度搬送するだけで、そのパネル１の一辺１ａと他辺１ｂとに異方性導電部２１の貼着、ＴＣＰ２の仮圧着及び本圧着を順次行うことができる。つまり、少ない搬送距離でパネル１の一辺１ａと他辺１ｂとにＴＣＰ２を実装することができるから、タクトタイムを短縮し、生産性の向上を図ることができる。
【００７１】
第１、第２の貼着部６，７と第１、第２の本圧着部１２，１３には、パネル１を載置搬送する載置テーブル１７，４１の他に、パネル１に異方性導電部材２１を貼着している間或いはパネル１にＴＣＰ２を本圧着している間、上記パネル１を支持する支持アーム２３，４４を設けるようにした。
【００７２】
そのため、載置テーブル１７，４１を駆動してパネル１をバックアップ２４，４５上に位置決めし、そのパネル１に異方性導電部材２１の貼着或いはＴＣＰ２の本圧着をしている間に、上記載置テーブル１７，４１は貼着位置或いは本圧着位置から供給位置に戻り、新たなパネル１を受けて再度、貼着位置或いは本圧着位置に戻って待機することができる。
【００７３】
そのため、先のパネル１に対する異方性導電部材２１の貼着或いはＴＣＰ２の本圧着が終了したならば、ほとんど待ち時間なしで待機する載置テーブル１７，４１から次のパネル１を供給することができる。したがって、そのことによってもタクトタイムの短縮による生産性の向上を図ることができる。
【００７４】
上記パネル１には、Ｘ方向に沿う一辺１ａに異方性導電部材２１を貼着してから９０度回転させて他辺１ｂをＸ方向に沿わせてその他辺１ｂに異方性導電部材２１を貼着した後、他辺１ｂにＴＣＰ２を仮圧着してから９０度回転させて一辺１ａをＸ方向に沿わせてこの一辺１ａにＴＣＰ２を仮圧着する。
【００７５】
ついで、Ｘ方向に沿う一辺１ａに仮圧着されたＴＣＰ２を本圧着してからパネル１を９０度回転させて他辺１ｂをＸ方向に沿わせ、この他辺１ｂに仮圧着されたＴＣＰ２を本圧着するようにした。
【００７６】
そのため、パネル１を３度回転させるだけで、そのパネル１の一辺１ａと他辺１ｂとに異方性導電部材２１を貼着してからＴＣＰ２を本圧着することができる。つまり、少ない回転数でＴＣＰ２をパネル１の一辺１ａと他辺１ｂに実装することができるから、そのことによっても生産性の向上を図ることができる。
【００７７】
第１の仮圧着部８と第２の仮圧着部１１との間に回転テーブル３４を有する回転姿勢制御部９を設け、他辺１ｂにＴＣＰ２が仮圧着されたパネル１を上記回転テーブル３４によって９０度回転させて一辺１ａをＸ方向に沿わせるようにした。  
そのため、第１の仮圧着部８から第２の仮圧着部１１へのパネル１の受け渡しを、上記回転テーブル３４を介して円滑かつ確実に行うことが可能となる。
【００７８】
上記一実施の形態では基板として液晶表示装置に用いられるパネルを例に挙げて説明したが、たとえばプラズマ表示装置に用いられるパネルなど他の基板であっても差し支えない。
【００７９】
また、第１の仮圧着部と第２の仮圧着部との間に回転テーブルを設けてパネルを回転させたが、第１の仮圧着部で他辺にＴＣＰが仮圧着されたパネルを第３の搬送アームで取り出すようにする。そして、この第３の搬送アームに回転機構を設け、パネルを取り出した後、回転させてから第２の仮圧着部に供給するようにしてもよい。  
また、第１乃至第４の搬送アームはパネルの上面を吸着する構造としたが、開閉可能なフィンガーを設け、上記パネルの両端部を挟持する構造であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】この発明の一実施の形態を示す実装装置の概略的構成図。
【図２】第１、第２の貼着部に設けられたテーブルユニット及びバックアップを示す図。
【図３】第１、第２の本圧着部に設けられたテーブルユニット及びバックアップを示す図。
【図４】パネルの一辺と他辺とに異方性導電部材を貼着してからＴＣＰを仮圧着する順序を示す説明図。
【符号の説明】
【００８１】
１…パネル（基板）、２…ＴＣＰ（電子部品）、６…第１の貼着部、７…第２の貼着部、８…第１の仮圧着部、１１…第２の仮圧着部、１２…第１の本圧着部、１３…第２の本圧着部、１７，４１…載置テーブル、２１…異方性導電部材、２３，４４…支持アーム、２６…第１の搬送アーム（搬送ユニット）、２７…第２の搬送アーム（搬送ユニット）、４７…第３の搬送アーム（搬送ユニット）、４８…第４の搬送アーム（搬送ユニット）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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