(57)【要約】【課題】  レーザ露光のぶれを生じさせることなく正確にホログラム感材の所定の位置に干渉縞を形成し、生産性を向上し得るホログラム素子を製造することができるレーザ露光装置及びその支持装置を提供することである。【解決手段】  レーザ露光装置の支持装置において、レーザ露光装置１と当該レーザ露光装置を支持する支持躯体８ａ，８ｂとの間の振動伝達経路４に介在され、互いに反発する磁性の磁極が振動伝達方向において相対向するように配置されてなる防振手段５を備えることを特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ露光装置と当該レーザ露光装置を支持する支持躯体との間の振動伝達経路に介在され、互いに反発する磁性の磁極が振動伝達方向において相対向するように配置されてなる防振手段を備えることを特徴とするレーザ露光装置の支持装置。
【請求項２】
前記防振手段は、単数又は複数の永久磁石を設けることを特徴とする請求項１に記載のレーザ露光装置の支持装置。
【請求項３】
前記防振手段は、単数又は複数の電磁石を設けることを特徴とする請求項１に記載のレーザ露光装置の支持装置。
【請求項４】
前記防振手段は、２基の前記電磁石で１基の前記永久磁石を挟むように設けることを特徴とする請求項１に記載のレーザ露光装置の支持装置。
【請求項５】
請求項３又は請求項４に記載のレーザ露光装置の支持装置において、
前記レーザ露光装置の振動を検出する位置センサー部と、
前記防振手段を制御する防振制御部と、を設け、
前記防振制御部は、
当該位置センサー部の検出情報に基づいてレーザ露光装置の座標位置及び振動速度を演算する座標位置演算部と、
演算された当該レーザ露光装置の座標位置及び振動速度の情報に基づいて所定の座標位置の範囲内及び振動速度内となる補正値を演算する防振演算部と、
演算された当該補正値の情報に基づいて前記電磁石に流す電流量及び電流方向を制御する電流制御部と、
を有することを特徴とするレーザ露光装置の支持装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のレーザ露光装置の支持装置を設けることを特徴とするレーザ露光装置。
【請求項７】
前記位置センサー部と、前記座標位置演算部を有する前記防振制御部と、を設けた請求項２に記載のレーザ露光装置の支持装置を設けたレーザ露光装置において、
前記防振制御部は、演算された前記レーザ露光装置の座標位置及び振動速度の情報に基づいて前記レーザ露光装置に設けるレーザ露光制御部を制御することを特徴とするレーザ露光装置。
【請求項８】
請求項５に記載のレーザ露光装置の支持装置を設けたレーザ露光装置において、
前記防振制御部は、演算された前記レーザ露光装置の座標位置及び振動速度の情報に基づいて前記レーザ露光装置に設けるレーザ露光制御部を制御することを特徴とするレーザ露光装置。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載のレーザ露光装置において、
前記制御部は、レーザ露光装置が前記所定の座標位置の範囲又は振動速度の範囲を超える際に、前記レーザ露光制御部にレーザ露光の照射を待機する指示情報を出力し、レーザ露光の照射を待機するように制御することを特徴とするレーザ露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ホログラム感材のレーザ露光装置に係り、レーザ露光装置及びその支持装置、特に防振手段を備えるレーザ露光装置及びその支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハンドフリーによる作業性向上や情報検索、弱視者の視力補正、各種アミューズメント体験、などを目的とした眼鏡型ウエラブルディスプレイ（以下、ＷＤとする。）やヘッドマウント（以下、ＨＭＤとする。）などの開発が行われている。
ＷＤやＨＭＤのレンズには表示ユニットからの映像を光学的に目に導くための光学基材が設けられている。この光学基材には、眼前にＬＣＤや有機ＥＬなどの映像を反射させて前景に重ねて映像を表示するための反射膜としてホログラム素子が設けられている。
【０００３】
従来、ホログラム感材をレーザ露光するレーザ露光装置では、レーザ露光工程中に振動することによってホログラム感材の露光位置にズレが生じ、ホログラム映像にユガミやヒズミが生じ、生産効率を低下させる原因となっている。この振動の原因としては、レーザ露光装置自体に備えられているモータやポンプの動作がレーザ露光装置を振動させることが挙げられる。また、自動車走行などの振動が地盤に伝わり建物自体や床を振動させ、間接的にレーザ露光装置を振動させることが挙げられる。
【０００４】
レーザ露光装置自体による振動に関しては、低振動モータや防振材などをレーザ露光装置内に設け、振動を低減してレーザ露光に必要な精度を確保している。しかし、自動車の走行などによる地盤の振動の伝達は予見が困難であり、地盤の振動を防ぐため、レーザ露光装置を設置する建造物の周囲に深い溝を掘ったり、建物の建築工法自体に地盤の振動を受けない構造を設けたりしている。
【０００５】
建物の周囲に溝を掘るなどの場合には多額の費用がかかり、また建物自体が建設後には新たに工事をすることは困難である。このことから、地盤を伝わって床からレーザ露光装置に伝わる振動を低減する防振手段をレーザ露光装置などの装置と支持体との間に配置することが提案させている。（例えば、特許文献１）。この防振手段には、振子機構や液空圧機構などを利用したスプリングやエアダンパーが使用されている。
【特許文献１】特開平０６−３３７３１５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の防振手段では空気などの流体粘度抵抗を利用した手段であるため、地盤、床からの振動を確実に防ぐことができず、より高い精度が求められるレーザ露光装置に必要な減衰効果が得られていないという問題があった。このため、ホログラム感材の所定の位置に正確にレーザ露光ができず、ホログラム素子の生産効率が低下し、コストが高くなるという問題があった。
【０００７】
本発明の課題は、自動車などの走行による振動においてもホログラム感材のレーザ露光に必要な高い減衰効果を得ることのできるレーザ露光装置及びその支持装置を提供することである。さらに、レーザ露光のぶれを生じさせることなく正確にホログラム感材の所定の位置に干渉縞を形成し、生産性を向上し得るホログラム素子を製造することができるレーザ露光装置及びその支持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、レーザ露光装置の支持装置において、レーザ露光装置と当該レーザ露光装置を支持する支持躯体との間の振動伝達経路に介在され、互いに反発する磁性の磁極が振動伝達方向において相対向するように配置されてなる防振手段を備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のレーザ露光装置の支持装置において、請求項１に記載のレーザ露光装置の支持装置において、前記防振手段は、単数又は複数の永久磁石を設けることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記防振手段は、単数又は複数の電磁石を設けることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載のレーザ露光装置の支持装置において、前記防振手段は、２基の前記電磁石で１基の前記永久磁石を挟むように設けることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項３又は請求項４に記載のレーザ露光装置の支持装置に、前記レーザ露光装置の振動を検出する位置センサー部と、前記防振手段を制御する防振制御部と、を設け、前記防振制御部は、当該位置センサー部の検出情報に基づいてレーザ露光装置の座標位置及び振動速度を演算する座標位置演算部と、演算された当該レーザ露光装置の座標位置及び振動速度の情報に基づいて所定の座標位置の範囲内及び振動速度内となる補正値を演算する防振演算部と、演算された当該補正値の情報に基づいて前記電磁石に流す電流量及び電流方向を制御する電流制御部と、を有することを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、レーザ露光装置において、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のレーザ露光装置の支持装置を設けることを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、レーザ露光装置において、前記位置センサー部と、前記座標位置演算部を有する前記防振制御部と、を設けた請求項２に記載のレーザ露光装置の支持装置を設けたレーザ露光装置において、前記防振制御部は、演算された前記レーザ露光装置の座標位置及び振動速度の情報に基づいて前記レーザ露光装置に設けるレーザ露光制御部を制御することを特徴とする。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項５に記載のレーザ露光装置の支持装置を設けたレーザ露光装置において、前記防振制御部は、演算された前記レーザ露光装置の座標位置及び振動速度の情報に基づいて前記レーザ露光装置に設けるレーザ露光制御部を制御することを特徴とする。
【００１６】
請求項９に記載の発明は、請求項７又は請求項８に記載のレーザ露光装置において、
前記制御部は、レーザ露光装置が前記所定の座標位置の範囲又は振動速度の範囲を超える際に、前記レーザ露光制御部にレーザ露光の照射を待機する指示情報を出力し、レーザ露光の照射を待機するように制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１又は請求項６から請求項９に記載の発明は、防振手段が互いに反発する磁性の磁極が振動伝達方向において相対向するように配置されているため、一定空間を確保してレーザ露光装置自体が床から浮いた状態である。このため、振動の減衰効率が高いという効果を奏する。特に、ホログラム感材へのレーザ露光時にブレを生じさせず安定して正確に干渉縞を露光することができ、ホログラム映像にヒズミやユガミのないホログラム素子を形成することができるという効果を奏する。
【００１８】
請求項２に記載の発明は、防振手段に永久磁石を設けることにより、簡単に高い減衰効率が得られるという効果を奏する。
【００１９】
請求項３に記載の発明は、防振手段に電磁石を設けることによって、制御しながら精度の高い減衰効率が得られるという効果を奏する。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、防振手段に電磁石と永久磁石を設けることによって、精度が高く簡単に高い減衰効率が得られるという効果を奏する。
【００２１】
請求項５に記載の発明は、位置センサー部を設けることによって、所定の範囲を超えた振動のときには、レーザ露光を中止して待機状態となるため、ホログラム感材へのレーザ露光時にブレを生じさせず安定して正確に干渉縞を露光することができ、ホログラム映像にヒズミやユガミのないホログラム素子を形成することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明における防振手段５を備えたレーザ露光装置１の支持装置１００について図１から図９を参照して第１の実施形態、第２の実施形態、第３の実施形態について説明する。ただし、図示には限定されない。
図１に、本発明のレーザ露光装置１及び支持装置１００の上方向からの概略図を示す。図２に、レーザ露光装置１及び支持装置１００の幅方向からの概略図を示す。
【００２３】
レーザ露光装置１について説明する。
レーザ露光台３の上部には、レーザ露光装置１が備えられている。このレーザ露光装置１には、ホログラム感材をレーザ露光するレーザ発振部２１、露光位置部２２、ミラー部２３、レーザ光路部２４、レーザ露光制御部３０（図示せず）などから構成されている。
【００２４】
レーザ露光を発振するレーザ発振部２１は、レーザ露光台３の長手方向の端部に配置されている。このレーザ発振部２１には、レーザ発振器２１ａ，…が配置されている。少なくとも２つのレーザ発振器２１ａ，２１ａが配置されていることが好ましく、３つのレーザ発振器２１ａが配置されていることがより好ましい。３つのレーザ発振器２１ａ，２１ａ，２１ａである場合には、それぞれをＲＧＢとして使用することができるためである。
【００２５】
レーザ露光の光路であるレーザ光路部２４は、照射部光路２４ａと露光部光路２４ｂとから構成されている。このレーザ光路部２４には、レーザ発振器２１ａから照射されたレーザ露光をレーザ光路部２４に沿って露光位置部２２に導くためのミラー部２３が設けられている。
【００２６】
照射部光路２４ａには、レーザ発振器２１ａ，２１ａの正面にミラー２３ａ，２３ａが設けられている。このミラー２３ａによって、レーザ発振器２１ａ，２１ａから照射されたレーザ露光を照射部光路２４ａから露光部光路２４ｂに導かれる。また、露光部光路２４ｂには、照射部光路２４ａから導かれたレーザ露光を２つに分けるミラー２３ｂと、２つに分れたレーザをそれぞれ反射させて露光位置部２２に導くミラー２３ｃ，２３ｃ，２３ｃとが設けられている。この露光位置部２２には、ホログラム感材２２ａが貼り付けられた部材が固定されている。露光位置部２２に導かれた２つに分けたレーザ露光は、ホログラム感材２２ａの表裏に照射され、干渉縞を形成する。
【００２７】
＜第１の実施形態＞
本発明におけるレーザ露光装置１の支持装置１００ａは、レーザ露光装置１とレーザ露光装置１を支持する支持躯体８ａ，８ｂとの間の振動伝達経路４ａに介在され、互いに反発する磁性の磁極が振動伝達方向において相対向するように配置されている防振手段５ａと、防振制御部３１ａとから構成されている。
【００２８】
レーザ露光装置１とレーザ露光装置１を支持する支持躯体８ａ，８ｂとの間には、振動伝達経路４ａが設けられている。この振動伝達経路４ａに介在され、互いに反発する磁性の磁極が振動伝達方向において相対向するように配置されている防振手段５ａが備えられている。この防振手段５ａは、少なくともレーザ露光台３の下部に設けられている。この防振手段５ａの下部には、レーザ露光装置１を支持する支持躯体８ａが備えられている。支持躯体８ａは、固定板１０を介して床に固定されている。防振手段５ａが互いに反発することによって、レーザ露光装置１を支持躯体８ａから水平に一定の空間を保つことができる。床からの振動を防ぐことができるので、ホログラム感材を正確にレーザ露光することができる。
【００２９】
さらに、防振手段５ａは、レーザ露光台３の長手方向及び幅方向に設けられていることが好ましい。この防振手段５ａには、支持躯体８ｂが設けられており、固定板１０を介して床又は壁面に固定されている。防振手段５ａを長手方向及び幅方向に設けることにより、振動伝達方向において相対向するように互いに反発する又は引き合うことによって、レーザ露光装置１を支持躯体８ｂから垂直に一定の空間を保つことができる。レーザ露光装置１の側面方向からの振動を防ぐことができる。
防振手段５ａをレーザ露光台３の下部、長手方向及び幅方向に設けることによって、レーザ露光装置１を水平かつ垂直に保つことができる。
【００３０】
さらに、防振手段５ａをレーザ露光台３の上部に設けてもよい。この防振手段５ａは、固定板１０を介して天井に固定されていてもよい。レーザ露光装置１を四方から反発し合う磁力によって押すことによってレーザ露光装置１の位置座標を一定の位置に保ち、振動を抑制することができる。このとき、レーザ露光台３の上部及び下部の防振手段５ａは、振動伝達方向において相対向するように互いに引き合ってもよい。
【００３１】
図３に、防振手段５ａの断面図を示す。この防振手段５ａの構造について説明する。この防振手段５ａは、永久磁石５０，５０と、これらを格納する筐体１２とから構成されている。
防振手段５ａの内部には、２基の永久磁石５０が備えられている。この永久磁石５０，５０は、互いに反発する磁性体であって振動伝達方向において相対向するように配置されている。この２基の永久磁石５０の一方はレーザ露光台３に接合し、他方は支持躯体８ａ又は支持躯体８ｂに接合している。
【００３２】
これら永久磁石５０，５０の外周部には、２基の永久磁石５０，５０が摺動し、これらの位置決めと格納を行う筐体１２が設けられている。この筐体１２は、少なくともレーザ露光台３又は支持躯体８ａ，８ｂのいずれか一方に接合している。筐体１２は防磁気加工が施されていることが好ましい。
【００３３】
なお、防振手段５ａの筐体１２に格納されている永久磁石５０の個数は特に制限されず、互いに反発し、振動伝達方向において相対向するように配置されていればよい。また、この場合、例えば、永久磁石５０が３基の場合には、２基の永久磁石５０は、上記と同様にレーザ露光台３及び支持躯体８ａ，８ｂに接合し、他の永久磁石５０は筐体１２の中途部に接合し、互いに反発し振動伝達方向において相対向し、摺動することができるようになっていればよい。
【００３４】
位置センサー部４０は、レーザ露光台３上部の四隅に位置センサー４０ａをそれぞれ配置しており、それぞれの座標位置の情報を防振制御部３１ａに出力している。  この位置センサー４０ａとして、加速度センサー又は距離センサーが挙げられる。この位置センサー４０ａの位置及びその基数は、特に限定されるものではない。
【００３５】
加速度センサーによる加速度の検出方式には、電圧型、静電容量型、ピエゾ抵抗型などが挙げられる。ここで、一例としてピエゾ抵抗型について説明する。ピエゾ抵抗型は、結晶に機械的な外圧が加わることによって、結晶格子にヒズミを生じ、半導体中のキャリア数や移動度が変化して抵抗が変化することにより、各位置センサー４０ａのＸＹＺ軸に生じる電圧変化の情報を防振制御部３１ａに出力し、出力された情報に基づき防振制御部３１ａがレーザ露光装置１の座標位置及び振動速度を演算する。
【００３６】
また、距離センサーによる位置の検出方式には、光型、超音波型、磁力型が挙げられる。この距離センサーの場合には、それぞれの防振手段５ａの側部に配置されている。この距離センサーは、ある特定の波長を発振し、反射した波長を受信するセンサー発振部とその発振した波長を反射させる反射部とから構成されている。このセンサー発振部は、レーザ露光台３に配置されており、反射部は、センサー発振部から発振された特定の波長を反射させてセンサー発振部に受信させる位置の支持躯体８ａ，８ｂに配置されている。このとき、各振動センサーから得られた情報は防振制御部３１ａに出力され、座標位置演算部３３は、特定の波長の発振強度と反射した波長の強度とから距離を演算する。
【００３７】
図４に、第１の実施形態である支持装置１００ａの防振制御を行う防振制御部３１ａを示すブロック図を示す。
レーザ露光制御部３０は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、レーザ露光演算部などから構成されている（図示せず）。さらに、レーザ発振器２１ａ，２１ａのレーザ露光の照射出力や照射時間の制御を行ったり、レーザ露光が露光位置部２２に導かれるようにレーザ光路部２４のミラー２３ａから２３ｃまでのミラー位置の微調整をするように制御する。また、レーザ露光制御部３０は、防振制御部３１ａに接続されており、防振制御部３１ａから出力された情報に基づいてレーザ発振部２１を制御している。
【００３８】
防振制御部３１ａは、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及び座標位置演算部３３などから構成されている。
ＣＰＵは、防振制御部３１ａを中央制御する。このＣＰＵは、ＲＯＭに記憶されている各種プログラムの中から指定されたプログラムをＲＡＭのワークエリアに適宜展開し、ＲＡＭ上のプログラムとの協働により各種処遇を実行し、その処理結果をＲＡＭの所定の領域に格納するとともに、入出力手段（図示せず）に表示させる。特に、ＲＯＭには、位置センサー４０ａ，…のＸＹＺ軸の位置及び一定時間内のこの位置の移動の範囲（以下、座標位置及び振動速度とする。）を演算するため、座標位置演算プログラムが格納されている。
【００３９】
座標位置演算部３３は、各位置センサー４０ａから得られた検出情報に基づいてレーザ露光装置１の座標位置及び振動速度を演算する。そして、得られた座標位置及び振動速度の情報に基づいて防振制御部３１ａは、レーザ露光台３の座標位置が所定の座標位置の範囲内を超えている又はレーザ露光台３の振動が所定の範囲内を超えているときには、レーザ露光制御部３０にレーザ露光の照射を待機する指示情報を出力し、その間、レーザ露光制御部３０はレーザ露光の照射を待機するように制御する。これによって、ホログラム感材の所定の位置に正確にレーザ露光をすることができない間は、レーザ露光の照射が行われず待機状態となり、ホログラム感材の干渉縞形成のブレやズレを防ぐことができる。
【００４０】
例えば、レーザ露光装置１の座標位置として、レーザ露光台３上面の中点（０,０,０）、各四隅の位置センサー４０ａの座標位置（２５,１０,０）、（−２５,１０,０）、（２５,−１０,０）及び（−２５,−１０,０）が防振制御部３１ａの予めＲＯＭに記憶されている。また、防振制御部３１ａがレーザ露光中止を出力する座標位置の所定の範囲として例えば、（｜０．５｜,｜０．５｜,｜０．２５｜）であり、振動速度の所定の範囲として（０．２５,０．２５,０．１２５）／秒が予め防振制御部３１ａのＲＯＭに記憶されている。なお、これらは入力手段で設定してもよい。
【００４１】
ここで、ホログラム感材２２ａは、重クロムゼラチンなどを感材として用いられた一般的なものである。また島状のホログラム感材シートを貼り付けた部材は、プリズムなどに用いられるプラスチック又はガラスが好ましい。
【００４２】
第１の実施形態の作用について説明する。
露光位置部２２にホログラム感材２２ａ付き部材を固定する。レーザ露光装置１は、各防振手段２ａに備えられている、それぞれの２基の永久磁石５０と永久磁石５０とが振動伝達方向において相対向するように互いに反発し摺動しながら、一定の空間を保っている。このことによって、レーザ露光装置１は、水平かつ垂直を維持することができる。
それぞれの各位置センサー４０ａは、ＸＹＺ軸に生じた電圧変化の情報を防振制御部３１ａに出力し、出力された情報に基づき座標位置演算部３３がレーザ露光装置１の各座標位置及び振動速度を演算する。
【００４３】
防振制御部３１ａは、レーザ露光装置１の座標位置及び振動速度がＲＯＭなどに記憶されている座標位置の範囲及び振動速度の双方が所定の範囲内である場合には、レーザ露光制御部３０にレーザ露光が可能な状態と出力する。いずれか一方でも所定の範囲を超えている場合には、防振制御部３１ａはレーザ露光制御部３０にレーザ露光の照射を待機状態する指示情報を出力し、その間、レーザ発振部２１からレーザ露光を行わず、待機状態となる。
【００４４】
レーザ露光制御部３０は、レーザ発振部２１を制御してレーザ発振器２１ａからレーザ露光を照射する。照射されたレーザ露光は、順次ミラー２３ａから２３ｃに反射しながら、露光位置部２２に固定されているホログラム感材２２ａの両面に照射し、干渉縞を形成する。
【００４５】
以上のことより、防振手段が互いに反発する磁性の磁極が振動伝達方向において相対向するように配置されているため、一定空間を確保してレーザ露光装置自体が床から水平かつ垂直に浮いた状態とすることができる。このため、自動車などからの振動がレーザ露光装置に伝えられる減衰効率を高めることができる。特に、この支持装置を備えたレーザ露光装置はホログラム感材へのレーザ露光時にブレを生じさせず安定して正確に干渉縞を露光することができ、ホログラム映像にヒズミやユガミのないホログラム素子を形成することができる。
【００４６】
＜第２の実施形態＞
本発明の第２の実施形態の支持装置１００ｂについて図５から図８を参照して説明する。第１の実施の形態と異なる構成、作用、効果について説明する。なお、第２の実施形態は、前記第１の実施形態の防振手段２ａ及び防振制御部３１ａと異なる。
【００４７】
図５に、防振手段５ｂの断面図を示す。図６に、防振手段５ｂの電磁石の作用を示す図を示す。
防振手段５ｂは、第１の実施形態の支持装置１００ａと同様に、レーザ露光装置１とレーザ露光装置１を支持する支持躯体８ａ，８ｂとの間に、振動伝達経路４ｂが設けられている。この振動伝達経路４ｂに介在され、互いに反発する磁性の磁極が振動伝達方向において相対向するように配置されている防振手段５ｂが備えられている。
【００４８】
この防振手段５ｂは、レーザ露光台３の長手方向に設けられている防振手段５ｂｘ、幅方向に設けられている防振手段５ｂｙ及び下部に設けられている防振手段５ｂｚから構成されている。これらの防振手段５ｂｘ，５ｂｙ，５ｂｚは同様の構造、機能、作用を有している。
【００４９】
この防振手段５ｂの構造について説明する。この防振手段５ｂは、電磁石５１，５１と、これらを格納する筐体１２から構成されている。これら防振手段５ｂは、互いに反発する磁性体であって振動伝達方向において相対向するように配置されている。
防振手段５ｂの内部には、２基の電磁石５１が備えられている。この電磁石５１，５１には、外周に沿って凹部が形成されており、この凹部にはコイルが配置されている。
【００５０】
図５に示すように、このコイルの始端及び末端は、電流制御部３５ｂによって制御されている電源３６と接続されている。防振手段５ｂｘ，５ｂｙ，５ｂｚは、防振制御部３１ｂから出力される情報に基づき電磁石５１のコイルに流れる電流量及び電流方向を制御する電流制御部３５ｂによって、磁力は制御されている。
【００５１】
図６及び図７に、第２の実施形態である支持装置１００ｂの防振制御を行う防振制御部３１ｂを示すブロック図を示す。
防振制御部３１ｂは、第１の実施形態と同様の座標位置演算部３３の他に、防振演算部３４ｂ及び電流制御部３５ｂがさらに追加して構成されている。なお、ＲＯＭなどに記憶されている防振演算プログラム及び電流制御プログラムがさらに格納されている。
【００５２】
座標位置演算部３３は、上記第１の実施形態と同様に位置センサー部４０の検出情報に基づいてレーザ露光装置の座標位置及び振動速度を演算する。防振演算部３４ｂは、演算されたレーザ露光装置の座標位置及び振動速度の情報に基づいて所定の座標位置の範囲内及び振動速度内になる補正値を演算する。電流制御部３５ｂは、演算された補正値の情報に基づいて電磁石５０に流す電流量及び電流方向を制御する。これによって、防振手段５ｂｘ，５ｂｙ，５ｂｚに電源３６から所定の電流量及び電流方向が流れる。
【００５３】
レーザ露光装置１の座標位置及び振動速度が所定の範囲内であるときには、防振制御部３１ｂは、レーザ露光制御部３０にレーザ照射可能状態と出力し、その間にレーザ露光が行われる。一方で、レーザ露光装置１の座標位置及び振動速度が所定の範囲を超えているときには、レーザ露光制御部３０にレーザ照射の待機状態を出力し、その間、レーザ露光が行われずに待機状態となる。
【００５４】
第２の実施形態の作用について説明する。
露光位置部２２にホログラム感材２２ａ付き部材を固定する。
防振制御部３１ｂは、座標位置演算部３３に位置センサー部４０の検出情報に基づき、レーザ露光装置１の座標位置及び振動速度を演算させる。さらに、演算された情報を防振演算部３４ｂに出力し、防振演算部３４ｂは、入力された演算された情報に基づき、予め設定又は記憶されている所定の座標位置及び振動速度と比較して所定の座標位置の範囲内及び振動速度内になる補正値を演算させる。演算された補正値を電流制御部３５ｂに出力し、電流制御部３５ｂは、入力された補正値に基づいて防振手段５ｂｘ，５ｂｙ，５ｂｚのそれぞれの電磁石５１，５１に電源３６から電流量及び電流方向を流し、磁力を制御する。それぞれの２基の電磁石５１と電磁石５１とが振動伝達方向において相対向するように互いに反発し摺動しながら、一定の空間を保っている。
【００５５】
このことによって、支持装置１００ｂは、レーザ露光装置１を水平及び垂直に維持することができる。なお、レーザ露光台３の上部に、防振手段５ｂを設けた場合にも、防振制御部３１ｂは、上記と同様にレーザ露光装置１を水平及び垂直に制御することができる。また、第１の実施形態と同様に、座標位置及び振動速度が所定の範囲を超えているときには、防振制御部３１ａはレーザ露光制御部３０にレーザ露光の照射を待機状態する指示情報を出力し、その間、レーザ発振部２１からレーザ露光を行わず、待機状態となる。
【００５６】
例えば、位置センサー部４０より出力された情報を座標位置演算部３３によって演算された実測値のレーザ露光装置１の座標位置及び振動速度が、所定の範囲である（｜０．５｜，｜０．５｜，｜０．２５｜）を超えている（−２１，９，−０．５）、（１９，９，０．５）、（−２１，−１１，−０．５）及び（１９，−１１，０．５）である場合には、防振制御部３１ｂは、レーザ露光制御部３０にレーザ露光中止し、待機状態となるように出力する。出力を受けたレーザ露光制御部３０は、レーザ発振部２１にレーザ露光中止を出力し、レーザ発振部２１は待機状態となりレーザ露光が行われず、待機状態となる。
【００５７】
このとき、防振制御部３１ｂは、防振演算部３４ｂにより演算された実測値と設定値の（−２０，１０，０）、（２０，１０，０）、（−２０，−１０，０）及び（２０，−１０，０）とを比較して、実測値と設定値との差である修正値（１，１，０．５）、（１，１，−０．５）、（１，１，０．５）及び（１，１，−０．５）に応じる電流量及び電流の方向を演算する。演算された情報を電流制御部３５ｂに出力し、電流制御部３５ｂは、電源を制御して所定の範囲である（｜０．５｜，｜０．５｜，｜０．２５｜）なるようにそれぞれの防振手段５ｂｘ，５ｂｙ，５ｂｚの電磁石５１，５１への電流量及び電流の方向を制御する。
【００５８】
位置センサー部４０より出力された情報を座標位置演算部３３によって演算された実測値のレーザ露光装置１の座標位置及び振動速度が、所定の範囲である（｜０．５｜，｜０．５｜，｜０．２５｜）である場合には、防振制御部３１ｂはレーザ露光制御部３０にレーザ露光可能状態と出力し、その間にレーザ露光が行われる。また、防振制御部３１ｂは、レーザ露光台３の座標位置が所定の範囲になるまで、レーザ露光制御部３０にレーザ露光中止し、待機状態と出力し、レーザ露光が待機状態となる。
【００５９】
以上のことより、電流量及び電流方向を制御し、レーザ露光措置を水平及び垂直に制御することができる電磁石を設けた防振手段にすることによって、永久磁石よりもレーザ露光時などに生じる振動を除くことができる。また、電流制御によって、電磁石間の一定距離をより安定して維持することができ、さらにレーザ露光装置１の座標位置及び振動速度を所定の範囲内に制御することができる。
【００６０】
なお、磁力部材のいずれか一方を永久磁石とし、他方を電磁石にして、互いに反発する磁性の磁極が振動伝達方向において相対向するようにして、防振制御部３１ｂによりレーザ露光装置１の水平及び垂直を制御してもよい。
【００６１】
＜第３の実施形態＞
本発明の第３の実施形態について図９を参照して説明する。第１の実施形態、第
２の実施形態と異なる構成、作用、効果について説明する。なお、第３の実施形態は、前記第１の実施形態及び第２の実施形態の防振手段５ａ，５ｂの構造、防振制御部３１ａと異なる。
【００６２】
図８に、防振手段５ｃの断面図を示す。
防振手段５ｃの構造について説明する。この防振手段５は、２基の永久磁石５０及び１基の電磁石５１と、これらを格納する筐体１２、さらに筐体１２を支持し、外周部に形成されている支持体１３ａ，１３ｂとから構成されている。
防振手段５ｃの内部には、２基の永久磁石５０と、これらにサンドイッチ状に挟まれるように１基の電磁石５１とが備えられている。
【００６３】
２基の永久磁石５０は、上記第１の実施形態と同様にそれぞれレーザ露光台３又は支持躯体８ａ，８ｂに接合している。１基の電磁石５１は、格納する筐体１２の内部に中途部に接合されている。この筐体１２の外周部には、筐体１２を支持し、位置決めをする円筒状の支持体１３ａ，１３ｂが設けられている。これら支持体１３ａと支持体１３ｂとの間には、一定の距離が設けられており、支持体１３ａは支持躯体８ａ，８ｂに接合されており、支持体１３ｂはレーザ露光台３に接合されている。
【００６４】
例えば、このとき、これらの永久磁石５０，５０と電磁石５１とは、互いに反発し、振動伝達方向において相対向するように配置されている。例えば、永久磁石５０の一方の磁性の磁極がＳ極である場合には、電流制御部５３ｂにより電磁石５１は相対向する磁性の磁極をＳ極とするように制御することによって、互いに反発するようにする。このとき電磁石５１の他方の磁性の磁極はＮ極となるため、永久磁石５０の他方の磁性の磁極はＮ極とする。
防振制御部３１ｃに有する電流制御部３５ｃには、電流制御部３５ｂと異なる第３の実施形態に適した電磁石５１に流す所定の電流量及び電流方向が記憶されている。
【００６５】
第３の実施形態の作用について説明する。
露光位置部２２にホログラム感材２２ａ付き部材を固定する。
防振制御部３１ｃは、座標位置演算部３３に位置センサー部４０の検出情報に基づき、レーザ露光装置１の座標位置及び振動速度を演算させる。さらに、演算された情報を防振演算部３４ｂに出力し、防振演算部３４ｂは、入力された演算された情報に基づき、予め設定又は記憶されている所定の座標位置及び振動速度と比較して所定の座標位置の範囲内及び振動速度内になる補正値を演算させる。演算された補正値を電流制御部３５ｃに出力し、電流制御部３５ｃは、入力された補正値に基づいて防振手段５ｃｘ，５ｃｙ，５ｃｚのそれぞれの電磁石５１に電源３６から電流量及び電流方向を流し、磁力を制御する。それぞれの２基の永久磁石５０と永久磁石５０とは筐体１２内で摺動しながら、電磁石５１の磁性の磁極と振動伝達方向において相対向するように互いに反発する。筐体１２の外周面が支持体１３ａ，１３ｂの内周面と摺動し、一定の空間を保っている
【００６６】
以上のことより、電磁石に電流制御部によって制御された電流量及び電流方向を流すことによって、磁力部材の面の一方はＳ極、他方はＮ極となる。このときに、相対向する磁石を備える磁力部材の面とは、反発しあう極となるように電流の制御をすることによって、電磁コイルを備える磁力部材を１基にすることができるので、第２の実施形態よりも電力消費量を低減することができ、磁石を備える磁力部材よりもレーザ露光時の防振を容易にすることができる。
【００６７】
＜第４の実施形態＞
レーザ露光装置１とレーザ露光装置を支持する支持躯体８ａ，８ｂとの間の振動伝達経路に防振手段５ａ、防振手段５ｂ及び防振手段５ｃのいずれかを任意に組み合わせて介在して設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明におけるレーザ露光装置１の上方向からの概略図である。
【図２】本発明におけるレーザ露光装置１の側面方向からの概略図である。
【図３】本発明における第１の実施形態の防振手段５ａの断面図である。
【図４】本発明における第１の実施形態である支持装置１００ａの防御制御を行う防振制御部３１ａを示すブロック図である。
【図５】本発明における第２の実施形態の防振手段５ｂの断面図である。
【図６】本発明における第２の実施形態である支持装置１００ａの防御制御を行う防振制御部３１ｂを示すブロック図である。
【図７】本発明における第２の実施形態である支持装置１００ａの防御制御を行う防振制御部３１ｂを示すブロック図である。
【図８】本発明における第３の実施形態の防振手段５ｃの断面図である
【符号の説明】
【００６９】
３  レーザ露光台
５ａ，５ｂ，５ｃ  防振手段
８ａ，８ｂ  指示躯体
３１ａ，３１ｂ，３１ｃ  防振制御部
４０  位置センサー部
５０  永久磁石
５１  電磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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