(57)【要約】 【課題】  小型でリニアリティの良い振動検出装置を提供する。【解決手段】  ハウジング１０１内に、所定の間隔をおいて対向配置された一対の磁極間に直流磁界を形成する磁気回路ユニットを構成する磁石１０３および１０４、この磁気回路ユニットに隣接して配置された誘導コイル１０６、前記磁極間および前記誘導コイル内を貫通して配置されたアーマチャ１０２を備え、アーマチャ１０２の一端には錘１０７が固定され、アーマチャ１０２の他端はハウジング１０１に対して固定する。外部からハウジング１０１に振動が伝わると、錘１０７が往復運動し、アーマチャ１０２が撓み振動する。このアーマチャ１０２の撓み振動により誘導コイル１０６に誘導電流が誘起され、それが振動の検出信号として信号出力端子１１０および１１１に出力される。【選択図】  図１
2006071319.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔をおいて対向配置された一対の磁極間に直流磁界を形成する磁気回路ユニットと、
この磁気回路ユニットに隣接して配置された誘導コイルと、
前記磁極間および前記誘導コイル内を貫通して配置されたアーマチャと
を備え、
前記アーマチャの撓み振動を前記誘導コイルに流れる信号電流の変化として検出することを特徴とする振動検出装置。
【請求項２】
所定の間隔をおいて対向配置された一対の磁極間に直流磁界を形成する磁気回路ユニットと、
この磁気回路ユニットに隣接して配置された誘導コイルと、
前記磁極間および前記誘導コイル内を貫通して配置され、一端が前記磁気回路ユニットに固定されたアーマチャと、
このアーマチャの他端に取り付けられた錘と、
前記磁気回路ユニットおよび前記誘導コイルをその内部に固定支持するハウジングと
を備えたことを特徴とする振動検出装置。
【請求項３】
所定の間隔をおいて対向配置された一対の磁極間に直流磁界を形成する磁気回路ユニットと、
この磁気回路ユニットに隣接して配置された誘導コイルと、
前記磁極間および前記誘導コイル内を貫通して配置され、一端が前記磁気回路ユニットに固定されたアーマチャと、
このアーマチャの他端に取り付けられたドライブピンと、
前記磁気回路ユニットおよび前記誘導コイルをその内部に固定支持するハウジングと、
前記ドライブピンに接続され、前記ハウジングの表面に配置された可動接触部と
を備えたことを特徴とする振動検出装置。
【請求項４】
所定の間隔をおいて対向配置された一対の磁極間に直流磁界を形成する磁気回路ユニットと、
この磁気回路ユニットを内部に納めたハウジングと、
前記磁気回路ユニットに隣接して配置された誘導コイルと、
前記磁極間および前記誘導コイル内を貫通して配置され、一端が前記磁気回路ユニットに固定され、他端が前記ハウジングに固定されたアーマチャと
を備え、
前記磁気回路ユニットおよび前記誘導コイルは、前記アーマチャを介して前記ハウジングに支持固定されていることを特徴とする振動検出装置。
【請求項５】
前記誘導コイルに交流バイアス電圧を加えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の振動検出装置。
【請求項６】
前記アーマチャを複数備えており、
前記複数のアーマチャは、互いに異なる共振周波数を示すことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の振動検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動を検出する装置に係り、特に小型化しても優れたリニアリティを得ることができる構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動検出装置（振動検出センサ）としては、圧電型や静電型のものが知られている。圧電型としては、例えば特許文献１に記載されたものが、静電型としては、例えば特許文献２に記載されたものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−３０４１７１号公報
【特許文献２】特開平１０−９９３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電型の振動検出装置は、圧電素子を用いる関係上、装置を小型化した場合、圧電素子の寸法を小さくしなくてはならない。しかしながら、圧電素子は外部からの応力を圧電効果により発生する電荷として出力するものであり、これを小型化した場合、圧電素子の面積が小さくなり、さらに共振周波数が高くなるため、必然的に感度が低下してしまう。なお、この感度の低下を補うには、外付けの電子回路（電荷増幅器、積分器等）が必要になり、構成が複雑化し、さらにコスト高になってしまう。また静電型の振動検出装置は、ダイヤフラムや錘の構造が複雑であり、小型化するのには限界があった。そこで、本発明は、小型化が可能で、リニアリティが良く、しかも感度の高い周波数帯域を選択することが可能な振動検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の振動検出装置は、所定の間隔をおいて対向配置された一対の磁極間に直流磁界を形成する磁気回路ユニットと、この磁気回路ユニットに隣接して配置された誘導コイルと、前記磁極間および前記誘導コイル内を貫通して配置されたアーマチャとを備え、前記アーマチャの撓み振動を前記誘導コイルに流れる信号電流の変化として検出することを特徴とする。
【０００６】
アーマチャは、振動が可能な程度の弾性および形状を有し、磁性材料から構成される。例えば、アーマチャの形状として、撓み振動が発生し易い、薄板構造を挙げることができる。アーマチャを構成する材質としては、鉄、パーマロイ等やこれら材料を混合したものや複合化したものを挙げることができる。また、これらの磁性材料を非磁性材料と複合化したものによりアーマチャを構成してもよい。
【０００７】
外部から振動が加わらない状態において、アーマチャは、Ｎ極およびＳ極により構成される磁極間の直流磁界（静磁界）中において、力学的な平衡状態にある。ここで、外部から振動が加わると、アーマチャにその振動が伝わり、アーマチャが撓み振動する。アーマチャは直流磁界により帯磁状態にあるので、この振動が発生することで、誘導コイルに誘導電流が流れる。つまり、外部振動を駆動力としてアーマチャが振動すると、それが誘導コイルに流れる誘導電流として検出される。こうして、外部振動を電気信号として取り出すことができる。
【０００８】
上記構成においては、磁極間および誘導コイル内を貫通してアーマチャが配置された構造であるので、装置の横幅、高さを短くしても、アーマチャの長さを確保することができる。そのため、装置を小型化してもアーマチャが外部振動を受けて振動し易い構造を実現することができる。つまり、微弱な振動であってもリニアリティ良く反応する振動系を実現することができる。
【０００９】
また、アーマチャを含めた振動系の共振周波数は、アーマチャの形状、厚み、材質（弾性、硬度）、質量、アーマチャの振動検出装置への固定構造、アーマチャの負荷となる錘の質量、あるいはこれらの２つ以上の要素の組み合わせによって比較的自由に調整することができる。そのため、検出対象となる振動の周波数に合わせた性能を容易に実現することができる。
【００１０】
本発明の振動検出装置の第２の構成は、所定の間隔をおいて対向配置された一対の磁極間に直流磁界を形成する磁気回路ユニットと、この磁気回路ユニットに隣接して配置された誘導コイルと、前記磁極間および前記誘導コイル内を貫通して配置され、一端が前記磁気回路ユニットに固定されたアーマチャと、このアーマチャの他端に取り付けられた錘と、前記磁気回路ユニットおよび前記誘導コイルをその内部に固定支持するハウジングとを備えたことを特徴とする。
【００１１】
上記第２の構成によれば、アーマチャの一端が、振動検出装置の磁気回路ユニット、さらにハウジング（筐体）に対して直接あるいは間接的に固定され、アーマチャの他端に錘が固定される。この構成においては、ハウジングに外部振動が加わると、錘が磁気回路ユニットおよびハウジングに対して相対的に振動し、その際、アーマチャに撓み振動が発生する。このアーマチャの撓み振動は、誘導コイルに誘導電流を誘起し、この誘導電流からハウジングに加わった振動を検知することができる。
【００１２】
上記第２の構成は、錘のハウジングに対する相対的な振動を検出する構造であるので、アーマチャや錘といった振動検出機構をハウジング内に納めた密閉構造とすることができる。すなわち、装置の外部に可動部分が露出しない構造とすることができる。このため、温度変化が激しい環境、高湿度な環境、塵や油が存在している環境といった劣悪な環境における信頼性を高くすることができる。また、物理的な衝撃に対しては、錘の形状、材質等の選択によりアーマチャを保護することができる。
【００１３】
また、上記第２の構成によれば、錘の重量や形状を調整することで、振動の検出感度や検出周波数の調整を容易に行うことができる。
【００１４】
本発明の振動検出装置の第３の構成は、所定の間隔をおいて対向配置された一対の磁極間に直流磁界を形成する磁気回路ユニットと、この磁気回路ユニットに隣接して配置された誘導コイルと、前記磁極間および前記誘導コイル内を貫通して配置され、一端が前記磁気回路ユニットに固定されたアーマチャと、このアーマチャの他端に取り付けられたドライブピンと、前記磁気回路ユニットおよび前記誘導コイルをその内部に固定支持するハウジングと、前記ドライブピンに接続され、前記ハウジングの表面に配置された可動接触部とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
第３の構成によれば、可動接触部に伝わった振動は、ドライブピンを介してアーマチャを振動させ、それにより振動の検出が行われる。
【００１６】
本発明の振動検出装置の第４の構成は、所定の間隔をおいて対向配置された一対の磁極間に直流磁界を形成する磁気回路ユニットと、この磁気回路ユニットを内部に納めたハウジングと、前記磁気回路ユニットに隣接して配置された誘導コイルと、前記磁極間および前記誘導コイル内を貫通して配置され、一端が前記磁気回路ユニットに固定され、他端が前記ハウジングに固定されたアーマチャとを備え、前記磁気回路ユニットおよび前記誘導コイルは、前記アーマチャを介して前記ハウジングに支持固定されていることを特徴とする。
【００１７】
第４の構成においては、磁気回路ユニットおよび誘導コイルがアーマチャの錘として機能する。すなわち、ハウジングに外部から振動が伝わると、アーマチャは、ハウジングへの固定部分を支点とした撓み振動を行う。この際、磁気回路ユニットおよび誘導コイルが錘として振動運動し、アーマチャに撓み振動を生じさせる。
【００１８】
この構成においては、振動する部分（振動系）をハウジング内に収納される構造とできるので、第２の構成の場合と同様に装置としての信頼性を高くすることができる。またこの構成においては、磁気回路ユニットと誘導コイルを錘として利用するので、独立した専用の錘を配置する必要がなく、そのため、前述した第２の構造に比較して、振動検出センサの軽量化および小型化をさらに追求することができる。
【００１９】
以上説明した本発明の振動検出装置において、誘導コイルに交流バイアス電圧を加える構成とすることは好ましい。誘導コイルに交流バイアス電圧を加えることで、振動の検出感度を高くすることができる。
【００２０】
誘導コイルに交流バイアス電圧を加えると、アーマチャが振動し、アーマチャのコンプライアンス（弾性体の柔らかさを表す物理量）が上昇する。その結果、アーマチャの共振周波数が低くなり、この共振周波数以下の帯域において、外部振動に対する検出感度を高くすることができる。
【００２１】
交流バイアス電圧の周波数は、振動系の共振周波数に近い程、コンプライアンスの上昇が大きくなるため、感度も上昇する。したがって、誘導コイルに加える交流バイアス電圧の周波数は、測定信号に影響のない範囲で振動系の共振周波数に近い周波数を選択することが望ましい。
【００２２】
また、交流バイアス電圧の利用は、アーマチャの共振周波数（振動系の共振周波数）を低くする作用であるので、測定信号の周波数が振動系の共振周波数よりも低い場合に特に有効となる。なお、上記の条件を満たす周波数以外の周波数の交流バイアス電圧を加えた場合でもあっても感度上昇の効果は得ることができる。
【００２３】
この誘導コイルに交流バイアス電圧を加える方法は、交流バイアス電圧の周波数を選択することで、センサ側で高感度が得られる周波数帯域を検出対象の振動周波数帯域に近づける手法として理解することもできる。
【００２４】
上述した交流バイアス電圧を加える方法は、振動検出センサが高感度を発揮できる周波数帯域をセンサの製造後に簡便に調整することができる点で優位性がある。
【００２５】
このように、誘導コイルに交流バイアス電圧を加えることで、バイアス周波数よりも低い周波数に対する振動の検出感度を高くすることができる。また、上述した原理から明らかなように、交流バイアス電圧の電圧を高くした方がその効果を高くすることができる。
【００２６】
なお、直流バイアスを加えた場合は、交流バイアス電圧を加える場合とメカニズムが異なり、上述した作用効果は得られない。
【００２７】
本発明の振動検出装置において、アーマチャを複数備えており、この複数のアーマチャは、互いに異なる共振周波数を示す構成とすることは好ましい。この態様によれば、例えば、振動系の共振周波数を複数設定することができ、広い周波数範囲における振動の検出感度を確保することができる。また例えば、特定の帯域に感度のピークを意図的に持たせるといった設定を行うことができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、磁極間と隣接した誘導コイル間を貫通したアーマチャの撓み振動により振動を検出するので、小型化してもリニアリティの良い振動検出装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態である振動検出装置の概要を示す図である。図１（ａ）は側面方向から見た断面図であり、図１（ｂ）のＢ−Ｂ’で切った断面の状態が示されている。図１（ｂ）は、上蓋を外し、上方向から装置内部を見た様子を示す図である。図１（ｃ）は、前方（錘の方向）から装置の内部を見た様子を示す透視図である。図２は、図１に示す振動検出装置の分解状態を示す斜視図である。
【００３０】
この振動検出装置は、蓋１０１ａと収容ケース１０１ｂにより構成されるハウジング１０１、アーマチャ１０２、永久磁石１０３および１０４、磁石支持部材１０５、誘導コイル１０６、錘１０７、磁石固定部材１０８および１０９、信号出力端子１１０および１１１、フレーム１１２、端子保持部１１３を備えている。
【００３１】
ハウジング１０１は、上面が開放された収容ケース１０１ｂに蓋１０１ａを被せた構造を有している。アーマチャ１０２は、磁性金属により構成された板状の構造を有し、その一端に金属材料等により構成される錘１０７が固定され、他端がフレーム１１２と一体構成となっている。錘１０７は、一端がフレーム１１２と一体化された板状のアーマチャ１０２によって支持されているので、フレーム１１２からの屈曲点を支点としてアーマチャ１０２が撓むことで、図１（ａ）における上下方向に振動ことができる。この構造においては、アーマチャ１０２とその一端に固定された錘１０７とが振動系として機能する。
【００３２】
錘１０７を構成する材質は、金属に限定されず、樹脂や複合材料等であってもよい。また、錘１０７の形状、材質および質量は、（１）過振幅時にアーマチャに大きな衝撃が加わらないようにし、さらに（２）感度調整を考慮することで選択される。
【００３３】
永久磁石１０３および１０４は、互いに異なる磁極が対向するように配置された状態で、マグネット支持部材１０５に磁石固定部材１０８および１０９によって固定され、磁気回路ユニットを構成している。また、マグネット支持部材１０５には、フレーム１１２が固定され、さらにマグネット支持部材１０５は、ハウジング１０１の内側に固定されている。また、誘導コイル１０６は、磁石固定部材１０８および１０９に導線がコイル状に巻かれた構造となっている。
【００３４】
この構造においては、永久磁石１０３および１０４、さらに誘導コイル１０６がマグネット支持部材１０５を利用してハウジング１０１に対して固定されている。他方、錘１０７は、撓むことが可能なアーマチャ１０２を介して間接的に磁気回路ユニット、誘導コイル１０６およびハウジング１０１に対して固定されている。よって、錘１０７の振動に従うアーマチャ１０２の撓み振動は、永久磁石１０３および１０４を構成要素とする磁気回路ユニットおよび誘導コイル１０６に対する相対的な振動運動となる。
【００３５】
使用に際しては、適当な振動検出対象物にハウジング１０１をその外面の一部を接触させた状態とし、信号出力端子１１０および１１１に発生する信号電圧を検出する。
【００３６】
錘１０７は、板状に延在し、撓むことが可能なアーマチャ１０２によってハウジング１０１に対して支持されているので、ハウジング１０１に外部から振動が伝わると、錘１０７はその３次元的な振動には追従できず、ハウジング１０１に対して図１（ａ）に示される上下方向に相対的に振動する。なお、錘１０７の動きは、図１（ａ）における上下方向に制限されているので、ハウジング１０１に伝わる振動の振幅成分の内、錘１０７の振動に寄与するのは、錘１０７の可動方向に一致する成分である。
【００３７】
上述のように錘１０７の振動は、アーマチャ１０２の撓み振動を伴う。アーマチャ１０２は、永久磁石１０３および１０４の間における直流磁界によって帯磁しているので、アーマチャ１０２が振動すると、誘導コイル１０６内における磁界の状態がそれに応じて変動し、その変動に従い誘導コイル１０６に誘導電流が流れる。
【００３８】
この誘導電流はアーマチャ１０２の振動に対応したものであり、またアーマチャの振動はハウジング１０１に加わる振動に起因するものであるから、この誘導電流からハウジング１０１に外部から伝わった振動を評価することができる。
【００３９】
図１および図２に示す構造は、アーマチャ１０２の屈曲点（振動の支点）から錘１０７までの長さを確保することができるので、錘１０７の振幅を確保することができる。そのため、装置全体を小型化した場合であっても高いリニアリティを得ることができる。
【００４０】
また、ハウジング１０１内に振動系その他を納めた密閉構造を容易に実現することができるので、水分や油分、さらには塵の進入による特性の劣化や動作不良が発生し難く、高い信頼性を得ることができる。特に装置を小型化した場合、装置内の隙間の寸法が小さくなり、塵の進入等による不都合が発生し易くなるが、ハウジングにより完全密閉構造とすることで、この不都合を回避することができる。
【００４１】
また、可動部分が表面に露呈しない構造とできるので、機械的に丈夫なものとすることができる。また、物理的な衝撃等に対しては、錘の形状、材質等の選択によりアーマチャの変形を防止することができる。
【００４２】
（第２の実施形態）
本実施形態の振動検出装置は、第１の実施形態の構成における錘の代わりに、ハウジングの表面に設けられた可動接触部にアーマチャの一端を接続し、この可動接触部で受けた振動がアーマチャに伝わる構造としたものである。
【００４３】
図３は、第２の実施形態である振動検出装置の概要を示す断面図である。図３（ａ）は側面方向から見た断面図であり、図３（ｂ）のＣ−Ｃ’で切った断面の状態が示されている。図３（ｂ）は、上面図である。図３（ｃ）は、前方（可動接触部の方向）から装置の内部を見た様子を示す透視図である。図４は、図３に示す振動検出装置の分解状態を示す斜視図である。
【００４４】
この振動検出装置は、蓋３０１ａと収容ケース３０１ｂとにより構成されるハウジング３０１、アーマチャ３０２、永久磁石３０３および３０４、磁石支持部材３０５、誘導コイル３０６、磁石固定部材３０８および３０９、信号出力端子３１０および３１１、フレーム３１２、端子保持部３１３、ドライブピン３２２、可動接触部３２１および過振幅防止部３２３を備えている。
【００４５】
永久磁石３０３および３０４は、互いに異なる磁極が対向するように配置された状態で、マグネット支持部材３０５に磁石固定部材３０８および３０９によって固定されている。マグネット支持部材３０５には、フレーム３１２が固定され、この構造によりマグネット支持部材３０５は、ハウジング３０１内に固定されている。また、誘導コイル３０６は、磁石固定部材３０８および３０９に導線がコイル状に巻かれた構造となっている。
【００４６】
アーマチャ３０２の一端はフレーム３１２と一体化され、他端はドライブピン３２２を介して可動接触部３２１に接続されている。また、可動接触部３２１が配置されたハウジング３０１の開口部には、縁状に張り出した過振幅防止部３２３が形成されている。過振幅防止部３２３が存在することで、可動接触部３２１の可動範囲が制限され、アーマチャ３０２が設定された限界以上の振幅をすることが防止される。
【００４７】
可動接触部３２１に外力が加わると、ドライブピン３２２を介してアーマチャ３０２に力が加わる。この力は、アーマチャ３０２の固定されていない端部に加わるので、アーマチャ３０２は、フレーム３１２からの屈曲点を支点として撓み変形する。
【００４８】
よって、可動接触部３２１に振動が加わると、ドライブピン３２２を介してアーマチャ３０２に振動が伝わり、アーマチャ３０２は撓み振動する。このアーマチャ３０２の撓み振動に起因して誘導コイル３０６に誘導電流が流れ、可動接触部３２１に加わった振動が電気的に検出される。
【００４９】
（第３の実施形態）
本実施形態の振動検出装置は、アーマチャを介してハウジングに永久磁石と誘導コイルを固定し、永久磁石と誘導コイルを錘（負荷質量）として機能させて、アーマチャを撓み振動させる構成に関する。
【００５０】
図５は、本実施形態の振動検出装置の概要を示す断面図である。図５（ａ）は側面方向から見た断面図であり、図５（ｂ）のＤ−Ｄ’で切った断面の状態が示されている。図５（ｂ）は、上面図であり、ハウジングの蓋部が外されて内部が見えている状態が示されている。
【００５１】
この振動検出装置は、蓋５０１ａと収容ケース５０１ｂにより構成されるハウジング５０１、アーマチャ５０２、永久磁石５０３および５０４、磁石支持部材５０５、誘導コイル５０６、信号出力端子５１０、フレーム５１２、端子保持部５１３および接続配線５１４を備えている。
【００５２】
この構成において、永久磁石５０３、５０４、さらに誘導コイル５０６は、フレーム５１２に対して固定され、このフレーム５１２は、アーマチャ５０２と一体化されている。そして、アーマチャ５０２の他端は、ハウジング５０１に固定されている。つまり、フレーム５１２は、アーマチャ５０２を介してハウジング５０１に固定されている。つまりこの構造では、アーマチャ５０２の一端に錘として機能するフレーム５１２が一体化され、アーマチャ５０２の他端がハウジング５０１に対して固定されている。
【００５３】
なお、アーマチャ５０２のハウジング５０１への固定部分の形状は、永久磁石５０４および５０４、さらに誘導コイル５０６等の質量を支持することを考慮して決定されることが望ましい。
【００５４】
ハウジング５０１に外部振動が伝わると、アーマチャ５０２のハウジング５０１に固定された端部を支点として、フレーム５１２と一体化された他端が振動する。この振動の際、アーマチャ５０２は撓み振動を起こす。
【００５５】
この構造は、アーマチャの振動を助長する錘を別途用意する必要がなく、使用部品を少なくすることができる。これにより、構造のシンプル化、部品数の削減を追求することができ、低コスト化を実現することができる。
【００５６】
上記アーマチャ５０２の撓み振動は、誘導コイル５０６に誘導電流を誘起し、その誘導電流は、接続配線５１４を介して信号出力端子５１０から取り出される。この誘導電流を評価することで、ハウジング５０１に伝わった振動を電気信号として検出することができる。なお、図示していないが、この構造においては、信号出力端子５１０と組となるもう一つの信号出力端子、およびこの信号出力端子への誘導コイル５０６からの接続配線も備えている。
【００５７】
図５に示す構造は、ハウジング内にアーマチャを含む振動検出部分を密閉させた構造を実現できるので、高湿度の環境や塵が多い環境での使用における信頼性を高くすることができる。また、装置の表面がハウジングで覆われた構造とできるので、使用時や取り扱い時に不良が発生し難い振動検出装置を得ることができる。
【００５８】
（第４の実施形態）
本発明の振動検出装置を用いた振動検出システムの一例を説明する。図６は、振動検出システムの一例を示すブロック図である。図６に示す振動検出システムは、振動検出センサ６０１、発振回路６０２、バイアス抵抗６０３、ローパスフィルタ（ＬＰＦ）６０４および出力端子６０５を備えている。
【００５９】
振動検出センサ６０１は、本発明を用いた振動検出装置であり、例えば第１〜３の実施形態において説明した構成を有する。発振回路６０２は、振動検出センサ６０１の誘導コイルに交流バイアス電圧を加える機能を有する。発振回路６０２からは、振動検出センサ
６０１において検出する振動の周波数より高い周波数が出力される。バイアス抵抗６０３は、振動検出センサ６０１と発振回路６０２とのインピーダンス整合を行うための抵抗である。ローパスフィルタ６０４は、発振回路６０２から出力される交流バイアス信号を遮断し、出力に現れないようにする機能を有する。
【００６０】
振動検出センサ６０１が振動を受けると、振動検出センサ６０１内の誘導コイルに誘導電流が流れ、それがローパスフィルタ６０４を介して、出力端子６０５に現れる。出力端子６０５に現れる出力信号は、図示しない増幅アンプ等によって適時増幅され、振動の検出信号として利用される。
【００６１】
交流バイアス電圧の周波数は、検出対象となる振動の周波数帯域および振動検出センサ６０１の振動系の共振周波数よりも高い周波数から選択されることが好ましい。例えば、検出しようとする振動の周波数が１００Ｈｚ〜１ｋＨｚの範囲であり、振動検出センサ６０１の振動系の共振周波数が２ｋＨｚである場合、交流バイアス電圧の周波数は、２ｋＨｚを超えた周波数から選択される。
【００６２】
（第５の実施形態）
例えば第１の実施形態において、アーマチャを複数に分割し、この分割された複数のアーマチャのそれぞれに錘を配置してもよい。この構成においては、各アーマチャの寸法や錘の重量を設定することで、振動系の共振周波数を複数設定でき、広い周波数範囲の振動に対応することが可能となる。
【００６３】
複数のアーマチャを配置する態様としては、独立したアーマチャを複数配置する構造、アーマチャを枝分かれ構造とし、この各枝部分に錘を固定した構造等のバリエーションを挙げることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、振動を電気信号として検出する必要がある用途に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】実施形態の振動検出装置の概要を示す側断面図、上面図および正面図である。
【図２】実施形態の振動検出装置の概要を示す分解斜視図である。
【図３】実施形態の振動検出装置の概要を示す側断面図、上面図および正面図である。
【図４】実施形態の振動検出装置の概要を示す分解斜視図である。
【図５】実施形態の振動検出装置の概要を示す側断面図および上面図である。
【図６】振動検出システムの一例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０１ａ…蓋、１０１ｂ…収容ケース、１０１…ハウジング、１０２…アーマチャ、１０３…永久磁石、１０４…永久磁石、１０５…磁石支持部材、１０６…誘導コイル、１０７…錘、１０８…磁石固定部材、１０９…磁石固定部材、１１０…信号出力端子、１１１…信号出力端子、１１２…フレーム、１１３…端子保持部、３０１ａ…蓋、３０１ｂ…収容ケース、３０１…ハウジング、３０２…アーマチャ、３０３…永久磁石、３０４…永久磁石、３０５…磁石支持部材、３０６…誘導コイル、３０８…磁石固定部材、３０９…磁石固定部材、３１０…信号出力端子、３１１…信号出力端子、３１２…フレーム、３１３…端子保持部、３２１…可動接触部、３２２…ドライブピン、３２３…過振幅防止部、５０１ａ…蓋、５０１ｂ…収容ケース、５０１…ハウジング、５０２…アーマチャ、５０３…永久磁石、５０４…永久磁石、５０５…磁石支持部材、５０６…誘導コイル、５１０…信号出力端子、５１２…フレーム、５１３…端子保持部、５１４…接続配線、６０１…振動検出センサ、６０２…発振回路、６０３…バイアス抵抗、６０４…ローパスフィルタ、６０５…出力端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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