(57)【要約】【課題】  安価で軽量なガス供給集積ユニットを提供すること。【解決手段】複数の流体制御機器５を取付ボルト１４を用いて取付板９に固定することにより作用ガスの供給ライン上に並設し、作用ガスの供給又は遮断を制御するガス供給集積ユニット１において、流体制御機器５の下面に開口するポートに接続する接続ポート３４，３５が上面に開設されるとともに、接続ポート３４，３５に連通する内部流路３６が形成された流路ブロック１０Ｂと、流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの外側に配設され、取付ボルト１４を挿通されるネジブロック１５とを設け、ネジブロック１５に挿通した取付ボルト１４を取付板に固定したときに、流路ブロック１０Ｂを流体制御機器２〜８と取付板９との間で狭持する。【選択図】    図２
2006100643.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の流体制御機器を取付ボルトを用いて取付板に固定することにより作用ガスの供給ライン上に並設し、作用ガスの供給又は遮断を制御するガス供給集積ユニットにおいて、
前記流体制御機器の下面に開口するポートに接続する接続ポートが上面に開設されるとともに、前記接続ポートに連通する内部流路が形成された流路ブロックと、
前記流路ブロックの外側に配設され、前記取付ボルトを挿通されるネジブロックとを有し、
前記流路ブロックが、前記ネジブロックに挿通した取付ボルトを前記取付板に固定したときに、前記流体制御機器と前記取付板との間で狭持されることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項２】
請求項１に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記接続ポートと前記流体制御機器のポートとの間に配設されるガスケットが、前記流路ブロックと前記流体制御機器との間で全周が均一に押し潰されていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記流路ブロックが位置決め部材を下面に立設され、
前記取付板が前記位置決め部材を挿通される位置決め孔を形成されていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか１つに記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記流路ブロックが、２個の接続ポートを有し、一方の接続ポートを開設される第１凸部と、前記第１凸部を挟んで左右対称に設けられた一対の第２凸部と、前記第１凸部と反対向きに設けられて他方の接続ポートを開設される第３凸部と、を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項５】
請求項４に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
流路ブロックは、
前記第１凸部が正方形形状に設けられ、前記第３凸部が、前記第１凸部と同一の正方形形状に形成された第１流路ブロックと、
前記第１凸部が前記第１流路ブロックの第１凸部と同一の正方形形状に設けられ、前記第３凸部が長方形形状に形成された第２流路ブロックとからなり、
前記第２流路ブロックの接続ポート間の距離が、前記第１流路ブロックの接続ポート間の距離より長いことを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか１つに記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記ネジブロックが筒状をなし、前記流路ブロックの高さより短く形成され、
前記取付板に前記取付ボルトを取り付けるためのボルト孔が形成されていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項７】
請求項１乃至請求項５の何れか１つに記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記ネジブロックが、前記取付ボルトを締結されるボルト孔を上面から形成されるとともに、下面にボルト部材が立設され、
前記取付板が前記ボルト部材を締結されるボルト孔を形成されていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項８】
複数の流体制御機器を取付レールに固定することにより作用ガスの供給ライン上に並設し、作用ガスの供給又は遮断を制御するガス供給集積ユニットにおいて、
前記流体制御機器の下面に開口するポートに接続する接続ポートが上面に開設されるとともに、前記接続ポートに連通する内部流路が形成された流路ブロックと、
前記取付レールに摺動可能に取り付けられ、前記流体制御機器に挿通した取付ボルトを締結されるボルト孔を上面に形成されたネジブロックと、
前記流路ブロックと前記ネジブロックと前記取付レールとに挿通される位置決め部材とを有し、
前記流路ブロックが、前記取付ボルトを前記ネジブロックに固定することにより、前記流体制御機器と前記取付レールとの間で狭持されることを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項９】
請求項８に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記流路ブロックが、２個の接続ポートを有し、正方形形状に形成されて一方の接続ポートを開設される第１凸部と、前記第１凸部を挟んで対称に設けられた一対の第２凸部と、前記第１凸部と反対向きに設けられて他方の接続ポートを開設される第３凸部とを有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
【請求項１０】
請求項９に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
流路ブロックは、
前記第３凸部が、前記第１凸部と同一の正方形形状に形成された第１流路ブロックと、  前記第３凸部が、前記第１凸部より先端側への幅が大きい長方形形状に形成された第２流路ブロックとからなり、
前記第２流路ブロックの接続ポート間の距離が、前記第１流路ブロックの接続ポート間の距離より長いことを特徴とするガス供給集積ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作用ガスの供給を制御するガス供給集積ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造工程において、ホトレジスト加工のエッチング等に腐食性ガスが使用されている。ホトレジスト加工（ホトレジスト塗布、露光、現像、エッチング）は、半導体製造工程において複数回繰り返されるため、実際の半導体製造工程では、腐食ガスを必要に応じて供給するガス供給集積ユニットが使用されている。ガス供給集積ユニットは、流量を正確に計測するためのマスフローコントローラや、マスフローコントローラの前後に設けられる入口開閉弁、出口開閉弁、及びパージ弁や、供給ガスのガス圧を調整するレギュレータや、供給ガスの圧力をモニタするための圧力計などの流体制御機器を構成要素としている。例えば、ホトレジスト工程では、１０種類以上のガスを供給する場合があり、その場合には、ガス供給集積ユニットをガスの種類の数だけマニホールドに取り付ける。半導体製造装置は、スペースを小さくしたり、生産効率を向上させる観点より、コンパクト化に対する要求が強く、それに伴って、ガス供給集積ユニットの小型化が望まれている。
【０００３】
図３７は、従来のガス供給集積ユニット１００の断面図である。図３８は、従来のガス供給集積ユニットで使用されるマニホールドブロック１０９，１０９の連結構造を示す図である。
従来のガス供給集積ユニット１００は、入力ブロック１０１や出口ブロック１０７、手動弁１０２、レギュレータ１０３、入口開閉弁１０４、マスフローコントローラ１０５、出口開閉弁１０６などの流体制御機器をマニホールドブロック１０８，１０９，１１０，１１１に上方からボルト１１４…で固定して、そのマニホールドブロック１０８，１０９，１１９，１１１を取付板１１２に取付ネジ１１３で固定している。マニホールドブロック１０８，１０９，１１０，１１１は、凸部１０８ａ，１０９ａ，１１１ａを隣り合うマニホールドブロック１０９，１１０の段差部１０９ｂ，１１０ｂに重ね合わされてネジ１１４で固定されている。マニホールドブロック１０８，１０９，１１１には、流路１０８ｃ，１０９ｃ，１１１ｃがそれぞれ形成されるとともに、ボルト１１０を挿通するためのボルト孔１０８ｄ，１０９ｄ，１１０ｄ，１１１ｄがそれぞれ形成されている。かかるマニホールドブロック１０８〜１１１の構造によれば、マニホールドブロック１０８〜１１１の間に無駄な隙間がなく、ユニット全体をコンパクトにできる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６３９４１３８号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のガス供給集積ユニット１００には、以下の問題があった。
（１）従来のガス供給ユニット１００は、マニホールドブロック１０８，１０９，１１１に流路１０８ｃ，１０９ｃ、１１１ｃとボルト孔１０８ｄ，１０９ｄ，１１０ｄ，１１１ｄを形成していたため、流路１０８ｃ、１０９ｃ、１１１ｃとボルト孔１０８ｄ，１０９ｄ，１１１ｄとの位置関係が一義的に決まってしまっていた。手動弁１０２、レギュレータ１０３、入口開閉弁１０４、マスフローコントローラ１０５、出口開閉弁１０６などの流体制御機器は、下面形状が異なるため、ガス供給ライン上に流体制御機器を並設するときには、搭載する流体制御機器の種類によってマニホールドブロック１０８〜１１１を使い分けなければならなった。流路は、使用目的に応じてまちまちであり、従来のガス供給集積ユニット１００は、十何種類ものマニホールドブロック１０８〜１１１をストックしなければならず、管理費がかかっていた。また、各種マニホールドブロックを成形するための金型なども必要になり、製作費が高くなってしまっていた。
【０００６】
（２）また、マニホールドブロック１０８〜１１１は、流路１０８ｃ，１０９ｃ，１１１ｃとボルト孔１０８ｄ，１０９ｄ，１１０ｄ，１１１ｄを形成する部分以外にも肉付けされており、ユニット全体の重量が重くなってしまっていた。
【０００７】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、安価で軽量なガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るガス供給集積ユニットは、次のような構成を有している。
（１）複数の流体制御機器を取付ボルトを用いて取付板に固定することにより作用ガスの供給ライン上に並設し、作用ガスの供給又は遮断を制御するガス供給集積ユニットにおいて、流体制御機器の下面に開口するポートに接続する接続ポートが上面に開設されるとともに、接続ポートに連通する内部流路が形成された流路ブロックと、流路ブロックの外側に配設され、取付ボルトを挿通されるネジブロックとを有し、流路ブロックが、ネジブロックに挿通した取付ボルトを取付板に固定したときに、流体制御機器と取付板との間で狭持されることを特徴とする。
【０００９】
（２）（１）に記載の発明において、接続ポートと流体制御機器のポートとの間に配設されるガスケットが、流路ブロックと流体制御機器との間で全周が均一に押し潰されていることを特徴とする。
【００１０】
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、流路ブロックが位置決め部材を下面に立設され、取付板が位置決め部材を挿通される位置決め孔を形成されていることを特徴とする。
【００１１】
（４）（１）乃至（３）の何れか１つに記載の発明において、流路ブロックが、２個の接続ポートを有し、一方の接続ポートを開設される第１凸部と、第１凸部を挟んで左右対称に設けられた一対の第２凸部と、第１凸部と反対向きに設けられて他方の接続ポートを開設される第３凸部と、を有することを特徴とする。
【００１２】
（５）（４）に記載の発明において、流路ブロックは、第１凸部が正方形形状に設けられ、第３凸部が、第１凸部と同一の正方形形状に形成された第１流路ブロックと、第１凸部が第１流路ブロックの第１凸部と同一の正方形形状に設けられ、第３凸部が長方形形状に形成された第２流路ブロックとからなり、第２流路ブロックの接続ポート間の距離が、第１流路ブロックの接続ポート間の距離より長いことを特徴とする。
【００１３】
（６）（１）乃至（５）の何れか１つに記載の発明において、ネジブロックが筒状をなし、流路ブロックの高さより短く形成され、取付板に取付ボルトを取り付けるためのボルト孔が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
（７）（１）乃至（５）の何れか１つに記載の発明において、ネジブロックが、取付ボルトを締結されるボルト孔を上面から形成されるとともに、下面にボルト部材が立設され、取付板がボルト部材を締結されるボルト孔を形成されていることを特徴とする。
【００１５】
（８）複数の流体制御機器を取付レールに固定することにより作用ガスの供給ライン上に並設し、作用ガスの供給又は遮断を制御するガス供給集積ユニットにおいて、流体制御機器の下面に開口するポートに接続する接続ポートが上面に開設されるとともに、接続ポートに連通する内部流路が形成された流路ブロックと、取付レールに摺動可能に取り付けられ、流体制御機器に挿通した取付ボルトを締結されるボルト孔を上面に形成されたネジブロックと、流路ブロックとネジブロックと取付レールとに挿通される位置決め部材とを有し、流路ブロックが、取付ボルトをネジブロックに固定することにより、流体制御機器と取付レールとの間で狭持されることを特徴とする。
【００１６】
（９）（８）に記載の発明において、流路ブロックが、２個の接続ポートを有し、正方形形状に形成されて一方の接続ポートを開設される第１凸部と、第１凸部を挟んで対称に設けられた一対の第２凸部と、第１凸部と反対向きに設けられて他方の接続ポートを開設される第３凸部とを有することを特徴とする。
【００１７】
（１０）（９）に記載の発明において、流路ブロックは、第３凸部が、第１凸部と同一の正方形形状に形成された第１流路ブロックと、第３凸部が、第１凸部より先端側への幅が大きい長方形形状に形成された第２流路ブロックとからなり、第２流路ブロックの接続ポート間の距離が、第１流路ブロックの接続ポート間の距離より長いことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
上記構成を有するガス供給集積ユニットの作用効果について説明する。
ガス供給集積ユニットは、取付板に流体制御機器を固定する場合には、例えば、取付板上に流路ブロックを載置し、その外側にネジブロックを載置して、流体制御機器のポートが流路ブロックの接続ポートに連通するように流体制御機器を流路ブロック上に載置する。そして、流体制御機器からネジブロックに挿通した取付ボルトを用いて流体制御機器を取付板に固定する。流路ブロックは、取付ボルトを取付板に固定したときに流体制御機器と取付板との間で狭持される。かかるガス供給集積ユニットは、流体制御機器の下面に開設されたポートの位置や流体制御機器の下面形状に合わせて流路ブロックやネジブロックの位置を個別に調整できるので、流路ブロックを数種類だけ設けて、それらを組み合わせて作用ガスの流路を任意に形成することが可能である。そして、流路だけを形成する流路ブロックと、取付ボルトを挿通するだけのネジブロックとを別個にしたため、従来のマニホールドブロックに比べて余分な肉を省くことが可能である。
よって、本発明のガス供給集積ユニットによれば、流路ブロックの種類が少ないため、流路ブロックを成形するときに用いる金型などの数を削減して製作費を安くしたり、また、流路ブロックのストック量を減らして管理費を安くすることが可能なので、安価にすることができる。また、流路ブロックとネジブロックには、従来のマニホールドブロックのように余分な肉がないので、ユニット全体を軽量化することができる。
【００１９】
また、本発明のガス供給集積ユニットは、流路ブロックと流体制御機器との間でガスケットの全周を均一に押し潰すので、シール性能を確保することができる。
【００２０】
また、本発明のガス供給集積ユニットは、流路ブロックの下面に立設した位置決め部材を取付板に形成した位置決め孔に挿通することにより、流路ブロックを取付板に対して位置決めし、取付ボルトを用いて流体制御機器を取付板に固定するときに、流路ブロックが位置ずれしないので、流体制御機器のポートと流路ブロックの接続ポートとの位置合わせを容易に行うことができ、作業性が良い。
【００２１】
また、本発明のガス供給集積ユニットは、流路ブロックの第２凸部に流体制御機器を載せ、流路ブロックの十字部分で流体制御機器を支持するので、流体制御機器を水平に保持することができる。
【００２２】
また、本発明のガス供給集積ユニットは、接続ポート間の長さが異なる第１流路ブロックと第２流路ブロックを備えるが、第１流路ブロックと第２流路ブロックの第１凸部と一対の第２凸部の形状が同じであるため、第１流路ブロックや第２流路ブロックの第１凸部を他の第１流路ブロックや第２流路ブロックの第１凸部と第２凸部に面接触させて組み合わせることにより、無駄なスペースを設けることなく接続ポートを１カ所に集めることができる。
【００２３】
また、本発明のガス供給集積ユニットは、取付ボルトをネジブロックに挿通し、取付板のボルト孔に締結することにより、流体制御機器を取付板に固定するが、ネジブロックが流路ブロックより高さが低いため、流体制御機器のポートと流路ブロックの接続ポートとのシール力が弱いときに、取付ボルトを増し締めしてシール力をアップさせることができる。また、流体制御機器の下面がネジブロックに当接すると、取付ボルトをそれ以上ねじ込めなくなるため、締め過ぎを防止することができる。
【００２４】
また、本発明のガス供給集積ユニットは、ネジブロックの下面に立設されたボルト部材を取付板に形成したボルト孔に締結することによりネジブロックを取付板に位置決め固定し、そのネジブロックに対して流体制御機器に挿通した取付ボルトを締結するため、流体制御機器がネジブロックを介して取付板に固定される。この場合、取付ボルトをネジブロックのボルト孔に深くねじ込むことができ、流体制御機器の取付強度を確保することができる。
【００２５】
なお、流体制御機器を取付レールに取り付ける場合には、例えば、ネジブロックを摺動可能に取り付け、それらのネジブロックの間に流路ブロックを配置する。このとき、流路ブロックとネジブロックと取付レールとに位置決め部材を挿通して位置決めする。そして、流体制御機器のポートが流路ブロックの接続ポートに連通するように流体制御機器を流路ブロックに載置し、流体制御機器に挿通した取付ボルトをネジブロックのボルト孔に締結することにより、流体制御機器をネジブロックを介して取付レールに固定する。流路ブロックは、取付ボルトをネジブロックに締め付けるときに流体制御機器と取付レールとの間で狭持される。かかるガス供給集積ユニットは、流体制御機器のポートの位置や下面形状に合わせて流路ブロックの接続ポートやネジブロックのボルト孔の位置を個別に調整できるため、数種類の流路ブロックを組み合わせて作用ガスの流路を形成することが可能である。そして、流路だけを形成する流路ブロックと、ボルト孔だけを形成するネジブロックとを別個に設けたため、従来のマニホールドブロックに比べて余分な肉を省くことが可能である。
よって、本発明のガス供給集積ユニットによれば、流路ブロックの種類が少ないため、流路ブロックを成形するときに用いる金型などの数を削減して製作費を安くしたり、また、流路ブロックのストック量を減らして管理費を安くすることが可能なので、安価にすることができる。また、流路ブロックとネジブロックには、従来のマニホールドブロックのように余分な肉がないので、ユニット全体を軽量化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（第１実施の形態）
次に、本発明に係るガス供給集積ユニットの一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、ガス供給集積ユニット１の断面図である。
ガス供給集積ユニット１は、作用ガスが入出力する供給ライン上に、手動弁２、レギュレータ３、圧力センサ４、入口開閉弁５、パージ弁６、マスフローコントローラ７、出口開閉弁８などの複数の流体制御機器を並べて取付板９に固定している。取付板９は、複数の流体制御機器２〜８などの重みに耐えるようように、厚いアルミ板（例えば１０ｍｍ）を使用している。各流体制御機器２〜８と取付板９との間には、第１流路ブロック１０Ａと第２流路ブロック１０Ｂが配設されて作用ガスの流路を形成するとともに、ベースプレート１１が作用ガスの供給ラインに対して直交するように配設されてパージガス配管や出力配管を形成している。取付板９には、ロッドヒータ１３が挿入され、ラインピッチや高さを変えることなくガス供給集積ユニット１を加温している。マスフローコントローラ７と取付板９との間には、スペーサ１２が配設され、取付板１３からマスフローコントローラ７に熱伝達されるようになっている。
【００２７】
図２は、流体制御機器の固定構造を示す図である。
例えば、流体制御機器である入口開閉弁５は、取付板９に載置した第２流路ブロック１０Ｂ上に載置され、入口開閉弁５に挿通した取付ボルト１４を第２流路ブロック１０Ｂの周りに配置したネジブロック１５にそれぞれ貫き通し、取付ボルト１４の先端部を取付板９に形成されたボルト孔１６にねじ込むことにより、取付板９に固定されている。第２流路ブロック１０Ｂは、位置決めピン（「位置決め部材」に相当。）１７によって取付板９に位置決めされた状態で入口開閉弁５と取付板９との間で狭持されている。
【００２８】
次に、ガス供給集積ユニット１の流路を構成する第１，第２流路ブロックについて説明する。第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂは、ＳＵＳなどの金属を十字型に形成したものであり、同一の高さを有するブロック形状をなす。第１流路ブロック１０Ａは、全長が第２流路ブロック１０Ｂより短く、第２流路ブロック１０Ｂと形状が異なっている。
【００２９】
図３は、第１流路ブロック１０Ａの平面図である。図４は、第１流路ブロック１０Ａの縦断面図である。図５は、第１流路ブロック１０Ａの右側面図である。図６は、第１流路ブロック１０Ａの下面図である。
第１流路ブロック１０Ａは、第１凸部２１と一対の第２凸部２２，２２と第３凸部２３とを備える十字型をなす。第１流路ブロック１０Ａの上面には、第１接続ポート２４と第２接続ポート２５が開設され、コの字形の流路２６を介して連通している。
【００３０】
第１凸部２１は、縦幅と横幅が寸法Ａで同一の正方形形状にされ、第１接続ポート２４が上面に開設されている。第２凸部２２，２２は、第１凸部２１を挟んで図中上下対称に設けられ、位置決めピン１７をきっちりはめ込まれる嵌合孔２７が所定間隔Ｃを空けて下面に形成されている。第２凸部２２，２２は、位置決めピン１７を保持するためのものであり、幅が寸法Ａより小幅の寸法Ｂに設定されている。第３凸部２３は、第１凸部２１と反対方向に設けられており、第１凸部２１と同様に縦幅と横幅が寸法Ａで同一の正方形形状に形成され、第２接続ポート２５が上面に開設されている。
【００３１】
流路２６は、第１接続ポート２４から同軸上に穿設された孔と、第２接続ポート２５から同軸上に穿設された孔とを、第１流路ブロック１０Ａの側面から水平に穿設された孔により連通させ、側面の開口部２８を蓋４０で塞いで溶接することにより形成されている。そのため、流路２６は、断面コの字形に形成され、Ｖ字流路を形成する場合と比べて第１流路ブロック１０Ａの厚さを薄くして第１流路ブロック１０Ａを軽量にしている。また、第１接続ポート２４には、リーク溝２９が連通し、第１流路ブロック１０Ａに取り付けた流体制御機器のリーク孔に流量計を接続し、流体漏れを検出できるようにされている。
【００３２】
図７は、第２流路ブロック１０Ｂの平面図である。図８は、第２流路ブロック１０Ｂの縦断面図である。図９は、第２流路ブロック１０Ｂの右側面図である。図１０は、第２流路ブロック１０Ｂの下面図である。
第２流路ブロック１０Ｂは、第１流路ブロック１０Ａと同様にＳＵＳなどの金属を十字型に形成したものであり、第１凸部３１と一対の第２凸部３２と第３凸部３３とを備える。第２流路ブロック１０Ｂの上面には、第１接続ポート３４と第２接続ポート３５が開設され、流路３６を介して連通している。
【００３３】
第１凸部３１は、縦幅と横幅が寸法Ａで同一の正方形形状に形成され、第１接続ポート３４が上面に開設されている。一対の第２凸部３２，３２は、第１凸部３１を挟んで図中上下対称に設けられ、位置決めピン１７の端部をきっちりはめ込まれる嵌合孔３７が所定間隔Ｃを空けて下面に形成されている。第２凸部３２，３２は、位置決めピン１７を保持するものであるため、幅が寸法Ａより小幅の寸法Ｂに設定されている。第３凸部３３は、第１凸部３１と反対側に突き出し、第２接続ポート３５が開設されている。第３凸部３３は、幅寸法Ａを２倍した寸法Ｅだけ第１凸部３１と反対側に突き出し、長方形形状をなす。第２接続ポート３５は、第３凸部３３の先端部分に設けられ、第１流路ブロック１０Ａの第２接続ポート２５と比べて、接続ポート１個分だけ外側に設けられている。そのため、第２流路ブロックの第１，第２接続ポート３４，３５間の距離Ｄ２は、第１流路ブロック１０Ａの第１，第２接続ポート２４，２５間の距離Ｄ１より長くなっている。
【００３４】
流路３６は、第１接続ポート３４から同軸上に穿設された孔と、第２接続ポート３５から同軸上に穿設された孔とを、第２流路ブロック１０Ｂの側面から水平に穿設された孔により連通させ、側面の開口部３８を蓋４０で塞いで溶接することにより形成されている。そのため、流路２６は、コの字状に形成され、Ｖ字流路を形成する場合より第２流路ブロック１０Ｂの厚さを薄くして第２流路ブロック１０Ｂを軽量にしている。また、第１接続ポート３４には、リーク溝３９が連通し、第２流路ブロック１０Ｂに取り付けた流体制御機器のリーク孔に流量計を接続し、流体漏れを検出できるようにされている。
【００３５】
従って、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂは、第１凸部２１，３１と第２凸部２２，３２が同一形状をなし、第３凸部２３，３３の長手方向の長さのみが異なっている。そのため、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂは、形状が異なってもパズルのように自由に組み合わせることができる。図１１は、第１，第２流路ブロックの組み合わせ例を示す図である。
【００３６】
中心にある第２流路ブロック１０Ｂは、第１凸部３１の端面に図中上方から第１流路ブロック１０Ａの第１凸部３１、図中左方向から第１流路ブロック１０Ａの第３凸部３３、図中下方から第２流路ブロック１０Ｂの第３凸部３３を当接されているが、いずれも幅が寸法Ａで同一であるため、ブロック間に無駄なスペースを生じることなく、接続ポートを１カ所に集めることが可能である。
また、第２流路ブロック１０Ｂは、第３凸部３３が接続ポート１個分だけ第１流路ブロック１０Ａの凸部２３より長いため、図中右上の第２流路ブロック１０Ｂのように、第３凸部３３の端面に他の第２流路ブロック１０Ｂの第３凸部３３の側面と第１流路ブロック１０Ａの第３凸部２３の端面を突き合わせ、ブロック間に無駄なスペースを設けることなく接続ポートを１カ所に集めることが可能である。
【００３７】
次にネジブロック１５について説明する。図１２は、ネジブロック１５の抜け止め構造を示す図である。
ネジブロック１５は、ＳＵＳなどの金属を円筒形状に成形したものであり、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの高さより若干短くされている。ネジブロック１５は、中空孔内にゴム製のストッパ１９が装着され、取付ボルト１４のネジ部を中心方向に向かって締め付けて取付ボルト１４を抜けにくくしている。
【００３８】
このようなガス供給集積ユニット１は、流体制御機器を次のようにして取付板９に固定する。図１３は、ガス供給集積ユニット１の分解斜視図である。図１４は、図１３の部分拡大図である。
図１３に示すように、取付板９には、複数のボルト孔１６と位置決め孔１８が流体制御機器２〜８や第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂのレイアウトに合わせて形成されている。第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂには、位置決めピン１７が嵌合孔２７，３７にはめ込まれて一体化される。
【００３９】
図５及び図９に示すように、位置決めピン１７は、ＳＵＳなどの金属を円筒形状に形成されたものであり、軸方向にジグザグに形成された溝１７ａによって外力によって径を変更できるようになっている。位置決めピン１７は、嵌合孔２７，３７より若干大きく形成され、溝１７ａを閉じることにより嵌合孔２７，３７にはめ込むことができ、嵌合孔２７，３７にはめ込まれた後には、嵌合孔２７，３７内で溝１７ａを開くように変形するため、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂから外れにくい。
【００４０】
第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂは、図１３及び図１４に示すように、位置決めピン１７を取付板９の位置決め孔１８に位置合わせして挿入する。位置決めピン１７は、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂと取付板９とを位置決め固定する。このようにして、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂは、作用ガスの供給ラインに沿って並設される。なおこのとき、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂは、ワンタッチで取付板９に着脱可能であり、取扱性がよい。
【００４１】
また、取付板９には、ベースプレート１１が取り付けられる。ベースプレート１１は、長いブロック状をなし、長手方向に長く流路が形成されており、上面に開設された接続ポート２０が当該流路に連通している。ベースプレート１１の下面にも、位置決めピン１７が立設され、その位置決めピン１７によりベースプレート１１と取付板９を位置決め固定するようにされている。
【００４２】
取付板９に取り付けられた第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの周りには、取付板９のボルト孔１６が露出しているので、各ボルト孔１６に合わせてネジブロック１５を配置する。そして、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの第１，第２接続ポート２４，３４，２５，３５に図示しないガスケットをセットし、流体制御機器２〜８を上方から第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂ上に載置する。このとき、流体制御機器２〜８は、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの第２凸部２２，３２に支持されるため、水平に保持される。
【００４３】
そして、取付ボルト１４を流体制御機器２〜８からネジブロック１５へと貫き通し、先端部をボルト孔１６に締め付けて流体制御機器２〜８を取付板９に固定する。このとき、ネジブロック１５が第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂより若干高さが低いため、取付ボルト１４の締め付け力が流体制御機器２〜８から第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂに直接作用し、図示しないガスケットが流体制御機器２〜８と第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂとの間で全周を均一な力で押しつぶされる。
【００４４】
ここで、ネジブロック１５が第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの高さより若干短いため、流体制御機器２〜８とネジブロック１５との間には隙間が形成されている。そのため、シール力が不足する場合には、取付ボルト１４を増し締めして、シール力を増加させることができる。一方、流体制御機器２〜８がネジブロック１５に当接したときには、取付ボルト１４をそれ以上締め付けることができないため、取付ボルト１４の締め過ぎを防止できる。
【００４５】
ところで、作用ガスライン上に流路の分岐箇所があるガス供給集積ユニットでは、直列に流体制御機器を接続するガス供給集積ユニット１より流路構成が複雑になる。そこで、分岐箇所を備えるガス供給集積ユニットの流路構成について説明する。図１５は、ガス供給集積ユニット４１の回路図の一例である。
【００４６】
ガス供給集積ユニット４１は、手動弁４２、フィルタ４３、レギュレータ４４、圧力センサ４５を直列に接続し、圧力センサ４５に対して第１エアオペレイトバルブ４６と第２エアオペレイトバルブ４８が並列に接続している。第２エアオペレイトバルブ４８には、マスフローコントローラ４９、第３エアオペレイトバルブ５０、フィルタ５１が直列に接続している。また、第１エアオペレイトバルブ４６は、ニードル弁４７を介してマスフローコントローラ４９と第３エアオペレイトバルブ５０との間に接続している。
【００４７】
このようなガス供給集積ユニット４１について、従来のマニホールドブロックを使用して流路を構成した場合と、本発明の第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂを使用して流路を形成した場合とでは、部品の種類に差が生じる。図１６は、図１５に示す回路図に対応する流路構造を示す図であって、従来のマニホールドブロックを使用した場合を示す。図１７は、図１５に示す回路図に対応するガス供給集積ユニットの平面図であって、従来のマニホールドブロックを使用した場合を示す。図１８は、図１５に示す回路図に対応する流路構造を示す図であって、本発明の流路ブロックを使用した場合を示す。図１９は、図１５に示す回路図に対応するガス供給集積ユニットの平面図であって、本発明の流路ブロックを使用した場合を示す。
【００４８】
図１６に示すように、ガス供給集積ユニット４１の流路を従来のマニホールドブロックで構成した場合には、６種類のマニホールドブロック１２１，１２２，１２３，１２４，１２５，１２６を使用して、流路を形成する必要がある。手動弁４２、フィルタ４３、レギュレータ４４、圧力センサ４５を直列に接続する箇所や、マスフローコントローラ４９、第３エアオペレイトバルブ５０、フィルタ５１を直列に接続する箇所には、従来技術で説明したマニホールドブロック１０９（図３８参照）と同一構造のマニホールドブロック１２２を連続して接続する。しかし、圧力センサ４５に第１，第２エアオペレイトバルブ４６，４８を並列に接続する分岐箇所には、マニホールドブロック１２４，１２６の下面にマニホールドブロック１２５をはめ込み、マニホールドブロック１２４，１２６を連通させる必要がある。また、流路を上向きに切り替える箇所には、マニホールドブロック１２３を使用する必要がある。さらに、手動弁４２やマスフローコントローラ４９を支える箇所には、マニホールドブロック１２１をマニホールドブロック１２２に接続して、マニホールドブロック１２２の傾きを防止する必要がある。このように配設されたマニホールドブロック１２１〜１２６は、取付板の裏側から挿通される取付ネジで取付板に固定される。
【００４９】
そして、図１７に示すように、マニホールドブロック１２１〜１２６は、流体制御機器４２〜５１が上方から載置され、取付ボルト１１４を流体制御機器４２〜５１から各マニホールドブロック１２１〜１２６に挿通して締結し、流体制御機器４２〜５１を取付板に固定する。このとき、マニホールドブロック１２４〜１２６の連結構造が複雑であるため、第１エアオペレイトバルブ４６のラインと第２エアオペレイトバルブ４８のラインを構成する流体制御機器間に無駄な隙間が形成される。
【００５０】
これに対して、図１８に示すように、ガス供給集積ユニット４１の流路を本発明の流路ブロック１０で構成した場合には、第１流路ブロック１０Ａと第２流路ブロック１０Ｂの２種類だけを使用して流路を形成することができる。すなわち、手動弁４２、フィルタ４３、レギュレータ４４、圧力センサ４５を直列に接続する箇所、及び、マスフローコントローラ４９、第３エアオペレイトバルブ５０、フィルタ５１を直列に接続する箇所には、第２流路ブロック１０Ｂの端面を突き合わせて連設する。圧力センサ４５に第１，第２エアオペレイトバルブ４６，４８を並列に接続する分岐箇所には、第２流路ブロック１０Ｂの向きを変えて流路を形成する。また、流路方向を切り替える箇所では、第１流路ブロック１０Ａを配設し、流路を短くする。このように配設された第１流路ブロック１０Ａと第２流路ブロック１０Ｂの外側には、ネジブロック１５が配設される。
【００５１】
図１９に示すように、流体制御機器４２〜５１は、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの上面に上方から載置され、取付ボルト１４を流体制御機器４２〜５１、ネジブロック１５へと貫き通し、取付板９のボルト孔１６に締結することにより、流体制御機器４２〜５１を取付板９に固定する。このとき、第２流路ブロック１０Ｂが分岐部分において接続ポートを無駄なスペースを形成することなく集められているため、第１エアオペレイトバルブ４６のラインと第２エアオペレイトバルブ４８のラインの間に無駄なスペースが形成されない。
【００５２】
従って、本実施の形態のガス供給集積ユニット１によれば、流体制御機器２〜８の下面に開設されたポートの位置や流体制御機器２〜８の下面形状に合わせて第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂやネジブロック１５の位置を個別に調整できるので、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの２種類を組み合わせて作用ガスの流路を任意に形成することが可能である。そして、流路２６，３６を形成するだけの第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂと、取付ボルト１５を挿通するだけのネジブロック１５とを別個にしたため、従来のマニホールドブロックに比べて余分な肉を省くことが可能である。
よって、本実施の形態のガス供給集積ユニット１によれば、流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの種類が２種類と少ないため、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂを成形するときに用いる金型などの数を削減して製作費を安くしたり、また、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂのストック量を減らして管理費を安くすることが可能なので、安価にすることができる。また、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂとネジブロック１５には、従来のマニホールドブロックのように余分な肉がないので、ユニット全体を軽量化することができる。
【００５３】
また、本実施の形態のガス供給集積ユニット１は、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂと流体制御機器２〜８との間で図示しないガスケットの全周を均一に押し潰すので、シール性能を確保することができる。
【００５４】
また、本実施の形態のガス供給集積ユニット１は、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの下面に立設した位置決めピン１７を取付板９に形成した位置決め孔１８に挿通することにより、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂを取付板９に対して位置決めし、取付ボルト１４を用いて流体制御機器２〜８を取付板９に固定するときに、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂが位置ずれしないので、流体制御機器２〜８のポートと第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの第１，第２接続ポート２４，２５，３４，３５との位置合わせを容易に行うことができ、作業性が良い。
【００５５】
また、本実施の形態のガス供給集積ユニット１は、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの第２凸部２２，３２に流体制御機器２〜８を載せ、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの十字部分で流体制御機器２〜８を支持するので、流体制御機器２〜８を水平に保持することができる。
【００５６】
（第２実施の形態）
続いて、本発明のガス供給集積ユニットにかかる第２実施の形態について図面を参照して説明する。図２０は、流体制御機器の固定構造の一例を示す図である。
本実施の形態では、ネジブロック５５を取付板９に直接ねじ込んで固定する点で第１実施の形態と相違する。よって、ここでは、第１実施の形態と異なる部分について詳細に説明し、共通する部分については図面に同一符号を付して適宜説明を省略する。
【００５７】
ネジブロック５５は、ＳＵＳなどの金属を円柱形状に形成したものであり、外周面に雄ネジを形成されたボルト部材５６が下端面に立設されている。ネジブロック５５は、取付板９のボルト孔１６にボルト部材５６をねじ込むことにより取付板９に固定される。ネジブロック５５は、内周に雌ネジを形成されたボルト孔５７が開設され、流体制御機器５に挿通した取付ボルト１４を締結されるようになっている。
【００５８】
従って、本実施の形態のガス供給集積ユニットは、ネジブロック５５の下面に立設されたボルト部材５６を取付板９に形成したボルト孔１６に締結することによりネジブロック５５を取付板９に位置決め固定し、そのネジブロック５５に対して流体制御機器２〜８に挿通した取付ボルト１４を締結するため、流体制御機器２〜８がネジブロック５５を介して取付板９に固定される。この場合、取付ボルト１４をネジブロック５５のボルト孔５７に深くねじ込むことができ、流体制御機器２〜８の取付強度を確保することができる。
【００５９】
（第３実施の形態）
続いて、本発明のガス供給集積ユニットにかかる第３実施の形態について図面を参照して説明する。図２１は、ガス供給集積ユニット６１の側面図である。
本実施の形態のガス供給集積ユニット６１は、取付レール６２に流体制御機器２〜８を取り付ける点で第１実施の形態と相違している。よって、ここでは第１実施の形態と相違する点について詳細に説明し、共通する点については図面に同一符号を付して適宜説明を省略する。
【００６０】
図２２は、流体制御機器の固定構造を示す図である。図２３は、取付レールの平面図である。
ガス供給集積ユニット６１は、流体制御機器である入口開閉弁５が、取付レール６１上に載置され、取付レール６２に固設されたネジブロック６５に入口開閉弁５に挿通した取付ボルト１４を締結することにより、取付レール６２に固定される。このとき、第２流路ブロック１０Ｂは、入口開閉弁５と取付レール６１との間で狭持され、図示しないガスケットの全周を均一な力で押しつぶして接続ポート３４，３５をシールする。
【００６１】
取付レール６２は、ＳＵＳなどの金属を直方体形状のブロックに成形したものであり、一対のレール溝６３が略Ｌ字状に形成されている。両端部には、爪部６４がレール溝６３側に突き出すように形成されている。取付レール６２の上面には、位置決め孔１８が第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの配置に合わせて形成され、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂを位置決めピン１７を介して位置決め固定されるようになっている。
【００６２】
レール溝６３，６３には、取付ボルト１４を締結されるネジブロック６５が摺動可能に保持され、流体制御機器を自由に増設又は改造できるようになっている。そのため、流体制御機器の配置によって取付ボルト１４の位置が変わり、その変化に対応すべく数種類のネジブロック６５を準備する必要がある。本実施の形態では、３種類のネジブロック６５Ａ，６５Ｂ，６５Ｃを準備している。
【００６３】
図２４は、第１ネジブロック６５Ａの平面図である。図２５は、第１ネジブロック６５Ａの側面図である。図２６は、第１ネジブロック６５Ａの縦断面図である。
第１ネジブロック６５Ａは、ＳＵＳなどの金属を断面略Ｌ字形に形成したものである。第１流路ブロック６５Ａは、上面に２個のボルト孔６６，６６が開設されており、段差を設けられて取付レール６２に係合する係合部６７を形成されている。係合部６７には、位置決めピン１７を挿通するための挿通孔６８が形成され、取付レール６２に対して位置決めされるようになっている。第１ネジブロック６５Ａの側面には、取付レール６２の爪部６４に係合する係合溝６９が形成され、取付レール６２のレール溝６３から抜け落ちるのを防止されている。
【００６４】
図２７は、第２ネジブロック６５Ｂの平面図である。図２８は、第２ネジブロック６５Ｂの側面図である。図２９は、第２ネジブロック６５Ｂの縦断面図である。
第２流路ブロック６５Ｂは、基本構造が第１流路ブロック６５Ａと同一であるが、第１ネジブロック６５Ａより幅広に設けられ、ボルト孔６６，６６の間隔が第１流路ブロック６５Ａより広くされている。第２流路ブロック６５Ｂは、挿通孔６８が２個設けられ、取付レール６２にしっかり取り付けられるようになっている。
【００６５】
図３０は、第３ネジブロック６５Ｃの平面図である。図３１は、第３ネジブロック６５Ｃの側面図である。図３２は、第３ネジブロック６５Ｃの縦断面図である。
第３ネジブロック６５Ｃは、基本構造が第１流路ブロック６５Ａと同一であるが、第１ネジブロック６５Ａより幅狭に設けられ、ボルト孔６６が１個だけ設けられている。また、第３ネジブロック６５Ｃは、ガス供給集積ユニットの末端に配設されるため、第１ネジブロック６５Ａのように挿通孔６８が設けられていない。
【００６６】
このようなガス供給集積ユニット６１は、次のようにして流体制御機器を取り付けられる。図３３は、流路ブロック１０及びネジブロック６５の配置図である。
ネジブロック６５は、係合部６７を取付レール６２のレール溝６３に挿通して所定位置までスライドさせ、挿通孔６８を取付レール６２の位置決め孔６８に位置合わせする。そして、第２流路ブロック１０Ｂ（第１流路ブロック１０Ａ）に立設された位置決めピン１７を取付レール６２の上方から位置決め孔１８、ネジブロック６５の挿通孔６８へと貫き通し、第２流路ブロック１０Ｂ（流路ブロック１０Ａ）と取付レール６２とネジブロック６５とを一義的に位置決め固定する。このようにして、取付レール６２の所定位置に第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂとネジブロック６５を配設する。
【００６７】
このとき、ネジブロック６５は、次のようにして使い分けられる。第１，第２流路ブロック１０Ａ（１０Ｂ）の第１，第２接続ポート２４，２５（３４，３５）の片側が、取付ボルト１４を締結する位置の中心にきた場合には、ネジブロック６５Ｂを配置する。第１，第２流路ブロック１０Ａ（１０Ｂ）の接続ポート２４，２５（３４，３５）の両方が、取付ボルト１４の中心にこない場合には、ネジブロック６５Ａを配置する。さらに、ユニットの端部には、ネジブロック６５Ｃを配置する。
【００６８】
そして、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂに流体制御機器２〜８を載置し、取付ボルト１４を流体制御機器２〜８側から各ネジブロック６５に挿通して締結し、流体制御機器２〜８をネジブロック６５を介して取付レール６２に固定する。
【００６９】
従って、本実施の形態のガス供給集積ユニット６１によれば、流体制御機器２〜８のポートの位置や下面形状に合わせて、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの第１，第２接続ポート２４，２５，３４，３５やネジブロック６５のボルト孔６６の位置を個別に調整できるため、数種類の流路ブロックを組み合わせて作用ガスの流路を形成することが可能である。そして、流路だけを形成する第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂとボルト孔７７だけを形成するネジブロックとを別個にしたため、従来のマニホールドブロックに比べて余分な肉を省くことが可能である。
よって、本実施の形態のガス供給集積ユニットによれば、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂが２種類と少ないため、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂを成形するときに用いる金型などの数を削減して製作費を安くしたり、また、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂのストック量を減らして管理費を安くすることが可能なので、安価にすることができる。また、第１，第２流路ブロック１０Ａ，１０Ｂとネジブロック１５には、従来のマニホールドブロックのように余分な肉がないので、ユニット全体を軽量化することができる。
【００７０】
尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００７１】
（１）例えば、上記第１実施の形態では、ネジブロック１５を取付板９に対してフリーにしたが、接着剤で固定したり、溶接してもよい。
【００７２】
（２）例えば、上記第１実施の形態では、取付板としてアルミ板を使用したが、図３４に示すように、アルミ板より厚さの薄いＳＵＳなどの金属板を取付板７１として使用し、軽量化を図ってもよい。この場合には、取付板７１にネジ孔７２を設け、ネジブロック１５に挿通した取付ボルト１４を締結するようにすれば、流体制御機器５を取付板７１に固定することができる。取付板７１を薄くすれば軽量化を図りうるが、取付ボルト１４や位置決めピン１７が裏側に突き出してしまう。この場合には、取付板７１の両端をプレス加工などで折り曲げたり、下駄を履かせるようにすればよい。
【００７３】
（３）例えば、上記第３実施の形態では、ネジブロック６５の係合部６７を外周から覆うようにレール６２を設けたが、図３５に示すように、取付レール７３をＨ型に成形し、軽量化を図ってもよい。この場合には、取付レール７３に爪部７４を設け、その爪部７４に係合する係合溝７７をネジブロック７５の下面に形成してネジブロック７５の脱落を防止するとよい。
【００７４】
（４）例えば、上記実施の形態では、ゴム製のストッパ１９を用いて取付ボルト１４の脱落を防止したが、図３６に示すように、樹脂部材７８とゴム部材７９を組み合わせたストッパをネジブロック１５に内蔵し、ゴム部材７９を取付ボルト１４のネジ山に接触させることにより取付ボルト１４の脱落を防止してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の第１実施の形態に係り、ガス供給集積ユニットの断面図である。
【図２】同じく、流体制御機器の固定構造を示す図である。
【図３】同じく、第１流路ブロックの平面図である。
【図４】同じく、第１流路ブロックの縦断面図である。
【図５】同じく、第１流路ブロックの右側面図である。
【図６】同じく、第１流路ブロックの下面図である。
【図７】同じく、第２流路ブロックの平面図である。
【図８】同じく、第２流路ブロックの縦断面図である。
【図９】同じく、第２流路ブロックの右側面図である。
【図１０】同じく、第２流路ブロックの下面図である。
【図１１】同じく、第１，第２流路ブロックの組み合わせ例を示す図である。
【図１２】同じく、ネジブロックの抜け止め構造を示す図である。
【図１３】同じく、ガス供給集積ユニットの分解斜視図である。
【図１４】同じく、図１３の部分拡大図である。
【図１５】同じく、ガス供給集積ユニットの回路図の一例である。
【図１６】同じく、図１５に示す回路図に対応する流路構造を示す図であって、従来のマニホールドブロックを使用した場合を示す。
【図１７】同じく、図１５に示す回路図に対応するガス供給集積ユニットの平面図であって、従来のマニホールドブロックを使用した場合を示す。
【図１８】同じく、図１５に示す回路図に対応する流路構造を示す図であって、本発明の流路ブロックを使用した場合を示す。
【図１９】同じく、図１５に示す回路図に対応するガス供給集積ユニットの平面図であって、本発明の流路ブロックを使用した場合を示す。
【図２０】本発明の第２実施の形態にかかり、流体制御機器の固定構造の一例を示す図である。
【図２１】本発明の第３実施の形態にかかり、ガス供給集積ユニットの側面図である。
【図２２】同じく、流体制御機器の固定構造を示す図である。
【図２３】同じく、取付レールの平面図である。
【図２４】同じく、第１ネジブロックの平面図である。
【図２５】同じく、第１ネジブロックの側面図である。
【図２６】同じく、第１ネジブロックの縦断面図である。
【図２７】同じく、第２ネジブロックの平面図である。
【図２８】同じく、第２ネジブロックの側面図である。
【図２９】同じく、第２ネジブロックの縦断面図である。
【図３０】同じく、第３ネジブロックの平面図である。
【図３１】同じく、第３ネジブロックの側面図である。
【図３２】同じく、第３ネジブロックの縦断面図である。
【図３３】同じく、流路ブロック及びネジブロックの配置図である。
【図３４】流体制御機器の固定構造の変形例を示す図である。
【図３５】流体制御機器の固定構造の変形例を示す図である。
【図３６】ネジブロックの抜け止め構造の変形例である。
【図３７】従来のガス供給集積ユニットの断面図である。
【図３８】従来のガス供給集積ユニットで使用されるマニホールドブロックの連結構造の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
１  ガス供給集積ユニット
２〜８  流体制御機器
９  取付板
１０Ａ  第１流路ブロック
１０Ｂ  第２流路ブロック
１４  取付ボルト
１５  ネジブロック
１６  ボルト孔
１７  位置決めピン
１８  位置決め孔
２１  第１凸部
２２  第２凸部
２３  第３凸部
２４  第１接続ポート
２５  第２接続ポート
２６  流路
３１  第１凸部
３２  第２凸部
３３  第３凸部
３４  第１接続ポート
３５  第２接続ポート
３６  流路
５５  ネジブロック
５６  ボルト部材
６１  ガス供給集積ユニット
６２  取付レール
６５  ネジブロック
６６  ボルト孔
６８  挿通孔
７１  取付板
７２  ボルト孔
７３  取付レール
【図１】
2006100643.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006100643.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
2006100643.tif 000020
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
2006100643.tif 000034
【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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