(57)【要約】【課題】  研削等の高精度な機械加工を可能とし、熱変形が少なく、軽量で制振性の優れた繊維強化合成樹脂製で高性能なＸ−Ｙステージ装置を提供する。【解決手段】  上面１１ａにガイドレール１２を配置した装置本体１１と、この装置本体１１上のガイドレール１２に沿ってＸ軸方向に移動するＸ軸移動体２０と、このＸ軸移動体２０に配置されたガイドレール２８に沿ってＸ軸方向と直交するＹ軸方向に移動するＹ軸移動体３０と、を備えたＸ−Ｙステージ装置１０において、装置本体１１と各移動体２０，３０を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、装置本体１１及び各移動体２０，３０の各部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片５０を複数接着して所定厚の機械加工代を形成した。【選択図】      図１
2006205279.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたＸ−Ｙステージ装置において、
前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするＸ−Ｙステージ装置。
【請求項２】
請求項１記載のＸ−Ｙステージ装置であって、
前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするＸ−Ｙステージ装置。
【請求項３】
上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたＸ−Ｙステージ装置において、
前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするＸ−Ｙステージ装置。
【請求項４】
請求項３記載のＸ−Ｙステージ装置であって、
前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に硬質クロムメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするＸ−Ｙステージ装置。
【請求項５】
上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたＸ−Ｙステージ装置において、
前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするＸ−Ｙステージ装置。
【請求項６】
請求項５記載のＸ−Ｙステージ装置であって、
前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするＸ−Ｙステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板のパターン等を検査する基板検査装置に用いて好適なＸ−Ｙステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＬＣＤに用いられるガラス基板のパターン等の種々の検査をする装置として、移動体（ステージ）を所定の軸方向に移動させるＸ−Ｙステージ装置を用いた基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１，２参照。）。
【０００３】
今日、ＬＣＤの大型化が進み、その検査等のために大型のＸ−Ｙステージ装置の需要が高まっており、また、所定の軸方向に水平移動する移動体を駆動させる駆動系は高速かつ高精度の位置決めが求められている。そのために、移動体を軽量かつ剛性の高い材料で構築する必要性が求められている。
【０００４】
一般的に、移動体の軽量化のためにアルミニウム合金等の軽金属を使用するが、この軽金属は熱膨張が大きく、また、剛性も弱く、撓み等により高精度の装置の材料としては不適切であった。即ち、例えば、アルミニウム合金等の軽金属は１ｍにつき１度の温度上昇で約２３μｍ伸びるため、２ｍとか３ｍ用の移動体ではそれなりに伸び、全体の撓みも大きくなって高精度の位置決めは難しかった。
【０００５】
一方、樹脂の開発は目覚ましく、今日、温度にほとんど影響されない樹脂とカーボン繊維、ガラス繊維等の組み合わせにより、熱影響を受けず、鉄等の金属より高剛性で、制振性に優れた炭素繊維強化プラスティックスやガラス繊維強化プラスティックス等の繊維強化プラスティックス（繊維強化合成樹脂）が開発されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３１７４８５号公報
【０００７】
【特許文献２】特開２００２−８２０６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前記繊維強化合成樹脂は、直接表面等を研削加工等すると、繊維に傷を付けてその強度を損なってしまうため、高精度の部品を製造することができず、この種の材料を使用したＸ−Ｙステージ装置を構築することが難しかった。
【０００９】
そこで、本発明は、前記した課題を解決すべくなされたものであり、研削等の高精度な機械加工を可能とし、熱変形が少なく、軽量で制振性の優れた繊維強化合成樹脂製で高性能なＸ−Ｙステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１の発明は、上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたＸ−Ｙステージ装置において、前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１記載のＸ−Ｙステージ装置であって、前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。
【００１２】
請求項３の発明は、上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたＸ−Ｙステージ装置において、前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。
【００１３】
請求項４の発明は、請求項３記載のＸ−Ｙステージ装置であって、前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に硬質クロムメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。
【００１４】
請求項５の発明は、上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたＸ−Ｙステージ装置において、前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。
【００１５】
請求項６の発明は、請求項５記載のＸ−Ｙステージ装置であって、前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、装置本体と各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の部品取付面に予め接着された複数の金属片から成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、軽量で制振性の良い高性能なＸ−Ｙステージ装置を提供することができる。
【００１７】
請求項２の発明によれば、装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂の装置本体の部品取付面に予め接着された複数の金属片から成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なＸ−Ｙステージ装置を提供することができる。
【００１８】
請求項３の発明によれば、装置本体と各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の部品取付面に予めメッキを施して成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、軽量で制振性の良い高性能なＸ−Ｙステージ装置を提供することができる。
【００１９】
請求項４の発明によれば、装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に硬質クロムメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂の装置本体の部品取付面に予め硬質クロムメッキを施して成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なＸ−Ｙステージ装置を提供することができる。
【００２０】
請求項５の発明によれば、装置本体と各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の部品取付面に予めセラミックを溶射して成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、軽量で制振性の良い高性能なＸ−Ｙステージ装置を提供することができる。
【００２１】
請求項６の発明によれば、装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂の装置本体の部品取付面に予めセラミックを溶射して成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なＸ−Ｙステージ装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
図１は本発明の実施形態の基板検査装置に用いて好適なＸ−Ｙステージ装置を示す平面図、図２は同装置の側面図、図３は同装置の正面図、図４は同装置に用いられる装置本体の平面図、図５は同装置本体の要部を示す部分平面図、図６は同装置本体の正面図、図７は同装置に用いられる移動体の一部を構成する一方のコラムの側面図、図８は同一方のコラムの平面図、図９は同一方のコラムの正面図、図１０は同移動体の一部を構成する他方のコラムの側面図、図１１は同他方のコラムの平面図、図１２は同他方のコラムの正面図、図１３は同移動体の一部を構成するＹ軸ベースの正面図、図１４は同Ｙ軸ベースの平面図、図１５は同Ｙ軸ベースの要部を示す部分正面図、図１６は同Ｙ軸ベースの側面図である。
【００２４】
図１〜図３に示すように、Ｘ−Ｙステージ装置１０は、上面１１ａに一対のＸ軸ガイドレール（ガイド部材）１２，１２を配置したベースとしての装置本体１１と、この装置本体１１上の一対のＸ軸ガイドレール１２，１２に沿ってＸ軸方向（一軸方向）に往復移動するＸ軸移動体（一方の移動体）２０と、このＸ軸移動体２０の後述するＹ軸ベース２５に配置された一対のＹ軸ガイドレール（ガイド部材）２８，２８に沿ってＸ軸方向と直交するＹ軸方向（他軸方向）に往復移動するＹ軸移動体（他方の移動体）３０と、このＹ軸移動体３０に対してＺ軸ユニット４１のスクリュ４２を介してＺ軸方向（上下方向）に移動自在に設けられたＣＣＤカメラ（検査治具）４０と、を備えている。
【００２５】
図１〜図６に示すように、装置本体１１は、炭素繊維強化合成樹脂（ＣＦＲＰ）或いはガラス繊維強化合成樹脂（ＧＦＲＰ）等の繊維強化合成樹脂（ＦＲＰ）により下面側が開口した箱形に形成してある。この装置本体１１の上面１１ａの一対のガイドレール取付面（部品取付面）１１ｂ，１１ｂ及びリニアモータ取付面（部品取付面）１１ｃには、熱膨張を無視できるような（熱変形が少ない）矩形板状の小さな金属片５０を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してある。これにより、各ガイドレール取付面１１ｂ及びリニアモータ取付面１１ｃには所定厚の接着板厚Ｔが形成され、この接着板厚Ｔより機械加工代Ｓ分を研削加工等して高精度の各ガイドレール取付面１１ｂ及びリニアモータ取付面１１ｃがそれぞれ形成されるようになっている。
【００２６】
そして、この装置本体１１の上面１１ａの各ガイドレール取付面１１ｂにはＸ軸ガイドレール１２をボルト１３により締結固定してあると共に、リニアモータ取付面１１ｃにはＸ軸リニアモータ１４の複数配列された永久磁石から成る固定部１４ａを一方のＸ軸ガイドレール１２と平行になるように取り付けてある。また、装置本体１１の上面１１ａの一方のＸ軸ガイドレール１２の内側にはＸ軸移動体２０の位置を検出するリニアスケール１５のスケル部１５ａを該Ｘ軸ガイドレール１２と平行になるように取り付けてある。さらに、装置本体１１の上面１１ａの中央には、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板６０を保持するホルダ１６を取り付けてある。
【００２７】
図１〜図３に示すように、Ｘ軸移動体２０は、左右一対のスペーサ２１，２２と、この左右一対のスペーサ２１，２２に各ボルト２９により締結固定される左右一対のコラム２３，２４と、この左右一対のコラム２３，２４の上部に掛け渡されるように各ボルト１７により締結固定されるＹ軸ベース２５とで構成されて門型になっている。
【００２８】
図２，図３に示すように、左右一対のスペーサ２１，２２は炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂によりブロック状に形成してあり、各スペーサ２１，２２の下面に各Ｘ軸ガイドレール１２に沿って摺動するコ字状のガイド２６をボルト１８により締結固定してある。また、右側のスペーサ（他方のスペーサ）２２の下面にはＸ軸移動体２０の位置を検出するリニアスケール１５のヘッド部（パルス出力部）１５ｂを取り付けてある。
【００２９】
図１〜図３及び図７〜図１２に示すように、左右一対のコラム２３，２４は炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂により外側の側面が開口した箱形にそれぞれ形成してある。図７〜図９に示すように、左側のコラム（一方のコラム）２３の上下両面（部品取付面）２３ａ，２３ｂには、熱膨張を無視できるような（熱変形が少ない）矩形板状の小さな金属片５０を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してある。これにより、左側のコラム２３の上下両面２３ａ，２３ｂには所定厚の接着板厚Ｔが形成され、この接着板厚Ｔより機械加工代Ｓ分を研削加工等して高精度の上下両面２３ａ，２３ｂがそれぞれ形成されるようになっている。そして、図２及び図３に示すように、左側のコラム２３の下面２３ｂには左側のスペーサ（一方のスペーサ）２１をボルト１７により締結固定すると共に、該左側のコラム２３の上面２３ａにはＹ軸ベース２５をボルト１７により締結固定してある。尚、左側のコラム２３の上下両面２３ａ，２３ｂの四隅にはボルト挿通孔２３ｃをそれぞれ形成してある。
【００３０】
図１０〜図１２に示すように、右側のコラム（他方のコラム）２４の上下両面（部品取付面）２４ａ，２４ｂには、熱膨張を無視できるような（熱変形が少ない）矩形板状の小さな金属片５０を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してある。これにより、右側のコラム２４の上下両面２４ａ，２４ｂには所定厚の接着板厚Ｔが形成され、この接着板厚Ｔより機械加工代Ｓ分を研削加工等して高精度の上下両面２４ａ，２４ｂがそれぞれ形成されるようになっている。そして、図３に示すように、右側のコラム２４の下面２４ｂの内側には右側のスペーサ２２をボルト１７により締結固定してあると共に、該右側のコラム２４の下面２４ｂの外側にはＸ軸リニアモータ１４の可動部１４ｂを取り付けてある。また、右側のコラム２４の上面２４ａにはＹ軸ベース２５をボルト１７により締結固定してある。尚、右側のコラム２４の上下両面２４ａ，２４ｂの四隅にはボルト挿通孔２４ｃをそれぞれ形成してある。
【００３１】
図１３〜図１６に示すように、Ｙ軸ベース２５は、炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂により四角筒状に形成してある。このＹ軸ベース２５の上面２５ａのリニアモータ取付面（部品取付面）２５ｄと正面２５ｂの一対のガイドレール取付面（部品取付面）２５ｅ，２５ｅ及び下面２５ｃの両側の一対のコラム取付面（部品取付面）２５ｆ，２５ｆには、熱膨張を無視できるような（熱変形が少ない）矩形板状の小さな金属片５０を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してある。これにより、リニアモータ取付面２５ｄと各ガイドレール取付面２５ｅ及び各コラム取付面２５ｆには所定厚の接着板厚Ｔが形成され、この接着板厚Ｔより機械加工代Ｓ分を研削加工等して高精度のリニアモータ取付面２５ｄと各ガイドレール取付面２５ｅ及び各コラム取付面２５ｆ，２５ｆがそれぞれ形成されるようになっている。
【００３２】
そして、このＹ軸ベース２５の上面２５ａのリニアモータ取付面２５ｄにはＹ軸リニアモータ２７の複数配列された永久磁石から成る固定部２７ａを平行になるように取り付けてあると共に、該Ｙ軸ベース２５の正面２５ｂの各ガイドレール取付面２５ｄにはＹ軸ガイドレール２８をボルト１９により固定してある。また、Ｙ軸ベース２５の下面２５ｃの両側の一対のコラム取付面２５ｅ，２５ｅには左右一対のコラム２３，２４の上部を各ボルト１７を介して締結固定してある。さらに、Ｙ軸ベース２５の正面２５ｂの中央にはＹ軸移動体３０の位置を検出するリニアスケール２９のスケル部２９ａを取り付けてある。
【００３３】
Ｙ軸移動体３０は、炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂により矩形板状に形成してある。図１〜図３に示すように、このＹ軸移動体３０の背面３０ｂの上下側には各Ｘ軸ガイドレール２８に沿って摺動するコ字状のガイド３１をボルトにより締結固定してある。また、Ｙ軸移動体３０の背面３０ｂの上端側にはＹ軸リニアモータ２７の可動部２７ｂを取り付けてある。さらに、Ｙ軸移動体３０の背面３０ｂの中央には該Ｙ軸移動体３０の位置を検出するリニアスケール２９のヘッド部（パルス出力部）２９ｂを取り付けてある。また、Ｙ軸移動体３０の正面３０ａには、Ｚ軸ユニット４１を取り付けてある。
【００３４】
尚、Ｙ軸移動体３０の正面３０ａのガイド取付面とリニアモータ取付面及び該Ｙ軸移動体３０の背面３０ｂのユニット取付面には、前述したＸ軸移動体２０と同様に、熱膨張を無視できるような（熱変形が少ない）矩形板状の小さな金属片を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してあり、この接着板の研削加工等した高精度の各取付面に前記ガイド３１とＹ軸リニアモータ２７の可動部２７ｂ及びＺ軸ユニット４１をそれぞれ取り付けてある。また、各図中、金属片５０の接着後の寸法を符号Ｈで示すと共に、加工後の寸法を符号Ｌで示す。
【００３５】
以上実施形態のＸ−Ｙステージ装置１０によれば、装置本体１１と、Ｘ軸移動体２０の各スペーサ２１，２２と各コラム２３，２４及びＹ軸ベース２５と、Ｙ軸移動体３０とを炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂によりそれぞれ形成し、かつ、装置本体１１のガイドレール取付面１１ｂとリニアモータ取付面１１ｃと、Ｘ軸移動体２０の各コラム２３，２４の上，下面２３ａ，２３ｂ及び２４ａ，２４ｂとＹ軸ベース２５のリニアモータ取付面２５ｄとガイドレール取付面２５ｅとコラム取付面２５ｆ、及び、Ｙ軸移動体３０のガイド取付面とリニアモータ取付面及びユニット取付面との各部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片５０を複数接着して所定厚の機械加工代Ｓをそれぞれ形成したことにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体１１及び各移動体２０，３０の各部品取付面に予め接着された複数の金属片５０から成る所定厚の機械加工代Ｓの部分を研削加工等の機械加工することができる。
【００３６】
これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体１１と各移動体２０，３０の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、この高精度な各部品取付面に各部品を取り付けることができる。その結果、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なＸ−Ｙステージ装置１０を提供することができる。
【００３７】
図１７は本発明の他の実施形態のＸ−Ｙステージ装置に用いられる装置本体の正面図、図１８は同装置に用いられる移動体の一部を構成する一方のコラムの正面図、図１９は同の移動体の一部を構成する他方のコラムの正面図、図２０は同移動体の一部を構成するＹ軸ベースの側面図である。
【００３８】
この他の実施形態では、装置本体１１と、Ｘ軸移動体２０の各スペーサ２１，２２と各コラム２３，２４及びＹ軸ベース２５と、Ｙ軸移動体３０とを炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂によりそれぞれ形成し、かつ、図１７〜図２０に示すように、装置本体１１のガイドレール取付面１１ｂとリニアモータ取付面１１ｃと、Ｘ軸移動体２０の各コラム２３，２４の上，下面２３ａ，２３ｂ及び２４ａ，２４ｂとＹ軸ベース２５のリニアモータ取付面２５ｄとガイドレール取付面２５ｅとコラム取付面２５ｆの各部品取付面に硬質クロムメッキ５１を施したり、或いは、セラミック５２を溶射（コーティング）して所定厚の機械加工代を形成してある。これにより、装置本体１１のガイドレール取付面１１ｂとリニアモータ取付面１１ｃと、Ｘ軸移動体２０の各コラム２３，２４の上，下面２３ａ，２３ｂ及び２４ａ，２４ｂとＹ軸ベース２５のリニアモータ取付面２５ｄとガイドレール取付面２５ｅとコラム取付面２５ｆの各部品取付面に所定厚のメッキ或いは溶射厚Ｔが形成され、このメッキ或いは溶射厚Ｔより機械加工代Ｓ分を研削加工等して高精度のリニアモータ取付面１１ｃ，２５ｄと各ガイドレール取付面１１ｂ，２５ｅと上，下面２３ａ，２３ｂ及び２４ａ，２４ｂ及び各コラム取付面２５ｆ，２５ｆがそれぞれ形成されるようになっている。
【００３９】
このように、繊維強化合成樹脂の装置本体１１及びＸ軸移動体２０の各部品取付面に予め硬質クロムメッキ５１を施したり、或いは、セラミック５２を溶射して成る所定厚の機械加工代Ｓの部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体１１及びＸ軸移動体２０の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なＸ−Ｙステージ装置１０を提供することができる。
【００４０】
尚、前記各実施形態によれば、ベースとしての装置本体を繊維強化合成樹脂で形成したが、グラナイト等の石定盤を用いても良い。また、前記各実施形態によれば、繊維強化合成樹脂製の装置本体の上面の各部品取付面等に部分的に熱変形が少ない小さな金属片を接着等したが、その上面等の全体に熱変形が少ない小さな金属片を接着等しても良いことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態の基板検査装置に用いて好適なＸ−Ｙステージ装置を示す平面図である。
【図２】上記Ｘ−Ｙステージ装置の側面図である。
【図３】上記Ｘ−Ｙステージ装置の正面図である。
【図４】上記Ｘ−Ｙステージ装置に用いられる装置本体の平面図である。
【図５】上記装置本体の要部を示す部分平面図である。
【図６】上記装置本体の正面図である。
【図７】上記Ｘ−Ｙステージ装置に用いられる移動体の一部を構成する一方のコラムの側面図である。
【図８】上記一方のコラムの平面図である。
【図９】上記一方のコラムの正面図である。
【図１０】上記移動体の一部を構成する他方のコラムの側面図である。
【図１１】上記他方のコラムの平面図である。
【図１２】上記他方のコラムの正面図である。
【図１３】上記移動体の一部を構成するＹ軸ベースの正面図である。
【図１４】上記Ｙ軸ベースの平面図である。
【図１５】上記Ｙ軸ベースの要部を示す部分正面図である。
【図１６】上記Ｙ軸ベースの側面図である。
【図１７】本発明の他の実施形態のＸ−Ｙステージ装置に用いられる装置本体の正面図である。
【図１８】上記他の実施形態のＸ−Ｙステージ装置に用いられる移動体の一部を構成する一方のコラムの正面図である。
【図１９】上記他の実施形態の移動体の一部を構成する他方のコラムの正面図である。
【図２０】上記他の実施形態の移動体の一部を構成するＹ軸ベースの側面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０  Ｘ−Ｙステージ装置
１１  装置本体
１１ａ  上面
１１ｂ  ガイドレール取付面（部品取付面）
１１ｃ  リニアモータ取付面（部品取付面）
１２  Ｘ軸ガイドレール（ガイド部材）
２０  Ｘ軸移動体（一方の移動体）
２３  一方のコラム
２３ａ  上面（部品取付面）
２３ｂ  下面（部品取付面）
２４  他方のコラム
２４ａ  上面（部品取付面）
２４ｂ  下面（部品取付面）
２５ｄ  リニアモータ取付面（部品取付面）
２５ｅ  ガイドレール取付面（部品取付面）
２５ｆ  コラム取付面（部品取付面）
２８  Ｙ軸ガイドレール（ガイド部材）
３０  Ｙ軸移動体（他方の移動体）
５０  熱変形が少ない小さな金属片
５１  硬質クロムメッキ
５２  セラミック
Ｓ  機械加工代
【図１】
2006205279.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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