(57)【要約】【課題】  基板用カセットへの基板の搬入・搬出時に、中段にへの基板搬入、中段からの基板搬出を可能とする基板搬送装置を提供することにある。【解決手段】  基板用カセット１００の側方には、基板用カセット１００の内部に挿入・挿出可能に設けられるとともに、ガラス基板１を下方面側から受けて、ガラス基板１をスライド可能に支持しながら、ガラス基板１の搬入・搬出を行なう基板搬入搬出装置３００が設けられている。【選択図】        図２
2006124072.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板(1)を上下方向に複数枚収容し、水平方向に前記基板(1)の出し入れを可能とする基板用カセット(100)に用いられ、前記基板用カセット(100)に対して、前記基板(1)の出し入れを行なうための基板搬送装置であって、
前記基板用カセット(100)の側方において、前記基板用カセット(100)の側面に設けられた開口領域(104)から、前記基板用カセット(100)の内部に挿入・挿出可能に設けられるとともに、前記基板(1)を下方面側から受けて、前記基板(1)をスライド可能に支持しながら、前記基板の搬入・搬出を行なう基板搬入搬出装置(300)を備える、基板搬送装置。
【請求項２】
前記基板搬入搬出装置(300)による基板支持高さ位置と、前記基板用カセット(100)における選択された基板支持位置との相互の高さ位置を合わせるための、基板支持高さ位置合わせ手段と、をさらに備える請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記基板用カセット(100)の前面側に配置され、前記基板用カセット(100)への前記基板(1)の搬入・搬出時に、前記基板(1)を下方面側から受けて、前記基板(1)をスライド可能に支持する基板支持ステージ(400)をさらに有し、
前記基板支持高さ位置合わせ手段は、前記基板支持ステージ(400)による基板支持高さ位置と、前記基板搬入搬出装置(300)による基板支持高さ位置および前記基板用カセット(100)における選択された基板支持位置との相互の高さ位置を合わせる機能を含む、請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記基板搬入搬出装置(300)は、
前記基板用カセット(100)の両側面にそれぞれ設けられ、
各々の前記基板搬入搬出装置(300)には、
前記基板用カセット(100)の側面に近づく位置と、側面から遠ざかる位置との間を移動可能に設けられる移動ベース(310)と、
前記移動ベース(310)から、前記基板用カセット(100)の側面側に向かって延びるように設けられ、前記移動ベース(310)が、前記基板用カセット(100)の側面に近づく位置に移動した場合には、前記基板用カセット(100)の側面に設けられた開口領域(104)から、前記基板用カセット(100)の内部に挿入され、前記移動ベース(310)が、前記基板用カセットの側面から遠ざかる位置に移動した場合には、前記基板用カセット(100)の側面に設けられた開口領域(104)から、前記基板用カセット(100)の外部に挿出される基板搬入搬出アーム(320）とが、設けられ、
前記基板搬入搬出アーム(320）は、前記移動ベース(310)に対して、水平方向に複数配列するように設けられ、
各々の前記基板搬入搬出アーム(320）は、前記基板(1)をスライド可能に支持しながら、前記基板の搬入・搬出時に回動する回動機構を有する、請求項１から３のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記基板搬入搬出アーム(320）は、前記基板用カセット(100)の側面側に向かって延びるガイドピンからなり、前記回動機構として、前記ガイドピン自体がその軸周りに回動可能に設けられる、請求項４に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記基板支持高さ位置合わせ手段として、
前記基板支持ステージ(400)における前記基板(1)の支持面と、前記基板搬入搬出ガイド(320）における前記基板の支持面とが同じ高さ位置となるように両者が固定的に設けられ
前記基板用カセット(100)における選択された基板支持位置と、前記基板支持ステージ(200)における前記基板(1)の支持面と、前記基板搬入搬出ガイド(320）における前記基板の支持面とが同じ高さ位置となるように、前記基板用カセット(100)を昇降可能に載置する基板用カセット昇降装置を有する、請求項２から５のいずれかに記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板を積層状態に収容し、水平方向に基板の出し入れを可能とする基板用カセットに用いられ、基板用カセットに対して、基板の出し入れを行なうための基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等にはガラス基板が用いられているが、その製造プロセスにおいては、工程間におけるガラス基板の搬送・ストック等のために、このガラス基板を複数枚蓄積させた状態で保持する基板用カセットが用いられる。近年、フラットパネルディスプレイ等の大型化が進んでおり、たとえば、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の大きさは、従来は、１１００ｍｍ（短辺寸法）×１３００ｍｍ（長辺寸法）が最大サイズであったが、より大きくなり、１５００（短辺寸法）×１８００（長辺寸法）、１８００ｍｍ（短辺寸法）×２１００ｍｍ（長辺寸法）等が考えられており、その後も、ガラス基板の大きさは加速的に大型化されるものと思われる。その結果、ガラス基板の大型化に伴い基板用カセットも大型化することになる。
【０００３】
そこで、ガラス基板の収容枚数を効率良く収容するための構成として、たとえば、高さ方向および奥行き方向に所定の間隔で張られたワイヤ部材を基板支持部材とし、基板を積層状態にして、複数枚の基板を収容する構成が採用されている。このような構成からなる基板用カセットにガラス基板を搬入・搬出する場合には、下記特許文献１に開示されるように、基板用カセットの下方側から、上端にガイドローラが設けられた搬送ユニットが基板用カセット内に挿入・挿出されることにより、基板用カセット内へのガラス基板の搬入、基板用カセット内からのガラス基板の搬出を可能としている。
【０００４】
しかしながら、上述したガラス基板の搬入・搬出においては、ガラス基板を基板用カセットに搬入する場合には、基板用カセットの最上段から順番に下段に向かってしか、ガラス基板を基板用カセットに搬入することができない。また、ガラス基板を基板用カセットから搬出する場合には、基板用カセットの最下段から順番に上段に向かってしか、ガラス基板を基板用カセットから搬出することができない。そのため、基板用カセットに収納すべきガラス基板に制約が付されるとともに、途中段に収容したガラス基板の交換を行なうことができず、基板用カセットの使用に際して、様々な問題を生じさせている。
【特許文献１】特開平０８−１６６５６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、この発明が解決しようとする課題は、基板の横方向に支持部材を張り渡した形式を採用する基板用カセットにおいて、基板用カセットへの基板の搬入・搬出時に、様々な使用上の制約が付される点にある。この発明の目的は、基板用カセットへの基板の搬入・搬出時に、中段への基板搬入、中段からの基板搬出を可能とする基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に基づいた基板搬送装置においては、基板を上下方向に複数枚収容し、水平方向に上記基板の出し入れを可能とする基板用カセットに用いられ、上記基板用カセットに対して、上記基板の出し入れを行なうための基板搬送装置であって、上記基板用カセットの側方において、上記基板用カセットの側面に設けられた開口領域から、上記基板用カセットの内部に挿入・挿出可能に設けられるとともに、上記基板を下方面側から受けて、上記基板をスライド可能に支持しながら、上記基板の搬入・搬出を行なう基板搬入搬出装置を備えている。
【０００７】
また、上記基板搬送装置の他の形態においては、上記基板搬入搬出装置による基板支持高さ位置と、上記基板用カセットにおける選択された基板支持位置との相互の高さ位置を合わせるための、基板支持高さ位置合わせ手段をさらに備えている。
【０００８】
また、上記基板搬送装置の他の形態においては、上記基板用カセットの前面側に配置され、上記基板用カセットへの上記基板の搬入・搬出時に、上記基板を下方面側から受けて、上記基板をスライド可能に支持する基板支持ステージをさらに有し、上記基板支持高さ位置合わせ手段は、上記基板支持ステージによる基板支持高さ位置と、上記基板搬入搬出装置による基板支持高さ位置および上記基板用カセットにおける選択された基板支持位置との相互の高さ位置を合わせる機能を含んでいる。
【０００９】
また、上記基板搬送装置の他の形態においては、上記基板搬入搬出装置は、上記基板用カセットの両側面にそれぞれ設けられ、各々の上記基板搬入搬出装置には、上記基板用カセットの側面に近づく位置と、側面から遠ざかる位置との間を移動可能に設けられる移動ベースと、上記移動ベースから、上記基板用カセットの側面側に向かって延びるように設けられ、上記移動ベースが、上記基板用カセットの側面に近づく位置に移動した場合には、上記基板用カセットの側面に設けられた開口領域から、上記基板用カセットの内部に挿入され、上記移動ベースが、上記基板用カセットの側面から遠ざかる位置に移動した場合には、上記基板用カセットの側面に設けられた開口領域から、上記基板用カセットの外部に挿出される基板搬入搬出アームとが設けられ、上記基板搬入搬出アームは、上記移動ベースに対して、水平方向に複数配列するように設けられ、各々の上記基板搬入搬出アームは、上記基板をスライド可能に支持しながら、上記基板の搬入・搬出時に回動する回動機構を有している。
【００１０】
また、上記基板搬送装置の他の形態においては、上記基板搬入搬出アームは、上記基板用カセットの側面側に向かって延びるガイドピンからなり、上記回動機構として、上記ガイドピン自体がその軸周りに回動可能に設けられている。
【００１１】
また、上記基板搬送装置の他の形態においては、上記基板支持高さ位置合わせ手段として、上記基板支持ステージにおける上記基板の支持面と、上記基板搬入搬出ガイドにおける上記基板の支持面とが同じ高さ位置となるように、両者固定的に設けられ、上記基板用カセットにおける選択された基板支持位置と、上記基板支持ステージにおける上記基板の支持面と、上記基板搬入搬出ガイドにおける上記基板の支持面とが同じ高さ位置となるように、上記基板用カセットを昇降可能に載置する基板用カセット昇降装置を有している。
【発明の効果】
【００１２】
この発明に基づいた基板搬送装置によれば、たとえば、基板の搬入時には、その基板支持位置の上段および下段に既に基板が収容されている場合であっても、側方から基板搬入搬出装置を基板用カセットの内部に挿入することができるため、その中段の基板支持位置に基板を搬入することが可能となる。また、たとえば基板の搬出時において、その基板支持位置の上段および下段に既に基板が収容されている場合であっても、側方から基板搬入搬出装置を基板用カセットの内部に挿入することができるため、その中段の基板支持位置に収容された基板を搬出することが可能となる。これにより、従来のように、基板用カセットへの基板の収容順序を配慮することなく、基板用カセットへの基板の収容を行なうことができる。その結果、中段に位置するガラス基板の交換等も容易に行なうことができるとともに、機能の異なるガラス基板を、同じ基板用カセットに収容することも可能となる。また、上記基板搬送装置の他の形態によれば、基板搬入搬出装置による基板支持高さ位置と、基板用カセットにおける選択された基板支持位置との相互の高さ位置を合わせるための基板支持高さ位置合わせ手段とをさらに備えることにより、任意の位置への基板の搬入、任意の位置からの基板の搬出を容易に可能とする。
【００１３】
また、上記基板搬送装置の他の形態によれば、基板用カセットへの基板の搬入・搬出時に、基板を下方面側から受けて、基板をスライド可能に支持する基板支持ステージを有することにより、基板用カセットへ搬入される基板、基板用カセットから搬出される基板の取扱を容易にしている。
【００１４】
また、上記基板搬送装置の他の形態によれば、基板用カセットの側面に設けられた開口領域から基板用カセットの内部に挿入可能な基板搬入搬出アームを設け、この基板搬入搬出アームに基板をスライド可能に支持しながら、基板の搬入・搬出時に回動する回動機構を備えることで、基板の搬入・搬出時にスムーズに基板用カセットへの基板の搬入・搬出を実現させることが可能となる。また、この基板搬入搬出アームを、その軸周りに回動可能なガイドピン形態とすることにより、基板用カセットに収容された上下の基板同士の間に基板搬入搬出アームを挿入・挿出することができるため、上下に配置される基板の間隔を広げることなく、既存の基板用カセットに対してそのまま本基板搬送装置を適用することが可能となる。
【００１５】
また、上記基板搬送装置の他の形態によれば、基板支持ステージおよび基板搬入搬出ガイドにおける基板の支持面が同じ高さ位置となるように両者を固定的に設け、基板用カセットにおける選択された基板支持位置と、基板支持ステージおよび基板搬入搬出ガイドにおける基板の支持面とが同じ高さ位置となるように、基板用カセットを昇降可能に載置する基板用カセット昇降装置をもうけることにより、昇降機能の採用を１箇所のみとして、本基板搬送装置の装置構成の複雑化、および、大型化を回避することを可能としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、この発明に基づいた実施の形態における基板搬送装置の構造について、図を参照しながら説明する。まず、図１および図２を参照して、本実施の形態における基板搬送装置１０００の構成について説明する。なお、図１は、本実施の形態における基板搬送装置１０００の概略構成を示す全体側面図であり、図２は、本実施の形態における基板搬送装置１０００の構成を示す全体斜視図である。
【００１７】
両図を参照して、まず、基板搬送装置１０００が適用される基板用カセット１００の一例としては、１５００ｍｍ（短辺寸法）×１８００ｍｍ（長辺寸法）、１８００ｍｍ（短辺寸法）×２１００ｍｍ（長辺寸法）等の大きさを備える大型のガラス基板１をその前面側からの出し入れを可能とし、このガラス基板１を上下方向に積層状態に収容することを目的としている。この基板用カセット１００は、図２に示すように、両側面に配置されたフレーム１０１，１０１の間に複数のワイヤ部材１０３が橋渡されている。高さ方向および奥行き方向に所定の間隔で張られたワイヤ部材１０３を基板支持部材とし、ガラス基板１を積層状態にして、複数枚のガラス基板１を水平状態に収容する構成が採用されている。
【００１８】
再び、図１を参照して、基板用カセット１００は基板用カセット昇降装置２００の上部ステージ２１０上に載置され、昇降可能に保持されている。また、基板用カセット１００の前面側（ガラス基板１の搬入・搬出側）には、基板支持位置が、所定高さ位置に固定され、ガラス基板１を搬入・搬出方向にスライド移動可能なように、ガラス基板１を下方面側から支持する複数のガイドローラ４１０を有する、基板支持ステージ４００が配設されている。
【００１９】
図２を参照して、基板用カセット昇降装置２００は、図示する構成に限定されるものではないが、一例としては、平行に配置された上部ステージ２１０と下部ステージ２２０とを備え、この上部ステージ２１０と下部ステージ２２０との間の両側には、相互に交差するように支持プレート２３０，２４０が設けられている。支持プレート２３０，２４０の交差点には回動軸２５０が配置され、両側の支持プレートを連結するように配設されている。また、支持プレート２３０，２４０の両端部は、それぞれ上部ステージ２１０および下部ステージ２２０に対して枢軸Ｐ１により回動可能に連結されている。また、上部ステージ２１０と下部ステージ２２０との間には、駆動源としての油圧ジャッキ２７０が配設され、この油圧ジャッキ２７０を駆動制御することにより、上部ステージ２１０の高さ位置の制御が可能となっている。
【００２０】
基板用カセット１００の両側には、側方において基板用カセット１００の側面に設けられた開口領域１０４から、基板用カセット１００の内部に挿入・挿出可能に設けられるとともに、ガラス基板１を下方面側から受けて、ガラス基板１をスライド可能に支持しながら、ガラス基板１の搬入・搬出を行なう基板搬入搬出装置３００が設けられている。図２においては、各装置関係の配置を明確にするために、図面の右側に位置する基板搬入搬出装置３００については、一部の図示を省略するとともに、一部二点差線を用いて図示しているが、基板用カセット１００の両側にそれぞれ配置される基板搬入搬出装置３００は、同じ構成である。
【００２１】
この基板搬入搬出装置３００は、本体装置３１０と、この本体装置３１０を、基板用カセット１００の側面に近づく位置と、側面から遠ざかる位置との間を移動可能（図中矢印Ｂ方向）とするためのガイドレール３３０が、平行に配置されている。基板搬入搬出装置３００をガイドレール３３０に沿って移動させるための駆動機構は、本体装置３１０の下方領域に内蔵されている。その構成は、一般的に用いられる駆動機構の採用が可能であるため、ここでの説明は省略する。なお、本体装置３１０およびガイドレール３３０によって、移動ベースが構成される。
【００２２】
本体装置３１０には、基板用カセット１００の側面側に向かって延びる基板搬入搬出アームとしてのガイドピン３２０が設けられている。このガイドピン３２０は、基板用カセット昇降装置２００に載置された基板用カセット１００におけるガラス基板１の支持面と、このガイドピン３２０におけるガラス基板１の支持面とが同じ高さ位置となるように、高さ方向位置は固定的に設けられ、水平方向に複数本(本実施の形態においては４本）配列されている。また、このガイドピン３２０は、図３に詳細に示すように、その軸周り（図中矢印Ｓ方向）に回動可能に設けられる回動軸ピン３２１と、この回動軸ピン３２１の外周を取囲み、ガラス基板１に直接接して、ガラス基板を下方面側から支持する樹脂ローラ３２２が、所定のピッチで複数設けられている。この樹脂ローラ３２２は、ガラス基板１に直接接することから、発塵防止に優れた材料、ガラス基板１への帯電を防止するため帯電防止処理が施された材料（電気特性を備える材料）を用いることが好ましい。たとえば、液晶ポリマ(LCP)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、熱可塑性ポリイミド(変性PI)、ポリフェニルサルフォン(PPS)、シンジオタクチックポリスチレン(SPS)等を用いることが好ましい。
【００２３】
回動軸ピン３２１は、本体装置３１０内部において、ガラス基板１の搬入・搬出時に軸周りに軸を中心に回動（図中矢印Ｓ方向）する回動機構が連結され、また、すべての回動軸ピン３２１の回転が同期するように連結されている。その構成は、一般的に用いられる回動機構の採用が可能であるため、ここでの説明は省略する。なお、回動軸ピン３２１の長さＬ１は、本実施の形態に場合には、ガラス基板１の幅方向長さをＷとした場合には、Ｗ／４＜Ｌ１＜Ｗ／２を満たす範囲長さが好ましいといえる。
【００２４】
このように、基板搬入搬出アームとして、その軸周りに回動可能なガイドピン形態とすることにより、基板用カセット１００に収容された上下のガラス基板１同士の間にガイドピン３２０を挿入・挿出することができるため、上下に配置されるガラス基板１の間隔を広げることなく、既存の基板用カセット１００に対してそのまま本基板搬送装置を適用することが可能となる。なお、このガイドピン形態に限定されず、基板搬入搬出アームとして、平板状のアーム部材の上面に、ガラス基板１を受けるためのガイドローラを設ける構成の採用も可能である。
【００２５】
次に、図４から図６を参照して、本実施の形態における基板搬送装置１０００を用いた場合の、ガラス基板１の基板用カセット１００からの搬出動作について説明する。なお、図４から図６は、基板搬送装置１０００を用いたガラス基板１の搬出動作を示す平面模式図である。図４を参照して、基板用カセット１００の両側に位置する基板搬入搬出装置３００において、本体装置３１０が、基板用カセット１００の側面から最も遠ざかる位置に待機している。なお、基板用カセット１００において選択されたガラス基板１の基板支持位置と、基板用カセット昇降装置２００におけるガラス基板１の支持面およびガイドピン３２０におけるガラス基板１の支持面とが同じ高さ位置となるように、基板用カセット昇降装置２００において上部ステージ２１０の高さ位置が制御されている。
【００２６】
次に、図５を参照して、本体装置３１０を、基板用カセット１００の側面に近づく方向(図中矢印Ｂ１方向）に移動させる。これにより、基板用カセット１００の側面に設けられた開口領域１０４から、基板用カセット１００の内部にガイドピン３２０が挿入されて、樹脂ローラ３２２によりガラス基板１が支持される。その後、本体装置３１０内の回動機構を駆動制御して、所定方向にガイドピン３２０を回転させる。これにより、図６に示すように、基板用カセット１００から、選択されたガラス基板１のみを搬出（図６中矢印Ｃ方向）させることが可能となる。ガイドピン３２０によって搬出されたガラス基板１は、基板支持ステージ４００に支持され、次工程に搬送されることとなる。なお、ガラス基板１の基板用カセット１００への搬入においても、同様の工程が採用される。
【００２７】
以上、本実施の形態における基板搬送装置によれば、図７の部分全体斜視図に示すように、ガラス基板１の搬入時には、その基板用カセット１００の基板支持位置の上段および下段に既にガラス基板１が収容されている場合であっても、側方からガイドピン３２０を基板用カセット１００の内部に挿入することができるため、その中段の基板支持位置にガラス基板１を搬入することができる。また、ガラス基板１の搬出時においても、基板用カセット１００の上段および下段に既にガラス基板１が収容されている場合であっても、側方からガイドピン３２０を基板用カセット１００の内部に挿入することができるため、その中段の基板支持位置に収容されたガラス基板１を搬出することができる。これにより、従来のように、基板用カセット１００へのガラス基板１の収容順序を配慮することなく、基板用カセット００への基板の収容を行なうことができる。その結果、中段に位置するガラス基板１の交換等も容易に行なうことができるとともに、機能の異なるガラス基板１を、同じ基板用カセット１００に収容することもできる。
【００２８】
また、基板支持ステージ４００およびガイドピン３２０におけるガラス基板１の支持面が同じ高さ位置となるように両者を固定的に設け、また、基板用カセット１００における選択された基板支持位置と、基板支持ステージ４００およびガイドピン３２０におけるがガラス基板１の支持面とが同じ高さ位置となるように、基板用カセット１００を基板用カセット昇降装置２００に載置することにより、昇降機能の採用を１箇所のみとして、基板搬送装置１０００の装置構成の複雑化、および、大型化を回避することを可能としている。
【００２９】
（他の実施の形態）
なお、上記実施の形態においては、基板搬入搬出装置３００として、ガイドレール３３０上に本体装置３１０を載置し、この本体装置３１０に複数のガイドピン３２０を設ける構成を採用しているが、この構成以外に、図８に示すように、３次元的に位置制御可能なロボットアーム５００を用いて、このロボットアーム５００のハンドに、小型化した本体装置５１０を取り付け、この本体装置５１０に複数のガイドピン３２０を設けるようにしても、容易に、基板用カセット１００の側方から、基板用カセット１００の側面に設けられた開口領域から、基板用カセット１００の内部に挿入・挿出可能に設けられるとともに、ガラス基板１を下方面側から受けて、ガラス基板１をスライド可能に支持しながら、ガラス基板１の搬入・搬出を行なう基板搬入搬出装置を構成することが可能となる。
【００３０】
また、上記実施の形態においては、ガイドピン３２０の形態として、回動軸ピン３２１と、この回動軸ピン３２１の外周を取囲み、ガラス基板１に直接接する樹脂ローラ３２２を設ける場合について説明したが、ガラス基板１をスライド可能に支持する他の形態として、図９に示すように、ガイドピン３２０の外周面にエアー突出孔３２３を複数設け、このエアー突出孔３２３から、気体であるエアーをガラス基板１に吹き付けてガラス基板１を浮上させ、さらに、ガイドピン３２０をその軸周り（図中矢印Ｓ方向）に沿って回動させることにより、ガラス基板１を浮上させながら所定方向に搬送することも可能である。
【００３１】
また、上記実施の形態においては、基板搬入搬出装置３００に設けられるガイドピン３２０の高さ位置は固定され、基板用カセット１００の高さ位置が基板用カセット昇降装置２００の昇降により制御される構成を示しているが、図１０に示す基板搬入搬出装置３００Ａのように、本体装置３１０そのものに、油圧プランジャ等を用いた昇降機構３４０（図中矢印Ｖ方向への移動）を設けることにより、基板搬入搬出装置３００Ａ自身によっても、ガイドピン３２０の高さ位置の制御を行なうことができる。図１０においては、基板搬入搬出装置３００Ａによるガイドピン３２０の高さ位置の制御、および、基板用カセット昇降装置２００による基板用カセット１００のガラス基板１の支持面の高さ位置の制御が可能な場合を図示しているが、基板搬入搬出装置３００Ａによるガイドピン３２０の高さ位置の制御が可能な場合には、基板用カセット１００を固定的な台上に載置することも可能である。
【００３２】
また、基板用カセット１００を固定的な台上に載置する場合や、ガラス基板１の基板用カセット１００への搬入・搬出効率を向上させる場合には、基板支持ステージ４００を基板用カセット昇降装置２００と同様の機構からなる基板支持ステージ昇降装置６００に載置することにより、基板用カセット１００へ搬入されるガラス基板１の高さ位置、基板用カセット１００から搬出されるガラス基板１の高さ位置の制御を容易に行なうことができる。
【００３３】
また、上記実施の形態における基板搬入搬出装置３００においては、本体装置３１０に対して、複数のガイドピン３２０を水平方向に一列設ける形態を採用しているが、図１２に示す基板搬入搬出装置３００Ｂにおいては、ガイドピン３２０を水平方向だけでなく、垂直方向にも配置している。これにより、たとえばガラス基板１の搬出時に、ガイドピン３２０が水平１列しかない場合には、ガイドピン３２０の位置を変更するための動作が必要であったが、ガイドピン３２０が水平および垂直方向に配列されてい場合には、ガイドピン３２０を基板用カセット１００の内部に挿入後、選択された水平列のガイドピン３２０を順次駆動させることで、効率良く順次ガラス基板１の搬出を行なうことが可能となる。このことは、ガラス基板１の搬入においても同様である。
【００３４】
また、上記実施の形態においては、基板用カセット１００の両側に、基板搬入搬出装置３００，３００Ａを配置する場合について説明しているが、ガイドピン３２０，３２０Ａの長さを適宜選択することにより、基板用カセット１００の一方側にのみ基板搬入搬出装置３００，３００Ａを配置する構成の採用も可能である。
【００３５】
また、基板用カセットの一例として、ワイヤを横方向に張り渡した形態を有する基板用カセット１００を用いた場合について説明したが、横方向に張り渡した支持部材を備える基板用カセットであれば、どのような形態の基板用カセットであっても、本発明に基づく基板搬送装置の適用が可能である。
【００３６】
また、図示した実施の形態に限られることなく、適宜特徴部分を組み合わせて用いることにより、様々な形態の基板搬送装置を実現させることが可能である。また、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、本発明の本質は、基板を上下方向に複数枚収容し、水平方向に基板の出し入れを可能とする基板用カセットに用いられ、基板用カセットに対して、基板の出し入れを行なうための基板搬送装置であって、基板用カセットの側方において、基板用カセットの側面に設けられた開口領域から、基板用カセットの内部に挿入・挿出可能に設けられるとともに、基板を下方面側から受けて、基板をスライド可能に支持しながら、基板の搬入・搬出を行なう基板搬入搬出装置を備えている点にある。
【００３７】
したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】この発明に基づいた実施の形態における基板搬送装置の概略構成を示す全体側面図である。
【図２】この発明に基づいた実施の形態における基板搬送装置の構成を示す全体斜視図である。
【図３】この発明に基づいた実施の形態におけるガイドピンの構成を示す部分拡大斜視図である。
【図４】この発明に基づいた実施の形態における基板搬送装置を用いたガラス基板の搬出動作を示す第１平面模式図である。
【図５】この発明に基づいた実施の形態における基板搬送装置を用いたガラス基板の搬出動作を示す第２平面模式図である。
【図６】この発明に基づいた実施の形態における基板搬送装置を用いたガラス基板の搬出動作を示す第３平面模式図である。
【図７】この発明に基づいた実施の形態における基板搬送装置を用いたガラス基板の搬出動作を示す部分拡大斜視図である。
【図８】この発明に基づいた他の実施の形態における基板搬入搬出装置の構成を示す全体斜視図である。
【図９】この発明に基づいた他の実施の形態におけるガイドピンの構成を示す部分拡大斜視図である。
【図１０】この発明に基づいた他の実施の形態における基板搬入搬出装置の構成を示す全体斜視図である。
【図１１】この発明に基づいた他の実施の形態における基板支持ステージ昇降装置の構成を示す全体側面図である。
【図１２】この発明に基づいたさらに他の実施の形態における基板搬入搬出装置の構成を示す全体斜視図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  ガラス基板、１００  基板用カセット、１０１  フレーム、１０３  ワイヤ部材、１０４  開口領域、２００  基板用カセット昇降装置、２１０  上部ステージ、２２０  下部ステージ、２３０，２４０  支持プレート、２５０  回動軸、２７０  油圧ジャッキ、３００，３００Ａ，３００Ｂ  基板搬入搬出装置、３１０，５１０  本体装置、３２０，３２０Ａ  ガイドピン、３２１  回動軸ピン、３２２  樹脂ローラ、３２３  エアー突出孔、３３０  ガイドレール、３４０  昇降機構、４００  基板支持ステージ、４１０  ガイドローラ、５００  ロボットアーム、６００  基板支持ステージ昇降装置、１０００  基板搬送装置、Ｐ１  枢軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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