(57)【要約】【課題】  再生振幅方式の振幅サーボ磁化パターンをノイズの発生をともなうことなく磁気記録媒体へ良好に磁気転写できる磁気転写用パターンドマスター担体を提供する。【解決手段】  トラック幅方向ｒに隣接して配置されたバーストビット列31，32によるサーボバースト信号を有し、トラック幅方向ｒに隣接配置されたサーボバースト信号の間の中間トラックに、磁気転写時に磁界を吸い込む凸部または磁性層によるベタ凸部315，325を形成してなる振幅サーボ転写パターン30を表面に有するマスター担体３を用いて磁気記録媒体２に磁気転写する。磁気記録媒体２ではベタ凸部は磁化反転しない領域となり、ノイズの原因となる記録がされずに、トラッキングサーボが良好に行える。【選択図】      図１
2006114173.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を有し、該トラック幅方向に隣接配置されたサーボバースト信号の間の中間トラックに、磁気転写時に磁界を吸い込む凸部または磁性層を形成してなる振幅サーボ転写パターンを表面に有することを特徴とする磁気転写用パターンドマスター担体。
【請求項２】
前記バーストビット列の各ビットのトラック方向の長さに対するトラック幅方向の長さの比が２以下であることを特徴とする請求項１記載の磁気転写用パターンドマスター担体。
【請求項３】
前記振幅サーボ転写パターンに続いて形成されたデーター部は、凹部または磁性層が形成されていないことを特徴とする請求項１または２記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の磁気転写用マスター担体を用いて振幅サーボ磁化パターンが磁気記録層に磁気転写により記録されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項５】
磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドに対向して配置されるプリフォーマットされた磁気記録媒体と、前記磁気ヘッドを駆動させる手段と、前記磁気記録媒体を駆動させる手段と、前記磁気ヘッドとの間で信号を授受して処理する記録再生信号処理手段と、を備えた磁気記録再生装置であって、
前記磁気記録媒体のプリフォーマットが請求項１〜３のいずれかに記載の磁気転写用マスター担体を用いて記録されていることを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振幅再生方式のサーボ信号に対応する磁化ビットパターンを磁気転写するために用いる磁気転写用パターンドマスター担体、および、それを用いて振幅サーボ磁化パターンが記録された磁気記録媒体、並びに、該磁気記録媒体を格納してなる磁気記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体においては一般に、情報量の増加に伴い、多くの情報を記録する大容量で、安価で、かつ、好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せる、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれており、各種の高密度磁気記録媒体が知られている。これらの高密度磁気記録媒体は情報記録領域が狭トラックで構成されており、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドにより走査させて高いＳ／Ｎで信号を再生するためには、いわゆるトラッキングサーボ技術が大きな役割を担っている。このトラッキングサーボを行うために、従来、磁気ディスク等では、セクターサーボ方式等が広く採用されている。
【０００３】
セクターサーボ方式とは、磁気ディスク媒体等の磁気記録媒体のデータ面に、一定角度で規則正しく配置されたサーボフィールドに、トラック位置決めのためのサーボ信号や、そのトラックのアドレス情報信号、再生クロック信号等のサーボ情報を記録しておき、磁気ヘッドがこのサーボフィールドを走査してサーボ情報を読み取り自らの位置を確認および修正する方式である。
【０００４】
トラック位置決めのためのサーボ信号には、サーボ信号の再生振幅情報を用いる方式が一般的に採用されている。一般的なサーボパターンは、サーボ信号がＡ、Ｂ、ＣおよびＤバーストからなり、ＡバーストおよびＢバーストを構成するＡバーストビット列およびＢバーストビット列の各ビットがトラック中心線より１／２トラック幅ずつずらせて記録されるものである。再生磁気ヘッドがサーボフィールドを通過する際に、Ａ、Ｂバーストビット列からの再生信号振幅が同じになるように位置決めサーボがかかる。
【０００５】
サーボ情報は、磁気記録媒体の製造時にプリフォーマットとして予め磁気記録媒体に記録する必要があり、現在は専用のサーボ記録装置を用いてプリフォーマットが行われている。現在用いられているサーボ記録装置は、例えばトラックピッチの７５％程度のヘッド幅を有する磁気ヘッドを備え、磁気ヘッドをディスクに近接させた状態でディスクを回転させつつ、１／２トラック毎にディスク外周から内周に移動させつつサーボ信号を記録する。そのため、１枚のディスクのプリフォーマット記録に長時間を要し、生産効率の点で問題がある。
【０００６】
一方、このプリフォーマットを正確にかつ効率よく行う方法として、マスター担体に形成されたサーボ情報を担持するパターンを磁気記録媒体へ磁気転写により転写する方法が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００７】
この磁気転写は、磁気ディスク媒体等の磁気記録媒体（スレーブ媒体）に転写すべき情報に応じた凹凸パターンからなる転写パターンを有するパターンドマスター担体を用い、このマスター担体と磁気記録媒体を密着させた状態で、転写用磁界を印加することにより、マスター担体の凹凸パターンが担持する情報（例えばサーボ信号）に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に磁気的に転写するもので、マスター担体と磁気記録媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している。
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献２】特開平１０−２６９５６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、例えば磁気ヘッドのトラック位置決めのためのサーボ信号として用いられる振幅サーボパターンは、前記特許文献１，２に図示されているように、略１トラック分の間隔をもって異なるトラックにトラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を含むものであり、異なるトラックに配置されたバーストビット列の間には略１トラック分の無信号領域が存在するものであるが、特に磁気転写によって当該サーボパターンが記録された場合には、上記無信号領域にノイズの原因となる磁化が行われる問題がある。
【０００９】
つまり、上記のようなサーボバースト信号等の信号パターンを磁気転写によって記録した際に、トラック幅方向に隣接配置されたビット列信号の間は、転写パターンがないために、反転磁界が不足してサブピーク等が発生しやすく、本来無信号である領域に不明瞭で不必要な磁化がなされる結果、高いノイズが生じる問題がある。
【００１０】
また、前記信号パターンにおいて、異なるトラック上にトラック幅方向に隣接してビットエレメント列が配置されていることから、磁気転写のための外部磁界が印加されると、両ビット列間の中間トラック上には両側のビットエレメントから噴出した磁場が生じ、これが磁気記録媒体にそのまま転写記録され、ノイズの原因となっていた。
【００１１】
現在、磁気ディスク媒体のさらなる大容量化を目指し、トラック幅の狭小化が図られ、例えばトラックピッチ２００ｎｍ程度以下のものが実現化されようとしている。このトラックピッチの狭小化に伴いサーボ信号の場合における各バーストビット列からの再生振幅が小さくなるために、上記ノイズの影響によりトラッキングの位置決め精度が低下する虞もある。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑み、再生振幅方式の振幅サーボ磁化パターンをノイズの発生をともなうことなく磁気記録媒体へ良好に磁気転写できる磁気転写用パターンドマスター担体を提供することを目的とする。また、この磁気転写用パターンドマスター担体を用いて振幅サーボ磁化パターンが記録された磁気記録媒体、この磁気記録媒体を用いる磁気記録再生装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の磁気転写用パターンドマスター担体は、トラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を有し、該トラック幅方向に隣接配置されたサーボバースト信号の間の中間トラックに、磁気転写時に磁界を吸い込む凸部または磁性層を形成してなる振幅サーボ転写パターンを表面に有することを特徴とするものである。
【００１４】
前記バーストビット列の各ビットのトラック方向の長さに対するトラック幅方向の長さの比が２以下であることが望ましい。
【００１５】
前記振幅サーボ転写パターンに続いて形成されたデーター部は、凹部または磁性層が形成されていないことが好適である。
【００１６】
本発明の磁気記録媒体は、本発明の磁気転写用マスター担体を用いて振幅サーボ磁化パターンが磁気記録層に磁気転写により記録されたことを特徴とするものである。
【００１７】
磁気転写された磁気記録媒体上のバーストビットはマスター担体上のバーストビットエレメントに１：１で対応するものであり、同様に、磁気記録媒体上のバーストビット列はマスター担体上のエレメント列に対応するものである。
【００１８】
磁気記録媒体に記録される振幅サーボ磁化パターンにおけるバーストビットエレメント列を構成するバーストビットは単数でも複数でもよいが、複数の場合は、各記録領域のトラック幅方向記録長が等しく、また、トラック幅方向における端部位置が一致しているものである。同様に磁気転写用パターンドマスター担体の表面に形成されているエレメント列を構成するバーストビットエレメントは単数でも複数もよいが、複数の場合は、各ビットエレメントの上面のトラック幅方向の長さが等しく、またトラック幅方向における端部位置が一致しているものである。
【００１９】
本発明の磁気記録再生装置は、磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドに対向して配置されるプリフォーマットされた磁気記録媒体と、前記磁気ヘッドを駆動させる手段と、前記磁気記録媒体を駆動させる手段と、前記磁気ヘッドとの間で信号を授受して処理する記録再生信号処理手段と、を備えた磁気記録再生装置であって、前記磁気記録媒体のプリフォーマットが請求項１〜３のいずれかに記載の磁気転写用マスター担体を用いて記録されていることを特徴とするものである。
【００２０】
なお、上記「プリフォーマットされた磁気記録媒体」は、磁気記録再生装置の磁気ヘッドに対して読み書き可能な位置に配置され得るものであり、磁気記録再生時以外において磁気記録媒体は前記位置に固定された状態であっても、着脱可能な状態であってもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の磁気転写用パターンドマスター担体は、トラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を有し、該トラック幅方向に隣接配置されたサーボバースト信号の間の中間トラックに、磁気転写時に磁界を吸い込む凸部または磁性層を形成してなる振幅サーボ転写パターンを表面に有することにより、これを用いて磁気記録媒体へ磁気転写するための転写用磁界が作用した際に、凸部または磁性層に磁界が吸い込まれてトラック幅方向に隣接配置されたサーボバースト信号の間の無信号部位への磁界の噴き出しが少なく、中間トラックの無信号部位での磁化反転が生じることなく、ノイズの少ない磁気転写が実行できる。
【００２２】
さらに、本発明の磁気記録媒体は、記録されたサーボパターンにおけるトラック幅方向に隣接配置されたサーボバースト信号の間の中間トラックに、磁界の噴き出しなどに起因するノイズが記録されないことにより、ヘッド走査時のノイズ感知を少なくすることができるため、バースト信号の検出に基づく精度の良いトラッキングが行える。
【００２３】
また、特に２００ｎｍ以下のような狭トラック幅を有するものである場合には、従来バーストビットからの再生出力の低下、Ｓ／Ｎの低下が問題となっていたが、再生出力が低下してもノイズ比を小さくすることができ、振幅再生サーボの再生信号の振幅に基づく位置サーボを容易に制御することができる。
【００２４】
また、ディスクに記録されるバーストビットのトラック方向の長さが内周部と外周部とで異なる場合に、そのトラック方向の長さの大きい外周部において隣接するバーストビット列間でのノイズが大きくなる傾向にあるが、バーストビット列の各ビットのトラック方向の長さに対するトラック幅方向の長さの比が２以下になるような領域において、前述のように凸部または磁性層を形成したことによるノイズ低減効果を顕著に得ることができる。
【００２５】
さらに、本発明の磁気記録再生装置は、磁気記録媒体に記録されたサーボ信号を誤認識することなく検知して高精度なトラッキングサーボが実現可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一つの実施の形態に係る磁気転写用パターンドマスター担体の上面図、転写パターンの一部の拡大図、一部断面図であり、図２は磁気転写の基本工程を順に説明するための図である。図３は本発明の磁気記録媒体の記録再生層に記録された一つの実施形態のサーボ信号の磁化パターンの一部を示す拡大図である。
【００２７】
本発明のパターンドマスター担体３を図１に基づいて説明する前に、図３に基づいて磁気転写により磁気記録媒体２（図２参照）に記録された振幅サーボ磁化パターン１０の一例を説明する。
【００２８】
振幅サーボ磁化パターン１０は磁気記録媒体２の記録再生層２ａに記録されるものであり、磁気記録媒体２は、高密度フレキシブルディスク、ハードディスク等の円盤状の磁気記録媒体であり、支持体の片面もしくは両面に磁性層からなる記録再生層２ａを設けた構成である。なお、特に、高密度化達成のためには、薄層塗布磁性層あるいは金属薄膜磁性層等を記録再生層としたものが好適である。支持体はフレキシブルなものでもハードなものでもよい。
【００２９】
磁気記録媒体２の記録再生層２ａには、同心円状もしくはらせん状にトラックＴnが形成されており、そのトラックＴnに磁化パターンによって振幅サーボ磁化パターン１０が記録される。振幅サーボ磁化パターン１０すなわちサーボ信号は、磁気ディスク記録媒体の場合、中心部から等間隔で略放射状に延びる細幅の領域に形成されるサーボフィールド内に記録される信号であり、再生時にヘッドのトラッキングサーボに用いられる信号である。この磁化パターンで記録された振幅サーボ磁化パターン１０は、必要に応じて磁気現像等の手段で可視化し確認することができる。
【００３０】
振幅サーボ磁化パターン１０が記録される磁気記録媒体２のトラックＴnは、図３に示すように、データトラックＤとガードバンドＧがトラック幅方向ｒに順次隣接して形成されている。なお、データトラックＤの幅ＷdとガードバンドＧの幅Ｗgを合わせた幅Ｗtがいわゆるトラックピッチに相当する。ここで、このトラックピッチＷtを好ましくは２００ｎｍ程度以下とする。図中には参考のために模式的に再生ヘッド１５を示す。再生ヘッド１５はデータトラックを通るようにサーボにより位置決めがされる。再生ヘッド１５のトラック幅方向長は一般にデータトラック幅Ｗdよりも短い。図中矢印ｘはトラック方向を示し、矢印ｒはトラック幅方向を示すものである。なお、矢印ｒは磁気ディスク媒体の径方向と一致するものである。
【００３１】
振幅サーボ磁化パターン１０は、トラック方向ｘに順にＡ，Ｂ，ＣおよびＤバーストからなる再生振幅サーボによる位置制御のためのトラッキングサーボ信号で構成されるが、図３には４トラックＴn+1〜Ｔn+4の一部に記録されているＡバーストおよびＢバーストを形成するＡバーストビット列１１およびＢバーストビット列１２の部分のみ示し、各バーストビット列１１，１２は各々複数の矩形状のバーストビット１１１ａ，１１２ａ，１２１ｂ，１２２ｂ，１２３ｂの列状配置で構成される。なお、磁気記録媒体２の磁化パターンにおいては、斜線で示す部分が磁気転写時の非磁化反転領域（磁化反転しない領域）であり、この斜線部分と無地の部分（空白部位）とは互いに逆向きに磁化されている。また、この一つのバーストビット（斜線部）のトラック方向の長さとその次のバーストビットまでの無地の部分のトラック方向の長さの比は１：１とされる。そして、これら一つの斜線部または一つの無地の部分が１ビットに相当し、従って、３６０°の位相の中に２ビット含まれることになる。
【００３２】
このサーボパターン１０におけるＡバーストビット列１１およびＢバーストビット列１２の記録領域は、データトラックＤの幅方向の略中央より隣接するデータトラックＤの幅方向の略中央に跨って配置され、Ａバーストビット列１１とＢバーストビット列１２がトラック幅方向ｒに交互に記録される。また、不図示のＣバーストおよびＤバーストを形成するＣバーストビット列およびＤバーストビット列は、前記ＡおよびＢバーストビット列１１，１２と同様のバーストビットで構成され、その記録領域は一方が奇数トラックに他方が偶数トラックに、それぞれデータトラックＤの幅中央を中心として略１トラックピッチＷtの長さに記録される。
【００３３】
上記振幅サーボ磁化パターン１０における各バーストビット列を構成する複数のバーストビット（例えば、トラックＴn+1とトラックＴn+2とに跨るＡ１バーストビット列を構成する複数（図３では５つ）のバーストビット１１１ａ，１１１ａ，…）は、互いに、各記録領域のトラック幅方向ｒの記録長が等しく、かつ、トラック幅方向ｒにおける端部位置が一致している。
【００３４】
図３において、ヘッド１５を第２のトラックＴn+2に位置決めするために、Ａ１バーストビット列およびＢ２バーストビット列が用いられ、Ａ１バーストビット列は第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨っており、Ｂ２バーストビット列は第２のトラックＴn+2および第３のトラックＴn+3に跨っている。上記第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨って記録されているＡ１バーストビット列は、第１のトラックＴn+1上にヘッド１５を位置決めするためにも用いられるものであり、一方、第２のトラックＴn+2および第３のトラックＴn+3に跨って記録されているＢ２バーストビット列は、第３のトラックＴn+3上にヘッド１５を位置決めする際にも用いられるものである。
【００３５】
そして、第２のトラックＴn+2を走行するヘッド１５には、Ａ１バーストビット列とＢ２バーストビット列からの再生振幅が同等となるように位置サーボがかかり第２のトラックＴn+2に位置決めされる。
【００３６】
上記の振幅サーボ磁化パターン１０において、第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨って記録されているＡ１バーストビット列と、第３のトラックＴn+3および第４のトラックＴn+4に跨って記録されているＡ２バーストビット列とは、略１トラックピッチ幅Ｗtの間隔の無信号領域（中間トラックと呼ぶ）をもって、トラック幅方向ｒに隣り合って記録されるものであるが、両者の間の中間トラックは全体がベタ状非反転領域１１５に構成されている。Ｂ１〜Ｂ３のＢバーストビット列１２においても同様に、１トラックピッチ幅Ｗtに相当する間隔を持って隣り合うＢ１バーストビット列とＢ２バーストビット列の間、およびＢ２バーストビット列とＢ３バーストビット列の間の中間トラックは全体がベタ状非反転領域１２５に構成されている。
【００３７】
このように、Ａ，Ｂ，ＣおよびＤの各バーストビット列の各々において、トラック幅方向ｒに隣り合うバーストビット列（例えば、Ａバーストビット列におけるＡ１バーストビット列とＡ２バーストビット列）の間にベタ状非反転領域１１５，１２５を配置した振幅サーボ磁化パターン１０によると、この無信号領域を磁化反転によって形成する場合には、磁気転写時に両側のビットエレメントからの磁界の噴き出しによって、ノイズの原因となる不明瞭な磁化反転が発生するのに対して、この領域を磁化反転させない領域としたことで、磁気転写時に両側のビット列信号からの磁界の噴出しに起因する不明瞭な磁化反転によるノイズの発生が防止できる。従って、この部位を磁気ヘッド１５が走査しても、ノイズのない無信号領域として機能してノイズを検出することがなく、バースト信号の検出に基づく精度の良いトラッキングが行える。
【００３８】
なお、上記振幅サーボ磁化パターン１０における図示していないＣバーストビット列およびＤバーストビット列においても同様に、またはこのＣバーストビット列およびＤバーストビット列にのみ隣接するビット列の間の中間トラックを上記と同様のベタ状非反転領域で構成してもよい。
【００３９】
上記のような振幅サーボ磁化パターン１０の磁気記録媒体２への記録は、そのバーストビット形状の任意性等より磁気転写によって行う。
【００４０】
次に、上記振幅サーボ磁化パターン１０を磁気転写によって磁気記録媒体２に記録する磁気記録媒体２の作製方法を、図１および図２に基づいて説明する。その作製方法の概略は、前述のような異なるトラックに隣接配置されたサーボバースト信号の中間トラックで磁化反転が生じないように磁界を吸い込む凸部または磁性層になっている振幅サーボ転写パターン３０を表面に有する磁気転写用パターンドマスター担体３の該表面と、磁気記録媒体２の記録再生層２ａとを密着させ、該密着させた磁気転写用パターンドマスター担体３と磁気記録媒体２に磁界を印加して、振幅サーボ転写パターン３０に対応した磁化パターンを磁気記録媒体２の記録再生層２ａに磁気転写してなるものである。
【００４１】
この磁気転写に用いる磁気転写用パターンドマスター担体３を図１に示す。図１の(ａ)はマスター担体上面図、(ｂ)は同図(ａ)の一部の拡大図、(ｃ)は同図(ｂ)のIII−III断面図である。
【００４２】
図１(ａ)に示すように、パターンドマスター担体３はディスク状であり、その中心部から等間隔で略放射状に延びる細幅の領域にサーボフィールド４が形成されている。該マスター担体３のサーボフィールド４には、記録する振幅サーボ磁化パターンすなわちサーボ信号に対応する凹凸パターンによる図１(ｂ)のようなサーボ転写パターン３０が形成されている。また、各トラックのサーボフィールド４に続く領域はデーター部５であり、使用者が任意のデーターを記録再生するために使用され、このデーター部５には基本的に磁気転写によっては何も記録されない。
【００４３】
図１(ｂ)は、パターンドマスター担体３表面のサーボフィールド４内の転写パターン３０における、図３と同等のＡバーストビット列およびＢバーストビット列に対応するＡエレメント列３１およびＢエレメント列３２の部分拡大図である。磁気記録媒体２上のトラックと同等のトラックを有し、該トラックに沿って凹凸パターンが形成されている。図３に対応するトラックＴnおよびデータトラックＤおよびガードバンドＧおよびそれぞれの幅は同一の符号で示している。
【００４４】
図１(ｂ)中斜線で示す部分は、後述のように先端面に磁性層４２を有し、磁気転写時に磁界を吸い込む凸部であり、その他の無地の空白部位が凹部または磁性層がない領域であり、磁気転写時には、空白部位に対応する記録再生層２ａで磁化反転が生じ、斜線部位の凸部に対応する記録再生層２ａでは磁化反転が発生しない。
【００４５】
転写パターン３０が形成されるサーボフィールド４の間のデーター部５は、図１(ｂ)の空白部位と同様に、磁化反転が生じる凹部または磁性層がない領域に構成される。データー部５のマスター担体３の表面を凹状もしくは磁性層がない状態に形成すると、磁気記録媒体２との密着時にエアが排出され、密着性が高められると共に、マスター担体３の作成工程が容易となり、コスト面などで有利となる。
【００４６】
前述の転写パターン３０は、前述のＡ１バーストビット列を構成するバーストビットエレメント１１１ａと同じくＡ２バース卜ビット列を構成するバーストビットエレメント１１２ａにそれぞれ対応するバーストビットエレメント３１１ａと３１２ａ、およびＢ１バーストビット列のバーストビットエレメント１２１ｂとＢ２バーストビット列のバーストビットエレメント１２２ｂにそれぞれ対応するバーストビットエレメント３２１ｂと３２２ｂの凸部上面である。Ａ１バーストビット列は第１のトラックＴn+1と第２のトラックＴn+2に跨って形成されており、Ｂ２バーストビット列は第２のトラックＴn+2と第３のトラックＴn+3に跨って形成されている。
【００４７】
さらに、振幅サーボ転写パターン３０において、第１のトラックＴn+1および第２のトラックＴn+2に跨って記録されているＡ１バーストビット列と、第３のトラックＴn+3および第４のトラックＴn+4に跨って記録されているＡ２バーストビット列とは、略１トラックピッチ幅Ｗtの間隔をもって、トラック幅方向ｒに隣り合って記録されるものであるが、両者の間の中間トラックの部位は、磁気転写時に磁界を吸い込んで磁化反転が生じないベタ凸部３１５に形成されている。Ｂ１〜Ｂ２のバーストビット列においても同様に、略１トラックピッチ幅Ｗtに相当する間隔を持って隣り合うエレメント３２１ｂとエレメント３２２ｂの間の中間トラックの部位が、磁気転写時に磁界を吸い込んで磁化反転が生じないベタ凸部３２５に形成されている。
【００４８】
図１(ｃ)に一部断面図を示すように、パターンドマスター担体３は、表面に凹凸パターンを有する基板４１と、該基板４１上に形成された磁性層４２とを備えてなるものである。本実施形態においては磁性層４２の凸部３２２ｂがＢバーストビット列の各エレメント(Ａバーストビットエレメント３１１ａも同様)およびベタ凸部３１５，３２５を構成している。
【００４９】
基板４１はＮｉ、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、セラミックス、合成樹脂等からなるものを用いることができるが、Ｎｉからなるもの、もしくはＮｉを主成分とする合金からなるものが特に好ましい。
【００５０】
磁性層４２の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いることができ、特に好ましいのはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。特にＦｅ70Ｃｏ30が好ましい。なお、基板４１上に配される磁性層４２としては、軟磁性もしくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層を用いることにより、より良好な転写を行うことができる。さらに、磁性層は、基板の飽和磁化よりも高い飽和磁化値を有するものであることが好ましい。
【００５１】
表面に凹凸パターンを有する基板４１の作製は、スタンパー法、フォトリソグラフィー法等を用いて行うことができる。パターンドマスター担体３の作製例は、まず、信号パターンに応じた凹凸パターン（凹凸パターンの凹部と凸部が反転したものを含む）を表面に有する第１の原盤を作製し、この第１の原盤を用いて電鋳により上記凹凸パターンを表面に有する金属板を作製する方法により得ることができる。
【００５２】
表面に凹凸パターンを有する第１の原盤は、フォトリソグラフィー法等を用いて製造することができる。以下、シリコンウエハーを用いて原盤を作製する方法を説明するが、シリコンウエハーの代わりに、石英板またはガラス板を使用することもできる。
【００５３】
まず、表面が平滑なディスク状のシリコンウエハー上にポジ型電子線レジスト層をスピンコート等で設ける。これを回転させながら上記の信号パターンに対応して変調した電子ビームでレジスト層に照射を与え、レジスト層全面を上記信号パターン状に照射する。例えば、この信号パターンが磁気ディスクに使用されるサーボ信号の場合には、一定の間隔をおいて同心円状に形成される多数（例えば、数万）のトラックの各トラック上に、一定間隔で複数（例えば、２００）設けられるセクターの各セクターの一部に、円周方向に延びるサーボ信号に相当するパターンの照射を与える。このようにして、レジスト全面にパターンの照射を与えた後、レジストを現像処理して電子ビームで照射された部分のレジストをシリコンウエハー上から除去し、凸部がレジストで構成され、照射部のレジストが除去されてシリコンウエハー表面が露出した部分が凹部を構成する凹凸形状をその表面に有するシリコンウエハー、すなわち第１の原盤が得られる。
【００５４】
このようにして作製された第１の原盤を用いて、電鋳が行われる。すなわち、上記第１の原盤の凹凸表面上に、必要により、ニッケルまたは銀などの金属をスパッタリング、蒸着または無電解メッキして、薄い導電性膜を形成してから、Ｎｉを前記凸部の高さよりも十分に厚くなるように電気メッキする。その後、電気メッキされたＮｉと第１の原盤とを剥離することにより、表面に前記サーボ信号に相当する、前記電子ビームで照射された部分が凸部を構成する凹凸のパターンを有するＮｉ板（以下、第１の鋳型という）が得られる。このようにして得られた第１の鋳型をそのままで、または更にその凹凸表面に軟磁性層および保護層をこの順に設けたものを、パターンドマスター担体として使用する。
【００５５】
また、前記第１の鋳型を第２の原盤として更に電鋳を行って表面に凹凸を有するＮｉ板（以下、第２の鋳型という）を作製し、これをそのままで、または更にその凹凸表面上に軟磁性層および保護層をこの順に設けた上で、パターンドマスター担体として使用することもできる。この場合、第１の原盤を作製する際に、(１)電子線レジストとしてネガ型のものを使用し、かつサーボ信号に相当する信号パターン状に電子線を照射するか、または(２)電子線レジストとしてポジ型のものを使用し、かつサーボ信号に相当する信号パターンの反転パターン状に電子線を照射することが好ましい。この態様においては、第２の原盤から複数のパターンドマスター担体を作製することができる利点がある。
【００５６】
また、第２の原盤をスタンパーとして使用して、スタンパー法で凹凸の表面を有する樹脂製のディスクを成形し、その凹凸表面上に軟磁性層および保護層をこの順に設けたものをマスター担体とすることも可能である。
【００５７】
一方、前記と同様にして、第１の原盤を作製した後、その表面をエッチング処理すると、凸部を形成しているレジストがエッチングレジストとして機能するので、凹部に相当する部分のシリコンウエハーの表面を選択的にエッチングすることができる。このようにエッチング処理してから、凸部を構成するレジストを除去することによって、シリコンウエハー自体の表面に凹凸のパターンを有する第３の原盤が得られる。この第３の原盤を用いて、上記と同様にして電鋳を行うことにより、表面に凹凸を有するＮｉ板（第３の鋳型）を作製することができる。この第３の鋳型をそのままで、または更にその凹凸表面上に軟磁性層および保護層をこの順に設けて、マスター担体とすることもできる。この態様の場合も、第３の原盤から複数のマスター担体を作製することができる。
【００５８】
マスター担体３の凸部高さ（凹凸パターンの深さ）は、２０〜５００ｎｍの範囲が好ましく、より好ましくは４０〜１００ｎｍである。この凹凸パターンがサンプルサーボ信号である場合は、トラック方向となる円周方向よりも半径方向に長い矩形状の凸部が形成される。
【００５９】
基板の凹凸パターン上への軟磁性層の形成は、軟磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、電気メッキ、無電解メッキのようなメッキ法などを用いて行う。軟磁性層の厚み（凸部上面の磁性層の厚み）は、２０〜５００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは３０〜１００ｎｍである。
【００６０】
また、この凸部表面の磁性層４２の上に３〜３０ｎｍのカーボンまたはダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護層を設けることが好ましく、さらに潤滑剤層を設けても良い。また、軟磁性層と保護層の間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤を設けることにより、磁気記録媒体との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などを抑制し、耐久性をより向上させることができる。
【００６１】
磁気転写用パターンドマスター担体３の構成としては、上記実施形態のマスター担体のものに限らず、基本的にサーボ信号を凹凸パターンとして備えた担体であればよく、凹凸パターンを表面に有する磁性体基板のみからなるもの、凹凸パターンを表面に有する基板と該基板上の少なくとも凸部上面に積層された磁性層とからなるもの、凹凸パターンを表面に有する非磁性基板と該基板の凹部に埋め込まれた磁性層とからなるもの、平板基板上に表面に凹凸パターンを有する磁性層が形成されてなるもの等であってもよい。なお、凹凸パターンを表面に有する非磁性基板と凹部に埋め込まれた磁性層とからなるパターンドマスター担体の場合、上記ビットエレメントは、凹部に埋め込まれた磁性層により構成されるものとなる。
【００６２】
また、バーストビット列の各ビット（エレメント）のトラック方向ｘの長さに対するトラック幅方向ｒの長さの比（アスペクト比）が２以下である。これは、振幅サーボパターンの場合、図１(ａ)に示すサーボフィールド４は内周と外周とで、サーボのバースト信号のトラック方向の長さが相違し、外周で長く、内周で短くなることから、上記アスペクト比は内周より外周の方が２以下に小さくなる。このアスペクト比が小さいバーストビットエレメントから噴出する磁界が大きい円弧となり、その分だけノイズが大きくなる。従って、このようなアスペクト比が２以下となるような小さな値のエレメントが形成される領域で、上記のようなノイズ低減効果が大きく発揮され、再生信号の検出によりサーボ機能を確保できる。
【００６３】
次に、上述の磁気転写用パターンドマスター担体３を用いて磁気ディスク記録媒体２に磁化パターンを磁気転写により記録する方法について図２を参照して説明する。
【００６４】
図２は、この磁気転写の基本工程を説明するための図であり、図２(ａ)は磁場を一方向に印加して磁気記録媒体を初期直流磁化する工程、同図(ｂ)はマスター担体と磁気記録媒体とを密着して初期磁化方向と反対方向磁界を印加する工程、同図(ｃ)は磁気転写後の状態をそれぞれ示す図である。
【００６５】
まず、図２(ａ)に示すように、予め磁気記録媒体２に初期磁界Ｈinをトラック方向の一方の向きに印加して記録再生層2aの磁化を該一方の向きに初期磁化させる。その後、図２(ｂ)に示すように、この磁気記録媒体２の記録面とマスター担体３の転写パターン面とを密着させ、磁気記録媒体２のトラック方向に前記初期磁界Ｈinとは逆向きの転写用磁界Ｈduを印加する。磁気記録媒体２の記録面とマスター担体３の転写パターンの凸部とが密着した箇所において、磁界Ｈduはマスター担体３の凸部磁性層４２に吸い込まれ、この部分に対応する磁気記録媒体２の記録再生層2aの磁化は反転せず、マスター担体３の凹部に対応する記録再生層2aの磁化がマスター担体３の凸部からの漏れ磁界により反転する。その結果、図２(ｃ)に示すように、磁気記録媒体２の記録再生層2aにはマスター担体３の表面の凹凸パターンに応じた磁化パターンが磁気転写記録される。
【００６６】
なお、初期磁界および転写用磁界は、磁気記録媒体２の磁性層の保磁力、マスター担体および磁気記録媒体２の磁性層の比透磁率を勘案して定められた値を採用する必要がある。
【００６７】
上述した振幅サーボ磁化パターン１０をプリフォーマットした磁気記録媒体２を用いる磁気記録再生装置は、図示してないが、磁気ヘッドと、この磁気ヘッドに対向して配置されるプリフォーマットされた磁気記録媒体２と、磁気ヘッドを駆動させる手段と、磁気記録媒体２を駆動させる手段と、磁気ヘッドとの間で信号を授受して処理する記録再生信号処理手段とを備えてなる。そして、磁気記録媒体２のプリフォーマットがトラック幅方向に隣接して配置されたバーストビット列によるサーボバースト信号を有する振幅サーボ磁化パターンを含み、トラック幅方向に隣接配置されたサーボバースト信号の間の中間トラックの部位が、ベタ状非磁化反転領域になっていることで、ノイズが少ない再生信号の振幅を大きくすることができるので、精度の高い位置サーボを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の一つの実施形態にかかる磁気転写用パターンドマスター担体の上面図、一部拡大上面図および一部断面図
【図２】磁気転写方法の基本工程を示す図
【図３】磁気記録媒体に記録された振幅サーボ磁化パターンの実施の形態を示す一部拡大図
【符号の説明】
【００６９】
２    磁気記録媒体
2a    記録再生層
３    磁気転写用パターンドマスター担体
10    振幅サーボ磁化パターン
30    振幅サーボ転写パターン
11,31   Ａバーストビット列
111a    バーストビット／エレメント
115,125   ベタ状非反転領域
12,32   Ｂバーストビット列
311a    バーストビットエレメント
315,325   ベタ凸部
41    マスター担体基板
42    磁性層
【図１】
2006114173.tif 000003
【図２】
2006114173.tif 000004
【図３】
2006114173.tif 000005