(57)【要約】【課題】回折角を維持しかつ回折効率を向上できるようにした回折光学素子、及びこの回折光学素子を用いた光通信モジュールを提供する。【解決手段】この回折光学素子１は、異なる波長を分波する回折格子を有し、回折格子は、回折面頂部２と回折面底部４とが光軸方向Ｐに沿った立ち上がり面部３を介して凹凸形状を繰り返す２レベルのバイナリー構造で構成され、回折面頂部及び回折面底部が立ち上がり面部に垂直な方向に対し所定の角度で傾斜している。【選択図】  図１
2006285222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる波長を分波する回折格子を有し、前記回折格子は、回折面頂部と回折面底部とが光軸方向に沿った立ち上がり面部を介して凹凸形状に繰り返すバイナリー構造を有し、
前記回折面頂部及び前記回折面底部が前記立ち上がり面部に垂直な方向に対し所定の角度で傾斜していることを特徴とする回折光学素子。
【請求項２】
前記回折格子は入射光が透過するように構成されている請求項１に記載の回折光学素子。
【請求項３】
前記回折面頂部及び前記回折面底部の前記立ち上がり面部に垂直な方向に対する傾斜角が２乃至７度の範囲内である請求項２に記載の回折光学素子。
【請求項４】
前記回折面頂部及び前記回折面底部の前記立ち上がり面部に垂直な方向に対する傾斜角が３乃至６度の範囲内である請求項２に記載の回折光学素子。
【請求項５】
前記凹凸形状の光軸方向高さＨ１が次式を満足するように決められている請求項２乃至４のいずれか１項に記載の回折光学素子。
Ｈ１＝（λ／（ｎ−１））・Ｋ
但し、λ：入射光の波長
ｎ：回折格子の材料の屈折率
Ｋ：３または４
【請求項６】
前記回折格子は入射光が反射するように構成されている請求項１に記載の回折光学素子。
【請求項７】
前記回折面頂部及び前記回折面底部の前記立ち上がり面部に垂直な方向に対する傾斜角が１乃至３度の範囲内である請求項６に記載の回折光学素子。
【請求項８】
前記凹凸形状の光軸方向高さＨ２が次式を満足するように決められている請求項６または７に記載の回折光学素子。
Ｈ２＝（λ／（２・ｎ））・Ｋ
但し、λ：入射光の波長
ｎ：回折格子の材料の屈折率
Ｋ：３または４
【請求項９】
前記凹凸形状の光軸方向高さＨ３が次式を満足するように決められている請求項６または７に記載の回折光学素子。
Ｈ３＝（λ／２）・Ｋ
但し、λ：入射光の波長
Ｋ：３または４
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の回折光学素子を含むことを特徴とする光通信モジュール。
【請求項１１】
光ファイバの末端に向け光信号を送る発光素子と、前記光ファイバの端末からの光信号を受光する受光素子と、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の回折光学素子からなる分光手段と、を備え、
前記分光手段が前記各光信号の異なる波長により前記光ファイバの端末と前記発光素子との間の第１光路と、前記光ファイバの端末と前記受光素子との間の第２光路と、を分離するように構成した双方向用の光通信モジュール。
【請求項１２】
前記光ファイバの末端に向けて送られる光信号の波長λ０及び前記光ファイバの末端から受光する光信号の波長λ１が次式を満足する請求項１１に記載の光通信モジュール。
１２６０ｎｍ≦λ０≦１３６０ｎｍ
１４８０ｎｍ≦λ１≦１５８０ｎｍ
【請求項１３】
前記光ファイバの末端に向けて送られる光信号の波長λ０及び前記光ファイバの末端から受光する光信号の波長λ１が次式を満足する請求項１１に記載の光通信モジュール。
１４８０ｎｍ≦λ０≦１５８０ｎｍ
１２６０ｎｍ≦λ１≦１３６０ｎｍ
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、凹凸形状の回折格子を有する回折光学素子及びこの回折光学素子を用いた光通信モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバ等の光伝送路による光通信システムは、ＷＤＭ（波長分割多重方式）により波長の異なる複数の光信号を同時に光ファイバで伝送し、光信号の送信・受信端末には双方向光伝送用モジュールを用いている。かかる双方向光伝送用モジュールでは、発光素子から光ファイバ端末へ向かう送信用の光（上り光）と光ファイバ端末から受光素子に向かう受信用の光（下り光）とを分離するために回折格子を用いることが公知である。例えば、下記特許文献１、２、３の光伝送モジュールでは、図４のような回折格子を用いている。図７は、特許文献１、２、３に開示された回折格子に形成された格子溝の１例を示す斜視図である。
【０００３】
図７に示すように、回折格子１００には矩形状の断面形状の格子溝２００が形成されており、回折格子１００に光が入射すると、回折格子１００は光を回折し、いくつかの回折光が発生する。光ファイバ内を伝送し、光ファイバ端面から出射した受信光（下り光）１０５が回折格子１００で０次回折光１０７と、＋１次回折光１０８と、−１次回折光１０９等が発生する。このうち、＋１次回折光１０８が光軸に対し折れ曲がり送信用の光（上り光）と分離し、受光素子の受光面上に集光し、受信信号が検出される。なお、−１次回折光１０９も同様に折れ曲がるので、−１次回折光１０９を受光素子の受光面上に集光するようにしてもよい。また、光源からの送信用の光（上り光）は回折格子１００を透過した透過光（０次回折光）となって光ファイバ端面に集光する。
【０００４】
図８に図７の回折格子１００における０次回折光１０７、＋１次回折光１０８、及び−１次回折光１０９の各光量を概略的に示すが、光量は０次回折光１０７が最大で、＋１次回折光１０８と−１次回折光１０９は０次回折光１０７よりも小さい。従って、光量の小さい＋１次回折光１０８（または−１次回折光１０９）を用いて受光素子の受光面で受信信号を検出するので、受信信号による受信精度が悪くなり、このため、モジュール性能が低下してしまう。
【特許文献１】特開平０７−１０４１５４号公報
【特許文献２】特開平０７−２６１０５４号公報
【特許文献３】米国特許５，５５５，３３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、回折角を維持しかつ回折効率を向上できるようにした回折光学素子、及びこの回折光学素子を用いた光通信モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明による回折光学素子は、異なる波長を分波する回折格子を有し、前記回折格子は、回折面頂部と回折面底部とが光軸方向に沿った立ち上がり面部を介して凹凸形状に繰り返すバイナリー構造を有し、前記回折面頂部及び前記回折面底部が前記立ち上がり面部に垂直な方向に対し所定の角度で傾斜していることを特徴とする。
【０００７】
この回折光学素子によれば、凹凸形状の回折面を頂部と底部で立ち上がり面部に垂直な方向に対し所定の角度で傾斜させることで回折光が最大の光量を有するようになるので、所定の回折角を維持しながら回折効率を向上できる。
【０００８】
上記回折光学素子において前記回折格子は入射光が透過するように構成されるようにできる（透過型）。この透過型の場合、前記回折面頂部及び前記回折面底部の前記立ち上がり面部に垂直な方向に対する傾斜角が２乃至７度、好ましくは３乃至６度の範囲内であることで、回折効率が更に向上する。
【０００９】
また、前記凹凸形状の光軸方向高さＨ１が次式（１）を満足するように決められていることが好ましい。
【００１０】
Ｈ１＝（λ／（ｎ−１））・Ｋ      （１）
但し、λ：入射光の波長
ｎ：回折格子の材料の屈折率
Ｋ：３または４
【００１１】
上記回折光学素子において前記回折格子は入射光が反射するように構成されるようにできる（反射型）。このため、回折格子の面側には反射面が形成されることが好ましい。
【００１２】
この反射型の場合、前記回折面頂部及び前記回折面底部の前記立ち上がり面部に垂直な方向に対する傾斜角が１乃至３度の範囲内であることが好ましく、回折効率が更に向上する。
【００１３】
また、前記凹凸形状の光軸方向高さＨ２が次式（２）を満足するように決められていることが好ましい。入射光が回折格子の形成された面とは反対側から入射し回折格子で反射した場合である。
【００１４】
Ｈ２＝（λ／（２・ｎ））・Ｋ      （２）
但し、λ：入射光の波長
ｎ：回折格子の材料の屈折率
Ｋ：３または４
【００１５】
また、前記凹凸形状の光軸方向高さＨ３が次式（３）を満足するように決められていることが好ましい。入射光が回折格子の形成された面に入射し反射した場合である。
【００１６】
Ｈ３＝（λ／２）・Ｋ        （３）
但し、λ：入射光の波長
Ｋ：３または４
【００１７】
本発明による光通信モジュールは、上述の回折光学素子を含むことを特徴とする。この光通信モジュールによれば、回折光学素子が回折角及び回折効率を大きくできるので、高いモジュール性能を実現できる。
【００１８】
本発明による双方向用の光通信モジュールは、光ファイバの末端に向け光信号を送る発光素子と、前記光ファイバの末端からの光信号を受光する受光素子と、上述の回折光学素子からなる分光手段と、を備え、前記分光手段が前記各光信号の異なる波長により前記光ファイバの末端と前記発光素子との間の第１光路と、前記光ファイバの末端と前記受光素子との間の第２光路と、を分離するように構成した。
【００１９】
この双方向用の光通信モジュールによれば、回折光学素子の回折角及び回折効率が大きいので、高いモジュール性能を実現でき、光通信モジュールの小型化及び受光性能の向上を実現できる。
【００２０】
上記光通信モジュールにおいて前記光ファイバの末端に向けて送られる光信号（上り光）の波長λ０及び前記光ファイバの末端から受光する光信号（下り光）の波長λ１が次式（４）、（５）、または、（６）、（７）を満足することが好ましい。
【００２１】
１２６０ｎｍ≦λ０≦１３６０ｎｍ      （４）
１４８０ｎｍ≦λ１≦１５８０ｎｍ      （５）
【００２２】
１４８０ｎｍ≦λ０≦１５８０ｎｍ      （６）
１２６０ｎｍ≦λ１≦１３６０ｎｍ      （７）
【発明の効果】
【００２３】
本発明の回折光学素子によれば、回折角を維持しかつ回折効率を向上できる。また、本発明の光通信モジュールによれば、高いモジュール性能を実現でき、光通信モジュールの小型化及び受光性能の向上を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。
【００２５】
〈第１の実施の形態〉
【００２６】
図１は第１の実施の形態による回折光学素子の要部を示す部分側面図である。図２は図１の回折光学素子における０次回折光、＋１次回折光、及び＋２次回折光の各光量を概略的に示す図である。
【００２７】
図１に示すように、第１の実施の形態による回折光学素子１は、異なる波長を分波する凹凸形状の回折格子から構成され、回折格子は凸側の回折面頂部２と凹側の回折面底部４とが光軸方向Ｐに沿った立ち上がり面部３を介して繰り返し同じ形状に形成されている。すなわち、回折格子はいわゆる２レベルのバイナリー形状の構造となっている。回折光学素子１は、ガラスやプラスチック等の光学材料からなり、入射光が透過する透過型であり、図１では回折光学素子１の下方の平面側から光が入射する場合を示すが、反対側の図１の上方の回折格子側から入射するようにしてもよい。なお、回折面頂部２と回折面底部４に反射防止膜を設けてもよく、回折効率の向上に寄与できる。
【００２８】
回折面頂部２と回折面底部４は、立ち上がり面部３に対し傾斜しており、回折面頂部２と回折面底部４の立ち上がり面部３に垂直な方向の基準線ｊに対する傾斜角αが２乃至７度、好ましくは３乃至６度の範囲内であることが望ましい。傾斜角αを２乃至７度、好ましくは３乃至６度とすることで、回折面頂部２と回折面底部４における光の屈折角を回折角に近づけることができ、回折光の光量増加を図ることができる。回折格子を構成する材料の屈折率をｎとすると、傾斜角αは所望の回折角を（ｎ−１）で割った値とするのが望ましい。
【００２９】
図３は、図１の回折光学素子における回折効率の傾斜角α依存性を示すグラフである（波長：１５００ｎｍ）。図３から傾斜角αが２度から７度の範囲であると、回折効率が０．７以上となることが分かる。さらに、傾斜角αが３度から６度の範囲であると、更に回折効率が大きくなり、０．８以上の回折効率を得ることができることが分かる。
【００３０】
また、回折面頂部２の中点と回折面底部４の中点との間の光軸方向Ｐの距離（高さＨ１）は、次式（１）を満足するように決めることが好ましい。
Ｈ１＝（λ／（ｎ−１））×Ｋ      （８）
但し、λ：０次回折光の波長  ｎ：回折光学素子１の材料の屈折率  Ｋ：３または４
【００３１】
上記式（８）の条件は、０次光が、図１の回折面頂部２と回折面底部４の異なる段の回折格子面からの波面の位相差が２πの３倍または４倍となる条件であり、このとき、０次光λの１．１０〜１．２倍（または、１．１０〜１．２分の１倍）の波長である１次光が回折方向に位相整合して強め合う。
【００３２】
図１の回折光学素子１は、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、ＰＣ（ポリカーボネート）または熱可塑性のポリイミド樹脂等を用いて成形により製造でき、また、ガラスから作製してもよい。
【００３３】
図１の回折光学素子１では、光軸方向Ｐに図の下方から入射した光が０次回折光（透過光）５０となって透過するとともに、回折光が発生するが、それらの回折光の中で、＋１次回折光５１が所定の回折角で回折し折れ曲がり、更に、＋２次回折光が５２が回折し折れ曲がる。
【００３４】
図２に示すように、０次回折光（透過光）５０、＋１次回折光５１及び＋２次回折光５２の各光量は、０次回折光５０と＋２次回折光５２が低く、＋１次回折光５１が最も大きい。
【００３５】
一般に回折格子のピッチをｗ、波長をλ、回折角をθ、Ｎを回折次数とすると、次の関係式（９）が成り立つ。
ｓｉｎθ＝Ｎ・λ／ｗ    （９）
ただし、Ｎ＝±１，２，３，・・・
【００３６】
図８のように、図７の従来の回折格子１００で回折０次光が最大光量を有している場合、図１の回折光学素子１によりピーク角度をシフトさせ、図２のように、＋１次回折光５１が最大光量を有するようにシフトさせることで、１次回折効率を改善できる。
【００３７】
以上のように、本実施の形態の透過型の回折光学素子１によれば、凸側の回折面頂部２と凹側の回折面底部４とを立ち上がり面部３に垂直な方向に対し所定の角度で傾斜させることで、回折角を大きく維持し、回折効率を大きくできる。また、回折面頂部２と回折面底部４の傾斜角αを２乃至７度（好ましくは３乃至６度）の範囲内とすることで、回折効率を更に向上できる。また、回折角を大きく維持できるので、０次回折光と１次回折光とに分離する角度が大きくなる。また、回折光学素子１の回折格子は基本的に２レベルのバイナリー構造であり、回折格子としての構造が簡単であるので、成形金型の加工性及び成形性や離型性がよく、回折光学素子の製造コストを低減できる。
【００３８】
〈第２の実施の形態〉
【００３９】
図４は第２の実施の形態による回折光学素子の要部を示す部分側面図である。図５は第２の実施の形態による別の回折光学素子の要部を示す部分側面図である。
【００４０】
図４，図５に示すように、第２の実施の形態による回折光学素子５、５’は、入射光が反射する反射型であり、異なる波長を分波する凹凸形状の回折格子から構成され、回折格子は凸側の回折面頂部６と凹側の回折面底部８とが光軸方向Ｐに沿った立ち上がり面部７を介して繰り返し同じ形状に形成されている。回折面格子側は、例えばＡｇ，Ａｌ，Ａｕ等の高反射金属蒸着面からなる反射面９になっている。
【００４１】
回折面頂部６と回折面底部８は、立ち上がり面部７に対し傾斜しており、回折面頂部６と回折面底部８の立ち上がり面部７に垂直な方向の基準線ｊに対する傾斜角βが１乃至３度の範囲内であることが好ましい。傾斜角βを１乃至３度とすることで、回折光の光量増加を図ることができる。反射角は傾斜角βの２倍になるので、傾斜角βを所望の回折角の略半分とすると、回折角と反射角とを一致させることができ、回折光の光量を増大させることができる。
【００４２】
図４の回折光学素子５は、ガラスやプラスチック等の光学材料からなり、光が平面５ａ側から入射し反対面側の回折格子の反射面９で反射され、０次回折光６０と、１次回折光６１が図のように発生し、１次回折光６１が光軸Ｐに対し折れ曲がる。
【００４３】
また、図４において回折面頂部６の中点と回折面底部８の中点との間の光軸方向Ｐの距離（高さＨ２）は、次式（１０）を満足するように決めることが好ましい。
Ｈ１＝（λ／２・ｎ））×Ｋ      （１０）
但し、λ：０次回折光の波長  ｎ：回折光学素子５の材料の屈折率  Ｋ：３または４
【００４４】
図５の回折光学素子５’では、光が回折格子の反射面９に直接入射し反射するが、０次回折光７０と、１次回折光７１が図のように発生し、１次回折光７１が光軸Ｐに対し折れ曲がる。図５の回折光学素子５’は、ガラスやプラスチック等の光学材料から構成してよいが、透光性でなくともよく、エンジニアリングプラスチックから構成してもよい。
【００４５】
また、図５において回折面頂部６の中点と回折面底部８の中点との間の光軸方向Ｐの距離（高さＨ３）は、次式（１１）を満足するように決めることが好ましい。
Ｈ１＝（λ／２）×Ｋ      （１１）
但し、λ：０次回折光の波長  Ｋ：３または４
【００４６】
上記式（１０）、（１１）の条件は、波長λの０次光が、図４、図５の回折面頂部６と回折面底部８の異なる段の回折格子面からの波面の位相差が２πの３倍または４倍となる条件であり、このとき、０次光の波長λの１．１０〜１．２倍（または、１．１０〜１．２分の１倍）の波長である１次光が回折方向に位相整合して強め合う。
【００４７】
以上のように、本実施の形態の反射型の回折光学素子５，５’によれば、凸側の回折面頂部６と凹側の回折面底部８とを立ち上がり面部７に対し傾斜させることで、回折角を大きく維持し、回折効率を大きくできる。また、回折面頂部６と回折面底部８の傾斜角βを１乃至３度の範囲内とすることで、回折効率を更に向上できる。また、回折角を大きく維持できるので、０次回折光と１次回折光とに分離する角度が大きくなる。また、回折格子としての構造が簡単であるので、成形金型の加工性及び成形性・離型性がよく、回折光学素子の製造コストを低減できる。
【００４８】
〈第３の実施の形態〉
【００４９】
図６は、第２の実施の形態による光通信モジュールの縦方向の要部断面図（ａ）、図６（ａ）の結合レンズの面上に形成された回折格子を拡大して示す平面図（ｂ）及びその回折格子構造を図６（ｂ）に於けるＣ−Ｃ線方向に切断し、その断面を拡大した概略的な断面図（ｃ）である。
【００５０】
図６（ａ）に示すように、双方向光通信モジュール１０は、細長い略円筒状の筐体１９内に、発光素子１１と、受光素子１２と、光学デバイスとしての結合レンズ１３と、を備える。発光素子１１と受光素子１２とは共通の基台１６上に設けられ、基台１６とともに筐体に固定されており、また、基台１６から外部に突き出た複数の接続ピン１７に電気的に接続している。
【００５１】
光ファイバ２１を支持したファイバホルダ２０が筐体１９内に挿入されて固定されており、光ファイバ２１の端面３０が筐体１９の内部に形成された空洞１４に露出している。光ファイバ２１は波長多重方式による双方向光ファイバ通信のために外部の光ファイバ等の光伝送路に接続される。
【００５２】
結合レンズ１３は、筐体１９の空洞１４内に反対側の発光素子１１及び受光素子１２と対向するようにかつ光ファイバ２１の端面３０の近傍に配置されている。
【００５３】
結合レンズ１３の端面３０側の光学面には、図６（ｂ）のように、縞状格子１５が形成され、縞状格子１５には、図６（ｃ）の断面図に示すように、凹凸の回折面が基準線ｊに対し傾斜した回折格子１８が繰り返して形成されている。回折格子１８は、回折光学素子１と同様の構成である。
【００５４】
発光素子１１が発光する光ビームｂ０は、結合レンズ１３及び格子１５を通過して１．３１μｍ程度の波長λ０の０次回折光として光ファイバ２１の端面３０に入射し、光ファイバ２１を通して外部の光伝送路に送ることができる。
【００５５】
一方、外部から伝送されてきた光ファイバ２１の端面３０からの光ビームは、格子１５及び結合レンズ１３を通過して格子１５により回折され折れ曲がり１．４９μｍ程度の波長λ１の１次回折光ｂ１（図１，図２の＋１次回折光５１に相当する）になって受光素子１２に入射する。
【００５６】
上述のように、双方向光通信モジュール１０では、図６（ａ）のように、光ファイバ２１の端面３０では光ビームｂ０と高次（１次または−１次）回折光ｂ１とは合波状態であるが、結合レンズ１３上に形成された格子１５により分波し、波長λ０の光ビームｂ０が一点鎖線のような第１光路を進み、波長λ１の１次回折光ｂ１が破線のような第１光路とは反対方向に第２光路を進み、発光素子１１及び受光素子１２側において互いの光路が分離する。
【００５７】
なお、基準線ｊは筐体１９の中心軸や光ファイバ２１の中心軸とほぼ直交する。また、格子１５を有する結合レンズ１３はＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、ＰＣ（ポリカーボネート）または熱可塑性のポリイミド樹脂等を用いて成形により製造できる。
【００５８】
図６の双方向光通信モジュール１０によれば、結合レンズ１３の光学面に形成された回折格子１８により回折角を大きく維持できるので、図６（ａ）の波長λ１の１次回折光ｂ１の第２光路が波長λ０の光ビーム（０次回折光）ｂ０の第１光路に対する折れ曲がり角度が大きくなる。このため、短い光路の長さで１次回折光ｂ１を０次回折光ｂ０に対し充分に分離できるので、双方向光通信モジュール１０の筐体１９の光軸方向の寸法を大きくとる必要がないので、双方向光通信モジュール１０をコンパクトに構成できる。
【００５９】
また、回折格子１８による１次回折光の回折効率を大きくできるので、外部から伝送されてきて光ファイバ２１の端面３０から出射した光ビームが波長λ１の１次回折光ｂ１になって充分な光量で受光素子１２に入射し、受信精度が向上する。これにより、双方向光通信モジュール１０で安定した受信機能を実現でき、光通信モジュール性能が向上する。
【００６０】
なお、図６（ａ）の双方向光通信モジュール１０では、回折格子１８により発生した１次回折光ｂ１以外の０次回折光（図１，図２の＋１次回折光５０に相当する）や２次回折光（図１，図２の＋１次回折光５２に相当する）を光ファイバ等で集光し受光素子１２に導くようにすることで、更に受信精度が向上し、また、モニタ光として利用してもよい。
【００６１】
また、発光素子１１が発光する光ビームｂ０が結合レンズ１３及び格子１５を通過して格子１５により回折されて折れ曲がり１次回折光として光ファイバ２１の端面３０に入射し、光ファイバ２１を通して外部の光伝送路に送る一方、外部から伝送されてきた光ファイバ２１の端面３０からの光ビームｂ１が格子１５及び結合レンズ１３を通過して０次光として受光素子１２に入射するように構成してもよい。
【００６２】
以上のように本発明を実施するための最良の形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能である。例えば、第２の実施の形態では図６の結合レンズ１３の光学面に図１と同様の回折格子を形成したが、結合レンズ１３とは別に、図１と同様の回折格子を有する回折光学素子を配置してもよい。
【００６３】
また、図１、図４，図５の回折光学素子１，５，５’における回折格子のピッチｗは、特に限定されず任意に設定できる。
【００６４】
また、図１の傾斜角α及び図４，図５の傾斜角βは、上述の各範囲が好ましいが、必要に応じて範囲外の設定としてもよい。傾斜角を与えることによる、屈折角度もしくは反射角度が回折角度に近くなるようにすると好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】第１の実施の形態による回折光学素子の要部を示す部分側面図である。
【図２】図１の回折光学素子における０次回折光、＋１次回折光、及び＋２次回折光の各光量を概略的に示す図である。
【図３】図１の回折光学素子における回折効率の傾斜角α依存性を示すグラフである（波長：１５００ｎｍ）。
【図４】第２の実施の形態による回折光学素子の要部を示す部分側面図である。
【図５】第２の実施の形態による別の回折光学素子の要部を示す部分側面図である。
【図６】第３の実施の形態による光通信モジュールの縦方向の要部断面図（ａ）、図６（ａ）の結合レンズの面上に形成された回折格子を拡大して示す平面図（ｂ）及びその回折格子構造をＣ−Ｃ線方向に切断して見た概略的な断面図（ｃ）である。
【図７】特許文献１、２に開示された回折格子に形成された格子溝の１例を示す斜視図である。
【図８】図７の回折格子における０次回折光、＋１次回折光及び−１次回折光の各光量を概略的に示す図である。
【符号の説明】
【００６６】
１ 回折光学素子
２ 回折面頂部
３ 立ち上がり面部
４ 回折面底部
５，５’ 回折光学素子
６ 回折面頂部
７ 立ち上がり面部
８ 回折面底部
９ 反射面
１１ 発光素子
１２ 受光素子
１３ 結合レンズ
１８ 回折格子
２１ 光ファイバ
３０ 端面
５１＋１次回折光
Ｐ 光軸方向
α 傾斜角
β 傾斜角
θ 回折角
ｊ 基準線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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