(57)【要約】【課題】  連続トンネル炉を扱う際の酸欠に対する安全性を高める。【解決手段】  燃料電池用の電極触媒層２０に含まれる界面活性剤を連続トンネル炉１で熱分解除去する場合、酸素濃度計１０を用い、触媒金属の発火等が起きないような酸素濃度になるよう、中央付近の高温部４に窒素ガス供給口７から窒素ガスを供給する。この窒素ガスは、界面活性剤の分解ガスと共に、出入口付近の低温部５ａ，５ｂへと流れる。そして、低温部５ａ，５ｂの酸素濃度を酸素濃度計１０ａ，１０ｂで計測し、空気供給口８ａ，８ｂから空気を供給して、排気するガスの酸素濃度を２０％以上に調整し、調整後のガスを排気口９ａ，９ｂから排気する。排気前に炉内のガスの酸素濃度を高く調整することにより、酸欠を回避して安全に熱処理作業が行えるようになる。【選択図】  図１
2006071203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物をトンネル状の炉の入口から出口に向かって搬送し連続的に熱処理する連続トンネル炉において、
前記炉内に熱処理ガスを供給して一定酸素濃度以下の熱処理ガス雰囲気で前記被処理物を熱処理し、前記炉内のガスを前記炉外へ排気する前に、排気するガスを空気と混合して一定酸素濃度以上に調整し、調整後の前記炉内のガスを前記炉外へ排気することを特徴とする連続トンネル炉。
【請求項２】
前記炉の中央付近の高温部と、前記高温部に設けられた熱処理ガス供給口と、前記炉の出入口付近の排気口を備えた低温部と、前記低温部に設けられた空気供給口と、前記高温部と前記低温部とにそれぞれ設けられた酸素濃度計と、を有し、
前記高温部に設けられた前記酸素濃度計の計測値に基づき前記熱処理ガス供給口から熱処理ガスを供給して一定酸素濃度以下の熱処理ガス雰囲気で前記被処理物を熱処理し、前記排気口から前記炉内のガスを前記炉外へ排気する前に、前記低温部に設けられた前記酸素濃度計の計測値に基づき前記空気供給口から空気を供給し排気するガスを空気と混合して一定酸素濃度以上に調整し、調整後の前記炉内のガスを前記排気口から前記炉外へ排気することを特徴とする請求項１記載の連続トンネル炉。
【請求項３】
前記炉内のガスを前記炉外へ排気する前には、排気するガスを空気と混合して酸素濃度を２０％以上に調整することを特徴とする請求項１記載の連続トンネル炉。
【請求項４】
前記炉内のガスを前記炉外へ排気する前に、排気するガスを一定酸素濃度以上に調整できない場合には、前記炉内への熱処理ガスの供給を停止することを特徴とする請求項１記載の連続トンネル炉。
【請求項５】
前記熱処理ガスは、窒素ガス、アルゴンガスまたはヘリウムガスであることを特徴とする請求項１記載の連続トンネル炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は連続トンネル炉に関し、特に内部の雰囲気を制御されたトンネル状の炉の入口から出口に向かって被処理物をコンベア等で搬送して連続的に熱処理する連続トンネル炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱処理には、被処理物をコンベア等で搬送して連続的に熱処理するようなコンベア式の連続トンネル炉がしばしば利用される。このような連続トンネル炉は、特に多数の被処理物を同条件で連続して処理を行う際に量産性の面で有効である。例えば、燃料電池用のセルを製造する際にも、このような連続トンネル炉が利用されている。
【０００３】
一般に、燃料電池用のセルは、発電反応を効率的に行わせるための触媒層として機能する燃料極と空気極の間に電解質層が挟まれ、外側にガス拡散層およびガス流路を設けた基材を取り付けて構成されている。ガス拡散層およびガス流路付基材には、ガス拡散性、電気伝導性、耐食性等が求められ、通常、ガス拡散層には多孔質のカーボンペーパーが、また、ガス流路付基材には多孔質カーボンが、それぞれ使用される。
【０００４】
このような材料を用いた単位セルを、水素と空気が直接接触するのを防止するためのカーボン製のセパレータを挟んで５個〜８個程度重ね、そこに反応熱を一定温度に調整するための冷却板を１個取り付ける。そして、発電電力量に必要なだけのセル数になるように、セパレータで隔てられた単位セル数個と冷却板１個のユニットを繰り返し積層して電池スタックが形成される。
【０００５】
燃料電池セルの燃料極および空気極（以下「電極」という。）は、例えば、白金等の触媒金属、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、分散剤としての界面活性剤等を混合してペースト化しそれをガス拡散層となるカーボンペーパー上に塗布あるいは散布して成型し、溶媒や水分を乾燥して除去することによって形成される。これにより、触媒層とガス拡散層とが一体化された構造の電極が形成される。
【０００６】
そして、この電極形成後は、それを例えば電解質層にプレス等で熱圧着し、電解質層を電極で挟んだ構造を形成する。なお、熱圧着は、触媒層に適度な撥水性をもたせ、かつ、触媒層とカーボンペーパーとの結着性を高めるため、フッ素樹脂の溶融温度、例えば先に例示したＰＴＦＥの場合には約３３０℃程度の温度で行われる。
【０００７】
しかし、分散剤として添加した有機物の界面活性剤が電極の触媒層に残存したままフッ素樹脂の溶融温度で電解質層との熱圧着を行うと、その熱圧着時の焼成で界面活性剤が分解し、その分解物が触媒層に炭素質として残ってしまう場合がある。そのような場合、撥水性が低下して電極劣化が引き起こされる可能性が高くなる。
【０００８】
そこで、通常は、フッ素樹脂の溶融温度で焼成を行う前に、電極触媒層に含まれている界面活性剤の熱分解除去を行う。現在、この熱分解除去には、上記のような連続トンネル炉が用いられるようになっている。図２は従来の連続トンネル炉の一例の概略平面図である。
【０００９】
図２に示す連続トンネル炉１００は、炉１０１内を通過するコンベア１０２を有しており、電極触媒層は、このコンベア１０２に乗せられて炉１０１の入口１０１ａから出口１０１ｂに向かって搬送され、その搬送の間に炉１０１内において一定条件で熱処理されるようになっている。
【００１０】
炉１０１は、その中央付近が高温部１０３、出入口付近が低温部１０４ａ，１０４ｂとなるように温度制御されている。入口１０１ａから搬送される電極触媒層は、高温部１０３において界面活性剤の熱分解温度まで加熱されようになっている。また、電極触媒層は、入口１０１ａ側の低温部１０４ａで高温部１０３に至るまでの急激な温度上昇が防止されるとともに、出口１０１ｂ側の低温部１０４ｂで炉１０１外へ搬出可能な温度にまで冷却されるようになっている。
【００１１】
また、この炉１０１には、その中央付近の高温部１０３に窒素ガス供給口１０５が設けられており、ここから炉１０１内に供給された窒素ガスは、低温部１０４ａ，１０４ｂ側に向かって流れ、入口１０１ａおよび出口１０１ｂから排気されるようになっている。さらに、高温部１０３には、酸素濃度計１０６が設けられ、熱分解反応時の高温部１０３の酸素濃度が計測されるようになっている。
【００１２】
このような連続トンネル炉１００を用いた電極触媒層の熱処理の際は、まず、炉１０１内に窒素ガス供給口１０５から窒素ガスを供給する。そして、コンベア１０２で炉１０１の入口１０１ａから出口１０１ｂに向かって電極触媒層を搬送し、途中その中央付近の高温部１０３で、フッ素樹脂を溶融させずに界面活性剤を分解することのできる２５０℃〜３００℃の温度で熱処理する。
【００１３】
この熱処理の間、供給後に入口１０１ａおよび出口１０１ｂに向かって流れる窒素ガスは、高温部１０３で生成された界面活性剤の分解ガスと共に炉１０１外へ排気され、また、出入口付近でいわゆる窒素ガスカーテンとしてはたらき、入口１０１ａおよび出口１０１ｂから炉１０１内へ空気が侵入するのを抑制する。
【００１４】
また、熱処理時は、低温部１０４ａ，１０４ｂの温度を制御し、前述のように、高温部１０３へ搬送される電極触媒層の急激な温度上昇を防止するとともに、高温部１０３で２５０℃以上に加熱された電極触媒層を炉１０１外へ搬出可能な温度にまで冷却する。
【００１５】
電極触媒層の触媒金属として白金を用いた場合、界面活性剤等の不純物が含まれたまま酸化雰囲気で熱処理すると、白金の触媒作用により発火、燃焼を起こしてしまう可能性がある。そのため、熱処理時に高温部１０３が発火等の起こらない酸素濃度となるよう、酸素濃度計１０６で計測しながら窒素ガスの供給量が制御される。
【００１６】
なお、このように炉内の酸素濃度に基づいて窒素ガス供給量を制御する連続トンネル炉としては、このほかにも、例えば、上限酸素濃度を設定しておき、炉内の酸素濃度がその上限値を超えるときには、窒素ガス供給量を適当な時間間隔で段階的に増量させ、炉内を一定酸素濃度に保つことを試みた提案等がある（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−１４１８７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
ところで、連続トンネル炉を用いて燃料電池用の電極触媒層を熱処理する場合、炉内に供給された窒素ガスや触媒層内の界面活性剤が分解して生成された分解ガスは、炉の出入口から炉外へと排気される。そして、通常は炉外のその出入口付近に別途設けられた排気ファンおよび排気ダクトを使って、炉が設置されている作業室や建屋の外部に排気されるようになっている。
【００１８】
しかし、このような電極触媒層の熱処理の場合、その熱処理雰囲気を形成する熱処理ガスとして不活性な窒素ガスを用いるため、炉から排気されるガスは、酸素濃度が低く、吸い込めば酸欠を招くおそれがある。万一排気ファンや連続トンネル炉の制御機能に故障が発生すれば、炉の出入口付近に排気された低酸素濃度のガスが排気ダクトに送られずに室内や屋内に漏れ出し、作業者が酸欠状態に陥ってしまう危険性が高くなる。
【００１９】
これを防止するため、炉外のその出入口付近に酸素濃度計を設置し、出入口付近の酸素濃度が酸欠の危険性のある１６％程度になったら警報を発するあるいは炉内への窒素ガスの供給を緊急停止する、といった対策も考えられる。
【００２０】
しかし、このような対策を講じても、既に酸欠の危険性のある低酸素濃度のガスが室内等に漏れ出してしまっているから、そのときに作業者が居た場所、例えば炉の近くで作業を行っていたとき等、その場所によっては酸欠状態になりかねない。また、何らかの理由で低酸素濃度のガス漏れがしばらく続いてしまったり、そのような室内等に何も知らない作業者が入ったりしても同様である。
【００２１】
このように、これまでの連続トンネル炉は、炉外に排気したガスの取扱い、あるいは炉内から排気するガスの取扱いの点では、十分に安全なものとは言えなかった。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、酸欠を防ぎ熱処理作業をより安全に行うことのできる連続トンネル炉を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明では上記課題を解決するために、被処理物をトンネル状の炉の入口から出口に向かって搬送し連続的に熱処理する連続トンネル炉において、前記炉内に熱処理ガスを供給して一定酸素濃度以下の熱処理ガス雰囲気で前記被処理物を熱処理し、前記炉内のガスを前記炉外へ排気する前に、排気するガスを空気と混合して一定酸素濃度以上に調整し、調整後の前記炉内のガスを前記炉外へ排気することを特徴とする連続トンネル炉が提供される。
【００２３】
このような連続トンネル炉によれば、炉内に熱処理ガス、例えば窒素ガス等の不活性ガスが供給され、一定酸素濃度以下の雰囲気で熱処理が行われるとともに、炉内のガスは、炉外へ排気される前に、空気と混合されて一定酸素濃度以上に調整される。これにより、例えば熱処理後にそのまま炉外に排気されると酸欠を引き起こす危険性のあるようなガスを、排気前に炉内でその酸素濃度を一定値まで高めてから炉外へ排気することができるため、連続トンネル炉を扱う際の安全性が高まる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の連続トンネル炉は、炉内のガスを排気する前に、排気するガスの酸素濃度を一定値に調整し、その後に炉外へ排気するようにしたので、酸素濃度が一定値を下回るようなガスが炉外に排気されなくなり、酸欠を回避して安全に熱処理作業を行うことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を、燃料電池用の電極触媒層形成を例に、図面を参照して詳細に説明する。
図１は連続トンネル炉の一例の概略断面図である。
【００２６】
図１に示す連続トンネル炉１は、トンネル状の炉２内を通るコンベア３を有しており、被処理物である電極触媒層２０は、このコンベア３に乗せられて炉２の入口２ａから出口２ｂに向かって搬送され、その搬送の間に一定条件（温度、雰囲気）で熱処理されるようになっている。
【００２７】
炉２は、その中央付近が高温部４、出入口付近が低温部５ａ，５ｂ、高温部４と各低温部５ａ，５ｂの間が中間調整部６ａ，６ｂとなるようにそれぞれ温度制御されている。この炉２内を搬送される電極触媒層２０は、高温部４で界面活性剤の熱分解温度である２５０℃〜３００℃まで加熱されようになっている。また、電極触媒層２０は、入口２ａ側の低温部５ａでその熱分解温度までの急激な温度上昇が防止されるとともに、出口２ｂ側の低温部５ｂでその熱分解温度から炉２外へ搬出可能な温度にまで冷却されるようになっている。中間調整部６ａ，６ｂは、高温部４と低温部５ａ，５ｂの中間的な温度、例えば２００℃以下に調整されている。
【００２８】
炉２の中央付近の高温部４には、そこに熱処理雰囲気を形成する熱処理ガスである窒素ガス（Ｎ2）を供給する窒素ガス供給口７が設けられており、また、出入口付近の低温部５ａ，５ｂには、炉２内にブロア等（図示せず。）の適当な空気供給手段によって空気（Ａｉｒ）を送り込む空気供給口８ａ，８ｂが設けられている。窒素ガス供給口７から供給された窒素ガス、界面活性剤から生成した分解ガス、および空気供給口８ａ，８ｂから供給された空気は、主に低温部５ａ，５ｂに設けられた排気口９ａ，９ｂから排気されるようになっている。また、炉２の高温部４と低温部５ａ，５ｂにはそれぞれ、内部の酸素濃度を計測するための酸素濃度計１０，１０ａ，１０ｂが設けられている。
【００２９】
これにより、この連続トンネル炉１では、電極触媒層２０に含まれる界面活性剤の熱分解が行われる高温部４の酸素濃度が酸素濃度計１０で計測され、その計測値に基づき、熱分解温度下で触媒金属の発火や燃焼といった激しい酸化を防止することができるような酸素濃度、例えば後述のように酸素濃度１０％以下に保持されるよう、窒素ガス供給量が制御されるようになっている。
【００３０】
また、高温部４に供給された窒素ガスおよび界面活性剤から生成した分解ガスは、中間調整部６ａ，６ｂおよび低温部５ａ，５ｂを順に通って排気口９ａ，９ｂから排気されるが、その際、排気前に低温部５ａ，５ｂに空気供給口８ａ，８ｂから供給される空気と混合される。この連続トンネル炉１では、低温部５ａ，５ｂの酸素濃度が酸素濃度計１０ａ，１０ｂで計測され、その計測値に基づき、排気口９ａ，９ｂから排気する前のガスの酸素濃度が酸欠を起こさない安全な酸素濃度、例えば酸素濃度２０％以上になるよう、ブロア風量を増加させるなどして空気供給量が制御されるようになっている。
【００３１】
なお、低温部５ａ，５ｂに供給された空気は、隣の中間調整部６ａ，６ｂにも流入することがあるが、高温部４に供給された窒素ガスが、炉２の中央付近から出入口側に向かって流れ、低温部５ａ，５ｂから中間調整部６ａ，６ｂや高温部４の側へ空気が流入するのを抑制する窒素ガスカーテンとしての役割を果たすようになっている。この窒素ガスカーテンの作用を利用することにより、たとえ空気の流入を完全には遮断できなくても、酸素濃度計１０で酸素濃度を計測しながら窒素ガス供給量を制御して高温部４内を低酸素濃度に雰囲気調整することが可能である。
【００３２】
また、中間調整部６ａ，６ｂは、高温部４よりは低温で、かつ、低温部５ａ，５ｂから空気が流入した場合であってもその流入空気による電極触媒層２０の発火等を防止することのできる温度、例えば上記のように２００℃以下の温度に制御される。
【００３３】
さらに、この連続トンネル炉１には、低温部５ａ，５ｂで酸素濃度を酸欠の危険性のないような濃度にまで上げることができない場合、例えば低温部５ａ，５ｂに供給するブロア風量の低下や故障等を想定し、排気前のガスの酸素濃度がおよそ１６％になった時点で高温部４への窒素ガスの供給を緊急停止する酸欠防止機能が備えられている。
【００３４】
このような連続トンネル炉１を用いて多数の電極触媒層２０が連続的に熱処理され、それにより、そこに含まれている界面活性剤が熱分解除去される。
上記構成を有する連続トンネル炉１を用いた電極触媒層２０の熱処理の際は、まず、炉２内に窒素ガス供給口７から窒素ガスを供給して、少なくとも高温部４に一定酸素濃度以下の熱処理ガス雰囲気を形成し、コンベア３でその入口２ａから出口２ｂに向かって電極触媒層２０を搬送する。
【００３５】
電極触媒層２０は、低温部５ａ、中間調整部６ａを順に通過する際に徐々に加熱され、高温部４の通過時にはフッ素樹脂を溶融させずに界面活性剤を分解する２５０℃〜３００℃の温度まで加熱されて、そこに含まれている界面活性剤が熱分解される。その後、この電極触媒層２０は、中間調整部６ｂ、低温部５ｂを順に通過する際に徐々に冷却され、炉２外に搬出される。
【００３６】
この熱処理の際、高温部４には、酸素濃度計１０の計測値に基づき窒素ガス供給口７から窒素ガスが供給され、供給された窒素ガスおよび熱処理によって界面活性剤から生成された分解ガスは、中間調整部６ａ，６ｂおよび低温部５ａ，５ｂを通って排気口９ａ，９ｂに向かって流れる。高温部４における電極触媒層２０の熱処理の際には、触媒金属の発火等を防止するため、高温部４への空気の流入をできるだけ抑える必要があるが、界面活性剤の熱分解温度では、高温部４での酸素濃度を１０％以下まで低下すれば、発火等を防止することができることが経験的にわかっている。そのため、酸素濃度計１０により高温部４の酸素濃度を計測し、窒素ガスカーテンの作用を利用しながら酸素濃度が１０％以下になるよう、窒素ガス供給量を制御する。
【００３７】
一方、熱処理の際、低温部５ａ，５ｂには、酸素濃度計１０ａ，１０ｂの計測値に基づき空気供給口８ａ，８ｂから空気が供給され、供給された空気は、高温部４の側から流れてくる窒素ガスおよび界面活性剤の分解ガスと混合されて排気口９ａ，９ｂから排気される。低温部５ａ，５ｂでは、その酸素濃度を酸素濃度計１０ａ，１０ｂで計測し、排気前のガスの酸素濃度が例えば上述のように２０％以上になるよう、空気供給量を制御する。なお、低温部５ａ，５ｂでは酸素濃度が高くても、その温度が低いため、電極触媒層２０の発火等は起こらない。
【００３８】
また、低温部５ａ，５ｂの酸素濃度を酸素濃度計１０ａ，１０ｂで計測し、何らかの理由で排気前のガスを一定酸素濃度以上にすることができず、そのガスが排気されると酸欠を引き起こす危険性があるような場合には、酸欠防止機能により、窒素ガス供給口７から高温部４への窒素ガスの供給が止められる。
【００３９】
低酸素濃度の高温部４と高酸素濃度の低温部５ａ，５ｂに挟まれた中間調整部６ａ，６ｂは、それらの間で温度を調整するほか、酸素濃度を調整する役割も果たしている。すなわち、高温部４では、酸素濃度を例えば１０％以下に保つために窒素ガスカーテンの作用を加味して窒素ガスの供給量と排気量のバランスが調整され、一方、低温部５ａ，５ｂでは、排気口９ａ，９ｂから排気するガスの酸素濃度が例えば２０％以上になるように空気供給量が調整されている。中間調整部６ａ，６ｂは、このように雰囲気の大きく異なる領域の間で中間的な雰囲気を作り出し、その結果、高温部４と低温部５ａ，５ｂはそれぞれ精度良く雰囲気制御されるようになる。
【００４０】
以上のように、この連続トンネル炉１は、炉２に高温部４、低温部５ａ，５ｂおよび中間調整部６ａ，６ｂを有し、高温部４には熱処理ガスである窒素ガスが、低温部５ａ，５ｂには空気が、それぞれ供給され、高温部４と低温部５ａ，５ｂの酸素濃度を酸素濃度計１０，１０ａ，１０ｂで計測する。
【００４１】
連続トンネル炉１は、炉２の中央付近の高温部４が一定酸素濃度以下になるよう、酸素濃度計１０による計測値を基に高温部４に窒素ガスを供給する。これにより、熱分解温度にした高温部４において、一定酸素濃度以下の雰囲気で熱処理することができる。
【００４２】
供給された窒素ガスは、高温部４への空気の侵入を抑制する窒素ガスカーテンの作用と、出入口付近の低温部５ａ，５ｂに設けられた排気口９ａ，９ｂに向かって流れて熱処理時に界面活性剤から生成された分解ガスを排気する役割を果たす。
【００４３】
連続トンネル炉１は、炉２内のガスを排気する前に、低温部５ａ，５ｂが一定酸素濃度以上になるよう、酸素濃度計１０ａ，１０ｂによる計測値を基に低温部５ａ，５ｂに空気を供給する。これにより、炉２内に供給された窒素ガスおよび生成された分解ガスを、これらを排気する前に空気と混合し、酸欠の危険性のないガスにしてから排気することができる。したがって、熱処理作業を安全に行うことができるようになる。また、一定酸素濃度以上に調整されたガスであれば、室内等に漏れ出しても酸欠を回避することが可能である。
【００４４】
また、この連続トンネル炉１では、一定条件下で酸欠防止機能がはたらき、低温部５ａ，５ｂに設けた酸素濃度計１０ａ，１０ｂで排気前のガスの酸素濃度を計測しその計測値に基づき窒素ガスの供給を緊急停止するようにしている。従来の連続トンネル炉でも、出入口付近に酸素濃度計を設け、排気ファンの故障等の問題が発生して低酸素濃度のガスが炉外に漏れ出したとわかったときに窒素の供給を止めることは可能であるが、十分に安全が確保されているとは言い難い。上記連続トンネル炉１のように、排気前に危険性を感知して対応することにより、熱処理作業の安全性をより高めることができる。
【００４５】
一般に、不活性ガス雰囲気での熱処理はバッチ式で行うことが最も容易な方法であるが、量産性からは連続的に処理できる方法を取り入れることが好ましい。上記の連続トンネル炉１は、必ずしも完全な不活性ガス雰囲気を形成するものではないが、例えば上記のような燃料電池の電極触媒層２０のように、ある程度酸素濃度を低下させれば被処理物の酸化や変質等が起こらないようなものを熱処理する場合の連続生産ラインには好適に用いることができる。
【００４６】
また、この連続トンネル炉１によれば、被処理物の品質のみならず、炉２内のガスを適正な酸素濃度にしてから排気することによって酸欠の危険を回避して安全に熱処理作業を行うことができ、上記の燃料電池の電極触媒層２０のほかにも、様々な被処理物の熱処理に適用することができる。
【００４７】
なお、以上の説明では、熱処理ガスとして窒素ガスを用いたが、このほかの不活性ガス、例えばアルゴンガスやヘリウムガス等も用いることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】連続トンネル炉の一例の概略断面図である。
【図２】従来の連続トンネル炉の一例の概略平面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  連続トンネル炉
２  炉
２ａ  入口
２ｂ  出口
３  コンベア
４  高温部
５ａ，５ｂ  低温部
６ａ，６ｂ  中間調整部
７  窒素ガス供給口
８ａ，８ｂ  空気供給口
９ａ，９ｂ  排気口
１０，１０ａ，１０ｂ  酸素濃度計
２０  電極触媒層
【図１】
2006071203.tif 000003
【図２】
2006071203.tif 000004