(57)【要約】【課題】  部品の交換を行うことなく、相互にサイズが異なる多品種のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）に対して共用することが可能なエージング装置を提供する。【解決手段】  電極バー１２１〜１２４を介して端子群に電圧を印加することによりＰＤＰ１０１〜１０３の放電セルを点灯させエージングを行うためのエージング装置１００である。寸法が相互に異なるＰＤＰ１０１〜１０３に対するエージングの際に電極バー１２１〜１２４を共用可能とするために、電極バー１２１〜１２４の位置を可変とさせる移動機構を備える。ＰＤＰ１０１〜１０３の相互に隣り合う縁辺部の端子群に接触される電極バー１２１、１２２（並びに１２１、１２４）を交差させた際に、相互に交差した電極バーの間に介在して電極バーどうしの電気的接続を防止する絶縁部材１５１、１５２を備える。【選択図】    図１
2006100122.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネルの縁辺部に沿って設けられた端子群に接触される電極バーを備え、該電極バーを介して前記端子群に電圧を印加することにより前記プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させエージングを行うためのエージング装置において、
寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に前記電極バーを共用可能とするために、前記電極バーの位置を可変とさせる移動機構を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルのエージング装置。
【請求項２】
プラズマディスプレイパネルの少なくとも相互に隣り合う２つの縁辺部に沿って設けられた各端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加するために、前記電極バーを少なくとも２つ以上備え、
更に、
当該エージング装置によるエージングの対象となるプラズマディスプレイのうち寸法が最大ではないプラズマディスプレイに対してエージングを行うために、前記２つ以上の電極バーのうち少なくとも前記プラズマディスプレイパネルの相互に隣り合う縁辺部の端子群に接触される２つの電極バーを交差させた状態で、相互に交差した電極バーの間に介在して電極バーどうしの電気的接続を防止する１つ以上の絶縁部材を備えることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルのエージング装置。
【請求項３】
プラズマディスプレイパネルの４つの縁辺部に沿って設けられた各端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加するため各縁辺部に沿って配置される４つの電極バーを備え、これら電極バーを介して各端子群に電圧を印加することにより該プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させエージングを行うためのエージング装置において、
寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に前記４つの電極バーを共用可能とするために、
前記４つの電極バーのうち、少なくとも、前記プラズマディスプレイパネルの相互に隣り合う縁辺部の端子群に接触される２つの電極バーを、それぞれ対向する電極バーの方向に進退可能とさせる移動機構と、
当該エージング装置によるエージングの対象となるプラズマディスプレイのうち寸法が最大ではないプラズマディスプレイに対してエージングを行うために、  前記４つの電極バーのうちの何れか２つ以上の電極バーを隣の電極バーと交差させた状態で、相互に交差した電極バーの間に介在して電極バーどうしの電気的接続を防止する１つ以上の絶縁部材と、
を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルのエージング装置。
【請求項４】
前記絶縁部材は、その保持位置が可変となるよう弾性体を介して保持され、
前記絶縁部材により電気的接続が防止される２つの電極バーを、それぞれ対応する端子群に接触させる過程で、これら２つの電極バーの間に前記絶縁部材が挟み込まれる結果、前記弾性体の弾性変形を伴って前記絶縁部材の保持位置が変化し、該保持位置がこれら２つの電極バーの交点の位置に自動的に調節されることを特徴とする請求項２又は３に記載のプラズマディスプレイパネルのエージング装置。
【請求項５】
前記絶縁部材と、該絶縁部材により電気的接続が防止される２つの電極バーのうちの一方と、を保持する保持手段を備え、該保持手段ごと、該一方の電極バー及び該絶縁部材が前記移動機構により移動されることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルのエージング装置。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項に記載のエージング装置を用いてエージングを行う工程を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することによって、該プラズマディスプレイパネルの良否を判定する検査装置において、
前記プラズマディスプレイパネルに電圧を印加する電圧印加手段と、
前記電圧印加手段により印加される電圧値に応じた前記プラズマディスプレイパネルへの印加電流値を検出する電流検出手段と、
前記電圧印加手段により印加される電圧値の変化量と、前記電流検出手段により検出される電流値の変化量と、の関係を検出する変化特性検出手段と、
を備え、
前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの検査装置。
【請求項８】
前記プラズマディスプレイパネルに対する印加電圧を上昇させ、前記電流値が所定のしきい値以上になり、さらに印加電圧を上昇させたときの前記印加電圧の所定の増加量に対する前記電流値の増加量が所定値以下になる第１の電圧値と、
前記印加電圧を前記第１の電圧値以上に設定後、前記印加電圧を減少させたときの前記印加電圧の所定の減少量に対する前記電流値の減少量が所定値以上になる第２の電圧値と、
のうちの少なくとも何れか一方を、前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて検出し、
前記第１の電圧値と前記第２の電圧値のうちの少なくとも一方により、前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
【請求項９】
前記プラズマディスプレイパネルに対する印加電圧値を徐々に上昇させた場合に全放電セルの点灯が完了する第１の電圧値と、
前記プラズマディスプレイパネルの全放電セルを点灯させた状態から該プラズマディスプレイパネルに対する印加電圧値を徐々に減少させた場合に１つ目の放電セルの消灯が開始される第２の電圧値と、
のうちの少なくとも何れか一方を、前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて検出し、
前記第１の電圧値と前記第２の電圧値のうちの少なくとも一方により、前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
【請求項１０】
前記プラズマディスプレイパネルの放電セルの発光輝度を検出する輝度検出手段と、
前記輝度検出手段を前記プラズマディスプレイパネルに沿って走査させる走査手段を備えることを特徴とする請求項７乃至９の何れか一項に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
【請求項１１】
プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することによって、該プラズマディスプレイパネルの良否を判定する検査方法において、
前記プラズマディスプレイパネルに電圧を印加する電圧印加工程と、
前記電圧印加工程により印加される電圧値に応じた前記プラズマディスプレイパネルへの印加電流値を検出する電流検出工程と、
前記電圧印加工程により印加される電圧値の変化量と、前記電流検出工程により検出される電流値の変化量と、の関係を検出する変化特性検出工程とを備え、
前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて、前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの検査方法。
【請求項１２】
前記プラズマディスプレイパネルの放電セルの発光輝度を輝度検出手段により検出しながら該輝度検出手段を前記プラズマディスプレイパネルに沿って走査させる走査工程を更に備えることを特徴とする請求項１１に記載のプラズマディスプレイパネルの検査方法。
【請求項１３】
請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置を用いて前記プラズマディスプレイパネルの検査を行う工程を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１４】
電子デバイスが搭載される複数のトレーと、前記トレーを収納する収納庫を具備する検査装置であって、
前記トレーは前記電子デバイスの検査条件又はエージング条件のパラメータが設定されるパラメータ部と、前記パラメータに従って前記電子デバイスを動作させる駆動制御部を有することを特徴とする検査装置。
【請求項１５】
前記複数のトレーの前記パラメータ部に検査パラメータまたはエージングパラメータを設定するパラメータ設定部をさらに具備することを特徴とする請求項１４に記載の検査装置。
【請求項１６】
前記トレーに搭載される前記電子デバイスの品名または種類と検査パラメータまたはエージングパラメータとの対応関係を記憶する対応関係記憶部と、
外部から前記トレーのＩＤと前記ＩＤを有する前記トレーに搭載される前記電子デバイスの品名又は種類との対応関係の情報を取得する情報取得部と、
を更に備え、
前記情報取得部は、外部から取得した情報に基づき、前記対応関係記憶部を参照することにより、前記トレーに搭載される前記電子デバイスと対応する検査パラメータまたはエージングパラメータを抽出し、
前記パラメータ設定部は、前記情報取得部により抽出された検査パラメータまたはエージングパラメータを前記ＩＤを有する前記エージングトレーの前記パラメータ部に設定することを特徴とする請求項１５に記載の検査装置。
【請求項１７】
前記トレーの有するＩＤを読み取るＩＤ読み取り部をさらに具備することを特徴とする請求項１６に記載の検査装置。
【請求項１８】
前記検査パラメータは前記電子デバイスを検査するときの前記電子デバイスの駆動パラメータと良否判定基準であり、前記エージングパラメータは前記電子デバイスをエージングするときの駆動パラメータであることを特徴とする請求項１５乃至１７の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項１９】
前記パラメータ部に前記検査パラメータ及びエージングパラメータを設定することにより、前記電子デバイスのエージングと、前記エージングの前の検査と、前記エージングの後の検査と、のうち少なくとも何れか１つを実行することを特徴とする請求項１５乃至１７の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項２０】
前記電子デバイスは表示デバイスであることを特徴とする請求項１４乃至１９の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項２１】
前記表示デバイスはプラズマディスプレイパネルであることを特徴とする請求項２０に記載の検査装置。
【請求項２２】
請求項１４乃至２１の何れか一項に記載の検査装置を用いて前記電子デバイスの検査またはエージングを行う工程を備えることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項２３】
プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加し、該プラズマディスプレイパネルに電流を流すときの前記電圧の変化量に対する前記電流の変化量の割合を検出することによって、あるいは該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加したときの該プラズマディスプレイパネルの表示状態を画像処理することによって該プラズマディスプレイパネルの良否を判断する検査処理回路、または該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することにより該プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させてエージングを行うエージング処理回路を具備する検査装置であって、
前記プラズマディスプレイパネルをトレーに搭載し、前記トレーに前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータを設定することにより、前記検査処理回路または前記エージング処理回路は前記検査パラメータまたは前記エージングパラメータに応じて動作することを特徴とする検査装置。
【請求項２４】
前記プラズマディスプレイパネルの品名または種類を判定する判定部と、前記品名または種類に応じて前記トレーに前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータを設定するパラメータ設定部と、を具備することを特徴とする請求項２３に記載の検査装置。
【請求項２５】
前記品名又は種類と前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータとの対応関係を設定できる情報取得部をさらに具備することを特徴とする請求項２４に記載の検査装置。
【請求項２６】
前記検査処理回路は前記プラズマディスプレイパネルの良否判定を行い、前記エージング処理回路は前記良否判定により良品と判定された前記プラズマディスプレイパネルのエージング処理を行うことを特徴とする請求項２３乃至２５の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項２７】
前記エージング後、前記検査処理回路は前記プラズマディスプレイパネルの良否判定を行うことを特徴とする請求項２６に記載の検査装置。
【請求項２８】
請求項２３乃至２７の何れか一項に記載の検査装置を用いて前記プラズマディスプレイパネルの検査処理及びエージング処理を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルのエージング装置、プラズマディスプレイパネルの検査装置、プラズマディスプレイパネルの検査方法及びプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰ）、例えば３電極構造のＡＣ型ＰＤＰは、表示用の放電セルを画定する表示電極が低融点ガラスなどの誘電体層で被覆された構造を成し、表示に際しては、書込アドレス法又は消去アドレス法により、発光（点灯）させるべきアドレス用の放電セルに選択的に壁電荷を蓄積させた後、一対の表示電極に交互に放電維持電圧を印加して、周期的に放電を生じさせる。
【０００３】
このようなＰＤＰにおいては、放電ガスを封入しパネル組み立てを完了した後に、所定時間に亘って継続的に表示面内の全ての放電セルを点灯させるエージングが行われる。このエージングを実施することにより、誘電体層の表層部が物理的及び化学的に清浄化され、放電開始電圧が下がって駆動が容易になるとともに、放電が安定化する。
【０００４】
ＰＤＰのエージングは、矩形状のＰＤＰの４辺に沿ってそれぞれ配置された端子群の各々に対し、４つの長尺な外部電極（以下、電極バー）の１つずつを接触させた状態で、これら４つの電極バー及び各端子群を介して、ＰＤＰの電極に電圧を印加することにより行う。
【０００５】
このようなエージングは、例えば特許文献１に記載されているように、ＰＤＰの４辺に沿って配置される４つの電極バー（特許文献１ではショートバーと記載）を備えるトレー（エージングトレー）内に、ＰＤＰを載置して行う。
【０００６】
ところで、特許文献１に開示されたエージングトレーは、一定のサイズのＰＤＰに対してのみエージングを行うことが可能に構成されており、異なるサイズのＰＤＰに対してエージングを行うためには、別のエージングトレーを要していた。このため、特許文献１の技術では、ＰＤＰのサイズ毎にエージングトレーが必要となるため、（１）相互にサイズが異なる多品種のＰＤＰを製造する際に、エージングトレーを頻繁に交換する必要が生じ、設備の稼働率及び生産性が低下する、（２）相互にサイズが異なる多品種のＰＤＰを製造するためには、エージングトレーの必要数が多くなって、設備投資が増加する、などの問題を生じていた。
【０００７】
このような事情に鑑み、複数種類のサイズのＰＤＰに対して共用可能なエージングトレーが、特許文献２に開示されている。
【０００８】
すなわち、特許文献２のエージングトレーでは、ＰＤＰの４辺に沿って配置される４つの電極バー（特許文献２では電極と記載）のうち、少なくとも相互に隣り合って配置される２つの電極バー（つまり２つ乃至４つの電極バー）を、トレー本体に対し着脱自在に構成されているとともに、ＰＤＰのサイズに応じた長さの別の電極バーに交換可能で、且つ、ＰＤＰのサイズに応じた別の位置に装着可能とされている。
【０００９】
よって、特許文献２によれば、着脱自在な２つ以上の電極バーを、ＰＤＰのサイズに応じて異なる長さの電極バーに交換するとともに、これら交換した電極バーの配置位置を変更することにより、複数種類のサイズのＰＤＰに対してトレー本体を共用可能となっている。
【００１０】
なお、特許文献２では、２つの電極バーを交換してＰＤＰのサイズ変更への対応を行う場合、残りの２つの電極バーを共用でき、同様に、３つの電極バーを交換する場合は残りの１つの電極バーを共用できるが、４つの電極バーを全て交換する場合には、電極バーは全く共用できない。
【００１１】
また、従来、上記のようなエージング工程の前後で、上記のようなエージングトレーを用いて、ＰＤＰの点灯検査が目視で行われている。
【００１２】
このようなエージング工程の前後での点灯検査は、不良品に対するエージングの実施を防止したり、エージングの実施により点灯できなくなるか特性が悪化したＰＤＰを次工程に送らないようにする目的で行われる。
【００１３】
また、従来、１つの製造ラインにおいては、同一の種類のＰＤＰのみを生産していたため、従来のエージングトレーは、エージング工程を一定の条件で行うように構成されていた。
【特許文献１】特開平１１−２１３８９１号公報（図４）
【特許文献２】特開２００２−５６７７８号公報（図１、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、特許文献２の場合、エージングトレーを複数種類のサイズのＰＤＰに対して共用するためには、（１）電極バーの交換作業を行う必要がある、（２）ＰＤＰのサイズに応じて複数種類の長さの電極バーを用意しておく必要がある、という問題がある。
【００１５】
このため、（１）相互にサイズが異なる多品種のＰＤＰを製造する際に、電極バーを頻繁に交換する必要が生じ、設備の稼働率及び生産性が低下する、（２）相互にサイズが異なる多品種のＰＤＰを製造するためには、電極バーの必要数が多くなって、設備投資が増加する、などの問題を生じていた。
【００１６】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、部品の交換を行うことなく、相互にサイズが異なる多品種のＰＤＰに対して共用することが可能なエージング装置、及び、このエージング装置を用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【００１７】
また、エージング工程の前後で行われる点灯検査は、表示状態を目視にて観察しながら行う官能検査であるため、自動化が困難であり、人手による検査が必要であった。
【００１８】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、エージング工程の前後などにおいて行われるＰＤＰの検査を目視に頼らず自動で行うことが可能なプラズマディスプレイパネルの検査装置、検査方法及び、それらを適用したプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【００１９】
ところで、エージング工程の最適な条件は、ＰＤＰの種類に応じて異なる場合がある。そのため、ＰＤＰの種類に応じて、それぞれ最適な条件にて、エージング工程を実施する必要がある。
【００２０】
しかしながら、上記のように、従来のエージングトレーは、エージング工程を一定の条件で行うように構成されていたため、ＰＤＰの種類に応じて、エージングトレーの種類を使い分ける必要があった。
【００２１】
近年では、１つの製造ラインにおいても、多品種のＰＤＰを製造することがあるため、１つのエージングトレーにより多品種のＰＤＰに対するエージングを実施できるようにする技術が望まれている。
【００２２】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、ＰＤＰに対するエージングの条件を、ＰＤＰの種類に応じた最適な条件に設定することが可能なエージング装置、及び、このエージング装置を用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明のエージング装置は、プラズマディスプレイパネルの縁辺部に沿って設けられた端子群に接触される電極バーを備え、該電極バーを介して前記端子群に電圧を印加することにより前記プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させエージングを行うためのエージング装置において、寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に前記電極バーを共用可能とするために、前記電極バーの位置を可変とさせる移動機構を備えることを特徴としている。
【００２４】
本発明のエージング装置においては、プラズマディスプレイパネルの少なくとも相互に隣り合う２つの縁辺部に沿って設けられた各端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加するために、前記電極バーを少なくとも２つ以上備え、更に、当該エージング装置によるエージングの対象となるプラズマディスプレイのうち寸法が最大ではないプラズマディスプレイに対してエージングを行うために、前記２つ以上の電極バーのうち少なくとも前記プラズマディスプレイパネルの相互に隣り合う縁辺部の端子群に接触される２つの電極バーを交差させた状態で、相互に交差した電極バーの間に介在して電極バーどうしの電気的接続を防止する１つ以上の絶縁部材を備えることが好ましい。
【００２５】
また、本発明のエージング装置は、プラズマディスプレイパネルの４つの縁辺部に沿って設けられた各端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加するため各縁辺部に沿って配置される４つの電極バーを備え、これら電極バーを介して各端子群に電圧を印加することにより該プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させエージングを行うためのエージング装置において、寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に前記４つの電極バーを共用可能とするために、前記４つの電極バーのうち、少なくとも、前記プラズマディスプレイパネルの相互に隣り合う縁辺部の端子群に接触される２つの電極バーを、それぞれ対向する電極バーの方向に進退可能とさせる移動機構と、当該エージング装置によるエージングの対象となるプラズマディスプレイのうち寸法が最大ではないプラズマディスプレイに対してエージングを行うために、前記４つの電極バーのうちの何れか２つ以上の電極バーを隣の電極バーと交差させた状態で、相互に交差した電極バーの間に介在して電極バーどうしの電気的接続を防止する１つ以上の絶縁部材と、を備えることを特徴としている。
【００２６】
本発明のエージング装置においては、前記絶縁部材は、その保持位置が可変となるよう弾性体を介して保持され、前記絶縁部材により電気的接続が防止される２つの電極バーを、それぞれ対応する端子群に接触させる過程で、これら２つの電極バーの間に前記絶縁部材が挟み込まれる結果、前記弾性体の弾性変形を伴って前記絶縁部材の保持位置が変化し、該保持位置がこれら２つの電極バーの交点の位置に自動的に調節されることが好ましい。
【００２７】
この場合、前記絶縁部材と、該絶縁部材により電気的接続が防止される２つの電極バーのうちの一方と、を保持する保持手段を備え、該保持手段ごと、該一方の電極バー及び該絶縁部材が前記移動機構により移動されることが好ましい。
【００２８】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、本発明のエージング装置を用いてエージングを行う工程を備えることを特徴としている。
【００２９】
また、本発明の検査装置は、プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することによって、該プラズマディスプレイパネルの良否を判定する検査装置において、前記プラズマディスプレイパネルに電圧を印加する電圧印加手段と、前記電圧印加手段により印加される電圧値に応じた前記プラズマディスプレイパネルへの印加電流値を検出する電流検出手段と、前記電圧印加手段により印加される電圧値の変化量と、前記電流検出手段により検出される電流値の変化量と、の関係を検出する変化特性検出手段と、を備え、前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することを特徴としている。
【００３０】
本発明の検査装置においては、前記プラズマディスプレイパネルに対する印加電圧を上昇させ、前記電流値が所定のしきい値以上になり、さらに印加電圧を上昇させたときの前記印加電圧の所定の増加量に対する前記電流値の増加量が所定値以下になる第１の電圧値と、前記印加電圧を前記第１の電圧値以上に設定後、前記印加電圧を減少させたときの前記印加電圧の所定の減少量に対する前記電流値の減少量が所定値以上になる第２の電圧値と、のうちの少なくとも何れか一方を、前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて検出し、前記第１の電圧値と前記第２の電圧値のうちの少なくとも一方により、前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することが好ましい。
【００３１】
本発明の検査装置においては、前記プラズマディスプレイパネルに対する印加電圧値を徐々に上昇させた場合に全放電セルの点灯が完了する第１の電圧値と、
前記プラズマディスプレイパネルの全放電セルを点灯させた状態から該プラズマディスプレイパネルに対する印加電圧値を徐々に減少させた場合に１つ目の放電セルの消灯が開始される第２の電圧値と、のうちの少なくとも何れか一方を、前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて検出し、前記第１の電圧値と前記第２の電圧値のうちの少なくとも一方により、前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することが好ましい。
【００３２】
本発明の検査装置においては、前記プラズマディスプレイパネルの放電セルの発光輝度を検出する輝度検出手段と、前記輝度検出手段を前記プラズマディスプレイパネルに沿って走査させる走査手段を備えることが好ましい。
【００３３】
また、本発明の検査方法は、プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することによって、該プラズマディスプレイパネルの良否を判定する検査方法において、前記プラズマディスプレイパネルに電圧を印加する電圧印加工程と、前記電圧印加工程により印加される電圧値に応じた前記プラズマディスプレイパネルへの印加電流値を検出する電流検出工程と、前記電圧印加工程により印加される電圧値の変化量と、前記電流検出工程により検出される電流値の変化量と、の関係を検出する変化特性検出工程とを備え、前記変化特性検出手段により検出された変化特性に基づいて、前記プラズマディスプレイパネルの良否を判定することを特徴としている。
【００３４】
本発明の検査方法においては、前記プラズマディスプレイパネルの放電セルの発光輝度を輝度検出手段により検出しながら該輝度検出手段を前記プラズマディスプレイパネルに沿って走査させる走査工程を更に備えることが好ましい。
【００３５】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、本発明の検査装置を用いて前記プラズマディスプレイパネルの検査を行う工程を備えることを特徴としている。
【００３６】
また、本発明の検査装置は、電子デバイスが搭載される複数のトレーと、前記トレーを収納する収納庫を具備する検査装置であって、前記トレーは前記電子デバイスの検査条件又はエージング条件のパラメータが設定されるパラメータ部と、前記パラメータに従って前記電子デバイスを動作させる駆動制御部を有することを特徴としている。
【００３７】
本発明の検査装置においては、前記複数のトレーの前記パラメータ部に検査パラメータまたはエージングパラメータを設定するパラメータ設定部をさらに具備することが好ましい。
【００３８】
本発明の検査装置においては、前記トレーに搭載される前記電子デバイスの品名または種類と検査パラメータまたはエージングパラメータとの対応関係を記憶する対応関係記憶部と、外部から前記トレーのＩＤと前記ＩＤを有する前記トレーに搭載される前記電子デバイスの品名又は種類との対応関係の情報を取得する情報取得部と、を更に備え、前記情報取得部は、外部から取得した情報に基づき、前記対応関係記憶部を参照することにより、前記トレーに搭載される前記電子デバイスと対応する検査パラメータまたはエージングパラメータを抽出し、前記パラメータ設定部は、前記情報取得部により抽出された検査パラメータまたはエージングパラメータを前記ＩＤを有する前記エージングトレーの前記パラメータ部に設定することが好ましい。
【００３９】
本発明の検査装置においては、前記トレーの有するＩＤを読み取るＩＤ読み取り部をさらに具備することが好ましい。
【００４０】
本発明の検査装置においては、前記検査パラメータは前記電子デバイスを検査するときの前記電子デバイスの駆動パラメータと良否判定基準であり、前記エージングパラメータは前記電子デバイスをエージングするときの駆動パラメータであることが好ましい。
【００４１】
本発明の検査装置においては、前記パラメータ部に前記検査パラメータ及びエージングパラメータを設定することにより、前記電子デバイスのエージングと、前記エージングの前の検査と、前記エージングの後の検査と、のうち少なくとも何れか１つを実行することが好ましい。
【００４２】
本発明の検査装置においては、前記電子デバイスは表示デバイスであることが好ましい。
【００４３】
本発明の検査装置においては、前記表示デバイスはプラズマディスプレイパネルであることが好ましい。
【００４４】
本発明の電子デバイスの製造方法は、本発明の検査装置を用いて前記電子デバイスの検査またはエージングを行う工程を備えることを特徴としている。
【００４５】
また、本発明の検査装置は、プラズマディスプレイパネルの端子群より該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加し、該プラズマディスプレイパネルに電流を流すときの前記電圧の変化量に対する前記電流の変化量の割合を検出することによって、あるいは該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加したときの該プラズマディスプレイパネルの表示状態を画像処理することによって該プラズマディスプレイパネルの良否を判断する検査処理回路、または該プラズマディスプレイパネルに電圧を印加することにより該プラズマディスプレイパネルの放電セルを点灯させてエージングを行うエージング処理回路を具備する検査装置であって、前記プラズマディスプレイパネルをトレーに搭載し、前記トレーに前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータを設定することにより、前記検査処理回路または前記エージング処理回路は前記検査パラメータまたは前記エージングパラメータに応じて動作することを特徴としている。
【００４６】
本発明の検査装置においては、前記プラズマディスプレイパネルの品名または種類を判定する判定部と、前記品名または種類に応じて前記トレーに前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータを設定するパラメータ設定部と、を具備することが好ましい。
【００４７】
本発明の検査装置においては、前記品名又は種類と前記検査処理に関する検査パラメータまたは前記エージング処理に関するエージングパラメータとの対応関係を設定できる情報取得部をさらに具備することが好ましい。
【００４８】
本発明の検査装置においては、前記検査処理回路は前記プラズマディスプレイパネルの良否判定を行い、前記エージング処理回路は前記良否判定により良品と判定された前記プラズマディスプレイパネルのエージング処理を行うことが好ましい。
【００４９】
本発明の検査装置においては、前記エージング後、前記検査処理回路は前記プラズマディスプレイパネルの良否判定を行うことが好ましい。
【００５０】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、本発明の検査装置を用いて前記プラズマディスプレイパネルの検査処理及びエージング処理を行うことを特徴としている。
【発明の効果】
【００５１】
本発明のエージング装置によれば、寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に電極バーを共用可能とするために、電極バーの位置を可変とさせる移動機構を備えるので、寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に電極バーを共用することができる。よって、ＰＤＰの寸法毎に複数種類のエージング装置（エージングトレー）を準備する必要がない。また、寸法が相互に異なるプラズマディスプレイパネルに対するエージングの際に電極バーを共用できるため、特許文献２の技術とは異なり、複数種類の寸法のＰＤＰに対してエージング装置を共用するに際して、電極バーの交換作業を行う必要がない。よって、特許文献２の技術よりも設備の稼働率及び生産性を向上させることができる。
【００５２】
また、本発明のエージング装置によるエージングの対象となるプラズマディスプレイのうち、寸法が最大ではないプラズマディスプレイに対してエージングを行うためには、プラズマディスプレイパネルの相互に隣り合う縁辺部の端子群に接触される少なくとも２つの電極バーを交差させる必要があるが、そのように相互に交差した電極バーの間に介在して電極バーどうしの電気的接続を防止する１つ以上の絶縁部材を更に備えることにより、電極バーどうしの電気的接続（ショート）を防止でき、好適にエージングを行うことができる。
【００５３】
また、本発明の検査装置によれば、従来は目視に頼っていたエージング前、エージング後のプラズマディスプレイパネルの検査の自動化が可能となる。
【００５４】
また、本発明のエージング装置によれば、電子デバイスが搭載される複数のトレーと、前記トレーを収納する収納庫を具備する検査装置であって、前記トレーは検査条件又はエージング条件のパラメータが設定されるパラメータ部と、前記パラメータに従って前記電子デバイスを動作させる駆動制御部を有するので、ＰＤＰに対する検査条件又はエージングの条件を、ＰＤＰの種類に応じた最適な条件に設定し、設定したパラメータに従って電子デバイスを動作させることにより、ＰＤＰの種類に応じて最適な検査又はエージングを実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５５】
以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態について説明する。
【００５６】
〔第１の実施形態〕
図１は第１の実施形態に係るエージングトレー（エージング装置）１００を示す平面図、図２はエージングトレー１００の一部を示す正面図、図３はエージングトレー１００がエージングの対象とするＰＤＰ１０１〜１０３のうち、最大のサイズのＰＤＰ１０１に対するエージングを行う状態のエージングトレー１００を示す模式的平面図、図４はエージングトレー１００がエージングの対象とするＰＤＰ１０１〜１０３のうち、中間サイズのＰＤＰ１０２に対するエージングを行う状態のエージングトレー１００を示す模式的平面図、図５はエージングトレー１００がエージングの対象とするＰＤＰ１０１〜１０３のうち、最小のサイズのＰＤＰ１０３に対するエージングを行う状態のエージングトレー１００を示す模式的平面図、図６はエージングトレー１００がエージングの対象とするＰＤＰ１０１〜１０３のうち、中間サイズのＰＤＰ１０２に対するエージングを行う状態のエージングトレー１００を示す要部拡大の模式的側面図、図７はエージングトレー１００がエージングの対象とするＰＤＰ１０１〜１０３のうち、最大のサイズのＰＤＰ１０１に対するエージングを行う状態のエージングトレー１００を示す要部拡大の模式的側面図である。
【００５７】
図１に示す本実施形態に係るエージングトレー１００は、該エージングトレー１００が備える４つの電極バー１２１〜１２４のうち、例えば３つの電極バー１２１、１２２、１２４を移動可能に構成され、エージングを施すべきＰＤＰのサイズに応じてこれら３つの電極バー１２１、１２２、１２４の位置を調節することにより、寸法が相互に異なるＰＤＰに対して、それぞれエージングを行うことが可能に構成されている。
【００５８】
本実施形態の場合、エージングトレー１００は、具体的には、例えば、大、中、小の３種類の寸法のＰＤＰ１０１〜１０３に対して、それぞれエージングを行うことが可能に構成されている。
【００５９】
図１に示すように、エージングトレー１００は、上側に向けて開口した半筐体状のトレー本体１０４と、このトレー本体１０４上に配設された４つの電極ユニット１１１〜１１４と、を備えている。
【００６０】
各電極ユニット１１１〜１１４は、それぞれ長尺な電極バー１２１〜１２４を備えている。
【００６１】
すなわち、電極ユニット１１１、１１３は、エージングのためトレー本体１０４内に載置されたＰＤＰ１０１〜１０３の相互に対向する長辺に沿ってそれぞれ位置する電極バー１２１、１２３を備えている一方で、電極ユニット１１２、１１４は、該ＰＤＰ１０１〜１０３の相互に対向する短辺に沿ってそれぞれ位置する電極バー１２２、１２４を備えている。
【００６２】
電極バー１２１、１２３は、相互に平行に配置され、且つ、相互に略同一の長さに寸法に設定され、同様に、電極バー１２２、１２４は、相互に平行に配置され、且つ、相互に略同一の長さに設定され、電極バー１２２、１２４よりも電極バー１２１、１２３の方がより長尺である。
【００６３】
各電極バー１２１〜１２４は、例えば、長尺で柔軟な部材を、例えばＳＵＳなどの金属繊維で被覆してなる。
【００６４】
各電極バー１２１〜１２４は、ＰＤＰ１０１〜１０３の４つの辺の縁部（縁辺部）に沿って設けられた各端子群に当接されて、これら端子群よりＰＤＰ１０１〜１０３に電圧を印加するためのものである。
【００６５】
各電極バー１２１〜１２４を介してＰＤＰ１０１〜１０３の各端子群に電圧を印加することにより、ＰＤＰ１０１〜１０３の全ての放電セルを点灯させて、エージングを行うことができる。
【００６６】
本実施形態の場合、寸法が相互に異なるＰＤＰ１０１〜１０３に対してそれぞれエージングを行うことができるように、４つの電極バー１２１〜１２４のうち、例えば、電極バー１２１、１２２及び１２４の３つの電極バーが、それぞれ対向する電極バーの方向に進退可能とされている。
【００６７】
つまり、電極バー１２１は、該電極バー１２１を備える電極ユニット１１１ごと、対向する電極バー１２３の方向及びその反対方向に移動可能とされている。同様に、電極バー１２２は、該電極バー１２２を備える電極ユニット１１２ごと、対向する電極バー１２４の方向及びその反対方向に、電極バー１２４は、該電極バー１２４を備える電極ユニット１１４ごと、対向する電極バー１２２の方向及びその反対方向に、それぞれ移動可能とされている。
【００６８】
より具体的には、移動可能な各電極ユニット１１１，１１２、１１４は、各々を対向する電極ユニットの方向及びその反対方向に向けてスライドさせるスライド部材（移動機構）１３１（図２参照）を介してトレー本体１０４の底面上に設けられ、該スライド部材１３１により、トレー本体１０４の底面に沿って、それぞれ対向する電極ユニットの方向に進退可能とされている。
【００６９】
ここで、図２、図６及び図７に示すように、ＰＤＰ１０１〜１０３は、前面基板１４１及び背面基板１４２の２枚の基板を備えて構成され、エージングの際には、例えば、両基板１４１，１４２のうち前面基板１４１を上側にしてトレー本体１０４内に載置される。
【００７０】
そして、各電極バー１２１〜１２４のうち、例えば、電極バー１２１、１２３は、ＰＤＰ１０１〜１０３の下側基板１４２の縁辺部における上面に配列された端子群に対してそれぞれ接触されるものである。このため、電極バー１２１、１２３は、電極ユニット１１１、１１３において、それぞれ下向きに保持されている（電極バー１２１については図６、図７参照：電極バー１２３についても電極バー１２１と同様の状態に保持されている）。
【００７１】
他方、各電極バー１２１〜１２４のうち、例えば、電極バー１２２、１２４は、ＰＤＰの上側基板１４１の縁辺部における下面に配列された端子群に対してそれぞれ接触されるものである。このため、電極バー１２２、１２４は、電極ユニット１１２、１１４において、それぞれ上向きに保持されている（図２、図６、図７参照）。
【００７２】
具体的には、各電極ユニット１１１〜１１４のうち、電極ユニット１１４は、例えば、図２に示すように、略水平に配置された板状の電極支持台１３２と、この電極支持台１３２より垂直に起立するように該電極支持台１３２上に設けられた電極支持体１３３と、を備え、この電極支持体１３３上に電極バー１２４を上向きに保持している。
【００７３】
更に、電極ユニット１１４は、ＰＤＰ１０１〜１０３を上側から電極バー１２４に対して押さえつけてクランプするためのパネル押さえ１３４と、このパネル押さえ１３４を下向きに保持した押さえ保持体１３５と、この押さえ保持体１３５を上下動可能に支持した支持体１３６と、を備えている。
【００７４】
このうち支持体１３６は、電極支持台１３２より垂直に起立するように該電極支持台１３２上に設けられた板状の部材である。また、押さえ保持体１３５は断面Ｌ字状の板状部材である。
【００７５】
押さえ保持体１３５には、電極ユニット１１４をＰＤＰ１０１〜１０３に対して位置決めした際に該ＰＤＰ１０１〜１０３の外周端面に当接する緩衝部材１３７が設けられている。
【００７６】
更に、電極ユニット１１４は、例えば、引張型のコイルバネ１３８などの付勢手段により、対向する電極ユニット１１２とは反対方向に向けて付勢されるようになっている。なお、コイルバネ１３８の一端は、例えば、電極支持台１３２に固定され、他端は、例えば、固定部材１３８ａを介してトレー本体１０４の側部内面に固定されている。
【００７７】
また、詳細な図示は省略するが、電極ユニット１１２は、電極ユニット１１４とは図１において左右対称に構成されている。
【００７８】
更に、電極ユニット１１２も、電極ユニット１１４と同様に、例えばコイルバネ１３８（図１）により、対向する電極ユニット１１４とは反対方向に向けて付勢されるようになっている。
【００７９】
また、電極ユニット１１１は、板状の電極支持台１３２（図１参照）と、この電極支持台１３２より垂直に起立するように該電極支持台１３２上に設けられた支持体１３９（図１参照）と、この支持体１３９により上下動可能に保持された電極保持体１４０（図６、図７に一部のみ図示）と、を備えている。
【００８０】
このうち電極保持体１４０は、電極ユニット１１２，１１４における押さえ保持体１３５と同様に、断面Ｌ字状の板状部材であり、該押さえ保持体１３５がパネル押さえ１３４を保持しているのと同様に、電極バー１２１を下向きに保持している。
【００８１】
電極保持体１４０は、電極ユニット１１２，１１４における押さえ保持体１３５が支持体１３６により上下動可能に支持されているのと同様に、支持体１３９により上下動可能に支持されている。
【００８２】
電極保持体１４０には、電極ユニット１１２，１１４における押さえ保持体１３５に緩衝部材１３７が設けられているのと同様に、電極ユニット１１１をＰＤＰ１０１〜１０３に対して位置決めした際に該ＰＤＰ１０１〜１０３の外周端面に当接する緩衝部材１３７（図示略）が設けられている。
【００８３】
更に、電極ユニット１１１も、電極ユニット１１２、１１４と同様に、例えばコイルバネ１３８（図１）により、対向する電極ユニット１１３とは反対方向に向けて付勢されるようになっている。
【００８４】
また、電極ユニット１１３は、電極ユニット１１１に対し、図１におけるほぼ上下対称に構成されている。ただし、本実施形態の場合、例えば、電極ユニット１１３は、トレー本体１０４に対し固定され、移動はしない。
【００８５】
また、本実施形態に係るエージングトレー１００は、図示は省略するが、各電極ユニット１１１、１１２、１１４を、コイルバネ１３８の付勢に抗して、それぞれ対向する電極ユニット側に移動させるための、例えばモータなどからなるアクチュエーターと、電極ユニット１１２の押さえ保持体１３５及びパネル押さえ１３４を該電極ユニット１１２の支持体１３６に対して上下動させるための、例えばモータなどからなるアクチュエーターと、電極ユニット１１４の押さえ保持体１３５及びパネル押さえ１３４を該電極ユニット１１４の支持体１３６に対して上下動させるための、例えばモータなどからなるアクチュエーターと、電極ユニット１１１の電極保持体１４０及び電極バー１２１を該電極ユニット１１１の支持体１３９に対して上下動させるための、例えばモータなどからなるアクチュエーターと、電極ユニット１１３の電極保持体１４０及び電極バー１２３を該電極ユニット１１３の支持体１３９に対して上下動させるための、例えばモータなどからなるアクチュエーターと、これら各アクチュエーターの動作を制御する制御部と、を備えている。
【００８６】
ここで、図３〜図５においては、それぞれ簡単のため、各電極ユニット１１１〜１１４において、電極バー１２１〜１２４及び絶縁部材１５１，１５２（以下に説明）以外の構成要素は図示を省略している。
【００８７】
図３に示すように、各電極バー１２１〜１２４の長さは、エージングトレー１００によるエージングの対象となるＰＤＰ１０１〜１０３のうち最大のサイズのＰＤＰ１０１に対してエージングを施す際には、相互に交差することがないような長さに設定されている。
【００８８】
しかし、エージングトレー１００によるエージングの対象となるＰＤＰ１０１〜１０３のうち最大のサイズではないＰＤＰ、すなわちＰＤＰ１０２、１０３に対してエージングを施す際には、図４及び図５に示すように、電極バー１２１が、該電極バー１２１と相互に隣り合う電極バー１２２及び電極バー１２４と、それぞれ交差してしまう。
【００８９】
そこで、本実施形態に係るエージングトレー１００は、電極バー１２１が電極バー１２２、１２４と交差しても、各電極バー１２１、１２２、１２４を相互に絶縁状態に保つことができるように、絶縁性の材質からなる絶縁部材１５１、１５２を備えている。
【００９０】
このうち、絶縁部材１５１は、図４及び図６に示すように、中間サイズのＰＤＰ１０２に対してエージングを施す際に、電極バー１２１と、電極バー１２２及び電極バー１２４との間にそれぞれ介在し（挟まれ）、電極バー１２１と電極バー１２２との電気的接続、並びに、電極バー１２１と電極バー１２４との電気的接続をそれぞれ防止する。
【００９１】
ここで、絶縁部材１５１は、シート状に形成され、その下面側より、例えば、圧縮型のコイルバネ１５３などの弾性体を介して、電極ユニット１１２及び１１４の電極支持台１３２によりそれぞれ保持されている（図７参照）。
【００９２】
これにより、絶縁部材１５１は、電極ユニット１１２及び１１４の電極支持台１３２の上方位置において、該絶縁部材１５１の保持高さが可変とされている。
【００９３】
絶縁部材１５１の保持高さは、該絶縁部材１５１が電極バーどうしの間に挟まれないときには、電極バー１２２及び１２４よりも上方位置となり（図７参照）、電極バーどうしの間に挟まれたときには、電極バーどうしの交点の高さとなる（図６参照）。
【００９４】
同様に、絶縁部材１５２は、図５に示すように、小さいサイズのＰＤＰ１０３に対してエージングを施す際に、電極バー１２１と、電極バー１２２及び電極バー１２４との間にそれぞれ介在し（挟まれ）、電極バー１２１と電極バー１２２との電気的接続、並びに、電極バー１２１と電極バー１２４との電気的接続をそれぞれ防止する。
【００９５】
また、絶縁部材１５２についても、図示は省略するが、絶縁部材１５１と同様にシート状に形成され、その下面側より、例えば圧縮型のコイルバネ１５３（図示略）などの弾性体を介して、電極ユニット１１２及び１１４の電極支持台１３２によりそれぞれ保持されている。また、絶縁部材１５１と同様に、絶縁部材１５２の保持高さは、該絶縁部材１５２が電極バーどうしの間に挟まれないときには電極バー１２２及び１２４よりも上方位置となり、電極バーどうしの間に挟まれたときには電極バーどうしの交点の高さとなる。
【００９６】
また、絶縁部材１５１，１５２は、それぞれ、コイルバネ１５３を介して電極支持台１３２により保持されているため、この電極支持台１３２ごと、それぞれ対向する電極ユニットの方向に進退移動される。
【００９７】
ここで、中間サイズのＰＤＰ１０２及び小さいサイズのＰＤＰ１０３に対してエージングを行うためには、上記のように、電極バー１２１が、電極バー１２２及び１２４と交差する状態となるように、各電極ユニット１１１，１１２及び１１４を移動させる必要がある。
【００９８】
このため、各電極ユニット１１１、１１２及び１１４において、電極バー１２１、１２２及び１２４を除く各構成要素（電極支持台１３２、パネル押さえ１３４、電極支持体１３３、押さえ保持体１３５、支持体１３６、緩衝部材１３７、支持体１３９、電極保持体１４０など）は、それぞれ、各電極ユニット１１１、１１２及び１１４の移動を妨げないような寸法・形状に設定されている。
【００９９】
具体的には、例えば、図１に示すように、電極ユニット１１１においては、電極バー１２１以外の構成要素は、電極バー１２１の両端部を除く部位にのみ位置している。つまり、電極ユニット１１１の各構成要素のうち、電極バー１２１のみが図１における左右両方向に突出している。これにより、各電極ユニット１１１、１１２及び１１４の各々が移動しても、各電極ユニット１１１、１１２及び１１４の相互間で移動を緩衝することがないようになっている。
【０１００】
エージングトレー１００は、以上のように構成されている。
【０１０１】
なお、エージングトレー１００は、ＰＤＰの生産ラインにおいて、エージング工程を担うエージング処理部に配置され、例えば、前工程から自動搬送されてきたＰＤＰが、エージングトレー１００内に自動的に搭載されるようになっている。
【０１０２】
次に、動作を説明する。
【０１０３】
エージングトレー１００は、以下に説明するように、ＰＤＰに対して自動的にエージングを行う。
【０１０４】
先ず、エージングトレー１００にＰＤＰ（３つのサイズのＰＤＰ１０１〜１０３のうちの何れか１種類のサイズのＰＤＰ）が載せられると、該ＰＤＰのサイズに応じた量だけ電極ユニット１１１、１１２及び１１４が、それぞれコイルバネ１３８の付勢に抗して、各々対向する電極ユニットに向けて、アクチュエータにより移動される。
【０１０５】
すると、各電極ユニット１１１、１１２及び１１４は、各々の緩衝部材１３７がＰＤＰの外周端面に当接したところで、それぞれ移動が規制されて停止する。なお、この段階で、電極ユニット１１３の緩衝部材１３７にもＰＤＰの外周端面が当接している。
【０１０６】
次に、電極ユニット１１２の押さえ保持体１３５及びパネル押さえ１３４がアクチュエータにより下降される一方で、同様に、電極ユニット１１４の押さえ保持体１３５及びパネル押さえ１３４もアクチュエータにより下降され、これらパネル押さえ１３４により、ＰＤＰの前面基板１４１の縁辺部下面の端子群が、電極バー１２２，１２４に対してそれぞれ上側から押さえつけられる（図２参照）。
【０１０７】
また、電極ユニット１１１の電極保持体１４０及び電極バー１２１がアクチュエータにより下降される一方で、電極ユニット１１３の電極保持体１４０及び電極バー１２３がアクチュエータにより下降されて、これら電極バー１２１、１２３が、ＰＤＰの背面基板１４２の縁辺部上面の端子群に対して、それぞれ上側から押し付けられる（図６、図７参照）。
【０１０８】
これにより、各電極バー１２１〜１２４が、それぞれＰＤＰの対応する端子群に対して接触状態となると共に、ＰＤＰがクランプ状態（固定状態）となり、エージングを開始可能となる。
【０１０９】
また、特に、中間サイズのＰＤＰ１０２をクランプする際には、以下に説明する動作となる。
【０１１０】
先ず、ＰＤＰ１０２のサイズに応じた量だけ電極ユニット１１１、１１２及び１１４が、それぞれコイルバネ１３８の付勢に抗して、各々対向する電極ユニットに向けてアクチュエータにより移動されると、各電極ユニット１１１、１１２及び１１４は、各々の緩衝部材１３７がＰＤＰの外周端面に当接したところで、それぞれ移動が規制されて停止する。この段階で、電極ユニット１１３の緩衝部材１３７にもＰＤＰ１０２の外周端面が当接している。
【０１１１】
また、この段階で、電極バー１２１は、図６に示す位置の上方位置、すなわち絶縁部材１５１よりも上方に位置している。
【０１１２】
次に、電極ユニット１１２、１１４の押さえ保持体１３５及びパネル押さえ１３４が、アクチュエータにより下降され、該パネル押さえ１３４により、ＰＤＰの前面基板１４１の縁辺部下面の端子群が、電極バー１２２，１２４に対して上側から押さえつけられる（図２参照）。
【０１１３】
また、電極ユニット１１１の電極保持体１４０及び電極バー１２１がアクチュエータにより下降される一方で、電極ユニット１１３の電極保持体１４０及び電極バー１２３がアクチュエータにより下降されて、これら電極バー１２１、１２３が、ＰＤＰの背面基板１４２の縁辺部上面の端子群に対して、それぞれ上側から押し付けられる（図６参照）。この際に、絶縁部材１５１は、それぞれ電極バー１２１により下向きに押されて下降し、電極バー１２１と電極バー１２２との間、並びに、電極バー１２１と電極バー１２３との間に、それぞれ挟まれる。
【０１１４】
すなわち、電極バー１２１をそれと対応する端子群に接触させる過程で、電極バー１２１と電極バー１２２との間、並びに、電極バー１２１と電極バー１２３との間に絶縁部材１５１が挟み込まれる結果、コイルバネ１５３の弾性変形を伴って絶縁部材１５１の保持位置が変化し、この保持位置が電極バー１２１と電極バー１２２との交点の位置、並びに、電極バー１２１と電極バー１２３との交点の位置にそれぞれ自動的に調節される。
【０１１５】
よって、電極バー１２１と電極バー１２２との電気的接続、並びに、電極バー１２１と電極バー１２３と電気的接続が、それぞれ絶縁部材１５１により防止される。
【０１１６】
これにより、各電極バー１２１〜１２４が、ＰＤＰの対応する端子群に対して接触状態となると共に、ＰＤＰがクランプ状態（固定状態）となり、エージングを開始可能となる。
【０１１７】
同様に、特に、小さいサイズのＰＤＰ１０３をクランプする際には、以下に説明する動作となる。
【０１１８】
先ず、ＰＤＰ１０３のサイズに応じた量だけ電極ユニット１１１、１１２及び１１４が、それぞれコイルバネ１３８の付勢に抗して、各々対向する電極ユニットに向けてアクチュエータにより移動されると、各電極ユニット１１１、１１２及び１１４は、各々の緩衝部材１３７がＰＤＰの外周端面に当接したところで、それぞれ移動が規制されて停止する。この段階で、電極ユニット１１３の緩衝部材１３７にもＰＤＰ１０３の外周端面が当接している。
【０１１９】
また、この段階で、電極バー１２１は、図５に示す位置に移動し、その鉛直位置は、絶縁部材１５２の上方位置となっている。
【０１２０】
次に、電極ユニット１１２、１１４の押さえ保持体１３５及びパネル押さえ１３４が、アクチュエータにより下降され、該パネル押さえ１３４により、ＰＤＰの前面基板１４１の縁辺部下面の端子群が、電極バー１２２，１２４に対して上側から押さえつけられる（図２参照）。
【０１２１】
また、電極ユニット１１１の電極保持体１４０及び電極バー１２１がアクチュエータにより下降される一方で、電極ユニット１１３の電極保持体１４０及び電極バー１２３がアクチュエータにより下降されて、これら電極バー１２１、１２３が、ＰＤＰの背面基板１４２の縁辺部上面の端子群に対して、それぞれ上側から押し付けられる。この際に、絶縁部材１５２は、それぞれ電極バー１２１により下向きに押されて下降し、電極バー１２１と電極バー１２２との間、並びに、電極バー１２１と電極バー１２３との間に、それぞれ挟まれる。
【０１２２】
よって、電極バー１２１と電極バー１２２との電気的接続、並びに、電極バー１２１と電極バー１２３と電気的接続が、それぞれ絶縁部材１５２により防止される。
【０１２３】
これにより、各電極バー１２１〜１２４が、ＰＤＰの対応する端子群に対して接触状態となると共に、ＰＤＰがクランプ状態（固定状態）となり、エージングを開始可能となる。
【０１２４】
エージングは、例えば、エージングトレー１００の外部に備えられる電源より、各電極バー１２１〜１２４を介して、ＰＤＰの各々対応する端子群に対して、所定の態様で電圧を印加し、ＰＤＰの全ての放電セルを点灯させて行う。
【０１２５】
エージングは、例えば、面放電による点灯動作と、対向放電による点灯動作とをそれぞれ所定時間ずつ行う（例えば、面放電を７時間と対向放電を３時間の合計１０時間など）。
【０１２６】
このエージングを実施することにより、ＰＤＰの誘電体層の表層部が物理的及び化学的に清浄化され、放電開始電圧が下がって駆動が容易になるとともに、放電が安定化する。
【０１２７】
なお、電極バー１２１と電極バー１２３とは対称に形成されているとともに、電極バー１２２と電極バー１２４とは対称に形成され、エージングの対象とするＰＤＰのサイズが変化しても、処理にムラが発生しないようになっている。
【０１２８】
エージングが完了すると、クランプ状態が解除される。つまり、電極ユニット１１２、１１４の押さえ保持体１３５及びパネル押さえ１３４がアクチュエータにより上昇される一方で、電極ユニット１１１の電極保持体１４０及び電極バー１２１、並びに、電極ユニット１１３の電極保持体１４０及び電極バー１２３が、それぞれアクチュエータにより上昇される。
【０１２９】
すると、各電極ユニット１１１，１１２、１１４は、コイルバネ１３８の付勢に従って、定位置に復帰する。よって、その後は何れのサイズのＰＤＰに対するエージングにもスムーズに移行できる状態となる。
【０１３０】
以上のような第１の実施形態によれば、電極バー１２１、１２２、１２４が、それぞれ対向する電極バーに向けて進退可能であるので、各電極バー１２１〜１２４により包囲される領域の広さを変更することができる。よって、寸法が相互に異なるＰＤＰに対するエージングの際に各電極バー１２１〜１２４、ひいてはエージングトレー１００の全体を共用することができる。
【０１３１】
また、複数種類の寸法のＰＤＰに対してエージングトレー１００を共用するに際して、電極バー１２１〜１２４の交換作業を行う必要がないので、設備の稼働率及び生産性を向上させることができる。つまり、ＰＤＰの製造工程において、本実施形態に係るエージングトレー１００を用いてエージングを行う過程を備えることにより、ＰＤＰの生産性を向上させることができる。
【０１３２】
更に、エージングトレー１００によるエージングの対象となるＰＤＰ１０１〜１０３のうち、寸法が最大ではないＰＤＰ１０２、１０３に対してエージングを行うためには、ＰＤＰ１０２、１０３の相互に隣り合う縁辺部の端子群に接触される少なくとも２つの電極バー、すなわち、本実施形態の場合、例えば、電極バー１２１と電極バー１２２、並びに、電極バー１２１と電極バー１２４を交差させる必要があるが、そのように相互に交差した電極バーの間に介在して電極バーどうしの電気的接続を防止する絶縁部材１５１、１５２を備えるので、電極バーどうしの電気的接続（ショート）を防止できて、好適に、各電極バー１２１〜１２４から各端子群に対して電圧を印加することができる。よって、電極バー１２１〜１２４を異なる長さの電極バーに交換することなく、複数種類のサイズのＰＤＰに対するエージングを行うことができる。
【０１３３】
加えて、ＰＤＰに対する各電極バー１２１〜１２４の接触を自動的に行うことができるので省人化が可能となる。
【０１３４】
なお、上記の第１の実施形態では、エージングトレー１００を、３種類のサイズのＰＤＰ１０１〜１０３に対してそれぞれ共用可能に構成した例を説明したが、２種類のサイズのＰＤＰに対して共用可能に構成しても良いし、或いは、４種類以上のサイズのＰＤＰに対して共用可能にしても良い。
【０１３５】
また、電極ユニット１１３は電極ユニット１１１側に向けて移動しない例を説明したが、電極ユニット１１３も電極ユニット１１１側に向けて進退可能に構成しても良い。なお、この場合、電極バー１２３と電極バー１２２、１２４との間に介在される絶縁部材を備える必要がある。
【０１３６】
或いは、３つの電極ユニット１１１、１１２、１１４を各々対向する電極ユニット側に向けて移動可能な例を説明したが、例えば、相互に隣り合う２つの電極ユニット（例えば、電極ユニット１１１及び電極ユニット１２２、或いは、電極ユニット１１１及び電極ユニット１２４）のみが、それぞれ対向する電極ユニット側に向けて進退可能であるように、エージングトレー１００を構成しても良い。
【０１３７】
また、上記の実施形態では、ＰＤＰの周囲４つの縁辺部に沿って設けられた端子群に、それぞれ電極バーを当接させてエージングを行う例を説明したが、ＰＤＰの相互に隣り合う２つの縁辺部に沿ってのみ端子群が設けられている場合もあり、そのような場合には、電極ユニットを２つのみ備えればよい。すなわち、この場合、各電極ユニットが備える電極バーを、相互にＬ字状に直交するように配置すればよい。また、そのような場合、何れか一方の電極ユニットのみが、他方の電極ユニットが備える電極バーに沿って移動可能であればよいとともに、絶縁部材は不要となる。なお、このように電極ユニットを２つのみ備える場合に、双方の電極バーを、互いの電極バーの長手方向に移動可能にエージングトレーを構成しても良いが、この場合には、各電極バーどうしの電気的接続を防止するための絶縁部材が必要となる。
【０１３８】
〔第２の実施形態〕
第２の実施形態では、本発明に係る検査装置及び検査方法の適例について説明する。
【０１３９】
図８は第２の実施形態に係る検査装置を示す模式的な正面断面図であり、図９は検査装置が備える特性検査部を示す模式的平面図、図１０は特性検査部によるＰＤＰの特性検査により得られた電圧−電流特性のヒステリシスパターンを示す図、図１１は点灯完了電圧と消灯開始電圧の判定の仕方を説明するための図、図１２は検査装置が備える点灯表示検査部を示す模式的平面図、図１３は点灯表示検査部を示す正面断面図、図１４は点灯表示検査部による点灯表示検査結果の例を示す図である。
【０１４０】
図８に示すように、第２の実施形態に係る検査装置２００は、ＰＤＰ（電子デバイス）のエージング工程の前後にてＰＤＰの検査を行う装置であり、ＰＤＰの特性検査が行われる特性検査部２０１と、ＰＤＰの点灯表示検査が行われる点灯表示検査部２０２と、を備えて構成されている。
【０１４１】
このうち特性検査部２０１は、ＰＤＰ２０３が搭載されるエージングトレー２０４と、このエージングトレー２０４を介してＰＤＰ２０３に印加電圧を供給する交流電源２０５と、この交流電源２０５によりＰＤＰ２０３に印加される電圧を自動的に制御する特性検査部制御用ＰＣ（ＰＣ：Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）２０６と、を備えて構成されている。
【０１４２】
このうちエージングトレー２０４は、例えば、上記の第１の実施形態で説明したエージングトレーと同様のものであり、該エージングトレー２０４内に搭載されたＰＤＰ２０３の端子に接触可能な複数（例えば４つ）の電極バー２０７を備えている。
【０１４３】
そして、エージングトレー２０４の電極バー２０７をＰＤＰ２０３の端子に接触させた状態で、特性検査部制御用ＰＣ２０６の制御下で、交流電源２０５からエージングトレー２０４の電極バー２０７を介してＰＤＰ２０４の端子に印加電圧を供給しながら、特性検査が行われる。
【０１４４】
他方、点灯表示検査部２０２は、エージングトレー２０４と、このエージングトレー２０４を介してＰＤＰ２０３に印加電圧を供給する交流電源２０８と、この交流電源２０８によりＰＤＰ２０３に印加される電圧を自動的に制御する点灯表示検査部制御用ＰＣ（ＰＣ：Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）２０９と、点灯表示検査のために、点灯させた状態でのＰＤＰ２０３の画像を取り込むＣＣＤカメラ２１０と、このＣＣＤカメラ２１０をＰＤＰ２０３上方の任意の測定位置に移動させることが可能なアクチュエータ２１１と、ＣＣＤカメラ２１０により取り込まれた画像を処理し各点灯表示検査項目毎の画像演算結果を算出する画像処理装置２１２と、を備えて構成されている。
【０１４５】
なお、以上のような検査装置２００の特性検査部制御用ＰＣ２０６及び点灯表示検査部制御用ＰＣ２０９は、検査装置２００を含むＰＤＰ生産ラインにおける管理制御部２２０（図９、図１２参照）に接続されている。そして、特性検査部制御用ＰＣ２０６及び点灯表示検査部制御用ＰＣ２０９は、この管理制御部２２０に対し、検査結果や測定結果を送信する。
【０１４６】
更に、検査装置２００は、エージング工程中の複数のＰＤＰ２０３をエージングトレー２０４ごと収容するエージング倉庫（収納庫）２１３を備えている。すなわち、検査装置２００は、ＰＤＰ２０３が搭載される複数のエージングトレー２０４と、これらトレーを収納するエージング装置２１３を具備する。
【０１４７】
加えて、検査装置２００は、前工程から送られてきたＰＤＰ２０３を該検査装置２００のエージングトレー２０４内に移載する一方で検査装置２００による検査を終えたＰＤＰ２０３を後工程への搬送路に移載するＰＤＰ移載装置２１４を備えている。
【０１４８】
次に、動作を説明する。
【０１４９】
先ず、ＰＤＰ移載装置２１４により予め特性検査部２０１のエージングトレー２０４に搭載されたＰＤＰ２０３の端子部に対し、電極バー２０７が接触される。
【０１５０】
ここで、特性検査部制御用ＰＣ２０６の記憶部には、ＰＤＰの種別毎の標準的な電圧−電流特性波形を元にあらかじめ設定された検査パラメータが、記憶保持されている。
【０１５１】
特性検査部制御用ＰＣ２０６は、ＰＤＰの種別情報（パネル機種情報）に基づいて、対応する検査パラメータを選択し、その選択した検査パラメータに基づいて、交流電源２０５に対し電圧指令を送信する。
【０１５２】
交流電源２０５は、特性検査部制御用ＰＣ２０６からの電圧指令に従って、ＰＤＰ２０３に対する電圧印加を開始する。
【０１５３】
また、交流電源２０５は、ＰＤＰ２０３に印加される電流値をリアルタイムに計測し、その計測結果を特性検査部制御用ＰＣ２０６に送信する。
【０１５４】
特性検査部制御ＰＣ６は、交流電源２０５から送られてくる電流値をモニターしながら徐々に交流電源２０５による印加電圧を上昇させ、予め設定された所定のしきい値Ｉｔｈｆ（図１１（ａ））以上の電流値でかつ印加電圧の変化量に対する電流の変化量が急激に小さくなる変化点を、点灯完了電圧（全ての放電セルが点灯する電圧）として検出する。
【０１５５】
すなわち、ＰＤＰの各端子に所定の駆動波形の電圧を印加し、その印加電圧を図１０における黒塗りの矢印に従って一定量ずつ（一定ステップで）上昇させていくと、印加電圧がある電圧Ｖ１となったタイミングから放電セルがちらつきながら白く点灯し始め、印加電圧の変化量（増加量）に対する電流の変化量（増加量）が急激に大きくなる。
【０１５６】
更に、印加電圧を上昇させると、ある印加電圧Ｖ２となったタイミングで、印加電圧の変化量（増加量）に対する電流の変化量（増加量）が飽和し急激に小さくなる。このように印加電圧の変化量に対する電流の変化量が急激に小さくなり、印加電圧の変化量に対する電流の変化量が予め設定された値ΔＩｆ（図１１（ａ））以下となる。特性検査部制御用ＰＣ２０６は、このように印加電圧の変化量に対する電流の変化量がΔＩｆ以下となる変化点の電圧Ｖ２（図１０）を、点灯完了電圧として検出する。
【０１５７】
点灯完了電圧の検出を終えると、更に、特性検査部２０１にて、耐圧試験などのその他電気特性検査を行い、良品のみ表示点灯検査部２０２に搬送する。
【０１５８】
次に、表示点灯検査部２０２では、エージングトレー２０４に搭載されたＰＤＰ２０３の端子部に対し再び電極バー２０７を接触させ、点灯表示検査部制御用ＰＣ２０９のパネル機種毎の点灯表示検査電圧指令に基づき、交流電源２０８からエージングトレー２０４を介して点灯表示電圧が印加される。これにより、ＰＤＰ２０３は、全ての放電セルが点灯する全点灯状態となる。
【０１５９】
ここで、図１２に示すように、表示点灯検査部２０２には、複数の検査エリアが設けられ、各検査エリア毎に、ＣＣＤカメラ２１０が配設されている。
【０１６０】
また、アクチュエータ２１１は、ＣＣＤカメラ２１０の走査方向に沿って配されたガイドバー２１１ａと、このガイドバー２１１ａに対して直交するように設けられ、該ガイドバー２１１ａに沿って移動される走査バー２１１ｂとを備えて構成され、各検査エリアのＣＣＤカメラ２１０は走査バー２１１ｂに設けられている。
【０１６１】
従って、アクチュエータ２１１が走査バー２１１ｂをガイドバー２１１ａに沿って走査させることにより、各ＣＣＤカメラ２１０を一括してＰＤＰ２０３に沿って走査させることができるようになっている。
【０１６２】
点灯表示検査部制御用ＰＣ２０９は、ＰＤＰ２０３の全点灯状態で、アクチュエータ２１１にＣＣＤカメラ２１０の動作シーケンス指令を送り、各ＣＣＤカメラ２１０をＰＤＰ２０３に沿って走査させるとともに、この走査範囲内において所定間隔で設定された各画像検査位置では、各ＣＣＤカメラ２１０に対し撮像指令を送り、ＰＤＰ２０３の点灯状態を各検査エリア毎に撮像させる。
【０１６３】
各ＣＣＤカメラ２１０により撮像された検査エリア毎の画像データは画像処理装置２１２へ送信される。
【０１６４】
画像処理装置２１２は、例えば、ＣＣＤカメラ２１０により撮像された画像データに基づいて、各検査エリア毎に、各画像検査位置毎の輝度データを生成し、この輝度データに基づいて、各検査エリア毎の断線、明暗点、点灯異常などの画像検査判定を行う。
【０１６５】
より具体的には、画像処理装置２１２は、例えば、以下の手順により判定を行う。
【０１６６】
先ず、ＣＣＤカメラ２１０により撮像された画像データに基づいて、図１４（ａ）に示すように、各検査エリア毎（アドレス位置毎）の平均輝度データを生成する。
【０１６７】
次に、生成した平均輝度データに基づいて、平均輝度が小さいアドレス位置（検査エリア）を特定する。すなわち、図１４（ａ）に示すアドレス位置２３１を特定する。
【０１６８】
次に、平均輝度が小さい検査エリアにおける各画像検査位置（スキャン位置）毎の輝度データ（図１４（ｂ））を生成し、この生成したデータに基づいて、輝度が小さいスキャン位置（画像検査位置）を特定する。すなわち、図１４（ｂ）に示すスキャン位置２３２を特定する。
【０１６９】
これにより、ＰＤＰ２０３の面内において、発光輝度の小さい箇所を特定することができ、この特定した箇所を、断線、接触不良、明暗点、点灯異常などの何れかの不良のある箇所であると判定する。
【０１７０】
画像処理装置２１２は、このような検査結果（判定結果）を点灯表示検査部制御用ＰＣ２０９へ送信する。
【０１７１】
特性検査部２０１による特性検査及び点灯表示検査部２０２による点灯表示検査により共に良品と判定されたＰＤＰ２０３は、エージング倉庫２１３へ搬送され、エージングが施される。つまり、良否判定により良品と判定されたＰＤＰのエージング処理を行う。
【０１７２】
エージングを終えたＰＤＰ２０３は、点灯表示検査部２０２にて上記と同様に点灯表示検査に供された後、特性検査部２０１に搬送される。
【０１７３】
特性検査部２０１では、消灯開始電圧や耐圧などの電気特性検査を行う。
【０１７４】
このうち消灯開始電圧の特性検査では、上記の点灯開始電圧の特性検査とは逆に、ＰＤＰ２０３に対する印加電圧を徐々に減少させて行う。
【０１７５】
すなわち、特性検査部制御ＰＣ６は、交流電源２０５から送られてくる電流値をモニターしながら徐々に交流電源２０５による印加電圧を減少させ、予め設定された所定のしきい値Ｉｔｈｓ（図１１（ｂ））以下の電流値でかつ印加電圧の変化量に対する電流の変化量が急激に大きくなる変化点を、消灯開始電圧（１つ目の放電セルが消灯開始される電圧）として検出する。
【０１７６】
つまり、ＰＤＰ２０３の全点灯状態から、該ＰＤＰ２０３に対する印加電圧を一定量ずつ（一定ステップで）徐々に減少させていくと、印加電圧がある電圧Ｖ３となったタイミングからは放電セルが部分的にちらつきながら消灯し始め、印加電圧の変化量（減少量）に対する電流の変化量（減少量）が急激に大きくなり、印加電圧の変化量に対する電流の変化量が予め設定された値ΔＩｓ（図１１（ｂ））以上となる。特性検査部制御用ＰＣ２０６は、このように印加電圧の変化量に対する電流の変化量がΔＩｓ以上となる変化点の電圧Ｖ３（図１０）を、点灯完了電圧として検出する。
【０１７７】
さらに印加電圧を減少させると、ある電圧Ｖ４となったタイミングにて、全ての放電セルの消灯が完了し、電圧の変化量（減少量）に対する電流の変化量（減少量）が飽和して急激に小さくなる。
【０１７８】
更に、特性検査部２０１では、エージング前と同様に、耐圧試験などのその他電気特性検査を行う。
【０１７９】
その後、ＰＤＰ２０３をＰＤＰ移載装置２１４により移載し、エージングトレー２０４から取り出し、エージング後の特性検査及び点灯表示検査の良品、不良品に分別され、良品のみ後工程に搬送される。
【０１８０】
なお、点灯完了電圧Ｖ２については、規定値として、例えば、上限及び下限値が定められ、点灯完了電圧Ｖ２が上限値を上回るか下限値を下回るかした場合に、そのＰＤＰは不良品と判定される。他方、消灯開始電圧Ｖ３の規定値としては、例えば、下限値のみが定められ、消灯開始電圧Ｖ３が下限値を下回った場合に、そのＰＤＰは不良品と判定される。ただし、点灯完了電圧Ｖ２と消灯開始電圧Ｖ３の双方について、上限値及び下限値を定めても良いし、或いは、上限値と下限値とのうちの何れか一方のみを定めても良い。
【０１８１】
このように、点灯完了電圧Ｖ２及び消灯開始電圧Ｖ３を検出し、これらの値が規定値を外れた場合に不良品と判定するのは、良品の書き込み電圧を一定化させ、誤灯、チラツキの発生を抑制するためである。
【０１８２】
また、ＰＤＰへの電圧の印加方法は、特許文献１に記載されているように、面放電ではデータ電極には直流の正極電位の電圧を、走査、維持電極には互いに極性が逆の交流の電圧を印加する。
【０１８３】
以上の各検査のうち、特性検査部２０１による特性検査は、面放電にて行う。
【０１８４】
他方、点灯表示検査部２０２による点灯表示検査では、対向放電と、面放電の両方を行う。これは、点灯表示検査部２０２による点灯表示検査では、輝度むらなどを検査するのではなく、点灯か不点灯かをチェックし、電極の断線不良などを主に確認するからである。
【０１８５】
以上のような第２の実施形態によれば、従来は目視検査により行っていたＰＤＰの点灯検査（電気特性検査及び点灯表示検査）を自動化し、無人にて行うことが可能となる。
【０１８６】
このような自動化は、チラツキ状態の変化点を検出する必要があるためＣＣＤカメラでは自動化が困難であった電気特性検査については、電圧−電流特性に基づく判定により行う一方で、ＣＣＤカメラにより自動化が可能な点灯表示検査については、ＣＣＤカメラを用いて自動化することにより好適に実現することができる。
【０１８７】
なお、上記の第２の実施形態では、点灯表示検査部２０２と特性検査部２０１とを別個に設けたことにより生産能力を高めた例を示したが、点灯表示検査部２０２と特性検査部２０１とは同一ステージに組み込むことも可能である。
【０１８８】
また、上記の第２の実施形態では、特性検査部２０１により点灯完了電圧Ｖ２及び消灯開始電圧Ｖ３を求める例を説明したが、必要に応じて、点灯開始電圧Ｖ１や消灯完了電圧Ｖ４を求めるようにしても良い。
【０１８９】
〔第３の実施形態〕
図１５は第３の実施形態に係るエージング装置３００を示すブロック図、図１６はエージング装置３００が備える立ち上がり・立ち下がり制御パラメータ回路を示す回路図、図１７はエージング装置３００が備える回収周波数制御パラメータ回路を示す回路図、図１８はエージング装置３００が備える電源電圧制御パラメータ回路の動作を説明するための電圧波形図、図１９はエージング装置３００が備えるクランプタイミングパラメータ回路の動作を説明するための電圧波形図、図２０はエージング装置３００が備えるデータバイアスパラメータ回路の動作を説明するための電圧波形図である。
【０１９０】
図１５に示すように、本実施形態に係るエージング装置３００は、パラメータ制御部３１０と、複数のエージングトレー３２０（図１５には１つのエージングトレー３２０のみを図示）と、を備えて構成されている。
【０１９１】
更に、本実施形態に係るエージング装置３００は、図示は省略するが、エージング工程中の複数のＰＤＰをエージングトレー３２０ごと収容するエージング倉庫（収納庫：第２の実施形態で説明したエージング倉庫２１３（図８）と同様）を備えている。
【０１９２】
本実施形態の場合、エージングトレー３２０は、以下に説明する点を除き、従来周知のエージングトレーと同様に構成されている。
【０１９３】
すなわち、本実施形態の場合のエージングトレー３２０は、従来周知のエージングトレーの構成に加えて、図１５に示すように、エージング処理回路部３３０と、エージングに関するパラメータ（駆動パラメータ）の設定値をパラメータ制御部３１０より受信するパラメータ受信部３３６と、このパラメータ受信部３３６が受信したパラメータの設定値を記憶するエージングメモリ（パラメータ部）３２１と、このエージングメモリ３２１に記憶された設定値に従ってエージング処理回路部３３０の動作を制御し、ＰＤＰを動作させる制御部（駆動制御部）３２２と、を備えている。
【０１９４】
このように、エージング装置３００は、ＰＤＰが搭載される複数のトレー（エージングトレー３２０）と、これらトレーを収納する収納庫を備え、各トレーは、ＰＤＰのエージング条件のパラメータが設定されるパラメータ部と、そのパラメータに従ってＰＤＰを動作させる制御部３２２を有する。
【０１９５】
エージング処理回路部３３０は、立ち上がり・立ち下がり制御パラメータ回路３３１と、回収周波数制御パラメータ回路３３２と、電源電圧制御パラメータ回路３３３と、クランプタイミングパラメータ回路３３４と、データバイアスパルスパラメータ回路３３５と、を備えて構成されている。
【０１９６】
各パラメータ回路３３１，３３２，３３３，３３４，３３５は、それぞれ複数の回路により構成され、各パラメータ回路３３１，３３２，３３３，３３４，３３５においてそれぞれ何れかの回路が選択的に用いられることにより、エージングの条件の設定値に対応する回路内部の定数（パラメータ）を複数段階の何れかの値に変更できるようになっている。
【０１９７】
先ず、立ち上がり・立ち下がり制御パラメータ回路３３１は、ＰＤＰに対する電圧印加の周期におけるクランプ後の電圧立ち上がり特性及び電圧立ち下がり特性に関するパラメータを、それぞれ複数種類の値のうちの何れかの値に設定することが可能に構成されている。
【０１９８】
立ち上がり・立ち下がり制御パラメータ回路３３１により設定されるパラメータは、例えば  特開２０００−１７２２２３号公報に記載されている電荷回収回路におけるインピーダンスの値に相当する。
【０１９９】
立ち上がり・立ち下がり制御パラメータ回路３３１は、具体的には、例えば、図１６（ａ）に示すように、それぞれスイッチ３４１と、このスイッチ３４１と直列に接続された抵抗３４２と、からなり、接続点３４３と接続点３４４との間に相互に並列に接続された５つの立ち下がり制御パラメータ設定回路（エージング処理用回路）３４５と、それぞれ接続点３４３と接続点３４４との間にスイッチ３４９、抵抗３４６及びダイオード３４７を相互に直列に接続してなる５つの立ち上がり制御パラメータ設定回路（エージング処理用回路）３４８と、各スイッチ３４１、３４９を個別に開（ＯＦＦ）／閉（ＯＮ）させる開閉手段（図示略）と、を備えて構成されている。
【０２００】
ここで、各回路３４５の抵抗３４２は、相互に抵抗値が異なる。同様に、各回路３４８の抵抗３４６は、相互に抵抗値が異なる。
【０２０１】
また、各回路３４８においては、ダイオード３４７のカソードが抵抗３４６側、アノードが接続点３４３側となっている。
【０２０２】
このような立ち上がり・立ち下がり制御パラメータ回路３３１によれば、ＰＤＰの種類に応じて、各スイッチ３４９のうちの何れかのスイッチを選択的に閉じる（ＯＮにする）ことによって、インピーダンスの値を複数種類の値のうちの所望の値に設定し、クランプ後の電圧立ち上がり特性（図１６（ｂ）参照）を所望の特性にすることができ、同様に、各スイッチ３４１のうちの何れかのスイッチを選択的に閉じる（ＯＮにする）ことによって、インピーダンスの値を複数種類の値のうちの所望の値に設定し、クランプ後の電圧立ち下がり特性（図１６（ｂ））を所望の特性にすることができる。
【０２０３】
また、回収周波数制御パラメータ回路３３２は、ＰＤＰに対する電圧印加における回収周波数を制御するためのパラメータを複数種類の値のうちの何れかの値に設定することが可能に構成されている。
【０２０４】
回収周波数制御パラメータ回路３３２により設定されるパラメータは、例えば、特開２０００−１７２２２３号公報の電荷回収回路におけるインダクタンスの値に相当する。回収周波数制御パラメータ回路３３２は、このインダクタンスの値をＰＤＰの容量に応じて変更することにより、回収周波数を変更する。
【０２０５】
回収周波数制御パラメータ回路３３２は、具体的には、例えば、図１７に示すように、それぞれトランジスタスイッチ３５１、コイル３５２及びダイオード３５３からなる５つの回路（エージング処理用回路）３５４と、同様に、それぞれトランジスタスイッチ３５５、コイル３５６及びダイオード３５７からなる５つの回路（エージング処理用回路）３５８と、各トランジスタスイッチ３５１、３５５のゲートに個別に電圧を印加して各トランジスタスイッチ３５１、３５５を個別にＯＮ／ＯＦＦさせる電圧印加手段（図示略）と、を備えて構成されている。
【０２０６】
ここで、交流電流は周期的に流れる方向が反転するため、その一方向に電流が流れる際のパラメータ設定に用いられるのが回路３５４であり、該一方向に対し反対方向に電流が流れる際のパラメータ設定に用いられるのが回路３５８である。
【０２０７】
各回路３５４においては、ダイオード３５３と、コイル３５２と、トランジスタスイッチ３５１のソース−ドレイン間と、が直列に接続されている。また、各回路３５４は、接続点３５９と接続点３６０との間に相互に並列に接続されている。
【０２０８】
同様に、各回路３５８においては、ダイオード３５７と、コイル３５６と、トランジスタスイッチ３５５のソース−ドレイン間と、が直列に接続されている。また、各回路３５８は、接続点３５９と接続点３６０との間に相互に並列に接続されている。
【０２０９】
ここで、各回路３５４のコイル３５２は、相互にインダクタンスが異なる。同様に、各回路３５８のコイル３５６は、相互にインダクタンスが異なる。
【０２１０】
なお、各回路３５４においては、ダイオード３５３のカソードが接続点３６０側、アノードがコイル３５２側となっている。
【０２１１】
他方、各回路３５８においては、ダイオード３５７のアノードが接続点３６０側、カソードがコイル３５６側となっている。
【０２１２】
このような回収周波数制御パラメータ回路３３２によれば、ＰＤＰの種類に応じて、各トランジスタスイッチ３５１のうちの何れかのスイッチを選択的にＯＮにする一方で、各トランジスタスイッチ３５５のうちの何れかのスイッチを選択的にＯＮにすることによって、インダクタンスの値を複数種類の値のうちの所望の値に設定し、ＰＤＰに対する電圧印加における回収周波数を制御することができる。
【０２１３】
また、電源電圧制御パラメータ回路３３３は、複数のＰＤＰに対して続けてエージングを行う場合に、処理順序が後のＰＤＰに対するエージング処理の開始段階（起動時（電源断のあと））で、予備放電印加電圧を高い値に設定する時間の長さを、通常時よりも、例えば１０秒間程度長時間に設定するためのものである。
【０２１４】
これは、処理順序が先のＰＤＰに対するエージング処理が終わった際に、図１８（ｂ）に示すように一旦電圧を下げた後でＰＤＰの放電セルを点灯させるためには、図１８（ｂ）のＡ部に示すように、非常に大きな値での電圧印加が必要となってしまうためである。
【０２１５】
本実施形態の場合、図１８（ａ）に示すように、処理順序が後のＰＤＰに対するエージング処理の開始段階（起動時（電源断のあと））のみ、予備放電印加電圧を高い値に設定する時間の長さを、通常時（図１８（ｂ））よりも、例えば１０秒間程度、長い時間に設定することにより、該予備放電印加電圧後に必要な印加電圧の値を抑制することができる。
【０２１６】
すなわち、電源電圧制御パラメータ回路３３３は、例えば、予備放電印加電圧の時間の長さを通常時の長さに設定するための回路と、予備放電印加電圧の時間の長さを通常時よりも１０秒程度長時間に設定するための回路と、の２つの回路（エージング処理用回路）を備えている。
【０２１７】
また、クランプタイミングパラメータ回路３３４は、クランプタイミングを複数種類のタイミングのうちの何れかのタイミングに設定するための回路である。
【０２１８】
本実施形態の場合、クランプタイミングパラメータ回路３３４は、具体的には、例えば、図１９に示すように、クランプタイミングを、０．１２５μｓ（マイクロ秒）、０．２５μｓ、０．３７５μｓ、０．５μｓ及び０．６２５μｓの５種類のタイミングのうちの何れかのタイミングに設定することができ、これら５種類のタイミングの各々に対応する回路、すなわち、本実施形態の場合、例えば５つの回路（エージング処理用回路）を備えている。
【０２１９】
すなわち、クランプタイミングが０．１２５μｓの場合、そのタイミングに対応した回路が選択的に用いられて、図１９に示す波形３７１のタイミングでクランプが行われる。同様に、クランプタイミングが０．２５μｓの場合には波形３７２のタイミングで、クランプタイミングが０．３７５μｓの場合には波形３７３のタイミングで、クランプタイミングが０．５μｓの場合には波形３７４のタイミングで、クランプタイミングが０．６２５μｓの場合には波形３７５のタイミングで、それぞれクランプが行われる。
【０２２０】
ここで、特開２０００−１７２２２３号公報に記載されているように、表示負荷が大きいときはクランプを早く実施することにより、一定の輝度を得る必要がある。従って、表示負荷の大きい大型のＰＤＰでは一般にクランプタイミングを早くする必要がある。
【０２２１】
そこで、本実施形態の場合、ＰＤＰの表示面積が大きいほど、クランプタイミングを早めるように、クランプタイミングパラメータ回路３３４を制御する。
【０２２２】
また、データバイアスパルスパラメータ回路３３５は、データバイアスパルスの出力波形を複数種類（例えば２種類）の波形のうちの何れかに設定するためのものである。すなわち、本実施形態の場合、データバイアスパルスパラメータ回路３３５は、例えば、データバイアスパルスの出力波形を、異常放電が発生したときに放電を発生させるために入力する強制対向放電型（図２０（ａ））に設定するための回路と、データバイアスパルスの出力波形を、異常放電をリセットするための対向放電抑制型（図２０（ｂ））に設定するための回路と、の２つの回路（エージング処理用回路）を備えて構成されている。
【０２２３】
このように、各パラメータ回路３３１，３３２，３３３，３３４，３３５は、エージングの条件の設定値に対応する回路内部の定数を複数段階の何れかの値に変更できるように、それぞれ複数の回路（エージング処理用回路）により構成されている。
【０２２４】
また、図１５に示すように、パラメータ制御部３１０は、エージングトレー３２０のＩＤ情報を読み取るＩＤ読み取り部３１１と、このＩＤ読み取り部３１１により読み取られたＩＤ情報に対応するエージングの条件を図示しない管理装置に対して問い合わせし、該条件を示す情報を取得する情報取得部３１２と、この情報取得部３１２により取得された情報に対応するエージングの条件に応じて、エージングトレー３２０に対し、エージングに関するパラメータの設定値を設定するパラメータ設定部３１３と、を備えている。
【０２２５】
ここで、本実施形態の場合、例えば、ＰＤＰの種類に応じて相互に異なるエージングトレー３２０が用いられるとともに、各エージングトレー３２０には、それぞれＩＤが割り当てられている。
【０２２６】
エージングトレー３２０のＩＤは、例えば、電子情報としてエージングトレー３２０内の図示しないメモリに記録されていても良いし、或いは、例えば、刻印や文字印刷（例えばバーコード）などによりエージングトレー３２０の何れかの箇所に形成されているものであっても良い。前者の場合、ＩＤ読み取り部３１１は、電子的にＩＤ情報を読み取る読み取り装置を備えて構成され、後者の場合、ＩＤ読み取り部３１１は、画像読み取り装置を備えて構成される。
【０２２７】
次に、動作を説明する。
【０２２８】
先ず、パラメータ制御部３１０のＩＤ読み取り部３１１は、エージングトレー３２０のＩＤを読み取り、その読み取り結果を情報取得部３１２に送信する。
【０２２９】
ここで、パラメータ制御部３１０は、エージングトレー３２０のＩＤと、当該エージングトレー３２０に搭載されるＰＤＰのＩＤとの対応関係を記憶した対応関係記憶部３１４を備えている。
【０２３０】
そして、情報取得部３１２は、パラメータ制御部３１０からのＩＤの読み取り結果に基づき、対応関係記憶部３１４を参照することにより、該当するエージングトレー３２０に対応するＰＤＰのＩＤを判断する。
【０２３１】
次に、情報取得部３１２は、判断したＰＤＰのＩＤに対応するエージングの条件を図示しない管理装置に対して問い合わせし、該条件を示す情報を管理装置より取得する。なお、ここで、情報取得部３１２は、例えば、ＰＤＰの型名、製造日時等の、その他の生産情報も管理装置から取得するようにしても良い。
【０２３２】
次に、情報取得部３１２は、管理装置より取得した情報をパラメータ設定部３１３に送信する。
【０２３３】
次に、パラメータ設定部３１３は、情報取得部３１２より送信された情報、すなわちＰＤＰのＩＤに対応するエージングの条件を示す情報に基づき、エージングトレー３２０のエージングメモリ３２１に設定すべき設定値（パラメータの設定値）を判断し、この判断した設定値をエージングトレー３２０に送信する。
【０２３４】
次に、エージングトレー３２０のパラメータ受信部３３６は、パラメータ設定部３１３からの設定値を受信すると、この受信した設定値をエージングメモリ３２１に記憶させる。
【０２３５】
すなわち、エージングメモリ３２１には、ＰＤＰに対応するエージングのパラメータの設定値が記憶される。
【０２３６】
その後、制御部３２２は、エージングメモリ３２１に記憶された設定値に従って、エージング処理回路部３３０の各パラーメタ回路３３１〜３３５の状態を制御する。
【０２３７】
すなわち、例えば、立ち上がり・立ち下がり制御パラメータ回路３３１のスイッチ３４１、３４９のＯＮ／ＯＦＦ状態の制御や、回収周波数制御パラメータ回路３３２のトランジスタスイッチ３５１、３５５のＯＮ／ＯＦＦ状態の制御や、電源電圧制御パラメータ回路３３３が備える２つの回路のうちの何れか一方を有効とさせる制御や、クランプタイミングパラメータ回路３３４が備える５つの回路のうちの何れか１つを有効とさせる制御や、データバイアスパルスパラメータ回路３３５が備える２つの回路のうちの何れか一方を有効とさせる制御を行う。
【０２３８】
そして、エージングトレー３２０の制御部３２２は、エージング処理回路部３３０の各パラーメタ回路３３１〜３３５毎に選択された回路により決定されるパラメータで、ＰＤＰのエージングを実行する。
【０２３９】
以上のような第３の実施形態によれば、エージングトレー３２０の各パラメータ回路３３１〜３３５は、それぞれ、エージング条件の設定値に対応する内部回路定数が外部信号により自動選択される複数の回路（エージング処理用回路）を備えているので、各パラメータ回路３３１〜３３５において、複数の回路のうちの何れか最適な回路を選択的に用いてエージングを行うことにより、複数種類のエージング条件（エージング処理態様）のうち何れかの条件でエージングを実行可能である。
【０２４０】
よって、ＰＤＰに対するエージングの条件を、ＰＤＰの種類に応じた最適な条件に設定することができる。
【０２４１】
更に、エージングトレー３２０の各パラメータ回路３３１〜３３５はエージング条件の設定値に対応する内部回路定数が外部信号により自動選択される複数の回路をそれぞれ有しているので、ＰＤＰの機種毎のエージング条件に対応した内部回路定数を外部信号により自動選択し、ＰＤＰの機種切替えに伴うエージングトレー３２０の機種切替えを自動化することにより、省人化ができる。すなわち、パラメータ制御部３１０は、エージングトレー３２０のＩＤを読み取り、ＩＤの読み取り結果に基づき、エージング処理の対象となっているＰＤＰの種類を判別し（本実施形態の場合、具体的には、例えば、ＰＤＰのＩＤを判別し）、エージングトレー３２０の制御部３２２は、パラメータ制御部３１０により判別されたＰＤＰの種類に応じて、各パラメータ回路３３１〜３３５毎に、複数の回路のうちの何れの回路をエージングに用いるのかを選択するので、一連の処理を好適に自動化して行うことができる。
【０２４２】
なお、上記の第３の実施形態においては、エージング処理の時間経過に応じて、各パラメータ回路３３１〜３３５毎に、選択される回路を順次変更するようにしても良い。すなわち、各パラメータ回路３３１〜３３５では、例えば、エージング処理の初期段階（起動時）、この初期段階に続いて行われる第１のエージング工程、第１のエージング工程に続いて行われる第２のエージング工程、・・・、において、それぞれ別個の回路を選択するようにしても良い。
【０２４３】
＜第３の実施形態の変形例１＞
上記の第３の実施形態における動作は、以下に説明するような動作としても良い。
【０２４４】
先ず、パラメータ制御部３１０のＩＤ読み取り部３１１は、エージングトレー３２０のＩＤを読み取り、その読み取り結果を情報取得部３１２に送信する。
【０２４５】
次に、情報取得部３１２は、エージングトレー３２０のＩＤと、該ＩＤを有するエージングトレー３２０に搭載されるＰＤＰの品名又は種類との対応関係の情報を、図示しない管理装置に対して問い合わせし、該対応関係の情報を管理装置より取得する。
【０２４６】
ここで、変形例１の場合、パラメータ制御部３１０の対応関係記憶部３１４には、エージングトレー３２０に搭載されるＰＤＰ品名または種類と、該ＰＤＰの検査パラメータまたはエージングパラメータと、の対応関係が記憶されている。
【０２４７】
そして、情報取得部３１２は、外部の管理装置から取得した情報に基づき、対応関係記憶部３１４を参照することにより、エージングトレー３２０に搭載されたＰＤＰと対応するエージングパラメータを抽出し、該抽出したエージングパラメータをパラメータ設定部３１３に送信する。
【０２４８】
次に、パラメータ設定部３１３は、情報取得部３１２から送信された情報、エージングトレー３２０に搭載されたＰＤＰと対応するエージングパラメータをエージングトレー３２０に送信する。
【０２４９】
次に、エージングトレー３２０のパラメータ受信部３３６は、パラメータ設定部３１３からのエージングパラメータを受信すると、この受信したエージングパラメータをエージングメモリ３２１に記憶させる。
【０２５０】
その後の動作は、上記の第３の実施形態と同様である。
【０２５１】
このような変形例１によっても、上記の第３の実施形態と同様の効果が得られる。
【０２５２】
＜第３の実施形態の変形例２＞
上記の第３の実施形態及び変形例１では、パラメータ制御部３１０は、エージングトレー３２０のＩＤを読み取り、その読み取り結果に応じて、エージングトレー３２０に対し、エージング条件のパラメータ（ＰＤＰをエージングするときのＰＤＰのエージングパラメータ（駆動パラメータ））を自動的に設定する例を説明したが、この変形例２の場合、エージングトレー３２０に対し、ＰＤＰを検査するときの検査条件のパラメータ（例えば、ＰＤＰを検査するときのＰＤＰの駆動パラメータと良否判定基準）を設定する。
【０２５３】
ここで、検査の内容は、例えば、上記の第２の実施形態で説明した検査（特性検査部２０１による検査と、点灯表示検査部２０２による検査）であることが挙げられる。
【０２５４】
すなわち、変形例２の場合、パラメータ制御部３１０は、エージングトレー３２０のＩＤを読み取り、その読み取り結果に応じて、検査条件のパラメータをエージングトレー３２０に設定する。
【０２５５】
そして、このように、検査条件のパラメータをエージングトレー３２０に設定することにより、ＰＤＰに対するエージングの前の特性検査と、エージングの後の特性検査と、のうちの少なくとも一方（例えば、上記の第２の実施形態で説明したように、エージングの前の検査とエージングの後の検査との両方）を行う。
【０２５６】
すなわち、この変形例２の場合にパラメータ制御部３１０がエージングトレー３２０に設定するパラメータとしては、例えば、特性検査部２０１の交流電源２０５からエージングトレーに印加する電圧の値、その電圧値の上昇ステップ及び減少ステップ、点灯完了電圧Ｖ２の検出の際に用いられるしきい値Ｉｔｈｆ、ΔＩｆ、消灯開始電圧Ｖ３の検出の際に用いられるしきい値Ｉｔｈｆ、ΔＩｆ、点灯完了電圧Ｖ２の規定値の上限値及び下限値、消灯開始電圧Ｖ３の上限値及び下限値などが挙げられる。
【０２５７】
なお、検査の具体的な内容や手順については、上記の第２の実施形態と同様であるので、ここでは省略する。ただし、上記の第２の実施形態では、その検査をエージングトレーの外部機器が行うのに対し、この第３の実施形態の変形例２の場合、その検査を、例えばエージングトレー３２０に組み込まれた機器により行う。
【０２５８】
すなわち、この変形例２の場合、エージングトレー３２０は、上記の第２の実施形態で説明した交流電源２０５及び特性検査部制御用ＰＣ２０６に相当する構成を備えている。
【０２５９】
このような変形例２によれば、ＰＤＰの種類に応じて、最適な条件で検査を行うことができる。
【０２６０】
なお、上記の第３の実施形態の変形例２では、ＰＤＰに対するエージングの前の特性検査と、エージングの後の特性検査と、のうちの少なくとも一方を行う例を説明したが、この変形例２においては、更に、ＰＤＰに対するエージングの前の点灯検査と、エージングの後の点灯検査と、のうちの少なくとも一方を行うようにしても良い。この場合、パラメータ制御部３１０がエージングトレー３２０に設定するパラメータとしては、例えば、ＣＣＤカメラ２１０の走査量や走査ステップ（撮像ステップ）が挙げられる。更に、この場合、エージングトレー３２０は、上記の第２の実施形態で説明した交流電源２０８、点灯表示検査部制御用ＰＣ２０９、ＣＣＤカメラ２１０、アクチュエータ２１１及び画像処理装置２１２に相当する構成を備えている。
【０２６１】
また、上記の第３の実施形態並びにその各変形例においては、エージングトレー３２０のＩＤを読みより、その読み取り結果に応じて、対応するパラメータをエージングトレー３２０に自動的に設定する例を説明したが、エージングトレー３２０が各パラメータの値を設定するための設定操作部（例えばディップスイッチなどにより構成される）を備え、この設定操作部を手動で操作することにより、エージング又は検査対象となるＰＤＰに対応するパラメータを設定できるようにしても良い。
【０２６２】
更に、上記の第３の実施形態並びにその各変形例においては、エージング処理或いは検査を行う温度環境を行うも判断材料として、パラメータを設定するようにしても良い。この場合、温度を検出する温度検出手段を更に備える必要がある。
【０２６３】
また、上記の第２及び第３の実施形態並びにその変形例では検査対象或いはエージング対象の電子デバイスとして、ＰＤＰを例示したが、その他の電子デバイスを適用しても良い。また、電子デバイスとして表示デバイスを適用する場合に、ＰＤＰ以外の電子デバイスを適用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【０２６４】
【図１】第１の実施形態に係るエージング装置を示す平面図である。
【図２】第１の実施形態に係るエージング装置の一部を示す正面図である。
【図３】第１の実施形態に係るエージング装置がエージングの対象とするＰＤＰのうち、最大のサイズのＰＤＰに対するエージングを行う状態エージング装置を示す模式的平面図である。
【図４】第１の実施形態に係るエージング装置がエージングの対象とするＰＤＰのうち、中間サイズのＰＤＰに対するエージングを行う状態のエージング装置を示す模式的平面図である。
【図５】第１の実施形態に係るエージング装置がエージングの対象とするＰＤＰのうち、最小のサイズのＰＤＰに対するエージングを行う状態のエージング装置を示す模式的平面図である。
【図６】第１の実施形態に係るエージング装置がエージングの対象とするＰＤＰのうち、中間サイズのＰＤＰに対するエージングを行う状態のエージング装置を示す要部拡大の模式的側断面図である。
【図７】第１の実施形態に係るエージング装置がエージングの対象とするＰＤＰのうち、最大のサイズのＰＤＰに対するエージングを行う状態のエージング装置を示す要部拡大の模式的側面図である。
【図８】第２の実施形態に係る検査装置を示す模式的な正面断面図である。
【図９】第２の実施形態に係る検査装置が備える特性検査部を示す模式的平面図である。
【図１０】特性検査部によるＰＤＰの特性検査により得られた電圧−電流特性のヒステリシスパターンを示す図である。
【図１１】点灯完了電圧と消灯開始電圧の判定の仕方を説明するための図である。
【図１２】第２の実施形態係る検査装置が備える点灯表示検査部を示す模式的平面図である。
【図１３】点灯表示検査部を示す正面断面図である。
【図１４】点灯表示検査部による点灯表示検査結果の例を示す図である。
【図１５】第３の実施形態に係るエージング装置を示すブロック図である。
【図１６】第３の実施形態に係るエージング装置が備える立ち上がり・立ち下がり制御パラメータ回路を示す回路図である。
【図１７】第３の実施形態に係るエージング装置が備える回収周波数制御パラメータ回路を示す回路図である。
【図１８】第３の実施形態に係るエージング装置が備える電源電圧制御パラメータ回路の動作を説明するための電圧波形図である。
【図１９】第３の実施形態に係るエージング装置が備えるクランプタイミングパラメータ回路の動作を説明するための電圧波形図である。
【図２０】第３の実施形態に係るエージング装置が備えるデータバイアスパラメータ回路の動作を説明するための電圧波形図である。
【符号の説明】
【０２６５】
１００  エージングトレー（エージング装置）
１０１〜１０３  ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）
１２１〜１２４  電極バー
１３１  スライド部材（移動機構）
１５１、１５２  絶縁部材
１５３  コイルバネ（弾性体）
１３２  電極支持台（保持手段を構成する）
１３３  電極支持体（保持手段を構成する）
２００  検査装置
２０１  特性検査部
２０５  交流電源（電圧印加手段、電流検出手段）
２０６  特性検査部制御用ＰＣ（変化特性検出手段）
２０２  点灯表示検査部
２０９  点灯表示検査部制御用ＰＣ
２１０  ＣＣＤカメラ（輝度検出手段）
２１１  アクチュエータ（走査手段）
２１２  画像処理装置（輝度検出手段）
３００  エージング装置
３１１  ＩＤ読み取り部
３１４  対応関係記憶部
３２２  制御部
３４５  回路（エージング処理用回路）
３４８  回路（エージング処理用回路）
３５４  回路（エージング処理用回路）
３５８  回路（エージング処理用回路）
【図１】
2006100122.tif 000003
【図２】
2006100122.tif 000004
【図３】
2006100122.tif 000005
【図４】
2006100122.tif 000006
【図５】
2006100122.tif 000007
【図６】
2006100122.tif 000008
【図７】
2006100122.tif 000009
【図８】
2006100122.tif 000010
【図９】
2006100122.tif 000011
【図１０】
2006100122.tif 000012
【図１１】
2006100122.tif 000013
【図１２】
2006100122.tif 000014
【図１３】
2006100122.tif 000015
【図１４】
2006100122.tif 000016
【図１５】
2006100122.tif 000017
【図１６】
2006100122.tif 000018
【図１７】
2006100122.tif 000019
【図１８】
2006100122.tif 000020
【図１９】
2006100122.tif 000021
【図２０】
2006100122.tif 000022