(57)【要約】【課題】  膜厚取得方法に関し、受光装置固有の色空間を表す系に対して対応性を良好にするとともに、簡単な構成により平板上に設けた薄膜の膜厚の面内分布を高速に取得する。【解決手段】  波長の分布が広範囲にわたる光源からの照射光を測定対象物である基板上に設けた被膜に入射させ、被膜からの干渉を起こした反射光を受光装置により測定し、測定した反射光の波長毎に干渉光の強度が極大，極小をとる膜厚が異なることによる干渉光の色の変化を、ＮＴＳＣ規格で定義される色相を基準として検出することによって被膜の膜厚を取得する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長の分布が広範囲にわたる光源からの照射光を測定対象物である基板上に設けた被膜に入射させ、前記被膜からの干渉を起こした反射光を受光装置により測定し、測定した反射光の波長毎に干渉光の強度が極大，極小をとる膜厚が異なることによる干渉光の色の変化を、ＮＴＳＣ規格で定義される色相を基準として検出することによって前記被膜の膜厚を取得することを特徴とする膜厚取得方法。
【請求項２】
波長の分布が広範囲にわたる光源からの照射光を測定対象物である基板上に設けた被膜に入射させ、前記被膜からの干渉を起こした反射光を受光装置により測定し、測定した反射光の波長毎に干渉光の強度が極大，極小をとる膜厚が異なることによる干渉光の色の変化を、ＨＳＶ表色方式、ＨＳＬ表色方式、或いは、ＨＳＢ表色方式のいずれかの表色方式の色相を基準として検出することによって前記被膜の膜厚を取得することを特徴とする膜厚取得方法。
【請求項３】
波長の分布が広範囲にわたる光源からの照射光を測定対象物である基板上に設けた被膜に入射させ、前記被膜からの干渉を起こした反射光を受光装置により測定し、測定した反射光の波長毎に干渉光の強度が極大，極小をとる膜厚が異なることによる干渉光の色の変化を、ＬＵＶ表色系のｕ’とｖ’またはＬＡＢ表色系のａ* とｂ* を基準として検出することによって前記被膜の膜厚を取得することを特徴とする膜厚取得方法。
【請求項４】
上記受光装置として、エリアセンサタイプのイメージセンサを用いて、上記薄膜の膜厚の２次元分布を得ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の膜厚取得方法。
【請求項５】
上記受光装置により、Ｒ，Ｇ，Ｂ毎の画像を取得することを特徴とする請求項４記載の膜厚取得方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は膜厚取得方法に関するものであり、例えば、液晶表示装置等の製造工程において、平板上に薄膜を塗布する際に、塗布した薄膜の膜厚の分布を簡単な装置で高速に得るための構成に特徴のある膜厚取得方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等の製造工程においては、フォトレジストの塗布工程或いは反射防止膜の成膜工程等の多数の薄膜の形成工程を必要としているが、このような薄膜の形成工程においては、薄膜の膜厚を均一にする必要があり、特に、液晶パネルが大型化するにともなって、製造歩留りを高めるためにはより一層の面内均一化が必要になっている。
【０００３】
従来、この様な薄膜の膜厚を非接触で測定する方法としては、干渉による偏光の変化を用いるタイプと、干渉による分光反射率の変化を用いるものなどが知られている。
【０００４】
このうち、干渉による偏光の変化を用いるタイプとしては、エリプソメータがあり、このエリプソメータは、入射光と反射光の偏光の変化を測定して解析し、膜厚、光学定数、物質特性などを測定する装置である。
この測定で得られるデータは多岐に渡ること、複雑な構成の膜などの測定も可能であることなどの特徴があるが、装置は一般に高価である。
【０００５】
一方、分光反射率を利用した膜厚計は、白色光を薄膜で反射させると、干渉のために波長によって反射強度が変動する分光反射率が得られる。
これを分光器で測定して得られた波形とのフィッティングや極大・極小解析により膜厚や光学定数を測定することができる。
【０００６】
また、反射光の色度を用いて色材層の厚さを測定する方法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
この提案においては、色材層そのものが持つ色が、厚さが増すにつれて変化して見えることを利用したものである。
【特許文献１】特開平７−２２５１１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記した従来での膜厚検査技術は、基本的に同時には局所的な１点の膜厚を測定することしかできないという問題があり、基板面内の膜厚分布を測定するためには多大の時間を要するという問題がある。
【０００８】
また、エリプソメータにせよ、分光器を用いた膜厚計にせよ、測定器部分が高価で大掛かりなため、測定器をアレイ状に配置して同時に広い面積を測定するというアプローチをとることも現実的には困難である。
【０００９】
そのため、広い面積の膜厚分布を取得するためには、測定器を測定対象物に沿って走査することが必要となるが、液晶パネルなどを高い解像度で膜厚分布測定を行おうとすれば、多大な時間を要することになる。
特に、液晶パネルの大画面化に伴って測定に要する時間が大幅に増大することになる。
【００１０】
また、上記の特許文献１における提案は、薄膜における干渉による着色を利用したものではないので数十μｍ〜数μｍのオーダーの膜厚の測定を対象とするものであり、サブミクロンオーダーの透明薄膜の膜厚を数％以上の精度で測定することができないという問題がある。
【００１１】
そこで、本発明者は、波長の分布が広範囲にわたる光源からの照射光を測定対象物である基板上に設けた被膜に入射させ、被膜からの干渉を起こした反射光を受光装置により測定し、測定した反射光の波長毎に干渉光の強度が極大，極小をとる膜厚が異なることによる干渉光の色の変化をＸＹＺ表色系の色度を基準として検出することによって被膜の膜厚を取得することを提案している（特願２０００−０７３２２２号参照）。
【００１２】
しかし、ＣＣＤカメラ等で取得するＲ，Ｇ，Ｂがカメラ固有の色空間を表す系であるのに対して、ＸＹＺ表色系は現実の色を表す系であり、変換する際に１：１に対応しておらず、使い勝手があまり良くないという問題がある。
【００１３】
したがって、本発明は、受光装置固有の色空間を表す系に対して対応性を良好にするとともに、簡単な構成により平板上に設けた薄膜の膜厚の面内分布を高速に取得することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
図１は、本発明の原理的構成を表す膜厚と色相の相関を示す概念図であり、ここで、図１を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。
図１参照
（１）上記の目的を達成するため、本発明は、膜厚取得方法において、波長の分布が広範囲にわたる光源からの照射光を測定対象物である基板上に設けた被膜に入射させ、被膜からの干渉を起こした反射光を受光装置により測定し、測定した反射光の波長毎に干渉光の強度が極大，極小をとる膜厚が異なることによる干渉光の色の変化を、ＮＴＳＣ規格で定義される色相を基準として検出することによって被膜の膜厚を取得することを特徴とする。
【００１５】
従来のように、膜厚の変化を波長依存性や偏光状態の変化として捉えるのではなく、ＮＴＳＣ規格に基づく色相Ｈを用いて色の変化として捉えることにより、受光装置は光の色合いの変化を取得するだけで良いので装置構成が簡素化され、且つ、測定の高速化が可能になる。
【００１６】
この場合、図１に示すように、連続的な波長を持った光源下で、特定の入射角の条件において膜厚が変化するにつれて、色相は０°〜３６０°の間を変化するため、色相を取得することによって膜厚に換算することが可能になる。
【００１７】
また、薄膜における反射光の波長毎の干渉光の強度の変化による色合いの変化を利用しているので、無色の膜の膜厚の測定も可能になり、且つ、サブミクロンオーダの膜厚を数％の精度で測定することが可能になる。
【００１８】
（２）また、本発明は、膜厚取得方法において、波長の分布が広範囲にわたる光源からの照射光を測定対象物である基板上に設けた被膜に入射させ、被膜からの干渉を起こした反射光を受光装置により測定し、測定した反射光の波長毎に干渉光の強度が極大，極小をとる膜厚が異なることによる干渉光の色の変化を、ＨＳＶ表色方式、ＨＳＬ表色方式、或いは、ＨＳＢ表色方式のいずれかの表色方式の色相を基準として検出することによって被膜の膜厚を取得することを特徴とする。
【００１９】
このように、ＮＴＳＣ規格に基づく色相Ｈの代わりに、ＨＳＶ表色方式、ＨＳＬ表色方式、或いは、ＨＳＢ表色方式のいずれかの表色方式の色相Ｈを基準にしても良いものである。
なお、各方式における色相Ｈは、色相環に配置する色が異なることを除けば、実質的には等価な関係にあるので、同様の精度を得ることができる。
【００２０】
（３）また、本発明は、膜厚取得方法において、波長の分布が広範囲にわたる光源からの照射光を測定対象物である基板上に設けた被膜に入射させ、被膜からの干渉を起こした反射光を受光装置により測定し、測定した反射光の波長毎に干渉光の強度が極大，極小をとる膜厚が異なることによる干渉光の色の変化を、ＬＵＶ表色系のｕ’とｖ’またはＬＡＢ表色系のａ* とｂ* を基準として検出することによって被膜の膜厚を取得することを特徴とする。
【００２１】
このように、ＮＴＳＣ規格に基づく色相Ｈの代わりに、ＬＵＶ表色系のｕ’とｖ’またはＬＡＢ表色系のａ* とｂ* を基準にしても良いものである。
このＬＵＶ表色系或いはＬＡＢ表色系は、現実の色を表す系であるので、受光装置として、輝度計等の光を色を直接計測するタイプの機器を用いた場合に有効となる。
【００２２】
（４）また、本発明は、上記（１）乃至（３）のいずれかにおいて、受光装置として、エリアセンサタイプのイメージセンサを用いて、薄膜の膜厚の２次元分布を得ることを特徴とする。
【００２３】
このように、受光装置としてエリアセンサタイプのイメージセンサを用い、イメージセンサの各ピクセルを個々の受光素子として使うことによって、大面積の２次元膜厚分布を高速に取得することが可能になる。
なお、この場合、イメージセンサは、ＣＣＤ型、ＣＭＯＳ型、或いは、ＭＯＳ型のいずれでも良いものである。
【００２４】
（５）また、本発明は、上記（４）において、受光装置により、Ｒ，Ｇ，Ｂ毎の画像を取得することを特徴とする。
【００２５】
このように、受光装置により、Ｒ，Ｇ，Ｂ毎の画像を取得することによって、ＲＧＢ値をＮＴＳＣ規格の色相Ｈ，輝度Ｙ，彩度Ｓ、或いは、ＨＳＶ表色方式又はＨＳＢ表色方式色相Ｈ，彩度Ｓ，明度Ｖ（Ｖａｌｕｅ）又はＢ（Ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ）Ｙ、或いは、ＨＳＬ表色方式の色相Ｈ，彩度Ｓ，明度Ｌ（Ｌｉｇｈｔｎｅｓｓ）、或いは、ＬＵＶ表色系の明度Ｌ（Ｌｉｇｈｔｎｅｓｓ）、ｕ’，ｖ’、或いは、ＬＡＢ表色系の明度Ｌ（Ｌｉｇｈｔｎｅｓｓ），ａ* （赤−緑軸），ｂ* （黄−青軸）に変換し、このうち色あいの指標である各色相Ｈ、或いは、ｕ’とｖ’、或いは、ａ* とｂ* を用いれば良い。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、一般的なＣＣＤ型やＣＭＯＳ型のエリアセンサ型のイメージセンサを用いて広い面積における干渉による色をＲＧＢ値として一括して取得し、ＮＴＳＣ規格の色相等の色あいを表す指標を求めて、膜厚−色相相関から膜厚を求めているので、受光装置で取得したＲＧＢ値との対応関係が良好になるとともに、従来のように分光器などの特殊な測定器を必要とせずに、高速で測定することが可能になり、ひいては、大型液晶表示装置等の低コスト化、高表示品質化に寄与するところが大きい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明は、波長の分布が広範囲にわたる光源からの照射光を測定対象物である基板上に設けたフォトレジスト等の被膜に入射させ、被膜からの干渉を起こした反射光を受光装置、特に、ＣＣＤ型やＣＭＯＳ型のエリアセンサ型のイメージセンサにより測定し、測定した反射光の波長毎に干渉光の強度が極大，極小をとる膜厚が異なることによる干渉光の色の変化を、ＮＴＳＣ規格の色相Ｈ等の色あいを表す指標に変換し、変換した色あいを表す指標と膜厚との対応をフィッティングして被膜の膜厚を求めるものである。
【実施例１】
【００２８】
ここで、図２乃至図６を参照して、本発明の実施の形態の膜厚取得方法を説明する。
図２参照
図２は、本発明の実施の形態に用いる膜厚取得装置の概念的構成図であり、面光源１１、撮像用レンズ１５を備えたエリアセンサ型のカラーＣＣＤカメラ１２、測定対象の薄膜を成膜した測定パネル１３、測定パネル１３を水平に載置・保持するステージ１４から構成される。
【００２９】
ここでは、面光源１１としては、連続波長で発光する通常の蛍光管を利用し、面光源表面で十分に拡散されて見込み角によって輝度、色度の変動がないもの或いは実効的に問題にならない程度に変動が少ないものを用いる。
【００３０】
また、カラーＣＣＤカメラ１２としては、３枚のＣＣＤを用いてＲ，Ｇ，Ｂ毎に画像信号を取得する３ＣＣＤ型カラーカメラを用い、鉛直方向から約１５°傾けて設置する。
【００３１】
このカラーＣＣＤカメラ１２で撮像した画像は、カメラの傾きの影響と撮像用レンズ１５の収差で歪みが発生するため、撮像した画像に対して歪みの補正を行い、どの測定パネル１３の画像の形も正しい画像が得られるようにする。
【００３２】
この様な膜厚取得装置によって、測定パネル１３の画像を撮像することによって、カラーＣＣＤカメラ１２を構成するＣＣＤの各ピクセルについて、各ピクセルの対応する位置における薄膜の膜厚の違いによる色合いの違いから、異なるＲＧＢ値の出力が得られる。
【００３３】
なお、ここで使用するカラーＣＣＤカメラ１２は、膜厚の変化が効率的に色の変化に反映されるように、撮像する光源１１の元でホワイトバランスが取れているものとする。
【００３４】
このとき、カラーＣＣＤカメラ１２を用いて取得した画像のＲＧＢ値から、ＮＴＳＣ規格における色相Ｈを求める。
まず、下記の（１）式〜（３）式によって、ＲＧＢ値を輝度Ｙ，色差Ｃ1 ，Ｃ2 に変換する。
Ｙ＝０．３Ｒ＋０．５９Ｇ＋０．１１Ｂ                  ・・・（１）
Ｃ1 ＝Ｒ−Ｙ＝０．７Ｒ−０．５９Ｇ−０．１１Ｂ        ・・・（２）
Ｃ2 ＝Ｂ−Ｙ＝−０．３Ｒ−０．５９Ｇ＋０．８９Ｂ      ・・・（３）
【００３５】
次いで、（４）式及び（５）式によって、Ｙ，Ｃ1 ，Ｃ2 値から色相Ｈと彩度Ｓを求める。
Ｈ＝ｔａｎ-1（Ｃ1 ／Ｃ2 ）          ・・・（４）
Ｓ＝（Ｃ12＋Ｃ22）-1/2              ・・・（５）
【００３６】
次いで、得られた色相Ｈから膜厚への変換方法を説明する。
上述の図１に示したように、薄膜の膜厚が変化するにつれて、色相Ｈは０°〜３６０°の間で変化するものであり、０°（ブルーに近い色）→９０°（赤に近い色）→１８０°（黄緑色）→２７０（青緑）→３６０°（ブルーに近い色）と循環する。
【００３７】
このとき、どの膜厚の時に、どの平面上のどの座標になるかを、使用する光源の波長強度分布、測定対象となる薄膜と基板の屈折率と消衰係数を基にして図１のような変動をテーブル化してリファレンスとし、実測によって得られた色相をこのリファレンスとフィッティングすることによって膜厚を求める。
なお、膜厚の変化が大きい場合、図１でもわかるように、複数の膜厚において同じ色相を示すことがあるが、膜厚は連続的に変化することを考慮したり、膜厚範囲を限定するなどの方法で対処すれば良い。
【００３８】
以上を前提として、次に、図３乃至図５を参照して、具体的膜厚取得方法を説明する。  図３参照
図３は、撮像時のカラーＣＣＤカメラと測定パネルの位置関係の説明図であり、測定対象として、大型液晶パネルに用いる１８００ｍｍ×１５００ｍｍのサイズのガラス基板２１上に塗布したレジスト膜２２とする。
なお、このフォトレジストの屈折率ｎは、λ＝５５０ｎｍの時に、ｎ＝１．６１９とする。
【００３９】
ここでは、測定対象のレジスト膜２２を設けたガラス基板２１の表面から、カラーＣＣＤカメラ１２の撮像用レンズ１５の主点までの高さＨを４４０ｍｍに設定する。
このとき、撮像用レンズ１５の焦点距離を４ｍｍ、ＣＣＤのサイズを１／３インチタイプとすると、画角は約６１°×４８°となる。
【００４０】
ガラス基板２１表面における４４０ｍｍの高さから４８°の範囲は約４００ｍｍであり、また、６１°の範囲は７６０ｍｍとなるので、１８００ｍｍ×１５００ｍｍの面積をカバーするためには、ガラス基板２１を３×４に１２分割して撮像する必要がある。
【００４１】
また、ここではフォトレジスト膜２２の膜厚は、およそ５００ｎｍ程度とし、これを、3 ％の膜厚変化を検出可能にすることを目標とする。
５００ｎｍの３％は１５ｎｍで、安全率を見込んで０．３％を目標とすると、１．５ｎｍの膜厚変化を検出する必要がある。
【００４２】
図４参照
図４は、ある光源のもとで、視野角３０°から見た時の薄膜の膜厚の変化に伴う色相の変化をシミュレーションした結果を変換テーブルとして示したものである。
ここでは、ＢＫ７基板上にレジストを塗布したサンプルによる結果を示している。
【００４３】
図５参照
上記の図４に示したデータをグラフすることによって、図５に示した色度曲線が得られた。
【００４４】
ついで、カラーＣＣＤカメラ１２を用いて所定領域のＲＧＢ値を一括して取得し、上記の式（１）乃至（５）から、各ピクセルに対応する領域の色相Ｈを求め、予め取得したデータとフィッティングして膜厚を求める。
【００４５】
このとき、色相Ｈに直した時点で、有効数字３桁程度のデータがあれば、１ｎｍの膜厚差を検出できると言える。
測定により取得したＲＧＢ値から線形変換によって色相Ｈに変換するため、ほぼＲＧＢ値の時点の有効数字は保存されると考えられるので、Ｒ，Ｇ，Ｂそれぞれについて１０ｂｉｔの諧調を持つＣＣＤを使用すれば良いことになる。
【００４６】
カラーＣＣＤカメラ１２で測定パネル１３の視野角θ＝３０°の点Ｐにおいて取得したＲＧＢ値が、
（Ｒ，Ｇ，Ｂ）＝（１９６，２２４，１８４）  
であるとする。
【００４７】
次いで、これを上記の（１）式乃至（４）式に当てはめることにより、
Ｈ＝２０９．２
の色相が得られる。
なお、本発明の膜厚取得方法においては、彩度Ｓは使用しない。
【００４８】
この色相Ｈと、図４に示した変換テーブルのデータとをフィッテイングして、最も差が小さくなる膜厚を検出したところ、点Ｐの膜厚ｄは、ｄ＝４０６ｎｍとなる。
【００４９】
なお、求める点の視野角が、点Ｐとは異なる場合は、それぞれの視野角ごとに図４と同様なテーブルを作成して変換することで、測定パネル全体の膜厚分布を求めることができる。
【００５０】
以上、本発明の実施例を説明してきたが、本発明は実施例に記載した構成に限られるものではなく、各種の変更が可能である。
例えば、上記の実施の形態においては受光装置として３ＣＣＤ型のカラーエリアセンサを用いているが、１枚のＣＣＤを用いたカラーエリアセンサを用いても良い。
また、方式はＣＣＤ方式に限られるものではなく、ＣＭＯＳ型或いはＭＯＳ型のエリアセンサを用いても良いものである。
【００５１】
また、上記の実施例１において設定したカメラの傾斜角、設置高さＨ、画像を取り込む視野角は単なる一例であり、使用するカメラの解像度や、使用するレンズの開口数に応じて適宜変更可能であることは言うまでもない。
【００５２】
また、上記実施例１においては、予めシミュレーションにより膜厚−色相相関の変換テーブルを作成し、このテーブルとフィッティングすることによって膜厚を求めているが、実際にさまざまな膜厚のリファレンスを測定して、膜厚−色度相関の変換テーブルを作成しておいても良いものであり、この時の光源は実際の製造工程における薄膜の膜厚を測定するときと同じ波長強度分布を有する光源を用いるようにする。
【００５３】
例えば、膜厚が既知で且つステップ的に変化する標準試料を用いて、所定の移動距離Δ毎ステップ的に移動させて撮像してＲＧＢ値を得て、各視野角θにおける色相を取得すれば良く、また、中心線から横方向（Ｙ方向）にずれた位置に対する補正係数も同時に求めることができる。
【００５４】
また、上記の実施例１においては、色あいの基準としてＮＴＳＣ基準の色相Ｈを用いているが、ＮＴＳＣ基準の色相Ｈに限られるものではなく、各種の表色方式の色相、或いは、各種の表色系の色あいを示す指標を用いても良いものである。
【００５５】
例えば、ＮＴＳＣ規格に基づく色相Ｈの代わりに、ＨＳＶ表色方式の色相Ｈを基準にしても良いものである。
このＨＳＶ表色方式は、色相Ｈ、彩度Ｓ、明度Ｖ（Ｖａｌｕｅ）の３要素を用いて表す方式であり、色相Ｈは赤を基準に０°とし右周りに、赤→黄→緑→青→紫→赤と３６０°に色を配置した色相環で表す。                                                    
【００５６】
このＨＳＶ表色方式の色相Ｈは、色相環に配置する色が異なることを除けば、実質的にはＮＴＳＣ規格に基づく色相Ｈと等価な関係にあるので、同様の精度を得ることができる。
なお、彩度Ｓは０〜１００％で表し、明度Ｖは、各色相毎に最も明るい色を１００％とし、最も暗い色、即ち、黒を０％とする。
【００５７】
或いは、ＮＴＳＣ規格に基づく色相Ｈの代わりに、ＨＳＢ表色方式の色相Ｈを基準にしても良いものである。
このＨＳＢ表色方式は、色相Ｈ、彩度Ｓ、明度Ｂ（Ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ）の３要素を用いて表す方式であり、明度Ｂを除いてはＨＳＶ表色方式と同じである。
【００５８】
或いは、ＮＴＳＣ規格に基づく色相Ｈの代わりに、ＨＳＬ表色方式の色相Ｈを基準にしても良いものである。
このＨＳＬ表色方式は、色相Ｈ、彩度Ｓ、明度Ｌ（Ｌｉｇｈｔｎｅｓｓ）の３要素を用いて表す方式であり、本発明の膜厚取得に用いる色相に関してはＨＳＶ表色方式と同じである。
なお、この場合の明度Ｂは、最大明度１００％を白とし、最小明度０％を黒とし、各色相の最も純粋な色の明度を５０％としており、明度及び彩度の定義がＨＳＶ表色方式と異なっている。
【００５９】
上記の表色方式は、カラーＣＣＤカメラ等の色をＲＧＢに分解するタイプの撮像装置に向いているが、輝度計等の光を色を直接計測するタイプの機器を用いた場合には、均等色空間（ＵＣＳ：Ｕｎｉｆｏｒｍ  Ｃｏｌｏｒ  Ｓｐａｃｅ）の代表的な表色系であるＬＵＶ表色系或いはＬＡＢ表色系基準にしても良いものである。
【００６０】
このＬＵＶ表色系は、明度Ｌ（Ｌｉｇｈｔｎｅｓｓ）、ｕ’，ｖ’の３要素を用いて表す方式であり、本発明の膜厚取得に用いる色あいに関する基準としては、ｕ’とｖ’を合わせて用いれば良い。
【００６１】
このＬＡＢ表色系は、明度Ｌ（Ｌｉｇｈｔｎｅｓｓ）、ａ* （赤−緑軸），ｂ* （黄−青軸）の３要素を用いて表す方式であり、本発明の膜厚取得に用いる色あいに関する基準としては、ａ* とｂ* を合わせて用いれば良い。
【００６２】
また、上記の実施例１においては、液晶パネルを構成するガラス基板に成膜したレジスト膜の膜厚の取得方法として説明しているが、レジスト膜に限られるものではなく、各種の薄膜の膜厚の測定に適用されるものであり、光源となる波長に対して透明或いは半透明であれば良い。
【００６３】
また、本発明は、液晶パネルに限られるものではなく、プラズマ表示装置等の他の表示装置における成膜工程、或いは、半導体装置等の各種のデバイスの製造工程における各種の成膜工程にも適用されるものである。
【００６４】
さらには、本発明は特定の装置の成膜工程に限られるものではなく、表面が平坦な基板にミクロン〜サブミクロンオーダの薄膜を成膜する全ての成膜工程に適用されるものである。
【００６５】
また、本発明の実施例１においては、光源として通常の蛍光灯を用いているが、できるだけ白色に近い蛍光灯が望ましい。
さらに、白色光に限られるものではなく、ある程度の広範囲の波長領域において連続的な波長強度分布を有する光源でも良く、この場合には、光源の色の偏りをはじめから見込んで色の予測を行えばよい。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明の活用例としては、大型液晶パネルの製造工程における各被膜の膜厚測定が典型的なものであるが、大型液晶パネルに限られるものではなく、各種のサイズの液晶パネルや、有機ＥＬ、プラズマディスプレイパネル、半導体デバイス等の電子デバイスにおける成膜工程にも適用されるものであり、さらには、板状体上に薄い被膜を塗布す工程全般に適用されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の原理的構成を示す膜厚と色相の相関を示す概念図である。
【図２】本発明の実施例に用いる膜厚取得装置の概念的構成図である。
【図３】本発明の実施例１におけるカラーＣＣＤカメラと測定パネルの位置関係の説明図である。
【図４】膜厚がｄ＝４００〜５５９ｎｍの範囲における色相―膜厚の変換テーブルである。
【図５】膜厚がｄ＝４００〜５５９ｎｍの範囲における色相―膜厚の対応を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６８】
１１  面光源
１２  カラーＣＣＤカメラ
１３  測定パネル
１４  ステージ
１５  撮像用レンズ
２１  ガラス基板
２２  レジスト膜
【図１】
2006071316.tif 000003
【図２】
2006071316.tif 000004
【図３】
2006071316.tif 000005
【図４】
2006071316.tif 000006
【図５】
2006071316.tif 000007