(57)【要約】  【課題】  空間光変調素子を走査方向に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてフレームデータを空間光変調素子に入力して画像を形成する際に用いられる、上記フレームデータをより高速に作成する。  【解決手段】  描画素子群が複数配列された空間光変調素子を、描画素子群の配列方向と傾斜角θをなす走査方向に移動させるとともに、その移動に応じてフレームデータを空間光変調素子に入力して画像を形成する際に用いられる上記フレームデータを作成する方法であって、上記走査方向に対応する副走査方向およびその副走査方向に直交する主走査方向に画素データが２次元状に配置された画像データに基づいてフレームデータを作成するフレームデータ作成方法において、上記描画素子群（丸１〜丸６）に対応する画素データが上記主走査方向に並ぶように上記画像データに変形処理を施し、その変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成する。【選択図】          図９
2006192607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画面上に描画点を形成する複数の描画素子が一列に配置された描画素子群が、複数平行に配列された描画点形成部を、前記描画面に対し、前記描画点形成部の前記描画素子群の配列方向と所定の傾斜角θ（ただし、０°＜θ＜９０°）をなす走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより複数の前記描画点が２次元状に配置された画像を前記描画面上に形成する際に用いられる前記フレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、前記走査方向に対応する副走査方向および該副走査方向に直交する主走査方向に前記描画点データに対応する画素データが２次元状に配置された、前記画像に応じた画像データに基づいて、前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成するフレームデータ作成方法において、
前記画像データにおける前記描画素子群に対応する画素データが前記主走査方向に並ぶように前記画像データに変形処理を施し、
該変形処理済画像データに基づいて前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成することを特徴とするフレームデータ作成方法。
【請求項２】
前記変形処理済画像データが格納される記憶手段に、該記憶手段のアドレスが連続する方向と前記描画素子群に対応する画素データが格納される配列方向とが一致するように前記画素データを格納し、
該格納された画素データを前記記憶手段から読み出して前記複数の描画点データを取得することを特徴とする請求項１記載のフレームデータ作成方法。
【請求項３】
前記描画素子群に対応する各画素データを、それぞれ前記傾斜角に応じて前記副走査方向にシフトさせることによって前記変形処理を施すことを特徴とする請求項１または２記載のフレームデータ作成方法。
【請求項４】
前記描画素子群の各描画素子に対応する、同じ前記フレームデータに属する画素データが前記主走査方向に連続して配置されるように前記画素データを前記走査方向について並び替え、
該並び替え後の変形処理済画像データに基づいて前記フレームデータを作成することを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載のフレームデータ作成方法。
【請求項５】
前記画像データの解像度が前記描画面に描画される前記画像の解像度よりも低い場合において、
前記並び替え後の変形処理済画像データの各画素データを複数回用いて前記描画素子に対応する前記描画点データを生成し、
該生成された描画点データを用いて前記フレームデータを作成することを特徴とする請求項４記載のフレームデータ作成方法。
【請求項６】
前記描画点形成部を前記配列方向について複数の分割領域に分割し、該複数の分割領域により多重描画を行う場合において、
前記各分割領域に対応する並び替え後の変形処理済画像データを、前記多重描画の順に応じてそれぞれ前記主走査方向にシフトし、
該シフトされた並び替え後の変形処理済画像データに基づいて前記フレームデータを作成することを特徴とする請求項４項記載のフレームデータ作成方法。
【請求項７】
請求項１から６いずれか１項記載のフレームデータ作成方法を用いて前記各フレームデータを取得し、
前記描画点形成部を前記描画面に対して前記走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画点形成部に順次前記各フレームデータを入力して前記描画点群を時系列に形成し、前記描画面上に前記画像を形成することを特徴とする描画方法。
【請求項８】
描画面上に描画点を形成する複数の描画素子が一列に配置された描画素子群が、複数平行に配列された描画点形成部を、前記描画面に対し、前記描画点形成部の前記描画素子群の配列方向と所定の傾斜角θ（ただし、０°＜θ＜９０°）をなす走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより複数の前記描画点が２次元状に配置された画像を前記描画面上に形成する際に用いられる前記フレームデータを作成するフレームデータ作成装置であって、前記走査方向に対応する副走査方向および該副走査方向に直交する主走査方向に前記描画点データに対応する画素データが２次元状に配置された、前記画像に応じた画像データに基づいて、前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成するフレームデータ作成装置において、
前記画像データにおける前記描画素子群に対応する画素データが前記主走査方向に並ぶように前記画像データに変形処理を施す画像データ変形部と、
該画像データ変形部により変形処理の施された変形処理済画像データに基づいて前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成するフレームデータ作成部とを備えたことを特徴とするフレーム作成装置。
【請求項９】
前記変形処理済画像データが格納される記憶手段と、
該記憶手段のアドレスが連続する方向と前記描画素子群に対応する画素データが格納される配列方向とが一致するように前記画素データを格納する記憶制御手段とをさらに備え、
前記フレームデータ作成部が、前記記憶手段に格納された画素データを前記記憶手段から読み出して前記複数の描画点データを取得するものであることを特徴とする請求項８記載のフレームデータ作成装置。
【請求項１０】
前記画像データ変形部が、前記描画素子群に対応する各画素データを、それぞれ前記傾斜角に応じて前記副走査方向にシフトさせることによって前記変形処理を施すものであることを特徴とする請求項８または９記載のフレームデータ作成装置。
【請求項１１】
前記描画素子群の各描画素子に対応する、同じ前記フレームデータに属する画素データが前記主走査方向に連続して配置されるように前記画素データを前記走査方向について並び替える画素データ並替部をさらに備え、
前記フレームデータ作成部が、前記画素データ並替部によって並び替えられた後の変形処理済画像データに基づいて前記フレームデータを作成するものであることを特徴とする請求項８から１０いずれか１項記載のフレームデータ作成装置。
【請求項１２】
前記画像データの解像度が前記描画面に描画される前記画像の解像度よりも低い場合において、
前記フレームデータ作成部が、前記並び変えられた後の変形処理済画像データの各画素データを複数回用いて前記描画素子に対応する前記描画点データを生成し、該生成された描画点データを用いて前記フレームデータを作成するものであることを特徴とする請求項１１記載のフレームデータ作成装置。
【請求項１３】
前記描画点形成部を前記配列方向について複数の分割領域に分割し、該複数の分割領域により多重描画を行う場合において、
前記フレームデータ作成部が、前記各分割領域に対応する変形処理済画像データを、前記多重描画の順に応じてそれぞれ前記主走査方向にシフトし、該シフトされた変形処理済画像データに基づいて前記フレームデータを作成するものであることを特徴とする請求項１１記載のフレームデータ作成装置。
【請求項１４】
請求項８から１３記載のフレームデータ作成装置と、
入力された前記フレームデータに基づいて複数の描画点からなる描画点郡を描画面上に形成する描画点形成部と、
該描画点形成部を前記描画面に対して前記走査方向に相対的に移動させる移動手段と、
該移動手段による走査方向への移動に応じて前記フレームデータ作成装置において作成されたフレームデータを前記描画点形成部に順次入力し、前記描画点形成部に前記描画点群を時系列に順次形成させて複数の前記描画点が２次元状に配置された画像を前記描画面上に形成させる画像形成制御部とを備えたことを特徴とする描画装置。
【請求項１５】
描画面上に描画点を形成する複数の描画素子が一列に配置された描画素子群が、複数平行に配列された描画点形成部を、前記描画面に対し、前記描画点形成部の前記描画素子群の配列方向と所定の傾斜角θ（ただし、０°＜θ＜９０°）をなす走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより複数の前記描画点が２次元状に配置された画像を前記描画面上に形成する際に用いられる前記フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるフレームデータ作成プログラムであって、前記走査方向に対応する副走査方向および該副走査方向に直交する主走査方向に前記描画点データに対応する画素データが２次元状に配置された、前記画像に応じた画像データに基づいて、前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるフレームデータ作成プログラムにおいて、
前記画像データにおける前記描画素子群に対応する画素データが前記主走査方向に並ぶように前記画像データに変形処理を施す手順と、
該変形処理済画像データに基づいて前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成する手順とをコンピュータに実行させることを特徴とするフレームデータ作成プログラム。
【請求項１６】
前記変形処理済画像データを記憶する記憶手段に、該記憶手段のアドレスが連続する方向と前記描画素子群に対応する画素データが格納される配列方向とが一致するように前記画素データを格納する手順をさらにコンピュータに実行させ、
前記格納された画素データを前記記憶手段から読み出して前記複数の描画点データを取得する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１５記載のフレームデータ作成プログラム。
【請求項１７】
前記変形処理が、前記描画素子群に対応する各画素データを、それぞれ前記傾斜角に応じて前記副走査方向にシフトさせる処理であることを特徴とする請求項１５または１６記載のフレームデータ作成プログラム。
【請求項１８】
前記描画素子群の各描画素子に対応する、同じ前記フレームデータに属する画素データが前記主走査方向に連続して配置されるように前記画素データを前記走査方向について並び替える手順をさらにコンピュータに実行させ、
該並び替え後の変形処理済画像データに基づいて前記フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１５から１７いずれか１項記載のフレームデータ作成プログラム。
【請求項１９】
前記画像データの解像度が前記描画面に描画される前記画像の解像度よりも低い場合において、
前記並び替え後の変形処理済画像データの各画素データを複数回用いて前記描画素子に対応する前記描画点データを生成する手順をさらにコンピュータに実行させ、
前記生成された描画点データを用いて前記フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１８記載のフレームデータ作成プログラム。
【請求項２０】
前記描画点形成部を前記配列方向について複数の分割領域に分割し、該複数の分割領域により多重描画を行う場合において、
前記各分割領域に対応する並び替え後の変形処理済画像データを、前記多重描画の順に応じてそれぞれ前記主走査方向にシフトする手順をさらにコンピュータに実行させ、
前記シフトされた並び替え後の変形処理済画像データに基づいて前記フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１８項記載のフレームデータ作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空間光変調素子などの描画点形成部を、描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させて画像を形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成方法および装置並びにプログラム、そのフレームデータ作成方法および装置並びにプログラムを用いて作成された取得されたフレームデータを用いて描画を行う描画方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、画像データが表す所望の２次元パターンを描画面上に形成する描画装置が種々知られている。
【０００３】
上記のような描画装置として、たとえば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（以下、ＤＭＤという）等の空間光変調素子を利用し、画像データに応じて空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。ＤＭＤは、シリコン等の半導体基板上のメモリセル（ＳＲＡＭアレイ）に、微小なマイクロミラーが２次元状に多数配置されて構成されたものである。そして、メモリセルに蓄積される電荷による静電気力を制御することによってマイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させることができ、この反射面の角度変化により所望の位置に描画点を形成して画像を形成することができるものである。
【０００４】
そして、上記のようなＤＭＤを用いた露光装置としては、たとえば、ＤＭＤを露光面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてＤＭＤのメモリセルに多数のマイクロミラーに対応した多数の描画点データからなるフレームデータを入力し、ＤＭＤのマイクロミラーに対応した描画点群を時系列に順次形成することにより所望の画像を露光面に形成する露光装置が提案されている。
【０００５】
また、一般に、ＤＭＤのマイクロミラーは、各行の並び方向と各列の並び方向とが直交するように配列されている。そして、このようなＤＭＤを走査方向に対して所定の角度だけ傾けて上記のような露光を行うことによって、マイクロミラーにより走査される走査線の間隔を密にし、露光面上に形成される画像の解像度を向上させた露光装置も提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
ここで、上記のような露光装置を用いて露光を行う際には、上述したようにＤＭＤの走査方向への相対的な移動に応じてフレームデータをＤＭＤに順次入力する必要がある。したがって、露光の前に予め露光面に対するＤＭＤの位置に対応した複数のフレームデータを作成しておく必要がある。
【０００７】
そして、上記のようなフレームデータを作成する際には、たとえば、露光面に露光されるべき画像を表す画像データをＤＲＡＭなどのメモリに一旦記憶し、露光面に対するＤＭＤの各位置について、ＤＭＤの各マイクロミラーに対応する画素データを上記メモリから順次読み出すことによってＤＭＤの各マイクロミラーに入力される各描画点データを取得し、その取得された描画点データにより各フレームデータを作成していた。
【特許文献１】特開２００４−９５９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、図１８に示すように、上記画像データ１は、ＤＭＤの走査方向に対応する副走査方向およびその副走査方向に直交する主走査方向に画素データ５が２次元状に配置されたものであるため、たとえば、上記のようにＤＭＤを走査方向に対して所定の角度だけ傾けた露光装置におけるフレームデータを作成する場合において、各マイクロミラーに対応する画素データを順次読み出すようにしたのでは、たとえば、図１８の主走査方向に配列された画素データが、上記メモリにそのアドレスが連続する方向に記憶されているような場合には、各マイクロミラーに対応する画素データが記憶されたアドレスは、メモリを制御する制御手段からみたメモリのアドレス空間において離散的に配置されており、このような配置のアドレスに１つ１つアクセスしながら画素データを読み出すのはメモリの制御上、非常に時間がかかり、全てのフレームデータを取得するのに非常に時間がかかってしまう。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑み、上記のようなフレームデータをより高速に作成することができるフレームデータ作成方法および装置並びにプログラムを提供するとともに、上記フレームデータ作成方法等を利用した描画方法および装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のフレームデータ作成方法は、描画面上に描画点を形成する複数の描画素子が、一列に配置された描画素子群が複数平行に配列された描画点形成部を、描画面に対し、描画点形成部の描画素子群の配列方向と所定の傾斜角θ（ただし、０°＜θ＜９０°）をなす走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより複数の描画点が２次元状に配置された画像を描画面上に形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、上記走査方向に対応する副走査方向およびその副走査方向に直交する主走査方向に描画点データに対応する画素データが２次元状に配置された、上記画像に応じた画像データに基づいて、上記複数の描画点データを取得してフレームデータを作成するフレームデータ作成方法において、画像データにおける描画素子群に対応する画素データが主走査方向に並ぶように画像データに変形処理を施し、その変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成することを特徴とする。
【００１１】
また、上記フレームデータ作成方法においては、変形処理済画像データが格納される記憶手段に、その記憶手段のアドレスが連続する方向と描画素子群に対応する画素データが格納される配列方向とが一致するように画素データを格納し、その格納された画素データを記憶手段から読み出して複数の描画点データを取得するようにすることができる。
【００１２】
また、描画素子群に対応する各画素データを、それぞれ上記傾斜角に応じて上記副走査方向にシフトさせることによって変形処理を施すようにすることができる。
【００１３】
また、描画素子群の各描画素子に対応する、同じフレームデータに属する画素データが上記主走査方向に連続して配置されるように画素データを上記走査方向について並び替え、その並び替え後の変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成するようにすることができる。
【００１４】
また、画像データの解像度が描画面に描画される画像の解像度よりも低い場合において、上記並び替え後の変形処理済画像データの各画素データを複数回用いて描画素子に対応する描画点データを生成し、その生成された描画点データを用いてフレームデータを作成するようにすることができる。
【００１５】
また、描画点形成部を上記配列方向について複数の分割領域に分割し、その複数の分割領域により多重描画を行う場合において、各分割領域に対応する並び替え後の変形処理済画像データを、多重描画の順に応じてそれぞれ上記主走査方向にシフトし、そのシフトされた並び替え後の変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成するようにすることができる。
【００１６】
本発明の描画方法は、上記フレームデータ作成方法を用いて各フレームデータを取得し、描画点形成部を描画面に対して走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画点形成部に順次各フレームデータを入力して描画点群を時系列に形成し、描画面上に上記画像を形成することを特徴とする。
【００１７】
本発明のフレームデータ作成装置は、描画面上に描画点を形成する複数の描画素子が一列に配置された描画素子群が、複数平行に配列された描画点形成部を、描画面に対し、描画点形成部の描画素子群の配列方向と所定の傾斜角θ（ただし、０°＜θ＜９０°）をなす走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより複数の描画点が２次元状に配置された画像を描画面上に形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成装置であって、上記走査方向に対応する副走査方向およびその副走査方向に直交する主走査方向に描画点データに対応する画素データが２次元状に配置された、画像に応じた画像データに基づいて、上記複数の描画点データを取得してフレームデータを作成するフレームデータ作成装置において、画像データにおける描画素子群に対応する画素データが主走査方向に並ぶように画像データに変形処理を施す画像データ変形部と、画像データ変形部により変形処理の施された変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成するフレームデータ作成部とを備えたことを特徴とする。
【００１８】
また、上記フレームデータ作成装置においては、変形処理済画像データが格納される記憶手段と、記憶手段のアドレスが連続する方向と描画素子群に対応する画素データが格納される配列方向とが一致するように画素データを格納する記憶制御手段とをさらに備えるようにし、フレームデータ作成部を、記憶手段に格納された画素データを記憶手段から読み出して複数の描画点データを取得するものとすることができる。
【００１９】
また、画像データ変形部を、描画素子群に対応する各画素データを、それぞれ傾斜角に応じて上記副走査方向にシフトさせることによって変形処理を施すものとすることができる。
【００２０】
また、描画素子群の各描画素子に対応する、同じフレームデータに属する画素データが上記主走査方向に連続して配置されるように画素データを上記走査方向について並び替える画素データ並替部をさらに備えるものとし、フレームデータ作成部を、画素データ並替部によって並び替えられた後の変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成するものとすることができる。
【００２１】
また、画像データの解像度が描画面に描画される画像の解像度よりも低い場合において、フレームデータ作成部を、上記並び替えられた後の変形処理済画像データの各画素データを複数回用いて描画素子に対応する描画点データを生成し、その生成された描画点データを用いてフレームデータを作成するものとすることができる。
【００２２】
また、描画点形成部を上記配列方向について複数の分割領域に分割し、その複数の分割領域により多重描画を行う場合において、フレームデータ作成部を、各分割領域に対応する変形処理済画像データを、多重描画の順に応じてそれぞれ上記主走査方向にシフトし、そのシフトされた変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成するものとすることができる。
【００２３】
本発明の描画装置は、上記フレームデータ作成装置と、入力されたフレームデータに基づいて複数の描画点からなる描画点郡を描画面上に形成する描画点形成部と、描画点形成部を描画面に対して上記走査方向に相対的に移動させる移動手段と、移動手段による走査方向への移動に応じてフレームデータ作成装置において作成されたフレームデータを描画点形成部に順次入力し、描画点形成部に描画点群を時系列に順次形成させて複数の描画点が２次元状に配置された画像を描画面上に形成させる画像形成制御部とを備えたことを特徴とする。
【００２４】
本発明のフレームデータ作成プログラムは、描画面上に描画点を形成する複数の描画素子が一列に配置された描画素子群が、複数平行に配列された描画点形成部を、描画面に対し、描画点形成部の描画素子群の配列方向と所定の傾斜角θ（ただし、０°＜θ＜９０°）をなす走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより複数の描画点が２次元状に配置された画像を描画面上に形成する際に用いられるフレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるフレームデータ作成プログラムであって、上記走査方向に対応する副走査方向およびその副走査方向に直交する主走査方向に描画点データに対応する画素データが２次元状に配置された、画像に応じた画像データに基づいて、上記複数の描画点データを取得してフレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるフレームデータ作成プログラムにおいて、画像データにおける描画素子群に対応する画素データが主走査方向に並ぶように画像データに変形処理を施す手順と、変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成する手順とをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００２５】
また、上記フレームデータ作成プログラムにおいては、変形処理済画像データを記憶する記憶手段に、記憶手段のアドレスが連続する方向と描画素子群に対応する画素データが格納される配列方向とが一致するように画素データを格納する手順をさらにコンピュータに実行させ、上記格納された画素データを記憶手段から読み出して複数の描画点データを取得する手順をコンピュータに実行させるようにすることができる。
【００２６】
また、変形処理を、描画素子群に対応する各画素データを、それぞれ傾斜角に応じて副走査方向にシフトさせる処理とすることができる。
【００２７】
また、描画素子群の各描画素子に対応する、同じフレームデータに属する画素データが上記主走査方向に連続して配置されるように画素データを上記走査方向について並び替える手順をさらにコンピュータに実行させ、その並び替え後の変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるようにすることができる。
【００２８】
また、画像データの解像度が描画面に描画される画像の解像度よりも低い場合において、上記並び替え後の変形処理済画像データの各画素データを複数回用いて描画素子に対応する描画点データを生成する手順をさらにコンピュータに実行させ、その生成された描画点データを用いてフレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるようにすることができる。
【００２９】
また、描画点形成部を上記配列方向について複数の分割領域に分割し、その複数の分割領域により多重描画を行う場合において、各分割領域に対応する並び替え後の変形処理済画像データを、多重描画の順に応じてそれぞれ上記主走査方向にシフトする手順をさらにコンピュータに実行させ、そのシフトされた並び替え後の変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるようにすることができる。
【００３０】
ここで、上記「傾斜角」とは、上記描画素子群の配列方向と上記走査方向とがなす角のうちの小さい方の角のことを意味する。
【００３１】
また、上記「アドレスが連続する方向」とは、上記記憶手段における画素データの格納および読出しを制御するＣＰＵなどの制御手段からみたメモリ空間のアドレスの連続方向のことを意味する。
【００３２】
また、上記「多重描画」とは、各分割領域における対応する複数の描画素子が、同一の走査線上の描画点を順に描画するような描画形式のことを意味する。
【００３３】
また、上記「多重描画の順に応じてそれぞれ上記主走査方向にシフトする」とは描画の順番が遅い分割領域ほど上記主走査方向へのシフト量が大きくなるようにすることを意味し、一番最初に描画を行う分割領域に対応する並び替え後の変形処理済画像データについては、必ずしもシフトする必要はなく、シフト量を０としてもよい。
【発明の効果】
【００３４】
本発明のフレームデータ作成方法および装置並びにプログラム、上記フレームデータ作成方法などを利用した描画方法および装置によれば、画像データにおける描画素子群に対応する画素データが上記主走査方向に並ぶように画像データに変形処理を施し、その変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成するようにしたので、たとえば、変形処理済画像データが格納される記憶手段に、その記憶手段のアドレスが連続する方向と描画素子群に対応する画素データが格納される配列方向とが一致するように画素データを格納し、その格納された画素データを記憶手段から読み出して複数の描画点データを取得するようにすれば、画素データを記憶手段からより高速に読み出すことができ、フレームデータをより高速に作成することができる。
【００３５】
また、描画素子群の各描画素子に対応する、同じフレームデータに属する画素データが上記主走査方向に連続して配置されるように画素データを上記走査方向について並び替え、その並び替え後の変形処理済画像データに基づいてフレームデータを作成するようにした場合には、同じフレームデータに属する画素データを、たとえばバースト転送などによってまとめて記憶手段から読み出すことができるので、より高速に画素データを読み出すことができ、より高速にフレームデータを作成することができる。
【００３６】
また、画像データの解像度が描画面に描画される画像の解像度よりも低い場合において、上記変形処理済画像データの各画素データを複数回用いて描画素子に対応する描画点データを生成し、その生成された描画点データを用いてフレームデータを作成するようにした場合には、画像データを記憶する記憶手段の容量を小さくすることができ、コストの削減を図ることができるとともに、記憶手段からの読取速度を高速化することができるので、より高速にフレームデータを作成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、図面を参照して本発明のフレームデータ作成方法および装置並びにプログラム、描画方法および装置の一実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。
【００３８】
本露光装置は、本発明における描画点形成部としてＤＭＤを用いた露光装置であって、そのＤＭＤへ入力されるフレームデータの作成方法に特徴を有するものであるが、まず、本実施形態の露光装置の全体の構成について説明する。図１は、本実施形態の露光装置の概略構成を示す斜視図である。
【００３９】
本実施形態の露光装置１０は、図１に示すように、感光材料１２を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。そして、４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド２０が設置されている。ステージ１４は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド２０によって往復移動可能に支持されている。
【００４０】
設置台１８の中央部には、移動ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設けられている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。このゲート２２を挟んで一方の側にはスキャナ２４が設けられ、他方の側には感光材料１２の先端および後端を検知する複数（たとえば２個）のセンサ２６が設けられている。スキャナ２４およびセンサ２６はゲート２２に各々取り付けられて、移動ステージ１４の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ２４およびセンサ２６は、これらを制御する、後述する全体制御部に接続されている。
【００４１】
スキャナ２４は、図２および図３（Ｂ）に示すように、２行５列の略マトリックス状に配列された１０個の露光ヘッド３０を備えている。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド３０ｍｎと表記する。
【００４２】
各露光ヘッド３０は、空間光変調素子であるＤＭＤ３６を備えている。ＤＭＤ３６は、描画素子としてのマイクロミラーが一列に配置されたマイクロミラー列が、複数平行に配列されたものであり、そのマイクロミラー列の配列方向が走査方向と所定の傾斜角度θをなすように露光ヘッド３０に取り付けられている。したがって、各露光ヘッド３０による露光エリア３２は、図２および図３（Ｂ）に示すように、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア３２ｍｎと表記する。
【００４３】
ＤＭＤ３６の光入射側には、光ファイバの発光点が露光エリア３２の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたファイバアレイ光源（図示省略）とファイバアレイ光源から出射されたレーザ光を平行光化し、その平行光化されたレーザ光の光量分布が均一になるように補正してＤＭＤ３６上に集光する集光レンズ系（図示省略）とが設けられている。
【００４４】
また、ＤＭＤ３６の光反射側には、ＤＭＤ３６で反射されたレーザ光を感光材料１２０の描画面に結像する結像レンズ系（図示省略）が配置されている。
【００４５】
そして、図３（Ａ）に示すように、ステージ１４の移動に伴い、感光材料１２には露光ヘッド３０ごとに帯状の露光済み領域３４が形成されるが、その帯状の露光済み領域３４のそれぞれが、隣接する露光済み領域３４と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド３０の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、１行目の露光エリア３２１１と露光エリア３２１２との間の露光できない部分は、２行目の露光エリア３２２１により露光することができる。
【００４６】
ＤＭＤ３６は、図４に示すように、ＳＲＡＭアレイ（メモリセル）５６上に、マイクロミラー５８が支柱により支持されて配置されたものであり、多数の（例えば、ピッチ１３．６８μｍ、１０２４個×７６８個）のマイクロミラー５８が、直交する方向に２次元状に配列されて構成されたミラーデバイスである。そして、上述したようにマイクロミラー５８の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭアレイ５６が配置されている。
【００４７】
ＤＭＤ３６のＳＲＡＭアレイ５６に制御信号としてのデジタル信号が書き込まれると、そのデジタル信号に応じた制御電圧が、マイクロミラー５８毎に設けられた電極部（図示せず）に印加され、その制御電圧の印加により発生した静電気力によって支柱に支えられたマイクロミラー５８が、対角線を中心として±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図５（Ａ）は、マイクロミラー５８がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図５（Ｂ）は、マイクロミラー５８がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。そして、マイクロミラー５８がオン状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２に向けて反射され、マイクロミラー５８がオフ状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２以外の光吸収材料に向けて反射される。そして、１つのマイクロミラー５８により反射された光Ｂが感光材料１２に照射されることによって、露光対象である画像を構成する１つの描画点が感光材料１２上に露光される。
【００４８】
また、露光装置１０においては、上述したようにＤＭＤ３６が、そのマイクロミラー列３６ａの配列方向が走査方向と所定の傾斜角度θ（ただし、０°＜θ＜９０°）をなすように露光ヘッド３０に取り付けられているので、各マイクロミラー５８の露光軌跡は、図６に示すようになり、マイクロミラー５８の配列ピッチよりも狭いピッチで露光することができる。
【００４９】
そして、露光装置１０には、図７に示すように、画像データ出力装置７０から出力された画像データを受け付け、その受け付けた画像データに変形処理を施す画像データ変形部６１と、画像データ変形部６１において変形処理の施された変形処理済画像データが一時記憶される第１のフレームメモリ６２と、第１のフレームメモリ６２に記憶された変形処理済画像データに並替処理を施す画素データ並替部６３と、画素データ並替部６３により並替処理の施された並替処理済画像データが一時記憶される第２のフレームメモリ６４と、第２のフレームメモリ６４に記憶された並替処理済画像データに基づいてフレームデータを作成するフレームデータ作成部６５と、フレームデータ作成部６５から出力されたフレームデータに基づいてＤＭＤ３６に制御信号を出力するＤＭＤコントローラ６５と、露光装置全体を制御する全体制御部６０とを備えている。なお、画像データ変形部６１、画素データ並替部６３およびフレームデータ作成部６５には、所定の手順を実行させるプログラムがそれぞれ格納されており、そのプログラムの手順に従って全体制御部６０が装置の動作を制御する。各プログラムが実行させる所定の手順については、後で詳述する。また、全体制御部６０は、ステージ１４を駆動するステージ駆動装置８０とファイバアレイ光源９０の動作を制御するものである。
【００５０】
第１のフレームメモリ６２および第２のフレームメモリとしては、たとえば、ＤＲＡＭを用いることができるが、その他ＭＲＡＭやＦＲＡＭなども用いることができ、格納されたデータがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるものであれば如何なるものを使用してもよい。また、格納されたデータがいわゆるバースト転送により読み出されるメモリを利用するようにしてもよい。
【００５１】
次に、本露光装置１０の作用について詳細に説明する。
【００５２】
まず、コンピュータなどの画像データ出力装置７０において、感光材料１２に露光される画像に応じた画像データが作成され、その画像データが露光装置１０に出力され、画像データ変形部６１に入力される。
【００５３】
ここで、画像データ変形部６１に入力される画像データＤは、図８に示すように、画素データｄが、主走査方向および主走査方向に直交する副走査方向に２次元状に多数配列されたものである。なお、図８における丸１〜丸２４は、ＤＭＤ３６のマイクロミラー５８を模式的に示したものであり、図８は、画像データＤの各画素データｄとその各画素データｄが入力される各マイクロミラー５８との対応関係を示している。そして、図８の各格子は、上記のように画素データを示すとともに、感光材料１２上に露光される画像を構成する画素を表わしていることにもなり、画像データＤは、図８に示すように、図１に示す走査方向と上記副走査方向とが一致するように作成される。また、図８における三角印は、ＤＭＤ３６が走査方向に１画素分だけ移動した際の、マイクロミラー５８の配置を示したものである。つまり、図８における丸１〜丸２４に対応する画素データｄにより１つのフレームデータが作成され、図８における三角印に対応する画素データｄにより上記フレームデータの次のフレームデータが作成されることになる。また、本実施形態においては、図８に示すように、画像データＤの解像度は、ＤＭＤ３６のマイクロミラー５８の解像度よりも高いものとする。
【００５４】
ここで、上記のようにして作成された画像データのままでフレームデータを作成したのでは、上述したようにマイクロミラー列３６ａの配列方向が、ＤＭＤの走査方向（画像データＤの副走査方向）に対して傾きをもっているため、各マイクロミラー５８に対応する画素データｄをそれぞれ集めていったのでは、上述したように画像データが記憶されるメモリからの画素データの読出しに時間がかかってしまい、フレームデータの作成時間が長くなってしまう。
【００５５】
そこで、本実施形態の露光装置１０においては、画像データ変形部６１において画像データに変形処理が施される。具体的には、図９に示すように、各マイクロミラー５８に対応する画素データの配列方向と主走査方向とが一致するように画像データに変形処理が施される。変形処理としては、たとえば、各マイクロミラー５８に対応する画素データを、図９に示す副走査方向とは逆方向にシフトする処理を行うようにすればよい。
【００５６】
そして、上記のようにして変形処理の施された変形処理済画像データが画像データ変形部６１から出力され、第１のフレームメモリ６２に格納される。なお、このとき、第１のフレームメモリ６２におけるアドレスが連続する方向と、主走査方向に並ぶ画素データが格納される配列方向とが一致するように格納される。
【００５７】
次に、上記のようにして第１のフレームメモリ６２に格納された変形処理済画像データに対して、画素データ並替部６３により並替処理が施される。具体的には、図９に示す変形処理済画像データにおける主走査方向に並ぶ画素データについて、所定数の画素データ毎に配置された画素データを１つずつ選択して集めることによって、同じフレームデータに属する画素データを集められ、その集められた画素データが連続して配置されるような処理が施される。上記のような処理を主走査方向に並ぶ画素データの一番左の画素データから順に施すことにより、図９に示す変形処理済画像データは、図１０に示すような並替処理済画像データとされる。つまり、同じフレームデータに属する画素データが、主走査方向について連続して並んで配置されるように変形処理済画像データに対して並替処理が施される。なお、上記のような並替処理は、プログラムにより行うようにしてもよいし、ハードウェアにより行うようにしてもよい。具体的には、たとえば、図１１に示すように、ｍ個（たとえば、図９に示す変形処理済画像データに対して並替処理を施す場合には４個）の第１のレジスタ６３ａ、ｍ個の第１のレジスタ６３ａに保持された画素データから１つの画素データを選択して出力する第１のセレクタ６３ｂおよび第１のセレクタ６３ｂにより選択された画素データを保持する第２のレジスタ６３ｃを備えたＮ個（たとえば、図９に示す変形処理済画像データに対して並替処理を施す場合には６個）の選択回路６３ｄと、Ｎ個の選択回路６３ｄの第２のレジスタ６３ｃに保持された画素データのいずれか１つを選択して出力する第２のセレクタ６３ｅと、第２のセレクタ６３ｅから出力された画素データを保持する第３のレジスタ６３ｆとを設けるようにしてもよい。そして、たとえば、図９に示す変形処理済画像データに並替処理を行う際には、図９に示す変形処理済画像データにおける主走査方向に並ぶ画素データを、一番左の画素データから順に、各選択回路６３ｄ毎に４つずつ出力して各選択回路６３ｄのレジスタ６３ａに保持する。つまり、第１の選択回路６３ｄには、図９の丸１に対応する画素データとその画素データから右に３つ連続して配置された画素データが保持され、第２の選択回路６３ｄには、図９の丸２に対応する画素データとその画素データから右に３つ連続して配置された画素データが保持され、第３の選択回路６３ｄには、図９の丸３に対応する画素データとその画素データから右に３つ連続して配置された画素データが保持され、第Ｎの選択回路６３ｄには、図９の丸Ｎに対応する画素データとその画素データから右に３つ連続して配置された画素データが保持される。そして、各選択回路６３ｄにおける第１のセレクタ６３ｂにより１番目の第１のレジスタ６３ａに保持された画素データが選択されて出力され、それぞれ第２のレジスタ６３ｃに保持される。そして、第２のセレクタ６３ｅにより各選択回路６３ｄの第２のレジスタ６３ｃに保持された画素データが順次選択されて読み出され、第３のレジスタ６３ｆに保持された後、順次第２のフレームメモリ６４に出力され、順次格納される。そして、次に、各選択回路６３ｄにおける第１のセレクタ６３ｂにより２番目の第２のレジスタ６３ａに保持された画素データが選択されて出力され、それぞれ第２のレジスタ６３ｃに保持される。そして、第２のセレクタ６３ｅにより各選択回路６３ｄの第２のレジスタ６３ｃに保持された画素データが順次選択されて読み出され、第３のレジスタ６３ｆに保持された後、順次第２のフレームメモリ６４に出力され、順次格納される。そして、各選択回路６３ｄの３番目と４番目の第１のレジスタ６３ａに保持された画素データも、上記と同様にして読み出され、第２のフレームメモリ６４に格納される。そして、上記と同様の処理を、主走査方向に並んだ画素データの列毎に施すことにより、並替処理済画像データを作成することができる。
【００５８】
そして、図１０に示すように画素データが配置された並替処理済画像データが第２のフレームメモリ６４に格納される。なお、この際にも、第２のフレームメモリ６４のアドレスが連続する方向と、主走査方向に並ぶ画素データが格納される配列方向とが一致するように格納される。
【００５９】
そして、次に、上記のようにして第２のフレームメモリ６４に格納された並替処理済画像データに基づいて、フレームデータ作成部６５がフレームデータを作成する。具体的には、フレームデータ作成部６５は、図１０に示す並替処理済画像データにおける同じフレームデータに属する画素データ、たとえば、丸１〜丸２４のマイクロミラー５８に対応する画素データを選択して集めることによって図１２に示すようなフレームデータ１を作成する。そして、次に、図１０における三角印に対応する画素データを選択して集めることによって図１２に示すフレームデータ２を作成する。そして、上記と同様の処理を繰り返して行うことによって画像データＤに基づいて全てのフレームデータを作成する。
【００６０】
そして、フレームデータ作成部６５は、上記のようにして作成した各フレームデータを順次ＤＭＤコントローラ６６に出力し、ＤＭＤコントローラ６６は入力されたフレームデータに応じた制御信号を生成する。なお、上記のようなフレームデータは各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６毎に作成され、ＤＭＤ３６毎に制御信号が生成される。
【００６１】
そして、上記のようにして各露光ヘッド３０毎の制御信号が生成されるとともに、全体制御部６０からステージ駆動装置８０にステージ駆動制御信号が出力され、ステージ駆動装置８０はステージ駆動制御信号に応じて移動ステージ１４をガイド２０に沿ってステージ移動方向へ所望の速度で移動させる。そして、移動ステージ１４がゲート２２下を通過する際、ゲート２２に取り付けられたセンサ２６により感光材料１２の先端が検出されると、ＤＭＤコントローラ６５から各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６に制御信号が出力され、各露光ヘッド３０毎の描画が開始される。
【００６２】
そして、感光材料１２が移動ステージ１４とともに一定速度で移動し、感光材料１２がスキャナ２４によりステージ移動方向と反対の方向に走査され、露光ヘッド３０毎に帯状の露光済み領域３４が形成される。
【００６３】
上記のようにして、スキャナ２４による感光材料１２の走査が終了し、センサ２６で感光材料１２の後端が検出されると、移動ステージ１４は、ステージ駆動装置７２により、ガイド２０に沿ってゲート２２の最上流側にある原点に復帰し、新たな感光材料１２が設置された後、再度、ガイド２０に沿ってゲート２２の上流側から下流側に一定速度で移動する。
【００６４】
なお、上記説明においては、画像データＤの解像度と感光材料１４上に露光される画像の解像度とが同じ場合について説明したが、画像データＤの解像度が露光される画像の解像度よりも低くてもよい。つまり、画像データＤの１つの画素データｄを用いて複数のマイクロミラー５８により露光点を形成し、この複数の露光点により１つの画素を構成するようにしてもよい。たとえば、画像データＤの１つの画素データを用いて４のマイクロミラー５８により露光点を形成し、この複数の露光点により１つの画素を構成する場合における、画素データｄとマイクロミラー５８と画素との対応関係を図１３に示す。図１３における斜線部分が画像データＤにおける１つの画素データｄに対応する部分であり、この範囲を４つのマイクロミラー５８により露光される露光点により露光する。上記のような露光を行う場合におけるフレームデータを作成する際には、まず、上記と同様に、画像データＤに変形処理を施し、図１４に示すような変形処理済画像データを生成し、その後、上記と同様に、変形処理済画像データに並替処理を施し、その並替処理済画像データを第２のフレームメモリ６４に上記と同様に格納した後、その第２のフレームメモリ６４に格納された各画素データを複数回読み出すことにより、フレームデータを作成するようにすればよい。具体的には、たとえば、上記のように４つのマイクロミラー５８により１つの画素を露光するようにする場合には、たとえば、図９に示す丸１から丸６に対応する画素データ、丸７から丸１２に対応する画素データ、丸１３から丸１８に対応する画素データ、丸１９から丸２４に対応する画素データをそれぞれ４回ずつ読み出して、図１５に示すようなフレームデータを作成するようにすればよい。なお、ここでは、図８に示す丸１から丸２４の各丸が、それぞれ図１３に示す斜線部分の４つのマイクロミラーを表わすものとする。また、並替処理前の変形処理済画像データにおける画素データを複数回読み出すことによりフレームデータを作成するようにしてもよい。
【００６５】
また、たとえば、図１６に示すようなＮ×Ｍ個のマイクロミラー５８からなるＤＭＤ３６を、走査方向に対して、図１６に示すような傾斜角θだけ傾け、同じ走査線Ｌを複数のマイクロミラー５８により走査する、いわゆる多重露光を行う場合には、Ｎ×ａのマイクロミラー５８からなるエリア１〜４によって同じ画像を露光することになるが、各エリアのマイクロミラー列に入力される描画点データは、各エリア毎に、その露光順にマイクロミラー列が延びる方向に１画素ずつずれることになる。
【００６６】
したがって、上記のような露光の際に用いられるフレームデータを作成する際には、まず、エリア１のマイクロミラー５８に対応する画像データに対し、上記と同様に変形処理および並替処理を施して図１７に示すような、エリア１に対応する並替処理済画像データを作成し、次に、エリア１のマイクロミラー５８に対応する画像データについて変形処理を施した後、１画素データだけ右にシフトした画素データ、つまり右から２番目の画素データから、上記と同様に並替処理を行うことにより、図１７に示すようなエリア２に対応する並替処理済画像データを作成し、次に、エリア１に対応する変形処理済画像データについて、さらに１画素データだけ右にシフトした画素データ、つまり右から３番目の画素データから、上記と同様に並替処理を行うことにより、図１７に示すようなエリア３に対応する並替処理済画像データを作成し、そして、エリア１に対応する変形処理済画像データについて、さらに１画素データだけ右にシフトした画素データ、つまり右から４番目の画素データから、上記と同様に並替処理を行うことにより、図１７に示すようなエリア４に対応する並替処理済画像データを作成する。なお、エリア２からエリア４において右にシフトした分、図１７に示すように０のデータを挿入する。
【００６７】
そして、上記のようにしてエリア１からエリア４までの並替処理済データを作成した後、各エリア毎に、各ブロックからそれぞれ同じフレームデータに属する画素データが選択されて集められ、各エリア毎の部分フレームデータが作成され、ＤＭＤ３６全体のフレームデータが作成される。
【００６８】
なお、上記のようにエリア１からエリア４までの並替処理済データを作成する際、たとえば、エリア１の並替処理済データだけをメモリなどに記憶しておき、残りのエリア２からエリア４まで並替処理済データについては、上記メモリに記憶されたエリア１の並替処理済データを利用して作成するようにすればメモリの容量を減らすことができ、コストの削減およびメモリからの読出速度の高速化を図ることができる。
【００６９】
また、上記のような多重露光においても、たとえば、画像データの主走査方向の解像度が露光される画像の解像度よりも低く、複数のマイクロミラー５８により露光点を形成するような場合には、各エリアにおいて、各ブロックのＮ個の画素データを複数回読み出すことによって、上記複数のマイクロミラー５８に対応する描画点データを生成し、その描画点データを用いて部分フレームデータを作成するようにしてもよい。
【００７０】
また、上記実施形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた露光装置について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することもできる。
【００７１】
また、上記実施形態では、いわゆるフラッドベッドタイプの露光装置を例に挙げたが、感光材料が巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウタードラムタイプの露光装置としてもよい。
【００７２】
また、上記実施形態の露光対象である感光材料１２は、プリント基板や、ディスプレイ用のフィルタであってもよい。また、感光材料１２の形状は、シート状のものであっても、長尺状のもの（フレキシブル基板など）であってもよい。
【００７３】
また、本発明における描画方法および装置は、インクジェット方式などのプリンタにおける描画制御にも適用することができる。たとえば、インクの吐出による描画点を、本発明と同様の方法で制御することができる。つまり、本発明における描画素子を、インクの吐出などによって描画点を打つ素子に置き換えて考慮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の描画装置の一実施形態を用いた露光装置の外観を示す斜視図
【図２】図１に示す露光装置のスキャナの構成を示す斜視図
【図３】感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図（Ａ）、各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す図（Ｂ）
【図４】図１の露光装置のＤＭＤの構成を示す部分拡大図
【図５】ＤＭＤの動作を説明するための斜視図
【図６】ＤＭＤの各マイクロミラーの露光軌跡を示す図
【図７】図１に示す露光装置における電気的構成を示すブロック図
【図８】画像データの各画素データとその各画素データが入力される各マイクロミラーとの対応関係を示す図
【図９】変形処理済画像データの一例を示す図
【図１０】並替処理済画像データの一例を示す図
【図１１】画素データ並替部のハードウェア構成を示す図
【図１２】図１に示す露光装置おいて作成されるフレームデータを示す図
【図１３】画像データの解像度が露光される画像の解像度よりも低い場合におけるフレームデータ作成方法を説明するための図
【図１４】画像データの解像度が露光される画像の解像度よりも低い場合におけるフレームデータの作成方法を説明するための図
【図１５】画像データの解像度が露光される画像の解像度よりも低い場合におけるフレームデータを示す図
【図１６】多重露光を説明するための図
【図１７】多重露光をする際に用いられるフレームデータの作成方法を説明するための図
【図１８】従来のフレームデータ作成方法を説明するための図
【符号の説明】
【００７５】
１        画像データ
５        画素データ
１０      露光装置
１２      感光材料
１４      移動ステージ
２４      スキャナ
３０      露光ヘッド
３６      ＤＭＤ
５６      ＳＲＡＭアレイ
５８      マイクロミラー
６３ａ    第１のレジスタ
６３ｂ    第１のセレクタ
６３ｃ    第２のレジスタ
６３ｄ    選択回路
６３ｅ    第２のセレクタ
６３ｆ    第３のレジスタ
【図１】
2006192607.tif 000003
【図２】
2006192607.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006192607.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2006192607.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2006192607.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
2006192607.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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