(57)【要約】【課題】高電圧を印加して電子部品の耐圧試験などを行った場合にも、測定値に異常を生じたり、電子部品の表面に変質や破壊が発生したりすることを防止できるようにする。【解決手段】外部電極１４ａ，１４ｂ間に電圧を印加することにより電子部品の特性を測定する電子部品の特性測定装置において、電子部品１０が保持される保持穴１と、該保持穴１に保持された電子部品の両端部に、その端面から側面にまで回り込むように配設された一対の外部電極１４ａ，１４ｂの、側面にまで回り込んだ部分の先端部１６ａ，１６ｂに対応する領域を覆うように、保持穴１を取り囲むような態様で配設された一対の補助電極２ａ，２ｂとを備えた搬送テーブル３と、搬送テーブル３を駆動する駆動手段と、搬送テーブル３の両主面３ａ，３ｂ側から、電子部品の両端部に配設された外部電極と接触して一対の外部電極間に電圧を印加する一対の接触電極５ａ，５ｂとを備えた構成とする。【選択図】図１
2006029871.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面から側面にまで回り込むような態様で両端部に一対の外部電極が配設された電子部品を、搬送テーブルの保持穴に保持した状態で、前記一対の外部電極間に電圧を印加するための電圧印加機構であって、
前記電子部品の端面から側面にまで回り込んだ前記一対の外部電極の先端部に対応する領域を覆うように、前記搬送テーブルの保持穴を取り囲むような態様で配設された一対の補助電極と、
前記一対の外部電極のそれぞれに接触して前記一対の外部電極間に電圧を印加する一対の接触電極と
を具備することを特徴とする電圧印加機構。
【請求項２】
一対の前記補助電極と一対の前記接触電極のうちの、同じ側の前記補助電極と前記接触電極とが互いに電気的に導通して同電位となるように構成されていることを特徴とする請求項１記載の電圧印加機構。
【請求項３】
端面から側面にまで回り込むような態様で両端部に一対の外部電極が配設された電子部品を、搬送テーブルの保持穴に保持した状態で、前記一対の外部電極間に電圧を印加することにより、電子部品の特性を測定する電子部品の特性測定装置において、
電子部品が保持される保持穴と、該保持穴に保持された状態の前記電子部品の、端面から側面にまで回り込んだ前記一対の外部電極の先端部に対応する領域を覆うように、前記保持穴を取り囲むような態様で配設された一対の補助電極とを備え、前記保持穴に保持された電子部品を搬送する搬送テーブルと、
前記搬送テーブルを駆動する駆動手段と、
前記搬送テーブルの両主面側から、前記電子部品の両端部に配設された外部電極と接触して、前記一対の外部電極間に電圧を印加する一対の接触電極と
を具備することを特徴とする電子部品の特性測定装置。
【請求項４】
一対の前記補助電極と一対の前記接触電極のうちの、同じ側の前記補助電極と前記接触電極とが互いに電気的に導通して同電位となるように構成されていることを特徴とする請求項３記載の電子部品の特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、電圧印加機構および電子部品の特性測定装置に関し、詳しくは、端面から側面にまで回り込むような態様で両端部に一対の外部電極が配設された電子部品を、搬送テーブルの保持穴に保持した状態で、前記一対の外部電極間に電圧を印加するための電圧印加機構および搬送テーブルの保持穴に保持された電子部品の両端部に配設された一対の外部電極間に電圧を印加することにより電子部品の特性を測定する電子部品の特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
小型高密度化、高信頼性、自動実装設備への適合性などの見地から、チップコンデンサやチップ抵抗などのチップ型の電子部品が広く使用されている。そして、このようなチップ型の電子部品の場合、通常は、出荷の前に電気的特性を測定し、不良品を除去する品質検査が行われている。
【０００３】
ところで、従来の電子部品の品質検査において用いられている特性測定装置としては、例えば、図９に示すような検査装置が知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
この検査装置は、(ａ)複数の取付穴１２を一定間隔で配列形成した金属製プレート１１からなり、取付穴１２の内壁に、電子部品Ａを弾性的に保持するための保持穴１３を形成する弾性体（弾性ゴム）１４が取り付けられた保持治具１０と、(ｂ)電子部品Ａの外部電極（端子部）ａに当接するピン型の接触電極２１と、接触電極２１の後端部に連結された絶縁性のガイド軸２２とを備えたプローブ２０とを備えている。
【０００５】
そして、プローブ２０は、電子部品Ａを保持する保持治具１０の上側（片側）だけでなく、下側（反対側）にも対向するように配置されており、各プローブ２０の接触電極２１を電子部品Ａの外部電極（端子部）ａに接触させることにより、同時に複数の電子部品Ａの特性を測定することができるように構成されている。
【０００６】
ところで、電子部品の両端部に、その端面から側面にまで回り込むように配設された、電子部品の側面にまで回り込んだ外部電極の先端部は、外部電極、チップ素体、および空気の三者が接する、いわゆるトリプルジャンクションとなっており、電界が集中して電界強度が他の部分よりも強くなる部分となっている。
【０００７】
そして、接触電極などの電極や、その他の導体などが、この外部電極の先端部（トリプルジャンクション）を覆うような状態である場合には、電界の集中が抑制され、放電開始電圧を上昇させることが可能になるが、上述の検査装置においては、ピン状の接触電極２１が電子部品Ａの外部電極ａに接触するだけで、外部電極ａの先端部（トリプルジャンクション）の周囲には、弾性ゴム１４が位置しているだけであるため、電界の集中を抑制する効果は期待できず、低い電圧（放電電圧）で放電が開始してしまうため、電子部品を損傷してしまうという問題点がある。
【０００８】
なお、大気中または負性気体中においては、一対の外部電極のうち、高電位側の外部電極の先端部（トリプルジャンクション）への電界集中を起点とした沿面放電発生が生じやすいという問題点がある。
【０００９】
また、一般的には、電子部品の表面にひだを設けて、実質的な沿面距離を長くして絶縁破壊強度を向上させる方法も考えられるが、沿面距離を長くとるためには、電子部品の表面形状を変更する（平坦な表面形状をひだ付きの表面形状にする）ことが必要になり、製造コストの増大を招くという問題点がある。
【特許文献１】特開平８−１２２３８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、高電圧を印加して電子部品の耐圧試験などを行う場合に、電子部品の表面において沿面放電が発生することを防止し、測定値に異常が生じたり、電子部品の表面に変質や破壊が発生したりすることを防止することが可能な電圧印加機構および電子部品の特性測定装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）の電圧印加機構は、
端面から側面にまで回り込むような態様で両端部に一対の外部電極が配設された電子部品を、搬送テーブルの保持穴に保持した状態で、前記一対の外部電極間に電圧を印加するための電圧印加機構であって、
前記電子部品の端面から側面にまで回り込んだ前記一対の外部電極の先端部に対応する領域を覆うように、前記搬送テーブルの保持穴を取り囲むような態様で配設された一対の補助電極と、
前記一対の外部電極のそれぞれに接触して前記一対の外部電極間に電圧を印加する一対の接触電極と
を具備することを特徴としている。
【００１２】
また、請求項２の電圧印加機構は、請求項１記載の電圧印加機構において、一対の前記補助電極と一対の前記接触電極のうちの、同じ側の前記補助電極と前記接触電極とが互いに電気的に導通して同電位となるように構成されていることを特徴としている。
【００１３】
また、本願発明（請求項３）の電子部品の特性測定装置は、
端面から側面にまで回り込むような態様で両端部に一対の外部電極が配設された電子部品を、搬送テーブルの保持穴に保持した状態で、前記一対の外部電極間に電圧を印加することにより、電子部品の特性を測定する電子部品の特性測定装置において、
電子部品が保持される保持穴と、該保持穴に保持された状態の前記電子部品の、端面から側面にまで回り込んだ前記一対の外部電極の先端部に対応する領域を覆うように、前記保持穴を取り囲むような態様で配設された一対の補助電極とを備え、前記保持穴に保持された電子部品を搬送する搬送テーブルと、
前記搬送テーブルを駆動する駆動手段と、
前記搬送テーブルの両主面側から、前記電子部品の両端部に配設された外部電極と接触して、前記一対の外部電極間に電圧を印加する一対の接触電極と
を具備することを特徴としている。
【００１４】
また、請求項４の電子部品の特性測定装置は、請求項３の電子部品の特性測定装置において、一対の前記補助電極と一対の前記接触電極のうちの、同じ側の前記補助電極と前記接触電極とが互いに電気的に導通して同電位となるように構成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本願発明（請求項１）の電圧印加機構は、搬送テーブルの保持穴に保持された状態で、電子部品の両端部に配設された一対の外部電極間に電圧を印加するための電圧印加機構であって、電子部品の端面から側面にまで回り込んだ一対の外部電極の先端部に対応する領域を覆うように、搬送テーブルの保持穴を取り囲むような態様で配設された一対の補助電極と、一対の外部電極のそれぞれに接触して一対の外部電極間に電圧を印加する一対の接触電極とを備えているので、補助電極が、外部電極が電子部品の側面にまで回り込んだ部分の先端部（すなわち、外部電極、チップ素体、および空気の接する、いわゆるトリプルジャンクション）を覆った状態で一対の電極間に電圧が印加されることになるため、電界が集中しやすいトリプルジャンクションへの電界の集中を、補助電極による静電遮蔽効果により抑制して放電開始電圧を上昇させることが可能になる。その結果、電子部品の表面における沿面放電を防止して、測定値に異常が生じたり、電子部品の表面に変質や破壊が発生したりすることを防止することが可能になる。
【００１６】
なお、一対の補助電極は、互いに同一の形状、構造のものであってもよく、また、異なる形状や構造のものであってもよい。
また、一対の接触電極に関しても、互いに同一の形状、構造を有するものであってもよく、また、異なる形状や構造を有するものであってもよい。
【００１７】
また、補助電極を露出させると、対向する電子部品の外部電極および補助電極までの沿面距離が短くなり、補助電極間、または補助電極と電子部品の外部電極との間で放電が発生しやすくなるため、補助電極は絶縁材料を介して電界が集中しやすいトリプルジャンクション（外部電極の先端部）を覆うように構成することが望ましい。
また、補助電極に印加する電圧は、接触電極の電圧と同じでもよく、また、異なっていてもよい。ただし、補助電極に印加する電圧は、接触電極の電圧以上で、接触電極の電圧の１２０％までの範囲とすることが望ましい。
【００１８】
また、請求項２の電圧印加機構のように、請求項１記載の電圧印加機構において、一対の補助電極と一対の接触電極のうちの、同じ側の補助電極と接触電極とが互いに電気的に導通して同電位となるようにした場合、複雑な構成を必要とすることなく、電界が集中しやすいトリプルジャンクションへの電界の集中を補助電極による静電遮蔽効果により抑制して、電子部品の表面における沿面放電を防止し、測定値に異常が生じたり、電子部品の表面に変質や破壊が発生したりすることを防止することができるようになるため、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【００１９】
また、本願発明（請求項３）の電子部品の特性測定装置は、電子部品の一対の外部電極間に電圧を印加することにより、電子部品の特性を測定する電子部品の特性測定装置において、(ａ)電子部品が保持される保持穴と、該保持穴に保持された電子部品の一対の外部電極の先端部に対応する領域を覆うように、保持穴を取り囲むような態様で配設された一対の補助電極とを備え、保持穴に保持された電子部品を搬送する搬送テーブルと、(ｂ)搬送テーブルを駆動する駆動手段と、(ｃ)搬送テーブルの両主面側から、電子部品の両端部に配設された外部電極と接触して、一対の外部電極間に電圧を印加する一対の接触電極とを備えているので、補助電極が外部電極の先端部（いわゆるトリプルジャンクション）を覆うような状態で電圧を印加することが可能になり、電界が集中しやすいトリプルジャンクションへの電界の集中を、補助電極による静電遮蔽効果により抑制して、放電開始電圧を上昇させることが可能になる。したがって、電子部品の表面における沿面放電を防止して、測定値に異常が生じたり、電子部品の表面に変質や破壊が発生したりすることを防止し、電子部品の特性を精度よく測定することが可能になる。
【００２０】
また、本願発明の電子部品の特性測定装置においても、補助電極は絶縁材料を介して電界が集中しやすいトリプルジャンクション（外部電極の先端部）を覆うように構成することが望ましい。これは、請求項１の電圧印加機構の発明に関しても説明したように、補助電極を露出させると、対向する電子部品の外部電極および補助電極までの沿面距離が短くなり、補助電極間、または補助電極と電子部品の外部電極との間で放電が発生しやすくなることによる。
また、補助電極に印加する電圧は、接触電極の電圧と同じでもよく、また、異なっていてもよい。ただし、補助電極に印加する電圧は、接触電極の電圧以上で、接触電極の電圧の１２０％までの範囲とすることが望ましい。
【００２１】
また、請求項４の電子部品の特性測定装置のように、請求項３の電子部品の特性測定装置において、一対の前記補助電極と一対の前記接触電極のうちの、同じ側の補助電極と接触電極とが互いに電気的に導通して同電位となるようにした場合、複雑な構成を必要とすることなく、電界が集中しやすいトリプルジャンクションへの電界の集中を補助電極による静電遮蔽効果により抑制して、電子部品の表面における沿面放電を防止し、測定値に異常を生じたり、電子部品の表面に変質や破壊が発生したりすることを防止することができるようになるため、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
なお、以下の実施例１では、図３に示すような構造を有する電子部品（積層セラミックコンデンサ）１０について耐圧試験を行う場合に用いられる装置（電子部品の特性測定装置）を例にとって説明する。
【実施例１】
【００２３】
図１は本願発明の一実施例にかかる電子部品の特性測定装置を示す断面図であり、(ａ)は一方の接触電極を接触させる前の状態を示す図、(ｂ)は一方の接触電極を接触させた後の状態を示す図、図２は図１の電子部品の特性測定装置を構成する搬送テーブルを示す図である。図３は特性の測定に供される電子部品（この実施例ではチップ型の積層セラミックコンデンサ）の構成を示す断面図である。
【００２４】
この実施例１で検査の対象とした電子部品（積層セラミックコンデンサ）１０は、セラミック積層素子１１の内部に、セラミック層１２を介して複数の内部電極１３ａ，１３ｂが互いに対向するように配設され、かつ、その一端側が交互にセラミック積層素子１１の異なる側の端面１５ａ，１５ｂに引き出されているとともに、セラミック積層素子１１の両端側に、内部電極１３ａ，１３ｂと導通するように一対の外部電極１４ａ，１４ｂが配設された構造を有している。
【００２５】
そして、この積層セラミックコンデンサ１０において、外部電極１４ａ，１４ｂは、セラミック積層素子１１の端面１５ａ，１５ｂから側面２５にまで回り込むような態様で配設されており、セラミック積層素子１１の端面１５ａ，１５ｂから側面２５にまで回り込んだ外部電極１４ａ，１４ｂの先端部１６ａ，１６ｂは、外部電極１４ａ，１４ｂ、セラミック積層素子１１，および空気の接する、いわゆるトリプルジャンクションとなっており、電界が集中して、他の部分よりも電界強度が強くなる部分となっている。
【００２６】
このような積層セラミックコンデンサ１０の耐圧試験を行うために用いられる、この実施例１の装置（電子部品の特性測定装置）は、図１(ａ)，(ｂ)および２に示すように、電子部品（積層セラミックコンデンサ）１０が保持される保持穴１と、該保持穴１に保持された状態の電子部品１０の両端部に配設された一対の外部電極１４ａ，１４ｂの、側面にまで回り込んだ部分の先端部１６ａ，１６ｂに対応する領域を覆うように、保持穴１を取り囲むような態様で配設された一対の補助電極２ａ，２ｂとを備え、両主面３ａ，３ｂが略垂直になるような姿勢で回転可能に保持され、その回転により、保持穴に保持された電子部品を搬送する搬送テーブル３と、この搬送テーブル３を駆動する駆動手段（図示せず）と、搬送テーブル３の両主面３ａ，３ｂ側から、電子部品１０の両端部の外部電極１４ａ，１４ｂと接触して一対の外部電極１４ａ，１４ｂ間に電圧を印加する一対の接触電極５ａ，５ｂとを備えている。
そして、補助電極２ａと接触電極５ａ、および補助電極２ｂと接触電極５ｂとは、互いに電気的に導通して、同電位となるように構成されている。
【００２７】
以下、この実施例１の電子部品の特性測定装置について、さらに具体的に説明する。
上述のように構成されたこの実施例１の電子部品の特性測定装置において、補助電極２ａ，２ｂは、電子部品（詳しくはセラミック積層素子１１）の端面１５ａ，１５ｂから側面２５にまで回り込んだ外部電極１４ａ，１４ｂの先端部１６ａ，１６ｂ（以下、単に「外部電極先端部」ともいう）に対応する領域を覆うことができるように、保持穴１を取り囲むような態様で、絶縁材料からなる搬送テーブル３に埋め込まれて配設されている。なお、この実施例１において、補助電極２ａ，２ｂは環状であり、トリプルジャンクションである外部電極先端部１６ａ，１６ｂと補助電極２ａ，２ｂとは、搬送テーブル３を構成する絶縁材料（例えば絶縁セラミックスや絶縁樹脂など）６を介して対向するように構成されている。
【００２８】
また、外部電極先端部１６ａ，１６ｂと、搬送テーブル３に埋め込まれた補助電極２ａ，２ｂの位置関係により、外部電極先端部（トリプルジャンクション）１６ａ，１６ｂへの電界の集中が抑制され、電界強度が最も小さくなるように、図１(ｂ)における、距離ＸおよびＹの値を設定する。
【００２９】
ここで、Ｘは外部電極先端部（トリプルジャンクション）１６ａ，１６ｂから補助電極２ａ，２ｂの端部までの、矢印Ｘに平行な方向の距離であり、Ｙは外部電極先端部（トリプルジャンクション）１６ａ，１６ｂから補助電極２ａ，２ｂまでの矢印Ｙに平行な方向の距離である。
【００３０】
そして、一方の補助電極２ａと他方の補助電極２ｂは、搬送テーブル３の絶縁破壊が生じないだけの距離が確保されるように、所定の間隔をおいて配設される。
【００３１】
なお、図４に上述の距離Ｘおよび距離Ｙの値と、外部電極先端部（トリプルジャンクション）１６ａ，１６ｂの電界強度の関係を示す。
【００３２】
図４より、Ｘの値が０．２mm〜０．８mmの範囲にある場合には電界強度を安定した状態に維持することが可能になること、Ｙの値が０．８mmから０．４mmの範囲においては、Ｙの値が小さくなるほど電界強度が小さくなることがわかる。
【００３３】
なお、搬送テーブル３の構成材料として、例えば、ポリカーボネートを用いた場合、ポリカーボネートの絶縁破壊強さは約３０ｋＶ／mmであるため、印加電圧を５ｋＶとすると補助電極２ａと２ｂの間隔は０．１７mm以上であることが必要となる。
【００３４】
また、この実施例１の電子部品の特性測定装置において、一対の接触電極５ａ，５ｂのうち、一方の接触電極５ａは可動電極として構成されており、電子部品１０の外部電極１４ａと対向する面には凹部１６が形成されており、可動電極（接触電極）５ａを外部電極１４ａ側に移動させることにより、凹部１６の底面が外部電極１４ａに当接するとともに、凹部１６の両端側の凸部１７が、搬送テーブル３に埋め込まれた補助電極２ａの、搬送テーブル３の一方の主面３ａに露出した部分に当接して、補助電極２ａと接触電極（可動電極）５ａが導通し、同じ電圧となるように構成されている。
【００３５】
また、一対の接触電極５ａ，５ｂのうちの他方の接触電極５ｂは固定電極として構成されており、電子部品１０の外部電極１４ｂと当接するとともに、搬送テーブル３に埋め込まれた補助電極２ｂの、搬送テーブル３の他方の主面３ｂに露出した部分に当接して、補助電極２ｂと接触電極（固定電極）５ｂが導通し、同じ電圧となるように構成されている。
これにより、可動電極５ａおよび固定電極５ｂから、電子部品１０の外部電極１４ａ，１４ｂと補助電極２ａ，２ｂに、同時に電位を与えることが可能になる。
【００３６】
上述のように構成された電子部品の特性測定装置を用いることにより、外部電極先端部（トリプルジャンクション）１６ａ，１６ｂへの電界の集中が、搬送テーブル３に埋め込んだ補助電極２ａ，２ｂによる静電遮蔽効果により抑制され、電界強度が低くなるため、放電開始電圧を上昇させることが可能になる。
したがって、電子部品１０の表面にひだを設けたりすることなく、絶縁耐力を向上させることが可能になり、より高い電圧での耐圧試験を行うことが可能となる。
【００３７】
また、電子部品１０の表面における沿面放電を防止することが可能になることから、測定値に異常を生じたり、電子部品１０の表面に変質や破壊が発生したりすることを防止することが可能になる。
【実施例２】
【００３８】
図５は本願発明の他の実施例（実施例２）にかかる電子部品の特性測定装置の要部構成を示す断面図である。なお、図５において、図１(ａ)，(ｂ)および図２と同一の符号を付した部分は、同一または相当する部分を示している。
【００３９】
この実施例２では、接触電極５ａ，５ｂのうち、一方の接触電極５ａが、バネ２１により、電子部品（積層セラミックコンデンサ）１０の一方の外部電極１４ａに向かって付勢される外部電極当接用可動端子２２を備えている。すなわち、一方の接触電極５ａが、電子部品（積層セラミックコンデンサ）１０の外部電極１４ａに当接する外部電極当接用可動端子２２と、補助電極２ａと当接する部分（凸部）１７とを備えた構成とされている。
【００４０】
上述のように、接触電極５ａにおいて、電子部品１０の外部電極１４ａに電圧を印加する部分と、補助電極２ａに電圧を印加する部分とを、独立して駆動させることができるように構成した場合、接触電極５ａの、電子部品１０の外部電極１４ａおよび補助電極２ａに対する接触性が向上し、電子部品に確実に電圧を印加することが可能になる。
【実施例３】
【００４１】
図６は本願発明のさらに他の実施例（実施例３）にかかる電子部品の特性測定装置の要部を示す側面図、図７は図６のＡ−Ａ線断面図である。
なお、図６および図７において、図１(ａ)，(ｂ)および図２と同一の符号を付した部分は、同一または相当する部分を示している。
【００４２】
この実施例３の電子部品の特性測定装置においては、接触電極５ａが、弾性を利用したバネ端子３１と、バネ端子３２とから構成されている。
バネ端子３１は、弾性により、先端の当接用凸部３１ａが電子部品（積層セラミックコンデンサ）１０の一方の外部電極１４ａに向かって付勢されるように構成されており、バネ端子３２は、弾性により、先端の当接用凸部（図示せず）が、搬送用テーブル３に埋設された補助電極２ａに向かって付勢されるように構成されている。
【００４３】
この実施例３の電子部品の特性測定装置においては、可動電極（接触電極）５ａを駆動するためのアクチュエーターが不要になるため、コストの低減を図ることが可能になる。
【００４４】
また、この実施例３の構成において、バネ端子３１と、バネ端子３２を、例えば、図示しない基端側の部分で接続するようにした場合、電子部品１０の外部電極１４ａに印加される電圧と、補助電極２ａに印加される電圧を同じ電圧とすることが可能になり、また、バネ端子３１と、バネ端子３２を導通させず、異なる電圧の電源と接続することにより、バネ端子３１と、バネ端子３２のそれぞれに独立して、異なる電圧を印加することが可能になり、電子部品１０の外部電極１４ａと、補助電極２ａに独立して、所定の電圧を印加することが可能になる。
【００４５】
なお、図８は可動電極の変形例を示す図である。上記実施例３では、先端に当接用凸部が形成されたバネ端子を用いているが、図８に示すように、バネ板３３に、ローラー部３３ａを配設したローラー部付きバネ端子３４を用いることも可能である。
【００４６】
上記実施例１〜３では積層セラミックコンデンサの耐圧試験に用いる電子部品の特性測定装置を例にとって説明したが、本願発明は、積層セラミックコンデンサに限らず、種々の電子部品について種々の特性を測定する場合に広く適用することが可能である。
【００４７】
また、上記実施例１〜３では、搬送テーブルを、主面が垂直になるように配設した構成を例にとって説明したが、本願発明は、搬送テーブルを垂直以外の姿勢（例えば水平の姿勢）に配置した構成の場合にも適用することが可能である。
【００４８】
また、上記実施例１〜３では、他方の接触電極が固定電極である場合を例にとって説明したが、他方の接触電極も可動電極とすることが可能である。
【００４９】
本願発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
上述のように、本願発明によれば、電界が集中しやすい外部電極先端部（トリプルジャンクション）への電界の集中を、補助電極による静電遮蔽効果により抑制して放電開始電圧を上昇させることが可能になり、電子部品の表面における沿面放電を防止して、測定値に異常を生じたり、電子部品の表面に変質や破壊が発生したりすることを防止することが可能になる。
したがって、本願発明は、外部電極を備えた電子部品に電圧を印加することにより特性を測定することが必要となるような技術分野などに広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本願発明の一実施例にかかる電子部品の特性測定装置を示す断面図であり、(ａ)は一方の接触電極を接触させる前の状態を示す図、(ｂ)は一方の接触電極を接触させた後の状態を示す図である。
【図２】図１の電子部品の特性測定装置を構成する搬送テーブルを示す図である。
【図３】特性の測定に供される電子部品（この実施例ではチップ型の積層セラミックコンデンサ）の構成を示す断面図である。
【図４】距離Ｘおよび距離Ｙの値と、外部電極先端部（トリプルジャンクション）の電界強度の関係を示す。
【図５】本願発明の他の実施例（実施例２）にかかる電子部品の特性測定装置の要部構成を示す断面図である。
【図６】本願発明のさらに他の実施例（実施例３）にかかる電子部品の特性測定装置の要部を示す側面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ線断面図である。
【図８】可動電極の変形例を示す図である。
【図９】従来の電子部品の品質検査において用いられている特性測定装置を示す図である。
【符号の説明】
【００５２】
１          保持穴
２ａ，２ｂ  補助電極
３          搬送テーブル
３ａ，３ｂ  搬送テーブルの主面
５ａ，５ｂ  接触電極
６          絶縁材料
１０        電子部品（積層セラミックコンデンサ）
１１        セラミック積層素子
１２        セラミック層
１３ａ，１３ｂ    内部電極
１４ａ，１４ｂ    外部電極
１５ａ，１５ｂ    セラミック積層素子の端面
１６        凹部
１６ａ，１６ｂ    外部電極先端部（トリプルジャンクション）
１７        凸部
２１        バネ
２２        外部電極当接用可動端子
２５              セラミック積層素子の側面
３１，３２  バネ端子
３１ａ      当接用凸部
３３        バネ板
３３ａ      ローラー部
３４        ローラー部付きバネ端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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