(57)【要約】【課題】  パッケージの内壁に近接した塗布領域に接着剤を正確に塗布することができる接着剤塗布装置および接着剤塗布方法を提供すること。【解決手段】  凹状パッケージ２０の内壁２５近傍に接着剤２７を塗布する塗布ツール３２と、この塗布ツール３２を接着剤２７の塗布領域２６に相対的に接近・離間するように導く移動手段とを備えた接着剤塗布装置であって、塗布ツール３２は、塗布領域２６に対して相対的に、塗布領域２６近傍の内壁２５側と反対側に傾斜して接近し、接着剤２７の塗布後には、少なくとも塗布領域２６近傍の内壁２５側と反対側に退避しながら離間する構成とした。【選択図】    図４
2006175306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹状パッケージの内壁近傍に接着剤を塗布する塗布ツールと、この塗布ツールを前記接着剤の塗布領域に相対的に接近・離間するように導く移動手段とを備えた接着剤塗布装置であって、
前記塗布ツールは、前記塗布領域に対して相対的に、前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に傾斜して接近し、前記接着剤の塗布後には、少なくとも前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に退避しながら離間する構成とした
ことを特徴とする接着剤塗布装置。
【請求項２】
前記塗布ツールは、前記接着剤を塗布した後、前記塗布領域に対して相対的に垂直方向に移動し、次いで、前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に退避する構成としたことを特徴とする請求項１に記載の接着剤塗布装置。
【請求項３】
前記塗布ツールは、前記塗布領域に対して平行方向に移動するとともに、前記傾斜した方向に移動する構成としたことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の接着剤塗布装置。
【請求項４】
前記塗布ツールは、前記塗布領域に対して傾斜して固定されているとともに、前記塗布領域に対して平行方向および垂直方向に移動する構成としたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接着剤塗布装置。
【請求項５】
前記塗布ツールが前記塗布領域に対して傾斜して固定されており、前記パッケージ側が前記塗布領域に対して平行方向および垂直方向に移動する構成としたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の接着剤塗布装置。
【請求項６】
前記塗布ツールの前記傾斜した角度を変更する構成としたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の接着剤塗布装置。
【請求項７】
前記移動手段は、前記塗布ツールを前記塗布領域に対して平行方向に移動させる平行移動手段と、前記塗布ツールを前記塗布領域に対して垂直方向の成分を持つように移動させる垂直成分移動手段と、前記塗布ツールの傾斜した角度を変更する角度変更手段とを有する、ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の接着剤塗布装置。
【請求項８】
凹状パッケージの内壁近傍に接着剤を塗布する塗布ツールを、前記接着剤の塗布領域に相対的に接近・離間するように導く接着剤塗布方法であって、
前記塗布ツールは、前記塗布領域に対して相対的に、前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に傾斜して接近し、前記接着剤の塗布後には、少なくとも前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に退避しながら離間する
ことを特徴とする接着剤塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッケージの凹部内に接着剤を塗布する装置と、その塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図９は、従来の圧電デバイスの製造工程における、圧電振動片をマウントする際の説明図であって、図９（ａ）はパッケージに接着剤を塗布する図、図９（ｂ）は接着剤に圧電振動片を載置する図である。
図９（ａ）に示すように、圧電振動片をマウントするに際しては、先ず、パッケージ２の凹部５の内側底面に設けられた電極４に対して、例えば、接着剤を収容したシリンジ（図示せず）の先端部に取り付けられたノズル８を垂直に下降させる。そして、シリンジ内を加圧して、ノズル８から接着剤を吐出させ、電極４上に接着剤６を塗布する。
その後、図９（ｂ）に示すように、接着剤６の上に、圧電振動片３の振動に関与しない部分３ａ（図９の並行斜線で示した箇所）を載置し、接着剤６が硬化することで、圧電振動片３をパッケージ２に接合していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１２４７６０公開特許公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、近年、圧電デバイスの小型化はめざましく、パッケージ２の圧電振動片３を接合する領域も極小化を余儀なくされている。
このため、従来のように、ノズル８を電極４まで下降させようとしても、ノズル８の先端付近８ａがパッケージ２に接触してしまい、接着剤を電極４上に上手く吐出できない恐れがある。
また、図１０のように、例えば、先端付近の径が小さい転写式のヘッド７を使用した場合であっても、ヘッド７の先端に付着した接着剤６がパッケージ２の凹部５の内壁に接触してしまい、接着剤６は、図１０の点線で示すように、電極４上に上手く塗布できなくなってしまう。
【０００５】
本発明は、パッケージの内壁に近接した塗布領域に接着剤を正確に塗布することができる接着剤塗布装置および接着剤塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的は、第１の発明によれば、凹状パッケージの内壁近傍に接着剤を塗布する塗布ツールと、この塗布ツールを前記接着剤の塗布領域に相対的に接近・離間するように導く移動手段とを備えた接着剤塗布装置であって、前記塗布ツールは、前記塗布領域に対して相対的に、前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に傾斜して接近し、前記接着剤の塗布後には、少なくとも前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に退避しながら離間する構成とした
接着剤塗布装置により達成される。
【０００７】
第１の発明の構成によれば、塗布ツールは、塗布領域に対して相対的に、塗布領域近傍の内壁側と反対側に傾斜して接近し、接着剤の塗布後には、少なくとも塗布領域近傍の内壁側と反対側に退避しながら離間する構成となっている。したがって、塗布ツールは、塗布領域の近傍にある内壁に干渉することがなくなり、塗布ツールの先端付近や先端に付着した接着剤が、塗布領域近傍のパッケージに接触することを防止できる。
かくして、パッケージの内壁に近接した塗布領域に接着剤を正確に塗布することができる接着剤塗布装置を提供することができる。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記塗布ツールは、前記接着剤を塗布した後、前記塗布領域に対して相対的に垂直方向に移動し、次いで、前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に退避する構成としたことを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、塗布ツールは、接着剤を塗布した後、塗布領域に対して相対的に垂直方向に移動し、次いで、塗布領域近傍の内壁側と反対側に退避する構成となっている。ここで、接着剤は、その粘度により、塗布直後に塗布ツールの移動方向に大きく引っ張られ、離間するに従って、その引っ張られる割合が小さくなってゆく。そうすると、第２の発明の塗布ツールは、内壁側と反対側に退避する前に、塗布領域に対して相対的に垂直方向に移動するので、接着剤が内壁側や、その反対側に大きく引っ張られて、塗布領域からはみ出すことを防止する。
【０００９】
第３の発明は、第１または第２の発明のいずれかの構成において、前記塗布ツールは、前記塗布領域に対して平行方向に移動するとともに、前記傾斜した方向に移動する構成としたことを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、塗布ツールは、塗布領域に対して平行方向に移動する構成により、平行方向についてパッケージに接近・離間する。そして、塗布ツールは、塗布領域に対して傾斜した方向に移動する構成により、傾斜した方向に移動して塗布領域に接近・離間する。したがって、第１の発明と同様に、塗布ツールの先端付近や先端に付着した接着剤がパッケージに接触することを防止できる。
【００１０】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記塗布ツールは、前記塗布領域に対して傾斜して固定されているとともに、前記塗布領域に対して平行方向および垂直方向に移動する構成としたことを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、塗布ツールは、塗布領域に対して傾斜して固定されているとともに、塗布領域に対して平行方向および垂直方向に移動する構成としている。このため、塗布ツールは、傾斜した状態で、平行方向および垂直方向に同時に移動して、所謂アーチモーションで塗布領域に接近・離間できる。したがって、第１の発明と同様に、塗布ツールの先端付近や先端に付着した接着剤がパッケージに接触することを防止できる。
【００１１】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記塗布ツールが前記塗布領域に対して傾斜して固定されており、前記パッケージ側が前記塗布領域に対して平行方向および垂直方向に移動する構成としたことを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、塗布ツールが塗布領域に対して傾斜して固定されており、パッケージ側が塗布領域に対して平行方向および垂直方向に移動する構成とした。このため、パッケージの塗布領域の方が、平行方向および垂直方向に同時に移動して、所謂アーチモーションで、傾斜した状態の塗布ツールに接近・離間できる。したがって、第１の発明と同様に、塗布ツールの先端付近や先端に付着した接着剤がパッケージに接触することを防止できる。
【００１２】
第６の発明は、第１ないし第５の発明のいずれかの構成において、前記塗布ツールの前記傾斜した角度を変更する構成としたことを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、塗布ツールの傾斜した角度を変更する構成としたので、パッケージあるいは接着剤の種類に応じて、塗布ツールの適正な傾斜角度を適宜選択することができる。
【００１３】
第７の発明は、第１ないし第６の発明のいずれかの構成において、前記移動手段は、前記塗布ツールを前記塗布領域に対して平行方向に移動させる平行移動手段と、前記塗布ツールを前記塗布領域に対して垂直方向の成分を持つように移動させる垂直成分移動手段と、前記塗布ツールの傾斜した角度を変更する角度変更手段とを有することを特徴とする。
【００１４】
第７の発明の構成によれば、移動手段は塗布ツールを塗布領域に対して平行方向に移動させる平行移動手段を有するので、この平行移動手段をもって、塗布ツールをパケージに接近・離間させる。また、移動手段は塗布ツールを塗布領域に対して垂直方向の成分を持つように移動させる垂直成分移動手段を有するので、この垂直成分移動手段をもって、塗布ツールを垂直方向の成分をもって塗布領域に接近・離間させる。また、移動手段は塗布ツールの傾斜した角度を変更する角度変更手段も有するので、パッケージあるいは接着剤の種類に応じて、塗布ツールを適正な傾斜角度に変えることができる。
【００１５】
また、上述の目的は、第８の発明によれば、凹状パッケージの内壁近傍に接着剤を塗布する塗布ツールを、前記接着剤の塗布領域に相対的に接近・離間するように導く接着剤塗布方法であって、前記塗布ツールは、前記塗布領域に対して相対的に、前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に傾斜して接近し、前記接着剤の塗布後には、少なくとも前記塗布領域近傍の内壁側と反対側に退避しながら離間する接着剤塗布方法により達成される。
第８の発明の構成によれば、塗布ツールは、塗布領域に対して相対的に、塗布領域近傍の内壁側と反対側に傾斜して接近し、接着剤の塗布後には、少なくとも塗布領域近傍の内壁側と反対側に退避しながら離間する。したがって、第１の発明と同様に、塗布ツールの先端付近や先端に付着した接着剤が、パッケージに接触してしまうことを防止でき、パッケージの内壁に近接した塗布領域に接着剤を正確に塗布することができる接着剤塗布方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１および図２は、本発明の第１の実施形態に係る接着剤塗布装置を用いて接着剤を塗布するワークの例示として、圧電デバイス１０を示しており、図１は圧電デバイス１０の概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線概略切断断面図である。
尚、圧電デバイスとは、圧電振動子や圧電発振器等の名称にかかわらず、パッケージ内に圧電振動片を収容した全ての製品を意味する。
【００１７】
図１および図２の圧電デバイス１０は、圧電振動子を構成した例を示しており、パッケージ２０内に圧電振動片１２を収容している。
パッケージ２０は、後述する種々の工夫により極めて小型に形成されており、本実施形態の場合、長さＬが２．５ｍｍ、幅Ｗが２ｍｍ以下となるように形成されている。
このパッケージ２０は、圧電振動片１２を収容するための凹部２２を有することで凹状に形成されており、この凹部２２の開口側の端面が、ロウ材２８を用いて蓋体２９で接合されている。
【００１８】
この凹状パッケージ１２の内側底部２４は、マウント電極２６，２６を有する。マウント電極２６，２６は、後述する接着剤２７を塗布する塗布領域であり、圧電振動片１２が接合されている。具体的には、マウント電極２６，２６の上面に、接着剤２７，２７として、シリコーン系またはエポキシ系あるいはポリイミド系等の導電性接着剤が塗布され、この接着剤２７，２７の上に圧電振動片１２が載置されて、接着剤２７，２７が硬化することで、マウント電極２６，２６と圧電振動片１２とが電気的機械的に接続されている。
なお、図１および図２では、接着剤２７に導電性接着剤を用いているが、本発明はこれに限られず、例えば、電気的な接続はワイヤボンディングで行い、接着剤には機械的にのみ接合される接着剤を用いるようにしてもよい。
【００１９】
また、マウント電極２６，２６は、凹状パッケージ２０の内壁２５の近傍（図１および図２の左端部付近）に配置されている。さらに、本実施形態におけるマウント電極２６，２６は、それぞれ、短手方向に沿った内壁２５ａと長手方向に沿った内壁２５ｂの２つの内壁に近接するようにして、パッケージ２０の凹部２２内の角部付近に配置されている。このようにマウント電極２６をパッケージ２０の隅に配置することで、圧電振動片１２をできるだけパッケージ２０の隅で接合し、パッケージ２０内に余剰空間を作り出さないようにして、圧電デバイス１０の小型化を図っている。
【００２０】
圧電振動片１２には水晶等の圧電材料が利用され、本実施形態の場合は、小型に形成して必要な性能を得るために、パッケージ２０側と固定される基部１２ａと、この基部１２ａから図において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕１６，１６とを備え、さらに振動腕１６，１６の表裏面のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝１６ａ，１６ａが形成された、音叉型圧電振動片が利用されている。
そして、この圧電振動片１２の基部１２ａの幅方向の両端には、振動腕１６，１６の各々に駆動電圧を伝えるための、引出電極１４，１４が形成され、この引出電極１４，１４と接着剤２７，２７とが接続されて、圧電振動片１２は片持ち式にパッケージ２０に接合固定されている。
【００２１】
次に、上述した凹状パッケージ２０のマウント電極２６に接着剤２７を塗布するための接着剤塗布装置３０について説明する。
図３は、本発明の第１の実施形態に係る接着剤塗布装置３０の概略外観図である。この接着剤塗布装置３０は、接着剤を塗布する塗布ツール３２と、この塗布ツール３２を移動させるための移動手段５０とを含んでいる。
【００２２】
本実施形態の塗布ツール３２には、例えばディスペンサーが用いられており、接着剤を収容するシリンジ３４と、接着剤を吐出する吐出口３６ａを有するノズル３６とを備えている。
シリンジ３４は、図示しないプランジャにより接着剤を封入するようにしており、このプランジャに圧力を加えてノズル３６側に移動させることで、接着剤が吐出するようになっている。シリンジ３４内に加えられる圧力は、接続されたコンピュータ等の制御器３８で制御され、これにより、ノズル３６から吐出される接着剤の量や時間を調整できるようになっている。
【００２３】
ノズル３６は、本実施形態の場合、円筒状に形成されており、シリンジ３４の中心軸Ｃ１に沿うようにして、シリンジ３４の圧電デバイス１０側の先端に接続されている。
また、ノズル３６の先端付近を拡大した図４に示されるように、ノズル３６は、圧電デバイス１０側に向かうに従って、除々にその直径を小さくする先細りに形成されており、上述した極小化された凹状パッケージ内に進入できるように、所定の角度θ１を有するテーパ状となっている。
【００２４】
ここで、ノズル３６はマウント電極２６（以下、「塗布領域２６」という）に対して傾斜して保持されている。すなわち、図４に示されるように、ノズル３６は接着剤を塗布すべき塗布領域２６に対して相対的に、塗布領域２６近傍の内壁２５側とは反対側に傾斜されている。具体的には、ノズル３６の傾斜は、内壁２５と略平行な線（換言すれば、塗布領域２６に対して略垂直方向に沿った線）Ｃ２に対して、中心軸Ｃ１が、内壁２５側とは反対側に所定の角度θ２をもって傾くようになっている。本実施形態の場合は、上述のように、塗布領域２６となるマウント電極は長手方向および短手方向に沿った２つの内壁２５ａ，２５ｂに接するように形成されているので（図１参照）、この２つの内壁２５ａ，２５ｂ双方の側と反対側に傾斜している。
【００２５】
なお、傾斜した角度θ２は、ノズル３６の太さφやテーパ角度θ１、塗布領域２６と内壁２５との距離、および接着剤の粘度などを総合的に考慮して設定される。
また、図３および図４では塗布ツール３２にディスペンサーを用いているが、本発明はこれに限られず、例えば、図１０に示すような転写式であってもよい。
また、本実施形態では、図３に示すようにシリンジ３４も傾斜しているが、ノズル３６のみを傾斜するようにしもよい。
【００２６】
移動手段５０は、図３に示すように、塗布ツール３２を塗布領域２６に対して平行方向に移動させる平行移動手段５２と、塗布領域２６に対して垂直方向の成分を持つように移動させる垂直成分移動手段５４と、塗布ツールの傾斜した角度を変更する角度変更手段５６とを含んでおり、各々が制御器３８と接続されて任意に制御できるようになっている。
【００２７】
平行移動手段５２は、塗布領域２６に対して平行方向の移動に関するものであり、例えば、移動方向に沿って配置された雄ネジ（図示せず）と、この雄ネジにボールを介して螺合する可動体としての雌ネジ（図示せず）とを備えた所謂ボールネジユニットにより構成されており、例えばステッピングモータ５３等により駆動するようになっている。
具体的には、図３に示すＸ軸方向とＹ軸方向に移動する手段であり、塗布ツール３２をＸ軸方向に移動させるためのＸ軸移動手段５２ａを有し、その上にＹ軸方向に移動させるためのＹ軸移動手段５２ｂが配置されている。
【００２８】
垂直成分移動手段５４は、所謂ボールネジユニットにより構成されており、移動方向として、塗布領域２６に対して垂直方向の成分を持っている。本実施形態の場合、垂直成分移動手段５４は、上述したノズル３６の傾斜角度θ２（図４参照）と同じ角度をもって傾斜している。具体的には、垂直成分移動手段５４は、平行移動手段５２の上に配置された傾斜面５８ａを有する傾斜台５８の上に配置され、この傾斜面５８ａの塗布領域２６に対する傾斜角度θ３により、垂直成分移動手段５４の傾斜角度（換言すれば、垂直方向の成分の割合）が定められるようになっている。そして、本実施形態の場合、この傾斜台の傾斜角度θ３は、ノズル３６の傾斜角度θ２と同様になっている。
なお、垂直成分移動手段５４は、ノズル３６が塗布領域２６に対して相対的に傾斜して移動するようになっていれば、傾斜角度θ３あるいは垂直方向の成分の割合はこれに限られるものではない。例えば、後述する図６に示す本実施形態の第１の変形例のように、垂直成分が１００％であってもよい。
【００２９】
角度変更手段５６は、垂直成分移動手段５４に接続されており、例えばステッピングモータで構成されている。そして、角度変更手段５６は、塗布ツール３２の長手方向の重心に関する略中央部とも接続されており、塗布ツール３２を保持するとともに、ノズル３６の塗布領域２６に対する傾斜角度θ２（図４参照）を調整するようになっている。
【００３０】
また、上述した塗布ツール３２の下方側には、パッケージ２０を載置するためのテーブル４５が、塗布領域２６に対して水平に設けられている。
本実施形態のテーブル４５は、パッケージ２０を固定するだけの構成となっているが、場合によっては、パッケージ２０を搬送する構成とし、移動手段５０と同様に制御器３８に接続して、テーブル４５と移動手段５０との動作を連動するようにしてもよい。
なお、本実施形態では、塗布ツール３４と移動手段５０とを接続し、塗布ツール３４を移動させることで、ノズル３６を塗布領域２６に接近・離間させているが、テーブル４５と移動手段５０とを接続し、テーブル４５を移動させることで、このテーブル上のパッケージ２０の塗布領域２６をノズル３６に接近・離間させるようにしてもよい。
【００３１】
本発明の第１の実施形態に係る接着剤塗布装置３０は以上のように構成されており、次に、この接着剤塗布装置３０を用いた塗布ツールの動作等について説明する。
図５は、塗布ツール３２が塗布領域２６に接近・離間する際の一連の動作を示した図である。
この図の塗布ツール３２（ノズル３６）は、塗布領域２６に対して相対的に、塗布領域２６の近傍の内壁２５側と反対側（図５の−Ｘ側）に傾斜しており、この傾斜した状態の塗布ツール３２を、平行移動手段５２（図３参照）が、塗布領域２６に対して平行方向（図５のＸ方向、Ｙ方向、あるいはＸ−Ｙ方向）に移動させる。
【００３２】
そして、塗布ツール３２が塗布領域２６の斜め上側（図５の点線の位置）に移動したら、平行移動手段５２（図３参照）の駆動を止める。
次いで、図３に示す垂直成分移動手段５４が、塗布ツール３２を、塗布領域２６に対して傾斜した方向（図５の矢印Ｍ１の方向）に移動させて塗布領域２６に接近させる。なお、この傾斜した方向は、接着剤を塗布するパッケージの種類などに応じて、予め、図３に示す角度変更手段５６で設定している。
次いで、塗布ツール３２は、吐出口３６ａから接着剤２７を所定量・所定時間だけ塗布する。その後、図３に示す垂直成分移動手段５４が、塗布ツール３２を、少なくとも、塗布領域２６近傍の内壁２５側と反対側に退避させるようにして離間させる。本実施形態の場合は、塗布領域２６に対して傾斜した方向（図５の矢印Ｍ１の方向）に退避する。
【００３３】
本発明の第１の実施形態は以上のように構成されており、これにより、塗布ツール３２は、塗布領域２６の近傍にある内壁２５に干渉することなく塗布領域２６に接近・離間し、塗布ツール３２の先端付近や先端（ノズル）に付着した接着剤２７が、塗布領域２５近傍のパッケージ２０に接触することを防止できる。
したがって、接着剤２７を塗布領域２６（本実施形態の場合はマウント電極）に正確に塗布することができる。
また、接着剤２７がパッケージ２０の内壁２５を這い上がることも防止できる。
さらに、塗布ツール３２のノズル３６のテーパ角度θ１を鈍角にしても、パッケージ２０内に進入させることができるため、ノズル３６を肉厚にして耐衝撃性を向上できる。
【００３４】
図６は、本発明の第１の実施形態に係る第１の変形例であって、接着剤塗布装置６０の特徴的な部分を説明するための図であり、塗布ツール３２の動作を図示している。
この図において、図１ないし図５の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
図６が図１ないし図５の接着剤塗布装置３０およびその動作と異なるは、塗布ツール３２が所謂アーチモーションで塗布領域２６に接近・離間する構成とされている点である。
【００３５】
すなわち、図６の接着剤塗布装置６０には、塗布ツール３２が塗布領域２６に対して傾斜して固定されている。そして、図３の接着剤塗布装置３０に示すような傾斜台５８はなく、垂直成分移動手段５４が傾斜して配置されずに、垂直成分を１００％にして塗布ツール３２を移動させるようになっている。そして、この垂直成分を１００％にした垂直成分移動手段５４と、図３に示す平行移動手段５２とを同時に駆動できるように制御器３８に接続されている。
【００３６】
このような接着剤塗布装置６０を動作させると、塗布ツール３２は、図６に示すように、傾斜した状態で、塗布領域２６に対して垂直方向（図６のＺ方向）に移動するとともに平行方向（図６のＸ方向、Ｙ方向）に移動する。そうすると、塗布ツール３２は、第１の実施形態で説明した図５のように、塗布領域２６に対して直線的に傾斜した方向（図５の矢印Ｍ１の方向）に接近・離間するだけでなく、所謂アーチモーションで塗布領域２６に接近・離間することもできる。
【００３７】
本発明の実施形態の第１の変形例は以上のように構成されており、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。また、塗布ツール３２は、図３に示す傾斜台５８を用いて垂直成分移動手段５４を傾けなくても、塗布領域２６に対して傾斜した方向に接近・離間でき、さらに、図６に示すように、塗布ツール３２は塗布領域２６に対して傾斜した状態で所謂アーチモーションで接近・離間できる。
【００３８】
図７は、本発明の第１の実施形態に係る第２の変形例であって、接着剤塗布装置７０の特徴的な部分を説明するための図であり、パッケージ２０側の動作を図示している。
この図において、図１ないし図６の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
図７の接着剤塗布装置７０は、図６の接着剤塗布装置３０と異なり、パッケージ２０側を所謂アーチモーションで移動させるようになっている。
【００３９】
すなわち、図７の接着剤塗布装置７０は、塗布ツール３２が塗布領域２６に対して傾斜して固定されているが、この塗布ツール３２は、移動手段５０には接続されず、単に塗布ツール３２を傾斜した状態で支持するだけの支持部材（図示せず）に接続されている。そして、図６で説明した垂直成分を１００％にした垂直成分移動手段５４は、図３に示すパッケージ２０を固定したテーブル４５に接続されている。そして、垂直成分移動手段５４と平行移動手段５２とは同時に駆動できるように制御器３８に接続されている。
【００４０】
このような接着剤塗布装置７０を動作させると、図７に示すように、パッケージ２０側が、塗布領域２６に対して垂直方向（図７のＺ方向）に移動するとともに平行方向（図７のＸ方向、Ｙ方向）に移動し、所謂アーチモーションなどで、傾斜した状態の塗布ツール３２に接近・離間する。
本発明の実施形態の第２の変形例は以上のように構成されており、このため、本発明の実施形態の第１の変形例と同様の作用効果を発揮できる。
【００４１】
図８は、本発明の第２の実施形態に係る接着剤塗布装置８０について、特徴的な部分を説明するための図であり、図８（ａ）は塗布ツールが塗布領域に接近して、接着剤を塗布するまでの動作を示し、図８（ｂ）および（ｃ）は塗布ツールを塗布領域から離間させる際の動作を示している。
この図において、図１ないし図７の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
【００４２】
まず、第２の実施形態における接着剤塗布装置８０は、第１の実施形態に係る第１の変形例において説明した図６に示す接着剤塗布装置６０と同様の装置が用いられている。
すなわち、塗布ツール３２は塗布領域２６に対して傾斜して固定されている。そして、垂直成分移動手段５４は垂直成分を１００％にして塗布ツール３２を移動させるようになっており、この垂直成分移動手段５４と、図３に示す平行移動手段５２とが同時に駆動できる構成となっている。
【００４３】
そして、このような接着剤塗布装置８０を用いて、塗布ツール３２は、図８（ａ）ないし（ｃ）に示すように動作する。
すなわち、図８（ａ）に示すように、塗布ツール３２（ノズル３６）は傾斜した状態で平行方向（図８のＸ方向、Ｙ方向、あるいはＸ−Ｙ方向）に移動する。そして、垂直成分移動手段５４と平行移動手段５２とを同時に駆動させて、塗布ツール３２を塗布領域２６に対して傾斜した方向（図８の矢印Ｍ１の方向）に移動させて塗布領域２６に接近させ、その後、塗布ツール３２は、吐出口３６ａから接着剤２７を塗布する。
【００４４】
次いで、塗布ツール３２を塗布領域２６から退避させる。この際、塗布ツール３２は、図８（ｂ）に示されるように、塗布領域２６に対して平行方向（Ｘ方向、Ｙ方向、あるいはＸ−Ｙ方向）に退避するのではなく、先ず、垂直成分移動手段５４のみの駆動により、塗布領域２６に対して垂直方向（図８では＋Ｚ方向）に移動する。
そうすると、接着剤の塗布直後、ノズル３６の吐出口３６ａに接着剤２７の一部２７ａが付着した状態で、図８（ｂ）の点線で示すように、塗布ツール３２が平行方向に退避して、接着剤２７が退避方向に引っ張られて斜めに傾いてしまうことを防止する。
【００４５】
次いで、塗布ツール３２を、少なくとも、塗布領域２６近傍の内壁２５側と反対側に退避しながら離間させる。本実施形態の場合は、垂直成分移動手段５４と平行移動手段５２とを同時に駆動させて、塗布領域に対して傾斜した方向（図８の矢印Ｍ２の方向）に退避する。そうすると、接着剤２７の一部２７ａは、内壁２５側に傾くことがなく、かつ、既に少量しか吐出口３６ａに付着していないので、少なくとも塗布領域２６からはみ出すように傾くことはない。
【００４６】
本発明の第２の実施形態は以上のように構成されており、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。さらに、上述のように、塗布ツール３２は、塗布領域２６に対して平行方向に退避する前に垂直方向に退避しているので、接着剤２７が内壁２５側に傾かず、かつ、塗布領域２６からはみ出すように傾くことを防止している。したがって、第１の実施形態に比べて、より正確に接着剤２７を塗布領域２６に塗布できる。
【００４７】
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の接着剤塗布装置を用いて接着剤が塗布された圧電デバイスの概略平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線概略切断断面図。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る接着剤塗布装置の概略外観図。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る接着剤塗布装置のノズルの先端付近を拡大した図。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る接着剤塗布装置を用いて、塗布ツールが塗布領域に接近・離間する際の一連の動作を示した図。
【図６】本発明の実施形態の第１の変形例に係る接着剤塗布装置について、特徴的な部分を説明するための図であり、塗布ツールの動作を示した図。
【図７】本発明の実施形態の第２の変形例に係る接着剤塗布装置について、特徴的な部分を説明するための図であり、パッケージ側の動作を示した図。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る接着剤塗布装置について、特徴的な部分を説明するための図であり、図８（ａ）は塗布ツールが塗布領域に接近して、接着剤を塗布するまでの動作を示した図、図８（ｂ）および（ｃ）は塗布ツールを塗布領域から離間させる際の動作を示した図。
【図９】従来の圧電デバイスの製造工程における、圧電振動片をマウントする際の説明図であって、図９（ａ）はパッケージに接着剤を塗布する図、図９（ｂ）は接着剤に圧電振動片を載置する図。
【図１０】転写式の接着剤塗布装置を用いて接着剤を塗布する際のヘッド付近の図。
【符号の説明】
【００４９】
２０・・・凹状パッケージ、２５，２５ａ，２５ｂ・・・内壁、２７・・・接着剤、３２・・・塗布ツール、２６・・・塗布領域（マウント電極）、５０・・・移動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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