(57)【要約】【課題】この発明は、ゴミが付着しないように処理対象物を移動できる搬送装置を提供することを課題とする。【解決手段】  処理対象物を収容するカセットと、このカセットと密着して固定され、かつ取り外しができる扉と、カセットの底辺に設けられ搬送ローラを備える搬送装置により、ゴミが付かないように、収容されている処理対象物を搬送できる。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１処理室と第２処理室との間で処理対象物を搬送する搬送装置であって、内側に前記処理対象物を保管し、この処理対象物を出し入れする出入り口を備えているカセットと、
前記出入り口に密着して前記カセット内を密閉し、外側に設けられているつまみを前記第１または第２処理室内に配置された機構が操作することにより、前記カセットから取り外される扉と、
前記カセットの底面に設けられている搬送ローラとを有することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記扉は、密閉して前記カセットに固定されるための固定部材を備えている請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記扉は、前記カセットとの密着性をより高めるためのシール部材を備えている請求項１あるいは２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記カセットは、表示装置に組み込まれるガラス材からなる平面基板を、間隔をあけて上下方向に重ねて収容する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、密閉されたカセット内に処理対象物を収容し、ゴミ等が付着しないように処理対象物に搬送できる搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、陰極線管（以下、ＣＲＴと称する）に代わる次世代の軽量、薄型の表示装置として様々な平面型の画像表示装置が注目されている。例えば、平面表示装置として用いられるフィールド・エミッション・ディスプレイ（以下、ＦＥＤと称する）の一種として、表面伝導型電子放出素子を電子源として備えた表示装置（以下、ＳＥＤと称する）の開発が進められている。
【０００３】
このＳＥＤは、所定の間隔をおいて対向配置された前面基板および背面基板を備え、これらの基板は矩形枠状の側壁を介して周縁部を互いに接合することにより真空外囲器を構成している。前面基板の内面には３色の蛍光体層および遮光層を含む蛍光体スクリーンが形成され、背面基板の内面には、蛍光体を励起発光させるための電子源として、各画素に対応する多数の電子放出素子が配列されている。各電子放出素子は、電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の電極等で構成されている。
【０００４】
例えば、フォトリソグラフィー法を用いて前面基板に遮光層を形成する場合、基板全面に遮光層の材料とフォトレジストを塗布し、マスクパターンの上からフォトレジストを露光し、現像する。この場合、塗布装置によりフォトレジストが塗布された前面基板が、露光装置まで搬送される。この移動中に、大気中の埃や塵等のゴミが基板に付着する虞があり、表示装置に組み込まれた際の放電の原因となってしまう。このため、移動中にゴミが付着しないように、塗布装置と露光装置が配置されている部屋は、全体としてクリーン度を一定以上に保つ必要があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このため、作業室内全体をクリーンに保つための空調等に電気代がかかり、製造コストが増加する問題があった。
【０００６】
また、埃や塵等のゴミの多くは、人間が動くことによって発生してしまうため、作業室内のゴミの発生を防止することは困難であった。
【０００７】
この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、ゴミが付着しないように、第１処理室と第２処理室との間で処理対象物を搬送できる搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の搬送装置は、第１処理室と第２処理室との間で処理対象物を搬送する搬送装置であって、内側に前記処理対象物を保管し、この処理対象物を出し入れする出入り口を備えているカセットと、前記出入り口に密着して前記カセット内を密閉し、外側に設けられているつまみを前記第１または第２処理室内に配置された機構が操作することにより、前記カセットから取り外される扉と、前記カセットの底面に設けられている搬送ローラとを有することを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によると、ゴミが付着しないように、第１処理室と第２処理室との間で処理対象物を搬送できる
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。ここでは、本発明の実施の形態に係る表示装置の一例として、ＳＥＤについて説明する。
【００１１】
図１は、ＳＥＤの表示パネルの概略斜視図である。図１に示すとおり、ＳＥＤの表示パネル１は、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板１０および背面基板１２を備え、これらの基板は一定の隙間をおいて対向配置されている。この基板間の距離は、約１．０〜２．０ｍｍ程度に設定されている。そして、前面基板１０および背面基板１２は、ガラスからなる矩形枠状の側壁１４を介して周縁部同士が接合され、内部が真空の扁平な真空外囲器を構成している。
【００１２】
図２に示すとおり、前面基板１０の内面には画像表示面として機能する蛍光体スクリーン１６が形成されている。この蛍光体スクリーン１６は、赤、緑、青の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ、および遮光層１１を並べて構成されている。遮光層１１は、マトリックス状に形成され、これらの蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂはストライプ状あるいはドット状に形成されている。また、蛍光体スクリーン１６上には、アルミニウム等からなるメタルバック層１７が形成されている。
【００１３】
背面基板１２の内面には、蛍光体スクリーン１６の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを励起発光させるための電子源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子１９が設けられている。これらの電子放出素子１９は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子１９は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板１２の内面上には、電子放出素子１９に電圧を供給するマトリクス状に形成された多数本の配線２１が設けられている。この配線２１の端部は、図１に示した通り、表示パネル１の外部に引出されている。
【００１４】
接合部材として機能する側壁１４は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材２０により、前面基板１０の周縁部および背面基板１２の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。
【００１５】
また、表示パネル１は、前面基板１０および背面基板１２の間に配設された矩形板状のスペーサ２２を備えている。スペーサ２２は、ストライプ状に配置され、各電子放出素子１９および蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂに干渉しないように前面基板１０および背面基板１２の内面に当接して、これらの基板に作用する大気圧荷重を支持し、基板間を一定の間隔に維持している。なお、スペーサの形状はこれに限らず、たとえば、多数の柱状のスペーサであってもよい。
【００１６】
画像を表示する場合、配線２１を介して走査信号，データ信号のそれぞれを電子放出素子１９に与えて電子放出素子１９を駆動し、選択された電子放出素子１９から電子ビームを放出するとともに、蛍光体層１６およびメタルバック層１７にアノード電圧を印加する。電子放出素子１９から放出された電子ビームは、アノード電圧により加速され、蛍光体層１６に衝突する。これにより、蛍光体スクリーン１６の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが励起されて発光し、画像を表示する。
【００１７】
次に、図３を参照して、表示パネル１の製造工程において利用可能な搬送装置について説明する。
【００１８】
図３に示すように、搬送装置３は、処理対象物として、例えば、図１，２に示した前面基板１０を収容し、側面に出入り口３１Ａを備えるカセット３１と、この出入り口３１Ａと密着してカセット３１を密閉する扉３３と、カセット３１の底面に設けられている搬送ローラ３５を有する。
【００１９】
カセット３１は、向かい合う内面に、一対の保持部材３１Ｂを複数備える。これら保持部材３１Ｂは、前面基板１０の出し入れ方向に沿って延設され、前面基板１０の対向する辺部をそれぞれ支持する。なお、これら保持部材３１ｂは、複数の前面基板１０を、互いに所定の間隔をあけて、上下方向に重ねて保持するように、複数段にして設けられている。
【００２０】
扉３３の外面には、カセット３１から取り外される際に、後述するような操作ロボットのアームが掴み易いよう、つまみ３３Ａが設けられている。このつまみ３３Ａには、扉３３の外面に移動可能に設けられているバー３３Ｂの一端部が連結されており、操作ロボットによりつまみ３３Ａが回転されて、バー３３Ｂの他方の端部が扉３３の外縁より外側に突き出す構成となっている。外側に突き出たバー３３Ｂの端部は、カセット３１の出入り口３１Ａの縁に設けられている凹部３１Ｃと嵌合する構成となっている。従って、扉３３は、つまみ３３Ａが回転されることで、カセット３１に固定されて、搬送装置３内は密閉される。
【００２１】
また、扉３３のカセット３１と接触する周縁部分には、カセット３１に固定された際の互いの密着性をより高めるためのシール部材３３Ｃが設けられている。
【００２２】
この構成により、搬送装置３は、扉３３がカセット３１に固定されている状態で、内部が密閉され、扉３３が取り外された状態で、収容する複数の前面基板１０を同じ方向に移動させて取り出すことができる。よって、搬送装置３は、一定のクリーン度を維持した状態で、収容している処理対象物を搬送することができる。
【００２３】
次に、図４を参照して、搬送装置３に前面基板１０を収容あるいは取り出す方法について説明する。
【００２４】
図４に示すように、搬送装置３は、例えば人手により移動されて、一定のクリーン度が維持されている処理装置４（第１処理室，第２処理室）のシャッター４１の前に配置される。このとき、搬送装置３内には、処理対象物として複数枚の前面基板１０が収容されている。処理装置４内に備えられている操作ロボット４２は、シャッター４１を開け、搬送装置３の扉３３の外側に設けられているつまみ３３Ａを回転しながら扉３３をカセット３１から取り外し、処理装置４内の所定の位置に退避させる。これにより、カセット３１の内部と処理装置４の内部が、出入り口３１Ａを介して連結される。
【００２５】
続けて、操作ロボット４２は、前面基板１０をカセット３１内から取り出し、処理装置４内にある所定の処理領域に前面基板１０を移動する。所定の処理が施された前面基板１０は、操作ロボット４２により再びカセット３１内に戻される。処理装置４内での処理が終了すると、操作ロボット４２は、つまみ３３Ａを介して扉３３を取り上げ、カセット３１の出入り口３１Ａの固定位置に扉３３を戻し、つまみ３３Ａを回転させて、扉３３とカセット３１を密着させて固定する。その後、シャッター４１を閉める。
【００２６】
よって、２つの処理装置４の間で搬送される際、前面基板１０は、密閉された搬送装置３内に収容されているため、ゴミが付着する虞はない。つまり、前面基板１０は、他の処理装置４に移される際も、一定以上のクリーン度が維持されているカセット３１内から、同じく一定のクリーン度が維持されている処理装置４内に移動されるため、前面基板１０にゴミが付着する虞はない。
【００２７】
この搬送装置３は、例えば、フォトリソグラフィー法により前面基板１０に遮光層１１を形成する際、フォトレジストを塗布する図示しない塗布装置（第１処理室）から、フォトレジストを露光する図示しない露光装置（第２処理室）に、前面基板１０を搬送する際に利用できる。
【００２８】
すなわち、搬送装置３を、フォトレジストの塗布装置に備えられているシャッターの前に配置する。一定のクリーン度が維持されている塗布装置に備えられている操作ロボットは、シャッターを開け、搬送装置３のつまみ３３Ａを回転しながら扉３３をカセット３１から取り外し、装置内に退避する。継いで、操作ロボットは、例えば黒色顔料が全面に塗布されている上に、さらにフォトレジストが塗布されている前面基板１０を取り上げ、搬送装置３の保持部材３１Ｂを介してカセット３１内に収容する。複数の前面基板１０を搬送装置３へ収容し終えると、操作ロボットは、つまみ３３Ａを介して扉３３を取り上げ、カセット３１の出入り口３１Ａに戻し、つまみ３３Ａを回転し、扉３３とカセット３１を密着させて固定する。その後、シャッターを閉める。
【００２９】
複数の前面基板１０が収容された搬送装置３は、例えば人手により、露光装置室に備えられているシャッターの前に配置される。そして、同様に、操作ロボットにより、つまみ３３Ａを介して扉３３が取り外され、収容されている前面基板１０が順に取り出され、露光された後、再びカセット３１内に収容される。収容が終了すると、操作ロボットにより、つまみ３３Ａを介して扉３３がカセット３１に固定され、シャッターが閉められる。
【００３０】
このように、本発明の搬送装置３は、移動中は、扉３３によって密閉され、扉３３が取り外されると、出入り口３１Ａを介して処理装置の内部と連結される構成を有する。このため、図４に示したように、カセット３１と処理装置４により形成された、一定のクリーン度が維持されている空間内で、前面基板１０の取り出し・収容が行なわれ、処理装置内での処理も行なわれる。よって、前面基板１０の移動中および処理中に、ゴミ等が付着する虞はない。
【００３１】
また、この構成により、搬送装置３の内部空間と、処理装置４内の内部空間のクリーン度を維持すればよいので、部屋全体を一定のクリーン度に維持していた従来に比べ、空調等の電気代も軽減され、結果として、表示パネル１の製造コストを低減できる。
【００３２】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００３３】
例えば、搬送装置３の扉３３には、シール部材３３Ｃが備えられていると説明したが、なくてもよい。
【００３４】
また、搬送装置３と処理装置４の連結部分において、少なくともどちらか一方に、シール部材が設けられて、より密閉度を高める構成であってもよい。
【００３５】
さらに、搬送装置３は、人手により処理装置間を移動すると説明したが、これに限らず、例えば、搬送装置３に搬送ローラを回転させる駆動モータ、この駆動モータを駆動させる制御回路が搭載され、遠隔操作により移動する構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】この発明の一実施の形態である表示パネルの一例を示す概略図、
【図２】図１に示した表示パネルの断面的な概略図、
【図３】この発明の一実施の形態である搬送装置の一例を示す概略斜視図、
【図４】図３に示した搬送装置の使用方法を説明する概略図。
【符号の説明】
【００３７】
１…表示パネル、
１０…前面基板、
１１…遮光層、
３…搬送装置、
３１…カセット、
３３…扉、
３５…搬送ローラ。
【図１】
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【図２】
2006096529.tif 000004
【図３】
2006096529.tif 000005
【図４】
2006096529.tif 000006