(57)【要約】      （修正有）【課題】ガスタービンの燃焼ガスに直接接触する部位に用いても腐食による消耗を抑制することができ、しかもガスタービン内で生じる熱サイクル環境に晒されても基体上に設けられた被覆層が剥離するのを防止できる耐食性ガスタービン用セラミック部品を提供することである。【解決手段】ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であり、窒化珪素を主成分とするセラミック基体２上に、密着促進層３、応力緩和層４、クラック進展防止層５、および周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層６がこの順に積層されており、各層における熱膨張係数には一定の関係を有する。【選択図】図２
2006124226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、
窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、少なくとも１層のクラック進展防止層を含む複数の層からなり、前記クラック進展防止層が、該クラック進展防止層よりも熱膨張係数の大きな層の間に配置されていることを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項２】
前記中間層は２層以上の前記クラック進展防止層を含み、各クラック進展防止層は、該クラック進展防止層よりも熱膨張係数の大きな層の間にそれぞれ配置されている請求項１記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項３】
ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、
窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、応力緩和層およびクラック進展防止層により構成され、これらの各層がこの順に前記セラミック基体上に積層されており、かつ下記関係式(II)，(III)を満足することを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【数１】
2006124226.tif 000010
【請求項４】
ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、
窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、密着促進層、応力緩和層およびクラック進展防止層により構成され、これらの各層がこの順に前記セラミック基体上に積層されており、かつ、下記関係式(I)〜(III)を満足することを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【数２】
2006124226.tif 000011
【請求項５】
前記セラミック基体の熱膨張係数α0、応力緩和層の熱膨張係数α2および表面耐食層の熱膨張係数α4が、下記関係式(IV)を満足する請求項４記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【数３】
2006124226.tif 000012
【請求項６】
前記セラミック基体の熱膨張係数α0およびクラック進展防止層の熱膨張係数α3が、下記関係式(V)を満足する請求項４または５記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【数４】
2006124226.tif 000013
【請求項７】
ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、
窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶および周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウム結晶の混合物を主成分とする応力緩和層、および周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とするクラック進展防止層により構成され、これらの各層がこの順に前記セラミック基体上に積層されていることを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項８】
ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、
窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とする密着促進層、周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶および周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウム結晶の混合物を主成分とする応力緩和層、および周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とするクラック進展防止層により構成され、これらの各層がこの順に前記セラミック基体上に積層されていることを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項９】
前記クラック進展防止層を構成するダイシリケート結晶がＥｒ2Ｓｉ2Ｏ7、Ｙｂ2Ｓｉ2Ｏ7およびＬｕ2Ｓｉ2Ｏ7から選ばれる少なくとも１種からなる請求項７または８記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項１０】
前記クラック進展防止層が前記セラミック基体と略同一の熱膨張係数を有している請求項７〜９のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項１１】
前記クラック進展防止層の厚みが５〜２００μｍである請求項１〜１０のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項１２】
前記表面耐食層の厚みが５〜２００μｍである請求項１〜１１のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項１３】
前記密着促進層および応力緩和層の厚みが５〜２００μｍである請求項４または８記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項１４】
前記表面耐食層が柱状結晶からなり、該柱状結晶の長軸が前記セラミック基体の表面に略垂直である請求項１〜１３のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項１５】
前記表面耐食層は、ＡｌおよびＳｉの含有量の合計が１質量％以下であり、気孔率が１〜３０％である請求項１〜１４のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項１６】
前記表面耐食層がクラックを有する請求項１〜１５のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項１７】
前記表面耐食層上には、該表面耐食層のクラックを覆い隠すためのクラック被覆層が積層されている請求項１６記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【請求項１８】
燃焼器ライナ、トランジションダクト、静翼、動翼またはロータである請求項１〜１７のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられる耐食性ガスタービン用セラミック部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ガスタービンは、発電用、圧縮機・ポンプ駆動用、舶用、車両用などの幅広い用途に用いられており、主に圧縮機、燃焼器およびタービンから構成されている。このガスタービンでは、圧縮機で圧縮された空気が燃焼器に供給され、この圧縮空気が燃焼器内で燃料と混合され燃焼し、この燃焼によって発生した燃焼ガスがタービンへ供給されてタービンが回転駆動力を得る。
【０００３】
したがって、ガスタービンの内部は、高温環境下に曝されるため、耐久性に優れた窒化珪素系セラミックスがガスタービン用部品の材料として検討されている。この窒化珪素系セラミックスをガスタービン用部品に用いる場合には、高温環境下において要求される特性が、強度面だけでなく、高温気流による腐食に強いことが要求され、さらに微小粒子の衝突に対する耐磨耗性や耐衝撃性に優れていることも要求される。
【０００４】
しかし、窒化珪素系セラミックスは、ガスタービンの燃焼ガス中に含まれる高温水蒸気と反応して減肉するので、特に燃焼器ライナ、トランジションダクト、静翼、動翼等のガスタービン用部品は、水蒸気を含む高温の燃焼ガスによるセラミックス表面の減肉が顕著であり、寿命が著しく短くなるという問題がある。
【０００５】
このため、焼結助剤や粒界相の検討、焼成条件の検討などに加えて、基体の表面に被覆層を形成して耐食性を改善するという検討が進められてきた。例えば、特許文献１〜３には、被覆層を有したシリコン含有基板が提案されており、高温水蒸気環境下に曝されても減肉を抑制することができるとされている。しかしながら、特許文献１〜３に記載の基板では、燃焼器ライナ、トランジションダクト、静翼、動翼等のように燃焼ガスと直接接触する部位に用いられる部品の材料として使用する場合には、必ずしも耐食性や基材と表面被覆層との密着性とが十分とは言えず、燃焼ガスによりセラミックス表面が減肉したり、表面被覆層が剥離するという問題が依然としてある。
【０００６】
また、特許文献４には、窒化珪素セラミックス基体の表面に、ジルコン、ジルコニア、アルミナ、ムライト、イットリアから選ばれる酸化物の下地層、中間層および表面層からなる被覆層を基体から順次熱膨張係数が大きくなるように形成して、耐食性を改善するとともに耐剥離性を改善するという試みが開示されている。しかしながら、特許文献１に記載の部材では、熱膨張係数が順次高くなるように各層を配置することで、基体と表面層の熱膨張係数の差に起因する残留応力を緩和することはできるが、ガスタービンのように起動・停止が繰り返され、大きな温度変化を伴う熱サイクルが生じる環境下では、表面層に生じたクラックの進展（伝播）を防止することができず、このクラックが基体にまで達することにより、表面層などの被覆層が剥離するという問題があった。
【特許文献１】米国特許第６２９６９４１号明細書
【特許文献２】米国特許第６２９６９４２号明細書
【特許文献３】米国特許第６３１２７６３号明細書
【特許文献４】特開平５−２３８８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、ガスタービンの燃焼ガスに直接接触する部位に用いても燃焼ガスによる減肉を抑制することができ、しかもガスタービン内で生じる熱サイクル環境に曝されても基体上に設けられた被覆層が剥離するのを防止できる耐食性ガスタービン用セラミック部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、窒化珪素を主成分とするセラミック基体と酸化ジルコニウムを主成分とする耐食性に優れた表面耐食層との間に中間層を設け、この中間層が熱膨張係数の大きな層に挟まれたクラック進展防止層を有することによって、ガスタービンの燃焼ガスに直接接触する部位に用いても燃焼ガスによる減肉を抑制することができ、しかも、たとえ表面耐食層にクラックが生じたとしても、クラック進展防止層においてクラックの進展が抑止され、クラックがセラミック基体にまで達するのを防止することができるので、熱サイクルが生じる環境下であっても、セラミック基体から被覆層（表面耐食層および中間層）が剥離するのを防止できるという新たな事実を見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明の耐食性ガスタービン用セラミック部品は、以下の構成からなる。
(1)  ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、少なくとも１層のクラック進展防止層を含む複数の層からなり、前記クラック進展防止層が、該クラック進展防止層よりも熱膨張係数の大きな層の間に配置されていることを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(2)  前記中間層は２層以上の前記クラック進展防止層を含み、各クラック進展防止層は、該クラック進展防止層よりも熱膨張係数の大きな層の間にそれぞれ配置されている(1)に記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(3)  ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、応力緩和層およびクラック進展防止層により構成され、これらの各層がこの順に前記セラミック基体上に積層されており、かつ、下記関係式(II)，(III)を満足することを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【数５】
2006124226.tif 000003
(4)  ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、密着促進層、応力緩和層およびクラック進展防止層により構成され、これらの各層がこの順に前記セラミック基体上に積層されており、かつ、下記関係式(I)〜(III)を満足することを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【数６】
2006124226.tif 000004
(5)  前記セラミック基体の熱膨張係数α0、応力緩和層の熱膨張係数α2および表面耐食層の熱膨張係数α4が、下記関係式(IV)を満足する(4)に記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【数７】
2006124226.tif 000005
α0＜α2＜α4        (IV)
(6)  前記セラミック基体の熱膨張係数α0およびクラック進展防止層の熱膨張係数α3が、下記関係式(V)を満足する(4)または(5)に記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【数８】
2006124226.tif 000006
(7)  ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶および周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウム結晶の混合物を主成分とする応力緩和層、および周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とするクラック進展防止層により構成され、これらの各層がこの順に前記セラミック基体上に積層されていることを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(8)  ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるガスタービン用セラミック部品であって、窒化珪素を主成分とするセラミック基体上に、中間層を介して、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする表面耐食層が積層された耐食性窒化珪素セラミックスからなり、前記中間層が、周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とする密着促進層、周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶および周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウム結晶の混合物を主成分とする応力緩和層、および周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とするクラック進展防止層により構成され、これらの各層がこの順に前記セラミック基体上に積層されていることを特徴とする耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(9)  前記クラック進展防止層を構成するダイシリケート結晶がＥｒ2Ｓｉ2Ｏ7、Ｙｂ2Ｓｉ2Ｏ7およびＬｕ2Ｓｉ2Ｏ7から選ばれる少なくとも１種からなる(7)または(8)に記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(10)  前記クラック進展防止層が前記セラミック基体と略同一の熱膨張係数を有している(7)〜(9)のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(11)  前記クラック進展防止層の厚みが５〜２００μｍである(1)〜(10)のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(12)  前記表面耐食層の厚みが５〜２００μｍである(1)〜(11)のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(13)  前記密着促進層および応力緩和層の厚みが５〜２００μｍである(4)または(8)に記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(14)  前記表面耐食層が柱状結晶からなり、該柱状結晶の長軸が前記セラミック基体の表面に略垂直である(1)〜(13)のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(15)  前記表面耐食層は、ＡｌおよびＳｉの含有量の合計が１質量％以下であり、気孔率が１〜３０％である(1)〜(14)のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(16)  前記表面耐食層がクラックを有する(1)〜(15)のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(17)  前記表面耐食層上には、該表面耐食層のクラックを覆い隠すためのクラック被覆層が積層されている(16)に記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
(18)  燃焼器ライナ、トランジションダクト、静翼、動翼またはロータである(1)〜(17)のいずれかに記載の耐食性ガスタービン用セラミック部品。
【発明の効果】
【００１０】
前記(1)に記載のガスタービン用セラミック部品によれば、該部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスは、前記表面耐食層を有しているので耐食性に優れ、また、中間層が熱膨張係数の大きな層に挟まれたクラック進展防止層を有しているので、表面耐食層にクラックが生じた場合であっても、このクラックがセラミック基体側に向かって進展するのを防止することができる。このようにクラックが進展しない理由は、以下の通りであると考えられる。すなわち、一般に、クラックは、まず微小クラックが生じ、この微小クラックの先端に生じる引張応力によって進展していくが、本発明におけるクラック進展防止層は、熱膨張係数の大きな層に挟まれていることで内部に圧縮応力が付与されているので、表面耐食層で生じたクラックがクラック進展防止層に到達しても、このクラックの先端には引張応力が発生しない（作用しない）ので、クラック進展防止層でクラックの進展が停止すると推測される。
【００１１】
これにより、熱サイクルが生じる環境下であっても表面耐食層などの被覆層がセラミック基体から剥離するのを防止することができる。したがって、この耐食性窒化珪素セラミックスをガスタービン用部品の材料として用いることで、製品の信頼性が向上し、長寿命化を図ることができる。
【００１２】
また、前記(2)記載のように、中間層が２層以上のクラック進展防止層を含むときには、より高いクラック進展防止効果を得ることができる。
【００１３】
前記(3)記載のガスタービン用セラミック部品では、上記式(II)および(III)で表されるように、クラック進展防止層が、該クラック進展防止層よりも熱膨張係数の大きな応力緩和層と表面耐食層に挟まれた状態で配置されていることにより、表面耐食層にクラックが生じた場合であっても、このクラックがセラミック基体側に向かって進展するのをクラック進展防止層が防いでいる。
【００１４】
また、前記(3)の構成に加えて、前記(4)における式(I)で表されるように、セラミック基体と略同一の熱膨張係数を有する密着促進層が設けられているときには、セラミック基体と被覆層（中間層および表面耐食層）との間でより優れた密着性を得ることができる。
【００１５】
また、前記(5)に記載のように、セラミック基体の熱膨張係数α0、応力緩和層の熱膨張係数α2および表面耐食層の熱膨張係数α4が上記式(IV)を満足するとき、すなわちα0、α2およびα4がこの順に段階的に大きくなるように各層を配置するときには、耐食性窒化珪素セラミックスに生じる残留応力が応力緩和層により緩和されるので、耐食性窒化珪素セラミックス内に過度に大きな残留応力が生じるのを抑制し、表面耐食層などの被覆層がセラミック基体から剥離するのを防止する効果がより高められる。
【００１６】
さらに、前記(6)に記載のように、クラック進展防止層の熱膨張係数α3とセラミック基体の熱膨張係数α0との差が小さいとき、すなわちα3とα0とが上記式(V)の関係を満足するときには、表面耐食層などの被覆層がセラミック基体から剥離するのを防止する効果がさらに高められる。
【００１７】
各層の熱膨張係数が上記のような関係を満足するには、密着促進層、応力緩和層およびクラック進展防止層が、例えば前記(7)〜(10)に記載の成分で構成されるようにすればよい。ここで、前記(7)における周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶とは、ＲＥ2Ｓｉ2Ｏ7で表される結晶であり（ＲＥは周期律表第３ａ族元素を示す）、特に、前記(9)記載のようにＲＥがＥｒ、ＹｂおよびＬｕの少なくとも１種であるのが好ましい。
【００１８】
また、各層が上記したような各々の機能を十分に発揮するためには、各層の厚みが前記(11)〜(13)に記載の範囲にあるのが好ましい。
【００１９】
前記(14)に記載のガスタービン用セラミック部品によれば、表面耐食層にクラックが生じるような応力が作用したときには、柱状結晶の界面に沿ってクラックを生じさせることができるので、表面耐食層がクラック進展防止層から剥がれることなく付着した状態をより確実に維持することができる。
【００２０】
また、前記(15)に記載のように、表面耐食層に含まれるＡｌおよびＳｉの含有量が上記範囲にあり、表面耐食層の気孔率が上記範囲にあることで、高温水蒸気に曝された際の耐食性をより向上させることができる。
【００２１】
また、本発明のガスタービン用セラミック部品は、クラック進展防止層においてクラックの進展を防止することができるので、前記(16)に記載のように表面耐食層にクラックが生じていても優れた耐久性を維持することができる。これにより、表面耐食層の材料を選定する際や表面耐食層を形成する際に、クラックが生じるか否かを考慮する必要がなくなるので、表面耐食層を構成する材料の選択肢が広がるとともに、表面耐食層を形成する際の製造条件の許容範囲を広げることができる。
【００２２】
前記(17)に記載のガスタービン用セラミック部品では、上記した各層に加えて、さらに表面耐食層上にクラック被覆層が設けられている。したがって、前記(16)に記載のように表面耐食層にクラックが生じていても、クラック被覆層で覆い隠すことができるので、最表面にクラックが露出しない。これにより、外観面における製品価値を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の一実施形態にかかる耐食性ガスタービン用セラミック部品について詳細に説明する。図１は、本実施形態にかかるガスタービン用セラミック部品を用いたガスタービンを示す概略断面図である。図１に示すように、このガスタービンは、主に圧縮機５０、燃焼器６０およびタービン７０から構成されている。
【００２４】
圧縮機５０は、圧縮機ロータ５１と、この圧縮機ロータ５１の外周面に多数配置された動翼５２と、ハウジング５３と、このハウジング５３の内周面に多数配置された静翼５４とを備えている。動翼５２と静翼５４はロータ５１の回転軸８３の軸方向に交互に配列されており、これらの組み合わせにより吸気筒５５から吸入した空気を圧縮して、その圧縮空気を燃焼器６０に供給する。
【００２５】
燃焼器６０は、筒状のハウジング８１の周方向に沿って等間隔に複数配置されている（図１は断面図であるので燃焼器６０は一つだけ図示）。圧縮機５０から送られてきた圧縮空気は、筒状の燃焼器ライナ６１内に供給されるとともに、燃料ノズル６２から燃焼器ライナ６１内に噴射された燃料と混合される。この燃料は、燃焼器ライナ６１内で燃焼し、その高温高圧の燃焼ガスがトランジションダクト６３を通じてタービン７０に送られる。燃料としては、例えば天然ガス、メタン、灯油などが用いられる。
【００２６】
タービン７０は、タービンロータ７１と、このタービンロータ７１の外周面に多数配置されたタービン動翼７２と、ハウジング７３と、このハウジング７３の内周面に多数配置されたタービン静翼７４とを備えている。タービン動翼７２とタービン静翼７４はタービンロータ７１の回転軸８４の軸方向に交互に配列されている。圧縮機ロータ５１およびタービンロータ７１は、図示しない軸受けにより回転自在に支持されている。燃焼器６０から送られてきた、回転軸８４の軸方向に流れる燃焼ガスは、タービン７０のタービン動翼７２に高速で噴射され、このタービンロータ７１を高速回転させ、排気筒８２から排気される。このようにしてタービンロータ７１に与えられた回転エネルギーを軸端から取り出して、発電、圧縮機・ポンプ駆動、車輌エンジンなどのエネルギーとして利用する。
【００２７】
本発明のガスタービン用セラミック部品は、ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する部位に用いられるものである。本実施形態では、燃焼器ライナ６１、トランジションダクト６３、タービン静翼７４、タービン動翼７２およびタービンロータ７１が下記の耐食性窒化珪素セラミックスからなる。
【００２８】
図２は、本実施形態のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックス１を示す断面図である。図２に示すように、この耐食性窒化珪素セラミックス１は、窒化珪素を主成分とするセラミック基体２上に、中間層７を介して、表面耐食層６が積層されたものである。中間層７は、密着促進層３、応力緩和層４およびクラック進展防止層５により構成され、これらの各層がこの順にセラミック基体２上に積層されている。
【００２９】
この耐食性窒化珪素セラミックス１では、セラミック基体２、密着促進層３、応力緩和層４、クラック進展防止層５および表面耐食層６の各熱膨張係数α0，α1，α2，α3，α4が、上記関係式(I)〜(III)を満足する。さらに、セラミック基体２、応力緩和層４および表面耐食層６の各熱膨張係数α0，α2，α4は上記関係式(IV)を満足するのが好ましく、セラミック基体２およびクラック進展防止層５の各熱膨張係数α0，α3は上記関係式(V)を満足するのが好ましい。
【００３０】
＜セラミック基体＞
セラミック基体２は、窒化珪素を主成分とする窒化珪素質焼結体であり、窒化珪素成分の他、必要に応じて他の成分が含まれていてもよい。他の成分としては、例えば周期律表第３ａ族元素の酸化物、ダイシリケートやモノシリケートなどのシリケート化合物、アルミナ、シリカ、マグネシアなどが挙げられる。
【００３１】
＜中間層＞
中間層７を構成する密着促進層３、応力緩和層４およびクラック進展防止層５の材料としては、これらの熱膨張係数α2，α3，α4が上記式(I)，(II)，(III)を満足するものであれば特に限定されないが、高温安定性、耐食性などに優れる点で、ＲＥ2Ｓｉ2Ｏ7で表される周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶（ＲＥは周期律表第３ａ族元素を示す）を構成成分とするのが好ましい。ここで、周期律表第３ａ族元素とは、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕから選ばれる少なくとも１種である。周期律表第３ａ族元素のダイシリケートは、高温の水蒸気に対する耐食性も高く、高融点でもあり、たとえ表面耐食層６にピンホールやクラックが存在しても、セラミック基体２に対するその影響を小さくすることができ、中間層として有効である。
【００３２】
具体的には、例えば、密着促進層３が周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とし、応力緩和層４が周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶および周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウム結晶の混合物を主成分とし、クラック進展防止層５が周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とするのがよい。
【００３３】
特に、ダイシリケートとしては、Ｅｒ2Ｓｉ2Ｏ7、Ｙｂ2Ｓｉ2Ｏ7およびＬｕ2Ｓｉ2Ｏ7の少なくとも１種を用いるのがよい。Ｅｒ、ＹｂおよびＬｕは、イオン半径が小さくイオン間の結合力が大きい。このため、Ｅｒ、ＹｂおよびＬｕを含むダイシリケートは熱膨張係数が比較的小さくなる。これにより、表面耐食層６などの被覆層の剥離を効果的に抑制することができる。また、Ｙは他の周期律表第３ａ族元素と比較して安価である点で好ましい。
【００３４】
密着促進層３は、前記したように、その熱膨張係数α1が上記関係式(I)を満足する。すなわち、α0とα1が、略同一であること、具体的にはα1＝０．８α0〜１．２α0、好ましくはα1＝０．９α0〜１．１α0、より好ましくはα1＝０．９５α0〜１．０５α0の関係を満足するのがよい。
【００３５】
応力緩和層４におけるダイシリケート結晶の含有量は、７０〜８５質量％、好ましくは７５〜８０質量％であるのがよく、酸化ジルコニウム結晶の含有量は、１５〜３０質量％、好ましくは２０〜２５質量％であるのがよい。また、応力緩和層４において、酸化ジルコニウム結晶における周期律表第３ａ族元素の含有量は、３〜１５モル％であるのがよい。応力緩和層４の熱膨張係数α2は、ダイシリケートと酸化ジルコニウムの比率を変えることにより調整できる。
【００３６】
クラック進展防止層５は、その熱膨張係数α3が、上記式(II)，(III)だけでなく、上記式(V)を満足するのが好ましい。式(V)のようにクラック進展防止層５の熱膨張係数α3とセラミック基体２の熱膨張係数α0との差が小さいとき、好ましくは熱膨張係数α0，α3が略同一のときには、表面耐食層６などの被覆層がセラミック基体２から剥離するのを防止する効果がさらに高められる。（α3−α0）＞１．５×１０-6／℃のときには、クラック進展防止層５の熱膨張係数α3と、応力緩和層３および表面耐食層６の熱膨張係数α2，α4との差が小さくなりすぎてクラック進展防止層５に付与される圧縮応力が小さくなり、クラックの進展を防止する効果が小さくなるおそれがある。一方、（α3−α0）＜−１．５×１０-6／℃のときには、クラック進展防止層５の熱膨張係数α3と、表面耐食層６の熱膨張係数α4との差が大きくなりすぎて、表面耐食層６が剥離しやすくなるおそれがある。
【００３７】
密着促進層３、応力緩和層４およびクラック進展防止層５の厚みは、５〜２００μｍ、好ましくは１０〜１５０μｍ、より好ましくは１０〜１００μｍ、さらに好ましくは１５〜５０μｍであるのがよい。厚みが２００μｍを超えると、各層が剥離しやすくなるおそれがある。一方、厚みが５μｍ未満になると、密着性の向上、応力の緩和、クラックの進展防止という各層の機能が十分に得られなくなるおそれがある。
【００３８】
また、中間層７を構成する各層の気孔率は、好ましくは３０％以下、より好ましくは１０％以下であるのがよい。これは、たとえ表面耐食層６にピンホールやクラックが存在しても、セラミック基体２に対するその影響を小さくすることができるためである。
【００３９】
＜表面耐食層＞
表面耐食層６は、周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする。酸化ジルコニウム結晶における周期律表第３ａ族元素の含有量は、酸化ジルコニウムを安定化させ、水蒸気に対する耐食性に大きな影響を与えない範囲であればよく、好ましくは３〜１５モル％、より好ましくは５〜１２モル％であるのがよい。
【００４０】
また、表面耐食層６を構成する結晶は、柱状結晶からなり、該柱状結晶の長軸がセラミック基体２の表面に略垂直であるのが好ましい。これは、熱応力により表面耐食層６にクラックが入っても、柱状結晶の界面においてクラックが発生するため、表面耐食層６がクラック進展防止層５から剥がれることなく付着した状態をより確実に維持することができるからである。すなわち、表面耐食層６がセラミック基体２の表面に略垂直な柱状結晶からなるときには、クラックがセラミック基体２に垂直な方向に入りやすく、セラミック基体２に平行な方向や斜め方向には進展しにくくなる。一方、このような柱状結晶でない場合には、クラックがセラミック基体２に対して平行な方向や斜め方向に進展し、他のクラックと交わって、表面耐食層が剥離する可能性がある。上記のようにセラミック基体２の表面に略垂直な柱状結晶は、例えばElectro Beam-Phisical Vaper Deposition (ＥＢ−ＰＶＤ)法を用いることにより形成することができる。
【００４１】
さらに、表面耐食層６は、ＡｌおよびＳｉの含有量の合計が好ましくは１質量％以下、より好ましくは０．１質量％以下、さらに好ましくは０．０１質量％以下であるのがよい。
ＡｌおよびＳｉの含有量が合計で１質量％を越えると、高温水蒸気中における耐腐食性が低下するおそれがある。
【００４２】
また、表面耐食層６は、気孔率が好ましくは１〜３０％、より好ましくは２〜１５％であるのがよい。これにより、例えば、ガスタービンエンジン等の熱機関において、表面耐食層６に微粒子が衝突してもクラックの発生やクラックの進展を効果的に抑制し、欠けや剥離を抑制することができる。
【００４３】
表面耐食層６の厚みは、５〜２００μｍ、好ましくは１０〜１５０μｍ、より好ましくは１０〜１００μｍ、さらに好ましくは１５〜５０μｍであるのがよい。表面耐食層６の厚みが５μｍ未満になると、微粒子等の衝突により剥離してしまうおそれがある。一方、表面耐食層６の厚みが２００μｍを超えると、他の層との熱膨張係数差の影響が強くなり表面耐食層６が剥離しやすくなるおそれがある。
【００４４】
＜製造方法＞
次に、耐食性窒化珪素セラミックス１の製造方法について説明する。
まず、平均粒径０．２〜０．６μｍ程度の窒化珪素粉末に、酸化ルテチウム、二酸化ケイ素等の焼結助剤や、必要に応じて他の成分を混合し、さらにバインダー、溶媒等を添加し混合してスラリーを得る。ついで、得られたスラリーを乾燥した後、プレス成形などの方法で成形し、１８００〜１９００℃で５〜１０時間焼成することによりセラミック基体２を得る。
【００４５】
ついで、密着促進層３、応力緩和層４、クラック進展防止層５および表面耐食層６の原料となるスラリーを作製する。これらのスラリーは、焼成後の熱膨張係数が上記式(I)〜(III)、好ましくは式(I)〜(V)を満足するように、各成分を配合して調製される。具体的には、例えば密着促進層が周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とし、応力緩和層が周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶および周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウム結晶の混合物を主成分とし、クラック進展防止層が周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を主成分とする場合を例に挙げると、焼成後の熱膨張係数α0，α1，α2，α3，α4は、それぞれ以下のような範囲であるのがよい。
【数９】
2006124226.tif 000007
【００４６】
次に、セラミック基体２の表面に、密着促進層３用のスラリーをスプレーガンで吹き付けて塗布し、乾燥した後、１４００〜１７００℃で０．５〜５時間の熱処理を行って密着促進層３を形成する。この密着促進層３の表面に、応力緩和層４用のスラリーを上記と同様にしてスプレーガンで吹き付けて塗布し、乾燥した後、熱処理を行って応力緩和層４を形成する。さらに、この応力緩和層４の表面に、クラック進展防止層５用のスラリーを上記と同様にしてスプレーガンで吹き付けて塗布し、乾燥した後、熱処理を行ってクラック進展防止層５を形成する。最後に、このクラック進展防止層５の表面に、表面耐食層６用のスラリーをスプレーガンで吹き付けて塗布し、乾燥した後、熱処理を行って表面耐食層６を形成する。
【００４７】
また、上記のように密着促進層３、応力緩和層４、クラック進展防止層５および表面耐食層６を個別に焼成するのではなく、例えばセラミック基体２上に、各層のスラリーを順次塗布し乾燥した後、これらの各層を同時に焼成することもできる。密着促進層３、応力緩和層４、クラック進展防止層５および表面耐食層６は、上記のようにしてスラリーを塗布する方法の他、例えば蒸着法、ＣＶＤ法、スパッタ法等の薄膜形成法や溶射法などを用いて形成することもできる。
【００４８】
［他の実施形態］
図３は、本実施形態のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスの他の形態を示す断面図である。図３に示すように、この耐食性窒化珪素セラミックス１１は、セラミック基体２上に、中間層１７を介して、表面耐食層６が積層されたものである。中間層１７は、応力緩和層４およびクラック進展防止層５により構成され、これらの各層がこの順にセラミック基体２上に積層されている。すなわち、この耐食性窒化珪素セラミックス１１は、前述した耐食性窒化珪素セラミックス１から、密着促進層３を除いた形態である。これにより、製造工程が簡略化され、コストダウンを図ることができる。
【００４９】
また、この耐食性窒化珪素セラミックス１１は、セラミック基体２、中間層１７および表面耐食層６が前記関係式(II)，(III)を満足している。クラック進展防止層５は、該クラック進展防止層５よりも熱膨張係数の大きな応力緩和層４（熱膨張係数α2）と表面耐食層６（熱膨張係数α4）の間に配置されている。これにより、表面耐食層６にクラックが生じた場合であっても、このクラックがセラミック基体２側に向かって進展するのを防止することができる。他の部位については、図２と同様の構成であるので、同じ符号を付して説明を省略する。
【００５０】
図４は、本実施形態のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスのさらに他の形態を示す断面図である。図４に示すように、この耐食性窒化珪素セラミックス２１は、前述した耐食性窒化珪素セラミックス１との相違点が中間層２７にある。この中間層２７は２層のクラック進展防止層５，５’を含む複数の層からなる。
【００５１】
耐食性窒化珪素セラミックス２１は、セラミック基体２、中間層２７および表面耐食層６が前記関係式(I)〜(III)を満足している。すなわち、クラック進展防止層５は、該クラック進展防止層５よりも熱膨張係数の大きな応力緩和層４（熱膨張係数α2）と応力緩和層４’（熱膨張係数α2）の間に配置されており、クラック進展防止層５’は、該クラック進展防止層５’よりも熱膨張係数の大きな応力緩和層４’（熱膨張係数α2）と表面耐食層６（熱膨張係数α4）の間に配置されている。このように中間層２７には、２層のクラック進展防止層５，５’が含まれているので、より高いクラック進展防止効果を得ることができる。他の部位については、図２と同様の構成であるので、同じ符号を付して説明を省略する。
【００５２】
図５は、本実施形態のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスのさらに他の形態を示す断面図である。図５に示すように、この耐食性窒化珪素セラミックス３１は、中間層３７が２層のクラック進展防止層５，５’を含み、さらに耐食層６’をも含む複数の層からなる。この耐食層６’は、上述した表面耐食層６と同様の成分、すなわち周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とする耐食性に優れた層であり、その熱膨張係数は、表面耐食層６と同程度である。
【００５３】
この耐食性窒化珪素セラミックス３１は、セラミック基体２、中間層３７および表面耐食層６が前記関係式(I)〜(III)を満足している。すなわち、クラック進展防止層５は、該クラック進展防止層５よりも熱膨張係数の大きな応力緩和層４（熱膨張係数α2）と耐食層６’（熱膨張係数α4）の間に配置されており、クラック進展防止層５’は、該クラック進展防止層５’よりも熱膨張係数の大きな耐食層６’（熱膨張係数α4）と表面耐食層６（熱膨張係数α4）の間に配置されている。このように中間層３７には、上記した中間層２７と同様に、２層のクラック進展防止層５，５’が含まれているので、より高いクラック進展防止効果を得ることができる。また、２層の耐食層（表面耐食層６および耐食層６’）が含まれているので、耐食性をさらに向上させることができる。他の部位については、図２と同様の構成であるので、同じ符号を付して説明を省略する。
【００５４】
図６は、本実施形態のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスのさらに他の形態を示す断面図である。図６に示すように、この耐食性窒化珪素セラミックス４１は、前述した耐食性窒化珪素セラミックス１の構成に加えて、さらに、表面耐食層６上にクラック被覆層８が積層された形態を有している。したがって、たとえ表面耐食層６にクラックが生じていても、クラック被覆層８で覆い隠すことができるので、最表面にクラックが露出しない。これにより、外観面における製品価値を高めることができる。
【００５５】
クラック被覆層８は、まず、耐食性に優れていることが重要である。このため、高耐食性の周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを主成分とすることが好ましい。また、セラミック基体２に対して水平方向への結合が弱く、垂直方向への結合が強い構造が好ましい。具体的には、ＥＢ−ＰＶＤ法で形成した柱状結晶からなり、該柱状結晶の長軸がセラミック基体２の表面に略垂直であることが望ましい。また、クラック被覆層８は、表面耐食層６の表面に、スラリーを塗布し乾燥した後、熱処理して形成することもできる。この方法の場合、粒径の大きな周期律表第３ａ族元素で安定化された酸化ジルコニウムを用いることで、水平方向への緻密化は抑制され、垂直方向への緻密化が促進される。他の部位については、図２と同様の構成であるので、同じ符号を付して説明を省略する。
【００５６】
なお、上記実施形態では、中間層７を構成する密着促進層３、応力緩和層４およびクラック進展防止層５の材料として、周期律表第３ａ族元素のダイシリケート結晶を構成成分とする場合について説明したが、本発明の耐食性窒化珪素セラミックスでは、これらの中間層を構成する材料として、例えば周期律表第３ａ族元素のモノシリケート、ムライト、コーディエライトなどを使用することもできる。
【００５７】
また、本発明のガスタービン用セラミック部品における耐食性窒化珪素セラミックスは、中間層に少なくとも１層のクラック進展防止層が含まれていればよく、中間層を構成する各層の成分、層数等は特に限定されるものではない。したがって、中間層が、３層以上のクラック進展防止層を含んでいてもよい。
【００５８】
以上のような構成を有する本発明の耐食性ガスタービン用セラミック部品は、ライナ、トランジションダクト、静翼、動翼およびロータだけでなく、ガスタービンの燃焼ガスと直接接触する他の部位、例えばシュラウド、ロータ軸などにも用いることができる。また、本発明のガスタービン用セラミック部品は、アニュラー型、多管型などの種々のガスタービンに使用することができる。
【実施例】
【００５９】
以下、実施例および比較例を挙げて本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明の耐食性窒化珪素セラミックスは、以下の実施例に限定されるものではない。
【００６０】
［参考例］
（試料No.１〜１９）
以下の手順で、図２に示すような形態の試料No.１〜１９の試験片を作製した。
＜セラミック基体＞
平均粒径０．５μｍの窒化珪素粉末に、焼結助剤として酸化ルテチウム３モル量％と二酸化珪素６モル％を加えて１９００℃で１０時間焼成することにより窒化珪素焼結体（セラミック基体）を得た。ついで、このセラミック基体を縦４ｍｍ、横４０ｍｍ、厚み３ｍｍの形状に加工した。このセラミック基体の熱膨張係数α0は３．５×１０-6／℃であった。
【００６１】
＜密着促進層＞
上記で得られたセラミック基体の熱膨張係数により近いＥｒ2Ｓｉ2Ｏ7、Ｙｂ2Ｓｉ2Ｏ7およびＬｕ2Ｓｉ2Ｏ7のいずれか１種類の粉末からなるスラリーを作製し、このスラリーをスプレーガンでセラミック基体の表面に吹き付けて塗布し、乾燥した後、温度１６５０℃で１時間の熱処理を行って、表１に示す厚みおよび熱膨張係数α1を有する密着促進層を形成した。
【００６２】
＜応力緩和層＞
セラミック基体の熱膨張係数α0と表面耐食層の熱膨張係数α4の中間の熱膨張係数を持つＥｒ2Ｓｉ2Ｏ7、Ｙｂ2Ｓｉ2Ｏ7およびＬｕ2Ｓｉ2Ｏ7のいずれか１種類の粉末と、Ｙで安定化された酸化ジルコニウム粉末の混合粉末からなるスラリーを作製し、このスラリーをスプレーガンで密着促進層の表面に吹き付けて塗布し、乾燥した後、温度１６３０℃で１時間の熱処理を行って、表１に示す厚みおよび熱膨張係数α2を有する応力緩和層を形成した。なお、焼成後の応力緩和層における酸化ジルコニウムとダイシリケートの含有量は、それぞれ酸化ジルコニウムが２０質量％、ダイシリケートが８０質量％であった。
【００６３】
＜クラック進展防止層＞
Ｅｒ2Ｓｉ2Ｏ7、Ｙｂ2Ｓｉ2Ｏ7およびＬｕ2Ｓｉ2Ｏ7のいずれか１種類の粉末からなるスラリーを作製し、このスラリーをスプレーガンで応力緩和層の表面に吹き付けて塗布し、乾燥した後、温度１６００℃で１時間の熱処理を行って、表１に示す厚みおよび熱膨張係数α3を有するクラック進展防止層を形成した。
【００６４】
＜表面耐食層＞
純度９９．９％のジルコニア粉末と、表１に示す安定化剤の粉末とを含有するスラリーを作製し、このスラリーをスプレーガンでクラック進展防止層の表面に吹き付けて塗布し、乾燥した後、温度１６００℃で１時間の熱処理を行って、厚み１５μｍの表面耐食層を形成した。
【００６５】
（試料No.２０，２１）
密着促進層、応力緩和層およびクラック進展防止層の材料であるスラリーに、ムライトまたはコーディエライトの粉末を含有させた他は、上記の試料No.１〜１９と同様にして、セラミック基体を作製し、このセラミック基体上に密着促進層、応力緩和層および表面耐食層を形成し、試料No. ２０，２１の試験片を得た。なお、焼成後の応力緩和層における酸化ジルコニウムとダイシリケートの含有量は、それぞれ酸化ジルコニウムが２０質量％、ダイシリケートが６０質量％であり、ムライトまたはコーディエライトの含有量は２０質量％であった。
【００６６】
（試料No.２５）
密着促進層を設けていない他は、各層を試料No.２と同じ材料で同じ厚みに形成して、図３に示すような形態の試料No.２５の試験片を得た。
【００６７】
（試料No.２６）
図４に示すように、クラック進展防止層５と表面耐食層６との間に、さらに応力緩和層４’およびクラック進展防止層５’を形成した他は、各層を試料No.２と同じ材料で同じ厚みに形成して試料No.２６の試験片を得た。応力緩和層４’は、応力緩和層４と同じ材料で同じ厚みに形成し、クラック進展防止層５’は、クラック進展防止層５と同じ材料で同じ厚みに形成した。
【００６８】
（試料No.２７）
図５に示すように、クラック進展防止層５と表面耐食層６との間に、さらに耐食層６’およびクラック進展防止層５’を形成した他は、各層を試料No.２と同じ材料で同じ厚みに形成して試料No.２７の試験片を得た。耐食層６’は、表面耐食層６と同じ材料で同じ厚みに形成し、クラック進展防止層５’は、クラック進展防止層５と同じ材料で同じ厚みに形成した。
【００６９】
（試料No.２８）
図６に示すように、表面耐食層６の表面にクラック被覆層８を形成した他は、各層を試料No.２と同じ材料で同じ厚みに形成して試料No.２８の試験片を得た。クラック被覆層８は、表２に示す材料を用い、ＥＢ−ＰＶＤ法で形成した柱状結晶からなり、該柱状結晶の長軸がセラミック基体２の表面に略垂直であった。
【００７０】
（試料No.２２〜２４）
クラック進展防止層を形成していない他は、上記の試料No.１〜１９と同様にして、セラミック基体を作製し、このセラミック基体上に密着促進層、応力緩和層および表面耐食層を形成し、試料No.２２〜２４の試験片を得た。
【００７１】
＜評価＞
得られた試料No.１〜２８の試験片を用いて熱衝撃性試験を行った。熱衝撃性試験は、１３００℃までの昇温と３００℃までの降温を繰り返す熱サイクル試験を１０００サイクル行い、表面耐食層に剥離が見られるか否かを顕微鏡を用いて観察した。剥離の観察は１００サイクル毎に実施した。結果を表１に示す。
【００７２】
なお、各層の熱膨張係数は、各層と同組成の焼結体を作製し、この焼結体の熱膨張係数をＴＭＡ法（ＪＩＳ Ｒ １６１８）を用いて４０〜１２００℃の温度範囲で測定することにより得た。気孔率は、各試料の断面を鏡面仕上げし、この断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察して得られた画像中のボイドを画像処理して定量化することにより得た。結晶の形状は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）観察により評価した。また、表１中の「ＭＵ」はムライト、「ＣＪ」はコーディエライト、「柱状」は柱状結晶をそれぞれ示し、「垂直」は、結晶の長軸がセラミック基体表面に略垂直であることを示す。
【表１】
2006124226.tif 000008
【表２】
2006124226.tif 000009
【００７３】
表１から、クラック進展防止層を有していない試料No.２２〜２４では、２００回以下の熱衝撃試験で被覆層に剥離が生じたことがわかる。一方、本発明の範囲内である試料No.１〜２１およびNo.２５〜２８では、No.２２〜２４と比較して、格段に耐熱衝撃性が向上していることがわかる。特に、各層の膜厚が１０〜１００μｍの範囲にある試料No.１〜１４，１６，１７，２０，２１，２５〜２８では、１０００サイクルの熱衝撃試験後も、セラミック基体からの被覆層の剥離が無く、熱サイクル等の耐熱衝撃性に極めて優れていることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の一実施形態にかかるガスタービン用セラミック部品を用いたガスタービンを示す概略断面図である。
【図２】本発明のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスを示す断面図である。
【図３】本発明のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスの他の形態を示す断面図である。
【図４】本発明のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスのさらに他の形態を示す断面図である。
【図５】本発明のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスのさらに他の形態を示す断面図である。
【図６】本発明のガスタービン用セラミック部品を構成する耐食性窒化珪素セラミックスのさらに他の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７５】
１  耐食性窒化珪素セラミックス
２  セラミック基体
３  密着促進層
４  応力緩和層
５  クラック進展防止層
６  表面耐食層
７  中間層
８  クラック被覆層
５０  圧縮機
５１  圧縮機ロータ
５２  動翼
５３  ハウジング
５４  静翼
５５  吸気筒
６０  燃焼器
６１  燃焼器ライナ
６２  燃料ノズル
６３  トランジションダクト
７０  タービン
７１  タービンロータ
７２  タービン動翼
７３  ハウジング
７４  タービン静翼
８１  ハウジング
８２  排気筒
８３，８４  回転軸
【図１】
2006124226.tif 000014
【図２】
2006124226.tif 000015
【図３】
2006124226.tif 000016
【図４】
2006124226.tif 000017
【図５】
2006124226.tif 000018
【図６】
2006124226.tif 000019