(57)【要約】【課題】  導電性接着剤の量を増やさずに、落下に対する耐衝撃性を向上させ、優れた振動特性を有する圧電デバイスを提供すること。【解決手段】  矩形状の圧電素子２６から形成された例えばＡＴカット振動片などの圧電振動片２０と、この圧電振動片２０を内側に収容するようにしたパッケージ３０とを備える圧電デバイスであって、圧電振動片２０は、一端側２０ｂが導電性接着剤４０で接合されており、他端側２０ａの端面２５がパッケージ３０の内壁３２ａに突き当てられている。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の圧電素子から形成された圧電振動片と、この圧電振動片を内側に収容するようにしたパッケージとを備える圧電デバイスであって、
前記圧電振動片は、一端側が導電性接着剤で前記パッケージに接合されており、他端側の端面が前記パッケージの内壁に突き当てられている
ことを特徴とする圧電デバイス。
【請求項２】
前記圧電振動片は、前記導電性接着剤で前記パッケージに接合されている前記一端側の端面が、前記パッケージの内壁に突き当てられていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記圧電振動片は、前記一端側の端面と直交する方向に沿った端面が、前記パッケージの内壁に突き当てられていることを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記パッケージの内壁には凹部が形成されており、この凹部内に前記圧電振動片の前記他端側が嵌入されていることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電デバイス。
【請求項５】
前記パッケージの内壁には、その内壁よりも柔軟性のある緩衝材が設けられており、この緩衝材に前記圧電振動片の前記他端側の端面が突き当てられていることを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電デバイス。
【請求項６】
前記緩衝材は、熱可塑性の樹脂であることを特徴とする、請求項５に記載の圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片を利用した圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は、従来の圧電デバイスとしての圧電振動子の構成例を示す概略断面図である。
この図において、圧電デバイス１は、パッケージ２内にＡＴカット振動片３を収容するようになっている。
パッケージ２は、内部空間に露出した内側底面２ａに、実装端子（図示せず）と導通した電極部４を有している。
また、ＡＴカット振動片３は矩形状の圧電素子から形成されており、長手方向の一端側３ａが、パッケージ内の電極部４と、例えばシリコーン系の導電性接着剤７を用いて電気的機械的に接合されている。
【０００３】
ここで、圧電デバイス１を搭載した電子機器が、図８において＋ｚ方向または−ｚ方向に落下すると、圧電デバイス１は、その落下時の衝撃により、ＡＴカット振動片３の他端側３ｂがパッケージ２の内側底面２ａに衝突して欠け等が生じ、ＡＴカット振動片３の振動特性に悪影響を及ぼす場合がある。
そして、このような落下による振動特性への悪影響を防止するためには、導電性接着剤７の量を増やして接合強度を上げればよいが、導電性接着剤７の量を増やすと、導電性接着剤７から発生するガスがＡＴカット振動片３に付着し、ＡＴカット振動片３の振動性能に悪影響を及ぼしてしまう。
また、導電性接着剤７の材質を、例えばエポキシ系等の硬質なものにすることにより機械的結合強度を上げることも考えられるが、硬質の導電性接着剤７は、例えば乾燥時の収縮によりＡＴカット振動片３に反りを生じさせるなどして、振動性能に悪影響を及ぼしてしまう。
【０００４】
このため、従来の圧電デバイス１では、図８に示すように、パッケージ２の内側底面２ａに枕部５を設け、圧電デバイス１が落下した際にＡＴカット振動片３の他端側３ｂがパッケージの内側底面２ａに衝突することを防止し、圧電デバイス１の落下時の耐衝撃性を高めるようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１０２８９０公報（図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、近年において、圧電デバイス１は、例えば携帯電話やＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）などの小型の情報機器に搭載されるようになっており、特にこのような小型の情報機器では、図８の＋ｚ方向または−ｚ方向だけに落下するものではなく、図８の＋ｘ方向または−ｘ方向にも落下する。そして、＋ｘ方向または−ｘ方向に落下すると、ＡＴカット振動片３は、衝撃により＋ｘ側または−ｘ側にズレて、ＡＴカット振動片３と導電性接着剤７との間の電気的機械的な接続強度が弱まり、振動特性に悪影響を及ぼす恐れが生じる。
【０００７】
本発明は、導電性接着剤の量を増やさずに、落下に対する耐衝撃性を向上させ、優れた振動特性を有する圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的は、第１の発明によれば、矩形状の圧電素子から形成された圧電振動片と、この圧電振動片を内側に収容するようにしたパッケージとを備える圧電デバイスであって、前記圧電振動片は、一端側が導電性接着剤で前記パッケージに接合されており、他端側の端面が前記パッケージの内壁に突き当てられている圧電デバイスにより達成される。
【０００９】
第１の発明の構成によれば、圧電振動片は、一端側が導電性接着剤でパッケージに接合されており、他端側の端面がパッケージの内壁に突き当てられている。このため、圧電振動片が落下の衝撃により他端側に動こうとした場合であっても、パッケージの内壁がその動きを規制して、圧電振動片の他端側へのズレを防止する。
したがって、本発明によれば、導電性接着剤の量を増やさずに、落下に対する耐衝撃性を向上させ、優れた振動特性を有する圧電デバイスを提供することができる。
なお、本発明における上述および後述の端面とは、特にことわりがない限り主面とは異なる側面の端面を表すものである。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記圧電振動片は、前記導電性接着剤で前記パッケージに接合されている前記一端側の端面が、前記パッケージの内壁に突き当てられていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、圧電振動片は、導電性接着剤でパッケージに接合されている一端側の端面がパッケージの内壁に突き当てられている。このため、圧電振動片が落下の衝撃により一端側に動こうとしても、パッケージの内壁がその動きを規制して、圧電振動片の一端側へのズレを防止する。また、第１の発明に比べて、一端側へのズレも防止するため、その分、導電性接着剤の量を減らすことができる。
【００１１】
第３の発明は、第１または第２の発明のいずれかの構成において、前記圧電振動片は、前記一端側の端面と直交する方向に沿った端面が、前記パッケージの内壁に突き当てられていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、圧電振動片は、一端側の端面と直交する方向に沿った端面が、パッケージの内壁に突き当てられている。このため、圧電振動片が、落下の衝撃により、一端側の端面に沿った方向に動こうとしても、一端側の端面と直交する方向に沿った端面がパッケージの内壁に押さえつけられ、圧電振動片の一端側の端面に沿った方向のズレを防止する。また、第１および第２の発明に比べて、一端側の端面に沿った方向のズレも防止するため、その分、導電性接着剤の量を減らすことができる。
【００１２】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記パッケージの内壁には凹部が形成されており、この凹部内に前記圧電振動片の前記他端側が嵌入されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、パッケージはその内壁に凹部を有し、この凹部内に圧電振動片の他端側が嵌入されている。そうすると、圧電振動片が落下の衝撃により厚み方向及び幅方向に動こうとしても、凹部の内面と圧電振動片の他端側の表面とが当接して、圧電振動片の厚み方向及び幅方向へのズレを防止する。また、第１および第２の発明に比べて、或いは第３の発明よりさらに、厚み方向及び幅方向へのズレを防止するため、その分、導電性接着剤の量を減らすことができる。
【００１３】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記パッケージの内壁には、その内壁よりも柔軟性のある緩衝材が設けられており、この緩衝材に前記圧電振動片の前記他端側の端面が突き当てられていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、パッケージの内壁には、その内壁よりも柔軟性のある緩衝材が設けられており、この緩衝材に圧電振動片の他端側の端面が突き当てられている。このため、圧電振動片とパッケージとの間における振動あるいは衝撃の伝達を緩衝材が吸収し、いわゆる振動漏れや圧電振動片の割れや欠けを防止できる。
【００１４】
第６の発明は、第５の発明の構成において、前記緩衝材は、熱可塑性の樹脂であることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、緩衝材は熱可塑性の樹脂であるので、例えば圧電振動片をマウントする際にパッケージ内を加熱した場合であっても、緩衝材から発生するガスが少なく、緩衝材が用いられたことによる振動特性への悪影響を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１および図２は、本発明の第１の実施形態に係る圧電デバイス１０を示しており、図１はその概略斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線概略切断断面図である。なお、図２では、図面が複雑になることを避けるため、後述する励振電極や引出し電極を図示していない。
これらの図において、圧電デバイス１０は、圧電振動子を構成した例を示しており、圧電デバイス１０は、パッケージ３０の内側に、圧電振動片として例えばＡＴカット振動片２０を収容している。
【００１６】
パッケージ３０は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される複数の基板を積層した後に、焼結して形成されている。すなわち、この実施形態では、パッケージ３０は、下から第１の基板３１、第２の基板３２を重ねて形成されている。
【００１７】
第２の基板３２は、図２に示すように、その内側に所定の孔を形成することで、第１の基板３１に積層した場合に、パッケージ３０の内側に所定の内部空間Ｓを形成するようにされている。また、第２の基板３２の上端面、すなわちパッケージ３０の上方に開放された開放端面には、例えば、低融点ガラス等のロウ材４４を介して、蓋体４６が接合されることにより、封止されている。
【００１８】
第１の基板３１の内部空間Ｓに露出した面には、スルーホール（図示せず）等を通じて実装端子部４３，４３と電気的に接続されたマウント電極４２，４２が設けられている。
このマウント電極４２，４２は、図２における左端部付近であって、図１に示すように圧電デバイス１０の幅方向の両端に、例えば、金または金合金により形成され、マウント電極４２，４２の上には、導電性接着剤４０，４０が塗布されている。
【００１９】
そして、導電性接着剤４０，４０の上に、ＡＴカット振動片２０の一端側２０ｂの両端にある引出し電極５４，５４が載置されて、導電性接着剤４０，４０が硬化されることによりＡＴカット振動片２０とパッケージ３０とが接合されている。
具体的には、導電性接着剤４０，４０は、ＡＴカット振動片２０が一端側２０ｂへズレないように、すなわち図１における−Ｘ側へ動いてしまわないように、ＡＴカット振動片２０の一端側２０ｂの端面（長手方向の端面のうち、一端側２０ｂの端面）２２まで盛り上がって付着するようになっている。
また、導電性接着剤４０，４０は、幅方向にズレないように、すなわち図１における＋Ｙ及び−Ｙ側に動いてしまわないように、一端側２０ｂの端面２２と直交する２つの端面（短手方向の２つの端面）２３，２４にも盛り上がって付着するようになっている。
【００２０】
また、導電性接着剤４０，４０には、エポキシ系またはポリイミド系、またはシリコーン系等の接着剤を用いることができるが、本実施形態では、エポキシ系の導電性接着剤等よりも柔軟性を有し、乾燥によって収縮してＡＴカット振動片２０に反りを生じさせることの少ないシリコーン系の導電性接着剤を使用している。
【００２１】
ＡＴカット振動片２０は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電素子２６を利用することができる。本実施形態において、ＡＴカット振動片２０は、厚みすべり振動するように切り出された厚みの薄い水晶ウエハを、矩形状にカットして形成された圧電素子２６が用いられている。
【００２２】
そして、この矩形状の圧電素子２６の表面に、励振電極５２と、この励振電極５２に駆動電圧を伝えるための引出し電極５４とが形成されている。
励振電極５２は、圧電素子２６を効率よく振動させるために、主面に設けられた電極であり、例えば、クロムスパッタ膜上に金スパッタ膜を施した金属膜で、上下面に設けられている。なお、作図上の便宜のため、下面の励振電極５２を図示していない。
【００２３】
引出し電極５４は、励振電極５２と同様の金属膜で、励振電極５２と一体に形成され、励振電極５２に駆動電圧を供給するための電極である。すなわち、本実施形態では、引出し電極５４は、圧電素子２６の上下面および端面２２，２３，２４に付着するようにして、一端側２０ｂの両端に形成されて、互いに異極となっており、一方の引出し電極５４ａが上面の励振電極５２と電気的に接続され、他方の引出し電極５４ｂが図示しない下面の励振電極と電気的に接続されている。
そして、この両端に形成された引出し電極５４ａ，５４ｂが、上述したように、パッケージ側のマウント電極４２，４２と導電性接着剤４０，４０が適用されて電気的機械的に接合されている。
【００２４】
ここで、ＡＴカット振動片２０は、導電性接着剤４０，４０でパッケージ３０に接合されている一端側２０ｂとは反対側の他端側２０ａにおける端面２５が、パッケージ３０の内壁３２ａに突き当てられている。
すなわち、ＡＴカット振動片２０は、引出し電極５４が設けられていない自由端側の端面２５が、第２の基板３２の内部空間Ｓに露出した壁面に、当接するようにしてマウントされている。
【００２５】
なお、ＡＴカット振動片２０の他端側２０ａの端面２５は、その端面２５全体が内壁３２ａに突き当てられている必要はなく、端面２５の一部分が内壁３２ａに突き当てられるようになっていてもよい。
また、勿論、従来の圧電振動子を図示した図８に示すように、パッケージ３０の内側底面に枕部を設けるようにしてもよい。
【００２６】
本実施形態の圧電デバイス１０は以上のように構成され、ＡＴカット振動片２０は、一端側２０ｂとは反対側の他端側２０ａの端面２５が、パッケージ３０の内壁３２ａに突き当てられている。このため、ＡＴカット振動片２０が落下の衝撃により他端側（図１の＋Ｘ側）に動こうとした場合であっても、パッケージの内壁３２ａが他端側２０ａの端面２５を押さえつけ、ＡＴカット振動片２０の他端側２０ａへのズレを防止する。
さらに、本実施形態では、導電性接着剤４０，４０は、ＡＴカット振動片２０の一端側２０ｂ（図１の−Ｘ側）へズレないように一端側２０ｂの端面２２に付着し、さらに、幅方向（図１の＋Ｙ側および−Ｙ側）にズレないように一端側２０ｂの端面２２と直交する２つの端面２３，２４にも付着するようになっている。したがって、ＡＴカット振動片２０は、＋Ｘ側、−Ｘ側、＋Ｙ側、−Ｙ側である水平方向について、落下による衝撃で動かないように規制されている。
【００２７】
図３は、第１の実施形態の第１の変形例に係る圧電デバイス１２の概略縦断面図であって、図２に対応している。
この図において、上述した圧電デバイス１０の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この圧電デバイス１２が第１の実施形態の圧電デバイス１０と異なるのは、ＡＴカット振動片２０は、導電性接着剤４０でパッケージ３０に接合されている一端側２０ｂの端面２２が、パッケージ３０の内壁３２ａに突き当てられている点である。
【００２８】
すなわち、本変形例に係る圧電デバイス１２では、ＡＴカット振動片２０の他端側２０ａの端面２５のみならず、この端面２５と反対側の一端側２０ｂの端面２２もパッケージ３０の内壁３２ａに突き当てられるようにしてマウントされている。
そして、導電性接着剤４０は、図１と同様に、ＡＴカット振動片２０の下面や、端面２２と直交する方向に沿った端面２３，２４（図１参照）に付着されているが、ＡＴカット振動片２０の一端側２０ｂの端面２２には付着するようになってはいない。
【００２９】
本第１の実施形態の第１の変形例は以上のように構成されており、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮し、さらに、ＡＴカット振動片２０は、導電性接着剤４０で接合されている一端側２０ｂの端面２２が、内壁３２ａに突き当てられている。
このため、ＡＴカット振動片２０が落下の衝撃により一端側２０ｂ（図３の−Ｘ側）に動こうとしても、内壁３２ａがその動きを規制し、第１の実施形態に比べてより耐衝撃性に強い圧電デバイスを提供することができる。
また、第１の発明のように導電性接着剤４０を一端側２０ｂの端面２２に付着しなくても、図３の−Ｘ側へのズレを防止できるため、第１の発明に比べて、導電性接着剤４０の量を減らすことができる。
なお、ＡＴカット振動片２０の各端面２２，２５は、その全体が内壁３２ａに突き当てられている必要はなく、各端面２２，２５の一部分が内壁３２ａに突き当てられるようになっていてもよい。
【００３０】
図４は、第１の実施形態及びその第１の変形例についての、さらなる変形例に係る圧電デバイス１４の概略平面図である。
この図において、上述した圧電デバイス１０，１２の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この圧電デバイス１４が、上述した圧電デバイス１０，１２と異なるのは、ＡＴカット振動片２０は、一端側２０ｂの端面２２と直交する方向に沿った端面２３，２４が、パッケージ３０の内壁３２ａに突き当てられている点である。
【００３１】
すなわち、本変形例に係る圧電デバイス１４のＡＴカット振動片２０は、一端側２０ｂの端面２２や他端側２０ａの端面２５（長手方向の端面）のみならず、これらの端面と直交する２つの端面２３，２４（短手方向の端面）もパッケージ３０の内壁３２ａに突き当てられて、パッケージ３０の内面に嵌入されるようになっている。
そして、導電性接着剤４０は、図１と同様にＡＴカット振動片２０の下面に付着しているが、図１とは異なり、ＡＴカット振動片２０の端面２２，２３，２４には付着するようになってはいない。
【００３２】
本発明の第１の実施形態及びその第１の変形例についての、さらなる変形例は以上のように構成されており、このため、第１の実施形態及びその第１の変形例と同様に、ＡＴカット振動片２０のＸ方向のズレを防止する等の作用効果を発揮する。
さらに、ＡＴカット振動片２０は、一端側２０ｂの端面２２と直交する方向に沿った端面２３，２４が、内壁３２ａに突き当てられている。
したがって、ＡＴカット振動片２０が、落下の衝撃により、一端側の端面２２に沿った方向（図４のＹ方向）に動こうとしても、内壁３２ａがその動きを規制し、第１の実施形態に比べてより耐衝撃性に強い圧電デバイスを提供することができる。
また、第１の変形例のように、導電性接着剤４０をＡＴカット振動片２０の端面２３，２４に付着させなくても、図４のＹ方向のズレを防止できるため、第１の変形例に比べて、導電性接着剤４０の量を減らすことができる。
なお、ＡＴカット振動片２０の各端面２２，２３，２４，２５は、その全体が内壁３２ａに突き当てられている必要はなく、各端面２２，２３，２４，２５の一部分が内壁３２ａに突き当てられるようになっていてもよい。
【００３３】
図５および図６は、本発明の第２の実施形態に係る圧電デバイス１６であって、図５は圧電デバイス１６の図２に対応した概略縦断面図、図６は図５のＢ−Ｂ線の位置で切断した場合の概略横断面図である。
これらの図において、上述した圧電デバイス１０の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この圧電デバイス１６が、第１の実施形態に係る圧電デバイス１０と異なるのは、パッケージ３０の内壁３２ａには凹部３５が形成されており、この凹部３５内にＡＴカット振動片２０の他端側２０ａが嵌入されている点である。
【００３４】
具体的には、圧電デバイス１６のパッケージ３０は、図５に示すように、複数の基板３２−１，３２−２，３２−３を積層するようにして第２の基板３２が形成されており、ＡＴカット振動片２０の高さと同じ高さに配置された基板３２−２の厚みは、ＡＴカット振動片２０の厚みと略同様とされている。そして、基板３２−２は、内部空間Ｓに露出した壁面であって、ＡＴカット振動片２０の他端側２０ａの端面２５と対向する領域に、凹部３５を有している。
なお、本実施形態のパッケージ３０は、複数の基板を積層することで凹部３５を形成しているが、このような態様に限らず、例えば樹脂を成形型内に射出して凹部３５を有するパッケージ３０を形成するようにしてもよい。
【００３５】
そして、ＡＴカット振動片２０の他端側２０ａの先端部（厚みすべり振動に関与しない部分）が、この凹部３５に嵌入されて、凹部３５の内面と他端側２０ａの先端部の表面とが接触するようになっている。すなわち、ＡＴカット振動片２０の他端側２０ａの先端部は、図５に示すように、その主面である上下面が凹部３５の内面に接触し、また、図６に示すように、他端側２０ａの幅方向の端面２３，２４が凹部３５の内面に接触している。
【００３６】
本第２の実施形態に係る圧電デバイス１６は以上のように構成されており、第１の実施形態に係る圧電デバイス１０と同様に、ＡＴカット振動片２０のＸ方向の動きを規制できるなどの作用効果を発揮する。
さらに、パッケージ３０の内壁の凹部３５内にＡＴカット振動片２０の他端側２０ａが嵌入されているため、ＡＴカット振動片２０が落下の衝撃により厚み方向（図５のＺ方向）及び幅方向（図６のＹ方向）に動こうとしても、凹部３５の内面とＡＴカット振動片の他端側２０ａの上下面および端面２３，２４とが当接して、ＡＴカット振動片２０の厚み方向及び幅方向へのズレを防止する。
また、本第２の実施形態では、導電性接着剤４０の量や配置を工夫せずに、ＡＴカット振動片２０の厚み方向及び幅方向へのズレを防止できるため、第１の実施形態に比べて、導電性接着剤４０の量を減らすことができる。
【００３７】
図７は、本発明の第３の実施形態に係る圧電デバイス１８の図２に対応した概略縦断面図である。
この図において、上述した圧電デバイス１０の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この圧電デバイス１８が、第１の実施形態に係る圧電デバイス１０と異なるのは、ＡＴカット振動片２０の端面が、直接には前記パッケージの内壁に接していない点である。
【００３８】
すなわち、第３の実施形態に係る圧電デバイス１８については、パッケージ３０の内壁３２ａには、その内壁３２ａよりも柔軟性のある緩衝材６０が設けられている。
この緩衝材６０は、ＡＴカット振動片２０とパッケージ３０との間における、相互の振動あるいは衝撃の伝達を抑制するための部材であり、緩衝材６０にＡＴカット振動片２０の他端側２０ａの端面２５が突き当てられている。
【００３９】
具体的には、パッケージ３０の第２の基板３２は、複数の基板３２−１，３２−２，３２−３を積層して形成されており、ＡＴカット振動片２０の端面２５と対向する基板３２−２の内壁に孔６２が形成されている。そして、この孔６２内に、ＡＴカット振動片２０の厚みより大きな高さを有する緩衝材６０が配置され、この緩衝材６０の表面にＡＴカット振動片２０の他端側２０ａの端面２５が突き当てられるようになっている。
【００４０】
また、緩衝材６０は、少なくともパッケージ３０の内壁３２ａよりも柔軟性があればよく、本実施形態の場合は、パッケージ３０を形成するセラミックよりも柔軟性の高いエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂等の樹脂、或いは合成ゴム等が利用できる。
また、本実施形態における緩衝材６０は、例えば、ＡＴカット振動片２０のマウント時に導電性接着剤４０を加熱するなど、圧電デバイス１８を製造する際に高温下にさらされるため、高温下においてもガスの発生が少ないシリコーン系樹脂などの熱可塑性樹脂を使用している。
【００４１】
本発明の第３の実施形態に係る圧電デバイス１８は以上のように構成されており、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮し、さらに、パッケージの内壁３２ａには、その内壁３２ａよりも柔軟性のある緩衝材６０が設けられており、この緩衝材６０にＡＴカット振動片２０の端面２５が突き当てられている。
このため、ＡＴカット振動片２０の振動がパッケージ３０側に伝達しようとしても、その振動を緩衝材６０が吸収して、パッケージ３０側への振動漏れを有効に防止する。したがて、ＡＴカット振動片２０のＣＩ値（クリスタルインピーダンス値）が高まることを有効に防止するなどして、優れた振動特性を得ることができる。また、圧電デバイス１８の落下時の衝撃が強い場合であっても、パッケージ３０を通じてＡＴカット振動片２０に与える衝撃を緩衝材６０が吸収し、ＡＴカット振動片２０に生じる割れや欠けを防止できる。
さらに、本第３の実施形態の緩衝材６０は熱可塑性の樹脂であるので、緩衝材６０が高温下にさらされた場合であっても、熱硬化性樹脂等に比べてガスの発生が少なく、緩衝材６０が用いられたことによる振動特性への悪影響を防止できる。
【００４２】
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
例えば、上述した圧電デバイス１０，１２，１４，１６，１８は圧電振動子に限らず、圧電振動子にＩＣ（発振回路素子）を電気的に接続した圧電発振器などであってもよい。
また、第２の実施形態と第３の実施形態とを組み合わせ、図５の凹部３５の中に、凹部３５から飛び出さないようにして緩衝材６０を配置し、この緩衝材６０に端面２５が突き当てられるようにして、他端側２０ａを凹部３５に嵌入するようにしてもよい。
また、第１の実施形態およびその変形例を実施する場合、第３の実施形態のように、端面２２，２３，２４と内壁３２ａとの間に、緩衝材６０を介在させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る圧電デバイスの概略斜視図。
【図２】図１のＡ−Ａ線概略切断断面図。
【図３】第１の実施形態の第１の変形例に係る圧電デバイスの概略縦断面図。
【図４】第１の実施形態及びその第１の変形例についての、さらなる変形例に係る圧電デバイスの概略平面図。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る圧電デバイスの概略縦断面図。
【図６】図５のＢ−Ｂ線の位置で切断した場合の概略横断面図。
【図７】本発明の第３の実施形態に係る圧電デバイスの概略縦断面図。
【図８】従来の圧電デバイスとしての圧電振動子の構成例を示す概略断面図。
【符号の説明】
【００４４】
１０，１２，１４，１６，１８・・・圧電デバイス、２０・・・圧電振動片（ＡＴカット振動片）、２０ｂ・・・一端側、２０ａ・・・他端側、２２，２３，２４，２５・・・端面、２６・・・圧電素子、３０・・・パッケージ、３２ａ・・・内壁、３５・・・凹部、４０・・・導電性接着剤、６０・・・緩衝材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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