(57)【要約】【課題】  薄板状部品の板厚が厚くても、開口の小さい孔を貫通加工でき、積層時に流体漏れ等の不具合を引き起こす心配のない薄板状部品の積層構造の提供を目的とするものである。【解決手段】  貫通孔が形成された薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品が積層され、前記貫通孔により流体用の流路が構成される積層構造において、貫通孔としての接続孔３７は、薄板状部品としてのベースプレート１６の少なくとも一方面にあらかじめハーフエッチングにより形成された凹部５０と、その凹部５０の底面にプレス加工により貫通形成された開口５１とを有する。これにより、薄板状部品の板厚に対して開口径の小さい貫通孔を穿設できるとともに、開口５１のバリ５３が、積層不良を引き起こすことを防止できる。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔が形成された薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品が積層され、前記貫通孔により流体用の流路が構成される積層構造において、
前記貫通孔は、薄板状部品の少なくとも一方面に、あらかじめハーフエッチングにより形成された凹部と、その凹部の底面にプレス加工により貫通形成された開口とを有することを特徴とする薄板状部品の積層構造。
【請求項２】
前記開口は、前記ハーフエッチングの凹部の底面に、その凹部の直径よりも小さい開口で薄板状部品の板厚方向に加工されることを特徴とする請求項１に記載の薄板状部品の積層構造。
【請求項３】
前記貫通孔は、薄膜状部品の両面の対応する位置に、あらかじめ各々形成されたハーフエッチングの凹部と、両凹部の底面に両凹部を連通させるように穿設された開口とを有することを特徴とする請求項１または２に記載の薄板状部品の積層構造。
【請求項４】
前記貫通孔は、薄板状部品の一方面にあらかじめ形成されたハーフエッチングの凹部と、その凹部の底面に、前記薄板状部品の他方面側からのプレスで穿設された開口とを有することを特徴とする請求項１または２に記載の薄板状部品の積層構造。
【請求項５】
前記貫通孔は、薄板状部品の一方面にあらかじめ形成されたハーフエッチングの凹部と、その凹部の底面に、前記一方面側からのプレスで穿設された開口とからなり、前記薄板状部品の他方面側に積層される薄板状部品には、前記貫通孔に対応する位置に、当該貫通孔の開口よりも大きい流路パターンが配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の薄板状部品の積層構造。
【請求項６】
前記薄板状部品は、複数のノズルを備えるインクジェットヘッド用のプレートであり、前記流路は、インク供給源からのインクを各ノズルに供給するためのインク流通路であることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の薄板状部品の積層構造。
【請求項７】
貫通孔を有する薄板状部品を含む複数の薄板状部品を積層し、前記貫通孔により流体用の流路を構成する積層構造の製造方法において、
薄板状部品の少なくとも一方面に、あらかじめハーフエッチングにより凹部を形成し、その凹部の底面にプレス加工により開口を貫通形成して前記凹部と開口とにより前記貫通孔を構成することを特徴とする薄板状部品の積層構造の製造方法。
【請求項８】
前記開口は、前記ハーフエッチングの凹部の底面に、その凹部の直径よりも小さい開口で薄板状部品の板厚方向に加工することを特徴とする請求項７に記載の薄板状部品の積層構造の製造方法。
【請求項９】
前記凹部は前記薄板状部品の両面の対応する位置に、前記ハーフエッチングにより形成し、その両凹部の底面に、両凹部を連通させるように前記開口を穿設することを特徴とする請求項７または８に記載の薄板状部品の積層構造の製造方法。
【請求項１０】
前記凹部は前記薄板状部品の一方面に、前記ハーフエッチングにより形成し、前記開口は、前記薄板状部品の他方面側から、前記凹部の底面に対応する位置に穿設することを特徴とする請求項７または８に記載の薄板状部品の積層構造の製造方法。
【請求項１１】
前記凹部は前記薄板状部品の一方面に、前記ハーフエッチングにより形成し、前記開口は、前記凹部の底面に前記一方面側から穿設し、
前記薄板状部品の他方面側に、前記貫通孔と対応する位置に当該貫通孔の前記開口よりも大きい流路パターンを形成した薄板状部品を積層することを特徴とする請求項７または８に記載の薄板状部品の積層構造の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚の薄板状部品を積層状に固定する構造及びその製造方法に関し、例えば、インクジェットヘッド等の積層体に適用されるものである。
【背景技術】
【０００２】
薄板状部品の積層構造としては、例えば、特許文献１に記載にされているような、インクジェットヘッドのキャビティユニットが知られている。キャビティユニットは、その背面に圧電アクチュエータが接合され、圧電アクチュエータの駆動により、キャビティユニットに設けられたノズルから選択的にインクを吐出して被記録媒体に画像を記録する。
【０００３】
このキャビティユニットは、ノズルを列状に穿設されたノズルプレートと、この各ノズル毎の圧力室を備えたキャビティプレートと、これら両プレート間にあってインクを圧力室に分配してノズルに供給するためのインク流通路が形成された複数枚のプレートとを備えており、これらが接着剤を介して積層形成されている。そして、前記インク流通路として、各プレートにはその板厚方向に大小の貫通孔が穿設されている。
【特許文献１】特開２００４−２２３８８０号公報（図３、図４及び図５参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、貫通孔をウエットエッチングで加工する場合には、貫通加工できる孔の開口径がプレートの板厚寸法によって制限され、一般的には、板厚寸法の１．５倍程度が貫通孔の開口径の下限となっている。そのため、小さい開口径の貫通孔を穿設しようとすると、プレートの板厚を薄くする必要があり、プレートの剛性を確保したい場合や、プレートに形成されるインク流通路の容積を大きくしたい場合に問題であった。
【０００５】
また、開口径の小さい貫通孔を穿設する他の方法としては、プレス加工も挙げられるが、プレス加工では開口の周囲にせん断によるダレ（変形）やバリ（突起）を発生する。プレス加工による貫通孔が穿設されたプレートを他のプレートに積層する場合には、前記バリがプレート間の密着を妨げるため、接着不良や流体漏れを招来することが問題であった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解消するものであり、薄板状部品の板厚が厚くても、開口の小さい孔を貫通加工でき、積層時に流体漏れ等の不具合を引き起こす心配のない薄板状部品の積層構造及びその製造方法の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明における薄板状部品の積層構造では、貫通孔が形成された薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品が積層され、前記貫通孔により流体用の流路が構成される積層構造において、前記貫通孔は、薄板状部品の少なくとも一方面に、あらかじめハーフエッチングにより形成された凹部と、その凹部の底面にプレス加工により貫通形成された開口とを有することを特徴とするものである。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の薄板状部品の積層構造において、前記開口は、前記ハーフエッチングの凹部の底面に、その凹部の直径よりも小さい開口で薄板状部品の板厚方向に加工されることを特徴とするものである。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の薄板状部品の積層構造において、前記貫通孔は、薄膜状部品の両面の対応する位置に、あらかじめ各々形成されたハーフエッチングの凹部と、両凹部の底面に両凹部を連通させるように穿設された開口とを有することを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１または２に記載の薄板状部品の積層構造において、前記貫通孔は、薄板状部品の一方面にあらかじめ形成されたハーフエッチングの凹部と、その凹部の底面に、前記薄板状部品の他方面側からのプレスで穿設された開口とを有することを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１または２に記載の薄板状部品の積層構造において、前記貫通孔は、薄板状部品の一方面にあらかじめ形成されたハーフエッチングの凹部と、その凹部の底面に、前記一方面側からのプレスで穿設された開口とからなり、前記薄板状部品の他方面側に積層される薄板状部品には、前記貫通孔に対応する位置に、当該貫通孔の開口よりも大きい流路パターンが配置されることを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれかに記載の薄板状部品の積層構造において、前記薄板状部品は、複数のノズルを備えるインクジェットヘッド用のプレートであり、前記流路は、インク供給源からのインクを各ノズルに供給するためのインク流通路であることを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項７に記載の発明における薄板状部品の積層構造の製造方法は、貫通孔を有する薄板状部品を含む複数の薄板状部品を積層し、前記貫通孔により流体用の流路を構成する積層構造の製造方法において、薄板状部品の少なくとも一方面に、あらかじめハーフエッチングにより凹部を形成し、その凹部の底面にプレス加工により開口を貫通形成して前記凹部と開口とにより前記貫通孔を構成することを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の薄板状部品の積層構造の製造方法において、前記開口は、前記ハーフエッチングの凹部の底面に、その凹部の直径よりも小さい開口で薄板状部品の板厚方向に加工することを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項９に記載の発明は、請求項７または８に記載の薄板状部品の積層構造の製造方法において、前記凹部は前記薄板状部品の両面の対応する位置に、前記ハーフエッチングにより形成し、その両凹部の底面に、両凹部を連通させるように前記開口を穿設することを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項１０に記載の発明は、請求項７または８に記載の薄板状部品の積層構造の製造方法において、前記凹部は前記薄板状部品の一方面に、前記ハーフエッチングにより形成し、前記開口は、前記薄板状部品の他方面側から、前記凹部の底面に対応する位置に穿設することを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項１１に記載の発明は、請求項７または８に記載の薄板状部品の積層構造の製造方法において、前記凹部は前記薄板状部品の一方面に、前記ハーフエッチングにより形成し、前記開口は、前記凹部の底面に前記一方面側から穿設し、前記薄板状部品の他方面側に、前記貫通孔と対応する位置に当該貫通孔の前記開口よりも大きい流路パターンを形成した薄板状部品を積層することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に記載の発明によれば、あらかじめ薄板状部品にハーフエッチングで形成された凹部と、その凹部の底面にプレス加工により貫通形成された開口とから貫通孔を構成するので、板厚に対してエッチングのみでは困難な直径の小さい貫通孔を形成することができ、また、プレス加工により開口を形成する部分の板厚が薄板状部品の板厚よりも薄くなり、直径の小さい貫通孔を容易に形成することができる。
【００１９】
請求項２に記載の発明によれば、直径の小さい開口が板厚寸法が薄くなった凹部の底面に穿設される。換言すれば、直径の小さい開口の穿設のために、薄板状部品全体の板厚寸法を薄くする必要がないから、薄板状部品の剛性が低下しないという効果を奏する。
【００２０】
請求項３に記載の発明によれば、ハーフエッチングの凹部が薄板状部品の両面に形成されているから、開口をいずれの凹部側からプレス加工しても、そのバリが必ず反対側の凹部の内側に位置するので、バリが薄板状部品の積層面に発生することによる積層の接着不良及び流路の接続漏れを防止することができる。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、プレス加工された開口のバリは、必ずハーフエッチングの凹部の内側に位置するから、バリが薄板状部品の積層面に発生することによる積層の接着不良及び流路の接続漏れを防止することができる。
【００２２】
請求項５に記載の発明によれば、プレス加工された開口のバリは、薄板状部品の積層面に発生するが、バリがこの薄板状部品に積層される他の薄板状部品の流路パターンの内側に必ず位置するため、バリが薄板状部品の積層面に発生することによる積層の接着不良及び流路の接続漏れを防止することができる。
【００２３】
請求項６に記載の発明によれば、インクジェットヘッドにおいて、各プレートの積層の接着不良や、流路の接続でのインク漏れを防止することができる。
【００２４】
請求項７に記載の発明によれば、あらかじめ薄板状部品にハーフエッチングで凹部を形成し、その凹部の底面に開口を形成して貫通孔を構成するので、板厚に対してエッチングのみでは困難な直径の小さい貫通孔を形成することができ、また、プレス加工により開口を形成する部分の板厚寸法が本来の薄板状部品の板厚寸法よりも薄くなり、直径の小さい貫通孔を容易に形成することができる。
【００２５】
請求項８に記載の発明によれば、直径の小さい開口が板厚寸法が薄くなった凹部の底面に穿設される。換言すれば、直径の小さい開口の穿設のために、薄板状部品全体の板厚寸法を薄くする必要がないから、薄板状部品の剛性が低下しないという効果を奏する。
【００２６】
請求項９に記載の発明によれば、ハーフエッチングの凹部が薄板状部品の両面に形成されているから、開口をいずれの凹部側からプレス加工しても、そのバリが必ず反対側の凹部の内側に位置するので、バリが薄板状部品の積層面に発生することによる積層の接着不良及び流路の接続漏れを防止することができる。
【００２７】
請求項１０に記載の発明によれば、プレス加工された開口のバリは、必ずハーフエッチングの凹部の内側に位置するから、バリが薄板状部品の積層面に発生することによる積層の接着不良及び流路の接続漏れを防止することができる。
【００２８】
請求項１１に記載の発明によれば、プレス加工された開口のバリは、薄板状部品の積層面に発生するが、このバリはこの薄板状部品に積層される他の薄板状部品の流路パターンの内側に必ず位置するため、バリが薄板状部品の積層面に発生することによる積層の接着不良及び流路の接続漏れを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の基本的な実施形態について、図面に基づいて説明する。図１は本発明が適用されたインクジェットヘッドの斜視図、図２はインクジェットヘッドの分解斜視図、図３はキャビティユニットの拡大分解斜視図、図４は図１のIV−IV線矢視拡大断面図、図５（ａ）は小さい開口径の貫通孔の形成においてプレートの両面に凹部を形成した状態を示す断面図、図５（ｂ）は凹部に開口を形成した状態を示す断面図、図６（ａ）は小さい開口径の貫通孔の形成においてプレートの片面に凹部を形成した状態を示す断面図、図６（ｂ）は凹部に開口を形成した状態を示す断面図、図７（ａ）は小さい開口径の貫通孔の形成においてプレートの片面に凹部を形成した状態を示す断面図、図７（ｂ）は凹部に開口を形成して他のプレートを積層する状態を示す断面図である。
【００３０】
図１は、実施形態として本発明が適用された圧電式のインクジェットヘッド１００におけるキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２の斜視図であり、金属板製の複数枚のプレートを備えるキャビティユニット１にプレート型の圧電アクチュエータ２が接合され、このプレート型の圧電アクチュエータ２の上面に外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブル３が重ね接合されている。そして、キャビティユニット１の下面側に開口されたノズル４から、下向きにインクが吐出するものとする（図４参照）。
【００３１】
前記キャビティユニット１は、図２に示すように、ノズルプレート１１、スペーサプレート１２、ダンパープレート１３、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、及びキャビティプレート１７の合計８枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合した構造となっている。
【００３２】
実施形態では、各プレート１１〜１７は５０〜１５０μｍ程度の厚さを有し、ノズルプレート１１はポリイミド等の合成樹脂製で、その他のプレート１２〜１７は４２％ニッケル合金鋼板製である。前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク吐出用のノズル４が微小間隔で多数個穿設されている。このノズル４は、当該ノズルプレート１１における長辺方向（Ｘ方向）に沿って、千鳥配列状で５列に配列されている。
【００３３】
また、前記キャビティプレート１７には、図３に示すように、複数の圧力室３６がキャビティプレート１７の長辺（前記Ｘ方向）に沿って千鳥配列状で５列に配列されている。実施形態では、前記各圧力室３６は、平面視細長形状に形成され、その長手方向がキャビティプレート１７の短辺方向（Ｙ方向）に沿うようにして穿設され、長手方向の一端部３６ａがノズル４と連通し、他端部３６ｂが後述する共通インク室７と連通する。
【００３４】
各圧力室３６における先端部３６ａは、ベースプレート１６、サプライプレート１５、２枚のマニホールドプレート１４ｂ、１４ａ、ダンパープレート１３、及びスペーサプレート１２に、同じく千鳥配列状にて穿設されている微小径の連通孔３７を介して、ノズルプレート１１における前記各ノズル４に連通している。
【００３５】
キャビティプレート１７の下面に隣接するベースプレート１６には、各圧力室３６の他端部３６ｂに接続する接続孔３８が穿設されている。
【００３６】
ベースプレート１６の下面に隣接するサプライプレート１５には、後述する共通インク室７から前記各圧力室３６へインクを供給するための接続流路４０が設けられる。そして各接続流路４０には、共通インク室７からインクが入る入口孔４０ａと、圧力室３６（接続孔３８）側に開口する出口孔４０ｂと、入口孔４０ａと出口孔４０ｂとの間にあって、接続流路４０中で最も大きな流路抵抗となるように断面積を小さくして形成された絞り部とが備えられている。
【００３７】
２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂには、その長辺方向（Ｘ方向）に沿って長い５つの共通インク室７が前記ノズル４の各列に沿って延びるように板厚を貫通して形成されている。すなわち、図２及び図４に示すように、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂを積層し、かつその上面をサプライプレート１５にて覆い、下面をダンパープレート１３にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）７が密閉状に形成される。各共通インク室７は、各プレートの積層方向から平面視したときに、前記圧力室３６の一部と重なって圧力室３６の列方向（ノズル４の列方向）に沿って長く延びている。
【００３８】
図３及び図４に示すように、マニホールドプレート１４ａの下面に隣接するダンパープレート１３の下面側には、共通インク室７と隔絶されたダンパ室４５が凹み形成されている。この各ダンパ室４５の位置および形状は、図２に示すように、前記各共通インク室７と一致させている。このダンパプレート１３は、適宜弾性変形し得る金属素材であるため、ダンパ室４５上部の薄い板状の天井部は、共通インク室７側にも、ダンパ室４５側にも自由に振動することができる。インク吐出時に、圧力室３６で発生した圧力変動が共通インク室７に伝播しても、前記天井部が弾性変形して振動することにより、前記圧力変動を吸収減衰させるというダンパ効果を奏し、圧力変動が他の圧力室３６へ伝播するというクロストークを防止することができるものである。
【００３９】
また、図２に示すように、キャビティプレート１７、ベースプレート１６、及びサプライプレート１５の一方の短辺側の端部には、上下の位置を対応させて、それぞれ４つのインク供給口４７が穿設されている。インク供給源からのインクが、これらインク供給口４７から共通インク室７の一端部に連通するようになっている。４つのインク供給口４７を、図２の左側から順に個別に４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄと付す。
【００４０】
インク供給口４７からノズル４に至るインク流通路では、インクは、インク供給口４７からインク供給チャンネルとしての共通インク室７に供給された後、図３に示すように、サプライプレート１５の接続流路４０及びベースプレート１６の接続孔３８を経由して各圧力室３６に分配供給される。そして、圧電アクチュエータ２の駆動により、インクは各圧力室３６内から前記連通孔３７を通って、その圧力室３６に対応するノズル４に至るという構成になっている。
【００４１】
この実施形態では、図２に示すように、インク供給口４７が４つ設けられているのに対して、共通インク室７が５つ設けられており、インク供給口４７ａだけが、２つの共通インク室７，７に接続されている。インク供給口４７ａには、ブラックインクが供給されるように設定されており、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものである。他のインク供給口４７ｂ、４７ｃ、４７ｄには、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクがそれぞれ単独に供給される。インク供給口４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄには、それぞれの開口に対応する濾過部２０ａを有するフィルタ体２０が接着剤等で貼着されている（図１参照）。
【００４２】
一方、前記圧電アクチュエータ２は、特開平４−３４１８５３号公報等に開示された公知のものと同様に、図示しないが複数枚の圧電シートを積層した構造で、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シートのうち下から偶数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット１における各圧力室３６に対応した箇所ごとに細幅の個別電極が長辺方向（Ｘ方向）に沿って列状に形成されている。下から奇数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、複数個の圧力室３６に対して共通のコモン電極が形成されており、最上段のシートの上面には、表面電極４８として、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極と、前記コモン電極に対して電気的に接続される表面電極とが設けられている。
【００４３】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２における下面（圧力室３６と対面する広幅面）全体に、接着剤としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート（図示せず）を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット１に対して、圧電アクチュエータ２が、その各個別電極を前記キャビティユニット１における各圧力室３６の各々に対応させて接着・固定される。また、この圧電アクチュエータ２における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル３（図４参照）が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル３における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極４８に電気的に接合される。
【００４４】
次に、前述したキャビティユニット１を構成するプレートの製造方法について説明する。ポリイミド製のノズルプレート１１には、レーザ加工によりノズル４が穿設され、金属製の各プレート１２〜１７には、インク供給口４７、共通インク室７、連通孔３７、接続孔３８、接続流路４０、ダンパ室４５等の凹み形成や貫通する孔等が、エッチング加工、放電加工、プラズマ加工、レーザ加工等により適宜形成されている。これら金属製のプレート１２〜１７に穿設される貫通孔のうち、特に開口径が小さい場合の加工について、ベースプレート１６を例示して詳細に説明する。
【００４５】
ベースプレート１６には、上述したように、貫通孔として、連通孔３７がその板厚方向に穿設されている（図３参照）。この連通孔３７の形成においては、まず、図５（ａ）に示すように、ベースプレート１６の両面の対応する位置に、それぞれハーフエッチングによる凹部５０を形成する（図２、図３及び図４では凹部５０は図示していない）。ハーフエッチングは金属プレートであるベースプレート１６のエッチング液によるウエットエッチングで行う。なお、貫通孔を形成するプレートの材質によっては、プラズマ加工、レーザ加工等で凹部を形成することも可能である。
【００４６】
次に、図５（ｂ）に示すように、この凹部５０の底面に両凹部を連通させるように、凹部５０の直径よりも小さい開口５１をプレス加工で穿設する。この開口５１には、プレスする側の端面にダレ５２が、反対側の端面にはバリ５３がそれぞれ発生する。しかしながら、これらのダレ５２やバリ５３はいずれも凹部５０の内側に生じるので、ベースプレート１６の上下の積層面には発生しない。バリ５３が、ベースプレート１６とキャビティプレート１７、あるいはベースプレート１６とサプライプレート１５との界面にあると、インク流通路の接続漏れや、積層面の接着不良を引き起こすが、バリ５３が必ず凹部５０の内側に位置することにより、プレート間の密着性を損なう心配がなくなる。なお、これらのダレ５２やバリ５３は、インク流通路である凹部５０の内側にあるが、インクの流れに与える影響は極めて小さいものとなっている。
【００４７】
連通孔３７を金属製のベースプレート１６にウエットエッチングで加工しようとすると、ベースプレート１６の板厚寸法Ｌ０に対して、一般的には、直径が１．５Ｌ０以上の開口しか穿設することができない。しかしながら、本発明では、上述したようにバリ５３の悪影響をなくすことで、開口の穿設にプレス加工を採用できるようにしている。プレス加工は、ウエットエッチング加工で開口を穿設する場合に比べて、板厚寸法による開口径への制限が少ないので、直径の小さい開口を形成し易い。もちろん、両凹部５０の底面間の寸法、すなわち開口５１が穿設される部分の板厚寸法Ｌ１が、ベースプレート１６の板厚寸法Ｌ０よりも薄く（Ｌ１＜Ｌ０）することで、プレス加工においてもその加工し易さは向上される。
【００４８】
また、この製造方法によると、同じ直径の開口５１を穿設する場合に、ベースプレート１６の板厚寸法を厚くできることになるので、プレート全体の剛性を高めることができるのである。
【００４９】
次に、上述した開口径の小さい貫通孔の製造方法における第１の応用例について、同じくベースプレート１６の連通孔３７を例に説明する。この第１の応用例では、図６（ａ）に示すように、連通孔３７を穿設しようとする位置にて、ベースプレート１６の一方面（図では上面）にハーフエッチングによる凹部５０を形成する。次に、図６（ｂ）に示すように、ベースプレート１６の他方面（図では下面）側から凹部５０の底面に対応する位置に、プレス加工により開口５１を穿設する。この場合も、開口５１が穿設される板厚寸法Ｌ２が、ベースプレート１６の板厚寸法Ｌ０よりも薄く（Ｌ２＜Ｌ０）なるので、開口径を小さく形成し易い。また、開口５１のバリ５３は必ず凹部５０の内側に生じるため、ベースプレート１６とその上下に積層されるプレートとの間の密着がバリ５３に妨げられることはない。
【００５０】
次に、上述した開口径の小さい貫通孔の製造方法における第２の応用例について説明する。第２の応用例は、ベースプレート１６に穿設される接続孔３８に適用した場合を説明する。図７（ａ）に示すように、接続孔３８を穿設しようとする位置にて、ベースプレート１６のキャビティプレート１７側の面（図では上面）にハーフエッチングによる凹部５０を形成する。そして、図７（ｂ）に示すように、この凹部５０の底面にキャビティプレート１７側（図では上方側）からプレス加工により開口５１を穿設する。従って、この場合には、開口５１のバリ５３は、ベースプレート１６におけるサプライプレート１５側（図では下方側）の積層面に突出して発生する。
【００５１】
サプライプレート１５には、前述したように接続孔３８と連通するように接続流路４０が形成されるが、この接続流路４０の出口孔４０ｂの開口の開口径Ｄ２を接続孔３８の開口径Ｄ１よりも大きく設定しておく（Ｄ２＞Ｄ１）。これにより、ベースプレート１６をサプライプレート１５の上面に積層したときに、バリ５３が出口孔４０ｂの内側に位置するから、ベースプレート１６とサプライプレート１５との密着がバリ５３によって妨げられることがない。
【００５２】
なお、開口径の小さい貫通孔の製造方法の説明では、ベースプレート１６の連通孔３７及び接続孔３８を例示したが、その他のプレートの貫通孔に適用してもよいことは言うまでもない。例えば、上記製造方法をマニホールドプレート１４ａ（１４ｂ）の連通孔３７に適用すると、連通孔３７の開口径に比べて、マニホールドプレート１４ａ（１４ｂ）の板厚寸法を厚くできることになるから、マニホールドプレート１４ａ（１４ｂ）の共通インク室の容量を大きくすることができる。
【００５３】
また、前記第２の応用例を、ベースプレート１６からマニホールドプレート１４ｂの各連通孔３７に適用すると、外方に突出したバリ５３が隣接する他のプレートの凹部５０内に位置することになり、各プレート間の密着がバリ５３によって妨げられることがない。
【００５４】
また、本発明は、インクジェットヘッドだけでなく、その他の微小な積層体に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明が適用されたインクジェットヘッドの斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図３】キャビティユニットの拡大分解斜視図である。
【図４】図１のIV−IV線矢視拡大断面図である。
【図５】（ａ）は小さい開口径の貫通孔の形成においてプレートの両面に凹部を形成した状態を示す断面図、（ｂ）は凹部に開口を形成した状態を示す断面図である。
【図６】（ａ）は小さい開口径の貫通孔の形成においてプレートの片面に凹部を形成した状態を示す断面図、（ｂ）は凹部に開口を形成した状態を示す断面図である。
【図７】（ａ）は小さい開口径の貫通孔の形成においてプレートの片面に凹部を形成した状態を示す断面図、（ｂ）は凹部に開口を形成して他のプレートを積層する状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１      キャビティユニット
２      圧電アクチュエータ
３      フレキシブルフラットケーブル
４      ノズル
１１    ノズルプレート
１２    スペーサプレート
１３    ダンパープレート
１４ａ、１４ｂ  マニホールドプレート
１５    サプライプレート
１６    ベースプレート
１７    キャビティプレート
３６    圧力室
３７    連通孔
３８    接続孔
４０    接続流路
５０    凹部
５１    開口
５２    ダレ
５３    バリ
１００  インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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