(57)【要約】【課題】  吸着部材の先端部にバフィング機能をもたせるようにした部品搬送装置において、バフィング機能の低下等による異常を判別し、異常時に適切な対応処置をとることを可能にする。【解決手段】  表面実装機等において電子部品を吸着する吸着ノズルの先端部がノズル本体に対して出没する方向に所定量揺動可能とされるとともに、スプリングにより突出状態に付勢されている。このノズル本体に対するノズル先端部の位置を検出するためのカメラ２０が設けられるとともに、コントローラ３０内に、カメラ２０により撮像されたノズル先端部の画像に基づき、ノズル先端部が正常範囲内にあるか否かを調べて、正常範囲内になければ異常であると判定するノズル異常判定手段３５と、異常と判定された場合に対応処置を行う異常処理手段３６とを備える。【選択図】  図６
2006114534.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能なヘッドユニットに、電子部品を吸着する吸着部材が昇降可能に支持され、この吸着部材の先端部が、吸着部材本体に対して出没する方向に所定量揺動可能とされるとともに、弾性部材により突出状態に付勢されている部品搬送装置において、
上記吸着部材本体に対する上記吸着部材先端部の位置を検出する検出手段と、
この検出手段による検出に基づき、上記吸着部材先端部の位置が予め設定された正常範囲内にあるか否かを調べ、正常範囲内になければ異常であると判定するノズル異常判定手段と
を備えたことを特徴とする部品搬送装置。
【請求項２】
上記検出手段は、上記吸着部材先端部を側方から撮像するカメラを有することを特徴とする請求項１記載の部品搬送装置。
【請求項３】
上記検出手段は、一定位置から上記吸着部材先端部までの距離を検出する距離センサを有することを特徴とする請求項１記載の部品搬送装置。
【請求項４】
上記ノズル異常判定手段によって異常であると判定された場合に、当該吸着部材の使用停止、当該吸着部材の取替え、当該吸着部材の動作の変更、当該吸着部材により吸着された電子部品の廃棄のうちの少なくとも１つの処理を行う異常処理手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の部品搬送装置。
【請求項５】
上記異常処理手段は、上記ノズル異常判定手段によって異常であると判定された場合に、報知手段に異常であることの報知を行わせることを特徴とする請求項４記載の部品搬送装置。
【請求項６】
部品供給部において供給される部品を実装作業位置に位置決めされた基板上に搬送して基板の所定位置に装着する表面実装機において、上記部品供給部から基板上に部品を搬送する手段として、請求項１乃至５の何れか１項に記載の部品搬送装置を備えていることを特徴とする表面実装機。
【請求項７】
部品供給部において供給される部品を試験手段に搬送して各種試験を行う部品試験装置において、上記部品供給部から試験手段に部品を搬送する手段として、請求項１乃至５の何れか１項に記載の部品搬送装置を備えていることを特徴とする部品試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を吸着する吸着部材がヘッドユニットに昇降可能に支持され、この吸着部材の先端部が揺動可能で、弾性部材により突出状態に付勢されている部品搬送装置と、この装置が適用される表面実装機および部品試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の一般的な表面実装機は、電子部品を吸着する吸着部材（吸着ノズル）を有する移動可能なヘッドユニットを備えており、先ずヘッドユニットを部品供給部に移動させ、部品供給部に収納された電子部品を吸着部材で真空吸着する。次に実装機本体上の所定位置に保持されたプリント基板上へヘッドユニットを移動させ、プリント基板への電子部品の装着を行う。これら吸着時や装着時には、吸着部材を上昇位置から所定の吸着高さ位置又は装着高さ位置まで下降させて、電子部品の吸着又は装着を行うが、この際にバフィング機能をもたせるため、吸着部材の先端部が、吸着部材本体に対して上下に所定量揺動可能とされるとともに、スプリングにより突出状態に付勢されるようにしたものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
このようにバフィング機能をもたせておくと，装置の高さ方向の位置決めのばらつきや、電子部品自体の外形のばらつき、プリント基板のそり、部品供給部におけるテープリールの浮きなどの様々な要因からなる高さ方向のばらつきを吸収し、電子部品やこれが装着されるプリント基板に物理的なストレスが加わることを抑制し、高速での実装を実現することができる。
【特許文献１】特開２００２−１５１８９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、最近の電子部品の小型化傾向に伴い、吸着部材先端部の形状も小型化し、この部分にバフィング機能をもたせる構造も非常に小さなものとなる。このため、この部分を高度の加工技術で作製したとしても、空気中の塵やプリント基板上のクリーム半田などを吸い込んだり、継続的な使用による摩耗等により、バフィング機能が低下して、例えば部品吸着時等に吸着部材先端部が外力を受けて没入した後、外力が解除されても元の突出状態に復帰しなくなるというような事態が生じる場合がある。このような事態が生じると、電子部品の吸着や装着を正確に行えなくなるおそれがある。
【０００５】
本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであって、吸着部材の先端部にバフィング機能をもたせるようにした部品搬送装置において、バフィング機能の低下等による異常を判別し、異常時に適切な対応処置をとることを可能にする装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記課題を解決するため、移動可能なヘッドユニットに、電子部品を吸着する吸着部材が昇降可能に支持され、この吸着部材の先端部が、吸着部材本体に対して出没する方向に所定量揺動可能とされるとともに、弾性部材により突出状態に付勢されている部品搬送装置において、上記吸着部材本体に対する上記吸着部材先端部の位置を検出する検出手段と、この検出手段による検出に基づき、上記吸着部材先端部の位置が予め設定された正常範囲内にあるか否かを調べ、正常範囲内になければ異常であると判定するノズル異常判定手段とを備えたものである。
【０００７】
この構成によると、部品吸着時等に吸着部材先端部に加わる外力で吸着部材先端部が没入方向に変位した後において外力が解除されたときに、バフィング不良等により吸着部材先端部が正常範囲内に戻らないような場合に、上記検出手段による検出に基づいてノズル異常判定手段が異常であると判定する。これにより、異常時に適切な対応処置をとることが可能となる。
【０００８】
本発明において、上記検出手段は、例えば、上記吸着部材先端部を側方から撮像するカメラを有するものである。これにより、カメラによる画像に基づいて吸着部材本体に対する吸着部材先端部の位置の検出を精度良く行うことができる。
【０００９】
あるいは上記検出手段は、一定位置から上記吸着部材先端部までの距離を検出する距離センサを有するものであってもよい。この場合でも、吸着部材本体に対する吸着部材先端部の位置の検出を精度良く行うことができる。
【００１０】
本発明において、上記ノズル異常判定手段によって異常であると判定された場合に、当該吸着部材の使用停止、当該吸着部材の取替え、当該吸着部材の動作の変更、当該吸着部材により吸着された電子部品の廃棄のうちの少なくとも１つの処理を行う異常処理手段を備えることが好ましい。
【００１１】
このようにすると、ノズル異常判定手段によって異常であると判定された場合、それに応じた対応処置を適切に行うことができる。
【００１２】
上記異常処理手段は、上記ノズル異常判定手段によって異常であると判定された場合に、報知手段に異常であることの報知を行わせるようになっていることが好ましい。
【００１３】
このようにすると、作業者等に異常の発生を速やかに知らせることができる。
【００１４】
本発明は表面実装機に有効に適用される。すなわち、部品供給部において供給される部品を実装作業位置に位置決めされた基板上に搬送して基板の所定位置に装着する表面実装機において、上記部品供給部から基板上に部品を搬送する手段として、上記部品搬送装置を備えている構成とする。
【００１５】
また、本発明は部品試験装置にも有効に適用される。すなわち、部品供給部において供給される部品を試験手段に搬送して各種試験を行う部品試験装置において、上記部品供給部から試験手段に部品を搬送する手段として、上記部品搬送装置を備えている構成とする。
【発明の効果】
【００１６】
以上の記載から明らかなように、本発明によれば、部品吸着時後等に吸着部材先端部が正常範囲内に戻らないような異常が生じた場合に、これを確実に判別することができ、上記のような異常が看過されることを防止し、異常に応じた適切な対応処置をとることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１及び図２は、本発明の一実施形態である表面実装機を概略的に示している。同図に示すように、実装機の基台１上には、プリント基板搬送用のコンベア２が配置され、プリント基板３がこのコンベア２上を搬送されて所定の装着作業位置で停止されるようになっている。
【００１９】
上記コンベア２の両側には、部品供給部４が配置されている。これらの部品供給部４には、多数列のテープフィーダー４ａが設けられている。各テープフィーダー４ａは、各々、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の小片状の電子部品を所定間隔おきに収納、保持したテープがリールから導出されるように構成されており、後述のヘッドユニット６により電子部品が間欠的に取り出されるようになっている。
【００２０】
上記基台１の上方には、部品装着用のヘッドユニット６が装備されている。このヘッドユニット６は、部品供給部４とプリント基板３が位置する部品装着部とにわたって移動可能とされ、Ｘ軸方向（コンベア２の方向）及びＹ軸方向（水平面上でＸ軸と直交する方向）に移動することができるようになっている。
【００２１】
すなわち、基台１上には、Ｙ軸方向の固定レール７と、Ｙ軸サーボモータ９により回転駆動されるボールねじ軸８とが配設され、上記固定レール７上にヘッドユニット支持部材１１が配置されて、この支持部材１１に設けられたナット部分１２が上記ボールねじ軸８に螺合している。また、上記支持部材１１には、Ｘ軸方向のガイド部材１３と、Ｘ軸サーボモータ１５により駆動されるボールねじ軸１４とが配設され、上記ガイド部材１３にヘッドユニット６が移動可能に保持され、このヘッドユニット６に設けられたナット部分（図示せず）が上記ボールねじ軸１４に螺合している。そして、Ｙ軸サーボモータ９の作動により上記支持部材１１がＹ軸方向に移動するとともに、Ｘ軸サーボモータ１５の作動によりヘッドユニット６が支持部材１１に対してＸ軸方向に移動するようになっている。
【００２２】
また、Ｙ軸サーボモータ９及びＸ軸サーボモータ１５には、それぞれエンコーダ９ａ，１５ａが設けられており、これによって上記ヘッドユニット６の移動位置が検出されるようになっている。
【００２３】
上記ヘッドユニット６には、吸着ノズル１７（吸着部材）を先端に備えた複数の実装用ヘッド１６が設けられている。この実装用ヘッド１６は、ヘッドユニット６のフレームに対して昇降（Ｚ軸方向の移動）及びノズル中心軸（Ｒ軸）回りの回転が可能とされ、図外のＺ軸サーボモータ等の昇降駆動手段及びＲ軸サーボモータ等の回転駆動手段により作動されるようになっている。なお、当実施形態では、実装用ヘッド１６が６個配設されている。
【００２４】
吸着ノズル１７は実装用ヘッド１６に着脱自在となっている。吸着ノズル１７は吸着する電子部品の種類や大きさに応じて複数の種類が用意されており、適宜選択され、実装用ヘッド１６に装着される。
【００２５】
上記吸着ノズル１７は、図４に示すように、ノズル本体１７ａと、このノズル本体１７ａに対して出没する方向に所定量揺動可能なノズル先端部１７ｂ（吸着部材先端部）と、スプリング１８（弾性部材）とを備えている。このスプリング１８は、ノズル本体１７ａとノズル先端部１７ｂとに設けられた上下リテーナ間に介装され、ノズル本体１７ａに対してノズル先端部１７ｂを突出方向に付勢している。従って、ノズル先端部１７ｂは、外力が加わっていない状態ではノズル本体１７ａから所定量突出した状態に保持され、先端側から外力が加わるとスプリング１８の付勢力に抗して没入方向（上方）に変位するようになっている。
【００２６】
また、この実装機には、吸着ノズル１７のノズル本体１７ａに対してノズル先端部１７ｂの位置を検出する検出手段が設けられ、当実施形態では、ノズル先端部１７ｂを側方から撮像するカメラ２０が設けられている。このカメラ２０は、図３に示すように、ヘッドユニット支持部材１１の下方に位置し、取付部材２２を介してヘッドユニット支持部材１１に取り付けられており、複数の撮像素子が一列に並ぶラインセンサ２１を備え、撮像素子の配列方向（主走査方向）が上下方向となるようにラインセンサ２１が配置されている。そして、ヘッドユニット６がＸ軸方向に移動してヘッドユニット支持部材１１の中間部を通るとき、ノズル先端部１７ｂとカメラ２０とが対向し、ヘッドユニット６のＸ軸方向の移動に伴いカメラ２０によりノズル先端部が撮像されるようになっている。
【００２７】
図５（ａ）（ｂ）は上記カメラ２０で撮像されるノズル先端部１７ｂ及びその付近の画像を示しており、これらの図において、実線で示した画像エリア２５内にあるものがノズル先端部１７ｂ及びその付近の画像である。図５（ａ）はノズル先端部１７ｂがノズル本体１７ａから所定量Ｌだけ突出した正常状態にあるときの画像、図５（ｂ）はノズル本体１７ａからのノズル先端部１７ｂの突出量が小さい異常状態にあるときの画像である。
【００２８】
なお、図１において、２４は部品認識用のカメラである。このカメラ２４は、部品供給部４の近傍において基台１上に設置され、ヘッドユニット６が部品吸着後にカメラ２４上に移動したときに、実装用ヘッド１６の吸着ノズル１７に吸着された部品を下方から撮像するようになっている。そして、このカメラ２４で撮像された画像に基づき、部品認識が行われて、部品吸着状態の良否の判定や、部品吸着位置のずれの検出とそれに応じた装着位置の補正が行われるようになっている。
【００２９】
図６は実装機に設けられたコントローラ３０を示している。このコントローラ３０は、論理演算を実行するＣＰＵとプログラム等を予め記憶するＲＯＭ及び種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ等で構成され、機能構成としては主制御部３１、画像処理部３２、軸制御部３３及びメモリ３４を有し、上記主制御部３１にノズル異常判定手段３５及び異常処理手段３６を含んでいる。
【００３０】
上記主制御部３１は、予め記憶されたプログラムに従って画像処理部３２及び軸制御部３３を統括的に制御する。上記画像処理部３２は、部品認識時には、部品認識用のカメラ２４により撮像された部品画像を入力し、所定の画像処理を行うことにより、吸着ノズル１７に吸着された部品の形状等を認識できるようになっている。また、ノズル先端部１７ｂの位置の検出を行うときは、カメラ２０により撮像されたノズル先端部１７ｂ付近の画像を入力し、所定の画像処理を行うことにより、ノズル先端部１７ｂの形状等を認識できるようになっている。
【００３１】
上記軸制御部３３は、ヘッドユニット６や実装用ヘッド１６等を作動させるべくサーボモータ等を制御する。例えば、部品吸着時には、部品供給部４上にヘッドユニット６を移動させるようにＸ軸サーボモータ１５及びＹ軸サーボモータ９を制御するとともに、実装用ヘッド１６を下降させて吸着ノズル１７により電子部品を吸着させてから実装用ヘッド１６を上昇位置に戻すように図外のＺ軸サーボモータ等を制御し、また、部品装着時には、プリント基板３上にヘッドユニット６を移動させるようにＸ軸サーボモータ１５及びＹ軸サーボモータ９を制御するとともに、実装用ヘッド１６を下降させて吸着ノズル１７からプリント基板３上へ電子部品を装着してから実装用ヘッド１６を上昇位置に戻すように図外のＺ軸サーボモータ等を制御する。
【００３２】
また、上記主制御部３１に含まれるノズル異常判定手段３５は、カメラ２０により撮像された図５に示すようなノズル先端部１７ｂ付近の画像に基づき、ノズル先端部１７ｂの位置が予め設定された正常範囲内にあるか否かを調べ、具体的にはノズル本体１７ａに対するノズル先端部１７ｂの突出量が予め設定された正常範囲（図５（ａ）中の所定量Ｌから許容誤差の範囲）内にあるか否かを調べる。そして、正常範囲内になければ、異常と判定するようになっている。
【００３３】
さらに、上記主制御部３１に含まれる異常処理手段３６は、ノズル異常判定手段３５により異常と判定されたとき、警報表示部３７（報知手段）に異常であることの報知を行わせるとともに、異常対応処理を行う。この異常対応処理としては、当該吸着ノズルの使用停止、当該吸着ノズルの取替え、当該吸着ノズルの動作の変更、当該吸着ノズルにより吸着された電子部品の廃棄のうちの少なくとも１つの処理を行うようにすればよい。なお、上記警報表示部３７は、作業者に異常を知らせるものであればよく、モニタ画面で異常発生の旨を表示する表示装置、警報音発生装置、警報光発生装置等を採用し得る。
【００３４】
図７は上記ノズル異常判定手段３５及び上記異常処理手段３６による処理の具体例をフローチャートで示している。このフローチャートに示す処理は、部品吸着時及び部品装着時を除く適当な時期に、実装用ヘッド１６が昇降駆動手段によって所定上昇位置とされている状態において開始される。例えば、部品装着後に、次の部品吸着のためにヘッドユニット６が部品供給部４へ移動する途中にあるときに行われる。また、部品吸着後であって、プリント基板３への部品の装着が行われるまでの、部品搬送の途中にも行われる。なお、部品装着後のヘッドユニット６の部品供給部４への移動途中、あるいは部品装着後のヘッドユニット６の部品搬送途中のうちの何れか一方のみで行うようにしてもよい。
【００３５】
このフローチャートに示す処理がスタートすると、先ず、カメラ２０に対向する位置を吸着ノズル１７のノズル先端部１７ｂが通過するようにヘッドユニット６がＸ方向に駆動されつつ、上記カメラ２０でノズル先端部１７ｂ付近が側方から撮像され、その画像がコントローラ３０に取り込まれて、認識が行われる（ステップＳ１）。そして、ノズル異常判定手段３５により、ノズル本体１７ａに対するノズル先端部１７ｂの突出量が正常範囲外かどうかが調べられることによって異常か否かが判定される（ステップＳ２）。
【００３６】
ステップＳ２で異常でないと判定されれば、今回の処理は終了する。
【００３７】
ステップＳ２で異常と判定されれば、異常の回数ｎをインクリメントし（ステップＳ３）、その異常の回数ｎが予め設定された限界値ｎｘを超えたか否かを判定する（ステップ４）。
【００３８】
異常の回数ｎが予め設定された限界値ｎｘを超えていない場合には、ステップＳ５に移り、異常があったことを示すエラー表示を行うよう、警報表示部３７が駆動される。さらにステップＳ６で、吸着ノズル１７が部品を持っているか否かが判定される。この場合、カメラ２０で撮像された画像から部品の有無を判別する。あるいは、現時点の実装機の動作状況に応じ、当該吸着ノズル１７が部品を吸着した後の部品搬送途中にある場合は部品を持っていると判断し、部品装着後にヘッドユニット１７が部品供給部４へ移動する途中にあるときは部品を持っていないと判断するようにしてもよい。
【００３９】
上記ステップＳ６の判定がＹＥＳのときは、さらにステップＳ７で、吸着状態は正常か否か（プリント基板３上への部品搭載が可能か否か）が判定される。この判定は、上記カメラ２０で撮像した画像に基づいて行い、あるいはさらに部品認識用カメラ２４により吸着ノズル１７に吸着された部品を下方から撮像してその画像に基づいて行う。
【００４０】
これらステップＳ６、Ｓ７での判定結果と異常の回数等に応じ、異常対応処理が図８に示したＣＡＳＥ１〜４の中から選択される。
【００４１】
すなわち、吸着ノズル１７が部品を持っていない場合（ステップＳ６の判定がＮＯの場合）は、ＣＡＳＥ１〜３の中から何れか１つが選択される（ステップＳ８）。
【００４２】
ここで、ＣＡＳＥ１は、異常であると判定された吸着ノズル１７を使用不可とし、ヘッドユニット６に装備されている複数の吸着ノズル１７のうちで残りの正常な吸着ノズル１７のみを用いて実装を行わせるべく、正常な吸着ノズル１７に再度部品を割り付けるようにプログラムを変更した上で、実装機の運転を継続するものである。ＣＡＳＥ２は、異常であると判定された吸着ノズル１７を予備ノズルに自動または手動で交換し、運転を継続するものである。また、ＣＡＳＥ３は、異常であると判定された吸着ノズル１７について、部品吸着時や部品装着時におけるヘッド下降ストロークを変更し、あるいは下降速度を低下させるように、制御データを補正した上で、実装機の運転を継続するものである。
【００４３】
ステップＳ８での処理の選択は、予め何れか１つのケースを設定しておいてもよいし、異常の回数ｎに応じて選択してもよい。異常の回数ｎに応じて選択する場合、例えば、予め第１，第２の閾値ｎ１，ｎ２をｎ１＜ｎ２＜ｎｘという関係で設定しておいて、第１閾値ｎ１まではＣＡＳＥ３を選択し、第１閾値ｎ１から第２閾値ｎ２まではＣＡＳＥ２を選択し、第２閾値ｎ２を越えるとＣＡＳＥ１を選択するようにすればよい。
【００４４】
また、吸着ノズル１７が部品を持っており（ステップＳ６の判定がＹＥＳ）、かつ、吸着姿勢が正常である場合（ステップＳ７の判定がＹＥＳの場合）は、ＣＡＳＥ３，４の中から何れか１つが選択される（ステップＳ９）。
【００４５】
ここで、ＣＡＳＥ３は上述のとおりであり、ＣＡＳＥ４は、当該吸着ノズル１７に吸着されている部品を回収ないし廃棄するものである。
【００４６】
ステップＳ９での処理の選択は、予め何れか１つのケースを設定しておいてもよいし、異常の回数ｎに応じて選択してもよい。異常の回数ｎに応じて選択する場合、例えば、限界値ｎｘよりも小さい値の閾値を設定しておいて、この閾値まではＣＡＳＥ３を選択し、閾値を越えるとＣＡＳＥ４を選択するようにすればよい。
【００４７】
また、吸着ノズル１７が部品を持っており（ステップＳ６の判定がＹＥＳ）、かつ、吸着姿勢が正常でない場合（ステップＳ７の判定がＮＯの場合）は、ＣＡＳＥ４の処理が行われる。
【００４８】
なお、上記ステップＳ４で異常の回数ｎが予め設定された限界値ｎｘを超えたことが判定された場合には、エラー表示を行うように警報表示部３７が駆動されるとともに、実装機の運転が停止される（ステップＳ１１）。
【００４９】
以上のような当実施形態の装置によると、カメラでノズル先端部及びその付近が側方から撮像され、画像に基づき、ノズル本体１７ａに対するノズル先端部１７ｂの突出量が調べられ、これが正常範囲内になければ異常と判定される。このため、吸着ノズル１７が塵やクリーム半田を吸い込んだり摩耗したりすることによるバフィング機能の低下により、部品吸着後や部品装着後にノズル先端部１７ｂが正常な突出状態に戻らずに、図５（ｂ）に示すように没入した状態となっているような場合に、これを確実に判別することができる。
【００５０】
そして、このような異常時には、例えば吸着ノズル１７の下降ストロークや下降速度が変更されることにより、バフィング機能の低下が補われる。または吸着ノズル１７が交換されることで異常の解消が図られる。あるいは、異常であると判定された吸着ノズル１７を使用不可として残りの正常な吸着ノズル１７を用いることにより、電子部品の吸着や装着が正確に行えなくなることが避けられる。また、吸着ノズル１７が部品を持っている場合に、異常の回数が多くなると、バフィング機能が大きく低下していて装着時に部品にダメージを与える可能性があることから、部品の回収、廃棄などが行われる。さらに、異常の回数が著しく多くなると、実装機の運転が停止される。
【００５１】
このように、吸着ノズルが正常に突出していない異常時には、そのときの実装機の状況や異常の回数等に応じた適切な対応処理がとられ、吸着ノズルのバフィング機能の低下に起因した部品の損傷や実装不良等のトラブルの発生が抑制される。
【００５２】
なお、本発明の装置の具体的構造は上記実施形態に限定されず、種々変更可能である。他の実施形態を以下に説明する。
（１）上記実施形態では、ノズル先端部及びその付近を撮像するカメラ２０がヘッドユニット支持部材１１に取り付けられているが、図９（ａ）（ｂ）に示すように、実装機の基台１上にカメラ４０を設けてもよい。すなわち、この実施形態では、ラインセンサ４１を備えたカメラ４０が支持台４２を介して基台１に固定されている。この実施形態でも、吸着ノズル１７がカメラ４０に対向する位置を通過するようにヘッドユニット６の駆動が制御されつつ、カメラ４０により吸着ノズル１７の先端部付近が撮像される。
（２）図１０（ａ）（ｂ）に示すように、ヘッドユニット６にカメラ５０を設けてもよい。すなわち、この実施形態では、ラインセンサ５１を備えたカメラ５０が取付枠５２を介し、ヘッドユニット６に対してノズル配列方向（Ｘ軸方向）に移動可能に取り付けられており、カメラ５０が図外の駆動手段により駆動されてノズル配列方向に移動しつつ、各吸着ノズル１７の先端部及びその付近を撮像するようになっている。
（３）図１１（ａ）（ｂ）に示すように、各吸着ノズル１７に対応する複数個のカメラ６０を設けてもよい。すなわち、この実施形態では、６個の吸着ノズル１７に対応する６個のカメラ６０が、取付枠６２を介し、ヘッドユニット６に対して固定的に取り付けられている。この場合、カメラ６０にはエリアセンサを用いればよい。
（４）ノズル本体１７ａに対するノズル先端部１７ｂの位置を検出する検出手段は、上記カメラ２０，４０，５０，６０に限定されるものではなく、図１２（ａ）（ｂ）に示すような距離センサ７０であってもよい。すなわち、この実施形態では、レーザー式の距離センサ７０が基台１上に設置され、ヘッドユニット６がこの上を通るとき、距離センサ７０の位置から吸着ノズル１７の先端までの距離が検出され、それに基づき、ノズル先端部１７ｂの高さ位置が求められるようになっている。
（５）上記各実施形態では、ヘッドユニット６を移動させる機構としてボールねじ１４及びサーボモータ１５を用いているが、その代わりに、リニアモータを用いるようにしてもよい。
（６）上記各実施形態では、表面実装機に適用した場合を示しているが、本発明は、ＩＣ等の電子部品に対して各種の電気的な試験を施す部品試験装置に適用することもできる。すなわち、図示を省略するが、例えば、部品装着用の一または複数のヘッドを搭載した移動可能なヘッドユニットを有し、部品供給位置に置かれた部品を上記ヘッドにより吸着して試験手段に搬送するようにした装置があるが、このような試験装置において、ヘッドユニット及びこれに設けられる実装用ヘッドの吸着ノズルの構成として上記各実施形態に示すものと同様の構成を採用するとともに、ノズル本体に対するノズル先端部の位置を検出するカメラ又は距離センサからなる検出手段を設け、さらに図６と同様にノズル異常判定手段及び異常処理手段をコントローラに設けておけばよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施形態である表面実装機を概略的に示す平面図である。
【図２】図１の表面実装機の一部を省略して示す正面図である。
【図３】ヘッドユニット支持部材とこれに支持されたヘッドユニット及びカメラを示す側面図である。
【図４】吸着ノズルの拡大正面図である。
【図５】カメラにより撮像されたノズル先端部付近の画像を示すものであって、（ａ）は正常時の画像、（ｂ）は異常時の画像である。
【図６】表面実装機のコントローラ等からなる制御系統を示すブロック図である。
【図７】図６に示すコントローラに含まれるノズル異常判定手段及び異常処理手段による処理の具体例を示すフローチャートである。
【図８】異常処理の各種ケースを示す説明図である。
【図９】検出手段が設けられた構造の第２実施形態を示すものであって、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図１０】検出手段が設けられた構造の第３実施形態を示すものであって、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図１１】検出手段が設けられた構造の第４実施形態を示すものであって、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図１２】検出手段として距離センサを用いた場合の構造を示すものであって、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００５４】
３    プリント基板
４    部品供給部
６    ヘッドユニット
１６    実装用ヘッド
１７    吸着ノズル
１７ａ    ノゾル本体
１７ｂ    ノズル先端部
２０、４０、５０、６０、７０    カメラ
３０    コントローラ
３５    ノズル異常判定手段
３６    異常処理手段
【図１】
2006114534.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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