(57)【要約】【課題】真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置におけるリニアガイドのメンテナンスの作業性を改善し得る直動テーブル装置を提供する。【解決手段】真空チャンバ１０内に設置される直動テーブル装置１において、ベース２と、そのベース２上に着脱可能に取付けられる案内レール取付け台６Ａ，６Ｂと、その案内レール取付け台６Ａ，６Ｂに多数本のボルトによって固定される案内レール３１を有するリニアガイド３Ａ，３Ｂと、そのリニアガイド３Ａ，３Ｂを介してベース２４に対して直動可能に支持される移動テーブルと、を備えた。【選択図】図１
2006029385.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置であって、
ベースと、該ベース上に着脱可能に取付けられる案内レール支持部材と、該案内レール支持部材に多数本のボルトによって固定される案内レールを有するリニアガイドと、該リニアガイドを介して前記ベースに対して直動可能に支持される移動テーブルと、を備えたことを特徴とする直動テーブル装置。
【請求項２】
請求項１に記載の直動テーブル装置において、
前記ベースは、当該ベースに対する前記案内レール支持部材の相対位置を決める位置決め部を有し、
前記案内レール支持部材は、前記位置決め部に当接させて前記相対位置を決める当接部を有することを特徴とする直動テーブル装置。
【請求項３】
請求項２に記載の直動テーブル装置において、
前記相対位置を決める前記位置決め部を形成した位置決め部材を備え、
前記位置決め部材は、前記ベース上に取付けられることを特徴とする直動テーブル装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の直動テーブル装置において、
前記ベースに対する前記案内レール支持部材の前記相対位置を仮決めするための仮位置決め部材をさらに備えるとともに、前記ベースおよび前記案内レール支持部材の少なくとも一方に前記仮位置決め部材を装着する装着手段を有し、
前記仮位置決め部材は、当該仮位置決め部材を前記装着手段で装着することによって前記位置決め部に前記当接部を当接させる当接状態を維持するようになっていることを特徴とする直動テーブル装置。
【請求項５】
請求項１に記載の直動テーブル装置において、
テーパピンと、該テーパピンと同じテーパ角を有して前記ベースに形成された第一のテーパ穴と、前記テーパピンと同じテーパ角を有して前記案内レール支持部材に形成された第二のテーパ穴と、を備え、
前記テーパピンは、前記ベースに対する前記案内レール支持部材の相対位置を、前記第一のテーパ穴と第二のテーパ穴とに挿通されて決めるようになっていることを特徴とする直動テーブル装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の直動テーブル装置において、
前記案内レール支持部材は、前記移動テーブルの走り精度を確認するための基準面を有することを特徴とする直動テーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体製造装置、工作機械、またはそれらの部品の製造または処理等に使用される真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
直動テーブル装置は、例えば図９に示すように、ベース２００、リニアガイド３００Ａ，３００Ｂ、移動テーブル４およびボールねじ等の移動機構５を備えている。ここで、この例では、ベース２００は、方形状に形成された平板部２００ａの上面両側部に縦断面が方形状の案内レール支持部２００ｂ，２００ｃを一体に設けて構成されている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、直動テーブル装置は、例えば、半導体製造装置、工作機械、またはそれらの部品の製造または処理等において使用される真空チャンバ内に設置されるものがある。
このような真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置では、直動テーブル装置を構成する軸受、ボールねじ、リニアガイド等の構成要素には、真空用のものが用いられるが、真空度の維持を図ることを考慮すると、例えば潤滑剤等、使用可能なものが限られる。このような真空仕様のものの場合、大気用の直動テーブル装置の構成要素と比べると、相対的に寿命が短くなる傾向がある。したがって、直動テーブル装置を構成する軸受、ボールねじ、リニアガイド等の構成要素は、比較的メンテナンスの頻度が高くなるため、真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置の構成要素のメンテナンスを効率良く行なうことは重要である。
【特許文献１】特開２００３−２３９９６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、直動テーブル装置を真空チャンバ内に設置する場合、直動テーブル装置を構成する軸受、ボールねじ、リニアガイド等の構成要素は、個々の構成要素を最初に組み付けて調整するときは、真空チャンバの外で組み付けや調整が行なえるので、比較的楽にその組み付け作業をすることができる。
しかしながら、真空チャンバ内に直動テーブル装置を設置後は、真空チャンバ内部で分解や組み付け等のメンテナンス作業を実施することになるが、真空チャンバ内は複雑かつ狭小な構造となっているため、十分なメンテナンス空間を確保することは困難である。そのため、直動テーブル装置を真空チャンバ内に設置した後は、直動テーブル装置の構成要素のメンテナンス作業には多大な手間を要する。また、メンテナンス作業中は、生産ラインの停止を伴うとともに、メンテナンス後においても真空引き等、生産ラインの再開までにはかなりの時間を要するという問題があるため、真空チャンバ内でのメンテナンスの作業性を改善することは重要な課題である。
【０００５】
例えば、上記特許文献１に記載の技術では、直動テーブル装置のベース２００は、平板部２００ａの上面両側部に案内レール支持部２００ｂ，２００ｃを一体に設けて構成しているため、仮に真空チャンバ内部で直動テーブル装置の構成要素であるリニアガイドのメンテナンス作業を行なうときは、リニアガイド自体をベースに対して直接着脱する必要がある。
【０００６】
通常、リニアガイドの案内レールは単体では反りがある。そのため、案内レールの組み付けに際しては、この反りを取り除くように組み付けする必要がある。しかし、案内レールの反りを取り除く作業は、狭い真空チャンバ内においては、メンテナンスに必要な作業空間が限定されるうえ、案内レールに反りが生じないように多数本のボルトで締め付けていくため作業性がそれほど良くない。
【０００７】
さらに、リニアガイドのメンテナンス作業において、移動テーブルの高精度な走り精度を再現するには、専門的な技術が必要である。また、狭い真空チャンバ内においてはその作業も困難である。特に、リニアガイドを複数組使用して、それら複数組のリニアガイドが所望の平行度になるようにしつつ、移動テーブルを高精度に組み付け直すのはさらに困難である。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置のメンテナンスの作業性を改善することを目的としており、特に、真空チャンバ内での直動テーブル装置のリニアガイドのメンテナンスの作業性を改善することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置であって、ベースと、該ベース上に着脱可能に取付けられる案内レール支持部材と、該案内レール支持部材に多数本のボルトによって固定される案内レールを有するリニアガイドと、該リニアガイドを介して前記ベースに対して直動可能に支持される移動テーブルと、を備えたことを特徴としている。
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、リニアガイドは、リニアガイドの案内レールを案内レール支持部材に多数本のボルトによって予め取付けておくことができる。そのため、リニアガイドを予め案内レール支持部材に取付けておく作業は、真空チャンバ外で行なうことができるから、十分な作業空間が確保できるし、反りを矯正して精度を出す作業等も真空チャンバ外で容易に行なうことができる。
【００１０】
そして、案内レール支持部材は、リニアガイドが取付けられた状態でベースに対して着脱可能になっているから、メンテナンス作業に際し、案内レール支持部材ごとリニアガイドを取り外すことができる。そのため、狭い真空チャンバ内においてメンテナンスの必要な作業空間が限定されている場合であっても、リニアガイドの交換作業を効率良く実施することができる。
【００１１】
なお、予めリニアガイドを取付けておく案内レール支持部材は、剛性が高い金属材料からなるブロック等で製作することが望ましい。また、例えば直動テーブル装置が、リニアガイドを複数組使用しており、その複数組のリニアガイドのうち、いずれか一組だけリニアガイドを交換する場合、移動テーブルの高さの精度に影響が生じるおそれがあるが、請求項１に記載の直動テーブル装置によれば、真空チャンバ外で予めリニアガイドを取付けた案内レール支持部材の高さを調整することもできるから、真空チャンバ内に設置後の移動テーブルの高さの精度への影響も予め軽減することができる。また、この作業では専門的な技術もほとんど不要であり作業者もそれほど限定されるものではないため専門性の低い作業者であってもメンテナンス作業を実施することができる。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の直動テーブル装置であって、前記ベースは、当該ベースに対する前記案内レール支持部材の相対位置を決める位置決め部を有し、前記案内レール支持部材は、前記位置決め部に当接させて前記相対位置を決める当接部を有することを特徴としている。
請求項２に記載の発明によれば、ベースと案内レール支持部材との相互の位置を位置決め部と、その位置決め部に当接させる当接部とによって決めることができる。これにより、狭い真空チャンバ内におけるメンテナンス作業において、移動テーブルの高精度な走り精度を再現する作業をより容易にすることができる。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の直動テーブル装置であって、前記相対位置を決める前記位置決め部を形成した位置決め部材を備え、前記位置決め部材は、前記ベース上に取付けられることを特徴としている。
請求項３に記載の発明によれば、ベースと案内レール支持部材との相対位置を決める位置決め部材を別部材にしているため、相対位置を決めるための加工面を少なくしたり、基準面を簡素化することができる。
【００１４】
また、請求項４に記載の発明は、請求項２または３に記載の直動テーブル装置であって、前記ベースに対する前記案内レール支持部材の前記相対位置を仮決めするための仮位置決め部材をさらに備えるとともに、前記ベースおよび前記案内レール支持部材の少なくとも一方に前記仮位置決め部材を装着する装着手段を有し、前記仮位置決め部材は、当該仮位置決め部材を前記装着手段で装着することによって前記位置決め部に前記当接部を当接させる当接状態を維持するようになっていることを特徴としている。
請求項４に記載の発明によれば、仮位置決め部材を装着手段で装着してベースと案内レール支持部材との相対位置を、案内レール支持部材の本組み付けに先だって、維持させておくことができる。これにより、狭い真空チャンバ内におけるメンテナンス作業の作業性をより向上させることができる。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の直動テーブル装置であって、テーパピンと、該テーパピンと同じテーパ角を有して前記ベースに形成された第一のテーパ穴と、前記テーパピンと同じテーパ角を有して前記案内レール支持部材に形成された第二のテーパ穴と、を備え、前記テーパピンは、前記ベースに対する前記案内レール支持部材の相対位置を、前記第一のテーパ穴と第二のテーパ穴とに挿通されて決めるようになっていることを特徴としている。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、ベースと案内レール支持部材との相対位置を第一のテーパ穴および第二のテーパ穴と、各テーパ穴と同じテーパ角をもつテーパピンとによってベースと案内レール支持部材との相対位置を決めることができる。これにより、狭い真空チャンバ内におけるメンテナンス作業において、移動テーブルの高精度な走り精度を再現する作業をより容易に実施することができる。そして、相対位置を決めるための加工面を少なくしたり、基準面を簡素化することができる。
【００１７】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか一項に記載の直動テーブル装置であって、前記案内レール支持部材は、前記移動テーブルの走り精度を確認するための基準面を有することを特徴としている。
請求項６に記載の発明によれば、メンテナンス作業において、移動テーブルの高精度な走り精度が再現されているかを、例えばダイヤルゲージ等を当該基準面にあてることによって容易に確認することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、真空チャンバ内に組み付けられる直動テーブル装置のメンテナンス作業性を改善し得る直動テーブル装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る直動テーブル装置の実施形態について、図面を適宜参照しつつ説明する。
図１から図３は本発明の第一実施形態を示す図であり、図１は本発明に係る直動テーブル装置の概略構成を示す斜視図、図２は図１に示すリニアガイドの正面図、図３は図１に示すボールねじの側面図である。なお、上記従来の直動テーブル装置と同様の構成については、同一の符号を附して説明する。
この直動テーブル装置１は、図１に示すように、真空チャンバ１０内に設置されるものであり、ベース２、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂ、リニアガイド３Ａ，３Ｂ、移動テーブル４および移動機構５を備えて構成されている。
【００２０】
ベース２は、方形状に形成された平板であり、剛性が高い金属材料から製作されている。ベース２上面の平板部２ａには、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂを取付ける取付け台取付け面２ｂ，２ｃが平板部２ａの両側部に平板部２ａより一段下がった段部状に加工されている。また、この段部状に加工されている取付け台取付け面２ｂ，２ｃの側面部分は、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂを所望の平行度をもって取付ける際の位置決め部となる突き当て面２ｄとして形成されている。すなわち、突き当て面２ｄは、移動テーブル４の高精度な走り精度を再現可能な誤差の範囲で移動テーブル４の走り方向に対して平行に加工されている。
【００２１】
案内レール取付け台６Ａ，６Ｂは、案内レール３１を支持するための案内レール支持部材である。
詳しくは、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂは、剛性が高い金属材料から製作されて縦断面が略方形状のブロックであり、各案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの上面には、案内レール取付面６ｄがそれぞれ形成されている。また、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂには、上記位置決め部である突き当て面２ｄに案内レール取付け台６Ａ，６Ｂを突き当てて当接させる当接部として基準面６ｆが内側にそれぞれ加工されている。そして、基準面６ｆは、突き当て面２ｄ同様、移動テーブル４の高精度な走り精度を再現可能な誤差の範囲で移動テーブル４の走り方向に平行に加工されている。
【００２２】
すなわち、この基準面６ｆおよび突き当て面２ｄは、移動テーブル４をスライド移動させる走り方向に対して、リニアガイド３Ａ，３Ｂを平行に設置可能にできる精度を予め有してそれぞれ加工されている。これにより、ベース２の段部状の突き当て面２ｄと案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの基準面６ｆとを突き合わせてから、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂをベース２上の取付け台取付け面２ｂ，２ｃに固定することによって所定の相対位置を容易に決定可能になっている。後述のように、案内レール３１は予め基準面６ｆに平行になるように組まれているので、このように案内レール取付け台６Ａ，６Ｂを固定することにより、リニアガイド３Ａ，３Ｂを容易に平行に組むことができる。
【００２３】
そして、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの長手方向の両端部には固定ボルト８を挿通するボルト取付け穴が長穴で加工されており、ベース２には、そのボルト取付け穴に対向する位置に雌ねじが形成されている。これにより、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂは、その長手方向の両端部を二本の取付け台固定ボルト８によって、ベース２の取付け台取付け面２ｂ，２ｃに着脱可能に取付けられる。
【００２４】
そして、この案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの各案内レール取付面６ｄにリニアガイド３Ａ，３Ｂの各案内レール３１が、不図示の多数本のボルトによって各基準面６ｆに対して平行に取付けられる。すなわち、案内レール３１の案内レール取付け台６Ａ（６Ｂ）への固定に際し、ダイヤルゲージ等を使用し、案内レール取付け台６Ａ（６Ｂ）の基準面６ｆに対し、案内レール３１の側面が平行になるように調整しつつ固定する。リニアガイド３Ａ，３Ｂは、図２に示すように、案内レール３１と、案内レール３１上をスライド移動可能なスライダ３２とを備えて構成されている。スライダ３２内には、案内レール３１に同レールの長手方向に沿って形成された転動体転動溝に転動自在に係合する多数の球状転動体３３が組み込まれている。
【００２５】
移動テーブル４は、図１に示すように、リニアガイド３Ａ，３Ｂのスライダ３２上に固定される。そして、この移動テーブル４をスライド移動させる移動機構５は、リニアガイド３Ａ，３Ｂと平行に設けられたボールねじ５１と、このボールねじ５１を駆動する駆動機構部５２とから構成されている。
移動機構５を構成するボールねじ５１は、図３に示すように、移動テーブル４にナットブラケット５１ａを介して固定されたナット５１ｂと、このナット５１ｂを軸方向に駆動するねじ軸５１ｃとを備えており、ナット５１ｂ内にはねじ軸５１ｃに形成された螺旋状のボール転動溝５１ｄに転動自在に係合する多数のボール５１ｅが組み込まれている。
【００２６】
移動機構５を構成する駆動機構部５２は、図１に示すように、ボールねじ５１のねじ軸５１ｃにカップリング５２ａを介して連結された駆動モータ５２ｂと、この駆動モータ５２ｂをベース２に固定するモータブラケット５２ｃとを備えて構成されている。
これにより、駆動モータ５２ｂの回転がカップリング５２ａを介してボールねじ５１のねじ軸５１ｃに伝わると、ボールねじ５１のナット５１ｂが軸方向に駆動されて、移動テーブル４がリニアガイド３Ａ，３Ｂの案内レール３１上をスライダ３２と共に移動可能になっている。
【００２７】
次に、真空チャンバ内での直動テーブル装置１のメンテナンス作業、およびその作用・効果について図４を適宜参照しつつ詳しく説明する。図４は、この直動テーブル装置１におけるリニアガイドのメンテナンス作業を説明する斜視説明図である。なお、同図では、理解を容易にするために、ベース２、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂ、およびリニアガイド３Ａ，３Ｂのみを示し、他の機構部材はその図示を省略している。
【００２８】
上述した構成からなる直動テーブル装置１によれば、図４（ａ）に示すように、リニアガイド３Ａ，３Ｂは、リニアガイド３Ａ，３Ｂの各案内レール３１を案内レール取付け台６Ａ，６Ｂに多数本のボルトによって取付けられる。また、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂは、その長手方向の両端部を二本の取付け台固定ボルト８によって、ベース２の取付け台取付け面２ｂ，２ｃに着脱可能に取付けられる。
そのため、メンテナンス作業において、リニアガイド３Ａ，３Ｂを交換するときは、図４（ｂ）に示すように、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの長手方向の両端部を二本の取付け台固定ボルト８を取り外すだけで容易に案内レール取付け台６Ａ，６Ｂとともにリニアガイド３Ａ，３Ｂを取り外すことができる。
【００２９】
そして、新たに装着するリニアガイド３Ａ，３Ｂは、図４（ｃ）に示すように、リニアガイド３Ａ，３Ｂの各案内レール３１を案内レール取付け台６Ａ，６Ｂに多数本のボルトによって予め取付けておくことができる。そのため、リニアガイド３Ａ，３Ｂを予め案内レール取付け台６Ａ，６Ｂに取付けておく作業は、真空チャンバ１０の外で行なうことができるから、十分な作業空間が確保できるし、案内レール３１の反りを矯正して精度を出す作業等も真空チャンバ１０の外で容易に行なうことができる。
【００３０】
すなわち、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂは、リニアガイド３Ａ，３Ｂが取付けられた状態でベース２に対して着脱可能になっているから、メンテナンス作業に際し、案内レール支持部材である案内レール取付け台６Ａ，６Ｂとともにリニアガイド３Ａ，３Ｂを取り外すことができる。そのため、狭い真空チャンバ１０内においてメンテナンスの必要な作業空間が限定されている場合であっても、リニアガイド３Ａ，３Ｂの交換作業を効率良く実施することができる。
【００３１】
また、この直動テーブル装置１によれば、複数組のリニアガイド３Ａ，３Ｂのうち、いずれか一組のリニアガイドを交換する場合でも、真空チャンバ１０の外で予めリニアガイドを取付けた案内レール取付け台６Ａ，６Ｂにて高さの精度調整を行なうことができるから、真空チャンバ１０内に設置後の移動テーブル４の高さ精度への影響も予め軽減することができる。特に、この直動テーブル装置１によれば、予めリニアガイド３Ａ，３Ｂを取付けておく案内レール取付け台６Ａ，６Ｂは、剛性が高い金属材料からなるブロックで製作しているから精度に影響するような反りが生じることがほとんどないため、予め組み付けておいてもその精度を保証することができる。
【００３２】
また、この直動テーブル装置１によれば、ベース２と案内レール取付け台６Ａ，６Ｂとの相互の位置を、位置決め部である突き当て面２ｄと案内レール取付け台６Ａ，６Ｂを突き当てて当接させる当接部である基準面６ｆとによって決めることができる。これにより、真空チャンバ外にて予めリニアガイド３Ａ，３Ｂの取付け精度を確保しておけば、狭い真空チャンバ内におけるメンテナンス作業において、移動テーブルの高精度な走り精度を再現する作業をより容易にすることができる。
【００３３】
また、この直動テーブル装置１によれば、基準面６ｆおよび突き当て面２ｄは、移動テーブル４をスライド移動させる走り方向に対して、リニアガイド３Ａ，３Ｂを平行に設置可能にできる精度を予め有して加工されているから、このメンテナンス作業において、移動テーブル４の高精度な走り精度が再現されているかを、例えば移動テーブル４にマグネットスタンドを固定し、そのマグネットスタンドに取付けたダイヤルゲージ等を基準面６ｆにあてることによって走り精度を容易に確認することができる。
【００３４】
以上説明したように、本発明に係る直動テーブル装置１によれば、真空チャンバ１０内に設置される直動テーブル装置１のメンテナンスの作業性を改善することができる。特に、真空チャンバ１０内に組み付けられる直動テーブル装置１のリニアガイド３Ａ，３Ｂのメンテナンスの作業性を改善することができる。
ここで、上記実施形態では、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂを取り付ける取付け台取付け面２ｂ，２ｃが平板部２ａの両側部に段部状に加工され、その側面の突き当て面２ｄを、ベース２に対する案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの相対位置を決める位置決め部としている例で説明したが、位置決め部は、これに限定されるものではない。そこで、次に、位置決め部の他の例について説明する。
【００３５】
図５は本発明の第二実施形態を示す図である。同図では、理解を容易にするために、ベース２１、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂ、およびリニアガイド３Ａ，３Ｂのみを示し、他の機構部材はその図示を省略している。なお、この第二実施形態では、上述した第一実施形態に対して、位置決め部の構成のみが異なっており、他の構成については同様であるため位置決め部の構成以外の説明は省略する。
【００３６】
同図（ａ）に示すように、この第二実施形態では、ベース２１の上面の平板部２１ａは、平面であり、段部の加工はされていない。そして、平板部２１ａには、段部の加工に替えて雌ねじ２１ｂが計４箇所加工されている。さらに、ベース２に対する案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの相対位置を決める位置決め部を形成する位置決め部材として、角ごま９１を備えている。この角ごま９１は、略立方体形状をなし、上下方向に貫通孔が穿孔されており、貫通孔が穿孔されていない他の側面が高精度に仕上げ加工されている。そして、角ごま９１は、角ごま９１を固定する止めねじ７１によって雌ねじ２１ｂに取り付け可能になっている。
【００３７】
このような構成によれば、まず、同図（ａ）に示すように、予めリニアガイド３Ａ，３Ｂを取付けた案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの一方（この図の例では案内レール取付け台６Ｂ）をベース２にボルト８により固定する。次いで案内レール取付け台６Ａを、例えばダイヤルゲージ等を用いて案内レール取付け台６Ｂの基準面６ｆを基準とし、案内レール取付け台６Ａの基準面６ｆが案内レール取付け台６Ｂの基準面６ｆと平行になるように調整し、ボルト８によりベース２に固定する。次いで、同図（ｂ）に示すように、基準面６ｆに角ごま９１の高精度に仕上げ加工されている側面を密着させるように当接させてから止めねじ７１によって雌ねじ２１ｂに取付ける。なお、案内レール取付け台６Ｂの側の角ごま９１（２箇所）はこの図の例では案内レール取付け台６Ａの取付けに先立って固定されているが、案内レール取付け台６Ａの取付け後でも構わない。
【００３８】
これにより、同図（ｃ）に示すように、メンテナンス作業において、リニアガイド３Ａ，３Ｂとともに案内レール取付け台６Ａ，６Ｂを取り外した場合でも、角ごま９１の高精度に仕上げ加工されている側面が位置決め部として機能する。
すなわち、この第二実施形態によれば、ベース２１と案内レール取付け台６Ａ，６Ｂとの相対位置を決める位置決め部材を別部材にしているため、ベースに対する加工面を少なくし、ベース２１の上面の平板部２ａに高精度な加工を行なわなくても位置決め部をベース上に備えることができる。また、位置決め部との当接部分を少なくすることができるから、基準面を簡素化してコストを下げることもできる。
【００３９】
次に、位置決め部の他の例についてさらに説明する。
図６は本発明の第三実施形態を示す図である。同図では、理解を容易にするために、ベース２２、案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂ、およびリニアガイド３Ａ，３Ｂのみを示し、他の機構部材はその図示を省略している。なお、この第三実施形態では、上述した第一実施形態に対して、位置決め部の構成および案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂの長手方向の両端部での二本の取付け台固定ボルト８の取付け部分のみが異なっており、他の構成については同様であるためその説明は省略する。
【００４０】
この第三実施形態では、同図（ａ）に示すように、ベース２２の上面の平板部２２ａは、第二実施形態同様に平面であり、段部の加工はされていない。また、平板部２２ａには、雌ねじ等も加工されない。そして、この第三実施形態では、段部の加工や雌ねじ等の加工に替えて、上記第一実施形態での二本の取付け台固定ボルト８の取付け位置に対して、テーパピン８１を上下方向に打ち込むためのテーパ状の貫通孔が、ベース２２の上面の平板部２２ａに第一のテーパ穴として穿孔される。また、案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂの長手方向の両端部にテーパ状の貫通孔が第二のテーパ穴として穿孔されている。ここで、上記位置決め部には、第一のテーパ穴と、第二のテーパ穴とが対応している。
【００４１】
そして、この第三実施形態では、ベース２２に対する案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂの相対位置を決めるために、第一のテーパ穴と第二のテーパ穴とのそれぞれのテーパ角と同じテーパ角を有したテーパ面を有するテーパピン８１を備えている。ここで、上記当接面には、テーパピン８１のテーパ面が対応する。なお、第一のテーパ穴と第二のテーパ穴の形成については、まず、予め真空チャンバ外において上述のようにベース２２に対する案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂの相対位置が互いに平行になるように調整し、適宜のクランプ手段により仮固定しておき、次いで、テーパリーマ等によってテーパピン８１のテーパ角と整合するテーパ穴が穿孔されている。
【００４２】
そして、このテーパピン８１が第一のテーパ穴と第二のテーパ穴とに挿通されて打ち込まれ、案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂをベース２２の上面に固定可能になっている。すなわち、このテーパピン８１は、前記相対位置を決めるとともに、上記案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの長手方向の両端部を固定する二本の取付け台固定ボルト８に替えて用いられる。
【００４３】
このような構成によれば、メンテナンス作業において、同図（ｂ）に示すように、リニアガイド３Ａ，３Ｂとともに案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂを取り外し、リニアガイド３Ａ，３Ｂを交換した場合でも、テーパピン８１のテーパ面と、第一のテーパ穴および第二のテーパ穴とによって、前記相対位置を再現することができる。なお、テーパピン８１には、その頭部の中心部分に雌ねじが形成されており、この頭部の中心部分の雌ねじに雄ねじを螺合することによってメンテナンス作業においてテーパピン８１を取り外す作業が容易に実施できるようになっている。
これにより、同図（ｃ）に示すように、この第三実施形態によれば、ベース２２と案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂとの相対位置を決めるための加工面を少なくしたり、基準面を簡素化してコストを下げることもできる。
【００４４】
ここで、上述した第一実施形態および第二実施形態では、ベースと案内レール取付け台との相対位置を決めるためのメンテナンス作業において、位置決め部に当接部を当接させる当接状態をもって相対位置を決めている。しかし、その当接状態は、例えばメンテナンスの作業者が手で当接状態を維持しつつ案内レール取付け台を二本の取付け台固定ボルト８によってベースに固定することになる。そのため、組み付ける際に、例えばその当接状態がずれてしまえば組み付け精度が低下することになる。したがって、作業者は当接状態を維持するために、ずれ等が生じないように気を付けて組み付けなければならず、メンテナンス作業の作業性を低下させることになる。
【００４５】
そこで、次に、この当接状態を容易に維持し得る構成を備えた例について説明する。
図７は本発明の第四実施形態を示す図である。同図では、理解を容易にするために、ベース２３、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂ、およびリニアガイド３Ａ，３Ｂを示し、他の機構部材はその図示を省略している。なお、この第四実施形態では、第一実施形態に対して、上記当接状態を容易に維持し得る構成部分のみが異なっており、他の構成については同様であるためその説明は省略する。
【００４６】
この第四実施形態では、同図（ｃ）に示すように、押付け板７１と、押付け板を固定する装着手段である止めねじ７２と、止めねじ７２が締結される雌ねじ７３とを、上記の当接状態を容易に維持し得る構成、として備えている点のみが上記第一実施形態と異なっている。
詳しくは、押付け板７１は、ベース２３に対する案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの相対位置を仮決めするための仮位置決め部材である。押付け板７１は、矩形状の板材から形成されており、矩形状の一端に止めねじ７２のねじ部を挿入する挿入孔が開口している。また、雌ねじ７３は、止めねじ７２との協働によって押付け板７１を装着する装着手段であり、ベース２３の案内レール取付け台６Ａ，６Ｂを取付ける側の側面に、上述した突き当て面２ｄに対向する位置に形成されている。ここで、上記装着手段には、雌ねじ７３と、止めねじ７２とが対応している。
【００４７】
このような構成によれば、メンテナンス作業において、まず、同図（ｂ）に示すように、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂを、ベース２３の突き当て面２ｄに対向する方向から押付け板７１によって突き当て面２ｄと基準面６ｆとを当接させるようにする。そして、同図（ａ）に示すように、その当接状態を維持するように押付け板７１を止めねじ７２で雌ねじ７３に締結する。
これにより案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂの長手方向の両端部の二本の取付け台固定ボルト８による本組み付けに先だって、ベース２３と案内レール取付け台６Ａ，６Ｂとの相対位置を、保持させておくことができる。そのため、狭い真空チャンバ内におけるメンテナンス作業の作業性をより向上させることができる。
【００４８】
次に、上記当接状態を容易に維持し得る構成を備えた他の例について説明する。
図８は本発明の第五実施形態を示す図である。同図では、理解を容易にするために、ベース２４、案内レール取付け台６２Ａ，６２Ｂ、およびリニアガイド３Ａ，３Ｂを示し、他の機構部材はその図示を省略している。なお、この第四実施形態では、第一実施形態に対して、上記当接状態を容易に維持し得る構成部分のみが異なっており、他の構成については同様であるためその説明は省略する。
【００４９】
この第五実施形態では、同図（ｃ）に示すように、押付けねじ７５と、その押付けねじ７５を挿通する挿通孔７６と、押付けねじ７５が締結される雌ねじ７７とを、上記当接状態を容易に維持し得る構成、として備えている点が第一実施形態と異なっている。
詳しくは、押付けねじ７５は、ベース２４に対する案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの相対位置を仮決めするための仮位置決め部材であるとともに、自身を装着するための装着手段として雄ねじを有している。なお、押付けねじ７５は、一般的な六角穴付きボルトを使用している。
【００５０】
案内レール取付け台６２Ａ，６２Ｂは、上述した第一実施形態での案内レール取付け台６Ａ，６Ｂに対し、押付けねじ７５を挿通する挿通孔７６が開口している点のみが異なっている。挿通孔７６は、案内レール取付け台６２Ａ，６２Ｂの側面に、ベース２４の突き当て面２４ｄに対向する位置に形成されている。
また、ベース２４の突き当て面２４ｄには、挿通孔７６の開口位置に対向する位置に押付けねじ７５が締結される雌ねじ７７が形成されている。なお、同図に示すように、ベース２４の突き当て面２４ｄが形成される凸条部分は、挿通孔７６の位置に対向する位置に雌ねじ７７が形成可能なように十分な肉厚が確保されて形成される。ここで、上記装着手段には、押付けねじ７５自身の雄ねじと、挿通孔７６と、雌ねじ７７とが対応している。
【００５１】
このような構成によれば、メンテナンス作業において、まず、同図（ｂ）に示すように、案内レール取付け台６２Ａ，６２Ｂを、ベース２４の突き当て面２４ｄに対向する方向から押付けねじ７５によって突き当て面２４ｄと基準面６２ｆとを当接させることができる。そして、その当接状態を維持するように押付けねじ７５を雌ねじ７７に締結することができる。
【００５２】
これにより、同図（ａ）に示すように、案内レール取付け台６１Ａ，６１Ｂ長手方向の両端部での二本の取付け台固定ボルト８による本組み付けに先だって、ベース２４と案内レール取付け台６２Ａ，６２Ｂとの相対位置を、維持させておくことができる。そのため、狭い真空チャンバ内におけるメンテナンス作業の作業性をより向上させることができる。
【００５３】
なお、本発明に係る直動テーブル装置は、上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能である。
例えば、上記第一実施形態では、案内レール取付け台６Ａ，６Ｂの当接面である突き当て面２ｄが移動テーブルの走り精度を確認するための基準面を兼ねる構成例を説明したが、これに限定されず、移動テーブルの走り精度を確認するための基準面を突き当て面２ｄとは別の面に形成してもよい。なお、この基準面は、上記説明した他の実施形態においても第一実施形態同様に構成可能であることは勿論である。
【００５４】
また、上記第一実施形態では、平板部２ａより一段下がった段部状の加工された側面部分を位置決め部である突き当て面２ｄとした例で説明したが、これに限定されず、位置決め部として、例えば第五実施形態での突き当て面２４ｄのように、凸条部分の側面を適用することができる。
また、例えば上記第三実施形態では、テーパピン８１と、第一のテーパ穴および第二のテーパ穴とによる位置決め構造を二本の取付け台固定ボルト８およびその取付け部分に替えて用いた例で説明したが、これに限定されず、二本の取付け台固定ボルト８による締結構造をそのまま残して、テーパピン８１と、第一のテーパ穴および第二のテーパ穴とによる位置決め構造を併設するようにしてもよい。その場合、まず上述のように案内レール取付け台６１Ａと案内レール取付け台６１Ｂとが互いに平行になるようにベース２２にボルト８により固定し、その状態で第一のテーパ穴および第二のテーパ穴を加工すればよい。
【００５５】
なお、また、上述のメンテナンス作業は、上記第三実施形態以外の場合、リニアガイド３Ａ，３Ｂのみを交換する場合に限定されず、リニアガイド３Ａ，３Ｂとともに案内レール取付け台６Ａ，６Ｂあるいは案内レール取付け台６２Ａ，６２Ｂを新しいものと交換する場合であっても本発明を適用可能であることは勿論である。
そのようにすることにより、予め、交換用のリニアガイド３Ａ，３Ｂを交換用の案内レール取付け台６Ａ，６Ｂに調整、取付けしたものを用意しておくことにより、現在使用しているリニアガイド３Ａ，３Ｂのいずれかを交換する必要が生じた場合の交換作業の時間の短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明に係る直動テーブル装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示すリニアガイドの正面図である。
【図３】図１に示すボールねじの側面図である。
【図４】本発明に係る直動テーブル装置におけるリニアガイドのメンテナンス作業を説明する斜視説明図である。
【図５】本発明の第二実施形態を説明する斜視説明図である。
【図６】本発明の第三実施形態を説明する斜視説明図である。
【図７】本発明の第四実施形態を説明する斜視説明図である。
【図８】本発明の第五実施形態を説明する斜視説明図である。
【図９】従来の直動テーブル装置の概略構成例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５７】
１    直動テーブル装置
２、２１、２２、２３、２４    ベース
２ａ、２１ａ、２２ａ    平板部
２ｂ，２ｃ    取付け台取付け面
２ｄ、２４ｄ    突き当て面（位置決め部）
３Ａ，３Ｂ、    リニアガイド
４    移動テーブル
５    移動機構
６Ａ，６Ｂ、６１Ａ，６１Ｂ、６２Ａ，６２Ｂ    案内レール取付け台（案内レール支持部材）
６ｆ、６２ｆ    基準面（当接部）
６ｄ    案内レール取付面
８    取付け台固定ボルト
１０    真空チャンバ
３１    案内レール
３２    スライダ
７１    押付け板（仮位置決め部材）
７２    止めねじ（装着手段）
７３    雌ねじ（装着手段）
７５    押付けねじ（仮位置決め部材かつ装着手段）
７６    挿通孔（装着手段）
７７    雌ねじ（装着手段）
８１    テーパピン
２００    ベース
２００ａ    平板部
２００ｂ，２００ｃ    案内レール支持部
３００Ａ，３００Ｂ    リニアガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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