(57)【要約】【課題】本発明は、タンクと流体継手とバルブとを一体的に確実に固定でき、酸等の腐食性雰囲気内での使用もでき、薬液供給回路の小型化が図れ、メンテナンス性が高く、安価なバルブとタンクの固定機構を有するタンク構造を提案することを目的とする。【解決手段】タンク１１の凸状開口部３１の先端側にて固定される流体継手１２と、流体継手１２に固定されるバルブ１３とを有するタンク構造において、環状内にタンク１１の凸状開口部３１が挿入されタンク１１の凸状開口部３１の根元側にてタンク１１に配置される第１環状部品２１と、第１環状部品２１と螺合し回転可能な第２環状部品２２と、第２環状部品２２と流体継手１２の間に挿入されるスペーサー２３とを有することを特徴とする。【選択図】  図１
2006143229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タンクの凸状開口部の先端側にて固定される流体継手と、前記流体継手に固定されるバルブとを有するタンク構造において、
環状内にタンクの凸状開口部が挿入されタンクの凸状開口部の根元側にてタンクに配置される第１環状部品と、
前記第１環状部品と螺合し回転可能な第２環状部品と、
前記第２環状部品と前記流体継手の間に挿入されるスペーサーと、
を有することを特徴とするタンク構造。
【請求項２】
請求項１に記載するタンク構造において、
前記流体継手は前記スペーサーに形成される凹部と嵌合することを特徴とするタンク構造。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載するタンク構造において、
前記スペーサーは、Ｕ字型に形成されることを特徴とするタンク構造。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記第１環状部品には切り欠き面が形成され、前記第１環状部品が前記タンクに対して回転しないように取り付けられていることを特徴とするタンク構造。
【請求項５】
請求項１乃至請求項３に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記第１環状部品と前記タンクとの間には、係止部材と係止受け部とからなる係止機構が設けられることを特徴とするタンク構造。
【請求項６】
請求項１乃至請求項３に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記第１環状部品には凹形状が形成され、前記タンクに形成される凸形状と嵌合することにより、前記第１環状部品が前記タンクに対して回転しないように取り付けられていることを特徴とするタンク構造。
【請求項７】
請求項１乃至請求項３に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記第１環状部品は、前記タンクと一体であることを特徴とするタンク構造。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記第１環状部品、前記第２環状部品、前記スペーサーは、耐腐食性を有する材質からなることを特徴とするタンク構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブとタンクの固定機構を有するタンク構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶などを製造する工場では、複数の装置へひとつの薬液供給源から分岐配管を使って薬液が供給されている。複数ある中の一つである装置（以下、Ａ装置という。）へ薬液を供給する場合、工場からくるそのままの圧力で薬液の供給をコントロールしようとしても他の装置の使用状況によってライン内の圧力や流量が変動してしまい、Ａ装置に供給される薬液の流量や圧力が一定にならない。そのため、従来から各装置内には薬液を蓄えるタンクが設置され、工場から供給された薬液をタンク内へいったん貯めてからユースポイントへ所定の圧力や流量で送ることが行われている。そして、タンクからユースポイントへの供給はバルブを介して行う場合がある。その際、省スペース化や構成の簡素化を図るためタンクに流体継手を取り付け、流体継手を介してタンクにバルブを取り付けることがある。
【０００３】
同様な構造を有する従来技術として、特許文献１に図１５に示すような高圧ガス供給システム１０１が存在する。
図１５は高圧ガス供給システム１０１の断面図である。高圧ガス供給システム１０１は主に、高圧容器本体１１１、プラグ１１２、安全弁１１３などから構成される。高圧容器本体１１１の開口１３１の部分にプラグ１１２を介して安全弁１１３が取り付けられ、安全弁１１３には開放用の配管１２４が取り付けられている。
【特許文献１】特開２００２−２０６６９６（第００１０−００１６段落、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来技術は、以下のような問題を有している。
一般にバルブは重量物であり、その制御時に生じるオーバーシュートやウォーターハンマ等の影響を無視することができない。すなわち、タンクと流体継手との間が十分に固定されていないと、バルブにより流体継手を中心にしてモーメントが生じ、流体継手に負荷がかかり破損するなどのおそれがある。しかも、通常タンクへの配管は複数行なわれ、そのためバルブは複数個使用される場合が多く、バルブ全体の重量が非常に大きくなってしまう。
また、配管作業時には作業者がバルブに取り付けられた配管を引っ張ることがあり、この場合にも上記と同様に流体継手に負荷がかかり破損するなどのおそれがある。
従って、固定機構を設けてタンクと流体継手とバルブとを一体的に確実に固定する必要がある。
【０００５】
このことを上記した特許文献１に当てはめて考えると、安全弁１１３が重量物であり、その制御時におけるオーバーシュート等の影響を無視することができない。すなわち、高圧容器本体１１１とプラグ１１２との間が十分に固定されていないと、安全弁１１３によりプラグ１１２を中心にしてモーメントが生じ、プラグ１１２に負荷がかかり破損するなどのおそれがある。
また、配管作業時には作業者が安全弁１１３に取り付けられた開放用の配管１２４を引っ張ることがあり、この場合にも上記と同様にプラグ１１２に負荷がかかり破損するなどのおそれがある。
従って、固定機構を設けて高圧容器本体１１１とプラグ１１２とバルブ１１３とを一体的に確実に固定する必要がある。
【０００６】
このようなことから固定機構を設けることを必要とするが、本発明が使用される薬液供給回路におけるタンク構造の使用環境として、例えば半導体製造工程において酸等が充満するような腐食性雰囲気内での使用の場合も想定されるので、固定機構は耐腐食性を有する必要がある。
また、作業者の安全や負担軽減、かつコストも考慮して、固定機構はメンテナンス性が高く、かつ安価なものである必要がある。
さらに、薬液供給回路の設置スペースには限りがあり、タンク構造の設置場所が十分に確保できない場合が多いので、固定機構の使用によりタンク構造が大きくなり過ぎないよう、タンク構造は小型化する必要がある。
【０００７】
本発明は以上のような課題を解消するためになされたものであり、タンクと流体継手とバルブとを一体的に確実に固定でき、酸等の腐食性雰囲気内での使用もでき、薬液供給回路の小型化が図れ、メンテナンス性が高く、安価なバルブとタンクの固定機構を有するタンク構造を提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明は以下のような特徴を有する。
（１）タンクの凸状開口部の先端側にて固定される流体継手と、流体継手に固定されるバルブとを有するタンク構造において、環状内にタンクの凸状開口部が挿入されタンクの凸状開口部の根元側にてタンクに配置される第１環状部品と、第１環状部品と螺合し回転可能な第２環状部品と、第２環状部品と流体継手の間に挿入されるスペーサーとを有することを特徴とする。
（２）（１）に記載するタンク構造において、流体継手はスペーサーに形成される凹部と嵌合することを特徴とする。
（３）（１）または（２）に記載するタンク構造において、スペーサーは、Ｕ字型に形成されることを特徴とする。
（４）（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品には切り欠き面が形成され、第１環状部品がタンクに対して回転しないように取り付けられていることを特徴とする。
（５）（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品とタンクとの間には、係止部材と係止受け部とからなる係止機構が設けられることを特徴とする。
（６）（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品には凹形状が形成され、タンクに形成される凸形状と嵌合することにより、第１環状部品がタンクに対して回転しないように取り付けられていることを特徴とする。
（７）（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品は、タンクと一体であることを特徴とする。
（８）（１）〜（７）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品、第２環状部品、スペーサーは、耐腐食性を有する材質からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
このような特徴を有する本発明は、以下のような作用・効果を有する。
（１）本発明は、タンクの凸状開口部の先端側にて固定される流体継手と、流体継手に固定されるバルブとを有するタンク構造において、環状内にタンクの凸状開口部が挿入されタンクの凸状開口部の根元側にてタンクに配置される第１環状部品と、第１環状部品と螺合し回転可能な第２環状部品と、第２環状部品と流体継手の間に挿入されるスペーサーとを有するので、タンクと流体継手とバルブとを一体的に確実に固定でき、特別なステーなどは使用せずタンクと流体継手の間に生ずる空間を有効に利用した環状部品とスペーサーのみを使用することにより薬液供給回路の小型化が図れ、専用工具を用いることなく固定できメンテナンス性が高く、単純な構造からなるものであり安価な固定機構を実現することができる効果が得られる。
【００１０】
（２）本発明は、（１）に記載するタンク構造において、流体継手はスペーサーに形成される凹部と嵌合するので、スペーサーを流体継手に押し当てることにより、タンクに配置される第１環状部品と第１環状部品に螺合する第２環状部品と第２環状部品に押圧されるスペーサーを介してタンクに流体継手が固定され、（１）に記載する効果に加えて、タンクと流体継手とバルブとを一体的にさらに確実に固定することができる効果が得られる。
【００１１】
（３）本発明は、（１）または（２）に記載するタンク構造において、スペーサーは、Ｕ字型に形成されるので、単純な形状の部品からなるものとして加工が容易でスペーサーの製作コストが低くなり、（１）または（２）に記載する効果に加えて、さらに安価な固定機構を実現することができる効果が得られる。
【００１２】
（４）本発明は、（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品には切り欠き面が形成され、第１環状部品がタンクに対して回転しないように取り付けられているので、第１環状部品に螺合する第２環状部品と第２環状部品に押圧されるスペーサーを介して結果的に流体継手もタンクに対して回転しないように取り付けられることとなり、（１）〜（３）に記載する効果に加えて、タンクと流体継手とバルブとを一体的にさらに確実に固定できる効果が得られる。
【００１３】
（５）本発明は、（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品とタンクとの間には、係止部材と係止受け部とからなる係止機構が設けられるので、第１環状部品に螺合する第２環状部品と第２環状部品に押圧されるスペーサーを介して結果的に流体継手とタンクとが互いに係止されることとなり、（１）〜（３）に記載する効果に加えて、タンクと流体継手とバルブとを一体的にさらに確実に固定できる効果が得られる。
【００１４】
（６）本発明は、（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品には凹形状が形成され、タンクに形成される凸形状と嵌合することにより、第１環状部品がタンクに対して回転しないように取り付けられているので、第１環状部品に螺合する第２環状部品と第２環状部品に押圧されるスペーサーを介して結果的に流体継手もタンクに対して回転しないように取り付けられることとなり、（１）〜（３）に記載する効果に加えて、タンクと流体継手とバルブとを一体的にさらに確実に固定できる効果が得られる。
【００１５】
（７）（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品は、タンクと一体であるので、第１環状部品に螺合する第２環状部品と第２環状部品に押圧されるスペーサーを介して結果的に流体継手もタンクと一体的に取り付けられることとなり、かつ、タンク構造を組み立てる際の組み立て部品点数が削減されて作業負担が軽減することとなり、（１）〜（３）に記載する効果に加えて、タンクと流体継手とバルブとを一体的にさらに確実に固定でき、かつ、さらにメンテナンス性が高くなる効果が得られる。
【００１６】
（８）（１）〜（７）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品、第２環状部品、スペーサーは、耐腐食性を有する材質からなるので、（１）〜（７）に記載する効果に加えて、酸等の腐食性雰囲気内での使用も可能となる効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施例について説明する。
まず、添付した図面の内容について説明する。
図１および図２はタンク構造１の組み立て後の外観図であるが、それぞれ見る方向を異にした図である。図１はＵ字型に形成されるスペーサー２３の開口側から見た場合の外観図であり、図２はＵ字型に形成されるスペーサー２３の側面側から見た場合の外観図である。
図３はタンク構造１の組み立て後の断面図である。
図４および図５はスペーサー２３を取り付ける場面を表した図であり、それぞれ見る方向を異にした図である。図４は斜め上方から見た場合の外観図であり、図５は側面側から見た外観図である。
図６は第１環状部品２１の側面、Ａ−Ａ断面、および上面を表した図である。図７は第２環状部品２２の側面、Ａ−Ａ断面、および上面を表した図である。図８はスペーサー２３を表しており、側面図、上面図、上面図におけるＡ−Ａ断面図である。図９は本発明に係る固定機構の取り付け概要を示した図である。
【００１８】
以上の図面をもとに、本発明のタンク構造１の構成を説明する。
図１から図５に示すようにタンク構造１は主に、タンク１１、流体継手１２、バルブ１３、第１環状部品２１、第２環状部品２２、スペーサー２３などから構成される。
図６に示すように第１環状部品２１は２段の環状形状を成しており、それぞれをネジ部２１ａと回り止め部２１ｂと定義する。ネジ部２１ａの外周面には雄ネジが形成されており、回り止め部２１ｂの外周面には切り欠き部２１ｃが形成されている。
図７に示すように第２環状部品２２は単純な環状形状を成しており、内周面には雌ネジが形成され、外周面にはローレット加工がなされている。
図８に示すようにスペーサー２３は、（ｂ）に表す上面図から明らかなようにＵ字型の形状を成し、さらに（ａ）に表す側面図および（ｃ）に表すＡ−Ａ断面図から明らかなように段差部分を形成するための凹部２３ａが形成されている。
なお、第１環状部品２１、第２環状部品２２、スペーサー２３は樹脂など耐腐食性を有する材質からなる。
【００１９】
次に、本発明のタンク構造１の組み立て方法を説明する。
図９に示すように、まず、互いに螺合する第１環状部品２１と第２環状部品２２をタンク１１に取り付ける。具体的には凸型に形成された凸状開口部３１の先端側から第１環状部品２１を挿入し凸状開口部３１の根元側に取り付け、第２環状部品２２を第１環状部品２１に螺合させて取り付ける。なお、上面から見てタンク１１には第１環状部品２１の切り欠き部２１ｃと同様の形状をなした段差１１ａが形成されており、第１環状部品２１のタンク１１への取り付けにあたっては、第１環状部品２１の切り欠き部２１ｃをこの段差１１ａの部分に嵌合させる。これにより、第１環状部品２１はタンク１１に対して回転できず周方向に固定される。
【００２０】
次に、タンク１１の凸状開口部３１に流体継手１２を取り付ける。取り付けは、流体継手１２側に設けられた環状のネジ部品２５により行なう。そして、ネジを用いてこの流体継手１２にバルブ１３を取り付ける。従って、バルブ１３は流体継手１２を介してタンク１１に取り付けられることになる。
次に、図４および図５に示すように、Ｕ字の開口側からタンク１１の凸状開口部３１を差し込むようにして、スペーサー２３を流体継手１２と第２環状部品２２の間に差し込む。その後、第１環状部品２１と螺合する回転自在な第２環状部品２２を回転させながら流体継手１２のある方向に移動させて、スペーサー２３を流体継手１２に押し当て、タンク１１と流体継手１２を固定する。なお、スペーサー２３には段差部分を形成するための凹部２３ａが形成されているので、流体継手１２を凹部２３ａに嵌合させることにより、スペーサー２３と流体継手１２とが互いに周方向にズレが生じなくなる。
【００２１】
以上のように、タンク１１と流体継手１２との間の空間を有効に利用しつつ固定機構が構成され、また、別途特別なステー等の部品の使用も不要なので、本発明のタンク構造１を用いた薬液供給回路では、その小型化を図ることができる。
また、第２環状部品２２の外周面にはローレット加工がなされているなど、専用工具を用いることなくタンク１１と流体継手１２を固定することができ、メンテナンス性が高いといえる。
また、第１環状部品２１、第２環状部品２２、スペーサー２３などの単純な形状の部品からのみ構成されるので、各部品の加工が容易でその製作コストが軽減され、バルブ１３とタンク１１の固定機構を安価のもと実現することができる。
さらに、第１環状部品２１、第２環状部品２２、スペーサー２３は樹脂など耐腐食性を有する材質からなるので、使用環境が酸等の腐食性雰囲気内においても使用することができる。
【００２２】
ここで、本発明の特徴の一つであるスペーサー２３を用いることの効果を説明する。
２つの部材の間のガタツキを抑えて補強し固定する方法の一つとして、部材間に突っ張り棒を差し込み、部材間に互いに押圧力を発生させる方法がある。しかし、かかる方法をタンク構造におけるバルブとタンクの固定機構にそのまま適用した場合には、以下のような問題がある。
仮に、図１０に示すように、突っ張り棒と同様の役割をなす部品を第１環状部品２１と第２環状部品２２と考え、第１環状部品２１をタンク１１に配置し、第１環状部品２１と螺合する第２環状部品２２を回転させて流体継手１２側へ上げていき、第２環状部品２２を流体継手１２へ直接に押し当てる。これにより、第１環状部品２１がタンク１１を押圧し、第２環状部品２２が流体継手１２を押圧することで、タンク１１と流体継手１２が互いに押圧し合いながらガタツキを抑えて補強し固定するという仕様も考えられる。
しかし、あくまでも第１環状部品２１と第２環状部品２２との螺合状態は維持する必要があるので、この仕様では第１環状部品２１のネジ部２１ａの高さ方向の幅や第２環状部品２２の高さ方向の幅をある程度確保する必要がある。そのため、図１１に示すように第２環状部品２２を流体継手１２に押し当てる前の状態において、幅δを大きくとることができない。本発明のタンク構造１では、タンク１１に第１環状部品２１と第２環状部品２２とを取り付けた後、タンク１１の凸状開口部３１に流体継手１２を取り付ける作業を行なうことを想定している。そのため、その作業スペースとして幅δを十分にとることができなくなってしまう。タンク構造１が設置される薬液供給回路の設置スペースにも限りがあるため、タンク１１と流体継手１２の間の幅および第１環状部品２１や第２環状部品２２の高さ方向の幅を、全体的にむやみに大きくして作業スペース（幅δ）を確保することもできない。
【００２３】
そこで、本発明では第１環状部品２１と第２環状部品２２の高さ方向の幅を可能な限り小さくして、第２環状部品２２と流体継手１２との間にはスペーサー２３を挿入し、第２環状部品２２をスペーサー２３に押し付け、さらに、このスペーサー２３を流体継手１２に押し当てる仕様としている。これにより、図５に示すように、スペーサー２３の厚み分、タンク１１の凸状開口部３１に流体継手１２を施工するための作業スペース（幅δ）を十分にとることができ、作業者の作業負担が軽減され、メンテナンス性が高くなる。
【００２４】
なお、第１環状部品２１がタンク１１に対して回転できず周方向に固定される仕様として、上記の切り欠き部２１ｃを形成する仕様の他に以下のものが考えられる。
例えば、図１２に示すように、係止部材としてのタンク１１側に形成したピン３２を、係止受け部としての第１環状部品２１側に形成されたピン孔３３に差し込むことによりタンク１１と第１環状部品２１を組み付ける仕様が考えられる。図１２の（ａ）は第１環状部品２１の外観およびＡ−Ａ断面図であり、（ｂ）はタンク１１の外観図であり、（ｃ）は第１環状部品２１の上面図であり、（ｄ）はタンク１１の上面図である。
なお、係止部材としてはネジなどを使用してもよい。また、本実施例ではタンク１１側に係止部材を設け第１環状部品２１側に係止受け部を設けているが、この逆であっても良い。すなわち、タンク１１側に係止受け部を設け第１環状部品２１側に係止部材を設けてもよい。
【００２５】
また、図１３に示すように、タンク１１に形成される凸形状３４と第１環状部品２１に形成される凹形状３５を嵌合させる仕様も考えられる。図１３の（ａ）は第１環状部品２１の外観およびＡ−Ａ断面図であり、（ｂ）はタンク１１の外観図であり、（ｃ）は第１環状部品２１の上面図であり、（ｄ）はタンク１１の上面図である。
【００２６】
さらに、図１４に示すように、タンク１１に第１環状部品２１を予め一体化させて形成しておく仕様も考えられる。この仕様によれば、タンク構造１を組み立てる際の組み立て部品点数が削減されて作業負担が軽減するので、さらにメンテナンス性が高くなる。
【００２７】
以上のような実施例により以下のような効果が得られる。
（１）本発明は、タンク１１の凸状開口部３１の先端側にて固定される流体継手１２と、流体継手１２に固定されるバルブ１３とを有するタンク構造において、環状内にタンク１１の凸状開口部３１が挿入されタンク１１の凸状開口部３１の根元側にてタンク１１に配置される第１環状部品２１と、第１環状部品２１と螺合し回転可能な第２環状部品２２と、第２環状部品２２と流体継手１２の間に挿入されるスペーサー２３とを有するので、タンク１１と流体継手１２とバルブ１３とを一体的に確実に固定でき、特別なステーなどは使用せずタンク１１と流体継手１２の間に生ずる空間を有効に利用した環状部品（２１，２２）とスペーサー２３のみを使用することにより薬液供給回路の小型化が図れ、専用工具を用いることなく固定できメンテナンス性が高く、単純な構造からなるものであり安価な固定機構を実現することができる効果が得られる。
【００２８】
（２）本発明は、（１）に記載するタンク構造において、流体継手１２はスペーサー２３に形成される凹部２３ａと嵌合するので、スペーサー２３を流体継手１２に押し当てることにより、タンク１１に配置される第１環状部品２１と第１環状部品２１に螺合する第２環状部品２２と第２環状部品２２に押圧されるスペーサー２３を介してタンク１１に流体継手１２が固定され、（１）に記載する効果に加えて、タンク１１と流体継手１２とバルブ１３とを一体的にさらに確実に固定することができる効果が得られる。
【００２９】
（３）本発明は、（１）または（２）に記載するタンク構造において、スペーサー２３は、Ｕ字型に形成されるので、単純な形状の部品からなるものとして加工が容易でスペーサー２３の製作コストが低くなり、（１）または（２）に記載する効果に加えて、さらに安価な固定機構を実現することができる効果が得られる。
【００３０】
（４）本発明は、（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品２１には切り欠き面２１ｃが形成され、第１環状部品２１がタンク１１に対して回転しないように取り付けられているので、第１環状部品２１に螺合する第２環状部品２２と第２環状部品２２に押圧されるスペーサー２３を介して結果的に流体継手１２もタンク１１に対して回転しないように取り付けられることとなり、（１）〜（３）に記載する効果に加えて、タンク１１と流体継手１２とバルブ１３とを一体的にさらに確実に固定できる効果が得られる。
【００３１】
（５）本発明は、（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品２１とタンク１１との間には、係止部材と係止受け部とからなる係止機構が設けられるので、第１環状部品２１に螺合する第２環状部品２２と第２環状部品２２に押圧されるスペーサー２３を介して結果的に流体継手１２とタンク１１とが互いに係止されることとなり、（１）〜（３）に記載する効果に加えて、タンク１１と流体継手１２とバルブ１３とを一体的にさらに確実に固定できる効果が得られる。
【００３２】
（６）本発明は、（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品２１には凹形状３５が形成され、タンク１１に形成される凸形状３４と嵌合することにより、第１環状部品２１がタンク１１に対して回転しないように取り付けられているので、第１環状部品２１に螺合する第２環状部品２２と第２環状部品２２に押圧されるスペーサー２３を介して結果的に流体継手１２もタンク１１に対して回転しないように取り付けられることとなり、（１）〜（３）に記載する効果に加えて、タンク１１と流体継手１２とバルブ１３とを一体的にさらに確実に固定できる効果が得られる。
【００３３】
（７）（１）〜（３）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品２１は、タンク１１と一体であるので、第１環状部品２１に螺合する第２環状部品２２と第２環状部品２２に押圧されるスペーサー２３を介して結果的に流体継手１２もタンク１１と一体的に取り付けられることとなり、かつ、タンク構造１を組み立てる際の組み立て部品点数が削減されて作業負担が軽減することとなり、（１）〜（３）に記載する効果に加えて、タンク１１と流体継手１２とバルブ１３とを一体的にさらに確実に固定でき、かつ、さらにメンテナンス性が高くなる効果が得られる。
【００３４】
（８）（１）〜（７）に記載するいずれか一つのタンク構造において、第１環状部品２１、第２環状部品２２、スペーサー２３は、耐腐食性を有する材質からなるので、（１）〜（７）に記載する効果に加えて、酸等の腐食性雰囲気内での使用も可能となる効果が得られる。
【００３５】
尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様
々な変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】組み立て後のタンク構造においてスペーサーの開口側から見た外観図である。
【図２】組み立て後のタンク構造においてスペーサーの側面側から見た外観図である。
【図３】組み立て後のタンク構造の断面図である。
【図４】スペーサーを取り付ける時のタンク構造の外観図である。
【図５】スペーサーを取り付ける時のタンク構造の外観図である。
【図６】第１環状部品の側面・断面図と上面図である。
【図７】第２環状部品の側面・断面図と上面図である。
【図８】スペーサーの側面図と上面図と断面図である。
【図９】タンク構造の分解図である。
【図１０】スペーサーが無い仕様のタンク構造の外観図である。
【図１１】スペーサーが無い仕様のタンク構造の外観図である。
【図１２】第１環状部品をタンクに配置するための仕様として、タンク側に形成したピンを第１環状部品に形成されたピン孔に差し込むことによりタンクと第１環状部品を組み付ける仕様のタンク構造を示す図である。
【図１３】第１環状部品をタンクに配置するための仕様として、タンクに形成される凸形状と第１環状部品に形成される凹形状を嵌合させる仕様のタンク構造を示す図である。
【図１４】第１環状部品をタンクに配置するための仕様として、第１環状部品をタンクと一体化した仕様のタンク構造を示す図である。
【図１５】特許文献１における高圧ガス供給システムの断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１    タンク構造
１１    タンク
１２    流体継手
１３    バルブ
２１    第１環状部品
２２    第２環状部品
２３    スペーサー
３１    凸状開口部
３２    ピン
３３    ピン孔
３４    凸形状
３５    凹形状
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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