(57)【要約】    【課  題】  可視光透過率が高く、可視光反射率が低く、高遮熱性能を有する複層ガラス、特に、可視光透過率が４５％以上であり、可視光反射率が１５％以下であり、日射透過率が３５％以下である複層ガラスの提供。    【解決手段】２枚のガラス板を、ガス層を介して対向するように配置した複層ガラスであって、前記２枚のガラス板のうち室外側となるガラス板が、室外側の表面に反射防止膜を有し、室内側の表面に遮熱膜を有することを特徴とする複層ガラス。【選択図】図１
2006143525.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚のガラス板を、ガス層を介して対向するように配置した複層ガラスであって、前記２枚のガラス板のうち室外側となるガラス板が、室外側の表面に反射防止膜を有し、室内側の表面に遮熱膜を有することを特徴とする複層ガラス。
【請求項２】
反射防止膜が、無機シリコン化合物を主成分とする単層膜または無機シリコン化合物を主成分とする層を含む多層膜であることを特徴とする請求項１記載の複層ガラス。
【請求項３】
無機シリコン化合物が酸化ケイ素である請求項２記載の複層ガラス。
【請求項４】
遮熱膜が、銀を主成分とする層を含む多層膜であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の複層ガラス。
【請求項５】
遮熱膜が、チタンの窒化物もしくは酸窒化物を主成分とする層を含む多層膜であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の複層ガラス。
【請求項６】
遮熱膜が、銀を主成分とする層と、チタンの窒化物もしくは酸窒化物を主成分とする層とを含む多層膜であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の複層ガラス。
【請求項７】
反射防止膜が、金属酸化物層、金属窒化物層および金属酸窒化物層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなり、遮熱膜が、金属層、金属酸化物層、金属窒化物層および金属酸窒化物層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなることを特徴とする請求項１記載の複層ガラス。
【請求項８】
反射防止膜が、酸化ケイ素層、酸化スズ層、酸化チタン層、窒化チタン層および酸窒化チタン層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなり、遮熱膜が、酸化スズ層、窒化チタン層、酸窒化チタン層、酸化チタン層、アルミニウム添加酸化亜鉛層および銀層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなることを特徴とする請求項１記載の複層ガラス。
【請求項９】
反射防止膜が、酸化ケイ素層、酸化スズ層、酸化チタン層、窒化チタン層および酸窒化チタン層から選ばれる３種以上の層を積層した多層からなることを特徴とする請求項１記載の複層ガラス。
【請求項１０】
反射防止膜が、ガラス板表面から順次、（１）窒化チタン層、酸化スズ層および酸化ケイ素層、（２）酸窒化チタン層、酸化スズ層および酸化ケイ素層、または（３）酸化スズ層、酸化チタン層および酸化ケイ素層を積層した３層からなることを特徴とする請求項１記載の複層ガラス。
【請求項１１】
遮熱膜が、酸化スズ層、窒化チタン層、酸窒化チタン層、酸化チタン層、アルミニウム添加酸化亜鉛層および銀層から選ばれる３種以上の層を積層した多層からなることを特徴とする請求項１記載の複層ガラス。
【請求項１２】
遮熱膜が、ガラス板表面から順次、（１）酸化スズ層、アルミニウム添加酸化亜鉛層、銀層、アルミニウム添加酸化亜鉛層および酸化スズ層、（２）窒化チタン層、酸窒化チタン層、アルミニウム添加酸化亜鉛層、銀層およびアルミニウム添加酸化亜鉛層、または（３）窒化チタン層、酸化チタン層および酸化スズ層を積層した３層または５層からなることを特徴とする請求項１記載の複層ガラス。
【請求項１３】
室内側となるガラス板が、室内側の表面に（１）無機シリコン化合物を主成分とする単層膜または（２）無機シリコン化合物を主成分とする層を含む多層膜（２ａ）もしくは２種以上の金属酸化物層を積層した多層膜（２ｂ）を有することを特徴とする請求項１記載の複層ガラス。
【請求項１４】
室内側ガラス板の室内側表面の多層膜が、ガラス板表面から順次、酸化スズ層、酸化チタン層および酸化ケイ素層を積層した３層からなることを特徴とする請求項１３記載の複層ガラス。
【請求項１５】
反射防止膜の膜厚が５０〜１０００ｎｍであり、遮熱膜の膜厚が５０〜１０００ｎｍである請求項１〜１４のいずれかに記載の複層ガラス。
【請求項１６】
可視光透過率が４５％以上であり、可視光反射率が１５％以下であり、日射透過率が３５％以下である請求項１〜１５のいずれかに記載の複層ガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、建築物の窓ガラス等に使用される複層ガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ガラス基板の表面に可視域での透明性を有する導電性の膜を形成し、赤外域における電子のフリーキャリア吸収を利用した高遮熱（或いは高断熱）・低放射ガラス（一般にＬｏｗ−Ｅガラスと呼ばれる）が提案され、既に実用化されている。Ｌｏｗ−Ｅガラスを建築物の窓ガラス等に用いることにより、夏季では冷房負荷を軽減し、冬季は暖房負荷を軽減することが可能となり、室内の温度調整に掛かる経費を削減できるのみならず、世界規模で問題となっている地球温暖化の防止にも貢献できる。
【０００３】
Ｌｏｗ−Ｅガラスは、例えば、特許文献１に、ガラス基板表面で、シラン、ラジカルスカベンジャーガス（エチレン等）、酸素および不活性キャリアガス（窒素等）を反応させて得られたシリカ被膜付きガラスが記載されている。また、特許文献１には、具体的に、ガラス基板上から順次、酸化スズ層、シリカ被膜および酸化スズ層を積層したシリカ被膜付きガラスとして記載されている。この酸化スズ層を含むガラスは、特許文献１の表ＩＩに示すように、放射率が低いことが特徴である。
【０００４】
また、特許文献２には、ガラス基板上に、順に、亜鉛とスズとからなる合金酸化物層、金、銀または銅からなる金属層、および亜鉛とスズとからなる合金酸化物層が設けられたガラス製品（Ｌｏｗ−Ｅガラス）が記載されている。このガラス製品は、透過性の得られるほどの薄い金属層（主として銀層）を透明誘電体（ここでは合金酸化物）層で挟む構造を有している。
【０００５】
特許文献１に記載のＬｏｗ−Ｅガラスと特許文献２に記載のＬｏｗ−Ｅガラスとを比較した場合、特許文献２に記載のＬｏｗ−Ｅガラスのうち、一般に比抵抗が低く、高い遮熱性を有する銀を金属層に用いたガラスの方がより薄い膜厚で高いＬｏｗ−Ｅ性能を発現できることが知られている。
【０００６】
近年においては、市場からの要求により、従来に増した高遮熱性能を有し、ある程度の可視光透過率を有しつつ、可視光反射を低減したガラスが望まれている。特許文献２に記載の銀を金属層に用いたＬｏｗ−Ｅガラスの場合、より優れた高遮熱性（或いは高断熱性）を得るために遮熱層である銀層を厚くする必要があり、銀層を厚くした場合、可視光反射率が増加し、可視光透過率が減少するといった問題が生ずる。また、銀は、高価な貴金属であり、銀層を厚くすると、コストが高くなり、さらに耐久性が悪くなるために、ガラスに銀を多量に使用することは望ましくなかった。
【０００７】
一方、特許文献３〜６には、遮熱層に、窒化チタン膜を用いたＬｏｗ−Ｅガラスが記載されている。窒化チタンを主成分とする窒化チタン系材料もやはり導電性を有し、赤外域で反射・吸収性能を有することから、遮熱用に好都合である。遮熱層に窒化チタン膜を用いたＬｏｗ−Ｅガラスの場合、銀を用いたＬｏｗ−Ｅガラスと比較して低価格で高い耐久性や耐摩耗性が期待できる。しかしながら、市場からの要求により、より高い遮熱性能がＬｏｗ−Ｅガラスに求められた場合には、遮熱層である窒化チタン膜を厚くする必要があり、窒化チタン膜を厚くすると、可視光反射率が増加し、可視光透過率が減少するといった問題が生じる。
【０００８】
また、特許文献５には、窒化チタンを遮熱膜として用いたＬｏｗ−Ｅ複層ガラスが記載されているが、この複層ガラスもまた、より高い遮熱性能がＬｏｗ−Ｅガラスに求められた場合には、遮熱層である窒化チタン膜を厚くする必要があり、窒化チタン膜を厚くすると、可視光反射率が増加し、可視光透過率が減少するといった問題が生じる。
【０００９】
高い可視光透過率は窓材として確保されるべき機能であるが、逆に高い可視光反射率は近隣住民や歩行者、車両運転者に対して反射光害となり得る。しかしながら、高遮熱性能を発現させるために遮熱層の膜厚を増加させると可視光反射率が増加し、可視光透過率が減少する傾向になる。
低反射機能を有する遮熱ガラスの公知文献は幾つか存在するが（特許文献７〜９参照）、いずれのガラスも、より優れた高遮熱性能を発現させるために遮熱層の膜厚を増加させると、可視光反射率が増加し、可視光透過率が減少する傾向になり、高い可視光透過率、低い可視光反射率および高遮熱性能の３つの条件を満足するものではなかった。
【特許文献１】特表平１０−５０６８７４号公報
【特許文献２】特公平６−６２３１９号公報
【特許文献３】特表平２−５０４６１２号公報
【特許文献４】特表平３−５０４１２０号公報
【特許文献５】特開２０００−２３３９４６号公報
【特許文献６】特許第３３５２２５６号
【特許文献７】特表２００２−５１１０４８号公報
【特許文献８】特開平２−１４９４４８号公報
【特許文献９】特開平７−２５６４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、可視光透過率が高く、可視光反射率が低く、高遮熱性能を有する複層ガラス、特に、可視光透過率が４５％以上であり、可視光反射率が１５％以下であり、日射透過率が３５％以下である複層ガラスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、複層ガラスの室外側となるガラス板が、反射防止膜を有し、室内側の表面に遮熱膜を有することによって、複層ガラスが、高い可視光透過率、低い可視光反射率および高遮熱性能の３つの条件を満足することを見出し、さらに検討を重ねて本発明を完成させるに至った。
【００１２】
すなわち、本発明は、
〔１〕  ２枚のガラス板を、ガス層を介して対向するように配置した複層ガラスであって、前記２枚のガラス板のうち室外側となるガラス板が、室外側の表面に反射防止膜を有し、室内側の表面に遮熱膜を有することを特徴とする複層ガラス、
〔２〕  反射防止膜が、無機シリコン化合物を主成分とする単層膜または無機シリコン化合物を主成分とする層を含む多層膜であることを特徴とする前記〔１〕記載の複層ガラス、
〔３〕  無機シリコン化合物が酸化ケイ素である前記〔２〕記載の複層ガラス、
〔４〕  遮熱膜が、銀を主成分とする層を含む多層膜であることを特徴とする前記〔１〕〜〔３〕のいずれかに記載の複層ガラス、
〔５〕  遮熱膜が、チタンの窒化物もしくは酸窒化物を主成分とする層を含む多層膜であることを特徴とする前記〔１〕〜〔３〕のいずれかに記載の複層ガラス、
〔６〕  遮熱膜が、銀を主成分とする層と、チタンの窒化物もしくは酸窒化物を主成分とする層とを含む多層膜であることを特徴とする前記〔１〕〜〔３〕のいずれかに記載の複層ガラス、
〔７〕  反射防止膜が、金属酸化物層、金属窒化物層および金属酸窒化物層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなり、遮熱膜が、金属層、金属酸化物層、金属窒化物層および金属酸窒化物層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなることを特徴とする前記〔１〕記載の複層ガラス、
〔８〕  反射防止膜が、酸化ケイ素層、酸化スズ層、酸化チタン層、窒化チタン層および酸窒化チタン層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなり、遮熱膜が、酸化スズ層、窒化チタン層、酸窒化チタン層、酸化チタン層、アルミニウム添加酸化亜鉛層および銀層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなることを特徴とする前記〔１〕記載の複層ガラス、
〔９〕  反射防止膜が、酸化ケイ素層、酸化スズ層、酸化チタン層、窒化チタン層および酸窒化チタン層から選ばれる３種以上の層を積層した多層からなることを特徴とする前記〔１〕記載の複層ガラス、
〔１０〕  反射防止膜が、ガラス板表面から順次、（１）窒化チタン層、酸化スズ層および酸化ケイ素層、（２）酸窒化チタン層、酸化スズ層および酸化ケイ素層、または（３）酸化スズ層、酸化チタン層および酸化ケイ素層を積層した３層からなることを特徴とする前記〔１〕記載の複層ガラス、
〔１１〕  遮熱膜が、酸化スズ層、窒化チタン層、酸窒化チタン層、酸化チタン層、アルミニウム添加酸化亜鉛層および銀層から選ばれる３種以上の層を積層した多層からなることを特徴とする前記〔１〕記載の複層ガラス、
〔１２〕  遮熱膜が、ガラス板表面から順次、（１）酸化スズ層、アルミニウム添加酸化亜鉛層、銀層、アルミニウム添加酸化亜鉛層および酸化スズ層、（２）窒化チタン層、酸窒化チタン層、アルミニウム添加酸化亜鉛層、銀層およびアルミニウム添加酸化亜鉛層、または（３）窒化チタン層、酸化チタン層および酸化スズ層を積層した３層または５層からなることを特徴とする前記〔１〕記載の複層ガラス、
〔１３〕  室内側となるガラス板が、室内側の表面に（１）無機シリコン化合物を主成分とする単層膜または（２）無機シリコン化合物を主成分とする層を含む多層膜（２ａ）もしくは２種以上の金属酸化物層を積層した多層膜（２ｂ）を有することを特徴とする前記〔１〕記載の複層ガラス、
〔１４〕  室内側ガラス板の室内側表面の多層膜が、ガラス板表面から順次、酸化スズ層、酸化チタン層および酸化ケイ素層を積層した３層からなることを特徴とする前記〔１３〕記載の複層ガラス、
〔１５〕  反射防止膜の膜厚が５０〜１０００ｎｍであり、遮熱膜の膜厚が５０〜１０００ｎｍである前記〔１〕〜〔１４〕のいずれかに記載の複層ガラス、および
〔１６〕  可視光透過率が４５％以上であり、可視光反射率が１５％以下であり、日射透過率が３５％以下である前記〔１〕〜〔１５〕のいずれかに記載の複層ガラス、
に関する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の複層ガラスは、可視光透過率が高く、可視光反射率が低く、高遮熱性能を有し、特に、可視光透過率４５％以上、可視光反射率１５％以下および日射透過率３５％以下を満足できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は、２枚のガラス板を、ガス層を介して対向するように配置した複層ガラスであって、前記２枚のガラス板のうち室外側となるガラス板表面に反射防止膜を有し、室内側となるガラス板表面に遮熱膜を有することを特徴とする。
【００１５】
以下、図１および３を参照して本発明の構成を説明する。図１は、本発明の複層ガラスの角部断面を模式的に示した図であって、本発明の主要な構成を説明する図である。また、図３は、本発明の複層ガラスの主要な断面構成を模式的に示した図である。
【００１６】
（ガラス板）
ガラス板（１、２）は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されず、公知のガラス板であってよい。このようなガラス板としては、例えば、フロート板ガラス、磨き板ガラス、型板ガラス、網入板ガラス、線入板ガラス、熱線吸収板ガラス、それらを用いた合わせガラス等が挙げられる。
【００１７】
（ガス層）
ガス層９９は、本発明の目的を阻害しない限り、空気層、不活性ガス層、減圧層および真空層のいずれであってもよい。
【００１８】
（反射防止膜）
反射防止膜１９は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されないが、好ましくは、無機シリコン化合物を主成分とする単層膜または無機シリコン化合物を主成分とする層を含む多層膜であり、該無機シリコン化合物は、好ましくは酸化ケイ素である。
また、反射防止膜１９は、金属酸化物層、金属窒化物層および金属酸窒化物層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなるのも好ましい。金属酸化物層の好適な具体例としては、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）層、酸化チタン（ＴｉＯ２）層または酸化スズ（ＳｎＯ２）層が挙げられる。金属窒化物層の好適な例としては、窒化チタン（ＴｉＮ）層が挙げられる。金属酸窒化物層の好適な例としては、酸窒化チタン層（ＴｉＯＮ）が挙げられる。
また、反射防止膜１９は、酸化ケイ素層、酸化スズ層、酸化チタン層、窒化チタン層および酸窒化チタン層から選ばれる３種以上の層を積層した多層からなるのがより好ましく、ガラス板１表面から順次、（１）窒化チタン層、酸化スズ層および酸化ケイ素層、（２）酸窒化チタン層、酸化スズ層および酸化ケイ素層、または（３）酸化スズ層、酸化チタン層および酸化ケイ素層を積層した３層からなるのが最も好ましい。
反射防止膜の膜厚は、積層される膜の種類により適宜選択されるが、好ましくは、５０〜１０００ｎｍであり、より好ましくは１００〜７００ｎｍである。膜厚が５０〜１０００ｎｍの範囲内であれば、反射防止膜が優れた光の干渉効果を発現させ、複層ガラスの可視光透過率、反射率および色調調整に該効果を最もよく反映させることができる。
【００１９】
（遮熱膜）
遮熱膜２９は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されないが、好ましくは、（イ）銀を主成分とする層を含む多層膜、（ロ）チタンの窒化物もしくは酸窒化物を主成分とする層を含む多層膜、または（ハ）銀を主成分とする層と、チタンの窒化物もしくは酸化物を主成分とする層とを含む多層膜である。また、遮熱膜２９は、金属層、金属酸化物層、金属窒化物層および金属酸窒化物層から選ばれる２種以上の層を積層した多層からなるのも好ましい。金属層の好適な例としては銀層が挙げられる。金属酸化物層の好適な例としては、酸化スズ層、酸化チタン層またはアルミニウム添加酸化亜鉛層が挙げられる。金属窒化物層の好適な例としては窒化チタン層が挙げられる。金属酸窒化物層の好適な例としては酸窒化チタン層が挙げられる。
また、遮熱膜２９は、酸化スズ層、窒化チタン層、酸窒化チタン層、酸化チタン層、アルミニウム添加酸化亜鉛層および銀層から選ばれる３種以上の層を積層した多層からなるのがより好ましく、ガラス板表面から順次、（１）酸化スズ層、アルミニウム添加酸化亜鉛層、銀層、アルミニウム添加酸化亜鉛層および酸化スズ層、（２）窒化チタン層、酸窒化チタン層、アルミニウム添加酸化亜鉛層、銀層およびアルミニウム添加酸化亜鉛層、または（３）窒化チタン層、酸化チタン層および酸化スズ層を積層した３層または５層からなるのが最も好ましい。
遮熱膜の膜厚は、積層される膜の種類により適宜選択されるが、通常、５０〜１０００ｎｍであり、好ましくは６０〜６００ｎｍである。
【００２０】
また、本発明の複層ガラスには、図２に示すように、室内側となるガラス板２が、室内側の表面に単層膜または多層膜３を有するのが好ましい。単層膜３や多層膜３は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されず、上記した反射防止膜と同様の膜であってよい。好ましくは、無機シリコン化合物を主成分とする単層膜または無機シリコン化合物を主成分とする層を含む多層膜である。
また、多層膜３は、２種以上の金属酸化物層を積層した多層膜であるのも好ましい。金属酸化物層の好ましい例としては酸化スズ層、酸化チタン層、酸化ケイ素層が挙げられる。
またさらに、多層膜３は、ガラス板表面から順次、酸化スズ、酸化チタン層および酸化ケイ素層を積層した３層からなるのがより好ましい。
多層膜３の膜厚は、積層される膜の種類により適宜選択されるが、通常、５０〜５００ｎｍであり、好ましくは１５０〜３００ｎｍである。
【００２１】
（製造方法）
本発明の複層ガラス１００は、ガラス板１の一方の面に反射防止膜１９を設ける工程（工程Ａ）、ガラス板１の他方の面に遮熱膜２９を設ける工程（Ｂ）、および反射防止膜１９および遮熱膜２９をそれぞれの表面に有するガラス板１と、ガラス板２とを用いて常法に従い複層ガラス１００を形成する工程（工程Ｃ）を経て製造される。なお、各工程の実施順序は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されず、順に工程Ａ、工程Ｂおよび工程Ｃであってもよいし、順に工程Ｂ、工程Ａおよび工程Ｃであってもよい。
【００２２】
（工程Ａ）
工程Ａでは、常法に従い、ガラス板１表面に反射防止膜１９を設ける。例えば、反射防止膜１９の各層を一層ごとガラス板１表面上に積層することにより、ガラス板１表面に反射防止膜１９を設けることができる。かかる積層手段は、特に限定されないが、化学気相成長（ＣＶＤ）法などの熱的成膜法が、化学的耐久性や耐摩耗性の高い膜が容易に得られる点で好ましく、常圧熱ＣＶＤ法が大面積に均一に成膜できる点でより好ましい。
【００２３】
（工程Ｂ）
工程Ｂでは、常法に従い、ガラス板１表面に遮熱膜２９を設ける。例えば、遮熱膜２９の各層を一層ごとガラス板１表面上に積層することにより、ガラス板１表面に遮熱膜２９を設けることができる。かかる積層手段は、特に限定されないが、物理的気相成長（ＰＶＤ）法等の真空成膜法が、特に銀層の高精度な膜厚制御性が得られ、銀層の酸化を高度に抑制可能な点で好ましく、スパッタリング法が、大面積に均一に成膜できる点でより好ましい。
【００２４】
（工程Ｃ）
工程Ｃでは、反射防止膜１９および遮熱膜２９をそれぞれの表面に有するガラス板１と、ガラス板２とを用いて常法に従い複層ガラス１００を形成する。例えば、反射防止膜１９および遮熱膜２９をそれぞれの表面に有するガラス板１と、ガラス板２とを、一様の間げきをおいて互いに対向するように並置し、その間げきにガス（例えば乾燥空気、不活性ガス等）を充填するか、または充填しないで、その間げき周辺を常法に従い封止することにより、複層ガラス１００を形成できる。この複層ガラスの形成については、従来十分に確立された技術であるので、本工程においてもこれら技術を適宜採用することができる。
本工程では、図１および２に示すように、ガラス板１およびガラス板２を、乾燥剤入りスペーサー４を介して周辺を接着剤（例えば合成ゴム系シール材など）でシールして、シール部５を形成するのが好ましく、この際、所望により、ガス層９９に乾燥空気などを封入してもよい。
【００２５】
なお、本発明の複層ガラス１００が、ガラス板２の室内側の表面に単層膜または多層膜３を有している場合には、ガラス板２の室内側の表面に単層膜または多層膜３を設ける工程（工程Ｄ）が工程Ａ〜Ｃに付加される。各工程の実施順序は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されない。
【００２６】
（工程Ｄ）
工程Ｄでは、常法に従い、ガラス板２の室内側の表面に単層膜または多層膜３を設ける。例えば、単層膜３をガラス板２の表面上に製膜するか、または多層膜３の各層を一層ごとガラス板２の表面上に積層することにより、ガラス板２表面に単層膜または多層膜３を設けることができる。かかる製膜手段や積層手段は、特に限定されないが、化学気相成長（ＣＶＤ）法などの熱的成膜法が、化学的耐久性や耐摩耗性の高い膜が容易に得られる点で好ましく、常圧熱ＣＶＤ法が大面積に均一に成膜できる点でより好ましい。このようなＣＶＤ法を採用する場合には、工程Ｄは、通常、工程Ｃの前に実施される。
【００２７】
上記のようにして製造された複層ガラス１００は、可視光透過率が高く、可視光反射率が低く、高遮熱性能を有する。好ましい構成を具備する複層ガラス１００では、可視光透過率が４５％以上であり、可視光反射率が１５％以下であり、日射透過率が３５％以下である。また、好ましい構成を具備する複層ガラス１００では、光学干渉を利用して所望の光学特性を得ることができる。特に外観上重視される室外側反射色調については、赤色〜黄色の暖色系色調よりは、青色〜緑色の寒色系色調または無色が好まれ、クロマティクス指数（ＪＩＳ  Ｚ８７２９−１９８０）が、ａ＊≦３、ｂ＊≦３であるのが好ましい。
【実施例】
【００２８】
以下、実施例および図を用いて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に制限されるものではない。なお、実施例中、「第１面」は、ガラス板１の室外側の表面を表し、「第２面」は、ガラス板１の室内側の表面を表し、「第３面」は、ガラス板２の室内側の表面を表す。
【００２９】
図４は、実施例１〜７の複層ガラスの断面を模式的に示したものである。
（実施例１）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
一辺が１０ｃｍの正方形となるように切断した厚さ６ｍｍのフロートガラス（ソーダラムガラス）板（ガラス板１）を洗浄した後に乾燥させた。このガラス板１の第１面に、常圧ＣＶＤの搬送炉を用い、ＣＶＤ法により各膜材料を順次成膜・積層した。尚、ガラス板１はメッシュベルトを用いて搬送し、炉内で約６５０℃まで加熱してから成膜した。
１）ＣＶＤ法による窒化チタン膜の成膜
四塩化チタン（蒸気）、アンモニア（ガス）、窒素からなる混合ガスを供給し、ガラス板１の第１面上に膜厚が８ｎｍの窒化チタン膜を成膜した。
２）ＣＶＤ法による酸化スズ膜の成膜
四塩化スズ（蒸気）、純水（蒸気）、窒素、酸素、塩化水素からなる混合ガスを供給し、窒化チタン膜上に膜厚が７０ｎｍの酸化スズ膜を成膜した。
３）ＣＶＤ法による酸化ケイ素膜の成膜
モノシラン、エチレン、酸素、窒素からなる混合ガスを供給し、酸化スズ膜上に膜厚が７０ｎｍの酸化ケイ素膜を成膜した。
【００３０】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
上記で得られた第１面上に反射防止膜を設けたガラス板１の第２面を洗浄し、ついで乾燥させた後、ガラス板１の第２面に、インライン型のマグネトロンスパッタ装置を用い、各膜材料を順次成膜・積層した。装置内を１×１０−３Ｐａ以下に真空引きされた状態から、希ガス及び、或いは反応ガスを導入し、４Ｐａに保たれた状態でターゲットと基板間に直流（ＤＣ）を印加・放電させて成膜した。
１）スパッタ法による酸化スズ膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、スズターゲットにＤＣを印加してガラス板１の第２面上に膜厚が１０ｎｍの酸化スズ膜を成膜した。
２）スパッタ法によるアルミニウム添加酸化亜鉛膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、アルミニウム添加酸化亜鉛ターゲットにＤＣを印加して酸化スズ膜上に膜厚が５ｎｍのアルミニウム添加酸化亜鉛膜を成膜した。
３）スパッタ法による銀膜の成膜
アルゴンガスを導入し、銀ターゲットにＤＣを印加してアルミニウム添加酸化亜鉛膜上に膜厚が８ｎｍの銀膜を成膜した。
４）スパッタ法によるアルミニウム添加酸化亜鉛膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、アルミニウム添加酸化亜鉛ターゲットにＤＣを印加して銀膜上に膜厚が１５ｎｍのアルミニウム添加酸化亜鉛膜を成膜した。
５）スパッタ法による酸化スズ膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、スズターゲットにＤＣを印加してアルミニウム添加酸化亜鉛膜上に膜厚が３５ｎｍの酸化スズ膜を成膜した。
【００３１】
（複層ガラスの製造）
上記で得られた第１面上に反射防止膜および第２面上に遮熱膜を設けたガラス板１と、一辺が１０ｃｍの正方形となるように切断した厚さ６ｍｍのフロートガラス（ソーダラムガラス）板２とを、空気層（幅６ｍｍ）を介して対向するように配置し、ついで乾燥剤入りスペーサー４を介して周辺を接着剤で常法に従い封止することにより、複層ガラスを製造する。
【００３２】
（実施例２〜４）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
実施例１の第１面と同様のＣＶＤ法で、ガラス板１の第１面に、窒化チタン膜、酸化スズ膜、酸化ケイ素膜を順次積層した。各々の膜厚は、それぞれ以下のようにした。
実施例２として、窒化チタン膜を８ｎｍ厚、酸化スズ膜を３４０ｎｍ厚、酸化ケイ素膜を７０ｎｍ厚とした。
実施例３として、窒化チタン膜を８ｎｍ厚、酸化スズ膜を４０ｎｍ厚、酸化ケイ素膜を９５ｎｍ厚とした。
実施例４として、窒化チタン膜を８ｎｍ厚、酸化スズ膜を９５ｎｍ厚、酸化ケイ素膜を９０ｎｍ厚とした。
【００３３】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
次に、上記で得られた第１面上に反射防止膜を設けたガラス板１を用いたこと以外、実施例１と同様にして、ガラス板１の第２面上で遮熱膜を形成した。
【００３４】
（複層ガラスの製造）
実施例１と同様の方法で、複層ガラスを製造する。
【００３５】
（実施例５〜７）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
実施例１の第１面と同様のＣＶＤ法で、ガラス板１の第１面に、酸窒化チタン膜、酸化スズ膜、酸化ケイ素膜を順次積層した。酸窒化チタン膜は、実施例１の「１）ＣＶＤ法による窒化チタン膜の成膜」に示された混合ガスの代わりに、四塩化チタン（蒸気）、アンモニア（ガス）、窒素および酸素からなる混合ガスを供給することで形成した。各々の膜厚は、それぞれ以下のようにした。
実施例５として、酸窒化チタン膜を１２ｎｍ厚、酸化スズ膜を５２５ｎｍ厚、酸化ケイ素膜を１００ｎｍ厚とした。
実施例６として、酸窒化チタン膜を１２ｎｍ厚、酸化スズ膜を３５０ｎｍ厚、酸化ケイ素膜を１００ｎｍ厚とした。
実施例７として、酸窒化チタン膜を１２ｎｍ厚、酸化スズ膜を５８０ｎｍ厚、酸化ケイ素膜を１００ｎｍ厚とした。
【００３６】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
次に、上記で得られた第１面上に反射防止膜を設けたガラス板１を用いたこと以外、実施例１と同様にして、ガラス板１の第２面上で遮熱膜を形成した。
【００３７】
（複層ガラスの製造）
実施例１と同様の方法で、複層ガラスを製造する。
【００３８】
（比較例１）
第１面に反射防止膜を設けなかったこと以外、実施例１と同様にして複層ガラスを製造した。
【００３９】
（試験例１）
実施例１〜７および比較例１の複層ガラスを構成するガラス板から、複層ガラスの可視光透過率、室外可視光反射率および日射透過率をＪＩＳ  Ｒ３１０６：１９９８に従い測定した。また得られた光学特性から反射のクロマティクネス指数ａ＊、ｂ＊を計算した。結果を下記表１に示す。
なお、酸化ケイ素をＳｉＯ２、酸化スズをＳｎＯ２、酸化チタンをＴｉＯ２、窒化チタンをＴｉＮ、酸窒化チタンをＴｉＯＮ、アルミニウム添加酸化亜鉛をＺｎＯ：Ａｌ、銀をＡｇと略記した。
【００４０】
【表１】
2006143525.tif 000003
【００４１】
図５は、実施例８〜１０の複層ガラスの断面を模式的に示したものである。
【００４２】
（実施例８）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
実施例１の第１面と同様のＣＶＤ法で、ガラス板１の第１面に、酸化スズ膜、酸化チタン膜、酸化ケイ素膜を順次積層した。酸化チタン膜は、実施例１の「１）ＣＶＤ法による窒化チタン膜の成膜」に示された混合ガスの代わりに、チタンイソプロポキシド（蒸気）、窒素、酸素からなる混合ガスを供給することで形成した。各々の膜厚は酸化スズ膜を６５ｎｍ厚、酸化チタン膜を１００ｎｍ厚、酸化ケイ素膜を８５ｎｍ厚とした。
【００４３】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
実施例１の第２面と同様のマグネトロンスパッタ装置を用い、ガラス板１の第２面に、窒化チタン膜、酸化チタン膜、酸化スズ膜を順次積層した。
１）スパッタ法による窒化チタン膜の成膜
窒素ガスを導入し、チタンターゲットにＤＣを印加してガラス板１の第２面上に膜厚が２０ｎｍの窒化チタン膜を成膜した。
２）スパッタ法による酸化スズ膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、スズターゲットにＤＣを印加して窒化チタン膜上に膜厚が１７０ｎｍの酸化スズ膜を成膜した。酸化スズ成膜の際に、酸素プラズマによって窒化チタン膜表面が酸化され、膜厚３ｎｍの酸化チタン膜が形成された。そのため、窒化チタン膜厚は１７ｎｍとなった。
【００４４】
（複層ガラスの製造）
実施例１と同様の方法で、複層ガラスを製造する。
【００４５】
（実施例９）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
実施例８と同様にしてガラス板１の第１面に反射防止膜を設けた。
【００４６】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
実施例８の第２面と同様にして、ガラス板１の第２面に、窒化チタン膜、酸化チタン膜、酸化スズ膜を順次積層した。各々の膜厚は、窒化チタン膜を１５ｎｍ厚、酸化チタン膜を３ｎｍ厚、酸化スズ膜を２９５ｎｍ厚とした。
【００４７】
（複層ガラスの製造）
実施例１と同様の方法で、複層ガラスを製造する。
【００４８】
（実施例１０）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
実施例８と同様にしてガラス板１の第１面に反射防止膜を設けた。
【００４９】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
実施例８の第２面と同様にして、ガラス板１の第２面に、酸窒化チタン膜、酸化チタン膜、酸化スズ膜を順次積層した。
１）スパッタ法による酸窒化チタン膜の成膜
窒素ガスと酸素ガスを導入し、チタンターゲットにＤＣを印加してガラス板１の第２面上に膜厚が３２ｎｍの酸窒化チタン膜を成膜した。
２）スパッタ法による酸化スズ膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、スズターゲットにＤＣを印加して酸窒化チタン膜上に膜厚が５０５ｎｍの酸化スズ膜を成膜した。酸化スズ成膜の際に、酸素プラズマによって酸窒化チタン膜表面が酸化され、膜厚２ｎｍの酸化チタン膜が形成された。そのため、酸窒化チタン膜厚は３０ｎｍとなった。
【００５０】
（複層ガラスの製造）
実施例１と同様の方法で、複層ガラスを製造する。
【００５１】
（比較例２）
遮熱膜を設けなかったこと以外、実施例８と同様にして複層ガラスを製造した。
【００５２】
（試験例２）
実施例８〜１０および比較例２の複層ガラスを構成するガラス板から、複層ガラスの可視光透過率、室外可視光反射率および日射透過率をＪＩＳ  Ｒ３１０６：１９９８に従い測定した。また得られた光学特性から反射のクロマティクネス指数ａ＊、ｂ＊を計算した。結果を下記表２に示す。
なお、下記表２では、酸化ケイ素をＳｉＯ２、酸化スズをＳｎＯ２、酸化チタンをＴｉＯ２、窒化チタンをＴｉＮ、酸窒化チタンをＴｉＯＮと略記した。
【００５３】
【表２】
2006143525.tif 000004
【００５４】
図６は、実施例１１〜１４の複層ガラスの断面を模式的に示したものである。
【００５５】
（実施例１１）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
実施例８と同様にして、ガラス板１の第１面に反射防止膜を設けた。。
【００５６】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
実施例１の第２面と同様のマグネトロンスパッタ装置を用い、ガラス板１の第２面に、アルミニウム添加酸化亜鉛膜、銀膜、アルミニウム添加酸化亜鉛膜を順次積層した。各々の膜厚は、ガラス板１に接するアルミニウム添加酸化亜鉛膜を３０ｎｍ厚、銀膜を１６ｎｍ厚、アルミニウム添加酸化亜鉛膜を４５ｎｍ厚とした。
【００５７】
（ガラス板２の第３面上での多層膜の形成）
ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成と同様にして、ガラス板２の第３面上での多層膜を設けた。
【００５８】
（複層ガラスの製造）
実施例１と同様の方法で、複層ガラスを製造する。
【００５９】
（実施例１２）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
実施例１１と同様にして、ガラス板１の第１面上に反射防止膜を設けた。
【００６０】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
実施例１の第２面と同様にして、ガラス板１の第２面に、窒化チタン膜、酸化チタン膜、アルミニウム添加酸化亜鉛膜、銀膜、アルミニウム添加酸化亜鉛膜を順次積層した。
１）スパッタ法による窒化チタン膜の成膜
窒素ガスを導入し、チタンターゲットにＤＣを印加してガラス板１の第２面上に膜厚が７ｎｍの窒化チタン膜を成膜した。
２）スパッタ法によるアルミニウム添加酸化亜鉛膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、アルミニウム添加酸化亜鉛ターゲットにＤＣを印加して窒化チタン膜上に膜厚が７ｎｍのアルミニウム添加酸化亜鉛膜を成膜した。アルミニウム添加酸化亜鉛成膜の際に、酸素プラズマによって窒化チタン膜表面が酸化され、膜厚３ｎｍの酸化チタン膜が形成された。そのため、窒化チタン膜厚は４ｎｍとなった。
３）スパッタ法による銀膜の成膜
アルゴンガスを導入し、銀ターゲットにＤＣを印加してアルミニウム添加酸化亜鉛膜上に膜厚が１２ｎｍの銀膜を成膜した。
４）スパッタ法によるアルミニウム添加酸化亜鉛膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、アルミニウム添加酸化亜鉛ターゲットにＤＣを印加して銀膜上に膜厚が４５ｎｍのアルミニウム添加酸化亜鉛膜を成膜した。
【００６１】
（ガラス板２の第３面上での多層膜の形成）
実施例１１と同様にして、ガラス板２の第３面上に多層膜を設けた。
【００６２】
（複層ガラスの製造）
実施例１と同様の方法で、複層ガラスを製造する。
【００６３】
（実施例１３）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
実施例１１と同様にして、ガラス板１の第１面上に反射防止膜を設けた。
【００６４】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
実施例１の第２面と同様にして、ガラス板１の第２面に、酸窒化チタン膜、酸化チタン膜、アルミニウム添加酸化亜鉛膜、銀膜、アルミニウム添加酸化亜鉛膜を順次積層した。
１）スパッタ法による酸窒化チタン膜の成膜
窒素ガスと酸素ガスを導入し、チタンターゲットにＤＣを印加してガラス板１の第２面上に膜厚が９ｎｍの酸窒化チタン膜を成膜した。
２）スパッタ法によるアルミニウム添加酸化亜鉛膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、アルミニウム添加酸化亜鉛ターゲットにＤＣを印加して酸窒化チタン膜上に膜厚が７ｎｍのアルミニウム添加酸化亜鉛膜を成膜した。アルミニウム添加酸化亜鉛成膜の際に、酸素プラズマによって窒化チタン膜表面が酸化され、膜厚３ｎｍの酸化チタン膜が形成された。そのため、酸窒化チタン膜厚は６ｎｍとなった。
３）スパッタ法による銀膜の成膜
アルゴンガスを導入し、銀ターゲットにＤＣを印加してアルミニウム添加酸化亜鉛膜上に膜厚が１２ｎｍの銀膜を成膜した。
４）スパッタ法によるアルミニウム添加酸化亜鉛膜の成膜
アルゴンガスと酸素ガスを導入し、アルミニウム添加酸化亜鉛ターゲットにＤＣを印加して銀膜上に膜厚が４５ｎｍのアルミニウム添加酸化亜鉛膜を成膜した。
【００６５】
（ガラス板２の第３面上での多層膜の形成）
実施例１１と同様にして、ガラス板２の第３面上に多層膜を設けた。
【００６６】
（複層ガラスの製造）
実施例１と同様の方法で、複層ガラスを製造する。
【００６７】
（実施例１４）
（ガラス板１の第１面上での反射防止膜の形成）
実施例１１と同様にして、ガラス板１の第１面上に反射防止膜を設けた。
【００６８】
（ガラス板１の第２面上での遮熱膜の形成）
実施例１３の第２面と同様にして、ガラス板１の第２面に、酸窒化チタン膜、酸化チタン膜、アルミニウム添加酸化亜鉛膜、銀膜、アルミニウム添加酸化亜鉛膜を順次積層した。各々の膜厚は、酸窒化チタン膜を３ｎｍ厚、酸化チタン膜を３ｎｍ厚、アルミニウム添加酸化亜鉛膜を１５ｎｍ厚、銀膜を１４ｎｍ厚、アルミニウム添加酸化亜鉛膜を４５ｎｍ厚とした。
【００６９】
（ガラス板２の第３面上での多層膜の形成）
実施例１１と同様にして、ガラス板２の第３面上に多層膜を設けた。
【００７０】
（複層ガラスの製造）
実施例１と同様の方法で、複層ガラスを製造する。
【００７１】
（試験例３）
実施例１１〜１４の複層ガラスについて可視光透過率、可視光反射率、日射透過率をＪＩＳ  Ｒ３１０６：１９９８に従い測定した。また得られた光学特性から反射のクロマティクネス指数ａ＊、ｂ＊を計算した。結果を表３に示す。
なお、下記表３では、酸化ケイ素をＳｉＯ２、酸化スズをＳｎＯ２、酸化チタンをＴｉＯ２、窒化チタンをＴｉＮ、酸窒化チタンをＴｉＯＮ、アルミニウム添加酸化亜鉛をＺｎＯ：Ａｌ、銀をＡｇと略記した。
【００７２】
【表３】
2006143525.tif 000005
【００７３】
上記表１〜３に示すように、上記実施例では、赤色〜黄色の暖色系色調ではなく、青色〜緑色の寒色系色調および無色の複層ガラスが得られた。
【００７４】
（試験例４）
実施例２の反射防止膜におけるＳｉＯ２およびＳｎＯ２の膜厚を下記表４に示すように変化させて室外反射色調の変化を調べた。結果を下記表４に示す。
【００７５】
【表４】
2006143525.tif 000006
【００７６】
表４から、本発明の反射防止膜が多層膜である場合、該多層膜の各層の膜厚が変動しても、反射色調にはほとんど影響がないことが分かる。そのため、本発明の複層ガラスにおける反射防止膜が多層膜である場合には、生産工程で生じ得る膜厚の変動に対して、反射色調の変動が少なく、安定した工程を実現できる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明によって、可視光透過率が高く、可視光反射率が低く、高遮熱性能を有する複層ガラス、特に、可視光透過率が４５％以上であり、可視光反射率が１５％以下であり、日射透過率が３５％以下である複層ガラスを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の複層ガラスの角部断面を模式的に示した図であって、本発明の主要な構成を説明する図である。
【図２】室内側ガラス板に多層膜を設けた場合の本発明の複層ガラスの角部断面を模式的に示した図である。
【図３】本発明の複層ガラスの主要な断面構成を模式的に示した図である。
【図４】実施例１〜７の複層ガラスの断面を模式的に示した図である。
【図５】実施例８〜１２の複層ガラスの断面を模式的に示した図である。
【図６】実施例１３〜１６の複層ガラスの断面を模式的に示した図である。
【符号の説明】
【００７９】
１    室外側のガラス板
２    室内側のガラス板
３    単層膜または多層膜
４    乾燥剤入りスペーサー
５    シール部
１１    反射防止膜の第１の層
１２    反射防止膜の第２の層
１３    反射防止膜の第３の層
２１    遮熱膜の第１の層
２２    遮熱膜の第２の層
２３    遮熱膜の第３の層
２４    遮熱膜の第４の層
２５    遮熱膜の第５の層
４１    多層膜の第１の層
４２    多層膜の第２の層
４３    多層膜の第３の層
９９    ガス層
１００  複層ガラス
１０１  複層ガラス（実施例１〜７）
１０２  複層ガラス（実施例８〜１０）
１０３  複層ガラス（実施例１１〜１４）
【図１】
2006143525.tif 000007
【図２】
2006143525.tif 000008
【図３】
2006143525.tif 000009
【図４】
2006143525.tif 000010
【図５】
2006143525.tif 000011
【図６】
2006143525.tif 000012