(57)【要約】【課題】  反り変形や歪み変形が生じた場合においても製品の品質精度を確保できる薄刃砥石及びその反り矯正方法を提供する。【解決手段】  円形薄板状の砥石本体１に同心となる円形孔２が設けられており、円形孔２の周縁は砥石本体１の内周縁３とされ、砥石本体１の少なくとも外周縁４は砥粒層５とされている薄刃砥石において、砥石本体１に内周縁３から外周縁４に達する開口部６が設けられることにより、砥石本体１がC字状に形成されている。【選択図】    図１
2006123129.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形薄板状の砥石本体に同心となる円形孔が設けられており、該円形孔の周縁は前記砥石本体の内周縁とされ、前記砥石本体の少なくとも外周縁は砥粒層とされている薄刃砥石において、
前記砥石本体に内周縁から外周縁に達する開口部が設けられることにより、該砥石本体がC字状に形成されていることを特徴とする薄刃砥石。
【請求項２】
請求項１記載の薄刃砥石において、
前記開口部は前記砥石本体の径方向に形成されることを特徴とする薄刃砥石。
【請求項３】
請求項１から２のいずれか記載の薄刃砥石において、
前記開口部の開口幅は０．１ｍｍ〜５ｍｍとされることを特徴とする薄刃砥石。
【請求項４】
円形薄板状の砥石本体に同心となる円形孔が設けられており、該円形孔の周縁は前記砥石本体の内周縁とされ、前記砥石本体の少なくとも外周縁は砥粒層とされている薄刃砥石の反り矯正方法であって、
前記砥石本体に内周縁から外周縁に達する開口部を設けることにより、該砥石本体をC字状に形成することを特徴とする薄刃砥石の反り矯正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子材料や半導体製品等の被削材の精密切断や溝切り加工に用いられる薄刃砥石及びその反り矯正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、セラミックス、金属、ガラス等で構成される電子材料や半導体製品、光学材料等の精密切断や溝切り加工には、リング状薄板の薄刃砥石が用いられている。この種の薄刃砥石としては、レジンボンド砥石やメタルボンド砥石、電鋳砥石が存在する。レジンボンド砥石やメタルボンド砥石は、ダイヤモンドやＣＢＮなどの超砥粒を合成樹脂や金属などの結合材（ボンド材）に分散させ、焼結させることによって砥粒層を形成させたものである（例えば、特許文献１参照）。一方、電鋳砥石は、例えば、Ｎｉを主成分とした金属めっき液中に金属基板を浸漬させ、金属めっき液中に砥粒を添加し分散させつつ、金属基板を陰極、金属めっき液を陽極として通電し、金属基板に金属めっき相を析出させつつ、この金属めっき相中に超砥粒を取り込ませ砥粒層を形成させたものである（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
また、薄刃砥石は、金属製のリング状台金の外周側にのみ砥粒層が形成されたものと、リング状薄板の全てが砥粒層により形成されたものがあり、後者はいわゆるオールブレードと称されている。台金の外周側にのみ砥粒層が形成された薄刃砥石は、あらかじめリング状に製作した台金を金型に収め、台金の周縁に設けられた金型の空隙部に砥粒を含む熱硬化性樹脂や金属などの結合材を充填し、圧力をかけつつ焼結することにより、台金の周縁に砥粒層を形成する。他方、オールブレードは、金型の空隙部が薄刃砥石の形状と等しく形成され、上記と同様の操作によって形成される。
【０００４】
リング状に形成されている薄刃砥石は、回転軸に、フランジで内周側を狭持して回転自在に装着される。薄刃砥石が回転軸の回転により軸線回りに回転されるとともに、この薄刃砥石の外周縁を被削材に送り込むことによって、被削材は切断または溝切りされ、さらに、回転軸を軸線の直交方向に移動することにより真直ぐに切断または溝切りすることができる。
【０００５】
また、回転軸に複数の薄刃砥石を、スペーサを介在させて装着し、回転軸を回転させた状態で軸線の直交方向に移動することによって、被削材を同時に複数条で切断または溝切りできる製造手法もあり、この製造手法はいわゆるマルチギャング方式と称されている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００２−９６２６６号公報
【特許文献２】特開平１０−１４６７７０号公報
【特許文献３】特開２００２−２４６３３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、台金の外周側に砥粒層を形成したレジンボンド砥石やメタルボンド砥石の薄刃砥石では、砥粒を分散させた結合材を焼結することにより台金に砥粒層を形成するため、焼結時に、台金と結合材の組成の違いに基づく収縮率の違いから台金の外周側が締め付けられ、あるいは伸びて、薄刃砥石に反り変形や歪み変形が生じるという問題があった。
【０００７】
また、全ての構成が砥粒層で形成されたオールブレードタイプの薄刃砥石においても、焼結時に結合材の硬化伸縮が生じて、薄刃砥石に反り変形や歪み変形が生じるという問題があった。
【０００８】
さらに、電鋳砥石においては、Ｎｉ等の主成分にＣｏやＰなどの添加材を添加して結合材の調整を図る場合があるが、この調整は、反り変形や歪み変形に大きく作用するという問題があった。
【０００９】
この反り変形や歪み変形が生じた薄刃砥石を被削材の精密切断や溝切り加工に使用した場合には、切断幅や溝幅が大きくなり、また、真直ぐに切断や溝切り加工を行うことが困難となる。さらに、マルチギャング方式での使用では、隣り合う薄刃砥石の間隔がスペーサで保持できず、切断や溝切り間隔に狂いが生じる。この結果、製品の品質精度が確保できないという問題が生じていた。このため、被削材および変形が生じた薄刃砥石は、ともに廃棄処分されることとなり、経済的にも問題が生じていた。
【００１０】
精密加工においては、あらかじめ切る位置、切る幅、チッピングも含めた許容されるストリート幅が決められており、薄刃砥石の幅寸法がその範囲内であっても反り変形や歪み変形が生じている場合には、切断や溝切り加工中に薄刃砥石の振れが生じてストリート幅を超す恐れがある。
【００１１】
特に、電子材料用セラミック基板においては１枚のウェハーから多くの部品を製作することが経済的に重要であり、このため、ウェハーを切断する際の取り代の無駄を極力小さくし歩留まりをよくすることが課題となっており、この点からも切断に使用される薄刃砥石は、より薄く、より真直ぐに切断でき、よりチッピングが少ない高精度の品質が求められ、薄刃砥石の反り変形や歪み変形が問題となっていた。
【００１２】
また、上記に加え、レジンボンド砥石やメタルボンド砥石では、反り変形や歪み変形を極力生じさせないことを目的として、焼結により硬化伸縮が生じにくい結合材を使用する対策が採られているが、このために結合材の選択性が狭められており、結合材の選択性を広げることができる別の対策が望まれていた。
【００１３】
さらに、既に供用されている薄刃砥石が供用中に反り変形や歪み変形を生じる場合もあり、このような場合には、砥石本来の削る能力の低下が生じているわけではないが、結果として製品の品質精度を確保できないため、薄刃砥石は廃棄処分されることとなり、やはり経済的に問題が生じていた。
【００１４】
本発明は、上記事情を鑑み、反り変形や歪み変形が生じた場合においても製品の品質精度を確保できる薄刃砥石及びその反り矯正方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【００１６】
本発明では、円形薄板状の砥石本体に同心となる円形孔が設けられており、該円形孔の周縁は前記砥石本体の内周縁とされ、前記砥石本体の少なくとも外周縁は砥粒層とされている薄刃砥石において、前記砥石本体に内周縁から外周縁に達する開口部が設けられることにより、該砥石本体がC字状に形成されている。
【００１７】
また、本発明では、前記開口部が前記砥石本体の径方向に形成されてもよいものであり、前記開口部の開口幅は０．１ｍｍ〜５ｍｍとされる。
【００１８】
さらに、本発明では、円形薄板状の砥石本体に同心となる円形孔が設けられており、該円形孔の周縁は前記砥石本体の内周縁とされ、前記砥石本体の少なくとも外周縁は砥粒層とされている薄刃砥石の反り矯正方法であって、前記砥石本体に内周縁から外周縁に達する開口部を設けることにより、該砥石本体をC字状に形成する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、反り変形や歪み変形を生じた円形薄板状の薄刃砥石の砥石本体に内周縁から外周縁に達する開口部を設けて、砥石本体がＣ字状に形成されることによって、反り変形や歪み変形を生じさせる内部応力を開放することができ、反り変形や歪み変形を緩和させることができる。
【００２０】
また、砥石本体に開口部を設けてＣ字状に形成しても反り変形や歪み変形が残留した場合においては、被削材の精密切断や溝切り加工に用いる際に、この反り変形や歪み変形を生じた薄刃砥石がフランジで内周側を狭持されて回転軸に装着されるため、このとき、薄刃砥石に開口部が形成されることによってフランジの締め付け力で反り変形や歪み変形が矯正できる。よって、反り変形や歪み変形を生じた薄刃砥石においても開口部が形成されることにより精密切断や溝切り加工に使用することができる。
【００２１】
これにより、通常廃棄されていた反り変形や歪み変形を生じた薄刃砥石を使用することが可能になる。また、砥石本体に開口部を設けることにより、供用途中に、砥石本体の反り変形や歪み変形が生じることはなくなり、この結果として品質精度が確保されない製品を少なくすることができ、経済的にも優位とすることができる。
【００２２】
また、開口部を設けることにより薄刃砥石の反り変形や歪み変形を許容できるため、反り変形や歪み変形を考慮して制約を受けていた結合材の選択性を広げることが可能になる。
【００２３】
さらに、既に使用されている薄刃砥石に反り変形や歪み変形の不具合が生じた場合においても、例えば切断により、砥石本体に内周縁から外周縁に達する開口部を形成することによって再度使用することが可能になる。これによって、砥石の削る能力の低下が生じていない薄刃砥石を廃棄処分する必要がなくなり、経済的に優位とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の一実施形態に係る薄刃砥石Ａを図１から図４を参照して説明する。
【００２５】
本発明の一実施形態に係る薄刃砥石Ａの構成について説明する。
図１に示す薄刃砥石Ａは、円形薄板状の砥石本体１に同心となる円形孔２が設けられており、円形孔２の周縁は砥石本体１の内周縁３とされ、砥石本体１の外周縁４に砥粒層５が形成されている。また、砥石本体１に内周縁３から外周縁４に達する開口部６が砥石本体１の中心から径方向に延びるように一定幅で１つだけ設けられており、これにより、砥石本体１はＣ字状に形成されている。ここで、本実施形態の薄刃砥石Ａは、その砥石本体１がＳＫ材、ハイス材、超硬材等の金属製の円形薄板状の台金１ａの外周に、メタルボンドまたはレジンボンド等の結合材によってダイヤモンドやＣＢＮの超砥粒が結合されて、一定の間隔および厚さの砥粒層５が形成されたものである。
【００２６】
また、この薄刃砥石Ａは、外径が６０ｍｍ〜３５０ｍｍで、厚みが０．１ｍｍ〜１ｍｍであるとともに、砥石本体１に設けられた開口部６の開口幅は０．１ｍｍ〜５ｍｍとされる。
【００２７】
ついで、上記の構成からなる薄刃砥石Ａの使用方法について説明する。
この薄刃砥石Ａは、回転駆動手段の回転軸にフランジで内周側を狭持されて装着される。薄刃砥石Ａは回転軸の回転に伴い軸線回りに回転されるとともに、外周縁４を被削材に送り込むことにより、被削材を切断または溝切りし、さらに、回転軸を軸線の直交方向に移動することによって、被削材を真直ぐに切断または溝切りすることができる。
【００２８】
また、回転軸に複数の薄刃砥石Ａを、スペーサを介在させて装着し、回転軸を回転させた状態で軸線の直交方向に移動することによって、被削材を同時に複数条で切断または溝切りできるいわゆるマルチギャング方式に使用されてもよいものである。このとき、スペーサは薄刃砥石ほど反り変形を生じることは少ないが、マルチギャング方式での切断または溝切りをより精度良く行うために、スペーサも開口部を設けてＣ字状に形成してもよい。
【００２９】
ついで、上記の構成からなる薄刃砥石Ａの製造方法を説明するとともに、砥石本体１に生じた反り矯正方法について説明する。
【００３０】
この薄刃砥石Ａにおいては、あらかじめリング状に製作した台金１ａを金型に収め、金型内に砥粒を含む熱硬化性樹脂や金属などの結合材を充填し、圧力をかけつつ焼結することにより、台金１ａの外周側に砥粒層５を形成する。この段階で、台金１ａと結合材の組成の違いに基づく収縮率の違いから台金１ａの外周側が締め付けられ、あるいは伸びて、図３から図４に示す薄刃砥石Ｂのように砥石本体１の外周縁４が上方あるいは下方に変位し、砥石本体１が略椀状に反り変形する場合がある。薄刃砥石Ａは、反り変形や歪み変形が生じた薄刃砥石Ｂに対して、リング状の砥石本体１に内周縁３から外周縁４に達する径方向の開口部６を切断によって形成し製造される。この開口部６を形成することによって、図３から図４に示す薄刃砥石Ｂは、図１から図２に示す薄刃砥石Ａのように反り変形や歪み変形が緩和される。
【００３１】
したがって、上記の構成においては、リング状の台金１ａの外周側に砥粒層５が形成された段階で、砥石本体１に反り変形や歪み変形が生じている場合においても、砥石本体１に内周縁３から外周縁４に達する開口部６を設けて、砥石本体１をＣ字状に形成することによって、反り変形や歪み変形を生じさせている内部応力を開放することができ、反り変形や歪み変形を緩和させることができる。
【００３２】
また、砥石本体１に開口部６を設けてＣ字状に形成しても反り変形や歪み変形が残留した場合においては、被削材の精密切断や溝切り加工に用いる際に、この反り変形や歪み変形を生じた薄刃砥石Ａがフランジで内周側を狭持され回転軸に装着されるため、開口部６が形成されていることによってフランジの締め付け力で反り変形や歪み変形が矯正でき、これにより、通常では廃棄される反り変形や歪み変形を生じた薄刃砥石Ｂを使用することが可能になる。また、砥石本体１に開口部６を設けることにより、供用途中に砥石本体１に反り変形や歪み変形が生じることはなく、この結果として品質精度が確保されない製品を少なくすることができ、経済的にも優位とすることができる。
【００３３】
さらに、薄刃砥石Ａ、Ｂの反り変形や歪み変形を許容できるため、反り変形や歪み変形を考慮して制約を受けていた結合材の選択性を広げることが可能になる。
【００３４】
よって、上記の構成によれば、反り変形や歪み変形が生じた場合においても製品の品質精度を確保できる薄刃砥石及びその反り矯正方法を提供することができる。
【００３５】
なお、薄刃砥石Ａは、リング状の砥石本体１に内周縁３から外周縁４に達する径方向の開口部６を切断によって形成されるものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、あらかじめ砥石本体１に開口部６が形成されるように製造されてもよいものである。
【００３６】
また、本実施形態では、リング状の台金１ａの外周側にのみ砥粒層５が形成された薄刃砥石Ａ、Ｂを示したが、図６に示すようなオールブレードタイプの薄刃砥石Ｄに、図５に示す薄刃砥石Ｃのように開口部６が形成されてもよいものであるとともに、レジンボンド砥石、メタルボンド砥石および電鋳砥石など各種薄刃砥石に適用可能であり、特に砥石の種類が限定されるものではない。ここで、オールブレードタイプの薄刃砥石Ｄは、外径が５０ｍｍ〜１５０ｍｍで、厚みが０．０５ｍｍ〜１ｍｍであるとともに、砥石本体１に設けられた開口部６の開口幅は０．１ｍｍ〜５ｍｍとされる。
【００３７】
さらに、開口部６は径方向に形成されるものとしたが、この限りではない。つまり、砥石本体１に内周縁３から外周縁４に達する開口部６が形成されればよいものであり、方向性が限定されるものではない。
【実施例】
【００３８】
以下に本発明の実施例を具体的に説明する。但し、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
【００３９】
以下に示す実施例では、薄刃砥石Ａは図１に示す開口部付き台金タイプ、薄刃砥石Ｂは図３に示す反り変形を生じた台金タイプ、薄刃砥石Ｃは図５に示す開口部付きオールブレードタイプ、薄刃砥石Ｄは図６に示す反り変形を生じたオールブレードタイプを示している。ここで、台金タイプとは、リング状の台金１ａの外周側にのみ砥粒層５が形成されたものを表す。
【００４０】
本実施例は、反り変形が生じた薄刃砥石Ｂと薄刃砥石Ｄを用意し、これらの薄刃砥石Ｂ、Ｄを用いて被削材の切断を行ったのち、両薄刃砥石Ｂ、Ｄに内周縁３から外周縁４に達する径方向の開口部６を切断によって形成し、再度被削材の切断を行い、開口部６が形成されていない薄刃砥石Ｂ、Ｄと、開口部６が形成された薄刃砥石Ａ、Ｃとの比較を行って、開口部６を形成することによる優位性を明らかにするものである。
【００４１】
はじめに、使用した薄刃砥石Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄについて説明する。
【００４２】
薄刃砥石Ｂ（Ａ）は、直径１００ｍｍ、厚さ０．６ｍｍ、円形孔２の直径４０ｍｍのＳＤ１２０メタルボンド砥石であり、薄刃砥石Ｄ（Ｃ）は、直径５８ｍｍ、厚さ０．２ｍｍ、円形孔２の直径４０ｍｍのＳＤ６００メタルボンド砥石である。
【００４３】
また、両タイプの薄刃砥石Ｂ（Ａ）、Ｄ（Ｃ）は、あらかじめ砥粒層５に含まれた砥粒を露出させるために、薄刃砥石Ｂ（Ａ）ではＷＡ＃４００、薄刃砥石Ｄ（Ｃ）ではＷＡ＃１２００を使用してドレッシングを施している。
【００４４】
さらに、薄刃砥石Ｂおよび薄刃砥石Ｄを使用して被削材の切断を行ったのちに、両薄刃砥石Ｂ、Ｄに開口部６を形成して薄刃砥石Ａ、Ｃとしたときの開口部６の開口幅は、ともに０．５ｍｍとしている。
【００４５】
ここで、薄刃砥石Ｂと薄刃砥石Ｄの反り変形の状態は、反り変形が生じていない場合の砥石本体１の側面１ｂを基準として、薄刃砥石Ｂと薄刃砥石Ｄの各砥石本体１の中心軸から放射線方向に向けた側面１ｂの４箇所（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４）において、側面１ｂの変形量を測定している。この結果、表１に示す通り、薄刃砥石Ｂでは４７μｍ〜６５μｍの変形が生じており、薄刃砥石Ｄでは３５μｍ〜４３μｍの変形が生じている。また、薄刃砥石Ｂ、Ｄによって被削材を切断したのちに、開口部６を形成した薄刃砥石Ａ、Ｃの薄刃砥石Ｂ、Ｄと同箇所における変形量の測定結果も表１に示す。この結果、薄刃砥石Ａでは９μｍ〜２０μｍの変形が確認され、薄刃砥石Ｃでは９μｍ〜１８μｍの変形が確認されている。よって、開口部６を形成することにより反り変形を緩和させることが可能であることが示された。
【００４６】
【表１】
2006123129.tif 000003
【００４７】
ついで、被削材の切断条件について説明する。
【００４８】
切削水は、薄刃砥石Ａ、Ｂで水溶性研削液を使用し、薄刃砥石Ｃ、Ｄで純水を使用した。また、被削材としては、薄刃砥石Ａ、Ｂで幅１００ｍｍ、奥行き１００ｍｍ、厚さ５ｍｍの青板ガラスを使用し、薄刃砥石Ｃ、Ｄで幅５０ｍｍ、奥行き２５ｍｍ、厚さ０．３ｍｍのチタン酸バリウム製板材を使用した。さらに、回転駆動手段には、薄刃砥石Ａ、Ｂでスライシングマシン（東芝機械株式会社製）を使用し、薄刃砥石Ｃ、Ｄでダイシングマシン（株式会社ディスコ製）を使用した。また、回転数は、薄刃砥石Ａ、Ｂで６０００ＲＰＭ、薄刃砥石Ｃ、Ｄで２００００ＲＰＭとした。さらに、切断速度は、薄刃砥石Ａ、Ｂで５０ｍｍ／ｍｉｎ、１００ｍｍ／ｍｉｎ、１５０ｍｍ／ｍｉｎの３段階、薄刃砥石Ｃ、Ｄで１ｍｍ／ｓｅｃ、３ｍｍ／ｓｅｃ、５ｍｍ／ｓｅｃの３段階として切断を行った。
【００４９】
ここで、青板ガラスおよびチタン酸バリウム製板材の被削材の切断は、薄刃砥石Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄをそれぞれ５枚ずつ回転軸に装着するマルチギャング方式で行った。よって、切断ラインは５本となり、これにより得られる切断片は４片となる。また、回転軸に装着されるそれぞれ５枚の薄刃砥石Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは、隣り合う薄刃砥石Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄとの間隔を、薄刃砥石Ａ、Ｂでは２．６１ｍｍ、薄刃砥石Ｃ、Ｄでは２．２０５ｍｍとし、全ての切断片の幅を２．０ｍｍに切断することを想定している。
【００５０】
ついで、評価方法について説明する。
【００５１】
被削材を切断することにより得られた切断片に対して、切り始め、中間、切り終り箇所の上面、下面における計６箇所の幅寸法を測定し、想定した切断片の幅寸法と比較し評価を行う。ここで、切断片の上面、下面とは、回転駆動手段の回転軸に装着され、軸線回りに回転する薄刃砥石Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄが、板状の被削材に対し先に当接する面を上面とし、その対向に位置する面を下面としている。また、それぞれ５枚の薄刃砥石Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを用いてマルチギャング方式で切断することによりそれぞれ４片ずつの切断片が得られるが、本実施例では無作為に選ばれた１片を用いて評価を行っている。さらに、薄刃砥石Ｃ、Ｄで切断を行うチタン酸バリウム製板材の厚さは０．３ｍｍであり非常に薄く、切断片の上面、下面の幅寸法に差異が認められないため、この薄刃砥石Ｃ、Ｄで切断した切断片の幅寸法は上面のみで測定を行っている。
【００５２】
さらに、切断の直進性を、切断片全体の反り変形量を測定することによって評価する。但し、薄刃砥石Ａ、Ｂで切断を行う青板ガラスの厚さは５mmで厚く、直進性が得られていない場合においても切断片の反り変形量に変化が生じないため、ここでの評価は行わないこととする。
【００５３】
また、チッピングの発生度を評価する。この評価方法は、切断片の切断面に、切断片の上面から下面に向けて発生するチッピングの上面からの深さを測定し、この深さが大きな５個を抽出したのち、その平均深さを比較することによって評価を行う。
【００５４】
上記の薄刃砥石Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを用いて被削材を切断した結果を表２から表３に示す。
表２は、薄刃砥石Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを用い、切断速度を変化させたときの切断片の切り始め、中間、切り終り位置での幅寸法を測定した結果である。この結果、切断速度に係わりなく、切断片の幅寸法は、開口部６を形成した薄刃砥石Ａ、Ｃが開口部６を形成していない薄刃砥石Ｂ、Ｄよりも大きくなることが確認された。この切断片の幅寸法が大きいということは、砥石本体１の厚さ方向の中心線が直線となり、板状の被削材の上面が形成する平面に直交していることを意味しており、薄刃砥石Ａ、Ｃに変形が生じていないことを意味するものである。つまり、反り変形が生じている薄刃砥石Ｂ、Ｄを用いた場合には、砥石本体１の厚さ方向の中心線が直線にならず、切断面がテーパー状に切断されるため切断の取り代が大きくなるとともに、切断時に砥石本体１に振れが発生し切断の取り代がさらに大きくなるため、切断片の幅寸法が小さく測定される。よって、開口部６を形成することにより薄刃砥石Ａ、Ｄは、反り変形が矯正され振れが解消されたことを実証している。また、薄刃砥石Ａと薄刃砥石Ｂの結果を比較すると、開口部６が形成されることによって上面と下面の幅寸法差が小さくなっており、開口部６が形成されることによって反り変形が矯正され、切断面がテーパー状に切断されることを改善している。さらに、開口部６が形成されることによって一つの切断片の切り始め、中間、切り終りの幅寸法のばらつきが改善されているとともに、切断速度が速くなってもこのばらつきが小さく保たれることが実証されている。
【００５５】
表３は、切断片の反り変形量を測定した結果と、チッピングの深さを測定した結果を示している。この結果、切断速度に係わりなく、開口部６を形成した薄刃砥石Ｃによって切断された切断片の反り変形量は、開口部６を形成していない薄刃砥石Ｄによって切断された切断片の反り変形量よりも小さく、薄刃砥石Ｃは薄刃砥石Ｄよりも真直ぐに切断でき、直進性が改善されていることが示されている。
【００５６】
また、チッピング深さにおいても、開口部６を形成した薄刃砥石Ａ、Ｃは、開口部６を形成していない薄刃砥石Ｂ、Ｄよりもチッピング深さが小さく、開口部６を形成することによってチッピングに対する改善が認められる。
【００５７】
【表２】
2006123129.tif 000004
【００５８】
【表３】
2006123129.tif 000005
【００５９】
よって、上記に示されたように、反り変形を生じた薄刃砥石Ｂ、Ｄに開口部６を形成することによって、反り変形を矯正することが可能であり、これによって、製品の品質精度を確保できることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施形態に係る台金の外周側にのみ砥粒層が形成された薄刃砥石を示す平面図である。
【図２】図１に示す薄刃砥石のＸ−Ｘ線矢視側面図である。
【図３】従来の反り変形を生じた台金の外周側にのみ砥粒層が形成された薄刃砥石を示す平面図である。
【図４】図３に示す薄刃砥石のＸ−Ｘ線矢視側面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るオールブレードタイプの薄刃砥石を示す平面図である。
【図６】従来の反り変形を生じたオールブレードタイプの薄刃砥石を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１      砥石本体
２      円形孔
３      内周縁
４      外周縁
５      砥粒層
６      開口部
【図１】
2006123129.tif 000006
【図２】
2006123129.tif 000007
【図３】
2006123129.tif 000008
【図４】
2006123129.tif 000009
【図５】
2006123129.tif 000010
【図６】
2006123129.tif 000011