(57)【要約】【課題】  本発明は、被メッキ物を洗浄して被メッキ物にシミ等が現れたり光沢不良等になる等の不具合を防止できる洗浄水を製造することができると共に従来のイオン交換樹脂装置に比べて安く前記洗浄水を供給できる表面処理洗浄水製造装置を提供する。【解決手段】  表面処理洗浄水製造装置１０の原水が流れ込むオゾンミキサー１８の内部にはシリンダー状永久磁石２０が配設されている。オゾンミキサー１８はオゾン発生装置２６と連通されている。オゾンミキサー１８は活性炭濾過装置３２に連通され、原水が活性炭濾過装置３２を通過して原水に含まれる残存有機物が主に排除される。この活性炭濾過装置３２は精密濾過装置３８と連通されている。従って、原水に含まれている無機物や活性炭濾過装置３２で排除されなかった残存不純物が精密濾過装置３８で排除される。この精密濾過装置３８は直列多段洗浄槽４４と連通されている。【選択図】  図１
2006175340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッキ装置に設けられて被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水を製造する表面処理洗浄水製造装置であって、原水が流れ込むと共にシリンダー状永久磁石が単数内蔵されて原水にオゾンを溶け込ますオゾンミキサーと、このオゾンミキサーと連通されると共に発生したオゾンを前記オゾンミキサーに供給するオゾン発生装置と、前記オゾンミキサーと連通されてオゾンミキサーから導かれた原水を濾過する濾過装置と、を有してなることを特徴とする表面処理洗浄水製造装置。
【請求項２】
メッキ装置に設けられて被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水を製造する表面処理洗浄水製造装置であって、原水が流れ込むと共にシリンダー状永久磁石が単数内蔵されて原水にオゾンを溶け込ますオゾンミキサーと、このオゾンミキサーと連通されると共に発生したオゾンを前記オゾンミキサーに供給するオゾン発生装置と、前記オゾンミキサーと連通されてオゾンミキサーから導かれた原水を濾過する活性炭濾過装置と、この活性炭濾過装置と連通されて活性炭濾過装置で濾過された原水を濾過する精密濾過装置と、を有してなることを特徴とする表面処理洗浄水製造装置。
【請求項３】
メッキ装置に設けられて被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水を製造する表面処理洗浄水製造装置であって、前記メッキ装置の洗浄槽で被メッキ物を洗浄した後の洗浄水が流れ込むと共にシリンダー状永久磁石が単数内蔵されて前記洗浄水にオゾンを溶け込ますオゾンミキサーと、このオゾンミキサーと連通されると共に発生したオゾンを前記オゾンミキサーに供給するオゾン発生装置と、前記オゾンミキサーと連通されてオゾンミキサーから導かれた前記洗浄水を濾過する濾過装置と、を有してなることを特徴とする表面処理洗浄水製造装置。
【請求項４】
メッキ装置に設けられて被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水を製造する表面処理洗浄水製造装置であって、前記メッキ装置の洗浄槽で被メッキ物を洗浄した後の洗浄水を濾過する混入物排除ネット装置と、この混入物排除ネット装置と連通されて混入物排除ネット装置で濾過された前記洗浄水が流れ込むと共にシリンダー状永久磁石が単数内蔵されて前記洗浄水にオゾンを溶け込ますオゾンミキサーと、このオゾンミキサーと連通されると共に発生したオゾンを前記オゾンミキサーに供給するオゾン発生装置と、前記オゾンミキサーと連通されてオゾンミキサーから導かれた前記洗浄水を濾過する砂濾過装置と、この砂濾過装置と連通されて砂濾過装置で濾過された前記洗浄水を濾過する活性炭濾過装置と、この活性炭濾過装置と連通されて活性炭濾過装置で濾過された前記洗浄水を濾過する精密濾過装置と、を有してなることを特徴とする表面処理洗浄水製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メッキ作業における洗浄工程で被メッキ物を洗浄する場合に用いられる表面処理洗浄水を製造する表面処理洗浄水製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
製品の防錆目的や美観向上目的等の理由で製品の表面に金属をメッキする無電解メッキや電気メッキ等をはじめとするメッキ技術が広く行われている。
これら無電解メッキや電気メッキ等においては、被メッキ物を処理液槽内の処理液に浸漬して被メッキ物の表面に金属被膜を設けることによりメッキを行っているが、被メッキ物に金属被膜を最適に形成できるように被メッキ物を水道水や井戸水や工業水等の水（以下、本発明では「原水」と称す）で洗浄している。
しかし、原水で前記被メッキ物を洗浄すると原水に含まれている有機物や無機物等の不純物が被メッキ物の表面に付着してメッキ後の被メッキ物に小さなシミ（ムラ）等として現れたり光沢不良等として現れたりするため、美術装飾品や半導体製品等においては致命的な欠陥となり製品が不良品になってしまう。
このため、被メッキ物に現れた小さなシミ（ムラ）等を消したり光沢不良等を修正したりするためにトリクレンやアルコール等の各種溶剤に被メッキ物を浸漬させて前記不具合を解消すると、被メッキ物を前記各種溶剤に浸漬させる工程が別途必要になると共に前記各種溶剤の取り扱いや管理に注意を要して煩雑になる。また、使用後の前記各種溶剤の廃棄は公害問題や地球環境問題の面からも好ましくない。
そこで、洗浄水として用いる原水に含まれている不純物を排除するためにイオン交換樹脂装置を設けて前記原水を純水にして洗浄水として使用する装置がある。
しかし、前記イオン交換樹脂装置に内蔵されるイオン交換樹脂は高価であり、しかも定期的にイオン交換樹脂を交換する必要があるため、ランニングコストが高額になるという問題がある。
また、前記イオン交換樹脂装置は鉄や硫酸イオン等をはじめとする無機物を排除するには有効であるが藻類や菌類等をはじめとする有機物の排除は期待できない。
このため、イオン交換樹脂装置を設置したとしても原水の条件（地域差や水道水か井戸水か工業水等の諸条件）によってはイオン交換する前の原水を予め前処理装置（ＵＶ装置や濾過装置等）を利用して主に有機物等を排除しなければならず、前記前処理装置等が別途に必要になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、被メッキ物を洗浄することにより製品としての被メッキ物にシミ等が現れたり光沢不良になる等の不具合を防止できる洗浄水を製造することができると共に従来のイオン交換樹脂装置に比べて安く前記洗浄水を提供することができる表面処理洗浄水製造装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
請求項１の発明は、メッキ装置に設けられて被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水を製造する表面処理洗浄水製造装置であって、原水が流れ込むと共にシリンダー状永久磁石が単数内蔵されて原水にオゾンを溶け込ますオゾンミキサーと、このオゾンミキサーと連通されると共に発生したオゾンを前記オゾンミキサーに供給するオゾン発生装置と、前記オゾンミキサーと連通されてオゾンミキサーから導かれた原水を濾過する濾過装置と、を有してなることを特徴としている。
請求項２の発明は、メッキ装置に設けられて被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水を製造する表面処理洗浄水製造装置であって、原水が流れ込むと共にシリンダー状永久磁石が単数内蔵されて原水にオゾンを溶け込ますオゾンミキサーと、このオゾンミキサーと連通されると共に発生したオゾンを前記オゾンミキサーに供給するオゾン発生装置と、前記オゾンミキサーと連通されてオゾンミキサーから導かれた原水を濾過する活性炭濾過装置と、この活性炭濾過装置と連通されて活性炭濾過装置で濾過された原水を濾過する精密濾過装置と、を有してなることを特徴としている。
請求項３の発明は、メッキ装置に設けられて被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水を製造する表面処理洗浄水製造装置であって、前記メッキ装置の洗浄槽で被メッキ物を洗浄した後の洗浄水が流れ込むと共にシリンダー状永久磁石が単数内蔵されて前記洗浄水にオゾンを溶け込ますオゾンミキサーと、このオゾンミキサーと連通されると共に発生したオゾンを前記オゾンミキサーに供給するオゾン発生装置と、前記オゾンミキサーと連通されてオゾンミキサーから導かれた前記洗浄水を濾過する濾過装置と、を有してなることを特徴としている。
請求項４の発明は、メッキ装置に設けられて被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水を製造する表面処理洗浄水製造装置であって、前記メッキ装置の洗浄槽で被メッキ物を洗浄した後の洗浄水を濾過する混入物排除ネット装置と、この混入物排除ネット装置と連通されて混入物排除ネット装置で濾過された前記洗浄水が流れ込むと共にシリンダー状永久磁石が単数内蔵されて前記洗浄水にオゾンを溶け込ますオゾンミキサーと、このオゾンミキサーと連通されると共に発生したオゾンを前記オゾンミキサーに供給するオゾン発生装置と、前記オゾンミキサーと連通されてオゾンミキサーから導かれた前記洗浄水を濾過する砂濾過装置と、この砂濾過装置と連通されて砂濾過装置で濾過された前記洗浄水を濾過する活性炭濾過装置と、この活性炭濾過装置と連通されて活性炭濾過装置で濾過された前記洗浄水を濾過する精密濾過装置と、を有してなることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００５】
請求項１及び請求項２の表面処理洗浄水製造装置は、原水を利用して被メッキ物にシミ等が現れたり光沢不良等にならない表面処理洗浄水を製造することができると共に従来のイオン交換樹脂装置を使用した場合に比べて安価に提供することができるという優れた効果を有する。
請求項３及び請求項４の表面処理洗浄水製造装置は、被メッキ物を洗浄した後の洗浄水をリサイクルして被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水を製造することができるという優れた効果を有する。
また、請求項３及び請求項４の表面処理洗浄水製造装置は、被メッキ物を洗浄した後の洗浄水をリサイクルして表面処理洗浄水を製造するので水資源の有効利用を図ることができると共に廃水の排水量を少なくすることができ環境問題にも配慮することができるという優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
発明を実施するために最良の形態の例として以下のような実施例を示す。
【実施例１】
【０００７】
図１及び図２には本発明に係る表面処理洗浄水製造装置１０の第１実施例が示されている。
図１に示されるように、表面処理洗浄水製造装置１０の一端部には原水が貯水される原水槽１２が配設されている。この原水槽１２には適宜手段で絶えることなく常時原水が貯水されるようになっている。
前記原水槽１２は電磁弁１４を設けたパイプ１６を介してオゾンミキサー１８と連通されている。図２に示されるように、このオゾンミキサー１８は円筒形状に形成されている。このオゾンミキサー１８の内部にはオゾンミキサー１８の長手方向に沿って長く形成されると共に流通孔２０Ａが貫通形成されたシリンダー状永久磁石２０が１本配設されている。
図１に示されるように、前記オゾンミキサー１８は電磁弁２２を設けたパイプ２４を介してオゾン発生装置２６と連通されている。このオゾン発生装置２６は公知のオゾン発生装置であり、必要量のオゾンを発生できる機能を有している。このため、前記オゾンミキサー１８に流れ込んだ原水と前記オゾン発生装置２６で製造されたオゾンは前記オゾンミキサー１８で混合され、原水とオゾンが混合されることによりオゾンの酸化処理作用によって前記原水に含まれている水蘚等の藻類等の有機物が分解されると共に菌類等はオゾンの殺菌作用により殺菌される。なお、この実施例では乱流状態の原水にオゾンを溶け込ます結果、原水の溶存酸素率を高めることができ溶存酸素濃度は約４０ＰＰＭと高くすることができる。従って、オゾンの酸化処理作用や殺菌作用をより高めることができる。また、原水が前記オゾンミキサー１８内でシリンダー状永久磁石２０に当たることにより静電気が発生するようになっている。
前記オゾンミキサー１８は電磁弁２８が設けられたパイプ３０を介して濾過装置としての活性炭濾過装置３２に連通されている。この活性炭濾過装置３２には椰子殻活性炭等の公知の活性炭３３が充填されている。この活性炭３３は主に有機物を吸着して排除するようになっている。従って、パイプ３０に導かれた前記原水が活性炭濾過装置３２を通過することにより原水に含まれる残存有機物が主に活性炭３３によって排除されるようになっている。
この活性炭濾過装置３２は電磁弁３４を設けたパイプ３６を介して濾過装置としての精密濾過装置３８と連通されている。この精密濾過装置３８の内部にはパイプ３６に近いほうから順に１μメッシュの第１フィルター３９Ａと０．５μメッシュの第２フィルター３９Ｂと０．２２μメッシュの第３フィルター３９Ｃが並んで配設されている。この第１フィルター３９Ａと第２フィルター３９Ｂと第３フィルター３９Ｃは主に原水に含まれている無機物を濾過するようになっている。従って、原水に含まれている無機物や前記活性炭濾過装置３２で排除されなかった残存不純物が精密濾過装置３８で段階的に排除されるようになっている。
これにより、前記原水槽１２に貯水されていた原水は上記工程を経ることにより、表面処理洗浄水が製造される。
前記精密濾過装置３８は電磁弁４０を設けたパイプ４２を介して洗浄槽としての直列多段洗浄槽４４と連通されている。この直列多段洗浄槽４４は処理液槽４６で処理液に浸漬された後に被メッキ物に付着した薬品等を洗浄するために設けられた洗浄槽である。
なお、この実施例では直列多段洗浄槽４４は第１洗浄槽４４Ａ，第２洗浄槽４４Ｂ，第３洗浄槽４４Ｃ，第４洗浄槽４４Ｄからなっている。また、前記パイプ４２は直列多段洗浄槽４４の第４洗浄槽４４Ｄと直接連通されている。
従って、この第４洗浄槽４４Ｄに供給された表面処理洗浄水はオーバーフロー等の適宜手段により第４洗浄槽４４Ｄから第３洗浄槽４４Ｃに，第３洗浄槽４４Ｃから第２洗浄槽４４Ｂに，第２洗浄槽４４Ｂから第１洗浄槽４４Ａに供給されるようになっている。
【０００８】
次に、第１実施例の表面処理洗浄水製造装置１０を使用して表面処理洗浄水を製造する場合を説明する。
前記原水槽１２に貯められた原水はパイプ１６を介して第１オゾンミキサー１８に流入すると共に流入した原水はオゾンミキサー１８の内部に配設されているシリンダー状永久磁石２０に勢いよく当たったり、流通孔２０Ａを流れたり、シリンダー状永久磁石２０の外周部を流れたりする。このため、原水はオゾンミキサー１８内で乱流状態になると共に勢いよく流入した原水がシリンダー状永久磁石２０に当たることによりオゾンミキサー１８内では静電気が発生する。
また、前記オゾンミキサー１８にはオゾン発生装置２６で発生されたオゾンが流入する。従って、このオゾンミキサー１８の内部では原水が乱流状態のところにオゾンが入り込むのでオゾンは原水によく溶け込む状態になる。この結果、原水によく溶け込んだオゾンの酸化処理作用により原水に含まれている有機物が分解されると共に菌類等はオゾンの殺菌作用により殺菌される。
また、前記発生した静電気により原水の分子（Ｈ2Ｏ）が分解されて水素（Ｈ）が多くなる状態となる。この結果、前記オゾンミキサー１８内で水素ガスが発生してオゾンがよく溶け込んだ原水が水素ガスにより勢いよくパイプパイプ３０に導かれて活性炭濾過装置３２を通過する。
これにより、原水に含まれている残存有機物は活性炭濾過装置３２に充填されている活性炭３３によって排除される。
前記活性炭濾過装置３２で濾過された前記原水はパイプ３６に導かれて精密濾過装置３８を通過する。これにより、前記活性炭濾過装置３２で原水に含まれている無機物等は前記精密濾過装置３８に設けられている第１フィルター３９Ａと第２フィルター３９Ｂと第３フィルター３９Ｃによって段階的に排除される。
このため、前記原水に含まれていた有機物はオゾンの酸化処理作用や殺菌処理作用により分解処理、殺菌処理され、また、原水に含まれていた無機物は主に精密濾過装置３８等によって排除されことにより、前記原水槽１２に貯水されていた原水から表面処理洗浄水が製造される。
従って、前記パイプ４２を通過する表面処理洗浄水は有機物や無機物の多くが排除されており、有機物や無機物の多くが排除された表面処理洗浄水がパイプ４２を介して直列多段洗浄槽４４の第４洗浄槽４４Ｄに供給される。
そして、第４洗浄槽４４Ｄに供給された表面処理洗浄水は第４洗浄槽４４Ｄから第３洗浄槽４４Ｃ，第２洗浄槽４４Ｂ，第１洗浄槽４４Ａに供給される。
従って、被メッキ物を洗浄する場合、被メッキ物を洗浄する表面処理洗浄水には有機物や無機物はほとんど含まれていないので洗浄された被メッキ物の表面に有機物や無機物が付着するのを阻止することができる。
この結果、製品としての被メッキ物の表面にシミ（ムラ）等が現れるのを防止すると共に光沢不良等を防止することができるため、製品の不良発生率を著しく抑えることができる。
また、本発明の表面処理洗浄水製造装置１０においては定期的に交換が必要になるのは活性炭濾過装置３２の椰子殻活性炭等の公知の活性炭３３と精密濾過装置３８の第１フィルター３９Ａ、第２フィルター３９Ｂ、第３フィルター３９Ｃだけであるので、イオン交換樹脂に比べて極めて安価（例えば前記活性炭３３と第１フィルター３９Ａ、第２フィルター３９Ｂ、第３フィルター３９Ｃの一ヶ月の交換費用は約４万円〜５万円）であるため、表面処理洗浄水製造装置１０のランニングコストを抑えることができると共にこれによりメッキ製品の価格も抑えることができる。
【実施例２】
【０００９】
図３には本発明に係る表面処理洗浄水製造装置５０の第２実施例が示されている。この第２実施例の表面処理洗浄水製造装置５０は被メッキ物を洗浄槽で洗浄した後の洗浄水（以下、本発明では「リサイクル水」と称す）から表面処理洗浄水を製造するタイプの表面処理洗浄水製造装置である。
なお、前記第１実施例の表面処理洗浄水製造装置１０と同一の構成は同一の符号を用いてその説明を省略する。また、図３において処理液槽４６は省略する。
図３に示されるように、被メッキ物が洗浄される前記直列多段洗浄槽４４の第１洗浄槽４４Ａは電磁弁５２を設けたパイプ５４を介して混入物排除ネット装置５６と連通されている。この混入物排除ネット装置５６の内部には細かいメッシュのネット５８が設けられ、主に前記直列多段洗浄槽４４で被メッキ物を洗浄した際にリサイクル水に混入した比較的大きな混入物が通過するのを防止している。
前記混入物排除ネット装置５６は電磁弁６０を設けたパイプ６２を介してオゾンミキサー１８と連通されている。また、このオゾンミキサー１８は電磁弁６４を設けたパイプ６６を介してオゾン発生装置２６と連通されている。従って、オゾン発生装置２６で製造されたオゾンはパイプ６６を介して前記オゾンミキサー１８に供給されるようになっている。
前記オゾンミキサー１８は電磁弁６８を設けたパイプ７０を介して濾過装置としての砂濾過装置７２と連通されている。この砂濾過装置７２には砂７３Ａと豆砂利７３Ｂが混合された状態で充填され、主にリサイクル水に含まれている浮遊物質等を排除するようになっている。
前記砂濾過装置７２は電磁弁７４を設けたパイプ７６を介して活性炭濾過装置３２と連通されている。従って、この活性炭濾過装置３２を通過するリサイクル水は活性炭濾過装置３２の活性炭３３によっても濾過されるようになっている。
前記活性炭濾過装置３２は電磁弁８０を設けたパイプ８２を介して精密濾過装置３８と連通されている。
これにより、前記直列多段洗浄槽４４のリサイクル水が上記工程を経ることにより、表面処理洗浄水が製造される。
前記精密濾過装置３８は電磁弁８４，８６を設けたパイプ８８を介して前記直列多段洗浄槽４４と連通されている。
従って、リサイクル水から製造された表面処理洗浄水は直列多段洗浄槽４４に供給される。
【００１０】
次に、第２実施例の表面処理洗浄水製造装置５０を使用してリサイクル水から表面処理洗浄浄水を製造する方法を説明する。
前記直列多段洗浄槽４４で被メッキ物を洗浄することにより有機物や無機物が混入したリサイクル水は直列多段洗浄槽４４の第１洗浄槽４４Ａからパイプ５４を介して混入物排除ネット装置５６に導かれる。従って、この混入物排除ネット装置５６を通過する直列多段洗浄槽４４における洗浄工程等で入り込んだ比較的大き目の混入物はネット５８にひっかかって排除される。
この混入物排除ネット装置５６を通過したリサイクル水はパイプ６２に導かれてオゾンミキサー１８に流れ込む。このオゾンミキサー１８はパイプ６６を介して前記オゾン発生装置２６と接続されているので、オゾン発生装置２６で製造されたオゾンはパイプ６６を介してオゾンミキサー１８に供給される。また、オゾンミキサー１８に流入したリサイクル水はオゾンミキサー１８の内部に配設されているシリンダー状永久磁石２０に勢いよく当たったり、流通孔２０Ａを流れたり、シリンダー状永久磁石２０の外周部を流れたりする。このため、リサイクル水はオゾンミキサー１８内で乱流状態になると共に勢いよく流入したリサイクル水がシリンダー状永久磁石２０に当たることによりオゾンミキサー１８内では静電気が発生する。
また、前記オゾンミキサー１８にはオゾン発生装置２６で発生されたオゾンが流入するため、このオゾンミキサー１８の内部ではリサイクル原水が乱流状態のところにオゾンが入り込むのでオゾンはリサイクル水によく溶け込む状態になる。この結果、リサイクル水によく溶け込んだオゾンの酸化処理作用によりリサイクル水に含まれた有機物が分解されると共に菌類等はオゾンの殺菌作用により殺菌される。
また、前記発生した静電気によりリサイクル水の分子（Ｈ2Ｏ）が分解されて水素（Ｈ）が多くなる状態となる。この結果、前記オゾンミキサー１８内で水素ガスが発生してオゾンがよく溶け込んだリサイクル水は水素ガスにより勢いよくパイプ７０に導かれて砂濾過装置７２を通過して濾過される。
前記砂濾過装置７２で主に浮遊物質が濾過されたリサイクル水はパイプ７６によって活性炭濾過装置３２に導かれて活性炭濾過装置３２で濾過される。従って、この活性炭濾過装置３２を通過するリサイクル水に含まれている残存有機物等の不純物は活性炭濾過装置３２で排除される。
前記活性炭濾過装置３２で濾過されたリサイクル水はパイプ８２によって精密濾過装置３８に導かれて濾過される。従って、リサイクル水に含まれている無機物等の不純物は主に精密濾過装置３８によって排除される。
このため、前記リサイクル水に含まれていた有機物はオゾンの酸化処理作用や殺菌処理作用により分解処理、殺菌処理され、また、リサイクル水に含まれていた残存有機物や無機物等は前記砂濾過装置７２、活性炭濾過装置３２及び精密濾過装置３８によって排除されることにより、リサイクル水から表面処理洗浄水が製造される。
そして、この製造された表面処理洗浄水はパイプ８８を介して前記直列多段洗浄槽４４の第４洗浄槽４４Ｄに供給される。
従って、直列多段洗浄槽４４で被メッキ物を洗浄する前記リサイクル水には有機物や無機物はほとんど含まれていないので洗浄された被メッキ物の表面に有機物や無機物が付着するのを阻止することができる。
従って、第２実施例の表面処理洗浄水製造装置５０はリサイクル水をリサイクルして表面処理洗浄水を製造することができるので貴重な水資源を有効利用することができると共に原水の供給量を抑えることにより原水使用費用（水道料金等）を抑えることができる。
また、リサイクル水をリサイクルするためメッキ作業に廃水の排水量を抑えることにより環境問題にも配慮することができる。
さらに、リサイクル水をリサイクルできるため排水装置を有していない工場等で特に有効である。
なお、他の作用、効果は第１実施例の表面処理洗浄水製造装置１０と同一であるため、その説明は省略する。
【００１１】
なお、実施例では洗浄槽として直列多段洗浄槽４４を示したが、洗浄槽は直列多段洗浄槽タイプに限定されるものでないことは勿論である。
また、実施例では第１洗浄槽４４Ａ，第２洗浄槽４４Ｂ，第３洗浄槽４４Ｃ，第４洗浄槽４４Ｄの４槽からなる直列多段洗浄槽４４を示したが、直列多段洗浄槽４４は４槽に限定されないことは勿論である。
また、実施例では処理液に浸漬された被メッキ物を洗浄する場合を例にして説明したが、処理液に浸漬される前の被メッキ物に付着した付着物等を洗浄する場合でもよいことは勿論である。
なお、実施例では精密濾過装置３８においては１μメッシュの第１フィルター３９Ａ、０．５μメッシュの第２フィルター３９Ｂ、０．２２μメッシュの第３フィルター３９Ｃを並んで配設したが、メッシュの大きさや配設されるフィルターの数は前記実施例に限定されるものではないことは勿論である。
また、第２実施例では砂濾過装置７２の内部に砂７３Ａと豆砂利７３Ｂを混合して充填した例を示したが、砂濾過装置７２の充填物はこれに限定されるものではなく、例えば粗いアンスラサイト（無煙炭）と細かいアンスラサイト（無煙炭）を混合して充填してもよいことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施例の表面処理洗浄水製造装置の全体概略断面構成図である。
【図２】第１実施例の表面処理洗浄水製造装置に使用されるオゾンミキサーの縦断面図である。
【図３】第２実施例の表面処理洗浄水製造装置の全体概略断面構成図である。
【符号の説明】
【００１３】
１０    表面処理洗浄水製造装置
１２    原水槽
１８    オゾンミキサー
２０    シリンダー状永久磁石
２６    オゾン発生装置
３２    活性炭濾過装置
３８    精密濾過装置
４４    直列多段洗浄槽
５０    表面処理洗浄水製造装置
５４    混入物排除ネット装置
７２    砂濾過装置
【図１】
2006175340.tif 000003
【図２】
2006175340.tif 000004
【図３】
2006175340.tif 000005