(57)【要約】    【課題】回転真空ポンプ、更に詳しくはターボ分子真空ポンプのような機械軸受を備えたポンプの回転質量を効果的かつ迅速にバランス調整する。    【解決手段】ポンプ基部103、203に種々結合されるとともに、ポンプ回転子113、213および／またはその回転軸105；205に近接して設けられた変位センサ121A〜121F、221A〜221Fを含み，前記センサは、回転軸芯に関して前記回転子113、213の質量が不均一に配分された場合にその不均一な配分を検出するために、前記回転軸の方向に向けられそれに対して直交して設けられている。本発明は、回転ポンプのバランス調整構造体およびバランス調整方法にも関する。【選択図】図３ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部分（１０３；２０３）と、前記固定部分に対して回転する部分とを含み、前記回転部分は回転軸（１０５；２０５）を含み、前記回転軸（１０５；２０５）は、回転子アセンブリ（１１３；２１３）を備え、電動機（１１１；２１１）により駆動され、そして、前記固定部分に対して少なくとも１つの転がり機械軸受（１０７；２０７）により支持されている、回転真空ポンプ（１０１；２０１）であって、
前記固定部分と前記回転部分との間に位置して、前記回転軸および前記回転子アセンブリの回転中、前記固定部分と前記回転部分との間の距離の変動に伴って変動する電気信号を発生させるための少なくとも２つの変位センサ（１２１Ａ〜１２１Ｄ；２２１Ａ〜２２１Ｂ）を含むことを特徴とする回転真空ポンプ。
【請求項２】
１対の転がり軸受（１０７）により前記回転軸（１０５）が、支持されて装着された基部（１０３）と、
前記回転軸（１０５）に装着されて前記回転軸（１０５）と前記回転子アセンブリ（１１３）とを回転させる前記電動機（１１１）の回転子（１０９）とを更に含み、
前記回転子アセンブリ（１１３）は、前記回転軸（１０５）と前記電動機（１１１）とを収容する鐘形空洞（１１７）を含むことを特徴とする請求項１に記載の回転真空ポンプ。
【請求項３】
前記回転子（１１３）および／または前記回転軸（１０５）に近接して前記ポンプ（１０１）の前記基部（１０３）に設けられた少なくとも１対の変位センサ（１２１Ａ〜１２１Ｄ）を含み、各変位センサは、前記回転軸（１０５）または前記回転子（１１３）に面して、前記回転子の回転中、前記回転子と前記センサとの間の距離が変動した場合に、その変動を測定するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の回転真空ポンプ。
【請求項４】
前記回転軸（１０５）に面すると共に前記回転軸を指向する第１の１対の変位センサ（１２１Ａ、１２１Ｂ）と、
前記回転子アセンブリ（１１３）の内壁（１１３ａ）に面すると共に前記内壁を指向する第２の１対の変位センサ（１２１Ｃ、１２１Ｄ）とを更に含むことを特徴とする請求項３に記載の回転真空ポンプ。
【請求項５】
前記回転子アセンブリ（１１３）は、前記回転子（１１３）の回転軸芯に直交する平面上でかつ前記回転子に関して接線方向に位置する軸芯を有する少なくとも１つのねじ切り円筒状孔（１２３）を含み、ここで、ねじ切りダボを備えた前記孔の追加質量を配置および変位させて、前記回転部分の不均衡を低減させることを特徴とする請求項１に記載の回転真空ポンプ。
【請求項６】
前記回転子アセンブリ（１１３）は、前記回転子（１１３）の回転軸芯に直交する平面上かつ前記回転子に関して半径方向に位置する軸芯を有する少なくとも１つのねじ切り円筒状孔（１２３）を含み、ここで、ねじ切りダボを備えた前記孔の追加質量を配置および変位させて、前記回転部分の不均衡を低減させることを特徴とする請求項１に記載の回転真空ポンプ。
【請求項７】
前記回転軸（２０５）は、１対の転がり軸受（２０７）により支持されると共に、前記電動機（２１１）により駆動され、前記軸受と前記電動機とは、前記回転子アセンブリ（２１３）を収容するポンピング領域から軸方向に分離したポンプ領域内に設けられており、
１対の前記変位センサ（２２１Ａ、２２１Ｂ）は、前記回転軸（２０５）に対向し、かつ前記電動機（２１１）の前記回転子（２０９）の両側、かつ、前記ポンプ（２０１）の基部（２０３）に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の回転真空ポンプ。
【請求項８】
前記変位センサは渦電流変位センサであり、前記渦電流変位センサは、可変磁場を生成する高周波ＡＣ電流が流れるコイル（５３）を含むことを特徴とする請求項１に記載の回転真空ポンプ。
【請求項９】
前記センサは、インピーダンスから電圧への変換器（６１）を含み、前記変換器（６１）の出力信号の電圧レベルの変動は、前記センサの前記コイルのインピーダンス変動に対応していることを特徴とする請求項８に記載の回転真空ポンプ。
【請求項１０】
前記センサ（１２１Ａ〜１２１Ｄ；２２１Ａ〜２２１Ｂ）は、前記ポンプの動作中、前記固定部分に対する前記回転部分の変位を示す信号を供給することを特徴とする請求項１に記載の回転真空ポンプ。
【請求項１１】
当該ポンプはターボ分子ポンプであることを特徴とする請求項１に記載の回転真空ポンプ。
【請求項１２】
(i)固定部分（１０３；２０３）と、(ii)前記固定部分に対して回転する部分とを含み、前記回転部分は回転軸（１０５；２０５）を含み、前記回転軸は、回転子アセンブリ（１１３；２１３）を備え、電動機（１１１；２１１）により駆動され、そして、前記固定部分に対して少なくとも１つの転がり機械軸受（１０７；２０７）により支持されており、更に、(iii)バランス調整中に前記回転真空ポンプを収容することができる真空気密鐘形部材（１１９；２１９）を含む、回転真空ポンプ用バランス調整構造体であって、
前記鐘形部材と前記回転部材との間に位置して、前記回転軸および前記回転子アセンブリの回転中に、前記鐘形部材と前記回転部分との間の距離の変動に伴って変動する電気信号を発生させる少なくとも２つの変位センサ（１２１Ａ〜１２１Ｄ；２２１Ａ〜２２１Ｂ）を含むことを特徴とする回転真空ポンプ用バランス調整構造体。
【請求項１３】
前記回転真空ポンプ（１０１；２０１）は、１対の転がり軸受（１０７；２０７）により支持された前記回転軸（１０５；２０５）が装着された基部（１０３；２０３）を含み、前記回転軸（１０５；２０５）と前記回転子アセンブリ（１１３；２１３）とを回転させる前記電動機（１１１；２１１）の回転子（１０９；２０９）が前記回転軸（１０５；２０５）に装着されており、
前記回転子アセンブリ（１１３；２１３）は、前記回転軸（１０５；２０５）と前記電動機（１１１；２１１）とを収容する鐘形空洞（１１７）を有することを特徴とする請求項１２に記載のバランス構造体。
【請求項１４】
前記回転真空ポンプは、前記回転子アセンブリ（１１３；２１３）および／または前記回転軸（１０５；２０５）に近接して前記基部（１０３；２０３）に装着された複数の変位センサ（１２１Ａ〜１２１Ｄ；２２１Ａ，２２１Ｂ）を含み、各変位センサは前記回転軸（１０５；２０５）または前記回転子（１１３；２１３）に面して、前記回転子の回転中に、前記回転子と前記センサとの間の距離の変動を検出するように構成されていることを特徴とする請求項１３に記載のバランス構造体。
【請求項１５】
前記ポンプは、
前記回転軸（１０５；２０５）に面すると共に前記回転軸を指向する第１の１対の変位センサ（１２１Ａ、１２１Ｂ；２２１Ａ，２２１Ｂ）と、
前記回転子アセンブリ（１１３；２１３）の内壁（１１３ａ；２１３ａ）に面すると共に前記内壁を指向する第２の１対の変位センサ（１２１Ｃ、１２１Ｄ；２２１Ｃ，２２１Ｄ）とを含むことを特徴とする請求項１４に記載のバランス構造体。
【請求項１６】
前記鐘形部材（２１９）は、前記回転子アセンブリ（２１３）内部を通り、前記第２の１対の変位センサ（２２１Ｃ，２２１Ｄ）を位置決めする中央円筒状突出部（２１９a）を備えていることを特徴とする請求項１５に記載のバランス構造体。
【請求項１７】
第３の１対の変位センサ（１２１Ｅ，１２１Ｆ；２２１Ｅ，２２１Ｆ）が設けられており、この変位センサは、前記回転子アセンブリ（１１３；２１３）の外壁（１１３ｂ；２１３ｂ）に近接して１対の回転子ディスク（１１５；２１５）の間に設けられると共に、前記外壁方向を指向していることを特徴とする請求項１５に記載のバランス構造体。
【請求項１８】
前記第３の１対の変位センサ（１２１Ｅ，１２１Ｆ；２２１Ｅ，２２１Ｆ）は、前記鐘形部材（１１９；２１９）の壁の１つに隣接した垂直支持部材（１２０；２２０）に片持ち支持されていることを特徴とする請求項１７に記載のバランス構造体。
【請求項１９】
前記変位センサは渦電流変位センサであることを特徴とする請求項１８に記載のバランス構造体。
【請求項２０】
固定部分（１０３；２０３）と、ガスポンピングするために固定子アセンブリと協働する回転子アセンブリ（１１３；２１３）を備えた回転軸（１０５；２０５）を有する回転部分とを含み、前記回転軸（１０５；２０５）は電動機（１１１；２１１）により駆動されるとともに前記固定部分に対して少なくとも１つの転がり機械軸受（１０７；２０７）により支持されている、回転真空ポンプのバランス調整方法であって、
（ａ）バランス調整動作の間、前記ポンプを収容する真空気密鐘形部材（１１９，２１９）を設ける工程と、
（ｂ）前記固定子アセンブリが備えられていない状態の前記ポンプを、前記鐘形部材に結合する工程と、
（ｃ）前記鐘形部材内を真空にする工程と、
（ｄ）前記回転部分を回転駆動する工程と、
（ｅ）前記回転駆動の際の回転数にて、前記固定部分に対する前記回転部分の変位を測定する工程と、
（ｆ）前記回転部分の回転を停止させる工程と、
（ｇ）追加質量により前記回転部分のバランス調整を行う工程と、
（ｈ）必要に応じて、工程（ｂ）〜（ｇ）を繰り返す工程と、
（ｉ）前記回転軸（１０５；２０５）および前記回転子アセンブリ（１１３；２１３）の回転中に、前記固定部分または前記鐘形部材と、前記回転部分との間の距離に伴って変動する電気信号を生成することができる少なくとも２つの変位センサ（１２１Ａ〜１２１Ｆ；２２１Ａ〜２２１Ｆ）により変位測定を行う工程と、
を含む回転真空ポンプバランス調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は回転真空ポンプ、そのバランス調整構造体およびそのバランス調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転真空ポンプの分野において、ボール軸受もしくは転がり軸受のような機械軸受または磁気軸受のいずれかを、回転ポンプ軸を支持するために使用することができることは知られている。
本発明は機械軸受を備えたタイプの回転真空ポンプに関する。
更に詳しくは、本発明は、例えば下記特許文献１または下記特許文献２に開示されているタイプのターボ分子回転真空ポンプに関する。
【０００３】
周知のように、回転ポンプ、特にターボ分子回転ポンプは回転部分を備えた機械であり、この回転部分は、(i)相互に平行な回転子ディスク群を固定した回転軸を含むと共に、(ii)ポンプの入口から出口へのガスポンピングを行うために、一般的に固定子ディスク群である固定部分と協働するように構成されている。
ポンプのタイプにより、相対的に高いまたは低い真空度を得ることができる。例えば、ターボ分子ポンプは、2×104 rpm 〜 9×104 rpmの軸回転速度範囲で10-7 mbar (10-5 pa)程度の真空を生成することができる。
【０００４】
このように、真空ポンプは、超高速で回転する質量を有する機械である。真空ポンプにおいて、このような回転質量は通常、回転軸、前記軸を回転駆動する電動機の回転子、回転子ディスク群、およびポンプ軸を回転可能に支持する転がり軸受の内側リングを含んでいる。
回転質量が重心または回転軸芯に調整されず不均衡（アンバランス）になると、ポンプ内部において内部力が発生し、ハウジングを介してポンプ外部へ伝達される。この種の内部力は望ましくない応力および振動を引き起こし、騒音源となると共に転がり軸受の早期摩耗を引き起こす。
【０００５】
更に、例えば、ポンプを質量分光のような精密測定装置に接続する場合には、振動は測定装置の動作に影響を与える妨害源となり、したがって許容されるものではない。
したがって、機械軸受を備えた回転真空ポンプを設計する際に遭遇する問題として、回転質量の不均衡に起因してポンプが発生する振動をどのようにして低減するかが挙げられる。
【０００６】
通常、回転質量のバランス調整は、更なる回転質量を追加することにより行うことができることが知られている。すなわち、この追加する更なる回転質量を主たる質量に結合して、全質量の重心が再び回転軸芯にもたらされるとともに（静バランス調整）、回転軸芯が慣性主軸芯と一致するようにする（動バランス調整）。動バランス調整を行った回転子は支持部材に応力を伝達することはなく、したがってこれは最適な解決策である。
【０００７】
回転真空ポンプ、特に、ターボ分子真空ポンプの分野では、ポンプ回転子は反復プロセスを介して動バランス調整がなされる。その反復プロセスでは、外部構造体へポンプによって伝達される振動の測定工程と、回転子に取り付けられる１個または複数個の追加質量の位置調整工程とが、最適条件が得られるまで、交互に行われる。
回転子のバランス調整工程に関する主たる問題として、一方では、バランス調整工程の間に測定される振動を回転子の不均衡に関連づけるために、そしてそれ故、修正質量の配置に関連付けるために使用される数理モデルをどのように定義するかということがあり、他方では、振動センサのタイプおよびその構成（配置）の選択ということがある。
【０００８】
回転真空ポンプの分野では、回転子のバランス調整工程の間に通常使用されるセンサは加速度計であり、すなわち、センサが固定された動体の加速度を電気信号へ変換することができるセンサであり、ここで、電気信号の大きさはまさに、センサが受ける加速度の関数となる。
従来技術では、真空ポンプ回転子の動バランス調整は、固定子ディスクを取り付けていない状態で、例えば圧電体加速度計を少なくとも２つ設けた鐘形ケーシング内部にポンプを配置して行っている。回転子を一旦高速で回転させると、固定鐘形部材に設けた加速度計は、回転質量の不均衡に起因する振動がある場合には、その振動を測定することができる。
【０００９】
しかしながら、この種の対応策にも欠点があり、主たる欠点は、振動が測定される地点、すなわち、加速度計が設けられた領域は前記振動源、すなわち、回転子から比較的離れているということにある。
すなわち回転子と加速度計との間に、一部は極めて堅固であり、一部は弾性および制動性を有する部材を含む質量群が設けられていることにより、振動の原因、すなわち、回転子および他の移動質量の不均衡に振動を関連付ける信頼性のある数理モデルを定めることが複雑になっている。
【００１０】
したがって、反復バランス調整プロセスでは、修正質量を適用するために、数回のポンプ停止工程および起動工程を必要とする可能性があり、この結果、最適条件に到達するに必要な時間が極めて増大すると共に生産性を相当に低下させる。
【特許文献１】欧州特許出願公開第０９６２２６４号明細書
【特許文献２】欧州特許出願公開第０７７３３６７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の主目的は、回転真空ポンプ、更に詳しくはターボ分子真空ポンプのような機械軸受を備えたポンプの回転質量を如何に効果的かつ迅速にバランス調整するかという問題を解決するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記および他の目的は、添付の特許請求の範囲に請求された真空ポンプおよびバランス調整方法により達成することができる。
ポンプの回転質量に近接して変位センサを設けることにより、回転子の振動をより直接的に測定することができると共に、これにより、よりシンプルかつより迅速に正確なバランス調整することが可能になる。
【００１３】
本発明において、振動測定は、他のポンプ構成部材により影響されないので、測定変位を引き起こす回転子の不均衡に、その測定変位を関連付ける数理モデルを極めて簡略化することができる。
ポンプ内部に恒久的に載置される変位センサを設けることにより、ポンプが固定子部品で完成され、組みつけられて顧客に納入された場合に、ポンプの安定状態での動作の間にも回転質量の不均衡を測定することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
非限定的な例示の目的で示す本発明の２つの実施形態を、添付図面を参照して以下に説明する。
図３ａは第１ターボ分子回転ポンプ１０１を概略的に示している。
ポンプ１０１は静止部分と回転部分とを含んでいる。静止部分は、回転部分が装着された基部１０３を含んでいる。回転部分は、例えばボール軸受のような転がり軸受１０７により支持された回転軸１０５を含んでいる。回転軸１０５を回転させるために使用される電動機１１１（その固定子は簡略化のため図示していない）の回転子１０９と、平坦なまたはフィン付きのディスク１１５を備えたポンプ回転子１１３とが、回転軸１０５に装着されている。
【００１５】
図３ａに明瞭に示すように、ポンプ１０１の構造設計に応じて、ポンプ回転子１１３には、ポンプを軸方向によりコンパクトにするために、電動機１１１とポンプの回転軸１０５とを収容する鐘形の空洞１１７が形成されている。通常、このような構成は大型ターボ分子ポンプ（回転子の直径が約２５０ｍｍ）の場合に使用される。
図３ａにおいて、ポンプがバランス調整工程中にある状態が示されており、したがってポンプ回転子１１３は、固定子ディスクを備えたポンプハウジング内部に配置されておらず、特にポンプ回転子１１３のバランス調整のために設けられた真空気密の固定鐘形部材１１９内部に配置されている。鐘形部材内部は、図示しない補助的なポンプシステムにより真空にされている。
【００１６】
本発明において、複数（この実施形態では４個）の変位センサ１２１Ａ〜１２１Ｄは、回転子１１３とその回転軸１０５とに近接して、ポンプ１０１の基部１０３内に直接装着されている。各センサは回転軸１０５または回転子１１３に面しており、これにより、回転子の回転中、センサと回転子との間の距離が変動した場合、その変動を検出することができる。
【００１７】
更に詳しくは、図３ａに示す場合、第１の１対の変位センサ１２１Ａ、１２１Ｂは、回転軸１０５に面すると共に回転軸１０５を指向しており、他方、第２の１対の変位センサ１２１Ｃ、１２１Ｄは、回転子１１３の内壁１１３ａに面すると共にその壁を指向している。
本発明において、渦電流変位センサを使用しているという利点がある。
図１は、コイル５３を含む総称的な変位センサ５１を概略的に示しており、コイル５３はコア５５に巻きつけられると共に、コイル５３内には、主磁場を生成する高周波ＡＣ電流が流れている。例えばポンプ回転子またはその軸のような導電体Ｒとコイル５３との間の距離ａの変動により、誘導磁場が対応して変動し、その結果として、センサ５１のコイルにおいて測定されるインピーダンスＺが変動する。
【００１８】
図２に示すようなインピーダンスから電圧への変換器を使用することにより、インピーダンスＺに依存し、したがってセンサと金属体との間の距離に依存して変動する値である電圧信号Ｄを、センサ５１からの出力として得る事ができる。
更に詳しくは、図２に示す回路は、直列に接続された高周波発振器６５およびインピーダンス６７と、復調器６３とを含んでいる。インピーダンス６７は高感度を得られるよう十分に高級なものでなければならない。センサから出力される電圧信号uの復調により、距離ａの関数である電圧信号Ｄを得ることができる。
【００１９】
渦電流変位センサは、１ｎｍ程度の距離変動を測定することができると共に、ターボ分子ポンプ回転子のバランス調整に使用するのに完璧に適合している。
更に詳しくは、この開示による実施形態において、回転子１１３における不均衡に起因して発生する、回転子１１３の内壁１１３ａとこれに面するセンサ１２１Ｃ、１２１Ｄとの間の距離の変動により、センサによって測定可能なインピーダンス変動が引き起こされる。この種のインピーダンス変動を測定することにより、この距離変動と、この距離変動を引き起こした不均衡とを把握することが可能になると共に、この不均衡を修正することが可能になる。
【００２０】
回転軸１０５とセンサ１２１Ａ、１２１Ｂとの間の距離変動の場合の処理も同様に行われる。
回転子１１３の不均衡を修正するために、回転子１１３内に円筒状のねじ切り孔１２３が設けられている。該孔１２３は、それらの軸芯が、回転子の回転軸芯に直交する平面上かつ該回転子に関して接線方向に位置するよう構成されている。ねじ切りダボを備えた追加質量を該孔内に配置および変位させることができる。
【００２１】
別の選択肢としての他のバランス調整方法として、軸芯が回転子に関して半径方向に位置するようにされた孔にねじ止めされるねじ切りダボを備えた質量を挿入する方法がある。
更に、本発明において、図３ａを参照して、第３の１対の変位センサ１２１Ｅ，１２１Ｆが設けられており、これらのセンサは、前記１対の回転子ディスク間において、回転子１１３の外壁１１３ｂに近接して設けられると共に、該壁を指向している。センサ１２１Ｅ，１２１Ｆは外側鐘形部材１１９の壁に近接した垂直支持部材１２０に片持ち支持されている。
【００２２】
バランス調整工程の終わりに、鐘形部材１１９と支持部材１２０とが（これらが設けられている場合）取り外されて、固定子が一体化されたポンプハウジング１２１に取り替え、これにより、ポンプは顧客へ納入して使用される準備が完了することになる。その結果、バランス調整工程の終わりに、鐘形部材１１９と一体の変位センサ１２１Ｅ，１２１Ｆは取り外されることになる。他方、ポンプ１０１の基部１０３に装着されたセンサ１２１Ａ〜１２１Ｄは、ポンプの動作中にもポンプ内部に残され、通常のポンプ動作中において、回転子のバランス条件の測定を実施する場合に使用されうるという利点を有する。
【００２３】
図３ｂは、本発明の第２の実施形態を部分的に示している。
ターボ分子ポンプ２０１は、回転子２１３が電動機２１１および回転軸２０５を収容する鐘形空洞部を有していないという点で、図３ａに示したポンプと異なる。代わりに、軸２０５は、例えばボール軸受のような１対の転がり軸受２０７により支持されると共に電動機２１１により駆動され、これらの軸受および電動機は、回転子２１３が配置されたポンピング領域から軸方向に分離されたポンプ領域に設けられている。
【００２４】
通常、このような構成は小型および中型のターボ分子ポンプ（回転子直径が約１６０ｍｍ未満）の場合に使用される。
上述したのと同様に、本発明において、１対の変位センサ２２１Ａ，２２１Ｂを、ポンプ２０１の基部２０３において、回転軸２０５に対向させかつ電動機２１１の回転子２０９の両側に設けている。
【００２５】
更に、この第２の実施形態において、前記変位センサはなるべくは渦電流センサであることが望ましい。
先の実施形態の場合と同様に、変位センサ２２１Ｃ，２２１Ｄおよび２２１Ｅ，２２１Ｆが更に設けられ、これらのセンサは外側鐘形部材２１９と一体でありかつ回転子２１３に面している。
【００２６】
更に詳しくは、図示する実施形態において、第２の１対のセンサ２２１Ｃ，２２１Ｄは回転子２１３の内壁２１３ａに近接して設けられ、他方、第３の１対のセンサ２２１Ｅ，２２１Ｆは回転子２１３の外壁２１３ｂに近接して設けられている。これらのセンサは回転子を指向しており、これにより、前記回転子の回転中に、センサと回転子との間の距離の変動を検出することができる。
【００２７】
第２の１対のセンサ２２１Ｃ，２２１Ｄを適切に配置するために、鐘形部材２１９は、回転子２１３の中央孔２１３ｃを貫通する中央円筒状突出部２１９ａを設けると有利である。
第３の１対の変位センサ２２１Ｅ，２２１Ｆを片持ち支持するように、取り外し可能な垂直支持部材２２０が外側鐘形部材２１９の壁の一部に近接して設けられている。
【００２８】
先の実施形態と同様に、ポンプ２０１は更に複数のねじ切り孔２２３を有しており、これらの孔２２３の軸芯を回転子２１３の回転軸芯に直交する面に配置することにより、追加質量を配置および変位させることが可能である。
この実施形態の場合も、接線方向に向けられた孔に代えて、半径方向の孔に設けたねじ切りダボを使用することができる。
【００２９】
バランス調整工程の終わりに、鐘形部材２１９と支持部材２２０とが（これらが設けられている場合）取り外され、変位センサ２２１Ｃ，２２１Ｄおよび２２１Ｅ，２２１Ｆも取り外され、他方、ポンプ２０１の基部２０３に装着されたセンサ２２１Ａ、２２１Ｂは、ポンプの動作中においてもポンプ内部に残され、その場での測定を実施する場合に使用されうるという利点を有する。
【００３０】
回転子またはその回転軸に近接してポンプ内部に直接装着された変位センサの使用により、回転子の不均衡を測定する為によりシンプルでより精密な数理モデルを使用することができるので、本発明に係るターボ分子ポンプは所期の目的を達成することは明白である。したがって、バランス調整工程は、より迅速に行われてより良い結果をもたらすことになる。
【００３１】
上記説明は非限定的な一例としてなされたに過ぎず、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変更が可能であることは明白である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】変位センサの概略図である。
【図２】変位センサの電子回路の概略図である。
【図３ａ】本発明の第１の実施形態による真空ポンプの断面図である。
【図３ｂ】本発明の第２の実施形態による真空ポンプの断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【外国語明細書】
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