(57)【要約】【課題】ノズルの目詰まりに起因するミストの発生を防ぎ、装置稼動率を高めたマーキング装置を提供する。【解決手段】制御部２は入力部１より入力されるマーキング後のマーキングテストパターンから吐出不良を発生したノズルよりインクを吐出させないマスクデータを生成して従前の記録データと演算処理することにより修正された記録データを生成し、マーキング部３は修正された記録データに基づいてマーキングを続行する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の不良箇所にマーキングするマーク形状及びマーク座標を含む入力データを入力する入力部と、
入力データから画像データを作成し、該画像データから記録データを生成する制御部と、
記録データに基づいて基板の対応する不良箇所へノズルからインク滴を吐出してマーキングを行うマーキング部を具備し、
制御部は入力部より入力されるマーキング後のマーキングテストパターンから吐出不良を発生したノズルよりインクを吐出させないマスクデータを生成して従前の記録データと演算処理することにより修正された記録データを生成し、マーキング部は修正された記録データに基づいてマーキングを続行することを特徴とするマーキング装置。
【請求項２】
制御部は、吐出不良を発生したノズルデータに対応するマスクデータを生成し、従前の記録データとＡＮＤ処理を行って修正された記録データを生成することを特徴とする請求項１記載のマーキング装置。
【請求項３】
マーキング部は、基板を保持したまま記録位置へ往復動する基板搬送部と、基板搬送部の搬送方向とヘッド長手方向が交差するように配置され、基板の対応する不良箇所に記録データに基づいてノズルからインク滴を吐出するインクジェットヘッドと、インク滴が吐出された基板を乾燥する乾燥器とを備えたことを特徴とする請求項１記載のマーキング装置。
【請求項４】
吐出不良を発生したノズルデータは液晶タブレットを通じて入力されることを特徴とする請求項１記載のマーキング装置。
【請求項５】
吐出不良を発生したノズルデータはイメージスキャナを通じて入力されることを特徴とする請求項１記載のマーキング装置。                                               
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば検査後のサブストレート基板へのマーキング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップが搭載されるサブストレート基板は、自動検査機で良不良の判定が行われた後、不良品に識別マークが付与される。この検査により不良品と判定されたサブストレート基板であっても、製品の歩留まりを向上させるため、作業者が目視により再度確認して良不良の判定を行ってからマーキングする作業が行われている。マーキングは、基板の不良箇所に対応する入力データから画像データを作成し、該画像データから記録データを生成してインクジェットヘッドより記録データに基づいて基板の対応する不良箇所へノズルからインク滴を吐出してマーキングが行われる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記マーキング装置において、インクジェットヘッドのノズルは、印字データによりインク滴が吐出されるノズルもあるが吐出されないノズルもあり使用頻度にばらつきがある。このため、長期にわたって使用されないノズルはインク滴の粘度が増大して吐出不良を起こし易くなる。インク滴が正常に吐出されなくなると、ミスト化して周囲に飛散して良品である基板面にインキ汚れが発生してしまうという不具合が発生する。
【０００４】
また、ノズルに目詰まりを生じたらインクジェットヘッドをメンテナンスして再使用することも考えられるが、不良箇所へのマーキングは印字品位が要求されるレベルは、紙などに文字、図形、記号等印刷する場合に比べて高くないことから、マーキングできる間は装置を停止させずに装置稼動率を上げてマーキング作業が続行できることが望ましい。また、インクジェットヘッドのノズルの吸引を行って回復処理を行う回復機構を設けたり、インクの乾燥を防ぐためインク吐出面を覆うキャップを設けたりする場合には、装置のコストが上昇する。
【０００５】
本発明は上述した課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、ノズルの目詰まりに起因するミストの発生を防ぎ、装置稼動率を高めたマーキング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
基板の不良箇所にマーキングするマーク形状及びマーク座標を含む入力データを入力する入力部と、入力データから画像データを作成し、該画像データから記録データを生成する制御部と、記録データに基づいて基板の対応する不良箇所へノズルからインク滴を吐出してマーキングを行うマーキング部を具備し、制御部は入力部より入力されるマーキング後のマーキングテストパターンから吐出不良を発生したノズルよりインクを吐出させないマスクデータを生成して従前の記録データと演算処理することにより修正された記録データを生成し、マーキング部は修正された記録データに基づいてマーキングを続行することを特徴とする。
また、制御部は、吐出不良を発生したノズルデータに対応するマスクデータを生成し、従前の記録データとＡＮＤ処理を行って修正された記録データを生成することを特徴とする。
また、マーキング部は、基板を保持したまま記録位置へ往復動する基板搬送部と、基板搬送部の搬送方向とヘッド長手方向が交差するように配置され、基板の対応する不良箇所に記録データに基づいてノズルからインク滴を吐出するインクジェットヘッドと、インク滴が吐出された基板を乾燥する乾燥器とを備えたことを特徴とする。
また、吐出不良を発生したノズルデータは液晶タブレット又はイメージスキャナを通じて入力されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
上述したマーキング装置を用いれば、制御部は入力部より入力されるマーキング後のマーキングテストパターンから吐出不良を発生したノズルよりインクを吐出させないマスクデータを生成して従前の記録データと演算処理することにより修正された記録データを生成し、マーキング部は修正された記録データに基づいてマーキングを続行することにより、吐出不良を発生したノズルからインクを吐出せずに継続してマーキングを行うことで、ミストの発生を防ぐと共に装置を停止させることなくマーキングを続行できるので、装置稼動率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明に係るマーキング装置の最良の実施形態について添付図面とともに詳細に説明する。本実施形態のマーキング装置は、基板の不良箇所にマーキングするマーク形状及びマーク座標を含む入力データを入力する入力部と、入力データから画像データを作成し、該画像データから記録データを生成する制御部と、記録データに基づいて基板の対応する不良箇所へノズルからインク滴を吐出してマーキングを行うマーキング部とを具備したマーキング装置について広く適用可能である。本実施例では、半導体装置製造用のサブストレート基板の不良箇所へのマーキング装置について説明する。
【０００９】
マーキング装置の概略構成について図４を参照して説明する。
マーキング動作に先だって、検査装置（導通検査、画像検査、その他の機能検査を含む装置）によりサブストレート基板（以下「シート」という）の不良箇所がモニター画面に出力される。この検査結果の出力画面をもとに作業者がシートを目視により確認しながらマーキング装置への入力動作が行われる。
【００１０】
以下、マーキング装置の構成について説明する。
図１において、入力部１は、サブストレート上の個々のＩＣチップ（以下「ピース」という）の不良箇所にマーキングするマーク形状及びマーク座標を含む入力データを入力する。この入力部１としては、例えば液晶タブレット又はイメージスキャナが好適に用いられる。液晶タブレットは、後述するようにモニター画面への押圧によりマーク形状やマーク座標等の位置データが直接入力でき、入力された画像を出力できるようになっている。
【００１１】
制御部２は入力部１より入力データが送信されると、入力データからマーク画像データ（ビットマップファイル）を作成し、該マーク画像データ（ビットマップファイル）から記録データを生成する。制御部２としては例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）が用いられ、キーボードやマウスなどの入力部、コンピュータによる演算処理や制御命令を出力するＣＰＵ、制御プログラムを記憶するＲＯＭ、ＣＰＵのワークエリアやデータの一時記憶を行うＲＡＭ等のメモリ、モニター等が設けられている。パーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、マーク形状及びマーク座標を含む画像データから記録データを生成し、マーキング部３へ出力する。具体的には、シートの不良ピースにマーキングするマーク形状やマーク座標が各々通信ケーブルを通じて送信され、各データをもとに指定位置にマーキングするビットマップファイルが作成される。ビットマップファイルは、アプリケーションソフトに基づいて作成される。
【００１２】
また、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、ビットマップファイルをドライバーソフトに基づいてプリント用のデータ構造にフォーマット変換し、該記録データ（ノズルデータ）が通信ケーブル（ＵＳＢコード）を通じてマーキング部３へ送信される。マーキング部３は制御部２より出力された記録データ（ノズルデータ）に基づいてシートを構成するピースのうち対応する不良ピースへインクジェットヘッドのノズルからインク滴を吐出してマーキングを行う。
【００１３】
次にマーキング部３の構成について具体的に説明する。
図２（ａ）（ｂ）（ｃ）において、マーキング部３は、シートを保持したまま記録位置へ往復動する基板搬送部４と、基板搬送部４の搬送方向と長手方向が交差するように配置され、入力データに基づいてシートの対応する不良ピースにインクを吐出するフルライン型のインクジェットヘッド５、インクを吐出されたシートにＵＶ光を照射して乾燥させるＵＶ乾燥機６を具備している。基板搬送部４はシートを保持したまま記録位置へ搬送してインクジェットヘッド５よりインクが吐出され、ＵＶ乾燥器６へ搬送してインクを乾燥させる動作を繰り返す。この記録動作を行うたびにインクジェットヘッド５を長手方向へ所定ピッチだけ移動させて必要なドット数のインク滴をシートに記録することでマーキングが行われる。インクジェットヘッド５には、インク供給部７よりインクチューブ７ａを通じてインクが供給される。インク供給部７にはＵＶ硬化性のインクを貯留するインクボトルやインクをインクジェットヘッド５へ送り出すポンプなどが設けられている。
【００１４】
次にインクジェットヘッド５の長手方向への移動機構について図３（ａ）（ｂ）（ｃ）を参照して説明する。インクジェットヘッド５は移動プレート８に支持固定されている。移動プレート８は支持プレート９の両側に起立して設けられた板ばね１０により移動可能に支持されている（図３（ａ）参照）。インクジェットヘッド５のノズル部は、移動プレート８の抜き孔部１１を通じて下向きに配設されている（図３（ｃ）参照）。支持プレート９の下面側にはステップモータ１２が設けられている。また、支持プレート９上には起立部１３が立設されている（図３（ｂ）参照）。起立部１３にはスケールが刻印されたマイクロメータヘッド１４が固定されている。このマイクロメータヘッド１４にはねじ軸１５が嵌め込まれており、これらでマイクロメータを構成している。ねじ軸１５の一端にはプーリ１６が嵌め込まれており、他端は板ばね１０を介して移動プレート８の側面側に突き当てられている（図３（ａ）（ｃ）参照）。プーリ１６とモータプーリ１７との間には無端状のタイミングベルト１８が掛け渡されている（図３（ａ）（ｂ）参照）。移動プレート８の両端側には移動原点を規定する原点センサ１９、移動終端を規定するリミットセンサ２０が設けられている（図３（ａ）参照）。
【００１５】
ステップモータ１２を所定方向へ回転駆動すると、タイミングベルト１８を介してねじ軸１５が回転し、マイクロメータヘッド１４とのねじ嵌合により長手方向に進退する。このとき、ねじ軸１５が移動プレート８を板ばね１０の弾性力に抗して支持プレート９に対して図３（ａ）の左右方向へ移動させて、インクジェットヘッド５をヘッド長手方向に所定量だけ移動させることができる。マイクロメータを原点位置に戻すと、板ばね１０が自らの復元力で支持プレート９に対して直立した位置へ復帰し、インクジェットヘッド５を元の位置に戻すことができる。
尚、板ばね１０を設けることなく、マイクロメータヘッド１４のねじ軸１５の端部を移動プレート８と連繋して、該移動プレート８を支持プレート９上でスライド可能に支持するようにしても良い。
【００１６】
次に、基板搬送部４の構成について図４を参照して説明する。
スライドテーブル２１は、シート（基板）２２を吸着保持して往復動する。スライドテーブル２１の表面には、シートを吸着するための吸引孔が設けられている。スライドテーブル２１は移動ベース部２３に起立して設けられた支持部２４に一体に支持されている。移動ベース部２３はスライド軸２５に沿って移動可能に連繋している。スライド軸２５には移動ベース部２３の原点を規定する原点センサ２６、移動終端を規定するリミットセンサ２７が設けられている。移動ベース部２３は、原点センサ２６及びリミットセンサ２７に検出される範囲で往復移動するようになっている。
【００１７】
支持部２４の一部は無端状のタイミングベルト２８に連繋している。タイミングベルト２８は、移動原点側に設けられたステップモータ２９のモータプーリと移動終端側に設けられたプーリ間に掛け渡されている。タイミングベルト２８にはテンションローラ３０が２箇所で当接して一定のテンションを保つようになっている。また、移動終端側に設けられるプーリにはスライドテーブル２１の移動量を検出するエンコーダ３１が同軸に設けられている。ステップモータ２９を正逆回転駆動することにより、シート２２の吸着保持位置から記録位置を経て乾燥位置との間を往復して移動する。
【００１８】
ここで、インクジェットヘッド５のインク吐出用制御系について図５を参照して説明する。ＣＰＵ３２は記録動作を制御する。インク吐出方式は、圧電素子タイプでも熱抵抗素子タイプの何れであっても良い。ＵＳＢコントローラ（Ｉ／Ｆ）３３には制御部２であるパーソナルコンピュータ（ＰＣ）から記録データ（ノズルデータ）が送信される。ＵＳＢコントローラ３３は、記録データをＤＭＡ（Direct Memory Access）により直接ＳＤＲＡＭ（Synchronous DRAM）３４に送信し、ＳＤＲＡＭ３４は入力クロック信号に同期して送信された記録データが一時記憶される。そして、ＣＰＵ３２の動作指令により記録データはＳＤＲＡＭ３４からＤＭＡ送信によりＦＰＧＡ（Field Program Gate Array）３５を通じてインクジェットヘッド５の各ノズルのインク吐出制御素子への通電信号として送信される。
【００１９】
次に、マーキング部５における通常のマーキング動作について図４を参照して説明する。図４はスライドテーブル２１が原点位置にある状態を示す。移動ベース部２３は原点センサ２６に検出されてステップモータ２９が停止している。この状態で、スライドテーブル２１にシート２２を吸着保持させる。ステップモータ２９を起動すると、移動ベース部２３がスライド軸２５に沿って移動し、スライドテーブル２１がインクジェットヘッド５に対向する記録位置へ搬送される。このとき、制御部２から送信された記録データに基づいてインクジェットヘッド５よりシート２２の不良ピースへインク滴（１ドット分）が吐出される。インク滴が吐出されるとステップモータ１２を起動してねじ軸１５をマイクロメータヘッド１４（図３（ａ）参照）より押し出すことでインクジェットヘッド５を長手方向へ１ピッチ移動させる。ステップモータ２９をさらに回転駆動し、スライドテーブル２１はＵＶ乾燥器６の乾燥位置を通過する際に１ドット分のインク滴にＵＶ光が照射されてインクの乾燥が行われる。
【００２０】
移動ベース部２３がリミットセンサ２７に検出されるとステップモータ２９の回転駆動を一旦停止する。そして、ステップモータ２９を逆転駆動して移動ベース部２３が移動終端位置からスライド軸３３に沿って移動し、スライドテーブル２１がインクジェットヘッド５に対向する記録位置へ搬送される。このとき、制御部２から送信された記録データに基づいてインクジェットヘッド５よりシート２２の不良ピースへインク滴（１ドット分）が吐出される。インク滴が吐出されるとステップモータ１２を起動してねじ軸１５をマイクロメータヘッド１４（図３（ａ）参照）より所定量押し出すことでインクジェットヘッド５を長手方向へ更に１ピッチ移動させる。スライドテーブル２１はＵＶ乾燥器６の乾燥位置を通過する際に往復２ドット分のインク滴にＵＶ光が照射されてインクの乾燥が行われる。以下同様の動作を繰り返してスライドテーブル２１が記録位置を往復動する際にインク滴が吐出され、乾燥が行われて、必要なドット分のインク像が不良ピースにマーキングされる。
【００２１】
次に、インクジェットヘッド５にインクの吐出不良が発生した場合には、記録データの修正が行われる。制御部２は入力部１より入力されるマーキング後のマーキングテストパターンから吐出不良を発生したノズルからインクを吐出させないマスクデータを生成して従前（マスク処理前）の記録データと演算処理することにより、修正された記録データを生成してマーキングを続行する。図６は、従前の記録データにマスク処理を施すデータ修正工程を示すフローチャートである。以下、図６のフローチャートに従いながら、図７乃至図１３の各工程の説明図を参照しながら説明する。
【００２２】
図６において、先ずマーキングされたテストパターンを用いて入力部１へ画像データの入力を行う（ステップＳ１）。画像データの入力は、シート２２を用いることなくシート２２と同サイズのノズル配置に対応したマーキングテストパターン（図８（ａ）（ｂ）参照）を用いて行われる。図７（ａ）（ｂ）において、インクジェットヘッド５のノズルは、Ｘ−Ｙ方向にマトリクス状に配置されており、ノズル位置は座標データ（Ｘｍ、Ｙｎ）で特定される。図８にマスクデータ生成のためのマーキングテストパターンを示す。図８（ａ）はマーキング前、図８（ｂ）マーキング後、図８（ｃ）及び図８（ｄ）はマーキング不良発生例のマーキングテストパターンの部分図を示す。図８（ｃ）では、座標（３、２）のノズルが完全に目詰まりしており、マーキングされていないことを示す。また、図８（ｄ）では、座標（３、２）のノズルが詰まりかけており、マーキング不良であることを示す。
【００２３】
図９（ａ）（ｂ）において液晶タブレットを用いた画像データの入力例について説明する。液晶タブレット３６は、シート（基板）２２の不良箇所の入力と同一のものを用いられる。マーキングテストパターン（図８（ａ）参照）の画像と同一画像が液晶タブレット３６に画面表示される。作業者は、マーキングされたマーキングテストパターンを画面表示された基板画像に重ね合わせ、インク吐出不良に対応するピースを目視により確認しながら、マークペンによりテストパターン上を押圧するとマークが画面表示されるようになっている。図８（ｃ）（ｄ）の例によれば、マーク箇所（Ｘｍ、Ｙｎ）＝（３、２）にマークが施される。尚、マーキングテストパターンとしては、マークペンによるシートへの押圧を画面入力キーへ伝達するフレキシブルな樹脂板を想定している。液晶タブレットを用いると、マーキング後のマーキングテストパターンの不良箇所をマークペンでなぞるだけで吐出不良を生じたノズル位置の入力が行える。また液状タブレットに重ね合わせたマーキングテストパターンを外すと、入力したノズル位置情報をタブレット画面にて確認できる。
【００２４】
次に、イメージスキャナを用いた画像データの入力例について、図１０（ａ）（ｂ）のフローチャートを参照して説明する。作業者は、マーキング後のマーキングテストパターンをイメージスキャナにセットして画像データの入力を行う。このとき、座標（Ｘｍ、Ｙｎ）で特定される各基板部分（マトリクス部分）にマーキングされたインクの面積比率を算出することでマーキングの良否判定が行われる。即ち、図１０（ａ）において、イメージスキャナへの画像入力に先立ってマーキングの良否判定となる閾値Ｔ（例えば印字面積が５０％）を設定しておき（ステップＳ１１）、不良判定フラグの初期化が行われる（ステップＳ１２）。
【００２５】
画像データの入力が行われると、制御部２であるパーソナルコンピュータ（ＰＣ）で良否判定が行われる。図１０（ｂ）において、ステップＳ２１〜Ｓ２４でビットマップ座標（Ｘｍ、Ｙｎ）が検査範囲であることを確認した後、座標（Ｘｍ、Ｙｎ）で特定される領域のマーキング面積比率を算出する（ステップＳ２５）。そして、面積率Ｓが閾値Ｔを超えているか否かを判定し（ステップＳ２６）、超えていればステップＳ２７に進行してノズル吐出不良の判定フラグを立てる。次いでステップＳ２８へ進行して、Ｘ座標を更新しつつステップＳ２４〜Ｓ２７の判定を繰り返し行う。ステップＳ２４でＸ座標が検査範囲に到達していれば、ステップＳ２９へ進行してＹ座標を更新してからステップＳ２２〜Ｓ２８の判定を繰り返し行う。そして、ステップＳ２２でＹ座標が検査範囲に到達していれば判定作業を終了する。
【００２６】
図６のフローチャートにおいて、入力部１から画像データの入力が終了すると、ステップＳ２へ進行して制御部２は画像データに基づくビットマップファイルを作成してドライバーソフトに基づいてプリント用のデータ構造にフォーマット変換する。そして、吐出不良を発生したノズルデータに対応するマスクデータを生成する。マスクデータは、インクジェットヘッド５の各々のノズルについて、インクの吐出が正常である場合を１、インク吐出不良である場合を０として図示している。このマスクデータと従前の記録データとでＡＮＤ処理を行って修正された記録データを生成する(マスク処理；ステップＳ３)。
【００２７】
具体的には、図１１において、Ｘｍ＝３行目のマスクデータとマスク処理前の記録データ（印字データ）を例示する。各データ列において印字する場合を１、印字しない場合を０で示すものとする。（Ｘｍ、Ｙｎ）＝（３、２）のノズルが吐出不良である場合（図１１の○印内参照）、従前の記録データ（印字データ）が印字する（１である）場合であってもＡＮＤ処理を施すことにより印字しない（０である）となり、修正された記録データ（印字データ）が生成される。
【００２８】
図６において、マスク処理が終了すると修正された記録データはＵＳＢコントローラ（Ｉ／Ｆ）３３によってマーキング部３に備えたインクジェットヘッド５へ送信される(ステップＳ４)。マーキング部３においては、修正された記録データに基づいてインクジェットヘッド５のメンテナンスを省略してマーキング作業を継続して行う（ステップＳ５）。
【００２９】
尚、インクジェットヘッド５のノズルの目詰まりが相当範囲に及んだ場合（例えば1／３が目詰まりした場合）には、マーキング装置の駆動を停止させてインクジェットヘッド５の交換、或いはメンテナンスを行うのが望ましい。インクジェットヘッド５はノズルの目詰まりを軽減するために、マーキングを開始する前にエアブローが行われるが、記録位置の下方にインク滴を吸収可能なインク用パッド部が設けられ、マーキング動作を開始前にノズルよりインク滴をインク用パッド部へ吐出して回復処理を行うようにしても良い。インクジェットヘッド５は単数でもよいが、複数個並設するようにしても良い。インクジェットヘッド５は基板搬送方向と直交配置する場合に限らず、斜めに傾けて配置されていても良い。また、基板は半導体装置（ＩＣチップ）製造用のサブストレート基板に限らず、他の電子部品製造用の樹脂基板、フィルム基板、ガラス基板などであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】マーキング装置のブロック構成図である。
【図２】マーキング部の正面図、右側面図及び上視図である。
【図３】インクジェットヘッドの移動機構を示す正面図、右側面図及び上視図である。
【図４】スライドテーブルの搬送機構を示す説明図である。
【図５】マーキング装置のデータの流れを示すブロック図である。
【図６】従前の記録データにマスク処理を施すデータ修正工程を示すフローチャートである。
【図７】インクジェットヘッドのノズル配置とマトリクス座標を示す説明図である。
【図８】マーキングテストパターンの説明図である。
【図９】液晶タブレットを用いた画像入力例の説明図である。
【図１０】イメージスキャナを用いた画像入力例を示すフローチャートである。
【図１１】記録データのマスク処理の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  入力部
２  制御部
３  マーキング部
４  基板搬送部
５  インクジェットヘッド
６  ＵＶ乾燥器
７  インク供給部
７ａ  インクチューブ
８  移動プレート
９  支持プレート
１０  板ばね
１１  抜き孔部
１２、２９  ステップモータ
１３  起立部
１４  マイクロメータヘッド
１５  ねじ軸
１６  プーリ
１７  モータプーリ
１８、２８  タイミングベルト
１９、２６  原点センサ
２０、２７  リミットセンサ
２２  シート
２３  移動ベース部
２４  支持部
２５  スライド軸
３０  テンションローラ
３１  エンコーダ
３２  ＣＰＵ
３３  ＵＳＢコントローラ
３４  ＳＤＲＡＭ
３５  ＦＰＧＡ
３６  液晶タブレット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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