(57)【要約】【課題】  ワークが収納されるカセットの位置決め装置において、載置されたカセットを位置決めし、この後前記位置決めが解除された場合、前記カセットの位置を当初の載置された位置に確実に戻す。【解決手段】  基台３と、基台３に支持されカセットＣＳ１を載置するカセット載置部材５と、基台３とカセット載置部材５との間の摩擦を低減可能な摩擦低減手段７と、アクチュエータ３５を用いて基台３に対してカセット載置部材５を位置決めするカセット載置部材位置決め手段９と、基台３に対してカセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１をカセット載置部材５と共に位置決めするカセット位置決め手段１１とを有する。【選択図】図１
2006135134.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが収納されるカセットの位置決め装置において、
基台と；
前記基台に支持され、前記カセットを載置するカセット載置部材と；
前記基台と前記カセット載置部材との間の摩擦を低減可能な摩擦低減手段と；
アクチュエータを用いて前記基台に対して前記カセット載置部材を位置決めするカセット載置部材位置決め手段と；
前記基台に対して、前記カセット載置部材に載置されたカセットを前記カセット載置部材と共に位置決めするカセット位置決め手段と；
を有することを特徴とするカセット位置決め装置。
【請求項２】
請求項１に記載のカセット位置決め装置において、
前記カセット載置部材位置決め手段と前記カセット位置決め手段とは、共通のアクチュエータを用いて駆動することを特徴とするカセット位置決め装置。
【請求項３】
ワークが収納されるカセットの位置決め装置において、
基台と；
前記基台の上部側に設けられ、前記カセットを載置するカセット載置部材と；
前記カセット載置部材が前記基台に対し水平方向に小さな力で移動するように、前記基台と前記カセット載置部材との間で前記カセット載置部材を支持する支持部材と； 
前記カセット載置部材の下部の一端部の近傍に設けられた第１の突き当て部と；
前記カセット載置部材の下部の他端部の近傍に設けられた第２の突き当て部と；
前記第１の突き当て部に当接するように前記基台に設けられた第１の当接部と；
前記第２の突き当て部の近くで、前記基台に対して、前記第１の突き当て部と前記第２の突き当て部とを互いに結ぶ方向またはこの方向と僅かな角度で交差する方向に移動自在に設けられた移動部材と；
前記第２の突き当て部に当接するように前記移動部材に設けられた第２の当接部と； 
前記移動部材を駆動するアクチュエータと；
前記カセット載置部材に載置されたカセットの一端部に当接するように前記基台に設けられた第３の当接部と；
前記カセット載置部材に載置されたカセットの他端部に当接するように前記移動部材に設けられた第４の当接部と；
を有し、前記移動部材が一方向へ移動することにより、前記第１の突き当て部と前記第１の当接部とが互いに当接すると共に前記第２の突き当て部と前記第２の当接部とが互いに当接して前記基台に対して前記カセット載置部材が所定の位置に位置決めされ、前記移動部材が他方向へ移動することにより、前記第３の当接部と前記カセット載置部材に載置されたカセットとが互いに当接すると共に前記第４の当接部と前記カセット載置部材に載置されたカセットとが互いに当接して、前記基台に対して前記カセットが前記カセット載置部材と共に所定の位置に位置決めされるように構成されていることを特徴とするカセット位置決め装置。
【請求項４】
請求項３に記載のカセット位置決め装置において、
前記支持部材は、基台部とこの基台部に対して任意の方向に回転自在な球状のボールとを備えており、
前記各当接部は、本体部に対して回転するローラで構成されていることを特徴とするカセット位置決め装置。
【請求項５】
ワークが収納されるカセットの位置決め装置において、
基台と；
前記基台の上部側に設けられ、水平方向のうちの一方向であるＸ軸方向に長く延びて、水平方向のうちの一方向であって前記Ｘ軸方向と直交する方向であるＹ軸方向の一端部側で前記カセットを載置する第１のカセット載置部材と；
前記第１のカセット載置部材が前記基台に対し水平方向に小さな力で移動するように、前記基台と前記第１のカセット載置部材との間で前記第１のカセット載置部材を支持する第１の支持部材と；
前記第１のカセット載置部材の下部で前記第１のカセット載置部材のＸ軸方向の一端部の近傍に設けられた第１の突き当て部と；
前記第１のカセット載置部材の下部で前記第１のカセット載置部材のＸ軸方向の他端部の近傍に設けられた第２の突き当て部と；
前記第１の突き当て部に当接するように前記基台に設けられた第１の当接部と；
前記第２の突き当て部の近くで、前記基台に対して、前記第１のカセット載置部材の長手方向またはこの方向と僅かな角度で交差する方向に移動自在に設けられた第１の移動部材と；
前記第２の突き当て部に当接するように前記第１の移動部材に設けられた第２の当接部と； 
前記第１の移動部材を駆動する第１のアクチュエータと；
前記基台の上部側に設けられ、前記Ｘ軸方向に長く延びて、前記Ｙ軸方向の他端部側で前記カセットを載置する第２のカセット載置部材と；
前記第２のカセット載置部材が前記基台に対し水平方向に小さな力で移動するように、前記基台と前記第２のカセット載置部材との間で前記第２のカセット載置部材を支持する第２の支持部材と；
前記第２のカセット載置部材の下部で前記第２のカセット載置部材のＸ軸方向の一端部の近傍に設けられた第３の突き当て部と；
前記第２のカセット載置部材の下部で前記第２のカセット載置部材のＸ軸方向の他端部の近傍に設けられた第４の突き当て部と；
前記第３の突き当て部に当接するように前記基台に設けられた第３の当接部と；
前記第４の突き当て部の近くで、前記基台に対して、前記第２のカセット載置部材の長手方向またはこの方向と僅かな角度で交差する方向に移動自在に設けられた第２の移動部材と；
前記第４の突き当て部に当接するように前記第２の移動部材に設けられた第４の当接部と； 
前記第２の移動部材を駆動する第２のアクチュエータと；
前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットの前記Ｘ軸方向の一端部に、前記Ｙ軸方向の一端部側で当接するように前記基台に設けられた第５の当接部と；
前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットの前記Ｘ軸方向の他端部に、前記Ｙ軸方向の一端部側で当接するように前記第１の移動部材に設けられた第６の当接部と；
前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットの前記Ｘ軸方向の一端部に、前記Ｙ軸方向の他端部側で当接するように前記基台に設けられた第７の当接部と；
前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットの前記Ｘ軸方向の他端部に、前記Ｙ軸方向の他端部側で当接するように前記第２の移動部材に設けられた第８の当接部と；
を具備し、前記第１の移動部材が一方向へ移動することにより、前記第１の突き当て部と前記第１の当接部とが互いに当接すると共に前記第２の突き当て部と前記第２の当接部とが互いに当接して前記基台に対して前記第１のカセット載置部材が所定の位置に位置決めされ、前記第２の移動部材が一方向へ移動することにより、前記第３の突き当て部と前記第３の当接部とが互いに当接すると共に前記第４の突き当て部と前記第４の当接部とが互いに当接して前記基台に対して前記第２のカセット載置部材が所定の位置に位置決めされ、
前記第１の移動部材が他方向へ移動することにより、前記第５の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットとが互いに当接すると共に、前記第６の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットとが互いに当接し、また、前記第２の移動部材が他方向へ移動することにより、前記第７の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットとが互いに当接すると共に、前記第８の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットとが互いに当接して、前記基台に対して前記カセットが、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材と共に前記Ｘ軸方向で所定の位置に位置決めされるように構成されており、
前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されているカセットを、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材と共に、前記基台に対して前記Ｙ軸方向で所定の位置に位置決めするＹ軸方向位置決め手段を有することを特徴とするカセット位置決め装置。
【請求項６】
請求項５に記載のカセット位置決め装置において、
前記支持部材は、基台部とこの基台部に対して任意の方向に回転自在な球状のボールとを備えており、
前記各当接部は、各本体部に対して回転する各ローラで構成されており、
前記Ｙ軸方向位置決め手段は、各本体部に対して回転する各ローラを前記カセットに当接させ、前記カセットを前記Ｙ軸方向で挟み込み、前記カセットを位置決めする手段であることを特徴とするカセット位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセット位置決め装置に係り、特に、前記カセットを位置決め可能であると共に、アクチュエータを用いてカセットが載置されるカセット載置部材を位置決めするものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等に使用される薄型のガラス基板を収納するカセットを載置するカセットベースと、このカセットベースを滑動するころ台と、前記カセットの位置決めをするストッパーと、前記カセットをクランプするクランパーと、前記カセットベースを定位置に復帰させようとするバネ手段とから構成されているカセット位置決め装置が知られている。（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
ガラス基板を収納したカセットをたとえば自動搬送車によって搬送し、前記従来のカセット位置決め装置に載置し、前記ストッパーと前記クランパーとで、前記カセットを位置決めする。
【０００４】
前記位置決めをしている状態で、たとえばロボットを用いてガラス基板を前記カセットから搬出し、この搬出後、前記クランパーによるカセットの位置決めを解除し、前記バネ手段により、前記カセットの位置を、前記カセットが前記自動搬送車によってカセット位置決め装置に載置された当初の位置に戻している。
【特許文献１】特開平８−３２１５４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、前記従来のカセット位置決め装置では、バネ手段によってカセットの位置を戻しているので、大型のガラス基板を多く収納可能なカセットでは質量が大きくなり、ガラス基板の搬出後、カセットが元の位置（前記自動搬送車によってカセット位置決め装置に載置された当初の位置）に戻らない場合があるという問題がある。
【０００６】
このようにカセットが元の位置に戻らないと、自動搬送車によってカセット位置決め装置に載置されたときのカセットの位置と、自動搬送車によってカセット位置決め装置から搬出するときのカセットの位置とが異なってしまい、自動搬送車によってカセット位置決め装置に載置されているカセットを搬出することができなくなるおそれがある。
【０００７】
前記問題は、ガラス基板以外のワークを収納可能なカセットの位置決め装置においても発生する問題であり、また、前記問題は、今後搬送するワークの大型化に伴ってカセットの質量が大きくなることにより一層顕著になる。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ワークが収納されるカセットの位置決め装置において、載置されたカセットを位置決めし、この後前記位置決めが解除された場合、前記カセットの位置を当初の載置された位置に確実に戻すことができるカセット位置決め装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、ワークが収納されるカセットの位置決め装置において、基台と、前記基台に支持され、前記カセットを載置するカセット載置部材と、前記基台と前記カセット載置部材との間の摩擦を低減可能な摩擦低減手段と、アクチュエータを用いて前記基台に対して前記カセット載置部材を位置決めするカセット載置部材位置決め手段と、前記基台に対して、前記カセット載置部材に載置されたカセットを前記カセット載置部材と共に位置決めするカセット位置決め手段とを有するカセット位置決め装置である。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のカセット位置決め装置において、前記カセット載置部材位置決め手段と前記カセット位置決め手段とは、共通のアクチュエータを用いて駆動するカセット位置決め装置である。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、ワークが収納されるカセットの位置決め装置において、基台と、前記基台の上部側に設けられ、前記カセットを載置するカセット載置部材と、前記カセット載置部材が前記基台に対し水平方向に小さな力で移動するように、前記基台と前記カセット載置部材との間で前記カセット載置部材を支持する支持部材と、前記カセット載置部材の下部の一端部の近傍に設けられた第１の突き当て部と、前記カセット載置部材の下部の他端部の近傍に設けられた第２の突き当て部と、前記第１の突き当て部に当接するように前記基台に設けられた第１の当接部と、前記第２の突き当て部の近くで、前記基台に対して、前記第１の突き当て部と前記第２の突き当て部とを互いに結ぶ方向またはこの方向と僅かな角度で交差する方向に移動自在に設けられた移動部材と、前記第２の突き当て部に当接するように前記移動部材に設けられた第２の当接部と、前記移動部材を駆動するアクチュエータと、前記カセット載置部材に載置されたカセットの一端部に当接するように前記基台に設けられた第３の当接部と、前記カセット載置部材に載置されたカセットの他端部に当接するように前記移動部材に設けられた第４の当接部とを有し、前記移動部材が一方向へ移動することにより、前記第１の突き当て部と前記第１の当接部とが互いに当接すると共に前記第２の突き当て部と前記第２の当接部とが互いに当接して前記基台に対して前記カセット載置部材が所定の位置に位置決めされ、前記移動部材が他方向へ移動することにより、前記第３の当接部と前記カセット載置部材に載置されたカセットとが互いに当接すると共に前記第４の当接部と前記カセット載置部材に載置されたカセットとが互いに当接して、前記基台に対して前記カセットが前記カセット載置部材と共に所定の位置に位置決めされるように構成されているカセット位置決め装置である。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のカセット位置決め装置において、前記支持部材は、基台部とこの基台部に対して任意の方向に回転自在な球状のボールとを備えており、前記各当接部は、本体部に対して回転するローラで構成されているカセット位置決め装置である。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、ワークが収納されるカセットの位置決め装置において、基台と、前記基台の上部側に設けられ、水平方向のうちの一方向であるＸ軸方向に長く延びて、水平方向のうちの一方向であって前記Ｘ軸方向と直交する方向であるＹ軸方向の一端部側で前記カセットを載置する第１のカセット載置部材と、前記第１のカセット載置部材が前記基台に対し水平方向に小さな力で移動するように、前記基台と前記第１のカセット載置部材との間で前記第１のカセット載置部材を支持する第１の支持部材と、前記第１のカセット載置部材の下部で前記第１のカセット載置部材のＸ軸方向の一端部の近傍に設けられた第１の突き当て部と、前記第１のカセット載置部材の下部で前記第１のカセット載置部材のＸ軸方向の他端部の近傍に設けられた第２の突き当て部と、前記第１の突き当て部に当接するように前記基台に設けられた第１の当接部と、前記第２の突き当て部の近くで、前記基台に対して、前記第１のカセット載置部材の長手方向またはこの方向と僅かな角度で交差する方向に移動自在に設けられた第１の移動部材と、前記第２の突き当て部に当接するように前記第１の移動部材に設けられた第２の当接部と、前記第１の移動部材を駆動する第１のアクチュエータと、前記基台の上部側に設けられ、前記Ｘ軸方向に長く延びて、前記Ｙ軸方向の他端部側で前記カセットを載置する第２のカセット載置部材と、前記第２のカセット載置部材が前記基台に対し水平方向に小さな力で移動するように、前記基台と前記第２のカセット載置部材との間で前記第２のカセット載置部材を支持する第２の支持部材と、前記第２のカセット載置部材の下部で前記第２のカセット載置部材のＸ軸方向の一端部の近傍に設けられた第３の突き当て部と、前記第２のカセット載置部材の下部で前記第２のカセット載置部材のＸ軸方向の他端部の近傍に設けられた第４の突き当て部と、前記第３の突き当て部に当接するように前記基台に設けられた第３の当接部と、前記第４の突き当て部の近くで、前記基台に対して、前記第２のカセット載置部材の長手方向またはこの方向と僅かな角度で交差する方向に移動自在に設けられた第２の移動部材と、前記第４の突き当て部に当接するように前記第２の移動部材に設けられた第４の当接部と、前記第２の移動部材を駆動する第２のアクチュエータと、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットの前記Ｘ軸方向の一端部に、前記Ｙ軸方向の一端部側で当接するように前記基台に設けられた第５の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットの前記Ｘ軸方向の他端部に、前記Ｙ軸方向の一端部側で当接するように前記第１の移動部材に設けられた第６の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットの前記Ｘ軸方向の一端部に、前記Ｙ軸方向の他端部側で当接するように前記基台に設けられた第７の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットの前記Ｘ軸方向の他端部に、前記Ｙ軸方向の他端部側で当接するように前記第２の移動部材に設けられた第８の当接部とを具備し、前記第１の移動部材が一方向へ移動することにより、前記第１の突き当て部と前記第１の当接部とが互いに当接すると共に前記第２の突き当て部と前記第２の当接部とが互いに当接して前記基台に対して前記第１のカセット載置部材が所定の位置に位置決めされ、前記第２の移動部材が一方向へ移動することにより、前記第３の突き当て部と前記第３の当接部とが互いに当接すると共に前記第４の突き当て部と前記第４の当接部とが互いに当接して前記基台に対して前記第２のカセット載置部材が所定の位置に位置決めされ、前記第１の移動部材が他方向へ移動することにより、前記第５の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットとが互いに当接すると共に、前記第６の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットとが互いに当接し、また、前記第２の移動部材が他方向へ移動することにより、前記第７の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットとが互いに当接すると共に、前記第８の当接部と、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されたカセットとが互いに当接して、前記基台に対して前記カセットが、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材と共に前記Ｘ軸方向で所定の位置に位置決めされるように構成されており、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材とに載置されているカセットを、前記第１のカセット載置部材と前記第２のカセット載置部材と共に、前記基台に対して前記Ｙ軸方向で所定の位置に位置決めするＹ軸方向位置決め手段を有するカセット位置決め装置である。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のカセット位置決め装置において、前記支持部材は、基台部とこの基台部に対して任意の方向に回転自在な球状のボールとを備えており、前記各当接部は、各本体部に対して回転する各ローラで構成されており、前記Ｙ軸方向位置決め手段は、各本体部に対して回転する各ローラを前記カセットに当接させ、前記カセットを前記Ｙ軸方向で挟み込み、前記カセットを位置決めする手段であるカセット位置決め装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ワークが収納されるカセットの位置決め装置において、載置されたカセットを位置決めし、この後前記位置決めが解除された場合、前記カセットの位置を当初の載置された位置に確実に戻すことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係るカセット位置決め装置１の概略構成を示す斜視図である。
【００１７】
図２は、図１におけるＩＩ矢視を示す図であり、カセット位置決め装置１の概略構成を示す平面図である。
【００１８】
図３は、図１におけるＩＩＩ矢視を示す図であり、カセット位置決め装置１の概略構成を示す側面図である。
【００１９】
以下、説明の便宜のために、水平方向のうちの一方向をＸ軸方向とし、水平方向のうちの他の一方向であって前記Ｘ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とし、鉛直方向（上下方向）をＺ軸方向とする。
【００２０】
カセット位置決め装置１は、ワークが収納されるカセットＣＳ１を位置決めするための装置であり、基台３を備えている。
【００２１】
前記基台３は、この基台３とカセット載置部材５との間の摩擦を低減可能な摩擦低減手段７を介して、前記カセット載置部材５を支持している。なお、前記カセット載置部材５は、カセットＣＳ１を載置するものである。
【００２２】
また、前記カセット位置決め装置１には、前記基台３に対して前記カセット載置部材５を位置決めするカセット載置部材位置決め手段９と、前記基台に対して、前記カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１を前記カセット載置部材５と共に位置決めするカセット位置決め手段１１とが設けられている。
【００２３】
前記カセット載置部材位置決め手段９、前記カセット位置決め手段１１は、エネルギーを機械的な動きに変換する機器であるアクチュエータ（たとえば、空気圧シリンダー等の流体圧シリンダー、モータ、ソレノイド）、を用いて前記カセット載置部材５を位置決めするようになっている。
【００２４】
なお、前記カセット位置決め装置１に制御装置を設け、この制御装置を用いて、ワークを格納しているカセットＣＳ１が前記カセット載置部材５に載置される前にカセット載置部材位置決め手段９で前記カセット載置部材５を所定の位置に位置決めし、前記カセットＣＳ１が前記カセット載置部材５に載置された後に前記カセット載置部材位置決め手段９による位置決めを解除して前記カセット位置決め手段１１で前記カセットＣＳ１と前記カセット載置部材５とを所定の位置に位置決めし、この位置決め後に、（たとえば、前記カセットＣＳ１からワークを取り出した後に、）前記カセット位置決め手段１１による位置決めを解除して前記カセット載置部材位置決め手段９で前記カセット載置部材５とこのカセット載置部材５に載置されている前記カセットＣＳ１とを所定の位置に位置決めするようにしてもよい。
【００２５】
また、前記カセット位置決め装置１では、前記カセット載置部材位置決め手段９と前記カセット位置決め手段１１とは、共通のアクチュエータを用いて駆動するようになっている。
【００２６】
共通のアクチュエータを用いて駆動するように構成されていることにより、前記カセット載置部材位置決め手段９で前記カセット載置部材５を所定の位置に位置決めしているときには、前記カセット位置決め手段１１による位置決めは解除され、前記カセット位置決め手段１１で前記カセットＣＳ１を所定の位置に位置決めしているときには、前記カセット載置部材位置決め手段９による位置決めは解除される。
【００２７】
ここで、前記カセット位置決め装置１についてより詳しく説明する。
【００２８】
前記カセットＣＳ１には、たとえば、矩形で薄い板状に形成されたガラス板（液晶表示器（ＬＣＤ）の基板として使用されるガラス板）がワークとして収納されるが、ガラス以外の材質のワークや、板状以外の形態のワークを、前記カセットＣＳ１に収納するようにしてもよい。
【００２９】
前記カセットＣＳ１の外形は、たとえば所定の長さと幅と高さとを備えた直方体形状に形成されており、前記カセットＣＳ１の内部に複数枚のガラス板を収納することができるようになっている。前記各ガラス板は、これらの厚さ方向が上下方向になるようにまた互いが所定の間隔をあけて積層されて、前記カセットＣＳ１の内部に収納されるようになっている。
【００３０】
前記ガラス板は、たとえばガラス板搬送ロボット（図示せず）により、前記カセットＣＳ１の側面のうちの１つに設けられた開口部を通ってたとえば１枚ずつ前記カセットＣＳ１内に搬入され、また、前記カセットＣＳ１から搬出されるようになっている。
【００３１】
前記ガラス板は、幅、長さがそれぞれ１ｍ〜２ｍ程度であり、前記カセットＣＳ１の質量は、ガラス板を収納していない状態では８０ｋｇ〜３５０ｋｇ程度であり、ガラス板を満載した状態では、１２０ｋｇ〜７００ｋｇになる。
【００３２】
前記基台３は、上部に水平面を備えており、この水平面には、前記摩擦低減手段７の例である支持部材が設けられている。この支持部材は、たとえばフリーベア（登録商標）１３で構成されており、前記カセット載置部材５が前記基台３に対し水平方向に小さな力で移動するように、前記基台３と前記カセット載置部材５との間で前記カセット載置部材５を支持している。
【００３３】
前記フリーベア１３は、基台部１５とこの基台部１５に対して任意の方向に回転自在な球状のボール１７とを備えており（図３参照）、前記基台３に前記基台部１５が固定され前記ボール１７が前記カセット載置部材５に接触して前記カセット載置部材５を支持するようになっている。
【００３４】
前記カセット載置部材５は、板状で細長い矩形状に形成された第１の部位１９と、この第１の部位１９と同様な形状に形成された第２の部位２１と、前記第１の部位１９と前記第２の部位２１とを互いに接続している連結部材２３とによって構成されている。
【００３５】
前記第１の部位１９は、この厚さ方向がＺ軸方向になるようにＸ軸方向に長く延びて、Ｙ軸方向の一端部側で前記基台３の上側に設けられており、前記第２の部位２１は、この厚さ方向がＺ軸方向になるようにＸ軸方向に長く延びて、Ｙ軸方向の他端部側で前記基台３の上側に設けられている。
【００３６】
また、前記連結部材２３は、「コ」字状に形成されており、上側が凹になるように、長手方向の一端部側が前記第１の部位１９に固定され、他端部側が前記第２の部位２１に固定されている。
【００３７】
このように、カセット載置部材５が形成されていることにより、カセット載置部材５にカセットＣＳ１を載置した場合にカセットＣＳ１の下部側に空間ＳＰ１が形成される（図３参照）。この空間ＳＰ１は、カセットＣＳ１を搬送する搬送装置のハンドが入り込むスペースになる。
【００３８】
前記フリーベア１３は、前記第１の部位１９を支持するために、前記第１の部位１９の下部側で、Ｘ軸方向に間隔をあけて並べて複数個設けられていると共に、Ｙ軸方向にも間隔をあけて設けられている。また、前記フリーベア１３は、前記第２の部位２１を支持するためにも、同様に設けられている。
【００３９】
このように、フリーベア１３を設けたことによって、第１の部位１９、第２の部位２１を個別に各フリーベア１３に載置した後、前記連結部材２３で、第１の部位１９、第２の部位２１を接続できるので、カセット載置部材５の組立と設置を容易に行なうことができる。
【００４０】
なお、カセット載置部材５の各部位１９、２１の上面には、カセットＣＳ１を載置したときにこのカセットＣＳ１が着座する着座部２５が適数箇所設けられている。また、前記カセットＣＳ１は、長さ方向がＸ軸方向になり、幅方向がＹ軸方向になり、高さ方向がＺ軸方向になるように、前記カセット載置部材５上に載置される。
【００４１】
ここで、前記カセット載置部材位置決め手段９についてより詳しく説明する。
【００４２】
図４、図５は、前記カセット載置部材位置決め手段９、カセット位置決め手段１１の概略構成を示す図であり、図４（ａ）は、図２におけるＩＶ部の拡大図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるＩＶＢ矢視図であり、図５（ａ）は、図２におけるＶ部の拡大図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）におけるＶＢ矢視図である。
【００４３】
カセット載置部材位置決め手段９は、たとえば、前記カセット載置部材５の下部の一端部（Ｘ軸方向の一端部であってＹ軸方向の一端部）の近傍に設けられた第１の突き当て部２７（図２、図５参照）と、前記カセット載置部材５の下部の他端部（Ｘ軸方向の他端部であってＹ軸方向の他端部）の近傍に設けられた第２の突き当て部２９（図２、図４参照）と、前記第１の突き当て部２７の近傍で前記第１の突き当て部２７に当接するように前記基台３に設けられた第１の当接部３０と、前記第２の突き当て部２９の近くで前記基台３に対して前記第１の突き当て部２７と前記第２の突き当て部２９とを互いに結ぶ方向（この方向と僅かな角度で交差する方向でもよい）に移動自在に設けられた移動部材３１（図２、図４参照）と、前記第２の突き当て部２９に当接するように前記移動部材３１に設けられた第２の当接部３３と、前記移動部材３１を駆動する空気圧シリンダー３５（図４（ｂ）参照）とを備えて構成されている。
【００４４】
なお、前記移動部材３１は、リニアガイド３２等のガイド手段を介して、前記基台３に対して水平方向で直線的に移動できるようになっている（図４（ｂ）参照）。
【００４５】
そして、前記移動部材３１が前記空気圧シリンダー３５により一方向（前記第１の突き当て部２７から離れる方向）へ移動することによって、前記第１の突き当て部２７と前記第１の当接部３０とが互いに当接すると共に前記第２の突き当て部２９と前記第２の当接部３３とが互いに当接して前記基台３に対して前記カセット載置部材５が所定の位置に位置決めされるようになっている。
【００４６】
一方、前記移動部材３１が前記空気圧シリンダー３５により他方向（前記第１の突き当て部２７に近づく方向）へ移動することにより、前記第１の当接部３０が前記第１の突き当て部２７から離れ前記第２の当接部３３が前記第２の突き当て部２９から離れて、前記カセット載置部材５が、水平方向に小さな所定の量だけ自由に移動することができ、また、前記カセット載置部材５がＺ軸を回動中心にして小さな所定の角度だけ自由に回動することができるようになっている。
【００４７】
次に、前記カセット位置決め手段１１についてより詳しく説明する。
【００４８】
カセット位置決め手段１１は、前記カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１の一端部（Ｘ軸方向の一端部であってＹ軸方向の一端部）に当接するように前記基台３に設けられた第３の当接部３７（図２、図５参照）と、前記カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１の他端部（Ｘ軸方向の他端部であってＹ軸方向の他端部）に当接するように前記移動部材３１に設けられた第４の当接部３９（図２、図４参照）とを備えて構成されている。
【００４９】
そして、前記移動部材３１が他方向（前記第１の突き当て部２７に近づく方向）へ移動することにより、前記カセット載置部材５の位置や姿勢がある程度自由に変更できるようになる一方で、前記第３の当接部３７と前記カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１とが互いに当接すると共に、前記第４の当接部３９と前記カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１とが互いに当接して、前記基台３に対して前記カセットＣＳ１が前記カセット載置部材５と共に所定の位置に位置決めされるように構成されている。
【００５０】
なお、前記移動部材３１が一方向（前記第１の突き当て部２７から離れる方向）へ移動し、前記カセット載置部材５が位置決めされている状態では、前記第３の当接部３７と前記第４の当接部３９とは、前記カセット載置部材５に載置されている前記カセットＣＳ１から離れている。
【００５１】
次に、前記カセット載置部材位置決め手段９を構成している前記第１、第２の各突き当て部２７、２９についてより詳しく説明する。
【００５２】
前記第１の突き当て部２７は、前記カセット載置部材５の下面であってＸ軸方向かつＹ軸方向の一端部の近傍に一体的に設けた板状の部材４１に設けられている貫通孔４３の側面によって構成されている。なお、前記板状の部材４１は、この厚さ方向が上下方向になるように前記カセット載置部材５に設けられている。
【００５３】
前記貫通孔４３は、前記板状部材４１のほぼ中央部で前記板状部材４１の厚さ方向に貫通して設けられている。前記貫通孔４３は、前記板状部材４１の厚さ方向から眺めた場合、矩形状（たとえば正方形状、また、ひし形等の形状でもよい。）に形成されている。
【００５４】
また、前記第２の突き当て部２９も、前記第１の突き当て部２７と同様に、板状部材４１に設けられた貫通孔４３の側面によって構成されている。なお、前記第２の突き当て部２９を構成する貫通孔４３が設けられている板状部材４１は、前記カセット載置部材５の下面であってＸ軸方向かつＹ軸方向の他端部の近傍に一体的に設けられている。
【００５５】
このように各突き当て部２７、２９が設けられていることによって、前記第１の突き当て部２７は、前記カセット載置部材５の対角線の一端部の近傍に設けられ、前記第２の突き当て部２９は、前記カセット載置部材５の対角線の他端部の近傍に設けられていることになる。
【００５６】
ここで、前記各突き当て部２７、２９についてさらに詳しく説明する。
【００５７】
前記第１の突き当て部２７は、前記貫通孔４３の側面のうちで、正方形状の貫通孔の互いに隣接する２つの側面（互いに直交すると共にそれぞれが上下方向に延伸した側面）４５、４７によって構成されている。同様に、前記第２の突き当て部２９も、貫通孔４３の側面のうちで、正方形状の貫通孔の互いに隣接する２つの側面（壁面）４５、４７によって構成されている（図４、図５参照）。
【００５８】
なお、平面視したときに、前記各突き当て部２７、２９が対角線上でカセット載置部材５の各端部に設けられていることによって、前記第１の突き当て部２７を構成している２つの側面４５、４７と前記第２の突き当て部２９を構成している２つの側面４５、４７とは、対角線上でカセット載置部材５の各端部に設けられていることになる。
【００５９】
また、前記カセット載置部材５の対角線に、前記第１の突き当て部２７を構成する正方形状の貫通孔４３の対角線と、前記第２の突き当て部２９を構成する正方形状の貫通孔４３の対角線とが一致するように、前記各板状部材４１が設けられている。
【００６０】
そして、前記カセット載置部材５の対角線の一端部の近傍に設けられた板状部材４１の正方形状の貫通孔４３の側面のうち外側になる２つの側面４５、４７が前記第１の突き当て部２７を構成し、前記カセット載置部材５の対角線の他端部の近傍に設けられた板状部材４１の正方形状の貫通孔４３の側面のうち外側になる２つの側面４５、４７が前記第２の突き当て部２９を構成している（図４、図５参照）。
【００６１】
ここで、前記各当接部３０、３３についてより詳しく説明する。
【００６２】
前記各当接部３０、３３は、基台３や移動部材３１に一体的に設けられた本体部に対して回転するローラ４９で構成されている。
【００６３】
前記第１の当接部３０を構成しているローラ４９は、上下方向（Ｚ軸方向）に延びた軸を中心にして回転するようになっていると共に（図４（ａ）、図５（ａ）参照）、平面視したときに前記貫通孔４３の内側に収まるように設けられており、側面視したときに、前記ローラ４９の上部側の少なくとも一部が前記貫通孔４３の内側にまるように設けられている（図２、図４（ｂ）、図５（ｂ）参照）。
【００６４】
そして、本体部３５Ｂが基台３に固定されている空気圧シリンダー３５のピストンロッド３５Ａが突出する方向（図４（ｂ）に示す矢印ＡＲ１の方向）に移動することによって、前記移動部材３１が前記第１の突き当て部２７（第１の当接部３０）から離れる方向に移動することによって、前記ローラ４９の円柱側面形状の側面が、前記第１の突き当て部２７を構成している２つの側面４５、４７に接触するようになっている。
【００６５】
同様に、前記第２の当接部３３を構成しているローラ４９の側面が、前記移動部材３１が移動することによって、前記第２の突き当て部２９を構成している２つの側面４５、４７に接触するようになっている。
【００６６】
すなわち、前記カセット載置部材５は、一方の１つのローラ４９と一方の２つ側面４５、４７とが適宜当接し、他方の１つのローラ４９と他方の２つ側面４５、４７とが適宜当接することにより、前記基台３に対して位置きめされるようになっている。
【００６７】
このように構成されていることにより、各突き当て部２７、２９の位置関係が若干悪い場合であっても、前記基台３に対して前記カセット載置部材５を位置決めすることができる。
【００６８】
また、空気圧シリンダー３５によって付勢されて位置決めされているので、カセット載置部材５に何らかの要因で大きな外力が一時的に加わった場合、カセット載置部材５が前記外力に応じて移動し前記外力を吸収することができ、外力によるカセット位置決め装置１の故障を防ぐことができる。
【００６９】
また、前記空気圧シリンダー３５のピストンロッド３５Ａが引っ込み、前記カセット載置部材５が位置決めされていない状態であっても、平面視において各ローラ４９が各貫通孔４３の内部に存在しているので、前記各貫通孔４３の各側面がストッパーになり、カセット載置部材５が水平方向に大きく移動して前記基台３から脱落するおそれを無くすことができる。
【００７０】
なお、前記各ローラ４９を、前記載置部材５に回動自在に設け、前記板状部材４１を、前記基台３や前記移動部材３１に設けてもよい。
【００７１】
次に、前記カセット位置決め手段１１を構成している前記第３、第４の各当接部３７、３９についてより詳しく説明する。
【００７２】
前記各当接部３７、３９は、前記各当接部３０、３３と同様に、基台３や移動部材３１に一体的に設けられた本体部に対して回転するローラ５１で構成されている。
【００７３】
前記第３の当接部３７は、本体部が前記基台３に一体的に設けられている各ローラであって互いが僅かに離れている２つのローラ５１で構成されており、上下方向に延びた軸を中心にして回転するようになっている（図５（ａ）、図５（ｂ）参照）。
【００７４】
また、前記第３の当接部３７を構成している２つのローラーは、平面視したときに、カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１の対角線（前記２つ板状部材４１を互いに結ぶカセット載置部材５の対角線とほぼ一致する対角線）の一方の側で、前記対角線に対してほぼ線対称の位置に配置されている。また、前記各ローラ５１は、側面視した場合、カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１の下部の位置に配置されている。
【００７５】
前記第４の当接部３９も、前記対角線の他方の側に設けられた２つのローラ５１を用いて同様に構成されている。ただし、前記第４の当接部３９を構成しているローラ５１の本体部は、前記移動部材３１に一体的に設けられている。
【００７６】
そして、前記カセット載置部材位置決め手段９が前記カセット載置部材５を位置決めしている状態（前記空気圧シリンダー３５のピストンロッド３５Ａが突出している状態）では、４つの各ローラ５１は、前記カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１から僅かに離れており、前記カセット載置部材位置決め手段９が前記カセット載置部材５を位置決めしていない状態（前記空気圧シリンダー３５のピストンロッド３５Ａが引っ込んでいる状態）では、４つの各ローラ５１が、カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１の側面の各端部と接し、４つの各ローラ５１で挟み込んで、カセットＣＳ１をカセット載置部材５と共に位置決めするようになっている。
【００７７】
なお、カセットＣＳ１をカセット載置部材５に載置する場合、カセットＣＳ１を図２に矢印ＡＲ３で示すようにたとえばＸ軸方向に直線的に移動して載置するとすると、載置されるカセットＣＳ１との干渉を避けるために、第３の当接部３７を構成しているローラ５１や第４の当接部３９を構成しているローラ５１が、Ｙ軸方向において前記載置されるカセットＣＳ１の外側に位置していることが望ましい。
【００７８】
次に、カセット位置決め装置１の動作について説明する。
【００７９】
図６は、前記カセット位置決め手段１１によって、前記カセットＣＳ１を前記カセット載置部材５と共に位置決めしたときの状態を示す図であり、図４に対応する図である。
【００８０】
図７は、前記カセット位置決め手段１１によって、前記カセットＣＳ１を前記カセット載置部材５と共に位置決めしたときの状態を示す図であり、図５に対応する図である。
【００８１】
まず、初期状態において、カセット位置決め装置１（カセット載置部材５）には、カセットＣＳ１が載置されておらず、前記カセット載置部材位置決め手段９によって前記カセット載置部材５の位置決めがされているものとする。
【００８２】
前記初期状態において、カセットＣＳ１を搬送する搬送装置を用いて、ガラス基板を収納しているカセットＣＳ１をカセット載置部材５に載置する。この載置をしたときに、前記カセット載置部材５に対するカセットＣＳ１の位置が若干ばらつく。
【００８３】
そこで、前記カセット位置決め手段１１によって、前記カセットＣＳ１を前記カセット載置部材５と共に位置決めする（図６、図７参照）。この際、前記カセット載置部材位置決め手段９によるカセット載置部材の位置決めは解除される。
【００８４】
続いて、位置決めされたカセットＣＳ１から、ロボット等の搬送装置を用いて、収納されているガラス板を搬出する。
【００８５】
前記ガラス板を搬出した後、前記カセット載置部材位置決め手段９で前記カセット載置部材５を再び位置決めし、カセットＣＳ１を搬送する搬送装置を用いて、カセットＣＳ１をカセット位置決め装置１から搬出し、前記初期状態に戻る。
【００８６】
なお、上記動作ではガラス板を搬出する場合を例に掲げて動作を説明したが、空のカセットをカセット位置決め装置１に載置し、ガラス基板をカセットに搬入し、この搬入後カセットを排出する場合も同様に考えることができる。
【００８７】
カセット位置決め装置１によれば、基台３とカセット載置部材５との間の摩擦が低減されており、空気圧シリンダー３５を用いて前記基台３に対して前記カセット載置部材５を位置決めするようになっているので、カセット載置部材５に載置されたカセットＣＳ１をカセット位置決め手段１１で位置決めしこの後前記カセットＣＳ１の位置決めが解除された場合、前記カセットＣＳ１の位置を当初の載置された位置に確実に戻すことができる。
【００８８】
また、カセット位置決め装置１によれば、共通の空気圧シリンダー３５を用いて、カセット載置部材５とカセットＣＳ１とを位置決めしているので、カセット位置決め装置１の構成が簡素になっている。
【００８９】
さらに、前記カセット載置部材位置決め手段９による前記カセット載置部材５の位置決めと、前記カセット位置決め手段１１による前記カセットＣＳ１の位置決めとを、選択的にまた交互に行なうことが容易になっている。
【００９０】
また、カセット位置決め装置１によれば、カセット載置部材５がフリーベア１３で支持され、各当接部３０、３３、３７、３９が本体部に対して回転するローラ４９、５１で構成されているので、カセット載置部材５とフリーベア１３とが転がり対隅をなし、突き当て部２７、２９やカセットＣＳ１と各当接部３０、３３、３７、３９とが転がり対隅をなしており、滑り対隅をなしている場合に比べ、粉塵の発生が少なく、カセット位置決め装置１をクリーンルーム内で好適に使用することができる。
【００９１】
なお、前記カセット位置決め装置１では、第１の当接部３０や第３の当接部３７をカセットＣＳ１やカセット載置部材５を位置決めするための基準にするために、第１の当接部３０や第３の当接部３７の基台３に対する相対的な位置を固定してあるが、必ずしもこのようにする必要はなく、第１の当接部３０や第３の当接部３７を、第２の当接部３３や第４の当接部３９と同様に、アクチュエータ（たとえば、径が大きいことにより前記空気圧シリンダー３５よりも大きな力を発生する空気圧シリンダー）によって移動する移動部材に設けてもよい。
【００９２】
［第２の実施形態］
図８は、本発明の第２の実施形態に係るカセット位置決め装置１ａの概略構成を示す平面図であり、図２に対応する図である。
【００９３】
第２の実施形態に係るカセット位置決め装置１ａは、２つのカセット載置部材６１、６３を、各アクチュエータ６５を用いて位置決めしている等の点で、前記第１の実施形態に係るカセット位置決め装置１とは異なり、その他の点は、前記第１の実施形態に係るカセット位置決め装置１とほぼ同様に構成され、ほぼ同様に動作しほぼ同様の効果を奏する。
【００９４】
なお、図８では、前記第１の実施形態に係るカセット位置決め装置１と同様に構成されているものには、同じ符号を付してある。
【００９５】
第２の実施形態に係るカセット位置決め装置１ａは、基台３と、前記基台３の上部側に設けられＸ軸方向に長く延びてＹ軸方向の一端部側で前記カセットＣＳ１を載置する第１のカセット載置部材６１と、前記第１のカセット載置部材６１が前記基台３に対し水平方向に小さな力で移動するように前記基台３と前記第１のカセット載置部材６１との間で前記第１のカセット載置部材６１を支持するフリーベア１３と、前記第１のカセット載置部材６１の下部で前記第１のカセット載置部材６１のＸ軸方向の一端部の近傍に設けられた第１の突き当て部６７と、前記第１のカセット載置部材６１の下部で前記第１のカセット載置部材６１のＸ軸方向の他端部の近傍に設けられた第２の突き当て部６９と、前記第１の突き当て部６７の近傍で前記第１の突き当て部６７に当接するように前記基台３に設けられた第１の当接部７１と、前記第２の突き当て部６９の近くで前記基台３に対して前記第１のカセット載置部材６１の長手方向またはこの方向と僅かな角度で交差する方向に移動自在に設けられた第１の移動部材７３と、前記第２の突き当て部６９に当接するように前記第１の移動部材７３に設けられた第２の当接部７５と、前記第１の移動部材７３を駆動する第１の空気圧シリンダー６５Ａとを有する。
【００９６】
また、カセット位置決め装置１ａは、前記基台３の上部側に設けられ前記Ｘ軸方向に長く延びて前記Ｙ軸方向の他端部側で前記カセットＣＳ１を載置する第２のカセット載置部材６３と、前記第２のカセット載置部材６３が前記基台３に対し水平方向に小さな力で移動するように前記基台３と前記第２のカセット載置部材６３との間で前記第２のカセット載置部材６３を支持するフリーベア１３と、前記第２のカセット載置部材６３の下部で前記第２のカセット載置部材６３のＸ軸方向の一端部の近傍に設けられた第３の突き当て部７７と、前記第２のカセット載置部材６３の下部で前記第２のカセット載置部材６３のＸ軸方向の他端部の近傍に設けられた第４の突き当て部７９と、前記第３の突き当て部７７の近傍で前記第３の突き当て部７７に当接するように前記基台３に設けられた第３の当接部８１と、前記第４の突き当て部７９の近くで前記基台３に対して前記第２のカセット載置部材６３の長手方向またはこの方向と僅かな角度で交差する方向に移動自在に設けられた第２の移動部材８３と、前記第４の突き当て部７９に当接するように前記第２の移動部材８３に設けられた第４の当接部８５と、前記第２の移動部材８３を駆動する空気圧シリンダー６５Ｂとを有する。
【００９７】
さらに、カセット位置決め装置１ａは、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３とに載置されたカセットＣＳ１の前記Ｘ軸方向の一端部に、前記Ｙ軸方向の一端部側で当接するように前記基台３に設けられた第５の当接部８７と、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３とに載置されたカセットＣＳ１の前記Ｘ軸方向の他端部に、前記Ｙ軸方向の一端部側で当接するように前記第１の移動部材７３に設けられた第６の当接部８９と、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３とに載置されたカセットＣＳ１の前記Ｘ軸方向の一端部に、前記Ｙ軸方向の他端部側で当接するように前記基台３に設けられた第７の当接部９１と、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３とに載置されたカセットＣＳ１の前記Ｘ軸方向の他端部に、前記Ｙ軸方向の他端部側で当接するように前記第２の移動部材８３に設けられた第８の当接部９３とを有する。
【００９８】
そして、前記第１の移動部材７３が一方向（前記第１の突き当て部６７から離れる方向）へ移動することにより、前記第１の突き当て部６７と前記第１の当接部７１とが互いに当接すると共に前記第２の突き当て部６９と前記第２の当接部７５とが互いに当接して前記基台３に対して前記第１のカセット載置部材６１が所定の位置に位置決めされ、前記第２の移動部材８３が一方向（前記第３の突き当て部７７から離れる方向）へ移動することにより、前記第３の突き当て部７７と前記第３の当接部８１とが互いに当接すると共に前記第４の突き当て部７９と前記第４の当接部８５とが互いに当接して前記基台３に対して前記第２のカセット載置部材６３が所定の位置に位置決めされるようになっている。
【００９９】
また、前記第１の移動部材７３が他方向（前記第１の突き当て部６７に近づく方向）へ移動することにより、前記第１の当接部７１が前記第１の突き当て部６７から離れ前記第２の当接部７５が前記第２の突き当て部６９から離れ、前記第５の当接部８７と、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３とに載置されたカセットＣＳ１とが互いに当接しすると共に、前記第６の当接部８９と、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３とに載置されたカセットＣＳ１とが互いに当接し、また、前記第２の移動部材８３が他方向（前記第３の突き当て部７７に近づく方向）へ移動することにより、前記第３の当接部８１が前記第３の突き当て部７７から離れ前記第４の当接部８５が前記第４の突き当て部７９から離れ、前記第７の当接部９１と、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３とに載置されたカセットＣＳ１とが互いに当接すると共に、前記第８の当接部９３と、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３とに載置されたカセットＣＳ１とが互いに当接して、前記カセットＣＳ１が、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３と共に前記Ｘ軸方向で前記基台３に対して所定の位置に位置決めされるように構成されている。
【０１００】
さらに、カセット位置決め装置１ａは、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３とに載置されていると共に前記第５の当接部８７、前記第６の当接部８９、前記第７の当接部９１、前記第８の当接部９３に当接することにより、Ｘ軸方向で位置決めされたカセットＣＳ１を、前記第１のカセット載置部材６１と前記第２のカセット載置部材６３と共に、前記基台３に対して前記Ｙ軸方向で所定の位置に位置決めするＹ軸方向位置決め手段９５を有する。
【０１０１】
たとえば、前記Ｙ軸方向位置決め手段９５は、空気圧シリンダー９８Ａによって前記基台３に対しＹ方向に移動自在な第３の移動部材９６に設けられた当接部（Ｙ軸方向の一端部側に設けられた当接部）９７と、空気圧シリンダー９８Ｂによって前記基台３に対しＹ方向に移動自在な第４の移動部材９９に設けられた当接部（Ｙ軸方向の他端部側に設けられた当接部）１００とによって、前記各空気圧シリンダー６５Ａ、６５ＢでＸ軸方向に位置決めされている前記カセットＣＳ１をＹ軸方向で挟み込んで位置決めするように構成されている。
【０１０２】
なお、前記カセットＣＳ１をＹ軸方向で一定位置位置決めするために、空気圧シリンダー９８Ｂが空気圧シリンダー９８Ａよりも大きな推力を発生するようになっている。また、前記各当接部は、たとえば、前記第１の実施形態に係るカセット位置決め装置１と同様に、ローラで構成されている。
【０１０３】
カセット位置決め装置１ａによれば、カセット載置部材を２つに分け、それぞれのカセット載置部材６１、６３を各空気圧シリンダー６５Ａ、６５Ｂを用いて位置決めしており、さらに、前記各空気圧シリンダー６５Ａ、６５Ｂを用いてカセットＣＳ１をＸ軸方向で位置決めし、他の空気圧シリンダー９８Ａ、９８Ｂを用いてカセットＣＳ１をＹ軸方向で位置決めしているので、カセットＣＳ１が大型化された場合であっても、この大型化されたカセットＣＳ１やこのカセットＣＳ１を載置しているカセット載置部材６１、６３を確実に位置決めすることができる。
【０１０４】
なお、本発明は前記各実施形態に限ることなく、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様でも実施することができる。
【０１０５】
たとえば、図９（前記カセット載置部材位置決め手段９の変形例を示す図）に示すように、円錐台状に形成された当接部１０３を空気圧シリンダー１０１によってＺ軸方向に移動し、カセット載置部材５（６１、６３）に一体的に設けられた円錐台状の突き当て部１０５に係合させ、前記カセット載置部材５（６１、６３）を位置決めするようにしてもよい。
【０１０６】
また、前記第１の実施形態において、図１０（前記カセット載置部材位置決め手段９の変形例を示す図）に示すように、前記カセット載置部材位置決め手段９を、前記カセット位置決め手段１１と同様に構成してもよい。
【０１０７】
すなわち、４つのローラ５１を用いて、カセット載置部材５を対角線の両端部側で挟み込み、カセット載置部材を位置決めするようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るカセット位置決め装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１におけるＩＩ矢視を示す図であり、カセット位置決め装置の概略構成を示す平面図である。
【図３】図１におけるＩＩＩ矢視を示す図であり、カセット位置決め装置の概略構成を示す側面図である。
【図４】カセット載置部材位置決め手段、カセット位置決め手段の概略構成を示す図である。
【図５】カセット載置部材位置決め手段、カセット位置決め手段の概略構成を示す図である。
【図６】カセット位置決め手段によって、カセットをカセット載置部材と共に位置決めしたときの状態を示す図であり、図４に対応する図である。
【図７】カセット位置決め手段によって、カセットをカセット載置部材と共に位置決めしたときの状態を示す図であり、図５に対応する図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係るカセット位置決め装置の概略構成を示す平面図であり、図２に対応する図である。
【図９】カセット載置部材位置決め手段の変形例を示す図である。
【図１０】カセット載置部材位置決め手段の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【０１０９】
１、１ａ  カセット位置決め装置
３  基台
５、６１、６３  カセット載置部材
７  摩擦低減手段
９  カセット載置部材位置決め手段
１１  カセット位置決め手段
１３  フリーベア
２７、２９、６７、６９、１０５  突き当て部
３０、３３、３７、３９、７１、７５、８１、８５、８７、８９、９１、９３、１０３  当接部
３１、７３、８３、９６、９９  移動部材
３５、６５Ａ、６５Ｂ、９８Ａ、９８Ｂ、１０１  空気圧シリンダー
４９、５１  ローラ
９５  Ｙ軸方向位置決め手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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