(57)【要約】【課題】  有機ＥＬパネルの検査において測定時間を短縮すること。駆動回路を組み込んだ状態の有機ＥＬパネルの欠陥検査を行うこと。【解決手段】  有機ＥＬパネルの各ピクセルについて、ピクセルを周期的な信号で駆動し、その周期内において異なる電圧で駆動し、得られる電流を比較することにより欠陥検査を行うことで、放電電流を測定する測定時間分を短縮して短時間での検査を行う。パネル検査装置１は、有機ＥＬパネル２に検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部４と、有機ＥＬパネルの各ピクセルに流れる電流値に基づいて有機ＥＬパネルを評価する測定値処理部１１とを備える。検査用駆動パターンはピクセルを周期駆動する駆動パターンとし、測定値処理部１１は、ピクセルが同一周期内において、異なる電圧印加時に得られる電流値間の差に基づいて有機ＥＬパネルの欠陥判定を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬパネルに検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部と、
前記有機ＥＬパネルの各ピクセルに流れる電流値に基づいて有機ＥＬパネルを評価する測定値処理部とを備え、
前記検査用駆動パターンは前記ピクセルを周期駆動する駆動パターンであり、
前記測定値処理部は、前記ピクセルが同一周期内において、異なる電圧印加時に得られる電流値間の差に基づいて有機ＥＬパネルの欠陥判定を行うことを特徴とする、パネル検査装置。
【請求項２】
有機ＥＬパネルに検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部と、
前記有機ＥＬパネルの各ピクセルに流れる電流値に基づいて有機ＥＬパネルを評価する測定値処理部とを備え、
前記検査用駆動パターンは前記ピクセルをオン／オフによる周期駆動する駆動パターンであり、
前記測定値処理部は、前記ピクセルがオン時の電流値と前記ピクセルがオフ時の電流値との差に基づいて有機ＥＬパネルの欠陥判定を行うことを特徴とする、パネル検査装置。
【請求項３】
前記検査用駆動パターンは、ビデオ信号をオン／オフすることで形成することを特徴とする、請求項２に記載のパネル検査装置。
【請求項４】
有機ＥＬパネルに検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部と、
前記有機ＥＬパネルの各ピクセルに流れる電流値に基づいて有機ＥＬパネルを評価する測定値処理部とを備え、
前記検査用駆動パターンは前記ピクセルを周期駆動する駆動パターンであり、
前記測定値処理部は、前記ピクセルの測定電流の波形と予め求めた基準波形との波形比較により有機ＥＬパネルの欠陥判定を行うことを特徴とする、パネル検査装置。
【請求項５】
前記検査用駆動パターンは三角波、のこぎり波、正弦波、矩形波を含む任意の波形であることを特徴とする、請求項１又は４に記載のパネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬディスプレイなどに用いられる有機ＥＬパネルのピクセル欠陥を検出する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬパネルは、複数本の走査線と信号線をマトリックス状に配列し、各線の交差部にピクセルを配置している。各ピクセルは、走査線及び信号線によりスイッチ動作するスイッチ回路と、電源ラインから一定の所定電圧の印加を受けて定電流を供給する定電流回路と、定電流回路に接続される有機ＥＬ画素とを備え、スイッチ回路で選択されたピクセルの有機ＥＬ画素は定電流回路からの電流供給によって発光する。
【０００３】
このような有機ＥＬディスプレイを評価するために、検査信号で有機ＥＬパネルを駆動して、パネルの点灯状態を目視、あるいはＣＣＤカメラ等の撮像装置によって観察する方法が知られているが、評価者の個人差や同一人であっても評価基準が変動するなどにより評価結果にばらつきが生じるという問題が指摘されている。
【０００４】
このような課題に対して、有機ディスプレイの画素に流れる電流を測定することで有機ＥＬディスプレイの評価を行う評価装置が提案されている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００２−４００７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の評価装置は、走査線、信号線、及び電圧供給線を有機ＥＬディスプレイに接続する接続スイッチ回路を備え、駆動回路を組み込む前の状態の有機ＥＬディスプレイを評価するものであり、有機ＥＬ素子の画素ごとに駆動電流値と放電電流値との差を求め、この電流値の差（動作電流差）に基づいて有機ＥＬ画素の欠陥検出を行うものである。
【０００６】
上記構成では、駆動電流値と放電電流値の両電流を測定する必要があり、測定時間が長くなるという問題がある。この測定時間の問題は、画素数が増大すればするほど顕著となる。また、有機ＥＬ画素の欠陥検出は、前記動作電流差をしきい値との比較により行うため、動作電流差としきい値との間の差異やノイズレベルによっては、欠陥検出の精度が低下するという問題がある。
【０００７】
また、上記評価装置は、駆動回路を組み込む前の段階の有機ＥＬディスプレイを検査対象としているため、有機ＥＬパネルの製造工程の後方の段階で欠陥検査を行う場合など、駆動回路を組み込んだ状態の有機ＥＬパネルには適用できないという問題もある。
【０００８】
そこで、本発明は上記課題を解決し、有機ＥＬパネルの検査において測定時間を短縮することを目的とする。また、第２には駆動回路を組み込んだ状態の有機ＥＬパネルの欠陥検査を行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を解決するために、本発明は、有機ＥＬパネルの各ピクセルについて、ピクセルを周期的な信号で駆動し、その周期内において異なる電圧で駆動し、得られる電流を比較することにより欠陥検査を行うことで、放電電流を測定する測定時間分を短縮して短時間での検査を行う。
【００１０】
本発明のパネル検査装置は、有機ＥＬパネルに検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部と、有機ＥＬパネルの各ピクセルに流れる電流値に基づいて有機ＥＬパネルを評価する測定値処理部とを備える構成とし、検査用駆動パターンはピクセルを周期駆動する駆動パターンとし、測定値処理部は、ピクセルが同一周期内において、異なる電圧印加時に得られる電流値間の差に基づいて有機ＥＬパネルの欠陥判定を行う。
【００１１】
本発明の周期駆動する駆動パターンによる第１の態様は、有機ＥＬパネルに検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部と、有機ＥＬパネルの各ピクセルに流れる電流値に基づいて有機ＥＬパネルを評価する測定値処理部とを備える構成において、検査用駆動パターンをピクセルをオン／オフによる周期駆動する駆動パターンとし、測定値処理部は、ピクセルがオン時の電流値とピクセルがオフ時の電流値との差に基づいて有機ＥＬパネルの欠陥判定を行う。駆動パターンとしては、ビデオ信号をオン／オフすることで形成することができる。
【００１２】
この第１の態様によれば、ピクセルの欠陥判定に用いるデータを、駆動パターン中の一周期内で行われるオン／オフ動作で取得することができる。
【００１３】
また、第１の態様によれば、駆動回路に供給するビデオ信号を検査用駆動パターンとして用いることができるため、駆動回路を組み込んだ状態の有機ＥＬパネルの欠陥検査を容易に行うことができる。
【００１４】
本発明の周期駆動する駆動パターンによる第２の態様は、有機ＥＬパネルに検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部と、有機ＥＬパネルの各ピクセルに流れる電流値に基づいて有機ＥＬパネルを評価する測定値処理部とを備える構成において、検査用駆動パターンをピクセルを周期駆動する駆動パターンとし、測定値処理部は、ピクセルの測定電流の波形と予め求めた基準波形との波形比較により有機ＥＬパネルの欠陥判定を行う。駆動パターンとしては、三角波、のこぎり波、正弦波、あるいは矩形波等、任意の波形とすることができる。
【００１５】
この第２の態様によれば、ピクセルの欠陥判定に用いるデータを、駆動パターン中の一周期内の信号による動作で取得することができる。
【００１６】
また、第２の態様によれば、三角波やのこぎり波、正弦波、あるいは矩形波等、形成が容易な信号を検査用駆動パターンとして用いることができるため、駆動回路を組み込んだ状態の有機ＥＬパネルの欠陥検査を容易に行うことができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のパネル検査装置によれば、有機ＥＬパネルの検査において測定時間を短縮することができる。また、駆動回路を組み込んだ状態の有機ＥＬパネルの欠陥検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】
はじめに、本発明の有機ＥＬパネル検査装置の概略構成について図１を用いて説明する。
【００２０】
図１において、有機ＥＬパネル２は、例えば、データライン（信号線）及びスキャン信号ライン（走査線）の制御・信号ラインを縦方向及び横方向に格子状に配列し、ラインが交差する位置に有機ＥＬ用電極に接続された有機ＥＬ素子を配置して構成され、当該有機ＥＬ用電極はスイッチ回路を介して電圧供給線と接続されて有機ＥＬ素子に駆動電流を供給することで発光動作を行い、スイッチ回路の制御はデータライン及びスキャン信号を受けた制御回路により行われる。
【００２１】
図１において、有機ＥＬパネル２のデータラインは水平駆動回路５に接続され、スキャン信号ラインは垂直駆動回路７に接続され、通常の駆動動作は駆動回路３からの駆動信号に基づいて行われる。
【００２２】
本発明のパネル検査装置１は、有機ＥＬパネル２に対して検査用駆動パターンを出力する検査用駆動パターン出力部４と、有機ＥＬパネル２の各ピクセルに流れる電流値を測定して得られる測定電流値に基づいて有機ＥＬパネルを評価する測定値処理部１１とを備える。
【００２３】
なお、図１では、各ピクセル流れる電流値を測定部８で測定し、得られた測定電流値を測定値処理部１１に送る構成としているが、測定値処理部１１と測定部８とを共通の回路で構成してもよい。
【００２４】
また、図１では、検査制御部１０によって、駆動回路３，検査用駆動パターン出力部４，測定部８、及び測定値処理部１１を制御する構成例を示している。
【００２５】
上記した構成のパネル検査装置１において、検査用駆動パターン出力部４は各ピクセルを周期駆動する検査用駆動パターンを出力することによって、各ピクセルに対して同一周期内において異なる電圧を印加する。この電圧印加によって有機ＥＬ素子に流れる電流を測定し、測定値処理部１１は同一周期内で異なる電圧印加時に得られる電流値間の差に基づいて有機ＥＬパネルの欠陥判定を行う。
【００２６】
検査用駆動パターンは、各ピクセルをオン／オフによる周期駆動する駆動パターン、あるいは三角波や正弦波等の周期信号とすることができる。
【００２７】
また、測定値処理部による有機ＥＬパネルの欠陥判定は、オン／オフの駆動パターンによってピクセルがオン時の電流値とピクセルがオフ時の電流値との差に基づいて行う他、三角波や正弦波等の周期性を有する駆動パターンによってピクセルに流れる一周期内の異なる電圧駆動による電流値の差に基づいて行うことができる。また、三角波や正弦波等の周期性を有する駆動パターンによる場合には、ピクセルの測定電流の波形と予め求めた基準波形との波形比較により有機ＥＬパネルの欠陥判定を行うこともできる。
【００２８】
本発明のパネル検査装置の第１の動作例を図２のフローチャート及び図３の信号図、及び図４〜図７の状態図を用いて説明する。なお、第１の動作例は、各ピクセルをオン／オフの周期駆動させる検査用駆動パターンを用いた例を示している。
【００２９】
検査用駆動パターンは、ビデオ信号をオン／オフすることで生成する（ステップＳ１）。
【００３０】
有機ＥＬパネルが備える複数のピクセルから検査対象のピクセルを選択し、検査用駆動パターンで駆動する。ピクセルの選択は、制御信号を供給するデータライン及びスキャン信号ラインを選択することによって行い、データラインを介して検査用駆動パターンを選択したピクセルに供給することでピクセルを駆動する（ステップＳ２）。
【００３１】
検査用駆動パターンは、一周期の間にビデオ信号がオンとなる期間とオフとなる期間を含んでいる。図３（ｃ）は検査用駆動パターンの一例を示し、図３（ｂ）に示すシフトレジスタ信号あるいは図３（ａ）のクロック信号の一周期の間に、ビデオ信号がオンとなる期間とオフとなる期間を含んでいる。
【００３２】
この検査用駆動パターンの印加によってピクセルに流れる電流を測定し、ビデオ信号がオンとなるときの測定電流値を（Ａ）とし、ビデオ信号がオフとなるときの測定電流値を（Ｂ）とする。図３（ｄ）において、符号ａを付した周期では、オン時の測定電流値は所定値を示しオフ時の測定電流値は０を示し、符号ｂを付した周期では、オン時及びオフ時の測定電流値は所定値を示し、符号ｃを付した周期では、オン時及びオフ時の測定電流値は０を示し、符号ｄを付した周期では、オン時の測定電流値は所定値を示しオフ時の測定電流値はオン時よりも小さな値を示している。
【００３３】
測定電流値（Ａ），（Ｂ）は、測定電流を所定のサンプリング周期でサンプリングし（図３（ｄ）中の点はサンプリング点を示している）、得られるサンプリング値を各周期の各期間について例えば平均値を算出することで求める（ステップＳ３）。
【００３４】
次に、求めた測定電流値（Ａ）と（Ｂ）の差を演算して求める。なお、ここでは、一周期内の期間をＡ，Ｂで示し、その期間で測定される測定電流値を（Ａ）ないし（Ｂ）等の（  ）を付して表すものとする。
【００３５】
この測定電流値の差（Ａ）−（Ｂ）は、ピクセルに流れる電流に対応している。図３（ｅ）は、測定電流値の差（Ａ）−（Ｂ）を概略的に示している。例えば、符号ａを付した周期では、測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）として（Ａ）の値が算出され、符号ｂ，ｃを付した周期では、測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）として０が算出され、符号ｄを付した周期では、測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）として（Ａ）よりも小さな値が算出される。
【００３６】
この測定電流値（Ａ）と（Ｂ）の差（Ａ）−（Ｂ）は、ピクセルが正常状態あるいは欠陥状態に対応して異なる値を示す。そこで、測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）の値を指標として以下の工程でピクセルの欠陥判定を行う（ステップＳ４）。
【００３７】
ステップＳ４で算出した測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）の値が０の場合には（ステップＳ５）、周期内の信号状態は、図３（ｅ）の周期ｂの状態あるいは周期ｃの状態のいずれかである。周期ｂの状態であるかあるいは周期ｃの状態であるかは、期間Ａの値（Ａ）が０であるか否かで区分される。
【００３８】
（Ａ）−（Ｂ）＝０であり、かつ、（Ａ）≠０の場合は（ステップＳ６）、図３（ｄ）中の周期ｂの状態に対応し、ピクセルに常に電流が流れる白欠陥を示している。
【００３９】
図５は白欠陥を説明するための状態図を示している。ピクセルが短絡して常に電流が流れる状態では、データ信号及びスキャン信号の信号状態に係わらず、図５（ａ）に示すオン状態及び図５（ｂ）に示すオフ状態のいずれにおいても切り換えスイッチ部２ｄは常にオンとなる。したがって、電流（Ａ）及び（Ｂ）は常に０でない所定値を示し、その測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）は０となる（ステップＳ７）。
【００４０】
ステップＳ６において、（Ａ）−（Ｂ）＝０であり、かつ、（Ａ）＝０の場合は、図３（ｄ）中の周期ｃの状態に対応し、ピクセルに常に電流が流れない黒欠陥を示している。
【００４１】
図６は黒欠陥を説明するための状態図を示している。ピクセルが断線等によって常に電流が流れない状態では、データ信号及びスキャン信号の信号状態に係わらず、図６（ａ）に示すオン状態及び図６（ｂ）に示すオフ状態のいずれにおいても切り換えスイッチ部２ｄは常にオフとなる。したがって、電流（Ａ）及び（Ｂ）は常に０の値を示し、その測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）は０となる（ステップＳ８）。
【００４２】
ステップＳ４で算出した値（Ａ）−（Ｂ）が０でない場合には（ステップＳ５）、周期内の信号状態は、図３（ｅ）の周期ａの状態あるいは周期ｄの状態のいずれかである。周期ａの状態であるかあるいは周期ｄの状態であるかは、期間Ｂの値（Ｂ）が０であるか否かで区分される。
【００４３】
ステップＳ５において、（Ａ）−（Ｂ）≠０であり、かつ、（Ｂ）≠０の場合は（ステップＳ９）、図３（ｄ）中の周期ｄの状態に対応し、ピクセルのリーク欠陥を示している。
【００４４】
図７はリーク欠陥状態を説明するための状態図を示している。ピクセルにリーク欠陥がある状態では、データ信号及びスキャン信号の信号状態に応じてピクセルが選択され、データ信号により駆動が指令された場合には切り換えスイッチ部２ｄがオンとなって図７（ａ）に示すオン状態となる。一方、データ信号により駆動が指令されない場合には切り換えスイッチ部２ｄがオフとなるが、リークによって図７（ｂ）に示すリーク状態となる。
【００４５】
したがって、電流値（Ａ）は０でない所定値を示し、電流値（Ｂ）も０でない（Ａ）よりも小さな値を示し、その測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）は（Ａ）よりも小さな値となる（ステップＳ９）。
【００４６】
また、ステップＳ５において、（Ａ）−（Ｂ）≠０であり、かつ、（Ｂ）＝０の場合（ステップＳ９）は、図３（ｄ）中の周期ａの状態に対応し、正常なピクセル状態を示している。
【００４７】
図４は正常状態を説明するための状態図を示している。ピクセルが正常な状態では、データ信号及びスキャン信号の信号状態に応じてピクセルが選択され、データ信号により駆動が指令された場合には切り換えスイッチ部２ｄがオンとなって図４（ａ）に示すオン状態となり、データ信号により駆動が指令されない場合には切り換えスイッチ部２ｄがオフとなって図４（ｂ）に示すオフ状態となる。
【００４８】
したがって、電流値（Ａ）は０でない所定値を示し、電流値（Ｂ）は０を示し、その測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）は（Ａ）となる（ステップＳ１１）。
【００４９】
上記したステップＳ２〜ステップＳ１０を有機ＥＬパネルの全ピクセルについて行うことで有機ＥＬパネルのパネル検査を行うことができる。なお、図３（ｆ）はピクセルの判定結果を示している（ステップＳ１２）。
【００５０】
本発明のパネル検査装置の第２の動作例を図８のフローチャート及び図９の信号図を用いて説明する。なお、第２の動作例は、各ピクセルに三角波やのこぎり波や正弦波、あるいは矩形波等の周期性を有する検査用駆動パターンを用いた例を示している。
【００５１】
有機ＥＬパネルの欠陥判定は、ピクセルに流れる一周期内の異なる電圧駆動による電流値の差に基づいて行う他、ピクセルの測定電流の波形と予め求めた基準波形との波形比較により行うことができる。
【００５２】
検査用駆動パターンは、三角波やのこぎり波や正弦波、あるいは矩形波等の周期性を有する信号により生成する（ステップＳ２１）。
【００５３】
有機ＥＬパネルが備える複数のピクセルから検査対象のピクセルを選択し、検査用駆動パターンで駆動する。ピクセルの選択は、制御信号を供給するデータライン及びスキャン信号ラインを選択することによって行い、データラインを介して検査用駆動パターンを選択したピクセルに供給することでピクセルを駆動する（ステップＳ２２）。
【００５４】
検査用駆動パターンは、一周期を単位として繰り返される。図９（ｃ）は検査用駆動パターンの正弦波による一例を示し、図９（ｂ）に示すシフトレジスタ信号あるいは図９（ａ）のクロック信号の一周期を周期として繰り返される。
【００５５】
この検査用駆動パターンの印加によってピクセルに流れる電流を測定し、例えば一周期信号の前半の期間における測定電流値を（Ａ）とし、後半の期間における測定電流値を（Ｂ）とする。なお、ここでは、周期信号の前半の期間と後半に期間で区分しているが、これに限らず、電圧の印加状態を異にする期間であれば任意に区分してもよい。
【００５６】
図９（ｄ）において、符号ａを付した周期では、印加した検査用駆動パターンと類似する波形の測定電流値を示し、符号ｂを付した周期では、印加した検査用駆動パターンに係わらずその周期内の測定電流値は所定値を示し、符号ｃを付した周期では、印加した検査用駆動パターンに係わらずその周期内の測定電流値は０を示し、符号ｄを付した周期では、印加した検査用駆動パターンと異なる波形の測定電流値を示している。
【００５７】
測定電流値（Ａ），（Ｂ）は、測定電流を所定のサンプリング周期でサンプリングすることで得ることができる（図９（ｄ）中の点はサンプリング点を示している）（ステップＳ２３）。
【００５８】
次に、求めた測定電流値（Ａ）と（Ｂ）の対応するサンプリング値の差を演算して求める。なお、ここでは、一周期内の期間をＡ，Ｂで示し、その期間で測定される測定電流値を（Ａ）ないし（Ｂ）等の（  ）を付して表すものとする。
【００５９】
図９（ｅ）は、測定電流値の差（Ａ）−（Ｂ）を概略的に示している。例えば、符号ａを付した周期では、測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）としてその周期内で減少する値が算出され、符号ｂ，ｃを付した周期では、測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）として０の値が算出され、符号ｄを付した周期では、測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）としてその周期内で減少する値が算出される。符号ｄの周期では、符号ａの周期の傾きよりも小さいは傾きを示す。
【００６０】
この測定電流値（Ａ）と（Ｂ）の差（Ａ）−（Ｂ）は、ピクセルが正常状態あるいは欠陥状態に対応して異なる値を示す。そこで、測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）の値を指標として以下の工程でピクセルの欠陥判定を行う（ステップＳ２４）。
【００６１】
ステップＳ２４で算出した測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）の値が０の場合には（ステップＳ２５）、周期内の信号状態は、図９（ｅ）の周期ｂの状態あるいは周期ｃの状態のいずれかである。周期ｂの状態であるかあるいは周期ｃの状態であるかは、期間Ａの値（Ａ）が０であるか否かで区分される。
【００６２】
（Ａ）−（Ｂ）＝０であり、かつ、（Ａ）≠０の場合は（ステップＳ２６）、図９（ｄ）中の周期ｂの状態に対応し、ピクセルに常に電流が流れる白欠陥を示している（ステップＳ２７）。
【００６３】
ステップＳ２６において、（Ａ）−（Ｂ）＝０であり、かつ、（Ａ）＝０の場合は、図９（ｄ）中の周期ｃの状態に対応し、ピクセルに常に電流が流れない黒欠陥を示している（ステップＳ２８）。
【００６４】
ステップＳ２４で算出した値（Ａ）−（Ｂ）が０でない場合には（ステップＳ２５）、周期内の信号状態は、図９（ｅ）の周期ａの状態あるいは周期ｄの状態のいずれかである。周期ａの状態であるかあるいは周期ｄの状態であるかは、例えば、測定電流値差（Ａ）−（Ｂ）の傾きで区分するほか、測定電流値の波形を基準の波形と比較することで区部することができ、ピクセルのリーク欠陥判定（ステップＳ３０）あるいは正常判定（ステップＳ３１）を行う。
【００６５】
上記したステップＳ２２〜ステップＳ３１を有機ＥＬパネルの全ピクセルについて行うことで有機ＥＬパネルのパネル検査を行うことができる。なお、図９（ｆ）はピクセルの判定結果を示している（ステップＳ３２）。
【００６６】
以下、図１０，１１を用いて本発明のパターン検査装置の構成例を説明する。なお、図１０，１１において、有機ＥＬパネル２はＲＧＢの各ピクセルを備える構成を示している。
【００６７】
図１０及び図１１の構成例は共にシフトレジスタを用いてデータラインを選択する構成例であり、ビデオ信号を用いて検査用駆動パターンを生成すると共に、検査用駆動パターンに各ピクセルに対応した周期性を持たせる。検査用駆動パターンに周期性を持たせる構成として、図１０ではクロック信号により検査用駆動パターンの周期を設定し、図１１ではシフトレジスタ信号により検査用駆動パターンの周期を設定している。
【００６８】
有機ＥＬパネルの各ピクセルは、有機ＥＬ素子２ａ，有機ＥＬ電極２ｂ，ＴＦＴ２ｃ，２ｄを備える。ＴＦＴ２ｄは切り換えスイッチ手段を構成し、ソースには出力用電源ライン２３が接続されドレインには有機ＥＬ電極２ｂが接続され、出力用電源ライン２３から印加された電圧によって、有機ＥＬ電極２ｂを介して有機ＥＬ素子２ａに駆動電流が供給される。
【００６９】
有機ＥＬ電極２ｂに流れる電流は、ＴＦＴ２ｄのゲートに印加される電圧によって制御される。このＴＦＴ２ｄはＴＦＴ２ｃによって制御される。ＴＦＴ２ｃのゲートには垂直駆動回路７からのスキャン信号ライン２２が接続され、ＴＦＴ２ｃのカソードには水平駆動回路５からのデータライン２１が接続され、スキャン信号ライン２２とデータライン２１の組み合わせによってピクセルの選択が行われ、データライン２１の駆動信号によって駆動電流の制御が行われる。なお、図示するシフトレジスタ６を備えた水平駆動回路５では、シフトレジスタ信号によってピクセルを順次駆動する。
【００７０】
有機ＥＬ素子２ａには有機ＥＬ素子カソード・電圧ライン２４が接続される他、ピクセルに流れる電流を測定するための測定部８が接続される。測定部８は、有機ＥＬ素子２ａに流れる電流を測定し、測定電流値を測定電流値処理部１１に送る。測定電流値処理部１１は、測定電流値に基づいて有機ＥＬパネルの欠陥判定を行う。
【００７１】
図示するパネル検査装置１では、データラインに検査用駆動パターンを供給することによってピクセルの欠陥検査を行う。
【００７２】
検査用駆動パターン出力部４は、ビデオ信号を用いて検査用駆動パターンを生成する。
【００７３】
図１０の検査用駆動パターン出力部４では、ビデオ信号をクロック信号の周期に同期してオン／オフさせることで検査用駆動パターンを生成する。一方、図１１の検査用駆動パターン出力部４では、ビデオ信号をシフトレジスタ出力の周期に同期してオン／オフさせることで検査用駆動パターンを生成する。
【００７４】
オン／オフ制御されたビデオ信号からなる検査用駆動パターンは、シフトレジスタ出力で制御されるＴＦＴを介して所定のピクセルに供給される。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明の有機ＥＬパネルのほか、液晶パネルの検査等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の有機ＥＬパネル検査装置の概略構成を説明するための図である。
【図２】本発明のパネル検査装置の第１の動作例を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明のパネル検査装置の第１の動作例を説明するための信号図である。
【図４】本発明のパネル検査装置の第１の動作例を説明するための正常状態での状態図である。
【図５】本発明のパネル検査装置の第１の動作例を説明するための白欠陥状態での状態図である。
【図６】本発明のパネル検査装置の第１の動作例を説明するための黒欠陥状態での状態図である。
【図７】本発明のパネル検査装置の第１の動作例を説明するためのリーク欠陥状態での状態図である。
【図８】本発明のパネル検査装置の第２の動作例を説明するためのフローチャートである。
【図９】本発明のパネル検査装置の第２の動作例を説明するための信号図である。
【図１０】本発明のパターン検査装置の構成例を説明するための概略図である。
【図１１】本発明のパターン検査装置の構成例を説明するための概略図である。
【符号の説明】
【００７７】
１…パネル検査装置、２…有機ＥＬパネル、２ａ…有機ＥＬ素子、２ｂ…有機ＥＬ電極、２ｃ，２ｄ…ＴＦＴ、３…駆動回路、４…検査用駆動パターン出力部、５…水平駆動回路、６…シフトレジスタ、７…垂直駆動回路、８…測定部、１０…検査制御部、１１…測定値信号部、２１…データライン、２２…スキャン信号ライン、２３…出力用電源ライン、２４…有機ＥＬ素子カソード・電圧ライン。
【図１】
2006100099.tif 000003
【図２】
2006100099.tif 000004
【図３】
2006100099.tif 000005
【図４】
2006100099.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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