(57)【要約】【課題】少なくとも２つの可動部を可動させる場合に、必要な永久磁石の量を少なくして、これによりコスト削減を図る。【解決手段】Ｘ軸方向に沿って並設された複数の永久磁石４１１ａ、…からなる固定マグネット部４１１と、Ｘ軸方向に沿って移動し、それぞれ第一可動コイル４１６Ａ及び第二可動コイル４１６Ｂを有する第一可動部４１４Ａ及び第二可動部４１４Ｂと、第一可動部及び第二可動部のＸ軸方向に沿った移動を案内支持するＸ軸ガイドレール４１３とを備えるリニアモータ駆動機構４１である。複数の永久磁石は、Ｙ軸方向側の二つの端面の磁極を交互に異ならせて配置され、第一可動部及び第二可動部は、複数の永久磁石をそれらのＹ軸方向側の端面側から挟むように、当該端面のそれぞれに第一可動コイル及び第二可動コイルを対向させて配置されている。【選択図】図３
2006197770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置されていることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
【請求項２】
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有するヘッド部と、前記ヘッド部を一方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のうち、何れか一の可動部に前記ヘッド部が搭載され、前記一の可動部と異なる他の可動部に、前記ヘッド部と異なる他のヘッド部、前記吸着ノズルに吸着された前記部品を撮像する部品撮像装置及び前記部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて前記部品撮像装置まで導く導光機構、前記基板を撮像する基板撮像装置、前記基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置の何れか一が搭載されていることを特徴とする部品搭載装置。
【請求項３】
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有するヘッド部と、前記ヘッド部を一方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のうち、何れか一の可動部に前記ヘッド部が搭載され、前記一の可動部と異なる他の可動部に、前記吸着ノズルに吸着された前記部品及び前記基板のうちの少なくとも何れか一を撮像する部品基板撮像装置が搭載され、
前記案内支持部は、前記部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて前記部品基板撮像装置まで導く導光機構を備えることを特徴とする部品搭載装置。
【請求項４】
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有する少なくとも二つのヘッド部と、前記ヘッド部のそれぞれを一方向に移動させるための少なくとも二つのヘッド部移動機構と、前記少なくとも二つのヘッド部移動機構を前記一方向に対する直交方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記直交方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記一方向の二つの面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記一方向の面側から挟むように、当該一方向の面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のそれぞれには、前記ヘッド部移動機構が搭載されていることを特徴とする部品搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータ駆動装置及びこれを備えた部品搭載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＩＣ、抵抗、コンデンサ等の電子部品をプリント基板又は液晶ディスプレイパネル基板等に自動的に搭載する部品搭載装置が知られている。
この部品搭載装置として、電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを備えるヘッド部をリニアモータによりＸ軸方向に沿って移動自在に構成されたものが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００１−３０９６３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、リニアモータの多くは、固定子に質量が大きい永久磁石が用いられ、当該永久磁石の一面に対向させてコイルを備える可動子が配設されている。そして、この場合に、可動子をさらに追加しようとすると、当該可動子用に新たな永久磁石を設ける必要があった。即ち、各可動子に応じて固定子としての永久磁石を個別に設ける必要があり、これにより、当該リニアモータのコストアップを招いてしまうこととなる。
なお、一の永久磁石の一面に複数の可動子を並設して、当該複数の可動子で一の永久磁石を共用することも考えられるが、この場合、各可動子のＸ軸方向に沿った移動範囲が小さくなる。従って、これら可動子の移動範囲を十分に確保するためには固定子のＸ軸方向の長さを長くする必要があり、結果として、当該リニアモータが搭載される部品搭載装置のＸ軸方向の専有長さが長くなるといった問題が生じてしまう。
【０００４】
そこで、本発明の課題は、少なくとも２つの可動部を可動させる場合に、必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これによりコスト削減を図ることができるリニアモータ駆動装置及び部品搭載装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明のリニアモータ駆動装置は、
一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置されていることを特徴としている。
【０００６】
請求項１に記載の発明によれば、固定マグネット部の複数の永久磁石は、並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、それぞれ可動コイルを有する二つの可動部は、複数の永久磁石をそれらの直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに可動コイルを対向させて配置されているので、二つの可動部で一の固定マグネット部を共用することができる。即ち、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、少なくとも２つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動装置に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動装置のコスト削減を図ることができる。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有するヘッド部と、前記ヘッド部を一方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のうち、何れか一の可動部に前記ヘッド部が搭載され、前記一の可動部と異なる他の可動部に、前記ヘッド部と異なる他のヘッド部、前記吸着ノズルに吸着された前記部品を撮像する部品撮像装置及び前記部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて前記部品撮像装置まで導く導光機構、前記基板を撮像する基板撮像装置、前記基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置の何れか一が搭載されていることを特徴としている。
【０００８】
請求項２に記載の発明によれば、固定マグネット部の複数の永久磁石は、並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、それぞれ可動コイルを有する二つの可動部は、複数の永久磁石をそれらの直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに可動コイルを対向させて配置されているので、二つの可動部で一の固定マグネット部を共用することができる。即ち、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、何れか一の可動部にヘッド部が搭載され、一の可動部と異なる他の可動部に、他のヘッド部、吸着ノズルに吸着された部品を撮像する部品撮像装置及び部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて部品撮像装置まで導く導光機構、基板を撮像する基板撮像装置、基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置の何れか一が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有するヘッド部と、前記ヘッド部を一方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のうち、何れか一の可動部に前記ヘッド部が搭載され、前記一の可動部と異なる他の可動部に、前記吸着ノズルに吸着された前記部品及び前記基板のうちの少なくとも何れか一を撮像する部品基板撮像装置が搭載され、
前記案内支持部は、前記部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて前記部品基板撮像装置まで導く導光機構を備えることを特徴としている。
【００１０】
請求項３に記載の発明によれば、固定マグネット部の複数の永久磁石は、並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、それぞれ可動コイルを有する二つの可動部は、複数の永久磁石をそれらの直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに可動コイルを対向させて配置されているので、二つの可動部で一の固定マグネット部を共用することができる。即ち、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、可動部の移動を案内支持する案内支持部に、吸着ノズルに吸着された部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて、部品及び基板のうちの少なくとも何れか一を撮像する部品基板撮像装置まで導く導光機構が備えられ、何れか一の可動部にヘッド部が搭載され、一の可動部と異なる他の可動部に部品基板撮像装置が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
また、吸着ノズルに吸着された部品及び基板の撮像を一の部品基板撮像装置により行うことができるので、当該部品搭載装置をより魅力的なものとすることができる。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有する少なくとも二つのヘッド部と、前記ヘッド部のそれぞれを一方向に移動させるための少なくとも二つのヘッド部移動機構と、前記少なくとも二つのヘッド部移動機構を前記一方向に対する直交方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記直交方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記一方向の二つの面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記一方向の面側から挟むように、当該一方向の面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のそれぞれには、前記ヘッド部移動機構が搭載されていることを特徴としている。
【００１２】
請求項４に記載の発明によれば、固定マグネット部の複数の永久磁石は、一方向の二つの面の磁極を交互に異ならせて配置され、それぞれ可動コイルを有する二つの可動部は、複数の永久磁石をそれらの一方向の面側から挟むように、当該一方向の面のそれぞれに可動コイルを対向させて配置されているので、二つの可動部で一の固定マグネット部を共用することができる。即ち、固定マグネット部の二つの一方向の面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の一方向の面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、それぞれのヘッド部を一方向に移動させるための少なくとも二つのヘッド部移動機構が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、少なくとも２つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動装置に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動装置のコスト削減を図ることができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、何れか一の可動部にヘッド部が搭載され、一の可動部と異なる他の可動部に、他のヘッド部、吸着ノズルに吸着された部品を撮像する部品撮像装置及び部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて部品撮像装置まで導く導光機構、基板を撮像する基板撮像装置、基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置の何れか一が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、可動部の移動を案内支持する案内支持部に、吸着ノズルに吸着された部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて、部品及び基板のうちの少なくとも何れか一を撮像する部品基板撮像装置まで導く導光機構を備えられ、何れか一の可動部にヘッド部が搭載され、一の可動部と異なる他の可動部に部品基板撮像装置が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
また、吸着ノズルに吸着された部品及び基板の撮像を一の部品基板撮像装置により行うことができ、当該部品搭載装置をより魅力的なものとすることができる。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、固定マグネット部の二つの一方向の面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の一方向の面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、それぞれのヘッド部を一方向に移動させるための少なくとも二つのヘッド部移動機構が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明について、図面を用いて具体的な態様を説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。
【００１８】
［実施形態１］
図１は、本発明を適用した実施形態１の部品搭載装置１００を示す平面図であり、図２は、部品搭載装置１００の制御系を示すブロック図である。
図１及び図２に示すように、実施形態１の部品搭載装置１００は、基板Ｋに搭載される電子部品Ｐ（図５参照）を供給する複数の電子部品フィーダー１１が並べて保持される部品供給部１と、基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載作業を行う搭載作業部２と、電子部品Ｐを吸着保持する複数（図１には４つ図示）の吸着ノズル３１、…をそれぞれ搭載する第一ヘッド部３Ａ及び第二ヘッド部３Ｂと、第一ヘッド部３Ａおよび第二ヘッド部３Ｂを所定範囲内の任意の位置に駆動させるＸ−Ｙガントリ４と、吸着ノズル３１に保持された電子部品Ｐの撮像を行う撮像装置５と、上記各部の動作制御を行う制御部６等を備えている。
なお、以下の説明において、水平面に沿って互いに直交する一の方向をＸ軸方向とし、他の方向をＹ軸方向とし、垂直上下方向をＺ軸方向と称することとする。
【００１９】
搭載作業部２は、装置外部から搬入される基板Ｋの搬送装置２１の搬送経路の途中に設けられ、基板ステーション（図示略）に搭載された基板Ｋを挟持するクランプ部２２、２２等を備えている。
先ず、搬送装置２１は、例えば、その搬送経路（Ｘ軸方向）に沿って配設される搬送レール２１１と、この搬送レール２１１に沿って装置の一端部から搬入される基板Ｋを当該搭載作業部２に搬入したり、所定の電子部品Ｐが搭載済みの基板Ｋを搭載作業部２から装置外部に搬出するためのベルトコンベア（図示略）等を備えている。
そして、搬送装置２１により搭載作業部２に搬送され基板ステーションに搭載された基板Ｋは、クランプ部２２、２２に挟持されることにより保持されるようになっている。
なお、クランプ部２２、２２に保持された基板Ｋは、当該基板Ｋに対する電子部品Ｋの搭載の際に、図示しないＸ軸方向駆動部により所定のタイミングでＸ軸方向に駆動させるようにしても良い。
【００２０】
部品供給部１は、搬送装置２１を挟むようにＹ軸方向両側に設けられ、フィーダーバンク（図示省略）の所定位置にＸ軸方向に沿って並設されるように複数の電子部品フィーダー１１、…が取り付けられている。
【００２１】
Ｘ−Ｙガントリ４は、Ｘ軸方向に第一ヘッド部３Ａおよび第二ヘッド部３Ｂを移動させるためのリニアモータ駆動機構４１と、リニアモータ駆動機構４１と共に第一ヘッド部３Ａおよび第二ヘッド部３ＢをＹ軸方向に案内する二本のＹ軸ガイドレール４２、４２と、リニアモータ駆動機構４１を介して第一ヘッド部３Ａ及び第二ヘッド部３ＢをＹ軸方向に駆動するＹ軸モータ４３とを備えている。また、Ｘ−Ｙガントリ４は、第一ヘッド部３Ａ及び第二ヘッド部３Ｂを二本のＹ軸ガイドレール４２、４２の間となる領域の略全体に搬送可能に構成されている。
なお、部品供給部１からの電子部品Ｐの受け渡し部、搭載作業部２による基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載作業領域は何れもＸ−Ｙガントリ４による第一ヘッド部３Ａ及び第二ヘッド部３Ｂの搬送可能領域内に配置されている。
【００２２】
次に、リニアモータ駆動機構４１について図３及び図４を参照して説明する。
ここで、図３は、リニアモータ駆動機構４１を示す斜視図であり、図４は、図３のIV−IV線におけるリニアモータ駆動機構４１の断面図である。
【００２３】
図３及び図４に示すように、リニアモータ駆動機構４１は、Ｘ軸方向に長尺となるように複数の永久磁石４１１ａからなる略直方体状の固定マグネット部４１１と、固定マグネット部４１１のＺ軸方向側の両端部に接続されて当該固定マグネット部４１１を支持する上側支持部４１２Ａ及び下側支持部４１２Ｂと、上側支持部４１２Ａ及び下側支持部４１２ＢのＹ軸方向側の両端面にＸ軸方向に沿って配設されたＸ軸ガイドレール４１３、…と、Ｘ軸ガイドレール４１３により案内支持されながらＸ軸方向に移動自在に構成され、第一ヘッド部３Ａを搭載する第一可動部４１４Ａ及び第二ヘッド部３Ｂを搭載する第二可動部４１４Ｂとを備えて構成されている。
【００２４】
固定マグネット部４１１は、外形が略直方体状に形成された複数の永久磁石４１１ａがそのＹ軸方向側の端面（直交面）の磁極を交互に異ならせるようにしてＸ軸方向に沿って並設されている。即ち、隣り合う永久磁石４１１ａどうしは、Ｓ極となる端面とＮ極となる端面とがＸ軸方向に沿って交互に並んで配設されている。
なお、図３には、各永久磁石４１１ａのＹ軸方向側の端面のうち、手前側の端面の磁極を表したが、それぞれの奥側の端面は手前側の端面の磁極と反対の磁極となっている（図示略）。
【００２５】
上側支持部４１２Ａ及び下側支持部４１２Ｂ並びにＸ軸ガイドレール４１３は、第一可動部４１４Ａ及び第二可動部４１４ＢをＸ軸方向（永久磁石４１１ａの並び方向）に沿った移動を案内支持する案内支持部を構成している。
【００２６】
第一可動部４１４Ａ及び第二可動部４１４Ｂは、固定マグネット部４１１の永久磁石４１１ａをそれらのＹ軸方向側の端面側から挟むように、これら端面に対向して配置されている。
具体的には、第一可動部４１４Ａは、各Ｘ軸ガイドレール４１３に係止され、Ｘ軸方向に往復移動自在なスライダ４１５Ａと、固定マグネット部４１１のＹ軸方向の図４における左側の端面に対向して配設され、通電により磁界を発生して固定マグネット部４１１の磁界との磁気的な相互作用によりＸ軸方向に移動するための第一可動コイル４１６Ａと、第一ヘッド部３Ａ並びにスライダ４１５Ａ及び第一可動コイル４１６Ａを搭載支持する支持板４１７Ａとを備えて構成されている。
一方、第二可動部４１４Ｂも、第一可動部４１４Ａと同様に、スライダ４１５Ｂと、固定マグネット部４１１のＹ軸方向の図４における右側の端面に対向して配設された第二可動コイル４１６Ｂと、第二ヘッド部３Ｂ並びにスライダ４１５Ｂ及び第二可動コイル４１６Ｂを搭載支持する支持板４１７Ｂとを備えて構成されている。
【００２７】
第一可動コイル４１６Ａ及び第二可動コイル４１６Ｂは、例えば、制御部６と電気的に接続されており、制御部６の制御下にて通電される電流値が変動されることにより、当該第一可動コイル４１６Ａ及び第二可動コイル４１６Ｂに発生される磁界の大きさが変動するようになっている。
【００２８】
そして、第一可動部４１４Ａは、固定マグネット部４１１のＹ軸方向の手前側の端面側から発生される磁界と第一可動コイル４１６Ａに対する通電により発生される磁界との磁気的な相互作用によりＸ軸方向に移動自在に構成されている。一方、第二可動部４１４Ｂは、固定マグネット部４１１のＹ軸方向の奥側の端面側から発生される磁界と第二可動コイル４１６Ｂに対する通電により発生される磁界との磁気的な相互作用によりＸ軸方向に移動自在に構成されている。
【００２９】
第一ヘッド部３Ａ及び第二ヘッド部３Ｂの各々は、その先端部で空気吸引により電子部品Ｐを保持する４つの吸着ノズル３１、…と、これら吸着ノズル３１、…の各々をＺ軸方向（上下方向）に移動させるＺ軸モータ３２と、吸着ノズル３１を介して保持された電子部品ＰをＺ軸方向を中心として回転駆動させるθ軸モータ３３とを備えている。
また、第一ヘッド部３Ａは、例えば、搬送装置２１よりも図１の下側に配設された複数の電子部品フィーダー１１、…から電子部品Ｐを吸着保持するためのものであり、第二ヘッド部３Ｂは、搬送装置２１よりも図１の上側に配設された複数の電子部品フィーダー１１、…から電子部品Ｐを吸着保持するためのものである。
【００３０】
複数の吸着ノズル３１、…は、Ｘ軸方向に並んで配設され、各吸着ノズル３１は、開閉制御が行われる吸気バルブ（図示略）を介して真空発生器７と接続されており、所定のタイミングで吸気バルブが開かれることによりその先端部が吸引状態とされて、電子部品Ｐの吸着保持を行うことができるようになっている。
【００３１】
撮像装置５は、例えば、Ｘ−Ｙガントリ４による第一ヘッド部３Ａ及び第二ヘッド部３Ｂの搬送可能領域内に配置され、ＣＭＯＳカメラやＣＣＤカメラ等から構成され、電子部品Ｐの撮像に基づいて光電変換して画像データを生成し、当該画像データをＣＰＵ６１に対して出力する。
【００３２】
制御部６は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）６１と、ＲＡＭ（Random Access Memory）６２と、ＲＯＭ（Read Only Memory）６３等を備えて構成されている。
【００３３】
ＣＰＵ６１は、当該部品搭載装置１００を構成する各部を統括して制御するものであり、ＲＯＭ６３に格納されている所定のプログラムを読み出してＲＡＭ６２の作業領域に展開し、当該プログラムに従って各種処理を実行する。
また、ＣＰＵ６１は、撮像装置５から出力され入力された画像データに基づいて、所定の画像処理プログラムを実行して、吸着ノズル３１に吸着された電子部品Ｐの姿勢等を認識するようになっている。
【００３４】
ＲＡＭ６２は、例えば、揮発性の半導体メモリであり、ＣＰＵ６１の制御下にてＲＯＭ６３から読み出されたプログラムやデータ等の格納領域や作業領域等を構成している。
ＲＯＭ６３は、制御、判断等各種処理用の各種プログラムが記憶され、ＣＰＵ６１の制御下にて実行される各種のプログラム並びに各プログラムの処理に係るデータ等を記憶するものである。
【００３５】
次に、基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載動作について説明する。
先ず、吸着ノズル３１による電子部品Ｐの吸着保持を行う。具体的には、制御部６の制御下にて、Ｘ−Ｙガントリ４のリニアモータ駆動機構４１及びＹ軸モータ４３が駆動して第一ヘッド部３Ａ及び第二ヘッド部３Ｂを所定の電子部品フィーダー１１上に移動させる。より具体的には、制御部６による第一可動コイル４１６Ａに対する通電制御に基づいて、第一ヘッド部３Ａを搬送装置２１よりも図１の下側に配設された所定の電子部品フィーダー１１、…上に移動させ、制御部６による第二可動コイル４１６Ｂに対する通電制御に基づいて、第二ヘッド部３Ｂを搬送装置２１よりも図１の上側に配設された所定の電子部品フィーダー１１、…上に移動させる。
そして、制御部６が所定のＺ軸モータ３２の駆動を制御して、所定の吸着ノズル３１を下方向（Ｚ軸方向）に移動させて、真空発生器７の駆動により当該吸着ノズル３１にて所定の電子部品Ｐを吸着保持する。
【００３６】
次に、吸着ノズル３１に保持された電子部品Ｐを撮像装置５により撮像し、当該撮像により生成された画像データに基づいて、ＣＰＵ６１により所定の画像処理を行って電子部品Ｐの姿勢等の認識を行う。なお、認識の結果によっては、制御部６の制御下にてθ軸モータ３３を駆動させて、吸着ノズル３１に吸着された電子部品ＰをＺ軸周りに所定方向に回転させて当該電子部品Ｐの中心合わせ（センタリング）を行うようになっている。
そして、制御部６の制御下にてリニアモータ駆動機構４１及びＹ軸モータ４３の駆動を駆動させて、電子部品Ｐを保持する吸着ノズル３１を基板Ｋ上の所定の部品搭載位置に移動させて、当該基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載を行う。
一の電子部品Ｐの搭載が完了すると、制御部６は、基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載動作を順次制御する。
【００３７】
以上のように、実施形態１の部品搭載装置１００によれば、固定マグネット部４１１のＹ軸方向の図４における左側の端面側から発生される磁界と第一可動部４１４Ａの第一可動コイル４１６Ａにより発生される磁界との相互作用により当該第一可動部４１４ＡをＸ軸方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部４１１のＹ軸方向の図４における右側の端面側から発生される磁界と第二可動部４１４Ｂの第二可動コイル４１６Ｂにより発生される磁界との相互作用により当該第二可動部４１４ＢをＸ軸方向に移動させることができる。
従って、第一ヘッド部３Ａが搭載された第一可動部４１４Ａと第二ヘッド部３Ｂが搭載された第二可動部４１４Ｂを可動させる構成のリニアモータ駆動機構４１に必要な永久磁石の量を各可動部４１４Ａ、４１４Ｂ毎に固定マグネット部４１１を設ける構成のものに比べて少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構４１のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置１００のコスト削減を図ることができる。
【００３８】
なお、上記実施形態では、第一可動部４１４Ａ及び第二可動部４１４Ｂの両方にヘッド部３Ａ、３Ｂを搭載するような構成としたが、これに限られるものではなく、第一可動部４１４Ａ及び第二可動部４１４Ｂのうちの少なくとも何れか一方にヘッド部３Ａ（３Ｂ）が搭載されていれば良い。
即ち、例えば図５に示すように、リニアモータ駆動機構１４１は、第一可動部４１４Ａにヘッド部３Ａを搭載し、第二可動部４１４Ｂに、例えば、撮像装置１０５及びミラーユニット（導光機構）８を搭載するようにしても良い。
ここで、ミラーユニット８は、撮像装置１０５による電子部品Ｐの撮像に際して、当該電子部品Ｐからの反射光を２枚のミラー８１、８２により反射させて撮像装置１０５まで導く導光機構を構成するものである。より具体的には、ミラーユニット８は、吸着ノズル３１の略直下に配置される吸着ノズル３１側の第一ミラー８１と、撮像装置１０５の略直下に配置される第二ミラー８２とを備えている。
なお、ミラーユニット８に備わるミラーの枚数は、２枚に限られるものではない。例えば、ミラーユニット８のＺ軸方向の厚さを薄くする上では、各ミラーの取り付け角度を小さくし、且つ、ミラーの枚数を増やして光の反射回数を増加させた方が好ましい。
【００３９】
従って、ヘッド部３Ａの複数の吸着ノズル３１に保持された電子部品Ｐの撮像に際して、第二可動部４１４ＢをＸ軸方向に移動させることに基づいて、第一ミラー８１が所定の吸着ノズル３１に保持された電子部品Ｐの略直下となるように撮像装置１０５及びミラーユニット８をＸ軸方向に移動させることができる。これにより、Ｘ軸方向に並設された複数の吸着ノズル３１に保持された電子部品Ｐの撮像を簡便に行うことができるとともに、例えば、当該電子部品Ｐの撮像を行わない時には、複数の吸着ノズル３１による電子部品Ｐの搭載動作等の邪魔にならない場所に移動させておくことができるので、より魅力的な部品搭載装置１００を提供することができる。
つまり、撮像装置１０５を部品搭載装置１００のステージ上に配設するとした場合、部品供給部１に取り付けられる電子部品フィーダー１１の数に制約が生じたり、また、吸着ノズル３１による電子部品Ｐの吸着保持後には、ステージ上の撮像装置１０５の場所まで移動する必要があることから、部品搭載動作の効率が低下する虞もある。そこで、本実施形態のような構成とすることにより、電子部品フィーダー１１の配置数の制約が生じることもなくなり、また、吸着ノズル３１による電子部品Ｐの吸着後、当該電子部品Ｐの搭載位置までのヘッド部３Ａの移動の最中に撮像装置１０５による電子部品Ｐの撮像を行って中心合わせ等を行うことができるので、電子部品Ｐの搭載速度を向上させることができる。
【００４０】
また、撮像装置１０５に代えて、基板Ｋを撮像する基板撮像装置（図示略）や基板Ｋに接着剤を塗布する接着剤塗布装置（図示略）等を第二可動部４１４Ｂに搭載するようにしても良い。これにより、さらに魅力的な部品搭載装置１００を提供することができる。
【００４１】
［実施形態２］
以下に、本発明を適用した実施形態２の部品搭載装置２００について図６及び図７を参照して説明する。
ここで、図６は、実施形態２の部品搭載装置２００を示す平面図であり、図７は、部品搭載装置２００に備わるリニアモータ駆動機構２４１を示す断面図である。
【００４２】
図６及び図７に示すように、実施形態２の部品搭載装置２００は、第二可動部４１４Ｂに吸着ノズル３１に吸着された電子部品Ｐ及び基板Ｋの両方を撮像するための部品基板撮像装置２０５が搭載され、下側支持部４１２Ｂには、電子部品Ｐからの反射光を部品基板撮像装置２０５まで導くミラーユニット８が配設されている。
ミラーユニット８は、例えば、下側支持部４１２Ｂの搬送方向下流側の端部に所定の支持部材８３を介して取付固定されている。
【００４３】
従って、部品基板撮像装置２０５により吸着ノズル３１に保持された電子部品Ｐの撮像が行われる場合には、ヘッド部３Ａの所定の吸着ノズル３１に保持された電子部品Ｐをミラーユニット８の第一ミラー８１の略直上に位置させるように、第一可動コイル４１６Ａに対する通電に基づいて第一可動部４１４ＡをＸ軸方向に移動させるとともに、部品基板撮像装置２０５をミラーユニット８の第二ミラー８２の略直上に位置させるように、第二可動コイル４１６Ｂに対する通電に基づいて当該第二可動部４１４Ｂを移動させるようになっている。
また、部品基板撮像装置２０５により搭載作業部２のクランプ部２２、２２により挟持された基板Ｋの撮像が行われる場合には、基板Ｋの所定位置に付されたマークの略直上に部品基板撮像装置２０５を位置させるように、制御部６による第二可動コイル４１６Ｂに対する通電制御及びＹ軸モータ４３の駆動制御に基づいて第二可動部４１４Ｂを移動させるなっている。
【００４４】
このように、実施形態２の部品搭載装置２００によれば、第一ヘッド部３Ａが搭載された第一可動部４１４Ａと部品基板撮像装置２０５が搭載された第二可動部４１４Ｂを可動させる構成のリニアモータ駆動機構２４１に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構２４１のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置２００のコスト削減を図ることができる。
また、吸着ノズル３１に吸着された電子部品Ｐ及び基板Ｋの撮像を一の部品基板撮像装置２０５により行うことができるので、当該部品搭載装置２００をより魅力的なものとすることができる。
【００４５】
［実施形態３］
以下に、本発明を適用した実施形態３の部品搭載装置３００について図８を参照して説明する。
ここで、図８は、実施形態３の部品搭載装置３００を示す平面図である。
【００４６】
図８に示すように、実施形態３の部品搭載装置３００は、第一ヘッド部３Ａを搭載してＹ軸方向に移動させるための第一ヘッド部移動機構９Ａと、第二ヘッド部３Ｂを搭載してＹ軸方向に移動させるための第二ヘッド部移動機構９Ｂと、第一ヘッド部移動機構９Ａ及び第二ヘッド部移動機構９Ｂをそれぞれ搭載する第一可動部４１４Ａ及び第二可動部４１４ＢをＸ軸方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構３４１とを備えている。
なお、リニアモータ駆動機構３４１の構成は、上記実施形態１及び実施形態２に例示したものと略同様の構成をなし、その具体的な説明は省略する。
【００４７】
リニアモータ駆動機構３４１は、部品搭載装置３００のＹ軸方向の略中央となる位置にてＸ軸方向に沿って配設され、Ｘ軸方向側の両端部がＹ軸方向に沿って配設された二つのＹ軸端部支持部材３０１、３０１により支持されている。
これらＹ軸端部支持部材３０１、３０１の各々の両端部は、当該両端部どうしを連結するようにして、Ｘ軸方向に沿って配設された二つのＸ軸端部支持部材３０２、３０２に支持されている。
【００４８】
第一ヘッド部移動機構９Ａは、第一ヘッド部３ＡをＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動部（図示略）と、第一ヘッド部３Ａを支持して当該第一ヘッド部３ＡのＹ軸方向に対する移動を案内するＹ軸方向に長尺な第一Ｙ軸ガイド９１Ａを備え、この第一Ｙ軸ガイド９１Ａの搬送装置２１側の端部がリニアモータ駆動機構３４１に連結され支持されるとともに、搬送装置２１側と反対側の端部が図８における下側のＸ軸端部支持部材３０２に接続され支持されている。
また、第二ヘッド部移動機構９Ｂは、第一ヘッド部移動機構９Ａと略同様の構成をなし、第二ヘッド部３ＢをＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動部（図示略）と、第二ヘッド部３Ｂを支持して当該第二ヘッド部３ＢのＹ軸方向に対する移動を案内するＹ軸方向に長尺な第二Ｙ軸ガイド９１Ｂを備え、この第二Ｙ軸ガイド９１Ｂの搬送装置２１側の端部がリニアモータ駆動機構３４１に連結され支持されるとともに、搬送装置２１側と反対側の端部が図８における上側のＸ軸端部支持部材３０２に接続され支持されている。
【００４９】
なお、このような構成の場合に基板Ｋに対して所定の電子部品Ｐを搭載する際には、例えば、制御部６が、第一ヘッド部３Ａの吸着ノズル３１による電子部品Ｐの吸着動作、第二ヘッド部３Ｂの吸着ノズル３１による電子部品Ｐの搭載動作、第一ヘッド部３Ａの吸着ノズル３１による電子部品Ｐの搭載動作、第二ヘッド部３Ｂの吸着ノズル３１による電子部品Ｐの吸着動作とが順次行われるように、リニアモータ駆動機構３４１の第一可動コイル４１６Ａ及び第二可動コイル４１６Ｂに対する通電制御並びに第一ヘッド部移動機構９Ａ及び第二ヘッド部移動機構９ＢのそれぞれのＹ軸駆動部の駆動制御を所定のタイミングで行うことにより、電子部品Ｐの搭載効率の最適化を図ることができる。
【００５０】
以上のように、実施形態３の部品搭載装置３００によれば、第一ヘッド部３ＡをＹ軸方向に移動させるための第一ヘッド部移動機構９Ａが搭載された第一可動部４１４Ａ及び第二ヘッド部３ＢをＹ軸方向に移動させるための第二ヘッド部移動機構９Ｂが搭載された第二可動部４１４Ｂを可動させる構成のリニアモータ駆動機構３４１に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構３４１のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置３００のコスト削減を図ることができる。
【００５１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
例えば、リニアモータ駆動機構（リニアモータ駆動装置）４１、１４１、２４１、３４１として部品搭載装置１００、２００、３００に備えられるものを例示したが、これに限られるものではなく、当該リニアモータ駆動機構４１を搭載可能なものであれば如何なる装置に適用しても良い。
【００５２】
また、可動部として第一可動部４１４Ａ及び第二可動部４１４Ｂの２つを設けるようにしたが、固定マグネット部４１１のＹ軸方向の一方の端面側に二つ以上の可動部を搭載することにより全体で三つ以上設けるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明を適用した実施形態１の部品搭載装置を示す平面図である。
【図２】図１の部品搭載装置の制御系を示すブロック図である。
【図３】図１の部品搭載装置に備わるリニアモータ駆動機構を示す斜視図である。
【図４】図３のIV−IV線におけるリニアモータ駆動機構の断面図である。
【図５】部品搭載装置に備わるリニアモータ駆動機構の変形例を示す断面図である。
【図６】本発明を適用した実施形態２の部品搭載装置を示す平面図である。
【図７】図６の部品搭載装置に備わるリニアモータ駆動機構を示す断面図である。
【図８】本発明を適用した実施形態３の部品搭載装置を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１００、２００、３００  部品搭載装置
３Ａ      第一ヘッド部
３Ｂ      第二ヘッド部
３１      吸着ノズル
４１、１４１、２４１、３４１  リニアモータ駆動機構（リニアモータ駆動装置）
４１１    固定マグネット部
４１１ａ  永久磁石
４１２Ａ  上側支持部（案内支持部）
４１２Ｂ  下側支持部（案内支持部）
４１３    Ｘ軸ガイドレール（案内支持部）
４１４Ａ  第一可動部
４１４Ｂ  第二可動部
４１６Ａ  第一可動コイル
４１６Ｂ  第二可動コイル
１０５    撮像装置
８        ミラーユニット（導光機構）
８１      第一ミラー
８２      第二ミラー
２０５    部品基板撮像装置
９Ａ      第一ヘッド部移動機構
９Ｂ      第二ヘッド部移動機構
【図１】
2006197770.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006197770.tif 000008
【図７】
2006197770.tif 000009
【図８】
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