(57)【要約】【課題】  組み付け前に荷重測定を行うことができ、荷重測定及び荷重調整作業が容易であり、歩留りも向上できるヘッド支持機構の荷重測定方法及び装置を提供する。【解決手段】  ヘッドスライダを支持するための先端部及び荷重支持点を具備しており荷重支持点を支点として先端部を上下動可能な支持アームと、一端が支持アームに連結された荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を測定する方法である。特に、荷重支持点を治具に当接させると共にばね部材の他端を治具に固定し、治具を荷重センサに対して上下方向に相対的に移動させることにより荷重測定を行なう。【選択図】  図２
2006114180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドスライダを支持するための先端部及び荷重支持点を具備しており該荷重支持点を支点として前記先端部を上下動可能な支持アームと、一端が該支持アームに連結された荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を測定する方法であって、前記荷重支持点を治具に当接させると共に前記ばね部材の他端を該治具に固定し、該治具を荷重センサに対して上下方向に相対的に移動させることにより荷重測定を行なうことを特徴とするヘッド支持機構の荷重測定方法。
【請求項２】
前記荷重測定を、前記支持アームの前記先端部を荷重センサに押し当てた状態で前記治具を所定高さまで移動させて測定することを特徴とする請求項１に記載の荷重測定方法。
【請求項３】
前記荷重支持点が前記支持アームに形成された２つの突起であり、前記荷重支持点の前記治具への当接を該治具に設けられた平面に前記２つの突起を当接させて行なうことを特徴とする請求項１又は２に記載の荷重測定方法。
【請求項４】
前記荷重支持点が前記支持アームの平面であり、前記荷重支持点の前記治具への当接を該治具に設けられた２つの突起に前記支持アームの前記平面を当接させて行なうことを特徴とする請求項１又は２に記載の荷重測定方法。
【請求項５】
前記ばね部材の他端の前記治具への固定を、該治具の２つの部材で該他端を挟持して行なうことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の荷重測定方法。
【請求項６】
前記ばね部材の他端の前記治具への固定を、挟持する部分に平面を有する部材と、挟持する部分に複数の突起を有する部材とによって前記他端を挟持して行なうことを特徴とする請求項５に記載の荷重測定方法。
【請求項７】
前記複数の突起が、レーザ溶接の径と同径の突起であることを特徴とする請求項６に記載の荷重測定方法。
【請求項８】
前記複数の突起が、レーザ溶接と同位置にある同数の突起であることを特徴とする請求項６又は７に記載の荷重測定方法。
【請求項９】
前記ばね部材の他端の前記治具への固定を、挟持する部分に共に平面を有する２つの部材によって前記他端を挟持して行なうことを特徴とする請求項５に記載の荷重測定方法。
【請求項１０】
ヘッドスライダを支持するための先端部及び荷重支持点を具備しており該荷重支持点を支点として前記先端部を上下動可能な支持アームと、一端が該支持アームに連結された荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を測定する装置であって、前記荷重支持点に当接する共に前記ばね部材の他端を固定するための治具と、前記支持アームの前記先端部が押し当てられる荷重センサと、前記治具を該荷重センサに対して上下方向に相対的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするヘッド支持機構の荷重測定装置。
【請求項１１】
前記移動手段が、前記治具を所定高さまで移動する手段であることを特徴とする請求項１０に記載の荷重測定装置。
【請求項１２】
前記荷重支持点が前記支持アームに形成された２つの突起であり、前記治具が前記２つの突起が当接する平面を備えていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の荷重測定装置。
【請求項１３】
前記荷重支持点が前記支持アームの平面であり、前記治具が前記支持アームの前記平面が当接する２つの突起を備えていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の荷重測定装置。
【請求項１４】
前記治具が、前記ばね部材の他端を挟持して該ばね部材を固定する２つの部材を備えていることを特徴とする請求項１０から１３のいずれか１項に記載の荷重測定装置。
【請求項１５】
前記２つの部材の一方が挟持する部分に平面を有する部材であり、他方が挟持する部分に複数の突起を有する部材であることを特徴とする請求項１４に記載の荷重測定装置。
【請求項１６】
前記複数の突起が、レーザ溶接の径と同径の突起であることを特徴とする請求項１５に記載の荷重測定装置。
【請求項１７】
前記複数の突起が、レーザ溶接と同位置にある同数の突起であることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の荷重測定装置。
【請求項１８】
前記２つの部材が、共に、挟持する部分に平面を有する部材であることを特徴とする請求項１４に記載の荷重測定装置。
【請求項１９】
前記荷重センサが、ロードセルを用いたセンサであることを特徴とする請求項１０から１８のいずれか１項に記載の荷重測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッドや光ヘッドなどの記録及び／又は再生ヘッド素子を備えた浮上型ヘッドスライダを支持するための天秤構造ヘッド支持機構の荷重を測定する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクドライブ装置では、ヘッドアームアセンブリ（ＨＡＡ）の先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われる。
【０００３】
一般的なＨＡＡは、磁気ヘッドスライダと、この磁気ヘッドスライダを支持する弾性を有するフレクシャ、このフレクシャを先端部で支持する弾性を有するロードビーム及びこのロードビームの後端部を支持するベースプレートからなるサスペンションと、このサスペンションを支持する剛性の高い支持アームとを主に備えており、磁気ヘッドスライダの磁気ディスク面方向への荷重はサスペンションのロードビームの途中に設けられた荷重曲げ部で発生している。
【０００４】
このようなＨＡＡは、その後端部でサスペンションを支持する片持ち梁構造を有しているため、耐衝撃性が非常に低いという問題点を有しており、これを改善するために、剛性の高いアーム部材の一端に磁気ヘッドスライダを設けると共に他端に水平回動用のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）のコイル部を設け、このアーム部材を軸受け部を中心にして磁気ディスクの半径方向に回動可能に構成し、かつ、軸受け部を中心にしてＶＣＭ側のアーム部材と磁気ヘッドスライダ側のアーム部材との重量を釣り合わせて天秤構造となるように構成し、さらに、軸受け部に設けた板ばねをピボットで付勢することによって磁気ヘッドスライダに荷重を与えるようにしたＨＡＡが提案されている（例えば特許文献１）。
【０００５】
このような全体が天秤構造のＨＡＡによれば、片持ち梁構造のＨＡＡに比して、耐衝撃性を高めることが可能となるが、ディスク径の比較的大きい磁気ディスクドライブでは、アーム長が大きくなるために、固有振動数の１次曲げモード周波数を高めることが難しく、耐衝撃性を充分に確保することが困難となり、さらに、ＶＣＭによって天秤構造の釣り合いをとる構造であるため、複数のＨＡＡを重畳した磁気ディスク装置を構成することができない。
【０００６】
そこで、支持アームの先端部のみにおいて天秤構造を採用することが本出願人によって既に提案されている。この先端部天秤構造のＨＡＡは、剛性の高い支持アームの先端部に、磁気ヘッドスライダ及びウェイト部材で釣り合いを保ち、板ばねで荷重支持点を付勢する天秤構造のアーム部材を設けたものである。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２３７１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した全体天秤構造のヘッド支持機構及び先端部天秤構造のヘッド支持機構は、いずれも、アーム部材、板ばね、荷重支持点及び支持アーム又は軸受け部等を適切に組み合わせた状態としなければ、板ばねから荷重が発生しないので、最終的にアセンブリとなった後でなければ荷重を測定することができない。このため、量産時に、最小限の部材のみで荷重を測定し、その測定値が適切でない場合にはその部材について交換又は荷重調整した後に組み付けを行うことができなかった。その結果、荷重測定及び荷重調整が非常に煩雑となり、また、調整を行うことが不可能な場合があった。
【０００９】
例えば、全体天秤構造のヘッド支持機構では、ＶＣＭのコイル部及び板ばねや磁気ヘッドスライダをアーム部材に組み付けた後に荷重測定を行い、測定値が適切でない場合には、組み付けを一旦取り外して再度組み付けを行った後、荷重測定を行なう必要があった。このため、荷重測定及び調整の工程数が増大し、また、荷重測定が磁気ヘッドスライダを組み付けた後に行なわれる場合にはデリケートな磁気ヘッド素子を静電破壊から保護するための対策が必要であった。
【００１０】
また、先端部天秤構造のヘッド支持機構では、ウェイト部材をアーム部材に取り付けると共に板ばねを支持アームに溶接した後に荷重測定を行い、測定値が適切でない場合、この溶接した板ばねを支持アームから取り外すことが難しいのでそのヘッド支持機構を破棄する必要があり、歩留りの悪化を避けられなかった。
【００１１】
従って本発明の目的は、組み付け前に荷重測定を行うことができるヘッド支持機構の荷重測定方法及び装置を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、荷重測定及び荷重調整作業が容易であり、歩留りも向上できるヘッド支持機構の荷重測定方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、ヘッドスライダを支持するための先端部及び荷重支持点を具備しており荷重支持点を支点として先端部を上下動可能な支持アームと、一端が支持アームに連結された荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を測定する方法であって、荷重支持点を治具に当接させると共にばね部材の他端を治具に固定し、治具を荷重センサに対して上下方向に相対的に移動させることにより荷重測定を行なうヘッド支持機構の荷重測定方法が提供される。
【００１４】
荷重支持点を治具に当接させ、かつ、ばね部材の他端を治具に固定することにより、天秤構造を有するヘッド支持機構としての組み付け前であっても、荷重を発生させることができ、従って、組み付け前に荷重測定を行うことができる。その結果、荷重測定及び荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重測定及び荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。また、磁気ヘッドスライダの組み付けを荷重測定及び荷重調整の後に行なうことができるので磁気ヘッド素子の静電破壊防止に非常に有効である。
【００１５】
荷重測定を、支持アームの先端部を荷重センサに押し当てた状態で治具を所定高さまで移動させて測定することが好ましい。
【００１６】
荷重支持点が支持アームに形成された２つの突起であり、荷重支持点の治具への当接を治具に設けられた平面に上述の２つの突起を当接させて行なうことが好ましい。
【００１７】
荷重支持点が支持アームの平面であり、荷重支持点の治具への当接を治具に設けられた２つの突起に支持アームの上述の平面を当接させて行なうことも好ましい。
【００１８】
ばね部材の他端の治具への固定を、治具の２つの部材で他端を挟持して行なうことが好ましい。
【００１９】
ばね部材の他端の治具への固定を、挟持する部分に平面を有する部材と、挟持する部分に複数の突起を有する部材とによって他端を挟持して行なうことがより好ましい。この場合、複数の突起が、レーザ溶接の径と同径の突起であることが好ましい。また、複数の突起が、レーザ溶接と同位置にある同数の突起であることも好ましい。
【００２０】
ばね部材の他端の治具への固定を、挟持する部分に共に平面を有する２つの部材によって他端を挟持して行なうことも好ましい。
【００２１】
本発明によれば、さらに、ヘッドスライダを支持するための先端部及び荷重支持点を具備しており荷重支持点を支点として先端部を上下動可能な支持アームと、一端が支持アームに連結された荷重発生用のばね部材とを備えた天秤構造を有するヘッド支持機構の荷重を測定する装置であって、荷重支持点に当接する共にばね部材の他端を固定するための治具と、支持アームの先端部が押し当てられる荷重センサと、治具を荷重センサに対して上下方向に相対的に移動させる移動手段とを備えたヘッド支持機構の荷重測定装置が提供される。
【００２２】
荷重支持点に当接しかつばね部材の他端を固定する治具を備えているため、天秤構造を有するヘッド支持機構としての組み付け前であっても荷重を発生させることができ、従って、組み付け前に荷重測定を行うことができる。その結果、荷重測定及び荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重測定及び荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。また、磁気ヘッドスライダの組み付けを荷重測定及び荷重調整の後に行なうことができるので磁気ヘッド素子の静電破壊防止に非常に有効である。
【００２３】
移動手段が、治具を所定高さまで移動する手段であることが好ましい。
【００２４】
荷重支持点が支持アームに形成された２つの突起であり、治具がこれら２つの突起が当接する平面を備えていることが好ましい。
【００２５】
荷重支持点が支持アームの平面であり、治具が支持アームのこの平面が当接する２つの突起を備えていることも好ましい。
【００２６】
治具が、ばね部材の他端を挟持してばね部材を固定する２つの部材を備えていることが好ましい。
【００２７】
２つの部材の一方が挟持する部分に平面を有する部材であり、他方が挟持する部分に複数の突起を有する部材であることがより好ましい。この場合、複数の突起が、レーザ溶接の径と同径の突起であることが好ましい。また、複数の突起が、レーザ溶接と同位置にある同数の突起であることも好ましい。
【００２８】
２つの部材が、共に、挟持する部分に平面を有する部材であることも好ましい。
【００２９】
荷重センサが、ロードセルを用いたセンサであることも好ましい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、天秤構造を有するヘッド支持機構としての組み付け前であっても荷重を発生させることができ、従って、組み付け前に荷重測定を行うことができる。その結果、荷重測定及び荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重測定及び荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。また、磁気ヘッドスライダの組み付けを荷重測定及び荷重調整の後に行なうことができるので磁気ヘッド素子の静電破壊防止に非常に有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１は本発明により荷重測定する天秤構造式のヘッド支持機構の一例の構成を非常に概略的に示す側面図である。この例は、先端部天秤構造を有するヘッド支持機構の場合である。
【００３２】
同図において、１０は剛性の高い支持アーム、１１は支持アーム１０の先端部に当接する２つの突起（荷重支持点）１２ａ及び１２ｂを有しこれら突起１２ａ及び１２ｂを支点とした天秤構造を有するロードビーム（本発明のアーム部材に対応）、１３は基部がロードビーム１１に一体となっておりかつ先端が支持アーム１０に溶接されることによってロードビーム１１と支持アーム１０とを連結し、２つの突起１２ａ及び１２ｂを介してロードビーム１１を付勢する板ばね（本発明のばね部材に対応）、１４はフレクシャ１５を介してロードビーム１１の先端部に支持されている磁気ヘッドスライダ、１６はロードビーム１１の後端部に固着されたウェイト部材、１７は磁気ヘッドスライダ１４を押圧する荷重ディンプルをそれぞれ示している。
【００３３】
図２は本発明の一実施形態として図１のヘッド支持機構の荷重を測定するための装置の概略構成を示す図である。
【００３４】
前にも述べたように、図１に示すような先端部天秤構造を有するヘッド支持機構では、組み付けが行なわれて、板ばね１３がロードビーム１１と支持アーム１０とを連結すると共に２つの突起１２の先端が支持アーム１０に当接して押圧しなければ荷重が発生しない。本実施形態では、荷重測定装置が、板ばね１３の先端部１３ａを上下から挟持して固定するクランプ部２０ａ及び２０ｂ並びに２つの突起１２ａ及び１２ｂの先端がそれぞれ当接する受け面２０ｃ及び２０ｄとを有する治具２０と、荷重ディンプル１７又は磁気ヘッドスライダが測定面上に当接可能となっているロードセル（歪みゲージ）２１と、ロードセル２１からの検出信号から荷重値を求める荷重値算出回路２２と、図示されていないが治具２０を上下方向２３に移動可能であり、ロードビーム１１を所望の高さに設定可能とする高さ調整手段とを有している。
【００３５】
クランプ部２０ａ及び２０ｂの板ばね１３に押さえる部分は、本実施形態では、平面となっている。また、２つの突起１２ａ及び１２ｂの先端がそれぞれ当接する受け面２０ｃ及び２０ｄも、本実施形態では、平面となっている。ロードセル２１、荷重値算出回路２２及び高さ調整手段は公知の構成であるため、詳細な説明を省略する。
【００３６】
図３及び図４は図２の実施形態における治具及びロードビームの構造をより分かり易く示した斜視図であり、図３は斜め前方から見た図及び図４は正面から見た図である。
【００３７】
これらの図に示すように、治具２０の上側部材２０ｅがガイド２０ｆ及び２０ｇに沿って下降することによって、ロードビーム１１の板ばね１３の先端部１３ａが治具２０のクランプ部２０ａ及び２０ｂにより挟持されて固定され、ロードビーム１１の２つの突起１２ａ及び１２ｂの先端が治具２０の受け面２０ｃ及び２０ｄに当接する。
【００３８】
この状態で、治具２０全体を上下方向に移動させ、ロードセル２１の上面に対してヘッド支持機構の基部（従ってロードビーム１１の突起１２ａ及び１２ｂの先端）が所定の高さとなるように設定し、その時に荷重ディンプル１７からロードセル２１に印加される荷重を測定する。
【００３９】
荷重測定の結果、満足する荷重値が得られた場合は、次の工程、例えばフレクシャへ１５や磁気ヘッドスライダ１４の組み付け工程、へ進む。測定した荷重値が満足する範囲外である場合は、荷重調整を行なった後、荷重の再測定を行なう。再測定の結果、満足する荷重値が得られた場合は、次の組み付け工程へ進む。
【００４０】
以上述べたように、本実施形態によれば、ヘッド支持機構としての組み付け前であっても荷重を発生させて組み付け前に荷重測定を行うことができる。その結果、荷重測定及び荷重調整のための工程数が少なくなり、かつ荷重測定及び荷重調整作業が非常に容易となり、歩留りも向上する。また、磁気ヘッドスライダの組み付けを荷重測定及び荷重調整の後に行なうことができるので磁気ヘッド素子の静電破壊防止に非常に有効である。
【００４１】
図５は図２の実施形態の変更態様における治具及びサスペンションの構造を示した斜視図である。ただし、図３及び図４の場合とは上下が逆に示されている。
【００４２】
この変更態様において、治具２０の構成は図２の実施形態の場合と全く同じである。異なっている点は、この変更態様では、ロードビーム１１単体ではなく、配線部材１８が形成されたフレクシャ１５をこのロードビーム１１に組み付けたサスペンションを治具２０に取り付けて荷重測定を行なっていることにある。
【００４３】
本変更態様における荷重値測定の具体的な方法及び作用効果等は、図２の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００４４】
図６は本発明の他の実施形態における治具及びロードビームの構造を示した斜視図であり、斜め下方から見た図である。
【００４５】
本実施形態では、治具２０′における、ロードビーム１１の板ばね１３の先端部１３ａを上下から挟持して固定するクランプ部のうち、上側のクランプ部２０ａ′の構成が図２の実施形態の場合と異なっている。治具２０′のその他の部分の構成は図２の実施形態の場合と全く同様である。従って、同じ構成要素については同じ参照符号を使用している。
【００４６】
図６から分かるように、本実施形態では、クランプ部２０ａ′の板ばね１３に押さえる部分に、複数の（この場合６つの）円柱状の突起５０が形成されている。これによって、ロードビーム１１の板ばね１３の先端部１３ａが治具２０のクランプ部２０ａ′のこれら突起５０とクランプ部２０ｂの平面とにより挟持されて固定されることとなる。
【００４７】
これら突起５０は、板ばね１３の先端部１３ａを支持アーム１０にレーザ溶接で固着した場合と同様の状態を与えるためのものであり、各突起の径はレーザ溶接のスポット径とほぼ同径であることが望ましい。また、これら複数の突起の位置及び数も、レーザ溶接のスポットとほぼ同位置及び同数の突起であることが望ましい。
【００４８】
このように、本実施形態では、板ばね１３が実際に支持アーム１０に固着された状態を再現しているため、より正確な荷重測定を行なうことができる。本実施形態におけるその他の作用効果等は、図２の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００４９】
図７及び図８は本発明のさらに他の実施形態における治具及びロードビームの構造を示した斜視図であり、図７は斜め前方から見た図及び図８は正面の斜め下方から見た図である。
【００５０】
本実施形態では、ロードビーム１１″に２つの突起が未だ形成されておらず平面状態となっている。従って、治具２０″には受け面の代わりにロードビーム１１″の荷重支持点位置の平面が当接する２つの突起代替えピン２０ｈ及び２０ｉが形成されている。治具２０″のその他の部分の構成は図２の実施形態の場合と全く同様である。従って、同じ構成要素については同じ参照符号を使用している。
【００５１】
治具２０″の上側部材２０ｅ″がガイド２０ｆ及び２０ｇに沿って下降することによって、ロードビーム１１″の板ばね１３の先端部１３ａが治具２０″のクランプ２０ａ及び２０ｂにより挟持されて固定され、治具２０″の２つの突起代替えピン２０ｈ及び２０ｉの先端がロードビーム１１″の荷重支持点位置の平面に当接する。
【００５２】
この状態で、治具２０″全体を上下方向に移動させ、ロードセル２１の上面に対してヘッド支持機構の基部（従ってロードビーム１１″の荷重支持点位置の平面）が所定の高さとなるように設定し、その時にロードビーム１１″の先端部からロードセル２１に印加される荷重を測定する。
【００５３】
このように、本実施形態では、ロードビームに荷重支持点となる２つの突起が形成される前であっても荷重測定を行なうことができる。本実施形態におけるその他の作用効果等は、図２の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００５４】
図９は、本発明により荷重測定する天秤構造式のヘッド支持機構の他の例の構成を非常に概略的に示す側面図である。この例は、全体天秤構造を有するヘッド支持機構の場合である。
【００５５】
同図において、９０は磁気ディスクの表面と平行に設置されており、剛性の高いロードビーム９１をこの表面と平行な方向に回動させるための水平軸受部（ベアリングハウジング）、９４はロードビーム９１の先端部に図示しない弾性を有するフレクシャを介して装着されており少なくとも１つの磁気ヘッド素子を備えた磁気ヘッドスライダ、９３は磁気ヘッドスライダ９４に印加される荷重を発生するための板ばね、９６はＶＣＭ用のコイルを有しておりロードビーム９１の後端部に取り付けられているコイルアセンブリ、９２ａ及び９２ｂは水平軸受部９０等の固定部に設けられておりロードビーム９１に当接する２つの突起（荷重支持点）をそれぞれ示している。このヘッド支持機構は、これら２つの突起９２ａ及び９２ｂを支点として天秤構造を有している。
【００５６】
このような天秤構造のヘッド支持機構についても、全体の組み付けが行なわれければ荷重が発生しないが、上述の実施形態及び変更態様の場合と同様に、ロードビーム９１に板ばね９３を設けたのみの状態で荷重測定を行なうことができる。
【００５７】
以上述べた実施形態及び変更態様は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明により荷重測定する天秤構造式のヘッド支持機構の一例の構成を非常に概略的に示す側面図である。
【図２】本発明の一実施形態として図１のヘッド支持機構の荷重を測定するための装置の概略構成を示す図である。
【図３】図２の実施形態における治具及びロードビームの構造をより分かり易く示した斜視図である。
【図４】図２の実施形態における治具及びロードビームの構造をより分かり易く示した斜視図である。
【図５】図２の実施形態の変更態様における治具及びサスペンションの構造を示した斜視図である。
【図６】本発明の他の実施形態における治具及びロードビームの構造を示した斜視図である。
【図７】本発明のさらに他の実施形態における治具及びロードビームの構造を示した斜視図である。
【図８】図７の実施形態における治具及びロードビームの構造を示した斜視図である。
【図９】本発明により荷重測定する天秤構造式のヘッド支持機構の他の例の構成を非常に概略的に示す側面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１０  支持アーム
１１、１１″、９１  ロードビーム
１２ａ、１２ｂ、９２ａ、９２ｂ  突起（荷重支持点）
１３、９３  板ばね
１４、９４  磁気ヘッドスライダ
１５  フレクシャ
１６  ウェイト部材
１７  荷重ディンプル
１８  配線部材
２０、２０′、２０″  治具
２０ａ、２０ａ′、２０ｂ  クランプ部
２０ｃ、２０ｄ  受け面
２０ｅ、２０ｅ″  上側部材
２０ｆ、２０ｇ  ガイド
２０ｈ、２０ｉ  突起代替えピン
２１  ロードセル
２２  荷重値算出回路
５０  円柱状の突起
９０  水平軸受部（ベアリングハウジング）
９６  コイルアセンブリ
【図１】
2006114180.tif 000003
【図２】
2006114180.tif 000004
【図３】
2006114180.tif 000005
【図４】
2006114180.tif 000006
【図５】
2006114180.tif 000007
【図６】
2006114180.tif 000008
【図７】
2006114180.tif 000009
【図８】
2006114180.tif 000010
【図９】
2006114180.tif 000011