(57)【要約】  【課題】    支持剛性を高く維持しつつも、より軽量化が図れる静圧スライドを提供する。  【解決手段】  同じ方向を向いた２つの静圧面ＳＰ１、ＳＰ３の間に、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧ＳＰ２を配置している。従って、同じ合計面積の静圧面を有しながらも、比較例の静圧スライドＳＳ’の断面において、点線で示す領域分Ａだけ軽量化されることとなる。静圧面の合計面積は、支持剛性に等しいため、本発明の静圧スライドＳＳは、比較例の静圧スライドＳＳ’に比べて、同じ支持剛性を有しながらも、より軽量化を実現できる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持面と静圧面との間に供給された圧力伝達媒体により移動可能に支持される静圧スライドにおいて、
同じ方向を向いた２つの静圧面の間に、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧面を配置したことを特徴とする静圧スライド。
【請求項２】
向かい合った静圧面を有することを特徴とする請求項１に記載の静圧スライド。
【請求項３】
前記向かい合った静圧面に隣接して、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧面を配置したことを特徴とする請求項２に記載の静圧スライド。
【請求項４】
前記静圧スライドの移動方向に直交する断面をとったとき、対向する一対の静圧面の距離と、対向する別な対の静圧面の距離とが異なっていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の静圧スライド。
【請求項５】
前記静圧スライドはセラミックを少なくとも一つの素材として形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の静圧スライド。
【請求項６】
前記セラミックは、窒化珪素又はサイアロンであることを特徴とする請求項５に記載の静圧スライド。
【請求項７】
前記圧力伝達媒体は、液体であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の静圧スライド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧スライドに関し、特に圧力伝達媒体を用いて移動可能に支持される静圧スライドに関する。
【背景技術】
【０００２】
光学素子やその成形用型に対して、切削加工や研磨加工等を施すために加工機が知られている（特許文献１参照）。かかる加工機においては、作業台を高精度に移動させるために静圧スライドが設けられている。
【特許文献１】特開２００３−３９２９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、例えば光学素子の非球面に対応した複雑な曲面を精度良く創成するためには、機械の制御精度をより高くすることが重要であり、そのために各軸の位置測定分解能を向上して、高速なサーボにより駆動する作業台（スライドテーブルや旋回テーブル）を高精度に制御することや、サーボモーターの駆動指令に対して高速に追従するために、駆動する静圧スライドを軽くして慣性質量を減らすことが重要である。
【０００４】
ここで、静圧スライドの体積を減少させれば、それに応じて静圧スライドを軽くすることができる。ところが、静圧スライドの体積が減少すると、その表面積も減少し、その結果として、静圧スライドの表面に設けられた静圧面の面積が減少し、それにより支持剛性が低下するという問題が生じる。
【０００５】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、支持剛性を高く維持しつつも、より軽量化が図れる静圧スライドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の静圧スライドは、支持面と静圧面との間に供給された圧力伝達媒体により移動可能に支持される静圧スライドにおいて、同じ方向を向いた２つの静圧面の間に、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧面を配置したことを特徴とする。
【０００７】
図１（ａ）は、本発明の例として示す静圧スライドの断面図であり、図１（ｂ）は、比較例として示す静圧スライドの断面図であり、共に静圧スライドを移動方向に対して直交する面で切断して示している。図１（ａ）において、静圧スライドＳＳは、対応する形状をなしたスライドレールＳＲ内に配置されている。静圧スライドＳＳは、上部と下部とからなっており、上部の幅Ｂ１は、下部の幅Ｂ２より小さくなっている（Ｂ１＜Ｂ２）。上部両側面には静圧面ＳＰ１、ＳＰ１がスライドレールＳＲの支持面ＨＰに対向するようにして配置されており、下部両側面には静圧面ＳＰ３、ＳＰ３がスライドレールＳＲの支持面ＨＰに対向するようにして配置されている。静圧面ＳＰ１と静圧面ＳＰ３との間における下部上面には、スライドレールＳＲの支持面ＨＰに対向するようにして静圧面ＳＰ２が形成され、更に静圧面ＳＰ２と逆向きの形で、下部下面にはスライドレールＳＲの支持面ＨＰに対向するようにして静圧面ＳＰ４が配置されている。尚、各静圧面内には、不図示の配管を介して供給される圧力伝達媒体を吐出するためのオリフィスを備えたリセスＲが形成されている。
【０００８】
静圧スライダＳＳは、その静圧面ＳＰ１、ＳＰ３と、スライドレールＳＲの支持面ＨＰとの間に供給された圧力伝達媒体により支持されて、水平方向の位置決めを実現でき、また静圧面ＳＰ２、ＳＰ４と、スライドレールＳＲの支持面ＨＰとの間に供給された圧力伝達媒体により支持されて、垂直方向の位置決めを実現でき、従って紙面に垂直方向に移動可能となっている。
【０００９】
本発明の静圧スライドＳＳは、同一方向（図１では側方）を向いた２つの静圧面ＳＰ１、ＳＰ３の間に、それらの向きと交差する方向（図１では上方）を向いた少なくとも１つの静圧ＳＰ２を配置している。従って、図１（ａ）と図１（ｂ）とを比較すると明らかであるが、同じ合計面積の静圧面を有しながらも、比較例の静圧スライドＳＳ’の断面において、点線で示す領域分Ａだけ軽量化されることとなる。静圧面の合計面積は、支持剛性に比例するため、本発明の静圧スライドＳＳは、矩形断面形状の比較例の静圧スライドＳＳ’に比べて、同じ支持剛性を有しながらも、より軽量化を実現できる。尚、本発明の静圧スライドＳＳにおける静圧面ＳＰ１〜ＳＰ３の配置は、片側だけでも、その効果を発揮できる。又、静圧スライドＳＳは一体である必要はなく、静圧面をそれぞれ有する複数の部品から組み立てられていても良い。本明細書において、「静圧面」とは、静圧スライド（移動体）に設けられ、固定されたレールの支持面との間に静圧隙間を構成し、そこへ圧力伝達媒体を供給されることで発生する静圧力を受ける面をいう。又、「同じ方向を向いた静圧面」とは、２つの静圧面の法線ベクトルが平行かつ同じ向きであるか、もしくは法線ベクトルが１０度以内の角度（すなわち法線ベクトルの挟み角）で交差するように配置された静圧面をいう。
【００１０】
請求項２に記載の静圧スライドは、請求項１に記載の発明において、向かい合った静圧面を有することを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の静圧スライドは、請求項２に記載の発明において、前記向かい合った静圧面に隣接して、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧面を配置したことを特徴とする。
【００１２】
図２は、本発明の例として示す静圧スライドの断面図であり、静圧スライドを移動方向に対して直交する面で切断して示している。図２において、静圧スライドＳＳの断面は、上部、中部、下部からなるＨ形状であり、上部及び下部の幅Ｂ１は、中部の幅Ｂ２より小さくなっている（Ｂ１＜Ｂ２）。スライドレールＳＲの断面形状は、静圧スライドＳＳのへこんだ中部に対応して凸形状を有する。静圧スライドＳＳの中部両側面には静圧面ＳＰ２、ＳＰ２がスライドレールＳＲの支持面ＨＰに対向するようにして配置されており、各静圧面ＳＰ２に隣接して、上部下面には静圧面ＳＰ１が、及び下部上面には静圧面ＳＰ３が、共にスライドレールＳＲの支持面ＨＰに対向するようにして配置されている。尚、各静圧面内には、圧力伝達媒体を吐出するためのオリフィスを備えたリセスＲが形成されている。
【００１３】
静圧スライダＳＳは、静圧面ＳＰ１、ＳＰ３とは異なる方向を向いた静圧面ＳＰ２と、スライドレールＳＲの支持面ＨＰとの間に供給された圧力伝達媒体により支持されて、水平方向の位置決めを実現でき、静圧スライダＳＳの向かい合っている静圧面ＳＰ１、ＳＰ３と、スライドレールＳＲの支持面ＨＰとの間に供給された圧力伝達媒体により支持されて、垂直方向の位置決めを実現でき、従って、紙面に垂直方向に移動可能となっている。
【００１４】
本発明の静圧スライダＳＳでは、静圧面ＳＰ１，ＳＰ３が向かい合っているため断面がＨ形状を有することとなり、それによりねじれに強いという利点がある。また静圧スライダＳＳの上面を広くとれるので、大きなワークを支持するのに好都合である。
【００１５】
請求項４に記載の静圧スライドは、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記静圧スライドの移動方向に直交する断面をとったとき、対向する一対の静圧面（例えば図１のＳＰ１）の距離と、対向する別な対の静圧面（例えば図１のＳＰ３）の距離とが異なっていることを特徴とする。
【００１６】
請求項５に記載の静圧スライドは、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、前記静圧スライドはセラミックを少なくとも一つの素材として形成されていることを特徴とする。一般的な静圧スライドは鋳鉄製であり、その線膨張係数が１０×１０−６、比重７．８、ヤング率１３０ＧＰａ程度である。これに対し、セラミックは、ヤング率が３００ＧＰａと鋳鉄に比べて高く、前記静圧スライドのたわみや加工反力などによる変形が小さくでき、この上に取り付けた工具や主軸などの位置精度を安定させることが出来る。また、線膨張係数が従来の鋳鉄の数分の１程度なので、温度変化による位置変動も小さくできる。さらに、比重が従来の鋳鉄の約１／３と小さいので、前記静圧スライドがより軽量となり、高速かつ高精度な送り制御が実現できる。尚、セラミックを少なくとも一つの素材として形成されるとは、例えば静圧スライドが本体と配管とからなる場合、本体のみをセラミックで形成すること、及び／又は静圧スライドが複数の本体を組み合わせて形成されるような場合、一つの本体のみをセラミックで形成することを含むものである。
【００１７】
請求項６に記載の静圧スライドは、請求項５に記載の発明において、前記セラミックは、窒化珪素又はサイアロンであることを特徴とする。セラミック材料の中でも特に、窒化珪素またはサイアロンは、破壊じん性が６．０と高いため割れにくく、かつヤング率が２９０ＧＰａ前後と高いため変形しにくく、さらに線膨張係数が室温付近で１．５×１０−６と非常に小さいので、前記静圧スライドの温度膨縮が非常に少なく、前記静圧スライド上に取り付けた工具やワークの位置が温度変動しない高精度な静圧スライドを実現できる。また、その比重が３．３と軽いので、スライド駆動に際して慣性力などの制御負荷が小さく、それだけ高精度な送り制御が実現できる。
【００１８】
請求項７に記載の静圧スライドは、請求項１〜６のいずれかに記載の発明に置いて、前記圧力伝達媒体は、液体であることを特徴とするので、ガスを用いる場合に比べて支持剛性を高くできる。尚、液体の中でも、特に油が好ましいが、水であっても良い。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、支持剛性を高く維持しつつも、より軽量化が図れる静圧スライドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。図３は、本実施の形態にかかる静圧スライドを備えた５軸加工機１０の斜視図である。かかる静圧スライドは加工機のみならず、高精度な測定を行う計測器等にも用いることができる。図３において、床Ｆ上に４本（３本のみ図示）の脚１１ａで支持されたアクティブエアマウント１１は、振動の伝達を抑制する抑制手段であり、床の振動をベース１２に伝達しない機能を有する。
【００２１】
アクテイブエアマウント１１上に支持されたベース１２には、支持面を有する部材である一対のスライドレール１３が形成され、スライドレール１３の対向する支持面１３ａの間には、Ｚ軸方向に移動可能に静圧スライド２０が設けられ、静圧スライド２０上に回転可能に旋回テーブル１４が設けられている。尚、静圧スライド２０はスライドレール１３に対し、旋回テーブル１４は静圧スライド２０に対し、それぞれ油を圧力伝達媒体として静圧で支持されている。
【００２２】
更に、ベース１２上において、一対のサポートブロック１５上に掛け渡されたレール１５ａには、Ｘ軸方向に移動可能にスライドテーブル１６が設けられ、スライドテーブル１６上のレール１６ａには、Ｙ軸方向に移動可能にスライドテーブル１７が設けられ、スライドテーブル１７上に回転可能に旋回テーブル１８が設けられている。尚、スライドテーブル１６はレール１５ａに対し、スライドテーブル１７はレール１６ａに対し、旋回テーブル１８はスライドテーブル１７に対し、それぞれ油を圧力伝達媒体として静圧で支持されている。
【００２３】
図４は、図３に示す静圧スライド２０の斜視図である。静圧スライド２０は、図５に示す上部の静圧スライド部材２０Ａと、図６に示す下部の静圧スライド部材２０Ｂとを上下に重合して固定した構造を有する。個々の静圧スライド部材について説明する。
【００２４】
図５は、静圧スライド部材２０Ａの分解斜視図である。尚、図５に示す例では、説明を簡略化すべく旋回テーブルの支持構成は省略している。静圧スライド２０Ａは、本体２１と、パイプ２２と、流量制限部材であるオリフィス部材２３とから構成されている。窒化珪素などのセラミックから形成される本体２１は、両側に静圧面２１ａ、２１ａを形成している。各静圧面２１ａは、５つの矩形状のリセス（凹部）２１ｂを有しており、各リセス２１ｂには開口２１ｃが形成されている。開口２１ｃは、反対側の静圧面２１ａに形成された対応するリセス２１ｂに連通している。更に、本体２１には、各開口２１ｃに連通しそれに対して交差する方向に延在する油供給孔２１ｄが形成されている。油供給孔２１ｄの始端には外部から油を供給するためのコネクタＣが接続され、油供給孔２１ｄの終端は蓋部材Ｐにより閉止されている。尚、油供給孔２１ｄは必ずしも貫通している必要はない。
【００２５】
断面を図示する中空円筒状のパイプ２２は、両端にねじ孔２２ａを形成しており、また長手方向に等間隔に油流入孔２２ｂを形成している。オリフィス部材２３は、頭部２３ａと、それに同軸的に接合されたねじ軸部２３ｂとを有している。頭部２３ａは、開口２１ｃよりも大径であるが、リセス２１ｂ内に収まる寸法形状を有しており、更にねじ軸部２３ｂの周囲の面に周溝２３ｃを形成している。周溝２３ｃ内にはＯ−リングＯＲが配置されている。ねじ軸部２３ｂは中空であり、その内部空間は頭部２３ａの中央に形成された小径のオリフィス孔（流量制限部ともいう）２３ｄに連通している。
【００２６】
静圧スライド部材２０Ｂを組み立てる場合、まずパイプ２２の一端のねじ孔２２ａに一つのオリフィス部材２３のねじ軸部２３ｂを螺合させる（図２に示す状態）。この状態で、パイプ２２を、オリフィス部材２３を取り付けてない方の端部から開口２１ｃ内へと挿入し、これと並行して別のオリフィス部材２３を、開口２１の対向端を介して挿入し、且つパイプ２２の挿入端に螺合させる。オリフィス部材２３を螺合させてゆくと、パイプ２２が弾性変形し引っ張り応力が生じ、それによりオリフィス部材２３の頭部２３ａは、リセス２１ｂの底面に押しつけられる。このとき、Ｏ−リングＯＲが、頭部２３ａとリセス２１ｂとの間を密封するように作用する。図示していないが、全ての開口２１ｃに、パイプ２２とオリフィス部材２３とが取り付けられる。パイプ２２が弾性部材を構成する。
【００２７】
図６は、静圧スライド部材２０Ｂの上面図である。静圧スライド部材２０Ａは、水平方向における静圧支持を行う静圧スライドであるのに対し、静圧スライド部材２０Ｂは、水平方向と垂直方向の静圧支持を実現できる。
【００２８】
本実施の形態の静圧スライド部材２０Ｂにおける本体２１’において、上述した静圧スライド２０Ａと同様に、両側面である第１静圧面２１ａに第１リセス２１ｂを有し、上下面である第２静圧面２１ａ’に第２リセス２１ｂ’を２列に形成している。対向する第１リセス２１ｂ同士は、第１の開口２１ｃにより連通され、対向する第２リセス２１ｂ’同士は、第２の開口２１ｃ’により連通されているが、図３に見て第１の開口２１ｃと第２の開口２１ｃ’とは、本体２１’の長手方向にずれて形成されている。
【００２９】
本体２１’の長手方向端面から、第１の開口２１ｃと第２の開口２１ｃ’とに交互に交差し、且つ反対側の端面に抜けるようにして油供給孔２１ｄ、２１ｄ’が形成されている。上述した実施の形態と同様に、油供給孔２１ｄの一端にはコネクタＣが取り付けられ、他端には蓋部材Ｐが取り付けられている。一方、油供給孔２１ｄ’の両端にはそれぞれ蓋部材Ｐが取り付けられている。尚、油供給孔２１ｄ、２１ｄ’同士は、第１の開口２１ｃを介して連通している。従って、コネクタＣから供給された作動油は、蓋部材Ｐが設けられた油供給孔２１ｄ、２１ｄ’の末端まで供給されることができる。
【００３０】
本実施の形態において、第１の開口２１ｃには、図５に示すパイプ２２を配置すれば良く、第２の開口２１ｃ’には、図５に示すパイプ２２を短くしたもの（不図示）を配置すればよい。この際、第１の開口２１ｃと、第２の開口２１ｃ’とは互いに干渉しない位置に設けられているので、それらに挿通されるパイプ２２同士が干渉する恐れはない。かかるパイプ２２の両端に、図５に示すオリフィス部材２３を取り付けることで、静圧スライド部材２０Ａと同様な効果を発揮することができる。
【００３１】
本実施の形態の静圧スライド２０の動作について説明する。不図示の外部ポンプから、コネクタＣを介して、静圧油（単に油ともいう）を５〜３０気圧程度の圧力で供給する。かかる静圧油は、静圧スライド部材２０Ａの本体２１の油供給孔２１ｄを介して開口２１ｃへと分配される。開口２１ｃへと分配された静圧油は、開口２１ｃよりも径が一回り小さいパイプ２２の外周に沿って流れ、油流入孔２２ｂを介してパイプ２２内へと侵入し、オリフィス部材２３のオリフィス孔２３ｄを介して、流量を制限されつつリセス２１ｂ内へと吐出される。リセス２１ｂ内に吐出された静圧油は、静圧面２１ａと支持面１３ａ（図４）との間の１０μｍ程度の微少スキマに介在することで、両者を非接触に支持することができるが、オリフィス孔２３ｄによって吐出量が制限されているので、高い支持剛性を確保できる。
【００３２】
同様に、供給された静圧油は、静圧スライド部材２０Ｂの本体２１’の油供給孔２１ｄ、２１ｄ’を介して開口２１ｃ、２１ｃ’へと分配される。開口２１ｃ、２１ｃ’へと分配された静圧油は、開口２１ｃ、２１ｃ’よりも径が一回り小さいパイプ２２（図５参照）の外周に沿って流れ、油流入孔２２ｂを介してパイプ２２内へと侵入し、オリフィス部材２３のオリフィス孔２３ｄを介して、流量を制限されつつリセス２１ｂ内へと吐出される。リセス２１ｂ内に吐出された静圧油は、静圧面２１ａと支持面１３ａ（図４）との間の１０μｍ程度の微少スキマに介在することで、両者を非接触に支持することができるが、オリフィス孔２３ｄによって吐出量が制限されているので、高い支持剛性を確保できる。かかる状態で、不図示の駆動源からの駆動力により、静圧スライド２０を水平方向及び垂直方向に高精度且つ振動を抑えた状態で移動することができる。
【００３３】
本実施の形態によれば、静圧スライド２０において、同じ方向を向いた２つの静圧面２１ａ、２１ａの間に、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧２１ａ’を配置している。従って、支持剛性が高いにも関わらず軽量な静圧スライド２０を提供できる。
【００３４】
本実施の形態においては、オリフィス部材２３とパイプ２２とは共にステンレス製とし、オリフィス部材２３は同じものをパイプ２２の両端に取り付けているが、パイプ２２にオリフィス部材２３の頭部と同じ形状の円板を溶接しても良い。
【００３５】
尚、本実施の形態では、本体２１、２１’を窒化珪素のセラミックで製作し、開口２１ｃ、２１ｃ’、油供給孔２１ｄ、２１ｄ’、リセス２１ｂ、２１ｂ’などをセラミックの粉体を仮焼結した段階で加工し、本焼結して、静圧面２１ａ、２１ａ’を平面研削により仕上げているが、開口２１ｃ、２１ｃ’、油供給孔２１ｄ、２１ｄ’、リセス２１ｂ、２１ｂ’などの加工は高い精度が不要のため、仮焼結段階で極めて容易に加工生成でき、他の部品の止めネジ用穴加工等と一緒に加工が出来るので、加工コストは従来とほとんど変わらないという利点もある。
【００３６】
図７は、変形例である流量制限部材を本体に取り付けた状態で示す断面図である。例えば図６に示す実施の形態において、本体２１’の上下面を連通する開口２１ｃ’は全長が短いので、挿入するパイプも短くなる。そこで、パイプを流量制限部材の一部とすれば、より部品点数を削減できる。
【００３７】
より具体的には、異なる形状の流量制限部材２３’、２３”を用いる。第１の流量制限部材２３’は、内部に空間を有する円盤状の頭部２３ａ’と、中空の長軸部２３ｂ’と、長軸部２３ｂ’の先端に内周に形成された雌ねじ部２３ｄ’とを有する。頭部２３ａ’の先端には、その内部空間を遮蔽するように円盤状の多孔体ＰＲが配置され、ボルトＢにより固定されている。頭部２３ａ’のリセス２１ｂ’に対向する面には、周溝２３ｃ’が形成され、そこにＯ−リングＯＲが配置されている。更に、長軸部２３ｂ’は、その内部と連通する油流入路２３ｅ’を、油供給孔２１ｄに対応する位置に形成している。
【００３８】
一方、第２の流量制限部材２３”は、内部に空間を有する円盤状の頭部２３ａ”と、中空の短軸部２３ｂ”と、短軸部２３ｂ”の先端に形成された雄ねじ部２３ｄ’とを有する。頭部２３ａ’の先端には、その内部空間を遮蔽するように円盤状の多孔体ＰＲが配置され、ボルトＢにより固定されている。頭部２３ａ’のリセス２１ｂ’に対向する面には、周溝２３ｃ’が形成され、そこにＯ−リングＯＲが配置されている。
【００３９】
組み付けに際しては、第１の流量制限部材２３’の長軸部２３ｂ’と、第２の流量制限部材２３”の短軸部２３ｂ”とを開口２１ｃ’の両側から挿入し、雄ねじ部２３ｄ”を雌ねじ部２３ｄ’に螺合させる。（図４に示す状態）。すると、長軸部２３ｂ’と短軸部２３ｂ”が弾性変形し引っ張り応力が生じ、それにより流量制限部材２３’、２３”の頭部２３ａ’、２３ａ”は、リセス２１ｂ、２１ｂの底面に押しつけられる。このとき、Ｏ−リングＯＲ、ＯＲが、頭部２３ａ’、２３ａ”とリセス２１ｂとの間を密封するように作用する。尚、長軸部２３ｂ’と短軸部２３ｂ”が弾性部材を構成する。又、多孔質体ＰＲの代わりに、図５に示すオリフィス部材のごときオリフィス孔を設けても良い。
【００４０】
不図示の外部ポンプから、コネクタＣを介して、静圧油を５〜３０気圧程度の圧力で供給すると、かかる静圧油は、本体２１’の油供給孔２１ｄを介して開口２１ｃ’へと分配される。開口２１ｃ’へと分配された静圧油は、油流入路２３ｅ’を介して長軸部２３ｂ’及び短軸部２３ｂ”内へと侵入し、頭部２３ａ’、２３ａ”の内部空間へと吐出される。かかる空間から静圧油は、流量制限部である多孔体ＰＲ、ＰＲの微少な無数の孔を介して、流量を制限された形で静圧面２１ａ’、２１ａ’に均一な圧力で供給されることができる。
【００４１】
図４において、スーパーインバー製のスライドスライドレール１３の支持面１３ａと、静圧スライド２０の静圧面との隙間（静圧隙間ともいう）を片側５μｍ取って取り付けた。静圧スライド２０の本体の材料は、サイアロンを用い、静圧面の大きさは、水平方向受け面が片側５０ｍｍ×５４０ｍｍ（リセス７箇所）、垂直方向受け面が片側６０ｍｍ×５４０ｍｍ（リセス８箇所）。圧力伝達媒体として水を用い、コネクタＣより供給圧力５気圧で静圧スライド２０に圧送した。
【００４２】
かかる構成における静剛性は、水平方向２５８０Ｎ／μｍ以上、垂直方向２８００Ｎ／μｍ以上と、極めて高い剛性を実現したが、このような大きな力を受けても静圧スライド２０は変形することなく、静圧隙間が５μｍと極めて狭いにもかかわらす、２５０ｍｍのストロークを全く機械接触すること無く滑らかに移動できた。また、静圧スライド２０の重量は、本発明である図１（ａ）の形状により、従来の図１（ｂ）の形状に比較して、体積で３２４０ｃｃの削減となり、一般的な鋳鉄材料で重量換算すると、２５ｋｇ以上の重量削減となった。さらに、静圧スライド材料にサイアロンを用いたことで、鋳鉄の場合と比較して５１ｋｇの重量を削減でき、従来の静圧スライドと全く同じ剛性を有しながら、合計で７６ｋｇ以上の重量削減を実現できた。
【００４３】
本実施例の静圧スライド２０にリ二アモーター（不図示）を取り付けて、１ｎｍ単位の微小変位駆動を行ったところ、オーバーシュートは３ｎｍ以下の誤差範囲、定速度移動時の指令値と実際のスライドの位置の差（追従誤差）は、１０ｍｍ／ｍｉｎにおいて１２ｎｍ以下とで極めて再現性の高い高精度な送りが実現できた。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】図１（ａ）は、本発明の例として示す静圧スライドの断面図であり、図１（ｂ）は、比較例として示す静圧スライドの断面図である。
【図２】本発明の例として示す静圧スライドの断面図である。
【図３】本実施の形態にかかる静圧スライドを備えた５軸加工機１０の斜視図である。
【図４】図３に示す静圧スライド２０の斜視図である。
【図５】静圧スライド部材２０Ａの分解斜視図である。
【図６】静圧スライド部材２０Ｂの上面図である。
【図７】変形例である流量制限部材を本体に取り付けた状態で示す断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
２０ 静圧スライド
２０Ａ，２０Ｂ  静圧スライド部材
２１、２１’ 本体
２１ａ、２１ａ’ 静圧面
２１ｂ、２１ｂ’ リセス
２１ｃ、２１ｃ’ 開口
２１ｄ、２１ｄ’ 油供給孔
２２ パイプ
２２ａ 孔
２２ｂ 油流入孔
２３ オリフィス部材
２３’、２３”流量制限部材
Ｂ ボルト
Ｃ コネクタ
ＨＰ  支持面
ＯＲ リング
Ｐ 蓋部材
ＰＲ 多孔体
Ｒ  リセス
ＳＳ  静圧スライド
ＳＰ１〜ＳＰ４  静圧面
ＳＲ スライドレール
【図１】
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【図２】
2006029395.tif 000004
【図３】
2006029395.tif 000005
【図４】
2006029395.tif 000006
【図５】
2006029395.tif 000007
【図６】
2006029395.tif 000008
【図７】
2006029395.tif 000009