(57)【要約】【課題】慣性力検出信号に含まれるノイズ成分を可及的に低減し、慣性力検出に際して高い分解能を得ることが可能な振動ジャイロを提供する。【解決手段】振動子１の静電容量の変化を電圧変化に変換して出力するＣＶ変換回路４０を備え、このＣＶ変換回路４０は、演算増幅器４１の負帰還部にキャパシタ４２と抵抗４３とが並列に接続された電流検出型のものであって、負帰還部のキャパシタ４２の容量値と抵抗４３の抵抗値とで決まるカットオフ周波数をｆｃ、振動子１が励振駆動される駆動モード周波数をｆｏとしたとき、（ｆｏ／ｆｃ）≧２０となるように設定されている。  また、（ｆｏ／ｆｃ）は２００以下となるように設定する。【選択図】図２
2006071498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
慣性力を静電容量の変化として検出する静電容量検出型の振動子と、
前記振動子を励振駆動する発振回路部と、
前記振動子の検出出力に基づいて慣性力の大きさに応じた信号を生成する信号処理回路部とを備えた振動ジャイロにおいて、
前記信号処理回路は、前記振動子の静電容量の変化を電圧変化に変換して出力するＣＶ変換回路を備え、
前記ＣＶ変換回路は、演算増幅器の負帰還部にキャパシタと抵抗とが並列に接続された電流検出型のものであって、前記負帰還部のキャパシタの容量値と抵抗の抵抗値とで決まるカットオフ周波数をｆｃ、前記振動子が前記発振回路部により励振駆動される駆動モード周波数をｆｏとしたとき、（ｆｏ／ｆｃ）≧２０となるように設定されていること
を特徴とする振動ジャイロ。
【請求項２】
（ｆｏ／ｆｃ）≦２００となるように設定されていることを特徴とする請求項１記載の振動ジャイロ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動ジャイロに関し、詳しくは、静電容量検出型の振動子を用いて慣性力を検出する振動ジャイロに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の振動ジャイロの一つに、慣性力を静電容量の変化として検出する静電容量検出型の振動子を備えるとともに、この振動子を励振駆動する発振回路部と、振動子の検出出力に基づいて慣性力の大きさに応じた信号を生成する信号処理回路部とを設けた構成を有する振動ジャイロがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記の静電容量検出型の振動子は、慣性力により振動状態が変化した場合における、振動子に設けた検出電極間の静電容量の変化を検出して出力するものである。
【０００４】
そして、この振動子に対して発振回路部から駆動信号が与えられることにより、振動子は所定の駆動振動方向に沿って往復振動を行う。また、振動子からは駆動振動方向の振動量に応じた信号が発振回路部に帰還されるため、発振回路部は自励発振し、再び駆動信号が振動子に与えられる。これにより、振動子は、発振回路部から与えられる駆動信号の周波数（以下、駆動モード周波数ｆｏという）と同じ自己共振周波数で振動が持続される。
【０００５】
この状態で振動子の駆動振動方向に直交する方向を回転軸とした慣性力が加わると、振動子は駆動振動方向および回転軸の両方向に直交する方向に沿ってコリオリ力が発生し、振動子の振動方向が変化する。この場合のコリオリ力の振動周波数は、上記の駆動モード周波数ｆｏと同じになる。
そして、このコリオリ力による振動変位により振動子の検出電極間の静電容量が変化するので、この静電容量の変化が検出信号として信号処理回路部に入力される。信号処理回路部は、振動子の静電容量の変化を電圧変化に変換した後、同期検波、平滑化などの所定の信号処理を行って慣性力の大きさに応じた直流電圧をもつ慣性力検出信号を出力する。
【０００６】
ところで、上記の信号処理回路部には、振動子で検出される静電容量の変化を電圧変化に変換して出力するために、従来より電流検出型のＣＶ変換回路が使用されている（例えば、非特許文献１参照）。この電流検出型のＣＶ変換回路（以下、単に「ＣＶ変換回路」という）は、演算増幅器の負帰還部に、キャパシタと抵抗とを並列に接続することにより構成されている。
【０００７】
かかる構成を有するＣＶ変換回路は、一種のノイズ低減用のノイズフィルタとして機能し、そのカットオフ周波数ｆｃ以上の周波数では、周波数が高くなるほどノイズ透過率を低下させるという特性を有している。
すなわち、カットオフ周波数ｆｃ以上の周波数ではカットオフ周波数ｆｃから離れるほどＣＶ変換時に透過する電圧ノイズ（以下、ＣＶ変換電圧ノイズという）を低減させるという特性を有している。
【０００８】
しかしながら、従来技術では、このようなＣＶ変換回路の特性に着目して駆動モード周波数ｆｏとＣＶ変換回路のカットオフ周波数ｆｃとの関係について十分な検討を加えたものは見当たらず、そのため、ＣＶ変換回路を通過した後の検出信号に含まれるＣＶ変換電圧ノイズが大きく、その結果、信号処理回路部から最終的に出力される慣性力検出信号に含まれるノイズ成分も大きくなり、慣性力検出の際の分解能が低いという問題点がある。
【０００９】
すなわち、従来は、カットオフ周波数ｆｃが駆動モード周波数ｆｏに対して十分に小さくなるようには設定されていないので、ＣＶ変換回路の駆動モード周波数ｆｏにおけるＣＶ変換電圧ノイズの透過率が高く、それ以降の同期検波や平滑化などの処理を行う際のノイズ成分が大きくなり、慣性力を検出する際の分解能を高めることができないのが実情である。
【００１０】
例えば、上記の非特許文献１の構成の場合、駆動モード周波数ｆｏ＝８．９４ｋＨｚ、カットオフ周波数ｆｃ＝１．７７ｋＨｚであり、その比は（ｆｏ／ｆｃ）≒５．１となる。このように、従来は、駆動モード周波数ｆｏに対するカットオフ周波数ｆｃが低く設定されていないため、ＣＶ変換回路の駆動モード周波数ｆｏにおけるＣＶ変換電圧ノイズのノイズ透過率が高く（ピークに対して約−１４ｄＢ）、その結果、慣性力検出を行う際に十分な分解能を得ることができない。
【特許文献１】特開平１０−２２１０８３号公報
【非特許文献１】土屋  智由  著  「多結晶シリコンヨーレートセンサ」  Ｒ＆Ｄ  Ｒｅｖｉｅｗ  ｏｆ  Ｔｏｙｏｔａ  ＣＲＤＬ  ２００１年９月  Ｖｏｌ．３６  Ｎｏ．３  ｐ４１〜ｐ４６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、慣性力検出信号に含まれるノイズ成分を可及的に低減し、慣性力検出に際して高い分解能を得ることが可能な振動ジャイロを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
背景技術において説明したように、振動子から出力される静電容量の変化を示す検出信号の周波数は駆動モード周波数ｆｏと同じであり、また、ＣＶ変換回路の特性として、検出信号に含まれるＣＶ変換電圧ノイズは、カットオフ周波数ｆｃから離れるほど小さくなる傾向を示す。
したがって、静電容量変化を検出する場合に障害となるＣＶ変換電圧ノイズを低減するためには、カットオフ周波数ｆｃに対して駆動モード周波数ｆｏを十分に高く設定するか、あるいはＣＶ変換回路のカットオフ周波数ｆｃを駆動モード周波数ｆｏに対して十分に低く設定すればよいと推察される。現実には、駆動モード周波数ｆｏは、振動子の構成などの要因によって自ずと決定されることが多いため、ＣＶ変換回路のカットオフ周波数ｆｃを、駆動モード周波数ｆｏに対して十分に低く設定すればよいと考えられる。本発明は、かかる知見に基づいてさらに実験、検討を行うことにより完成されたものである。
【００１３】
すなわち、本発明（請求項１）の振動ジャイロは、
慣性力を静電容量の変化として検出する静電容量検出型の振動子と、
前記振動子を励振駆動する発振回路部と、
前記振動子の検出出力に基づいて慣性力の大きさに応じた信号を生成する信号処理回路部とを備えた振動ジャイロにおいて、
前記信号処理回路は、前記振動子の静電容量の変化を電圧変化に変換して出力するＣＶ変換回路を備え、
前記ＣＶ変換回路は、演算増幅器の負帰還部にキャパシタと抵抗とが並列に接続された電流検出型のものであって、前記負帰還部のキャパシタの容量値と抵抗の抵抗値とで決まるカットオフ周波数をｆｃ、前記振動子が前記発振回路部により励振駆動される駆動モード周波数をｆｏとしたとき、（ｆｏ／ｆｃ）≧２０となるように設定されていること
を特徴としている。
【００１４】
また、請求項２の振動ジャイロは、請求項１記載の発明の構成において、（ｆｏ／ｆｃ）≦２００となるように設定されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明（請求項１）の振動ジャイロは、ＣＶ変換回路のカットオフ周波数ｆｃと振動子が励振駆動される駆動モード周波数ｆｏとの関係が（ｆｏ／ｆｃ）≧２０となるように設定されているので、ＣＶ変換回路のカットオフ周波数ｆｃは駆動モード周波数ｆｏに対して十分に低い値になる。
そのため、駆動モード周波数ｆｏを有する静電容量変化の検出信号がＣＶ変換回路で電圧に変換される際に、同じ駆動モード周波数ｆｏを有するＣＶ変換電圧ノイズが検出感度や応答性に影響を及ぼすことなく大きく低減され、ＣＶ変換回路を通過する検出信号のＳ／Ｎ比が改善される。
その結果、信号処理回路部の最終段から出力される慣性力検出信号に含まれるノイズ成分も大幅に低減（平均的に約２０ｄＢ以下に低減）され、慣性力検出に際して高い分解能を得ることが可能になる。
【００１６】
また、請求項２の振動ジャイロは、（ｆｏ／ｆｃ）≦２００となるように設定されているので、請求項１記載の発明の効果に加えて、ＣＶ変換回路が正常に動作する上で必要な帰還抵抗の抵抗値Ｒｆの最大値を補償することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施例を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例】
【００１８】
図１は本発明の実施例にかかる振動ジャイロの全体構成を示すブロック図である。
【００１９】
この実施例の振動ジャイロは、慣性力を静電容量の変化として検出する静電容量検出型の振動子１、この振動子１を駆動する発振回路部２、および振動子１からの検出出力に基づいて慣性力の大きさに応じた慣性力検出信号を生成する信号処理回路部３を備えている。
【００２０】
振動子１は、例えば半導体微細加工技術を用いて基板表面に微細な機械構造体を形成する、いわゆる表面マクイロマシニング法などの方法により製作されるものであって、シリコン材料やガラス材料などから形成された振動基板からなる振動体１１を備えている。
【００２１】
そして、この振動体１１には、これを駆動する第１駆動電極１２、および第２駆動電極１３、振動体１１の振動状態を監視して発振回路部２にフィードバックする第１モニタ電極１４、および第２モニタ電極１５、および振動体１１のコリオリ力による振動変位を静電容量の変化として検出する第１検出手段１６、および第２検出手段１７が形成されている。なお、第１検出手段１６、および第２検出手段１７は、それぞれ一対の検出電極を対向配置することにより形成されている。
【００２２】
また、発振回路部２は、振動子１を共振素子とした閉ループの自励発振回路として作用するものであり、第１ＣＶ変換回路２１、および第２ＣＶ変換回路２２、第１差動増幅回路２３、第１フィルタ回路２４、位相調整回路２５、ＡＧＣ回路２６、および反転回路２７を備えている。
【００２３】
さらに、信号処理回路部３は、第３ＣＶ変換回路３１、第４ＣＶ変換回路３２、第２差動増幅回路３３、第２フィルタ回路３４、第１移相回路３５、第２移相回路３６、同期検波回路３７、平滑回路３８、および増幅回路３９を備えている。
【００２４】
上記構成を備えた振動ジャイロについて、まず全体的な動作について説明し、次に第１ＣＶ変換回路２１、第２ＣＶ変換回路２２、第３ＣＶ変換回路３１、および第４ＣＶ変換回路３２の作用についてさらに詳しく説明する。
【００２５】
振動子１の第１駆動電極１２、および第２駆動電極１３に対して発振回路部２から駆動モード周波数ｆｏをもつ互いに逆相の駆動信号がそれぞれ与えられることにより、振動子１は所定の駆動振動方向に沿って往復振動を行う。このとき、振動子１の駆動振動方向の振動量に応じた第１モニタ電極１４、および第２モニタ電極１５の容量変化は、第１ＣＶ変換回路２１、および第２ＣＶ変換回路２２によりこれに対応した電圧値をもつ第１モニタ信号、および第２モニタ信号に変換される。
【００２６】
これらの第１モニタ信号、および第２モニタ信号は互いに逆相の信号になるように構成されているから、次段の第１差動増幅回路２３により一つのモニタ信号に増幅変換される。このモニタ信号は、第１フィルタ回路２４によって不要成分が除去された後、位相調整回路２５で自励発振に必要な位相調整が行われてＡＧＣ回路２６に入力される。なお、第１フィルタ回路２４の出力は第１移相回路３５を介して同期検波回路３７にも入力される。
【００２７】
ＡＧＣ回路２６は、振動子１の駆動振動方向の振動振幅が一定となるように増幅率が自動調整されて所定の振幅をもつ駆動信号（駆動モード周波数ｆｏ）が形成される。そして、第１駆動電極１２には、この駆動信号が反転回路２７を介して印加されるとともに、第２駆動電極１３には駆動信号が直接に印加される。したがって、第１駆動電極１２、および第２駆動電極１３に加わる駆動信号は互いに逆相になっており、駆動効率が高められている。
【００２８】
このように、第１モニタ電極１４、および第２モニタ電極１５で得られる信号から駆動信号を生成して第１，第２駆動電極１２，１３に印加することにより、発振回路部２は閉ループの自励発振回路が構成され、振動子１の振動体１１は、発振回路部２から出力される駆動信号（駆動モード周波数ｆｏ）と同じ周波数の自己共振周波数で振動を継続する。
【００２９】
この状態で振動子１の駆動振動方向に直交する方向を回転軸とした角速度等の慣性力が加わると、振動子１は駆動振動方向および回転軸の両方向に直交する方向に沿ってコリオリ力が発生し、振動子１の振動方向が変化する。そして、このコリオリ力による振動変位により、振動子１の第１検出手段１６、および第２検出手段１７を構成する各一対の検出電極間の静電容量が変化するので、この静電容量の変化が検出信号として出力される。
【００３０】
なお、この場合のコリオリ力による振動の周波数は、上記の駆動モード周波数ｆｏと同じになる。また、その際に第１モニタ電極１４、および第２モニタ電極１５に発生する容量変化と、コリオリ力による振動に伴って第１検出手段１６、および第２検出手段１７に発生する容量変化との間には、９０°の位相差が生じている。
【００３１】
また、振動子１で検出された静電容量の変化は信号処理回路部３に入力されるので、信号処理回路部３の第３ＣＶ変換回路３１、および第４ＣＶ変換回路３２は、第１検出手段１６、および第２検出手段１７で検出される静電容量の変化をその大きさに対応した電圧信号に変換する。この両検出信号は互いに逆相になるように構成されていることから、第２差動増幅回路３３によって一つの信号に差動増幅され、続いて、第２フィルタ回路３４で不要成分が除去された後、第２移相回路３６を介して同期検波回路３７に入力される。
【００３２】
ここで、第１移相回路３５と第２移相回路３６とは、各回路３５，３６を通過した信号の相互間で９０°の位相差が生じるように予め設定されているため、第１移相回路３５を通過したモニタ信号と、第２移相回路３６を通過した検出信号とは同相（あるいは逆相）になる。そして、同期検波回路３７は、第１移相回路３５から出力されるモニタ信号を基準位相として、第２移相回路３６から出力される検出信号を同期検波するため、同期検波回路３７からはコリオリ力に基づく検出信号が取り出される。
【００３３】
そして、同期検波回路３７から取り出されるコリオリ力に基づく検出信号は半波整流された状態であることから、平滑回路３８に入力されて慣性力の大きさに応じた直流電圧に平滑化され、さらに、この信号は増幅回路３９で増幅されて慣性力検出信号として出力される。
【００３４】
次に、この実施例の振動ジャイロにおける上記の第１，第２，第３，第４ＣＶ変換回路２１，２２，３１，３２の作用についてさらに詳しく説明する。なお、以下では、第１，第２，第３，第４ＣＶ変換回路２１，２２，３１，３２を単にＣＶ変換回路と総称し、符号４０で示す。
【００３５】
上述のＣＶ変換回路４０は、電流検出型のものであり、図２に示すように、演算増幅器４１の負帰還部にキャパシタ４２と抵抗４３とを並列に接続することにより構成されている。
そして、この構成のＣＶ変換回路４０は、図３に示すように、一種のノイズフィルタとして機能し、キャパシタ４２の容量値Ｃｆと抵抗４３の抵抗値Ｒｆとで決まるカットオフ周波数ｆｃ（＝１／（２π・Ｃｆ・Ｒｆ））以上では、周波数が高くなるほどノイズ透過率が６ｄＢ／Ｏｃｔで低下する特性を有している。
すなわち、カットオフ周波数ｆｃ以上では、カットオフ周波数ｆｃから離れるほどＣＶ変換電圧ノイズを低減させる。
なお、ＣＶ変換回路４０のＣＶ変換ノイズの透過率Ｇは、下記の数式１で与えられる。
【００３６】
【数１】
2006071498.tif 000003
【００３７】
また、このＣＶ変換回路４０は、図４に示すように、静電容量変化を電圧変化に変換する際の感度（以下、ＣＶ変換感度という）が周波数に依存する特性を備えている。このＣＶ変換感度はコリオリ力による振動を検出する感度に対応している。そして、カットオフ周波数ｆｃ以下では、周波数が小さくなるのに伴ってＣＶ変換感度が次第に小さくなる傾向を示す一方、カットオフ周波数ｆｃ以上ではＣＶ変換感度は一定値になる。
なお、ＣＶ変換回路４０のＣＶ変換感度（ｄＶｏｕｔ／ｄＣｓ）は、下記の数式２で与えられる。
【００３８】
【数２】
2006071498.tif 000004
【００３９】
なお、数式２において、Ｃｓは振動子１の容量、Ｖｒｅｆはバイアス電圧、ＶｏｕｔはＣＶ変換回路４０の出力、Ｒｆは負帰還の抵抗値、Ｃｆは負帰還の容量値である。
そして、数式２において、１／（２π・Ｃｆ・Ｒｆ）＜＜ｆｏの場合には、下記数式３のようにＣＶ変換感度は一定になる。
【００４０】
【数３】
2006071498.tif 000005
【００４１】
図３，図４および数式１、数式２、および数式３から分かるように、駆動モード周波数ｆｏは、振動子１の構成などの要因によって自ずと決定されることが多いことを考慮すれば、ＣＶ変換回路４０のカットオフ周波数ｆｃを駆動モード周波数ｆｏに対して十分に低く設定することにより、駆動モード周波数ｆｏでのＣＶ変換感度を一定に保ったまま、ＣＶ変換電圧ノイズの駆動モード周波数ｆｏ成分を大幅に低減することができる。その結果、慣性力の検出感度や応答性に影響を及ぼすことなく、慣性力検出信号に含まれるノイズ成分を低減することが可能になる。
【００４２】
具体的に、ＣＶ変換回路４０のカットオフ周波数ｆｃと、駆動モード周波数ｆｏとの比（ｆｏ／ｆｃ）を変化させた場合に信号処理回路部３で得られる慣性力検出信号に含まれるノイズ成分の関係を調べた結果を図５に示す。
なお、ここでは、駆動モード周波数ｆｏ＝１５ｋＨｚ、負帰還用のキャパシタ４２の容量値Ｃｆ＝６ｐＦに設定し、負帰還用の抵抗４３の抵抗値Ｒｆを１０ＭΩ〜９６ＭΩまで変化させることにより、カットオフ周波数ｆｃの値を変えるようにした。なお、慣性力検出感度はいずれの条件でも一定となるように設定している。
【００４３】
図５に示したように、慣性力検出信号に含まれるノイズ成分を十分に低減するためには、（ｆｏ／ｆｃ）≧２０となるように設定すればよいことが分かる。
【００４４】
なお、今回は、図５の結果を得る際に設定した条件とは少し異なるが、ＣＶ変換回路４０（２１，２２，３１，３２）の容量値Ｃｆ＝１０ｐＦ、抵抗値Ｒｆ＝１００ＭΩに設定した。このときのカットオフ周波数ｆｃ＝１６０Ｈｚとなっている。また、駆動モード周波数ｆｏ＝１５ｋＨｚに設定されており、（ｆｏ／ｆｃ）≒１００で、（ｆｏ／ｆｃ）≧２０の条件を満たしている。そして、このとき、駆動モード周波数ｆｏでのＣＶ変換感度を一定に保ったままＣＶ変換電圧ノイズの駆動モード周波数ｆｏ成分は約４０ｄＢ程度低減される。
【００４５】
また、平滑回路３８〜増幅回路３９の帯域幅Ｂ＝５０Ｈｚとすると、同期検波以前の信号のうち、ｆｏ±Ｂ＝１５ｋＨｚ±５０Ｈｚの信号成分が信号処理回路部３の最終段から慣性力検出信号として出力されるので、慣性力検出信号に含まれるノイズ成分を低減することが可能になり、慣性力検出に際して高い分解能を得ることが可能になる。
【００４６】
ところで、上述のように（ｆｏ／ｆｃ）の値は下限が２０であることを示したが、（ｆｏ／ｆｃ）の上限は、負帰還の抵抗値Ｒｆにより自ずと決定される。すなわち、演算増幅器４１の反転入力端子（−）の入力インピーダンスは理想的には無限大であるので、いま仮に抵抗値Ｒｆが無限大になっているとすると、反転入力端子（−）の電位が不定になってしまい、回路が正常に動作しなくなる。このため、演算増幅器４１の出力側から反転入力端子（−）に何らかの電荷を供給するためには、負帰還の抵抗値Ｒｆを有限の大きさに設定する必要がある。
そして、ＣＶ変換回路４０のカットオフ周波数ｆｃは、前述のように負帰還の容量値Ｃｆと抵抗値Ｒｆとに依存するので、ＣＶ変換回路４０が正常に動作するために必要な抵抗値Ｒｆの最大値によって（ｆｏ／ｆｃ）の上限値も定まることになる。そして、この（ｆｏ／ｆｃ）の上限値は、今までの経験や実験結果などを考慮すれば、（ｆｏ／ｆｃ）≦２００に設定することが望ましい。
【００４７】
なお、上記の実施例では、駆動効率を高めるために２つの駆動電極（第１駆動電極１２、第２駆動電極１３）を設け、また、これに応じて互いに位相が反転したモニタ信号や検出信号が得られるように２つのモニタ電極（第１モニタ電極１４、第２モニタ電極１５）、２つの検出手段（第１検出手段１６、第２検出手段１７）を設けるようにしているが、これらは必ずしも２つある必要はなく、単一とすることも可能である。
【００４８】
また、上記の実施例においては、発振回路部２が、振動子１を共振素子として利用する自励発振回路として構成されているが、本発明において、発振回路部２はこれに限定されるものではなく、例えば外部に発振器を設け、この発振出力を振動子１に印加する他励発振回路を適用することもできる。
【００４９】
なお、本発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、振動子を励振駆動する発振回路部や、振動子の検出出力に基づいて慣性力の大きさに応じた信号を生成する信号処理回路部、振動子の静電容量の変化を電圧変化に変換して出力するＣＶ変換回路などの具体的な構成などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
上述のように、本発明によれば、慣性力検出信号に含まれるノイズ成分を可及的に低減し、慣性力検出に際して高い分解能を得ることが可能になる。
したがって、本発明は、手振れ防止カメラやカーナビゲーション装置などに使用される振動ジャイロの分野に広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施例にかかる振動ジャイロの全体構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の振動ジャイロに使用されるＣＶ変換回路の回路構成図である。
【図３】図２のＣＶ変換回路におけるＣＶ変換電圧ノイズの周波数依存性を示す特性図である。
【図４】図２のＣＶ変換回路におけるＣＶ変換感度の周波数依存性を示す特性図である。
【図５】カットオフ周波数ｆｃと駆動モード周波数ｆｏとの比（ｆｏ／ｆｃ）と慣性力検出信号に含まれるノイズ成分との関係を調べた実験結果を示す特性図である。
【符号の説明】
【００５２】
１        振動子
２        発振回路部
３        信号処理回路部
１１      振動体
１２      第１駆動電極
１３      第２駆動電極
１４      第１モニタ電極
１５      第２モニタ電極
１６      第１検出手段
１７      第２検出手段
２１      第１ＣＶ変換回路
２２      第２ＣＶ変換回路
２３      第１差動増幅回路
２４      第１フィルタ回路
２５      位相調整回路
２６      ＡＧＣ回路
２７      反転回路
３１      第３ＣＶ変換回路
３２      第４ＣＶ変換回路
３３      第２差動増幅回路
３４      第２フィルタ回路
３５      第１移相回路
３６      第２移相回路
３７      同期検波回路
３８      平滑回路
３９      増幅回路
４０      ＣＶ変換回路
４１      演算増幅器
４２      キャパシタ
４３      抵抗
Ｃｆ      負帰還の容量値
Ｒｆ      負帰還の抵抗値
ｆｃ      カットオフ周波数
ｆｏ      駆動モード周波数
【図１】
2006071498.tif 000006
【図２】
2006071498.tif 000007
【図３】
2006071498.tif 000008
【図４】
2006071498.tif 000009
【図５】
2006071498.tif 000010