(57)【要約】【課題】  互いに直交する方向に振動可能なように支持基板に支持された駆動用振動子および角速度検出用振動子を備える角速度センサにおいて、駆動用振動子の駆動振動によって角速度検出用振動子がたわみ、出力誤差を発生することを極力防止する。【解決手段】  第１の方向ｘに振動可能な駆動用振動子３０と第２の方向ｙに振動可能な角速度検出用振動子４０とを備え、角速度検出用振動子４０は、第２の方向ｙに自由度を持つ検出梁４５を介して支持基板１１に連結支持されるとともに、第２の方向ｙへ沿って延びる形状をなしており、駆動用振動子３０は、第１の方向ｘに自由度を持つ駆動梁３５を介して角速度検出用振動子４０に連結支持され、角速度検出用振動子４０における第２の方向ｙに沿った長さＬと第１の方向ｘに沿った幅Ｗとの比（Ｗ／Ｌ）が、０．１以上である。【選択図】        図１
2006071477.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板（１１）と、
前記支持基板（１１）に第１の方向（ｘ）に振動可能に支持された駆動用振動子（３０）と、
前記支持基板（１１）に第１の方向（ｘ）とは直交する第２の方向（ｙ）に振動可能に支持された角速度検出用振動子（４０）と、を備える角速度センサにおいて、
前記角速度検出用振動子（４０）は、前記第２の方向（ｙ）に自由度を持つ検出梁（４５）を介して前記支持基板（１１）に連結されて支持されるとともに、前記第２の方向（ｙ）へ沿って延びる形状をなしており、
前記駆動用振動子（３０）は、前記第１の方向（ｘ）に自由度を持つ駆動梁（３５）を介して前記角速度検出用振動子（４０）に連結されて支持されており、
前記駆動用振動子（３０）の前記第１の方向（ｘ）への振動のもと前記第１の方向（ｘ）および前記第２の方向（ｙ）とは直交する軸（ｚ）回りに角速度が印加されたときに、前記駆動用振動子（３０）に加わるコリオリ力によって前記角速度検出用振動子（４０）が前記第２の方向（ｙ）へ振動し、この前記角速度検出用振動子（４０）の振動に基づいて前記角速度の検出を行うようにしており、
前記角速度検出用振動子（４０）における前記第２の方向（ｙ）に沿った長さＬと前記第１の方向（ｘ）に沿った幅Ｗとの比（Ｗ／Ｌ）が、０．１以上であることを特徴とする角速度センサ。
【請求項２】
前記角速度検出用振動子（４０）における前記比（Ｗ／Ｌ）をｘで表し、前記駆動用振動子（３０）の前記第１の方向（ｘ）への振動時における前記角速度検出用振動子（４０）の前記第２の方向（ｙ）への変位量を単位をｍｍとしてＹで表したとき、
前記比ｘと前記変位量Ｙとが、次の数式１
（数１）
Ｙ＝０．０１４８ｘ4−０．００７６ｘ3＋０．００１５ｘ2−０．０００１ｘ＋６×１０-6
にて示される関係を満足していることを特徴とする請求項１に記載の角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１の方向に振動可能な駆動用振動子と、第１の方向とは直交する第２の方向に振動可能な角速度検出用振動子とを備える角速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、この種の角速度センサは、支持基板と、この支持基板に第１の方向に振動可能に支持された駆動用振動子と、支持基板に第１の方向とは直交する第２の方向に振動可能に支持された角速度検出用振動子と、を備えて構成されている（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第２８８８０２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明者は、上記したような従来の角速度センサについて、試作を行い検討した。図４は、その試作品としての角速度センサの概略平面構成を示す図である。
【０００４】
この角速度センサは、シリコン基板等の半導体基板１０に、エッチング等の周知の半導体製造技術を用いて溝を形成することにより、図４に示されるように、振動子３０、４０を含む可動部２５、および各電極６０、７０、８０を区画形成してなる。
【０００５】
可動部２５は、駆動用振動子３０と、角速度検出用振動子４０と、これら両振動子３０、４０を連結する駆動梁３５と、角速度検出用振動子４０を基板１０に連結する検出梁４５とを備えて構成されている。
【０００６】
駆動用振動子３０は、図４中のｘ方向に延びる錘部３１とこの錘部３１の両側においてｙ方向に延びる複数本の延設部３２とを備えて構成されている。
【０００７】
また、角速度検出用振動子４０は、図４中のｘ方向（以下、第１の方向ｘという）において駆動用振動子３０の錘部３１の両外側に２個設けられており、ｙ方向（以下、第２の方向ｙという）へ沿って延びる細長形状をなしている。
【０００８】
ここで、駆動用振動子３０の錘部３１の両端部は、駆動梁３５を介して角速度検出用振動子４０に連結されている。そして、この角速度検出用振動子４０は、基板１０への固定部であるアンカー部５０に対して検出梁４５を介して連結されている。これにより、可動部２５は、４個の検出梁４５をアンカー部５０に連結することで、基板１０の基板面と平行な方向に動くことができるようになっている。
【０００９】
ここで、駆動梁３５は、第１の方向ｘへ自由度を持ち、検出梁４５は、第２の方向ｙへ自由度を持つ。このような各梁３５、４５の構成により、駆動用振動子３０は、第１の方向ｘに振動可能な状態で支持基板１１に支持された形となり、角速度検出用振動子４０は、第１の方向ｘとは直交する第２の方向ｙに振動可能な状態で支持基板１１に支持された形となっている。
【００１０】
また、図４に示されるように、駆動用振動子３０の各延設部３２の側面には、基板１０に固定された駆動用固定電極６０が対向して配置されている。また、角速度検出用振動子４０の外側の側面には、基板１０に固定された角速度検出用固定電極７０が対向して配置されている。
【００１１】
なお、図４に示される角速度センサにおいては、駆動用振動子３０には、基板１０に固定された振動検出用固定電極８０が対向して配置されている。この振動検出用固定電極８０は、駆動用振動子３０の第１の方向ｘへの駆動振動をモニタリングするためのモニタ電極として構成される。
【００１２】
このような角速度センサの検出動作について述べる。検出動作は、各パッド５０ａ、６０ａ、７０ａ、８０ａおよび各電極６０〜８０を介して行われる。
【００１３】
まず、駆動用固定電極６０を介して、駆動用振動子３０を第１の方向ｘへ駆動振動させる。この駆動振動のもと第１の方向ｘおよび第２の方向ｙとは直交する軸ｚ回りに角速度Ωが印加されたときに、駆動用振動子３０に加わるコリオリ力によって角速度検出用振動子４０が第２の方向ｙへ検出振動する。
【００１４】
この角速度検出用振動子４０の検出振動によって、角速度検出用振動子４０と角速度検出用固定電極７０との間の距離が変化し、それによる両者間の容量変化に基づいて角速度Ωの検出を行うようにしている。
【００１５】
このような構成の角速度センサにおいては、駆動振動時には、駆動用振動子３０のみが振動することが好ましい。
【００１６】
しかし、角速度検出用振動子４０は第２の方向ｙへ沿って延びる形状をなしているため、この角速度検出用振動子４０に対して駆動用振動子３０からの振動がわずかながらも伝わり、角速度検出用振動子４０は、その幅方向すなわち第１の方向ｘに沿ってたわむ可能性がある。
【００１７】
上述したように、角速度検出用振動子４０は、角速度検出用固定電極７０との間の容量変化によって出力を行うのであるが、角速度検出用振動子４０が上記のように、たわんでしまうと、そのたわみによる上記容量変化が生じ、本来検出すべき角速度成分以外の成分も検出してしまい、出力誤差につながる。
【００１８】
このことを具体的に言うと、角速度検出用振動子４０が第１の方向ｘにたわむと、それに伴い、角速度検出用振動子４０は第２の方向ｙへも変形する。すると、角速度検出用振動子４０と角速度検出用固定電極７０との間の第２の方向ｙに沿った距離（間隔）が変わる。そして、この距離変化によって上記容量変化が生じる。
【００１９】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、互いに直交する方向に振動可能なように支持基板に支持された駆動用振動子および角速度検出用振動子を備える角速度センサにおいて、駆動用振動子の駆動振動によって角速度検出用振動子がたわみ、出力誤差を発生することを極力防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、支持基板（１１）と、支持基板（１１）に第１の方向（ｘ）に振動可能に支持された駆動用振動子（３０）と、支持基板（１１）に第１の方向（ｘ）とは直交する第２の方向（ｙ）に振動可能に支持された角速度検出用振動子（４０）と、を備える角速度センサにおいて、次のような点を特徴としている。
【００２１】
・角速度検出用振動子（４０）は、第２の方向（ｙ）に自由度を持つ検出梁（４５）を介して支持基板（１１）に連結されて支持されるとともに、第２の方向（ｙ）へ沿って延びる形状をなしていること。
【００２２】
・駆動用振動子（３０）は、第１の方向（ｘ）に自由度を持つ駆動梁（３５）を介して角速度検出用振動子（４０）に連結されて支持されていること。
【００２３】
・駆動用振動子（３０）の第１の方向（ｘ）への振動のもと第１の方向（ｘ）および第２の方向（ｙ）とは直交する軸（ｚ）回りに角速度が印加されたときに、駆動用振動子（３０）に加わるコリオリ力によって角速度検出用振動子（４０）が第２の方向（ｙ）へ振動し、この角速度検出用振動子（４０）の振動に基づいて角速度の検出を行うようにしていること。
【００２４】
・角速度検出用振動子（４０）における第２の方向（ｙ）に沿った長さＬと第１の方向（ｘ）に沿った幅Ｗとの比（Ｗ／Ｌ）が、０．１以上であること。本発明は、これらの点を特徴としている。
【００２５】
本発明は、上記図４に示されるような構成の角速度センサについて、本発明者が行ったＦＥＭ（有限要素法）解析の結果に基づくものであり、その解析によれば、比（Ｗ／Ｌ）が、０．１以上であれば、駆動用振動子（３０）の駆動振動による角速度検出用振動子（４０）の第２の方向（ｙ）へのたわみ量を、実用上問題ない程度まで小さくすることができる（図３参照）。
【００２６】
よって、本発明によれば、互いに直交する方向（ｘ、ｙ）に振動可能なように支持基板（１１）に支持された駆動用振動子（３０）および角速度検出用振動子（４０）を備える角速度センサにおいて、駆動用振動子（３０）の駆動振動によって角速度検出用振動子（４０）がたわみ、出力誤差を発生することを極力防止できる。
【００２７】
ここで、請求項２に記載の発明のように、請求項１に記載の角速度センサにおいては、角速度検出用振動子（４０）における比（Ｗ／Ｌ）をｘで表し、駆動用振動子（３０）の第１の方向（ｘ）への振動時における角速度検出用振動子（４０）の第２の方向（ｙ）への変位量を単位をｍｍとしてＹで表したとき、比ｘと変位量Ｙとが、次の数式２にて示される関係を満足しているものにできる。
【００２８】
（数２）
Ｙ＝０．０１４８ｘ4−０．００７６ｘ3＋０．００１５ｘ2−０．０００１ｘ＋６×１０-6
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互および上記図４において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００３０】
図１は、本発明の実施形態に係る容量型の角速度センサ１００の模式的な平面図であり、図２は、図１中のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。
【００３１】
本角速度センサ１００は、シリコン基板等の半導体基板１０よりなり、この半導体基板１０に、エッチング等の周知の半導体製造技術を用いて溝を形成することにより、図１に示されるように、外周部に枠部２０、その内周部に振動子３０、４０を含む可動部２５、および各電極６０、７０、８０が区画形成されている。
【００３２】
具体的には、図２に示されるように、半導体基板１０は、支持基板としての第１の半導体層１１とその上の第２の半導体層１２との間にシリコン酸化膜などの絶縁膜１３を挟んでなるＳＯＩ（シリコンオンインシュレータ）基板である。
【００３３】
そして、この半導体基板１０において、第２の半導体層１２の表面から、トレンチエッチングおよびリリースエッチングを施すことにより、第２の半導体層１２に対して、上記したような区画された枠部２０、可動部２５、および各固定電極６０〜８０が形成されている。
【００３４】
これら各部のうち枠部２０および各固定電極６０〜８０は、図２に示されるように、絶縁膜１３を介して、支持基板としての第１の半導体層１１に支持され固定されている。つまり、枠部２０および各固定電極６０〜８０は、支持基板１１（つまり基板１０）に固定された固定部に相当するものである。
【００３５】
可動部２５は、駆動用振動子３０と、角速度検出用振動子４０と、これら両振動子３０、４０を連結する駆動梁３５と、角速度検出用振動子４０と支持基板としての第１の半導体層１１とを連結する検出梁４５とを備えて構成されている。
【００３６】
駆動用振動子３０は、図１中のｘ方向に延びる錘部３１とこの錘部３１の両側においてｙ方向に延びる延設部３２とを備えて構成されている。本例では、延設部３２は錘部３１の上側に４本、下側に４本の計８本設けられている。
【００３７】
また、角速度検出用振動子４０は、図１中のｘ方向（以下、第１の方向ｘという）において駆動用振動子３０の錘部３１の両外側に２個設けられており、ｙ方向（以下、第２の方向ｙという）へ沿って延びる細長形状をなしている。
【００３８】
本実施形態では、この角速度検出用振動子４０における第２の方向ｙに沿った長さＬと第１の方向ｘに沿った幅Ｗとの比（Ｗ／Ｌ）を、０．１以上とした独自の構成を採用している。この比（Ｗ／Ｌ）を０．１以上とした根拠については後述する。
【００３９】
ここで、駆動用振動子３０の錘部３１の両端部は、駆動梁３５を介して角速度検出用振動子４０に連結されている。図１に示されるように、本例では４個の駆動梁３５により駆動用振動子３０と角速度検出用振動子４０とが連結されている。
【００４０】
そして、この角速度検出用振動子４０は、支持基板１１への固定部であるアンカー部５０に対して検出梁４５を介して連結されている。このアンカー部５０は、図２に示される枠部２０などと同様に、絶縁膜１３を介して、支持基板としての第１の半導体層１１に支持され固定されている。
【００４１】
本例では、図１に示されるように、アンカー部５０は４個設けられており、それぞれのアンカー部５０に対して検出梁４５が片持梁として連結されている。これにより、可動部２５は、４個の検出梁４５をアンカー部５０を介して支持基板１１に連結することで、支持基板１１上に浮遊するように支持されている。
【００４２】
さらに言うならば、角速度検出用振動子４０は、検出梁４５を介して支持基板１１に連結支持されており、駆動用振動子３０は、駆動用振動子３０は角速度検出用振動子４０および検出梁４５を介在させてはいるが、駆動梁３５を介して支持基板１１に連結されている。
【００４３】
ここで、駆動梁３５は、第１の方向ｘへ自由度を持つ。本例では、駆動梁３５は、図１に示されるように、複数の梁を有しており、実質的に第１の方向ｘのみへバネ変形可能なものである。
【００４４】
また、検出梁４５は、第２の方向ｙへ自由度を持つ。本例では、検出梁４５は、図１に示されるように、ｘ方向へ延びる梁形状をなすものであり、実質的に第２の方向ｙのみへバネ変形可能なものである。なお、駆動梁３５と検出梁４５とでは共振周波数は異なっている。
【００４５】
このような各梁３５、４５の構成により、駆動用振動子３０は、第１の方向ｘに振動可能な状態で支持基板１１に支持された形となり、角速度検出用振動子４０は、第１の方向ｘとは直交する第２の方向ｙに振動可能な状態で支持基板１１に支持された形となる。そのため、可動部２５は、支持基板１１の基板面に平行な方向に動くことができる。
【００４６】
また、可動部２５を片持支持する検出梁４５が連結されている各アンカー部５０には、角速度検出用のパッド５０ａが形成され、このパッド５０ａと検出梁４５とは電気的に接続されている。この角速度検出用のパッド５０ａを通じて、駆動用振動子３０および角速度検出用振動子４０に対して所定電圧が印加できるようになっている。
【００４７】
また、図１に示されるように、駆動用振動子３０の各延設部３２の側面には、支持基板１１に固定された駆動用固定電極６０が対向して配置されている。そして、駆動用振動子３０の延設部３２と駆動用固定電極６０とが対向する部位においては、たがいの対向面から相手側に向かって櫛歯状に突出する櫛歯部が、互いの櫛歯がかみ合うように設けられている。
【００４８】
各駆動用固定電極６０は、枠部２０の近傍に設けられた駆動用パッド６０ａに電気的に接続されている。そして、この駆動用パッド６０ａを通して、駆動用固定電極６０に駆動電圧が印加されるようになっている。
【００４９】
また、図１に示されるように、角速度検出用振動子４０の外側の側面には、支持基板１１に固定された角速度検出用固定電極７０が対向して配置されている。ここでは、各角速度検出用振動子４０の１個につき上下に２個ずつの角速度検出用固定電極７０が設けられている。
【００５０】
そして、角速度検出用振動子４０と角速度検出用固定電極７０とが対向する部位においては、たがいの対向面から相手側に向かって櫛歯状に突出する櫛歯部が、互いの櫛歯がかみ合うように設けられている。
【００５１】
各角速度検出用固定電極７０は、枠部２０の近傍に設けられた角速度検出用パッド７０ａに電気的に接続されている。そして、この角速度検出用パッド７０ａを通して、角速度検出用固定電極７０の電位が測れるようになっている。
【００５２】
また、図１に示されるように、駆動用振動子３０には、支持基板１１に固定された振動検出用固定電極８０が対向して配置されている。ここでは、振動検出用固定電極８０は、駆動用固定電極６０よりも外側の位置において、上下に２つずつ、合計４個備えられている。
【００５３】
そして、駆動用振動子３０と振動検出用固定電極８０とが対向する部位においては、たがいの対向面から相手側に向かって櫛歯状に突出する櫛歯部が、互いの櫛歯がかみ合うように設けられている。
【００５４】
各振動検出用固定電極８０は、枠部２０の近傍に設けられた振動検出用パッド８０ａに電気的に接続されている。そして、この振動検出用パッド８０ａを通して、振動検出用固定電極８０の電位が測れるようになっている。
【００５５】
なお、枠部２０は、上記振動子３０、４０を含む可動部２５および各固定電極６０、７０、８０を囲むように構成されているが、この枠部２０は、図示しないパッドなどを介して、ＧＮＤ電位に保持されるようになっている。このような構成により、本実施形態の角速度センサ１００が構成されている。
【００５６】
次に、本実施形態の角速度センサ１００の駆動方法について説明する。
【００５７】
本実施形態の角速度センサ１００は、駆動用固定電極６０が電気的に接続された駆動用パッド６０ａに対して所望の駆動電圧を印加することによって駆動される。
【００５８】
駆動電圧が駆動用パッド６０ａに印加されると、駆動電圧の交流成分の周期的な変動に伴って、駆動用固定電極６０と駆動用振動子３０の延設部３２との間に形成される容量による吸引力が発生する。これにより、駆動梁３５が撓み、駆動用振動子３０が第１の方向ｘに振動、すなわち駆動振動させられる。
【００５９】
このとき、この駆動振動に応じて振動検出用固定電極８０における櫛歯部と駆動用振動子３０における櫛歯部とのオーバラップ量が変動することから、これらによって形成される容量が変化する。
【００６０】
この容量変化を振動検出用固定電極８０が接続された振動検出用パッド８０ａの電位から測定することで、駆動振動の大きさをモニタリングすることが可能となる。このため、駆動振動の大きさが所望の値となるように、駆動振動の大きさに合わせて駆動電圧をフィードバック制御する。
【００６１】
この駆動振動が行われている状態において、方向ｘおよびｙと直交する回転軸ｚ回りの角速度Ωが入力されると、コリオリ力が発生し、検出梁４５のたわみにより、駆動用振動子３０および角速度検出用振動子４０を含む可動部２５全体が、第２の方向ｙに沿って検出振動を行う。
【００６２】
これにより、角速度検出用振動子４０に備えられた櫛歯部と角速度検出用固定電極７０に備えられた櫛歯部との間の間隔が変化し、これらによって形成される容量が変化する。そして、この容量の変化に伴って角速度検出用固定電極７０の電位が変化するため、この電位を測定することにより、角速度Ωを検出することが可能となる。
【００６３】
ところで、本実施形態によれば、支持基板１１と、支持基板１１に第１の方向ｘに振動可能に支持された駆動用振動子３０と、支持基板１１に第１の方向ｘとは直交する第２の方向ｙに振動可能に支持された角速度検出用振動子４０と、を備える角速度センサ１００において、次のような点を特徴としている。
【００６４】
・角速度検出用振動子４０は、第２の方向ｙに自由度を持つ検出梁４５を介して支持基板１１に連結されて支持されるとともに、第２の方向ｙへ沿って延びる形状をなしていること。
【００６５】
・駆動用振動子３０は、第１の方向ｘに自由度を持つ駆動梁３５を介して角速度検出用振動子４０に連結されて支持されていること。
【００６６】
・駆動用振動子３０の第１の方向ｘへの振動のもと軸ｚ回りに角速度Ωが印加されたときに、駆動用振動子３０に加わるコリオリ力によって角速度検出用振動子４０が第２の方向ｙへ振動し、この角速度検出用振動子４０の振動に基づいて角速度Ωの検出を行うようにしていること。
【００６７】
・角速度検出用振動子４０における第２の方向ｙに沿った長さＬと第１の方向ｘに沿った幅Ｗとの比（Ｗ／Ｌ）が、０．１以上であること。本実施形態は、これらの点を特徴としている。
【００６８】
上記した比（Ｗ／Ｌ）が、０．１以上であることの根拠について述べる。
【００６９】
上述したように、角速度検出用振動子４０が第２の方向ｙへ沿って延びる形状をなしている場合、この角速度検出用振動子４０に対して駆動用振動子３０からの振動が伝わり、角速度検出用振動子４０は、その幅方向すなわち第１の方向ｘに沿ってたわむ可能性がある。
【００７０】
角速度検出用振動子４０が第１の方向ｘにたわむと、それに伴い、角速度検出用振動子４０は第２の方向ｙへも変形する。すると、角速度検出用振動子４０と角速度検出用固定電極７０との間の第２の方向ｙに沿った距離（間隔）が変わるため、両者４０、７０間の容量変化が生じ、本来検出すべき角速度成分以外の成分も検出してしまい、出力誤差につながる。
【００７１】
角速度検出用振動子４０の第１の方向ｘに沿ったたわみを抑制し、それに伴う角速度検出用振動子４０の第２の方向ｙへの変位を抑制するためには、角速度検出用振動子４０の第１の方向ｘに沿った幅Ｗを大きくし、同方向ｘへの剛性を大きくしてやればよいと考えられる。
【００７２】
しかし、単純に幅を長くするといっても、角速度検出用振動子４０の長さＬも考慮した上で、幅Ｗを大きくしなければ、角速度検出用振動子４０の第１の方向ｘへの剛性は大きくならない。
【００７３】
そこで、角速度検出用振動子４０の第１の方向ｘへの剛性のパラメータとして、角速度検出用振動子４０における第２の方向ｙに沿った長さＬと第１の方向ｘに沿った幅Ｗとの比（Ｗ／Ｌ）を採用することとした（図１参照）。
【００７４】
そして、ＦＥＭ（有限要素法）解析を行い、駆動振動における、この比（Ｗ／Ｌ）と、角速度検出用振動子４０の第２の方向ｙへの変位との関係を調べた。この解析において、駆動振動については、たとえば、駆動用振動子３０の第１の方向ｘへの駆動振動の周期は数ｋＨｚ程度にすることができる。
【００７５】
図３は、このＦＥＭ解析による駆動振動における比（Ｗ／Ｌ）と、角速度検出用振動子４０の第２の方向ｙへの変位（すなわちｙ方向変位）との関係を調査した結果を示す図である。図３では、比（Ｗ／Ｌ）をｘで表して横軸にとり、ｙ方向変位量を単位をｍｍとしてＹで表して縦軸にとっている。
【００７６】
図３に示されるように、本実施形態の角速度センサ１００においては、比ｘと変位量Ｙとが、次の数式３にて示される関係を満足している。
【００７７】
（数３）
Ｙ＝０．０１４８ｘ4−０．００７６ｘ3＋０．００１５ｘ2−０．０００１ｘ＋６×１０-6
そして、本発明者の検討によれば、変位量Ｙは、５×１０-7〜６×１０-7ｍｍ程度よりも小さければ、角速度検出用振動子４０と角速度検出用固定電極７０との間の容量変化が問題ない程度まで小さいものになる。
【００７８】
そこで、図３に示されるように、比（Ｗ／Ｌ）が、０．１以上であれば、駆動用振動子３０の駆動振動による角速度検出用振動子４０の第２の方向ｙへのたわみ量Ｙを、実用上問題ない程度まで小さくすることができる。
【００７９】
以上述べてきたように、本実施形態によれば、互いに直交する方向ｘ、ｙに振動可能なように支持基板１１に支持された駆動用振動子３０および角速度検出用振動子４０を備える角速度センサ１００において、駆動用振動子３０の駆動振動によって角速度検出用振動子４０がたわみ、出力誤差を発生することを極力防止できる。
【００８０】
（他の実施形態）
なお、上記図１に示される角速度センサは、本発明の角速度センサの一実施形態を示すものであり、これに限定されるものではない。
【００８１】
要するに、本発明は、互いに直交する方向に振動可能なように支持基板に支持された駆動用振動子および角速度検出用振動子を備え、支持基板には検出梁を介して角速度検出用振動子が連結され、さらに角速度検出用振動子には駆動梁を介して駆動用振動子が連結されており、且つ、角速度検出用振動子がその振動方向に沿って延びる形状を有する角速度センサならば、適用可能である。
【００８２】
そして、本発明は、そのような角速度センサにおいて、上記比（Ｗ／Ｌ）を０．１以上としたことを要部とするものであり、その他の部分については、適宜設計変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の実施形態に係る容量型の角速度センサの模式的な平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。
【図３】比（Ｗ／Ｌ）に相当する比ｘと角速度検出用振動子のｙ方向変位Ｙとの関係を示す図である。
【図４】本発明者の試作品としての角速度センサの概略平面構成を示す図である。
【符号の説明】
【００８４】
１１…支持基板、３０…駆動用振動子、３５…駆動梁、
４０…角速度検出用振動子、４５…検出梁、
Ｌ…角速度検出用振動子における第２の方向に沿った長さ、
Ｗ…角速度検出用振動子における第１の方向に沿った幅、
ｘ…第１の方向、ｙ…第２の方向、ｚ…角速度の回転軸。
【図１】
2006071477.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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