(57)【要約】【課題】  光学装置において、ケーブルにより移動ステージの運動性を損なわない光学特性測定装置を提供すること。【解決手段】  光学特性測定装置２は、ウエハステージＷＳＴに配置され露光装置の光学系の波面収差を測定する波面収差計測ユニット３５と、ウエハステージＷＳＴの動作に合わせて波面収差計測ユニット３５に接続されるケーブル４の動作を制御するケーブル制御装置とを備え、ウエハステージＷＳＴが移動しても、ケーブル４がその運動性が損なうことがない。【選択図】  図３
2006135180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系の光学特性を測定する光学特性測定装置において、
移動ステージに配置され、前記光学系の光学特性を測定する測定ユニットと、
前記移動ステージの動作に合わせて前記測定ユニットに接続されるケーブルの動作を制御するケーブル制御装置と
を備えた光学特性測定装置。
【請求項２】
前記光学特性測定装置が測定する光学系は露光装置の光学系であり、前記移動ステージが、露光装置のウエハステージ若しくはレチクルステージであることを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定装置。
【請求項３】
前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージ外に固定されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学特性測定装置。
【請求項４】
前記光学特性測定装置は、波面計測機能、偏光計測機能、照明形状計測機能、レンズ開口形状計測機能、照明照度計測機能の少なくとも１つの機能を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の光学特性測定装置。
【請求項５】
前記光学特性測定装置は、前記露光装置から着脱可能に構成されたことを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれか１項に記載の光学特性測定装置。
【請求項６】
前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージの移動制御の指示値に基づいて前記ケーブルの制御を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の光学特性測定装置。
【請求項７】
前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージの移動を測定した測定値に基づいて前記ケーブルの制御を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の光学特性測定装置。
【請求項８】
前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージの動作に合わせて前記ケーブルの必要長さを調整するケーブル長さ調整手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の光学特性測定装置。
【請求項９】
前記ケーブル長さ調整手段は、前記移動ステージの動作に合わせて、当該ケーブルを繰り出し若しくは引き込むことで長さを調整することを特徴とする請求項８に記載の光学特性測定装置。
【請求項１０】
前記ケーブル制御装置は、前記ケーブルに張力を与えることで自動巻取りを行い、前記移動ステージの動作に合わせて前記移動ステージが前記ケーブルの固定点から遠ざかるときには張力を小さくし、前記移動ステージが前記ケーブルの固定点に近づくときには張力を大きくすることで前記ケーブルの動作を制御するケーブル張力調整手段を備えたことを特徴とする請求項８に記載の光学特性測定装置。
【請求項１１】
前記ケーブル長さ調整手段は、前記ステージの位置に合わせて前記ケーブルの繰り出し若しくは引き込み方向を変更する首振り機構を備えたことを特徴とする請求項８乃至請求項１０のいずれか１項に記載の光学特性測定装置。
【請求項１２】
前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージの動作に合わせて剛性を備えたアームの動作を制御して前記ケーブルを目標位置に案内することを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の光学特性測定装置。
【請求項１３】
前記アームは、伸縮可能な本体を備え、当該本体に前記ケーブルを内蔵したことを特徴とする請求項１２に記載の光学特性測定装置。
【請求項１４】
前記アームは、屈曲可能な関節を備えたロボットアームとして構成されたことを特徴とする請求項１２に記載の光学特性測定装置。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１４のいずれか１項に記載の光学特性測定装置を用いて光学系の光学特性を測定することを特徴とする光学特性測定方法。
【請求項１６】
レチクルステージ上のマスク上に形成されたパターンの像を投影光学系を介してウエハステージ上の基板上に露光する露光装置において、
請求項１乃至請求項１４のいずれか１項に記載の光学特性測定装置を備えて構成されたことを特徴とする露光装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の露光装置を用いて、前記光学特性測定装置により測定した光学系の光学特性に基づいて露光することを特徴とする露光方法。
【請求項１８】
リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、前記リソグラフィ工程で請求項１６に記載の露光装置を用いて露光を行うことを特徴とするデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学特性測定装置、光学特性測定方法、露光装置、露光方法、及びデバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、露光装置を用い、デバイスの製造が行われている。例えば、この露光装置では、パターンが形成されたレチクルやフォトマスクを走査方向に移動可能なステージに載置し、レチクルやフォトマスクに照明光学系から露光光を照射する。そして、そのパターンを投影光学系によりＸＹ方向に移動可能なステージに載置されたウエハ、ガラスプレート等の基板に投影する。このとき、レチクルステージとウエハステージの両方を同期させて走査することで半導体素子、液晶表示素子、撮像素子、薄膜磁気ヘッド等のデバイスを製造する。
【０００３】
ところで、近年半導体デバイス等のさらなる高密度化が進み、それに伴い、露光装置で製造する回路パターンの微細化も要求されている。このような半導体デバイスの高密度化が進むと、露光装置の露光精度が、半導体デバイスの精度に対して影響が大きくなってくる。このような露光装置では、例えば、波面計測機能を有する測定装置によって光学特性が入念に調整される。この測定装置は、レチクルやウエハが載置されるステージに取り付けられる。
【０００４】
その一方で、液晶表示デバイスなど大きなサイズのデバイスを生産するケースや、直径３００ｍｍクラスの大きなウエハに多数の半導体デバイスを生産するケースが増えているが、この場合、生産性を高めるためには、ウエハステージをより高速で移動させる必要が生じる。そのため、通常動作時のステージの運動特性を最大限に高めるために、通常使用しない機構、特に測定装置を着脱可能にし、１グラム単位で慣性質量を低減しステージ性能を高める努力がされてきた。例えば、特許文献１には、ウエハステージに形成された凹部に投影光学系の波面収差を検出するための波面収差を計測するセンサ部分である計測ユニットが着脱自在に装着される構成が記載されている。
【特許文献１】国際公開第ＷＯ９９／６０３６１号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、計測ユニットには、計測ユニット自身を作動させるための電力ケーブルや、計測結果を出力するための出力ケーブル等が取り付けられている。これら各ケーブルは、ウエハステージの最大可動範囲を考慮した長さが必要であり、その質量はしばしばキログラムオーダーになる。そのため、計測ユニットを装着したステージを移動させる場合、計測ユニットの質量だけでなく、各ケーブルの質量によって、ステージの運動性を悪化させる可能性があった。
【０００６】
また、近年の露光装置では、ステージ周りには種々の補機類が取り付けられており、ケーブルを引き回すスペースも十分に確保できない。このような状況において、ウエハステージの最大可動範囲を考慮した長さをもつケーブルが存在すると、ステージを移動させた場合、ケーブルが周りの補機類に接触する可能性もある。
【０００７】
なお、測定装置に掃除機の電源コードのような、一定の張力を掛けた巻取り機構を取り付けることも考えられるが、安定した巻取りを行うためには大きな張力が必要で、やはりステージの運動性を悪化させるという問題があった。
【０００８】
本発明は、移動ステージに配置される光学特性測定装置において、ケーブルにより移動ステージの運動性を損なわない光学特性測定装置を提供することにある。
また、本発明のその他の目的は、この光学特性測定装置を用いて光学特性を測定する光学特性測定方法、光学特性測定装置を備えた露光装置、この露光装置を用いた露光方法及びデバイスの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に係る光学特性測定装置では、光学系の光学特性を測定する光学特性測定装置において、移動ステージに配置され、前記光学系の光学特性を測定する測定ユニットと、前記移動ステージの動作に合わせて前記測定ユニットに接続されるケーブルの動作を制御するケーブル制御装置とを備えたことを要旨とする。
【００１０】
この構成の光学特性測定装置では、移動ステージの動作に合わせて測定ユニットに接続されるケーブルの動作を制御するため、ケーブルの存在が移動ステージの移動を妨げることがない。そのため、移動ステージを正確な位置に移動することができるという効果がある。
【００１１】
請求項２に係る光学特性測定装置では、請求項１に記載の光学特性測定装置において、前記光学特性測定装置が測定する光学系は露光装置の光学系であり、前記移動ステージが、露光装置のウエハステージ若しくはレチクルステージであることを要旨とする。
【００１２】
この構成の光学特性測定装置では、特に光学的な条件の厳しい露光装置においてウエハステージ若しくはレチクルステージに配置された測定ユニットに接続されたケーブルの制御を行うため、ケーブルの存在に拘わらず正確な露光を行うことができるという効果がある。
【００１３】
請求項３に係る光学特性測定装置では、請求項１又は請求項２に記載の光学特性測定装置において、前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージ外に固定されていることを要旨とする。
【００１４】
この構成の光学特性測定装置では、移動ステージ上には、一般的に比較的質量の小さい測定ユニットのみとし、比較的質量が大きなケーブル制御装置は、移動ステージ上に配置しない。さらに、ケーブルはケーブル制御装置により制御されているため、移動ステージは、ステージの運動性を悪化させることなく、正確な位置に移動することができるという効果がある。
【００１５】
請求項４に係る光学特性測定装置では、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の光学特性測定装置において、前記光学特性測定装置は、波面計測機能、偏光計測機能、照明形状計測機能、レンズ開口形状計測機能、照明照度計測機能の少なくとも１つの機能を備えたことを要旨とする。
【００１６】
波面計測機能、偏光計測機能、照明形状計測機能、レンズ開口形状計測機能、照明照度計測機能の少なくとも１つの機能を有した光学特性測定装置をステージ上に配置することで、光学系の測定精度を向上させるとともに、ケーブル制御装置により、移動ステージの移動を妨げることもないという効果がある。
【００１７】
請求項５に係る光学特性測定装置では、請求項２乃至請求項４のいずれか１項に記載の光学特性測定装置において、前記光学特性測定装置は、前記露光装置から着脱可能に構成されたことを要旨とする。
【００１８】
この構成の光学特性測定装置では、移動ステージから着脱自在に構成されているため、不要なときは外しておけるとともに、必要なとき、移動ステージ上に装着しても、ケーブルにより移動ステージの動きが損なわれたり、或いはケーブルが移動ステージの周囲に干渉したりすることがないという効果がある。
【００１９】
請求項６に係る光学特性測定装置では、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の光学特性測定装置において、前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージの移動制御の指示値に基づいて前記ケーブルの制御を行うことを要旨とする。
【００２０】
この構成の光学特性測定装置では、移動制御の指示値に基づいてケーブルの制御を行うため、制御の遅れがない、かつ適切な制御を行うことができるという効果がある。
請求項７に係る光学特性測定装置では、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の光学特性測定装置において、前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージの移動を測定した測定値に基づいて前記ケーブルの制御を行うことを要旨とする。
【００２１】
この構成の光学特性測定装置では、移動ステージの移動を測定した測定値に基づいてケーブルの制御をおこなうため、実際の移動ステージの動きに合わせてケーブルの制御を行うことができるという効果がある。
【００２２】
請求項８に係る光学特性測定装置では、請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の光学特性測定装置において、前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージの動作に合わせて前記ケーブルの必要長さを調整するケーブル長さ調整手段を備えたことを要旨とする。
【００２３】
この構成の光学特性測定装置においては、移動ステージの動作に合わせてケーブルの必要長さを調整するため、ケーブルに不要な張力が掛ったり、ケーブルが不要に緩んだりすることがないという効果がある。
【００２４】
請求項９に係る光学特性測定装置では、請求項８に記載の光学特性測定装置において、前記ケーブル長さ調整手段は、前記移動ステージの動作に合わせて、当該ケーブルを繰り出し若しくは引き込むことで長さを調整することを要旨とする。
【００２５】
この構成の光学特性測定装置では、移動ステージの動作に合わせてでケーブルの繰り出し若しくは引き込みを能動的に行い、移動ステージに不要な張力が掛らないようにケーブルの長さを調整することができるという効果がある。
【００２６】
請求項１０に係る光学特性測定装置では、請求項８に記載の光学特性測定装置において、前記ケーブル制御装置は、前記ケーブルに張力を与えることで自動巻取りを行い、前記移動ステージの動作に合わせて前記移動ステージが前記ケーブルの固定点から遠ざかるときには張力を小さくし、前記移動ステージが前記ケーブルの固定点に近づくときには張力を大きくすることで前記ケーブルの動作を制御するケーブル張力調整手段を備えたことを要旨とする。
【００２７】
この構成の光学特性測定装置では、移動ステージの移動に合わせてケーブルに与える張力の強弱を調整するため、ケーブルに掛る力を一定にすることができ、移動ステージの移動を安定化させるという効果がある。
【００２８】
請求項１１に係る光学特性測定装置では、請求項８乃至請求項１０のいずれか１項に記載の光学特性測定装置において、前記ケーブル長さ調整手段は、前記ステージの位置に合わせて前記ケーブルの繰り出し若しくは引き込み方向を変更する首振り機構を備えたことを要旨とする。
【００２９】
この構成の光学特性測定装置では、ステージの位置に合わせてケーブルの繰り出し若しくは引き込み方向を変更する首振り機構を備えるため、ケーブルの繰り出し若しくは引出しをより円滑に行うことができるという効果がある。
【００３０】
請求項１２に係る光学特性測定装置では、請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の光学特性測定装置において、前記ケーブル制御装置は、前記移動ステージの動作に合わせて剛性を備えたアームの動作を制御して前記ケーブルを目標位置に案内することを要旨とする。
【００３１】
この構成の光学特性測定装置では、剛性を備えたアームがケーブルを目標位置に案内するため、ケーブルの質量をアームが支えることができ、移動ステージに掛る力を小さくすることができるという効果がある。
【００３２】
請求項１３に係る光学特性測定装置では、請求項１２に記載の光学特性測定装置において、前記アームは、伸縮可能な本体を備え、当該本体に前記ケーブルを内蔵したことを要旨とする。
【００３３】
この構成の光学特性測定装置では、ケーブルを伸縮可能な本体内に内蔵したため、ケーブルを外部に露出することなく、移動ステージが移動しても周囲にケーブルが干渉するようなことがないという効果がある。
【００３４】
請求項１４に係る光学特性測定装置では、請求項１２に記載の光学特性測定装置において、前記アームは、屈曲可能な関節を備えたロボットアームとして構成されたことを要旨とする。
【００３５】
この構成の光学特性測定装置では、アームが屈曲可能な間接を備えたロボットアームとして構成されているため、ケーブルを伸縮させないで案内することができるという効果がある。
【００３６】
請求項１５に係る光学特性測定方法では、請求項１乃至請求項１４のいずれか１項に記載の光学特性測定装置を用いて光学系の光学特性を測定することを要旨とする。
この構成の光学特性測定装置では、移動ステージ上で正確な測定ができるとともに、移動ステージの移動によってもケーブルの動作が制御されているため、ケーブルにより測定に悪影響が出ないという効果がある。
【００３７】
請求項１６に係る露光装置では、レチクルステージ上のマスク上に形成されたパターンの像を投影光学系を介してウエハステージ上の基板上に露光する露光装置において、請求項１乃至請求項１４のいずれか１項に記載の光学特性測定装置を備えて構成されたことを要旨とする。
【００３８】
この構成の露光装置では、正確な測定に基づき精度の高い露光を行うことができるという効果がある。
請求項１７に係る露光方法では、請求項１６に記載の露光装置を用いて、前記光学特性測定装置により測定した光学系の光学特性に基づいて露光することを要旨とする。
【００３９】
この構成の露光方法では、正確な測定に基づき精度の高い露光を行うことができるという効果がある。
請求項１８に係るデバイスの製造方法では、リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、前記リソグラフィ工程で請求項１６に記載の露光装置を用いて露光を行うことを要旨とする。
【００４０】
この構成のデバイスの製造方法では、正確な測定に基づき精度の高い露光を行うことができ、高品質なデバイスを製造できるという効果がある。
【発明の効果】
【００４１】
本発明によれば、光学特性を測定する光学特性測定装置において、ケーブルにより移動ステージの運動性を損なわないという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
（第１実施形態）以下に、本発明を半導体素子製造用の走査露光が可能な走査露光型の露光装置１において、波面収差を計測する光学特性測定装置２として具体化した一実施形態について図１〜図３に基づいて説明する。
【００４３】
図１は、露光装置１の概略構成について説明する図である。以下、図１に沿って、露光装置１の構成について説明する。
まず、露光装置１の照明光学系１７について説明する。露光光源１１は、露光光ＥＬとして、例えばＫｒＦエキシマレーザ光、ＡｒＦエキシマレーザ光、Ｆ2 エキシマレーザ光等のパルス光を出射する。露光光ＥＬはオプティカルインテグレータとして、例えば多数のレンズエレメントからなるフライアイレンズ１２に入射し、そのフライアイレンズ１２の出射面上にはそれぞれのレンズエレメントに対応した多数の２次光源像が形成される。なお、オプティカルインテグレータとしては、ロッドレンズであってもよい。フライアイレンズ１２から射出した露光光ＥＬは、リレーレンズ１３ａ、１３ｂ、レチクルブラインド１４、ミラー１５、コンデンサレンズ１６を介して半導体素子等の回路パターン等が描かれ、レチクルステージＲＳＴ上に載置されたマスクとしてのレチクルＲに入射する。
【００４４】
ここで、フライアイレンズ１２、リレーレンズ１３ａ、１３ｂ、ミラー１５、コンデンサレンズ１６の合成系は、２次光源像をレチクルＲ上で重畳させ、レチクルＲを均一な照度で照明する照明光学系１７を構成している。レチクルブラインド１４は、その遮光面がレチクルＲのパターン領域と共役な関係をなすように配置されている。そのレチクルブラインド１４は、レチクルブラインド駆動部１４ａにより開閉可能な複数枚の可動遮光部（例えば２枚のＬ字型の可動遮光部）からなっている。そして、それらの可動遮光部により形成される開口部の大きさ（スリット幅等）を調整することにより、レチクルＲを照明する照明領域を任意に設定するようになっている。
【００４５】
次に、レチクルステージＲＳＴについて説明する。レチクルステージＲＳＴは、露光装置１の定盤上（不図示）に配置され、露光光ＥＬの光軸ＡＸに垂直な平面内においてレチクルＲを２次元方向に微動可能に保持している。また、レチクルステージＲＳＴは、リニアモータ等で構成されたレチクルステージ駆動部１９により所定の方向（走査方向（Ｙ方向））に移動可能となっている。レチクルステージＲＳＴは、レチクルＲの全面が少なくとも露光光ＥＬの光軸ＡＸを横切ることができるだけの移動ストロークを有している。なお、図１においては、後述する投影光学系ＰＬの光軸に沿う方向をＺ方向、投影光学系ＰＬの光軸及び紙面と直交する方向をＸ方向、投影光学系ＰＬの光軸に直交し紙面に沿う方向をＹ方向とする。
【００４６】
移動するレチクルステージＲＳＴを支える定盤には、Ｙ軸方向の距離を測定するＹ軸干渉計２０及びＸ軸方向の距離を測定するＸ軸干渉計（不図示）が配置されている。また、このＹ軸干渉計２０からのレーザビームを反射するＹ軸移動鏡２１及びＸ軸干渉計からのレーザビームを反射するＸ軸移動鏡（不図示）がレチクルステージＲＳＴの端部に固定されている。このＹ軸干渉計２０によって、レチクルステージＲＳＴの走査方向の位置が常時検出され、また、Ｘ軸干渉計によって、走査方向と直交する方向のレチクルステージＲＳＴの位置が常時検出され、その位置情報はレチクルステージ制御部２２に送られる。レチクルステージ制御部２２は、レチクルステージＲＳＴの位置情報に基づいてレチクルステージ駆動部１９を制御し、レチクルステージＲＳＴを移動させる。
【００４７】
次に、投影光学系ＰＬについて説明する。レチクルＲを通過した露光光ＥＬは、例えば両側テレセントリックな投影光学系ＰＬに入射する。投影光学系ＰＬは、そのレチクルＲ上の回路パターンを例えば１／５あるいは１／４に縮小した投影像を、表面に露光光ＥＬに対して感光性を有するフォトレジストが塗布された基板としてのウエハＷ上に形成する。
【００４８】
続いて、ウエハステージＷＳＴについて説明する。ウエハＷは、バキューム装置を備えたウエハホルダ２５を介してウエハステージＷＳＴ上に吸着保持されている。なお、シリコンウエハに限らずガラス基板等を保持することも可能である。ウエハホルダ２５は図示しない駆動部により、投影光学系ＰＬの最適結像面に対し、任意方向に傾斜可能で、かつ投影光学系ＰＬの光軸ＡＸ方向（Ｚ方向）、光軸ＡＸ（Ｚ軸）周りの回転が微動可能になっている。ウエハステージＷＳＴは、モータ等のウエハステージ駆動部２６により、走査方向（Ｙ方向）の移動のみならず、ウエハ上に区画された複数のショット領域に対し任意に移動できるように走査方向に垂直な方向（Ｘ方向）にも移動可能に構成されている。つまりウエハステージＷＳＴは、６自由度が与えられ、ウエハＷを結像面に精密に導入できる。そして、ウエハＷ上の各ショット領域毎に一括露光を繰り返すステップ・アンド・リピート動作と、走査露光を繰り返すステップ・アンド・スキャン動作とが可能になっている。
【００４９】
移動するウエハステージＷＳＴ外の定盤２３には、Ｘ方向の距離を測定するＸ軸干渉計２７ｘと、Ｙ軸方向の距離を測定するＹ軸干渉計２７ｙ（図３参照）とからなる干渉計２７が配置されている。また、これらの干渉計からのレーザビームをそれぞれ反射するＸ軸移動鏡２８ｘとＹ軸移動鏡２８ｙ（図３参照）とからなる移動鏡２８が移動するウエハステージＷＳＴに端部にそれぞれ固定されている。そして、ウエハステージＷＳＴのＸ方向及びＹ方向の位置は干渉計２７によって常時検出される。ウエハステージＷＳＴの位置情報（または速度情報）はウエハステージ制御部２９に送られ、ウエハステージ制御部２９はこの位置情報（または速度情報）に基づいてウエハステージ駆動部２６を制御する。
【００５０】
ウエハステージＷＳＴ上には、光学特性の測定ユニットが設けられる。本発明の測定ユニットには、例えば、波面計測機能の機能を備えた光学特性測定装置が考えられる。ここで本実施形態では、波面収差を測定する波面収差測定装置を例に挙げて測定ユニットの説明する。また、本発明の移動ステージは、ウエハステージＷＳＴに限らず、レチクルステージＲＳＴも含まれる。なお、本実施形態では、代表してウエハステージＷＳＴにより移動ステージを説明する。
【００５１】
取付凹部３４には、本実施形態の光学特性測定装置２として投影光学系ＰＬの波面収差を検出するための波面収差計測ユニット３５が着脱可能に装着されている。この波面収差計測ユニット３５は、受光面３６の高さがウエハＷの表面の高さとほぼ一致するように配置されている。そのため計測動作時には、ウエハＷ表面と略同じ条件で波面収差の計測が正確にできるように構成されている。計測を終了して露光動作時に移行するときに波面収差計測ユニット３５を外した場合は、その配線に用いるケーブルなどはウエハステージＷＳＴには残留させず、慣性質量の低減を図っている。
【００５２】
図２に示すように、波面収差計測ユニット３５の内部には、コリメータレンズ３７と、マイクロレンズアレイ３８と、撮像素子であるＣＣＤ３９とが設けられている。コリメータレンズ３７は、受光面３６から波面収差計測ユニット３５内に入射する光束を平行光ＰＢに変換するものである。マイクロレンズアレイ３８は、マイクロレンズが２次元的に配列され、平行光ＰＢを複数の光束に分割し、その分割された光束を各レンズ毎に集光させるものである。ＣＣＤ３９は、受光面３６を通過するすべての光束を受光するのに十分な面積を有しており、各レンズ毎の集光ポイントの位置（結像位置）を検出するものである。そして、このＣＣＤ３９は、受光した各集光ポイントの位置に関する信号を波面収差検出部４０に対して出力する。
【００５３】
この波面収差検出部４０は、入力された各集光ポイントの位置の情報に基づいて投影光学系ＰＬの波面収差を算出し、算出された波面収差に関する情報を露光装置全体の動作を制御する主制御系４１に出力する。このように、波面収差計測ユニット３５と波面収差検出部４０とにより計測手段が構成されている。
【００５４】
波面収差計測ユニット３５と、波面収差検出部４０とは、ケーブル４及び、ケーブル制御装置３を介して接続されている。ここで、このケーブル４について詳細に説明する。ＣＣＤ３９が受光した光の強度に応じて、電気信号がＣＣＤ３９から送出される。この電気信号は、一旦、ウエハステージＷＳＴ上に配置された中継部４ｃまで、内部ケーブル４ａにより伝達される。ここで、内部ケーブル４ａが中継部４ｃに機械的に固定される。この内部ケーブル４ａは、ここで外部ケーブル４ｂに接続される。なお、ステージ上の測定ユニットの種類によっては、電気ケーブル以外の光ケーブルとしてもよく、また、測定ユニットの動作に必要な電源、気体、液体などの供給をするような構成としてもよい。
【００５５】
ここで、図３は、第１実施形態の光学特性測定装置２の構成を模式的に示す斜視図である。本実施形態の光学特性測定装置２は、前述の波面収差計測ユニット３５と、ケーブル制御装置３とを備えて構成される。ケーブル制御装置３は、ケーブル４ｂを巻き取る巻き取りリール５４と、巻き取りリール５４を回転させるモータ５５と、これらを水平面内で回動する回転台５６を備え、移動するウエハステージＷＳＴ外の固定部分である定盤２３上に設置されている。
【００５６】
ケーブル巻き取りリール５４は、ケーブル長さ調整手段としてケーブル４ｂを巻き取り可能なリール状に形成され、ケーブル４ｂの端部が電気的に接続されるとともに、機械的に固定されている。ケーブル巻き取りリール５４は、モータ５５を備え、ケーブル４ｂを巻取り若しくは引き出すように正逆回転が可能に構成される。なお、図示しないケーブル整列用のガイドや、ケーブル張力調整手段として僅かなテンションを掛けて大きな緩みができないテンショナーを備えた構成が好ましい。
【００５７】
また、例えば、ケーブル４ｂにスケールを記し、これを読み取るリニアエンコーダ、ケーブル４ｂに接したローラの回転でケーブル４ｂの引出し状態が検出されるロータリーエンコーダなどにより、ケーブル４ｂの引出し量が、光学的、磁気的、機械的に正確に検出できるものが望ましい。また、高い精度が要求されないような場合であればケーブル巻き取りリール５４、若しくはモータ５５自体の回転により、簡易にケーブル４ｂの引出し量を検出するようなロータリーエンコーダを備えた構成でもよい。
【００５８】
回転台５６は、巻き取りリール５４が鉛直軸を中心に回動できるように、巻き取りリール５４を支持している。この回動は、後述するように、主制御系４１、ケーブル制御部５７により、制御された方向に内蔵されたモータ（図示せず）により、能動的に正確に波面収差計測ユニット３５の方向に巻き取りリール５４の向きを向ける。ただし、要求される精度によっては、一端が波面収差計測ユニット３５に接続されたケーブル４ｂにより引き回されて、受動的に向きを変えるものであってもよい。
【００５９】
巻き取りリール５４に接続されたケーブル４ｂは、巻き取りリール５４を介してさらに主制御系４１に接続されて、波面収差計測ユニット３５のＣＣＤ３９（図２参照）からの電気信号を主制御系４１に送信する。
【００６０】
また、ウエハステージＷＳＴのＸ方向及びＹ方向の位置は干渉計２７によって常時検出され（図２）、ウエハステージＷＳＴの位置情報（または速度情報）はウエハステージ制御部２９を介して、主制御系４１に送信されている。一方、ケーブル制御装置３からも、エンコーダ等により検出されたケーブル４ｂの状態が主制御系４１に入力されている。このウエハステージＷＳＴの位置情報及びエンコーダの検出結果に基づいて、ケーブル制御装置３に対する中継部４ｃの位置情報が求められる。
【００６１】
主制御系４１は、波面収差計測ユニット３５、さらに詳しくは、中継部４ｃの位置情報に基づいて、ケーブル制御装置３から、中継部４ｃまでの距離と方向を演算する。そして、ケーブル制御装置３がどの方向にどれだけケーブルを繰り出すかを演算し、その結果に従って、ケーブル駆動部５８に駆動信号を送出するように制御信号を送信する。そして、ケーブル駆動部５８は、モータ５５及び回転台５６のモータに駆動信号を送出し、ケーブル４の引出し量あるいは巻き取り量を制御する。
【００６２】
このようにケーブル制御装置３を制御することで、ケーブル４は、常に必要分だけ引き出され、或いは巻き取られる。このように、ウエハステージＷＳＴの動作に合わせてケーブル４の必要長さを調整するため、ケーブルに不要な張力が掛ったり、ケーブルが不要に緩んだりすることがない。
【００６３】
なお、主制御系４１は、ウエハステージＷＳＴの移動に対するシーケンシャルな情報を記憶しているため、ケーブル制御装置３によるケーブルの制御も、さらに、移動方向反転時などには巻き取りリール５４の慣性などを考慮した制御とすることが望ましい。例えば、波面収差計測ユニット３５が最接近してから、再び離間していくような場合、巻き取りリール５４の反転が予想される。この場合、最接近するタイミングの前に巻き取りリール５４の巻き取り方向への駆動を停止し、巻き取りリール５４の慣性により停止するタイミングを波面収差計測ユニット３５の最接近時に同期させるような制御方法がある。
【００６４】
次に、投影光学系ＰＬの波面収差の測定方法について説明する。
まず、図１及び図２に示すように、レチクルステージＲＳＴ上にピンホールパターンとしての所定の径のピンホールＰＨが形成されたテストレチクルＲｔを載置する。次に、ウエハステージ駆動部２６により波面収差計測ユニット３５の受光面３６を投影光学系ＰＬの投影領域に対応させる。このときウエハステージＷＳＴとともに移動する波面収差計測ユニット３５の動きに合わせて、回転台５６が回転して巻き取りリール５４が波面収差計測ユニット３５の方に方向を合わせるとともに、巻き取りリール５４が、波面収差計測ユニット３５までの距離に合わせてモータ５５により回転され、ケーブル４の長さが調節される。このため、ケーブル４には僅かにたるみができる程度の張力が与えられ、無理な張力が掛ることなく、ケーブル４の自重を除けばウエハステージＷＳＴの移動を妨げるような力を生じさせることがない。また、必要以上の長さの余裕を生じさせないため、ケーブル４の大きな垂れ下がりなどの緩みを生じさせず、周囲にケーブル４が接触することもない。
【００６５】
この状態で、露光光源１１から測定用の露光光である計測光ＲＬを出射させ、リレーレンズ１３ａ、１３ｂ、ミラー３３、コンデンサレンズ１６を介してテストレチクルＲｔ上のピンホールＰＨに照射する。このピンホールＰＨを通過することにより、計測光ＲＬは球面波ＳＷを有する光に変換される。この球面波ＳＷを有する光は投影光学系ＰＬに入射し、その投影光学系ＰＬに収差が残存する場合には球面波ＳＷの波面ＷＦに歪みが生じる。
【００６６】
図２に示すように、投影光学系ＰＬから出射された球面波ＳＷを有する光は、波面収差計測ユニット３５の受光面３６に到達し、その波面収差計測ユニット３５の内部に入射する。波面収差計測ユニット３５の内部に入射した球面波ＳＷを有する光は、コリメータレンズ３７により平行光ＰＢに変換される。ここで、投影光学系ＰＬに収差が存在しない場合には、平行光ＰＢの波面ＷＦは平面となる。一方、投影光学系ＰＬに収差が存在する場合には、平行光ＰＢの波面ＷＦは歪んだ面となる。平行光ＰＢは、マイクロレンズアレイ３８により、複数の光束に分割されＣＣＤ３９上に集光される。ここで、投影光学系ＰＬに収差が存在しない場合には、平行光ＰＢの波面は平面であるため、平行光ＰＢが各レンズの光軸に沿って入射するため、各レンズ毎の集光スポットは、各レンズの光軸に存在することになる。これに対して、投影光学系ＰＬに収差が存在する場合には、平行光ＰＢの波面は歪んだ面となるため、各レンズに入射する平行光ＰＢは、各レンズ毎にそれぞれ異なる波面の傾きを有する。これに伴って、各レンズ毎の集光スポットは、波面の傾きに対する垂線上に存在し、収差の存在しない場合の集光スポットに対して横ずれすることになる。この横ずれした各集光スポットの位置をＣＣＤ３９にて検出する。
【００６７】
ついで、図１に示す波面収差検出部４０において、設計上予め与えられている投影光学系に収差がない場合の集光スポット位置と、投影光学系ＰＬを通過して集光されたＣＣＤ３９での集光スポット位置とを比較してその横ずれ量を求め、投影光学系ＰＬにおける波面収差を計測する。この場合、ウエハステージＷＳＴ上に保持された波面収差計測ユニット３５の受光面３６は、ウエハＷと同一平面上になるように配置されているので、理論上、実際にウエハＷに投影した場合と同様の波面収差が計測できることになる。
【００６８】
（第２実施形態）次に、本発明の光学特性測定装置の別の実施形態である光学特性測定装置１０２を図４を参照して説明する。なお、説明の重複を避けるため、第１の実施形態と異なる部分のみ説明し、同一若しくは均等な構成はその説明を省略し、若しくは同一の番号を付けて説明を省略する。
【００６９】
図４に示す光学特性測定装置１０２における、波面収差計測ユニット３５は、第１実施形態に示す基本的に同一であり、ケーブル制御装置１０３が第１実施形態と構成が異なる。巻き取りリール１５４は鉛直な軸を中心に回転するとともに、モータ１５５はこれを正逆回転可能に駆動する。回転台１５６は能動的に回転されてもよいが、本実施形態では、その必要性は低いため、ガイド１５７によりケーブル４を案内する。巻き取りリール１５４の制御は、第１実施形態と同様に、主制御系４１によりケーブル４の繰り出し距離が演算される。ケーブル制御装置１０３は、モータ１５５によりケーブル４に対して、所定の張力が付与される。そのため、波面収差計測ユニット３５までのケーブル４の長さが演算され、波面収差計測ユニット３５がケーブル制御装置３から離間するときには、モータ１５５からの付勢力を小さくし、ケーブル４が巻き取りリール１５４から繰り出されるのに抵抗しないようにし、ケーブル４の張力の上昇を防止し、張力が一定になるようにしている。一方、波面収差計測ユニット３５がケーブル制御装置３に近接するときには、モータ１５５からの付勢力を大きくし、ケーブル４が巻き取りリール１５４により巻き取られるのに抵抗しないようにし、ケーブル４の張力の上昇を防止し、張力が一定になるようにしている。このように、ケーブル制御部５７は、主制御系４１のウエハステージＷＳＴの移動制御のプログラムから事前に予測した移動するウエハステージＷＳＴの動作に合わせ、ウエハステージＷＳＴがケーブル４の一方の固定点であるケーブル制御装置３に相対的に遠ざかるときには張力を小さくする。一方、ウエハステージＷＳＴがケーブル制御装置３に相対的に近づくときには張力を大きくするように制御する。
【００７０】
このような制御を行うことで、ケーブル４に掛る張力を一定にして、特にケーブル４が引き出される場合のウエハステージＷＳＴの運動性を損なうことがない。また、不必要な撓みがなくなるため、ケーブル４が周囲に干渉することも効果的に防止できる。
【００７１】
なお、ケーブル４の繰り出しにウエハステージＷＳＴの動きを利用するため、第１実施形態と比較すると、比較的張力が大きくなるが、構成としては簡易な構成とすることができる。
【００７２】
（第３実施形態）
次に、本発明の光学特性測定装置の別の実施形態である光学特性測定装置２０２を、図５〜図７を参照して説明する。なお、説明の重複を避けるため、第１の実施形態と異なる部分のみ説明し、同一若しくは均等な構成はその説明を省略し、若しくは同一の番号を付けて説明を省略する。
【００７３】
光学特性測定装置２０２では、ウエハステージＷＳＴの動作に合わせてケーブル制御装置２０３の剛性を備えたガイドロッド２０４が、ケーブル制御部５７に動作を制御されてケーブル４を目標位置に案内する。
【００７４】
ガイドロッド２０４は、図６に示すように、径の異なる筒状の部材が、複数組み合わされ、相互に摺動し、図５に示すように全体の長さが可変となっている。ガイドロッド２０４の内部にはケーブル４が貫入されている。ガイドロッド２０４は、その基部をガイドロッド支持部２０５に支持され、ガイドロッド支持部２０５は、回転台２０６に固定される。回転台２０６は、鉛直な軸を中心に正逆回転が自在に構成され、内蔵されたモータ（不図示）により、ガイドロッド２０４先端方向が波面収差計測ユニット３５の方向に向くように主制御系４１、ケーブル制御部５７（図１参照）により制御されている。
【００７５】
ガイドロッド２０４先端からは可撓性を有するケーブル４が露出しており、ケーブル４は、波面収差計測ユニット３５に接続されている。なお、ケーブル４の先端部のみを、特に柔らかい素材として、ガイドロッド２０４からの力、振動がウエハステージＷＳＴに伝達されないようにすることが好ましい。また、このように構成することで、ガイドロッド２０４の位置制御がラフであっても、位置の誤差がケーブル４先端部で吸収されるため、ウエハステージＷＳＴの運動性を損なうことがない。
【００７６】
図７は、ガイドロッド支持部２０５の内部、ガイドロッド２０４先端部を示す長手方向に沿った要部断面図である。ガイドロッド支持部２０５は、内部に巻き取りリール２０７を備え、ケーブル４を巻き取り収納している。巻き取りリール２０７は、モータ２１０（図５参照）によりケーブル４の巻き取り、繰り出しが可能となっている。巻き取りリール２０７から引き出されたケーブル４は、複数のガイドローラ２０８に案内されるとともに、主制御系４１、ケーブル制御部５７（図１参照）により制御されているモータに駆動された送りローラ２０９により、演算された繰り出し量となるように巻き取りリール２０７への巻き取り、繰り出しの速度・量を正確に規制している。この繰り出し量は、ケーブル４にマークされたスケールが光学式のエンコーダ２１１により読みとられ、主制御系４１にフィードバックされる。ガイドロッド２０４の先端部はケーブル４に固定され、この繰り出し量が調整されたケーブル４により、ガイドロッド２０４は、伸縮し、ケーブル４の自重を支持する。ガイドロッド２０４先端から突出したケーブル４は、波面収差計測ユニット３５に直接（若しくは中継部（不図示）を介して）接続されるが、波面収差計測ユニット３５（若しくはウエハステージＷＳＴに設けられた中継部）に対して、ほとんど張力を与えず、且つケーブル４の自重を掛けることもない。従って、ウエハステージＷＳＴの運動性を何ら損なうことなくケーブル４をガイドすることができる。なお、剛性を有するガイドロッド２０４が波面収差計測ユニット３５（若しくは中継部）にガイドロッド２０４自体は接続されておらず、可撓性を有するケーブル４のみで接続されているため、ガイドロッド２０４自体の振動や位置誤差に起因する異常な張力を与えることがない。また、ケーブル４が剛性を有したガイドロッド２０４の外部に殆ど露出することがないため、ウエハステージＷＳＴが移動しても、ケーブル４が大きく振れることがなく、ウエハステージＷＳＴの周囲の露光装置の補機類などと干渉することがないという効果がある。さらに、補機類をウエハステージＷＳＴに近接して設けることができ、露光装置自体の設計をコンパクトにすることが可能となるという効果もある。
【００７７】
また、ガイドロッド２０４を金属製とすることでガイドロッド２０４自体を電気信号を伝達するために用いることもでき、さらにシールド効果によりノイズを防止することもできる。
【００７８】
（第４実施形態）次に、本発明の光学特性測定装置の別の実施形態である光学特性測定装置３０１を、図８、図９を参照して説明する。なお、説明の重複を避けるため、第３の実施形態と異なる部分のみ説明し、同一若しくは均等な構成はその説明を省略し、若しくは同一の番号を付けて説明を省略する。
【００７９】
第４実施形態では、第３実施形態とケーブル制御装置３０２のガイドロッド３０３の構成が異なる。本実施形態のガイドロッド３０３は、図８に示すように、巾及び高さの異なる断面コ字状の部材３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃが複数（例えば３本）相互に摺動可能に組み合わされ、基部から先端に向かって細くなるようにし全体の長さが可変となっている。部材３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃは、それぞれ案内部材３０４と被案内部材３０５により相互に摺動可能に案内され、かつ長手方向に変位が規制されている。これらは、摺動に限らず、ボール・ころによる転動、気体・液体による流体接触、磁気による無接触のものであってもよい。
【００８０】
図９は、ガイドロッド３０３の一部を平面視した図である。図９に示すようにガイドロッド３０３ｂの溝部３１０にはケーブル４が貫入されている。内側のガイドロッド３０３ｂの一側面には、リニアモータ３０６が配置され、その対面であるガイドロッド３０３ｃの内面には、リニアモータ３０６の軌道となるスケール３０７が長手方向に延設されている。また、ガイドロッド３０３ｂのリニアモータ３０６に隣接してリニアエンコーダ３０８が設けられ、スケール３０７にマークされた光学的な読取面を読みとって位置を認識するように構成されている。
【００８１】
このように構成されたガイドロッド３０３は、リニアモータ３０６が、主制御系４１、ケーブル制御部５７により、ウエハステージＷＳＴの移動制御に同期され、回転台２０６とともにその先端が波面収差計測ユニット３５に対して所定位置になるように図９の矢印方向にガイドロッド３０３を伸縮させる。
【００８２】
従って、第３実施形態と同様の効果に加え、リニアモータ３０６が剛性を備えたガイドロッド３０３を直接駆動するため、より高速に精度良くケーブル４をガイドすることができるという効果がある。
【００８３】
なお、図示しないがケーブル４に代えて、ガイドロッド３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃを相互に摺動接点で接続し、ガイドロッド３０３自体により電気信号を伝えるような構成でもよい。
【００８４】
（第５実施形態）次に、本発明の光学特性測定装置の別の実施形態である光学特性測定装置４０２を、図１０を参照して説明する。なお、説明の重複を避けるため、他の実施形態と異なる部分のみ説明し、同一若しくは均等な構成はその説明を省略し、若しくは同一の番号を付けて説明を省略する。
【００８５】
光学特性測定装置４０２では、ウエハステージＷＳＴの動作に合わせてケーブル制御装置４０３の剛性を備えたアーム４０４が、他の実施形態と同様、主制御系４１、ケーブル制御部５７（図１）に動作を制御されてケーブル４を目標位置にである波面収差計測ユニット３５に案内する。本実施形態では、アーム４０４が、第１の関節４０５を有したロボットアームとして構成されていることに特徴がある。
【００８６】
アーム４０４は、第１の関節４０５により屈折可能に構成され、また、その基部は、水平な軸を有する第２の関節４０６により支持され、さらに、第２の関節４０６は、垂直な軸を有する第３の関節４０７により定盤２３に固定されている。つまり、アーム４０４は、３つの関節を備えたロボットアームとして構成されている。ケーブル４は、アーム４０４の中に挿通される。アーム４０４は屈折するため、ケーブル４の長さ自体は変化しない。そのため、巻き取り機構は不要であり、電気的な構造を比較的に簡易にできるという効果がある。また、電気的な接触もないため、接触に起因するノイズの発生を防止できるという効果もある。また、アーム４０４が、剛性を備えたロボットアームであるので、高速な動作が可能になるという効果もある。
（第６実施形態）図１１は、第６実施形態の光学特性測定装置５０２のケーブル制御装置５０３を示す模式的な平面図である。アーム５０４を鉛直方向の軸で回転する第１の関節５０５と、同じく鉛直方向の軸で回転する第２の関節５０６との２つの関節により構成したロボットアームである。他の構成に関しては、第５実施形態と同様の構成である。
【００８７】
この構成であると、原則高さ方向の変位ができないが、ウエハステージＷＳＴのＺ方向の変位は僅かであるので、可撓性を備えるケーブル４の撓みに吸収させることができる。そのため、第５の実施形態の光学特性測定装置４０２の効果に加え、アーム５０４の高さ方向の作動範囲を最小にして、コンパクトな設計にすることができる。また、関節の数も少ないため、さらに構成を簡易にできるという効果がある。
【００８８】
次に、上記実施形態の露光装置１をリソグラフィ工程で使用したデバイスの製造方法の実施形態について説明する。
図１２は、デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体素子、液晶表示素子、撮像素子（ＣＣＤ等）、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造例のフローチャートを示す図である。図１２に示すように、まず、ステップＳ１０１（設計ステップ）において、デバイス（マイクロデバイス）の機能・性能設計（例えば、半導体デバイスの回路設計等）を行い、その機能を実現するためのパターン設計を行う。引き続き、ステップＳ１０２（マスク製作ステップ）において、設計した回路パターンを形成したマスク（レクチルＲｔ等）を製作する。一方、ステップＳ１０３（基板製造ステップ）において、シリコン、ガラスプレート等の材料を用いて基板（シリコン材料を用いた場合にはウエハＷとなる。）を製造する。
【００８９】
次に、ステップＳ１０４（基板処理ステップ）において、ステップＳ１０１〜Ｓ１０３で用意したマスクと基板を使用して、後述するように、リソグラフィ技術等によって基板上に実際の回路等を形成する。次いで、ステップＳ１０５（デバイス組立ステップ）において、ステップＳ１０４で処理された基板を用いてデバイス組立を行う。このステップＳ１０５には、ダイシング工程、ボンディング工程、及びパッケージング工程（チップ封入等）等の工程が必要に応じて含まれる。
【００９０】
最後に、ステップＳ１０６（検査ステップ）において、ステップＳ１０５で作製されたデバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経た後にデバイスが完成し、これが出荷される。
【００９１】
図１３は、半導体デバイスの場合における、図１２のステップＳ１０４の詳細なフローの一例を示す図である。図１３において、ステップＳ１１１（酸化ステップ）では、ウエハＷの表面を酸化させる。ステップＳ１１２（ＣＶＤステップ）では、ウエハＷ表面に絶縁膜を形成する。ステップＳ１１３（電極形成ステップ）では、ウエハＷ上に電極を蒸着によって形成する。ステップＳ１１４（イオン打込みステップ）では、ウエハＷにイオンを打ち込む。以上のステップＳ１１１〜Ｓ１１４のそれぞれは、ウエハ処理の各段階の前処理工程を構成しており、各段階において必要な処理に応じて選択されて実行される。
【００９２】
ウエハプロセスの各段階において、上述の前処理工程が終了すると、以下のようにして後処理工程が実行される。この後処理工程では、まず、ステップＳ１１５（レジスト形成ステップ）において、ウエハＷに感光剤を塗布する。引き続き、ステップＳ１１６（露光ステップ）において、先に説明したリソグラフィシステム（露光装置３１）によってマスク（レチクルＲｔ）の回路パターンをウエハＷ上に転写する。次に、ステップＳ１１７（現像ステップ）では露光されたウエハＷを現像し、ステップＳ１１８（エッチングステップ）において、レジストが残存している部分以外の部分の露出部材をエッチングにより取り去る。そして、ステップＳ１１９（レジスト除去ステップ）において、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
【００９３】
これらの前処理工程と後処理工程とを繰り返し行うことによって、ウエハＷ上に多重に回路パターンが形成される。
以上説明した本実施形態のデバイス製造方法を用いれば、露光工程（ステップＳ１１６）において上記の各実施形態で説明した光学特性測定装置を備えた露光装置１が用いられる。そのため、高精度に光学特性が測定されることにより、照明光学系１７、投影光学系ＰＬの調整精度を高めることより、より一層の解像力の向上が可能となり、しかも露光量制御を高精度に行うことができる。従って、結果的に最小線幅が狭い高集積度のデバイスを歩留まりよく生産することができる。
【００９４】
○  上記実施形態では、以下のように変更することができる。
○  実施形態では、露光装置を例に説明しているが、光学系の光学特性を測定する対象は、例えば、ウエハの検査装置など、他の光学装置であっても本発明の光学特性測定装置が好適に適用できる。
【００９５】
○  ケーブル制御装置は、移動ステージであるウエハステージＷＳＴの外の定盤２３に配置された例を説明しているが、その一部あるいは全部が移動ステージ上に配置されるものであってもよい。本実施形態では、光学特性測定装置として、波面計測機能を備えるものを例に挙げて説明したが、この計測機能に限られるものではない。例えば、露光光の偏光特性を計測する機能、光学系の瞳面の形状を計測する機能、光学系の瞳面における光量分布を計測する機能、光学系の開口数（Ｎ．Ａ）を計測する機能、光学系の像面上における照度分布を計測する機能を備えるものであってもよい。さらに、これらの機能を単独で備える光学特性測定装置を構成してもよいし、これらの機能のうち、複数の機能を備える光学特性測定装置を構成してもよい。
【００９６】
○  ケーブル４は、移動ステージから完全に分離するもののほか、その一部を移動ステージ上に残留させる構成であってもよい。この場合、ケーブルの一部をステージ内に配置したような構成も含まれる。また、中継部にコネクタを設けて、この中継部にケーブル４や測定ユニットを接続するような構成であってもよい。あるいは、中継部がケーブルを物理的に固定する機能のみのものとしてもよい。中継部は、移動ステージ上のほか、移動ステージの側面に設けられるものでもよい。
【００９７】
○  ケーブル４は、センサからの電気信号に限らず、流体、光をやりとりするものも含まれる。したがって、被覆線の他、チューブ状のものや、光ファイバー等で構成されていてもよい。また、全体が可撓性を備えなくても、硬質の材料と軟質の材料を組合わせたような態様、例えば、金属パイプとベローズの組合せのような構成でもよい。さらに、一部を無線、赤外線、超音波等で中継するような構成であってもよい。
【００９８】
○  本発明の測定ユニットは、例示したものに限定されず、これ以外の各種計測機能を有したものが含まれる。
○  アームとしてのガイドロッドを伸縮させるのにリニアモータを例に説明したが、回転モータをウオームギヤ、ラックアンドピニオンなどのギヤ機構で伸縮させたり、油圧、空気圧等で伸縮させるような構成でもよい。
【００９９】
○  以上、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で当業者が変更しあるいは改良して実施することができることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】露光装置１の概略構成について説明するブロック図。
【図２】波面収差計測ユニット３５における波面収差の計測を示す模式図。
【図３】第１実施形態の光学特性測定装置２の構成を模式的に示す斜視図。
【図４】第２実施形態の光学特性測定装置１０２の構成を模式的に示す斜視図。
【図５】第３実施形態の光学特性測定装置２０２の構成を模式的に示す斜視図。
【図６】第３実施形態の光学特性測定装置２０２におけるガイドロッド２０４を先端部からみた図。
【図７】第３実施形態の光学特性測定装置２０２におけるガイドロッド支持部２０５近傍の断面図。
【図８】第４実施形態の光学特性測定装置３０２におけるガイドロッド２０３を先端部からみた図。
【図９】第４実施形態の光学特性測定装置３０２におけるガイドロッド２０３の接続構成をしめす部分平面図。
【図１０】第５実施形態の光学特性測定装置４０２の構成を模式的に示す斜視図。
【図１１】第６実施形態の光学特性測定装置５０２の構成を模式的に示す平面図。
【図１２】デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体素子、液晶表示素子、撮像素子（ＣＣＤ等）、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造例のフローチャートを示す図。
【図１３】半導体デバイスの場合における、図１２のステップＳ１０４の詳細なフローの一例を示す図。
【符号の説明】
【０１０１】
ＰＬ…投影光学系、ＲＳＴ…レチクルステージ、ＷＳＴ…ウエハステージ、１…露光装置、２，１０２，２０２，３０２，４０２，５０２…光学特性測定装置、３，１０３，２０３，４０３，５０３…ケーブル制御装置、４…ケーブル、４０４，５０４…アーム、４０５…関節。
【図１】
2006135180.tif 000003
【図２】
2006135180.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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