(57)【要約】【課題】  容器開閉装置の載置台上に載置された容器に対し、簡単に、少ない不活性ガス量で、短時間で、効率的に容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気で置換する。【解決手段】  半導体ウエハ等の収容容器１の開閉装置１０の載置台上に載置された当該容器１内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換するための容器内ガスパージシステム２０が、不活性ガス供給路２１、容器１内の酸化性ガス排出路２２、これらを接続するバイパス路２３を備え、供給路２１の一端には、容器１に設けられた給気用パージポート３に接合する給気ノズル２４が設けられ、供給路２１とバイパス路２３との接続部よりも上流側には、第１のバルブ２６が設けられ、排出路２２の一端には、容器１に設けられた給排気用パージポート４に接合する給排気ノズル２５が設けられ、排出路２２とバイパス路２３との接続部よりも下流側には、第２のバルブ２７が設けられ、バイパス路２３には、第３のバルブ２８が設けられている。【選択図】      図２
2006005193.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハ等の被処理材を密閉した状態で収容して搬送される容器の開閉装置の容器
載置台上に載置された当該容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換するた
めの容器内ガスパージシステムであって、
不活性ガスの供給路と、
容器内の酸化性ガスの排出路と、
前記供給路と前記排出路とをそれぞれの途中で接続するバイパス路と
を備え、
前記供給路の容器側の一端には、容器に設けられた給気用パージポートに接合する給気
ノズルが設けられ、
前記供給路と前記バイパス路との接続部よりも上流側には、第１のバルブが設けられ、
前記排出路の容器側の一端には、容器に設けられた給排気用パージポートに接合する給
排気ノズルが設けられ、
前記排出路と前記バイパス路との接続部よりも下流側には、第２のバルブが設けられ、
前記バイパス路には、第３のバルブが設けられている
ことを特徴とする容器内ガスパージシステム。
【請求項２】
前記第１のバルブの開、前記第３のバルブの開及び前記第２のバルブの閉動作により、
前記給気ノズル及び前記給気用パージポートを介して容器内に不活性ガスを供給するとと
もに、前記給排気ノズル及び前記給排気用パージポートを介して容器内に不活性ガスを供
給する第１のパージパターンと、
前記第１のバルブの開、前記第３のバルブの閉及び前記第２のバルブの開動作により、
前記給気ノズル及び前記給気用パージポートを介して容器内に不活性ガスを供給するとと
もに、前記給排気用パージポート及び前記給排気ノズルを介して容器内の酸化性ガスを排
出する第２のパージパターンと
が選択可能にされており、
容器のドアが開いて、開放された状態にある容器のドアが閉じ始め、容器が閉鎖される
までの間は、前記第１のパージパターンが選択され、容器が閉鎖された後は、前記第２の
パージパターンが選択される
ことを特徴とする請求項１に記載の容器内ガスパージシステム。
【請求項３】
前記給気用パージポート及び前記給排気用パージポートは、容器の底壁の容器開口側の
両端寄りにそれぞれ設けられ、
これらのパージポートを介して容器内に不活性ガスを供給する方向は、容器の奥側に向
けられている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の容器内ガスパージシステム。
【請求項４】
半導体ウエハ等の被処理材を密閉した状態で収容して搬送される容器の開閉装置の容器
載置台上に載置された当該容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換するた
めの容器内ガスパージ方法であって、
容器のドアが開いて、開放された状態にある容器のドアが閉じ始めてから、容器内に不
活性ガスを供給して、容器内の酸化性ガスを排出するようにした
ことを特徴とする容器内ガスパージ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の発明は、容器内ガスパージシステム及びガスパージ方法に関し、特に半導体ウエ
ハ等の被処理材を密閉した状態で収容して搬送される容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化
性ガス雰囲気に簡単に、効率よく置換することができる容器内ガスパージシステム及びガ
スパージ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod ）は、半導体ウエハ等の被処理物を処理装置間
で搬送するに際して、被処理物が外部環境により汚染されるのを防ぐために、被処理物を
制御された空間に収容して搬送するのに用いられる前方開放型の容器である。ＦＯＵＰオ
ープナは、ＦＯＵＰ内環境と処理装置内のウェハ転送空間との間を、外部環境に被処理物
を曝すことなく、連通させ、被処理物を処理装置内に配置されたロボット等で転送するこ
とができるようにする役割を担うＦＯＵＰの開閉装置である。これらのＦＯＵＰ及びＦＯ
ＵＰオープナを用いて被処理物が処理装置間で搬送され、また、処理装置内に転送される
ことにより、高い製品歩留りが達成される。
【０００３】
ところで、近年、半導体ウエハは、高微細化が一層進み、オングストロームオーダーで
の膜厚コントロールが求められるようになってきている。このため、従来のように、パー
ティクルの管理に重点を置いてクリーンな雰囲気に保持されたＦＯＵＰ内にウエハを収容
して搬送するだけでは、ＦＯＵＰ内のウエハに自然酸化膜が形成されてしまい、その後の
工程でのウエハの膜厚コントロールに支障が生じる虞がある。
【０００４】
そこで、ＦＯＵＰ内のウエハに自然酸化膜が形成されるのを回避するために、ＦＯＵＰ
内の雰囲気を、酸化性の雰囲気から、窒素ガス等の不活性ガスで満たされた非酸化性の雰
囲気に置換することが提案され、そのための種々の工夫がなされている。
【０００５】
これらの工夫は、いずれも、ＦＯＵＰオープナの載置台上にＦＯＵＰを載置し、不活性
ガスの供給路および酸化性ガスの排出路上にあるバルブを切り替えるだけで、ＦＯＵＰ内
の酸化性ガスを不活性ガスで置換することができる簡便なパージシステムを提案するが、
ＦＯＵＰ内のガス置換を、ＦＯＵＰドアの開閉の状態等をも考慮しながら、いかに少ない
不活性ガス量で、いかに短時間で、効率的に行なうかという点については、十分に配慮が
なされたものとなっていない。
【特許文献１】特開平０８−２０３９９３号公報
【特許文献２】特開平１１−１２１６０２号公報
【特許文献３】特開平１１−３０７６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本願の発明は、従来の容器内ガスパージシステムが有する前記のような問題点を解決し
て、容器開閉装置の容器載置台上に載置された当該容器に対し、容器のドアの開閉の状態
等をも考慮しながら、簡単に、少ない不活性ガス量で、短時間で、効率的に容器内の酸化
性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換することができる容器内ガスパージシステム及
びガスパージ方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記のような課題は、本願の各請求項に記載された次のような発明により解決される。
すなわち、その請求項１に記載された発明は、半導体ウエハ等の被処理材を密閉した状
態で収容して搬送される容器の開閉装置の容器載置台上に載置された当該容器内の酸化性
ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気で置換するための容器内ガスパージシステムであって、
不活性ガスの供給路と、容器内の酸化性ガスの排出路と、前記供給路と前記排出路とをそ
れぞれの途中で接続するバイパス路とを備え、前記供給路の容器側の一端には、容器に設
けられた給気用パージポートに接合する給気ノズルが設けられ、前記供給路と前記バイパ
ス路との接続部よりも上流側には、第１のバルブが設けられ、前記排出路の容器側の一端
には、容器に設けられた給排気用パージポートに接合する給排気ノズルが設けられ、前記
排出路と前記バイパス路との接続部よりも下流側には、第２のバルブが設けられ、前記バ
イパス路には、第３のバルブが設けられていることを特徴とする容器内ガスパージシステ
ムである。
【０００８】
請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、容器を容器開閉装置
の容器載置台上に載置するだけで、容器に設けられた給気用パージポートを不活性ガス供
給路の一端に設けられた給気ノズルに接合し、また、容器に設けられた給排気用パージポ
ートを酸化性ガス排出路の一端に設けられた給排気ノズルに接合するように構成すること
が可能になる。これにより、容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換する
作業を簡単に行なうことができる。
【０００９】
また、第１ないし第３のバルブの各開閉動作の組合せを種々に変えることにより、容器
の開閉状態等に応じた最適のパージパターンを選択して、容器内のガス置換を行なうこと
ができ、少ない不活性ガス量で、短時間で、効率的に容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化
性ガス雰囲気に置換することが可能になる。
【００１０】
また、その請求項２に記載された発明は、請求項１に記載の発明において、第１のバル
ブの開、第３のバルブの開及び第２のバルブの閉動作により、給気ノズル及び給気用パー
ジポートを介して容器内に不活性ガスを供給するとともに、給排気ノズル及び給排気用パ
ージポートを介して容器内に不活性ガスを供給する第１のパージパターンと、第１のバル
ブの開、第３のバルブの閉及び第２のバルブの開動作により、給気ノズル及び給気用パー
ジポートを介して容器内に不活性ガスを供給するとともに、給排気用パージポート及び給
排気ノズルを介して容器内の酸化性ガスを排出する第２のパージパターンとが選択可能に
されており、容器のドアが開いて、開放された状態にある容器のドアが閉じ始め、容器が
閉鎖されるまでの間は、第１のパージパターンが選択され、容器が閉鎖された後は、第２
のパージパターンが選択されることを特徴としている。
【００１１】
これにより、容器のドアが開いて、開放された状態にある容器のドアが閉じ始め、容器
が閉鎖されるまでの間は、２つのパージポート（給気用パージポート、給排気用パージポ
ート）から多量の不活性ガスを供給して、迅速に酸化性ガスを追い出し、容器が閉じると
、１つのパージポート（給気用パージポート）から少量の不活性ガスを供給し、残りの１
つのパージポート（給排気用パージポート）から酸化性ガスを排出するようにし、容器内
において不活性ガスの一方向流れを作って、酸化性ガスの滞留域をなくし、容器内を迅速
に不活性ガスで満たすようにすることができ、全体として、少ない不活性ガス量で、短時
間で、効率的に容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換することが可能に
なる。
【００１２】
特に、容器のドアが開いて、開放された状態にある容器のドアが閉じ始め、容器が閉鎖
されるまでの間は、酸化性ガスは、容器から追い出され易い状態にあり、この時点で、第
１のパージパターンが実行されて、２つのパージポートから多量の不活性ガスが供給され
ることにより、酸化性ガスを追い出す処理が、不活性ガスの無駄な消費なくして、迅速に
行なわれる。
【００１３】
さらに、その請求項３に記載された発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明におい
て、その給気用パージポート及び給排気用パージポートが、容器の底壁の容器開口側の両
端寄りにそれぞれ設けられ、これらのパージポートを介して容器内に不活性ガスを供給す
る方向が、容器の奥側に向けられていることを特徴としている。
【００１４】
この結果、容器内に供給された不活性ガスは、容器内を残すところなく巡って一方向に
流れて、そこに残存していた酸化性ガスを容器の外に追い出すので、容器内の酸化性ガス
雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換する作業を一層効率的に行なうことができる。
【００１５】
また、その請求項４に記載された発明は、半導体ウエハ等の被処理材を密閉した状態で
収容して搬送される容器の開閉装置の容器載置台上に載置された当該容器内の酸化性ガス
雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換するための容器内ガスパージ方法であって、容器のド
アが開いて、開放された状態にある容器のドアが閉じ始めてから、容器内に不活性ガスを
供給して、容器内の酸化性ガスを排出するようにしたことを特徴とする容器内ガスパージ
方法である。
【００１６】
請求項４に記載された発明は、前記のように構成されているので、容器のドアが開いて
、開放された状態にある容器のドアが閉じ始めてから、不活性ガスを供給して、迅速に酸
化性ガスを追い出し、容器内を迅速に不活性ガスで満たすようにすることができ、全体と
して、少ない不活性ガス量で、短時間で、効率的に容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性
ガス雰囲気に置換することが可能になる。
【００１７】
特に、容器のドアが開いて、開放された状態にある容器のドアが閉じ始める段階では、
酸化性ガスは、容器から追い出され易い状態にあり、この時点で、不活性ガスが供給され
ることにより、酸化性ガスを追い出す処理が、不活性ガスの無駄な消費なくして、迅速に
行なわれる。
【発明の効果】
【００１８】
前記のとおり、本願の発明の容器内ガスパージシステムによれば、容器を容器開閉装置
の容器載置台上に載置するだけで、容器に設けられた給気用パージポートを不活性ガス供
給路の一端に設けられた給気ノズルに接合し、また、容器に設けられた給排気用パージポ
ートを酸化性ガス排出路の一端に設けられた給排気ノズルに接合するように構成すること
が可能になり、容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気で置換する作業を簡単に
行なうことができる。
【００１９】
また、第１ないし第３のバルブの各開閉動作の組合せを種々に変えることにより、容器
の開閉状態等に応じて最適のパージパターンを選択して、容器内のガス置換を行なうこと
ができ、少ない不活性ガス量で、短時間で、効率的に容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化
性ガス雰囲気に置換することが可能になる。
【００２０】
また、本願の発明の容器内ガスパージ方法によれば、容器のドアが開いて、開放された
状態にある容器のドアが閉じ始めてから、不活性ガスを供給して、迅速に酸化性ガスを追
い出し、容器内を迅速に不活性ガスで満たすようにすることができ、全体として、少ない
不活性ガス量で、短時間で、効率的に容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に
置換することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
半導体ウエハ等の被処理材を密閉した状態で収容して搬送される容器の開閉装置の容器
載置台上に載置された当該容器内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換するた
めの容器内ガスパージシステムにおいて、不活性ガスの供給路と、容器内の酸化性ガスの
排出路と、これら供給路と排出路とをそれぞれの途中で接続するバイパス路とを具備せし
める。そして、供給路の容器側の一端には、容器に設けられた給気用パージポートに接合
する給気ノズルを設け、供給路とバイパス路との接続部よりも上流側には、第１のバルブ
が設ける。また、排出路の容器側の一端には、容器に設けられた給排気用パージポートに
接合する給排気ノズルを設け、排出路とバイパス路との接続部よりも下流側には、第２の
バルブを設ける。さらに、バイパス路には、第３のバルブを設ける。
【００２２】
このようにして、第１ないし第３のバルブの各開閉動作の組合せを種々に変えることを
可能にして、容器の開閉状態等に応じ、最適のガスパージパターンを選択することができ
るようにする。
【００２３】
また、給気用パージポート及び給排気用パージポートは、容器の底壁の容器開口側の両
端寄りにそれぞれ設けるようにし、これらのパージポートを介して容器内に不活性ガスを
供給する方向は、容器の奥側に向くように構成する。
【実施例】
【００２４】
次に、本願の発明の一実施例について説明する。
図１は、本実施例の容器内ガスパージシステム及びガスパージ方法が適用される容器及
び容器開閉装置の概略側面図、図２は、同容器及び容器開閉装置の概略背面図（図１の左
方から見た図）であって、ドックプレートを省略して示す図、図３は、同容器及び容器開
閉装置の概略平面図、図４は、同容器内ガスパージシステムの構成図である。
【００２５】
本実施例の容器内ガスパージシステムは、容器がＦＯＵＰであり、容器開閉装置がＦＯ
ＵＰを開閉するＦＯＵＰオープナである場合の、これらＦＯＵＰ及びＦＯＵＰオープナに
適用されるものとして、以下、説明される。また、本実施例において、ＦＯＵＰ内に密閉
した状態で収容して搬送される被処理材は、半導体ウエハとされている。
【００２６】
図１ないし図３には、複数枚の半導体ウエハ２を上下方向に多段に積層して、密閉した
状態で収容したＦＯＵＰ１が、ＦＯＵＰオープナ１０のＦＯＵＰ載置台（ドックプレート
と呼ばれる）１１上に載置されて、後で詳しく説明されるＦＯＵＰ内ガスパージシステム
２０の配管系統と接続された状態が図示されている。
【００２７】
ＦＯＵＰオープナ１０は、処理装置の室壁の一部を構成するポートプレート４０の処理装置とは反対側の空間内に配置され、該ポートプレート４０に一体に取り付けられている。図１において、ポートプレート４０より右側の空間が処理装置の室内Ａをなし、この室内Ａには、窒素Ｎ２  ガスが充填されていて、室内Ａは、非酸化性のクリーンな環境に保持されている。
【００２８】
ＦＯＵＰオープナ１０は、処理装置の室内Ａ側にポートドア開閉装置１２を有し、この
ポートドア開閉装置１２に備えられたポートドア１３は、ポートプレート４０に形成され
た開口４１を開閉し、その内部にＦＯＵＰ１のドア（図示されず）をＦＯＵＰ本体から着
脱して保持する機構を備えている。そして、ＦＯＵＰ１がドックプレート１１に載置され
た状態でポートプレート４０方向に前進して、その開口側端面がポートプレート４０に近
接した状態においては、ポートドア１３のＦＯＵＰドア着脱・保持機構がＦＯＵＰドアを
ＦＯＵＰ本体から外してこれを保持し、次いで、ポートドア開閉装置１２がポートドア１
３を開口４１から離脱させ、ポートプレート４０から後退させて、室内Ａ内の下方領域に
退避させる。
【００２９】
このようにして、開口４１及びＦＯＵＰ１の開口が開けられ、ＦＯＵＰドアは室内Ａ内
に収容されて、ＦＯＵＰ１内のウエハ２を処理装置内に転送する準備が整えられる。そし
て、処理装置内において、ウエハ２に所定の処理が施されると、処理済みのウエハ２は、
先とは逆に転送されて、ＦＯＵＰ１内に収容される。次いで、ＦＯＵＰドアが、ポートド
ア開閉装置１２及びポートドア１３のＦＯＵＰドア着脱・保持機構の作動により、先とは
逆の順序にて、ＦＯＵＰ１の開口に結着されて、ＦＯＵＰ１は密閉される。
【００３０】
ポートドア開閉装置１２の駆動部は、ＦＯＵＰオープナ１０内に収容されており、ポー
トプレート４０に形成された縦長の開口（図示されず）を介してポートドア開閉装置１２
を操作し、これを進退・昇降動させる。
【００３１】
前記のとおり、室内Ａには窒素Ｎ２  ガスが充填されていて、室内Ａは、非酸化性のクリーンな環境に保持されているので、ＦＯＵＰ１を開放して内部のウエハ２を処理装置内に転送するに先立っては、ＦＯＵＰ１内にも窒素Ｎ２  ガスを充填して、その内部を不活性ガス（非酸化性ガス）で満たされたクリーンな環境に保持しておく必要がある。また、処理済みのウエハ２をＦＯＵＰ１内に収容して、ＦＯＵＰ１を密閉するに先立っては、ウエハ２の処理が完了するまでの待機中に、ＦＯＵＰ１の内部に水蒸気が滲出したり、パーティクルが発生したりして、それらが残留している可能性があるので、改めてＦＯＵＰ１内に窒素Ｎ２  ガスを充填して、その内部を非酸化性のクリーンな環境に保持しておく必要がある。
【００３２】
これらの必要に応えるために、ＦＯＵＰオープナ１０には、ＦＯＵＰ内ガスパージシス
テム２０の配管系が付設されている。
この配管系は、図４に図示されるように、不活性ガス（窒素Ｎ２  ガス）の供給路２１と、ＦＯＵＰ１内の酸化性ガスの排出路２２と、これら供給路２１と排出路２２とをそれぞれの途中で接続するバイパス路２３とを備えている。
【００３３】
供給路２１のＦＯＵＰ１側の一端には、ＦＯＵＰ１に設けられた給気用パージポート３
に接合する給気ノズル２４が設けられ、供給路２１とバイパス路２３との接続部よりも上
流側には、第１のバルブ２６が設けられている。また、排出路２２のＦＯＵＰ１側の一端
には、ＦＯＵＰ１に設けられた給排気用パージポート４に接合する給排気ノズル２５が設
けられ、排出路２２とバイパス路２３との接続部よりも下流側には、第２のバルブ２７が
設けられている。さらに、バイパス路２３には、第３のバルブ２８が設けられている。
【００３４】
また、供給路２１とバイパス路２３との接続部よりも下流側の供給路２１には、第１のフィルタ２９が設けられ、バイパス路２３の第３のバルブ２８よりも下流側には、第２のフィルタ３０が設けられている。これらのフィルタ２９、３０は、窒素Ｎ２  ガス中の微細な浮遊物を除去する。
【００３５】
供給路２１の他端は、窒素Ｎ２  ガスの供給源に接続され、排出路２２の他端は、排気装置により特別の処理装置に導かれ、排気は、最終的には、無害処理が施されて、工場外に廃棄される。窒素Ｎ２  ガスの供給源は、本実施例においては、処理装置の室内Ａとされている。この室内Ａは、本実施例のＦＯＵＰ内ガスパージシステム２０に比べて大容量であり、窒素Ｎ２  ガスが充填された状態で、正圧に維持されており、室内Ａには、窒素Ｎ２  ガスのダウンフローが形成されているので、窒素Ｎ２  ガスをＦＯＵＰ１内に供給するのには、ポンプは必ずしも必要とされず、供給路２１の窒素Ｎ２  ガス導入口３１は、ポートプレート４０の下方部の壁を貫通した部位に設けられている。
【００３６】
給気用パージポート３、給排気用パージポート４は、詳細には図示されないが、ＦＯＵ
Ｐ１の底壁５（図１参照）であって、そのＦＯＵＰ１の開口側の両端寄りの部分に、それ
ぞれ設けられている。そして、それらの内部には逆止弁が備えられ、これらの逆止弁は、
所定圧以上のガス流により開放されて、当該ガスの一方向流れを許す。なお、給排気用パ
ージポート４の内部には、給気・排気両用の逆止弁が備えられている。
【００３７】
したがって、今、供給路２１を通して給気ノズル２４にまで導かれた窒素Ｎ２  ガスは、給気ノズル２４が給気用パージポート３に接合され、給排気ノズル２５が給排気用パージポート４に接合されることにより、給気用パージポート３内の逆止弁を開いて、ＦＯＵＰ１内に噴出し、ＦＯＵＰ１内に供給される。同時に、ＦＯＵＰ１内に残存していた酸化性ガスは、この窒素Ｎ２  ガスにより追い出されて、給排気用パージポート４内の逆止弁を開き、給排気ノズル２５を経て、排出路２２を通り、ＦＯＵＰ１外に排出、廃棄される。
【００３８】
窒素Ｎ２  ガスが給気用パージポート３からＦＯＵＰ１内に噴出されるとき、その噴出の向きは、ＦＯＵＰ１の開口側とは反対の奥側に向けられている（図１参照）。また、後述するように、窒素Ｎ２  ガスが給排気用パージポート４からＦＯＵＰ１内に噴出されるようにＦＯＵＰ内ガスパージシステム２０が使用されることもあり、このため、そこからの噴出の向きも、同様に、ＦＯＵＰ１の開口側とは反対の奥側に向けられている。後者の場合の窒素Ｎ２  ガスの噴出の向きは、酸化性ガスがＦＯＵＰ１内から給排気用パージポート４内に排出されるときの排出の向きとは逆になる。
【００３９】
給気ノズル２４と給気用パージポート３との接合、給排気ノズル２５と給排気用パージ
ポート４との接合は、ＦＯＵＰ１がＦＯＵＰオープナ１０のＦＯＵＰ載置台（ドックプレ
ート）１１上に載置されることにより、自動的に行なわれるように構成することができる
。供給路２１、排出路２２は、弾力性のあるホースにより形成されているので、ＦＯＵＰ
１が、ドックプレート１１の進退動により、ポートプレート４０に近づけられたり、遠ざ
けられたりするときに、これらの両接合部は、これと一体になって、進退動が可能であり
、使い勝手が良い。
【００４０】
次に、本実施例のＦＯＵＰ内ガスパージシステム２０の使用形態について説明する。
本実施例のＦＯＵＰ内ガスパージシステム２０によれば、ＦＯＵＰ１の開閉状態等に応
じて、次の２つのパージパターンの選択が可能である。
【００４１】
第１のパージパターンでは、第１のバルブ２６の開、第３のバルブ２８の開及び第２のバルブ２７の閉動作により、給気ノズル２４及び給気用パージポート３を介してＦＯＵＰ１内に窒素Ｎ２  ガスを供給するとともに、給排気ノズル２５及び給排気用パージポート４を介しても、ＦＯＵＰ１内に窒素Ｎ２  ガスを供給する。
【００４２】
また、第２のパージパターンでは、第１のバルブ２６の開、第３のバルブ２８の閉及び第２のバルブ２７の開動作により、給気ノズル２４及び給気用パージポート３を介してＦＯＵＰ１内に窒素Ｎ２  ガスを供給するとともに、給排気用パージポート４及び給排気ノズル２５を介してＦＯＵＰ１内の酸化性ガスを排出する。
【００４３】
そして、ＦＯＵＰ１のドアが開いて、開放された状態にあるＦＯＵＰ１のドアが閉じ始
め、ＦＯＵＰ１が閉鎖されるまでの間は、第１のパージパターンを選択し、ＦＯＵＰ１が
閉鎖された後は、第２のパージパターンを選択して、ＦＯＵＰ内ガスのパージを行なうよ
うに、ＦＯＵＰ内ガスパージシステム２０を使用することができる。
【００４４】
このような使用形態によれば、ＦＯＵＰ１のドアが開いて、開放された状態にあるＦＯＵＰ１のドアが閉じ始め、ＦＯＵＰ１が閉鎖されるまでの間は、２つのパージポート（給気用パージポート３、給排気用パージポート４）から多量の窒素Ｎ２  ガスを供給して、迅速に酸化性ガスを追い出し、ＦＯＵＰ１が閉じると、１つのパージポート（給気用パージポート３）から少量の窒素Ｎ２  ガスを供給し、残りの１つのパージポート（給排気用パージポート４）から酸化性ガスを排出するようにして、ＦＯＵＰ１内において窒素Ｎ２  ガスの一方向流れを作って、酸化性ガスの滞留域をなくし、ＦＯＵＰ１内を迅速に窒素Ｎ２  ガスで満たすようにすることができ、全体として、少ない窒素Ｎ２  ガス量で、短時間で、効率的にＦＯＵＰ１内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換することが可能になる。
【００４５】
特に、ＦＯＵＰ１のドアが開いて、開放された状態にあるＦＯＵＰ１のドアが閉じ始め、ＦＯＵＰ１が閉鎖されるまでの間は、酸化性ガスは、ＦＯＵＰ１から追い出され易い状態にあり、この時点で、第１のパージパターンが実行されて、２つのパージポート３、４から多量の窒素Ｎ２  ガスが供給されることにより、酸化性ガスを追い出す処理が、不活性ガスの無駄な消費なくして、迅速に行なわれる。
【００４６】
本実施例のＦＯＵＰ内ガスパージシステムは、前記のように構成されているので、次の
ような効果を奏することができる。
ＦＯＵＰ１をＦＯＵＰオープナ１０のＦＯＵＰ載置台（ドックプレート）１１上に載置するだけで、ＦＯＵＰ１に設けられた給気用パージポート３を窒素Ｎ２  ガス供給路２１の一端に設けられた給気ノズル２４に接合し、また、ＦＯＵＰ１に設けられた給排気用パージポート４を酸化性ガス排出路２２の一端に設けられた給排気ノズル２５に接合するように構成することが可能になるので、ＦＯＵＰ１内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換する作業を簡単に行なうことができる。
【００４７】
また、第１ないし第３のバルブ２６、２７、２８の各開閉動作の組合せを種々に変えることにより、ＦＯＵＰ１の開閉状態に応じた最適のパージパターンを選択して、ＦＯＵＰ１内のガス置換を行なうことができ、少ない窒素Ｎ２  ガスで、短時間で、効率的にＦＯＵＰ１内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換することができる。
【００４８】
また、給気用パージポート３及び給排気用パージポート４が、ＦＯＵＰ１の底壁５のＦＯＵＰ開口側の両端寄りにそれぞれ設けられ、これらのパージポート３、４を介してＦＯＵＰ１内に窒素Ｎ２  ガスを供給する方向が、ＦＯＵＰ１の奥側に向けられているので、ＦＯＵＰ１内に供給された窒素Ｎ２  ガスは、ＦＯＵＰ１内を残すところなく巡って一方向に流れて、そこに残存していた酸化性ガスをＦＯＵＰ１の外に追い出すので、ＦＯＵＰ１内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換する作業を一層効率的に行なうことができる。
【００４９】
さらに、本実施例のＦＯＵＰ内ガスパージシステムを使用して行なわれる本実施例のＦ
ＯＵＰ内ガスパージ方法によれば、次のような効果を奏することができる。
ＦＯＵＰ１のドアが開いて、開放された状態にあるＦＯＵＰ１のドアが閉じ始めてから
、２つのパージポート（給気用パージポート３、給排気用パージポート４）から多量の不
活性ガスを供給して、迅速に酸化性ガスを追い出し、ＦＯＵＰ１内を迅速に不活性ガスで
満たすようにすることができ、全体として、少ない不活性ガス量で、短時間で、効率的に
ＦＯＵＰ１内の酸化性ガス雰囲気を非酸化性ガス雰囲気に置換することが可能になる。
【００５０】
特に、ＦＯＵＰ１のドアが開いて、開放された状態にあるＦＯＵＰ１のドアが閉じ始め
る段階では、酸化性ガスは、ＦＯＵＰ１から追い出され易い状態にあり、この時点で、２
つのパージポート３、４から多量の不活性ガスが供給されることにより、酸化性ガスを追
い出す処理が、不活性ガスの無駄な消費なくして、迅速に行なわれる。
その他、前記したような種々の効果を奏することができる。
【００５１】
本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
例えば、ＦＯＵＰ１、ＦＯＵＰオープナ１０、半導体ウエハ２は、下方開口型のＳＭＩＦポッド、ＳＭＩＦポッドオープナ、ガラス基板とされてもよい。また、窒素Ｎ２  ガスは、他の不活性ガスに変えられてもよい。
【００５２】
また、ＦＯＵＰ内ガスパージシステム２０の使用形態において、ＦＯＵＰ１のドアが開
いて、開放された状態にあるＦＯＵＰ１のドアが閉じ始め、ＦＯＵＰ１が閉鎖されるまで
の間であっても、ＦＯＵＰ１内に残留する酸化性ガス量が少ない場合には、第２のパージ
パターンを選択して、ＦＯＵＰ内ガスのパージを行なうように、ＦＯＵＰ内ガスパージシ
ステム２０を使用することが可能である。このようにしても、ＦＯＵＰ１内に残留する酸
化性ガスを迅速に排出することができる。
【００５３】
さらに、処理装置の室内Ａに窒素Ｎ２  ガスが充填されない場合もあり、この場合には、ＦＯＵＰ１内に供給される窒素Ｎ２  ガスの供給源は、通常、工場設備として配備される窒素Ｎ２  ガスの供給配管系から得られることになる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本実施例の容器内ガスパージシステム及びガスパージ方法が適用される容器及び容器開閉装置の概略側面図である。
【図２】同容器及び容器開閉装置の概略背面図（図１の左方から見た図）であって、ドックプレートを省略して示す図である。
【図３】同容器及び容器開閉装置の概略平面図である。
【図４】同容器内ガスパージシステムの構成図である。
【符号の説明】
【００５５】
１…ＦＯＵＰ（容器）、２…半導体ウエハ、３…給気用パージポート、４…給排気用パ
ージポート、５…底壁、１０…ＦＯＵＰオープナ（容器開閉装置）、１１…ＦＯＵＰ載置
台（ドックプレート）、１２…ポートドア開閉装置、１３…ポートドア、２０…ＦＯＵＰ
内ガスパージシステム、２１…供給路、２２…排出路、２３…バイパス路、２４…給気ノ
ズル、２５…給排気ノズル、２６…第１のバルブ、２７…第２のバルブ、２８…第３のバ
ルブ、２９…第１のフィルタ、３０…第２のフィルタ、３１…ガス導入口、４０…ポート
プレート、４１…開口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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