(57)【要約】【課題】  積層材または積層成形品を載置するフィルムに積層材を載置し、フィルムを移送させて積層成形装置の上盤と下盤の間に積層材を搬入し、積層成形装置の真空成形チャンバで膜体またはフィルムを介して積層材を加熱・加圧し、積層成形装置から搬出する積層成形品製造装置または積層成形品製造方法において、積層材の搬入装置や積層成形品の搬出装置の一部共用化、作業者の作業負担減少、フィルム消費量の減少、および装置全長の短縮化の少なくとも一つを実現する。【解決手段】  積層材Ｐ１を膜体１８，２２またはフィルムＦ１，Ｆ２を介して加熱・加圧後に、積層材Ｐ１の搬入時の移送方向とは逆方向に積層材または積層成形品を載置するフィルムＦ１を移送させて、積層成形装置１２の一側に設けられた搬入・搬出口２５から積層成形品Ｐ２を搬出する。【選択図】 図５
2006205659.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上盤と下盤の間に形成される真空成形チャンバで膜体またはフィルムを介して積層材の少なくとも一面が加熱・加圧される積層成形装置と、積層材または積層成形品を載置するフィルムを積層成形装置へ搬入および積層成形装置から搬出する移送装置とが備えられた積層成形品製造装置において、
積層材の加熱・加圧後に、積層材の搬入時の移送方向とは逆方向に前記フィルムを移送させて、積層成形装置の一側に設けられた搬入・搬出口から積層成形品を搬出することを特徴とする積層成形品製造装置。
【請求項２】
積層材または積層成形品の上面に接触するフィルムを積層成形装置へ搬入および積層成形装置から搬出する移送装置が配設され、
前記積層材または積層成形品を載置するフィルムの移送と同期して積層材または積層成形品の上面に接触するフィルムが移送されることを特徴とする請求項１に記載の積層成形品製造装置。
【請求項３】
前記積層成形装置の一方には、前記積層材または積層成形品の上面に接触するフィルムを積層材の搬入前に積層材へ被覆するか又は積層成形品の搬出後に積層成形品から剥離するかの少なくとも一方を行うフィルム操作装置が配設されたことを特徴とする請求項２に記載の積層成形品製造装置。
【請求項４】
積層材または積層成形品を載置するフィルムに積層材を載置し、前記フィルムを移送させて積層成形装置の上盤と下盤の間に積層材を搬入し、上盤と下盤を当接させ真空吸引して真空成形チャンバを形成し、膜体またはフィルムを介して積層材を加熱・加圧後に、真空成形チャンバを開放して積層成形品を搬出する積層成形品製造方法において、
積層材の加熱・加圧後に、積層材の搬入時の移送方向とは逆方向に前記フィルムを移送させて積層成形装置の一側に設けられた搬入・搬出口から積層成形品を搬出することを特徴とする積層成形品製造方法。
【請求項５】
積層材または積層成形品を載置するフィルムの移送と同期して積層材または積層成形品の上面に接触するフィルムが移送され、積層材は上下のフィルムを介して加熱・加圧されることを特徴とする請求項４に記載の積層成形品製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層材を真空成形チャンバにおいて膜体またはフィルムを介して加熱・加圧する積層成形品製造装置および積層成形品製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層物を真空成形チャンバにおいて膜体を介して加熱・加圧する積層成形品製造装置としては、特許文献１に示されるものが知られている。特許文献１においては、キャリアフィルムは巻出ロールから供給され、積層成形装置のチャンバに挿通された後、巻取ロールに巻き取られるようになっている。そして積層成形装置の搬送出口側には、キャリアフィルムを引っ張るチャック装置が移動可能に設けられている。しかし特許文献１の積層成形品製造装置においては、積層材の搬送入口側と成形品の搬送出口側が反対側に設けられるので、自動化するためには積層材の搬入装置と成形品の搬出装置を別個に設ける必要があった。また自動化を行わず作業者が積層材の搬入および成形品の搬出を行う際は、作業動線が長くなり非効率的であった。更には特許文献１の装置においては、上部のキャリアフィルムが被覆されてから積層成形装置へ搬入されるまでの距離と、チャック装置の移動スペースのために積層成形装置から搬出されてから上部のキャリアフィルムが剥離されるまでの距離とが長く、キャリアフィルムを無駄送りする長さが長く必要になるという問題があった。またそれらにより積層成形品製造装置の全長が長くなるという問題があった。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１０３４３９号公報（請求項１、０００８、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明では上記の問題を鑑みて、積層材または積層成形品を載置するフィルムに積層材を載置し、フィルムを移送させて積層成形装置の上盤と下盤の間に積層材を搬入し、積層成形装置の真空成形チャンバで膜体またはフィルムを介して積層材を加熱・加圧し、積層成形装置から搬出する際に、積層材の搬入装置や積層成形品の搬出装置の共用化、作業者の作業負担減少、フィルム消費量の減少、および装置全長の短縮化の少なくとも一つを実現することができる積層成形品製造装置または積層成形品製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に記載の積層成形品製造装置は、上盤と下盤の間に形成される真空成形チャンバで膜体またはフィルムを介して積層材の少なくとも一面が加熱・加圧される積層成形装置と、積層材または積層成形品を載置するフィルムを積層成形装置へ搬入および積層成形装置から搬出する移送装置とが備えられた積層成形品製造装置において、積層材の加熱・加圧後に、積層材の搬入時の移送方向とは逆方向にフィルムを移送させて、積層成形装置の一側に設けられた搬入・搬出口から積層成形品を搬出することを特徴とする。
【０００６】
本発明の請求項２に記載の積層成形品製造装置は、請求項１において、積層材または積層成形品の上面に接触するフィルムを積層成形装置へ搬入および積層成形装置から搬出する移送装置が配設され、積層材または積層成形品を載置するフィルムの移送と同期して積層材または積層成形品の上面に接触するフィルムが移送されることを特徴とする。
【０００７】
本発明の請求項３に記載の積層成形品製造装置は、請求項２において、積層成形装置の一方には、積層材または積層成形品の上面に接触するフィルムを積層材の搬入前に積層材へ被覆するか又は積層成形品の搬出後に積層成形品から剥離するかの少なくとも一方を行うフィルム操作装置が配設されたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項４に記載の積層成形品製造方法は、積層材または積層成形品を載置するフィルムに積層材を載置し、フィルムを移送させて積層成形装置の上盤と下盤の間に積層材を搬入し、上盤と下盤を当接させ真空吸引して真空成形チャンバを形成し、膜体またはフィルムを介して積層材を加熱・加圧後に、真空成形チャンバを開放して積層成形品を搬出する積層成形品製造方法において、積層材の加熱・加圧後に、積層材の搬入時の移送方向とは逆方向にフィルムを移送させて積層成形装置の一側に設けられた搬入・搬出口から積層成形品を搬出することを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項５に記載の積層成形品製造方法は、請求項４において、積層材または積層成形品を載置するフィルムの移送と同期して積層材または積層成形品の上面に接触するフィルムが移送され、積層材は少なくとも上下のフィルムを介して加熱・加圧されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の積層成形品製造装置および積層成形品製造方法は、上盤と下盤の間に形成される真空成形チャンバで膜体またはフィルムを介して積層材の少なくとも一面が加熱・加圧される積層成形装置と、積層材または積層成形品を載置するフィルムを積層成形装置へ搬入および積層成形装置から搬出する移送装置とが備えられた積層成形品製造装置、または該製造装置を用いた積層成形品製造方法において、積層材の加熱・加圧後に、積層材の搬入時の移送方向とは逆方向にフィルムを移送させて、積層成形装置の一側に設けられた搬入・搬出口から積層成形品を搬出するようにしたので、装置全長の短縮化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施形態について図１ないし図７を参照して説明する。図１は、本実施形態の積層成形品製造装置において、積層材がフィルム上に載置された状態を示す断面図である。図２は、本実施形態の積層成形品製造装置において、積層材にフィルムが被覆された状態を示す断面図である。図３は、本実施形態の積層成形品製造装置において、積層材が積層成形装置の上盤と下盤の間に搬入された状態を示す断面図である。図４は、本実施形態の積層成形品製造装置において、積層成形装置において積層材が加熱・加圧されている状態を示す断面図である。図５は、本実施形態の積層成形品製造装置において、積層成形装置において加熱・加圧された積層成形品が搬出された状態を示す断面図である。図６は、本実施形態の積層成形品製造装置において、積層成形品からフィルムが剥離された状態を示す断面図である。図７は、本実施形態の積層成形品製造装置において、使用済のフィルムが移送されている状態を示す断面図である。なお図１ないし図７において、同一符号は同一部分かまたは相当部分を示す。
【００１２】
図１ないし図７により積層成形品製造装置１１における積層成形装置１２の概略を説明する。積層成形装置１２には相対向して上盤１３と下盤１４が設けられ、下盤１４が上盤１３に向けて図示しない昇降装置により移動され、真空吸引されることにより内部に平面視矩形の真空成形チャンバ１５が形成されるようになっている。上盤１３について説明すると、上盤１３の下面の略中央には凹部１６が形成され、前記凹部１６には、裏面にヒータ等の加熱手段を有し下面が平面からなるプレート板１７が配設されている。そして上盤１３の下面には、膜体１８が取付けられている。膜体１８は伸縮性、可撓性、弾性、および耐熱性を有する素材（一例としてシリコンゴム）からなっている。また上盤１３の内部にはエア流路１９が設けられており、前記エア流路１９の一方は前記凹部１６に開口され、他方はバルブ等を介して図示しないバキューム装置に接続されている。また前記凹部１６の周囲壁面部の下面は下盤１４との当接面となっている。
【００１３】
次に下盤１４について説明すると、下盤１４の平面視略中央には凹部２０が形成され、前記凹部２０には裏面にヒータ等の加熱手段を有し上面が平面からなるプレート板２１が配設されている。また下盤１４には、膜体２２が前記プレート板２１等の上面側に配設されている。膜体２２は伸縮性、可撓性、弾性、および耐熱性を有する素材（一例としてシリコンゴム）からなっている。また下盤１４の凹部２０の周囲壁面部の上面は上盤１３の当接面となっており、上盤１３と下盤１４とが当接された際に下盤の当接面と当接され、シールされるようにＯリング２３が配設されている。また下盤１４の内部にはエア流路２４が設けられており、前記エア流路２４の一方は前記凹部２０に開口され、他方はバルブ等を介して図示しないバキューム装置および圧縮空気供給装置に接続されている。なお積層成形装置において、上盤の側からのみ、或いは上盤と下盤の両方側から、圧縮空気供給装置を用いて膜体を膨出させ、積層材の加熱・加圧を行なうようにしてもよい。また上盤および下盤の少なくとも一方には膜体を設けずに、圧縮空気によりフィルムを膨出させて積層材を加熱・加圧するようにしてもよい。その場合下キャリアフィルムＦ１以外のフィルムを介して加圧されることも考えられる。更に上盤の側には膜体およびフィルムを設けずに、直接積層材とプレート板とが当接されるものでもよい。更にまた膜体またはフィルムを介して積層材を加熱・加圧する際に、圧縮空気を用いずに大気圧を用い、真空成形チャンバ内の差圧により膜体またはフィルムを膨出させ積層材を加熱・加圧するものであってもよい。
【００１４】
前記積層成形装置１２の一側の上盤１３と下盤１４の当接面は、上盤１３と下盤１４とを離隔した際に、積層材または積層成形品を載置する帯状のキャリアフィルムＦ１（以下は下キャリアフィルムＦ１と略す）、および積層材または積層成形品の上面に接触する帯状のキャリアフィルムＦ２（以下は上キャリアフィルムＦ２と略す）とともに積層材Ｐ１または積層成形品Ｐ２を、搬入または搬出する搬入・搬出口２５となっている。また積層成形装置１２の他側の上盤１３と下盤１４の当接面は、上盤１３と下盤１４とを離隔した際に、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２のみが移送されるフィルム通過口２６となっている。
【００１５】
次に積層成形品製造装置１１において、下キャリアフィルムＦ１を積層成形装置１２へ搬入および搬出する第１移送装置２７について説明する。積層成形装置１２の一方（図中右側）には、未使用の下キャリアフィルムＦ１が巻回される第１ロール２９が配設されている。また積層成形装置１２の他方（図中左側）には、使用済の下キャリアフィルムＦ１が巻回される第２ロール３０が配設されている。そして第１ロール２９と第２ロール３０の間には、ガイドロール３１，３２を介して下キャリアフィルムＦ１が積層成形装置１２の上盤１３と下盤１４との間を水平方向に移送されるように張りわたされている。第１ロール２９と第２ロール３０はそれぞれ図示しないトルクモータにより正転・逆転駆動可能に設けられ、下キャリアフィルムＦ１をロールに巻取るため巻取方向に及ぼされるトルクと、下キャリアフィルムＦ１をロールから送出する際にフィルムに張りを与えるため巻取方向に及ぼされるトルクが制御されるようになっている。よって下キャリアフィルムＦ１を移送する際に、ロールに巻回されている下キャリアフィルムＦ１の量（直径）に係らず、下キャリアフィルムＦ１が一定の張力となるようになっている。
【００１６】
次に積層成形品製造装置１１において、上キャリアフィルムＦ２を積層成形装置１２へ搬入および搬出する第２移送装置２８について説明する。積層成形装置１２の一方における上方には、未使用の上キャリアフィルムＦ２が巻回される第３ロール３３が配設されている。また積層成形装置１２の他方の上方には、使用済の上キャリアフィルムＦ２が巻回される第４ロール３４が配設されている。そして第３ロール３３と第４ロール３４の間には、フィルム操作装置３５や第４ロール３４側のガイドロール３６を介して上キャリアフィルムＦ２が積層成形装置１２の上盤１３と下盤１４との間を水平方向に移送されるように張りわたされている。第３ロール３３と第４ロール３４は、それぞれ前記第１ロール２９と第２ロール３０と同様に、トルクモータにより正転・逆転駆動可能に設けられ、上キャリアフィルムＦ２をロールに巻取るため巻取方向に及ぼされるトルクと、上キャリアフィルムＦ２をロールから送出する際にフィルムに張りを与えるため巻取方向に及ぼされるトルクが制御されるようになっている。
【００１７】
また積層成形装置１２の一方であって、第３ロール３３の下方にはフィルム操作装置３５が配設されている。フィルム操作装置３５は、ガイドロール３７と第１チャック装置３８と図示しない移動装置等からなり、上キャリアフィルムＦ２を積層材Ｐ１の搬入前に積層材Ｐ１の上面に被覆するか又は搬出後の積層成形品Ｐ２から上キャリアフィルムＦ２を剥離する機能と、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２に張力を与えた状態で積層材Ｐ１または積層成形品Ｐ２を移送させ、正確に位置決めする機能を有している。そしてフィルム操作装置３５の移動装置は、図示しないガイド部材にガイドされ、同じく図示しない駆動手段により、積層成形装置１２とガイドロール３１の間において、積層材Ｐ１の載置ステージと積層成形品Ｐ２の搬出ステージを兼ねた載置ステージ３９の上方位置を水平方向に移動可能となっている。フィルム操作装置３５のガイドロール３７は縦方向に小径のロール３個がそれぞれフィルムと直交する方向に軸支されて配設されている。そして上キャリアフィルムＦ２が、前記３個のガイドロール３７の間を互い違いに通過されるようになっている。具体的には図１等に図示されるように、水平方向に移送される上キャリアフィルムＦ２が、最下方のガイドロール３７の一方（右側）から中間のガイドロール３７の他方（左側）を通過し、更に最上方のガイドロール３７の一方（右側）を通過して第３ロール３３へ至るように設けられている。よって上キャリアフィルムＦ２は、最下方のガイドロール３７によりフィルムが送られる角度が鋭角的に変更されるようになっている。またフィルム操作装置３５の第１チャック装置３８は、前記ガイドロール３７とともに移動可能に設けられている。そして上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２の両側にそれぞれ設けられた第１チャック装置３８の上下のチャック部がシリンダ等のアクチュエータにより移動されることにより、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２の両側部分を重ねた状態で把持したり、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２を開放したりすることができるようになっている。
【００１８】
積層成形装置１２のフィルム通過口２６の他方近傍の上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２の両側にも第２チャック装置４０がそれぞれ配設されている。この第２チャック装置４０も上下のチャック部がシリンダ等のアクチュエータにより移動されることにより、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２の両側部分を重ねた状態で把持したり、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２を開放したりすることができるようになっている。本実施形態では、第２チャック装置４０は位置移動不能に設けられているので、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２が移送されるのと同期して移動はしない。
【００１９】
次に本実施形態の積層成形品製造装置１１を用いた積層成形品製造方法について図１から図７の順に従って説明する。積層成形される積層材Ｐ１の一例としては、銅箔により回路が形成された回路基板とポリイミド等の樹脂フィルムの組合せがあげられる。まず図１に示されるように、上側に回路基板、下側に樹脂フィルムの順に重ねられた積層材Ｐ１を、載置ステージ３９において下キャリアフィルムＦ１の上に載置する。
【００２０】
次に図２に示されるように、フィルム操作装置３５を一方（右側）に向けて移動させる。そしてフィルム操作装置３５のガイドロール３７により、下キャリアフィルムＦ１と積層材Ｐ１の上に上キャリアフィルムＦ２を被覆させる。その際にフィルム操作装置３５に配設される第１チャック装置３８はチャック部が開放され、積層成形装置１２の他方に配設される第２チャック装置４０はチャック部が把持され、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２が一方方向に戻らないように固定されている。また第３ロール３３のトルクモータは、上キャリアフィルムＦ２に張力を与えるために巻取方向（正転方向）に僅かにトルクが付与されるよう制御されている。よって第３ロール３３からは、フィルム操作装置３５が一方に移動して積層材Ｐ１を被覆した分に加えて、フィルム操作装置３５と第３ロール３３の距離が遠くなった分の上キャリアフィルムＦ２が送出される。またその際同時に第１ロール２９のトルクモータは巻取方向（正転方向）に僅かにトルクが付与され、下キャリアフィルムＦ１に張力を与えている。
【００２１】
次に図３に示されるように、積層成形品製造装置１１の第１チャック装置３８のチャック部により上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２が把持され、第２チャック装置４０のチャック部が開放される。そして第２ロール３０のトルクモータが正転駆動されることにより、下キャリアフィルムＦ１が第２ロール３０に巻取られ、第１ロール２９から下キャリアフィルムＦ１が他方に向けて送出される。また同時に第４ロール３４のトルクモータを正転駆動させることによって上キャリアフィルムＦ２が第４ロール３４に巻取られるとともに、フィルム操作装置３５のチャック装置３８が他方に移動される。よって第１チャック装置３８の移動とともに、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２が同期して他方に向けて移送されることとなる。その結果、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２の間に挟まれた積層材Ｐ１は、図３における移送方向Ａに移送され載置ステージ３９から積層成形装置１２の上盤１３と下盤１４との間に搬入される。その際に第１チャック装置３８による上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２の両側が把持されているので、搬送方向に対して直交方向へもフィルムに張りが保たれた状態で、積層材Ｐ１を積層成形装置１２に搬入することができ、第１チャック装置３８の停止により積層材Ｐ１を成形位置に容易に位置決めできる。またこの際にフィルム操作装置３５のガイドロール３７と第３ロール３３の間の距離は、フィルム操作装置３５が他方へ移動されることにより短くなるが、第２ロール３０のトルクモータが巻取方向に正転駆動され、上キャリアフィルムＦ２がたるまないように巻戻される。その際、第１ロール２９のトルクモータも巻取方向に僅かにトルクが付与されている。
【００２２】
次に図４に示されるように、積層成形装置１２の下盤１４を上盤１３に向けて上昇させ、上盤１３と下盤１４との当接面同士を当接させＯリング２３によりシールして、上盤１３の凹部１６と下盤１４の凹部２０とにより密閉されたチャンバを形成する。そしてチャンバ内の空気を図示しないバキューム装置により真空吸引して減圧し、真空成形チャンバ１５を形成する。その際上盤１３と下盤１４に配設されるプレート板１７，２１はヒータにより加熱されている。そして下盤１４に配設された膜体２２の下方にエア流路２４を介して図示しない圧縮空気供給装置から圧縮空気を供給し、膜体２２を真空成形チャンバ１５内で膨出させ、膜体２２と下キャリアフィルムＦ１を介して積層材Ｐ１の下面を加熱・加圧する。また略同時に積層材Ｐ１の上面は、膜体２２による加圧により、上キャリアフィルムＦ２と膜体１８を介して上盤１３のプレート板１７に押圧される。そしてこの状態で所定時間、加熱・加圧を継続することにより積層材Ｐ１の回路基板等の下面または上面に凹凸があっても、前記面と樹脂フィルムの間にボイド等を発生させずに貼合せることができる。また積層材Ｐ１が加熱・加圧されることにより、樹脂が溶出しても、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２に付着するので、膜体１８，２２が汚れることはない。その後膜体２２の下方の圧縮空気を開放するとともに、膜体２２の上方の真空成形チャンバ１５に大気が導入される。そして下盤１４を下降させて真空成形チャンバ１５を開放状態にする。
【００２３】
次に図５に示されるように、積層成形の完了した積層成形品Ｐ２は、積層成形装置１２の一方の搬入・搬出口２５から、フィルム操作装置３５や、載置ステージ３９のある側に搬出される。つまり積層成形品Ｐ２は、積層材Ｐ１の搬入時の移送方向Ａとは逆方向の移送方向Ｂに同期して移送される上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２とともに搬出される。その際に第１チャック装置３８のチャック部により上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２が把持され、第２チャック装置４０のチャック部が開放された状態のまま、フィルム操作装置３５は一方に向けて移動される。同時に第１ロール２９のトルクモータが正転駆動され、下キャリアフィルムＦ１が第１ロール２９に巻取られる。その際、第２ロール３０と第４ロール３４のトルクモータも巻取方向に僅かにトルクが付与されている。その結果、積層成形品Ｐ２は、第１チャック装置３８、第２ロール３０、および第４ロール３４により張力が与えられた状態の上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２の間に挟まれた状態で、積層成形装置１２から載置ステージ３９に搬出される。そして第１チャック装置３８が停止されることにより上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２は停止され、積層成形品Ｐ２が載置ステージ３９に位置決めされる。またそれと同時に第１ロール２９のトルクモータの駆動も停止される。この際にフィルム操作装置３５のガイドロール３７と第３ロール３３の間の距離は、フィルム操作装置３５が一方へ移動されることにより長くなるので、第３ロール３３から上キャリアフィルムＦ２が送出される。
【００２４】
次に図６に示されるように、第１チャック装置３８のチャック部により上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２が開放され、第２チャック装置４０のチャック部により、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２が把持される。そして第１ロール２９のトルクモータにより、第１ロール２９に巻取方向にトルクを付与し、下キャリアフィルムＦ１が固定された状態で、フィルム操作装置３５を他方に向けて移動させる。その際第３ロール３３のトルクモータは、積層成形品Ｐ２から剥離された上キャリアフィルムＦ２の分の長さと、第３ロール３３とガイドロール３７の距離が近くなることによる上キャリアフィルムＦ２の余剰分のたるみを無くすために、巻取側に駆動される。本実施形態においては、上記したように最下方の小径のガイドロール３７により上キャリアフィルムＦ２の角度が鋭角的に変更される部分で上キャリアフィルムＦ２の剥離が行われるので、積層成形品Ｐ２と上キャリアフィルムＦ２が溶出した樹脂等により密着されていても、剥離されやすくなっている。そして載置ステージ３９において下キャリアフィルムＦ１の上に積層成形品Ｐ２が露出されて載置された状態となると、積層成形品Ｐ２は図示しない取出機あるいは作業者により積層成形品製造装置１１の外部に搬出される。
【００２５】
次に図７に示されるように、第１チャック装置３８と第２チャック装置４０を開放し、第２ロール３０および第４ロール３４のトルクモータを巻取方向に正転駆動させる。その際第１ロール２９と第３ロール３３のトルクモータには、前記第２ロール３０および第４ロール３４のトルクモータのトルクよりも弱いトルクが巻取方向に付与されている。よって積層成形品Ｐ２が積層成形された際に溶出した樹脂等により汚れたり、或いは熱変形した上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２は、張力が与えられた状態で同期して他方に送られる。そして載置ステージ３９の部分の下キャリアフィルムＦ１が未使用のフィルムとなったら、上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２の移送を停止する。更に詳しくは本実施形態においては、少なくとも積層材Ｐ１の１枚分の長さとその周りの樹脂等が溶出して付着する可能性のある僅かな部分を加えた分だけ上下キャリアフィルムＦ１，Ｆ２を移送させれば次の積層材Ｐ１が載置ステージ３９に載置可能となる。よって本実施形態は、先行技術のように上部のキャリアフィルムが被覆されてから積層成形装置へ搬入されるまでの距離の長いものや、積層成形装置から取出位置までの距離が長いものと比較して、キャリアフィルムの消費量を減らすことができる。そしてキャリアフィルムとともに高価な帯状フォトレジストフィルムを連続して積層成形装置に供給するタイプのものでは、フィルム消費量の減少により製品コストを大幅に削減することができる。また本実施形態では、積層材Ｐ１の載置ステージと積層成形品Ｐ２の搬出ステージが兼用できるので、従来の積層成形品製造装置と比較して全長が短縮化できる。
【００２６】
なお本発明では、積層材の加熱・加圧後に、積層材の搬入時の移送方向とは逆方向にフィルムを移送させて、積層成形装置の一側に設けられた搬入・搬出口から積層成形品を搬出することを主目的とするものであって、前記主目的に合致するものであれば、移送装置および移送方法については適宜の変更が可能である。例えば積層成形装置において積層材の上面が直接にプレート板あるいは膜体に当接されてもよい場合は、第３ロールと第４ロール等からなる第２移送装置等は必須のものではない。また第１チャック装置、第２チャック装置は必須のものではなく、各ロールの巻取方向（正転方向）への回転駆動のみによってもフィルムを移送することができ、目的を達成することができる。更には第１チャック装置を２回以上の往復移動させて、積層材または積層成形品を積層成形装置に搬入・搬出するものでもよい。更にまた第１チャック装置のみによりフィルムを一方方向に移送させることにより、第１ロールや第３ロールに駆動用モータを設けないものを用いることもできる。またフィルム操作装置を設ける場合も、積層材の搬入前に積層材へ被覆か、又は積層成形品の搬出後に積層成形品から剥離かのいずれか一方のみを行うものでもよい。
【００２７】
なお本発明に使用される積層材は、上記に限定されず、ガラス、セラミック、金属、樹脂等からなる板状体やフィルムの組合せが適宜可能であり、積層される積層材やフィルムの枚数についても限定されず、多数枚が積層されるものであってもよい。また積層材または積層成形品を載置するフィルムや積層材または積層成形品の上面に接触するフィルムについても、フォトレジスト層等に積層されるフィルムが搬送用キャリアフィルムと重ねられたものでもよい。またフォトレジスト層等に積層されるフィルムがキャリアフィルムのロールとは別のロールから積層成形装置内に搬送されるものであってもよい。
【００２８】
また本発明については、一々列挙はしないが、上記した本実施形態のものに限定されず、当業者が本発明の趣旨を踏まえて変更を加えたものについても、適用されることは言うまでもないことである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本実施形態の積層成形品製造装置において、積層材がフィルム上に載置された状態を示す断面図である。
【図２】本実施形態の積層成形品製造装置において、積層材にフィルムが被覆された状態を示す断面図である。
【図３】本実施形態の積層成形品製造装置において、積層材が積層成形装置の上盤と下盤の間に搬入された状態を示す断面図である。
【図４】本実施形態の積層成形品製造装置において、積層成形装置において積層材が加熱・加圧されている状態を示す断面図である。
【図５】本実施形態の積層成形品製造装置において、積層成形装置において加熱・加圧された積層成形品が搬出された状態を示す断面図である。
【図６】本実施形態の積層成形品製造装置において、積層成形品からフィルムが剥離された状態を示す断面図である。
【図７】本実施形態の積層成形品製造装置において、使用済のフィルムが移送されている状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１１    積層成形品製造装置
１２    積層成形装置
１３    上盤
１４    下盤
１５    真空成形チャンバ
１６，２０    凹部
１７，２１    プレート板
１８，２２    膜体
１９，２４    エア流路
２３    Ｏリング
２５    搬入・搬出口
２６    フィルム通過口
２７    第１移送装置
２８    第２移送装置
２９    第１ロール
３０    第２ロール
３３    第３ロール
３４    第４ロール
３５    フィルム操作装置
３１，３２，３６，３７    ガイドロール
３８    第１チャック装置
３９    載置ステージ
４０    第２チャック装置
Ｆ１    下キャリアフィルム（積層材または積層成形品を載置するフィルム）
Ｆ２    上キャリアフィルム（積層材または積層成形品の上面に接触するフィルム）
Ｐ１    積層材
Ｐ２    積層成形品
Ａ，Ｂ    移送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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